"軌道面を有する内輪と、該内輪の軌道面に対向する軌道面を有する外輪と、前記内輪の軌道面と前記外輪の軌道面との間に転動自在に配置された複数の転動体とを備え、前記内輪及び前記外輪のうち少なくとも一方が鋼材を用いて製造された転がり軸受において、下記1~6の条件を満足することを特徴とする転がり軸受。1.前記鋼材は、炭素含有量が0.5質量以上かつCr,Mn,Si,Ni,Moの合金元素を任意に含み、オーステナイト単相域に加熱し徐冷した際に旧オーステナイト粒界に初析フェライトが析出しない過共析鋼である。2.前記鋼材は、以下の1式で定義されるDI値が1.0以上である。DI=D0×fSi×fMn×fNi×fCr×fMo...1ここで、D0=0.2×C0.14fSi=10.64×SifMn=14.1×MnfNi=10.52×NifCr=12.33×CrfMo=13.14×Mo但し、Cは炭素の質量、Mnはマンガンの質量、Niはニッケルの質量、Crはクロムの質量、Moはモリブデンの質量である。3.前記鋼材は、熱処理が高周波焼入れにより行われ、得られた前記内輪及び前記外輪のうち少なくとも一方の軌道面が下記4~6に規定する熱処理品質を有する。4.得られた前記内輪及び前記外輪のうち少なくとも一方の軌道面の有効硬化層深さHv550Yommが下記2式を満足する範囲にある。0.07Dw≦Yo≦0.07Dw5...2ここで、Dw:転動体の直径mm5.前記軌道面の表面硬さがHv650以上であるとともに、表面残留オーステナイトが12~40体積である。6.前記軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下である。前記転がり軸受が回転中に他部品と接触しうる前記内輪及び前記外輪のうち少なくとも一方の軌道面以外の表面全体が、高周波焼入れを含む熱処理により硬化され、その表面硬さがHv500以上であるとともに、Hv500以上に硬化されている部位が表面から0.1mm以上であることを特徴とする請求項1記載の転がり軸受。前記軌道面の硬化層のうち、硬さがHv650の部分とHv400の部分との間の深さ方向の硬さ勾配が、1000以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の転がり軸受。請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載の転がり軸受を製造するための転がり軸受の製造方法であって、球状化焼鈍された鋼材から得られた熱処理前の内輪及び外輪に対して、高周波加熱により軌道面のみを[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで加熱後冷却する焼きならし処理をする前処理を施し、次いで、前記軌道面が請求項1記載の熱処理品質を満足するように軸受断面の外周部全てについて[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで高周波加熱し焼入れ処理を施すことを特徴とする転がり軸受の製造方法。請求項4記載の転がり軸受の製造方法に用いられる高周波熱処理装置であって、前記内輪及び外輪のうち少なくとも一方の円周上に2個以上のコイルを部分的に配置し、前記コイルの一つ以上が軸受断面の外周部全てを加熱する環状コイルであり、前記コイルの他方が軌道面のみを加熱する平面コイルであることを特徴とする高周波熱処理装置。請求項4に記載の転がり軸受の製造方法により製造された転がり軸受であって、前記軌道面の残留オーステナイトが12~40体積であり、軸受内部に残留オーステナイトが0体積の部分を含み、かつ、嵌め合い面の残留オーステナイトが前記軌道面の残留オーステナイトよりも10体積以上低いことを特徴とする転がり軸受。ところで、高周波焼入れは、浸炭処理に比べると、焼入れされた表面部分と焼入れされない心部との境界領域の硬さ勾配が急激になるので、高い応力が作用する用途では強度の弱い内部に応力が作用して内部起点破壊いわゆるケースクラッシュが発生するという問題がある。つまり、産業用の転がり軸受は自動車用の転がり軸受等と比べて高い荷重が負荷される場合が多く、せん断応力は鋼の内部にまで作用するので、高周波焼入れを行った場合において、せん断応力が内部にまで作用することを考慮した硬さ勾配にする必要がある。ただし、せん断応力が内部にまで作用することを考慮した硬さ勾配にするため、必要以上に硬化層の深さを大きくすると、十分な靭性を得ることができない。ここで、特許文献1に記載された転がり軸受の内輪およびその熱処理方法においては、高周波焼入れによって軌道面に勾配を持った硬化層が付与され、さらに軌道面や内径面および心部の硬さについては規定されているが、内部起点破壊や割れを抑制するための硬さ勾配産業用の転がり軸受などの高い荷重が負荷される転がり軸受においてせん断応力が内部にまで作用することを考慮した硬さ勾配に関する記載はない。また、特許文献2に記載されたリング状部品の高周波熱処理方法及び装置においても、内部起点破壊や割れを抑制するための硬さ勾配に関する記載はない。一方、特許文献3に記載された高周波熱処理方法にあっては、高周波加熱して焼入れる焼入工程の前に、少なくとも1回、A3変態点を超えて、すなわち[セメンタイトオーステナイト]二相領域を超えてオーステナイト単相領域まで加熱することが行われている。しかし、軸受鋼には炭化物が分散しており、この炭化物がピン止め効果によって微細な組織を維持していることから、オーステナイト単相領域まで加熱すると、著しい粒成長が起こり、また、炭素が基地に過剰に固溶してしまい残留オーステナイトが過剰に残留し硬さが低下してしまう不都合がある。従って、汎用の軸受鋼に代表にされるような過共析鋼に高周波加熱を行う場合には、その保持温度は[セメンタイトオーステナイト]二相領域での加熱にとどめるべきである。一方、軸受鋼に高周波焼入れを行う場合には、前処理として調質処理焼入れ焼戻しや焼きならし処理を行うことが一般的である。これは、軸受鋼が、Crを多く含むこと、切削特性の向上を目的に球状化焼鈍されること、球状化炭化物にCrが濃化されることで高温加熱中の炭素の溶けだしを阻害すること、に起因している。炭化物中のCr濃度は500°C~A1変態点以下の温度域の保持時間に大きく左右されるため、空冷以上の速度で冷却すれば問題となるようなCrの再濃化は起こらない。