"第1の温度調整装置で所要の温度に調整された第1の液体が収容される外部タンク、前記外部タンクの内部に前記第1の液体より上方に位置するように設置され、第2の温度調整装置で前記第1の液体と異なる温度に調整された第2の液体が収容される内部タンク、前記外部タンクから送られる第1の液体及び内部タンクから送られる第2の液体を単独で又は混合して負荷に供給するバルブ装置、前記外部タンク内の第1の液体を第1のポンプで前記バルブ装置に送る外部タンク用送出路と、該バルブ装置からの液体を前記外部タンク内に戻す外部タンク用帰還路とを有する外部タンク用液体循環路、前記内部タンク内の第2の液体を第2のポンプで前記バルブ装置に送る内部タンク用送出路と、該バルブ装置からの液体を前記内部タンク内に戻す内部タンク用帰還路とを有する内部タンク用液体循環路、前記外部タンク用送出路と内部タンク用帰還路とを結ぶ流路を開閉する第1の開閉弁、前記内部タンク用送出路と外部タンク用帰還路とを結ぶ流路を開閉する第2の開閉弁、前記外部タンク内に配設され、前記第1の液体の液位が安定運転のための下方限界である下限液位に達したことを検出して前記第2の開閉弁を開放する外部タンク用下限液位センサ、前記内部タンク内に配設され、前記第2の液体の液位が安定運転のための下方限界である下限液位に達したことを検出して前記第1の開閉弁を開放する内部タンク用下限液位センサ、を有することを特徴とする液体循環供給装置。第1の温度調整装置で所要の温度に調整された第1の液体が収容される外部タンク、前記外部タンクの内部に前記第1の液体より上方に位置するように設置され、第2の温度調整装置で前記第1の液体と異なる温度に調整された第2の液体が収容される内部タンク、前記外部タンクから送られる第1の液体及び内部タンクから送られる第2の液体を単独で又は混合して負荷に供給するバルブ装置、前記外部タンク内の第1の液体を第1のポンプで前記バルブ装置に送る外部タンク用送出路と、該バルブ装置からの液体を前記外部タンク内に戻す外部タンク用帰還路とを有する外部タンク用液体循環路、前記内部タンク内の第2の液体を第2のポンプで前記バルブ装置に送る内部タンク用送出路と、該バルブ装置からの液体を前記内部タンク内に戻す内部タンク用帰還路とを有する内部タンク用液体循環路、前記外部タンク用送出路と内部タンク用帰還路とを結ぶ流路を開閉する第1の開閉弁、前記内部タンク用送出路と外部タンク用帰還路とを結ぶ流路を開閉する第2の開閉弁、前記外部タンク内に配設され、前記第1の液体の液位が安定運転のための上方限界である上限液位に達したことを検出して前記第1の開閉弁を開放する外部タンク用上限液位センサ、前記内部タンク内に配設され、前記第2の液体の液位が安定運転のための上方限界である上限液位に達したことを検出して前記第2の開閉弁を開放する内部タンク用上限液位センサ、を有することを特徴とする液体循環供給装置。前記内部タンクは、定常運転時の第2の液体の液位である常用液位に対応する位置に液位調整孔を有し、該第2の液体の前記常用液位からの液位上昇分を該液位調整孔から外部タンク内に流入させて前記常用液位を維持するように構成されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体循環供給装置。前記内部タンクは、第2の液体の液位が上限液位を越えた場合に該第2の液体をオーバーフローさせるオーバーフロー口を有することを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の液体循環供給装置。前記外部タンクは、装置の運転終了時に前記外部タンク用液体循環路、内部タンク用液体循環路、バルブ装置、及び負荷にある液体を回収して収容可能な容量を有し、また、前記内部タンクは、装置運転中に前記外部タンク内の第1の液体の液位が前記上限液位まで上昇しても該第1の液体と接触しない位置に配置されていることを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の液体循環供給装置。