可動電極と、前記可動電極との共働で第1の静電容量発生部を形成する第1の固定電極と、前記可動電極との共働で第2の静電容量発生部を形成する第2の固定電極と、前記可動電極を保持するばね部と、を備える静電容量式センサであって、前記第1の静電容量発生部と前記第2の静電容量発生部とが、前記可動電極の重心を挟んで、前記可動電極の移動方向の前後に配置されていることを特徴とする静電容量式センサ。前記第1の静電容量発生部および前記第2の静電容量発生部は、前記可動電極の重心を通り前記移動方向に延在する仮想線が前記第1の静電容量発生部および前記第2の静電容量発生部の左右方向中央部を通るように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の静電容量式センサ。前記可動電極は、前記移動方向両端部に設けられる基部と、当該基部どうしを連結する可動電極幹部とを有しており、前記可動電極幹部は、前記移動方向の片側端部領域が前記可動電極の左右方向一側部に配置され、前記移動方向の他側端部領域が前記可動電極の左右方向他側部に配置されており、前記第1の固定電極の第1固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記可動電極幹部の片側端部領域と対向するように配置され、前記第2の固定電極の第2固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記可動電極幹部の他側端部領域と対向するように配置されており、前記可動電極幹部の片側端部領域と前記第1固定電極幹部との間に前記第1の静電容量発生部が形成され、前記可動電極幹部の他側端部領域と前記第2固定電極幹部との間に前記第2の静電容量発生部が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の静電容量式センサ。前記可動電極は、前記移動方向両端部に設けられる基部と、当該基部どうしを連結する可動電極幹部とを有しており、前記可動電極幹部は、前記可動電極の左右方向片側で前記基部どうしを連結する連結幹部を有しており、前記第1の固定電極の第1固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記連結幹部の片側端部領域と対向するように配置され、前記第2の固定電極の第2固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記連結幹部の他側端部領域と対向するように配置されており、前記連結幹部の片側端部領域と前記第1固定電極幹部との間に前記第1の静電容量発生部が形成され、前記連結幹部の他側端部領域と前記第2固定電極幹部との間に前記第2の静電容量発生部が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の静電容量式センサ。しかしながら、上記従来の静電容量式センサでは、第1の静電容量発生部と第2の静電容量発生部とが、可動電極の重心を挟んで左右に配置されている。ところで、通常の使用状態では、第1の静電容量発生部では、移動方向一側に静電吸引力が働いており、第2の静電容量発生部では、移動方向他側に静電吸引力が働いている。このように、それぞれの静電容量発生部に働く静電吸引力は、可動電極の重心を挟んだ左右両側で互いに逆方向に作用することになるため、可動電極に重心廻りの回転トルクが発生してしまう。このように、可動電極に重心廻りの回転トルクが発生すると、可動電極が回転トルクの作用方向に微少量変位してしまうおそれがある。そして、可動電極が回転トルクの作用方向に微少量変位してしまうと、オフセット電圧に微少なドリフトが生じてしまい、静電容量式センサの測定精度が低下してしまうおそれがある。そこで、本発明は、測定精度が低下してしまうのを抑制することのできる静電容量式センサを得ることを目的とする。本発明の第1の特徴は、可動電極と、前記可動電極との共働で第1の静電容量発生部を形成する第1の固定電極と、前記可動電極との共働で第2の静電容量発生部を形成する第2の固定電極と、前記可動電極を保持するばね部と、を備える静電容量式センサであって、前記第1の静電容量発生部と前記第2の静電容量発生部とが、前記可動電極の重心を挟んで、前記可動電極の移動方向の前後に配置されていることを要旨とする。本発明の第2の特徴は、前記第1の静電容量発生部および前記第2の静電容量発生部は、前記可動電極の重心を通り前記移動方向に延在する仮想線が前記第1の静電容量発生部および前記第2の静電容量発生部の左右方向中央部を通るように形成されていることを要旨とする。