"材料を通過する物質の透過率を測定する方法であって、前記物質を前記材料の第1表面に衝突させ、前記材料中の前記物質の透過による前記材料中の前記物質の移動の比率を測定する方法において、前記材料の前記第2表面からの前記物質の試料を光学キャビティ中に置くステップと、前記キャビティに印加された一定のエネルギーの減衰時間を、前記第2表面物質が存在しない場合における前記エネルギーの既知減衰時間と比較して測定するステップとを含む、方法。前記一定エネルギーの波長を前記キャビティ内の前記第2表面物質と共振するように調整する、請求項1に記載の方法。前記波長エネルギーが、前記波長が前記キャビティ内の水蒸気と共振するように同調されるレーザー波長である、請求項1に記載の方法。前記波長調整が、1392.5nm、1450nm、1950nm、2900nmから選択される波長に設定される、請求項3に記載の方法。前記測定された減衰時間に基づいて蒸気量を計算するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。前記キャビティがキャビティリングダウン分光法技術の一部である、請求項5に記載の方法。前記物質が、水、酸素、二酸化炭素から選択される、請求項2に記載の方法。第1表面から第2表面へと薄膜を通過する透過率を測定するシステムであって、前記薄膜の第1表面が蒸気にさらされるシステムにおいて、光学キャビティと、前記第1表面が前記蒸気にさらされた後に、前記薄膜の前記第2表面において大気の試料を前記キャビティに注入する手段と、前記キャビティ中に注入されるエネルギーを生成する波エネルギー生成装置であって、前記エネルギーは、前記注入蒸気が存在しない場合に第1減衰時間を有し、かつ、前記注入蒸気が存在する場合に測定可能な変化減衰時間を有する、波エネルギー生成装置とを備える、システム。前記測定された減衰時間に基づいて注入蒸気量を決定する手段をさらに備える、請求項8に記載のシステム。前記測定された減衰時間に基づいてリアルタイムで薄膜の合否を決定する合格/不合格検出装置をさらに備える、請求項9に記載のシステム。前記波エネルギー発生器が前記注入蒸気と共振するように同調されたレーザーである、請求項9に記載のシステム。前記注入蒸気が、水蒸気、酸素、炭素、二酸化炭素から選択される、請求項9に記載のシステム。前記波長調整が、1392.5nm、1450nm、2900nmから選択される波長に設定される、請求項8に記載のシステム。前記注入手段が、前記大気の前記試料のキャリアとして気体を使用する手段と、前記気体から不要水分含量を除去する手段とを備える、請求項8に記載のシステム。薄膜の透過試験を行う試験装置であって、透過セルと、前記セル内に含まれる薄膜の乾燥側と濡れ側の両方に乾燥キャリアガスを供給するための手段と、前記薄膜の前記濡れ側を蒸気にさらす手段と、前記薄膜を透過した前記濡れ側からの前記蒸気の前記乾燥側へのキャリアとして働く前記気体を前記乾燥側から光学キャビティに送る手段と、平行エネルギーを共振キャビティに所定の時間にわたり印加する手段と、前記所定時間の終了時に前記エネルギービームの減衰時間を測定することにより前記薄膜を透過した蒸気の量を決定する手段とを備える、装置。前記蒸気が水蒸気であり、かつ、前記平行エネルギーがレーザー光である、請求項15に記載の装置。前記レーザー光の波長を期待透過蒸気との共振のための最適波長に調整するための制御手段をさらに備える、請求項16に記載の装置。蒸気が通過するために時間とともに劣化する、少なくとも1つの基板を備える電子デバイスであって、前記基板が蒸気バリアを有する薄膜により保護されており、前記薄膜が、データベース内に含まれている容認可能なエネルギー遅延時間の一覧表を使用して行われる水蒸気低透過度試験に合格しており、前記遅延時間が前記薄膜中の水蒸気透過率を測定するためにキャビティリングダウン分光法CRDSに関連して使用される、デバイス。前記蒸気が、水、酸素、二酸化炭素から選択される、請求項18に記載のデバイス。前記CRDSが、1392.5nm、1450nm、2900nmの波長の少なくとも1つに同調されたレーザーを使用する、請求項18に記載のデバイス。