ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを2個以上支持するターンテーブルと、該ターンテーブルを支持するターンテーブルベースとを備えた加工装置に搭載される可動配線配管接続装置であって、該ターンテーブルベースは、該ターンテーブルの回転中心を回転可能に支持する円柱形状の回転支持部を備え、該回転支持部の外壁を囲う形で該回転中心と同じ回転中心を有する円筒形状のケーブル巻き取り回転部が該ターンテーブルの下側に設置されており、該ケーブル巻き取り回転部の外周側に該回転中心と同じ中心を有し該ターンテーブルベースに固定された帯状のケーブル外周ガイド部を備え、該ケーブル巻き取り回転部と該ケーブル外周ガイド部との間にはケーブル格納エリアが形成され、複数の配線配管が並列に接着された帯状のフラット配線配管の一端が該ケーブル巻き取り回転部に固定され、他端は該ターンテーブルベースに固定され、該ケーブル格納エリアには、該ターンテーブル上側から見て該フラット配線配管がU字形状に湾曲して該フラット配線配管が格納され、該フラット配線配管は、該ターンテーブルの回転動作で該ケーブル巻き取り回転部に巻き取られる巻き取り回転方向と、該ケーブル巻き取り回転部から離間し該ケーブル外周ガイド部に押し付けられる反巻き取り回転方向とに湾曲し、該フラット配線配管が該ケーブル巻き取り回転部に最も巻き取られた状態を該ターンテーブルの原点位置とし、該原点位置を基準とする所定角度内で該ターンテーブルが往復回転動作可能であり、該ケーブル格納エリアには、該原点位置から該反巻き取り回転方向への動作時に、該ケーブル巻き取り回転部の回転中心から放射方向に押し出される力により離間する該フラット配線配管の押し出される距離を制限するガイド手段と、該ターンテーブルの該所定角度内における回転往復動作時、重みで垂れ下がる該フラット配線配管の湾曲部分が移動する範囲において該フラット配線配管を下側から支えるサポート手段と、該フラット配線配管の該湾曲部分の外周側に配設され、樹脂プレートにより摩擦抵抗を抑える摩擦抑制手段と、を備え、該ガイド手段は、該ケーブル巻き取り回転部の回転軸と平行な軸を回転軸とする円筒形状の垂直ローラが該ケーブル格納エリアに配設されて構成され、該垂直ローラは、該ケーブル巻き取り回転部の外周と同心円の同一円周上に配置され、該ターンテーブルが該原点位置にある時に該ケーブル巻き取り回転部に巻き取られた該フラット配線配管と該垂直ローラの外周とが接触しない間隔を確保して2個以上配設しており、該サポート手段は、該ターンテーブルの回転中心から放射状に延びる方向を回転軸とする水平ローラが該ケーブル格納エリアに配設されて構成される可動配線配管接続装置。ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを支持してX方向に直動可能なテーブルベースと、該テーブルベースを直動可能に支持する基台とを備えた加工装置に搭載される可動配線配管接続装置であって、X軸方向に延びるケーブル格納エリアを備え、複数の配線配管が並列に接着された帯状のフラット配線配管の一端が該テーブルベースに固定され、他端が該基台に固定され、該基台の上側から見て該フラット配線配管がU字形状に湾曲して該ケーブル格納エリアに格納され、該X軸方向に直交するY軸方向を回転軸とする水平ローラが該ケーブル格納エリアに2個以上配設され、該フラット配線配管の下側を支えるサポート手段と、樹脂プレートにより構成され、該フラット配線配管の湾曲部分の外周側に配設されることにより摩擦抵抗を抑制する摩擦抑制手段と、を備えた可動配線配管接続装置。しかし、配線配管の束は、固定体側と可動体側との2箇所のみで固定されるため、配線配管の移動距離が長くなった場合には、配線配管の湾曲部分が大きく広がり、湾曲部分の外側と固定体等との間に擦れが生じる。また、配線配管の重みにより固定されていない中間部分に垂れが発生しやすく、垂れた部分が固定体に接触して擦れが生じる。そのため、配線配管の移動距離が長くなった場合でも、配線配管が固定体に接触して擦れが発生しないようにすることが求められている。