"基部と、基部より延出し振動する脚とを有する圧電振動子の製造方法であって、前記脚に前記脚を振動させる励振電極を形成する工程と、前記脚に共振周波数を調整するための調整膜を形成する工程と、前記励振電極と前記調整膜が形成された前記圧電振動子の共振周波数を測定する工程と、前記測定した共振周波数から所望の共振周波数となるように、前記調整膜を除去する部位と量とを決定する工程と、前工程で決定された前記調整膜を除去する部位と量に基づき前記調整膜を除去する工程とを有し、前記調整膜を除去する部位は、前記調整膜除去時の一次温度係数変化量が零となる点近傍であることを特徴とする圧電振動子の製造方法。前記脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状であり、前記脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に前記脚を振動させる励振電極が形成され、前記脚の裏面と第一の側面と第二の側面に共振周波数を調整するための調整膜が形成され、前記調整膜を除去する部位は、前記脚の裏面に形成され、前記脚自由端側の幅方向両端部に位置する調整膜であることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の製造方法。前記圧電振動子は、水晶からなり、前記基部の幅方向を水晶の結晶軸のX軸とし、前記脚の延出方向を水晶の結晶軸のY軸と一致させた状態から、結晶軸のX軸を中心に回転し、Y軸より31度~36度の範囲にあることを特徴とする請求項1から2のいずれかに記載の圧電振動子の製造方法。請求項1から3のいずれか1つに記載の圧電振動子の製造方法で製造されたことを特徴とする捩りモード圧電振動子。しかしながら、特許文献1には、所望の共振周波数に調整する具体的手段の開示がなされていなかった。通常の音叉型振動子では、共振周波数を調整するためによく使われる手段として、脚の先端付近に質量となる金属膜を調整用の膜として成膜しておき、その調整用の膜を何らかの方法で一部除去をおこない、質量を調整することにより、共振周波数を調整する手段がある。3脚捩りモード圧電振動子においても、脚の先端付近に調整膜を成膜して、その一部を除去することで周波数を調整することができるが、以下の課題が発生した。共振周波数を調整する目的のために、調整膜を除去することで、共振周波数の温度特性も変化してしまうことがわかった。図11は共振周波数の温度特性のグラフで、調整膜の除去有無による共振周波数の温度特性の違いを示している。調整膜除去がないときの温度特性曲線が図11の実線で、調整膜を除去したときの温度特性曲線が図11の破線であり、非常に大きな違いがあり結果として、温度特性が規格を逸脱してしまう不具合となることが分かった。さらに、共振周波数の温度特性曲線は、脚の幅Wと脚の厚みHさらには電極膜の厚みによっても変化し、その影響度が非常に大きく、製造工程の工程精度では温度特性曲線が必要な範囲の中で収まらず、仕様を逸脱してしまうことが分かった。このように、3脚捩りモード圧電振動子は、その共振周波数の温度特性の良さに利点があるにもかかわらず、温度特性の頂点温度を所望の規格に入れて、しかも共振周波数を所望の値にすることを同時に満足させることが容易でないとう課題があった。上記課題を解決するために、本発明の目的は、共振周波数の温度特性曲線の影響を考慮した調整膜の調整手段を提供することにある。基部と、基部より延出し振動する脚とを有する圧電振動子の製造方法であって、前記脚に前記脚を振動させる励振電極を形成する工程と、前記脚に共振周波数を調整するための調整膜を形成する工程と、前記励振電極と前記調整膜が形成された前記圧電振動子の共振周波数を測定する工程と、前記測定した共振周波数から所望の共振周波数となるように、前記調整膜を除去する部位と量とを決定する工程と、前工程で決定された前記調整膜を除去する部位と量に基づき前記調整膜を除去する工程とを有し、前記調整膜を除去する部位は、前記調整膜除去時の一次温度係数変化量が零となる点近傍である圧電振動子の製造方法とする。