"有機性薬品含有排水を逆浸透膜装置4に通水し、該逆浸透膜装置4で分離された透過液を生物処理し、前記逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を回収し、前記有機性薬品がジメチルスルホキシドであることを特徴とする有機性薬品含有排水の処理方法。逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を、さらに蒸発濃縮して回収する請求項1記載の有機性薬品含有排水の処理方法。有機性薬品含有排水を通水して濃縮液と透過液とに分離する逆浸透膜装置4と、前記逆浸透膜装置4で分離された透過液を生物処理するための生物処理装置6とからなり、前記有機性薬品がジメチルスルホキシドであることを特徴とする有機性薬品含有排水の処理装置。逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を、さらに蒸発濃縮する蒸発濃縮装置19が、前記逆浸透膜装置4の後段側に設けられている請求項3記載の有機性薬品含有排水の処理装置。このような生物処理方法によれば、DMSOを好適に分解することはできるが、DMSOの濃度が高くなり、或いは排水量が増加すると、その分生物処理槽にかかる負荷が増大することとなる。そして、このように生物処理槽にかかる負荷が増大する結果、処理する生物処理槽も大型化し、設置スペースも要することとなり、さらに処理に消費されるエネルギーも増大することとなる。また、余剰汚泥も増加することとなる。本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、生物処理槽にかかる負荷を著しく低減することができ、その分、生物処理槽の小型化を図れ、設置スペースも減少させることができ、消費エネルギーや余剰汚泥量を低減させることができ、しかもDMSO等の排水に含有されている有機性薬品を再利用させることを課題とする。本発明は、このような課題を解決するために、有機性薬品含有排水の処理方法とその装置としてなされたもので、有機性薬品含有排水の処理方法の特徴は、有機性薬品含有排水を逆浸透膜装置4に通水し、該逆浸透膜装置4で分離された透過液を生物処理し、前記逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を回収することである。また、前記有機性薬品がジメチルスルホキシドである。また、有機性薬品含有排水の処理装置としての特徴は、有機性薬品含有排水を通水して濃縮液と透過液とに分離する逆浸透膜装置4と、前記逆浸透膜装置4で分離された透過液を生物処理するための生物処理装置6とで処理装置を構成したことである。また、前記有機性薬品がジメチルスルホキシドである。かかる場合において、逆浸透膜装置4の後段側に蒸発濃縮装置19を設けて、逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を、さらに蒸発濃縮することも可能である。本発明においては、有機性薬品含有排水を逆浸透膜装置に通水し、該逆浸透膜装置で分離された透過液を生物処理し、前記逆浸透膜装置で分離された濃縮液を回収する方法であるため、DMSO等の有機性薬品を生物処理によって好適に分解でき、濃度の極めて低い状態で系外に排出することができる一方で、DMSO等の有機性薬品を、濃度の高い濃縮液の状態で回収することができるので、DMSO等の有用な有機性薬品を回収して再利用することができるという効果がある。従って、洗浄等のために新たに使用されるDMSO等の有用な有機性薬品を無駄に消費させることがなく、その使用量を低減させることができ、結果としてコストの低廉化を図れることとなる。さらに、有機性薬品含有排水は、直接生物処理されるのではなく、予め逆浸透膜装置で分離され、その分離後の透過液として濃度が希釈された状態で生物処理されるので、生物処理装置にかかる負荷を著しく低減することができ、その分、生物処理装置の小型化を図れ、設置スペースも減少させることができ、消費エネルギーや余剰汚泥量を低減させることができるという効果がある。さらに、逆浸透膜装置で分離された濃縮液を、さらに蒸発濃縮して回収する場合には、回収される濃縮液の濃度をより高めることができ、再利用をより効果的に図れることとなる。