"物理的効果を発生させる静電平行板アクチュエータ装置であって、前記物理的効果の少なくとも1つの属性は、周期的にサンプルされるデジタル入力信号の少なくとも1つの特性に対応し、前記装置は、少なくとも1つの静電平行板アクチュエータデバイスであって、各アクチュエータデバイスは、第1の平面を定義する、導電性可動素子群のアレイであって、各個別可動素子は、各個別可動素子に作用する個別の第1の静電力に対する応答として、それぞれの軸方向に交互に前後に移動するように移動を制限されるように動作し、各可動素子は、静止時位置を有し、前記第1の静電力によってのみ前記静止時位置から離れるように駆動される、前記アレイと、前記第1の平面にほぼ平行な第2の平面を定義する少なくとも1つの平面電極であって、前記アレイの可動素子群のうちの少なくとも1つの個別可動素子に電位差の制御された時間系列を印加することによって、前記第1の静電力を選択的に発生させるように動作する前記少なくとも1つの平面電極と、を含む、前記少なくとも1つの静電平行板アクチュエータデバイスと、前記デジタル入力信号を受信し、受信した前記デジタル入力信号に応じて、前記物理的効果が前記信号を表すように前記電位差系列を印加するように、前記少なくとも1つの電極および前記個別可動素子のうちの少なくとも一方を制御するように動作するコントローラと、を備えることを特徴とする装置。請求項1に記載の装置において、前記可動素子群のうちの少なくとも個別の可動素子の、それぞれの軸方向の運動は、前記個別可動素子の軸方向に配置された少なくとも1つの機械的リミッタによってさらに制限され、前記機械的リミッタは、極限位置を定義し、前記可動素子が前記極限位置を越えて運動することを防ぐことを特徴とする装置。請求項2に記載の装置において、前記極限位置のうちの一方に到達した、前記可動素子群のうちの少なくとも1つの可動素子が、前記機械的リミッタから離れて、前にいた位置に向かって戻ることを選択的に防ぐことにより、前記可動素子群のうちの少なくとも1つの可動素子をラッチするように動作する少なくとも1つのラッチをさらに備えることを特徴とする装置。請求項3に記載の装置において、前記可動素子を前記ラッチすることは、前記電極によって発生する第2の静電力によって行われ、前記第2の静電力は、前記第1の静電力と同じ方向に作用することを特徴とする装置。請求項2に記載の装置において、前記機械的リミッタおよび前記電極は一体形成されていることを特徴とする装置。請求項2に記載の装置において、前記可動素子の表面または前記機械的リミッタの表面の少なくとも一方に少なくとも1つの突出したディンプルが配置されており、前記ディンプルは、前記可動素子が前記極限位置にあるときに前記表面間に隙間を形成することを特徴とする装置。請求項2に記載の装置において、請求項1に記載の第1の静電力は、前記可動素子群の、それぞれの軸方向の運動の範囲を、前記機械的リミッタで定義される範囲より短い範囲に制限するように調節されることを特徴とする装置。請求項1に記載の装置において、前記コントローラは、前記少なくとも1つの電極を一定時間間隔で制御することにより、アクチュエーションクロック周波数を定義することを特徴とする装置。請求項8に記載の装置において、前記可動素子の機械的共振周波数は、前記アクチュエーションクロック周波数に合わせられていることを特徴とする装置。請求項8に記載の装置において、前記可動素子の機械的共振周波数は、前記アクチュエーションクロック周波数の半分より低いことを特徴とする装置。請求項8に記載の装置において、デジタル入力信号の少なくとも1つの特性が、サンプリングクロックに従って周期的にサンプルされ、前記アクチュエーションクロック周波数は、前記サンプリングクロックの周波数の整数倍であることを特徴とする装置。請求項9に記載の装置において、前記可動素子の機械的共振周波数は、前記アクチュエーションクロック周波数の半分であることを特徴とする装置。請求項4に記載の装置において、前記第1および第2の静電力は、振幅および極性が同じであることを特徴とする装置。請求項4に記載の装置において、前記第1および第2の静電力は、振幅および極性のうちの少なくとも一方が異なることを特徴とする装置。請求項1乃至14の何れか1項に記載の装置において、少なくとも1つの電極が、1つ以上のアクチュエータ素子の全体にわたって延びて、前記1つ以上のアクチュエータ素子の運動を制御することを特徴とする装置。物理的効果を発生させるアクチュエーション方法であって、前記物理的効果の少なくとも1つの属性は、周期的にサンプルされるデジタル入力信号の少なくとも1つの特性に対応し、前記方法は、少なくとも1つの静電平行板アクチュエータデバイスを設けるステップであって、各アクチュエータデバイスは、第1の平面を定義する、導電性可動素子群のアレイであって、各個別可動素子は、各個別可動素子に作用する個別の第1の静電力に対する応答として、それぞれの軸方向に交互に前後に移動するように移動を制限されるように動作し、各可動素子は、静止時位置を有し、前記第1の静電力によってのみ前記静止時位置から離れるように駆動される、前記アレイと、前記第1の平面にほぼ平行な第2の平面を定義する少なくとも1つの平面電極であって、前記アレイの可動素子群のうちの少なくとも1つの個別可動素子に電位差の制御された時間系列を印加することによって、前記第1の静電力を選択的に発生させるように動作する前記少なくとも1つの平面電極と、を含む、少なくとも1つの静電平行板アクチュエータデバイスを設ける前記ステップと、コントローラを用いて、前記デジタル入力信号を受信し、受信した前記デジタル入力信号に応じて、前記物理的効果が前記信号を表すように前記電位差系列を印加するように、前記少なくとも1つの電極および前記個別可動素子のうちの少なくとも一方を制御するステップと、を含むことを特徴とする方法。請求項1に記載の装置において、前記少なくとも1つのアクチュエータデバイスはさらに、前記コントローラによって駆動され、第1のジオメトリックパターン以下、行と称されるで配列された第1の複数の電気的接続と、やはり前記コントローラによって駆動され、前記第1のジオメトリックパターンとは異なる少なくとも1つの別のジオメトリックパターン以下、列と称されるで配列された少なくとも1つの別の複数の電気的接続と、複数の素子駆動回路と、を含み、前記第1および別のジオメトリックパターンは、1つの行が1つの列と重なり合う各領域に1つの可動素子が含まれるように設計されており、前記素子駆動回路のそれぞれが、前記可動素子群のうちの1つの可動素子を制御し、前記行のうちの1つと、前記列のうちの少なくとも1つとに電気的に接続されており、前記コントローラは、前記行および前記列を駆動して、前記素子駆動回路の挙動を決定することによって、前記可動素子群の各可動素子に作用する前記静電力を間接的に制御することを特徴とする装置。