"被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された該被加工物を加工する加工手段と、加工条件を入力する入力手段と、加工条件を表示する表示手段と、該加工条件毎に該被加工物1枚あたりの加工に要する単位加工時間があらかじめ記憶された記憶手段と、を含む加工装置であって、該加工条件と該被加工物の処理枚数に基づき、当該処理枚数の該被加工物の加工に要する処理時間が予測加工時間として該表示手段に表示される、ことを特徴とする加工装置。しかしながら、加工条件はウェーハの品種によって大きく異なることが多いという現状があり、一つの被加工物一枚のウェーハの加工に要する時間、即ち、単位加工時間被加工物1枚あたりに要する加工時間についても加工条件に応じて変動するものである。また、多品種小ロットの生産を実施している工場では、前段の工程から供給されてくるカセット内のウェーハ枚数にバラツキが生じることが想定される。即ち、数枚程度が収容されている、或いは、容量一杯まで収容されているといったことが生じ得る。以上のように、単位加工時間やウェーハ枚数に変動が生じるため、オペレータは現在セットされているカセット内のすべてのウェーハについて加工が終了する時間を予測することが難しく、次のカセットに交換されるまでの加工時間を、感を頼りに予測している場合が多い。その結果、例えば、実際の加工終了時間よりも長い加工時間を予測してしまった場合には、既に加工が終了しているにもかかわらず、次のカセットへの交換がなされないため、加工装置が休止状態となり、稼働時間を少なくしてしまうことになる。そこで、本発明は、オペレータが加工装置の操作以外に振り分け可能な時間を正確に把握することが可能とし、ひいては、加工装置を無駄に休止させることを防ぐための技術を提案する。請求項1に記載の発明によると、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、加工条件を入力する入力手段と、加工条件を表示する表示手段と、加工条件毎に被加工物1枚あたりの加工に要する単位加工時間があらかじめ記憶された記憶手段と、を含む加工装置であって、加工条件と被加工物の処理枚数に基づき、当該処理枚数の被加工物の加工に要する処理時間が予測加工時間として表示手段に表示される、ことを特徴とする加工装置が提供される。本発明によると、加工に要する予測加工時間が表示手段に表示されるため、オペレータは加工装置の操作以外に振り分け可能な時間を正確に把握することが可能となり、ひいては、加工装置を無駄に休止させることを防ぐことができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置2の外観斜視図が図1に示されている。切削装置2は、切削ブレードを有する切削ユニット10等の加工手段がハウジング8内に収容された加工装置本体4と、加工装置本体4のハウジング8に装着された表示モニタ6などを有して構成される。切削ユニット10に隣接してチャックテーブル12がX軸方向に移動可能に配設されている。14は内部に複数のウェーハ22を収容したカセット24を載置するカセット載置台エレベータであり、上下方向に移動可能に構成されている。16は切削装置2の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置2が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。18,20は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン18,20を押すと切削装置2の作動を直ちに停止することができる。切削装置2は、フルオートで加工を行うべく構成されている。具体的には、ウェーハ22を収容したカセット24がカセット載置台14にセットされた状態において、オペレータが表示モニタ6にて加工スタートの操作を行うと、自動的にカセット24から図示せぬ搬送手段により装置内へとウェーハ22が順次搬入され、加工がなされる。具体的には、各ウェーハ22は、カセット24→仮置きテーブル待機→チャックテーブル12加工→洗浄手段洗浄→仮置きテーブル待機→カセット24、といった順に搬送、加工される。仮置きテーブル不図示では、前のウェーハ22の加工や洗浄が終わるまで次に加工されるウェーハ22が待機する。以上のようにしてカセット24内のすべてのウェーハ22の加工がなされた後は、未加工のウェーハを収容した別のカセットに交換される。切削装置2には、所定の加工条件に基づいた加工を実施するために、切削装置2を自動制御するための制御手段30が設けられている。図2の概略図に示されるように、制御手段30はマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するCPU中央処理装置31と、制御プログラム等を格納するROMリードオンリーメモリ32と、演算結果等を格納する読み書き可能なRAMランダムアクセスメモリ33と、入出力インターフェース34とを備えて構成される。