"並列に設置され、被測定流体が流入および流出する流管である第1、第2のフローチューブと、被測定流体が流れる前記第1、第2のフローチューブを、流れと垂直方向に別々に励振駆動する駆動手段と、前記第1、第2のフローチューブの入口側において前記第1、第2のフローチューブの振動を検出する第1、第2の振動センサと、前記第1、第2のフローチューブの出口側において前記第1、第2のフローチューブの振動を検出する第3、第4の振動センサと、前記第1乃至第4の振動センサの出力信号から被測定流体の質量流量を演算する演算手段とを備え、前記第1、第2のフローチューブの捩れ振動の固有振動数が略同一で、かつ前記第1、第2のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数が異なることを特徴とするコリオリ流量計。並列に設置され、被測定流体が流入および流出する流管である第1、第2のフローチューブと、被測定流体が流れる前記第1、第2のフローチューブのうち一方のフローチューブを、流れと垂直方向に励振駆動する駆動手段と、前記第1、第2のフローチューブの入口側において前記第1、第2のフローチューブの振動を検出する第1、第2の振動センサと、前記第1、第2のフローチューブの出口側において前記第1、第2のフローチューブの振動を検出する第3、第4の振動センサと、前記第1乃至第4の振動センサの出力信号から被測定流体の質量流量を演算する演算手段とを備え、前記第1、第2のフローチューブの捩れ振動の固有振動数が略同一で、かつ前記第1、第2のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数が異なり、前記励振駆動されない側のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数は略零であることを特徴とするコリオリ流量計。請求項1または2記載のコリオリ流量計において、前記第1、第2のフローチューブのうち、一方のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数は、他方のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数の1.5倍以上であることを特徴とするコリオリ流量計。X軸方向、Y軸方向、Z軸方向の外部振動は、フローチューブの入口と出口間で発生するコリオリの力による位相差には影響を与えない。例えばX軸方向の振動が外部から加わったとしても、振動そのものは大きくなるが、フローチューブの入口と出口間の位相差は振動振幅に依らないので、位相差が影響を受けることはない。一方、フローチューブを捩るモードの振動の場合には、流量に比例するため計測に大きな影響を与える。流量が0の場合、捩れ振動は本来発生しない。しかし、捩れ振動と同種の振動ノイズが外部から加わると、被測定流体の流れによる捩れ振動として検出してしまうため、誤差が生じる。そこで、特許文献1,2に開示された従来のコリオリ流量計では、2本のフローチューブを逆位相で駆動することで捩れ振動ノイズをキャンセルし、計測精度の低下を防ぐようにしている。しかしながら、すべての振動モードをキャンセルするフローチューブを作るためには、2本のフローチューブの特性を合わせなければならず、調整が必要となり、コストがかかるという問題点があった。また、無調整の場合には、2本のフローチューブの特性のばらつきにより、計測精度が落ちるという問題点があった。本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、フローチューブの加工、調整が容易で、高い計測精度を実現することができる低コストのコリオリ流量計を提供することを目的とする。本発明のコリオリ流量計は、並列に設置され、被測定流体が流入および流出する流管である第1、第2のフローチューブと、被測定流体が流れる前記第1、第2のフローチューブを、流れと垂直方向に別々に励振駆動する駆動手段と、前記第1、第2のフローチューブの入口側において前記第1、第2のフローチューブの振動を検出する第1、第2の振動センサと、前記第1、第2のフローチューブの出口側において前記第1、第2のフローチューブの振動を検出する第3、第4の振動センサと、前記第1乃至第4の振動センサの出力信号から被測定流体の質量流量を演算する演算手段とを備え、前記第1、第2のフローチューブの捩れ振動の固有振動数が略同一で、かつ前記第1、第2のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数が異なることを特徴とするものである。