"外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を供給水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に前記供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、蒸気と温水とに分離する気液分離装置と、前記気液分離器の気相部に設けられた蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記気液分離器内の圧力を検出する圧力計と、前記蒸気取出し経路に配置された蒸気制御弁とを備え、前記蒸気制御弁は、前記圧力計の計測値の降下速度が、予め設定された上限値以下となるように、開度が制御されることを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。前記給水経路は、前記水循環経路との接続部と前記媒体凝縮器との間にポンプを備え、前記上限値は、蒸気取出し流量増加時に、下記1の関係が維持される値に設定される、請求項1に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置。気液分離器の液相部の飽和蒸気圧力-気液分離器の気相部圧力<ポンプの設計有効吸込圧力-ポンプの必要吸込圧力1前記蒸気制御弁は、前記圧力計の計測値の降下速度が予め設定された範囲内の場合は予め設定した開度で開弁するように動作し、前記圧力計の計測値の降下速度が予め設定された上限値よりも大きい場合は閉じる方向に動作し、前記圧力計の計測値の降下速度が予め設定された下限値よりも小さい場合は開く方向に動作するように制御される、請求項1又は2に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置。しかしながら、特許文献1に記載されたヒートポンプ式蒸気温水発生装置では、蒸気取り出し量が急増すると、気液分離器内の圧力が低下し、気液分離器から蒸気生成用熱交換器本発明の媒体凝縮器に相当への温水の供給量が減少する。気液分離器からの温水の供給量が不足すると、熱交換効率が低下する上、供給水に含まれる塩類の析出量が多くなって、配管内にスケールなどの異物が付着し、熱交換性能が低下する問題があった。一方、図3は、本願発明者らの先の出願特願2010-112645に係る発明のヒートポンプ式蒸気発生装置である。図3に示すように、このヒートポンプ式蒸気生成装置は、第1排熱回収器1の出口側から伸びた配管L1が、圧縮機2、媒体凝縮器3、媒体冷却器4、膨張機5の順に経由して、第1排熱回収器1の入り口側に接続したヒートポンプ循環経路20を備える。給水源から伸びた、供給水が流通する配管L3は、給水ポンプP1、第2排熱回収器6、媒体冷却器4、媒体凝縮器3の順に経由して、気液分離器7の気相部に接続している。気液分離器7の気相部には、蒸気取出し用の配管L4が設けられており、液相部には、系外への排水を行う開閉弁V2を介装した配管L5と、媒体冷却器4と媒体凝縮器3との間の配管L3aに接続する配管L6が設けられている。配管L3aの配管L6との接続部よりも下流側には、送液ポンプP2が配置されている。上記の構成において、気液分離器7から外部へ蒸気の供給は、需要に応じて蒸気取出し用の配管L4から外部に供給される。気液分離器7からの蒸気取出し流量を増やすには、媒体凝縮器3における熱回収量を変化させて気液分離器7での蒸気生成量を増加させて蒸気需要に追従させる必要があるが、この操作には遅れがある。その為、蒸気取出し用の配管L4からの蒸気取出し流量を急増すると、気液分離器7内の圧力が配管L6を流れる循環水の飽和蒸気圧力より低くなる。図4は、40L容積の気液分離器において、経過時間の2秒に蒸気取出し流量を72kg/hから108kg/hにステップで増加した場合の気液分離器気相部の圧力図中の実線と液相部の温度から導出した飽和圧力図中の破線を示したものである。図5は気相部圧力の微分値である。