a排気ガスが通り抜ける流路、およびこの流路の壁面で開口した収容孔を有するハウジングと、b前記流路内に収容されて、前記流路を開閉するバルブと、c前記収容孔内に収容されて、前記バルブが設けられるシャフトと、d前記収容孔内に収容されて、前記シャフトを回転可能に支持する軸受装置とを備えた排気ガス制御弁において、前記軸受装置は、前記シャフトの回転軸方向に連続して配置される複数の転がり軸受、およびこれらの転がり軸受よりも流路側に配置されるガスケットを有していることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項1に記載の排気ガス制御弁において、前記収容孔は、前記シャフトの回転軸方向に所定距離隔てて配置されて、前記収容孔と同一軸芯上に形成された2つの第1、第2圧入孔を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項2に記載の排気ガス制御弁において、前記複数の転がり軸受は、前記第1圧入孔に圧入固定される第1外環部を有し、前記ガスケットは、前記第2圧入孔に圧入固定される第2外環部を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項1ないし請求項3のうちのいずれか1つに記載の排気ガス制御弁において、前記シャフトは、前記収容孔をその中心線方向に貫通するように設置されていることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項1ないし請求項4のうちのいずれか1つに記載の排気ガス制御弁において、前記シャフトは、その回転軸方向の一端側に、前記流路内に突出する突出部を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項5に記載の排気ガス制御弁において、前記バルブは、前記シャフトと一体部品で構成されており、前記突出部には、前記バルブが一体的に形成されていることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項5に記載の排気ガス制御弁において、前記バルブは、前記シャフトに対して別体部品で構成されており、前記突出部には、前記バルブが組み付けられていることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項1ないし請求項7のうちのいずれか1つに記載の排気ガス制御弁において、前記軸受装置は、前記ハウジングに対して別体部品で構成されて、前記複数の転がり軸受および前記ガスケットを保持する筒状のホルダーを有していることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項8に記載の排気ガス制御弁において、前記ホルダーは、前記シャフトの回転軸方向に延びる軸受孔を有し、前記ハウジングは、前記軸受孔と前記流路とを連通し、且つ前記シャフトが挿通可能な挿通孔を有し、前記挿通孔は、前記バルブの外径よりも大きく、前記ホルダーの外径よりも小さいことを特徴とする排気ガス制御弁。請求項1ないし請求項9のうちのいずれか1つに記載の排気ガス制御弁において、前記シャフトに対して、前記バルブを閉弁作動方向または開弁作動方向に荷重を与えるスプリングを備えたことを特徴とする排気ガス制御弁。請求項10に記載の排気ガス制御弁において、前記軸受装置は、前記シャフトの周囲を周方向に取り囲むように配置された筒状の軸受スリーブを有し、前記スプリングは、前記軸受スリーブの周囲を渦巻き状に取り囲むコイルを有し、前記軸受スリーブは、前記収容孔に圧入固定される圧入部、および前記スプリングのコイル内径面を保持するスプリングガイドを有していることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項1ないし請求項11のうちのいずれか1つに記載の排気ガス制御弁において、前記複数の転がり軸受とは、前記収容孔内において、前記ハウジングに対して前記シャフトを回転可能に軸支する複数のボールベアリングのことであることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項1ないし請求項12のうちのいずれか1つに記載の排気ガス制御弁において、前記ガスケットとは、前記シャフトの外周側に形成される環状隙間をシールするオイルシールのことであることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項1ないし請求項13のうちのいずれか1つに記載の排気ガス制御弁において、前記ハウジングは、前記流路と同一軸芯上に形成された圧入孔を有するバルブボディと、このバルブボディに対して別体部品で構成されて、内部に前記流路が形成された筒状のノズルとを備え、前記ノズルは、前記圧入孔に圧入固定されていることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項14に記載の排気ガス制御弁において、前記バルブの全閉時に、前記ノズルの周方向壁面と前記バルブの周方向端面との間に形成される環状隙間をシールするシールリングを備え、前記バルブは、この周方向端面全周に、前記シールリングを装着する環状溝を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。請求項14または請求項15に記載の排気ガス制御弁の組付方法において、前記シャフトに前記バルブを一体成形したシャフトバルブに、前記軸受装置を組み付けて、シャフトバルブサブアッセンブリを形成する工程と、次に、前記収容孔内に前記シャフトバルブサブアッセンブリを組み付ける工程と、次に、前記圧入孔に前記ノズルを圧入固定してハウジングサブアッセンブリを形成する工程とを備えたことを特徴とする排気ガス制御弁の組付方法。請求項14または請求項15に記載の排気ガス制御弁の組付方法において、前記シャフトに前記軸受装置を組み付けてシャフトサブアッセンブリを形成する工程と、次に、前記シャフトサブアッセンブリに前記バルブを組み付けてシャフトバルブサブアッセンブリを形成する工程と、次に、前記収容孔内に前記シャフトバルブサブアッセンブリを組み付ける工程と、次に、前記圧入孔に前記ノズルを圧入固定してハウジングサブアッセンブリを形成する工程とを備えたことを特徴とする排気ガス制御弁の組付方法。本発明の目的は、ハウジングの流路側から軸受装置側への異物の侵入に伴うシャフトの動作不良やロックを防止することのできる排気ガス制御弁、およびその組付方法を提供することにある。また、ノズルとシールリングとの摺動不良を防止することのできる排気ガス制御弁、およびその組付方法を提供することにある。また、ハウジングバルブボディの圧入孔にノズルを容易に組み付けることのできる排気ガス制御弁、およびその組付方法を提供することにある。請求項1に記載の発明排気ガス制御弁は、例えば内燃機関の排気ガスが通り抜ける流路、およびこの流路の壁面で開口した収容孔を有するハウジングと、このハウジングの流路内に収容されて、流路を開閉するバルブと、ハウジングの収容孔内に収容されて、バルブが設けられるシャフトと、ハウジングの収容孔内に収容されて、シャフトを回転可能に支持する軸受装置とを備えている。軸受装置は、シャフトの回転軸方向に連続して配置される複数の転がり軸受、およびこれらの転がり軸受よりも流路側に配置されるガスケットを備えている。なお、複数の転がり軸受は、ハウジングの収容孔軸受孔に対して、バルブを設けたシャフトを回転可能に支持している。また、ガスケットは、ハウジングの収容孔軸受孔の孔壁面とシャフトの外周面摺動部との間に形成される環状隙間をシールしている。請求項1に記載の発明によれば、ハウジングの収容孔軸受孔内においてバルブを設けたシャフトを回転可能に支持する軸受装置として、シャフトの回転軸方向に連続して配置される複数の転がり軸受、およびこれらの転がり軸受よりも流路側に配置されるガスケットを備えたことにより、ハウジングの流路側から軸受装置側複数の転がり軸受側への異物の侵入をガスケットによって防止することができる。これにより、ハウジングの流路側から軸受装置側への異物の侵入に伴うバルブを設けたシャフトの動作不良やロックを防止することができる。また、軸受装置としてメタルベアリングを使用することなく、複数の転がり軸受を採用しているので、仮にハウジングの流路側から軸受装置側へ異物が侵入したとしても、バルブを設けたシャフトの動作不良やロックを防止することができる。また、シャフトの回転軸方向に複数の転がり軸受を連続して配置しているので、シャフトの軸振れが従来設計と同等となる。また、複数の転がり軸受を所定の軸方向距離を隔てて配置しなくても、シャフトの軸振れが従来設計と同等となるので、排気ガス制御弁の回転軸方向の体格を小型化コンパクト化できる。これにより、複数の転がり軸受よりも流路側にガスケットを配置することが可能となる。請求項2に記載の発明によれば、収容孔ハウジングまたは軸受孔は、収容孔と同一軸芯上に形成された2つの第1、第2圧入孔を備えている。