"複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部を覆う複合部材と、各々が別々の光電変換部に対応して配列され、前記複合部材上に設けられた複数の第1レンズ部と、各々が別々の光電変換部に対応して配列され、前記第1レンズ部と前記複合部材との間に設けられた複数の第2レンズ部と、を備える光電変換装置であって、前記複合部材は、絶縁膜と、各々が別々の光電変換部に対応して設けられ、前記絶縁膜に囲まれた、前記絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有する複数の高屈折率部材と、前記複数の高屈折率部材同士を連結するように前記絶縁膜上に設けられた、前記絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有する高屈折率膜と、を少なくとも有しており、前記複数の第1レンズ部のうちの、互いに隣り合う第1レンズ部同士、および、前記複数の第2レンズ部のうちの、互いに隣り合う第2レンズ部同士、の少なくともいずれかが接していることを特徴とする光電変換装置。各々が別々の光電変換部に対応して配列された、互いに異なる波長に対応した複数種類の波長選択部材を有する波長選択層を、前記複数の第1レンズ部と前記第2レンズ部との間に備え、前記互いに隣り合う第1レンズ部同士が接しており、前記互いに隣り合う第2レンズ部同士が離れていることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。前記複数の第1レンズ部のうちの、互いの光軸間が所定距離だけ離れて互いに隣り合う第1レンズ部同士が接しており、前記複数の第1レンズ部のうちの、互いの光軸間の距離が前記所定距離より長い距離だけ離れて互いに隣り合う第1レンズ部同士が接していることを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。前記第2レンズ部と前記高屈折率部材との間に、前記第2レンズ部と界面を成す、前記第2レンズ部の屈折率よりも低い屈折率を有する低屈折率膜が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光電変換装置。前記低屈折率膜は、前記第2レンズ部と界面を成し、前記第2レンズ部の屈折率よりも低い屈折率を有する第1低屈折率層と、前記第1低屈折率層と前記高屈折率膜の間に配されて前記第1低屈折率層と界面を成し、前記第1低屈折率層の屈折率よりも低い屈折率を有する第2低屈折率層と、を含むことを特徴とする請求項4に記載の光電変換装置。前記低屈折率膜は、前記第2低屈折率層と前記高屈折率膜との間に配されて前記高屈折率膜と界面を成し、前記第2低屈折率層の屈折率と前記高屈折率膜の屈折率の間の屈折率を有する第3低屈折率層を含むことを特徴とする請求項5に記載の光電変換装置。前記第2レンズ部の屈折率が前記高屈折率膜の屈折率よりも高く、前記第1低屈折率層の屈折率が、前記第3低屈折率層の屈折率よりも高いことを特徴とする請求項6に記載の光電変換装置。前記複数の第1レンズ部の各々は、第1レンズ体と、前記第1レンズ体の曲面に沿って設けられた、前記第1レンズ体の屈折率よりも低い屈折率を有する第1コーティングと、を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光電変換装置。前記複数の第2レンズ部の各々は、第2レンズ体と、前記第2レンズ体の曲面に沿って設けられた、前記第2レンズ体の屈折率よりも低い屈折率を有する第2コーティングと、を含むことを特徴とする1乃至8のいずれか1項に記載の光電変換装置。前記第1レンズ体は樹脂からなり、前記第1コーティングは酸化シリコンを含むことを特徴とする請求項8に記載の光電変換装置、または、前記第2レンズ体は窒化シリコンからなり、前記第2コーティングは酸窒化シリコンを含むことを特徴とする請求項9に記載の光電変換装置。複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部を覆う複合部材と、各々が別々の光電変換部に対応して配列され、前記複合部材上に設けられた複数の集光レンズ部と、を備える光電変換装置であって、前記複合部材は、絶縁膜と、各々が別々の光電変換部に対応して設けられ、前記絶縁膜に囲まれた、前記絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有する複数の高屈折率部材と、前記複数の高屈折率部材同士を連結するように前記絶縁膜上に設けられた、前記絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有する高屈折率膜と、を少なくとも有しており、前記複数の集光レンズ部のうちの互いの光軸間が所定距離だけ離れて互いに隣り合う集光レンズ部同士が接しており、前記複数の集光レンズ部のうちの互いの光軸間の距離が前記所定距離より長い距離だけ離れて互いに隣り合う集光レンズ部同士が接していることを特徴とする光電変換装置。前記複数の集光レンズ部の各々は、レンズ体と、前記レンズ体の曲面に沿って設けられた、前記レンズ体の屈折率よりも低い屈折率を有するコーティングと、を含むことを特徴とする請求項11に記載の光電変換装置。前記複数の集光レンズ部の各々の曲率が0.491/μm以上であることを特徴とする請求項12に記載の光電変換装置。前記レンズ部と前記高屈折率膜との間に、前記高屈折率膜と界面を成す、前記高屈折率膜の屈折率よりも低い屈折率を有する低屈折率膜が設けられていることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載の光電変換装置。前記低屈折率膜は、第1低屈折率層と、前記第1低屈折率層と前記高屈折率膜の間に配されて前記第1低屈折率層と界面を成す、前記第1低屈折率層の屈折率よりも低い屈折率を有する第2低屈折率層と、前記第2低屈折率層と前記高屈折率膜との間に配されて前記高屈折率膜と界面を成す、前記第2低屈折率層の屈折率と前記高屈折率膜の屈折率の間の屈折率を有する第3低屈折率層と、を含むことを特徴とする請求項14に記載の光電変換装置。前記第1低屈折率層および前記第3低屈折率層が酸窒化シリコンからなり、前記第2低屈折率層が酸化シリコンからなることを特徴とする請求項6、7または15に記載の光電変換装置。前記高屈折率膜は、前記高屈折率部材と同じ材料からなることを特徴とする請求項1乃至16のいずれか1項に記載の光電変換装置。前記複数の高屈折率部材の各々は、第1高屈折率部分と、前記絶縁膜と前記第1高屈折率部分との間に位置する第2高屈折率部分とを有しており、前記第1高屈折率部分の屈折率が前記第2高屈折率部分の屈折率と異なることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の光電変換装置。前記第2高屈折率部分は、前記第1高屈折率部分の材料と同じ材料からなることを特徴とする請求項18に記載の光電変換装置。下記の条件i、ii、iiの少なくともいずれかを満たすことを特徴とする請求項10または11に記載の光電変換装置。i前記高屈折率膜は、前記第1高屈折率部分と同じ材料からなり、前記複数の高屈折率部材の各々の前記第1高屈折率部分同士を連結するように設けられている。ii前記高屈折率膜は、前記第2高屈折率部分と同じ材料からなり、前記複数の高屈折率部材の各々の前記第2高屈折率部分同士を連結するように設けられている。iii前記高屈折率膜は、前記第1高屈折率部分と同じ材料からなる第1高屈折率層と、前記第2高屈折率部分と同じ材料からなる第2高屈折率層と、を有しており、前記第1高屈折率層は前記複数の高屈折率部材の各々の前記第1高屈折率部分同士を連結するように設けられており、前記第2高屈折率層は前記複数の高屈折率部材の各々の前記第2高屈折率部分同士を連結するように設けられている。請求項1乃至20のいずれか1項に記載の光電変換装置と、前記光電変換装置から出力された電気信号が入力され、前記電気信号を処理する信号処理装置と、を有することを特徴とする撮像システム。特許文献1、2のように、マイクロレンズや導光路を画素毎に設けているにも関わらず、画像の輪郭がぼやけたり、カラー画像の場合には混色が生じたりするなど、画質の低下が確認された。これは入射光が適切でない光電変換部に入射していることが原因であると考えられる。そこで本発明は、導光構造を有する光電変換装置において、適切な光を光電変換部に精度よく入射させることができる光電変換装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するための本発明は、複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部を覆う複合部材と、各々が別々の光電変換部に対応して配列され、前記複合部材上に設けられた複数の第1レンズ部と、各々が別々の光電変換部に対応して配列され、前記第1レンズ部と前記複合部材との間に設けられた複数の第2レンズ部と、を備える光電変換装置であって、前記複合部材は、絶縁膜と、各々が別々の光電変換部に対応して設けられ、前記絶縁膜に囲まれた、前記絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有する複数の高屈折率部材と、前記複数の高屈折率部材同士を連結するように前記絶縁膜上に設けられた、前記絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有する高屈折率膜と、を少なくとも有しており、前記複数の第1レンズ部のうちの、互いに隣り合う第1レンズ部同士、および、前記複数の第2レンズ部のうちの、互いに隣り合う第2レンズ部同士、の少なくとも一方が接していることを特徴とする。また、本発明は複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部を覆う複合部材と、各々が別々の光電変換部に対応して配列され、前記複合部材上に設けられた複数の集光レンズ部と、を備える光電変換装置であって、前記複合部材は、絶縁膜と、各々が別々の光電変換部に対応して設けられ、前記絶縁膜に囲まれた、前記絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有する複数の高屈折率部材と、前記複数の高屈折率部材同士を連結するように前記絶縁膜上に設けられた、前記絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有する高屈折率膜と、を少なくとも有しており、前記複数の集光レンズ部のうちの、互いの光軸間が所定距離だけ離れて互いに隣り合う集光レンズ部同士が接しており、前記複数の集光レンズ部のうちの、互いの光軸間の距離が前記所定距離より長い距離だけ離れて互いに隣り合う集光レンズ部同士が接していることを特徴とする本発明によれば、適切な光を光電変換部に精度よく入射させることができる。