"水酸基、カルボキシル基、グリシジル基、エポキシ基、アミノ基からなる群より選択される少なくとも1つの官能基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分とするメタアクリル系共重合体と、下記一般式1、一般式2又は一般式3で表されるテトラゾール化合物とを反応させて得られる、側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーを含有することを特徴とする粘着剤組成物。式1~3中、R1、R2は、シアネート基、マレイミド基、グリシジル基、エポキシ基、水酸基又はアミノ基を含有する置換基を表す。基材の少なくとも一方の面に、請求項1記載の粘着剤組成物からなる粘着層を有することを特徴とする粘着テープ。本発明者は、特定の構造を有するテトラゾール化合物は、紫外線等の光を照射することにより気体窒素ガスを発生する一方、200°C程度の高温下でも分解しない高い耐熱性を有することを見出した。従って、テトラゾール化合物と粘着剤成分とを併用した粘着剤組成物は、高い粘着力を有する一方で、紫外線等の光を照射することにより容易に剥離でき、かつ、TSVの製造工程に用いることが可能な程度に耐熱性にも優れることが期待された。しかしながら、実際には、テトラゾール化合物と粘着剤成分とを併用した粘着剤組成物は、粘着力が劣ったり、剥離の際に均一な剥離ができなかったり、被着体の表面が汚染されてしまったりするという問題があった。本発明は、高い初期粘着力を有し強固に被着体を固定可能であるとともに、200°C以上の高温加工プロセスを経た後であっても、光を照射することにより容易に剥離することができ、更に貯蔵安定性にも優れる粘着剤組成物、及び、該粘着剤組成物を用いた粘着テープを提供することを目的とする。本発明は、水酸基、カルボキシル基、グリシジル基、エポキシ基、アミノ基からなる群より選択される少なくとも1つの官能基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分とするメタアクリル系共重合体と、下記一般式1、一般式2又は一般式3で表されるテトラゾール化合物とを反応させて得られる、側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーを含有する粘着剤組成物である。式1~3中、R1、R2は、シアネート基、マレイミド基、グリシジル基、エポキシ基、水酸基又はアミノ基を含有する置換基を表す。以下に本発明を詳述する。本発明者らは、テトラゾール化合物を配合した粘着剤組成物の問題点が、テトラゾール化合物と粘着剤成分との親和性の低さに起因することを見出した。即ち、テトラゾール化合物は、一般的な粘着剤成分との親和性が低く、粘着剤成分中に充分に分散させることができなかったことにより、粘着力が劣ったり、剥離の際に均一な剥離ができなかったり、被着体の表面が汚染されてしまったりするという問題を引き起こしていたものと考えられた。本発明者らは、更に鋭意検討の結果、水酸基、カルボキシル基、グリシジル基、エポキシ基、アミノ基からなる群より選択される少なくとも1つの官能基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分とするメタアクリル系共重合体と、上記一般式1、一般式2又は一般式3で表されるテトラゾール化合物とを反応させて得られる、側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーは、粘着剤としての機能と気体発生剤としての機能とを発揮し得ることを見出した。このような側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーを含有する粘着剤組成物は、テープを作製した場合の外観不良を防止し、かつ、耐熱性の向上及びガス発生性が均一になるため剥離性が向上し、かつ、テトラゾール化合物が再析出しなくなるために貯蔵安定性にも優れる。更に、より高い剥離性を求めて別にテトラゾール化合物を配合した場合にも、優れた相溶性が得られる。本発明の粘着剤組成物は、水酸基、カルボキシル基、グリシジル基、エポキシ基、アミノ基からなる群より選択される少なくとも1つの官能基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分とするメタアクリル系共重合体以下、単に官能基を有するメタアクリル系共重合体ともいう。と、上記一般式1、一般式2又は一般式3で表されるテトラゾール化合物以下、官能基を有するテトラゾール化合物ともいう。とを反応させて得られる、側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーを含有する。上記官能基を有するメタアクリル系共重合体は、直接、又は、架橋剤を用いて反応させることにより、上記官能基を有するテトラゾール化合物の官能基と反応し、側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーを得ることができる。