"圧電体層により構成された基部と、圧電体層を介在させて第1内部電極と第2内部電極とが交互に積層されて構成され且つ前記基部から前記第1内部電極及び前記第2内部電極の積層方向に延びる変位部とを有する積層体を備える圧電素子であって、前記変位部は、前記積層方向から見て、前記積層方向に直交する第1の方向の長さが前記第1の方向と前記積層方向とに直交する第2の方向の長さよりも長い形状を呈しており、前記第1内部電極及び前記第2内部電極は、前記積層方向において重なり合う第1部分と、前記積層方向において重なり合わない第2部分とを有し、前記第2部分には、開口部が形成されていることを特徴とする圧電素子。前記開口部は、前記変位部の前記基部側に配置された前記第1内部電極及び前記第2内部電極に形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電素子。前記変位部の前記基部側に配置された前記第1内部電極及び前記第2内部電極の前記第1部分には、開口部が形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電素子。ところで、変位部は、幅が数十μm程度となっている。そのため、変位部を形成するときや、圧電素子を扱うときなどに、変位部が基端部側から折れることがある。特に、変位部は、基端部側において、圧電体層と内部電極との接合部分で折れ易くなっている。この問題に関して、変位部の折れ防止のために変位部を幅広に形成すると、これに伴う内部電極の対向面積の増大に応じて静電容量が大きくなる。これにより、電流が増加し、消費電力が大きくなるといった問題がある。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、消費電力の増大を抑制しつつ、変位部の破損を防止できる圧電素子を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明に係る圧電素子は、圧電体層により構成された基部と、圧電体層を介在させて第1内部電極と第2内部電極とが交互に積層されて構成され且つ基部から第1内部電極及び第2内部電極の積層方向に延びる変位部とを有する積層体を備える圧電素子であって、変位部は、積層方向から見て、積層方向に直交する第1の方向の長さが第1の方向と積層方向とに直交する第2の方向の長さよりも長い形状を呈しており、第1内部電極及び第2内部電極は、積層方向において重なり合う第1部分と、積層方向において重なり合わない第2部分とを有し、第2部分には、開口部が形成されていることを特徴とする。この圧電素子では、第1内部電極と第2内部電極とが積層方向において重なり合わない第2部分に開口部が形成されている。第1及び第2内部電極と圧電体層とは異なる材質からなるため、第1及び第2内部電極と圧電体層との接合強度は、圧電体層同士の接合強度に比べて低い。そこで、開口部を形成することにより、第1内部電極又は第2内部電極を挟んで対向する圧電体層が開口部を介して接合することになり、圧電体層同士の接合面積密着面積を大きくできる。したがって、変位部における接合強度を確保でき、変位部の破損を防止できる。また、変位部の幅を広くすることなく強度を確保できるため、変位部の幅を全体的に広げて強度を確保する場合に比べて、内部電極の対向面積の増大を抑制でき、静電容量の増大を抑制できる。その結果、電流の増大を抑制でき、消費電力の増大を抑制できる。開口部は、変位部の基部側に配置された第1内部電極及び第2内部電極に形成されていることが好ましい。このように、破損し易い変位部の基端部側に開口部を形成することにより、変位部の基端部側の破損をより防止できる。変位部の基部側に配置された第1内部電極及び第2内部電極の第1部分には、開口部が形成されていることが好ましい。このような構成によれば、変位部の基部側において、圧電体層同士の接合面積をより大きくすることができる。したがって、変位部の基端部側の強度をより確保でき、変位部の破損をより一層防止できる。本発明によれば、低電力を実現しつつ、変位部の破損を防止できる。以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。[第1実施形態]図1は、第1実施形態に係る積層型圧電素子を示す斜視図である。