基板、この基板上に設けられた支持部材、この支持部材に一端が接続された可動梁、この可動梁の他端部とバネ部材を介して接続されたミラー、前記可動梁および前記ミラーの少なくとも一方と対向して前記基板上に配置された電極、および、前記可動梁および前記ミラーの少なくとも一方に設けられ、変形によって電気抵抗が変化するように形成された金属薄膜を備えたミラー素子と、前記金属薄膜の電気抵抗を検出する検出部と、この検出部の検出結果に基づいて前記ミラー素子の状態を判定する判定部とを備えたことを特徴とする光通信装置。前記ミラーの傾きと前記電極に印加する駆動電圧との関係を記録したテーブルと、このテーブルに基づいて前記電極に駆動電圧を印加する駆動部と、前記判定部の判定結果に基づいて前記テーブルに記録された前記駆動電圧を補正する補正部とをさらに備えることを特徴とする請求項1記載の光通信装置。前記判定部の判定結果に基づいて外部にミラー素子に故障が生じている旨の警報を出力する警報部をさらに備えることを特徴とする請求項1または2記載の光通信装置。前記金属薄膜は、前記可動梁に設けられ、前記ミラーは、前記金属薄膜と同じ材料からなる反射膜を備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の光通信装置。基板と、この基板上に設けられた支持部材と、この支持部材に一端が接続された可動梁と、この可動梁の他端部とバネ部材を介して接続されたミラーと、前記可動梁および前記ミラーの少なくとも一方と対向して前記基板上に配置された電極と、前記可動梁および前記ミラーの少なくとも一方に設けられ、変形によって電気抵抗が変化するように形成された金属薄膜とを備えたことを特徴とするミラー素子。しかしながら、ミラー素子の状態を検出することは困難であり、その仕組みについて何ら提案されていなかった。例えば、ミラー素子の状態が正常であるか否かは光通信装置における光損失の変動として現れるが、この光損失はミラー素子以外の光通信装置の構成要素によっても発生するので、光損失の変動だけではミラー素子の状態を検出することは困難である。また、その光損失が変動する一因として経時変化による駆動力の変動に基づくミラーの偏向角の変動が挙げられ、この偏向角の変動量を検出できればミラー素子の状態をいくらか絞り込むことが可能となるが、その偏向角を検出する方法が未だに確立されていない。そこで、本発明は、ミラー素子の状態を検出することができる光通信装置およびミラー素子を提供することを目的とする。上述したような課題を解決するために、本発明に係る光通信装置は、基板、この基板上に設けられた支持部材、この支持部材に一端が接続された可動梁、この可動梁の他端部とバネ部材を介して接続されたミラー、可動梁およびミラーの少なくとも一方と対向して基板上に配置された電極、および、可動梁およびミラーの少なくとも一方に設けられ、変形によって電気抵抗が変化するように形成された金属薄膜を備えたミラー素子と、金属薄膜の電気抵抗を検出する検出部と、この検出部の検出結果に基づいてミラー素子の状態を判定する判定部とを備えたことを特徴とするものである。上記光通信装置において、ミラーの傾きと、電極に印加する駆動電圧との関係を記録したテーブルと、このテーブルに基づいて、電極に駆動電圧を印加する駆動部と、判定部の判定結果に基づいて、テーブルに記録された駆動電圧を補正する補正部とをさらに備えるようにしてもよい。また、上記光通信装置において、判定部の判定結果に基づいて、外部にミラー素子に故障が生じている旨の警報を出力する警報部をさらに備えるようにしてもよい。また、上記光通信装置において、金属薄膜は、可動梁に設けられ、ミラーは、金属薄膜と同じ材料からなる反射膜を備えるようにしてもよい。また、本発明に係るミラー素子は、基板と、この基板上に設けられた支持部材と、この支持部材に一端が接続された可動梁と、この可動梁の他端部とバネ部材を介して接続されたミラーと、可動梁およびミラーの少なくとも一方と対向して基板上に配置された電極と、可動梁およびミラーの少なくとも一方に設けられ、変形によって電気抵抗が変化するように形成された金属薄膜とものである。本発明によれば、ミラー素子の可動梁およびミラーの少なくとも一方に設けられた金属薄膜の抵抗を検出することにより、ミラー素子の状態を検出することができる。