被試験体の漏れ流量を検査する漏れ検査装置であって、前記被試験体を配置する密閉可能な被試験体室と、前記被試験体室内に配置された被試験体に接続可能であって前記被試験体の内部に探査液体を供給し加圧する液体供給加圧手段と、真空排気手段と、前記被試験体室に接続された質量分析計と、を具備し、前記被試験体室を密閉した状態で前記真空排気手段により真空とし、前記液体供給加圧手段に接続され密閉された前記被試験体の内部に探査液体を供給して0.1MPa以上に加圧し、前記被試験体から漏れ出し真空中で気化した探査媒体の濃度を前記質量分析計により測定することにより、前記被試験体からの漏れ流量を測定することを特徴とする漏れ検査装置。請求項1に記載の漏れ検査装置において、前記被試験体室に既知の漏れ流量の探査液体を供給する探査液体標準リークを具備することを特徴とする漏れ検査装置。請求項1または請求項2のいずれかの請求項に記載の漏れ検査装置において、前記被試験体室に真空バルブを介した真空排気手段を2系統以上接続していることを特徴とする漏れ検査装置。請求項1ないし請求項3のいずれかの請求項に記載の漏れ検査装置において、前記被試験体室には、被試験体室の真空度圧力を測定するための真空計と前記真空排気手段を接続し、真空バルブを介して検査室を接続しており、さらに、探査媒体の濃度を測定するための質量分析計と真空排気手段を前記検査室に接続していることを特徴とする漏れ検査装置。請求項1ないし請求項4のいずれかの請求項に記載の漏れ検査装置において、前記探査液体として、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上、蒸発潜熱が80kJmol-1以下の液体を用いることを特徴とする漏れ検査装置。請求項1ないし請求項4のいずれかの請求項に記載の漏れ検査装置において、前記探査液体として、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上の液体に気体を溶解させた探査媒体を用いることを特徴とする漏れ検査装置。密閉可能で真空排気手段により真空排気可能な被試験体室内に配置された被試験体の漏れ流量を検査する漏れ検査方法であって、前記被試験体に液体供給加圧手段を接続して密閉した状態で前記被試験体室内に配置することと、前記被試験体室を密閉した状態で前記真空排気手段により前記被試験体室内を真空とすることと、前記液体供給加圧手段により前記被試験体室内に配置された被試験体内に探査液体を供給して0.1MPa以上に加圧することと、前記被試験体から漏れ出し真空中で気化した探査媒体の濃度を質量分析計により測定することにより前記被試験体からの漏れ流量を測定することと、からなることを特徴とする漏れ検査方法。請求項7に記載の漏れ検査方法において、探査液体標準リークにより前記被試験体室に既知の漏れ流量の探査液体を供給することを特徴とする漏れ検査方法。請求項7または請求項8のいずれかの請求項に記載の漏れ検査方法において、前記被試験体室に真空バルブを介した真空排気手段を2系統以上接続して用いることを特徴とする漏れ検査方法。請求項7ないし請求項9のいずれかの請求項に記載の漏れ検査方法において、前記被試験体室には、試験体室の真空度圧力を測定するための真空計と前記真空排気手段を接続し、さらに、真空バルブを介して検査室を接続し、探査媒体の濃度を測定するための質量分析計と真空排気手段を検査室に接続して用いることを特徴とする漏れ検査方法。請求項7ないし請求項10のいずれかの請求項に記載の漏れ検査方法において、前記探査液体として、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上、蒸発潜熱が80kJmol-1以下の液体を用いることを特徴とする漏れ検査方法。請求項7ないし請求項10のいずれかの請求項に記載の漏れ検査方法において、前記探査液体として、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上の液体に気体を溶解させた探査媒体を用いることを特徴とする漏れ検査方法。民生用及び産業用の種々の部品や容器では、高精度且つ高耐圧化が進んでいるものもあり、高耐圧検査を兼ねた微小漏れ検査法の確立が喫緊の課題となっている。気体を探査媒体とする差圧法とガスリークテスト法において、探査媒体の圧力が1MPa以上を必要とする場合、漏れ検査装置は安全確保のために高圧ガス保安法に基づき防破裂仕様とするため保安設備を完備する必要が生じ、装置コストが従来よりも大幅に増大してしまうという問題があるとともに、装置自体の規制や、周囲、環境の規制が加わり非常に扱い難くなるという問題がある。差圧法では被試験体とマスターの内部に高圧ガスを供給した後にバルブを閉じて検査する。一方で、液体を探査媒体に用いた漏れ検査方法も考えられるが、この場合、バルブ閉による圧力変動が大きいことと、ダイアフラムの変形による電気容量変化を測定する仕組みである差圧センサの感度特性が、液体を用いることで大きく変更されてしまう。このため、漏れ検査において液体を探査媒体に用いることは難しい。本発明は、上記の従来法の問題点に鑑みてなされ、探査媒体として液体を用いて漏れ流量が定量でき、且つ0.1MPaの大気圧以上で特に1MPa以上から1GPaに及ぶ高圧力の耐圧検査も同時に可能とする、漏れ検査装置及び漏れ検査方法を提供することを目的とする。