"二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽の第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水して生物処理する有機性排水の生物処理方法において、該第二生物処理槽以降の生物処理槽に微小動物を保持する担体を設けると共に、該第二生物処理槽以降の生物処理槽内の汚泥の一部を引き抜いて無酸素槽で処理した後該第二生物処理槽以降の生物処理槽に返送することを特徴とする有機性排水の生物処理方法。請求項1において、前記第一生物処理水の少なくとも一部を前記無酸素槽を経由して前記第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水することを特徴とする有機性排水の生物処理方法。請求項1又は2において、前記有機性排水の一部を前記無酸素槽に導入し、残部を前記第一生物処理槽に導入することを特徴とする有機性排水の生物処理方法。請求項1ないし3のいずれか1項において、前記無酸素槽が担体を保持することを特徴とする有機性排水の生物処理方法。二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽を備え、第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水して生物処理する有機性排水の生物処理装置において、該第二生物処理槽以降の生物処理槽に微小動物を保持する担体が設けられており、該第二生物処理槽以降の生物処理槽内の汚泥の一部を引き抜いて処理した後該第二生物処理槽以降の生物処理槽に返送する無酸素槽を設けたことを特徴とする有機性排水の生物処理装置。請求項5において、前記第一生物処理水の少なくとも一部を前記無酸素槽を経由して前記第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水する手段を有することを特徴とする有機性排水の生物処理装置。請求項5又は6において、前記有機性排水の一部を前記無酸素槽に導入する手段と、該有機性排水の残部を前記第一生物処理槽に導入する手段を有することを特徴とする有機性排水の生物処理装置。請求項5ないし7のいずれか1項において、前記無酸素槽に担体が保持されていることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。このような微小動物の捕食作用を利用した多段活性汚泥法は、実際に有機性廃水処理に用いられており、対象とする排水によっては処理効率の向上、50程度の発生汚泥量の減量化が可能となっている。この汚泥減量に寄与する微小動物には、濾過捕食型のものと凝集体捕食型のものがある。このうち、凝集体捕食型の微小動物は、フロック化した汚泥をかじりながら捕食することも可能であるため、凝集体捕食型微小動物が優先化した場合、処理水質は悪化してしまう。従って、処理水質の向上のためには、微小動物のうち、濾過捕食型のものを優先させることが有効であるが、従来において、濾過捕食型の微小動物の増殖と凝集体捕食型の微小動物の増殖を制御する方法は提案されておらず、排水処理において微小動物を用いた汚泥減量を行う場合、運転条件によっては、予期しない処理水質悪化が発生することが問題となっていた。本発明は上記従来の問題点を解決し、微小動物の捕食作用を利用した多段活性汚泥法において、濾過捕食型の微小動物を優先させて、処理効率の向上及び汚泥の減容化と共に、処理水質のより一層の向上を図る有機性排水の生物処理方法及び装置を提供することを課題とする。本発明者らは、上記課題を解決するべく鋭意検討した結果、後段の生物処理槽汚泥を引き抜き、無酸素槽を経由させることで、遊泳性凝集体捕食型の微小動物の増殖を抑制して処理水質の悪化を防ぐことができること、加えて、後段の生物処理槽に微小動物保持担体を設置することで、固着性の濾過捕食型微小動物を保持することができ、後段の生物処理槽の汚泥を引き抜いて無酸素槽へ導入する処理を行っても、これらの微小動物は影響を受けず、この結果、濾過捕食型微小動物を優先化させることができること、を見出した。本発明はこのような知見に基いて達成されたものであり、以下を要旨とする。