前記外部タンク用送出路と内部タンク用帰還路とを結ぶ流路を開閉する第3の開閉弁を有し、該第3の開閉弁の流路断面積は前記第1の開閉弁の流路断面積より大きいことを特徴とする請求項1から5の何れかに記載の液体循環供給装置。本発明の目的は、液温が異なる2種類の液体を用いて負荷を冷却する液体循環供給装置において、前記液体が収容された2つのタンク間での液体の移動に伴う液位変化を吸収して各タンクにおける液体の温度調整を容易にすると共に、装置をコンパクトかつ安価に設置できるようにすることにある。前記目的を達成するため、本発明の液体循環供給装置は、第1の温度調整装置で所要の温度に調整された第1の液体が収容される外部タンク、該外部タンクの内部に前記第1の液体より上方に位置するように設置され、第2の温度調整装置で前記第1の液体と異なる温度に調整された第2の液体が収容される内部タンク、前記外部タンクから送られる第1の液体及び内部タンクから送られる第2の液体を単独で又は混合して負荷に供給するバルブ装置、前記外部タンク内の第1の液体を第1のポンプで前記バルブ装置に送る外部タンク用送出路と、該バルブ装置からの液体を前記外部タンク内に戻す外部タンク用帰還路とを有する外部タンク用液体循環路、前記内部タンク内の第2の液体を第2のポンプで前記バルブ装置に送る内部タンク用送出路と、該バルブ装置からの液体を前記内部タンク内に戻す内部タンク用帰還路とを有する内部タンク用液体循環路、前記外部タンク用送出路と内部タンク用帰還路とを結ぶ流路を開閉する第1の開閉弁、前記内部タンク用送出路と外部タンク用帰還路とを結ぶ流路を開閉する第2の開閉弁、前記外部タンク内に配設され、前記第1の液体の液位が安定運転のための下方限界である下限液位に達したことを検出して前記第2の開閉弁を開放する外部タンク用下限液位センサ、前記内部タンク内に配設され、前記第2の液体の液位が安定運転のための下方限界である下限液位に達したことを検出して前記第1の開閉弁を開放する内部タンク用下限液位センサを有することを特徴とする。本発明においては、前記外部タンク用下限液位センサ及び内部タンク用下限液位センサに代えて、外部タンク内の第1の液体の液位が上限液位に達したことを検出して第1の開閉弁を開放する外部タンク用上限液位センサと、内部タンク内の第2の液体の液位が上限液位に達したことを検出して第2の開閉弁を開放する内部タンク用上限液位センサとを設けることもできる。また、本発明において、前記内部タンクは、定常運転時の第2の液体の液位である常用液位に対応する位置に液位調整孔を有し、該第2の液体の前記常用液位からの液位上昇分を該液位調整孔から外部タンク内に流入させて前記常用液位を維持するように構成することも、第2の液体の液位が上限液位を越えた場合に該第2の液体をオーバーフローさせるオーバーフロー口を有するように構成することもできる。本発明において好ましくは、前記外部タンクが、装置の運転終了時に前記外部タンク用液体循環路、内部タンク用液体循環路、バルブ装置、及び負荷にある液体を回収して収容可能な容量を有し、また、前記内部タンクは、装置運転中に前記外部タンク内の第1の液体の液位が前記上限液位まで上昇しても該第1の液体と接触しない位置に配置されていることである。本発明は、前記外部タンク用送出路と内部タンク用帰還路とを結ぶ流路を開閉する第3の開閉弁を有し、該第3の開閉弁の流路断面積は前記第1の開閉弁の流路断面積より大きく形成されていても良い。本発明によれば、第1の液体が収容された外部タンクの内部に第2の液体が収容された内部タンクを設置したことにより、両タンクを別々の場所に設置した従来例に比べて装置をコンパクトかつ安価に構成することができる。また、2つのタンク間を液体が移動することによる液位の変化を第1の開閉弁及び第2の開閉弁で吸収し、各タンク内での急激かつ大幅な液位変化をなくして液体の温度調整を容易にすることができる。