"検査対象物を検査するテスターと、前記テスタによる検査の終了に応じて検査終了の信号を送出するコントローラと、検査対象物が検査のために配置される第一のソケットを有する第一のインタフェースボードと、検査対象物が検査のために配置される第二のソケットを有する第二のインタフェースボードと、前記コントローラにより制御され、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第一のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第一のソケットに移動する第一のマニピュレータアームと、前記コントローラにより制御され、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第二のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第二のソケットに移動する第二のマニピュレータアームと、前記コントローラにより制御され、前記第一のインタフェースボード及び前記第二のインタフェースボードのそれぞれと、前記テスタとの間に設けられるスイッチであって、前記第一のソケットでの検査と前記第二のソケットでの検査との間で切替えを行うスイッチとを備え、前記コントローラは、前記第二のソケットでの検査のときに、前記第一のマニピュレータアームを制御して前記第一のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせ、次に検査すべき検査対象物を前記第一のソケットに移動させ、前記第二のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスタを前記第一のソケットに接続するように前記スイッチを制御し、前記コントローラは、前記第一のソケットでの検査のときに、前記第二のマニピュレータアームを制御して前記第二のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせて、次に検査すべき検査対象物を前記第二のソケットに移動させ、前記第一のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスタを前記第二のソケットに接続するように前記スイッチを制御する、ことを特徴とする検査用システム。テスターが、検査対象物を検査するステップと、コントローラが、前記テスタによる検査の終了に応じて検査終了の信号を送出するステップと、第一のインタフェースボードの第一のソケットに、検査のために検査対象物を配置するステップと、第二のインタフェースボードの第二のソケットに、検査のために検査対象物を配置するステップと、前記コントローラにより制御される第一のマニピュレータアームが、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第一のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第一のソケットに移動するステップと、前記コントローラにより制御される第二のマニピュレータアームが、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第二のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第二のソケットに移動するステップと、前記コントローラにより制御され、前記第一のインタフェースボード及び前記第二のインタフェースボードのそれぞれと、前記テスタとの間に設けられるスイッチが、前記第一のソケットでの検査と前記第二のソケットでの検査との間で切替えを行うステップとを含み、前記切替えを行うステップは、前記コントローラが、前記第二のソケットでの検査のときに、前記第一のマニピュレータアームを制御して前記第一のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせ、次に検査すべき検査対象物を前記第一のソケットに移動させ、前記第二のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスタを前記第一のソケットに接続するように前記スイッチを制御するステップと、前記コントローラが、前記第一のソケットでの検査のときに、前記第二のマニピュレータアームを制御して前記第二のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせて、次に検査すべき検査対象物を前記第二のソケットに移動させ、前記第一のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスタを前記第二のソケットに接続するように前記スイッチを制御するステップと、を含むことを特徴とする検査用システム。本発明は、実際に被った問題及び困難なしに、上述された観点で改善及びニュアンスを含めて、これらの利点及び改善、並びに他の利点及び改善を提供することにある。本発明の実施の形態は、検査用のシステムである。本システムは、テスター、検査下にある装置にテスターのリソースを相互接続するインタフェースボード、同じテスターリソースのセットに並列に配線される1以上のテストソケットのペア、ハンドラーに接続され、該ハンドラーにより制御される第一のマニピュレータアーム、ハンドラーに接続され、該ハンドラーにより制御される第二のマニピュレータアーム、及び、ハンドラー又はテスターにより制御され、それぞれのテストソケットのペア間で接続される1以上のスイッチを含んでいる。