"単レンズ又は多レンズ光学系38の光学面S1、S2、S3の間隔を測定する方法であって、a前記光学系38内のすべての光学面が考慮されるように、参照軸34に沿って伝わる試験光線50を前記光学系38に向け、前記試験光線が前記光学系38を完全に通過した後に、前記試験光線が位置決定光学センサ22に当たる位置66を記録することにより、前記光学系38のセンタリング状態を記録するステップと、bステップaで記録された前記センタリング状態を考慮して、前記光学系38を調節するステップと、c前記光学系38に、前記参照軸34に沿って伝わる測定光線50を通過させるステップと、d前記光学面S1、S2、S3から反射された前記測定光線の一部60を参照光線52と干渉計24で重畳させるステップと、e前記反射された一部60と前記参照光線52との間の干渉現象を記録及び評価することにより、前記参照軸34に沿った前記光学面S1、S2、S3の前記間隔を決定するステップと、を有する方法。前記光学系38は、ステップbの間に前記参照軸34の周りを回転する、請求項1に記載の方法。前記回転の間に前記光学センサ22により記録される前記位置66の変化から、前記光学系38の光軸40の、前記参照軸34からのずれが推測され、ステップbでの前記調節は、前記光学系38の前記光軸40が前記参照軸34に対して同軸上になるまで継続される、請求項2に記載の方法。前記参照軸34の周りの前記回転の間に前記光学センサ22により記録される前記位置66は、前記参照軸34の周りの円軌道68を描き、ステップbでの前記調節は、前記円軌道68’が最小半径を有するまで継続される、請求項3に記載の方法。前記試験光線及び前記測定光線50は、同じ光源44により生成される、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法。多レンズ光学系38の光学面S1、S2、S3の間隔を測定する装置であって、a参照軸34に沿って前記表面S1、S2、S3の間隔を測定するように構成された干渉計24と、b前記光学系38のすべての光学面S1、S2、S3を考慮することにより、前記光学系38のセンタリング状態を記録するように構成されたセンタリング状態記録デバイス44、22;72と、を有し、前記センタリング状態記録デバイスは、前記参照軸34に沿って伝わる試験光線50を前記光学系38の一面に向けるように構成された試験光源44と、前記試験光線50が前記光学系38を完全に通過した後に前記光学センサ22に当たる位置を記録するように構成された位置決定光学センサ22と、を有する、装置。前記試験光源44は、前記間隔を測定するために前記光学系38に向けられる測定光を生成するために前記干渉計24内に配置された光源である、請求項6に記載の装置。前記光学系38を前記参照軸34の周りで回転させるように構成された回転機構30、32を有する、請求項6又は7に記載の装置。本発明の目的は、単レンズ又は多レンズ光学系の光学面の間隔が確実かつ高精度に測定され得る装置及び方法を指定することである。方法に関して、この目的は、本発明に従って、次のステップを有する方法により達成される。a光学系内のすべての光学面が考慮されるように、参照軸に沿って伝わる試験光線testlightrayを光学系に向け、試験光線が光学系を完全に通過した後に、試験光線が位置決定locationresolving光学センサに当たる位置を記録することにより、光学系のセンタリング状態centringstateを記録するステップ、bステップaで記録されたセンタリング状態を考慮して、手動又は外力補助extraneousforceassistedによる光学系の調節を行うステップ、c光学系に、参照軸に沿って伝わる測定光線を通過させるステップ、d光学面から反射された測定光線の一部を参照光線と干渉計で重畳させるステップ、e反射された一部と参照光線との間の干渉現象を記録及び評価することにより、参照軸に沿った光学面の間隔を決定するステップ。ステップaでのセンタリング状態の記録により、光学系は、参照軸及び測定光線が光学面をできる限り垂直に通過するように、ステップbで調節され得る。このことは、一方で、かなり多くの測定光が干渉計に反射され、干渉に貢献し得るという結果を有する。