"原料を100MPa~245MPaで加圧するプランジャポンプと、原料を投入するための第1の供給口からプランジャポンプの供給口へ原料を供給する第1流路と、プランジャポンプのハウジング内部から粉砕室チャンバー内に設けられた噴射ノズルまで加圧された原料を供給する第2流路とを備え、加圧された原料を前記粉砕室噴射ノズルから噴射して、粉砕室チャンバー内で衝突させて原料を粉砕する湿式微粒化装置であって、前記第1の供給口に蒸気を吹き込む蒸気供給装置と、前記粉砕室内の噴射ノズル直前に設けられた蒸気の一部を流路外へ排出する粉砕室用圧力調整弁とを備え、前記蒸気供給装置から前記第1流路を介してプランジャポンプのハウジングの内部空間に蒸気を供給し、供給された蒸気を前記第2流路を介して排出し、前記粉砕室用圧力調整弁によって、蒸気の一部を流路外へ排出しながら第1流路とハウジングの内部空間と粉砕室内の噴射ノズルを含む第2流路とを、121°C以上の滅菌温度で所定時間維持することを特徴とすることを特徴とする滅菌手段を備えた湿式微粒化装置。前記プランジャポンプのハウジング内で発生した凝結水を流路外へ排出するプランジャ用ドレン排出手段を更に備え、前記プランジャ用ドレン排出手段が、プランジャポンプのハウジングの内部空間に連通するドレン穴と、このドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出するプランジャ用圧力調整弁と、ドレン穴とプランジャ用圧力調整弁との間に設けられ、滅菌状態の際には開放し滅菌終了後には閉塞するシール手段とを含むことを特徴とする請求項1に記載の滅菌手段を備えた湿式微粒化装置。前記粉砕室内の噴射ノズル直前に設けられた粉砕室用圧力調整弁が、前記粉砕室内の噴射ノズルの狭い流路の高圧側流路から分岐された高圧側ドレン穴と、この高圧側ドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出するドレン抜き手段と、前記高圧側ドレン穴とドレン抜き手段との間に設けられ、滅菌状態の際には開放し滅菌終了後には閉塞するシール手段とを備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の滅菌手段を備えた湿式微粒化装置。前記蒸気供給装置の蒸気を、前記粉砕室で粉砕された原料を排出する排出流路を経由して粉砕室に導く第3流路を更に備え、前記第3流路には、粉砕室に導かれた第3流路から分岐された低圧側ドレン穴と、この低圧側ドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出する圧力調整弁と、を備えたことを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の滅菌手段を備えた湿式微粒化装置。前記第1流路及び第2流路が、蒸気の流通方向に対して少なくとも1/100以上の下がり勾配で配置された配管を含み、前記第1流路及び第2流路の下がり勾配で配置された配管の低圧側に凝結水を流路外へ排出する他のドレン抜き手段を更に備えたことを特徴とする請求項1~4の何れか1項に記載の滅菌手段を備えた湿式微粒化装置。前記ドレン抜き手段が、圧力調整弁、手動用ドレン抜きバルブ、又は、オリフィスの何れかより選ばれたことを特徴とする請求項5に記載の滅菌手段を備えた湿式微粒化装置。前記プランジャポンプと、第1又は第2流路とを含む1箇所以上に温度検知手段を更に備えたことを特徴とする請求項1~6の何れか1項に記載の滅菌手段を備えた湿式微粒化装置。ところが、高圧噴射型の微粒化装置においてはその構造上蒸気を通すことが困難なため、通常、流路を分解し滅菌装置オートクレーブ等に部品を投入し、個々に滅菌洗浄していた。その後、部品を組み付けることとなるが、そのときに空気や人の手に触れることで原料処理前に再度菌が付着する可能性があった。菌の再付着を防ぐ方法として、流路の分解無しで蒸気を流す定置滅菌SIPがあるが、高圧噴射型の微粒化装置の場合、SIPの採用が困難であった。具体的に説明すると、高圧噴射型の微粒化装置のような高圧配管の場合は特に蒸気の通過が困難であった。