"液体が内在し前記液体の流れる方向を規制し柔軟な面を有する容器と、前記容器内に設置され前記液体が流れる方向を検出する流れ方向検出部と、を備え、前記流れ方向検出部が複数設置されていることを特徴とする接触センサー。請求項1に記載の接触センサーであって、前記容器は前記液体を挟む第1基板と第2基板とを有し、前記柔軟な面は前記第1基板と前記第2基板との少なくとも一方に設置され、前記流れ方向検出部は前記第1基板の平面視において複数の線上に配置されていることを特徴とする接触センサー。請求項2に記載の接触センサーであって、前記流れ方向検出部が設置された数の密度が異なる場所を有することを特徴とする接触センサー。請求項2または3に記載の接触センサーであって、前記液体が流れて広がる方向が平行となる複数の流路を有し、前記複数の流路の各々に複数の流れ方向検出部が設置され、前記液体が流れる方向と直交する方向から見て前記流れ方向検出部が重ならない配置となっていることを特徴とする接触センサー。請求項1に記載の接触センサーであって、前記容器は前記液体を所定の方向に往復可能に規制していることを特徴とする接触センサー。請求項5に記載の接触センサーであって、前記液体が交差する方向に流れる複数の流路を有し、前記複数の流路の各々に複数の流れ方向検出部が設置されていることを特徴とする接触センサー。表面に接触センサーを備えたロボットハンドであって、前記接触センサーに請求項1~6のいずれか一項に記載の接触センサーを備えることを特徴とするロボットハンド。請求項7に記載のロボットハンドであって、掌部と前記掌部に対して移動可能な指部とを備え、前記指部の先は、前記掌部より前記流れ方向検出部の密度が高いことを特徴とするロボットハンド。ロボットハンドを備えたロボットであって、前記ロボットハンドに請求項7または8に記載のロボットハンドを備えることを特徴とするロボット。ロボットハンドに物体が接触した場所を検出するには複数の検出部を配置するのが有効である。そして、検出部に物体が触れるとき場所を特定することができる。しかし、検出部のない場所でロボットハンドに物体が接触するときには物体が検出できない。検出漏れをなくすには、可能な限り検出部を配置することが要求される。この形態のセンサーを製造するのは簡単ではない。そこで、検出部が設置された場所以外でも物体が接触した場所を検出することができる接触センサーが望まれていた。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例にかかる接触センサーは、液体が内在し前記液体の流れる方向を規制し柔軟な面を有する容器と、前記容器内に設置され前記液体が流れる方向を検出する流れ方向検出部と、を備え、前記流れ方向検出部が複数設置されていることを特徴とする。本適用例によれば、容器は柔軟な面を有しており、柔軟な面に物体が接触するとき柔軟な面は凹む。容器の中には液体が内在しており、凹んだ場所から離れる方向に液体が流動する。容器内には液体の流れる方向を検出する流れ方向検出部が複数設置されている。そして、複数の流れ方向検出部が検出する液体の流れ方向の分布から液体の流れはじめた場所を検出することができる。その結果、流れ方向検出部の間で物体が接触した場所を検出することができる。[適用例2]上記適用例にかかる接触センサーにおいて、前記容器は前記液体を挟む第1基板と第2基板とを有し、前記柔軟な面は前記第1基板と前記第2基板との少なくとも一方に設置され、前記流れ方向検出部は前記第1基板の平面視において複数の線上に配置されていることを特徴とする。本適用例によれば、容器は第1基板と第2基板とを有しており、液体が第1基板と第2基板とに挟まれている。柔軟な面に物体が接触するとき柔軟な面が凹む。このとき、凹んだ場所から離れる方向に放射状に液体が流動する。流れ方向検出部は複数の線上に配置されており、各流れ方向検出部が液体の流れる方向を検出する。そして、各流れ方向検出部において液体の流れる方向が交差する場所を演算することにより凹んだ場所を検出することができる。従って、接触センサーの平面視において接触センサーと物体とが接触した場所を検出することができる。[適用例3]上記適用例にかかる接触センサーにおいて、前記流れ方向検出部が設置された数の密度が異なる場所を有することを特徴とする。本適用例によれば、接触センサーには接触センサー密度が高い場所と低い場所とがある。従って、接触した場所を検出する感度の高い場所と低い場所との分布を設定することができる。[適用例4]上記適用例にかかる接触センサーにおいて、前記液体が流れて広がる方向が平行となる複数の流路を有し、前記複数の流路の各々に複数の流れ方向検出部が設置され、前記液体が流れる方向と直交する方向から見て前記流れ方向検出部が重ならない配置となっていることを特徴とする。本適用例によれば、接触センサーには液体が広がって流れる方向が平行となる複数の流路が設置されている。そして、各流路に設置された流れ方向検出部は液体が流れる方向と直交する方向から見て重ならない配置となっている。従って、接触センサーに液体が広がって流れる方向に1つの流路が設置されているときに比べて、流れ方向検出部が配置された数の密度を高くすることができる。その結果、接触センサーの感度を高感度にすることができる。[適用例5]上記適用例にかかる接触センサーにおいて、前記容器は前記液体を所定の方向に往復可能に規制していることを特徴とする。