"一端部に噴霧口が形成された筒状の外筒と、前記外筒の内部に同軸に配置され且つ前記外筒との間で噴霧用のガスが流れるガス流路が形成される筒状の内筒と、前記内筒の内部に形成されて前記噴霧口に搬送されて噴霧される液体試料が流れる試料流路と、前記内筒の一端に形成された試料出口に対して隙間をあけて配置され、前記試料出口から流出して噴霧用のガスによって液滴化した液体試料が、ガスとともに通過する複数の孔が形成された網状部材と、を備えたことを特徴とする噴霧器。繊維が編み込まれて形成された前記網状部材であって、前記繊維どうしの隙間により構成された前記孔を有する前記網状部材を備えたことを特徴とする請求項1に記載の噴霧器。請求項1または2に記載の噴霧器と、成分が分離されて前記噴霧器から噴霧された霧状の試料が供給されて、前記試料をプラズマ化するプラズマ源と、プラズマ化された試料の分析を行う分析計と、を備えたことを特徴とする分析装置。前記特許文献1に記載された2軸並行型のネブライザーでは、ガス出口よりもかなり大きい面積の第1のメッシュスクリーンを濡らした液がガスによって押し出されて液滴化され、第2のメッシュスクリーンで液滴を細かくする仕組みである。この噴霧では、メッシュスクリーンによる液滴の切り出しのみであり、ガスによる液滴破砕が生じないため、スクリーン表面で再会合等により大きな液滴が生成する。従って、液滴の粒径にバラツキが発生しやすい問題がある。液滴の粒径にバラツキが発生すると、液滴の重量や含まれる試料の量等が変動し、プラズマへの液滴の輸送効率が低下したり、測定される信号の強度が安定しにくい問題がある。また、このネブライザー構造では、2枚のメッシュスクリーンの隙間およびスクリーン自体に試料液が残留しやすく、分析における液交換の際の洗浄時間が同軸型ネブライザーに比べ長くなる点が問題である。さらに、先に流した液がメッシュスクリーンの隙間に留まりやすく、試料液間汚染の原因にもなる。これら洗浄および汚染問題は、ネブライザーに導入する液流量が少なくなるほど著しく大きくなるため、試料液消費を抑制するための低流量試料導入には特に適さない構造である。特許文献2に記載された三重管の同軸型のネブライザーの場合では、特許文献1に記載の2軸並行型のネブライザーに比べて、試料液が残留しにくいため、ネブライザー洗浄時間は短く、幅広い液流量に適用可能だが、噴霧した液滴の粒径にバラツキが発生しやすい問題がある。液滴の粒径にバラツキが発生すると、液滴の重量や含まれる試料の量等が変動し、プラズマへの液滴の輸送効率が低下したり、測定される信号の強度が安定しにくい問題がある。前述の事情に鑑み、本発明は、幅広い試料液流量において噴霧される液滴の粒径を均質に微細化しつつ、ネブライザーにおける試料液の残留を少なくさせることを技術的課題とする。前記技術的課題を解決するために、請求項1に記載の発明の噴霧器は、一端部に噴霧口が形成された筒状の外筒と、前記外筒の内部に同軸に配置され且つ前記外筒との間で噴霧用のガスが流れるガス流路が形成される筒状の内筒と、前記内筒の内部に形成されて前記噴霧口に搬送されて噴霧される液体試料が流れる試料流路と、前記内筒の一端に形成された試料出口に対して隙間をあけて配置され、前記試料出口から流出して噴霧用のガスによって液滴化した液体試料が、ガスとともに通過する複数の孔が形成された網状部材と、を備えたことを特徴とする。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の噴霧器において、繊維が編み込まれて形成された前記網状部材であって、前記繊維どうしの隙間により構成された前記孔を有する前記網状部材を備えたことを特徴とする。前記技術的課題を解決するために、請求項3に記載の発明の分析装置は、請求項1または2に記載の噴霧器と、成分が分離されて前記噴霧器から噴霧された霧状の試料が供給されて、前記試料をプラズマ化するプラズマ源と、プラズマ化された試料の分析を行う分析計と、を備えたことを特徴とする。請求項1,3に記載の発明によれば、同軸型の噴霧器の試料出口に対して隙間をあけて配置された網状部材を有しない場合に比べて、幅広い試料液流量において噴霧される液滴の粒径を均質に微細化しつつ、ネブライザーにおける試料液の残留を少なくさせることができる。