"光ビームを発する光源と、該光源から発せられる光ビームを偏向するMEMSミラーと、該MEMSミラーによって偏向された光ビームを走査面上に結像させる走査レンズを備えた光走査装置において、前記MEMSミラーは次式:θt=A1sinωtA3sin3ωtφここに、A1,A3:偏向角の振幅ω:角周波数t:時間で表される偏向角θtで光ビームを偏向走査し、往復走査の何れにおいても偏向角θtが定められた角度θ1,θ2に達したときに信号を発生する信号発生器を配置し、角度θ1とθ2は絶対値が互いに異なり、且つ、何れか一方の絶対値がA1√3/2に略等しく、前記信号発生器からの信号発生間隔を測定し、その測定結果に基づいてA1A2φを調整制御することを特徴とする光走査装置。前記角度θ1,θ2は、|θ1|≦|A1√3/2|≦|θ2|を満足することを特徴とする請求項1記載の光走査装置。前記角度θ1,θ2のうちの絶対値が小さい方の光路は前記走査レンズの少なくとも1つを通過し、絶対値が大きい方の光路は前記走査レンズを通過せず、光路が通過する走査レンズの光路が通過する側に走査レンズの位置決め手段を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の光走査装置。前記信号発生器は受光素子であることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の光走査装置。請求項1~4の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする画像形成装置。特許文献2に記載された発明では、前記式1においてn=2の重畳振動を用いているが、この場合の振動角特性波形は鋸波に近づく。鋸波は重畳部の振幅A2が大きく、又、往復走査に適さないという欠点がある。式1においてn=3とすれば、振動角特性波形は三角波に近づき、A1に対してA2を比較的小さくすることができ、往と復それぞれの走査時間が等しいために往復走査が可能となる。しかしながら、θ1=-θ2でn=3の場合のパラメーターA1,A2、φの誤差に対する受光素子の受光タイミングの間隔t1,t12,t2,t21の変化は表2に示すようにn=2の場合の表1に示すものとは異なる。受光素子の受光タイミングの間隔t1,t12,t2,t21のA2誤差に対する変化はθ1の値によって異なるが、表2より、t1とt2は同じ変化をし、t12とt21はt1とt2とは逆の変化をすることが分かる。従って、4つのt1,t12,t2,t21からどのパラメーターがプラスとマイナスの何れの誤差を持っているかを切り分けることができない。このため、誤差を持っていても調整制御を行うことが不可能になる。タイミングを厳密に取り、複雑な計算を行えば切り分けは可能となるが、これを実現するためには大規模な計算回路が必要となり、大幅なコストアップは免れない。本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、3倍波重畳振動を行うMEMSミラーを用いても、安価な構成で各振幅と位相差の誤差を高精度にモニターして補償制御を行うことによって高い走査性能を確保することができる光走査装置とこれを備えた画像形成装置を提供することにある。上記目的を達成するため、請求項1記載の発明は、光ビームを発する光源と、該光源から発せられる光ビームを偏向するMEMSミラーと、該MEMSミラーによって偏向された光ビームを走査面上に結像させる走査レンズを備えた光走査装置において、前記MEMSミラーは次式:θt=A1sinωtA3sin3ωtφ...2ここに、A1,A3:偏向角の振幅ω:角周波数t:時間で表される偏向角θtで光ビームを偏向走査し、往復走査の何れにおいても偏向角θtが定められた角度θ1,θ2に達したときに信号を発生する信号発生器を配置し、角度θ1とθ2は絶対値が互いに異なり、且つ、何れか一方の絶対値がA1√3/2に略等しく、前記信号発生器からの信号発生間隔を測定し、その測定結果に基づいてA1A3φを調整制御することを特徴とする。請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記角度θ1,θ2は、|θ1|≦<|A1√3/2|≦|θ2|を満足することを特徴とする。請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の発明において、前記角度θ1,θ2のうちの絶対値が小さい方の光路は前記走査レンズの少なくとも1つを通過し、絶対値が大きい方の光路は前記走査レンズを通過せず、光路が通過する走査レンズの光路が通過する側に走査レンズの位置決め手段を設けたことを特徴とする。請求項4記載の発明は、請求項1~3の何れかに記載の発明において、前記信号発生器は受光素子であることを特徴とする。