"接触の有無を判定する第1のセンサと、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサとを具備するリンクと、前記リンクの位置を制御する関節機構と、前記第1のセンサおよび前記第2のセンサの検出結果に基づいて処理を制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記第1のセンサが接触を検出するように前記関節機構を制御したときの、前記第2のセンサの出力値を用いて、前記第2のセンサの状態を判定する第1処理を行うことを特徴とするロボット装置。請求項1記載のロボット装置において、前記第1処理が、前記第2のセンサのオープン故障を判定する処理であることを特徴とするロボット装置。請求項2記載のロボット装置において、記憶素子を更に有し、前記第1処理が、前記記憶素子に予め記録されている閾値と、前記第2のセンサの出力値とを比較することによって、前記第2のセンサのオープン故障を判定することを特徴とするロボット装置。請求項2記載のロボット装置において、前記第1処理が、前記第2のセンサのオープン故障を判定する処理の前に行う、前記第2のセンサのショート故障を判定する処理であることを特徴とするロボット装置。請求項1記載のロボット装置において、前記第1処理が、前記第2のセンサが物体と接触していることを判定するための閾値を決定する処理であることを特徴とするロボット装置。請求項1記載のロボット装置において、接触端子を更に有し、前記第1のセンサは、前記接触端子との接触の有無を判定することを特徴とするロボット装置。請求項6記載のロボット装置において、前記接触端子は、接地された導体であることを特徴とするロボット装置。請求項1記載のロボット装置において、前記リンクを2つ有し、前記2つのリンクは、回転軸に対して対向して配置され、それぞれ、接触端子と、前記第1のセンサと、前記複数の第2のセンサとを有し、前記接触端子と前記第1のセンサとは、前記回転軸と直交する軸に対称の位置に配置されることを特徴とするロボット装置。請求項1記載のロボット装置において、前記複数の第2のセンサは、行列状に配置され、前記第1のセンサは、前記行列状の上端の1箇所に配置されることを特徴とするロボット装置。請求項1記載のロボット装置において、前記複数の第2のセンサは、行列状に配置され、前記第1のセンサは、前記行列状の上端と下端との複数箇所に配置されることを特徴とするロボット装置。プロセッサによって、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサの状態を判定するセンサの状態判定方法であって、前記プロセッサは、接触の有無を判定する第1のセンサの判定結果を用いて、1つの前記第2のセンサの状態を判定し、前記1つの第2のセンサの状態判定結果を用いて、前記1つの第2のセンサとは別の第2のセンサの状態判定を行うことを特徴とするセンサの状態判定方法。請求項11記載のセンサの状態判定方法において、前記1つの第2のセンサの出力値と、予め記録されている閾値とを比較することによって、前記別の第2のセンサの故障を判定することを特徴とするセンサの状態判定方法。プロセッサによって、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサの状態を判定するセンサの状態判定方法であって、前記プロセッサは、接触の有無を判定する複数の第1のセンサの判定結果を用いて、前記複数の第1のセンサの間に配置された、前記複数の第2のセンサの状態を判定することを特徴とするセンサの状態判定方法。請求項13記載のセンサの状態判定方法において、前記複数の第1のセンサの出力値と、予め記録されている閾値とを比較することによって、前記複数の第2のセンサの故障を判定することを特徴とするセンサの状態判定方法。しかしながら、上述した特許文献1記載の方法は、ロボットハンド全体の動作診断を行う方法であり、センサに関して具体的な動作診断の方法は説明されていない。感圧セルの経年劣化のうち、初期状態、即ち感圧センサアレイに何も物体が接触していない状態で判別可能なものは1ショート故障のみである。従って、事前に計測した動作パターンからは、2オープン故障及び3感度劣化を判別することはできない。また、ロボットハンドの把持面は、対象物体を傷つけたり、破損したりしないように曲面状に形成される。上述した特許文献2記載の技術では、プレート状の剛体を支持する力センサの閾値を調整することはできるが、こうした曲面に配置された柔軟かつ微細な素材で構成されたセンサに対しては有効ではない。更に、アレイ状に配列された感圧セル個々の動作チェック、および閾値を調整することはできないという課題もある。そこで、上述したような課題に鑑み、本発明の代表的な目的は、ロボットハンドの把持面に設けられた感圧センサアレイの感圧セル個々の故障を判定する技術を提供することにある。より詳細には、感圧センサアレイの感圧セル個々に対して、1ショート故障、2オープン故障、3感度劣化を検査する方法を提供することにある。また、3感度劣化が検出された感圧セル個々に対して、感度劣化を補償する方法を提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。すなわち、代表的なロボット装置は、接触の有無を判定する第1のセンサと、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサとを具備するリンクと、前記リンクの位置を制御する関節機構と、前記第1のセンサおよび前記第2のセンサの検出結果に基づいて処理を制御する制御部とを有する。そして、前記制御部は、前記第1のセンサが接触を検出するように前記関節機構を制御したときの、前記第2のセンサの出力値を用いて、前記第2のセンサの状態を判定する第1処理を行うことを特徴とする。また、代表的なセンサの状態判定方法は、プロセッサによって、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサの状態を判定するセンサの状態判定方法である。