単一または複数の光源から照射されたレーザ光から、第1の焦点面に焦点位置を有する第1次光と、前記第1の焦点面よりも光源から遠い第2の焦点面に焦点位置を有する第2次光とを生成する光生成手段と、この光生成手段により生成された焦点位置が異なる前記第1次光および第2次光を同軸上に重ね合わせて干渉レーザビームとする集光手段とを備え、前記第1の焦点面と第2の焦点面との間に位置する第3の焦点面において、前記干渉レーザビームの断面強度分布が、ビームの中心軸近傍において実質的に均一な強度分布となることを特徴とする、レーザ用光学部品。前記第1、第2および第3の焦点面のうち、第3の焦点面にて前記干渉レーザビームの最大ピーク強度が最も小さい、請求項1記載のレーザ用光学部品。前記干渉レーザビームの中心軸近傍における断面強度分布は、第3の焦点面から遠ざかるにつれて相似的に変化していく、請求項1または2に記載のレーザ用光学部品。前記光生成手段が、単一の光源から照射されたレーザ光を2つのレーザビームに分割するレーザビーム分割手段と、このレーザビーム分割手段により分割された2つのレーザビームを互いに異なる焦点に調整する焦点距離調整手段とからなり、前記集光手段が、互いに焦点が異なる2つのレーザビームを同軸上で合成するビーム合成手段と、レーザビームを所定の距離に収束させる集光レンズとからなる、請求項1~3に記載のレーザ用光学部品。前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームそれぞれに対して設けられた第1レンズL1と第2レンズL2とからなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1レンズL1の焦点距離をf1、第2レンズL2の焦点距離をf2とするとき、f1、f2が以下の式1、2で与えられるとともに、係数A1、A2がA1/A2<0、0.9<│A1│<1.9、を全て満たしている、請求項4に記載のレーザ用光学部品。f1=2A1ω2/λ1f2=2A2ω2/λ2前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームそれぞれに対して設けられた第1レンズL1と第2レンズL2とからなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1レンズL1のパワーをP1、第2レンズL2のパワーをP2とするとき、両レンズのパワーの差ΔPは以下の式3で与えられるとともに、係数Bが1.0<│B│<2.3を満たしている、請求項4に記載のレーザ用光学部品。ΔP=λB/2ω23前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームの片方に設けられた第1レンズL1からなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1レンズL1のパワーをP1とするとき、P1は以下の式4で与えられるとともに、係数Bが1.0<│B│<2.3を満たしている、請求項4に記載のレーザ用光学部品。P1=λB/2ω24前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームそれぞれに対して設けられた第1シリンドリカルレンズL1と第2シリンドリカルレンズL2とからなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1シリンドリカルレンズL1のパワーをP1、第2シリンドリカルレンズL2のパワーをP2とするとき、両レンズのパワーの差ΔPは以下の式5で与えられるとともに、係数Cが1.6<│C│<3.1を満たしている、請求項4に記載のレーザ用光学部品。ΔP=λC/2ω25前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームの片方に設けられた第1シリンドリカルレンズL1からなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1シリンドリカルレンズL1のパワーをP1とするとき、P1は以下の式6で与えられるとともに、係数Cが1.6<│C│<3.1を満たしている、請求項4に記載のレーザ用光学部品。P1=λC/2ω26前記光生成手段が回折型光学部品である、請求項1~3のいずれかに記載のレーザ用光学部品。前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を1次の回折ビームとゼロ次の回折ビームとに分離し、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、1次回折ビームに対するパワーをP1とするとき、P1は以下の式7で与えられるとともに、係数Bが1.0<│B│<2.3を満たしている、請求項10に記載のレーザ用光学部品。P1=λB/2ω27前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離し、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、1次回折ビームに対するパワーをP1、-1次回折ビームに対するパワーをP-1とするとき、P1、P-1は以下の式8で与えられるとともに、係数Bが1.0<│B│<2.3を満たしている、請求項10に記載のレーザ用光学部品。P1=P-1=λB/4ω28前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を1次の回折ビームとゼロ次の回折ビームとに分離するシリンドリカル回折レンズであり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、1次回折ビームに対するパワーをP1とするとき、P1は以下の式9で与えられるとともに、係数Bが1.6<│C│<3.1を満たしている、請求項10に記載のレーザ用光学部品。P1=λC/2ω29前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を、縦横のどちらかの方向で、1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離する1次元の回折型光学部品であり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、1次回折ビームに対するパワーをP1、-1次回折ビームに対するパワーをP-1とするとき、P1、P-1は以下の式10で与えられるとともに、係数Cが1.6<│C│<3.1を満たしている、請求項10に記載のレーザ用光学部品。P1=P-1=λB/4ω210前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を、縦横の両方向で、1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離する1次元の回折型光学部品であり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、横方向の1次回折ビームに対するパワーをP1a、-1次回折ビームに対するパワーをP-1a、縦方向の1次回折ビームに対するパワーをP1b、-1次回折ビームに対するパワーをP-1bとするとき、P1a、P-1a、P1b、P-1b、は以下の式11、12で与えられるとともに、係数Ca、Cbが1.6<│Ca│<3.1および1.6<│Cb│<3.1を満たしている、請求項10に記載のレーザ用光学部品。