"Lu1-xCex3dAl5-dO12の式で表され、xは、0.005≦x≦0.14であり、dは、0.03≦d≦0.5であることを特徴としたガーネット系緑色系発光蛍光体。dは、0.045≦d≦0.2であることを特徴とした請求項1記載のガーネット系緑色系発光蛍光体。請求項1または2に記載のガーネット系の緑色系発光蛍光体と半導体発光素子とを少なくとも具備したことを特徴とした半導体発光装置。このように、従来の緑色系発光蛍光体では、高い発光輝度を有し、高温時でも発光輝度を維持でき、かつ、さらなる半導体発光装置の演色性の向上も両立させるという市場ニーズを満たすことができない。本発明は、この市場ニーズを満たす目的のため、主波長が約554nm以上約562nm付近の範囲に発光色を有し、かつ高い発光輝度を有し、高温時の発光輝度低下がより少ないといった、半導体発光装置に好適な優れた緑色系発光蛍光体を提供することにある。発明者らは、上記の課題を解決するために種々の検討を行った結果、次に掲げる特定の組成の緑色系発光蛍光体は、主波長が約554nm以上約562nm付近の範囲に発光色を有し、かつ高い発光輝度を有し、高温時の発光輝度低下がより少ないといった、演色性の高い半導体発光装置に必要な優れた特性を有している蛍光体であることを見出した。第1の発明のガーネット系の緑色系発光蛍光体は、Lu1-xCex3dAl5-dO12の式で表され、xは、0.005≦x≦0.14であり、dは、0.03≦d≦0.5であることを特徴としている。そして、上記の組成のセリウム付活ルテチウムアルミニウムガーネットLuAG:Ce系の緑色系発光蛍光体とすることにより、主波長が約554nm以上約562nm付近の範囲に発光色を有し、かつ高い発光輝度を有し、高温時の発光輝度低下がより少ないといった、演色性の高い半導体発光装置に必要な優れた特性を有している緑色系発光蛍光体となる。第2の発明のガーネット系の緑色系発光蛍光体は、第1の発明のガーネット系の緑色系発光蛍光体において、dは、0.045≦d≦0.2であることを特徴としている。そして、上記のdの値の範囲とすることにより、より好ましい発光色と発光輝度を有する緑色系発光蛍光体となる。第3の発明に係る半導体発光装置は、第1または第2の発明に係るガーネット系の緑色系発光蛍光体と半導体発光素子とを少なくとも具備したことを特徴としている。そして、第1または第2に係るガーネット系の緑色系発光蛍光体を用いることにより、演色性に優れ、かつ高温時の輝度低下が少ないため高出力時に輝度低下が少ない効率の良い半導体発光装置となる。本発明のガーネット系緑色系発光蛍光体によれば、主波長が約554nm以上約562nm付近の範囲に発光色を有し、かつ高い発光輝度を有し、高温時の発光輝度低下がより少ないといった特性を有しており、演色性の高い半導体発光装置に好適に用いることができる優れた特性を有している緑色系発光蛍光体を得ることができる。また、本発明のガーネット系緑色系発光蛍光体と半導体発光素子とを少なくとも具備した半導体発光装置によれば、演色性に優れ、かつ高温時の輝度低下が少ないため、高出力時においても輝度低下が少ない効率の良い半導体発光装置を得ることができる。以下、本発明の一実施の形態におけるガーネット系緑色系発光蛍光体を製造する工程を説明する。まず蛍光体原料として、ルテチウムLuの原料として例えば酸化ルテチウムLu2O3と、アルミニウムの原料として例えばアルミナAl2O3と、賦活剤としてのセリウムCeの原料として例えば酸化セリウムCeO2とを用意する。これら蛍光体原料と、フラックスとして例えばフッ化バリウムBaF2やフッ化ストロンチウムSrF2等とを所定量を秤量し、ボールミル混合等を用いて十分に混合し原料の混合粉末を得る。このときのフラックスの量は、原料の総質量の0.1~10程度用いる。この混合粉末を耐熱性容器、例えばアルミナるつぼ等に充填して、電気炉に入れて、還元雰囲気中例えば窒素-酸素混合ガス気流中で、例えば約1000°Cから1800°Cの焼成温度で、より好ましくは1400°Cから1600°Cの焼成温度で、約2時間から12時間の間焼成を行う。焼成後に冷却し、ボールミル等により分散粉砕する。次に残留フラックス除去のために水および酸により洗浄を行い、次いで乾燥工程、篩別工程を経て、所定の粒度の蛍光体を得る。