回転可能なロータの外周面から突出した複数の回転翼ブレードと、前記ロータの外周面に向って突出した複数の固定翼ブレードとを、前記ロータの軸心に沿って交互に多段に配置してなる排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体であって、前記複数の固定翼ブレードは、内側と外側の固定翼ブレード根元がフレームで支持されており、この支持された一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードとの間であって、かつ前記外側又は内側の固定翼ブレード根元付近の空隙には、内側の固定翼ブレード根元を支持しているフレーム又は前記外側の固定翼ブレード根元を支持しているフレーム若しくは双方のフレームから突出した突起部が設けられた構成になっていることを特徴とする固定翼ブレード集合体。前記一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの内側及び外側の固定翼ブレード根元が同じフレームで支持されることにより、一枚構造の固定翼ブレード集合体として構成されていることを特徴とする請求項1に記載の固定翼ブレード集合体。前記一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの内側及び外側の固定翼ブレード根元が別々のフレームで支持され、これらのフレームを上下に重ね合わせて接合することにより二枚重ね構造として形成され、前記突起部が前記外側又は内側の固定翼ブレード根元付近の空隙と重なる構成となっていることを特徴とする請求項1に記載の固定翼ブレード集合体。回転可能なロータの外周面から突出した複数の回転翼ブレードと、前記ロータの外周面に向って突出した複数の固定翼ブレードとを、前記ロータの軸心に沿って交互に多段に配置してなる排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体であって、前記複数の固定翼ブレードのうちいずれか一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの固定翼ブレード根元が別々のフレームで支持され、これらのフレームを上下に重ね合わせて接合することにより一枚の固定翼ブレード集合体として形成される構成、及び、それぞれの固定翼ブレード根元が互いにロータの径方向でずれて配置されることにより、一の固定翼ブレード根元付近における固定翼ブレード端部がその横隣の固定翼ブレード根元付近の空隙に重なる構成になっていることを特徴とする固定翼ブレード集合体。回転可能なロータの外周面から突出した複数の回転翼ブレードと、前記ロータの外周面に向って突出した複数の固定翼ブレードとを、前記ロータの軸心に沿って交互に多段に配置してなる排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体であって、前記複数の固定翼ブレードのうちいずれか一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの固定翼ブレード根元が別々のフレームで支持され、これらのフレームを上下に重ね合わせてなるとともに、それぞれの外側又は内側の固定翼ブレード根元を支持している前記フレームどうしを接合することにより一枚の固定翼ブレード集合体として形成されていることを特徴とする固定翼ブレード集合体。前記フレームの重ね合わせ部には、その重ね合わせ部に閉じ込まれている気体や流体をフレームの外へ逃がす開放手段が設けられていることを特徴とする請求項5に記載の固定翼ブレード集合体。前記開放手段は、前記フレームに形成した切り欠きからなることを特徴とする請求項6に記載の固定翼ブレード集合体。前記開放手段は、前記フレームに形成した穴からなることを特徴とする請求項6に記載の固定翼ブレード集合体。前記開放手段は、前記フレームに形成した開放溝からなることを特徴とする請求項6に記載の固定翼ブレード集合体。前記開放手段は、前記フレームに形成した窪みからなることを特徴とする請求項6に記載の固定翼ブレード集合体。前記フレームどうしの接合は、カシメ加工によるものであることを特徴とする請求項5に記載の固定翼ブレード集合体。請求項1から11記載のうちいずれか1項に記載の固定翼ブレード集合体を備えたことを特徴とする排気ポンプ。本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、排気時間の短縮による排気性能の向上を図るのに好適な固定翼ブレード集合体、及びそれを備えた排気ポンプを提供することにある。