P1a=P-1a=λCa/4ω211P1b=P-1b=λCb/4ω212前記回折型光学部品が、位相差πを与える凹部または凸部が表面に形成された板状の光学部品からなる、請求項10に記載のレーザ用光学部品。前記凹部または凸部が、光軸上から見て円形又は楕円形の凹部または凸部であり、回折型光学部品に入射するビーム径をDとしたときに、前記円形又は楕円形の凹部または凸部の直径又は長径と短径が0.9D~1.3Dである、請求項16に記載のレーザ用光学部品。前記凹部または凸部が、光軸上から見て正方形又は長方形の凹部または凸部であり、回折型光学部品に入射するビーム径をDとしたときに、前記正方形又は長方形の凹部または凸部の辺の長さが0.8D~1.2Dである、請求項16に記載のレーザ用光学部品。前記回折型光学部品を、集光手段の後に配置し、集光手段から回折型光学部品までの距離変更手段を備えることを特徴とする、請求項10~18に記載のレーザ用光学部品。特許文献1~2記載の光学部品は、焦点位置ではほぼ均一な強度分布を得ることができるが、レーザ光の位相を歪めて強度分布を変化させているので、焦点前後での強度分布の変化が大きく、焦点深度が短い。すなわち、被加工面が光軸上において光源に近づくかまたは光源から離れて焦点位置をずれると、強度分布の変化が大きくなってしまうので、焦点深度の深い加工には適していない。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、レーザビームの断面強度分布が均一であり、焦点位置の前後で当該断面強度分布の変化が小さく、長い焦点深度を得ることができるレーザ加工用光学部品を提供することを目的としている。1本発明のレーザ用光学部品以下、単に光学部品ともいうは、単一または複数の光源から照射されたレーザ光から、第1の焦点面に焦点位置を有する第1次光と、前記第1の焦点面よりも光源から遠い第2の焦点面に焦点位置を有する第2次光とを生成する光生成手段と、この光生成手段により生成された焦点位置が異なる前記第1次光および第2次光を同軸上に重ね合わせて干渉レーザビームとする集光手段とを備え、前記第1の焦点面と第2の焦点面との間に位置する第3の焦点面において、前記干渉レーザビームの断面強度分布が、ビームの中心軸近傍において実質的に均一な強度分布となることを特徴としている。本発明の光学部品では、焦点位置が異なる第1次光および第2次光を同軸上に重ね合わせて干渉レーザビームとしており、この干渉レーザビームの断面強度分布は、第1の焦点面と第2の焦点面との間に位置する第3の焦点面において、ビームの中心軸近傍において実質的に均一な強度分布となっている。これにより、焦点位置の前後で当該断面強度分布の変化が小さく、長い焦点深度を得ることができる。2前記1の光学部品において、前記第1、第2および第3の焦点面のうち、第3の焦点面にて前記干渉レーザビームの最大ピーク強度を最も小さくすることができる。3前記1または2の光学部品において、前記干渉レーザビームの中心軸近傍における断面強度分布は、第3の焦点面から遠ざかるにつれて相似的に変化してもよい。4前記1~3の光学部品において、前記光生成手段が、単一の光源から照射されたレーザ光を2つのレーザビームに分割するレーザビーム分割手段と、このレーザビーム分割手段により分割された2つのレーザビームを互いに異なる焦点に調整する焦点距離調整手段とからなり、前記集光手段が、互いに焦点が異なる2つのレーザビームを同軸上で合成するビーム合成手段と、レーザビームを所定の距離に収束させる集光レンズとからなっていてもよい。5前記4の光学部品において、前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームそれぞれに対して設けられた第1レンズL1と第2レンズL2とからなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1レンズL1の焦点距離をf1、第2レンズL2の焦点距離をf2とするとき、f1、f2が以下の式1、2で与えられるとともに、係数A1、A2がA1/A2<0、0.9<│A1│<1.9、を全て満たしていてもよい。f1=2A1ω2/λ1f2=2A2ω2/λ26前記4の光学部品において、前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームそれぞれに対して設けられた第1レンズL1と第2レンズL2とからなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1レンズL1のパワーをP1、第2レンズL2のパワーをP2とするとき、両レンズのパワーの差ΔPは以下の式3で与えられるとともに、係数Bが1.0<│B│<2.3を満たしていてもよい。ΔP=λB/2ω237前記4の光学部品において、前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームの片方に設けられた第1レンズL1からなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1レンズL1のパワーをP1とするとき、P1は以下の式4で与えられるとともに、係数Bが1.0<│B│<2.3を満たしていてもよい。P1=λB/2ω248前記4の光学部品において、前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームそれぞれに対して設けられた第1シリンドリカルレンズL1と第2シリンドリカルレンズL2とからなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1シリンドリカルレンズL1のパワーをP1、第2シリンドリカルレンズL2のパワーをP2とするとき、両レンズのパワーの差ΔPは以下の式5で与えられるとともに、係数Cが1.6<│C│<3.1を満たしていてもよい。ΔP=λC/2ω259前記4の光学部品において、前記焦点距離調整手段が、分割された2つのレーザビームの片方に設けられた第1シリンドリカルレンズL1からなり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1シリンドリカルレンズL1のパワーをP1とするとき、P1は以下の式6で与えられるとともに、係数Cが1.6<│C│<3.1を満たしていてもよい。P1=λC/2ω2610前記1~3の光学部品において、前記光生成手段が回折型光学部品であってもよい。11前記10の光学部品において、前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を1次の回折ビームとゼロ次の回折ビームとに分離し、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、1次回折ビームに対するパワーをP1とするとき、P1は以下の式7で与えられるとともに、係数Bが1.0<│B│<2.3を満たしていてもよい。