本発明請求項1の有機性排水の生物処理方法は、二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽の第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水して生物処理する有機性排水の生物処理方法において、該第二生物処理槽以降の生物処理槽に微小動物を保持する担体を設けると共に、該第二生物処理槽以降の生物処理槽内の汚泥の一部を引き抜いて無酸素槽で処理した後該第二生物処理槽以降の生物処理槽に返送することを特徴とするものである。請求項2の有機性排水の生物処理方法は、請求項1において、前記第一生物処理水の少なくとも一部を前記無酸素槽を経由して前記第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水することを特徴とするものである。請求項3の有機性排水の生物処理方法は、請求項1又は2において、前記有機性排水の一部を前記無酸素槽に導入し、残部を前記第一生物処理槽に導入することを特徴とするものである。請求項4の有機性排水の生物処理方法は、請求項1ないし3のいずれか1項において、前記無酸素槽が担体を保持することを特徴とするものである。本発明請求項5の有機性排水の生物処理装置は、二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽を備え、第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水して生物処理する有機性排水の生物処理装置において、該第二生物処理槽以降の生物処理槽に微小動物を保持する担体が設けられており、該第二生物処理槽以降の生物処理槽内の汚泥の一部を引き抜いて処理した後該第二生物処理槽以降の生物処理槽に返送する無酸素槽を設けたことを特徴とするものである。請求項6の有機性排水の生物処理装置は、請求項5において、前記第一生物処理水の少なくとも一部を前記無酸素槽を経由して前記第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水する手段を有することを特徴とするものである。請求項7の有機性排水の生物処理装置は、請求項5又は6において、前記有機性排水の一部を前記無酸素槽に導入する手段と、該有機性排水の残部を前記第一生物処理槽に導入する手段を有することを特徴とするものである。請求項8の有機性排水の生物処理装置は、請求項5ないし7のいずれか1項において、前記無酸素槽に担体が保持されていることを特徴とするものである。本発明では、微小動物の捕食作用を利用した多段活性汚泥法において、微小動物を保持する生物処理槽に微小動物保持担体を設けると共に、この生物処理槽内汚泥を引き抜いて無酸素槽で処理した後返送することにより、微小動物保持生物処理槽内で、凝集体捕食型微小動物の増殖を抑制して濾過捕食型微小動物を優先的に増殖させることが可能となり、処理水質の向上を図ることができる。このため、本発明によれば、有機性排水の効率的な生物処理が可能になり、以下のような効果が奏される。1排水処理時に発生する汚泥の大幅な減量化2高負荷運転による処理効率の向上3安定した処理水質の維持以下に図面を参照して本発明の有機性排水の生物処理方法および装置の実施の形態を詳細に説明する。図1~5は本発明の有機性排水の生物処理方法および装置の実施の形態を示す系統図である。図1~5において、1は第一生物処理槽、2は第二生物処理槽、3は沈殿槽、4は無酸素槽、5は膜分離装置、11,21は散気管、22は微小動物保持担体、41は攪拌手段、42は担体であり、図1~5において同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。図1の態様では、原水有機性排水は第一生物処理槽1に導入され、分散性細菌非凝集性細菌により、有機成分の70以上、望ましくは80以上、さらに望ましくは90以上が酸化分解される。この第一生物処理槽1のpHは6以上、望ましくは8以下とする。ただし、原水中に油分を多く含む場合にはpHは8以上としても良い。また、第一生物処理槽1への通水は、通常一過式とされ、第一生物処理槽1のBOD容積負荷は1kg/m3/d以上、例えば1~20kg/m3/d、HRT原水滞留時間は24h以下、好ましくは8h以下、例えば0.5~8hとすることで、分散性細菌が優占化した処理水を得ることができ、また、HRTを短くすることでBOD濃度の低い排水を高負荷で処理することができる。