まず、光電変換装置1の概要について、図1a、b、cを用いて説明する。光電変換装置1は複数の受光素子10、11、12を備えている。図1aは光電変換装置1の平面図であり、3×3の二次元状に配列された9つの受光素子を示した。しかしながら、受光素子の数は2つ以上であれば本発明を適用することができ、2つ以上の受光素子を1次元状に配列してもよい。9つの受光素子10、11、12のうち、説明のために注目する、ある受光素子を注目受光素子10とする。図1aの例では、注目受光素子10は中央に位置しており、注目受光素子10に隣り合う8つの受光素子11,12がある。本発明で、隣り合うとは、複数の受光素子間に別の受光素子が存在していない形態を意味しており、複数の受光素子同士が接している形態と接していない離れている形態の両方を含む。本明細書では、受光素子に限らず、様々な部材について、隣り合うを斯かる意味として用いる。なお、隣接や近接といった用語も、複数の部材同士が接している形態と、複数の部材同士が隣り合って接していない離れている形態の両方を意味する場合がある。注目受光素子10に隣り合う8つの受光素子11,12のうちの4つの受光素子1次近傍受光素子11は、注目受光素子10の対辺方向図面上で上下左右方向で隣り合っており、注目受光素子10との距離ピッチが最も短い位置に配されている。注目受光素子10に隣り合う8つの受光素子11,12のうちの残りの4つの受光素子2次近傍受光素子12は、注目受光素子10の対角方向図面上で斜め方向で隣り合っており、1次近傍受光素子11よりも注目受光素子10から離れて配されている。なお、注目受光素子10、1次近傍受光素子11、2次近傍受光素子12は相対的な位置関係によって便宜的に区別されるのであって、それぞれが実質的に同じ構造を有することができる。なお、受光素子が2つのみの場合、あるいは一次元状に配列されている場合には2次近傍受光素子12は存在しない。また、注目受光素子の周りに正六角形状に6つの受光素子が配列されていると、1次近傍受光素子11は6つとなり、2次近傍受光素子12も6つとなる場合もある。図1bは、光電変換装置1の注目受光素子10と1次近傍受光素子11を含む、図1aのA-A’線における断面図及びB-B’線における断面図である。図1cは光電変換装置1の注目受光素子10と2次近傍受光素子12を含む、図1aのC-C’線における断面図及びD-D’における断面図である。なお、図1bに示す構造は、図1aに示したA-A’線の断面とB-B’線の断面の一方のみで成立していてもよいが、両方で成立していることが好ましい。同様に、図1cに示す構造は、図1aに示したC-C’線の断面とD-D’線の断面の一方のみで成立していてもよいが、両方で成立していることが好ましい。半導体基板2は複数の光電変換部3を有しており、各光電変換部3が複数の受光素子の各々の一部を成している。各受光素子の光電変換部3を複数の領域に分割して、各受光素子が複数の光電変換領域からなる光電変換部を有していてもよい。典型的な半導体基板2はシリコンからなる。光電変換部3はフォトダイオードまたはフォトゲート等で構成されており、光電変換部3への入射光の強度に応じて信号電荷を生成する。また、半導体基板2は光電変換部3以外に、半導体素子4を有することができる。光電変換装置1がいわゆるCMOSセンサーのような画素増幅型の場合には、半導体素子4として、増幅トランジスタや、転送トランジタ、リセットトランジスタ等を含む。光電変換装置1がいわゆるCCDセンサーのような電荷転送型の場合には、半導体素子4として電荷結合素子を含む。上記したように、各受光素子の光電変換部3が複数の光電変換領域に分割されている場合、各光電変換領域毎に信号を得ることができる。なお、光電変換部3は、典型的には単結晶シリコンウエハに不純物を導入注入や拡散して形成されるが、ガラス基板等の上に、MIS型構造やPIN型構造を有する薄膜として形成してもよい。半導体基板2上には複数の材料を用いて構成された複合部材300が、複数の光電変換部3を覆うように設けられている。複合部材300は、少なくとも絶縁膜310と、高屈折率部材320と高屈折率膜330を有している。複合部材300は光学的機能および電気的機能を少なくとも有している。高屈折率部材320と高屈折率膜330は透明である。本発明において、透明とは、光電変換部3に入射することによって信号電荷を生成し得る光に対して透過性を有することを意味する。例えば後述するようにカラーフィルタ等の波長選択部材を設ける場合には、波長選択部材を透過した光の波長に対して透過性を有していればよい。絶縁膜310を各々が互いに異なる材料絶縁材料からなる複数の絶縁層が積層された多層膜としてもよい。典型的な絶縁膜310は透明である。絶縁膜310の材料としては、酸化シリコンや酸窒化シリコン、窒化シリコン、BSG硼珪酸塩ガラス、PSG燐珪酸塩ガラス、BPSG硼燐珪酸塩ガラスが好適である。絶縁膜310の屈折率は1.4~1.6であることが好ましい。絶縁膜310の厚みTLは0.55μm以上であることが好ましく、1.0μm以上であることがより好ましい。絶縁膜310を極端に厚くすると応力が大きくなったり、製造に時間がかかったりするため、実用的には、絶縁膜310の厚みTLは10μm以下とする。絶縁膜310は複数の開口311を有している。複数の開口311は別々の光電変換部3に対応するように、光電変換部3上の領域に設けられている。開口311の内側は絶縁膜310で囲まれており、絶縁膜310の表面の一部が、開口311の側面312を構成している。図1b、cでは絶縁膜310の表面の別の一部が、開口311の底面313を構成しているが、半導体基板2が開口311の底面313を構成していてもよい。このように、開口311は絶縁膜310に設けられた凹部もしくは貫通穴である。半導体基板2が開口311の底面313を構成する場合には開口311は絶縁膜310を貫通して設けられるが、光電変換部3へのダメージを低減する観点では、絶縁膜310が開口311の底面313を構成することが好ましい。絶縁膜をエッチングして開口311を形成する場合には、絶縁膜にエッチングストップ層不図示を設け、当該エッチングストップ層を開口311の底面313とするとよい。絶縁膜310の大部分が酸化シリコンからなる場合には、エッチングストップ層を窒化シリコンとするとよい。開口311の深さDOは、絶縁膜310の厚みTIの1/4以上であることが好ましく、絶縁膜310の厚みTIの1/2以上であることがより好ましい。開口311の平面形状半導体基板2に平行な面内での開口311の形状は閉ループ状であればよく、図1aに示す様な円形や、楕円形、角丸四角形、四角形、六角形とすることができる。開口311の断面形状半導体基板2に垂直な面内での開口311の形状は、図1b、cに示す様な逆台形や、正台形、長方形、正方形、あるいはこれらを組み合わせた階段形とすることができる。高屈折率部材320は複数の開口311の各々の内側に設けられている。そのため、複数の高屈折率部材320の各々は、絶縁膜310で囲まれている。開口311が絶縁膜310の凹部である場合には、高屈折率部材320は、絶縁膜310の一部に囲まれていると云える。高屈折率部材320の形状は実質的に開口311の形状と略一致する。図1の例では、高屈折率部材320は円錐台形状を呈するが、開口311の形状に応じて、角錐台形状でもよいし、角柱形状、円柱形状でもよい。典型的な高屈折率部材320の材料透明材料は、絶縁材料である。高屈折率部材320の屈折率は絶縁膜310の屈折率よりも高い。図1b、cの例では、高屈折率部材320と絶縁膜310とが互いに接して界面を成しており、この界面は開口311の側面312に一致する。この界面では、高屈折率部材320の屈折率と絶縁膜310の屈折率との違いにより全反射が生じ得る。そのため、開口311内の高屈折率部材320に入射した光のうち、側面312に向かう光を光電変換部3に向けて反射することができる。高屈折率膜330の屈折率は、絶縁膜310の屈折率よりも高い。高屈折率膜330の材料は高屈折率部材320の材料と異なっていてもよいが、高屈折率膜330が高屈折率部材320と同じ材料透明材料からなる場合には、特に好適に本発明を適用できる。本発明において、同じ材料とは、化学量論的組成が同じである材料を意味している。そのため、化学量論的組成からずれたすなわち、非化学量論的組成が異なっている材料や、結晶性、材料密度、不純物1wt以下およびその濃度が異なっている材料も同じ材料とみなすことができる。例えば、窒化シリコンの化学量論的組成比はSi:N=3:4であるが、化学量論的組成比が同じである範囲内において、実際のSiとNの比が互いに異なる材料同士も同じ材料とみなす。なお、化学量論的組成が異なる材料は同じ材料ではない。例えば、一酸化チタンTiOと二酸化チタンTiO2はいずれも酸素とチタンの化合物チタン酸化物ではあるが、化学量論的には異なる材料である。なお、以下の説明において、酸化シリコンと記載した場合は、化学量論的組成比がSi:0=1:2である二酸化シリコンSiO2を意味するものとする。また、窒化シリコンと記載した場合は、化学量論的組成比がSi:N=3:4である四窒化三シリコンSi3N4を意味するものとする。その他の材料については、必要に応じて、組成式を用いて化学量論的組成比を説明する。高屈折率膜330は絶縁膜310上に位置している。そして絶縁膜310上から複数の高屈折率部材320上に延在している。詳細には、高屈折率膜330は複数の高屈折率部材320に接している。その結果、高屈折率膜330は、複数の高屈折率部材320同士を連結するように設けられている。図1a、bの例では、高屈折率膜330は高屈折率部材320を完全に覆うように、換言すれば開口311を覆うように設けているが、高屈折率膜330は高屈折率部材320と少なくとも一部で接していればよい。高屈折率部材320と高屈折率膜330とが互いに同じ透明材料であると、高屈折率部材320と高屈折率膜330が一体となって、高屈折率部材320と高屈折率膜330との境界が明確に観察できない場合がある。上述したように、高屈折率部材320は開口311の内側に位置し、高屈折率膜330は開口311の外側に存在する。したがって、透明材料が、開口311の内側に存在するか、開口311の外側に存在するかを判断することにより、高屈折率部材320と高屈折率膜330を区別することができる。