これらの第1、第2圧入孔は、シャフトの回転軸方向に所定距離隔てて配置されている。請求項3に記載の発明によれば、複数の転がり軸受は、ハウジングまたはホルダーの第1圧入孔に圧入固定される第1外環部例えばハウジングまたはホルダーに対する圧入固定部を備えている。また、ガスケットは、ハウジングまたはホルダーの第2圧入孔に圧入固定される第2外環部例えばハウジングまたはホルダーに対する圧入固定部を備えている。なお、第1圧入孔は、第2圧入孔よりも内径が大きくなっている。また、第2圧入孔は、第1圧入孔よりもハウジングの流路側に配置されている。請求項4に記載の発明によれば、ハウジングの収容孔またはホルダーの軸受孔または挿通孔をその中心線方向に貫通するようにシャフトが設置配置されている。請求項5に記載の発明によれば、シャフトの回転軸方向の一端側に、ハウジングの流路内に突出する突出部を備えている。つまりシャフトの一部突出部は、ハウジングの収容孔側から流路側へ突き出している。請求項6に記載の発明によれば、ハウジングの流路内に回転自在開閉自在に収容されるバルブは、シャフトと一体部品で構成されている。また、シャフトの突出部には、バルブが一体的に形成されている。これにより、シャフトとバルブとが一体成形化、つまりシャフトバルブサブアッセンブリ化されている。これによって、シャフトに対するバルブの形成位置、形成角度を精度良く、組み付けることができる。また、溶接スパッタがハウジング内に残らなくなるので、ハウジングの流路側から軸受装置側への溶接スパッタ等の異物の侵入に伴うバルブを設けたシャフトの動作不良やロックを防止することができる。請求項7に記載の発明によれば、ハウジングの流路内に回転自在開閉自在に収容されるバルブは、シャフトに対して別体部品で構成されている。また、シャフトの突出部には、バルブが組み付けられている。例えばシャフトをハウジングの収容孔内に組み付ける前に、シャフトとバルブとを溶接固定または締結固定等により組み付ける。すなわち、シャフトとバルブとを後組み付けによって一体化シャフトバルブサブアッセンブリ化されている。これによって、シャフトに対するバルブの形成位置、形成角度を精度良く、組み付けることができる。また、例えばシャフトとバルブを溶接固定する際の溶接スパッタがハウジング内に残らなくなるので、ハウジングの流路側から軸受装置側への溶接スパッタ等の異物の侵入に伴うバルブを設けたシャフトの動作不良やロックを防止することができる。請求項8に記載の発明によれば、軸受装置は、複数の転がり軸受およびガスケットを保持する筒状のホルダーを備えている。このホルダーは、ハウジングに対して別体部品で構成されている。なお、バルブおよびシャフトをハウジングの収容孔、流路内に組み付ける前に、軸受装置のホルダーにバルブおよびシャフトを組み付けることにより、バルブとシャフトと軸受装置とを一体化シャフトバルブサブアッセンブリ化することができる。請求項9に記載の発明によれば、ホルダーまたは軸受装置は、シャフトの回転軸方向に延びる軸受孔を備えている。また、ハウジングは、ホルダーまたは軸受装置の軸受孔とハウジングの流路とを連通し、且つバルブを設けたシャフトが挿通可能な挿通孔を備えている。この挿通孔は、バルブの外径よりも大きく、ホルダーまたは軸受装置の外径よりも小さい孔径の楕円形状穴または円形状穴である例えばホルダーまたは軸受装置の外径>挿通孔の孔径>バルブの外径。なお、バルブの外径が、ホルダーまたは軸受装置の外径よりも大きい場合には、ハウジングの収容孔2つの第1、第2圧入孔をバルブの外周部分で削り取られてしまうので、ハウジングの収容孔とホルダーまたは軸受装置の外面との間に隙間が形成されてしまう。これにより、ハウジングの流路を流れる排気ガスが、その隙間を通ってハウジングの外部へ洩れ出してしまう不具合を解消することができる。請求項10に記載の発明排気ガス制御弁は、ハウジング、バルブ、シャフト、軸受装置複数の転がり軸受、ガスケット、ホルダー等の他に、シャフトに対して、バルブを閉弁作動方向または開弁作動方向に荷重バネ荷重、スプリング荷重を与えるスプリングを備えている。なお、スプリングは、ハウジングの流路内に収容されるバルブを閉弁作動方向または開弁作動方向へ付勢するリターンスプリングまたはオープナスプリング、オーバーターンスプリングである。請求項11に記載の発明によれば、軸受装置またはホルダーは、シャフトの周囲を周方向に取り囲むように配置された筒状の軸受スリーブを備えている。また、スプリングは、軸受装置またはホルダーの軸受スリーブの周囲を渦巻き状に取り囲むコイルを備えている。また、軸受装置またはホルダーの軸受スリーブは、ハウジングの収容孔に圧入固定される圧入部圧入固定部、およびスプリングのコイル内径面を保持するスプリングガイドを備えている。なお、従来のEGRガス流量制御弁EGRVのようにハウジングに一体成形される円筒ボス部側にスプリング内径保持部を設けた場合には、ハウジングの収容孔に軸受スリーブが圧入固定されるように構成すると、ハウジングの体格、特にシャフトの回転軸方向に垂直な半径方向の体格が大きくなってしまうが、請求項11に記載の発明のように、ハウジングの収容孔に圧入固定される軸受スリーブ側にスプリングガイドを設けて、軸受装置またはホルダーの軸受スリーブにてスプリングのコイル内径面を保持するように構成すれば、従来のEGRガス流量制御弁EGRVのようにハウジングに一体成形される円筒ボス部側にスプリング内径保持部を設けた場合とスプリングの外径は同等となる。したがって、排気ガス制御弁の体格を小型化でき、排気ガス制御弁の搭載性を向上することができる。請求項12に記載の発明によれば、複数の転がり軸受として、ハウジングの収容孔内において、ハウジングまたはホルダーに対してシャフトを回転可能に軸支する複数のボールベアリングを採用しても良い。なお、ボールベアリングの代わりに、コロ軸受を用いても良い。請求項13に記載の発明によれば、ガスケットとして、シャフトの外周側とハウジングの収容孔壁面またはホルダーの軸受孔壁面との間に形成される環状隙間をシールするオイルシールのことである。このオイルシールは、ハウジングの収容孔内において、ハウジングまたはホルダーに対してシャフトを回転可能回転方向に摺動可能に軸支することが可能である。なお、オイルシールの代わりに、環状隙間を気密シールするパッキンを用いても良い。請求項14に記載の発明によれば、ハウジングは、流路と同一軸芯上に形成された圧入孔を有するバルブボディと、内部に流路が形成された筒状のノズルとを備えている。ノズルは、バルブボディに対して別体部品で構成されている。ノズルは、バルブボディの圧入孔に圧入固定される圧入固定部を備えている。請求項15に記載の発明によれば、バルブの全閉時に、ノズルの周方向壁面とバルブの周方向端面との間に形成される環状隙間をシールするシールリングを備えている。排気ガス制御弁は、バルブの周方向端面全周に、シールリングを装着する環状溝を備えている。なお、シールリングは、バルブおよびシャフトと一体回転可能となるように、バルブの環状溝に嵌め込まれている。請求項16に記載の発明排気ガス制御弁の組付方法は、シャフトにバルブを一体成形したシャフトバルブに、軸受装置を組み付けて、シャフトバルブサブアッセンブリを形成する工程と、次に、ハウジングまたはバルブボディの収容孔内にシャフトバルブサブアッセンブリを組み付ける工程と、次に、ハウジングまたはバルブボディの圧入孔にノズルの圧入固定部を圧入固定してハウジングサブアッセンブリを形成する工程とを備えている。請求項17に記載の発明排気ガス制御弁の組付方法は、シャフトに軸受装置を組み付けてシャフトサブアッセンブリを形成する工程と、次に、シャフトサブアッセンブリに前記バルブを組み付けてシャフトバルブサブアッセンブリを形成する工程と、次に、ハウジングまたはバルブボディの収容孔内にシャフトバルブサブアッセンブリを組み付ける工程と、次に、ハウジングまたはバルブボディの圧入孔にノズルの圧入固定部を圧入固定してハウジングサブアッセンブリを形成する工程とを備えている。請求項16及び17に記載の発明によれば、バルブとシャフトとの組付作業よりも、ハウジングまたはバルブボディに形成された圧入孔にノズルを先に圧入固定しておく場合、つまりハウジングまたはバルブボディの圧入孔にノズルを先付けする場合であっても、ハウジングまたはバルブボディ内に溶接スパッタが残ることはない。したがって、溶接スパッタ等の異物が、ノズルとシールリングとの間に噛み込むのを回避できるので、ノズルとシールリングとの摺動不良を防止することができる。また、バルブとシャフトとの組付作業よりも、ハウジングまたはバルブボディに形成された圧入孔にノズルを後に圧入固定する場合、つまりハウジングまたはバルブボディの圧入孔にノズルを後付けする場合であっても、ハウジングまたはバルブボディの圧入孔の孔壁面に溶接スパッタ等の異物が付着するのを回避できるので、ハウジングまたはバルブボディの圧入孔にノズルを圧入固定できなくなる不具合を解消することができる。したがって、ハウジングバルブボディの圧入孔にノズルを容易に組み付けることができるので、排気ガス制御弁の生産性を向上することができる。