ケイ素原子の含有量が07質量ppm以下であることを特徴とする、高純度トリアルキルアルミニウム。一般式1式中、R1は、炭素原子数1~6のアルキル基を示す。で示されるトリアルキルアルミニウムと一般式2式中、R2は、炭素原子数7~12のアルキル基を示す。で示されるトリアルキルアミンとを反応させてアルミニウム-アミン錯体を形成させ、次いで、反応混合物を蒸留して該アルミニウム-アミン錯体を取得した後、該アルミニウム-アミン錯体からトリアルキルアミンを解離させて、遊離のトリアルキルアルミニウムを得ることを特徴とする、高純度トリアルキルアルミニウムの製法。トリアルキルアルミニウムが、トリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムである請求項1記載の高純度トリアルキルアルミニウムの製法。トリアルキルアミンが、トリnオクチルアミンである請求項1記載の高純度トリアルキルアルミニウムの製法。本発明の課題は、上記問題点を解決し、簡便な方法によって、高純度トリアルキルアルミニウム及びその方法を提供することにある。本発明の課題は、ケイ素原子の含有量が07質量ppm以下であることを特徴とする、高純度トリアルキルアルミニウムによって解決される。本発明の課題は、又、一般式1式中、R1は、同一又は異なっていても良く、炭素原子数1~6のアルキル基を示す。で示されるトリアルキルアルミニウムと一般式2式中、R2は、炭素原子数7~12のアルキル基を示す。で示されるトリアルキルアミンとを反応させてアルミニウム-アミン錯体を形成させ、次いで、反応混合物を蒸留して該アルミニウム-アミン錯体を取得した後、該アルミニウム-アミン錯体からトリアルキルアミンを解離させて、遊離のトリアルキルアルミニウムを得ることを特徴とする、高純度トリアルキルアルミニウムの製法によっても解決される。本発明により、エピタキシャル成長法による高機能の化合物半導体の製造原料として、又、各種半導体製造等における有機金属化合物例えば、トリアルキルガリウムやトリアルキルインジウム等の製造原料として有用な高純度トリアルキルアルミニウム及びその製法を提供することができる。本発明に反応において使用するトリアルキルアルミニウムは、前記の一般式1で示される。その一般式1において、R1は、炭素数1~6のアルキル基を示し、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられるが、好ましくはメチル基、エチル基である即ち、トリアルキルアルミニウムが、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム。なお、これらの基は、各種異性体も含む。本発明に反応において使用するトリアルキルアミンは、前記の一般式2で示される。その一般式2において、R2は、炭素数7~12のアルキル基であり、例えば、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基が挙げられるが、好ましくはnオクチル基である即ち、トリアルキルアミンが、トリnオクチルアミン。なお、これらの基は、各種異性体も含む。前記トリアルキルアミンの使用量は、トリアルキルアルミニウム1モルに対して、好ましくは06~15モル、更に好ましくは08~12モルである。なお、これらのトリアルキルアミンは、単独又は二種以上を混合して使用しても良い。本発明のアルミニウム-アミン錯体の形成は、例えば、トリアルキルアルミニウムトリアルキルアミンとを混合し、攪拌させながら反応させる等の方法によって行われる。その際の温度は、好ましくは30~150°C、更に好ましくは50~110°Cであり、圧力は特に制限されない。本発明では、先に得られた混合物を蒸留して当該アルミニウム-アミン錯体を取得した後、当該アルミニウム-アミン錯体からトリアルキルアミンを解離させて、遊離の高純度トリアルキルアルミニウムを得ることができる。前記反応混合物を蒸留して当該アルミニウム-アミン錯体を取得する際の温度は、好ましくは150~220°C、更に好ましくは180~200°Cであり、圧力は、好ましくは05~10kPa、更に好ましくは1~5kPaである。前記アルミニウム-アミン錯体からトリアルキルアミンを解離させて、遊離の高純度トリアルキルアルミニウムを得る方法としては、例えば、当該アルミニウム-アミン錯体を加熱して蒸留し、その流出物として得る等の方法によって行われる。その際の温度は、好ましくは180~240°C、更に好ましくは200~230°Cであり、圧力は、好ましくは05~5kPa、更に好ましくは1~3kPaである。なお、前記アルミニウム-アミン錯体の形成、蒸留によるアルミニウム-アミン錯体の取得及びアルミニウム-アミン錯体からトリアルキルアミンを解離させて、高純度トリアルキルアルミニウムを得る操作は、複数回行うことによって、より高純度のトリアルキルアルミニウムを得ることができる。次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。なお、トリアルキルアルミニウムの金属原子の分析は、誘導プラズマ発光分析法ICPOES法にて行った。