"被処理水の濾過方法であって、膜ユニットを用いて被処理水を濾過処理しながら、散気ユニットから空気を噴出させることを含み、前記濾過処理が、間欠的な濾過処理であり、前記膜ユニットが、分離膜モジュールを2枚以上備えるものであり、前記分離膜モジュールが、平板状で膜面が鉛直方向に沿ったものであり、前記散気ユニットが、前記膜ユニットの下方に2つ以上配置したものであり、前記散気ユニットとして、1本以上の散気管を有するものを用い、前記散気ユニットからの空気噴出では、一定の散気時間t1毎に、空気を噴出させる散気ユニットを切り換えて、いずれか1つの散気ユニットのみから空気を噴出させ、かつ、前記散気時間t1を90秒以上、300秒以下にする、被処理水の濾過方法。前記の各散気管は、それぞれ直線状で、隣接する散気管に対して間隙が生じるように平行に且つ水平に配置され、前記間隙の少なくとも1つの直上に前記分離膜モジュールが配置され、互いに隣接する散気管は各々異なる散気ユニットを構成するものである、請求項1に記載の被処理水の濾過方法。前記散気時間t1が下記式を満たすものであり、濾過停止から濾過開始までの間に散気ユニットを切り換える、請求項1または2に記載の被処理水の濾過方法。t1=濾過時間t2濾過停止時間t3/na式中、naは2以上の偶数であり;濾過時間t2とは、濾過開始から濾過停止までの時間を意味し;濾過停止時間t3とは、濾過停止から再び濾過を開始するまでの時間を意味する。前記散気時間t1が下記式を満たすものである、請求項1または2に記載の被処理水の濾過方法。t1=濾過時間t2濾過停止時間t3/nb式中、nbは3以上の奇数であり;濾過時間t2とは、濾過開始から濾過停止までの時間を意味し;濾過停止時間t3とは、濾過停止から再び濾過を開始するまでの時間を意味する。前記散気の1サイクルここで、散気の1サイクルとは、各散気ユニットにおける前記散気管からの散気開始から、散気停止後に再び散気を開始するまでの時間を意味する。をそれぞれ180秒以上、600秒以下とする、請求項1~4いずれか一項に記載の被処理水の濾過方法。しかしながら、被処理水が活性汚泥を含む場合には、活性汚泥濃度の濃度が高いことが多いため、特許文献1に記載の方法では、高頻度例えば、10秒以下の間隔で高流量の散気と低流量の散気とを切り換えて、膜表面の汚泥の蓄積を防止する必要がある。ところが、高頻度で空気流量を切り換えるためには、高頻度で散気用ブロワの起動と停止を繰り返したり、流路変更のためのバルブを切り換えたりしなければならない。一般に、ブロワは起動時に電力消費量が多くなるため、高頻度で起動停止を繰り返すと、膜分離全体における電力消費量の増大を招くことになる。また、ブロワの起動および停止やバルブ切り換えを高頻度で繰り返すと、ブロワおよびバルブの損傷を早める原因となる。特に、引用文献1に記載の方法では、10秒~60秒単位で頻繁に切替を行っていることから、バルブの切替耐久限度を約100万回と見積もった場合だと、わずか数か月程度でバルブの耐久限度に達してしまう恐れがある。さらに、高頻度で高流量と低流量とを切り換えると、膜が激しく揺動してしまい、膜損傷のおそれも生じる。そのため、ブロワの起動および停止やバルブ切り換えの頻度が少なくても、膜の洗浄性に優れる濾過方法が求められていた。そこで、本発明は、空気使用量を削減できる上、ブロワの起動停止やバルブ切り換えの頻度を少なくしても膜を充分に洗浄できる被処理水の濾過方法を提供することを目的とする。本発明は、以下の態様を包含する。[1]被処理水の濾過方法であって、膜ユニットを用いて被処理水を濾過処理しながら、散気ユニットから空気を噴出させること以下、空気を噴出させることを単に散気という場合がある。を含み、前記濾過処理を、間欠的な濾過処理とし、前記膜ユニットが、分離膜モジュールを2枚以上備えるものであり、前記分離膜モジュールが、平板状で膜面が鉛直方向に沿ったものであり、前記散気ユニットが、前記膜ユニットの下方に2つ以上配置したものであり、前記散気ユニットとして、1本以上の散気管を有するものを用い、前記散気ユニットからの空気噴出では、一定の散気時間t1毎に、空気を噴出させる散気ユニットを切り換えて、いずれか1つの散気ユニットのみから空気を噴出させ、かつ、前記散気時間t1を90秒以上、300秒以下にする、被処理水の濾過方法。[2]前記の各散気管は、それぞれ直線状で、隣接する散気管に対して間隙が生じるように平行に且つ水平に配置され、前記間隙の少なくとも1つの直上に前記分離膜モジュールが配置され、互いに隣接する散気管は各々異なる散気ユニットを構成するものである、[1]に記載の被処理水の濾過方法。[3]前記散気時間t1が下記式を満たすものであり、濾過停止から濾過開始までの間に散気ユニットを切り換える、[1]または[2]に記載の被処理水の濾過方法。