本適用例によれば、容器に物体が接触したときに液体が移動する方向が所定の方向に限定されている。従って、接触した場所から全方向に液体が移動するときに比べて所定の方向に液体が移動する量を多くすることができる。従って、流れ方向検出部は感度良く液体の流れ方向を検出することができる為、接触センサーの感度を高感度にすることができる。[適用例6]上記適用例にかかる接触センサーにおいて、前記液体が交差する方向に流れる複数の流路を有し、前記複数の流路の各々に複数の流れ方向検出部が設置されていることを特徴とする。本適用例によれば、容器に物体が接触したときに交差する複数の方向に液体が移動する。従って、複数の方向において液体が流れる方向を検出することができる。これにより、流れ方向検出部は各流路方向における接触場所を精度良く検出できる。従って、複数の方向の流路において液体の流れから被接触物の形状によらず接触した場所を精度良く推定することができる。[適用例7]本適用例にかかるロボットハンドは、表面に接触センサーを備えたロボットハンドであって、前記接触センサーに上記に記載の接触センサーを備えることを特徴とする。本適用例によれば、ロボットハンドは表面に上記に記載の接触センサーを備えている。従って、ロボットハンドが物体に接触するときに接触した場所を検出することができる。そして、接触センサーは流れ方向検出部の間に物体が接触するときにも接触した場所を検出することができる。[適用例8]上記適用例にかかるロボットハンドにおいて、掌部と前記掌部に対して移動可能な指部とを備え、前記指部の先は、前記掌部より前記流れ方向検出部の密度が高いことを特徴とする。本適用例によれば、ロボットハンドは掌部と指部とを備えている。そして、指部の先は、掌部より流れ方向検出部の密度が高い。従って、ロボットハンドは指部にて物体に接触して物体の位置を検出することができる。このとき、指部における流れ方向検出部の密度が高い為、指部にて位置精度良く物体の位置を検出することができる。[適用例9]本適用例にかかるロボットは、ロボットハンドを備えたロボットであって、前記ロボットハンドに上記に記載のロボットハンドを備えることを特徴とする。本適用例によれば、ロボットは表面に上記に記載の接触センサーを有するロボットハンドを備えている。従って、ロボットはロボットハンドを物体に接触させて物体の場所を検出することができる。そして、ロボットハンドは流れ方向検出部の間に物体が接触するときにも接触した場所を検出することができる。以下、構造に特徴のある接触センサーの実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。第1の実施形態本実施形態では、接触センサーの特徴的な例について図1~図4に従って説明する。図1aは、接触センサーの構造を示す概略斜視図であり、図1bは、接触センサーの構造を示す模式断面図である。図1に示すように、接触センサー1は四角形の下層配線基板2を備えている。下層配線基板2の上面2aには一方向に延在する第1配線3が配置されている。第1配線3が延在する方向をX方向とし、上面2a上でX方向と直交する方向をY方向とする。そして、上面2aの法線方向で上面2aが向く方向をZ方向とする。第1配線3は3つの第1配線3が並んで配置され1つの組となっている。そして、間隔を空けて4つの組の第1配線3が配置されている。従って、12本の第1配線3が配置されている。下層配線基板2のZ方向側には上層配線基板4が重ねて設置され、下層配線基板2と上層配線基板4とは接着剤により固定されている。上層配線基板4のZ方向を向く上面4aにはY方向に延在する第2配線5が配置されている。従って、第1配線3と第2配線5とは直交するように配置されている。第2配線5は第1配線3と同様に3つの第2配線5が並んで配置され1つの組となっている。そして、間隔を空けて5つの組の第2配線5が配置されている。従って、15本の第2配線5が配置されている。上層配線基板4のZ方向側には第2基板6が重ねて設置され、上層配線基板4と第2基板6とは接着剤により固定されている。第2基板6のZ方向を向く上面6aには流れ方向検出部7が格子状に配置されている。つまり、流れ方向検出部7は第2基板6の平面視において複数の線上に配置されている。流れ方向検出部7の列数は特に限定されないが、本実施形態では例えば、X方向に並ぶ列が4列配置されY方向に並ぶ列が5列配置されている。そして、流れ方向検出部7は第2基板6の周囲を除く場所に分散して配置されている。第2基板6の四隅の近辺には支持柱8が設置され、第2基板6と対向する場所には支持柱8と接続する第1基板9が設置されている。流れ方向検出部7のZ方向の高さは支持柱8と同じ高さになっており、第1基板9は流れ方向検出部7及び支持柱8に支持される。接触センサー1の側面には全周を囲んで側壁部10が設置されている。そして、第2基板6、第1基板9、及び側壁部10により容器11が形成されている。容器11の内部には液体12が充填され、液体12は容器11から漏洩しないように側壁部10によって密閉されている。そして、容器11内は液体12がXY平面を流動する流路11aとなっている。液体12の材料は特に限定されないが絶縁性があって粘性のある材料がさらに好ましく、例えば、純水や純水に絶縁性の樹脂を添加した液体、シリコンオイル、等を用いることができる。