通常、滅菌を要する箇所装置の流路内に蒸気を供給することによって流路内を滅菌するが、滅菌を行う際、単に蒸気を供給するだけでは、蒸気が流路内に接触することによって、蒸気が凝結し、外部に排出し難くなり、結果的に供給された蒸気が排出されず、流路内部で滞留してしまう、といった課題があった。更に、蒸気滅菌を行う流路のどの箇所においても、適切な温度、時間などの滅菌条件を満たす必要がある、といった課題があった。本発明は、上述の課題を鑑み、湿式微粒化装置において、流路内部空間における蒸気の凝結および滞留を抑制することによって、滅菌を効果的に行うことができるとともに、定期的に滅菌条件を測定することによって、滅菌状態の管理を効果的に行うことができる蒸気滅菌手段を備えた湿式微粒化装置を得ることを目的とする。請求項1に係る滅菌手段を備えた湿式微粒化装置は、原料を100MPa~245MPaで加圧するプランジャポンプと、原料を投入するための第1の供給口からプランジャポンプの供給口へ原料を供給する第1流路と、プランジャポンプのハウジング内部から粉砕室チャンバー内に設けられた噴射ノズルまで加圧された原料を供給する第2流路とを備え、加圧された原料を前記粉砕室噴射ノズルから噴射して、粉砕室チャンバー内で衝突させて原料を粉砕する湿式微粒化装置であって、前記第1の供給口に蒸気を吹き込む蒸気供給装置と、前記粉砕室内の噴射ノズル直前に設けられた蒸気の一部を流路外へ排出する粉砕室用圧力調整弁とを備え、前記蒸気供給装置から前記第1流路を介してプランジャポンプのハウジングの内部空間に蒸気を供給し、供給された蒸気を前記第2流路を介して排出し、前記粉砕室用圧力調整弁によって、蒸気の一部を流路外へ排出しながら第1流路とハウジングの内部空間と粉砕室内の噴射ノズルを含む第2流路とを、121°C以上の滅菌温度で所定時間維持することを特徴とするものである。請求項2に係る滅菌手段を備えた湿式微粒化装置は、請求項1に係るプランジャポンプのハウジング内で発生した凝結水を流路外へ排出するプランジャ用ドレン排出手段を更に備え、前記プランジャ用ドレン排出手段が、プランジャポンプのハウジングの内部空間に連通するドレン穴と、このドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出するプランジャ用圧力調整弁と、ドレン穴とプランジャ用圧力調整弁との間に設けられ、滅菌状態の際には開放し滅菌終了後には閉塞するシール手段とを含むことを特徴とするものである。請求項3に係る滅菌手段を備えた湿式微粒化装置は、請求項1又は2に記載の粉砕室内の噴射ノズル直前に設けられた粉砕室用圧力調整弁が、前記粉砕室内の噴射ノズルの狭い流路の高圧側流路から分岐された高圧側ドレン穴と、この高圧側ドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出するドレン抜き手段と、前記高圧側ドレン穴とドレン抜き手段との間に設けられ、滅菌状態の際には開放し滅菌終了後には閉塞するシール手段とを備えたことを特徴とするものである。請求項4に係る滅菌手段を備えた湿式微粒化装置は、請求項1~3の何れか1項に記載の蒸気供給装置の蒸気を、前記粉砕室で粉砕された原料を排出する排出流路を経由して粉砕室に導く第3流路を更に備え、前記第3流路には、粉砕室に導かれた第3流路から分岐された低圧側ドレン穴と、この低圧側ドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出する圧力調整弁と、を備えたことを特徴とするものである。請求項5に係る滅菌手段を備えた湿式微粒化装置は、請求項1~4の何れか1項に記載の第1流路及び第2流路が、蒸気の流通方向に対して少なくとも1/100以上の下がり勾配で配置された配管を含み、前記第1流路及び第2流路の下がり勾配で配置された配管の低圧側に凝結水を流路外へ排出する他のドレン抜き手段を更に備えたことを特徴とするものである。請求項6に係る滅菌手段を備えた湿式微粒化装置は、請求項5に記載のドレン抜き手段が、圧力調整弁、手動用ドレン抜きバルブ、又は、オリフィスの何れかより選ばれたことを特徴とするものである。請求項7に係る滅菌手段を備えた湿式微粒化装置は、請求項1~6の何れか1項に記載のプランジャポンプと、第1又は第2流路とを含む1箇所以上に温度検知手段を更に備えたことを特徴とするものである。