そして、前記プロセッサは、接触の有無を判定する第1のセンサの判定結果を用いて、1つの前記第2のセンサの状態を判定し、前記1つの第2のセンサの状態判定結果を用いて、前記1つの第2のセンサとは別の第2のセンサの状態判定を行うことを特徴とする。また、代表的な別のセンサの状態判定方法は、プロセッサによって、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサの状態を判定するセンサの状態判定方法である。そして、前記プロセッサは、接触の有無を判定する複数の第1のセンサの判定結果を用いて、前記複数の第1のセンサの間に配置された、前記複数の第2のセンサの状態を判定することを特徴とする。本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。すなわち、代表的なものによって得られる効果は、ロボットハンドの把持面に設けられた感圧センサアレイの感圧セル個々の故障を判定することができる。より詳細には、感圧センサアレイの感圧セル個々に対して、1ショート故障、2オープン故障、3感度劣化を検査することができる。また、3感度劣化が検出された感圧セル個々に対して、感度劣化を補償することができる。以下の実施の形態においては、便宜上その必要があるときは、複数の実施の形態またはセクションに分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらは互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。また、以下の実施の形態において、要素の数等個数、数値、量、範囲等を含むに言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。さらに、以下の実施の形態において、その構成要素要素ステップ等も含むは、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。[実施の形態の概要]本実施の形態のロボット装置一例として、内に対応する構成要素、符号などを付記は、接触の有無を判定する第1のセンサ露出電極40と、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサ感圧センサアレイ30の複数の感圧セルとを具備するリンク指先部23指節部21と、前記リンクの位置を制御する関節機構指関節機構22と、前記第1のセンサおよび前記第2のセンサの検出結果に基づいて処理を制御する制御部ロボットハンド制御プロセッサ11とを有する。そして、前記制御部は、前記第1のセンサが接触を検出するように前記関節機構を制御したときの、前記第2のセンサの出力値を用いて、前記第2のセンサの状態を判定する第1処理を行うことを特徴とする。また、本実施の形態のセンサの状態判定方法は、プロセッサロボットハンド制御プロセッサ11によって、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサ感圧センサアレイ30の複数の感圧セルの状態を判定するセンサの状態判定方法である。そして、前記プロセッサは、接触の有無を判定する第1のセンサ露出電極40の判定結果を用いて、1つの前記第2のセンサの状態を判定し、前記1つの第2のセンサの状態判定結果を用いて、前記1つの第2のセンサとは別の第2のセンサの状態判定を行うことを特徴とする図6などに対応。また、本実施の形態の別のセンサの状態判定方法は、プロセッサロボットハンド制御プロセッサ11によって、圧力の大きさを検出する複数の第2のセンサ感圧センサアレイ30の複数の感圧セルの状態を判定するセンサの状態判定方法である。そして、前記プロセッサは、接触の有無を判定する複数の第1のセンサ上端露出電極41a、下端露出電極41bの判定結果を用いて、前記複数の第1のセンサの間に配置された、前記複数の第2のセンサの状態を判定することを特徴とする図13などに対応。上述した本実施の形態の概要に基づいた実施の形態を、以下において図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。もちろん、実施の形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材については同一の符号を付し、共通する説明は繰り返さない。[実施の形態1]本実施の形態1のロボット装置について、図1~図10を用いて説明する。本実施の形態では、ロボット装置の一例として、ロボットハンドの部分が台座に固定された装置を例に説明する。<ロボット装置の構成>まず、図1を用いて、本実施の形態のロボット装置の構成について説明する。図1は、このロボット装置の概略構成の一例を示す図である。本実施の形態のロボット装置は、ロボットハンドの機構部と、このロボットハンドの機構部を固定する台座3から構成される。ロボットハンドを構成する要素は、大きく、アーム部1とハンド部2という2つの部位に分けられる。アーム部1は、台座3に固定される端を基端とし、この基端側から先端側に向かう方向を延伸方向として、台座3に固定される基端関節機構4、腕節部5a、関節機構6a、腕節部5b、関節機構6b、腕節部5c、関節機構6c、腕節部5d、手首関節機構7が、順次延伸方向に連結される。ハンド部2は、手首関節機構7の更に延伸方向に連結される。台座3は、例えば導電性ウレタンフォームなど、導電性を持つ柔軟な素材で構成された接触リファレンス部8を更に備える。また、台座3の内部には、ロボットハンド全体の制御を行うロボットハンド制御部10を備える。各関節機構4、6a~6c、7は、自身より延伸方向に存在する部位に対して、関節軸周りの回転自由度を与える。例えば、図1において、基端関節機構4は、それより延伸方向に連結される腕節部5a以降の部位に対して、図中矢印に示すような回転自由度を与える。関節機構6a~6cおよび手首関節機構7についても同様である。各関節機構4、6a~6c、7に対して、適切な回転自由度を実現するように設計することで、アーム部1は、ハンド部2を、基端関節機構4を中心とした一定の空間領域内における所定の位置および方向に、移動もしくは回転させることが可能となる。なお、図1においては、基端関節機構4、関節機構6a~6c、手首関節機構7の5つの回転関節機構を備えるアーム部1を示したが、これは一例であって、関節機構および腕節部の数および種類を限定するものではない。