t1=濾過時間t2濾過停止時間t3/na式中、naは2以上の偶数であり;濾過時間t2とは、濾過開始から濾過停止までの時間を意味し;濾過停止時間t3とは、濾過停止から再び濾過を開始するまでの時間を意味する。[4]前記散気時間t1が下記式を満たすものである、[1]または[2]に記載の被処理水の濾過方法。t1=濾過時間t2濾過停止時間t3/nb式中、nbは3以上の奇数であり;濾過時間t2とは、濾過開始から濾過停止までの時間を意味し;濾過停止時間t3とは、濾過停止から再び濾過を開始するまでの時間を意味する。[5]前記散気の1サイクルここで、散気の1サイクルとは、各散気ユニットにおける前記散気管からの散気開始から、散気停止後に再び散気を開始するまでの時間を意味する。をそれぞれ180秒以上、600秒以下にする、[1]~[4]のいずれかに記載の被処理水の濾過方法。本発明の被処理水の濾過方法によれば、空気使用量を削減できる上、ブロワの起動停止やバルブ切り換えの頻度を少なくしても膜を充分に洗浄できる。以下、本発明の好適な実施形態につき詳細に説明するが、本発明は特許請求の範囲内において多様な変更が可能であり、以下の実施形態に限定解釈されるものではない。濾過装置図1に、本実施形態の濾過方法が適用される濾過装置を示す。この濾過装置1は、汚泥を含む被処理水が溜められた処理槽10と、処理槽10内に設置された膜ユニット20と、膜ユニット20に散気する散気装置30と、膜ユニット20に吸引管41を介して接続された濾過ポンプ40と、濾過ポンプ40を制御する制御装置50とを備える。本実施形態における膜ユニット20は、図2に示すように、多数枚の平板状の分離膜モジュール21と、分離膜モジュール21に接続され、分離膜モジュール21を通過した水を集水する集水ヘッダー管22とを備える。各分離膜モジュール21は、互いに隣接する膜面同士が対向するように、一定間隔で平行に配置されている。各分離膜モジュール21は、膜面21a1が鉛直方向に沿った複数の膜シート21aと、膜シート21aの上端を固定する膜シート上端固定部21bと、膜シート21aの下端を固定する膜シート下端固定部21cとを有し、各膜シート21aの膜面21a1が同一面になるように配置されたものである。本実施形態における膜シート21aは、表面に多数の微細孔が形成された多数本の中空糸膜が互いに平行に配置されて形成されたものである。中空糸の材質としては、セルロース、ポリオレフィン、ポリスルホン、ポリビニリデンフロライドPVDF、ポリ四フッ化エチレンPTFE、セラミックスなどが挙げられる。膜ユニット20においては、集水ヘッダー管22の内部および膜シート上端固定部21bの内部は中空になっており、且つ各中空糸膜の中空部と連通している。したがって、被処理水が濾過されて中空糸膜の中空部に入った水は、膜シート上端固定部21bの内部を通って集水ヘッダー管22に集められるようになっている。散気装置30は、図1,3に示すように、ブロワ31と、ブロワ31に接続され、鉛直方向に沿って各々1本ずつ設けられた第1空気供給管32および第2空気供給管33と、第1空気供給管32の下端に接続され、水平方向に沿って設けられた四角パイプ状の第1空気分岐管34と、第2空気供給管33の下端に接続され、水平方向に沿って設けられた四角パイプ状の第2空気分岐管35と、第1空気分岐管34に接続された2本以上の直線状の第1散気管36aを有する第1散気ユニット36と、第2空気分岐管35に接続された2本以上の直線状の第2散気管37aを有する第2散気ユニット37とを備える。図4,5に示すように、第1散気管36aは、第2空気分岐管35に向かって水平に配置され、第2散気管37aは、第1空気分岐管34に向かって水平に配置されている。第1散気管36aと第2散気管37aとは交互に且つ一定間隔で平行に配置され、第1散気管36aと第2散気管37aとの間には間隙Aが形成されている。本実施形態では、各間隙Aの直上に分離膜モジュール21が配置されている。このような配置では、第1散気管36aと第2散気管37aの合計数が分離膜モジュール21の数よりも多くなる。散気装置30では、図5に示すように、第1散気管36aは第1空気分岐管34、及び第2空気分岐管35に固定されている。第1散気管36aは、それぞれ第1空気分岐管34の内部同士と連通しているが、第2空気分岐管35の内部同士とは連通していない。第2散気管37aは第1空気分岐管34、及び第2空気分岐管35に固定されている。第2散気管37aは、それぞれ第2空気分岐管35の内部同士と連通しているが、第1空気分岐管34の内部同士とは連通していない。第1散気管36aおよび第2散気管37aには、図6に示すように、上方に向かって開口する散気孔36b,37bがそれぞれ形成されている。