"薬液供給口から供給された薬液を気化させて媒体ガスに混合させる液体気化器であって、前記媒体ガスを導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入された媒体ガスに気化された前記薬液を混合して混合ガスを生成するための混合ガス生成空間と、前記混合ガスを排出するガス排出口とを有する気化器本体と、前記混合ガス生成空間の内部に配置され、前記供給された薬液を気化させる気化部と、を備え、前記気化部は、気化面が形成されている気化部本体と、線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体とを有し、前記網状体は、前記線材によって囲まれている空間であって、前記網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間を形成し、前記気化部は、前記網状体と前記気化面とが相互に当接することによって前記線材と前記気化面とによって囲まれている空間であって、前記網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の薬液供給空間を形成している液体気化器。前記気化面は、柱状体の外周面の一部として形成され、前記網状体は、前記柱状体の外周方向に沿って巻きつけられている請求項1記載の液体気化器。前記気化部は、前記柱状体の外周方向に沿って前記網状体に張力を発生させる張力発生部を有している請求項2記載の液体気化器。前記気化面は、前記網状体の側の面外方向に突出する凸状の面が連なって形成されている連続曲面を含み、前記気化部は、前記連続曲面に沿って前記網状体に対して張力を発生させることによって、前記網状体と前記気化面とを当接させている請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液体気化器。前記気化面は、前記薬液が供給される平面である薬液供給面と、前記薬液供給面を挟む位置において前記平面と連続している一対の前記連続曲面とを含み、前記気化部は、前記一対の連続曲面に沿って前記網状体に対して張力を発生させることによって、前記一対の連続曲面に挟まれている平面と前記網状体とを当接させている請求項4記載の液体気化器。薬液を前記気化面に供給する薬液吐出口を備え、前記薬液吐出口は、前記網状体に当接している気化面に形成されている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体気化器。薬液を前記気化面に供給する薬液吐出口を備え、前記薬液吐出口は、前記網状体の面外方向において、前記網状体から所定の距離だけ離れた位置に配置され、前記所定の距離は、表面張力によって前記薬液吐出口に形成される薬液の液滴の直径よりも短い距離である請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体気化器。前記気化部本体は、前記気化部本体の内部に加熱部を有している請求項6又は7に記載の液体気化器。前記気化部本体は、前記薬液吐出口への薬液の供給を制御する制御バルブと、前記薬液吐出口と前記制御バルブとを接続する薬液吐出流路と、前記薬液吐出流路を挟む位置に配置された複数の加熱部と、を有している請求項6記載の液体気化器。前記気化器本体は、第1の柱状形状の柱状空間として前記混合ガス生成空間を形成している外側管部を有し、前記気化部本体は、前記混合ガス生成空間の内部に配置され、前記第1の柱状形状の軸線と平行な軸線の第2の柱状形状の外形を有する管部であって、前記第2の柱状形状の軸線方向の薬液供給流路が形成されている内側管部を有し、前記外側管部を貫通して前記内側管部に装着されている弁アクチュエータを備え、前記弁アクチュエータは、前記薬液供給流路と前記薬液吐出流路の連通状態を制御する弁体を有する請求項9記載の液体気化器。前記薬液吐出口は、前記第1の柱状形状の軸線方向において、前記ガス導入口と前記ガス排出口との間に配置されている請求項10記載の液体気化器。前記ガス排出口は、前記第1の柱状形状の軸線方向において、前記第1の柱状形状の柱状空間の混合ガス生成空間の底面と前記気化部本体の底面との間の隙間に形成される空間に対して少なくとも一部が連通する位置に配置されている請求項11記載の液体気化器。薬液供給口から供給された薬液を気化させて媒体ガスに混合させる液体気化器であって、媒体ガスに、気化された前記薬液を混合して混合ガスを生成するための混合ガス生成空間を有する気化器本体と、前記混合ガス生成空間の内部に配置され、前記供給された薬液を気化させる気化部と、を備え、前記気化部は、気化面が形成されている気化部本体と、線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体とを有し、前記気化部本体は、前記気化部本体の内部から前記気化面を加熱する加熱部と、前記媒体ガスを流通させる媒体ガス流路と、前記媒体ガス流路を流通する前記媒体ガスを前記生成空間へ導入するガス導入口と、前記生成空間から前記混合ガスを排出するガス排出口と、前記排出口から排出される前記混合ガスを流通させる混合ガス流路とを有し、前記網状体は、前記線材によって囲まれている空間であって、前記網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間を形成し、前記気化部は、前記網状体と前記気化面とが相互に当接することによって前記線材と前記気化面とによって囲まれている空間であって、前記網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の薬液供給空間を形成している液体気化器。前記媒体ガス流路及び前記混合ガス流路は、前記加熱部に沿って設けられている請求項13記載の液体気化器。薬液を前記気化面に供給する薬液吐出口を備え、前記薬液吐出口は、前記ガス導入口と前記ガス排出口との間に配置されている請求項13又は14に記載の液体気化器。前記張力発生部は、前記柱状体の外周面おいて前記柱状体の軸線方向に直線状に延びるように形成された凹部と、前記凹部に係合するように前記気化器本体及び前記網状体の間に挿入された挿入部材とを有する請求項3記載の液体気化器。しかし、いずれの方法においても気化装置が大型化せざるを得ずチャンバの近傍に配置することができないので、混合ガスを搬送する長い樹脂チューブへの加熱が要請される点で共通している。本発明は、上述の従来の課題の少なくとも一部を解決するために創作されたものであり、小型の気化器を提供することを目的とする。以下、上記課題を解決するのに有効な手段等につき、必要に応じて効果等を示しつつ説明する。手段1.薬液供給口から供給された薬液を気化させて媒体ガスに混合させる液体気化器であって、前記媒体ガスを導入するガス導入口と、前記ガス導入口から導入された媒体ガスに気化された前記薬液を混合して混合ガスを生成するための混合ガス生成空間と、前記混合ガスを排出するガス排出口とを有する気化器本体と、前記混合ガス生成空間の内部に配置され、前記供給された薬液を気化させる気化部と、を備え、前記気化部は、気化面が形成されている気化部本体と、線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体とを有し、前記網状体は、前記線材によって囲まれている空間であって、前記網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間を形成し、前記気化部は、前記網状体と前記気化面とが相互に当接することによって前記線材と前記気化面とによって囲まれている空間であって、前記網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の薬液供給空間を形成している液体気化器。