液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の一方面を画成する振動板と、前記圧力発生室の内面に設けられて耐液体性を有する保護膜と、を具備し、前記振動板が振動することにより前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、前記圧力発生室内の前記振動板側の角部には、当該角部を覆うヤング率が10GPa以下の樹脂材料で形成された樹脂部が凹状の円弧状で設けられ、前記圧力発生室の前記振動板に画成された側の幅wと、前記樹脂部の表面の半径rとの比率w/rが、0.017以上、0.087以下であることを特徴とする液体噴射ヘッド。前記保護膜が、酸化タンタルで形成されていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。前記樹脂部が、前記ノズル開口が設けられたノズルプレートを前記流路形成基板に接着する際の接着剤で形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。前記樹脂部が、エポキシ系接着剤からなることを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。請求項1~4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。しかしながら、特許文献2のように、圧力発生室内の振動板上の接着剤を除去すると、振動板に変位を行わせた際に、振動板上の保護膜にクラックが発生し、クラックを介して流路形成基板がインクに浸食されて耐久性が低下するという問題がある。また、保護膜がクラックによって剥離し、異物となってノズル開口の目詰まりインク吐出不良が発生する虞があるという問題がある。さらに、振動板上への接着剤の流出量が多すぎると、振動板の変位を阻害して、変位低下が生じ、インク吐出特性が低下してしまうという問題がある。なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。本発明はこのような事情に鑑み、保護膜の剥離を抑制して耐久性を向上すると共に、液体吐出不良や液体噴射特性の著しい低下を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の一方面を画成する振動板と、前記圧力発生室の内面に設けられて耐液体性を有する保護膜と、を具備し、前記振動板が振動することにより前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、前記圧力発生室内の前記振動板側の角部には、当該角部を覆うヤング率が10GPa以下の樹脂材料で形成された樹脂部が凹状の円弧状で設けられ、前記圧力発生室の前記振動板に画成された側の幅wと、前記樹脂部の表面の半径rとの比率w/rが、0.017以上、0.087以下であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。かかる態様では、樹脂部を設けると共に、樹脂部の半径rの比率を規定することで、振動板の変位の著しい低下を抑制した状態で、保護膜の角部の応力を樹脂部によって緩和して、保護膜にクラックが発生したり、保護膜が剥離するなどの不具合を抑制することができる。ここで、前記保護膜が酸化タンタルで形成されていることが好ましい。これによれば、酸化タンタルからなる保護膜によって、シリコン単結晶基板やガラスなどからなる流路形成基板を液体から保護することができる。また、前記樹脂部が、前記ノズル開口が設けられたノズルプレートを前記流路形成基板に接着する際の接着剤で形成されていることが好ましい。これによれば、樹脂部を形成する工程を簡略化してコストを低減することができる。また、前記樹脂部が、エポキシ系接着剤からなることが好ましい。これによれば、エポキシ系接着剤は、水蒸気のガスバリア性に優れているため、良好な気密封止が可能となる。さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、耐久性及び印刷品質を向上した液体噴射装置を提供することができる。以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。実施形態1図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA-A′線断面図であり、図3は、図2bのB-B′線断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位110のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる厚さ0.5~2μmの弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁11によって区画された圧力発生室12がその幅方向短手方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向の一端部側には、インク供給路14と連通路15とが隔壁11によって区画されている。また、連通路15の一端には、各圧力発生室12の共通のインク室液体室となるマニホールド100の一部を構成する連通部13が形成されている。すなわち、流路形成基板10には、圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15からなる液体流路が設けられている。インク供給路14は、圧力発生室12の長手方向一端部側に連通し且つ圧力発生室12より小さい断面積を有する。