本発明は、高圧噴射型の微粒化装置において、蒸気の一部を流路外へ排出することにより、流路内を蒸気によって121°C以上の滅菌温度で30分間以上の所定時間維持することができる。また、蒸気滅菌後ドレン部をねじ締め構造等のシール手段で高圧シールすることで液体を245MPaまで昇圧しても耐えることができる。更に、プランジャの往復運動によって、シール部から抜けた部分のプランジャを蒸気滅菌できる構造としたため、高圧シール部を蒸気滅菌することができる。また、100~245MPaの高圧シールに耐熱性を持たせたために、121°C以上の滅菌温度で30分間以上維持するといった蒸気滅菌の条件を満たすことができる。本発明では、原料を100MPa~245MPaで加圧するプランジャポンプと、原料を投入するための第1の供給口からプランジャポンプの供給口へ原料を供給する第1流路と、プランジャポンプのハウジング内部から粉砕室チャンバー内に設けられた噴射ノズルまで加圧された原料を供給する第2流路とを備え、加圧された原料を前記粉砕室噴射ノズルから噴射して、粉砕室チャンバー内で衝突させて原料を粉砕する湿式微粒化装置であって、第1の供給口に蒸気を吹き込む蒸気供給装置と、粉砕室内の噴射ノズル直前に設けられた蒸気の一部を流路外へ排出する粉砕室用圧力調整弁とを備え、蒸気供給装置から前記第1流路を介してプランジャポンプのハウジングの内部空間に蒸気を供給し、供給された蒸気を前記第2流路を介して排出し、前記粉砕室用圧力調整弁によって、蒸気の一部を流路外へ排出しながら第1流路とハウジングの内部空間と粉砕室内の噴射ノズルを含む第2流路とを、121°C以上の滅菌温度で所定時間維持するため、圧力調整弁を調整し、排出される蒸気の量を制御することによって、ケーシングの内部空間における蒸気の凝結および滞留を抑制することができる。具体的に説明すると、本発明における滅菌手段の手順としては、以下の通りである。原料供給口に蒸気供給装置を接続する。蒸気供給装置から装置の第1流路を介してプランジャポンプのハウジングの内部空間に蒸気を供給する。プランジャポンプのハウジングの内部空間が蒸気121°C、30分間以上によって滅菌され、蒸気を第2流路を介して排出する。その際、粉砕室内の噴射ノズル直前に設けられた圧力調整弁によって、蒸気の一部を流路外へ排出しながら供給から排出までを行う。特に、高圧噴射型の湿式微粒化装置は100~245MPaという超高圧の流れを発生維持させるため、流路の複数の箇所において高圧流れの流路開閉を行う可動シール部が存在する。それらのシール部は開の状態でも通路隙間が1mm程度と狭いため、流入圧力0.1~0.4MPa程度の密度の小さい蒸気では微小量しか流れないこととなる。また、超高圧に耐える応力の観点から他の流路の内径においても流路径は3mm程度と細い配管となっており、粉砕室に設けられた噴射ノズル自体の穴径はφ0.1~0.5mmの微細ノズルである。このような微細な噴射ノズルを備えた流路に蒸気を投入した場合、微小量しか流れないことと、初期配管の低温冷却により流路内でまず蒸気の凝結が起こり、流路内に水が溜まることとなる。その水を排出しないと後続の蒸気も次々と凝結が起こり、流路内は蒸気の流れとはならない表1の水の蒸気圧と温度の関係を参照のこと。そこで、凝結した水を流路から排出する必要性が生じる。しかしながら、高圧噴射型装置の流路は、原料処理時の耐圧構造、さらには流路径が小さいことから水抜き用の排出口を設けることが容易でない。特に、水抜き用の排出口を設けるために、例えば流路にドレン穴を設けると、切り欠き係数の増加から耐応力の低下を招き、ドレン穴を設けることで原料に対して液溜まりが生じることとなり、菌の繁殖の観点から望ましくない。加えて、液溜まりの領域は主流路流れに対して主流路径×6倍6D以下という規定があり、耐圧を考慮した細い流路内でそれを満たすのは困難となる。本発明は、高圧噴射型の微粒化装置において、供給口に蒸気を吹き込む蒸気供給装置と、粉砕室内の噴射ノズル直前に設けられた蒸気の一部を流路外へ排出する粉砕室用圧力調整弁とを備え、蒸気によって121°C以上の滅菌温度を所定時間維持することができる。尚、粉砕室チャンバー内に設けられた噴射ノズルは、プランジャポンプによって、100MPa~245MPaで加圧された原料を排出して、粉砕室チャンバー内で衝突させて原料を粉砕するものである。