"断面形状が鋸歯形状である回折格子を備え、前記鋸歯形状を有した前記回折格子の頂部に平坦部が形成されていることを特徴とすることを特徴とする回折光学素子。前記回折格子のピッチに対する、前記回折格子のピッチ方向における前記平坦部の長さの割合は、5以下であることを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。前記回折格子のピッチ方向における前記平坦部の長さは、前記回折格子の形状を測定する測定装置により前記平坦部を検出可能な長さを有していることを特徴とする請求項1または2に記載の回折光学素子。しかしながら、上述のような回折光学素子は、格子形状断面形状が鋸歯形状であるものが殆どであり、格子形状の評価が難しかった。本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、形状評価の容易な回折光学素子を提供することを目的とする。このような目的達成のため、本発明に係る回折光学素子は、断面形状が鋸歯形状である回折格子を備え、前記鋸歯形状を有した前記回折格子の頂部に平坦部が形成されている。なお、上述の回折光学素子において、前記回折格子のピッチに対する、前記回折格子のピッチ方向における前記平坦部の長さの割合は、5以下であることが好ましい。また、上述の回折光学素子において、前記回折格子のピッチ方向における前記平坦部の長さは、前記回折格子の形状を測定する測定装置により前記平坦部を検出可能な長さを有していることが好ましい。本発明によれば、回折格子の形状評価を容易に行うことができる。以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。本実施形態に係る回折光学素子として密着複層型の回折光学素子である位相フレネルレンズ以下、PFレンズ1と称するが図2に示されている。PFレンズ1は、カメラの交換レンズや、顕微鏡、望遠鏡等の光学機器に用いられるものであり、ガラス基板2と、ガラス基板2の上に成形された1層目の樹脂層4と、1層目の樹脂層4の上に重ねて成形された2層目の樹脂層6とを有して構成される。ガラス基板2は、透明のガラス材料を用いて円盤状に成形され、ガラス基板2の一方の面1層目の樹脂層4と接合する方の面には、シランカップリング剤からなるプライマー層3が形成されている。ガラス基板2の方から数えて1層目の樹脂層4は、透明の樹脂材料を用いて円盤状に成形され、1層目の樹脂層4の一方の面2層目の樹脂層6と接合する方の面には、複数の輪帯が同心円状に並ぶ回折格子5が形成されている。ガラス基板2の方から数えて2層目の樹脂層6は、1層目の樹脂層4と屈折率が異なる透明の樹脂材料を用いて円盤状に成形される。なお、各図において、説明容易化のため、回折格子5の輪帯の数を少なく記載しているが、実際の輪帯数は使用可能な程度に十分多いものとする。また、各図において、説明容易化のため、断面図のハッチングを省略している。回折格子5は、図1bに示すように、断面形状が鋸歯形状であり、回折格子5の頂部に形成された平坦部51と、平坦部51の一端から下方に傾斜して伸びる傾斜部52と、平坦部51の他端から下方に垂直に伸びる垂直部53とから断面形状が構成される。なお、図1bに示す回折格子5の断面は、PFレンズ1の中心軸回転対称軸を通る断面の一部を拡大したものである。以上のように構成されるPFレンズ1の製造方法について、図3に示すフローチャートを参照しながら説明する。まず、ガラス基板2の上に1層目の樹脂層4を成形し接合させるステップS101。1層目の樹脂層4を成形する際、図4aに示すように、ガラス基板2の一方の面にシランカップリング剤/エチルアルコール/水酢酸でやや酸性にした水の混合液をスピンコートにより全面的に塗布し、ベーキングしてプライマー層3を形成する。プライマー層3を形成したガラス基板2の一方の面に所定の格子形状を有する第1の成形型金型10を近接させ、図4bに示すように、その間隙に1層目の樹脂層4を成形するための未硬化の樹脂材4aを充填する。この状態で、ガラス基板2の他方の面から樹脂材4aに向けて紫外線を所定の照射量例えば、2000~4000mJ/cm2だけ照射し、未硬化の樹脂材4aを硬化させた後、離型する。これにより、第1の成形型10の格子形状が樹脂材4aに転写されて回折格子5を有する1層目の樹脂層4が成形されるとともに、当該1層目の樹脂層4がプライマー層3を介してガラス基板2の一方の面に接合される。なお、1層目の樹脂層4に用いられる樹脂材料樹脂材4aは紫外線硬化樹脂である。またこのとき、1層目の樹脂層4に成形された回折格子5の形状を測定し、回折格子5の格子高さ等の形状評価を行う。回折格子5の形状を測定する形状測定装置図示せずとして、例えば、非接触三次元形状測定装置三鷹光器株式会社製、型式:NH-3SPが用いられる。次に、1層目の樹脂層4の上に2層目の樹脂層6を重ねて成形し接合させるステップS102。2層目の樹脂層6を成形する際、図4cに示すように、1層目の樹脂層4の上に2層目の樹脂層6を成形するための未硬化の樹脂材6aを滴下し、図4dに示すように、滴下した樹脂材6aに第2の成形型金型12を当接させて成形した後、1層目と同様に紫外線硬化させて離型する。なお、第2の成形型12の表面転写面は平面となるように形成される。また、第2の成形型12の表面転写面は、球面や非球面であってもよく、2層目の樹脂層6の形状に応じて決定される。これにより、図4eに示すように、他方の面で回折格子5に密着するように2層目の樹脂層6が成形されるとともに、当該2層目の樹脂層6が1層目の樹脂層4の一方の面に接合される。なお、2層目の樹脂層6に用いられる樹脂材料樹脂材6aは紫外線硬化樹脂である。このようにして、ガラス基板2の上に2つの樹脂層4,6が成形されたPFレンズ1が製造される。