支持体により変位可能に支持された駆動部と、前記駆動部を振動させる駆動電極と、前記駆動部に作用する所定方向の力を検出する検出電極と、を含む慣性センサーであって、前記駆動部は、慣性センサーの中央に位置したセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結及び連動され、センター駆動マスを中心に四方に位置するサイド駆動マスと、前記センター駆動マス、前記サイド駆動マス及び前記支持体を連結する連結ブリッジと、を含むことを特徴とする慣性センサー。前記連結ブリッジは、前記センター駆動マスを支持体に連結する駆動ブリッジと、前記センター駆動マスと前記サイド駆動マスを連結するカップリングブリッジと、前記サイド駆動マスを支持体に連結する検出ブリッジと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の慣性センサー。前記駆動ブリッジは、検出ブリッジに比べて幅が広いことを特徴とする請求項2に記載の慣性センサー。前記駆動ブリッジには駆動電極と検出電極が形成され、前記検出ブリッジには検出電極が形成されることを特徴とする請求項2に記載の慣性センサー。前記サイド駆動マスは、前記センター駆動マスを中心に四方に対称し、等間隔で4個が備えられることを特徴とする請求項1に記載の慣性センサー。前記サイド駆動マスは、前記センター駆動マスを中心に両側に等間隔で一つずつ備えられることを特徴とする請求項1に記載の慣性センサー。前記センター駆動マスは、前記サイド駆動マスに比べて大きいことを特徴とする請求項1に記載の慣性センサー。支持体により変位可能に支持された駆動部と、前記駆動部を振動させる駆動電極と、前記駆動部に作用する所定方向の力を検出する検出電極と、を含む慣性センサーであって、前記駆動部は、慣性センサーの中央に位置したセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結及び連動され、センター駆動マスを中心に四方に位置されるサイド駆動マスと、前記センター駆動マス、前記サイド駆動マス及び前記支持体を連結する連結ブリッジと、を含み、前記連結ブリッジは、前記センター駆動マスと前記サイド駆動マス及び前記支持体を順に連結する駆動ブリッジと、前記サイド駆動マスを支持体に連結する検出ブリッジと、からなることを特徴とする慣性センサー。請求項1に記載の慣性センサーによる角速度検出方法であって、センター駆動マスをZ軸方向に加振するセンター駆動マスの駆動段階と、前記センター駆動マスによりサイド駆動マスがX/Y軸方向に連動するサイド駆動マスの駆動段階と、前記センター駆動マスの加振によりX軸及びY軸の角速度を検出するセンター駆動マスの角速度検出段階と、前記サイド駆動マスの駆動によりZ軸の角速度を検出するサイド駆動マスの角速度検出段階と、を含むことを特徴とする角速度検出方法。前記センター駆動マスの角速度検出段階は、前記センター駆動マスが連結された駆動ブリッジの検出電極でX軸及びY軸の角速度を検出することを特徴とする請求項9に記載の角速度検出方法。前記サイド駆動マスの角速度検出段階は、前記サイド駆動マスに連結された検出ブリッジの検出電極でZ軸の角速度を検出することを特徴とする請求項9に記載の角速度検出方法。本発明は、前記のような問題点を解決するためのものであって、センサーの駆動マスとしてセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結されたサイド駆動マスと、を備え、前記センター駆動マスが3軸の一方向に駆動する時にサイド駆動マスが3軸の他の方向に連動することにより時分割駆動なしに3軸の角速度を検出できる慣性センサー及びこれを用いた角速度検出方法を提供するためのものである。本発明の一実施例による慣性センサーは、支持体により変位可能に支持された駆動部と、前記駆動部を振動させる駆動電極と、前記駆動部に作用する所定方向の力を検出する検出電極と、を含み、前記駆動部は、慣性センサーの中央に位置したセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結及び連動され、センター駆動マスを中心に四方に位置するサイド駆動マスと、前記センター駆動マス、前記サイド駆動マス及び前記支持体を連結する連結ブリッジと、を含む。また、前記連結ブリッジは、前記センター駆動マスを支持体に連結する駆動ブリッジと、前記センター駆動マスと前記サイド駆動マスを連結するカップリングブリッジと、前記サイド駆動マスを支持体に連結する検出ブリッジと、を含む。また、前記駆動ブリッジは、検出ブリッジに比べて幅が広い。また、前記駆動ブリッジには駆動電極と検出電極が形成され、前記検出ブリッジには検出電極が形成される。また、前記サイド駆動マスは、前記センター駆動マスを中心に四方に対称し、等間隔で4個が備えられる。また、前記サイド駆動マスは、前記センター駆動マスを中心に両側に等間隔で一つずつ備えられる。また、前記センター駆動マスは、前記サイド駆動マスに比べて大きい。本発明の他の実施例による慣性センサーは、支持体により変位可能に支持された駆動部と、前記駆動部を振動させる駆動電極と、前記駆動部に作用する所定方向の力を検出する検出電極と、を含み、前記駆動部は、慣性センサーの中央に位置したセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結及び連動され、センター駆動マスを中心に四方に位置されるサイド駆動マスと、前記センター駆動マス、前記サイド駆動マス及び前記支持体を連結する連結ブリッジと、を含み、前記連結ブリッジは、前記センター駆動マスと前記サイド駆動マス及び前記支持体を順に連結する駆動ブリッジと、前記サイド駆動マスを支持体に連結する検出ブリッジと、からなる。