図4、5が示すように、気液分離器気相部の圧力は、蒸気取出し流量を増加した直後に急峻な低下を生じ、その後圧力低下速度が遅くなり一定値に収束する傾向が見られ、気相部圧力と液相部の飽和蒸気圧力との差が収束する経過を示している。すなわち、蒸気取出し流量を増加させると、媒体凝縮器3を経由して気液分離器7に供給される蒸気流量は直ぐには増加しないので、気液分離器7の圧力が低下するが、気液分離器7内の温水が蒸発することによって蒸気取出し流量が保持される。液相部から気相部への温水の蒸発には、蒸気圧差が必要なので、気相部の圧力より液相部の飽和蒸気圧力のほうが高い値となっている。この圧力差が送液ポンプP2のキャビテーションの要因となる。即ち、送液ポンプP2の入口温度は急には下がらないが、気液分離器7から伝播する圧力が低くなるので、必要吸い込み圧力が確保できなくなりキャビテーションが発生する。このように、蒸気取出し流量を増加させると、送液ポンプP2の必要吸い込み圧力が不足し、キャビテーションが生じて送液ができなくなり、更には、気液分離器7の液面が変動して、気液分離器7の水位に基いて制御される給水ポンプP1の給水量設定もできなくなり、制御不能の状態に陥る問題があった。よって、本発明の目的は、外部からの蒸気需要が急増しても、蒸気の安定供給可能なヒートポンプ式蒸気生成装置を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置は、外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を供給水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に前記供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、蒸気と温水とに分離する気液分離装置と、前記気液分離器の気相部に設けられた蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記気液分離器内の圧力を検出する圧力計と、前記蒸気取出し経路に配置された蒸気制御弁とを備え、前記蒸気制御弁は、前記圧力計の計測値の降下速度が、予め設定された上限値以下となるように、開度が制御されることを特徴とする。本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置は、前記給水経路が、前記水循環経路との接続部と前記媒体凝縮器との間にポンプを備え、前記上限値が、蒸気取出し流量増加時に、下記1の関係が維持される値に設定されることが好ましい。気液分離器の液相部の飽和蒸気圧力-気液分離器の気相部圧力<ポンプの設計有効吸込圧力-ポンプの必要吸込圧力1本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置の蒸気制御弁は、前記圧力計の計測値の降下速度が予め設定された範囲内の場合は予め設定した開度で開弁するように動作し、前記圧力計の計測値の降下速度が予め設定された上限値よりも大きい場合は閉じる方向に動作し、前記圧力計の計測値の降下速度が予め設定された下限値よりも小さい場合は開く方向に動作するように制御されることが好ましい。本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置は、気液分離器の圧力計の計測値の降下速度が、予め設定された上限値以下となるように、蒸気制御弁の開度が制御されるので、外部からの蒸気需要が急増しても、蒸気発生装置の蒸気発生量の増加に応じて蒸気が取出されるので、送液ポンプのキャビテーション発生を防止でき、安定した運転を行うことができる。図1は、本発明を適用したヒートポンプ式蒸気生成装置の概略図である。図1に示すように、このヒートポンプ式蒸気生成装置1は、第1排熱回収器1の出口側から伸びた配管L1が、圧縮機2、媒体凝縮器3、媒体冷却器4、膨張機5の順に経由して、第1排熱回収器1の入り口側に接続したヒートポンプ循環経路20を備える。