"シート状のワークを吸着するチャック装置において、前記ワークが接するワーク吸着面、真空吸引される真空吸引空洞、及び、該ワーク吸着面から該真空吸引空洞へ連通している吸引開口が形成されているチャック体と、第一開口、第二開口、第三開口が形成されていると共に各開口相互を接続する流路が形成されている弁ケース、及び、該第一開口と該第二開口とを連通させ、該第一開口と該第三開口とを連通させない第一連通位置と、該第一開口と該第三開口とを連通させ、該第一開口と該第二開口とを連通させない第二連通位置と間で該弁ケース内を移動する弁体を有する三方弁と、を備え、前記チャック体と前記三方弁の前記弁ケースとは一体であり、該チャック体には、前記真空吸引空洞と該弁ケースの前記第一開口とを連通させる接続流路が形成されている、ことを特徴とするチャック装置。請求項1に記載のチャック装置において、前記チャック体は、一方の面が前記真空吸引空洞の内面を成し、他方の面が前記ワーク吸着面を成す隔壁を有し、該隔壁には、該ワーク吸着面から該真空吸引空洞へ連通している複数の孔が形成され、複数の該孔が前記吸引開口を成す、ことを特徴とするチャック装置。請求項1又は2に記載のチャック装置において、前記三方弁の前記弁体を前記第一連通位置と前記第二連通位置との間で移動させる弁体駆動源と、前記弁体駆動源の駆動を制御する制御器と、を備え、前記三方弁の前記第二開口は、吸引配管を介して、ガスを吸引する真空吸引源と接続される開口であり、前記制御器は、前記チャック体に前記ワークを吸着させる際に、前記弁体駆動源により、前記弁体を前記第一連通位置に位置させ、該チャック体から該ワークを離す際に、該弁体駆動源により、該弁体を前記第二連通位置に位置させる、ことを特徴とするチャック装置。請求項2に記載のチャック装置において、前記三方弁の前記弁体を前記第一連通位置と前記第二連通位置との間で移動させる弁体駆動源と、前記弁体駆動源の駆動を制御する制御器と、を備え、前記三方弁の前記第二開口は、吸引配管を介して、ガスを吸引する真空吸引源と接続される開口であり、前記三方弁の第三開口が、圧縮ガス配管を介して、圧縮ガスを吐出するガス圧縮源と接続される開口であり、前記制御器は、前記チャック体に前記ワークを吸着させる際に、前記弁体駆動源により、前記弁体を前記第一連通位置に位置させ、該チャック体から該ワークを離す際に、該弁体駆動源により、該弁体を前記第二連通位置に位置させる、ことを特徴とするチャック装置。請求項4に記載のチャック装置において、前記制御器は、前記チャック体が前記ワークを吸着していない状態での移動中に、前記弁体駆動源により、前記弁体を一時的に前記第二連通位置に位置させる、ことを特徴とするチャック装置。請求項3から5のいずれか一項に記載のチャック装置において、前記真空吸引空洞の容積以上の容積の蓄圧室が形成されている吸引アキュムレータを備え、前記吸引アキュムレータの蓄圧室は、前記三方弁の前記第二開口と連通していると共に、前記真空吸引源に接続されている、ことを特徴とするチャック装置。請求項6に記載のチャック装置において、前記吸引アキュムレータは、前記三方弁の前記弁ケースと一体である、ことを特徴とするチャック装置。請求項4又は5に記載に記載のチャック装置において、前記真空吸引空洞の容積以上の容積の蓄圧室が形成されている圧縮ガスアキュムレータを備え、前記圧縮ガスアキュムレータの蓄圧室は、前記三方弁の前記第三開口と連通していると共に、前記ガス圧縮源に接続されている、ことを特徴とするチャック装置。請求項8に記載のチャック装置において、前記圧縮ガスアキュムレータは、前記三方弁の前記弁ケースと一体である、ことを特徴とするチャック装置。上記チャック装置では、チャック体に吸着されたワークを目的の位置に搬送するため、吸引配管や圧縮ガス配管は、いずれも可撓性に富んだ長い樹脂製のチューブ等で形成されていると考えられる。また、吸引配管や圧縮ガス配管に設けられている電磁弁は、チャック体の移動による吸引配管や圧縮ガス配管の揺れや変形等に伴って、大きく揺れないようにするために、チャック体から離れた箇所にブラケット等に固定されていると考えられる。ところで、リチウムイオン二次電池に代表されるような非水電解質二次電池では、極めて厚さの薄い集電体に活物質を塗布したシート状の電極板が容器内に多数収納されている。