半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割した際のそれぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートと、前記各区間内に設けられた管理工程に対応する管理工程仕掛制御ゲートと、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを監視し、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化するホストコンピュータとを具備する生産制御システム。請求項1に記載の生産制御システムであって、前記ホストコンピュータは、前記区間内仕掛制御ゲートを監視し、前記各区間内の仕掛が基準値以下であるか判定する手段と、前記各区間内の仕掛が基準値以下であれば、前記区間内仕掛制御ゲートを開いてロットを通過させる手段と、前記管理工程仕掛制御ゲートを監視し、前記管理工程の解除指示が出ているか判定する手段と、前記管理工程の解除指示が出ていれば、前記管理工程仕掛制御ゲートを開いて一定間隔で少なくとも1ロットを通過させる手段と、前記各区間内の仕掛が基準値を超えたら、前記区間内仕掛制御ゲートを開かずロットの通過を抑制する手段とを具備する生産制御システム。請求項2に記載の生産制御システムであって、前記ホストコンピュータは、前記管理工程の解除指示が出ていれば、仕掛ロット数が解除ロット数以上であるか判定する手段と、仕掛ロット数が解除ロット数以上であれば、解除ロット数の分だけロットを通過させる手段と、仕掛ロット数が解除ロット数よりも少なければ、仕掛ロット数と解除ロット数との差分である不足ロット数の分のロットの通過を、次回の工程に持ち越しする手段とを更に具備する生産制御システム。半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割した際のそれぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートを監視する手段と、前記各区間内に設けられた管理工程に対応する管理工程仕掛制御ゲートを監視する手段と、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化する手段とを具備するホストコンピュータ。請求項4に記載のホストコンピュータであって、前記区間内仕掛制御ゲートを監視し、前記各区間内の仕掛が基準値以下であるか判定する手段と、前記各区間内の仕掛が基準値以下であれば、前記区間内仕掛制御ゲートを開いてロットを通過させる手段と、前記管理工程仕掛制御ゲートを監視し、前記管理工程の解除指示が出ているか判定する手段と、前記管理工程の解除指示が出ていれば、前記管理工程仕掛制御ゲートを開いて一定間隔で少なくとも1ロットを通過させる手段と、前記各区間内の仕掛が基準値を超えたら、前記区間内仕掛制御ゲートを開かずロットの通過を抑制する手段とを更に具備するホストコンピュータ。請求項5に記載のホストコンピュータであって、前記管理工程の解除指示が出ていれば、仕掛ロット数が解除ロット数以上であるか判定する手段と、仕掛ロット数が解除ロット数以上であれば、解除ロット数の分だけロットを通過させる手段と、仕掛ロット数が解除ロット数よりも少なければ、仕掛ロット数と解除ロット数との差分である不足ロット数の分のロットの通過を、次回の工程に持ち越しする手段とを更に具備するホストコンピュータ。半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割し、それぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートを設置することと、前記各区間内に管理工程を設け、それぞれの管理工程に管理工程仕掛制御ゲートを設置することと、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化することとを含む生産制御方法。請求項7に記載の生産制御方法であって、前記区間内仕掛制御ゲートを制御し、前記各区間内の仕掛が基準値以下であるか判定することと、前記各区間内の仕掛が基準値以下であれば、前記区間内仕掛制御ゲートを開いてロットを通過させることと、前記管理工程仕掛制御ゲートを制御し、前記管理工程の解除指示が出ているか判定することと、前記管理工程の解除指示が出ていれば、前記管理工程仕掛制御ゲートを開いて一定間隔で少なくとも1ロットを通過させることと、前記各区間内の仕掛が基準値を超えたら、前記区間内仕掛制御ゲートを開かずロットの通過を抑制することとを更に含む生産制御方法。