ヒートポンプ循環経路20では、媒体以下、ヒートポンプ媒体というが循環流通しており、ヒートポンプ媒体を介して外部熱源から送られてくる熱媒体この実施形態では、熱媒体として排温水を使用しているの熱を回収するとともに、給水源から送られてくる供給水にヒートポンプ媒体の熱を伝熱して蒸気を生成するように構成されている。ヒートポンプ媒体としては、臨界温度が高く、地球温暖化係数が低く、オゾン破壊係数の低いものが好ましく用いられる。このような媒体としては、R245fa、ハイドロフルオロエーテル系媒体、自然媒体であるペンタン等が好ましく用いることができる。外部熱源から伸びた、排温水が流通する配管L2は、第1排熱回収器1、第2排熱回収器6の順に経由して系外に接続している。給水源から伸びた、供給水が流通する配管L3は、給水ポンプP1、第2排熱回収器6、媒体冷却器4、送液ポンプP2、媒体凝縮器3の順に経由して、気液分離器7の気相部に接続している。気液分離器7は、気相部の圧力を検出する圧力計31と貯留された温水の水位を検出する水位計33が設けられている。また、気相部に、蒸気流量計32及び蒸気制御弁V1を介装した蒸気取出し用の配管L4が設けられている。また、液相部に、系外の排水系へと伸びる開閉弁V2を介装した配管L5と、媒体冷却器4と媒体凝縮器3との間の配管L3aに接続する配管L6が設けられている。配管L3aの配管L6との接続部よりも下流側には、送液ポンプP2が配置されている。次に、本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置の定常運転時における動作について、熱の流れに沿って、図2の制御ブロック図も参照して説明する。なお、定常運転時とは、蒸気取出し用の配管L4からの蒸気の取出し流量がほぼ一定で安定している状態、すなわち、気液分離器7内の圧力降下速度が設定範囲内である状態のことである。排温水工場排水系等の外部熱源から送られる排温水は、配管L2を流通し、第1排熱回収器1、第2排熱回収器6の順に通過して系外へと送られる。第1排熱回収器1では、排温水の熱を、配管L1を流通するヒートポンプ媒体に伝熱してヒートポンプ媒体を加温する。第2排熱回収器6では、ヒートポンプ媒体を加温後の排温水の余熱を、配管L3を流通する供給水に伝熱して供給水を一次予備加熱する。ヒートポンプ媒体第1排熱回収器1にて、排温水との熱交換により加温されたヒートポンプ媒体は、圧縮機2にて所定の圧力まで圧縮して高温高圧媒体とする。この高温高圧媒体は、媒体凝縮器3、媒体冷却器4の順に通過して、配管L3を流通する供給水との熱交換に利用される。圧縮機2は、図2の制御ブロック図に示すように、圧縮機コントローラ41で気液分離器7の圧力計31の測定値と、気液分離器7の圧力設定値本実施形態では、200kPaabs温度で120°Cに相当であるとを比較補償して出力される回転数指令値に基づいて制御される。圧縮機2は、圧力計31の測定値が気液分離器7の圧力設定値よりも小さいときには回転数を上げられ、圧力計31の測定値が気液分離器7の圧力設定値よりも大きいときには回転数を下げられる制御が行われる。媒体凝縮器3では、高温高圧になったヒートポンプ媒体の熱を、配管L3を流通する被加熱水後述する二次予備加熱された供給水と、配管L6から送られてくる気液分離器7内の温水との混合水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する。媒体冷却器4では、媒体凝縮器3を通過後のヒートポンプ媒体の余熱を、前述した排温水との熱交換により一次予備加熱された、配管L3を通る供給水に伝熱して二次予備加熱する。媒体冷却器4を通過したヒートポンプ媒体は、膨張機5にて所定圧力まで膨張して温度を下げられ、第1排熱回収器1に再び導入されて配管L2を流通する排温水の熱回収に用いられる。供給水給水源から給水ポンプP1で供給される供給水は、供給水の質量流量Q1が、配管L4から取出される蒸気の質量流量Q2及び配管L5からの排水流量Q3との合計量Q2Q3となるように制御される。