"Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂、B光重合開始剤、C多官能モノマー、Dジルコニウム化合物を含有するネガ型感光性樹脂組成物。ネガ型感光性樹脂組成物が、硬化膜形成用の組成物である請求項1記載のネガ型感光性樹脂組成物。ネガ型感光性樹脂組成物が、保護膜形成用の組成物である請求項1または2記載のネガ型感光性樹脂組成物。Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂が、エチレン性不飽和結合を有するアクリル樹脂である請求項1~3のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂が、エチレン性不飽和結合を有するポリシロキサンである請求項1~3のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。Dジルコニウム化合物が、平均粒径が100nm以下のジルコニウム酸化物粒子である請求項1~5のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。Dジルコニウム化合物が、一般式1で表される化合物のいずれか1種類以上である請求項1~5のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。R1は水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基およびその置換体を表し、R2およびR3は水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基、アルコキシ基およびその置換体を表す。複数のR1、R2およびR3は同じでも異なっても良い。nは0~4の整数を表す。請求項1~7のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物を硬化させてなるタッチパネル保護膜。請求項1~7のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物を硬化させてなる金属配線保護膜。請求項1~7のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物の硬化膜を具備し、該硬化膜によりモリブデン含有金属配線が保護されているタッチパネル部材。非特許文献1の技術では、有機成分が多いため他のハードコート材料に比べ硬度、耐擦傷性が低く、UV硬化による体積収縮が原因となるクラックが発生するという課題があった。特許文献1の技術では、樹脂は主鎖および側鎖が疎水性のシロキサンに限られ、たとえば側鎖にカルボキシル基を有するシロキサンおよび、それ以外カルボキシル基含有の樹脂などの親水性樹脂に対する効果は定かではない。特許文献2の技術では、プリベーク時のシロキサンの架橋を抑えるためにシラノール基の含有量が少なく、アルカリ水溶液で現像する事は困難であった。特許文献3の技術では、金属膜を形成するため焼成を行い、有機成分は残存しない。したがって有機金属化合物が樹脂成分にどのような効果を与えるかは定かではない。以上のように、高硬度、高透明および高耐湿熱性を有しアルカリ現像液にてパターン加工可能なネガ型感光性材料が求められているものの、これまでその技術は確立されていなかった。本発明は、パターン加工性に優れ、UV硬化および熱硬化により高硬度、高透明であり、耐湿熱性の優れる硬化膜を与える、アルカリ現像可能なネガ型感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。すなわち、本発明の目的は、Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂、B光重合開始剤、C多官能モノマー、Dジルコニウム化合物を含有するネガ型感光性樹脂組成物により達成される。また、本発明の目的は、上記のネガ型感光性樹脂組成物を硬化させてなるタッチパネル保護膜により達成される。本発明の目的は、上記のネガ型感光性樹脂組成物を硬化させてなる金属配線保護膜により達成される。また、本発明の目的は、上記のネガ型感光性樹脂組成物の硬化膜を具備し、該硬化膜によりモリブデン含有金属配線が保護されているタッチパネル部材により達成される。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、硬化膜形成用の組成物であることが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、保護膜形成用の組成物であることが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂が、エチレン性不飽和結合を有するアクリル樹脂であることが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂が、エチレン性不飽和結合を有するポリシロキサンであることが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、Dジルコニウム化合物が、平均粒径が100nm以下のジルコニウム酸化物粒子であることが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、Dジルコニウム化合物が、一般式1で表される化合物のいずれか1種類以上であることが好ましい。R1は水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基およびその置換体を表し、R2およびR3は水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基、アルコキシ基およびその置換体を表す。複数のR1、R2およびR3は同じでも異なっても良い。nは0~4の整数を表す。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、パターン加工性に優れ、UV硬化および熱硬化により高硬度、高透明であり、耐湿熱性の優れる硬化膜を得ることができる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂、B光重合開始剤、C多官能モノマー、Dジルコニウム化合物を含有する。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、硬化膜形成用の組成物であることが好ましい。硬化膜とは、焼成または剥離液処理などによって樹脂成分をすべて除去する工程を経ず、光および/または熱によって硬化する事によって得られる膜の事を指す。該硬化膜の使用方法に特に制限はないが、たとえば、タッチパネル用保護膜、ハードコート材、TFT用平坦化膜、カラーフィルター用オーバーコート、パッシベーション膜、反射防止フィルム、金属配線保護膜などの各種保護膜および、タッチパネル用絶縁膜、TFT用絶縁膜、層間絶縁膜などの各種絶縁膜および、光学フィルター、カラーフィルター用フォトスペーサー、マイクロレンズなどが挙げられる。これらの中でも、高い硬度、透明性、耐湿熱性を有することから、保護膜として用いることが好ましい。保護膜とは、様々な下地素材を保護する目的で使用される硬化膜のことを意味する。該保護膜の使用方法に特に制限は無く、具体例としては上述したものが挙げられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂を含有する。カルボン酸当量とは、カルボキシル基1mol量を得るのに必要な樹脂の重量を表し、単位はgmolである。アルカリ可溶性樹脂のカルボン酸当量が1,400gmolを越える場合には、ネガ型感光性樹脂組成物のアルカリ溶解性現像性に劣り、良好なパターンを形成することできず、また、現像できても現像後の残さを抑制できないか、現像液種に大きな制限が必要となるなどの問題が生じる。一方、アルカリ可溶性樹脂のカルボン酸当量が200gmolに満たない場合には、露光部の膜減りを抑えることができず、また、耐湿熱性に劣るほか、解像度も劣る。かかる範囲であることにより、様々な現像条件で良好なパターンを形成することが可能となる。また、本発明のネガ型感光性樹脂組成物に用いる、Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂は、エチレン性不飽和二重結合基を有することにより、架橋密度を向上させ、硬化膜の硬度を向上させることができる。カルボン酸当量の好ましい範囲は300gmol以上1200gmol以下であり、さらに好ましくは400gmol以上800gmol以下である。Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂としては、ポリシロキサン、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリアミック酸、ポリアミド等が挙げられる。Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂においては、少なくとも一部にはエチレン性不飽和二重結合基が導入されていることが、硬化膜の硬度を高くするのに好ましい。