対向配置された1対の同軸状電極と、該同軸状電極内にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマの発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備えるプラズマ光源であって、各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、前記絶縁体は、ホットプレスによって加圧されており、前記中心電極及び前記ガイド電極を密着して成形されるようになっている、ことを特徴とするプラズマ光源。前記中心電極及び前記ガイド電極は、タングステン又はグラファイトからなる、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。対向配置された1対の同軸状電極を準備し、前記各同軸電極対にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマ発生に適した温度及び圧力に各同軸電極対内を保持し、各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加し、1対の同軸状電極間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込める、ことを特徴とするプラズマ光源の製造方法であって、各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、前記絶縁体を、ホットプレスによって加圧され、前記中心電極及び前記ガイド電極を密着するように成形する、ことを特徴とするプラズマ光源の製造方法。EUVリソグラフィ光源には、高い平均出力、微小な光源サイズ、飛散粒子デブリが少ないこと等が要求される。現状では、EUV発光量が要求出力に対して極めて低く、高出力化が大きな課題の一つであるが、一方で高出力化のために入力エネルギーを大きくすると熱負荷によるダメージがプラズマ生成装置や光学系の寿命の低下を招いてしまう。従って、高EUV出力と低い熱負荷の双方を満たすためには、高いエネルギー変換効率が必要不可欠である。プラズマ形成初期には加熱や電離に多くのエネルギーを消費するうえに、EUVを放射するような高温高密度状態のプラズマは一般的に急速に膨張してしまうため、放射持続時間τが極端に短い。従って、変換効率を改善するためには、プラズマをEUV放射のために適した高温高密度状態で長時間μsecオーダーで維持することが重要になる。SnやLi等の常温固体の媒体はスペクトル変換効率が高い反面、プラズマ生成に溶融、蒸発等の相変化を伴うため、中性粒子等のデブリ放電に伴う派生物による装置内汚染の影響が大きくなる。そのため、ターゲット供給、回収システム強化も同様に要求される。現在の一般的なEUVプラズマ光源の放射時間は100nsec程度であり出力が極端に足りない。産業応用のため高変換効率と高平均出力を両立させる為には1ショットで数μsec少なくとも1μsec以上のEUV放射時間を達成する必要がある。つまり、高い変換効率を持つプラズマ光源を開発するためには、それぞれのターゲットに適した温度密度状態のプラズマを1μsec以上拘束し、安定したEUV放射を達成する必要がある。ここで、プラズマ物質供給源としてリチウム化合物例えば、LiH等が電極間絶縁体として用いられており、絶縁体表面での沿面放電によりプラズマ物質の供給を行っている。しかし、この場合、リチウム化合物は粉体から焼結により固体に成形されるが、リチウム化合物焼結体は加工性が悪く、高精度な加工が困難で、電極部との接触部分において隙間が生じる場合があった。さらに、かかる場合において、この隙間は周方向に均一に発生するとは限らず、焼結部品個々のばらつきが発生することがあるという問題点があった。そのため、電極間放電の安定性や再現性等が、一定の水準に維持できない場合があるという問題が生じていた。本発明は、かかる問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、電極部との接触部分において隙間を生じさせない電極間絶縁体を有するプラズマ光源及びプラズマ光源の製造方法を提供することにある。本発明によれば、対向配置された1対の同軸状電極と、該同軸状電極内にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマの発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備えるプラズマ光源であって、各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、前記絶縁体は、ホットプレスによって加圧されており、前記中心電極及び前記ガイド電極を密着して成形されるようになっている、ことを特徴とするプラズマ光源が提供される。また、前記中心電極及び前記ガイド電極は、タングステン又はグラファイトからなる。また、本発明によれば、対向配置された1対の同軸状電極を準備し、前記各同軸電極対にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマ発生に適した温度及び圧力に各同軸電極対内を保持し、各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加し、1対の同軸状電極間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込める、ことを特徴とするプラズマ光源の製造方法であって、各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔で隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、前記絶縁体を、ホットプレスによって加圧され、前記中心電極及び前記ガイド電極を密着するように成形する、ことを特徴とするプラズマ光源の製造方法が提供される。上記発明によれば、電極間絶縁体にタングステン又はグラファイトを使用することによって、電極部との接触部分において隙間を生じさせないため、放電特性の安定性、再現性を高めることができる。以下、本発明の好ましい実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。図1は、本発明によるプラズマ光源の原理図である。この図において、本発明のプラズマ光源10は、1対の同軸状電極11、放電環境保持装置20、及び電圧印加装置30を備える。1対の同軸状電極11は、対称面1を中心として対向配置されている。各同軸状電極11は、棒状の中心電極12、管状のガイド電極14及びリング状の絶縁体16からなる。