レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記レーザチャンバの内面に形成される隙間を挟んで隣り合う部位の、一方部位側の、前記レーザチャンバ中央側に面する面、および、他方部位側の、前記レーザチャンバ中央側に面する面のうち、前記放電空間から遠い側の前記面を前記放電空間に近い側の前記面より陥没させ、前記隙間を挟んで段差を形成することを特徴とするレーザ装置。前記隙間を挟んで形成された段差のうち、陥没する側の面が吸音材により形成される請求項1記載のレーザ装置。隙間を介して隣り合う部位の対向面のうち、放電空間に遠い側の対向面が、放電空間に対し、放電空間に近い側の部位の、レーザチャンバ中央に面する内面の陰になる請求項1又は2記載のレーザ装置。レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記レーザチャンバの内面に隙間を画成する一方部位および他方部位のうち、少なくとも前記放電空間から遠い側の部位を吸音材により形成したことを特徴とするレーザ装置。レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記レーザチャンバの内面に段部を画成する一方部位および他方部位のうち、前記放電空間から遠い側の部位を前記放電空間に近い側の部位より陥没させて成ることを特徴とするレーザ装置。レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記レーザチャンバの内面に設置される部品の取付部を、前記レーザチャンバの内面に形成した凹部に収容するとともに、前記凹部の開口を蓋部材により閉塞して成ることを特徴とするレーザ装置。レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、互いに連続する平面域と曲面域とを有する前記レーザチャンバの内面を、前記平面域の表面に対して前記曲面域の境界部における接線の為す角度を15°以下に設定して成ることを特徴とするレーザ装置。レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、互いに連続する平面域と曲面域とを有する前記レーザチャンバの内面に、前記平面域と前記曲面域との境界部を覆う態様で吸音材を設けたことを特徴とするレーザ装置。レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記放電空間と前記主電極に並行する予備電離電極との隙間を覆う態様で、前記放電空間からの音響波を案内するガイド部材を設けて成ることを特徴とするレーザ装置。ところで、上述した如き従来のレーザ装置において、特に2KHz以上の高繰り返しパルス発振で主放電の際に音響波が発生することは良く知られており、この音響波がレーザチャンバの内部における様々な箇所で反射して放電空間に戻り、この放電空間におけるレーザガス密度が揺らぐ等の乱れを生じることで、レーザ成分やスペクトル出力等のレーザ性能に悪影響を招来する不都合があった。例えば、図16に示す如く、レーザチャンバBの開口Boと、カソードベースCbとの間に、相互の組み付け公差に起因する隙間Mが形成されている場合、放電空間Sから矢印Wで示す如く進行する音響波AWが、上述した隙間Mに入り込んで回折反射し、矢印Rで示す如く放電空間Sに戻ることにより、レーザ性能に悪影響を及ぼすこととなる。同じく、図16に示す如く、レーザチャンバBに別部材のリターンプレートEを取付けるためのベースEbやネジN等の取付部が、上記レーザチャンバBの内方に向けて突出している場合、放電空間Sから矢印Wで示す如く進行する音響波AWが、上述した取付部において矢印Rで示す如く反射し、放電空間Sに戻ることによってレーザ性能に悪影響を及ぼすこととなる。ここで、高出力化を実現するために発振周波数を上げている昨今のレーザ装置では、主放電に伴う音響波に400kHz程度までの成分を有しており、例えば400kHzの音響波の場合、レーザチャンバ内の音速が480msであれば、波長は1.2mm、1/4波長は0.3mmと成るため、極く小さな隙間や突起であっても音響波の反射回折が生じることとなる。また、図17に示す如く、レーザチャンバBにおける内面Biの隅部は、上述した如くレーザガスのスムーズな流動を目的として曲面に形成されているが、レーザチャンバBの内面Biにおける平面域Bfと曲面域Bcとの境界部Bbは、加工上の制約等に起因して不連続面となっているため、図17に示す如く、放電空間Sから矢印Wで示す如く進行する音響波AWが、上述した境界部Bbにおいて矢印Rで示す如く反射し、放電空間Sに戻ることによってレーザ性能に悪影響を及ぼす不都合があった。さらに、図18に示す如く、アノードベースDbの側方に設置されているコロナバーFは、放電空間Sを含むレーザガスの流路に晒されているため、上記放電空間Sから矢印Wで示す如く進行する音響波AWが、上記コロナバーFに衝突して反射し、矢印Rで示す如く放電空間Sに戻ることにより、レーザ性能に悪影響を及ぼすこととなる。