これら重合体のうち、エチレン性不飽和二重結合基の導入の容易さから、ポリシロキサン、アクリル樹脂がより好ましい。また、これら重合体を2種以上含有してもよい。Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂として好ましい例を次に挙げるが、これに限定されない。ポリシロキサンとしては、たとえばカルボキシル基および/またはジカルボン酸無水物基を有するオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合して得られるものが好ましい。また、カルボン酸当量を調整するために、その他のオルガノシラン化合物を同時に用いることが好ましい。中でも、得られる硬化膜の硬度が高くなることから、エチレン性不飽和結合を有するオルガノシラン化合物を用いることが好ましい。加水分解反応の条件は適宜設定することができるが、例えば、溶媒中、オルガノシラン化合物に酸触媒および水を1~180分かけて添加した後、室温以上110°C以下で1~180分反応させることが好ましい。このような条件で加水分解反応を行うことにより、急激な反応を抑制することができる。反応温度は、より好ましくは30°C以上105°C以下である。加水分解反応は、酸触媒の存在下で行うことが好ましい。酸触媒としては、蟻酸、酢酸またはリン酸を含む酸性水溶液が好ましい。これら酸触媒の好ましい含有量は、加水分解反応時に使用される全オルガノシラン化合物100重量部に対して、好ましくは0.1重量部以上5重量部以下である。酸触媒の量を上記範囲とすることで、加水分解反応が必要かつ十分に進行するよう容易に制御できる。縮合反応の条件は、たとえば、上記のようにしてオルガノシラン化合物の加水分解反応によりシラノール化合物を得た後、反応液をそのまま50°C以上、溶媒の沸点以下で1~100時間加熱し、反応させることが好ましい。また、ポリシロキサンの重合度を上げるために、再加熱もしくは塩基触媒を添加してもよい。また、目的に応じて加水分解後に、生成アルコールなどを加熱および/または減圧下にて適量を留出、除去し、その後好適な溶媒を添加してもよい。カルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下でありエチレン性不飽和結合を有するポリシロキサンとしては、たとえばカルボキシル基および/またはジカルボン酸無水物基を有するオルガノシラン化合物とエチレン性不飽和結合を有するオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合して得られるものが好ましい。カルボキシル基を有するオルガノシラン化合物としては、たとえば3-トリメトキシシリルプロピオン酸、3-トリエトキシシリルプロピオン酸、3-ジメチルメトキシシリルプロピオン酸、3-ジメチルエトキシシリルプロピオン酸、4-トリメトキシシリル酪酸、4-トリエトキシシリル絡酸、4-ジメチルメトキシシリル絡酸、4-ジメチルエトキシシリル絡酸、5-トリメトキシシリル吉草酸、5-トリエトキシシリル吉草酸、5-ジメチルメトキシシリル吉草酸、5-ジメチルエトキシシリル吉草酸などが挙げられる。ジカルボン酸無水物基を有するオルガノシラン化合物としては、たとえば3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物、3-トリエトキシシシリルプロピルコハク酸無水物、3-ジメチルメトキシシリルプロピルコハク酸無水物、3-ジメチルエトキシシリルプロピルコハク酸無水物、3-トリメトキシシリルプロピルシクロヘキシルジカルボン酸無水物、3-トリエトキシシリルプロピルシクロヘキシルジカルボン酸無水物、3-ジメチルメトキシシリルプロピルシクロヘキシルジカルボン酸無水物、3-ジメチルエトキシシリルプロピルシクロヘキシルジカルボン酸無水物、3-トリメトキシシリルプロピルフタル酸無水物、3-トリエトキシシリルプロピルフタル酸無水物、3-ジメチルメトキシシリルプロピルフタル酸無水物、3-ジメチルエトキシシリルプロピルフタル酸無水物などが挙げられる。その他のオルガノシラン化合物としては、たとえばメチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-N,N-ジグリシジルアミノプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、β-シアノエチルトリエトキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、α-グリシドキシエチルトリメトキシシラン、α-グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β-グリシドキシエチルトリメトキシシラン、β-グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、α-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、α-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、β-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルトリメトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルトリエトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリプロポキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリブトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリエトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリフェノキシシラン、3-3,4-エポキシシクロヘキシルプロピルトリメトキシシラン、3-3,4-エポキシシクロヘキシルプロピルトリエトキシシラン、4-3,4-エポキシシクロヘキシルブチルトリメトキシシラン、4-3,4-エポキシシクロヘキシルブチルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ-アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、α-グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、α-グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、β-グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、β-グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、α-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、α-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジエトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、オクタデシルメチルジメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、トリフルオロメチルトリメトキシシラン、トリフルオロメチルトリエトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリエトキシシランなどが挙げられる。さらに、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、アリルメチルジメトキシシラン、アリルメチルジエトキシシラン、スチリルトリメトキシシラン、スチリルトリエトキシシラン、スチリルメチルジメトキシシラン、スチリルメチルジエトキシシラン、γ-アクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ-アクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ-メタクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ-メタクリロイルプロピルメチルジメトキシシラン、γ-メタクリロイルプロピルメチルジエトキシシラン、γ-アクリロイルプロピルメチルジメトキシシラン、γ-アクリロイルプロピルメチルジエトキシシランなどを用いることにより、エチレン性不飽和二重結合基を容易に導入することができる。ポリシロキサンのカルボン酸当量は、1H-NMRによりポリシロキサン中のシラノール基/カルボキシル基比率を算出した後、酸価を測定することで算出することが出来る。ポリシロキサンがエチレン性不飽和二重結合基を有する場合、その含有量に特に制限はないが、二重結合当量が150gmol以上10,000gmol以下であることが好ましい。上記範囲であることで、硬度と耐クラック性を高いレベルで両立出来る。二重結合当量はヨウ素価を測定することで算出できる。