他方で、光学系の光軸は、干渉計が、望まれるような光軸に沿った光学面の間隔を実際に測定し、例えば必要に応じて偏心tilted又は移動した参照軸に沿ったものを実際に測定しないように、参照軸の近くにある。本発明に従って、センタリング状態の記録の間に、光学系のすべての光学面が考慮される。センタリング状態の記録の間に光学系の1つの表面しか考慮されないのであれば、上述のR.Wilhelmの論文に開示される方法のように、ステップbでの調節により、一般に、光学系が参照軸に対して十分な精度で正しい方向に置かれることは保証され得ない。光学球面の場合に、良くて、この表面の曲率中心が参照軸上にあることは保証され得る。しかし、この場合、光学系は、依然としてこの曲率中心の周りで偏心tiltedしており、結果として参照軸に対して中心に置かれないかもしれない。本発明に従って、センタリング状態の記録にすべての表面が考慮される場合に限り、1つの光学面しか考慮されない場合に生じる曖昧さはなくなる。センタリング状態の記録で考慮される表面が多いほど、ステップbで得られる参照軸に対する光学系のセンタリングは一般によくなる。この理由により、光学系のすべての光学面が考慮されれば、光学系のセンタリング状態は最も精度よく記録される。試験光線及び光学センサにより、非常に簡便な手段を用いてすべての光学面を考慮することにより、測定光線により予め定められた参照軸に対する光学系のセンタリング状態を定性的に記録することが可能になる。これに関連して、試験光線はその光線が非垂直に当たり、結果として横方向に屈折する光学面で反射されるという事実が利用される。試験光線の横方向への屈折は、測定装置の位置決定光学センサにより記録される。光学系の光軸が参照軸に揃うほど、光学系を通過する試験光線の屈折は小さくなる。そのような透過測定measurementintransmissionにより、ステップbでの調節は、単に試験光線が位置決定光学センサに当たる位置の記録の間に、光学系が参照軸の周りを回転する場合に、特に成功する。そのような回転の間に、光学センサにより記録される位置は、参照軸の周りの円軌道を描く。ステップbでの調節は、円軌道が最小半径を有するまで継続される。光学系は、その光軸が参照軸と少なくとも十分に揃うように、参照軸に対して正しい方向に置かれる。回転は、光学センサ上の参照軸の交差点が不明であり、参照軸と試験光線が光学センサに当たる位置との間隔が確認され得ないときに、特に有利である。試験光線及び測定光線が干渉計の同じ光源により生成されれば、特に簡便である。この場合、結果として、試験光線及び測定光線は、最終的に同じ光線であり、異なる目的で光学系に向けられるにすぎない。装置に関して、序論で述べた目的は、参照軸に沿って表面の間隔を測定するように構成された干渉計を有する装置により達成される。装置は、加えて、光学系の少なくとも2つの光学面を考慮することにより光学系のセンタリング状態を記録するように構成されたセンタリング状態記録デバイスを有する。センタリング状態記録デバイスは、参照軸に沿って伝わる試験光線を光学系の一面に向けるように構成された試験光源と、試験光線が光学系を完全に通過した後に光学センサに当たる位置を記録するように構成された位置決定光学センサとを有する。これに関連して、試験光線の光源は、間隔を測定するために光学系に向けられる測定光を生成するために、干渉計内に配置された光源でもよい。加えて、装置は、光学系を参照軸の周りで回転させるように構成された回転機構を示exhibitしてもよい。本発明のさらなる特徴及び利点は、以下の、図面に基づく実施形態の説明から明らかになるだろう。1.序論図1は、子午的断面図で、10により全体が示される光学系を示す。光学系は、7枚のレンズL1~L7を有する。2枚のレンズL3及びL4は、隙間なく1つに接合されており、アクロマートachromatとして用いられるダブレットdoubletを形成する。レンズL1~L7は、いかなる場合も不図示のレンズマウントに収容される、円筒状に研磨されたレンズ縁12を有する。理想的な場合に、レンズL1~L7は、その光軸がすべて同時に円筒状のレンズ縁12の対称軸でもある共通参照軸14上にあるように、正しい方向に置かれている。