"超音波を流体に照射して得られる複数の反射波に相関演算処理を施して前記流体に関する所定の物理量を計測する超音波計測装置であって、前記相関演算処理によって得られる複数の相関係数を所定回数積算演算処理するか、またはフィルタリング演算処理することによって前記所定の物理量を演算する物理量演算手段、を有することを特徴とする超音波計測装置。異なるタイムインタバルで間欠する少なくとも2組の前記超音波を前記流体に照射する超音波照射手段、を有し、前記物理量演算手段は、前記流体内で反射して得られる少なくとも2組の反射信号を受信すると、前記相関演算処理によって得られる少なくとも2組の相関係数を所定回数積算演算処理するか、またはフィルタリング演算処理することによって前記所定の物理量を演算することを特徴とする請求項1記載の超音波計測装置。上記した特許文献1に開示された技術によれば、誤流速検出を減らすことはできても、特に、大口径や高流速条件下での測定においては十分に誤流速検出を減らすことはできない。その原因の一つとして、流速に相当する相関係数のピーク位置の算出結果は、波形類似性の低下や実際の反射体の運動の乱れ等により大きなばらつきを持つことが挙げられ、特に大口径や高流速条件下でばらつきが大きくなる。すなわち、1回の相関演算結果ピーク位置はそれぞればらつきを持っており、マルチインタバル法を使用しても各インタバルの相関演算結果がばらつきを持つため、図7aに示すように、図中、点線で示す正しい流速付近に相関係数のピークが一致して現れず、図7bに示すように、ばらつきによって正しい流速から外れたところに相関係数のピークが現れ、誤った流速付近にある相関係数のピークを検出してしまう。本発明は上記した課題を解決するためになされたものであり、相関係数の多峰性による誤流速検出を減少させ、特に、大口径や高流流速条件下での測定においても安定した正しい流速測定を可能にした超音波計測装置を提供することを目的とする。また、マルチインタバル法を改良することによって誤流速検出を減少させる超音波計測装置を提供することも目的とする。上記した課題を解決するために本発明は、超音波を流体に照射して得られる複数の反射波に相関演算処理を施して前記流体に関する所定の物理量を計測する超音波計測装置であって、前記相関演算処理によって得られる複数の相関係数を所定回数積算演算処理するかまたはフィルタリング演算処理することによって、前記所定の物理量を演算する物理量演算手段、を有することを特徴とする。本発明によれば、物理量演算手段は、相関係数演算結果を積算演算処理し、あるいはフィルタリング演算処理することで、相関係数がピークとなる流速がばらつくのを抑制する。このため、相関係数の多峰性による誤流速検出を減少させ、特に、大口径や高流流速条件下での測定においても安定した正しい流速測定を可能にした超音波計測装置を提供することができる。本発明において、異なるタイムインタバルで間欠する少なくとも2組の前記超音波を前記流体に照射する超音波照射手段、を有し、前記物理量演算手段は、前記流体内で反射して得られる少なくとも2組の反射信号を受信すると、前記相関演算処理によって得られる少なくとも2組の相関係数を所定回数積算演算処理するかまたはフィルタリング演算処理することによって前記所定の物理量を演算することを特徴とする。本発明によれば、物理量演算手段がインタバルの異なる2組の反射信号の相関に積算演算処理を施すことにより、積算回数に相当する時間内の、いわば平均的な流速に相当するところに相関係数のピークが現れるため、各々が持つばらつきは小さくなり、ばらつきの小さくなったピーク位置同士の組み合わせでマルチインタバル処理を行うことにより、マルチインタバル法を改良することによって誤流速検出を減少させる超音波計測装置を提供することができる。また、積算演算処理によらず、ローパスフィルタ処理を施すことでばらつきを減らすことができ、例えば、IIRInfiniteImpulseResponseフィルタを用いる場合、上記したばらつきを減らす他に、相関係数の演算結果を蓄積するメモリの容量が少なくて済むという効果も期待できる。本発明によれば、相関係数の多峰性による誤流速検出を減少させ、特に、大口径や高流流速条件下での測定においても安定した正しい流速測定を可能にした超音波計測装置を提供することができる。また、マルチインタバル法を改良することによって誤流速検出を減少させる超音波計測装置を提供することもできる。以下、添付図面を参照して本発明を実施するための実施の形態以下、単に本実施形態というについて詳細に説明する。実施形態1の構成図1は、本実施形態1に係る超音波計測装置の構成を示すブロック図である。