図2は、図1に示す積層型圧電素子を下方から見た斜視図である。図3aは、図1におけるa-a線断面図であり、図3bは、図1におけるb-b線断面図である。各図に示すように、積層型圧電素子1は、積層体2と、第1外部電極3と、第2外部電極4と、第3外部電極5a,5bと、第4外部電極6とを備えている。積層型圧電素子1は、例えば、長さが36.95mm~37.05mm程度に設定され、幅が1.85mm~1.95mm程度に設定され、厚みが0.95mm~1.05mm程度に設定されている。積層体2は、積層体2の長手方向に向かい合って互いに平行をなす一対の第1及び第2端面2a,2bと、一対の第1及び第2端面2a,2b間を連結するように伸び且つ圧電体層30後述の積層方向において互いに対向する一対の第1及び第2主面2c,2dと、一対の第1及び第2主面2c,2dを連結するように伸び且つ互いに対向する一対の第1及び第2側面2e,2fとを有している。図1では、一対の第1及び第2端面2a,2bの対向方向をX方向、一対の第1及び第2側面2e,2fの対向方向をY方向、一対の第1及び第2主面2c,2dの対向方向をZ方向としている。積層体2は、第1部分20と、第2部分21aと、第3部分21bとを含んでいる。第1部分20は、圧電的に活性な活性部活性領域を含む部分であり、積層体2において第1及び第2端面2a,2bの間に位置している。具体的には、第1部分20は、積層体2の中央部分に位置している。図4に示すように、第1部分20には、変位部50が形成されている。変位部50は、圧電体層30により構成される基部51から延びている基部51に立設されている。変位部50と基部51とは、一体成形されている。変位部50は、圧電体層30を介在させて第1内部電極31と第2内部電極32とが交互に積層されている。すなわち、変位部50は、基部51から第1内部電極31及び第2内部電極32の積層方向以下、単に積層方向に沿って延びている。各圧電体層30は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛PZT:PbZrx,Ti1-xO3を主成分とする圧電セラミックス材料からなる。実際の積層型圧電素子1では、各圧電体層30は、視認できない程度に一体化されている。本実施形態では、各圧電体層30の厚みは、10μm~50μm程度である。変位部50は、X方向において複数ここでは8つ並設されており、所定の間隔で離間している。変位部50は、積層方向Z方向から見て長方形状を呈しており、積層方向に直交する第1の方向Y方向の長さが、第1の方向と積層方向とに直交する第2の方向X方向の長さよりも長い。また、変位部50は、第1の方向から見て、略矩形状を呈している。隣り合う変位部50の間には、等間隔で形成された複数ここでは9本のスリットSが形成されている。スリットSは、第1主面2c側に開口し、且つ第1側面2eと第2側面2fとの対向方向に延びるように形成されている。第1内部電極31は、積層方向において所定の間隔をあけて複数ここでは10層配置されている。第1内部電極31は、一端が第1側面2eに引き出されており、第1側面2eに露出している。第2内部電極32は、積層方向において所定の間隔をあけて複数ここでは10層配置されている。第2内部電極32は、一端が第2側面2fに引き出されており、第2側面2fに露出している。第1内部電極31及び第2内部電極32は、銀Ag及びパラジウムPdを主成分とする導電材料からなる。本実施形態では、第1内部電極31及び第2内部電極32の厚みは、0.5μm~3μm程度である。なお、導電材料としては、Cu銅を用いることもできる。図4に示すように、第1内部電極31及び第2内部電極32は、積層方向において重なり合う第1部分Pと、積層方向において重なり合わない第2部分Qとを有している。第1部分Pは、変位部50において活性部に対応する部分であり、第2部分Qは、変位部50において不活性部に対応する部分である。図4では、変位部50において第1部分P及び第2部分Qに対応する部分を示している。図4及び図5に示すように、第1内部電極31の第2部分Q、つまり第1側面2e側の端部31aには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、第1内部電極31の幅方向の両側に複数ここでは2つ形成されている。