壁に挟まれる溝からなるチャンネルと、複数の前記チャンネルの一方端が開口する凹部と、前記チャンネルを駆動する駆動信号を伝達する電極端子とを第一面に有するアクチュエータ基板と、液体供給室を有し、前記液体供給室が前記凹部に対面し、前記電極端子を露出させ、複数の前記溝の開口を覆って前記第一面に接合されるカバープレートと、ノズルを有し、前記ノズルを前記チャンネルに連通させて前記アクチュエータ基板に接合されるノズルプレートと、を備える液体噴射ヘッド。前記壁の側面と前記溝の底面には電極が形成され、前記凹部の底面には配線が形成され、前記電極端子は前記配線を介して前記電極に電気的に接続される請求項1に記載の液体噴射ヘッド。前記凹部の底面は、前記壁に連続し、前記壁の上部が除去されて残る突条を備え、前記突条の側面と隣接する突条間の底面に前記配線が形成される請求項2に記載の液体噴射ヘッド。前記壁及び前記溝は、前記凹部を挟んで前記壁及び前記溝とは反対側の前記第一面に延設される請求項1~3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記壁は、前記第一面の垂直上方に分極した圧電体層と垂直下方に分極した圧電体層が積層される積層構造を備える請求項1~4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記アクチュエータ基板は、前記積層構造が非圧電体基板の上に接合される請求項5に記載の液体噴射ヘッド。前記溝は前記アクチュエータ基板の端部に開口し、前記ノズルプレートは、前記ノズルを前記溝に連通させて前記アクチュエータ基板の端部に接合される請求項1~6のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記ノズルプレートは、前記溝が形成される前記アクチュエータ基板の前記第一面とは反対側の第二面の側に設置され、前記ノズルが前記溝に連通する請求項1~7のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記第一面に接合され、前記電極端子に電気的に接続するフレキシブル基板を備える請求項1~8のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。請求項1に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。圧電体材料を含むアクチュエータ基板を形成する基板形成工程と、前記アクチュエータ基板の第一面に並列する複数の溝と前記溝を区画する壁を形成する溝形成工程と、前記アクチュエータ基板に導電材料を堆積し、複数の前記壁の上面と側面と前記溝の底面に導電膜を形成する導電膜形成工程と、前記溝の長手方向と交差する方向に複数の前記壁を研削し、前記溝に連通する凹部を形成する凹部形成工程と、前記導電膜をパターニングして前記壁の側面に電極を形成し、前記第一面に電極端子を形成する電極形成工程と、液体供給室を有するカバープレートを、前記液体供給室を前記凹部に連通させ、前記電極端子を露出させ、複数の前記溝の上部開口を覆って前記アクチュエータ基板に接合するカバープレート接合工程と、前記アクチュエータ基板にノズルプレートを接合するノズルプレート接合工程と、を備える液体噴射ヘッドの製造方法。前記凹部形成工程は、前記溝の底面を残し前記壁の上部を研削する工程である請求項11に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記基板形成工程は、前記第一面に対して上方に分極した圧電体基板と下方に分極した圧電体基板を積層して接合する工程である請求項11又は12に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記溝形成工程の前に、前記第一面に感光性樹脂膜を設置する感光性樹脂膜設置工程を更に含み、前記電極形成工程は、前記感光性樹脂膜を除去するリフトオフ法により前記導電膜をパターニングする請求項11~13のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記第一面にフレキシブル基板を接合し、前記フレキシブル基板に形成した配線と前記電極端子を電気的に接続するフレキシブル基板接合工程を更に含む請求項11~14のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。