給水弁により断続的に純水を供給する純水供給管と、前記純水供給管が接続され気体供給管が挿入された気体溶解部と、前記気体の供給量を調整する気体流量調整装置とを備え、前記気体供給管を介して前記純水に気体を注入し、気体が一定濃度で溶解する気体溶解水を製造する気体溶解水製造装置において、前記給水弁の閉鎖時に前記気体の供給を停止させ、前記給水弁開放時に前記気体の供給量の設定を一定時間通常より多い供給量の設定とさせた後、通常の供給量の設定とさせる制御装置を有することを特徴とする気体溶解水製造装置。前記気体供給管と前記気体流量調整装置の間にブロー弁を有し、前記給水弁閉鎖時に一定時間前記ブロー弁を開放し、前記気体供給管内の気体をブローさせることを特徴とする請求項1記載の気体溶解水製造装置前記気体溶解部の下流に、前記給水弁閉鎖時に閉鎖し、前記給水弁開放時に開放される停止弁を有することを特徴とする請求項1又は2記載の気体溶解水製造装置。前記気体溶解部が、前記気体供給管がT型配管の中心部まで挿入され、前記気体の供給方向と前記純水の供給方向が直交するように構成されたT型配管であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の気体溶解水製造装置。前記気体溶解水の流量が0.1~10L/minであることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項記載の気体溶解水製造装置。給水弁により断続的に純水を供給する純水供給管と、前記純水供給管が接続され気体供給管が挿入された気体溶解部と、前記気体の供給量を調整する気体流量調整装置とを備え、前記気体供給管を介して前記純水に気体を注入し、気体が一定濃度で溶解する気体溶解水を製造する気体溶解水製造装置において、前記給水弁の閉鎖時に前記気体の供給を停止させ、前記給水弁開放時に前記気体の供給量の設定を一定時間通常より多い供給量の設定とさせた後、通常の供給量の設定とさせることを特徴とする気体溶解水製造方法。一般的に、気体溶解水製造においては、溶解度を一定に保つことが必要である。しかし、気体溶解水製造装置の運転開始時においては、溶解度が激しく変動し、またこの溶解度の変動を抑制することが極めて困難であるため、装置の連続運転を余儀なくされていた。このことが運転効率を悪化させるという問題があった。本発明は、かかる気体溶解水製造装置の気体溶解度の安定した純水の供給を目指して小型の装置を用いて精度の高い実験を行なったところ、かかる気体溶解水製造装置の運転開始時には、一定時間溶解度の低い気体溶解水が製造され、運転停止時には、逆に一定時間気体溶解度の高い気体溶解水が製造されることを見出した。本発明者らは、この問題に対処してさらに研究を重ねた結果、この現象は、純水が非圧縮性の流体であるのに対して、溶解させる気体は圧縮性の流体であるため、開閉弁の開閉動作に対する応答性が異なり、運転開始時には、純水の供給開始に対して気体の注入に時間遅れが生じ、逆に運転の停止時には、純水の供給が停止されても、気体の方は、供給管内の残圧により注入され続けることが原因となっていることを確認し、さらに長時間運転を停止した場合には、気体供給管内の気体が純水に溶解し徐々に純水が気体供給管内に浸入することも運転開始時の比抵抗値を変動させることを知見し、本発明を完成するに至った。本発明の気体溶解水製造装置は、給水弁により断続的に純水を供給する純水供給管と、前記純水供給管が接続され気体供給管が挿入された気体溶解部と、前記気体の供給量を調整する気体流量調整装置とを備え、前記気体供給管を介して前記純水に気体を注入し、気体が一定濃度で溶解する気体溶解水を製造する気体溶解水製造装置において、前記給水弁の閉鎖時に前記気体の供給を停止させ、前記給水弁開放時に前記気体の供給量の設定を一定時間通常より多い供給量の設定とさせた後、通常の供給量の設定とさせる制御装置を有することを特徴とする。