Al源としての一次粒子径が0.001~6μmのアルミナまたはアルミナ水和物の粉末と、平均粒子径D50が2~80μmの範囲にあり且つ該Al源の一次粒子径の6倍以上の平均粒子径D50を有する希土類金属化合物粉末と、カーボン粉末とを用意し、前記Al源粉末と希土類金属化合物粉末とカーボン粉末とを混合し、得られた混合粉末を、含窒素雰囲気下、1620~1900°Cの温度で、2時間以上保持することにより、前記Al源を還元窒化すること、を特徴とする窒化アルミニウム粉末の製造方法。前記Al源100質量部当り、前記希土類金属元素化合物粉末を0.5~50質量部、前記カーボン粉末を35~50質量部の量で使用する請求項1に記載の製造方法。平均粒子径D50が6~280μmであり、平均粒子径D50の5倍以上の粒子径を有する粗粒の含有率が体積換算で10以下であることを特徴とする窒化アルミニウム粉末。従って、本発明の目的は、フィラー用途に最適な高い真球度を有し、平均粒子径が数μm~数百μmの比較的大きい粒子であり、さらに、粗粒の含有率が低い窒化アルミニウム粉末を生産性良く得るための方法及びかかる方法によって得られる窒化アルミニウム粉末を提供することにある。本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を行った結果、アルミナ又はアルミナ水和物のAl源粉末と希土類金属化合物焼結助剤の粉末とカーボン還元剤粉末との混合粉末を一定の高温領域での含窒素雰囲気中で焼成して窒化アルミニウム粉末を製造するに際して、前記Al源粉末として特定の一次粒子径を有するものを使用し、且つ希土類金属化合物粉末として該Al源粉末の一次粒子径に対し特定の倍率以上の大きな粒子径を有するものを選択することによって、真球度が高く且つ上記所期の粒子径を有し、さらに、粗粒の含有率が低い窒化アルミニウム粉末が生産性良く得られることを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発明によれば、Al源としての一次粒子径が0.001~6μmのアルミナまたはアルミナ水和物の粉末と、平均粒子径D50が2~80μmの範囲にあり且つ該Al源の一次粒子径の6倍以上の平均粒子径D50を有する希土類金属化合物粉末と、カーボン粉末とを用意し、前記Al源粉末と希土類金属化合物粉末とカーボン粉末とを混合し、得られた混合粉末を、含窒素雰囲気下、1620~1900°Cの温度で、2時間以上保持することにより、前記Al源を還元窒化すること、を特徴とする窒化アルミニウム粉末の製造方法が提供される。本発明の製造方法においては、前記Al源100質量部当り、前記希土類金属元素化合物粉末を0.5~50質量部、前記カーボン粉末を35~50質量部の量で使用することが好ましい。上記の製造方法によれば、平均粒子径D50が6~280μmであり、平均粒子径D50の5倍以上の粒子径を有する粗粒の含有率が体積換算で10以下である窒化アルミニウム粉末を得ることができる。尚、Al源粉末の一次粒子径とは、アルミナ粉末またはアルミナ水和物の粉末について、透過型電子顕微鏡写真により、30個以上の粒子について定方向の粒子径を測定したときの算術平均値をいう。また、平均粒子径D50は、レーザー回折散乱法により測定した粒度分布における累積体積が50のときの粒子径をいう。即ち、この場合の粒子径は、一次粒子径ではなく、二次粒子径凝集した粒子の径である。本発明の製造方法によれば、フィラー用途に最適な比較的大きな平均粒子径6μm~280μmを有し、真球度が高く且つ平均粒子径D50の5倍以上の粒子径を有する粗粒分が少ない窒化アルミニウム粉末を生産性よく得ることができる。即ち、本発明においては、一次粒子径が小さいアルミナまたはアルミナ水和物の粉末をAl源として使用すると同時に、Al源粉末に比して大きな平均粒子径を有する希土類金属化合物を焼結助剤として使用しているため、希土類化合物の個々の粒子を被覆するようにAl源の粒子がその表面に付着する。従って、所定の高温領域1620~1900°Cでの含窒素雰囲気中において、希土類化合物粒子の表面からAl源粒子が順次融解しながら還元窒化反応が進行することとなり、この結果、得られる窒化アルミニウムの粒径が、希土類化合物の粒径に相関したものとなり、上記のような比較的大きな粒径のAlN粉末を得ることができる。このことから理解されるように、本発明においては、希土類化合物の粒子径を調整することによって、得られるAlNの粒子径を制御することができる。その結果、粗粒の発生も少なく、粒子が球状に近い高い真球度を有するAlN粉末を得ることができる。上記のような粒子構造を有するAlN粉末は、各種樹脂やグリースに高充填することができ、放熱材料として高い熱伝導率を発揮することができる。以下、本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例および比較例における各種物性は、下記の方法により測定した。1粒子径平均粒子径D50は、試料をホモジナイザーにてピロリン酸ソーダ水溶液中に分散させ、レーザー回折粒度分布装置日機装株式会社製MICROTRACHRAにて測定した。尚、Al源粉末の二次粒子径凝集粒子径も、この平均粒子径D50で示した。また、Al源粉末における一次粒子径は透過型電子顕微鏡により測定した。2粗粒の含有率AlN粉末の試料をホモジナイザーにてピロリン酸ソーダ水溶液中に分散させ、レーザー回折粒度分布装置日機装株式会社製MICROTRACHRAにて測定し、体積換算での平均粒子径D50の5倍以上の粒子径を有する粒子を粗粒として算出した。3粉末の形状AlN粉末の形状は、走査型電子顕微鏡日立製作所製S-2600Nにて観察した。4結晶のC軸の格子定数AlN結晶のC軸の格子定数は、X線回折装置株リガク製RINT-1400を使用し、Siを外部標準物質として用い、測定した。5粒子の長径と短径の比AlN粉末の電子顕微鏡の写真像から、任意の粒子100個を選んで、スケールを用いて粒子像の長径DLと短径DSを測定し、その比DS/DLの平均値を球形度の目安とした。6陽イオン不純物含有量AlN粉末の陽イオン不純物含有量金属元素濃度は、AlN粉末をアルカリ溶融後、酸で中和し、ICP発光分析計島津製作所製ICPS-7510を使用して定量した。7シリコーンゴムシートの熱伝導率熱伝導性シリコーンゴム組成物を10cm×6cm、厚さ3mmの大きさに成形し150°Cの熱風循環式オーブン中で1時間加熱して硬化し、熱伝導率計京都電子工業製QTM-500を用いて熱伝導率を測定した。なお検出部からの漏電防止のため、厚さ10μmのポリ塩化ビニリデンフイルムを介して測定した。<実施例1>Al源として、一次粒子径0.3μm二次粒子径1.1μm、比表面積9.7m2/gのαアルミナ、カーボンとして比表面積125m2/gのカーボンブラック、希土類化合物として平均粒子径5.0μmの酸化イットリウムを使用した。