前記脚は、表面と裏面と第一の側面と第二の側面とを有する角柱状であり、前記脚の表面、裏面、第一の側面、第二の側面に前記脚を振動させる励振電極が形成され、前記脚の裏面と第一の側面と第二の側面に共振周波数を調整するための調整膜が形成され、前記調整膜を除去する部位は、前記脚の裏面に形成され、前記脚自由端側の幅方向両端部に位置する調整膜である圧電振動子の製造方法とする。前記圧電振動子は、水晶からなり、前記基部の幅方向を水晶の結晶軸のX軸とし、前記脚の前記基部からの延出方向を水晶の結晶軸のY軸と一致させた状態から、結晶軸のX軸を中心に回転し、Y軸より31度から36度の範囲にある圧電振動子の製造方法とする。前記圧電振動子の製造方法で製造された圧電振動子とする。本発明によって、圧電振動子の共振周波数調整の際に、圧電振動子の一次温度係数の変化が起こらない、あるいは低減でき、。圧電振動子を所望の共振周波数、一次温度係数にすることを高精度に実施することが可能となる。発明を実施する形態を図面を参照しながら、3脚捩りモード圧電振動子を例に説明する。図1は、3脚捩りモード圧電振動子を示す図である。図1のaは3脚捩りモード振動子の表面を示す図であり、b、cはそれぞれ側面、裏面を示す図である。3脚捩りモード振動子は、基部1に同一方向へ平行に延びた3本の脚2、3、4が連結されている。脚3が中央の脚である。本実施例においては、基部1及び脚2、3、4は、水晶で作られている。結晶方位は、図8に示すように、X軸周りにθ1度回転させたXY平面内にある。θ1は、31度~36度の範囲にある。圧電振動子の表面は、-Z側を表面と定義する。したがって裏面は、Z側である。各脚の先端は、水晶エッチングの異方性より垂直でない端面となり、表面のほうが裏面より短くなるような斜めの端面16、19、22がそれぞれ脚2、3、4に形成される。各脚の面上には、励振電極が形成されている。励振電極は、脚2の基部側に近い表面に表面電極7、脚3の基部側に近い表面に表面電極8、脚4の基部側に近い表面に表面電極9として長方形に形成されている。同様に脚2の裏面には、裏面電極10、脚3の裏面には裏面電極11、脚4の裏面には、裏面電極12が形成されている。また、脚2の第一の側面17と第二の側面18には、側面電極13が脚表面および裏面の中央付近を介し導通するように形成され、脚3の第一の側面20と第二の側面21には、側面電極14が脚表面および裏面の中央付近を介し導通するように形成され、脚4の第一の側面23と第二の側面24には、側面電極15が脚表面および裏面の中央付近を介し導通するように形成されている。表面電極7と9、および裏面電極10と12、および側面電極14は、基部1において基部1に形成されている接続電極6につながれている。一方、表面電極8と裏面電極11、および側面電極13と15は、基部1において基部1に形成されている接続電極5につながれている。本実施例では、それぞれの励振電極は、クロム下地で金のスパッタ膜が形成されている。膜厚は、クロムが200Å程度、金が1200Å程度である。以上の構成により、励振電極に発振回路を接続して捩りモードの振動を発振させることが可能となる。中央の脚3と両脇の脚2、4は、逆の捩り方向となり、モーメントのつりあいを実現している。また、脚2、3、4のそれぞれの先端よりの第一の側面、第二の側面と裏面には、調整膜25、26、27が形成されている。調整膜は、クロム下地で銀の蒸着膜が形成されており、膜厚は、クロムが200Å、銀が1~5μm程度である。調整膜25、26、27をレーザービームなどによりその一部を適宜削っていくことにより、調整膜の25、26、27の質量を変化させ、捩りモードの共振周波数を所望の値に調整することができる。図5はレーザービームにより裏面にある調整膜を削って共振周波数を調整するときの状態を示す図であり、脚をその長さ方向に切断したときの脚先端拡大図である。本実施例では、調整膜は裏面に形成されており図5に示すように調整膜を除去する。レーザービームは表面から入射させ、調整膜25、26、27を除去して質量調整を行う。