第一生物処理槽1には、後段の生物処理槽からの汚泥の一部を返送したり、この第一生物処理槽1を二槽以上の多段構成としたり、担体を添加したりすることにより、BOD容積負荷5kg/m3/d以上の高負荷処理も可能となる。第一生物処理槽1に担体を添加する場合、担体の形状は、球状、ペレット状、中空筒状、糸状、板状等の任意であり、大きさも0.1~10mm程度の径において任意である。また、担体の材料も天然素材、無機素材、高分子素材等任意であり、ゲル状物質を用いても良い。また、第一生物処理槽1に添加する担体の充填率が高い場合、分散菌は生成せず、細菌は担体に付着するか、糸状性細菌が増殖する。そこで、第一生物処理槽1に添加する担体の充填率を10以下、望ましくは5以下とすることで、濃度変動に影響されず、捕食しやすい分散菌の生成が可能になる。また、この第一生物処理槽1は溶存酸素DO濃度を1mg/L以下、好ましくは0.5mg/L以下として、糸状性細菌の増殖を抑制しても良い。なお、第一生物処理槽1で溶解性有機物を完全に分解した場合、第二生物処理槽2ではフロックが形成されず、また、微小動物増殖のための栄養も不足し、圧密性の低い汚泥のみが優占化した生物処理槽となる。従って、第一生物処理槽1での有機成分の分解率は100ではなく、95以下、望ましくは85~90となるようにすることが好ましい。第一生物処理槽1の処理水第一生物処理水は、後段の第二生物処理槽2に通水し、ここで、残存している有機成分の酸化分解、分散性細菌の自己分解および微小動物の捕食による余剰汚泥の減量化を行う。第二生物処理槽2では、細菌に比べ増殖速度の遅い微小動物の働きと細菌の自己分解を利用するため、微小動物と細菌が系内に留まるような運転条件および処理装置を用いる必要がある。そこで第二生物処理槽2には、汚泥返送を行う活性汚泥法または膜分離式活性汚泥法を用いることが望ましい。また、この第二生物処理槽2は二槽以上の多段構成としても良い。本発明においては、この第二生物処理槽2内に微小動物保持担体22を設けることにより、微小動物の槽内保持量を高める。第二生物処理槽2に設ける担体22の形状は、流動床の場合は球状、ペレット状、中空筒状、糸状等任意であり、大きさも0.1~10mm程度の径で良い。固定床を用いても良く、その場合の担体22の形状は糸状、板状等任意である。また、担体22の材料は天然素材、無機素材、高分子素材等任意であり、ゲル状物質を用いても良い。第二生物処理槽2では、微小動物を維持するための多量の足場が必要となることから、添加する担体の充填率は流動床、固定床の形式の違いや材質により異なるが、0.5~40とすることが望ましい。また、前述の如く、第二生物処理槽2では、分散状態の菌体を捕食する濾過捕食型微小動物だけでなく、フロック化した汚泥を捕食できる凝集体捕食型微小動物も増殖する。後者は遊泳しながら、フロックを捕食するため、優先化した場合、汚泥は食い荒らされ、微細化したフロック片が散在する汚泥となる。このフロック片により、沈殿池型の活性汚泥では処理水SS濃度が上昇し、膜式活性汚泥では膜の目詰まりが発生する。そこで、本発明では、無酸素槽4を設け、この無酸素槽4に第二生物処理槽2から引き抜いた汚泥を所定時間滞留させることにより、遊泳性の微小動物の増殖を阻害することで、生物相の安定化を図る。この場合、第二生物処理槽2には微小動物保持担体22が設けられており、濾過捕食型微小動物は担体22側に定着するため、第二生物処理槽2から引き抜いたれて無酸素槽4に流入することは殆どなく、従って濾過捕食型微小動物の増殖が阻害されることはない。第二生物処理槽2から引き抜かれ、無酸素槽4で処理された汚泥は第二生物処理槽2に返送される。第二生物処理槽2から無酸素槽4へ引き抜く汚泥量、及び無酸素槽4での汚泥の滞留時間は、処理状況に応じて適宜決定されるが、通常汚泥の引き抜き量は槽容量に対して1/30倍量/日以上、また、無酸素槽4での汚泥の滞留時間0.5時間以上とすることが好ましい。本発明において、無酸素槽4では、微小動物の増殖を阻害するため、ORPを0mV以下とする必要がある。そのため、無酸素槽4では曝気は行わず、機械攪拌のみとすることが望ましい。