図1は本発明に係る液体循環供給装置の第1実施形態を示す構成図である。この液体循環供給装置は、第1の液体F1が収容された大容量の外部タンク1と、該外部タンク1の内部に設置されて前記第1の液体F1とは異なる温度の第2の液体F2が収容された小容量の内部タンク2と、前記第1の液体F1及び第2の液体F2を単独であるいは混合して負荷4に供給するバルブ装置3と、前記外部タンク1内の第1の液体F1を前記バルブ装置3に循環的に供給する外部タンク用液体循環路5と、前記内部タンク2内の第2の液体F2を前記バルブ装置3に循環的に供給する内部タンク用液体循環路6と、前記第1の液体F1を所要の温度に調整する第1の温度調整装置7と、前記第2の液体F2を所要の温度に調整する第2の温度調整装置8と、設定されたプログラムに従って装置全体を制御する制御装置9とを有している。本実施形態では、例えば第1の液体F1の温度が50°C、第2の液体F2の温度が-15°Cといったように、第1の液体F1の温度が第2の液体F2の温度より高く設定されている。なお、前記第1の液体F1と第2の液体F2とは、単に温度が違っているだけで同じ液体であるため、以下の説明において、両者を区別する必要がないときは単に液体又は液体Fと呼ぶこととする。前記外部タンク1は、底壁1aと側壁1bと上壁1cとによって外面全体を取り囲まれており、前記上壁1cには給液口1dが形成され、装置の使用に先だって前記外部タンク1内及び内部タンク2内に前記液体Fを収容する時に、前記給液口1dから内部タンク2に向けて上方から液体Fを供給できるようになっている。供給された液体Fは、内部タンク2の後述する液位調整孔11及びオーバーフロー口12からオーバーフローして外部タンク1内にも流入し、それによって両タンク1,2にそれぞれ必要量の液体Fが収容されるものである。前記外部タンク1の外面には、必要な断熱処理が施されている。図中13は、前記外部タンク1内の第1の液体F1の液位を外部から監視することができる液位計である。また、前記内部タンク2は、底壁2aと側壁2bとを有していてその上面は開放し、前記外部タンク1の上壁1cの下面に、該上壁1cとの間に間隔を保った状態に取り付けられ、全体が前記第1の液体F1の液面より上方の空間部内に位置するように設置されている。そして、該内部タンクの側壁2bの上端と前記外部タンク1の上壁1c下面との間に前記オーバーフロー口12が形成されている。前記オーバーフロー口12は、前記内部タンク2内の第2の液体F2の液位が異常上昇して定常運転時の上昇限界である上限液位F2Hを越えた場合に、その上昇分の液体をオーバーフローさせて内部タンク2の破損を防ぐためのものである。従って該オーバーフロー口12は、上限液位F2Hより上方位置に形成されていて、その開口面積は、前記異常上昇分の液体を確実にオーバーフローさせ得る大きさである。これに対して前記液位調整孔11は、側壁2bの前記オーバーフロー口12より低位置に一つ又は複数の孔として形成され、その開口面積は該オーバーフロー口12より小さくされている。即ち、この液位調整孔11は、装置の定常運転時の前記第2の液体F2の液位である常用液位F20に対応する位置に形成されていて、運転中に該第2の液体F2の液位が変動して前記常用液位F20から上昇するとき、その上昇分の液体Fをオーバーフローさせて前記外部タンク1内に流入させることで前記常用液位F20を維持するものである。このため、該液位調整孔11の開口面積は、外部タンク1内の第1の液体F1の温度調整に影響を及ぼさない流量で前記第2の液体F2をオーバーフローさせることができるような大きさに形成されている。なお、前記内部タンク2内の第2の液体F2のの液位が常用液位F20にあるとき、前記外部タンク1内の第1の液体F1の液位も常用液位F10となる。