上記官能基を有するメタアクリル系共重合体は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマーや、アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマーや、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等のグリシジル基含有モノマーや、ジメチルアミノエチルアクリレート、ジエチルアミノエチルアクリレート、ジブチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジエチルアミノエチルメタクリレート、ジブチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノプロピルアクリレート、ジエチルアミノプロピルアクリレート、ジメチルアミノプロピルメタクリレート、t-ブチルアミノエチルアクリレート、t-ブチルアミノエチルメタクリレート等のアルキルアミノメタアクリレート類や、N-ジメチルアミノエチルアクリルアミド、N-ジエチルアミノエチルアクリルアミド、N-ジブチルアミノエチルアクリルアミド、N-ジメチルアミノエチルメタクリルアミド、N-ジエチルアミノエチルメタクリルアミド、N-ジブチルアミノエチルメタクリルアミド、N-ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、N-ジエチルアミノプロピルアクリルアミド、N-ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド、t-ブチルアミノエチルアクリルアミド、t-ブチルアミノエチルメタクリルアミド等のN-アルキルアミノアルキルメタアクリルアミド類や、N,N-ジメチルアクリルアミド、N,N-ジエチルアクリルアミド、N,N-ジブチルアクリルアミド、N,N-ジメチルメタクリルアミド、N,N-ジエチルメタクリルアミド、N,N-ジブチルメタクリルアミド、N-t-ブチルアクリルアミド、N-t-ブチルメタクリルアミド等のN,N-アルキルメタアクリルアミド類等のアクリルアミド等のアミノ基含有モノマー等の官能基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分として重合させることにより得ることができる。上記官能基を有するラジカル重合性モノマーは単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。上記官能基を有するメタアクリル系共重合体は、上記官能基を有するラジカル重合性モノマー以外の共重合成分を含む単量体混合物を重合させてなる共重合体である。上記官能基を有するラジカル重合性モノマー以外の共重合成分は、アルキル基の炭素数が2~18の範囲にあるメタアクリル酸アルキルエステルモノマーが好適である。このようなメタアクリル酸アルキルエステルモノマーを共重合することにより、得られる粘着剤組成物の粘着力が向上する。なかでも、エチルアクリレート、N-ブチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート等がより好適である。上記官能基を有するメタアクリル系共重合体を製造するための単量体混合物中における上記官能基を有するラジカル重合性モノマーの配合量の好ましい下限は1モル、好ましい上限は50モルである。上記官能基を有するラジカル重合性モノマーの配合量が1モル未満であると、充分な量の上記テトラゾール化合物をグラフトさせることができないことがあり、50モルを超えると、粘着力が劣ることがある。上記官能基を有するラジカル重合性モノマーの配合量のより好ましい下限は5モル、より好ましい上限は30モルである。また、上記官能基を有するメタアクリル系共重合体に対して、分子内に上記官能基を有するメタアクリル系共重合体の官能基と反応する官能基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物以下、官能基含有不飽和化合物ともいう。を反応させることにより、本発明の粘着剤組成物を硬化型とすることができる。上記官能基含有不飽和化合物は、例えば、上記官能基を有するメタアクリル系共重合体の官能基に応じて、官能基を有するラジカル重合性モノマーから適宜選択して用いることができる。例えば、上記官能基を有するメタアクリル系共重合体の官能基がカルボキシル基の場合には、エポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がヒドロキシル基の場合には、イソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がエポキシ基の場合には、カルボキシル基含有モノマーやアクリルアミド等のアミド基含有モノマーが用いられる。上記官能基を有するテトラゾール化合物は、紫外線等の光を照射することにより気体窒素ガスを発生する一方、200°C程度の高温下でも分解しない高い耐熱性を有する。上記一般式1~3中、R1、R2は、シアネート基、マレイミド基、グリシジル基、エポキシ基、水酸基又はアミノ基を含有する置換基を表す。このような置換基を有することにより、上記官能基含有メタアクリル系共重合体と反応させて、側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーを得ることができる。