"A光重合性モノマー、Bオキシムエステル系開始剤、C着色剤、及びD溶剤を含有するカラーフィルタ用感光性着色組成物であって、A光重合性モノマーが、不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物を、光重合性モノマー全量の50質量以上80質量以下含有することを特徴とする、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物。A光重合性モノマーが、さらに不飽和結合基を一分子中に5個または6個有するメタアクリル化合物を含有することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物。前記不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物の分子量が、300以上540以下であることを特徴とする請求項1または2記載の固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物。請求項1~3のいずれか1項に記載の固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物を、基板上に塗布し、乾燥した後、1紫外線露光装置により露光する工程、2アルカリ水溶液により現像する工程、及び3熱焼成する工程により得られたことを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタ。本発明が解決しようとする課題は、パターン形状を垂直形状に保つことができ、パターン形成を行う際の露光依存性を小さくでき、塗膜均一の良好な、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物、及びそれを使用したカラーフィルタを提供することにある。本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物を50質量以上80質量以下含有する光重合性モノマーを含む感光性着色組成物を、固体撮像素子用カラーフィルタに用いることで、パターンの微細化に伴いパターン形状のテーパーが長くなることを抑制し、形状を垂直形状にすることができることを見出した。本発明は、このような知見に基づきなされたものである。すなわち、本発明の第1の態様は、A光重合性モノマー、Bオキシムエステル系開始剤、C着色剤、及びD溶剤を含有するカラーフィルタ用感光性着色組成物であって、A光重合性モノマーが、不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物を、光重合性モノマー全量の50質量以上80質量以下含有することを特徴とする、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物を提供する。このような感光性着色組成物において、A光重合性モノマーは、さらに不飽和結合基を一分子中に5個または6個有するメタアクリル化合物を含有することができる。また、前記不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物は、300以上540以下の分子量を有するものとすることができる。本発明の第2の態様は、以上の固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物を、基板上に塗布し、乾燥した後、1紫外線露光装置により露光する工程、2アルカリ水溶液により現像する工程、及び3熱焼成する工程により得られたことを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタを提供する。本発明によれば、カラーフィルタの画素寸法が微細になることで長くなるパターンのテーパー長を制御することができ、解像性の良好な、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物を提供することができる。また、露光量に対する線幅変化を小さくすることができ、生産の露光マージンの広い、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物を提供することができる。更に、それを使用したカラーフィルタを提供することができる。以下、本発明の一実施形態に係る、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物、及びその感光性着色組成物を用いてなるカラーフィルタについて詳細に詳述する。まず、撮像素子の作製方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、全ての図面を通じて、同様又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。図1は、本発明の一実施形態に係る感光性着色組成物及びカラーフィルタが適用される固体撮像装置の一例を概略的に示す断面図である。図2は、図1の固体撮像装置1を構成するカラーフィルタ4を概略的に示す平面図である。図1に示す固体撮像装置1は、例えば、CCDイメージセンサ及びCMOSイメージセンサなどの二次元イメージセンサである。この固体撮像装置1は、半導体チップ2と平坦化層3とカラーフィルタ4とマイクロレンズアレイ5とを備えている。半導体チップ2は、平面視で二次元的に配列した複数の画素を含んでいる。各画素は、入射した光の量に応じた信号電荷を発生する光電変換素子21を含んでいる。光電変換素子21は、例えば、画素電極と対向電極とそれらの間に介在した半導体層とを含むフォトダイオードである。半導体チップ2は、図示しない読出し回路をさらに含んでいる。読出し回路は、光電変換素子21が発生した電荷を読み出す。光電変換素子21は、例えば、CCDやCMOSデバイスなどで構成することができる。平坦化層3が、半導体チップ2上に形成されている。平坦化層3は、カラーフィルタ4に平坦な下地を提供するために形成される。平坦化層3は、光透過性を有しており、典型的には無色透明である。また、典型的には、平坦化層3は、紫外線吸収特性を有している。平坦化層3は、例えば透明樹脂からなる。平坦化層3の厚さは、例えば0.8μm以下である。なお、半導体チップ2が表面平坦性に優れている場合や、固体撮像装置1の厚みを薄くしたい場合などには、平坦化層3は省略することも可能である。なお、本発明の基板とは、半導体チップもしくは、半導体チップ上に平坦化層を形成したものを指す。カラーフィルタ4は、平坦化層3上に設置され、図2に示すように、それぞれ複数の緑色着色層G、青色着色層B、及び赤色着色層Rから構成される。本実施形態では、複数の緑色着色層Gは、平面視で市松模様状の配列パターンを形成している。複数の青色着色層Bは、緑色着色層Gを間に介して相互に離間すると共に正方格子状の配列パターンを形成している。赤色着色層Rは、緑色着色層Gを間に介して相互に離間すると共に正方格子状の配列パターンを形成している。