固体電解質層の上に設けられた燃料極層と、該燃料極層の上に設けられた、還元雰囲気にて膨張するインターコネクタおよび還元雰囲気にて収縮する調整層、または還元雰囲気にて収縮するインターコネクタおよび還元雰囲気にて膨張する調整層とを有することを特徴とする燃料電池セル。前記還元雰囲気にて膨張するインターコネクタがランタンクロマイトを主体とする焼結体からなり、前記還元雰囲気にて収縮する調整層がTiを含有するペロブスカイト型酸化物を主体とする焼結体からなることを特徴とする請求項1に記載の燃料電池セル。前記Tiを含有するペロブスカイト型酸化物にLa、Y、SrおよびNbのうち少なくとも1種が固溶していることを特徴とする請求項2に記載の燃料電池セル。前記還元雰囲気にて膨張するインターコネクタがランタンクロマイトを主体とする焼結体からなり、前記還元雰囲気にて収縮する調整層がNiとMgとの酸化物を主体とする焼結体からなることを特徴とする請求項1に記載の燃料電池セル。前記NiとMgとの酸化物を主体とする焼結体がY2O3またはAl2O3を含有することを特徴とする請求項4に記載の燃料電池セル。前記燃料極層と前記インターコネクタとの間に支持体が設けられており、該支持体は内部に長手方向に沿って燃料ガスを流通させるためのガス流路を有し、対向する一対の主面を有する平板状であり、前記一対の主面のうち一方の主面に前記燃料極層が設けられ、他方の主面に前記インターコネクタが設けられており、前記調整層が、前記インターコネクタと前記支持体との間で、前記他方の主面の幅方向における両端部側にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の燃料電池セル。前記燃料極層と前記インターコネクタとの間に、支持体が設けられており、該支持体は内部に長手方向に沿って燃料ガスを流通させるためのガス流路を有し、対向する一対の主面を有する平板状であり、前記一対の主面のうち一方の主面に前記燃料極層が設けられ、他方の主面に前記インターコネクタが設けられており、前記調整層が、前記インターコネクタと前記支持体との間で、前記他方の主面の幅方向における中央部側に配置されていることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の燃料電池セル。前記支持体の幅方向における前記調整層の幅の合計が、前記他方の主面の幅の1/10~1/2であることを特徴とする請求項6または7に記載の燃料電池セル。請求項1~8のいずれかに記載の燃料電池セルの複数個を電気的に直列に接続してなることを特徴とする燃料電池セル装置。請求項9に記載の燃料電池セル装置を収納容器内に収納してなることを特徴とする燃料電池モジュール。請求項10に記載の燃料電池モジュールと、該燃料電池モジュールを動作させるための補機とを外装ケース内に収納してなることを特徴とする燃料電池装置。ここで、上記特許文献1~特許文献4に示された燃料電池セルにおいて、燃料電池セルの変形を抑制することができるものの、さらなる改善の余地がある。それゆえ、本発明は還元処理に伴う変形を抑制することができる燃料電池セル、燃料電池セル装置および燃料電池モジュールならびに燃料電池装置を提供することを目的とする。本発明の燃料電池セルは固体電解質層の上に設けられた燃料極層と、燃料極層の上に設けられた、還元雰囲気にて膨張するインターコネクタおよび還元雰囲気にて収縮する調整層、または還元雰囲気にて収縮するインターコネクタおよび還元雰囲気にて膨張する調整層を有する。また、本発明の燃料電池セル装置は、上記の燃料電池セルの複数個を電気的に直列に接続してなる。また、本発明の燃料電池モジュールは、上記の燃料電池セル装置を収納容器内に収納してなる。また、本発明の燃料電池装置は、上記の燃料電池モジュールと燃料電池モジュールを動作させるための補機と、を外装ケース内に収納してなる。本発明によれば、還元雰囲気においてインターコネクタと変形の異なる調整層が設けられていることから、インターコネクタが還元膨張や還元収縮した場合においても、インターコネクタの変形を低減することができ、燃料電池セルの変形を抑えることができる。図1は、本発明の燃料電池セルの一実施形態を示すものであり、aは横断面図、bは一部を破断した燃料電池セルの斜視図である。図2a、bはそれぞれ、本発明の燃料電池セルの他の一実施形態を示す横断面図である。また、図3aは図1に示す燃料電池セルのインターコネクタを省略して示す平面図、bは図2に示す燃料電池セルのインターコネクタを省略して示す平面図である。なお、両図面において、燃料電池セル1、燃料電池セル10の各構成を一部拡大等して示している。また、同一の部材に関しては同一の符号を付するものとし、以下同様とする。また燃料電池セルの構成の説明においては、図1に示す燃料電池セル1を用いて説明する。なお、図1に示す燃料電池セル1と図2aおよびbに示す燃料電池セル10とは、後述する調整層9の配置場所が異なる以外は同様の構成である。燃料電池セル1は、平板状であり全体的に見て柱状より詳しくは楕円柱状の導電性支持体2以下、支持体2と略す場合がある。を備えている。支持体2の内部には、長手方向に沿って燃料ガスを流通させるためのガス流路7が所定間隔をあけて複数図1においては6個形成されており、燃料電池セル1はこの支持体2上に各種の部材が設けられて構成されている。なおガス流路7は、支持体2の長手方向の一端から他端まで貫通するように設けられている。支持体2は、図1に示されている形状から理解されるように、互いに平行な一対の主面18と、一対の主面18をそれぞれ接続する弧状面側面19とで構成されている。支持体2の一方の主面18上には、内側電極としての燃料極層3、固体電解質層4および外側電極としての空気極層5がこの順に積層された積層体が設けられている。