請求項2に記載の発明によれば、繊維が編み込まれて網状部材が形成されており、低コストな構成で液滴の粒径のバラツキを少なくすることができる。次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例である実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、以下の図面を使用した説明において、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。図1は実施例1の分析装置の説明図である。図1において、本発明の実施例1の分析装置1は、試料が収容される試料容器2を有する。実施例1の試料容器2には、液体試料が収容されている。なお、本願明細書および特許請求の範囲において、液体試料とは、液体状の試料、または、液体中に固体状の試料が分散、懸濁または溶けた状態等の液体も含む意味で使用している。前記試料容器2には、噴霧器であるネブライザー3が接続されている。なお、ネブライザー3については、後で詳述する。前記ネブライザー3の先端部は、気化室4に支持されている。気化室4には、ネブライザー3から噴霧された霧状の試料が搬送されるプラズマ搬送路4aと、廃液が排出される排出路4bとが形成されている。前記プラズマ搬送路4aには、プラズマ源の一例としてのプラズマトーチ6が接続されている。プラズマトーチ6は3重管構造に構成されており、プラズマ搬送路4aに接続されて霧状の試料が通過する試料ガス流路6aと、試料ガス流路6aの外周に設けられたアルゴンAr等の補助ガスが流れる補助ガス流路6bと、補助ガス流路6bの外周に設けられたアルゴンAr等のプラズマガスが流れるプラズマガス流路6cと、を有する。プラズマトーチ6の先端部6dには、誘導プラズマ発生用のコイル6eが設置されており、アルゴンガスをプラズマ化する電界を発生させる高周波の電力が供給可能に構成されている。前記プラズマトーチ6の先端側には、分析計の一例としての質量分析計7が設置されている。質量分析計7は、円錐状のサンプリングコーン7aおよびスキマーコーン7bを通じて、プラズマでイオン化された試料が引き込まれ、イオンレンズ7cで収束されて、4重極子マスフィルターからなる質量分析部7dに送り込まれる。質量分析部7dで選別されたイオンは、イオン検出器7eで検出される。実施例1の質量分析計7には、サンプリングコーン7aとスキマーコーン7bとの間を排気する排気装置の一例としてのロータリポンプ7fや、イオンレンズ7cや質量分析部7dを排気する排気装置の一例としてのターボ分子ポンプ7gが設置されている。なお、実施例1の質量分析計7は、Q-MSQuadrupolemassspectrometer:4重極質量分析計が使用されているが、Q-MSに限定されず、従来公知の任意の質量分析計を使用可能である。また、プラズマトーチ6の先端部の側方には、分析計の一例として、発光分析装置8が設置されている。実施例1の発光分析装置8は、発光を集光する集光系8aと、集光系8aで集光された光を絞る入口スリット8bと、入口スリット8bを通過した光を反射する凹面鏡8cと、凹面鏡8cで反射された光を分光する回折格子8dと、回折格子8dで分光された光を反射する凹面鏡8eと、凹面鏡8eで反射された光を絞る出口スリット8fと、出口スリット8fを通過した光を検出する検出器8gとを有する。なお、実施例1の発光分析装置8は、例示した構成に限定されず、従来公知の任意の発光分析装置を採用可能である。ネブライザーの説明図2は実施例1のネブライザーの全体説明図である。図3は実施例1のネブライザーの先端部分の拡大説明図である。なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をX軸方向、左右方向をY軸方向、上下方向をZ軸方向とし、矢印X,-X,Y,-Y,Z,-Zで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。また、図中、○の中にが記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、○の中に×が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。