微小物体を含む液体をフローセルに流し、前記フローセルに備えられたセンサ部で微小物体の量を測定する微小物体量測定装置であって、前記センサ部の上流側に、微小物体を前記センサ部の近傍に泳動させる微小物体泳動手段を備えることを特徴とする微小物体量測定装置。前記フローセルは、上面基板と底面基板で形成される流路を備え、前記センサ部は、前記流路の一面に形成された一対の平板電極からなり、前記一対の平板電極は、前記微小物体を含む液体の流れる方向に並設されていることを特徴とする請求項1に記載の微小物体量測定装置。前記微小物体泳動手段は、前記微小物体を誘電泳動させる手段であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の微小物体量測定装置。前記誘電泳動させる手段は、一対の櫛歯電極からなり、前記一対の櫛歯電極は、前記センサ部が設けられた流路面に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の微小物体量測定装置。前記微小物体泳動手段は、前記微小物体を磁気泳動させる手段であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の微小物体量測定装置。前記磁気泳動させる手段は、電磁石からなり、前記電磁石は、前記流路と交差し前記センサ部が設けられた流路面と平行方向に磁場を発生することを特徴とする請求項5に記載の微小物体量測定装置。前記微小物体泳動手段は、前記微小物体を電気泳動させる手段であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の微小物体量測定装置。前記電気泳動させる手段は、一対の平板電極からなり、前記一対の平板電極は、前記センサ部が設けられた流路面と、前記センサ部が設けられた流路面と対向する流路面とに設けられていることを特徴とする請求項7に記載の微小物体量測定装置。前記センサ部の一対の平板電極の間に、前記流路の幅を狭める狭窄部が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の微小物体量測定装置。微小物体を含む検体液をフローセルに流し、前記フローセルに備えられたセンサ部で微小物体を検出する微小物体量測定方法であって、フローセルに流れる検体液のインピーダンスを調整するステップと、前記インピーダンスに対応して、微小物体の検出に用いる閾値を決定するステップと、検体液中の微小物体を前記センサ部の近傍に泳動させるステップと、前記センサ部を通過する検体液に定電流を流し、検体液のインピーダンス変化をパルス電圧として検出するステップと、前記パルス電圧と前記閾値を比較して微小物体量を求めるステップと、を含むことを特徴とする微小物体量測定方法。しかしながら、従来の微小物体の測定装置には以下のような問題があった。すなわち、特許文献1のマイクロ血球カウンタでは、測定用の電極が流路の底部に備えられていることから、検体液に含有されている粒子が流路の深さ方向のどの位置を通過するかによって電流密度が異なるため、出力値にばらつきが生じ、測定精度が低下するという問題があった。上記の問題に鑑み、本発明は、出力値のばらつきを低減して測定精度を向上させた微小物体量測定装置を提供することを目的とする。微小物体を含む液体をフローセルに流し、フローセルに備えられたセンサ部で微小物体の量を測定する微小物体量測定装置であって、センサ部の上流側に、微小物体をセンサ部の近傍に泳動させる微小物体泳動手段を備える。本発明の微小物体量測定装置によれば、検体液中の微小物体をセンサ部の近傍に泳動させ、センサ部の表面近傍を通過させるので、出力値のばらつきが低減され、測定精度を向上させることができる。以下、本発明の実施形態である微小物体量測定装置および微小物体量測定方法について、以下に詳細に説明する。図1は、実施例1である本発明の微小物体量検出装置を示す上方断面図であり、図2は、その側方断面図である。微小物体量検出装置1は、図1および図2に示すように、上面基板2と底面基板3で構成されるフローセル4を備え、フローセル4の内部には検体液を流すことができる流路5が設けられている。上面基板2と底面基板3には、加工が容易であるガラス基板やシリコン基板等の板状部材が用いられている。上面基板2には、図1に示すように、検体液を流す流路5と、電解液を流す調整路6が形成されている。流路5と調整路6の深さは、検体液に含まれる微小物体の大きさにもよるが約30~200μm程度の深さで形成される。