なお、蛍光体原料として主に酸化物を例示したが、この他に高温で分解され酸化物となる化合物、例えば炭酸塩、シュウ酸塩、水酸化物等であれば蛍光体材料として用いることができる。また、フラックスとしてフッ化バリウムBaF2やフッ化ストロンチウムSrF2のようなフッ化物を示したが、この他に塩化物等のハロゲン化物や、蛍光体を構成する元素のハロゲン化物、ホウ酸、を用いることも可能である。また、これらのフッ化物にさらに、リン酸水素バリウムBaHPO4、リン酸水素ストロンチウムSrHPO4、リン酸リチウムLi3PO4といったアルカリ土類金属のリン酸水素塩やアルカリ金属リン酸塩を加えてもよい。続いて、本発明の一実施の形態として、上記ケイ酸塩系蛍光体を具備した半導体発光装置の構成について説明する。図6は、本発明の一実施の形態における半導体発光装置を示した断面図である。この半導体発光装置は、リードフレーム101の先端に、カップ形状の凹みであるマウント部10を有する。このカップ形状のマウント部10に、近紫外から青色領域の光を放出する半導体発光素子として、例えば絶縁基板を有する半導体発光素子11が例えばエポキシ樹脂等からなる接着剤12で固定されている。上記半導体発光素子11の上面に設けられたP型電極13aが、例えばAu、Al、Cu等からなる金属ワイヤー15aによってリードフレーム101の電極部13bに接続されている。また、上記半導体発光素子11の上面に設けられたN型電極14aが、金属ワイヤー15bによって右側のリードフレーム102の電極部14bに接続されている。そして、カップ形状のマウント部10内に、蛍光体21が充分に混合されて充填されている。さらに、上記半導体発光素子11およびリードフレーム101,102の上部を、例えば透明なエポキシ樹脂等のモールド樹脂30によって封止して、砲弾形状の半導体発光装置を形成している。この図6に示した砲弾形状の半導体発光装置は、半導体発光素子11から放出された光を効率良く集光するために、リードフレーム101のマウント部10がカップ形状に形成されており、放射される光が図6の上方に向かう指向性を有している。さらに、半導体発光素子11をカップ形状のマウント部10の底に配置すると共に、このマウント部10に蛍光体21を充填して、これら蛍光体21によって、半導体発光素子11から放出された近紫外から青色領域、例えば390nmから470nmの波長の光を波長変換して、蛍光体21から緑色領域や赤色領域等の光が放出される。そして、半導体発光素子11から放出された光と、蛍光体21から放出された光との混色により、図6の半導体発光装置から白色領域の光が放射される。ここで、蛍光体21をカップ形状のマウント部10に充填することで、半導体発光素子11からの光を効率良く変換させて、半導体発光装置の輝度を高めているのだが、必ずしもマウント部10内全体に蛍光体21を充填する必要はなく、必要に応じて凹状に充填しても、また凸状に充填してもより。さらに、蛍光体21をカップ状のマウント部10内に充填するのではなく、封止樹脂30内に分散させてもよい。図7は、本発明の別の一実施の形態における半導体発光装置を示した断面図である。この半導体発光装置は、例えば耐熱性を有するガラスエポキシからなる直方体形状のプリント配線基板16上に、エポキシ樹脂からなる接着剤12によって、絶縁性基板を有する半導体発光素子11を接着している。この半導体発光素子11の上面に設けられたP型電極13aとN型電極14aは、金属ワイヤー15a,15bによって、プリント配線基板16上面の電極部16a,16bに各々接続されている。これら電極部16a,16bは、プリント配線基板16の上面と下面とを接続する図示しない断面円弧状のスルーホールを介して、実装面としてのプリント配線基板16の下面に引き回されて、この実装面の両端部まで延びている。なお、上記プリント配線基板16は、絶縁性フィルムを用いてもよい。そして、上記プリント配線基板16上に、上記半導体発光素子11全体を覆うように、蛍光体21を分散させた封止樹脂としての例えば透光性のエポキシ樹脂等のモールド樹脂32を、図7に示すような台形断面をなすように形成して、チップ部品形状の半導体発光装置を形成している。