本発明の漏れ検査装置は、被試験体の漏れ流量を検査する漏れ検査装置であって、前記被試験体を配置する密閉可能な被試験体室と、前記被試験体室内に配置された被試験体に接続可能であって前記被試験体の内部に探査液体を供給し加圧する液体供給加圧手段と、真空排気手段と、前記被試験体室に接続された質量分析計と、を具備し、前記被試験体室を密閉した状態で前記真空排気手段により真空とし、前記液体供給加圧手段に接続され密閉された前記被試験体の内部に探査液体を供給して0.1MPa以上に加圧し、前記被試験体から漏れ出し真空中で気化した探査媒体の濃度を前記質量分析計により測定することにより、前記被試験体からの漏れ流量を測定することを特徴とする。本発明の漏れ検査装置は、更に、前記被試験体室に既知の漏れ流量の探査液体を供給する探査液体標準リークを具備することを特徴とする。本発明の漏れ検査装置は、更に、前記被試験体室に真空バルブを介した真空排気手段を2系統以上接続していることを特徴とする。本発明の漏れ検査装置は、更に、前記被試験体室には、被試験体室の真空度圧力を測定するための真空計と前記真空排気手段を接続し、真空バルブを介して検査室を接続しており、さらに、探査媒体の濃度を測定するための質量分析計と真空排気手段を前記検査室に接続していることを特徴とする。本発明の漏れ検査装置は、更に、前記探査液体として、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上、蒸発潜熱が80kJmol-1以下の液体を用いることを特徴とする。本発明の漏れ検査装置は、更に、前記探査液体として、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上の液体に気体を溶解させた探査媒体を用いることを特徴とする。本発明の漏れ検査方法は、密閉可能で真空排気手段により真空排気可能な被試験体室内に配置された被試験体の漏れ流量を検査する漏れ検査方法であって、前記被試験体に液体供給加圧手段を接続して密閉した状態で前記被試験体室内に配置することと、前記被試験体室を密閉した状態で前記真空排気手段により前記被試験体室内を真空とすることと、前記液体供給加圧手段により前記被試験体室内に配置された被試験体内に探査液体を供給して0.1MPa以上に加圧することと、前記被試験体から漏れ出し真空中で気化した探査媒体の濃度を質量分析計により測定することにより前記被試験体からの漏れ流量を測定することと、からなることを特徴とする。本発明の漏れ検査方法は、更に、探査液体標準リークにより前記被試験体室に既知の漏れ流量の探査液体を供給することを特徴とする。本発明の漏れ検査方法は、更に、前記被試験体室に真空バルブを介した真空排気手段を2系統以上接続して用いることを特徴とする。本発明の漏れ検査方法は、更に、前記被試験体室には、試験体室の真空度圧力を測定するための真空計と前記真空排気手段を接続し、さらに、真空バルブを介して検査室を接続し、探査媒体の濃度を測定するための質量分析計と真空排気手段を検査室に接続して用いることを特徴とする。本発明の漏れ検査方法は、更に、前記探査液体として、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上、蒸発潜熱が80kJmol-1以下の液体を用いることを特徴とする。本発明の漏れ検査方法は、更に、前記探査液体として、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上の液体に気体を溶解させた探査媒体を用いることを特徴とする。本発明の探査媒体を液体とする漏れ検査装置及び漏れ検査方法によれば、真空排気された被試験体室内に配置された被試験体に対して、高圧の探査液体を密閉された状態の被試験体内部に供給し、真空中に漏れ出し気化した探査媒体の濃度を質量分析計により測定することで、微小漏れ流量検査と高耐圧検査を短時間で同時に実施することが可能となる。また、気体の探査媒体を用いた漏れ検査のような高圧ガスに対する保安設備を要することもない。以下、本発明の液体を探査媒体とする漏れ検査装置及びそれを用いた漏れ検査方法の実施の形態の一例について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態の液体を探査媒体とする漏れ検査を行うための漏れ検査装置の構成を示す図である。当該装置は、液体媒体加圧回収システム1と被試験体真空システム2と検査室真空システム3から構成される。液体媒体加圧回収システム1は、液体供給加圧装置11により、液体加圧ライン12を介して探査液体を被試験体内部に供給し且つ0.1MPa大気圧から1GPaまで加圧するための装置である。このシステムは、液体供給加圧装置11と、加圧された液体を被試験体内部に供給するための液体加圧ライン12と、検査終了後に被試験体及び液体加圧ライン12に残された探査液体を回収する回収システム13と、回収後に残存した探査液体と回収のために導入した空気を排除するための真空排気ライン14、そしてバルブ15~バルブ18から構成する。被試験体真空システム2は、漏れ検査を行うための真空を短時間に到達させるための装置である。