かくして低温の第2の液体F2を収容した内部タンク2を外部タンク1の内部に設置することにより、該内部タンク2の底壁2aの外面及び側壁2bの外面に結露防止あるいは断熱のための加工を施す必要がなく、施すとしても非常に簡単なもので済み、コストが軽減される。また、2つのタンク1,2を別々の場所に設置する場合に比べて設置スペースを節約することができるので、装置をコンパクトに形成することができる。前記外部タンク用液体循環路5は、前記外部タンク1に接続されて前記第1の液体F1を第1のポンプ16で前記バルブ装置3に送る外部タンク用送出路5aと、該バルブ装置3からの液体Fを前記外部タンク1内に戻す外部タンク用帰還路5bとを有している。該帰還路5bの途中には熱交換器17が接続され、該熱交換器17において該帰還路5b内の液体と冷却回路18からの冷媒冷却水との間で熱交換が行われることにより、該帰還路5b内の液体Fが所要の温度に調整されて前記外部タンク1内に流入するようになっている。このとき、該外部タンク1内の第1の液体F1の温度が設定温度より低くなり過ぎた場合には、該外部タンク1内又は流路の適宜位置に設けたヒータ19で液温を高めることができるようになっており、前記熱交換器17及び冷却回路18とヒータ19とによって前記第1の温度調整装置7が形成されている。前記熱交換器17は外部タンク1内に設置することもでき、これにより、該熱交換器17の断熱処理が簡単になるだけでなく、該熱交換器17から万一液漏れが生じた場合でも漏れた液体を外部タンク1で受けられるため、安全性が高い。なお、前記第1の液体F1の設定温度によっては、前記熱交換器17及びヒータ19の何れか一方だけを設置し、他方を省略することもでき、その場合、前記第1の温度調整装置7は前記熱交換器17のみ又はヒータ19のみによって形成されることになる。前記第1の液体F1の温度調整は、前記外部タンク1、外部タンク用送出路5a、外部タンク用帰還路5b、及び負荷4の1箇所又は複数箇所に設置した温度センサで液体温度を測定し、その測定結果に基づいて前記制御装置9で第1の温度調整装置7を制御することにより行われる。図中PT1は前記送出路5aに接続された温度センサ、PS1は同圧力センサ、PT2は前記帰還路5bに接続された温度センサ、PT3は前記外部タンク1に接続された温度センサで、それぞれ前記制御装置9に接続されている。しかし、その接続状態の図示は省略されている。この他にも、前記送出路5a及び帰還路5bには、必要な位置に流量計等の計器が接続されているが、それらの図示も省略されている。前記内部タンク用液体循環路6は、前記外部タンク1の上壁1cに取り付けられて内部タンク2内に浸漬された第2のポンプ20と、該ポンプ20に接続されて内部タンク2内の第2の液体F2を前記バルブ装置3に送る内部タンク用送出路6aと、該バルブ装置3からの液体を前記内部タンク2内に戻す内部タンク用帰還路6bとを有している。該帰還路6bの途中には熱交換器21が接続され、該熱交換器21において該帰還路6b内の液体と冷却回路22からの冷媒との間で熱交換が行われることにより、該帰還路6b内の液体が所要の温度に調整されて前記内部タンク2内に流入するようになっている。前記熱交換器21と冷却回路22とによって前記第2の温度調整装置8が形成されている。前記第2のポンプ20は、浸漬式に限らず、第1のポンプ16と同様に内部タンク用送出路6aの途中に設置することもできる。なお、前記内部タンク2内の第2の液体F2の温度が設定温度より低くなり過ぎた場合には、該内部タンク2内又は流路の適宜位置に設けたヒータで液温を高めるようにすることもできる。また、前記熱交換器21は外部タンク1の内部に設置することもでき、これにより、該熱交換器21の断熱処理が簡単になるだけでなく、該熱交換器21から万一液漏れが生じた場合でも漏れた液体を外部タンク1で受けられるため、安全性が高い。