前記目的を達成するために、第1の本発明は、回転可能なロータの外周面から突出した複数の回転翼ブレードと、前記ロータの外周面に向って突出した複数の固定翼ブレードとを、前記ロータの軸心に沿って交互に多段に配置してなる排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体であって、前記複数の固定翼ブレードは、内側と外側の固定翼ブレード根元がフレームで支持されており、この支持された一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードとの間であって、かつ前記外側又は内側の固定翼ブレード根元付近の空隙には、内側の固定翼ブレード根元を支持しているフレーム又は前記外側の固定翼ブレード根元を支持しているフレーム若しくは双方のフレームから突出した突起部が設けられた構成になっていることを特徴とする。前記第1の本発明において、一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの内側及び外側の固定翼ブレード根元が同じフレームで支持されることにより、一枚構造の固定翼ブレード集合体として構成されるものであってもよい。前記第1の本発明において、前記一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの内側及び外側の固定翼ブレード根元が別々のフレームで支持され、これらのフレームを上下に重ね合わせて接合することにより二枚重ね構造として形成され、前記突起部が前記外側又は内側の固定翼ブレード根元付近の空隙と重なる構成となっていることを特徴とする。第2の本発明は、回転可能なロータの外周面から突出した複数の回転翼ブレードと、前記ロータの外周面に向って突出した複数の固定翼ブレードとを、前記ロータの軸心に沿って交互に多段に配置してなる排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体であって、前記複数の固定翼ブレードのうちいずれか一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの固定翼ブレード根元が別々のフレームで支持され、これらのフレームを上下に重ね合わせて接合することにより一枚の固定翼ブレード集合体として形成される構成、及び、それぞれの固定翼ブレード根元が互いにロータの径方向でずれて配置されることにより、一の固定翼ブレード根元付近における固定翼ブレード端部がその横隣の固定翼ブレード根元付近の空隙に重なる構成になっていることを特徴とする。第3の本発明は、回転可能なロータの外周面から突出した複数の回転翼ブレードと、前記ロータの外周面に向って突出した複数の固定翼ブレードとを、前記ロータの軸心に沿って交互に多段に配置してなる排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体であって、前記複数の固定翼ブレードのうちいずれか一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの固定翼ブレード根元が別々のフレームで支持され、これらのフレームを上下に重ね合わせてなるとともに、それぞれの外側又は内側の固定翼ブレード根元を支持している前記フレームどうしを接合することにより一枚の固定翼ブレード集合体として形成されていることを特徴とする。前記第3の本発明において、フレームの重ね合わせ部には、その重ね合わせ部に閉じ込まれている気体や流体をフレームの外へ逃がす開放手段が設けられる構成を採用することができる。前記第3の本発明において、開放手段は、前記フレームに形成した切り欠きからなることを特徴とする。前記第3の本発明において、開放手段は、前記フレームに形成した穴からなることを特徴とする。前記第3の本発明において、開放手段は、前記フレームに形成した開放溝からなることを特徴とする。前記第3の本発明において、開放手段は、前記フレームに形成した窪みからなることを特徴とする。前記第3の本発明において、前記フレームどうしの接合は、カシメ加工によるものであってもよい。本発明に係る排気ポンプは、前記第1から第3の本発明に係る固定翼ブレード集合体のいずれかを備えたことを特徴とするものである。前記第1の本発明にあっては、排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体の具体的な構成として、複数の固定翼ブレードは、内側と外側の固定翼ブレード根元がフレームで支持されており、この支持された一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードとの間であって、かつ前記外側又は内側の固定翼ブレード根元付近の空隙には、内側の固定翼ブレード根元を支持しているフレーム又は前記外側の固定翼ブレード根元を支持しているフレーム若しくは双方のフレームから突出した突起部が設けられた構成を採用した。