"少なくとも、フッ素系樹脂フィルム、粘着剤層、及び基材の少なくとも一方の面に無機膜を有し水蒸気透過率が01g/m2日未満の防湿フィルムを積層してなる太陽電池用保護材であって、前記フッ素系樹脂フィルムの幅Aに対する、フッ素系樹脂フィルム以外の保護材構成層が有する最大幅Bの比B/Aが1より小さいことを特徴とする太陽電池用保護材。前記B/Aが、0.7~0.98であることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池用保護材。前記フッ素系樹脂フィルム以外の保護材構成層の最大幅を有する層が防湿フィルムである、請求項1又は2に記載の太陽電池用保護材。前記粘着剤層の100°C、周波数10Hz、歪0.1における引張り貯蔵弾性率が5.0×104~5.0×105Paであり、その厚みが13μm以上であることを特徴とする、請求項1~3のいずれかに記載の太陽電池用保護材。請求項1~4のいずれかに記載の太陽電池用保護部材が100m以上巻き取られてなる、フィルムロール。請求項1~4のいずれかに記載の太陽電池用保護材を用いて作製された太陽電池モジュール。しかしながら、上記特許文献1~3の各々に開示される技術は、いずれも水蒸気透過率が01[g/m2日]以上の防湿フィルムを有する積層体に関するものであり、より高い防湿性が要求される化合物系発電素子太陽電池モジュールなどの太陽電池の保護材などに適用した場合、前記プレッシャークッカーテストPCT等の加速耐久試験に代替される過酷な環境下においては、長期の防湿性の維持、保護材端部のデラミネーションの発生防止を十分に行い得るものではなかった。太陽電池用保護材としては、防湿性及びデラミネーションの発生防止に優れるものであって、更に該防湿性やデラミネーションの発生防止が長期に維持されるものが望まれるが、これまで、水蒸気透過率が01[g/m2day]未満の高い防湿性を有するフィルムを用いた場合、防湿性及びデラミネーションの発生防止を長期に可能とする具体的な提案はなされていないのが実情であった。すなわち、本発明の課題は、水蒸気透過率が01g/m2日未満の防湿フィルムを含む太陽電池用保護材に関して、長期に防湿性が低下せず、デラミネーションの発生を防止し、柔軟性と防湿性に優れた太陽電池用保護材を実現し、太陽電池の性能低下を防止し、かつ太陽電池の耐久性の向上に有効な太陽電池用保護材を提供することにある。本発明者らは、検討を重ねた結果、少なくとも、フッ素系樹脂フィルム、粘着剤層、及び基材の少なくとも一方の面に無機膜を有し水蒸気透過率が01g/m2日未満の防湿フィルムを積層してなる太陽電池用保護材であって、前記フッ素系樹脂フィルムの幅Aに対する、フッ素系樹脂フィルム以外の保護材構成層が有する最大幅Bの比B/Aが1より小さいことを特徴とする太陽電池用保護材を用いることにより、封止材と積層された後の防湿性の低下とデラミネーションの発生の防止を同時に満足できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、1少なくとも、フッ素系樹脂フィルム、粘着剤層、及び基材の少なくとも一方の面に無機膜を有し水蒸気透過率が01g/m2日未満の防湿フィルムを積層してなる太陽電池用保護材であって、前記フッ素系樹脂フィルムの幅Aに対する、フッ素系樹脂フィルム以外の保護材構成層が有する最大幅Bの比B/Aが1より小さいことを特徴とする太陽電池用保護材、2前記B/Aが、0.7~0.98であることを特徴とする、上記1に記載の太陽電池用保護材、3前記フッ素系樹脂フィルム以外の保護材構成層の最大幅を有する層が防湿フィルムである、上記1又は2に記載の太陽電池用保護材、4前記粘着剤層の100°C、周波数10Hz、歪0.1における引張り貯蔵弾性率が5.0×104~5.0×105Paであり、その厚みが13μm以上であることを特徴とする、上記1~3のいずれかに記載の太陽電池用保護材、5上記1~4のいずれかに記載の太陽電池用保護部材が100m以上巻き取られてなる、フィルムロール、及び6上記1~4のいずれかに記載の太陽電池用保護材を用いて作製された太陽電池モジュール、に存する。本発明によれば、長期に渡って、かつ高温高湿下の使用においても防湿性の低下やデラミネーションの発生がなく、柔軟性と防湿性に優れ、太陽電池の性能低下を防止し、かつ太陽電池の耐久性の向上に有効な高防湿太陽電池用保護材を提供することができる。本発明の太陽電池用保護材は、高熱環境、すなわち、熱ラミネート条件での熱処理を経ても、防湿性及び層間強度が低下しない柔軟性と防湿性に優れるものである。以下、本発明を更に詳細に説明する。太陽電池用保護材は防湿フィルムが積層されていることによりフィルムの暴露面からの水分の浸入を防止することが可能であるが,高温高湿環境下での加速試験に代替される長期の使用においては太陽電池用保護材の端面からの水分の浸入により、各フィルムの積層に使用している接着剤や防湿フィルムの基材が徐々に劣化し、端部からのデラミネーションの発生や防湿性能低下が起こることがある。特に、01g/m2日未満程度の高い防湿性をもった防湿フィルムの場合、フィルムの収縮による防湿性の低下や端部からの水分侵入による影響は著しい。これは防湿フィルムの無機膜内部及び基材と無機膜との界面でのわずかな欠陥や基材の加水分解などによる劣化が防湿性に対して重大な影響を与えるからである。以上より、本発明者らは太陽電池用保護材の構成を、少なくとも、フッ素系樹脂フィルム、粘着剤層、及び基材とその少なくとも一方の面に形成された無機膜を少なくとも有し水蒸気透過率が01g/m2日未満である防湿フィルムを積層した積層体とし、更に該フッ素系樹脂フィルム以外の防湿フィルムを含む保護材構成層の幅が、前記フッ素系樹脂フィルムの幅よりも短い構成にすることにより、図1に示すように、真空ラミネーションの際、封止剤4がフッ素系樹脂フィルム1の幅よりも短い幅を有する粘着剤層2や防湿フィルム3の端面に回り込み、端面を封止するなどの効果により、防湿性の低下防止と端部からのデラミネーションの発生防止の両立を実現することを見出すに至った。すなわち、本発明は、少なくとも、フッ素系樹脂フィルム、粘着剤層、及び基材の少なくとも一方の面に無機膜を有し水蒸気透過率が01g/m2日未満の防湿フィルムを積層してなる太陽電池用保護材であって、前記フッ素系樹脂フィルムの幅Aに対する、フッ素系樹脂フィルム以外の保護材構成層が有する最大幅Bの比B/Aが1より小さいことを特徴とする太陽電池用保護材に関する。<太陽電池用保護材>[フッ素系樹脂フィルム]本発明の太陽電池用保護材は、耐加水分解性や耐候性を備え、長期の耐久性を付与するために、フッ素系樹脂フィルムを有する。