円形板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される該円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該搬送パッドに搬出経路を移動させる移動手段と、を少なくとも備える研削装置において、該搬送パッドは、該搬送パッドの中心を軸に該搬送パッドを水平方向に自転させる自転手段を備えた研削装置。前記搬出経路上には前記保持面に保持された円形板状ワークを洗浄するワーク洗浄手段が配設され、該ワーク洗浄手段は、長方形の洗浄スポンジと、該洗浄スポンジの長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口と、を備え、該洗浄スポンジは該洗浄スポンジの長手方向を前記搬出経路に交差させ該搬出経路上に配設されており、前記搬送パッドと該洗浄スポンジとは、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該搬送パッドが吸引保持する該円形板状ワークの下面に向けて該洗浄供給口から洗浄水を供給しながら、該円形板状ワークの下面を該洗浄スポンジに接触させるとともに、前記自転手段によって該搬送パッドを自転させて該円形板状ワークを洗浄する請求項1記載の研削装置。前記円形板状ワークを吸引保持した前記搬送パッドは、該円形板状ワークの洗浄毎に回転方向を逆転させる請求項2記載の研削装置。前記搬出経路上には、前記保持面に対向するエアー吹き出し口となる乾燥ノズルを有する乾燥手段が配設され、前記搬送パッドが吸引保持する該円形板状ワークを前記移動手段によって該乾燥ノズルのエアー吹きつけ開始位置に移動させ、該乾燥手段によって該円形板状ワークにエアーを吹き付けながら前記自転手段によって該搬送パッドを自転させるとともに、該移動手段によって該乾燥ノズルの吹きつけ位置を移動させることによって該円形板状ワークの乾燥をする請求項2または3記載の研削装置。前記搬出経路上には前記搬送パッドの保持面を洗浄する保持面洗浄手段が配設され、該保持面洗浄手段は、前記円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を洗浄する長方形の洗浄ブラシと、該洗浄ブラシと平行に配設される長方形の洗浄板と、を備え、該洗浄ブラシおよび該洗浄板の長手方向は、該搬出経路に交差していて、前記搬送パッドは、該円形板状ワークの保持面からエアー、水またはエアーと水との混合を放出可能なブロー手段を備え、該搬送パッドと該洗浄ブラシおよび該搬送パッドと該洗浄板は、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該ブロー手段を作動させるとともに、前記移動手段によって該保持面を該洗浄ブラシまたは該洗浄板に当接させ、前記自転手段によって該搬送パッドを自転させることによって該保持面の洗浄を可能とする請求項1記載の研削装置。しかしながら、上記パッド洗浄機構では、搬送パッドを移動させながら洗浄板を揺動させてワークを洗浄するため、洗浄速度は洗浄板の幅に影響され、洗浄速度を変更することが困難である。また、洗浄板の揺動動作にブレが生じた場合は、搬送パッドの外周部の洗浄が不十分になることがある。一方、上記ワーク洗浄機構では、ワークの上面を搬送パッドで吸引保持してワークの下面に洗浄スポンジを接触させて洗浄するため、ワークを搬送パッドからはがす方向にも力が加わり、正常な洗浄を行うことができない場合がある。このような問題を回避するには、上記特許文献3で開示されているように、洗浄スポンジの回転方向を切り替えるなどの工夫が必要であるため、洗浄に時間を要するという問題がある。さらに、特許文献4に開示されているように、パッド洗浄機構とワーク洗浄機構とを兼ね備えたタイプの装置では、洗浄ブラシを省いているとともに、洗浄板と洗浄スポンジとが交差した構成となっているため、洗浄板または洗浄スポンジのいずれかの中心部が分断され、搬送パッド又はワークの中心部分の洗浄が不可能となっている。本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、研削装置において、搬送パッドやワークの全面を十分に洗浄することを可能とするとともに、洗浄の効率化を含めた洗浄速度の変更を可能とすることを課題としている。