したがって、簡単で、使いやすく、水などの特定の分子について分析する機能をもち、かつ、検出限界の低い気体透過測定技術が必要である。本発明は、バリア薄膜通過蒸気透過率の測定のために波長同調キャビティリングダウン分光法CRDS技術を利用して実現されるシステムおよび方法に関する。1つの実施形態では、測定される蒸気量を光キャビティ内に置く。次に光をしきいレベルまでキャビティに注入し、注入された光の減衰時間を測定する。注入された光の波長が蒸気の吸収特性と共振している場合、キャビティの減衰時間は、蒸気量の関数として低減する。このように、蒸気量が減衰時間を短縮するので、薄膜を通過する蒸気の量薄膜透過率をリアルタイムで測定することができる。1つの実施形態では、水蒸気は、合格/不合格方式で測定される。この場合、光の減衰時間がしきい値未満であるとき当該薄膜は不合格であり高水分含量、光の減衰時間が一定のしきいを超えるとき当該薄膜は合格となる。必要に応じて、時々、製造システムに対する較正として働く他の測定技術により測定される試料に基づいて、しきい値パラメータを調整することができる。以下の本発明の詳細説明を分かりやすくするために、上記において本発明の特徴および技術的長所をかなり大まかに概説した。本発明の請求項の主題を形成する本発明のさらなる特徴および長所について、以下で説明する。当業者にとって当然のことであるが、開示される構想および具体的な実施形態を基礎として利用して本発明と同じ目的を達成するために変更または他の構造の設計を容易に行うことができるであろう。当業者にとって同様に当然のことながら、かかる等価の構成は、添付請求項に記載される本発明の精神および範囲から逸脱しない。機構と操作方法の両方に関して本発明の特徴と考えられる新しい機能は、さらなる目的および長所とともに、以下の明細書を添付図面と合わせて考察したとき、よりよく理解されるであろう。しかしながら、これらの図のそれぞれは、図示および説明のみのために示されたものであり、本発明の定義を限定する意図はないことを明確に理解するべきである。ここで留意すべきは、本明細書における論述は水蒸気に関係し、かつ、光学素子はレーザー光に関係していることである。しかしながら、本出願において教示される構想は、酸素、二酸化炭素、またはメタンなどのその他の蒸気にも適用できることに注意するべきである。たとえば酸素は、電子技術応用のために特に重要である。その他の状況においては、二酸化炭素またはその他の蒸気を使用することができる。また、透過材料は薄膜に限る必要はないが、しかしながら、光起電性応用において使用される薄膜が第一の関心の対象たる材料であり、応用である。気体分析のためのキャビティリングダウン分光法CRDS技術は、現在知られている。この技術は、この出願においては、薄膜を透過する気体本出願人の実施形態においては水蒸気を測定するために使用される。印加されたエネルギー以下の実施形態においてはレーザーエネルギーの波長が検出対象の蒸気以下の実施形態においては水蒸気と共振するように設定された場合、光チャンバ内の減衰時間が変化することが見出されている。この減衰時間は、当該物質の濃度の関数として、かつ、表1に示す関係に従って短縮される。図1は、この出願において教示される構想の1つの実施形態10の略図を示す。制御回路19により制御され、必要に応じて調節可能ダイオード18により制御されるレーザー11からエネルギーこの実施形態では、レーザー光110の形態をキャビティ12に一定の期間にわたり送出する。このレーザー光は、キャビティ内を通過し、ミラー14により反射される。この光は、次に、このキャビティの設計のために、少なくとも1つの実施形態の場合、この光学キャビティ内であちこちに一定の期間にわたり跳ね返った後にキャビティから出てミラー15により光検出器16に反射される。このレーザーが滅火されたとき、約1~10マイクロセカンドのような短い期間後に、光検出器は、観測し続け、かつ、光強度が時間とともに減衰する状況を測定することができる。図2は、3種類の仮定状況におけるこの減衰を示している。