前記第2の液体F2の温度調整は、前記内部タンク2、内部タンク用送出路6a、内部タンク用帰還路6b、及び負荷4の1箇所又は複数箇所に設置した温度センサで液体温度を測定し、その測定結果に基づいて前記制御装置9で第2の温度調整装置8を制御することにより行われる。図中PT4は前記送出路6aに接続された温度センサ、PS2は同圧力センサ、PT5は前記帰還路6bに接続された温度センサ、PT6は前記内部タンク2に接続された温度センサで、それぞれ前記制御装置9に接続されている。しかし、その接続状態の図示は省略されている。この他にも、前記送出路6a及び帰還路6bには、必要な位置に流量計等の計器が接続されているが、それらの図示も省略されている。前記外部タンク用液体循環路5の外部タンク用送出路5aと、内部タンク用液体循環路6の内部タンク用帰還路6bとは、第1のバイパス流路23で相互に接続され、該第1のバイパス流路23に2ポート弁からなる第1の開閉弁24が接続され、前記制御装置9で開閉制御されるようになっている。この第1の開閉弁24は、内部タンク2の内部に設置された下限液位センサ25が第2の液体F2の液位低下を検出したとき、その検出信号により開放し、外部タンク用送出路5a内の液体Fの一部を内部タンク用帰還路6bに向けて補給するものである。また、前記内部タンク用液体循環路6の内部タンク用送出路6aと、外部タンク用液体循環路5の外部タンク用帰還路5bとは、第2のバイパス流路26で相互に接続され、該第2のバイパス流路26に2ポート弁からなる第2の開閉弁27が接続され、前記制御装置9で開閉制御されるようになっている。この第2の開閉弁27は、外部タンク1の内部に設置された下限液位センサ28が第1の液体F1の液位低下を検出したとき、その検出信号により開放し、内部タンク用送出路6a内の液体Fの一部を外部タンク用帰還路5bに向けて補給するものである。更に、前記外部タンク用送出路5aと内部タンク用帰還路6bとは、第3のバイパス流路29で相互に接続され、該第3のバイパス流路29に2ポート弁からなる第3の開閉弁30が接続され、前記制御装置9で開閉制御されるようになっている。この第3の開閉弁30は、装置のメンテナンス時などにスイッチ操作や外部からの電気、エア等の操作信号によって開閉されるもので、内部タンク2内の第2の液体F2の温度を常温程度に上昇させるため、外部タンク用送出路5a内の液体Fの一部を内部タンク用帰還路6bに向けて補給するものである。従って、前記第1の開閉弁24及び第2の開閉弁27の流路断面積は、前記外部タンク用及び内部タンク用の送出路5a,6a及び帰還路5b,6bの流路断面積に比べて十分に小さく形成され、前記外部タンク用送出路5aから内部タンク用帰還路6bに向けて、あるいは前記内部タンク用送出路6aから外部タンク用帰還路5bに向けて、小流量の液体が補給されるようになっており、これにより、前記外部タンク1内及び内部タンク2内の液体の温度調整に大きな影響を及ばさないようにしている。これに対して前記第3の開閉弁30は、内部タンク2内の第2の液体F2の温度を速やかに上昇させることができるように、流路断面積は前記第1の開閉弁24及び第2の開閉弁27に比べて大きく形成され、大流量の液体が流れるようになっている。なお、この第3の開閉弁30は、前記第1のバイパス流路23に前記第1の開閉弁24と並列に接続することもできる。前記第1-第3の開閉弁24,27,30には、電磁操作式やパイロット操作式あるいは電動式など、任意の方法で開閉操作される開閉弁を用いることができる。前記外部タンク1の内部には、第1の液体F1の液位が低下して運転時の下方限界である下限液位F1Lに達したことを検出して検出信号を出力する前記下限液位センサ28と、該第1の液体F1の液位が前記下限液位F1Lを越えて異常下降したことを検出して検出信号を出力する非常液位センサ32とが設けられ、それぞれ前記制御装置9に接続されている。