本発明は、円形板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される該円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該搬送パッドに搬出経路を移動させる移動手段と、を少なくとも備える研削装置において、該搬送パッドは、該搬送パッドの中心を軸に搬送パッドを水平方向に自転させる自転手段を備えている。搬出経路上には保持面に保持された円形板状ワークを洗浄するワーク洗浄手段が配設され、ワーク洗浄手段は、長方形の洗浄スポンジと、該洗浄スポンジの長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口と、を備え、該洗浄スポンジは該洗浄スポンジの長手方向を搬出経路に交差させ該搬出経路上に配設されており、上記の搬送パッドと洗浄スポンジとは、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該搬送パッドが吸引保持する円形板状ワークの下面に向けて該洗浄供給口から洗浄水を供給しながら、該円形板状ワークの下面を該洗浄スポンジに接触させるとともに、自転手段によって該搬送パッドを自転させて該円形板状ワークを洗浄する。上記の円形板状ワークを吸引保持した搬送パッドは、該円形板状ワークの洗浄毎に回転方向を逆転させることが望ましい。上記の搬出経路上には、保持面に対向するエアー吹き出し口となる乾燥ノズルを有する乾燥手段が配設され、搬送パッドが吸引保持する該円形板状ワークを移動手段によって該乾燥ノズルのエアー吹きつけ開始位置に移動させ、該乾燥手段によって該円形板状ワークにエアーを吹き付けながら自転手段によって該搬送パッドを自転させるとともに、該移動手段によって該乾燥ノズルの吹きつけ位置を移動させることによって円形板状ワークの乾燥をする。搬出経路上には搬送パッドの保持面を洗浄する保持面洗浄手段が配設され、保持面洗浄手段は、円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を洗浄する長方形の洗浄ブラシと、該洗浄ブラシと平行に配設される長方形の洗浄板と、を備え、該洗浄ブラシおよび該洗浄板の長手方向は、該搬出経路に交差していて、搬送パッドは、該円形板状ワークの保持面からエアー、水またはエアーと水との混合を放出可能なブロー手段を備え、該搬送パッドと該洗浄ブラシおよび該搬送パッドと該洗浄板は、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該ブロー手段を作動させるとともに、移動手段によって該保持面を該洗浄ブラシまたは該洗浄板に当接させ、自転手段によって該搬送パッドを自転させることによって該保持面の洗浄を可能とする。本発明では、チャックテーブルに保持される円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該搬送パッドに搬出経路を移動させる移動手段とを備える研削装置において、該搬送パッドが該搬送パッドの中心を軸に水平方向に自転させる自転手段を備えているため、研削装置にワーク洗浄手段または保持面洗浄手段を設置した場合には、自転手段により搬送パッドの回転速度を調整することにより洗浄速度を変更することができ、洗浄板や洗浄スポンジの揺動等がなくても円形板状ワーク又は搬送パッドの全面を十分に洗浄することができ、さらには、搬送パッドの自転方向を切り替えなくても十分な洗浄が可能であるため、洗浄を効率よく行うことができる。本発明では、搬出経路上には保持面に保持された円形板状ワークを洗浄するワーク洗浄手段が配設され、ワーク洗浄手段に長方形の洗浄スポンジと、該洗浄スポンジの長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口と、を備え、該洗浄スポンジは該洗浄スポンジの長手方向を前記搬出経路に交差させ該搬出経路上に配設されており、搬送パッドと洗浄スポンジとは、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該搬送パッドが吸引保持する円形板状ワークの下面に向けて該洗浄供給口から洗浄水を供給しながら、該円形板状ワークの下面を該洗浄スポンジに接触させるとともに、自転手段によって該搬送パッドを自転させて該円形板状ワークを洗浄することができる。