"膜分離活性汚泥処理槽又は、膜分離凝集沈澱槽内に設置されて使用される濾過ユニットであって、脚部を有する長方形枠体と、該枠体の枠領域両面を覆う分離膜と、前記枠体を貫通して設けられる吸引パイプとで構成されており、前記枠体が1対の短辺枠部材と1対の長辺枠部材とが、前記一対の長辺枠部材の一方が長方形の枠領域から突出して一対の脚部を形成するように組まれており、前記分離膜が全面に貫通孔を有するポリエチレンテレフタレートフィルムの両側に、厚さ0.1~0.3mm、直径0.01~0.5μmの貫通孔を全面に有するポリテトラフロロエチレンフィルムを重ねて構成され、前記、吸引パイプが前記短辺枠体の一方を貫通し、前記枠部材と前記分離膜により形成される閉鎖空間に連通して設けられることを特徴とする濾過ユニット。請求項1に記載の前記濾過ユニットと、散気管とから構成され、膜分離活性汚泥処理槽内又は、膜分離凝集沈澱槽内に設置されて使用される固液分離モジュールであって、前記散気管は内径が35~45mm、散気孔の内径が9~11mmであって、前記膜分離活性汚泥処理槽又は、前記膜分離凝集沈澱槽の底面に敷設されて気泡を発生させ、前記濾過ユニットが前記濾過ユニットの分離膜表面を前記気泡が伝わって浮上するよう、前記膜分離活性汚泥処理槽又は、前記膜分離凝集沈澱槽の底面に脚部を当接して立設され、前記気泡の上昇速度が0.9m/秒~1.1m/秒、前記分離膜単位面積当たりの散気密度が11~14L/分/m2であることを特徴とする固液分離モジュール。膜分離活性汚泥処理槽又は、膜分離凝集沈澱槽内に設置されて使用される濾過ユニットを用いて実施する固液分離方法であって、前記濾過ユニットが脚部を有する長方形の枠体と、該枠体の枠領域両面を覆う分離膜と、前記枠体を貫通して設けられる吸引パイプとで構成されており、前記濾過ユニットの枠体が1対の短辺枠部材と1対の長辺枠部材とが、前記一対の長辺枠部材の一方が長方形の枠領域から突出して一対の脚部を形成するように組まれており、前記分離膜が全面に貫通孔を有するポリエチレンテレフタレートフィルムの両面に、厚さ0.1~0.3mm、直径0.01~0.5μmの貫通孔を全面に有するポリテトラフロロエチレンフィルムを重ねて構成され、前記、吸引パイプが前記短辺枠体の一方を貫通し、前記枠部材と前記分離膜により形成される閉鎖空間に連通して設けられており、前記濾過ユニットを前記濾過ユニットの脚部を前記膜分離活性汚泥処理槽底部又は、膜分離凝集沈澱槽の底部に当接させて立設し、前記吸引パイプから濾過水を吸引して固液分離を行うことを特徴とする固液分離方法。しかしながら、特許文献1に述べられた方法では、超音波振動子が高価であり、分離膜自体を破壊する可能性があるなどの問題点が存在している。また、特許文献2に記載された手法では、粗大気泡と微細気泡のエアリフト作用によって生起する気液混相の上向流を掃流として浸漬型膜分離装置の膜面に作用させるため、膜面に被処理水が近づき難い問題点が指摘されており、その結果、膜濾過の吸引圧力が大きくなる欠点がある。一方、洗浄粒体を添加して連続的に処理を行っていると、膜を損傷する、若しくは洗浄粒体が微粉化し、それ自体が目詰まりの原因になっているなどの問題点がある。さらに、これら提案されている技術においても、膜面に付着するケーキの連続的な洗浄効果はまだ十分であるとは言えず、ある一定以上の膜濾過吸引圧力が必要であった。ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為されたものであって、その解決課題とするところは、改良型曝気装置を備えた浸漬型膜分離汚水処理装置と、それを有利に実施する方法を提供することにある。第一の発明請求項1は濾過ユニットの発明であって、本濾過ユニットは膜分離活性汚泥処理槽や、膜分離凝集沈澱槽内に浸漬して使用される。本濾過ユニットの外観は略長方形の枠体に脚部が設けられた構造を採る。枠体は1対の短辺枠部材と1対の長辺枠部材とからなり、これら各部材対をそれぞれ対向配置させ、長方形部が形成されるよう組まれる。このとき、一対の長辺枠部材については、脚部とする部位を長方形枠から突出させ、一対の脚部にする。