第2内部電極32の第2部分Q、つまり第2側面2f側の端部32aには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、第2内部電極32の幅方向の両側に複数ここでは2つ形成されている。第1内部電極31と第2内部電極32とは、圧電体層30を挟んで互いに対向するように、圧電体層30の対向方向に沿って交互に配置されている。積層方向で見て、第1主面2c側には、第2内部電極32が位置しており、第2主面2d側には、第1内部電極32が位置している。第2部分21a及び第3部分21bは、圧電的に不活性な不活性部不活性領域を含む部分であり、積層体2の第1端面2a側、第2端面2b側にそれぞれ位置している。すなわち、第2部分21a及び第3部分21bは、積層体2の長手方向第1及び第2端面2a,2bの対向方向において、第1部分20を挟むように設けられている。第2部分21a及び第3部分21bは、複数の圧電体層30と第3内部電極33とが交互に積層されている。第2部分21aと第3部分21bとは、同様の構成を有している。第3内部電極33は、圧電体層30の積層方向において所定の間隔をあけて複数ここでは9層配置されている。第3内部電極33は、一端が第1側面2eに引き出されていると共に、他端が第2側面2fに引き出されており、第1側面2e及び第2側面2fに露出している。第3内部電極33は、第1内部電極31及び第2内部電極32と物理的且つ電気的に絶縁されている。第3内部電極33は、第2外部電極4と第3外部電極5a,5bとを接続する接続用電極である。第3内部電極33は、銀Ag及びパラジウムPdを主成分とする導電材料からなる。本実施形態では、第3内部電極33の厚みは、0.5μm~3μm程度である。第1外部電極3は、第1側面2eに設けられている。第1外部電極3は、第1側面2eにおいて第1部分20に対応する位置に形成されており、第1内部電極31の一端に物理的且つ電気的に接続されている。第1外部電極3のそれぞれは、互いに物理的且つ電気的に独立している。第1外部電極3は、Cr,Cu/Ni,Auの3層の金属膜からなる。第1外部電極3の厚みは、0.3μm~5.0μm程度である。この外部電極の構成は、第2~第4外部電極4~6についても同様である。なお、Auの金属膜の代わりに、Ag、又はAg-Pd、Ag-Snを用いることもできる。第2外部電極4は、第2側面2fに設けられている。第2外部電極4は、第2側面2fの全面に亘って形成されており、第2内部電極32及び第3内部電極33の一端に物理的且つ電気的に接続されている。第2外部電極4は、第2内部電極32及び第3内部電極33のいずれにも接続される共通外部電極である。第2外部電極4は、変位部50の形状に対応した形状を成しており、変位部50に対応した位置において凹凸を呈している。第3外部電極5a,5bは、第1側面2eに設けられている。第3外部電極5a,5bは、第1側面2eにおいて第2部分21a及び第3部分21bに対応する位置、すなわち第1側面2eの長手方向の両端側に形成されており、第3内部電極33の一端に物理的且つ電気的に接続されている。第3外部電極5a,5bと第1外部電極3とは、第1側面2e上において互いに電気的に絶縁されている。第4外部電極6は、第2主面2dに設けられている。第4外部電極6は、第2主面2dの全面に亘って形成されており、第2外部電極4及び第3外部電極5a,5bに物理的且つ電気的に接続されている。すなわち、第4外部電極6は、第2外部電極4及び第3外部電極5a,5bを電気的に接続している。第4外部電極6は、第1外部電極3と電気的に絶縁されている。第4外部電極6は、第2外部電極4と第3外部電極5a,5bとを接続する接続用電極である。また、第4外部電極6は、基板支持体等に導電性接着剤にて接続される際の接続面となる。第1外部電極3と第3外部電極5a,5bとの間には、溝34,35がそれぞれ形成されている。すなわち、溝34,35は、第1部分20と第2部分21a及び第3部分21bとの境界部分に形成されている。溝34,35は、積層体2の第1側面2eにおいて、積層方向に沿って形成されている。