"燃料電池スタックに水素ガスを供給する燃料電池システムの水素ガス供給装置において、高圧の水素ガスが貯蔵される水素タンクと低圧の水素ガスが消費される燃料電池スタックとを接続する水素ガス通路と、前記水素ガス通路に設けられ、前記水素タンクから流出する水素ガスの圧力を調圧して前記燃料電池スタックに供給する調圧弁とを備え、前記調圧弁は、前記水素タンクに接続される一次ポート及び前記燃料電池スタックに接続される二次ポートを繋ぐ弁通路を有するハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、前記弁通路を閉じる閉位置と前記弁通路を開く開位置との間で移動して前記弁通路の開度を制御する弁体と、前記弁体の外周に配置される第1シール部材及び第2シール部材とを備え、前記弁体の一端側は、前記弁通路側に位置し、前記弁体の他端側は、前記ハウジング内に形成される圧力帰還室内に位置し、前記第1シール部材及び第2シール部材は、前記弁体の一端側から前記弁体の他端側に向ってこの順序で配置されており、前記第1シール部材と前記第2シール部材との間に形成された第1の空間と二次ポートとを繋ぐ第1の均圧通路を更に備えている、燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記調圧弁は、前記二次ポートと前記圧力帰還室とを繋ぐ第2の均圧通路を備え、前記弁体は、前記弁体が開位置に向かう開位置方向に前記二次ポートの圧力が作用する二次側受圧部と、前記弁体が閉位置に向かう閉位置方向に前記圧力帰還室の圧力が作用する圧力帰還室側受圧部とを有する、請求項1に記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記調圧弁は、前記弁体の外周において、前記第2シール部材より前記弁体の他端側に配置される第3シール部材と、前記第3シール部材と前記第2シール部材との間にされた第2の空間と、前記第2空間に収容される軸受部材と、前記第2空間と大気とを繋ぐ大気連通路とを更に有する、請求項2に記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記圧力帰還室側受圧部の受圧面積は、前記二次側受圧部の受圧面積よりも大きい、請求項3に記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記第3シール部材は、ダイヤフラムシールであり、前記ダイヤフラムシールは、前記弁体の他端側に設けられ、該他端部と共に前記圧力帰還室側受圧部を構成する、請求項3又は4に記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記弁体は、前記一次ポートに導かれる一次圧を前記開位置方向に受圧する第1受圧面と前記一次圧を前記閉位置方向に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積と同一である、請求項3乃至5の何れか1つに記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記弁体は、前記一次ポートに導かれる一次圧を前記開位置方向に受圧する第1受圧面と前記一次圧を前記閉位置方向に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積より小さい、請求項3乃至5の何れか1つに記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記調圧弁は、前記弁体を前記閉位置方向に付勢する復帰用ばねと、印加される印加電圧又は印加電流に応じた駆動力を前記復帰用ばねの付勢に抗するように前記弁体に与えて該弁体を前記開位置方向に移動させる弁体駆動手段とを有し、前記調圧弁は、前記弁体駆動手段への印加電圧又は印加電流の印加を止めると前記復帰用ばねにより前記弁体が前記閉位置方向へ移動するノーマルクローズ形の弁である、請求項3乃至7の何れか1つに記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記水素ガス通路において前記調圧弁より下流側に設けられ、前記燃料電池スタックに供給される前記水素ガスの圧力を検出する圧力検出手段と、前記圧力検出手段で検出される圧力に応じて前記弁体駆動手段に印加する印加電圧又は印加電流を制御して二次圧を前記燃料電池スタックの目標圧力にする制御手段とを更に備える、請求項8に記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記制御手段は、前記圧力検出手段で検出される圧力が予め定められた規定圧力以上になると、前記弁体駆動手段に印加する印加電圧又は印加電流を制御して前記弁体を前記閉位置に移動させる、請求項9に記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記調圧弁は、前記弁体駆動手段が前記高圧タンクの供給口に設置されるインタンク型又はオンタンク型の容器元弁である、請求項8乃至10の何れか1つに記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記水素ガス通路において前記調圧弁より上流側に設けられ、前記調圧弁への水素ガスの供給を遮断可能な電磁式遮断弁を更に備える、請求項1乃至11の何れか1つに記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。前記水素ガス通路において前記調圧弁より下流側に設けられ、前記燃料電池スタックへの水素ガスの供給を遮断可能な電磁式遮断弁を更に備える、請求項1乃至11の何れか1つに記載の燃料電池システムの水素ガス供給装置。特許文献1に記載の電磁式調圧弁は、1次ポートと圧力帰還室とを気密分離する摺動シール部を備え、上流側圧力による弁体への作用力が略全てキャンセルされるようになっている。そのため、電磁式調圧弁の上流側圧力の影響を受けることなく、燃料電池スタックへの水素の流量又は圧力を高精度で制御することができる。しかしながら、摺動シール部にダイヤフラムシール方式を使用した場合、ダイヤフラムは一般的に十分な耐圧力強度を有していないため、上流側圧力が高圧になると破損に至る恐れがある。また、ダイヤフラムシール方式の代わりにOリングシール方式を使用することも考えられる。この場合には、電磁式調圧弁作動中に上流側圧力が高圧になると、意図しない外的要因により水素漏れに至る恐れがある。