上記液体噴射ヘッド100では非駆動領域Kの各壁112の側面にも駆動電極110が形成されている。電極端子107に駆動信号が与えられると非駆動領域Kの各壁112も駆動領域Hの各壁112と同様に変形する。しかし、非駆動領域Kの各溝102は上端部が液体供給室106に開口する。そのため、非駆動領域Kの壁112が変形し溝102に充填された液体に圧力波が誘起されてもその圧力波は上端開口から液体供給室106に逃げてしまい、ノズル104から液滴を吐出させる吐出動作に寄与しない。従って、非駆動領域Kの壁112を駆動することは無駄にエネルギーを消費していることになる。また、非駆動領域Kの壁112を駆動するので発熱量も増加する。発熱量を低減させることができればアクチュエータ基板101の温度変化も小さくなり、吐出特性を安定化させることができる。加えて、壁112は駆動領域Hと非駆動領域Kとが繋がっているので、非駆動領域Kの壁112は駆動領域Hの壁112の動作の妨げとなっている。一方、溝102を切削するためのダイシングブレードは外径が2インチ~4インチ以上の大きさである。溝102の深さを350μmとして、このダイシングブレードを使用して溝102を研削すると非駆動領域Kの溝方向の長さが4mm~6mmに達し、駆動領域Hの溝方向の長さに対して大きな割合を占める。また、駆動領域Hの壁112や溝102の底面に電極材料を残し、非駆動領域Kの壁112に堆積した電極材料のみを除去することは困難である。そこで、図11cに示されるように、従来は、非駆動領域Kの壁112の側面や溝102の底面に真空蒸着法やスパッタリング法などを用いて低誘電率の絶縁膜111として例えばシリコン酸化膜やシリコン窒化膜を堆積し、その後、導電材料を堆積して駆動電極110や配線108を形成した。しかし、この従来法では低誘電率の絶縁材料を真空蒸着装置やスパッタリング装置を使用して形成しなければならず、装置自体が大型で非常に高価であり、コスト高となる。また、溝102に堆積する絶縁膜111はステップカバレージが悪く、壁112の表面を絶縁膜111により完全に覆うことができず、非駆動領域Kの低容量化、低消費電力化は不十分である。また、特許文献1に記載されるように、斜め蒸着法により非駆動領域Kにおいて壁112の側面の上端近傍のみに導電膜を形成し、これを配線108とする方法も提案されている。この場合は、非駆動領域Kの壁112に形成される容量が低下し、消費電力も低減する。しかし、駆動領域Hの駆動領域に導電膜を形成する際には非駆動領域Kをマスキングし、更にこの導電膜形成とは別に非駆動領域Kの壁に斜め蒸着法により導電膜を形成しなければならず、電極形成工程が極めて複雑となる。また、駆動領域Hと非駆動領域K間は壁112が繋がっているので、非駆動領域Kの壁112は駆動領域Hの壁112の変形動作の妨げとなる。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、非駆動領域Kの壁の一部を残し大部分を除去して、省電力化し温度変化を低減化した液体噴射ヘッドを提供することを目的とする。本発明の液体噴射ヘッドは、壁に挟まれる溝からなるチャンネルと、複数の前記チャンネルの一方端が開口する凹部と、前記チャンネルを駆動する駆動信号を伝達する電極端子とを第一面に有するアクチュエータ基板と、液体供給室を有し、前記液体供給室が前記凹部に対面し、前記電極端子を露出させ、複数の前記溝の開口を覆って前記第一面に接合されるカバープレートと、ノズルを有し、前記ノズルを前記チャンネルに連通させて前記アクチュエータ基板に接合されるノズルプレートと、を備えることとした。また、前記壁の側面と前記溝の底面には電極が形成され、前記凹部の底面には配線が形成され、前記電極端子は前記配線を介して前記電極に電気的に接続されることとした。