"潤滑油の貯留室と、前記貯留室と連通する通路と、吸気口と排気口とを有する円筒形状の内周面と、前記吸気口と前記排気口との間に第1の頂部を有する第1の曲面部と、前記排気口と前記第1の頂部との間に第2の頂部を有し前記第1の曲面部に連続して形成された第2の曲面部とを含むポンプ室と、前記内周面に対向する外周面と、前記内周面上を摺動する摺動部とを有し、前記外周面の一部が前記第1の曲面部に近接するように前記ポンプ室に配置された回転体と、前記ポンプ室に接続され、前記回転体を回転させる回転軸を有する駆動部とを具備する油回転真空ポンプ。請求項1に記載の油回転真空ポンプであって、前記第1の曲面部および前記第2の曲面部は、それぞれ同等の曲率半径を有する曲面形状を含む油回転真空ポンプ。請求項1又は請求項2に記載の油回転真空ポンプであって、前記第1の曲面部および前記第2の曲面部は、それぞれ前記外周面と同等の曲率半径を有する油回転真空ポンプ。上記構成の油回転真空ポンプにおいては、ベーンの摺動抵抗を低減する潤滑油が気体とともに排気口へ向かって移送される。ベーンが排気口を通過した後の潤滑油は、ポンプ室上端部の狭い隙間を介して吸気口側へ導かれる。一方、ポンプ室の圧力が低下するほど、ベーンによって掻き出される潤滑油の量が増加する。ポンプ室上端に導かれる潤滑油の量が所定以上になると、排気口とポンプ室上端部との隙間に潤滑油が閉じ込められ、潤滑油を吸気側に円滑に導くことが困難になる。その結果、上記隙間に閉じ込められた潤滑油がポンプ室の内壁やベーンに対して過大な負荷を生じさせ、異音や振動を発生させる場合がある。以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、ポンプ室内の潤滑油に起因する異音や振動を低減することができる油回転真空ポンプを提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る油回転真空ポンプは、潤滑油の貯留室と、ポンプ室と、回転体と、駆動部とを具備する。上記ポンプ室は、上記貯留室と連通する通路と、吸気口と排気口とを有する円筒形状の内周面と、上記吸気口と上記排気口との間に第1の頂部を有する第1の曲面部と、上記排気口と上記第1の頂部との間に第2の頂部を有し上記第1の曲面部に連続して形成された第2の曲面部とを含む。上記回転体は、上記内周面に対向する外周面と、上記内周面上を摺動する摺動部とを有し、上記外周面の一部が上記第1の曲面部に近接するように上記ポンプ室に配置される。上記駆動部は、上記ポンプ室に接続され、上記回転体を回転させる回転軸を有する。本発明の一実施形態に係る油回転真空ポンプは、潤滑油の貯留室と、ポンプ室と、回転体と、駆動部とを具備する。上記ポンプ室は、上記貯留室と連通する通路と、吸気口と排気口とを有する円筒形状の内周面と、上記吸気口と上記排気口との間に第1の頂部を有する第1の曲面部と、上記排気口と上記第1の頂部との間に第2の頂部を有し上記第1の曲面部に連続して形成された第2の曲面部とを含む。上記回転体は、上記内周面に対向する外周面と、上記内周面上を摺動する摺動部とを有し、上記外周面の一部が上記第1の曲面部に近接するように上記ポンプ室に配置される。上記駆動部は、上記ポンプ室に接続され、上記回転体を回転させる回転軸を有する。上記油回転真空ポンプにおいて、回転体は、その外周面の一部と、ポンプ室の内周面上に形成された第1の曲面部とが近接するように配置されている。そして、回転軸を介して伝達される駆動部の回転駆動力を受けると、回転体はポンプ室内で回転し、上記内周面上における摺動部の移動によって吸気口から気体を吸入し、圧縮しつつ排気口から排出する。一方潤滑油は、貯留室から通路を介してポンプ室に導入され、摺動部を潤滑するとともに、上記内周面及び回転体の外周面に油膜を形成する。このため、摺動部が回転する際、気体とともに潤滑油が掻き出されながら排気口に向かって移送される。摺動部によって掻き出された潤滑油の量が増加した際、上記第1の曲面部と回転体の外周面との隙間や、これらと排気口との隙間に潤滑油が閉じ込められ、ポンプ室の内周面や摺動部に対して負荷を生じさせ、異音や振動を発生させることがある。上記油回転真空ポンプにおいては、第2の曲面部が、第1の曲面部と回転体の外周面と排気口とに囲まれた隙間を広げ、潤滑油を収容する緩衝部となることにより、潤滑油による負荷を低減し、異音や振動の発生を抑制することができる。また、上記油回転真空ポンプは、回転体が対向配置された第1の曲面部と、潤滑油を収容する第2の曲面部とが連続して形成されている。