また、本発明のコリオリ流量計は、並列に設置され、被測定流体が流入および流出する流管である第1、第2のフローチューブと、被測定流体が流れる前記第1、第2のフローチューブのうち一方のフローチューブを、流れと垂直方向に励振駆動する駆動手段と、前記第1、第2のフローチューブの入口側において前記第1、第2のフローチューブの振動を検出する第1、第2の振動センサと、前記第1、第2のフローチューブの出口側において前記第1、第2のフローチューブの振動を検出する第3、第4の振動センサと、前記第1乃至第4の振動センサの出力信号から被測定流体の質量流量を演算する演算手段とを備え、前記第1、第2のフローチューブの捩れ振動の固有振動数が略同一で、かつ前記第1、第2のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数が異なり、前記励振駆動されない側のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数は略零であることを特徴とするものである。また、本発明のコリオリ流量計の1構成例において、前記第1、第2のフローチューブのうち、一方のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数は、他方のフローチューブの前記垂直方向の振動の固有振動数の1.5倍以上であることを特徴とするものである。本発明によれば、第1、第2のフローチューブの捩れ振動の固有振動数が略同一で、かつ第1、第2のフローチューブの垂直方向の振動の固有振動数が異なるようにして、第1、第2のフローチューブを別々に励振駆動するか、あるいは一方のフローチューブを励振駆動することにより、外部からの振動ノイズを除去することができ、高い計測精度を実現することができる。本発明では、すべての振動モードをキャンセルできるように2本のフローチューブの特性を合わせる必要がないので、従来と比べてフローチューブの加工、調整が容易となる。したがって、本発明では、フローチューブの加工、調整が容易で、高い計測精度を実現することができる低コストのコリオリ流量計を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態に係るコリオリ流量計の概略構成図である。コリオリ流量計は、被測定流体が流入および流出する配管1と、並列平行に設置され、配管1から被測定流体が流入および流出する湾曲管であるフローチューブ2A,2Bと、フローチューブ2A,2Bを励振駆動する駆動装置3A,3Bと、フローチューブ2A,2Bの入口側に設けられ、フローチューブ2A,2Bの振動変位を検出する振動センサ4A,4Bと、フローチューブ2A,2Bの出口側に設けられ、フローチューブ2A,2Bの振動変位を検出する振動センサ5A,5Bと、駆動装置3A,3Bに電流を供給してフローチューブ2A,2Bを励振させる励振制御部6と、被測定流体の質量流量等の演算を行う演算部7とから構成される。図1では、駆動装置3A,3Bの駆動方向フローチューブ2A,2Bの振動方向をX軸方向とし、フローチューブ2A,2Bの振動の腹位置駆動装置3A,3Bによる駆動点における管軸方向被測定流体の流れの方向をY軸方向とし、X軸方向およびY軸方向と直交する方向をZ軸方向としている。被測定流体は、図1の左側から配管1に流入し、配管1の点線の箇所8内に設けられている入口側マニフォールド不図示により2本のフローチューブ2A,2Bに等しく分岐され、フローチューブ2A,2B内を流れる。そして、被測定流体は、フローチューブ2A,2Bの出口側では、配管1の点線の箇所9内に設けられている出口側マニフォールド不図示で合流して配管1から外部の流管に流出する。本実施の形態では、2本のフローチューブ2A,2Bの長さが異なっており、フローチューブ2Bよりもフローチューブ2Aの方が長くなっている。2本のフローチューブ2A,2Bは、X軸方向の振動の固有振動数が異なる。フローチューブ2AのX軸方向の振動の固有振動数をθA、フローチューブ2BのX軸方向の振動の固有振動数をθBとすると、θA<θB、すなわちフローチューブ2Aよりもフローチューブ2Bの方がX軸方向の振動の固有振動数が高くなっている。また、2本のフローチューブ2A,2Bの軸周りの捩れ振動の固有振動数は略同一である。すなわち、フローチューブ2Aの軸周りの捩れ振動の固有振動数をωA、フローチューブ2Bの軸周りの捩れ振動の固有振動数をωBとすると、ωA≒ωBとなる。