このため、そのような固定翼ブレード根元付近の空隙を抜ける気体分子の逆流内部リークが当該突起部により抑制されることから、高速で排気でき、排気時間の短縮を図れる。前記第2の本発明では、排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体の具体的な構成として、複数の固定翼ブレードのうちいずれか一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの固定翼ブレード根元が別々のフレームで支持され、これらのフレームを上下に重ね合わせて接合することにより一枚の固定翼ブレード集合体として形成される構成、及び、それぞれの固定翼ブレード根元が互いにロータの径方向でずれて配置されることにより、一の固定翼ブレード根元付近における固定翼ブレード端部がその横隣の固定翼ブレード根元付近の空隙に重なる構成を採用した。このため、本第2の発明でも、かかる空隙を抜ける気体分子の逆流がその空隙に重なっているブレード根元付近の固定翼ブレード端部で抑制されるから、高速で排気でき、排気時間の短縮を図れる。前記第3の本発明によると、排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体の具体的な構成として、複数の固定翼ブレードのうちいずれか一の固定翼ブレードとその横隣の固定翼ブレードは、それぞれの固定翼ブレード根元が別々のフレームで支持され、これらのフレームを上下に重ね合わせてなるとともに、それぞれの外側又は内側の固定翼ブレード根元を支持している前記フレームどうしを接合することにより一枚の固定翼ブレード集合体として形成されている構成を採用した。このため、外側又は内側の固定翼ブレード根元付近において、上下に重ね合わされたフレームが反りや撓み等により上下方向に開いてしまうことがなく、そのようなフレームの開きによって固定翼ブレードの高さが不均一になることや、その不均一による排気効率の低下を効果的に防止できる点で、排気時間の短縮を図れる。特に、前記第3の本発明において、フレームの重ね合わせ部に閉じ込まれている気体や流体をフレームの外へ逃がす開放手段が設けられる構成を採用したものにあっては、フレームの重ね合せ部に閉じ込まれている気体や流体は開放手段によって速やかにフレームの外へ開放されるから、そのような気体や流体がフレームの重ね合せ部から少しずつ徐々に流出し続けることがなくなる点で、排気時間の更なる短縮を図れる。以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明を適用した排気ポンプの断面図である。同図の排気ポンプPは、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、ソーラーパネル製造装置におけるプロセスチャンバやその他の密閉チャンバのガス排気手段等として利用される。この排気ポンプPは、外装ケース1内に、回転翼ブレード13と固定翼ブレード14により気体を排気する翼排気部Ptと、ネジ溝19を利用して気体を排気するネジ溝排気部Psと、これらの駆動系とを有している。外装ケース1は、筒状のポンプケース1Aと有底筒状のポンプベース1Bとをその筒軸方向にボルトで一体に連結した有底円筒形になっている。ポンプケース1Aの上端部側はガス吸気口2として開口しており、ポンプベース1Bの下端部側面にはガス排気口3を設けてある。ガス吸気口2は、ポンプケース1A上縁のフランジ1Cに設けた図示しないボルトにより、例えば半導体製造装置のプロセスチャンバ等、高真空となる図示しない密閉チャンバに接続される。ガス排気口3は、図示しない補助ポンプに連通するように接続される。ポンプケース1A内の中央部には各種電装品を内蔵する円筒状のステータコラム4が設けられており、ステータコラム4はその下端側がポンプベース1B上にネジ止め固定される形態で立設してある。ステータコラム4の内側にはロータ軸5が設けられており、ロータ軸5は、その上端部がガス吸気口2の方向を向き、その下端部がポンプベース1Bの方向を向くように配置してある。また、ロータ軸5の上端部はステータコラム4の円筒上端面から上方に突出するように設けてある。ロータ軸5は、ラジアル磁気軸受10とアキシャル磁気軸受11の磁力で径方向と軸方向が回転可能に浮上支持され、駆動モータ12により回転駆動される。また、このロータ軸5の上下端側には保護ベアリングB1、B2を設けている。ステータコラム4の外側にはロータ6が設けられている。ロータ6は、ステータコラム4の外周を囲む円筒形状であって、ロータ軸5に一体化されている。従って、図1の排気ポンプPでは、ロータ軸5、ラジアル磁気軸受10、10及びアキシャル磁気軸受11が、ロータ6をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段として機能する。