請求項5記載の画像形成装置は、請求項1~4の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする。重畳振動するMEMSミラーによって偏向走査される光ビームの式2で表される偏向角θtは、MEMSミラーの振動角の3倍であるため、環境変動によってパラメーターが変動するとA1A3φが変動する。斯かる構成において、θ1=A1√3/2、|θ1|≠|θ2|...3であれば、角度θ1θ2に設置された信号発生器受光素子からの信号の時間間隔からA1A3φの設定値からのズレ量を計算してこれらのA1A3φを補正することができる。このため、MEMSミラーの環境条件による振動振幅の変動に伴う光ビームの走査時間の変化を補正することができ、光ビームによる主走査方向の走査性能を良好に保つことができる。以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。[画像形成装置]図1は本発明に係る画像形成装置の一形態としてのカラーレーザープリンターの面図であり、図示のカラーレーザープリンターはタンデム型であって、その本体100内の中央部には、マゼンタ画像形成ユニット1M、シアン画像形成ユニット1C、イエロー画像形成ユニット1Y及びブラック画像形成ユニット1Kが一定の間隔でタンデムに配置されている。上記各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kには、像担持体である感光ドラム2a,2b,2c,2dがそれぞれ配置されており、各感光ドラム2a~2dの周囲には、帯電器3a,3b,3c,3d、現像装置4a,4b,4c,4d、転写ローラー5a,5b,5c,5d及びドラムクリーニング装置6a,6b,6c,6dがそれぞれ配置されている。ここで、前記感光ドラム2a~2dは、ドラム状の感光体であって、不図示の駆動モーターによって図示矢印方向時計方向に所定のプロセススピードで回転駆動される。又、前記帯電器3a~3dは、不図示の帯電バイアス電源から印加される帯電バイアスによって感光ドラム2a~2dの表面を所定の電位に均一に帯電させるものである。更に、前記現像装置4a~4dは、マゼンタMトナー、シアンCトナー、イエローYトナー、ブラックKトナーをそれぞれ収容しており、各感光ドラム2a~2d上に形成された各静電潜像に各色のトナーを付着させて各静電潜像を各色のトナー像として可視像化するものである。又、前記転写ローラー5a~5dは、各一次転写部にて中間転写ベルト7を介して各感光ドラム2a~2dに当接可能に配置されている。ここで、中間転写ベルト7は、駆動ローラー8とテンションローラー9との間に張設されて各感光ドラム2a~2dの上面側に走行可能に配置されており、前記駆動ローラー8は、二次転写部において中間転写ベルト7を介して二次転写ローラー10に当接可能に配置されている。又、テンションローラー9の近傍にはベルトクリーニング装置11が設けられている。ところで、プリンター本体100内の各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kの上方には、前記各現像装置4a~4dにトナーを補給するためのトナーコンテナー12a,12b,12c,12dが一列に並設されている。又、プリンター本体100内の各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kの下方には、各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kに対応して本発明に係る計4つの光走査装置レーザースキャナーユニットLSU13がそれぞれ配置され、これらの下方のプリンター本体100の底部には給紙カセット14が着脱可能に設置されている。そして、給紙カセット14には複数枚の不図示の用紙が積層収容されており、この給紙カセット14の近傍には、該給紙カセット14から用紙を取り出すピックアップローラー15と、取り出された用紙を分離して搬送パスSへと1枚ずつ送り出すフィードローラー16とリタードローラー17が設けられている。又、プリンター本体100の側部を上下方向に延びる前記搬送パスSには、用紙を搬送する搬送ローラー対18と、用紙を一時待機させた後に所定のタイミングで前記二次転写対向ローラー8と二次転写ローラー10との当接部である二次転写部へと供給するレジストローラー対19が設けられている。尚、搬送パスSの横には、用紙の両面に画像を形成する場合に使用される別の搬送パスS’が形成されており、この搬送パスS’には複数の反転ローラー対20が適当な間隔で設けられている。ところで、プリンター本体100内の一側部に縦方向に配置された前記搬送パスSは、プリンター本体100の上面に設けられた排紙トレイ21まで延びており、その途中には定着装置22と排紙ローラー対23,24が設けられている。