そこで本発明は、上流側圧力が高圧であっても燃料電池スタックへの水素の流量又は圧力を高精度で制御することができ、且つ大気中への水素ガス漏れを防止できる電磁式調圧弁を有する水素ガス供給装置を提供することを目的とする。本発明の水素ガス供給装置は、燃料電池スタックに水素ガスを供給する燃料電池システムの水素ガス供給装置であり、高圧の水素ガスが貯蔵される水素タンクと低圧の水素ガスが消費される燃料電池スタックとを接続する水素ガス通路と、前記水素ガス通路に設けられ、前記水素タンクから流出する水素ガスの圧力を調圧して前記燃料電池スタックに供給する調圧弁とを備え、前記調圧弁は、前記水素タンクに接続される一次ポート及び前記燃料電池スタックに接続される二次ポートを繋ぐ弁通路を有するハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、前記弁通路を閉じる閉位置と前記弁通路を開く開位置との間で移動して前記弁通路の開度を制御する弁体と、前記弁体の外周に配置される第1シール部材及び第2シール部材とを備え、前記弁体の一端側は、前記弁通路側に位置し、前記弁体の他端側は、前記ハウジング内に形成される圧力帰還室内に位置し、前記第1シール部材及び第2シール部材は、前記弁体の一端側から前記弁体の他端側に向ってこの順序で配置されており、前記第1シール部材と前記第2シール部材との間に形成された第1の空間と二次ポートとを繋ぐ第1の均圧通路を更に備えているものである。本発明に従えば、高圧の水素ガスは、水素タンクから水素ガス通路を通って燃料電池スタックに導かれ、燃料電池スタックにて消費される。水素ガス通路には、調圧弁が設けられており、この調圧弁により水素ガスの圧力が調圧される。調圧弁では、水素タンクの水素ガスが一次ポートに供給され、弁通路を通って二次ポートから排出されて燃料電池スタックに導かれる。この際、弁体が弁通路の開度を制御して水素ガスを低圧に調圧する。これにより、低圧に調圧された水素ガスが燃料電池スタックに導かれる。このように水素ガスを調圧する調圧弁では、第1シール部材が一次ポート側に配置され、第2シール部材が圧力帰還室側に配置され、その間に第1の空間が形成されている。それ故、調圧弁作動中に、意図しない外的要因により一次ポート側にある高圧の水素ガスが第1シール部材から漏れ出ても第1の空間に流出するようになっている。この第1の空間は、均圧通路によって二次ポートに繋がっているので、第1の空間に流出した水素ガスは均圧通路を介して二次ポートに戻される。つまり、調圧弁は、第1の空間に流出した水素ガスが二次ポートから排出されて燃料電池スタックで消費されるという安全構造になっている。そのため、一次ポート側にある高圧の水素ガスが大気中に漏れることを防ぐことができる。上記発明において、前記調圧弁は、前記二次ポートと前記圧力帰還室とを繋ぐ第2の均圧通路を備え、前記弁体は、前記弁体が開位置に向かう開位置方向に前記二次ポートの圧力が作用する二次側受圧部と、前記弁体が閉位置に向かう閉位置方向に前記圧力帰還室の圧力が作用する圧力帰還室側受圧部とを有することが好ましい。上記構成に従えば、二次ポートの圧力、つまり二次圧を第2の均圧通路を介して圧力帰還室に導くことで、弁体の一端側から働く二次ポート内の圧力による力と弁体の他端側から働く圧力帰還室内の圧力による力を対抗させることができる。上記発明において、前記調圧弁は、前記弁体の外周において、前記第2シール部材より前記弁体の他端側に配置される第3シール部材と、前記第3シール部材と前記第2シール部材との間に形成された第2の空間と、前記第2空間に収容される軸受部材と、前記第2空間と大気とを繋ぐ大気連通路とを更に有することが好ましい。上記構成に従えば、大気連通路から軸受部材に潤滑剤を容易に供給することができる。また、潤滑剤が二次ポートに流れる水素ガスに混入することもないので、下流側の機器に影響を与えることがない。上記発明において、前記圧力帰還室側受圧部の受圧面積は、前記二次側受圧部の受圧面積よりも大きいことが好ましい。上記構成に従えば、弁体を閉方向に押し付けるように力が働くことにより、ノーマルクローズ形の弁となる。上記発明において、前記第3シール部材は、ダイヤフラムシールであり、前記ダイヤフラムシールは、前記弁体の他端側に設けられ、該他端部と共に前記圧力帰還室側受圧部を構成することが好ましい。上記構成に従えば、第3シール部材にダイヤフラムシールを採用することで、第3シール部材による摺動摩擦を無くすことができ、またダイヤフラムシールに作用する力を弁体に伝えることができる。上記発明において、前記弁体は、前記一次ポートに導かれる一次圧を前記開位置方向に受圧する第1受圧面と前記一次圧を前記閉位置方向に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積と同一であることが好ましい。上記構成に従えば、弁体が第1受圧面で受ける一次圧を第2受圧面で受ける圧力により相殺することができる。これにより、一次圧の変動に起因する二次圧の変動を無くすことができ、二次圧の圧力制御性を更に向上させることができる。また、弁体を駆動する力を小さくすることが可能となり、調圧弁を小形化することができる。上記発明において、前記弁体は、前記一次ポートに導かれる一次圧を前記開位置方向に受圧する第1受圧面と前記一次圧を前記閉位置方向に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積より小さいことが好ましい。上記構成に従えば、第1受圧面に作用する作用力よりも第2受圧面に作用する作用力の方が大きくなる。それ故、一次圧に応じた力が閉方向の方に弁体に作用し、一次圧が急激に変動して高くなっても、弁体が閉位置の方に押付けられる。それ故、不所望に弁通路が開くようなことがなく、一次側から二次側に水素ガスが漏れでないようにしっかりと弁通路を閉じることができる。上記発明において、前記調圧弁は、前記弁体を前記閉位置方向に付勢する復帰用ばねと、印加される印加電圧又は印加電流に応じた駆動力を前記復帰用ばねの付勢に抗するように前記弁体に与えて該弁体を前記開位置方向に移動させる弁体駆動手段とを有し、前記調圧弁は、前記弁体駆動手段への印加電圧又は印加電流の印加を止めると前記復帰用ばねにより前記弁体が前記閉位置方向へ移動するノーマルクローズ形の弁であることが好ましい。上記構成に従えば、調圧弁への印加電圧又は印加電流の印加を止めることで、弁通路を緊急遮断することができる。上記発明において、前記水素ガス通路において前記調圧弁より下流側に設けられ、前記燃料電池スタックに供給される前記水素ガスの圧力を検出する圧力検出手段と、前記圧力検出手段で検出される圧力に応じて前記弁体駆動手段に印加する印加電圧又は印加電流を制御して二次圧を前記燃料電池スタックの目標圧力にする制御手段とを更に備えることが好ましい。