それぞれのスイッチは、インタフェースボードに搭載された関連されるテストソケットのペアのうちのいずれかのテストソケットの通信コネクションを選択的に実施する。別の実施の形態では、それぞれのスイッチは、ハンドラーのマニピュレータアームの動作によりその後決定される、検査されるべき次の装置の位置に応答する。それぞれのマニピュレータアームは、関連されるテストソケットのペアのうちの他のテストソケットにおける検査下にある装置について受信された検査終了の信号の前に、利用可能な空のテストソケットに検査のための装置を位置させるために動作する。更なる実施の形態では、コントローラは、第一のマニュピレーションアーム、第二のマニュピレーションアーム、スイッチ及びテスターに接続される。このコントローラは、自動かつ調整された方式でマニピュレータアームを制御する。調整は、スイッチ制御であり、テスターとの通信である。自動の動作は、マニピュレータアームの1つの故障した場合に継続される動作を提供する。本発明の別の実施の形態は、検査用の方法である。本方法は、関連されるテストソケットのペアのうちの他のソケットにおける装置を検査するステップの終了に即座に応じて、テストソケットのうちの1つにおける装置を検査するステップ、及びその逆のステップを含む。別の実施の形態では、本方法は、他のテストソケットにおける装置を検査するステップの間に、テストソケットのうちの1つで検査のための装置を置き換えるステップを含む。更なる実施の形態は、最初のテストソケットと第二のテストソケットとの間の検査を切替えるステップを含む。本発明は、例を通して説明され、添付図面における限定ではなく、同一の参照符号は類似のエレメントを示す。図2を参照して、装置を検査するシステム200は、テスター204、テスターリソースを検査下にある装置に相互接続するためにテスター204に通信可能に接続されるインタフェースボード206、及びロボット式のハンドラー208を含む。ロボット式のハンドラー208は、テスター204に通信可能に接続される。インタフェースボード206は、テスター並びに2以上のテストソケット210及び212に通信可能に接続される。テストソケット210及び221は、テスター204とのインタフェースボード206のコネクションを介して、テスター204及びテスター204のテスターリソースに平行に配線される。テストソケット210及び212の並列の接続のため、それぞれのソケット210,212は、テスター204及びテスター204の同じテストリソースに個別にインタフェースされるが、テスター204は、何れかの瞬間で、同じテスターリソースを介して、ソケット210,212の一方又は他方のみを検査することができる。システム200では、ハンドラー208及びテスター204は、ハンドラー108及びテスター104に関して図1及びシステム100を参照して記載されるように、ハンドラー208が次の検査装置の機械的な置き換え動作を始動するように、テスター204による検査を始動するためにハンドラー208が検査開始信号を発生し、次いで、テスター204がハンドラー208に各種の結果データ及び検査終了での検査終了信号をリターンする点で、実質上通信する。多数のソケットが個別のテストリソースを介して同時の検査を許容するテスターの異なる個別の検査リソースに配線されるマルチサイトコンフィギュレーションにおいてさえ、かかるマルチサイトコンフィギュレーションで抜けている装置を識別するために必要とされる同じ情報は、ハンドラー208によりテスター204に同様に伝達される。これらの通信はテスターが異なるテストリソースを介して同時の検査を提供するか否かで実質的に従来のものであるため、システム200におけるテスター204は、同じテスターリソースの次の検査をそれらテスターリソースの先行する検査の終了に応じてテスターを介して即座に始動することができるように、それぞれの装置又は装置のセットについて順次的な検査機能を有する従来のテスターとすることができる。ロボットハンドラー208は、ロボット式のハンドラー208による調整及び自動化された方式でそれぞれ接続及び制御される、第一のマニピュレータ212及び第二のマニピュレータ214を含む。第一のマニピュレータ212及び第二のマニピュレータ214のそれぞれは、マニピュレータ212,214がそれぞれ機械的な操作で1を超える検査装置を操作する機能を有する場合個別の検査装置又は複数の装置を操作可能である。第一のマニピュレータ212が検査されるべき第一の装置を取り上げ、インタフェースボード206のソケット210に検査されるべき第一の装置を位置したとき、他の第二のマニピュレータ214は、検査されるべき次の第二の装置を同時に探し出す。ソケット210における第一の装置の検査の間、第二のマニピュレータは、検査されるべき第二の装置を取り上げ、ソケット211に検査されるべき第二の装置を載せる。先に使用された用語ステージングstagingは、マニピュレータ214により扱われる第二の装置は、ソケット211に挿入されないが、ソケット211との電気的な接触をなすことなしに、ソケット211での挿入に機械的に接近して位置されることを意味する。次いで、ハンドラー208がテスター204から検査終了の信号を受けたとき、マニピュレータアーム212は、ソケット210から第一の装置を除き、マニピュレータアーム214は、第二の装置をソケット211に同時に挿入する。マニピュレータアーム214が第二の装置をソケット211に完全に挿入し、完全な電気的な接触が第二の装置とソケット211との間で行われるとすぐ、ハンドラー208は、次の検査開始の信号をテスター204に発し、検査はソケット211に挿入される装置で始まる。