具体的には、図2の制御ブロック図に示すように、まず、気液分離器7の圧力計31の計測値と開閉弁V2のバルブ容量係数に基づいて、配管L5からの排水流量ブローダウン流量計算値がブローダウン流量計算器43によって出力される。また、配管L4に設けられた蒸気流量計32により蒸気流量計測値が出力される。また、気液分離器7の水位計33の計測値と、気液分離器7の水位設定値が水位補償器44に入力され、流量補正値が出力される。そして、上記ブローダウン流量計算値、蒸気流量計測値および流量補正値の和が、流量指令値として流量調節器45,46に入力される。流量調節器45では、給水ポンプP1の特性回転数と流量との関係に基づいて、流量指令値に対応する回転数指令値を給水ポンプP1に出力して、給水ポンプP1が制御される。なお、流量調節器46では、後述する送液ポンプP2の制御を行う。次に、供給水は、前述したように第2排熱回収器6、媒体冷却器4でそれぞれ予備加熱される。予備加熱された供給水は、配管L6から送られてくる、気液分離器7内の温水以下、循環水というと合流して、循環水と供給水との混合水が形成され、媒体凝縮器3に送液される。媒体凝縮器3に導入された混合水は、前述したように高温高圧になったヒートポンプ媒体の熱を回収し、温水及び蒸気の気液二相流を生成して、送液ポンプP2により気液分離器7に送られる。なお、送液ポンプP2は、流量調節器46にて、供給水の流量指令値に対し定数Kを乗じた値を送液ポンプ流量とし、送液ポンプP2の特性回転数と流量との関係に基づいて、送液ポンプ流量指令値に対応する回転数指令値を送液ポンプP2に出力して、送液ポンプP2が制御される。気液分離器7では、温水及び蒸気の気液二相流を蒸気と温水とに分離する。そして、気液分離器7の気相部に貯留された蒸気は、外部の需要に応じて配管L4から取出される。また、気液分離器7の液相部に貯留された温水は、配管L6を通して配管L3a内を流通する供給水と混合して循環利用される。なお、定常運転時では、蒸気制御弁V1は予め設定した開度この実施形態では全開状態となっている。気液分離器7の液相部に接続された配管L5に設けられた開閉弁V2は、循環水系統の塩分の濃縮防止を目的としてブローダウンするために、定期的又は一時的に開閉制御を行うほか、次のように、気液分離器7内の圧力および水位に基づく制御が行われる。すなわち、図2に示すように、開閉設定器47は、気液分離器7の圧力計31の計測値が、予め設定した上限値本実施形態では、270kPaabs130°C相当である以上の場合に開の信号を開閉選択器49に出力し、予め設定した下限値本実施形態では、230kPaabs125°C相当である以下の場合に閉の信号を開閉選択器49に出力すると共に、開閉設定器48は、気液分離器7の水位計33の計測値が、予め設定した上限値本実施形態では、気液分離器容積の65となる水位である以上の場合に開の信号を開閉選択器49に出力し、予め設定した下限値本実施形態では、気液分離器容積の60となる水位である以下の場合に閉の信号を開閉選択器49に出力する。そして、開閉選択器49では、開閉設定器47及び開閉設定器48から入力された両信号の少なくとも一方が開の場合は、開信号を開閉指令値として開閉弁V2に与え、両信号のいずれもが閉の場合は閉信号を開閉指令値として開閉弁V2に与える。次に、蒸気の需要が変動して、蒸気取出し流量を増加する場合における動作について説明する。蒸気取出し流量増加時の制御気液分離器7の圧力計31の計測値が、微分器50に入力され、気液分離器7の圧力降下速度が演算される。演算された圧力降下速度は、蒸気制御弁コントローラ51に入力され、圧力降下速度上限設定値と比較される。演算された圧力降下速度が圧力降下速度上限設定値より大きい場合は、蒸気制御弁V1は閉じる方向に動作し、圧力降下速度が圧力降下速度下限設定値より小さい場合は、蒸気制御弁V1は開く方向に動作するよう制御を行う。蒸気制御弁V1の開度制御は、圧力降下速度が設定範囲内で安定するまで行う。ここで、気液分離器7の圧力は、外部に供給する蒸気流量と、気液分離器7に送られてくる蒸気流量と、気液分離器7内で発生する蒸気流量とで成り立っており、下式2の関係を有している。