緑色着色層G、青色着色層B及び赤色着色層Rは、面内方向に隣り合っており、ここでは、正方配列を採用している。これらカラーフィルタを構成する緑色着色層G、青色着色層B及び赤色着色層Rは、それぞれ半導体チップ2の画素と向き合っている。緑色着色層G、青色着色層B及び赤色着色層Rの平面視での縦横の寸法は、例えば約1μm乃至約10μmの範囲内にあり、典型的には約1.5μm乃至約2.5μmの範囲内にある。なお、一般的な液晶表示装置における着色画素の寸法は、数100μmである。これらの比較から明らかなように、固体撮像装置用のカラーフィルタには、表示装置用のカラーフィルタと比較して、遥かに高い寸法精度及び形状精度が要求される。カラーフィルタ4上には、マイクロレンズアレイ5が形成されている。マイクロレンズアレイ5は、例えば、画素の行若しくは列に対応して複数のシリンドリカルレンズを並べた構造を有しているか、又は、画素に対応して複数の半球レンズを並べた構造を有している。以上のように構成される固体撮像装置1は、例えば、以下の方法により製造することができる。まず、内部に光電変換素子21を有する半導体チップ2上に、平坦化層3を形成する。次に、平坦化層3上に、緑色着色層Gを形成する。即ち、緑色顔料を含んだ感光性着色組成物を平坦化層3上に塗布し、塗膜をパターン露光し、その後、塗膜を現像し、更に例えば220°C程度の温度でベークを行う。パターン露光には、例えば紫外線を使用し、現像には例えばアルカリ現像液を使用する。これにより、パターン露光の際に未露光部とした部分が開口部となった緑色着色層Gが得られる。なお、緑色着色層Gの平面視での形状は、図2に示すように市松模様とするのが一般的である。次いで、平坦化層3上に、緑色着色層Gを形成したのと同様の方法により、青色着色層B及び赤色着色層Rを形成する。青色着色層B及び赤色着色層Rは、どちらを先に形成してもよい。以上のようにして、カラーフィルタ4が得られる。その後、このようにして得られたカラーフィルタ4上に、マイクロレンズアレイ5を形成して、図1に示す固体撮像装置1が完成する。なお、人間の視感度は、青色光及び赤色光と比較して緑色光の方が高い。そのため、パターン形成された緑色着色層Gの寸法精度及び形状精度は、青色着色層B及び赤色着色層Rの寸法精度及び形状精度と比較して、再生画像の画質に及ぼす影響が大きい。したがって、ここでは、緑色着色層Gを第1番目に形成している。緑色着色層Gを形成する場合、緑色着色層Gの寸法が1.5μm程度に小さくなると、マスク開口からの光が塗膜表面に達成するとき、光の干渉の影響でマスク開口部の端にあたるエリアで光の強度が低くなる。その為、緑色着色層Gの形状の湾曲部の長さも長くなり、形状が丸みを帯びるようになってしまう。その丸みの部分から光が光電変換素子に入射すると、ノイズとなってしまう。また、微細にすることで、マスクを通った光の干渉により、塗膜に照射される光の幅はマスクパターンの開口幅よりも広くなる。その為、照射露光量に対して、パターン線幅の変化が大きくなる。その為、一定のパターンを形成する際には、露光量のコントロールが難しく、生産性を悪化させることになる。本発明はこのような問題を解決する、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物を提供する。以下に、本実施形態に係る、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物について説明する。本実施形態に係るカラーフィルタ用感光性着色組成物は、A光重合性モノマー、Bオキシムエステル系開始剤、C着色剤及びD溶剤を含有する。《A光重合性モノマー》本実施形態に係るカラーフィルタ感光性着色組成物は、A光重合性モノマーとして、不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物を、光重合性モノマー全量中50質量以上80質量以下含有する。不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物としては、不飽和結合基を1分子中に3個以下有する多官能アクリレート及び/又は多官能メタクリレートのメタアクリル酸エステル類が挙げられる。具体的には、フェノキシテトラエチレングリコールメタアクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコールメタアクリレート、EO変性フタル酸メタアクリレート、PO変性フタル酸メタアクリレート、アクリル化シソシアヌレート、ビスアクリロキシネオペンチルグリコールアジペート、ポリエチレングリコール200ジメタアクリレート、ポリエチレングリコール400ジメタアクリレート、テトラエチレングリコールジメタアクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、トリスアクリロキシエチルイソシアヌレート、カプロラクトン変性トリスアクリロキシエチルイソシアヌレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジシクロペンタニルジメタアクリレート、EO変性ビスフェノールAジメタアクリレートなどが挙げられる。これらの市販品としては、日本化薬社製のKAYARADR526、KAYARADPEG400DA、KAYARADMAND、KAYARADR-167、KAYARADHX-220、KAYARADR-551、KAYARADR712、KAYARADR-604、KAYARADR-684、KAYARADGPO-303、KAYARADTMPTA、及び東亜合成社製M210、M220、M225、M305、M309、M325、M350、大阪有機社製V310HP、V335HP、V700、V295、V330、V360、VGPT等を好適に使用することができる。これらのメタアクリル化合物は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。また、不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物の分子量は、300以上540以下の範囲であることが好ましい。分子量が300より小さい場合には、露光工程後の現像工程でパターンが削られやすくなり、パターン形成の膜厚バラツキの要因の1つとなってしまうことがある。また、分子量が540より大きい場合には、露光量に対する膜厚変化が大きくなってしまうことがある。本明細書において規定するモノマーの分子量、平均分子量は、原子量から換算した理論値で表したものである。また少数第1位を有効数字として計算し、算出された数値を四捨五入し、少数を除外した。また、本実施形態に係る着色組成物は、光重合性モノマーとして、さらに不飽和結合基を一分子中に5個または6個有するメタアクリル化合物を含むことが好ましい。上記メタアクリル化合物を含むことによって、平坦性およびパターン形状が良好なカラーフィルタを作製することができる。