"金属シートから形成されたマイクロ流体素子であって、前記金属シートは、構造化されたもしくは構造化されていない表面を有する少なくとも1つの第1区域及び/または第2区域と、輪郭端部を有する少なくとも1つの第3区域と、を有し、互いに一体的に連結される前記第1区域及び前記第3区域、並びに/または、前記第2区域及び前記第3区域が、表面が平行に重なり合うように折られ、前記輪郭端部は開いた流路の第1の壁部を形成し、隣の構造化されたまたは構造化されていない表面は開いた流路の第2の壁部を形成するマイクロ流体素子。閉じた流路を構成する構造体を有する金属シートによって形成され、前記閉じた流路は、前記金属シートの第1区域の構造化された表面と、前記金属シートの隣の構造化されたまたは構造化されていない表面と、から構成され、互いに一体的に連結される前記第1区域及び第2区域が表面が平行に重なり合うように、前記金属シートが折られる請求項1に記載のマイクロ流体素子。前記構造化された表面はエンボス加工された表面である請求項1または2に記載のマイクロ流体素子。前記構造化された表面は、波形形状である請求項1~3のいずれか1項に記載のマイクロ流体素子。前記閉じた流路は、前記開いた流路に流入する閉じたチャンネルを形成する請求項2~4のいずれか1項に記載のマイクロ流体素子。前記開いた流路は、いくつかの前記閉じたチャンネルから流体を寄せ集める収集構造、または、いくつかの前記閉じたチャンネルに前記流体を分配する分配構造である請求項5に記載のマイクロ流体素子。前記第1区域の前記構造化された表面及び/または前記第2区域の前記構造化されたもしくは構造化されていない表面は、少なくとも前記閉じた流路及び/または前記開いた流路の領域において、コーティングされる請求項2~6のいずれか1項に記載のマイクロ流体素子。請求項1~7のいずれか1項に記載のマイクロ流体素子が複数積み重ねられ、特定の開口部を除いて、周囲に沿って流体密封して連結されるマイクロ流体反応器。請求項1に記載の開いた流路を有するマイクロ流体素子の少なくとも1つは、当該マイクロ流体素子の前記開いた流路と、隣接するマイクロ流体素子の前記第1区域または前記第2区域の構造化されたまたは構造化されていない表面と、が閉じた流路を形成するように、前記隣接するマイクロ流体素子と隣り合う請求項8に記載のマイクロ流体反応器。構造化されたもしくは構造化されていない表面を有する少なくとも1つの第1区域及び/または第2区域と、輪郭端部を有する少なくとも1つの第3区域と、が設けられた金属シートが、前記輪郭端部を有する前記第3区域が構造化されたもしくは構造化されていない表面を有する前記第1区域及び/または前記第2区域に対して表面が平行に重なり合うように、折られ、前記輪郭端部は開いた流路の第1の壁部を形成し、折る工程後の隣接する構造化されたまたは構造化されていない表面は前記開いた流路の第2の壁部を形成するマイクロ流体素子の製造方法。構造化された表面を有する少なくとも1つの第1区域と、構造化されたまたは構造化されていない表面を有する少なくとも1つの第2区域と、が設けられた金属シートは、前記第1区域が前記第2区域に対して表面が平行に重なり合うように折られ、前記第1区域の前記構造化された表面は、前記第2区域の隣接する前記構造化されたまたは構造化されていない表面とともに、閉じた流路を形成する請求項10に記載のマイクロ流体素子の製造方法。前記構造化された表面は、折る工程の前にエンボス加工の工程において形成される請求項10または11に記載のマイクロ流体素子の製造方法。前記構造化された表面は、波形形状にエンボス加工することによって形成される請求項12に記載のマイクロ流体素子の製造方法。エンボス加工工程及び折る工程は、連続して、進化した複合の金型によって行われる請求項12または13に記載のマイクロ流体素子の製造方法。前記輪郭端部は、前記折る工程の前に打ち抜き工程によって形成される請求項10に記載のマイクロ流体素子の製造方法。前記閉じた流路が前記開いた流路に流入する閉じたチャンネルを形成するように、前記金属シートが折られる請求項11~15のいずれか1項に記載のマイクロ流体素子の製造方法。打ち抜き工程、エンボス加工工程、及び折る工程は、連続して、進化した複数の金型によって行われる請求項11~16のいずれか1項に記載のマイクロ流体素子の製造方法。前記第1区域の前記構造化された表面及び/または前記第2区域の構造化されたもしくは構造化されていない表面は、少なくとも前記閉じた流路及び/または開いた流路の領域において、コーティングされる請求項11~17のいずれか1項に記載のマイクロ流体素子の製造方法。