機器類が載せられ振動吸収手段によって架台に支持された載置台に固定された固定部材と、前記固定部材の両面と所定の隙間を開けて前記架台に設けられ、前記固定部材に向かって移動し、前記固定部材を両面から挟んで前記載置台を支持する挟持手段と、前記載置台の振動を検知して信号を出力するセンシング手段と、前記センシング手段からの前記信号に基づき、前記挟持手段を移動させる制御手段と、を有する載置台の振動抑制装置。前記挟持手段は、前記固定部材の両面に頂部が対向するように配置されたアーチ部材と、前記アーチ部材に設けられ、前記アーチ部材の曲率を変えて前記頂部を前記固定部材側に移動させるアクチュエータと、を有する請求項1に記載の載置台の振動抑制装置。前記アクチュエータは、前記アーチ部材に接合され、印加電圧に基づいて伸縮する膜型圧電素子である請求項2に記載の載置台の振動抑制装置。前記頂部に支持され、前記膜型圧電素子の上方に架け渡された受け部材が前記固定部材を支持する請求項3に記載の載置台の振動抑制装置。前記アーチ部材の端部は、前記架台にスライド可能に取り付けられ、前記架台には前記端部をロックするロック手段が設けられている請求項2~4のいずれか1項に記載の載置台の振動抑制装置。前記アーチ部材は、鋼板を湾曲させて形成されたアーチ支持板であり、前記固定部材の上側に配置された前記アーチ支持板の頂部の稜線と、下側に配置された前記アーチ支持板の頂部の稜線が直交している請求項2~5のいずれか1項に記載の載置台の振動抑制装置。前記センシング手段は、前記固定部材の振動で前記アーチ部材が変形され歪が発生したとき、前記歪を検知して電圧を発生させるセンシング用の膜型圧電素子、又はセンシング機能とアクチュエータ機能を合わせ持つ膜型圧電素子であり、前記制御手段は、前記固定部材の振動と逆位相の振動を前記アーチ部材から前記固定部材に加えるよう、前記膜型圧電素子への印加電圧を制御する請求項3~6のいずれか1項に記載の載置台の振動抑制装置。前記センシング手段及び前記アクチュエータが、前記固定部材の上側又は下側のアーチ部材の少なくともいずれか一方に設けられている請求項2~7のいずれか1項に記載の載置台の振動抑制装置。センシング手段により、機器類が載せられ振動吸収手段によって架台に支持された載置台の振動を検出して信号を発生させる振動検出工程と、前記載置台に固定された固定部材の両面に所定の隙間を開けて配置されたアーチ部材の曲率を変え、前記頂部を前記固定部材側に移動させるアクチュエータに、前記信号に基づいて、制御手段により電圧を印加する電圧出力工程と、印加した前記電圧により、アーチ部材の前記頂部を前記固定部材側に移動させ、前記固定部材を両面から挟んで前記載置台を支持する挟持工程と、前記頂部が前記固定部材側に移動したとき、前記架台にスライド可能に取り付けられたアーチ部材の端部を、前記架台に取り付けられたロック手段でロックするロック工程と、前記固定部材を前記アーチ部材で支持した状態で、前記アクチュエータへの印加電圧を変化させ、前記載置台に前記振動と逆位相の振動を加える振動抑制工程と、を有する載置台の振動抑制方法。本発明は、上記事実に鑑み、載置された機器類の移動等に伴い発生する載置台の振動を抑制することを目的とする。請求項1に記載の発明に係る載置台の振動抑制装置は、機器類が載せられ振動吸収手段によって架台に支持された載置台に固定された固定部材と、前記固定部材の両面と所定の隙間を開けて前記架台に設けられ、前記固定部材に向かって移動し、前記固定部材を両面から挟んで前記載置台を支持する挟持手段と、前記載置台の振動を検知して信号を出力するセンシング手段と、前記センシング手段からの前記信号に基づき、前記挟持手段を移動させる制御手段と、を有することを特徴としている。請求項1に記載の発明によれば、載置台に固定された固定部材の両面に、固定部材と所定の隙間を開けて挟持手段が設けられている。