そして、前記下限液位センサ28からの検出信号により前記制御装置9で第2の開閉弁27が開放され、内部タンク用送出路6aの液体が外部タンク用帰還路5bに補給されることによって外部タンク1内の液位が上昇するようになっている。また、前記非常液位センサ32から検出信号が出力されると、アラームが発せられて前記第1のポンプ16が停止するかあるいは第1及び第2のポンプ16,20が停止するようになっている。一方、前記内部タンク2の内部には、第2の液体F2の液位が低下して下限液位F2Lに達したことを検出して検出信号を出力する前記下限液位センサ25と、該第2の液体F2の液位が前記下限液位F2Lを越えて異常下降したことを検出して検出信号を出力する非常液位センサ33とが設けられ、それぞれ前記制御装置9に接続されている。そして、前記下限液位センサ25からの検出信号により前記第1の開閉弁24が開放され、外部タンク用送出路5aの液体が内部タンク用帰還路6bに供給されることによって該内部タンク2内の液位が上昇するようになっている。また、前記非常液位センサ33から検出信号が出力されると、アラームが発せられて前記第2のポンプ20が停止するかあるいは第1及び第2のポンプ16,20が停止するようになっている。次に、前記構成を有する液体循環供給装置の動作について説明する。装置の運転中に第1のポンプ16及び第2のポンプ20は何れも駆動され、外部タンク1内の第1の液体F1及び内部タンク2内の第2の液体F2は、前記外部タンク用液体循環路5及び内部タンク用液体循環路6を循環しながらバルブ装置3に供給され、制御装置9による該バルブ装置3の切換操作により、負荷4の冷却に適した温度の液体が外部配管4aを通じて負荷4に選択的に供給されたり、第1の液体F1と第2の液体F2とを適量ずつ混合することにより負荷4の冷却に適した温度に調整された液体が前記外部配管4aを通じて負荷4に供給される。前記バルブ装置3は、負荷4の制御を行う別の制御装置38で切換操作しても良い。そして、前記バルブ装置3の切換操作に伴い、該バルブ装置3を通じて前記外部タンク1と内部タンク2との間を液体が移動し、両タンク1,2内において液位が変動することになる。いま、図1において、外部タンク1内の第1の液体F1の液位が実線で示す常用液位F10から下降したとすると、内部タンク2内の第2の液体F2の液位はその分だけ上昇することになる。そして、前記外部タンク1内の液位が下限液位F1Lまで下降しない状況下では、前記内部タンク2内において、第2の液体F2の液位上昇分が液位調整孔11から外部タンク1内に流入することにより液位変動が吸収され、両タンク1,2内の液位は常用液位F10及びF20に回復する。このとき、前記外部タンク1においては、低温の第2の液体F2の流入によって第1の液体F1の温度が若干低下傾向を示すが、その流入量は少ないため、第1の温度調整装置7による温度調整に大きな影響はなく、直ちに設定温度に復帰することができる。一方、前記外部タンク1内の液位が下限液位F1Lまで下降した場合は、該外部タンク1内の下限液位センサ28が作動し、検出信号を出力することにより第2の開閉弁27が開放され、内部タンク用送出路6aの液体の一部が第2のバイパス流路26を通じて外部タンク用帰還路5b内に流入し、外部タンク1内に補給される。このとき、内部タンク2内の液位が常用液位F20より上昇している場合には、前記液位調整孔11からのオーバーフローも行われる。前記第2の開閉弁27は、外部タンク1内の液位が回復して前記下限液位センサ28がオフになるか、あるいは、該第2の開閉弁27が開放したあと一定の時間が経過したあとに閉鎖され、第2のバイパス流路26からの液体の補給は停止する。しかし、前記液位調整孔11から外部タンク1内への第2の液体F2の流入は継続して行われるため、両タンク1,2内の液体の液位は常用液位F10及びF20に回復する。この場合にも、外部タンク1内に流入する低温の第2の液体F2の流量は少ないため、該外部タンク1内における第1の液体F1の温度調整に大きな影響はない。