前記第1区域の前記構造化された表面及び/または前記第2区域の構造化されたもしくは構造化されていない表面は、シルクスクリーン工程によってコーティングされる請求項18に記載のマイクロ流体素子の製造方法。請求項11~19のいずれか1項に記載のマイクロ流体素子の製造方法によって製造されたマイクロ流体素子を複数有するマイクロ流体反応器の製造方法であって、折られた後のいくつかの前記マイクロ流体素子は積み重ねられ、特定の開口部を除いて、周囲に沿って流体密封して溶接されるマイクロ流体反応器の製造方法。複数の前記マイクロ流体素子の少なくとも1つは、請求項12に記載の開いた流路を形成し、前記開いた流路は、隣に重ね合されたマイクロ流体素子の前記構造化されたまたは構造化されていない表面の層によって閉じられる請求項20に記載のマイクロ流体反応器の製造方法。複数の前記マイクロ流体素子はレーザー溶接される請求項20または21に記載のマイクロ流体反応器の製造方法。図1A~図1Fは、順に、プレート、ブランク材、中間生成物、及び本発明に係る製造方法によって製造されたマイクロ流体素子の最終生成物を示す。図1Aは、好ましくは精錬鋼シートである金属片10の切り出しを示し、マイクロ流体素子の製造のために明確な外観形状を有するブランク材は、点線の曲線12に沿って切り離される。切り離されるとはここでは、押し抜き、ノコギリカット、レーザーカット、切断のようなさまざまな分離工程の総称であり、ここでは、押し抜きが好ましい。金属片は、例えば、大概いわゆるコイルに巻かれた長い帯状の構成からほどかれて供給される。図1Aに示される金属片の代わりに、複数のブランク材が幅広のシートから押し抜きされてもよく、また個々のブランク材が切断されたプレートから押し抜きされてもよい。構造体の材料の選択は、周辺部、機械/設備の有効性、ブランク材の要求される外観形状、及び付随する切断パターンの最適化廃棄物の最小化、すなわち、製造工程の簡略さに依存する。材料には、ハンダ付けや溶接して、流体密封することが求められ、特に、レーザー溶接によって、触媒材料が好適に付着すること、反応熱に対する耐熱性を有することが求められる。ブランク材を押し抜きすることは、例えば、予め加工されたブランク材が最初の材料である場合には必ずしも本発明の製造方法の一部として必要ではない。しかしながら、押し抜きが製造工程としてまとめられる進化した複合の金型を用いるときは、本発明の製造方法の一部としてカウントされ得る。押し抜き自体は、いくつかの工程において行われうる。押し抜き及びエンボス加工は、連続的に起こりうる。ある方法または別の方法によって製造されたブランク材からスタートし、図1Bに示す中間生成物となり、中間生成物は、構造化された表面を有する第1区域21、隣接し構造化されていない表面を有する第2区域22、及び外側に輪郭端部25,26を有する2つの第3区域23,24に、機能的に分けられる。第1区域21の構造化された表面は、第1区域21の長手方向に直交するマイクロチャンネルを有する。マイクロチャンネルは、押し抜きが行われた後に、シート部分の一方の面をエンボス加工されて、または公知の化学的、電気的、化学電気的、または機械的な材料除去方法によって構造化された表面が取り入れられる。後者の方法は、大量生産において一般的ではないが、本発明はそのような工程を除外するものではない。もちろん、好適な結果を提供するときは、エンボス加工方法が経済的な大量生産に好ましい。一方の面に構造化された表面が取り入れられたマイクロ構造体の代わりに、構造化された表面は、すべてのシート部分の波形形状を構成してもよい。すなわち構造化された表面構造は、シート部分の両面に設けられる。ここで使用される成形方法は、深絞り、ストレッチ成形及び深絞りの組み合わせ、またはプロファイルローリング曲げである。続いて、図1C及び図1Dは、第3区域23,24が第2区域22の構造化されていない表面と平行に重なり合うまで、金属シートが定義された曲げ線不図示に沿ってそれぞれ90度ずつ折り曲げられる成形工程を説明するために使用される。この状況は図1Dに描かれる。この状況において、第1区域22の構造化されていない表面に対して、第3区域23,24の輪郭端部25,26に沿って、突起が形成される。2つの続く作業工程において、第1区域21の構造化された表面が、第2区域22の構造化されていない表面と平行に重なり合うように、定義された曲げ線不図示に沿って、90度ずつ折られる。この状況は、図1Fに描かれる。この状況において、マイクロ流体素子の製造は終了する。第1区域、第2区域、及び第3区域は単一の部材として結合される。第1区域21の表面上で折られる前にオープンであったマイクロチャンネルは、第2区域22に面する表面上に折られた後に閉じたチャンネルを形成する外観となり、第1区域21の構造化された表面と第2区域22の構造化されていない表面とは隣接する。