ポリシロキサンの重量平均分子量Mwは特に制限されないが、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCで測定されるポリスチレン換算で、1,000以上100,000以下であることが好ましい。Mwを上記範囲とすることで、良好な塗布特性が得られ、パターン形成する際の現像液への溶解性も良好となる。アクリル樹脂としては、メタアクリル酸、メタアクリル酸エステルをラジカル重合したものが好ましい。ラジカル重合の触媒に特に制限はなく、アゾビスイソブチロニトリルなどのアゾ化合物や過酸化ベンゾイルなどの有機過酸化物など一般的に用いられる。ラジカル重合の条件は適宜設定することができるが、例えば、溶媒中、メタアクリル酸、メタアクリル酸エステルおよびラジカル重合触媒を添加し、バブリングや減圧脱気などによって反応容器内を十分に窒素置換したのち60°C以上110°C以下で30~300分反応させることが好ましい。また、必要に応じてチオール化合物などの連鎖移動剤を用いてもよい。メタアクリル酸エステルとしては、メタアクリル酸メチル、メタアクリル酸エチル、メタアクリル酸プロピル、メタアクリル酸シクロプロピル、メタアクリル酸シクロペンチル、メタアクリル酸シクロヘキシル、メタアクリル酸シクロヘキセニル、メタアクリル酸4-メトキシシクロヘキシル、メタアクリル酸2-シクロプロピルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸2-シクロペンチルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸2-シクロヘキシルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸2-シクロヘキセニルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸2-4-メトキシシクロヘキシルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸ノルボルニル、メタアクリル酸イソボルニル、メタアクリル酸テトラシクロデカニル、メタアクリル酸ジシクロペンテニル、メタアクリル酸アダマンチル、メタアクリル酸2-メチルアダマンチル、メタアクリル酸1-メチルアダマンチル等が用いられる。スチレン、p-メチルスチレン、o-メチルスチレン、m-メチルスチレン、α-メチルスチレンなどの芳香族ビニル化合物を共重合しても良い。カルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下でありエチレン性不飽和結合を有するアクリル樹脂としては、たとえばメタアクリル酸およびメタアクリル酸エステルをラジカル重合したのち、エチレン性不飽和二重結合基を有するエポキシ化合物を付加反応して得られるものが好ましい。エチレン性不飽和二重結合基を有するエポキシ化合物の付加反応に用いる触媒に特に制限はなく、公知の触媒を用いることが出来るが、たとえば、ジメチルアニリン、2,4,6-トリスジメチルアミノメチルフェノール、ジメチルベンジルアミン等のアミノ系触媒、2-エチルヘキサン酸スズII、ラウリン酸ジブチルスズ等のスズ系触媒、2-エチルヘキサン酸チタンIV等のチタン系触媒、トリフェニルホスフィン等のリン系触媒およびアセチルアセトネートクロム、塩化クロム等のクロム系触媒などが用いられる。エチレン性不飽和二重結合基を有するエポキシ化合物としては、例えば、メタアクリル酸グリシジル、メタアクリル酸α-エチルグリシジル、メタアクリル酸α-n-プロピルグリシジル、メタアクリル酸α-n-ブチルグリシジル、メタアクリル酸3,4-エポキシブチル、メタアクリル酸3,4-エポキシヘプチル、メタアクリル酸α-エチル-6,7-エポキシヘプチル、アリルグリシジルエーテル、ビニルグリシジルエーテル、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、2,3-ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,4-ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,5-ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,6-ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,4-トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,5-トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,6-トリグリシジルオキシメチルスチレン、3,4,5-トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,4,6-トリグリシジルオキシメチルスチレン等が用いられる。アクリル樹脂がエチレン性不飽和二重結合基を有する場合、その含有量に特に制限はないが、二重結合当量が150gmol以上10,000gmol以下であることが好ましい。上記範囲であることで、硬度と耐クラック性を高いレベルで両立出来る。二重結合当量はヨウ素価を測定することで算出できる。アクリル樹脂の重量平均分子量Mwは特に制限されないが、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCで測定されるポリスチレン換算で、2,000以上200,000以下であることが好ましい。Mwを上記範囲とすることで、良好な塗布特性が得られ、パターン形成する際の現像液への溶解性も良好となる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物において、Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂の含有量に特に制限はなく、所望の膜厚や用途により任意に選ぶことができるが、ネガ型感光性樹脂組成物の固形分中10wt以上60wt以下が一般的である。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、B光重合開始剤を含有する。B光重合開始剤は、光紫外線、電子線を含むにより分解および/または反応し、ラジカルを発生させるものが好ましい。具体例としては、2-メチル-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルフォリン-4-イル-フェニル-ブタン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタノン-1、2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキサイド、ビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-フェニルホスフィンオキサイド、ビス2,6-ジメトキシベンゾイル-2,4,4-トリメチルペンチル-ホスフィンオキサイド、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-o-エトキシカルボニルオキシム、1,2-オクタンジオン1-[4-フェニルチオ-2-O-ベンゾイルオキシム]、1-フェニル-1,2-ブタジオン-2-o-メトキシカルボニルオキシム、1,3-ジフェニルプロパントリオン-2-o-エトキシカルボニルオキシム、エタノン1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-0-アセチルオキシム、4,4-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、p-ジメチルアミノ安息香酸エチル、2-エチルヘキシル-p-ジメチルアミノベンゾエート、p-ジエチルアミノ安息香酸エチル、ジエトキシアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、ベンジルジメチルケタール、1-4-イソプロピルフェニル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、4-2-ヒドロキシエトキシフェニル-2-ヒドロキシ-2-プロピルケトン、1-ヒドロキシシクロヘキシル-フェニルケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾフェノン、o-ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、4,4-ジクロロベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、4-ベンゾイル-4’-メチル-ジフェニルサルファイド、アルキル化ベンゾフェノン、3,3’,4,4’-テトラt-ブチルパーオキシカルボニルベンゾフェノン、4-ベンゾイル-N,N-ジメチル-N-[2-1-オキソ-2-プロペニルオキシエチル]ベンゼンメタナミニウムブロミド、4-ベンゾイルベンジルトリメチルアンモニウムクロリド、2-ヒドロキシ-3-4-ベンゾイルフェノキシ-N,N,N-トリメチル-1-プロペンアミニウムクロリド一水塩、2-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、2-ヒドロキシ-3-3,4-ジメチル-9-オキソ-9H-チオキサンテン-2-イロキシ-N,N,N-トリメチル-1-プロパナミニウムクロリド、2,2’-ビスo-クロロフェニル-4,5,4’,5’-テトラフェニル-1,2-ビイミダゾール、10-ブチル-2-クロロアクリドン、2-エチルアンスラキノン、ベンジル、9,10-フェナンスレンキノン、カンファーキノン、メチルフェニルグリオキシエステル、η5-シクロペンタジエニル-η6-クメニル-アイアン1-ヘキサフルオロフォスフェイト1-、ジフェニルスルフィド誘導体、ビスη5-2,4-シクロペンタジエン-1-イル-ビス2,6-ジフルオロ-3-1H-ピロール-1-イル-フェニルチタニウム、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、4-ベンゾイル-4-メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3-ジエトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニル-2-フェニルアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン、p-t-ブチルジクロロアセトフェノン、ベンジルメトキシエチルアセタール、アントラキノン、2-t-ブチルアントラキノン、2-アミノアントラキノン、β-クロルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンズスベロン、メチレンアントロン、4-アジドベンザルアセトフェノン、2,6-ビスp-アジドベンジリデンシクロヘキサン、2,6-ビスp-アジドベンジリデン-4-メチルシクロヘキサノン、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、N-フェニルチオアクリドン、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイルおよびエオシン、メチレンブルーなどの光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組み合わせなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらのうち、硬化膜の硬度をより高くするためには、α-アミノアルキルフェノン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシムエステル化合物、アミノ基を有するベンゾフェノン化合物またはアミノ基を有する安息香酸エステル化合物が好ましい。α-アミノアルキルフェノン化合物の具体例としては、2-メチル-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルフォリン-4-イル-フェニル-ブタン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタノン-1などが挙げられる。アシルホスフィンオキサイド化合物の具体例としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキサイド、ビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-フェニルホスフィンオキサイド、ビス2,6-ジメトキシベンゾイル-2,4,4-トリメチルペンチル-ホスフィンオキサイドなどが挙げられる。オキシムエステル化合物の具体例としては、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-o-エトキシカルボニルオキシム、1,2-オクタンジオン1-[4-フェニルチオ-2-O-ベンゾイルオキシム]、1-フェニル-1,2-ブタジオン-2-o-メトキシカルボニルオキシム、1,3-ジフェニルプロパントリオン-2-o-エトキシカルボニルオキシム、エタノン1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-0-アセチルオキシムなどが挙げられる。アミノ基を有するベンゾフェノン化合物の具体例としては、4,4-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4-ビスジエチルアミノベンゾフェノンなどが挙げられる。アミノ基を有する安息香酸エステル化合物の具体例としては、p-ジメチルアミノ安息香酸エチル、2-エチルヘキシル-p-ジメチルアミノベンゾエート、p-ジエチルアミノ安息香酸エチルなどが挙げられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物において、B光重合開始剤の含有量の含有量に特に制限はないが、ネガ型感光性樹脂組成物の固形分中0.1wt以上20wt以下であることが好ましい。上記範囲とすることで、硬化を十分に進めることができ、かつ残留した重合開始剤の溶出などを防ぎ耐溶剤性を確保することができる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、C多官能モノマーを含有する。光照射により上記B光重合開始剤によってC多官能モノマーの重合が進行し、本発明のネガ型感光性樹脂組成物の露光部がアルカリ水溶液に対して不溶化し、ネガ型のパターンを形成することができる。多官能モノマーとは、分子中に少なくとも2つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物をいい、特に限定するわけでないが、ラジカル重合のしやすいメタアクリル基を有する多官能モノマーが好ましい。また、C多官能モノマーの二重結合当量は80gmol以上400gmol以下であることが、感度、硬度の点から好ましい。C多官能モノマーとしてはたとえばジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、1,3-ブタンジオールジアクリレート、1,3-ブタンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、1,4-ブタンジオールジアクリレート、1,4-ブタンジオールジメタクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、1,9-ノナンジオールジメタクリレート、1,10-デカンジオールジメタクリレート、ジメチロール-トリシクロデカンジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、テトラペンタエリスリトールノナアクリレート、テトラペンタエリスリトールデカアクリレート、ペンタペンタエリスリトールウンデカアクリレート、ペンタペンタエリスリトールドデカアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタメタクリレート、トリペンタエリスリトールオクタメタクリレート、テトラペンタエリスリトールノナメタクリレート、テトラペンタエリスリトールデカメタクリレート、ペンタペンタエリスリトールウンデカメタクリレート、ペンタペンタエリスリトールドデカメタクリレート、ジメチロール-トリシクロデカンジアクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート、9,9-ビス[4-2-アクリロイルオキシエトキシフェニル]フルオレン、9,9-ビス[4-2-メタクリロイルオキシエトキシフェニル]フルオレン、9,9-ビス[4-2-メタクリロイルオキシエトキシ-3-メチルフェニル]フルオレン、2-アクリロイルオキシプロポキシ-3-メチルフェニル]フルオレン、9,9-ビス[4-2-アクリロイルオキシエトキシ-3、5-ジメチルフェニル]フルオレン、9,9-ビス[4-2-メタクリロイルオキシエトキシ-3、5-ジメチルフェニル]フルオレン、などが挙げられる。中でも、感度向上の観点から、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、などが好ましい。また、疎水性向上の観点から、ジメチロール-トリシクロデカンジアクリレート、ジメチロール-トリシクロデカンジメタクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート、9,9-ビス[4-2-アクリロイルオキシエトキシフェニル]フルオレンなどが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物において、C多官能モノマーの含有量に特に制限はなく、所望の膜厚や用途により任意に選ぶことができるが、ネガ型感光性樹脂組成物の固形分中10wt以上60wt以下が一般的である。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、Dジルコニウム化合物を含有する。Dジルコニウム化合物を含有することで、得られる硬化膜の耐湿熱性が向上する。カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂は、カルボキシル基由来の親水性であるため耐湿熱性に乏しいが、Dジルコニウム化合物を含有することで硬化膜の耐湿熱性が向上する。これまでに、一部のジルコニウム化合物がポリシロキサンに対して耐湿熱性向上効果を持つことが知られているが特許文献1参照、該公知例ではポリシロキサンの側鎖が疎水性基に限られ、結果として得られる硬化膜も疎水性となるため、カルボキシル基などの親水性基を有する場合の効果は明かではなかった。本発明では、ポリシロキサンに限らず、親水性樹脂であるカルボキシル基含有アルカリ可溶性樹脂が、Dジルコニウム化合物を含有することで硬化膜の耐湿熱性が向上することを今回初めて見出した。その詳細なメカニズムについては明らかではないが、Dジルコニウム化合物が、Aカルボン酸当量が200gmol以上1,400gmol以下であるアルカリ可溶性樹脂の複数のカルボキシル基と反応する事によって架橋構造を形成し、膜密度が向上すると同時に、カルボキシル基由来の親水性が低減することにより、得られる硬化膜の耐湿熱性が向上するものと考えられる。Dジルコニウム化合物は、ジルコニウム原子を含む化合物であれば特に制限はないが、たとえば平均粒径が100nm以下のジルコニウム酸化物粒子や、一般式1で表される化合物が好ましい。ジルコニウム酸化物粒子の平均粒径は、さらに好ましくは、40nm以下である。ジルコニウム酸化物粒子の平均粒径を100nm以下とすることで、得られる硬化膜の白濁を防ぐことができる。R1は水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基およびその置換体を表し、R2およびR3は水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基、アルコキシ基およびその置換体を表す。複数のR1、R2およびR3は同じでも異なっても良い。nは0~4の整数を表す。ここで、平均粒径とは、コールター法によって測定した粒度分布より求められるメディアン径を意味する。平均粒径が100nm以下のジルコニウム酸化物粒子は市販品を用いることができ、具体例としては、バイラールZr-C20商品名平均粒径20nm、多木化学株製、ナノユースOZ-30M商品名平均粒径7nm日産化学工業株製、ZSL-10T商品名平均粒径15nm、ZSL-10A商品名平均粒径70nm以上、第一稀元素化学工業株製などが挙げられる。一般式1中、R1はメチル基、エチル基、n-プロピル基、i-プロピル基、n-ブチル基、s-ブチル基、フェニル基、ビニル基などが挙げられる。中でも化合物が安定であることからn-プロピル基、n-ブチル基、フェニル基が好ましい。R2およびR3は水素、メチル基、エチル基、n-プロピル基、i-プロピル基、n-ブチル基、s-ブチル基、t-ブチル基、フェニル基、ビニル基、メトキシ基、エトキシ基、n-プロポキシ基、i-プロポキシ基、n-ブトキシ基、s-ブトキシ基、ベンジルオキシ基などが挙げられる。中でも合成が容易であり、かつ化合物が安定であることからメチル基、t-ブチル基、フェニル基、メトキシ基、エトキシ基が好ましい。一般式1で表される化合物としては、たとえば、ジルコニウムテトラノルマルプロポキシド、ジルコニウムテトラノルマルブトキシド、ジルコニウムテトラセカンダリブトキシド、ジルコニウムテトラフェノキシド、ジルコニウムテトラアセチルアセトネート、ジルコニウムテトラに準拠して鉛筆硬度を測定した。3耐湿熱性モリブデンスパッタ膜を具備するガラス上に、前記1記載の方法で硬化膜を作製した後、気温85°C、湿度85のオーブンエスペック株式会社、EX-111商品名内に300時間放置する試験を行った後、モリブデンの変色度合いを評価した。また、モリブデンスパッタ膜のみのガラス基板も同時に試験を行い、試験前後の変色度合いの指標とし、以下のように判定した。5:試験前後で、硬化膜下のモリブデンに変色が見られない。4:試験前後で、硬化膜下のモリブデンが硬化膜に覆われていないものと比較し、1割程度変色した。3:試験前後で、硬化膜下のモリブデンが硬化膜に覆われていないものと比較し、2割程度変色した。2:試験前後で、硬化膜下のモリブデンが硬化膜に覆われていないものと比較し、4割程度変色した。1:試験前後で、硬化膜下のモリブデンが硬化膜に覆われていないものと比較し、6割程度以上変色した。4パターン加工性4-1感度ネガ型感光性樹脂組成物Aをシリコンウエハにスピンコーターミカサ株製1H-360S商品名を用いて500rpmで10秒回転した後、1,000rpmで4秒回転してスピンコートした後、ホットプレート大日本スクリーン製造株製SCW-636商品名を用いて90°Cで2分間プリベークし、膜厚2μmのプリベーク膜を作製した。得られたプリベーク膜に、PLAを用いて超高圧水銀灯を光源として、感度測定用のグレースケールマスクを介して100μmのギャップで露光した。その後、自動現像装置AD-2000商品名、滝沢産業株製を用いて、水酸化テトラメチルアンモニウム以下、TMAHの0.4wtまたは2.38wt水溶液で90秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。露光、現像後、30μmのラインアンドスペースパターンを1対1の幅に形成する露光量以下、これを最適露光量というを感度とした。露光量はI線照度計で測定した。4-2解像度最適露光量における現像後の最小パターン寸法を測定した。4-3現像後残さ前記4-1に記載の方法でシリコンウエハ上にパターン加工した後、未露光部の溶け残り程度により以下のようにして判定した。5:目視では解け残りが無く、顕微鏡の観察においても50μm以下の微細パターンも残渣がない。4:目視では解け残りが無く、顕微鏡観察において50μm以上のパターンには残渣がないが、50μm以下のパターンには残渣がある。3:目視では解け残りが無いが、顕微鏡観察において50μm以上のパターンに残渣がある。2:目視で、基板端部厚膜部に解け残りがある。1:目視で、未露光部全体に解け残りがある。実施例1黄色灯下にて1,2-オクタンジオン1-[4-フェニルチオ-2-O-ベンゾイルオキシム]イルガキュアOXE-01商品名チバスペシャリティケミカル製0.277gをDAA2.846g、PGMEA2.317gに溶解させ、ジルコニウムジノルマルブトキシビスエチルアセトアセテート70wt1-ブタノール溶液オルガチックスZC-580商品名、マツモトファインケミカル製0.227g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-333商品名ビックケミージャパン株製のPGMEA1wt溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1wt溶液1.661gを加え、撹拌した。そこへ、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートカヤラッド登録商標DPHA商品名、新日本化薬製のPGMEA50重量溶液5.538g、ポリシロキサン溶液i6.923gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-1を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-1について、前記方法で透過率、硬度、耐湿熱性、パターン加工性を評価した。実施例2ポリシロキサン溶液iの替わりにポリシロキサン溶液iiを用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-2を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-2を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。ただし、現像液には2.38wtTMAH水溶液を用いた。実施例3ポリシロキサン溶液iの替わりにポリシロキサン溶液iiiを用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-3を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-3を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例4ポリシロキサン溶液iの替わりにポリシロキサン溶液ivを用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-4を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-4を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例5黄色灯下にて2-メチル-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オンイルガキュア907商品名チバスペシャリティケミカル製0.503g、4,4-ビスジエチルアミノベンゾフェノンEAB-F商品名保土谷化学工業株製0.026gをDAA3.030g、PGMEA2.515g、ZC-580商品名0.227g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-3331wtPGMEA溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコール1wtPGMEA溶液1.588gを加え、撹拌した。