ヘッド部15と、上記ヘッド部15に対して相対移動が可能に配設された対象物20と、上記ヘッド部15に設けられて上記対象物20に対向するプラズマ電極25と、上記ヘッド部15に設けられて上記対象物20に対向するとともに上記対象物20に塗布される噴霧用液体が供給される噴霧ノズル30と、上記プラズマ電極25と上記対象物20との間、及び上記噴霧用液体と上記対象物20との間に所定の電圧を印加し、上記プラズマ電極25から上記対象物20へ向かってプラズマを照射させるとともに上記噴霧用液体を帯電した霧化状態で噴霧させて上記対象物の表面に塗布させる電圧印加部40とを備え、上記噴霧ノズル30及び上記プラズマ電極25の両方を動作させるときの上記ヘッド部15に係る相対移動方向の前方から後方へ向かって順にプラズマ電極25と噴霧ノズル30とを隣接して配列したことを特徴とする静電塗装装置。請求項1において、上記プラズマ電極25には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加されていることを特徴とする静電塗装装置。請求項1又は2において、上記プラズマ電極25を保護する保護カバー21を備え、上記保護カバー21には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加されていることを特徴とする静電塗装装置。請求項1から3の何れか1つにおいて、上記電圧印加部40は、上記噴霧ノズル30の先端部に電界を形成して該先端部から液体が噴霧されるように、上記噴霧用液体と上記対象物20との間に所定の電圧を印加することを特徴とする静電塗装装置。ヘッド部15と、該ヘッド部15に対して相対移動が可能に配設された対象物20と、上記ヘッド部15に設けられて上記対象物20に対向するプラズマ電極25と、上記プラズマ電極25に隣接して上記ヘッド部15に設けられて上記対象物20に対向するとともに上記対象物20に塗布される噴霧用液体が供給される噴霧ノズル30と、上記プラズマ電極25及び上記噴霧用液体と上記対象物20との間に所定の電圧を印加し、上記プラズマ電極25から上記対象物20へ向かってプラズマを照射させるとともに上記噴霧用液体を帯電した霧化状態で噴霧させて上記対象物の表面に塗布させる電圧印加部40とを備えた静電塗装装置の塗装方法であって、上記プラズマ電極25が前方となって上記噴霧ノズル30が後方となる向きに、上記ヘッド部15及び上記対象物20を相対移動させる移動工程を備えていることを特徴とする静電塗装装置の塗装方法。請求項5において、上記プラズマ電極25には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加されていることを特徴とする静電塗装装置の塗装方法。請求項5又は6において、上記プラズマ電極25を保護する保護カバー21を備え、上記保護カバー21には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加されていることを特徴とする静電塗装装置の塗装方法。請求項5から7の何れか1つにおいて、上記電圧印加部40は、上記噴霧ノズル30の先端部に電界を形成して該先端部から液体が噴霧されるように、上記噴霧用液体と上記対象物20との間に所定の電圧を印加することを特徴とする静電塗装装置の塗装方法。しかしながら、このプラズマ照射による対象物の活性状態は短時間で失活してしまう。このため、上記静電塗装装置において、上述したプラズマ照射を用いて液体の塗布性能を向上させることが困難であった。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、静電塗装装置において、プラズマ照射を有効に利用して液体の塗布性能を向上させることにある。第1の発明は、ヘッド部15と、上記ヘッド部15に対して相対移動が可能に配設された対象物20と、上記ヘッド部15に設けられて上記対象物20に対向するプラズマ電極25と、上記ヘッド部15に設けられて上記対象物20に対向するとともに上記対象物20に塗布される噴霧用液体が供給される噴霧ノズル30と、上記プラズマ電極25と上記対象物20との間、及び上記噴霧用液体と上記対象物20との間に所定の電圧を印加し、上記プラズマ電極25から上記対象物20へ向かってプラズマを照射させるとともに上記噴霧用液体を帯電した霧化状態で噴霧させて上記対象物の表面に塗布させる電圧印加部40とを備えた静電塗装装置を前提としている。