上記のαアルミナ100質量部、カーボンブラック42質量部、酸化イットリウム5.0質量部を混合した後、グラファイトのセッターに充填した。ついで、窒素雰囲気下、焼成温度1700°C、焼成時間15時間の条件で還元窒化反応を行った。その後、空気雰囲気下において700°Cで12時間、酸化処理を行ってAlN粉末を得た。得られたAlN粉末を前述の方法にて、平均粒子径D50、粗粒の含有率、結晶のC軸の格子定数、粒子の長径と短径の比及び陽イオン不純物含有量の測定及び形状の観察を行った。結果を表1に示す。次いで、AlN粉末900質量部ミゼラブル型シリコーン100質量部モメンティブパフォーマンスマテリアルズジャパン合同会社製TSE201離型剤0.5部を加圧ニーダーにて混練した。混練物を冷却した後にロールを用いて架橋剤0.5部と混合した後、180°Cで15分間加圧プレスし、縦10cm、横6cm、厚さ3mmのシートを得た。得られたシートについて、前述の方法にて、熱伝導率を測定した。結果を表1に併せて示す。<実施例2>Al源として一次粒子径0.05μm二次粒子径0.9μm、比表面積230m2/gのγアルミナを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表1に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表1に示す。<実施例3>焼成温度を1650°Cとした以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表1に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表1に示す。<実施例4>酸化イットリウムの配合量を3.0質量部とした以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表1に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表1に示す。<実施例5>酸化イットリウムの配合量を10.0質量部とした以外には実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表1に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表1に示す。<実施例6>カーボンブラックの配合量を39質量部とした以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表2に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表2に示す。<実施例7>希土類化合物として平均粒子径35.0μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表2に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表2に示す。<実施例8>Al源として一次粒子径5.1μm二次粒子径5.3μm、比表面積0.67m2/gのαアルミナ、希土類化合物として平均粒子径35.0μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表2に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表2に示す。<実施例9>Al源として一次粒子径1.8μm二次粒子径1.8μm、比表面積0.92m2/gのαアルミナ、希土類化合物として平均粒子径11.8μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表2に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表2に示す。<比較例1>希土類化合物として平均粒子径1.0μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表3に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表3に示す。<比較例2>Al源として一次粒子径7.1μm二次粒子径7.3μm、比表面積0.25m2/gのαアルミナ、希土類化合物として平均粒子径50.2μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表3に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製しようとしたが、粘度が高くてシートを作製することが出来なかった。<比較例3>Al源として一次粒子径1.8μm二次粒子径1.8μm、比表面積0.92m2/gのαアルミナ、希土類化合物として平均粒子径2.5μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表3に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製しようとしたが、粘度が高くてシートを作製することが出来なかった。<比較例4>Al源として一次粒子径12.0μm二次粒子径13.4μm、比表面積0.13m2/gのαアルミナ、希土類化合物として平均粒子径20.0μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表3に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製しようとしたが、粘度が高くてシートを作製することが出来なかった。<比較例5>希土類化合物として平均粒子径1.6μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表3に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表3に示す。<比較例6>Al源として一次粒子径0.1μm二次粒子径0.5μm、比表面積18.4m2/gのαアルミナ、希土類化合物として平均粒子径1.5μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表3に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製し、熱伝導率を測定した。結果を表3に示す。<比較例7>Al源として一次粒子径1.8μm二次粒子径1.8μm、比表面積0.92m2/gのαアルミナ、希土類化合物として平均粒子径10.0μmの酸化イットリウムを使用した以外は、実施例1と同様にしてAlN粉末を作製した。得られたAlN粉末の各種物性に対し、実施例1と同様な測定を行い、結果を表3に示した。また、得られたAlN粉末を用いて、実施例1と同様にシートを作製しようとしたが、粘度が高くてシートを作製することが出来なかった。