センシング手段が載置台の振動を検出すると、制御手段がセンシング手段からの信号に基づいて、挟持手段を固定部材に向けて移動させ、固定部材を両側から挟んで支持することができる。これにより、載置台に載置された機器類の移動等に伴い発生する、載置台の振動を抑制することができる。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の載置台の振動抑制装置において、前記挟持手段は、前記固定部材の両面に頂部が対向するように配置されたアーチ部材と、前記アーチ部材に設けられ、前記アーチ部材の曲率を変えて前記頂部を前記固定部材側に移動させるアクチュエータと、を有することを特徴としている。請求項2に記載の発明によれば、挟持手段を構成するアーチ部材は、固定部材の両面に頂部を対向させて配置され、アーチ部材の曲率を変えて頂部を固定部材側に移動させるアクチュエータが設けられている。これにより、アクチュエータでアーチ部材の曲率を変えて頂部を固定部材側に移動させ、アーチ部材により固定部材を両面から挟み、載置台の振動を抑制することができる。請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の載置台の振動抑制装置において、前記アクチュエータは、前記アーチ部材に接合され、印加電圧に基づいて伸縮する膜型圧電素子であることを特徴としている。請求項3に記載の発明によれば、アーチ部材に接合された膜型圧電素子が、印加電圧に基づいて伸縮され、曲率を変えてアーチ部材の頂部を固定部材側に移動させる。即ち、膜型圧電素子に印加する電圧を制御することで、膜型圧電素子を、アーチ部材の曲率の大きさを変えるアクチュエータとして作用させることができる。請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の載置台の振動抑制装置において、前記頂部に支持され、前記膜型圧電素子の上方に架け渡された受け部材が前記固定部材を支持することを特徴としている。これにより、受け部材が固定部材を支持するので、膜型圧電素子の損傷が防止される。請求項5に記載の発明は、請求項2~4のいずれか1項に記載の載置台の振動抑制装置において、前記アーチ部材の端部は、前記架台にスライド可能に取り付けられ、前記架台には前記端部をロックするロック手段が設けられていることを特徴としている。請求項5に記載の発明によれば、アーチ部材の端部がスライド可能に架台に取り付けられている。これにより、アーチ部材の曲率の変更が容易になり、固定部材側への頂部の移動が確保される。また、ロック手段によりアーチ部材の端部が架台にロックされる。これにより、アクチュエータの拘束力を上回る衝撃力が載置台から伝播されても、アーチ部材の形状が維持される。請求項6に記載の発明は、請求項2~5のいずれか1項に記載の載置台の振動抑制装置において、前記アーチ部材は、鋼板を湾曲させて形成されたアーチ支持板であり、前記固定部材の上側に配置された前記アーチ支持板の頂部の稜線と、下側に配置された前記アーチ支持板の頂部の稜線が直交していることを特徴としている。これにより、アーチ支持板の配置方向の選択の自由度が高くなり、挟持手段の小型化が図れる。請求項7に記載の発明は、請求項3~6のいずれか1項に記載の載置台の振動抑制装置において、前記センシング手段は、前記固定部材の振動で前記アーチ部材が変形され歪が発生したとき、前記歪を検知して電圧を発生させるセンシング用の膜型圧電素子、又はセンシング機能とアクチュエータ機能を合わせ持つ膜型圧電素子であり、前記制御手段は、前記固定部材の振動と逆位相の振動を前記アーチ部材から前記固定部材に加えるよう、前記膜型圧電素子への印加電圧を制御することを特徴としている。請求項7に記載の発明によれば、膜型圧電素子で形成されたセンシング手段により、固定部材の振動でアーチ部材が変形されて歪が発生したとき、膜型圧電素子に発生した電圧が検出される。