以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。<光通信装置の構成>図1に示すように、本実施の形態に係る光通信装置は、ミラー素子1と、このミラー素子1の状態を検出する検出装置2と、この検出装置2の検出結果に基づいてミラー素子1の動作を制御する制御装置3と、ミラー素子1の状態を外部に送信する通信装置4とを備えている。≪ミラー素子の構成≫ミラー素子1は、図2A、図2Bに示すように、例えばシリコン基板などから構成された電極基板10と、電極基板10から離間して電極基板10と略平行に対向配置され、例えばSOISiliconOnInsulator基板などから構成されるミラー基板20とを備えている。電極基板10は、ミラー基板20と対向する面上に、電極11-1~11-4が配設されている。この電極11-1~11-4は、後述するミラー基板20の可動梁12-1~12-4と1対1に対応して対向配置されている。ミラー基板20は、互いに平行に配設された一対の支持部21と、この支持部21に一端が接続された可動梁22-1~22-4と、この可動梁22-1~22-4の他端に接続されたバネ23-1~23-4と、このバネ23-1~23-4を介して可動梁22-1~22-4の可動端に接続されたミラー24とを備えている。このミラー24の上面には、金等の金属薄膜からなる反射膜を設けるようにしてもよい。この反射膜を設けることにより、ミラーに入射する光をより効率的に反射させることができる。なお、以下において、ミラー基板20において、電極基板10と対向する側の面を下面、その反対側の面を上面と言う。ここで、可動梁22-1~22-4の下面には、金等の金属薄膜から構成されるセンサ部25-1~25-4が設けられている。このセンサ部25-1~25-4は、図3A、図3Bに示すように、支持部21に両端部が接続された平面視略コの字型の形状を有している。その両端部は、支持部21を介してミラー素子1外部に導出され、検出部2に接続されている。本実施の形態において、センサ部25-1~25-4は、可動梁22-1~22-4の撓みや捻じれによる歪みにより生じる抵抗値を検出できるように金の薄膜をパターニングすることにより形成される。この金は、ミラー24の表面に反射膜として用いられる材料であるので、ミラー24に反射膜を設けた場合には、この反射膜とセンサ部25-1~25-4とに同様の材料を用いることで、ミラー24の反射膜の製膜工程時にセンサ部25-1~25-4の金属薄膜を同時に製膜できるので、製造工程を簡易化できる。このようなミラー素子1は、公知のMEMS技術やフォトリソグラフィ技術によって形成することができる。具体的には、ミラー素子1は、電極基板10とミラー基板20とを、スペーサを介して貼り合わせることにより、所定の距離を離間して形成することができる。そのスペーサは、表面を金属により被覆するか、スペーサ自体を金属により形成することにより、導電性とする。センサ部25-1~25-4からの配線と電極基板10上の配線とを導電性スペーサを介して電気的に接続することで、センサ部25-1~25-4からの信号を電極基板10上の配線より検出することができる。電極基板10上の配線には、駆動電極用の電極パッドに加え、センサ部25-1~25-4用の電極パッドを用意し、ワイヤボンディング等により外部と接続するようにしてもよい。このようなミラー素子1において、電極11-1~11-4に駆動電圧を印加すると、電極11-1~11-4と可動梁22-1~22-4との間の電位差により発生する静電引力によって、可動梁22-1~22-4がその電極11-1~11-4の側に引き寄せられる。すると、その可動梁22-1~22-4の移動に伴って、これらの可動梁22-1~22-4にバネ23-1~23-4を介して接続されたミラー24も変位する。したがって、選択的に電極11-1~11-4に駆動電圧を印加することによって、ミラー24は任意の方向へ回動させられることとなる。このようなミラー素子1は、例えば、1つの入力ポートと複数の出力ポートとの間に設けられ、入力ポートから入力された光をミラー24により所定の方向に反射させていずれかの出力ポートに導くことにより、ポートの選択というスイッチング動作を実現することができる。