また、前記凹部の底面は、前記壁に連続し、前記壁の上部が除去されて残る突条を備え、前記突条の側面と隣接する突条間の底面に前記配線が形成されることとした。また、前記壁及び前記溝は、前記凹部を挟んで前記壁及び前記溝とは反対側の前記第一面に延設されることとした。また、前記壁は、前記第一面の垂直上方に分極した圧電体層と垂直下方に分極した圧電体層が積層される積層構造を備えることとした。また、前記アクチュエータ基板は、前記積層構造が非圧電体基板の上に接合されることとした。また、前記溝は前記アクチュエータ基板の端部に開口し、前記ノズルプレートは、前記ノズルを前記溝に連通させて前記アクチュエータ基板の端部に接合されることとした。また、前記ノズルプレートは、前記溝が形成される前記アクチュエータ基板の前記第一面とは反対側の第二面の側に設置され、前記ノズルが前記溝に連通することとした。また、前記第一面に接合され、前記電極端子に電気的に接続するフレキシブル基板を備えることとした。本発明の液体噴射装置は、上記いずれかに記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電体材料を含むアクチュエータ基板を形成する基板形成工程と、前記アクチュエータ基板の第一面に並列する複数の溝と前記溝を区画する壁を形成する溝形成工程と、前記アクチュエータ基板に導電材料を堆積し、複数の前記壁の上面と側面と前記溝の底面に導電膜を形成する導電膜形成工程と、前記溝の長手方向と交差する方向に複数の前記壁を研削し、前記溝に連通する凹部を形成する凹部形成工程と、前記導電膜をパターニングして前記壁の側面に電極を形成し、前記第一面に電極端子を形成する電極形成工程と、液体供給室を有するカバープレートを、前記液体供給室を前記凹部に連通させ、前記電極端子を露出させ、複数の前記溝の上部開口を覆って前記アクチュエータ基板に接合するカバープレート接合工程と、前記アクチュエータ基板にノズルプレートを接合するノズルプレート接合工程と、を備えることとした。また、前記凹部形成工程は、前記溝の底面を残し前記壁の上部を研削する工程であることとした。また、前記基板形成工程は、前記第一面に対して上方に分極した圧電体基板と下方に分極した圧電体基板を積層して接合する工程であることとした。また、前記溝形成工程の前に、前記第一面に感光性樹脂膜を設置する感光性樹脂膜設置工程を更に含み、前記電極形成工程は、前記感光性樹脂膜を除去するリフトオフ法により前記導電膜をパターニングすることとした。また、前記第一面にフレキシブル基板を接合し、前記フレキシブル基板に形成した配線と前記電極端子を電気的に接続するフレキシブル基板接合工程を更に含むこととした。本発明の液体噴射ヘッドは、壁に挟まれる溝からなるチャンネルと、複数のチャンネルの一方端が開口する凹部と、チャンネルを駆動する駆動信号を伝達する電極端子とを第一面に有するアクチュエータ基板と、液体供給室を有し、液体供給室が凹部に対面し、電極端子を露出させ、複数の溝の開口を覆って前記第一面に接合されるカバープレートと、ノズルを有し、ノズルを前記チャンネルに連通させて前記アクチュエータ基板に接合されるノズルプレートと、を備える。このように、アクチュエータ基板の第一面に複数のチャンネルが開口する凹部を形成したので、駆動信号が印加される非駆動領域の壁が減少し、消費電力が低下する。これに伴って発熱量も低下しアクチュエータ基板の温度変化が小さくなり、吐出特性が安定する。<液体噴射ヘッド>本発明の液体噴射ヘッドは、第一面に複数のチャンネルが形成されるアクチュエータ基板と、上記アクチュエータ基板の第一面に接合されるカバープレートと、上記アクチュエータ基板に接合されるノズルプレートとを備える。アクチュエータ基板は、その第一面に、壁に挟まれてチャンネルを構成する溝と、複数のチャンネルの一方端が開口する凹部と、チャンネルを駆動する駆動信号を伝達する電極端子とを有する。カバープレートは、上記チャンネルに液体を供給するための液体供給室を有し、液体供給室が凹部に対面し、電極端子を露出させ、複数の溝の開口を覆うようにしてアクチュエータ基板2の第一面に接合される。