"光源からの光を一方向に走査させる光走査部と、該光走査部により走査された光を集光して略直線状の第1中間像を生成する結像レンズと、該結像レンズにより生成された前記第1中間像の像面近傍に配置され、前記第1中間像を長さ方向に分割し、分割された前記第1中間像の各々に対応する光束を異なる光路に通過させる光路分離部と、該光路分離部により分割された前記第1中間像の少なくとも1つに対応する光束が通過させられる光路において、光束を集光して第2中間像を生成するリレー光学系と、該リレー光学系により生成された第2中間像と分割された他の前記第1中間像、または、前記リレー光学系により生成された複数の第2中間像どうしを相互に平行間隔をあけて配置される複数の略直線状の像からなる中間像として再合成する光路合成部とを備える光走査装置。前記光路分離部が、光軸に対して傾斜して、前記第1中間像に対応する光束の移動範囲の一部に配置された平面鏡である請求項1に記載の光走査装置。前記光路分離部が、光軸に対して逆方向に傾斜した2枚の平面鏡を相互に交差させて配置してなる平面鏡対からなり、該平面鏡対の交線が、前記第1中間像に対応する光束の移動範囲の途中位置に配置されている請求項1に記載の光走査装置。前記光路合成部が、光軸に対して逆方向に傾斜した2枚の平面鏡を相互に交差させて配置してなり、該リレー光学系により生成された第2中間像と分割された他の前記第1中間像、または、前記リレー光学系により生成された複数の第2中間像に対応する光束をそれぞれ反射する平面鏡対である請求項1から請求項3のいずれかに記載の光走査装置。前記リレー光学系を構成する少なくとも1つのレンズが、光軸および前記第1中間像の長さ方向に直交する方向に移動可能に設けられている請求項1から請求項4のいずれかに記載の光走査装置。請求項1から請求項5のいずれかに記載の光走査装置を備える光走査型観察装置。しかしながら、特許文献1の光走査装置は、1本のレーザビームを複数本に分割し、各走査線にはそのうちの1本のレーザビームのみを用いるので、照明光量が分割数分の1に低減されてしまい、照明効率が著しく低いという不都合がある。本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、光源からの照明光の光量を低下させることなく、ガルバノミラーの周波数より高い周波数で照明光を走査させることができる光走査装置および光走査型観察装置を提供することを目的としている。上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。本発明は、光源からの光を一方向に走査させる光走査部と、該光走査部により走査された光を集光して略直線状の第1中間像を生成する結像レンズと、該結像レンズにより生成された前記第1中間像の像面近傍に配置され、前記第1中間像を長さ方向に分割し、分割された前記第1中間像の各々に対応する光束を異なる光路に通過させる光路分離部と、該光路分離部により分割された前記第1中間像の少なくとも1つに対応する光束が通過させられる光路において、光束を集光して第2中間像を生成するリレー光学系と、該リレー光学系により生成された第2中間像と分割された他の前記第1中間像、または、前記リレー光学系により生成された複数の第2中間像どうしを相互に平行間隔をあけて配置される複数の略直線状の像からなる中間像として再合成する光路合成部とを備える光走査装置を提供する。本発明によれば、光源から発せられた光が光走査部によって一方向に走査させられ、結像レンズによって集光されることにより略直線状の第1中間像が生成される。この第1中間像は、その像面近傍に配置された光路分離部によって長さ方向に分割され、分割された第1中間像の各部に対応する光束として異なる光路に通過させられる。少なくとも一部の第1中間像は、その光路上に配置されたリレー光学系によってリレーされることにより、第1中間像とは異なる位置に第2中間像が生成される。そして、第1中間像の一部分のみがリレー光学系を備えた光路を通された場合には、その光路を通過することにより生成された第2中間像と第1中間像の他の部分とが光路合成部により相互に平行間隔をあけて配置される複数の略直線状の像からなる中間像として再合成される。一方、分割された複数の第1中間像に対応する複数の光束が、それぞれ別々のリレー光学系を備えた光路に通された場合には、各リレー光学系により生成された第2中間像どうしが光路合成部により、相互に平行間隔をあけて配置される複数の略直線状の像からなる中間像として再合成される。すなわち、本発明によれば、光束を複数の光束に分離するのではなく、第1中間像を複数に分割して平行間隔をあけた複数の略直線状の像からなる中間像が形成されるように配列し直すので、各光束の光量は光源からの光の光量のままであるにもかかわらず、光走査部の周波数より高い周波数で照明光を走査させることができる。