"主面に固定電極が設けられた基板と、前記主面に一端が接続され、第1軸方向に振動可能な駆動用バネ部と、前記駆動用バネ部の他端に接続された駆動部と、前記駆動部に一端が接続され、且つ、前記第1軸方向に直交する第2軸方向に振動可能な検出用バネ部と、前記検出用バネ部の他端に接続され、検出用導電部を備えた検出部と、を備え、前記固定電極は、平面視にて前記検出用導電部と少なくとも一部が重なっていることを特徴とする角速度センサー。前記駆動部を前記第1軸方向に振動させた状態で、前記主面の法線の軸回りに角速度が加わったときに、コリオリ力を受けて前記検出部が前記駆動部に対して前記第2軸方向に振動し、該振動によって生じる前記検出用導電部と前記固定電極との間の静電容量の変化に基づいて、前記角速度を検出することを特徴とする請求項1に記載の角速度センサー。前記検出用導電部は、前記第1軸方向に延在していることを特徴とする請求項1または2に記載の角速度センサー。前記固定電極は、平面視における前記検出部の振幅領域の外側に前記第2軸方向の端部を有していることを特徴とする請求項1ないし3に記載の角速度センサー。主面に固定電極が設けられた基板と、前記主面に一端が接続され、第1軸方向に振動可能な検出用バネ部と、前記検出用バネ部の他端に接続され、検出用導電部を備えた検出部と、前記検出部に一端が接続され、且つ、前記第1軸方向に直交する第2軸方向に振動可能な駆動用バネ部と、前記駆動用バネ部の他端に接続された駆動部と、を備え、前記固定電極は、平面視にて前記検出用導電部と一部が重なっていることを特徴とする角速度センサー。請求項1ないし5のいずれか一項に記載の角速度センサーを備えることを特徴とする電子機器。しかしながら、特許文献1の角速度センサーでは、静電容量の変化を検出するために、一対の固定電極の間にX軸方向延在部を位置させているが、固定電極とX軸方向延在部との間に発生する静電力吸引力によるX軸方向延在部との吸着pull-inを防止するために、各固定電極とX軸方向延在部の離間距離を比較的大きく確保しなければならず、あるいは固定電極とX軸方向延在部との対数を少なくしなければならず、検出精度が低下する。また、固定電極とX軸方向延在部との間に発生する静電力静電バネによって、検知部のY軸方向への振動を可能とするように駆動部と検知部とを連結する梁の実効的なバネ定数が機械的なバネ定数からずれてしまう。言い換えれば、梁の機械的なバネ定数に前記静電力を加味したものが梁の実効的なバネ定数となる。これにより、予め設定されている検知部の変位量と角速度の大きさとの関係がずれてしまい、この点からも角速度の検出精度が低下する。特に、検出部が変位したときに発生する梁の引張力は、検出部の変位量に対して線形の関係を有しているのに対して、固定電極とX軸方向延在部との間に形成される静電バネの引張力は、検出部の変位量に対して非線形の関係を有している。そのため、これら引張力を合成したもの、すなわち梁の実効的なバネ定数が検出部の変位量に対して非線形の関係を有することとなる。これにより、検出部の変位量と角速度の大きさの関係を直線的な比例式で示すことができなくなり、角速度の検出精度が低下するか、または、装置構成回路構成が複雑化する。以上のように、特許文献1の角速度センサーでは、検知精度が低下するという問題がある。本発明の目的は、優れた検出精度を発揮することのできる角速度センサーおよび電子機器を提供することにある。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例に係る角速度センサーは、主面に固定電極が設けられた基板と前記主面に一端が接続され、第1軸方向に振動可能な駆動用バネ部と、前記駆動用バネ部の他端に接続された駆動部と、前記駆動部に一端が接続され、且つ、前記第1軸方向に直交する第2軸方向に振動可能な検出用バネ部と、前記検出用バネ部の他端に接続され、検出用導電部を備えた検出部と、を備え、前記固定電極は、平面視にて前記検出用導電部と少なくとも一部が重なっていることを特徴とする。本適用例によれば、第2軸方向に変位する検出用導電部と、第1軸方向および第2軸方向のなす面と直交する方向に離間して基板上に配置された平面視にて少なくとも一部が重なる固定電極と、の間の静電容量変化を検出するため、検出部の第2軸方向変位に対する静電力の影響を受けず、優れた検出精度を発揮することのできる角速度センサーを提供することができる。[適用例2]上記適用例に記載の角速度センサーでは、前記駆動部を前記第1軸方向に振動させた状態で、前記主面の法線の軸回りに角速度が加わったときに、コリオリ力を受けて前記検出部が前記駆動部に対して前記第2軸方向に振動し、該振動によって生じる前記検出用導電部と前記固定電極との間の静電容量の変化に基づいて、前記角速度を検出することが好ましい。本適用例によれば、高精度に角速度を検出することができる。