上記構成に従えば、制御手段は、圧力検出手段で検出された圧力に応じて弁体駆動手段に印加する印加電圧又は印加電流を制御し、燃料電池スタックに供給される水素ガスを目標圧力に調整する。これにより、水素ガス供給装置内における圧力損失に関係なく、目標圧力の水素ガスを燃料電池スタックに供給することができる。上記発明において、前記制御手段は、前記圧力検出手段で検出される圧力が予め定められた規定圧力以上になると、前記弁体駆動手段に印加する印加電圧又は印加電流を制御して前記弁体を前記閉位置に移動させることが好ましい。上記構成に従えば、燃料電池スタックの水素ガスの圧力が急激に上昇した時に燃料電池スタックへの水素ガス供給を止めることができる。これにより、燃料電池スタックにおける水素ガスの圧力が規定圧力常用の圧力よりも高く、燃料電池スタックの耐圧より低い圧力以上の異常圧力に上昇することを防ぐことができる。上記発明において、前記調圧弁は、前記弁体駆動手段が前記高圧タンクの供給口に設置されるインタンク型又はオンタンク型の容器元弁であることが好ましい。上記構成に従えば、水素タンクの供給口に調圧弁が配置されるので、水素タンクからの出力圧力レベルが低圧になり、システムの安全性が向上する。上記発明において、前記水素ガス通路において前記調圧弁より上流側に設けられ、前記調圧弁への水素ガスの供給を遮断可能な電磁式遮断弁を更に備えることが好ましい。上記構成に従えば、水素タンクと燃料電池スタックとの間に、遮断機能を有する調圧弁及び電磁式遮断弁の2つの弁が設けられ、これら2つの弁により水素タンクと燃料電池スタックとの間を遮断することができる。これにより、システムの安全性が向上する。上記発明において、前記水素ガス通路において前記調圧弁より下流側に設けられ、前記燃料電池スタックへの水素ガスの供給を遮断可能な電磁式遮断弁を更に備えることが好ましい。上記構成に従えば、水素タンクと燃料電池スタックとの間に、遮断機能を有する調圧弁及び電磁式遮断弁の2つの弁が設けられ、これら2つの弁により水素タンクと燃料電池スタックとの間を遮断することができる。これにより、システムの安全性が向上する。また、電磁式遮断弁を調圧弁の下流側に設けることで、電磁式遮断弁は、低圧用の電磁弁とすることができ、上流側に設ける場合に比べて電磁式遮断弁の製造コストを安価にすることができる。また、当該低圧用の電磁式遮断弁は、例えば、燃料電池スタックの圧力が前記の規定圧力以下でのみ開弁する製造コストが安価な直接駆動方式電磁ソレノイドの推力を小さくして、燃料電池スタックの圧力が前記の規定圧力を超えた場合には弁体が開かないようになっている一段形の電磁弁であることが望ましい。というのも、車両燃料電池システム停止中に仮に調圧弁に何らかの異常が発生し、調圧弁の作動中に意図しない外的要因により高圧の水素ガスが二次ポート側に漏れた場合、電磁式遮断弁の上流側圧力が高くなる。そして、その上流側圧力が燃料電池スタックの規定圧力を超えると、次回の車両起動時に電磁式遮断弁が開弁しなくなる。それ故、直接駆動方式の電磁式遮断弁を採用すると、規定圧力を超えた高圧の水素ガスが燃料電池スタックに流れることを防ぐことができる。これにより、燃料電池スタックを保護することが可能になる。また、電磁式遮断弁が開弁しなくなるため、圧力センサを使用しなくても調圧弁の異常を推測検知することができる。本発明によれば、上流側圧力が高圧であっても燃料電池スタックへの水素の流量又は圧力を高精度で制御することができ、且つ大気中への水素ガス漏れを防止できる調圧弁を備える燃料電池システムの水素ガス供給装置を提供することができる。以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の第1乃至第8実施形態に係る水素ガス供給装置1,1A~1G、及びそれを備える燃料電池システム2,2B~2Gについて説明する。なお、以下に説明する水素ガス供給装置1,1A~1G及び燃料電池システム2,2B~2Gは、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。[第1実施形態]<燃料電池システム>燃料電池システム2は、燃料電池自動車等の車両に設けられており、車両の駆動輪を駆動する駆動源、例えばモータに電力を供給するようになっている。燃料電池システム2は、燃料電池スタック3と、エア供給装置4と、水素ガス供給装置1とを備えている。燃料電池スタック3は、カソード極3aとアノード極3bとを有しており、カソード極3a及びアノード極3bにエア及び水素ガスが夫々供給されることで発電するようになっている。また、燃料電池スタック3は、アノード極3bに供給する水素ガスの供給圧を調圧することで、その発電量を調整することができるようになっている。このように構成される燃料電池スタック3のカソード極3aには、エア供給装置4が接続され、アノード極3bには、水素ガス供給装置1が接続されている。<エア供給装置>エア供給装置4は、カソード極3aに大気中のエアを供給するようになっており、コンプレッサ5と、エア供給通路6と、エア排出通路7と、エア調圧弁8とを備えている。コンプレッサ5は、エア供給通路6を介してカソード極3aに繋がっており、大気中のエアを加圧してカソード極3aに供給するようになっている。また、カソード極3aには、エア排出通路7が繋がっており、このエア排出通路7は、エア調圧弁8を介して大気に開放されている。エア調圧弁8は、エアコンプレッサ5と連動してカソード極3aに供給するエアの供給圧を調圧する機能を有している。またエア供給通路6及びエア排出通路7には、加湿器9が設けられており、加湿器9は、エア排出通路7を流れるエアから吸湿し、その吸湿によって得た水分によりエア供給通路6を流れるエアを加湿するようになっている。<水素ガス供給装置>水素ガス供給装置1は、アノード極3bに水素ガスを供給するようになっており、水素タンク11と、水素ガス通路12と、タンク用圧力センサ13と、電磁式調圧弁14と、電磁式遮断弁15と、安全リリーフ弁16と、通路用圧力センサ17と、制御器18とを備えている。水素タンク11は、いわゆる高圧タンクであり、例えば35MPa又は70MPaの高圧の水素ガスを貯蔵できるようになっており、その内圧に応じた信号がタンク用圧力センサ13から出力されている。また、水素タンク11は、水素ガス通路12を介してアノード極3bに繋がっており、この水素ガス通路12には、電磁式調圧弁14が介在している。