"セラミック製ガイドウエイA上を断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイBがリニアーモーター駆動により直動駆動する静圧水軸受案内装置であって、このガイドウエイAは、一対のセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールを上面高さが同一水平面に位置するセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールベース上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に永久磁石または電磁石を前記長尺状直方体レールベース上面に向けて設けたガイドウエイAであり、前記断面逆凸字状のスライドウエイBは、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベースの底面に二対のセラミック製パッドを平行離間して前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの底面中央位置であって前記二対のセラミック製小径パッド間にモーターコイルをその底面が前記永久磁石または電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、そのモーターコイルとガイドウエイAに設けた一方のハニカム構造のセラミック製長尺状直方体レール間に長尺状直方体キャリッジベースの底面より下方に伸び長手方向側面下部であって前記セラミック製長尺状直方体レールの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッドを離間して設けたセラミック製キーパーを設け、これらのセラミック製パッドに水を供給する噴出孔を設けた断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイBであり、前記長尺状直方体キャリッジベースの底面の前後の少なくとも一方に設けた非磁性支持体の前方に磁気バランサーを設けたことを特徴とする、静圧水軸受直動案内装置。上記特許文献4に記載の静圧水軸受直動案内装置1のテーブルキャリッジベース31の運動精度を測定したところ、最大ピッチング角度θmax=0.25の周期的ピッチP=30mmなピッチングが測定された図8参照。上記ピッチング測定値は、ISO規格の許容値と比較すると充分に小さい値である。しかし、工作機械による機械加工メーカーにおいては、より高品位な加工ワークを得るために更にピッチング値が小さい直動案内装置の出現を望む。本発明者らは、前記特許文献1のバランスウエイトを付属させることによりピッチングを小さくする。という記載に基づき、バランスウエイトの素材を磁性体と選択し、および、この磁性体バランサーを取り付ける位置を特定位置に定めることにより、よりピッチング値の小さい静圧水軸受直動案内装置を提供できると想到した。本発明の請求項1は、セラミック製ガイドウエイA上を断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイBがリニアーモーター駆動により直動駆動する静圧水軸受案内装置であって、このガイドウエイAは、一対のセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールを上面高さが同一水平面に位置するセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールベース上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に永久磁石または電磁石を前記長尺状直方体レールベース上面に向けて設けたガイドウエイAであり、前記断面逆凸字状のスライドウエイBは、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベースの底面に二対のセラミック製パッドを平行離間して前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの底面中央位置であって前記二対のセラミック製小径パッド間にモーターコイルをその底面が前記永久磁石または電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、そのモーターコイルとガイドウエイAに設けた一方のハニカム構造のセラミック製長尺状直方体レール間に長尺状直方体キャリッジベースの底面より下方に伸び長手方向側面下部であって前記セラミック製長尺状直方体レールの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッドを離間して設けたセラミック製キーパーを設け、これらのセラミック製パッドに水を供給する噴出孔を設けた断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイBであり、前記長尺状直方体キャリッジベースの底面の前後の少なくとも一方に設けた非磁性支持体の前方に磁気バランサーを設けたことを特徴とする、静圧水軸受直動案内装置を提供するものである。磁気バランサーの磁気吸引力を利用してモーターコイルとのモーメントバランスを採りピッチング値を小さくできる。