QCMをセンサーとして含むセンサー装置と、一端が前記センサー装置と接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有することを特徴とする雰囲気分析装置。請求項1記載の雰囲気分析装置を用いて汚染物質の分析を行う場合に於いて、センサー装置の測定値に基づいて求めた汚染成分濃度の時間変化、及び、前記センサー装置の近傍に配置した金属薄膜付きのシリコンウェーハに於ける金属薄膜に吸着された汚染物質の分析結果に基づいて求めた汚染物質の定性情報を総合して判断することを特徴とする雰囲気分析方法。本発明では、例えばミニエンバイロメントなどの容器内に設置したセンサーと外部の制御回路とを容器に何らの加工を施すことなく接続することを可能にすると共にセンサーから引き出されたフレキシブルフラットケーブルを引き出し方向と例えば反対方向など如何なる位置に在る同軸ケーブルにも無理なく接続することを可能にし、容器内の汚染物質を同定する為の資料を容易に取得することが可能であるようにする。本発明に依る雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法に於いては、QCMをセンサーとして含むセンサー装置と、一端が前記センサー装置と接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有する雰囲気分析装置、及び、その雰囲気分析装置を用いて容器内の雰囲気を分析することが基本になっている。前記手段を採ることに依り、ミニエンバイロメントなどの容器内に於ける汚染物質の濃度変化を高感度で、且つ、リアルタイムで検出することができる。そして、容器内に設置したセンサーであるQCMと外部の制御回路とを接続する為に容器を加工することは一切不要であり、多くの容器に簡単にセットして、雰囲気分析を行うことができる。また、センサー装置から引き出された信号線、即ち、フレキシブルフラットケーブルは、柔軟である為、その引き出し方向と反対方向に位置する同軸ケーブルと容易に接続することが可能であり、その際、制御回路や同軸ケーブル、或いは、容器などに過度の負担をかけることはない。この構成の雰囲気分析装置に依れば、容器内の汚染物質を定性分析して同定することが容易であり、速やかに汚染物質への対応策を採ることができ、そして、汚染物質を定性分析する為の資料を取得するのに必要な金属薄膜付き板はセンサーと簡単に着脱できる構造になっているので、その設置は簡単である。図1はセンサー及び近傍の構成を表す要部説明図であって、Aは要部上面を、そして、Bは要部側面をそれぞれ示している。図に於いて、1は発振回路基板、2は水晶振動子を主体とするセンサーQCM、3はセンサーを保護するスペーサー、4はフレキシブルフラットケーブル、5はコネクタ、6は同軸ケーブルをそれぞれ示している。前記したところから明らかであるが、本発明に依る雰囲気分析装置では、発振回路基板1を介してセンサー2と制御回路とを接続する信号線として、所要長さのフレキシブルフラットケーブル4及び同軸ケーブル6を用いている。ここで、フレキシブルフラットケーブル4の所要長さとは、センサー2及び発振回路基板1を含むセンサー装置をミニエンバイロメントなどの容器内に設置し、信号を容器外に取り出す場合、信号線が容器を通過するのに必要な長さの意味である。図2はミニエンバイロメントである容器にセンサー装置を設置した状態を表す要部説明図であり、図1に於いて用いた記号と同じ記号で指示した部分は同一或いは同効の部分を表すものとする。図に於いて、11は発振回路基板1及びセンサー2を含むセンサー装置、12は容器本体、13は容器底部をそれぞれ示している。図から明らかであるが、制御回路に接続されている同軸ケーブル6とセンサー装置11との間にはフレキシブルフラットケーブル4が介在し、フレキシブルフラットケーブル4は容器本体12と容器底部13との間を容易に通過して内外を結ぶ役割を果たしている。このように、容器自体には何らの加工を施すことなく、容器内にセンサー装置11を設置し、且つ、フレキシブルフラットケーブル4を容器外に導出することができ、そして、フレキシブルフラットケーブル4は薄いので、容器の密閉性に影響を与えることはない。ところで、QCMからなるセンサー2は高感度であるが、汚染物質の種類を同定する、即ち、定性分析することは不可能である。そこで、本発明に依る雰囲気分析装置に於いては、容器内の汚染物質を金属薄膜に吸着させ、その吸着された汚染物質をXPSX-rayphotoelectronspectroscopyやSIMSsecondaryionmassspectrometryを用いて物理分析することで同定することができる。汚染物質の同定を行うには、金属薄膜を成膜したシリコンウェーハをセンサー装置11と同様に容器内に設置し、金属薄膜に汚染物質を吸着させ、その曝露が終了した後、容器外に取り出して、XPSやSIMSを用いて汚染物質の分析を行う。QCMからなるセンサー2を構成する水晶振動子では、その表面の汚染物質を分析することは可能であるが、水晶振動子は、その製造時に表面の清浄度を管理していないので、ミニエンバイロメントなどの容器内に曝露する前から汚染を受けているおそれがあり、分析用の試料として用いるのは適切ではない。その点、表面分析用の金属薄膜をスパッタリングなどで成膜すれば、清浄な金属薄膜表面を用意することができるので好ましい。また、基準にする為の参照用として、雰囲気に曝露しない試料を作ることができるので、分析手段としてはより望ましい。前記した金属薄膜付きのシリコンウェーハをセンサー装置11と共にミニエンバイロメントなどの容器内に設置するには、何らかの保持機構が必要となるが、シリコンウェーハの設置場所はセンサー装置11の近傍であって、且つ、簡単容易に着脱できる構成であることが望ましい。図3は金属薄膜付きシリコンウェーハをセンサー装置近傍にセットするのに好適な保持機構を表す要部説明図であり、図に於いて、1は発振回路基板、14は保持機構、14Aは保持機構を構成する狭幅のコ字型板、14Bは広幅のコ字型板、14Cは狭幅のコ字型板と広幅のコ字型板とを積層することで生成された溝をそれぞれ示している。図3に見られる金属薄膜付きシリコンウェーハの保持機構に依れば、センサー装置11に於ける発振回路基板1にシリコンウェーハを予め取り付けておくことができる保持機構14が設けられ、ウェーハの装着及び取り外しは、ウェーハを保持機構14に形成された溝14C内を滑動させるのみで良いから、その作業は容易である。