従って、軸受鋼に高周波焼入れをする場合には、前処理として[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで加熱し、急冷及び焼戻し、あるいは空冷して、炭化物中のCr濃度を低下させ、続いて[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで高周波加熱して焼入れをすることが望ましい。また、特許文献4では、鋼材中のCr濃度を低下させる、高周波焼入れの前処理として、加熱温度がA1温度~900°Cである[セメンタイトオーステナイト]二相領域での加熱処理を行っている。しかしながら、加熱処理は炉内加熱で行われており、生産性の向上には限界がある。更に、特許文献5では、焼入れ処理の前に、前処理として、軌道面に存在する球状化炭化物組織の面積率が3以下になるまで、この軌道面を高周波加熱しているが、焼入れ処理を炉内加熱で行っており、特許文献4と同様に、生産性の向上には限界がある。ここで、前処理及び焼入れ処理にて炉内加熱が行われると、生産性の向上に限界がある他、熱処理変形が発生するという問題がある。熱処理変形は、後工程である研削時間に直接影響し、この熱処理変形はA1変態点を超えた回数とオーステナイト化した領域が大きくなるほど顕著になる。また、通常の軸受鋼を素材とした場合、2回の相変態が起こる場合があるため、オーステナイト化した領域は最低限に留めるべきであり、前処理及び焼入れ処理の双方の処理に高周波加熱が望ましい。更に、軸受では表面部を全て硬化させる必要があり、炉内加熱により前処理を施した場合、軌道面だけでなく嵌め合い面や端面でも残留オーステナトの量が多くなるという問題がある。軸受において、軌道面では残留オーステナイトは長寿命化に寄与するが、その他の部分では寸法変化の原因となり少ないほど望ましい。従って、本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、内部起点破壊や割れを抑制するための硬さ勾配を適切に規定するとともに、十分な靭性を得ることにより、内部起点破壊が生じにくく長寿命な転がり軸受、転がり軸受の製造方法、及びその製造方法に用いられる高周波熱処理装置を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明のうち請求項1に係る転がり軸受は、軌道面を有する内輪と、該内輪の軌道面に対向する軌道面を有する外輪と、前記内輪の軌道面と前記外輪の軌道面との間に転動自在に配置された複数の転動体とを備え、前記内輪及び前記外輪のうち少なくとも一方が鋼材を用いて製造された転がり軸受において、下記1~6の条件を満足することを特徴とする転がり軸受。1.前記鋼材は、炭素含有量が0.5質量以上かつCr,Mn,Si,Ni,Moの合金元素を任意に含み、オーステナイト単相域に加熱し徐冷した際に旧オーステナイト粒界に初析フェライトが析出しない過共析鋼である。2.前記鋼材は、以下の1式で定義されるDI値が1.0以上である。DI=D0×fSi×fMn×fNi×fCr×fMo...1ここで、D0=0.2×C0.14fSi=10.64×SifMn=14.1×MnfNi=10.52×NifCr=12.33×CrfMo=13.14×Mo但し、Cは炭素の質量、Mnはマンガンの質量、Niはニッケルの質量、Crはクロムの質量、Moはモリブデンの質量である。3.前記鋼材は、熱処理が高周波焼入れにより行われ、得られた前記内輪及び前記外輪のうちの少なくとも一方の軌道面が下記4~6に規定する熱処理品質を有する。4.得られた前記内輪及び前記外輪のうち少なくとも一方の軌道面の有効硬化層深さHv550Yommが下記2式を満足する範囲にある。0.07Dw≦Yo≦0.07Dw5...2ここで、Dw:転動体の直径mm5.前記軌道面の表面硬さがHv650以上であるとともに、表面残留オーステナイトが12~40体積である。6.前記軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下である。また、本発明のうち請求項2に係る転がり軸受は、請求項1記載の転がり軸受において、前記転がり軸受が回転中に他部品と接触しうる前記内輪及び前記外輪のうち少なくとも一方の軌道面以外の表面全体が、高周波焼入れを含む熱処理により硬化され、その表面硬さがHv500以上であるとともに、Hv500以上に硬化されている部位が表面から0.1mm以上であることを特徴としている。ここで、内輪及び外輪のうち少なくとも一方が製造される鋼材は、オーステナイト単相域に加熱し徐冷した際に旧オーステナイト粒界に初析フェライトが析出しない過共析鋼である。これにより、焼入れの際の加熱中の結晶粒の成長を防ぐことができる。過共析鋼であれば、基地を完全にオーステナイト化した際に炭化物が残存し、粒成長を防ぐことができる。また、鋼材の炭素含有量は0.5質量以上である。鋼材の合金成分が炭素のみの場合、共析組成は0.77質量であるが、合金元素の添加Cr,Mn,Si,Ni,Moの合金元素を任意に添加するすることにより、共析組成の炭素含有量は変化する。また、複数の合金元素が組み合わさった場合、Thermocalcを用いて計算で共析組成の炭素含有量を計算することができる。実験的には950°Cに加熱保持後、炉内で冷却した際に旧オーステナイト粒界に初析フェライトが析出しないことが確認された。炭素含有量の下限については焼入れ後の硬さは合金元素の種類や量にかかわらず炭素量に支配されるので、転がり軸受に必要な硬さHRC58以上を確保するために、0.5質量以上とした。更に、鋼材は、上記1式で定義されるDI値が1.0以上である。DI値は、焼入れ硬化特性を表す指標である。DI値が低い鋼を焼入れした場合、不完全焼入れ組織が発生し、硬度や転がり寿命に悪影響を与える。鋼材のDI値を変化させてそれぞれ焼入れしたときの不完全焼入れ組織について調査した。予備実験によると、不完全焼入れ組織の体積率が5を超えると硬さに悪影響が現れ始めるので、安全を見て不完全焼入れ組織の体積率が2以下の場合を良好なものとした。この結果、鋼材のDI値が1.0以上の場合には、不完全焼入れ組織の体積率が2以下であった。