手段1は、線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体を有している。網状体は、その面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間を形成しているので、網状体の面内において薬液の均一な薄膜化状態を実現するように網状体の毛細管現象を働かせることができる。複数の網目空間は、薬液と線材との間の分子間力によって毛細管現象を生じさせて薬液の膜を形成しているからである。このように、複数の網目空間によって薬液の均一な薄膜化状態を形成することができれば、薬液の表面積を顕著に拡大し、これにより大量の気化量を実現することができる。薬液の均一な薄膜化状態の形成と維持は、薬液供給空間から薬液を供給することによって実現されている。薬液供給空間は、網状体と気化面とが相互に当接することによって線材と気化面とによって囲まれる空間として形成されている。薬液供給空間は、網状体の面内方向に規則的に配列されているので、主として以下の2つのメカニズムによって線材と気化面とに沿って網状体の面内方向2次元方向に薬液を均一に供給することができる。第1の理由は、一の方向に伸びている縦線材が他の方向に伸びている横線材と交差する位置では、縦線材と横線材のいずれか一方が気化面から分離されるので、薬液が流れる空間が確保されているからである。これにより、各線材の長手方向に沿って円滑に薬液が流れることができる。第2の理由は、縦線材と横線材の各交差位置では、縦線材に沿った流れと横線材に沿った流れとに薬液の流れが円滑に分岐することができるので、2次元方向に均一に薬液が供給されるからである。これにより、薬液の蒸散によって薬液保持空間に保持されている薬液の減少に応じて円滑に薬液を供給することができる。これらの2つの効果の相乗的機能によって薬液の均一な薄膜化状態が維持されることになる。このように、手段1の気化部は、網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間薄膜形成機能と薬液供給空間薬液供給機能の相乗的な働きによって、薬液の均一な薄膜状態を蒸散下で維持することができる。本構成は、線材を網目状に規則性に編むことによって面状に形成されている網状体の外形形状の規則性によって実現されている。すなわち、網状体は、線材を網目状に規則性に編むことによって形成されているので、網状体の面内方向に網目空間と薬液供給空間が規則的に配列されているので、毛管流入による均一な薄膜の形成と均一な薬液の供給とが実現されていることになる。このような構成は、発泡体や粒状物の集合を利用して3次元的にランダムに管部を形成し、これにより薬液の気化面を広げる方法とは本質的に相違するものである。さらに、本手段は、発泡体や粒状物の集合の内部への薬液の残留による薬液の劣化の問題の解決、気化の顕著な効率化、および気化の効率化に伴う小型化といった従来技術にない有利な効果を奏することができる。なお、薬液供給空間は、広い意味を有し、必ずしも線材と気化面とによって完全に囲まれて閉じた空間を形成する必要は無く、一部が切れていても良い。具体的には、たとえば線材が気化面に規則的に近接して、一部が切れた状態で形成されている空間も薬液供給空間に含まれる。一部が切れた状態で囲まれた空間も薬液を通過させるとともに毛細管現象を生じさせるからである。また、線材の断面形状は、必ずしも真円である必要はなく、楕円形や多角形4角形や6角形等であってもよい。また、当接は、磁力や粘着力、目の粗い構造部材による圧力印加といった方法によって実現させてもよいし、あるいは以下のように発生させてもよい。手段2.前記気化面は、柱状体の外周面の一部として形成され、前記網状体は、前記柱状体の外周方向に沿って巻きつけられている手段1記載の液体気化器。手段2では、気化面が柱状体の外周面の一部として形成され、網状体が柱状体の外周方向に沿って巻きつけられているので、線材を網目状に編むことによって面状に形成されている網状体を外周面に沿って円滑に隙間なく巻きつけることができる。これにより、気化面と網状体との当接を簡易に実現することができる。手段3.前記気化部は、前記柱状体の外周方向に沿って前記網状体に張力を発生させる張力発生部を有している手段2記載の液体気化器。手段3では、気化部が柱状体の外周方向に沿って網状体に張力を発生させる張力発生部を有するので、温熱環境の変化や経年変化たとえば網状体の塑性変形やクリープによる網状体の緩みを抑制することができる。これにより、網状体と気化面との間の相互の当接を確実に維持することができる。手段4.前記気化面は、前記網状体の側の面外方向に突出する凸状の面が連なって形成されている連続曲面を含み、前記気化部は、前記連続曲面に沿って前記網状体に対して張力を発生させることによって、前記網状体と前記気化面とを当接させている手段1乃至3のいずれか1項に記載の液体気化器。手段4では、網状体の側の面外方向に突出する凸状の連続曲面に沿って網状体に対して張力を発生させることによって、網状体と気化面とが当接させられているので、網状体の緩みやしわの発生を抑制して均一な当接を実現することができる。なお、連続曲面の形状としては、たとえば半球体のような3次元形状や柱状形状が利用可能である。手段5.前記気化面は、前記薬液が供給される平面である薬液供給面と、前記薬液供給面を挟む位置において前記平面と連続している一対の前記連続曲面とを含み、前記気化部は、前記一対の連続曲面に沿って前記網状体に対して張力を発生させることによって、前記一対の連続曲面に挟まれている平面と前記網状体とを当接させている手段4記載の液体気化器。手段5では、一対の連続曲面に沿って網状体に対して張力を発生させることによって、それらの連続曲面に挟まれている薬液供給面と網状体とが当接させられているので、簡易に広い気化面を形成することができる。手段6.薬液を前記気化面に供給する薬液吐出口を備え、前記薬液吐出口は、前記網状体に当接している気化面に形成されている手段1乃至5のいずれか一つに記載の液体気化器。手段6では、薬液供給口が網状体に当接している気化面に形成されているので、気化面と網状体との間の隙間に薬液を供給することができる。気化面と網状体との間の隙間は、薬液保持空間によって囲まれているとともに、薬液供給空間の集合として形成されているので、薬液保持空間における表面張力で薬液の飛散を抑制した状態において、薬液供給空間に対して薬液を円滑に供給することができる。手段7.薬液を前記気化面に供給する薬液吐出口を備え、前記薬液吐出口は、前記網状体の面外方向において、前記網状体から所定の距離だけ離れた位置に配置され、前記所定の距離は、表面張力によって前記薬液吐出口に形成される薬液の液滴の直径よりも短い距離である手段1乃至5のいずれか一つに記載の液体気化器。手段7では、表面張力によって薬液吐出口に形成される薬液の液滴の直径よりも網状体から近い距離に薬液吐出口が配置されているので、薬液吐出口の先端に形成される液滴に起因する薬液吐出口の周囲への薬液の付着に起因するパーティクルの発生を抑制することができる。網状体は、毛細管現象によって薬液を吸引して過大な液滴の発生を抑制することができるからである。手段8.前記気化部本体は、前記気化部本体の内部に加熱部を有している手段6又は7に記載の液体気化器。手段8では、気化部本体の内部に加熱部が備えられているので、気化部本体に形成されている気化面と網状体とが当接された領域に効率的に熱を供給することができる。手段9.