また、長方形枠体部の両面は分離膜で覆うので、濾過ユニットの長方形枠体内部には、枠体と分離膜で作られる閉鎖空間が形成される。この分離膜は3層のフィルムが積層されて構成され、中間のフィルムには全面に貫通孔を有するポリエチレンテレフタレートフィルムが用いられ、両面のフィルムには、厚さ0.1~0.3mmで全面に微細な貫通孔を有するポリテトラフロロエチレンフィルムが用いられる。これら3層のフィルムは接着されることなく重ねて取り付けられる。一方、枠体には枠体部材を貫通して閉鎖空間に連通する吸引パイプが設けられる。吸引パイプは濾過ユニットの短辺枠体端面から短辺枠体を貫通して、濾過ユニット内部に形成された閉鎖空間に連通して設けられる。この濾過ユニットは膜分離活性汚泥処理槽や、膜分離凝集沈澱槽に浸漬され脚部を各槽の底に当接させ、底面に垂直に立てた状態で使用される。また、膜分離活性汚泥槽或いは、膜分離凝集沈澱槽内の被処理水は、分離膜の微細な貫通膜で濾過されて、濾過ユニットの長方形枠体内の空間に流入する。これが分離膜による濾過であり、この過程で固液分離が実施される。濾過された被処理水は吸引パイプを経由して吸引ポンプに吸引され、膜分離活性汚泥槽或いは、膜分離凝集沈澱槽外に排出される。第二の発明請求項2は第一の発明の濾過ユニットと、散気管とで構成される固液分離モジュールの発明であり、膜分離活性汚泥処理槽内又は、膜分離凝集沈澱槽内に浸漬されて使用される。前記散気管には内径は35~45mmのパイプが用いられ、散気管表面には内径9~11mmのエア吹き出し用の散気孔が設けられる。散気管は膜分離活性汚泥処理槽底部又は、膜分離凝集沈澱槽底部に敷設され槽底部で気泡を放出させる。また、濾過ユニットは膜分離活性汚泥処理槽や膜分離凝集沈澱槽の底面に対し垂直に立てられる。散気管から噴出する気泡の上昇速度は0.9~1.1m/秒、散気密度は、分離膜の単位面積当たりに換算して11~14L/分/m2に設定される。槽底部で発生した気泡は槽表面まで浮上するが、気泡の一部は濾過ユニットの分離膜表面を伝わりながら浮上する。これら気泡の浮上作用により、濾過ユニットの分離膜表面には絶えず掃流が形成され、分離膜表面に付着するケーキが連続的に洗浄される。また、濾過ユニットには脚部が設けられており分離膜は槽底面より所定の高さに位置するため、掃流は分離膜全体を残すことなく一様に洗浄する。一方、濾過ユニットは連続使用すると目詰まりが逐次蓄積し、濾過能力が次第に低下する。従って、濾過能力が許容限界を下回った段階では逆洗浄作業を実施し、濾過能力を回復させる作業が必要になる。本第二の発明では、分離膜表面は散気管の気泡で作られる掃流の洗浄効果で、逆洗浄作業が必要となる期間を大幅に延長させることができる。また散気によって生成する上昇流には、被処理水と膜分離活性汚泥とを混合させながら槽内を撹拌、循環させ、同時に被処理水に酸素を溶解させ、膜分離活性汚泥微生物を活性化させる役割も果たしている。第三の発明は請求項3固液分離方法の発明である。本発明の固液分離方法は第一の発明として述べた濾過ユニットを膜分離活性汚泥処理槽や、膜分離凝集沈澱槽内に設置して実施される。即ち、濾過ユニットの脚部を膜分離活性汚泥処理槽や、膜分離凝集沈澱槽の底面に当接させて立てる。次いで、濾過ユニット上部の吸引パイプに接続されている吸引ポンプを作動させる。これにより濾過ユニットの内外に差圧が発生し、膜分離活性汚泥槽内或いは、膜分離凝集沈澱槽内の水が濾過フィルムの貫通孔で固液分離されて、濾過ユニット内部に流入する。流入した処理水は吸引パイプを経由して吸引ポンプにより槽外に排出される。即ち膜分離活性汚泥処理槽や、膜分離凝集沈澱槽内の被処理水は、濾過ユニットの分離膜による濾過工程で固液分離される。本発明では濾過ユニットの濾材としてポリエチレンテレフタレートの基膜にポリテトラフルオロエチレンフィルムを被覆した分離膜を用い、また、槽底面には散気管を敷設し底面より気泡を浮上させている。このため、空気が被処理水中を浮上する気泡が作る上昇気体流と、気体流の上昇に伴う液体流と、液体流が懸濁する固形物の流動により起こる固体流の3種類の流れが発生し、これら3種類の流れの相乗効果により、分離膜面に付着するケーキは連続的、且つ効率的に洗浄される。