散気孔36b,37bの直径、数は、分離膜モジュール21の大きさ、種類等に応じて、充分に洗浄できるように適宜選択すればよい。上記図1,3に示す散気装置30では、ブロワ31によって供給された空気が、第1空気供給管32および第1空気分岐管34を通って第1散気管36aに供給され、第2空気供給管33および第2空気分岐管35を通って第2散気管37aに供給される。ただし、ブロワ31から供給された空気は、流路切り換えバルブ3838a、及び38b例えば、回転式バルブ、往復式バルブ等によって、第1空気供給管32と第2空気供給管33のいずれか一方のみに供給されるように切り換えられる。したがって、空気は、第1散気管36aと第2散気管37aとのいずれか一方のみから噴出されるようになっている。流路切り換えバルブ38は、図1のように38aと38bとの2つのバルブで構成されていてもよく、38aと38bとを一つのバルブで構成してもよい。濾過方法上記濾過装置1を用いた濾過方法では、濾過ポンプ40を作動させ、吸引管41を介して吸引して、分離膜モジュール21の中空糸膜の内部を陰圧とする。中空糸膜の内部を陰圧にすると、被処理水の水は中空糸膜の微細孔を通過するが、微細孔より大きい汚泥等は微細孔を通過しない。したがって、被処理水を濾過することができる。濾過と同時に、制御装置50によりブロワ31を制御し、第1空気供給管32および第1空気分岐管34を介して第1散気ユニット36に空気を供給し、第2空気供給管33および第2空気分岐管35を介して第2散気ユニット37に空気を供給する。ここで、流路切り換えバルブ38を用いて、第1散気ユニット36または第2散気ユニット37から空気を噴出させ、さらに、一定の散気時間t1毎に、空気を噴出させる散気ユニットを切り換える。具体的には、まず、散気時間t1の間、第2散気ユニット37から空気を噴出させずに第1散気ユニット36から空気を噴出させた後、第1散気ユニット36からの空気の噴出を停止し、散気時間t1の間、第2散気ユニット37から空気を噴出させる。第1散気ユニット36または第2散気ユニット37から空気を噴出すると、気泡が被処理水中を揺れ動きながら浮上する。その際、気泡による気液混合流が分離膜モジュール21の膜面21a1付近を上昇することによって、膜面21a1に付着した付着物を剥離することができる。したがって、第1散気ユニット36と第2散気ユニット37との切り換えを繰り返すことにより、分離膜モジュール21の各膜面21a1の両膜面を交互に洗浄する。本発明において、散気時間t1は90秒以上、300秒以下であり、100秒以上、180秒以下であることが好ましい。膜の洗浄性の点からは散気時間t1は小さいほど好ましいが、90秒未満であると、流路切り換えバルブ38の動作回数が1日あたり960回以上にもなってしまい、流路切り換えバルブ38が損傷しやすくなる。また、散気時間t1が90秒以上であれば、膜シート21aの揺動を抑制して損傷を防ぐことができる。一方、散気時間t1が300秒以下であれば、膜面21aを充分に洗浄できるが、300秒を越えると、濾過差圧上昇率の上昇が見られる傾向がみられ、安定な運転に支障をきたす場合が生じる恐れがある。通常、第1散気ユニット36および第2散気ユニット37のいずれか一つが散気することによって、散気装置30が連続的に散気することが好ましいが、第1散気ユニット36および第2散気ユニット37の両方が散気を一時的に停止してもよい。しかし、散気を停止した状態での濾過時間が300秒を越えると、膜面21a1への汚泥付着量が多くなるため、散気を再開しても付着した汚泥を除去することが困難となり、濾過差圧を上昇させるおそれがある。各散気の1サイクルここで、散気の1サイクルとは、各散気ユニットにおける散気管からの散気開始から散気停止後に再び散気を開始するまでの時間をいう。、すなわち、1回の散気時間t1と前記1回の散気に連続して行われる散気停止時間との和は180秒以上、600秒以下であることが流路切り換えバルブの耐久性及び濾過差圧の面から好ましく、200秒以上、360秒以下であることが、より好ましい。上記濾過処理では濾過ポンプ40を間欠的に作動させて一時的に濾過を停止させる。ここで、濾過時間t2とは、被処理水を濾過している時間を意味する。濾過時間t2は30分以下が好ましく、5分以上、20分以下がより好ましい。濾過時間t2が30分以下であると、膜面21a1への汚泥付着および微細孔の閉塞が進行しにくいため、濾過停止時の洗浄により、膜面21a1に付着した汚泥をより容易に剥離できる。ここで、濾過停止時間においては、洗浄用水による逆洗浄を定期的に実施してもよい。逆洗浄とは、分離膜モジュールの2次側から1次側に洗浄用水を通水することにより膜面や膜内部を洗浄することをいう。