請求項8に記載の生産制御方法であって、前記管理工程の解除指示が出ていれば、仕掛ロット数が解除ロット数以上であるか判定することと、仕掛ロット数が解除ロット数以上であれば、解除ロット数の分だけロットを通過させることと、仕掛ロット数が解除ロット数よりも少なければ、仕掛ロット数と解除ロット数との差分である不足ロット数の分のロットの通過を、次回の工程に持ち越しすることとを更に含む生産制御方法。半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割した際のそれぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートを監視するステップと、前記各区間内に設けられた管理工程に対応する管理工程仕掛制御ゲートを監視するステップと、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化するステップとを計算機に実行させるための生産制御用プログラム。請求項10に記載の生産制御用プログラムであって、前記区間内仕掛制御ゲートを監視し、前記各区間内の仕掛が基準値以下であるか判定するステップと、前記各区間内の仕掛が基準値以下であれば、前記区間内仕掛制御ゲートを開いてロットを通過させるステップと、前記管理工程仕掛制御ゲートを監視し、前記管理工程の解除指示が出ているか判定するステップと、前記管理工程の解除指示が出ていれば、前記管理工程仕掛制御ゲートを開いて一定間隔で少なくとも1ロットを通過させるステップと、前記各区間内の仕掛が基準値を超えたら、前記区間内仕掛制御ゲートを開かずロットの通過を抑制するステップとを更に計算機に実行させるための生産制御用プログラム。請求項11に記載の生産制御用プログラムであって、前記管理工程の解除指示が出ていれば、仕掛ロット数が解除ロット数以上であるか判定するステップと、仕掛ロット数が解除ロット数以上であれば、解除ロット数の分だけロットを通過させるステップと、仕掛ロット数が解除ロット数よりも少なければ、仕掛ロット数と解除ロット数との差分である不足ロット数の分のロットの通過を、次回の工程に持ち越しするステップとを更に計算機に実行させるための生産制御用プログラム。半導体デバイスの製造において、従来、工程毎に仕掛量のバラツキがあり、仕掛の多い工程で処理待ちが増えることにより、製品ロットの進度が低下していた。本発明の目的は、半導体デバイスの製造において、仕掛量を平準化させ、処理待ち時間を低減させる生産制御システムを提供することである。本発明に係る生産制御システムは、半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割した際のそれぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートと、前記各区間内に設けられた管理工程に対応する管理工程仕掛制御ゲートと、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを監視し、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化するホストコンピュータとを具備する。本発明に係るホストコンピュータは、半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割した際のそれぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートを監視する手段と、前記各区間内に設けられた管理工程に対応する管理工程仕掛制御ゲートを監視する手段と、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化する手段とを具備する。本発明に係る生産制御方法半導体装置の製造方法では、半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割し、それぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートを設置する。また、前記各区間内に管理工程を設け、それぞれの管理工程に管理工程仕掛制御ゲートを設置する。また、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化する。本発明に係る生産制御用プログラムは、半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割した際のそれぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートを監視するステップと、前記各区間内に設けられた管理工程に対応する管理工程仕掛制御ゲートを監視するステップと、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化するステップとを計算機に実行させるためのプログラムである。