"粘着テープのウェーハが貼付されている部分を含む中央の第1の部分が上面に載置される加熱テーブルと、前記加熱テーブルの外周縁を囲むように配置された非加熱リングと、前記非加熱リングの上面に積層され、前記第1の部分の外側の第2の部分が直接または間接に載置される断熱材と、前記粘着テープの前記第2の部分よりも外側の第3の部分を保持する保持装置と、前記加熱テーブル及び非加熱リングを、前記保持装置に対して相対的に上下方向に駆動して前記粘着テープを拡張する駆動装置とを備える、エキスパンド装置。前記非加熱リングの上面に前記粘着テープが接触しないように、前記非加熱リングの上面が前記加熱テーブルの上面よりも低くされている、請求項1に記載のエキスパンド装置。前記非加熱リングが上面に凹部を有し、該凹部内に枠材が配置されており、前記保持リングの上面と、前記非加熱リングの凹部外の上面部分とが面一とされている、請求項1に記載のエキスパンド装置。前記非加熱リングが、前記加熱テーブルの外周縁に対して隙間を隔てて配置されている、請求項1~3のいずれか1項に記載のエキスパンド装置。前記加熱テーブルと、前記非加熱リングとを連結する連結部材をさらに備え、該連結部材の一部に、第2の断熱材が介在されている、請求項1~4のいずれか1項に記載のエキスパンド装置。前記加熱テーブルの上面が、拡張後の複数の部品が占める領域以下の大きさとされている、請求項1~5のいずれか1項に記載のエキスパンド装置。請求項1~6のいずれか1項に記載のエキスパンド装置を用いた部品の製造方法であって、前記粘着テープの上面に個々の部品に切断されたウェーハを貼付する工程と、前記エキスパンド装置の前記加熱テーブル上に前記粘着テープの前記第1の部分が位置するように、かつ前記第2の部分が前記断熱材上に直接または間接に積層されるように、前記粘着テープを配置する工程と、前記駆動装置により前記加熱テーブル及び前記非加熱リングを前記保持装置に対して相対的に下方に移動させ、前記複数個の部品同士を隔てる工程とを備える、部品の製造方法。エキスパンド装置1001では、粘着テープ1003の拡張を容易とするために、加熱テーブル1002により粘着テープ1003を加熱している。加熱テーブル1002は、シャフト1006の上端に固定されている。シャフト1006は図示しない他の部材を介して、下側拡張リング1005に連結されている。これらの部材は、機械的強度を要求されるため、金属などからなる。そのため、加熱テーブル1002の熱が、シャフト1006を伝わり下側拡張リング1005から上側拡張リング1004まで伝わることとなる。その結果、粘着テープ1003において、ウェーハが貼付されている領域だけでなく、上側拡張リング1004と接触している外周縁近傍の領域においても加熱されることとなる。従って、粘着テープ1003のウェーハ貼付領域よりも外側の領域でも粘着テープ1003が拡張されることとなる。また、特に上側拡張リング1004の中でもシャフト1006との接続部分は他の部分に比べて高温になる。この温度差により粘着テープ1003は等方的に拡張されにくく、拡張程度がばらつくという問題があった。そのため、中央のウェーハ貼付領域において粘着テープ1003が十分に拡張され難いという問題があった。よって、部品間の間隔を均等にかつ十分に拡げることが困難であり部品を確実にピックアップすることが困難となる。本発明の目的は、ウェーハ貼付領域において、粘着テープをより効果的に拡張させることができ、部品を高精度にピックアップすることを可能とするエキスパンド装置及び該エキスパンド装置を用いた部品の製造方法を提供することにある。本発明に係るエキスパンド装置は、加熱テーブルと、非加熱リングと、断熱材と、保持装置と、駆動装置とを備える。加熱テーブルの上面には、粘着テープの前記ウェーハが貼付されている部分を含む中央の第1の部分が載置される。非加熱リングは、加熱テーブルの外周縁を囲むように配置されている。断熱材は、前記非加熱リングの上面に積層されている。