ノズルプレートは、上記チャンネルに連通するノズルを備え、ノズルとチャンネルとが連通するようにしてアクチュエータ基板の端面に接合する。あるいは、ノズルとチャンネルが連通するようにしてアクチュエータ基板の第一面とは反対側の第二面に接合する。アクチュエータ基板の壁は、第一面の垂直上方に分極した圧電体層と垂直下方に分極した圧電体層が積層される積層構造であり、壁の上半分と下半分で分極方向が反転する。壁の両面と溝の底面に電極を形成し、溝の底面に形成した電極を介して第一面に形成した電極端子に電気的に接続させる。これにより、電極端子に駆動信号を与えることにより、壁をせん断変形させることができる。また、アクチュエータ基板は上記圧電体層に加えて圧電体材料よりも誘電率の小さい絶縁体層を積層する構成としてもよい。このように、アクチュエータ基板の第一面に複数のチャンネルが開口する凹部を形成したので、駆動信号が印加される非駆動領域の壁が減少し、消費電力が低下する。これに伴って発熱量も低下しアクチュエータ基板の温度変化が小さくなり、吐出特性が安定する。また、第一面に形成した凹部から各チャンネルに液体が供給されるので、非駆動領域の溝を介して液体が供給される場合よりも流路抵抗が低下し、各チャンネルに液体が流れやすくなる。以下、本発明に係る液体噴射ヘッドについて図面を用いて具体的に説明する。第一実施形態図1及び図2は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図であり、図1が液体噴射ヘッド1の模式的な分解斜視図であり、図2が溝4の長手方向に沿った縦断面模式図である。図1及び図2に示すように、液体噴射ヘッド1は、アクチュエータ基板2と、その第一面M1に接合されるカバープレート8と、アクチュエータ基板2及びカバープレート8の前方端面に接合されるノズルプレート10と、アクチュエータ基板2の後方端の第一面M1に接着されるフレキシブル基板15とを備える。アクチュエータ基板2は、その第一面M1の側に、壁3により挟まれる溝4からなるチャンネル5と、複数のチャンネル5の一方端が開口する凹部7と、後方端近傍に設置される複数の電極端子6とを有する。凹部7の底面は、複数のチャンネル5の後方端からアクチュエータ基板2の後方に向けてy方向漸次浅くなる円弧形状を有し、電極端子6が形成される領域の第一面M1に達する。各溝4は、円板形状のダイシングブレードを使用し研削して形成するので、このダイシングブレードの外形形状が転写される。アクチュエータ基板2は、チタン酸ジルコン酸鉛セラミックスPZTセラミックスを使用し、壁3の上半分と下半分は反対方向に分極処理が施されている。溝4を挟む壁3の両側面と溝4の底面には電極12が形成され、溝4の底面が延長する凹部7の底面には配線13が形成され、第一面M1の後方端近傍には電極端子6が形成される。各溝4の両側面に形成される電極12は各配線13を介して各電極端子6に電気的に接続される。カバープレート8は、凹部7に液体を供給するための液体供給室9を備え、その液体供給室9が凹部7の開口部に対面し、電極端子6を露出させ、複数の溝4の上方開口を覆うようにしてアクチュエータ基板2の第一面M1に接合される。ノズルプレート10は、液滴吐出用の複数のノズル11を備え、複数のノズル11が複数のチャンネル5のそれぞれに連通するようにアクチュエータ基板2とカバープレート8の前方端面に接合される。フレキシブル基板15には電極端子6に対応する図示しない配線電極が形成され、図示しない異方性導電フィルムを介して第一面M1に接合され、電極端子6と配線電極とが電気的に接続されている。この液体噴射ヘッド1は次のように駆動される。図示しない液体タンクから液体供給室9に液体が供給され、更に連通する凹部7に供給される。液体は、凹部7から凹部7の内側面に開口する各チャンネル5に充填される。フレキシブル基板15を介して電極端子6に与えられる駆動信号は、配線13を介して電極12に与えられ、壁3をせん断変形し、チャンネル5に充填される液体に圧力波を誘起する。この圧力波がノズルプレート10に達してノズル11から液滴が吐出される。