P1=λB/2ω2712前記10の光学部品において、前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離し、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、1次回折ビームに対するパワーをP1、-1次回折ビームに対するパワーをP-1とするとき、P1、P-1は以下の式8で与えられるとともに、係数Bが1.0<│B│<2.3を満たしていてもよい。P1=P-1=λB/4ω2813前記10の光学部品において、前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を1次の回折ビームとゼロ次の回折ビームとに分離するシリンドリカル回折レンズであり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、1次回折ビームに対するパワーをP1とするとき、P1は以下の式9で与えられるとともに、係数Bが1.6<│C│<3.1を満たしていてもよい。P1=λC/2ω2914前記10の光学部品において、前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を、縦横のどちらかの方向で、1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離する1次元の回折型光学部品であり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、1次回折ビームに対するパワーをP1、-1次回折ビームに対するパワーをP-1とするとき、P1、P-1は以下の式10で与えられるとともに、係数Cが1.6<│C│<3.1を満たしていてもよい。P1=P-1=λB/4ω21015前記10の光学部品において、前記回折型光学部品が、光源から照射されたレーザ光を、縦横の両方向で、1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離する1次元の回折型光学部品であり、レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、横方向の1次回折ビームに対するパワーをP1a、-1次回折ビームに対するパワーをP-1a、縦方向の1次回折ビームに対するパワーをP1b、-1次回折ビームに対するパワーをP-1bとするとき、P1a、P-1a、P1b、P-1b、は以下の式11、12で与えられるとともに、係数Ca、Cbが1.6<│Ca│<3.1および1.6<│Cb│<3.1を満たしていてもよい。P1a=P-1a=λCa/4ω211P1b=P-1b=λCb/4ω21216前記10の光学部品において、前記回折型光学部品が、位相差πを与える凹部または凸部が表面に形成された板状の光学部品からなっていてもよい。17前記16の光学部品において、前記凹部または凸部が、光軸上から見て円形又は楕円形の凹部または凸部であり、回折型光学部品に入射するビーム径をDとしたときに、前記円形又は楕円形の凹部または凸部の直径又は長径と短径が0.9D~1.3Dであってもよい。18前記16の光学部品において、前記凹部または凸部が、光軸上から見て正方形又は長方形の凹部または凸部であり、回折型光学部品に入射するビーム径をDとしたときに、前記正方形又は長方形の凹部または凸部の辺の長さが0.8D~1.2Dであってもよい。19前記10~18の光学部品において、前記回折型光学部品を、集光手段の後に配置し、集光手段から回折型光学部品までの距離変更手段を備えていてもよい。本発明のレーザ用光学部品によれば、レーザビームの断面強度分布が均一であり、焦点位置の前後で当該断面強度分布の変化が小さく、長い焦点深度を得ることができる。以下、添付図面を参照しつつ、本発明の光学部品の実施の形態を詳細に説明する。第1実施形態図1は、本発明の光学部品の第1実施形態の説明図である。第1実施形態に係る光学部品11は、1つのレーザビームを2つのレーザビームに分割するレーザビーム分割手段である第1ビームスプリッタ12と、レーザビームの焦点を調整する焦点距離調整手段である第1レンズ13および第2レンズ14とからなる光生成手段が採用されている。単一の光源であるレーザ共振器15から照射されたレーザビームは、第1ビームスプリッタ12によって第1ビームB1と第2ビームB2とに分離される。このうち第1ビームB1は、第1ビームミラー16により進路変更されて第1レンズ13に入射して焦点距離が調整される。具体的には、レーザビームの発散角が調整される。一方、第2ビームB2は、第2ビームミラー17により進路変更されて第2レンズ14に入射して焦点距離が調整される。第1実施形態における第1レンズ13および第2レンズ14は、いずれも凸レンズであり、第1レンズ13は第2レンズよりも短い焦点距離であり、この第1レンズ13を通過した第1ビームB1は、第1の焦点面に焦点位置を有する第1次光となり、第2レンズ14を通過した第2ビームB2は、前記第1の焦点面よりも光源から遠い第2の焦点面に焦点位置を有する第2次光となる。なお、第1レンズ13および第2レンズ14は、両レンズに入射するレーザビームの焦点距離が調整可能である限り、両方とも凸レンズでなくてもよく、例えば、両方とも凹レンズであってもよい。また、一方が凸レンズで、他方が凹レンズであってもよい。さらに、第1ビームおよび第2ビームの両光路上にレンズを配設せずに、一方の光路上だけに凸レンズまたは凹レンズを配設することでも、両ビームの焦点距離を互いに異なるものにすることができる。焦点距離が調整された第1ビーム第1次光および第2ビーム第2次光は、ビーム合成手段である第2ビームスプリッタ18により同軸上で合成される。合成されたビームを、集光レンズである第3凸レンズ19で絞って集光すると、干渉面上で2つのビームが重ね合わされ、それらの干渉により均一な強度分布のビームを発生させることができる。なお、2つのレーザビームが第2ビームスプリッタ18により合成されるときにも、両ビームに干渉が生じる。図2は、焦点位置が異なる2つのビームの干渉により形成される均一ビームの説明図である。第1レンズ13および第2レンズ14の焦点距離をそれぞれf1、f2とし、第1レンズ13を通過する第1ビームの焦点面をP1とし、第2レンズ14を通過する第2ビームの焦点面をP2とすると、焦点面P1、P2の前後におけるビームの収束状況は図5に示されるようになる。すなわち、f1≠f2であるので、第1ビームの焦点と第2ビームの焦点とは異なる位置にできる。このとき、第1ビームの焦点が存在する焦点面P1と、第2ビームの焦点が存在する焦点面P2との中間に2つのビームが重なり合って均一な強度分布を有するビームとなる焦点面P3均一ビーム焦点面が存在する。また、本発明では、2つのビームの干渉により形成される位相が平坦なので、焦点面P3の前後での強度分布の変化が小さく、焦点深度が長いビームを得ることができる。次に本発明におけるレーザビームの焦点距離の調整手法について説明する。手法A本手法では、一旦2つに分割したレーザビームの各焦点距離を調整して、焦点位置が異なる2つのビームを干渉させる。レーザの波長をλ、レンズに入射する入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1レンズL1第1レンズ13の焦点距離をf1、第2レンズL2第2レンズ14の焦点距離をf2とするとき、f1、f2は以下の式1、2で与えられる。