"ホルダに保持され、前記ホルダとともに集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って相対的に往復移動させて基板上に溝を形成するための溝加工ツールであって、前記ホルダに保持されるツール本体と、前記ツール本体の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端と復動側の先端に刃を有する刃先部と、を備え、前記刃先部は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面と復動側の側面とが傾斜しかつ対称に形成されている、薄膜太陽電池用溝加工ツール。前記刃先部の刃は直線状に形成されており、前記往動側の側面及び前記復動側の側面の前記刃に対する掬い面角度は50°以上80°以下である、請求項1に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。前記刃先部の先端の溝形成方向の幅は、50μm以上200μm以下である、請求項2に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って溝加工ツールを基板に対して相対的に移動させ、前記基板上に溝を形成する溝加工装置であって、薄膜太陽電池基板が載置されるテーブルと、請求項1から3のいずれかに記載の溝加工ツールが装着されるヘッドと、前記テーブルと前記ヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動機構と、を備え、前記ヘッドは、上下移動可能なホルダと、前記溝形成方向と直交する揺動軸を支点として前記ホルダに揺動自在に支持され、前記溝加工ツールを保持する揺動部材と、前記ホルダに保持された溝加工ツールを基板に対して所定の押圧力で押圧する押圧部材と、を備えた薄膜太陽電池の溝加工装置。前記揺動部材は、前記揺動軸を支点として±5°以下の範囲で揺動自在である、請求項4に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。加工時以外において、前記揺動部材を中立位置に維持するための中立維持手段と、前記揺動部材の揺動角度が±5°を越えないように揺動範囲を規制するストッパと、をさらに備えている、請求項5に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。前記中立維持手段は、前記揺動部材を挟んで前記揺動部材を中立位置に付勢する1対の弾性部材を有する、請求項6に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。前記弾性部材はコイルスプリングである、請求項7に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。前記弾性部材は軟質製のゴムである、請求項7に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。前記弾性部材は板ばねである、請求項7に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。前記中立維持手段は、前記揺動部材の少なくとも上端に設けられた磁性体と、前記ホルダに前記磁性体と所定の隙間をあけて対向して配置された磁石と、を有する、請求項6に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。前記ストッパは、前記ホルダに固定され、中立位置の前記揺動部材の上端部を所定の隙間を介して挟んで配置された1対の当接面を有する、請求項6から11のいずれかに記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。前記ストッパは、前記ホルダに固定され、中立位置の前記揺動部材の揺動方向の両側面に所定の隙間を介して対向して配置された1対の当接部材を有する、請求項6から11のいずれかに記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。従来の溝加工装置あるいは溝加工方法では、連続して複数の溝を加工する場合、1本の溝を加工した後に、ヘッドを上昇させ、加工開始位置まで移動させ、続いて次の溝を加工する、といった動作が繰り返される。このような従来の装置及び方法では、加工に時間がかかり、また先に調整されたツールの押圧力を再調整しなければならない場合がある。そこで、本件発明者らは、効率よく迅速に溝加工を行うことができる加工装置を開発し、既に出願している特願2010-082953。この加工装置は、ヘッドに上下移動可能にツールホルダが取り付けられており、さらに、このツールホルダに所定の角度範囲内で揺動部材が揺動可能に取り付けられている。揺動部材には溝加工ツールが保持されており、揺動部材は往動時の前進切削姿勢と復動時の後進切削姿勢とで反転させられる。溝加工ツールには、往動側及び復動側に対称的な前部刃先及び後部刃先が設けられている。そして、揺動部材が往動前進切削姿勢にあるときに前部刃先が太陽電池基板に接触し、復動後進切削姿勢にあるときに後部刃先が太陽電池基板に接触する。