そして、上記噴霧ノズル30及び上記プラズマ電極25の両方を動作させるときの上記ヘッド部15に係る相対移動方向の前方から後方へ向かって順にプラズマ電極25と噴霧ノズル30とを隣接して配列したことを特徴としている。第1の発明では、上記ヘッド部15に係る相対移動方向の前方から後方へ向かって順にプラズマ電極25と噴霧ノズル30とを隣接させて配列した。ここで、上記ヘッド部15の相対移動方向とは、上記プラズマ電極25及び上記噴霧ノズル30の両方を動作させるときの移動方向であるので、上記プラズマ電極25及び上記噴霧ノズル30の一方を動作させるときの移動方向は含まれない。このように、上記プラズマ電極25が上記噴霧ノズル30の前方に位置するので、上記対象物20にプラズマ照射した後に噴霧状の液体を噴霧することが可能になる。又、上記プラズマ電極25と上記噴霧ノズル30とを隣接させることで、プラズマ照射の後に素早く噴霧状の液体が対象物20に塗布される。第2の発明は、第1の発明において、上記プラズマ電極25には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加されていることを特徴としている。第2の発明では、上記プラズマ電極25と上記噴霧用液体とを同極性にすることにより、上記噴霧ノズル30から噴霧された液体で上記プラズマ電極25が汚染されなくなる。第3の発明は、第1又は第2の発明において、上記プラズマ電極25を保護する保護カバー21を備え、上記保護カバー21には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加されていることを特徴としている。第3の発明では、上記保護カバー21を上記噴霧用液体と同じ極性にしている。この保護カバー21で液体によるプラズマ電極25の汚染を防止するとともに、この保護カバー21も液体で汚染されなくなる。第4の発明は、第1から第3の何れか1つの発明において、上記電圧印加部40は、上記噴霧ノズル30の先端部に電界を形成して該先端部から液体が噴霧されるように、上記噴霧用液体と上記対象物20との間に所定の電圧を印加することを特徴としている。第4の発明では、静電噴霧によって液体を対象物20に塗布する。この静電噴霧の場合には、例えば帯電した液体をノズルの形状のみで噴霧する場合に比べて、各噴霧粒子の粒子径を小さく且つ各噴霧粒子を確実に帯電することができる。このことから、上記各噴霧粒子の粒子径を小さくすることで該噴霧粒子が対象物20へ向かう際の慣性力を弱めるとともに、この慣性力の弱い噴霧粒子を確実に帯電させることができる。以上より、噴霧粒子がプラズマ電極25に近づくのを確実に抑制することができるようになる。第5の発明は、ヘッド部15と、該ヘッド部15に対して相対移動が可能に配設された対象物20と、上記ヘッド部15に設けられて上記対象物20に対向するプラズマ電極25と、上記プラズマ電極25に隣接して上記ヘッド部15に設けられて上記対象物20に対向するとともに上記対象物20に塗布される噴霧用液体が供給される噴霧ノズル30と、上記プラズマ電極25及び上記噴霧用液体と上記対象物20との間に所定の電圧を印加し、上記プラズマ電極25から上記対象物20へ向かってプラズマを照射させるとともに上記噴霧用液体を帯電した霧化状態で噴霧させて上記対象物の表面に塗布させる電圧印加部40とを備えた静電塗装装置の塗装方法を前提としている。そして、上記プラズマ電極25が前方となって上記噴霧ノズル30が後方となる向きに、上記ヘッド部15及び上記対象物20を相対移動させる移動工程を備えていることを特徴としている。第5の発明では、上記プラズマ電極25を上記噴霧ノズル30の前方に位置させながら上記ヘッド部15を移動させることにより、上記対象物20にプラズマ照射した後に噴霧状の液体を噴霧することが可能になる。又、上記プラズマ電極25と上記噴霧ノズル30とを隣接させることで、プラズマ照射の後に素早く噴霧状の液体が対象物20に塗布される。