またロータ6はロータ軸5と一体に回転するので、ロータ軸5を回転駆動する駆動モータ12がロータ6を回転駆動する駆動手段として機能する。駆動モータ12、保護ベアリングB1とB2、ラジアル磁気軸受10及びアキシャル磁気軸受11の詳細構成については業界周知の内容のため、説明を省略する。《翼排気部Ptの詳細構成》図1の排気ポンプPでは、ロータ6の略中間より上流ロータ6の略中間からロータ6のガス吸気口2側端部までの範囲が翼排気部Ptとして機能する。以下この翼排気部Ptを詳細に説明する。ロータ6の略中間より上流側のロータ6外周面には回転翼ブレード13が一体に複数設けられている。これら複数の回転翼ブレード13は、ロータ6外周面からロータ径方向に突出した形態になっていて、かつ、ロータ6の回転軸心ロータ軸5若しくは外装ケース1の軸心以下ポンプ軸心というを中心として放射状に配置してある。また、回転翼ブレード13は、ロータ6の外径加工部と一体的に切削加工で切り出し形成した切削加工品であって、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。ポンプケース1Aの内周面側には固定翼ブレード14が複数設けられており、これらの固定翼ブレード14は、ポンプケース1A内周面からロータ6外周面に向って突出した形態になっていて、かつ、ポンプ軸心を中心として放射状に配置してある図2及び図4参照。固定翼ブレード14もまた、回転翼ブレード13と同じく、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。そして、図1の排気ポンプPにおいては、前記のような複数の回転翼ブレード13と固定翼ブレード14とがポンプ軸心に沿って交互に多段に配置されることによって多段の翼排気部Ptを形成している。前記多段の翼排気部Ptにおいて、少なくとも一段に位置する複数の固定翼ブレード14は、その段ごとに、図2に示す一枚構造の固定翼ブレード集合体S1として形成してある。或は、少なくとも一段に位置する複数の固定翼ブレード14は、その段ごとに、図4に示す二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S2として形成してある。又は、少なくとも一段に位置する複数の固定翼ブレード14は、前記一枚構造の固定翼ブレード集合体S1として形成し、他の少なくとも一段に位置する複数の固定翼ブレード14は、前記二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S2として形成してある。それぞれの固定翼ブレード集合体S1、S2の詳細構成は以下の通りである。《一枚構造の固定翼ブレード集合体S1の詳細構成》図2aを参照すると、一枚構造の固定翼ブレード集合体S1は、先に説明したようにポンプ軸心を中心として放射状に配置される複数の固定翼ブレード14と、これらの固定翼ブレード14の内側と外側の固定翼ブレード根元14A、14Bをそれぞれ支持するフレームF1、F2とを備えている。そして、この一枚構造の固定翼ブレード集合体S1では、例えば一の固定翼ブレード1414-1とその横隣の固定翼ブレード1414-2は、それぞれの内側及び外側の固定翼ブレード根元14A、14Bが同じフレームF1、F2で支持される構造になっている。以上の支持構造から分かるように、多段の翼排気部Ptにおいて、少なくとも一段に位置する複数の固定翼ブレード14は、その段ごとに、内側と外側の固定翼ブレード根元14A、14BがフレームF1、F2で支持されている。そして、支持された一の固定翼ブレード14例えば14-1とその横隣の固定翼ブレード14例えば14-2との間であって、かつ外側と内側の固定翼ブレード根元14A、14B付近の空隙には、外側の固定翼ブレード根元14Bを支持しているフレームF2から突出した突起部T、及び、内側の固定翼ブレード根元14Aを支持しているフレームF1から突出した突起部Tを設けている。これらの突起部Tについては、必要に応じていずれか一方を省略してもよい。前記突起部Tは、固定翼ブレード根元14A、14B付近の空隙Gを抜ける気体分子の逆流内部リークを防止する手段として機能する。すなわち、図1の排気ポンプPにおいては、先に説明したように固定翼ブレード14を所定角度で傾斜させるために、固定翼ブレード根元14A、14B付近に溝Mを切り欠き形成して固定翼ブレード14を曲げ起こしている。このような曲げ起し加工に必要不可欠な前記溝M以下曲げ溝Mというにより固定翼ブレード根元14A、14B付近に前述の空隙Gが生じる。図1の排気ポンプPでは、そのような空隙Gに突起部Tが配置されるため、空隙Gを抜ける気体分子の逆流内部リークが減少し、排気速度が速くなり、排気時間の短縮を図れる。