このように、アクチュエータ基板2の第一面M1に複数のチャンネル5が開口する凹部7を形成して駆動信号が印加される非駆動領域の壁の一部を残してほとんどを削除したので、消費電力が低下する。これに伴って発熱量も低下しアクチュエータ基板2の温度変化が小さくなり、吐出特性が安定する。また、凹部7の側面に開口する各チャンネル5に液体が供給されるので、非駆動領域の溝を介して液体が供給される場合よりも流路抵抗が低下し、各チャンネル5に液体が流れやすくなる。なお、凹部7は凹部7のy方向の幅よりも厚みの薄いダイシングブレードを溝4に直交する方向x方向に複数回移動し、アクチュエータ基板2を研削して形成する。そのために、凹部7のx方向の両端部にはダイシングブレードの外形形状が転写され、その合計の長さは8mm~12mmに達する。そこで、凹部7の形成の際にダイシングブレードをアクチュエータ基板2のx方向の両端面までストレートに移動して研削し、両端面に開口する開口部に接着剤を充填して閉塞する。このように凹部7を構成すれば、アクチュエータ基板2のx方向の長さを大幅に短縮することができる。第二実施形態図3は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1の凹部7の底面形状を表す模式的な斜視図である。その他の構成は第一実施形態と同様なので、第一実施形態と同様の構成については説明を省略する。図3に示すように、凹部7の底面は、複数のチャンネル5の後方端からアクチュエータ基板2の後方に向けてy方向漸次浅くなる円弧形状を有し、後方端近傍の電極端子6が形成される領域で第一面M1に達する。より詳しくは、溝4の底面に連続し円弧形状を有する円弧状底面BCと、壁3に連続し壁3の上部が除去されて円弧状底面BCよりもわずかに突出して残り、突条14をなす階段状底面BTとを備える。階段状底面BTは、階段幅程度の厚さのダイシングブレードを用いて、溝4の方向に直交する方向x方向であり円弧状底面BCに達しない程度の深さで研削し、これをアクチュエータ基板2の後方y方向に順次送って凹部7を形成する。従って、階段状底面BTの側面は壁3の側面と連続し、その表面に電極12が残される。凹部7において非駆動領域の壁の大部分が削除されるので、消費電力が低下し、発熱量も低下する。第三実施形態図4は本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1の溝4の長手方向の部分断面模式図である。第一実施形態と異なる点は、ノズルプレート10をアクチュエータ基板2の端面に接合することに代えて第一面M1とは反対側の第二面M2の側に設置する点である。その他の構成は第一実施形態と同様の構成を有する。従って第一実施形態と同様の構成については説明を省略する。図4に示すように、アクチュエータ基板2の第二面M2の側にはノズルプレート10が接合される。ノズルプレート10は各チャンネル5のそれぞれに連通する複数のノズル11を備える。アクチュエータ基板2及びカバープレート8の部分ZZより左側に、各チャンネル5を封止する封止部材を設置することができる。また、ノズル11が中央になるようにカバープレート8とアクチュエータ基板2に、左右対称に2つの液体供給室9とこの2つの液体供給室9に対応して左右対称に2つの凹部7を形成することができる。そして、一方の液体供給室9から凹部7に液体を流入させ、凹部7から他方の液体供給室9に液体を流出させ、他方の液体供給室9から液体タンクに液体を戻す循環型のアクチュエータ基板2を構成することができる。このように、アクチュエータ基板2の第一面M1に複数のチャンネル5が開口する凹部7を形成して駆動信号が印加される非駆動領域の壁を一部残しほとんどを削除したので、消費電力が低下する。これに伴って発熱量も低下し、アクチュエータ基板2の温度変化が小さくなり、吐出特性が安定する。また、凹部7からその内側面に開口する各チャンネル5に液体が供給されるので、非駆動領域の溝を介して液体が供給される場合よりも流路抵抗が低下する。更に、液滴は第二面M2側から吐出されるので、第一面M1側に駆動回路等を設置可能な空間を確保することができる。