ここで、本件発明者らは、従来の加工ツールを用いて溝加工する場合、ツールを50°~80°の範囲で傾けて加工するのが最も適切であることを見出した。すなわち、ツールの傾きが50°未満であると、刃と基板との接触面積がより広くなって加工時の接触抵抗が大きくなる。また、80°を越えてツールを傾けると、除去された膜の排出性が悪くなる場合があり、さらに加工時にいわゆる飛び加工されない部分が生じる場合がある。そこで、前述の本件発明者らが開発した加工装置においては、ツールの傾斜が70°になるようにして加工を行っている。この場合、揺動部材の揺動角度範囲を40°±20°にする必要がある。すなわち、揺動部材の揺動角度を往動時に20°に設定し、復動時に-20°に設定する必要がある。しかし、以上のような傾き姿勢で加工を行うためには、外部エアを供給するための機構を含む揺動部材の姿勢切替機構が必要になる。また、揺動部材及びツールを±20°の範囲で揺動させると、揺動角度範囲が大きいために、揺動時のツール先端の上下移動距離が大きくなる。このため、往復切替時に、ツール及び揺動部材を上昇させて退避位置に移動させ、切替制御を行う必要がある。したがって、タクトタイムが長くなり、コストアップにつながる。さらには、揺動角度が大きいために、バラツキが大きく、高い精度を確保することが困難になる。本発明の課題は、簡単な機構で高い加工精度を確保でき、しかも効率よく溝を加工できるようにすることにある。第1発明に係る薄膜太陽電池用溝加工ツールは、ホルダに保持され、ホルダとともに集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って相対的に往復移動させて基板上に溝を形成するためのツールである。このツールは、ホルダに保持されるツール本体と、刃先部と、を備えている。刃先部は、ツール本体の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端と復動側の先端に刃を有している。また、刃先部は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面と復動側の側面とが傾斜しかつ対称に形成されている。この溝加工ツールは往復移動され、往動時と復動時の両方において基板上に溝が形成される。また、往動側及び復動側の側面が傾斜しているので、この傾斜角度分だけ、加工時におけるツールの傾斜角度を小さくすることができる。以上のような溝加工ツールを加工装置に装着すれば、ツールが保持される部材の揺動角度範囲を小さくすることができる。このため、ツールの姿勢切替のための機構が簡単になる。また、揺動角度範囲を小さくできるので、姿勢切替時のツールの上下移動距離が小さくなり、姿勢切替時にツールを退避位置に上昇させる必要がなくなる。あるいは姿勢切替時にツールを上昇させる距離が短くなる。したがって、タクトタイムを短縮できる。さらには、揺動角度範囲が小さいので、ツールの姿勢切替時の精度の低下を抑えることができる。第2発明に係る薄膜太陽電池用溝加工ツールは、第1発明のツールにおいて、刃先部の刃は直線状に形成されており、往動側の側面及び復動側の側面の刃に対する掬い面角度は50°以上80°以下である。溝加工時のツールの適正傾斜角度は70°前後であるので、掬い面角度を50°以上80°以下に設定することにより、ツールの姿勢切替のための揺動角度を非常に小さくすることができる。第3発明に係る薄膜太陽電池用溝加工ツールは、第2発明のツールにおいて、刃先部の先端の溝形成方向の幅は、50μm以上200μm以下である。第4発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って溝加工ツールを基板に対して相対的に移動させ、基板上に溝を形成する装置である。この溝加工装置は、薄膜太陽電池基板が載置されるテーブルと、第1発明から第3発明のいずれかに記載の溝加工ツールが装着されるヘッドと、テーブルとヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動機構と、を備えている。ヘッドは、上下移動可能なホルダと、揺動部材と、押圧部材と、を備えている。揺動部材は、溝形成方向と直交する揺動軸を支点としてホルダに揺動自在に支持され、溝加工ツールを保持する。押圧部材はホルダに保持された溝加工ツールを基板に対して所定の押圧力で押圧する。この装置では、ヘッドの揺動部材に第1発明から第3発明のいずれかの溝加工ツールが保持される。そして、溝加工ツールは押圧部材によって基板に所定の押圧力で押圧される。この状態でテーブルとヘッドとをスクライブ予定ラインに沿って相対的に移動させると、ツールが保持された揺動部材は、移動に伴って所定角度揺動する。すなわち、ツールが適切な加工姿勢になる。ここでは、ツールの往動側及び復動側の側面が傾斜しているので、前記同様に、ツールが保持される揺動部材の揺動角度範囲を小さくすることができ、構造が簡単になる。また、姿勢切替のための時間を短縮でき、さらにはツールの姿勢切替時の精度の低下を抑えることができる。