このように、前記給水弁の開放時に、一定時間、前記気体供給管より供給される気体の流量を通常の流量より多くすることにより、前記気体溶解部への純水の供給開始と気体の供給開始を同時にし、得られる気体溶解水の比抵抗値を一定とすることができる。また、本発明の気体溶解水製造装置は、前記気体供給管と前記気体流量調整装置の間にブロー弁を有し、前記給水弁閉鎖時に一定時間前記ブロー弁を開放し、前記気体供給管内の気体をブローさせることが好ましい。このように、給水弁の閉鎖時に気体供給管内に残留する気体をブローすることにより、給水弁閉鎖中に気体供給管内の気体が残圧によって純水中に注入されることを防ぎ、給水再開時の気体溶解水の比抵抗値を安定させることができる。さらに具体的には、前記気体溶解部の下流に、前記給水弁閉鎖時に閉鎖し、前記給水弁開放時に開放される停止弁を有することが好ましい。給水弁閉鎖時に、停止弁を閉鎖し、気体供給管内の気体が残圧によって純水中へ流入することを防ぐとともに、給水弁を長期間閉鎖した際に純水が気体供給管内へ逆流することを防ぐこともできる。また、より具体的には、前記気体溶解部が、前記気体供給管がT型配管の中心部まで挿入され、前記気体の供給方向と前記純水の供給方向が直交するように構成されたT型配管であることが好ましい。また、前記気体溶解水の流量は、特に限定されないが、0.1~10L/minであることが好ましい。0.1~3L/minがより好ましく、0.1~1L/minがさらに好ましい。本発明の気体溶解水製造方法は、給水弁により断続的に純水を供給する純水供給管と、前記純水供給管が接続され気体供給管が挿入された気体溶解部と、前記気体の供給量を調整する気体流量調整装置とを備え、前記気体供給管を介して前記純水に気体を注入し、気体が一定濃度で溶解する気体溶解水を製造する気体溶解水製造装置において、前記給水弁の閉鎖時に前記気体の供給を停止させ、前記給水弁開放時に前記気体の供給量の設定を一定時間通常より多い供給量の設定とさせた後、通常の供給量の設定とさせることを特徴とする。なお、本発明において純水とは、比抵抗が10MΩcm以上、TOC全有機炭素が0.1mg/L以下の水であり、超純水とは、比抵抗が17MΩcm以上、TOC全有機炭素が10μg/L以下の水をいう。給水弁により断続的に純水を供給する純水供給管と、前記純水供給管が接続され気体供給管が挿入された気体溶解部と、前記気体の供給量を調整する気体流量調整装置とを備え、前記気体供給管を介して前記純水に気体を注入し、気体が一定濃度で溶解する気体溶解水を製造する気体溶解水製造装置において、給水の停止及び開始時の溶解度の変動を抑止し、常に比抵抗値の安定した気体溶解水を製造する装置及び方法を提供する。以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図1に示される本発明の一実施形態の気体溶解水製造装置1は、給水弁2の開閉により純水を断続的に供給する純水供給管3、純水供給管3に直立状態で介挿されたT型継手4、開閉弁5、気体供給量を変化させる気体流量調節装置6、気体流量調節装置6とT型継手4の直管部の下部4aとを接続する気体供給管7、気体供給管7に介挿されたブロー弁8、T型継手の上部に接続された純水流出管9、純水流出管9に介挿された停止弁10、及び給水弁2、気体流量調節装置6、ブロー弁8及び停止弁10を開閉、制御する制御装置11を備えている。気体供給管7から一定流量で供給された気体は、純水供給管3から供給された純水にT型継手4の内部において混合、溶解され、上部の流出口4bから純水流出管9に流出されて使用される。図2は、本実施形態の気体溶解部を模式的に示す側断面図である。気体溶解部としては、T型継手4以外にも、一般的に気液混合に用いられるものが好適である。