"ロータを挟んで2対の電磁石が配置された2軸のラジアル磁気軸受を備える磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法であって、前記ロータを目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、前記目標浮上位置に磁気浮上している前記ロータを複数の回転位置に順に停止させ、前記各停止時における前記2対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、前記2対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す前記電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、前記ロータが一回転する間の前記差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および前記振幅値算出工程で算出された前記振幅値に基づいて、前記ロータの振れまわり量を推定する推定工程と、を有する振れまわり推定方法。請求項1に記載の振れまわり推定方法において、複数台の磁気浮上式真空ポンプに関して、前記振幅値算出工程により算出される前記振幅値と高速回転時に実測される振れまわり量とから成るデータ振幅値、実測振れまわり量をそれぞれ取得し、取得された前記複数のデータ振幅値、実測振れまわり量に基づいて前記相関関係を算出することを特徴とする振れまわり推定方法。ロータを挟んで2対の電磁石が配置された2軸のラジアル磁気軸受を備える磁気浮上式真空ポンプのロータバランス検査方法であって、前記ロータの機械的バランスを修正する修正工程と、前記ロータを前記ラジアル磁気軸受が設けられたポンプベースに組み込む組み込み工程と、請求項1に記載の振れまわり推定方法により前記ロータの振れまわり量を推定し、推定された振れまわり量が所定基準値を超えているか否かを判定する判定工程と、を備え、前記判定工程で振れまわり量が前記所定基準値を超えていると判定されると、前記修正工程を再び行うことを特徴とするロータバランス検査方法。ロータを挟んで2対の電磁石が配置された2軸のラジアル磁気軸受を備える磁気浮上式真空ポンプの磁気軸受制御ゲイン調整方法であって、請求項1に記載の振れまわり推定方法により推定された振れまわり量に基づいて、回転駆動時の前記ロータの振れまわり量が所定基準値よりも小さくなるように、前記ラジアル磁気軸受の制御ゲインを予め設定されている初期ゲイン値よりも大きなゲイン値に設定することを特徴とする磁気軸受制御ゲイン調整方法。ロータを挟んで2対の電磁石が配置された2軸のラジアル磁気軸受を備える磁気浮上式真空ポンプであって、請求項1に記載の振れまわり推定方法により推定された振れまわり量を記憶するための記憶部と、前記記憶部に記憶された振れまわり量に基づいて、予め記憶されている初期ゲイン値を補正ゲイン値に補正し、該補正ゲイン値を前記ラジアル磁気軸受の制御ゲインに設定する制御ゲインコントロール部と、前記制御ゲインコントロール部で設定された制御ゲインに基づいて前記ラジアル磁気軸受の電磁石電流を制御する電流制御部と、を備えたことを特徴とする磁気浮上式真空ポンプ。請求項5に記載の磁気浮上式真空ポンプにおいて、前記ロータの回転速度を検出する回転センサを備え、前記制御ゲインコントロール部は、前記回転センサで検出されたロータ回転速度が共振発生危険速度領域である場合には、前記補正ゲイン値を前記制御ゲインに設定し、前記回転センサで検出されたロータ回転速度が共振発生危険速度領域でない場合には、前記初期ゲイン値を前記制御ゲインに設定することを特徴とする磁気浮上式真空ポンプ。請求項5または6に記載の磁気浮上式真空ポンプにおいて、前記ロータおよび前記記憶部が設けられたポンプ本体と、前記制御ゲインコントロール部および前記電流制御部が設けられた電源装置と、を備え、前記電源装置は、前記ポンプ本体の前記記憶部から前記振れまわり量を読み込み、該振れまわり量に基づいて前記制御ゲインコントロール部で制御ゲインを設定することを特徴とする磁気浮上式真空ポンプ。通常、初期バランスはバランサによりバランス修正を行うが、実際の運転時の回転数と異なるため、アンバランスはある程度までしか低減できない。