このシステムは、被試験体を導入する被試験体室21と、大気圧から中真空に到達させるための粗排気真空ポンプ22-b、中真空から高真空に到達させるための真空ポンプ23-b、そして被試験体室と各種真空ポンプを接続する真空バルブ22-a、23-a、及び被試験体室と検査室31を接続するための真空バルブ24、被試験体室の真空度圧力を調べるための真空計25、さらに真空バルブ26-aを介して漏れを定量するための探査液体標準リーク26-b、真空バルブ27-aを介して質量分析計の経時変化による感度変更の校正を行うためのヘリウム標準リーク27-bから構成する。液体媒体加圧回収システム1の液体加圧ライン12は被試験体室21に配置された被試験体に接続され内部に加圧された液体を供給する。なお、粗排気真空ポンプ22-bを設置することで、真空排気時間の大幅な短縮を図ることができる。検査室真空システム3は、被試験体からの漏れを検査するための装置である。このシステムは、検査室31と、検査室を高真空に保つための真空ポンプ32と、真空度圧力を調べるための真空計33と、漏れを検出するための質量分析計としての四重極質量分析計34と、コンダクタンス変更機構35とから構成する。本実施形態における漏れ検査は、次のように行われる。被試験体を液体加圧ライン12に接続し被試験体を密閉状態にして、被試験体を被試験体真空システム2の被試験体室21に導入する。被試験体となる容器等が密閉形状でないものの場合、これを密閉する蓋体を用意し、蓋体に液体加圧ライン12を接続しておき、被試験体に蓋体を取り付けて密閉状態にする。なお、この場合の蓋体及び液体加圧ラインへの接続部、被試験体への取り付け部においては漏れがないものとする。その後、真空バルブ22-aのみを開け粗排気真空ポンプ22-bで被試験体室を真空排気し、10Pa程度の中真空に到達させる。次に真空バルブ22-aを閉じて粗排気を終了し、真空バルブ23-aのみを開け真空ポンプ23-bで被試験体室の真空排気を開始する。被試験体室21を真空排気し、真空計25の真空度圧力が所定の真空度例:10-2Paに到達したら真空バルブ23-aを閉じ、液体媒体加圧回収システム1のバルブ18のみを開け真空排気ライン14を用いて被試験体内部の空気を真空排気し、その後バルブ18を閉じ、バルブ17のみを開け液体加圧装置11により、探査液体を被試験体内部に供給し且つ所望の圧力まで加圧する。被試験体に漏れがある場合、被試験体内部に供給した探査液体は一定流量で気化して被試験体室に漏れ出る。被試験体室の真空排気について、真空バルブ23-aを閉じ真空ポンプ23-bによる排気を終了した後、真空バルブ24を開けて真空ポンプ32により真空排気する。この時、被試験体から一定流量の気体で漏れ出した探査媒体は検査室31に導かれる。この探査媒体は、空間中を自由に飛びまわるので四重極質量分析計34に有効に入射する。四重極質量分析計34は、真空空間中に存在する気体を質量電荷比毎に、すなわち不可避に残存する気体主に水H2O、その他、窒素N2、酸素O2などと探査媒体を個別に計測できることから、漏れ出た探査媒体のみの濃度分圧を測定する。被試験体から大きな漏れが発生している場合には、検査室31の真空計33の真空度圧力は10-2Pa台よりも高くなり、四重極質量分析計の稼動上限圧力に近くなる。この場合、コンダクタンス変更機構35によりコンダクタンスを小さくし、且つ真空バルブ23-aを開けて真空ポンプ23-bによる真空排気も行うことで、検査室31の真空度圧力を10-2Pa以下に低下させて、被試験体から漏れ出す気体の大量の漏れ流量を測定することが可能となる。被試験体の漏れ検査の終了後は探査液体の加圧をリリースし、液体加圧回収システム1のバルブ16のみを開け液体回収システム13を用いて被試験体と液体加圧ライン12に残された探査液体を回収し、その後にバルブ16を閉じる。最後に被試験体室21を大気に戻し、液体加圧ライン12との接続を解除して、被試験体室から被試験体を取り出す。次に液体加圧ライン12を封止して前記真空排気手順を実行し、真空バルブ26-aを開けて探査液体標準リーク26-bから既知の漏れ流量の探査液体を被試験体室21に供給し、四重極質量分析計34で測定する。この標準リークの測定データを用いて被試験体から漏れ出た探査媒体の測定データを校正し、漏れ流量を見積もる。また、ヘリウム標準リーク27-bを用いて既知の漏れ流量のヘリウムガスを供給し、四重極質量分析計34の経時による感度変化を校正することもできる。なお、漏れ流量が小さい場合、探査液体標準リーク26-b、ヘリウム標準リーク27-bは、被試験体室に接続する代わりに、それぞれ真空バルブ26-a、真空バルブ27-aを介して検査室31に接続する形態としても良い。本発明の漏れ検査装置では液体を探査媒体として用いるが、探査媒体の液体として、分子量が500以下、室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上、蒸発潜熱が80kJmol-1以下の条件を満足するものとし、例えば、表2に示すように、メタノール、エタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、n-ペンタン等のパラフィン類、ベンゼン等の芳香族類などの分子量114までの有機溶媒そして水が挙げられる。なお、これらの液体を混合した溶液を用いてもよい。混合溶液の例として、自動車、航空機の燃料であるガソリン、軽油、などの石油類が挙げられる。また、分子量が500以下、そして室温における固化圧力が1MPa以上、飽和蒸気圧が100Pa以上の液体に気体を溶解させたものを探査媒体として用いることができ、その例として、炭酸水、過酸化水素水、アンモニア水が挙げられる。