前記気化部本体は、前記薬液吐出口への薬液の供給を制御する制御バルブと、前記薬液吐出口と前記制御バルブとを接続する薬液吐出流路と、前記薬液吐出流路を挟む位置に配置された複数の加熱部と、を有している手段6記載の液体気化器。手段9では、薬液吐出口の近傍において薬液の供給を遮断することができるので、薬液の供給停止後において遅延して薬液が供給される問題や薬液供給路内の泡の発生に起因する薬液供給量のばらつきを抑制することができる。本手段では、さらに薬液吐出流路を挟む位置に配置された一対の加熱部を備えているので、薬液遮断後に薬液吐出口に通じている範囲の流路内部の薬液を殆ど遅延なく気化させることができる。これにより、正確な薬液の供給を実現することができる。手段10.前記気化器本体は、第1の柱状形状の柱状空間として前記混合ガス生成空間を形成している外側管部を有し、前記気化部本体は、前記混合ガス生成空間の内部に配置され、前記第1の柱状形状の軸線と平行な軸線の第2の柱状形状の外形を有する管部であって、前記第2の柱状形状の軸線方向の薬液供給流路が形成されている内側管部を有し、前記第1の柱状形状の軸線と垂直な方向に前記外側管部を貫通して前記内側管部に装着されている弁アクチュエータを備え、前記弁アクチュエータは、前記薬液供給流路と前記薬液吐出流路の連通状態を制御する弁体を有する手段9記載の液体気化器。手段10では、媒体ガスを搬送する外側管部を有する気化器本体と、薬液を搬送する内側管部を有する気化部本体とからなる二重管構造を有しているので、容積効率の高い実装を可能としている。一方、内側管部は、弁アクチュエータの使用によって一体的に構成された遮断弁を実装して容積効率をさらに高めている。弁アクチュエータは、二重管構造の軸線と垂直な方向に装着されているので、二重管構造の軸線方向の全長を長くすること無く実装することができる。手段11.前記薬液吐出口は、前記第1の柱状形状の軸線方向において、前記ガス導入口と前記ガス排出口との間に配置されている手段10記載の液体気化器。手段11では、前記第1の柱状形状の軸線方向において、ガス供給口とガス排出口との間に前記薬液吐出口が配置されているので、薬液供給時においては気化された薬液を効率的に媒体ガスに混合させることができ、薬液供給停止後においては混合ガス生成空間の混合ガスをパージすることができる。手段12.前記ガス排出口は、前記第1の柱状形状の軸線方向において、前記第1の柱状形状の柱状空間の混合ガス生成空間の底面と前記気化部本体の底面との間の隙間に形成される空間に対して少なくとも一部が連通する位置に配置されている手段11記載の液体気化器。手段12では、ガス排出口は、第1の柱状形状の軸線方向において、混合ガス生成空間の底面と気化部本体の底面との間の隙間に形成される空間に対して少なくとも一部が連通しているので、混合ガス生成空間で滞留が生じ易い下流領域のパージをさらに効率化することができる。一方、混合ガス生成空間の底面と気化部本体の底面との間の隙間に形成される空間に対して少なくとも一部が連通する位置に配置されていればよいので、軸線方向に垂直な方向からの連通をも可能とし、実装の自由度を確保しつつパージの効率化を図ることができる。手段13.薬液供給口から供給された薬液を気化させて媒体ガスに混合させる液体気化器であって、媒体ガスに、気化された前記薬液を混合して混合ガスを生成するための混合ガス生成空間を有する気化器本体と、前記混合ガス生成空間の内部に配置され、前記供給された薬液を気化させる気化部と、を備え、前記気化部は、気化面が形成されている気化部本体と、線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体とを有し、前記気化部本体は、前記気化部本体の内部から前記気化面を加熱する加熱部と、前記媒体ガスを流通させる媒体ガス流路と、前記媒体ガス流路を流通する前記媒体ガスを前記混合ガス生成空間へ導入するガス導入口と、前記混合ガス生成空間から前記混合ガスを排出するガス排出口と、前記排出口から排出される前記混合ガスを流通させる混合ガス流路とを有し、前記網状体は、前記線材によって囲まれている空間であって、前記網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間を形成し、前記気化部は、前記網状体と前記気化面とが相互に当接することによって前記線材と前記気化面とによって囲まれている空間であって、前記網状体の面内方向に規則的に配列されている複数の薬液供給空間を形成している液体気化器。手段13では、気化部本体は、気化部本体の内部から気化面を加熱する加熱部を有しているため、加熱部により気化面を加熱することにより、気化部本体の温度が上昇する。そして、気化部本体は、媒体ガスを流通させる媒体ガス流路と、媒体ガス流路を流通する媒体ガスを混合ガス生成空間へ導入するガス導入口とを有している。このため、媒体ガスは媒体ガス流路を通過する間に加熱されて、ガス導入口から混合ガス生成空間へ導入されることとなり、液体の気化を促進することができる。また、気化部本体は、混合ガス生成空間から混合ガスを排出するガス排出口と、排出口から排出される混合ガスを流通させる混合ガス流路とを有している。このため、排出口から排出される混合ガスは、混合ガス流路を流通する間加熱されることとなり、混合ガスの結露を抑制することができる。手段14.前記媒体ガス流路及び前記混合ガス流路は、前記加熱部に沿って設けられている手段13記載の液体気化器。手段14では、媒体ガス流路及び混合ガス流路は、加熱部に沿って設けられているため、媒体ガス流路及び混合ガス流路の温度を効率的に上昇させることができる。したがって、媒体ガス流路を通過する際の媒体ガスの加熱と、混合ガス流路を通過する際の混合ガスの加熱とを、更に促進することができる。手段15.薬液を前記気化面に供給する薬液吐出口を備え、前記薬液吐出口は、前記ガス導入口と前記ガス排出口との間に配置されている手段13又は14に記載の液体気化器。手段15では、薬液を前記気化面に供給する薬液吐出口は、ガス導入口とガス排出口との間に配置されているため、薬液供給時においては気化された薬液を効率的に媒体ガスに混合させることができ、薬液供給停止後においては混合ガス生成空間の混合ガスを効率的にパージすることができる。手段16.前記張力発生部は、前記柱状体の外周面おいて前記柱状体の軸線方向に直線状に延びるように形成された凹部と、前記凹部に係合するように前記気化器本体及び前記網状体の間に挿入された挿入部材とを有する請求項3記載の液体気化器。手段16によれば、簡易な構成により柱状体の外周面に沿って網状体に張力を発生させることができるとともに、凹部により挿入部材のずれを抑制することができる。以下、本発明を具現化した実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施の形態では、半導体装置等の製造ラインにて使用される薬液供給システムについて具体化しており、それを図1乃至図13に基づいて説明する。実施形態の薬液供給システムの構成図1は、実施形態の液体気化システム10と疎水化処理チャンバ30の構成を示すダイアグラムである。液体気化システム10は、薬液を気化して窒素ガスとの混合ガスを生成して疎水化処理チャンバ30に供給するシステムである。疎水化処理チャンバ30は、フォトリソグラフィープロセスにおいて、レジスト液の塗布の前処理として供給された混合ガスを半導体ウェハW以下、略してウェハというの表面に塗布散布する装置である。薬液には、レジスト液の付着性を向上させる疎水化処理液ヘキサメチルジシラザン:HMDSが利用されている。混合ガスは、必ずしも窒素ガスを使用する必要は無く、他の媒体ガスであっても良い。