開口311の内側と外側の区分は、図1b、cに点線で示す様に、複合部材300の断面の観察画像において、絶縁膜310の上面を開口311上まで仮想的に延長する開口311の側面312の上端同士を仮想的に直線で結ぶことにより可能である。高屈折率部材320や高屈折率膜330の材料透明材料は、有機材料樹脂でもよいが、無機材料は化学的に安定であるために好ましい。樹脂としては、シロキサン系樹脂やポリイミド等が挙げられる。無機材料としては、窒化シリコン、酸窒化シリコン、酸化チタンTiO2が好適であり、特に窒化シリコンが好ましい。高屈折率部材320や高屈折率膜330の屈折率は1.6以上であることが好ましい。一般的な樹脂の屈折率は1.3~1.6、高屈折率樹脂でも1.6~1.8であるが、金属酸化物等の高屈折率無機材料を含有させることにより、実効的な屈折率を高くすることができる。樹脂に含有させる高屈折率無機材料としては、酸化チタン、酸化タンタル、酸化ニオブ、酸化タングステン、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化ハフニウム等が挙げられる。高屈折率膜330の厚みTTが、高屈折率部材320に入射する光の波長をλ、高屈折率膜330の屈折率をn330として、λ/4n330以上であると本発明は顕著な効果を奏する。高屈折率膜330の厚みTTは、典型的には0.10μm以上である。一方、高屈折率膜330を極端に厚くすると開口311への入射光量が減少する。高屈折率膜330の厚みTTは開口311の深さDO以下であることが好ましく、開口311の深さDOの半分以下であることがより好ましい。高屈折率膜330の厚みTTが、高屈折率部材320に入射する光の波長をλ、高屈折率膜330の屈折率をnTとして、2λ/nT以下であると本発明は顕著な効果を奏する。高屈折率部材320、高屈折率膜330、絶縁膜310の材料として例示した材料の屈折率の大まかな値を挙げる。酸化シリコンは1.4~1.5、酸窒化シリコンが1.6~1.9、窒化シリコンは1.8~2.3、酸化チタンは2.5~2.7、BSG、PSG、BPSGは1.4~2.0である。なお、上記した値は一例であって、同じ材料であっても、成膜方法を変更することによって、非化学量論的組成比や、材料密度が変化するため、屈折率を適宜設定することが可能である。絶縁膜310が多層膜である場合、多層膜の一部の層の屈折率が高屈折率部材320の屈折率以上であってもよい。しかしながら、このような高屈折率部材320の屈折率以上の層高屈折率絶縁層:不図示が開口311の側面312の大部分を形成することは好ましくない。これは、高屈折率部材320に入射した光が高屈折率絶縁層内を伝搬して、開口311から漏れる可能性があるためである。そのため、高屈折率絶縁層が成す開口311の側面312は、開口311の側面312全体の面積の半分以下とすること好ましく、1/4以下とすることがより好ましい。換言すれば、多層膜のうちの高屈折率部材320の屈折率より低い層低屈折率絶縁層が、開口311の側面312全体の面積の半分以上、好ましくは3/4以上を成すことが好ましい。各層が成す開口311の側面312の面積は、各層の厚みや開口311の側面312の角度を適宜設定することで調整できる。1つの低屈折率絶縁層の厚みは、典型的には0.10μm以上である。1つの高屈折率絶縁層の厚みは、高屈折率部材320に入射する光の波長をλ、高屈折率絶縁層の屈折率をnHIとして、λ/2nHI以下であることが好ましく、λ/4nHI以下であることがより好ましい。高屈折率絶縁層の厚みは、典型的には0.10μm以下である。複合部材300上には、層内レンズ層が設けられており、層内レンズ層上には中間膜500が設けられており、中間膜500上には波長選択層400が設けられており、波長選択層400上にはトップレンズ層マイクロレンズ層が設けられている。以下の説明では、トップレンズ層を第1レンズ層100とよび、層内レンズ層を第2レンズ層200と呼ぶことにする。第2レンズ層200は第1レンズ層100と複合部材300との間に位置する。第1レンズ層100と第2レンズ層200の共通点を説明する。各レンズ層は、複数の集光レンズ部を有している。詳細には、第1レンズ層100は複数の第1集光レンズ部110を有しており、第2レンズ層200は複数の第2集光レンズ部210を有している。複数の第1集光レンズ部110の各々および複数の第2集光レンズ部210の各々は1つの受光素子の一部を成しており、別々の光電変換部3に対応して位置している。詳しくは後述するが、複数の第1集光レンズ部110のうちの、互いに隣り合う第1集光レンズ部110同士、および、複数の第2集光レンズ部210のうちの、互いに隣り合う第1集光レンズ部210同士の、少なくとも一方は互いに接している。各集光レンズ部の形状は光の入射側の面図面上では上側が、入射側に向かって凸形状をなす曲面形状凸レンズ形状を呈しているか、光の出射側の面図面上では下側が出射側に向かって凸形状なす曲面形状凸レンズ形状を呈していればよい。曲面形状としては、理想球面形状、略球面形状、非球面形状などが挙げられる。図1b、cでは、上凸の平凸レンズ形状としているが、両凸レンズ形状であってもよいし、凸メニスカス形状であってもよい。集光レンズ部の屈折率は、集光レンズ部の凸レンズ形状を呈する面と界面を成す膜ここでは中間膜500や波長選択層400の屈折率よりも高く設定される。集光レンズ部の凸レンズ形状およびその屈折率により、入射光を集光することができる。第1レンズ層100と第2レンズ層200の両方を設ける場合には、第1集光レンズ部110で集光された入射光が第2集光レンズ部210でさらに集光される。なお、光路中に、凹レンズ形状を有する発散レンズ部を設けることもできる。この発散レンズ部も、凹レンズ形状を有する面と界面を成す膜の屈折率よりも高く設定される。例えば、中間膜500の下面は凹レンズ形状を有しているが、第2レンズ層200よりも屈折率が低いため、中間膜500は発散レンズ部ではない。第1レンズ層100、第2レンズ層200の材料は、有機材料樹脂でも無機材料でもよい。第1レンズ層100の屈折率と第2レンズ層200の屈折率は同じでもよいし、異なっていてもよいが、第2レンズ層の屈折率が第1レンズ層の屈折率よりも高いことが好ましい。例えば、第1レンズ層100の材料に樹脂を用いて、第2レンズ層200の材料に窒化シリコンを用いるとよい。第2レンズ層200の材料が、高屈折率膜330と高屈折率部材320の材料の少なくとも一方と同じであってもよい。集光レンズ部第2集光レンズ部210は、レンズ層第2レンズ層200の表面の凸レンズ形状を成している領域曲面領域の、半導体基板2に対する幾何学的な正射影に含まれる部分である。図1bに示した連結部第2連結部220は、レンズ層の表面の、凸レンズ形状を成しておらず実質的に平坦な領域平面領域の、半導体基板2対する幾何学的な正射影に含まれる部分である。レンズ層については、後述する第4~8変形例を用いて詳細に説明する。図1bには、各第1集光レンズ部110の光軸と各第2集光レンズ部210の光軸を長破線で示した。ここでは、第1集光レンズ部110の光軸と第2集光レンズ部210の光軸が一致しているが、第1集光レンズ部110で集光された光が第2集光レンズ部210に入射し得る範囲で光軸がずれていてもよい。1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110の光軸は、注目受光素子10の第1集光レンズ部110の光軸から、所定距離P1だけ離れている。各第1集光レンズ部110のA-A’断面及びB-B’断面における幅をW11で表している。また、第1集光レンズ部110の光軸と第2集光レンズ部210の光軸が一致しているため、1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210の光軸は、注目受光素子10の第2集光レンズ部210の光軸から、所定距離P1だけ離れている。典型的には、所定距離P1は10μm以下であり、5.0μm以下であることが好ましく、2.0μm以下であることがより好ましい。各第2集光レンズ部210のA-A’断面及びB-B’断面における幅をW12で表している。図1cにも、各第1集光レンズ部110の光軸と各第2集光レンズ部210の光軸を長破線で示した。注目受光素子10の第1集光レンズ部110の光軸と、2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士の距離をP2で表している。P2は所定距離P1よりも長い。ここでは、複数の第1集光レンズ部110が正方格子状に配列されているため、P2=√2×P1である。各第1集光レンズ部110のC-C’断面及びD-D’断面における幅をW21で表している。また、第1集光レンズ部110の光軸と第2集光レンズ部210の光軸が一致しているため、2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210の光軸は、注目受光素子10の第2集光レンズ部210の光軸から、距離P2だけ離れている。各第2集光レンズ部210のC-C’断面及びD-D’断面における幅をW22で表している。なお、第1集光レンズ部110の輪郭が円形であればW11=W21となり、第2集光レンズ部210の輪郭が円形であればW12=W22となる。図1aの例では第1集光レンズ部110および第2集光レンズ部210は角丸四角形であるので、W11<W21、W12<W22である。絶縁膜310の内部には、半導体基板2に設けられた半導体素子4同士を電気的に接続する配線340を設けることができる。配線340は多層配線であってもよく、図1bでは、配線340が、第1配線層341と、第2配線層342と、第1コンタクト層343と、第2コンタクト層344とで構成された例を示している。第1コンタクト層343は、半導体素子4と第1配線層341とを接続しており、第2コンタクト層344は、第1配線層341と第2配線層342とを接続している。配線層を2層とした例を示したが、第1配線層341と第2配線層342との間にさらに配線層を設けて3層以上の配線層としてもよい。配線340は複合部材300の一部を構成する。配線340には銅やアルミニウム、タングステン、タンタル、ポリシリコンなどの導電材料を用いることができる。典型的な配線340は不透明であり、金属光沢を有している。波長選択層400は、各々が別々の光電変換部3に対応して設けられた、互いに異なる波長に対応した複数種類の波長選択部材カラーフィルタを配列することでマルチカラーフィルタを構成することができる。波長選択部材の種類は、原色系RGBであってもよいし、補色系CMYであってもよいが、対応する波長は可視光線に限定されない。