以降では、本発明の検査原理について検討することで、探査液体の物性値の範囲について決定した。1加圧条件まず本発明では、液体を0.1MPaの大気圧以上に加圧するが、1MPa以上の高圧力の印加を特徴とすることから、探査液体は1MPa以上の圧力下で液体状態である必要がある。2最小の漏れ孔サイズの見積り次に被試験体内部に供給された探査液体は、被試験体の漏れ孔を通過する必要がある。ここでは、従来のヘリウムリークテスト法を用いて高圧で微小漏れ検査を行った場合の漏れ孔のサイズについて以下のように見積もった。探査媒体が気体の場合の漏れ流量QgasPam3s-1は20°Cの常温においてで表すことができる。ここで、dは漏れ孔の直径m、μgasは気体の粘性係数Pas、<P>は漏れ孔を通過する気体の平均圧力で、概ね<P>=ΔP/2であり、ΔPは気体に対する印加圧力Paであり、ΔLは漏れ孔の長さmである。現状の自動車や航空機部品のガスリークテストによる漏れ検査の許容漏れ流量は10-5~10-6Pam3s-1程度であることから、最小の漏れ孔サイズを見積もるために、漏れ流量を従来よりも2桁低いQgas=1×10-8Pam3s-1とし、印加圧力ΔPをΔP=1GPaと高く設定し、漏れ孔の長さΔLをΔL=1×10-3mと短く設定し、そして探査気体としてヘリウムを設定しヘリウムガスの粘性係数μHe=1.94×10-5Pasを1式に代入して計算すると、漏れ孔の直径dはd=11.2nmと見積もることができる。一方、本発明で使用する探査液体を有機溶媒とし、その分子量を最大500とすると、液体分子を構成する炭素元素の数は30程度であり、その原子間距離は概ね0.15nm程度であることから液体分子の長さは5nm以下と見積もられる。したがって、探査液体は、漏れ孔を通過すると言える。3最小の検知漏れ流量の見積り次に被試験体内部に供給された探査液体は、被試験体の漏れ孔を通過し、被試験体室21及び検査室31の真空中に気体となって一定の漏れ流量QPam3s-1で排出され、四重極質量分析計34で検出される必要がある。以下では、媒体が液体の場合と気体の場合の漏れ流量を比較し、本発明における探査液体を用いた場合の最小検知漏れ流量について見積り、これが気体を用いた従来法の最小検知漏れ流量と同程度であることを示し、さらに本発明における探査液体の物性値の範囲を見積もった。探査媒体が液体の場合の漏れ流量QliqPam3s-1は20°Cの常温においてで表すことができる。ここで、dは漏れ孔の直径m、μliqは液体の粘性係数Pas、ΔPは液体に対する印加圧力Pa、ΔLは漏れ孔の長さm、ρは液体の密度kgm-3、Mは液体の分子量、Rは気体定数である。一方、探査媒体が気体の場合の漏れ流量QgasPam3s-1は1式で表すことができるので、1と2式よりと表すことができる。ここで、液体の漏れ流量と気体の漏れ流量を比較するために、気体として従来のヘリウムリークテスト法で使用されているヘリウムガスを選択し、その粘性係数μHe=1.94×10-5Pasを3式に代入して整理すると、液体の漏れ流量Qliqは、と表すことができる。この4式は、液体の漏れ流量Qliqがヘリウムガスの漏れ流量QHeの1/<P>倍になることを意味している。表2からμliqM/ρの値の代表値として、μliqM/ρ=1×10-4と設定し、その逆数を4式に代入して整理すると、探査液体の漏れ流量はとなる。漏れ流量Qliqは、例えば印加圧力ΔP=0.2MPa<P>=0.1MPaの場合Qliq=4.74×QHeとなる。このことは、大気圧程度から1MPaの圧力印加の下では、元々液体の方が気体よりも高密度であるために液体の漏れ流量が気体のそれよりも大きくなることを示しており、低い印加圧力では微小な漏れ流量の検査において液体を用いることが有利であると言える。一方、印加圧力ΔP=200MPa<P>=100MPaの場合Qliq=4.73×10-3×QHeとなる。これは高圧印加では、気体の密度が圧力に比例して高くなるために気体の漏れ流量が液体の漏れ流量よりも大きくなることを示している。なお、表2よりμliqM/ρの値として10-5台の液体も多数あることから、μliqM/ρ=10-5を持つ液体を探査媒体に選択することで、大気圧から10MPaまでの圧力印加の下では、液体媒体の漏れ流量が気体媒体のそれよりも大きくなることから、より高感度な漏れ流量の検査を可能とすることができる。探査液体の漏れ流量を従来のヘリウムガスで換算するために4式を、と表す。ここでQHe.eqはヘリウム換算した漏れ流量を意味する。質量分析計として電子増倍管を用いた高感度の四重極質量分析計の最小検知分圧は10-13Pa台であることから、本発明の漏れ検査装置における有効な検知分圧は1×10-11Paが可能である。真空ポンプ32の実効排気速度を0.1m3s-1とすると、探査液体の最小検知漏れ流量はQliq=1×10-12Pam3s-1となる。これを6式に代入して整理すると、探査液体の最小検知漏れ流量はヘリウムガス換算QHe.eqで表現すると、と表すことができる。表2の探査液体候補物質の常温25°Cにおける物性値より[μliqM/ρ]の値は10-5から10-4の範囲であるので、代表値として、μliqM/ρ=1×10-4とし、印加圧力ΔP=200MPa<P>=100MPaとすると、本発明による漏れ検査装置の探査液体の最小検知漏れ流量はヘリウムガス換算でQHe.eq=2.11×10-10Pam3s-1となる。