"回転走行される無端状の定着ベルトと、前記定着ベルトの内周側に設けられたヒーターと、前記定着ベルトを介して前記ヒーターを当該定着ベルトの外周側から押圧し、定着ベルトとの間で定着ニップを形成する加圧ローラーとを有し、前記定着ニップを通過する記録シートに形成されたトナー像を当該記録シートに定着する定着装置であって、前記ヒーターは、一方の主面に抵抗発熱体が形成されてなる基板と、当該基板の前記定着ベルト内周面に面する対向主面に形成された被覆層とを有し、当該被覆層がゾルゲル法により形成されたシロキサン結合を持つ三次元架橋マトリックス構造を有するセラミックコーティング皮膜からなることを特徴とする定着装置。前記基板はセラミックスからなり、前記抵抗発熱体は、前記対向主面に形成されていて、前記被覆層は前記抵抗発熱体を内包するように当該対向主面を被覆していることを特徴とする請求項1に記載の定着装置。前記対向主面の前記被覆層と密着している領域が、表面粗さRa=1μm~20μmの範囲で粗面化されていることを特徴とする請求項1または2に記載の定着装置。前記被覆層の前記定着ベルト内周面と摺接する面が鏡面化処理されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の定着装置。電子写真方式によって記録シートに画像を形成する画像形成装置であって、前記記録シートに形成されたトナー像の定着装置として、請求項1~4のいずれか1項に記載の定着装置を備えていることを特徴とする画像形成装置。ところで、近年、複写機、プリンター等の画像形成装置の高速化高システムスピード化が進む中、ヒーターと定着ベルトとの間のさらなる摺動性の確保、すなわち、両者間における摩擦係数の低減化が課題になっている。システムスピードが高速になるほど、定着ベルトの摩耗が早く進行し、寿命が短くなるからである。このため、定着ベルトの内周面に耐熱グリスを塗布し、ヒーターとの間の摩擦係数を低減する方策が採られる場合があるが、塗布量の管理が煩わしいといった問題が生じる。すなわち、塗布量が少なすぎると、所期の目的が達成できず、多すぎると、画像形成装置内部をグリスで汚損してしまうおそれが生じるのである。なお、上記の課題は、加圧ローラーに従動して回転走行する定着ベルトを有する上記定着装置に限らず、例えば、駆動ローラーと従動ローラーとで張架されて回転走行する定着ベルトを有する定着装置に共通するものである。本発明は、上記した課題に鑑み、グリスを用いることなく、ヒーターと定着ベルトとの間の摺動性を向上させた定着装置、および当該定着装置を備えた画像形成装置を提供することを目的とする。上記の目的を達成するため、本発明に係る定着装置は、回転走行される無端状の定着ベルトと、前記定着ベルトの内周側に設けられたヒーターと、前記定着ベルトを介して前記ヒーターを当該定着ベルトの外周側から押圧し、定着ベルトとの間で定着ニップを形成する加圧ローラーとを有し、前記定着ニップを通過する記録シートに形成されたトナー像を当該記録シートに定着する定着装置であって、前記ヒーターは、一方の主面に抵抗発熱体が形成されてなる基板と、当該基板の前記定着ベルト内周面に面する対向主面に形成された被覆層とを有し、当該被覆層がゾルゲル法により形成されたシロキサン結合を持つ三次元架橋マトリックス構造を有するセラミックコーティング皮膜からなることを特徴とする。また、前記基板はセラミックスからなり、前記抵抗発熱体は、前記対向主面に形成されていて、前記被覆層は前記抵抗発熱体を内包するように当該対向主面を被覆していることを特徴とする。さらに、前記対向主面の前記被覆層と密着している領域が、表面粗さRa=1μm~20μmの範囲で粗面化されていることを特徴とする。また、さらに、前記被覆層の前記定着ベルト内周面と摺接する面が鏡面化処理されていることを特徴とする。上記の目的を達成するため、本発明に係る画像形成装置は、電子写真方式によって記録シートに画像を形成する画像形成装置であって、前記記録シートに形成されたトナー像の定着装置として、上記した定着装置を備えていることを特徴とする。上記構成を有する定着装置によれば、回転走行される定着ベルトの内周面が、ゾルゲル法により形成されたシロキサン結合を持つ三次元架橋マトリックス構造を有するセラミックコーティング皮膜からなる被覆層の表面と摺接するため、グリスを使用することなくガラスからなる被覆層を用いた場合よりも摺動性が向上することとなる。