f1=2A1ω2/λ1f2=2A2ω2/λ2このとき、係数A1、A2が下記の条件a1~a3をすべて満足するように焦点距離f1、f2を選定することで、断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。a1:A1/A2<0a2:0.9<│A1│<1.9a3:0.9<│A2│<1.9手法B本手法では、第1レンズL1第1レンズ13と第2レンズL2第2レンズ14のパワー屈折力。焦点距離の逆数の差で両レーザビームの焦点距離の調整を行う。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、第1レンズL1第1レンズ13のパワーをP1、第2レンズL2第2レンズ14のパワーをP2とするとき、両レンズのパワーの差ΔPは以下の式3で与えられる。ΔP=P1-P2=λ/2A1ω2-λ/2A2ω2=λ/2ω2×1/A1-1/A23ここで、新たに係数B=1/A1-1/A2を導入して、ΔPを以下の式4ΔP=λB/2ω24で表すとき、係数Bが下記の条件bを満足するようにパワーP1、P2を選定することで、断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。b:1.0<│B│<2.3手法C本手法は、前述した手法Bの変形ないし応用であり、第2レンズL2第2レンズ14が省略された場合P2=0において第1レンズL1第1レンズ13のパワーP1だけでレーザビームの焦点距離の調整を行う。レーザ光を2つに分岐させるが、第1レンズL1側のレーザのみ位相を変え、第2レンズL2は省略して当該第2レンズL2側のレーザの位相はそのままである。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をωとし、第1レンズL1第1レンズ13のパワーP1を以下の式5P1=λB/2ω25で表すとき、係数Bが下記の条件cを満足するようにパワーP1を選定することで、断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。c:1.0<│B│<2.3手法D本手法は、第2レンズL2第2レンズ14が省略された場合P2=0において第1レンズL1第1レンズ13のパワーP1をベースにして、当該第1レンズL1として以下のような特殊なDOEを定義する。この場合、DOEはビームを分岐する機能も備えることになり、DOEとレンズL3だけのシンプルな構成とすることができる。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をωとするとき、光学部品は、図3に示されるように、レーザ光を少なくとも1次の回折ビームとゼロ次の回折ビームとに分離する回折レンズDOEL1と、2つの回折ビームを集光するレンズL3とで構成される。このとき、回折レンズの1次回折ビームに対するパワーをP1とするとき、当該パワーP1は以下の式6P1=λB/2ω26で与えられ、係数Bが下記の条件dを満足するようにパワーP1を選定することで、1次回折ビームの焦点面とゼロ次回折ビームの焦点面との間の焦点面において断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。d:1.0<│B│<2.3手法E本手法は、第2レンズL2第2レンズ14が省略された場合P2=0において第1レンズL1第1レンズ13のパワーP1をベースにして、当該第1レンズL1として以下のような特殊なDOEを定義する。この場合、DOEはビームを分岐する機能も備えることになり、DOEとレンズL3だけのシンプルな構成とすることができる。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をωとするとき、光学部品は、図4に示されるように、レーザ光を少なくとも1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離する回折レンズDOEL1と、2つの回折ビームを集光するレンズL3とで構成される。このとき、回折レンズL1の1次の回折ビームに対するパワーをP1、-1次の回折ビームに対するパワーをP-1とするとき、当該パワーP1およびP-1は以下の式7P1=-P-1=λB/4ω27で与えられ、係数Bが下記の条件eを満足するようにパワーP1またはP-1を選定することで、1次回折ビームの焦点面と-1次回折ビームの焦点面との間の焦点面において断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。e:1.0<│B│<2.3手法F本手法は、前述した手法Bの変形ないし応用であり、円形の均一ビームを得るのではなく、横方向だけに均一なビームを得る場合におけるレンズの焦点距離の調整に関する。この場合、第1レンズL1第1レンズ13および第2レンズL2第2レンズ14をシリンドリカルレンズとし、両シリンドリカルレンズのパワーの差で両レーザビームの焦点距離の調整を行う。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をω、シリンドリカルレンズL1第1レンズ13のパワーをP1、シリンドリカルレンズL2第2レンズ14のパワーをP2とするとき、両レンズのパワーの差ΔPは以下の式8で与えられる。ΔP=P1-P2=λC/2ω28ここで、係数Cが下記の条件fを満足するようにパワーP1、P2を選定することで、横方向の断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。f:1.6<│C│<3.1手法G本手法は、前述した手法Fの変形ないし応用であり、シリンドリカルレンズL2第2レンズ14が省略された場合P2=0においてシリンドリカルレンズL1第1レンズ13のパワーP1だけでレーザビームの焦点距離の調整を行う。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をωとし、シリンドリカルレンズL1第1レンズ13のパワーP1を以下の式9P1=λC/2ω29で表すとき、係数Cが下記の条件gを満足するようにパワーP1を選定することで、断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。g:1.6<│C│<3.1手法H本手法は、シリンドリカルレンズL2第2レンズ14が省略された場合P2=0において、シリンドリカルレンズL1第1レンズ13を、1次の回折ビームとゼロ次の回折ビームを発生する回折レンズとする。この場合、シリンドリカルレンズL1はビームを分岐する機能も備えることになり、シリンドリカルレンズL1とレンズL3だけのシンプルな構成とすることができる。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をωとするとき、光学部品は、図5に示されるように、レーザ光を少なくとも1次の回折ビームとゼロ次の回折ビームとに分離するシリンドリカル回折レンズDOEL1と、2つの回折ビームを集光するレンズL3とで構成される。