また、制御手段は、載置台の振動と逆位相の振動を、アーチ部材から固定部材に加えるよう、膜型圧電素子へ印加する電圧を制御する。これにより、センシング機能を有する膜型圧電素子、又は、センシング機能とアクチュエータ機能を合わせ持つ膜型圧電素子をアーチ部材に取り付けることで、固定部材の振動により発生したアーチ部材の歪を直接検出できる。また、検出結果に基づいて制御手段により、載置台の振動と逆位相の振動をアーチ部材から固定部材に加えるよう、膜型圧電素子への印加電圧が制御される。この結果、載置台を支持したときの載置台の振動を短時間で減衰させることができる。請求項8に記載の発明は、請求項2~7のいずれか1項に記載の載置台の振動抑制装置において、前記センシング手段及び前記アクチュエータが、前記固定部材の上側又は下側のアーチ部材の少なくともいずれか一方に設けられていることを特徴としている。これにより、センシング手段及びアクチュエータを取り付けるアーチ部材の場所を、載置台に要求される制御精度、載置台で予想される衝撃力の大きさ、及び載置台の重量等の条件により、固定部材の上側のアーチ部材のみ、下側のアーチ部材のみ、上側のアーチ部材と下側のアーチ部材の両方の3つの選択肢の中から選択することができ、効果的に載置台の振動を抑制できる。請求項9に記載の発明に係る載置台の振動抑制方法は、センシング手段により、機器類が載せられ振動吸収手段によって架台に支持された載置台の振動を検出して信号を発生させる振動検出工程と、前記載置台に固定された固定部材の両面に所定の隙間を開けて配置されたアーチ部材の曲率を変え、前記頂部を前記固定部材側に移動させるアクチュエータに、前記信号に基づいて、制御手段により電圧を印加する電圧出力工程と、印加した前記電圧により、アーチ部材の前記頂部を前記固定部材側に移動させ、前記固定部材を両面から挟んで前記載置台を支持する挟持工程と、前記頂部が前記固定部材側に移動したとき、前記架台にスライド可能に取り付けられたアーチ部材の端部を、前記架台に取り付けられたロック手段でロックするロック工程と、前記固定部材を前記アーチ部材で支持した状態で、前記アクチュエータへの印加電圧を変化させ、前記載置台に前記振動と逆位相の振動を加える振動抑制工程と、を有することを特徴としている。これにより、振動吸収手段で支持されていた載置台を、載置台の振動が検出されたときに振動吸収手段に替えて挟持手段で支持することができ、載置された機器類の稼動に伴い発生する載置台の振動を抑制することができる。本発明は、上記構成としてあるので、載置された機器類の移動等に伴い発生する載置台の振動を抑制することができる。第1の実施の形態図1に示すように、第1の実施の形態に係る載置台の振動抑制装置以後、振動抑制装置と記載する10は、アクティブ除振台50の架台16に設けられ、精密機器類が載せられる載置台12を支持し、載置台12の振動を抑制する。架台16は鋼材製とされ、4本の脚部44を有し、脚部44の側壁には、脚部44同士を連結する横部材46が固定されている。架台16は、平面視が矩形状に形成され、上面で載置台12を支持している。脚部44の上下端部にはフランジ44Fが取り付けられ、下部フランジ44Fは、ボルト48で床面34に固定されている。脚部44の上部フランジ44Fと載置台12との間には、空気が充填され、ばね機能を有する空気ばね32が取り付けられている。空気ばね32は、4本の脚部44の上部にそれぞれ設けられ、載置台12を柔らかく支持している。これにより、床面34からの振動が空気ばね32で吸収され、載置台12への伝播を抑制している。なお、空気ばね32の周囲には、補助支柱42が設けられ、アクティブ除振台50が稼働していないときには、載置台12を脚部44に固く支持する。振動抑制装置10は、横部材46の上面に設けられ、空気ばね32と並列に載置台12を支持している。振動抑制装置10は、各横部材46の上面に2個ずつ合計8個設けられ、それぞれが独立して制御されている。