曲線1は、光学キャビティ中に蒸気が存在しない状況を表している。図示されているように、時刻T0において、光源が滅火され、光立ち上がりはL0のレベルで終了し、光は次に減衰し始める。この減衰の継続時間は、初期強度L0がL1=L0/eここでe=2.7172...自然対数の底に低減するために要する時間として定義される。一定の周波数のエネルギーの自然減衰時間それは、キャビティ中のミラーの反射性により実質的に支配されるは、エネルギーがL1のレベルに減衰する時刻T2における時間である。ここで、図1に示すとおり、蒸気13が入力101それは、ここで、仮シール102によりシールされている経由で光キャビティ12に導入されているとする。この蒸気は、光110の共振を引き起こし少なくとも1つの実施形態において、次にこの共振が時刻T0後の光の減衰時間を短縮する。減衰時間のこの短縮は、図2の曲線2により示されている。ここで、時刻T1において、キャビティ中に存在する蒸気のために、光強度はレベルL1まで減衰している。キャビティ中の蒸気量が特定の応用にとって十分な低さに相当する透過率に対応する場合、強度が時刻T1においてレベルL1に減衰する曲線2により記述される状況は、受け入れ可能であり、この薄膜は合格である。他方、透過率が高すぎて、受け入れ可能なしきいを超える場合には、キャビティの強度がL1に等しくなったときに減衰時間はT1より短くなっており、曲線3により示されるとおり、この薄膜は不合格となる。蒸気なしの状況と検出可能な量の蒸気が存在する状況間の減衰時間のこの差異を利用することにより、このシステムは、この出願において後述するとおり、図1に示すデータベース/プロセッサ17を使用して薄膜の透過率を計算することができる。このシステムにおける使用に適するCRDSの1つの例は、TigerOpticsWarrington,PA、モデルHaloとしてから、またはPicarroSunnyvale,CA、モデルG2301としてから入手できる。ここに記述するシステムの長所の1つの理由は、この光学キャビティが蒸気試料と光学プローブレーザー光間の比較的長い相互作用経路を与え、それがFourierTransformInfraredSpectroscopyFTIRなどの非分散赤外線分光法に比べて感度を高めるということである。このシステムは、ほとんど20kmの長さを標本調査することに等しい0.1マイクロセカンドのキャビティ寿命を与える。標準FTIRの場合、経路長は試料の厚さにより制限され、20kmよりはるかに短い。このシステムのもう1つの長所は、そのスペクトル分解能である。その光学キャビティのモード間隔は、典型的なFTIRの約0.5cm-1に比して0.0003cm-1の分解能を有する。この分解能は、水蒸気量の関数として線型比例する応答をもたらす。ここで留意すべきは、この論述においては可視光が使用されているが、この出願において記述されている構想は、非可視エネルギー範囲においても使用できることである。図3は、方法30のような、この独創的構想による合格/不合格システムの操作の方法の1つの実施形態である。この方法は、プロセッサ17図1のような1つまたは複数のプロセッサを使用するコード制御アプリケーションにより実現することができる。プロセス301において、光を上述した期間にわたり光キャビティに送り込む。光キャビティ内に試験対象の蒸気が存在する。ここで留意すべきは、この出願において論述される実施形態では、各蒸気試験が個別の蒸気バッチについて行われ、かつ、同一のバッチについて、好ましくは各試料について同一の流量を用いて、1回または複数回の試験が行われることである。その反面、連続処理、たとえば、薄膜の1つの部分からの蒸気からなる第1バッチによりキャビティを満たし、次にそのキャビティを空にし、続いて薄膜の別の部分からの蒸気によりキャビティを再び満たすことによる連続処理を可能にするようにシステムを設計することもできる。各充填後、キャビティに光を満たし、次に光を減衰させて各バッチの蒸気量を測定する。