この溝34,35により、第1外部電極3と第3外部電極5a,5bとは、物理的且つ電気的に絶縁されている。積層体2の第1部分20において、側面2eと主面2dとの角部分には、切欠部36が設けられている。切欠部36は、側面2eと主面2dとの角部分において積層体2の長手方向に沿って形成されており、溝34と溝35との間に設けられている。切欠部36は、側面2e及び主面2dに対して傾斜する傾斜面である。この切欠部36により、第1外部電極3と第4外部電極6とは、物理的且つ電気的に絶縁されている。積層型圧電素子1では、第1外部電極3と第2外部電極4との間に電圧を印加すると、第1内部電極31と第2内部電極32との間にも電圧が印加される。そして、変位部50第1部分20では、圧電体層30において、第1内部電極31と第2内部電極32との間の領域に電界が生じ、当該領域が変位する。このとき、第2部分21a及び第3部分21bでは、圧電体層30において第3内部電極33の間に電界が生じないため、変位が生じない。続いて、上述の構成を有する積層型圧電素子1の製造方法について説明する。まず、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミックス材料に有機バインダや有機溶剤等を混合して基体ペーストを作製し、その基体ペーストを用いて圧電体層30となるグリーンシートをドクターブレード法により成形する。また、所定比率の銀とパラジウムとからなる金属材料に有機バインダや有機溶剤等を混合して電極パターン形成用の導電ペーストを作製する。次に、導電ペーストを用いて、第1~第3内部電極31~33に対応する電極パターンのそれぞれをグリーンシート上にスクリーン印刷法により形成する。そして、第1内部電極31及び第3内部電極33に対応する電極パターンが形成されたグリーンシート、第2内部電極32及び第3内部電極33に対応する電極パターンが形成されたグリーンシート、及び圧電体層30となるグリーンシートを積層して、積層体グリーンを作製する。続いて、積層体グリーンを所定の温度例えば、60°C程度で加熱しながら、積層方向に所定の圧力でプレスした後、積層体グリーンを所定の大きさに切断する。そして、積層体グリーンを所定の温度例えば、400°C程度で脱脂した後、所定の温度例えば、1100°C程度で所定時間焼成して、積層体2を得る。続いて、積層体2の側面2e,2f及び主面2dに対応する面に、Cr,Cu/Ni,Auの順に3層の金属膜をスパッタリング法により形成して外部電極を形成する。そして、積層体2において側面2eに対応する面に積層方向に沿って溝34,35を形成することにより、外部電極を分断して第1外部電極3及び第3外部電極5a,5bを形成する。また、積層体2の側面2eと主面2dとの角部分に切欠部36を形成することにより、外部電極を分断して第1外部電極3と第4外部電極6とを形成する。続いて、第1部分20にスリットSを例えばダイシングブレードによって形成する。これにより、第1部分20に変位部50が構成される。以上により、積層型圧電素子1が得られる。以上説明したように、積層型圧電素子1は、第1内部電極31及び第2内部電極32において、第2部分Qに開口部Kが形成されている。第1及び第2内部電極31,32と圧電体層30とは異なる材質からなるため、第1及び第2内部電極31,32と圧電体層30との接合強度は、圧電体層30同士の接合強度に比べて低い。そこで、開口部Kを形成することにより、第1内部電極31又は第2内部電極32を挟んで対向する圧電体層30が開口部Kを介して接合することになり、圧電体層30同士の接合面積を多くできる。したがって、変位部50における接合強度を確保でき、変位部50の破損を防止できる。また、変位部50の幅を広くすることなく強度を確保できるため、変位部50の幅を全体的に広げて強度を確保する場合に比べて、内部電極の対向面積の増大を抑制でき、静電容量の増大を抑制できる。その結果、電流の増大を抑制でき、消費電力の増大を抑制できる。[第2実施形態]続いて、第2実施形態について説明する。図6aは、第2実施形態に係る積層型圧電素子の変位部を示す斜視図であり、図6bは、図6aに示す変位部に配置される内部電極の構成を示す図である。