第6の発明は、第5の発明において、上記プラズマ電極25には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加されていることを特徴としている。第6の発明では、上記プラズマ電極25と上記噴霧用液体とを同極性にすることにより、上記噴霧ノズル30から噴霧された液体で上記プラズマ電極25が汚染されなくなる。第7の発明は、第5又は第6の発明において、上記プラズマ電極25を保護する保護カバー21を備え、上記保護カバー21には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加されていることを特徴としている。第7の発明では、上記保護カバー21を上記噴霧用液体と同じ極性にしている。この保護カバー21で液体によるプラズマ電極25の汚染を防止するとともに、この保護カバー21も液体で汚染されなくなる。第8の発明は、第5から第7の何れか1つの発明において、上記電圧印加部40は、上記噴霧ノズル30の先端部に電界を形成して該先端部から液体が噴霧されるように、上記噴霧用液体と上記対象物20との間に所定の電圧を印加することを特徴としている。第8の発明では、静電噴霧によって液体を対象物20に塗布する。この静電噴霧の場合には、例えば帯電した液体をノズルの形状のみで噴霧する場合に比べて、各噴霧粒子の粒子径を小さく且つ各噴霧粒子を確実に帯電することができる。このことから、上記各噴霧粒子の粒子径を小さくすることで該噴霧粒子が対象物20へ向かう際の慣性力を弱めるとともに、この慣性力の弱い噴霧粒子を確実に帯電させることができる。以上より、噴霧粒子がプラズマ電極25に近づくのを確実に抑制することができるようになる。上記第1及び第5の発明によれば、プラズマ電極25と噴霧ノズル30とを隣接させた状態で上記ヘッド部15に配設することにより、プラズマ照射による対象物20の活性状態が失活しないうちに素早く噴霧状の液体を対象物20に塗布することができる。これにより、このプラズマ照射を有効に利用して液体の塗布性能を向上させることができる。また、上記第2及び第6の発明によれば、上記プラズマ電極25と上記噴霧用液体とを同極性にすることにより、上記噴霧用液体で上記プラズマ電極25が汚染されるのを防ぐことができる。これにより、プラズマ電極25から照射されるプラズマの量を低下させることなく、噴霧状の液体を対象物20に塗布することができる。また、上記第3及び第7の発明によれば、上記保護カバー21を設けることにより、上記噴霧用液体によるプラズマ電極25の汚染を防止することができる。又、この保護カバー21と上記噴霧用液体とを同極性にすることにより、上記噴霧用液体による保護カバー21の汚染を防止することができる。これにより、プラズマ電極25から照射されるプラズマの量を低下させることなく、噴霧状の液体を対象物20に塗布することができる。また、上記第4及び第8の発明によれば、静電噴霧で液体を対象物20に塗布することにより、液体の噴霧粒子が対象物20へ向かう際の慣性力を弱めるとともに、この慣性力の弱い噴霧粒子を確実に帯電させることができる。これにより、この噴霧粒子がプラズマ電極25に近づくのを確実に抑制することができ、上記噴霧用液体によるプラズマ電極25の汚染をより一層抑制することができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。本実施形態の静電塗装装置10は、対象物である被塗布体20に汚れ防止膜などの機能性の薄膜を形成するものである。この静電塗装装置10は、図1に示すように、走査ヘッドヘッド部15と噴霧ノズル30とプラズマ電極25と電圧印加部40とを備えている。上記被塗布体20は、ガラス等の絶縁体で構成され、例えば、平坦な板状に形成され、表面が薄膜形成面になっている。上記走査ヘッド15は、上記被塗布体20の薄膜形成面に対向するように配置されている。又、この走査ヘッド15は、上記静電塗装装置10が有する走査レール16に移動自在に支持されている。そして、この走査ヘッド15は、上記被塗布体20の薄膜形成面に沿うように往復移動する。上記噴霧ノズル30は、該噴霧ノズル30の先端が上記被塗布体20の薄膜形成面に対向するように、上記走査ヘッド15に取り付けられている。この噴霧ノズル30には、被塗布体20に塗布するための噴霧用液体が供給される。