更に、関節機構および腕節部の数および種類を増加させることで、ハンド部2が移動可能な空間領域を適宜変更することが可能となる。例えば、並進関節機構を腕節部5a~5dに追加することで、ハンド部2が移動可能な空間領域を拡張することができる。このように、ハンド部2を必要となる位置および方向に移動もしくは回転させることができるものであれば、アーム部1の関節機構の数や腕節部の構成は、上記以外にも適宜変更できる。ハンド部2は、手首関節機構7の更に延伸方向に連結される手掌部25と、2本の指部20から構成される。指部20は、手掌部25に固定される端を基端とし、基端側から先端側に向かう方向を延伸方向として、手掌部25に固定される指基端関節機構24、指節部21a、指関節機構22a、指節部21b、指関節機構22b、指先部23のそれぞれが、この順に延伸方向に連結される。これにより、アーム部1と同様に、指基端関節機構24を中心とし、一定の空間領域内の所定の位置および方向に、指先部23を適宜移動させることが可能である。なお、これらの各関節機構および指節部の構成は、適宜変更可能であることは言うまでもない。また、指部20の本数も、2本に限定されるものではない。上記のように構成されるロボット装置のロボットハンドは、対象物の把持などの扱いを行うためには、アーム部1の腕節部5もしくはハンド部2の指節部21もしくは指先部23に相当するリンクを少なくとも2つ以上具備し、前記リンクを移動させる関節機構を少なくとも1つ以上具備すればよい。<指先部の構造>図2は、指先部23の構造の一例を示す図である。図2aは指先部23の物体との接触面である腹面から見た図であり、図2bはaの一点鎖線A―A’における断面図であり、図1と同方向から見た図である。また、図2cは、指先部23を、一点鎖線A―A’のA’方向から見た図である。指先部23のフレーム230には、腹面に沿うように、感圧センサアレイ30が張り付けられ、この感圧センサアレイ30の先端の一部には、露出電極40が設けられている。これらの感圧センサアレイ30および露出電極40の詳細な構成については後述する。指先部23のフレーム230の内部には、センサ制御プロセッサ111と、信号線コネクタ120および121とを備えた、センサ制御モジュール100を備える。感圧センサアレイ30は、信号線コネクタ120を介してセンサ制御モジュール100上の回路と接続され、露出電極40は、信号線コネクタ121を介して、センサ制御モジュール100上の回路と接続される。このように、感圧センサアレイ30および露出電極40と、センサ制御モジュール100上の回路とを、信号線コネクタ120および121で分離接続可能とすることで、ロボットハンドにおいて、物体との接触が多い感圧センサアレイ30や露出電極40を、適宜交換可能になる。<感圧センサアレイの構成>図3は、感圧センサアレイ30の構成の一例を分解斜視で示す図である。感圧センサアレイ30は、図3のy軸方向に並列に配置された板状x方向に延伸の列電極31a~31eと、図3のx軸方向に並列に配置された板状y方向に延伸の行電極32a~32jとの間に、感圧導電ゴムシート33が積層される。更に、感圧センサアレイ30の物体との接触する面に、被覆フィルム34が積層される。また、被覆フィルム34の一部には、露出電極40を形成する。感圧センサアレイ30において、1つの列電極31と1つの行電極32との交点を含む所定の面積の領域を感圧セル単にセルとも記すと定義する。即ち、感圧センサアレイ30は、図3の点線で区切られた感圧セルが行列状に配置されたセンサである。なお、図3に示すように、例えば、列電極31aと行電極32aとの交点を第0行第0列の感圧セル0,0、列電極31bと行電極32aとの交点を第0行第1列の感圧セル0,1、列電極31aと行電極32bとの交点を第1行第0列の感圧セル1,0のように定義し、以下、感圧セルの座標系とする。感圧センサアレイ30に、図3のz軸正方向から負方向に向けて力を加えた場合、感圧導電ゴムシート33は加圧された力の大きさに応じてその抵抗値が減少する。従って、例えば、列電極31aと行電極32aとの間の抵抗値を測定することで、列電極31aと行電極32aとの交点を含む感圧セル0,0に加えられた力を検出することができる。同様にして、列電極31a~31eと、行電極32a~32jとの任意の組み合わせの間の抵抗値を測定することで、感圧センサアレイ30の任意の位置に加わっている力を、感圧セルを単位として、個別に検出することができる。以降の説明では、便宜上、感圧セルの測定値とは加えられた力の大きさを示すものとする。また、露出電極40は、感圧センサアレイ30の行列状の上端の1箇所に設けられ、接触の有無を判定する。感圧センサアレイ30は、ロボットハンドの指先部23に張り付けるために、感圧導電ゴムシート33や被覆フィルム34を含め、全ての部材を柔軟物で構成する必要がある。そのため、長期間使用した場合、衝撃や擦過により部材に傷や欠けが生じたり、紫外線や熱などにより柔軟部材内部で微細なひび割れクラックが生じたりする。感圧導電ゴムシート33の傷や欠けによって、特定の列電極31と特定の行電極32が常に接触した状態になると、両電極の交点によって定義される感圧セルにおける測定値は、常に力が加わった状態との判別が不可能となる。これがショート故障である。また、列電極31や行電極32が破断したり、感圧導電ゴムシート33の内部のクラックにより加わった力がシート内部で分散されたりすると、特定の感圧セルにおける測定値は、常に力が加わっていない状態との判別が不可能になるオープン故障。また、オープン故障に至らずとも、シート内部の力の分散などにより、同一の力に対する感圧セルの測定値が変化することもある感度劣化。このように、感圧センサアレイ30の各感圧セルにおいて、ショート故障、オープン故障、感度劣化の3つの故障が発生し得る。従って、ロボットハンドの使用前に感圧センサアレイ30の動作診断を行い、これらの故障を判別したり、感度を調整したりすることが必要となる。図3では、感圧セル0,2の領域のみ、露出電極40を形成した例を示している。真空蒸着もしくは電解メッキなどの方法により、露出電極40を十分に薄く形成することで、柔軟な部材とみなすことが可能である。