第3区域23,24の輪郭端部25,26は、図1Fの曲げられた状態において、第1の壁部を形成し、第1の壁部は、第2区域22の構造化されていない表面上に、原則垂直に立つ。第2区域22の構造化されていない表面は、第2の壁部を形成する。2つの壁部は、第1区域21によって分離される2つのくぼみ27、28によって形成される開いた流路を定義する。第1区域21は、第2区域22に隣接する位置及び第2区域22から離れた位置の端部に、突出部29,30を有する。2つの第3区域23,24は、それぞれ似た形状の突出部31,32を有し、それぞれの突出部31,32は、本発明の意味での輪郭端部の一部を定義する。突出部29,30も同様に、本発明の意味において、輪郭端部を定義する。全ての4つの突出部は、共に、対角線上の反対側に設けられる流体の入口及びドレインとして設けられる開口部33,34を除いて、くぼみ27,28の境界となる。くぼみ27,28はそれぞれ、本明細書の意味において、開いた流路を形成する。くぼみ28は、流体の流れを分配する分配構造としての機能があり、例えば、開口部34入口からくぼみ28を通り、第1区域21及び第2区域22の間においてくぼみ28に流入させる閉じたチャンネルに分配され、これらのチャンネルによって、第2の開いた流路27に輸送される。このように、くぼみ27は、くぼみ27に流入させる閉じたチャンネルからの流体を収集する収集構造として設けられる。収集された流体は、開口部33ドレインを介して、最終的に取り去られる。矢印は、流体の流れ工程を示す。くぼみ28分配構造及びくぼみ27収集構造は、流体の流路方向のため機能の面においてのみ異なる。構造的に、それらは同一である。図1A~図1Fは、本発明において、個別のマイクロ流体素子が工業的に金属シートの製造技術によって連続的に製造されることを明らかにしており、マイクロ流体素子のマイクロ構造体は、マイクロチャンネルに限定されるわけでなく、例えば流体分配器のようなマイクロ構造要素をも含む。例えば、図1Fのマイクロ流体素子は、広い意味のマイクロ流体反応器の構成として使用されうる。このようなマイクロ流体反応器において、同様のまたは異なった構造及び機能を有する複数のマイクロ流体素子が重ね合わされる。開いた流路を有するそれぞれのマイクロ流体素子が、隣接するマイクロ流体素子の構造化されたまたは構造化されていない表面によって閉じられるように、隣接するマイクロ流体素子は配置される。特に閉じるために、本発明の意味におけるマイクロ流体素子は、カバー素子として構成される。この手段について、図7及び図8を参照して後述する。マイクロ流体反応器の適用目的から、図1Fの構成において、第1区域21の構造化された表面及び/または、まれに第2区域22の構造化されていない表面に、触媒がコーティングされていることが好ましい。コーティング方法として、シルクスクリーン技術が用いられることが好ましい。図2~図5には、本発明に係るマイクロ流体素子の例として、4つの異なる折られた断面図が示される。図2には、金属シートが構造化された表面を有する第1区域41及び構造化されていない表面を有する第2区域42を有する、マイクロ流体素子が示される。2つの区域41、42が1つの部材として表面が平行に重ね合わさって連結されるように、金属シートは、折端44に沿って折られる。このように、第1区域41の下面に設けられた構造化された表面45は、第2区域42の上面に設けられた構造化されていない表面46とともに、閉じられた流路48を形成する。第1区域41は、波形形状に構造化されており、このため、第1区域41の上面49上でさえ、折られた後に、開いた流路を形成する構造要素を有する。図3に示されるように、マイクロ流体素子の実施形態の一例は、輪郭端部50を有する区域52及び構造化されていない表面54を有する区域56が設けられた金属シートを構成する。シートは、曲げ端57に沿って折られ、一体的に連結された区域52及び区域56は、表面が平行に重ね合わされ、輪郭端部50は、開いた流路58の第1の壁部を形成し、区域56の構造化されていない表面54は、開いた流路58の第2の壁部を形成する。図1A~図1Fのマイクロ流体素子は、図2及び図3に説明される本発明の両方の側面に兼ね備えられる。図4に示されるマイクロ流体素子の実施形態の一例は、図3のマイクロ流体素子に似た構成を有する。輪郭端部60を有する区域62及び構造化された表面64を有する区域66が設けられた金属シートから構成される。表面64が構造化されている点において、図3と異なる。