図2bは、一枚構造の固定翼ブレード集合体S1において、複数の固定翼ブレードを曲げ起こす前の状態の平面図である。図2bにおいて、符号aは曲げ溝Mの幅、符号bは曲げ溝Mの形成により細くなった固定翼ブレード根元14Aの幅、符号cは突起部Tの突出量、符号dは突起部Tと固定翼ブレード14との間の隙間Gの幅を示している。前記aとbについては、固定翼ブレード14の材質、厚み、傾斜曲げ角度図3b参照などの条件によって決まる。前記cは、必要に応じて適宜変更できる。特にcはaと等しい又はaより大きいという条件c≧aが成立する場合に、上述の逆流内部リーク減少効果が向上する。また、前記dは、固定翼ブレード集合体S1を形成する手段ワイヤ加工、レーザ加工、又はプレス加工等によって異なるが、気体分子の逆流を減少させる観点より出来る限り最小に設定するのが好ましい。図3aは、図2a中のAA断面展開拡大図である。この図3aにおいて、符号L1は突起部Tが無い場合における曲げ溝付近の空隙の幅、符号L2とL3は突起部Tの形成により狭くなった曲げ溝M付近の空隙Gの幅を示している。突起部Tが有る場合と無い場合とで比較すると、突起部Tがある場合の空隙Gの幅は30以下L2L3/L1100<30に減少する。このため、同例によると、空隙Gを抜ける気体分子の逆流内部リークを70以上減少させる効果が得られる。《二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S2の詳細構成》図4aを参照すると、二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S2もまた、先に説明したようにポンプ軸心を中心として放射状に配置される複数の固定翼ブレード14と、これらの固定翼ブレード14の内側と外側の固定翼ブレード根元14A、14Bをそれぞれ支持するフレームF1、F2とを備えている。そして、この二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S2では、例えば一の固定翼ブレード1414-3とその横隣の固定翼ブレード1414-4は、図4cのように、それぞれの内側の固定翼ブレード根元14Aが別々のフレームF1で支持され、これらのフレームF1を上下に重ね合わせて接合した構造になっている。また、それぞれの外側の固定翼ブレード根元14Bも別々のフレームF2で支持され、これらのフレームF2を上下に重ね合わせて接合した構造になっている。図4aの例では、前記フレームF1、F2の具体的な接合の構造例として、それぞれの内側の固定翼ブレード根元14Aを支持しているフレームF1どうしを図4dのようなカシメ加工によって接合する構成を採用した。前記のような接合構成を採用した排気ポンプPによると、上下に重ね合わされたフレームF1が反りや撓み等によって上下方向に開いてしまう現象を抑制することができ、かかる現象によって固定翼ブレードの高さが不均一になること、及び、その不均一による排気性能の低下を効果的に防止することができる。かかる現象の抑制効果を高めるには、図4aのようにカシメ部をフレームF1の内端近傍に設けることが好ましい。前記のようなフレームF1どうしの接合は先に説明した図4dのようなカシメ加工に限定されることはなく、例えば接着剤による接着や溶接等、カシメ加工以外の方式を採用することもできる。以上の支持構造から分かるように、多段の翼排気部Ptにおいて、少なくとも一段に位置する複数の固定翼ブレードは、その段ごとに、内側と外側の固定翼ブレード根元14A、14BがフレームF1、F2で支持されている。そして、支持された一の固定翼ブレード14例えば14-3とその横隣の固定翼ブレード14例えば14-4との間には、図4cのように、外側の固定翼ブレード根元14Bを支持しているフレームF2から突出した突起部Tが設けられている。この突起部Tは、固定翼ブレード根元14B付近の空隙Gと重なるように形成されることにより、その空隙Gを抜ける気体分子の逆流内部リークを防止する手段として機能する。図示は省略するが、このような突起部Tは内側の固定翼ブレード根元14Aを支持しているフレームF1から突出するように形成してもよく、双方のフレームF1、F2から突出するように形成することもできる。図4bは、同図aの二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S2において、その重ね合わせ前のパーツS2′複数の固定翼ブレード14を曲げ起こす前の状態の平面図である。図4aの2枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S2は、この図4bのパーツS2′を2枚作製し2枚は全く同一のもの、一枚を裏返しにしてもう一枚に重ね合わせて接合したものである。