このため、チャンバー内の噴射ノズルは、具体的には穴径がφ0.1~0.5mmの微細ノズルである。このため、蒸気を通すことが困難であったが、粉砕室内の噴射ノズル直前に設けた圧力調整弁により、凝結水を排除しつつ蒸気の一部を通過させることができると共に、流路内を蒸気によって121°C以上の滅菌温度で所定時間維持することができる。別の発明としては、プランジャポンプのハウジング内で発生した凝結水を流路外へ排出するプランジャ用ドレン排出手段を更に備え、プランジャ用ドレン排出手段がプランジャポンプのハウジングの内部空間に連通するドレン穴と、このドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出するプランジャ用圧力調整弁と、ドレン穴とプランジャ用圧力調整弁との間に設けられ、滅菌状態の際には開放し滅菌終了後には閉塞するシール手段とを含む。これにより、流路内を0.1MPaゲ-ジ圧以上に設定し、蒸気温度を121°C以上に維持させることが可能となる。即ち、高圧流路内高圧シリンダに応力低下を最小限に抑えた小径穴φ1.5mmのドレン穴を設け、蒸気の初期凝結水を排出できるように、このドレン穴の下流に圧力調整弁を取付け、凝結水が排出された後、圧力調整弁を閉じ側に調整し、流路内を0.1MPaゲ-ジ圧以上に設定し、蒸気温度を121°C以上で維持することができる。このシール手段についても、好ましくは、金属面同士のメタルシールを採用し、蒸気滅菌時はねじ締め構造の押し付けによるメタルシールを緩めておき、流路を開く。滅菌終了後の高圧シール時はねじ締めを行うことにより、245MPaに耐えうるメタルシールが得られる。高圧部品における小空間でメタルシールの開閉を行うため、メタルシールには一方が60°テーパー面、一方が小径硬質ステンレスボールを使用した。押し付け用のねじを締めまたは緩めることでテーパー面とステンレスボールが強く接触シール時または離れる蒸気滅菌時こととなる。このメタルシールにより、高圧流路内高圧シリンダに上記の小径穴φ1.5mmのドレン穴と、ねじ締め構造のメタルシールを施しても0MPaと245MPaの繰返し応力を受けるシリンダにおいて、顕著な応力低下がない構造となった。別の発明としては、粉砕室内の噴射ノズル直前に設けられた粉砕室用圧力調整弁が、前記粉砕室内の噴射ノズルの狭い流路の高圧側流路から分岐された高圧側ドレン穴と、この高圧側ドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出するドレン抜き手段と、前記高圧側ドレン穴とドレン抜き手段との間に設けられ、滅菌状態の際には開放し滅菌終了後には閉塞するシール手段とを備えたものである。更に別の発明としては、蒸気供給装置の蒸気を、前記粉砕室で粉砕された原料を排出する排出流路を経由して粉砕室に導く第3流路を更に備え、前記第3流路には、粉砕室に導かれた第3流路から分岐された低圧側ドレン穴と、この低圧側ドレン穴の低圧側に蒸気の一部を凝結水と共に流路外へ排出する圧力調整弁と、を備えたものである。別の発明としては、第1流路及び第2流路が、蒸気の流通方向に対して少なくとも1/100以上の下がり勾配で配置された配管を含み、第1流路及び第2流路の下がり勾配で配置された配管の低圧側に凝結水を流路外へ排出する他のドレン抜き手段を更に備える。これにより、各流路内温度が、蒸気を流すことにより、121°C以上までスムーズに上げることができる。尚、この場合のドレン抜き手段としては、圧力調整弁、手動用ドレン抜きバルブ、又は、オリフィスの何れかより選ばれればよい。別の発明としては、温度検知手段を備えることにより、滅菌条件である温度、時間の検知を行うことによって、滅菌状態の管理を効果的に行うことができる。更に、流路内温度が、蒸気を流すことにより、121°C以上までスムーズに上がり、121°C以上の温度を30分間以上安定して維持できる。尚、滅菌条件として、原料が通過する供給口からプランジャポンプまでの第1流路の内部、プランジャポンプの内部、プランジャポンプから噴射ノズルまでの第2流路の内部の各々が121°C以上で30分間以上維持することができれば、菌は生存できないため、温度管理によって滅菌を判断すればよい。