また他方の主面18上には、後述するSrおよびTiを含有するペロブスカイト型酸化物以下、ストロンチウムチタネートと称する場合がある。を主体とする焼結体からなる還元雰囲気にて還元収縮する調整層9と、ランタンクロマイトを主体とする焼結体からなる還元雰囲気にて還元膨張するインターコネクタ6が設けられている。なお、図1に示す燃料電池セル1においては、燃料極層3および固体電解質層4の両端部が、一方の主面18上より弧状面19上を介して他方の主面18上まで延設されており、燃料極層3と固体電解質層4とが、調整層9を介してインターコネクタ6と隣接するように配置されている。なお図1に示す燃料電池セル1においては、支持体2の一方側主面18上における固体電解質層4上には中間層8を介して、燃料極層3より詳しくはインターコネクタ6と対向するように空気極層5が積層されている。なお、以降の説明においては、特に記載のない限り内側電極を燃料極層3、外側電極を空気極層5として説明する。ここで、燃料電池セル1は、燃料極層3と空気極層5との対向している部分が電極として機能することにより発電する。つまり、燃料極層3と空気極層5とが対向する部分が発電部となる。空気極層5の外側に空気等の酸素含有ガスを流し、且つ支持体2内のガス流路7に燃料ガス水素含有ガスを流し、所定の作動温度まで加熱することにより発電する。かかる発電によって生じた電流は、支持体2の他方の主面18上に設けられたインターコネクタ6を介して集電される。図1に示す燃料電池セル1においては、燃料極層3および固体電解質層4の両端部をそれぞれ覆うように調整層9がそれぞれ設けられており、調整層9の上面および支持体2の他方の主面18を覆うように、インターコネクタ6が設けられている。すなわち、調整層9は、導電性支持体2とインターコネクタ6との間に配置されていることとなる。それにより、支持体2の表面が外部に露出しない構成となっている。なお、燃料極層3は空気極層5と対向する領域にのみ設け、その他の領域は固体電解質4にて覆う構成としてもよい。また、図3aに示すように、燃料極層3、固体電解質層4、インターコネクタ6、調整層9のそれぞれは、支持体2の長手方向に沿って一端から他端にかけて配置されている。空気極層5は、燃料電池セル1の長手方向における一端部および他端部以外の部位に設けられており、空気極層5が設けられていない部位が非発電部として構成されている。このような燃料電池セル1は、支持体2を対向する一対の主面18を有する平板状とすることにより、支持体2上に配置される発電部の面積を大きくすることができることから、単位体積あたりの発電量を大きくすることができる。また、図2aに示す燃料電池セル10においては、支持体2の他方の主面18のガス流路7の配列方向における中央部に、ストロンチウムチタネートを主体とした焼結体からなる調整層9が配置されている構成とされており、図2bに示す燃料電池セル11においては、支持体2の他方の主面18のガス流路7の配列方向における中央部において、インターコネクタ6の内部に、ストロンチウムチタネートを主体とした焼結体からなる調整層9が配置されている。以下に、燃料電池セル1を構成する各部材について説明する。支持体2は、ガス流路7の内部を流れる燃料ガスを燃料極層3まで透過させるためにガス透過性であること、インターコネクタ6を介して集電を行うために導電性であることが要求されることから、例えば、NiおよびNiOのうち少なくとも一方と、特定の希土類酸化物とにより形成されることが好ましい。特定の希土類酸化物とは、支持体2の熱膨張係数を固体電解質層4の熱膨張係数に近づけるために使用されるものであり、Y、Luルテチウム、Yb、Tmツリウム、Erエルビウム、Hoホルミウム、Dyジスプロシウム、Gd、Sm、Prプラセオジムからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含む希土類酸化物が、NiおよびNiOのうち少なくとも一方との組み合わせで使用することができる。このような希土類酸化物の具体例としては、Y2O3、Lu2O3、Yb2O3、Tm2O3、Er2O3、Ho2O3、Dy2O3、Gd2O3、Sm2O3、Pr2O3を例示することができ、NiおよびNiOのうち少なくとも一方との固溶、反応が殆どなく、また、熱膨張係数が固体電解質層4とほとんど同程度であり、かつ安価であるという点から、Y2O3、Yb2O3が好ましい。また、支持体2の良好な導電率を維持し、かつ熱膨張係数を固体電解質層4と近似させるという点で、焼成-還元後における体積比率が、Ni:希土類元素酸化物例えば、Ni:Y2O3が35:65~65:35Ni/NiYがモル比で65~86モルの範囲にあることが好ましい。なお、支持体2中には、要求される特性が損なわれない限りの範囲で、他の金属成分や酸化物成分を含有していてもよい。また、支持体2は、ガス透過性を有していることが必要であるため、通常、気孔率が30以上、特に35~50の範囲にあることが好ましい。また、支持体2の導電率は、50S/cm以上、より好ましくは300S/cm以上、特に好ましくは440S/cm以上とすることがよい。なお、支持体2の主面18の幅の長さ支持体2のガス流路7の配列方向に沿った長さは、通常、15~35mm、弧状面19の長さ弧の長さは、2~8mmであり、支持体2の厚み主面n間の厚みは1.5~5mmであることが好ましい。それにより、ある程度の強度を維持しつつ集電性を確保することができる。燃料極層3は、電極反応を生じさせるものであり、鉄族金属であるNiおよびNiOのうち少なくとも一方と、希土類元素が固溶したZrO2とから形成することができる。なお、希土類元素としては、支持体2において例示した希土類元素Y等を用いることができる。