また、内輪及び外輪のうち少なくと一方の軌道面の有効硬化層深さHv550Yoを0.07Dw以上とすることにより、内部起点破壊や割れを抑制するための硬さ勾配産業用の転がり軸受などの高い荷重が負荷される転がり軸受においてせん断応力が内部にまで作用することを考慮した硬さ勾配を適切に規定し、長寿命となる。Yoを0.07Dw未満とすると、軌道面の有効硬化層深さが浅くなり、心部側に負荷される応力が材料の強度を上回り、内部起点破壊が生じる。また、軌道面の有効硬化層深さHv550Yoを0.07Dw5以下とすることにより、高靭性に必要な心部が得られる。Yoを0.07Dw5より大きくすると、靭性が低くなる。従って、軌道面の有効硬化層深さHv550Yommを上記2式を満足するとすることにより、内部起点破壊が生じにくく長寿命な転がり軸受を提供できる。また、軌道面の表面硬さがHv650以上であるとともに、表面残留オーステナイトが12~40体積であるので、表面起点による破壊が生じにくくなり、長寿命とすることができる。軌道面の表面硬さがHv650未満であると、表面起点による破壊が生じ易い。また、表面残留オーステナイトが12未満であっても、表面起点による破壊が生じ易い。また、表面残留オーステナイトが40体積よりも大きいと、焼き割れを発生する場合があるため、表面残留オーステナイトが40体積以下とする。更に、軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下であるので、良好な寿命及び耐衝撃性を得ることができる。当該結晶粒径が30μmよりも大きいと、結晶粒が粗大化したことにより材料強度が低下し、寿命の低下及び耐衝撃性の低下の起因となる。また、転がり軸受が回転中に他部品と接触しうる内輪及び外輪のうち少なくとも一方の軌道面以外の表面全体が、高周波焼入れを含む熱処理により硬化され、その表面硬さがHv500以上であるとともに、Hv500以上に硬化されている部位が表面から0.1mm以上であるので、他部品との接触による摩耗や、嵌合部のフレッチングなどが発生する環境下で使用されても長寿命な転がり軸受とすることができる。また、本発明のうち請求項3に係る転がり軸受は、請求項1又は2記載の転がり軸受において、前記軌道面の硬化層のうち、硬さがHv650の部分とHv400の部分との間の深さ方向の硬さ勾配が、1000以下であることを特徴としている。これにより、軌道面における硬化層の硬さ勾配が、内輪や外輪に作用するせん断応力の分布せん断応力の勾配よりも緩やか、または同程度となるので、寿命と高靭性の両立を図ることができる。また、本発明のうち請求項4に係る転がり軸受の製造方法は、請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載の転がり軸受を製造するための転がり軸受の製造方法であって、球状化焼鈍された鋼材から得られた熱処理前の内輪及び外輪に対して、高周波加熱により軌道面のみを[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで加熱後冷却する焼きならし処理をする前処理を施し、次いで、前記軌道面が請求項1記載の熱処理品質を満足するように軸受断面の外周部全てについて[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで高周波加熱し焼入れ処理を施すことを特徴としている。これにより、軌道面の組織状態が良好不完全焼入れ組織がなく、表面残留オーステナイトが12~40体積となり、軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下であるな内輪及び外輪を有する転がり軸受が得られる。なお、前処理及び焼入れ処理共に高周波加熱としているので、生産性に優れると共に、軸受の熱処理による寸法変形が小さく、軸受の嵌め合い面及び端面の残留オーステナイトが多くなるのを回避することができる。また、本発明のうち請求項5に係る高周波熱処理装置は、請求項4記載の転がり軸受の製造方法に用いられる高周波熱処理装置であって、前記内輪及び外輪の円周上に2個以上のコイルを部分的に配置し、前記コイルの一つ以上が軸受断面の外周部全てを加熱する環状コイルであり、前記コイルの他方が軌道面のみを加熱する平面コイルであることを特徴としている。この高周波熱処理装置を用いることにより、請求項4に記載した転がり軸受の製造方法を適切に実現することができる。つまり、軌道面のみを加熱する平面コイルを主体に軌道面のみに前処理を行い、軸受断面の外周部全てを加熱する環状コイルにより軸受断面の外周部全てについて焼入れ処理を行い、軌道面のみの硬化層を厚くし、軌道面の組織状態が良好不完全焼入れ組織がなく、表面残留オーステナイトが12~40体積となり、軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下であるな内輪及び外輪を有する転がり軸受を得ることができる。種々のコイル形状の中で、ワーク断面を全て囲むようにコイルを配置する環状コイルは均一加熱に適したコイルとして実用化されているが、硬化層深さに対するコイルギャップの依存性が少なく、コアなどを使用しても軌道面のみの硬化層を厚くするような微調整が難しい。これに対して、軌道面のみを加熱する平面コイルにより軌道面のみに前処理を行い、軸受断面の外周部全てを加熱する環状コイルにより軸受断面の外周部全てについて焼入れ処理を行うことで、軌道面のみの硬化層を容易に厚くすることができる。更に、本発明のうち請求項6に係る転がり軸受は、請求項4に記載の転がり軸受の製造方法により製造された転がり軸受であって、前記軌道面の残留オーステナイトが12~40体積であり、軸受内部に残留オーステナイトが0体積の部分を含み、かつ、嵌め合い面の残留オーステナイトが前記軌道面の残留オーステナイトよりも10体積以上低いことを特徴としている。これにより、寸法変化が小さく浸炭軸受と同レベルの寸法安定性を確保した転がり軸受とすることができる。本発明に係る転がり軸受、転がり軸受の製造方法、及びその製造方法に用いられる高周波熱処理装置によれば、内部起点破壊や割れを抑制するための硬さ勾配を適切に規定するとともに、十分な靭性を得ることにより、内部起点破壊が生じにくく長寿命な転がり軸受、転がり軸受の製造方法、及びその製造方法に用いられる高周波熱処理装置を提供できる。