参照軸14は、一般に光学系10の光軸として示される。光学系10の光学面の間隔が指定され又は測定されれば、その指定値又は測定値は、一般に光学系10の参照軸14と一致する光軸に沿った間隔に関係する。これに関連して、個々のレンズの光学面の間隔は、主に中心の厚みとして示される。図1では、レンズL1及びL2の中心の厚みは、それぞれdM1及びdM2により示される。空隙により相互に分離した、連続したレンズの間隔は、主に空気分離airseparationとして示される。図1では、レンズL1及びL2間の空気分離は、dL12により示される。しかし、実際の光学系では、製造及び組み立ての耐性のために、理想的な方向付けからのずれが生じる。図2は、レンズL5を例に、レンズマウント内のレンズL5のわずかな図2では大げさに示されている偏心tiltingがセンタリング状態にどのように影響を与えるかを示す。ここで、レンズL5の2つのレンズ表面S51及びS52は球面であり、それぞれ図2にK51及びK52により示される曲率中心を有すると仮定する。曲率中心K51及びK52は、レンズL5の光軸を定義する。光軸は、図2に点線16により示される。この定義により、光軸16は、レンズL5の光学球面S51及びS52に対して常に垂直になる。非球面レンズの場合に、光軸は、非球面レンズ表面の球面部分の曲率中心により定義される。従来の非球面方程式により記述可能な非球面の場合に、曲率中心は、結果として曲率半径Rの球の中心により与えられる。方程式において、zは光軸と平行な、問題の表面の矢状sagittaを示し、hは光軸からの半径方向radial間隔を示し、c=1/Rは問題の表面の頂点の曲率を示し、kは円錐定数conicconstantを示し、A、B、C、D、E、F、G、H、及びJは非球面定数asphericconstantを示す。例えば、レンズL5の偏心tiltingは、レンズL5がレンズマウントに正しく挿入されなかったという事実により生じているかもしれない。この理由として、例えば、レンズ縁12がその対称軸がレンズL5の光軸16と揃うように研磨されなかったという可能性が考慮される。図1に示されるような多レンズ光学系の場合に、個々のレンズの光軸は、一般にセンタリング状態の質により、参照軸14に対してより大きく又は小さく不規則に分布する。このことは、図3に、曲率中心K11及びK12、K21及びK22、K31及びK32、並びにK41及びK42の4枚のレンズを有する光学系を例に示される。4枚のレンズの光軸は、161、162、163、及び164により示される。時折、レンズの光軸は少なくともほぼ共通光軸16’上に配置されているが、その光軸は参照軸14と揃っていないということも起こるかもしれない。そのような配置は、図4に示される。加えて、図3に示されるような場合があり、レンズの光軸164は、参照軸14と揃っていないが、平行である。そのような状態は、図2に示される偏心tiltingと対照的に、しばしばレンズの偏心decentringとして示される。正確に調節されていない多レンズ光学系の光軸は、それ自体で明確には定義されない。なぜなら、曲率中心は、一般に直線上にないからである。この理由により、そのような系の光軸により一般に軸は理解され、レンズの曲率中心は平均してその軸から最小間隔を有する。このように理解される光軸は、結果として一種の回帰直線を表し、必要に応じて、間隔の最小化の異なる基準が適用されてもよい例えば、算術平均、二次平均、又は問題の光学面の曲率半径の関数としての間隔の重み付け。短コヒーレンス干渉計を用いて4枚のレンズの表面の間隔を高精度に測定することが望まれる場合に、2つの問題が生じる。一方で、短コヒーレンス干渉計を用いた間隔の高精度な測定は、干渉計から光学系への測定光が検査される光学系に垂直に当たるときにのみ、確実に成功する。レンズが偏心tiltedordecentredしていれば、一般に、測定光はもはや問題の光学面に垂直に当たらない。結果として、光学面から干渉計に反射される光の強度は、主に大きく弱められるので、非常に低い信号対雑音比により、測定が不能であるか、良くて比較的精度の低い測定が可能であるかである。