以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。本発明は、ハウジングの流路孔側から軸受装置側への異物の侵入に伴うシャフトの動作不良やロックを防止するという目的を、ハウジングの収容孔軸受孔内においてバルブを設けたシャフトを回転可能に支持する軸受装置として、シャフトの回転軸方向に連続して配置される複数の転がり軸受、およびこれらの転がり軸受よりも流路孔側に配置されるガスケットを備えたことにより、ハウジングの流路孔側から軸受装置側複数の転がり軸受側への異物の侵入をガスケットによって防止することで実現した。本発明は、ノズルとシールリングとの摺動不良を防止するという目的、また、ハウジングバルブボディの圧入孔にノズルを容易に組み付けるという目的を、ハウジングまたはバルブボディの圧入孔にノズルの圧入固定部を圧入固定する前に、バルブとシャフトとを一体化することで実現した。[実施例1の構成]図1ないし図5は本発明の実施例1を示したもので、図1および図2はEGRガス流量制御弁EGRVを示した図で、図3はシャフトサブアッセンブリを圧入固定するハウジングバルブボディを示した図である。本実施例の内燃機関の排気装置は、複数の気筒を有する内燃機関エンジンの各気筒毎の燃焼室より排出された排気ガスの一部であるEGRガスを、排気管から吸気管へ再循環還流させる排気ガス循環装置EGRシステムを備えている。ここで、エンジンとして、燃料が直接燃焼室内に噴射供給される直接噴射式のディーゼルエンジンが採用されている。エンジンの各気筒毎の燃焼室には、吸気ポートおよび排気ポートがそれぞれ連通している。また、エンジンの各気筒には、インテークマニホールドおよびエキゾーストマニホールドが接続されている。また、エンジンの各気筒には、燃焼室内に燃料を噴射供給するインジェクタが搭載されている。インテークマニホールドに接続される吸気管には、エアクリーナ、ターボチャージャのコンプレッサ、インタークーラ、スロットルバルブが設置されている。また、インテークマニホールドおよび吸気管の内部には、エンジンの各気筒毎の燃焼室および吸気ポートに連通する吸気通路が形成されている。インテークマニホールドおよび吸気管には、EGRシステムから導入されるEGRガスを、エアクリーナで濾過された清浄な外気新気に合流させるEGRガス合流部合流部が設けられている。エキゾーストマニホールドに接続される排気管には、ターボチャージャのタービン、排気浄化装置触媒またはディーゼルパティキュレートフィルタ:DPF、マフラが設置されている。また、エキゾーストマニホールドおよび排気管の内部には、エンジンの各気筒毎の燃焼室および排気ポートに連通する排気通路が形成されている。エキゾーストマニホールドおよび排気管には、エンジンの排気ガスの一部であるEGRガスをEGRシステムへ分岐させるEGRガス分岐部分岐部が設けられている。EGRシステムは、エンジンの吸気通路へ排気ガスの一部をEGRガスとして再循環還流させるEGRガスパイプと、このEGRガスパイプの内部を流れるEGRガスの流量を制御するEGRガス流量制御弁EGR制御弁、排気ガス制御弁:以下EGRVと呼ぶと、エンジンの運転状況に基づいてEGRVの開度を可変制御するエンジン制御ユニット電子制御装置、EGRバルブ制御装置:以下ECUと言うとを備えている。EGRガスパイプの一端は、EGRガス分岐部に接続され、また、EGRガスパイプの他端は、EGRガス合流部に接続されている。EGRVは、EGRガスパイプの途中に結合されるハウジングバルブボディ1、ノズル2、ノズルホルダー3と、このハウジングの内部に回転自在に収容される耐熱金属製のシャフトバルブシャフト4、バルブ5、シールリング6と、このシャフトバルブを駆動する動力トルクを発生するモータと、このモータのトルクを受けて回転する出力ギヤバルブギヤ7を有する減速機構と、バルブボディ1とバルブギヤ7との間に配置されるリターンスプリング8と、EGR開度センサを保持するセンサカバー9と、シャフトバルブのシャフト4を回転可能に支持する軸受装置軸受ホルダー10、2連ボールベアリング11、12、オイルシール13とを備えている。なお、シャフト4は、バルブ5とシールリング6を一体化することでEGRVのシャフトバルブを構成している。また、モータは、減速機構を伴ってEGRVのアクチュエータを構成している。EGRVのハウジングは、内部にシャフトバルブ、リターンスプリング8および軸受装置を収容する耐熱金属製のバルブボディ1と、このバルブボディ1をEGRガスの熱から保護するための耐熱金属製のノズルスリーブ状ライナー2と、このノズル2を保持するノズルホルダー3とを備えている。バルブボディ1には、エンジンの排気管から導入されたEGRガスが通り抜ける流路孔14~18が形成されている。このバルブボディ1には、ノズル2やノズルホルダー3の周囲を円周方向に取り囲む円筒状のノズルホルダーが一体的に形成されている。このノズルホルダーの内周には、流路孔14~17の軸芯と同一軸芯上に形成された圧入孔19が形成されている。バルブボディ1には、センサカバー9との間に減速機構を収納する収容室20、およびリターンスプリング8と軸受装置を収容する収容孔21が形成されている。また、バルブボディ1には、軸受装置の周囲を円周方向に取り囲むように配置された円筒状の軸受スリーブ22が一体的に形成されている。この軸受スリーブ22の内周面には、収容孔21の軸芯と同一軸芯上に形成された圧入孔23が形成されている。また、バルブボディ1には、収容孔21や軸受孔24と流路孔16~18とを区画すると共に、軸受装置の軸受ホルダー10の圧入固定位置を規制する軸受規制部としての機能を有する隔壁25が一体的に形成されている。この隔壁25には、収容孔21や軸受孔24と流路孔16~18とを連通する挿通孔26が形成されている。ノズル2には、流路孔14、15と流路孔17、18とを連通する連通路流路孔16が形成されている。ノズルホルダー3には、流路孔14と流路孔16~18とを連通する連通路流路孔15が形成されている。また、ノズルホルダー3の内周には、流路孔15の軸芯と同一軸芯上に形成された圧入孔27が形成されている。なお、ハウジング、特にバルブボディ1、ノズル2およびノズルホルダー3の詳細は、後述する。シャフトバルブは、バルブボディ1の収容孔21内や軸受装置の軸受孔24内に回転可能に収容されるシャフト4と、ハウジング内に形成される流路孔14~18を開閉するバルブ5と、このバルブ5の外周に装着されたシールリング6とを備えている。なお、シャフトバルブは、バルブ5とシャフト4とを一体成形した一体部品である。シャフト4は、バルブボディ1の収容孔21や軸受装置の軸受孔24をその中心線方向に貫通するように設置されている。このシャフト4の回転軸方向の一端側は、バルブボディ1の隔壁25の流路壁面からハウジングの流路孔14~17内に向かって突出している。また、シャフト4の回転軸方向の他端側は、軸受装置の壁面からバルブボディ1の収容室20内に向かって突出している。バルブ5は、シャフト4の回転軸方向の一端側に一体成形されている。また、バルブ5の外周の周方向溝環状凹溝:以下シールリング溝と言う28には、ノズル2の内周面であるバルブシート面29に密着することが可能なシールリング6が嵌め込まれている。なお、シャフトバルブ、特にシャフト4、バルブ5およびシールリング6の詳細は、後述する。軸受装置は、シャフトバルブを回転自在に支持するシャフトバルブ支持装置であって、円筒状の軸受ホルダー10と、シャフトバルブのシャフト4の回転軸方向に連続して配置される2連ボールベアリング転がり玉軸受11、12と、この2連ボールベアリング11、12よりも流路孔側に配置されるオイルシールガスケット13とを備えている。軸受ホルダー10は、ハウジングバルブボディ1、ノズル2、ノズルホルダー3に対して別体部品で構成されている。この軸受ホルダー10には、シャフト4の回転軸方向に延びる軸受孔24が形成されている。この軸受ホルダー10には、シャフトバルブのシャフト4の周囲を円周方向に取り囲むように配置された2つの第1、第2軸受スリーブ円筒状の外環部31、32、2連ボールベアリング11、12の圧入固定位置を規制する第1規制部としての機能を有する第1環壁33、およびオイルシール13の圧入固定位置を規制する第2規制部としての機能を有する第2環壁34が一体的に形成されている。軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の内周には、軸受孔24の軸芯と同一軸芯上に形成された第1圧入孔35が形成されている。また、第2軸受スリーブ32の内周には、軸受孔24や第1圧入孔35の軸芯と同一軸芯上に形成された第2圧入孔36が形成されている。つまり、軸受ホルダー10の内周には、2つの第1、第2圧入孔35、36が形成されている。これらの第1、第2圧入孔35、36は、シャフト4の回転軸方向に所定距離隔てて配置されている。2連ボールベアリング11、12は、シャフト4の軸方向部摺動部の外周に圧入固定される内輪41、第1軸受スリーブ31の第1圧入孔35に圧入固定される第1外環部としての機能を有する外輪42、および内輪41と外輪42との2つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球43を備えている。