"基板上に1対の電極を備え、前記電極間に少なくとも1層の有機層を備えた有機電子デバイスであって、アルカリ金属塩及び酸化亜鉛ナノ粒子の塗布膜からなる電子注入層又は電子輸送層を備えていることを特徴とする有機電子デバイス。前記塗布膜が有機ポリマーバインダーを含んでいることを特徴とする請求項1記載の有機電子デバイス。前記アルカリ金属塩が、炭酸セシウム、8-キノリノラトナトリウム、又は、8-キノリノラトリチウム、リチウム2-2-ピリジルフェノラート及びリチウム2-2’,2’’-ビピリジン-6’-イルフェノラートのうちのいずれかのリチウムフェノラート塩であることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機電子デバイス。前記塗布膜が厚さ1~30nmであることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の有機電子デバイス。前記有機ポリマーバインダーが、ポリ4-ビニルピリジン、ポリ2-ビニルピリジン及びポリエチレンオキシドのうちのいずれかであることを特徴とする請求項2~4のいずれか1項に記載の有機電子デバイス。前記有機層は、複数の活性層が直列式に積層されたスタック型構造を含むものであることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の有機電子デバイス。前記有機電子デバイスが有機エレクトロルミネッセンス素子であり、前記有機層は、複数の発光層が直列式に積層されたマルチフォトン構造を含むものであることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の有機電子デバイス。請求項1~7のいずれか1項に記載の有機電子デバイスの製造方法において、電子注入層又は電子輸送層の形成が、アルコールに溶解させた液体材料を塗布することにより行われることを特徴とする有機電子デバイスの製造方法。上記特許文献1,2に記載された方法においてはいずれも、電子注入材料又は電子輸送性材料のアルカリ金属やアルカリ土類金属又はZnOを、PO基を有する所定のアリール化合物との複合材料としてアルコールに可溶化させて適用している。しかしながら、これらの材料によって電子注入層を形成した場合、その上に真空蒸着法等で電極を形成する際、電極膜の付着性が十分に得られず、また、電子注入層内における前記電子注入材料の濃度分布が不均一になりやすいという課題を有していた。また、有機EL素子において複数の発光層が直列式に積層されたマルチフォトン構造を構成する場合等は、前記材料による電子注入層又は電子輸送層の上に、有機層を形成する必要があるが、使用される溶媒によって電子注入層又は電子輸送層の表面が溶解して荒れたり、その上に形成される有機層が剥離しやすくなったりすることがあり、膜の密着性や安定性が十分であるとは言えなかった。したがって、塗布型の電子注入又は電子輸送材料として金属酸化物を用いた場合において、有機電子デバイスを形成する際、組成分布の均一性に優れた膜を形成することができ、また、隣接する他の構成層との密着性及び安定性に優れていることが求められる。本発明は、上記技術課題を解決するためになされたものであり、金属酸化物を用いた塗布型電子注入層又は電子輸送層において、組成分布の均一性や安定性及び隣接する他の構成層との密着性の向上を図り、成膜性が改善されることにより、効率が向上した有機電子デバイス及びその製造方法を提供することを目的とするものである。本発明に係る有機電子デバイスは、基板上に1対の電極を備え、前記電極間に少なくとも1層の有機層を備えた有機電子デバイスであって、アルカリ金属塩及びZnOナノ粒子の塗布膜からなる電子注入層又は電子輸送層を備えていることを特徴とする。電子注入層又は電子輸送層を上記のような塗布膜で形成することにより、塗布型有機電子デバイスにおける成膜性の改善を図ることができ、これにより、デバイス効率の向上を図ることができる。前記有機電子デバイスにおいて、前記アルカリ金属塩には、nドープとして機能し、電子注入特性に優れていることから、Cs2CO3、Naq、又は、Liq、Lipp及びLibppのうちのいずれかのリチウムフェノラート塩が好適に用いられる。