フローセル4は、上面基板2の流路5と調整路6が設けられた面に、底面基板3が貼り合わされて構成される。図1に示すフローセル4は、流路5において検体液が左から右に流れるように構成されており、入口側には図示しない検体液の供給部が接続され、出口側には図示しない検体液の回収部が接続されている。調整路6は、フローセル4の入口側で流路5と合流するように設けられており、外部に設けられた電解液タンク11と流路5とを接続している。そして、調整路6の途中に設けられたバルブ10の開閉により、流路5を流れる検体液に一定量の電解液を加えて電気伝導度インピーダンスを調整できるようになっている。流路5と対向する底面基板3側の流路面には、出口側にセンサ部として測定電極8が設けられており、このセンサ部の上流側には、微小物体泳動手段として検体液中の微小物体を測定電極8の近傍に泳動させる泳動電極9が設けられている。センサ部の測定電極8は、図1に示すように、流路5を横切るように形成された一対の平板状電極からなり、検体液の流れる方向に所定の間隔を有して並設されている。測定電極8は、定電流源12と電圧計13に接続されており、電圧計13は信号演算手段14と接続されている。センサ部は、測定電極8間に定電流を印加し、検体液のインピーダンス値と定電流値との積となる電圧を電圧計13で測定する。微小物体泳動手段の泳動電極9は、一対の櫛歯状の電極が櫛部を対向させて、流路5の両側部に配置されている。泳動電極9は、電圧源15と電流計16に接続されている。また、圧源15と電流計16は制御手段17に接続されている。泳動電極9は、図2の側方断面図に示すように、検体液中の微小物体の泳動軌跡を測定電極8が設けられた底面基板3の流路面に引き寄せる電場を発生させるものである。微小物体が底面基板3の流路面に引き寄せられ易くするため、泳動電極9は流路5に沿ってできるだけ長く設けて、微小物体が泳動電極9を通過する区間を延ばすことが望ましい。測定電極8と泳動電極9の材質は、電気化学的に安定な白金が好ましいが、AuやAl電極に保護膜を設けた構成としてもよい。電極の厚みは、検出感度や密着性の観点から300nm程度とするのが好ましい。測定電極8と泳動電極9は、真空蒸着やスパッタ法などを用い基板上に同時に形成することができる。なお、測定電極8と泳動電極9は流路5の途中に設けられるが、底面基板3の流路面に平板状に形成されているため、検体液の流れを妨げることはなく、流路5において検体液中の微小物体を目詰まりさせることは生じない。また、測定電極8と泳動電極9は上面基板2側の流路面に設けられてもよい。実施例1の処理フロー続いて、本発明の微小物体量測定装置1を用いた微小物体の測定方法について説明する。図3は、本発明の微小物体量測定方法を説明するための処理フロー図である。まず初めに、フローセル4に供給部から微小物体を含む検体液が導入される。検体液は、流路5に沿って、微小物体泳動手段である泳動電極9と、センサ部である測定電極8に順次流れる。次に、検体液を流した状態で泳動電極9間に直流電圧が印加され、検体液に流れる電流値が測定される。この電圧値と電流値は制御手段17に送信され、検体液のインピーダンスが算出される。ここで、検体液のインピーダンスが、次段の測定電極8で信号電圧として測定可能な範囲を超える場合、制御手段17から調整路6のバルブ10を開閉する指令が送信され、電解液タンク11から一定量の電解液が流路5に流入され検体液のインピーダンスが調整される。このインピーダンスの調整作業は、センサ部の測定電極8に定電流を印加したとき、信号電圧として測定可能なインピーダンスとなるまで繰り返される。検体液のインピーダンスが調整された後、制御手段17は、検体液のインピーダンスに応じて微小物体を検出するために用いる閾値を決定し、信号演算手段14に送信する。制御手段17は、電圧源15を制御して、泳動電極9間に検体液のインピーダンスに応じた交流電圧を印加する。泳動電極9間には、交流電界が発生し、検体液中の微小物体が泳動電極9間に引き寄せられる正の誘電泳動力が発生する。微小物体に働く誘電泳動力は、検体液の流れの力とつりあうように電界の強度が調整される。具体的には、微小物体が泳動電極9間に引き寄せられるが補足されるには至らず、検体液の流れに乗ってセンサ部に移動できる程度の誘電泳動力である。例えば、泳動電極9間に印加される電圧値、周波数は、1~100V、10~100kHz程度に設定される。微小物体は、泳動電極9を通過する間に、泳動電極9が設けられた底面基板3の流路面に引き寄せられながら、同じ底面基板3の流路面に設けられた次段の測定電極8の表面近傍に流れていく。