2つの区域62及び66は、同様に、折端67に沿って折られ、それらは表面が平行に重なり合い、輪郭端部60は、開いた流路68の第1の壁部を形成し、構造化された表面64は、開いた流路68の第2の壁部を形成する。波形形状のおかげで、複数の開いた流路は、表面64上に形成され、第1流路68 ́にのみ輪郭端部60によって境界が設けられる。区域66の構造は同様に波形形状であるため、区域66の下面の構造化された表面は、開いた流路69を提供する。図5に示されるマイクロ流体素子の実施形態の一例は、曲げ端74に沿って折られた第1区域71及び第2区域72が設けられた金属シートを構成し、一体的に連結された第1区域71及び第2区域72は、表面が平行に重ね合される。第1区域71は構造化された表面75を有し、第2区域72は同様に構造化された表面76を有する。構造化された表面75,76は、折られた後に、互いに隣接し、閉じた流路78を形成する。明らかなことだが、あらゆる構造要素は、図2~図5に示されるそれぞれのマイクロ流体素子の表面においてエンボス加工される。特に、図2~図5に示される構造化された区域はそれぞれ波形形状を有し、波形形状は例えば、金属を曲げるまたは深絞りして形成され、その結果、区域の2つの表面上の構造は相補型の特徴を有する。しかしこれは、1つの選択肢にすぎない。上述したように、対応する区域は片側にエンボス加工がされてもよい。この例は、図8において説明される。ここで説明されるすべての例において、第3区域23,24,52,62は曲げ端と比較して短く、比較的長い曲げ端に沿って折られる。しかしながら、必ずしもこのような限定はされない。当業者であれば、要求に応じて、かつ効率良く、切断パターン及び折りパターンを選ぶことができる。図6は、本発明のマイクロ流体反応器の実施形態の一例を示す分解組立図である。この例において、マイクロ流体反応器80はいわゆる、平板状の熱交換反応器である。マイクロ流体反応器80は、例示されるように、3つの異なるマイクロ流体素子81,82,83から構成され、重ね合わされることによってアッセンブリ―され反応器モジュール84を構成する。複数の反応器モジュール84は、順に積み重ねられ、特定の開口部を除いて、周囲に沿って流体密封して溶接され、反応器スタックを構成する。流体を導入するために、反応器スタックの高さ方向に沿って半分に切断されたチューブ85が反応器スタックの2つの反対の端部において溶接されて取り付けられ、チューブ85は、マイクロ流体素子と同じ材料、すなわち精錬鋼シートからなることが好ましい。好ましくは精錬鋼からなる流体分配ボックス86は、チューブ85と垂直方向に反応器スタックの端面に沿って横たわった状態で、溶接されて取り付けられ、それぞれには流体入口及び流体出口が設けられる。このように3つのマイクロ流体素子から構成される反応器モジュール84は、図7に断面図として示される。本実施形態に係る反応器モジュール84は、重ね合わされた3つの異なるマイクロ流体素子、すなわち、改良reformerモジュール90、バーナーburnerモジュール100、及びカバーモジュール110から構成される。これらの配置の仕方が、図7に示される。改良モジュール90は、原則として、図4に示すデザインに対応し、輪郭端部93を有する区域92及び構造化された表面95を有する区域94を有する。区域94は金属シートを波形形状に伸ばして形成され、これによって区域94の反対面96は相補型の構造を有する。バーナーモジュール100は、図2のデザインに対応し、構造化された表面103を有する第1区域102と、構造化されていない表面105を有する第2区域104と、を有する。第1区域102は波形形状を有し、バーナーモジュール100の外面に、構造化された表面106を有する。例えば、バーナーモジュール100は、図1A~図1Fのマイクロ流体素子のように組み立てることが出きる。バーナーモジュール100は、ここに示される断面と垂直な断面に沿う輪郭端部が設けられ、開いた流体分配器を定義する3つの区域を有する。カバーモジュール110は、図3のデザインに対応するマイクロ流体素子である。カバーモジュール110は、輪郭端部113が設けられた区域112及び構造化されていない表面115が設けられた区域114を有する。3つのマイクロ流体素子は、カバーモジュール110の構造化されていない表面115が、バーナーモジュール100の外面の構造化された表面106に隣接するように重なり合って積層される。さらに改良モジュール90の区域94の構造化された表面95は、バーナーモジュール100の第2区域104の構造化されていない外面と隣接する。このような反応器モジュール84のスタックにおいて、改良モジュール90の上面は、隣の反応器モジュールの、破線で示される、カバーモジュール110 ́の構造化されていない底面と隣接する。