例えば、本実施形態では、インク供給路14は、マニホールド100と各圧力発生室12との間の圧力発生室12側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室12の幅より小さい幅で形成されている。なお、このように、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路14を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。さらに、各連通路15は、インク供給路14の圧力発生室12とは反対側に連通し、インク供給路14の幅方向短手方向より大きい断面積を有する。本実施形態では、連通路15を圧力発生室12と同じ断面積で形成した。すなわち、流路形成基板10には、圧力発生室12と、インク供給路14と、連通路15とが複数の隔壁11により区画されて設けられている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の一方面は、振動板を構成する弾性膜50によって画成されている。ここで、流路形成基板10の圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15からなる液体流路の内壁表面内面には、耐インク性耐液体性を有する材料、例えば、酸化タンタルTaOx;アモルファスからなる保護膜200が設けられている。なお、このような保護膜200の材料は、酸化タンタルに限定されず、使用するインクのpH値によっては、例えば、酸化シリコンSiO2、酸化ジルコニウムZrO2、ニッケルNi、クロムCr等を用いてもよい。保護膜200の厚さとしては、流路形成基板10がインクによって浸食されない程度の厚さであればよく、本実施形態では、約50nmの厚さで設けた。なお、ここでいう耐インク性とは、アルカリ性のインクに対する耐エッチング性のことである。このように、流路形成基板10の液体流路の内面に保護膜200を設けることにより、流路形成基板10がインクにより侵食されるのを防止することができる。一方、流路形成基板10の圧力発生室12等の液体流路が開口する一方面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が、接着剤22を介して接着されている。なお、ノズルプレート20は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなる。また、接着剤22としては、例えば、エポキシ系接着剤を用いることができる。なお、エポキシ系接着剤は、シリコンや酸化シリコンとの濡れ性に優れており、また、水蒸気のガスバリア性に優れているため、良好な気密封止が可能となる。一方、このような流路形成基板10のノズルプレート20とは反対側の面には、上述したように、厚さが例えば1.0μmの弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、厚さが例えば、約0.4μmの酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、厚さが例えば、約0.2μmの第1電極60と、厚さが例えば、約1.0μmの圧電体層70と、厚さが例えば、約0.05μmの第2電極80とが積層形成されて、圧電アクチュエーター300を構成している。ここで、圧電アクチュエーター300は、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層70から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第1電極60は圧電アクチュエーター300の共通電極とし、第2電極80を圧電アクチュエーター300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。なお、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び第1電極60が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50及び絶縁体膜55を設けずに、第1電極60のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター300自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ここで、図3に示すように、圧力発生室12の振動板弾性膜50側の角部、すなわち、隔壁11と弾性膜50との境界であって、隔壁11と弾性膜50とで画成された角部には、この角部を覆うヤング率が10GPa以下の樹脂材料からなる樹脂部23が形成されている。ここで、樹脂部23は、保護膜200上に形成されたものであり、少なくとも圧力発生室12の並設方向両側の角部に設けられていればよい。本実施形態では、流路形成基板10の液体流路と弾性膜50とで画成された角部に亘って連続して樹脂部23を形成するようにした。また、樹脂部23は、表面が円弧状に凹んだ曲面となる形状を有する。すなわち、樹脂部は、隔壁11と弾性膜50とに跨って略三角形状の断面となり、この三角形状の圧力発生室12側の表面隔壁11の表面と弾性膜50の表面とを結ぶ面が円弧凹面となっている。また、樹脂部23の材料は、ヤング率が10GPa以下の樹脂材料であれば特に限定されないが、シリコンや酸化シリコンに対する濡れ性に優れたエポキシ系樹脂を用いるのが好適である。本実施形態では、樹脂部23の形成方法として、ノズルプレート20と流路形成基板10とを接着する際の接着剤22を圧力発生室12の角部を毛細管現象によって伝わらせることで樹脂部23を形成した。なお、樹脂部23は、隔壁11と弾性膜50とで画成された角部に直接、樹脂材料を塗布や滴下することでも形成することができる。