前記粘着テープの前記第1の部分の外側の第2の部分が断熱材の上面に直接または間接に積層される。保持装置は、粘着テープの上記第2の部分よりも外側の第3の部分を保持するものである。上記駆動装置は、前記加熱テーブル及び非加熱リングを前記保持装置に対して相対的に上下方向に駆動し、粘着テープを拡張するための装置である。本発明に係るエキスパンド装置のある特定の局面では、前記非加熱リングの上面に前記粘着テープが接触しないように、前記非加熱リングの上面が前記加熱テーブルの上面よりも低くされている。この場合には、非加熱リングにより粘着テープが直接加熱され難い。そのため、粘着テープの第1の部分における拡張率をより一層高めることができる。本発明に係るエキスパンド装置の他の特定の局面では、前記非加熱リングが上面に凹部を有し、該凹部内に枠材が配置されており、前記保持リングの上面と、前記非加熱リングの凹部外の上面部分が面一とされている。このように、非加熱リングの上面が粘着テープの上面に接触するように構成されていてもよい。本発明に係るエキスパンド装置のさらに他の特定の局面では、前記非加熱リングが、前記加熱テーブルの外周縁に対して隙間を隔てて配置されている。この場合には、非加熱リングに加熱テーブルの外周縁から伝熱による熱移動が生じ難い。本発明に係るエキスパンド装置のさらに別の特定の局面では、前記加熱テーブルと、前記非加熱リングとを連結する連結部材をさらに備え、該連結部材の一部に、第2の断熱材が介在されている。この場合には、第2の断熱材により、非加熱リングの温度上昇を効果的に抑制することができる。本発明に係るエキスパンド装置のさらに別の特定の局面では、前記加熱テーブルの上面が、拡張後に複数の部品が占める領域以下の大きさとされている。この場合には、拡張後の複数の部品が占める領域よりも外側の領域の加熱を効果的に抑制することができる。本発明に係る部品の製造方法は、本発明のエキスパンド装置を用いた製造方法である。本発明の製造方法は、下記の各工程を備える。前記粘着テープの上面に個々の部品に切断されたウェーハを貼付する工程。前記エキスパンド装置の前記加熱テーブル上に前記粘着テープの前記第1の部分が位置するように、かつ前記第2の部分が前記断熱材上に直接または間接に積層されるように、前記粘着テープを配置する工程。前記駆動装置により前記加熱テーブル及び前記非加熱リングを前記保持装置に対して下方に移動させ、前記複数個の部品同士を隔てる工程。本発明に係るエキスパンド装置及びその製造方法によれば、枠材が断熱材を介して非加熱リングに積層されているため、加熱テーブルから非加熱リングに伝わってきた熱が断熱材の上方に伝わり難い。そのため、第1の部分を加熱テーブルからの熱により効果的に拡張することができるとともに、第2の部分における拡張を抑制することができる。従って、複数の部品間の間隔を十分に拡げることができ、拡張程度のばらつきも生じ難い。よって、ダイシング後に個々の部品を高精度にピックアップすることが可能となる。以下、図面を参照しつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより本発明を明らかにする。図1bは、本発明の第1の実施形態に係るエキスパンド装置を説明するための正面断面図である。エキスパンド装置1は、粘着テープ2を径方向外側に拡張する装置である。粘着テープ2は、少なくとも上面が、粘着性を有する合成樹脂フィルム材料からなる。粘着テープ2は、円形の平面形状を有する。粘着テープ2の上面には、該粘着テープの外周縁近傍に保持リング3が固定されている。エキスパンド装置1には、上記粘着テープ2が保持リング3に固定されている構造が図示のように載置される。また、粘着テープ2の上面は粘着性を備え、ウェーハ4が粘着固定されている。ウェーハ4は、ダイシングにより複数の部品4aに分割されている。本実施形態のエキスパンド装置1では、図1bに示すように、すでにダイシングされたウェーハ4が粘着テープ2に接着固定された構造が、エキスパンド装置1にセットされる。