第5発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第4発明の装置において、揺動部材は、揺動軸を支点として±5°以下の範囲で揺動自在である。第6発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第5発明の装置において、加工時以外において揺動部材を中立位置に維持するための中立維持手段と、揺動部材の揺動角度が±5°を越えないように揺動範囲を規制するストッパと、をさらに備えている。ここでは、揺動部材の揺動角度が大きくなるのを防止できる。第7発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第6発明の装置において、中立維持手段は、揺動部材を挟んで揺動部材を中立位置に付勢する1対の弾性部材を有する。第8発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第7発明の装置において、弾性部材はコイルスプリングである。第9発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第7発明の装置において、弾性部材は軟質製のゴムである。第10発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第7発明の装置において、弾性部材は板ばねである。第11発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第6発明の装置において、中立維持手段は、揺動部材の少なくとも上端に設けられた磁性体と、ホルダに磁性体と所定の隙間をあけて対向して配置された磁石と、を有する。第12発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第6から第11発明のいずれかの装置において、ストッパは、ホルダに固定され、中立位置の揺動部材の上端部を所定の隙間を介して挟んで配置された1対の当接面を有する。第13発明に係る薄膜太陽電池の溝加工装置は、第6から第11発明のいずれかの装置において、ストッパは、ホルダに固定され、中立位置の揺動部材の揺動方向の両側面に所定の隙間を介して対向して配置された1対の当接部材を有する。スプリングである。以上のような本発明では、簡単な機構で高い加工精度を確保でき、しかも効率よく溝を加工することができる。本発明の一実施形態を採用した集積型薄膜太陽電池用スクライブ装置の外観斜視図を図1に示す。[スクライブ装置の全体構成]この装置は、太陽電池基板Wが載置されるテーブル1と、溝加工ツール以下、単にツールと記す2が装着されたヘッド3と、それぞれ2つのカメラ4及びモニタ5と、を備えている。テーブル1は水平面内において図1のY方向に移動可能である。また、テーブル1は水平面内で任意の角度に回転可能である。なお、図1では、ヘッド3の概略の外観を示しており、ヘッド3の詳細は後述する。ヘッド3は、移動支持機構6によって、テーブル1の上方においてX,Y方向に移動可能である。なお、X方向は、図1に示すように、水平面内でY方向に直交する方向である。移動支持機構6は、1対の支持柱7a,7bと、1対の支持柱7a,7b間にわたって設けられたガイドバー8と、ガイドバー8に形成されたガイド9を駆動するモータ10と、を有している。各ヘッド3は、ガイド9に沿って、前述のようにX方向に移動可能である。2つのカメラ4はそれぞれ台座12に固定されている。各台座12は支持台13に設けられたX方向に延びるガイド14に沿って移動可能である。2つのカメラ4は上下動が可能であり、各カメラ4で撮影された画像が対応するモニタ5に表示される。[ヘッド]図2にヘッド3を抽出して示している。ヘッド3は、板状のベース16と、ホルダ17と、揺動部材18と、エアシリンダ押圧部材19と、を有している。ホルダ17は、図示しないレールを介して、ベース16に対して上下方向にスライド自在に支持されている。ホルダ17は、ホルダ本体22と、ホルダ本体22の表面に固定された支持部材23と、を有している。ホルダ本体22は、板状に形成され、上部に開口22aを有している。支持部材23は横方向に長い矩形状の部材であり、内部に揺動部材18が挿通する貫通孔23aが形成されている。揺動部材18は、下部のツール装着部24と、ツール装着部24から上方に延びて形成された延長部25と、を有している。ツール装着部24には溝が形成され、この溝にツール2が挿入され、さらに固定プレート24aによってツール2が溝内に固定されている。延長部25の下部には水平方向で、溝形成方向と直交する方向に貫通する孔25aが形成されている。そして、この孔25aを貫通するピン26を中心に揺動部材18は揺動自在となっている。延長部25の上端部25bの左右両側には、1対の規制部材27a,27bが設けられている。各規制部材27a,27bは、図4に示すように、ホルダ本体22に固定された筒状部材ストッパ28a,28bと、筒状部材28a,28bの内部に挿入されたスプリング中立維持手段29a,29bと、を有している。そして、各スプリング29a,29bの先端が延長部25の上端部25bに当接することにより、揺動部材18は図2及び図4bに示すような中立位置に維持されている。