[適用例3]上記適用例に記載の角速度センサーでは、前記検出用導電部は、前記第1軸方向に延在していることが好ましい。本適用例によれば、検出部が第2軸方向に振動したときの静電容量の変化をより大きくすることができるため、検出精度が向上する。[適用例4]上記適用例に記載の角速度センサーでは、前記固定電極は、平面視における前記検出部の振幅領域の外側に前記第2軸方向の端部を有していることが好ましい。本適用例によれば、検出部が第2軸方向に振動したときの静電容量の変化をより正確に検出することができる。[適用例5]本適用例に係る角速度センサーは、主面に固定電極が設けられた基板と、前記主面に一端が接続され、第1軸方向に振動可能な検出用バネ部と、前記検出用バネ部の他端に接続され、検出用導電部を備えた検出部と、前記検出部に一端が接続され、且つ、前記第1軸方向に直交する第2軸方向に振動可能な駆動用バネ部と、前記駆動用バネ部の他端に接続された駆動部と、を備え、前記固定電極は、平面視にて前記検出用導電部と一部が重なっていることを特徴とする。本適用例によれば、第1軸方向に変位する検知用導電部と第3軸方向に離間して基板上に配置された電極との間の静電容量変化を検出するため、検出部の第1軸方向変位に対する静電力の影響を受けず、優れた検出精度を発揮することのできる角速度センサーを提供することができる。[適用例6]本適用例に掛る電子機器は、上記適用例に記載の角速度センサーを備えることを特徴とする。本適用例によれば、信頼性に優れた携帯電話、パーソナルコンピューター、デジタルカメラ等の電子機器を提供することができる。以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。実施形態1図1は、本発明の角速度センサーの第1実施形態を示す平面図である。図2は、図1中A-A線断面図である。図3は検出手段の作用を説明するための断面図である。図4は図1に示す角速度センサーを備えた角速度測定装置を示す断面図である。なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示している。また、以下では、X軸第1軸に平行な方向をX軸方向、Y軸第2軸に平行な方向をY軸方向、Z軸第3軸に平行な方向をZ軸方向と言う。また、以下の説明では、説明の便宜上、図1中の上側を上、下側を下、右側を右、左側を左と言う。1.角速度センサーまず、角速度センサー1について説明する。本実施形態の角速度センサー1は、Z軸まわりの角速度を検出する角速度センサーである。図1に示すように、角速度センサー1は、X-Y面内に設けられた振動系構造体3と、振動系構造体3を支持する基板2と、振動系構造体3を振動させる駆動手段4と、Z軸まわりの角速度を検出する検出手段5とを有している。-振動系構造体-このような振動系構造体3は、枠状の駆動部31と、駆動部31を支持する支持部321、322、323、324と、駆動部31と各支持部321、322、323、324とを連結する駆動バネ部331、332、333、334と、駆動部31の内側に設けられた検出部34と、検出部34と駆動部31とを連結する検出バネ部351、352、353、354とで構成されている。本実施形態の振動系構造体3は、シリコンを主材料として構成されていて、1枚のシリコン基板シリコンウエハーを各種加工技術例えば、ドライエッチング、ウェットエッチング等のエッチング技術を用いて所望の外形形状に加工することにより、駆動部31、支持部321、322、323、324、駆動バネ部331、332、333、334、検出部34および検出バネ部351、352、353、354が一体的に形成されている。振動系構造体3の主材料をシリコンとすることにより、優れた振動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な加工が可能となり、角速度センサー1の小型化を図ることができる。また、振動系構造体3の主材料をシリコンとすることにより、後述するように、振動系構造体3に電極を形成しなくても、角速度センサー1を駆動することができるため、振動系構造体3の構造をより簡単なものとすることができる。駆動部31は、Z軸を法線とする平面視にて、枠状をなしている。具体的には、駆動部31は、X軸方向に延在する一対のX軸方向延在部313、314と、Y軸方向に延在し、X軸方向延在部313、314を連結する一対のY軸方向延在部311、312とで構成されている。なお、駆動部31の形状は、これに限定されず、例えば、円形の枠状をなしていてもよいし、枠の一部が欠損した形状をなしていてもよい。支持部321、322、323、324は、Z軸を法線とする平面視にて、駆動部31の周囲に沿って互いに離間して配置されている。本実施形態では、支持部321、322、323、324は、それぞれ、駆動部31の角部に対応して配置されている。