また、ORPの低下を促進するために第一生物処理水や原水を通水し、酸生成反応や脱窒反応によりORPを下げるようにしても良い。また、無酸素槽4でのORP低下脱窒反応、酸生成反応を安定して進行させるため、無酸素槽4に担体を添加しても良い。無酸素槽4でのORPが低ければ、遊泳性微小動物の活性低下は促進されるため、無酸素槽4での第二生物処理槽汚泥の滞留時間を短くでき、無酸素槽4を小型化することができる。添加する担体の形状は流動床の場合は球状、ペレット状、中空筒状、糸状の任意であり、大きさも0.1~10mm程度の径で任意である。固定床を用いても良く、その場合の担体22の形状は、糸状、板状等任意である。更に、材料についても天然素材、無機素材、高分子素材等任意で、ゲル状物質を用いても良い。無酸素槽4に担体を添加する場合、その充填率は流動床、固定床の形式の違いや材質により異なるが、0.5~40とすることが望ましい。なお、この第二生物処理槽2においては、槽汚泥を定期的に入れ替える、即ち、微小動物や糞を間引くため、SRT固形分滞留時間を60日以下望ましくは45日以下、さらに望ましくは10日以上45日以下の範囲内で一定に制御することが望ましい。ただし、第二生物処理槽2内の汚泥濃度MLSSが2000mg/L以下となる場合は、SRT>60日としてもよい。ここで、SRT=槽内汚泥濃度×曝気槽容積÷であり、槽内汚泥濃度MLSSは浮遊汚泥の濃度を指し、担体付着汚泥分は含めない。また、本発明において、第二生物処理槽2へ投入する第一生物処理水中に有機物が多量に残存した場合、その酸化分解は後段の処理槽で行われることになる。微小動物が多量に存在する第二生物処理槽2で細菌による有機物の酸化分解が起こると、微小動物の捕食から逃れるための対策として、捕食されにくい形態で増殖することが知られており、このように増殖した細菌群は微小動物により捕食されず、これらの分解は自己消化のみに頼ることとなり、汚泥発生量低減の効果が下がってしまう。そこで、前述のように、第一生物処理槽では有機物の大部分、すなわち原水BODの70以上、望ましくは80以上を分解し、菌体へと変換しておく必要がある。よって、後段生物処理槽への溶解性BODによる汚泥負荷で表すと0.25~0.50kg-BOD/kg-MLSS/dで運転することが望ましい。ここでも、MLSSは、浮遊汚泥の濃度を指し、担体付着分の汚泥は含めない。図1において、第二生物処理槽2からの処理水は、次いで、沈殿槽3で汚泥と処理水とに固液分離され、分離水が処理水として取り出され、分離汚泥の一部が返送汚泥として第二生物処理槽2に返送され、残部は余剰汚泥として系外へ排出される。なお、この沈殿槽3の代りに固液分離手段として、膜分離装置を用いても良い。従来において、活性汚泥の膜分離処理では、膜の目詰まりによるフラックスの低下、薬品洗浄が課題とされているが、本発明によれば、突発的な汚泥の分散化を防ぐことができ、膜分離装置の運転管理を容易にすることができる。図2に示す態様は、第一生物処理槽1からの第一生物処理槽処理水の一部、例えば10~20程度を無酸素槽4に導入し、残部を第二生物処理槽2に導入する点が図1に示す態様と異なり、その他は同様の構成とされている。前述の如く、このように、第一生物処理槽水の一部を無酸素槽4に導入することにより、無酸素槽4のORPを低下させて、無酸素槽4における微小動物の増殖阻害効果を高めることができる。図3に示す態様は、原水の一部、例えば10~20程度を直接無酸素槽4に導入し、残部を第一生物処理槽1に導入する点が図1に示す態様と異なり、その他は同様の構成とされている。前述の如く、このように、原水の一部を無酸素槽4に導入することにより、無酸素槽4のORPを低下させて、無酸素槽4における微小動物の増殖阻害効果を高めることができる。図4に示す態様は、沈殿槽3の代りに膜分離装置5を用い、膜分離装置5の透過水を処理水として取り出すと共に、濃縮水を第二生物処理槽2に返送し、余剰汚泥を第二生物処理槽2から直接引き抜くようにした点が図1に示す態様と異なり、その他は同様の構成とされている。前述の如く、固液分離手段として膜分離装置5を用いた場合、本発明によれば、凝集体捕食型微小動物の増殖が抑制されるために、従来の活性汚泥の膜分離処理におけるような膜の目詰りの問題が軽減され、膜フラックスを安定させて薬品洗浄頻度を低減することができる。