実施例1高純度トリメチルアルミニウムの合成攪拌装置、ヴィグリュー型蒸留塔2つの受器を付属及び滴下漏斗を備えた内容積500mlの反応容器に、窒素雰囲気にて、トリnオクチルアミン144gを加え、トリメチルアルミニウムケイ素原子を47質量ppm含む30gをゆるやかに加え、攪拌しながら100°Cで1時間攪拌させて、アルミニウム-アミン錯体を形成させた。次いで、得られた反応混合物を減圧下で蒸留180°C、14kPaし、低沸点成分不純物をドライアイスで冷却した受器に捕集し、アルミニウム-アミン錯体を反応容器内に取得した。その後、アルミニウム-アミン錯体を195~230°Cに加熱して減圧蒸留27kPaし、流出物として、トリメチルアルミニウム15gを受器に得た回収率;50。なお、得られたトリメチルアルミニウムは、ケイ素原子が05質量ppm以下、ケイ素原子以外の金属原子の合計含有量が030質量ppm以下カルシウム原子;002質量ppm以下、カドミウム原子;003質量ppm以下、クロム原子;008質量ppm以下、銅原子;004質量ppm以下、鉄原子;002質量ppm以下、マグネシウム原子;002質量ppm以下、マンガン原子;002質量ppm以下、ナトリウム原子;01質量ppm未満、亜鉛原子;004質量ppm以下しか混入していない高純度品であった。比較例1トリメチルアルミニウムの合成実施例1において、トリnオクチルアミンの代わりに、NNジブチルアニリン85gを使用した以外は、実施例1と同様にトリメチルアルミニウムの合成を行った。その結果、得られたトリメチルアルミニウムは、ケイ素原子が159質量ppm、ケイ素原子以外の金属原子の合計含有量が084質量ppmカルシウム原子;002質量ppm以下、カドミウム原子;003質量ppm以下、クロム原子;008質量ppm以下、銅原子;011質量ppm、鉄原子;002質量ppm以下、マグネシウム原子;002質量ppm以下、マンガン原子;001質量ppm、ナトリウム原子;07質量ppm、亜鉛原子;002質量ppm混入している低純度品であった。比較例2トリメチルアルミニウムの合成実施例1において、トリnオクチルアミンの代わりに、トリエチルアミン42gを使用した以外は、実施例1と同様にトリメチルアルミニウムの合成を行った。その結果、アルミニウム-アミン錯体は形成したものの、トリエチルアミンは解離せずに、遊離のトリメチルアルミニウムを得ることはできなかった。比較例3トリメチルアルミニウムの合成実施例1において、トリnオクチルアミンの代わりに、トリnブチルアミン77gを使用した以外は、実施例1と同様にトリメチルアルミニウムの合成を行った。その結果、アルミニウム-アミン錯体は形成したものの、トリnブチルアミンは解離せずに、遊離のトリメチルアルミニウムを得ることはできなかった。比較例4トリメチルアルミニウムの合成実施例1において、トリnオクチルアミンの代わりに、トリnヘキシルアミン111gを使用した以外は、実施例1と同様にトリメチルアルミニウムの合成を行った。その結果、アルミニウム-アミン錯体は形成したものの、トリnヘキシルアミンは解離せずに、遊離のトリメチルアルミニウムを得ることはできなかった。比較例5トリメチルアルミニウムの合成実施例1において、トリnオクチルアミンの代わりに、NNジメチルアニリン48gを使用した以外は、実施例1と同様にトリメチルアルミニウムの合成を行った。その結果、アルミニウム-アミン錯体は形成したものの、NNジメチルアニリンは解離せずに、遊離のトリメチルアルミニウムを得ることはできなかった。比較例6トリメチルアルミニウムの合成攪拌装置、ヴィグリュー型蒸留塔2つの受器を付属及び滴下漏斗を備えた内容積500mlの反応容器に、窒素雰囲気にて、ジフェニルメチルアミン72gを加え、トリメチルアルミニウムケイ素原子を12質量ppm含む30gをゆるやかに加え、攪拌しながら100°Cで1時間攪拌させて、アルミニウム-アミン錯体を形成させた。次いで、得られた反応混合物を減圧下で蒸留180°C、14kPaし、低沸点成分不純物をドライアイスで冷却した受器に捕集し、アルミニウム-アミン錯体を反応容器内に取得した。その後、アルミニウム-アミン錯体を105~145°Cに加熱して減圧蒸留27kPaし、流出物として、トリメチルアルミニウム18gを受器に得た回収率;60。なお、得られたトリメチルアルミニウムは、ケイ素原子が11質量ppm混入している低純度品であった。比較例7トリメチルアルミニウムの合成攪拌装置、ヴィグリュー型蒸留塔2つの受器を付属及び滴下漏斗を備えた内容積500mlの反応容器に、窒素雰囲気にて、NNジエチルアニリン61gを加え、トリメチルアルミニウムケイ素原子を47質量ppm含む30gをゆるやかに加え、攪拌しながら100°Cで1時間攪拌させて、アルミニウム-アミン錯体を形成させた。次いで、得られた反応混合物を減圧下で蒸留180°C、14kPaし、低沸点成分不純物をドライアイスで冷却した受器に捕集し、アルミニウム-アミン錯体を反応容器内に取得した。その後、アルミニウム-アミン錯体を80~120°Cに加熱して減圧蒸留60kPaし、流出物として、トリメチルアルミニウム18gを受器に得た回収率;70。なお、得られたトリメチルアルミニウムは、ケイ素原子が28質量ppm混入している低純度品であった。実施例2高純度トリエチルアルミニウムの合成実施例1において、トリメチルアルミニウムの代わりにトリエチルアルミニウムを用いたこと以外、実施例1と同様に反応を行うと、ケイ素原子が07質量ppm以下の高純度トリエチルアルミニウムが得られる。