ガス中に前躯体液体を噴霧し、液滴エアロゾルを形成する装置であって、前記装置を通過する液体流量を制御する機構を備え、前記機構は、前記液体流量を調整する圧電アクチュエーターと、圧縮ガス源からガスを引き込み、液体源から引き込まれた液体を噴霧し、前記ガス中に浮遊する液滴を形成して気化及び基板上への薄膜蒸着用の液滴エアロゾルを形成する噴霧機構とを有する、装置。請求項1に記載の方法であって、ヒーター及び温度センサをさらに備え、前記圧電アクチュエーターの温度を所定の一定温度に制御する、方法。請求項1に記載の装置であって、径流噴霧ヘッドを備え、前記ガスが前記液体に作用して、前記液滴エアロゾルが生成される、装置。請求項1に記載の装置であって、軸流噴霧ヘッドをさらに備え、前記ガス流及び前記液体流が同軸方向に向く、装置。請求項1に記載の装置であって、偏流噴霧ヘッドをさらに有し、前記ガスが、水平に対して略0度から180度の間の角度で、前記液体に作用する、装置。ガス中に前躯体液体を噴霧し、液滴エアロゾルを形成する方法であって、圧縮ガス源からガスを引き込むステップと、液体源から液体を引き込むステップとを有し、前記液体及び前記ガスを、径流噴霧ヘッドにて結合し、前記ガスを前記液体流に作用させ、気化及び基板上への薄膜蒸着用の液滴を形成する、方法。請求項6に記載の装置であって、前記ガス流は、音速の少なくとも略0.1の速度である、装置。請求項6に記載の方法であって、前記ガスが、実質的に垂直配向で前記流体と交わる、方法。ガス中に前躯体液体を噴霧し、液滴エアロゾルを形成する方法であって、圧縮ガス源からガスを引き込むステップと、液体源から液体を引き込むステップと、を有し、前記液体及び前記ガスを、径流噴霧ヘッドにて結合し、前記ガスを、水平に対して略0度から180度の間の偏流にて、前記液体に作用させる、方法。請求項9に記載の方法であって、前記ガス流は、音速の少なくとも略0.1の速度である、方法。[例示的実施形態の説明]図1は、第一実施形態の噴霧器の概略図である。図面全体を通して、類似の要素には類似の参照番号が使用される。噴霧器は概して符号10で示される。噴霧器10は、気化対象の前躯体化学物質を有する液体源80と、液体を噴霧して気化のための液滴エアロゾルを形成するために使用されるキャリアガスを有する圧縮ガス源70とを備える。噴霧器10は加熱された気化室90に連通し、気化室90では、噴霧器10により生成された液滴エアロゾル51が気化され、ガス/蒸気混合物が形成される。形成されたガス/蒸気混合物は、排出口95を介して気化室から蒸着室図示なしへ流出して、薄膜蒸着及び/又は半導体デバイスの製造に用いられる。噴霧器10は、ヘッダー20を備え、ヘッダー20は、前躯体液体がソース80から入り込むための液体注入口22と、キャリアガスがガス源70から入り込むためのガス注入口24とを有する。液体は、液体注入口22に流れ込むと、小型の金属製毛細管60を下方向へ流れ、その毛細管の反対側の開口した他端から流出する。同時に、ソース70からのキャリアガスも、注入口24を介して噴霧器に入る。ガスは、内側管状部材50の開口26と外側管状部材40の開口27とを介して流れ、2つの別々の流れが形成される。一方の流れは、外側管状部材40と内側管状部材50の間に形成されたガス流路28を下方向へ進み、他方の流れは、内側管状部材50と毛細管60の間に形成されたガス流路32を下方向へ進む。それらのガスの流れは、各ガス流路の開いた下側端部に到達すると混合され、1つの流れとなる。次に、このガスの流れは、小さなオリフィス34を通過し、高速ガスジェットとなる。この高速ガスジェットにより、金属製毛細管の端から流出する液体が霧化され、噴霧器の底部フランジ30に取り付けられた加熱された気化室90内にて微細な液滴51のスプレーが生成される。噴霧器10は真空状態にて作動するように設計されており、上部に位置するヘッダー20と、底部に位置するフランジ30と、側方の管状部材40とを含む、システムの外側被覆部を形成する全部材が、リークを回避できるように構成されている。ヘッダー20、フランジ30、及び管状部材40は、単一の金属固体材料から加工されてもよいし、または、別体にて製造され、ガス及び液体の流れ並びに噴霧に対して、全体的にリークが無い被覆部を形成するように互いに溶接されてもよい。同様に、底部フランジ30は、漏れ防止シールを介して気化室90にも取り付けられる。ヘッダー20、フランジ30、管状部材40、管状部材50、及び毛細管60を含む、システムの全部材は、ステンレス鋼や他の腐食しない金属で通常作られるので、腐食や浸食による被害を回避し得る。