以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は、本発明に係る転がり軸受の一実施形態である円筒ころ軸受の部分断面図である。図1に示す円筒ころ軸受1は、産業用の転がり軸受、特に外輪の外径が180mm以上の大型の転がり軸受、例えば製鉄業の圧延機や風車等に用いられる。この円筒ころ軸受1は、軌道面11aを外周側に有する内輪11と、内輪11の軌道面11aに対向する軌道面12aを内周側に有する外輪12と、内輪11の軌道面11aと外輪12の軌道面12aとの間に転動自在に配置された複数の転動体円筒ころ13とを備えている。そして、内輪11と外輪12との間には、転動体13を保持する保持器14が備えられている。両軌道面11a,12aと転動体13の転動面13aとの間の潤滑は、グリース、潤滑油等の潤滑剤図示せずにより行われている。なお、保持器14は備えていなくてもよい。また、円筒ころ軸受1は、シール、シールド等の密封装置図示せずを備えていてもよい。ここで、内輪11及び外輪12の双方は、鋼材を用いて製造されている。この鋼材は、炭素含有量が0.5質量以上かつCr,Mn,Si,Ni,Moの合金元素を任意に含む、過共析鋼である。過共析鋼とは、平衡状態図で定義される共析組成以上の炭素鋼であり、実験的には、オーステナイト単相域に加熱し徐冷した際に旧オーステナイト粒界に初析フェライトが析出しない鋼である。この鋼材において、炭素含有量が0.5質量以上である。鋼材の合金成分が炭素のみの場合、共析組成は0.77質量であるが、合金元素の添加Cr,Mn,Si,Ni,Moの合金元素を任意に添加するすることにより、共析組成の炭素含有量は変化する。炭素含有量の下限を0.5質量としたのは、転がり軸受に必要な硬さHRC58以上を確保するためである。一方、炭素含有量が2質量を超えると、素材の製造過程においてオーステナイト単相とすることができず、初晶セメンタイトが残存し、寿命に悪影響を及ぼすことが懸念されるから、炭素含有量の上限は2質量とすることが好ましい。また、この鋼材において、Crの含有量は、4質量以下とすることが好ましい。Crは、焼入れ性を確保する重要な元素であり、軸受鋼には通常1~1.5質量含まれる。一方で、含有量が4質量を超えると、溶製時に巨大な炭化物を生成しやすくなり、転がり疲労特性を劣化させる原因となりやすいため、Cr含有量の上限値を4質量とすることが好ましい。また、この鋼材において、Mnの含有量は、2質量以下とすることが好ましい。Mnは、焼入れ性を確保する元素であり、軸受鋼にも通常1質量含まれる。一方で、添加が過剰になると、残留オーステナトの生成が過剰となり、硬さを得にくくなるため、Mn含有量の上限値を2質量とすることが好ましい。更に、この鋼材において、Siの含有量は、2質量以下とすることが好ましい。Siは焼戻し軟化抵抗性を付与できる元素であり、転がり疲労に対して有効な元素である。ただし、フェライトの硬化能が高く、球状化焼鈍時に硬度を低下させにくいという欠点も有する。従って、生産性を考慮してSi含有量の上限値を2質量とすることが好ましい。また、この鋼材において、Niの含有量は、3.5質量以下とすることが好ましい。Niは焼入れ性を確保する元素であり、軸受鋼に不足する靭性を向上させる有効な元素である。ただし、高価な元素であるため、経済性を考慮して、Ni含有量の上限値を3.5質量とすることが好ましい。更に、この鋼材において、Moの含有量は、1.5質量以下とすることが好ましい。Moは焼入れ性を確保する元素であり、共析組成を低炭素側に移動させる重要な元素である。一方で、Niと同様に高価な元素であるため、経済性を考慮して、Mo含有量の上限値を1.5質量5とすることが好ましい。また、鋼材は、以下の1式で定義されるDI値が1.0以上である。DI=D0×fSi×fMn×fNi×fCr×fMo...1ここで、D0=0.2×C0.14fSi=10.64×SifMn=14.1×MnfNi=10.52×NifCr=12.33×CrfMo=13.14×Mo但し、Cは炭素の質量、Mnはマンガンの質量、Niはニッケルの質量、Crはクロムの質量、Moはモリブデンの質量である。このように、DI値が1.0以上としたのは、次の理由による。即ち、DI値は、焼入れ硬化特性を表す指標である。DI値が低い鋼を焼入れした場合、不完全焼入れ組織が発生し、硬度や転がり寿命に悪影響を与える。このため、DI値を1.0以上とした。後述するように、鋼材のDI値が1.0以上の場合には、不完全焼入れ組織の体積率が2以下であり、良好な結果が得られている。また、転動体13は、SUJ3等の軸受鋼で構成されている。また、内輪11及び外輪12の鋼材は、熱処理が高周波焼入れにより行われ、得られた内輪及び外輪の軌道面11a,12aが下記1~3に規定する熱処理品質を有している。1.内輪11及び外輪12の軌道面11a,12aの有効硬化層深さHv550Yommが下記2式を満足する範囲に調整される。0.07Dw≦Yo≦0.07Dw5...2ここで、Dw:転動体の直径mmこのように、軌道面11a,12aの有効硬化層深さHv550Yommを0.07Dw以上とすることにより、内部起点破壊や割れを抑制するための硬さ勾配産業用の転がり軸受などの高い荷重が負荷される転がり軸受においてせん断応力が内部にまで作用することを考慮した硬さ勾配を適切に規定し、長寿命の円筒ころ軸受1とすることができる。ここで、軌道面11a,12aの有効硬化層深さHv550を0.07Dw未満とすると、軌道面11a,12aの有効硬化層深さが浅くなり、心部側に負荷される応力が材料の強度を上回り、内部起点破壊が生じる。また、軌道面11a,12aの有効硬化層深さHv550Yommを0.07Dw5以下とすることにより、高靭性に必要な心部が得られる。軌道面11a,12aの有効硬化層深さHv550Yoを0.07Dw5より大きくすると、心部の靭性が低くなる。これにより、内部起点破壊が生じにくく長寿命な円筒ころ軸受1を提供できる。2.軌道面11a,12aの表面硬さがHv650以上であるとともに、表面残留オーステナイトが12~40体積である。これにより、表面起点による破壊が生じにくくなり、長寿命とすることができる。軌道面11a,12aの表面硬さがHv650未満であると、表面起点による破壊が生じ易い。