第四実施形態図5及び図6は本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1の説明図であり、図5がアクチュエータ基板2の模式的な斜視図であり、図6が溝4の長手方向に沿った液体噴射ヘッド1の縦断面模式図である。第一実施形態と異なる部分は溝4がアクチュエータ基板2の前方端-y方向から後方端y方向に亘って形成されている点と、凹部7の底面が矩形形状を有する点である。以下、主に第一実施形態と異なる部分について説明する。図5及び図6に示すように、アクチュエータ基板2は、その第一面M1の側に、壁3により挟まれる溝4からなるチャンネル5と、複数のチャンネル5の一方端が開口する凹部7と、凹部7よりも後方側y方向の溝4’及び壁3’と、壁3’の上面である第一面M1に設置される複数の電極端子6とを有する。前方側の溝4と壁3をダイシングブレードにより研削する際にアクチュエータ基板2の後方端までストレートに研削する。そのために、第一実施形態のように凹部7の底面に円弧状底面BCが形成されず、凹部7よりも後方側に溝4’と壁3’が形成される。凹部7の底面には壁3及び壁3’に連続し、溝4及び溝4’の底面よりもわずかに突出する突条14が形成される。凹部7を形成する際に、ダイシングブレードを溝4に直交する方向x方向に相対的に移動させて研削するので、溝4と同じ深さの底面に堆積した配線13を切断しないようにするために、この底面よりもわずかに浅く研削する。その結果、突条14が形成される。溝4を挟む壁3の両側面と溝4の底面には電極12が形成され、溝4の底面が延長する凹部7の底面、溝4’の底面及び溝4’を挟む壁3’の側面には配線13が形成され、壁3’の上面に設置した電極端子6に電気的に接続される。突条14の両側面にも配線13が形成される。図6に示すように、後方側の溝4’は封止材17を設置して液体が後方側に漏洩することを防止する。その他の構成は第一実施形態と同様なので、説明を省略する。なお、封止材17をカバープレート8の後方側端部の溝4’に設置したが、封止材17を凹部7の後方側端部の溝4に設置して液体が後方側に漏洩することを防止してもよい。これにより、凹部7の底面に円弧形状が残らないので、凹部7の溝方向の幅を短縮することができる。また、凹部7を形成して非駆動領域の壁を削除したので、消費電力が低下し、発熱量も低下して吐出特性が安定する。また、凹部7の側面に開口するチャンネル5に液体が供給されるので、流路抵抗が低下し各チャンネル5に液体が流れやすくなる。なお、第一実施形態の説明において言及したように、凹部7のx方向の端部を接着剤により封止するように構成することができる。即ち、凹部7の形成の際にダイシングブレードをアクチュエータ基板2のx方向の両端面までストレートに移動して研削し、両端面に開口する開口部に接着剤を充填して閉塞する。このように凹部7を構成すれば、アクチュエータ基板2のx方向の長さも大幅に短縮することができる。<液体噴射ヘッドの製造方法>第五実施形態図7~図9は本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド1の製造方法を説明するための図である。図7は本発明の液体噴射ヘッド1の基本的な製造方法を表す工程図であり、図8及び図9は各工程の模式図である。同一の部分及び同一の機能を有する部分には同一の符号を使用した。まず、基板形成工程S1において、図8S1に示すように、圧電体材料を含むアクチュエータ基板2を形成する。アクチュエータ基板2は、上面の第一面M1に対して上方に分極した圧電体層と下方に分極した圧電体層とを積層して接合する。つまり、図面上下に貼り合わされている二層の圧電体層の分極方向は互いに対向している。圧電体材料としてPZTセラミックスを使用する。なお、絶縁基板の上に圧電体材料を積層した積層構造としてもよい。絶縁基板を使用すれば、隣接するチャンネル間において信号が漏れ出すクロストークを低減させることができる。次に、感光性樹脂膜設置工程において、図8Saに示すように、アクチュエータ基板2の第一面M1に感光性樹脂膜21を設置する。