"加工装置の制御機構であって、第1の電圧の電力を供給する電力供給源と、該電力供給源から供給される該第1の電圧の電力で作動する複数の受動素子と、該第1の電圧より低い第2の電圧の電力で作動し、加工装置の可動部を制御する可動制御部を有するCPUと、該電力供給源から供給される該第1の電圧の電力を該CPUを作動するための該第2の電圧の電力へ変換して、該CPUに供給するCPU電力供給用ICと、該電力供給源から供給される該第1の電圧の電力を抵抗を介して該第2の電圧より低い第3の電圧の電力へ変換し、該第3の電圧の電力を該CPUへ入力する第3の電圧供給路とを具備し、該CPUは、該第3の電圧供給路からの電力を受信する受信部と、該受信部で受信した電圧が該第3の電圧より所定電圧以上低減した際に、該電力供給源の電圧が許容値より低下していると判断して警告を発する警告発信部と、を有することを特徴とする加工装置の制御機構。一台の加工装置には5Vの電力で作動する受動素子が多数使用されているため、一度に多くの受動素子が作動したり、或いはCPUが多量の計算をし始めると、一時的に5Vの電力を供給する電力供給源の電圧が5Vから降下する場合がある。電力供給源の電圧降下が生じると、受動素子やCPUが作動しなくなり、加工装置の稼動に不具合が生じることになる。例えば、電力供給源が供給する電圧が4Vに低下すると、切削装置において切削水供給用の電磁弁の開閉を管理する受動素子が作動しなくなるが、CPUへ3.3Vの電圧を供給するCPU電力供給用ICは3.9Vの電圧で作動するため、CPUは正常に作動する。従って、切削水が供給されないまま切削を開始して切削ブレードや被加工物を破損させる恐れがある。一方、電力供給源の電圧が3.9Vより下回ると、CPUへ3.3Vの電力を供給するCPU電力供給用ICが作動しなくなるため、CPUが停止し、スピンドルを回転するモータ等の可動部への停止信号が発信できずに可動部が暴走してしまう恐れがある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、電力供給源の電圧降下を検出して、加工装置の作動を適正に維持することのできる加工装置の制御機構を提供することである。本発明によると、加工装置の制御機構であって、第1の電圧の電力を供給する電力供給源と、該電力供給源から供給される該第1の電圧の電力で作動する複数の受動素子と、該第1の電圧より低い第2の電圧の電力で作動し、加工装置の可動部を制御する可動制御部を有するCPUと、該電力供給源から供給される該第1の電圧の電力を該CPUを作動するための該第2の電圧の電力へ変換して、該CPUに供給するCPU電力供給用ICと、該電力供給源から供給される該第1の電圧の電力を抵抗を介して該第2の電圧より低い第3の電圧の電力へ変換し、該第3の電圧の電力を該CPUへ入力する第3の電圧供給路とを具備し、該CPUは、該第3の電圧供給路からの電力を受信する受信部と、該受信部で受信した電圧が該第3の電圧より所定電圧以上低減した際に、該電力供給源の電圧が許容値より低下していると判断して警告を発する警告発信部と、を有することを特徴とする加工装置の制御機構が提供される。本発明によると、電力供給源の電圧降下を検出可能な第3の電圧供給路をCPUに接続したため、CPUで電力供給源の電圧降下を間接的に検出することができ、警告発信部で警告を発信してオペレータに知らせることができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明の制御機構が適用可能な切削装置2の斜視図が示されている。図1に示された切削装置2は、外装カバーが取り外された状態の切削装置である。切削装置2の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段4が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるCRT等の表示手段6が設けられている。切削加工されるウエーハWは粘着テープであるダイシングテープTに貼着され、ダイシングテープTの外周縁部は環状フレームFに貼着されている。これにより、ウエーハWはダイシングテープTを介してフレームFに支持された状態となり、図1に示したウエーハカセット8中にウエーハが複数枚例えば25枚収容される。ウエーハカセット8は上下動可能なカセットエレベータ9上に載置される。ウエーハカセット8の後方には、ウエーハカセット8から切削前のウエーハWを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット8に搬入する搬出入手段10が配設されている。ウエーハカセット8と搬出入手段10との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域12が設けられており、仮置き領域12には、ウエーハWを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段14が配設されている。