図2において、実施例1のネブライザー3は、中空円筒状の外筒11を有する。図2、図3において、外筒11の先端部には、噴霧口11aが形成されており、基端部11bは、流体の一例としての噴霧用のガスを導入可能な流体導入部11cが形成されている。また、外筒11の先端部の外表面には、締結部の一例としてのネジ部11dが形成されている。図2、図3において、外筒11の内部には、中空円筒状の内筒の一例としてのキャピラリー管12が、外筒11と同軸に配置されている。キャピラリー管12と外筒11との間には、流体流路の一例としての噴霧ガスが流れるガス流路R1が形成され、キャピラリー管12の内部には試料流路R2が形成されている。実施例1のキャピラリー管12は、前端の試料出口12aが、噴霧口11a近傍に配置されると共に、左端部が外筒11を貫通して左方に延びており、内筒固定部材の一例としての固定ユニオン16に支持されている。固定ユニオン16は、円筒状のユニオン本体17を有する。ユニオン本体17は、軸方向の両端側から軸方向に延びる一対の凹部17a,17bが形成されており、凹部17a,17bの間には仕切壁17cが形成されている。各凹部17a,17bの内周面には、ネジ溝が形成されており、仕切壁17cには、各凹部17a,17bを接続する貫通口17dが形成されている。右側の凹部17aには、外筒11の左端、すなわち、外筒11の基端部11bが収容されている。外筒11の左端部は、凹部17aの内周面のネジ溝に噛み合う第1の固定ネジ18を貫通して支持されており、外筒11の左端には、仕切壁17cとの間を封止する封止部材の一例としての第1キャップ19が装着されている。また、左側の凹部17bには、内周面のネジ溝に噛み合う第2の固定ネジ21が装着されており、第2の固定ネジ21には、弾性材料であって低摩擦材料の一例としてのポリテトラフルオロエチレン製のスリーブ22を介してキャピラリー管12が貫通した状態で支持されている。スリーブ22の内端には、封止部材の一例としての第2キャップ23が装着されている。なお、実施例1の固定ユニオン16では、ユニオン本体17や固定ネジ18,21、キャップ19,23は樹脂材料により構成されている。また、スリーブ22は設けることが望ましいが、省略することも可能である。したがって、実施例1のキャピラリー管12は、第2の固定ネジ21を締めることで、固定ユニオン16を介して外筒11に固定されると共に、第2の固定ネジ21を緩めることで、外筒11に対して取り外される。したがって、実施例1のキャピラリー管12は、外筒11等に対して着脱可能な状態で支持されている。なお、実施例1では、キャピラリー管12の位置が固定ユニオン16で調整が可能であり、試料出口12aの位置を精度良く調整が可能である。中空円筒状のキャピラリー管12は、試料容器2に接続されており、キャピラリー管12内部の試料流路R2を試料が流動可能となっている。図3において、実施例1のネブライザー3では、外筒11の先端部に、網状部材の保持体の一例としてのメッシュホルダ26が支持されている。実施例1のメッシュホルダ26は、内周面にネジ部11dにネジ込まれるネジ部26aが形成された中空筒状の筒部26bと、筒部26bの前端に配置された板状の保持部26cとを有する。前記保持部26cには、噴霧口11aの前方に対応して開口26dが形成されている。前記保持部26cの内側には、網状部材の一例としてのシート状のメッシュシート27が支持されている。実施例1のメッシュシート27は、外周部が保持部26cに支持された状態で噴霧口11aの前方に対応して配置されている。したがって、メッシュシート27がメッシュホルダ26の内側に支持された状態で、メッシュホルダ26のネジ部26aが外筒11のネジ部11dにネジ止めされることで、メッシュシート27が噴霧口11aの前方に間隔をあけた状態で保持される。なお、実施例1では、メッシュシート27と噴霧口11aとの間隔は、100μmに設定されているが、これに限定されず、任意に設定可能であり、25μm~200μm程度が好適である。図4は実施例1の網状部材の要部説明図であり、図3の矢印IV方向から見た図である。図4において、実施例1のメッシュシート27は、樹脂の一例としてのナイロン繊維27aが編み込まれて、繊維どうしの間に孔27bが形成されたシートが使用されている。