カーボンナノチューブ又はボロンナイトライドBNナノチューブに特定元素を含むフラーレンまたは特定元素を含むフラーレン誘導体を複数内包するナノチューブ複合体からなることを特徴とする、透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置の検出感度測定用標準試料。前記ナノチューブ複合体は、カーボンナノチューブ又はボロンナイトライドBNナノチューブに特定元素の原子が1個~5個ずつほぼ一定の間隔で並んでいるものであることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置の検出感度測定用標準試料。前記特定元素が、フラーレン骨格やナノチューブ骨格を構成する元素以外の元素から選ばれる1種又は2種以上の元素であることを特徴とする請求項1又は2に記載の透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置の検出感度測定用標準試料。請求項1~3のいずれか1項に記載の検出感度測定用標準試料を具備した透過型電子顕微鏡。検出感度測定用標準試料が観察試料を保持するホルダと一体的な部分に予め固定されたものであることを特徴とする請求項4に記載の透過型電子顕微鏡。本発明の目的は、透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置が検出可能な最小重量すなわち、単原子を検出可能なものであるか否かや、単原子でなくても既知の原子2個~5個等の小重量を検出可能なものであるか否かを簡便に測定、確認することのできる検出感度測定用標準試料を提供することである。本発明は、上記目的のもと上記従来技術を背景とした研究の過程で本発明者が見出した次のA~C等の知見に基づくものである。A微小クラスター直径およそ数ナノメートル程度を標準試料に使った場合は、いくら電子線プローブを細く小さくしても検出シグナルが単原子からのものかどうか識別できないが、電子線プローブより十分大きな間隔を持って単原子をならべたものを標準試料とすると、透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置が検出可能な最小重量すなわち単原子を検出可能なものであるか否かを簡便に測定、確認することができる。B所定の電子線プローブより十分大きな間隔を持って単原子をならべたものとして、ナノチューブに金属原子内包フラーレンを複数内包するナノチューブ複合体が存在する。C金属原子内包フラーレンに限らず、フラーレンに化学修飾を施すことにより元素を1個~5個導入させることによっても、所定の電子線プローブより十分大きな間隔を持って1個~5個ずつならべることができる。このような知見に基づく本願発明は、下記1~5の特徴を有するものである。1カーボンナノチューブ又はボロンナイトライドBNナノチューブに特定元素を含むフラーレンまたは特定元素を含むフラーレン誘導体を複数内包するナノチューブ複合体からなることを特徴とする、透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置の検出感度測定用標準試料。2前記ナノチューブ複合体は、カーボンナノチューブ又はボロンナイトライドBNナノチューブに特定元素の原子が1個~5個ずつほぼ一定の間隔で並んでいるものであることを特徴とする上記1に記載の透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置の検出感度測定用標準試料。3前記特定元素が、フラーレン骨格やナノチューブ骨格を構成する元素以外から選ばれる1種又は2種以上の元素であることを特徴とする上記1又は2に記載の透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置の検出感度測定用標準試料。4上記1~3のいずれか1項に記載の検出感度測定用標準試料を具備した透過型電子顕微鏡。5検出感度測定用標準試料が観察試料を保持するホルダと一体的な部分に予め固定されたものであることを特徴とする上記4に記載の透過型電子顕微鏡。