また、表面残留オーステナイトが12体積未満であっても、表面起点による破壊が生じ易い。また、表面残留オーステナイトが40体積よりも大きいと、焼き割れを発生する場合があるため、表面残留オーステナイトが40体積以下とする。3.軌道面11a,12aの旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下である。これにより、良好な寿命及び耐衝撃性を得ることができる。当該結晶粒径が30μmよりも大きいと、結晶粒が粗大化したことにより材料強度が低下し、寿命の低下及び耐衝撃性の低下の起因となる。また、円筒ころ軸受1が回転中に他部品と接触しうる内輪11及び外輪12のうち少なくとも一方の軌道面11a,12a以外の表面全体内輪11の内径面15、内輪11の端面17、外輪12の端面17、外輪12の外径面16が、高周波焼入れを含む熱処理により硬化され、その表面硬さがHv500以上であるとともに、Hv500以上に硬化されている部位が表面から0.1mm以上であることが好ましい。これにより、他部品との接触による摩耗や、嵌合部のフレッチングなどが発生する環境下で使用されても長寿命な円筒ころ軸受1とすることができる。なお、図1に示すように、外輪12のつば内周18側や、図2に示すように、円錐ころ軸受の内輪21のつば端部22など、転がり軸受の回転中にシール等の他部品と接触が起こり得ない部分においては、摩耗やフレッチングが発生しないため、表面硬化せずとも構わない。また、内輪11及び外輪12のうち少なくとも一方の心部の硬さはHv500以下が好ましく、特にHv300以下であると、より良好な靭性を得ることができる。また、内輪11の軌道面11a及び外輪12の軌道面12aのうち少なくとも一方を除いた円筒ころ軸受1における全表面の旧オーステナイトの結晶粒度を30μm以下にすることが好ましい。これにより、良好な耐衝撃性を得ることができる。更に、軌道面11a,12aにおける硬化層のうち、硬さがHv650の部分とHv400の部分との間の深さ方向の硬さ勾配を、1000以下とすることが好ましい。これにより、軌道面11a,12aにおける硬化層の硬さ勾配が、内輪11や外輪12に作用するせん断応力の分布せん断応力の勾配よりも緩やか、または同程度となるので、寿命と高靭性の両立を図ることができる。次に、図1に示す転がり軸受1の製造方法、即ち熱処理方法について説明する。先ず、当該熱処理方法に用いられる高周波熱処理装置について説明すると、図3に示すように、内輪11及び外輪12図3では内輪のみ図示の円周上に、軸受断面の外周部全てを加熱する1つの環状コイル30と、軌道面のみを加熱する1つの平面コイル31とを配置している。つまり、1つのワークである内輪11等に対して、役割の異なる環状コイル30と平面コイル31とを配置している。ここで、環状コイル30の巻き数は、ワークである内輪11及び外輪12に依存する。これら環状コイル30及び平面コイル31は、1対でなくてもよく、ワークサイズに応じて数を増加することができる。次に、熱処理方法について述べると、先ず、ワークである球状化焼鈍された鋼材から得られた熱処理前の内輪11外輪12を図3に示す高周波処理装置の複数のロール32上に置き、ローラ32を回転させて当該内輪11外輪12をローラ32上を回転させつつ、軌道面11a,12aのみを高周波加熱し、[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで加熱し、その後、冷却する焼きならし処理前処理を行う。軌道面11a,12aのみの高周波加熱に際しては、平面コイル31を主体に加熱する。軌道面11a,12a以外の部分がA1点を越えない範囲では環状コイル30を補助として用いてもよい。ここで、冷却に際しては、空冷以下の冷却速度にてマルテンサイトの体積率50以下となるように冷却することが好ましい。また、この前処理において、[セメンタイトオーステナイト]二相領域に加熱する際、セメンタイトは体積率で3以上残存させることが好ましい。次いで、内輪11外輪12をローラ32上を回転させつつ、軌道面11a,12aが上記1~3に規定する熱処理品質を満足するように軸受断面の外周部全てについて[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで高周波加熱し焼入れ処理を施す。この焼入れ処理に際しては、環状コイル30および平面コイル31を同時に用いてワークである内輪11外輪12の軸受断面の外周部全てについて高周波焼入れを行う。これにより、軌道面11a,12aのうち少なくとも一方の組織状態が良好不完全焼入れ組織がなく、表面残留オーステナイトが12~40体積となり、軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下であるな内輪11及び外輪12を有する転がり軸受1が得られる。なお、前処理及び焼入れ処理共に高周波加熱としているので、生産性に優れると共に、内輪11及び外輪12のうち少なくとも一方の熱処理による寸法変形が小さく、内輪11及び外輪12のうち少なくとも一方の嵌め合い面及び端面の残留オーステナイトが多くなるのを回避することができる。なお、軌道面11a,12aの組織状態が良好であれば、焼きならし処理を省略することもできる。なお、DI値と不完全焼入れ組織の発生は関連があるが、不完全焼入れ組織の発生には冷却材依存性もあることが知られている。高周波焼入れでは、水湯を主たる冷却剤としているため、油焼入れよりも一般に冷却速度が早いが、急速な冷却は特に高炭素鋼で焼割れを誘発することがあるため、冷却速度調整剤としてポリマーを混ぜて使用する。そして、当該熱処理方法に用いられる高周波熱処理装置は、内輪11及び外輪12のうち少なくとも一方の円周上に2個以上のコイルを部分的に配置し、コイルの一つ以上が軸受断面の外周部全てを加熱する環状コイル30であり、コイルの他方が軌道面のみを加熱する平面コイル31である。この高周波熱処理装置を用いることにより、軌道面11a,12aのみを加熱する平面コイル31を主体に軌道面のみに前処理を行い、軸受断面の外周部全てを加熱する環状コイル30と平面コイルの同時使用により軸受断面の外周部全てについて焼入れ処理を行い、軌道面11a,12aのみの硬化層を厚くし、軌道面11a,12aの組織状態が良好不完全焼入れ組織がなく、表面残留オーステナイトが12~40体積となり、軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下であるな内輪及び外輪のうちの少なくとも一方を有する転がり軸受を得ることができる。