インクを収容する複数の圧力室と、該圧力室に連通するノズルと、前記圧力室の壁面の一部を形成するダイヤフラムプレートと、該ダイヤフラムプレートに接着固定されて前記圧力室に対向する積層圧電素子と、前記圧力室にインクを供給するリストリクタと、該リストリクタに連通して複数の前記圧力室へインクを供給する共通インク供給路と、複数の前記積層圧電素子を保持する導電性の積層圧電素子固定板と、を有するインクジェットプリントヘッドにおいて、ダイヤフラムプレートのみが長手方向に対して複数に分割されていることを特徴とするインクジェットヘッド。共通インク供給路から前記リストリクタを連通して前記圧力室に流入するインクの流路となるフロントエンド組を形成する工程と、積層圧電素子固定板に複数の前記積層圧電素子を有する積層圧電素子組を形成する工程と、前記フロントエンド組と前記積層圧電素子組を組み合せてインクジェットプリントヘッドを形成する工程と、からなり、前記フロントエンド組を形成する工程は、aダイヤフラムプレートの外周部に設けた枠ごとダイヤフラムプレートと被接着部材とを接着する工程と、bダイヤフラムプレートとダイヤフラムプレートの外周部に設けた枠とを切り離す工程と、を備えていること、を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。しかしながら、高密度塗布ができるようにノズルピッチを狭くかつ積層圧電素子15を小さくすると、ダイヤフラムプレート9を薄くする必要がある。そして、ダイヤフラムプレート9が薄いと接着工程において、ダイヤフラムプレート9上にシワ25が発生し、結果としてクロストークを含む高精度な吐出ができないインクジェットヘッドになることがわかった。以上のような事情に照らして、本発明の目的は、ダイヤフラムプレートの接着工程において、ダイヤフラムプレート上のシワの発生を防止することにより、高密度かつ高精度な吐出を可能とするインクジェットヘッドを提供することである。上記目的を達成するために、インクを蓄える複数の圧力室と、該圧力室に連通するノズルと、前記圧力室の壁面の一部を形成するダイヤフラムプレートと、該ダイヤフラムプレートに接着固定されて前記圧力室に対向する積層圧電素子と、前記圧力室にインクを供給するリストリクタと、該リストリクタに連通して複数の前記圧力室へインクを供給する共通インク供給路と、複数の前記積層圧電素子を保持する導電性の積層圧電素子固定板とを有するインクジェットプリントヘッドにおいて、ダイヤフラムプレートが長手方向に対して複数に分割されていることを特徴とする。また、本発明にかかるインクジェットヘッドの製造方法とは、共通インク供給路からリストリクタを連通して圧力室に流入するインクの流路となるフロントエンド組を形成する工程と、積層圧電素子固定板に複数の前記積層圧電素子を有する積層圧電素子組を形成する工程と、フロントエンド組と前記積層圧電素子組を組み合せてインクジェットプリントヘッドを形成する工程とから成る。更に、前記フロントエンド組を形成する工程は、aダイヤフラムプレートの外周部に設けた枠ごとダイヤフラムプレートと被接着部材とを接着する工程と、bダイヤフラムプレートとダイヤフラムプレートの外周部に設けた枠とを切り離す工程と、を備えている。本構成によって、ダイヤフラムプレートの接着工程において、ダイヤフラムプレート上のシワの発生を防止することができる。本発明により、薄いダイヤフラムプレートを使用することに起因するダイヤフラムプレート上に発生するシワを抑制でき、結果として高密度かつ高精度な吐出が可能となる。以下に、実施形態例を挙げ、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。実施の形態1図1は、本発明の実施例を示すインクジェットヘッドの部品構成を示す斜視図である。図2は、本発明の実施例を示すインクジェットヘッドの組立構成を示す断面図である。図1のように、複数のノズル1を形成したオリフィスプレート2を有する。