"微粒子分離装置において、誘電体である微粒子を複数個懸濁した懸濁液を流入させる微粒子流入部と、上記微粒子流入部から微粒子懸濁液が供給され、微粒子懸濁液が流れる流路と、この流路に配置される絶縁体からなる複数のマイクロピラーと、これら複数のマイクロピラーが配置された上記流路に電界を発生させる電圧源とを有し、上記複数のマイクロピラーは、上記電圧源から発生された電界の強度が疎と密となる部分を形成し、上記懸濁液中の微粒子を一定方向に偏向させる位置に形成されている微粒子分離部と、上記微粒子分離部により分離された微粒子が濃縮された微粒子濃縮液を流出させる微粒子濃縮液流出路と、上記微粒子分離部により微粒子が除去された微粒子除去液を流出させる微粒子除去液流出路と、を備えることを特徴とする微粒子分離装置。請求項1に記載の微粒子分離装置において、上記複数のマイクロピラーは、上記流路の上記微粒子懸濁液が流れる方向に直交する方向に一定間隔で配置された列を複数形成し、上記微粒子懸濁液が流れる方向について互いに隣接するマイクロピラーどおしは、上記微粒子懸濁液が流れる方向に直交する方向に、上記一定間隔より小さい間隔だけずらして配置されることを特徴とする微粒子分離装置。請求項1に記載の微粒子分離装置において、上記電圧源は、上記流路に間欠的に電圧を印加することを特徴とする微粒子分離装置。請求項1に記載の微粒子分離装置において、上記電圧源は、上記微粒子分離部の流路を形成する側面上に互いに対向する電極を有することを特徴とする微粒子分離装置。請求項1に記載の微粒子分離装置において、上記電圧源は、上記微粒子分離部の流路の上記微粒子懸濁液が流れる上流側と下流側とに配置され、互いに対向する電極を有することを特徴とする微粒子分離装置。請求項1に記載の微粒子分離装置において、上記マイクロピラーの断面形状が円形であることを特徴とする微粒子分離装置。請求項1に記載の微粒子分離装置において、上記マイクロピラーの断面形状が三角形であることを特徴とする微粒子分離装置。請求項1記載の微粒子分離装置において、上記マイクロピラーの断面形状が四角形であることを特徴とする微粒子分離装置。請求項1記載の微粒子分離装置において、上前記マイクロピラーの断面形状が六角形であることを特徴とする微粒子分離装置。請求項1記載の微粒子分離装置において、上記粒子分離部と上記粒子濃縮液流出路と上記微粒子除去液流出路は、それぞれ複数形成され、それらは共通の微粒子流入部に接続されていることを特徴とする微粒子分離装置。微粒子分離装置において、ホウ素を含むホウ素溶液を流入させるホウ素溶液流入部と、ホウ素吸着微粒子を懸濁したホウ素吸着微粒子懸濁液を流入させるホウ素吸着微粒子懸濁液流入部と、上記ホウ素溶液流入部とホウ素吸着微粒子懸濁液流入部の下流側に位置し、ホウ素溶液とホウ素吸着微粒子懸濁液とを混合する混合部と、上記混合部の下流側に位置しホウ素溶液中のホウ素をホウ素吸着微粒子に吸着させる吸着部と、上記吸着部から、ホウ素を吸着したホウ素吸着微粒子を含む微粒子懸濁液が供給され、微粒子懸濁液が流れる流路と、この流路に配置される絶縁体からなる複数のマイクロピラーと、これら複数のマイクロピラーが配置された上記流路に電界を発生させる電圧源とを有し、上記複数のマイクロピラーは、上記電圧源から発生された電界の強度が疎と密となる部分を形成し、上記懸濁液中の微粒子を一定方向に偏向させる位置に形成されている微粒子分離部と、上記微粒子分離部により分離された微粒子が濃縮された微粒子濃縮液を流出させる微粒子濃縮液流出路と、上記微粒子分離部により微粒子が除去された微粒子除去液を流出させる微粒子除去液流出路と、を備えることを特徴とする微粒子分離装置。請求項11に記載の微粒子分離装置において、上記複数のマイクロピラーは、上記流路の上記微粒子懸濁液が流れる方向に直交する方向に一定間隔で配置された列を複数形成し、上記微粒子懸濁液が流れる方向について互いに隣接するマイクロピラーどおしは、上記微粒子懸濁液が流れる方向に直交する方向に、上記一定間隔より小さい間隔だけずらして配置されることを特徴とする微粒子分離装置。微粒子分離方法において、誘電体である微粒子を複数個懸濁した懸濁液を流入させ、上記流入された微粒子懸濁液が供給され微粒子懸濁液が流れる流路に絶縁体からなる複数のマイクロピラーを配置し、これら複数のマイクロピラーを配置した上記流路に電界を発生させ、上記複数のマイクロピラーが、上記電界の強度が疎と密となる部分を形成し、上記懸濁液中の微粒子を一定方向に偏向して上記懸濁液から分離し、上記懸濁液から分離された微粒子が濃縮された微粒子濃縮液を微粒子濃縮液流出路に流出し、上記懸濁液から微粒子が除去された微粒子除去液を微粒子除去液流出路に流出することを特徴とする微粒子分離方法。