これによって、上記摺動部がポンプ室内周面を滑らかに移動することができる。上記油回転真空ポンプは、上記第1の曲面部および上記第2の曲面部が、それぞれ同等の曲率半径を有する曲面形状を含んでもよい。これによって、第2の曲面部が第1の曲面部と同様の工程で形成することができ、容易かつ低廉に上記ポンプ室を製造することができる。上記油回転真空ポンプは、上記第1の曲面部および上記第2の曲面部が、それぞれ上記外周面と同等の曲率半径を有してもよい。これによって、ポンプ室の内周面と回転体とのシール性が高まり、ポンプ機能を向上させることができるとともに、第2の曲面部が第1の曲面部と同様の工程で形成することができ、容易かつ低廉に上記ポンプ室を製造することができる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。油回転真空ポンプの構成図1は、本発明の一実施形態に係る油回転真空ポンプを示す部分破断側面図である。本実施形態では、2段式の油回転真空ポンプを例に挙げて説明する。本実施形態の油回転真空ポンプ1は、本体10と、駆動部20と、ポンプ機構30とを有する。図1においてX軸方向及びY軸方向は水平方向を示し、Z軸方向は鉛直方向重力方向を示す。本体10は、第1のケーシング101と、第2のケーシング102とを有する。第1のケーシング101は、本体10の主要部を構成し、駆動部20とポンプ機構30とが各々組み付けられる。第2のケーシング102は第1のケーシング101の一端図1において右端に取り付けられ、内部にポンプ油潤滑油を貯留する貯留室13を形成する。第2のケーシング102の所定位置には、貯留室13内のポンプ油の液面Psを確認するためのレベルゲージ103が取り付けられている。本体10は、吸気管11と、排気管12とを有する。吸気管11は、第1のケーシング101に取り付けられ、図示しない吸気管接続部を介して真空チャンバ等に接続される。第1のケーシング101には、吸気管11とポンプ機構30との間を連絡する吸気通路111が形成されている。排気管12は、第2のケーシング102に取り付けられ、ポンプ機構30によって吸気管11を介して吸入された気体を装置外部へ排出する。排気管12には、図示しない排気管接続部等が接続される。駆動部20は、ポンプ機構30を駆動するモータと、当該モータを収容するモータケース等で構成されており、本体10第1のケーシング101に取り付けられる。駆動部20は、Y軸方向に延在する回転軸21を有し、回転軸21をその軸回りに回転させる。回転軸21は、上記モータの駆動軸に連結された軸部材であってもよい。この場合、上記軸部材は、上記駆動軸に直結されてもよいし、ベルトやギヤ等の回転伝達機構を介して駆動軸に接続されてもよい。回転軸は、例えば滑り軸受等によって回転可能に支持されている。ポンプ機構30は、2段twostage式のゲーテ型ポンプユニットで構成される。図2は、ポンプ機構30の詳細を示す拡大図である。ポンプ機構30は、第1のシリンダブロック31と、第2のシリンダブロック32と、中間ブロック321と、サイドカバー33とを有する。第1のシリンダブロック31は、第1のケーシング101を構成する隔壁112に固定される。中間ブロック321は、第1のシリンダブロック31と第2のシリンダブロック32との間に固定され、回転軸21を支持する滑り軸受が挿通される挿通孔322を有する。中間ブロック321は、第1のシリンダブロック31の内部に第1のポンプ室P1を形成する。第1のポンプ室P1には、第1の回転体R1が回転可能に収容されている。第1の回転体R1は、回転軸21に連結された第1のロータ41と、第1のロータ41の周囲に径方向へ摺動可能に取り付けられた一対の第1のベーン51第1の摺動部とを有する。サイドカバー33は、第2のシリンダブロック32に固定され、これにより第2のシリンダブロック32の内部に第2のポンプ室P2が形成される。第2のポンプ室P2には、第2の回転体R2が回転可能に収容されている。第2の回転体R2は、回転軸21に連結された第2のロータ42と、第2のロータ42の周囲に径方向へ摺動自在に取り付けられた一対の第2のベーン52第2の摺動部とを有する。第1のシリンダブロック31、第2のシリンダブロック32及びサイドカバー33は、例えばY軸方向に軸方向を有する複数本のネジ部材Bを介して隔壁112に固定される。ポンプ機構30は、貯留室13に貯留されたポンプ油によって潤滑される。