何が伝達されか、何により制御されるか、及びテスター204で何が検査されるかの観点から、ソケット210とソケット211との間に差がなく、これは、これらソケットの両者がテスター204とその同じテスターリソースのセットに接続されるためである。しかし、テスター204は、それぞれの瞬間でソネット210,211のうちの一方に関して特定のテスターリソースを介して検査を行う。無視できるインデックスタイムは、テスター204がハンドラー208に発する検査終了の信号と、ハンドラー204によりテスター208に発せられる次の検査開始の信号との間のラグ期間においてテスター204で生じる。テスター208へのインタフェースボード206を介したソケット210,211のパラレルインタフェースのため、それぞれ同じテスターリソースのセットに配線されるソケット210,211の1つのみが何れかの瞬間で挿入される装置を有する。以下に、ソケットへの挿入に近い検査されるべきそれぞれ次の装置のステージの動作は、ソケットへの電気的な接続をなすことのない、プレポジショニングprepositioningと呼ばれ、フレーズ装置を位置させるマニピュレータとは、電気的な接触の完全な挿入又はソケットに相対的な装置のプレポジショニングのいずれかを含む。システム200では、検査がソケット211における第二の装置で開始したとき、システム200の要件とし及び従来のテスターの動作により構成であるとして第一のマニピュレータ212は、ソケット210から第一の装置を既に取り除いており、まさに検査された第一の装置の配置に対する遅延なしに進み、次いで、検査のための次の検査されていない装置を探し出し、プレポジショニングを行う。次の検査されていない装置のプレポジショニングに対する、既に検査された第一の装置を引っ込めることにおけるマニピュレータ212の機械的な動きは、ソケット211における第二の装置が検査されている期間に生じる。他のマニピュレータマニピュレータ214又は212のそれぞれがアクティブな検査のためにソケットにおける次の装置を保持する期間にマニピュレータマニピュレータ212又はマニピュレータ214のいずれかのこれら機械的な動きは、マニピュレータインデックシングmanipulatorindexingとここでは呼ばれる。マニピュレータ212でのマニピュレータインデクシングは、マニピュレータ214がソケット211における第二の装置を検査することに従事している間であって、マニピュレータ214が機械的なインデクシングではない間に生じる。同様に、マニピュレータ214でのマニピュレータのインデクシングは、マニピュレータ212がソケット210における装置を検査することに従事している間であって、マニピュレータ212が機械的なインデクシングではない間に生じる。それぞれのマニピュレータの機械的な動作及び関連するマニピュレータのインデクシングは、利用可能及び検査待ちの更なる検査されていないマニピュレータのインデクシングが存在するか、システム200の動作を停止するエラー状態がないか、又は人間のオペレータがシーケンスを中断するために介入していない限り繰り返される。図3を参照して、装置302を検査するシステム300は、テスター304、第一のマニピュレータ312と第二のマニピュレータ314を有するロボット式のハンドラー308、第一のソケット310及び第二のソケット311を有するインタフェースボード306、及びリレー316を含んでいる。ハンドラー308は、テスター304に通信可能に接続され、また、インタフェースボード306を介してリレー316に通信可能に接続される。インタフェースボード306は、テスター304、ハンドラー308、リレー316、並びにソケット310及び311に通信可能に接続される。第一のソケット310及び第二のソケット311は、リレー316を介して並列にテスター304に通信可能に接続され、テスター304は、ソケット310又はソケット311での検査の間に通信可能なコネクションで選択的に切替えられる。リレー316は、第一のソケット310と第二のソケット311のそれぞれの間の検査の接続性を切替えるためのスイッチエレメント詳細に図示せずを含む。リレー316は、第一及び第二のソケット310,311へのテスター304からの信号の分離が著しいタイミング及びインピーダンスの問題を引き起こす非対称性を生じないため、図2に示されるような低周波の検査で必要とされない。図2に示されるようなインタフェースボード306及びインタフェースボード206の設計におけるトレースレングスの整合のルールが常に実施されるべきである。これは、大部分の半導体装置の検査システムが検査下にあるテスターと装置の全てのインタフェースピンとの間の全ての信号接続の間の伝播遅延を較正するためにTDRTimeDomainReflectometryを使用するためである。分離した信号の不均等なトレースレングスの整合は、システム300におけるようにリレーにより切替えられるときでさえ、TDRシステムを混乱させ、誤った較正データ及び無効な検査結果が得られる。さらに、及び可能性のある範囲にまで、所与のTDRシステムにより必要とされる伝送線路のインピーダンスプロファイルは、テストセルインタフェースのハードウェアで観察されるべきである。より高い周波数検査が行われる場合、テスター304からソケット310,311への信号の分離は、タイミング及びインピーダンスの問題が著しくなる可能性があるように非対称性が得られる可能性がある。かかる高周波検査の状況では、図3のシステム300は、異なる時間インターバルでソケット310及び311でのそれぞれの検査における検査信号のインピーダンスの非対称性を防止するため、適用できるとして、一方でテストソケット310と他方でテストソケット311の間でテスト信号を切り替える。