また、前記塗布膜は、有機ポリマーバインダーを含んでいることが好ましい。有機ポリマーバインダーが添加されることにより、均質で安定的な膜を適度な膜厚で形成することが可能となる。前記有機ポリマーバインダーには、アルコールに対する溶解性、アルカリ金属塩及びZnOナノ粒子の分散性や成膜性等の観点から、ポリ4-ビニルピリジン、ポリ2-ビニルピリジン及びポリエチレンオキシドのうちのいずれかが好適に用いられる。また、前記有機電子デバイスは、前記有機層が、複数の活性層が直列式に積層されたスタック型構造を含むものであることが好ましい。上記のような電子注入層又は電子輸送層により、これらの膜の均質性を保持しつつ、隣接する層との密着性が向上し、安定した成膜が可能となるため、スタック型有機電子デバイスにおいても、効果的に効率の向上を図ることができる。特に、前記有機電子デバイスが有機EL素子であり、前記有機層が、複数の発光層が直列式に積層されたマルチフォトン構造を含むものであることが好ましい。また、本発明に係る有機電子デバイスの製造方法は、上記のような有機電子デバイスの製造方法において、電子注入層又は電子輸送層の形成が、アルコールに溶解させた液体材料を塗布することにより行われることを特徴とする。このような塗布法によれば、上記のような有機電子デバイスを好適に得ることができる。本発明によれば、金属酸化物を用いた塗布型電子注入層又は電子輸送層において、組成分布の均一性や安定性及び隣接する他の構成層との密着性の向上を図り、成膜性を改善することができ、これにより、効率が向上した有機電子デバイスを構成することができる。また、本発明は、蒸着/塗布及び有機/無機を組み合わせたハイブリッド積層構造やスタック型、マルチフォトン構造のデバイス構成にも好適に適用することができる。また、本発明に係る製造方法によれば、上記のような本発明に係る有機電子デバイスを好適に得ることができる。以下、本発明について、より詳細に説明する。本発明に係る有機電子デバイスは、基板上に1対の電極を備え、前記電極間に少なくとも1層の有機層を備えており、アルカリ金属塩及び酸化亜鉛ナノ粒子の塗布膜からなる電子注入層又は電子輸送層を備えていることを特徴とするものである。本発明でいう有機電子デバイスとは、有機層を含む積層構造を備えた電子デバイスであり、有機EL素子、有機トランジスタ、有機薄膜太陽電池等の総称として用いる。塗布型有機電子デバイスにおいて、電子注入層又は電子輸送層を上記のような塗布膜で形成することにより、成膜性の改善を図ることができる。具体的には、塗布膜又は蒸着膜を積層した場合においても、該電子注入層又は電子輸送層の組成分布の均一性、すなわち、均質性を保持することができ、また、これらの層及び隣接する層の安定性及び密着性の向上を図ることができる。これにより、結果的に、デバイス効率の向上を図ることができる。上記のような電子注入層又は電子輸送層を備えた本発明に係る有機電子デバイスの層構造は、基板上に1対の電極を備え、前記電極間に少なくとも1層の有機層を備えた構造からなる。有機EL素子を例として、これらの層構造を具体的に示すと、陽極/発光層/電子注入層/陰極、陽極/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/陰極、陽極/ホール注入層/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極、陽極/ホール注入層/ホール輸送層/発光層/ホール阻止層/電子輸送層/電子注入層/陰極等の構造が挙げられる。さらに、ホール輸送発光層、電子輸送発光層等をも含む公知の積層構造であってもよい。前記有機電子デバイスの構成層のうち、本発明に係る電子注入層又は電子輸送層以外の層に用いられる成膜材料は、特に限定されるものではなく、公知のものから適宜選択して用いることができ、低分子系又は高分子系のいずれであってもよい。前記各層の膜厚は、各層同士の適応性や求められる全体の層厚さ等を考慮して、適宜状況に応じて定められるが、通常、5nm~5μmの範囲内であることが好ましい。