このため、非水電解質二次電池の製造現場では、製造性を高めるため、このような多数の電極板を高速でハンドリングすることが要求されている。しかしながら、上記チャック装置では、吸引配管中に設けられた電磁弁を開状態にしてからチャック体の真空吸引室が真空状態になるまでの応答時間が比較的遅く、ワークのハンドリングに要する時間が比較的長くなってしまう、という問題点がある。そこで、チャック体の真空吸引室が真空状態になるまでの応答時間を短くする一つの方法として、真空吸引源の真空度を高める方法が考えられる。しかしながら、この方法を採用すると、チャック体の真空吸引室と外部環境との圧力差が大きくなり、前述したシート状の電極板を吸着する場合、電極板に吸引口のエッジ跡が残ったり、電極板の周囲に皺が残ることがある以下、電極板に残った吸引口のエッジ跡及び周囲の皺を傷と表記する。。このような傷が付いた電極板をそのまま使用すると、電極板間隔が部分的に異なる電池が構成されることになり、そこに析出物が堆積し電池性能が劣化する、という問題点が生じてしまう。そこで、本発明は、シート状のワークを傷付けずに高速でハンドリングすることができるチャック装置を提供することを目的とする。前記問題点を解決するための発明に係るチャック装置は、シート状のワークを吸着するチャック装置において、前記ワークが接するワーク吸着面、真空吸引される真空吸引空洞、及び、該ワーク吸着面から該真空吸引空洞へ連通している吸引開口が形成されているチャック体と、第一開口、第二開口、第三開口が形成されていると共に各開口相互を接続する流路が形成されている弁ケース、及び、該第一開口と該第二開口とを連通させ、該第一開口と該第三開口とを連通させない第一連通位置と、該第一開口と該第三開口とを連通させ、該第一開口と該第二開口とを連通させない第二連通位置と間で該弁ケース内を移動する弁体を有する三方弁と、を備え、前記チャック体と前記三方弁の前記弁ケースとは一体であり、該チャック体には、前記真空吸引空洞と該弁ケースの前記第一開口とを連通させる接続流路が形成されていることを特徴とする。当該チャック装置では、チャック体と三方弁の弁ケースとが一体であるため、チャック体と弁との間をチューブ等で接続している場合と比べて、三方弁の第二開口と真空吸引空洞との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなる。このため、弁体が第一連通位置に位置した時点から、チャック体の真空吸引空洞が真空吸引されるまでの時間が短くなる。よって、当該チャック装置では、三方弁の弁体の位置が切り替わってからチャック体の真空吸引空洞が真空吸引されるまでの応答時間を短くすることができる、つまり、チャック体でワークを吸着する時間を短くすることができる結果、ワークのハンドリングに要する時間を短くすることができる。しかも、当該チャック装置では、真空吸引源の真空度を高めずに、真空吸引の応答時間を短くしているため、ワークが傷付く可能性を抑えることができる。ここで、前記チャック装置において、前記チャック体は、一方の面が前記真空吸引空洞の内面を成し、他方の面が前記ワーク吸着面を成す隔壁を有し、該隔壁には、該ワーク吸着面から該真空吸引空洞へ連通している複数の孔が形成され、複数の該孔が前記吸引開口を成してもよい。当該チャック装置では、ワークが広い領域でワーク吸着面に接して支持されるので、ワークの折れ曲がり等により、このワークが損傷することを防ぐことができる。また、前記チャック装置において、前記三方弁の前記弁体を前記第一連通位置と前記第二連通位置との間で移動させる弁体駆動源と、前記弁体駆動源の駆動を制御する制御器と、を備え、前記三方弁の前記第二開口は、吸引配管を介して、ガスを吸引する真空吸引源と接続される開口であり、前記制御器は、前記チャック体に前記ワークを吸着させる際に、前記弁体駆動源により、前記弁体を前記第一連通位置に位置させ、該チャック体から該ワークを離す際に、該弁体駆動源により、該弁体を前記第二連通位置に位置させてもよい。当該チャック装置では、ワークの吸着及び離脱を自動化することができる。