電磁式調圧弁14の具体的な構成については後述するが、電磁式調圧弁14は、水素タンク11から流出する高圧の水素ガスを低圧に調圧して燃料電池スタック3に供給する機能を有している。また、水素ガス通路12の電磁式調圧弁14より上流側には、電磁式遮断弁15が介在している。電磁式遮断弁15は、水素ガス通路12を開閉する機能を有しており、図示しない操作手段で操作されると、水素ガス通路12を開閉するようになっている。また、電磁式遮断弁15は、電磁式調圧弁14の下流側の圧力が規定圧力例えば、常用の圧力よりも高く燃料電池スタック3の耐圧より低い圧力になると、そこに流れる電流が遮断されて水素ガス通路12を遮断するようになっている。このように、電磁式調圧弁14の上流側に電磁式遮断弁15を設けることで、遮断機能を有する2つの弁14,15によって水素タンク11と燃料電池スタック3との間が遮断される。それ故、水素ガス通路12が遮断され、水素ガス供給装置1の安全性を更に向上させることができる。また、水素ガス通路12には、電磁式調圧弁14より下流側に安全リリーフ弁16が繋がっている。安全リリーフ弁16は、いわゆるリリーフ弁であり、水素ガス通路12における電磁式調圧弁14より下流側の圧力が前記規定圧力より高くなると、安全リリーフ弁16が作動するようになっている。更に、水素ガス通路12には、安全リリーフ弁16より下流側に通路用圧力センサ17が設けられている。通路用圧力センサ17は、水素ガス通路12を流れる水素ガスの圧力を検出するように構成されており、水素ガス通路12において燃料電池スタック3の近くに設けられることが好ましい。通路用圧力センサ17は、制御器18に電気的に接続され、検出された圧力を制御器18に送信するようになっている。制御手段である制御器18は、図示しないECUElectronicControlunitに接続されており、このECUから車両に備わる操作手段、例えばアクセルペダルの開度踏み込み量に応じて決まる目標圧力を受信するようになっている。制御器18は、目標圧力と検出された圧力とに基づいて電流を後述する電磁式調圧弁14の電磁比例ソレノイド37に流し、目標圧力になるように検出された圧力をフィードバック制御するようになっている。それ故、燃料電池スタック3の近くに通路用圧力センサ17を設けることで、水素ガス通路12において圧力損失が生じても目標圧の水素ガスを燃料電池スタックに供給することができる。また、制御器18は、検出された圧力が前記規定圧力になると、電磁式調圧弁14を作動させて水素ガス通路12を遮断するようになっている。なお、本実施形態の場合、後述するように電磁式調圧弁14がノーマルクローズ形の弁であるので、制御器18から電磁式調圧弁14への電流を遮断することで水素ガス通路12が遮断される。これにより、燃料電池スタック3に耐圧を超えた高圧の水素ガスが流れることを防ぐことができる。以下では、このように制御されている電磁式調圧弁14の構成について、詳述する。なお、以下の説明における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、電磁式調圧弁14に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下で説明する電磁式調圧弁14は、電磁式調圧弁の一実施形態に過ぎず、後述する形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。<電磁式調圧弁>電磁式調圧弁14は、図2に示すようにハウジング21を備えている。ハウジング21には、一次ポート21a、弁体孔21b、及び二次ポート21cが形成されている。一次ポート21aは、電磁式遮断弁15図1参照に繋がっており、ハウジング21に形成されている一次側通路21dを介して弁体孔21bに繋がっている。弁体孔21bは、上下に延在する軸線L1に沿って延在している。弁体孔21bは、その断面が円形状になっており、その中間部分に残余部より大径に形成された弁空間21eを有している。一次側通路21dは、この弁空間21eに繋がっている。また、弁体孔21bは、ハウジング21に形成されている二次側通路21fを介して二次ポート21cに繋がっている。二次側通路21fは、前記弁空間21eより上側の二次側領域21gにて前記弁体孔21bと繋がっている。そして、二次ポート21cは、水素ガス通路12図1参照を介して燃料電池スタック3と繋がっている。このように一次ポート21aと二次ポート21cとは、一次側通路21d、弁空間21e、二次側領域21g及び二次側通路21fを介して繋がっている。これら一次側通路21d、弁空間21e、二次側領域21g及び二次側通路21fによって、一次ポート21aと二次ポート21cとを繋ぐ弁通路22が構成されている。また、ハウジング21は、座部23を有している。座部23は、二次側領域21gと弁空間21eとを繋ぐ開口付近に位置しており、この開口を外囲するように形成されている。また、ハウジング21には、弁体孔21bの軸線L1に沿って弁体24が挿入されており、弁体24は、その一端部である上端部24aを二次側領域21gに挿入した状態で座部23に着座している。弁体24は、大略的に円柱状になっており、上端部24aが弁通路22側、つまり弁通路22の二次ポート21a側にある二次側通路21fに位置している。また、弁体24は、その上端部24a側にテーパ部24bを有している。テーパ部24bは、上側に向かって先細りのテーパ形状になっており、弁体24が図2に示すような閉位置に位置しているときに座部23に着座し、弁通路22を塞いでいる。また、ハウジング21は、弁空間21eの下側にシール取付部25を有している。シール取付部25は、ハウジング21の内面に周方向全周にわたって形成されている。シール取付部25の内径は、二次側領域21gの孔径及び弁体24の外径と略一致している。また、ハウジング21のシール取付部25より下側の内径は、シール取付部25の内径より大径になっている。これにより、ハウジング21と弁体24との間には、大略円環状の軸受部材収容空間26が形成され、軸受部材収容空間26には、軸受部材27が収容されている。軸受部材27は、大略的に円筒状に形成されており、例えばボールガイド、ボール軸受、又はすべり軸受によって構成されている。軸受部材27は、弁体24に外装されて弁体24とハウジング21との間に介在し、弁体24を支持している。この軸受部材27により、弁体24は、ハウジング21内を軸線L1に沿って上下方向に円滑に移動できるようになっている。なお、軸受部材27は、弁体24の動きを更に滑らかにし、且つ耐久性を向上させるべくグリス潤滑されている。