棒状の中心電極12は、単一の軸線Z-Z上に延びる導電性の電極である。この例において、中心電極12の対称面1に対向する端面に凹穴12aが設けられ、後述する面状放電電流2と管状放電4を安定化させるようになっている。なお、この構成は必須ではなく、中心電極12の対称面1に対向する端面は、円弧状でも平面でもよい。管状のガイド電極14は、中心電極12を一定の間隔を隔てて囲み、その間にプラズマ媒体を保有するようになっている。なお、ガイド電極14の対称面1に対向する端面は、円弧状でも平面でもよい。リング状の絶縁体16は、中心電極12とガイド電極14の間に位置する中空円筒形状の電気的絶縁体であり、中心電極12とガイド電極14の間を電気的に絶縁する。なお、絶縁体16の形状はこの例に限定されず、中心電極12とガイド電極14の間を電気的に絶縁する限りで、その他の形状であってもよい。上述した1対の同軸状電極11は、各中心電極12が同一の軸線Z-Z上に位置し、かつ互いに一定の間隔を隔てて対称に位置する。放電環境保持装置20は、同軸状電極11内をプラズマ発生に適した温度及び圧力に同軸状電極11を保持する。放電環境保持装置20は、例えば、真空チャンバー、温度調節器、真空装置、及びプラズマ媒体供給装置により構成することができる。なおこの構成は必須ではなく、その他の構成であってもよい。電圧印加装置30は、各同軸状電極11に極性を反転させた放電電圧を印加する。電圧印加装置30は、この例では、正電圧源32、負電圧源34及びトリガスイッチ36からなる。正電圧源32は、一方この例では左側の同軸状電極11の中心電極12にそのガイド電極14より高い正の放電電圧を印加する。負電圧源34は、他方この例では右側の同軸状電極11の中心電極12にそのガイド電極14より低い負の放電電圧を印加する。トリガスイッチ36は、正電圧源32と負電圧源34を同時に作動させて、それぞれの同軸状電極11に同時に正負の放電電圧を印加する。この構成により、本発明のプラズマ光源は、1対の同軸状電極11間に管状放電後述するを形成してプラズマを軸方向に封じ込めるようになっている。図2は、本発明による絶縁体に対するホットプレスの概念図である。この図において、17はホットプレス用ケース、18はホットプレス用圧力付与体である。粉体の絶縁体16を固体に成形させる場合において、絶縁体16と共に中心電極12とガイド電極14をホットプレス用ケース17に収納させ、同軸状電極11の反対側から、絶縁体16と中心電極12及びガイド電極14を一体としてホットプレス用圧力付与体18によって高温高圧下約600°C、約100気圧、約1時間でホットプレスして焼結することによって行われる。かかる方法によって、絶縁体16の粉体を焼結させることで、絶縁体16と中心電極12又はガイド電極14との間に隙間を発生させない形で粉体の絶縁体16を固体に成形させることができる。また、かかる場合において、中心電極12及びガイド電極14をグラファイトやタングステン等の高融点物質に変更することによって、高温高圧下でホットプレスしても熱変形を起こさないようにすることが可能になる。なお、タングステン又はグラファイト以外にもタンタル等を使用することも可能である。ホットプレス用ケース17及びホットプレス用圧力付与体18は、高温高圧下のホットプレスに耐えられるようにグラファイト等の高融点物質を用いることが望ましい。また、中心電極12及び絶縁体16については、例えば、図2におけるD1を約10mm程度、D2を約5mm程度、W1を約10mm程度として設計するとよい。なお、中心電極12をホットプレス用ケース17に接続するために、中心電極12の先端部にネジ部図示しないを設け、ホットプレス用ケース17と接続させる形でもよい。図3は、本発明によるプラズマ光源の作動説明図である。この図において、Aは面状放電の発生時、Bは面状放電の移動中、Cはプラズマの形成時、Dはプラズマ封込み磁場の形成時を示している。以下、この図を参照して、本発明のプラズマ光源の製造方法を説明する。本発明のプラズマ光源の製造方法では、上述した1対の同軸状電極11を対向配置し、放電環境保持装置20により同軸状電極11内をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持し、電圧印加装置30により各同軸状電極11に極性を反転させた放電電圧を印加する。図3Aに示すように、この電圧印加により、1対の同軸状電極11に絶縁体16の表面でそれぞれ面状の放電電流以下、面状放電2と呼ぶが発生する。面状放電2は、2次元的に広がる面状の放電電流である。なおこの際、左側の同軸状電極11の中心電極12は正電圧、ガイド電極14は負電圧-に印加され、右側の同軸状電極11の中心電極12は負電圧-、そのガイド電極14は正電圧に印加されている。なお、両方のガイド電極14を接地させて0Vに保持し、一方の中心電極12を正電圧に印加し、他方の中心電極12を負電圧-に印加してもよい。また本発明において、絶縁体16は、プラズマ媒体を主成分とする常温で固体の絶縁化合物で構成されているので、面状放電2により、絶縁化合物の表面が気化してプラズマ媒体6として同軸状電極間に供給される。図3Bに示すように、面状放電2は、自己磁場によって電極から排出される方向図で中心に向かう方向に移動する。図3Cに示すように、面状放電2が1対の同軸状電極11の先端に達すると、1対の面状放電2の間に挟まれたプラズマ媒体6が高密度、高温となり、各同軸状電極11の対向する中間位置中心電極12の対称面1に単一のプラズマ3が形成される。さらに、この状態において、対向する1対の中心電極12は、正電圧と負電圧-であり、同様に対向する1対のガイド電極14も、正電圧と負電圧-であるので、図3Dに示すように、面状放電2は対向する1対の中心電極12同士、及び対向する1対のガイド電極14の間で放電する管状放電4に繋ぎ換えられる。ここで、管状放電4とは、軸線Z-Zを囲む中空円筒状の放電電流を意味する。この管状放電4が形成されると、図に符号5で示すプラズマ封込み磁場磁気ビンが形成され、プラズマ3を半径方向及び軸方向に封じ込むことができる。すなわち、磁気ビン5はプラズマ3の圧力により中央部は大きくその両側が小さくなり、プラズマ3に向かう軸方向の磁気圧勾配が形成され、この磁気圧勾配によりプラズマ3は中間位置に拘束される。さらにプラズマ電流の自己磁場によって中心方向にプラズマ3は圧縮Zピンチされ、半径方向にも自己磁場による拘束が働く。この状態において、プラズマ3の発光エネルギーに相当するエネルギーを電圧印加装置30から供給し続ければ、高いエネルギー変換効率で、プラズマ光8EUVを長時間安定して発生させることができる。なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。