本発明は、上述した如き実状に鑑みて、レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、これら主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電によりレーザガスを励起してレーザ光を発振させるレーザ装置を対象とし、主放電に伴って発じる音響波に因るレーザ性能への悪影響を低減させ得るレーザ装置の提供を目的とするものである。請求項1の発明に関わるレーザ装置は、レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記レーザチャンバの内面に隙間を画成する一方部位および他方部位のうち、前記放電空間から遠い側の部位を前記放電空間に近い側の部位より陥没させて成ることを特徴としている。請求項2の発明に関わるレーザ装置は、レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記レーザチャンバの内面に隙間を画成する一方部位および他方部位のうち、少なくとも前記放電空間から遠い側の部位を吸音材により形成したことを特徴としている。請求項3の発明に関わるレーザ装置は、レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記レーザチャンバの内面に段部を画成する一方部位および他方部位のうち、前記放電空間から遠い側の部位を前記放電空間に近い側の部位より陥没させて成ることを特徴としている。請求項4の発明に関わるレーザ装置は、レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記レーザチャンバの内面に設置される部品の取付部を、前記レーザチャンバの内面に形成した凹部に収容するとともに、前記凹部の開口を蓋部材により閉塞して成ることを特徴としている。請求項5の発明に関わるレーザ装置は、レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、互いに連続する平面域と曲面域とを有する前記レーザチャンバの内面を、前記平面域の表面に対して前記曲面域の境界部における接線の為す角度を15°以下に設定して成ることを特徴としている。請求項6の発明に関わるレーザ装置は、レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、互いに連続する平面域と曲面域とを有する前記レーザチャンバの内面に、前記平面域と前記曲面域との境界部を覆う態様で吸音材を設けたことを特徴としている。請求項7の発明に関わるレーザ装置は、レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、2KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置において、前記放電空間と前記主電極に並行する予備電離電極との隙間を覆う態様で、前記放電空間からの音響波を案内するガイド部材を設けて成ることを特徴としている。請求項8の発明に関わるレーザ装置は、請求項7の発明に関わるレーザ装置において、前記ガイド部材を透光性材料から形成したことを特徴としている。請求項1の発明に関わるレーザ装置によれば、レーザチャンバの内面に隙間を画成する一方部位および他方部位のうち、放電空間から遠い側の部位を放電空間に近い側の部位より陥没させて成ることで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の隙間において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間を乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。請求項2の発明に関わるレーザ装置によれば、レーザチャンバの内面に隙間を画成する一方部位および他方部位のうち、少なくとも放電空間から遠い側の部位を吸音材により形成したことで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の隙間において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間を乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。請求項3の発明に関わるレーザ装置によれば、レーザチャンバの内面に段部を画成する一方部位および他方部位のうち、放電空間から遠い側の部位を放電空間に近い側の部位より陥没させて成ることで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の段部において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間を乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。