種々のコイル形状の中で、ワーク断面を全て囲むようにコイルを配置する環状コイルは均一加熱に適したコイルとして実用化されているが、硬化層深さに対するコイルギャップの依存性が少なく、コアなどを使用しても軌道面のみの硬化層を厚くするような微調整が難しい。これに対して、軌道面11a,12aのみを加熱する平面コイル31を使用することにより、軌道面11a,12aのみの硬化層を容易に厚くすることができる。また、平面コイル31を用いて軌道面11a,12aに前処理を行うと、より容易に良好な品質が確保できる。また、前述した転がり軸受の製造方法により製造された転がり軸受は、軌道面11a,12aの残留オーステナイトが12~40体積であるのみならず、軸受内輪11、外輪12の内部に残留オーステナイトが0体積の部分を含み、かつ、嵌め合い面の残留オーステナイトが軌道面11a,12aの残留オーステナイトよりも10体積低いことが好ましい。これにより、寸法変化が小さく浸炭軸受と同レベルの寸法安定性を確保した転がり軸受1とすることができる。更に、内輪11及び外輪12の軌道面11a,12aのうち少なくとも一方の有効硬化層深さHv550Yommの1/4深さまでの領域の不完全焼入れ組織の体積率が2以下であることが、組織変化部からのはく離防止のためには望ましい。なお、DI値と不完全焼入れ組織の発生は関連があるが、不完全焼入れ組織の発生には冷却材依存性もあることが知られている。高周波焼入れでは、水湯を主たる冷却剤としているため、油焼入れよりも一般に冷却速度が早いが、急速な冷却は特に高炭素鋼で焼割れを誘発することがあるため、冷却速度調整剤としてポリマーを混ぜて使用する。以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに種々の変更、改良を行うことができる。例えば、転がり軸受の例として円筒ころ軸受を挙げて説明したが、これに限定されず、本発明は他の種類の転がり軸受に対しても適用することができる。例えば、深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受、自動調心玉軸受、自動調心ころ軸受、円錐ころ軸受、針状ころ軸受などのラジアル形の転がり軸受や、スラスト玉軸受、スラストころ軸受などのスラスト形の転がり軸受に本発明を適用することができる。本実施形態の円筒ころ軸受1とほぼ同様の構成の円筒ころ軸受呼び番号:NU2210ET、ころ径Dw:11mmを用意して、その寿命を評価した。但し、本発明は外輪の外径が180mm以上である産業用の大型軸受に好適であるので、大型軸受の平均的な肉厚を再現するために、内輪の内径は30mm、外径は60mm、肉厚径方向の厚みは15mmとした。先ず、試験に用いた円筒ころ軸受の製造方法について説明する。内輪は、SUJ3製の球状化焼鈍材を粗加工することによって所定の形状に成形した後、高周波焼入れ及び焼戻しを施し、さらに研磨などの後加工を施すことによって内輪を完成した。高周波焼入れの条件は、周波数5~100kHz、加熱時間5~200秒、ワーク回転速度20~100min-1である。また、焼戻し条件は、180°Cに2時間保持した後、放冷するというものである。このようにして得られた内輪と、SUJ2製の一般的な外輪とを組み立てて円筒ころ軸受を製造した。このように製造された円筒ころ軸受の回転試験を、潤滑剤に異物混入のない清浄な潤滑環境下以後、清浄潤滑環境下と称す及び潤滑剤に異物が混入している潤滑環境下以後、異物混入潤滑環境下と称すのそれぞれで行い、剥離が生じるまでの時間を測定した。そして、1種の軸受につき7個の回転試験を行ってワイブルプロットを作成し、ワイブル分布の結果からL10寿命を求め、これを寿命とした。結果実施例1~12及び比較例1~7の寿命を表1及び表2に示す。寿命は、それぞれの潤滑環境下での比較例3ずぶ焼入れの寿命を1.0とした場合の相対値L10寿命比で示してある。回転試験の条件は下記の通りである。A.清浄潤滑環境下での回転試験の条件ラジアル荷重:50kNP/C=0.6回転速度:1000min-1潤滑油:ISO粘度グレードがISOVG68である潤滑油B.異物混入潤滑環境下での回転試験の条件ラジアル荷重:25kNP/C=0.3回転速度:1000min-1潤滑油:ISO粘度グレードがISOVG68である潤滑油異物:潤滑剤中に異物を混入する代わりに、内輪の軌道面の幅方向中央にロックウェル硬度計にて8点の疑似圧痕を形成実施例1~12及び比較例1~2、5は、内輪に上記のような高周波焼入れをしたもの、比較例3、6は、内輪を、SUJ3製の球状化焼鈍材を粗加工によって所定の形状に成形した後にずぶ焼入れをして形成したもの、比較例4、7は、内輪を、SUJ3製の球状化焼鈍材を粗加工によって所定の形状に成形した後に浸炭処理したものである。実施例1~12及び比較例1~7の熱処理品質軌道面の有効硬化層深さHv550Yo、軌道面の表面硬さ、軌道面における残留オーステナイトγR、及び軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径について表1及び表2に示す。また、比較例1及び実施例1の硬さプロファイル、及び50kNP/C=0.6のラジアル荷重を付与した際に生じるせん断応力を耐久硬さに変換した耐久硬さプロファイルを図4に示す。表1、表2及び図4に示す、有効硬化層深さHv550Yo、硬さプロファイル、及び表面硬さはビッカース硬度計にて測定した。また、残留オーステナイトγRの測定はX線解析法により解析した。その際、内輪の表面軌道面を電界研磨して加工影響層を取り除いて測定を行った。更に、内輪を切断してその切断面を鏡面加工仕上げ及び腐食処理を行った後、切断面の顕微鏡観察により軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径の測定を行った。先ず、潤滑環境下での回転試験の結果について表1及び図4乃至図6を参照して説明する。実施例1については軌道面の有効硬化層深さHv550Yommが、表1及び図5に示すように、0.9mmであり、本発明のYommの下限値0.07Dwころ径Dw=11mmを上回っている。