レーザービーム径は、10μm~50μm程度であり、ほぼ丸いスポットで調整膜を除去する。レーザービームの照射位置を変えながら調整膜の除去を繰り返す。本実施例と逆に調整膜が表面にある場合は、図15のように裏面からレーザービームを照射して表面の調整膜を除去する。ここで図15では、表面が下に示されている。この場合、脚先端部の端面が斜めになっているので、そこにレーザービームが照射されると脚先端部の端面で反射して脚の表面、裏面で反射をして、予期せぬ部位の調整膜や電極膜にダメージを与えたり、除去されてしまうことがあり、製品の品質を著しく損なう危険性がある。一方、本実施例では、脚先端部の斜めの端面にレーザービームを照射しても脚の内部への反射は発生せず、予期せぬダメージは、発生しない。図2は、本実施例における調整膜をレーザービームで除去した後の状態の一例を示す図であり、aは3脚捩りモード振動子の表面を示す図であり、b、cはそれぞれ側面、裏面を示す図である。図中のA、Cは調整膜が除去された部分である。3つの脚それぞれ、調整膜を均等に除去している。調整膜の除去は、脚の先端に近いほうから行われ、除去する長さは、3脚捩りモード圧電振動子の共振周波数を測定し、所望の共振周波数との差から調整膜の周波数調整除去量すなわち調整膜を除去する長さを決定する。また調整膜は脚の幅方向中央1/3ほどの部分を残して、幅方向両端すなわち図2におけるA部とC部を除去している。上記の部位を除去するように選択した理由を説明する。図14は、調整膜の除去部位を変えて、調整膜を除去したときの除去前後での共振周波数の変化の相対比率を示す図である。脚は3脚あり、除去部位は、常に3脚とも同じ部位を除去することにした。座標設定は、脚の幅方向がx方向で幅中心をゼロとし、脚の長手方向をy方向とし、脚先端をゼロとした。x軸、y軸の値は、調整膜の全幅、および全長さを1と定義した数値で表している。たとえば、図中点Pxp、ypの調整膜をレーザーにて除去したときの共振周波数の変化を相対比率としてgxp、ypとすると、場所により異なる変化量となることが分かった。これは捩りモードの振動であるので、捩りモーメントに相関があるため、幅中心付近で変化は少なく、幅方向端部で変化が最大となる。脚長手方向y方向でも若干の差があり、脚先端部に近いほど変化が大きいことがわかった。したがって、共振周波数を効率良く調整するためには、脚の先端側であり幅方向端部が良いことがわかる。次いで共振周波数の温度特性であるが、共振周波数の温度特性は図10に示すように概略二次曲線をしており、常温付近に頂点を持ち、低温部、高温部で共振周波数が低くなる。調整膜を除去すると、共振周波数が変化するとともに、一次温度係数が変化することが実験により分かった。つまり、温度特性の概略二次曲線の頂点の温度である頂点温度が、変化していくことが分かった。また温度特性の概略二次曲線は、三次曲線の一部分であることもわかり、三次曲線の一部分である二次曲線部の頂点温度の変化は、三次曲線の一次温度係数の変化により発生し、一次温度係数の変化によっては実質的に頂点温度が無くなる、つまり、頂点のない三次曲線となる場合も発生する。ここで、共振周波数の相対値ΔF/Fの温度特性を温度Tの関数で表すと、ΔF/FT=A3×T-T0^3A1T-T0A0と表わされる。A3は、3次曲線の鋭さを表し、A1は一次の傾きを表す。T0は、変曲点温度である。頂点温度が存在するときの頂点温度Zは、ZT0-√-A1/3/A3という関係となる。図12は、調整膜の除去部位を変えて、調整膜を除去したときの除去前後での共振周波数の一次温度係数Bの変化の相対比率を示す図である。脚は3脚あり、除去部位は、常に3脚とも同じ部分を除去することにした。座標設定は、脚の幅方向がx方向で幅中心をゼロとし、脚の長手方向をy方向とし、脚先端をゼロとした。x軸、y軸の値は、調整膜の全幅、および全長さを1と定義した数値で表している。たとえば、図中点Pxp、ypの調整膜をレーザーにて除去したときの共振周波数の一次温度係数Bの変化を相対比率としてkxp、ypとすると、場所により異なる変化量となることが分かった。