液体気化システム10は、薬液を貯蔵する液体タンクXと、吸入流路15と、吐出流路17と、窒素ガス供給路18と、液体気化装置20と、液体気化装置20を制御するコントローラ40と、電空レギュレータ41と、を備えている。液体気化装置20は、液体タンクXから吸入流路15を介して薬液を吸引後に気化し、窒素ガス供給路18から供給された窒素ガスに混合して吐出流路17を介して疎水化処理チャンバ30に供給する。液体気化装置20は、吸入流路15に装備された吸入側バルブ13と、ポンプ11と、液体気化器100と、ポンプ11から液体気化器100に薬液を吐出する吐出流路16と、を備えている。ポンプ11は、吸入流路15を介して液体タンクXから薬液を吸引して吐出流路16から液体気化器100に供給するポンプである。ポンプ11は、作動エア供給源42から電空レギュレータ41を介して供給される作動エアによって駆動されるダイアフラムポンプである。電空レギュレータ41は、コントローラ40によって吸入側バルブ13や液体気化器100が有する吐出側バルブ後述と連携して制御される。電空レギュレータ41は、液体気化器100の内部における薬液の遮断にも利用される。第1実施形態の液体気化器の構成図2は、液体気化器100の概略構成を示す分解斜視図である。図3は、液体気化器100の内部構成を示す縦断面図である。図4は、液体気化器100の外観を示す下面図である。液体気化器100は、気化器本体110と、気化部120と、薬液導入部材125と、2個のヒータ131,132と、弁アクチュエータ150と、温度センサ133,134とを備えている。気化器本体110は、柱状凹部119と柱状凹部119に連通する弁アクチュエータ装着孔118とが形成されている凹状部材111と、柱状凹部119を気化器本体110の外部から封止する蓋部材112とを備えている。弁アクチュエータ装着孔118は、柱状凹部119の柱状形状の軸方向に垂直に連通する弁アクチュエータ150を装着するための円柱状の貫通孔として形成されている。液体気化器100は以下の方法で組立てられる。1気化部120に蓋部材112が装着される。2凹状部材111に蓋部材112が仮止めされる。3気化部120と凹状部材111とに弁アクチュエータ150が装着される。4凹状部材111に蓋部材112が締結される。5気化部120に2個の温度センサ133,134が装着される。6気化部120に2個のヒータ131,132が装着される。7蓋部材112に薬液導入部材125が装着される。気化部120への蓋部材112の装着は以下のようにして行なわれる。蓋部材112と気化部120とは、一対のピン51,52を使用した位置決めと、一対の通しボルト53,54を使用した締結とによって装着される。位置決めは、蓋部材112の位置決め孔P1と気化部120の位置決め孔P3とにピン51を挿入するとともに、蓋部材112の位置決め孔P2と気化部120の位置決め孔P4とにピン52を挿入することによって行なわれる。締結は、一対の通しボルト53,54を気化部120のバカ穴B3,B4のそれぞれに貫通させて、蓋部材112のネジ孔B1,B2のそれぞれに螺合させることによって行なわれる。凹状部材111への蓋部材112の仮止めは以下のようにして行なわれる。凹状部材111は、その向きが柱状凹部119の開口部が鉛直方向の上方に向くように置かれる。蓋部材112は、鉛直方向の上方から気化部120を柱状凹部119に挿入しつつ凹状部材111の当接面111sに当接させられる。蓋部材112のバカ穴B5~B8には、4本のボルト55が挿入され、凹状部材111に形成されている4個のネジ孔h5~h8に螺合される。ただし、4本のボルトB55は、仮止めの状態として緩く装着されている。気化部120と凹状部材111とへの弁アクチュエータ150の装着は以下のようにして行なわれる。弁アクチュエータ150は、凹状部材111の弁アクチュエータ装着孔118を貫通し、気化部120に装着される図3,図4参照。凹状部材111には、蓋部材112を通じて気化部120が既に組みつけられているが、仮止めの状態なので組み付け公差を吸収して気化部120への弁アクチュエータ150の挿入と締結とを円滑化することができる。これにより、弁アクチュエータ150は、凹状部材111と気化部120とに装着されることになる。凹状部材111への蓋部材112の締結は4本のボルト55図2参照を締め付けることによって行なわれる。気化器本体110への蓋部材112の締結の際には、組み付け誤差によって弁アクチュエータ150が弁アクチュエータ装着孔118に対してわずかに動くことになる。ただし、弁アクチュエータ150と弁アクチュエータ装着孔118との間の封止は、Oリングの弾性変形によって維持されることになる。弁アクチュエータ装着孔118の直径は、組み付け公差を考慮して弁アクチュエータ150の直径よりもわずかに大きく設定されることになる。図5は、液体気化器100へのヒータ131,132と温度センサ133,134の装着状態を示す断面図である。気化部120への2個のヒータ131,132の装着は蓋部材112の貫通孔h1,h2図2参照を貫通して、気化部120の装着孔h3,h4に装着される。温度センサ133,134は、コントローラ40に接続され、弁アクチュエータ150の貫通孔h9,h10を貫通して、気化部120の装着孔h11,h12に装着される。温度センサ133,134は、装着状態において装着孔h11,h12の最奥部に感熱部135,136を有している。感熱部135は、ヒータ131よりも気化面87の近傍に配置されていることになる。感熱部136は、ヒータ132よりも気化面87の近傍に配置されていることになる。このように、感熱部135,136がそれぞれヒータ131,132よりも気化面87の近傍に配置されているので、気化面としての気化面87の温度変化を直接的に検知することができる。感熱部135,136には、高い応答性を有する熱電対が使用されている。これにより、コントローラ40は、気化の開始や終了に起因する微量な温度変化を検出して気化状態を監視することができる。コントローラ40は、気化面87の温度が70度乃至100度程度の温度で安定するようにヒータ131,132に通電させる。混合ガス生成空間116は、柱状凹部119の内壁と気化部120の外面と弁アクチュエータ150の外面とによって囲まれる空間として以下に説明するように形成されている。柱状凹部119の内壁は、図2に示されるように相互に対向する位置に配置された一対の半円71,72と、一対の半円71,72を接続する一対の平行線75,76とを底面S1とする柱状の空間孔として形成されている。すなわち、柱状凹部119は、底面S1の一対の半円71,72に対応する一対の外周面73,74図3,4と、底面S1の一対の平行線75,76に対応する一対の平行面として形成されている天井面77、底面78図3,4とに囲まれる空間孔として構成されている。対応とは、柱状形状の軸線方向に延びていることを意味している。底面78には、弁アクチュエータ装着孔118が形成され、柱状凹部119に連通している。なお、柱状凹部119の内壁は、第1の柱状形状の柱状空間とも呼ばれる。気化部120の外面は、図5に示されるように相互に対向する位置に配置された一対の半円81,82と、一対の半円81,82を接続する上側直線85と下側曲線86とによって囲まれた底面S2図2参照を有する柱状体として形成されている。一対の半円81,82は、一対の半円71,72よりもクリアランスCだけ小さな半径の半円同軸線として構成されている。なお、気化部120の外面は、第2の柱状形状の外形を有しているとも表現される。上側直線85は、図5に示されるように平行線75よりもクリアランスCだけ平行線76に近い位置鉛直下方であって、平行線75から蓋部材112側にシフトした位置に配置されている直線である。