表面弾性波共振子を備え、対象物に取り付ける振動センサと、前記振動センサに対して搬送波を送信する一方で、前記表面弾性波共振子からの反射波を監視し、前記対象物の振動現象に伴って前記振動センサに与えられる機械振動に応じて前記反射波に生じる変化に基づいて、前記振動現象を検知する質問器とを備える振動センサシステムであって、前記質問器は、前記振動センサの共振周波数より高い周波数を有する電気信号を変調信号として生成し、前記表面弾性波共振子の共振周波数の電気信号を、前記変調信号で変調して前記搬送波を取得し、前記反射波を前記変調信号の周波数に変換し、狭帯域制限して同期検波信号を取得し、前記同期検波信号を用いて同期検波することを特徴とする振動センサシステム。前記変調信号は、前記振動センサの共振周波数に対し、10倍以上の周波数であることを特徴とする請求項1に記載の振動センサシステム。前記振動センサおよび前記質問器は、それぞれアンテナを備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動センサシステム。前記表面弾性波共振子は、圧電体基板と前記圧電体基板上に形成された櫛歯電極を備えていることを特徴とする請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の振動センサシステム。特許文献1では、質問器から振動センサへ搬送波を送信するとともに、振動センサからの反射波を監視し、対象物の振動に伴う振動センサの機械的な振動による反射波の変化に基づいて、対象物の振動を検知する構成となっている。すなわち、振動が発生したときには、振動センサの共振周波数により変調された反射波が振動センサから送信される。しかしながら、振動センサの共振周波数により変調された反射波に近似する周波数の妨害波が質問器に入力された場合、対象物の振動による振動信号と妨害波を区別することができず、誤動作の原因となる可能性がある。一方、従来、外部からの妨害波の影響を受けずに、対象物の応答振動を検知するため、同期検波の手法が用いられている。同期検波には、同期検波回路に入力する入力信号と、この入力信号と周波数および位相を一致させた参照信号が必要である。しかしながら、この同期検波の手法を無線で通信を行う振動センサシステムへ適用し、高周波数帯域で使用する際には、入力信号搬送波の波長が短いため位相が変化し易く、参照信号の生成には特殊な回路が必要となるという課題がある。そこで、本発明は、容易に同期検波の参照信号が得られ、妨害波の影響を軽減し、誤動作の発生を抑制する振動センサシステムを提供することを目的とする。本発明によれば、表面弾性波共振子を備え、対象物に取り付ける振動センサと、前記振動センサに対して搬送波を送信する一方で、前記表面弾性波共振子からの反射波を監視し、前記対象物の振動現象に伴って前記振動センサに与えられる機械振動に応じて前記反射波に生じる変化に基づいて、前記振動現象を検知する質問器とを備える振動センサシステムであって、前記質問器は、前記振動センサの共振周波数より高い周波数を有する電気信号を変調信号として生成し、前記表面弾性波共振子の共振周波数の電気信号を、前記変調信号で変調して前記搬送波を取得し、前記反射波を前記変調信号の周波数に変換し、狭帯域制限して同期検波信号を取得し、前記同期検波信号を用いて同期検波することを特徴とする振動センサシステムが得られる。また、本発明の振動センサシステムにおいて、前記変調信号は、前記振動センサの共振周波数に対し、10倍以上の周波数であることが好ましい。また、前記振動センサおよび前記質問器は、それぞれアンテナを備えているのが好ましい。また、前記表面弾性波共振子は、圧電体基板と前記圧電体基板上に形成された櫛歯電極を備えていてもよい。本発明では、振動センサに送信される搬送波を、振動センサの共振周波数より高い周波数の変調信号で変調し、表面弾性波共振子からの反射波を変調信号の周波数に変換ダウンコンバートし、狭帯域制限することによって、同期検波の入力信号が得られ、この入力信号と周波数と位相が一致する同期検波の参照信号が容易に得られる。また、上記の入力信号および参照信号からなる同期検波信号を用いて同期検波することで、妨害波の影響を軽減することができる。すなわち、本発明によれば、容易に同期検波の参照信号が得られ、妨害波の影響を軽減し、誤動作の発生を抑制する振動センサシステムの提供が可能となる。以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。図2は、本発明の振動センサシステムの構成を示す概略図である。図2に示すように、本発明の振動センサシステムは、質問器1と振動センサ2から構成される。質問器1と振動センサ2には、それぞれアンテナ3、アンテナ4が設けられている。振動センサ2は、振動を検知する対象物に取り付けられ、バッテリレスで構成されている。質問器1から振動センサ2に設けられた表面弾性波共振子へ搬送波5を送信するとともに、振動センサ2からの反射波6を監視し、対象物の振動を検知する構成となっている。本実施の形態においては、振動センサの一例として、ガラスの機械的振動現象を検知するための振動センサを用いた。図3は、本発明の実施の形態に係る振動センサの概略斜視図である。振動センサ2は、圧電体基板7と圧電体基板7上に形成された櫛歯電極8とを有する表面弾性波共振子と、圧電体基板7を支持する支持基板9と、櫛歯電極8に接続されたアンテナ4から構成されている。振動センサ2の外部より圧電体基板7に振動が加わると歪が生じ、櫛歯電極8間の距離が変化し、表面弾性波共振子のインピーダンスも同時に変化する。すなわち、振動センサ2が外部からの振動信号を検知したとき、振動センサ2から送信される反射波は、搬送波と同じ周波数となる表面弾性波共振子の共振周波数を、振動センサ2圧電体基板7の共振周波数で変調した信号となる。