振動抑制装置10を適切に制御することにより、載置台12の振動や傾斜が抑制される。横部材46の中央部であり振動抑制装置10の間には、補助支柱40が設けられている。補助支柱40は、横部材46と載置台12の間に配置され、アクティブ除振台50が稼働していないときに、載置台12を横部材46に固定する。なお、振動抑制装置10の数量は、アクティブ除振台50の仕様により決定されるものであり、本実施の形態の数量に限定されるものではない。横部材46はH形鋼で形成され、横方向に配置された上下フランジ46Fの間の空間には、空気ばね32及び振動抑制装置10を制御するコントローラ36が設けられている。また、コントローラ36の隣には、これらの電流を制御するレギュレータ38が設けられている。なお、配線類の記載は省略している。次に、振動抑制装置10の挟持部について説明する。図2の斜視図、及び図2のX-X線断面図である図3、4に示すように、振動抑制装置10の裏面には、載置台12に固定され、載置台12の振動が伝播される固定板14が設けられている。固定板14は鋼板製とされ、平板状の中央部14Cが水平に設けられ、両端部には載置台12の方向に折り曲げられた鉛直部14Eが載置台12の下面に固定されている。中央部14Cの両側面には、後述する挟持部54が配置されている。載置台12の下部には、載置台12と、載置台12に固定された固定板14とで矩形状に区画された空間が形成されている。この矩形状に区画された空間の内部には、鋼板製とされた上側板ばね取付台18の中央部18Cが挿入されている。中央部18Cは、水平に設けられ、両端部には、架台16の上面に設けられた取付台17の方向に折り曲げられた鉛直部脚部18Eが設けられ、脚部18Eの下端が、取付台17の上面に固定されている。固定板14の中央部14Cには、固定板14の上下に配置された挟持部54が設けられている。挟持部54は、固定板14を上下方向から挟んで挟持する。具体的には、固定板14の上方に設けられた上側板ばね20と、固定板14の下方に設けられた下側板ばね22で挟持部54が構成されている。上側板ばね20と下側板ばね22は、いずれもアーチ状に形成され、アーチ部の先端を固定板14に向けて取り付けられている。即ち、図3に示すように、上側板ばね20はアーチ部を下に向け、脚部20Lの両端部を、上側板ばね取付台18の中央部18Cの下面に取り付けている。このとき、アーチ部の先端は、固定板14の中央部14Cの上面と所定の隙間S数十μm程度を開けて取り付けられている。また、中央部14Cを挟んで対向する位置には、下側板ばね22が、アーチ部を上に向けて、取付台17の上面に取り付けられている。このとき、アーチ部の先端は、固定板14の下面と所定の隙間S数十μm程度を開けて取り付けられている。下側板ばね22の表面には、アクチュエータ24が貼り付けられている。アクチュエータ24は、図5に示すように、平板状に形成され、下側板ばね22のアーチ支持板23の表面に貼り付けられている。アーチ支持板23は、鋼板をアーチ状に折り曲げて形成され、アーチ支持板23の脚部の先端には丸棒28が固定されている。アクチュエータ24の内部構造の図示は省略するが、膜状とされた繊維状の圧電セラミックの両側面に、電極が印刷されたポリイミドフィルムをエポキシ樹脂で接合した膜型圧電素子が使用されている。この膜型圧電素子は、圧電セラミックの両側面に取り付けられたリード線26を介してコントローラ30から電圧を印加すれば、印加された電圧値に従った歪が圧電セラミックに生じ、膜型圧電素子が、例えば図5の斜視図に示す矢印Pの方向に変形する。更に、膜型圧電素子は、圧電セラミックが折り曲げられ歪が生じると、歪量に比例した電圧を発生する特性を有している。即ち、図6の断面図に示すように、アーチ支持板23の側面に貼り付けられたアクチュエータ24に、コントローラ30から電圧を印加すれば、アクチュエータ24を矢印Q1の方向に伸張させることができる。