洗浄用水は、濾過水や水道水であってもよい。あるいは、次亜塩素酸ナトリウムなどの酸化剤を含む溶液であってもよい。さらに、逆洗浄の頻度及び洗浄用水量は、濾過運転時のフラックスや差圧上昇から任意に設定すれば良い。濾過停止時間t3とは、濾過を停止している時間を意味する。濾過停止時間t3は5秒以上、600秒以下が好ましく、10秒以上、300秒以下がより好ましい。濾過停止時間t3が5秒以上であれば、濾過停止時に膜面21a1に付着した汚泥を剥離する時間を充分に確保でき、洗浄性がより高くなる。濾過停止時間t3が長いほど、洗浄性はより高くなるが、濾過停止時間t3が長くなると、1日当りの処理量が低下する。そのことから、濾過停止時間t3は600秒以下であることが好ましい。この濾過方法では、濾過停止の間における散気が第1散気ユニット36および第2散気ユニット37のいずれか一方のみにならないように、散気時間t1を濾過時間t2および濾過停止時間t3に基づいて設定し、第1散気ユニット36と第2散気ユニット37との切り換えを行うことが好ましい。濾過停止の間における散気は特に洗浄性に優れるから、濾過停止の間における散気が、第1散気ユニット36および第2散気ユニット37のいずれか一方のみにならないようにすれば、分離膜モジュール21の両膜面21a1を均一に洗浄できる。濾過停止の間における散気が第1散気ユニット36および第2散気ユニット37のいずれか一方のみにならないようにするためには、具体的には、散気の条件が以下のa及びbから選ばれる少なくとも1つの条件を満たすことが好ましい。a散気時間t1が、下記式を満たすものとし、濾過停止から濾過開始までの間に第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを切り換える。t1=濾過時間t2濾過停止時間t3/na式中、naは2以上の偶数であり;濾過時間t2とは、濾過開始から濾過停止までの時間を意味し;濾過停止時間t3とは、濾過停止から再び濾過を開始するまでの時間を意味する。b散気時間t1が、下記式を満たすものとする。t1=濾過時間t2濾過停止時間t3/nb式中、nbは3以上の奇数であり;濾過時間t2とは、濾過開始から濾過停止までの時間を意味し;濾過停止時間t3とは、濾過停止から再び濾過を開始するまでの時間を意味する。本明細書中、naは、濾過処理1サイクルにおいて第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを奇数回切り換えた場合の回数を表し、nbは、濾過処理1サイクルにおいて第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを偶数回切り換えた場合の回数を表す。濾過処理1サイクルとは、濾過開始から、濾過停止後に再び濾過を開始するまでの時間を意味する。上記aにおいて、第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを切り換えるタイミングは、濾過停止から濾過開始までの間であれば制限されないが、より好ましくは、濾過停止から[0.25×濾過停止時間t3]の経過時~濾過停止から[0.75×濾過停止時間t3]の経過時の間図7参照であり、特に好ましくは、濾過停止から[0.3×濾過停止時間t3]の経過時~濾過停止から[0.7×濾過停止時間t3]の経過時の間、最も好ましくは、濾過停止から[0.5×濾過停止時間t3]の経過時図8参照である。第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを切り換えるタイミングが濾過停止から濾過開始までの間であると、濾過を停止している間に、分離膜モジュール21の両面を洗浄することができる。すなわち、洗浄効果の高いときに、分離膜モジュール21の両面を洗浄するため、より洗浄性が高くなる。また、第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを切り換えるタイミングが濾過停止から[0.25×濾過停止時間t3]の経過時~濾過停止から[0.75×濾過停止時間t3]の経過時の間である場合には、濾過を停止している間に、分離膜モジュール21の各膜面21a1を、少なくとも[0.25×濾過停止時間t2]の経過時の時間は洗浄することができる。また、第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを切り換えるタイミングが濾過停止から[0.5×濾過停止時間t3]の経過時であり、naが4である場合には、図8に示すように、濾過を停止している間に、すなわち洗浄効果が高くなっている際に、分離膜モジュールの各面を、[0.5×濾過停止時間t3]毎に交互に、第1散気ユニット36および第2散気ユニット37により洗浄することができる。