また、本実施形態では、T型継手4の下部4aに気体供給管7を、上部4bに純水流出管9を接続しているが、下部4aに純水流出管を、上部4bに気体供給管7を接続してもよい。この装置における、純水供給管3は、例えば、内径φ1~5mmであり、純水の流量は、0.1~1L/min、気体供給管7の内径はφ0.1~0.5mm、開閉弁5から気体供給管7のノズル先端までの内容積は1~10mL程度である。気体供給管7からは、気体流量調節装置6であるマスフローコントローラーMC-5SCCM、ALICAT社製などによって気体、例えば二酸化炭素ガスが供給される。供給される二酸化炭素ガスの供給圧は0.15MPa、流量は、0.05~4mL/min20°C、1気圧において等である。また、開閉弁5は逆止弁SS-2C-1、スウェージロック社製、SUS製等、給水弁2及び停止弁10は、エアー駆動弁AMD01-6UP-4、CKD社製、外径6mm、材質PFA等、ブロー弁8はエアー駆動弁AMDZ1-6BUS-2、CKD社製、外径6mm、材質PFA等を用いる。なお、給水弁2、気体流量調節装置6マスフローコントローラー、ブロー弁8及び停止弁10は、制御装置11により、所定のタイミングで開閉、操作されるようになっている。本実施形態の気体溶解水製造装置1では給水停止時には気体流量調節装置6マスフローコントローラーの設定を0とし、給水弁2が閉鎖され、ブロー弁8は瞬間的に開放されたのち閉鎖される。そして、運転再開時は、給水弁2の開放と同時に、気体流量調節装置6マスフローコントローラーの設定流量を、通常の供給量の設定の2倍~100倍程度とする。このような操作により、給水弁2の開放時に、T型継手2へ純水と気体を同時に供給して、得られる気体溶解水の濃度を一定に保ち、比抵抗値を安定させることができる。給水弁2の開放時の気体の供給量及び供給時間は、流量調整装置6の特性、気体供給管7の長さや内容積などにより適宜設定することができ、例えば、通常流量の2~100倍程度の供給量の設定であり、供給時間は1~10秒が好ましい。給水停止時、すなわち給水弁2の閉鎖時には、気体流量調節装置6マスフローコントローラーの設定を0とし、ブロー弁8を開放して気体供給管7内の気体をブローさせることが好ましい。この操作により、給水停止後、気体供給管7に残留する気体が一部残圧によってT型継手4に供給され、純水に溶解して、T型継手4内に濃度の高い溶解水が生じることを防ぎ、ひいては、給水開始時にこの滞留する濃度の高い溶解水がT型継手4から純水流出管9へ流出し、得られる気体溶解水の比抵抗値がわずかに低下することを防ぐことができる。また、気体供給管7内が減圧されるため、給水弁2を長期間閉鎖しても、気体供給管7内の気体が純水に次第に溶解して純水が気体供給管7内へ逆流する恐れがない。給水弁2の閉鎖時にブロー弁8が開放される時間は、気体供給管7内を純水の供給圧以下に減圧することができる時間であり、供給される気体の圧力、気体供給管7の内容積などから決定し、適宜設定することができる。ただし、ブロー弁8の開放時間が長すぎる場合には、純水が気体供給管7に逆流する恐れがあり、好ましくない。そのため具体的には、ブロー弁8の開放時間は、例えば、0.01秒~2秒、好ましくは0.01秒~1秒などである。また、長時間給水を停止後再開する場合には気体供給管7内の気体が純水中に溶解し、気体供給管7内に純水が浸入する恐れがある。この現象により、給水開始時に、実質的にT型継手4へ気体が供給され始める時間が純水の浸入した分だけ遅れ、気体濃度の低い溶解水が生じるため、T型継手4から流出する溶解水の比抵抗値が一時的に増加する。すなわち、給水停止時にブロー弁8を一時的に開放することで、気体供給管7内を純水供給圧以下に減圧させると、このような気体供給管7内への純水の侵入量をほぼ一定に保つことができ、長時間給水停止の影響による給水開始時の比抵抗値の一時的な増加を防ぐことができるのである。なお、給水停止時に、ブロー弁8の開閉を行わず、停止弁10を閉鎖することでも、同様の効果が得られる。