図1によれば、本実施形態に係る超音波計測装置1Aは、バースト信号送信回路部11と、増幅器12a、12bと、トランスデューサ13と、ADCAnalogDigitalConverter14と、演算処理部15と、制御部16と、により構成される。バースト信号送信回路部11は、超音波の周波数帯域である、例えば500kHz~2MHzの周波数帯域の何れかの周波数fを有する複数のバースト信号を増幅器12aに出力する電子回路である。バースト信号送信回路部11は、正弦波発振回路と、この正弦波発振回路が発振した周波数fの正弦波信号を連続して繰り返すバースト信号に強度変調する強度変調回路とから構成される。増幅器12aは、バースト信号送信回路部11から入力された送信バースト信号を所定の増幅度で増幅してトランスデューサ13に出力する。なお、バースト信号の波形は、正弦波の他に、矩形波を用いてもよい。トランスデューサ13は、図示するように、管路10の外表面に設けられており、増幅器12aから入力された送信バースト信号を計測用超音波バースト信号に変換し、流体Xの流れ方向に直交する方向に対して角度θで管路10内に出射すると共に、計測用超音波バースト信号が管路10内の気泡等の粒子で反射することにより管路10から入射した評価用超音波バースト信号を電気信号受信信号に変換する電気/音響変換器である。増幅器12bは、トランスデューサ13から入力された受信信号を所定の増幅度で増幅してADC14に出力する。ADC14は、増幅器12bから入力された受信信号を、サンプリング定理を満たす所定のサンプリングレート、つまり、上記した周波数fの2倍以上の繰り返し周期でサンプリングすることによりデジタル信号に変換して演算処理部15ウォールフィルタへ出力する。演算処理部15は、制御部16による制御の下で、超音波を流体Xに照射して得られる複数の反射波から相関演算処理によって得られる複数の相関関数を所定回数積算演算処理することにより、流体Xの流量や流速等の物理量を演算する物理量演算手段として機能する。このため、演算処理部15は、ウォールフィルタ151と、相関係数積算演算処理部152と、積算メモリ153と、流量演算部154と、に機能的に分解して表現することができる。ウォールフィルタ151は、反射信号からなる評価用超音波バースト信号から残響振動成分を除去した受信データを相関係数積算演算処理部152に出力する。相関係数積算演算処理部152は、ウォールフィルタ151から入力される受信データ、つまり反射信号からなる評価用超音波バースト信号から上記した残響振動成分が除去されたものに相当するバースト信号について複数の時間領域毎に相関演算処理を施す。相関係数積算演算処理部152は、更に、相関演算処理によって得られる相関係数に所定回数積算演算処理を施し、過去複数回の相関係数を累積加算した結果を積算メモリ153に格納する。ここで、相関係数積算演算処理とは、例えば、相関係数の積算回数をm回とすれば、積算相関係数Fv=Σkk=1~mfkvを求めることにより、積算回数mに相当する時間内の、いわば平均的な流速に相当するところに相関係数のピークを出現させることである。そして、気泡や粒子の移動速度の分布、つまり、管路10内における流体Xの流速の分布流速分布を求め、積算メモリ153に格納するとともに流量演算部154に出力する。流量演算部154は、相関係数積算演算処理部152で求められた流速分布と、流速を算出した位置近傍での管路10の断面積Sとに基づき流体Xの流量を演算する。なお、制御部16は、バースト信号送信回路部11、ADC14、および上記したウォールフィルタ151、相関係数積算演算処理部152、積算メモリ153、流量演算部154からなる演算処理部15、とを同期制御することにより、バースト信号送信回路部11における送信バースト信号の発生タイミングに同期して受信信号をADC14で受信データに変換させると共に、この受信データを演算処理部15で演算処理させる。実施形態1の動作以下、図2のフローチャートを参照しながら、図1に示す本実施形態1に係る超音波計測装置1Aの動作について詳細に説明する。まず、制御部16による制御の下、バースト信号送信回路部11は、例えば、500kHz~2MHzの超音波周波数帯域の何れかの周波数fを有する複数のバースト信号を、増幅器12a経由でトランスデューサ13に出力する。これを受けてトランスデューサ13は、増幅器12aから入力された送信バースト信号を計測用超音波バースト信号に変換し、流体Xの流れ方向に直交する方向に対して角度θで管路10内に出射するステップS101。また、トランスデューサ13は、計測用超音波バースト信号が管路10内の気泡等の粒子で反射することにより管路10から入射した評価用超音波バースト信号を受信するとステップS102YES、受信信号に変換して増幅器12bに出力するステップS103。