フッ素系樹脂フィルムは、耐候性を有するものが好ましく、フッ素系樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体PFA、テトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロピレン共重合体FEP、テトラフルオロエチレンエチレン共重合体ETFE、ポリクロロトリフルオロエチレンPCTFE、ポリビニリデンフルオライドPVDF、ポリビニルフルオライドPVF等が好ましく用いられる。長期耐久性の観点からは、上記樹脂としては、テトラフルオロエチレンエチレン共重合体ETFE、テトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロピレン共重合体FEPがより好ましく用いられる。フッ素系樹脂フィルムとしては、真空ラミネーション時や高温高湿時の温度湿度変化においてもその特性変化が小さいことが好ましいことから、収縮率が大きいフッ素系フィルムの場合は、事前の熱処理による低収縮率化等が行われたフィルムを使用することが好ましい。フッ素系樹脂フィルムの幅Aとフッ素系樹脂フィルム以外の保護材構成層が有する最大幅、すなわち、保護材を構成する各層のうち最も幅の大きい層の幅Bとが同じあるいはBがAより大きいときは、端面に回り込む封止材の厚みが小さくデラミネーションを起こしやすくなることから、B/Aは1より小さいことが必要である。また、AとBの差が大きすぎると、封止材が端部まで十分回り込まず、また真空ラミネーション後の積層体の厚みの均一性が保持できなくなることがある。そのため、B/Aは0.7~0.98であるのが好ましく、より安定したデラミネーション防止を行うためには0.75~0.95であるのがより好ましく、0.8~0.92が更に好ましい。B/Aが1より小さければ、AをBに対して左右にどの程度長くするかは任意であるが、左右均等に長くするのが好ましい。なお、本発明において、フィルムの幅とは、保護材がロールで提供される場合はロールから巻きだしたフィルムの長さ方向に対して横方向の長さをいい、枚葉で提供される場合は4辺のうちの短辺側をいう。フッ素系樹脂フィルムには、必要に応じて、種々の添加剤を添加することができる。該添加剤としては、例えば、紫外線吸収剤、耐候安定剤、酸化防止剤、帯電防止剤、ブロッキング防止剤等が挙げられるが、これらに限られない。フッ素系樹脂フィルムの厚さは、一般に20~200μm程度であり、フィルムの取り扱いやすさとコストの点から20~100μmが好ましく、20~60μmがより好ましい。[防湿フィルム]本発明において、防湿フィルムは、基材及び基材の少なくとも一方の面に形成される無機膜を少なくとも有するものであり、その水蒸気透過率は01g/m2日未満である。本発明の太陽電池用保護材は、長期に高い防湿性を保持することが望まれるため、初期の防湿性も一定以上のものである必要がある。したがって、本発明において、上記防湿フィルムは水蒸気透過率が01g/m2日未満であり、好ましくは005[g/m2日以下であり、より好ましくは、003[g/m2日以下である。また、該防湿フィルムは、太陽電池用保護材が、受光面側に用いられるフロントシートとして使用される場合には、透明であることが好ましい。防湿フィルムの厚さは、一般に5~300μm程度であり、好ましくは5~100μmであり、生産性や取り扱いやすさの点から8~50μmがより好ましく、10~25μmが更に好ましい。基材上記防湿フィルムの基材としては、樹脂フィルムが好ましく、その材料としては、通常の太陽電池用材料に使用しうる樹脂であれば特に制限なく用いることができる。具体的には、エチレン、プロピレン、ブテン等の単独重合体又は共重合体等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン等の非晶質ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN等のポリエステル、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12、共重合ナイロン等のポリアミド、エチレン-酢酸ビニル共重合体部分加水分解物EVOH、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリビニルブチラール、ポリアリレート、フッ素樹脂、アクリル系樹脂、生分解性樹脂等が挙げられ、中でも熱可塑性樹脂が好ましい。更にフィルム物性、コスト等の点から、ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィンが好まく、表面平滑性、フィルム強度、耐熱性等の点から、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPENが特に好ましい。また、上記基材は、必要に応じて、種々の添加剤を添加することができる。該添加剤としては、例えば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、フィラー、着色剤、耐候安定剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等が挙げられるが、これらに限られない。使用しうる紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、トリアジン系、サリチル酸エステル系等各種タイプのものを挙げることができ、種々の市販品が適用できる。ベンゾフェノン系紫外線吸収剤としては、例えば、2-ヒドロキシ-4-メトキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-メトキシ-2’-カルボキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-オクトキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-n-ドデシルオキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-n-オクタデシルオキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-ベンジルオキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-メトキシ-5-スルホベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-5-クロロベンゾフェノン、2,4-ジヒドロキシベンゾフェノン、2,2’-ジヒドロキシ-4-メトキシベンゾフェノン、2,2’-ジヒドロキシ-4,4’-ジメトキシベンゾフェノン、2,2’,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノン等を挙げることができる。ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤としては、ヒドロキシフェニル置換ベンゾトリアゾール化合物であって、例えば、2-2-ヒドロキシ-5-メチルフェニルベンゾトリアゾール、2-2-ヒドロキシ-5-t-ブチルフェニルベンゾトリアゾール、2-2-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニルベンゾトリアゾール、2-2-メチル-4-ヒドロキシフェニルベンゾトリアゾール、2-2-ヒドロキシ-3-メチル-5-t-ブチルフェニルベンゾトリアゾール、2-2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-アミルフェニルベンゾトリアゾール、2-2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-ブチルフェニルベンゾトリアゾール等を挙げることができる。またトリアジン系紫外線吸収剤としては、2-[4,6-ビス2,4-ジメチルフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル]-5-オクチルオキシフェノール、2-4,6-ジフェニル-1,3,5-トリアジン-2-イル-5-ヘキシルオキシフェノール等を挙げることができる。サリチル酸エステル系としては、フェニルサリチレート、p-オクチルフェニルサリチレート等を挙げることができる。基材中の紫外線吸収剤の含有量は、通常0.01~2.0質量程度であり、好ましくは0.05~0.5質量である。上記の紫外線吸収剤以外に耐候性を付与する耐候安定剤として、ヒンダードアミン系光安定化剤を用いることができる。ヒンダードアミン系光安定化剤は、紫外線吸収剤のようには紫外線を吸収しないが、紫外線吸収剤と併用することによって著しい相乗効果を示す。ヒンダードアミン系光安定化剤としては、コハク酸ジメチル-1-2-ヒドロキシエチル-4-ヒドロキシ-2,2,6,6-テトラメチルピペリジン重縮合物、ポリ[{6-1,1,3,3-テトラメチルブチルアミノ-1,3,5-トリアジン-2,4-ジイル}{2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジルイミノ}ヘキサメチレン{2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジルイミノ}]、N,N’-ビス3-アミノプロピルエチレンジアミン-2,4-ビス[N-ブチル-N-1,2,2,6,6-ペンタメチル-4-ピペリジルアミノ]-6-クロロ-1,3,5-トリアジン縮合物、ビス2,2,6,6-テトラメチル-4-ピペリジルセバケート、2-3,5-ジ-tert-4-ヒドロキシベンジル-2-n-ブチルマロン酸ビス1,2,2,6,6-ペンタメチル-4-ピペリジル等を挙げることができる。基材中のヒンダードアミン系光安定化剤の含有量は、通常0.01~0.5質量程度であり、好ましくは0.05~0.3質量である。酸化防止剤としては、種々の市販品が使用でき、モノフェノール系、ビスフェノール系、高分子型フェノール系、硫黄系、ホスファイト系等各種タイプのものを挙げることができる。モノフェノール系としては、例えば、2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾール、ブチル化ヒドロキシアニゾール、2,6-ジ-tert-ブチル-4-エチルフェノール等を挙げることができる。ビスフェノール系としては、2,2’-メチレン-ビス-4-メチル-6-tert-ブチルフェノール、2,2’-メチレン-ビス-4-エチル-6-tert-ブチルフェノール、4,4’-チオビス-3-メチル-6-tert-ブチルフェノール、4,4’-ブチリデン-ビス-3-メチル-6-tert-ブチルフェノール、3,9-ビス{1,1-ジメチル-2-{β-3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-メチルフェニルプロピオニルオキシ}エチル}2,4,9,10-テトラオキサスピロ5,5-ウンデカン等を挙げることができる。高分子フェノール系としては、1,1,3-トリス-2-メチル-4-ヒドロキシ-5-tert-ブチルフェニルブタン、1,3,5-トリメチル-2,4,6-トリス3,5-ジ-tert-ブチル-4-ビドロキシベンジルベンゼン、テトラキス-{メチレン-3-3’,5’-ジ-tert-ブチル-4’-ヒドロキスフェニルプロピオネート}メタン、ビス{3,3’-ビス-4’-ヒドロキシ-3’-tert-ブチルフェニルブチリックアシッド}グルコールエステル、1,3,5-トリス3’,5’-ジ-tert-ブチル-4’-ヒドロキシベンジル-s-トリアジン-2,4,6-1H,3H,5Hトリオン、トリフェノールビタミンE等を挙げることができる。硫黄系としては、ジラウリルチオジプロピオネート、ジミリスチルチオジプロピオネート、ジステアリルチオプロピオネート等を挙げることができる。ホスファイト系としては、トリフェニルホスファイト、ジフェニルイソデシルホスファイト、フェニルジイソデシルホスファイト、4,4’-ブチリデン-ビス3-メチル-6-tert-ブチルフェニル-ジ-トリデシルホスファイト、サイクリックネオペンタンテトライルビスオクタデシルホスファイト、トリスモノ及び/又はジフェニルホスファイト、ジイソデシルペンタエリスリトールジホスファイト、9,10-ジヒドロ-9-オキサ-10-ホスファフェナスレン-10-オキサイド、10-3,5-ジ-tert-ブチル-4-ヒドロキシベンジル-9,10-ジヒドロ-9-オキサ-10-ホスファフェナンスレン-10-オキサイド、10-デシロキシ-9,10-ジヒドロ-9-オキサ-10-ホスファフェナンスレン、サイクリックネオペンタンテトライルビス2,4-ジ-tert-ブチルフェニルホスファイト、サイクリックネオペンタンテトライルビス2,6-ジ-tert-メチルフェニルホスファイト、2,2-メチレンビス4,6-tert-ブチルフェニルオクチルホスファイト等を挙げることができる。本発明においては、酸化防止剤の効果、熱安定性、経済性等からフェノール系及びホスファイト系の酸化防止剤が好ましく用いられ、両者を組み合わせて用いることが更に好ましい。