燃料極層3において、NiおよびNiOのうち少なくとも一方と、希土類元素が固溶したZrO2の含有量は、焼成-還元後における体積比率が、Ni:希土類元素が固溶したZrO2例えば、NiO:YSZが35:65~65:35の範囲にあるのが好ましい。さらに、この燃料極層3の気孔率は、燃料極層3の発電性能および固体電解質層4との熱膨張係数差による剥離やクラックを抑制する観点から、15以上、特に20~40の範囲にあるのが好ましく、その厚みは、1~30μmであるのが好ましい。固体電解質層4は、3~15モルのYイットリウム、Scスカンジウム、Ybイッテルビウム等の希土類元素を含有する部分安定化あるいは安定化ZrO2からなる緻密質なセラミックスを用いるのが好ましい。また、希土類元素としては、安価であるという点からYが好ましい。さらに、固体電解質層4は、ガス透過を防止するという点から、相対密度アルキメデス法によるが93以上、特に95以上の緻密質であることが望ましく、かつその厚みが5~50μmであることが好ましい。なお、固体電解質層4と空気極層5との間に、固体電解質層4と空気極層5との接合を強固なものとするとともに、固体電解質層4の成分と空気極層5の成分とが反応して電気抵抗の高い反応層が形成されることを抑制する目的で中間層8を備えることもでき、図1に示した燃料電池セル1においては中間層8を備えた例を示している。ここで、中間層8は、Ceセリウムの酸化物や、Ceと他の希土類元素とを含有する組成にて形成することができ、Ceと他の希土類元素とを含有する組成としては、例えば、CeO21-xREO1.5xREはSm、Y、Yb、Gdの少なくとも1種であり、xは0<x≦0.3を満足する数。で表される組成を例示することができる。さらには、電気抵抗を低減するという点から、REとしてSmやGdを用いることもでき、例えば10~20モルのSmO1.5またはGdO1.5が固溶したCeO2とすることもできる。なお、中間層8は例えば2層より構成することもでき、この場合1層目を固体電解質層4と同時焼成により設けた後に、同時焼成よりも200°C以上低い温度にて2層目を別途焼成することが好ましい。また、空気極層5は、ガス透過性を有する必要があり、従って、空気極層5を形成する導電性セラミックスペロブスカイト型酸化物は、気孔率が20以上、特に30~50の範囲にあることが好ましい。さらに、空気極層5の厚みは、集電性という点から30~100μmであることが好ましい。空気極層5を構成する導電性セラミックスとしては、いわゆるABO3型のペロブスカイト型酸化物を主体とする焼結体からなる導電性を有するセラミックスにより形成されるのが好ましく、遷移金属ペロブスカイト型酸化物、特にAサイトにSrストロンチウムとLaランタンが共存するLaSrCoFeO3例えばLaSrCoFeO3、LaMnO3例えばLaSrMnO3、LaFeO3例えばLaSrFeO3、LaCoO3例えばLaSrCoO3の少なくとも1種が好ましく、600~1000°C程度の作動温度での電気伝導性が高いという点からLaSrCoFeO3系が特に好ましい。なお、上記ペロブスカイト型酸化物においては、Bサイトに、CoコバルトとともにFe鉄やMnマンガンが存在しても良い。インターコネクタ6は、導電性セラミックスにより形成されることが好ましいが、燃料ガス水素含有ガスおよび酸素含有ガスと接触するため、耐還元性、耐酸化性を有していることが必要である。このため、耐還元性、耐酸化性を有し、支持体2と固体電解質層4との熱膨張係数を近づける目的から、ランタンクロマイトを主体とする焼結体により構成される。なお、ランタンクロマイトを主体とするとは、インターコネクタ6中にランタンクロマイトが60モル以上含有されていることを意味し、他に導電性を向上させる目的や、熱膨張係数を支持体2や固体電解質4に近づける目的で、他の元素例えば、Ca、Sr、Mg、Ni、Co等をランタンクロマイト中に固溶させてもよく、またこれらの酸化物を適宜加えてもよい。また、インターコネクタ6において、燃料極層3、固体電解質層4や調整層9と重ならない領域における厚みは、ガスのリーク防止と電気抵抗が大きくならないようにするという理由から、10~50μmであることが好ましい。インターコネクタ6はガスのリーク防止の観点から緻密質である必要があり、インターコネクタ6の密度はアルキメデス法による相対密度が92以上、より好ましくは95以上であることが好ましい。また、図示していないが、インターコネクタ6の外面上面には、P型半導体層を設けることが好ましい。集電部材図示せずを、P型半導体層を介してインターコネクタ6に接続させることにより、両者の接触がオーム接触となり、電位降下を少なくでき、集電性能の低下を有効に回避することが可能となる。このようなP型半導体層としては、遷移金属ペロブスカイト型酸化物からなる層を例示することができる。具体的には、電子伝導性が大きいもの、例えば、BサイトにMn、Fe、Coなどが存在するLaMnO3系ペロブスカイト型酸化物ランタンマンガナイト、LaFeO3系ペロブスカイト型酸化物ランタンフェライト、LaCoO3系ペロブスカイト型酸化物ランタンコバルタイトなどの少なくとも一種からなるP型半導体セラミックスを使用することができる。このようなP型半導体層の厚みは、一般に、30~100μmの範囲にあることが好ましい。ところで、燃料電池セル1の発電を開始可能とするにあたり、支持体2や燃料極層3に含有されるNiOをNiに還元する必要があるが、この還元処理に伴って、ランタンクロマイトを主体とするインターコネクタ6が膨張する還元膨張を引き起こす場合がある。つまり、ガス流路7を流れる燃料ガス水素含有ガスが多孔質な支持体2の内部に拡散することによりインターコネクタ6と燃料ガスが接触し、インターコネクタ6が還元雰囲気にさらされることとなる。それにより、インターコネクタ6に含まれる例えばCr等の元素が還元されることにより酸素欠陥が生じ、結晶格子が膨張することに伴いインターコネクタ6が還元膨張すると考えられる。