また、前記チャック装置において、前記三方弁の前記弁体を前記第一連通位置と前記第二連通位置との間で移動させる弁体駆動源と、前記弁体駆動源の駆動を制御する制御器と、を備え、前記三方弁の前記第二開口は、吸引配管を介して、ガスを吸引する真空吸引源と接続される開口であり、前記三方弁の第三開口が、圧縮ガス配管を介して、圧縮ガスを吐出するガス圧縮源と接続される開口であり、前記制御器は、前記チャック体に前記ワークを吸着させる際に、前記弁体駆動源により、前記弁体を前記第一連通位置に位置させ、該チャック体から該ワークを離す際に、該弁体駆動源により、該弁体を前記第二連通位置に位置させてもよい。当該チャック装置では、ワークの吸着及び離脱を自動化することができる。さらに、当該チャック装置では、ガス圧縮源からチャック体の真空吸引空洞内に圧縮ガスを送り込んで、チャック体からワークを離す力を積極的に、ワークに作用させているので、チャック体からワークを離脱させる時間を短くすることができる。また、前記チャック装置において、前記制御器は、前記チャック体が前記ワークを吸着していない状態での移動中に、前記弁体駆動源により、前記弁体を一時的に前記第二連通位置に位置させてもよい。当該チャック装置では、ワークの吸着時に隔壁の孔に異物等が詰まっても、これを排除することができる。また、前記チャック装置において、前記真空吸引空洞の容積以上の容積の蓄圧室が形成されている吸引アキュムレータを備え、前記吸引アキュムレータの蓄圧室は、前記三方弁の前記第二開口と連通していると共に、前記真空吸引源に接続されていてもよい。当該チャック装置では、チャック体の真空吸引空洞内を真空吸引し始めた直後における、接続流路の真空度の一時的低下を抑え、ワークの吸着速度を高めることができる。この場合、前記吸引アキュムレータは、前記三方弁の前記弁ケースと一体であることが好ましい。当該チャック装置では、吸引アキュムレータの蓄圧室と真空吸引空洞との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなるため、蓄圧室による蓄圧効果の応答性を高めることができる。また、前記チャック装置において、前記真空吸引空洞の容積以上の容積の蓄圧室が形成されている圧縮ガスアキュムレータを備え、前記圧縮ガスアキュムレータの蓄圧室は、前記三方弁の前記第三開口と連通していると共に、前記ガス圧縮源に接続されていてもよい。当該チャック装置では、チャック体の真空吸引空洞内に圧縮ガスを送り始めた直後における、接続流路の圧力の一時的低下を抑え、ワークの離脱速度を高めることができる。この場合、前記圧縮ガスアキュムレータは、前記三方弁の前記弁ケースと一体であることが好ましい。当該チャック装置では、圧縮ガスアキュムレータの蓄圧室と真空吸引空洞との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなるため、蓄圧室による蓄圧効果の応答性を高めることができる。本発明では、シート状のワークを傷付けずに高速でハンドリングすることができる。以下、本発明に係るチャック装置の実施形態について、図面を用いて説明する。第一実施形態まず、図1~図4を用いて、本発明に係るチャック装置の第一実施形態について説明する。本実施形態のチャック装置は、リチウムイオン二次電池の容器内に収納されているシート状の電極板Wを吸着する装置である。この電極板Wは、集電体に活物質を塗布したもので、その厚さは極めて薄い。チャック装置は、図1に示すように、ワークである電極板Wを吸着するチャック体10と、チャック体10の真空吸引通路真空吸引空洞12a内の圧力状態を切り替えるための三方弁20と、この三方弁20を駆動する電磁駆動源弁体駆動源30と、この電磁駆動源30を制御するチャックコントローラ60制御器と、チャック体10の真空吸引通路12a内を真空吸引するための真空吸引源である真空ポンプ70と、真空ポンプ70と三方弁20とを接続する吸引配管71と、を備えている。チャック体10は、内部に複数の真空吸引通路12aが形成されている。複数の真空吸引通路12aの一方の端部は、いずれもチャック体10の一表面まで形成され、この一表面の部分で吸引開口11を成している。チャック体10のこの一表面は、電極板Wが接するワーク吸着面13を成す。また、複数の真空吸引通路12aの他方の端部は、一箇所に集まっている。三方弁20は、第一開口21、第二開口22、第三開口23が形成されていると共に各開口相互を接続する流路が形成されている弁ケース24と、弁ケース24内を移動する弁体25と、を有している。