1種類の波長選択部材のみを用いて、1つの波長のみを複数の光電変換部3の各々に入射させてもよい。複数種類の波長選択部材を用いる場合には、ベイヤー配列やストライプ配列とすることができる。例えば、ベイヤー配列の波長選択層400を用いた場合、注目受光素子10が緑色の波長選択部材を有すると、1次近傍受光素子11は青色の波長選択部材を有する受光素子と、赤色の波長選択部材を有する受光素子とを含む。また、2次近傍受光素子12はすべて緑色の波長選択部材を有する受光素子となる。波長選択層400が第1レンズ層100と第2レンズ層200の間に位置する例を示したが、波長選択層400が第2レンズ層200と複合部材300との間に位置してもよい。波長選択層400を第1レンズ層100上に設けることもできるが、混色が生じやすくなるので、波長選択層400は第1レンズ層100又は第2レンズ層200と、複合部材300との間に設けることが好ましい。また、波長選択層400を光電変換装置1から削除することもできる。後述する撮像システムにおいて、削除された波長選択層400の代わりに、光電変換装置1から離れた位置に、波長選択部材を設けてもよい。中間膜500は第1レンズ層100と第2レンズ層200との間に位置している。中間膜500は、例えば、平凸レンズ形状の第2集光レンズ部210を有する第2レンズ層200の上に、平凸レンズ形状の第1集光レンズ部110を有する第1レンズ層100を設けるための、平坦化膜として機能する。中間膜500の屈折率は、第1レンズ層100および第2レンズ層200よりも低く設定される。中間膜500は多層膜であってもよい。以下、本発明の実施形態を図1~図7を用いて説明するが、同様の機能を有する部分には同じの符号を付し、詳細な説明は省略する。<第1実施形態>図1a~cを用いて、第1実施形態の光電変換装置1を説明する。図1aにおいて、点線は複数の第1集光レンズ部110の輪郭を示しており、破線は第2集光レンズ部210の輪郭を示しており、実線は開口311の側面312の上端を示している。図1a、bに示す様に、第1レンズ層100において、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11との第1集光レンズ部110同士が接している。一方、図1a、bに示す様に、第2レンズ層200において、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士は離れている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210の間には集光機能を有しない第2連結部220が設けられている。図1a、cに示す様に、第1レンズ層100において、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12との第1集光レンズ部110同士は離れている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210の間には集光機能を有しない第2連結部220が設けられている。また、図1a、cに示す様に、第2レンズ層200において、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士は離れている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210の間は集光機能を有しない第2連結部220が設けられている。集光レンズ部同士が接することは、注目受光素子10の集光レンズ部の光軸と、1次近傍受光素子11、2次近傍受光素子12の集光レンズ部の光軸との距離ピッチが、光軸同士を結ぶ方向における、注目受光素子10の集光レンズ部の幅と等しいこと実質的に同義である。なお、集光レンズ部の光軸とは、集光レンズ部の入射面あるいは出射面の先端を含む軸であり、典型的には、集光レンズ部の曲面形状の曲率中心を含む軸である。光軸を中心軸回転対称軸ということもできる。第1集光レンズ部110の曲率は、0.491/μm以上であることが好ましい。例えば、互いに隣り合う第1集光レンズ部110の曲率を、0.631/μmとすることができる。一方、第2集光レンズ部210の曲率は、第1集光レンズ部110の曲率よりも大きいこと、つまり、第2集光レンズ部210の曲率半径が第1集光レンズ部110の曲率半径よりも小さいことが好ましい。1次近傍受光素子11の集光レンズ部が、注目受光素子10の集光レンズ部から離れていると、注目受光素子10の集光レンズ部の光軸と1次近傍受光素子11の集光レンズ部の光軸との距離ピッチが、注目受光素子10の集光レンズ部の幅よりも大きくなる。なお、ここでいう、注目受光素子10の集光レンズ部の幅とは、両者の光軸を結ぶ方向対辺方向における集光レンズ部の幅である。同様に、2次近傍受光素子12の集光レンズ部が、注目受光素子10の集光レンズ部から離れていると、注目受光素子10の集光レンズ部の光軸と2次近傍受光素子12の集光レンズ部の光軸との距離ピッチが、注目受光素子10の集光レンズ部の幅よりも大きくなる。なお、ここでいう、注目受光素子10の集光レンズ部の幅とは、両者の光軸を結ぶ方向対角方向における集光レンズ部の幅である。また、互いに接する集光レンズ部同士の境界線の高さは、連結部の高さと同じ場合もあるが、典型的には連結部の高さよりも高くなる。図1b、cを用いて、ピッチと幅の関係を詳細に説明する。図1bに示す様に、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士が接しているため、W11=P1となっている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士が離れているため、W12<P1となっている。つまり、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士はP1-W12だけ離れている。図1cに示す様に、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士が離れているため、W21<P2となっている。つまり、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士はP2-W21だけ離れている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210同士が離れているため、W22<P2となっている。つまり、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士はP2-W22だけ離れている。第1実施形態の図1bを比較用に変更した図8を用いて本発明について説明する。図8に示す様に、第1レンズ層100において互いに隣り合う第1集光レンズ部110同士は離れており、第2レンズ層200において互いに隣り合う第2集光レンズ部210同士も離れている。そのため、互いに隣り合う第1集光レンズ部110同士の間の第1連結部120に入射した光は実質的に集光されず、入射光の光路が曲がることなく互いに隣り合う第2集光レンズ部210同士の間に入射する。そして、第2集光レンズ部210同士の間の第2連結部220に入射した光は、高屈折率膜330に入射する。高屈折率膜330は絶縁膜310より高い屈折率を有しているために、入射光は、幾何光学あるいは波動光学で説明されるように高屈折率膜330内を伝搬する。このような、高屈折率膜330内での光の伝搬は、注目受光素子10と1次近傍受光素子11の集光レンズ部の光軸間の距離所定距離P1が5.0μm以下であると生じやすく、2.0μm以下である場合に特に顕著になる。高屈折率膜330は高屈折率部材320同士を連結しているために、高屈折率膜330を伝搬した光は別々の高屈折率部材320に導かれる。これは、波動光学的には、光は屈折率が低い媒質絶縁膜310よりも屈折率が高い媒質高屈折率部材320を伝搬しやすい性質があるためと考えられる。特に、高屈折率部材320と高屈折率膜330とが互いに同じ材料からなる場合には、高屈折率部材320と高屈折率膜330とが互いに異なる材料からなる場合に比べて、高屈折率膜330と高屈折率部材320との間での光の損失が小さくなる。そのため、高屈折率膜330内での光の伝搬および高屈折率部材320への伝搬の影響は大きい。別々の高屈折率部材320に導かれた光は別々の光電変換部3に入射して電荷を生じる。したがって、本来、注目受光素子10の光電変換部3のみに入射すべき光が、1次近傍受光素子11の光電変換部3にも入射してしまうことにより、画像の輪郭がぼけてしまうと考えられる。さらに、複数種類の波長選択部材を有する波長選択層400を用いる場合には、本来注目受光素子10のみに入射すべき波長の光が、対応波長の異なる波長選択部材を有する1次近傍受光素子11へも入射してしまう。また、異なる波長に対応した波長選択部材同士が接している場合、特に高屈折率膜330上の領域で重なって接している場合には、複数の波長帯域を有する光混色光が高屈折率膜330に入射し、高屈折率部材320に入射してしまう。このような要因により画像に混色が生じると考えられる。注目受光素子10と2次近傍受光素子12との間への光の入射も同様に説明することができる。第1実施形態では、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士が接している。そのために、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110の境界に入射した光は、両第1集光レンズ部110のどちらかで集光されることが可能となる。したがって、光路が導光部材に向かう方向に曲げられ、高屈折率膜330に入射することを抑制できる。そのため、高屈折率膜330に入射して伝搬することによって生じ得る受光精度の低下を抑制することができる。<第2実施形態>図2a~cを用いて、第2実施形態の光電変換装置1を説明する。図2aは光電変換装置1の平面図であり、図2aにおいて、点線は複数の第1集光レンズ部110の輪郭を示しており、破線は第2集光レンズ部210の輪郭を示しており、実線は開口311の側面312を示している。図2bは、光電変換装置1の注目受光素子10と1次近傍受光素子11を含む、図2aのA-A’断面図及びB-B’断面図である。図2cは光電変換装置1の注目受光素子10と2次近傍受光素子12を含む、図2aのC-C’断面図及びD-D’断面図である。ただし、図1bに示す構造は、図1aに示したA-A’線の断面とB-B’線の断面の一方のみで成立していてもよいが、両方で成立していることが好ましい。