そのため、インターコネクタ6の還元膨張に伴って燃料電池セル1にインターコネクタ6側が背となった弓なり状の反り等の変形図7参照が生じる。ここで、燃料電池セル1に反り等の変形が生じた場合に、燃料電池セル1にクラック等の破損を生じるおそれがあるほか、支持体2上に配置された各構成が剥離するおそれがある。それゆえ、図1および図2に示す燃料電池セル1、10、11においては、支持体2の他方の主面18上に、還元収縮するストロンチウムチタネートを主体とする焼結体からなる調整層9が設けられている。還元収縮する調整層9としては、Tiを含有するペロブスカイト型酸化物を主体とする焼結体あげることができ、具体的にはCaTiO3系、BaTiO3系、MgTiO3系およびSrTiO3系をあげることができる。これらの酸化物は、還元収縮する特性を有しており、AサイトやBサイトに希土類元素が一部置換したものを用いてもよい。Aサイトに置換される希土類元素としては、La、Y等をあげることができ、Bサイトに置換される希土類元素としてはNbをあげることができる。AサイトやBサイトに希土類元素を置換させることでインターコネクタ6や支持体2等の燃料電池セル1を構成する部材に熱膨張係数を近づけることができる。以下、調整層9として、Aサイトの一部にLaが固溶したストロンチウムチタネート以下、単にストロンチウムチタネートと称する場合がある。を用いた例を示す。ここで、ストロンチウムチタネートは、還元収縮する特性を有している。それゆえ、支持体2の他方の主面18上に設けられたインターコネクタ6と支持体2との間またはインターコネクタ6の内部にストロンチウムチタネートを主体としてなる調整層9を設けることにより、還元処理時において、インターコネクタ6の還元膨張が抑制され、燃料電池セル1の変形を抑制することができる。つまり、還元膨張するインターコネクタ6の変形を還元収縮する調整層9が機械的に抑えることにより、燃料電池セル1の変形を抑えることができる。なお、Aサイトの一部にLaが固溶したストロンチウムチタネートとしては、LaxSr1-xTiO3xは0<x≦0.3を満足する数で表されるものを用いることができ、還元処理における還元収縮の特性を損なわない限り、他の元素を含有してもよい。また、還元処理における還元収縮の特性を損なわない限りにおいて、ストロンチウムチタネート以外の成分を含有することもできるが、この場合において、ストロンチウムチタネートが90モル以上となるようにすることが好ましい。なお、ストロンチウムチタネートのみからなることがより好ましい。燃料電池セル1では調整層9をインターコネクタ6と支持体2との間に設けた例を示したが、調整層9はインターコネクタ6の表面に設けてもよい。その場合においても、インターコネクタ6が支持体2と接することによりインターコネクタ6が還元されて、インターコネクタ6を構成するランタンクロマイトに酸素欠陥が生じ酸素空孔ができることとなる。そして、酸素空孔がインターコネクタ6から調整層9にわたってできることにより、調整層9が還元収縮する。それにより、燃料電池セル1の変形を抑えることができる。ストロンチウムチタネートを主体とする焼結体からなる調整層9は、還元雰囲気においては導電率が高いが酸化に伴って導電率が低下するおそれがあることから、空気酸素にさらされないように設けることが好ましい。それゆえ、調整層9はインターコネクタ6と支持体2との間またはインターコネクタ6の内部に位置するように設けることが好ましい。それにより、支持体2の一方の主面18に配置された積層体にて発電された電流の集電効率が低下する即ち燃料電池セル1の出力密度が低下することを抑制できる。なお、図1に示す燃料電池セル1においては、調整層9を、インターコネクタ6と支持体2との間であって、インターコネクタ6が調整層9の上面を覆うように配置した例を示しているが、調整層9の全体をインターコネクタ6にて覆うこともできる図2b参照。さらに、調整層9を直接還元雰囲気にさらすために、調整層9がインターコネクタ6により上面が覆われており、調整層9は支持体2の表面に設けることが好ましい。それにより、インターコネクタ6の還元膨張を抑えるように、調整層9を還元収縮させることができる図2a参照。ストロンチウムチタネート調整層9は、ランタンクロマイトインターコネクタ6よりも酸化雰囲気において導電性が低い抵抗が高いことから、調整層9はインターコネクタ6による集電に対する影響が低くなるように設けることが好ましい。それゆえ、図1に示す燃料電池セル1においては、調整層9を支持体2の他方の主面18上におけるガス流路7の配列方向に沿った両端部側にそれぞれ配置するとともに、それぞれの調整層9の一部が、他方の主面18上に延設された固体電解質層4の端部上に位置するように配置されている。言い換えると、燃料極層3と固体電解質層4の両端部をそれぞれ覆うように調整層9が配置されている。それにより、燃料電池セル1の変形を抑制できるとともに、インターコネクタ6による集電効率の低下を抑制することができる。また、ストロンチウムチタネート調整層9は、ランタンクロマイトインターコネクタ6よりも酸化雰囲気において導電性が低いことから、ガス流路7の配列方向における調整層9の幅aw:図1に示す燃料電池セル1のように2箇所に調整層9を設ける場合にはその合計が、ガス流路7の配列方向に沿う方向における他方の主面18の幅wの1/10~1/2となるように配置することが好ましい。それにより、燃料電池セル1の変形を抑制できるとともに、インターコネクタ6による集電に対する影響を抑制することができる。さらに、調整層9は、インターコネクタ6による集電に対する影響を抑制すべく、調整層9の厚みがインターコネクタ6の厚みの1/6~4/6となるように設けることが好ましい。