弁体25は、第一開口21と第二開口22とを連通させ、第一開口21と第三開口23とを連通させない第一連通位置図1に示す位置と、第一開口21と第三開口23とを連通させ、第一開口21と第二開口22とを連通させない第二連通位置図2に示す位置と間で、弁ケース24内を移動する。この三方弁20の弁ケース24は、チャック体10に固定され、チャック体10と一体になっている。このチャック体10には、弁ケース24の第一開口21と真空吸引通路12aの前述の他方の端部とを連通させる接続流路14が形成されている。電磁駆動源30は、電磁コイル不図示と、この電磁コイルの駆動により移動する駆動ロッド31と、電磁コイルを収納するコイルケース32と、を有している。三方弁20の弁体25は、この駆動ロッド31の端部に取り付けられている。また、コイルケース31は、三方弁20の弁ケース24とチャック体10のいずれか一方、又は両方に固定されている。吸引配管71は、両端部のうちの一方の端部が弁ケース24の第二開口22に接続され、他方の端部が真空ポンプ70の吸引口に接続されている。この吸引配管71は、例えば、可撓性を有する樹脂製のチューブ等で形成されている。チャック体10は、図3に示すように、ロボット等の移動機構80に把持され、この移動機構80により、電極板Wを吸着する吸着位置Aと、吸着した電極板Wを離す離脱位置Bとの間で往復移動させられる。この移動機構80の移動コントローラ81は、その動作内容を示す信号をチャックコントローラ60に送信する。チャックコントローラ60は、移動コントローラ81からのこの信号に基づいて、三方弁20の電磁駆動源30を制御する。次に、本実施形態のチャック装置の動作について、図4のタイミングチャートに従って説明する。真空ポンプ70は、このチャック装置が電極板Wの吸着及び離脱動作する一連の動作過程中、常時稼動ONしている。チャック体10が吸着位置Aに存在するとき、チャックコントローラ60は、電磁駆動源30に対して指示を与えて、三方弁20の弁体25を第一連通位置図1に示すに位置させるt1。弁体25が第一連通位置に位置すると、弁ケース24の第一開口21真空吸引通路12a側の開口と第二開口22真空ポンプ70側の開口とが連通して、チャック体10の真空吸引通路12a内が真空ポンプ70に真空吸引される。このため、吸着位置Aに存在するチャック体10は、電極板Wを吸着するt2。三方弁20の弁体25が第二連通位置に位置している際、つまり、第一開口21と第二開口22とが連通していない状態の際、真空ポンプ70から三方弁20の第二開口22までの間は、一定以上の真空度が維持されている。三方弁20の弁体25が以上の第二連通位置から第一連通位置に移動するとt1、前述したように、弁ケース24の第一開口21真空吸引通路12a側の開口と第二開口22真空ポンプ70側の開口とが連通して、チャック体10の真空吸引通路12a内が真空吸引される。本実施形態では、チャック体10と三方弁20の弁ケース24とが一体であるため、チャック体10と弁との間をチューブ等で接続している場合と比べて、三方弁20の第二開口22真空ポンプ70側の開口と真空吸引通路12aとの間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなる。このため、弁体25が第二連通位置から第一連通位置に至った時点から、チャック体10の真空吸引通路12aが真空吸引されるまでの時間が短くなる。よって、本実施形態では、三方弁20の弁体25の位置が切り替わってからチャック体10の真空吸引通路12aが真空吸引されるまでの応答時間を短くすることができる、つまり、チャック体10で電極板Wを吸着する時間を短くすることができる結果、電極板Wのハンドリングに要する時間を短くすることができる。しかも、本実施形態では、真空ポンプ70の真空度を高めずに、真空吸引の応答時間を短くしているため、電極板Wが傷付く可能性を抑えることができる。チャック体10が電極板Wを吸着するとt2、移動機構80により、チャック体10は吸着位置Aから離脱位置Bへ移動し始めt3、離脱位置Bに至ると停止するt4。移動コントローラ81は、移動機構80により、チャック体10を吸着位置Aから離脱位置Bへ移動させると、チャックコントローラ60に対して、チャック体10を離脱位置Bに移動させた旨の信号をチャックコントローラ60に送る。