このとき、シリンドリカル回折レンズの1次回折ビームに対するパワーをP1とするとき、当該パワーP1は以下の式10P1=λC/2ω210で与えられ、係数Cが下記の条件hを満足するようにパワーP1を選定することで、1次回折ビームの焦点面とゼロ次回折ビームの焦点面との間の焦点面において断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。h:1.6<│C│<3.1手法I本手法は、レンズL2第2レンズ14が省略された場合P2=0において、レンズL1第1レンズ13を、1次の回折ビームと-1次の回折ビームを発生する1次元DOEとする。この場合、レンズL1はビームを分岐する機能も備えることになり、レンズL1とレンズL3だけのシンプルな構成とすることができる。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をωとするとき、光学部品は、図6に示されるように、レーザ光を少なくとも1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離する1次元DOEからなるレンズL1と、2つの回折ビームを集光するレンズL3とで構成される。このとき、レンズL1の1次の回折ビームに対するパワーをP1、-1次の回折ビームに対するパワーをP-1とするとき、当該パワーP1およびP-1は以下の式11P1=-P-1=λC/4ω211で与えられ、係数Cが下記の条件iを満足するようにパワーP1またはP-1を選定することで、1次回折ビームの焦点面と-1次回折ビームの焦点面との間の焦点面において断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。i:1.6<│C│<3.1手法J本手法は、レンズL2第2レンズ14が省略された場合P2=0において、正方形の均一ビームを得るために、レンズL1第1レンズ13を、縦横それぞれの方向に1次の回折ビームと-1次の回折ビームを発生する2次元DOEとする。この場合、レンズL1はビームを分岐する機能も備えることになり、レンズL1とレンズL3だけのシンプルな構成とすることができる。レーザの波長をλ、入射ビームの1/e2ビーム半径をωとするとき、光学部品は、図7に示されるように、レーザ光を縦横方向のそれぞれで、少なくとも1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離する2次元DOEからなるレンズL1と、各回折ビームを集光するレンズL3とで構成される。このとき、レンズL1の横方向の1次の回折ビームに対するパワーをP1a、-1次の回折ビームに対するパワーをP-1aとし、縦方向の1次の回折ビームに対するパワーをP1b、-1次の回折ビームに対するパワーをP-1bとするとき、これらのパワーは以下の式12および13P1a=-P-1a=λCa/4ω212P1b=-P-1b=λCb/4ω213で与えられ、係数Ca、Cbが下記の条件jを満足するようにパワーを選定することで、1次回折ビームの焦点面と-1次回折ビームの焦点面との間の焦点面において断面強度分布が均一なレーザビームを得ることができる。j:1.6<│Ca│<3.11.6<│Cb│<3.1第2実施形態図8は、本発明の第2実施形態に係る光学部品1の側面説明図であり、図9は、図8に示される光学部品1におけるDOE2の平面説明図および断面説明図である。第2実施形態に係る光学部品1は、上述した手法Eあるいは手法Jをより簡略化したもので、光生成手段であるDOE2と、集光手段である凸レンズ3とで構成されている。DOE2および凸レンズ3は、レーザ光を照射する光源であるレーザ共振器4の前方において、当該DOE2および凸レンズ3の軸と前記レーザ光の光軸とが同軸となるように配置されている。そして、DOE2および凸レンズ3を挟んで前記レーザ共振器4と反対側にレーザビームの断面強度分布が均一な均一ビーム焦点面5が位置する。この均一ビーム焦点面5は、後述する第1の焦点面と第2の焦点面との間に位置する第3の焦点面を構成している。例えば、レーザ加工用では、当該均一ビーム焦点面5には、図示しない非加工物ワークの非加工面が配置され、所定のレーザ加工が行われる。DOE2は、図9に示されるように、円板状の光学部品からなり、光源に面する側の表面に円形の凸部6が形成されている。凸部6の高さは、位相差πラジアンを与える高さに設定されている。凸部6の直径は、DOE2に照射されるレーザビームのビーム径Dに基づいて選定され、具体的には、0.9D~1.3Dの範囲内で選定され、好ましくは1.2Dに設定される。DOE2の直径および厚さは、当該DOE2に照射されるレーザビームのビーム径に応じて適宜選定することができ、本発明において特に限定されるものではないが、通常、直径は20~50mm程度であり、厚さは3~5mm程度である。DOE2は、レーザ共振器4から照射されたレーザ光から、焦点位置が異なる2つのビームを生成する。より詳細には、第1の焦点面に焦点位置を有する第1次光と、前記第1の焦点面よりもレーザ共振器4から遠い第2の焦点面に焦点位置を有する第2次光とを生成する。そして、DOE2により生成された第1次光および第2次光は、続く凸レンズ3によって、同軸上に重ね合わされて干渉レーザビームとされる。干渉レーザビームは、図2に示されるように、第1の焦点面と第2の焦点面との間に位置する第3の焦点面均一ビーム焦点面5において、その断面強度分布が、ビームの中心軸光軸近傍において実質的に均一な強度分布となっている。DOE2の凸部6に照射されたレーザビームは、発散角が異なる1次と-1次の回折ビームを発生させるので、焦点位置が異なる2つのレーザビームが生成される。そして、この2つのレーザビームが凸レンズ3を通過することで同軸上に重ね合わされて干渉レーザビームとされる。なお、凸部6に代えて、円板状の光学部品の表面に位相差πを与える凹部を形成してもよい。また、光源側から見た凸部6の形状は円形に限定されるものではなく、例えば、図10に示されるような正方形の凸部を形成することもできる。図10のaは、かかる正方形の凸部が形成されたDOEの平面説明図であり、bは同断面説明図である。凸部26の辺の長さは、DOE22に照射されるレーザビームのビーム径Dに基づいて選定され、具体的には、0.8D~1.2Dの範囲内で選定され、好ましくは1.1Dに設定される。この場合においても、正方形の凸部に代えて、円板状の光学部品の表面に位相差πを与える正方形の凹部を形成してもよい。実際のレーザビームの断面形状は円形とは限らないので、その歪みに応じて、凸部又は凹部の形状を楕円形や長方形に変えてもよい。楕円形の凸部又は凹部の長径、短径、又は長方形の長辺、短辺の長さは、前記の円形、正方形の場合と同様に、入射ビームの径Dにより規定される範囲内で定めることができる。DOEと凸レンズ、即ち集光手段との配置は、上記とは逆に集光手段、DOEの順であっても良い。この場合、DOEには集光手段により収束されたビームが入射することになるので、集光手段とDOEの距離に依存してDOEへの入射ビーム径Dが変化することに注意しなければならない。しかし、この距離を敢えて変更することで、実際のレーザビーム径が設計と異なった場合などに、DOEに最適な入射ビーム径を得るための調整機構として機能させることが可能となる。つまり、集光手段とDOEの距離変更手段を設けるのである。この距離変更手段は、例えば、DOEを光軸方向に移動できる位置調整ステージ上に設置することで実現可能である。DOEを集光手段の方向に移動すれば、入射ビーム径Dは大きくなる。また逆に、DOEを集光手段から離す方向に移動すれば、入射ビーム径Dは小さくなる。入射ビーム径の大小変化によって、焦点位置での強度分布が変化するので、強度分布を測定しながら最適な距離に調整することができる。実施例つぎに、本発明の光学部品の実施例を説明するが、本発明はもとよりかかる実施例にのみ限定されるものではない。実施例1前述した手法Aにしたがって、レンズの焦点距離を調整した。レンズL1の焦点距離は37000mmであり、レンズL2の焦点距離は-37000mmであり、集光レンズであるレンズL3の焦点距離は200mmであった。以下のレーザ条件のレーザビームをビームスプリッタで第1ビームおよび第2ビームに分割し、第1ビームをレンズL1に入射させ、第2ビームをレンズL2に入射させ、ついで両ビームをビームスプリッタにより同軸上で合成し、さらにレンズL3を通過させて集光した。<レーザ条件>波長:532nmモード:TEM001/e2ビーム半径:2.5mm発散角:0mrad波長λ=532nm、1/e2ビーム半径ω=2.5mm、レンズL1の焦点距離f1=37m、レンズL2の焦点距離f2=-37mであるので、上記式1および2より、A1≒1.57、A2≒-1.57であり、上記の条件a1~a3のすべてを満たしている。図11のa~cは、それぞれ実施例1における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。後出する図12~19と同じく、図11のa~cにおいて、最も左側の図は第1ビームの焦点面第1の焦点面、真ん中の図は第2ビームの焦点面第2の焦点面、最も右側の図は第1の焦点面と第2の焦点面との間に位置する均一ビーム焦点面第3の焦点面に対応している。なお、図11および後出する図12~13では、光軸を中心として100μm四方の領域を表示している。図11のaおよびbより、実施例1では、レーザビームの中心軸近傍において実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。比較例1レンズL1の焦点距離を18.8mとし、レンズL2の焦点距離を-18.8mとした以外は実施例1と同様にしてレーザビームを生成した。上記式1および2に従い算出される係数A1、A2は、それぞれ0.9および-0.9であり、上記の条件a1を満たしているが、条件a2およびa3を満たしていない。図12のa~cは、それぞれ比較例1における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。図12のaおよびbより、比較例1では、中央の強度が低下しており、均一な断面強度分布ではなくなっていることがわかる。比較例2レンズL1の焦点距離を44.6mとし、レンズL2の焦点距離を-44.6mとした以外は実施例1と同様にしてレーザビームを生成した。上記式1および2に従い算出される係数A1、A2は、それぞれ1.9および-1.9であり、上記の条件a1を満たしているが、条件a2およびa3を満たしていない。図13のa~cは、それぞれ比較例2における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。図13のbより、比較例2では、中央の均一な強度部分の幅が減少し、なくなっていることがわかる。実施例2前述した手法Bにしたがって、レンズのパワーを調整した。レンズL1の焦点距離f1およびパワーP1はそれぞれ15mおよび1/151/mであり、レンズL2の焦点距離f2およびパワーP2はそれぞれ-25mおよび-1/251/mであった。また集光レンズであるレンズL3の焦点距離は300mmであった。以下のレーザ条件のレーザビームをビームスプリッタで第1ビームおよび第2ビームに分割し、第1ビームをレンズL1に入射させ、第2ビームをレンズL2に入射させ、ついで両ビームをビームスプリッタにより同軸上で合成し、さらにレンズL3を通過させて集光した。<レーザ条件>波長:1064nmモード:TEM001/e2ビーム半径:2.5mm発散角:0mrad波長λ=1064nm、1/e2ビーム半径ω=2.5mm、レンズL1のパワーP1=1/151/m、レンズL2のパワーP2=-1/251/mであるので、上記式3より、ΔP≒0.10666であり、また上記式4より、B≒1.25であり、上記の条件bを満たしている。なお、実施例1において、波長λ=532nm、1/e2ビーム半径ω=2.5mm、レンズL1のパワーP1=1/371/m、レンズL2のパワーP2=-1/371/mであるので、ΔP≒2/371/mである。また上記式4より、B≒1.27であるので、上記の条件bを満たしている。図14のa~cは、それぞれ実施例2における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。なお、図14および後出する図15~16では、光軸を中心として300μm四方の領域を表示している。図14のaおよびbより、実施例2では、レーザビームの中心軸近傍において実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。比較例3レンズL1のパワーを1/151/mとし、レンズL2のパワーを-1/7.81/mとした以外は実施例2と同様にしてレーザビームを生成した。ΔP≒0.19487であり、また上記式4より、B≒2.3であり、上記の条件bを満たしていない。図15のa~cは、それぞれ比較例3における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。図15のaおよびbより、比較例3では、中央の強度が低下しており、均一な断面強度分布ではなくなっていることがわかる。比較例4レンズL1のパワーを1/151/mとし、レンズL2のパワーを-1/541/mとした以外は実施例2と同様にしてレーザビームを生成した。ΔP≒0.085185であり、また上記式4より、B≒1.0であり、上記の条件bを満たしていない。図16のa~cは、それぞれ比較例3における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。図16のaおよびbより、比較例4では、中央の均一な強度部分の幅が減少し、なくなっていることがわかる。実施例3前述した手法Cにしたがって、レンズのパワーを調整した。レンズL1の焦点距離f1およびパワーP1はそれぞれ3.8mおよび1/3.81/mであり、集光レンズであるレンズL3の焦点距離f3は127mmであった。また、レンズL2は使用しなかった。以下のレーザ条件のレーザビームをビームスプリッタで第1ビームおよび第2ビームに分割し、第1ビームをレンズL1に入射させた。レンズL1を通過した第1ビームとレンズを通過させていない第2ビームとをビームスプリッタにより同軸上で合成し、さらにレンズL3を通過させて集光した。<レーザ条件>波長:10600nmモード:TEM001/e2ビーム半径:5mm発散角:0mrad波長λ=10600nm、1/e2ビーム半径ω=5mm、レンズL1のパワーP1=1/3.81/mであるので、上記式5より、B≒1.24であり、上記の条件cを満たしている。