本発明に係る生産制御用プログラムは、上記の生産制御方法における処理を、計算機に実行させるための生産制御用プログラムである。なお、本発明に係る生産制御用プログラムは、記憶装置や記憶媒体に格納することが可能である。工程フローの区間の作業時間を一定にし、仕掛を最小にして、処理待ち時間を最小にするように制御することが可能になる。<実施形態>以下に、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。図1に、本発明に係る生産制御の構成図を示す。通常、半導体デバイスの製造工程は、ウェハwafer処理を行う前工程と、組み立て検査を行う後工程に分かれている。前工程では、成膜、フォトリソグラフィ、エッチング、イオン注入、配線等の処理を行う400~800の工程フローから成り立っている。本実施例は、前工程の生産制御について記載する。まず、投入から入庫までをそれぞれ区間内の作業時間がほぼ均一になるようにいくつかの区間で分割する。この分割された区間のそれぞれ最初の工程に区間内仕掛制御ゲート10を設置する。次に、区間内にいくつかの管理工程を設け、それらの工程管理工程に管理工程仕掛制御ゲート20を設置する。仕掛制御ゲートとは、遮断機等で通常ゲートを閉じておき、ロットが来てもその工程でストップ停止させておき、一定間隔でゲートを開きロットを通過させるという機能である。通常、半導体デバイス製造ラインでは、ホストコンピュータによる生産管理を行っており、工程毎に、ロットの作業実績ロットNo、枚数、作業開始日時、終了日時や処理号機等、仕掛ロット情報ロットNo、枚数、仕掛日時、所在、優先ランク、目標工期、遅れ時間等、ロット毎の工程情報工程手順、工程コード、設備コード、条件キー、作業可能号機、指定工程前ストップ機能等等の様々な情報を管理している。ここでは、仕掛制御ゲートとして、ロット毎の指定工程前ストップ機能を活用して実現した仮想的なゲートを想定している。なお、実際には、物理的なゲートであっても良い。区間内仕掛制御ゲート10、管理工程仕掛制御ゲート20の設置されている工程では、管理対象の全てのロットに対し指定工程前ストップ指示を行う。そして、通過させるロットのみ、指定工程前ストップを解除する。この操作により、通過させたいロットのみ、その工程の作業開始が可能となる。このように、あたかも仕掛制御ゲートでロットの通過と遮断を制御しているようにロットの流れを制御することができる。[生産制御の動作実施例1]図2に、本発明に係る生産制御の動作のフローチャートを示す。ここでは、ホストコンピュータ100が、個々の仕掛制御ゲート区間内仕掛制御ゲート10及び管理工程仕掛制御ゲート20を監視し、該生産制御の動作に関する制御を行うものとする。但し、実際には、個々の仕掛制御ゲートが、自身の対応する工程の際に、各自で処理するようにしても良い。1ステップS101ホストコンピュータ100は、1日当りの投入量から計算した間隔例えば、投入量が12ロット/日であれば2時間おきで仕掛制御を開始する。すなわち、工程ループを開始し、工程毎の処理を行う。2ステップS102ホストコンピュータ100は、その工程が区間内仕掛制御ゲート10であるか判定する。或いは、区間内仕掛制御ゲート10は、その工程が自身の区間内であるか該区間内仕掛制御ゲート10に到達したか判定する。3ステップS103ホストコンピュータ100は、その工程が区間内仕掛制御ゲート10であれば、該区間内仕掛制御ゲート10において、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であるか区間内の仕掛量が基準仕掛量を越えていないか判定する。或いは、区間内仕掛制御ゲート10は、その工程が自身の区間内であれば、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であるか判定する。なお、ホストコンピュータ100は、区間内の仕掛量が基準仕掛量を越えていたら、区間内仕掛制御ゲート10を開けない。或いは、区間内仕掛制御ゲート10は、区間内の仕掛量が基準仕掛量を越えていたら、開かない。ここで、基準仕掛量は区間内の工程数とする。例えば、区間内の工程数が17工程であれば、基準仕掛量は17ロットとする。これにより区間内で仕掛量が基準値以上に増加し、処理待ちロットが増加するのを防止する。4ステップS104次に、ホストコンピュータ100は、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であれば、区間内仕掛制御ゲート10を開き、管理工程仕掛制御ゲート20において、その管理工程に解除指示が出ているか判定する。