即ち、感圧セル0,2と、その他の感圧セルとの間で特性上に差異は発生せず、感圧センサアレイ30の全体の特性に影響も発生しない。一方、露出電極40も、長期間の使用において、衝撃や擦過により破損する可能性はある。しかし、故障は外観や電気的試験手段によって、容易に判別可能である。<ロボットハンド制御システムの構成>図4は、本実施の形態のロボット装置におけるロボットハンド制御システムの概略構成の一例を示す図である。ロボットハンド制御システムは、台座3の内部に備えられるロボットハンド制御部10と、指先部23のフレーム230の内部に備えられるセンサ制御モジュール100と、ロボットハンド制御部10とセンサ制御モジュール100との間を接続するセンサ制御用バス15と、ロボットハンド制御部10と関節駆動モータ61とを接続する関節駆動モータ制御用バス14などから構成される。ロボットハンド制御部10は、ロボットハンド制御プロセッサ11と、ロボットハンド制御プロセッサ用メインメモリ12と、ロボットハンド制御プロセッサ用不揮発メモリ13とを備える。ロボットハンド制御プロセッサ用不揮発メモリ13には、ロボットハンド制御を行うためのプログラムおよびデータが記録される。ロボットハンド制御プロセッサ11は、これらのプログラムおよびデータを起動時にロードして、ロボットハンド制御プロセッサ用メインメモリ12をワーク領域として動作する。ロボットハンド制御プロセッサ11は、関節駆動モータ制御用バス14を介して、図1における関節機構6aを駆動する関節駆動モータ61a、図1における関節機構6bを駆動する関節駆動モータ61b、などの動作を制御する。なお、図4には図示されないが、図1における関節機構全ては、関節駆動モータを具備し、これらの関節駆動モータは、関節駆動モータ制御用バス14を介して、ロボットハンド制御プロセッサ11により制御される。センサ制御モジュール100は、センサ制御プロセッサ111と、センサ制御プロセッサ用メインメモリ112と、センサ制御プロセッサ用不揮発メモリ113と、接地判定部114と、行マルチプレクサ115と、列デコーダ116と、信号線コネクタ120および121とを備える。センサ制御プロセッサ用不揮発メモリ113には、センサ制御を行うためのプログラムとデータが記録される。センサ制御プロセッサ111は、これらのプログラムとデータを起動時にロードして、センサ制御プロセッサ用メインメモリ112をワーク領域として動作する。接地判定部114は、信号線コネクタ121を介して露出電極40と接続され、この露出電極40が、接地電位か否かを判定する機能を具備する。行マルチプレクサ115は、感圧センサアレイ30の複数の行電極32からの信号から1つを選択して、センサ制御プロセッサ111に入力する。列デコーダ116は、センサ制御プロセッサ111からの信号を、感圧センサアレイ30の複数の列電極31のいずれか1つに選択的に出力する。列デコーダ116と、行マルチプレクサ115により、センサ制御プロセッサ111は、感圧センサアレイ30の任意の位置にある感圧セルを指定して、その測定値を読み出すことができる。なお、図4には図示されないが、センサ制御モジュール100は、指先部23に1つずつ具備されるため、センサ制御用バス15には複数のセンサ制御モジュール100が接続される。ロボットハンド制御プロセッサ11と、センサ制御プロセッサ111は、センサ制御用バス15を介して任意の通信を行うことが可能である。ここで通信とは、ロボットハンド制御プロセッサ11からの要求により、センサ制御プロセッサ111は、任意の処理結果を、ロボットハンド制御プロセッサ11へ送出するという、データの授受などを指す。これにより、ロボットハンド制御プロセッサ11は、センサ制御モジュール100における接地判定部114の信号処理結果や、感圧センサアレイ30の任意の感圧セルの測定値を、適宜取得することができる。ロボットハンド全体を制御するロボットハンド制御プロセッサ11と、センサ制御モジュール100に搭載するセンサ制御プロセッサ111の2種類のプロセッサを具備することで、次のような利点がある。感圧センサアレイ30の各感圧セルの測定値や接地判定部114の出力信号を取得するには、逐次アナログデジタル変換処理を行ったり、出力信号をポーリングしたりする処理が必要となる。本構成によれば、ロボットハンド制御プロセッサ11が各関節駆動モータを制御している期間に、センサ制御プロセッサ111がこれらの処理を行うことができる。これにより、感圧センサアレイ30や接地判定部114の出力を監視しながら、各関節駆動モータを制御する処理を、高速化することが可能である。また、センサ制御プロセッサ111が、感圧センサアレイ30および露出電極40の近傍である指先部23の内部でアナログデジタル変換を行うことで、配線でのノイズの影響を受けにくくする効果もある。<接地判定部の回路構成>図5は、図4における接地判定部114の回路構成の一例を示す図である。図5において、Vddは所定の電源電圧であり、1141はインバータ回路であり、1142はプルアップ抵抗であり、40は図4における露出電極である。接地判定部114は、電源電圧Vddと露出電極40との間に接続されたプルアップ抵抗1142と、このプルアップ抵抗1142と露出電極40との接続ノードに接続されたインバータ回路1141から構成される。プルアップ抵抗1142を所定の抵抗値に設定することで、露出電極40に何も接触していない場合にインバータ回路1141の出力信号OUTは論理0を出力し、露出電極40が接地電位に設定された所定の物体に接触した場合にインバータ回路1141の出力信号OUTは論理1を出力する。この出力信号OUTは、センサ制御プロセッサ111に入力されて処理される。<感圧センサアレイの動作チェック>図6は、本実施の形態における感圧センサアレイ30の動作チェックの様子の一例を示す図である。図6において、指先部23は図2で示した構造と同一であり、この指先部23の内部詳細は省略するが、図2bと同一の断面における様子を示している。図6および以降の説明において、便宜上、紙面の裏から表向きにx軸正方向を、左から右向きにy軸正方向を、下から上向きにz軸正方向をそれぞれ定義する。