また、前記3種類の流れの相乗効果により、濾過膜の濾過抵抗の小さい状態を維持し易い。従って、濾過圧力が小さいので、膜分離装置の消費電力が節約でき稼働コストが低下する。濾過ユニットは連続的に使用すると、分離膜表面に除去困難な堆積物が付着し、次第に濾過能力が低下する。この堆積物を除去し、分離膜の濾過機能を回復させるため、一般に逆圧洗浄を行う。逆圧洗浄では吸引ポンプによる吸引方向を逆転させて清浄水を、濾過ユニット内に圧送し、濾過ユニットの内圧を高め分離膜の微細な貫通孔から清浄水を噴出させる。この時、微細孔を閉塞させていた堆積物は分離膜より脱落し、微細孔は初期状態に復帰し、分離膜は所期の固液分離機能を回復させる。本発明に従う固液分離方法では、3種類の流れの相乗効果により分離膜に堆積物が付着し難く、透過流速の低下が起こり難いため、逆圧洗浄が必要になる頻度が低下し、濾過ユニットの稼働率が増加する。分離膜は本来疎水性である膜表面を親水化して用いるが、汚れが付着するに従って疎水化する。本発明に従う固液分離方法では、膜面に対する汚れの付着が起こりにくいため、膜表面の親水性が持続でき、膜の高寿命化が図れる。本発明に係る濾過ユニットを図1に示す。濾過ユニット10は一対の短辺枠体15,15と、一対の長辺枠体14,14が、長辺枠体の一方に脚部を形成して長方形に組まれる。また、枠体の両面は分離膜11で覆われる。分離膜11は図2に示すように3層構造になっており、中心のポリエチレンテレフタレートフィルム12の両側にPTFEポリテトラフロロエチレンフィルム13、13が重ねられる。PTFE膜の膜厚は0.1~0.3mmの範囲内で適宜選定されるが、特に有利には、0.2mm厚さが採用される。この場合、膜厚が小さ過ぎると、充分な膜強度が保てず、液体流、気泡流、固体流などの上昇流により膜表面が傷つけられ、膜が破れるなどの恐れがある。また、膜厚が厚すぎると、気泡の浮上に伴い発生する上昇流のため、分離膜11の吸引圧力が増加するなどの問題が生じる。濾過ユニット10の短辺枠体15には吸引パイプ16が枠体を貫通して設けられる。また、吸引パイプ16の先端には図3に示す吸引チューブ18が取り付けられ、吸引チューブ18の先端は吸引ポンプ25に接続される。吸引ポンプが作動すると濾過ユニット10の内部が吸引される。濾過ユニット10は脚部を下方にして、図3に示すように、槽底面に垂直に立てた状態に保持される。また、反応槽の底面には散気管20が敷設される。散気管20の内径は35~45mmの範囲であり、特に有利には、40mmが採用される。この散気管20の内径が小さ過ぎると、散気管内に圧力差が生じエアレーションが不均一になる。逆に大き過ぎると、散気に必要な印加圧力が大きくなり装置の大型化と、消費電力の増大を招く。また、散気管20の表面に設けられる散気孔21の内径は、9~11mmの範囲内であるが、特に有利には10mmの孔径が採用される。散気孔21の径が小さ過ぎると、気泡が細かくなり、分離膜11表面に接触する気泡の数が低下し、充分な洗浄効果を得ることが困難になる。逆に孔径が大き過ぎると、気泡径が大きくなり、気泡が分裂し易く、分離膜の洗浄効果にばらつきが生じ、分離膜の洗浄効果を低下させる。そして、本発明の膜分離汚水処理装置の散気の上昇速度は、90~110cm/秒の範囲内で適宜に選定されるが、特に有利には100cm/秒の上昇速度が採用される。この上昇速度が小さ過ぎると、膜面に汚染物が付着しやすく、また分離膜の目詰まりが起こりやすくなる。逆に、この上昇速度が大き過ぎると、散気気泡の分離膜上の滞留時間が短くなり、膜面に付着するケーキの連続的な洗浄効果が低下する。また、本発明にあっては、散気管からの散気量は、分離膜の単位面積当たりの散気密度に換算して11~14L/分/m2に設定される。これは分離膜1枚あたり9~11L/分の散気量になる。特に有利には12L/分/m2の散気量が採用される。この散気量が小さ過ぎると、膜面に汚染物が付着しやすくなるため、分離膜の目詰まりが起こりやすく、また、この散気量が大き過ぎても、濾過膜の濾過抵抗が大きくなるため、膜濾過の吸引圧力が大きくなり、膜濾過が行えない恐れが生じる。