また、各回転体のアンバランス状態はばらつきが大きく、仕上がり状態が分からないため、磁気軸受の制御にて安定化に向けて補償を行うに当たって、最適ゲインや制御位相が分からない。そのため、高速回転させてアンバランスが規定値に入っていない場合には、規定値に入るようにバランス修正を行い、再度回転させて確認するという工程を繰り返し、安定制御ができる状態にまでバランスを追い込む作業を行っていた。しかしながら、高速回転時のアンバランスが規定値より大きい場合には、バランサにより回転体のバランス修正を再度行うが、そのためには組み上がったポンプを分解する必要ある。そして、バランス修正後には再びポンプを組み上げて、高速回転によるアンバランスの確認をしなければならない。そのため、組み立て検査作業に手間がかかりコストアップ要因となっていた。請求項1に係る発明は、ロータを挟んで2対の電磁石が配置された2軸のラジアル磁気軸受を少なくとも備える磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法であって、ロータを目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータを所定の複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における2対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、対を成す電磁石の電流の差分を、2対の電磁石の少なくとも一方の対に関して算出する差分算出工程と、ロータが一回転する間の差分の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータの振れまわり量を推定する推定工程と、を有することを特徴とする。請求項2の発明は、請求項1に記載の振れまわり推定方法において、複数台の磁気浮上式真空ポンプに関して、振幅値算出工程により算出される振幅値と高速回転時に実測される振れまわり量とから成るデータ振幅値、実測振れまわり量をそれぞれ取得し、取得された複数のデータ振幅値、実測振れまわり量に基づいて相関関係を算出するようにしたものである。請求項3に係る発明は、ロータを挟んで2対の電磁石が配置された2軸のラジアル磁気軸受を備える磁気浮上式真空ポンプのロータバランス検査方法であって、ロータの機械的バランスを修正する修正工程と、ロータをラジアル磁気軸受が設けられたポンプベースに組み込む組み込み工程と、請求項1に記載の振れまわり推定方法によりロータの振れまわり量を推定し、推定された振れまわり量が所定基準値を超えているか否かを判定する判定工程と、を備え、判定工程で振れまわり量が前記所定基準値を超えていると判定されると、修正工程を再び行うことを特徴とする。請求項4に係る発明は、ロータを挟んで2対の電磁石が配置された2軸のラジアル磁気軸受を備える磁気浮上式真空ポンプの磁気軸受制御ゲイン調整方法であって、請求項1に記載の振れまわり推定方法により推定された振れまわり量に基づいて、回転駆動時のロータの振れまわり量が所定基準値よりも小さくなるように、ラジアル磁気軸受の制御ゲインを予め設定されている初期ゲイン値よりも大きなゲイン値に設定することを特徴とする。請求項5に係る発明は、ロータを挟んで2対の電磁石が配置された2軸のラジアル磁気軸受を備える磁気浮上式真空ポンプであって、請求項1に記載の振れまわり推定方法により推定された振れまわり量を記憶するための記憶部と、記憶部に記憶された振れまわり量に基づいて、予め記憶されている初期ゲイン値を補正ゲイン値に補正し、該補正ゲイン値をラジアル磁気軸受の制御ゲインに設定する制御ゲインコントロール部と、制御ゲインコントロール部で設定された制御ゲインに基づいてラジアル磁気軸受の電磁石電流を制御する電流制御部と、を備えたことを特徴とする。請求項6の発明は、請求項5に記載の磁気浮上式真空ポンプにおいて、ロータの回転速度を検出する回転センサを備え、制御ゲインコントロール部は、回転センサで検出されたロータ回転速度が共振発生危険速度領域である場合には、補正ゲイン値を前記制御ゲインに設定し、回転センサで検出されたロータ回転速度が共振発生危険速度領域でない場合には、初期ゲイン値を制御ゲインに設定することを特徴とする。