増幅器12bは、トランスデューサ13から入力された受信信号を所定の増幅度で増幅してADC14に出力し、ADC14は、増幅器12bから入力された受信信号を、サンプリングすることによりデジタル信号に変換して演算処理部15のウォールフィルタ151へ出力する。ウォールフィルタ151は、反射信号からなる評価用超音波バースト信号から残響振動成分を除去した受信データを相関係数積算演算処理部152に出力する。これを受けて相関係数積算演算処理部152は、ウォールフィルタ151から入力される受信データ、つまり反射信号からなる評価用超音波バースト信号から上記した残響振動成分が除去されたものに相当するバースト信号について複数の時間領域毎に相関演算処理を施して相関係数fvを算出するステップS104。相関係数積算演算処理部152は、更に、この相関演算処理によって得られる相関係数fvに積算演算処理をm回繰り返しステップS105YES、積算相関係数Fv=Σk=1~mfkvを求めて積算メモリ153に格納するステップS106。ここで、相関演算処理を1回行うと、例えば、図6や図7に示したような周期的なピークを持つ相関係数fvが得られ、この相関演算を繰り返し行うことにより、fkvが求まるが、相関係数がピークになる流速が都度ばらつき、従来のマルチインタバル処理を用いても誤流速を検出してしまう原因になっている。しかしながら、上記した積算演算処理によって積算相関係数Fv=Σk=1~mfkvを求め、相関係数がピークになる流速のばらつきを小さくすることができる。すなわち、測定対象の平均流速から大きく外れた流速において相関係数がピークとなることが少なくなる。このようにして、流量演算部154は、過去複数回の流速結果をもとにヒストグラムを作成して、ヒストグラム分布の山から明らかに外れた誤流速を排除するステップS107:ヒストグラム処理。最後に、流量演算部154は、積算メモリ153に格納された相関係数積算演算処理部152で求めた流速分布を読み出し、流速を算出した位置近傍での管路10の断面積Sに基づき流体Xの流量を演算するステップS108:流速プロファイル算出。実施形態1の効果以上説明のように、本実施形態1に係る超音波計測装置1Aによれば、相関係数積算演算処理部152、積算メモリ153、流量演算部154からなる物理量演算手段が、相関係数演算結果を積算演算処理することで、相関係数がピークとなる流速がばらつくのを抑制する。このため、相関係数の多峰性による誤流速検出を減少させ、特に、大口径や高流流速条件下での測定においても安定した正しい流速測定が可能になる。すなわち、相関演算に積算演算処理を付加するで、積算回数に相当する時間内の、いわば平均的な流速に相当するところに相関係数のピークが現れるため、各々が持つ流速のばらつきは小さくなる。また、本実施形態1に係る超音波計測装置1Aによれば、ハードウェアの変更や追加の必要はなく、ソフトウェアによる演算処理の追加のみで誤流速の検出を減らすことができるため、廉価構成で新規な超音波計測装置1Aを設計することができる。なお、本実施形態1に係る超音波計測装置1Aによれば、相関係数の積算にあたり、m回単純加算するものとして説明したが、積算演算処理に代わって、FIR有限インパルス応答フィルタやIIR無限インパルス応答フィルタ等を使用した重み付き加算で代替しても良い。要するに、従来のマルチインタバル法によれば、1回の相関演算毎のピークとなる流速結果がばらつくため、LPFLowPassFilter演算処理を施すことで、上記したばらつきを減らすことができる。特に、IIRフィルタを用いる場合では、相関係数演算の結果を蓄積するメモリの容量を減らすことができるといった効果も合わせ持つ。実施形態2の構成図3は、本実施形態2に係る超音波計測装置1Bの構成を示すブロック図である。図3において、図1に示す実施形態1との構成上の差異は、バースト信号送信回路部11に代わってマルチインタバル送信回路部17が設けられ、更に、演算処理部15に、マルチインタバル処理部155が付加された点にある。他の構成は、図1に示した実施形態1と同様である。マルチインタバル送信回路部17は、超音波の周波数帯域、例えば500kHz~2MHzの周波数帯域の何れかの周波数fを有すると共に、異なる2つのタイムインタバル第1インタバルT1、第2インタバルT2でパルス状に間欠する複数の送信バースト信号を増幅器12aに出力する電子回路である。マルチインタバル送信回路部17は、正弦波発振回路と、この正弦波発振回路が発振した周波数fの正弦波信号連続信号を上記したタイムインタバルで繰り返すバースト信号に強度変調する強度変調回路から構成される。増幅器12aは、このマルチインタバル送信回路部17から入力された送信バースト信号を所定の増幅度で増幅してトランスデューサ13に出力する。