以下、本発明の実施形態について、まず、有機性薬品の一例としてのDMSOを含有する排水の処理装置の構成を図面に従って説明する。図1において、1は原水であるDMSO含有排水を貯留するための原水貯留槽、2は該原水貯留槽1から供給される原水を加温するための熱交換器で、スチーム、温水等を熱媒体とするものである。また、3は、加温された原水を濾過するためのカートリッジフィルターを示す。4は、逆浸透膜装置で、前記カートリッジフィルター3で濾過され固形分等が除去された原水を、濃縮液と透過液とに分離するためのものである。5は、前記逆浸透膜装置4で分離された透過液と、DMSO以外の他の有機性排水を混合するための混合槽で、他の有機性排水としては、本実施形態では、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドTMAHやイソプロピルアルコールIPA等を含んだ有機性リンス排水が使用される。また、この混合槽5へは凝縮水貯留槽21からの凝縮水が供給されるように構成されている。6は、前記逆浸透膜装置4で分離されたDMSO含有排水の透過液と前記有機性リンス排水との混合排水を生物処理するための生物処理装置で、本実施形態では固定床と流動床の双方を具備した生物処理装置が用いられる。すなわち、この生物処理装置6は、図2に示すように、固定床7の上部に流動床8を設けた構成からなるもので、流動床8の部分には、図示しないが、pH調整ポンプ等が設けられている。また、固定床7の部分には、散気攪拌のためのパイプ23が設けられている。そして、固定床7及び流動床8には、それぞれ固定担体及び流動担体が充填されており、固定担体としては、全体が球状の多孔質のセラミック製のものが用いられている。固定担体の粒径は、5~10mmに形成されている。また、流動担体9は、図3に示すように、正面側は、略十字状の中央部10の周囲に円弧状の周辺部11が連設され、その周辺部11の周囲に複数本実施形態では8本のフィン12が等角間隔に突設された形状からなり、側面側は、図示しないが、略長方形状に形成されている。この流動担体9の比重は0.90~1.20であり、側面視における長さは約10mmである。流動担体9をこのような中央部10、周辺部11、フィン12からなる形状に形成すると、流動担体9の全体の表面積が大きくなるので、微生物が付着しやすくなる。また、流動担体9の材質としてはポリプロピレン、ポリエチレン等の通常の合成樹脂から任意に選択することができる。この生物処理装置6の後段には、さらに精密濾過膜装置13、逆浸透膜装置14、紫外線照射装置15が配設されている。16は、前記精密濾過膜装置13及び逆浸透膜装置14で分離,透過され、紫外線照射装置15で微量なTOC全有機炭素が酸化分解された回収水を回収するための回収水貯留槽で、この回収水貯留槽16に回収された回収水は、後述のように純水プラント等に供給される。17は、前記後段の逆浸透膜装置14で分離された濃縮液を蒸発濃縮するための蒸発装置を示す。18は、前記前段の逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を貯留するための濃縮液貯留槽、19は該濃縮液貯留槽18内の濃縮液をさらに加熱蒸発により濃縮するための蒸発濃縮装置で、この濃縮液貯留槽18と蒸発濃縮装置19との間には、熱交換器20が設けられている。熱交換器20の熱媒体としては、前記蒸発濃縮装置19で蒸発した蒸気が用いられる。21は、前記熱交換器20での熱交換用として用いられた蒸気を凝縮水として貯留するための凝縮水貯留槽を示す。22は、前記蒸発濃縮装置19で濃縮された濃縮液を回収するための濃縮液回収槽である。そして、このような構成からなる装置を用いたDMSO含有排水の処理方法の実施形態について説明すると、先ず、工場等から排出されたDMSO含有排水を原水貯留槽1内に流入する。この原水貯留槽1内の原水であるDMSO含有排水は、先ず熱交換器2へ供給されて加温され、カートリッジフィルター3で濾過される。このカートリッジフィルター3で固形分等が除去されることとなる。次に、カートリッジフィルター3で濾過されたDMSO含有排水は、逆浸透膜装置4へ供給され、濃縮液と透過液とに分離される。濃縮液は、前記原水であるDMSO含有排水がそのまま濃縮されたものであり、透過液は前記原水であるDMSO含有排水がそのまま希釈されたものである。