請求項13に記載の微粒子分離方法において、上記複数のマイクロピラーは、上記流路の上記微粒子懸濁液が流れる方向に直交する方向に一定間隔で配置された列を複数形成し、上記微粒子懸濁液が流れる方向について互いに隣接するマイクロピラーどおしは、上記微粒子懸濁液が流れる方向に直交する方向に、上記一定間隔より小さい間隔だけずらして配置されることを特徴とする微粒子分離方法。請求項13に記載の微粒子分離方法において、上記流路の間欠的に電圧を印加することを特徴とする微粒子分離方法。しかしながら、上述した従来技術のように、分離膜を用いて液体から微粒子を除去する方法では、通常のろ過用に液体を送液する装置とは別に、分離膜の洗浄用に液体を送液する装置が必要であるため、装置全体として大掛かりになってしまっていた。また、分離膜を洗浄しても目詰まりした微粒子を完全には取り除くことは困難である。このため、分離膜をある程度の期間使用したら、その分離膜を交換する必要があり、分離膜の長寿命化が困難であった。ここで、特許文献2において開示されている技術を応用すると、分離膜を用いずに液体から微粒子を除去することができる。すなわち、微粒子が流れの抗力によって移動しないほどに大きな誘電泳動力を発生させて微粒子を電極近傍に捕捉することで、流路の下流から液体のみを取り出すことができる。この方法では、分離膜を用いる必要が無いため、微粒子の目詰まりがなく洗浄が不要である。ただし、誘電泳動力によって微粒子を流路内に捕捉し続けると流路が閉塞するため、定期的に誘電泳動力の発生を停止し、捕捉した粒子を下流に流すことが必要である。そのため、連続した処理ができず、処理量を増加することができないという課題がある。また、非特許文献1に開示されているマイクロピラーによって微粒子を偏向させる方法を液体からの微粒子の除去に応用することが考えられる。この場合は、流路の圧力損失が課題となる。つまり、分離対象の粒子の大きさが小さくなるほど、ピラーの互いの間隔を短くする必要があるため、その結果、流路の圧力損失が大きくなる。流路の圧力損失がデバイスの耐圧より大きくなると液漏れが発生するため、流路の圧力損失はデバイス耐圧よりも小さい必要がある。流路の圧力損失は、流路を流れる流量に比例するため、流路の圧力損失をデバイス耐圧より小さくするためには、処理量を大きくすることができない。本発明の目的は、洗浄が不要でありながら、目詰まりがなく、長寿命で、圧力損失が低減され、処理量の増加及び小型化が可能な微粒子分離装置及び方法を実現することである。上記目的を達成するため、本発明は次のように構成される。誘電体である微粒子を複数個懸濁した懸濁液を流入させ、流入された微粒子懸濁液が供給され微粒子懸濁液が流れる流路に絶縁体からなる複数のマイクロピラーを配置し、これら複数のマイクロピラーを配置した上記流路に電界を発生させ、上記複数のマイクロピラーが、上記電界の強度が疎と密となる部分を形成し、上記懸濁液中の微粒子を一定方向に偏向して上記懸濁液から分離し、上記懸濁液から分離された微粒子が濃縮された微粒子濃縮液を微粒子濃縮液流出路に流出し、上記懸濁液から微粒子が除去された微粒子除去液を微粒子除去液流出路に流出する。洗浄が不要でありながら、目詰まりがなく、長寿命で、圧力損失が低減され、処理量の増加及び小型化が可能な微粒子分離装置及び方法を実現することができる。以下、本発明による微粒子分離装置及び方法の実施形態について説明する。図1は、本発明が適用される微粒子分離装置の全体概略構成図である。図1において、微粒子分離装置は、流路基板1及びカバー基板2を有する流路デバイス3と、この流路デバイス3と配管401、402、403とを接続する配管コネクタ501、502及び503と、上記流路デバイス3に微粒子懸濁液6を送液するポンプ7と、微粒子懸濁液6を収容する微粒子懸濁液容器8と、上記流路デバイス3から流出する微粒子除去液9を収容する微粒子除去液容器10とを備える。さらに、微粒子分離装置は、上記流路デバイス3から流出する微粒子濃縮液11を収容する微粒子濃縮液容器12と、上記流路デバイス3内の電極と電気的に接続する電極コネクタ1301、1302と、電極コネクタ1301、1302に印加する電圧の電源14と、電極コネクタ1301、1302に印加する電圧を制御するコントローラ15と、電極コネクタ1301、1302、電源14及びコントローラ15を互いに電気的に接続する電気配線16とを備える。