請求項4の発明に関わるレーザ装置によれば、レーザチャンバの内面に設置される部品の取付部を、レーザチャンバの内面に形成した凹部に収容し、この凹部の開口を蓋部材によって閉塞したことで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面に設置される部品の取付部において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間を乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。請求項5の発明に関わるレーザ装置によれば、互いに連続する平面域と曲面域とを有するレーザチャンバの内面を、平面域の表面に対して曲面域の境界部における接線の為す角度を15°以下に設定して成ることで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の平面域と曲面域との境界部において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間を乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。請求項6の発明に関わるレーザ装置によれば、互いに連続する平面域と曲面域とを有するレーザチャンバの内面に、平面域と曲面域との境界部を覆う態様で吸音材を設けたことで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の平面域と曲面域との境界部において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間を乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。請求項7の発明に関わるレーザ装置においては、放電空間からの音響波を案内するガイド部材を、放電空間と主電極に並行する予備電離電極との隙間を覆う態様で設けたことにより、主放電により生じる音響波が予備電離電極において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間を乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。請求項8の発明に関わるレーザ装置によれば、放電空間と前記主電極に並行する予備電離電極との隙間を覆うガイド部材を透光性材料から形成したことで、予備電離電極の発光点を覆う態様でガイド部材を設けることが可能となる。以下、本発明に関わるレーザ装置の構成を、実施例を示す図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明を適用したパルス発振型ガスレーザ装置の一実施例を示しており、このレーザ装置1の基本的な構造は、図15に示した従来のレーザ装置Aに準ずるものである。すなわち、上記レーザ装置1において、レーザガスを封入したレーザチャンバ2の内部には、主電極である一対のカソード3とアノード4とが相対向して設置されており、これらカソード3およびアノード4は、上記レーザ装置1の長手方向、すなわち図1の紙面と直交する方向に延在している。上記カソード3は、絶縁材料から成るカソードベース3Bに固定されており、レーザチャンバ2の上方壁2Tに形成した開口2Toに、上記カソードベース3Bを嵌合させて固定することで、上記レーザチャンバ2の内部における上方に固設されている。上記レーザチャンバ2の開口2Toとカソードベース3Bとの間には、シール材であるOリング2Oが介装されており、レーザチャンバ2の上方壁2Tにボルト締めされた固定プレート2Pで、カソードベース3Bを上方から押圧することにより、上記カソードベース3Bはレーザチャンバ2に固設されている。一方、上記アノード4は、リターンプレート5、5を介してレーザチャンバ2と電気的に接続されたアノードベース4Bに固定されており、上述したカソード3と該カソード3の下方に配設したアノード4との間には、放電空間Sが画成されている。因みに、高圧電源の高圧側に接続されているカソード3と、高圧電源の接地側に接続されているアノード4との間に高電圧を印加し、放電空間Sにパルス状の主放電を起こすことでレーザ光が発振される。上記アノードベース4Bの側方には、コロナバー6、6がアノード4と略平行に延設されており、上記コロナバー6における外部誘電体6Bの外周には、リターンプレート5と共にアノードベース4Bに固定された板状端子7の先端が接触している。なお、上記コロナバー6は、棒状の内部導電体6Aと該内部導電体6Aを囲繞する管状の外部誘電体6Bとを備え、内部導電体6Aは高圧電源の高圧側に接続されている一方、外部誘電体6Bは板状端子7が接触していることで接地電位となっている。また、上記レーザチャンバ2の内部には、クロスフロー型のファン8と、冷却用のラジエータ9とが設置されており、上記ファン8の動作によって、レーザチャンバ2の内部をレーザガスが矢印h、i、jの如く循環する。