請求項7の発明は、請求項5または6に記載の磁気浮上式真空ポンプにおいて、ロータおよび記憶部が設けられたポンプ本体と、制御ゲインコントロール部および電流制御部が設けられた電源装置と、を備え、電源装置は、ポンプ本体の記憶部から振れまわり量を読み込み、該振れまわり量に基づいて制御ゲインコントロール部で制御ゲインを設定するようにしたものである。本発明によれば、高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる。以下、図を参照して本発明を実施するための実施の形態について説明する。図1は磁気浮上式ターボ分子ポンプの概略構成を示す図である。ターボ分子ポンプは、ポンプ本体1と電源装置4とを備えており、ポンプ本体1は不図示の電源ケーブルにより電源装置4と接続される。なお、本実施の形態では、ポンプ本体1と電源装置4とが別体となっているが、両者が一体となっている一体型のポンプにも本発明は適用することができる。ロータ30は、ラジアル方向の磁気軸受37,38およびアキシャル方向の磁気軸受39によって非接触支持される。磁気軸受39は、ロータ30の回転軸であるシャフト30aの下部に固定されたスラストディスク35を軸方向に挟むように配置されている。ロータ30の浮上位置は、ラジアル変位センサ27,28およびアキシャル変位センサ29によって検出される。磁気軸受によって回転自在に磁気浮上されたロータ30は、モータ36により高速回転駆動される。モータ36には三相モータ例えば、ブラシレスDCモータが用いられている。なお、図1では、模式的にモータ36と記載しているが、より詳細には、符号36で示した部分はモータステータを構成し、シャフト30a側にモータロータ永久磁石が設けられている。ロータ30の回転は、インダクタンス式ギャップセンサで構成される回転センサ33によって検出される。モータ36によって回転駆動されるシャフト30aの下端には、センサターゲット34が設けられている。センサターゲット34はシャフト30aと一体に回転する。上述したアキシャル変位センサ29および回転センサ33は、センサターゲット34の下面と対向する位置に配置されている。26a,26bは非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受が作動していない時にはこれらのメカニカルベアリング26a,26bによりロータ30は支持される。ロータ30には、回転側排気機能部を構成する複数段の回転翼32と円筒状のネジロータ31とが形成されている。一方、固定側には、固定側排気機能部である固定翼22とネジステータ24とが設けられている。複数段の固定翼22は、軸方向に対して回転翼32と交互に配置されている。ネジステータ24は、ネジロータ31の外周側に所定のギャップで設けられている。なお、磁気軸受式真空ポンプであれば、ターボ分子ポンプに限らず本発明は適用することができる。例えば、ネジロータ31およびネジステータ24の無い全翼タイプのターボ分子ポンプや、回転翼の無いドラッグポンプ等に対しても本発明は適用することができる。各固定翼22は、スペーサリング23を介してベース20上に載置される。ポンプケーシング21の固定フランジ21cをボルトによりベース20に固定すると、積層されたスペーサリング23がベース20とポンプケーシング21との間に挟持され、固定翼22が位置決めされる。ベース20には排気ポート25が設けられ、この排気ポート25にバックポンプが接続される。ロータ30を磁気浮上させつつモータ36により高速回転駆動することにより、吸気口21a側の気体分子は排気ポート25側へと排気される。電源装置4はポンプ本体1を駆動制御する装置であって、CPU、ROM、RAM、その他の周辺回路を含んで構成される。電源装置4には、主制御部40,モータ制御部41および磁気軸受制御部42を備えている。モータ制御部41は、回転センサ33の出力信号に基づいてモータ36を駆動制御する。磁気軸受制御部42は、ラジアル変位センサ27,28およびアキシャル変位センサ29の出力信号に基づいて磁気軸受37~39の電磁石電流を制御し、ロータ30を所定位置に磁気浮上させる。図2は、5軸制御型磁気軸受を構成している各磁気軸受37~39の電磁石の配置を示す概念図であり、ロータ30の回転軸をz軸として図示した。ラジアル磁気軸受を構成する磁気軸受37は、シャフト30aを挟んで対向配置された1組の電磁石37x,37x-と1組の電磁石37y,37y-とを有している。