図2は、図1に示した微粒子分離装置の流路基板1上に形成される微粒子分離ユニット20の構造を示す図である。図2において、微粒子分離ユニット20は、微粒子懸濁液流入路21と、微粒子分離部22と、微粒子除去液流出路23と、微粒子濃縮液流出路24と、電極2501、2502とを備えている。微粒子分離部22には、複数のマイクロピラー26が形成されている。図1に示した流路デバイス3の作製方法の一例としては、流路基板1の材料をシリコンとし、カバー基板2はガラスを材料として作製して、両者を陽極接合によって接合する方法がある。この場合には、微粒子懸濁液流入路21、微粒子分離部22、微粒子除去液流出路23、及び微粒子除去液流出路24は、シリコンの深堀エッチングによって流路基板1上に形成される。また、電極2501、2502は、シリコンの表面を酸化膜や窒化膜などの絶縁膜で覆い、金、白金、アルミニウム、チタンなどの金属材料を蒸着した後にフォトリソグラフィによってパターニングすることで形成される。流路デバイス3の作製方法のその他の例として、流路基板1の材料をポリジメチルシロキサンとし、カバー基板2はガラスを材料して作製して、ポリジメチルシロキサンで形成された流路基板1の表面にプラズマを照射した後に流路基板1とカバー基板2とを接合する方法がある。この場合には、流路基板1は、シリコンを深堀エッチングすることで得られる微粒子懸濁液流入路21、微粒子分離部22、微粒子除去液流出路23、微粒子除去液流出路24の鋳型を、ポリジメチルシロキサンに転写することで形成される。流路デバイス3の、さらにその他の作製方法例としては、流路基板1及びカバー基板2の材料を共にポリジメチルシロキサンとして作製し、流路基板1とカバー基板2の表面にプラズマを照射した後に両者を接合する方法がある。この場合、流路基板1は、シリコンを深堀エッチングすることで得られる微粒子懸濁液流入路21、微粒子分離部22、微粒子除去液流出路23、微粒子除去液流出路24の鋳型を、ポリジメチルシロキサンに転写することで形成される。次に、図3~図5を参照して、本発明の一実施例である微粒子分離装置による微粒子分離の原理を説明する。図3は、微粒子分離部22の上面図である。図3において、マイクロピラー26は、第1列2601、第2列2602、第3列2603、第4列2604、第n列2605のように配置されている。同一の列内では、マイクロピラー26は互いに同一の間隔aで配置されており,各列は一つ上流の列に対して列方向液体の流れ方向に対してほぼ直交する方向に距離bだけずれて配置されている。図3に示した例では、b=a/3であり、3列ごとにマイクロピラー26の位置が列方向に同一となっている例えば、第1列2601と第4列2604はマイクロピラー26の位置が列方向に互いに同一となっている。液体は、各マイクロピラー26の間を流れるため、全体としてみると流路を形成する壁面に対して平行な方向に流れる。マイクロピラー26の寸法例としては、その径が数マイクロメートルから数十マイクロメートルである。また、マイクロピラー26の互いの間隔aも、数マイクロメートルから数十マイクロメートルである。電極2501、2502に電源14から電圧が印加されることで、流路内に電界が発生する。マイクロピラー26は絶縁体で形成されているため、図4に示すように、電気力線29はマイクロピラー26をよけて分布する。したがって、マイクロピラー26間の間隔が狭いところは電気力線29が密で電界強度が大きく、マイクロピラー26間の間隔が広いところは電気力線29が疎で電界強度が小さくなり、電界強度が不均一な電界が形成される。つまり、図4に示すように、4つのマイクロピラー26に包囲された中央部が、この中央部を囲む部分より電気力線29が疎で電界強度が小さくなる。この場合、誘電体である微粒子30は、電界強度が大きい箇所から電界強度が小さい箇所に引き付けられる誘電泳動力を受ける負の誘電泳動。また、微粒子30は液体の流れる方向に流体抗力を受ける。図5は、電極2501及び2502への印加電圧の時系列変化を示す図である。図5に示すように、印加電圧を一定時間ごとに大きさを変えることによって、それに応じて誘電泳動力も変化する。電極2501及び2502への印加電圧を0にすることで図5の丸1、丸3、丸5、丸7に示す期間、誘電泳動力も0になり、微粒子30には流体抗力のみが働き、流体抗力によって微粒子30は同一列内のマイクロピラー26の間を通過する図3の丸1に示す。