一方、下側曲線86は、平行線76よりもクリアランスCだけ平行線75に近い位置鉛直上方であって、平行線76から蓋部材112側にシフトしたに配置されている直線86a,86c図2参照と、上側直線85側に凹状に形成されている曲線86bと、を含む曲線として構成されている。気化部120は、底面S2図2参照の一対の半円81,82に対応する一対の外周面83,84図5参照と、上側直線85に対応する気化面87と、下側曲線86に対応する底面88とを外周としている柱状体として形成されている。底面88には、弁アクチュエータ装着孔118に連通し、弁アクチュエータ150が装着されるための凹部122,123,95後述、図6参照が形成されている。気化面87は、薬液の気化において中心的な役割を果たす面となる。このように、気化部120の外周面83,84は、柱状凹部119の外周面73,74に対してクリアランスCだけ内側にオフセットした曲面として構成されていることになる。気化部120の気化面87は、柱状凹部119の天井面77に対してクリアランスCだけ内側にオフセットした平面として構成されていることになる。底面88は、柱状凹部119の底面78に対してクリアランスCだけ内側にオフセットした平面を有する曲面として構成されていることになる。このような構成によって、混合ガス生成空間116は、柱状凹部119と気化部120とによってクリアランスCの肉厚を有する略筒状の空間として形成されていることになる。混合ガス生成空間116には、図3に示されるように窒素ガスを導入するための窒素ガス導入流路114と、混合ガスを吐出するための混合ガス吐出流路117と、薬液を供給するための薬液導入流路91とが以下に説明するように接続されている。窒素ガス導入流路114は、薬液導入部材125に形成されている。薬液導入部材125には、蓋部材112が接続され、窒素ガス導入流路114に窒素ガス流路115が連通している。窒素ガス流路115は、図2及び図3に示されるように、蓋部材112に形成され、窒素ガス供給口115aにおいて混合ガス生成空間116に連通している。窒素ガス供給口115aは、混合ガス生成空間116に面する蓋部材112の外表面であって、気化部120の気化面87と柱状凹部119の天井面77とによって挟まれた領域の中心に形成されている。なお、窒素ガス供給口115aは、ガス導入口とも呼ばれ、必ずしも単一である必要は無く、蓋部材112の外表面が混合ガス生成空間116に接する環状の面に沿って複数個設けられていても良い。混合ガス吐出流路117は、気化器本体110の凹状部材111に形成され、底面S1の図心位置に配置されている混合ガス吐出口117aで混合ガス生成空間116に連通している。混合ガス吐出口117aは、混合ガス生成空間116の最下流位置となる。なお、混合ガス吐出口117aは、ガス排出口とも呼ばれる。このように、気化器本体110には、混合ガス生成空間116に窒素ガスを導入するための窒素ガス導入流路114、窒素ガス流路115及び窒素ガス供給口115aと、混合ガス生成空間116から窒素ガスと気化した薬液の混合ガスを吐出するための混合ガス吐出口117a及び混合ガス吐出流路117とが形成されている。一方、混合ガス生成空間116に薬液を導入するための薬液流路は、以下のように構成されている。図3及び図5には、弁アクチュエータ150のダイアフラム弁体151が薬液流路を閉鎖した状態が示されている。薬液流路は、薬液導入部材125と蓋部材112と気化部120の気化部本体121とに形成されている各流路と弁アクチュエータ150とによって構成されている。薬液の各流路は以下のように連通している。薬液導入部材125には、薬液導入流路91図3参照が形成されている。蓋部材112には、薬液導入流路91と連通している薬液導入流路92が形成されている。気化部本体121には、蓋部材112に締結されることによって薬液導入流路92に連通している薬液供給流路93が形成されている。薬液供給流路93は、薬液流入ポート94を介して弁室96に接続されている。弁室96には、弁座97が形成されている。図6は、気化部本体121と弁アクチュエータ150の内部構成を示す拡大分解断面図である。弁室96は、弁アクチュエータ150のダイアフラム弁体151が凹部95に対して組みつけられることによって構成されている。すなわち、気化部120には、弁アクチュエータ150が装着されることによって弁室96を有する遮断弁が一体的に形成されていることになる。遮断弁は、制御バルブとも呼ばれる。なお、気化部本体121は、気化面87が鉛直上方を向く水平面となる姿勢で設置された状態で機能する。弁室96には、薬液吐出流路98を介して薬液吐出口99が接続されている。薬液吐出口99は、混合ガス生成空間116に連通している。薬液吐出口99の位置は、気化部120の気化面87において、窒素ガス供給口115aの形成位置を所定の軸方向にシフトさせた位置に配置されている。所定の軸方向とは、筒状の柱状空間として形成されている混合ガス生成空間116の軸方向であって窒素ガスの流れる方向を意味している。なお、気化面87は、薬液供給面とも呼ばれる。薬液吐出流路98は、ダイアフラム弁体151によって薬液吐出口99の近傍の弁座97で閉鎖することができるので、薬液吐出流路98の短縮化が実現されている。これにより、薬液の供給停止後において薬液供給流路93の内部で薬液が気化して薬液を押し出すことによる薬液の漏出を効果的に抑制することができる。一方、弁室96は、鉛直上方の位置で薬液吐出流路98に連通しているので、薬液導入前に残留している気泡が滞留しにくい形状を有していることになる。このような漏出や気泡の吐出は、薬液の供給量の誤差の要因となるので、本実施形態は、このような誤差を効果的に抑制して薬液の供給量の精度を顕著に向上させることができるという利点を有している。一方、薬液吐出流路98は、2個のヒータ131,132によって挟まれているので、加熱中と加熱直後は高温状態に維持することができる。これにより、薬液吐出流路98は、高温状態に維持されていることになるので、薬液の供給停止後において薬液吐出流路98の内部の薬液を直ちに気化することができる。この結果、気化の遅延に起因する薬液の気化量のばらつきが抑制され、薬液の供給量の高精度化を実現することができる。弁アクチュエータ150は、図6に示されるように以下のように構成されている。弁アクチュエータ150は、ダイアフラム弁体151と、ピストンロッド152と、スプリング157と、遮断弁本体155と、裏蓋156とを備えている。ダイアフラム弁体151には、ピストンロッド152が接続されている。ピストンロッド152には、摺動部154とピストン153とが形成されている。摺動部154は、遮断弁本体155に形成されている円筒状の凹部であるガイド部159の内部で摺動する部材である。ピストン153は、遮断弁本体155の内部においてガイド部159に連通して形成されているシリンダ部158の内部で摺動し、圧力制御室153a図3,図5参照を区画する部材である。圧力制御室153aには、作動エア流路59を介して作動エアポート58から作動エアが供給される。作動エアポート58は、図1に示されるように電空レギュレータ41に接続されている。ピストンロッド152は、ダイアフラム弁体151で薬液吐出流路98を閉鎖する方向に渦巻きコイル状のスプリング157で付勢され、圧力制御室153aの加圧によって薬液吐出流路98を開放する方向に操作することができる。スプリング157は、裏蓋156で固定されている。裏蓋156は、遮断弁本体155の内部に形成されている溝部158gに嵌合している弾性リング156Rによって固定されている。