更に、パターンを形成する際に、照射露光量に対するパターンの線幅の変化量を小さく抑えられ、残渣も少なく高精細に対応できるカラーフィルタを作成することができるために好ましい。不飽和結合基を一分子中に5個または6個有するメタアクリル化合物としては、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタメタアクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレートなどが挙げられる。これらの市販品としては、日本化薬社製KAYARADDPHA、KAYARADDPEA-12、KAYARADDPHA-2C、KAYARADD-310、KAYARADD-330、KAYARADDPCA-20、KAYARADDPCA-30、KAYARADDPCA-60、KAYARADDPCA-120、及び東亜合成社製M-402、大阪有機製V400等を好適に使用することができる。これらのメタアクリル化合物は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物の含有量は、光重合性モノマー全量中50質量以上80質量以下である。80質量より多い場合には、感度低下が生じてしまう。50質量より少ない場合は塗膜を形成する際に露光量に対する線幅変化量と膜厚変化量が大きくなってしまう。なお、光重合性モノマーが、不飽和結合基を一分子中に3個を超える数有するメタアクリル化合物のみからなる場合には、露光量に対する線幅変化量が大きくなってしまう。A光重合性モノマーの含有量は、感光性着色組成物の全固形分100質量中、5.0質量以上40.0質量以下の範囲であることが好ましい。更に好ましくは、10.0質量以上30.0質量以下の範囲である。A光重合性モノマーの含有量が5.0質量より少ない場合には、露光感度が低下して、生産性を悪化することと、パターン形状のテーパー長さが長くなってしまうことがある。一方、40.0質量より多い場合には、固形分中に光重合性モノマー量が多くなり、感光性着色組成物中に樹脂バインダーの添加量が少なくなり、塗膜を形成する際に、膜厚バラツキが大きくなってしまうことがある。《Bオキシムエステル系開始剤》本実施形態に係る感光性着色組成物に使用されるオキシムエステル系開始剤としては、電子部品用途等の感光性着色組成物の光重合開始剤として知られている公知の化合物を使用することができる。例えば、特開昭57-116047号公報、特開昭61-24558号公報、特開昭62-201859号公報、特開昭62-286961号公報、特開平7-278214号公報、特開2000-80068号公報、特開2001-233842号公報、特表2004-534797号公報、特表2002-538241号公報、特開2004-359639号公報、特開2005-97141号公報、特開2005-220097号公報、国際公開05/080337号パンフレット、特表2002-519732号公報、特開2001-235858号公報、特開2005-227525号公報などの各特許公報に記載の化合物から選択して使用することができる。好ましいオキシムエステル系開始剤としては、エタノン1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-、1,2-オクタジオン-1-4--,2-が挙げられる。また、オキシムエステル系開始剤と併用して、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-t-ブチル-ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1-4-イソプロピルフェニル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタン-1-オン等のアセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4-ベンゾイル-4-メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサンソン、2-クロルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、2,4-ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系光重合開始剤、2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-p-メトキシフェニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-p-トリル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-ピペロニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-スチリル-s-トリアジン、2-ナフト-1-イル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-4-メトキシ-ナフト-1-イル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-ピペロニル-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル4-メトキシスチリル-6-トリアジン等のトリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤等も用いても良い。また、増感剤として、α-アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、9,10-フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、4,4-ジエチルイソフタロフェノン、3,3,4,4-テトラt-ブチルパーオキシカルボニルベンゾフェノン、4,4-ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。《C着色剤》本実施形態に係る感光性着色組成物に使用される着色剤としては、赤色着色層を形成する場合には、CIPigmentRed7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、122、123、146、149、168、177、178、179、184、185、187、192、200、202、208、210、216、220、223、224、226、240、254、255、264、272等の赤色顔料を用いることができる。赤色感光性樹脂組成物には、黄色顔料、オレンジ色顔料を併用することができる。緑色着色層を形成する場合には、CIPigmentGreen7、10、36、37、58等の緑色顔料を用いることができる。緑色感光性樹脂組成物には黄色顔料を併用することができる。青色着色層を形成する場合には、CIPigmentBlue15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、64、80等の青色顔料を用いることができる。