チャックコントローラ60は、この信号を受けると、電磁駆動源30に対して指示を与えて、三方弁20の弁体25を第一連通位置から第二連通位置に移動させるt5。弁体25が第二連通位置に至ると、弁ケース24の第一開口21真空吸引通路12a側の開口と第三開口23大気開放側の開口とが連通して、チャック体10の真空吸引通路12a内に空気が入り込み、電極板Wがチャック体10から離れるt6。チャック体10から電極板Wが離れるとt6、移動機構80により、チャック体10は離脱位置Bから吸着位置Aへ移動し始めt7、吸着位置Aに戻ると停止するt8。移動コントローラ81は、移動機構80により、チャック体10を離脱位置Bから吸着位置Aへ移動させると、チャックコントローラ60に対して、チャック体10を吸着位置Aに移動させた旨の信号を送る。チャックコントローラ60は、この信号を受けると、電磁駆動源30に対して指示を与えて、三方弁20の弁体25を第二連通位置から第一連通位置に移動させるt1。以下、以上と同様に、チャック体10による電極板Wの吸着t2、チャック体10の吸着位置Aから離脱位置Bへの移動開始t3、チャック体10の離脱位置Bの到達t4、三方弁20の弁体25の第一連通位置から第二連通位置への移動t5、チャック体10から電極板Wの離脱t6、チャック体10の離脱位置Bから吸着位置Aへの移動開始t7、チャック体10の吸着位置Aへの到達t8が繰り返される。以上のように、本実施形態では、電極板Wを損傷させることなく、この電極板Wを高速でハンドリングすることができる。第二実施形態次に、図5~図8を用いて、本発明に係るチャック装置の第二実施形態について説明する。本実施形態のチャック装置は、図5に示すように、第一実施形態と同様、チャック体10a、三方弁20、電磁駆動源30、チャックコントローラ60、真空ポンプ70、吸引配管71を備えている。本実施形態のチャック装置は、さらに、チャック体10aの真空吸引室12内に圧縮ガスを送り込むためのガス圧縮機75と、このガス圧縮機75と三方弁20とを接続する圧縮ガス配管76と、を備えている。本実施形態のチャック体10aは、内部に真空吸引室真空吸引空洞12が形成されており、一方の面が真空吸引室12の内面を成し他方の面がワーク吸着面13aを成す隔壁15を有している。この隔壁15には、ワーク吸着面13aから真空吸引室12へ連通する多数の孔16が形成されている。本実施形態では、これら多数の孔16が吸引開口を成している。圧縮ガス配管76は、両端部のうちの一方の端部が弁ケース24の第三開口23に接続され、他方の端部がガス圧縮機75の吐出口に接続されている。この圧縮ガス配管76は、例えば、可撓性を有する樹脂製のチューブ等で形成されている。次に、本実施形態のチャック装置の動作について、図8のタイミングチャートに従って説明する。真空ポンプ70及びガス圧縮機75は、チャック装置が電極板Wの吸着及び離脱動作する一連の動作過程中、常時稼動ONしている。チャック体10aが吸着位置Aに存在するとき、チャックコントローラ60は、第一実施形態と同様、電磁駆動源30に対して指示を与えて、三方弁20の弁体25を第二連通位置から第一連通位置に移動させt1、チャック体10aで電極板Wの吸着させるt2。この際、電極板Wは、図5に示すように、その外縁側領域、さらに外縁側領域の内側領域を含む広い領域がワーク吸着面13aに接して支持されるので、電極板Wの折れ曲がりや皺等により、この電極板Wが損傷することを防ぐことができる。なお、本実施形態では、以上のように、電極板Wを吸着する際に、この電極板Wが損傷するのを防ぐために、隔壁15を設け、ここに多数の孔16を形成しているが、隔壁15に形成する孔16の径、孔16の相互間隔は、吸着時における真空吸引室12の真空度や、電極板Wの剛性、電極板Wの構成要素である集電体と活物質との間での付着強度等により、適宜定められる。チャック体10aに電極板Wが吸着するとt2、第一実施形態と同様、チャック体10aの吸着位置Aから離脱位置Bへの移動開始t3、チャック体10aの離脱位置Bの到達t4が実行される。移動コントローラ81は、第一実施形態と同様、チャック体10aを吸着位置Aから離脱位置Bへ移動させると、チャックコントローラ60に対して、チャック体10aを離脱位置Bに移動させた旨の信号を送る。