測定電極8間には定電流源12から検体液のインピーダンスに応じた定電流が印加されており、インピーダンス値と定電流値との積による電圧が電圧計13に検出される。ここで、検体液中に微小物体が含まれていると、検体液のインピーダンスが変化し、パルス電圧となって検出される。信号演算手段14は、電圧計13で検出されたパルス電圧と閾値を比較し、閾値を超えるパルス電圧の数をカウントする。パルス電圧のカウントは、設定された測定時間内に亘り行われ、測定後、信号演算手段14で、検体液の流量とパルス電圧のカウント数から微小物体の濃度個/mlが算出される。以上、説明したように、本発明の微小物体量測定装置1によれば、センサ部の上流側に、誘電泳動力によって微小物体をセンサ部の近傍に泳動させる微小物体泳動手段を備えており、微小物体の泳動軌跡がセンサ部の測定電極8の表面近傍を通過するように制御され、微小物体が測定電極8上を通過するときに、深さ方向でのばらつきが抑制されるため、微小物体の測定精度を向上することができる。なお、測定電極8と泳動電極9が底面基板3側の流路面に設けられた微小物体量測定装置1で説明したが、測定電極8と泳動電極9が上面基板2側の流路面に設けられた場合も、微小物体の泳動軌跡が測定電極8の表面近傍を通過し、深さ方向でのばらつきが抑制され、微小物体の測定精度を向上することができることは言うまでもない。図4は、実施例2に係る微小物体量検出装置1の上方断面図である。実施例2に係る微小物体量検出装置1は、実施例1の泳動電極9の代わりに磁気回路19が設けられている。その他の構成に関しては、実施例1と同様なので詳細な説明は省略する。実施例2では、検体液のインピーダンスを測定するための電極18と、微小物体を測定電極8の近傍に移動させるための磁気回路19と、メモリ20が設けられている。電極18は、一対の対向する平板電極が流路5の両側部に配置され、電圧源15と電流計16に接続されている。電極18に直流電圧が印加され、検体液に流れる電流値からインピーダンスを測定できるようになっている。磁気回路19は、流路5と交差し底面基板3の流路面と平行方向に磁場を発生させるものであり、磁界の強度を調整できることが好ましい。例えば、図4に示すように、磁気回路19a、19b間をギャップとするコの字状の鉄心にコイルが巻かれた電磁石を用いることができる。そして、磁気回路19a、19b間にフローセル4が挟まれるよう配置される。メモリ20は、微小物体が備えるプラスまたはマイナスの表面電位以降、ゼータ電位というの値を検体液中のインピーダンスと関連付けしたデータとして格納している。磁気回路19は、上記のように構成され、微小物体のゼータ電位に応じて、磁気回路19a、19b間の磁場の方向や強度を変えて、微小物体を底面基板3の流路面に引き寄せるローレンツ力を生じさせるようになっている。実施例2の処理フロー最初に、実施例1と同様に、流路5に流れる検体液のインピーダンスが調整される。ここでは、電極18で検体液のインピーダンスが測定され、測定電極8の測定範囲を超える場合は、制御手段17によってバルブ10が開閉されて検体液に一定量の電解液が加えられる。検体液のインピーダンスが調整された後、メモリ20に格納されたデータを参照して、検体液のインピーダンスに対応する微小物体のゼータ電位が求められる。次に、磁気回路19a、19b間において、微小物体がプラスのゼータ電位を有する場合は、磁気回路19aから19bの方向の磁場が印加され、微小物体がマイナスのゼータ電位を有する場合は、磁気回路19bから19aの方向の磁場が印加される。検体液中に含まれる微小物体は、上記のゼータ電位の極性と磁場の方向との関係により、フローセル4の深さ方向において底面基板3側の流路面に向かうローレンツ力を受ける。また、微小物体に働くローレンツ力は、検体液の流れの力とつりあうように磁場の強度で調整される。具体的には、微小物体が磁場中に滞留されるには至らず、検体液の流れに乗って下流に輸送される程度のローレンツ力である。このため、検体液に含まれる微小物体は、磁気泳動により底面基板3の流路面に引き寄せられながら、同じ底面基板3の流路面に設けられた次段の測定電極8の表面近傍に流れていく。測定電極8間には定電流源12から検体液のインピーダンスに応じた定電流が印加されており、インピーダンス値と定電流値との積による電圧が電圧計13に検出される。ここで、検体液中に微小物体が含まれていると、検体液のインピーダンスが変化するため、パルス電圧として検出される。信号演算手段14は、電圧計13で検出されたパルス電圧と閾値を比較し、閾値を超えるパルス電圧の数をカウントする。