噴霧器10は、加熱された気化室と共に作動するように設計されている。高分子前躯体の気化温度は、通常、およそ摂氏100度よりも大きい。前躯体の中には、特に室内温度で固体である前躯体においては、およそ摂氏350度以上の気化温度が必要であろう。そのような固体の前躯体に関しては、固体前躯体及び溶媒の両方を気化できるように、固体を溶媒中で溶解した後に噴霧して、液滴を形成するようにしなければならない。前躯体が、噴霧器10の金属製毛細管60のような液体流路中を流れる際、金属製毛細管の中を流れる際に前躯体液体が熱分解しないように、液体流路の温度を綿密に制御して低温に維持することが重要である。溶媒系固体前躯体の場合、加熱された液体流路内にて先に溶媒が蒸発してしまい、固体前躯体が小さな流路内に堆積して詰まりが生じる可能性がある。金属製毛細管60の温度が噴霧器10にていかに制御されるかについて、以下に記載する。噴霧器10の全部材が通常ステンレス鋼のような金属から構成されており、その装置は底部フランジ30を介して加熱された気化室90に取り付けられているので、装置10は、通常、気化室90と熱的に良好に接触している。噴霧器10により生成された前躯体液滴を気化するために、例えば摂氏130度にて気化室90が作動される場合、図1に示される設計と同様に設計されて以下に記載の特別な設計検討はされていない噴霧器10も、気化室の温度、つまり摂氏130度に近い温度である。噴霧器は、無菌室の通常の温度である摂氏20度より幾分温かい温度である周囲環境に置かれるので、装置10のヘッダー20の温度は、気化室の温度である摂氏130度より幾分低い温度であろう。よって、ヘッダー20と熱的に良好に接触している金属製毛細管60も、気化室の温度より幾分低い温度であろう。ヘッダー20の温度や、ヘッダーに取り付けられヘッダーと熱的に良好に接触している毛細管60の温度を下げるために、装置10は、長尺の薄壁管状部材40から構成されている。管の壁は、加熱された気化室90から比較的温度の低いヘッダー20へ熱が伝導される際に少なくとも摂氏30度程度は温度が降下できるのに足りる長さと厚さとを有する。毛細管はヒーター20と熱的に良好に接しているので、毛細管の温度も、ヘッダー20の温度よりおよそ摂氏30度以上低い温度となるであろう。管状形成部材の壁を介した、一端から他端への熱伝導は、熱伝導のフーリエ法則によって支配される。ここで、Qは、管の温端から冷端への熱伝導速度であり、kは、管の熱伝導率であり、Aは、管の断面積であり、Lは、管の長さであり、ΔTは、管の温端から冷端への温度降下である。直径D及び壁厚tを有する薄壁管において、断面積Aは、以下である。よって、熱伝導速度は、以下である。式3は、管状部材40を介しての熱伝導速度が管の厚さtに正比例し、かつその長さに反比例していることを示す。管の厚さを薄くしたり長さを長くしたりすると、管を介しての熱伝導が悪化する。管の冷端はヘッダー20につながっており、ヘッダー20と実質的に同じ温度あるので、管の温端から冷端への熱伝導で伝わる熱は、ヘッダーを介しての自然対流や自然放射により周囲に散逸するはずである。よって、冷端への熱伝導速度を低下させると、ヘッダー20と周囲環境の温度との温度差が減少し、ヘッダーの温度が周辺室内温度により近づく。従って、ヘッダーの温度が下がる。上記分析によると、ヘッダー20、及びそれに取り付けられた毛細管の温度を下げる簡単で効果的な方法は、管の壁厚tを薄くするか、管の長さLを長くするか、もしくは、これら両方を行うかである。さらに、キャリアガスは、ガス注入口24に入ってガス流路28、32を通る際、2つの冷たいシース流sheathflowを形成する。一方の流れは、流路32を通過し、ヘッダーより下のセクションにおいて金属製毛細管60の冷却を助ける。他方の流れは、流路28を通過し、管からヘッダーへ他の方法で伝わってしまう追加的な熱を運び出すことで、管状ハウジング40の冷却を助ける。これにより、液体を噴霧して液滴エアロゾルを形成するために用いられるキャリアガスは、ヘッダーと、毛細管が取り付けられるヘッダーの下の、毛細管のセクションとを冷却するためにも追加的に用いられることとなる。実験では、上記方法によると、管状の壁を薄くしすぎたり、又は長くししぎたりすることなく、フランジ30からヘッダー20及び金属製毛細管60までの間の温度降下を摂氏90度くらいまで増加させることが可能であるということが示されている。