さらに、本発明では、搬送パッドを円形板状ワークの洗浄毎に回転方向を逆転させることにより、搬送パッドの回転の向きに起因して押圧力が強く加わって研削屑が溜まりやすい部分が逆転するため、洗浄スポンジの洗浄可能な面の全面を使用することができる。本発明では、搬出経路上に、保持面に対向するエアー吹き出し口となる乾燥ノズルを有する乾燥手段が配設されているため、該乾燥手段によって該円形板状ワークにエアーを吹き付けながら自転手段によって該搬送パッドを自転させるとともに、移動手段によって該乾燥ノズルの吹きつけ位置を移動させることによって円形板状ワークを乾燥することができる。本発明では、搬出経路上には搬送パッドの保持面を洗浄する保持面洗浄手段が配設され、保持面洗浄手段は、円形板状ワークの上面を吸引保持する保持面を洗浄する長方形の洗浄ブラシと、該洗浄ブラシと平行に配設される長方形の洗浄板と、を備え、該洗浄ブラシおよび該洗浄板の長手方向は、該搬出経路に交差していて、搬送パッドは、該円形板状ワークの保持面からエアー、水またはエアーと水との混合を放出可能なブロー手段を備え、該搬送パッドと該洗浄ブラシおよび該搬送パッドと該洗浄板は、接近または離反する方向に相対的に動作可能であり、該ブロー手段を作動させるとともに、移動手段によって該保持面を該洗浄ブラシまたは該洗浄板に当接させ、自転手段によって該搬送パッドを自転させることによってブロー手段から放出されるエアー、水またはこれらを混合させたものを用いて該保持面を洗浄することで、より効率よく搬送パッドの洗浄を行うことができる。図1に示す研削装置1は、ワーク洗浄機構および搬送パッド洗浄機構を備え、円形板状のワークWを研削する研削装置の一例である。研削装置1の上面中央には、円盤形状の回転可能なターンテーブル2が配設されている。また、ターンテーブル2の上面には、ワークWを保持し回転可能なチャックテーブル3が複数配設されている。そして、ターンテーブル2は、回転することにより、複数のチャックテーブル3を公転させ、ワークWを着脱させる着脱領域P1と、ワークWに研削を施す研削領域P2、研削領域P3及び研削領域P4との間でチャックテーブル3を移動させることができる。研削領域P2には、ワークWに粗研削を施す第一の研削手段13が配設され、研削領域P3には、ワークWに仕上げ研削を施す第二の研削手段14が配設され、研削領域P4には、第一の研削手段13及び第二の研削手段14によるワークWの研削歪みを除去するためのドライポリッシング処理を施す第三の研削手段15が配設されている。なお、第三の研削手段15においては、研削加工が施されたワークWの上面には歪みがある場合があるため、これらを除去できる加工処理が施されればよく、上記のドライポリッシングに限定されるものではない。研削装置1の上面前部には、研削前のワークWを収容するための収容カセット9が配設されており、収容カセット9の近傍には、研削後のワークWを収容するための収容カセット10が配設されている。収容カセット9及び収容カセット10の近傍には、ワークWを収容カセット9から搬出及び収容カセット10へ搬入する搬送ロボット11が配設されている。搬送ロボット11は、屈曲可能なアーム11aとワークWを保持するピックアップハンド11bとを備えており、矢印A1及びA2方向に往復移動することができる。搬送ロボット11の可動領域には、スピンナーテーブル12及び移動手段4が配設されている。スピンナーテーブル12では、研削後のワークWの上面に付着した研削屑を洗浄することができる。図1に示すように、移動手段4は、円盤状の搬送パッド40と、搬送パッド40を一端に備えたアーム42と、アーム42の他端に連結した移動基台43とを備えており、搬送パッド40は、搬出経路L上を矢印B1及びB2方向に往復移動することができる。また、図1に示すように、アーム42は、移動基台43を支点として旋回動できる構成となっている。図2及び図3に示すように、搬送パッド40は、円形板状のワークWと略同径の面積を有する保持面41を有する。図3に示すように、保持面41の内側は、ワークWの上面Waを吸引保持するための多孔質部材41aにより形成され、不図示の吸引源が発生する吸引力によりワークWを保持面41に吸着させることができる。