逆浸透膜装置4で分離された透過液は混合槽5へ供給される。この混合槽5へは、他の工場廃液である前述のような有機性リンス排水が供給され、この混合槽5内でDMSOを含有する透過液と有機性リンス排水とが混合される。また、この混合槽5へは、凝縮水貯留槽21から凝縮水も供給され、前記DMSO含有透過液や有機性リンス排水と混合されることになる。混合槽5で混合されたDMSO含有透過液と有機性リンス排水との混合排水は、生物処理装置6へ供給され、生物処理される。より具体的に説明すると、生物処理装置6へ供給されたDMSO含有透過液と有機性リンス排水との混合排水は、流動床8から固定床7に至り、固定床7から生物処理装置6の外部に排出されて、次工程へ供給される。この流動床8では、DMSOと他の有機物との分解が行われるとともに、活性の高い菌体が産生される。この活性の高い菌体は、固定床7で捕捉されることとなり、固定床部の生物活性も向上することになる。次に、生物処理槽6で生物処理された処理水は、精密濾過膜装置13で濾過され、さらに逆浸透膜装置14で濃縮水と透過水とに分離される。逆浸透膜装置14で分離された透過水は、紫外線照射装置15へ供給されて微量なTOCが酸化分解され、その後に回収水貯留槽16で回収水として回収される。回収水貯留槽16に回収された回収水は、その後、純水プラント等に供給され、純水製造用として用いられる。また、逆浸透膜装置14で分離された濃縮液は、蒸発装置17へ供給され、蒸発濃縮される。ここで濃縮された濃縮液は、硫酸イオン等を含むものである。一方、前記前段の逆浸透膜装置4で分離された濃縮液は、濃縮液貯留槽18へ供給され、さらに蒸発濃縮装置19へ供給される。蒸発濃縮装置19へ供給される前に、濃縮液は熱交換器20で加温されるが、その熱交換器20の熱媒体として上述のように蒸発濃縮装置19で蒸発した蒸気が用いられる。ここで生成した凝縮水は、凝縮水貯留槽21へ供給され、その凝縮水貯留槽21から混合槽5へ返送される。さらに、前記蒸発濃縮装置19で濃縮された濃縮液は、濃縮液貯留槽22へ供給される。この結果、高濃度のDMSOが回収されることとなる。このようにして回収されたDMSOは、さらに精製することにより薬品として再利用することが可能となる。尚、上記実施形態では、逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を濃縮する蒸発濃縮装置19として、加熱によって蒸発させる蒸発濃縮装置19を用いたが、蒸発させる手段は該実施形態の加熱による蒸発手段に限らず、たとえば減圧による蒸発手段や真空による蒸発手段であってもよい。さらに、該実施形態では、逆浸透膜装置4で分離された濃縮液をさらに蒸発濃縮装置19で濃縮して濃縮液を回収したため、再利用すべき有機性薬品の濃度の高い濃縮液を回収できるという好ましい効果が得られたが、このような蒸発濃縮装置19を設けることは本発明に必須の条件ではない。さらに、上記実施形態では、生物処理後の処理水を精密濾過膜装置13や逆浸透膜装置14で分離,透過したため、処理水中の懸濁物質や塩類をほとんど除去することができるという好ましい効果が得られたが、このような精密濾過膜装置13や逆浸透膜装置14を用いることも本発明に必須の条件ではない。さらに、上記実施形態では、流動床8に充填される流動担体8として、略十字状の中央部10の周囲に円弧状の周辺部11が連設され、その周辺部11の周囲に計8本のフィン12が等角間隔に突設された形状のものを用いたが、流動担体9の形状はこれに限定されるものではない。たとえば、フィン12の本数に関しては、4本、8本、10本、12本、16本、20本等であってもよく、その本数は問わない。また、フィン12を形成することは本発明に必須の条件ではなく、フィン12のない担体を使用することも可能である。ただし、フィン12を形成することによって、流動担体8が回転し易くなり、その結果、流動担体8の流動性が良好となる利点がある。このような流動性と、成形のし易さ等との双方の観点からは、フィン12の本数は8~20本程度が好ましい。一方、中央部10の形状が複雑になりすぎると、目詰まりが生ずるおそれがある。従って、中央部10の形状は、表面積の大きさと、目詰まりの問題点の双方を比較考量した上で選定するのが望ましい。