これにより、アーチ支持板23の先端部を矢印P1の方向に折り曲げることができる。この結果、アーチ部の先端が中央部14Cの方向に伸張され、上側板ばね20と下側板ばね22で固定板14を挟持することができる。ここに、アクチュエータ24は、上述した膜型圧電素子を積層して複数個使用した構成とされており、その中の一部を歪センサ27として作用させ、残りをアクチュエータ24として作用させることができる。即ち、アーチ支持板23の変形に伴い膜型圧電素子で発生した電圧を、リード線26で一体に描かれたセンサ用リード線でコントローラ30に導けば、コントローラ30で電圧を計測することができる。この電圧を利用すれば、アクチュエータ24を制御することができる。なお、アクチュエータ24がアーチ支持板23を変形させる力は、アクチュエータ24を増やせば増大できる。例えば、図7の斜視図及び図8の断面図に示すように、アーチ支持板23の表面のみでなく、裏面にもアクチュエータ25を貼り付け、表面のアクチュエータ24を矢印Q1の方向に伸張させ、裏面のアクチュエータ25を矢印Q2の方向に収縮させれば、アーチ支持板23の先端部を、矢印P2の方向により大きく変形させることができる。即ち、図4の挟持状態の断面図に示すように、アクチュエータ24で、下側板ばね22のアーチ支持板23の曲率を小さくすることで、アーチ部の先端を上板ばね20側に伸張させることができる。この構成において、載置台12が軽量で、かつ載置台12で発生する衝撃力が小さい場合には、下側板ばね22のアーチ部の先端を隙間2S以上の距離h1だけ、アクチュエータ24で伸張させることができる。この結果、固定板14及び載置台12が隙間S以上の距離h2だけ持ち上げられる。この状態において、固定板14が、上側板ばね20と下側板ばね22で上下方向から挟持される。なお、図5~8に示すように、下側板ばね22のアーチ部の上方に、アクチュエータ24を跨いで受け材64を取り付けても良い。受け材64は鋼材製とされ、アーチ支持板23上部に取り付けられたアクチュエータ24の全幅より大きい長さとされ、受け材64の下面とアクチュエータ24は接していない。これにより、アーチ支持板23のアーチ部が固定板14側に伸張しても、受け材64が固定板14と当接するため、アクチュエータ24の損傷を防止できる。次に、振動抑制装置10のロック部について説明する。図9の部分断面図に示すように、下側板ばね22の一方の脚部は固定部48の上部に取り付けられ、他方の脚部はスライド部49の上部に設置されている。そして、固定部48の下部とスライド部49の下部は、いずれもロック台58の上面に配置されている。ここに、スライド部49の下部は、ロック台58の上面をスライドする構成である。ロック台58は、横部材46の上面に設けられた取付台17に固定されている。固定部48はロック台58の一端に固定され、下側板ばね22の一方の脚部を固定する。スライド部49は、ロック台58の他端に配置され、ロック台58に設けられたスライド溝図示せずに、下端部がスライド可能に挿入されている。即ち、スライド部49は、アーチ支持板23が折り曲げられる方向と平行矢印Aで示す方向にスライド可能とされている。これにより、アクチュエータ24で、下側板ばね22のアーチ支持板23の曲率を小さくしたとき、スムーズにアーチ支持板23のアーチ部を上方に伸張させることができる。固定部48とスライド部49の間には、マグネット部52が取り付けられ、電磁マグネットの吸着部をスライド部49に向けている。そして、スライド部49が最も固定部48側にスライドした位置アーチ部を上方に最も伸張させた位置で、マグネット部52とスライド部49が最も近くなる。この最も近い位置でマグネット部52に通電すれば、スライド部49がマグネット部52に吸着され、吸着状態が維持される。これにより、アーチ支持板23はアーチ部を上方に伸張させた状態で維持される。