図5に示す態様は、無酸素槽4に担体42を添加した点が図1に示す態様と異なり、その他は同様の構成とされている。前述の如く、このように、無酸素槽4に担体を添加することにより、無酸素槽4のORPを低下させて、無酸素槽4における微小動物の増殖阻害効果を高めることができる。図1~5は、本発明の実施の形態の一例を示すものであり、本発明は何ら図示のものに限定されない。例えば、第一生物処理槽、第二生物処理槽は、前述の如く、2段以上の多段構成としてもよく、従って、本発明では、生物処理槽を3段以上に設けてもよい。また、固液分離手段としては、沈殿槽の他、膜分離装置や浮上分離槽等を用いても良く、後段の生物処理槽は、生物処理槽と固液分離手段とを兼ねる膜浸漬型生物処理槽として、膜分離式好気処理を行ってもよい。いずれの態様においても、本発明によれば、第二生物処理槽以降の生物処理槽に微小動物保持担体を設けると共に、第二生物処理槽以降の生物処理槽汚泥を無酸素槽で処理することにより、凝集体捕食型微小動物の優先化を抑制することが出来、汚泥減量と処理水水質の向上とを両立することができる。以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。[実施例1]図1に示す如く、容量が3.6Lの第一生物処理槽1と、容量が15Lの第二生物処理槽2と、容量が5Lの無酸素槽4と、容量が5Lの沈殿槽3とを連結させた実験装置を用いて、本発明による有機性排水の処理を行った。原水は、CODCr:1000mg/L,BOD:640mg/Lの人口基質を含むものである。各生物処理槽の処理条件は次の通りとした。<第一生物処理槽>DO:0.5mg/LBOD容積負荷:3.85kg-BOD/m3/dHRT:4hpH:7.0<第二生物処理槽>DO:4mg/L担体充填率:2HRT:17hSRT:30日pH:7.0<無酸素槽>ORP:-100mVHRT=SRT:12hなお、第二生物処理槽2の担体12としては板状のポリウレタンフォームを用いた。また、装置全体でのBOD容積負荷は0.75kg-BOD/m3/dであり、装置全体でのHRTは21hであった。その結果、第二生物処理槽2内の汚泥フロック、担体には固着性の濾過捕食型微小動物ツリガネムシ、ヒルガタワムシが優先化し、汚泥転換率は0.1kg-MLSS/kg-CODCrとなった。処理水沈殿槽4の固液分離水水質は、SS濃度が10mg/L未満、溶解性CODCr濃度が30mg/L未満と、試験期間中、常時良好な状態を維持していた。[実施例2]沈殿槽の代りに膜分離装置としてUF膜を用い、図4に示す実験装置としたこと以外は実施例1と同様の条件で処理を行った。原水の水質、第一,第二生物処理槽及び無酸素槽の処理条件、並びに全体のBOD容積負荷及びHRTは実施例1と同一である。その結果、第二生物処理槽内の汚泥フロック、担体には固着性の濾過捕食型微小動物ツリガネムシ、ヒルガタワムシが優先化し、汚泥転換率は0.075kg-MLSS/kg-CODCrとなった。処理水膜分離装置の透過水水質は、溶解性CODCr濃度が20mg/L未満と、試験期間中、常時良好な状態を維持していた。また、膜間差圧の上昇はほとんど無く、1ヶ月以上薬品洗浄を行わなくても、安定したフラックスを維持することができた。[比較例1]無酸素槽を省略し、第二生物処理槽に担体を設けなかったこと以外は実施例1と同様の条件で処理を行った。原水の水質、第一、第二生物処理槽の処理条件並びに全体のBOD容積負荷及びHRTは実施例1と同一である。その結果、汚泥転換率は0.13kg-MLSS/kg-CODCrとなった。しかしながら、1ヶ月おきに、凝集体捕食型微小動物ハオリワムシが優先化し、その間は、処理水SS濃度が80mg/L、溶解性CODCrが150mg/Lまで上昇した。[比較例2]無酸素槽を省略し、第二生物処理槽に担体を設けなかったこと以外は実施例2と同様の条件で処理を行った。原水の水質、第一、第二生物処理槽の処理条件並びに全体のBOD容積負荷及びHRTは実施例1と同一である。その結果、汚泥転換率は0.12kg-MLSS/kg-CODCrとなった。しかしながら、1ヶ月おきに、凝集体捕食型微小動物ハオリワムシが優先化し、その間は、膜間差圧の上昇で、2週間に1回の膜の薬品洗浄が必要となった。"