このように軸受部材27が配置された軸受部材収容空間26の上側には、そこを塞ぐべく、高圧シール部材28が設けられている。第1シール部材である高圧シール部材28は、摩擦抵抗が少なく、始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールであり、例えば、フッ素樹脂等により表面処理されたOリングである。高圧シール部材28は、シール取付部25の内周部に嵌め込むように取付けられ、弁体24の外周に配置されている。このように配置された高圧シール部材28は、弁体24とシール取付部25との間隙を封止している。また、シール取付部25には、低圧シール部材29が設けられている。第2シール部材である低圧シール部材29は、大略円環状のOリングであり、摩擦抵抗を小さくすべく樹脂等により表面処理がされている。低圧シール部材29は、高圧シール部材28より軸受部材27側に位置し、シール取付部25の内周部に嵌め込むように取付けられている。これにより、高圧シール部材28及び低圧シール部材29は、弁体24の上端側から下端側つまり、一端側から他端側に向ってこの順で弁体24の外周に配置される。低圧シール部材29は、シール取付部25と弁体24との間隙を封止し、高圧シール部材28と低圧シール部材29との間にバッファ室30を形成している。第1の空間であるバッファ室30には、高圧シール部材28のところから漏れ出た水素ガスが導かれるようになっている。なお、高圧シール部材28及び低圧シール部材29は、弁体24の外周部に嵌め込むように取り付けてもよい。また、軸受部材収容空間26の下側には、そこを塞ぐべく、ダイヤフラムシール31が設けられている。第3シール部材であるダイヤフラムシール31は、大略的に円環状に形成されたダイヤフラムであり、弁体24の外周に配置されている。ダイヤフラムシール31の内縁部は弁体24に取付けられ、外縁部はハウジング21に取付けられている。詳述すると、ダイヤフラムシール31の内縁部は、弁体24の下端部とそこに取り付けられた取付け部材24cとで挟むことで、弁体24に取付けられている。また、ハウジング21は、上下に2つに分割可能に構成されており、それら2つの部分の間にダイヤフラムシール31の外縁部が挟まれることでハウジング21に取付けられている。このように上下両側が塞がれた軸受部材収容空間26は、2つのシール部材31,29によってハウジング21内に形成されている他の空間例えば、弁空間21eや二次側領域21g等から遮断されて隔てられている。第2の空間である軸受部材収容空間26は、ハウジング21に形成された大気連通路32により大気に開放されている。それ故、軸受部材27を潤滑するグリスは、水素ガスに曝されることがなく、また、ハウジング21内の他の空間、例えば弁空間21eや二次ポート21cに漏れることがない。従って、グリスが水素ガスに混入することを防いで下流側の機器に及ぼす影響を防ぐことができると共に、グリスの枯渇を抑制し、軸受部材27の潤滑状態を維持することができる。これにより、軸受部材27の耐久性を向上させ得ると共に、弁体24を円滑に移動させることができる。また、弁体孔21bのダイヤフラムシール31より下側には、圧力帰還室33が形成されている。圧力帰還室33は、ハウジング21の底部、及びダイヤフラムシール31によって囲まれた大略円板状の空間である。このようにハウジング21内に形成される圧力帰還室33内には、弁体24の他端部である下端部が位置している。この圧力帰還室33と軸受部材収容空間26との間は、ダイヤフラムシール31によって塞がれており、圧力帰還室33は、ハウジング21に形成されているハウジング側均圧通路34第2の均圧通路によって二次側通路21fに繋がっている。また、弁体24内には、弁側均圧通路35が形成されている。第1の均圧通路である弁側均圧通路35は、二次側連通部35aと、帰還部35bと、連通部35cとを有している。二次側連通部35aは、弁体24の上端部24aにその半径方向に貫通するように延在しており、その両端が二次側領域21gに開口している。また、帰還部35bは、弁体24を半径方向に貫通するように延在し、その両端がバッファ室30に開口している。これら二次側連通部35a及び帰還部35bは、弁体24の軸線本実施形態では、軸線L1に略一致に沿って形成される連通部35cによって繋がっている。これによりバッファ室30は、弁側均圧通路35を介し二次側領域21gに繋がっている。このように、ハウジング側均圧通路34は、二次ポート21cと圧力帰還室33とを繋ぎ、二次ポート21cに導かれる二次圧p2を圧力帰還室33に導入する。また、弁側均圧通路35は、二次ポート21cとバッファ室30とを繋ぎ、バッファ室30に漏れ出た水素ガスを二次ポート21cに導くようになっている。これにより、電磁式調圧弁14は、一次側から漏れた水素ガスを外側へ漏れさせることなく二次側へと戻す安全構造の調圧弁となっている。また、弁体24は、フランジ24eを有している。フランジ24eは、テーパ部24bより下側に周方向全周にわたって形成されており、テーパ部24bから更に半径方向外方に向かって突出している。フランジ24eは、シール取付部25の上端に対向するように位置している。フランジ24eとシール取付部25の上端との間には、復帰用ばね36が配置されている。復帰用ばね36は、いわゆる圧縮コイルばねであり、圧縮された状態で弁体24に外装され、弁体24を閉位置方向弁体24が閉位置に向かう方向に付勢している。付勢された弁体24は、座部23に着座し、弁通路22を塞いでいる。ハウジング21の開口端部即ち、上端部には、復帰用ばね36の付勢に抗する力を弁体24に与えるべく、電磁比例ソレノイド37が設けられている。弁体駆動手段である電磁比例ソレノイド37は、ハウジング21の開口端部の外周に螺合して固定されている。電磁比例ソレノイド37は、ソレノイドコイル38を有している。ソレノイドコイル38は、大略的に円筒状に形成され、その下端側にハウジング21が螺合されている。ソレノイドコイル38は、大略円筒状のケース38aを有し、その中にボビン38bとコイル線38cとが設けられている。ボビン38bもまた大略円筒状に形成され、このボビン38bにコイル線38cに巻きつけることによってソレノイドコイル38が構成されている。コイル線38cは、制御器18に電気的に接続されている。また、ソレノイドコイル38内には、下端部にヨーク39が設けられ、上端部がカバー40によって塞がれている。そして、ヨーク39とカバー40との間に可動部材41が設けられている。可動部材41は、磁性材料から成り、大略円柱状に形成されており、軸線L1に沿って配置されている。