チャックコントローラ60は、この信号を受けると、電磁駆動源30に対して指示を与えて、三方弁20の弁体25を第一連通位置から第二連通位置に移動させた後t5、直ちに、弁体25を第二連通位置から中立位置に移動させるt10。なお、中立位置とは、図7に示すように、弁体25が弁ケース24内で、第一連通位置と第二連通位置との中間に位置し、弁ケース24の第一開口21が第二開口22にも第三開口23にも連通していない位置である。図6に示すように、弁体25が第二連通位置に至るとt5、弁ケース24の第一開口21真空吸引室12側の開口と第三開口23ガス圧縮機75の開口とが連通して、ガス圧縮機75からの圧縮ガスがチャック体10aの真空吸引室12内に入り込み、電極板Wがチャック体10aから離れるt11。本実施形態では、電極板Wをチャック体10aから離脱させる際、以上のように、ガス圧縮機75からチャック体10aの真空吸引室12内に圧縮ガスを送り込んで、チャック体10aから電極板Wを離す力を積極的に、電極板Wに作用させているので、第一実施形態よりも、三方弁20の弁体25が第一連通位置から第二連通位置に至った時点t5から、電極板Wがチャック体10aから離れるまでの時間を短くすることができる。しかも、本実施形態では、チャック体10aと三方弁20の弁ケース24とが一体であるため、チャック体10aと弁との間をチューブ等で接続している場合と比べて、三方弁20の第三開口23ガス圧縮機75側の開口と真空吸引室12との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さいため、弁体25が第一連通位置から第二連通位置に至った時点t5から、チャック体10aの真空吸引室12に圧縮ガスが流れ込むまでの時間が短くなる。よって、本実施形態では、三方弁20の弁体25の位置が切り替わってからチャック体10aの真空吸引室12に圧縮ガスが流れ込むまでの応答時間を短くすることができる、つまり、第一実施形態よりも、チャック体10aから電極板Wを離す時間を短くすることができる結果、電極板Wのハンドリングに要する時間をより短くすることができる。チャック体10aから電極板Wが離れるとt11、移動コントローラ81は、移動機構80により、チャック体10aを離脱位置Bから吸着位置Aへ移動させ始めるt12。移動コントローラ81は、移動機構80により、チャック体10aの移動を開始させると、チャックコントローラ60に対して、チャック体10aの移動を開始した旨の信号を送る。チャックコントローラ60は、この信号を受けてから所定時間経過後に、電磁駆動源30に対して指示を与えて、三方弁20の弁体25を中立位置から第二連通位置に移動させt13、さらに、所定時間経過後に弁体25を中立位置に戻させるt14。本実施形態では、前述したように、電極板Wを吸着する際に、この電極板Wが折れ曲がりや皺等を防ぐために、隔壁15を設け、ここに多数の孔16を形成しているが、この電極板Wを吸着する際、真空吸引室12側への吸引力により、電極板Wの集電体に付着している活物質の一部が集電体から剥離して、多数の孔16のうちのいずれかに詰まるおそれがある。そこで、本実施形態では、チャック体10aが電極板Wを吸着しておらず、且つ、このチャック体10aが離脱位置Bから吸着位置Aへの移動中に、三方弁20の弁体25を第二連通位置に位置させ、ガス圧縮機75からの圧縮ガスをチャック体10aの真空吸引室12に送り込み、隔壁15の孔16から圧縮ガスを外部へ噴射させて、隔壁15の孔16の詰まりを解消するようにしている。なお、チャック体10aが離脱位置Bから吸着位置Aへの移動中に、隔壁15の孔16から圧縮ガスを外部へ噴射させるのは、仮に、隔壁15の孔16が活物質等で詰まっている場合に、この活物質等が圧縮ガスと共に外部へ噴射されて、吸着位置Aや離脱位置Bに飛散するのを防ぐためである。三方弁20の弁体25が中立位置に戻った後t14、チャック体10aが吸着位置Aに戻るとt15、移動コントローラ81は、チャックコントローラ60に対して、チャック体10aが吸着位置Aに至った旨の信号を送る。チャックコントローラ60は、この信号を受けると、電磁駆動源30に対して指示を与えて、三方弁20の弁体25を中立位置から第一連通位置に移動させるt1。