図6に示すように、第1部分20に形成される変位部50Aは、積層方向Z方向から見て略T字状を呈しており、積層方向に直交する第1の方向Y方向の長さが、第1の方向と積層方向とに直交する第2の方向X方向の長さよりも長い。また、変位部50Aは、第1の方向から見て、略矩形状を呈している。変位部50Aは、長尺状の中央部50Aaと、端部50Ab,50Acとから構成されている。端部50Abは、中央部50Aaの第1の方向の一方の端側第1側面2e又は第2側面2f側において、中央部50Aaの第2の方向幅方向の両側に張り出している。すなわち、変位部50Aの端部50Abの幅D1は、中央部50Aaの幅D2よりも広い。変位部50Aの端部50Acの幅は、中央部50Aaの幅D2と同じである。図6bに示すように、第1内部電極31Aは、変位部50Aの形状に対応した形状を呈している。すなわち、第1内部電極31Aは、上面視において略T字状を呈しており、第1の方向の一端部の幅が中央部の幅よりも広い。第1内部電極31Aの第2部分Q、つまり第1側面2e側の端部31Aaには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、略矩形状を呈しており、第1内部電極31Aの端部31Aaの中央部に形成されている。第2内部電極32Aは、変位部50Aの形状に対応した形状を呈している。すなわち、第2内部電極32Aは、上面視において略T字状を呈しており、第1の方向の一端部の幅が中央部の幅よりも広い。第2内部電極32Aの第2部分Q、つまり第2側面2f側の端部32Aaには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、略矩形状を呈しており、第1内部電極32Aの端部32Aaの中央部に形成されている。以上説明したように、変位部50Aでは、第1内部電極31A及び第2内部電極32Aにおいて、第2部分Qに開口部Kが形成されている。そのため、第1内部電極31A又は第2内部電極32Aを挟んで対向する圧電体層30が開口部Kを介して接合することになり、圧電体層30同士の接合面積を多くできる。したがって、変位部50Aにおける接合強度を確保でき、変位部50Aの破損を防止できる。また、変位部50Aの第1の方向の端部50Abを幅広に形成しているため、変位部50Aの幅を全体的に広げて強度を確保する場合に比べて、第1内部電極31A及び第2内部電極32Aの対向面積の増大を抑制でき、静電容量の増大を抑制できる。その結果、電流の増大を抑制でき、消費電力の増大を抑制できる。また、変位部50Aでは、端部50Abの幅D1が中央部50Aaの幅D2よりも広い。これにより、変位部50Aでは、第1の方向の端部50Abにおいて、基部51側の強度が確保されている。したがって、折れ易い変位部50Aの基端部側の強度が確保されるため、変位部50Aの破損を防止できる。[第3実施形態]続いて、第3実施形態について説明する。図7aは、第3実施形態に係る積層型圧電素子の変位部を示す斜視図であり、図7bは、図7aに示す変位部に配置される内部電極の構成を示す図である。図7に示すように、変位部50Bは、積層方向Z方向から見て略L字状を呈しており、積層方向に直交する第1の方向Y方向の長さが、第1の方向と積層方向とに直交する第2の方向X方向の長さよりも長い。また、変位部50Bは、第1の方向から見て、略矩形状を呈している。変位部50Bは、長尺状の中央部50Baと、端部50Bb,50Bcとから構成されている。端部50Bbは、中央部50Baの第1の方向の一方の端側第1側面2e又は第2側面2f側において、中央部50Baの第2の方向幅方向の一方側に張り出している。すなわち、変位部50の端部50Bbの幅D1は、中央部50Baの幅D2よりも広い。変位部50の端部50Bcの幅は、中央部50Baの幅D2と同じである。図7bに示すように、第1内部電極31Bは、変位部50Bの形状に対応した形状を呈している。すなわち、第1内部電極31Bは、上面視において略L字状を呈しており、第1の方向の一端部の幅が中央部の幅よりも広い。第1内部電極31Bの第2部分Q、つまり第1側面2e側の端部31Baには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、略矩形状を呈しており、第1内部電極31Bの端部31Baの幅方向の一端側に形成されている。