ROM32には、所定の加工条件に基づいて切削ユニット10などを自動制御するための制御プログラムや、後述する予測加工時間計算プログラムなど格納されている。RAM33は、制御プログラムや予測加工時間計算プログラムなどの読み込みや、後述する被加工物の加工条件K1,K2や属性情報Z1,Z2の一時的な記憶などを行うためのものである。入出力インターフェース34には、加工条件を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ6図1参照が接続されている。入出力インターフェース34には、切削ユニット10を回転させるモータや、チャックテーブル12を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。入出力インターフェース34には、記憶手段40が接続されている。この記憶手段40は、ROM32、RAM33を主記憶装置とした場合に、いわゆる補助記憶装置として機能する装置であり、磁気ディスク、フラッシュメモリなどの形態で実現されるものである。記憶手段40には、後述する単位加工時間TA被加工物1枚あたりに要する加工時間や加工条件などの各種情報が記憶される。記憶手段40は、本実施形態では磁気ディスクの形態として、制御手段30と別の筐体41内に設置され、入出力インターフェース34とケーブルにて接続される構成としている。筐体41は、切削装置2内に収容するほか、切削装置2の外部に付設されることもできる。もしくは、切削装置2から離れた位置にあるサーバーに記憶手段40を構成し、ネットワークイントラネット、或いは、インターネットを通じて、記憶手段40とのデータ通信を行う構成としてもよい。このほかにも、記憶手段40は、例えばUSBメモリにて構成され、入出力インターフェース34に挿し込んだ状態で使用される形態なども考えられる。さらには、制御手段30内に補助記憶装置として機能する装置を設けることで記憶手段40の代替とすることや、前述のROM32を書き込み可能なメモリに構成して記憶手段40の代替とすることも考えられる。記憶手段40には、図3に示されるように、被加工物の加工条件K1,K2と、各加工条件K1,K2についての各種の属性情報Z1,Z2を対応づけて記憶したテーブルTが記憶されている。これにより、例えば、オペレータが表示モニタ6にて加工条件K1を指定することで、加工条件K1に対応する属性情報Z1をRAM33上に読み出すことが可能となっている。属性情報Z1,Z2には、具体的には、ウェーハ22をカセット24からチャックテーブル12にセットするまでに要する時間T1、チャックテーブル12にセットされたウェーハ22の切削加工が完了するまでに要する時間T2、切削加工が完了してからウェーハ22をカセット24内に戻すまでに要する時間T3、などが含まれる。なお、a1,b1,c1は、それぞれ、T1,T2,T3の具体的な値パラメータである。そして、これらの時間T1~T3などを合計した時間が単位加工時間TA被加工物1枚あたりに要する加工時間とされる。即ち、一枚のウェーハ22の加工に要する単位加工時間TAが、予め定義される属性情報Z1,Z2に基づいて求められるようになっている。各属性情報Z1,Z2には、加工時間T1~T3に加え、例えば、切削ブレードの切り込み深さS1、切削ブレードの回転数S2、チャックテーブル12の加工送り速度S3などの詳細な条件詳細加工条件Sや、被加工物であるウェーハ22の径W1、厚みW2、切削ラインの本数W3などといったウェーハの属性情報Wを定義する情報も含まれる。テーブルTに記憶される情報、即ち、加工条件と、この加工条件に対応する属性情報は、例えば、カセット24内の一枚目のウェーハ22を加工する際に、加工時間T1~T3を測定してテーブルTに記憶することが考えられる。また、例えば、特定の品種のウェーハについて、一枚のウェーハを条件設定用のサンプルとして用い、このサンプルによって当該特定の品種のウェーハについての加工条件と属性情報をテーブルTに記憶することも考えられる。そして、前述のROM32には、単位加工時間TAに処理枚数Mを乗じることで、予測加工時間Yを算出するための予測加工時間計算プログラムが格納されている。これにより、オペレータが表示モニタ6にて加工条件K1と、カセット24内に収容されるウェーハ22の処理枚数Mを入力することで、全てのウェーハ22についての加工が終了するまでに要する予測加工時間Yが自動的に求められるようになっている。以上の構成において、本発明の一実施形態として以下の処理が実行され得る。即ち、入力手段などにて指定される加工条件K1及び処理枚数MをRAM33上に一時的に記憶する第1の処理と、RAM33に一時的に記憶された加工条件K1に対応する単位加工時間TAを、記憶手段40に記憶されたテーブルTからRAM33上に読み出す第2の処理と、予測加工時間計算プログラムにより単位加工時間TAに処理枚数Mを乗じることで予測加工時間Yを算出する第3の処理と、予測加工時間Yを表示モニタ6に表示する第4の処理、が実行され得る。