以下、本発明に係る定着装置の実施の形態を、プリンターに用いた例に基づいて説明する。<プリンターの全体構成>図1は、タンデム型フルカラープリンター2以下、単にプリンター2と言う。の概略構成を示す図である。プリンター2は、周知の電子写真方式により画像を形成するものであって、転写ベルト4と、転写ベルト4を張架する駆動ローラー6、従動ローラー8、バックアップローラー10,12、転写ベルト4に対向し転写ベルト4の走行方向に沿って所定間隔で配置されたYイエロー、Mマゼンタ、Cシアン、Kブラックの各色の作像ユニット14Y,14M,14C,14Kと、記録シートを給送する給紙装置16と、定着装置18とが、筐体20に収納された構成を有している。各作像ユニット14Y,...,14Kは、像担持体である感光体ドラム22Y,22M,22C,22Kと当該感光体ドラム表面を露光走査するためのLEDアレイ24Y,24M,24C,24Kの他に、公知の帯電チャージャ、現像器、クリーナいずれも符号不記入、および1次転写ローラー26Y,26M,26C,26Kなどからなる。給紙装置16は、記録シートを収納する給紙カセット28と、この記録シートを給紙カセット28から繰り出すためのピックアップローラー30、後述する2次転写ローラー32に送り出すタイミングをとるためのレジストローラー34などからなる。各感光体ドラム22Y,...,22Kは、LEDアレイ24Y,...,24Kによる露光を受ける前にクリーナで表面の残存トナーが除去された後、帯電チャージャにより一様に帯電されており、このように一様に帯電した状態で上記露光を受けると、感光体ドラム22Y,...,22Kの表面に静電潜像が形成される。各静電潜像は、それぞれ各色の現像器により現像され、これにより感光体ドラム22Y,...,22K表面にY,M,C,Kのトナー像が形成され、各転写位置において転写ベルト4の裏面側に配設された1次転写ローラー26Y,...,26Kの静電的作用により、転写ベルト4の表面上に順次転写されていく。この際、各色の作像動作は、そのトナー像が、走行する転写ベルト4の同じ位置に重ね合わせて転写されるようにすべく、上流側から下流側に向けてタイミングをずらして実行される。一方、給紙装置16では、上記した転写ベルト4への作像タイミングに合わせて、給紙カセット28から記録シートが給紙され、2次転写ローラー32と駆動ローラー6とが対向する位置以下、2次転写位置と言う。へと搬送される。当該2次転写位置において、2次転写ローラー32の静電的作用により、転写ベルト4上のトナー像が記録シートへ再転写2次転写される。トナー像が転写された記録シートは、さらに、定着装置18にまで搬送される。記録シートは、定着装置18において高熱下で加圧され、その表面のトナー粒子がシート表面に融着して定着された後、排紙ローラー36によって排紙トレイ38上に排出される。<定着装置>図2は、定着装置18の概略構成を示す斜視図である。定着装置18は、いわゆるフィルム加熱方式の定着装置であって、薄肉シームレスベルト形状をした定着ベルト40と定着ベルト40と平行に設けられた加圧ローラー42とを有する。定着ベルト40は、内周側の基層と外周側の表層とからなる2層構造となっている2層構造については不図示。基層は、ポリイミドフィルムからなり、熱容量を小さくするためその厚さは100μm程度としている。表層は、トナーの離型性を確保するために設けられており、PTFE四フッ素化樹脂の被覆層からなる。なお、基層は、ポリイミドに限らず、ポリアミドイミド、PEEKポリエーテルエーテルケトン樹脂、PESポリエーテルサルフォンなどで形成し、表層は、PTFEに限らず、PFAペルフルオロアルコキシフッ素樹脂、FEP四フッ化エチレン六フッ化プロピレン共重合体などで形成しても構わない。あるいは、基層は、ステンレスなどの金属で形成しても構わない。また、さらなる高画質を実現するため、基層と表層との間にシリコーンなどからなる弾性ゴム層中間層を設けた複合層で構成される定着ベルトとしても構わない。加圧ローラー42は、芯金44外周にシリコーンゴムなどからなる耐熱性を有した弾性層46が形成されてなるものである。定着ベルト40の内側には、定着ベルト40と略同じ長さの全長を有する保持部材48が設けられており、保持部材48には、加熱部材であるヒーター50が保持されている。