前記第1の液体F1の液位が前記下限液位F1Lを越えて異常下降した場合には、非常液位センサ32がそれを検出して検出信号を出力し、アラームが発せられて前記第1のポンプ16が停止するかあるいは第1及び第2のポンプ16,20が停止する。このとき、前記内部タンク2において、第2の液体F2の液位が上限液位F2Hを越えてオーバーフロー口12の位置まで達した場合は、該オーバーフロー口12からオーバーフローし、該内部タンク2の破損が防止される。次に、前記外部タンク1内の第1の液体F1の液位が実線で示す常用液位F10の位置から上昇した場合、内部タンク2内の第2の液体F2の液位はその分だけ下降していることになる。そして、前記内部タンク2内の第2の液体F2の液位が下限液位F2Lまで下降した場合、前記外部タンク1内の第1の液体F1の液位は上限液位F1Hの位置まで上昇することになるが、該内部タンク2内に設置された下限液位センサ25が作動して検出信号を出力することにより第1の開閉弁24が開放し、外部タンク用送出路5aを流れる液体の一部が第1のバイパス流路23を通じて内部タンク用帰還路6b内に流入し、内部タンク2内に補給される。前記第1の開閉弁24は、内部タンク2内の液位が回復して前記下限液位センサ25がオフになるか、あるいは、該第1の開閉弁24が開放したあと一定の時間が経過したあと閉鎖され、第1のバイパス流路23からの液体の補給は停止される。このとき、前記内部タンク2においては、高温の第1の液体F1の流入によって第2の液体F2の温度が若干上昇傾向を示すが、その流入量は少ないため、第2の温度調整装置8による温度調整に大きな影響はなく、直ちに設定温度に復帰することができる。また、前記第2の液体F2の液位が前記下限液位F2Lを越えて異常下降した場合は、非常液位センサ33がそれを検出して検出信号を出力し、アラームが発せられて前記第2のポンプ20が停止するかあるいは第1及び第2のポンプ16,20が停止する。この場合、前記ポンプ16,20が停止しても、前記バルブ装置3の切換状態によっては内部タンク2内に液体が戻って来る可能性があり、それによって該内部タンク2内の液位が上昇した場合には、前記液位調整孔11やオーバーフロー口12からオーバーフローすることによって該内部タンク2の破損が防止される。前記第1の開閉弁24が閉鎖されて第1のバイパス流路23からの液体の補給が停止した段階で、両タンク1,2内の液体の液位は常用液位F10,F20に達していないこともあるが、それは定常運転可能な範囲内であり、装置の運転には影響はない。しかし、少なくとも一方のタンク内の液体が常用液位にあるかどうかを別の液位センサで検出し、常用液位まで回復したとき前記第1の開閉弁24を閉鎖するようにしても良い。これは前記第2の開閉弁27についても同様である。装置の運転が終了すると、循環中の液体Fは全て回収される。このとき、内部タンク用液体循環路6を通じてバルブ装置3及び負荷4を循環中の液体は、内部タンク2内に還流し、前記液位調整孔11及びオーバーフロー口12からオーバーフローして外部タンク1内に流入する。一方、外部タンク用液体循環路5を通じてバルブ装置3及び負荷4を循環中の液体は、直接外部タンク1内に還流する。従って、前記外部タンク1の容量は、前記外部タンク用液体循環路5、内部タンク用液体循環路6、バルブ装置3、及び負荷4からの液体Fを該外部タンク1内に収容できるような大きさに形成されている。この場合、該外部タンク1内の液体と前記内部タンク2とが液体回収後に必ずしも非接触状態を保っている必要はなく、該内部タンク2の一部又は全部オーバーフロー口12の位置までが液中に浸漬した状態になっても構わない。要するに、外部タンク1の容量は、液体回収後に該液体が外部に溢れ出ないような大きさであれば良い。