次に、以上の構成を有するカラーレーザープリンターによる画像形成動作について説明する。画像形成開始信号が発せられると、各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kにおいて各感光ドラム2a~2dが図示矢印方向時計方向に所定のプロセススピードで回転駆動され、これらの感光ドラム2a~2dは、帯電器3a~3dによって一様に帯電される。又、各光走査装置13は、各色毎のカラー画像信号によって変調されたレーザービームを出射し、そのレーザービームを各感光ドラム2a~2dの表面に照射し、各感光ドラム2a~2d上に各色のカラー画像信号に対応した静電潜像をそれぞれ形成する。そして、先ず、マゼンタ画像形成ユニット1Mの感光ドラム2a上に形成された静電潜像に、該感光ドラム2aの帯電極性と同極性の現像バイアスが印加された現像装置4aによってマゼンタトナーを付着させ、該静電潜像をマゼンタトナー像として可視像化する。このマゼンタトナー像は、感光ドラム2aと転写ローラー5aとの間の一次転写部転写ニップ部において、トナーと逆極性の一次転写バイアスが印加された転写ローラー5aの作用によって、図示矢印方向に回転駆動されている中間転写ベルト7上に一次転写される。上述のようにしてマゼンタトナー像が一次転写された中間転写ベルト7は、次のシアン画像形成ユニット1Cへと移動する。そして、シアン画像形成ユニット1Cにおいても、前記と同様にして、感光ドラム2b上に形成されたシアントナー像が一次転写部において中間転写ベルト7上のマゼンタトナー像に重ねて転写される。以下同様にして、中間転写ベルト7上に重畳転写されたマゼンタ及びシアントナー像の上に、イエロー及びブラック画像形成ユニット1Y,1Kの各感光ドラム2c,2d上にそれぞれ形成されたイエロー及びブラックトナー像が各一次転写部において順次重ね合わせられ、中間転写ベルト7上にはフルカラーのトナー像が形成される。尚、中間転写ベルト7上に転写されないで各感光ドラム2a~2d上に残留する転写残トナーは、各ドラムクリーニング装置6a~6dによって除去され、各感光ドラム2a~2dは次の画像形成に備えられる。そして、中間転写ベルト7上のフルカラートナー像の先端が駆動ローラー8と二次転写ローラー10間の二次転写部転写ニップ部に達するタイミングに合わせて、給紙カセット14からピックアップローラー15とフィードローラー16及びリタードローラー17によって搬送パスSへと送り出された用紙がレジストローラー対19によって二次転写部へと搬送される。そして、二次転写部に搬送された用紙に、トナーと逆極性の二次転写バイアスが印加された二次転写ローラー10によってフルカラーのトナー像が中間転写ベルト7から一括して二次転写される。而して、フルカラーのトナー像が転写された用紙は、定着装置22へと搬送され、フルカラーのトナー像が加熱及び加圧されて用紙の表面に熱定着され、トナー像が定着された用紙は、排紙ローラー対23,24によって排紙トレイ21上に排出されて一連の画像形成動作が完了する。尚、用紙上に転写されないで中間転写ベルト7上に残留する転写残トナーは、前記ベルトクリーニング装置11によって除去され、中間転写ベルト7は次の画像形成に備えられる。[光走査装置]次に、本発明に係る前記光走査装置13の実施の形態について説明する。尚、4つの光走査装置13の構成は全て同じであるため、以下、1つの光走査装置13についてのみ説明する。<実施の形態1>図2は本発明に係る光走査装置要部の構成を示す平面図であり、図示の光走査装置13は、光源であるレーザーダイオード25を備えており、このレーザーダイオード25からの光ビームの出射方向に沿ってコリメータレンズ26、シリンドリカルレンズ27及び偏向手段であるMEMSミラー28が一直線上に配置されている。上記コリメータレンズ26は、レーザーダイオード25から出射される発散光束である光ビームを集光させる集光レンズであり、前記シリンドリカルレンズ27は、副走査方向にのみ特定のパワーを有するレンズであって、コリメータレンズ26を通過して光ビームを副走査断面内で前記MEMSミラー28の偏向面に線像として結像させる機能を果たす。前記MEMSミラー28は、Si基板にエッチングや成膜等のマイクロマシニング技術MEMS技術を利用して一体に形成されており、固有振動数の異なる3つの偏向面を有している。各振動面は、重畳駆動によって各固有振動数で共振してそれぞれ往復振動正弦振動し、シリンドリカルレンズ27を通過した光ビームを反射させて偏向走査する。即ち、MEMSミラーは、重畳振動によって、θt=A1sinωtA3sin3ωtφ...4ここに、A1,A3:偏向角の振幅ω:角周波数t:時間で表される偏向角θtで光ビームを偏向走査する。尚、MEMSミラー28の各偏向面反射面にはアルミニウム膜等が成膜されてその反射率が高められている。