可動部材41の外径は、ソレノイドコイル38の内径より小さくなっている。可動部材41とソレノイドコイル38との間には、円環状のガイド部材42が介在している。ガイド部材42は、非磁性体から成り、可動部材41を軸線L1に沿って上下方向に摺動可能に支持している。ヨーク39は、可動部材41の下端部に上下方向に対向し、互いに間隔をあけた状態で位置している。ヨーク39は、磁性材料、例えば電磁ステンレス鋼から成り、大略円環状に形成されている。ヨーク39と可動部材41は、ソレノイドコイル38に電流を流すことで磁化し、ヨーク39は、可動部材41を吸引するようになっている。また、可動部材41の上端部とカバー40との間には、圧縮コイルばね43が設けられており、圧縮コイルばね43により可動部材41が弁体24側へと付勢されている。可動部材41の下端部には、押圧部材44が設けられている。押圧部材44は、軸線L1に沿って延在し、ヨーク39内に挿通されている。押圧部材44の基端部は、可動部材41に固定されている。押圧部材44の先端は、部分球面状に形成されており、可動部材41を介して圧縮コイルばね43により付勢されて弁体24の上端部24aに押し付けられている。このように配置されている押圧部材44は、ソレノイドコイル38に電流を流して可動部材41をヨーク39の方に吸引させることで電流に応じた力で弁体24を開位置方向に押して弁通路22を開くようになっている。このように構成されている電磁式調圧弁14は、弁体24のテーパ部24b及びフランジ24eの上面第1受圧面に相当する受圧面P1で水素タンク11から弁空間21eに導かれた一次圧p1を開位置方向に受圧し、フランジ24eの下面第2受圧面に相当する受圧面P2において、前記一次圧p1を閉位置方向に受圧している。なお、受圧面P1は、テーパ面の一部分の領域であって、平面視で二次側領域21gより半径方向外側の領域である。各受圧面P1,P2において、一次圧p1は、互いに抗する方向に作用しており、互いに打ち消し合っている。受圧面P1,P2の受圧面積は、弁体24のフランジ24eより下端24d側と二次側領域21gの内径つまり、シート径とが略同じ外径を有しているので、略同一になっている。それ故、受圧面P1で受ける一次圧p1による作用力と、受圧面P2で受ける一次圧p1による作用力とが互いに相殺され、弁体24における一次圧p1の変動による影響を防ぐことができる。また、電磁式調圧弁14は、弁体24の上端及びテーパ部24bのテーパ面受圧面P3において二次側領域21gを流れる二次圧p2を開位置方向に受圧し、ダイヤフラムシール31及び弁体24の下端24d受圧面P4において圧力帰還室33に導かれた二次圧p2を閉位置方向に受圧する。なお、受圧面P4は、平面視で二次側領域21gに重なる領域である。受圧面P3,P4で受圧する二次圧p2は、互いに抗する方向に作用している。しかし、弁体24がシート径r1と略同じ外径r2を有しているのに対して、ダイヤフラムシール31の有効径r3が前記シート径r1及び弁体24の外径r2より大きくなっている。それ故、受圧面P3に比べて受圧面P4の方がダイヤフラムシール31の有効面積の分だけ受圧面積が大きくなっている。これにより、弁体24には、各受圧面P3,P4で受ける二次圧p2による作用力が完全に相殺されず、各受圧面P3,P4における受圧面積の差に応じた作用力が閉位置方向に作用している。また、弁体24は、復帰用ばね36に閉位置方向に付勢されて座部23に着座している。このように弁体24が二次圧p2による作用力及び復帰用ばね36によって閉位置方向に付勢されており、電磁式調圧弁14は、ノーマルクローズド型の弁として構成されている。これにより、ソレノイドコイル38流す電流を遮断することで弁通路22を緊急遮断することができるようになっている。<電磁式調圧弁の動作>以下では、図2を参照しながら電磁式調圧弁14の動作について説明する。車両のアクセルペダルが操作されると、その操作量に応じた電流つまり、目標圧力に応じた電流が制御器18からソレノイドコイル38に流される。そうすると、可動部材41に励磁力が作用し、可動部材41がヨーク39の方へ吸引される。これにより、押圧部材44によって弁体24が開位置方向に押されて座部23から離れる。そうすると、弁通路22が開かれ、弁空間21eの水素ガスが二次側領域21gへと流れる。この際、弁体24と座部23との間に形成されるオリフィス図示せずにより弁空間21eから二次側領域21gに流れる水素ガスが二次圧p2に減圧される。このように、電磁式調圧弁14は、ソレノイドコイル38に電流を流すと、弁体24が押圧部材44によって押されて弁通路が開くように構成されているつまり、プッシュ型の電磁式調圧弁である。二次側領域21gの水素ガスは、二次側通路21fを通って二次ポート21cから排出されると共に、ハウジング側均圧通路34を通って圧力帰還室33に導かれる。ダイヤフラムシール31は、圧力帰還室33に導かれた水素ガスの二次圧p2を受圧する。弁体24は、可動部材41が受ける励磁力、受圧面P3,P4で夫々受ける二次圧p2による作用力、圧縮コイルばね43のばね力、及び復帰用ばね36のばね力が釣り合う位置まで移動する。つまり、前記力が釣り合うように弁通路22の開度つまり、オリフィスの開度を調整して二次側領域21gに流れる水素ガスの二次圧p2を調整する。これにより、二次圧p2がアクセルペダルの操作量に応じた圧力、つまり目標圧力に制御される。二次圧p2を調整する場合について具体的に説明すると、例えば、二次圧p2が目標圧力より低い場合、励磁力が二次圧p2による作用力より大きくなり、弁体24が座部23から離れるように開位置方向に移動する。弁体24は、二次圧p2による作用力、励磁力、圧縮コイルばね43のばね力、及び復帰用ばね36のばね力が釣り合う位置まで移動し、それに伴って弁通路22の開度が広がって二次圧p2が上昇する。これにより、二次圧p2が目標圧力まで調圧される。それ故、電磁式調圧弁14は、一次圧p1が変動してもそれに合わせて弁通路22の開度を制御し、二次圧p2を目標圧力に調圧することができる。そのため、電磁式調圧弁14単体で、高圧の水素ガスを低圧の目標圧力まで高精度で調圧することができる。また、アクセルペダルが操作されてその操作量が変化し、制御器18が受け取る目標圧力が変化した場合も同様である。つまり、目標圧力が変化して制御器18がソレノイドコイル38に流す電流が増減して励磁力が増減し、その励磁力に二次圧p2による作用力、圧縮コイルばね43のばね力、及び復帰用ばね36のばね力が釣り合う位置まで弁体24が移動して弁通路22の開度を調整する。