本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、配線配管が可動体と固定体とに固定される場合において、配線配管の中間部分が固定体に接触して擦れが生じないようにすることにある。第一の発明は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルを2個以上支持するターンテーブルと、ターンテーブルを支持するターンテーブルベースとを備えた加工装置に搭載される可動配線配管接続装置に関するもので、ターンテーブルベースは、ターンテーブルの回転中心を回転可能に支持する円柱形状の回転支持部を備え、回転支持部の外壁を囲う形で回転中心と同じ回転中心を有する円筒形状のケーブル巻き取り回転部がターンテーブルの下側に設置されており、ケーブル巻き取り回転部の外周側に回転中心と同じ中心を有しターンテーブルベースに固定された帯状のケーブル外周ガイド部を備え、ケーブル巻き取り回転部とケーブル外周ガイド部との間にはケーブル格納エリアが形成され、複数の配線配管が並列に接着された帯状のフラット配線配管の一端がケーブル巻き取り回転部に固定され、他端はターンテーブルベースに固定され、ケーブル格納エリアには、ターンテーブル上側から見てフラット配線配管がU字形状に湾曲してフラット配線配管が格納され、フラット配線配管は、ターンテーブルの回転動作でケーブル巻き取り回転部に巻き取られる巻き取り回転方向と、ケーブル巻き取り回転部から離間しケーブル外周ガイド部に押し付けられる反巻き取り回転方向とに湾曲し、フラット配線配管がケーブル巻き取り回転部に最も巻き取られた状態をターンテーブルの原点位置とし、原点位置を基準とする所定角度内でターンテーブルが往復回転動作可能であり、ケーブル格納エリアには、原点位置から反巻き取り回転方向への動作時に、ケーブル巻き取り回転部の回転中心から放射方向に押し出される力により離間するフラット配線配管の押し出される距離を制限するガイド手段と、ターンテーブルの所定角度内における回転往復動作時、重みで垂れ下がるフラット配線配管の湾曲部分が移動する範囲においてフラット配線配管を下側から支えるサポート手段と、フラット配線配管の湾曲部分の外周側に配設され、樹脂プレートにより摩擦抵抗を抑える摩擦抑制手段と、を備え、ガイド手段は、ケーブル巻き取り回転部の回転軸と平行な軸を回転軸とする円筒形状の垂直ローラがケーブル格納エリアに配設されて構成され、垂直ローラは、ケーブル巻き取り回転部の外周と同心円の同一円周上に配置され、ターンテーブルが原点位置にある時にケーブル巻き取り回転部に巻き取られたフラット配線配管と垂直ローラの外周とが接触しない間隔を確保して2個以上配設しており、サポート手段は、ターンテーブルの回転中心から放射状に延びる方向を回転軸とする水平ローラがケーブル格納エリアに配設されて構成される。第二の発明は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルを支持してX方向に直動可能なテーブルベースと、テーブルベースを直動可能に支持する基台とを備えた加工装置に搭載される可動配線配管接続装置に関するもので、X軸方向に延びるケーブル格納エリアを備え、複数の配線配管が並列に接着された帯状のフラット配線配管の一端がテーブルベースに固定され、他端が該基台に固定され、基台の上側から見てフラット配線配管がU字形状に湾曲してケーブル格納エリアに格納され、X軸方向に直交するY軸方向を回転軸とする水平ローラがケーブル格納エリアに2個以上配設され、フラット配線配管の下側を支えるサポート手段と、樹脂プレートにより構成され、フラット配線配管の湾曲部分の外周側に配設されることにより摩擦抵抗を抑制する摩擦抑制手段とを備える。第一の発明では、ターンテーブルの回転によってフラット配線配管がケーブル巻き取り回転部の回転中心から放射方向に押し出されても、ケーブル格納エリアに設けたガイド手段によって押し出される距離が制限されるため、フラット配線配管が外周側にあるケーブル外周ガイド部に接触しない。