なお、電磁石37x,37x-の配置方向をx軸とし、電磁石37y,37y-の配置方向をy軸とする。同様に、ラジアル磁気軸受を構成する磁気軸受38は、シャフト30aを挟んで対向配置された1組の電磁石38x,38x-と1組の電磁石38y,38y-とを有している。アキシャル磁気軸受である磁気軸受39は、スラストディスク35を挟んでz軸方向に対向配置された1組の電磁石39z,39z-を有している。磁気軸受37は、電磁石37x,37x-によりシャフト30aをそれぞれ吸引することにより、シャフト30aのx軸方向の浮上位置を調整し、電磁石37y,37y-によりシャフト30aをそれぞれ吸引することにより、シャフト30aのy軸方向の浮上位置を調整している。磁気軸受38についても磁気軸受37と同様である。磁気軸受39は、電磁石39z,39z-によりスラストディスク35を吸引することにより、シャフト30aのz軸方向浮上位置を調整している。なお、図1のラジアル変位センサ27,28は電磁石37x,37x-,37y,37y-,38x,38x-,38y,38y-に対応してそれぞれ2組のセンサで構成されている。振れまわり推定方法の説明次に、図3~5を参照して、本実施の形態における共振時の振れまわり推定方法について説明する。図3a~dはシャフト30aと上側のラジアル電磁石37x,37x-,37y,37y-を回転軸方向から見た図である。なお、シャフト30aに示した黒丸Bは回転位置を分かり易くするために示したものである。ステップS30では、ロータ回転角度位置を図3a~dに示す4つの回転角度位置に位置決めして、それぞれの回転角度位置における電磁石電流を測定し、ロータ30の振れまわりに関するデータ後述する波形振幅値を取得する。なお、ロータ30を図3a~dのそれぞれの回転角度位置に位置決めする方法としては、手動によりロータ30を回転させて位置決めする方法や、ポンプに設けられているモータ36を制御してそれぞれの位置決めする方法などがある。まず、図3aに示す0度位置にシャフト30aを位置決めする。そして、電磁石37x,37x-,37y,37y-の各電磁石電流を計測する。各電磁石電流を、それぞれIx、Ix-、Iy、Iy-とする。次いで、シャフト30aを時計回りに90度回転させて、図3bに示すようにシャフト30aを90度位置に位置決めする。そして、90度位置における電磁石電流Ix、Ix-、Iy、Iy-を計測する。次に、シャフト30aを時計回りにさらに90度回転させて、図3cに示すようにシャフト30aを180度位置に位置決めする。そして、180度位置における電磁石電流Ix、Ix-、Iy、Iy-を計測する。次いで、シャフト30aを時計回りにさらに90度回転させて、図3dに示すようにシャフト30aを270度位置に位置決めする。そして、270度位置における電磁石電流Ix、Ix-、Iy、Iy-を計測する。前述したように、電磁石37xでシャフト30aをx軸プラス方向に吸引するとともに、電磁石37x-でシャフト30aをx軸マイナス方向に吸引し、それらの吸引力を調整することですることで、シャフト30aを目標浮上位置、一般的には電磁石37x,37x-の中間位置x=0である図2のz軸上に、磁気浮上させるようにしている。以下では、z軸がラジアル方向の目標浮上位置であるとして説明する。ロータ30が機械的および磁気的にアンバランスのない理想的なロータであれば、各電磁石37x,37x-の吸引力が等しいときにシャフト30aは目標浮上位置に支持されることになる。なお、磁気的アンバランスは、例えば、モータ6の吸引の影響や、シャフト30a自体が磁化されてしまうことによって生じる。その他、センサと電磁石の芯ずれ、センサ、電磁石の真円度が影響を与える。しかしながら、現実的にはロータ30における機械的および磁気的なアンバランスの発生は避けられないので、電磁石37x,37x-の吸引力すなわち電磁石電流を調整することによりシャフト30aを目標浮上位置に磁気浮上させるようにしている。そのため、アンバランスがあると、目標浮上位置に磁気浮上させているときの電磁石電流Ix、Ix-は大きさが異なることになる。y軸方向の電磁石37y,37y-についでも同様である。図4は、計測結果を示したものである。