インタフェースボード306の設計におけるトレースレングスの整合のルールを観察することで、正常なものとしてエラーなしにシステム300でTDRを実行することが可能となる。システム300では、ハンドラー308が次の検査装置の機械的な配置動作を始動するように、すなわちマニピュレータが検査のために次の装置を配置するように、ハンドラー308がテスター304による検査を始動するために検査開始信号を発し、次いで、テスター304が各種の結果データ及び検査終了での検査終了の信号をハンドラー308にリターンする点で、ハンドラー308及びテスター304は、ハンドラー108及びテスター104に関して図1及びシステム100を参照して記載されるように実質上通信する。さらにシステム300において、ハンドラー308とリレー316との間の通信のコネクションは、適切なハンドラー308の動作のために従来の信号とテスター302との通信をハンドラー308に提供する。ハンドラー308自身は、ソケット310又はソケット311のいずれが検査待ちの次の装置を配置したかを検出する又は知る。ハンドラー308は、したがって、検査のための次の装置を保持しているソケット310又は311に従って、第一のソケット310又は第二のソケット311の間にテスター302とテスターリソースを切り替えるためにスイッチするリレー316を制御する。リレー316の制御のアルゴリズムは、マニピュレータ312,314を制御するハンドラー308の同じプログラムに統合される。特に、ひとたび検査終了の信号がテスター304からハンドラー308に発せられると、ハンドラー308は、制御信号をリレー316に送出し、ハンドラー308により検出されたようにソケット310又は311における次の準備がされている検査装置に従って切替える。テスター304の動作は、効果的に変更される必要はなく、これは、テスター304が次の装置の検査を単に継続し、テスター304の動作のために同じテスターリソースのセットに接続される1つのソケットとしてそれぞれのソケット310,311を個々に扱うためである。テスターが2つの異なる物理的なソケット位置ソケット310及びソケット311が存在することを検出せず、指標を有さないすなわち気付いてawareいない。したがって、テスター308は、リレー316の切り替えを制御するために必要とされる情報を有さず、該情報を有する必要がない。ハンドラー308がリレー316の切り替えの制御に適用可能な情報を有するため、ハンドラー308は、リレー31を切替える役割を果たすことができる。代替的に、所定の用途又は代替的な実施の形態で適用可能な場合があるようにテスター304がリレー316を制御する必要がある場合、テスター308で実行しているテストプログラムは、ハンドラー308に問合せし、スイッチングデータを受け、ソケットのうちでスイッチング及び検査装置の位置に関する判定をなすため、該データを情報に処理し、次いで、制御信号をリレーに送出する。この代替は、コード変更、再コンパイル、コード検査、相関、及びリリースを必要とする。スイッチングのテスター308の制御のかかるバリエーションは、ハンドラー308の設計にコストを更に追加させることが期待される。これは、ハンドラー308がハンドラー308のシステムソフトウェアで設定された更新されたコマンドを有することが必要とされないためである。この機能は、高価かつ時間のかかるものであるが、リレー316のスイッチングの制御及び多数のソケットにおける連続するそれぞれの装置の検査のための代替的な構成を犠牲にして実現することができる。システム300の動作では、第一のソケット310は、第一のソケット310に配置された装置の検査のため、リレー316を通してテスター304に通信可能に接続する。次いで、リレー316は、第一のソケット310にテスター304から通信の接続を切断させ、第二のソケット311にリレー316を通してテスター304に通信を接続する。このようにして、第一のソケット310における装置は、テスター308により検査され、第二のソケット311における別の装置の検査が即座に続く。第一のマニピュレータ312は、第二のソケット311における他の装置を検査する回数の間、第一のソケット310のための装置を第一のソケット310の内外に操作し、逆も同様である。システム300は、したがって、第一のマニピュレータ312及び第二のマニピュレータ314が検査動作における装置の取り上げ、ソケットでの配置、及び取り除くためにそれぞれ機械的に動作するときにさもなければ受けるテスター308のアイドル時間を除く。図5を参照して、本方法500は、図2のシステム200又は図3のシステム300で動作する。本方法500では、第一のマニピュレータは、ステップ502で始動される。テスターに接続されるインタフェースボードの第一のソケットでの検査のために第一の検査装置を探し出すのを始める。本方法500におけるテスターは、第二のソケットに接続されるが、同時に第一のソケットとの通信の接続性がある。本方法500は、高周波の検査環境で図3のシステム300で生じるようなテスターの信号のリレーを含むことができ、又は代替的に、テストソケットの検査信号のリレーが存在しないようにテスターの信号を分離することができる。同じ方法500は、リレーが存在するか否かにかかわらず、検査のマニピュレータの動作に適用される。ステップ504では、第一のマニピュレータは、検査のために第一の装置に移動する。ステップ506で、第一のマニピュレータは、第一の装置を取り上げる。ステップ508で、第一のマニピュレータは、第一の装置を第一のインタフェースボードに移動し、ステップ510で、第一の装置を第一のインタフェースボードの第一のソケットに挿入する。