レーザ装置から出力されるレーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、電気伝導性を有する構造部材を含み、レーザ光を導入する貫通孔が形成されたチャンバと、液体ターゲット物質の帯電ターゲットを生成し、前記チャンバ内部のプラズマ生成領域に向けて帯電ターゲットを供給するターゲット生成器であって、帯電ターゲットが通過する貫通孔が形成された電極と、前記電極を保持する電気絶縁部材と、少なくとも前記電気絶縁部材とプラズマ生成領域との間に配置され、帯電ターゲットが通過する貫通孔が形成された遮蔽部材とを含み、前記遮蔽部材が電気伝導性を有して前記チャンバの構造部材に電気的に接続されている、前記ターゲット生成器と、を備える極端紫外光生成装置。基準電位以上の第1の電位と該第1の電位よりも高い第2の電位との間で変化する電圧信号を生成して、前記チャンバの構造部材に基準電位を与え、前記電極に第1の電位を与え、前記液体ターゲット物質に電圧信号を印加するパルス電圧生成器をさらに備える、請求項1記載の極端紫外光生成装置。基準電位と該基準電位よりも高い第1の電位との間で変化する電圧信号を生成して、前記チャンバの構造部材に基準電位を与え、前記電極に電圧信号を印加し、前記液体ターゲット物質に第1の電位以上の第2の電位を与えるパルス電圧生成器をさらに備える、請求項1記載の極端紫外光生成装置。基準電位以上の第1の電位と該第1の電位よりも高い第2の電位との間で変化する電圧信号を生成して、前記チャンバの構造部材に基準電位を与え、前記電極に電圧信号を印加し、前記液体ターゲット物質に第2の電位を与えるパルス電圧生成器をさらに備える、請求項1記載の極端紫外光生成装置。レーザ装置から出力されるレーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、電気伝導性を有する構造部材を含み、レーザ光を導入する貫通孔が形成されたチャンバと、液体ターゲット物質のターゲットを生成し、前記チャンバ内部のプラズマ生成領域に向けてターゲットを供給するターゲット生成器であって、帯電ターゲットが通過する貫通孔が形成された電極と、前記電極を保持する電気絶縁部材と、少なくとも前記電気絶縁部材とプラズマ生成領域との間に配置され、ターゲットが通過する貫通孔が形成された遮蔽部材とを含み、前記遮蔽部材が電気伝導性を有して前記チャンバの構造部材に電気的に接続されている、前記ターゲット生成器と、前記チャンバの構造部材及び前記液体ターゲット物質に基準電位を与え、前記電極に正の電位と負の電位との内の一方を与える電源と、を備える極端紫外光生成装置。前記電気絶縁部材によって保持された前記遮蔽部材を前記チャンバの構造部材に電気的に接続する接続部材をさらに備える、請求項1記載の極端紫外光生成装置。前記ターゲット生成器が、少なくとも液体ターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、前記ターゲット貯蔵部に貯蔵された液体ターゲット物質を放出するための貫通孔が形成されたターゲット放出部と、をさらに含み、前記遮蔽部材が、前記チャンバの構造部材に取り付けられ、前記チャンバ内部において、少なくとも前記ターゲット貯蔵部、前記ターゲット放出部、前記電極、及び、前記電気絶縁部材をカバーする、請求項1記載の極端紫外光生成装置。前記遮蔽部材と、前記遮蔽部材に取り付けられた蓋とが、少なくとも前記ターゲット貯蔵部、前記ターゲット放出部、前記電極、及び、前記電気絶縁部材をカバーする容器を構成する、請求項7記載の極端紫外光生成装置。レーザ光をターゲット物質に照射することによって発生したプラズマから放射される極端紫外光を反射して集光する集光ミラーをさらに備え、前記集光ミラーが、電気伝導性を有して前記チャンバの構造部材に電気的に接続されている、請求項1記載の極端紫外光生成装置。プラズマ化しなかったターゲット物質を回収するターゲット回収器をさらに備え、前記ターゲット回収器が、電気伝導性を有して前記チャンバの構造部材に電気的に接続されている、請求項1記載の極端紫外光生成装置。プラズマ化しなかったターゲット物質を回収するターゲット回収器をさらに備え、前記ターゲット回収器が、受け電極と、電気絶縁性を有し、前記受け電極を支持する支持部材とを含み、前記パルス電圧生成器が、前記チャンバの電位よりも低い電位を前記受け電極に与える、請求項1記載の極端紫外光生成装置。プラズマ生成領域を通過したレーザ光を吸収するレーザダンパをさらに備え、前記レーザダンパが、電気伝導性を有して前記チャンバの構造部材に電気的に接続されている、請求項1記載の極端紫外光生成装置。