固定スクロールに設けた渦巻状の固定ラップと、旋回スクロールに設けた渦巻状の旋回ラップを相互に嵌入させるとともに、旋回スクロール端板の鏡面と当接する固定スクロール端板の固定ラップよりも径方向外方に環状のダストシール部を設け、固定スクロールに対して一定の偏心量で旋回スクロールを旋回させることにより、吸入孔から吸入した気体を中心方向への移動に伴い圧縮して外部に排出させるスクロール形真空ポンプにおいて、前記ダストシール部より径方向内方に、外部から導入した不活性ガスの滞留部を設けたことを特徴とするスクロール形真空ポンプ。前記滞留部が、環状溝であることを特徴とする請求項1に記載のスクロール形真空ポンプ。前記環状溝に、不活性ガスの流入孔を開設したことを特徴とする請求項2に記載のスクロール形真空ポンプ。そこで、本発明者らは、上記従来技術の問題点に鑑み、特に半導体製造工程等で使用される反応性の特殊ガスに適用可能なスクロール形真空ポンプについて鋭意検討を重ねた結果、本発明に想到したのである。すなわち、本発明では、反応性ガスによる影響を経済的に低減して耐久性を向上させるとともに、反応性ガスを希釈化するための不活性ガスの消費量も併せて低減可能なスクロール形真空ポンプの提供を目的とする。上記課題を解決するため、固定スクロールに設けた渦巻状の固定ラップと、旋回スクロールに設けた渦巻状の旋回ラップを相互に嵌入させるとともに、旋回スクロール端板の鏡面と当接する固定スクロール端板の固定ラップよりも径方向外方に環状のダストシール部を設け、固定スクロールに対して一定の偏心量で旋回スクロールを旋回させることにより、吸入孔から吸入した気体を中心方向への移動に伴い圧縮して外部に排出させるスクロール形真空ポンプにおいて、前記ダストシール部より径方向内方に、外部から導入した不活性ガスの滞留部を設けた点に技術的特徴がある。さらに、上記構成において、環状溝を滞留部とし、また外部から供給される不活性ガスの流入孔を当該環状溝に開設することも可能である。本発明に係るスクロール形真空ポンプでは、上記構成を採用したことにより、腐食性ガス等の反応性ガスの吸引に適用した場合、以下のような効果が得られる。1窒素ガス等の不活性ガスをラップの外周側から導入してそこに滞留させ、吸入孔から吸い込んだ反応性ガスとともに圧縮室内を移動させるので、反応性ガスが不活性ガスによって希釈化され、ダストシール、バックアップシール、バックアップチューブ、チップシール、ポンプ部材等の各部品を反応性ガスから効果的に保護することが可能となる。2不活性ガスの流入孔を環状溝に開設すれば、吸入した反応性ガスと不活性ガスとが環状溝内で確実に混ざり合うので、その反応性がより希釈化されることになる。以下、図面に示した実施例により、本発明に係るスクロール形真空ポンプの好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではなく、本発明の技術思想内での種々の変更実施はもちろん可能である。図1は、本発明に係るスクロール形真空ポンプの一例として、シングルラップ形式のものを示した一部縦断側面図である。すなわち、スクロール形真空ポンプの基本構造は、ハウジング1内で旋回スクロール2を一定の偏心量をもって旋回させることにより、ハウジング1の外周部から吸入した気体を、旋回スクロール2と固定スクロール3を組み合わせて形成した圧縮室4へ移動させ、その中心方向に行くにしたがって圧縮した後、ハウジング1の中心部より吐出させるようにしたものである。次に、個々の部材について、詳しく説明する。図1において、前部、すなわち図1の左端部に位置する固定スクロール3は、外周部の適所に吸入孔11aを有し、かつ中心部に吐出孔11bを有する円形状の固定端板3aの後面に、渦巻状の固定ラップ3bを立設し、同じく前面に、水平方向を向く緩い波状の等高の冷却フィン5を、ほぼ等間隔をもって立設して形成されている。旋回スクロール2の後面には、ベアリングプレート6が重ね合わされている。ベアリングプレート6の後面の中心部には、駆動軸7の偏心軸部7aをベアリング8を介して枢支する筒状ボス9が突設され、同じく外周部の3か所には、例えば公知のピンクランク式の自転防止機構10を組み込んで、旋回スクロールが収容されているハウジング1に対し、旋回スクロール2が駆動軸7まわりに、偏心的に旋回しうるように構成されている。固定スクロール3の前面にはカバープレート21が当接され、適宜の締付けねじ22で、締付け固定されている。旋回スクロール2と、その後面に重ねられたベアリングプレート6とは、締付けねじ23により一体化されている。固定スクロール3の後面板24は、ハウジング1の前面に重ねられ、両者は、ボルト25とナット26により締着されている。前記固定ラップ3bおよび旋回ラップ2bの先端面には、それぞれ嵌溝3c、2cが形成され、各嵌溝3c、2c内には、それぞれ、対向する旋回スクロール2の旋回側端板2a、および固定スクロール3の固定側端板3aに摺接するシール部材Sが嵌設されている。ダストシール部12は、固定スクロール3の固定側端板3aの前面には環状溝11cを設け、この環状溝内にバックアップチューブ11eを介して、摺動部材11fを嵌合して構成されている。摺動部材11fとしては、低摩擦性、耐熱性および耐摩耗性が良好な自己潤滑性材料、例えばテフロン登録商標等のようなやや硬質の合成樹脂または二硫化モリブデン等の金属系の固体潤滑材が使用され、断面は、通常方形をなしている。バックアップチューブ11eは、シリコーンまたはフッ素ゴム等のシール性を有する弾性部材からなる環状のものである。次に、本発明の要部である不活性ガスの滞留部について、図2を中心に詳しく説明する。すなわち、図1の要部拡大図である図2に示したように、ダストシール部12よりもやや内方に寄った固定側端板3aの表面には、不活性ガスの流入孔11dが開口している。なお、流入孔11dは、配管27を介して外部に接続される不活性ガス供給源とつながっている。流入孔11dの位置と数は、これに限定されることはないが、吸入孔11aに近い位置、すなわち固定側端板3aの最外周部分のほうが吸入したガスの希釈化により効果がある。次に、上記のように構成したスクロール形真空ポンプを反応性ガスに適用した場合の使用方法について、図1を中心に説明する。吸入孔11aから吸い込まれた反応性ガスは、ハウジング1内に入ったとき、初めにダストシール部12に到達する。このダストシール部12の周囲の空間には、流入孔11dから導入された窒素ガス等の不活性ガスが充満し、環状溝11cを介して充満した状態となっている。これにより反応性ガスは、圧縮室4内に流入する前に、まずダストシール部12で十分に希釈され、環状溝11cを通過して圧縮室4内で圧縮され、中心部付近に設けられた吐出孔11bから吐出される。したがって、反応性ガスを吸い込んでもポンプ内の各部が腐食されにくくなり、摺動部材11f、バックアップチューブ11e、シール部材Sなどの寿命も延びる。また、環状溝11cに充満した不活性ガスは、その形状に基づくラビリンス効果により、環状溝11cから抜けにくくなることから、不活性ガスの消費量が減少し、運転コストの低減につながる。さらに、動的シールから外部への反応性ガスのリークを防止し、これまで以上のクリーンな真空状態を実現できる。