エキスパンド装置1は、円板状の加熱テーブル5を有する。加熱テーブル5の平面形状は円形に限定されるものではなく、矩形等の他の形状であってもよい。加熱テーブル5の下面には、ボールねじ6の上端が固定されている。上記加熱テーブル5の上面の面積は、複数の部品4aが粘着テープ2を拡張した後に占める領域の面積以下の面積を有するように構成されている。もっとも、加熱テーブル5の上面の面積は、粘着テープ2を拡張した後の複数の部品4aが占める領域の面積より大きくともよい。上記加熱テーブル5は、粘着テープ2を加熱する作用を果す。それによって、加熱テーブル5の上面に位置している粘着テープ部分、すなわち中央の第1の部分における粘着テープ2の拡張を容易に行うことができる。加熱テーブル5は、粘着テープ2を加熱するものであるため、金属などの熱伝導性に優れた材料からなることが好ましい。本実施形態では、加熱テーブル5は金属からなる。加熱テーブル5の下方に、加熱テーブル5の下面と対向するように支持プレート7が配置されている。支持プレート7は、中央にねじ穴を有し、このねじ穴に、ボールねじ6がねじ込まれている。ボールねじ6の周りに支持プレート7を回転させることにより、加熱テーブル5を上下方向に移動させることができる。もっとも、加熱テーブル5の下面と、支持プレート7の上面とは、加熱テーブル5の周方向に沿って配置された複数本のロッド8により連結されている。支持プレート7は、加熱テーブル5よりも大きな面積の円板状部材である。支持プレート7は、金属などの剛性材料からなる。好ましくは、機械的強度に優れ、安価であるため、支持プレート7は、金属からなる。支持プレート7は、加熱テーブル5と同心に配置されている。また、支持プレート7の面積は、加熱テーブル5よりも大きくされている。上記支持プレート7の外周縁近傍においては、上面において複数本の連結ロッド9が立設されている。複数本の連結ロッド9は、支持プレート7の周方向に均一に分散配置されている。上記連結ロッド9は、金属からなるが、他の剛性材料により形成されてもよい。なお、上記複数本のロッド8及び複数本の連結ロッド9の位置を、図1aにより明らかにする。図1aは、エキスパンド装置1において、保持装置14で囲まれた内側の部分の模式的平面図であり、ここでは、粘着テープ2及びウェーハ4は載置されていない。図1aから明らかなように、複数本のロッド8及び複数本の連結ロッド9は、それぞれ、周方向において均一に分散配置されている。図1cに要部を拡大して示すように、連結ロッド9の上端面には、第1の断熱材10が積層されている。第1の断熱材10上に、非加熱リング12が固定されている。非加熱リング12は、金属からなるが、他の剛性材料により形成されていてもよい。強度が高く、寸法安定性に優れているため、本実施形態では、非加熱リング12は、金属からなる。非加熱リング12の内周面は、加熱テーブル5の外周面と隙間Gを隔てられている。もっとも、非加熱リング12の内周面と、加熱テーブル5の外周面は接触されていてもよい。好ましくは、上記隙間Gが設けられることが望ましい。それによって、後述するように、非加熱リング12の加熱を抑制することができ、粘着テープ2の第1の部分の拡張率をより一層高めることができる。非加熱リング12は、略円環状の形状を有するが、上面に凹部12aが形成されている。凹部12aは、非加熱リング12の上面において、径方向外側に開いている。凹部12aの底面に、第2の断熱材11が積層されている。第2の断熱材11は、第1の断熱材10と同様に、断熱作用を果すものである。従って、非加熱リング12よりも熱伝導性が低い適宜の断熱性材料により形成し得る。好ましくは、断熱性に優れているため、第1,第2の断熱材10,11は、樹脂からなることが望ましい。本実施形態では、第1,第2の断熱材10,11は、ガラスエポキシ樹脂からなる。また、図1cに示すように、第2の断熱材11の上面は、非加熱リング12の上面よりも低くされている。