揮発性有機化合物を含有する排ガスを噴射した洗浄水に接触させて、上記排ガス中の揮発性有機化合物を上記洗浄水に吸収、移行させるスクラバー部と、洗浄水を循環させる循環部と、洗浄水を冷却する冷却部と、循環水を排水する排水部とを備える排ガス処理装置において、洗浄水が補給水部と循環水部からなり、循環水量に対する補給水量の比が0.1以上であり、且つ補給水と循環水は別のシャワーノズルより噴射されることを特徴とする排ガス処理装置。前記洗浄水温度を35°C以下に制御することを特徴とする請求項1記載の排ガス処理装置。前記洗浄水は、補給水部を溜める補給水槽内及び/または循環水部を溜める循環槽内で殺菌処理されることを特徴とする請求項1または2記載の排ガス処理装置。前記殺菌処理がオゾン曝気処理であることを特徴とする請求項3記載の排ガス処理装置。前記排ガス中の揮発性有機化合物が、炭素数3以下のアルコール類であることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の排ガス処理装置。本発明はこのような従来の事情を鑑みてなされたもので、従来の排ガス処理装置よりイニシャルコスト、ランニングコスト及びVOC除去効率低下を抑え、更に省スペースでの設置を可能にするとともに、長時間にわたる運転が可能となる排ガス処理装置を提供することを目的とする。上記の課題を解決するために、本発明では、揮発性有機化合物を含有する排ガスを噴射した洗浄水に接触させて、上記排ガス中の揮発性有機化合物を上記洗浄水に吸収、移行させるスクラバー部と、洗浄水を循環させる循環部と、洗浄水を冷却する冷却部と、循環水を排水する排水部とを備える排ガス処理装置において、洗浄水が補給水部と循環水部からなり、循環水量に対する補給水量の比が0.1以上であり、且つ補給水と循環水は別のシャワーノズルより噴射されることとしたものである。更に上記排ガス処理装置は、洗浄水温度を35°C以下にすること、また洗浄水は補給水部の補給水槽内及び/または循環水部の循環槽内で殺菌処理することで更なる効率向上を図ることができる。本発明の排ガス処理装置により、イニシャルコスト、ランニングコスト及びVOC除去効率低下を抑え、更に省スペースでの設置を可能にするとともに、長時間にわたる運転を可能とすることができる。以下に図面を参照しながら本発明の一実施形態を説明する。図1、2は本発明の排ガス処理装置のフロー工程図である。図1、2において、スクラバー本体1内には、充填層2、上部にシャワーノズル循環水3、シャワーノズル補給水3′とエリミネータ4を設けている。循環水は循環ポンプ11により、循環水供給配管7、熱交換器16、圧力計17、流量計12を通り、シャワーノズル3により噴射されている。循環水槽6は、好ましくはオゾン発生器25でオゾン曝気処理されている。また補給水は補給水ポンプ11により、補給水供給配管9、流量計12を通り、シャワーノズル3′により噴射されている。補給水槽8へは補給水供給配管10を通り、水が補給される。補給水槽8は、好ましくはオゾン発生器25′でオゾン曝気処理されている。循環水槽6に、ある一定レベル以上の循環水が溜まると、排水配管15を通り排水される。スクラバー方式気液接触方式には、散水方式スプレー、充填方式が知られている。本発明においては、充填方式が好ましい。排ガスは排ガス導入口5よりスクラバー本体1へ入り、充填層2で水と接触し、エリミネータ4、排ガス排出口23を通り、ファン24で損出した風量分を補い、外気へ放出される。充填層2の充填物としては、規則充填物、不規則充填物のいずれも用いることができる。充填物の材質として、プラスチック、金属、セラミック、セルロース等を用いることができるが、好ましくはプラスチックである。充填高さは50~150mmが好ましく、更に好ましくは70~120mmである。シャワーノズルとしては、特に種類等に制限はないが、流量に準じた大きさであり、且つ不純物等スケールや菌等が培養してできるゲル状物質等により、シャワーノズルを閉塞させないものが好ましい。またシャワーノズルの配置としては充填層に均等に噴出できていることが好ましい。洗浄水量としては、ガスの空塔質量速度、液の空塔質量速度、圧力損失等を加味し、計算するが、経験値からして、単位時間あたりの排ガスとの接触断面積に対し、100~300L/min/m2が好ましい。更に好ましくは150~200L/min/m2である。循環水量は、図1~図3のシャワーノズル3より1分間あたりに噴射される水量である。補給水量は、図1、図2のシャワーノズル3′より1分間あたりに噴射される水量である。例えば、図1のシャワーノズル3より循環水量が120L/min噴射され、シャワーノズル3′より30L/min噴射された場合、循環水量に対する補給水量の比は、30/120=0.25と算出される値を意味する。洗浄水の温度、特に循環水のシャワー噴出温度としては、5~35°Cが好ましいが、ランニングコストの面を加味すると20~30°Cでの運用が更に好ましい。また、補給水としては、上水道、地下水等の制約はない。循環水槽の大きさとしては、循環水量L/minの1~5倍量を貯水できる大きさが好ましく、更に好ましくは1.5~3倍量を貯水できるものである。殺菌処理としては、オゾン処理、UV処理、ろ過処理、マイクロナノバブル処理等の処理方法があるが、中でもオゾン処理が好ましい。オゾン発生器のオゾン発生量としては、50mg/h以上が好ましく、300mg/h以上が更に好ましい。熱交換器としては、プレート式、二重管式、多管円筒式、多重円管式、渦巻き管式等あるが特に制約するものではない。冷凍機に関しては、設置スペース等より空冷式のものが好ましい。冷凍機能力としては、排ガス量、排ガス処理温度、排ガス処理後温度、排ガス相対湿度等を勘案し、選定される。本発明の処理対象となるVOCガス濃度は、500ppmC以上が好ましく、更に好ましくは1000ppmC以上である。