しかし、前記内部タンク2は、装置運転中に前記外部タンク1内の第1の液体F1の液位が前記上限液位FIHの位置まで上昇した場合でも、該第1の液体F1と接触しないような位置に配置されていることが望ましい。装置のメンテナンスを行うときは、外部タンク1内の液体F1と内部タンク2内の液体F2との温度を平均化させる必要がある。そこで、スイッチ操作や外部からの電気、エア等の操作信号で大流量の前記第3の開閉弁30を開放すると、外部タンク用送出路5aの液体が内部タンク用帰還路6bに補給されて前記内部タンク2内に流入し、該内部タンク2内の液体F2の温度が上昇する。それと同時に、該内部タンク2内の液体F2が前記液位調整孔11及びオーバーフロー口12からオーバーフローして外部タンク1内に流入するため、該外部タンク1内の液体F1の温度が低下し、両タンク1,2内の液体の温度は平均化される。このとき、前記第3の開閉弁30の代わりに、あるいは該第3の開閉弁30に加えて、前記内部タンク2と外部タンク1とを直接結ぶオーバーフロー管を設け、このオーバーフロー管を大流量の開閉弁で開閉するようにしても良い。前記第1実施形態では、外部タンク1内及び内部タンク2内の液体の液位が下降したことを下限液位センサ25及び28で検出し、それによって前記第1及び第2開閉弁24,27を開放させるようにしているが、前記下限液位センサ25,28の代わりに、図2の第2実施形態のように、外部タンク1の内部及び内部タンク2の内部にそれぞれ上限液位センサ35,36を設け、該センサ35,36で各タンク1,2内の液体の液位が上限液位F1H,F2Hまで上昇したことを検出して前記第1及び第2開閉弁24,27を開放させるようしても良い。この場合、外部タンク1内の上限液位センサ35の作動によって第1の開閉弁24が開放し、外部タンク用送出路5aを流れる液体の一部が第1のバイパス流路23を通じて内部タンク用帰還路6b内に流入し、内部タンク2に補給される。また、内部タンク2内の上限液位センサ36の作動によって第2の開閉弁27が開放し、内部タンク用送出路6aの液体の一部が第2のバイパス流路26を通じて外部タンク用帰還路5b内に流入し、外部タンク1に補給される。この第2実施形態の前記以外の構成及び作用は第1実施形態と同じであるので、主要な同一構成部分に第1実施形態と同じ符号を付してその説明は省略する。なお、前記各実施形態においては、内部タンク2に液位調整孔11を設け、第2の液体F2の液位が常用液位F20より上昇した場合、前記液位調整孔11から該第2の液体F2の一部を外部タンク1内に流入させることにより両タンク内の液位を常用液位F10,F20を維持するようにしているが、両タンク1,2内の液体の液位は上限液位F1H,F2Hと下限液位F1L,F2Lとの間にあれば装置を定常運転できるため、この液位調整孔11は必ずしも必要なものではなく、省略しても構わない。また、前記各実施形態では、外部タンク1内の第1の液体F1の温度が内部タンク2内の第2の液体F2の温度より高く設定されているが、それとは逆に、外部タンク1内の第1の液体F1の温度が内部タンク2内の第2の液体F2の温度より低く設定されていても良い。更に、図1に鎖線で示すように、外部タンク1が第1の液体F1で満水になった場合にアラームを作動させる別の液位センサ37を必要に応じて設けることもできる。また、前記実施形態においては、前記液位センサがフロート式で、通常はオフの状態にあり、液位の変化を検出したときオンになって検出信号を出力するように構成されているが、それとは逆に、通常はオンの状態にあり、液位の変化を検出したときオフになってそれが検出信号となるように構成することもできる。あるいは、前記フロート式の液位センサの代わりに、液体の増減即ち液位の上昇及び下降をアナログ的あるいはデジタル的に無段階又は多段階に検出する液位センサを用いることもできる。この場合、各センサからの検出信号は制御装置に出力され、所定の液位になったところで該制御装置で第1及び第2の開閉弁が開閉制御される。"