図17のa~cは、それぞれ実施例3における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。なお、図17および後出する図18~19では、光軸を中心として1mm四方の領域を表示している。図17のaおよびbより、実施例3では、レーザビームの中心軸近傍において実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。比較例5レンズL1のパワーを-1/2.051/mとした以外は実施例3と同様にしてレーザビームを生成した。上記式5より、B≒-2.3であり、上記の条件cを満たしていない。図18のa~cは、それぞれ比較例5における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。図18のaおよびbより、比較例5では、中央の強度が低下しており、均一な断面強度分布ではなくなっていることがわかる。比較例6レンズL1のパワーを1/4.71/mとした以外は実施例3と同様にしてレーザビームを生成した。上記式5より、B≒1.0であり、上記の条件cを満たしていない。図19のa~cは、それぞれ比較例6における各焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。図19のaおよびbより、比較例6では、中央の均一な強度部分の幅が減少し、なくなっていることがわかる。実施例4前述した手法Dにしたがって、回折レンズのパワーを調整した。回折レンズL1の1次回折ビームの焦点距離f1は3.8mであり、回折レンズL1のパワーP1は1/3.81/mであり、集光レンズであるレンズL3の焦点距離f3は127mmであった。また、レンズL2は使用しなかった。図20に示されるように、本実施例の回折レンズは、一般的な回折レンズ1次回折ビームを主に発生するの位相分布の半分の高さの位相分布にしている。こうすることで、1次とゼロ次の2つの回折ビームを同等のレベルの強度で発生させることができる。以下のレーザ条件のレーザビームを回折レンズL1に入射させ、レンズ光を少なくとも1次の回折ビームとゼロ次の回折ビームとに分離させた。回折レンズL1を通過した2つの回折ビームをレンズL3を通過させて集光した。<レーザ条件>波長:10600nmモード:TEM001/e2ビーム半径:5mm発散角:0mrad波長λ=10600nm、1/e2ビーム半径ω=5mm、回折レンズL1のパワーP1=1/3.81/mであるので、上記式6より、B≒1.24であり、上記の条件dを満たしている。図21のa~bは、それぞれ実施例4における入射ビームの強度分布および強度分布断面を示しており、図22のa~cは、それぞれ実施例4における均一ビーム焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。なお、図21では、光軸を中心として20mm四方の領域を表示しており、図22では、光軸を中心として1mm四方の領域を表示している。図22のaおよびbより、実施例4では、レーザビームの中心軸近傍において実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。実施例5前述した手法Eにしたがって、回折レンズのパワーを調整した。回折レンズL1の1次回折ビームのパワーP1は1/7.51/mであり、回折レンズL1の-1次回折ビームのパワーP-1は1/7.51/mであり、集光レンズであるレンズL3の焦点距離f3は127mmであった。また、レンズL2は使用しなかった。図23に示されるように、本実施例の回折レンズは、2段階位相分布よりなっている。以下のレーザ条件のレーザビームを回折レンズL1に入射させ、レンズ光を少なくとも1次の回折ビームと-1次の回折ビームとに分離させた。回折レンズL1を通過した2つの回折ビームをレンズL3を通過させて集光した。<レーザ条件>波長:10600nmモード:TEM001/e2ビーム半径:5mm発散角:0mrad波長λ=10600nm、1/e2ビーム半径ω=5mm、回折レンズL1のパワーP1=1/7.51/mであるので、上記式7より、B≒1.26であり、上記の条件eを満たしている。図24のa~bは、それぞれ実施例5における入射ビームの強度分布および強度分布断面を示しており、図25のa~cは、それぞれ実施例5における均一ビーム焦点面での強度分布、強度分布断面および位相分布断面を示している。なお、図23~24では、光軸を中心として20mm四方の領域を表示しており、図25では、光軸を中心として1mm四方の領域を表示している。図25のaおよびbより、実施例5では、レーザビームの中心軸近傍において実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。実施例6前述した手法Fにしたがって、シリンドリカルレンズのパワーを調整した。シリンドリカルレンズL1の焦点距離横方向f1およびパワーP1はそれぞれ7.5mおよび2/151/mであり、シリンドリカルレンズL2の焦点距離横方向f2およびパワーP2はそれぞれ-20mおよび-1/201/mであった。また集光レンズであるレンズL3の焦点距離は300mmであった。以下のレーザ条件のレーザビームをビームスプリッタで第1ビームおよび第2ビームに分割し、第1ビームをシリンドリカルレンズL1に入射させ、第2ビームをシリンドリカルレンズL2に入射させ、ついで両ビームをビームスプリッタにより同軸上で合成し、さらにレンズL3を通過させて集光した。円形均一ビームではなく、横方向だけの均一化を行った。<レーザ条件>波長:1064nmモード:TEM001/e2ビーム半径:2.5mm発散角:0mrad波長λ=1064nm、1/e2ビーム半径ω=2.5mm、シリンドリカルレンズL1のパワーP1=2/151/m、シリンドリカルレンズL2のパワーP2=-1/201/mであるので、ΔP≒0.18333であり、また上記式8より、C≒2.15であり、上記の条件fを満たしている。図26のa~bは、それぞれ実施例6における入射ビームの強度分布の写真および強度分布断面を示しており、図27のa~eは、それぞれ実施例6における強度分布、横方向強度分布断面、横方向位相分布断面、縦方向強度分布断面、および縦方向位相分布断面を示している。なお、図26では、光軸を中心として10mm四方の領域を表示しており、図27では、光軸を中心として300μm四方の領域を表示している。また、図27および後出する図28~30において、最も左側の図は第1ビームの焦点面第1の焦点面、真ん中の図は第2ビームの焦点面第2の焦点面、最も右側の図は第1の焦点面と第2の焦点面との間に位置する均一ビーム焦点面第3の焦点面に対応している。図27のaおよびbより、実施例6では、レーザビームの中心軸近傍において横方向について実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。また、図27のdより、縦方向については、ガウス分布のままであることがわかる。比較例7シリンドリカルレンズL1の焦点距離横方向f1およびパワーP1をそれぞれ8.6mおよび5/431/mとし、シリンドリカルレンズL2の焦点距離横方向f2およびパワーP2をそれぞれ-50mおよび-1/501/mとした以外は実施例6と同様にしてレーザビームを生成した。