その後、ステップ512で、テスターは、第一のソケットを介して第一の装置の検査を始める。ひとたび第一の装置がステップ510で第一のインタフェースボードに位置され、第一の装置を検査するステップ512が始動したとき、ステップ520で第二のマニピュレータが始動される。ステップ522で、第二のマニピュレータが第二の装置に移動する。ステップ524で第二のマニピュレータは第二の装置を取り上げ、ステップ526で第二の装置を第二のインタフェースボードに移動させる。ステップ528で、第二のマニピュレータは、同時に、第一の装置の検査がリレーをもつシステムのコンフィギュレーションで生じるか、さもなければ、リレーがない場合に、第一の装置の検査後に第一のソケットから第一の装置を取り除き、第二の装置の第二のソケットへの挿入が終了することに即座に応じて第二の装置をインタフェースボードの第二のソケットに挿入する。第一の装置の検査の完了に応じて、ステップ514での第一のマニピュレータは、第一のインタフェースボードにおける第一のソケットから第一の装置を取り除く。第一の装置の検査の終了に即座に応答して、ステップ530で、テスターは、第二の装置の検査を始動する。検査の環境がテスターの高周波信号を含む場合、図3のリレーは、第二の装置の検査を開始するため、第一のソケットから第二のソケットのテスターの検査信号を切替える。先に記載されたように、低周波検査において、リレーは必ずしも必要ではなく、テスターの検査信号は、タイミング及びインピーダンスの問題の非対称の心配なしに、第一のソケットとそこにある装置との間、及び第二のソケットとそこにある装置との間で分割することができる。いずれの場合においても、第一の装置の検査は終了し、第二の装置の検査が即座に始まる。したがって、テスターのアイドル時間が仮想的に存在せず、方法500におけるインデックスタイムが最小である。ステップ530における第二の装置の検査の間、第一のマニピュレータは、ステップ514で第一のソケットから第一の装置を取り除く。第一のマニピュレータは、その後、ステップ516で、検査されている装置の検査後の位置のような第一の装置を移動する。ステップ518で、第一のマニピュレータは、第一の装置を開放する。ステップ512で次の装置が検査のために第一のマニピュレータにより取り上げられるために待っていることを示すハンドラーからの信号の指示に応じて、ステップ502で第一のマニピュレータが再び始動される。次いで、本方法500は、本方法500のステップを通して再び第一のマニピュレータに関して継続する。第二の装置の検査がステップ530で終了したとき、本方法500は、第一のマニピュレータに関して、システムにリレーがない場合、検査の終了、及び第二のソケットからの第二の装置の取り除き、第一のソケットにおける次の連続する装置の挿入に応じて、又は、システムがリレーを含む場合、第二のソケットの検査の終了に応じてのテスターリソースの第一のソケットへの切替えに応じてステップ510に準じて第一のソケットに次の連続した検査装置を配置する。したがって、この次の連続する装置の即座の検査は、ステップ512を介して始動される。次の連続する装置の検査の間、本方法500は、第二のインタフェースボードから第二の装置を取り除くステップ532における第二のマニピュレータに関して継続する。つぎに、ステップ534では、第二のマニピュレータは、第二の装置を検査後の位置に移動させる。ステップ536では、第二の装置は、その位置で第二のマニピュレータにより解放される。本方法500は、ステップ520における第二のマニピュレータを再び始動することで、ステップ512で第一のソケットで検査する間、第二のマニピュレータに関して継続する。ステップ512で第一のインタフェースボードでの検査が進むとき、第二のマニピュレータは、本方法500のステップ522,524,526及び528を通して進行する。ひとたび第一のインタフェースボードでの検査が終了すると、第二のマニピュレータは、本方法500を介して、第二のインタフェースボードに次の連続する検査装置を配置し、ステップ530で装置の検査は進む。勿論、第二の装置の検査の間、本方法500は、ステップ514,516,518を通して第一のマニピュレータに関して継続し、本方法500のステップ502に戻る。このようにして、テスターは、連続するステップ512,530においてそれぞれの装置の連続する検査を仮想的に連続的に実行する。ステップ512で検査が進行する間、第二のマニピュレータは、本方法500のステップ532,534,536を通して移動し、再びステップ520に戻る。同様に、ステップ530で検査が次に進む間、第一のマニピュレータは、本方法500のステップ514,516,518を通して移動し、ステップ502,504,506,508及び510に戻る。本方法500は、たとえば、検査管理者により手動的に、デフォルトのために自動的に、又はその他中断されるまで、又は、さもなければ、全ての検査装置が本方法500で検査及び操作されるまで、このように連続的に進む。図2及び図3の上述したシステム200,300及び図5の方法500によれば、様々な代替及び追加が可能である。特に、所定の従来のインタフェースボードは、テスターを介して多数の装置の同時の検査のための幾つかのテストソケット又はセルを有する場合がある。かかる例では、ロボット式のハンドラーは、複数の検査装置を同時に操作し、移動し、シングルパスにおいてインタフェースボードに配置するマニピュレータを有することができる。システム200,300は、テスターとのパラレルコネクションでのデュアルインタフェースボード又は、適用可能である場合、パラレル接続されたソケット及び/又はインタフェースボードのセットを同様に含むが、それぞれのインタフェースボードは、それぞれのボードの装置の同時の配置及び検査のための幾つかのソケットを有する。