また、ケーブル格納エリアに設けたサポート手段によってフラット配線配管が自重で垂れ下がるのを防ぐため、フラット配線配管がその下方にある固定体に接触するのを防ぐことができる。さらに、フラット配線配管が湾曲する場合におけるその湾曲部分の外側には摩擦抑制手段が設けられているため、ケーブル外周ガイド部と接触してもフラット配線配管自体に磨耗が生じることはない。したがって、フラット配線配管の擦れが生じて破損等することがない。第二の発明では、チャックテーブルの直動によってフラット配線配管が湾曲しても、フラット配線配管がサポート手段によって下方から支持されるため、フラット配線配管の下部と固定体とが擦れて磨耗することがない。また、フラット配線配管の湾曲部分の外周側に摩擦抑制手段が配設されており、フラット配線配管が固定体に対して直接接触することがないため、固定体との間で擦れが生じて破損等することがない。図1に示す加工装置1では、被加工物であるウェーハWを保持する2個以上のチャックテーブル2が、ターンテーブル3によって自転可能に支持されている。チャックテーブル1は、被加工物を吸引保持する保持部20と、保持部20から垂下する軸部21とを備えている。ターンテーブル3は、円盤状に形成されており、その中心部から回転軸30が垂下している。ターンテーブル3は、ターンテーブルベース4によって回転可能に支持されている。ターンテーブル3の回転軸30は、ターンテーブルベース4を構成する円筒形状の回転支持部40によって回転可能に支持されている。各チャックテーブル2の軸部21は、ターンテーブル3に設けられた貫通孔31に挿通され、図示しないベアリングによって回転可能に支持されている。軸部21には、ベルト22が巻かれており、ベルト22がモータ23によって駆動されることによりチャックテーブル2が自転する構成となっている。図2に示す可動配線配管接続装置100は、図1に示した加工装置1の動作に必要とされる配線や配管を、電圧、吸引力、水等の供給源に接続する装置であり、回転支持部40の外壁を囲う形で、ターンテーブル4の回転中心と同じ回転中心を有する円筒形状のケーブル巻き取り回転部5がターンテーブル4の下側に設置されている。ケーブル巻き取り回転部5は、ターンテーブル3の回転軸30ともに回転する。ケーブル巻き取り回転部5の外周側には、ターンテーブル3の回転中心と同じ中心を有し、ターンテーブルベース4に固定された帯状のケーブル外周ガイド部6を備えている。そして、ケーブル巻き取り回転部5とケーブル外周ガイド部6との間のリング状の空間は、ケーブル格納エリア7を構成している。ケーブル格納エリア7には、図3に示すように複数の配線配管80a~80gが並列に接着された帯状のフラット配線配管8が収容される。図3の例におけるフラット配線配管8は、その両端が、電線群8a、吸引ホース群8b及び給水ホース群8cとがスペーサ81を介在させた状態で、固定金具82によって束ねられ、ボルト83によって固定されている。フラット配線配管8は、全体が湾曲可能となっている。フラット配線配管8の一端は、図2に示したように、ケーブル巻き取り回転部5とともに回転する分配部9に固定され、分配部9からそれぞれのチャックテーブル2に配線配管が分配され、チャックテーブル2に対して回転、吸引等の動作に必要な電力や吸引力等を供給している。一方、フラット配線配管8の他端は、ターンテーブルベース4に固定され、外部の供給源に連結されている。フラット配線配管8は、ターンテーブル3の上方から見た状態では、U字形状に湾曲してケーブル格納エリア7に格納されている。図2に示すように、フラット配線配管8には、U字状に湾曲した際にその湾曲の外周側となる部分に摩擦抑制手段10を備えている。摩擦抑制手段10は、例えば薄く形成され湾曲可能な樹脂プレートにより構成される。摩擦抑制手段の材質は特に限定されないが、接触抵抗が小さいものが適している。例えばSUS304、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、ナイロン等を使用することができる。図2に示すように、ターンテーブル3が矢印A方向巻き取り回転方向に回転してフラット配線配管8が巻き取られていき、フラット配線配管8がケーブル巻き取り回転部5に最も巻き取られたときのターンテーブル3の位置を原点位置とする。