管状ハウジング40の壁は、運転圧力が大気圧より低いことに基いて薄くされるのみでもよい。管状ハウジングの厚みは、真空に耐え得る厚みでなければならない。一方で、管状ハウジングを薄くするほど、気化室からの熱伝導速度が低下する。さらには、管状ハウジングを長くするほど、同じく、熱伝導速度が低下する。しかし、管状ハウジング40は、装置の使い勝手が悪くなるほど長くあってはならない。当然のことながら、毛細管60と内側管状部材50との長さは、それぞれ、管状ハウジング40の長さに対応していなければならない。図2は、本発明の装置の他の実施形態を示す。システムの全部品は、拡張表面熱交換器140が追加された点を除いては、全て図1の部品と同一である。熱交換器140は、ヘッダー20と熱的に良好に接触して配置され、熱が自然対流により効果的に放熱可能なように拡張表面を有する。放熱用に追加領域を提供する熱交換器140を追加することで、ヘッダー20の温度をさらに低下させることができ、装置の周りの周辺温度により近づけることができる。図3は、本発明の装置の更なる他の実施形態を示す。システムの全部品は、熱電冷却部材150及び付属の自然対流空冷フィン155から構成される熱電モジュールが追加された点を除いては、全て図1の部品と同一である。熱電冷却器は、従来型であり、直流電流が冷却器へ供給されることで冷却効果がもたらされる。取り除かれた熱は、熱電冷却器が取り付けられた空冷フィンによって放熱される。熱電冷却効果をもたらすための所望の直流電流を生成するのに必要な、関連の電気電子回路は、熱電冷却効果を有する冷却システムの設計分野の当業者には周知であるので、図示されていない。熱電冷却器を追加することで、ヘッダー温度を周囲室内温度付近または周囲温度未満に保つことができ、結果、液体前躯体を室内温度以下で噴霧することができる。この低温噴霧器は、高い気化温度が必要な低蒸気圧前躯体や、溶液噴霧過程において溶媒で溶解した固体前躯体を気化するのに有用である。加熱された毛細管中に溶液を流すと、溶媒が溶液から蒸発してしまい、残った固体前躯体により液体流路が詰まる可能性がある。本開示で述べられていない他の冷却方法も同様に使用できる。例えば、冷却水、冷却ガス、またはファンなどを用いた放熱など、これら方法は、冷暖装置の設計分野の当業者には周知であるので、ここでは記載されない。図4は、液体流量を制御し液滴エアロゾルを生成する、好ましい実施形態における本発明の装置を示す。この装置は、噴霧及び液体流制御装置200を備える。装置200は、一定速度で液体を送り、その送られた液体を噴霧することで、液滴エアロゾルを形成する。その後、液滴エアロゾルは、基板上への薄膜蒸着用のガス/蒸気混合物を形成するために、加熱された気化室図示なしへ入る。ソース80内の前躯体液体が加圧され、液体流センサ85を介して液体注入口210へ流入する。薄い金属製のダイアフラム250は、金属製毛細管260の注入開口264付近に配置され、ダイアフラム250と金属製毛細管260の液体注入開口264との間に、小さな間隙235が形成される。間隙235は、圧電アクチュエーター240により調節可能である。圧電アクチュエーター240は、圧電材料で作られる。圧電材料は、電圧源280からの直流電圧に応じて、膨張または収縮が可能である。ソース280からの電圧は、一対の電線282、284を介して圧電アクチュエーター240に供給される。圧電アクチュエーターの下端部は、湾曲表面245を有し、湾曲表面245は、金属製ダイアフラム250にしっかりと押し付けられ、ダイアフラムとハウジング230との間で堅持される。この湾曲表面245は、通常、金属製であり、非常に硬い。電圧源280から供給される特定の極性と大きさを有する直流電圧によって、圧電アクチュエーターは膨張または収縮することで、自身の長さ、及び、ダイアグラム235と液体注入開口264の間の間隙235を変えることができる。結果、システムを流れる液体流量も、電圧源280によって圧電アクチュエーターに供給される極性及び電圧に応じて変動する。大きな間隙は液体流量の増加をもたらす一方、小さい間隙は液体流量の減少をもたらす。フィードバック電子制御により、ソース80からの液体流量を、液体流センサ85の電気出力と電圧源280から供給される直流電圧の極性及び大きさに基づいて、ある特定の値に制御し得る。