試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計であって、ヘアピン状に成形されたフィラメントと、筒状の輪郭を有するグリッドと、イオンコレクタとを備え、フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンをイオンコレクタで捕集し、このときのイオン電流から圧力を検出するものにおいて、前記フィラメントを前記グリッド内にヘアピン状に折り返す頂部側から挿設し、このフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させることを特徴とする熱陰極電離真空計。前記フィラメントと、グリッドと、イオンコレクタとが金属製の真空隔壁内に収納されることを特徴とする請求項1記載の熱陰極電離真空計。前記フィラメントは、タングステンとレニウムとの合金で構成されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の熱陰極電離真空計。本発明は、以上の点に鑑み、熱変形や自重により熱電子放出領域が変動してもみかけのイオン化率の変化を抑制でき、長時間に亘って感度の安定性が良い熱陰極電離真空計を提供することをその課題とするものである。上記課題を解決するために、本発明は、試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計であって、ヘアピン状に成形されたフィラメントと、筒状の輪郭を有するグリッドと、イオンコレクタとを備え、フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンをイオンコレクタで捕集し、このときのイオン電流から圧力を検出するものにおいて、前記フィラメントを前記グリッド内にヘアピン状に折り返す頂部側から挿設し、このフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させることを特徴とする。本発明によれば、フィラメントに直流電流を通電してこのフィラメントを点灯赤熱させると、主として頂部から熱電子が放出される。そして、グリッドとフィラメントとの間の電位差に相当するイオン化電圧で熱電子がグリッド側に引き込まれる。このとき、熱電子が最も放出されるフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させる構成を採用して、フィラメントの挿入方向前方にグリッドで囲繞されてグリッド電位と同等の電位分布の空間が存在するようにしたため、この空間で熱電子がグリッドへと積極的に引っ張れる、言い換えると、イオン化される領域が増える。しかも、フィラメントは、上記従来例のものと比較して半分程度の高さに形成されるため、自重による変形の影響も少ない。従って、通電時間の増加に伴うフィラメントの熱変形や自重により熱電子放出領域が変動しても、みかけのイオン化率は然程変化せず、長時間に亘って一定の感度で圧力を測定することができる。なお、本発明において、中央領域とは、グリッドの母線方向の中点を含むグリッドの母線高さ方向における一定の領域をいい、具体的には、グリッドの母線方向の長さ高さの2/5~3/5の範囲に頂部が位置すればよい。3/5を超えると、電子を引き出すための電場が、電子が放出されやすいフィラメントの頂部に集中しないので、電子の放出効率が低下する、つまり、フィラメントにかかる電力が増大すると共に、イオン化するための電子が飛行する領域が狭くなって感度が悪くなり、しかも、フィラメントが長くなることによる変形が起こりやすくなって感度変化が大きくなる、という不具合が生じる。他方で、2/5より小さいと、電子の飛行距離が長くなると共に、生成されたイオンの飛行距離も長くなるので、高い圧力における荷電粒子ここでは電子及びイオン対中性粒子気体分子の衝突頻度が多くなることによる感度の低下が起きるという不具合が生じる。ところで、上記従来例のように、フィラメントと、グリッドと、イオンコレクタとがガラス製の真空隔壁内に収納されていると、このガラス表面に熱電子がチャージアップし、この真空隔壁で囲繞された空間内の電位分布が変化し、イオン化率が低下する等の不具合が生じる。そこで、前記フィラメントと、グリッドと、イオンコレクタとが金属製の真空隔壁内に収納される構成を採用すれば、熱電子のチャージアップを防止して、真空隔壁で囲繞された空間内の電位分布を常時一定に保持されるため、長時間に亘って一定の感度で圧力を測定することができる。また、本発明においては、前記フィラメントは、タングステンとレニウムとの合金で構成されることが好ましい、これによれば、熱変形や自重による変形を抑制でき、熱電子放出領域の変動を抑制できてよい。以下、図面を参照して、本発明の実施形態を三極管型の熱陰極電離真空計を例に説明する。以下においては、図示省略の試験体に対する後述のセンサ部の装着方向を上方として説明する。図1及び図2を参照して、熱陰極電離真空計IGは、センサ部Sと制御部Cとから構成される。センサ部Sは、有底筒状の金属製の容器エンベロープたるセンサ本体1を備え、その縮径させた上部先端に形成したフランジ11及び真空シールを介して図外の真空チャンバ等の試験体に着脱自在に取り付けられる。