ポンプ機構30には、ポンプ油を第1のポンプ室P1及び第2のポンプ室P2へそれぞれ供給するための潤滑ライン通路が設けられている。上記潤滑ラインは、貯留室13とポンプ室P1,P2との間でポンプ油を連通させる。上記潤滑ラインは、第1の貫通孔L1と、第2の貫通孔L2と、第3の貫通孔L3と、第4の貫通孔L4とを有する。以下の説明では、個別に説明する場合を除き、第1~第4の貫通孔L1~L4を総称して潤滑ラインLとも称する。第1の貫通孔L1は、サイドカバー33をY軸方向に貫通するように、回転軸21の軸心から所定距離だけオフセットした位置に形成されている。また第2の貫通孔L2は、第2のロータ42をY軸方向に貫通し、第2のロータ42の任意の回転位置で第1の貫通孔L1と整列することが可能なように、回転軸21の軸心から上記所定距離だけオフセットした位置に形成される。第3の貫通孔L3は、中間ブロック321をY軸方向に貫通し、第2のロータ42の任意の回転位置で第2の貫通孔L2と整列することが可能なように、回転軸21の軸心から上記所定距離だけオフセットした位置に形成される。第3の貫通孔L3の形成位置は特に限定されないが、本実施形態では、回転軸21よりも重力方向に関して上方側に形成される。そして第4の貫通孔L4は、第1のロータ41をY軸方向に貫通し、第1のロータ41の任意の回転位置で第3の貫通孔L3と整列することが可能なように、回転軸21の軸心から上記所定距離だけオフセットした位置に形成される。ロータ41,42の回転により各ポンプ室P1,P2には負圧が形成され、貯留室13とポンプ室P1,P2との間に圧力差が生じる。これにより貯留室13に貯留されたポンプ油は、潤滑ラインLを介して、第1及び第2のポンプ室P1,P2へ供給されることになる。また、第1のポンプ室P1と駆動部20との間において、回転軸21の周囲にはオイルシールが装着されている。これにより第1のポンプ室P1から駆動部20へのポンプ油の浸入が防止される。図3は、図2における[A]-[A]線方向断面図である。第2のポンプ室P2の内周面N2には、第2の吸気ポート第2の吸気口T2と第2の排気ポート第2の排気口E2とがそれぞれ形成されている。第2の吸気ポートT2は、第1のシリンダブロック31、中間ブロック321及び第2のシリンダブロック32に跨って形成された連絡通路121を介して第1の排気ポートE1に連通している。第2の排気ポートE2は複数でも単数でもよい。第2の排気ポートE2は、第2のシリンダブロック32を径方向に貫通する。また、第2のシリンダブロック32の周面には、第2の排気ポートE2を覆う排気弁V2がそれぞれ配置されている。排気弁V2はリード弁方式の逆止弁であり、第2の排気ポートE2内の圧力が所定値を超えたときに開弁し、気体を排出する。第2のロータ42は、第2のポンプ室P2とほぼ同等の高さを有する円柱形状に形成されており、その軸心部には回転軸21が固定されている。第2のベーン52各々は、第2のロータ42の周囲に180度間隔で放射状に形成された一対の溝内にそれぞれ配置されており、これらベーン52の間には、第2のロータ42及び回転軸21を径方向に貫通するバネ62が予め圧縮された状態で取り付けられている。第2のベーン52各々は、第2のロータ42の回転による遠心力及びバネ62の弾性力を受けて第2のロータ42の径外方に付勢され、各ベーン52の先端部が第2のポンプ室P2の内壁面上に押し付けられる。そして、各ベーン52の先端部は第2のポンプ室P2の内壁面を摺動する摺動部として機能し、第2の吸気ポートT2から第2の排気ポートE2へ気体を搬送する。このとき、第2のロータ42は第2のポンプ室P2に対して偏芯して配置されているため、第2のロータ42の回転位置において第2のベーン52の突出量が変化し、したがって気体の搬送空間の容積も変化する。第2の排気ポートE2は上記搬送空間の容積が最も小さい領域に形成されているため、気体は圧縮されながら第2の排気ポートE2へ導かれることになる。第1のポンプ室P1は、第2のポンプ室P2と同様に、回転軸21に対して偏芯した円筒形状に形成されているが、第1のポンプ室P1の容積は、第2のポンプ室P2の容積以上の大きさで形成されている。第1のポンプ室P1の内周面には、吸気通路111と連通する第1の吸気ポートT1と、第1のシリンダブロック31を径方向に貫通する第1の排気ポートE1とがそれぞれ形成されている。第1の排気ポートE1は複数でも単数でもよい。また第1のシリンダブロック31の周面には、各排気ポートE1を覆う排気弁V1がそれぞれ配置されている。