同様に、図2cに示す構造は、図2aに示したC-C’線の断面とD-D’線の断面の一方のみで成立していてもよいが、両方で成立していることが好ましい。図2a、bに示す様に、第1レンズ層100において、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士が接している。また、図2a、bに示す様に、第2レンズ層200において、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士が接している。図2a、cに示す様に、第1レンズ層100において、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士は接している。一方、図2a、cに示す様に、第2レンズ層200において、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210同士は離れている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210の間には集光機能を有しない第2連結部220が設けられている。図2b、cを用いて、ピッチと幅の関係を詳細に説明する。図2b、cに記載したW11、P1、W12、W21、P2、W22の定義は図1b、cと同じである。図2bに示す様に、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士が接しているため、W11=P1となっている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士が接しているため、W12=P1となっている。また、W12=W11となっている。図2cに示す様に、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士が接しているため、W21=P2となっている。注目受光素子10と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士は、ある程度の幅を持って接しているが、注目受光素子10と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士は、実質的に1点で接している。そして、注目受光素子10の第1集光レンズ部110の輪郭は、図2aに示す様に正方形となっている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210同士が離れているため、W22<P2となっている。つまり、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210同士はP2-W22だけ離れている。第2実施形態では、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士が接しており、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士が接している。そのため、第1実施形態と異なり、第1レンズ層100は第1連結部120を有しない。そのため、第1レンズ層100に入射した光が、第2レンズ層200の第2連結部220および高屈折率膜330に入射することを抑制することができる。<第3実施形態>図3a~cを用いて、第3実施形態の光電変換装置1を説明する。図3aは光電変換装置1の平面図であり、図3aにおいて、点線は複数の第1集光レンズ部110の輪郭を示しており、破線は第2集光レンズ部210の輪郭を示しており、実線は開口311の側面312を示している。図3bは、光電変換装置1の注目受光素子10と1次近傍受光素子11を含む、図3aのA-A’断面図及びB-B’断面図である。図3cは光電変換装置1の注目受光素子10と2次近傍受光素子12を含む、図3aのC-C’断面図及びD-D’断面図である。ただし、図3bに示す構造は、図3aに示したA-A’線の断面とB-B’線の断面の一方のみで成立していてもよいが、両方で成立していることが好ましい。同様に、図3cに示す構造は、図3aに示したC-C’線の断面とD-D’線の断面の一方のみで成立していてもよいが、両方で成立していることが好ましい。図3a、bに示す様に、第1レンズ層100において、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11との第1集光レンズ部110同士が接している。また、図3a、bに示す様に、第2レンズ層200において、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士が離れている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210の間には集光機能を有しない第2連結部220が設けられている。一方、図3a、cに示す様に、第1レンズ層100において、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士は接している。また、図3a、cに示す様に、第2レンズ層200において、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士は離れている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210の間には集光機能を有しない第2連結部220が設けられている。図3b、cを用いて、ピッチと幅の関係を詳細に説明する。図3b、cに記載したW11、P1、W12、W21、P2、W22の定義は図1b、cと同じである。図3bに示す様に、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士が接しているため、W11=P1となっている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士が離れているため、W12<P1となっている。また、W12<W11となっている。図3cに示す様に、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士が接しているため、W21=P2となっている。注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210同士が離れているため、W22<P2となっている。つまり、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士はP2-W22だけ離れている。また、W22<W21となっている。第2集光レンズ部210には、第1集光レンズ部110で集光された光が入射するために、第2集光レンズ部210の面積は、第1集光レンズ部110の面積よりも小さくすることが好ましい。第2集光レンズ部210の面積を小さくすることにより、第2集光レンズ部210の厚みを大きくすることなく、より高い集光性能より小さい曲率を第2集光レンズ部210に持たせることが可能となる。本実施形態では、第2集光レンズ部210の面積を第1集光レンズ部110の面積より小さくしても、第2集光レンズ部210間に入射する光を低減できる。本発明は第1~3実施形態に限定されることなく、第1レンズ層100と第2レンズ層200の少なくとも一方において、互いに隣り合う受光素子同士の、集光レンズ部同士が接していればよい。ほかの実施形態の一例を以下に挙げる。第1実施形態を変形して、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士が接する形態を採用してもよい。第1実施形態を変形して、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と1次近傍受光素子11の第2集光レンズ部210同士が接する形態を採用してもよい。第2実施形態を変形して、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210同士が接した形態を採用してもよい。第2実施形態を変形して、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士が離れ、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士が離れた形態を採用してもよい。第2実施形態を変形して、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と1次近傍受光素子11の第1集光レンズ部110同士が離れ、注目受光素子10の第1集光レンズ部110と2次近傍受光素子12の第1集光レンズ部110同士が離れ、注目受光素子10の第2集光レンズ部210と2次近傍受光素子12の第2集光レンズ部210同士が接する形態を採用してもよい。以上、2つのレンズ層を有する形態について説明したが、第1レンズ層100と第2レンズ層200の一方のみを設けて、他方を設けない形態を採用してもよい。本発明は、複数の集光レンズ部を有する少なくとも1つのレンズ層を備え、当該レンズ層において、互いに隣り合う受光素子同士の、集光レンズ部同士が接していればよい。例えば、第1実施形態や第3実施形態の第2レンズ層200のように、注目受光素子10と第1近傍受光素子の第2集光レンズ部210同士が離れている場合には、第2レンズ層200を削除することもできる。互いに隣り合う集光レンズ部の形成方法は、階調露光法やエッチバック法、リフロー法などを単独であるいは組み合わせて用い、これらの条件を適宜設定することで実現が可能である。例えば、特開2006-041467号公報、特開2004-145319号公報、特開昭61-67003号公報、特開2008-277800号公報、特開2008-52004号公報、特開2003-33254号公報を参照することができる。対角方向で隣り合う集光レンズ部注目受光素子10と2次近傍受光素子12の集光レンズ部同士が接するようにするには、各集光レンズ部のパターニング時に、対角方向の集光レンズ部用パターン同士が十分な面積で重なるようにすればよい。なお、レンズ層が1層のみの場合に、波長選択層400を設ける場合にも、レンズ層と複合部材300の間に波長選択層400を設けることが好ましい。<第4実施形態>図4a~cを用いて第4実施形態の光電変換装置1を説明する。図4a第4実施形態の第1例を、図4bに第4実施形態の第2例を、図4cに第4実施形態の第3例を、それぞれ示す。図4a~cは、図1bで示した第1実施形態に各例を適用した例を示したが、第2実施形態および第3実施形態にも本実施形態を適用することできる。