薄膜が製造されるとき、または薄膜がデバイスのためにまさに使用されるときに、これらのバッチをリアルタイムで処理することができる。適切な長さの時間にわたりキャビティが光で満たされたとき図2に示されている時刻T0、プロセス302がプロセス303の制御によりレーザー、またはその他のエネルギー源を切断する。プロセス304が、図2において示したように、減衰時間の継続期間を測定する。光がレベルT1より短い減衰継続期間を示す場合、プロセス304は、この水蒸気が一定の限界より上であり、したがって試験された薄膜が用途に不合格であると決定するプロセス305。しかし、減衰継続期間がT1より長いとプロセス304により決定された場合、これは、継続期間減衰を引き起こしたチャンバ中の水の量が臨界量より少ないことを意味する。合格/不合格システムにおいて、この薄膜は、これによりプロセス306に合格する。任意に、薄膜が1つの用途に合格しなかった場合においても、それは他の用途に受け入れることができる。これに関して、プロセス307は、時刻T3における減衰レベルがある一定の設定値より低いか否か決定する。もし低い場合、その薄膜は廃棄される。そうでない場合、プロセス308は、その薄膜が他の用途に使用されることを許容する。薄膜を等級分けするために複数のレベルを使用することができる。一定の状態においては、薄膜をなんらかの他の応用に使用することが望ましく、したがって水蒸気の含有状況を正確に知りたい場合がある。このような場合、実施形態40において記述したような定量的な方法を使用するべきである。図4Aは、この出願において論述される構想の別の実施形態40を示している。この実施形態では、光の波長は、水蒸気吸収約1392.5nmに合致するように調節される。その他の共振波長も利用できる。たとえば、中赤外レーザーは、CRDSの感度を高めることができる。水は、このスペクトル領域において高い吸収強度を示すからである。その他の波長は、1450nm、1950nm、2900nmとすることができる。チャンバ内の光は、周知の方法による高い反射ミラー47および47’の使用により光キャビティを形成する。このシステムは、チャンバを去った光が検出器46に衝突したときに高速電子機器を使用して光キャビティ43内の減衰時間を測定する。これは、次に、表1に示した等式群を使用するppb単位の含水量の計算を可能にする。図4Bは、図4Aのシステムから得られる典型的減衰曲線を示す。ここで留意すべきは、上述した一定の状況において、種々の検体蒸気を取り扱うことができ、かつ、レーザーまたはその他の平行エネルギー源は、選択された検体に同調するように調節された周波数とすることができることである。この同調は、時々、必要に応じて変更して一定の試料の測定中でさえシステムに種々の蒸気の測定を行わせることができる。たとえば、O2の場合、波長は、0.7596μm、1.58μm、1.27μm、1.06μm、0.69μm、および0.63μmとすることができる。またCO2の場合、波長は、4.3μm、2.7μm、2μm、1.6μm、および1.4μmとすることができる。CRDSにより水蒸気量を決定するために利用される有用な等式:測定対象の蒸気を入口44経由でチャンバに導き、出口45経由で追い出す。光源41は、所望の周波数に調整されたレーザー光である。光の一部この例では、99を試験チャンバ43に送る一方、一部を検出器49による検出のために対照セル48に送る。光源の波長を共振条件の固有水分吸収帯に合致させるために、正確に波長を制御することが好ましい。したがって、光源の発光波長を常に測定する必要がある。たとえば、光源として使用されるレーザーダイオードの温度変化は、レーザーの発光波長をずらしてレーザー構造の実効屈折率を変えることによりそれを共振状態から逸脱させることがある。共振波長における一定の動作を確保する1つの方法は、図4Aに示されているように検出器49をもつ対照セル水分を含んでいるを追加することである。レーザー源から到来する波長が対照セルに含まれている水の共振吸収に一致する場合、光は全くまたはほとんど検出器に到達せず、共振動作が保証される。