透明基板の一方の面にタッチパネル電極を形成し、他方の面にカラーフィルタを形成する方法であって、タッチパネル電極およびカラーフィルタの形成に先立って、レーザ光源を利用して透明基板の内部にインナーマーカーを形成し、該インナーマーカーを指標として、タッチパネル電極およびカラーフィルタを形成することを特徴とするタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法。インナーマーカーとして、アライメントマークおよび位置精度管理用バーニアをそれぞれ複数箇所に設けることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法。インナーマーカーを用いて、フォトリソグラフィ法により形成することを特徴とする請求項1または2に記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法。透明基板がガラス基板であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の製造方法により製造されるタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板。透明基板の内部にインナーマーカーを有して、基板の表裏両面に形成する複数パターンの位置合わせ指標として該インナーマーカーを統一的に使用可能とすることを特徴とするインナーマーカーを有する透明基板。本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、パターンを含む複数の層からなるタッチパネル電極とカラーフィルタ層とを透明基板の互いに反対側の表面に設けるにあたり、正確な位置合わせを簡単に可能にしてタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板を提供することである。上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、透明基板の一方の面にタッチパネル電極を形成し、他方の面にカラーフィルタを形成する方法であって、タッチパネル電極およびカラーフィルタの形成に先立って、レーザ光源を利用して透明基板の内部にインナーマーカーを形成し、該インナーマーカーを指標として、タッチパネル電極およびカラーフィルタを形成することを特徴とするタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法である。また、請求項2に記載の発明は、インナーマーカーとして、アライメントマークおよび位置精度管理用バーニアをそれぞれ複数箇所に設けることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法である。また、請求項3に記載の発明は、インナーマーカーを用いて、フォトリソグラフィ法により形成することを特徴とする請求項1または2に記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法である。また、請求項4に記載の発明は、透明基板がガラス基板であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の製造方法により製造されるタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板である。また、請求項5に記載の発明は、透明基板の内部にインナーマーカーを有して、基板の表裏両面に形成する複数パターンの位置合わせ指標として該インナーマーカーを統一的に使用可能とすることを特徴とするインナーマーカーを有する透明基板である。本発明は、透明基板の内部にインナーマーカーを形成し、該インナーマーカーを共通の指標として、透明基板の互いに異なる面にタッチパネル電極とカラーフィルタを形成するので、表裏面のパターン間の正確な位置合わせを簡単に可能にして、優れた品質のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板を提供することができる。以下、図面に従って、本発明を実施するための形態について説明する。図2は、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板を用いた液晶表示装置の構造例を説明するための部分断面模式図である。本例に示す液晶表示セル10の内部構造は、TN方式等の縦電界方式の液晶分子制御の方式であり、TFT薄膜トランジスタを画素駆動素子としたアクティブマトリクス方式であり、かつ、TFTとは別の基板上にCFカラーフィルタ着色層を設けたCF貼り合わせ構造を表示しているが、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板が適用される液晶表示セルは、これに限定されない。本例では、第一の透明基板1の一方の面にブラックマトリクス3とカラーフィルタ着色層7を有し、それらを覆う絶縁層4と透明な対向電極12と液晶配向膜9とを形成して、液晶表示セル10の表示光15が出射される表示側基板とし、第二の透明基板2の一方の面に液晶駆動用回路TFT素子および配線層5と画素電極8と液晶配向膜9とを形成して、バックライト照明光14が入射されるバックライト側基板とし、表示側基板とバックライト側基板とのそれぞれの液晶配向膜9を対向させた間に液晶層11を挟んで、液晶表示セル10を構成するとともに、液晶表示セル10の外側の2平面に偏光層13を設けて用いることができる。本発明は、上記の液晶表示セル10の表示側基板にタッチセンサ機能を付設したタッチセンサ機能付き液晶表示装置を構成するにあたって、液晶表示セル10を完成させた後にタッチセンサ機能部分を外付けするのではなく、液晶表示セル10を完成させる前に、表示側基板を構成する第一の透明基板1のカラーフィルタ着色層7とは反対側の面に、上記タッチセンサ機能を付与するタッチパネル電極20を構成して、薄型の表示装置を組み立て工程を簡略化して製造することのできる部品として、タッチパネル電極付きカラーフィルタ基板を形成するものである。図1は、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の構造例を説明するための部分断面模式図である。本発明は、透明基板30の一方の面本図では下側の面にタッチパネル電極20を形成し、他方の面本図では上側の面にブラックマトリクス3とカラーフィルタ着色層7とを含むカラーフィルタを形成する方法であって、タッチパネル電極およびカラーフィルタの形成に先立って、レーザ光源を利用して透明基板30の内部にインナーマーカー31を形成し、該インナーマーカーを指標として、タッチパネル電極およびカラーフィルタの各パターンを適正な位置に形成する。透明基板30の内部にインナーマーカー31を設ける手段として、加工用のレーザ光源、例えば、Nd:YAGレーザやNd:YVO4レーザ等のLD励起固体レーザが一般に用いられ、1064nmの波長を有する基本波または非線形光学結晶による波長変換を経た532nmの波長を有する第2高調波SHGレーザや355nmの波長を有する第3高調波THGレーザが使用できる。その他、大出力用として、CO2レーザも用いられる。レーザ光源からのスポット光を対象物としての透明基板の適正な位置に照射し、レーザ光の照射位置を、光源または基板の駆動により光源と基板との相対位置を変えることによって、任意に選んで描画することができる。上記の方法により、透明基板の特定点からの一定位置を規定するインナーマーカーを形成することができ、透明基板における原点として定めることもできる。レーザ光により透明層の内部が加工されるメカニズムの詳細は不明であるが、対象物の材質および光学特性に応じて、特定波長のレーザ光の収束角度と焦点を調節することにより、一定の内部深さの点に焼き付けに相当する損傷または物性値の変化領域を作り出すことができる。レーザ加工後に、加工部に照明光を与えると、光散乱による白点の集合となって周囲の他の領域と異なる見え方をするため、全体を画像として捉えることができる。本加工方法では、透明基板内部の加工であるため、微細加工工程で問題となることの多いパーティクルの発生が全くない、クリーンマーキングとすることができる。上記透明基板30としては、無アルカリガラス等の透明性、平坦性、耐薬品性に優れたガラス基板を用いることが多く、厚さは0.5mmや0.7mm程度のものが多いが、限定されない。また、タッチパネル電極20として前記静電容量式投影型の場合には、多層パターンからなる複雑な構造を必要とする場合もあり、第一層には、例えばモリブデン-アルミニウム-モリブデンのサンドイッチ構造からなる金属パターンを用いて、後述の位置精度管理用のバーニアと称する精度管理マークも併せて複数箇所に形成し、該層の基板上での絶対位置をインナーマーカーに対して保証するとともに、以下の積層パターンとの精度管理に利用することが望ましい。カラーフィルタ側の第一層には、上記と同様の理由で、遮光性のブラックマトリクス3のパターンを第一層として、その形成時にバーニアも併せて複数箇所に形成することが望ましい。本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法は、透明基板30の内部に形成したインナーマーカー31を指標として、タッチパネル電極20およびブラックマトリクス3とカラーフィルタ着色層7とを含むカラーフィルタを形成するものであるが、インナーマーカー31をどのように指標として利用するかは特に限定されない。しかしながら、タッチパネル電極およびカラーフィルタを公知のフォトリソグラフィ法により形成することが、精度上では最も望ましく、アライメント機構付きの露光機を用いて、位置合わせすることが望ましい。フォトマスクを事前に準備するには、露光波長に対する透明性と平坦性に優れ、歪みやキズの生じ難いガラスや合成石英等の基板上に、遮光性およびパターン形成適性の良好な金属薄膜により、予め適正な位置関係で主パターンとアライメントマークやバーニアを形成しておく。インナーマーカー31を透明基板内部に予め形成し少なくとも最表面に感光層を載せた加工対象の透明基板30を露光ステージ上に設置し、上記フォトマスクを露光用マスクとして、通常は露光面から数十~百数十μmの露光ギャップを保って近接プロキシミティ露光を行う。フォトマスクのパターンの内、アライメントマークを露光面に投影した位置を、図1の透明基板30の表裏それぞれの面に32、および33で表す。すなわち、タッチパネル電極パターン側へのフォトマスク上のマークの基板投影位置32と、カラーフィルタパターン側へのフォトマスク上のマークの基板投影位置33とを、順次行うが、図1でまとめて表現する。インナーマーカー31に対応する基板表面の位置に、上記基板投影位置32と基板投影位置33とを合わせることを露光機のアライメント機構により行う。