図4において、横軸のロータ位相は上述したシャフト30aの回転角度位置を表しており、図3aの状態がロータ位相=0度を表し、図3bの状態がロータ位相=90度を表している。一方、縦軸のΔIは、各回転角度位置で計測された電流差分値を所定値で規格化したものであり、所定値に対する割合を表している。ここでは、ΔIをズレ量と呼ぶことにし、例えば、x軸方向については{Ix-Ix-IxIx-×100により求められる。したがって、x軸方向の電磁石37x,37x-に関する電流差分値をIx-Ix-とした場合、Ix>Ix-であればズレ量ΔIは正の値となり、Ix<Ix-であればズレ量ΔIは負の値となる。図4では、x軸方向の電磁石37x,37x-に関して計測されたズレ量ΔIxと、y軸方向の電磁石37y,37y-に関して計測されたズレ量ΔIyとを示した。また、曲線Lx,Lyは、実測されたズレ量ΔIx、ΔIyに対する近似曲線であり、ここではズレ量ΔIx、ΔIyをサインカーブで近似している。ΔIxとΔIyの傾向が同じであれば、ズレ量ΔIの発生はモータの影響であると推定できる。一方、ΔIxとΔIyとが違う傾向を示している場合には、別の要因が考えられる。なお、図4に示す例は、2極モータの場合を示したものである。そして、電磁石37xの電流値Ixと電磁石37x-の電流値Ix-との差分ΔIxにはロータ30のアンバランスが影響している。図4に示す例では、近似曲線Lxの波形振幅片振幅は約50であるが、この波形振幅値が大きいほどアンバランスが大きいと考えることができる。ことから、複数台のポンプに関して、図4に示した実測値ΔIx、ΔIyのラインまたは近似曲線Lx,Lyの波形振幅値と実際に測定されたポンプの振れまわり量μmとを比較してみた。その結果、波形振幅値と実際に測定された共振時の振れまわり量μmとの間には、図5に示すような相関があることを見出した。なお、図5の相関関係を求めるに当たっては、波形振幅については、ΔIxまたはΔIyに関する波形振幅のいずれか一方を用いても良いし、2つの波形振幅の大きい方を採用するようにしても良い。なお、図4に示す近似曲線Lxの波形振幅値の50という値は、規格化の際の基準値上述の所定値の大きさに依存しており、基準値を大きく取れば波形振幅も50より小さくなる。そのため、図5の相関を求める際には基準値を揃えておく必要がある。図5において、▲で示すデータ波形振幅、振れまわり量はポンプ1台に関するデータであり、図5は多数のポンプについて上述したデータ波形振幅、振れまわり量をプロットしたものである。波形振幅が大きくなると振れまわり量も大きくなる傾向にあり、殆どのデータがラインL11とラインL12の間に入っている。そのため、振れまわり量を実際に計測しなくても、波形振幅の大きさから振れまわり量を推定することができる。例えば、波形振幅値が40の場合には、振れまわり量は約40μmから60μmであることが分かる。そのため、波形振幅値が40以下となるように管理すれば、振れまわり量は60μm以下に管理されていることになる。上述したように、本実施の形態における振れまわり推定方法を用いることにより、従来のようにポンプ完成後の動的な振れまわり測定を不要とすることが可能となる。また、上述した振れまわり推定方法における波形振幅値の測定は、ポンプ完成状態とすることなく行うことができる。そのため、この振れまわり推定方法を用いることにより、以下に示すような組み立てコストの低減などを図ることができる。応用例1図6は、振れまわり推定方法の応用例を示したものであり、ポンプ組立時のアンバランス調整に上述した振れまわり推定方法を用いた場合の手順を示したものである。ステップS10では、ロータ30単体でのバランス取りを行う。具体的には、まず、ロータ30をバランサに装着し、ロータ30のアンバランス測定を行う。次に、測定されたアンバランス量が基準値以下であった場合には、ロータ30の一部を削除したり、ロータ30に質量を付加するなどして、ロータ30のバランス修正を行う。次いで、ステップS20においてロータ30を、モータ36および磁気軸受37,38,39が装着されているベース20に組み込む。そして、ステップS30に進み、図3に示した手順で電磁石電流を計測し、図4に示した波形振幅値を取得する。ステップS40では、取得された波形振幅値と図5に示した相関関係とに基づいて、振れまわり量を推定する。