≪検出装置の構成≫検出装置2は、センサ部25-1~25-4に接続され、これらの電気抵抗の変化を検出する公知のブリッジ回路および電流増幅器等からなる電子機器から構成される。検出部2により検出されたセンサ部25-1~25-4の抵抗値は、制御装置3に出力される。≪制御装置の構成≫制御装置3は、光通信装置全体の動作を制御する電子回路から構成される。このような制御装置3は、駆動部31と、判定部32と、補正部33と、警報部34と、記憶部35とを備えている。駆動部31は、ミラー素子1の電極11-1~11-4に所定の駆動電圧を印加することにより、ミラー24を所定の角度に傾向させる機能部である。判定部32は、検出装置2から入力されるセンサ部25-1~25-4の抵抗値に基づいて、ミラー素子1の状態を判定する機能部である。補正部33は、判定部32の判定結果に基づいて、後述するテーブル領域35aに記憶されたテーブルの駆動電圧を補正する機能部である。警報部34は、判定部32の判定結果に基づいて、通信部4を介して外部のオペレータなどにミラー素子1に異常が発生している旨を示す警報を出力する機能部である。記憶部35は、制御装置3による動作を実現するための各種情報を記憶する機能部である。このような記憶部35には、例えば、ミラー24の角度、この角度を実現するために電極11~1~11-4に印加する駆動電圧、および、この駆動電圧を印加したときのセンサ部25-1~25-4の抵抗値の関係を示したテーブルを記憶するテーブル領域35aと、判定部32による判定に用いられるしきい値を記憶するしきい値領域35bと、制御装置3の動作プログラムを記憶する動作プログラム領域35cとが少なくとも設けられている。なお、以下において、テーブル領域35aに記憶された抵抗値を記憶値と言う。≪通信装置の構成≫通信装置4は、制御装置3の指示に基づいて、通信回線図示せずを介して光通信装置外部と各種情報をやりとりするインターフェース装置から構成される。<異常判定動作>次に、図4を参照して、本実施の形態に係る光通信装置におけるミラー素子1の異常判定動作について説明する。例えば、ミラー24を所定の角度に傾向させる場合、駆動部31は、記憶部35のテーブル領域35aに記憶されたテーブルに基づいて、その所定の角度に対応する駆動電圧を電極11-1~11-4に印加するステップS1。駆動電圧が印加されると、判定部32は、検出装置2を介して、センサ部25-1~25-4における抵抗値以下、測定値と言う。を検出するステップS2。測定値が検出されると、判定部32は、テーブルから駆動部31により印加された駆動電圧に対応付けられた記憶値を取得し、この記憶値と測定値との差を算出し、この差が記憶部35のしきい値領域35bに記憶されたしきい値以下であるか否かを確認するステップS3。このとき、判定部32は、その差を絶対値として算出し、この絶対値の差としきい値とを比較する。また、しきい値領域35bに記憶されたしきい値は、ミラー素子1の特性等に基づいて適宜設定される。測定値と記憶値との差がしきい値以下である場合ステップS3:YES、判定部32は、ミラー素子1に大きな異常が発生していないと判定し、この判定結果を補正部33に送信する。すると、補正部33は、テーブルに記録された駆動電圧を補正するステップS4。例えば、補正部33は、測定値と記憶値とが一致するように、電極11-1~11-4に印加する駆動電圧を変化させる。そして、測定値と記憶値とが一致したときの駆動電圧を、テーブルのその記憶値に対応して記憶されていた駆動電圧と置き換える。これにより、経時変化などによりミラー素子の特性が変化した場合であっても、テーブルに記録された駆動電圧がその特性の変化に応じて更新されるので、より正確なミラー24の傾動動作を実現することができる。測定値と記憶値との差がしきい値を超える場合ステップS3:NO、判定部32は、ミラー素子1に異常が発生していると判定し、この結果を警報部34に出力する。すると、警報部34は、通信部4により、ミラー素子1に異常が発生していることを示す警報を外部のオペレータ等に宛てて送信させるステップS5。これにより、オペレータは、ミラー素子1に異常が発生したことを認識できるので、その異常を解消するための処理を行うことが可能となる。