そして、このような樹脂部23は、圧力発生室12の並設方向において、圧力発生室12内の振動板弾性膜50の保護膜200が形成されていない領域である振動部の幅wと、樹脂部23の表面の円弧凹面の半径rとの比率w/rが、0.017以上、0.087以下となっている。このように振動板の振動部の幅wに対する樹脂部23の半径rの比率w/rを0.017以上とすることにより、振動板の変位によって保護膜200の特に隔壁11と弾性膜50とで画成された角部に相対向する領域でクラックが発生するのを抑制することができる。すなわち、保護膜200には、隔壁11と弾性膜50とで画成された角部と同じ形状の角部が形成されるため、この角部に応力が発生することによって角部を基点としてクラックが発生してしまう。本実施形態では、この角部に樹脂部23を設けることで、樹脂部23が保護膜200の角部に集中する応力を緩和して、保護膜200にクラックが発生するのを低減することができる。また、振動板の振動部の幅wに対する樹脂部23の半径rの比率w/rを0.087以下とすることにより、樹脂部23が振動板の変位を著しく低下させるのを抑制して、インク吐出特性の低下やばらつきが発生するのを抑制することができる。すなわち、樹脂部23の半径rを規定するということは、振動板弾性膜50上にはみ出した樹脂部23のはみ出し量幅を規定しているということであり、このはみ出し量幅が大きすぎると、振動板の変位が著しく低下してしまうが、本実施形態では、樹脂部23の半径rを規定することで、振動板の変位が著しく低下するのを抑制することができる。なお、上述したように、ノズルプレート20と流路形成基板10とを接着する接着剤22によって樹脂部23を形成する場合には、接着剤22の材料に対して、ノズルプレート20と流路形成基板10とを加圧する圧力や、加熱する温度、加熱時間等を調整することにより、制御することが可能である。本実施形態では、ノズルプレート20と流路形成基板10とを接着する接着剤として、エイブルボンド342-37商品名;日本エイブルスティック株式会社製のエポキシ系低温硬化タイプ、粘度が1000cp~14000cpを用いた。なお、この接着剤は、常温25°C~150°Cの範囲で硬化が進み48時間~2時間で硬化が終了するものである。また、エイブルボンド342-37は、硬化後のヤング率は1GPa以下となるものである。ここで、樹脂部23の半径を変えた場合と、ヤング率を変えた場合の振動板の変位量と、隔壁11と弾性膜50との角部保護膜200の破壊の指標となる相当応力とを有限要素法によって計算した。これらの結果を図4に示す。なお、図4aは、樹脂部23を設けていない角部の相当応力100に対して、振動板の振動部の幅wに対する樹脂部23の半径rの比率を変化させて樹脂部23を設けた場合の角部の相当応力を算出した結果を示すグラフである。また、図4bは、樹脂部23を設けていない場合の振動板の変位量100に対して、振動板の振動部の幅wに対する樹脂部23の半径rの比率を変化させた際の結果を示すものである。図4aに示すように、樹脂部23を設けていない角部の相当応力100に対して、樹脂部23を少しでも設けることで角部の相当応力を低下させることができる。この計算において、樹脂部23を設けることによって、角部の相当応力を低下させることができる効果が実証された比率r/wの最小値が0.017となっている。なお、樹脂部23のヤング率が1GPa、10GPa、100GPaの何れであっても、樹脂部23を設けることで、角部の相当応力は低下させることができる。また、図4bに示すように、樹脂部23を設けていない場合の振動板の変位量100に対して、振動板の振動部の幅wに対する樹脂部23の半径rの比率を増大させることで、振動板の変位量が低下する。このとき、ヤング率が10GPaの樹脂部23では、振動板の変位量が90となるのが、比率r/wが0.087のときである。ちなみに、ヤング率が100GPaの樹脂部を設けた場合には、樹脂部を設けていない場合に対して振動板の変位量が90とするには、樹脂部の比率r/wをもっと小さく、すなわち、樹脂部のはみ出し量半径rを小さくする必要があるが、一般的に接着剤22として用いられる樹脂の硬化後のヤング率は10GPa以下であるため、本実施形態では、ヤング率が10GPa以下の樹脂に限定している。また、同様にヤング率が1GPaの樹脂部では、振動板の変位量が90となるのは、樹脂部の比率r/wをもっと大きくしてもよい。これらの結果から、本実施形態では、ヤング率が10GPa以下の樹脂材料で形成された樹脂部23であって、振動部の幅wに対する樹脂部23の半径rの比率r/wが、0.017以上、0.087以下とすることで、保護膜200の角部の相当応力を低減して、保護膜200にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。ちなみに、保護膜200にクラックが発生すると、インクがクラック内に侵入し、流路形成基板10がインクによって浸食されてしまう。また、保護膜200はクラックによって剥離し、剥離した保護膜200が異物となって、ノズル開口21の目詰まりインク吐出不良を生じさせる。本実施形態では、保護膜200のクラックを抑制することで、流路形成基板10のインクによる浸食を抑制して耐久性を向上することができると共に、インク吐出不良等の不具合が発生するのを抑制することができる。また、本実施形態では、振動板の振動部の幅wに対する樹脂部23の半径rの比率r/wを規定することにより、樹脂部23を設けることによる振動板の著しい変位量の低下変位量が90よりも小さくなるを抑制することができる。なお、振動板の変位量は、インクジェット式記録ヘッドIの製造工程時の誤差等によって10程度前後するものであり、変位量の10以内の低下したものについては、製品化が可能なように駆動信号等の特性が設定されているものである。