本発明の金属原子等の特定元素の原子がほぼ等間隔で整列したナノチューブ複合体を標準試料として用いることで、あるフラーレンに含まれる特定元素の原子と隣接するフラーレンに含まれる特定元素の原子との間隔を電子線プローブより十分大きくでき、透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置について、単原子検出能の有無や原子2個~5個等の小重量検出能の有無が容易に判別できる。また、このような標準試料を用いることにより、透過型電子顕微鏡の倍率や性能の確認を容易に行うことができるため、透過型電子顕微鏡の倍率や性能の調整及び付随する元素分析装置の調整も容易に行うことができる。さらに、透過型電子顕微鏡の観察試料を保持するホルダと一体的な部分にこのような標準試料を予め固定しておくと、透過型電子顕微鏡の倍率や性能の調整及び付随する元素分析装置の調整をより容易とすることができる。本発明において、フラーレンに含まれる特定元素は、フラーレンに内包されたものでもよいし、フラーレンを化学修飾することにより導入されたものであってもよい。そのようなフラーレンに含まれる特定元素は、フラーレン骨格やナノチューブ骨格を構成する元素の炭素、ホウ素、窒素以外であれば、特に種類は問わない。フラーレンに内包される特定元素は、原子として内包されてもよいし、また、分子として内包されてもよい。原子として内包される元素としては、金属元素、希ガス元素を挙げることができる。そのような金属元素としてはリチウム、カルシウム、スカンジウム、チタン、バナジウム、ストロンチウム、イットリウム、ランタノイド元素、ハフニウム、ラジウム、アクチノイド元素から選ばれる1種又は2種以上の金属元素があげられる。フラーレンに内包される特定元素の分子としては、H2分子等の数個程度の原子で構成される分子が挙げられる。フラーレンを化学修飾することにより導入される特定元素としては、フラーレンに内包されるものと同じ金属元素や、シリコン、リン、鉄、コバルト、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、タングステン、オスミウム、イリジウム、白金、タリウムなどが挙げられる。また、さらに、水素や、2個~5個程度の原子からなる置換基を構成する元素が挙げられる。そのような置換基としては、水酸基、アミノ基、ニトロ基、スルホン酸基、ホスホン酸基等が挙げられる。また、フラーレン誘導体としては、フラーレン骨格中に特定元素を導入したものでもよい。その例としては、C60分子の一つの炭素を窒素に置換したアザフラーレンなどが挙げられる。なお、フラーレンに内包される分子や前記置換基は、特定元素以外の一部として、ナノチューブ骨格やフラーレン骨格を構成する元素の炭素、ホウ素、窒素を含んでいてもよい。フラーレン1分子あたりに含まれる上記特定元素の原子の数は1個~5個とすることができる。フラーレン1分子あたりに含まれる上記特定元素の原子の数が1個であれば、当然に単原子検出能の有無を測定、確認することができるが、フラーレン1分子あたりに含まれる上記特定元素の原子の数を2個~5個等の複数個とする場合でも、そのうち1個の原子の種類を他の原子と異なるものとしておけば、その1個の原子についての元素分析を行うことにより単原子検出能の有無を測定、確認することができる。また、フラーレン1分子あたりに含まれる同一種類の原子の数を既知の複数個とする場合には、既知の複数個の原子についての検出能の有無を測定、確認することができる。元素分析が対象とする特定元素以外は、カーボンもしくはボロンナイトライドBNなどの軽元素のみで構成されていること、特に中空のカーボンナノチューブやフラーレン分子で構成されていることが望ましい。カーボンナノチューブやボロンナイトライドBNナノチューブの層数については、限定する必要はないが、実用的には、単層や2層が好ましい。カーボンナノチューブやボロンナイトライドBNナノチューブは、その中に内包される複数のフラーレンが一列となるような直径および長さに設定される。そのような直径は13nm程度、長さは10nm10mm程度が好ましい。ナノチューブに内包されるフラーレンは、ナノチューブの直径や含まれる特定元素等に応じて、C60、C70、さらに高次のフラーレンの中から選択することができる。複数のフラーレンは、あるフラーレンに含まれる1個乃至5個の原子と隣接するフラーレンに含まれる1個乃至5個の原子との間隔がほぼ一定となるように、ナノチューブ内に密に充填されることが望ましい。