前記孔27bの大きさd1は、小さすぎると液体が目詰まりしやすくなり、大きすぎると噴霧される液滴の径が大きくなりすぎるため、実施例1では、d1=15[μm]のものが使用されており、5μm~20μmのものが好適である。実施例1の作用前記構成を備えた実施例1のネブライザー3では、噴霧ガスの一例としてのアルゴンArを流体導入部11cから導入されると、キャピラリー管12の先端から液体状の試料が霧状になって、噴霧口11aから気化室4に噴出し、プラズマトーチ6でプラズマ化され、質量分析計7や発光分析装置8で計測、分析がされる。実施例1のネブライザー3では、2軸並行型に比べて、液滴を微細化しやすい同軸型のネブライザー3において、噴霧口11aから噴霧された試料液滴がメッシュシート27を通過する際に、微細化された液滴が、さらに微細化されて、メッシュシート27を通過した液滴の粒径が、均一になりやすく、平均粒径を小さくすることができる。なお、本願明細書において、平均粒径とは、レーザー回折散乱法によって求めた粒度分布における体積積算値50での粒径を指すものとする。実験例次に、実施例1のネブライザーの機能を確認するための実験を行った。実験例1実験例1では、液体試料として、純水を使用し、噴霧ガスとしてアルゴンArを使用し、メッシュシートを通過後の試料液滴の粒度分布を、メッシュシートから5mmの距離でレーザー回折散乱法により計測した。また、実験例1では、試料液の導入流量を、0.010[mL/min]、0.050[mL/min]、0.100[mL/min]、0.250[mL/min]、0.500[mL/min]、1.000[mL/min]とし、噴霧ガスの流量を1[L/min]として、メッシュシート27の孔27bの大きさが、15[μm]の場合について、粒度分布を計測し、平均粒径を求めた。比較例1-1比較例1-1では、市販されている汎用の同軸2重管ネブライザーを使用して、ネブライザーノズル先端から5mmの距離で、実験例1と同様に粒度分布を計測し、平均粒径を求めた。比較例1-2比較例1-2では、特許文献2記載の同軸型の3重管ネブライザーを使用して、ネブライザーノズル先端から5mmの距離で、実験例1と同様に粒度分布を計測し、平均粒径を求めた。実験結果を図5、図6に示す。図5は実験例1、比較例1-1および比較例1-2の実験結果における平均粒径の一覧表である。図5において、実験の結果、実験例1のネブライザーでは、平均粒径が、2.27[μm]から3.97[μm]で、試料液流量が増えるにしたがって増加したのに対し、比較例1-1の汎用同軸2重管ネブライザーでは、平均粒径が、22.9[μm]から26.7[μm]で、非常に大きく、比較例1-2の同軸型の3重管ネブライザーでは、平均粒径が、2.38[μm]から5.00[μm]で、試料液流量が増えるにしたがって増加し、いずれの試料液流量でも、実験例1のネブライザーの平均粒径よりも大きかった。特に、比較例1-1では、0.100[mL/min]以下の低流量において、安定噴霧ができず、試料導入が困難であることも確認された。図6は実験例1、比較例1-1および比較例1-2において試料液量が0.5[mL/min]における粒度分布の実験結果の説明図であり、横軸に液滴粒径を取り、縦軸に体積頻度を取った片対数グラフである。図6において、液滴の粒径と体積頻度各粒径の液滴の体積を基準とした観測頻度のグラフから、比較例1-1では、50[μm]程度の液滴の頻度が最も高いのに対し、微細化が不十分であることが確認された。比較例1-2および実験例1において、共に、2.2[μm]程度の液滴の頻度が最も高くなっているが、比較例1-2に比べて、実験例1の方が、2.2[μm]程度の液滴の頻度が高く、微細な液滴の割合が多いことが確認された。したがって、図5、図6から、実験例1では、比較例1-2に比べて、さらに平均流度が小さくなっていると共に、微細な液滴の割合が多く、粒径のバラツキが小さく、安定して微細な液滴を供給することが可能になっている。よって、低流量における試料の導入がさらに安定化しやすくなっている。なお、図6において、実験例1や比較例1-2の実験結果で9[μm]の頻度が高くなっているのは、噴霧された液滴どうしが接触再会合して、1つの大きな液滴になるためであると考えられ、実験例1では、メッシュシート27により、比較例1-2に比べて、液滴の再会合が抑制されて、頻度が低下したものと考えられる。