また、図6には、図1におけるハンド部2の指節部21bと指関節機構22bと指先部23の概要のみを示しているが、ロボットハンドのアーム部1およびハンド部2の残りの部分については、以降の説明における動作を実現するために適切な位置関係となるように制御されているものとする。図7は、本実施の形態における感圧センサアレイ30の動作チェックの制御手順の一例を示す図である。なお、図7の各手順に相当するプログラムは、ロボットハンド制御プロセッサ11によって実行され、センサ制御プロセッサ111は、ロボットハンド制御プロセッサ11からの要求に応じて、接地判定部114の出力や、感圧センサアレイ30の各感圧セルの測定値を読み出す処理のみを行う。以降の説明においても、特に記載のない限り、各制御プロセッサの役割は、これに従うものとする。以下、図6および図7に基づき、図8~図10を参照しながら、感圧センサアレイ30の動作チェックの制御手順について説明する。図6aは、感圧センサアレイ30の動作チェックの開始時における様子を示したものである。このようにロボットハンド制御システムは、動作チェックを、指先部23が何にも接触していない状態から開始する図7-S700。指先部23が何にも接触していない状態であることは、周囲に障害物が存在しない状態で、ロボットハンドの各腕節部および各関節機構を所定の角度および位置に制御することで実現することができる。この状態において、ロボットハンド制御システムは、感圧センサアレイ30の感圧セルそれぞれに対して、ショート故障チェックを行うS701。図8は、ショート故障チェック図7-S701の詳細な手順の一例を示す図である。図8において、変数mは感圧センサアレイ30の第m行を示し、変数nは感圧センサアレイ30の第n列を示す。ショート故障チェックを開始するとS800、変数mおよび変数nを0に初期化するS800A。そして、第0行、第0列にある感圧セルの測定値を取得しS801、この取得した測定値を、所定のショート故障閾値と比較を行うS802。この時、感圧センサアレイ30には何も接触していないため、感圧セルがショート故障していなければ、測定値は十分小さな値となる。従って、測定値がショート故障閾値より小さい場合S802-yesは、ショート故障していない感圧セルと判別し、測定値がショート故障値を超える場合S802-noは、その感圧セルをショート故障個所としてマークするS803。以下、変数mおよび変数nを1ずつ増やしながら、全ての感圧セルに対して、同様の比較処理を繰り返し行うS804、S804A、S805、S805Aことで、感圧センサアレイ30全体のショート故障チェックを完了するS806。なお、感圧センサアレイ30に用いる部材から、感圧セルの測定値が取り得る範囲は予め推定可能であり、この範囲の上限をショート故障閾値として用いればよい。このように事前に決定できるショート故障閾値は、ロボットハンド制御システムのロボットハンド制御プロセッサ用不揮発メモリ13などにデータとして格納する。ショート故障チェック図8=図7-S701が終了すると、ロボットハンド制御システムは、指先部23を、電気的に接地電位に設定された接触リファレンス部8図1参照の中心に対して、x軸およびy軸は一致し、Z軸正方向には所定の距離だけ離れた地点まで移動させるS702。接触リファレンス部8は、ロボットハンド制御システムにおいて既知の場所に具備されているため、手順S702では、ロボットハンドの各関節駆動モータ61を所定の角度に設定するだけでよい。手順S702を終了した時点では、指先部23には、何も接触していない。次に、指先部23をz軸負方向に移動させるS703。ここで、ロボットハンド制御システムは、接地判定部114の出力を監視しS704、出力が反転するまで、手順S703から手順S704を繰り返し実行する。図9は、手順S703から手順S704を繰り返し実行している際の、接地判定部114および感圧センサアレイ30における感圧セル0,0の出力信号の変化の様子の一例を示したものである。手順S703の繰り返し開始時点では、指先部23には何も接触していないため、接地判定部114の出力は、論理0である。そして、手順S703から手順S704に至る処理が数回繰り返されると、時刻T1にて、図6bに示すように、指先部23の先端に具備される露出電極40が、接触リファレンス部8に接触する。この時点で、接地判定部114の出力は、論理1に反転する。この接地判定部114の出力を監視することで、ロボットハンド制御システムは、感圧センサアレイ30が、接触リファレンス部8に接触したことを即座に判別することができる。この時、感圧センサアレイ30の露出電極40と同一の行位置、即ち第0行にある各感圧セルにおいては、接触状態における最低の圧力が加えられている状態となる。手順S704にて、指先部23が接触リファレンス部8に接触したことが判別されると、ロボットハンド制御システムは、指先部23を静止し、感圧センサアレイ30の露出電極40と同一の行位置第0行にある各感圧セルに対して感度チェックを行うS705。図10は、感度チェック図7-S705の詳細な手順の一例を示す図である。変数mは感圧センサアレイ30の第m行を示すが、ここでは、第0行の感度チェックであるため、m=0となる。また、変数nは感圧センサアレイ30の第n列を示す変数である。感度チェックを開始するとS1000、ロボットハンド制御システムは、変数nを0に初期化するS1000A。そして、第0行、第0列の感圧セルの測定値を取得するS1001。ここで、前述のように、第0行の各感圧セルには、接触した時点での最低の圧力が加わっている。従って、この時点で得られる感圧セルの測定値図9のTHを、その感圧セルの接触判別閾値として利用できる。しかし、感圧セルの測定値は、図9に示すように、回路的もしくは構造的に発生する一定のノイズNOISEや、オフセットOFFSETが含まれている。そのため、感圧センサアレイ30が劣化もしくは故障し、感圧セルの測定値がノイズNOISEや、オフセットOFFSETと比較して同程度もしくは、より小さい値となると、接触の判別が困難となってしまう。一方、ノイズNOISEやオフセットOFFSETの値は、センサ制御モジュール100の設計時点で統計的に求めることが可能である。