該酸化防止剤の添加量は、基材中、通常、0.1~1質量程度であり、0.2~0.5質量添加することが好ましい上記基材としての樹脂フィルムは、上記の原料を用いて成形してなるものであるが、未延伸であってもよいし延伸したものであってもよい。更に、単層または多層のいずれでもよい。かかる基材は、従来公知の方法により製造することができ、例えば、原料を押出機により溶融し、環状ダイやTダイにより押出して、急冷することにより実質的に無定型で配向していない未延伸フィルムを製造することができる。また、多層ダイを用いることにより、1種の樹脂からなる単層フィルム、1種の樹脂からなる多層フィルム、多種の樹脂からなる多層フィルム等を製造することができる。この未延伸フィルムを一軸延伸、テンター式逐次二軸延伸、テンター式同時二軸延伸、チューブラー式同時二軸延伸等の公知の方法により、フィルムの流れ縦軸方向又はフィルムの流れ方向とそれに直角な横軸方向に延伸することにより、一軸方向又は二軸方向に延伸したフィルムを製造することができる。延伸倍率は任意に設定できるが、150°C熱収縮率が、0.01~5であることが好ましく、0.01~2であることがより好ましい。中でもフィルム物性の点から、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリエチレンテレフタレート及び/又はポリエチレンナフタレートと他の樹脂との共押出二軸延伸フィルムが好ましい。また、上記基材の厚さは、一般に5~300μm程度であり、好ましくは5~100μmであり、生産性や取り扱いやすさの点から8~50μmがより好ましく、10~25μmが更に好ましい。なお、上記基材には、無機膜との密着性向上のため、アンカーコート層を形成することが好ましい。該アンカーコート層には、溶剤性又は水性のポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、変性ビニル樹脂、ビニルアルコール樹脂等のアルコール性水酸基含有樹脂、ビニルブチラール樹脂、ニトロセルロース樹脂、オキサゾリン基含有樹脂、カルボジイミド基含有樹脂、メラミン基含有樹脂、エポキシ基含有樹脂、変性スチレン樹脂及び変性シリコーン樹脂等を単独、あるいは2種以上組み合わせて使用することができる。また、アンカーコート層には必要に応じ、シラン系カップリング剤、チタン系カップリング剤、紫外線吸収剤、耐候安定剤、滑剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等を添加することができる。紫外線吸収剤、耐候安定剤及び酸化防止剤としては、前述の基材に用いるものと同様のものを使用することができ、また該耐候安定剤及び/または紫外線吸収剤が前記した樹脂と共重合したポリマータイプのものを使用することもできる。アンカーコート層の厚みは無機膜との密着性向上の観点から、10~200nmであることが好ましく、10~100nmであることがより好ましい。その形成方法としては、公知のコーティング方法が適宜採択される。例えば、リバースロールコーター、グラビアコーター、ロッドコーター、エアドクタコーター、または、スプレイを用いたコーティング方法等の方法がいずれも使用できる。また、基材を樹脂液に浸漬して行ってもよい。塗布後は、80~200°C程度の温度での熱風乾燥、熱ロール乾燥等の加熱乾燥や、赤外線乾燥等の公知の乾燥方法を用いて溶媒を蒸発させることができる。また、耐水性、耐久性を高めるために、電子線照射による架橋処理を行う事もできる。また、アンカーコート層の形成は、基材の製造ラインの途中で行う方法インラインでも、基材製造後に行う方法オフラインでも良い。無機膜無機膜を構成する無機物質としては、珪素、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、錫、ニッケル、チタン、水素化炭素等、あるいはこれらの酸化物、炭化物、窒化物又はそれらの混合物が挙げられるが、透明であることから酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウム、ダイアモンドライクカーボンが好ましい。特に、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウムは、高いガスバリア性が安定に維持できるため好ましい。無機膜の形成方法としては、蒸着法、コーティング法等の方法がいずれも使用できるが、ガスバリア性の高い均一な薄膜が得られるという点で蒸着法が好ましい。この蒸着法には、物理気相蒸着PVD、あるいは化学気相蒸着CVD等の方法がいずれも含まれる。物理気相蒸着法には、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等が挙げられ、化学気相蒸着法には、プラズマを利用したプラズマCVD、加熱触媒体を用いて材料ガスを接触熱分解する触媒化学気相成長法Cat-CVD等が挙げられる。上記無機膜の厚さは、安定した防湿性の発現の点から、10~1000nmであることが好ましく、20~800nmがより好ましく、20~600nmが更に好ましい。また、無機膜は単層であっても多層であってもよい。粘着剤層太陽電池用保護材の製造においては、例えば、太陽電池保護材を構成する樹脂フィルム等の構成部材を積層する際に、溶剤を用いて希釈した接着剤又は粘着剤を樹脂フィルム等上に所定の厚みに塗布し、通常70°C~140°Cの範囲での乾燥により溶剤を蒸発させ樹脂フィルム等上に接着剤層又は粘着剤層を形成した後、他の樹脂フィルム等を接着剤層又は粘着剤層側に向けて貼合することを繰り返し、最後に所定の温度での養生を経て作成する。養生は例えば30°C~80°Cの範囲で1日から1週間行なわれる。このような積層工程においては、熱や貼合の張力が各樹脂フィルム等に作用し太陽電池用保護材に残留歪が蓄積されるが、蓄積された残留歪は、高温高湿環境下での使用や保存において、各積層界面への応力となって作用する。特に樹脂フィルムに残留歪が蓄積した場合には、高温高湿環境下で樹脂フィルムが収縮し、無機膜に応力を与え、無機膜の欠陥を生じさせ、防湿性能の低下を引き起こす要因となる。従って、高温高湿環境下において、残留歪から生じる樹脂フィルムの収縮による応力が無機膜に伝達するのを低減し、無機膜を保護し防湿性の劣下を防止する観点から、ある程度柔らかさと厚みを持ち、ファンデルワールス力によって密着する粘着剤層を介して、フッ素系樹脂フィルム層と防湿フィルムを積層することが好ましい。このようなことから粘着剤層は、100°C、周波数10Hz、歪0.1における引張り貯蔵弾性率が5.0×104~5.0×105Paであることが好ましい。