青色感光性樹脂組成物には紫色顔料を併用することができる。黄色着色層を形成する場合には、CIPigmentYellow1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、126、127、128、129、138、139、147、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、198、199、213、214等の黄色顔料を用いることができる。紫色着色層を形成する場合には、CIPigmentViolet1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50等の顔料を用いることができる。マゼンタ色着色層を形成する場合には、CIPigmentRed7、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、146、177、178、184、185、187、200、202、208、210、246、254、255、264、270、272等の顔料を用いることができる。マゼンタ色感光性樹脂組成物には黄色顔料を併用することができる。シアン色着色層を形成する場合には、CIPigmentBlue15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、80等の顔料を用いることができる。オレンジ色着色層を形成する場合には、CIPigmentOrange36、43、51、55、59、61、71、73等の顔料を用いることができる。《D溶剤》本実施形態に係る感光性着色組成物には、色素を充分に色素担体中に分散させ、ガラス基板等の透明基板上に乾燥膜厚が0.2~3.0μmとなるように塗布して各着色層を形成することを容易にするために、有機溶剤が配合される。好適に使用される有機溶剤としては、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、1-メトキシ-2-プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル-nアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられ、モノマー組成、用いる重合開始剤の種類等に応じて、これらを単独でもしくは混合して用いることが出来る。《樹脂バインダー》また、発明の固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物は、樹脂バインダーとしては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、および活性エネルギー線硬化性樹脂が含まれていても良い。熱可塑性樹脂としては、例えば、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレンHDPE、LDPE、ポリブタジエン、ポリイミド樹脂等が挙げられる。また、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂等が挙げられる。活性エネルギー線硬化性樹脂としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する線状高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等の反応性置換基を有するメタアクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、メタアクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該線状高分子に導入した樹脂が用いられる。また、スチレン-無水マレイン酸共重合物やα-オレフィン-無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子をヒドロキシアルキルメタアクリレート等の水酸基を有するメタアクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。《多官能チオール》また、本実施形態に係る固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物は、連鎖移動剤としての作用を有する多官能チオールを含有することができる。多官能チオールは、チオール基を2個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ブタンジオールビスチオプロピオネート、1,4-ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロビオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス3-メルカプトブチレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス2-ヒドロキシエチルイソシアヌレート、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン、2,4,6-トリメルカプト-s-トリアジン、2-N,N-ジブチルアミノ-4,6-ジメルカプト-s-トリアジン等が挙げられる。これらの多官能チオールは、1種または2種以上を混合して用いることができる。多官能チオールの使用量は、感光性着色組成物の全固形分量を基準として0.1質量以上30質量以下が好ましく、より好ましくは1質量以上20質量以下である。0.1質量未満では多官能チオールの添加効果が不充分であり、30質量を越えると感度が高すぎて逆に解像度が低下する。《貯蔵安定剤》また、本実施形態に係る感光性着色組成物には、組成物の経時粘度を安定化させるために貯蔵安定剤を含有させることができる。貯蔵安定剤としては、例えばベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの4級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、t-ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。《顔料分散体の調製方法》本実施形態に係る感光性着色組成物に使用される着色剤としての顔料分散体は、色素担体中に色素を分散させることにより得られる。色素担体中に色素を微細に分散させる方法としては、三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、アトライター等の各種分散手段を用いる方法が挙げられる。また、各色素を別々に色素担体中に微細に分散したものを混合してもよい。色素を色素担体中に分散する際には、適宜、樹脂型顔料分散剤、界面活性剤、色素誘導体等の分散助剤を含有させることができる。