このように、濾過を停止している間に、均等に第1散気ユニット36および第2散気ユニット37により洗浄した場合には、膜面21a1に汚泥の蓄積をとりわけ抑制できる。なお、図9に示すように、濾過を停止している間に、必ず一方の散気ユニット図示例では、第2散気ユニット37のみを用いて散気するようにしてもよいが、その場合には、洗浄効果の高いときに、分離膜モジュール21の一方の膜面21a1のみ洗浄し、他方の膜面21a1を洗浄しないことになる。したがって、他方の膜面21a1の洗浄が不充分になり、汚泥等が蓄積して閉塞し、一方の膜面21a1による濾過の負担が増加して一方の膜面21a1の閉塞を促進するおそれがある。そのため、両膜面21a1が短時間で閉塞するおそれが生じる。上記bの一例を図10に示す。図10の例はnb=5の例である。図示例のような濾過処理のサイクルと散気のサイクルでは、濾過処理1サイクル目の濾過停止では第1散気ユニット36により分離膜モジュール21の一方の膜面21a1を洗浄する。さらに、濾過処理2サイクル目の濾過停止では第2散気ユニット37により分離膜モジュール21の他方の膜面21a1を洗浄し、濾過処理3サイクル目の濾過停止時間では再び第1散気ユニット36により分離膜モジュール21の一方の膜面21a1を洗浄する。すなわち、濾過処理において、奇数回目の濾過停止時間の際には、第1散気ユニット36により分離膜モジュールの一方の膜面21a1を洗浄し、偶数回目の濾過停止時間の際には、第2散気ユニット37により分離膜モジュール21の他方の膜面21a1を洗浄する。したがって、濾過を停止している間に、分離膜モジュール21の各膜面21a1を第1散気ユニット36および第2散気ユニット37により均等に洗浄でき、膜面21a1への汚泥蓄積をより抑制できる。作用効果上記濾過方法では、間欠的に濾過処理するため、一時的に濾過を停止することになる。濾過を停止している間には、膜の内側からの吸引力がなくなるため、膜面21a1に付着した汚泥が剥離しやすい状態になる。そのため、濾過停止時に散気によって洗浄すると、膜面21a1の洗浄性が高くなり、濾過差圧を容易に回復させることができる。さらに、上記濾過方法では、第1散気ユニット36による散気と第2散気ユニット37による散気とを交互に繰り返すことにより、各分離膜モジュール21を片側の膜面21a1ずつ洗浄することができる。しかも、濾過停止時の散気が第1散気ユニット36または第2散気ユニット37に固定されることがない。これにより、両側の膜面21a1を充分に洗浄すると共に膜面21a1の汚泥蓄積を抑制できるため、長期間にわたって膜面21a1を閉塞させずに濾過処理をすることができ、安定した濾過処理を継続することができる。他の実施形態本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、膜シート21aは、中空糸膜が互いに平行に配置されたものに限らず、多数の微細な孔を有する濾過膜を備えたものであれば、例えば、平膜タイプ、管状膜タイプ、袋状膜タイプなどの種々の公知の分離膜を適用することができる。第1散気管36aおよび第2散気管37aの散気孔36b,37bは、下方に向かって開口するように形成されていてもよい。上記実施形態では、第1散気ユニット36の第1散気管36aと第2散気ユニット37の第2散気管37aとが交互に配置されていたが、この配置に限定されない。例えば、散気装置において最も外側に配置された散気管から噴出した気泡の一部は分離膜モジュール21から離れてしまい、分離膜モジュールの最も外側の膜面21a1の洗浄が不充分になることがある。そのため、連続的に気泡を噴出するように、散気装置において最も外側に配置された散気管を第1散気ユニット36および第2散気ユニット37とは別の散気ユニットにしてもよい。連続的に気泡を噴出すれば、一部の気泡が分離膜モジュール21から離れても、分離膜モジュールの最も外側の膜面21a1の洗浄性が低下しにくくなる。また、図11に示すように、最も外側の第1散気管36aまたは第2散気管37aに第2散気管37aまたは第1散気管36aを隣接配置してもよい。この場合、分離膜モジュール21の最も外側の膜面21a1には、第1散気管36aから噴出された気泡と第2散気管37aから噴出された気泡が交互に接するようになる。したがって、最も外側に配置された散気管から気泡を連続的に噴出させるのと同様の効果が得られる。また、散気装置30において、図12,13に示すように、第1空気供給管32および第2空気供給管33は各々2本ずつであってもよい。