物理的効果を発生させる静電平行板アクチュエータ装置であって、前記物理的効果の少なくとも1つの属性は、周期的にサンプルされるデジタル入力信号の少なくとも1つの特性に対応し、前記装置は、少なくとも1つのアクチュエータデバイスであって、各アクチュエータデバイスは、第1の平面を定義する、可動素子群のアレイであって、各個別可動素子は、a各個別可動素子に作用する第1の静電力に対する応答として、それぞれの軸方向に交互に前後に移動するように、かつ、b選択的に、少なくとも1つのラッチ位置にラッチされるように、移動を制限されるように動作する、前記アレイと、前記第1の平面に平行な第2の平面を定義する少なくとも1つの平面電極であって、前記アレイの可動素子群のうちの少なくとも1つの個別可動素子に電位差の制御された時間系列を印加することによって、前記第1の静電力を選択的に発生させるように動作する前記少なくとも1つの平面電極と、を含む、前記少なくとも1つのアクチュエータデバイスと、前記デジタル入力信号を受信し、前記電位差系列を印加するように、前記少なくとも1つの電極および前記個別可動素子のうちの少なくとも一方を制御するように動作するコントローラと、を備えることを特徴とする装置。物理的効果を発生させる静電平行板アクチュエーションの方法であって、前記物理的効果の少なくとも1つの属性は、周期的にサンプルされるデジタル入力信号の少なくとも1つの特性に対応し、前記方法は、少なくとも1つのアクチュエータデバイスを設けるステップであって、各アクチュエータデバイスは、第1の平面を定義する、可動素子群のアレイであって、各個別可動素子は、a各個別可動素子に作用する第1の静電力に対する応答として、それぞれの軸方向に交互に前後に移動するように、かつ、b選択的に、少なくとも1つのラッチ位置にラッチされるように、移動を制限されるように動作する、前記アレイと、前記第1の平面に平行な第2の平面を定義する少なくとも1つの平面電極であって、前記アレイの可動素子群のうちの少なくとも1つの個別可動素子に電位差の制御された時間系列を印加することによって、前記第1の静電力を選択的に発生させるように動作する前記少なくとも1つの平面電極と、を含む、少なくとも1つのアクチュエータデバイスを設ける前記ステップと、コントローラを用いて、前記デジタル入力信号を受信し、前記電位差系列を印加するように前記少なくとも1つの電極および前記個別可動素子のうちの少なくとも一方を制御するステップと、を含むことを特徴とする方法。請求項1に記載の装置において、可動素子群の前記アレイは、第1のジオメトリックパターンで配列された第1の複数の、電気的に相互接続された第1の可動素子群を含んでおり、前記少なくとも1つの電極は、前記第1のジオメトリックパターンとは異なる少なくとも1つの第2のジオメトリックパターンで配列された、少なくとも1つの第2の複数の、電気的に相互接続された第2の電極群に分割された、少なくとも1つの、電極群のアレイを含んでおり、前記第1および第2の複数群のそれぞれは、前記コントローラに電気的に接続されており、前記第1および第2のジオメトリックパターンは、1つの第1の群が1つの第2の群と重なり合う各領域に可動素子が1つだけ含まれることで特徴付けられ、前記コントローラは、前記第1の複数群のうちの個別群と前記第2の複数群のうちの個別群との間に電圧を印加して、前記アレイ内の前記可動素子群の各可動素子に作用する静電力を制御することにより、前記可動素子群の各可動素子にアドレス指定するように動作することを特徴とする装置。請求項20に記載の装置において、前記アクチュエータデバイスは複数のアレイを含んでおり、各アレイの行および列は、前記アクチュエータデバイス内の他のアレイの行および列と、それぞれ、電気的に接続されていないことを特徴とする装置。請求項20に記載の装置において、前記第1の複数群は行を含んでおり、前記第2の複数群は列を含んでおり、前記行および列は1つ以上のアクチュエータデバイスにわたって延びており、これによって、前記行は、1つ以上のアクチュエータデバイス内に位置する可動素子群を含んでおり、前記列は、1つ以上のアクチュエータデバイス内に位置する電極群を含んでいることを特徴とする装置。請求項20に記載の装置において、前記アレイ内の各個別行に対して順番に、前記コントローラは、周期的に、a前記個別行だけを所定の電位に接続し、他のすべての行を電気的浮遊状態に保ち、b前記個別行内の選択された可動素子群をアドレス指定することを特徴とする装置。請求項4に記載の装置において、前記コントローラは、少なくとも1つの可動素子を、ラッチされた状態から解放することを、前記可動素子を前記電極に電気的に接続することによって行うことを特徴とする装置。請求項1に記載の装置において、前記コントローラは、前記可動素子と電極とによって形成されたキャパシタの電荷を周期的にリフレッシュすることを特徴とする装置請求項1に記載の装置において、前記コントローラは、前記可動素子群のうちの少なくとも1つの可動素子に作用する静電力を制御することを、前記電極群のうちの少なくとも1つの電極と、前記可動素子群のうちの少なくとも1つの可動素子との間に、前記可動素子がまだ運動中の間に終了する所定の充電時間にわたって電圧を印加し、その後、前記少なくとも1つの可動素子および前記少なくとも1つの電極によって形成されたキャパシタを電荷がまったく出入りしないようにすることによって行うことを特徴とする装置。請求項1に記載の装置において、少なくとも1つの可動素子の、それぞれの軸方向の位置を検出する少なくとも1つの位置センサをさらに備えることを特徴とする装置。請求項27に記載の装置において、前記位置センサは、前記可動素子と電極との間の静電容量を検出する静電容量センサを備えることを特徴とする装置。請求項26に記載の装置において、少なくとも1つの可動素子の、それぞれの軸方向の位置を検出する少なくとも1つの位置センサをさらに備えることを特徴とする装置。請求項27に記載の装置において、前記コントローラは、前記位置センサから与えられる情報を用いて、個々の可動素子の欠陥を検出することを特徴とする装置。請求項27に記載の装置において、前記位置センサによって与えられる位置情報は、少なくとも1つの可動素子と少なくとも1つの電極との間に印加される電圧を調節することに使用されることを特徴とする装置。請求項29に記載の装置において、前記位置センサによって与えられる位置情報は、前記可動素子の充電時間を調節することに使用されることを特徴とする装置。請求項27に記載の装置において、前記コントローラは、前記物理的効果を発生させる可動素子を選択する際に、前記位置センサによって与えられる位置情報を用いることを特徴とする装置。