マルチインタバル処理部155は、相関係数のピークが一致する流速を算出するものであり、相関係数積算演算処理部152から、第1インタバルで得られる積算相関係数F1v=Σk=1~mfkvと、第2インタバルで得られる積算相関係数F2v=Σk=1~mfkvとから算出する。実施形態2の動作以下、図4のフローチャートを参照しながら図3に示す本実施形態2に係る超音波計測装置1Bの動作について、図2に示す実施の形態1の動作との差異に着目して説明する。まず、制御部16による制御の下、マルチインタバル送信回路部17は、超音波の周波数帯域、例えば500kHz~2MHzの周波数帯域の何れかの周波数fを有すると共に、第1インタバルT11st-2nd,第2インタバルT22nd-3rdでパルス状に間欠する複数の送信バースト信号を増幅器12aに出力するステップS201。これを受けて、演算処理部15では、相関係数積算演算処理部152が、第1インタバルではステップS202YES、トランスデューサ13で受信しステップS204、ADC14、ウォールフィルタ151を介して取り込まれる受信データから残響振動成分が除去されたものに相当するバースト信号について、複数の時間領域毎に相関演算処理を施しステップS205、更に、この相関演算処理によって得られる相関係数にm回の積算演算処理積算相関係数関数Fv=Σk=1~mfkvを施すことにより、気泡や粒子の移動速度の分布、つまり管路10内における流体Xの流速の分布流速分布を求め、積算メモリ153を介してマルチインタバル処理部155に出力するステップS206。また、第2インタバルでも同様ステップS203YES、トランスデューサ13で受信しステップS204、ADC14、ウォールフィルタ151を介して取り込まれる受信データから残響振動成分が除去されたものに相当するバースト信号について、複数の時間領域毎に相関演算処理を施しステップS205、更に、この相関演算処理によって得られる相関係数にm回の積算演算処理積算相関係数関数Fv=Σk=1~mfkvを施すことにより、気泡や粒子の移動速度の分布、つまり管路10内における流体Xの流速の分布流速分布を求め、積算メモリ153を介してマルチインタバル処理部155に出力するステップS206。続いて、マルチインタバル処理部155は、第1インタバルで求めた相関係数演算結果相関係数値のピークの周期W1=C/2sinθt1fと、第2インタバルで求めた相関係数演算結果相関係数値のピークの周期W2=C/2sinθt2fとから、相関係数のピークが一致する流速を算出するステップS207。ここでは、図5abに双方向矢印で示すように、第1インタバル、第2インタバルでの積算演算処理により、aに示す第1インタバルで得られた相関係数演算結果と、bに示す第2インタバルで得られた相関係数演算結果のいずれにおいてもばらつきの範囲が縮小されるため、測定対象の平均流速から大きく外れた流速において相関係数がピークとなることが少なくなる。このため、マルチインタバル処理部155は、ばらつきが縮小したピーク位置流速に相当同士の組み合わせでマルチインタバル処理を行うことで誤流速検出の機会が減少する。このことは、従来例として示した図7bと比較して明らかである。続いて、マルチインタバル処理部155は、過去複数回の流速の結果に基づき誤流速を排除しヒストグラム処理:ステップS208、最後に、流量演算部154は、積算メモリ153に格納された相関係数積算演算処理部152で求めた流速分布を読み出し、流速を算出した位置近傍での管路10の断面積Sに基づき流体Xの流量流速プロファイルを演算する処理はステップS209、実施形態1と同様である。実施形態2の効果以上説明のように、本実施形態2に係る超音波計測装置1Bによれば、相関係数積算演算処理部152と、積算メモリ153と、流量演算部154と、マルチインタバル処理部155とからなる物理量演算手段が、インタバルの異なる2組の反射信号の相関に積算演算処理を施すことにより、積算回数に相当する時間内の、いわば平均的な流速に相当するところに相関係数のピークが現れるため、各々が持つばらつきは小さくなり、ばらつきの小さくなったピーク位置同士の組み合わせでマルチインタバル処理を行うことにより、マルチインタバル法を改良することによって誤流速検出を減少させる超音波計測装置1Bを提供することができる。また、実施形態1同様、積算演算処理によらず、ローパスフィルタ処理を施すことでばらつきを減らすことができ、例えば、IIRフィルタを用いる場合、上記したばらつきを減らす他に、相関係数の演算結果を蓄積するメモリの容量が少なくて済むという効果も期待できる。以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。"