方法500は、それにも拘らず、多数の装置がそれぞれのマニピュレータにより同時に扱われる点を除いて同様に進む。他の代替では、2を超える多数のマニピュレータ、2を超える多数のインタフェースボードを利用することができる。かかる例では、それぞれのインタフェースボードは、同様に、多数の装置のそれぞれのボードでの同時の検査のための多数の検査ソケットを有する。インタフェースボードは、テスターに並行して通信可能に接続することができ、如何なる必要な遅延は、要求に応じて検査信号を切替える役割を果たす。さらに、システム200,300、及び方法500に従う検査ステップ及び手順は、多様な製造及び検査動作で利用することができる。たとえば、半導体製造装置は、システム及び方法で適切に検査される唯一のタイプの装置である。他の装置は、適切な光検査ボード、リレー及びテスターをもつ光学装置、適切な機械的及び物理的テストセル及びテスターをもつ機械的な装置、並びに広く多様な他の実現性を含むことができる。それぞれかかる実現性において、多数のマニピュレータ動作で結合されるテスターへの並列接続されたインタフェースは、検査プロセスにおけるインデックスタイムを低減及び除去することができる。上述した観点で、本明細書での説明の範囲を制限すること無しに、例示的な半導体装置の検査のアレンジメントが与えられる。1.半導体装置の自動化された検査装置ATE-例示的な実施の形態:図6を参照して、デジタルデバイス検査装置600は、半導体チップ等を検査するために使用することができる。システム600は、従来の自動化された検査装置ATE602を含む。ATE602は、電源図示せずにより駆動され、ATE602を介して適用可能な検査を制御及び実行するためにテストコンピュータ603を含む。ATE602は、電源604、グランド606、及びデジタルピンエレクトロニクス608,610,612,614,616のためのコネクタポートを有する。ATE602は、ATE602のコミュニケーションポート619でのコネクタ618を介して、デュアルマニピュレータアームを有するロボット式デバイスマニピュレータ630に通信可能に接続される。ロボット式デバイスハンドラー620は、コネクタ618を介して、ATE602からの信号及び検査情報を受信及び処理するためのロボット式のコントローラ622を含む。デバイスハンドラー620のユーティリティポート624は、その制御ポート628でリレーコントロール626に接続する。また、リレーコントロール626は、ATE602のグランド606のポートに接続する。出力制御信号は、リレーコントロール626のポート629から、リレーバンク630に接続される。リレーバンク630は、たとえば、一連のリレースイッチ630a~630eを含む。リレーバンク630及びリレーコントロール626の詳細は、本明細書で図7と共に更に詳細に後に記載される。図6と共に説明のため、それぞれのリレースイッチ630a~630eは、第一のデバイスアンダーテストDUT1640及び第二のデバイスアンダーテストDUT2650のそれぞれ及び対応するデジタルピンに接続される。図6では、スイッチ630a~630eは、DUT1640に検査信号を伝達するために設定される。図5における方法500に関して先に記載されるように、DUT1640及びDUT2650の両者は、リレーバンク630にそれぞれのインタフェースボードz図6に図示せずを介して接続される。このようにして、DUT1640の検査が終了した後、リレーコントロール626は、DUT2650を次に検査するため、リレーバンク630のスイッチ630a~630eのスイッチに作用する。リレーコントロール626は、ロボット式デバイスマニピュレータ624からの制御信号に基づいて、リレーバンク630のスイッチ630a~630eのスイッチを選択する。ロボット式のデバイスマニピュレータ624は、たとえば、デバイスの検査が終了したとき、前方及び後方に信号をやり取りすることでATE602のテストコンピュータ603と通信する。この例では、ロボット式のマニピュレータ624は、ATE602にリレーバンク630を通して接続されるインタフェースボードにおけるDUT1640の配置を終了することに応じて、ATE602の検査プロセスを始動する。次いで、ATE602は、ATE602のテストコンピュータ603によりプログラム及び制御されるテストプロトコルに従って、検査を行う。ATE602によるDUT1640の検査の終了に応じて、ATE602は、たとえば、ハンドラー620にDUT1640の検査結果を伝達することで、検査の終了をロボット式のデバイスハンドラー620に合図する。次いで、ハンドラー620は、ATE602に接続されるインタフェースボードのそのソケットからDUT1640を除くために適切なものとして、マニピュレータアームを制御する。ATE602からの検査終了の信号の受信に応じて、ハンドラー620は、リレーコントロール626に合図し、リレーコントロール626は、ATE602にリレーバンク630を通してDUT2650を通信可能に接続するためにリレーバンク630のスイッチ630a~630eをフリップする。次いで、ハンドラー620は、ATE602に次の検査開始信号を発し、次いで、ATE602は、DUT650の検査を始動する。図5における方法500と共に記載されるように、ロボット式のデバイスハンドラー620は、装置が検査されるたびに、既に検査された装置を取り除いて移動し、検査のための新たな装置を探し出して配置するため、そのマニピュレータアームのうちの1つを操作する。