図4は固液分離モジュールを膜分離活性汚泥装置内に設置した場合の実施例である。膜分離活性汚泥槽30内には、濾過ユニット10と散気管21からなる固液分離モジュール17が複数個設置される。なお濾過ユニット10はセル23構成して組み立てられるので、膜分離活性汚泥槽30内の撹拌流に対しても安定して定位置を保持できる。濾過ユニット10の上部には吸引チューブ18があり、濾過水は順次吸引チューブ18を経由して図示しない吸引ポンプに吸引される。この結果濾過ユニット10の内部と膜分離活性汚泥槽30の内部とに差圧が生じ、膜分離活性汚泥槽30の内部から濾過ユニット10の内部に分離膜11により、活性汚泥31と分離濾過された濾過水が流入する。セル23は膜分離活性汚泥槽30内に複数設置され、処理能力は各セルに設置される濾過ユニットの総数で決まる。濾過ユニット10内部に吸引された濾過水は次工程の生物膜透過水槽に輸送される。図5は固液分離モジュールを膜分離凝集沈澱装置内に設置した場合の実施例である。基本的には膜分離活性汚泥装置の場合と同じ構成になる。膜分離凝集沈澱槽40内には、濾過ユニット10と散気管21からなる固液分離モジュール17が複数個設置される。なお濾過ユニット10はセル23構成して組み立てられるので、膜分離凝集沈澱槽40内の撹拌流に対しても安定して定位置を保持できる。濾過ユニット10の上部には吸引チューブ18があり、濾過水は順次吸引チューブ18を経由して吸引ポンプ25に吸引される。この結果濾過ユニット10の内部と膜分離凝集沈澱槽40の内部とに差圧が生じ、膜分離凝集沈澱槽40の内部から濾過ユニット10の内部に分離膜11により、凝集剤により凝集された固形物41と分離濾過された濾過水が流入する。セル23は膜分離凝集沈澱槽30内に複数設置され、処理能力は各セルに設置される濾過ユニットの総数で決まる。濾過ユニット10内部に吸引された濾過水は次工程の活性炭原水槽に輸送される。以下に本発明の好適な一実施の形態を実施例によって具体的に説明するが、本発明の技術的範囲は下記の実施形態によって限定されるものでなく、本発明の範囲で様々に改変して実施することができる。本発明の実施の形態における汚水処理システムの汚水処理のフロー全体を図6に示す。ここに述べる実験結果は、国内で稼働している屎尿処理施設で実施した本発明の検証結果である。固液分離モジュール17は、膜分離活性汚泥処理槽30と、膜分離凝集沈澱槽40の2カ所に設置した。各槽で使用した濾過ユニット10の分離膜11には市販のポリエチレンテレフタレートフィルムと、市販のポリテトラフロロエチレンフィルムを用いた。分離膜11のサイズは0.4m×2mで膜分離活性汚泥処理槽30と、膜分離凝集沈澱槽40に各150枚設置した。散気管20には内径は40mmの塩化ビニールパイプを使用し、散気管20に設けられる散気孔21の内径は10mmとした。散気管20は濾過ユニット10の下方、各槽の底に敷設される。散気管から放出される空気量は1500L/分とした。したがって、散気量は分離膜1枚当たりに換算すると10L/分となる。ちなみに、この時の気泡の上昇速度は100cm/秒であった。まず、膜分離膜分離活性汚泥法に於ける分離膜の透過能力維持データを図7に示す。測定は、濾過ユニットに於ける分離膜の透過水量をパラメータにして、濾過ユニット内外の圧力差の経日変化を測定したもので、透過水量1.25、1.5、2、2.5、3m3hの何れの場合も100日経過後であっても透過能力が十分維持されている。次に、膜分離凝集沈澱法に於ける分離膜の透過能力維持データを図8に示す。測定は、濾過ユニットに於ける分離膜の透過水量をパラメータにして、濾過ユニット内外の圧力差の経日変化を測定したもので、透過水量1.2、1.8、2.5、3m3hの何れの場合も150日経過後であっても透過能力が十分維持されている。これらの実験では、PTFE分離膜の洗浄のために非常に有効な流れが生成されていることが確認された。空気のエアリフト作用によって発生する上昇流が分離膜面の掃流として作用し、膜面に付着するケーキの連続的な洗浄を非常に向上させている結果となっている。"