なお、R1、R2は、同一であってもよく、異なっていてもよい。上記一般式1で表されるテトラゾール化合物は、具体的には例えば、5-アミノメチルテトラゾール、5-アミノテトラゾールモノハイドレート、1-ジメチルアミノエチル-5-メルカプト-1H-テトラゾール、1H-5ヒドロキシ-テトラゾール、1フェニル-5ヒドロキシ-テトラゾール、5-アセタアミドテトラゾール、5-アミノフェニルテトラゾール-2-アニリン等が挙げられる。上記一般式2で表されるテトラゾール化合物は、具体的には例えば、5,5’-ビスアミノテトラゾール等が挙げられる。上記一般式3で表されるテトラゾール化合物は、具体的には例えば、5,5’-アゾビステトラゾールアミノグアニジン等が挙げられる。上記官能基含有メタアクリル系共重合体と官能基を有するテトラゾール化合物とを反応させる方法は、例えば、上記官能基含有メタアクリル系共重合体の官能基と官能基を有するテトラゾール化合物の官能基を直接反応させてもよく、架橋剤を介在させて反応させてもよい。上記架橋剤は、例えば、コロネートL-45日本ポリウレタン社製等のポリイソシアネート系架橋剤、ケミタイト日本触媒社製等のアジリジン系架橋剤、E-5XM綜研化学社製等のエポキシ系架橋剤等が挙げられる。上記官能基含有メタアクリル系共重合体と官能基を有するテトラゾール化合物とを反応させる際の反応条件は、例えば、15~40°Cで3日間養生する方法等が挙げられる。上記官能基含有メタアクリル系共重合体と官能基を有するテトラゾール化合物とを反応させる際の、上記官能基含有メタアクリル系共重合体100重量部に対する上記官能基を有するテトラゾール化合物の配合比の好ましい下限は1重量部、好ましい上限は30重量部である。この範囲であると、更に他にテトラゾール化合物を別添した場合にも相溶性が期待できる。上記官能基を有するテトラゾール化合物の配合比が1重量部未満であると、ガス発生が不足して充分な剥離性能が得られなかったり、テトラゾール化合物を別添した際に相溶性が充分得られなかったりすることがあり、30重量部を超えると、上記官能基含有メタアクリル系共重合体に充分にグラフトできなくなることがある。上記官能基を有するテトラゾール化合物の配合比のより好ましい上限は25重量部である。本発明の粘着剤組成物は、更に別にテトラゾール化合物を添加してもよい。テトラゾール化合物を別添することにより、より気体発生による易剥離効果が向上する。このようにテトラゾール化合物を別添しても、上記側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーとの相溶性に優れることから、外観不良や接着不良を生じるおそれがない。このように別添するテトラゾール化合物としては、上記官能基を有するテトラゾール化合物の他、例えば、上記一般式1~3中、R1、R2が、水素、炭素数が1~7のアルキル基、アルキレン基、フェニル基、メルカプト基であるテトラゾール化合物も用いることができる。上記テトラゾール化合物を別添する場合の添加量は、上記側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマー100重量部に対して好ましい上限は20重量部である。別添するテトラゾール化合物の添加量が20重量部を超えると、相溶しきれないテトラゾール化合物により外観不良や接着不良が生じることがある。本発明の粘着剤組成物は、光増感剤を含有してもよい。上記光増感剤は、上記一般式1~3で表されるテトラゾール化合物又はその塩への光による刺激を増幅する効果を有することから、より少ない光の照射により気体を放出させることができる。また、より広い波長領域の光により気体を放出させることができる。上記光増感剤は、耐熱性に優れるものが好ましい。上記耐熱性に優れた光増感剤は、例えば、アルコキシ基を少なくとも1つ以上有する多環芳香族化合物が挙げられる。なかでも、一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物が好適である。これらの光増感剤は、耐昇華性が高く、高温下で使用することができる。また、アルコキシ基の一部がグリシジル基や水酸基で置換されることにより、上記側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーへの溶解性が高まり、ブリードアウトを防止することができる。上記多環芳香族化合物は、アントラセン誘導体が好ましい。上記アルコキシ基は、炭素数1~18のものが好ましく、炭素数1~8のものがより好ましい。上記アルコキシ基を少なくとも1つ以上有する多環芳香族化合物は、例えば、9,10-ジメトキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジメトキシアントラセン、2-t-ブチル-9,10-ジメトキシアントラセン、2,3-ジメチル-9,10-ジメトキシアントラセン、9-メトキシ-10-メチルアントラセン、9,10-ジエトキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジエトキシアントラセン、2-t-ブチル-9,10-ジエトキシアントラセン、2,3-ジメチル-9,10-ジエトキシアントラセン、9-エトキシ-10-メチルアントラセン、9,10-ジプロポキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジプロポキシアントラセン、2-t-ブチル-9,10-ジプロポキシアントラセン、2,3-ジメチル-9,10-ジプロポキシアントラセン、9-イソプロポキシ-10-メチルアントラセン、9,10-ジブトキシアントラセン、9,10-ジ2-ヒドロキシエトキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジ2-カルボキシエトキシアントラセン等のアントラセン誘導体等が挙げられる。