幅中心付近での変化が最も大きく、幅方向端部で変化が最小となる。脚長手方向y方向で、脚先端からある一定の距離の点までは、変化の方向がマイナスであり、それより長い距離の点では、変化の方向がプラスとなることがわかった。一次温度係数A1が変化すると頂点温度Zが変化し、振動子の仕様で決められている頂点温度の範囲を逸脱してしまうと、不良品となる。したがって、共振周波数を調整するために調整膜を除去する際には、なるべく頂点温度Zが変化しない、つまり一次温度係数の変化が零となるように調整膜を除去する部位を選ぶことが理想であり、その部位とは、脚の幅方向端部近傍、あるいは脚先端からある一定の距離の点であり一次温度係数の変化方向がプラスからマイナスに切り替わる点の近傍である。以上のことを踏まえ図14の共振周波数の変化と図12の一次温度係数の変化とを総合して考えると、共振周波数を効率的に調整でき、かつ共振周波数調整時の調整膜除去による一次温度係数の変化が小さい部位として、図2に示されるA部とC部、すなわち、脚の先端側であり、脚の幅方向中央1/3ほどの部分を残した幅方向両端を除去するのが最適であることが分かる。図13は、調整膜を調整膜先端から連続的に除去する長さと共振周波数の頂点温度の変化の相対比率の関係を示す図である。x軸、y軸の値は、調整膜の全幅、および全長さを1と定義した数値で表している。図2で示すように脚の幅方向中央1/3ほどの部分をBとし、残り幅方向両端をA及びC部として、3つ脚2、3、4とも除去していくと、それぞれBのみを除去した場合の変化が破線であり、A及びC部を除去した場合の変化が実線となる。この図に示すように、先端部付近のA及びC部を除去するときがもっとも頂点温度の変化が少ない。A及びC部であっても脚の長手方向基部に近いほうを除去すると変化が大きくなっていく。ただし、長手方向で頂点温度の変化の方向が逆転する点Eがあるので、その逆転する点付近を除去する場合がもっとも変化が少ない結果であった。以上が、図2に示す調整膜を除去する部位を決定した理由である。図2に示す実施励の変形として、脚幅方向両端であり、長手方向で頂点温度の変化の方向が逆転する点図13における点Eを中心とし脚先端側と根元側の調整膜を均等に除去すれば、より一次温度係数の変化を少なくしつつ、共振周波数を調整することができる。また、調整膜の除去部位によって一次温度係数に変化があることは、逆に、調整膜を付加するときにも一次温度係数を変化させることを意味する。実際に、調整膜を蒸着するときに、一定の長さ分を3つの脚に蒸着するようにマスキングをして、蒸着装置によって蒸着させるが、マスキング治具と圧電振動子の位置合わせがずれると調整膜の長さが変わってしまい、長さがばらつくことになる。長さがばらついた結果、一次温度係数もばらつくことになる。上記問題を解決するため、図3に示すように、3つの脚のそれぞれの調整膜25、26,27の根元に近いD部をレーザービームで除去し、調整膜の蒸着時にばらついた調整膜の長さを一定の長さに切り揃える工程を設ける。切り揃える長さは、調整膜の蒸着時にばらつく長さを考慮して、ばらつきの中で最小の長さとなるときの長さとする。たとえば長さばらつきが、1.0mm±0.1mmあるとすると、切り揃える長さは、0.9mmとなる。捩りモード圧電振動子の設計においては、この切り揃えた長さにおいて、共振周波数の温度特性が所望の値になるように設計をしておく。手段としては圧電振動子の結晶方位を調整しておくことで実現できる。切り揃える工程の後に共振周波数調整のための調整膜を除去する工程を行うようにする。すなわち、除去する箇所は、脚の先端に近いほうから行われ、脚の幅方向中央1/3ほどの部分を残して、幅方向両端すなわち図2におけるA部とC部を除去している。除去する長さは、3脚捩りモード圧電振動子の共振周波数を測定し、所望の共振周波数との差から調整膜の除去量すなわち調整膜を除去する長さを決定する。このようにすることで、調整膜の長さのばらつきによる一次温度係数のばらつきを抑えることができる。