本発明の第3の特徴は、前記可動電極は、前記移動方向両端部に設けられる基部と、当該基部どうしを連結する可動電極幹部とを有しており、前記可動電極幹部は、前記移動方向の片側端部領域が前記可動電極の左右方向一側部に配置され、前記移動方向の他側端部領域が前記可動電極の左右方向他側部に配置されており、前記第1の固定電極の第1固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記可動電極幹部の片側端部領域と対向するように配置され、前記第2の固定電極の第2固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記可動電極幹部の他側端部領域と対向するように配置されており、前記可動電極幹部の片側端部領域と前記第1固定電極幹部との間に前記第1の静電容量発生部が形成され、前記可動電極幹部の他側端部領域と前記第2固定電極幹部との間に前記第2の静電容量発生部が形成されていることを要旨とする。本発明の第4の特徴は、前記可動電極は、前記移動方向両端部に設けられる基部と、当該基部どうしを連結する可動電極幹部とを有しており、前記可動電極幹部は、前記可動電極の左右方向片側で前記基部どうしを連結する連結幹部を有しており、前記第1の固定電極の第1固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記連結幹部の片側端部領域と対向するように配置され、前記第2の固定電極の第2固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記連結幹部の他側端部領域と対向するように配置されており、前記連結幹部の片側端部領域と前記第1固定電極幹部との間に前記第1の静電容量発生部が形成され、前記連結幹部の他側端部領域と前記第2固定電極幹部との間に前記第2の静電容量発生部が形成されていることを要旨とする。本発明によれば、第1の静電容量発生部と第2の静電容量発生部とを、可動電極の重心を挟んで、可動電極の移動方向の前後に配置している。そのため、第1の静電容量発生部に発生する静電吸引力の作用方向と、第2の静電容量発生部に発生する静電吸引力の作用方向とを、可動電極の重心を通り移動方向に延在する仮想線に近接させることができる。その結果、可動電極の重心廻りに働く回転トルクをより小さくすることが可能となり、静電容量式センサの測定精度が低下してしまうのを抑制することができる。以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。以下では、静電容量式センサとして、加速度センサを例示する。なお、以下の複数の実施形態には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、それら同様の構成要素には共通の符号を付与するとともに、重複する説明を省略する。第1実施形態本実施形態の加速度センサ1は、図1bに示すように、上下に配置される2枚のガラス基板2、3と、これら2枚のガラス基板2、3に挟まれるシリコン基板4とを備えている。ガラス基板2、3は絶縁層となり、シリコン基板4は半導体層となる。これらガラス基板2、3とシリコン基板4とは、最終的に陽極接合などによって一体に接合される。このとき、これらの接合面に形成された凹部31によってシリコン基板4各部の絶縁性や可動電極体の動作性が確保される。シリコン基板4は、図1aに示すように、公知の半導体プロセスにより間隙5を形成することで、周縁部に形成される略矩形状の枠部6、可動電極7、固定電極8、ばね部9および第1~第3アンカー部10、11、12が形成される。可動電極7は錘としても機能し、物理量としての加速度の印加により可動電極7の移動が許容される。このとき、可動電極7は、ばね部9によって第1アンカー部10に支持されており、この可動電極7には、ばね部9の弾発力によって中立位置が保持されるように付勢力が働いている。間隙5は、反応性イオンエッチングなどにより垂直エッチング加工することにより、間隙5の側壁面がシリコン基板4の表面に対して垂直に形成される。従って、垂直エッチング加工により形成された隙間5の側壁面どうしは互いに略平行に対向される。反応性イオンエッチングとしては、例えば、誘導結合型プラズマを備えたエッチング装置によるICP加工を利用することができる。可動電極7は、移動方向の両端部に一対の基部71が左右方向に延在するように形成されており、これら基部71と第1アンカー部10との間にばね部9が設けられている。なお、可動電極7の移動方向は、便宜上、前後方向図1a中左右方向というものとし、図1a中左方を前方Fr、図1a中右方を後方Rrとして説明する。また、図1a中上方を右方Rs、下方を左方Lsとして説明する。ただし、これらの方向に限定されるものではない。両端部の基部71は所定幅の可動電極幹部72によって連結されており、この可動電極幹部72の前後方向に延在する部分には、第1櫛歯状部可動側櫛歯状部73が、前後方向に対して略直角に、すなわち、左右方向に延在するように接合面に沿って突設されている。この第1櫛歯状部73は、複数の櫛歯を可動電極幹部72から突設させることで形成されている。