なお、調整層9の幅および厚みは、インターコネクタ6の還元膨張を抑制する点とインターコネクタ6による集電に対する影響の点を踏まえて、燃料電池セル1の構成に合わせて適適宜設定すればよい。調整層9は、インターコネクタ6に覆われて配置される場合は緻密質である必要がないが、調整層9が外部に露出する場合は、ガスのリーク防止の観点から緻密質である必要があり、調整層9の密度はアルキメデス法による相対密度が92以上、より好ましくは95以上であることが好ましい。調整層9の他の材料としては、NiとMgとの酸化物を主体とする焼結体をあげることができる。NiとMgとの酸化物は岩塩型構造を有しており、NiOの状態でMgOとの化合物を形成しているが、還元雰囲気において、NiOがNiに還元されることで調整層9は還元収縮する。調整層9に含有されるNiとMgとのモル比は20:80~4:96が好ましい。モル比を2080~50:50の範囲とすることで、インターコネクタ6の還元膨張による変形を抑えることができる。なお、NiとMgとのモル比は例えばEPMA分析により求めることができる。NiとMgとの酸化物により調整層9を作製した場合、支持体2やインターコネクタ6に熱膨張係数を近づけるために、Y2O3やAl2O3を含有させてもよい。Y2O3やAl2O3は、NiとMgとの酸化物に対してモル比で1~50モル含有させることが好ましい。これにより、調整層9の熱膨張係数を支持体2やインターコネクタ6に近づけることができる。なお、NiとMgとの酸化物を主体とするとは、調整層9中にNiとMgとの酸化物が50モル以上含有されていることを意味し、他の成分として上述したY2O3やAl2O3を含有させてもよい。NiとMgとの酸化物は導電率が低いため、前述したように、ガス流路7の配列方向における調整層9の幅awの合計が、ガス流路7の配列方向に沿う方向における他方の主面18の幅wの1/10~1/2となるように配置することが好ましい。還元雰囲気にて収縮するとは、焼結体が還元雰囲気にさらされた場合に体積が収縮することを示し、還元雰囲気にて膨張するとは、焼結体が還元雰囲気にさらされた場合に体積が膨張することを示す。調整層9の還元収縮および還元膨張の判定は、調整層9成分と等しい所定の大きさの焼結体を作製し、還元処理前の焼結体の長さ、厚みおよび幅をそれぞれノギス等により測定する。次に焼結体を還元処理させ、還元処理後の焼結体も同様に測定する。還元処理は、850°C、10時間、水素を流すことにより生じる還元雰囲気にさらすことをいう。そして、還元処理前の体積を還元処理後の体積で除した値を還元変形率とすることができる。この還元変形率が正の値である場合に、還元雰囲気において収縮する調整層9と判定することができ、還元変形率が負の値である場合に、還元雰囲気において膨張する調整層9と判定することができる。インターコネクタ6においても同様の方法により、インターコネクタ6成分と等しい焼結体を作製して還元変形率を求めることができる。この場合においても、還元変形率が正の値である場合に、還元雰囲気において収縮するインターコネクタ6と判定することができ、還元変形率が負の値である場合に、還元雰囲気において膨張するインターコネクタ6と判定とすることができる。なお、支持体2の他方の主面18上において、支持体2とインターコネクタ6との間に、インターコネクタ6と支持体2との間の熱膨張係数差を軽減する等のために、希土類元素酸化物、希土類元素が固溶したZrO2、希土類元素が固溶したCeO2のうち少なくとも1種と、NiおよびNiOのうち少なくとも一方とから形成される密着層図示せずを設けることもできる。また、燃料電池セル1、10、11では支持体2の長手方向に一端から他端にかけて調整層9が設けられた例を示したが、他の構成をとってもかまわない。例えば、一端から他端にかけて設けるのではなく、支持体2の長手方向の中央部にて調整層9が切断され、調整層を長手方向に2つに分けて設けることもできる。さらに図1~3では、調整層9が1本乃至2本設けられた例を示したが、3本以上の数の調整層9を設けてもよい。例えば、支持体2の幅方向にそれぞれ所定の距離を開けて複数本の調整層9をストライプ状に設けてもよい。所定の距離を開けて設けることにより、インターコネクタ6の導電性の低下を抑えることができる。さらに、調整層9の他の設け方として、支持体2の幅方向にわたって一端から他端にかけて調整層9を設けてもよい。その場合においてもインターコネクタ6の還元膨張または還元収縮による変形を抑えることができる。この場合においても、支持体2の長手方向に所定の間隔を開けて複数本の調整層9を設けることが好ましい。それにより、インターコネクタ6の導電性の低下を抑えることができる。調整層9は、直線状に設ける必要はなく、例えば、曲線状に形成してもよいし、メッシュ状やドット状に形成してもよい。その場合においても、還元収縮または還元膨張することでインターコネクタ6の還元膨張または還元収縮を抑えることができる。以上説明した燃料電池セル1の作製方法について説明する。先ず、NiおよびNiOの少なくとも一方の粉末と、Y2O3などの希土類酸化物の粉末と、有機バインダーと、溶媒とを混合して坏土を調製し、この坏土を用いて押出成形法により支持体成形体を作製し、これを乾燥する。なお、支持体成形体として、支持体成形体を900~1000°Cにて2~6時間仮焼した仮焼体を用いてもよい。次に、例えば所定の調合組成に従いNiO、Y2O3が固溶したZrO2YSZの素原料を秤量、混合する。この後、混合した粉体に、有機バインダーおよび溶媒を混合して燃料極層用スラリーを調製する。さらに、希土類元素が固溶したZrO2粉末に、トルエン、バインダー、市販の分散剤等を加えてスラリー化したものをドクターブレード等の方法により、7~75μmの厚さに成形してシート状の固体電解質層成形体を作製する。