蛍光体21とは、本発明の一実施の形態であるガーネット系緑色系発光蛍光体を少なくとも含んでおり、さらに本発明の緑色系発光蛍光体に加えて、赤色領域の光を発光する他の蛍光体、例えば酸窒化物系蛍光体や、CaAlSiN3系蛍光体、硫化物系蛍光体等を含んだ混合物であってもよい。この赤色発光蛍光体の選択は、本発明のガーネット系緑色系発光蛍光体の発光特性等にあわせ、適宜選択できる。本発明の半導体発光装置は、上記の構造に限定されるものではなく、半導体発光素子11から放出された近紫外から青色領域の光が、本発明の一実施の形態であるガーネット系緑色系発光蛍光体を少なくとも含んだ蛍光体21によって波長変換され、そして半導体発光装置11から放出された光と、蛍光体21から放出された光との混色により、白色領域の光が放射される半導体発光装置であればよい。次に、上記一実施の形態の実施例として、本発明の緑色系発光蛍光体とその特性について、従来の緑色系発光蛍光体と比較して説明する。原料として193.0gの酸化ルテチウムLu2O3Luとして0.97モル、5.164gの酸化セリウムCeO2Ceとして0.03モル、80.72gのアルミナAl2O3Alとして1.5833モルとを秤量し、さらにフラックスとして8.4gのフッ化バリウムBaF2原料質量の約3を秤量し、これら原料とフラックスとをボールミルを用いて充分によく混合する。この混合物をアルミナるつぼに充填し、1420°Cで窒素ガス97水素ガス3の混合ガスによる還元雰囲気中にて、8時間焼成する。その後室温まで約3時間かけて徐々に冷却し、得られた焼成物を、ボールミルによる分散およびミリング工程、水および酸による洗浄工程、乾燥工程そして篩別工程350メッシュ通過を経て、目的の緑色系発光蛍光体を得た。これを試料1-1とした。この試料1-1の組成比はLu0.97Ce0.033Al4.75O11.625と表すことができるが、本来のガーネット系結晶の式である、Lu1-xCex3dAl5-dO12の式で表した場合は、x=0.03、d=0.0968である。得られた試料1-1について、まずレーザー回折式粒度分布測定装置型式:SALD-2100島津製作所製で粒度分布を測定した。この結果を図1に示す。このときの平均粒径D50は、25.0μmであった。次に、分光蛍光光度計型式:F-4500日立製作所製を用い、励起光を450nmとして発光スペクトルを測定した。この結果を図2に示す。そして、得られた発光スペクトルから、日本工業規格JIS-Z-8724に準じてCIE1931XYZ表色系における色度座標x,yを算出した。このとき、計算対象とした波長範囲は、励起光として用いた450nm付近の青色光の影響を避けるため、470nmから780nmまでとした。算出した結果、試料1-1の色度座標は、x=0.373、y=0.571であった。さらに、得られた色度座標x,yから、日本工業規格JIS-Z-8701附属書に準じて、主波長および刺激純度を求めた。その結果、主波長は561.0nm、刺激純度は83.5であった。次に、比較のため、従来の蛍光体として、Y3Al,Ga5O12:Ce蛍光体と、化学量論組成のLu3Al5O12:Ce蛍光体の中から、発光色の主波長が試料1-1の561.0nmとほぼ同じとなる、次の組成の蛍光体を作成し、それぞれ比較例2-1、比較例3-1とした。比較例2-1:Y0.975Ce0.0253Al0.6Ga0.45O12比較例3-1:Lu0.98Ce0.023Al5O12また参考のため、従来の黄色発光蛍光体として、YAG:Ce蛍光体も、比較例1として作成した。比較例1:Y0.975Ce0.0253Al5O12これら比較例らの製造については、さらにイットリウムの原料として酸化イットリウムY2O3、ガリウムの原料として酸化ガリウムGa2O3を用い、それぞれ組成比に合わせた原料を用いた以外は、試料1-1と同様に蛍光体を作成した。こうして得られた比較例1、比較例2-1、比較例3-1についても、試料1-1と同様に発光スペクトルを測定し、色度座標x,yを算出し、主波長と刺激純度を求めた。さらに、実際に青色LEDで励起した際の発光輝度と、高温時における輝度維持率を測定した。まず、実際に青色LEDで励起した際の発光輝度を測定するために、室温約25°Cにおいて460nmに発光ピーク波長を有する発光ダイオードを複数用いて励起光源とし、対象の蛍光体試料に向けて照射する。