このとき、ΔP≒0.136279であり、また上記式8より、C≒1.60であり、上記の条件fを満たしていない。図28のa~eは、それぞれ比較例7における強度分布、横方向強度分布断面、横方向位相分布断面、縦方向強度分布断面、および縦方向位相分布断面を示している。なお、図28では、光軸を中心として300μm四方の領域を表示している。図28のbより、比較例7では、中央の均一な強度部分の幅が減少し、なくなっていることがわかる。比較例8シリンドリカルレンズL1の焦点距離横方向f1およびパワーP1をそれぞれ7mおよび1/71/mとし、シリンドリカルレンズL2の焦点距離横方向f2およびパワーP2をそれぞれ-8.2mおよび-5/411/mとした以外は実施例6と同様にしてレーザビームを生成した。このとき、ΔP≒0.26480であり、また上記式8より、C≒3.1であり、上記の条件fを満たしていない。図29のa~eは、それぞれ比較例8における強度分布、横方向強度分布断面、横方向位相分布断面、縦方向強度分布断面、および縦方向位相分布断面を示している。なお、図29では、光軸を中心として300μm四方の領域を表示している。図29のbより、比較例8では、中央の強度が低下して、もはや均一な強度とはいえなくなっていることがわかる。実施例7前述した手法Gにしたがって、シリンドリカルレンズのパワーを調整した。シリンドリカルレンズL2は省略した。シリンドリカルレンズL1の焦点距離横方向f1およびパワーP1をそれぞれ5.8mおよび5/291/mとした以外は実施例6と同様にしてレーザビームを生成した。このとき、ΔP=0.1724であり、また上記式9より、C≒2.03であり、上記の条件gを満たしている。図30のa~eは、それぞれ実施例7における強度分布、横方向強度分布断面、横方向位相分布断面、縦方向強度分布断面、および縦方向位相分布断面を示している。なお、図30では、光軸を中心として300μm四方の領域を表示している。図30のaおよびbより、実施例6では、レーザビームの中心軸近傍において横方向について実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。また、図30のdより、縦方向については、ガウス分布のままであることがわかる。実施例8前述した手法Hにしたがって、シリンドリカル回折レンズのパワーを調整した。シリンドリカルレンズL2は省略した。シリンドリカル回折レンズL1の焦点距離横方向f1およびパワーP1をそれぞれ-5.8mおよび-5/291/mとし、レンズL3の焦点距離f3を250mmとした以外は実施例6と同様にしてレーザビームを生成した。このとき、ΔP=-0.1724であり、また上記式10より、C≒2.03であり、上記の条件hを満たしている。図31に示されるように、本実施例のシリンドリカル回折レンズは、一般的なシリンドリカル回折レンズ1次回折ビームを主に発生するの位相分布の半分の高さの位相分布にしている。こうすることで、1次とゼロ次の2つの回折ビームを同等のレベルの強度で発生させることができる。図32のa~eは、それぞれ実施例8における強度分布、横方向強度分布断面、横方向位相分布断面、縦方向強度分布断面、および縦方向位相分布断面を示している。図32のaおよびbより、実施例8では、レーザビームの中心軸近傍において横方向について実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。また、図32のdより、縦方向については、ガウス分布のままであることがわかる。実施例9前述した手法Iにしたがって、1次元DOEのパワーを調整した。レンズL2は省略した。1次元DOEL1の1次回折ビームに対するパワーP1を1/11.61/mとし、-1次回折ビームに対するパワーP-1を-1/11.61/mとし、レンズL3の焦点距離f3を400mmとした以外は実施例6と同様にしてレーザビームを生成した。このとき、上記式11より、C≒2.03であり、上記の条件iを満たしている。図33に示されるように、本実施例の1次元DOEは、2段階の位相分布よりなっている。図34のa~eは、それぞれ実施例9における強度分布、横方向強度分布断面、横方向位相分布断面、縦方向強度分布断面、および縦方向位相分布断面を示している。図34のaおよびbより、実施例9では、レーザビームの中心軸近傍において横方向について実質的に均一な強度分布が得られることがわかる。また、図34のdより、縦方向については、ガウス分布のままであることがわかる。実施例10前述した手法Jにしたがって、2次元DOEのパワーを調整した。レンズL2は省略した。2次元DOEL1の1次回折ビームに対するパワーP1a=P1bを1/11.61/mとし、-1次回折ビームに対するパワーP-1a=P-1bを-1/11.61/mとし、レンズL3の焦点距離f3を200mmとした以外は実施例6と同様にしてレーザビームを生成した。このとき、上記式12および13より、Ca=Cb≒2.03であり、上記の条件jを満たしている。図35に示されるように、本実施例の2次元DOEは2段階の位相分布よりなっている。この位相分布は、実施例9の1次元DOEと、これを90度回転させて向きを変えた1次元DOEとを積算した位相分布となっている。図36のa~eは、それぞれ実施例10における強度分布、横方向強度分布断面、横方向位相分布断面、縦方向強度分布断面、および縦方向位相分布断面を示している。図36のa、bおよびdより、実施例10では、レーザビームの中心軸近傍において縦と横の両方向について均一化された正方形のビームとなっていることがわかる。実施例11前述した実施例に示されるように、焦点面上の均一ビームのサイズは、その波長と最終レンズL3の焦点距離に比例して変化する。例えば、実施例10についても、レンズL3の焦点距離に比例して正方形の均一ビームのサイズを変化させることができる。そこで、本実施例では、図37に示されるように、1枚のレンズL3の代わりに横方向シリンドリカルレンズと縦方向シリンドリカルレンズを配置し、それぞれの焦点距離を異ならせることで、長方形の均一ビームとした。図37において、シリンドリカルレンズL2aとシリンドリカルレンズL2bの焦点位置が一致するように、各シリンドリカルレンズを配置した。シリンドリカルレンズL2aの焦点距離横方向f2aおよびシリンドリカルレンズL2bの焦点距離縦方向f2bをそれぞれ300mmおよび200mmとし、シリンドリカルレンズL2aとシリンドリカルレンズL2bとの間の距離を100mmとした以外は実施例10と同様にしてレーザビームを生成した。図38のa~eは、それぞれ実施例11における強度分布、横方向強度分布断面、横方向位相分布断面、縦方向強度分布断面、および縦方向位相分布断面を示している。図38のa、bおよびdより、実施例11では、レーザビームの中心軸近傍において縦と横の両方向について均一化された長方形のビームとなっていることがわかる。なお、今回開示された実施の形態はすべての点において単なる例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、前記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内のすべての変更が含まれることが意図される。