このような支持部321、322、323、324は、それぞれ、基板2に接合されており、これにより、振動系構造体3が基板2に支持される。駆動バネ部331、332、333、334は、支持部321、322、323、324に対して駆動部31をX軸方向に振動可能とするように駆動部31と支持部321、322、323、324とを連結する。図1に示すように、駆動バネ部331は、駆動部31の左上の角部と支持部321とを連結し、駆動バネ部332は、駆動部31の左下の角部と支持部322とを連結し、駆動バネ部333は、駆動部31の右下の角部と支持部323とを連結し、駆動バネ部334は、駆動部31の右上の角部と支持部324とを連結する。このように駆動部31の四隅に駆動バネ部331、332、333、334を連結することにより、駆動部31を支持部321、322、323、324に対して安定した状態で支持することができる。これら駆動バネ部331、332、333、334は、それぞれ、Y軸方向に往復しながらX軸方向に延びる蛇行状をなしている。駆動バネ部331、332、333、334をこのような形状とすることにより、駆動バネ部331、332、333、334のそれぞれがX軸方向に変形伸縮し易く、Y軸方向に変形し難いものとなる。このような駆動バネ部331、332、333、334によれば、駆動部31をX軸方向に正確に振動させることができる。特に、本実施形態のように、駆動バネ部331、332、333、334のX軸方向の長さWを短くしつつ、Y軸方向の長さLを長くすること、すなわち、W<Lとすることにより、上記効果をより顕著なものとすることができる。さらに、駆動バネ部331、332、333、334の厚さZ軸方向の長さを比較的厚くすることにより、駆動バネ部331、332、333、334のZ軸方向への変形を防止または抑制し、これにより、駆動部31のZ軸方向の変位を防止または抑制することができる。駆動バネ部331、332、333、334の厚さは、振動系構造体3の大きさ質量等によって適宜設定することができる。検出部34は、駆動部31の内側に駆動部31と非接触で設けられている。このような検出部34は、枠状の基部341と、基部341の内側に設けられた複数のX軸方向延在部検出用導電部342とで構成されている。複数のX軸方向延在部342は、間隔を隔ててY軸方向に並んで設けられている。検出バネ部351、352、353、354は、駆動部31に対して検出部34をY軸方向に振動可能とするように検出部34と駆動部31とを連結する。図1に示すように、検出バネ部351は、検出部34の左上の角部と駆動部31とを連結し、検出バネ部352は、検出部34の左下の角部と駆動部31とを連結し、検出バネ部353は、検出部34の右下の角部と駆動部31とを連結し、検出バネ部354は、検出部34の右上の角部と駆動部31とを連結する。このように、検出部34の四隅に検出バネ部351、352、353、354を連結することにより、検出部34を駆動部31に対して安定した状態で支持することができる。これら検出バネ部351、352、353、354は、それぞれ、X軸方向に往復しながらY軸方向に延びる蛇行状をなしている。検出バネ部351、352、353、354をこのような形状とすることにより、検出バネ部351、352、353、354のそれぞれがY軸方向に変形伸縮し易く、X軸方向に変形し難いものとなる。このような検出バネ部351、352、353、354によれば、検出部34をY軸方向に正確に振動させることができる。特に、本実施形態のように、検出バネ部351、352、353、354のY軸方向の長さW’を短くしつつ、X軸方向の長さL’を長くすること、すなわち、W’<L’とすることにより、上記効果をより顕著なものとすることができる。さらに、検出バネ部351、352、353、354の厚さZ軸方向の長さを比較的厚くすることにより、検出バネ部351、352、353、354のZ軸方向への変形を防止または抑制し、これにより、検出部34のZ軸方向の変位を防止または抑制することができる。検出バネ部351、352、353、354の厚さは、振動系構造体3の大きさ特に検出部34の質量等によって適宜設定することができる。-基板-基板2は、振動系構造体3を支持するものである。図2に示すように、基板2は、板状をなしており、X-Y面内に設けられている。そして、基板2の上面に、振動系構造体3の支持部321、322、323、324を接合することにより、振動系構造体3が基板2に固定支持される。基板2と支持部321、322、323、324の接合方法は、特に限定されず、接着剤等の支持部材を用いて接合してもよいし、振動系構造体3および基板2の構成材料によっては、直接接合や陽極接合等の各種接合方法を用いて接合してもよい。