得られたシート状の固体電解質層成形体上に燃料極層用スラリーを塗布して燃料極層成形体が形成された積層体成形体を形成し、燃料極層成形体を下面として支持体成形体上に積層する。続いて固体電解質層4と空気極層5との間に配置する中間層成形体を形成する。例えば、GdO1.5が固溶したCeO2粉末を800~900°Cにて2~6時間、熱処理を行い、その後、湿式解砕して凝集度を5~35に調整し、中間層成形体用の原料粉末を調整する。湿式解砕は溶媒を用いて10~20時間ボールミルすることが望ましい。なお、中間層をSmO1.5が固溶したCeO2粉末より形成する場合も同様である。そして、凝集度が調製された中間層成形体の原料粉末に、溶媒としてトルエンを添加し、中間層用スラリーを作製し、このスラリーを固体電解質層成形体上に塗布して中間層成形体を作製する。なお、シート状の中間層成形体を作製し、これを固体電解質層成形体上に積層してもよい。続いて、調整層用材料ストロンチウムチタネート、有機バインダー及び溶媒を混合してスラリーを調製し、スクリーン印刷にて支持体成形体の他方の主面に位置する固体電解質成形体および燃料極層成形体の端部を覆うようにして塗布する。続いて、インターコネクタ用材料例えば、ランタンクロマイト粉末、有機バインダー及び溶媒を混合してスラリーを調製し、スクリーン印刷にて積層体成形体の支持体成形体の他方側主面上に塗布する。なお、インターコネクタ成形体は、ガス流路の配列方向に沿った端部側が、調整層成形体の上面に重なるように設ける。次いで、上記の積層体成形体を脱バインダー処理し、酸素含有雰囲気中、1400°C~1600°Cにて2~6時間、同時焼結同時焼成する。なお、中間層8を2層から形成する場合には、空気極層側の中間層は、同時焼成された中間層81層目の上面に、上述の中間層用スラリーを塗布した後、上記同時焼成時の温度よりも200°C以上低い温度にて焼成する。次いで、空気極層用材料例えば、LaSrCoFeO3粉末、溶媒および増孔剤を含有するスラリーをディッピング等により中間層上に塗布する。また、インターコネクタ6の所定の位置に、必要によりP型半導体層用材料例えば、LaCoO3粉末と溶媒とを含むスラリーを、ディッピング等により塗布し、1000~1300°Cで、2~6時間焼き付けることにより、図1に示す構造の燃料電池セル1を製造できる。なお、燃料電池セル1は、その後、内部に水素ガスを流し、支持体2および燃料極層3の還元処理を行なう。その際、例えば750~1000°Cにて5~20時間還元処理を行なうのが好ましい。以上のようにして作製された燃料電池セル1は、支持体2の他方の主面18上に、ストロンチウムチタネートを主体とする焼結体からなる調整層9とランタンクロマイトを主体とする焼結体からなるインターコネクタ6とが設けられていることから、還元処理における変形が抑制可能な燃料電池セル1とすることができる。なお、図2aに示した燃料電池セル10も上述の作製方法にて作製することができ、図2bに示した燃料電池セル11の場合は、支持体成形体の他方の主面上にインターコネクタ用材料の一部をスクリーン印刷等にて設けた後、調整層成形体を塗布し、その後、再度インターコネクタ用材料を塗布することで作製することができる。調整層9としてNiとMgとの酸化物により作製する場合は、調整層用材料としてのNiOおよびMgOと、有機バインダー及び溶媒を混合してスラリーを調製し、スクリーン印刷にて支持体成形体の他方の主面に位置する固体電解質成形体および燃料極層成形体の端部を覆うようにして塗布すればよい。また、支持体2の幅方向の一端から他端にわたって調整層9を設ける場合も同様に、スクリーン印刷等により設けることができ、調整層9をメッシュ状やドット状に設ける場合は、メッシュ状やドット状の製版を用いて、スクリーン印刷により作製することができる。インターコネクタ6をストロンチウムチタネートを主体として形成した場合に、インターコネクタ6が還元収縮を引き起こす場合があり、インターコネクタ6側が腹となった弓なり状の反りが生じる場合がある。この場合も燃料電池セル1にクラック等の破損を生じるおそれがあるほか、支持体2上に配置された燃料電池セル1を構成する各部材が剥離するおそれがある。その場合においては、還元膨張するランタンクロマイトを用いて調整層9を形成すればよい。それにより、調整層9が還元膨張することによりインターコネクタ6の還元収縮を抑えることができ、燃料電池セル1の変形を抑えることができる。調整層9としてランタンクロマイトを用いる場合には、前述したインターコネクタ6用に用いたランタンクロマイトを用いることができる。つまり、調整層9とインターコネクタ6は、還元時において膨張と収縮とそれぞれが逆の変形をするように組み合わせる必要がある。それにより、調整層9の還元膨張または還元収縮により、インターコネクタ6の還元収縮または還元膨張を抑えることができる。還元収縮するインターコネクタと、還元膨張する調整層とを有する燃料電池セルの製法としては、調整層用材料としてランタンクロマイト粉末を用い、インターコネクタ用材料としてストロンチウムチタネート粉末を用いればよく、その他の作り方は、上述した燃料電池セル1の作り方と同様である。図4は、上述した燃料電池セル1の複数個を、集電部材14を介して電気的に直列に接続して構成される燃料電池セル装置12以下、セルスタック装置12と称する場合がある。の一例を示したものであり、aはセルスタック装置12を概略的に示す側面図、bはaのセルスタック装置12の一部拡大平面図であり、aで示した点線枠で囲った部分を抜粋して示している。なお、bにおいてaで示した点線枠で囲った部分に対応する部分を明確とするために矢印にて示している。