排気弁V1はリード弁方式の逆止弁であり、第1の排気ポートE1内の圧力が所定値を超えたときに開弁し、気体を排出する。第1のロータ41は、第1のポンプ室P1とほぼ同等の高さを有する円柱形状に形成されており、その軸心部には回転軸21が固定されている。第1のベーン51各々は、第1のロータ41の周囲に180度間隔で放射状に形成された一対の溝内にそれぞれ配置されており、これらベーン51の間には、第1のロータ41及び回転軸21を径方向に貫通する複数のバネ61が予め圧縮された状態で取り付けられている。そして第1の回転体R1もまた、第1のロータ41を回転させることで第1のベーン51各々を第1のポンプ室P1の内壁面上を摺動する摺動部として機能し、第1の吸気ポートT1から第1の排気ポートE1へ気体を搬送する。図4は、図3に示した第2のポンプ室P2の内周面N2の詳細を示す拡大図である。なお、図4は、説明のため実際より強調して示している。内周面N2は、第1の曲面部C1と、第2の曲面部C2とを含む。なお、ロータ42は破線で示している。また、第2のポンプ室P2内の、第2の曲面部C2とロータ42と第2の排気ポートE2とで囲まれた領域をS1とし、網がけして示している。第1の曲面部C1は、例えばロータ42の外周面と同等の曲率半径を有する曲面であり、第2の吸気ポートT2と第2の排気ポートE2との間に位置する第1のトップTp1第1の頂部を含んでいる。破線で示したロータ42は、図のように第1のトップTp1に近接して配置されている。第1のトップTp1を含む第1の曲面部C1とロータ42の外周面との間には、例えば001~005mmの隙間が形成され、この隙間にポンプ油が満たされることで油膜が形成される。なお、第1のトップTp1の位置は、第2の吸気ポートT2と第2の排気ポートE2との間であれば、特に制限されない。また、第1の曲面部C1が形成される領域は、第1のトップTp1を含めば特に制限されない。第2の曲面部C2は、第1の曲面部C1に連続して形成され、例えばロータ42の外周面と同等の曲率半径を持つ曲面であり、第2のトップTp2第2の頂部を含んでいる。第2のトップTp2は第2の排気ポートE2と第1のトップTp1との間であればよく、その位置は特に制限されない。また、第2の曲面部C2が形成される領域は、第2のトップTp2を含めば特に制限されない。油回転真空ポンプの動作以上のように構成される本実施形態の油回転真空ポンプ1において、第1のロータ41は、回転軸21を介して伝達される駆動部20の回転駆動力を受けて第1のポンプ室P1内で回転する。そして第1のポンプ室P1の内壁面上を摺動する第1のベーン51によって第1の吸気ポートT1から気体が吸入され、圧縮された後、第1の排気ポートE1へ搬送される。ここで、例えば運転開始時のように、第1の排気ポートE1へ搬送された気体の圧力が所定値を超える場合、気体は排気弁V1を介して貯留室13へ開放され、排気管接続部12から排出される。また定常運転時等のように、第1の排気ポートE1から排出される気体の圧力が所定値以下の場合は、排気弁V1を開放せず連絡通路121を介して第2のポンプ室P2へ導入される。第2のロータ42もまた、回転軸21を介して伝達される駆動部20の回転駆動力を受けて第2のポンプ室P2内で回転する。そして第2のポンプ室P2の内壁面上を摺動する第2のベーン52によって、第2の吸気ポートT2から気体が吸入され、圧縮された後、第2の排気ポートE2へ搬送され、排気弁V2を開放して貯留室13へ排出される。ここで、第2のポンプ室P2で吸引される気体は、第1のポンプ室P1から排出され連絡通路121を介して第2の吸気ポートT2へ到達した気体であるため、第2のポンプ室P2において当該気体はさらに圧縮されて排気される。このため本実施形態の油回転真空ポンプ1は、圧縮比が高く、低い到達圧力を得ることができる。本実施形態における第2のポンプ室P2は、第1の曲面部C1がロータ42の外周面と同等の曲率半径を持つことによって、第1の曲面部C1の任意の位置におけるロータ42との間隔がほぼ一定である。このため、第1の曲面部C1とロータ42との隙間のほぼ全面に均一な油膜を形成でき、高いシール性を得ることができる。これにより、第2の排気ポートE2側で圧縮された気体を含むポンプ油が第2の吸気ポートT2側に過度に流入することを防ぎ、ポンプ室内を所望の圧力に保つことが可能となる。なお、第1の曲面部C1とロータ42との間隔は特に制限されないが、0.01~0.05mmであれば、ポンプ油の油膜の形成を妨げず、良好なシール性を保つことができる。