センサ本体1としては、テンレス、ニッケル、ニッケルと鉄との合金、アルミ合金、銅、銅合金、チタン、チタン合金、タングステン、モリブデン、タンタルまたはこれらから選択された少なくとも二種の合金製で構成され、真空隔壁を構成する。この場合、金属製のセンサ本体1は、アース接地していることが好ましい。センサ本体1は、その内部に、フィラメント2と、フィラメント2の周囲を囲うように同心に配置される、筒状の輪郭を有するグリッド3と、グリッド3の周囲を囲うように同心に配置される、筒状の輪郭を有するイオンコレクタ4とを備える。フィラメント2としては、このフィラメント2に通電することで点灯赤熱から白熱させたときの2000~2500°Cの温度範囲において高い機械的強度を有するように、レニウムの重量比が3~26重量であるタングステンとレニウムの合金製で、φ0.1~0.2mmの線材をヘアピン状に成形してなるものが用いられる。そして、フィラメント2の両自由端が、センサ本体1の底部を図示省略の絶縁体を介して貫通させてセンサ本体1内に突設した支持ピン21a、21bによりセンサ本体1内の所定位置に位置決め支持される。この場合、支持ピン21a、21bは接続端子電極の役割も果たす。フィラメント2は、グリッド3内の一側図1中、下端開口側に、フィラメント2の挿入方向前端のヘアピン状に折り返す頂部22側から挿入され、当該頂部22が、グリッド3の母線方向における中点Mpの近傍たる中央領域に位置するように配置されている。なお、中央領域とは、グリッド3の母線方向の長さ高さをlとし、その中点Mpを含むグリッド3の高さ方向における一定の領域をいい、具体的には、グリッド3の高さの2/5~3/5の範囲に頂部22が位置すればよい。3/5を超えると、電子を引き出すための電場が、電子が放出されやすいフィラメント2の頂部22に集中しないので、電子の放出効率が低下する、つまり、フィラメント2にかかる電力が増大すると共に、イオン化するための電子が飛行する領域が狭くなって感度が悪くなり、しかも、フィラメントが長くなることによる変形が起こりやすくなって感度変化が大きくなる、という不具合が生じる。他方で、2/5より小さいと、電子の飛行距離が長くなると共に、生成されたイオンの飛行距離も長くなるので、高い圧力における荷電粒子ここでは電子及びイオン対中性粒子気体分子の衝突頻度が多くなることによる感度の低下が起きる、という不具合が生じる。グリッド3としては、タングステン、モリブデン、表面を白金で被覆したモリブデン、タンタル、白金、イリジウム、白金とイリジウムの合金、ニッケル、ニッケルと鉄との合金、ステンレスまたはこれらから選択された少なくとも二種の合金製のものが用いられる。そして、φ0.1~0.5mmの線材を円筒形状の輪郭を有するようにコイル状に巻回して構成される。この場合、グリッド3の孔軸Ha上にフィラメント2の頂部22が位置するようになる。なお、グリッド3の形態はこれに限定されるものではなく、上記線材を格子状に組み付けて筒状に成形したものやパンチングメタルまたはフォトエッチングシートを筒状に成形したものであってもよい。グリッド3もまた、センサ本体1の底部を図示省略の絶縁体を介して貫通させてセンサ本体1内に突設した支持ピン31a、31bによりセンサ本体1内の所定位置に位置決め支持される。この場合、支持ピン31aは、接続端子の役割も果たす。イオンコレクタ4としては、モリブデン、表面を白金で被覆したモリブデン、タンタル、白金、イリジウム、白金とイリジウムの合金、ニッケル、ニッケルと鉄との合金またはこれらから選択された少なくとも二種の合金製のものが用いられる、そして、厚さ50~300μmの矩形の板材を円筒形状の輪郭を有するように成形して構成される。イオンコレクタ4もまた、センサ本体1の底部を図示省略の絶縁体を介して貫通させてセンサ本体1内に突設した支持ピン41a、41bによりセンサ本体1内の所定位置に位置決め支持される。この場合、支持ピン41aは、接続端子の役割も果たす。他方、制御部Cは筐体F図2中、一点鎖線で示すを備え、筐体F内にはコンピュータ、メモリやシーケンサ等を備えた制御手段C1が内蔵されている。制御手段C1は、後述の各電源の作動や後述の電流計Aにて測定されたイオン電流値を処理して例えば図示省略のディスプレイに圧力を表示する等の各種制御を統括して行う。また、筐体F内には、フィラメント2に直流電流を通電してフィラメント2を赤熱点灯するフィラメント点灯用の電源E1と、グリッド3に対してフィラメント2より高い電位をこのグリッド3に与えるグリッド用の電源E2と、フィラメント2の電位をイオンコレクタ4の電位よりも高くする電源E3と、イオンコレクタ4を流れるイオン電流を測定する電流計Aとが内蔵されている。なお、本実施形態では、特に図示して説明しないが、筐体Fには上記各電源に導通した出力端子が設けられ、センサ部Sと制御ユニットCとはコネクタ付きケーブルにて接続される。また、センサ部Sと制御ユニットCとを同一の筐体に組み込んで構成することもできる。次に、上記熱陰極電離真空計の使用例を説明する。センサ部Sを、フランジ部11及び図示省略の真空シールを介して図外の試験体のテストポートに装着した後、試験体内を真空ポンプにより真空排気し、所定真空圧に達すると、圧力測定を開始する。先ず、電源E1によりフィラメント2に直流電流を通電してフィラメント2を点灯させ、熱電子を放出させる。