第1~3例は、第2レンズ層200と高屈折率部材320との間に、第2レンズ層200の屈折率よりも低い屈折率を有する透明な低屈折率膜が設けられている点が共通している。以下には、低屈折率膜600が高屈折率膜330と界面を成している例を説明するが、低屈折率膜600が高屈折率部材320と界面を成していてもよい。第1例では、低屈折率膜600は単層膜であり、第2レンズ層100と高屈折率膜330の間に設けられている。詳細には、低屈折率膜600の上面は第2レンズ層200の下面と界面を成し、低屈折率膜600の下面は高屈折率膜330の上面と界面を成している。例えば、第2レンズ層200の材料が屈折率2.00の窒化シリコンである場合、低屈折率膜600の材料には屈折率1.72の酸窒化シリコンまたは、屈折率1.46の酸化シリコンを用いることができる。第2集光レンズ部210で集光された光は、低屈折率膜600に対して斜めに入射し得る。低屈折率膜600の屈折率は第2レンズ層200の屈折率よりも低いため、低屈折率膜600内ではスネルの法則に従って、開口311の中心光軸へ近づく方向に屈折する。そのため、開口311に入射する光量を増加させることができる。低屈折率膜600の屈折率が高屈折率膜330の屈折率よりも低い場合、低屈折率膜600で屈折した光は、高屈折率膜330に対して斜めに入射する。高屈折率膜330の屈折率は低屈折率膜600の屈折率よりも高いため、高屈折率膜330内ではスネルの法則に従って、開口311の中心光軸との角度が小さくなるような方向に屈折する。そのため、開口に311に入射した後の側面312での全反射が生じる光束を増やし、開口311の側面312から漏れてしまう光の量を減少させることができる。実用的には、低屈折率絶縁膜600の屈折率は、第2レンズ層200の屈折率の0.95倍以下であることが好ましく、0.85倍以下であることが好ましい。第2例では、低屈折率膜600は多層膜であり、第1低屈折率層610と第2低屈折率層で構成されている。第1低屈折率層610の上面は第2レンズ層200の下面と界面を成しており、第1低屈折率層610の屈折率は、第2レンズ層200の屈折率よりも低い。第2低屈折率層620の上面は第1低屈折率層610の下面と界面を成しており、第2低屈折率層620の屈折率は、第1低屈折率層の屈折率よりも低い。第2低屈折率層620の下面は高屈折率膜330の上面と界面を成している。そのため、第1低屈折率層610は、第2レンズ層200の屈折率と、第2低屈折率層620の屈折率の間の屈折率を有している。本例は、第1例の単層の低屈折率膜600を第2低屈折率層620と見做して、第1例の単層の低屈折率膜600と第2レンズ層200との間に、第1低屈折率層610を設けた例であると考えることができる。例えば、第2レンズ層200の材料が窒化シリコンである場合、第1低屈折率層610の材料には酸窒化シリコンを、第2低屈折率層620の材料には酸化シリコンを用いることができる。実用的には、最も屈折率が低い層本例では第2低屈折率層620の屈折率は、1.40以上1.60以下であることが好ましい。第1例の場合、第2レンズ層200と低屈折率膜600の屈折率差により、第2レンズ層200と低屈折率膜600との界面で垂直入射光の反射が生じる場合がある。この時の反射率Rは、R=n200-n6002/n200n6002で表すことができる。ここでn200は第2レンズ層200の屈折率、n600は低屈折率膜600の屈折率である。第2例では、第2レンズ層200と第1低屈折率層610との屈折率差と、第1低屈折率層610と第2低屈折率層610との屈折率の双方が、第2レンズ層200と第2低屈折率膜620との屈折率差よりも小さい。したがって、第2レンズ層200と第1低屈折率層610との界面での透過率、及び、第1低屈折率層610と第2低屈折率層620との界面での透過率を向上でき、第2低屈折率層620に入射する光量を増加させることができる。第1低屈折率層610の厚みTR1を、を、入射光の波長のM-0.5/4n1倍~M0.5/4n1倍とすると好ましく、入射光の波長のM/4n1倍とすることがより好ましい。ここで、Mは奇数、n1は第1低屈折率層610の屈折率である。Mは1又は3であることが好ましく、1であることがより好ましい。第1低屈折率層610の厚みTR1をこのように設定すると、第1低屈折率層610は第2レンズ層200との界面での反射光と、第2低屈折率層620との界面での反射光の干渉を弱め、第2低屈折率層620に入射する光の強度を増加させることができる。第1例で説明したように光軸へ近づくような屈折を、低屈折率膜600の厚みが限られた範囲で大きくする上では、第1低屈折率層610の厚みTR1と第2低屈折率層620の厚みTR2を次のように設定すると良い。まず、第2レンズ層200と第1低屈折率層610との相対屈折率と、第1低屈折率層610第2低屈折率層620との相対屈折率とを比較する。相対屈折率が大きい方の出射側の媒質第1低屈折率層610と第2低屈折率層620の一方の厚みを、小さい方の出射側の媒質第1低屈折率層610と第2低屈折率層620の他方の厚みよりも大きくする。なお、ここで相対屈折率は、入射側媒質の屈折率/出射側媒質の屈折率であり、本例では、相対屈折率は1より大きい。なお、これまでの説明において、単に屈折率と記載した場合には、絶対屈折率を意味している。スネルの法則によれば、相対屈折率が大きい方が出射角が大きくなるため、上記相対屈折率が大きい方の出射側媒質の厚みを大きくすることにより、出射光をより大きく光軸に近づけることができる。例えば、第2レンズ層200の屈折率が2.00、第1低屈折率層610の屈折率が1.72、第2低屈折率層620の屈折率が1.46の場合には、2.00/1.72<1.72/1.46である。したがって、第2低屈折率層620の厚みTR2を、第1低屈折率層610の厚みTR1よりも大きくすればよい。第2低屈折率層620の厚みTR2は60nm以上500nm以下であることが好ましく、80nm以上200nm以下であることがより好ましい。また、第1低屈折率層610の厚みTR1は、20nm以上300nm以下であることが好ましく、40nm以上150nm以下であることがより好ましい。第3例でも、低屈折率膜600は多層膜であり、第1低屈折率層610と第2低屈折率層620と、第3低屈折率層630で構成されている。第1低屈折率層610の上面は第2レンズ層200の下面と界面を成しており、第1低屈折率層610の屈折率は、第2レンズ層200の屈折率よりも低い。第2低屈折率層620の上面は第1低屈折率層610の下面と界面を成しており、第2低屈折率層620の屈折率は、第1低屈折率層の屈折率よりも低い。第3低屈折率層630の上面は第2低屈折率層620の下面と界面を成しており、第3低屈折率層630の屈折率は、第2低屈折率層620の屈折率より高い。第3低屈折率層630の下面は高屈折率膜330の上面と界面を成しており、第3低屈折率層630の屈折率は、第3低屈折率層620の屈折率は高屈折率膜330の屈折率よりも低い。そのため、第3低屈折率層630は、第2低屈折率層620の屈折率と、高屈折率膜330の屈折率の間の屈折率を有している。本例は、上記した第2例で第2低屈折率層620の屈折率が高屈折率膜330の屈折率より低い場合において、第2例の第2低屈折率層620と高屈折率膜330との間に第3低屈折率層630を設けた例であると考えることができる。例えば、第2レンズ層200および高屈折率膜330の材料が窒化シリコンである場合、第1低屈折率層610および第3低屈折率層630の材料には酸窒化シリコンを、第2低屈折率層620の材料には酸化シリコンを用いることができる。第3例では、第2低屈折率層620と第3低屈折率層630との屈折率差と、第3低屈折率層630と高屈折率膜330との屈折率の双方が、第2低屈折率層620と高屈折率膜330との屈折率差よりも小さい。したがって、第2低屈折率層620と第3低屈折率層630との界面での透過率、及び、第3低屈折率層630と高屈折率膜330との界面での透過率を向上でき、高屈折率膜330に入射する光量を増加させることができる。第3低屈折率層630の厚みTR3は、第2例と同様に、入射光の波長のM-0.5/4n3倍~M0.5/4n3倍とすると好ましく、入射光の波長のM/4n3倍とすることがより好ましい。ここで、Mは奇数、n3は第3低屈折率層630の屈折率である。第3低屈折率層630の厚みTR3と第2低屈折率層620の厚みTR2との大小関係も、第2例と同様に設定することができる。第3低屈折率層630の厚みTR3も第2例の第1低屈折率層610と同様に、20nm以上300nm以下であることが好ましく、40nm以上150nm以下であることがより好ましい。第1低屈折率層610の屈折率n1は、n200n2/4以上であることが好ましく、3×n200n2/4以下であることも好ましい。第3低屈折率層630の屈折率n3は、n330n2/4以上であることが好ましく、3×n200n2/4以下であることも好ましい。ここで、n330は高屈折率膜330の屈折率である。第2レンズ層200の屈折率が高屈折率膜330の屈折率よりも高い場合、第1低屈折率層610の屈折率を第3低屈折率層630の屈折率よりも高くすることが好ましい。すなわち、第2レンズ層200の屈折率をn200、高屈折率膜330の屈折率をn330として、n2<n3<n1<n330<n200とすることが好ましい。逆に、第2レンズ層200の屈折率が高屈折率膜330の屈折率よりも低い場合、第1低屈折率層610の屈折率を第3低屈折率層630の屈折率よりも低くすることが好ましい。すなわち、n2<n1<n3<n200<n330とすることが好ましい。このように、第1低屈折率層610と第3低屈折率層630の屈折率を、その上下の部材の屈折率に合せて異ならせることで、第2レンズ層200から高屈折率膜330への光の透過率を向上することができ、光電変換装置1の感度を向上することできる。光電変換装置1の複合部材300の変形例を説明する。図5aに第1変形例を、図5bに第2変形例を、図5cに第3変形例を、それぞれ示す。図5a~cは、図1bで示した第1実施形態に各変形例を適用した例を示したが、第2~4実施形態にも本変形例を適用することができる。第1~3変形例は、開口311内の部材が第1高屈折率部分321と第2高屈折率部分322とで構成されている点が共通している。絶縁膜310の構成は図1aと同様であり、光電変換部3に対応した複数の開口311が設けられている。<第1変形例>図5aに示す第1変形例では、第2高屈折率部分322が開口311の側面312上に設けられており、開口311内であって第2高屈折率部分322の内側には第1高屈折率部分321が設けられている。