すなわち、100°Cにおける引張り貯蔵弾性率が5.0×104[Pa]以上であれば太陽電池保護材を構成する樹脂フィルム等の構成部材を積層する際に、粘着剤層が流動せず、層厚みを均一に維持することが可能であり、また、5.0×105Pa以下であれば、該粘着剤層を介し対向するフィルムの収縮などにより発生する応力を粘着剤層で吸収することで無機膜へのダメージを防ぐことが可能となる。粘着剤層の100°C、周波数10Hz、歪0.1における引張り貯蔵弾性率は、7.0×104Pa~5.0×105Paであることが好ましく、1.0×105Pa~5.0×105Paであることがより好ましい。また、粘着剤層は、常温20°Cにおいて接着強度を維持する観点から、20°C、周波数10Hz、歪0.1におけるにおける引張り貯蔵弾性率が1.0×106Pa以上であることが好ましい。更に、太陽電池用保護材の防湿性の劣下の原因として、粘着剤自身の防湿性の劣下が挙げられる。これについては加水分解しにくい粘着剤を選択することが有効である。以上の観点から、本発明において、上記粘着剤層に用いられる粘着剤としては、アクリル系粘着剤を含むものが好ましく、アクリル系粘着剤を主成分とするものがさらに好ましい。ここで、主成分とは、本発明の効果を妨げない範囲で、他の成分を含むことを許容する趣旨であり、具体的な含有率を制限するものではないが、一般に粘着剤層の構成成分全体を100質量部とした場合、50質量部以上であり、好ましくは65質量部以上、さらに好ましくは80質量部以上であって100質量部以下の範囲を占める成分である。前記アクリル系粘着剤としては、粘着性を与える低ガラス転移点Tgの主モノマー成分、接着性や凝集力を与える高Tgのコモノマー成分、及び架橋や接着性改良のための官能基含有モノマー成分を主とする重合体または共重合体以下、アクリル系共重合体というよりなるものが好ましい。前記アクリル系共重合体の主モノマー成分としては、例えば、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸2-エチルヘキシル、アクリル酸オクチル等のアクリル酸エステル等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上組み合わせて用いてもよい。前記アクリル系共重合体のコモノマー成分としては、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸2-エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上組み合わせて用いてもよい。前記アクリル系共重合体の官能基含有モノマー成分としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸等のカルボキシル基含有モノマーや、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、N-メチロールアクリルアミド等のヒドロキシル基含有モノマー、アクリルアミド、メタクリルアミド、グリシジルメタクリレート等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上組み合わせて用いてもよい。前記アクリル系共重合体のモノマー成分の重合に使用する開始剤の例としては、アゾビスイソブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、ジ-t-ブチルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド等が挙げられる。また、前記アクリル系粘着剤の主成分となるアクリル系共重合体の共重合形態については特に制限はなく、ランダム、ブロック、グラフト共重合体のいずれであってもよい。また、前記アクリル系粘着剤が上述のアクリル系共重合体である場合の分子量としては、質量平均分子量で30万~150万であるものが好ましく、40万~100万であることが更に好ましい。質量平均分子量を上記範囲にすることによって被着体に対する密着性や接着耐久性を確保し、浮きや剥がれなどを抑制することができる。更に、前記アクリル系共重合体において、官能基含有モノマー成分単位の含有量は、1~25質量の範囲が好ましい。この含有量を前記範囲内にすることにより、被着体との密着性および架橋度を確保し、粘着剤層の引張り貯蔵弾性率を、100°Cにおいて5.0×104~5.0×105Paの範囲の値にすることができる。粘着剤層と無機膜が強い化学結合を形成すると、粘着剤層の粘弾性の変化や粘着剤層塗膜の分解、収縮によって無機膜に大きな応力がかかるが、無機膜と粘着剤層が化学結合を形成する要因は、例えばSiOx層等の無機膜の欠陥部分と粘着剤層中の水酸基等が反応することによると考えられる。これを抑制するためには、粘着剤中の反応性官能基の数を減らせばよく、粘着剤層の塗布、硬化後の未反応官能基の数を少なくすることが好ましい。本発明における粘着剤層は、紫外線吸収剤を含有することが好ましい。紫外線吸収剤としては、前述の基材に用いるものと同様のものを使用することができる。本発明において、粘着剤層は、フッ素系樹脂フィルムもしくは防湿フィルムに直接塗工することにより形成してもよいし、前記粘着剤を剥離処理された剥離シートの剥離処理面に塗工し、これを防湿フィルムに接合することにより形成することもできる。塗工する前記粘着剤以下、塗工液というには、有機溶剤系、エマルション系、無溶剤系があるが、耐水性が問われる太陽電池部材などの用途には有機溶剤系が望ましい。有機溶剤系の塗工液に用いられる有機溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソブタノール、n-ブタノール、アセトン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、テトラヒドロフラン等が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上組み合わせて用いてもよい。塗工液は、塗工の利便さから、これらの有機溶剤を使用して、固形分濃度が10~50質量の範囲になるように調製するのが好ましい。塗工液の塗工は、例えば、バーコート法、ロールコート法、ナイフコート法、ロールナイフコート法、ダイコート法、グラビアコート法、エアドクターコート法、ドクターブレードコート法等、従来公知の塗工方法により行うことができる。塗工後、通常70~110°Cの温度で1~5分程度乾燥処理することにより、粘着剤層が形成される。粘着剤層の厚さは、十分な接着力を得るとの観点から13μm以上とするのが好ましく、より好ましくは15μm以上、更に好ましくは18μm以上、最も好ましくは20μm以上である。