CRDSセルは、以下において述べように、分析対象のバリア薄膜を収容する透過チャンバに接続することができる。水蒸気の感度/精度は、0.4ppbV程度である。これは、20°Cおよび1大気全圧において1リットルの体積に含まれている3×10-10グラムの水を検出できることを意味する。図5は、波長の関数として水分吸収ピークのグラフを示す。この図に示すように、キャビティのtゼロを測定するために、水分吸収ピークと重なり合わない波長を選択しなければならない。図6は、セル60のような透過セルの1つの実施形態を示す。これは、薄膜の透過率を測定する方法を与える。透過セルは、ポリマー薄膜61のような薄膜が濡れ側と呼ばれる一方の側左側601の制御湿度にさらされるように組み立てる。この薄膜を乾燥側と呼ばれる他方の側右側602において入力63経由の乾燥キャリアガスにさらす。キャリアガスは一般的に窒素であるが、任意のキャリアガスでよい水が検出対象の物質である場合、ヘリウムが最も良い結果をもたらす。時間の経過とともに、濡れ側601の水分がポリマー薄膜に吸着され、薄膜を透過し、次に乾燥側キャリアガスに脱着される。拡散プロセスは、最終的に、すなわち、薄膜中の種々の層中のH2O、CO2、O2などの検体気体の厚さ、吸収性および拡散性に依存して一般的に数日後に、定常状態透過率に達する。いまや602側から吸収された水分を帯びている乾燥窒素は、透過セルの乾燥側から出口64経由でCRDS試験セルこの中でその水分内容が上述のとおり分析されるに制御流量率で流れる。気体流の水分含量は、次の等式に従って試料のWVTRに関係する:ただし、これらの変数は、以下を指す:WVTR=水蒸気透過率C=CRDSにより測定された量ppbVQ=CRDSセル中のキャリアガス窒素の体積流量P=CRDSセル中の全圧T=CRDSセル中の温度R=一般気体定数A=試験薄膜の表面積MW=キャリアガス一般的に窒素の分子量この等式は、各側の気体が理想的であること、流量が一定であること、窒素濃度が水蒸気量よりはるかに高いこと、および透過率が定常状態に達したことを仮定している。水蒸気透過は、通常、g/m2/日で報告され、また、CRDSは、体積比10億分の1ppbVにより透過を示す。2つの方法に従ってppbVをg/m2/日に変換することができる。第1の方法は、ppbVとg/m2/日を関係づける上述の数学的記述である。第2の方法は、g/m2/日単位の既知の透過率を有する1群の試料を測定すること、およびCRDS装置の示度を使用して較正曲線を作成することに依存する。ここで留意すべきは、較正曲線を作成するために一定の圧力および流量を選択しなければならないことである。この流れ検出構成は、圧力、温度および流量に関する最良の動作状態の付近に生じ、最高の精度および最小検出限界が保証される。図7は、図6のセルを使用するシステムの好ましい構成の1つの実施形態70を示す。低水分含量20ppbVのようなの超高純度窒素700を乾燥器71により乾燥し、圧力調整器701、702および707ならびにニードルバルブ704および708経由でチャンバ72内の試料の乾燥側と濡れ側の両方に供給する。この構成は、試料の両側に等しい圧力を維持する。セルに対する気体供給は、たとえば、図示のように各ラインについて個別の圧力調整器を使用することにより、互いに分離されるべきである。乾燥側からの気体中の測定された水分含量は、薄膜を透過した水分の量に相当する。この気体は、次にボールバルブ705を経てキャビティリングダウン測定器73に導かれる。バルブ706、710、709、711および流量計75、76を使用してチャンバを掃気し、かつ、圧力を一定に保つ。較正のために、入力乾燥キャリアガスも調整器701、バルブ703、705経由で測定器73に導くことができる。これは、次に、供給窒素中に存在する水分を控除すること、または減衰時間計算において考慮することを可能にすることにより、それを補償する。試料の周囲の透過セルのシールは、重要である。漏洩は、最小にするべきである。しかし、水分がシステム中のいずれかのシールから漏れる場合、水分がセルの濡れ側に追加されたときの正常動作中の測定値から水分がセルの濡れ側に追加されない場合にセルから測定された水分内容を控除することにより、それを計算に入れることができる。