搬送パッド40には、鉛直方向の軸心を有する回転軸440と駆動源となるモータ441とを含み水平方向に搬送パッド40を自転させる自転手段44を備えており、搬送パッド40は、ワークWの上面Waを吸引保持しながら、矢印C1及びC2方向の両方向に自転することができる。モータ441の制御により、自転速度は自在に変更することができる。図3に示すように、搬送パッド40は、保持面41にエアー、水またはエアーと水との混合を放出できるブロー手段45をさらに備えている。多孔質部材41aは、搬送パッド40の内部に形成された配管450に連通し、バルブ451を介して洗浄水供給源453に連通しているとともにバルブ452を介してエアー供給源454に連通している。ブロー手段45は、上記のように構成されているため、バルブ451を開くと洗浄水が配管450を通じて保持面41から放出され、バルブ452を開くとエアーが配管450を通じて保持面41から放出されるようになっている。また、エアーと水との混合を供給する場合には、バルブ451及びバルブ452を開いてエアーと水とを配管450に流入させて混合させて保持面41から放出することも可能である。図1及び図2に示す搬出経路L上には、図3に示すワークWの下面Wbを洗浄するワーク洗浄手段5と、搬送パッド40の保持面41を洗浄する保持面洗浄手段6と、洗浄後のワークWに対してエアーを吹きつける乾燥手段7と、搬送パッド40の保持面41にワークWが吸引保持されているかどうかを判断するセンサ8とが配設されている。図2に示すワーク洗浄手段5は、長方形の洗浄スポンジ50と、洗浄スポンジ50の長手方向と平行に複数配列される洗浄水供給口51とを備えている。洗浄スポンジ50は、洗浄スポンジ50の長手方向を搬出経路Lに交差させて該搬出経路L上に配設されている。洗浄スポンジ50としては、吸水性、耐熱性に優れたAION株式会社製のソフラススポンジが望ましい。図3に示すように、洗浄スポンジ50の下端には、洗浄スポンジ50を支持するための洗浄基台52が固着されている。また、洗浄スポンジ50及び洗浄基台52の中央を貫通して洗浄水供給口51が形成されており、洗浄水供給源53に接続されている。ワーク洗浄手段5によってワークWの下面Wbを洗浄する際には、ワークWの下面Wbに洗浄スポンジ50を接触させながら洗浄水をワークWの下面Wbと洗浄スポンジ50との間に供給し、搬送パッド40の自転によって、ワークWの下面Wbに付着した研削屑を洗浄する。図2に示す保持面洗浄手段6は、搬送パッド40がワークWを吸引保持する保持面41を洗浄する長方形の洗浄ブラシ60と、洗浄ブラシ60と平行して配設される長方形の洗浄板61とを備えている。洗浄ブラシ60及び洗浄板61は、いずれも長手方向を搬出経路Lに交差させて搬出経路L上に配設されている。また、洗浄ブラシ60及び洗浄板61は、洗浄スポンジ50と平行に配設されている。図3に示すように、洗浄ブラシ60は、洗浄ブラシ60を昇降可能に支持するピストン60aを介してエアシリンダ60bに連結されている。洗浄ブラシ60では、搬送パッド40の自転によって洗浄ブラシ60と搬送パッド40の保持面41とが摺動して該保持面41に付着した研削屑等を除去することができる。洗浄板61も洗浄ブラシ60と同様に、洗浄板61を昇降可能に支持するピストン61aを介してエアシリンダ61bに連結されている。洗浄板61においては、搬送パッド40の自転によって、洗浄板61が保持面41自体を削り、保持面41に強固に付着した研削屑等を削り落とすことができる。洗浄ブラシ60及び洗浄板61は、ピストン60a及びピストン61aの昇降によって搬送パッド40の接近または離反する方向に相対的に動作可能となっている。すなわち、ピストン60a及びピストン61aの昇降移動に伴い洗浄ブラシ60及び洗浄板61も昇降移動可能となっている。図2及び図3に示す乾燥手段7は、搬送パッド40の保持面41に対向する乾燥ノズル70を備えている。乾燥ノズル70には、不図示のエアー供給源が接続されており、乾燥ノズル70の上方で搬送パッド40とともに自転するワークWの下面Wbに対して下方からエアーを吹きつけることができる。図1及び図2に示すセンサ8は、搬送パッド40の保持面41にワークWが保持されているかどうかを判断するために、搬出経路L上で、かつ、ターンテーブル2とワーク洗浄手段5との間に配設されている。以下においては、上記の如く構成される研削装置1の動作例について説明する。