又、図2に示すように、MEMSミラー28によって偏向される光ビームの進行方向に沿って円弧状の2つの走査レンズ29,30が配設されている。尚、走査レンズ29,30は、MEMSミラー28によって偏向された光ビームを走査面である感光ドラム2a2b,2c,2d上に等速度で集光させるためのfθ特性を有している。更に、図2に示すように、有効走査範囲Rを外れた偏向角θ1とθ2に対応する位置にはBDレンズ31,32と受光素子であるBDセンサー33,34がそれぞれ設置されている。而して、図2に示す光走査装置13において、レーザーダイオード25が画像データに応じてON/OFF制御されると、該レーザーダイオード25から画像データに対応して変調された光ビームが出射され、この光ビームは、コリメータレンズ26を通過することによって集光された後、シリンドリカルレンズ27を通過することによって副走査断面内でMEMSミラー28の各偏向面に線像として結像する。尚、シリンドリカルレンズ27に入射した光ビームは、主走査断面においてはそのままの状態でシリンドリカルレンズ27を通過する。上述のようにMEMSミラー28の各偏向面上に線状に結像した光ビームは、MEMSミラー28の各偏向面が共振によってそれぞれの固有振動数で往復振動することによって主走査方向に偏向され、この偏向された光ビームは、走査レンズ29,30を通過することによって図1に示す各画像形成ユニット1M1C,1Y,1Kの感光ドラム2a2b~2d上に結像され、図2に示す有効走査範囲Rの一端を書出点走査端部P1、他端を書終点走査端部P2として感光ドラム2a2b~2d上を主走査方向に往復走査する。すると、前述のように各感光ドラム2a2b~2d上には各色のカラー画像信号に対応した静電潜像がそれぞれ形成される。而して、本実施の形態においては、重畳振動するMEMSミラー28によって偏向走査される光ビームの前記式4で表される偏向角θtは、図3に示すようにMEMSミラー28の振動角の3倍であるため、環境変動によってパラメーターが変動するとA1A3φが変動する。斯かる構成において、θ1=A1√3/2、|θ1|≠|θ2|...5であれば、角度θ1θ2に設置されたBDセンサー33,34からの信号の時間間隔t1t12t2t21からA1A3φの設定値からのズレ量を計算してこれらのA1A3φを補正することができる。このことを図3に基づいて以下に説明する。図3において、実線は式4で示される偏向角特性θtを示し、破線は基本正弦波θt=A1sinωtと3倍の周波数の正弦波θt=A3sin3ωtφを示している。BDセンサー33は偏向角がθ1に対応する位置に設置されているため、θt=θ1となるときに受光信号を出力する。同様にBDセンサー34は偏向角がθ2に対応する位置に設置されているため、θt=θ2となるときに受光信号を出力する。MEMSミラー28は往復振動するため、1周期で4つの受光信号が発生し、t1t12t2t21の4種類の信号間隔が得られる。ここで、θ1が式5を満足する場合、式4の各パラメーターA1A3φが変化したときに信号間隔t1t12t2t21がどのように変化するかを考える。尚、各パラメーターA1A3φが理想状態にあるときの各信号間隔t1t12t2t21は設定値として記憶されているものとする。対称性より、t12とt21はA1やA3が変化しても互いに等しく、t12≠t21の場合にはφ≠0が成り立つ。通常、φ=0が望ましいため、t12=t21となるまでMEMSミラー28への入力を変化させればφ=0が得られる。次に、φ=0でA1A3共に理想状態である場合、θt=θ1となるのはsin3ωt=0のときである。つまり、φ=0でA1A3が共に理想状態であるときからA3をどのように変化させてもθt=θ1が成り立つため、A3の変化にt1は感度が無い。即ち、φ=0のときには、t1が設定値になるようにA1を調整制御すれば理想状態のA1が得られる。最後のA3の調整はt2が設定値となるようにすれば理想のA3が得られる。次に、調整アルゴリズムの検証のため、表3及び表4に示す値を用いる。BDセンサーの設置位置であるθ1を定めている。尚、角周波数ωは2000Hzに相当する。例えば、外乱によってパラメーターA1A3φが理想値から変化したものとし、信号間隔t1t12t2t21をモニターして調整することによってパラメーターA1A3φを理想値に補正できるか否かを検証する。この場合、制御フロー中は信号間隔t1t12t2t21のみを測定することができ、調整はパラメーターA1A3φの値を不定量に増やすか減らすかしかできない。但し、BDセンサー33,34の設置位置や周波数は変化しないものとする。ここで、各制御ステップ1~9におけるパラメーターA1A3φの値と信号間隔t1t12t2t21の設定値との比を表5に示す。表5では、信号間隔t1t12t2t21を設定値との比で表示しているため、この比は最終的には1となる必要がある。