その場合、2本の第1空気供給管32の各々に第1空気分岐管34が接続され、2本の第2空気供給管33の各々に第2空気分岐管35が接続されている。また、各第1散気管36aの両端は2本の第1空気分岐管34に接続され、且つ各第1散気管36aと各第1空気分岐管34とは内部同士が連通している。第1散気管36aは、第2空気分岐管35とは内部同士が連通していない。各第2散気管37aの両端は2本の第2空気分岐管35に接続され、且つ各第2散気管37aと各第2空気分岐管35とは内部同士が連通している。第2散気管37aは、第1空気分岐管34とは内部同士が連通していない。この散気装置30では、第1空気供給管32から供給された空気は、各第1空気分岐管34を通り、第1散気管36aに、その両端側から供給される。第2空気供給管33から供給された空気は、各第2空気分岐管35を通り、第2散気管37aに、その両端側から供給される。また、第1空気分岐管34および第2空気分岐管35は四角パイプ状でなくてもよく、円筒状などであってもよい。散気装置30は、散気ユニットを2つ有していたが、3つ以上有してもよい。また、散気管は、直線状でなく、例えば、湾曲していてもよいし、屈曲していてもよいし、蛇行していてもよい。また、散気管は互いに平行に配置されていなくてもよい。さらに、散気管は、必ずしも水平に配置されている必要もない。また、部分的には、互いに隣接する散気管が同じ散気ユニットであってもよい。<実施例1>実施例1では、図1に示す、処理槽10と膜ユニット20と散気装置30と濾過ポンプ40と制御装置50とを備える濾過装置1を用いた。ここで、膜ユニット20としては、膜面が鉛直方向に沿った11枚の平板状の分離膜モジュールと、分離膜モジュールに取り付けられた集水ヘッダー管とを備えたものを用いた。分離膜モジュールとしては、平均孔径0.4μmの精密濾過用ポリフッ化ビニリデン中空糸膜を高さ2m、幅1.2mのスクリーン状に展開固定した中空糸膜モジュール三菱レイヨン株製ステラポアーSADFであり、互いに隣接する膜面同士が対向するように、一定間隔モジュール間の中心間隔:4.5cmで平行に配置されたものを用いた。また、分離膜モジュール21は、図4に示すように、下記の第1散気管36aと第2散気管37aとの間の直上に配置した。分離膜モジュール21の底面と第1散気管36aおよび第2散気管37aとの高低差は150mmとした。散気装置30としては、図3,5に示す、第1空気供給管32および第2空気供給管33と第1空気分岐管34と第2空気分岐管35と第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを備えるものを用いた。第1散気ユニット36は6本の第1散気管36aを有し、第2散気ユニット37は6本の第2散気管37aを有するものを用いた。第1散気管36aおよび第2散気管37aとしては、内径20mm、長さ120cmのステンレス製パイプで、上方に向かった開口した孔径4mmの散気孔36b,37bが50mm間隔で22個形成されたものを用いた。処理槽10に、固形分濃度MLSSが8,000~10,000mg/Lの間に制御された被処理水を供給した。次いで、濾過ポンプ40を間欠的に作動させて、間欠的に濾過処理を行った。その際、濾過流速LV=0.8m3/m2/d、濾過時間t2を420秒、濾過停止時間t3を60秒とした。また、制御装置50によりブロワ31を制御し、第1空気供給管32および第1空気分岐管34を介して第1散気ユニット36に空気を供給し、第2空気供給管33および第2空気分岐管35を介して第2散気ユニット37に空気を供給した。ここで、流路切り換えバルブ38による流路切り換えによって、第1散気ユニット36または第2散気ユニット37から空気を噴出させ、さらに、一定の散気時間t1毎に、空気を噴出させる散気ユニットを切り換えた。この第1散気ユニット36と第2散気ユニット37との切り換えを繰り返して、分離膜モジュール21の各膜面21a1を交互に洗浄した。各散気管36a,37aには130L/分の流量で空気を供給した。1つの散気ユニット36,37は6本の散気管36a,37aを有するため、一つの散気ユニット36,37について780L/分の流量で空気を供給した。また、散気時間t1を90秒とした。本例における曝気倍率は5.1であった。なお、曝気倍率とは、単位時間あたりの空気供給量を、単位時間あたりの濾過処理水量で除した値を意味する。上記条件にて、28日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図14の期間1に示す。なお、図14の横軸は経過日数D日、縦軸は濾過差圧TMPkPaである。