さらに、周辺部11の形状も上記実施形態の円弧状に形成された正面略円形状のものに限定されず、たとえば略四角形状のものや、略八角形状のものであってもよい。ただし、周辺部11の形状を略円形状に形成することにより、流動担体8が回転し易くなり、それによって流動担体8の流動性が良好となる利点がある。いずれにしても、流動担体8の形状に関しては、上述のような表面積の大きさ、流動担体8の回転のし易さに伴う流動性、目詰まり、金型による成形のし易さ等を総合的に勘案した上で、中央部10や周辺部11の形状、フィン12の本数、形状等を選定するのが望ましい。さらに、流動担体8の大きさは、0.1~3.0cmの範囲であることが好ましいが、これに限定されるものではない。また、材質も合成樹脂に限定されるものではないが、微生物が適度に付着してできるだけ高濃度に維持できるような素材からなることが好ましい。但し、合成樹脂で形成した場合には成形が容易であり、且つ経済的に担体を製造することができ、特に好ましい。さらに固定担体の形状も上記実施形態の略球状に限定されるものではなく、また材質も該実施形態のセラミックに限定されない。ただし、固定担体としては、多孔質のものを用いるのが望ましい。また、固定担体の粒径も問うものではないが、上記実施形態のように5~10mmであることが好ましい。さらに、流動床8や固定床7に担体を充填することで、生物処理槽6内での菌体の量を多くすることができるという好ましい効果が得られるが、このような担体を充填することも本発明に必須の条件ではなく、担体を用いない浮遊汚泥法を採用することも可能である。さらに、上記実施形態では、固定床7の上部に流動床8を配置した生物処理槽6を用いたが、流動床のみ、或いは固定床のみを具備した生物処理槽6を用いることも可能である。ただし、処理効率を好適なものとするためには、固定床7の上部に流動床8を配置し、下向流で通水することが望ましい。さらに、上記実施形態では、DMSO含有排水にTMAHとIPA等を含む有機性リンス排水を混合する場合について説明したが、TMAH以外の第4アンモニア化合物や、モノエタノールアミン等のアミン類等を含有する排水を混合することも可能である。また、このような第4アンモニア化合物やアミン類等を含有する排水をDMSO含有排水より具体的にはDMSO含有排水を逆浸透膜で透過した透過液に混合することで、その第4アンモニア化合物又はアミン類を窒素源としてDMSO含有排水の処理に用いることができ、従ってDMSO含有排水と、それ自体が廃液中に含有されている第4アンモニア化合物又はアミン類の処理とを同時に行うことができるという好ましい効果が得られたが、このような窒素源を含む排水をDMSO含有排水に混合させることは、本発明に必須の条件ではない。さらに、上記実施形態では、原水を一旦原水貯留槽1に貯留した後に、その原水を熱交換器2やカートリッジフィルター3に供給したが、たとえば工場より排出される排水を原水貯留槽1に貯留せずに直接熱交換器2やカートリッジフィルター3に供給することも可能である。尚、本発明は、上記実施形態のように、DMSO含有排水に適用することを主眼とするものであるが、DMSO以外の有機性薬品を含有する排水やDMSOに他の有機性薬品、たとえばモノエタノールアミン等が混合された排水に本発明を適用することも可能である。以下、本発明の実施例について説明する。濃度が3100ppmのDMSO含有排水を380m3/day処理した。処理されたDMSOの量は、1180kg/dayであった。この排水の全有機性炭素TOC濃度は960ppmであり、TOC量は365kg/dayであった。DMSO含有排水を逆浸透膜で透過した透過液に混合する他の有機性リンス排水として、1200m3/dayのTMAH及びIPA含有排水を用いた。TOC量は144kg/dayであった。上記380m3/dayのDMSO含有排水のうち、逆浸透膜4で分離された透過液の量は358m3/dayであり、濃縮液の量は22m3/dayであった。また、透過液のDMSO濃度は530ppmであり、透過液中のDMSOの量は190kg/dayであった。TOC量は60kg/dayである。一方、濃縮液のDMSO濃度は4.5であり、濃縮液中のDMSOの量は990kg/dayであった。この濃縮液をさらに加熱濃縮し、再利用すべく回収した回収液の量は1.6m3/dayであり、DMSO濃度は60であった。"