請求項29に記載の装置において、前記位置センサは、前記可動素子と電極との間の静電容量を検出する静電容量センサを備え、前記静電容量センサは、可動素子および電極の少なくとも一方が電気的浮遊状態にある間に前記可動素子と前記電極との間の電圧を検出するように動作する電圧センサを備えることを特徴とする装置。請求項34に記載の装置において、前記電圧センサは、アナログ比較器を備えることを特徴とする装置。請求項34に記載の装置において、前記電圧センサは、アナログデジタル変換器を備えることを特徴とする装置。請求項18に記載の装置において、前記可動素子群は、前記少なくとも1つの電極により、少なくとも1つのラッチ位置に選択的にラッチされることを特徴とする装置。請求項18に記載の装置において、前記可動素子群のうちの、少なくとも個別の可動素子の運動は、前記個別の可動素子の軸方向に配置された少なくとも1つの機械的リミッタによって制限されることを特徴とする装置。請求項2に記載の装置において、前記電極は、前記個別可動素子の軸方向に配置された機械式リミッタを備え、前記リミッタは前記可動素子を制限するように動作することを特徴とする装置。請求項1に記載の装置において、前記可動素子を第1のラッチおよび第2のラッチによって選択的にラッチすることにより、前記可動素子群のうちの少なくとも一部を、対応する第1および第2のラッチ位置に選択的にラッチすることを特徴とする装置。請求項3に記載の装置において、各可動素子は、前記少なくとも1つの機械的リミッタによって前記軸方向に定義された少なくとも1つの極限位置を有しており、少なくとも1つの可動素子が、前記少なくとも1つの極限位置にラッチされることを特徴とする装置。請求項3に記載の装置において、各可動素子は、前記少なくとも1つの機械的リミッタによって前記軸方向に定義された少なくとも1つの極限位置を有しており、少なくとも1つの可動素子が、前記軸方向の、前記可動素子の極限位置に届かない位置にラッチされることを特徴とする装置。請求項1に記載の装置において、可動素子群の前記アレイは、第1のジオメトリック寸法の方向に延びて、互いに電気的に接続されている、第1の複数行の可動素子群を備え、前記電極は、可動素子群の前記アレイに平行な、電極群のアレイを備え、電極群の前記アレイは、可動素子群の前記行と平行ではなく、第2のジオメトリック寸法の方向に配列され、互いに電気的に接続されている、第2の複数列の電極群を備え、前記コントローラは、前記物理的効果を発生させるための、前記複数行のうちの第I行のj番目の素子からなる第I,j素子の運動を命令することを決定することと、前記複数列のうちの第j列と前記第I行との間の電圧差を変更することにより、前記第I,j可動素子の運動を発生させることと、を行うように動作することを特徴とする装置。請求項43に記載の装置において、前記電圧差を変更することは、電圧源を用いて、前記第2の複数列のうちの第j列と前記第I行との間に電圧を印加することによって行われることを特徴とする装置。請求項43に記載の装置において、前記電圧差を変更することは、前記第2の複数列のうちの第j列と前記第I行との間を短絡することによって行われることを特徴とする装置。請求項43に記載の装置において、前記複数行は前記複数列と直交していることを特徴とする装置。請求項20に記載の装置において、前記コントローラは、前記物理的効果を発生させるための、少なくとも第a,b可動素子および第c,d可動素子の運動を命令することを決定することと、電圧源を用いて、前記第2の複数列のうちの第b列と前記第a行との間に電圧を印加し、所定時間後に、前記第a行および前記第b列のうちの少なくとも一方を前記電圧源から切り離し、次に、前記電圧源を用いて、前記第2の複数列のうちの第d列と前記第c行との間に電圧を印加し、所定時間後に、前記第c行および前記第d列のうちの少なくとも一方を前記電圧源から切り離すことによって、前記少なくとも第a,b可動素子および第c,d可動素子の運動を発生させることと、を行うように動作することを特徴とする装置。請求項43に記載の装置において、前記電圧の印加が所定時間にわたって行われた後、前記第I行および前記第j列のうちの少なくとも一方が前記電圧源から切り離されることを特徴とする装置。請求項48に記載の装置において、前記所定時間は、前記第I,j可動素子がまだ運動中の間に終了することを特徴とする装置。請求項43に記載の装置において、前記第I,j素子の、前記軸方向の位置を検出する位置センサをさらに備えることを特徴とする装置。請求項50に記載の装置において、前記位置センサは、静電容量センサを備えることを特徴とする装置。請求項51に記載の装置において、前記電圧の印加が所定時間にわたって行われた後、前記第I行および前記第j列のうちの少なくとも一方が前記電圧源から切り離され、前記所定時間は、前記第I,j可動素子がまだ運動中の間に終了し、前記静電容量センサは、第I,j可動素子と第I,j電極との間の電圧差の経時変化を測定することを特徴とする装置。請求項50に記載の装置において、前記位置センサによって与えられる位置情報は、前記電圧源の電圧を調節することに使用されることを特徴とする装置。請求項50に記載の装置において、前記位置センサによって与えられる位置情報は、前記所定時間の継続時間を調節することに使用されることを特徴とする装置。請求項50に記載の装置において、前記位置センサが、可動素子の運動パターンが異常であることを検出した場合には、前記コントローラは、前記可動素子を不良としてマーキングし、前記可動素子の利用をやめることを特徴とする装置。請求項50に記載の装置において、前記位置センサが、異なる可動素子の運動パターンの間の差を検出した場合には、前記位置センサは、前記可動素子間の少なくとも1つの動作的特徴の差を推定し、可動素子の選択に際して前記動作的特徴差を考慮することを特徴とする装置。請求項38に記載の装置において、前記機械的リミッタは、前記可動素子群のプライマリ面および前記電極群のプライマリ面のうちの少なくとも一方に少なくとも1つの突出したディンプルを備え、前記プライマリ面は前記軸に垂直であることを特徴とする装置。請求項43に記載の装置において、前記コントローラは、前記物理的効果を発生させるための、少なくとも第a,b可動素子および第c,b可動素子の運動を命令することを決定することと、電圧源を用いて、前記第2の複数列のうちの前記第b列と前記第a行および前記第c行との間に電圧を印加し、所定時間後にi前記第a行および前記第c行の両方とii前記第b列とのうちの少なくとも一方を前記電圧源から切り離すことによって、前記少なくとも第a,b可動素子および第c,b可動素子の運動を発生させることと、を行うように動作することを特徴とする装置。