そこで、設計時に求められる統計的なノイズNOISEおよびオフセットOFFSETの値から所定のオープン故障閾値を定め、手順S1001で得られた感圧セルの測定値が、前記オープン故障閾値よりも大きいか否かを比較するS1001A。この結果、測定値がオープン故障閾値よりも大きい場合S1001A-yesは、感圧セルはオープン故障していないと判別し、測定値を感圧セルの接触判別閾値として記録するS1002。一方、測定値がオープン故障閾値よりも小さい場合S1001A-noは、オープン故障個所としてマークするS1003。この処理を、変数nを1ずつ増やしながら全列の感圧セルに対して繰り返すS1004、S1004Aことで、第0行の感度チェックを完了するS1005。オープン故障閾値は、ショート故障閾値と同様に、感圧セルの測定値が取り得る範囲は予め推定することは可能である。このように事前に決定したオープン故障閾値は、ロボットハンド制御システムのロボットハンド制御プロセッサ用不揮発メモリ13にデータとして格納する。一方、より精度よく接触を判定する必要がある場合、オープン故障閾値は図9におけるノイズNOISEが影響しない範囲で最小の値を選ぶことが望ましい。このようなオープン故障閾値は、動作チェックの制御手順内で求めることが可能である。例えば、図9における手順S703を実行している期間内の、感圧セルの測定値を記録しておくことで、感圧セルに何も接触していない場合の、その感圧セルの測定値の統計的データを算出することができる。この統計的データからオープン故障閾値を定めることにより、望ましいオープン故障閾値を得ることが可能である。このように動的に求められるオープン故障閾値は、ロボットハンド制御システムのロボットハンド制御プロセッサ用メインメモリ12にデータとして格納する。上記手順S1002の接触判別閾値は、感圧セルの当該位置に、他の物体が接触したことを判別するために用いる閾値である。感圧セルを構成する部材の劣化において同一の圧力に対しての測定値が変化した場合感度劣化が発生した場合は、手順S1002で得られる測定値も部材の劣化に応じて変化する。従って、感圧セルの測定値が、接触判別閾値よりも大きい場合は、感圧セルの当該位置に物体が接触したと判定することで、感圧セルの感度劣化を補償することが可能である。また、記録されている個々の接触判別閾値と、オープン故障閾値もしくはショート故障閾値とを比較することで、感度劣化の度合を検査することも可能である。第0行における感度チェック図10=図7-S705が完了すると、感圧センサアレイ30の全体の感度チェックを1行ずつ行う繰り返し処理を開始する。ここで、感度チェックを行う対象の行を第m行とし、初期状態はm=1であるS705A。まず、ロボットハンド制御システムは、指関節機構22bの関節駆動モータもしくは他の関節駆動モータを制御し、指先部23を図6cに示す矢印Aの方向に1ステップ回転させるS706。ここで、1ステップとは、図6cに示すように、感圧センサアレイ30の第m-1行と、第m行とが同時に接触リファレンス部8に接触する角度となるように、指先部23の形状から決定可能な所定の単位である。次に、感圧センサアレイ30の第m-1行の感圧セルの測定値を取得するS707。この時、第m-1行の各感圧セルは、以前の処理によって感度チェックを終了している。従って、各感圧セルの測定値を用いて、感圧セルの第m-1行が接触リファレンス部8に接触しているかを判別することが可能であるS708。第m-1行が接触リファレンス部8に接触していない場合S708-noは、各関節駆動モータを制御し、指先部23を図6に示すz軸負方向に、第m-1行の全感圧セルが接触と判別するまで移動させるS709。なお、ここで第m-1行の全感圧セルと記載したが、以前のチェックによってショート故障もしくはオープン故障と判別された感圧セルは含まれない。手順S705から手順S709による一連の処理により、感圧セルの第m-1行と第m行とが、同時に接触リファレンス部8に接触している位置に、指先部23を移動および回転することが可能となる。ここで、ロボットハンド制御システムは、感圧センサアレイ30の第m行の感圧セルに対して感度チェックを行うS710。手順S710は、図10において説明した手順S1000からS1005図7-S705と同一の内容である。以上の処理を、変数mを1ずつ増加させながら繰り返すことによりS711、S711A、ロボットハンド制御システムは、感圧センサアレイ30の全体の動作チェックを完了するS712。この動作チェックが完了すると、指先部23は図6dに示すような状態となる。感圧センサアレイ30の各感圧セルについて、図8の手順S803でマークされるショート故障個所、図10の手順S1003でマークされるオープン故障個所および、図10の手順S1002で記録される接触判別閾値は、ロボットハンド制御プロセッサ11によって、ロボットハンド制御プロセッサ用メインメモリ12の内部に、動作チェック結果として格納される。ロボットハンド制御プロセッサ11は、動作チェック終了後、通常の物体の扱い処理において、取得する感圧センサアレイ30の各感圧セルの測定値に対して、これらの動作チェックの結果と照合し、次の処理を行う。まず、当該感圧セルが、ショート故障個所もしくはオープン故障個所であれば、この感圧セルの測定値は不正として、物体の扱いを行う制御の処理からは除外する。当該感圧セルが、ショート故障およびオープン故障ではない場合は、得られた測定値と、接触判別閾値とを比較することで、物体が当該感圧セルの部分において指先部23と接触しているかを判別することができる。<本実施の形態の効果>以上説明した本実施の形態において示した構成および手順によって、感圧センサアレイ30の各感圧セルに対して、ショート故障、オープン故障、感度劣化の判別を行うことが可能となる。また、感度が劣化した感圧セルに対しても、微妙な接触を検知することが可能な程度に、適切に接触判別を行うための閾値を設定することで、補償することができる。