上記発明においては、前記光路分離部が、光軸に対して傾斜して、前記第1中間像に対応する光束の移動範囲の一部に配置された平面鏡であってもよい。このようにすることで、光走査部により走査されて結像レンズにより第1中間像を生成する光束はその走査範囲の一部において平面鏡により反射される。すなわち、平面鏡によって反射されない光束は一の光路に進行し、平面鏡によって反射された光束は他の光路に進行する。これにより、直線状の第1中間像を長さ方向に分割し、分割された各第1中間像に対応する光束を簡易に別個の光路に通すことができる。また、上記発明においては、前記光路分離部が、光軸に対して逆方向に傾斜した2枚の平面鏡を相互に交差させて配置してなる平面鏡対からなり、該平面鏡対の交線が、前記第1中間像に対応する光束の移動範囲の途中位置に配置されていてもよい。このようにすることで、光走査部により走査されて結像レンズにより第1中間像を生成する光束はその走査の位置によって異なる平面鏡により反射される。すなわち、一方の平面鏡により反射された光束は一の光路に進行し、他の平面鏡によって反射された光束は他の光路に進行する。これにより、直線状の第1中間像を長さ方向に分割し、分割された各第1中間像に対応する光束を簡易に別個の光路に通すことができる。また、上記発明においては、前記光路合成部が、光軸に対して逆方向に傾斜した2枚の平面鏡を相互に交差させて配置してなり、該リレー光学系により生成された第2中間像と分割された他の前記第1中間像、または、前記リレー光学系により生成された複数の第2中間像に対応する光束をそれぞれ反射する平面鏡対であってもよい。このようにすることで、異なる光路に通された複数の光束が、光軸に対して逆方向に傾斜した2枚の平面鏡を相互に交差させて配置してなる光路合成部によって反射される。したがって、複数の光路を通過して来た光束が、相互に対向する方向から光路合成部に入射し、略同一位置に、あるいは、平行間隔をあけた位置に第1中間像と第2中間像あるいは第2中間像どうしが配置されるように各光路のリレー光学系を調節しておくだけで、平行間隔をあけた複数の略直線状の像からなる中間像を簡易に生成することができる。また、上記発明においては、前記リレー光学系を構成する少なくとも1つのレンズが、光軸および前記第1中間像の長さ方向に直交する方向に移動可能に設けられていてもよい。このようにすることで、リレー光学系を構成する少なくとも1つのレンズの移動量を調節して光路合成部により再合成される中間像の平行間隔の大きさを調節することができる。これにより走査線の密度を調節することができ、あるいは、走査範囲を変化させることによりズームを行う際に、走査線の間隔を調節して解像度を変化させないようにすることもできる。また、本発明は、上記いずれかの光走査装置を備える光走査型観察装置を提供する。本発明によれば、光走査部の駆動により得られる1回の走査軌跡を長さ方向に分割して平行間隔をあけた複数の走査軌跡に並べ替えることができ、観察対象に対して短時間で広範囲の照明を行うことができる。その結果、観察対象の高速に変化する現象を精度よく観察することができる。本発明によれば、光源からの照明光の光量を低下させることなく、ガルバノミラーの周波数より高い周波数で照明光を走査させることができるという効果を奏する。本発明の第1の実施形態に係る光走査装置1について図面を参照して以下に説明する。本実施形態に係る光走査装置1は、図1に示されるように、光源図示略からの光を走査するガルバノミラー光走査部2と、該ガルバノミラー2により走査された光を集光して一直線状の第1中間像M1を生成する結像レンズ3と、該結像レンズ3により集光された光束のガルバノミラー2による移動経路の半分に、光束の移動方向に沿い、かつ、光軸に対して45°の角度をなして傾斜配置された第1の平面鏡光路分離部4と、該第1の平面鏡4を挟んで結像レンズ3とは反対側に、第1の平面鏡4に対して直交して配置された第2の平面鏡光路合成部5とを備えている。図1に示す例では、第1の平面鏡4と第2の平面鏡5とは相互に交差する位置で1つの稜線をなす屋根型の平面鏡対を構成している。第1の平面鏡4が光束の移動経路の半分に配置されることにより、結像レンズ3により集光された光束の光路は、第1の平面鏡4を通過しない第1の光路L1と、第1の平面鏡4により反射されて90°偏向される第2の光路L2とに分離されるようになっている。第1の光路L1には、リレーレンズ6とミラー7とからなるリレー光学系8が配置されている。第1の平面鏡4を通過せずにそのまま直進した光束は、第1中間像M1を結像した後にリレーレンズ6を通過させられることにより略平行光となり、ミラー7によって折り返されて、再度、リレーレンズ6を通過させられることにより集光され、第2中間像M2を結像するようになっている。第1の平面鏡4に入射する光束およびリレー光学系8を通過してきた光束は、第1の平面鏡4および第2の平面鏡5がなければ、同一直線上に第1中間像M1または第2中間像M2を結像するようになっている。