以下、以上と同様に、チャック体10aによる電極板Wの吸着t2、チャック体10aの吸着位置Aから離脱位置Bへの移動開始t3、チャック体10aの離脱位置Bの到達t4、弁体25の第一連通位置から第二連通位置への移動t5、弁体25の第二連通位置から中立位置への移動t10、チャック体10aから電極板Wの離脱t11、チャック体10aの離脱位置Bから吸着位置Aへの移動開始t12、弁体25の中立位置から第二連通位置への移動t13、弁体25の第二連通位置から中立位置への移動t14、チャック体10aの吸着位置Aへの到達t15が繰り返される。以上のように、本実施形態では、チャック体10aから電極板Wを離す時間を短くすることができる結果、第一実施形態よりも、さらに電極板Wのハンドリングに要する時間を短くすることができる。また、本実施形態では、電極板Wの広い領域がワーク吸着面13aに接して支持されるので、電極板Wの折れ曲がりや皺等を防ぐことができ、電極板Wが損傷する可能性を低くすることができる。なお、本実施形態及び第一実施形態において、チャックコントローラ60は、移動コントローラ81からの信号を受け、この信号に基づいて電磁駆動源30を制御することがあるが、電磁駆動源30の駆動及びこれにより移動させられる弁体25の動作は、周期的な動作であるため、移動コントローラ81からの信号に基づくことなく、時間管理で電磁駆動源30を制御するようにしてもよい。第三実施形態次に、図9を用いて、本発明に係るチャック装置の第三実施形態について説明する。本実施形態のチャック装置は、図9に示すように、第二実施形態のチャック装置に、吸引アキュムレータ50と圧縮ガスアキュムレータ55とを追加したものである。吸引アキュムレータ50及び圧縮ガスアキュムレータ55は、いずれも、チャック体10aの真空吸引室12の容積以上の容積の蓄圧室51,55が形成され、三方弁20の弁ケース24に固定され、この弁ケース24と一体になっている。ている。吸引アキュムレータ50の蓄圧室51は、吸引配管71を介して真空ポンプ70に接続されていると共に、三方弁20の弁ケース24の第二開口22と連通している。また、圧縮ガスアキュムレータ55の蓄圧室56は、圧縮ガス配管76を介してガス圧縮機75に接続されていると共に、三方弁20の弁ケース24の第三開口23と連通している。仮に、吸引アキュムレータ50を備えない場合、三方弁20の弁体25が第一連通位置に至り、チャック体10aの真空吸引室12内を真空吸引し始めた直後、真空吸引室12を経てチャック体10aの接続流路14に大気が一気に流れ込むため、この接続流路14の真空度が一時的に低下し、電極板Wの吸着速度が遅くなってしまう。そこで、本実施形態では、チャック体10aの真空吸引室12の容積以上の容積の蓄圧室51が形成されている吸引アキュムレータ50を設けることで、チャック体10aの真空吸引室12内を真空吸引し始めた直後における、接続流路14の真空度の一時的低下を抑え、電極板Wの吸着速度を高めている。また、圧縮ガスアキュムレータ55を備えない場合、三方弁20の弁体25が第二連通位置に至り、チャック体10aの真空吸引室12内に圧縮ガスを送り始めた直後、真空吸引室12を経てチャック体10aの接続流路14から圧縮ガスが外部へ流出するため、この接続流路14の圧力が一時的に低下し、電極板Wの離脱速度が遅くなってしまう。そこで、本実施形態では、チャック体10aの真空吸引室12の容積以上の容積の蓄圧室56が形成されている圧縮ガスアキュムレータ55を設けることで、チャック体10aの真空吸引室12内に圧縮ガスを送り始めた直後における、接続流路14の圧力の一時的低下を抑え、電極板Wの離脱速度を高めている。さらに、本実施形態では、吸引アキュムレータ50及び圧縮ガスアキュムレータ55を弁ケース24と一体にしているため、各アキュムレータ50,55の蓄圧室5156と真空吸引室12との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなる。このため、本実施形態では、蓄圧室5156による蓄圧効果の応答性を高めることができる。つまり、本実施形態では、チャック体10aの接続流路14の一時的な真空度の低下や一時的な圧力低下に対して、遅れることなく対処できる。なお、本実施形態では、第二実施形態のチャック装置に吸引アキュムレータ50を設けているが、第一実施形態のチャック装置に吸引アキュムレータ50を同様に設けてもよい。"