本発明による慣性センサーを用いた角速度検出方法は、センター駆動マスをZ軸方向に加振するセンター駆動マスの駆動段階と、前記センター駆動マスによりサイド駆動マスがX/Y軸方向に連動するサイド駆動マスの駆動段階と、前記センター駆動マスの駆動によりX軸及びY軸の角速度を検出するセンター駆動マスの角速度検出段階と、前記サイド駆動マスの駆動によりZ軸の角速度を検出するサイド駆動マスの角速度検出段階と、を含む。また、前記センター駆動マスの角速度検出段階は、前記センター駆動マスが連結された駆動ブリッジの検出電極でX軸及びY軸の角速度を検出する。また、前記サイド駆動マスの角速度検出段階は、前記サイド駆動マスに連結された検出ブリッジの検出電極でZ軸の角速度を検出する。本発明の特徴及び利点は添付図面に基づいた以下の詳細な説明によってさらに明らかになるであろう。本発明の詳細な説明に先立ち、本明細書及び請求範囲に用いられた用語や単語は通常的かつ辞書的な意味に解釈されてはならず、発明者が自らの発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則にしたがって本発明の技術的思想にかなう意味と概念に解釈されるべきである。本発明は、センサーの駆動マスとしてセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結されたサイド駆動マスと、を備え、前記センター駆動マスが3軸の一方向に駆動する時にサイド駆動マスが3軸の他の方向に連動することにより、時分割駆動なしに3軸の角速度を検出できる慣性センサー及びこれを用いた角速度検出方法を提供する効果を有する。本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、本発明を説明するにあたり、係わる公知技術に関する具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にする可能性があると判断される場合は、その詳細な説明を省略する。以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施例による慣性センサーについてを詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施例による慣性センサーの概略的な構成図であり、図2は、図1に図示した慣性センサーの概略的な断面図であり、より具体的にはA-A’の断面図である。本発明は、支持体により変位可能に支持された駆動部と、前記駆動部を振動させる駆動電極と、前記駆動部に作用する所定方向の力を検出する検出電極と、を含む慣性センサーに関するものであって、図示したように、前記慣性センサー100は、センター駆動マス110、サイド駆動マス120、連結ブリッジ130及び支持体140を含む。より具体的に、前記センター駆動マス110は、慣性センサーの中央に位置し、加振電極不図示により駆動され、検出電極不図示により移動が検知されて慣性力を検出する。前記サイド駆動マス120は、連結ブリッジ130により前記センター駆動マス110に連結され、前記センター駆動マス110の移動に連動して前記センター駆動マス110と異なる方向に駆動させるためのものである。また、第1実施例による慣性センサー100の前記サイド駆動マス120は、前記センター駆動マス110を中心に四方に対称して等間隔に位置されるように4個が備えられる。このために前記連結ブリッジ130は、駆動ブリッジ131、カップリングブリッジ132及び検出ブリッジ133を含む。また、前記駆動ブリッジ131は、前記センター駆動マス110を支持体140に連結し、駆動電極不図示と検出電極不図示が形成される。また、前記カップリングブリッジ132は、前記センター駆動マス110と前記サイド駆動マス120を連結する。また、前記検出ブリッジ133は、前記サイド駆動マス120を支持体140に連結し、検出電極不図示が形成される。前記支持体140は、前記センター駆動マス110、サイド駆動マス120及び連結ブリッジ130を支持し、前記センター駆動マス110とサイド駆動マス120が浮遊状態で自由移動できるように支持する。また、本発明の第1実施例による慣性センサー100の前記センター駆動マス110は、サイド駆動マス120に比べて大きく形成され、これはセンター駆動マス110の駆動によりサイド駆動マス120が円滑に連動するように設計されたものである。また、前記連結ブリッジ130は、SOISiliconOnInsulator基板からなるため、駆動ブリッジ131、カップリングブリッジ132及び検出ブリッジ133の厚さが全て同一である。また、図示されたように、前記連結ブリッジ130の幅Widthにおいて、駆動ブリッジ131は検出ブリッジ133に比べて広く形成される。これは、それぞれのブリッジに形成される電極とこれらの機能及び効果を考慮して設計されたものである。