オイルシール13は、シャフトバルブのシャフト4の摺動面と摺動接触するシールリップ44、および第2軸受スリーブ32の第2圧入孔36に圧入固定される第2外環部としての機能を有する円筒部45を備えている。なお、軸受装置、特に軸受ホルダー10、2連ボールベアリング11、12、オイルシール13の詳細は、後述する。EGRシステムは、EGRガスパイプ、EGRVを備えている。このEGRシステムは、EGRVが開弁している時、エンジンより排出された排気ガスの一部が、EGRガスパイプを経由し、EGRガスとして吸気通路へ戻される。EGRシステムは、アクチュエータの動力源であるモータを通電制御するECUを備えている。EGRガスパイプは、タービンよりも上流側の排気通路とインタークーラまたはスロットルバルブよりも下流側の吸気通路とを接続する排気ガス還流管EGRパイプである。あるいはタービンまたは排気浄化装置よりも下流側の排気通路とコンプレッサよりも上流側の吸気通路とを接続する排気ガス還流管EGRパイプである。このEGRガスパイプの内部には、EGRガスを排気通路から吸気通路へ再循環還流させるための排気ガス流路EGRガス流路が形成されている。EGRVは、EGRガス流路流路孔14~18の開口面積を連続的または段階的に変更することで、EGRガス流路を経由して、排気通路から吸気通路へ再循環還流されるEGRガスの流量EGRガス量を可変制御する排気ガス流量制御弁である。これにより、エンジンの各気筒毎の燃焼室に供給する吸入空気の全流量に対するEGRガス量の比率であるEGR率が制御される。バルブボディ1は、例えば耐熱アルミニウム合金のダイカストまたはアルミニウム合金系の鋳物、あるいは耐熱性に優れる耐熱性材料例えば鉄系の鋳物、鋳鉄によって所定の形状に形成されている。バルブボディ1は、この前後上流側および下流側に配置されるEGRガスパイプあるいは排気管のEGRガス分岐部または吸気管のEGRガス合流部に締結ボルトを用いて締め付け固定されている。このバルブボディ1は、シャフトバルブのバルブ5およびシャフト4を全閉位置から全開位置に至るまで回転方向に開閉自在回転自在に保持するハウジングである。次に、本実施例のハウジングの詳細を図1ないし図5に基づいて簡単に説明する。バルブボディ1は、耐熱性の金属により所定の形状に形成されている。このバルブボディ1の内部には、ノズル2、ノズルホルダー3、シャフトバルブ、リターンスプリング8および軸受装置が配設されている。バルブボディ1およびノズル2の内部には、EGRガスが通り抜ける断面円形状の流路孔14~18が形成されている。流路孔14~18は、排気管のEGRガス分岐部から吸気管のEGRガス合流部へEGRガスを還流させる排気ガス流路流体流路、バルブボディ1の内部流路である。なお、流路孔14は、流路孔15、16よりもEGRガス流方向の上流側または下流側に形成されている。また、流路孔15は、ノズルホルダー3の内部に形成される。また、流路孔16は、ノズル2の内部に形成される。バルブボディ1には、ノズル2の周囲を円周方向に取り囲むように円筒状のノズルホルダーノズル嵌合部が一体的に形成されている。このノズルホルダーの内周面には、ノズル2が圧入される断面円形状の圧入孔19が形成されている。なお、圧入孔19の内径は、ノズルホルダー3の外径よりも小さい。バルブボディ1のノズルホルダーには、別体で構成されるノズルホルダー3の圧入固定位置を規制する規制部としての機能を有する環壁段差46が一体的に形成されている。バルブボディ1には、軸受装置の周囲を円周方向に取り囲むように配置された円筒状の軸受スリーブ22、およびリターンスプリング8の周囲を円周方向に取り囲むように配置された円筒状のスプリングホルダー47が一体的に形成されている。軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の外周とスプリングホルダー47の内周との間には、リターンスプリング8を収容する円筒状の収容凹部が形成されている。この収容凹部の底面は、リターンスプリング8の軸線方向の一端を係止するスプリング座部48となっている。スプリングホルダー47の内部には、リターンスプリング8および軸受装置を収容する収容孔21が形成されている。軸受スリーブ22の内周面には、軸受ホルダー10が圧入される断面円形状の圧入孔23が形成されている。なお、圧入孔23の内径は、軸受ホルダー10の外径よりも小さい。軸受スリーブ22の流路側には、バルブボディ1の内部空間を流路孔16~18と収容孔21や軸受孔24とに区画する隔壁仕切り壁25が設けられている。隔壁25には、収容孔21や軸受孔24と流路孔16~18とを連通し、且つシャフトバルブのシャフト4が挿通可能な挿通孔26が形成されている。この挿通孔26は、流路孔16~18の壁面で開口している。また、挿通孔26は、シャフトバルブのバルブ5の外径よりも大きく、軸受ホルダー10の外径よりも小さい孔径の楕円形状穴である。すなわち、軸受ホルダー10の外径>挿通孔26の孔径>シャフトバルブのバルブ5の外径となっている。ノズル2は、耐熱性の金属により円筒形状に形成されている。このノズル2の外径は、流路孔14、15の孔径よりも小さく、且つ圧入孔19の内径よりも大きくなっている。また、ノズル2は、バルブ5のシールリング溝28に嵌め込まれたシールリング6の外周面摺動部に摺接する部分内周面に摺動面バルブシート面29を有している。このバルブシート面29は、バルブ5の回転軸線上に形成される中心点を中心とした曲率半径を有する球面の一部凹曲面で構成されている。ノズル2は、ノズルホルダー3の内周面圧入孔27の孔壁面に圧入される圧入固定部を有している。この圧入固定部の角部エッジには、テーパ形状の面取りが施されている。これにより、ノズル2は、テーパ形状の面取りにより圧入孔27内に容易に圧入される。ノズルホルダー3は、耐熱性の金属または合成樹脂により円筒形状に形成されている。このノズルホルダー3は、バルブボディ1のノズルホルダーの内周面圧入孔19の孔壁面に圧入される圧入固定部径大部、バルブボディ1のノズルホルダーの内周面圧入孔19の孔壁面との間に環状隙間が形成される肉厚部径小部、および径大部と径小部とを繋ぐテーパ形状またはR形状の段差を有している。これにより、ノズルホルダー3は、段差の傾斜により圧入孔19内に容易に圧入される。ノズルホルダー3には、ノズル2の圧入固定位置を規制する規制部としての機能を有する環壁49が一体的に形成されている。そして、ノズルホルダー3は、バルブボディ1の環壁46に係止されることで、ノズルホルダーの所定の圧入固定位置で固定される。また、ノズル2は、ノズルホルダー3の環壁49に係止されることで、ノズルホルダー3の所定の圧入固定位置で固定される。次に、本実施例のシャフトバルブの詳細を図1ないし図5に基づいて簡単に説明する。シャフトバルブは、耐熱性の金属により所定の形状に形成されている。このシャフトバルブは、シャフト4とバルブ5とを一体化した一体部品である。シャフト4は、バルブボディ1の収容孔21および軸受装置の軸受ホルダー10の軸受孔24の内部に回転自在または摺動自在に収容されている。このシャフト4は、その回転軸方向の両側に第1、第2突出部51、52をそれぞれ備えている。第1、第2突出部51、52間には、軸受ホルダー10の軸受孔24内に配置される軸方向部摺動部が設けられている。第1突出部51は、シャフト4の回転軸方向の一端側に設けられて、摺動部から挿通孔26を通って流路孔14~17内に向かって突出している。この第1突出部51は、第2突出部52および軸方向部よりも小さい外径を有している。第2突出部52は、シャフト4の回転軸方向の他端側に設けられて、摺動部から収容室20内に向かって突出している。なお、第2突出部52には、減速機構のバルブギヤ7と結合するためのバルブギヤプレート53が固定されている。なお、第1突出部51と軸方向部との間には、円錐台形状テーパ形状の傾斜面が形成されている。また、第2突出部52の角部エッジには、テーパ形状の面取りが施されている。これにより、軸受装置2連ボールベアリング11、12、オイルシール13を、シャフト4の軸方向部の外周に容易に圧入固定できる。バルブ5は、全閉位置から全開位置に至るまでの動作可能範囲で回転動作されることで、流路孔14~18の開口面積を変更してEGR率を調整する。バルブ5は、バルブボディ1の内部において、バルブ5の中央部を通り、シャフトバルブのシャフト4の軸線方向に真っ直ぐに延びる軸線シャフトバルブのシャフト4の回転軸に対して所定の傾斜角度分だけ傾斜して、シャフト4の第1突出部51の先端側に一体成形された円板状の斜板であって、バルブ5の中央部の軸心を中心にして放射状に延びるプレートバルブにより構成されている。バルブ5の外周端面には、円環状のシールリング溝28が円周方向に連続して形成されている。すなわち、シールリング溝28は、バルブ5の外周端面の外周全体全周に周設されている。このシールリング溝28の内部には、シールリング6が嵌め込まれている。