本発明の静圧水軸受直動案内装置1は、特許文献4記載の静圧水軸受直動案内装置1に、非磁性支持体を介して磁気バランサーを設けた点に新規性、進歩性があり、その他の機械部材は特許文献4記載の静圧水軸受直動案内装置1と同じである。それゆえ、先に、図5、図6および図7を用いて特許文献4記載の静圧水軸受直動案内装置1を説明する。図5、図6および図7に示す静圧水軸受直動スライドシステム1は、ガイドウエイ2と断面逆凸字状のスライドウエイ3を有する。ガイドウエイ2は、一対のセラミック製ハニカム構造23bの長尺状直方体レール21a,21bの上面22a,22bの高さを同一水平面としてセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールベース23の上面23aに平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール21a,21b間に永久磁石または電磁石24を前記長尺状直方体レールベース上面23aに対して25~35度傾斜して上面傾斜支持台25を介して設けたガイドウエイである。前記長尺状直方体レールベース23への長尺状直方体レール21a,21bの固定は、ボルト締めもしくはエポキシ樹脂接着剤を用いて行われる。また、スライドウエイシステム1のガイドウエイ2は、図7に示す研削装置の鋳鉄製あるいは花崗岩製フレ-ム9上に搭載される。このガイドウエイの長尺状直方体レールベース23および長尺状直方体レール21a,21bは、ハニカム構造23bであっても、空洞のない忠実セラミックス製長尺状直方体であってもよい。スライドウエイ3は、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース31の底面31aに二対のセラミック製パッド33a,33b,33c,33dを平行離間して前記長尺状直方体レール21a,21b上方に位置するよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの底面中央位置であって前記二対のセラミック製小径パッド間にモーターコイル34をその底面が前記永久磁石または電磁石24の上面に平行となるよう設けるとともに、そのモーターコイル34とガイドウエイ2に設けた一方のハニカム構造のセラミック製長尺状直方体レール21a間に長尺状直方体キャリッジベース31の底面より下方に伸び長手方向側面下部であって前記セラミック製長尺状直方体レール21aの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッド33e,33fを離間して設けたセラミック製キーパー32を設け、これらのセラミック製パッド33a,33b,33c,33d,33e,33f各々に水を供給する噴出孔35を設けたスライドウエイBである。セラミック製パッドは、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジ製造時に一体に焼成して成型してもよいし、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース31の溝部に市販のセラミック製パッドを接着させてもよい。セラミック製パッドの形状は、スライドウエイの寸法、ク-ラント水供給システムにより適宜選択される。図5に示すセラミック製パッドは、パッド中央部のポケット部41bに噴出孔35を設け、この噴出孔35を中心に左右対称に中央ランド部を2個有し、この中央ランド部42a,42bを囲綾するよう水受け入れポケット部溝41aを有し、更にこのポケット部溝41a,41bを囲繞するように外側ランド43を有する。噴出孔35の径は5~10mmでよい。ポケット部溝41a,41bの深さは、5~15mm、セラミック製パッド33a,33b,33c,33d,33e,33fのランド部42a,42bとガイドウエイ2の長尺状直方体レール21a,21b表面間の距離ギャップは、5~20μm、好ましくは5~10μmと極めて小さい。図6に示すように、水供給ポケット41aに設けられた噴出孔35は、水供給配管81に接続され、水供給配管81の先はギヤ-ポンプ83に接続されている。図6において84は圧力計、85はレリーフ弁、86は抗圧弁、Mはモーターである。セラミック製パッドに接続する水供給配管81の内径は、5~8mm程度である。水供給配管81は、スライドウエイ3のハニカム空洞内に配管され、噴出孔35に接続される。水供給配管81のスライドウエイ3のハニカム壁への固定は、非磁性体である強化樹脂製またはセラミックス製固定バンド、ボルトを使用して行われる。塞板37は、スライドウエイ3のハニカム開放口33gを塞ぐと共に、分岐した水供給配管81を固定する。セラミック製ガイドウエイ2、セラミック製スライドウエイ3、セラミック製パッド33a,33b,33c,33d,33e,33f、塞板37のセラミック素材としては、例えば、アルミナAl2O3セラミックス、ムライト3Al2O32SiO2セラミックス、窒化アルミニウムAlNセラミックス、窒化珪素Si3N4セラミックス、窒化炭素SiCセラミックス、ジルコニアセラミックス、サーメット、サイアロン等が挙げられる。アルミナセラミックスは安価であり、ガイドウエイ2、スライドウエイ3、パッドの素材として適している。窒化炭素セラミックス、ジルコニアセラミックスは耐久性に富む。