請求項43に記載の装置において、前記コントローラは、前記物理的効果を発生させるための、少なくとも第a,b可動素子および第a’,d可動素子の運動を命令することを決定することと、電圧源を用いて、前記第2の複数列のうちの前記第b列および前記第d列のそれぞれと、前記第a行との間に電圧を印加し、所定時間後にi前記第b列および前記第d列の両方とii前記第a行とのうちの少なくとも一方を前記電圧源から切り離すことによって、前記少なくとも第a,b可動素子および第a’,d可動素子の運動を発生させることと、を行うように動作することを特徴とする装置。請求項1に記載の装置において、前記物理的効果は音を含み、前記属性は、振幅および周波数のうちの少なくとも一方を含むことを特徴とする装置。物理的効果を発生させる静電平行板アクチュエータ装置の製造方法であって、前記物理的効果の少なくとも1つの属性は、周期的にサンプルされるデジタル入力信号の少なくとも1つの特性に対応し、前記方法は、少なくとも1つの静電平行板アクチュエータデバイスとコントローラとを設けるステップを含み、各アクチュエータデバイスは、第1の平面を定義する、導電性可動素子群のアレイであって、各個別可動素子は、各個別可動素子に作用する個別の第1の静電力に対する応答として、それぞれの軸方向に交互に前後に移動するように移動を制限されるように動作し、各可動素子は、静止時位置を有し、前記第1の静電力によってのみ前記静止時位置から離れるように駆動される、前記アレイと、前記第1の平面にほぼ平行な第2の平面を定義する少なくとも1つの平面電極であって、前記アレイの可動素子群のうちの少なくとも1つの個別可動素子に電位差の制御された時間系列を印加することによって、前記第1の静電力を選択的に発生させるように動作する前記少なくとも1つの平面電極と、を含み、前記コントローラは、前記デジタル入力信号を受信し、受信した前記デジタル入力信号に応じて、前記物理的効果が前記信号を表すように前記電位差系列を印加するように、前記少なくとも1つの電極および前記個別可動素子のうちの少なくとも一方を制御するように動作することを特徴とする方法。請求項61に記載の方法において、少なくとも1つの静電平行板アクチュエータデバイスを設ける前記ステップは、MEMSプロセスを用いて行われることを特徴とする方法。図1は、本発明の特定実施形態に従って構築され動作するアクチュエータ装置の簡略化された機能ブロック図である。図1の装置は、物理的効果を発生させるように動作し、この物理的効果の少なくとも1つの属性は、サンプリングクロックに従って周期的にサンプルされたデジタル入力信号の少なくとも1つの特性に対応する。この装置は、複数のたとえば、図2A-5に示すようなアクチュエータ素子を含む少なくとも1つのアクチュエータアレイ100と、デジタル入力信号の受信、およびアクチュエータアレイ内のアクチュエータ素子の制御を行うように動作するコントローラ50と、を含んでいる。各アクチュエータ素子は、可動素子および関連するベアリングと、電極および電極と可動素子との間のスペーサと、任意選択的に、可動素子の運動の機械的リミッタおよび/またはディンプルおよび/または素子駆動回路と、を含んでよく、本明細書ではこれらをすべて図示および記載している。図2A、図2B、および図2Cは、本発明の特定実施形態に従って構築され動作する両面アクチュエータ素子の断面図である。このアクチュエータ素子は、アクチュエータ素子の固定部分に可動素子120が、好適なベアリング150たとえば、フレキシャまたはばねで機械的に接続されている。ベアリング150は、可動素子120が移動できる方向の軸125を定義しており、可動素子120が他の方向に移動することを防いでおり、可動素子120の静止時位置を定義している。アクチュエータ素子はさらに、可動素子120の両側に、2つの電極130および140が配置されている。図1のコントローラ50ここでは図示せずは、デジタル入力信号に応じて、可動素子とそれぞれの電極との間に電圧を印加することにより、可動素子をその静止時位置からそれぞれの電極に向けて駆動する静電力を発生させることが可能である。機械的リミッタ160および170のペアが、典型的には、可動素子120の、軸125に沿う両方向への運動を制限する。可動素子120は、スペーサ180および190によってリミッタ160および170と隔てられている。図2Aは、可動素子120が静止時位置にあり、可動素子120と電極130との間、ならびに可動素子120と電極140との間に電圧が印加されていない状態を示している。図2Bは、可動素子120が、2つある極限位置の一方にラッチされた状態を示している。図2Cは、可動素子120が、他方の極限位置にラッチされた状態を示している。図3A、図3B、および図3Cは、図2A-2Cのアクチュエータ素子と同様のアクチュエータ素子の断面図であり、相違点は、図2A-2Cの、独立して形成された機械的リミッタ160および170が省略され、電極130および140のそれぞれが機械的リミッタとしても動作することである。この実施形態では、パッシベーションたとえば、露出しているシリコン面に自然酸化物層を形成することにより、可動素子がどちらの電極とも短絡しないようにしている。あるいは、いずれかの製造プロセスステップの間に非自然パッシベーション層を追加してもよい。図3Aは、可動素子120が静止時位置にあり、可動素子120といずれの電極との間にも電圧が印加されていない状態を示している。図3Bは、可動素子120が、一方の極限位置にラッチされた状態を示している。図3Cは、可動素子120が、他方の極限位置にラッチされた状態を示している。この実施形態の特に有利な点は、製造プロセスが、典型的には、図2A-2Cによるアクチュエータ素子の製造プロセスよりシンプルであり、コスト効率が高いことである。図4A、図4B、および図4Cは、図3A-3Cの素子と同様のアクチュエータ素子の断面図であり、相違点は、電極130および140の、可動素子120側の表面にディンプル210および220がそれぞれ形成されていることである。その結果、可動素子120が一方の極限位置にある場合、可動素子120は、電極130または140の、可動素子120と対向する面の全体とは接触せず、電極130または140上にそれぞれ形成されたディンプル210または220とのみ接触する。これにより、空隙240のような隙間が形成される。なお、本明細書で用いる空隙という用語は、例として用いているに過ぎない。これは、本発明の装置が通常は空気中で動作するものの、これだけに限定する必要はなく、たとえば、本装置が他の任意の好適媒体中で動作してもよいためである。また、ディンプルは、電極210および220の代わりに、可動素子120の表面に形成してもよい。この実施形態の特に有利な点は、可動素子120を極限位置から離すことが、典型的には、たとえば、図3A-3Cの実施形態の場合に比べて容易であることである。