このように、本実施形態は、媒体ガスを搬送する外側管部として機能する気化器本体110と、薬液を搬送する内側管部として機能する気化部本体121とからなる二重管構造を有しているので、容積効率の高い実装を可能としている。一方、内側管部は、弁アクチュエータの使用によって一体的に構成された遮断弁を実装して容積効率をさらに高めている。弁アクチュエータは、二重管構造の軸線と垂直な方向に装着されているので、二重管構造の軸線方向の全長を長くすること無く実装することができる。本構成は、薬液の供給を停止するだけで、混合ガスの流路をパージ掃気することができるという利点をも有している。すなわち、窒素ガス供給口115aは、薬液の供給を停止し、混合ガスの最上流位置から窒素ガスの供給を継続するだけで、混合ガス生成空間116から疎水化処理チャンバ30までのすべての流路をパージすることができる。従来の方法では、気化の停止は、混合ガスの配管と窒素ガスの配管とを相互に切り替えることによって気化の停止と開始とが行われていたので、停止時にはバブリング位置等の気化位置から切り替え弁図示せずまでの配管に混合ガスの滞留が発生していた。この配管には、気化位置からチャンバまでの長い距離を供給する長い配管が使用されていたので、切り替え位置をチャンバの近くとすれば、気化位置から切り替え位置までの長い距離に滞留し、切り替え位置を気化位置の近くとすれば気化の再開時に混合ガスがチャンバに到達するまでのタイムラグが大きくなるといったトレードオフの問題を生じさせていた。しかし、本構成では、配管の切り替えが不要で滞留が発生しないので、このようなトレードオフの問題を解決し、滞留により劣化した混合ガスの供給を排除することができる。これにより、混合ガスの品質の確保を通じてプロセスの品質を向上させることができる。図7乃至図10を参照して気化部120の構成を説明する。図7乃至図10は、気化部120の構成を示している。図7は、気化部120の外観を示す下面図である。図8は、気化部120の外観を示す正面図である。図9は、気化部120を構成している気化部本体121と筒状メッシュ60と張力発生部材141とを示す部品図である。図10は、気化部120が組立てられている途中の状態を示す外観斜視図である。気化部120は、図9に示されるように気化部本体121と、弁アクチュエータ150と、筒状メッシュ60と、2個の張力発生部材141,142とを備えている。気化部本体121は、たとえば薬液に対して濡れ性を有するアルミニウム製の部品であり、前述のように弁アクチュエータ150が装着される凹部122,123,95図6参照を除いて柱状の外形形状を有している。気化部本体121の柱状の外形形状は、薬液吐出口99が図心位置に形成されている気化面87と、気化面87を挟む一対の外周面83,84とを外周面の一部としている。この外周面は、筒状メッシュ60によって覆われている。筒状メッシュ60は、たとえばステンレス製の線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体69を巻いて接続部60sにおいて縫い付けられている部材である。気化部120は、図10に示されるように蓋部材112への装着に先立って以下のように組立てられる。1気化部本体121に対して筒状メッシュ60が装着される。2筒状メッシュ60に形成されている正方形の切り欠き部孔部あるいは欠落部60hに、気化部本体121の凹部122が全て入るように筒状メッシュ60の位置が調整される。3気化部本体121に対して2個の張力発生部材141,142が装着される図8参照。張力発生部材141,142は、それぞれ4個のネジ145を張力発生部材141,142の孔146を貫通させて、気化部本体121の8個のネジ孔147に螺合させることによって気化部本体121に装着される。張力は、4個のネジ145のねじ込み量によって調整することが可能である。張力発生部材141,142は、筒状メッシュ60に対して周方向の張力を発生させる部材である。周方向の張力は、一対の連続曲面である外周面83,84図9参照に沿って発生させられている。外周面83,84は、薬液吐出口99が形成されている気化面87を挟む位置において気化面87と連続しているので、気化面87と筒状メッシュ60とが当接させられていることになる。さらに、気化面87及び外周面83,84は、柱状体の外周面の一部として形成されているので、筒状メッシュ60を隙間なく巻きつけることができる。これにより、気化面87と筒状メッシュ60との当接が簡易に実現されているとともに、温熱環境の変化や経年変化たとえば網状体の塑性変形やクリープによる網状体の緩みを抑制することができる。この結果、網状体と気化面との間の相互の当接を確実に維持されることになる。筒状メッシュ60には、図10に示されるように金属製の一対の補強部材60R1,60R2が装着されている。補強部材60R1,60R2は、張力発生部材141,142による張力を軸線方向において均一に筒状メッシュ60に伝達するための部材である。補強部材60R1は、一対の部材が筒状メッシュ60を内側と外側から挟むことによって筒状メッシュ60に固定されている。固定は、一対の部材が筒状メッシュ60を挟んだ状態で相互に接着されていてもよいし、相互に溶着されていてもよい。これにより、張力発生部材141,142は、筒状メッシュ60が弾性を有していても気化面87上において均一に張力を発生させることができる。図11は、筒状メッシュ60を形成する網状体69の構成を示す拡大平面図である。筒状メッシュ60は、面状平板状に形成されている網状体69を材料として形成されている。網状体69は、いずれも薬液に対して濡れ性を有する縦線材61,63,65,67と横線材62,64,66,68とを相互に網目状に編む織ることによって形成されている。縦線材61,63,65,67と横線材62,64,66,68は、いずれも薬液に対して濡れ性を有する材料で形成されている。本実施形態では、網状体69メッシュとして、線径縦線材61や横線材62等の径0.1mm、線間距離0.15mmのものいわゆる100メッシュが使用されている。網状体69は、気化面87に当接した状態で載せられている。なお、線径や線間距離は、薬液に応じて適切な値に設定することが好ましい。網状体69には、その面内方向に規則的に配列されている網目空間たとえば網目空間T1,T3が形成されている。網目空間T1は、2本の縦線材63,65と2本の横線材64,66とによって囲まれている正方形平面状の微細0.15mm×0.15mmな空間である。網目空間T3は、2本の縦線材63,65と2本の横線材62,64とによって囲まれている平面状の微細な空間である。網目空間T1は、微細な空間なので薬液と線材63,64,65,66との間の分子間力によって薬液を吸引して薬液の膜を形成することができる毛細管現象。ただし、相互に隣接する網目空間同士たとえば網目空間T1と網目空間T3の間には、毛細管現象によって薬液を流通させる構造が形成されていないので、薬液を広げて薄膜を形成する機能が十分でないことが本発明者によって見出された。網状体69の面内に薬液を十分に伝播させることができないからである。すなわち、網状体69の一部に薬液を供給しても薬液の伝播速度が遅いので、蒸散下では薬液の供給が間に合わない部分が生じてしまうからである。この結果、網状体69単体では、薬液の膜の面積を安定させることができないたとえば薄膜が広く広がらない、蒸散に起因する薄膜の斑化等ことが見出された。図12は、筒状メッシュ60と気化面87の当接状態の構成を示す断面図である。筒状メッシュ60と気化面87の当接は、筒状メッシュ60の面内方向気化面87の面内方向に規則的に配列されている薬液供給空間たとえば薬液供給空間T2,T4を形成している。薬液供給空間T2は、気化面87と縦線材65と横線材64とによって囲まれている空間である。