また、揺動部材18が揺動していずれかのスプリング29a,29bを押し、延長部25の上端部25bが筒状部材28a,28bに当接することにより、揺動角度が規制されるようになっている。この実施形態では、±3°の角度範囲で揺動部材18の揺動角度が規制されるように設定されているが、±5°以内で規制されることが好ましい。エアシリンダ19はシリンダ支持部材30の上面に固定されている。シリンダ支持部材30は、ホルダ17の上部に配置され、ベース16に固定されている。シリンダ支持部材30には上下方向に貫通する孔が形成されており、エアシリンダ19のピストンロッド図示せずがこの貫通孔を貫通し、ロッド先端がホルダ17に連結されている。また、ベース16の上部にはスプリング支持部材31が設けられている。スプリング支持部材31とホルダ17との間にはスプリング32が設けられており、このスプリング32によってホルダ17は上方に付勢されている。このスプリング32によって、ホルダ17の自重をほぼキャンセルすることができる。ホルダ17の左右両側には、1対のエア供給部34a,34bが設けられている。1対のエア供給部34a,34bはともに同じ構成であり、それぞれジョイント35とエアノズル36とを有している。[ツール]図3にツール2の詳細を示している。図3aはツール2の正面図であり、同図bはその側面図である。図3aにツール2の移動方向Mを示している。ツール2は、ホルダ17に保持されるツール本体36と、ツール本体36の先端部に形成された刃先部37と、を有している。刃先部37の先端両側にはそれぞれ刃38a,38bが形成されている。ここでは、一方の刃38aが往動時に溝加工をするための刃であり、他方の刃38bが復動時に溝加工をするための刃である。具体的には、刃先部37は、移動方向の幅w図3a参照が先端に行くにしたがって狭くなっている。すなわち、刃先部の対向する往動側の側面37aと復動側の側面37bとが傾斜し、かつ対称に形成されている。刃先部37の先端は、ホルダ17揺動部材18に取り付けられた中立状態では、水平方向に直線状に形成されている。そして、往動側の側面37aと復動側の側面37bの刃に対する掬い面角度αは、この実施形態では70°に設定されている。なお、この掬い面角度は、50°以上80°以下が好ましい。また、刃先部37の先端の溝形成方向の幅wは50μm以上200μm以下が好ましい。[溝加工動作]以上のような装置を用いて薄膜太陽電池基板に溝加工を行う場合は、移動機構6によりヘッド3を移動させるとともにテーブル1を移動させ、カメラ4及びモニタ5を用いてツール2をスクライブ予定ライン上に位置させる。以上のような位置合わせを行った後、エアシリンダ19を駆動してホルダ17及び揺動部材18を下降させて、ツール2の先端を薄膜に当てる。このときの、ツール2の薄膜に対する加圧力は、エアシリンダ19に供給されるエア圧によって調整される。次にモータ10を駆動して、ヘッド3をスクライブ予定ラインに沿って走査する。このときの揺動部材18及びツール2の姿勢を、図4に模式的に示している。往動時図4において右側への移動時は、図4aに示すように、刃38aと基板上の薄膜との接触抵抗によって、揺動部材18はピン26を中心に時計回りに揺動する。この揺動は、揺動部材18の上端部25bが右側の筒状部材28aに当接することによって、規制される。したがって、ツール2は図4aに示すような傾斜姿勢のまま、刃38aが基板上の薄膜に当接し、刃38bが基板の表面に当接していない状態でM方向に移動され、溝が形成される。この後、ヘッド3を基板に対して相対的に移動させて、ツール2を次に下降すべきスクライブ予定ライン上に移動させる。そして、前記同様に、ツール2を基板上の薄膜に押し付けて、前記とは逆方向にヘッド3を移動させる。この復動時図4において左側への移動時においては、図4cに示すように、刃38bと基板上の薄膜との接触抵抗によって、揺動部材18はピン26を中心に反時計回りに揺動する。この揺動は、揺動部材18の上端部25bが左側の筒状部材28bに当接することによって、規制される。したがって、ツール2は図4cに示すような傾斜姿勢のまま、刃38bが基板上の薄膜に当接し、刃38aが基板の表面に当接していない状態で-M方向に移動され、溝が形成される。なお、溝加工中あるいは溝加工終了時において、各エア供給部34a,34bのエアノズル36からエアが噴出され、基板から剥離された膜が除去される。[特徴]以上のような溝加工時において、揺動部材18の揺動角度が微少ここでは±3°であるので、揺動部材18の姿勢を制御するためのアクチュエータが不要となる。また、揺動角度が±3°に規制されているので、往動時から復動時にツール2の姿勢が切り替えられるときに、ツール2が上下する距離が微少である。このため、往動時から復動時においてホルダ17を上昇させてツール2を基板から離す等の処理が不要になる。さらに、同様の理由により、ツール2の振れ幅が小さくなるので、精度がバラツキにくくなり、高い精度で溝加工を行うことができる。[他の実施形態]本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。