本例中における平均の濾過差圧上昇率は0.16kPa/日で、濾過差圧はほぼ一定であり、安定した濾過が可能であった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着は確認されなかった。平均の濾過差圧上昇率は、下記式から算出される値を表す。平均の濾過差圧上昇率=[試験終了時の膜間差圧kPa]-[試験開始時の膜間差圧kPa]/試験期間日数<実施例2>濾過時間t2を420秒、濾過停止時間t3を60秒とし、散気時間t1をt2t3/4=120秒としたこと以外は実施例1と同様に被処理水を濾過した。上記条件にて、26日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図14の期間2に示す。本例中における平均の濾過差圧上昇率は0.14kPa/日で、濾過差圧はほぼ一定であり、安定した濾過が可能であった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着は確認されなかった。<実施例3>濾過停止から濾過停止時間t3の1/2経過後すなわち濾過停止から30秒後に散気ユニットを切り換えたこと以外は実施例2と同様に被処理水を濾過した。上記条件にて、21日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図14の期間3に示す。本例中における平均の濾過差圧上昇率は0.08kPa/日で、濾過差圧はほぼ一定であり、安定した濾過が可能であった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着は確認されなかった。<比較例1>散気時間t1毎に第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを切り換えず、第1散気管36aおよび第2散気管37aの両方から空気を連続的に噴出させたこと以外は実施例1と同様に被処理水を濾過した。すなわち、本例における曝気倍率は10.2であった。上記条件にて、45日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図16の期間4に示す。本例中における平均の濾過差圧上昇率は0.13kPa/日で、濾過差圧はほぼ一定であり、安定した濾過が可能であった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着は確認されなかった。<比較例2>散気時間t1毎に第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを切り換えず、第1散気管36aおよび第2散気管37aの両方から空気を連続的に噴出させたこと、および各散気管への空気供給量を65Lminとしたこと、以外は実施例1と同様に被処理水を濾過した。すなわち、本例における曝気倍率は5.1であった。上記条件にて、12日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図16の期間5に示す。本例では、初期の濾過差圧が9.3kPaで、12日後の濾過差圧が25.4kPaであった。本例中における平均の濾過差圧上昇率は1.3kPa日であり、安定した濾過ができなかった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着が確認された。<実施例4>実施例4では、図1に示す、処理槽10と膜ユニット20と散気装置30と濾過ポンプ40と制御装置50とを備える濾過装置1を用いた。ここで、膜ユニット20としては、膜面が鉛直方向に沿った5枚の平板状の分離膜モジュールと、分離膜モジュールに取り付けられた集水ヘッダー管とを備えたものを用いた。分離膜モジュールとしては、平均孔径0.4μmの精密濾過用ポリフッ化ビニリデン中空糸膜を高さ1m、幅0.6mのスクリーン状に展開固定した中空糸膜モジュール三菱レイヨン株製ステラポアーSADFであり、互いに隣接する膜面同士が対向するように、一定間隔モジュール間の中心間隔:4.5cmで平行に配置されたものを用いた。また、分離膜モジュール21は、図4に示すように、下記の第1散気管36aと第2散気管37aとの間の直上に配置した。分離膜モジュール21の底面と第1散気管36aおよび第2散気管37aとの高低差は150mmとした。散気装置30としては、図3,図5に示す、第1空気供給管32、第2空気供給管33、第1空気分岐管34、第2空気分岐管35、第1散気ユニット36、及び第2散気ユニット37を備えるものを用いた。第1散気ユニット36は3本の第1散気管36aを有し、第2散気ユニット37は3本の第2散気管37aを有するものを用いた。