これは、空隙240および250があることにより、可動素子と電極との間の空間に空気が素早く流れ込むことが可能なためであり、かつ/または、ディンプル210および220がたとえば、スクイーズ膜効果に起因する強すぎる接触を防ぐためである。このことは、図2A-2Cの実施形態にも当てはまりうるが、ディンプルの製造は、独立した機械的リミッタ層の製造より、典型的には、シンプルであり、コスト効率が高い。図4Aは、可動素子120が静止時位置にあり、可動素子120といずれの電極との間にも電圧が印加されていない状態を示している。図4Bは、可動素子120が、一方の極限位置にラッチされた状態を示している。図4Cは、可動素子120が、他方の極限位置にラッチされた状態を示している。図5は、本発明の特定実施形態に従って構築され動作する片面アクチュエータ素子の断面図である。このアクチュエータ素子は、図3Aのアクチュエータ素子とほぼ同様であり、やはり、静止時位置にある状態が示されているが、図3Aと異なり、単一の電極300および単一のスペーサ310のみを含む点で片面式である。これに対し、図3Aでは、前述のように、ペアの電極と、対応するペアのスペーサとが設けられている。なお、図2A-2Cおよび図4A-4Cのアクチュエータ素子を片面式にしたものも同様に可能である。また、本明細書に図示および記載した素子の、水平方向に対する向きは、図示されたとおりでなくてもよい。したがって、たとえば、図2A-2Bの素子は、図示されたように、各層が水平方向に並ぶように配置してよく、あるいは、たとえば、各層が垂直方向に並ぶように配置してもよい。また、図5の素子は、図5の向きに設置してよく、必要に応じて逆向きに設置してもよい。すなわち、電極層300が可動素子120の下方ではなく上方にあるように設置してもよい。特定実施形態によれば、重力は無視できる。これは、ベアリング150によって可動素子120にかかる力と、1つ以上の電極によって発生する静電力とが、重力より桁違いに大きいためである。図6は、アクチュエータアレイの簡略化された回路図であり、このアクチュエータアレイは、行および列に配列された複数の片面アクチュエータ素子110を含んでおり、これらの片面アクチュエータ素子は、各アクチュエータ素子110が電極300を1つしか持たないことで特徴付けられている。図に示したように、アクチュエータ素子間の電気的接続は、典型的には、可動素子120同士が、たとえば、アレイの列方向に電気的に接続され、電極300同士が、たとえば、アレイの行方向に電気的に接続されるように行われている。図1のコントローラ50ここでは図示せずは、典型的には、任意の選択された行と列との間に電圧を印加できるように、アレイに作用的に関連付けられている。図7は、図6のアクチュエータデバイスにおいて、コントローラ図示せずによって行3と列3との間に電圧が印加された状態を示しており、結果として、図に示したように、アクチュエータ素子3,3の可動素子120がアクチュエータ素子3,3の単一電極300に向かって動き、他のすべてのアクチュエータ素子は、それぞれの静止時位置にとどまっている。図8は、図6のアクチュエータデバイスにおいて、コントローラ図示せずによって行3と列2、列3、および列q-1との間に電圧が印加された状態を示しており、結果として、図に示したように、アクチュエータ素子3,2、3,3、および3,q-1の可動素子120が、それぞれ、それぞれの対応する単一電極300、すなわち、それぞれ、アクチュエータ素子3,2、3,3、および3,q-1の単一電極300に向かって動き、これら3個以外のすべてのアクチュエータ素子は、それぞれの静止時位置にとどまっている。図9は、図8のアクチュエータデバイスにおいて、第3行が第3列と短絡した後の状態を示している。図に示したように、アクチュエータ素子3,2および3,q-1は、図8に示された、それぞれの、前の位置にとどまっている。これは、それぞれの回路が開いたままであり、これら2つのアクチュエータ素子では電荷が維持されているためである。一方、アクチュエータ素子3,3は、その静止時位置に戻っている。これは、このアクチュエータ素子の電極と可動素子との間の電圧がゼロになり、したがって、この可動素子に働く静電力がゼロになったためである。図10は、アクチュエータアレイの簡略化された回路図であり、このアクチュエータアレイは、行および列に配列された複数の両面アクチュエータ素子110を含んでおり、これらの両面アクチュエータ素子は、各アクチュエータ素子110が電極130および140のペアを有することで特徴付けられている。図に示したように、アクチュエータ素子間の電気的接続は、典型的には、a可動素子120同士が、たとえば、アレイの行方向に電気的に接続され、b第1の電極セットの電極130同士が、たとえば、アレイの第1の列セット410の方向に電気的に接続され、c第2の電極セットの電極140同士が、たとえば、アレイの第2の列セット420の方向に電気的に接続されるように行われている。コントローラ50図示せずは、典型的には、任意の選択された行と列との間に電圧を印加できるように、アレイに作用的に関連付けられている。図11は、図6のアクチュエータ素子110の個別アクチュエータ素子110とほぼ同様の片面アクチュエータ素子の簡略化された回路図であり、相違点は、その個別片面アクチュエータ素子が属している、アレイの行510および列520に、片面素子駆動回路500が電気的に接続されていることである。なお、図11のアクチュエータ素子のうちの1つ、いくつか、またはすべてが、図示された素子駆動回路500を含んでよく、複数の素子群が1つの駆動回路を共用してもよい。素子駆動回路500は、たとえば、コントローラによって行方向および列方向からアレイ内の各素子駆動回路に送信される低電圧信号による制御の下で、電極300と可動素子120との間に比較的高い電圧たとえば、数十ボルトを印加することを可能にするレベルシフト機能を含んでよい。このような高い電圧は、用途の要求に応じてアクチュエータ素子を駆動することに有効でありうる。この実施形態の特に有利な点は、コントローラ図示せずが、デジタル回路で一般的に使用される電圧たとえば、3.3Vで動作する低電圧デバイスだけで構成できることであり、これによって、コントローラ50の製造のコスト効率を高めることが可能である。代替または追加として、素子駆動回路500は、物理的に同時アドレス指定できるアクチュエータ素子の数より多くのアクチュエータ素子を実質的に同時制御することを可能にするメモリ機能を有することが可能であり、これは、メモリ機能によって、アクチュエータ素子i,jが、アドレス指定されなくなっても、静止時位置以外の位置を維持できるためである。