ところで、PFレンズの回折効率は、図5に示すように、2つの樹脂層を構成する2種類の物質例えば、樹脂Aと樹脂B;但し、1層で構成される場合は樹脂Aと空気の屈折率n1,n2の差と、回折格子の格子高さdで決定される。そのため、回折格子の格子高さを正確に評価することが重要である。なお、図5はPFレンズの回折格子と回折効率の関係を示している。2つの樹脂層104,106を有した従来のPFレンズにおける回折格子105の断面形状を図1aに示す。PFレンズの成形に用いる成形型金型を切削加工する場合、図6に示すように、通常ダイヤモンドバイト115を用いるが、このダイヤモンドバイト115による切削加工によって、ダイヤモンドバイト115の先端形状が成形型110の転写面の谷となる部分に転写される。したがって、成形型110の転写面の谷底部分には、ダイヤモンドバイト115の先端の微小なR形状曲率半径1μm程度が転写される。このような成形型金型110で成形したPFレンズでは、成形型110の転写面の形状に対し反転した形状を評価することになる。この場合、成形型110においてダイヤモンドバイト115の先端のR形状が転写された転写面の谷底部分は、断面形状が鋸歯形状である回折格子105の山頂部分に相当する。そのため、回折格子105の格子形状三次元形状を測定する場合、ダイヤモンドバイト115の先端のR形状が転写された回折格子105の頂部を検出することになる。しかしながら、回折格子105の先端部分頂部が微小なR形状を有する場合、接触式にせよ非接触式にせよ、形状測定装置プローブが読み取る値は曖昧になってしまうため、回折格子105の頂部の正確な形状評価は困難である。例えば、前述した非接触三次元形状測定装置図示せずの場合、レーザ光プローブ光のスポット径は最小で1μm程度であるが、回折格子105の先端部分における微小なR形状の曲率半径は1μm程度であるため、レーザ光が正確に戻るとは限らない。また例えば、接触式の形状測定装置図示せずの場合、プローブ自体も先端がR形状をしているので検出が困難である。なお、ダイヤモンドバイト115の先端の曲率半径R形状は、形状測定ではなく断面の観察で評価する。これに対し、本実施形態では、第1の成形型金型10の転写面の谷底部分を平坦にすることで、図1bに示すように、断面形状が鋸歯形状である回折格子5の頂部に平坦部51を形成している。回折格子5の頂部が平坦であれば、接触式および非接触式に拘らず形状測定装置を用いて回折格子5の頂部平坦部51を容易に検出することができるため、回折格子5の格子高さ等といった回折格子5の形状評価を容易に行うことが可能となる。回折格子の頂部の形状の違いによる回折効率の変化について、RCWARigorousCoupledWaveAnalysis法により検討した。従来の回折格子105と本実施形態の頂部に平坦部51を有する回折格子5とを比較したグラフを図7に示す。図7では、3種類の格子ピッチについて、格子ピッチに対する平坦部の長さの割合が0,5,10の場合における、回折効率と波長の関係を示している。図7に示すように、回折格子5のピッチ方向における平坦部51の長さが回折格子5のピッチに対して5程度であれば、回折効率に大きな変化は見られないことがわかる。すなわち、回折格子5のピッチに対する、回折格子5のピッチ方向における平坦部51の長さの割合が5以下であれば、回折効率が殆ど変化しないので、回折格子5の特性に影響を及ぼすことなく、回折格子5の形状評価を容易に行うことができる。回折光の波面は回折格子5の傾斜部52で決定されるため、回折格子5のピッチに対して5程度の平坦部51を形成しても、傾斜部52の形状が相対的に大きく変化しないので、回折効率が殆ど変化しないからである。また、入射角を変化させた場合の従来の回折格子105と本実施形態の回折格子5とを比較したグラフを図8に示す。図8に示すように、回折格子5のピッチ方向における平坦部51の長さが回折格子5のピッチに対して5程度であれば、本実施形態の頂部に平坦部51を有する回折格子5の斜入射特性についても、従来の回折格子105と大きな変化がないことがわかる。なお、回折格子5のピッチ方向における平坦部51の長さは、少なくとも、回折格子5の形状を測定する形状測定装置図示せずにより平坦部51を検出可能な長さを有していることが好ましい。平坦部51の最小の長さは、形状測定装置の分解能によって決まるが、例えば、前述した非接触三次元形状測定装置図示せずの分解能はサブミクロンオーダーであり、また、接触式の形状測定装置図示せずにおいても分解能がサブミクロンオーダーであるものが存在するので、回折格子5のピッチ方向における平坦部51の長さが少なくとも1μm程度あれば、平坦部51を検出することが可能である。この結果、本実施形態によれば、鋸歯形状を有した回折格子5の頂部に平坦部51が形成されているため、回折格子5の頂部平坦部51を容易に検出することができ、回折格子5の格子高さ等といった回折格子5の形状評価を容易に行うことができる。なお、上述の実施形態において、ガラス基板2の上に2つの樹脂層4,6を成形しているが、これに限られるものではなく、例えば、1層や3層以上であってもよく、断面形状が鋸歯形状である回折格子を備えた構成であればよい。また、上述の実施形態において、基材としてガラス基板2を用いているが、これに限られるものではなく、例えば、プラスチック製の基板であってもよく、透明な材料であればよい。また、上述の実施形態において、ガラス基板2、1層目の樹脂層4、および2層目の樹脂層6がそれぞれ円盤状に形成されているが、これに限られるものではなく、ガラス基板、1層目の樹脂層、および2層目の樹脂層の少なくともいずれかの面一方もしくは他方の面が球面もしくは非球面であってもよい。"