パルス電圧のカウントは、設定された測定時間内に亘り行われ、測定後、信号演算手段14で、検体液の流量とパルス電圧のカウント数から微小物体の濃度個/mlが算出される。以上、説明したように、本発明の微小物体量測定装置1によれば、センサ部の上流側に、微小物体をローレンツ力によってセンサ部の近傍に泳動させる微小物体泳動手段を備えており、微小物体の泳動軌跡がセンサ部の測定電極8の表面近傍を通過するように制御され、微小物体が測定電極8上を通過するときに、深さ方向でのばらつきが抑制されるため、微小物体の測定精度を向上することができる。図5は実施例3に係る微小物体量検出装置1の側方断面図である。実施例3に係る微小物体量検出装置1は、実施例2の構成において、微小物体泳動手段として磁気回路19の代わりに、上面基板2と底面基板3にそれぞれ対向して配置される対向泳動用電極21a、21bを設けている。その他の部分の構成、機能に関しては、実施例2と同様なので説明を省略する。一方の対向泳動用電極21aは底面基板3側の流路面に設けられ、測定電極8の上流側に配置される。対向泳動用電極21aは、測定電極8と同材質で真空蒸着やスパッタなどの方法により一緒に形成することができる。他方の対向泳動用電極21bは、上面基板2側の流路面に対向泳動用電極21aと対向するように設けられる。対向泳動用電極21bは、対向泳動用電極21aと同様の工程で形成できるが、工程を簡略化するため、銀ペーストの塗布等によって設けてもよい。実施例3の処理フロー実施例2と同様に、実施例3においても、制御手段17により検体液のインピーダンスを算出した後、メモリ20に格納されたデータを参照して、検体液のインピーダンスから微小物体のゼータ電位が換算される。次に、対向泳動用電極21a、21b間において、微小物体が正のゼータ電位を有する場合は、対向泳動用電極21aから21bの方向の電場を印加し、微小物体が負のゼータ電位を有する場合は、対向泳動用電極21bから21aの方向の電場を印加する。検体液中の微小物体は、ゼータ電位の極性と、対向泳動用電極21a、21b間の電場の方向との関係により、フローセル4の深さ方向において底面基板3の流路面に引き寄せられる電気泳動力を受ける。また、微小物体に働く電気泳動力は、検体液の流れの力とつりあうように電場の強度が調整される。具体的には、微小物体が対向泳動用電極21a、21b間に拘束されるには至らず、検体液の流れに乗って下流に輸送される程度の電気泳動力である。したがって、検体液に含まれる微小物体は、電気泳動力により底面基板3側の流路面を沿うようにして輸送される。測定電極8間には定電流源12から検体液のインピーダンスに応じた定電流が印加されており、インピーダンス値と定電流値との積による電圧が電圧計13に検出される。ここで、検体液中に微小物体が含まれていると、検体液のインピーダンスが変化し、パルス電圧となって検出される。信号演算手段14は、電圧計13で検出されたパルス電圧と閾値を比較し、閾値を超えるパルス電圧の数をカウントする。パルス電圧のカウントは、設定された測定時間内に亘り行われ、測定後、信号演算手段14で、検体液の流量とパルス電圧のカウント数から微小物体の濃度個/mlが算出される。以上、説明したように、本発明の微小物体量測定装置1によれば、センサ部の上流側に、微小物体を電気泳動力によってセンサ部の近傍に泳動させる微小物体泳動手段を備えており、微小物体の泳動軌跡がセンサ部の測定電極8の表面近傍を通過するように制御され、微小物体が測定電極8上を通過するときに、深さ方向でのばらつきが抑制されるため、微小物体の測定精度を向上することができる。図6は、実施例4に係る微小物体量検出装置1の上方断面図である。実施例4に係る微小物体量検出装置1は、実施例1に示した微小物体量検出装置1において測定電極8間の流路5の幅を狭める狭窄部7が設けられている。その他の部分の構成、機能に関しては、実施例1と同様なので詳細な説明は省略する。狭窄部7は流路5の一部として、上面基板2に流路5や調整路6と一緒に形成される。狭窄部7の間隔は微小物体の大きさに応じて設定されるが、約30~100μm程度であることが好ましい。測定電極8間に狭窄部7を設けることにより、狭窄部7を通過する検体液中の微小物体の密度が高まり、パルス電圧が大きくなるので、測定感度および測定精度をさらに向上させることができる。なお、狭窄部7は他の実施例2~3と組合わせて用いることも可能であり、各実施例において測定感度および測定精度をさらに向上させることができる。