これにより、アクチュエータ24の変形による拘束力を上回る衝撃力が、載置台12から伝播されても、アーチ支持板23の形状を維持することができる。マグネット部52への通電を停止すると、マグネット部52との吸着状態は解除され、スライド部49はスライド可能となる。なお、下側板ばね22のアーチ部の上方に架け渡された受け材64の上面は、固定板14の下面と所定の隙間S数十μm程度だけ開けて配置されている。これにより、アーチ支持板23のアーチ部が固定板14側に伸張しても、受け材64が固定板14と当接するため、アクチュエータ24の損傷を防止できる。次に、振動抑制装置10の制御方法について説明する。図10は、載置台ステージ12の上面を作業機器が、例えば距離0.8m離れた場所まで移動して、移動先で定められた作業を行い、作業後、元の位置まで戻る場合における、移動時間とステージ位置の関係を示している。図10の横軸は経過時間sを示し、縦軸はステージ位置mを示している。また、実線Hがステージ上の作業機器の移動経路を示している。なお、ハッチングした範囲が作業機器の作業時間帯を示し、白抜きの範囲が作業機器の移動時間帯を示している。作業機器の移動時間帯例えば時間t0~t1、t2~t3等においては、ステージ12を空気ばね32で柔らかく支持した場合、作業機器の移動でステージ12の重心がずれるため、ステージ12に振動が発生する。また、この時間帯は作業機器が移動中であり、精密な作業は行われていない。従って、この時間帯は、床面34からの振動の伝播を抑制するより、移動後の精密作業に備えてステージ12自身が振動しないように、高い剛性でステージ12を支持する必要がある。一方、作業機器の作業時間帯例えば時間t1~t2、t3~t4等においては、精密な作業が行われるため、作業機器の作業に支障が生じないように、載置台12を柔らかく支持して、床面からの振動の伝播を遮断する必要がある。このため、図11に示す各工程を実行して、柔らかくステージ12を支持する状態と、高い剛性でステージ12を支持する状態をスムーズに切り替えている。先ず、振動検出工程66を実行する。具体的には、作業機器等の移動によりステージ12に振動が発生したとき、ステージ12の振動が固定板14に伝播される。固定板14の振幅が所定の隙間S以上のとき、固定板14が下側板ばね22を変形させ、下側板ばね22に歪が生じる。この歪が、下側板ばね22のアクチュエータ24に設けられた歪センサで検出され、検出結果がコントローラ30に出力される。次に、電圧出力工程67を実行する。具体的には、歪センサからの信号に基づいて、コントローラ30が印加電圧を発生させ、アクチュエータ24に出力する。アクチュエータ24は、印加電圧に従って変形され、アーチ支持板23の曲率を変える。アーチ支持板23は曲率を小さくされると、アーチ部の頂部が固定板14側に伸張される。次に、挟持工程68を実行する。具体的には、固定板14側に伸張させた下側板ばね22のアーチ支持板23の頂部で、固定板14を上側板ばね20の方向に移動させる。固定板14を上側板ばね20の頂部まで移動させることで、下側板ばね22と上側板ばね20で固定板14を上下から挟んで挟持することができる。これにより、載置台12を固く支持することができる。次に、ロック工程69を実行する。具体的には、下側板ばね22の頂部が固定板14側に伸張したとき、スライド可能に取り付けられたアーチ支持板23の一方の端部は、スライド部49と共にマグネット部52の方にスライドして近づく。最もスライド部49とマグネット部52が近づいたとき、マグネット部52に通電される。これにより、スライド部49がマグネット部52に吸着され、アーチ支持板23の頂部が固定板14側に伸張した状態でロックされる。次に、振動抑制工程70を実行する。具体的には、固定板14を下側板ばね22と上側板ばね22で上下から挟んで挟持した状態で、コントローラ30からアクチュエータ24へ電圧を印加して、載置台12の振動を抑制させる。