シールリング6は、耐熱性の金属によりC字形状に形成されている。このシールリング6は、その外周側端部が、バルブ5の外周端面より半径方向の外側に突出した状態で、内周側端部が、シールリング溝28内を半径方向、軸線方向および円周方向に移動できるようにシールリング溝28の内部に嵌め込まれて保持されている。また、シールリング6の半径方向の外側の端面には、バルブボディ1のノズルホルダーに嵌合保持されたノズル2のバルブシート面29に密着することが可能な外周面摺動部が設けられている。このシールリング6の摺動部の軸線方向の両側のエッジに、バルブ5の開閉動作がし易いようにテーパ形状またはR形状の面取りを施しても良い。したがって、本実施例のEGRVは、エンジン停止時またはEGRカット時に、バルブ5のシールリング溝28に嵌め込まれたシールリング6の軸線方向に対して直交する径方向拡径方向の張力を利用して、ノズル2の内径面バルブシート面29とバルブ5の外周端面との間に形成される隙間を密閉シールするように構成されている。アクチュエータは、電力の供給を受けるとシャフト4を回転駆動する駆動力トルクを発生するモータと、このモータの回転を2段減速してシャフトバルブのシャフト4に伝達する減速機構動力伝達機構とを備えている。モータは、バルブボディ1に一体形成されたモータハウジングのモータ収容凹部内に収容保持されている。減速機構は、モータのモータシャフトモータ出力軸に連動して回転する3つの第1~第3減速ギヤを備えている。これらの第1~第3減速ギヤは、モータのモータシャフトに固定されたピニオンギヤモータギヤ、このピニオンギヤと噛み合って回転する中間ギヤ、およびこの中間ギヤと噛み合って回転するバルブギヤ7等によって構成されている。バルブギヤ7は、合成樹脂または金属によって一体的に形成されている。このバルブギヤ7の最大外径部には、中間ギヤの凸状歯と噛み合う複数の凸状歯扇状の出力ギヤ歯が所定の角度分だけ扇状に形成されている。バルブギヤ7の内周部には、金属製のバルブギヤプレート53がインサート成形されている。これにより、バルブギヤ7は、バルブギヤプレート53を介して、シャフト4の第2突出部52に回り止めされた状態で固定されている。バルブギヤ7は、軸受装置の軸受ホルダー10に形成された第1軸受スリーブ31と同一軸線上に設置された円筒状のボス部54を備えている。バルブギヤ7のボス部54の外周側には、リターンスプリング8の軸線方向の他端を係止するスプリング座部55が設けられている。ボス部54の外周部は、リターンスプリング8のコイル内径面をガイド保持するスプリングガイドとしての機能を有している。但し、バルブギヤ7のボス部54の外径寸法は、バルブギヤ7が最大回転角度分だけ回転し、リターンスプリング8が回転方向に捩じられて半径方向に縮径した際の、リターンスプリング8のコイル内径収縮寸法を考慮して設計する。ここで、バルブギヤ7の内周部には、シャフトバルブのバルブ5およびシャフト4の回転角度EGRVのバルブ開度を検出する回転角度センサEGRバルブ開度センサが搭載されている。回転角度センサは、バルブギヤ7の内周部に取り付けられる一対のマグネット永久磁石56と、センサカバー9のセンサ搭載部に取り付けられるホールIC57とを備え、マグネット56の回転角度に対するホールIC57の出力変化特性を利用してバルブ5の回転角度を検出する回転角度検出装置である。また、センサカバー9は、バルブデボィ1のフランジ58にボルト59により締結固定されている。なお、ホールIC57の代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。ここで、アクチュエータの動力源であるモータは、ECUによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。ECUには、制御処理、演算処理を行うCPU、各種プログラムおよび各種データを保存する記憶装置ROMやRAM等のメモリ等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。ECUは、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、EGRバルブ開度センサ、吸気温度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ空燃比センサ、酸素濃度センサ等の各種センサからのセンサ出力信号が、A/D変換回路によってA/D変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。マイクロコンピュータは、EGR開度センサより出力されるセンサ出力信号EGRV開度信号に基づいて、エンジンの排気管から吸気管へ還流するEGRガスの流量を計測演算し、この演算したEGRガスの流量を各種エンジン制御に使用する。次に、本実施例のリターンスプリング8の詳細を図1ないし図5に基づいて簡単に説明する。リターンスプリング8は、バルブギヤ7のボス部54の周囲、および軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の周囲を渦巻き状螺旋状に取り囲むように設置されている。リターンスプリング8は、バルブボディ1のスプリング座部48とバルブギヤ7のスプリング座部55との間に渦巻き状に巻装されたコイル部を有している。リターンスプリング8は、シャフトバルブのシャフト4およびバルブギヤ7に対して、バルブ5を閉弁作動方向に付勢する付勢力バネ荷重、スプリング力を発生するコイルスプリング付勢手段である。このリターンスプリング8は、バルブ5を、全閉位置へ戻す方向閉弁作動方向に付勢する。リターンスプリング8の軸線方向の一端側には、バルブボディ1のスプリング座部48に接触する円環状の第1コイル端部が設けられている。リターンスプリング8の軸線方向の他端側には、バルブギヤ7のスプリング座部55に接触する円環状の第2コイル端部が設けられている。次に、本実施例の軸受装置の詳細を図1ないし図5に基づいて簡単に説明する。軸受装置は、シャフトバルブを回転自在に支持するシャフトバルブ支持装置であって、軸受ホルダー10、2連ボールベアリング11、12、オイルシール13を備えている。軸受ホルダー10は、耐熱性の金属を鋳造成形またはメタルインジェクションモールデンィングすることによって一体的に形成されている。軸受ホルダー10は、その軸線方向の一端面および他端面両端面が開口した円筒形状に形成されている。この軸受ホルダー10は、シャフト4が挿通する開口部61および開口部62を有している。開口部61は、軸受ホルダー10の軸線方向の一端面第2環壁34の流路側端面で開口し、バルブボディ1の隔壁25で開口した挿通孔26を介して、バルブボディ1の流路孔14~18と軸受ホルダー10の軸受孔24とを連通する円形状の挿通孔である。開口部62は、軸受ホルダー10の軸線方向の他端面第1軸受スリーブ31の収容室側端面で開口し、バルブボディ1の収容室20と軸受ホルダー10の軸受孔24とを連通する円形状の挿通孔である。軸受ホルダー10は、円筒形状に形成された2つの第1、第2軸受スリーブ31、32および円筒形状に形成された第1、第2環壁33、34とを備えている。軸受ホルダー10の先端側流路孔側の角部エッジには、テーパ形状またはR形状の面取りが施されている。これにより、軸受ホルダー10は、先端側の傾斜により圧入孔23内に容易に圧入される。そして、軸受ホルダー10は、バルブボディ1の軸受スリーブ22の圧入孔23の所定の圧入固定位置に圧入固定される。2つの第1、第2軸受スリーブ31、32の内部には、シャフト4の回転軸方向に真っ直ぐに延びる軸受孔24が形成されている。第1軸受スリーブ31の外周部は、リターンスプリング8のコイル内径面をガイド保持するスプリングガイドとしての機能を有している。第1軸受スリーブ31は、減速機構のバルブギヤ7のボス部54と同一軸線上に設置されて、バルブギヤ7のボス部54との間に所定の距離を隔てて対向して配置されている。但し、第1軸受スリーブ31の外径寸法は、バルブギヤ7が最大回転角度分だけ回転し、リターンスプリング8が回転方向に捩じられて半径方向に縮径した際の、リターンスプリング8のコイル内径収縮寸法を考慮して設計する。第1軸受スリーブ31の内周には、2連ボールベアリング11、12の各内輪41が圧入される第1圧入孔35が形成されている。この第1軸受スリーブ31の外径は、バルブボディ1の収容孔21の孔径および2連ボールベアリング11、12の各外輪42の外径よりも小さく、且つバルブボディ1の軸受スリーブ22の圧入孔23の内径よりも大きくなっている。第2軸受スリーブ32の外周部は、バルブボディ1の軸受スリーブ22の圧入孔23に圧入固定される圧入固定部としての機能を有している。第2軸受スリーブ32の内周面には、オイルシール13の円筒部45が圧入される第2圧入孔36が形成されている。この第2軸受スリーブ32の外径は、オイルシール13の円筒部45の外径よりも小さくなっている。第1環壁33は、第1軸受スリーブ31と第2軸受スリーブ32とをL字状に連結する連結部に設けられており、第1軸受スリーブ31の中間部より半径方向の内側へ向けて突出し、且つ2連ボールベアリング11、12の外輪42を係止することが可能な円環状の内周凸部である。