この噴霧用液体は、例えば、溶媒に薄膜となる成分分子が均一に溶解したものである。上記プラズマ電極25は、該プラズマ電極25の先端が上記被塗布体20の薄膜形成面に対向し且つ上記噴霧ノズル30に隣接するように、上記走査ヘッド15に取り付けられている。尚、図1の矢印は、上記プラズマ電極25及び上記噴霧ノズル30の両方を動作させるときの上記走査ヘッド15の移動方向である。そして、この移動方向の前方となる位置に上記プラズマ電極25が配置され、この移動方向の後方となる位置に上記噴霧ノズル30が配置される。上記電圧印加部40は、電源41と、該電源41に接続された放電電極42及び対向電極43とを備えている。上記放電電極42は、上記プラズマ電極25及び上記噴霧ノズル30である。つまり、上記プラズマ電極25及び上記噴霧ノズル30は、上記走査ヘッド15を介して上記電源41と導通している。上記対向電極43は、上記被塗布体20の裏面に導電体50を介して接続されている。又、上記対向電極43は接地されて接地電極を構成する。又、上記電圧印加部40に内蔵された切換スイッチにより、上記プラズマ電極25及び上記噴霧ノズル30の両方に高電圧を印加したり、上記プラズマ電極25及び上記噴霧ノズル30の一方に高電圧を印加することが可能である。そして、上記電圧印加部40では、上記プラズマ電極25と上記被塗布体20との間に所定の高電圧を印加することにより、上記プラズマ電極25から上記被塗布体20の薄膜形成面へ向けてプラズマが照射される。又、上記電圧印加部40では、上記噴霧ノズル30の噴霧用液体と上記被塗布体20との間に所定の高電圧を印加することにより、上記噴霧ノズル30の先端部に電界が形成され、この先端部から霧状の上記噴霧用液体が帯電した状態で被塗布体20へ噴霧される。つまり、上記静電塗装装置10は、噴霧ノズル30の噴霧用液体を所定の加圧状態とし、この加圧状態の噴霧用液体に高電圧を印加すると、帯電された霧化粒子11となって大気に噴霧され、この帯電された霧化粒子11が対向電極43である被塗布体20の表面に付着するように構成されている。この構成では、静電噴霧方式によって被塗布体20に薄膜を形成する。又、上記走査ヘッド15と上記プラズマ電極25とには、霧化粒子11と同極性の電位が印加される。さらに、上記被塗布体20の裏面に設けられる導電体50は、対向電極43が接続されている。上記導電体50は、被塗布体20の薄膜形成面に対応して設けられ、両面が平坦な平板状に形成され、上記噴霧用液体と上記被塗布体20との間に電圧を印加した際、静電気力によって被塗布体20に密着する。上記被塗布体20に薄膜を形成する場合、該被塗布体20の薄膜形成面の帯電状況によって霧化粒子11である帯電粒子の沈着性が異なる。したがって、均一な薄膜を形成するためには、上記被塗布体20の薄膜形成面の帯電電位を一定に保持する必要がある。上記被塗布体20の薄膜形成面の帯電電位を安定させるためには、接地電極である対向電極43との距離を一定または密着させる必要がある。そこで、本実施形態においては、対向電極43が接続された導電体50を被塗布体20の裏面に密着させて設けるようにしている。そして、上記薄膜形成後に被塗布体20の徐電を行うために導電体50、つまり、対向電極43が接地されている。-運転動作-次に、上記静電塗装装置10の成膜動作について、成膜方法と共に説明する。先ず、上記被塗布体20は、その薄膜形成面にプラズマ電極25及び噴霧ノズル30が対向するように配置される。そして、上記噴霧ノズル30に噴霧用液体を供給する一方、上記被塗布体20の裏面に導電体50を密着させて設ける。その後、薄膜形成工程に移り、上記電圧印加部40によって上記噴霧ノズル30と上記導電体50との間、及び上記プラズマ電極25と上記導電体50との間に所定電圧が印加され、上記プラズマ電極25から上記被塗布体20へ向けてプラズマが照射されると同時に上記噴霧ノズル30から上記被塗布体20へ向けて噴霧用液体が噴霧される。そして、上記走査ヘッド15が、上記被塗布体20の薄膜形成面に沿って、上記プラズマ電極25が前方となって上記噴霧ノズル30が後方となる向き図1の矢印方向へ移動する。