実験例2実験例2では、実験例1のネブライザーをICP―OESに装着し、濃度1mgLのマンガン標準液を試料液として導入したときのマンガンの原子発光強度を波長257.610nmで測定した。実験例2では、試料液の導入流量を、0.10[mL/min]、0.25[mL/min]、0.50[mL/min]、0.75[mL/min]、1.00[mL/min]、1.25[mL/min]、1.50[mL/min]、1.75[mL/min]、2.00[mL/min]とし、噴霧ガスの流量を0.5[L/min]として、メッシュシート27の孔27bの大きさが、15[μm]の場合について、マンガンの原子発光強度を測定した。比較例2-1比較例2-1では、比較例1-1と同様の汎用の同軸2重管ネブライザーを使用して、実験例2と同様にマンガンの原子発光強度の測定を行った。比較例2-2比較例2-2では、比較例1-2と同様の特許文献2記載の同軸型の3重管ネブライザーを使用して、実験例2と同様にマンガンの原子発光強度の測定を行った。実験結果を図7に示す。図7は実験例2、比較例2-1および比較例2-2におけるマンガンの原子発光強度の測定結果の説明図であり、横軸に試料液流量を取り、縦軸にマンガンの相対発光強度を取ったグラフである。図7において、実験の結果、実験例2のネブライザーでは、マンガンの発光強度は、比較例2-1の汎用同軸2重管ネブライザーの2.2倍以上、比較例2-2の特許文献2記載の同軸型の3重管ネブライザーの1.5倍以上であった。したがって、実施例1のネブライザーでは、従来の構成に比べて、観測装置で観測される信号の強度が高くなり、より高感度の観測が可能であることが確認された。したがって、実施例1のネブライザー3では、メッシュシート27を通過して、噴霧される液滴の径が微細化されやすく、且つ、径が均一になりやすく、安定して高効率の噴霧が可能になっている。したがって、プラズマへの液滴の輸送効率が向上し、質量分析計7や発光分析装置8により測定される信号の強度が高くなる。よって、実施例1のネブライザー3では、高電圧を印加して帯電試料を噴霧するエレクトロスプレーイオン技術のように、高電圧の印加が必要なく、特別な配管技術も必要なく、既設のICP-OES/MS装置1に容易に適用可能である。さらに、実施例1のネブライザー3は、キャピラリー管12と外筒11とが同軸に配置された同軸型のネブライザーであり、特許文献1記載の2軸並行型のネブライザーや試料の流路とガスの流路が90°の角度で直交するクロスフロー型等の従来公知のネブライザーに比べて、取扱も容易であると共に、霧状の液滴が細かくなりやすくて噴霧効率も高く、安定した噴霧が可能となっている。また、実施例1のネブライザー3では、キャピラリー管12が着脱可能に構成されており、着脱不能の構成に比べて、キャピラリー管12の外筒11や噴霧口11aに対する位置の調整微調整が可能になっている。したがって、製造時の誤差等で噴霧効率にばらつきが発生することを抑制することが可能になっている。さらに、キャピラリー管11や外筒11の交換も容易となり、破損や汚染等で消耗したキャピラリー管12を容易に交換したり、洗浄を容易に行うことができる。また、試料の特性に応じて適したネブライザーを準備する場合に比べて、実施例1では、試料に応じたキャピラリー管14を複数用意して、試料に応じて交換するだけで対応が可能となり、1つの外筒11で多様な試料に対応することが可能になっている。また、実施例1のネブライザー3では、メッシュホルダ26がネジ止めにより着脱可能に支持されており、メッシュホルダ26を取り外すことで、使用後のメッシュシート27の交換が容易になっている。したがって、メッシュシート27が劣化した場合や、別の試料について測定を行う場合に、メッシュシート27を容易に交換することもでき、前回の測定での残留物が次回の測定に悪影響を与えることを低減できる。さらに、実施例1では、メッシュシート27が、繊維が編み込まれて形成されており、従来公知の技術で大量生産が容易であり、低コストな構成で、網状部材を作製することができる。変更例以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例H01~H08を下記に例示する。