このため、第1の平面鏡4に入射する光束は、第1の平面鏡4によって90°偏向されて鉛直上方に指向させられ、その途中で第1中間像M1を結像するようになっている。また、第2の平面鏡5に入射する光束は、第2の平面鏡5によって90°偏向されて鉛直上方に指向させられ、その途中で第2中間像M2を結像するようになっている。このように構成された本実施形態に係る光走査装置1の作用について、以下に説明する。ガルバノミラー2を往復揺動させて、ガルバノミラー2に光源からの光を入射させると、光源からの光束がガルバノミラー2によって偏向され、ガルバノミラー2の揺動角度範囲の2倍の揺動角度範囲にわたって揺動させられる。ガルバノミラー2により偏向された光源からの光束は、結像レンズ3により一直線状の第1中間像M1を形成するように集光される。図2においては、説明を簡単にするために、ガルバノミラー2の揺動により、光束が移動して、結像レンズ3によって結像され、符号S1~S9の順に第1中間像M1が生成される場合を例に挙げて説明する。符号S1~S5符号S5については半分の位置の第1中間像M1に対応する光束の光路L1上には第1の平面鏡4が配置されていないので、光束は、そのまま直進する。そして、これらの光束は、符号S1~S5の位置に第1中間像M1を結像した後、リレーレンズ6によって集光されて略平行光とされ、ミラー7によって折り返され、再度、リレーレンズ6によって集光されて第1の平面鏡4の背面側に配置されている第2の平面鏡5に入射される。第2の平面鏡5に入射された光は、第2の平面鏡5によって90°偏向され、図2の紙面に直交する手前方向に指向させられて、符号S1’~S5’の位置において第2中間像M2を結像する。一方、符号S5~S9符号S5については半分の位置の第1中間像M1に対応する光束の光路L2上には第1の平面鏡4が配置されているので、光束は、第1の平面鏡4によって90°偏向され、図2の紙面に直交する手前方向に指向させられて、符号S5~S9の位置において第1中間像M1を結像する。これにより、第1の平面鏡4によって90°偏向されて一直線上に配列された符号S5~S9に対応する第1中間像M1と、第1の光路L1を通った光束が集光されることにより生成された符号S1’~S5’に対応する第2の中間像M2とが、第2の平面鏡5によって、相互に平行間隔をあけた2本の中間像として合成される。すなわち、本実施形態に係る光走査装置1によれば、ガルバノミラー2の片道揺動によって、図3に示されるように、平行間隔をあけた2本の軌跡A1,A2に沿って、矢印に示す順序で光を走査させることができる。その結果、ガルバノミラー2の駆動周波数の2倍の周波数で、観察対象X上において光を走査することができる。例えば、ガルバノミラー2として比較的高速な駆動が可能な共振型ガルバノミラーを用いる場合には、その駆動周波数は約8kHzであるので、本実施形態に係る光走査装置1によれば、約16kHzの駆動周波数で走査することができる。これにより、本実施形態に係る光走査装置1を蛍光共焦点レーザ走査型顕微鏡のような走査型観察装置に用いることにより、観察対象Xにおいて発生する高速に変化する現象を、高いフレームレートによって精度よく観察することができるという利点がある。なお、本実施形態においては、リレー光学系8を備えた第1の光路L1を通過させる第1中間像M1の半分S1~S5に対応する光束については、第1の平面鏡4に入射させずにそのまま直進させることとしたが、これに代えて、図4に示されるように、第1の光路L1を通過させる光束を第1の平面鏡4によって偏向し、第2の光路L2には第1の平面鏡4を配置せず直進させることとしてもよい。リレー光学系8を備える第1の光路L1を折り曲げることで、床面に対する投影面積を減少させ、本実施形態に係る光走査装置を搭載する装置の設置面積を小さくしてコンパクト化を図ることができるという利点がある。次に、本発明の第2の実施形態に係る光走査装置10について図面を参照して以下に説明する。本実施形態の説明において、上述した第1の実施形態に係る光走査装置1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。上述した第1の実施形態に係る光走査装置1において、第1の光路L1または第2の光路L2を通過させる光束の一方については第1の平面鏡4に入射させずに直進させることとした。しかし、本実施形態に係る光走査装置10では、これに代えて、図5および図6に示されるように、両光路L1,L2に入射させる光束を、それぞれ別個の第1の平面鏡4に入射させて異なる方向に偏向させ、さらに、2つの光路L1,L2を通過してきた光束を別個の第2の平面鏡5によって同一方向に偏向させる点において、第1の実施形態に係る光走査装置1と相違している。図5および図6に示す例では、2つの第1の平面鏡4は、その交線において稜線4aをなす屋根型の平面鏡対を構成している。