図1に示す搬送ロボット11は、収容カセット9から研削前のワークWを1つ取り出して搬送パッド40に搬送する。搬送パッド40がワークWを吸引保持すると、ワークWを研削工程に移すために、着脱領域P1で待機するチャックテーブル3の上面にワークWを搬送する。ワークWがチャックテーブル3に保持された後、ターンテーブル2の回転によって、チャックテーブル3を研削領域P2に位置する第一の研削手段13、研削領域P3に位置する第二の研削手段14及び研削領域P4に位置する第三の研削手段15に順次送り込む。全ての研削が終了した後は、チャックテーブル3は、着脱領域P1に移動する。そして、研削後のワークWの上面Wa及び下面Wbには、研削屑が付着している場合があるため、ワークWを洗浄する必要がある。図1に示す移動手段4を作動させ、搬送パッド40をチャックテーブル3の上方に移動させる。搬送パッド40がワークWを吸引保持したら、移動手段4は、矢印B1方向に水平移動して搬送パッド40をワーク洗浄手段5の上方に送り込む。搬送パッド40が搬送経路L上を移動してセンサ8の上方を通過する際、センサ8によって搬送パッド40の保持面41にワークWが保持されているかどうかが判断される。搬送パッド40にワークWが保持されているとセンサ8によって判断されたら、図3に示すように、搬送パッド40をワーク洗浄手段5の洗浄スポンジ50に向けて下降させる。このとき、保持面洗浄手段6の洗浄ブラシ60及び洗浄板61が洗浄スポンジ50より高位置にある場合には、洗浄ブラシ60及び洗浄板61を下降させて、洗浄スポンジ50よりも低い位置に移動させる。図4に示すように、ワークWの下面Wbが洗浄スポンジ50に接触した時点でワーク洗浄手段5を作動させる。洗浄水供給源53から洗浄水が供給され、該洗浄水は、洗浄水供給口51から洗浄スポンジ50とワークWの下面Wbとの間に供給される。これとともに、自転手段44によって搬送パッド40を矢印C1方向に自転させる。このようにして、搬送パッド40の自転とともにワークWが回転することによって、ワークWの下面Wbが洗浄スポンジ50の上面を摺動し、ワークWの下面Wbに付着した研削屑が除去される。そして、1つのワークWの洗浄が終了する。ワークWを保持した搬送パッド40が自転することにより洗浄スポンジ50を揺動等させなくても十分にワークWの洗浄を行うことができ、自転速度を調整することにより最適な速度で洗浄することができ、ワークWが搬送パッド40からはがれることもない。図2に示す洗浄スポンジ50の上面において、特に搬送パッド40の回転の向きに起因して押圧力が強く加わる部分には、研削屑が溜まりやすい。そのため、洗浄スポンジ50の上面には汚れが付着した部分ときれいな部分とが存在して、洗浄スポンジの洗浄可能な全面を活用できていないため、搬送パッド40は、1つのワークWの洗浄毎に回転方向を逆転させる。すなわち、搬送パッド40によって後続して搬送されてくる別のワークWを洗浄する際に、自転手段44によって洗浄パッド41の回転方向を逆転させて矢印C2方向に自転させる。このように、1つのワークWの洗浄毎に回転方向を交互に逆転させれば、洗浄スポンジ50の全面を使用することができるとともに、洗浄スポンジ50の中央から供給される洗浄水によって洗浄スポンジ50に付着した研削屑を除去することができる。また、洗浄スポンジ50の全面を使用することにより、洗浄スポンジ50の交換頻度を少なくすることができる。なお、自転手段44が搬送パッド40の回転方向を逆転させるタイミングは任意である。ワーク洗浄手段5によるワークWの下面Wbの洗浄が終了した後、ワークWの下面Wbには、洗浄水が付着しているため、乾燥手段7によりワークWを乾燥させる。具体的には、図1に示した移動手段4を作動させて、搬送パッド40を搬出経路L上に配設されている乾燥手段7の上方に移動させる。図5に示すように、搬送パッド40が、乾燥手段7の上方で、エアー吹き出し口となる乾燥ノズル70のエアー吹きつけ開始位置に移動したら、乾燥ノズル70からワークWの下面Wbに向けてエアーを吹きつける。図1に示した移動手段4は、搬送パッド40を矢印B1方向に送り込みながら、自転手段44により搬送パッド40を自転させ、ワークWを回転させる。また、必要に応じて搬送パッド40を矢印B1方向又は矢印B2方向に移動させる。