これに対して、比較例1については軌道面の有効硬化層深さHv550Yommが0.7mmであり、Yoの下限値0.07Dwころ径Dw=11mmを下回っている。このため、比較例1については、表1及び図5に示すように、L10寿命比が0.6と短寿命となった。この理由は、比較例1につき軌道面の有効硬化層深さHv550Yoが浅かったため、図4に示すように、心部側に負荷される応力が素材の硬さを上回り、内部からの破壊が生じたためと考えられる。なお、実施例2~10については、軌道面の有効硬化層深さHv550Yommが1.5mm以上であり、内部からの破壊が認められず、L10寿命比が2.5以上と長寿命となった。これにより、内部からの破壊を十分に抑制するためには、負荷される応力よりも素材の硬さの方が大きいという関係を満たす必要があり、本発明の軌道面の有効硬化層深さHv550Yommの下限値0.07Dwが必要であることがわかった。次に、図6に示すように、軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以上になると、急激に短寿命化することがわかる。比較例2の場合、表1及び図6に示すように、当該結晶粒径が33μmであり、L10寿命比が0.2と急激に短寿命化している。この結晶粒径が30μm以上になると、結晶粒が粗大化し、これにより材料強度が低下するためと考えられる。なお、比較例3の場合、熱処理がずぶ焼入れである。また、比較例4の場合、熱処理が浸炭処理であり、実施例1~10と同様に、長寿命である。次に、異物混入潤滑環境下での回転試験の結果を表2及び図7を参照して説明する。残留オーステナイトは異物混入潤滑環境下での長寿命化に有効であり、表2及び図7に示すように、実施例11、12は残留オーステナイト量が12体積を超えており、L10寿命比が2.5以上で長寿命となった。比較例5の場合、表2及び図7に示すように、残留オーステナイト量が10体積であり、L10寿命比が0.8で短寿命であった。次に、靭性を評価するための圧砕試験を行った。ワイヤーカットにより内輪の軌道面に深さ1mまで予亀裂を形成し、予亀裂の伸びる方向を水平にして内輪を圧砕試験装置に装着し、上方から荷重を負荷し内輪を圧縮した。そして、予亀裂からクラックが伝播した荷重を圧砕強度とした。実施例13、14及び比較例8は、内輪に上記のような高周波焼入れをしたもの、比較例9は、内輪を、SUJ3製の球状化焼鈍材を粗加工によって所定の形状に成形した後にずぶ焼入れをして形成したもの、比較例11は、内輪を、SUJ3製の球状化焼鈍材を粗加工によって所定の形状に成形した後に浸炭処理したものである。実施例13、14及び比較例8、9の熱処理品質軌道面の有効硬化層深さHv550Yo、軌道面の表面硬さ、軌道面における残留オーステナイトγR、及び軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径及び試験結果について表3及び図7に示す。圧砕強度は、比較例9ずぶ焼入れの圧砕強度を1.0とした場合の相対値圧砕強度比で示してある。圧砕試験の結果、実施例13、14については軌道面の有効硬化層深さHv550Yommが、表3及び図8に示すように、それぞれ2.1mm、5.3mmであり、本発明のYommの上限値0.07Dw5ころ径Dw=11mmを下回っている。これに対して、比較例8については軌道面の有効硬化層深さHv550Yoが6.8mmであり、Yommの上限値0.07Dw5ころ径Dw=11mmを上回っている。このため、比較例8については、表3及び図8に示すように、圧砕強度比が1.2と短寿命となった。この理由は、圧砕強度に影響を及ぼす因子としては高靭性の心部の存在が考えられ、この高靭性の心部の割合の影響により圧砕強度が決定するものと考えられており、比較例8のように、軌道面の有効硬化層深さHv550Yommが上限値0.07Dw5を上回ると、高靭性の心部の割合が少なくなると考えられるからである。次に、ころ径Dw:11mmの円筒ころ軸受からころ径Dwを変えた円筒ころ軸受呼び番号:NU2326EM、ころ径Dw:40mmを用意し、上記NU2210ETと同様に高周波焼入れ及び焼戻しを施して内輪を製作し、清浄潤滑環境下にて回転試験を行った。製造した内輪実施例15~17及び比較例11、12の熱処理品質軌道面の有効硬化層深さHv550Yomm、軌道面の表面硬さ、軌道面における残留オーステナイトγR、及び軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径と試験結果について表4及び図9に示す。なお、試験結果である寿命は、清浄潤滑環境下でずぶ焼入れした比較例3の寿命を1.0とした場合の相対値L10寿命比で示してある。表4及び図9を参照すると、ころ径Dwを11mmから40mmに変化させた場合であっても、軌道面の有効硬化層深さHv550Yommが下限値0.07Dw以上であれば、L10寿命比が2.0以上となることがわかった。次に、鋼材のDI値を変化させた鋼種に対して焼入れをしたときの不完全焼入れ組織の発生状況を確認した。本調査では、表5に示すDI値及び合金成分を有するSUJ2~SUJ5、鋼種A~C、SK5の鋼種につき、厚さ15mm、φ60mmの円板試料を用意し、840°Cにて1時間保持した後、60°Cでの油中に焼入れを行い、不完全焼入れ組織の発生状況を確認した。その結果を表5に示す。DI値は、焼入れ硬化特性を表す指標である。DI値が低い鋼を焼入れした場合、不完全焼入れ組織が発生し、硬度や転がり寿命に悪影響を与える。予備実験によると、不完全焼入れ組織の体積率が5を超えると硬さに悪影響が現れ始めるので、安全を見て不完全焼入れ組織の体積率が2以下の場合を良好なものとした。いずれの試料も計算上は過共析鋼であり、950°Cからの徐冷組織に初析フェライトは認められなかった。また、DI値が2.2~4.9までのSUJ2DI値4.9、SUJ3DI値8.2、SUJ4DI値7.3、SUJ5DI値13.1、鋼種A3.4及び鋼種BDI値2.2については、いずれも不完全焼入れ組織がなかった。更に、SK5DI値0.7、鋼種CDI値1.1では不完全焼入れ組織の発生が認められるが、鋼種Cでは不完全焼入れ組織の体積率が1であり、機械的な特性に影響はない。