固定電極8は、前後方向に配置される第1固定電極幹部81を有する第1の固定電極8Aと、前後方向に配置される第2固定電極幹部82を有する第2の固定電極8Bとを備えている。これら第1および第2の固定電極8A、8Bは、ガラス基板2に陽極接合などにより固定される。第1固定電極幹部81には、第1櫛歯状部73の移動方向一側後側に所定のギャップをもって対向配置される第2櫛歯状部固定側櫛歯状部83が設けられている。また、第2固定電極幹部82には、第1櫛歯状部73の移動方向他側前側に所定のギャップをもって対向配置される第3櫛歯状部固定側櫛歯状部84が設けられている。第2櫛歯状部83は、第1櫛歯状部73と同様に、複数の櫛歯が第1櫛歯状部73と平行に第1固定電極幹部81から突設されている。また、第3櫛歯状部84は、第1櫛歯状部73と同様に、複数の櫛歯が第2固定電極幹部82から第1櫛歯状部73と平行に第2固定電極幹部82から突設形成されている。そして、第1櫛歯状部73と第2櫛歯状部83との間のギャップには静電気が蓄積されるようになっており、これら第1櫛歯状部73と第2櫛歯状部83とによって第1の静電容量発生部13が形成されている。また、第1櫛歯状部73と第3櫛歯状部84との間のギャップにも静電気が蓄積されるようになっており、これら第1櫛歯状部73と第3櫛歯状部84とによって第2の静電容量発生部14が形成されている。第1アンカー部10は、図1aに示すように、可動電極7の前方両側に2箇所と後方中央部に1箇所設けられており、それぞれがガラス基板2に陽極接合などにより固定されている。ばね部9は、可動電極7の前後一対の基部71と、これら基部71が対向する第1アンカー部10との間に、左右対称にそれぞれ一対配置されており、このばね部9の弾発力により可動電極7が中立位置で保持されるようにしている。また、それぞれのばね部9は、連続する一本の細長い線状部を複数段のつづら折り状に折曲して、前後方向の弾発力を有するように形成されている。このように構成されたばね部9は、錘を兼ねた可動電極7を、主に移動方向中心軸可動電極7の重心Gを通り移動方向に延在する仮想線Cに沿った方向の変位を許容するように支持している。また、ばね部9を左右対称に配置することで、ばね部9が伸縮する際に可動電極7が左右片側に偏心してしまうのを抑制できるようにしている。なお、可動電極7の移動は、この可動電極7と、第1の固定電極8Aおよび第2の固定電極8Bとの間に設けたストッパーSによって規制されている。本実施形態では、第1固定電極幹部81および第2固定電極幹部82の前後方向両端に設けた凸部をストッパーSとし、このストッパーSに基部71が当接することで可動電極7の最終的な移動が阻止されるようにしている。これにより、第1櫛歯状部73と第2櫛歯状部83および第3櫛歯状部84とが接触して付着する謂わゆるスティッキングが防止できるようになっている。そして、図1aに示すように、後方中央部に配置した第1アンカー部10の左右両側には、第1の固定電極8Aの第2アンカー部11と、第2の固定電極8Bの第3アンカー部12とが配置されている。第1アンカー部10には可動電極7に電気的に接続される第1端子10aが設けられている。また、第2アンカー部11には第1の固定電極8Aに電気的に接続される第2端子11aが、第3アンカー部12には第2の固定電極8Bに電気的に接続される第3端子12aがそれぞれ設けられている。なお、図1bに示すように、上側のガラス基板2の第1~第3端子10a、11a、12aに対応する箇所には、それぞれ開口2Hがエッチングにより穿設されている。そして、それら開口2Hを通して各端子10a、11a、12aの静電容量信号を取り出せるようにしている。ここで、本実施形態では、第1の静電容量発生部13と第2の静電容量発生部14とを、可動電極7の移動方向前後に振り分けて配置するようにしている。すなわち、第1の静電容量発生部13と第2の静電容量発生部14とを、可動電極7の重心Gを挟んで、可動電極7の移動方向の前後に配置している。具体的には、可動電極幹部72の片側本実施形態では後方端部領域72Rを、可動電極7の左右方向一側部本実施形態では右側部に配置し、かつ、他側本実施形態では前方端部領域72Fを、可動電極7の左右方向他側部本実施形態では左側部に配置する。このとき、片側端部領域72Rと他側端部領域72Fとを繋ぐ中間部72Mは、移動方向直角となる左右方向に配置されている。これにより、本実施形態の可動電極幹部72は、全体的にクランク状に形成され、本実施形態では、中間部72Mが、第1櫛歯状部73の1つとして機能するようになっている。また、可動電極幹部72の片側端部領域72Rに、移動方向中心軸Cを挟んで第1の固定電極8Aの第1固定電極幹部81を対向配置する。また、可動電極幹部7の他側端部領域72Fに、移動方向中心軸Cを挟んで第2の固定電極8Bの第2固定電極幹部82を対向配置する。