より詳細には、接触の有無を判定する露出電極40と、圧力の大きさを検出する感圧センサアレイ30の複数の感圧セルとを具備する指先部23指節部21と、この指先部23指節部21の位置を制御する指関節機構22と、露出電極40および感圧センサアレイ30の感圧セルの検出結果に基づいて処理を制御するロボットハンド制御プロセッサ11などを有することで、ロボットハンド制御プロセッサ11は、露出電極40が接触を検出するように指関節機構22を制御したときの、感圧センサアレイ30の感圧セルの出力値を用いて、この感圧センサアレイ30の感圧セルの状態を判定する第1処理を行うことができる。この第1処理としては、例えば、感圧センサアレイ30の感圧セルのオープン故障を判定する処理S705、S710を行うことができる。このオープン故障を判定する処理は、ロボットハンド制御プロセッサ用不揮発メモリ13などに予め記録されている閾値と、各感圧セルの出力値とを比較することによって判定することができる。また、第1処理としては、例えば、感圧センサアレイ30の感圧セルのショート故障を判定する処理S701を行うことができる。また、第1処理としては、例えば、感圧センサアレイ30の感圧セルが物体と接触していることを判定するための接触判別閾値感度劣化を決定する処理S1002を行うことができる。また、露出電極40は、接地された導体である接触リファレンス部8との接触の有無を判定することができる。また、センサの状態判定においては、露出電極40の判定結果を用いて、感圧センサアレイ30の1つの感圧セルの状態を判定し、この1つの感圧セルの状態判定結果を用いて、これとは別の他の感圧セルの状態判定を行うことができる。以上のように、本実施の形態によれば、ロボットハンドの把持面に設けられた感圧センサアレイ30の感圧セル個々の故障を判定することができる。より詳細には、感圧センサアレイ30の感圧セル個々に対して、ショート故障、オープン故障、感度劣化を検査することができる。また、感度劣化が検出された感圧セル個々に対して、感度劣化を補償することができる。<本実施の形態の変形例>本実施の形態の図1において、接触リファレンス部8は、ロボットハンドの台座3に固定された例を説明したが、上述の図6~図10に示した動作チェックの制御手順を実行することが可能な個所であれば、どこに具備してもよい。例えば、腕節部5aに、接触リファレンス部8を設けることで、台座3をコンパクトにすることが可能である。なお、感圧センサアレイ30は、必ずしも指先部23にのみ実装されるものではない。例えば、アーム部1の腕節部5a~5dのいずれかの外殻に取り付けることで、アーム部1が障害物と衝突することを防止する役割にも利用できる。こうした指先部23以外に取り付けられた感圧センサアレイ30に対しても、接触リファレンス部8を適当な場所に配置することで、図6~図10にて説明した方法によって、動作チェックを行うことは可能である。また、本実施の形態の図3において、感圧導電ゴムシート33を用いて抵抗値の変化により加圧力を検出する感圧センサアレイ30を用いる例を示したが、本発明が動作チェックを行う感圧センサアレイ30に使用される部材は、これに限定するものではない。例えば、感圧導電ゴムシート33の代わりに発泡ウレタンなどの柔軟な誘電材料を用いて静電容量変化により圧力分布を検出する構成としてもよい。また、MEMS型圧力センサを2次元状に配列するなど、必ずしも一続きのシート状として形成されなくてもよい。これらのセンサにおいても、微細な加圧力を検知するために柔軟な部材を用いる感圧センサアレイは、前記の3つの故障が発生し得ることに変わりはない。本実施の形態の図9において、接地判定部114を用いて露出電極40と接触リファレンス部8との接触の有無を判別する例を示したが、接触の有無を容易に判別する手段は別なる構成も取り得る。類似の方法として、静電容量結合を用いた判定も可能である。また、レーザー光などを用いる距離センサを感圧センサアレイ30の第0行と同一の位置に構成し、指先部23と接触リファレンス部8との距離から接触を判定する方法でもよい。[実施の形態2]本実施の形態2のロボット装置について、図11~図15を用いて説明する。ロボットハンドが硬い対象物を扱う用途のみに適用される場合、上記実施の形態1に示したように感度劣化による閾値を調整し、微細な接触を判定することが必ずしも重要ではなく、単に各感圧セルにおける接触の有無が判別できればよい場合がある。本実施の形態では、このような用途に対して、各感圧セルにおけるオープン故障およびショート故障を、より簡便な方法にて判別する方法について説明する。図11は、本実施の形態における指先部23の構造の一例を示す図であって、実施の形態1における図2と対比される図面である。図11において、図2で示した指先部23と異なる点は、感圧センサアレイ30の一点鎖線A―A’に直交する2つの辺の端、すなわち感圧センサアレイ30の行列状の上端と下端との4隅複数箇所に、上端露出電極41aと、下端露出電極41bとを具備する点である。上端露出電極41aは、信号線コネクタ121aを介してセンサ制御モジュール100上の回路と接続される。同様に、下端露出電極41bは、信号線コネクタ121bを介して、センサ制御モジュール100上の回路と接続される。図12は、本実施の形態におけるロボットハンド制御システムの概略構成の一例を示す図であって、実施の形態1における図4と対比される図面である。図12において、図4で示したシステム構成と異なる点は、センサ制御モジュール100上に、上端接地判定部114aと、下端接地判定部114bとを備える点である。上端接地判定部114aは、信号線コネクタ121aを介して上端露出電極41aと接続される。同じく、下端接地判定部114bは、信号線コネクタ121bを介して、下端露出電極41bと接続される。なお、上端接地判定部114aおよび下端接地判定部114bの内部構成は、図5において示した接地判定部114と同一であるので、その詳細な説明は繰り返さない。図13は、本実施の形態における感圧センサアレイ30の動作チェックの様子の一例を示す図であって、実施の形態1における図6と対比される図面である。図13において、指先部23は図11で示した構造と同一であり、詳細構成は図示されないが、図11bと同一の断面における様子を示している。なお、図13におけるxyz軸の設定は、図6と同一である。本実施の形態において、接触リファレンス部8は、十分に柔らかく、厚みのある導電性ウレタンフォームなどで形成し、外部から押し付けられ、物体の表面形状に沿って柔軟に変形可能である。