気液分離器7の圧力=∫M気液分離器7に送られてくる蒸気流量気液分離器7内の温水蒸発による蒸気流量-外部に供給する蒸気流量dt2式2中のMは、気液分離器7の気相部の蒸気体積と蒸気物性から求められる係数である。蒸気物性は、新実用国際状態式IAPWSIF97による物性相間式として示される数値である。従って、気液分離器7の圧力の微分値である圧力降下速度は、式2に示す各蒸気流量のバランスが崩れた状態を示す数値である。装置では、気液分離器7からの蒸気取出し流量外部に供給する蒸気流量を増加させると、気液分離器7に供給する蒸気流量気液分離器7に送られてくる蒸気流量を増加させるため、圧縮機2の出力を増加させて媒体凝縮器3にて供給水に伝熱する熱量を増加させる必要があるが、媒体凝縮器3を経由して気液分離器7に供給される蒸気流量は直ぐには増加しないので、気液分離器7内の温水が蒸発気液分離器7内の温水蒸発による蒸気流量することによって蒸気取出し流量が保持される方向に動作する。即ち、図5に示す気液分離器7の圧力の微分値である圧力降下速度は、蒸気取出し流量を急増した場合の温水蒸発量の追従遅れを表す指標であり、蒸気取出し流量の急増度合いとも言える。従って、圧力降下速度を検知して蒸気制御弁V1を閉じる方向に動作させることにより蒸気取出しの急増を防止できる。なお、図5において経過時間6秒以降の圧力低下は、温水蒸発の蒸発潜熱による気液分離器7の水温が低下している影響である。また、液相部から気相部への温水の蒸発には、蒸気圧差が必要なので、気相部の圧力より液相部の飽和蒸気圧力のほうが高くなっており、この圧力差が大きくなるに伴い、気液分離器7から送液ポンプP2に伝播する圧力が低くなるので、必要吸い込み圧力が確保できなくなりキャビテーションが発生し易くなる。圧力降下速度上限設定値は、蒸気取出し流量を増加してから数秒経過後好ましくは、4秒後の液相部温度から導出される気液分離器の液相部の飽和蒸気圧と、気相部圧力との差が、下式1の関係となるように設定することが好ましい。気液分離器の液相部の飽和蒸気圧力-気液分離器の気相部圧力<ポンプの設計有効吸込圧力-ポンプの必要吸込圧力1ここで、ポンプの設計有効吸込圧力とは、設計した運転状態における吸込み圧力と液体の蒸気圧の差のことであり、ポンプの必要吸込圧力とは、ポンプの特性によって決まるキャビテーションを発生しないで運転できる吸込み圧力と液体の蒸気圧の差のことである。ポンプの設計有効吸込圧力は、ポンプの必要吸込圧力に余裕を見て設定する。例えば、送液ポンプP2の必要吸込み圧力が14.7kPa必要吸込ヘッド1.5mであり、通常運転時の有効吸込圧力が25kPa以上となるように送液ポンプP2を制御している場合、気液分離器の液相部の飽和蒸気圧力と気液分離器の気相部圧力との差が10.3kPa未満となるように圧力降下速度上限設定値を設定すればよい。したがって、この場合においては、安全率を考慮して、圧力降下速度を整定する図5に示す、負荷変化4秒後経過時間6秒後の値1.5kPa/sを圧力降下速度上限値として設定して蒸気制御弁V1の開閉を制御すれば、気相部の圧力と液相部飽和圧力の大きな乖離は防止できキャビテーションを防止できる。なお、蒸気取出し流量を増加直後図4では約2秒以内の時点では、気相部圧力と液相部飽和蒸気圧との差は小さいので、蒸気制御弁V1の動作遅れで十分に追従できなくてもキャビテーションが発生することはない。実施例図1に示すヒートポンプ式蒸気発生装置を用い、蒸気制御弁V1を全開開度100にして配管L4から蒸気を取出し流量72kg/hで取出した。なお、気液分離器7として、40L容積のものを用いた。経過時間2秒後に蒸気取出し流量を108kg/hに変化させた。気液分離器7の圧力降下速度上限値を1.5kPa/sに設定し、気液分離器7の圧力降下速度が1.5kPa/sを下回ったら、蒸気制御弁V1の開度を小さくする制御を行ったところ、図6に示すように、経過時間22秒後に気液分離器7内の圧力降下速度がほぼゼロになり、気液分離器7内の圧力が安定した。その間、送液ポンプP2等にキャビテーションは生じなかった。"