ガイドウエイ2、スライドウエイ3、パッド33a,33b,33c,33d,33e,33fは、同一セラミック素材が好ましく、これらは、ノンポーラスセラミック製品が好ましい。セラミックス製品2,3の製造方法について説明する。最初に、ハウジングとなるハニカム構造のセラミック部材21a,21b,23,31、キーパー側板32および支持台24,36となるセラミック素材を用いて焼成し、成型する。例えば、アルミナ等のセラミックス粉末に所定量のバインダを加えて造粒処理し、これを一軸プレス成形し、さらにCIP成形して角板状または支持台用の傾斜構造のプレス成形体を作製する。次いで、角板状プレス成形体をハニカム状に加工して、その底面に所定パターンのパッド嵌合用溝部を形成し、さらにこの溝部に開口する噴出孔35を形成する。必要により、ガイドウエイ構成用部材のレール部材、レールベース部材、支持台を接合、スライドウエイ3構成部材の長尺状直方体キャリッジベース31とセラミック製パッド成型体、支持台を接合しておいてもよい。得られた加工体を必要に応じて脱脂処理した後、所定の雰囲気、温度、時間で焼成することによりハウジングとなるハニカム構造セラミック部材や支持台が得られる。なお、プレス成形体を800~950°Cで仮焼して得た仮焼体に溝部等を形成する加工を施し、その後に1,000~1,250°Cで焼成処理を行ってもよい。バインダとしては、メチルメタクリレート/n-ブチルメタクリレート/アクリル酸共重合体、メチルメタクリレート/イソプロピルメタクリレ-ト/メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレート/t-ブチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレート/エチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレート/エチルメタクリレート/イタコン酸共重合体等が焼成時の黒煙の発現がなく、強度の高いセラミック製品が得られる。次ぎに、スライドウエイ3のパッド用溝に市販のセラミック製パッドセラミック製パッド33a,33b,33c,33d,33e,33fをエポキシ樹脂接着剤で固定する。または、パッド形成セラミックススラリ-を溝部に塗布し、焼成してセラミック製パッドを形成させる。セラミック製パッドを形成する素材のセラミックススラリーの調製は、セラミックス粉末例えば、アルミナ粉末や窒化珪素、炭化珪素粉末など、必要によりガラス粉末を添加に、水またはアルコール等の溶剤を加えて、ボールミル、ミキサー等の公知の方法により混合することにより調製することができる。なお、水またはアルコール等の添加量は特に限定されるものではないが、セラミックス粉末の粒度を考慮して、所望の流動性が得られるように調節する。次に、前記で作製したハニカム構造のハウジング31、キーパー32焼成後のセラミック部材に形成されているパッド用溝部と噴出孔35に樹脂等の焼失材料を充填する。次いで、前記の調製したセラミックススラリーをハウジングの溝に充填して、後の焼成により多孔質セラミックパッドとなる部分を成形する。その際に必要に応じて、スラリー中の残留気泡を除去するための真空脱泡処理や充填率を高めるための振動を加えるとよい。こうしてスラリーが充填されたハウジング31,キーパー32を十分に乾燥させた後、多孔質パッド形成材を900°C以上の温度で焼成し、セラミック製パッドを形成する。この焼成時に、溝部と噴出孔35に充填された樹脂等は消失し、ポケット部41a,41b空洞が形成される。続いて、得られた焼成体の表面全体を研削し、必要に応じて研磨処理することにより、静圧軸受装置が得られる。パッドのランド面、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レール、スライドウエイのセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース表面は、表面粗さRa0.05~2.0μmに研削研磨加工しておくのが好ましい。ハニカム構造長尺状直方体レールベース23と長尺状直方体レール21a,21bの一体化は、前記焼成時に接合し、一緒に焼成してもよいが、後工程の研削研磨加工作業を容易とするため、後述する制振パッド接着剤27を用いて研削研磨加工後に接着してもよい。スライドウエイ3のセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース31およびキーパー32に設けるセラミック製パッドの個数および位置関係は、スライドウエイ3のサイズ、剛性による。但し、少なくともセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース31の底面に二対のセラミック製パッド33a,33b,33c,33dを平行離間してガイドウエイ2の長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その底面中央位置であって前記二対のセラミック製パッド間にモーターコイル34をその底面が前記永久磁石または電磁石24の上面に平行となるよう25~35度傾斜して設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベース31底面より下方にセラミック製キーパー32を伸長させ、そのキーパー32の長手方向側面下部であって前記セラミック製長尺状直方体レール21aの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッド33e,33fを離間して設ける。