これにより、上記プラズマ電極25からのプラズマ照射による上記薄膜形成面の活性化及び上記薄膜形成面のゴミの除去が行われた直後に、上記噴霧ノズル30から噴霧用液体が噴霧されて上記薄膜形成面に付着する。このように、上述したプラズマ照射の後に素早く噴霧用液体を噴霧することにより、上記薄膜形成面に噴霧用液体が沈着しやすくなる。その後、薄膜積層工程に移り、上記プラズマ電極25からのプラズマ照射を停止させて上記噴霧ノズル30から噴霧用液体が噴霧を継続させる。そして、上記走査ヘッド15が、上記噴霧ノズル30が前方となって上記プラズマ電極25が後方となる向き図1の矢印と反対方向へ移動する。これにより、上記薄膜形成面の薄膜の上にさらに薄膜が積層される。尚、この薄膜積層工程は、薄膜の厚みに応じて適宜に行われる。-実施形態の効果-本実施形態によれば、プラズマ電極25と噴霧ノズル30とを隣接させた状態で上記ヘッド部15に配設することにより、プラズマ照射による被塗布体20の活性状態が失活しないうちに素早く噴霧用液体を被塗布体20に塗布することができる。これにより、このプラズマ照射を有効に利用して液体の塗布性能を向上させることができる。また、本実施形態によれば、上記プラズマ電極25と上記噴霧用液体とを同極性にすることにより、上記噴霧用液体で上記プラズマ電極25が汚染されるのを防ぐことができる。これにより、プラズマ電極25から照射されるプラズマの量を低下させることなく、噴霧状の液体を被塗布体20に塗布することができる。また、本実施形態によれば、静電噴霧で液体を被塗布体20に塗布することにより、液体の噴霧粒子が被塗布体20へ向かう際の慣性力を弱めるとともに、この慣性力の弱い噴霧粒子を確実に帯電させることができる。これにより、この噴霧粒子がプラズマ電極25に近づくのを確実に抑制することができ、上記噴霧用液体によるプラズマ電極25の汚染をより一層抑制することができる。-実施形態の変形例1-図2に示す変形例1では、上記プラズマ電極25を保護する保護カバー21が設けられている。そして、この保護カバー21が、上記走査ヘッド15及び上記走査レール16を介して上記電源41と導通している。これにより、上記保護カバー21には、上記噴霧用液体と同極性の電位が印加される。この変形例1によれば、上記保護カバー21を設けることにより、上記噴霧用液体によるプラズマ電極25の汚染を防止することができる。又、この保護カバー21と上記噴霧用液体とを同極性にすることにより、上記噴霧用液体による保護カバー21の汚染を防止することができる。これにより、プラズマ電極25から照射されるプラズマの量を低下させることなく、噴霧状の液体を被塗布体20に塗布することができる。-実施形態の変形例2-図3に示す変形例2では、上記ヘッド部15に溶媒乾燥用のプラズマ電極26が設けられている。具体的に、上記噴霧ノズル30及び上記プラズマ電極25の両方を動作させるときの上記ヘッド部15に係る移動方向の前方から後方へ向かって順に、上記プラズマ電極25と上記噴霧ノズル30と上記乾燥用のプラズマ電極26とが隣接して配列されている。これにより、プラズマ照射による被塗布体20の活性状態が失活しないうちに素早く噴霧用液体を被塗布体20に塗布した後で、上記乾燥用のプラズマ電極26を用いて、その塗布した噴霧用液体を素早く乾燥させることができる。《その他の実施形態》上記実施形態については、以下のような構成としてもよい。上記実施形態では、静電噴霧方式で上記被塗布体20に噴霧用液体を塗布していたが、これに限定されず、例えば、予め帯電させた噴霧用液体を噴霧器で噴霧させる方式でもよい。この場合であっても、本発明と同様の効果を得ることができる。上記実施形態では、上記電圧印加部に内蔵されたスイッチによって、高電圧を印加する対象を上記噴霧ノズル30及び上記プラズマ電極26の両方又は一方に切り換えていたが、これに限定されず、上記噴霧ノズル30及び上記プラズマ電極26の各々に上記電圧印加部を設けてもよい。各々の電圧調整を個別に行うことができる。上記実施形態では、上記被塗布体20を固定して上記走査ヘッド15を移動させたが、これに限定されず、上記被塗布体20を移動させて上記走査ヘッド15を固定してもよい。この場合であっても同様の効果を得ることができる。なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。