この構成において、改良モジュール90の構造化された内側の表面95によって構成された開いた流路は、バーナーモジュール100の第2区域104の構造化されていない外面107と一緒になり、改良モジュール90の構造化された外側の表面96によって構成される開いた流路は、隣のカバーモジュール110 ́の構造化されていない外面と一緒になり、バーナーモジュールの閉じた流路97を形成する。流れは、流体分配器86を横切る端面において、それらに到着する。バーナーモジュール100は、まず第1に、構造化された表面103及び構造化されていない表面105の間に上述した閉じた流路を形成する。さらに、バーナーモジュール100の第1区域102の外側の構造化された表面106によって形成された開いた流路108は、カバーモジュール110の区域114の構造化されていない内側の表面115とともに、閉じた流路108を形成する。このように、バーナーモジュールの閉じたチャンネルの数は増加する。バーナーモジュールのすべてのチャンネルにおいて良好に流れるために、カバーモジュール110は輪郭端部が描かれる平面に垂直に折られた追加の区域を有することが好ましく、図1A~図1Fにおけるバーナーモジュールの第3区域の輪郭端部の製造工程に対応して製造される。このように、流体分配器不図示は、バーナーモジュール100の第2区域104の内側の表面105と、カバーモジュール110の区域114の内側の表面115と、の間の全スペースに渡って、モジュールの平面に沿って伸びる。図8は、構造的に1つの差を除いて図7の反応器モジュール84に対応する、マイクロ流体反応器84 ́の別の実施形態を示す。改良モジュール90 ́は、曲げ端が図面の平面に対して垂直ではなく平行に走る区域92 ́を有する。それゆえ、区域92 ́は、断面図に描かれるように、接続されていない要素に見え、改良モジュール90 ́の構造化された表面95 ́,96 ́を有する区域94 ́と結合されていない。図9は、機能的には反応器モジュール84に対応するが、2つのみのマイクロ流体素子すなわち、改良モジュール90及びバーナーモジュール121を有する、マイクロ流体反応器120の別の実施形態を示す。改良モジュール90は図7の改良モジュール90にすべての細部まで対応しているため、ここでは説明を省略する。カバーモジュールはこの反応器モジュール120において必要ではない。その理由は、バーナーモジュール121のデザインが変更されており、バーナーモジュール121は、構造化された表面123を有する第1区域122と、構造化されていない表面125を有する第2区域124と、を有する。第1区域122の構造化された表面123及び第2区域124の構造化されていない表面125の間には、閉じた流路128が形成される。この点においては、バーナーモジュール121は、図7のバーナーモジュール100と異ならない。差異は、金属シートの第1区域122の構造化された表面123のみにエンボス加工されており、反対側の面127は構造化されていない点である。結果として、バーナーモジュール121の折られた金属シートは、両方の外面に構造化されていない表面127,129を有する。バーナーモジュール121は改良モジュール90が上方に配置され、改良モジュール90の下面は同一の反応器モジュールを構成するバーナーモジュール121の表面127に隣接し、また、改良モジュール90の上面は隣接する反応器モジュールを構成するバーナーモジュール121の表面129に隣接する。開いた流路及び閉じた流路の代表的な深さは、波形形状を有する金属シートのシート厚さの範囲である。これは、一度折られたシートの厚みがシート厚さの2倍に対応するため、側部の全厚、すなわち、側面深さ及びシート厚さの和が、シートの厚さの2倍に対応すべきであることに起因しており、その結果、図7,8に示すように平行なスタックが形成される。一方の側にエンボス加工された構造体において、側面深さは、一般的に、シート厚さの10~60の範囲内である。マイクロ流体構造の示された寸法から示される金属シートは非常に薄く、すなわち金属箔で数μmの厚さである。ここでは、実施形態として説明しないが、一体的に接続されたシートのいくつかの層が表面が平行に重なり合うように複数折られた金属シートの区域が、本発明の一部に考慮されることは明らかである。結果として生じる開いた流路及び閉じた流路の幅は、アプリケーションによって異なりうる。開いた流路または閉じた流路の場合において、幅は、100nm~1mmの範囲であって、深さの大きさは、25μmから1mmが好ましい。ポケット状の流体分配器の場合において、横寸法は任意に設定でき、要求されるまたは必須の流体の状況に依存する。"