具体的には、まず、第1の処理は、オペレータが表示モニタ6を操作した際になされる。例えば、図4に示すように、オペレータがカセット24の側面に表記された加工条件K1や、処理枚数M本実施形態では、カセット24に収容されるウェーハ22の枚数を確認するとともに、表示モニタ6にてこれらの情報を入力することで、第1の処理が行われる。このほか、カセット24やウェーハ22に表示された加工条件K1バーコードやコード番号などを図示せぬセンサにて自動的に認識させることで、加工条件K1をRAM33上に一時的に記憶させる実施形態も考えられる。処理枚数Mについては、カセット24からウェーハ22を一枚ずつ搬送する搬送手段に設けたセンサにて、ウェーハ22の枚数を自動的にカウントし、カウント枚数をRAM33上に一時的に記憶させる実施形態も考えられる。なお、このカウントの際に、ウェーハ22が存在しない場合には、処理を終わらせるようにすることもできる。次に、第2の処理では、RAM33に一時的に記憶された加工条件K1に対応する単位加工時間TAを、記憶手段40に記憶されたテーブルTからRAM33上に読み出す処理がなされる。この処理はROM32に記憶されたプログラムにより自動的に実施されることができる。次に、第3の処理では、予測加工時間計算プログラムにより単位加工時間TAに処理枚数Mを乗じることで予測加工時間Yが算出される。例えば、単位加工時間TAが10分であり、処理枚数Mが25枚である場合には、予測加工時間Yが250分として算出される。次に、第4の処理では、予測加工時間Yが表示モニタ6に表示されるものであり、図4に示す例では、加工条件値K1と処理枚数値25が入力されることにより、予測加工時間Yが250minとして表示されることとしている。また、現在時刻TGから予測加工時間Yを経過した後の予測終了時刻YGも合わせて表示されることとしている。以上のようにして、本発明を実施することができる。即ち、本実施形態では、被加工物としてのウェーハ22を保持する保持手段としてチャックテーブル12のと、チャックテーブル12に保持されたウェーハ22を加工する加工手段としての切削ユニット10と、加工条件を入力する入力手段、および、加工条件を表示する表示手段としての表示モニタ6と、加工条件毎にウェーハ221枚あたりの加工に要する単位加工時間TAがあらかじめ記憶された記憶手段40と、を含む切削装置2であって、加工条件K1とウェーハ22の処理枚数Mに基づき、処理枚数Mのウェーハ22の加工に要する処理時間が予測加工時間Yとして表示モニタ6に表示されることとするものである。この構成によれば、加工に要する予測加工時間Yが表示モニタ6に表示されるため、オペレータは加工装置の操作以外に振り分け可能な時間を正確に把握することが可能となる。これにより、例えば、予測加工時間Yが経過する直前に加工装置の操作に戻り、処理がなされていたカセット24についての加工が終了次第、新たなカセットをセットして加工を開始させることが可能となり、加工装置を無駄に休止させることを防ぐことができる。また、オペレータは自身の勘に頼らずに、予測加工時間Yが経過するまでの時間を、安心して他の作業に有効活用することができる。なお、以上の実施形態では、チャックテーブル12でのウェーハ22の単位加工時間TAに処理枚数Mを乗じて予測加工時間Yを求め、この予測加工時間Yをオペレータに認識させることとしたが、この予測加工時間Yに補正時間Hを加えたものを全処理時間としてオペレータに認識させることとしてもよい。つまり、上述の実施形態においては、各ウェーハ22は、カセット24→仮置きテーブル待機→チャックテーブル12加工→洗浄手段洗浄→仮置きテーブル待機→カセット24、といった順に搬送、加工されることになるが、全てのウェーハ22がカセット24から取り出されてから、再び収容されるまでに要する全処理時間は、予測加工時間Yよりも長くなる。つまり、予測加工時間Yに加え、1枚目のウェーハ22がカセット24からチャックテーブル12に搬送されるまでの前工程時間、最後の1枚のウェーハ22がチャックテーブル12からカセット24に収容されるまでの後工程時間、を加算したものが全処理時間となる。そこで、前工程時間、後工程時間を補正時間Hとし、この補正時間Hを予測加工時間Yに加えたものを全処理時間としてオペレータに認識させることも考えられる。前工程時間、後工程時間は、加工装置の仕様としてROM32に記憶され、予測加工時間計算プログラムでは、予測加工時間Yに補正時間Hを加算する演算がなされ、表示モニタ6には、予測加工時間Yに代えて、あるいは、並べるように、全処理時間が表示されることとする。なお、以上に説明した実施形態においては、被加工物を板状のウェーハとする例を用いて説明したが、被加工物については板状の物に限られるものではない。また、本発明は、まとまった数の被加工物をセットするとともに、すべての被加工物について連続的に加工を行う形態の装置について、幅広く適用することが可能である。"