このような基板2の上面振動系構造体3と対向する側の面には、凹部21が形成されている。この凹部21は、基板2と振動系構造体3の実際に振動する部位駆動部31、駆動バネ部331、332、333、334、検出部34および検出バネ部351、352、353、354との接触を防止する機能を有している。このような構成の基板2は、例えば、各種ガラスを主材料として構成されていて、1枚のガラス板を各種加工技術を用いて所望の外形形状に加工することにより形成されている。なお、基板2は、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などの絶縁性材料を主材料として構成されていてもよいし、シリコンを主材料として構成されていてもよい。シリコンを主材料として構成する場合には、必要な絶縁処理を行うことが好ましい。-駆動手段-図1に示すように、駆動手段4は、駆動部31を検出部34と共にX軸方向に振動させる機能を有している。このような駆動手段4は、一対の駆動用固定電極411、412を備える駆動用電極41を複数本実施形態では6つ有している。一対の駆動用固定電極411、412は基板2に固定されている。また駆動用固定電極411、412は駆動部31の振動方向で互いに向かい合う方向に伸びる複数の櫛歯状電極413、414を持っている。また、一対の駆動用固定電極411、412の櫛歯状電極413、414に間隙をおいて互いに噛み合う形状の櫛歯状電極415を持つ駆動用可動電極416が駆動部31から伸びている。このような駆動手段4は、例えば、下記のようにして駆動部31をX軸方向に振動させる。例えば、図示しない電圧印加手段によって、振動系構造体3駆動用可動電極416の櫛歯状電極415に電圧V1を印加し、駆動用電極411櫛歯状電極413に正弦波状の第1交番電圧V2を印加し、駆動用電極412櫛歯状電極414に正弦波状の第2交番電圧V3を印加する。なお、第2交番電圧V3は、第1交番電圧V2の位相を180°ずらしたものである。このような電圧V1、V2、V3が角速度センサー1に印加されると駆動用固定電極411、412と駆動用可動電極416との間に静電引力が働き、駆動バネ部331、332、333、334が弾性変形しつつ、駆動部31が検出部34と共にX軸方向に正弦波で振動する。なお、前述したように、駆動部31の内側に位置する検出部34は、検出バネ部351、352、353、354によって駆動部31に対するX軸方向の変位が規制されているため、駆動部31がX軸方向に振動しているとき、駆動部31と検出部34の位置関係は実質的に一定に保たれている。このような駆動方法によれば、駆動用固定電極411、412と駆動用可動電極416との間に発生する静電力によって形成され得る静電バネのバネ定数を0とすることができるため、駆動バネ部331、332、333、334の実効的なバネ定数を機械的なバネ定数と等しくすることができる。すなわち、角速度センサー1によれば、駆動用可動電極416と駆動用固定電極411、412との間に発生する静電力の駆動バネ部への影響を受けずに駆動部31を振動させることができる。そのため、角速度の検出精度の低下を防止することができる。-検出手段-検出手段5は、角速度センサー1に加わるZ軸まわりの角速度を検出する機能を有している。図1に示すように、このような検出手段5は、固定電極511を複数有している。固定電極511は、検出部34が有するX軸方向延在部342に対応して、すなわち、X軸方向延在部342と同数設けられている。以下、複数の固定電極511について説明するが、これらは互いに同様の構成であるため、以下では、1つの固定電極511について代表して説明し、その他の固定電極511については、その説明を省略する。固定電極511は、X軸方向延在部342の下方に位置し、X軸方向延在部342と固定電極511との間には空隙が形成されている。すなわち、固定電極511は、X軸方向延在部342とZ軸方向に離間して配置されている。また、固定電極511は、Z軸を法線とする平面視にて、その一部がX軸方向延在部342と重なるように設けられている。固定電極511をこのように配置することにより、検出部34がY軸方向に振動していない状態でX軸方向延在部342と固定電極511との間に静電容量を形成することができるとともに、検出部34がY軸方向に振動した際には、X軸方向延在部342と固定電極511との間の静電容量を振動していない状態から変化させることができる。固定電極511の幅Y軸方向の長さは、特に限定されないが、検出部34のY軸方向の振幅領域非駆動状態と、Y軸方向での振動方向が切り替わる時刻の状態との移動距離よりも大きいことが好ましい。図3を用いてさらに詳細に説明すると、固定電極511は、図示上面から見た図1の平面視状態でX軸方向延在部342検出部の振幅領域の外側に、Y軸方向の端部511a,511bを有していることが好ましい。