発光した蛍光体からの光を、輝度計型式:LS-110コニカミノルタ製を用いて測定する。このとき輝度計の前段部分に500nm以下の波長をカットするシャープカットフィルター型式:Y-50HOYACANDEOOPTRONICS社製を設置し励起光である青色光の影響を除去している。得られた発光輝度は、比較例1を100とした相対発光輝度とした。次に高温時における輝度維持率を測定するため、蛍光体の温度を変化させた場合における発光輝度の変化を、以下の構成の装置により測定した。厚さ約5mm程度、縦横の長さが約45mm程度のアルミニウム板の上面に、直径約30mm深さ約2mmの円柱状の凹部を設けたものを試料ホルダとし、さらに側面から底部の中央部分に到達する横穴を設けてこの横穴に温度センサを挿入して試料ホルダの温度を測定できるようにした。この試料ホルダに対象となる蛍光体粉末を詰め込み、この測定ホルダを加熱できるようにホットプレート上に置く。さらに460nmに発光ピーク波長を有する発光ダイオードを複数用いて励起光源としこの蛍光体に向けて照射して、発光した蛍光体からの光を輝度計型式:LS-100コニカミノルタ製を用いて測定する。このとき輝度計の前段部分に500nm以下の波長をカットするシャープカットフィルター型式:Y-50HOYACANDEOOPTRONICS社製を設置し励起光である青色光の影響を除去している。ホットプレートにより試料ホルダ中の蛍光体粉末の温度を室温約25°Cから約200°Cまで変化させながら、試料ホルダの温度と輝度を記録した。温度センサ:白金測温抵抗体Pt100型式:TR-8110ティアンドディ社製データロガー:メモリハイロガー型式:8420-50日置電機社製得られた結果を、横軸に温度を、縦軸に温度25°Cのときの発光輝度を100とした相対的な輝度維持率をとり、代表として比較例1、比較例2-1および試料1-1についてプロットした。プロットしたグラフを図3に示す。また、このようにして得られた輝度維持率から、室温25°Cにおける比較例1の発光輝度を100とした200°Cにおける相対発光輝度も求めた。以上、比較例1、比較例2-1、比較例3-1および試料1-1について、主波長、刺激純度、相対発光輝度および温度200°Cにおける相対発光輝度をまとめて表1に示す。表1に示す結果より、主波長が561nm付近の蛍光体である比較例2-1、比較例3-1および試料1-1を比較すると、従来の蛍光体である比較例2-1および比較例3-1と比較して本発明の蛍光体である試料1-1は、両者より相対発光輝度が高いことが明らかであり、また刺激純度も高いことが明らかであり、さらに200°Cにおける相対発光輝度も圧倒的に優れていることがわかる。このように、同等の主波長を得るための蛍光体としては、従来の蛍光体と比較して、本発明のガーネット系緑色系発光蛍光体が優れた特徴を有していることがわかる。次に、発光色の主波長が、上記561nm前後より、さらに短波長側の例を示す。原料として196.98gの酸化ルテチウムLu2O3Luとして0.99モルと1.721gの酸化セリウムCeO2Ceとして0.01モルとを用いた他は、前記試料1-1と全く同様に蛍光体を作成し、これを試料1-2とした。この試料1-2の組成比はLu0.99Ce0.013Al4.75O11.625と表すことができるが、本来のガーネット系結晶の式である、Lu1-xCex3dAl5-dO12の式で表した場合は、x=0.01、d=0.0968である。得られた試料1-2について、試料1-1と同様に発光スペクトルを測定し、色度座標x,yを算出し、主波長と刺激純度を求めた。その結果、色度座標はx=0.344、y=0.577、主波長は556.2nm、刺激純度は76.7であった。試料1-2との比較のため、従来の蛍光体として、Y3Al,Ga5O12:Ce蛍光体と、化学量論組成のLu3Al5O12:Ce蛍光体のなかから、発光色の主波長が試料1-2の556.2nmとほぼ同じとなる、次の組成の蛍光体を上記比較例2-1および比較例3-1と同様に作成し、それぞれ比較例2-2、比較例3-2とした。比較例2-2:Y0.99Ce0.013Al0.63Ga0.375O12比較例3-2:Lu0.995Ce0.0053Al5O12こうして得られた比較例2-2、比較例3-2についても、試料1-2と同様に発光スペクトルを測定し、色度座標x,yを算出し、主波長と刺激純度を求めた。