仮置き領域12の近傍には、ウエーハWと一体となったフレームFを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段16が配設されており、仮置き領域12に搬出されたウエーハWは、搬送手段16により吸着されてチャックテーブル18上に搬送され、このチャックテーブル18に吸引されるとともに、複数のクランプ19によりフレームFが固定されることでチャックテーブル18上に保持される。チャックテーブル18は、回転可能且つX軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル18のX軸方向の移動経路の上方には、ウエーハWの切削すべきストリートを検出するアライメント手段20が配設されている。アライメント手段20は、ウエーハWの表面を撮像する撮像手段22を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段22によって取得された画像は、表示手段6に表示される。アライメント手段20の左側には、チャックテーブル18に保持されたウエーハWに対して切削加工を施す切削手段24が配設されている。切削手段24はアライメント手段20と一体的に構成されており、両者が連動してY軸方向及びZ軸方向に移動する。切削手段24は、回転可能なスピンドル26の先端に切削ブレード28が装着されて構成され、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード28は撮像手段22のX軸方向の延長線上に位置している。切削加工の終了したウエーハWは、搬送手段25によりスピンナ洗浄装置27まで搬送され、スピンナ洗浄装置27でウエーハが洗浄されてスピン乾燥される。ウエーハWの切削時には、切削ブレード28に切削水が電磁弁を介して供給される。切削手段24はパルスモータを駆動することによりY軸方向に移動されるが、切削手段がY軸上の所定位置まで達した際にパルスモータの駆動を停止するY軸可動範囲制御センサが設けられている。上述したように、切削装置2は外装カバーに覆われてクリーンルーム内に設置されるが、外装カバーにはカセット載置台にアクセスする扉や切削加工室にアクセスする扉等が設けられており、これらの扉の開閉を検出する外装カバー開閉センサが設置されている。次に、図2の回路図を参照して、本発明実施形態の制御機構について詳細に説明する。電力供給源30は第1の電圧V1の電力を供給する。第1の電圧V1は、例えば5Vに設定されている。複数の受動素子32-1、32-232-nは電力供給源30から供給される第1の電圧V1、即ち本実施形態では5Vで作動する。受動素子32-1は切削ブレード28に切削水を供給する電磁弁42に接続されており、受動素子32-2は切削手段24のY軸方向の可動範囲を制御するセンサ44に接続されている。受動素子32-nは、例えば外装カバーに設けた扉の開閉を検出する外装カバー開閉センサ46に接続されている。CPU34は切削装置2の作動を制御するコントローラ内に配設されており、切削ブレード28を回転するサーボモータ、切削手段24をY軸方向にインデックス送りするパルスモータ、チャックテーブル18をX軸方向に加工送りするパルスモータ等の可動部を制御する可動制御部35を有している。CPU34は第1の電圧V1より低い第2の電圧V2で作動する。本実施形態では、V2は3.3Vに設定されている。CPU電力供給用IC36は、電力供給源30から供給される第1の電圧V1の電力をCPU34を作動するための第2の電圧V2の電力へ変換して、第2の電圧V2の電力をCPU34に供給する。電力供給源30は直列接続した抵抗R1,R2からなる分圧回路48を介して接地されており、抵抗R1と抵抗R2の間の点Pの電圧第3の電圧V3が第2の電圧V2より低い電圧となるように抵抗R1,R2の抵抗値が設定されている。本実施形態では、第3の電圧V3は2.5Vに設定されており、この第3の電圧V3が第3の電圧供給路50を介してCPU34の受信部38に入力される。本実施形態では、一度に多数の受動素子32-1、32-232-nが作動したり、CPU34が多量の計算を開始したりして、受信部38で受信する電圧が予め設定した第3の電圧V3より所定電圧以上低減したい際に、電力供給源30の電圧が許容値より低下していると判断して、警告発信部40が警告を発信して、例えば表示手段6上にこの警告を表示する。或いは、ブザー等で警告を発信して、オペレータに知らしめる。本実施形態では、第3の電圧V3を2.5Vに設定し、CPU34の受信部38が受信した電圧が2.3V以下になった場合に、警告発信部40が警告を発信する。受信部38が受信した電圧が2.3Vに低下している場合には、分圧回路48によりP点の電圧が電力供給源30の第1の電圧V1の1/2になるように分圧されているため、電力供給源30の第1の電圧V1は4.6Vに低下していると検出することができる。このように受動素子32-1、32-232-nが作動しなくなる電圧例えば4Vよりもある程度高い電圧の電圧降下をCPU34で検出することにより、受動素子32-1、32-232-nが作動しなくなる電圧降下を未然に防止することができ、切削装置の作動を適正に維持することが出来る。上述した実施形態では、本発明の制御機構を切削装置2に適用した例について説明したが、本発明の制御機構は研削装置、レーザ加工装置、研磨装置等の他の加工装置にも同様に適用することができる。"