このような構成にすることにより、検出部34がY軸方向に振動する際、常に、固定電極511の少なくとも一部とX軸方向延在部342とが重なった状態を維持できるため、静電容量の変化をより広い範囲で検出することができる。図1に示すように、固定電極511は、X軸方向に延在する帯状をなしている。固定電極511の構成材料としては、導電性を有していれば特に限定されず、例えば、金Au、金合金、白金Pt、アルミニウムAl、アルミニウム合金、銀Ag、銀合金、クロムCr、クロム合金、銅Cu、モリブデンMo、ニオブNb、タングステンW、鉄Fe、チタンTi、コバルトCo、亜鉛Zn、ジルコニウムZr等の金属材料や、ITO、ZnO等の電極材料により形成することができる。このような検出手段5は、例えば、下記のようにして角速度センサー1にZ軸まわりに加わる角速度を検出する。まず、前述したように、駆動手段4によって、駆動部31を検出部34と共にX軸方向に振動させる。この状態で、Z軸まわりの角速度が加わると、X軸およびZ軸に直交するY軸方向にコリオリ力が発生し、これにより、Y軸方向の新たな振動が励起され、検出部34が検出バネ部351、352、353、354をY軸方向に弾性変形させつつ、駆動部31に対してY軸方向に振動する。これにより、X軸方向延在部342がY軸方向に振動し、固定電極511に対してY軸方向に変位する。ここで、角速度センサー1にZ軸まわりの角速度が加わっておらず、検出部34が駆動部31に対してY軸方向に振動していないときは、X軸方向延在部342と固定電極511の間の静電容量は変化しない。これに対して、X軸方向延在部342が固定電極511側に変位すると、X軸方向延在部342と各固定電極511とが重なり合う部分の面積が変化することによって、図3bに示すように、X軸方向延在部342と固定電極511の間の静電容量がCΔCに増加する。反対に、X軸方向延在部342が固定電極511側と反対側に変位すると、図3cに示すように、X軸方向延在部342と固定電極511の間の静電容量がC-ΔCに減少する。そして、図示しない検出回路によって、X軸方向延在部342と固定電極511の間の静電容量変化によってZ軸まわりの角速度を検出する。本実施形態では、前述したように、X軸方向延在部342および固定電極511共にX軸方向に延在して設けられているため、これらがZ軸方向に重なり合う面積をより大きくすることができる。その結果、より大きな静電容量の変化を検出することができるため、より高精度に角速度を検出することができる。ここで、X軸方向延在部342と固定電極511との間の静電容量は、X軸方向延在部342と固定電極511とのギャップg’を小さくするほど大きくなる。そこで、角速度センサー1では、前述したように、検出バネ部351、352、353、354の厚さを比較的厚くし、検出部34のZ軸方向の変位を規制防止することにより、X軸方向延在部342と固定電極511との接触を防止しつつ、ギャップg’をより小さくすることができるように構成している。このギャップg’としては、特に限定されないが、0.1μm以上0.5μm以下程度であるのが好ましい。このような範囲によれば、X軸方向延在部342と固定電極511との接触を防止しつつ、X軸方向延在部342と固定電極511との間の静電容量を充分に大きくすることができ検出性能が向上する。以上のような構成の角速度センサー1では、固定電極511も振動系構造体3に対してZ軸方向にずれた位置でかつ振動系構造体3と重なるようにして設けることができる。そのため、角速度センサー1によれば、装置の小型化を図ることができる。また、前述したように、静電バネの影響を受けずに振動系構造体3を振動させることができるため、優れた検出精度を発揮することができる。2.角速度測定装置角速度測定装置として使用する際には、例えば、図4に示すように、パッケージ6に角速度センサー1を収容して気密封止される。なお、本図では角速度センサー1を2個収納しているが、1個、または3個以上収納される場合もある。パッケージ6は、各角速度センサー1の基板2を兼ねるベース基板61と、枠状の枠部材62と、板状の蓋部材63とを有している。ベース基板61と枠部材62、枠部材62と蓋部材63は、接着剤あるいはろう材等により接合されている。ベース基板61は、前述した基板2と同様の構成材料で構成されている。また、枠部材62および蓋部材63は、例えば、ベース基板61と同様の構成材料、Al、Cuのような各種金属材料、各種ガラス材料等で構成されている。角速度測定装置10では、2つの角速度センサー1がX軸方向に並んで設けられている。このような角速度測定装置10では、一方の角速度センサー1が有する駆動部31図4では図示せずと、他方の角速度センサー1が有する駆動部31とが互いにX軸方向に逆相で振動するように駆動する。