"配線基板の上面に形成された半田バンプの頭頂部をプレスして平坦化する半田バンプの平坦化装置であって、上面に前記配線基板を載置するための平坦な載置面を有するテーブルと、下面に平坦なプレス面を有し、該プレス面により前記頭頂部をプレスするプレスヘッドとを備え、前記テーブルは、前記プレスヘッドによるプレスに伴って前記載置面を所定の傾斜角の範囲内で傾動自在とする傾動機構と、該傾動機構の傾動動作を固定する固定手段とを有することを特徴とする半田バンプの平坦化装置。前記テーブルは、上面に凹球面を有する台座と、前記凹球面上に載置されており、下面に該凹球面と勘合する凸球面を有するとともに上面に前記載置面を有する傾動盤とを有し、前記凹球面と前記凸球面との間に空気を送り込むことにより前記傾動盤を前記台座から浮かして傾動自在な状態にするとともに、前記凹球面と前記凸球面との間の空気を吸引することにより前記傾動盤を前記台座に吸着させて前記傾動動作を固定することを特徴とする請求項1記載の半田バンプの平坦化装置。前記台座は、ポーラスセラミックスから成り、前記凹球面の全面で前記空気の送り込みおよび吸引が可能であることを特徴とする請求項2記載の半田バンプの平坦化装置。本発明は、上面に半田バンプが形成された配線基板を載置するテーブルの載置面と、半田バンプの頭頂部をプレスして平坦化するプレスヘッドのプレス面との平行度調整を、プレスヘッドの交換時に容易に行なえるようにすることで、半田バンプの頭頂部を安定的に略均一な高さに平坦化することが可能となる半田バンプの平坦化装置を提供することを課題とする。本発明は、配線基板の上面に形成された半田バンプの頭頂部をプレスして平坦化する半田バンプの平坦化装置であって、上面に配線基板を載置するための平坦な載置面を有するテーブルと、下面に平坦なプレス面を有しプレス面により頭頂部をプレスするプレスヘッドとを備え、テーブルはプレスヘッドによるプレスに伴って載置面を所定の傾斜角の範囲内で傾動自在とする傾動機構と、傾動機構の傾動動作を固定する固定手段とを有することを特徴とするものである。本発明では、テーブルは、プレスヘッドによるプレスに伴って載置面を所定の傾斜角の範囲内で傾動自在とする傾動機構と、傾動機構の傾動動作を固定する固定手段とを備えているので、傾動機構を傾動自在にした状態で、プレスヘッドをプレス面を載置面に対してプレスすると、プレス面に対して載置面が平行となるようにテーブルが傾動する。そして、プレス面と載置面とが平行になった状態で固定手段により傾動機構の傾動動作を固定することで、載置面とプレス面との平行度調整を行なう。これにより、プレスヘッドの交換時に作業者の熟練を伴うことなく、容易かつ正確に載置面とプレス面との平行度調整が可能となる。したがって、配線基板の上に形成された半田バンプの高さを安定的に略均一の高さに平坦化することが可能な半田バンプの平坦化装置を提供できる。次に、本発明の半田バンプの平坦化装置の実施形態の一例を図1aおよびbを基にして詳細に説明する。図1a,bに示すように、本例の平坦化装置10は、上面に半田バンプBが形成された配線基板Cを載置する載置面2aを有する傾動盤2および傾動盤2を保持する台座3から構成されるテーブル1と、下面に平坦なプレス面4aを有するプレスヘッド4と、プレスヘッド4を上下方向に稼動させる駆動装置5とを筐体6内に備えている。半田バンプBを平坦化するときは、上面に半田バンプBが形成された配線基板Cを傾動盤2の載置面2a上に載置した後、プレスヘッド4を駆動装置5により下方に降下させて、プレスヘッド4のプレス面4aで半田バンプBを上方から押えることで、半田バンプBの頭頂部を平坦化する。テーブル1は、例えば上面に凹球面3aを有する台座3と、下面に凸球面2bを有するとともに上面に平坦な載置面2aを有する傾動盤2とから構成されており、傾動盤2の凸球面2b部分が台座3の凹球面3a部分に勘合するように載置されている。