これにより、ワークWの下面Wbに付着した洗浄水は、搬送パッド40の回転と乾燥ノズル70から吹きつけられるエアーによって除去され、ワークWの下面Wbは乾燥される。ワークWの下面Wbが乾燥された後、図1に示した移動手段4は、矢印B1方向に移動する。そして、搬送パッド40は、スピンナーテーブル12にワークWを搬送する。スピンナーテーブル12において、ワークWの上面Waに付着した研削屑の洗浄及びワークWの乾燥を施す。ワークWの上面Waが洗浄されたら、搬送ロボット11によりワークWは収容カセット10に収容される。以下においては、保持面洗浄手段6によって、搬送パッド40の保持面41を洗浄する動作例を説明する。上記のように、ワークWに研削を施した後、ワークWの上面Wa及び下面Wbには、研削屑が付着している場合があるため、該上面Waを吸引保持する搬送パッド40の保持面41にも研削屑が付着して汚れる場合がある。そのため、搬送パッド40の保持面41も洗浄する必要がある。保持面41を洗浄するタイミングとしては、研削後のワークWをスピンナーテーブル12に搬送後、研削後の別のワークWが着脱領域P1に移動してくるまでの間が望ましい。図1に示す搬送パッド40は、保持面洗浄手段6を作動させて保持面41を洗浄するために、搬送経路Lを矢印B2方向に水平移動してセンサ8の上方に移動する。そして、センサ8よって、搬送パッド40の保持面41にワークWが保持されているかどうかが判断される。搬送パッド40にワークWが保持されていないとセンサ8によって判断されると、図6に示すように、搬送パッド40を下降させるとともに、洗浄ブラシ60及び洗浄板61を洗浄スポンジ50より高い位置に上昇させる。そして、保持面41を洗浄ブラシ60及び洗浄板61に当接させる。図7に示すように、保持面41が洗浄ブラシ60及び洗浄板61に当接したら、搬送パッド40を図1に示した矢印B1方向に送り込みながら、ブロー手段45を作動させるとともに自転手段44を作動させて搬送パッド40を自転させる。ブロー手段45を作動させると、洗浄水供給源453から洗浄水が供給され、エアー供給源454からエアーが供給される。そして、バルブ451を開くと洗浄水が配管450を通じて保持面41から放出され、バルブ452を開くとエアーが配管450を通じて保持面41から放出される。また、エアーと水とを混合させたものを供給する場合には、バルブ451及びバルブ452を開いてエアーと水とを配管450に流入させて混合させて保持面41から放出する。保持面40から放出されたエアー、水またはエアーと水との混合は、保持面41と洗浄ブラシ60及び洗浄板61との間に供給される。搬送パッド40の自転によって、保持面41が洗浄ブラシ60の上面を摺動する結果、搬送パッド40の保持面41に付着した研削屑が除去される。また、搬送パッド40の自転によって、保持面41が洗浄板61の上面を摺動する結果、保持面41に強固に付着した研削屑が削り落とされる。保持面41の全面が洗浄されたら、保持面洗浄手段6による洗浄が終了する。このように、搬送パッド40が自転するため、洗浄ブラシ60及び洗浄板61を揺動等させなくても十分な洗浄を行うことができる。実施形態で示したワーク洗浄手段5は、昇降移動しないが、これに限定されるものではない。したがって、ワーク洗浄手段5を昇降移動可能にして洗浄スポンジ50を移動させるようにしてもよい。実施形態では、ワーク洗浄手段5及び保持面洗浄手段6が回転する構成となっておらず、搬送パッド40にのみ自転手段44を備えていることから、従来の研削装置よりも装置全体における回転手段が少なくて済むようになっている。また、ワーク洗浄手段5及び保持面洗浄手段6を搬送パッド40及びワークWの下方に配設し、いずれかの手段を選択的に作用させることができる。したがって、研削装置1において、ワーク洗浄手段5と保持面洗浄手段6とを共に設置したとしても、設置面積を少なくできるとともに、安価でかつ、従来と同様のワーク洗浄及びパッド洗浄を施すことができる。なお、ワーク洗浄手段5及び保持面洗浄手段6のいずれか一方のみを研削装置に配設することもでき、また、ワーク洗浄手段5及び保持面洗浄手段6のいずれも備えていない研削装置とすることもできる。ワーク洗浄手段5及び保持面洗浄手段6のいずれも備えていない場合においても、搬送パッド40を自転させることにより、ワークWまたは搬送パッド40を乾燥させることができる。