例えば、ツールの掬い面角度やツール先端長さは前記実施形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。a中立維持手段及びストッパの他の実施形態を図5に示す。図5において、ホルダ117は矩形状のプレート部材であり、このホルダ117に揺動部材118がピン126によって揺動自在に支持されている。揺動部材118は、下部のツール装着部124と、ツール装着部124から上方に延びて形成された延長部125と、を有している。ツール装着部124にはツール2が挿入されて固定されている。ホルダ117の左右側部には、それぞれ横方向に貫通するネジ孔が形成された1対のブロック部127a,127bが設けられている。この1対のブロック部127a,127bのネジ孔にはネジ部材129a,129bが螺合されている。そして、このネジ部材129a,129bの先端に、軟質製のゴム部材130a,130bが固定されている。各ゴム部材130a,130bの先端は、揺動部材118の延長部125の揺動方向の側面に接触している。以上のような構成では、軟質製のゴム部材130a,130bの先端が延長部125の両側面に当接することによって、揺動部材118の中立位置が維持されている。そして、加工時にヘッドが往復動する際には、揺動部材118の揺動に応じてゴム部材130a,130bが弾性変形する。したがって、揺動部材118の揺動は妨げられない。また、ホルダ117の上部には、ストッパ128が固定されている。ストッパ128の下端面には、逆V字状に形成された溝131が形成されている。この溝131には、揺動部材118の延長部125の上端部125aが下方から進入している。延長部125の上端部125aと溝131の両壁面当接面131a,131bとの間には所定の隙間が設けられている。以上のような構成では、揺動部材118が所定の角度範囲で揺動すると、上端部125aが溝131の壁面131a,131bに当接し、揺動部材118の揺動角度範囲が規制される。このとき、揺動部材118の許容される揺動角度範囲は、前記実施形態と同様に、±3°である。b中立維持手段のさらに他の実施形態を図6に示す。この図6に示された実施形態は、中立維持手段を除いて、図5に示した実施形態と同様である。したがって、同じ部材には同じ符号を付している。図6において、ホルダ117の左右側部には、それぞれ横方向に貫通するネジ孔が形成された1対のブロック部227a,227bが設けられている。この1対のブロック部227a,227bと揺動部材118の延長部125の間には、それぞれ板ばね230a,230bが設けられている。板ばね230a,230bは、各ブロック部227a,227bに当接する固定部231a,231bと、一部が延長部125の揺動方向の側面に当接する当接部232a,232bと、固定部231a,231bの上端と当接部232a,232bの下端とを連結する連結部233a,233bと、を有している。そして、固定部231a,231bが、それぞれブロック227a,227bにネジ部材229a,229bにより固定されている。また、当接部232a,232bは、ピン126の上方において延長部125の側面に当接している。以上のような構成では、板ばね230a,230bの当接部232a,232bが延長部125の両側面に当接することによって、揺動部材118の中立位置が維持されている。そして、加工時にヘッドが往復動する際には、揺動部材118の揺動に応じて板ばね230a,230bが弾性変形する。したがって、揺動部材118の揺動は妨げられない。c中立維持手段及びストッパのさらに他の実施形態を図7に示す。図7において、図5と同じ部材には同じ符号を付している。ホルダ117の左右側部には、それぞれ横方向に貫通するネジ孔が形成された1対のブロック部127a,127bが設けられている。この1対のブロック部127a,127bのネジ孔にはネジ部材329a,329bが螺合されている。そして、このネジ部材329a,329bの先端部329c,329dは球状に形成されている。ここで、揺動部材118が中立位置の状態では、各球状先端部329c,329dと揺動部材118の側面との間には等しい隙間が確保されている。以上のような構成では、揺動部材118が所定の角度範囲で揺動すると、延長部125の各側面がネジ部材の球状先端部329c,329dに当接し、揺動部材118の揺動角度範囲が規制される。このとき、揺動部材118の許容される揺動角度範囲は、前記実施形態と同様に、±3°である。また、ホルダ117の上部には、吸着用ブロック328が固定されている。吸着用ブロック328の下端面には磁石330が設けられている。磁石330は、中立位置の揺動部材118の延長部125の上端部と、所定の隙間をあけて対向するように配置されている。そして、延長部125の上端部には、鉄製の吸着部331が設けられている。以上のような構成では、延長部125の上端部に設けられた鉄製の吸着部331が、磁石330に吸引される。したがって、加工していない状態では、揺動部材118の中立位置が維持されている。なお、加工時においては、ツール2の加工抵抗によって、揺動部材118は磁石330と吸着部331との間の吸着力に抗して揺動する。"