従って、DI値が1.0以上の鋼材であれば、不完全焼入れ組織の少ない良好な鋼材であることがわかる。次に、下記寸法を有する呼び番号:NU2326の内輪について、下記A~Cの熱処理をそれぞれ行った場合の内輪の真円度について調査した。内輪の寸法内径:130mm外径:167mm幅:90mm熱処理方法A:前処理として炉加熱による焼ならし→焼入れ処理として高周波焼入れB:前処理として高周波加熱による内外径表面焼ならし→焼入れ処理として高周波焼入れC:前処理として高周波加熱による軌道面のみの焼ならし→焼入れ処理として高周波焼入れ高周波焼入れは、上記A~Cのそれぞれについて、硬化層深さが軌道面4.2mm、嵌め合い面1.5mmとなるように熱処理を行った。焼入れ後は速やかに200°Cにて焼戻し処理を行った。その結果を図10に示す。図10を参照すると、熱処理方法がAの場合の真円度≒熱処理方法がBの場合の真円度>熱処理方法がCの場合の真円度となっており、熱処理方法がCの場合、即ち、前処理として高周波加熱による軌道面のみの焼きならしを行った場合の熱処理変形量削減効果が大きいことがわかる。また、上記寸法を有する呼び番号:NU2326の内輪について、上記A~Cの熱処理をそれぞれ行った場合の、内輪の軌道面の残留オースステナイト量、内輪内部の残留オーステナイト量の最低値、内輪の嵌め合い面の残留オーステナイト量、内輪の平均残留オーステナイト量、及び200°Cで300時間保持した際の寸法変化率について調査した。この結果を表6に示す。表6を参照すると、熱処理方法がAの場合の寸法変化率≒熱処理方法がBの場合の寸法変化率>熱処理方法がCの場合の寸法変化率となっており、残留オーステナイトによる耐表面疲労特性を維持したまま寸法変化しにくい軸受とするためには、熱処理方法がCの場合、即ち、前処理として高周波加熱による軌道面のみの焼きならしを行った場合が最適であることがわかる。次に、表6の結果をもとに、熱処理方法Cを用いて、軌道面の残留オーステナイト量を12体積以上確保し、なおかつ非焼入れ部の心部が残存するように高周波熱処理条件を微調整した呼び番号:NU2326の内輪の寸法安定性を評価した。その評価結果を表7に示す。表7において、比較例13は熱処理を浸炭焼き入れしたもの、比較例14は熱処理が高周波焼入れ、軌道面の残留オーステナイトが20体積であり、軸受心部の残留オーステナイトが0体積であるが、嵌め合い面の残留オーステナイトが14体積であり、嵌め合い面の残留オーステナイトが軌道面の残留オーステナイトよりも6体積低いものである。表7を参照すると、実施例18~21においては、熱処理が高周波焼入れ、軌道面の残留オーステナイトが15~28体積であり、軸受心部の残留オーステナイトが0体積であり、嵌め合い面の残留オーステナイトが5~11体積であり、嵌め合い面の残留オーステナイトが軌道面の残留オーステナイトよりも10~21体積低い。この場合、内輪の寸法変化率が0.04~0.05と比較例13における内輪の寸法変化率と同程度に低いことがわかる。一方、比較例14においては、嵌め合い面の残留オーステナイトが軌道面の残留オーステナイトよりも6体積低いもので、この場合、内輪の寸法変化率が0.07と大きい。従って、軌道面の残留オーステナイトが12~40体積であり、軸受内部に残留オーステナイトが0体積の部分を含み、かつ、嵌め合い面の残留オーステナイトが軌道面の残留オーステナイトよりも10体積以上低いことにより、内輪の寸法安定性を浸炭焼入れした内輪の寸法安定性と同程度に確保できることがわかる。次に、前処理の有無と熱品質処理に及ぼす鋼種の影響について平板試料を用いて検証を行った。その結果を表8に示す。本発明では、異物混入潤滑環境下での長寿命を目指しており、残留オーステナイト量を比較例17に示すずぶ焼鋼よりも大きく、即ち、表8に示すように、軌道面の残留オーステナイトを11体積以上とする必要がある。表8からわかるように、同一鋼種SUJ2~5、鋼種A、B、C:各鋼種の合金成分は表5に示すとおりであるにおいて、前処理として焼きならしを行うと、軌道面の残留オーステナイト量が増加するとともに、軌道面の旧オーステナイト粒径が微細化する傾向にあることがわかる。特にCrを多く含むSUJ2~SUJ5では、前処理として焼きならしを行わないと、軌道面の残留オーステナイトが確保しにくいことがわかる。SUJ2で前処理としての焼きならしを行わない場合、軌道面の残留オーステナイトが7体積と低い比較例15、また、SUJ4で前処理としての焼きならしを行わない場合、軌道面の残留オーステナイトが6体積と低い比較例16。従って、本発明においては、前処理として焼きならしを行う実施例22、24、25、27、29、31、33。但し、SUJ3やSUJ5などは表5に示すとおりCr含有量が1質量近傍に抑えられており、オーステナイト安定化元素であるMnを多く含む軸受鋼では前処理として焼きならしを行わなくても軌道面の残留オーステナイトが確保できる場合には必ずしも焼きならしを行わなくてもよい実施例23、26。また、鋼種A~CのようにCr量が少ない鋼種では、前処理として焼きならしを行う必要は必ずしもない実施例28、30、32。従って、表8からもわかるように、球状化焼鈍された鋼材から得られた熱処理前の内輪及び外輪のうち少なくとも一方に対して、高周波加熱により軌道面のみを[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで加熱後冷却する焼きならし処理をする前処理を施し、次いで、軌道面が請求項1記載の熱処理品質を満足するように軸受断面の外周部全てについて[セメンタイトオーステナイト]二相領域まで高周波加熱し焼入れ処理を施すことにより、軌道面の組織状態が良好不完全焼入れ組織がなく、表面残留オーステナイトが12~40体積となり、軌道面の旧オーステナイトの結晶粒径が30μm以下であるな内輪及び外輪を有する転がり軸受が得られる。なお、前処理における軌道面の焼きならしでの冷却速度は空冷以上の緩やかな冷却が望ましい。具体的には、マルテンサイト体積率が50以下となるように冷却することが望ましい。また、最高加熱温度は球状化炭化物の量によって決定され、球状化炭化物の体積率が3以上残存する温度とする。これは、これ以上炭化物が減ると結晶粒が部分的に粗大化する場合があるためである。"