或いは、区間内仕掛制御ゲート10は、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であれば、開いて、管理工程に移行する。管理工程仕掛制御ゲート20は、ホストコンピュータ100から、その管理工程の解除指示が出ているか判定する。なお、解除指示は、ホストコンピュータ100に入力/設定されるものとする。ホストコンピュータ100は、入力/設定された解除指示があれば、その管理工程の解除指示が出ていると判断し、その管理工程を解除する。或いは、ホストコンピュータ100は、入力/設定された解除指示に従い、管理工程仕掛制御ゲート20に、その管理工程の解除指示を出す。5ステップS105ホストコンピュータ100は、解除指示が出ていれば、管理工程仕掛制御ゲート20を開き、1ロットのみ通過させる。或いは、管理工程仕掛制御ゲート20は、解除指示が出ていれば、開いて、1ロットのみ通過させる。通過したロットについては、作業の優先ランク優先順位を上げて確実に作業させる。6ステップS106ホストコンピュータ100は、以上の処理を、全ての工程について繰り返し、全ての工程について以上の処理を行った場合、工程ループを終了する。[仕掛制御試行結果]図3に、本発明による仕掛制御試行結果を示す。従来の方法では、基準仕掛量が17ロットに対し、区間内仕掛が27~30ロットとなり、平均進度指数は0.59であった。これに対し、仕掛制御機能を適用した結果、区間内仕掛は15~16ロットと、基準仕掛量内に収まり、平均進度指数は0.72まで向上した。しかし、目標進度指数の1.0に達していないため、解析を行った。[仕掛制御ゲート通過ロットの星取り表]図4に、仕掛制御ゲート通過ロットの星取り表を示す。仕掛制御ゲートが開いた回数は135回で、通過したロットは95ロット、通過率は70となる。よって、仕掛制御ゲートが開いたのにロットが通過しなかった空振りによる非通過率空振り率が30程度あった。そこで、実施例2として、この空振りを無くす対策を施す。[空振り対策のイメージ]図5A~図5Cに、空振り対策のイメージ図を示す。仕掛制御ゲートは2時間おきに開くものとし、区間内には工程A1~E1までの5つの工程が存在する場合を考える。まず、図5Aのように、10:00時点に、工程A1~E1まで解除指示を行い、5つの工程全ての仕掛制御ゲートを開き、1ロットずつの通過を許可する。ところが、工程B1とC1には仕掛がなく、ロットを通過させることができなかったとする。このように不通過の仕掛制ゲートが存在した場合、一定時間後ここでは20分後に、不通過工程B1とC1の仕掛制御ゲートを開きロットの通過を許可する。図5Bでは、10:20時点に、不通過工程B1とC1の解除指示を行い、不通過工程B1とC1の仕掛制御ゲートを開き、ロットの通過を許可する。ここで、工程C1はロットが通過したが、工程B1はロットが再度不通過になったものとする。この場合、ロットが通過するまで、仕掛制御ゲート通過を試みる。また、図5Bでは、10:40時点から11:40時点まで、不通過工程B1の解除指示を行い、不通過工程B1の仕掛制御ゲートを開き、ロットの通過を許可する処理を繰り返している。それでも通過できず、次回のタイミング12:00まで持ち越された場合は、ロット数を積上げて2ロットの通過を許可する。図5Cでは、12:00時点で、次回の工程A1~E1のうち、次回の工程B1のロット数を積上げて、工程A1~E1まで解除指示を行い、5つの工程全ての仕掛制御ゲートを開き、工程B1のみ2ロットの通過を許可し、他の工程は1ロットずつの通過を許可する。このような処理を繰り返すことにより、空振り対策とした。[空振り対策を盛り込んだ生産制御の動作実施例2]図6に、空振り対策を盛り込んだ生産制御の動作のフローチャートを示す。ここでは、ホストコンピュータ100が、個々の仕掛制御ゲートを監視し、該生産制御の動作に関する制御を行うものとする。但し、実際には、個々の仕掛制御ゲートが、自身の対応する工程の際に、各自で処理するようにしても良い。1ステップS201ホストコンピュータ100は、1日当りの投入量から計算した間隔例えば、投入量が12ロット/日であれば2時間おきで仕掛制御を開始する。すなわち、工程ループを開始し、工程毎の処理を行う。2ステップS202ホストコンピュータ100は、その工程が区間内仕掛制御ゲート10であるか判定する。或いは、区間内仕掛制御ゲート10は、その工程が自身の区間内であるか該区間内仕掛制御ゲート10に到達したか判定する。3ステップS203ホストコンピュータ100は、その工程が区間内仕掛制御ゲート10であれば、該区間内仕掛制御ゲート10において、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であるか区間内の仕掛量が基準仕掛量を越えていないか判定する。