上記一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物は、例えば、9,10-ジグリシジルオキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジグリシジルオキシアントラセン、2-t-ブチル-9,10-ジグリシジルオキシアントラセン、2,3-ジメチル-9,10-ジグリシジルオキシアントラセン、9-グリシジルオキシ-10-メチルアントラセン、9,10-ジ2-ヒドロキシエトキシアントラセン、9,10-ジ2-ヒドロキシプロポキシアントラセン、9,10-ジ2-ヒドロキシブトキシアントラセン、9,10-ジ2-ヒドロキシ-3-ブトキシプロポキシアントラセン、9,10-ジ2-ヒドロキシ-3-2-エチルヘキシルオキシプロポキシアントラセン、9,10-ジ2-ヒドロキシ-3-アリロキシプロポキシアントラセン、9,10-ジ2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロポキシアントラセン、9,10-ジ2,3-ジヒドロキシプロポキシアントラセン等が挙げられる。上記光増感剤の含有量は、上記側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマー100重量部に対する好ましい下限が0.05重量部、好ましい上限が10重量部である。上記光増感剤の含有量が0.05重量部未満であると、充分な増感効果が得られないことがあり、10重量部を超えると、光増感剤に由来する残存物が増え、充分な剥離を行えなくなることがある。上記光増感剤の含有量のより好ましい下限は0.1重量部、より好ましい上限は5重量部である。上記側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーが硬化型である場合には、本発明の粘着剤組成物は、光重合開始剤や熱重合開始剤を併用することが好ましい。上記光重合開始剤は、例えば、250~800nmの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられ、このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物や、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物や、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物や、フォスフィンオキシド誘導体化合物や、ビスη5-シクロペンタジエニルチタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、トデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。上記熱重合開始剤としては、熱により分解し、重合を開始する活性ラジカルを発生するものが挙げられ、例えば、ジクミルパーオキサイド、ジ-t-ブチルパーオキサイド、t-ブチルパーオキシベンゾエート、t-ブチルハイドロパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ-t-ブチルパーオキサイド等が挙げられる。ただし、本発明の粘着剤組成物が高い耐熱性を発揮するためには、上記熱重合開始剤は、熱分解温度が200°C以上である熱重合開始剤を用いることが好ましい。このような熱分解温度が高い熱重合開始剤は、クメンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ-t-ブチルパーオキサイド等が挙げられる。これらの熱重合開始剤のうち市販されているものとしては、例えば、パーブチルD、パーブチルH、パーブチルP、パーペンタH以上いずれも日油社製等が好適である。これら熱重合開始剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。上記側鎖にテトラゾール骨格を有するポリマーが硬化型である場合には、更に、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有することが好ましい。ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有することにより、光硬化性、熱硬化性が向上する。上記多官能オリゴマー又はモノマーは、分子量が1万以下であるものが好ましく、より好ましくは加熱又は光の照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が5000以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が2~20個のものである。