これにより、二次圧p2が変化した目標圧力に合うように調圧される。このように、電磁式調圧弁14は、二次圧p2を変動する目標圧力に追従して調圧し、さらに目標圧力に保持することができる。このように構成される電磁式調圧弁14では、受圧面P1及び受圧面P2の受圧面積を略同一にしているので、弁体24が一次圧p1から受ける作用力を相殺されている。これにより、一次圧p1の変動に起因する二次圧p2の変動を抑えることができる。それ故、高圧の水素ガスに対する圧力制御性を向上させることができ、二次圧p2を従来の電磁式調圧弁と同様に高精度で制御することができる。また、一次圧p1から受ける作用力を相殺することで、電磁比例ソレノイド37の励磁力を小さくすることができ、電磁式調圧弁14を小形化することができる。また、電磁式調圧弁14では、一次圧p1と二次圧p2との差圧が大きいので、電磁式調圧弁14作動中、意図しない外的要因により高圧シール部材28において弁空間21eからバッファ室30に水素ガスに僅かに漏れ出ることがある。しかし、バッファ室30が弁側均圧通路35を介して二次側領域21gに繋がっており、電磁式調圧弁14が高圧シール部材28で漏れ出た水素ガスを二次ポートから排出して燃料電池スタックへ導く安全構造となっている。また、電磁式調圧弁14は、バッファ室30が二次側領域21gに繋がっているので、バッファ室30の内圧が低くなっている。それ故、高圧シール部材28からバッファ室30に水素ガスが漏れても、バッファ室30の内圧が上昇しにくくなっている。それ故、一次側からバッファ室30に水素ガスが漏れても、その水素ガスが軸受部材収容空間26に漏れることを低圧シール部材29で十分防ぐことができる。つまり、軸受部材収容空間26を介して水素ガスが大気に漏れ出ることを防ぐことができる。また、ダイヤフラムシール31を採用することで、弁体24移動時の摺動摩擦を無くすことができる。また、摩擦抵抗の少ない低圧シール部材29を採用することで、極力、摺動摩擦を抑えることができる。このように弁体24に作用する摺動摩擦を抑えることで弁体24を滑らかに動かすことができる。これにより、目標圧力に二次圧を素早く調圧することができるようになり、二次圧の応答性が向上する。更に、高圧シール部材28を採用することで、電磁式調圧弁14の一次圧p1に対する耐圧性能が向上する。[第2実施形態]第2実施形態に係る水素ガス供給装置1Aは、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と構成が類似しているが、水素ガス供給装置1Aは、そこに備わる電磁式調圧弁14の受圧面積A1及び受圧面積A2が図3に示すように異なっているという点で第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と異なっている。以下では、その点について詳述する。第2実施形態に係る水素ガス供給装置1Aの電磁式調圧弁14Aでは、弁体14Aの外径r2がシート径r1より小さくなっている。それ故、受圧面P1の受圧面積が受圧面P2の受圧面積より小さくなっている。それ故、弁体24には、受圧面P1の受圧面積と受圧面P2の受圧面積との差に応じた一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用する。それ故、ソレノイドコイル38に流す電流を遮断した時の弁体24Aの閉位置に向かう速度が速くなり、遮断性能が向上する。また、一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用しているので、弁体24Aと座部23の着座部分のシール面圧が高くなる。それ故、電磁式調圧弁14Aは、一次側から二次側へと燃料ガスが漏れ出ないようにしっかりと弁通路22を閉じることができる。その他、第2実施形態に係る水素ガス供給装置1Aは、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と同様の作用効果を奏する。[第3実施形態]第3実施形態に係る水素ガス供給装置1Bは、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と構成が類似している。従って、第3実施形態に係る水素ガス供給装置1Bの構成について、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と異なる点についてだけ説明する。燃料電池システム2Bに備わる水素ガス供給装置1Bは、電磁式調圧弁14Bを備えている。電磁式調圧弁14Bは、オンタンク型の調圧弁であり、水素タンク11の開口部に配置されている。電磁式調圧弁14Bは、第1実施形態の電磁式調圧弁14と同じ構成を有しており、バルブブロック50と一体的に成型されているハウジング21図2参照を備えている。バルブブロック50は、水素タンク11図4参照の開口部内にシールを達成した状態で取付けられている。電磁式調圧弁14Bは、第1実施形態の電磁式調圧弁14と同様に、水素タンク11から流出する高圧の水素ガスを低圧に調圧して燃料電池スタック3に供給する機能を有している。それ故、水素タンク11の開口部に設けることで水素タンク11からの出力圧力レベルが低圧になり、水素ガス供給装置1Bの安全性が大幅に向上する。電磁式調圧弁14Bの上流側には、電磁式遮断弁15が設けられている。電磁式遮断弁15は、電磁式調圧弁14Bと共にバルブブロック50に一体的に設けられており、電磁式遮断弁15と電磁式調圧弁14Bとによって電磁式容器元弁51を構成している。また、電磁式調圧弁14Bの下流側には、電磁式遮断弁15Bが設けられている。電磁式遮断弁15Bは、電磁式遮断弁15と同様に水素ガス通路12を開閉する機能を有する低圧用の電磁弁である。電磁式遮断弁15Bに低圧用の電磁弁を採用することができるので、電磁式遮断弁15Bの製造コストを電磁式遮断弁15に比べて安価にすることができる。更に、電磁式遮断弁15Bは、例えば規定圧力以下でのみ開弁する製造コストが安価な直接駆動方式の電磁弁電磁ソレノイドの推力を小さくして、規定圧力を越える圧力になると、開弁しない一段形の電磁弁であることが望ましい。というのも、車両燃料電池システム2Bの停止中、電磁式調圧弁14Bに何らかの異常例えば、作動中の意図しない外的要因による高圧の水素ガスの漏れが発生すると、電磁式調圧弁15Bの上流側の圧力が高くなり、その上流側の圧力が前記規定圧力を超えると、次回の車両起動時に電磁式遮断弁15Bが開弁しなくなる。それ故、電磁式遮断弁15Bに直接駆動方式の電磁弁を用いた場合、規定圧力を越えた圧力の水素ガスが燃料電池スタック3に流れることを防ぐことができる。