第2内部電極32Bは、変位部50Bの形状に対応した形状を呈している。すなわち、第2内部電極32Bは、上面視において略L字状を呈しており、第1の方向の一端部の幅が中央部の幅よりも広い。第2内部電極32Bの第2部分Q、つまり第2側面2f側の端部32Baには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、略矩形状を呈しており、第1内部電極32Bの端部32Baの幅方向の一端側に形成されている。以上説明したように、変位部50Bでは、第1内部電極31B及び第2内部電極32Bにおいて、第2部分Qに開口部Kが形成されている。そのため、第1内部電極31B又は第2内部電極32Bを挟んで対向する圧電体層30が開口部Kを介して接合することになり、圧電体層30同士の接合面積を多くできる。したがって、変位部50Bにおける接合強度を確保でき、変位部50Bの破損を防止できる。また、変位部50Bの第1の方向の端部50Bbを幅広に形成しているため、変位部50Bの幅を全体的に広げて強度を確保する場合に比べて、第1内部電極31B及び第2内部電極32Bの対向面積の増大を抑制でき、静電容量の増大を抑制できる。その結果、電流の増大を抑制でき、消費電力の増大を抑制できる。また、変位部50Bでは、端部50Bbの幅D1が中央部50Baの幅D2よりも広い。これにより、変位部50Bでは、第1の方向の端部50Bbにおいて、基部51側の強度が確保されている。したがって、折れ易い変位部50Bの基端部側の強度が確保されるため、変位部50Bの破損を防止できる。[第4実施形態]続いて、第4実施形態について説明する。図8aは、第4実施形態に係る積層型圧電素子の変位部を示す斜視図であり、図8bは、図8aに示す変位部に配置される内部電極の構成を示す図である。図8に示すように、第1部分20に形成される変位部50Cは、積層方向Z方向から見て略I字状を呈しており、積層方向に直交する第1の方向Y方向の長さが、第1の方向と積層方向とに直交する第2の方向X方向の長さよりも長い。また、変位部50Cは、第1の方向から見て、略矩形状を呈している。変位部50は、図8aに示すように、その第1の方向の両端部の幅D1が中央部の幅D2よりも広い。具体的には、変位部50Cは、長尺状の中央部50Caと、端部50Cb,50Ccとから構成されている。端部50Cb,50Ccは、中央部50Caの第1の方向延在方向の両端側において、中央部50Caの第2の方向幅方向の両側に張り出している。すなわち、変位部50の両端部50Cb,50Ccの幅D1は、中央部50Caの幅D2よりも広い。図8bに示すように、第1内部電極31Cは、上面視において略T字状を呈しており、第1の方向の一端部の幅が中央部の幅よりも広い。第1内部電極31Cの第2部分、つまり第1側面2e側の端部31Caには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、略矩形状を呈しており、第1内部電極31Cの端部31Caに幅方向に沿って複数ここでは5つ形成されている。第2内部電極32Cは、上面視において略T字状を呈しており、第1の方向の一端部の幅が中央部の幅よりも広い。第2内部電極32Cの第2部分Q、つまり第2側面2f側の端部32Caには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、略矩形状を呈しており、第2内部電極32Cの端部32Caに幅方向に沿って複数ここでは5つ形成されている。以上説明したように、変位部50Cでは、第1内部電極31C及び第2内部電極32Cにおいて、第2部分Qに開口部Kが形成されている。そのため、第1内部電極31C又は第2内部電極32Cを挟んで対向する圧電体層30が開口部Kを介して接合することになり、圧電体層30同士の接合面積を多くできる。したがって、変位部50Cにおける接合強度を確保でき、変位部50Cの破損を防止できる。また、変位部50Cの第1の方向の両端部50Cb,50Ccを幅広に形成しているため、変位部50Cの幅を全体的に広げて強度を確保する場合に比べて、第1内部電極31C及び第2内部電極32Cの対向面積の増大を抑制でき、静電容量の増大を抑制できる。