このとき、第1固定電極幹部81は、枠部6の内側内の左側端に近接して配置され、第2固定電極幹部82は枠部6の内側内の右側端に近接して配置されることとなる。そして、可動電極幹部72の片側端部領域72Rと第1固定電極幹部81との間に第1の静電容量発生部13を配置し、かつ、可動電極幹部72の他側端部領域72Fと第2固定電極幹部82との間に第2の静電容量発生部14を配置している。つまり、可動電極幹部72の片側端部領域72Rから第1固定電極幹部81に向かって第1櫛歯状部73を突設し、かつ、第1固定電極幹部81から片側端部領域72Rに向かって第2櫛歯状部83を突設し、これら両櫛歯状部73、83の櫛歯が前後方向で交互に対向するようにしている。一方、可動電極幹部72の他側端部領域72Fから第2固定電極幹部81に向かって第1櫛歯状部73を突設し、かつ、第2固定電極幹部81から他側端部領域72Fに向かって第3櫛歯状部84を突設し、これら両櫛歯状部73、84の櫛歯が前後方向で交互に対向するようにしている。このように構成された加速度センサ1を用いると、当該加速度センサ1に印加される加速度を可動電極7の前後方向への移動によって検出することができる。すなわち、可動電極7が移動方向中心軸Cに沿って前後方向に変位すると、その変位方向によって第1の静電容量発生部13と第2の静電容量発生部14に発生する静電容量は、一方が増加方向、他方が減少方向に変化する。そして、静電容量の変化は、図1aに示すように、第1端子10a、第2端子11aおよび第3端子12aから集積回路15に導入され、この集積回路15から出力端子16を介して取り出される。すなわち、この集積回路15は、第1の静電容量発生部13と第2の静電容量発生部14とで発生する静電容量の差を電圧に変換する機能を有しており、この電圧値から加速度の大きさおよび方向を検出する。以上説明したように、本実施形態によれば、第1の静電容量発生部13と第2の静電容量発生部14とを、可動電極7の重心Gを挟んで、可動電極7の移動方向の前後に配置している。具体的には、可動電極7が、移動方向両端部に設けられる基部71と、当該基部71どうしを連結する可動電極幹部72とを有している。そして、可動電極幹部72は、移動方向の片側端部領域72Rが可動電極7の左右方向一側部右側部に配置され、移動方向の他側端部領域72Fが可動電極7の左右方向他側部左側部に配置されている。そして、第1の固定電極8Aの第1固定電極幹部81が、左右方向移動方向と交差する方向で可動電極幹部72の片側端部領域72Rと対向するように配置される。一方、第2の固定電極8Bの第2固定電極幹部82が、左右方向移動方向と交差する方向で可動電極幹部72の他側端部領域72Fと対向するように配置されている。そして、可動電極幹部72の片側端部領域72Rと第1固定電極幹部81との間に第1の静電容量発生部13を形成し、可動電極幹部72の他側端部領域72Fと第2固定電極幹部82との間に第2の静電容量発生部14を形成している。こうして、第1の静電容量発生部13と第2の静電容量発生部14とが、可動電極7の移動方向前後に振り分けて配置されるようにしている。これにより、第1の静電容量発生部13に発生する静電吸引力F1の作用方向と、第2の静電容量発生部14に発生する静電吸引力F2の作用方向とを、可動電極7の移動方向中心軸可動電極の重心を通り移動方向に延在する仮想線Cに近接させることができる。つまり、従来のように第1の静電容量発生部と第2の静電容量発生部とを左右方向に振り分けて配置する場合と較べて、それぞれの静電吸引力F1、F2間のスパンをより短くすることができる。なお、図1aでは、第1の静電容量発生部13に発生する静電吸引力F1が前方に向かって作用し、第2の静電容量発生部14に発生する静電吸引力F2が後方に向かって作用する場合を例示している。このように、それぞれの静電吸引力F1、F2間のスパンをより短くすることで、作用方向が互いに逆方向となるそれぞれの静電吸引力F1、F2により、可動電極7の重心G廻りに働く回転トルクTを従来に較べて小さくすることができる。その結果、加速度センサ1への通電を長期的に連続させた場合であっても、可動電極7の重心G廻りに働く回転トルクTが小さいため、可動電極7の回転方向の変位を抑制することができる。したがって、オフセット電圧に生ずるドリフトを極力小さくすることができ、加速度センサ静電容量式センサ1の測定精度が低下してしまうのを抑制することができる。このとき、可動電極7の移動方向中心軸可動電極の重心を通り移動方向に延在する仮想線Cが第1の静電容量発生部13および第2の静電容量発生部14の左右方向中央部を通るように、第1の静電容量発生部13および第2の静電容量発生部14を形成するのが好適である。こうすれば、第1の静電容量発生部13に発生する静電吸引力全体の作用方向および、第2の静電容量発生部14に発生する静電吸引力全体の作用方向を、より確実に可動電極7の移動方向中心軸Cに近接させることができる。