なお、本実施の形態による圧電体基板7は、検知対象である対象物の機械振動における特徴的な周波数帯に共振周波数が属するようにして選択された振動形状を有している。本実施の形態においては、圧電体基板7の形状は片持ち梁であり、張出し長さ2mm、幅1mm、厚さ0.25mmの水晶STカット基板を用いた。このとき、片持ち梁の厚さ方向の屈曲振動モードの共振周波数は、およそ60kHzである。すなわち、本実施の形態の振動センサの共振周波数は、60kHzである。櫛歯電極8の間隔は、表面弾性波共振子の共振周波数が2.45GHz帯となるように0.35μmとした。また、櫛歯電極8は、外部振動に対して、圧電体基板7の歪が最大となるように支持部近傍に配置した。加えて、アンテナ4は、表面弾性波共振子の共振周波数に合わせて、2.45GHz帯の半波長ダイポールアンテナとした。圧電体基板7の品質係数は、約100であった。なお、品質係数は、支持基板9との固定法等により、約50~3000まで調整可能である。図1は、本発明の実施の形態に係る質問器のブロック図である。質問器1において、まず発振器11で2.45GHzの出力信号が生成され、分配器DIV12に入力される。分配器12の出力信号は、2つに分岐し、一方は送信信号としてミキサ13へ、他方は局部発振信号としてミキサ17へ分配される。送信信号は、ミキサ13にて発振器16より出力される周波数600kHzの変調信号で変調され、パワーアンプPA14およびサーキュレータ15を経由して、アンテナ3から所望の電力量で数m離れた振動センサ2へ搬送波5として送信される。このとき、振動センサの共振周波数60kHzに対し10倍以上の周波数の変調信号で変調することで、後述する同期検波の際に、容易に同期検波信号が得られ、振動センサの60kHzの振動信号を検出することができる。上述したように、変調信号は、振動センサの共振周波数より十分高くする必要があり、特に再現性や実用性を考慮すると、10倍以上とするのが好ましい。さらに、変調信号は、質問器と振動センサ間の伝播距離に対して、10倍以上の波長を有する周波数とするのが好ましい。これは、伝播距離に対して、搬送波および反射波の位相変化を無視できる大きさの変調信号とするためである。本実施の形態において、質問器と振動センサ間の伝播距離は数mを想定しており、600kHzの波長はおよそ500mで、伝搬距離の10倍以上となり、位相変化を無視できる変調信号となっている。振動センサ2のアンテナ4では、アンテナ3より送信された搬送波5を受信し、表面弾性波共振子のインピーダンス変化に応じた反射波6をアンテナ4から再放射する。つまり、このとき再放射する反射波6は、アンテナ3から送信された搬送波5が外部からの振動信号によって変調された信号を含んでいる。本実施の形態では、振動センサに外部からの振動が加えられた場合において、2.45GHzを600kHzで変調した搬送波5が、振動センサ2の共振周波数である60kHzでさらに変調された反射波6が得られる。この反射波6は、アンテナ3で受信され、サーキュレータ15を経由し、ミキサ17にて、2.45GHzの局部発振信号と混合され、600kHz帯の周波数の信号に変換ダウンコンバートされる。ミキサ17の出力信号は、バンドパスフィルタBPF18および増幅回路AMP19に入力され、狭帯域600kHz±60kHzに帯域制限し増幅される。増幅回路19の出力信号は、2つに分岐し、ミキサ20およびミキサ21に入力される。増幅回路19の出力信号が、同期検波に使用する入力信号となる。このため、発振器16の出力信号から容易に同期検波の参照信号が得られる。以下、同期検波を用いた、反射波の復調方法、すなわち振動の検知方法について説明する。ミキサ20では、増幅回路19の出力信号同期検波の入力信号と発振器16の出力信号同期検波の参照信号が乗算処理され60kHz帯の周波数の信号にダウンコンバートされる。そして、バンドパスフィルタBPF23で帯域制限され、60kHzの信号が得られる。同様に、ミキサ21では、増幅回路19の出力信号同期検波の入力信号と、発振器16の出力信号同期検波の参照信号を移相回路22で90°移相された信号とが乗算処理され、60kHz帯の周波数の信号にダウンコンバートされる。そして、バンドパスフィルタBPF24で帯域制限され、さらに、移相回路25で90°移相される。バンドパスフィルタ23の出力信号および移相回路25の出力信号は、それぞれ、減算回路26および加算回路27に入力される。この減算回路26および加算回路27における信号処理により、反射波6をUSB上側帯波成分およびLSB下側帯波成分に分離した信号が得られる。さらにUSB成分およびLSB成分からなる2つの信号成分は、それぞれ振幅検出回路28および振幅検出回路29で直流信号に整流され、コンパレータ30およびコンパレータ31に入力される。コンパレータ30およびコンパレータ31は、予め所望の閾値を設定しており、振動センサ2で振動を検出した際にONとなる。さらに、コンパレータ30およびコンパレータ31の出力信号は、AND回路32に入力される。コンパレータ30およびコンパレータ31の出力信号が同時にONとなったときのみ、AND回路32の出力信号がONとなり、振動センサ2で振動を検出したことをユーザに通知する。このように信号処理することによって、LSB帯域、またはUSB帯域に妨害波が混入した際は、どちらか一方に対応するコンパレータのみがONとなり、AND回路32はOFFであるため、誤報とはならない。したがって、妨害波の影響を軽減し、誤動作の発生を抑えることができる。本実施の形態では、振動センサへ送信する搬送波を、振動センサの共振周波数の10倍以上の周波数の変調信号で変調し、表面弾性波共振子からの反射波を変調信号の周波数にダウンコンバートおよび帯域制限して、同期検波信号を取得することにより、妨害波の影響を軽減することができる。すなわち、本発明により、容易に同期検波の参照信号が得られ、妨害波の影響を軽減し、誤動作の発生を抑制する振動センサシステムの提供が可能である。