"プラスの温度係数を有するYカット水晶板とマイナスの温度係数を有するXカット水晶板の対向する主面を適宜の接合方法により直接接合するとともに、他の対向する主面に電極をそれぞれ形成して零温度係数を有する水晶振動子を構成したことを特徴とする水晶振動子。請求項1に記載の水晶振動子において、前記Xカット水晶板を平板状に形成し、他方前記Yカット水晶板の中央部をくり貫いて形成し、対向する前記両水晶板の主面を適宜の接合方法により直接接合し、前記Xカット水晶板の露出した両主面に電極をそれぞれ形成して前記Xカット水晶板の振動を主に使用するようにしたことを特徴とする水晶振動子。請求項1に記載の水晶振動子において、前記Yカット水晶板を平板状に形成し、他方前記Xカット水晶板の中央部をくり貫いて形成し、対向する前記両水晶板の主面を適宜の接合方法により直接接合し、前記Yカット水晶板の露出した両主面に電極をそれぞれ形成して前記Yカット水晶板の振動を主に使用するようにしたことを特徴とする水晶振動子。請求項1から4のいずれか一項に記載の水晶振動子を用いた水晶発振器。プラスの温度係数を有するYカット水晶板とマイナスの温度係数を有するXカット水晶板を準備する工程と、前記Yカット水晶板と前記Xカット水晶板の対向する主面同志を適宜の接合方法により直接接合する工程と、直接接合した前記Yカット水晶板と前記Xカット水晶板の他の対向する露出した主面に電極をそれぞれ形成する工程と、からなることを特徴とする水晶振動子の製造方法。請求項5に記載の水晶振動子の製造方法において、平板状に形成した前記Xカット水晶板と中央部をくり貫いて形成した前記Yカット水晶板とを準備する工程と、平板状の前記Xカット水晶板と中央部をくり貫いた前記Yカット水晶板の対向する主面同志を適宜の接合方法により直接接合する工程と、直接接合した前記Xカット水晶板の他の対向する露出した主面に電極をそれぞれ形成する工程と、からなることを特徴とする水晶振動子の製造方法。請求項5に記載の水晶振動子の製造方法において、平板状に形成した前記Yカット水晶板と中央部をくり貫いて形成した前記Xカット水晶板とを準備する工程と、平板状の前記Yカット水晶板と中央部をくり貫いた前記Xカット水晶板の対向する主面同志を適宜の接合方法により直接接合する工程と、直接接合した前記Yカット水晶板の他の対向する露出した主面に電極をそれぞれ形成する工程と、からなることを特徴とする水晶振動子の製造方法。請求項5から7に記載の水晶振動子の製造方法において、前記Xカット水晶板及び前記Yカット水晶板にそれぞれ複数の水晶振動子を形成可能な集合水晶基板を用い、両前記集合水晶基板を直接接合し、かつ、前記集合水晶基板の主面に各個片の水晶振動子に対応する電極をそれぞれ形成した後、前記直接接合した集合水晶基板を個片の水晶振動子に分割することを特徴とする水晶振動子の製造方法。請求項5から7に記載の水晶振動子の製造方法において、前記接合方法が、導電性接着剤によることを特徴とする水晶振動子の製造方法。請求項5から7に記載の水晶振動子の製造方法において、前記接合方法が、シロキサン接合によることを特徴とする水晶振動子の製造方法。しかしながら、この種の従来の水晶振動子では、依然として温度依存性が小さく、かつ、電気機械結合係数を大とした水晶振動子が得られないとする問題点があった。そこで、上記した課題を解決するため、本発明の水晶振動子では、温度係数熱膨張係数がマイナスのXカット水晶板と温度係数がプラスのYカット水晶板とを直接接合して、両者の温度係数を打ち消し、零温度係数をもたせ、温度依存性を小さくし、かつ、電気機械結合係数が大な、さらに周波数温度特性の良い水晶振動子が得られるようにする。そのため、本発明の水晶振動子では、プラスの温度係数を有するYカット水晶板とマイナスの温度係数を有するXカット水晶板の対向する主面を適宜の接合方法により直接接合するとともに、他の対向する主面に電極をそれぞれ形成して零温度係数を有する水晶振動子を構成する。