これまで述べてきたように、3脚捩りモード圧電振動子の一次温度係数は、調整膜の長さや除去量、結晶方位に依存するが、ほかにも温度特性に影響を与えるパラメータは、多数存在する。3脚捩りモード圧電振動子の脚の幅W、脚の厚みH、励振電極膜の厚みtもその例であり、影響も大きな部類に属する。本実施例では、これら脚の幅W、脚の厚みH、励振電極の厚みtの温度特性の影響を低減する方策を実現する。まず、3脚捩りモード圧電振動子の製造工程において、上記、脚の幅W、脚の厚みH、励振電極膜の厚みtを測定し、測定された脚の幅Wと脚の厚みHと励振電極膜の厚みtを用いて一次温度係数を推定する。このとき、脚の幅Wの変化や脚の厚みHの変化、励振電極の厚みtの変化が一次温度係数をどのように変化させるかは、あらかじめ実験をして構築しておいた関係式を使う。推定した一次温度係数と所望の一次温度係数との差から調整膜の除去量すなわち調整膜を除去する長さを決定する。除去する長さと一次温度係数の変化量との関係は、あらかじめ実験で構築しておいた関係式を使う。次に、各脚の裏面にあり基部に近い側の脚の幅方向中心部の調整膜を除去量分だけ除去する。図3におけるF部を除去する。一次温度係数を調整するための除去量は、このF部の長さであり、この部分は、図12に示すように調整膜の除去前後で一次温度係数が最も変化する部位でありかつ図14に示すように調整膜の除去前後で共振周波数が最も変化しない部位に相当する。したがって、一次温度係数は変化し、共振周波数は変化しない。次に、一次温度係数を調整するための除去量を除去した状態の3脚捩りモード圧電振動子の共振周波数を測定し、所望の共振周波数との差から調整膜の除去量すなわち調整膜を除去する長さを決定する。除去する箇所は、脚の先端に近いほうから行われ、脚の幅方向中央1/3ほどの部分を残して、幅方向両端すなわち図4におけるA部とC部を除去する。除去する長さは、共振周波数を調整するための除去量である。A部とC部は、図14に示すように共振周波数の変化が最も大きい部位であり、かつ図12に示すように調整膜の除去前後で一次温度係数が最も変化しない部位に相当する。したがって、共振周波数は、変化し、一次温度係数は、変化しない。共振周波数を調整した後、3脚捩りモード圧電振動子は、図6に示す収納容器内に気密封止する工程を経て、3脚捩りモード圧電振動子が完成する。図6のaからb、c、d、eの順番で工程が実施される。図6のaでは、3脚捩りモード圧電振動子100をセラミックパッケージ101へ導電性接着材102を用いて接着固定する。図6のbは、接着固定後の状態である。次に図6のcではイオンガン103にてイオンビームを発生させ、イオンビームによって、3脚捩りモード圧電振動子の電極をうすく削って、共振周波数を微調整を行う。3脚捩りモード圧電振動子の調整膜で共振周波数を調整してきたが、さらに微調整をおこなって、所望の周波数に近づける工程である。図6のcの工程は、真空中で行われる。図6のdの工程は、金属のリッド104を用いて、セラミックパッケージ101とで、振動片を気密封止するように、金すずのロウ材105を真空中で溶融させてロウ付けする工程である。図6のeは、気密封止した後の状態を示す図である。このようにして、3脚捩りモード圧電振動子が完成する。以上のように調整膜を除去する部位を使い分けて、温度特性のみ調整したり、共振周波数のみ調整したりすることができ、一次温度係数と共振周波数との両方を所望の値に調整することができる。実施例1では一次温度係数を3脚捩りモード圧電振動子の脚の幅W、脚の厚みH、励振電極膜の厚みtから推定し、推定値を用いて一次温度係数を調整するための除去量を決定した。本実施例では、一次温度係数を直接測定して、所望の一次温度係数との差から除去量を決定する方法を行う。図7は本実施例における3脚捩りモード圧電振動子の気密封止をする工程および一次温度係数および共振周波数を調整する工程を説明する図である。図13にそって本実施例を説明する。図7のaからb、c、d、eの順番で工程が実施される。図7のaでは、3脚捩りモード圧電振動子200をパッケージ201へ導電性接着材202を用いて接着固定する。