試験手順図6に示したシステムを起動する前に、十分な量の乾燥窒素キャリアガスを用意しなければならない。新しいガスボンベは一般的に2500psiを示すが、調整器上のタンク圧力が300~500psi以下に低下した場合、ボンベを交換しなければならない。窒素ライン圧力は、30psiに設定するべきである。圧力調整器は、15psiに設定するべきである。バルブ金具およびCRDSを含む試験装置の温度は、一定のレベル、一般的に22°Cのような室温に維持するべきである。透過セルの温度は、室温または必要に応じてその他の温度でよい。透過セルは、オーブン、水槽等を使用して加熱または冷却することができる。すべての接続が適切に締め付けられたこと、漏洩試験が行われたこと、および気体流がパージされたことの確認が重要である。これが行われた後、3路バルブ705を開いてゼロラインからの気体によりCRDSをパージする。キャリアガスおよび対象検体にとって適切にシステムを設定調整する。適切な試料薄膜を選択する。薄膜領域に指紋、油脂またはその他の損傷がないことを確認する。適切なテンプレートを使用して薄膜試料を切断して形をつけ、縁を切りそろえる。薄膜のミリメートル厚さを記録する。ニードルバルブ704および708を同時に閉じる。セル出口のボールバルブ706および709を開く。透過セルを開いて前の試料を追い出し、かつ、Kimtech雑巾を使用して古い油脂を除去する。Oリングガスケットがセルに確実に着坐していることを確認する。シリコーングリースの新しい薄い滑らかな層を再塗布する。透過セルの底のスポンジが湿っており、水で飽和していることを確かめる。薄膜試料を試験セルに置く。このとき、バリアが乾燥側に対向して試料が試験装置内に確実に収まるような向きにして置くこと。薄膜サンプルが気泡またはしわを生ずることなく試験セル上に平らに横たわっていることを確認する。ふたを透過セルに戻し、次にノブを軽く締まるまで手で右に回してリモートセルをシールする。セルを締めすぎないこと。ニードバルブ704と708の両方を同時に開く。メーター75および76を使用してセルの濡れ側と乾燥側両方の流量が等しいことを確認する。調整器702および707上の圧力が等しいことを確認する。等しくない場合、両方を15psigに調整する。セルに等しい圧力がかかっていることを確認する。そうでない場合、それは薄膜の破損をもたらすことがある。圧力が低すぎる場合、CRDS分析結果は劣化し得る。濡れ側のボールバルブ709を閉じる。透過セルは、いま、動作中である。その反面、CRDSは、ゼロラインのみを測定しているところである。流量計74の読みに従い、必要に応じてニードルバルブ713を調整して実験にとって所望の流量を実現する。安定したゼロライン示度が実現された後、CRDSにより測定されるゼロラインの含水分量を記録する。これは、数時間または一晩を要することがある。3路バルブ705を回してCRDSがここで試料ラインを測定するようにする。試料ライン出口ボールバルブ706を閉じる。流量計74の示度に従い、必要に応じてニードルバルブ713を調整して実験にとって所望の流量を実現する。安定した試料ライン示度が実現された後、CRDSにより測定される試料ラインの含水分量を記録する。これは、数時間または一晩を要することがある。このプロセスは、数回繰り返すべきである。プロセスが定常状態に達した後、反復される示度が一致し、次に最終WVTR値を計算することができる。試料中の透過による含水分量を決定するために、ゼロラインからの含水分量を試料ラインの含水分量から控除するべきである。WVTR値は、この分量から上記の等式を使用して計算する。図8は、本発明の1つの実施形態を使用した実際の試験結果のグラフを示す。このグラフは、CRDSにより100cm3/分の流量、15psiの圧力、23°Cの温度、および50cm2のファイル試験面積を用いて行われた4種類の薄膜の透過試験の結果を示している。比較のためにMoconPermatran装置を使用して同じ薄膜を測定した。