なお、第1環壁33は、シャフト4の周囲を円周方向に取り囲む環状の第1壁体である。第2環壁34は、第2軸受スリーブ32の流路孔側の端部より半径方向の内側へ向けて突出し、且つオイルシール13の第1円筒部45を係止することが可能な円環状の内周凸部である。なお、第2環壁34は、シャフト4の周囲を円周方向に取り囲む環状の第2壁体である。2連ボールベアリング11、12は、内輪41の軌道面と外輪42の軌道面との間を転動する複数の鋼球スチールボール、転動体43と、内輪41と外輪42との2つの軌道輪の間で、且つ鋼球43よりも軸方向の両端側にそれぞれ装着された2つのリップシールシール材と、複数の鋼球43の脱落を防止するための2つのリテーナとを備えている。2連ボールベアリング11、12は、内輪41の軌道面と外輪42の軌道面との間に配された鋼球43のころがり摩擦によりシャフトバルブのシャフト4を回転自在に支持軸支する複数のころがり玉軸受である。この2連ボールベアリング11、12は、バルブボディ1の収容孔21および軸受ホルダー10の軸受孔24内において、バルブボディ1および軸受ホルダー10に対して、シャフト4を回転方向に摺動可能に軸支する軸受部品である。なお、2つのリテーナには、半円筒または半球状の凹部が円周方向に所定の間隔を持って設けられている。また、鋼球43の代わりに、コロ等の転動体を用いても良い。また、2つのリップシールの代わりに、金属製の補強材取付リングを用いても良い。2連ボールベアリング11、12の各内輪41は、金属材料によって円環形状に形成されており、外輪42に対向する軌道面外周面に、球面状の環状凹溝を有している。この内輪41は、シャフトバルブのシャフト4の外周に気密的に圧入固定される圧入固定部第1外環部を構成している。また、内輪41は、シャフト4と一体回転可能に連結されたインナーレースである。2連ボールベアリング11、12の各外輪42は、内輪41と同一の金属材料によって円環形状に形成されており、内輪41に対向する軌道面内周面に、球面状の環状凹溝を有している。この外輪42は、軸受ホルダー10の第1圧入孔35に気密的に圧入固定される圧入固定部を構成している。また、外輪42は、軸受ホルダー10に回転不能に固定されたアウターレースである。オイルシール13は、例えば金属補強環によって補強された合成ゴム製の環状弾性体である。このオイルシール13は、シャフトバルブのシャフト4の外周と軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の内周との間に形成される環状隙間を液密的にシールするオイルシール機能を有するシール部材である。また、オイルシール13は、シャフトバルブのシャフト4の外周と軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の内周との間に形成される環状隙間を気密的にシールするガスケット機能を有するシール部材である。オイルシール13は、シャフトバルブのシャフト4の周囲を円周方向に取り囲むように、軸受ホルダー10の軸受孔24内に設置されている。このオイルシール13は、シールリップ44および円筒部第2外環部45を備えている。シールリップ44は、シャフト4の摺動面に液密的および気密的に密着している。円筒部45の外周部は、軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の第2圧入孔36に液密的および気密的に圧入固定される圧入固定部としても機能を有している。[実施例1の組付方法]次に、本実施例のEGRガス流量制御弁EGRVの組付方法を図1ないし図5に基づいて簡単に説明する。ここで、図4はEGRVの軸受装置の組付工程の作業順序前半を示した流れ作業図プロセスチャートで、図5はEGRVの軸受装置の組付工程の作業順序後半を示した流れ作業図プロセスチャートである。ここで、図4aは、軸受ホルダー10とオイルシール13を組み付ける組付工程1を示した断面図である。先ず、軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の内周に設けられる第2圧入孔36に、オイルシール13を圧入固定する。具体的には、軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の外部側収容室側の開口部反流路側の開口部62から軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の流路孔側の開口部61へ向けて、軸受ホルダー10の軸受孔24内にオイルシール13を挿入し、オイルシール13の円筒部45が第2環壁34の環状端面第1規制面と接触するまで、軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の内周に設けられる第2圧入孔36にオイルシール13の円筒部45を圧入する。これにより、軸受ホルダー10に対する、オイルシール13の圧入固定位置が規制される。ここで、図4bは、軸受ホルダー10と2連ボールベアリング11、12を組み付ける組付工程2を示した断面図である。次に、軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の内周に設けられる第1圧入孔35に、2連ボールベアリング11、12を圧入固定する。具体的には、軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の外部側収容室側の開口部反流路側の開口部62から軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の流路孔側の開口部61へ向けて、軸受ホルダー10の軸受孔24内に2連ボールベアリング11、12を順に挿入し、ボールベアリング12の外輪42が第1環壁33の環状端面第2規制面と接触するまで、更に、ボールベアリング11の外輪42がボールベアリング12の外輪42と接触するまで、軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の内周に設けられる第1圧入孔35に2連ボールベアリング11、12の外輪42をそれぞれ圧入する。これにより、軸受ホルダー10に対する、2連ボールベアリング11、12の圧入固定位置が規制される。以上の組付工程1、2によって軸受装置の組付けが終了する。ここで、図4c、dは、軸受装置とシャフトバルブを組み付ける組付工程3、4を示した断面図である。次に、シャフトバルブのシャフト4の軸方向部摺動部の外周に、軸受装置軸受ホルダー10、2連ボールベアリング11、12、オイルシール13を圧入固定する。具体的には、シャフト4の第2突出部側から摺動部へ向けて、軸受装置を嵌合し、シャフト4の軸方向部の外周に、2連ボールベアリング11、12の各内輪41、オイルシール13のシールリップ44をそれぞれ圧入する。これにより、軸受装置の軸受ホルダー10に対してシャフトバルブが位置決め固定される。以上の組付工程3、4によってシャフトサブアッセンブリの組付けが終了する。ここで、図5eは、シャフトサブアッセンブリとバルブボディ1を組み付ける組付工程5を示した断面図である。次に、バルブボディ1の軸受スリーブ22の内周に設けられる圧入孔23に、シャフトサブアッセンブリを圧入固定する。具体的には、バルブボディ1の外部側の開口部反流路側の開口部からバルブボディ1の挿通孔26を経て、バルブボディ1の流路孔14~17へ向けて、バルブボディ1の収容孔21内にシャフトサブアッセンブリを挿入し、軸受ホルダー10の第1、第2軸受スリーブ31、32および第2環壁34が、バルブボディ1の隔壁25の環状端面第3規制面と接触するまで、バルブボディ1の軸受スリーブ22の内周に設けられる圧入孔23に軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32を圧入する。これにより、ハウジングバルブボディ1に対する、シャフトサブアッセンブリの圧入固定位置が規制される。ここで、図5fは、ノズル2とノズルホルダー3を組み付ける組付工程6を示した断面図である。先ず、ノズルホルダー3の内周に設けられる圧入孔27に、ノズル2を圧入固定する。次に、バルブボディ1のノズルホルダーの内周に設けられる圧入孔19に、ノズルサブアッセンブリを圧入固定する。具体的には、ノズルホルダー3の下流側の開口部からノズルホルダー3の上流側の開口部へ向けて、ノズルホルダー3の圧入孔27内にノズル2を挿入し、ノズル2がノズルホルダー3の環壁49の環状端面第4規制面と接触するまで、ノズルホルダー3の内周に設けられる圧入孔27にノズル2を圧入する。これにより、ノズルホルダー3に対する、ノズル2の圧入固定位置が規制される。以上の組付工程6によってノズルサブアッセンブリの組付けが終了する。ここで、図5gは、バルブボディ1とノズル2とノズルホルダー3を組み付ける組付工程7を示した断面図である。