上記各層の形成方法は、蒸着法、スパッタリング法等などのドライブプロセスでも、インクジェット法、キャスティング法、ディップコート法、バーコート法、ブレードコート法、ロールコート法、グラビアコート法、フレキソ印刷法、スプレーコート法等のウェットプロセスであってもよい。ただし、本発明に係る有機電子デバイスにおける電子注入層又は電子輸送層は、上述したような成膜性の向上を図ることができる塗布膜であり、塗布型電子注入材料又は電子輸送材料であるアルカリ金属塩及びZnOナノ粒子をアルコールに溶解させた液体材料を塗布することにより形成することが好ましい。前記アルカリ金属塩としては、Cs2CO3、Rb2CO3、K2CO3、Na2CO3、Li2CO3、CsF、RbF、KF、NaF、LiF等が挙げられるが、特に、Cs2CO3が好ましい。Cs2CO3は、アルコール系溶媒の効果によってCs金属が遊離し、nドープとして機能するため、電子注入障壁が低減し、良好な電子注入特性を示すことから、好適な塗布型電子注入材料又は電子輸送材料である。また、前記アルカリ金属塩としては、アルカリ金属錯体のうちアルカリ金属フェノラート塩、特に、ナトリウムフェノラート塩であるNaq、あるいはまた、リチウムフェノラート塩であるLiq、Lipp、Libppも好適に用いることができる。Cs2CO3が、潮解性を有し、大気下で不安定であるのに対して、前記アルカリ金属フェノラート塩は、塗布成膜性に優れるのみならず、大気下でも安定であり、素子作製が容易となるという利点を有している。また、ZnOナノ粒子は、高導電性であり、高いホールブロック性を有しておりHOMO7.4eV、アルコールに可溶であるため、塗布型電子注入材料又は電子輸送材料として好適に用いることができる。しかも、後述する公知の合成方法により、粒径がnmオーダーであるナノ粒子を簡便に得ることができる実施例の試料2参照。前記ZnOナノ粒子の粒径は、1~30nmであることが好ましい。前記粒径が1nm未満では、化学的に不安定であり、デバイスの安定した駆動の点から好ましくない。一方、粒径が30nmを超える場合は、形成される薄膜の平滑性に劣り、良好な成膜が困難となる。前記前記ZnOナノ粒子の粒径は、より好ましくは1~10nmである。また、前記電子注入層又は電子輸送層の塗布膜は、有機ポリマーバインダーを含んでいることが好ましい。前記塗布膜形成のためのアルコール溶液の液体材料中に、バインダーとして有機ポリマーを添加しておくことにより、アルカリ金属塩及びZnOナノ粒子が均質に分散した安定な膜を適度な膜厚で形成することが可能となり、これにより、有機電子デバイスの高効率化を図ることができる。前記有機ポリマーバインダーは、塗布する液体材料の溶媒であるアルコールに可溶であることが好ましく、具体的には、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリビニルピリジン、ポリビニルフェノール等を用いることができる。これらのうち、界面活性剤や接着剤等にも用いられているポリ4-ビニルピリジンが好適である。ポリ4-ビニルピリジンを用いる場合は、アルコールに対する溶解性、アルカリ金属塩及びZnOナノ粒子の分散性や成膜性等の観点から、分子量が10,000~100,000程度のものであることが好ましい。また、ポリ2-ビニルピリジン、ポリエチレンオキシドも電子注入特性の向上効果の点から、好適に用いることができる。前記有機ポリマーバインダーの添加量は、アルカリ金属塩及びZnOナノ粒子の分散性や成膜性を向上させることが可能な範囲で足り、ZnOナノ粒子に対して5~30wtの範囲で添加することが好ましい。前記液体材料の溶媒として用いられるアルコールの種類は、特に限定されるものではないが、アルカリ金属塩及びZnOナノ粒子、前記ポリマーバインダーが可溶である必要があり、また、比較的揮発性が高く、乾燥後、表面が平滑で良好な膜を形成可能なアルコールを選択して用いることが好ましい。