本実施形態では例えば液体12の材料にシリコンオイルを採用している。第1基板9の材料は弾性体であればよく特に限定されないが例えば、樹脂板、ガラス板、金属板等を用いることができる。本実施形態では樹脂板を採用している。これにより、第1基板9の上面9aは弾性変形可能な柔軟な面となっている。そして、上面9aに物体13が接触するとき、物体13が接触した場所である接触点13aの第1基板9が変形して液体12が容器11の内部を流動する。図2aは流れ方向検出部の構成を示す要部概略斜視図である。図2aに示すように、流れ方向検出部7は支持部14、第1検出部15及び第2検出部16から構成されている。支持部14は第1基板9及び第2基板6と接続し、支持部14の形状は円筒形となっている。そして、支持部14の外周側の側面には歪ゲージ14aが形成されている。歪ゲージ14aには連続した配線が所定のパターンにて配置されている。そして、歪ゲージ14aを構成する配線の内でZ方向に延在する部分が長くなっている。歪ゲージ14aの両端は第2基板6に形成された貫通電極に接続されている。そして、歪ゲージ14aの一端は第1配線3と接続され、他端は第2配線5と接続されている。第1検出部15は板状であり対向する平面がX方向と-X方向とを向くように第2基板6上に立設されている。そして、-X方向を向く面には歪ゲージ15aが設置されている。歪ゲージ15aには連続した配線が所定のパターンにて配置されている。そして、歪ゲージ15aを構成する配線の内でZ方向に延在する部分が長くなっている。歪ゲージ15aの両端は第2基板6に形成された貫通電極に接続されている。そして、歪ゲージ15aの一端は第1配線3と接続され、他端は第2配線5と接続されている。第2検出部16は第1検出部15と同様に板状であり対向する平面がY方向と-Y方向とを向くように第2基板6上に立設されている。そして、-Y方向を向く面には歪ゲージ16aが設置されている。歪ゲージ16aには連続した配線が所定のパターンにて配置されている。そして、歪ゲージ16aを構成する配線の内でZ方向に延在する部分が長くなっている。歪ゲージ16aの両端は第2基板6に形成された貫通電極に接続されている。そして、歪ゲージ16aの一端は第1配線3と接続され、他端は第2配線5と接続されている。歪ゲージ14a、歪ゲージ15a、歪ゲージ16a及び貫通電極の表面は絶縁膜に覆われている。従って、液体12が導電性のときにも液体12に漏電しないようになっている。尚、液体12が絶縁性の材料で構成されているときには、絶縁膜は必ずしも必要ではない。第1検出部15及び第2検出部16のZ方向の長さは支持部14より短く形成されている。そして、第1検出部15及び第2検出部16は支持部14の近くに設置されている。これにより、第1基板9が変形するときにも支持部14が第1基板9を支持するので第1検出部15はX方向へ傾斜し、第2検出部16はY方向に傾斜することが可能になっている。図2b及び図2cは第1検出部の動作を説明するための模式図である。図2bに示すように、液体12が-X方向からX方向に向けて流動するとき、第1検出部15は先端がX方向に移動するように傾斜する。これにより、歪ゲージ15aが伸ばされて歪ゲージ15aを構成する配線が薄くなるので、歪ゲージ15aの抵抗が高くなる。図2cに示すように、液体12がX方向から-X方向に向けて流動するとき、第1検出部15は先端が-X方向に移動するように傾斜する。これにより、歪ゲージ15aが縮んで歪ゲージ15aを構成する配線が厚くなるので、歪ゲージ15aの抵抗が低くなる。従って、歪ゲージ15aの抵抗値を測定することにより、第1検出部15がX方向と-X方向とのどちらに傾斜しているかを検出することができる。さらに、第1検出部15の傾斜が大きい程歪ゲージ15aの変化が大きくなる。従って、歪ゲージ15aの抵抗値を測定することにより、第1検出部15が傾斜する程度を検出することができる。尚、第2検出部16も第1検出部15と同様な動きをする。従って、歪ゲージ16aの抵抗値を測定することにより、第2検出部16が傾斜する方向と傾斜する程度を検出することができる。液体12の流量と第1検出部15及び第2検出部16が傾斜する程度は相関がある。従って、歪ゲージ15a及び歪ゲージ16aの抵抗値を測定することにより液体12がX方向とY方向とに流れる流量を検出することができる。図3aは支持部の動作を説明するための模式図である。図3aに示すように、支持部14に近い場所において物体13が第1基板9と接触するとき、支持部14は第1基板9と第2基板6とに押圧される。これにより第1基板9と第2基板6との中程で支持部14の直径が大きくなる。そして、歪ゲージ14aはZ方向に伸ばされて歪ゲージ14aを構成する配線が薄くなるので、歪ゲージ14aの抵抗が高くなる。従って、歪ゲージ14aの抵抗値を測定することにより、流れ方向検出部7の場所で物体13が接触センサー1に接触しているかを検出することができる。図3bは接触センサーの回路構成を示す回路図である。図3bに示すように、接触センサー1は電源17を備え、電源17には第1配線3が接続されている。電源は定電圧電源であり、一定の電圧を供給する。第1配線3は支持用入力配線3a、Xゲージ用入力配線3b、Yゲージ用入力配線3cを有している。そして、支持用入力配線3aは歪ゲージ14aに電圧を供給し、Xゲージ用入力配線3bは歪ゲージ15aに電圧を供給する。