或いは、区間内仕掛制御ゲート10は、その工程が自身の区間内であれば、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であるか判定する。なお、ホストコンピュータ100は、区間内の仕掛量が基準仕掛量を越えていたら、区間内仕掛制御ゲート10を開けない。或いは、区間内仕掛制御ゲート10は、区間内の仕掛量が基準仕掛量を越えていたら、開かない。ここで、基準仕掛量は区間内の工程数とする。例えば、区間内の工程数が17工程であれば、基準仕掛量は17ロットとする。これにより区間内で仕掛量が基準値以上に増加し、処理待ちロットが増加するのを防止する。4ステップS204次に、ホストコンピュータ100は、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であれば、区間内仕掛制御ゲート10を開き、管理工程仕掛制御ゲート20において、その管理工程に解除指示が出ているか判定する。或いは、区間内仕掛制御ゲート10は、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であれば、開いて、管理工程に移行する。管理工程仕掛制御ゲート20は、ホストコンピュータ100から、その管理工程の解除指示が出ているか判定する。5ステップS205ホストコンピュータ100は、解除指示が出ていれば、仕掛ロット数が解除ロット数以上仕掛ロット数≧解除ロット数であるか判定する。或いは、管理工程仕掛制御ゲート20は、解除指示が出ていれば、仕掛ロット数が解除ロット数以上仕掛ロット数≧解除ロット数であるか判定する。6ステップS206ホストコンピュータ100は、仕掛ロット数が解除ロット数以上であれば、管理工程仕掛制御ゲート20を開き、解除ロット数の分だけロットを通過させる。通過したロットについては、作業の優先ランクを上げて確実に作業させる。或いは、管理工程仕掛制御ゲート20は、仕掛ロット数が解除ロット数以上であれば、開いて、解除ロット数の分だけロットを通過させる。7ステップS207また、ホストコンピュータ100は、仕掛ロット数が解除ロット数よりも少なければ、不足ロット数の分仕掛ロット数と解除ロット数の差分のロットの通過を次回のタイミング次回の工程に持ち越しする。或いは、管理工程仕掛制御ゲート20は、仕掛ロット数が解除ロット数よりも少なければ、不足ロット数の分仕掛ロット数と解除ロット数の差分のロットの通過を次回のタイミング次回の工程に持ち越しする。8ステップS208ホストコンピュータ100は、以上の処理を、全ての工程について繰り返し、全ての工程について以上の処理を行った場合、工程ループを終了する。図6のフローチャートを用いて、図5A~図5Cの例について説明すると、基本的には図2の動作と同様であるが、工程B1とC1には仕掛がなく、ロットを通過させることができなかった場合、ステップS205の仕掛ロット数≧解除ロット数の判定でNo否となるため、不足ロット数を次回に持ち越しとなり、図5Bのように、10:20時点で、工程B1とC1の仕掛制御ゲートを開き、1ロットずつロットの通過が許可される。以降同様の処理が繰り返される。図3の試行結果によると、空振り対策なし実施例1で平均進度指数0.72だったものが、空振り対策を追加すること実施例2により平均進度指数0.95まで向上したことがわかる。上記の実施例では、仕掛制御ゲートを開く間隔を、単純に24時間を1日当り投入ロット数で割って2時間おきとしたが、実際には、設備の稼働率を考慮して仕掛制御ゲートを開くタイミングを調整する。例えば、設備稼働率を90とすると、24×0.9/12=1.8であるため、1.8時間おきに仕掛制御ゲートを開くというタイミングに調整する。これにより最適化すれば、10程度の進度向上が見込め、目標進度指数1.0を達成することが期待できる。[生産制御システムの構成の詳細]図7を参照して、本発明に係る生産制御システムの構成の詳細について説明する。本発明に係る生産制御システムは、区間内仕掛制御ゲート10と、管理工程仕掛制御ゲート20と、ホストコンピュータ100を含む。区間内仕掛制御ゲート10、及び管理工程仕掛制御ゲート20については、上記の説明の通りである。ホストコンピュータ100は、制御部110と、記憶部120と、通信部130を備える。制御部110は、本発明に係る生産制御システムを実現するために必要な処理及び制御を行う。記憶部120は、本発明に係る生産制御システムを実現するために必要なプログラム及び各種情報を記憶する。通信部130は、本発明に係る生産制御システムを実現するために必要な通信を行う。制御部110は、区間内仕掛制御ゲート監視制御部111と、管理工程仕掛制御ゲート監視制御部112を備える。区間内仕掛制御ゲート監視制御部111は、区間内仕掛制御ゲート10に関する処理を行う。