図4bにおいて、符号aは曲げ溝Mの幅、符号bは曲げ溝Mの形成により細くなった固定翼ブレード根元14Bの幅、符号cとeは突起部Tの突出量、符号dは突起部Tと固定翼ブレード14との間の空隙G固定翼ブレード根元14B付近の空隙の幅を示している。前記aとbについては、固定翼ブレード14の材質、厚み、傾斜曲げ角度図3b参照などの条件によって決まる。前記cは、必要に応じて適宜変更してもよい。特にcはaと等しい又はaより大きいという条件c≧aが成立する場合に、上述の逆流内部リーク減少効果がアップする。また、前記dはパーツS2′を形成する手段ワイヤ加工、レーザ加工、又はプレス加工等によって異なるが、当該パーツS2′を重ね合わせて接合した後における気体分子の逆流を減少させる観点より、dは出来る限り最小に設定するのが好ましい。また、前記eは前記aより小さく設定してあるe<a。これは曲げ起した固定翼ブレード14の先端部がe寸法の突起部Tに配置されるので、そのe寸法の突起部Tと固定翼ブレード14の先端部との干渉を避けるためである。αとβの角度も干渉をしないように設定する。図5aは、図4aのように突起部Tを設けた固定翼ブレード集合体S2のAA断面展開拡大図、図5bは、図4aの突起部Tがなかった場合のAA断面展開拡大図である図5aとの比較例。図5aと図5bにおいて、符号L4とL5は突起部Tが無い場合における曲げ溝M付近の空隙Gの幅を示し、符号L6とL7は突起部Tの形成により狭くなった曲げ溝M付近の空隙Gの幅を示している。突起部Tが有る場合と無い場合とで比較すると、突起部Tがある場合の空隙Gの幅は10以下L6L7/L4L5100<10に減少する。このため、同例によると、突起部Tを設けることにより、曲げ溝M付近の空隙Gを抜ける気体分子の逆流内部リークを90以上減少させる効果が得られる。図6aは、固定翼ブレードをロータの径方向にずらして配置オフセットする構成により、内部リーク空隙を抜ける気体分子の逆流を防止する構造例を採用した二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S3の平面図、図6bはその固定翼ブレード集合体の部分斜視イメージ図である。また、図7abは、図6の二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S3において、その重ね合わせ前のパーツS3′複数の固定翼ブレード14を曲げ起した後の状態の平面図である。図7bのパーツS3′は図7aのパーツS3′を裏返しにしたものであり、図6abの2枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S3は、この図7abのパーツS3′を重ね合わせて接合したものである。図6abの二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S3において、これを構成する複数の固定翼ブレード14のうち、例えば一の固定翼ブレード1414-5とその横隣の固定翼ブレード1414-6は、図7abのように、それぞれの固定翼ブレード根元14A、14Bが別々のフレームF1、F2で支持され、これらのフレームF1、F2を上下に重ね合わせて接合した構造になっている。また、図6abにおいて、例えば一の固定翼ブレード1414-5とその横隣の固定翼ブレード1414-6は、それぞれの内側の固定翼ブレード根元14Aが互いにロータ6の径方向でずれて配置オフセットされることにより、一の固定翼ブレード1414-5の内側の固定翼ブレード根元14A付近における固定翼ブレード端部がその横隣の固定翼ブレード1414-6の内側の固定翼ブレード根元14A付近の空隙Gに重なるように構成してある。従って、前記空隙Gを抜ける気体分子の逆流は一の固定翼ブレード14-5の内側の固定翼ブレード根元14A付近における固定翼ブレード端部によって抑制されるから、この図6abの二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S3を採用した排気ポンプPにおいても、排気速度が速くなり、排気時間の短縮による排気性能の向上を図れる。図6abでは、固定翼ブレード1414-6の内側の固定翼ブレード根元14A付近の空隙Gを小さくし、かかる空隙Gを抜ける気体分子の逆流を防止することで、排気時間を短縮するために、一の固定翼ブレード14-5の内側の固定翼ブレード根元14A付近における固定翼ブレード端部がその隣の固定翼ブレード1414-6の内側の固定翼ブレード根元14A付近の空隙Gと重なる構造を採用した。このような重なり構造は、固定翼ブレード14の外側の固定翼ブレード根元14B付近にも適用することができる。これにより、固定翼ブレード14の外側の固定翼ブレード根元14B付近の空隙も小さくなるため、より一層排気速度が速くなり、更なる排気時間の短縮による排気性能の向上を図れる。