また、台座3の凹球面3aには、凹球面3aと凸球面2bとの間に空気を送り込んで傾動盤2を浮上させることで傾動自在な状態にする傾動機構を備えているとともに、凹球面3aと凸球面2bとの間の空気を吸引することで傾動盤2を台座3に吸着させて傾動動作を固定する固定手段を併せて備えている。上述の空気の送り込みおよび吸引を行なうために台座3の凹球面3aを構成する材料として、例えば送風および吸引装置と配管7を介して接続されたポーラスセラミック8等の多孔質構造の材料が配設されて、傾動盤2に対して均一な空気の送り込みおよび吸引が行なわれる。プレスヘッド4は、半田バンプBの頭頂部をプレスして平坦化する平坦なプレス面4aを下面に有する、例えば平板形状の鉄から成るとともに、駆動装置5により下方に移動して傾動盤2の載置面2aに載置された配線基板C上の半田バンプBを上方からプレスすることで半田バンプBの頭頂部を平坦化する。このとき、プレスヘッド4のプレス面4aと、傾動盤2の載置面2aとが平行に調整されていることにより、配線基板C上の半田バンプBの高さを略均一な高さに平坦化することができる。なお、プレスヘッド4は、配線基板Cの大きさや形状に応じて個別のものが使用されるため、配線基板Cの種類に応じてプレスヘッド4の交換が必要となり、その都度プレスヘッド4のプレス面4aと、傾動盤2の載置面2aとの平行度調整が必要となる。駆動装置5は、例えばエアの供給圧力が0.1~0.7MPaのエアシリンダーを有しており、接続されたプレスヘッド4を上下方向に昇降させることが可能である。ここで、本例の平坦化装置10におけるプレスヘッド4のプレス面4aと、傾動盤2の載置面2aとの平行調整手順について、図2a~dを用いて説明する。まず、図2aに台座3の凹球面3a上に傾動盤2が傾いて載置された状態を示す。この状態では凹球面3aと傾動盤2の凸球面2bとが勘合しており、傾動盤2は自在に傾動しない状態となっている。次に、図2bに示すように、台座3の凹球面3aと傾動盤2の凸球面2bとの間に空気を矢印の様に送り込むことで傾動盤2を浮上させて傾動自在な状態にする。このとき、空気はポーラスセラミック8を介して台座3の凹球面3aと傾動盤2の凸球面2bとの間に満遍なく供給され、それにより傾動盤2が良好に浮上する。次に、図2cに示すように、プレスヘッド4を下方へ降下させて、プレスヘッド4のプレス面4aを傾動盤2の載置面2aに重ね合わせるようにプレスする。このプレスにより、傾動盤2が傾動してプレスヘッド4のプレス面4aと傾動盤2の載置面2aとの平行が図れる。このとき、台座3の凹球面3aと傾動盤2の凸球面2bとの間には、空気が送り込まれた傾動自在な状態となっている。次に、図2dに示すように、プレスヘッド4のプレス面4aおよび傾動盤2の載置面2a同士が重ね合わさったままの状態で、台座3の凹球面3aと傾動盤2の凸球面2bとの間の空気を矢印の様に吸引することで、傾動盤2を台座3に吸着させて固定させる。これによりプレスヘッド4のプレス面4aと傾動盤2の載置面2aとの平行度が取れた状態で傾動盤2を台座3に固定することができる。このように、本発明の平坦化装置10によれば、傾動盤2が傾動自在な状態で載置面2aにプレスヘッド4のプレス面4aを重なり合わせるようにプレスして載置面2aとプレス面4aとの平行度調整をした後、載置面2aとプレス面4aとの平行度が合ったままの状態で傾動盤2を台座3に固定させるため、プレスヘッド4の交換時に、プレスヘッド4のプレス面4aと、傾動盤2のプレス面2aとの平行調整を容易にかつ正確に実施することができる。これにより、配線基板上の半田バンプの頭頂部を、高度な熟練を伴うことなく略均一な高さに安定的に平坦化することが可能な平坦化装置を供給することができる。"