例えば、区間内仕掛制御ゲート監視制御部111は、通信部130を介して区間内仕掛制御ゲート10を監視し、区間内仕掛制御ゲート10において、区間内の仕掛量が基準仕掛量以下であるか判定する。区間内仕掛制御ゲート監視制御部111は、区間内の仕掛量が基準仕掛量を越えていたら、区間内仕掛制御ゲート10を開かない。管理工程仕掛制御ゲート監視制御部112は、管理工程仕掛制御ゲート20に関する処理を行う。例えば、管理工程仕掛制御ゲート監視制御部112は、通信部130を介して管理工程仕掛制御ゲート20を監視し、管理工程仕掛制御ゲート20において、その管理工程の解除指示が出ているか判定し、解除指示が出ていれば、管理工程仕掛制御ゲート20を開き、所定の数のロットを通過させる。記憶部120は、本発明に係る生産制御用プログラム121を保持する。この場合、制御部110は、記憶部120から生産制御用プログラム121を読み出して実行することで、区間内仕掛制御ゲート監視制御部111と、管理工程仕掛制御ゲート監視制御部112を実現する。また、制御部110は、通信部130を介して生産制御用プログラムをダウンロードし、そのまま実行、或いは記憶部120に格納しても良い。<ハードウェアの例示>ホストコンピュータ100の例として、PCパソコン、ワークステーション、メインフレーム、スーパーコンピュータ等の計算機を想定している。なお、ホストコンピュータ100は、単体の計算機でも良いし、複数の計算機の組合せでも良い。図示しないが、上記のような計算機は、プログラムに基づいて駆動し所定の処理を実行するプロセッサと、当該プログラムや各種データを記憶するメモリによって実現される。また、上記のような計算機は、必要に応じて、ネットワークとの通信に用いられるインタフェースを備えている。上記のプロセッサの例として、CPUCentralProcessingUnit、ネットワークプロセッサNP:NetworkProcessor、マイクロプロセッサmicroprocessor、マイクロコントローラ、或いは、専用の機能を有する半導体集積回路IC:IntegratedCircuit等が考えられる。上記のメモリの例として、RAMRandomAccessMemory、ROMReadOnlyMemory、EEPROMElectricallyErasableandProgrammableReadOnlyMemoryやフラッシュメモリ等の半導体記憶装置、HDDHardDiskDriveやSSDSolidStateDrive等の補助記憶装置、又は、DVDDigitalVersatileDisk等のリムーバブルディスクや、SDメモリカードSecureDigitalmemorycard等の記憶媒体メディア等が考えられる。また、レジスタregisterでも良い。或いは、DASDirectAttachedStorage、FC-SANFibreChannel-StorageAreaNetwork、NASNetworkAttachedStorage、IP-SANIP-StorageAreaNetwork等を用いたストレージ装置でも良い。なお、上記のプロセッサ及び上記のメモリは、一体化していても良い。例えば、近年では、マイコン等の1チップ化が進んでいる。従って、計算機等に搭載される1チップマイコンが、プロセッサ及びメモリを備えている事例が考えられる。上記のインタフェースの例として、ネットワーク通信に対応した基板マザーボード、I/Oボードやチップ等の半導体集積回路、NICNetworkInterfaceCard等のネットワークアダプタや同様の拡張カード、アンテナ等の通信装置、接続口コネクタ等の通信ポート等が考えられる。また、ネットワークの例として、インターネット、LANLocalAreaNetwork、無線LANWirelessLAN、WANWideAreaNetwork、バックボーンBackbone、ケーブルテレビCATV回線、固定電話網、携帯電話網、WiMAXIEEE802.16a、3G3rdGeneration、専用線leaseline、IrDAInfraredDataAssociation、Bluetooth登録商標、シリアル通信回線、データバス等が考えられる。制御部110の例として、上記のプロセッサを想定している。なお、制御部110は、上記のプロセッサと上記のメモリと上記のインタフェースの組合せでも良い。記憶部120の例として、上記のメモリを想定している。なお、記憶部120は、上記のプロセッサと上記のメモリと上記のインタフェースの組合せでも良い。通信部130の例として、上記のインタフェースを想定している。なお、通信部130は、上記のプロセッサと上記のメモリと上記のインタフェースの組合せでも良い。区間内仕掛制御ゲート監視制御部111、及び管理工程仕掛制御ゲート監視制御部112は、アプリケーションソフトウェア、モジュールmodule、コンポーネントcomponent、或いは専用デバイス、又はこれらの起動呼出プログラムでも良い。