図5は、本実施形態と同様の2段式の油回転真空ポンプにおいて、第2のポンプ室P20の内周面N20が、ほぼ一様な円筒形状であった場合の一例を示した図である。なお、ロータ420は破線で示しており、内周面N20とロータ420とが最も近接する位置をトップTp10とする。図5では、トップTp10における曲面部C10とロータ420との間隔が最も狭く、内周面N20の任意の位置においてロータ420との間隔が一定ではない。したがって、曲面部C10とロータ420とのシール性が低い。このため、ベーンが内周面N20上を回転し、第2の排気ポートE20を通過した際に、第2の吸気ポートT20側にポンプ油が容易に流入してしまう。この流入したポンプ油には圧縮気体が混入することがあり、この気体が第2の吸気ポートT20側で膨張し、到達圧力を高めてしまうことがある。一方、図6は、本実施形態と同様の2段式の油回転真空ポンプにおいて、第2のポンプ室P21の内周面N21がほぼ一様な円筒形状であるが、第1の曲面部C1に対応する曲面部C11のみ形成された場合の一例を示した図である。なお、ロータ421は破線で示している。曲面部C11は、例えばロータ421の外周面と同等の曲率半径を持つ曲面であり、トップTp11を含んでいる。また、曲面部C11とロータ421と第2の排気ポートE21とで囲まれた領域をS11とし、網がけして示している。この例では、本実施形態と同様に、曲面部C11とロータ421との間にほぼ均一な油膜が形成され、シール性が保たれている。ベーンが内周面N21上を回転し、第2の排気ポートE21を通過する際、ベーンによってポンプ油も掻き出され、領域S11に運ばれる。特に、第2のポンプ室P21内が所望の圧力に達すると、第2のポンプ室P21とポンプ油の貯留室との差圧が高まり、運転開始時と比較して多くのポンプ油がポンプ室に導入される。また、ポンプ室P1、P2の圧力が低下するほど各ポンプ室内のガスの容積が低下し、その分潤滑油の占める量が増加する。さらに、曲面部C11とロータ421との間にすでに十分なポンプ油が存在する場合は、ベーンによって掻き出されたポンプ油が狭い隙間である領域S11で急激な圧力上昇を起こし、ベーンがロータ421内に押し込まれ、異音や振動が生じることもある。これに対して本実施形態の油回転真空ポンプ1は、図4に示したように、第2のポンプ室P2の内周面N2に、第1の曲面部C1に連続して形成された第2の曲面部C2を有する。このため、図4の領域S1は、図6の領域S11と比較して広い体積を有する。これによって、ベーン52が内周面N2上を回転し、第2の排気ポートE2を通過する際、ベーン52によってポンプ油も掻き出されるが、領域S1がポンプ油を収容する緩衝部として機能し、ポンプ油が第1の曲面部C1とロータ42との間の油膜に接触する衝撃をやわらげる。さらに、ポンプ油が領域S1内で急激な圧力上昇を起こしにくいため、ベーン52への衝撃もやわらぎ、ベーン52がロータ42内に押し込まれる際の異音や振動も抑制することができる。第2の曲面部C2の曲率は特に限定されず、内周面N2よりも大きな曲率で形成されていればよい。本実施形態では、例えばロータ42の外周面と同等の曲率半径を持つ曲面で形成される。これにより、第1の曲面部C1において所期のシール性を確保しつつ、第2の曲面部C2において潤滑油による異音や振動の発生を効果的に抑えることができる。また、第1の曲面部C1と第2の曲面部C2とが連続的に形成されているため、両曲面部間におけるベーン52の跳ね上がりによる異音の発生を抑えることができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。以上の実施形態では、第1の曲面部C1と第2の曲面部C2とがそれぞれロータ42の外周面と同等の曲率半径を有するとして説明したが、勿論これに限られない。例えば、第1の曲面部C1は、対向するロータ42の外周面との間に十分なシール性を有する油膜が形成される曲面であればよい。また、第2の曲面部C2は、第1の曲面部C1と連続して形成され、ロータ42との間にポンプ油の緩衝部として十分な空間を形成できればよい。また、第2の曲面部C2と第2の排気ポートE2とを連通する通路を形成してもよいし、ポンプ油を吸収する吸収体等を設置してもよい。また、以上の実施形態では、2段式の油回転真空ポンプの2段側のポンプ室に限定して説明したが、同様の構造を1段側にも適応可能である。また以上の実施形態では、2段式の油回転真空ポンプを例に挙げて説明したが、これに限られず、1段式の油回転真空ポンプにも適用可能である。"