駆動装置3A,3Bは、それぞれフローチューブ2A,2Bを別々に励振駆動する。駆動装置3A,3Bは、例えばコイルと磁石とからなる。駆動装置3A,3Bのそれぞれの磁石は、フローチューブ2A,2Bに配設され、駆動装置3A,3Bのそれぞれのコイルは、駆動装置3A,3Bの磁石と対向するようにフローチューブ2A,2Bの周囲に配設されている。励振制御部6は、駆動装置3A,3Bのコイルに電流を供給する。この電流供給によりコイルとフローチューブ2A,2Bの磁石との間に吸引力または反発力が発生する。その結果、フローチューブ2A,2Bは、X軸方向に振動する。このとき、フローチューブ2A,2BのX軸方向の振動の固有振動数が近いと、フローチューブ2A,2Bが同相で振動する時間が長くなり、計測精度に影響を与える。そこで、本実施の形態では、2本のフローチューブ2A,2BのX軸方向の振動の固有振動数を大きく変えて、同相振動によって位相差信号が小さくなる時間を短くすることにより、計測精度を確保する。フローチューブ2AのX軸方向の振動の固有振動数θAとフローチューブ2BのX軸方向の振動の固有振動数θBとは、1.1θA≦θB、すなわちθBがθAの1.1倍以上であればよく、θBがθAの1.2倍以上であればより好ましい。振動センサ4A,4Bは、それぞれフローチューブ2A,2Bの入口側におけるX軸方向の振動変位を検出する。振動センサ5A,5Bは、それぞれフローチューブ2A,2Bの出口側におけるX軸方向の振動変位を検出する。振動センサ4A,4B,5A,5Bは、例えばコイルと磁石とからなる。振動センサ4A,4Bの磁石は、それぞれフローチューブ2A,2Bの入口側に配設され、振動センサ4A,4Bのコイルは、それぞれ振動センサ4A,4Bの磁石と対向するようにフローチューブ2A,2Bの周囲に配設されている。振動センサ5A,5Bの磁石は、それぞれフローチューブ2A,2Bの出口側に配設され、振動センサ5A,5Bのコイルは、それぞれ振動センサ5A,5Bの磁石と対向するようにフローチューブ2A,2Bの周囲に配設されている。また、振動センサ4A,5Aのそれぞれの磁石は、フローチューブ2Aの駆動装置3Aが取り付けられている駆動点に対して左右両側の対称位置に配置されている。同様に、振動センサ4B,5Bのそれぞれの磁石は、フローチューブ2Bの駆動装置3Bが取り付けられている駆動点に対して左右両側の対称位置に配置されている。フローチューブ2A,2Bの振動に伴って各センサのコイルと磁石との距離が変化することにより、フローチューブ2A,2Bの振動を検出できるようになっている。なお、振動センサ4A,4B,5A,5Bは、以上のような電磁式のセンサに限るものではなく、例えば静電容量式などの他のセンサを用いてもよい。演算部7は、振動センサ4A,4B,5A,5Bの検出結果から被測定流体の質量流量を演算する。まず、演算部7は、振動センサ4Aの出力信号と振動センサ4Bの出力信号との差分、すなわちフローチューブ2Aと2Bの入口側の振動の差分を演算すると共に、振動センサ5Aの出力信号と振動センサ5Bの出力信号との差分、すなわちフローチューブ2Aと2Bの出口側の振動の差分を演算し、入口側の振動の差分と出口側の振動の差分との差を演算することにより、入口側と出口側の振動の位相差を演算する。入口側と出口側の振動の位相差は、フローチューブ2A,2Bを流れる被測定流体の質量流量に比例する。したがって、演算部7は、位相差から被測定流体の質量流量を演算することができる。上記のとおり、2本のフローチューブ2A,2BはX軸方向の振動の固有振動数が異なるので、振動センサ4A,5Aの出力信号に含まれる成分と振動センサ4B,5Bの出力信号に含まれる成分とでは周波数が異なる。そこで、演算部7は、振動センサ4A,4B,5A,5Bの出力信号をそれぞれFFTFastFourieTransform処理して周波数成分を分解し、振動センサ4A,5Aの出力信号からフローチューブ2Aの固有振動数θAと一致する周波数の成分を抽出すると共に、振動センサ4B,5Bの出力信号からフローチューブ2Bの固有振動数θBと一致する周波数の成分を抽出し、抽出した成分を対象として上記のような演算処理を行えばよい。これにより、異なる周波数の組み合わせであっても、位相差を演算することができる。演算部7は、例えばCPU、記憶装置およびインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。