これにより、燃料電池スタック3を保護することができる。また、電磁式遮断弁15Bが開弁しないため、圧力センサを使用しなくても電磁式調圧弁の異常を推測検知することができる。その他、第3実施形態に係る水素ガス供給装置1Bは、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と同様の作用効果を奏する。[第4実施形態]第4実施形態に係る水素ガス供給装置1Cは、第3実施形態に係る水素ガス供給装置1Bと構成が類似している。従って、第4実施形態に係る水素ガス供給装置1Cの構成について、第3実施形態の水素ガス供給装置1Bと異なる点についてだけ説明する。燃料電池システム2Cに備わる水素ガス供給装置1Cでは、図5に示すように電磁式遮断弁15Bが取外されている。電磁式調圧弁14Bは、ノーマルクローズ形の弁であり、その下流側の圧力が規定圧力以上になると、水素ガス通路12を遮断するようになっている。それ故、水素ガス供給装置1Cのように電磁式遮断弁15Bが取外された構成であっても、に規定圧力を越えた圧力の水素ガスが燃料電池スタック3流れることを防ぐことができる。その他、第4実施形態に係る水素ガス供給装置1Cは、第3実施形態に係る水素ガス供給装置1Bと同様の作用効果を奏する。[第5実施形態]第5実施形態に係る水素ガス供給装置1Dは、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と構成が類似している。従って、第5実施形態に係る水素ガス供給装置1Dの構成について、第1実施形態の水素ガス供給装置1と異なる点についてだけ説明する。燃料電池システム2Dに備わる水素ガス供給装置1Dは、図6に示すように電磁式調圧弁14Dを備えている。電磁式調圧弁14Dは、インタンク型の調圧弁であり、水素タンク11の開口部内に設けられている。電磁式調圧弁14Dは、第1実施形態の電磁式調圧弁14と同様に、水素タンク11から流出する高圧の水素ガスを低圧に調圧して燃料電池スタック3に供給する機能を有している。電磁式調圧弁14Dの水素タンク11へのインタンク化と水素タンク11からの出力圧力レベルが低圧になり、水素ガス供給装置1Dの安全性が更に大幅に向上する。また、水素ガス供給装置1Dにおいて、電磁式調圧弁14Dより下流側には、電磁式遮断弁15Dが配置されている。それ故、電磁式遮断弁15Dは、低圧用の電磁式遮断弁を使用することができる。従って、第5実施形態に係る水素ガス供給装置1Dは、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と同様の作用効果を奏する。[第6実施形態]第6実施形態に係る水素ガス供給装置1Eは、第5実施形態に係る水素ガス供給装置1Dと構成が類似している。従って、第5実施形態に係る水素ガス供給装置1Eの構成について、第5実施形態の水素ガス供給装置1Dと異なる点についてだけ説明する。燃料電池システム2Eに備わる水素ガス供給装置1Eでは、図7に示すように電磁式遮断弁15Dが取外されている。電磁式調圧弁14Dは、ノーマルクローズ形の弁であり、その下流側の圧力が規定圧力以上になると、水素ガス通路12を遮断するようになっている。それ故、水素ガス供給装置1Eのように電磁式遮断弁15Bが取外された構成であっても、規定圧力を越えた圧力の水素ガスが燃料電池スタック3に流れることを防ぐことができる。その他、第6実施形態に係る水素ガス供給装置1Eは、第5実施形態に係る水素ガス供給装置1Dと同様の作用効果を奏する。[第7実施形態]第7実施形態に係る水素ガス供給装置1Fは、図8に示すような調圧弁14Fを有している。調圧弁14Fは、電磁比例ソレノイド37に代えて圧電アクチュエータ37Fを備えている。圧電アクチュエータ37Fは、圧電素子例えば、ピエゾ素子から成り、印加される印加電圧に応じた駆動力を発生し、押圧部材44を介して弁体24を開位置方向に動かして弁通路22を開くようになっている。この際、弁通路22は、発生する駆動力に応じた開度で開き、電磁式調圧弁14Fもまた、圧電アクチュエータ37Fに印加される印加電圧に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。その他、第7実施形態に係る水素ガス供給装置1Fは、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[第8実施形態]第8実施形態に係る水素ガス供給装置1Gは、図9に示すような調圧弁14Gを有している。調圧弁14Gは、電磁比例ソレノイド37に代えてフォースモータ37Gを備えている。フォースモータ37Gは、円筒状の永久磁石61の中に可動コイル62が挿入されており、可動コイル62に電流を流すと電流に応じた励磁力が発生し、この励磁力により可動コイル62がヨーク63内を下方に動くようになっている。可動コイル62が下方に動くことでそれに一体的に設けられている押圧部材44によって弁体24が開位置方向に押されて弁通路22が開く。この際、弁通路22は、発生する励磁力に応じた開度で開き、調圧弁14Gもまたフォースモータ37Gに流される電流に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。その他、第8実施形態に係る水素ガス供給装置1Gは、第1実施形態に係る水素ガス供給装置1と同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[その他の形態について]本実施形態では、圧力帰還室33の二次圧p2をダイヤフラムシール31で受圧しているが、必ずしもダイヤフラムシールでなくてもよく、Oリングなどの低圧シール部材であってもよい。この場合、弁体24の下端側の外径をシート径より大きくすることによって、第1実施形態の電磁式調圧弁14と同様の作用効果を達成することができる。また、本実施形態の電磁式調圧弁14は、プッシュ型の電磁式調圧弁であるが、プル型の電磁式調圧弁であってもよい。また、本実施形態では、2つの均圧通路34,35がハウジング21及び弁体24に別々に形成されているが、2つの均圧通路34,35が弁体24及びハウジング21の何れか一方に纏めて形成されていてもよいまた、電磁式調圧弁14,14A,14B,14Dは、弁体駆動手段である電磁比例ソレノイド37に流す電流を調整することにより弁通路22の開度を制御できるようになっているが、電磁比例ソレノイド37に印加する電圧を調整することにより弁通路22の開度を制御してもよい。他の弁体駆動手段の場合も同様である。"