そこへ、DPHA50wtPGMEA溶液5.294g、ポリシロキサン溶液i6.617gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-5を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-5を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例6イルガキュアOXE-01の替わりにエタノン1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-0-アセチルオキシムイルガキュアOXE-02商品名チバスペシャリティケミカル製を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-6を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-6を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例7DPHA商品名の代わりにトリペンタエリスリトールオクタアクリレートV802商品名、大阪有機化学株製を用いる以外は、実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-7を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-7を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例8DPHA商品名の代わりにV802商品名50PGMEA溶液3.323gと9,9-ビス[4-2-アクリロイルオキシエトキシフェニル]フルオレンBPEFA商品名、大阪ガスケミカル製50wtPGMEA溶液2.215gを用いる以外は、実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-8を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-8を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例9黄色灯下にて、OXE-01商品名0.277g、DAA2.846g、PGMEA2.016g、ナノユースOZ-30M商品名メタノール溶液、固形分=30.9wt0.538g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-3331wtPGMEA溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコール1wtPGMEA溶液1.661gを加え、撹拌した。DPHA商品名50PGMEA溶液5.538g、ポリシロキサン溶液i6.923gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-9を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-9を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例10黄色灯下にて、OXE-01商品名0.239g、DAA3.410g、PGMEA0.846g、ナノユースOZ-30M商品名メタノール溶液、固形分=30.9wt3.098g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-3331wtPGMEA溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコール1wtPGMEA溶液1.436gを加え、撹拌した。DPHA商品名50PGMEA溶液4.787g、ポリシロキサン溶液i5.984gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-10を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-10を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例11ナノユースOZ-30M商品名0.538gの代わりに、バイラールZr-C20商品名メタノール溶液、固形分=20wtを0.831g用いる以外は実施例9と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-11を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-11を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例12黄色灯下にて、OXE-01商品名0.277g、DAA2.846g、PGMEA2.388g、ジルコニウムテトラアセチルアセトネートナーセムジルコニウム商品名、日本化学産業製0.166g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-3331wtPGMEA溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコール1wtPGMEA溶液1.661gを加え、撹拌した。DPHA商品名50wtPGMEA溶液5.538g、ポリシロキサン溶液i6.923gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-12を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-12を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例13ナーセムジルコニウムの添加量を0.017gとする以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-13を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-13を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例14ナーセムジルコニウムの添加量を0.323gとする以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-14を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-14を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例15ナーセムジルコニウムの替わりにジルコニウムテトラプロポキシドを用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-13を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-13を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例16ナーセムジルコニウムの替わりにジルコニウムテトラフェノキシドを用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-14を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-14を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例17ナーセムジルコニウムの替わりにジルコニウムテトラジルコニウムを用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-19を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-19を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例22ナーセムジルコニウムの替わりにビスジルコニウムクロリドヒドリドを用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-20を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-20を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例23ナーセムジルコニウムの替わりにジルコノセンビステトラヒドロフラン付加物を用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物S-21を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物S-21を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例24ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-1を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-1を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例25ポリシロキサン溶液iiの替わりにアクリル樹脂溶液bを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例2と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-2を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-2を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。