分散助剤は、顔料の分散に優れ、分散後の顔料の再凝集を防止する効果が大きいので、分散助剤を用いて顔料を色素担体中に分散してなる着色剤を用いた場合には、透明性に優れたカラーフィルタが得られる。樹脂型顔料分散剤は、顔料に吸着する性質を有する顔料親和性部位と、色素担体と相溶性のある部位とを有し、顔料に吸着して顔料の色素担体への分散を安定化する働きをするものである。樹脂型顔料分散剤として具体的には、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸部分アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ低級アルキレンイミンと遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩などの油性分散剤、メタアクリル酸-スチレン共重合体、メタアクリル酸-メタアクリル酸エステル共重合体、スチレン-マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなどの水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート系、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイド付加化合物、燐酸エステル系等が用いられ、これらは単独でまたは2種以上を混合して用いることができる。界面活性剤としては、ラウリル硫酸ソーダ、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、スチレン-アクリル酸共重合体のアルカリ塩、ステアリン酸ナトリウム、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン-アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどのアニオン性界面活性剤;ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどのノニオン性界面活性剤;アルキル4級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤;アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤が挙げられ、これらは単独でまたは2種以上を混合して用いることができる。本実施形態に係るカラーフィルタ用感光性着色組成物は、以上説明した各成分を均一に混合することにより調製される。この場合、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、粒径5μm以上の粗大粒子、好ましくは1μm以上の粗大粒子さらに好ましくは、0.3μm以上の粗大粒子および混入した塵の除去を行うことが好ましい。以上説明した感光性着色組成物を塗布し、露光し、現像し、熱処理することにより、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを形成することが出来る。このカラーフィルタは、少なくとも1つの赤色着色層、少なくとも1つの緑色着色層および少なくとも1つの青色着色層を具備するものである。本実施形態に係る、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用感光性着色組成物を使用することにより、平坦性に優れたカラーフィルタを形成することができる。カラーフィルタの平坦性が高い場合には、平坦性が低い場合と比較して、画素の実効的な感度を向上させることが容易であるという利点がある。なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、同様な作用効果を奏するものは、本発明の技術的範囲に包含される。以下に、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。なお、実施例中、部およびは、質量部および質量をそれぞれ表す。また、PGMACとはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを意味する。実施例及び比較例においては、代表的な固体撮像素子に用いられるカラーフィルタ用の感光性緑色着色組成物について、11種の試料実施例1~7、比較例1~4を調製した。まず、実施例および比較例で用いたアクリルワニスAを合成し、緑色顔料分散体を調製した。反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート370部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら80°Cに加熱して、同温度でメタクリル酸12.3部、メタクリル酸ベンジル49.2部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート東亞合成社製アロニックスM-11024.2部、及び2-ヒドロキシエチルメタクリレート14.3部の混合物を1時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに80°Cで3時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル1.0部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50部に溶解させたものを添加し、さらに80°Cで1時間反応を続けて、アクリル樹脂の溶液を得た。得られたアクリル樹脂の重量平均分子量は、約30000であった。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2gをサンプリングして180°C、20分で加熱乾燥し、不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が20質量になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して、アクリルワニスA溶液を得た。[緑色顔料分散体1]ハロゲン化銅フタロシアニン緑色顔料12.0部C.I.ピグメントグリーン36アクリルワニスA固形分2035.0部PGMAC52.0部樹脂型分散剤1.0部EFKA4300[緑色顔料分散体2]ハロゲン化銅フタロシアニン緑色顔料C.I.ピグメントグリーン36をハロゲン化銅フタロシアニン緑色顔料C.I.ピグメントグリーン7に置き換えた以外は、緑色顔料分散体1の調製と同様にして緑色顔料分散体2を得た。《実施例1》[緑色着色組成物1]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物1を得た。