すなわち、2つの駆動部31が互いにX軸方向に互いに接近する方向に変位する状態と、X軸方向に互いに離間する方向に変位する状態とを交互に繰り返すように駆動する。このような駆動によれば、2つの駆動部31により生じる漏れ振動を互いに相殺することができる。その結果、振動漏れを防止することができ、優れた振動特性を有する角速度測定装置10となる。以上述べたように、本実施形態に係る角速度測定装置10によれば、優れた検出精度を持った角速度センサーを提供することができる。実施形態2図5は、本発明の角速度センサーの第2実施形態を示す平面図である。図6は、図5に示す角速度センサーを備えた角速度測定装置を示す断面図である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、平面視側を上、平面視での裏側を下、右側を右、左側を左と言う。本実施形態の角速度センサーおよび角速度測定装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。本実施形態の角速度センサー1Aは、駆動部と検出部の位置関係が逆であること以外は、前述した第1実施形態の角速度センサーと同様である。1.角速度センサー-振動系構造体-図5に示すように、振動系構造体3Aは、枠状の検出部34Aと、検出部34Aを支持する支持部321A、322A、323A、324Aと、検出部34Aと各支持部321A、322A、323A、324Aとを連結する検出バネ部351A、352A、353A、354Aと、検出部34Aの内側に設けられた駆動部31Aと、駆動部31Aと検出部34Aとを連結する駆動バネ部331A、332A、333A、334Aとで構成されている。検出部34Aは、Z軸を法線とする平面視にて、枠状をなしている。具体的には、検出部34Aは、Y軸方向に延在する一対のY軸方向延在部343A、344Aと、X軸方向に延在し、Y軸方向延在部343A、344Aの端部同士を連結する一対のX軸方向延在部341A、342Aと、Y軸方向延在部343A、344AからX軸方向に複数本伸びる検出用導電部345Aで構成されている。支持部321A、322A、323A、324Aは、Z軸を法線とする平面視にて、検出部34Aの周囲に沿って互いに離間して配置されている。本実施形態では、支持部321A、322A、323A、324Aは、それぞれ、検出部34Aの角部に対応して配置されている。検出バネ部351A、352A、353A、354Aは、支持部321A、322A、323A、324Aに対して検出部34AをY軸方向に振動可能とするように、検出部34Aと支持部321A、322A、323A、324Aとを連結している。図5に示すように、本実施形態では、検出バネ部351Aは、検出部34Aの左上の角部と支持部321Aとを連結し、検出バネ部352Aは、検出部34Aの左下の角部と支持部322Aとを連結し、検出バネ部353Aは、検出部34Aの右下の角部と支持部323Aとを連結し、検出バネ部354Aは、検出部34Aの右上の角部と支持部324Aとを連結する。このように検出部34Aの四隅に検出バネ部351A、352A、353A、354Aを連結することにより、検出部34Aを支持部321A、322A、323A、324Aに対して安定した状態で支持することができる。これら検出バネ部351A、352A、353A、354Aは、それぞれ、X軸方向に往復しながらY軸方向に延びる蛇行状をなしている。駆動部31Aは、検出部34Aの内側に検出部34Aと非接触で設けられている。このように、検出部34Aの内側に駆動部31Aを配置することにより、言い換えれば、駆動部31Aの周囲を囲むように検出部34Aを設けることにより、駆動部31Aと検出部34Aの配置が最適化されスペースを有効的に活用することができ、角速度センサー1Aの小型化を図ることができる。このような駆動部31Aは、枠状の基部311Aと、基部311Aの内側に設けられた櫛歯状の複数の駆動用電極415Aとで構成されている。駆動バネ部331A、332A、333A、334Aは、検出部34Aに対して駆動部31AをX軸方向に振動可能とするように、駆動部31Aと検出部34Aとを連結する。図5に示すように、本実施形態では、駆動バネ部331Aは、駆動部31Aの左上の角部と検出部34Aとを連結し、駆動バネ部332Aは、駆動部31Aの左下の角部と検出部34Aとを連結し、駆動バネ部333Aは、駆動部31Aの右下の角部と検出部34Aとを連結し、駆動バネ部334Aは、駆動部31Aの右上の角部と検出部34Aとを連結する。このように駆動部31Aの四隅に駆動バネ部331A、332A、333A、334Aを連結することにより、検出部34Aに対して駆動部31Aを安定した状態で支持することができる。これら駆動バネ部331A、332A、333A、334Aは、それぞれ、Y軸方向に往復しながらX軸方向に延びる蛇行状をなしている。