Yゲージ用入力配線3cは歪ゲージ16aに電圧を供給する。第2配線5は支持用出力配線5a、Xゲージ用出力配線5b、Yゲージ用出力配線5cを有している。接触センサー1は電圧検出部18を備え、第2配線5は流れ方向検出部7と電圧検出部18とを接続する。詳細には、支持用出力配線5aは歪ゲージ14aの出力を電圧検出部18に伝送し、Xゲージ用出力配線5bは歪ゲージ15aの出力を電圧検出部18に伝送する。Yゲージ用出力配線5cは歪ゲージ16aの出力を電圧検出部18に伝送する。電圧検出部18は第2配線5による出力を測定することにより、各流れ方向検出部7における歪ゲージ14a,15a,16aの抵抗値の変化を測定する。そして、各場所における支持部14の収縮具合、第1検出部15及び第2検出部16の傾斜具合を検出する。図4は流れ方向検出部の動作を説明するための模式図である。図4aは第2基板をZ方向からみた模式平面図であり、図4bは接触センサーを-Y方向から見た要部模式側断面図である。図4に示すように、接触点13aでは第1基板9がへこみ、第1基板9と第2基板6との距離が短くなる。そして、接触点13aを中心にして液体12が放射状に移動する。そして、流動する液体12により第1検出部15及び第2検出部16が押圧され傾斜する。このとき、第1検出部15及び第2検出部16の先端は接触点13aから離れる方向に移動するので、各第1検出部15及び第2検出部16のどちら側に接触点13aがあるかを容易に判断することができる。液体12が第1検出部15及び第2検出部16を押圧する力は接触点13aからの距離に反比例する。従って、第1検出部15及び第2検出部16が傾斜する程度からさらに細かく接触点13aを演算することが可能になっている。他にも、液体12が流れる方向を検出することにより、接触点13aを検出することができる。各流れ方向検出部7は第1検出部15と第2検出部16とを備えている。第1検出部15はX方向の流れを検出し、第2検出部16はY方向の流れを検出する。そして、液体12の流れる方向に応じて第1検出部15及び第2検出部16が傾斜する。第1検出部15は液体12の流れのX成分を検出し、第2検出部16はY成分を検出する。従って、第1検出部15及び第2検出部16の出力の比率を演算することにより流れ方向検出部7を通過する液体12の流れる方向を検出することができる。そして、各流れ方向検出部7で検出された液体12が流れる方向が交差する場所を演算することにより、物体13が接触センサー1に接触した接触点13aを検出することができる。そして、流れ方向検出部7は液体12が流動するときの流体抵抗となるので、接触点13aから離れた場所の流れ方向検出部7は反応し難くなっている。これにより、接触点13aが複数存在するときにも各接触点13aを特定することが可能になっている。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、第1基板9の上面9aは柔軟な面となっており、上面9aに物体13が接触するとき上面9aは凹む。容器11の中には液体12が内在しており、接触点13aから離れる方向に液体12が流動する。容器11内には液体12の流れる方向を検出する流れ方向検出部7が複数設置されている。そして、複数の流れ方向検出部7が検出する液体12の流れ方向の分布から液体12の流れはじめた場所を検出することができる。その結果、流れ方向検出部7の間で物体13が接触した場所を検出することができる。2本実施形態によれば、容器11は第1基板9と第2基板6とを有しており、液体12が第1基板9と第2基板6とに挟まれている。柔軟な面に物体13が接触するとき第1基板9の上面9aが凹む。このとき、凹んだ場所から離れる方向に放射状に液体12が流動する。流れ方向検出部7は複数の線上に配置されており、各流れ方向検出部7が液体12の流れる方向を検出する。そして、各流れ方向検出部7における液体12の流れる方向が交差する場所を演算することにより接触点13aを検出することができる。従って、接触センサー1の平面視において接触センサー1と物体13とが接触した場所を検出することができる。3本実施形態によれば、物体13が容器11に接触するとき、液体12が容器11内を移動する。従って、接触センサー1はクッション性を有することができる。これにより、物体13と接触センサー1とが接触しても物体13に損傷を与えないようにすることができる。第2の実施形態次に、接触センサーの一実施形態について図5の接触センサーの概略斜視図を用いて説明する。本実施形態が第1の実施形態と異なるところは、液体の流れる方向が限定されている点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。すなわち、本実施形態では、図5に示したように、接触センサー20は第2基板6を備え、第2基板6上にはX方向に延在する仕切板22がY方向に等間隔に配列して設置されている。仕切板22により液体12はX方向に往復可能に規制されている。仕切板22は第1の実施形態の支持部14と同様の機能を有し、第2基板6と第1基板9との間隔を所定の距離に保っている。さらに、仕切板22の側面には等間隔に歪ゲージが設置され、仕切板22が押圧されたときには押圧された場所を検出可能になっている。そして、向かい合う仕切板22の間にはX方向に等間隔に流れ方向検出部としての第1検出部15が配列して立設されている。