第2実施形態本実施形態の加速度センサ静電容量式センサ1Aは、基本的に上記第1実施形態の加速度センサ1と同様の構成を備えている。すなわち、加速度センサ1Aにあっても、第1の静電容量発生部13と第2の静電容量発生部14とを、可動電極7の重心Gを挟んで、可動電極7の移動方向の前後に配置している。ここで、加速度センサ1Aが上記第1実施形態と主に異なる点は、第1の静電容量発生部13に発生する静電吸引力F1と、第2の静電容量発生部14に発生する静電吸引力F2との作用方向を一致させるようにしたことにある。具体的には、本実施形態では、可動電極幹部72が前後方向に延在する直線状の連結幹部72Cを有しており、連結幹部72C全体を可動電極7の幅方向片側本実施形態では右側に寄せて配置している。そして、連結幹部72Cの片側本実施形態では後方端部領域72Rに第1固定電極幹部81を対向配置し、連結幹部72Cの他側本実施形態では前方端部領域72Fに、第2固定電極幹部82を対向配置している。このように、本実施形態では、第1固定電極幹部81と第2固定電極幹部82とが左右方向で同一側本実施形態では左側に配置されることとなる。そして、連結幹部72Cの片側端部領域72Rと第1固定電極幹部81との間に第1の静電容量発生部13を配置し、連結幹部72Cの他側端部領域72Fと第2固定電極幹部82との間に第2の静電容量発生部14を配置している。つまり、連結幹部72Cの片側端部領域72Rから第1固定電極幹部81に向かって第1櫛歯状部73を突設し、第1固定電極幹部81から片側端部領域72Rに向かって第2櫛歯状部83を突設することで、これら両櫛歯状部73、83の櫛歯が前後方向で交互に対向するようにしている。また、連結幹部72Cの他側端部領域72Fから第2固定電極幹部81に向かって第1櫛歯状部73を突設し、第2固定電極幹部81から他側端部領域72Fに向かって第3櫛歯状部84を突設することで、これら両櫛歯状部73、84の櫛歯が前後方向で交互に対向するようにしている。このとき、連結幹部72Cには、前後方向中央部から可動電極7の幅方向他側本実施形態では左側に向かって境界部72Bが突設されており、可動電極幹部72は全体的にT字状に形成されている。そして、境界部72Bを、第1の静電容量発生部13と第2の静電容量発生部14との間に配置することで、本実施形態では、境界部72Bが、第1櫛歯状部73の1つとして機能するようにしている。さらに、可動電極7の移動方向中心軸可動電極の重心を通り移動方向に延在する仮想線Cが第1の静電容量発生部13および第2の静電容量発生部14の左右方向中心を通るように、第1の静電容量発生部13および第2の静電容量発生部14を形成している。具体的には、可動電極7の移動方向中心軸Cが、両櫛歯状部73、83の幅方向中心および両櫛歯状部73、84の幅方向中心を通るように可動電極7および固定電極8を形成している。こうして、第1の静電容量発生部13に発生する静電吸引力F1と、第2の静電容量発生部14に発生する静電吸引力F2との作用方向を一致させている。以上説明したように、本実施形態では、可動電極7の左右方向片側で基部71どうしを連結する直線状の連結幹部72C全体を、可動電極7の幅方向片側に寄せて配置している。そして、連結幹部72Cの片側端部領域72Rに第1の固定電極8Aの第1固定電極幹部81を対向配置し、連結幹部72Cの他側端部領域72Fに、第2の固定電極8Bの第2固定電極幹部82を対向配置している。このような構成とした本実施形態によっても、上記第1実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。また、本実施形態では、第1の静電容量発生部13に発生する静電吸引力F1の作用方向と、第2の静電容量発生部14に発生する静電吸引力F2の作用方向とを可動電極7の移動方向中心軸C上で一致させている。その結果、両静電吸引力F1、F2間のスパンがゼロとなって、可動電極7の重心G廻りに働く回転トルクをなくすことができる。これにより、加速度センサ1Aへの通電を長期的に連続させた場合であっても、回転トルクが発生しないので、可動電極7の回転方向変位をより確実に抑制することができる。したがって、オフセット電圧に生ずるドリフトをより確実に防止することができ、より高精度の加速度センサ1Aを得ることができるようになる。以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態には限定されず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、静電容量式センサとして加速度センサを例示したが、これに限ることなく、その他の静電容量式センサ、例えば角速度センサや振動センサ等にあっても本発明を適用することができる。また、可動電極、その他細部のスペック形状、大きさ、レイアウト等も適宜に変更可能である。