図12は、図10のアクチュエータ素子110の個別アクチュエータ素子110とほぼ同様の両面アクチュエータ素子2つの電極を有するアクチュエータ素子の簡略化された回路図であり、相違点は、その個別両面アクチュエータ素子が属している、アレイの行510と列521および522とに、両面素子駆動回路530が電気的に接続されていることである。なお、図10の両面アクチュエータ素子のうちの1つ、いくつか、またはすべてが、図示された素子駆動回路530を含んでよく、複数の素子群が1つの駆動回路を共用してもよい。素子駆動回路530は、可動素子120と電極130との間、ならびに可動素子120と電極140との間に印加される電圧を制御するものであり、図11の素子駆動回路500に関して上述された機能のいずれかまたはすべてを有してよい。図13は、図1のアクチュエータ装置の簡略化された回路図であり、このアクチュエータ装置では、可動素子の複数のアクチュエータアレイたとえば、n=4個のアレイ601、602、603、および604が与えられており、これらはすべて、単一コントローラ50によって制御される。具体的には、コントローラ内の1つの電気的接続が、1つのアレイのp行のそれぞれとq列のそれぞれとを制御しており、これが複数のアレイのそれぞれについて行われており、したがって、それぞれがp×q個のアクチュエータ素子を含むn個のアレイに対して、コントローラ内には、全部でnpq個の電気的接続が与えられている。図示した実施形態では、n=4、p=q=9である。図14は、図1のアクチュエータ装置の簡略化された回路図であり、このアクチュエータ装置では、可動素子の複数の同一アレイたとえば、n=4個のアレイ611、612、613、および614が与えられており、これらはすべて、単一コントローラ50によって制御される。しかしながら、図14では、図13と異なり、これら複数のアレイ自体がさらにアレイとして配列されており、本明細書では、これをP×Qスーパアレイと称する。そして、コントローラ内の1つの電気的接続が、スーパアレイの第1行にあるすべてのアレイのp行の各行を制御しており、コントローラ内の1つの電気的接続が、スーパアレイの第2行にあるすべてのアレイのp行の各行を制御しており、以降も同様に続き、コントローラ内の1つの電気的接続が、スーパアレイの最終行すなわち第P行にあるすべてのアレイのp行の各行を制御している。同様に、コントローラ内の1つの電気的接続が、スーパアレイの第1列にあるすべてのアレイのq列の各列を制御しており、コントローラ内の1つの電気的接続が、スーパアレイの第2列にあるすべてのアレイのq列の各列を制御しており、以降も同様に続き、コントローラ内の1つの電気的接続が、スーパアレイの最終列すなわち第Q列にあるすべてのアレイのq列の各列を制御している。典型的には、それぞれがp×q個のアクチュエータ素子を含むアクチュエータアレイをP×Q個含むP×Qスーパアレイに対して、コントローラ内には、全部でP×pQ×q個の電気的接続が与えられている。図示した実施形態では、n=4、p=q=9、P=Q=2である。図15Aは、図1-14を参照して上述した可動素子のような可動素子と、アクチュエータ素子の電極との間の相互静電容量を、それらの間の離隔距離の関数として示したグラフである。グラフに示した具体的な値は、可動素子および電極の両方の直径が300ミクロンであり、誘電体が空気である平行板キャパシタとしてモデル化した円形アクチュエータ素子の一例に関するものである。図15Bは、図15Aの平行板キャパシタの両端電圧と、このキャパシタに蓄積される電荷とを、離隔距離の関数として示している。図示した例では、まず、3ミクロンの離隔距離において、コントローラはキャパシタの両端に50Vの電圧を印加する。次に、離隔距離を時間とともに減らしていく。離隔距離が1ミクロンに達したら、コントローラは、電極または可動素子との電気的接続を開放して、電荷がキャパシタを出入りできないようにする。この時点から先では、可動素子と電極との間の電圧は、離隔距離が減るにつれて低くなっていく。図15Cは、図15Aおよび図15Bの可動素子に作用する静電力を、可動素子の、電極からの離隔距離の関数として示している。まず、電極と可動素子との間に一定電圧を印加すると、静電力は、離隔距離が減るにつれて増えていく。しかしながら、コントローラが電気的接続を開放すると、静電力は、離隔距離が減り続けても一定のままになる。図16Aおよび図16Bは、電圧センサを組み込んだ片面アクチュエータ素子の簡略化された回路図である。電極駆動回路700が設けられており、これは、図1に示したコントローラの一部であってよく、図11の片面素子駆動回路500と同一であってもよい。電極駆動回路700は、まず、電極300および可動素子120によって形成されたキャパシタを、ある非ゼロ電圧まで充電し、その後、可動素子または電極の少なくとも一方の接続を開放して、電荷がキャパシタを出入りできないようにする。可動素子120が電極300に向かって動くと、キャパシタの電圧が減り、電極300から離れるように動くと、キャパシタの電圧が増える。電圧センサは、この電圧変化を検出して、可動素子120の位置に関する情報を提供することが可能である。図16Aでは、電圧センサはアナログ比較器710であり、これの検知出力は、電極と可動素子との間の電圧が基準電圧より高いか低いかを示す2値信号を含む。図16Bでは、電圧センサはアナログデジタル変換器720であり、これの検知出力は、2値ではなく多値を含み、典型的には、電極と可動素子との間の電圧の数値表現を含む。図17は、複数のアクチュエータ素子間で電極が共用されているアレイにおける、素子駆動回路532を有する両面アクチュエータ素子の簡略化された回路図である。第1の電極130は、第1の電位533に接続されており、第2の電極140は、第2の電位534に接続されており、素子駆動回路532の出力は、可動素子120に電気的に接続された出力が1つあるだけである。特定実施形態によれば、上部電極と下部電極との間の電圧は、通常動作中はほぼ一定であるか、アクチュエーションクロック周波数より桁違いに低いレートで変化する。素子駆動回路532は、たとえば、可動素子120を第1の電位533または第2の電位534のいずれかに接続することが可能なデジタルCMOSプッシュプル出力段を含んでよい。可動素子120が第1の電位533に接続されると、可動素子120と第1の電極130との間の電圧がゼロになり、可動素子120と第2の電極140との間の電圧が非ゼロになって、可動素子120を第2の電極140に引き寄せる静電力が発生する。同様に、可動素子120が第2の電位534に接続されると、可動素子120と第2の電極140との間の電圧がゼロになり、可動素子120と第1の電極130との間の電圧が非ゼロになって、可動素子120を第1の電極130に引き寄せる静電力が発生する。図5または図11に示したような片面アクチュエータ素子は、代替として、複数のアクチュエータ素子間で共用される電極を用いて構築してもよい。