上記多官能オリゴマー又はモノマーは、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。その他、1,4-ブチレングリコールジアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。上記メタアクリル系共重合体の重量平均分子量の好ましい下限は5万、好ましい上限は80万である。上記メタアクリル系共重合体の重量平均分子量が5万未満であると、耐熱性が低くなることがあり、80万を超えると、粘度が高くなりすぎ操作性が悪くなることがある。上記メタアクリル系共重合体の重量平均分子量のより好ましい下限は20万、より好ましい上限は70万である。なお、上記メタアクリル系共重合体の重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフ分析により測定した値を意味する。本発明の粘着剤組成物は、粘着剤としての凝集力の調節を図る目的で、所望によりイソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物等の一般の粘着剤に配合される各種の多官能性化合物を適宜含有してもよい。本発明の粘着剤組成物は、また、接着亢進を抑制する目的で、接着界面にブリードアウトしやすいスリップ剤を含有してもよい。本発明の粘着剤組成物は、更に、可塑剤、樹脂、界面活性剤、ワックス、微粒子充填剤等の公知の添加剤を含有してもよい。本発明の粘着剤組成物は、高い接着力を有する一方、光照射や加熱を行うことにより容易に剥離することができる。また、耐熱性にも優れることから、TSVの製造工程においてウエハを支持板に固定する等の、200°C以上の高温処理を行う用途にも用いることができる。更に、テトラゾール化合物がメタアクリル系共重合体にグラフトされているため、粘着力が劣ったり、剥離の際に均一な剥離ができなかったり、被着体の表面が汚染されてしまったりすることもない。本発明の粘着剤組成物は、様々な接着性製品に用いることができる。上記接着性製品としては、例えば、本発明の粘着剤組成物をバインダー樹脂として用いた接着剤、粘着剤、塗料、コーティング剤、シーリング剤等、又は、本発明の粘着剤組成物を粘着剤として用いた片面粘着テープ、両面粘着テープ、ノンサポートテープ自立テープ等の粘着テープ等が挙げられる。基材の少なくとも一方の面に、本発明の粘着剤組成物からなる粘着層を有する粘着テープもまた、本発明の1つである。上記基材は、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ABS、ポリエチレンテレフタレートPET、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシート、網目状の構造を有するシート、孔が開けられたシート等が挙げられる。本発明によれば、高い初期粘着力を有し強固に被着体を固定可能であるとともに、200°C以上の高温加工プロセスを経た後であっても、光を照射することにより容易に剥離することができ、更に貯蔵安定性にも優れる粘着剤組成物、及び、該粘着剤組成物を用いた粘着テープを提供することができる。以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。実施例11粘着剤成分の調製温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器を用意し、この反応器内に、2-エチルヘキシルアクリレート80重量部、アクリル酸2.5重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート2.5重量部、ジメチルアクリルアミド15重量部、ラウリルメルカプカプタン0.01重量部及び酢酸エチル180重量部を加えた後、反応器を加熱して還流を開始した。続いて、上記反応器内に、重合開始剤として1,1-ビスt-ヘキシルパーオキシ-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン0.01重量部を添加し、還流下で重合を開始させた。次に、重合開始から1時間後及び2時間後にも、1,1-ビスt-ヘキシルパーオキシ-3,3,5-トリメチルシクロヘキサンを0.01重量部ずつ添加し、更に、重合開始から4時間後にt-ヘキシルパーオキシピバレートを0.05重量部添加して重合反応を継続させた。そして、重合開始から8時間後に、重量平均分子量70万のアクリル系共重合体を得た。得られたアクリル系共重合体の樹脂固形分100重量部に対して、2-イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させ、光硬化性粘着剤を得た。2粘着剤組成物の調製得られたアクリル系共重合体100重量部に対して、テトラゾール化合物として5-m-アミノフェニルテトラゾールを10重量部、スリップ剤としてEBECRYL350ダイセルサイテック社製を2重量部、ポリイソシアネート系架橋剤としてコロネートL-45日本ポリウレタン社製を0.1重量部、光重合開始剤としてイルガキュア369バスフ社製を1重量部加え、混合して、粘着剤組成物を得た。