ただし、現像液には2.38wtTMAH水溶液を用いた。実施例26ポリシロキサン溶液iiiの替わりにアクリル樹脂溶液cを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例3と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-3を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-3を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例27ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例5と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-4を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-4を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例28ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例6と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-5を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-5を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例29ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例7と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-6を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-6を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例30ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例8と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-7を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-7を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例31ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例9と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-8を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-8を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例32ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例10と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-9を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-9を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例33ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例11と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-10を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-10を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例34ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-11を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-11を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例35ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例13と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-12を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-12を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例36ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例14と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-13を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-13を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例37ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例15と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-14を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-14を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例38ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例16と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-15を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-15を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例39ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例17と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-16を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-16を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例40ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例18と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-17を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-17を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例41ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例19と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-18を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-18を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例42ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例20と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-19を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-19を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例43ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例21と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-20を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-20を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例44ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例22と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-21を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-20を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例45ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液aを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例23と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物A-22を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物A-20を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例46以下の手順に従い、タッチパネル部材を作製した。1ITOの作製厚み約1mmのガラス基板にスパッタリング装置HSR-521A株島津製作所製を用いて、RFパワー1.4kW、真空度6.65×10-1Paで12.5分間スパッタリングすることにより、膜厚が150nmで、表面抵抗が15Ω/□のITOを成膜し、ポジ型フォトレジスト東京応化工業株製OFPR-800を塗布し、80°Cで20分間プリベークして膜厚1.1μmのレジスト膜を得た。PLAを用いて、得られた膜に超高圧水銀灯をマスクを介してパターン露光した後、自動現像装置を用いて2.38wtTMAH水溶液で90秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。その後、40°CのHCl/HNO3/H2O=18/4.5/77.5重量比混合溶液に80秒浸すことでITOをエッチングし、50°Cの剥離液ナガセケムテックス株製N-300で120秒処理することでフォトレジストを除去し、膜厚200オングストロームのパターン加工された透明電極を有するガラス基板を作製した。2透明絶縁膜の作製得られたガラス基板上にネガ型感光性樹脂組成物A-1を用い、上述の評価の方法の手順に従い透明絶縁膜を作製した。3モリブデン/アルミニウム/モリブデン積層膜MAM配線の作製得られたガラス基板上に、ターゲットとしてモリブデンおよびアルミニウムを用い、エッチング液としてH3PO4/HNO3/CH3COOH/H2O=65/3/5/27重量比混合溶液を用いる以外は1と同様の手順によりMAM配線を作製した。4透明保護膜の作製得られたガラス基板上にネガ型感光性樹脂組成物A-1を用い、上述の評価の方法の手順に従い透明保護膜を作製した。テスターを用いて接続部の導通テスト実施したところ、電流の導通が確認された。比較例1ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液dを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例1と同様に行い、樹脂組成物H-1を得た。ここで、アクリル樹脂溶液dのカルボン酸当量は4,600gmolであった。得られた樹脂組成物H-1を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。なお、未露光部が2.38wtTMAH水溶液に溶解せず、パターン加工が出来なかったため、それ以外の評価は現像を行わずに行った。比較例2ポリシロキサン溶液iの替わりにアクリル樹脂溶液eを用い、DAAの替わりに同量のPGMEAをさらに加える以外は実施例1と同様に行い、樹脂組成物H-2を得た。ここで、アクリル樹脂溶液eのカルボン酸当量は140gmolであった。得られた樹脂組成物H-2を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例3黄色灯下にて、PGMEA4.740g、ZC-580商品名0.249g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-3331wtPGMEA溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコール1wtPGMEA溶液1.742gを加え、撹拌した。DPHA商品名50wtPGMEA溶液5.806g、アクリル樹脂溶液a7.258gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、樹脂組成物H-3を得た。この樹脂組成物H-3に光重合開始剤は含まれていない。得られた樹脂組成物H-3を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。なお、露光部未露光部ともに0.4wtTMAH水溶液に溶解性し、パターン加工が出来なかったため、それ以外の評価は現像を行わずに行った。比較例4黄色灯下にて、OXE-01商品名0.277g、PGMEA3.778g、ZC-580商品名0.237g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-3331wtPGMEA溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコール1wtPGMEA溶液1.661gを加え、撹拌した。アクリル樹脂溶液a13.846gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、樹脂組成物H-4を得た。この樹脂組成物H-4に多官能モノマーは含まれていない。得られた樹脂組成物H-4を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例5黄色灯下にて、OXE-01商品名0.285g、PGMEA4.990gシリコーン系界面活性剤であるBYK-3331wtPGMEA溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコール1wtPGMEA溶液1.709gを加え、撹拌した。DPHA商品名50wtPGMEA溶液5.696g、アクリル樹脂溶液a7.120gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、樹脂組成物H-5を得た。この樹脂組成物H-5にジルコニウム化合物は含まれていない。得られた樹脂組成物H-5を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例6黄色灯下にて、OXE-01商品名0.285g、PGMEA2.262g、DAA2.846g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-3331wtPGMEA溶液0.2000g濃度100ppmに相当、4-t-ブチルカテコール1wtPGMEA溶液1.709gを加え、撹拌した。DPHA商品名50wtPGMEA溶液5.696g、ポリシロキサン溶液i7.120gを加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、樹脂組成物H-6を得た。この樹脂組成物H-6にジルコニウム化合物は含まれていない。得られた樹脂組成物H-6を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例7ポリシロキサン溶液iの替わりにポリシロキサン溶液vを用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物H-7を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物H-7を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。なお、未露光部が0.4wtTMAH水溶液に溶解しなかった。"