このデバイスハンドラー620の動作は、リレーバンク630及びATE602で調整され、他の装置が除かれて置き換えられている間に、ATE620が実質的に連続して装置を検査することを保証する。図7を参照して、図6を参照して記載されたようなリレー700は、リレーコントロール626及びリレーバンク630を含む。図7における例示及びリレー700の記載のため、リレーコントロール626及びリレーバンク630は、1つのスイッチ630aをそれぞれ提供する。スイッチ630aは、pinA,DUT1へのコネクタ632又はPinA,DUT2へのコネクタ634といった2つの可能なコネクションの間で動作する。スイッチ630aは、テスター図7に図示せずから1つの検査信号636へのかかるコネクタ632,634のいずれかの通信コネクションに作用する。リレー700において典型的であるように、ロボット式のデバイスマニピュレータ図7に図示せずからの724a,724bとしての関連する信号入力により、スイッチ630aは、それぞれのDUT1又はDUT2の検査のために要求に応じて、スイッチ630aを通した信号636により、コネクタ632又は634のいずれかに接続する。リレーコントロール626は、図6のロボット式のデバイスハンドラー620のユーティリティポート624図7に図示せずから、第一の制御信号724a及び第二の制御信号724bの入力を有する。それぞれの制御信号724a,724bは、ダーリントンドライバ又は等価なパワートランジスタドライバ726a,726bに接続する。これらのドライバ726a,726bは、たとえばNTEElectronics,Inc.partsnumberNTE215SiliconNPNTransistorDarlingtonDriverから入手可能である。それぞれのドライバ726a,726bは、グランド及びリレーバンク730に接続する。図7に示されるリレーバンク730は、図6のシステム600で使用されるものよりも実質的に簡素化されており、検査下にあるそれぞれの装置の多数のピンすなわちDUT1及びDUT2は、リレーバンク630を通してテスター602に同時に接続される。それにも拘らず、図7のリレーバンク630は、図6における対応するリレーバンク630の1つのスイッチ630aを例示している。スイッチ630aは、コイル631a,631bの間のリレーバンク630に配置される。コイル631a,631bは、リレーコントロール626のそれぞれのトランジスタドライバ726a,726bの出力によりそれぞれ駆動される。リレーコントロール626は、このようにして、それぞれの検査の瞬間で検査信号636を介した検査のためにPinA,DUT1632又はPinA,DUT2634のいずれかを選択的に通信可能に接続するため、スイッチ630aを切替える。一般に実施の形態では、完全な検査プロトコルは、第一の検査装置で実行され、次いで、リレーコントロール626は、検査のための第二の装置へのスイッチングを引き起こし、その後に繰り返される。装置の検査の間、次の検査のための装置が探し出され、次の検査のためにインタフェースボードに配置される。次いで、装置の検査の終了に応じて、リレーコントロール626は、リレーバンク630を次の連続する検査のための装置に切り替え、それぞれ次の連続した装置の検査は、著しいインデックスタイムの遅延なしに、このような方式で始動して継続する。図8を参照して、検査における装置のデジタルパワーのためのコネクションを示す図6のシステムが例示されている。特に、システム600は、ATE602、ロボット式のデバイスハンドラー620、リレーコントロール626、及び、パワーコネクタ802,804とグランドコネクタ806,808の間のスイッチ830a~830dにわたり接続されるリレーバンク830、並びに、DUT1640及びDUT2650のそれぞれのデジタルパワーピンを含む。図6のシステム600によるように、図7のシステム600は、他のDUTが検査のためにテスター602にリレーバンク830のスイッチ830a~830dにより通信可能に接続される間、ロボット式のマニピュレータがそれぞれのDUTの操作及び置き換えによる、DUT1640、これにDUT2650が続く検査の実質的に連続なシーケンシャルパワーを提供する役割を果たす。図9を参照して、それぞれの装置、DUT1640及びDUT2650を検査するアナログピンのコネクタを示す図6及び図8のシステム600が例示されている。図9のシステム600では、ATE602は、アナログデジタイザコネクション902,904,906,908で、リレーバンク930のそれぞれのスイッチ930d,930c,930b,930aに接続する。スイッチ930a,930b,930c,930dのそれぞれは、そのアナログピンでそれぞれのDUT1640及びDUT2650に接続する。先の例示のシステム600によれば、スイッチ930a,930b,930c,930dは、仮想的に中断されない連続において、それぞれのDUT1640及びDUT2650の検査のためにテスター602をそれぞれ通信可能に接続するため、マニピュレータ630を介して、リレーコントロール626により制御される。DUTの1つが検査されている間、他のDUTは移動され、次の検査のための装置でハンドラー620により置き換えられる。図10を参照して、それぞれの装置、DUT1640及びDUT2650を検査するアナログパワーのコネクションを示す図6,図8及び図9のシステム600が例示されている。図10のシステム600では、ATE602は、リレーコントロール626とリレーバンク1030のコイルにわたるユーティリティパワーコネクション1002,1004で接続する。