CPUは、記憶装置に格納されたプログラムに従って上記のような処理を実行する。図2はフローチューブ2A,2Bの振動状態の例を示す図である。ここでは、フローチューブ2A,2BのX軸方向の振動の固有振動数θA,θBをそれぞれ480Hz、600Hzとしている。図2における20はフローチューブ2Aの入口側の振動を示し、21はフローチューブ2Aの出口側の振動を示している。また、22はフローチューブ2Bの入口側の振動を示し、23はフローチューブ2Bの出口側の振動を示している。被測定流体がフローチューブ2Aを流れることにより、フローチューブ2Aの入口側は、駆動装置3Aが励振駆動するフローチューブ2A上の駆動点に対して4度遅れ、フローチューブ2Aの出口側は、駆動点に対して4度進んでいる。また、被測定流体がフローチューブ2Bを流れることにより、フローチューブ2Bの入口側は、駆動装置3Bが励振駆動するフローチューブ2B上の駆動点に対して6度遅れ、フローチューブ2Bの出口側は、駆動点に対して6度進んでいる。図3は図2に示した振動の状態から得られた、フローチューブ2A,2Bの入口側の振動の差分および出口側の振動の差分を示す図、図4は図3の一部を拡大した図である。図3、図4における30はフローチューブ2Aの入口側とフローチューブ2Bの入口側の振動の差分を示し、31はフローチューブ2Aの出口側とフローチューブ2Bの出口側の振動の差分を示している。この30と31の差が入口側と振動の位相差を示している。図3、図4によると、被測定流体の質量流量に応じた一定の位相差が得られており、計測精度が確保できていることが分かる。図5はフローチューブ2A,2Bの振動状態の他の例を示す図である。フローチューブ2A,2BのX軸方向の振動の固有振動数θA,θBは、図2の場合と同じである。ここでは、被測定流体がフローチューブ2Aを流れることにより、フローチューブ2Aの入口側は、駆動装置3Aが励振駆動するフローチューブ2A上の駆動点に対して2度遅れ、フローチューブ2Aの出口側は、駆動点に対して2度進んでいる。また、被測定流体がフローチューブ2Bを流れることにより、フローチューブ2Bの入口側は、駆動装置3Bが励振駆動するフローチューブ2B上の駆動点に対して3度遅れ、フローチューブ2Bの出口側は、駆動点に対して3度進んでいる。図6は図5に示した振動の状態から得られた、フローチューブ2A,2Bの入口側の振動の差分および出口側の振動の差分を示す図、図7は図6の一部を拡大した図である。図6、図7によると、被測定流体の質量流量に応じた一定の位相差が得られており、計測精度が確保できていることが分かる。以上のように、本実施の形態では、2本のフローチューブ2A,2Bの捩れ振動の固有振動数ωA,ωBが略同一で、かつX軸方向の振動の固有振動数θA,θBが異なるようにして、2本のフローチューブ2A,2Bを別々に励振駆動することにより、外部からの振動ノイズを除去することができ、高い計測精度を実現することができる。本実施の形態では、すべての振動モードをキャンセルできるように2本のフローチューブ2A,2Bの特性を合わせる必要がないので、従来と比べてフローチューブ2A,2Bの加工、調整が容易となる。したがって、本実施の形態では、フローチューブ2A,2Bの加工、調整が容易で、高い計測精度を実現することができる低コストのコリオリ流量計を提供することができる。なお、本実施の形態では、2本のフローチューブ2A,2Bの長さを変えているが、これに限るものではなく、ほぼ同じ形状のフローチューブ2A,2Bを用いてもよい。この場合には、例えば重りなどを用いて固有振動数θA,θBを調整すればよい。また、駆動装置3A,3Bや振動センサ4A,4B,5A,5Bを重りとして用いてもよい。また、本実施の形態では、フローチューブ2A,2BのX軸方向の振動の固有振動数θA,θBを480Hz、600Hzとしたが、どちらか一方のフローチューブの固有振動数を略零例えば数Hz程度としてもよい。この場合には、固有振動数が略零のフローチューブを励振駆動する必要はない。このフローチューブは、振動ノイズの検出専用と言うことになる。振動センサ4A,4B,5A,5B以降の処理は、上記で説明したとおりでよい。従来のコリオリ流量計においては、変位の検出や位相差の計算能力の低さから、フローチューブの大きな変位を必要とし、分岐させた被測定流体の両方を振動円運動させることで、流量を分割したことによる変位量の低減分を補っていたが、現在では信号処埋精度が上がっているので、2本のフローチューブ2A,2Bの両方を振動させることは必須の要件ではない。"