第2の問題は、問題の光学面のレンズの偏心tiltingordecentringにもかかわらず、十分に強い干渉信号が記録され得るときでさえ、最終的に、その信号は、実際に望まれるような測定される光軸に沿った表面の間隔ではなく、その軸と無視できない角度を成す方向に沿ったものであるという事実にある。このことから生じる、光軸に沿った実際の間隔と測定された間隔との間のずれは無視できないかもしれず、レンズの偏心tiltingordecentringが気付かれないときに、このことは特に問題になる。この問題を解決することを目的として、本発明は、光学系のセンタリング状態を簡便な手段を用いて少なくとも大雑把に記録し、光学系の光軸が測定光線により予め定められた参照軸とできる限り揃うように、光学系を短コヒーレンス干渉計との関連で正しい方向に置くことを提案する。調節が行われた後に、光学系は、例えば、参照軸が個々のレンズの光軸に対して一種の回帰直線を構成するように、参照軸に対して正しい方向に置かれ得る。図3に示される配置の場合、曲率中心K11及びK12、K21及びK22、K31及びK32、並びにK41及びK42を通る回帰直線16’は、測定光線により予め定められた参照軸と一致する。しかし、光軸が参照軸に対して偏心tiltedした直線上にあれば図4を参照、調節の手段により状態は確立されなければならず、光軸16’及び参照軸14の同軸方向付けは、光学系の偏心tiltingにより得られる。特に、図3に示される例が示すように、間隔測定の前のそのような調節により、必ずしもすべての光学面が参照軸14により垂直に交差されることは保証され得ない。結果として、短コヒーレンス干渉計の測定光線が、光学系の必ずしもすべての光学面に正確に垂直に当たるとは限らない。しかし、先の調節により、すべての光学面を考慮して、原理上回避不能であり、偏心tiltedordecentredしたレンズにより生じる測定誤りは、最小化され得る。以下の第2及び3節では、本発明の測定装置の構造及び動作モードが、実施形態に従って説明される。この実施形態では、参照軸14に対する光学系のセンタリング状態が、透過測定により定性的に記録される。そのような定性的記述statementは、一般に、調節手続での実際の間隔測定の前に、光学系を参照軸14に対して正しい方向に置くことを可能にするのに十分である。最後の第4節では、重要な方法ステップが再度要約される。2.測定装置の構造図5に子午的断面図で示され、20により全体が示される測定装置は、例えば問題のCCDセンサ又は位置敏感positionsensitiveダイオードPSDである、位置決定光学センサ22と、干渉計24とを有する。測定装置20は、コンピュータ26の形式の計算ユニットと、輪状回転テーブル30により支持される試験片レセプタクルtestspecimenreceptacle28とをさらに有する。回転テーブル30は、その上に配置された試験片レセプタクル28と共に、矢印36により示されるように、モータ32を用いて参照軸34の周りを回転可能である。回転テーブル30は、モータ32と共に、測定装置20の回転機構を構成する。示される実施形態では、試験片レセプタクル28は、便宜上、図1に示されるレンズL3及びL4から構成される問題のダブレットである、試験片38を支持する。この試験片38の3つの光学面は、S1、S2、及びS3により示される。もちろん、かなり多くのレンズを有する試験片が検査されてもよい。図5の表現では、試験片38は、それぞれK1、K2、及びK3により示される、表面S1、S2、及びS3の曲率中心が参照軸34上にないように、偏心decentredしていると仮定する。むしろ、曲率中心K1、K2、及びK3は、ほぼ試験片38の光軸40上にあるが、参照軸34に対して偏心tiltedしている。干渉計24は、短コヒーレンス干渉計の形式をとり、この目的のために、レーザ光の光源に比べてスペクトル的に広帯域であり、例えば高輝度superluminescentダイオードである、光源44を有する。比較的広いスペクトル帯域により、光源44により生成される光は、レーザ光の光源により生成される光よりもかなり短いコヒーレンス長を有する。代替方法として、極短光パルスを生成するレーザ光の光源が用いられてもよい。なぜなら、そのような光パルスは、短コヒーレンス長を有するからである。