図3は、前述したアライメントマークによる位置合わせ方法を説明するための模式図である。aの斜視図に示すように、透明基板30を露光対象として、フォトマスク40を透明基板の露光面に近接配置し、図の上方から露光するが、露光に先立ってマーク読み込みカメラ50を用いて、図の点線矢印の方向に観察してアライメント機構を働かせる。読み込みカメラ50およびその制御機構図示せずは、b1に点線円で示す視野の中にフォトマスク40のアライメントマーク43を画像処理にて認識し、b2に点線円で示す視野の中に透明基板30内部のインナーマーカー31を画像処理にて認識するように位置調整し、画像処理にて認識した両図形を重ねてcの読み込み画像のモニター画面で正しい位置関係となるように、透明基板30とフォトマスク40との位置関係を微調整するための信号を発信させ、図示していない基板ステージまたはフォトマスクホルダーの相互位置関係を微動させる。なお、インナーマーカー31がマーク読み込みカメラ50により認識できるためには、透明基板30の露光面側のカメラ視野内の表面を遮光膜が覆っていないことが必要であることは言うまでもない。また、上記アライメントマークに対する読み込み位置を、透明基板30もフォトマスク40もともに2箇所設けることにより、平面上の角度補正も含めて容易に行えることは、従来のアライメント機構と同様である。次に、本発明の中でインナーマーカーとバーニアを用いた位置精度管理の方法について、図4に従って説明する。図4は、バーニアによる位置精度の管理方法を説明するための模式図である。前述のように、透明基板30の表面に形成される主パターン35は、透明基板30の表裏面ともに多層であり、それぞれの各層間での中心位置または平均的な位置での合わせが必要であると同時に、露光時の基板の伸縮等によるトータルピッチの変化が一定しない場合は、パターンの一部領域での層間位置合わせ不良が生じるという不具合が発生するので、基板全面に亘る品質管理が重要となる。上記のような不具合状況を工程中に察知して回避するとともに、製品の仕上がり品質の確認を容易に行って不良品の出荷を防止する意味で、バーニアによる位置精度管理パターンセット36を透明基板30の複数箇所に設けることが望ましい。バーニアによる位置精度管理パターンセット36は、図では基板の四隅の点線円で囲った領域に示しているが、これに限定されるものではなく、主パターン35の有効領域を外して任意に設けることができる。バーニアによる位置精度管理パターンセット36は、例えば、基板内部のバーニア37と基板表面のバーニア38との組合わせでなり、アライメントマークによる位置合わせ時の読み込み方法と同様に、工程中のアライメントに利用できる。但しその場合は、アライメント時の透明基板の露光面におけるバーニアによる位置精度管理パターンセット36の領域は少なくとも半透過性であることが必要である。また、それだけではなく、実際に露光機で焼き付けたパターンを代表するマークとして、基板表面のバーニア38とその直下に位置すべき予め設けた基板内部のバーニア37との合わせの程度を基板中の各位置で検証することにより、基板全面に亘る品質管理が可能となる。なお、後者の事後検証の目的に限定してバーニアによる位置精度管理パターンセット36を利用する場合は、透明基板の露光面の該当領域に予め遮光膜を存在させることができる。図4に示したバーニアによる位置精度管理パターンセット36の拡大図で説明すれば、基板中の特定の位置のバーニアによる位置精度管理パターンセット36を、前記マーク読み込みカメラ50により、または工程後、あるいは工程から取り出して別途顕微鏡により観察を行うことができる。次に、インナーマーカーの一種としての基板内部のバーニア37と基板表面に形成されたバーニア38との四方の平面距離a、b、c、dを、読み込んだ観察画像からビデオミクロメーターにて計測することができる。基板の四隅を含めた各位置で、a=b、c=dとなることが理想的であるが、基板上へのフォトマスクのパターン転写の位置精度およびトータルピッチ精度の許容限界に従って、工程中の合わせ込み目標値と、出荷基準を含めた品質管理基準の管理値を定めることができる。上記目標値または管理値を、X方向にAμm、Y方向にBμmとすれば、以下の2式により、管理値AおよびBを設定し、|a-b|≦A1|c-d|≦B2A、Bは任意の正の数と、定めて透明基板30の表裏両面でのパターン形成品質を一元管理することができる。すなわち、1aとbとの差の絶対値がAを超えないこと、および、2cとdとの差の絶対値がBを超えないことを基準として、管理する。なお、AとBとは同じ値に設定することも可能である。上述のように、本発明により、正確な位置合わせを簡単に可能にしてタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板を提供できるが、本発明は、タッチパネル電極付きカラーフィルタ基板に限らず、透明基板の表裏両面に複数パターンを形成する他のケースにも同様に適用可能である。すなわち、透明基板の内部にインナーマーカーを有して、基板の表裏両面に形成する複数パターンの位置合わせ指標として該インナーマーカーを統一的に使用可能とすることを特徴とするインナーマーカーを有する透明基板を提供することができる。また、上記インナーマーカーを有する透明基板を用いることにより、前記タッチパネル電極付きカラーフィルタ基板を高品質で容易に提供できる。