そして、電源E2によりグリッド3とフィラメント2との間の電位差に相当するイオン化電圧で熱電子をグリッド3側に引き込む。このとき、熱電子と衝突したグリッド3周辺の気体原子、分子から正イオンが生じる。そして、生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタ4で捕集され、このとき、電流計Aで測定したイオン電流から試験体内の圧力が検出される。なお、熱陰極電離真空計の制御方法やイオン電流からの圧力の算出方法等については、公知のものを利用できるため、ここでは詳細な説明を省略する。以上、本発明の実施形態によれば、熱電子が最も放出されるフィラメント2の頂部22をグリッド3の母線方向の中央領域に位置させる構成を採用し、フィラメント2の挿入方向前方にグリッド3で囲繞されてグリッド電位と同等の電位分布の空間が存在するようにしたため、この空間で熱電子がグリッド3へと積極的に引っ張れる、言い換えると、イオン化される領域が増える。しかも、フィラメント2は、上記従来例のものと比較して半分程度の高さに形成されるため、自重による変形の影響も少ない。従って、通電電力の増加に伴うフィラメント2の熱変形や自重により熱電子放出領域が変動しても、みかけのイオン化率は然程変化せず、長時間に亘って一定の感度で圧力を測定することができる。また、センサ部Sを金属製の真空隔壁1内に収納したため、熱電子のチャージアップを防止して、真空隔壁1で囲繞された空間内の電位分布を常時一定に保持されるため、長時間に亘って一定の感度で圧力を測定することができる。その上、フィラメント2をタングステンとレニウムとの合金で構成したため、熱変形や自重による変形を一層抑制することができる。即ち、上記重量比のタングステンとレニウムとの合金は、フィラメント2を点灯させたときの2000~2500°Cの温度範囲における剛性、延性が高く、また、比較的化学的にも安定である。従って、上記温度領域となる熱陰極材料としてより適したものであるつまり、熱履歴による構造変化や振動、衝撃による形状変化が小さく、同時に酸化物被覆をする必要がない。このため、熱陰極電離真空計IGのフィラメント2材として使用した場合における感度変化が少ない。次に、本発明の効果を確認するために、上記熱陰極電離真空計IGを用いて次の実験を行った。即ち、フィラメント2の頂部22が、孔軸Ha上でグリッド3の高さ方向の中点Mpに位置し、フィラメント2の両自由端がグリッド3から下方向へと突出するように配置したもの発明品と、フィラメント2の頂部22が孔軸ha上に位置すると共にグリッド3の挿入方向他側に位置してグリッド3の全長に亘ってフィラメント2が収納されるように配置したもの比較品:上記従来例のものに相当とを用意した。そして、電源E1の電力を、フィラメント3を点灯できる電力通常は5~10W、電源E2の電圧を150V、及び電源E3の電圧を25Vに設定し、グリッド2内部の電位分布を測定した。図3及び図4は、発明品と比較品との夫々のグリッド3内の電位分布を示す。これによれば、比較品のものでは、第一に熱電子の放出効率が高いフィラメント頂部に対する電場の集中割合が少なく、第二に放出された電子が飛行する領域がフィラメント周辺に限られていることが判る図4参照。それに対して、発明品のものでは、第一にフィラメント2の頂部22における電場の集中割合が図3に比べて高く、熱電子の放出効率が高いことが判る。そして、この空間に電子が飛行し、気体分子のイオン化が起きる。第二にフィラメント2の頂部22から放出された電子が飛行する空間が比較品図4参照と比較して広く、従って、気体イオンが生成される領域が広いことが判る。第三に、生成されたイオンがイオンコレクタ4に引き出される電位配分となっているため、イオンの収集効率が高いことが判る。次に、上記熱陰極電離真空計IG発明品を用いて他の実験を行った。この実験では、グリッド3として、線径φ10mmの白金被覆モリブデン線を用い、24mmの高さを有するようにコイル上に巻回したものを用いた。フィラメント2として、レニウムを25重量としたタングステンとレニウムとの合金製のものを用い、フィラメント2の頂部22がグリッド3の母線方向の中点Mpに位置するように配置した。イオンコレクタ4は、SUS304製で、φ20mm、高さ24mmの円筒状のものを用いた。そして、接地電位に対する電源E1の電位を25V、電源E2の電位を150Vとし、電源E3の電位を0Vとし、イオン化のための電子電流を1mAに制御することとした。そして、上記電離真空計の安定性を調べた結果を図5に示す。図中、○が発明品のものであり、△が、市販されているBA真空計の結果である。この場合、発明品の読み値を参照電離真空計の読み値で除した値の経過時間0からの変化を動作時間依存性として示したものである。これによれば、発明品の真空計の安定性は約200日間で1以内であることが確認された。なお、BA真空計の感度は3程度変化していることが判る。なお、比較実験として、真空隔壁をガラス製とした以外、上記と同条件で、電離真空計の100日間感度の安定性を測定したところ、約3の感度変化が確認された。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。上記実施形態では、センサ本体1を備えたものを例に説明したが、センサ部を試験体にそのまま取り付けるような場合にも本発明は適用することができる。