なお、セルスタック装置12においては、各燃料電池セル1を集電部材14を介して立設して配列することでセルスタック13を構成しており、各燃料電池セル1の下端部が、燃料電池セル1に燃料ガスを供給するためのガスタンク16に、ガラスシール材等の接着剤により固定されている。また、燃料電池セル1の配列方向の両端から集電部材14を介してセルスタック13を挟持するように、ガスタンク16に下端が固定された弾性変形可能な導電部材15を具備している。また、図4に示す導電部材15においては、燃料電池セル1の配列方向に沿って外側に向けて延びた形状で、セルスタック13燃料電池セル1の発電により生じる電流を引出すための電流引出し部17が設けられている。ここで、セルスタック装置12においては、上述した変形を抑制することが可能な燃料電池セル1を用いて、セルスタック13を構成することにより、長期信頼性の向上したセルスタック装置12とすることができる。図5は、セルスタック装置12を収納容器内に収納してなる燃料電池モジュール20の一例を示す外観斜視図であり、直方体状の収納容器21の内部に、図3に示したセルスタック装置12を収納して構成されている。なお、燃料電池セル1にて使用する燃料ガスを得るために、天然ガスや灯油等の原燃料を改質して燃料ガスを生成するための改質器22がセルスタック13の上方に配置されている。そして、改質器22で生成された燃料ガスは、ガス流通管23を介してガスタンク16に供給され、ガスタンク16を介して燃料電池セル1の内部に設けられたガス流路7に供給される。なお、図5においては、収納容器21の一部前後面を取り外し、内部に収納されているセルスタック装置12および改質器22を後方に取り出した状態を示している。ここで、図5に示した燃料電池モジュール20においては、セルスタック装置12を、収納容器21内にスライドして収納することが可能である。なお、セルスタック装置12は、改質器22を含むものとしても良い。また収納容器21の内部に設けられた酸素含有ガス導入部材24は、図5においてはガスタンク16に並置されたセルスタック13の間に配置されるとともに、酸素含有ガスが燃料ガスの流れに合わせて、燃料電池セル1の側方を下端部から上端部に向けて流れるように、燃料電池セル1の下端部に酸素含有ガスを供給する。そして、燃料電池セル1の燃料ガス流路より排出される燃料ガスと酸素含有ガスとを燃料電池セル1の上端部側で燃焼させることにより、燃料電池セル1の温度を上昇させることができ、セルスタック装置12の起動を早めることができる。また、燃料電池セル1の上端部側にて、燃料電池セル1のガス流路7から排出される燃料ガスと酸素含有ガスとを燃焼させることにより、燃料電池セル1セルスタック13の上方に配置された改質器22を効率よく温めることができる。それにより、改質器22で効率よく改質反応を行うことができる。さらに、燃料電池モジュール20においても、長期信頼性が向上した燃料電池セル1を用いて構成されるセルスタック装置12を収納容器21内に収納してなることから、長期信頼性が向上した燃料電池モジュール20とすることができる。図6は、外装ケース内に図5で示した燃料電池モジュール20と、セルスタック装置12を動作させるための補機とを収納してなる燃料電池装置の一実施形態を示す分解斜視図である。なお、図6においては一部構成を省略して示している。図6に示す燃料電池装置25は、支柱26と外装板27から構成される外装ケース内を仕切板28により上下に区画し、その上方側を上述した燃料電池モジュール20を収納するモジュール収納室29とし、下方側を燃料電池モジュール20を動作させるための補機類を収納する補機収納室30として構成されている。なお、補機収納室30に収納する補機類を省略して示している。また、仕切板28には、補機収納室30の空気をモジュール収納室29側に流すための空気流通口31が設けられており、モジュール収納室29を構成する外装板27の一部に、モジュール収納室29内の空気を排気するための排気口32が設けられている。このような燃料電池装置25においては、上述したように、長期信頼性を向上することができる燃料電池モジュール20をモジュール収納室29に収納して構成されることにより、長期信頼性の向上した燃料電池装置25とすることができる。以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、改良等が可能である。例えば、上述の例において、燃料電池セル1として、中空平板形状のものについて示したが、円筒状の燃料電池セルとすることもできる。なお、ガス流路7の内部に燃料ガスを流し内側電極を燃料極層3とし、燃料電池セルの外部に酸素含有ガスを流し外側電極を空気極層5とする構成について説明したが、ガス流路7の内部に酸素含有ガスを流し内側電極を空気極層5とし、燃料電池セルの外部に燃料ガスを流し外側電極を燃料極層3とする構成としてもよい。先ず、平均粒径0.5μmのNiO粉末と、平均粒径0.9μmのY2O3粉末を焼成-還元後における体積比率が、NiOが48体積、Y2O3が52体積になるように混合し、有機バインダーと溶媒にて作製した坏土を押出成形法にて成形し、乾燥、脱脂して支持体成形体を作製した。次に、8モルのYが固溶したマイクロトラック法による粒径が0.8μmのZrO2粉末固体電解質層原料粉末と有機バインダーと溶媒とを混合して得られたスラリーを用いて、ドクターブレード法にて厚み30μmの固体電解質層用シートを作製した。次に平均粒径0.5μmのNiO粉末とY2O3が固溶したZrO2粉末と有機バインダーと溶媒とを混合した燃料極層用スラリーを作製し、固体電解質層用シート上に燃料極層用スラリーを塗布して燃料極層成形体を形成した積層体成形体を形成し、燃料極層成形体側の面を下にして支持体成形体の一方側主面上から他方側主面上の一部に延設するようにして積層した。続いて、上記のように燃料極層成形体および固体電解質層成形体を積層した積層体成形体を1000°Cにて3時間仮焼処理した。