さらに、これら試料1-2、比較例2-2および比較例3-2について、実際に青色LEDで励起した際の発光輝度と、高温時における輝度維持率を、試料1-1と同様に測定した。以上、比較例1、比較例2-2、比較例3-2および試料1-2について、主波長、刺激純度、相対発光輝度および200°Cにおける相対発光輝度をまとめて表2に示す。表2に示す結果より、主波長が556nm付近の蛍光体である比較例2-2、比較例3-2および試料1-2を比較すると、従来の蛍光体である比較例2-2および比較例3-2と比較して本発明の蛍光体である試料1-2は、両者より相対発光輝度が高いことが明らかであり、また刺激純度も高いことが明らかであり、さらに200°Cにおける相対発光輝度も圧倒的に優れていることがわかる。このように、主波長が556nm付近の蛍光体においても、従来の蛍光体と比較して、本発明のガーネット系緑色系発光蛍光体が優れた特徴を有していることがわかる。次に、本発明の別の形態の実施例として、本発明の緑色系発光蛍光体Lu1-xCex3dAl5-dO12においてCe濃度であるxを0.03に固定したときのdの値と蛍光体の特性について説明する。表3に示す通りに各元素の組成比を変化させた他は、前記実施例1中の試料1-1と同様に蛍光体を作成し、それぞれ試料2-1ないし試料2-12とした。これら試料2-1ないし試料2-12についても、実施例1と同様に主波長、刺激純度、比較例1を100とした相対発光輝度を測定し、同じくその結果を試料1-1の結果とともに表3に示した。表3に示す結果より、試料2-3ないし試料2-10および試料1-1、すなわちdの値が0.03以上0.5以下の試料は、化学量論組成の試料2-1と比較して、主波長が2nm以上短波長側にシフトしており、かつ相対発光輝度もほとんど低下することなく、好ましい特徴を有していることがわかる。さらに、dの値が0.045以上の試料は、主波長がほぼ3nm以上短波長側にシフトしており、より好ましいことがわかる。なお、dの値が0.2を超えた場合については主波長のシフト効果がそれほど大きくなく、かつ刺激純度が低下傾向にあることから、dの値は0.045以上0.2以下がより好ましいといえる。なお、dの値が0.03未満と小さすぎる場合には主波長をシフトさせる効果も小さく、またdの値が0.5を超えて大きすぎる場合には発光輝度が低下する。以上のことから、dの値は、0.03以上0.5以下が好ましく、0.045以上0.2以下がより好ましいといえる。ここで、本発明の緑色系発光蛍光体が、化学量論組成のLu3Al5O12:Ce蛍光体とどのような違いがあるのかを、粉末X線回折分析を行い確かめた。dの値が0すなわち化学量論組成の試料2-1とdの値が0.0968の試料1-1について、X線回折装置型式:XRD-6100島津製作所製により、Cu管球を用いて粉末X線回折分析を行った。その結果である粉末X線回折図形を図4に示す。図4から明らかなように、化学量論組成のLu3Al5O12:Ce蛍光体である試料2-1と、本発明の実施例の一例である試料1-1では、その粉末X線回折図形はほとんど同一であり、試料1-1はルテチウムアルミニウムガーネットLuAGの構造を維持していることがわかる。さらに、試料2-1と試料1-1それぞれに、測定時の誤差を補正するための指標として酸化イットリウムY2O3を質量で10添加し十分混合したものを用いて、2θで55°~60°の範囲を精密に測定した。同様にY2O3のみを測定したデータと重ね合わせ、特に57.5°付近のピーク位置を用いて調整することにより測定時の機械的な誤差を補正したX線回折図形を図5に示す。この図5から明らかなように、化学量論組成のLuAG:Ce蛍光体である試料2-1と比べて、本発明の実施例の一例である試料1-1は僅かではあるが、ピークが全体的に2θとして低角度側にシフトしていることがわかる。波長λのX線で粉末X線回折を行うと、結晶の格子面間隔Dと回折角度θの間にはブラッグの式D=λ/2sinθという関係式がある。低角度側にピーク位置がシフトしているということは、上記式においてθが小さくなるので、結晶の格子定数が大きくなっていることを意味している。ところで、ガーネット構造は、金属イオンA,B,Cの複合酸化物の一つの結晶構造である。