具体的には、メタノール、エタノール、2-エトキシエタノール、イソプロピルアルコール等が挙げられ、特に、2-エトキシエタノールが好適に用いられる。また、上記のような電子注入層又は電子輸送層の構成は、有機層が、複数の活性層が直列式に積層された構造を含む有機電子デバイス、いわゆるスタック型有機電子デバイスに好適に適用することができる。具体的には、マルチフォトン有機EL素子、タンデム型有機薄膜太陽電池等が挙げられる。上記のような積層構造を有する有機電子デバイスは、多くの場合、金属又は金属酸化物材料等を蒸着法で成膜し、有機層を塗布法により成膜する必要があり、このような蒸着/塗布及び無機/有機が組み合わされたハイブリッド有機電子デバイスにおいては、下層と上層の密着性が重要となる。このような場合にも、上記のような電子注入層又は電子輸送層を形成すれば、これらの膜の均質性を保持しつつ、隣接する層との密着性を向上させることができ、安定した成膜が可能となり、これにより、デバイス効率の向上を図ることができる。本発明に係る有機電子デバイスの電極は、各デバイスにおいて公知の材料及び構成でよく、特に限定されるものではない。例えば、有機EL素子の場合には、ガラスやポリマーからなる透明基板上に透明導電性薄膜が形成されたものが用いられ、ガラス基板に陽極として酸化インジウム錫ITO電極が形成された、いわゆるITO基板が一般的である。一方、陰極は、Al等の仕事関数の小さい4eV以下金属や合金、導電性化合物により構成される。以下、本発明を実施例に基づいて、さらに具体的に説明する。下記においては、有機電子デバイスのうち、有機EL素子及び電子注入層に関して例示するが、本発明は、これに限定されるものではない。試料1蒸着法Ca電子注入層として蒸着法で成膜したCaを用いた、図1に示すような層構造を有する有機EL素子を作製した。まず、パターニング済みのITO基板1ITO膜厚110nm、素子面積10×10mm2、発光面積2×4mm2をアセトン超音波洗浄20分間、アルカリ洗剤によるスクラブ、アルカリ洗剤超音波洗浄20分間、アセトン超音波洗浄20分間、イソプロピルアルコールIPA超音波洗浄20分間、UVオゾン洗浄20分間の順で洗浄した。洗浄後のITO基板上に、プラスチックシリンジでPVDF0.45μmフィルターを通してPEDOT:PSSを5滴滴下し、500rpmで1秒間、さらに、4000rpmで40秒間スピンコートし、120°Cで20分間乾燥し、膜厚40nmのホール注入層2を形成した。次に、緑色蛍光高分子材料として下記化2で表されるフルオレン系ポリマーF8BT30mgを無水パラキシレン2.5mlに添加して70°Cで1時間撹拌し、1.2wt12mg/mlの溶液を調製した。これを、前記ホール注入層PEDOT:PSS上にプラスチックシリンジでPVDF0.45μmフィルターを通して5滴滴下し、500rpmで1秒間、さらに、1400rpmで40秒間スピンコートし、70°Cで30分間乾燥し、膜厚80nmの発光層3を形成した。前記発光層F8BTの上に、真空度5×106Torr以下で抵抗加熱方式により蒸着速度2Å/sでCaを蒸着し、膜厚10nmの電子注入層4を形成した。そして、前記電子注入層Caの上に、真空度5×106Torr以下で抵抗加熱方式により蒸着速度5Å/sでAlを蒸着し、膜厚100nmの陰極5を形成した。上記のようにして作製した有機EL素子の層構成を簡略化して表すと、ITO110nm/PEDOT40nm/F8BT80nm/Ca10nm/Al100nmである。試料2塗布法Cs2CO3試料1において、電子注入層として、Caに代えて、塗布法によりCs2CO3を用いた膜を下記に示す方法により形成し、それ以外については、試料1と同様の工程により有機EL素子を作製した。Cs2CO310mgを2-エトキシエタノール1mlに溶解した後、5倍に希釈し、70°Cで1時間撹拌して、0.2wt2mg/mlの溶液を調製した。この溶液を発光層F8BT上にマイクロピペッターで50μl滴下し、500rpmで1秒間、さらに、4000rpmで40秒間スピンコートし、膜厚1nm以下の極薄膜の電子注入層を形成した。