第2高屈折率部分322は図5aに示す様に開口311の底面313上にも設けてもよいし、開口311の底面313を覆わなくてもよい。そのため、第1高屈折率部分321と開口311の側面312との間に第2高屈折率部分322が位置している。高屈折率膜330は、絶縁膜310上に位置しており、第1高屈折率部分321上に延在している。高屈折率膜330は第1高屈折率部分321と同じ透明材料からなる。高屈折率膜330の屈折率は絶縁膜310の屈折率よりも高く、複数の開口311内の各々に設けられた複数の第2高屈折率部分322同士を連結するように設けられている。高屈折率膜330の材料は第1高屈折率部分321の材料と同じであってもよいし異なっていてもよいが、同じであることが好ましい。第1高屈折率部分321の屈折率と第2高屈折率部分322の屈折率は異なっている。第1高屈折率部分321の屈折率を第2高屈折率部分322の屈折率よりも高くすることによって、主に第1高屈折率部分321を導光路として用いることができる。逆に、第1高屈折率部分321の屈折率を第2高屈折率部分322の屈折率よりも低くすることによって、主に第1高屈折率部分321を導光路として用いることができる。すなわち、幾何光学的には、第1高屈折率部分321と第2高屈折率部分322との界面での全反射によって開口311内の第1高屈折率部分321に入射した光のうち、側面312に向かう光を光電変換部3に向けて反射することができる。また、波動光学的には、光は屈折率が高い方へ導かれるために、導光路として機能しうる。<第2変形例>図5bに示す第2変形例では、第2高屈折率部分322が開口311の側面312上に設けられており、開口311内であって第2高屈折率部分322の内側には第1高屈折率部分321が設けられている。そのため、第1高屈折率部分321と開口311の側面312との間に第2高屈折率部分322が位置している。高屈折率膜330は、絶縁膜310上に位置しており、第1高屈折率部分321上に延在している。高屈折率膜330は第1高屈折率層331と、第1高屈折率層331と絶縁膜310の間に位置する第2高屈折率層332とで構成されている。第1高屈折率層331の屈折率は絶縁膜310の屈折率よりも高く、複数の開口311内の各々に設けられた複数の第1高屈折率部分321同士を連結するように設けられている。第1高屈折率層331の材料は第1高屈折率部分321の材料と同じであってもよい。第1高屈折率部分321の屈折率と第2高屈折率部分322の屈折率は異なる。第1高屈折率層331の屈折率と第2高屈折率層の屈折率は異なる。第2高屈折率層332の屈折率は絶縁膜310の屈折率よりも高く、複数の開口311内の各々に設けられた複数の第2高屈折率部分322同士を連結するように設けられている。第2高屈折率層332の材料は第2高屈折率部分322の材料と同じであってもよい。<第3変形例>図5cに示す第3変形例では、第2高屈折率部分322は開口311の側面312上に設けられており、開口311内であって第2高屈折率部分322の内側には第1高屈折率部分321が設けられている。そのため、第1高屈折率部分321と開口311の側面312との間に第2高屈折率部分322が位置している。本変形例では、第2高屈折率部分322は、第1高屈折率部分321の入射側の一部と側面312の入射側の一部にのみ設けられている。第1高屈折率部分321および第2高屈折率部分322の屈折率は、絶縁膜310の屈折率よりも高い。第2高屈折率部分322の材料は、第1高屈折率部分321の材料と同じであってもよい。高屈折率膜330は、第1高屈折率領域333と第2高屈折率領域334とで構成されている。第1高屈折率領域333は第1高屈折率部分321と同じ材料からなり、第1高屈折率部分上に位置している。第2高屈折率領域334の屈折率は、絶縁膜310の屈折率よりも高く、第2高屈折率部分321上から絶縁膜310上に延在している。第2高屈折率領域334は、複数の開口311内の各々に設けられた複数の第2高屈折率部分322同士を連結するように設けられている。第2高屈折率領域334の材料は第2高屈折率部分322の材料と同じであってもよい。図5aで示した第1変形例において、第2高屈折率部分322の屈折率を、絶縁層310の屈折率よりも低い透明材料に置き換えてもよい。図5bで示した第2変形例において、第1高屈折率部分321および第1高屈折率層331と、第2高屈折率部分322および第2高屈折率層332と、のいずれか一方を、絶縁層310の屈折率よりも低い透明材料に置き換えてもよい。図5a、bで示した第1変形例、第2変形例において、第2高屈折率部分322を、金属光沢を有する不透明材料に置き換えてもよい。その場合には、この第2高屈折率部分322に相当する金属材料からなる部分は開口311の底面313を覆わないように設けるべきである。金属光沢によって開口311内の第1高屈折率部分321に入射した光のうち、側面312に向かう光を光電変換部3に向けて反射することができる。図5a、bで示した第1変形例、第2変形例において、図5cに示したように、第2高屈折率部分を、第1高屈折率部分321の入射側の一部と側面312の入射側の一部にのみ設けてもよい。上記第1~3変形例において、第1高屈折率部分321と第2高屈折率部分322は互いに異なる屈折率を有する異なる材料を用いてもよいし、互いに異なる屈折率を有する同じ材料で構成されていてもよい。第2変形例の第1高屈折率層331と第2高屈折率層332、第3変形例の第1高屈折率領域333と第2高屈折率領域334についても同様である。同じ材料であっても、材料密度を変化させることによって屈折率を異ならせることができる。その場合には、第1高屈折率部分と第2高屈折率部分との間、第1高屈折率層と第2高屈折率層との間、第1高屈折率膜と第2高屈折率膜との間で、屈折率が連続的に変化していることもある。同じ材料を用いて屈折率を異ならせると、材料が異なる場合に比べて応力が抑制できるので好ましい。光電変換装置1のレンズ層の変形例を説明する。図6aに第4変形例を、図6bに第5変形例を、図6cに第6変形例を、図6dに第7変形例、図6eに第8変形例を、をそれぞれ示す。図6a~eは、第2レンズ層200に各変形例を適用した例を示したが、第1レンズ層100にも同様に、第4~8変形例を適用することができる。なお、図6a~eの部材700は、第2レンズ層200の下面と界面を成す部材であり、図1aで示した高屈折率膜330や図4aで示した低屈折率膜600などに相当する。第2レンズ層200は複数の第2集光レンズ部210を有しているが、第4、5変形例は、互いに隣り合う第2集光レンズ部同士が離れている形態であり、第6~8変形例は、互いに隣り合う第2集光レンズ部同士が接している形態である。第5、6、8変形例では、第2レンズ層200は、互いに隣り合う複数のレンズ体230と、レンズ基体240と、コーティング250とで構成されている。レンズ層は、少なくともレンズ体230を有していればよく、レンズ基体240やコーティング250は適宜省略することができる。<第4変形例>図6aに示す第4変形例では、レンズ基体240が設けられておらず、互いに離れて隣り合う第2集光レンズ部210同士の間には、図1bに示したような第2連結部220が存在していない。<第5変形例>図6bに示す第5変形例では、第2レンズ層200は、互いに隣り合う複数のレンズ体230と、レンズ基体240と、コーティング250とで構成されている。レンズ体230の表面は略球面を呈しており、互いに隣り合うレンズ体230同士は離れている。複数のレンズ体230はレンズ基体240上に位置している。レンズ基体240は、レンズ体230の、全部もしくはレンズ基体240近傍の一部の材料と同じ材料の単一の材料からなる。そのため、レンズ体230とレンズ基体240の境界を観察することは困難な場合が多く、レンズ体230の表面略球面の端同士を結んだ、仮想的な境界を設定することが好ましい。なお、第2レンズ層200の材料が高屈折率膜330の材料と同じであって、高屈折率膜330とレンズ基体240との境界が明確でない場合がある。その場合には、上記仮想的な境界を第2レンズ層200の下面とみなして、第2レンズ層と高屈折率膜330とが接していると考えることができる。レンズ基体240の、レンズ体230から半導体基板2に向けた正射影の領域に存在する部分をレンズ体対応部241と呼び、それ以外の領域に存在する部分をレンズ体非対応部242と呼ぶ。レンズ体非対応部242は実質的に平坦な表面を有する。コーティング250はレンズ体230およびレンズ基体240の表面略球面に沿って設けられた膜であり、コーティング250の表面の一部の領域は略球面を呈しており、この領域を曲面領域251と呼ぶ。コーティング250は、レンズ体230とは異なる材料からなる。コーティング250は単層コーティングであってもよいし、材料が異なる2つ以上の層を含む複層コーティングであってもよい。例えば、コーティング250を酸化シリコン層と酸窒化シリコン層と窒化シリコン層とフッ素樹脂層から選ばれた二つ以上の層で構成することもできる。コーティング250の表面の、曲面領域251以外の領域は実質的に平坦であり、この領域を平面領域252と呼ぶ。曲面領域251から半導体基板2に向けた正射影の領域に位置する、レンズ体230の全部と、レンズ基体240の一部と、コーティング250の一部とが、複数の第2集光レンズ部210を構成している。ここでいうレンズ基体240の一部とは詳細には、レンズ体対応部241の全部とレンズ体非対応部242の一部である。一方、平面領域252から半導体基板2に向けた正射影の領域に位置する、レンズ基体240の一部詳細には、レンズ体非対応部242の残りの一部と、コーティング250の一部とが、第2連結部220を構成している。このようにして、互いに隣り合う第2集光レンズ部210同士が離れている構成を得ることもできる。コーティング250の屈折率をレンズ体230の屈折率よりも低くするとよい。コーティング250の屈折率をこのように設定すると、コーティング250はレンズ体230の表面への入射光の透過率を高める、幾何光学的な視点での反射抑制機能を奏する。コーティング250の厚みTCはレンズ体230の厚みTLより小さい。TCがTLの1/2以下であることが好ましい。コーティング250の厚みTCは200nm以下であることが望ましい。コーティング250の厚みTCを、入射光の波長のM-0.5/4nC倍~M0.5/4nC倍とすると好ましく、入射光の波長のM/4nC倍とすることがより好ましい。ここで、Mは奇数、nCはコーティング250の屈折率である。Mは1または3が好ましく、1がより好ましい。