なお、ヒーター50の全長も定着ベルト40と略同じ長さである。保持部材48に保持されたヒーター50は、定着ベルト40を介して加圧ローラー42と対向しており、加圧ローラー42が定着ベルト40を介してヒーター50を押圧することにより、加圧ローラー42と定着ベルト40との間でニップ部が形成される。ニップ部およびその近傍を、加圧ローラー42の軸心に沿った方向から視た拡大図を図3に示す。なお、図3において、ヒーター50と保持部材48とは断面図で表している。保持部材48は、ヒーター50を直接的に保持する第1保持部材47と第1保持部材47を筐体20に保持する第2保持部材49とを含む。第1保持部材47は、ポリイミドで形成されている。第1保持部材47は、円弧状をした断面を有していて、定着ベルト40の内周面を案内して、滑らかな回転走行を実現するためのガイド部材としても機能する。なお、保持部材47は、ポリイミドに限らず、他の耐熱性樹脂、例えば、ポリアミドイミド、PEEK、PPSポリフェニレンスルファイド、液晶ポリマーなどで形成しても構わない。第2保持部材49は、セラミックス、金属、ガラス等からなる。なお、保持部材48は、第2保持部材49を設けることなく、第1保持部材47を直接的に筐体20に取り付けることとしても構わない。上述したように、加圧ローラー42は、保持部材48に保持されたヒーター50を、定着ベルト40を介して押圧している。これにより、加圧ローラー42の弾性層46の円筒形をした外周面の一部は、ヒーター50の平坦面に沿って平面状に弾性変形し、また前記平坦面と加圧ローラー42とに挟まれた定着ベルト40部分も平面状に弾性変形する。平面状に弾性変形した弾性層46と定着ベルト40の間がニップ部となる。加圧ローラー42は、不図示のモーターから不図示の動力伝達機構を介して伝達された回転動力によって、矢印Aの向きに回転駆動される。これにより、定着ベルト40は、記録シートSがニップ部に無いときは、加圧ローラー42との間で生じる摩擦力により矢印Bの向きに回転走行する。一方、記録シートSがニップ部にあるときは、加圧ローラー42との間で生じる摩擦力によって記録シートSが矢印Cの向きに搬送され、記録シートSとの間で生じる摩擦力によって定着ベルト40が矢印Bの向きに回転走行することとなる。記録シートSがニップ部を通過している間、ヒーター50からの熱が定着ベルト40を介して、記録シートS上のトナーに伝達される。これにより、トナーが溶融して記録シートSに定着される。図4aに、ヒーター50の平面図を、図4bに図4aにおけるDD線断面図をそれぞれ示す。なお、図4aは、後述する被覆層64を一点鎖線で示し、被覆層64で覆われている内部を実線で表している。ヒーター50は、細長い方形板状をした基板52を有する。基板52は、耐熱性材料であり、電気的絶縁材料であるセラミック本例では、酸化アルミニウムからなる。基板52の一方の主面52A定着ベルト40の内周面に対向する側の主面には、その長手方向と平行に、一対の帯状をした抵抗発熱体54,56が形成されている。抵抗発熱体54,56は、銀AgパラジウムPdの合金をはじめとする銀系材料を含む抵抗体ペーストを高温で焼成し、所定の抵抗値を有する厚膜に形成したものである。なお、抵抗体ペーストは、これ以外に、ルテニウム系、炭素系等などのものを用いても構わない。抵抗発熱体54,56の一端部同士は、接続体58で電気的に接続されている。接続体58は、銀系の導体ペーストを焼成して形成されている。抵抗発熱体54,56の他端部には、それぞれ、給電端子60,62が接続されている。給電端子60,62も、銀系の導体ペーストを焼成して形成されている。ヒーター50は、また、抵抗発熱体54,56の全部を覆う被覆層64を有する。被覆層64は、ゾルゲル法により形成された、シロキサン結合を持つ三次元架橋マトリックス構造を有するセラミック皮膜以下、単にセラミック皮膜と言う。からなる。上記構造を有するセラミック皮膜として、サーモロンジャパン社のサーモロンコーティング商品名を用いることができる。サーモロンコーティングは、コーティング剤であるTHERMOLONサーモロンリミテッド社の登録商標を用いて形成される。被覆層64の抵抗発熱体54,56上における厚みは、20μm~100μmの範囲で設定される。上記セラミック皮膜は、定着ベルト40との間で、フッ素樹脂並みの摺動性を発揮する。