図7に示すように、スライドウエイシステム1はフレ-ム機枠9上に設置される。ガイドウエイ2の長尺状直方体レール21a,21bの長手方向側面上部には一対のシリコンカーバイド製基準バ-90,90がそのバー上面が長尺状直方体レール21a,21b上面に面一となるように取り付けられている。このバー90,90上方に、4個のギャップセンサー92をスライドウエイ3のセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース31長手方向側面下部に取り付け、スライドウエイ底面とガイドウエイ2の長尺状直方体レール21a,21b上面間のギャップ隙間を測定できるようになっている。ギャップセンサー92としては、渦巻電流ギャップセンサー、超音波ギャップセンサーなどが使用できる。スライドウエイ3滑走中、基準バ-90上面には常時、水が供給されるようにしておくのが好ましい。セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールベース23の下部には樋93を設け、スライドウエイシステム1のセラミク製パッドに供給された水を集水し、フレ-ム9外へ排出する。スライドウエイシステム1のガイドウエイ2を支持するフレーム素材9は、セラミックでも、花崗岩でも鋳鉄でもよい。鋳鉄は安価であり、製造も容易である。花崗岩はセラミックと比較して防黴性に優れる。フレームへのガイドウエイ2の固定は、ボルトナットを用いてもよいが、制振パッド接着剤27を用いるのが好ましい。制振パッド接着剤27は、積層構造であってもよい。例えば、予め芯材となる高減衰ゴムの層を半加硫し、この高減衰ゴムの表裏面に制振接着剤組成物を塗布した後、フレーム上に置き、この上にガイドウエイ2を載せることにより型押しし、ついで、硬化させることにより高減衰ゴムの層とゴムの層とが一体化された制振パッドとすることができる。制振パッドの厚みは、1~5mmで充分である。スライドウエイ3の駆動手段としては、コイル34と電磁磁石または永久磁石24とを用いるリニアーモーターが使用される。これらは、ファナック株式会社、独国ジーメンス社、米国アーノルド社等より市販されている。スライドウエイ3のサイズが小さいときは、図5、図6に示すようにハニカム構造の長尺状直方体レールベース23の上面に対し25~35度傾斜するようにしてコイル34および磁石24を設けるのが好ましい。スライドウエイ3のサイズが大きいときは、コイル34および磁石24は25~35度傾斜させても、傾斜させなくてもよい。図1および図2に示すように、上述した静圧水軸受直動案内装置1の長尺状直方体キャリッジベース31の底面の前後の少なくとも一方に設けた非磁性支持体301の前方に磁気バランサー300を設ける。非磁性支持体301の素材としてはアルミニウム、ガラス繊維補強エポキシ樹脂、セラミクスなどが使用できる。実施例では、Al5083を用いた。また、磁気バランサー300の素材としては圧延鋼材、磁性鉄、磁性スチールなどが使用できる。実施例では、縦15mm、横80mm、高さ30mmの圧延鋼材SS400を用いた。図1に示すように、スライドウエイ3の端部から磁性バランサー300中心までの距離δxを8~248mm変化、および磁気バランサー300とコイル34との距離δyを1.0mm、2.0mm、5.0mmと変化させた際のθmaxを測定し、θmaxが最小となる条件を探す。θは、テーブル長尺状直方体キャリッジベース31両端に設置した2式の電機マイクロメータTESA社製GT31の出力電圧差より求めた。測定条件は、テーブルストローク400mm、テーブル滑走幅480mm、テーブル移動速度1.6mm/秒または0.67mm/秒、各々の静圧水軸受への水供給量0.8ml/秒、磁石の吸引力Fm3,700ニュートンである。因みに、磁気バランサーを用いないときのピッチング角θは0.25であった。図3に磁気バランサーのテーブル取り付け位置とピッチング角度の相関を示す。δxは一定の条件でδyを1.0mm、2.0mm、5.0mmの条件でテーブル移動させるとθmaxはピッチP=30mmの周期で変化する。δyが小さいほどθmaxの変化量は大きくなる。言い換えれば、δyが小さいほどバランシングモーメント力が大きくなるためθmaxを広範囲に調整可能であることを示唆する。また、テーブルのピッチングモーメントと位相が反転する位置に適当な吸引力を有する磁性体磁気バランサー300を設置することにより周期的なピッチング運動を改善できることを示唆する。そこで、δy=0.7mmの位置に磁性バランサーを設け、δxを変化させたときのθmaxを測定した結果が図4に示されている。θmaxはピッチP=30mmで周期的に変化し、磁気バランサー300を設置しないときのθmax=0.25を中心値として、ほぼ対称にそれよりも大きくなる場合と小さくなる場合があることが示されている。図4では、δxが236mmとしたときにピッチング振れ幅は、θmax=0.1と最小値を示し、磁気バランサー300を設置しないときの約半分の値である。"