例えば、図5のラインL12を用いて振れまわり量を推定する。ステップS30で取得された波形振幅値が40であれば、振れまわり量=60μmと推定される。ここでは、ラインL12を用いて推定を行ったが、例えば、ラインL11とラインL12との中間のラインで表される相関関係を用いても構わない。ステップS50では、ステップS40で推定された振れまわり量が、予め定められた基準値以下か否かを判定する。ここでの基準値とは、共振が発生する危険速度領域を安定して通過することができるための振れまわり量の上限値のことである。例えば、図5に示した判定基準ライン振れまわり量=60μmであり、実測されたデータがこの判定基準ラインよりも下側である場合には合格と判定し、上側である場合には不合格と判定する。ステップS50で不合格基準値を超えると判定された場合には、ステップS55へ進んでベース20からロータ30を取り外し、ステップS10に戻って再度バランス取りを行う。一方、ステップS50で合格基準値以下と判定された場合には、ステップS60に進んで固定翼やケーシング等の組み付けを行ってポンプ本体1を完成させる。ステップS70ではポンプ本体1の漏れ検査等を行う。その後、ステップS80においてポンプ本体1に電源装置4を接続して、正常に運転動作が行われることを確認して一連の組み立て工程を終了する。図7は従来のポンプ組み立て手順の一例を示すフローチャートであり、図6に示す各ステップと同一の処理を行うステップには図6の場合と同一の符号を付した。従来の場合、図6に示すステップS30からステップS50までの処理が行われず、ステップS80の運転確認工程が終了したならば、次のステップS90においてアンバランスがOKか否かを判定する。ステップS90では、共振点通過時の振れまわりを実際に確認し、振れ回り量が上述した判定基準値以下であった場合には合格と判定して一連の組立工程を終了する。ステップS90で不合格NOと判定された場合には、ステップS55に進んでポンプ分解作業を行う。そして、ステップS10に進んでロータ30のバランス取りを再度行う。この場合、ポンプ本体1の組み立てが完成した後に分解をするため、分解作業に手間が掛かると共に、ステップS60、ステップS70およびステップS80の作業が無駄になる。一方、図6のステップS30における波形振幅の測定は、従来の振れまわり測定のようにポンプ本体1を完成状態にして動的な測定を行う必要がなく、ロータ30をベース20に組み込んで静的に測定することができる。そのため、図6に示すように、振れ回り量の判定をステップS60、ステップS70およびステップS80の工程の前に行うことが可能となり、ステップS55における分解作業に従来のような手間が掛からない。また、バランス取りを再び行う場合であっても、ステップS60、ステップS70およびステップS80の作業が無駄にならない。その結果、組み立てコストの低減を図ることができる。応用例2上述した応用例1では、組み立て工程の最終段階で振れまわり量を実測する代わりに、ロータ30をベース20に組み込んだ段階で振れまわり推定を行い、アンバランス修正を行うようにした。一方、以下に述べる応用例2では、推定された振れまわり量を利用して制御ゲインを調整することにより、安定的にポンプを動作させるようにした。例えば、図6に示した組み立て工程において、ステップS10のバランス取りを繰り返して機械的アンバランスを小さくしても、磁気的アンバランス等のそれ以外の要因によるアンバランスのために振れまわり量が基準値以下とならず、ステップS50で合格とならない場合がある。そのような場合には、ステップS30で計測された波形振幅値に基づいて制御ゲインを予め設定されている基準ゲインよりも高めに設定することにより、共振時の振れまわりを抑えることができる。また、ステップS50で合格となった場合であっても、波形振幅値を用いて制御ゲインを自動でチューニングするようにしても良い。図8は、波形振幅値を用いて制御ゲインを調整する場合の構成例を示すブロック図である。図8において、位置センサ80は図1のラジアル変位センサ27,28に対応し、電磁石81は図2の電磁石37x,37x-,37y,37y-,38x,38x-,38y,38y-に対応している。また、磁気軸受制御部42に設けられた制御ゲインコントロール部82は、位置センサ80からのセンサ信号に基づいて、電磁石電流を制御するための制御ゲインを設定する。