この値は、高感度の漏れ検査が可能なヘリウムリークディテクターの最小検知漏れ流量とほぼ同等であることから、本発明により十分に高感度の漏れ検査ができることがわかる。本発明の高圧力の耐圧検査も可能で且つ漏れ流量が定量できる漏れ検査装置は、自動車、航空機などの部品を主たる検査対象とするが、これら各種部品の許容漏れ流量は、10-5~10-6Pam3s-1ヘリウムガス、室温程度である。[μliqM/ρ]の値をμliqM/ρ=1×10-4とし、印加圧力ΔP=200MPaにおける本発明装置の最小検知漏れ流量QHe.eq=2.11×10-10Pam3s-1ヘリウムガス換算は、1×10-6Pam3s-1と比較して4桁程度小さい。したがって、探査液体の粘性係数μliqPas、密度ρkgm-3の物性値の範囲について制限を設ける必要がないことは自明である。一方、分子量Mについては、最小検知漏れ流量の考察から範囲を制限する必要はないが、四重極質量分析計を使用した場合、これの計測可能な最大質量数が400程度であることから、探査液体の分子量は500以下とすることが妥当である。上記の本発明の漏れ検査法の最小検知漏れ流量の見積は、最小検知分圧として10-13Pa台の高感度の四重極質量分析計を用いたが、四重極質量分析計には最小検知分圧が1×10-7Paのものも存在する。これを用いた場合、本発明の漏れ検査装置における有効な検知分圧を1×10-6Paとし、真空ポンプ32の実効排気速度を0.1m3s-1とすると、探査液体の最小検知漏れ流量はQliq=1×10-7Pam3s-1となる。[μliqM/ρ]の値は10-5から10-4の範囲であるので、代表値をμliqM/ρ=1×10-4とすると、印加圧力ΔP=200MPaの場合の最小検知漏れ流量はヘリウムガス換算でQHe.eq=2.11×10-5Pam3s-1となり、種々の部品の漏れ検査に十分に使用することができる。なお、最小検知分圧が1×10-7Paのある種の四重極質量分析計は、その最大使用圧力が高感度タイプよりも2桁高い1Pa程度のものがあり、これを用いた漏れ検査装置では、検査のための真空度圧力を高く設定できるので、大量の漏れ流量の検査が可能となり、さらに真空排気時間を短縮できるというメリットを持つ。さらに探査液体の検知のために用いる質量分析計としては、四重極質量分析計の他、磁界偏向型質量分析計や高周波型質量分析計など他の質量分析計を用いても良い。4液滴落下の考察次に被試験体内部に供給された探査液体は、被試験体の漏れ孔を通過し被試験体室21の真空中に気体となって排出されるが、この時、漏れ流量が大きすぎると漏れ孔の出口で液滴を作り、液滴のまま被試験体室21に落下しその後蒸発するので、断続的な蒸発が生じてしまう。この場合、四重極質量分析計34による測定が擾乱されてしまうことから漏れ流量の定量測定が困難となる。そこで、漏れ流量Qを従来のヘリウムリークテスト法の上限値であるQHe=1×10-2Pam3s-1とし、印加圧力ΔPを0.1MPaとして、液滴落下の問題について液滴の表面からの媒体分子の蒸発速度と探査液体の漏れ流量の関係より、以下のように検討した。なお、ΔPを0.1MPaに設定した理由は、ヘリウムガスの漏れ流量を同一にした場合ΔPが低い方が漏れ孔は大きくなり探査液体の漏れ流量が大きくなることから、漏れ流量と比較して液滴表面からの媒体分子の蒸発速度が相対的に小さくなり、液滴落下を起こし易いからである。漏れ孔を通過してきた探査液体は漏れ孔の出口で[液滴の重力]N=[表面張力による抗力]Nまでは液滴を作る。したがって、[液滴の重力]=[表面張力による抗力]はと表すことができる。ここで、ρは探査液体の密度kgm-3、rは液滴半径m、gは重力加速度ms-2、dは漏れ孔の直径m、Sは表面張力Nm-1である。8式より液滴半径rmは、と表すことができる。ヘリウムガスの漏れ流量QHeを1×10-2Pam3s-1とし、印加圧力ΔPを0.1MPaとし、そして漏れ孔の長さΔLを1×10-3mとした場合、漏れ孔直径dは1式よりd=19.9μmと求められる。この値と重力加速度g=9.8ms-2を9式に代入して整理すると、液滴半径rmはと表すことができる。液滴の蒸発速度Γは、[蒸発速度]=[出射頻度]×[液滴表面積]であるので、と表すことができる。ここで、<v>は蒸発気体の平均速度、nは蒸発気体の密度である。11式にここで、Tは絶対温度、Mは探査液体の分子量、Peqは探査液体の飽和蒸気圧、kはボルツマン定数を代入し、さらにT=293K、k=1.38×10-23を代入して整理し、蒸発速度の単位[s-1]を[Pam3s-1]に変換すると、液滴の蒸発速度ΓPam3s-1はと表すことができる。13式に10式の液滴半径rを代入して整理すると、液滴の蒸発速度Γは、と導くことができる。一方、ヘリウムガスの漏れ流量QHeが1×10-2Pam3s-1、印加圧力ΔPが0.1MPaの場合の探査液体の漏れ流量Qliqは4式よりと表すことができる。液滴が落下しないためには、[液滴の蒸発速度]>[漏れ流量]が必要となるので、14式と15式よりとなり、が導かれる。この17式は[液滴の蒸発速度]>[漏れ流量]の関係を探査液体の物性値で表現したものであることから、探査液体の物性値について評価することができる。以下では17式を用いて主要な物性値である飽和蒸気圧PeqPaと粘性係数μliqPasの範囲について検討した。