光源44により生成される測定光は、コリメータレンズ46により集光され、測定光を試験片38に向けられる測定光線50と、参照光線52とに分割するビーム分割キューブ48に向けられる。光線50及び52は、より識別可能にするために、鎖線により示される軸に対するオフセットで描かれている。しかし、実際その光線は、正確にその軸に沿っている。このことは、参照軸34に沿って正確に伝わる、試験片38に向けられる測定光線50に対して特に有効である。参照光線52は、アクチュエータ56を用いてビーム方向に沿って移動可能なミラー54により、自身に反射される。このように、ビーム分割キューブ48とミラー54との間の、参照光線52の光路長は変更され得る。試験片38に向けられる測定光線50は、参照軸34に沿って試験片を通過する。光学面S1、S2、及びS3の各々で反射された測定光線の一部60は、ビーム分割キューブ48に戻り、一部は光検出器62の方向に反射される。反射された測定光線の一部60は、ミラー54から反射された参照光線52と重畳する。反射された測定光線の一部60及び参照光線52が光検出器62に向かって進んだときの光路長の差が、光源44により生成される測定光のコヒーレンス長の10倍であれば、光検出器62により記録される干渉現象が起こる。光源44により生成される測定光のコヒーレンス長が短いので、光検出器62は、ミラー54により進められる経路の関数として、前述の条件が満たされれば厳しく制限される出力信号を生成する。図6は、光検出器62により記録される強度Iが、参照光線52が進む光路長OPL上に描かれているグラフの例を示す。この光路長は、測定の間にミラー54を移動することにより変化する。反射された測定光線の一部60及び参照光線52の光路長が一致するときはいつでも、干渉信号は光検出器62で記録され得る。横座標上に、光検出器62で対応する干渉信号をもたらす表面S3、S2、及びS1が指定されている。測定信号の包絡線63の最大値の位置から、レンズ材料の群屈折率を考慮して、表面S1、S2、及びS3の間隔が非常に高い精度で決定され得る。実際の測定信号の場合に、さらなる干渉信号は、一般に包絡線63間にあり、例えば、試験片38内での複数の反射によりもたらされ、時には比較的高いレベルに達するかもしれない。そのような干渉信号が測定を妨げないように、包絡線63の周りに置かれる弁別窓discriminatorwindowを用いて、干渉信号はマスクされ得る。弁別窓は、干渉信号が予期される位置に自動的に、優先的に置かれ、基礎として表面S1、S2、及びS3の望まれる間隔をとる。できる限り多くの測定光が試験片38の表面S1、S2、及びS3から反射され、光検出器62に入力され得るために、試験片に向けられる測定光線50は、コリメータレンズ46を用いて試験片38に適合させられ得る。短コヒーレンス干渉計を用いた透明体の厚みの検査に関するさらなる詳細は、仏国特許出願公開第2803021号明細書から収集され得る。原理上適切な短コヒーレンス干渉計は、とりわけFOGALEnanotech,Nimes,Franceにより販売されている。3.測定の順序以下では、本発明の測定方法が、図7~9を参照してより詳細に説明される。a一度だけの方向付け最初に、試験片38に向けられる、干渉計24の測定光線50は、回転テーブル30の回転軸により定義される参照軸34に沿って正確に伝わると仮定する。そのような調節は、測定装置を初めて作動させる前に、一度だけ行われる。この一度の方向付けのために、例えば平面ミラーが回転テーブル30の開口部に置かれてもよい。参照アームは、例えばミラー54を偏心tiltingさせることにより、動作から外される。干渉計24及び回転テーブル30は、光検出器で記録される信号が最大強度を有するまで、角度に関して相互に正しい方向に置かれる。このことから、測定光線50は平面ミラーで自身に反射され、平面ミラーは結果として参照軸34に対して垂直に正しい方向に置かれることが推測され得る。回転テーブルの回転軸は、結果として参照軸34と平行になる。次のステップでは、平面ミラーが球面レンズにより置き換えられる。干渉計24及び回転テーブル30は、干渉信号が最大強度を有するまで、参照軸34に対して垂直に相互に移動される。