また、図5および図6に示す例では、2つの第2の平面鏡5は、相互に直交する反射面を有し、図6における紙面と直交する方向に相互にずれた位置に配置されている。さらに、第2の平面鏡5は、それらの反射面の交線が、図6に示されるように、2つの光路L1,L2の光軸上の一箇所で交わり、なおかつ光路L1,L2の光軸に対して反射面を45°傾斜させて、平面視X字状に配置されている。また、各光路L1,L2には、それぞれリレー光学系8が配置されている。各リレー光学系8は、2つのリレーレンズ6と、該リレーレンズ6間において光路を180°折り曲げる2枚のミラー7とによって構成されている。第1の光路L1のリレー光学系8を構成する2つのリレーレンズ6の光軸は、図8aに示されるように、結像レンズ3の光軸に対して一方向にそれぞれΔy/2だけオフセットしている。また、第2の光路L2のリレー光学系8を構成する2つのリレーレンズ6の光軸は、図8bに示されるように、結像レンズ3の光軸に対して、上記とは逆方向にそれぞれΔy/2だけオフセットしている。これにより、第1の光路L1を通過してリレー光学系8によりリレーされて結像される第2中間像M2は、第1中間像M1に対して一方向にΔyだけオフセットした位置に生成され、第2の光路L2を通過してリレー光学系8によりリレーされて結像される第2中間像M2は、第1中間像M1に対して上述の光路L1の場合とは逆方向にΔyだけオフセットした位置に生成される。すなわち、2つの第2中間像M2は、2Δyだけ平行間隔をあけて生成される。そして、第1の光路L1および第2の光路L2を通過した光束が、両光路L1,L2上の一箇所に配置されている2つの第2の平面鏡5によって同一方向に偏向されることにより、各光束に対応する第2中間像M2が長さ方向に重なる位置に生成される。すなわち、2つの光路L1,L2を通過した光束に対応して生成される第2中間像M2は、各リレー光学系8によって相互に2Δyだけ間隔をあけられ、かつ、第2の平面鏡5によって長さ方向に重複させられて、図7に示されるように、平行間隔をあけた2つの中間像を生成する光束として再合成することができる。なお、上記各実施形態に係る光走査装置1,10は、直列に複数重ねることにより、駆動周波数をさらに増大させることができる。例えば、第2の実施形態に係る光走査装置10を2つ重ねた例を図9に示す。図9に示す例では、図5の光走査装置10を直列に2つ配置するとともに、両光走査装置10の間に2つのリレーレンズ11からなるリレー光学系12を配置し、さらに、後段の光走査装置10の後方に集光レンズ13およびガルバノミラー14を配置している。これにより、前段の光走査装置10によって2列の走査線が形成され、後段の光走査装置10によって、図10に示されるような4列の走査線A1~A4が形成される。すなわち、ガルバノミラー2の駆動周波数の4倍の駆動周波数で走査することができる。そして、光走査装置10の最後尾に配置したガルバノミラー14の揺動によって、最前部のガルバノミラー2による走査方向とは直交する方向にずらしながら走査することにより、図11に示されるように、広範囲にわたって観察対象X上において光を走査させることができる。図11に示す例は、128回の走査によって形成された512本の走査線を示している。走査線は図10の右側に番号で示される順序に従って、図11の第1領域~第4領域に1本ずつ形成される。また、図11に示される走査範囲を全視野とした場合に、その一部の視野範囲のみを走査範囲とするようにガルバノミラー2,14の揺動角度を狭めることで、実質的に観察倍率を増大させる、いわゆるガルバノズームを行う場合には、2つのガルバノミラー2,14の揺動範囲を狭めるだけでなく、これに応じてリレー光学系8による第2中間像M2のオフセット量も変化させる必要がある。この場合には、図8に示される各リレーレンズ6を光軸に直交する方向に移動可能に支持する移動機構図示略を設けておけばよい。移動機構の構造は、直動機構あるいは揺動機構のいずれでもよいし、使用するアクチュエータも任意のものを採用してよい。また、図5に示す例では、リレー光学系8として2つのリレーレンズ6を備えるものを例示したが、図1のリレー光学系8と同様に、単一の大きなレンズを配置して往復の光束を両方とも通過させることにしてもよい。これにより部品点数を低減することができる。また、図12に示されるように、リレー光学系の折り返し方向を90°回転させてもよい。これにより、床面への投影面積を低減することができる。また、図12に示す例では、結像レンズ3をリレーレンズとしても利用しており、部品点数を低減している。また、図13に示されるように、第2の平面鏡5として屋根型の平面鏡対を用いることにしてもよい。この場合には、リレーレンズ6による光軸のシフトは不要となり、また、2つの光走査装置10を上下に直列配置でき、設置スペースを低減して装置のコンパクト化を図ることができる。"