一方、ターンテーブル3が原点位置から矢印B方向反巻き取り方向に回転すると、フラット配線配管8がケーブル巻き取り回転部5から離間し、ケーブル外周ガイド部6に押し付けられるように湾曲する。このようにして、図4に示すように、前記原点位置を基準として反巻き取り方向に所定角度例えば300度ターンテーブル3が回転したときのターンテーブル3の位置を、回転限界位置という。ターンテーブル3は、原点位置と回転限界位置との間で往復回転動作可能となっている。図2及び図4に示すように、ケーブル格納エリア7には、ケーブル巻き取り回転部5に巻き取られたフラット配線配管8の外周側の位置に、ターンテーブル3が原点位置から反巻き取り方向に回転する際に、フラット配線配管8がテーブル巻き取り回転部5の回転中心から離間し放射方向に押し出される距離を制限するガイド手段11が配設されている。ガイド手段11は、ケーブル巻き取り回転部5の回転軸と平行な軸を回転軸とする円筒形状の垂直ローラ垂直110がケーブル格納エリア7に複数配設されて構成されている。垂直ローラ110は、ケーブル巻き取り回転部5の外周と同心円の同一円周上に複数配設されている。垂直ローラ110は、ケーブル巻き取り回転部5に巻き取られたフラット配線配管8と接触しない間隔が確保された状態で2個以上配設されている。図2及び図4に示すように、ケーブル格納エリア7には、フラット配線配管8を下側から支えるサポート手段12が配設されている。サポート手段12は、ターンテーブル3が原点位置から回転限界位置までにおける規制された範囲内で回転移動動作を行う際に、フラット配線配管8が自重で垂れ下がる位置に配設されている。フラット配線配管8が自重で垂れ下がる位置は、具体的には、フラット配線配管がU字状に湾曲した状態で移動する範囲である。サポート手段12は、ターンテーブル3の回転中心から放射状に伸びる方向を軸とする円筒または円柱形状の複数の水平ローラ120により構成されている。サポート手段12は、図示の例では3つの水平ローラ120を備えているが、水平ローラ120の数は何個でもよい。図1に示した加工装置1では、各チャックテーブル2に保持されたウェーハWに対して研削等の加工が行われ、ターンテーブル3が回転して順次加工が行われていく。したがって、ターンテーブル3が原点位置から回転限界位置まで回転する。しかし、ターンテーブル3の回転にともないフラット配線配管8が外周側に押し出されても、ガイド手段11によって放射方向に押し出される距離が制限されるため、フラット配線配管8がケーブル外周ガイド部6に接触することがない。また、フラット配線配管8がU字状に湾曲しても、その部分はサポート手段12によって下方から支持されているため、フラット配線配管8が垂れ下がってターンテーブルベース4に接触することがない。したがって、フラット配線配管8が固定体に対して接触して磨耗等が生じることがない。さらに、フラット配線配管8の湾曲する部分の外周側には摩擦抑制手段10が被覆されているため、フラット配線配管10の外周側が擦れて磨耗することもない。図5に示す加工装置13は、ウェーハWを保持するチャックテーブル14と、チャックテーブル14を支持してX方向に直動可能なテーブルベース15と、テーブルベース15を直動可能に支持する基台16とを備えている。テーブルベース15の下部からは軸部150が垂下しており、チャックテーブル14は、軸部150を中心として回転可能となっている。図5に示す可動配線配管接続装置200は、加工装置13の動作に必要とされる配線や配管を、電圧、吸引力、水等の供給源に接続する装置であり、加工装置13の下方に設置されている。テーブルベース15には、図3に示したフラット配線配管8と同様に、複数の配線配管が並列に接着された帯状のフラット配線配管8’が収容される。加工装置13では、図1に示した加工装置1とは異なり、チャックテーブル14が1つのみであるため、電線、吸引ホース、給水ホース等が1つの帯状に束ねられている。フラット配線配管8’は、図6に示すように、その一端がテーブルベース15の軸部150に固定され、他端は基台16に固定され、外部の供給源に連結されている。