スイッチ1030d,1030c,1030b,1030aは、テスター602のDUTパワーコネクション1006,1008,1010,1012に接続される。先の説明と同様に、リレーバンク1030のそれぞれのスイッチ1030d,1030c,1030b,1030aは、そのアナログパワーピンで、それぞれのDUT1640及びDUT2650のそれぞれにテスター602を選択的に通信接続する。スイッチ1030a,1030b,1030c,1030dは、仮想的に中断されない連続で、それぞれのDUT1640及びDUT2650の検査のためにテスター602を通信的に接続するため、マニピュレータ630を介してリレーコントロール626により制御される。DUTの一方が検査されている間、他方のDUTは、ハンドラー620により移動され、検査のために次の装置で置き換えられる。図6~図10を参照して、リレーバンク630,830,930,1030の多数の1つは、即座の連続でDUT1640及びDUT2650のそれぞれ1つの検査を実行するため、システム600で同時に利用することができることが例示され、理解することができる。DUTのうちの一方の検査の間、ハンドラー620は、他のDUTを移動して置き換える。かかるアレンジメントでは、リレーコントロール626は、それぞれのDUTがDUT1640及びDUT2650として連続的に検査される場合があるため、リレーバンク630,830,930,1030のそれぞれのスイッチングを制御する。ハンドラー620が検査のための新たな装置でDUTを変えるため、他のDUTの検査の間、システム600のインデックスタイムは無視することができ、連続する装置の検査は、テスター602により実質的に連続する。2.光デバイスの自動化された試験装置ATE-例示的な実施の形態:図11を参照して、光デバイスを検査する別の検査システム1100は、テスター1102による連続的な検査を実行するため、類似のリレーエレメントを利用する。テスター1102は、CCDリセプタ及びCCDイメージプロセッサを有するイメージキャプチャ1104を含んでいる。イメージキャプチャ1104は、テスター1102のテストコンピュータ1108に接続される。また、テスター1102は、電源1106及びコネクション1110,1112,1114を含む。テスター1102のテストコンピュータ1108は、コネクタ1116を介してロボット式のマニピュレータ1118に通信接続する。ロボット式のマニピュレータ1118は、先に詳述されたようにリレーコントロール626へのコネクションを介して、マニピュレータ1118が、デュアルマニピュレータアームを有し、検査情報を受け、それぞれのデュアル装置、DUT11050及びDUT21040の検査を制御することを含めて、実質的に先に記載されたようなものである。リレーコントロール626は、リレー1130のスイッチ1130aのスイッチングを制御する。スイッチングは、テスター1102と、対応するDUT11032及びDUT21034のそれぞれのテストキャプチャエレメント1032,1034との間でリレー1130にわたり通信接続に作用する。図6、図8、図9及び図10のシステム600の先に記載によれば、システム1100は、即座の連続で、DUT11040とDUT21050との間の検査を切替える。DUTのうちの一方の検査の間、他のDUTは、マニピュレータ1118により移動され、次の検査のための装置で置き換えられる。このようにして、テスター1102は、無視できるアイドルインデックスタイムにより、それぞれ連続する次の装置での検査動作を実質的に継続する。図12を参照して、タイミングチャート1200は、本明細書で記載されたタイプの検査システムにおける、それぞれ第一及び第二の装置すなわちDUT1及びDUT2の検査サイクルを例示している。他の装置が検査されている間に、デュアルマニピュレータアームを介して、マニピュレータが一方の装置を操作することができ、逆に、一方の装置が検査されている間に、デュアルマニピュレータアームを介して、マニピュレータが他の装置を操作することができるため、インデックスタイムが無視できるタイミングチャート1200において顕著である。したがって、それぞれの瞬間で、検査のための装置は、検査のためにソケットに配置され、システムは、検査についてそのように準備されている装置の検査をそれぞれの瞬間で継続するため、装置の間に検査をスイッチする。ひとたび装置の検査が終了すると、他の装置は、次の装置への検査の切り替えに応じて、即座に検査することができる。上述された仕様では、本発明は、特定の実施の形態を参照して記載されてきた。しかし、当業者であれば、様々な変更及び変形が以下の特許請求の範囲に記載されたような本発明の範囲から逸脱することなしになされることを理解されるであろう。これに応じて、明細書及び図面は、限定的な意味よりはむしろ例示的な意味で考えられるべきであり、全てのかかる変更は、本発明の範囲に含まれることが意図される。問題に対する利益、他の利点及びソリューションは、特定の実施の形態に関して先に記載されている。しかし、問題に対する利益、利点、ソリューション、及び、利益、利点、又はソリューションに生じさせるか、より強調させることになるエレメントは、重要、必須、又は請求項のいずれか又は全ての本質的な特徴又はエレメントとして解釈されるべきではない。本明細書で使用されるように、用語備えるcomprise、comprising又はその他のバリエーションは、エレメントのリストを含むプロセス、方法、製品又は装置がそれらのエレメントのみを含まないが、明示的に列挙されないか又はかかるプロセス、方法、製品、又は装置に固有の他の装置を含む場合があるように、排他的ではない包含をカバーすることが意図される。"