3粘着テープの製造得られた接着剤組成物を、両面にコロナ処理を施した厚さ25μmの透明なポリエチレンナフタレートフィルムの片面上に、乾燥皮膜の厚さが30μmとなるようにドクターナイフで塗工し、110°C、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、ポリエチレンナフタレートフィルムの他方の面上に、乾燥皮膜の厚さが30μmとなるように得られた接着剤組成物をドクターナイフで塗工し、110°C、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。その後、40°C、3日間静置養生を行い、両面粘着テープを得た。このときの粘着剤のゲル分率は5であった。実施例2粘着剤組成物を調製する際に用いるポリイソシアネート系架橋剤の量を0.5重量部に変更した以外は実施例1と同様にして粘着剤成分を得、粘着テープを製造した。このときの粘着剤のゲル分率は8であった。実施例3粘着剤組成物を調製する際に用いるポリイソシアネート系架橋剤の量を1重量部に変更した以外は実施例1と同様にして粘着剤成分を得、粘着テープを製造した。このときの粘着剤のゲル分率は12であった。実施例4粘着剤組成物を調製する際に用いるポリイソシアネート系架橋剤の量を5重量部に変更した以外は実施例1と同様にして粘着剤成分を得、粘着テープを製造した。このときの粘着剤のゲル分率は30であった。実施例5粘着剤組成物を調製する際に用いるポリイソシアネート系架橋剤の量を8重量部に変更した以外は実施例1と同様にして粘着剤成分を得、粘着テープを製造した。このときの粘着剤のゲル分率は50であった。実施例6粘着剤組成物を調製する際に用いるポリイソシアネート系架橋剤の量を10重量部に変更した以外は実施例1と同様にして粘着剤成分を得、粘着テープを製造した。このときの粘着剤のゲル分率は60であった。実施例7粘着剤組成物を調製する際に、ポリイソシアネート系架橋剤に代えて、エポキシ系架橋剤としてE-5XM綜研化学社製を1重量部用いた以外は実施例1と同様にして粘着剤成分を得、粘着テープを製造した。このときの粘着剤のゲル分率は10であった。実施例8粘着剤組成物を調製する際に用いるエポキシ系架橋剤の量を5重量部に変更した以外は実施例7と同様にして粘着剤成分を得、粘着テープを製造した。このときの粘着剤のゲル分率は22であった。比較例1粘着剤組成物を調製する際にポリイソシアネート系架橋剤を配合しなかった以外は実施例1と同様にして粘着剤成分を得、粘着テープを製造した。このときの粘着剤のゲル分率は0であった。評価実施例及び比較例で得られた粘着テープについて、以下の方法により評価を行った。結果を表1に示した。1外観不良の評価得られた両面粘着テープを40°Cに調整したオーブン中にて60日間養生した。その後の状態を目視にて観察した。粘着剤層が透明であった場合を○、白濁した場合を△、テトラゾールが再析出した場合を×と評価した。2ウエハ保持性の評価得られた両面粘着テープを直径20cmの円形に切断し、直径20cm、厚さ約750μmのシリコンウエハに真空中で貼り付けた。シリコンウエハに貼り付けた面と反対の面に、直径20cm、厚さ1mmの石英ガラス板を真空中で貼りつけて積層体を得た。この積層体のウエハ側をグラインド研削及び研磨を行い、厚み50μmまで研削した後、ウエハの状態を目視にて評価した。ウエハに面内割れがなく、エッジ部分の欠けもなかった場合を○、面内割れはないものの、エッジ部分の欠けがあった場合を△、面内割れがあった場合を×と評価した。ウエハを厚み30μmまで研削した場合についても、同様の評価を行った。3真空耐熱性評価得られた両面粘着テープを直径20cmの円形に切断し、直径20cm、厚さ約750μmのシリコンウエハに真空中で貼り付けた。シリコンウエハに貼り付けた面と反対の面に、直径20cm、厚さ1mmの石英ガラス板を真空中で貼りつけて積層体を得た。得られた積層体を200°Cの真空オーブンで2時間加熱後の表面の状態を目視にて観察して、浮きの発生の有無を評価した。また、ガラスが上面になるようにして積層体を吸着台に設置した後、ガラス端部を吸盤で引っ張ったときの剥離状態を観察した。このとき、全面に渡って浮きが認められず、かつ、引っ張っても全く剥離しなかった場合を○、浮きが全体の面積の3未満であり、かつ、引っ張っても剥離しなかった場合を△、浮きが全体の面積の3以上であり、かつ、引っ張ったときに剥離した場合を×と評価した。4剥離性の評価得られた積層体に対して、ガラス板側から超高圧水銀灯を用いて、254nmの紫外線をガラス板表面への照射強度が80mW/cm2となるよう照度を調節して2分間照射した。ガラスが上面になるようにして積層体を吸着台に設置した後、ガラス端部を吸盤で引っ張ったときの剥離状態を観察した。このとき、ウエハと接着剤層との界面から剥離しウエハに接着剤の残渣が全く認められなかった場合を○、ウエハと接着剤層との界面から剥離したが、ウエハ側に僅かな汚れが認められたただし、汚れは洗浄で取れた場合を△、全く剥離できなかった場合を×と評価した。同様の評価を、積層体を200°Cの真空オーブンで2時間加熱後においても行った。"