さらに、上記レーザチャンバ2における内面2Iの隅部は、レーザガスがスムーズに流動し得るよう曲面に形成されており、また上記レーザチャンバ2の内面2Iには、例えば多孔質セラミック材等から形成された吸音材2Qが、後に詳述する内面2Iの境界部2Ibを覆う態様で取付けられている。ここで、図1~図4に示す如く、上述したレーザ装置1においては、レーザチャンバ2に対するリターンプレート5の取付部が、カバープレート10によって覆われている。上記リターンプレート5は、図5に示す如く、レーザチャンバ2の上方壁2Tに固設される上ベース板5Aと、アノードベース4Bに固設される下ベース板5Bとを、所定本数のグリッド5C、5C...によって連結したラダー状を呈しており、上記カバープレート10は、図6に示す如く、リターンプレート5の上ベース板5Aを覆って延在する長尺の矩形状を呈し、一方の縁部1010aには、リターンプレート5のグリッド5C、5C...を挿通させる切欠き10A、10A...が形成されている。一方、上記レーザチャンバ2における上方壁2Tには、開口2Toに臨んで内面側に解放された段状の凹部2Rが形成されており、この凹部2Rに収容される態様で、リターンプレート5の上ベース板5Aが止めネジ5Sによって取付けられている。また、凹部2Rに収容されたリターンプレート5の上ベース板5Aおよび止めネジ5Sは、上方壁2Tに止めネジ10Sで固設されたカバープレート10によって覆われており、リターンプレート5のグリッド5C、5C...は、カバープレート10の切欠き10A、10A...を挿通して、レーザチャンバ2の内部に延在している。このように、レーザチャンバ2に取付けられるリターンプレート5の上ベース板5Aおよび止めネジ5S等の部品の取付部、言い換えればレーザチャンバ2の内面に突出する虞れのある部位を、レーザチャンバ2に形成した凹部2Rに収容するとともに、該凹部2Rをカバープレート10によって閉塞したことで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面に設置される部品の取付部において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間Sを乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止することが可能となる。また、図2~図4に示す如く、上記カバープレート10は、一方の縁部10aをアノードベース4Bの側面4Baと当接させた状態でレーザチャンバ2に固定されているとともに、カバープレート10における他方の縁部10cと、この縁部10cに対峙する吸音材2Qの縁部2Qaとの間には、レーザチャンバ2の内方に臨む隙間2Gが形成されている。また、上記カバープレート10は、レーザチャンバ2との間に介装したシム11によって、自身の下面10bがカソードベース3Bの下面3Bbよりも上方へ没入するよう、上記カソードベース3Bに対する固定位置が調整されている。さらに、レーザチャンバ2の内面2Iに取り付けられた吸音材2Qは、その下面2Qbが上記カバープレート10の下面10bよりも上方へ没入するよう、自身の肉厚寸法が設定されている。ここで、上述の如くレーザチャンバ2にカバープレート10を取り付ける構造では、カバープレート10の一方の縁部10aとカソードベース3Bとの間、およびカバープレート10の他方の縁部10cと吸音材2Qとの間に、夫々に設定された組み付け公差により隙間が形成されることとなるが、上述した如く、カバープレート10の一方の縁部10aをカソードベース3Bに当接させることで、カバープレート10の他方の縁部10cと吸音材2Qとの間にのみ隙間2Gを形成している。このように、レーザチャンバ2の内面2Iに隙間2Gを形成するカバープレート10と吸音材2Qとのうち、放電空間Sから遠い側の吸音材2Qの下面2Qbを、放電空間Sに近い側のカバープレート10の下面10bより陥没させたことで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の隙間2Gにおいて回折反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間Sを乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。また、上述した構成においては、隙間2Gに対して放電空間Sから遠い側に吸音材2Qが設置されていることで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の隙間2Gにおいて反射することを更に抑制し得る。因みに、隙間2Gに対して放電空間Sから遠い側に吸音材2Qを設置することと併せ、隙間2Gに対して放電空間Sから近い側のカバープレート10を、例えば多孔質セラミック材から形成することで、隙間2Gにおける音響波の回折反射を更に効果的に抑制することが可能である。