その後、電極2501及び2502に電圧を印加することで図5の丸2、丸4、丸6に示す期間、誘電泳動力によって電界強度が小さい領域である4つのマイクロピラー26の中央に微粒子が捕捉される図3の丸2、丸4、丸6で示す。この操作、つまり、微粒子捕捉期間図5の丸2、4、6の期間と微粒子移動期間図5の丸1、3、5、7の期間を繰り返すことで、電圧を間欠的に流路に印加することで、より効果的に微粒子30は図3に示した点線の矢印に沿って移動し丸1、丸3、丸5、丸7に示す点線、液体の流れに対して偏向される。図示した例では、右側方向に微粒子30の流れが偏向されて、集合され、図2に示した微粒子濃縮液流出路24に向かう。使用する液体の一例としては純水が挙げられる。また、微粒子30の一例としては、ポリスチレンが挙げられる。また、図5の丸2、丸4、丸6に示す期間における電圧周波数は、電気力線が疎の部分に微粒子30が引き付けられるような周波数であり、例えば、1MHzである。この電圧周波数は、コントローラ15の操作部を用いてオペレータ等により変更、調整が可能である。以上のような動作により、液体中の複数の微粒子30は、微粒子濃縮液流出路24に向かって濃縮されるように誘電泳動力を受ける。このため、微粒子除去液流路23には液体のみが流入され、微粒子30が液体から分離される。したがって、液体中の微粒子30は、複数のマイクロピラー26間を誘電泳動力を受けて、一定方向に誘導され、液体から分離されるので、分離膜を必要とせず、その洗浄が不要でありながら、目詰まりがなく、長寿命で、圧力損失が低減され、処理量の増加及び小型化が可能な微粒子分離装置及び方法を実現することができる。図6~図8は、本発明の一実施例における微粒子分離装置の微小流路中の電極の形状と配置例を示す図である。図6は、電極2501をマイクロピラー群2601の上流側に配置し、電極2502をマイクロピラー群2601の下流側に配置した場合の例である。この場合、電極2501、2502は、流路底面に薄膜電極として形成される。図7は、電極2501~2504を円形状とし、電極2501、2502をマイクロピラー群2601の上流側に配置し、電極2503、2504をマイクロピラー群2601の下流側に配置した場合の例である。この場合、電極2501、2502、2503、2504は、流路底面に薄膜電極として形成される。図8は、電極2501~2504を円柱状とし、電極2501、2502をマイクロピラー群2601の上流側における流路両脇の電極差し込み部分2701、2702に配置し、電極2503、2504をマイクロピラー群2601の下流側における流路両脇の電極差し込み部分2703、2704に配置した場合の例である。この場合、電極2501~2504は、カバー基板2に形成された穴を通して流路内に挿入されている。また、電極差し込み部分2701、2702、2703、2704と流路とは、接続路2801、2802、2803、2804を介して接続されている。図9~図14は、本発明の一実施例における微粒子分離装置のマイクロピラーの形状例を示す図である。図9は、断面が円形のマイクロピラーを示す図である。図10は、断面が三角形のマイクロピラーを示す図である。図11は、断面がひし形のマイクロピラーを示す図である。図12は、断面が六角形のマイクロピラーを示す図である。図13は、断面が円形で高さ方向に均一な勾配を持つマイクロピラーを示す図である。図13に示した例では、上面部の面積が下面部の面積より小の場合を示したが、上面部の面積が下面部の面積より大のマクロピラーであってもよい。そして、図14は、断面が円形で高さ方向に勾配を持ち,上面と下面の中間の断面が最も小さいマイクロピラーを示す図である。図9~図14に示した形状のマイクロピラーのいずれであっても、本発明に適用することが可能である。図15、図16は、本発明における一実施例の粒子分離装置を多量処理化装置とした場合の例を示す図である。図15に示した例は、複数の微粒子分離ユニット201、202、203、204を直線状に並列に接続した例である。なお、微粒子分離ユニット201、202、203、204のそれぞれは、図1に示した微粒子分離装置と同様な構成となっている。図15において、共通の微粒子懸濁液流入路211から中間流入路212、213、214を通って、微粒子懸濁液が各微粒子分離ユニット201、202、203、204に流入する。各微粒子分離ユニット201、202、203、204の微粒子除去液は、微粒子除去液流出路231、232、234を通って流出する。また、各微粒子分離ユニット201、202、203、204の微粒子濃縮液は、微粒子濃縮液流出路241、242、243、244を通って流出する。