排ガスに含まれるVOCが水溶性であれば、本発明の効果が現れやすい。VOCとしては、メタノール、エタノール、ノルマルプロパノールNPA、イソプロパノールIPA等のアルコール類、エチレングリコール等の多価アルコール類、アセトン、メチルアセトン、メチルエチルケトンMEK、及びシクロヘキサノン等のケトン類、ギ酸メチル、ギ酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル及び乳酸エチル等のエステルが挙げられ、更にVOCの混合ガスでも処理可能である。中でも、本発明はVOCが炭素数3以下のアルコール類である場合において、著しい効果が現れる。実施例1図1のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量160L/min補給水量30L/minオゾン曝気循環槽なし/補給水槽なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後に実施した。7日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.1875とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧した場合、その除去効率は後述する比較例1~6より大幅に向上し、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があると同等な能力を発揮した。また、長時間運転14日以上の連続運転は出来ない結果となった。実施例2図2のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量160L/min補給水量30L/minオゾン曝気循環槽あり/補給水槽なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後及び15日後に実施した。20日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.1875とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧した場合、その除去効率は後述する比較例1~6より大幅に向上し、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があると同等な能力を発揮した。また、循環水槽のみをオゾン曝気することで長時間運転14日以上の連続運転が出来る結果となった。実施例3図2のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量160L/min補給水量30L/minオゾン曝気循環槽あり/補給水槽あり排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後及び15日後に実施した。30日以降でも問題なく運転できた。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.1875とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧した場合、その除去効率は後述する比較例1~6より大幅に向上し、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があると同等な能力を発揮した。また、循環水槽及び補給水槽をそれぞれオゾン曝気することで長時間運転14日以上の連続運転が出来る結果となった。実施例4図1のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度25°C補給水温度25°C循環水量160L/min補給水量30L/minオゾン曝気循環槽なし/補給水槽なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後に実施した。12日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.1875とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧し、更に循環水を冷却することで、その除去効率は後述する比較例1~6より大幅に向上し、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があるを凌ぐ能力を発揮した。また、長時間運転14日以上の連続運転は出来ない結果となった。実施例5図2のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度25°C補給水温度25°C循環水量160L/min補給水量30L/minオゾン曝気循環槽あり/補給水槽なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後及び15日後に実施した。25日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.1875とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧し、更に循環水を冷却することで、その除去効率は後述する比較例1~6より大幅に向上し、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があるを凌ぐ能力を発揮した。また、循環水槽のみをオゾン曝気することで長時間運転14日以上の連続運転が出来る結果となった。