次に、CeO2を85モル、他の希土類元素の酸化物GdO1.5を15モル含む複合酸化物を、溶媒としてイソプロピルアルコールIPAを用いて振動ミル又はボールミルにて粉砕し、900°Cにて4時間仮焼処理を行い、再度ボールミルにて解砕処理し、セラミック粒子の凝集度を調整し、中間層用の原料粉末を得た。この粉末にアクリル系バインダーとトルエンとを添加し、混合して作製した中間層用のスラリーを得られた積層仮焼体の固体電解質層仮焼体上に、スクリーン印刷法にて塗布し、中間層成形体を作製した。続いて、LaSrTiO3粉末と、有機バインダーと溶媒とを混合した調整層用スラリーを用いて、スクリーン印刷にて塗布して調整層成形体を塗布した。なお、試料No.1~3、6~8においては、調整層成形体が、支持体成形体の他方の主面に位置する固体電解質成形体および燃料極層成形体の端部を覆うように塗布して成形し表1中で両端部と表現する。、試料No.4においては、調整層成形体が、支持体成形体の他方の主面のガス流路の配列方向に沿った中央部上に位置するように覆うように塗布して成形した表1中で中央部と表現する。。なお、ガス流路の配列方向に沿う方向における調整層成形体の幅の合計が、表1に示した値となるようにして作製した。続いて、LaCrO3粉末と、有機バインダーと溶媒とを混合したインターコネクタ用スラリーを用いて、支持体成形体の他方の主面上に、インターコネクタの両端部が調整層成形体上に位置するように、スクリーン印刷によりインターコネクタ成形体を設けた。なお、試料No.5においては、インターコネクタ用スラリーをスクリーン印刷にて支持体成形体の他方側主面上に塗布した後、調整層用スラリーを支持体成形体のガス流路の配列方向に沿った中央部に位置するようにスクリーン印刷にて塗布し、再度インターコネクタ用スラリーを塗布して成形した表1中で内部と表現する。。そして、これらの各層が積層された各試料を、大気中1480°Cにて2時間同時焼成した。なお各試料につき10個の燃料電池セルを作製した。次に、平均粒径2μmのLaSrCoFeO3の粉末と、イソプロピルアルコールとからなる混合液を作製し、積層焼結体の中間層の表面に噴霧塗布し、空気極層成形体を形成し、1100°Cにて2時間で焼き付け、空気極層を形成し、表1に示す構成の燃料電池セルを作製した。なお、作製した燃料電池セルの寸法は30mm×200mmで、支持体の厚み主面n間の厚みは2mm、気孔率35、燃料極層の厚さは10μm、気孔率24、空気極層の厚みは50μm、気孔率40、固体電解質層の相対密度は97であった。上記の作製した各燃料電池セルの内部ガス流路に、水素ガスを流し、850°Cで10時間支持体および燃料極層の還元処理を施した。この時に還元前後でセルの反り状態を表面粗さ計を用いて反りを測定し、変形量を測定した。測定は、インターコネクタが下側になるように燃料電池セルを横にして、両端から10mm以外の部分で、且つ燃料電池セルの幅方向ガス流路の配列方向中心軸に沿って表面粗さ計で表面粗さを長手方向に測定して、得られた曲線を断面曲線とした。この断面曲線を用いて図8a、bに示すように還元処理前後で反り曲線を求め、図8cに示すように、還元処理前後での反り曲線の両端を重ね、最大幅の部分を反りLhとして測定して各試料における平均値を求め、表1に記載した。得られた燃料電池セルの燃料ガス流路に燃料ガスを流通させ、セルの外側に酸素含有ガスを流通させ、燃料電池セルを電気炉を用いて750°Cまで加熱し、発電試験を行い、3時間後の出力密度を測定した。表1の結果より、調整層を設けていない試料No.9においては、反りLhが300μmと大きかった。一方、調整層を設けた試料No.1~No.8においては、反りLhが120μm以下であり、反りを抑制できることが確認できた。なお、調整層の幅ガス流路の配列方向に沿った方向における幅の合計/支持体の主面の幅ガス流路の配列方向に沿った方向における幅が、1/10~1/2である試料No.2~No.6においては、反りLhが100μm以下と小さく、また出力密度が0.240W/cm2以上であり、燃料電池セルの変形を抑制できるとともに、インターコネクタによる集電効率が低下することを抑制できることがわかった。実施例1と同様の方法で、固体電解質層仮焼体上に中間層成形体を作製した。次に、MgO粉末と、NiO粉末とをモル比で50:10になるように混ぜ合わせた。また、Y2O3粉末またはAl2O3粉末を添加する場合は、MgO粉末とNiO粉末との合計と、Y2O3粉末またはAl2O3粉末のモル比が表2に示すモル比になるように原料粉末を混合して調整層用粉末を作製した。この調整層用粉末と、有機バインダーと、溶媒とを混合した調整層用スラリーを用いて、スクリーン印刷にて塗布して調整層成形体を表1中で中央部と表現した部位に表2で示す幅となるように塗布した。そして、実施例1と同様の方法で、燃料電池セルの変形量および出力密度を測定した。燃料電池セルの出力密度が他の燃料電池セルの出力密度の70以下の場合に、燃料電池セルの断面をSEM走査線型電子顕微鏡で確認し、インターコネクタと支持体とに剥離が生じているかを確認した。剥離が生じていた場合には、インターコネクタと支持体とに剥離が生じていると判定した。なお、出力密度を算出する際に、剥離が生じた燃料電池セルは母集団から除外して算出した。表2の結果より、MgとNiとの酸化物を含有する調整層を設けた試料No.10~16は、燃料電池セルの反りを110μm以下とすることができ、有効に燃料電池セルの反りを抑えることができた。また、Y2O3またはAl2O3を含有する試料No.11~16は、インターコネクタと支持体との間に剥離が生じた燃料電池セルはなく、Y2O3またはAl2O3を添加することで、インターコネクタと支持体との間の剥離を抑えることがわかった。