被覆層64に上記セラミック皮膜を用いることで、定着ベルト40との間の摩擦力が、ガラス皮膜に耐熱グリスを塗布した場合よりも低減されることが確認されている。これにより、システムスピードが向上し、定着ベルト40の走行速度が速くなった場合でも、ガラス皮膜を用いた場合と比較して定着ベルト40の円滑な回転走行が確保でき、定着ベルト40の摩耗の進行を抑制することができる。また、加圧ローラーを回転駆動するために必要なトルクも低減できるため、駆動源となる例えばモーターの負荷が軽減されることとなる。また、上記セラミック皮膜の熱伝導率は2W~3Wであり、ガラス皮膜の2Wと比較して、同等かそれ以上の熱伝導性を有している。さらに、上記セラミック皮膜は、その鉛筆硬度が9Hと硬く、耐摩耗性に優れている。なお、さらに、摩擦係数を低減し、熱伝導性を良くし、および硬度を高くするため、被覆層64を、上記セラミック皮膜にSiO2、Al2O3、TiO2を添加したものとしても構わない。上記したように、被覆層64は、抵抗発熱体54,56を保護すると共に、定着ベルト40の摺動抵抗動摩擦係数を低減し、もって、定着ベルト40を摩耗から保護する保護層として機能する。以上、本発明を実施の形態に基づいて説明してきたが、本発明は上記した形態に限らないことは勿論であり、例えば、以下のような形態とすることもできる。1上記実施の形態においてヒーター50は、被加熱部材である定着ベルトひいては記録シートに対向する側の基板主面に抵抗発熱体を形成した表面発熱タイプであるが、本発明に係る定着装置におけるヒーターは、表面発熱タイプに限らず、裏面発熱タイプにも適用可能である。すなわち、被加熱部材である定着ベルトひいては記録シートに対向する側の基板主面以下、表面と言う。とは反対側の基板主面以下、裏面と言う。に抵抗発熱体を形成し、ゾルゲル法により形成された、シロキサン結合を持つ三次元架橋マトリックス構造を有するセラミック皮膜を表面に形成して、ヒーターを構成することとしても構わない。この場合の基板は、熱伝導性を考慮して、窒化アルミニウムで形成するのが好ましい。2シロキサン結合を持つ三次元架橋マトリックス構造を有するセラミック皮膜を、ゾルゲル法により基板表面に形成する前に、当該基板表面を、表面粗さRa中心線平均あらさ=1μm~20μmの範囲で粗面化することとしても構わない。前記基板主面の上記セラミック皮膜と密着する領域を、このように粗面化することで、いわゆるアンカー効果により、当該セラミック皮膜が基板から剥がれにくくなる。なお、この粗面化処理には、ショットブラスト法や化学エッチング法などの公知の処理方法を用いることができる。3また、ゾルゲル法により形成された、シロキサン結合を持つ三次元架橋マトリックス構造を有するセラミック皮膜を基板主面に形成した後、当該セラミック皮膜の表面を鏡面化処理し、当該処理前よりもその表面粗さを小さくするようにしても構わない。このように、被覆層64の定着ベルト40内周面と摺接する面摺接面を鏡面化することで、当該摺接面と定着ベルト内周との密着性を向上することができるためセラミック皮膜表面と定着ベルト内周面との間に存在する空気を可能な限り排除することができるため、ヒーターから定着ベルトへの熱の伝達性が向上する。この鏡面化処理には、例えば、ラッピング法やポリッシング法を用いることができる。4上記実施の形態では、定着ベルト40は、加圧ローラー42の回転に従動して回転走行する構成としたが、定着ベルトは、加圧ローラーとは別の動力源により、加圧ローラーとは独立して回転走行する構成としても構わない。すなわち、定着ベルトを駆動ローラーと少なくとも1個の従動ローラーとで張架し、駆動ローラーをモーターなどの回転動力源により回転させることにより、定着ベルトを回転走行させることとしても構わない。この場合には、定着ベルトの走行速度は、加圧ローラーの周速と一致するように制御される。5上記実施の形態では、プリンターを例に説明したが、本発明に係る画像形成装置は、プリンターに限らず他の画像形成装置、例えば複写機やファクシミリ、あるいはこれらの機能を有する複合機などに適用可能である。すなわち、電子写真方式によって記録シートに画像を形成する画像形成装置であって、前記記録シートに形成されたトナー像の定着装置として、ここまで説明した定着装置を備えている画像形成装置に適用できるのである。"