この有機EL素子の層構成を簡略化して表すと、ITO110nm/PEDOT40nm/F8BT80nm/Cs2CO3~1nm/Al100nmである。試料3塗布法ZnO参考文献NanoLettVol5No122005pp24082413に基づいて、下記の合成スキームに示す方法により、ZnOナノ粒子を作製した。まず、酢酸亜鉛ZnAc21.67g9.10mmolと水300μLをメタノール84mlに加えて撹拌し、60°Cに加熱した。これに、水酸化カリウムKOH0.978g17.43mmolをメタノール46mlに溶解した溶液を10~15分間かけて滴下させた。60°Cで2時間15分撹拌した後、粒径5~6nmのZnOの白色ナノ粒子を得た。上記により合成したZnOナノ粒子を用いて、試料2において、電子注入層として、Cs2CO3に代えて、塗布法によりZnOを用いた膜膜厚10nmを、試料2のCs2CO3を用いた成膜方法と同様にして形成し、それ以外については、試料2と同様の工程により有機EL素子を作製した。この有機EL素子の層構成を簡略化して表すと、ITO110nm/PEDOT40nm/F8BT80nm/ZnO10nm/Al100nmである。試料4塗布法ZnO:Cs2CO30.2wt:0.2wt試料2において、電子注入層として、Cs2CO3に代えて、塗布法によりZnO:Cs2CO3を用いた膜を下記に示す方法により形成し、それ以外については、試料2と同様の工程により有機EL素子を作製した。ZnO及びCs2CO3各10mgをそれぞれ、2-エトキシエタノール1mlに溶解した後、5倍に希釈し、70°Cで1時間撹拌して、0.2wt2mg/mlの各溶液を調製した。その後、2種の溶液を当量で混合し、発光層F8BT上にマイクロピペッターで50μl滴下し、500rpmで1秒間、さらに、4000rpmで40秒間スピンコートし、膜厚10nmの電子注入層を形成した。この有機EL素子の層構成を簡略化して表すと、ITO110nm/PEDOT40nm/F8BT80nm/ZnO:Cs2CO30.2wt:0.2wt,10nm/Al100nmである。試料5塗布法ZnO:Cs2CO31wt:1wt試料4において、電子注入層として、塗布法で用いたZnO:Cs2CO3の濃度を0.2wtから1wtに変更して成膜し、それ以外については、試料4と同様の工程により有機EL素子を作製した。この有機EL素子の層構成を簡略化して表すと、ITO110nm/PEDOT40nm/F8BT80nm/ZnO:Cs2CO31wt:1wt,10nm/Al100nmである。試料6塗布法PV-4Py:ZnO:Cs2CO30.2wt:1wt:1wt試料5において、電子注入層として、ZnO:Cs2CO3にポリ4-ビニルピリジンPV-4Py分子量40000を添加して、塗布法によりPV-4Py:ZnO:Cs2CO3を用いた膜を下記に示す方法により形成し、それ以外については、試料5と同様の工程により有機EL素子を作製した。ZnO及びCs2CO3各10mgをそれぞれ、2-エトキシエタノール1mlに溶解し、70°Cで1時間撹拌して調製した1wt1mg/mlの各溶液と、PV-4Py10mgを5倍に希釈し、70°Cで1時間撹拌して調製した0.2wt2mg/mlの溶液とを当量で混合した。この溶液を前記発光層F8BT上にマイクロピペッターで50μl滴下し、500rpmで1秒間、さらに、4000rpmで40秒間スピンコートし、膜厚10nmの電子注入層を形成した。この有機EL素子の層構成を簡略化して表すと、ITO110nm/PEDOT40nm/F8BT80nm/PV-4Py:ZnO:Cs2CO30.2wt:1wt:1wt,10nm/Al100nmである。試料7蒸着-塗布ハイブリッドマルチフォトン構造図2に示すような2組の発光層を含むユニット第1ユニット10、第2ユニット20を備えたマルチフォトン構造の有機EL素子を下記に示す方法により作製した。試料1と同様にして、ITO基板1上にホール注入層2としてPEDOT:PSSを成膜した。次に、ホスト材料F8BT30mgを無水パラキシレン2.5mlに添加して1.2wt12mg/mlの溶液を調製し、ドーパントとして黄色蛍光材料ルブレンRub0.3mgを添加し、70°Cで1時間撹拌し、ドーパント濃度1wtの溶液を調製した。