また、塗工可能な厚みとする観点から、上記厚さは100μm以下が好ましく、50μm以下であることがより好ましい。本発明の太陽電池用保護材は、少なくとも、前記フッ素系樹脂フィルム、前記粘着剤層、及び前記防湿フィルムをこの順に有するものが好ましく、フロントシートに用いる場合、フッ素系樹脂フィルムを暴露側に有するものであることが好ましい。本発明の太陽電池用保護材には、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、諸物性柔軟性、耐熱性、透明性、接着性等や成形加工性あるいは経済性等を更に向上させる目的で、その他の層を積層させてもよい。本発明の太陽電池用保護材において積層しうるその他の層としては、通常、太陽電池用保護材に使用しうるいかなる層も使用可能であるが、例えば封止材、集光材、導電材、伝熱材、水分吸着材等の層を積層することができる。これらのその他の層には、必要に応じて、種々の添加剤を添加することができる。該添加剤としては、例えば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、フィラー、着色剤、耐候安定剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等が挙げられるが、これらに限られない。紫外線吸収剤、耐候安定剤及び酸化防止剤としては、前述の基材に用いるものと同様のものを使用することができる。太陽電池用保護材の厚みは、特に限定されるものではないが、通常、80~500μm程度であり、好ましくは100~350μmであり、より好ましくは200~320μmであり、更に好ましくは250~300μmであり、シート状で用いられる。また、本発明の太陽電池用保護部材は、加工性、運搬性、生産性、外観保護等の観点から、ロール形状で用いることが好ましく、少なくとも50m以上、好ましくは100m以上が巻き取られてロールの形で提供されるのが望ましい。太陽電池用保護材の防湿性本発明の太陽電池用保護材は、上述の通り、基材に無機膜を有する水蒸気透過率0.1[g/m2日]未満の防湿フィルムを用いることにより、初期防湿性が、水蒸気透過率で好ましくは01[g/m2日]以下であり、より好ましくは005[g/m2日]以下であるものとすることができる。本発明の太陽電池用保護材は、初期防湿性に優れ、且つ、高温高湿環境下での保存においても防湿性やデラミネーション防止にも優れる。また、前記粘着剤を用いることにより、その防湿性は、真空ラミネーション及びJISC60068-2-66に準じるプレッシャークーカーテストによる連続する高温高湿環境による防湿性の低下度、すなわち、前記の高温高湿環境後の水蒸気透過率/初期水蒸気透過率を、通常25以下、好ましくは15以下、より好ましくは10以下、更に好ましくは2以下とすることができる。なお、本発明における太陽電池用保護材の初期防湿性とは、部材が真空ラミート条件等の高温高湿環境下での熱等の履歴を受ける前の防湿性をいい、熱等による防湿性劣化が起こる前の値を意味する。よって、製造直後から高温高湿処理前までの経時的な変化を含むものである。例えば、100°C前後の高温高湿環境、130~180°Cで10分~40分行われる熱ラミネーション処理等の熱処理が行われていない状態での防湿性の値を意味する。初期水蒸気透過率も同様である。本発明における各防湿性はJISZ0222防湿包装容器の透湿度試験方法、JISZ0208防湿包装材量の透湿度試験方法カップ法の諸条件に準じ評価することができる。<太陽電池モジュール、太陽電池の製造方法>本発明の太陽電池用保護材は、そのまま、あるいは更にガラス板等と貼り合わせて太陽電池用表面保護材として用いることができる。本発明の太陽電池用保護材をフロントシート、バックシート等の表面保護材の層構成に使用し、太陽電池素子を封止材とともに固定することにより太陽電池モジュールを製作することができる。このような太陽電池モジュールとしては、種々のタイプのものを例示することができ、好ましくは、本発明の太陽電池用保護材をフロントシートとして使用した場合、封止材と、太陽電池素子と、バックシートとを用いて作製された太陽電池モジュールが挙げられ、具体的には、フロントシート本発明の太陽電池用保護材/封止材封止樹脂層/太陽電池素子/封止材封止樹脂層/バックシートの構成のもの、バックシートの内周面上に形成させた太陽電池素子上に封止材とフロントシート本発明の太陽電池用保護材を形成させるような構成のもの、フロントシート本発明の太陽電池用保護材の内周面上に形成させた太陽電池素子、例えばフッ素樹脂系透明保護材上にアモルファス太陽電池素子をスパッタリング等で作製したものの上に封止材とバックシートを形成させるような構成のもの等を挙げることができる。なお、太陽電池用保護材は、封止材を積層してなる封止材保護材一体型であってもよい。予め封止材を積層することにより、真空ラミネーション工程におけるフロントシート、封止材、発電素子、封止材、バックシートそれぞれを個々に積層する作業を低減でき、太陽電池モジュール製造の効率化を図ることができる。太陽電池素子としては、例えば、単結晶シリコン型、多結晶シリコン型、アモルファスシリコン型、ガリウム-砒素、銅-インジウム-セレン、銅-インジウム――ガリウムーセレン、カドミウム-テルル等のIII-V族やII-VI族化合物半導体型、色素増感型、有機薄膜型等が挙げられる。本発明における太陽電池用保護材を用いて、太陽電池モジュールを形成する場合、前記太陽電池発電素子の種類により防湿性が、水蒸気透過率で0.1[g/m2日]未満程度の低防湿フィルムから001[g/m2日]未満程度の高防湿フィルムまで素子のタイプに応じて適宜選択し、適当な引張り貯蔵弾性率と厚みを有する粘着剤を使用し積層して形成する。本発明の太陽電池用保護材を用いて作製された太陽電池モジュールを構成する他の各部材については、特に限定されるものではないが、封止材としては、例えば、エチレン-酢酸ビニル共重合体を挙げることができる。また、フロントシートとバックシートの両方に本発明の太陽電池用保護材を使用してもよいが、一方に金属やガラス等の無機材料からなるシートや各種熱可塑性樹脂フィルム等の単層もしくは多層のシートを用いてもよい。該金属としては例えば、錫、アルミ、ステンレス等が挙げられ、熱可塑性樹脂フィルムとしては、ポリエステル、フッ素含有樹脂、ポリオレフィン等の単層もしくは多層のシートを挙げることができる。フロンとシート及び/又はバックシートの表面には、封止材や他の部材との接着性を向上させるためにプライマー処理やコロナ処理等公知の表面処理を施すことができる。