-駆動手段-駆動手段4Aは、一対の駆動用固定電極411A、412Aを備える駆動用電極41Aを複数有している。以下、複数の駆動用電極41Aについて説明するが、これらは互いに同様の構成であるため、以下では、1つの駆動用電極41Aについて代表して説明し、その他の駆動用電極41Aについては、その説明を省略する。一対の駆動用固定電極411A、412Aは基板2Aに固定されている。また駆動用固定電極411A、412Aは、駆動部31Aの振動方向で互いに向かい合う方向に伸びる複数の櫛歯状電極を有している。また、一対の駆動用固定電極411A、412Aの櫛歯状電極に間隙をおいて互いに噛み合う形状の櫛歯状電極を有する駆動用可動電極415Aが駆動部31Aから伸びている。このような駆動手段4Aにより、前述した第1実施形態と同様にして、駆動バネ部331A、332A、333A、334AをX軸方向に弾性変形させつつ、駆動部31Aが検出部34Aに対してX軸方向に振動する。-検出手段-検出手段5Aは、検出用電極としての固定電極511Aを複数有している。以下、複数の固定電極511Aについて説明するが、これらは互いに同様の構成であるため、以下では、X軸方向延在部341Aに対応して設けられている固定電極511Aについて代表して説明する。固定電極511Aは、基板2Aの上面に互いにY軸方向に離間して形成されている。また、固定電極511Aは、検出用導電部345AとZ軸方向に離間して配置されている。また、固定電極511Aは、Z軸を法線とする平面視にて、その一部が検出用導電部345Aと重なるように設けられている。具体的には、Z軸を法線とする平面視にて、固定電極511Aの図5中下側の部位が検出用導電部345Aと重なっており、上側の部位が検出用導電部345Aから露出している。このような検出手段5Aでは、前述した第1実施形態と同様にして、角速度センサー1Aに加わるZ軸まわりの角速度を検出する。2.角速度測定装置次に、角速度測定装置10Aについて説明する。図6に示すように、角速度測定装置10Aは、パッケージ6と、パッケージ6に収容された2つの角速度センサー1Aとを有している。角速度測定装置10Aでは、2つの角速度センサー1AがY軸方向に並んで設けられている。このような角速度測定装置10Aでは、Z軸まわりの角速度が加わったときに、一方の角速度センサー1Aが有する検出部34A図4参照と、他方の角速度センサー1Aが有する検出部34Aとが互いにY軸方向に逆相で振動する。これによれば、2つの検出部34Aの振動がキャンセルされ、角速度測定装置10A外への振動漏れを効果的に抑制することができる。そのため、優れた検出特性を有する角速度測定装置10Aとなる。このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。以上述べたように、本実施形態に係る角速度測定装置10Aによれば、固定電極511Aが外側に配置されていることにより固定電極容量に対する寄生容量を低減することが可能であり、優れた検出精度を持った角速度センサーを提供することができる。製造方法図7は、本発明の角速度センサーの製造方法を示す断面図である。まず、図7aに示すように、第一の基板2aの表面に凹部を形成する。第一の基板の材料は絶縁体であり例えばガラスである。凹部21はフォトリソエッチング工程により形成され、エッチングはフッ酸を含む溶液によるウェットエッチングあるいはプラズマによるドライエッチにより行われる。凹部の深さは後の工程で形成する固定電極と可動構造体との基板垂直方向ギャップが所望の値になるように決めることができ、例えば0.3μm~1.0μmである。次に図7bに示すように、第一の基板2aの凹部底面21aに導電体5aを成膜、パターニングする。導電体5aを形成する導電体材料としては特に限定されず、例えば、金Au、金合金、白金Pt、アルミニウムAl、アルミニウム合金、銀Ag、銀合金、クロムCr、クロム合金、銅Cu、モリブデンMo、ニオブNb、タングステンW、鉄Fe、チタンTi、コバルトCo、亜鉛Zn、ジルコニウムZr等の金属材料や、ITO、ZnO等の電極材料により形成することができる。次に図7cに示すように、第二の基板3aを第一の基板2aに貼り合せる。第二の基板3aはシリコン基板であり、第二の基板3aとの貼り合わせは例えば陽極接合によって行われる。次に図7dに示すように、第二の基板3aをフォトリソエッチングにより貫通孔6aを形成し角速度センサーを構成する振動系構造体3の形状を形成する。エッチングはドライエッチングかウェットエッチングにより行われる。次に図7eに示すように、図7dで形成された第二の基板3aの貫通孔6aを通して第一の基板2aの凹部底面の導電体5aをエッチングし固定電極511検出用電極を形成する。エッチングはドライエッチングによって行う。