但し、実際には、これらの例に限定されない。<まとめ>本発明では、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分け、その区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートを設ける。また、区間内にいくつかの管理工程を設け、その工程に管理工程仕掛制御ゲートを設ける。区間内の仕掛が基準値以下であれば区間内仕掛制御ゲートを開いてロットを通過させ、管理工程仕掛制御ゲートを開いて一定間隔で1ロットのみ通過させる。また、区間内の仕掛が基準値を超えたら区間内仕掛制御ゲートでロットを通過させない。このように、工程フローの一定区間で各ロットに対し進め止まれを厳しく制御し、同区間内でも各ロットに対し進め止まれと制御することにより、区間の作業時間を一定にし、仕掛を最小にして、処理待ち時間がミニマムminimum:最小になるように制御する。本発明では、区間内仕掛制御ゲートと管理工程仕掛制御ゲートの2階層のゲートを設けることにより、一定の区間内だけでなく、投入から入庫までの工程全体の仕掛平準化を実現している。また、本発明では、空振り対策を盛り込むことにより、たまたま通過すべき工程に仕掛がなかった場合も挽回処理をすることにより、進度を向上させる機能を有する。<付記>上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のように記載することも可能である。但し、実際には、以下の記載例に限定されない。付記1半導体装置の製造工程において、投入から入庫までを一定間隔でいくつかの区間に分割した際のそれぞれの区間内の仕掛量を制御する区間内仕掛制御ゲートと、前記各区間内に設けられた管理工程に対応する管理工程仕掛制御ゲートと、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを監視し、前記区間内仕掛制御ゲート及び前記管理工程仕掛制御ゲートを制御して、投入から入庫までの工程全体の仕掛を平準化するホストコンピュータとを具備する生産制御システム。付記2付記1に記載の生産制御システムであって、前記ホストコンピュータは、前記区間内仕掛制御ゲートを監視し、前記各区間内の仕掛が基準値以下であるか判定する手段と、前記各区間内の仕掛が基準値以下であれば、前記区間内仕掛制御ゲートを開いてロットを通過させる手段と、前記管理工程仕掛制御ゲートを監視し、前記管理工程の解除指示が出ているか判定する手段と、前記管理工程の解除指示が出ていれば、前記管理工程仕掛制御ゲートを開いて一定間隔で少なくとも1ロットを通過させる手段と、前記各区間内の仕掛が基準値を超えたら、前記区間内仕掛制御ゲートを開かずロットの通過を抑制する手段とを具備する生産制御システム。付記3付記2に記載の生産制御システムであって、前記ホストコンピュータは、前記管理工程の解除指示が出ていれば、仕掛ロット数が解除ロット数以上であるか判定する手段と、仕掛ロット数が解除ロット数以上であれば、解除ロット数の分だけロットを通過させる手段と、仕掛ロット数が解除ロット数よりも少なければ、仕掛ロット数と解除ロット数との差分である不足ロット数の分のロットの通過を、次回の工程に持ち越しする手段とを更に具備する生産制御システム。付記4付記1に記載の生産制御システムであって、前記区間内仕掛制御ゲートは、前記各区間内の仕掛が基準値以下であるか判定する手段と、前記各区間内の仕掛が基準値以下であれば、前記区間内仕掛制御ゲートを開いてロットを通過させる手段とを具備し、前記管理工程仕掛制御ゲートは、前記管理工程の解除指示が出ているか判定する手段と、前記管理工程の解除指示が出ていれば、前記管理工程仕掛制御ゲートを開いて一定間隔で少なくとも1ロットを通過させる手段と、前記各区間内の仕掛が基準値を超えたら、前記区間内仕掛制御ゲートを開かずロットの通過を抑制する手段とを具備する生産制御システム。付記5付記4に記載の生産制御システムであって、前記管理工程仕掛制御ゲートは、前記管理工程の解除指示が出ていれば、仕掛ロット数が解除ロット数以上であるか判定する手段と、仕掛ロット数が解除ロット数以上であれば、解除ロット数の分だけロットを通過させる手段と、仕掛ロット数が解除ロット数よりも少なければ、仕掛ロット数と解除ロット数との差分である不足ロット数の分のロットの通過を、次回の工程に持ち越しする手段とを更に具備する生産制御システム。<備考>以上、本発明の実施形態を詳述してきたが、実際には、上記の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の変更があっても本発明に含まれる。