本発明の太陽電池用保護材を用いて作製された太陽電池モジュールを前述したフロントシート本発明の太陽電池用保護材/封止材/太陽電池素子/封止材/バックシートのような構成のものを例として説明する。太陽光受光側から順に、本発明の太陽電池用保護材、封止樹脂層、太陽電池素子、封止樹脂層、バックシートが積層されてなり、更に、バックシートの下面にジャンクションボックス太陽電池素子から発電した電気を外部へ取り出すための配線を接続する端子ボックスが接着されてなる。太陽電池素子は、発電電流を外部へ電導するために配線により連結されている。配線は、バックシートに設けられた貫通孔を通じて外部へ取り出され、ジャンクションボックスに接続されている。太陽電池モジュールの製造方法としては、公知の製造方法が適用でき、特に限定されるものではないが、一般的には、本発明の太陽電池用保護材、封止樹脂層、太陽電池素子、封止樹脂層、バックシートの順に積層する工程と、それらを真空吸引し加熱圧着する工程を有する。前記真空吸引し加熱圧着する工程は、例えば、真空ラミネーターで、温度が好ましくは130~180°C、より好ましくは130~150°C、脱気時間が2~15分、プレス圧力が0.05~0.1MPa、プレス時間が好ましくは8~45分、より好ましくは10~40分で加熱加圧圧着することよりなる。また、バッチ式の製造設備やロールツーロール式の製造設備等も適用することができる。本発明の太陽電池用保護材を用いて作製された太陽電池モジュールは、適用される太陽電池のタイプとモジュール形状によらず、モバイル機器に代表される小型太陽電池、屋根や屋上に設置される大型太陽電池等屋内、屋外に関わらず各種用途に適用することができる。特に、電子デバイスの中でも、化合物系発電素子太陽電池モジュールやアモルファスシリコン系等のフレキシブル太陽電池モジュール用の太陽電池用保護材として好適に用いられる。以下に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、これらの実施例及び比較例により本発明は制限を受けるものではない。なお、種々の物性の測定および評価は次のようにして行った。物性測定粘着剤層の引張り貯蔵弾性率シリコーン離型PETフィルム上に粘着剤を、厚み25g/m2となるよう塗布し、40°Cで4日間養生し、更にその後150°C、30分保持し粘着剤層を形成した。その後当該粘着剤層のみを取り出し、所定の厚みに重ね、試料縦4mm、横60mm、厚み200μmを調製し、得られた試料について、アイティ計測株製の粘弾性測定装置、商品名粘弾性スペクトロメーターDVA-200を用いて、振動周波数10Hz、歪0.1、昇温速度3°C/分、チャック間25mmで横方向について、-100°Cから180°Cまでサンプルに印加される歪に対する応力を測定し、得られたデータから100°Cにおける引張り貯蔵弾性率MPaを求めた。2端面封止状態ガラス、封止材と各太陽電池用保護材E1~E6を、フッ素系樹脂フィルムが暴露側になるように順に積層し、150°C×15分の条件で真空ラミネーションを行い、状態を観察し、下記の基準で評価した。○封止材がフッ素系樹脂フィルム幅端面まで到達し、極端な薄肉化が起きていない。×封止材がフッ素系樹脂フィルム幅端面まで回りこんでいない、もしくは到達している封止材の厚みが少なく、端部で薄肉化が起こっている。3プレッシャークッカーPC試験養生後の太陽電池用保護材E-1~E-6を上記の方法で真空ラミネーションを行った後、トミー精工社製プレッシャークッカー試験LSK500を用い、105°C、湿度100、48時間の試験PC48条件でプレッシャークッカー試験を行った後、水蒸気透過率を測定した。4プレッシャークッカーPCデラミネーション試験養生後の太陽電池用保護材E-1~E-6を上記の方法で真空ラミネーションを行った後、トミー精工社製プレッシャークッカー試験LSK500を用い、105°C、湿度100の試験条件で行った。太陽電池用保護材の端面部においてデラミネーションの発生を目視で確認できるまでの試験時間を測定した。90時間にてデラミネーションが発生を確認できないものは90時間超>90とした。水蒸気透過率防湿フィルムの水蒸気透過率は、防湿フィルム作成後,一週間40°C保管後の時点における水蒸気透過率として、下記の手法で測定した。また、太陽電池用保護材E-1~E-6については、養生後の測定値を初期水蒸気透過率とし、当該養生後に、ガラス、太陽電池用保護材を積層し、150°Cで30分の条件での熱処理を行い、上記3の条件でプレッシャークッカー試験を行った後の各太陽電池用保護材の測定値をプレッシャークッカー試験後の水蒸気透過率の値とした。具体的には、JISZ0222防湿包装容器の透湿度試験方法、JISZ0208防湿包装材料の透湿度試験方法カップ法の諸条件に順じ、次の手法で評価した。透湿面積10.0cm×10.0cm角の各太陽電池用保護材を2枚用い、吸湿剤として無水塩化カルシウム約20gを入れ四辺を封じた袋を作製し、その袋を温度40°C相対湿度90の恒温恒湿装置に入れ、72時間以上の間隔でおよそ200日目まで質量測定し、4日目以降の経過時間と袋重量との回帰直線の傾きから水蒸気透過率g/m2日を算出した。防湿性の低下度は、[プレッシャークッカー試験PC48後の水蒸気透過率/初期水蒸気透過率]により算出した。<構成フィルム>フッ素系樹脂フィルムフッ素系樹脂フィルムとして、テトラフルオロエチレンエチレン共重合体ETFEフィルム旭硝子株製、商品名:アフレックス50MW1250DCS、厚み50μmで下記サイズのものを使用した。A1フッ素系樹脂フィルムを幅200mm、長さ200mmに裁断し使用したA2フッ素系樹脂フィルムを幅230mm、長さ180mmに裁断し使用した。A3フッ素系樹脂フィルムを幅200mm、長さ200mmに裁断し使用した。A4フッ素系樹脂フィルムを幅180mm、長さ180mmに裁断し使用した。粘着剤B1:温度計、撹拌機、還流冷却管、窒素ガス導入管を備えた反応装置を用い、アクリル酸ブチル90質量部、アクリル酸10質量部、酢酸エチル75質量部、トルエン75質量部の混合溶液に、アゾビスイソブチロニトリル0.3質量部を加え、窒素ガス雰囲気下、80°Cで8時間重合した。反応終了後、トルエンにて固形分30質量に調製し、質量平均分子量50万である樹脂を得た。得られた樹脂100質量部に対して、イソシアナート系架橋剤としてコロネートL商品名:日本ポリウレタン工業社製、固形分75質量1質量部を添加して、粘着剤B1を調製した。100°Cにおける引張り貯蔵弾性率を測定した結果を表1に示す。B2:温度計、撹拌機、還流冷却管、窒素ガス導入管を備えた反応装置を用い、アクリル酸ブチル40質量部、アクリル酸イソブチル10質量部、アクリル酸メチル40質量部、アクリル酸10質量部、酢酸エチル75質量部、トルエン75質量部の混合溶液に、アゾビスイソブチロニトリル0.3質量部を加え、窒素ガス雰囲気下、80°Cで8時間重合した。