第1検出部15において-X方向を向く面には歪ゲージ15aが設置されている。そして、第2基板6と第1基板9との間には液体12が充填されている。これにより、第2基板6、第1基板9、一対の仕切板22により流路21が形成されている。そして、流路21内に第1検出部15が配置されている。物体13が第1基板9に接触するとき、接触点13aと対向する場所の流路21では他の流路21より液体12が流動する流量が多くなる。従って、第1検出部15の出力を検出することにより接触点13aと対向する場所の流路21を検出することができる。そして、接触点13aと対向する場所のX側と-X側では第1検出部15が傾斜する向きが異なる。従って、第1検出部15の出力を検出することにより物体13と対向する場所を検出することができる。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、第1基板9に物体13が接触したときに液体12が移動する方向がX方向に限定されている。従って、接触した場所から全方向に液体12が移動するときに比べてX方向に液体12が移動する量を多くすることができる。従って、第1検出部15は感度良く液体12の流れ方向を検出することができる為、接触センサー20の感度を高感度にすることができる。第3の実施形態次に、接触センサーの一実施形態について図6の接触センサーの概略斜視図を用いて説明する。本実施形態が第1の実施形態と異なるところは、液体の流れる方向が円筒の軸方向に制限されている点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。すなわち、本実施形態では、図6に示したように、接触センサー23は円筒状のチュウブ24を備えている。チュウブ24内には液体12が充填されており、チュウブ24内は液体12が流動する流路24aとなっている。そして、チュウブ24により液体12はX方向に往復可能に規制されている。チュウブ24の長手方向をX方向とするとき、チュウブ24はY方向に複数接触させて配置されている。チュウブ24の中にはX方向に等間隔に流れ方向検出部としての第1検出部15が配列して立設されている。第1検出部15において-X方向を向く面には歪ゲージ15aが設置されている。歪ゲージ15aが備える配線の両端はチュウブ24に形成された貫通電極と接続し、貫通電極はチュウブ24の外側の面に配置された配線と接続されている。従って、歪ゲージ15aの抵抗値の変化を測定可能になっている。そして、チュウブ24の中には液体12が充填されている。そして、チュウブ24と物体13とが接触するとき、チュウブ24が凹んで、液体12が流動する。これにより、第1検出部15が傾く。従って、歪ゲージ15aの抵抗値を検出することにより接触点13aを検出することが可能となっている。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、チュウブ24に物体13が接触したときに液体12が移動する方向がX方向に限定されている。従って、接触した場所から全方向に液体12が移動するときに比べてX方向に液体12が移動する量を多くすることができる。従って、第1検出部15は感度良く液体12の流れ方向を検出することができる為、接触センサー23の感度を高感度にすることができる。第4の実施形態次に、接触センサーの一実施形態について図7aの接触センサーの構造を示す模式側断面図及び図7bの接触センサーの構造を示す模式平面図を用いて説明する。本実施形態が第1の実施形態と異なるところは、容器が重ねて設置されている点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。すなわち、本実施形態では、図7aに示すように、接触センサー25は平行に設置された第3基板26と第2基板27を備え、第3基板26と第2基板27との間に流れ方向検出部7が格子状に配列して設置されている。そして、第3基板26と第2基板27との間には液体12が充填されており、第3基板26と第2基板27との間が1つの流路28aとなっている。液体12は平面状に広がって流動可能になっている。そして、第3基板26には流れ方向検出部7と接続された配線が設置されている。つまり、第3基板26と第2基板27との間の部材により接触センサー1と同様の接触センサーが形成されており、この接触センサーを第1センサー28とする。接触センサー25はさらに、第2基板27と平行に設置された第1基板29を備え、第2基板27と第1基板29との間に流れ方向検出部7が格子状に配列して設置されている。そして、第2基板27と第1基板29との間には液体12が充填されており、第2基板27と第1基板29との間が1つの流路30aとなっている。液体12は平面状に広がって流動可能になっている。流路28aと流路30aとは液体12が流れる方向が平行な方向となっている。そして、第2基板27には流れ方向検出部7と接続された配線が設置されている。つまり、第2基板27と第1基板29との間の部材により接触センサー1と同様の接触センサーが形成されており、この接触センサーを第2センサー30とする。図7bにおいて、第1センサー28の流れ方向検出部7は破線で示し、第2センサー30の流れ方向検出部7は実線で示している。