このとき基板3aに対して垂直にエッチングを行うと基板3aに対して垂直方向からの平面視で、導電体5aがエッチングされる部分と第二の基板3aの貫通孔6aとが一致してしまう。この場合第二の基板3aに形成された検出手段5の移動方向によらず、検出手段5と固定電極511検出用電極間の静電容量は減少する方向にしか変化しないため印加された角速度の向きが定められないという問題が起こる。これを回避するために、例えば図7eに示すように、基板3aに対して傾斜した方向図示Pで示すにドライエッチングを行う。これにより検出手段5と固定電極511検出用電極が基板垂直方向からの平面視で一部が重なった状態となり、検出手段5の移動方向によって検出手段5と固定電極511検出用電極間の静電容量は増減し、印加された角速度の向きを定めることが可能である。ここで、前述した角速度センサーを備える電子機器について、図8~図10に基づき、詳細に説明する。なお。以下の説明では、角速度センサー1を備える角速度測定装置10を用いることで説明するが、角速度センサー1Aを備える角速度測定装置10Aを用いてもよい。図8は、角速度センサー1を備える角速度測定装置10を適用した電子機器としてのモバイル型またはノート型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部100を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、角速度検知手段角速度センサーとして機能する角速度測定装置10が内蔵されている。図9は、前述した角速度センサー1を備える角速度測定装置10を備える電子機器としての携帯電話機PHSも含むの構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部100が配置されている。このような携帯電話機1200には、角速度検知手段角速度センサーとして機能する角速度測定装置10が内蔵されている。図10は、本発明の角速度センサー1を備える角速度測定装置10を適用した電子機器としてのディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチールカメラ1300は、被写体の光像をCCDChargeCoupledDeviceなどの撮像素子により光電変換して撮像信号画像信号を生成する。ディジタルスチールカメラ1300におけるケースボディー1302の背面には、表示部100が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部100は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側図中裏面側には、光学レンズ撮像光学系やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。撮影者が表示部100に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送格納される。また、このディジタルスチールカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。このようなディジタルスチールカメラ1300には、角速度検知手段角速度センサーとして機能する角速度測定装置10が内蔵されている。なお、本発明にかかる角速度測定装置10、10Aを備える電子機器は、図8のパーソナルコンピューターモバイル型パーソナルコンピューター、図9の携帯電話機、図10のディジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置例えばインクジェットプリンター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳通信機能付も含む、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡、魚群探知機、各種測定機器、計器類例えば、車両、航空機、船舶の計器類、フライトシュミレーター等に適用することができる。以上、本発明の角速度センサー、および電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成特徴を組み合わせたものであってもよい。また、前述した実施形態では、振動系構造体がシリコンを主材料として構成されたものについて説明したが、振動系構造体の主材料は、シリコンに限定されず、例えば、各種ガラスであってもよい。振動系構造体をガラスを主材料として構成する場合、各Y軸方向延在部の駆動用電極側の面に、導電性材料例えば金属材料で構成された薄膜状の駆動用導電部を形成し、各X軸方向延在部の検出用電極側の面に、導電性材料例えば金属材料で構成された薄膜状の検出用導電部を形成する必要がある。"