ここで、図7に示した他の実施例であるレーザ装置1′は、上述したレーザ装置1に関わる吸音材2Qを備えておらず、レーザチャンバ2′における上方壁2T′の下部に張出部2L′を形成し、この張出部2L′の縁部2La′とカバープレート10′との間に隙間2G′を画成するとともに、上記張出部2L′の下面2Lb′をカバープレート10′の下面10b′よりも上方へ没入させている。なお、上記レーザ装置1′の構成は、吸音材2Qに換えて張出部2Lを形成した以外、上述したレーザ装置1の構成と基本的に同一なので、レーザ装置1′の構成要素において、レーザ装置1の構成要素と同一の作用を成すものには、図7において図2と同一の符号に′を附して詳細な説明は省略する。上述したレーザ装置1′においても、レーザチャンバ内面に隙間2G′を形成するカバープレート10′と張出部2L′とのうち、放電空間S′から遠い側の張出部2L′の下面2Lb′を、放電空間S′に近い側のカバープレート10′の下面10b′より陥没させたことで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の隙間2G′において回折反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間S′を乱すことによるレーザ性能の低下を防止できる。図8に示した更に他の実施例であるレーザ装置1′は、カバープレート10′の構造が、図7に示したレーザ装置1′と相違している。図8に示す如く、カバープレート10′は、レーザチャンバ2′の内面2I′に沿って、該内面2I′の曲面部にまで延長して設置されている。また、カバープレート10′における終端部10d′のレーザチャンバ2′と面する側は、レーザチャンバ2′の内面2I′における曲面部の曲率に沿って内面2I′に接しており、上記終端部10d′においてレーザチャンバ2′の内方に面する側は、曲面部の曲率に沿ってレーザチャンバ2′の内面2I′とスムーズに繋がる曲面形状を有している。上述した如き図8に示したレーザ装置1′においては、カバープレート10′の一方の端部10a′から、他方の終端部10d′までの間に段差がないため、主放電によって生じる音響波が反射する部位がなく、音響波が放電空間S′を乱すことによるレーザ性能の低下を防止することができる。一方、図1~図4に示したレーザ装置1においては、上述した如く、カバープレート10の一方の縁部10aを、カソードベース3Bの側面3Baと当接させるとともに、カバープレート10の下面10bを、カソードベース3Bの下面3Bbよりも上方へ没入させて、カバープレート10とカソードベース3Bとの会合箇所に段部を形成している。すなわち、レーザチャンバ内面に段部を形成するカバープレート10とカソードベース3Bとのうち、放電空間Sから遠い側のカバープレート10の下面10bを、放電空間Sに近い側のカソードベース3Bの下面3Bbより陥没させたことで、主放電により生じる音響波がレーザチャンバ内面の段部において反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間Sを乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止することができる。ここで、カソードベース3Bの側面3Baに、カバープレート10の縁部10aを当接させて設置する場合、図9に示す如く、カソードベース3Bの下面3Bbに対して、カバープレート10の下面10bを面一とすることで、理論的には音響波の反射を回避することが可能である。しかしながら、実際の製品におけるカソードベース3Bおよびカバープレート10には、図9に示す如く、夫々のエッジ部に面取り3Bxおよび面取り10xが施されているため、カソードベース3Bとカバープレート10との会合箇所に凹溝Xが形成され、この凹溝Xにおいて音響波の回折反射が生じてしまう不都合がある。そこで、上述したレーザ装置1においては、図9に示す如く、カバープレート10の下面10bを、積極的にカソードベース3Bの下面3Bbより陥没させることによって、音響波がレーザチャンバ内面の段部において反射することを有効に抑制しているものである。一方、図10に示す如く、レーザチャンバ2における内面2Iの隅部は、上述した如くレーザガスのスムーズな流動を目的として曲面に形成されているが、レーザチャンバ2の内面2Iにおける平面域2Ifと曲面域2Icとの境界部2Ibは、加工上の制約等に起因して不連続面となっている。ここで、図10に示す如く、レーザチャンバ2の内面2Iにおける平面域2Ifの表面と、半径rで点oを中心とした曲面域2Icの境界部2Ibにおける接線a-aとの成す角度θは、上記境界部2Ibからの反射波の強度が、図11に示すθとの関係を示すグラフから明らかなように、15°を過ぎて急激に増大する事象に鑑みて15°以下に設定されている。このように、レーザチャンバ2の内面2Iにおける、平面域2Ifの表面に対する曲面域2Icの境界部2Ibにおける接線a-aの為す角度θを15°以下に設定したことで、主放電により生じる音響波が上記境界部2Ibにおいて反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間Sを乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。