素子駆動回路532は、CMOS以外の技術限定ではなく例として、バイポーラトランジスタなどを用いて実装してもよい。素子駆動回路の出力は、上述したように2値に限定されるのではなく連続可変であってもよい。素子駆動回路の出力には当該技術分野においてトライステートまたは高Zとして知られる高インピーダンス状態があってよく、高インピーダンス状態は、図15Bを参照して上述したように、可動素子120と2つの電極とで形成された平行板キャパシタのペアに電荷が出入りできないようにすることが可能である。図18は、図17を参照して上述した両面アクチュエータ素子を複数含むアクチュエータアレイの簡略化された回路図である。特定実施形態によれば、各アクチュエータ素子の第1の電極130は、他のすべてのアクチュエータ素子の第1の電極に電気的に接続されており、かつ、第1の電位533に接続されている。同様に、各アクチュエータ素子の第2の電極140は、他のすべてのアクチュエータ素子の第2の電極に電気的に接続されており、かつ、第2の電位534に接続されている。図18の実施形態の特に有利な点は、どの第1の電極同士の間にも、また、どの第2の電極同士の間にも電気的絶縁が不要なことである。これに対し、図6および図10に示したアクチュエータアレイ、また、図11および図12に示したようなアクチュエータ素子のアレイでは、各アクチュエータ素子の電極間に電気的絶縁が必要であった。したがって、図18のすべての電極は、導電材料たとえば、ドープされたシリコンまたはアルミニウムから作成された2つの連続する層を可動素子120の両側に配置することにより実装可能であり、その際、これらの層を電気的に絶縁された複数の領域に分割する必要はまったくない。これにより、製造プロセスをよりシンプルかつ実効的にすることが可能である。以下では、本明細書において図示および記載してきたコントローラたとえば、図1のコントローラ50の実装に好適な制御アルゴリズムを説明する。大まかに言えば、コントローラは、典型的には、サンプリングクロックに従ってサンプルされたデジタル入力信号に応じて、上記アクチュエータデバイス内の各可動素子の位置を制御する。本発明の一実施形態によれば、デジタル入力信号の範囲は、信号が表しうる値の数が装置内のアクチュエータ素子の数と等しく、サンプリングクロックの周波数がアクチュエーションクロックの周波数と同じであるような範囲であってよい。この場合、コントローラが実装できるアルゴリズムにおいては、特定の位置にある可動素子の数が、デジタル入力信号の各データワードによって直接決まる。たとえば、片面アクチュエータ素子を用いる装置では、アルゴリズムは、装置内でラッチされている可動素子の数が常に、コントローラで受信されたデジタル入力信号の最後の直近に受信されたデータワードで表される数と等しくなるように、個別可動素子をラッチまたは解放することが可能である。あるいは、アルゴリズムは、ラッチされていない可動素子の数が、最後に受信されたデータワードと等しくなるようにしてもよい。両面アクチュエータ素子の実施形態では、アルゴリズムは、第1の極限位置にラッチされている可動素子の数、あるいは、第2の極限位置にラッチされている可動素子の数が、最後に受信されたデータワードと等しくなるようにしてよい。あるいは、コントローラは、それぞれの軸方向に動くたとえば、上昇または下降するアクチュエータ素子の数がデジタル入力信号の各データワードによって決まるアルゴリズムを実装してもよい。他の制御アルゴリズムでは、デジタル入力信号をより正確に再現するために、アクチュエータ素子のインパルス応答を考慮することも可能である。制御アルゴリズムはまた、追加の信号処理機能を含んでもよく、限定ではなく例として、本出願人の同時係属中の出願であるWO2007/135679件名VolumeAndToneControlInDirectDigitalSpeakersに記載されている音量およびトーンの制御を含んでもよい。一般に、デジタル入力信号が表す値の数は、装置内のアクチュエータ素子の数と異なる場合があるため、コントローラは、デジタル入力信号を、利用可能なアクチュエータ素子の数と整合させるスケーリング機能を含むことが可能である。同様に、サンプリングクロックは、アクチュエーションクロックと異なる場合があるため、コントローラは、サンプリングクロックをアクチュエーションクロックと整合させるために、再サンプリング、サンプリングレート変換、内挿、またはデシメーションの各機能を含むことが可能である。装置内のアクチュエータ素子の数が、デジタル入力信号のとりうる値の数より少なく、アクチュエーションクロック周波数がサンプリングクロック周波数より高い場合には、オーバサンプリング、ノイズシェーピング、Σ-Δ変調などの知られた手法を用いて、量子化ノイズの影響を最小限に抑え、アクチュエータデバイスの有効分解能を高めることが可能である。これに関しては、既に参照した、M.Hawksfordによる出版物を参照されたい。所与の時点でどの特定可動素子をラッチまたは解放するかの選択では、用途に応じて様々に異なる条件を用いることが可能である。たとえば、コントローラは、所望の指向性パターンが形成されるように、アクチュエータデバイス内で特定の位置を占める可動素子を選択することが可能であり、これについては、本出願人の同時係属中の出願であるWO2007/135678Directdigitalspeakerapparatushavingadesireddirectivitypatternに記載されている。あるいは、コントローラは、たとえば、素子の不整合既知の用語の影響を最小限に抑えるために可動素子を擬似ランダム方式で選択することが可能である。さらに別の選択肢として、コントローラは、制御アルゴリズムが簡略化されるように可動素子を選択することが可能である。これらの選択条件または他の何らかの選択条件を組み合わせることも可能である。コントローラは、上記デジタル入力信号を受信するために業界標準のインタフェースを組み込むことが可能であり、限定ではなく例として、I2S、AC’97、HDA、SLIMbusなどこれらはすべて既知の用語であり、商標のものもあるのインタフェースを組み込むことが可能である。可動素子および1つ以上の電極は、典型的には、導電材料たとえば、ドープ単結晶シリコン、ドープ多結晶シリコン、またはアルミニウムから製造され、あるいは、少なくとも導電層を含む。可動素子と電極との間のスペーサ層は、典型的には、電気的絶縁材料たとえば、二酸化シリコンから製造され、あるいは、少なくとも電気的絶縁層を含む。ベアリングは、典型的には、塑性変形を伴わない弾性変形が可能な材料たとえば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、またはアルミニウムから製造され、静電力がないときにベアリングに永続的変形がまったく残らず、静電力がなくなったときに可動素子が常に厳密に同じ静止時位置に戻るように製造される。