次に、バルブボディ1の上流側の開口部EGRガス導入ポートからバルブボディ1の下流側の開口部EGRガス導出ポートへ向けて、バルブボディ1のノズルホルダーの圧入孔19内にノズルサブアッセンブリを挿入し、ノズルホルダー3の環壁49が、バルブボディ1の環壁46の環状端面第5規制面と接触するまで、バルブボディ1のノズルホルダーの内周に設けられる圧入孔19にノズルホルダー3を圧入する。これにより、ハウジングバルブボディ1に対する、ノズルサブアッセンブリの圧入固定位置が規制される。以上の組付工程7によってハウジングサブアッセンブリの組付けが終了する。[実施例1の作用]次に、本実施例のEGRガス流量制御弁EGRVの作動を図1ないし図3に基づいて簡単に説明する。本実施例のシャフトバルブを回転駆動するモータは、ECUによって通電制御されるように構成されている。ここで、モータへの電力供給が成されない場合には、リターンスプリング8の付勢力スプリング荷重によってシャフト4に一体成形されたバルブ5が全閉位置に設定される。このとき、バルブ5のシールリング溝28に嵌め込まれたシールリング6の摺動部が、シールリング自体の拡径方向の張力弾性変形力によってバルブボディ1のノズルホルダーに嵌合保持されるノズル2のバルブシート面29に張り付くため、シールリング6の摺動部がノズル2のバルブシート面29に密着する。したがって、ノズル2の内周面とバルブ5の外周端面との間の環状隙間が完全にシールされる。つまりバルブボディ1内に形成される流路孔14~18が閉鎖される。これにより、EGRガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気新気に混入しないEGRカット。次に、EGRVを開弁させるような運転状況エンジンの運転状況になると、バルブ5が運転状況に対応した所定の開度に開弁するように開弁作動させる。そして、モータに電力を供給し、モータのモータシャフトを開弁作動方向に回転させる。これにより、モータの回転動力トルクが、ピニオンギヤ、中間ギヤおよびバルブギヤ7に伝達される。そして、バルブギヤ7からトルクが伝達されたシャフトバルブのシャフト4が、バルブギヤ7の回転に伴って所定の回転角度バルブ開度だけ開弁作動方向に回転する。以上のように、エンジンの運転状況に対応して、モータへの供給電力駆動電流値または印加電圧値を可変制御することで、EGRVのバルブ開度を変化させることにより、エアクリーナを通過した清浄な吸気に対する、EGRガスの導入量混入量が調節される。すなわち、バルブ5は、制御目標値に相当するバルブ開度に開弁制御される。つまり流路孔14~18が開放される。したがって、エンジンの各気筒毎の燃焼室より流出した排気ガスの一部であるEGRガスが、排気管内に形成される排気通路EGRガス分岐部から、排気管側のEGRガスパイプの内部EGRガス流路→EGRVのバルブボディ1の内部流路EGRガス導入ポート→流路孔14~18→EGRガス導出ポート→吸気管側のEGRガスパイプの内部EGRガス流路を経由して、吸気管内に形成される吸気通路EGRガス合流部に再循環される。したがって、EGRガスがエンジンの各気筒毎の吸気ポートおよび燃焼室に供給される吸気に混入される。これによって、排気ガス中に含まれる有害物質例えばNOx等が低減される。[実施例1の効果]以上のように、本実施例のEGRVにおいては、バルブボディ1の収容孔21や軸受ホルダー10の軸受孔24内においてシャフトバルブバルブ5を一体成形したシャフト4を回転可能に支持する軸受装置として、シャフト4の回転軸方向に連続して配置される2連ボールベアリング11、12、およびこの2連ボールベアリング11、12よりも流路孔側に配置されるオイルシール13を備えたことにより、バルブボディ1の流路孔側から挿通孔26を通って軸受装置側2連ボールベアリング側への、EGRガス中に含まれる微粒子や溶接スパッタ等の異物の侵入をオイルシール13のガスケット機能によって防止することができる。これにより、バルブボディ1の流路孔側から軸受装置側への異物の侵入に伴うシャフトバルブの動作不良やバルブロックを防止することができる。また、軸受装置としてメタルベアリングを使用することなく、2連ボールベアリング11、12を採用しているので、仮にバルブボディ1の流路孔側から挿通孔26を通って軸受装置側2連ボールベアリング側へ異物が侵入したとしても、シャフトバルブの動作不良やバルブロックを防止することができる。また、2連ボールベアリング11、12を連続してシャフト4の回転軸方向に配置しているので、シャフト4の軸振れが従来設計と同等となる。また、2連ボールベアリング11、12を所定の軸方向距離を隔てて配置しなくても、シャフト4の軸振れが従来設計と同等となるので、EGRVの回転軸方向の体格を小型化コンパクト化できる。これにより、2連ボールベアリング11、12よりも流路孔側にオイルシール13を配置することが可能となる。また、ハウジングバルブボディ1やノズル2の流路孔14~18内に回転自在開閉自在に収容されるバルブ5は、シャフト4と一体部品で構成されている。また、シャフト4の第1突出部51には、バルブ5が一体的に形成されている。これにより、シャフト4とバルブ5とが一体成形化、つまりシャフトバルブサブアッセンブリ化されている。これによって、シャフト4に対するバルブ5の形成位置、形成角度を精度良く、組み付けることができる。また、シャフト4とバルブ5とを一体成形しており、シャフト4とバルブ5との溶接工程を廃止しているので、溶接スパッタがバルブボディ1内に残らなくなるので、バルブボディ1の流路孔側から軸受装置側への溶接スパッタ等の異物の侵入に伴うシャフトバルブの動作不良やバルブロックを防止することができる。また、バルブボディ1の隔壁25には、バルブ5を一体成形したシャフト4が挿通可能な挿通孔26が形成されている。この挿通孔26は、下記の数1の式のように、バルブ5の外径よりも大きく、軸受ホルダー10の外径よりも小さい孔径の楕円形状穴または円形状穴である。また、挿通孔26の孔径は、下記の数2の式のように、バルブボディ1の収容孔21の孔径および圧入孔23の孔径よりも小さい。また、挿通孔26の孔径は、下記の数3の式のように、軸受ホルダー10の第1圧入孔35の孔径および第2圧入孔36の孔径よりも小さい。[数1]軸受ホルダー10の外径>挿通孔26の孔径>バルブ5の外径[数2]収容孔21の孔径>圧入孔23の孔径>挿通孔26の孔径[数3]第1圧入孔35の孔径>第2圧入孔36の孔径>挿通孔26の孔径なお、バルブ5の外径が、軸受ホルダー10の外径よりも大きい場合には、バルブボディ1の軸受スリーブ22の圧入孔23が、バルブ5の外周部分で削り取られてしまうので、バルブボディ1の収容孔21と軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の外周面との間に隙間が形成されてしまう。これにより、ハウジングバルブボディ1やノズル2の流路孔14~18を流れるEGRガスが、その隙間を通ってバルブボディ1の外部へ洩れ出してしまう不具合を解消することができる。ところで、従来のEGRガス流量制御弁EGRVのようにハウジングに一体成形される円筒ボス部側にスプリング内径保持部を設けた場合には、バルブボディ1の収容孔21に軸受装置の軸受スリーブが圧入固定されるように構成すると、ハウジングの体格、特にシャフトの回転軸方向に垂直な半径方向の体格が大きくなってしまう。しかし、本実施例のように、バルブボディ1の収容孔21に圧入固定される軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ側にスプリングガイドとしての機能を設けて、軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31にてリターンスプリング8のコイル内径面を保持するように構成すれば、従来のEGRガス流量制御弁EGRVのようにハウジングに一体成形される円筒ボス部側にスプリング内径保持部を設けた場合とリターンスプリング8の外径は同等となる。したがって、EGRVの体格を小型化でき、自動車等の車両のエンジンルーム内へのEGRVの搭載性を向上することができる。図6および図7は本発明の実施例2を示したもので、図6はEGRVの軸受装置の組付工程の作業順序前半を示した流れ作業図プロセスチャートで、図7はEGRVの軸受装置の組付工程の作業順序後半を示した流れ作業図プロセスチャートである。本実施例のEGRVでは、シャフト4とバルブ5とを別体部品で構成している。シャフト4は、軸受ホルダー10の軸受孔24内に配置される軸方向部摺動部、およびこの軸方向部の両側にそれぞれ配置された第1、第2突出部51、52を備えている。なお、第1突出部51は、第2突出部52および軸方向部よりも小さい外径を有している。また、第1突出部51と軸方向部との間には、円錐台形状テーパ形状の傾斜面が形成されている。これにより、軸受装置オイルシール13を、シャフト4の軸方向部の外周に容易に圧入固定できる。また、第2突出部52の角部エッジには、テーパ形状の面取りが施されている。これにより、軸受装置2連ボールベアリング11、12を、シャフト4の軸方向部の外周に容易に圧入固定できる。