なお、[液滴の蒸発速度]>[漏れ流量]の場合、探査液体は、漏れ孔の出口で落下しない程度の大きさの液滴を作り、[漏れ流量]と釣り合い蒸発するので、探査液体により漏れ流量を測定できる。飽和蒸気圧PeqPaを評価するために、17式を変形すると、と表すことができる。ここで、とすると、αの値は表2の探査媒体の候補液体においてα=108台であることから、18式の右辺は102Pa台であり、一方、それぞれの液体の飽和蒸気圧は表2より103Pa台以上であることから、18式を満足していることがわかる。αの代表値としてα=1×108を18式に代入するとPeq>91.1Paとなることから、探査液体の飽和蒸気圧Peqは100Pa以上であればよいと判断できる。粘性係数μliqPasを評価するために、17式を変形すると、と表すことができる。ここで、とすると、βの値は表2の探査媒体の候補液体において100~101台であることから、20式の右辺は10-6~10-5Pas台であり、一方、それぞれの液体の粘性係数は10-4Pas台であることから、20式を満足していることがわかる。例えばヘリウムガスの粘性係数はμHe=1.94×10-5Pasであるように、一般に気体の粘性係数は10-5Pas台であることから、探査液体の粘性係数の下限値を設定する必要が無いと判断できる。探査液体の他の物性、すなわち分子量M、密度ρkgm-3、表面張力SNm-1についても検討したところ、粘性係数と同様に、それぞれの分子量の下限値、密度の上限値、表面張力の上限値について設定する必要が無いことが判明した。ここまでは、探査液体が漏れ孔を液体で通過すると考えてきたが、粘性係数が非常に大きく且つ飽和蒸気圧が高い場合、探査液体は漏れ孔の通過時に気化する。この場合、探査液体は漏れ孔の断面積で蒸発し、[蒸発速度]と[漏れ流量]が釣り合うので、問題無く探査液体により漏れ流量を測定できる。5脱離の活性化エネルギーの考察漏れ孔を通過し真空空間に気体となって排出された探査媒体は、真空空間中を飛び回り真空容器壁に衝突し、一部は反射して真空空間中を再び飛び回り、一部は真空容器壁に吸着する。この真空容器壁への気体の吸着が多い場合、漏れ流量が少ない場合には四重極質量分析計での測定の測定下限に影響し、漏れ流量が多い場合には、探査媒体が検査室に残留してしまい次の測定までに多大な時間を費やすなどの問題が生じる。これらの問題を回避するための探査媒体の条件について、以下のように検討した。気体分子が真空容器壁に吸着し滞在する平均滞在時間τsはで記述できる。ここで、τ0は吸着分子の表面垂直方向の振動周期であり、τ0=1×10-13s程度である。EdkJmol-1は脱離の活性化エネルギーであり、気体が真空容器壁の表面から離れるのに必要なエネルギーである。図2にτ0=1×10-13sの時の真空容器壁に気体が滞在する平均滞在時間と脱離の活性化エネルギーの関係を示す。室温300Kにおける平均滞在時間τsは、Ed=40kJmol-1:τ=10-6s、Ed=60kJmol-1:τ=10-3s、Ed=80kJmol-1:τ=100s1s、Ed=100kJmol-1:τ=104s程度となることがわかる。一方、真空容器の壁間距離をL=0.1mとし、室温300Kとした場合における、分子量Mの探査媒体が真空空間中に滞在する時間飛行時間は、ここで、で表すことができる。探査媒体として分子量の小さいメタノールとすると、気体が真空空間中に滞在する時間は、τ=2.2×10-4sと求められる。さて、前述のように本発明法による漏れ検査装置のヘリウムガス換算での最小検知漏れ流量はQHe.eq=2.11×10-10Pam3s-1であり、現状の各種部品の許容漏れ流量は、10-5~10-6Pam3s-1ヘリウムガス、室温であった。本発明法において1×10-6Pam3s-1まで検査するとした場合、この値は最小漏れ検知流量10-10Pam3s-1に対して4桁大きい。したがって、探査媒体が真空容器壁に吸着する平均滞在時間は空間中の平均滞在時間2.2×10-4sよりも4桁大きくて良い。探査媒体の脱離の活性化エネルギーが80kJmol-1の場合の真空容器壁に吸着する平均滞在時間はτ=100s1sであることから、探査媒体の脱離の活性化エネルギーとして、80kJmol-1以下が必要となる。この脱離の活性化エネルギーは気化した探査媒体と吸着している壁との相互作用により決まる物理量であることから、探査媒体である液体固有の物理量ではない。この脱離の活性化エネルギーは液体固有の物理量である蒸発潜熱と概ね等価である。したがって、探査液体の蒸発潜熱として80kJmol-1以下を必要条件とすることが望ましい。一方、多数の部品を検査する漏れ検査装置では、検査時間をできるだけ短くすることが望まれる。多量の漏れがあった場合には、その探査媒体は速やかに真空排気される必要があるが、脱離の活性化エネルギーが大きい場合には、真空容器壁に前の検査の探査媒体が残留してしまい検査できるようになるまでに時間がかかってしまう。これを回避するためには、探査媒体が真空容器壁に吸着する平均滞在時間は真空空間中の平均滞在時間2.2×10-4s以下であれば良い。図2よりこの条件を満足する脱離の活性化エネルギーは50kJmol-1程度以下であることがわかる。したがって、探査媒体の蒸発潜熱は50kJmol-1以下であることが望まれる。