このとき、印加電圧を、例えば、載置台12から下側板ばね22に伝播された振動と逆位相の振動をコントローラ30で発生させ、アクチュエータ24に出力する。載置台12の振動と逆位相の振動を、アクチュエータ24から、固定板14を介して載置台12に加えることにより、載置台12の振動を短時間で抑制できる。次に、振動停止検出工程71を実行する。具体的には、載置台12の振動による歪が歪センサで検出されなくなったことを確認して、作業機器の移動が終了したと判断する。判断結果をコントローラ30に出力する。次に、ロック解除工程72を実行する。即ち、コントローラ30は、作業機器の移動の終了が入力されたとき、マグネット部52への通電を停止し、下側板ばね22のロックを解除する。最後に、変形解除工程73を実行する。具体的には、コントローラ30は、マグネット部52への通電の停止と同時に、アクチュエータ24への印加電圧を停止し、下側板ばね22の変形を解除する。以上説明したように、空気ばね32で柔らかく支持されていた載置台12を、載置台12からの振動を検出して空気ばね32に替えて、挟持部54で固く支持する。これにより、載置された作業機器の移動に伴い発生する載置台12の振動を抑制することができる。そして、作業機器類の移動の終了を検知して、挟持部54での挟持を解除し、載置台12を再び空気ばね32で支持させる。これにより、作業機器が載置台12の上を移動しても、載置台12に生じる振動を効果的に抑制することができる。作業機器類が異なる方向に移動して作業をするときや、移動する距離が異なるときも、同じ考えで制御すればよい。第2の実施の形態第2の実施の形態に係る載置台の振動抑制装置80は、上側板ばね76にのみアクチュエータ24を取り付けた構成である。即ち、図12に示すように、固定板14の中央部14Cの両面に、上側板ばね76と下側板ばね77が配置されている。このとき、上側板ばね76と下側板ばね77の頂部は所定の距離Sだけ開けて配置され、上側板ばね76にはアクチュエータ24が取り付けられ、コントローラ30とリード線26で接続されている。下側板ばね77には、アクチュエータ24は取り付けていない。これにより、載置台12の振動がアクチュエータ24に設けられたセンサで検出されたとき、コントローラ30が印加電圧を出力する。電圧を印加されたアクチュエータ24は、上側板ばね76の頂部の曲率を変えて頂部を伸張させる。この結果、上側板ばね76の頂部が矢印の方向下側に、所定の距離2Sより大きい距離h3だけ移動する。これにより、上側板ばね76と下側板ばね77が、固定板14の中央部14Cを両面から挟むことができる。この結果、載置された作業機器の移動に伴い発生する載置台12の振動を抑制することができる。この構成は、載置台12の重量が大きい場合や、予想される衝撃力が大きいときに、下側板ばね77を頑強に構成することで対応できる長所を有する。他の部分の構成は、第1の実施の形態と同じであり説明は省略する。第3の実施の形態第3の実施の形態に係る載置台の振動抑制装置82は、上側板ばね76及び下側板ばね22の両方にアクチュエータ24を取り付けた構成である。即ち、図13の断面図に示すように、固定板14中央部14Cの両面に、上側板ばね76と下側板ばね22を配置した構成である。このとき、上側板ばね76と下側板ばね77の頂部は所定の距離Sだけ開けて配置され、上側板ばね76と下側板ばね22には、それぞれアクチュエータ24が取り付けている。アクチュエータ24は、それぞれのコントローラ30とリード線26で接続されており、アクチュエータ24は、それぞれ独立して制御される。これにより、上側板ばね76と下側板ばね22の両方を、それぞれに取り付けられたアクチュエータ24で独立して制御し、頂部の曲率を変えて所定の距離Sより大きい距離h5だけ、それぞれを移動させることができる。これにより、上側板ばね76と下側板ばね22で固定板14の中央部14Cを両面から挟むことができる。