このような各圧電アクチュエーター300の第2電極80には、流路形成基板10のインク供給路14とは反対側の端部近傍まで延設された金Au等のリード電極90がそれぞれ接続されている。このリード電極90を介して各圧電アクチュエーター300に選択的に電圧が印加される。このような圧電アクチュエーター300が形成された流路形成基板10上、すなわち、第1電極60、弾性膜50及びリード電極90上には、マニホールド100の少なくとも一部を構成するマニホールド部31を有する保護基板30が接着剤35を介して接合されている。このマニホールド部31は、本実施形態では、保護基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるマニホールド100を構成している。また、保護基板30の圧電アクチュエーター300に対向する領域には、圧電アクチュエーター300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電アクチュエーター保持部32が設けられている。圧電アクチュエーター保持部32は、圧電アクチュエーター300の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。このような保護基板30としては、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。また、保護基板30には、保護基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられている。そして、各圧電アクチュエーター300から引き出されたリード電極90の端部近傍は、貫通孔33内に露出するように設けられている。また、保護基板30上には、並設された圧電アクチュエーター300を駆動するための駆動回路120が固定されている。この駆動回路120としては、例えば、回路基板や半導体集積回路IC等を用いることができる。そして、駆動回路120とリード電極90とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線121を介して電気的に接続されている。また、このような保護基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。ここで、封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料例えば、厚さが6μmのポリフェニレンサルファイドPPSフィルムからなり、この封止膜41によってマニホールド部31の一方面が封止されている。また、固定板42は、金属等の硬質の材料例えば、厚さが30μmのステンレス鋼SUS等で形成される。この固定板42のマニホールド100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、マニホールド100の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路120からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの第1電極60と第2電極80との間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、第1電極60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。他の実施形態以上、本発明の実施形態1について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。上述した実施形態1では、振動板を構成する弾性膜50が流路形成基板10の圧力発生室12の一方面を画成するようにしたが、特にこれに限定されず、隔壁11が振動板として作用するインクジェット式記録ヘッドにも本発明を適用することが可能である。また、例えば、上述した実施形態1では、ノズル開口21からインク滴を吐出する圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター300を用いて説明したが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターを用いてもよい。また、上述した実施形態1では、ノズル開口21からインク滴を吐出する圧力発生手段として圧電アクチュエーター300を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。また、上述した実施形態1では、流路形成基板10として、結晶面方位が110面のシリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、結晶面方位が100面のシリコン単結晶基板を用いるようにしてもよく、また、SOI基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図5は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図5に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。また、上述したインクジェット式記録装置IIでは、インクジェット式記録ヘッドIヘッドユニット1A、1Bがキャリッジ3に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドIが固定されて、紙等の記録シートSを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED電界放出ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。