緑色着色分散体142.5質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:2個3.4質量部日本化薬製KAYARADR-684分子量:304光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個3.2質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分203.9質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC45.9質量部《実施例2》[緑色着色組成物2]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物2を得た。緑色着色分散体110.8質量部緑色着色分散体243.1質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:3個2.3質量部東亜合成製M350分子量:428光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個2.3質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分202.7質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC37.8質量部《実施例3》[緑色着色組成物3]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物3を得た。緑色着色分散体112.8質量部緑色着色分散体251.0質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:2個0.9質量部日本化薬製KAYARADR-684分子量:304光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個0.5質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分208.6質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC25.1質量部《実施例4》[緑色着色組成物4]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物4を得た。緑色着色分散体142.5質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:3個3.4質量部東亜合成製M-325分子量:537光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個3.2質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分203.9質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC45.9質量部《実施例5》[緑色着色組成物5]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物5を得た。緑色着色分散体110.8質量部緑色着色分散体243.1質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:3個3.6質量部東亜合成製M350分子量:428光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個0.9質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分202.7質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC37.8質量部《実施例6》[緑色着色組成物6]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物6を得た。緑色着色分散体142.5質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:2個3.4質量部日本化薬製KAYARADDEGDA分子量:214光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個3.2質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分203.9質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC45.9質量部《実施例7》[緑色着色組成物7]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物7を得た。緑色着色分散体142.5質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:3個3.4質量部日本化薬製KAYARADD-330分子量:584光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個3.2質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分203.9質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC45.9質量部《比較例1》[緑色着色組成物8]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物8を得た。緑色着色分散体142.5質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個6.6質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分203.9質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC45.9質量部《比較例2》[緑色着色組成物9]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物9を得た。緑色着色分散体142.5質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:4個3.4質量部ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート分子量:466光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個3.2質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分203.9質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC45.9質量部《比較例3》[緑色着色組成物10]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物10を得た。