第1センサー28においても、第2センサー30にいても流れ方向検出部7は格子状に配列して設置されている。そして、液体12が流動可能なXY平面方向と直交するZ方向から見たとき、第1センサー28の流れ方向検出部7と第2センサー30の流れ方向検出部7とは重ならない配置となっている。物体13が第1基板29と接触するとき、第2センサー30の液体12が流動する。そして、第2センサー30の流れ方向検出部7を介して第1センサー28が押圧される。これにより、第1センサー28の液体12が流動する。従って、第1センサー28及び第2センサー30の流れ方向検出部7が液体12の流動を検出する。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、接触センサー25には液体12が広がって流れる方向が平行となる2つの流路が重ねて設置されている。そして、各流路に設置された流れ方向検出部7はZ方向から見て重ならない配置となっている。従って、接触センサー25に1つの流路が設置されているときに比べて、流れ方向検出部7の密度を高くすることができる。その結果、接触センサー25の感度を高感度にすることができる。第5の実施形態次に、接触センサーの一実施形態について図8aの接触センサーの構造を示す模式側断面図及び図8bの接触センサーの構造を示す模式平面図を用いて説明する。本実施形態が第2の実施形態と異なるところは、2つの容器が重ねて設置されている点にある。尚、第2の実施形態と同じ点については説明を省略する。すなわち、本実施形態では、図8に示したように、接触センサー33は平行に設置された第3基板34と第2基板35を備え、第3基板34と第2基板35との間にはY方向に延在する仕切板22がX方向に等間隔に配列して設置されている。仕切板22の材料は柔軟性のある材料であり、Z方向から押圧されるときに座屈し易い材料からなっている。例えば、仕切板22の材料には樹脂材料、ゴム、シリコーン樹脂、シリコーンゴム等を用いることができる。そして、隣り合う仕切板22の間には第1検出部15がY方向に等間隔に配列して設置されている。そして、第3基板34と第2基板35との間には液体12が充填されており、第3基板34と第2基板35との間にはY方向に液体12が流動する複数の流路36aが形成されている。そして、第3基板34には第1検出部15と接続された配線が設置されている。つまり、第3基板34と第2基板35との間の部材により第2の実施形態における接触センサー20と同様の接触センサーが形成されており、この接触センサーを第1センサー36とする。接触センサー33はさらに、第2基板35と平行に設置された第1基板37を備え、第2基板35と第1基板37との間にはX方向に延在する仕切板38がY方向に等間隔に配列して設置されている。そして、隣り合う仕切板38の間には第2検出部16がX方向に等間隔に配列して設置されている。そして、第2基板35と第1基板37との間には液体12が充填されており、第2基板35と第1基板37との間にはX方向に液体12が流動する複数の流路39aが形成されている。流路39aを流れる液体12の流れ方向は第1センサー36の流路36aを流れる液体12の流れ方向と直交する方向となっている。そして、第2基板35には第2検出部16と接続された配線が設置されている。つまり、第2基板35と第1基板37とのの間の部材により接触センサー20と同様の接触センサーが形成されており、この接触センサーを第2センサー39とする。物体13が第1基板37と接触するとき、第2センサー39の液体12が流動する。そして、第2センサー39の仕切板38を介して第1センサー36が押圧される。これにより、第1センサー36の液体12が流動する。従って、第1センサー36の第1検出部15及び第2センサー39の第2検出部16が液体12の流動を検出する。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、第1基板37に物体13が接触したときに交差する2つの方向に液体12が移動する。従って、2つの方向において接触した場所を検出することができる。第1検出部15及び第2検出部16は流路方向における接触場所を精度良く検出できる。従って、2つの方向において液体12の流れを検出し、流れる方向が交差する場所から接触した場所を精度良く推定することができる。第6の実施形態次に、接触センサーの一実施形態について図9の接触センサーの構造を示す模式平面図を用いて説明する。本実施形態が第1の実施形態と異なるところは、流れ方向検出部の密度が異なる領域を備えている点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。すなわち、本実施形態では、図9に示したように、接触センサー42は矩形の第1領域43を備えている。そして、第1領域43を囲む第2領域44を備えている。さらに、第2領域44を囲む第3領域45を備えている。第1領域43、第2領域44、第3領域45にはそれぞれ流れ方向検出部7が格子状に配置されている。そして、3つの領域の中では第1領域43における流れ方向検出部7の数の密度が最も高くなっている。そして、第2領域44における流れ方向検出部7の数の密度が次に高く、第3領域45における流れ方向検出部7の数の密度が最も低くなっている。これにより、接触センサー42に物体13が接触するときに検出できる位置精度が異なっている。