以上説明したように、本実施の形態によれば、可動梁22-1~22-4にセンサ部25-1~25-4を設けることにより、このセンサ部25-1~25-4の抵抗値の変化に基づいて可動梁22-1~22-4の状態を検出することができる。これにより、ミラー素子1が故障しているか否かを特定することもできる。また、本実施の形態によれば、判定部32の判定結果に基づいて記憶部35のテーブル領域35aに記憶されたテーブルの駆動電圧が補正されるので、経時変化等によってミラー24や可動梁22-1~22-4の曲率が変化した場合であっても、ミラーの回動角を正確に制御することができる。さらに、本実施の形態によれば、判定部32の判定結果に基づいて警報部34によりミラー素子に故障が生じている旨の警報が外部のオペレータ等に宛てて送信されるので、オペレータがその故障をいち早く認識できるとともに、その故障を解消するための処理を速やかに行うことができる。なお、本実施の形態において、図5A~図5Cに示すように、可動梁22-1~22-4の上面に金属薄膜からなる反り防止部材26を設けるようにしてもよい。センサ部25-1~25-4を設けたとき、可動梁22-1~22-4の下面側に反りが発生する場合がある。このような場合に反り防止部材26を設けると、この反り防止部材26を設けた可動梁22-1~22-4の上面側に反りを生じさせる力が発生し、この力とセンサ部25-1~25-4により可動梁22-1~22-4の下面側に反りを発生させる力とが互いに打ち消し合う。結果として、可動梁22-1~22-4に発生する反りを抑制することができる。また、図6A~図6Cに示すように、可動梁22-1~22-4の上面に金属薄膜からなる第2のセンサ部27-1~27-4を設けるようにしてもよい。この場合、センサ部25-1~25-4の抵抗値と、第2のセンサ部27-1~27-4の抵抗値との差分を取り、この差分に基づいて可動梁22-1~22-4の状態を判定することができる。このようにしても、本実施の形態と同等の作用効果を得るとともに、上述した反り防止部材26を設けた場合と同様に可動梁22-1~22-4の反りを抑制することができる。また、本実施の形態では、センサ部25-1~25-4を可動梁22-1~22-4に設けた場合を例に説明したが、センサ部25-1~25-4を設ける位置は可動梁22-1~22-4に限定されず、ミラー24に設けたり、可動梁22-1~22-4およびミラー24の両方に設けたりするようにしてもよい。このとき、上述した反り防止部材26や第2のセンサ部27-1~27-4についても、可動梁22-1~22-4のみならず、ミラー24に設けたり、可動梁22-1~22-4およびミラー24の両方に設けたりするようにしてもよい。また、本実施の形態では、センサ部や第2のセンサ部が平面視略コの字型の形状を有する場合を例に説明したが、それらのセンサ部の形状は平面視略コの字型に限定されず、例えばつづら折り形状など適宜自由に設定することができる。また、本実施の形態では、電極11-1~11-4が可動梁22-1~22-4に対向配置されたミラー素子に適用した場合を例に説明したが、電極11-1~11-4がミラー24に対向配置されたり、可動梁22-1~22-4およびミラー24の両方に対向配置されたりしたミラー素子に適用するようにしてもよい。また、本実施の形態では、ミラー24を対向配置された可動梁22-1~22-4によりミラー24の両側から支持する構造に適用した場合を例に説明したが、ミラー24の片側から支持する構造に適用するようにしてもよい。また、本実施の形態では、4つの可動梁22-1~22-4を設ける場合を例に説明したが、可動梁の数量についても適宜自由に設定することができる。例えば、一方の側に2つ、他方の側に1つの合計3つの可動梁とするようにしてもよい。また、両側に1つずつ設けるようにしてもよい。さらに、ミラー24に対向する電極の数量についても、適宜自由に設定することができる。また、本実施の形態では、1つのミラー素子からなるミラー素子1を用いた光通信装置に適用した場合を例に説明したが、このミラー素子1が1次元的あるいは2次元的に配列されたマイクロミラーアレイを用いた光通信装置にも適用できることは言うまでもない。