緑色着色分散体142.5質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:2個6.6質量部日本化薬製KAYARADR-684分子量:304アクリルワニスA固形分203.9質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE02:オキシムエステル系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC45.9質量部《比較例4》[緑色着色組成物11]下記に示す組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物11を得た。緑色着色分散体142.5質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:2個3.4質量部日本化薬製KAYARADR-684分子量:304光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個3.2質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分203.9質量部光重合開始剤1.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製Irg379:αアミノアルキルフェノン系開始剤増感剤保土ヶ谷化学社製EAB-F0.1質量部PGMAC45.9質量部<着色組成物の評価>以上の着色組成物について形状、残膜率、露光感度、露光量依存性、パターンの膜厚均一性、および残渣評価を下記の方法で行った。結果は下記表1に示す。[パターン形成]6インチシリコンウエハ上に、平坦化膜用レジスト液HL18s:新日鐵化学社製をスピンコート法で塗布し、プリベイクとして、100°Cのホットプレートで6分加熱処理した。更に、230°Cのオーブンにて1時間処理して、塗布膜を硬化させて、膜厚1.0μmの平坦化膜を形成した。このようにして得られた緑色の感光性着色組成物を平坦化膜付シリコンウエハ上に、スピンコーターにより塗布し、プリベイクとして、100°Cのホットプレートで1分加熱処理した。プリベイク後の膜厚を0.9μmになるように調整した。次に、I線ステッパーキャノン製FPA5510iZを用い、1.1μm角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を0.6μmとして露光を行った。露光量は5,000Jとした。露光後の塗膜を有機アルカリ現像液ADEKA製OD210で1分間現像し、パドル水洗を1分間行い、スピン乾燥して基板を乾燥させた。現像及び水洗した後、緑色着色パターンを得た。得られた緑色着色パターンを230°Cのホットプレートで4分間熱処理した。熱処理後の緑色着色パターンの膜厚は0.85μmであった。膜厚はAFM原子間力顕微鏡東陽テクニカ製inanoで測定した。[形状評価]形成されたパターンの形状について、イメージセンサーの枠から32画素分の形状を測長SEM走査電子顕微鏡KLATenor社製:eCD2XPで観察し、評価した。図3に示すように、形成したパターン部の上底線幅31と、下底線幅32の差33が0.20μm以下の場合は○、0.21μm以上0.24μm以下の場合は△、0.25μm以上の場合は、×とした。図3に示すように、測長SEMでパターン上部から観察すると、パターンの上底部とテーパー部で濃淡の差が確認できる。[残膜率評価]塗布及びプリベイク後の膜厚をAとし、露光し、現像し、230°Cで4分間焼成した後の膜厚をBとした時の膜厚変化率残膜率=B/A×100が85以上の場合に○、78以上84以下の場合に△、78未満を×とした。[露光感度]i線ステッパーキャノン製FPA5510iZを用い、1.1μm角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を0.6μmとして、露光量1,000J~12,000Jの範囲で1,000J間隔もしくは100J間隔で露光照射し、現像し、230°Cで4分間焼成した後の下底線幅が1.1μmになる露光量を適正感度として、適正感度が5,000J未満の場合に○、5,000J以上9,000J未満の場合に△、9,000J以上の場合を×とした。[露光量依存性]i線ステッパーキャノン製FPA5510iZを用い、1.1μm角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を0.6μmとして、露光量1,000J~10,000Jの範囲で1,000J間隔で露光照射し、現像し、230°Cで4分間焼成した後の下底線幅の露光量に対する変化量が0.20μm以下の場合に○、0.20μmより大きく0.25μm以下の場合には△、0.25μmより大きい場合に×とした。[パターンの膜厚均一性]固体撮像素子の1チップの端部には段差がある。このように段差があることで、1チップの端部で膜厚が厚くなる場合がある。そこで膜厚均一性については、1チップの枠から33を省いた画素31での膜厚変化を測定した。測定した膜厚の変化量が0.05μm以下の場合を○、0.05μmより大きく0.07μm以下の場合を△、0.07μmより大きい場合を×とした。[残渣評価]露光後の塗膜を現像し、水洗し、乾燥した後の基板を乾燥させた。基板のパターンが形成されていない基板部を測長SEM走査電子顕微鏡で観察し、基板上に残渣がないものを○、あるものを×とした。以上の各特性の評価結果を下記表1に示す。上記表1に示すように、不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物を、光重合性モノマー全量中50質量以上80質量以下含有する、実施例1~7の着色組成物は、形状、残膜率、照射露光感度、露光量依存性、膜厚均一性、及び残渣のいずれの特性においても満足すべき結果を示している。従って、実施例1~7の着色組成物は、高精細の固体撮像素子に対応が可能といえる。また、これら実施例1~7の感光性着色組成物を用いて得たカラーフィルタを備える固体撮像素子は、入射光の取り込み効率がこれまで以上に向上した。なお、不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物として分子量が300未満のものを用いた実施例6の感光性着色組成物は、分子量が300以上540以下であるメタアクリル化合物を用いた実施例1~5の感光性着色組成物に比べ、形状及び残膜率はやや劣るが、他の特性は、いずれも優れている。また、不飽和結合基を一分子中に3個以下有するメタアクリル化合物として分子量が540を超えるメタアクリル化合物を用いた実施例7の感光性着色組成物は、分子量が300以上540以下であるメタアクリル化合物を用いた実施例1~5の感光性着色組成物に比べ、露光量依存性及び膜厚均一性はやや劣るが、他の特性は、いずれも優れている。これに対し、A光重合性モノマーが、不飽和結合基を一分子中に5個または6個有するメタアクリル化合物のみからなる比較例1の感光性着色組成物は、形状、残膜率及び照射露光感度については優れているが、露光量依存性、膜厚均一性及び残渣は劣っている。