H01前記実施例において、例示した具体的な数値や材料については、例示した値や材料に限定されず、設計や仕様、用途等に応じて、適宜変更可能である。H02前記実施例において、質量分析計7と発光分析装置8の両方を備えた分析装置1を例示したが、この構成に限定されず、いずれか一方のみとしたり、例示した分析計以外の分析計を設置することも可能である。H03前記実施例において、キャピラリー管12は着脱可能に構成することが望ましいが、着脱不能あるいは製造可能であれば一体形成の構成とすることも可能である。H04前記実施例において、液体試料を成分毎に分離して分析を行う場合には、ネブライザー3と試料容器2との間に、クロマトグラフィー等で使用されるカラム分離カラムを接続して成分毎に分離した状態で噴霧を行うことも可能である。また、カラムを使用せず、キャピラリー管12の内部に有機モノリスを形成したり、特開2003-151486号公報や特開2005-134168号公報等に記載されたシリカゲル等の充填剤やサイズの異なるポアーが混在する棒状の多孔質体を収容することで、キャピラリー管12内で成分の分離を行って、成分毎に噴霧を行うことも可能である。有機モノリスは、例えば、溶液1[mL]当たり、メタクリル酸グリシジル150[μL]、ジメタクリル酸エチレングリコール50[μL]、1-プロパノール467[μL]、1,4-ブタンジオール266[μL]、水67[μL]、2,2′-アゾビスイソブチロニトリル2[mg]を含む溶液をキャピラリー管12内に注入して封止し、60°Cで24時間加熱して熱重合した後、メタノールで細孔形成剤を除去することで多孔質の構造体である有機モノリスを形成可能である。有機モノリスや充填剤等の分離媒体をキャピラリー管12に設けた場合、成分が分離されるキャピラリー管12から直接噴霧が可能であり、分離カラムで成分を分離後に、配管を通過する間に、分離した成分が分散する構成に比べて、分散を低減することが可能、すなわち、デッドボリュームをゼロにすることが可能である。なお、分離媒体は、キャピラリー管12の先端まで形成されていることが望ましいが、先端部の手前までに形成したり、キャピラリー管12全体に形成せずに部分的に形成したり等することも可能である。H05前記実施例において、プラスに帯電する六価クロムや三価クロムやヒ素As、セレンSe等を含む試料の分析を行う場合に、これらに対応して、キャピラリー管12内に、陰イオン交換基の化学修飾を行って、クロムCr等の吸着を行って、試料の成分の分離を行うことも可能である。また、前記キャピラリー管12に前記変更例H03との一体形成の構成を組み合わせることも可能である。同様に、試料がマイナスに帯電する成分を含む場合には、陽イオン交換基の化学修飾を行うことも可能である。特に、実施例1、2のキャピラリー管12は、着脱可能に構成されており、陰イオン交換基が化学修飾されたキャピラリー管と、陽イオン交換基が化学修飾されたキャピラリー管とを準備しておいて、分析対象の試料に応じてキャピラリー管だけを交換することで、外筒11は共用することも可能である。H06前記実施例において、同軸型の二重管の構成を例示したが、これに限定されず、3重管や4重管、5重管以上の構成とすることも可能である。H07前記実施例において、網状部材として、ナイロンが編み込まれたメッシュシート27を例示したが、これに限定されず、使用される試料の特性等に応じて、適切な網状部材を使用可能である。例えば、ポリイミド樹脂の多孔膜等の樹脂の多孔膜を使用したり、多孔質Pt白金等の金属の多孔膜を使用したり、シリコンにフォトリソエッチング等で孔を複数形成したシリコンメッシュを使用したり、PTFEやPFA等のフッ素樹脂にレーザーアブレーションで孔を複数形成したフッ素樹脂メッシュを使用することも可能である。なお、ガラスを溶かす可能性のあるフッ化水素酸を試料に含む場合は、フッ素樹脂メッシュを使用した上で、外筒11等の内面にフッ素樹脂のコーティングをする等の耐フッ化水素酸仕様とすることが望ましい。H08前記実施例において、液体状の試料を送液する場合にポンプを配置することも可能である。また、溶離液を送液ポンプで送液し、途中にインジェクタを設けて溶離液に試料を注入する構成とすることも可能である。"