図7のbは、接着固定後の状態である。つぎに図7のcの工程は、レーザー光が透過するリッド204を用いて、パッケージ201とで、振動片を気密封止するように、金すずのロウ材105を真空中で溶融させてロウ付けする工程である。本実施例では、パッケージにガラスあるいはセラミックを使用し、リッドにはガラスを使用し、金すずのロウ材を使用したが、パッケージ201とリッド204の材料をシリコンを用いて製作する場合は、ロウ材に何も使わず、表面活性化接合法で真空中にて接合する方法も可能である。あるいは、パッケージ201とリッド204をガラスかシリコンを使用し、それぞれの接合面に金などの薄膜を形成して、表面活性化接合などの方法によって接合する方法も可能である。あるいは、シリコンのパッケージとガラスのリッドなどの組合せも可能である。図6のdは、気密封止した後の状態を示す図である。このようにして、3脚捩りモード圧電振動子の気密封止された状態が完成する。つぎに図7のeは、レーザービームを用いて3脚捩りモード圧電振動子の調整膜を除去する工程である。リッド204にガラスを用いている場合は、ガラスを透過するいろいろな波長のレーザービームが使用できる。たとえば、YVO4といった材料を用いたグリーンレーザーで波長532nmや、半導体レーザー1064nmでも良い。リッド204にシリコンを使用している場合は、可視光レーザーではなく、赤外線領域のレーザーを利用することができる。図7のeの工程の詳細を説明する。まず、3脚捩りーモード圧電振動子の一次温度係数の測定をするために、本実施例では、3脚捩りモード圧電振動子を収納容器にて気密封止し、3脚捩りモード圧電振動子に完成させた後に温度を変えながら共振周波数を測定できる温度特性測定装置を使って一次温度係数を測定する。測定した一次温度係数と所望の一次温度係数との差から調整膜の除去量すなわち調整膜を除去する長さを決定する。除去する長さと一次温度係数の変化量との関係は、あらかじめ実験で構築しておいた関係式を使う。次に、各脚の裏面にあり基部に近い側の脚の幅方向中心部の調整膜を除去量分だけ除去する。図3におけるF部を除去する。一次温度係数を調整するための除去量は、このF部の長さであり、この部分は、図12に示すように調整膜の除去前後で一次温度係数が最も変化する部位でありかつ図14に示すように調整膜の除去前後で共振周波数が最も変化しない部位に相当する。したがって、一次温度係数は変化し、共振周波数は変化しない。除去には、前述したレーザービームを用いてレーザー光が透過するリッド204を通して、調整膜にレーザービームを照射し、除去を行う。レーザービームは、図示しない光学系を用いて、調整膜の上で焦点が合うようにかつ、リッド204では、焦点にならないように構成してリッド204の中でレーザー光のエネルギーが集中しないようにすることでレーザービームによるリッド204の損傷を防ぐようにすることも可能である。次に、一次温度係数を調整するための除去量を除去した状態の3脚捩りモード圧電振動子の共振周波数を測定し、所望の共振周波数との差から調整膜の除去量すなわち調整膜を除去する長さを決定する。除去する箇所は、脚の先端に近いほうから行われ、脚の幅方向中央1/3ほどの部分を残して、幅方向両端すなわち図4におけるA部とC部を除去する。除去する長さは、前記周波数調整除去量である。A部とC部は、図14に示すように共振周波数の変化が最も大きい部位であり、かつ図12に示すように調整膜の除去前後で一次温度係数が最も変化しない部位に相当する。したがって、共振周波数は、変化し、一次温度係数は、変化しない。以上のように調整膜を除去する部位を使い分けて、一次温度係数のみ調整したり、共振周波数のみ調整したりすることができ、一次温度係数と共振周波数との両方を所望の値に調整することができる。本実施例では、3脚圧電モード捩り振動子の気密封止を完成させた後に、一次温度係数の測定結果から一次温度係数の調整が可能となり、および共振周波数の調整が可能となり、3脚捩りモード圧電振動子の所望の一次温度係数や共振周波数にすることを高精度に実施することが可能である。"