第1散気管36aおよび第2散気管37aとしては、内径20mm、長さ60cmのポリ塩化ビニル製パイプであり、上方に向かった開口した孔径4mmの散気孔36b,37bが50mm間隔で10個形成されたものを用いた。処理槽10に、固形分濃度MLSSが10,000~120,000mg/Lの間に制御された被処理水を供給した。次いで、濾過ポンプ40を間欠的に作動させて、間欠的に濾過処理を行った。その際、濾過流速LV=0.8m3/m2/d、濾過時間t2を420秒、濾過停止時間t3を60秒とした。また、制御装置50によりブロワ31を制御し、第1空気供給管32および第1空気分岐管34を介して第1散気ユニット36に空気を供給し、第2空気供給管33および第2空気分岐管35を介して第2散気ユニット37に空気を供給した。ここで、流路切り換えバルブによる流路切り換えによって、第1散気ユニット36または第2散気ユニット37から空気を噴出させ、さらに、一定の散気時間t1毎に、空気を噴出させる散気ユニットを切り換える。この第1散気ユニット36と第2散気ユニット37との切り換えを繰り返して、分離膜モジュール21の各膜面21a1を交互に洗浄した。各散気管36a,37aには60L/分の流量で供給した。1つの散気ユニット36,37は3本の散気管36a,37aを有するため、一つの散気ユニット36,37について180L/分の流量で空気を供給した。また、散気時間t1を160秒とした。本例における曝気倍率は21.6であった。上記条件にて、12日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図15に示す。なお、図15の横軸は経過日数D日、縦軸は濾過差圧TMPkPaである。本例では、初期の濾過差圧が3.5kPaで、12日後の濾過差圧が6.8kPaであった。本例中における平均の濾過差圧上昇率は0.28kPa/日であり、安定した濾過が可能であった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着は確認されなかった。<比較例3>散気時間t1毎に第1散気ユニット36と第2散気ユニット37とを切り換えず、第1散気管36aおよび第2散気管37aの両方から空気を連続的に噴出させたこと以外は実施例4と同様に被処理水を濾過した。すなわち、各散気管に30L/分の空気を供給した。本例における曝気倍率は21.6であった。上記条件にて、10日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図15に示す。本例では、初期の濾過差圧が3.8kPaで、10日後の濾過差圧が29.8kPaであった。本例中における平均の濾過差圧上昇率は2.6kPa日と高い値であり、安定した濾過ができなかった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着が確認された。<比較例4>各散気管に60L/分の空気を供給したこと以外は実施例4と同様に被処理水を濾過した。本例における曝気倍率は43.2であった。上記条件にて、10日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図15に示す。本例では、初期の濾過差圧が3.8kPaで、10日後の濾過差圧が21.1kPaであった。本例中における平均の濾過差圧上昇率は、1.7kPa日と高い値であり、安定した濾過ができなかった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着が確認された。<比較例5>t1を600秒としたこと以外は実施例4と同様に被処理水を濾過した。上記条件にて、10日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図17期間6に示す。本例では、初期の濾過差圧が3.5kPaで、10日後の濾過差圧が7.9kPaであった。本例中における平均の濾過差圧上昇率は0.44kPa/日と、比較的高い値となり、安定した運転ができなかった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着が僅かであるが確認された。<比較例6>t1を720秒としたこと以外は実施例4と同様に被処理水を濾過した。上記条件にて、4日間、被処理水を濾過し、その際、濾過差圧を測定した。濾過差圧の経時的変化を図17期間7に示す。本例では、初期の濾過差圧が10.7kPaで、4日後の濾過差圧が24.1kPaであった。本例中における平均の濾過差圧上昇率は34kPa日と高い値であり、安定した濾過ができなかった。また、濾過終了後に、分離膜モジュール21の膜面21a1を目視により観察したところ、膜面21a1への汚泥付着が確認された。実施例1~4、及び比較例1~6の結果を表1に示す。"