この結果、載置された作業機器の移動に伴い発生する載置台12の振動を抑制することができる。この構成は、載置台12に上下方向の移動が生じないため、載置台12の高さ制御に、より高い精度が要求されるときに対応できる長所を有する。他の部分は、第1の実施の形態と同じであり、説明は省略する。第4の実施の形態第4の実施の形態に係る載置台の振動抑制装置84は、第3の実施の形態で説明した、上側板ばね及び76下側板ばね22の両方にアクチュエータ24を取り付けた構成である。そして、2つのアクチュエータ24を、1つのコントローラ31で制御する。即ち、図14に示すように、上側板ばね76及び下側板ばね22のアクチュエータ24からのリード線26を、いずれもコントローラ31に接続している。ここに、リード線26には、アクチュエータ24に設けられたセンサからの出力信号用のリード線、及びアクチュエータ24への制御電圧供給用のリード線のいずれも含まれている。これにより、上側板ばね76及び下側板ばね22のアクチュエータ24に設けられたセンサからの形状情報が、コントローラ31に入力される。また、コントローラ31からの制御電圧を上側板ばね及び76下側板ばね22に印加させることができる。この結果、例えば、上側板ばね76又は下側板ばね22のセンサからの出力に対応させて、上側板ばね76又は下側板ばね22のアクチュエータ24を変形させ、上側板ばね76又は下側板ばね22を移動させ、固定板14を両面から挟むことができる。更に、固定板14を両面から挟んだ状態で、載置台12から、下側板ばね22に伝播された振動と逆位相の振動をコントローラ30で発生させ、固定板14を介して載置台12に加えることにより、載置台12の振動を短時間で抑制させることができる。具体的には、固定板14を両面から挟んだ状態で、上側板ばね76のアクチュエータ24に設けられたセンサからの出力で、下側板ばね22のアクチュエータ24を制御することができる。即ち、固定板14を両面から挟んだ状態で、載置台12から上側板ばね76に伝播された振動と逆位相の振動をコントローラ30で発生させ、下側板ばね22のアクチュエータ24を制御し、固定板14を介して載置台12に加えることにより、載置台12の振動を短時間で抑制させることができる。図15に振動の伝達度合いを示す伝達率で効果を検証した結果を示す。ここに、横軸は周波数Hzであり、縦軸は伝達率dBである。図15において、破線で示す特性Aは、振動を制御しない場合の伝達率であり、実線で示す特性Bは、本実施の形態で説明した制御を行った場合の伝達率である。結果から、本実施の形態で説明した制御を行った場合、振動数20Hzを中心とした共振点において、伝達率を約15dBから約5dBまで、約105dB程度低減させることができることが分かる。即ち、上側板ばね76のアクチュエータ24に設けられたセンサからの出力で、下側板ばね22のアクチュエータ24を制御することで、振動の伝達率を大きく低減させることができる。なお、他の構成として、下側板ばね22のアクチュエータ24に設けられたセンサからの出力で、上側板ばね76のアクチュエータ24を制御することもできる。この構成においても、上記と同様の効果を得ることができる。他の構成は、第1の実施の形態と同じであり、説明は省略する。第5の実施の形態第5の実施の形態に係る載置台の振動抑制装置60は、固定板14の中央部14Cを挟んで、中央部14Cの上下に上側板ばね20と下側板ばね62を、頂部の稜線を交差させて配置した構成である。図16の斜視図に示すように、下側板ばね62は、第1の実施の形態における載置台の振動抑制装置10における下側板ばね22と異なり、取り付け方向を90度回転させて、取付台17に取り付けられている。即ち、上側板ばね20と下側板ばね62は、頂部の稜線が互いに直交している。これにより、下側板ばね22の配置の自由度が高くなる。また、挟持部54の小型化が図れる。他の部分は、第1の実施の形態と同じであり、説明は省略する。