コーティング250の厚みをこのように設定すると、コーティング250はレンズ体230の表面での反射光とコーティング250の表面での反射光の干渉を弱める、波動光学的な視点での反射抑制機能を奏する。以上のように、レンズ部が反射抑制構造を有することにより、光の損失が低減され、高い感度を有する光電変換装置が得られる。例えば、レンズ体230が屈折率2.00の窒化シリコンからなる場合、コーティング250は屈折率が1.73である酸窒化シリコンからなることが好ましい。コーティング250の厚みは、例えば80nmとすることができる。また、例えば、レンズ体230が屈折率1.60の樹脂からなる場合、コーティング250は屈折率が1.46である酸化シリコンからなることが好ましい。コーティング250の厚みは、例えば94nmとすることができる。なお、複層コーティングの場合、コーティング250を共にレンズ体230の屈折率よりも低い複数の層で構成することもできるが、厚みと波長に因る干渉を弱める条件に基づき、レンズ体230よりも屈折率が高い層と、レンズ体230よりも屈折率が低い層とで構成することもできる。<第6変形例>図6cに示す第6変形例でも、互いに隣り合うレンズ体230同士は離れており、レンズ基体240は、実質的に平坦な表面を有するレンズ体非対応部242を有している。一方、コーティング250の曲面領域251同士が接している。したがって、レンズ体230の全部と、レンズ基体240の全部詳細には、レンズ体対応部241の全部とレンズ体非対応部242の全部と、コーティング250の全部とが、複数の第2集光レンズ部210を構成している。このように、レンズ体230同士が離れていても、コーティング250を設けることによって、互いに隣り合う第2集光レンズ部210同士が接している構成を得ることもできる。<第7変形例>図6dに示す第7変形例でも、互いに隣り合うレンズ体230同士は離れている。なお、本変形例では、レンズ基体240を削除している。一方、コーティング250の曲面領域251同士が接している。したがって、レンズ体230の全部と、コーティング250の全部とが、複数の第2集光レンズ部210を構成している。このように、レンズ体230同士が離れていても、コーティング250を設けることによって、互いに隣り合う第2集光レンズ部210同士が接している構成を得ることもできる。<第8変形例>図6eに示す第8変形例では、互いに隣り合うレンズ体230同士が接しており、互いに隣り合う曲面領域251も接している。なお、レンズ基体240には実質的に平坦なレンズ体非対応部242が存在していない。したがって、レンズ体230の全部と、レンズ基体240の全部と、コーティング250の全部とが、複数の第2集光レンズ部210を構成している。その結果、互いに隣り合う第2集光レンズ部210同士は接している。本実施形態では、レンズ体230同士が接しているため、互いに隣り合う第2集光レンズ部210同士の境界近傍曲面領域251同士の境界近傍に入射した光を、より確実に別々のレンズ体230で集光することが可能になる。<第5実施形態>上述したように、第1レンズ層100にも同様に、第4~8変形例を適用することができる。第5実施形態として、図4cで説明した、第4実施形態の第3例において、第1レンズ層100に第8変形例を、第2レンズ層200に第5変形例を適用した例を図7に示す。第1レンズ層100の第1集光レンズ部110は、第1基体140と第1レンズ体130と第1コーティング150を含んでいる。本例では、第1基体140および第1レンズ体130は樹脂からなり、第1コーティング150は酸化シリコンからなる。第2レンズ層200の第2集光レンズ部210は、第2基体240と第2レンズ体230と第2コーティング250を含んでいる。本例では、本例では、第2基体240および第2レンズ体230は窒化シリコンからなり、第2コーティング250は酸窒化シリコンからなる。図8を用いて説明したように、レンズ層の連結部に光が入射すると画質の低下が生じる場合がある。そのため、仮に、第1レンズ体部110同士の間の第1連結部に、光の反射を抑制するようなコーティングが設けられていると、画質の低下が顕著になってしまう恐れがある。一方、本例では、互いに隣り合う第1レンズ体部110が接しているため、上述したように、注目受光素子10の第1レンズ体部110と1次近傍受光素子11同士の間には連結部が存在しない。そのため、連結部へ入射するような光が存在しないため、画質の低下が抑制される。注目受光素子10と2次近傍受光素子11に関しても同様である。また、第1レンズ層100から半導体基板2までの間で反射率が高い界面が存在すると、各界面での反射光の干渉が生じやすく、色ムラが顕著になる可能性がある。特に第1レンズ層100の表面上面での反射、第2レンズ層200の表面上面での反射、および半導体基板2の表面での反射が、光の干渉による色ムラの大きな原因となりうる。本例では、第1コーティング150により第1レンズ層100での反射を抑制できるため、色ムラを改善することが可能となる。またさらに本例では、第2コーティングにより第2レンズ層200の表面での反射を抑制することができる。色ムラは、反射面の間隔が小さ場合に顕著になりうるが、第1レンズ層100の表面と第2レンズ層200の表面の双方で反射を抑制することにより、色ムラをより改善することができる。なお、第2レンズ層200は第2連結部220を有しており、第2コーティング250により第2連結部220での反射も抑制されうるが、第1レンズ層100の第1レンズ部110同士が接していることにより、第2連結部220への入射光は可及的に低減される。第1集光レンズ部110の曲率を0.491/μm以上とすることにより、色ムラを抑制することができる。色ムラは、半導体基板2の法線方向で生じる光の干渉が主たる要因である。第1集光レンズ110の曲率半径を小さくすることで、第1集光レンズ部110の表面上面での反射光の進行方向を他の面での反射光の進行方向からずらすことができる。その結果、第1集光レンズ部110の表面上面での反射光が他の面での反射光と干渉することを抑制することができる。さらに、本例では、第2レンズ層200の屈折率詳細には、第2レンズ層200の第2基体240の屈折率が高屈折率部材330の屈折率よりも高くなっている。例えば、第2レンズ層200を屈折率が2.00の窒化シリコンとし、高屈折率膜330を屈折率が1.84の窒化シリコンとすることができる。したがって、第3変形例で説明したように、第1低屈折率層610の屈折率を第3低屈折率層630の屈折率よりも高くすることにより、第2レンズ層200の下面と高屈折率膜300の上面での反射光を低減することができる。例えば第1低屈折率層610を屈折率が1.73の酸窒化シリコンとし、第2低屈折率層620を屈折率が1.46の酸化シリコンとし、第3低屈折率層630を1.65とすることができる。以上説明した光電変換装置1は、例えば、イメージングセンサーや測距センサー、測光センサーとしての利用が可能である。光電変換装置1が、イメージングセンサーと測距センサー、測光センサーとしての機能のうちの複数の機能を兼ね備えていてもよい。光電変換装置1と、光電変換装置1から出力された電気信号が入力され、当該電気信号を処理する信号処理装置とを備える撮像システムを構築することもできる。図9は、撮像システム1001の一例を示す図である。電気信号は、光電変換装置1のOUT1、OUT2から出力される。ここでは、出力経路をOUT1、OUT2の2つを設けた例を示したが、出力経路は、1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。電気信号は、信号処理装置1000のINに入力される。電気信号は、電流信号であってもよいし電圧信号でもよく、また、アナログ信号であってもよいしデジタル信号であってもよい。光電変換装置1をイメージセンサーとして用いる場合には、信号処理装置1000を、INに電気信号を入力することにより、OUT3から画像信号を出力するように構成する。光電変換装置1を焦点検出用の測距センサーとして用いる場合には、信号処理装置1000を、INに電気信号を入力することにより、光電変換装置1の前方に設けられたレンズを駆動するための駆動信号を、OUT3から出力するように構成する。光電変換装置1を測光センサーとして用いる場合には、信号処理装置1000を、INに電気信号を入力することにより、シャッターを制御して露光時間を調整する制御信号をOUT3から出力するように構成する。なお、上記シャッターはメカニカルシャッターでも電子シャッターでもよいが、電子シャッターの場合は、実質的に光電変換装置1を制御することになる。本発明の光電変換装置1をイメージセンサーとして用いると特に好適であり、良好な画像を得ることができる。図9に示した撮像システム1001における光電変換装置1の一例を説明する。本例では、光電変換装置1として画素増幅型光電変換装置をイメージセンサーとして用いている。図9において、光電変換装置1は、画素部711と、垂直走査回路712と、2つの読み出し回路713と、2つの水平走査回路714と、2つの出力アンプ715を備えている。画素部711以外の領域を周辺回路部とも称する。画素部711は、複数の画素セルが2次元状に配列されて構成される。各画素セルは、複数の画素を含んで構成される。各画素は、読み出し回路713、例えば、列アンプ、CDS回路、加算回路等を含み、垂直走査回路712によって選択された行の画素から垂直信号線を介して読み出された信号に対して増幅、加算等を行う。列アンプ、CDS回路、加算回路等は、例えば、画素列又は複数の画素列毎に配置される。水平走査回路714は、読み出し回路713の信号を順番に読み出すための信号を生成する。出力アンプ715は、水平走査回路714によって選択された列の信号を増幅して出力する。以上の構成は、光電変換装置1の一つの構成例に過ぎず、これに限定されるものではない。読み出し回路713と水平走査回路714と出力アンプ715とは、2系統の出力経路OUT1、OUT2を構成するため、画素部711を挟んで上下に1つずつ配置されている。代表的な撮像システム1001としてはスチルカメラやビデオカメラ等のカメラが挙げられる。撮像システム1001は、光電変換装置1を移動可能にする移動手段不図示を備えることもできる。移動手段としては、電動モーターやレシプロエンジン、ロータリーエンジン等を動力源とする車輪が挙げられる。また、移動手段としては、プロペラ、タービンエンジン、ロケットエンジン等の推進装置も挙げられる。このような、移動手段を備える撮像システムは、自動車や鉄道車両、船舶、航空機、人工衛星等に、光電変換装置1および信号処理装置1000を搭載することにより実現が可能である。"