図16は、複数の微粒子分離ユニット201、202、203、204、205、206を円形状に配置し、かつ、並列に接続した例である。図16において、複数の微粒子分離ユニット201、202、203、204、205、206に共通の微粒子懸濁液流入路211を通って、微粒子懸濁液が各微粒子分離ユニット201、202、203、204、205、206に流入する。微粒子懸濁液流入路211は、円形状に配置された201、202、203、204、205、206の中央部に形成されている。各微粒子分離ユニット201、202、203、204、205、206の微粒子除去液は、これら円形状に配置された微粒子分離ユニット201、202、203、204、205、206の外周側に配置された微粒子除去液流出路231、232、234、235、236を通って流出する。また、各微粒子分離ユニット201、202、203、204、205、206の微粒子濃縮液は、これら円形状に配置された微粒子分離ユニット201、202、203、204、205、206の外周側に配置された微粒子濃縮液流出路241、242、243、244、245、246を通って流出する。図15、図16に示したように構成すれば、大量の液体から高速で微粒子を分離することが可能である。例えば、大量の泥水から微粒子を高速で分離することができる。図17、図18は、本発明による微粒子分離装置を用いたホウ素除去装置に適用した場合の例を示す図である。図17は、本発明の一実施例であるホウ素除去装置の全体概略構成図である。図17において、ホウ素除去装置は、流路基板1及びカバー基板2を有する流路デバイス3と、この流路デバイス3と配管401、402、403、404とを接続する配管コネクタ501、502、503、504と、上記流路デバイス3にホウ素を含む原液61を送液するポンプ71と、原液61を収容する原液容器81と、ホウ素吸着粒子懸濁液62を送液するポンプ72と、ホウ素吸着粒子懸濁液62を収容するホウ素吸着粒子懸濁液容器82とを備える。さらに、ホウ素除去装置は、上記流路デバイス3から流出するホウ素除去液91を収容するホウ素除去液容器101と、上記流路デバイス3から流出するホウ素濃縮液111を収容するホウ素濃縮液容器121と、上記流路デバイス3内に形成された電極と電気的に接続する電極コネクタ1301、1302と、上記電極に印加する電圧の電源14と、上記電極に印加する電圧を制御するコントローラ15と、上記電極コネクタ1301、1302、上記電源14、及び上記コントローラ15を互いに電気的に接続する電気配線16とを備える。図18は、図17に示したホウ素除去装置内の流路基板1上に形成されるホウ素除去ユニットの構造を示す図である。図18において、ホウ素除去ユニットは、原液流入路2101と、ホウ素吸着微粒子懸濁液流入路2102と、原液とホウ素吸着微粒子懸濁液とが混合する混合部2103と、ホウ素がホウ素吸着微粒子に吸着する吸着部2104と、ホウ素吸着微粒子を液体から分離させる微粒子分離部22と、ホウ素除去液流出路23と、ホウ素濃縮液流出路24と、電極2501、2502とを備えている。微粒子分離部22には、図3に示した構成と同様に構成された複数のマイクロピラー26が形成されている。ホウ素吸着微粒子懸濁液流入路2102を通って流入する原液61とホウ素吸着微粒子懸濁液流入路2102を通って流入するホウ素吸着微粒子懸濁液62とは、混合部2103で混合する。そして、混合部2103の下流側にある吸着部2104において、液体中のホウ素が複数のホウ素吸着微粒子に吸着する。続いて、吸着部2104の下流にある分離部22において、上述した微粒子分離装置の原理の動作と同様な動作によりホウ素吸着粒子は液体から分離される。その結果、原液61中のホウ素はホウ素吸着微粒子とともに微粒子分離部22の下流にあるホウ素濃縮液流出路24から流路外に流出される。また、ホウ素除去液流出路23からはホウ素を含まない液体が流出される。図17、図18に示した本発明の実施例であるホウ素除去装置によれば、洗浄が不要でありながら、目詰まりがなく、長寿命で、圧力損失が低減され、処理量の増加及び小型化が可能なホウ素除去装置を実現することができる。なお、本発明の上述した例においては、図5に示したように微粒子捕捉期間丸2、丸4、丸6で示す期間に電圧を電極2501と2502とに印加し、微粒子移動期間丸1、丸3、丸5、丸7で示す期間には電圧を印加しない構成としたが、微粒子移動期間を設けることなく、流体の流れにより微粒子を一定方向に分離する構成とすることも可能である。"