液体流量の制御において、ハウジング230の熱膨張や熱収縮が圧電アクチュエーターの動作に影響することを防ぐ目的で、ハウジングの温度を周囲より高い特定値に制御するために、温度センサ290及びヒーター295が備えられ、結果、周辺温度の変化がハウジングの長さや圧電アクチュエーターの作動に影響しないようにし得る。液体は、毛細管注入口264に入ると、金属製毛細管260内の液体流路262中を流れ、金属製毛細管の出口端にある排出開口268から流出する。同時に、ソース70からのキャリアガスは、ガス流センサ75を介してガス流路の端部の注入口へ流入する。ガス流路は、水平部分274と、通常は筒型である噴霧部270内にある、垂直部分275とからなる。その後、ガス流は、筒型形状の金属製毛細管260と、同じく筒型形状の出口オリフィス278との間にある環状空間276を介して、噴霧部270から排出され、高速ガスジェットが生成される。この高速ガスジェットは、その後、金属製毛細管排出口268から流出する液体を霧化し、これにより、液滴エアロゾルが形成される。液滴エアロゾルは、その後、基板上への薄膜蒸着用のガス/蒸気混合物を形成するために、加熱された気化室図示なしを流れる。噴霧及び液体流制御装置200内にて、参照符号298にて示される噴霧ヘッドの設計は、同軸流設計に基づく。この設計においては、液体排出口268及び環状ガス排出口276を流れる液体流とガス流とは、金属製毛細管260の軸図示なしに沿って同軸方向にそれぞれ移動する。この噴霧ヘッドの設計は、概して、多くの用途に適している。要求がより厳しい用途では、本装置が許容されるものとするためには、より微細な液滴が望まれる。図5は、本開示に記載された噴霧ヘッドの他の実施形態を示す。この設計において、噴霧ヘッド300内の矢印320及び322にて示されるように、ガス流は、最初、軸方向略下方に流れる。その後、ガス流は、噴霧ヘッドの管状噴霧部310内のガス流路312の外側壁315と、金属製毛細管370の底部の近くのヘッドピース314の外側面との間に形成された環状空間314を流れる。環状ガス流路314内のガス流は、下面340及び上面350により囲まれたガス流路360の水平部分にて、矢印324及び236にて示されるように、90度曲げられる。ガス流路360の幅は、明確にするために、かなり幅広に図示されているが、実際には、ガス流路の境界面を形成する下面340及び上面350間の間隔Sは、極めて小さい。間隔Sは、通常、1.0mm未満であるが、所与の容積流量または質量流量でのガス流速が速まるようにさらに小さくてもよい。この高速ガス流が、液体流路342を介して金属製毛細管から流出する液体流335に作用すると、液体流が圧縮され、半径が小さくなる。この半径が小さくなった液体流は、その後霧化され、微細な液滴スプレーが生成される。その後、この微細な液滴スプレーは、キャリアガスと混合し、気化されるように微細な液滴エアロゾルが形成されてガス/蒸気混合物が形成される。非常に小さいサイズの液滴を生成するために、理想的には、ガス流が小さなガス流路360を音速で流れることが好ましい。実際には、ガス流速は、音速の10分の1、つまり音速の0.1という低速であってもよく、この流速でも、様々な用途に合った十分に小さい直径の液滴エアロゾルスプレーが依然として非常に適切に生成される。標準温度や標準圧力条件の下での窒素中の音速は、略340m/sであり、所望の半径を有する液滴を生成するのに用いる噴霧ガス速度は、34m/sから340m/sの範囲内とされ得る。図4及び図5に示す噴霧ヘッドの設計は、それぞれ、軸流噴霧器及び径流噴霧器と称されることができる。図4の軸流設計では、ガス流は金属製毛細管370の縦軸に沿って流れる。図5の径流設計では、ガス流は径方向、つまり、金属製毛細管の軸に対して垂直方向に流れる。よって、液体流方向に対しても垂直である。軸流設計と比較して、径流設計は、微細な液滴エアロゾルを形成するのに、より多く噴霧できることが明らかになっている。図6は、噴霧ヘッドの更に他の設計を示す。この設計では、ガス流が、矢印470及び475にて示される方向に沿って、2つの円錐面480、490の間で閉じ込められる。よって、ガス流は液体流に対して角度を有しており、ガス流と液体流との間の角度θは、0度から180度の間で変動し得る。この特有な設計は偏流噴霧器と称されることができる。よって、角度θが0度で設計される軸流噴霧器、及び角度θが90度で設計される径流噴霧器は、偏流噴霧器の特別なケースと思われる。本発明は、好ましい実施形態を参照して記載されるが、当業者は、その精神及び範囲を逸脱することなく、形態や詳細の変更がなされてもよいことを認識するであろう。