フィルム状の感光性樹脂を第一面M1に貼り付けてもよいし、コーター等により感光性樹脂材料を塗布し乾燥させて感光性樹脂膜21としてもよい。次に、フォトプロセスにより感光性樹脂膜21のパターニングを行い、第一面M1の電極端子を形成すべき領域から感光性樹脂膜21を除去する。次に、溝形成工程S2において、図8S21及び図8S22に示すように、アクチュエータ基板2の第一面M1に並列する複数の溝4を形成する。ダイシングブレード22を降下させ、アクチュエータ基板2を相対的に移動させて溝4を形成する。その結果、溝4の端部はダイシングブレード22の外径が転写されて円弧形状となる。このようにアクチュエータ基板2の第一面M1を研削して溝4を形成することにより、溝4と溝4の間に壁3が構成される。なお、溝4の形成の際に既に第四実施形態において説明したように、アクチュエータ基板2の前方端から後方端に亘ってストレートに形成することができる。この場合は、カバープレート接合工程S6の後に、図6に示すように、カバープレート8の後方側端部の溝4’に、又は凹部7の後方側端部の溝4に封止材17を設置して液体が後方側に漏洩すること防止する。次に、導電膜形成工程S3において、図8S3に示すように、アクチュエータ基板2の感光性樹脂膜21が形成される側に矢印で示すように導電材料を堆積する。この際に、複数の感光性樹脂膜21の上面と、感光性樹脂膜21が除去された第一面M1と、溝4の側面と底面に導電膜23を堆積する。導電材料として、アルミニウム、ニッケル、クロム、金等の金属を使用することができる。次に、凹部形成工程S4において、アクチュエータ基板2の第一面M1に凹部7を形成する。図8S41はダイシングブレード22を用いて第一面M1を研削している状態を表す上面模式図であり、図9S42は溝4方向に直交する方向から見る断面模式図である。形成すべき凹部7の溝4方向の幅よりも厚みの薄いダイシングブレード22を用いる。溝4の長手方向と直交する方向に複数の壁3を研削する。この場合に、ダイシングブレード22を溝4の円弧形状の底面に達しない程度に降下させ、アクチュエータ基板2を相対的に移動させて研削する。溝4の円弧形状に沿って漸次浅く研削し、これを第一面M1に達するまで繰り返す。その結果、凹部7の底面には階段状の突条14が形成される。なお、図8S41において、第一実施形態の説明において言及したようにダイシングブレード22をアクチュエータ基板2の両端面までストレートに移動して研削することができる。そして、カバープレート接合工程S6の後に両端面に開口する開口部に接着剤を充填して閉塞する。このように凹部7を構成すれば、アクチュエータ基板2の溝4に直交する方向の長さを大幅に短縮することができる。次に、電極形成工程S5において、図9S5に示すように、感光性樹脂膜21を除去し、同時にその上の導電膜23を除去してパターニングするリフトオフ法。その結果、溝4の側面と底面に電極12が形成され、アクチュエータ基板2の後端の第一面M1に電極端子6が形成され、電極12と電極端子6は凹部7の円弧状底面BCと突条14の側面に形成される配線13により電気的に接続される。次に、カバープレート接合工程S6において、図9S6に示すように、液体供給室9を有するカバープレート8を、液体供給室9を凹部7に連通させ、電極端子6を露出させ、複数の溝4の上部開口を覆ってアクチュエータ基板2に接合する。カバープレート8としては、アクチュエータ基板2と同程度の熱膨張係数を有する材料を使用することができる。例えば、アクチュエータ基板2と同じPZTセラミックスを使用することができる。次に、ノズルプレート接合工程S7において、図9S7に示すように、アクチュエータ基板2及びカバープレート8の前方端面図面左側の端面にノズルプレート10を接合する。その後、各溝4に連通するノズル11をレーザー光により開口させる。なお、予めノズル11を形成しておき、その後にノズルプレート10を接合してもよい。ノズルプレート10はポリイミドフィルムを使用することができる。次に、フレキシブル基板接着工程S8において、図9S8に示すように、フレキシブル基板15に形成した配線とアクチュエータ基板2の後端の第一面M1に形成した電極端子6とを電気的に接続する。