検出できる位置精度は高い順から第1領域43、第2領域44、第3領域45の順になっている。第1領域43では検出できる位置精度が高いが、流れ方向検出部7の密度を高くするために接触センサー42を生産する難易度が高い領域となっている。一方、第3領域45では検出できる位置精度が低いが、流れ方向検出部7の密度が低いために接触センサー42を生産し易い領域となっている。接触センサー42は複数の領域に分けて流れ方向検出部7の密度を変えることにより検出できる位置精度と生産し易さとのバランスをとることが可能になっている。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、接触センサー42には流れ方向検出部7の数の密度が高い場所と低い場所とがある。従って、物体13が接触した場所を検出する感度の高い場所と低い場所との分布を設定することができる。第7の実施形態次に、接触センサーが設置されたロボットの一実施形態について図10aのロボットの構造を示す模式平面図と図10bのロボットハンドの構造を示す模式平面図とを用いて説明する。本実施形態は第1の実施形態にて説明した接触センサーを活用した例となっている。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。すなわち、本実施形態では、図10aに示すように、ロボット48は本体部49を備えている。本体部49の図中上側には2つの第1関節49aが設置されている。各第1関節49aと接続して第1腕50が設置され、各第1腕50の一端には第2関節50aが設置されている。さらに、各第2関節50aと接続して第2腕51が設置され、各第2腕51の一端には第3関節51aが設置されている。そして、各第3関節51aにはロボットハンド52が設置されている。ロボット48は多関節を有する双腕ロボットであり、各関節はモーターにより回転される。そして、ロボット48は制御部53を備え、制御部53は各モーターの回転角度と回転速度を制御する。これにより、ロボット48はロボットハンド52の位置と姿勢とを制御する。図10bに示すように、ロボットハンド52は直方体の掌部54を備えている。掌部54の図中上側の角には一対の第1指関節54aが設置されている。各第1指関節54aと接続して指部としての第1指55と指部としての第2指56との2本の指が設置されている。第1指55は第1指関節54aと接続する第1リンク57を備えている。第1リンク57の一端には第2指関節57aが設置されている。さらに、第2指関節57aと接続して第2リンク58が設置され、第2リンク58の一端には第3指関節58aが設置されている。そして、第3指関節58aには指先部59が設置されている。第2指56は第1指55と同様の構造となっている。各関節はモーターにより回転される。そして、制御部53は各モーターの回転角度と回転速度を制御する。これにより、ロボット48は第1指55及び第2指56の形状を制御する。そして、第1指55と第2指56とにより物体13を挟むことが可能になっている。ロボットハンド52の表面には接触センサー60が設置されている。接触センサー60は第1領域60a、第2領域60b、第3領域60cを備えている。そして、第6の実施形態における接触センサー42と同様に各領域において流れ方向検出部7の配置されている数の密度が異なっている。流れ方向検出部7の数の密度は第1領域60aが最も高くなっている。第1領域60aの次に第2領域60bにおける流れ方向検出部7の数の密度が高くなっており、第3領域60cにおける流れ方向検出部7の数の密度は第2領域60bより低くなっている。第1指55及び第2指56の指先部59において第3指関節58aと反対側の端は第1領域60aの接触センサー60が設置されている。これにより、ロボット48は接触位置を精度良く検出可能な第1領域60aで物体13を数回接触することにより、物体13の位置や形状を検出することが可能になっている。第1指55及び第2指56の指先部59において互いに向かい合う面には第2領域60bの接触センサー60が設置されている。これにより、ロボットハンド52が物体13を挟むとき第2領域60bのどの場所にて物体13を挟んでいるかを検出することが可能になっている。第1指55及び第2指56において第2領域60bと反対側の面には第3領域60cの接触センサー60が設置されている。さらに、掌部54の第1指関節54a側にも第3領域60cの接触センサー60が設置されている。これにより、ロボットハンド52を移動させているときに予定外でロボットハンド52の第3領域60cと物体13が接触するときにも、概略にて接触した場所を検出することができる。ロボットハンド52が物体13を把持するとき、まず、ロボットハンド52を物体13に接近させる。そして、ロボットハンド52のどこかが物体13に接触するとき、物体13の大体の場所を認識することができる。次に、制御部53は指先部59の第1領域60aが物体13に接触するように、指先部59を物体13に接近させる。次に、制御部53は物体13の表面の複数の場所を指先部59にて接触させる。これにより、制御部53は物体13の形状を認識することができる。続いて、第1指55と第2指56とで物体13を挟んで把持する。このとき、第2領域60bが物体13と接触するので、ロボットハンド52が物体13を把持したか否かを検出することができる。