本明細書に記載のアクチュエータデバイスの高コスト効率の量産は、たとえば、次のように達成可能である。業界標準寸法たとえば、6インチ径または8インチ径のウェハたとえば、シリコンまたはアルミニウムのウェハ、あるいはSOIsilicononinsulatorウェハを、既存の微細加工工場当該技術分野ではファブと呼ばれるでの多数のアクチュエータアレイの製造用基板として用いることが可能である。アクチュエータデバイスの所望サイズおよびウェハサイズに応じて、1つのウェハが、数十個、数百個、またはこれ以上のアクチュエータデバイスを受け容れるのに十分な表面積を有することが可能である。あるいは、大きなアクチュエータデバイスが必要な場合には、単一ウェハの全表面を埋めるようにアクチュエータデバイスを設計してよい。さらに大きなアクチュエータデバイスを構築することも可能であり、これは、それぞれがウェハ全体を占める大きなアクチュエータアレイを複数組み合わせて、たとえば、図13および図14を参照して説明したような1つの装置にすることにより可能である。ウェハは、たとえば、一度にウェハ25枚分の業界標準バッチサイズで、このようなバッチサイズ用に設計された既存のファブ設備で加工することが可能である。アクチュエータデバイスの製造プロセスは、典型的には、最終的にアクチュエータデバイスを完全に形成するまでの一連のプロセスステップを含む。各プロセスステップは、半導体またはMEMSの業界において知られている技法であって、そのための適切な機材が市販されている技法に従う。そのような技法として、限定ではなくフォトリソグラフィ、エッチング、熱酸化、化学気相成長、トレンチアイソレーション、イオン打ち込み、拡散などがある。典型的には、各プロセスステップでは、1つのステップにおいて、ある特定の機構を、同一ウェハ上のすべてのアクチュエータデバイスのすべてのアクチュエータ素子に同時に作成する。たとえば、ウェハ上のすべてのアクチュエータ素子のすべてのベアリングを、1回のエッチングプロセスで形成することが可能であり、ウェハ上のすべての電極を、1回のイオン打ち込みまたは拡散のプロセスでドープして、それらの導電性を高めることが可能であり、かつ/または、ウェハ上のすべての電極またはすべての可動素子を、1回のトレンチアイソレーションステップで互いに電気的に絶縁することが可能である。本明細書に記載のコントローラの高コスト効率の量産は、たとえば、CMOSのような業界標準技術を用いて、コントローラを、特定用途向け集積回路ASIC周知の用語として実装することにより、達成可能である。代替または追加として、既存の、在庫しているような電子部品を用いて、コントローラの一部またはすべての要素を実装することが可能である。そのような電子部品としては、限定ではなく集積回路限定ではなく例として、FPGA、CPLD、DSP、マイクロプロセッサなどすべて既知の用語、ディスクリート部品たとえば、MOSFET、バイポーラトランジスタ、ダイオード、受動部品など、あるいは、集積回路およびディスクリート部品の任意の組み合わせがあってよい。コントローラの一部の要素は、配線済み電子回路ではなくソフトウェアの形で実装してもよい。そのようなソフトウェア要素は、任意の好適なエンジン限定ではなく例として、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、DSPなどによって実行可能であり、また、任意の好適なプログラミング言語で書くことが可能であり、たとえば、ネイティブマシンコード、任意の高レベルプログラミング言語限定ではなく例として、C、C、Perlなど、任意のモデリング言語限定ではなく例として、MATLABなど、または任意のハードウェア記述言語限定ではなく例として、Verilog、VHDLなどで書くことが可能である。コントローラおよびアクチュエータデバイスを含む装置全体を形成することは、同一ウェハ上で単一ダイとして製造することを含んでよい。アクチュエータデバイスの所望サイズ、コントローラのサイズ、およびウェハサイズに応じて、1つのウェハが、多数のそのような装置、または1つだけのそのような装置を受け容れることが可能である。代替として、コントローラの一部の要素を、関連付けられたアクチュエータデバイスと同じダイの一部として製造し、コントローラの他の要素を、独立した集積回路として製造するか、既存の、在庫しているような電子部品から構築するか、ソフトウェアの形で実装するか、これらの任意の組み合わせとすることが可能である。コントローラの一部またはすべての要素を、アクチュエータデバイスとは別の集積回路として製造する場合、コントローラおよびアクチュエータデバイスをそれぞれ製造する2つの独立したプロセスは、プロセスフロー、プロセスジオメトリ、プロセスステップ数、マスク数、または他の何らかの観点において異なる場合がある。これにより、各製造プロセスを個別に最適化して、たとえば、全体コストの最小化、サイズの最小化、歩留まり既知の用語の最大化、または他の何らかの所望の特性を達成することが可能になる。必須のmandatory、要求されているrequired、必要なneed、でなければならないmustなどの用語は、本明細書に記載した具体的な実装または応用の文脈においてなされる実装の選択肢を明確にするための言及であって、限定を意図したものではないことを理解されたい。これは、同じ要素が、別の実装では、必須でなく要求されないものとされる可能性があり、さらには、完全に除去される可能性もあるためである。本明細書に記載の特定の機能性たとえば、可動素子の制御機能性を、必要に応じて、ソフトウェアで実装してよいことを理解されたい。別々の実施形態の文脈で記載された、本発明の複数の特徴を、単一の実施形態において、組み合わせて提供することも可能である。逆に、簡潔さのために単一の実施形態の文脈でまたは特定の順序で記載された、複数の方法ステップを含む、本発明の複数の特徴を、別々に提供したり、任意の好適な副組み合わせとして提供したり、異なる順序で提供したりすることも可能である。たとえばは、本明細書では、限定を意図するものではない一具体例の意味で用いている。なお、本明細書で図示および記載した説明および図面において、システムおよびそのサブユニットとして記載または図示した機能性は、方法および方法のステップとして提供することも可能であり、方法および方法のステップとして記載または図示した機能性は、システムおよびそのサブユニットとして提供することも可能であることを理解されたい。各図面において様々な要素を図示するために用いた縮尺は、説明を明確にするための例示的かつ/または便宜的なものに過ぎず、限定を意図したものではない。"