また、前記Xカット水晶板を平板状に形成し、他方前記Yカット水晶板の中央部をくり貫いて形成し、対向する前記両水晶板の主面を適宜の接合方法により接合し、前記Xカット水晶板の対向、かつ、露出した両主面に電極をそれぞれ形成して前記Xカット水晶板の振動を主に使用するようにする。さらに、前記Yカット水晶板を平板状に形成し、他方前記Xカット水晶板の中央部をくり貫いて形成し、対向する前記両水晶板の主面を適宜の接合方法により接合し、前記Yカット水晶板の対向、かつ、露出した両主面に電極をそれぞれ形成して前記Yカット水晶板の振動を主に使用するようにする。また、本発明の水晶振動子は水晶発振器に用いることができる。本発明の水晶振動子の製造方法は、プラスの温度係数を有するYカット水晶板とマイナスの温度係数を有するXカット水晶板を準備する工程と、前記Yカット水晶板と前記Xカット水晶板の対向する主面同志を適宜の接合方法により直接接合する工程と、直接接合した前記Yカット水晶板と前記Xカット水晶板の他の対向する主面に電極をそれぞれ形成する工程と、からなる。また、本発明の水晶振動子の製造方法は、平板状に形成した前記Xカット水晶板と中央部をくり貫いて形成した前記Yカット水晶板とを準備する工程と、平板状の前記Xカット水晶板と中央部をくり貫いた前記Yカット水晶板の対向する主面同志を適宜の接合方法により直接接合する工程と、直接接合した前記Xカット水晶板の対向、かつ、露出する主面に電極をそれぞれ形成する工程と、からなる。本発明の水晶振動子の製造方法は、平板状に形成した前記Yカット水晶板と中央部をくり貫いて形成した前記Xカット水晶板とを準備する工程と、平板状の前記Yカット水晶板と中央部をくり貫いた前記Xカット水晶板の対向する主面同志を適宜の接合方法により直接接合する工程と、直接接合した前記Yカット水晶板の対向、かつ、露出する主面に電極をそれぞれ形成する工程と、からなる。さらに、本発明の水晶振動子の製造方法は、前記Xカット水晶板及び前記Yカット水晶板にそれぞれ複数の水晶振動子を形成できる集合水晶基板を用い、両前記水晶基板を直接接合し、かつ、前記主面に各個片の水晶振動子に対応する電極をそれぞれ形成した後、個片の水晶振動子に分割することからなる。またさらに、本発明の水晶振動子の製造方法では、前記接合方法が導電性接着剤によることを特徴とする。本発明の水晶振動子の製造方法では、前記接合方法がシロキサン接合によることを特徴とする。温度係数が逆符号のXカット水晶板とYカット水晶板とを直接接合することにより零温度係数をもつ水晶振動子を構成したので、温度依存性が小さく、かつ、電気機械結合係数が大な、さらに周波数温度特性の良い水晶振動子が得られる。以下、本発明の水晶振動子及びその製造方法の実施例を添付した図1から図5に基いて説明する。水晶振動子の周波数温度特性は、水晶片の密度と寸法及び弾性率の温度特性で近似的に決まり、これらの3つの性質が合成して零になる時、水晶振動子の周波数温度特性が最良となる。ここで、Xカット水晶板の温度係数熱膨張係数とATカット等を含む回転Yカット群からなる水晶板以下、Yカット水晶板というの温度係数は、逆符号、すなわち、Xカット水晶板の温度係数はマイナスであるのに対して、Yカット水晶板の温度係数はプラスであるので、Xカットの水晶振動子は温度を上げると周波数がマイナス方向に動くのに対して、Yカットの水晶振動子は周波数がプラス方向に動く。そこで、Xカット水晶板と、Yカット水晶板とを直接貼り合せることにより、Xカット水晶板の厚み縦振動とYカット水晶板の厚み滑り振動とは同じ厚み振動でも系列が異なるものの、両X,Y水晶板の温度係数が互に打消し合って、零温度係数をもち、かつ、周波数温度特性の良い水晶振動子が得られることになる図1a,b参照。すなわち、本発明の水晶振動子とその製造方法は、Xカット水晶板とYカット水晶板とを直接貼り合せて直接接合することにより生じる両温度係数の打消し効果を利用して、零温度係数をもつ、温度変化による周波数変動を極力少なくした水晶振動子を製造するものである。ここで、ATカット水晶板は、振動モードが厚みすべりであり、これと同様の厚みすべり振動モードをもつ回転Yカット板の同一の群に属し、図1aに示すように、ATカット水晶板のθをパラメータとした周波数温度特性を有している。