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、ロボットハンド52は表面に接触センサー60を備えている。従って、ロボットハンド52が物体13に接触するときに接触した場所を検出することができる。ロボット48を含むシステムが撮像装置を備えることがある。このとき、撮像装置が物体13を撮影できない場合がある。このときにも、ロボットハンド52を用いて物体13の場所を検出することができる為、ロボットハンド52が物体13を把持することができる。2本実施形態によれば、ロボットハンド52は掌部54と第1指55及び第2指56とを備えている。そして、第1指55及び第2指56の先は、掌部54より流れ方向検出部7の密度が高い。従って、ロボットハンド52は第1指55及び第2指56にて物体13に接触して物体13の位置を検出することができる。このとき、第1指55及び第2指56における流れ方向検出部7の密度が高い為、位置精度良く物体13の位置を検出することができる。3本実施形態によれば、物体13が接触センサー60に接触するとき、液体12が接触センサー60内を移動する。従って、接触センサー60はクッション性を有することができる。これにより、物体13が接触センサー60を介してロボットハンド52と接触しても物体13及びロボットハンド52が損傷することを防止することができる。尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。変形例1前記第1の実施形態では、第1検出部15に設置された歪ゲージ15aと第2検出部16に設置された歪ゲージ16aを用いて液体12の流れを検出した。液体12の流れを検出する方法は他の方法を用いても良い。例えば、液体12が流れる方向に対して斜めに超音波が通過するように、超音波発信部を配置し、液体12を横切った超音波を受信部にて受信する。そして、ドップラー効果により超音波の波長が変化することを応用して液体12の流れを検出しても良い。また、超音波に換えて光を用いても良い。他にも歪ゲージ14a及び歪ゲージ15aに電歪素子を用いることができる。他にも、MEMSMicroElectroMechanicalSystems技術を用いて製作したマイクロスクリュウを設置し、スクリュウの回転を検出しても良い。いずれの方法を用いても液体12の流れを検出することができる。変形例2前記第1の実施形態では、物体13が第1基板9に接触する場所を接触センサー1が検出した。下層配線基板2、上層配線基板4及び第2基板6を柔軟性のある基板にして、物体13が下層配線基板2に接触する場所を接触センサー1が検出してもよい。また、物体13が第1基板9に接触する場所と下層配線基板2に接触する場所を検出しても良い。用途に合わせて接触センサー1を用いることができる。変形例3前記第2の実施形態では、物体13が第1基板9に接触する場所を検出した。下層配線基板2、上層配線基板4及び第2基板6を柔軟性のある基板にして、物体13が下層配線基板2に接触する場所を検出してもよい。また、物体13が第1基板9に接触する場所と下層配線基板2に接触する場所を検出しても良い。用途に合わせて接触センサー20を用いることができる。変形例4前記第4の実施形態では、物体13が第1基板29に接触する場所を検出した。第3基板26を柔軟性のある基板にして、物体13が第3基板26に接触する場所を検出してもよい。また、物体13が第1基板29に接触する場所と第3基板26に接触する場所を検出しても良い。用途に合わせて接触センサー25を用いることができる。変形例5前記第5の実施形態では、物体13が第1基板37に接触する場所を検出した。第3基板34を柔軟性のある基板にして、物体13が第3基板34に接触する場所を検出してもよい。また、物体13が第1基板37に接触する場所と第3基板34に接触する場所を検出しても良い。用途に合わせて接触センサー33を用いることができる。変形例6前記第4の実施形態では、第1センサー28と第2センサー30とが重ねて配置されていた。接触センサーを重ねる数は2段に限らず、3段以上でも良い。Z方向から見た平面視で流れ方向検出部7の密度を高くすることができる為、位置精度良く接触点13aを検出することができる。変形例7前記第1の実施形態では、第1検出部15の片面に歪ゲージ15aを設置したが、第1検出部15の両面に歪ゲージ15aを設置しても良い。そして、ホイーストンブリッジを用いて第1検出部15の傾斜具合を測定しても良い。第1検出部15の片面に歪ゲージ15aを設置する方法に比べて精度良く第1検出部15の傾斜具合を測定することができる。さらに、第2検出部16においても同様に測定することができる。変形例8前記第7の実施形態では、ロボットハンド52に接触センサー60を設置したが、ロボットハンド52以外の場所に設置してもよい。例えば、2足歩行ロボット等のバランスをとって立つロボットの足の裏に接触センサー1を設置してもよい。足の裏の体重がかかる場所が移動するとき、液体12が移動する。これにより、足の裏で体重がかかる場所を検出することができる。変形例9前記第7の実施形態では、ロボットハンド52に第1指55と第2指56との2本の指が設置されたが、指の数は3本以上でも良い。そして、各指に接触センサー60を設置しても良い。指の本数が多い方が物体13を容易に掴むことができる。"