また、図12に示した他の実施例におけるレーザチャンバ2′は、内面2I′の隅部に、曲面を予形成したブロック2B′を取り付けて構成されているが、上記構成においても、内面2I′における平面域2If′の表面と、半径r′で点o′を中心とした曲面域2Ia′の境界部2Ib′における接線a′-a′との成す角度θ′を15°以下に設定することで、音響波が上記境界部2Ib′で反射して放電空間S′に戻ることを可及的に抑えられる。さらに、図1に示す如く、レーザチャンバ2の内面2Iに、上記境界部2Ibを覆う態様で、多孔質セラミック材等から形成された吸音材2Qを取付けた構成においては、上記境界部2Ibにおける角度θの如何ん関わらず、該境界部2Ibを吸音材2Qで覆ったことにより、音響波がレーザチャンバ内面の境界部2Ibにおいて反射することがなく、もって反射した音響波が放電空間Sを乱すことによるレーザ性能の低下を未然に防止し得る。一方、図13に示す如く、アノードベース4Bの側部には、リターンプレート5の下ベース板5Bおよび板状端子7と共に、止めネジ4Sによってガイドプレート20が取り付けられている。上記ガイドプレート20は、アノードベース4Bと該アノードベース4Bに並行するコロナバー6との隙間を覆う態様で、略水平方向かつ上記アノードベース4Bおよびコロナバー6の長手方向に沿って展開するガイド部20Aと、該ガイド部20Aの縁部から下方に展開するベース部20Bとを有し、例えば金属、又はフッ化カルシウムやフッ化マグネシウム等の透光性材料から形成されている。なお、図13は、上記ガイドプレート20を金属から形成した実施例を示しており、図13は、上記ガイドプレート20を透光性材料から形成した実施例を示している。上述の如く、上記ガイドプレート20、詳しくはガイドプレート20のガイド部20Aにより、アノードベース4Bとコロナバー6との隙間を覆い、放電空間Sからの音響波を案内するよう構成したことで、主放電により生じる音響波がコロナバー6に衝突して反射することが抑えられ、もって反射した音響波が放電空間Sを乱すことによるレーザ性能の低下を可及的に防止できる。また、上記ガイドプレート20を透光性材料から形成すれば、コロナバー6における発光点L、すなわちコロナバー6における外部誘電体6Bと板状端子7との接触箇所を、ガイド部20Aによって上方から覆うことが可能なため、上記ガイド部20Aからコロナバー6の上部を突出させることなく、アノードベース4Bとコロナバー6との隙間を覆うことができ、さらに透光性材料から成るガイドプレート20が電気絶縁性を有することで、ガイド部20Aをコロナバー6に当接させて隙間をなくすことができ、もって主放電により生じる音響波がコロナバー6に衝突して反射することを未然に防止し得る。ここで、図14に示す他の実施例においては、アノードベース4B′の側部に、リターンプレート5′の下ベース板5B′と共に、ガイドプレート20′が止めネジ4S′によって取り付けられており、上記ガイドプレート20′は、略水平方向かつ上記アノードベース4B′およびコロナバー6′の長手方向に沿って展開するガイド部20A′と、該ガイド部20A′の縁部から下方に展開するベース部20B′とを有している。また、上記実施例では、図13に示した板状端子7を備えておらず、高圧電源の接地側に接続されたライン状の電極6C′を、コロナバー6′における外部誘電体6B′の頂部に固定している。なお、上記実施例の構成は、板状端子7に換えて電極6C′を設けた以外、図13のレーザ装置1と基本的に同一なので、該レーザ装置1と同一の作用を成す要素には、図14において図13と同一の符号に′を附して説明を省略する。上述したレーザ装置1′においても、ガイドプレート20′のガイド部20A′により、アノードベース4B′とコロナバー6′との隙間を覆い、放電空間S′からの音響波を案内するよう構成したことで、主放電により生じる音響波がコロナバー6′に衝突して反射することが抑えられる。また、上述したレーザ装置1′においては、コロナバー6′における外部誘電体6B′の頂部に固定された電極6C′の近傍が発光点L′となるため、この発光点L′を覆うことのないガイドプレート20′を、透光性材料以外の適宜な材料から形成することが可能となり、さらにはアノードベース4B′やリターンプレート5′の一部を突出形成してガイドプレートとすることもでき、これによって設計の自由度が大幅に向上することとなる。なお、上述した各実施例においては、レーザチャンバの上方壁とカソードベースとの組付け箇所に生じる隙間に起因する不都合を解消するための構成を開示しているが、本発明はレーザチャンバの内面に画成される様々な隙間を対象としても、極めて有効に適用し得るものであることは言うまでもない。また、上述した各実施例においては、レーザチャンバの上方壁にリターンプレートを固定する取付部の突起に起因する不都合を解消するための構成を開示しているが、本発明はレーザチャンバの内面に突出し得る様々な部材の取付部を対象としても、極めて有効に適用し得るものであることは勿論である。