薬液供給空間T2は、気化面87と縦線材65の当接と、縦線材65と横線材64の当接と、横線材64と気化面87の当接C1とによって閉じた空間として形成されている。薬液供給空間T4は、気化面87と縦線材61と横線材64とによって囲まれている空間である。薬液供給空間T4は、気化面87と縦線材61の当接と、縦線材61と横線材64の当接と、横線材64と気化面87の当接C1とによって閉じた空間として形成されている。気化面87と縦線材61の当接並びに気化面87と縦線材65の当接力は、横線材64に印加される張力によって発生する。横線材64に印加される張力は、縦線材65を気化面87側に移動させて押し付けて直線化しようとするからである。気化面87と各線材横線材と縦線材の双方との当接は、いずれの位置でも同様のメカニズムで働くことが分る。薬液供給空間T2,T4は、線材61、65と気化面87とによって囲まれることによって形成されて網状体69の面内方向に規則的に配列されているので、各線材と気化面87とに沿って網状体の面内方向に薬液を均一に供給して薬液の均一な薄膜化状態を実現することができる。薬液の均一な薄膜化状態は、主として以下の2つの理由によって各線材と気化面87とに沿って網状体の面内方向2次元方向に薬液を均一に供給することによって実現される。第1の理由は、縦線材61,63,65,67が気化面87に当接する位置線材の交差位置では、横線材62,64,66,68が気化面87から分離され、逆に、横線材62,64,66,68が気化面87に当接する位置では、縦線材61,63,65,67が気化面87から分離され、各線材の長手方向に沿って薬液が流れるための空間が確保されているからである。一方、各線材の長手方向に沿った流れは、各線材と気化面87の双方が濡れ性を有しているので、各線材と気化面87の隙間に沿って発生する毛細管現象によって実現されている。これにより、縦線材や横線材の各々の長手方向に沿って円滑に薬液が流れることができるのである。第2の理由は、縦線材と横線材の各交差位置では、薬液供給空間が形成されているので、縦線材に沿った流れと横線材に沿った流れとに薬液の流れが円滑に分岐することができる。これにより、網状体69の面方向の2次元方向に均一に薬液を供給することができる。この結果、薬液の蒸散によって薬液保持空間に保持されている薬液の減少に応じて円滑に薬液を供給することが可能となるので、薬液の均一な薄膜化状態が維持されることになる。このように、本実施形態の気化部120は、網状体69の面内方向に規則的に配列されている薬液供給空間薬液供給機能と網目空間薄膜維持機能の相乗的な働きによって薬液の薄膜化を実現するとともに、薬液の蒸散に対しても薬液の薄膜状態を維持するように毛細管現象を働かせることができる。本構成は、線材を網目状に編むことによって面状に形成されている網状体69の外形形状の規則性によって実現されている。すなわち、網状体69では、網状体69の面内方向に網目空間が規則的に配列され、規則的に配列された網目空間に対して規則的に形成されている薬液供給空間において薬液の供給路の確保と分岐とが実現されているので、毛管流入による均一な薄膜の形成と均一な薬液の供給とが実現されていることになる。逆に、たとえばフィルム状の部材に網目状の孔を形成しても薬液供給空間が形成されないので、本発明の効果は奏し得ないことになる。このような網状体69と気化面87とによって形成される構造は、出願時の当業者の技術常識に反するものである。いわゆるメッシュとしての網状体69は、網目の面内における網目の大きさ利用してフィルタに利用することが出願時の当業者の技術常識である。しかしながら、本発明者は、フィルタの面外方向の構造形状等に着目し、その構造と気化面87との当接によって新規な構造を創作し、薬液の気化に要請される薬液の薄膜化と薄膜への薬液の安定的かつ大量の供給を実現しているのである。図13は、筒状メッシュ60と気化面87の当接状態の構成を示す断面図である。具体的には、たとえば線材が気化面87に規則的に近接して、ギャップGが発生して一部が切れた状態で形成されている空間T2a,T4aも薬液供給空間に含まれる。一部が切れた状態で囲まれた空間も毛細管現象を生じさせるからである。このように、薬液供給空間は、広い意味を有し、必ずしも線材と気化面87とによって完全に囲まれて閉じた空間を形成する必要はなく一部が切れていても良い。本実施形態の効果は以下の通りである。1複数の網目空間によって薬液の均一な薄膜化状態を実現し、薬液供給空間によって2次元方向に均一に薬液を供給することができる。これにより、円滑かつ大量の気化量を小型の気化器で実現することができる。2気化面と網状体の平面的な構造によって薬液の供給と気化とが実現されているので、たとえば3次元的な構造体たとえば発泡体によって薬液の表面積を大きくする方法と相違し、3次元的な構造体の内部に滞留する薬液の劣化の問題を生じさせない。3気化面と網状体の平面的な構造を有するので、薄膜の形成において無駄な部分が存在せず容積効率が高い。これにより、小型化が実現可能となるので、ウェハを格納するチャンバの近傍に気化器を配置することができる。4薬液が媒体ガス窒素ガスに晒され続ける状態たとえばバブリングに起因する薬液の劣化を防止することができる。本実施形態では、気化の直前まで媒体ガスと接触しないからである。5気化面と網状体とによって簡易に構成することができる。第2実施形態の液体気化器の構成図14は、液体気化器200の構成を示す図である。aは、液体気化器200の上面図であり、bは、aのB-B線断面図である。第1実施形態の液体気化器100では、気化器本体110に窒素ガス供給口115aガス導入口及び混合ガス排出口117aガス排出口が設けられていたが、第2実施形態の液体気化器200では、気化部本体221に窒素ガス供給口215aガス導入口及び混合ガス排出口217aガス排出口が設けられている。そして、窒素ガス供給口115aから混合ガス生成空間116へ窒素ガスが導入され、混合ガス排出口217aから混合ガスが排出される。なお、第1実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。蓋部材212には、第1ブロック271及び第2ブロック273が取り付けられている。第1ブロック271の内部には、窒素ガス導入流路272が設けられており、第2ブロック273の内部には、混合ガス吐出流路274が設けられている。そして、窒素ガス導入流路272から窒素ガスが導入され、混合ガス吐出流路274から混合ガスが吐出される。蓋部材212の内部には、窒素ガス流路214が設けられており、上記窒素ガス導入流路272が窒素ガス流路214に接続されている。窒素ガス流路214は、気化部220の軸線方向に垂直な方向から軸線方向へと屈曲して延び、蓋部材212における凹状部材111側の端面で開口している。また、蓋部材212の内部には、混合ガス流路213が設けられており、上記混合ガス吐出流路274が混合ガス流路213に接続されている。混合ガス流路213は、気化部220の軸線方向に垂直な方向から軸線方向へと屈曲して延び、蓋部材212における凹状部材111側の端面で開口している。気化部本体221の内部には、窒素ガスを流通させる窒素ガス流路215媒体ガス流路が設けられており、上記窒素ガス流路214が窒素ガス流路215に接続されている。窒素ガス流路215は、気化部本体221の軸線方向へ延びており、気化部本体221の内部から気化面87を加熱するヒータ132加熱部に沿って設けられている。詳しくは、窒素ガス流路215は、ヒータ132の側方において、ヒータ132に平行に設けられている。