図14は、本実施の形態における感圧センサアレイ30の動作チェックの制御手順の一例を示す図であって、実施の形態1における図7と対比される図面である。図13および図14に基づき、図15を参照して、本実施の形態における感圧センサアレイ30の動作チェックの制御手順について説明する。図13aにおいて、感圧センサアレイ30のショート故障チェックを行う手順、および図14におけるS700からS703に至る制御手順は、実施の形態1と同様の手順によって実現されるため、詳細な説明は省略する。図14における手順S721において、図7における手順S704との違いは、監視される接地判定部114が、上端接地判定部114aに変更されたことである。これにより、ロボットハンド制御システムは、図13bに示すように、上端露出電極41aが、接触リファレンス部8に接触する位置まで、指先部23を移動させることができる。次に、ロボットハンド制御システムは、各関節駆動モータを制御し、指先部23を、上端露出電極41aが実装される位置を軸として、図13cに示す矢印の向きに回転させるS722。ここで、下端接地判定部114bの出力を監視しS723、この下端接地判定部114bの出力が反転していなければS723-no、手順S722に戻って実行し、出力が反転している場合S723-yesは、指先部23の回転を停止する。以上の処理により、図13cに示されるように、上端露出電極41aと下端露出電極41bとの間にある感圧センサアレイ30上の感圧セル全てが、接触リファレンス部8に密着した状態に制御することができる。ここで、ロボットハンド制御システムは、感圧センサアレイ30に対してオープン故障チェックを行うS724。図15は、オープン故障チェック図14-S724の詳細な手順の一例を示す図である。本実施の形態において、オープン故障チェックは、図8で示したショート故障と類似の手順で実施することが可能である。即ち、オープン故障チェックを開始しS1500、変数mおよび変数nを0に初期化S1500Aした後、感圧センサアレイ30の感圧セルの測定値を取得しS1501、所定のオープン故障閾値と比較しS1502、測定値がオープン故障閾値より大きい場合S1502-noは、オープン故障個所としてマークするS1503。この比較を、全ての感圧セルに対して繰り返し行うS1504、S1504A、S1505、S1505Aことで、オープン故障チェックを完了するS1506。以上のように、本実施の形態で説明した構成および手順によって、上記実施の形態1と比較して、感圧センサアレイ30のショート故障およびオープン故障の個所を、少ない手順によって判別することが可能となる。また、センサの状態判定においては、上端露出電極41a、下端露出電極41bの判定結果を用いて、これらの電極間に配置された感圧センサアレイ30の感圧セルの状態を判定することができる。[実施の形態3]本実施の形態3のロボット装置について、図16~図18を用いて説明する。上記実施の形態1に示した方法は、感圧センサアレイ30が具備される指部20の本数を特に限定しない図1では2本の例を図示。一方、ロボットハンドのハンド部2を構成する指部20が、対向して具備される1対に限定される場合、感圧センサアレイ30の動作チェックにおいて、制御が必要な関節駆動モータの数を、より少なくできる。本実施の形態では、この構成について具体的な例を示し、説明する。図16は、本実施の形態における指先部23の構造の一例を示す図であって、実施の形態1における図2と対比される図面である。図16aは、図2aに相当する方向から指先部23の構成を示したものであり、図16cは、図2cに相当する方向から指先部23の構成を示したものである。図16において、図2で示した指先部23と異なる点は、露出電極40が、感圧センサアレイ30の感圧セル0,3の位置に実装される点と、感圧センサアレイ30の露出電極40と一点鎖線A―A’を軸に線対称な位置0,1の位置に、接触リファレンス部8を備える点である。図17は、本実施の形態におけるハンド部2の概略構成の一例を斜視で示す図である。1対の指先部23は、回転軸である手掌部25に対して対向して配置される。この1対の指先部23は、対向する指部20aおよび指部20bの先端に、それぞれ同一の構成のものが具備される。従って、指部20a、20bを閉じた際に、一方の指部20aの露出電極40は他方の指部20bの接触リファレンス部8と接触し、他方の指部20bの露出電極40は一方の指部20aの接触リファレンス部8と接触する。また、手掌部25の内部には、手先制御部150を具備する。手先制御部150は、指基端関節機構24、指関節機構22aおよび22bの関節駆動モータを制御する。図18は、本実施の形態における感圧センサアレイ30の動作チェックの様子の一例を示す図である。図18a~dは、実施の形態1の図6a~dに、それぞれ対応する。図18から明らかなように、指部20を、対称的に突き合わせる動作を行うことで、実施の形態1の図7において示した制御手順を実施することができる。なお、図18aからdに至る制御手順は、図17に示した手先制御部150によって制御される他は実施の形態1と同様であり、その詳細な説明は繰り返さない。以上のように、本実施の形態においては、感圧センサアレイ30の動作チェックのために必要な部位を、ハンド部2に含まれる範囲だけに限定することが可能となる。従って、感圧センサアレイ30の動作チェックに必要な制御は、全て手先制御部150と、指先部23で行うことが可能である。そのため、アーム部1とハンド部2とを分離することができる。これにより、用途に応じて、例えば関節機構の数を減らしたアーム部1に交換することが可能になるという効果がある。さらに、関節機構の数を減らすことは、製品の低価格化につながる。また、感圧センサアレイ30の動作チェックのためのプログラムが単純となる利点もある。以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。即ち、開示した実施の形態は本発明の明確な理解のために提示された例である。従って、特許請求の範囲から逸脱することなく、上述の実施の形態には、各種態様、変形例、および組み合わせが形成できることは言うまでもない。"