PIDコントローラ83は、制御ゲインコントロール部82で設定された制御ゲインに基づいて電磁石電流を生成し、それを電磁石81に供給する。主制御部40には、上述した波形振幅値を記憶するための記憶部84が設けられている。組み立て工程のステップS30において波形振幅値を計測し、ステップS40で振れまわり量を推定したならば、そのポンプ本体1に接続されるべき電源装置4の記憶部84にその振れまわり量を記憶させる。制御ゲインコントロール部82は、記憶部84に記憶されている振れまわり量と予め設定されている基準ゲインとに基づいて、式1により制御ゲインを設定する。このとき、制御ゲインは、回転駆動時のロータ30の振れまわり量が所定基準値上述した振れまわり量の上限値よりも小さくなるように設定される。PIDコントローラ83は、式1により設定された制御ゲインに基づいて電磁石電流を生成する。制御ゲインコントロール部82は、記憶部84に振れまわり量が記憶されていない場合には、予め設定されている基準ゲインを制御ゲインとして設定する。制御ゲイン=基準ゲイン振れまわり量×補正係数1...1制御ゲインを設定する式1は一例を示したものであり、種々の設定方法がある。例えば、推定された振れまわり量に代えて、ステップS30で計測された波形振幅値を電源装置4の記憶部84に記憶させる。そして、その波形振幅値を用いて、式2により制御ゲインを設定するようにしても良い。この場合の、補正係数2は、振れまわり量と波形振幅値との間の相関係数を用いて、式1の補正係数1との間に、補正係数2=相関係数×補正係数1のような関係が成り立っている。制御ゲイン=基準ゲイン波形振幅値×補正係数2...2また、図9のブロック図に示すように、切り替え部90によって制御ゲインを切り替えることにより、危険速度領域にのみゲイン補正を行うようにしても良い。切り替え部90は、回転センサ33からの回転数信号に基づいて切り替えを行う。切り替え部90は、回転数信号に基づくロータ30の回転数が危険速度領域であった場合には、基準ゲインに切り替え、回転数が危険速度領域でない場合には式1で設定される補正後の制御ゲインに切り替える。すなわち、危険速度領域を通過する際には補正後の制御ゲインが用いられるため、振れまわりが抑えられ安定して危険速度領域を通過することができる。そして、危険速度領域を通過したならば、切り替え部90は基準ゲインに再び切り替える。なお、図8,9に示した例では、振れまわり量または波形振幅値を電源装置4内の記憶部84に記憶させるようにしたが、振れまわり量または波形振幅値が記憶される記憶部84をポンプ本体側に設けるようにしても良い。通常、ポンプ本体1には、磁気軸受制御パラメータなどポンプ運転に必要なデータが記憶される記憶部例えば、SRAM等が用いられるが設けられている。ポンプ本体1と電源装置4とが別体の構成となっている場合には、ポンプ本体1と電源装置4との対応が必ずしも一対一になっているとは限らず、異なるポンプ本体1の電源装置4として使用可能となっているのが一般的である。また、型式の異なるポンプ本体1に同一の電源装置4が使用可能な場合もある。そのような構成の場合には、ポンプ本体1側に記憶部84を設けることで、ポンプ本体1に対する電源装置4の交換を容易に行うことができる。ポンプ本体1に接続された電源装置4は、ポンプ本体1側に設けられた記憶部84から振れまわり量または波形振幅値を制御ゲインコントロール部82に読み込み、読み込んだ振れまわり量または波形振幅値に基づいて制御ゲインの設定を行う。さらに、記憶部を持たない場合、電源ON時に図6の工程S30からS50を自動実行し、振れ回り量を推定し、制御ゲインを導く方法も考えられる。なお、上述した実施の形態では、磁気浮上式のターボ分子ポンプを例に説明したが、本発明は、ターボ分子ポンプに限らず磁気浮上式の真空ポンプに適用することができる。さらに、5軸制御型磁気軸受だけでなく、2軸ラジアル磁気軸受とアキシャル磁気軸受とから成る3軸制御型磁気軸受等にも、本発明は適用することができる。また、上述した振れまわり量の推定は、図6に示したようにロータ30をベース20に組み込んだ段階に限らず、ポンプ本体1が完成した後であっても行うことができる。上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。"