実施例6図2のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度25°C補給水温度25°C循環水量160L/min補給水量30L/minオゾン曝気循環槽あり/補給水槽あり排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後及び15日後に実施した。30日以降でも問題なく運転できた。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.1875とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧し、更に循環水を冷却することで、その除去効率は後述する比較例1~6より大幅に向上し、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があるを凌ぐ能力を発揮した。また、循環水槽及び補給水槽をそれぞれオゾン曝気することで長時間運転14日以上の連続運転が出来る結果となった。比較例1図3のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量180L/min補給水量10L/min補給水供給配管10の流量オゾン曝気なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後に実施した。4日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.0556とし、補給水を循環水槽へ入れた場合ではVOC除去効果が殆ど見られなかった。また、長時間運転14日以上の連続運転が出来ない結果となった。比較例2図3のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量178L/min補給水量12L/min補給水供給配管10の流量オゾン曝気なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後に実施した。5日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、補給水量を増やし、循環水量に対する補給水量の比を0.0674としても、補給水を循環水槽へ入れた場合ではその除去効率は僅かであった。また、長時間運転14日以上の連続運転が出来ない結果となった。比較例3図3のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量160L/min補給水量30L/min補給水供給配管10の流量オゾン曝気なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後に実施した。7日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、補給水量を更に増やし、実施例1~3と同様の循環水量に対する補給水量の比0.1875としても、補給水を循環水槽へ入れた場合では、その除去効率は実施例1~3までは上がらなかった。また、長時間運転14日以上の連続運転が出来ない結果となった。比較例4図1のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量180L/min補給水量10L/minオゾン曝気なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後に実施した。4日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.0556とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧した場合、その除去効率は比較例1よりは僅かに向上したが、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があるには到底及ぶ能力ではなかった。また、長時間運転14日以上の連続運転が出来ない結果となった。比較例5図2のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量180L/min補給水量10L/minオゾン曝気循環槽あり/補給水槽なし排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後及び15日後に実施した。18日後に循環水量が設置値よりも大幅に低下したため、排ガス処理を中止した。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.0556とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧した場合、その除去効率は比較例1よりは僅かに向上したが、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があるには到底及ぶ能力ではなかった。また、循環水槽のみをオゾン曝気することで長時間運転14日以上の連続運転が出来る結果となった。比較例6図2のフロー工程図に従い、以下の条件で行った。排ガス量10000m3/h排ガス温度60°CVOC濃度エタノールイソプロピルアルコール1000ppmC循環水温度40°C補給水温度25°C循環水量180L/min補給水量10L/minオゾン曝気循環槽あり/補給水槽あり排ガス濃度測定は排ガス処理後1日後、3日後及び15日後に実施した。30日以降でも問題なく運転できた。結果は表1に記載の通り、循環水量に対する補給水量の比を0.0556とし、補給水と循環水を別のシャワーノズルで噴霧した場合、その除去効率は比較例1よりは僅かに向上したが、一般的なスクラバー処理効率新鮮な水を連続的に噴霧するものでは40~50の除去率があるには到底及ぶ能力ではなかった。また、循環水槽及び補給水槽をそれぞれオゾン曝気することで長時間運転14日以上の連続運転が出来る結果となった。