それぞれシード光を出力する複数のマスタオシレータと、前記複数のマスタオシレータから出力された複数のシード光を再生増幅し得る再生増幅器と、前記複数のシード光を前記再生増幅器に入射し、且つ、前記複数のシード光のうち少なくとも1つを他のシード光と異なる入射角度で前記再生増幅器に入射する光学系と、を備えるレーザ装置。前記光学系は、前記複数のシード光のうち少なくとも1つを前記再生増幅器の入射軸に対して傾いた入射角度で当該再生増幅器に入射する、請求項1記載のレーザ装置。前記光学系は、前記複数のシード光のうち少なくとも1つを前記再生増幅器の入射位置の中心から外れた位置で当該再生増幅器に入射する、請求項1記載のレーザ装置。前記光学系は、前記複数のシード光のすべてが前記再生増幅器で再生増幅され得る入射角度および入射位置で、前記複数のシード光を前記再生増幅器に入射する、請求項1記載のレーザ装置。前記光学系は、前記複数のシード光のうち少なくとも1つを前記再生増幅器へ反射する1つ以上の反射光学素子を含む、請求項1記載のレーザ装置。前記光学系は、前記複数のシード光のうち少なくとも1つを前記再生増幅器へ向けて屈折する1つ以上の屈折光学素子を含む、請求項1記載のレーザ装置。前記光学系は、前記複数のシード光のうち少なくとも1つを前記再生増幅器に向けて導波する光導波部を含む、請求項1記載のレーザ装置。前記光導波部は、光ファイバである、請求項7記載のレーザ装置。前記光学系は、前記光導波部から出射した前記複数のシード光を集光させつつ前記再生増幅器へ入射する集光光学素子をさらに含む、請求項7記載のレーザ装置。前記光学系は、前記複数のシード光を拡散する拡散素子を含む、請求項1記載のレーザ装置。前記光学系は、前記拡散素子で拡散された前記複数のシード光を集光させつつ前記再生増幅器へ入射する集光光学素子をさらに含む、請求項10記載のレーザ装置。前記再生増幅器は、前記複数のシード光を再生増幅し得る増幅領域と、前記複数のシード光に前記増幅領域を1往復以上通過させる光学素子と、を含む、請求項1記載のレーザ装置。前記複数のマスタオシレータのうち少なくとも1つは、他のマスタオシレータと異なる波長帯域のシード光を出力し得る、請求項1記載のレーザ装置。前記複数のマスタオシレータのうち少なくとも1つは、他のマスタオシレータと同じ波長帯域のシード光を出力し得る、請求項1記載のレーザ装置。請求項1記載のレーザ装置と、前記レーザ装置から出力された再生増幅後のレーザ光を増幅する1つ以上の増幅器と、を備えるレーザシステム。請求項15記載のレーザシステムと、前記レーザシステムから出力されたレーザ光を内部に導入するための少なくとも1つの入射口を備えるチャンバと、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、前記レーザ光の少なくとも一部を前記所定の領域に集光する集光光学系と、前記チャンバ内で前記レーザ光が前記ターゲット物質に照射されることで放射する極端紫外光を集光する極端紫外集光ミラーと、を備える、極端紫外光生成装置。