このため、好ましくは、プランジャポンプと、第1又は第2流路とを含む1箇所以上に温度検知手段を更に備え、滅菌条件が維持されていることを検証すればよい。具体的な温度検知手段の設置箇所としては、滅菌を要する箇所装置の流路内の内表面全体を滅菌する必要があるため、滅菌を要する箇所装置の流路内のうち、蒸気による温度上昇が困難な箇所に、温度検知手段温度センサを設け、蒸気の温度を計測し、滅菌を判断する。1.高圧噴射型微粒化装置の蒸気滅菌図1は本発明の滅菌手段を備えた湿式微粒化装置の一実施例の概略配管図である。図2は図1の蒸気滅菌時の概略配管図である。図3はプランジャの前進後退時における温度測定結果を示す線図である。図4は噴射ノズルの蒸気in側およびout側の温度測定結果を示す線図である。図1と図2とは同じ小流量タイプでの高圧噴射型微粒化装置の原料高圧処理時回路と、蒸気滅菌時回路を示している。図1に示す通り、原料高圧処理時回路は、回路中の三方弁12で流路を切り替え、図中の黒矢印の流れの通り原料を供給する。即ち、供給口10から原料を入れ第1流路11を通り、原料を増圧するためのプランジャポンプ13内に原料が供給される。プランジャポンプ13により、原料は高圧で押し出され、高圧の第2流路14を通って粉砕室であるチャンバー15に高圧で供給され、チャンバー15内の噴射ノズル穴径がφ0.1~0.5mm19から高圧噴射され、原料が微粒化乳化される。粉砕された原料は排出流路16を介して貯留槽17に貯留される。尚、粉砕された原料は高圧噴射時原料温度が上昇するため、チャンバー後コイル状の熱交換器18で原料が冷却される。この高圧噴射型微粒化装置の回路や構成装置等を分解せずに蒸気滅菌SIPを行う場合は図2のような流路の流れとする。具体的には、回路中の三方弁12で流路を切り替え、図中の白抜き矢印の流れとする。即ち、蒸気供給装置20が接続された供給口10からプランジャポンプ13内までの第1流路と、三方弁12の手前で第1流路から分岐され、排出流路16の一部を熱交換器18を経由してチャンバー15の低圧側に逆方向に供給される第3流路16bが形成される。尚、流路内の凝結水を排出ドレンするために、蒸気入口直後、プランジャポンプ、プランジャ滅菌流路出口、チャンバー高圧入口側、チャンバー低圧出口側に各々設置した圧力調整弁21、22、23、24、25を活用する。また、第1流路、プランジャ滅菌流路出口、チャンバー高圧入口側、チャンバー低圧出口側に温度センサー31、32、33、34を備えた。これにより、各々の流路内が121°Cを維持していることを確認することができる。尚、各所ドレン排出口圧力調整弁に熱電対温度計を取り付け、温度計測した。尚、SIPでは、流路の排出時における温度が121°Cであれば、排出口に繋がっている流路内は排出口よりも温度が高いはずであるため、排出口の温度を基準とした測定を行った。そのため、粉砕室の直前及び直後の排出口が最も重要ではあるが、全ての流路内において、滅菌条件を確実にするために、その他の箇所においても、温度検知手段を配置することにした。さらに、供給口10に接続された蒸気供給装置20から蒸気を投入し、第1流路11を通り、プランジャポンプ13内に蒸気を送り込む。途中、プランジャ滅菌用の第1分岐流路11bにも蒸気を分岐させ、高圧シール部を抜け出た領域でプランジャを蒸気滅菌する。また、プランジャポンプ13内に完全に蒸気を行き渡らせるために、ポンプ13内のメタルシール26を開け、蒸気を排出する。第1流路11の蒸気は高圧流路である第2流路14を通ってチャンバー15の高圧入口側のメタルシール27から排出される。一方、第1流路11の途中で三方弁12で分岐された蒸気は、排出流路16のコイル状の熱交換器18を通ってチャンバー15の低圧出口側に流入しすぐに圧力調整弁25方向へ排出されながら、他方噴射ノズル19を通過し、メタルシール27から排出される。尚、高圧発生機構であるプランジャポンプ13の往復運動用の高圧シール部を直接的に蒸気滅菌することは、プランジャと高圧パッキンとの間に隙間がないため不可能である。そこで、往復稼動するプランジャの動きを利用して、稼動範囲の中でシール部から抜けた部分のプランジャを蒸気滅菌する。