これを、前記ホール注入層PEDOT:PSS上にプラスチックシリンジでPVDF0.45μmフィルターを通して5滴滴下し、500rpmで1秒間、さらに、1400rpmで40秒間スピンコートし、70°Cで30分間乾燥し、膜厚80nmの発光層3を形成した。次に、ZnO及びCs2CO3各10mgをそれぞれ、2-エトキシエタノール1mlに溶解し、70°Cで1時間撹拌して調製した1wt1mg/mlの各溶液と、PV-4Py10mgを5倍に希釈し、70°Cで1時間撹拌して調製した0.2wt2mg/mlの溶液とを当量で混合した。この溶液を前記発光層F8BT:Rub上にマイクロピペッターで50μl滴下し、500rpmで1秒間、さらに、4000rpmで40秒間スピンコートし、膜厚10nmの電子注入層4を形成した。前記電子注入層PV-4Py:ZnO:Cs2CO3の上に、真空度5×106Torr以下で抵抗加熱方式により、蒸着速度5Å/sでAl6を蒸着し、膜厚1nmの電子注入層を形成し、さらに、蒸着速度0.5Å/sで電子受容性材料であるMoO3を蒸着し、膜厚10nmの電荷発生層7を形成した。そして、ホール輸送高分子材料Poly-TPD10mgを無水1,2-ジクロロベンゼン1mlに溶解して70°Cで1時間撹拌し、1.0wt10mg/mlの溶液を調製した。これを、前記電荷発生層MoO3上にプラスチックシリンジでPVDF0.45μmフィルターを通して5滴滴下し、500rpmで1秒間、さらに、2000rpmで40秒間スピンコートし、70°Cで30分間乾燥し、膜厚20nmのホール輸送層8を形成した。前記ホール輸送層Poly-TPDの上に、再度、上記と同様にして、発光層13F8BT:Rubを形成した後、試料2と同様の工程により、電子注入層14Cs2CO3及び陰極5Alを形成し、蒸着-塗布ハイブリットマルチフォトン有機EL素子を作製した。この有機EL素子の層構成を簡略化して表すと、ITO110nm/PEDOT40nm/F8BT:Rub1wt80nm/PV-4Py:ZnO:Cs2CO310nm/Al1nm/MoO310nm/Poly-TPD20nm/F8BT:Rub1wt80nm/Cs2CO3~1nm/Al80nmである。素子特性評価上記各試料の素子はいずれも、良好な発光が得られた。また、各素子について、特性評価を行った。図3~6に、試料1~6の有機EL素子の電流効率-電流密度曲線を示す。また、図6に、試料7のマルチフォトン有機EL素子の電流効率-電流密度曲線を示す。また、試料1~6の発光層及び電子注入層の構成の概要をまとめて表1に示す。上記評価結果において、図3のグラフに示したように、電子注入層をCs2CO3塗布膜試料2とした場合、Ca蒸着膜試料1よりも電流効率が向上することが認められた。また、図4のグラフに示したように、電子注入層をZnO:Cs2CO30.2wt:0.2wt塗布膜試料4とした場合の方が、Cs2CO3塗布膜試料2よりも電流効率が向上することが認められた。さらに、図5のグラフに示したように、電子注入層のZnO:Cs2CO3塗布膜のZnO及びCs2COを高濃度各1wtとしても試料5、電流効率の向上は認められなかったが、有機ポリマーバインダーを添加した場合試料6は、電流効率が向上した。また、図6のグラフに示したように、第1ユニットの電子注入層をPV-4Py:ZnO:Cs2CO3塗布膜とした蒸着-塗布ハイブリットマルチフォトン有機EL素子MPE試料7においては、効率ロスが低減され、単ユニットのほぼ2倍の電流効率が得られた。上記試料1~7においては、発光層における緑色蛍光高分子材料としてF8BTを用いたが、これに代えて、他のフルオレン系緑色蛍光ポリマーGreenPolymerを用いた。以下の各試料の発光層も同様である。試料8GreenPolymer30mgを無水パラキシレン2.5mlに添加して70°Cで1時間撹拌し、1.2wt12mg/mlの溶液を調製した。これを、前記ホール注入層PEDOT:PSS上にプラスチックシリンジでPVDF0.45μmフィルターを通して5滴滴下し、3900rpmで30秒間スピンコートし、130°Cで10分間乾燥し、膜厚80nmの発光層3を形成した。