その結果、電流の増大を抑制でき、消費電力の増大を抑制できる。また、変位部50Cでは、端部50Cb,50Ccの幅D1が中央部50Caの幅D2よりも広い。これにより、変位部50Cでは、第1の方向の両端部50Cb,50Ccにおいて、基部51側の強度が確保されている。したがって、折れ易い変位部50Cの基端部側の強度が確保されるため、変位部50Cの破損を防止できる。[第5実施形態]続いて、第5実施形態について説明する。図9aは、第8実施形態に係る積層型圧電素子の変位部を示す斜視図であり、図9bは、図9aに示す変位部に配置される内部電極の構成を示す図である。図9に示すように、変位部50Dは、積層方向Z方向から見て略台形字状を呈しており、積層方向に直交する第1の方向Y方向の長さが、第1の方向と積層方向とに直交する第2の方向X方向の長さよりも長い。また、変位部50Dは、第1の方向から見て、略矩形状を呈している。変位部50Dは、第1の方向の一方の端部側から他方の端部側に向かうにつれて幅広になる。すなわち、変位部50Dでは、端部50Dbの幅D1は、中央部50Daの幅D2よりも広く、端部50Dbの反対側の端部50Dcの幅は、中央部50Daの幅D2よりも狭いD1>D2>D3。図9bに示すように、第1内部電極31Dは、変位部50Dの形状に対応した形状を呈している。すなわち、第1内部電極31Dは、上面視において略台形字状を呈しており、第1の方向の両端部の幅が中央部の幅よりも広い。第1内部電極31Dの第2部分Q、つまり第1側面2e側の端部31Daには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、略矩形状を呈しており、第1内部電極31Dの端部31Daに幅方向に沿って複数ここでは2つ形成されている。第2内部電極32Dは、変位部50Dの形状に対応した形状を呈している。すなわち、第2内部電極32Dは、上面視において略台形字状を呈しており、第1の方向の両端部の幅が中央部の幅よりも広い。第2内部電極32Dの第2部分Q、つまり第2側面2f側の端部32Daには、開口部Kが形成されている。開口部Kは、略矩形状を呈しており、第2内部電極32Dの端部32Daに幅方向に沿って複数ここでは2つ形成されている。以上説明したように、変位部50Dでは、第1内部電極31D及び第2内部電極32Dにおいて、第2部分Qに開口部Kが形成されている。そのため、第1内部電極31D又は第2内部電極32Dを挟んで対向する圧電体層30が開口部Kを介して接合することになり、圧電体層30同士の接合面積を多くできる。したがって、変位部50Dにおける接合強度を確保でき、変位部50Dの破損を防止できる。また、変位部50Dの第1の方向の端部50Dbを幅広に形成しているため、変位部50Dの幅を全体的に広げて強度を確保する場合に比べて、第1内部電極31D及び第2内部電極32Dの対向面積の増大を抑制でき、静電容量の増大を抑制できる。その結果、電流の増大を抑制でき、消費電力の増大を抑制できる。また、変位部50Dでは、端部50Dbの幅D1が中央部50Daの幅D2よりも広い。これにより、変位部50Dでは、第1の方向の端部50Dbにおいて、基部51側の強度が確保されている。したがって、折れ易い変位部50Dの基端部側の強度が確保されるため、変位部50Dの破損を防止できる。本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、積層体2が第1部分20、第2部分21a及び第3部分21bを含む構成としているが、積層体2の構成はこれに限定されない。また、上記実施形態では、積層体2の第2主面2dに、第2外部電極4と第3外部電極5a,5bとを接続する第4外部電極6を形成しているが、第4外部電極6は設けられなくてもよい。つまり、第2外部電極4と第3外部電極5a,5bとの接続は、第3内部電極33だけであってもよい。また、上記実施形態では、第1及び第2内部電極の第2部分に開口部を形成しているが、第1部分に開口部が形成されていてもよい。この場合、開口部は、変位部の基端部側基部51側の第1及び第2内部電極に形成されることが好ましい。このような構成によれば、変位部の変位特性への影響を少なくすることができる。"