また、ブロー弁8の開閉と停止弁10の閉鎖を併用しても同様の効果が得られる。このような給水停止、再開のサイクルは、気体溶解水の利用状況によって、例えば、数秒間~数日停止再開するなどのように任意に変えることができる。使用する気体としては、二酸化炭素炭酸ガス、窒素ガス、水素ガス、オゾンガス、酸素ガス等が挙げられるが、炭酸ガスが好ましい。本発明の一実施形態である気体溶解水製造装置は、比抵抗値0.1~2MΩcmの二酸化炭素ガス溶解水などを製造する場合に特に好適に用いられる。また、本発明の気体溶解水製造方法により、比抵抗値0.1~2MΩcmの二酸化炭素ガス溶解水などを製造することができる。次に、本発明の実施例について説明する。この実施例に使用した気体溶解水製造装置1は、図1に示した装置であり、使用した純水及び実験装置は以下のとおりである。[純水]比抵抗値18MΩcm[純水の流量]0.2L/min[溶解させる気体]二酸化炭素ガス[二酸化炭素ガスの流量]0.08mL/min20°C、1気圧において[二酸化炭素ガスの供給圧]0.15MPa[気体供給管7]内径0.13mm、容積3mL[水温]20°C[気体流量調節装置6]MC-5SCCM、ALICAT社製[比抵抗測定装置]株式会社堀場アドバンスドテクノ社製HE-480R実施例1気体溶解水を製造している状態で、気体流量調節装置6マスフローコントローラーの設定を0とし、給水弁2を閉鎖し、ブロー弁8を0.1秒間開放して気体供給管7内に残留した二酸化炭素ガスをブローして、運転を停止した。1分後に、給水弁2を再び開放すると同時に、気体流量調整装置6の設定を、3秒間、流量2.4mL/minとした後、通常の設定に戻すことにより、運転を再開した。この時、給水弁開放後に純水流出管9より流出した二酸化炭素溶解水の比抵抗値を測定し、図3に示した。実施例2実施例1において運転停止時にブロー弁8を閉鎖したままとした。他は実施例1と同様の操作を行った。この時、給水弁開放後に純水流出管9より流出した二酸化炭素溶解水の比抵抗値を測定し、図4に示した。実施例3実施例1において運転停止時に停止弁10を閉鎖し、ブロー弁8を閉鎖したままとした。また、運転再開時には給水弁2と共に停止弁10を開放した。他は実施例1と同様の操作を行った。この時、給水弁開放後に純水流出管9より流出した二酸化炭素溶解水の比抵抗値を測定し、図5に示した。比較例1実施例1において、運転停止時にブロー弁8を閉鎖したままとし、運転開始時には気体流量調整装置6の設定を通常のままとした。他は実施例1と同様の操作を行った。この時、給水弁開放後に純水流出管9より流出した二酸化炭素溶解水の比抵抗値を測定し、図7に示した。この時、T型配管をガラス製のものにして、内部を観察したところ、給水停止時に、気体供給管7の先端から気泡が少しずつ発生する様子が観察された。また、運連再開から比抵抗値が安定するまでの時間が135秒であった。実施例4気体溶解水を製造している状態で、気体流量調節装置6マスフローコントローラーの設定を0とし、給水弁2及び停止弁10を同時に閉鎖して運転を停止した。ブロー弁8は閉鎖したままであった。運転再開時は給水弁2及び、停止弁10を再び開放すると同時に、気体流量調整装置6の設定を、3秒間、流量2.4mL/minとした後、その後、通常の設定に戻した。最初に3分給水して、それ以降、停止と給水を繰り返した。その際の給水時間は1分、停止時間は、1分、5分、10分、20分と次第に増加させた。この時、純水流出管9より流出した二酸化炭素溶解水の比抵抗値を測定し、図6に実線で示した。比較例2運転停止時に、停止弁10を開放したままであること以外は、実施例4と同じ操作をした。この時、純水流出管9より流出した二酸化炭素溶解水の比抵抗値を測定し、図8に実線で示した。停止時間が長くなると、比抵抗値の変動が大きくなる傾向が確認された。