又、外乱後のパラメーターA1A3φの値と信号間隔t1t12t2t21の設定値との比を最上段に示し、これらの値が各制御ステップ1~9で変化する様子を示している。表5において太文字下線にて示す数値が調整しているものであり、表5及び図4のフローチャートに示すようにパラメーターの調整はφ,A1A3の順に行われる。表5及び図5のフローチャートに示すように、外乱後のステップ1~4では、t12とt21とを比較し、t12>t21であればφをプラス方向に、t12<t21であればφをマイナス方向に調整する。表5及び図6のフローチャートに示すように、外乱後のステップ4~7では、t1を1に対して比較し、t1>1であればA1をマイナス方向に、t1<1であればA1をプラス方向に調整する。表5及び図7のフローチャートに示すように、外乱後のステップ7~9では、t2を1に対して比較し、t2>1であればA3をプラス方向に、t2<1であればA3をマイナス方向に調整する。以上において、パラメーターA1A3φは理想値に収束し、信号間隔t1t12t2t21は設定値に等しくなることが検証された。尚、以上の検証例では、3段階の調整全てにおいて故意に過補正しているが、問題なく切り分けされて正しい方向に補正されていることが示されている。而して、BDセンサー33を前記式5で表される角度θ1の位置に設置することによってパラメーターA1A3φの調整制御が可能となるが、BDセンサー33,34を次式:|θ1|≦|A1√3/2|≦|θ2|...6を満足する角度θ1,θ2に対応する位置に設置しても、切り分け計算が多少複雑になるが同様の制御方法によってパラメーターA1A3φの調整制御が可能となる。以上のように、本実施の形態では、角度θ1θ2に設置されたBDセンサー33,34からの信号の時間間隔t1t12t2t21からパラメーターA1A3φの設定値からのズレ量を計算してこれらのパラメーターA1A3φを補正するようにしたため、MEMSミラー28の環境条件による振動振幅の変動に伴う光ビームの走査時間の変化を補正することができ、光ビームによる主走査方向の走査性能を良好に保つことができる。尚、本実施の形態では、信号発生器として受光素子であるBDセンサー33,34を用いたが、信号発生器としては2つの偏向角において信号を発生するものであれば任意のもの、例えば静電容量や電磁誘導、圧電効果を利用するもの等を使用することができる。又、本実施の形態では、パラメーターA1A3φの調整制御としてフィードバック制御を用いたが、パラメーターA1A3φの設定値からのズレ量から計算若しくは予め測定した補正テーブルを用いてパラメーターA1A3φを同時に調整することも可能である。<実施の形態2>次に、光走査装置13の実施の形態を図8に基づいて以下に説明する。図8は本発明の実施の形態2に係る光走査装置要部の構成を示す主走査方向の平面図であり、本図においては図2に示したものと同一要素には同一符号を付しており、以下、それらについての再度の説明は省略する。本実施の形態は、BDセンサー33,34がそれぞれ設置される偏向角θ1,θ2の大小関係をθ1<θ2とするとともに、絶対値が小さい方の偏向角θ1の光路は走査レンズ29を通過し、絶対値が大きい方の偏向角θ2の光路は走査レンズ29を通過せず、走査レンズ29の光路が通過する偏向角θ1側に該走査レンズ29の位置決め手段35を設けたことを特徴としており、他の構成は前記実施の形態1のそれと同じである。而して、本実施の形態では、偏向角θ2の光路は走査レンズ29を通過しないため、パラメーターA1A3φの変動を小さく抑えることができ、SDセンサー33に向かう偏向角θ1の光路は走査レンズ29を通過するが、走査レンズ29の光路が通過する側に位置決め手段35が設けられているため、環境が変動しても走査レンズ29への光ビームの入射位置は殆ど変化せず、変化を最小限に抑えることができる。尚、本実施の形態において、上記構成に加えて温度に応じた光源点灯タイミング補正を更に加えると、有効走査範囲Rにおける走査位置の変動を補正することも可能になり、光走査装置13を環境変動に強いものとすることができる。又、本実施の形態では、MEMSミラー28とBDセンサー34との間にBDレンズ32を1つだけ配置したが、温度によって位置や角度が変化しないようにミラー等を挿入しても良く、このようにすることによってレイアウトの自由度が比較的高められる。その他の構成は前記実施の形態1のそれと同じであるため、本実施の形態においても前記実施の形態1と同様の効果が得られる。尚、以上は本発明をカラーレーザープリンターとこれに備えられた光走査装置に対して適用した形態について説明したが、本発明は、モノクロプリンターや複写機等を含む他の任意の画像形成装置及びこれに備えられた光走査装置に対しても同様に適用可能であることは勿論である。"