その一般式はA3B2C3O12で表される。Aは8個の酸素に囲まれた8配位のサイトにある。Bは6個の酸素に囲まれた6配位のサイトにある。またCは4個の酸素に囲まれた4配位のサイトにある。ルテチウムアルミニウムガーネットLuAGの場合には、化学量論組成なら、8配位のサイトにLu3、6配位のサイトにAl3、4配位のサイトにAl3がそれぞれ入っているが、LuCeとAlのバランスをAlプアにすると、ガーネットの結晶構造を維持したまま本来Al3が入っていた6配位のサイトの一部にLu3が入ることになる。このような現象をアンチサイトという。Al3よりLu3の方がイオン半径が大きいため、6配位のサイトの結晶格子が広がり格子定数が大きくなる。このことは、粉末X線回折のピーク位置が低角度側にシフト、つまり格子定数が大きくなっている事実と一致する。なお、この現象は蛍光体の発光色の変化からも推測できる。すなわち背景技術で述べた通り、従来のY3Al5O12:Ce蛍光体において、Alの一部をイオン半径の大きいGaで置換したY3Al,Ga5O12:Ceは、その発光色もY3Al5O12:Ce蛍光体の発光色よりも短波長にシフトしている。このとき、Ga3は上記説明の6配位のAl3を置換する。Ga3のイオン半径もAl3より大きいため、6配位のサイトの結晶格子が広がると考えられる。本発明の蛍光体も、上記の通りdの値が化学量論組成である0よりも大きく、Alプアとなり、本来Al3が入っていた6配位のサイトの一部にLu3が入るため、6配位のサイトの結晶格子が広がり、Gaを用いずとも、結果として上記Ga置換と同様に蛍光体の発光色が短波長にシフトするという効果が得られたものと推測される。すなわち本発明の特徴は、LuAGのガーネット構造を維持し、その優れた特徴を維持したまま6配位のサイトの結晶格子を広げることにより、蛍光体の発光波長を短波長側にシフトさせることに成功したものであると言える。次に、本発明の緑色系発光蛍光体Lu1-xCex3dAl5-dO12においてdの値を0.0968に固定したときのCeの濃度xと蛍光体の特性について説明する。表4に示す通りにCe濃度、すなわちLuをCeに置換する量を変化させた他は、前記実施例1中の試料1-1と同様に蛍光体を作成し、それぞれ試料3-1ないし試料3-9とした。これら試料3-1ないし試料3-9についても、実施例1と同様に主波長、刺激純度、比較例1を100とした相対発光輝度を測定し、同じくその結果を試料1-1および試料1-2の結果とともに表4に示した。表4に示す結果より、Ce濃度xを変化させることで、主波長および相対発光輝度が変化することがわかるが、試料3-2ないし試料3-7、試料1-1および試料1-2、すなわちCe濃度xが0.005以上0.14以下の範囲の試料は、主波長が約554nmから約562nmの範囲にあり、かつ相対発光輝度もほぼ70以上となっていることがわかる。用途や他の蛍光体との組合せにおいて、多少相対発光輝度が劣ったとしても主波長を選択したいケースも十分にあるため、上記Ce濃度xの範囲の試料は好適に用いることができる。さらに、Ce濃度xが0.01以上0.05以下の範囲の試料は、相対発光輝度が90以上と、より好ましいことがわかる。なお、Ce濃度xが0.005未満と小さすぎる場合には発光輝度がさらに低下し、またCe濃度xが0.14を超えて大きすぎる場合には著しく発光輝度が低下するとともに、主波長も長波長側に移動する。以上のことから、Ce濃度xは、0.005以上0.14以下が好ましく、0.01以上0.05以下がより好ましいといえる。この傾向は、d=0.0968以外の場合、すなわちdが0.03以上0.5以下の場合でも、同様の傾向であることを確認した。以上のことから、Lu1-xCex3dAl5-dO12の式で表され、xは、0.005≦x≦0.14であり、dは、0.03≦d≦0.5であることを特徴としたガーネット系緑色系発光蛍光体は、主波長が約554nm以上約562nm付近の範囲に発光色を有し、かつ高い発光輝度を有し、高温時の発光輝度低下がより少ないといった、演色性の高い半導体発光装置に必要な優れた特性を有している蛍光体であることがわかる。なお、より好ましいxまたはdの範囲としては、xは、0.01≦x≦0.05であり、dは、0.045≦d≦0.2である。"