フレキシブル基板15とアクチュエータ基板2との間に異方性導電フィルムを挟んで接着することにより配線と電極端子6とを電気的に接続する。なお、凹部形成工程S4において、凹部7の溝方向の幅よりも薄いダイシングブレード22を用いて溝4と直交する方向に複数回繰り返して研削したが、本発明はこの研削方法に限定されない。例えば、円弧状底面BCと同じ外形を有する円筒状の研削ホイールを用いて一回の研削で凹部7を形成することも可能である。この場合は、突条14は階段状ではなく円弧状底面BCと同じ円弧状となる。また、上記実施形態では電極のパターンをリフトオフ法により形成したが、本発明はこれに限定されない。アクチュエータ基板2の第一面M1に電極材料を堆積した後にフォトリソグラフィ及び導電膜のエッチングを行って電極を形成してもよい。また、本発明は、凹部形成工程S4の後に電極形成工程S5を行うことに限定されず、電極形成工程S5により電極を形成した後に凹部形成工程S4により凹部7を形成してもよい。以上の通り、製造方法が簡単であり、複雑な方法で導電膜を形成することなく非駆動領域の壁を削減することができる。その結果、消費電力が低下し、発熱量も低下して吐出特性の安定した液体噴射ヘッドを製造することができる。<液体噴射装置>第六実施形態図10は本発明の第六実施形態に係る液体噴射装置2の模式的な斜視図である。液体噴射装置2は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構40と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給する流路部35、35’と、流路部35、35’に液体を供給する液体ポンプ33、33’及び液体タンク34、34’を備えている。各液体噴射ヘッド1、1’は複数の吐出溝を備え、各吐出溝に連通するノズルから液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’は既に説明した第一~第三実施形態のいずれかを使用する。液体噴射装置2は、紙等の被記録媒体44を主走査方向に搬送する一対の搬送手段41、42と、被記録媒体44に液体を吐出する液体噴射ヘッド1、1’と、液体噴射ヘッド1、1’を載置するキャリッジユニット43と、液体タンク34、34’に貯留した液体を流路部35、35’に押圧して供給する液体ポンプ33、33’と、液体噴射ヘッド1、1’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構40を備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド1、1’、移動機構40、搬送手段41、42を制御して駆動する。一対の搬送手段41、42は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体44を主走査方向に搬送する。移動機構40は、副走査方向に延びた一対のガイドレール36、37と、一対のガイドレール36、37に沿って摺動可能なキャリッジユニット43と、キャリッジユニット43を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト38と、この無端ベルト38を図示しないプーリを介して周回させるモータ39を備えている。キャリッジユニット43は、複数の液体噴射ヘッド1、1’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの4種類の液滴を吐出する。液体タンク34、34’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ33、33’、流路部35、35’を介して液体噴射ヘッド1、1’に供給する。各液体噴射ヘッド1、1’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット43を駆動するモータ39の回転及び被記録媒体44の搬送速度を制御することにより、被記録媒体44上に任意のパターンを記録することできる。