本発明の標準試料は、透過型電子顕微鏡の観察試料用のホルダに保持されるかホルダと一体的な部分に予め固定されていても良い。透過型電子顕微鏡に付随する上述の元素分析装置とは、電子線エネルギー損失分光、エネルギー分散型蛍光X線分析およびカソードルミネッセンスなど、透過型電子顕微鏡を用いた元素分析装置のことである。またこれらに加えて、二次電子、透過電子、後方散乱電子などを用いた検出装置も含まれる。本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されない。実施例1ランタン金属内包フラーレンおよびエルビウム金属内包フラーレンを内包したカーボンナノチューブ複合体による単原子検出空気中で酸化処理を施すことで、端を開管したカーボンナノチューブと、ランタン金属内包フラーレンおよびエルビウム金属内包フラーレン図1を同一石英管内に挿入し、真空条件下約104Paで石英管を封じ切った。封じ切った石英管を600°Cで24h温めた。放冷後、管内のナノチューブを取り出し、トルエン洗浄を数回おこなった。得られた試料を透過型電子顕微鏡による形状観察をおこなった図2。aの暗視野像において光って見えているのはフラーレンに内包されたランタンあるいはエルビウム単原子であり、両者はおよそ2nm離れている。フラーレンに内包されている限り両者は1nm以下の距離に近づくことはない。通常用いられる電子線プローブサイズは通常01~05nm程度なので、原子同士の距離より十分小さい。そのため両者から検出信号が混ざり合わずに、当該原子ひとつひとつの元素分析が可能となる。aの暗視野像からは、ランタンあるいはエルビウム原子の識別は不可能であるが、当該原子を含む元素分析をおこなうことによって両者を識別することができる。bからdには、電子線エネルギー損失分光を用いて元素分析を行った際のランタン原子、エルビウム原子、炭素のそれぞれの元素マッピングを示す。このことから元素分析に用いた透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置は単原子検出が可能なものであることが分かる。eは模式図である。ここで、スケールバーは1nmである。一方、透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置で元素分析を行う際に、上記と同じ標準試料を用いても、ランタン金属とエルビウム金属の元素マッピングによる識別が不可能な場合は、透過型電子顕微鏡に付随した当該元素分析装置は、単原子検出が不可能なものであることが分かる。実施例2ランタン金属内包フラーレン、セリウム金属内包フラーレンおよびエルビウム金属内包フラーレンを内包したカーボンナノチューブ複合体による単原子検出空気中で酸化処理を施すことで、端を開管したカーボンナノチューブと、ランタン金属内包フラーレンLaC82、セリウム金属内包フラーレンCeC82およびエルビウム金属内包フラーレンErC82を同一石英管内に挿入し、真空条件下約104Paで石英管を封じ切った。封じ切った石英管を600°Cで24h温めた。放冷後、管内のナノチューブを取り出し、トルエン洗浄を数回おこなった。得られた試料を透過型電子顕微鏡による形状観察をおこなった図3。図3上部の明視野BF像において黒点として見えているのはフラーレンに内包されたランタン、セリウムあるいはエルビウム単原子であり、両者はおよそ2nm離れている。フラーレンに内包されている限り両者は1nm以下の距離に近づくことはない。通常用いられる電子線プローブサイズは通常01~05nm程度なので、原子同士の距離より十分小さい。そのため両者から検出信号が混ざり合わずに、当該原子ひとつひとつの元素分析が可能となる。図3上部の明視野BF像からは、ランタン、セリウムあるいはエルビウム原子の識別は不可能であるが、当該原子を含む元素分析をおこなうことによって両者を識別することができる。図3下部には、電子線エネルギー損失分光を用いて元素分析を行った際のランタン原子、セリウム原子、エルビウム原子のそれぞれの元素マッピングを示す。このことから元素分析に用いた透過型電子顕微鏡に付随した元素分析装置は単原子検出が可能なものであることが分かる。図3下部一番右はランタン原子、セリウム原子、エルビウム原子および炭素を同時に観測した暗視野像である。ここで、スケールバーは2nmである。