それによって、後述する枠材13の一部を凹部12a内に収納することができる。それによって、枠材13を非加熱リング12上に安定に配置することができる。より好ましくは、円環状の枠材13の内径は、非加熱リング12の凹部の環状垂直壁12bの径と同等もしくは該径よりも若干小さくされていることが望ましい。それによって、枠材13を、環状垂直壁12bに密着させることができる。それによって、枠材13の位置ずれを防止することができる。枠材13は、円環状の形状を有する。枠材13の上面は、加熱テーブル5の上面と同じ高さ位置とされている。それによって、図1bに示すように、平坦な粘着テープ2を安定に支持することができる。上記枠材13は、金属などの剛性材料からなる。金属などの剛性材料からなるため、枠材13の上面と、加熱テーブル5の上面とを正確に同じ高さ位置にすることができる。上記枠材13の上面が、粘着テープ2の第2の部分の下面に接触している。すなわち、第2の部分とは、前述した粘着テープ2の第1の部分の外側に位置するドーナツ状の領域である。第1の部分は、前述したように、加熱テーブル5上に位置する部分である。第2の部分は、加熱テーブル5の外周縁よりも外側のリング状の領域である。粘着テープ2は、第2の部分の外側に、さらにリング状の第3の部分を有する。この第3の部分において、粘着テープ2は、保持リング3と共に、保持装置14により保持されている。保持装置14は、下方に位置している第1の保持部材14aと、上方に位置している第2の保持部材14bとを有する。第1,第2の保持部材14a,14b間に、粘着テープ2の第3の領域及び保持リング3が挟持され、かつ固定されている。保持装置14は、図1bにおいて、略図的に示す駆動装置Mにより、上下方向に移動可能とされている。すなわち、保持装置14は、加熱テーブル5及び枠材13、非加熱リング12に対し、独立に上下方向に移動可能とされている。次に、上記エキスパンド装置1を用いた部品の製造方法の実施形態を説明する。先ず、図1bに示すように、エキスパンド装置1上にダイシング済みウェーハ4が貼付された粘着テープ2を載置する。図2は、この状態の平面図であり、粘着テープ2の中央の領域に、ダイシング済みウェーハ4、すなわち複数の部品4aに分割されたウェーハ4が位置している。この複数の部品4aが占める領域は、加熱テーブル5の上面の面積よりも小さい。次に、第2の保持部材14bと第1の保持部材14aとにより、粘着テープ2の外周縁部分を保持リング3ごと挟持し固定する。しかる後、駆動装置Mを駆動し、加熱テーブル5及び枠材13を図3に示すように、保持装置14に対して上方に移動させる。それによって、粘着テープ2の内側に位置している第1の部分が上方に移動する。従って、粘着テープ2が径方向外側に向かって拡張されることとなる。それに伴って、図3に示すように、隣り合う部品4a間の間隔が拡げられる。この状態を図4に平面図で示す。図4に示すように、部品4a間の間隔が拡げられている。複数の部品4aが占める領域は、加熱テーブル5の上面の面積よりも若干小さくされている。好ましくは、拡張後の複数の部品4aが占める領域の面積は、加熱テーブル5の上面の面積以上とすることが望ましい。それによって、小型化を進めることができるとともに、拡張率を効果的に高めることができる。上記加熱テーブル5の上面の面積は、加熱テーブル5の直径をDとしたとき、Dを、拡張前の部品4aが占める領域×拡張率×21/2以下とすることが望ましい。この場合、例えば、拡張前の複数の部品4aが占める正方形の領域の一辺の寸法を100mmとした場合、拡張率が110必要な場合、100mm×110×21/2=150mmとなる。従って、加熱テーブル5の直径は、150mmまたはそれ以下とすればよい。上記のように、隣り合う部品4a間の隙間が拡げられると、各部品4aをピックアップ装置により容易にかつ能率良く取り出すことができる。上述したように、エキスパンド装置1は、複数の部品4a間の間隔を拡げる装置である。