表2に示した探査液体候補物質の常温25°Cにおける蒸発潜熱はいずれも50kJmol-1以下であり、この条件を満足している。以上の検討により本発明に用いる液体媒体として、固化圧力1MPa以上、分子量500以下、飽和蒸気圧100Pa以上、蒸発潜熱80kJmol-1以下が求められた。なお、表2に示す探査液体候補物質は、いずれもこれらの物性値を十分満足することがわかる。本発明の実施例として、探査液体としてメタノールを選択し、図1に示す高圧液体漏れ検査装置を用いて漏れ検査を行い、従来法のヘリウムリークテストによる漏れ検査法と比較した。ここで、液体加圧は最大200MPaまでの圧力印加が可能な加圧装置を用いた。被試験体室21はサイズφ200mm×300mmの精密化学研磨処理されたステンレス鋼製真空容器を用い、粗排気真空ポンプ22-bは排気速度1.7×10-2m3s-1の油回転ポンプを用い真空バルブ22-aを介して被試験体室に接続し、真空ポンプ23-bは排気速度1.0m3s-1のターボ分子ポンプを用い真空バルブ23-aを介して被試験体室に接続した。また検査室31はφ100mm×150mmの化学研磨処理されたステンレス鋼製真空容器を用い真空バルブ24を介して被試験体室21に接続した。検査室31の真空ポンプ32は排気速度3.0×10-1m3s-1のターボ分子ポンプを用いた。コンダクタンス値が変更できるようにコンダクタンス変更機構35を真空バルブ24と検査室31の間に挿入し、真空ポンプの実効排気速度が1×10-1m3s-1と1×10-2m3s-1のいずれかを選択できるようにした。四重極質量分析計34は、質量範囲1~50、最小検知分圧1.0×10-7Pa、最大使用真空度圧力2.0Paのものを用いた。被試験体室と検査室の真空計25と33には、4×10-8Paから大気圧まで測定可能なクリスタルイオンゲージを用いた。被試験体には、サイズφ50mm×50mmでOリングシールのフランジを持つ容器を用い、Oリングを僅かに傷つけフランジの締め込み力を変更することで漏れ流量を調節した。なお、試験体のヘリウムガスによる漏れ流量はヘリウムリークディテクターを用いて調べた。前記の図1に示す高圧液体漏れ検査装置において、先ず真空排気から検査終了までの所要時間について調べた。なお、時間短縮を図るために、3系統の真空排気ポンプはいずれも稼動状態とした。試験体を被試験体室内に取り付け、被試験体に液体加圧ラインを接続して被試験体を密閉し、被試験体室を密閉した後、真空バルブ22-aのみを開き、粗排気真空ポンプ22-bによる排気を行った。被試験体室の真空度圧力は大気圧の排気開始から5秒後に102Pa台前半に到達し、10秒後に100Pa台に達した。次に、真空バルブ22-aを閉じて真空バルブ23-aを開き1.0m3s-1の大排気速度を持つ真空ポンプ23-bによる排気を開始したところ、被試験体室の真空度圧力は大気圧の排気開始から45秒後に10-3Pa台以下に達した。探査液体の被試験体への供給と加圧は大排気速度を持つ真空ポンプ23-bによる排気開始と同時に行った。四重極質量分析計34の最大使用真空度圧力は2Paであることから、被試験体室21の真空度圧力が大排気速度を持つ真空ポンプ23-bの排気開始から10秒後に10-1Pa台以下に到達したので、漏れ検査を開始することが可能であった。すなわち、発明装置を用いて最短で20秒後以降において漏れ検査ができることがわかった。この真空排気時間は、従来法のガスリークテストの真空排気時間とほぼ同等である。また、四重極質量分析計34による探査媒体の測定時間は20秒程度であり、真空排気開始から検査終了までの所要時間は40秒であった。したがって、発明装置を用いて大量の部品検査をガスリークテスト法と同等に短時間で行えると言える。なお、最小検知分圧10-13Paの高感度な四重極質量分析計を用いた場合は、その最大使用真空度圧力が10-2Paであることから、大排気速度を持つ真空ポンプ23-bによる排気時間を1分程度にする必要があるものの、トータルの検査時間は1分30秒程度であり、ある程度の高スループットの検査時間が確保できた。前記の図1に示す高圧液体漏れ検査装置において、先ず探査媒体としてヘリウムガスを用い、ヘリウムガスの印加圧力を0.2~200MPaの範囲のいずれかの圧力とし、漏れ流量QHeを1×10-8~1×10-2Pam3s-1の範囲のいずれかに設定した被試験体を準備した。次に、それぞれの印加圧力下で漏れ流量が調節された被試験体に、探査液体を供給し圧力印加を行って、被試験体の漏れ検査を行った。表3に探査液体の印加圧力を0.2~200MPaの範囲で設定し、それぞれの印加圧力において被試験体の漏れ流量をヘリウムガス換算で1×10-8~1×10-2Pam3s-1に設定した場合の発明装置の漏れ検査の結果を示す。なお、差動排気を行わない場合の検査室31への実効排気速度は1.0×10-1m3s-1に設定した。探査液体への印加圧力が高圧力でヘリウム換算の漏れ流量が小さい場合を除いて、漏れ検査が可能であることがわかる。以下、表3の結果について説明する。それぞれの印加圧力においてヘリウム換算で漏れ流量を1×10-8Pam3s-1とした場合には、探査液体の印加圧力が0.2MPaと2MPaの場合に探査液体を用いて漏れ検査が可能であった。一方、印加圧力を上昇させてヘリウム換算の漏れ量を1×10-8Pam3s-1にすることは漏れ孔を小さくすることに相当するので、探査液体の印加圧力が20MPa以上の場合には、使用した四重極質量分析計の検知分圧以下の漏れ量となることから、探査液体を用いての漏れ検査は不可能であった。