テーブルベース15に固定された一端は、電圧、吸引力、水等の供給源に連結されている。図5に示すように、基台16には、軸部150の可動域に、フラット配線配管8’を収容するための空間であるケーブル格納エリア160が形成されている。ケーブル格納エリア160は、X軸方向に延びる横長の空間となっている。ケーブル格納エリア160においては、基台16の上方から見てフラット配線配管8’がU字状に湾曲している。ケーブル格納エリア160には、X軸方向に対して水平に直交する方向であるY軸方向を回転軸とする円柱又は円筒形状の水平ローラ170が2個以上並列に配設されている。複数の水平ローラ170は、フラット配線配管8’の下側を支えるサポート手段17を構成している。図6に示すように、フラット配線配管8’の湾曲する部分の外周側には、摩擦抑制手段18を備えている。摩擦抑制手段18は、例えば薄く形成され湾曲可能な樹脂プレートにより構成される。摩擦抑制手段の材質は特に限定されないが、接触抵抗が小さいものが適している。図6に示すように、チャックテーブル14を支持するテーブルベース15が実線で示した左端位置原点位置にある状態では、フラット配線配管8’は、サポート手段17の上方でU字状に湾曲している。その状態からチャックテーブル14がX軸方向に右方向に移動すると、フラット配線配管8’の他端が基台16に固定されたままの状態となっているため、テーブルベース15が中間位置にある状態では、U字上に湾曲した部分も、サポート手段17によって下方から支持されながらX軸方向に移動していく。そしてさらにテーブルベース15が原点位置から離れる方向に移動すると、U字状に湾曲した部分がさらに右端側に移動するが、このときも、サポート手段17が湾曲した部分を下方から支持する。また、フラット配線配管8’の湾曲する部分の外周側には、摩擦抑制手段18が被覆されているため、フラット配線配管8’が擦れて磨耗することもない。なお、図7及び図8に示す加工装置13’のように、テーブルベース15の可動域の側部にケーブル格納エリア160’を設け、そこにフラット配線配管8’’を収容するようにしてもよい。この場合も、フラット配線配管8’’の一端がテーブルベース15に固定され、他端は基台16に固定され、外部の供給源に連結される。図8に示す可動配線配管接続装置300は、加工装置13’の動作に必要とされる配線や配管を、電圧、吸引力、水等の供給源に接続する装置であり、主として加工装置13’の側部に設置されている。ケーブル格納エリア160’は、X軸方向に延びる横長の空間となっている。ケーブル格納エリア160’においては、図7に示すように、基台16の上方から見てフラット配線配管8’がU字状に湾曲している。ケーブル格納エリア160’には、X軸方向に対して水平に直交する方向であるY軸方向を回転軸とする円柱又は円筒形状の水平ローラ170’が2個以上並列に配設されている。複数の水平ローラ170’は、フラット配線配管8’’の下側を支えるサポート手段17’を構成している。図7に示すように、フラット配線配管8’’の湾曲する部分の外周側には、摩擦抑制手段18を備えている。摩擦抑制手段18は、例えば薄く形成され湾曲可能な樹脂プレートにより構成される。図7に示すように、チャックテーブル14を支持するテーブルベース15が実線で示した左端位置原点位置にある状態では、フラット配線配管8’’は、サポート手段17’の上方でU字状に湾曲している。その状態からチャックテーブル14がX軸方向に右方向に移動すると、フラット配線配管8’’の他端が基台16に固定されたままの状態となっているため、テーブルベース15が中間位置にある状態では、U字上に湾曲した部分が、サポート手段17’によって下方から支持されながらX軸方向に移動していく。そしてさらにテーブルベース15が原点位置から離れる方向に移動すると、U字状に湾曲した部分が右端に移動するが、このときも、サポート手段17’が湾曲した部分を下方から支持する。また、フラット配線配管8’’の湾曲する部分の外周側には、摩擦抑制手段18が被覆されているため、フラット配線配管8’’が擦れて磨耗することもない。