また、気化部本体221の内部には、混合ガスを流通させる混合ガス流路217混合ガス流路が設けられており、上記混合ガス流路213が混合ガス流路217に接続されている。混合ガス流路217は、気化部本体221の軸線方向へ延びており、気化部本体221の内部から気化面87を加熱するヒータ131加熱部に沿って設けられている。詳しくは、混合ガス流路217は、ヒータ131の側方において、ヒータ131に平行に設けられている。窒素ガス流路215及び混合ガス流路217は、それぞれ気化部本体221の軸線方向において気化部本体221の中央付近まで延びており、気化面87側へ延びる窒素ガス供給口115a及び混合ガス排出口117aによってそれぞれ気化面87に開口している。薬液吐出口99は、窒素ガス供給口115aと混合ガス排出口117aとの間に配置されている。窒素ガス供給口115a及び混合ガス排出口117aの断面形状は、気化部本体221の軸線方向を長手方向とする長円形となっている。このため、気化部本体221の軸線方向に垂直な方向において、窒素ガス供給口115aから混合ガス排出口117aへ流れる窒素ガスを、気化部本体221の軸線方向へ拡散させ易くなる。また、気化部本体221の軸線方向へ拡散した窒素ガス及び混合ガスを、混合ガス排出口117aへ収集し易くなる。こうした構成によれば、ヒータ131,132により気化面87を加熱することにより、気化部本体221の温度が上昇する。そして、窒素ガスは、窒素ガス流路215を通過する間に加熱されて、窒素ガス供給口115aから混合ガス生成空間116へ導入される。また、混合ガス排出口117aから排出される混合ガスは、混合ガス流路217を流通する間加熱されることとなる。さらに、窒素ガス流路215及び混合ガス流路217は、それぞれヒータ132,131に沿って設けられているため、窒素ガス流路215及び混合ガス流路217の温度を効率的に上昇させることができる。また、図15aに示すように、気化部本体221の外周面のうち曲面で形成される外周面83,84図15では外周面84のみ表示には、気化部本体221の軸線方向に直線状に延びるように凹部243がそれぞれ形成されている。メッシュ260は、気化部本体221に巻き付けられて、その端部が押さえ部材244と気化部本体221との間に挟まれている。押さえ部材244は、固定部材245によって、気化部本体221に固定されている。メッシュ260の端部は、押さえ部材244と固定部材245との間から、外側へと導かれている。こうした固定構造によれば、メッシュ260に取り付け用の孔を形成する必要がなく、メッシュ260の構成を簡素化することができる。メッシュ260を気化部本体221に巻き付ける際には、メッシュ260を押さえ部材244により押さえながら弛みのないように引っ張る。そして、固定部材245によって、押さえ部材244を気化部本体221に固定する。これにより、メッシュ260は、気化部本体221に略密着させられた状態となる。なお、図15bは、メッシュ260のみを取り出した状態を表示している。このようにメッシュ260が気化部本体221の外周面に巻き付けられて固定された状体では、メッシュ260と上記凹部243との間に隙間が生じることとなる。そこで、凹部243に係合するように、凹状部材111とメッシュ260との間に、気化部本体221の軸線方向から挿入部材242が挿入されている。挿入部材242は、丸棒状に形成されており、その断面の半径は凹部243の曲率半径と略等しくなっている。挿入部材242の先端部は、他の部分よりも若干細くなっており、その先端部からメッシュ260を凹部243へ押し付けつつ挿入されている。これにより、凹部243とメッシュ260との間の隙間が縮められ、気化部本体221の外周方向に沿ってメッシュ260に張力を発生させることができる。その結果、メッシュ260の皺が伸ばされ、メッシュ260は気化部本体221に、より強く密着させられた状態となる。本実施形態の効果は以下の通りである。なお、ここでは、第1実施形態と異なる効果のみを述べる。1窒素ガスは、窒素ガス流路215を通過する間に加熱されて、窒素ガス供給口115aから混合ガス生成空間116へ導入されるため、薬液の気化を促進することができる。2混合ガス排出口117aから排出される混合ガスは、混合ガス流路217を流通する間加熱されるため、混合ガスの結露を抑制することができる。3窒素ガス流路215及び混合ガス流路217は、それぞれヒータ132,131に沿って設けられているため、窒素ガス流路215を通過する際の窒素ガスの加熱と、混合ガス流路217を通過する際の混合ガスの加熱とを、更に促進することができる。4窒素ガス供給口115a及び混合ガス排出口117aの断面は、気化部本体221の軸線方向を長手方向とする長円形となっている。これにより、窒素ガスを気化部本体221の軸線方向へ拡散させ易くなるとともに、窒素ガス及び混合ガスを混合ガス排出口117aへ収集し易くなる。5簡易な構成により気化部本体221の外周面に沿ってメッシュ260に張力を発生させることができるととともに、凹部243により挿入部材242のずれを抑制することができる。他の実施形態本発明は上記実施形態に限らず、例えば次のように実施されてもよい。1上記実施形態では、線材の断面形状は真円であるが、必ずしも真円である必要はなく、楕円形や多角形4角形や6角形等であってもよい。2上記実施形態では、100メッシュの粗さのステンレス製の網状体メッシュ69を使用したが、他の粗さの網状体を使用してもよく、網状体は必ずしもステンレス製である必要はなく、その他の金属からなるメッシュを用いてもよい。網状体は、必ずしも金属である必要は無く、フッ素樹脂等からなる樹脂製のメッシュを用いてもよい。網状体の材質や粗さは、気化させる薬液の濡れ性や粘性といった薬液の性質に応じて適宜設定することができる。3上記実施形態では、網目空間の形状は、正方形であるが、たとえば六角形やひし形であっても良い。4上記実施形態では、網状体の編み方は、線材を1本ずつ交差させる平織ひらおりであるが、たとえば綾織あやおりのような他の織り方編み方でもよい。本発明は、一般に線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体を利用可能である。さらに、縦線材と横線材のピッチは、上述の実施形態では同一ピッチであるが、たとえば横線材のピッチを縦線材のピッチよりも小さくするようにしてもよい。こうすれば、毛管流入の速度を方向に応じて変える調整することができる。5上記実施形態では、網状体と気化面の当接が網状体への張力の印加によって実現されているが、たとえば磁力磁性メッシュの利用や粘着力、目の粗い構造部材による圧力印加といった方法によって発生させてもよい。6上記実施形態では、薬液吐出口は、気化面に形成されているが、たとえば柱状凹部119の側気化面の反対側から供給しても良い。ただし、気化面の反対側から薬液を供給する場合には、網状体の面外方向において、その網状体に対して薬液吐出口に表面張力によって形成される薬液の液滴の直径よりも短い距離に配置されていることが好ましい。こうすれば、薬液供給口の先端に形成される液滴に起因する薬液供給口の周囲への薬液の付着に起因するパーティクルの発生を抑制することができる。網状体は、毛細管現象によって薬液を吸引して過大な液滴の発生を抑制することができるからである。7上記実施形態では、半導体の製造ラインにおいて本液体気化システム10を用いたが、その他の製造ラインにおいて用いることも可能である。また、上記実施形態では、液体材料としてのヘキサメチルジシラザン液HMDS液を気化させるために本液体気化システム10を用いたが、テトラメチルシクロテトラシロキサンTMCTS等その他の液体材料を気化させるために用いてもよい。"