図2に示す通り、第1流路11から閉塞弁28を介して分岐させた第1分岐流路11bからの蒸気を、抜けた部分のプランジャに接触させ滅菌を行う。100~245MPaの範囲で用いることのできる高圧発生装置は通常、一次側発生圧力に低圧の油圧を用い、パスカルの原理を利用したプランジャポンプで二次側原料を100~245MPaに増圧している。その構造において一次側油圧と二次側原料との問に油と原料が接触しない縁切り空間を設けている。その空間内で高圧シール部から抜けた部分のプランジャに蒸気を接触させて滅菌可能とした。また、100~245MPaに耐えることのできる高圧シールに使用されているパッキン材質は、一般的にロングランを考慮して耐磨耗性を重視した超硬分子ポリエチレンが用いられる。しかし、その耐熱性は100°C以下と低く、蒸気滅菌には耐えられない。このため、従来の100~245MPaの高圧シールに使用されているパッキン材質を耐熱性を持たせた材質に変更した。一般的に高圧シールにはロングラン耐磨耗性を考慮して超硬分子ポリエチレンが用いられるが、蒸気滅菌が必要な医薬品食品等の使用ではパッキンを頻繁に交換するためロングランは重要ではなく、耐熱性を持たせたポリテトラフルオロエチレンPTFEを使用した。PTFEの耐熱は180°Cである。尚、耐圧性と耐熱性とを満たす素材であればポリテトラフルオロエチレンPTFE以外の材質であっても使用できることは言うまでもない。更に、原料流路即ち、蒸気滅菌流路は上から下への流れとなるように、各々の流路に1/100以上の下がり勾配をつけた。更に、下がり勾配が配設できない箇所はドレン口を設けるようにした。尚、各所ドレン口圧力調整弁を開けたときに原料または蒸気凝結水が流れ出るようにして流路内での滞留を防ぐこととした。原料の供給圧力や高圧処理時の圧力を表示する圧力センサには、耐熱200°Cの隔膜式圧力計を使用した。図3、図4は流路内に設置した熱電対型温度センサー31、32、33、34の蒸気投入時の流路内温度測定結果を示す。蒸気投入後全ての測定箇所において121°C、30分間以上の維持が確認された。尚、流路の蒸気排出口において121°C以上を保持していることから、回路全体が121°C以上を保持していると推定できる。また図3より、途中プランジャを前進後退させプランジャの蒸気の当たる位置を替えプランジャ全体を蒸気滅菌した。尚、蒸気滅菌後、湿式微粒化装置の通常運転を行うことができた。2.固定オリフィスでの蒸気安定維持方法図5は圧力調整弁24をオリフィスに変更した別の実施例の概略配管図である。図6はドレン抜き手段としてオリフィスを採用した場合における噴射ノズルの蒸気in側およびout側の温度測定結果を示す線図である。図5に示す通り、図2の蒸気滅菌時の回路において、チャンバー高圧入口側の圧力調整弁24の代わりに、微小一定絞りとしてφ0.17mmのオリフィス24bを設置した。尚、他の構成は図2と同様であるため、その他の符号は図2と同一とした。また、最も狭い流路が存在する高圧噴射部のチャンバー15内では、穴径がφ0.1~0.5mmの噴射ノズル19内を蒸気の流れが維持されなければならない。さらに、各流路内の蒸気温度を121°C以上に設定するには、沸点上昇のために流路内圧力を0.1MPaゲージ圧以上に設定しなければならない。一方、噴射ノズル19内の微小の蒸気量を圧力制御するには、スプリングの押し付け力を利用した市販の圧力調整弁では設定が不安定であり、基準値に設定するのに時間がかかる。また、このような圧力調整弁は蒸気の初期凝結水の排出ドレン弁の役割もしており、弁の調整次第で凝結水の排出不良も生じる。噴射ノズル19を含む流路内圧力を0.1MPaゲージ圧以上に設定し、流路内の蒸気温度を121°C以上に安定的に設定するために、微小一定絞りの固定オリフィス24bを設置した。このオリフィスが凝結水を排出後、一定の圧力、流量で蒸気を流し、流路内圧力を0,1MPaゲージ圧以上、蒸気温度121°C以上に容易に設定できる。オリフィス径はφ0.15mm~0.2mmが適当で、実験結果からφ0.17mmが最適であった。図6に示す通り、蒸気の噴射ノズル通過後の流路内温度を図4と比較すると、市販の圧力調整弁を使用した図4の場合よりも、圧力調整が不要で温度上昇が早く、温度保持が容易になることが確認された。"