次に、図5に示すように、拡張後の粘着テープ2を上記第2の部分において切断する。そして、図5に示すように、切断された粘着テープ2を複数の部品4aごと上方に取り出す。この取り出しに際しては、上記枠材13も粘着テープ2と共に一体に取り出す。従って、拡張後の粘着テープ2を容易にかつ確実にピックアップ装置側へ移動させることができる。本実施形態のエキスパンド装置1では、上記のように、加熱テーブル5を加熱することにより、粘着テープ2を容易に拡張することができる。加熱テーブル5が加熱された場合、金属からなるボールねじ6、支持プレート7及び連結ロッド9を介して非加熱リング12及び枠材13側に熱が伝わる。しかしながら、第1,第2の断熱材10,11が、間に存在するため、枠材13が加熱され難い。従って、第2の部分では、粘着テープ2は第1の部分に比べて拡張され難い。よって、第1の部分における拡張率を効果的に高めることができる。また、拡張率のばらつきも生じ難い。従って、複数の部品4a間の各ばらつきも生じ難い。また、上記実施形態では、加熱テーブル5の外周面と、非加熱リング12の内周面とが隙間Gを隔てられている。そのため、それによっても、粘着テープ2の拡張率を高めることができる。本願発明者の実験によれば、上記隙間Gを設けなかった場合に粘着テープの温度を42°Cまで加熱した場合の拡張率を100としたとき、寸法が5mmである隙間Gを設けた場合には、粘着テープの温度を34.0°Cに加熱した場合であっても、拡張率が102と高められ得ることが確かめられている。さらに、前述した通り、この種のエキスパンド装置では、加熱テーブルが加熱されると、加熱テーブルに連結されている部材の温度も上昇する。従って、例えば非加熱リングなどの粘着テープ2に近接する部材の温度が加熱テーブル5と同等になるまでは、拡張率にばらつきが生じがちであるという問題があった。しかしながら、本実施形態のエキスパンド装置1では、加熱テーブル5を加熱し始め、早い段階から拡張率のばらつきを小さくすることができる。図6から明らかなように、枠材13の温度が高くなると、拡張率は若干低くなることがわかる。本願発明者の実験によれば、以下の通りである。加熱テーブル5の温度を60°Cとしたときに、枠材13の温度が38°Cである場合、粘着テープ2の拡張率を基準として100とする。これに対して、枠材13の温度が25°Cであれば、拡張率は103に高められることが確かめられている。すなわち、第1,第2の断熱材10,11を設け、枠材13の温度上昇を抑制することにより、上記拡張率を効果的に高め得ることがわかる。なお、上記拡張率とは、拡張後のウェーハにおける最も離れた部品同士の間の距離の拡張前のウェーハにおいて最も離れた部品同士の間の距離に対する割合をいうものとする。なお、上記実施形態では、非加熱リング12の下面に第1の断熱材10が設けられていたが、図7に示すように、第1の断熱材10は省略されてもよい。もっとも、好ましくは、第2の断熱材11だけでなく、第1の断熱材10を設けることが望ましい。それによって、枠材13の温度上昇をより効果的に抑制することができる。上記実施形態で、第1の断熱材10及び第2の断熱材11は、円環状の形状を有していたが、他の形状であってもよい。例えば、非加熱リング12の上面側において、周方向に沿って複数の第2の断熱材11を分散配置してもよい。第1の断熱材10についても、非加熱リング12の下面側において、周方向に複数分散配置されていてもよい。また、上記実施形態では、枠材13が備えられていたが、枠材13を省略してもよい。その場合には、第2の断熱材11の厚みを厚くし、粘着テープ2の第2部分を第2の断熱材11の上面に直接積層すればよい。なお、上記実施形態の製造方法では、エキスパンド装置1に粘着テープ2をセットするに先立ち、ウェーハ4をダイシングしていたが、加熱テーブル5上において、ウェーハ4が貼り付けられた粘着テープ2を載置し、その状態でダイシングを行ってもよい。"