また、漏れ流量が1×10-7Pam3s-1の場合には、20MPaまでは検査可能であったが、200MPaでは検査が不可能となった。なお、この実施例では最小検知分圧1.0×10-7Paの四重極質量分析計を用いたために、このような結果となったが、最小検知分圧10-13Paの高感度の四重極質量分析計を用いれば、高圧力印加下でさらに低い漏れ流量でも漏れ検査が可能となることは自明である。次にそれぞれの印加圧力で漏れ流量が多い場合には、問題なく検査が可能であることが表3より明らかである。この中で、印加圧力が低く漏れ流量が多い場合、すなわち、印加圧力が0.2MPaで漏れ流量がヘリウム換算で1×10-3Pam3s-1以上と印加圧力が2MPaで漏れ流量がヘリウム換算で1×10-2Pam3s-1の場合には、被試験体の漏れ孔からの探査液体の漏れ量が多くなるために、検査室31の真空ポンプ32のみの真空排気では、検査室31の真空度圧力は1×10-1Pa以上を示すことから、被試験体室の1m3s-1の大排気速度を持つ真空ポンプによる排気を行い且つ検査室への実効排気速度を1.0×10-2m3s-1に設定して排気を行う、いわゆる差動排気を行って、検査室を10-3Pa台以下の真空度圧力に保持して、四重極質量分析計34を保護して検査することが望ましいことがわかった。大量の漏れ流量を検査した後に、再び検査の手順を実施したところ、被試験体からの漏れが無いにも関わらず、直前の検査で大量に漏れたメタノールが被試験体室21に残留し、バックグラウンドとして測定されてしまった。許容漏れ流量が10-6Pam3s-1以上の場合には、このバックグラウンドは問題とならないが、それ以下の検査では問題となる。これを回避するために、被試験体交換時に被試験体室21を大気圧下においてメタノールの沸点付近の温度である60°Cまで温風ベーキングにより加熱した。その後、再検査したところ、バックグラウンドは、ほとんど測定できなくなるまで低減することが可能であった。このことから、実際に多数の部品について連続的に検査を行う時に、被試験体に大量の漏れがあった場合には、次の検査前に被試験体室を探査液体の沸点程度まで加熱する工程を設けることが望ましいと言える。大量の漏れ査検の実施後に探査液体が残留することにより、次の検査までに時間を費やしてしまう問題を回避する方法として、小さい脱離の活性化エネルギーを持つ探査気体を溶解した液体媒体の利用がある。探査気体を溶解した液体媒体としては、炭酸水、過酸化水素水、アンモニア水などがある。以下では探査気体を溶解した液体媒体として炭酸水を用いた場合の実施例について記述する。探査気体を溶解した液体媒体である炭酸水は、常温の1気圧下での二酸化炭素の水への溶解度が3.9×10-2molL-1と小さいことから、四重極質量分析計による検査を容易にするために、0.7MPaの高圧下で水に二酸化炭素を溶解させ、濃度2.73×10-1molL-1の炭酸水を準備した。漏れ検査は図1に示す高圧液体漏れ検査装置を用いた。ここで四重極質量分析計34は、水に溶解した二酸化炭素を検知するために、最小検知分圧10-13Paの電子増倍管型の高感度四重極質量分析計を用いた。実施例1と同様に漏れ流量QHeを1×10-8~1×10-2Pam3s-1の範囲のいずれかに設定した被試験体を準備し、それぞれの印加圧力下で前記の炭酸水を供給し圧力印加を行って、被試験体の漏れ検査を行った。表4に炭酸水の印加圧力を1.0~200MPaの範囲で設定し、それぞれの印加圧力において被試験体の漏れ流量をヘリウムガス換算で1×10-8~1×10-2Pam3s-1に設定した場合の発明装置の漏れ検査の結果を示す。被試験体の漏れ流量QHeが1×10-8Pam3s-1で炭酸水の印加圧力が200MPaの場合を除いて、漏れ検査が可能であった。ここで、四重極質量分析計34で測定したのは、溶解した探査気体である二酸化炭素である。なお、被試験体の漏れ流量QHeが1×10-8Pam3s-1で炭酸水の印加圧力が20MPaの場合と被試験体の漏れ流量QHeが1×10-7Pam3s-1で炭酸水の印加圧力が200MPaの場合では、検査は可能であったが、四重極質量分析計による二酸化炭素の分圧が10-10Pa台と小さいことから、検査までの真空排気に2時間程度の時間を要した。探査媒体である炭酸水の漏れ量が多く且つ印加圧力が低い領域では、検査室の真空ポンプのみの真空排気では高感度四重極質量分析計の稼動上限真空度圧力10-3Pa台以上の真空度圧力を示すことから、被試験体室21の1m3s-1の大排気速度を持つ真空ポンプ23-bによる排気を行い且つ検査室31への実効排気速度を1.0×10-2m3s-1に設定して排気する差動排気を行った。大量の漏れ流量を検査した後に、漏れの無い被試験体を用いて、再び検査の手順を実施したところ、炭酸水の分離成分である水が測定されたが、探査気体である二酸化炭素は測定されなかった。このことから、探査気体を溶解した液体媒体を用いた場合、大量の漏れ検査の実施後に探査媒体が残留することにより次の検査までに時間を費やしてしまう問題を解決できると言える。以上、本発明の実施形態の一例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇において各種の変更が可能であることは言うまでもない。