これらの薄膜を表2に示す。この結果は、CRDS検出器を使用して測定された含水分量とMoconPermatran分析装置これは現在利用できる最も広く使用されている分析装置であるを使用して測定された各薄膜の透過率の間の非常に良好な線型相関を示している。この結果は、1/gm2/日の透過率の試料が本出願人の実験において100cm3/分の流量で試験されたとき約10,000ppbVの含水分量をもたらすことも示している。図9は、本発明のもう1つの実施形態を使用した実際の試験結果のグラフを示している。このグラフは、CRDSにより10cm3/分の流量、10psiの圧力、23°Cの温度、および50cm2の薄膜試験面積を用いて行われた3種類の対照薄膜の透過試験の結果を示している。比較のために同じ対照薄膜をMoconAquatran装置を使用して測定した。このグラフは、これらの測定値に基づく較正曲線およびCRDS検出装置の検出限界の外挿値も示している。CRDS技術は、0.4ppbV程度の含水分量を検出することができるので、10-6g/m2/日程度の透過率を検出することができると推論できる。これらの薄膜を表3に示す。これにより、低透過率の薄膜は、低透過率を必要とする半導体の基板およびその他の要素の構築のために使用することができる。この出願において論述された構想を使用して試験できる薄膜の例を以下に示す:ポリエステル薄膜PETまたはPENなどポリエチレン薄膜LDPEまたはHDPEなどポリエチレン酢酸ビニールEVA薄膜ポリプロピレンPP薄膜ポリテトラフルオロエチレンPTFE薄膜エチレンテトラフルオロエチレン共重合体ETFE薄膜フルオロエチレンプロピレン共重合体FEP薄膜ポリメチルメタクリレートPMMA薄膜その他の類似の重合体薄膜Al2O3、SiO2、TiO2、ZrO2、ITO、ATOなどの1つまたは複数のバリア層またはその他の類似コーティングによりコーティングされた上記のものなどの重合体薄膜上記のものなどの重合体薄膜であるが、機能的プライマー、接着剤、ハードコーティング、または平坦化コーティングによってもコーティングされているもの上記の薄膜または類似の薄膜の1つまたは複数の接着積層。ここで留意すべきは、場合によっては、ある物質中の透過率について種々の気体蒸気を測定することがあり、そしてこれを行う場合にレーザーまたはその他の平行エネルギー源を周波数同調させて、選択された蒸気と共振させることができることである。必要に応じて、この同調を時々変更して一定の試料の測定中にさえシステムにより種々の蒸気の測定を行うことができる。水蒸気の場合、この波長調整は、たとえば、1392.5nm、2900nm、1950nmおよび1450nmとし、その他の検体蒸気は、たとえば、CO2およびO2とすることができる。CO2の場合、波長調整は、4.3μm、27μm、2μm、1.6μm、1.4μmとすることができる。O2の場合、波長調整は、0.7596μm、1.58μm、1.27μm、1.06μm、0.69μm、063μmとすることができる。キャリアガスは、窒素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、キセノン、クリプトンまたは空気の中から選ぶことができる。本発明およびその長所について詳細に説明したが、当然のことながら、添付請求項により定義される本発明の精神および範囲から逸脱することなく、この出願に対し種々の変更、置換および修正を加えることが可能である。さらに、この応用の範囲を本明細書において記述された工程、機械、製造、物質の組成、手段、方法および手順の特定の実施形態に限定することは、意図していない。本発明の開示から当業者が容易に理解できるように、本出願において記述された対応する実施形態と本質的に同一の機能を果たすかまたは本質的に同一の成果を達成する現存またはこれから開発される工程、機械、製造、物質の組成、手段、方法または手順を本発明に従って利用することができる。したがって、添付請求項は、その範囲の中にかかる工程、機械、製造、物質の組成、手段、方法または手順を含めることを意図するものである。"