図8aは、図6abのように固定翼ブレード14をロータ6の径方向にずらして配置オフセットした固定翼ブレード集合体S3のAA断面展開拡大図、図8bは、そのようなオフセットをしなかった場合のAA断面展開拡大図図8aとの比較例。図8abにおいて、符号L8、L9、L10はオフセットをしなかった場合における曲げ溝M付近の空隙の幅を示し、符号L11はオフセットをしたことにより狭くなった曲げ溝M付近の空隙の幅を示している。オフセットをした場合としなかった場合とで比較すると、オフセットをした場合の空隙の幅は30以下L11/L8L9L10100<30に減少する。このため、同例によると、オフセットをすることにより、空隙を抜ける気体分子の逆流内部リークを70以上減少させる効果が得られる。図4aおよび図6aに示した二枚重ね構造の固定翼ブレード集合体S2、S3において、内側のフレームF1の重ね合わせ部には、その重ね合わせ部に閉じ込まれている気体や流体をフレームF1の外へ逃がす開放手段Kが設けられている。前記開放手段Kの具体的な構造例として、図4aおよび図6aの例では、内側のフレームF1の内縁に切り欠きK1を形成してある。かかる切り欠きK1を設けた場合と設けない場合とで比較すると、フレームF1の重ね合わせ面の接触面積は、切り欠きK1を設けた本例の方が減少しているため、フレームF1の重ね合せ部に閉じ込まれる気体や流体は本例の方が少なくなる。本例においても、切り欠きK1のない部分ではフレームF1の重ね合せ部に気体や流体が多少閉じ込まれるが、閉じ込まれた気体は切り欠きK1の切り口から速やかにフレームF1の外へ流出できる。従って、この図4aおよび図6aの例のような切り欠きK1を採用した排気ポンプPによると、フレームF1の重ね合せ部から気体や流体が少しずつ徐々に流出し続ける量が減ることから、排気時間の短縮を図れる。前記開放手段Kの具体的な他の構造例としては、例えば図9abのように内側のフレームF1に形成した穴K2や、図10abのようにフレームF1に切削加工又はプレス加工で形成した開放溝K3、図11abのようにフレームF1にプレスで曲げ成形した開放溝K4、あるいは図12abのようにフレームF1に切削加工又はプレス加工で形成した窪みK5、若しくは、その切り欠きK1、穴K2、開放溝K3、K4、窪みK5の組み合わせを採用することもできる。図9abでは、穴K2の一例として、略四角形状の穴を例示したが、この穴の形状に限定されることはなく、様々な形状の穴を採用することができる。この点については図4aおよび図6aの切り欠きK1や、図12abの窪みK5も同様である。図10abと図11abでは、開放溝K3、K4の一例として、かかる開放溝K3、K4は、ポンプ軸心を中心として放射状に設けた放射溝と、これらの放射溝に連通する連通溝とからなり、放射溝の一端がフレームF1の重ね合せ部の外に開口している形態を示したが、この形態に限定されることはない。例えば、図13のようにフレームF1の重ね合せ部の外に開口している様々な形態の開放溝K6~K10を採用することができる。図示は省略するが、先に説明した開放手段は、必要に応じて、外側のフレームF2の重ね合せ部に設ける構成や、内外双方のフレームF1、F2に設ける構成を採用することもできる。《翼排気部Ptによる排気動作説明》以上の構成からなる翼排気部Ptでは、駆動モータ12の起動により、ロータ軸5、ロータ6および複数の回転翼ブレード13が一体に高速回転し、最上段の回転翼ブレード13がガス吸気口2から入射した気体分子に下向き方向の運動量を付与する。この下向き方向の運動量を有する気体分子が固定翼14によって次段の回転翼ブレード13側へ送り込まれる。以上のような気体分子への運動量の付与と送り込み動作とが繰り返し多段に行われることにより、ガス吸気口2側の気体分子はロータ6の下流に向かって順次移行するように排気される。この際、固定翼ブレード14の端部付近の空隙Gと重なるように配置された突起部Tにより、その空隙Gを抜ける気体分子の逆流内部リークが防止されるので、排気速度が速くなり、排気時間の短縮を図ることができる。《ネジ溝排気部Psの詳細構成》ネジ溝排気部Psの詳細構成については業界周知の内容のため、説明を省略する。《ネジ溝排気部Psにおける排気動作説明》翼排気部Ptの排気動作による移送で最下段の翼図1の例では回転翼ブレードに到達した気体分子は、それらに向かって開口しているネジ溝排気通路Sの上流入口から同ネジ溝排気通路Sに移行する。移行した気体分子は、ロータ6の回転によって生じる効果、すなわち、ロータ6の外周面とネジ溝19でのドラッグ効果によって、遷移流から粘性流に圧縮されながらガス排気口3に向って移行し、最終的に図示しない補助ポンプを通じて外部へ排気される。