反応終了後、トルエンにて固形分30質量に調製し、質量平均分子量50万である樹脂を得た。得られた樹脂100質量部に対して、イソシアナート系架橋剤としてコロネートL商品名:日本ポリウレタン工業社製、固形分75質量1質量部を添加して、粘着剤B2を調製した。100°Cにおける引張り貯蔵弾性率を測定した結果を表1に示す。防湿フィルム基材として、厚さ12μmの二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルム帝人デュポン製、Q51C12を用い、そのコロナ処理面に、下記のコート液を塗布乾燥して厚さ0.1μmのアンカーコート層を形成した。次いで、真空蒸着装置を使用して1.33×103Pa1×105Torrの真空下でSiOを加熱蒸発させ、アンカーコート層上に厚さ50nmのSiOxx=1.5薄膜を有する防湿フィルムを得て、幅180mm、長さ180mmに裁断し使用した。作製した防湿フィルムの水蒸気透過率は001[g/m2日]であった。コート液日本合成株製ゴーセノールケン化度:970~988mol、重合度:2400のポリビニルアルコール樹脂220gをイオン交換水2810gに加え加温溶解した水溶液に、20°Cで攪拌しながら35塩酸645gを加えた。次いで、10°Cでブチルアルデヒド36gを攪拌しながら添加し、5分後に、アセトアルデヒド143gを攪拌しながら滴下し、樹脂微粒子を析出させた。次いで、60°Cで2時間保持した後、液を冷却し、炭酸水素ナトリウムで中和し、水洗、乾燥し、ポリビニルアセトアセタール樹脂粉末アセタール化度75molを得た。また、架橋剤としてイソシアネート樹脂住友バイエルウレタン株製スミジュールN-3200を用い、水酸基に対するイソシアネート基の当量比が1:2になるように混合した。接着剤と接着剤塗液ポリウレタンポリオール成分を含む主剤としてロックペイント株式会社製HD1013を使用し、脂肪族系のヘキサメチレンジイソシアナート成分を含む硬化剤としてロックペイント株式会社製H62を使用し、重量比で10:1となるように混合し、固形分濃度が30となるように酢酸エチルで希釈して接着剤塗液を調製した。封止材ブリヂストン社製、封止材商品名:EVASKYS11厚み500μm融点696°Cを使用した。ガラスAGCファブリテック社製太陽電池専用カバーガラスTCB093313.2mm厚を使用し、実施例、比較例それぞれで使用するフッ素系樹脂フィルムと同じサイズのガラスに切削加工し使用した。実施例138μmシリコーン離型PETフィルムに粘着剤B1を厚みが固形分換算20μmとなるよう塗布し、乾燥して粘着剤層幅180mm長さ200mmを形成した。形成した粘着面に防湿フィルムのSiOX面を貼り合せ、その後シリコーン離型PETフィルムを剥離し、もう一方の粘着面にフッ素系樹脂フィルムA1を貼合し40°Cで4日間養生し厚み82μmの太陽電池用保護材E1を作成した。ガラス、封止材、太陽電池用保護材E1フッ素系樹脂フィルムが暴露側の順になるように積層し、150°C×15分の条件で真空ラミネートを行い封止材の端面回りこみを評価し、その後プレッシャークッカー試験、プレッシャークッカーデラミネーション試験を実施し、水蒸気透過率とデラミネーション発生時間を測定した。結果を表1に示す。実施例2フッ素系樹脂フィルムとしてA2を使用した以外は実施例1同様に厚み82μm太陽電池用保護材E2を作成した。その後ガラス、封止材、太陽電池用保護材E2フッ素系樹脂フィルムが暴露側の順になるように積層し150°C×15分の条件で真空ラミネートを行い封止材の端面回りこみを評価し、その後プレッシャークッカー試験、プレッシャークッカーデラミネーション試験を実施し、水蒸気透過率とデラミネーション発生時間を測定した。結果を表1に示す。実施例3フッ素系樹脂フィルムとしてA3を使用した以外は実施例1同様に厚み82μm太陽電池用保護材E3を作成した。その後ガラス、封止材、太陽電池用保護材E2フッ素系樹脂フィルムが暴露側の順になるように積層し150°C×15分の条件で真空ラミネートを行い封止材の端面回りこみを評価し、その後プレッシャークッカー試験、プレッシャークッカーデラミネーション試験を実施し、水蒸気透過率とデラミネーション発生時間を測定した。結果を表1に示す。実施例4厚み38μmシリコーン離型PETフィルムに粘着剤B1を厚みが固形分換算20μmとなるよう塗布し、乾燥して粘着剤層幅180mm長さ200mmを形成した。形成した粘着面に防湿フィルムのSiOX面を貼り合せ、その後シリコーン離型PETフィルムを剥離し、もう一方の粘着面にフッ素系樹脂フィルムA1を貼合した。次に厚み188μmのポリエチレンテレフタレートフィルムに接着剤塗液を厚み7μmとなるよう塗工、乾燥して接着面を形成した。先に作成した積層体の防湿フィルム面を該接着面と貼り合せ40°Cで4日間養生し厚み287μmの太陽電池用保護材E4を作成した。ガラス、封止材、太陽電池用保護材E4フッ素系樹脂フィルムが暴露側の順になるように積層し、150°C×15分の条件で真空ラミネートを行い封止材の端面回りこみを評価し、その後プレッシャークッカー試験、プレッシャークッカーデラミネーション試験を実施し、水蒸気透過率とデラミネーション発生時間を測定した。結果を表1に示す。実施例5実施例1の粘着剤B1をB2としたこと以外は実施例1と同様に厚み82μmの太陽電池用保護材E5を作成し、その後ガラス、封止材、太陽電池用保護材E5フッ素系樹脂フィルムが暴露側の順になるように積層し150°C×15分の条件で真空ラミネートを行い封止材の端面回りこみを評価し、その後プレッシャークッカー試験、プレッシャークッカーデラミネーション試験を実施し、水蒸気透過率とデラミネーション発生時間を測定した。結果を表1に示す。比較例1実施例1のフッ素系フィルムA1をA4としたこと以外は実施例1と同様に厚み82μmの太陽電池用保護材E6を作成し、その後ガラス、封止材、太陽電池用保護材E6フッ素系樹脂フィルムが暴露側の順になるように積層し150°C×15分の条件で真空ラミネートを行い封止材の端面回りこみを評価し、その後プレッシャークッカー試験、プレッシャークッカーデラミネーション試験を実施し、水蒸気透過率とデラミネーション発生時間を測定した。結果を表1に示す。表1の結果から明らかなように、本発明の範囲内にある実施例1~5はいずれも防湿性及びデラミネーションの発生防止に優れ、太陽電池用保護材を形成する各層の幅が本発明の規定の範囲内にない比較例1はデラミネーション防止性能に劣るものであった。"