図3は、図1に図示した慣性センサーの使用状態に対するA-A’断面図であり、図4は、図1に図示した慣性センサーの使用状態に対するB-B’断面図であり、図5は、図1に図示した慣性センサーの使用状態に対するC-C’断面図であり、図6は、図1に図示した慣性センサーを用いた角速度検出方法を概略的に示したフローチャートである。より具体的に、図3に図示したように、前記センター駆動マス110は、矢印で図示したように、上方向、即ち、Z軸方向に加振される場合、前記センター駆動マス110を中心に4側に連結された4個の前記サイド駆動マス120は、前記カップリングブリッジ132により前記センター駆動マス110と連動して、X/Y軸方向に加振される。この場合、図6に図示したように、前記センター駆動マス110をZ軸方向に加振する場合、前記センター駆動マス110に加えられるX/Y軸方向のコリオリの力Coriolisforceを前記駆動ブリッジ131に形成された検出電極不図示により検知し、これによりY/X軸方向の角速度Ωy、Ωxを検出する。また、前記サイド駆動マス120は、前記センター駆動マス110と連動して、X/Y軸方向に加振され、前記サイド駆動マス120に加えられるX/Y方向コリオリの力を前記検出ブリッジ133に形成された検出電極不図示により検知し、それぞれの検出電極から検知された値の合計によりZ軸方向角速度Ωzを検出する。結果、前記センター駆動マス110をZ軸方向に加振する場合、前記サイド駆動マス120がX/Y軸方向に連動されることにより、それぞれの軸を駆動するための時分割駆動なしに同時に、Z、Y、X軸方向の角速度Ωz、Ωy、Ωxを検出することができる。図7は、本発明の第2実施例による慣性センサーの概略的な構成図である。図示したように、前記慣性センサー200は、センター駆動マス210、サイド駆動マス220、連結ブリッジ230及び支持体240を含み、図1に図示した第1実施例による慣性センサー100と比較して連結ブリッジ230のみが異なって構成される。より具体的に、前記連結ブリッジ230は、駆動/カップリングブリッジ231及び検出ブリッジ232を含む。また、前記駆動/カップリングブリッジ231は、前記センター駆動マス110、前記サイド駆動マス220を支持体240に順に連結し、駆動電極不図示と検出電極不図示が形成される。また、前記検出ブリッジ232は、前記サイド駆動マス220を支持体240に連結し、検出電極不図示が形成される。このよう構成され、図1に図示した第1実施例による慣性センサーと同一の方式を用いて、前記センター駆動マス210の加振によるサイド駆動マス220の連動により時分割駆動なしに、Z、Y、X軸方向の角速度Ωz、Ωy、Ωxを検出することができる。図8は、本発明の第3実施例による慣性センサーの概略的な構成図である。図示したように、前記慣性センサー300は、センター駆動マス310、サイド駆動マス320、連結ブリッジ330及び支持体340を含み、図1に図示した第1実施例による慣性センサー100と比較して、支持体340に結合される連結ブリッジの方向と、前記センター駆動マス310に連結されたサイド駆動マス320の位置のみが相異している。また、前記連結ブリッジ330は、駆動ブリッジ331、カップリングブリッジ332及び検出ブリッジ333を含む。また、前記駆動ブリッジ331は、前記センター駆動マス310を支持体340に連結し、駆動電極不図示と検出電極不図示が形成される。また、前記カップリングブリッジ332は、前記センター駆動マス310と前記サイド駆動マス320を連結する。また、前記検出ブリッジ333は、前記サイド駆動マス320を支持体340に連結し、検出電極不図示が形成される。また、1に図示した第1実施例による慣性センサーと同一の方式を用いて、前記センター駆動マス310の加振によるサイド駆動マス320の連動により時分割駆動なしに、Z、Y、X軸方向の角速度Ωz、Ωy、Ωxを検出することができる。図9は、本発明の第4実施例による慣性センサーの概略的な構成図である。図示したように、前記慣性センサー400は、センター駆動マス410、サイド駆動マス420、連結ブリッジ430及び支持体440を含み、図1に図示した第1実施例による慣性センサー100と比較して、前記センター駆動マス410に連結されたサイド駆動マス420の数のみが相異している。より具体的に、前記センター駆動マス410を中心に、両側に前記サイド駆動マス420が一つずつ位置し、連結ブリッジ430によりセンター駆動マス410に連結される。また、前記連結ブリッジ430は、駆動ブリッジ431、カップリングブリッジ432及び検出ブリッジ433を含む。また、前記駆動ブリッジ431は、前記センター駆動マス410を支持体440に連結し、駆動電極不図示と検出電極不図示が形成される。また、前記カップリングブリッジ432は、前記センター駆動マス410と前記サイド駆動マス420を連結する。また、前記検出ブリッジ433は、前記サイド駆動マス120を支持体440に連結し、検出電極不図示が形成される。また、図1に図示した第1実施例による慣性センサーと同一の方式を用いて、前記センター駆動マス410の加振によるサイド駆動マス420の連動により時分割駆動なしに、Z、Y、X軸方向の角速度Ωz、Ωy、Ωxを検出することができる。以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明による慣性センサー及びこれを用いた角速度検出方法はこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。