このことから、測定光線50は球面レンズで自身に反射され、球面レンズは結果としてその中心が参照軸34上に置かれることが推測され得る。回転テーブルの回転軸は、参照軸34に対して同軸上になる。上述の2つの調節ステップは、必要に応じて、最適な方向付けが達成されるまで、何度も繰り返されてよい。光学センサ22は、その座標原点が参照軸34上にあるように、優先的に調節される。そのような調節は、センサ表面に割り当てられる座標系の再配置により、純粋に計算的に行われてもよい。b試験片38の調節実際の間隔測定の前に行われなければならない試験片38の調節を説明するために、測定装置20の必須要素を拡大して示す図7が参照される。最初に、干渉計24により生成される測定光線50は、試験片38の一面に向けられる。図5及び7で仮定されている光軸40の偏心tiltingの場合に、表面S1、S2、及びS3は、参照軸34及び測定光線50がもはや表面S1、S2、及びS3を垂直に通過しないように、再配置されている。結果として、表面S1、S2、及びS3で測定光線50の屈折が起こり、その光線は試験片38から参照軸34に対して斜めに離れるという結果になる。結果として、測定光線50は、参照軸34の交差点64ではなく、交差点64から離れた位置66で、光学センサ22に当たる。この位置66は、光学センサ22により記録され、ディスプレイ画面70への表示のためにコンピュータ26に伝達される。原理上、試験片38のセンタリング状態に関する定性的記述は、単に位置66の交差点64からの間隔から作成され得る。この目的のために、光学センサ22の交差点64の位置は、適切な手続を用いて前もって決定される必要がある。試験片38が手動により又は必要に応じて、外力補助マニピュレータを用いて試験片レセプタクル28内で偏心tilted及び/又は再配置され、その方法で測定光線50が光学センサ22に当たる位置66が観測されれば、調節は位置66及び交差点64の間隔が最小になるまで継続され得る。試験片38が回転テーブル28を用いて参照軸34の周りを回転すれば、調節は特に、光学センサ22上の交差点64の位置が不明であるときにより成功する。位置66は、図8に光学センサ22の上面図で示されるように、参照軸34の周りで円軌道68上を移動する。参照軸34に対する試験片38の最適な方向付けは、図9に示されるように、光学センサ上に描かれる円68’の半径が最小であるときに得られる。上述の調節を行い得るために、測定光線50の代わりに、異なる光源により生成される試験光線が試験片38を通って光学センサ22に向けられ得ることが理解されるだろう。c間隔測定上述の調節の後に、試験片38は、光軸40が参照軸34と揃うように、参照軸34に対して正しい方向に置かれている。レンズL3及びL4は、参照軸34に対してわずかに偏心tiltedしているだけである。表面S1、S2、及びS3の間隔が、干渉計24を用いて、図5を参照して上述した方法で測定されれば、測定光線50は、表面S1、S2、及びS3をほぼ垂直に通過する。結果として、一方で、表面S1、S2、及びS3から反射される測定光線は、最大強度を有し、この理由により、参照光線52と重畳して光検出器62で明確に識別可能な干渉信号を生成することが保証される。他方で、参照軸34に対する試験片38の光軸40の方向付けにより、光学面S1、S2、及びS3の間隔は、実際に試験片38の光軸に沿って測定されることが保証される。5.重要な方法ステップの要約以下では、図10が参照される。図10は、本発明の方法の必須ステップが列挙されるフローチャートを示す。第1ステップST1では、試験片38又はごく一般に単レンズ若しくは多レンズ光学系の光学面のうち少なくとも2つ、優先的にすべてを考慮して、そのセンタリング状態が記録される。第2ステップST2では、試験片38が、その光軸40が参照軸38とできる限り正確に揃うように、優先的に調節される。第3ステップST3では、試験片38が、測定光線50を通過させられる。第4ステップST4では、試験片38から反射された測定光が、参照光と干渉計24で重畳させられる。第5ステップST5では、表面間隔が、光検出器62で干渉現象を評価することにより決定される。"