それ以外については、試料2と同様の工程により有機EL素子を作製した。試料9~11試料3と同様にして合成したZnOナノ粒子を用いて、0.2,0.5,1wt2,5,10mg/mlの2-エトキシエタノール溶液を調製した。それ以外については、試料2と同様の工程により有機EL素子をそれぞれ作製した。試料12~14試料4と同様の工程により、電子注入層としてZnO:Cs2CO30.2wt:0.2wt,0.5wt:0.5wt,1wt:1wtを形成し、有機EL素子をそれぞれ作製した。試料15~21電子注入層をポリマーバインダーとCs2CO3及び/又はZnOとの混合層とし、それ以外については、試料2と同様の工程により有機EL素子をそれぞれ作製した。なお、ポリマーバインダーとZnOとの混合層の場合には、スピンコートは2000rpmで40秒間とした。試料22電子注入層の電子注入材料としてLiqを用い、0.2wt2mg/mlの2-エトキシエタノール溶液を調製した。この溶液を発光層上にマイクロピペッターで50μl滴下し、2000rpmで40秒間スピンコートし、膜厚1~5nmの電子注入層4を形成し、大気曝露後、陰極を成膜した。それ以外については、試料2と同様の工程により有機EL素子をそれぞれ作製した。試料23試料8において、電子注入層のCs2CO3をスピンコートした後、大気曝露し、その後、陰極を成膜した。それ以外については、試料2と同様の工程により有機EL素子をそれぞれ作製した。試料24~30電子注入層をポリマーバインダーとLiq試料24~26、ZnOのみ試料27、ZnOとLiq試料28、ポリマーバインダーとLiqとCs2CO3試料29~31の混合層とした。ポリマーバインダー及びLiqはそれぞれ、0.2wt2mg/mlの2-エトキシエタノール溶液、ZnOは0.5,1wt5,10mg/mlの2-エトキシエタノール溶液を調製し、各溶液を等量で混合した。この溶液を発光層上にマイクロピペッターで50μl滴下し、2000rpmで40秒間スピンコートし、膜厚5nmの電子注入層4を形成し、大気曝露後、陰極を成膜した。素子特性評価上記試料8~31の各素子についても、上記試料1~7と同様に、特性評価を行った。いずれも、GreenPolymer由来の良好な発光が得られた。図7~14に、試料8~31の有機EL素子の電流効率-電流密度曲線を示す。また、試料8~31の発光層及び電子注入層の構成の概要をまとめて表2に示す。上記評価結果から、電子注入層のZnOの溶液濃度が高いほど高効率化する傾向にあるが、Cs2CO3を用いた素子の方が、高輝度で高効率であることが認められた図7参照。ZnOのLUMO準位が4.0eVであることから、電子注入性がCs2CO3よりも低いためと考えられる。また、ポリマーバインダーは、絶縁性であるにもかかわらず、電子注入層に混合することにより、ZnO単膜よりも高効率化及び低電圧化が図られたことから、膜質が改善されると考えられる図10参照。特に、PEOは、4Vの駆動電圧で1000cd/m2程度の輝度が得られ、高い電子注入効果が認められた。また、Liqは、大気下で安定であり、大気曝露を行わないCs2CO3よりも低電圧化及び高効率化が図られることから、大気曝露下での素子作製が可能となるため、塗布型電子注入材料として有用であると言える図11参照。また、ZnO:Liq層は、Liq単層よりも、低電圧化及び高効率化が図られることが認められた図13参照。このことから、ZnO:Liqは、nドープ性を有することが示唆され、また、大気下安定であり、酸素に対して不安定であるというZnOの欠点がLiqによって改善されていると考えられる。さらに、ZnO:Liq層は、従来用いられている電子注入層の10倍程度の膜厚である10nmでも良好な電子注入特性を有しており、また、膜厚10nmでポリマーバインダーとしてPEOを用いた場合においても、同様に優れた電子注入特性を維持していることが認められた図14参照。なお、Naq、Lipp又はLibppでも同様の効果を奏することが認められた。"