A光重合性モノマーが、不飽和結合基を一分子中に4個有するメタアクリル化合物のみからなる比較例2の感光性着色組成物は、形状、残膜率、照射露光感度、膜厚均一性及び残渣については優れているが、露光量依存性は劣っている。A光重合性モノマーが、不飽和結合基を一分子中に2個有するメタアクリル化合物のみからなる比較例3の感光性着色組成物は、露光量依存性、膜厚均一性及び残渣については優れているが、形状、残膜率及び照射露光感度は劣っている。特に、照射露光量は12000Jが必要となった。光重合開始剤として、Bオキシムエステル系開始剤を使用していない実施例4の感光性着色組成物は、露光量依存性、膜厚均一性及び残渣については優れているが、形状及び照射露光感度は劣っている。特に、照射露光量は12000Jが必要となった。[青色顔料分散体1]下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いたサンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して青色顔料分散体1を調製した。青色顔料:C.I.PigmentBlue15:612.0質量部東洋インキ製造株製リオノールブルーES分散剤1.0質量部ゼネカ社製ソルスバーズ20000アクリルワニス固形分20アクリルワニスA固形分2035.0質量部PGMAC52.0質量部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して青色着色組成物1を得た。青色着色分散体163.8質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:3個1.3質量部東亜合成製M-325分子量:537光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個1.3質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分202.8質量部光重合開始剤1.1質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE01:オキシムエステル系開始剤PGMAC29.8質量部<赤色着色組成物の調製>[赤色着色組成物1]下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して赤色顔料分散体1を作製した。赤色顔料:C.I.PigmentRed25410.0質量部東洋インキ製造株製リオノールブルーES赤色顔料:C.I.PigmentRed1772.0質量部チバスペシャルティケミカルズ社製クロモフタールレッドA2B分散剤1.0質量部味の素ファインテクノ社製アジスパーPB821アクリルワニス固形分2035.0質量部プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMAC52.0質量部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、0.45μmのフィルタで濾過して赤色着色組成物1を得た。赤色着色分散体163.8質量部光重合性モノマー不飽和結合基数:3個1.9質量部東亜合成製M-325分子量:537光重合性モノマー不飽和結合基数:5~6個0.6質量部東亜合成製M-402アクリルワニスA固形分202.8質量部光重合開始剤1.1質量部チバスペシャルティケミカルズ社製OXE01:オキシムエステル系開始剤PGMAC29.8質量部<固体撮像素子用カラーフィルタの製造>[固体撮像素子用カラーフィルタ1]6インチシリコンウエハ上に、平坦化膜用レジスト液HL18s:新日鐵化学社製をスピンコート法により塗布し、プリベイクとして、100°Cのホットプレートで6分加熱処理した。更に、230°Cのオーブンにて1時間処理して、塗布膜を硬化させて1.0μmの平坦化膜を形成し、平坦化膜付きウエハを得た。緑色着色組成物1を平坦化膜付シリコンウエハ上に、スピンコーターで塗布し、プリベイクとして、100°Cのホットプレートで1分加熱処理した。プリベイク後の膜厚を0.9μmになるように調整した。次に、i線ステッパーキャノン製FPA5510iZを用い、1.1μm角の正方形ピクセルパターンのマスクを介して、焦点距離を0.6μmとして、露光量4,000Jで照射した。露光後の塗膜を有機アルカリ現像液ADEKA製OD210で1分現像し、パドル水洗を1分間行い、スピン乾燥して基板を乾燥させた。現像及び水洗後、緑色着色パターンを得た。得られた緑色着色パターンを230°Cのホットプレートで1時間熱処理を行った。熱処理後の緑色パターンの膜厚は0.80μmであった。緑色パターンの線幅は1.23μmであった。緑色パターンの上底線幅と下底線幅差は0.12μmであった。1チッツプの枠から32画素以内までの膜厚の変化量は0.0.4μmであった。なお、膜厚はAFM原子間力顕微鏡東陽テクニカ製inanoで測定した。青色着色パターン及び赤色着色パターンについても、露光量を除いて、緑色着色パターンと同様にして形成し、カラーフィルタを得た。露光量は、青色着色パターンについては8,000J、赤色着パターンについては4,000Jとした。形成した青色着色パターンの膜厚は、0.87μm、赤色着色パターンの膜厚は0.87μmであった。以上のようにして形成したカラーフィルタ上に平坦化層を設けた。平坦化層は、例えば、平坦化膜用レジスト液HL18s:新日鐵化学社製を塗布することにより形成した。平坦化層の上に、例えばアクリル樹脂の塗布液を用いて透明樹脂層を形成した。次いで、透明樹脂層の上に、例えばアルカリ可溶性感光性熱フロー性を有する、例えばフェノール樹脂からなるレンズ母型材料を塗布した。次に、公知のフォトリソグラフィープロセスを使用して、レンズ母型となる領域を残すようにレンズ母型材料をパターニングした。残されたレンズ母型材料を熱処理して熱リフローさせ、半球状に変形させてレンズ母型を形成した。リフロー量を片側0.1μm程度の適正量にすることにより、単位レンズ母型間のギャップが例えば0.24μm程度のスムースな半球状にすることができた。その後、CF4とC4F8の混合ガスを用いドライエッチングにより、レンズ母型をマスクとして透明樹脂層に対してレンズ母型の形状の転写処理を行い、マイクロレンズを形成した。レンズ母型および透明樹脂層を上方から均一にエッチングすると、レンズ母型の形状を保ったまま下方にエッチングが進行するため、透明樹脂層の形状をレンズ母型の形状と同じ形状にエッチングすることができる。マイクロレンズは高さが1μm、単位レンズ間のギャッブが0.04μmとなるように形成することができる。このようにして作製された固体撮像素子用カラーフィルタは、パターン形状が良好で、平坦であり、着色画素間の段差がないものであった。その結果、光電変換素子への入射光の効率が良好なカラーフィルタ付き固体撮像素子を製造することができた。"