これに対して、Xカット板等の周波数温度特性は、図1bに示すように、人工水晶と天然水晶の間に有意差はなく、かつ、例えば、ATカット水晶板、Eカット水晶板の周波数温度特性は、図1aに示すように、変曲点20°C以上でプラスとなる。これに対して、図1bに示すように、Xカット板では、0°Xは、頂点20°C以上において、プラスとなり、その傾きは、ATカット水晶板、Eカット水晶板の周波数温度特性と、丁度同じとなり、互いに打ち消すようになる。そこで、まず、図2に示すように、Xカット水晶板10とYカット水晶11とを準備し工程a,b、Xカット水晶板10及びYカット水晶板11の一方の主面を直接適宜の接合方法により接合する工程c。この接合方法は、公知の何れかの接合方法、例えば、導電性接着剤、分子間結合例えば、シロキサン結合等による。ここで、前述したシロキサン結合による直接接合の場合には、Xカット水晶板10とYカット水晶板11の主面を鏡面研磨して親水化OH基化し、両主面同志を当接して加熱処理し、H2Oを主面から除去することによって、両水晶板10,11をSi-O-Siシロキサン結合する。次いで、直接接合したXカット水晶板10及びYカット水晶板11の露出した他の主面に蒸着、メッキ等により電極12をそれぞれ形成する工程d。Xカット水晶板10とYカット水晶板11とを直接接合して構成した水晶振動子により、直接依存性の小さくすなわち零温度係数をもつ、かつ、Xカット水晶板とYカット水晶板とも伸縮振動で電気機械結合係数が大きいので、当該結合係数が大きい水晶カットのメリットが生かされて、電気機械結合係数が大な水晶振動子が得られる。また、図2に示した個片の水晶振動子を多数個まとめて製造する場合には、図4に示すように、個片の水晶振動子を多数個例えば、100個形成可能な平面視円形例えば4インチまたは矩形状のXカットとYカットの集合水晶基板ウエハを準備し、両集合水晶基板同志の一方の対向する主面を前述した接合方法により直接接合した後、各個片の水晶振動子に対応する電極例えば、励振電極、引出電極等を蒸着、メッキ等により対向する他の両主面に形成する。その後、ダイシングラインに沿ってダイシングソー等により水晶基板を断裁して分割し、個片の水晶振動子を得る。また、図3に示すように、Xカット水晶板の厚み縦振動を主に利用する場合には、Xカット水晶板を平面状にし、Yカット水晶板が平板状の周辺部に配置されるように、Yカット水晶板の中央部をくり貫いてからXカット水晶板の外縁部に貼り付けるか、あるいは貼り付けた後、Yカット水晶板の中央部をくり貫いてから両水晶板を直接接合する。その後、両Xカット水晶板とYカット水晶板の他の主面に電極をそれぞれ形成する。これにより、Xカット水晶板の周辺部に設けたYカット水晶板の熱膨張係数プラスが、Xカット水晶板の熱膨張係数マイナスで打ち消され、結局、零温度係数をもつ水晶振動子が得られる。また、Yカット水晶板の厚み滑り振動を主に利用する場合には、Yカット水晶板を平板状にし、Xカット水晶板が平板状の周辺部に配置されるように、その中央部をくり貫いてからYカット水晶板に貼り付けるか、あるいはXカット水晶板の中央部をくり貫いてから貼り付けた後、両水晶板を直接接合する。その後、Xカット水晶板とYカット水晶板の他の主面に電極をそれぞれ形成する。これにより、Yカット水晶板の熱膨張係数プラスがその周辺部に設けたXカット水晶板の熱膨張係数マイナスで打ち消され、結局、零温度係数をもつ水晶振動子が得られる。また、図2に示した個片の水晶振動子を多数個例えば、100個まとめて製造する場合には、図5に示すように、個片の水晶振動子を多数個形成可能な円形または例えば4インチまたは矩形状のXカットとYカットのいずれか一方の水晶板に形成される個片の水晶振動子の中央部に相当する部分をくり貫いた集合水晶基板同志の一方の主面を前述した接合方法により直接接合する。その後、各個片の水晶振動子に対応する電極例えば、励振電極、引出電極等を蒸着、メッキ等により対向する他の両主面に形成する。最後に、ダイシングラインに沿ってダイシングソー等により断裁して分割し、個片の水晶振動子を得る。"