バルブ5は、シャフト4の回転軸方向の一端部第1突出部51に、アーク溶接TIG溶接、抵抗溶接やレーザー溶接等の溶接手段を用いて溶接固定されている。バルブ5の板厚方向の片側面片端面、例えばバルブ5の全閉時流路孔14~18を全閉する全閉姿勢となるようにバルブ5の開度が設定されている際にEGRガス流方向の下流側に位置する下流側端面には、シャフト4との結合部溶接固定部である嵌合溝71が形成されている。この嵌合溝71は、バルブ5の片端面で開口し、この開口側から奥側に至るまでバルブ5の片端面の面方向に対して所定の傾斜角度分だけ傾斜して延びる嵌合凹部シャフトバルブのシャフト4を取り付けるシャフト取付部である。また、嵌合溝71は、シャフトバルブのシャフト4の第1突出部51に圧入固定される。ここで、図6a、bは、軸受ホルダー10とオイルシール13を組み付ける組付工程1、2を示した断面図である。先ず、軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の内周に設けられる第2圧入孔36に、実施例1と同様に、オイルシール13を圧入固定する。これにより、軸受ホルダー10に対する、オイルシール13の圧入固定位置が規制される。ここで、図6c、dは、シャフト4と2連ボールベアリング11、12を組み付ける組付工程3、4を示した断面図である。次に、シャフト4の軸方向部摺動部の外周に、2連ボールベアリング11、12を圧入固定する。具体的には、シャフト4の第2突出部側から摺動部へ向けて、2連ボールベアリング11、12を順に嵌合し、シャフト4の軸方向部の外周に、2連ボールベアリング11、12の各内輪41をそれぞれ圧入する。これにより、シャフト4に対して2連ボールベアリング11、12が位置決め固定される。ここで、図6e、fは、シャフト4と軸受装置を組み付ける組付工程5、6を示した断面図である。次に、軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の内周に設けられる第1圧入孔35に、シャフト4に組み付けられた2連ボールベアリング11、12を圧入固定する。具体的には、軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の外部側収容室側の開口部反流路側の開口部62から軸受ホルダー10の第2軸受スリーブ32の流路孔側の開口部61へ向けて、軸受ホルダー10の軸受孔24内にシャフト4と一体化された2連ボールベアリング11、12を順に挿入し、ボールベアリング12の外輪42が第1環壁33の環状端面第2規制面と接触するまで、更に、ボールベアリング11の外輪42がボールベアリング12の外輪42と接触するまで、軸受ホルダー10の第1軸受スリーブ31の内周に設けられる第1圧入孔35にシャフト4と一体化された2連ボールベアリング11、12の外輪42をそれぞれ圧入する。これにより、軸受ホルダー10に対する、シャフト4および2連ボールベアリング11、12の圧入固定位置が規制される。以上の組付工程5、6によってシャフトサブアッセンブリの組付けが終了する。ここで、図7g、hは、シャフトサブアッセンブリとバルブ5を組み付ける組付工程7、8を示した断面図である。次に、シャフト4の第1突出部51にバルブ5の嵌合溝71を圧入する。次に、シャフト4の第1突出部51にバルブ5をアーク溶接TIG溶接、抵抗溶接を用いて当接することで、シャフト4にバルブ5を固定する。次に、図7iは、シャフトサブアッセンブリとバルブボディ1を組み付ける組付工程9を示した組付工程図である。これにより、ハウジングバルブボディ1に対する、シャフトサブアッセンブリの圧入固定位置が規制される。次に、図7jは、ノズル2とノズルホルダー3を組み付ける組付工程10を示した組付工程図である。以上の組付工程10によってノズルサブアッセンブリの組付けが終了する。次に、図7kは、バルブボディ1とノズル2とノズルホルダー3を組み付ける組付工程11を示した組付工程図である。以上の組付工程11によってハウジングサブアッセンブリの組付けが終了する。以上のように、本実施例のEGRVにおいては、実施例1と同様な効果を達成することができる。また、ハウジングバルブボディ1やノズル2の流路孔14~18内に回転自在開閉自在に収容されるバルブ5は、シャフト4に対して別体部品で構成されている。また、シャフト4の第1突出部51には、バルブ5が組み付けられている。具体的には、シャフト4をバルブボディ1の収容孔21から流路孔14~18内に突出するように組み付ける前に、シャフト4とバルブ5とを溶接固定により組み付けている。すなわち、本実施例のEGRVにおいては、シャフト4とバルブ5とを後組み付けによって一体化シャフトバルブサブアッセンブリ化されている。これによって、シャフト4に対するバルブ5の形成位置、形成角度を精度良く、組み付けることができる。また、シャフト4とバルブ5を溶接固定する際の溶接スパッタがバルブボディ1内に残らなくなるので、バルブボディ1の流路孔側から挿通孔26を介して軸受装置側2連ボールベアリング側への溶接スパッタ等の異物の侵入に伴うバルブ5を設けたシャフト4の動作不良やバルブロックを防止することができる。また、シャフト4をバルブボディ1の収容孔21から流路孔14~18内に突出するように組み付ける前に、シャフト4とバルブ5とを溶接固定により組み付けているので、シャフト4とバルブ5との組付作業よりも、バルブボディ1のノズルホルダーの内周に形成された圧入孔19にノズルサブアッセンブリノズル2、ノズルホルダー3を先に圧入固定しておく場合、つまりバルブボディ1の圧入孔19にノズルサブアッセンブリを先付けする場合であっても、ハウジングまたはバルブボディ内に溶接スパッタが残ることはない。したがって、ノズル2のバルブシート面29とシールリング6の摺動部との間に、溶接スパッタ等の異物が噛み込むのを回避できるので、ノズル2とシールリング6との摺動不良を防止することができる。また、シャフト4をバルブボディ1の収容孔21から流路孔14~18内に突出するように組み付ける前に、シャフト4とバルブ5とを溶接固定により組み付けているので、シャフト4とバルブ5との組付作業よりも、バルブボディ1のノズルホルダーの内周に形成された圧入孔19にノズルサブアッセンブリノズル2、ノズルホルダー3を後に圧入固定する場合、つまりバルブボディ1の圧入孔19にノズルサブアッセンブリを後付けする場合であっても、バルブボディ1の圧入孔19の孔壁面バルブシート面29に溶接スパッタ等の異物が付着するのを回避できるので、バルブボディ1の圧入孔19にノズルサブアッセンブリを圧入固定できなくなる不具合を解消することができる。したがって、バルブボディ1の圧入孔19にノズルサブアッセンブリを容易に組み付けることができるので、EGRVの生産性を向上することができる。[変形例]本実施例では、バルブボディ1のノズルホルダーの内周に設けられる圧入孔19にノズルサブアッセンブリを圧入固定しているが、バルブボディ1のノズルホルダーの内周に設けられる圧入孔19にノズル2を直接圧入固定しても良い。この場合には、バルブボディ1のノズルホルダーとは別体のノズルホルダー3は不要となり、部品点数や組付工数を削減できる。また、スプリングバルブ付勢手段として、シャフトバルブまたはシャフト4、バルブ5を閉弁作動方向に付勢するリターンスプリングと、シャフトバルブまたはシャフト4、バルブ5を開弁作動方向に付勢するオーバーターンスプリングと、リターンスプリングとオーバーターンスプリングとの結合部を逆U字状に折り曲げることで形成されるU字フック部とを備えたコイルスプリングを採用しても良い。本実施例では、シャフト4を回転駆動してバルブ5を開閉動作させるアクチュエータとして、電力の供給を受けてトルクを発生するモータ、このモータの回転を減速する減速機構動力伝達機構を備えた電動アクチュエータを採用しているが、シャフト4を回転駆動してバルブ5を開閉動作させるアクチュエータとして、負圧制御弁を介して電動バキュームポンプからの負圧により駆動される負圧作動式アクチュエータや、コイルを含む電磁石を備えたリニアソレノイド電磁アクチュエータを採用しても良い。本実施例では、EGRガス流量制御弁EGRVに本発明を適用したが、EGRクーラの出口側に連通する低温排気ガス流路とEGRガスをEGRクーラより迂回させるバイパス流路高温排気ガス流路とを切り替える排気ガス流路切替弁や、エンジンの排気管ターボチャージャのタービンハウジングに設置される排気ガス流量圧力制御弁等の他の排気ガス制御弁に本発明を適用しても良い。なお、排気ガス制御弁としては、ウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁等が考えられる。また、排気ガス制御弁の弁体を構成するバルブとして、バタフライバルブを採用しているが、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。また、内燃機関エンジンとして、多気筒ディーゼルエンジンの代わりに、多気筒ガソリンエンジンを用いても良い。また、単気筒エンジンに適用しても良い。