ノズル1の開口形状の加工精度はインクジェットプリントヘッドのインク吐出特性に大きな影響を及ぼす。複数のノズル1間において、ノズル精度ばらつきを低く押さえるため、オリフィスプレート2の製法は高い加工精度が要求され、ニッケル電鋳加工、ステンレス鋼板の精密プレス加工法あるいはレーザ加工法等により形成される。圧力室3が形成されたチャンバプレート4、共通インク供給路12と圧力室3とを連通して圧力室3へのインク流入量を制御するリストリクタ5が形成されたリストリクタプレート6を備える。なお、チャンバプレート4、リストリクタプレート6はステンレス材のエッチング加工法で製作されている。そして、積層圧電素子15の圧力を効率よく圧力室に伝えるための振動伝達部7と共通インク通路12からリストリクタ5に流入するインク中の異物等を取り除くフィルタ部8が形成されたダイヤフラムプレート9を備える。フィルタ部8にはノズル1の穴径よりも小さな無数の微細な穴が形成されている。ダイヤフラムプレート9は、ステンレス鋼材、ニッケル材、または高分子材料の薄板で、エッチング加工法、電鋳加工法、レーザ加工法等で作られている。また、振動伝達部7と積層圧電素子15とを接着剤24で固定する時に、接着箇所からはみ出た接着剤が振動伝達部7上で広がるのを規定する枠10が形成されたサポートプレート11を備える。サポートプレート11はステンレス鋼材のエッチング加工法等で作られる。また、共通インク通路12および、積層圧電素子15を固定する積層圧電素子固定板16に固定した積層圧電素子組21より大きな開口部14を設けたハウジング13を有し、ハウジング13は、金属または樹脂のモールド加工法等で作られ安価な部品となっている。前記オリフィスプレート2、チャンバプレート4、リストリクタプレート6、ダイヤフラムプレート9、サポートプレート11は、ハウジング13のハウジング基準穴19を基準として、各プレートの基準穴18を位置合わせして順次、接着剤等を適量塗布され、重ねて圧着されて、接着剤の加熱硬化後に、流路形成部材を形成する。上記構成部品をフロントエンド組20と呼ぶ。また、15は積層圧電素子、16は金属等の導通性の素材を用いた積層圧電素子固定板、17はフレキシブルケーブルである。これらの構成部品を積層圧電素子組21と呼ぶ。また、オリフィスプレート2とチャンバプレート4、リストリクタプレート6には同じ位置に、逃げ22を設ける。図3は、従来の方法で薄いダイヤフラムプレートをリストリクタプレート上に接着させた後の状態を示す図、図4aは、本発明の実施の形態1を示すダイヤフラムプレートとそのダイヤフラムプレート枠を電鋳で同時作成した部品の図である。図4bは、本発明の実施の形態1、2を示すダイヤフラムプレートとそのダイヤフラムプレート枠との接続部の拡大図である。図5は、本発明の実施の形態1、2を示すダイヤフラムプレートによる接着後の状態を示す図である。オリフィスプレート2とチャンバプレート4とリストリクタプレート6とダイヤフラムプレート9との組み立て方としては、先ず、オリフィスプレート2とチャンバプレート4とを熱硬化性接着剤にて接着を行う。次に、オリフィスプレート2とチャンバプレート4との接合体に対して、リストリクタプレート6との接合体に接着を行う。その後、オリフィスプレート2とチャンバプレート4とリストリクタプレート6との接合体に対して、ダイヤフラムプレート9との接着を行う。ここで、ダイヤフラムプレート9の厚みを11μmで作成した場合について述べる。厚みが約300μmであるオリフィスプレート2とチャンバプレート4とリストリクタプレート6との接合体に厚み11μmのダイヤフラムプレート9の接着を行う際、ダイヤフラムプレート9をピンセット等で保持すると、ピンセットによる力でダイヤフラムプレート9にひずみが生じる。その状態でオリフィスプレート2とチャンバプレート4とリストリクタプレート6との接合体に接着すると、結果として、図3に示すようにダイヤフラムプレート9上にシワ25が発生する。これらのシワ25を防ぐ手段として、図4aに示すように、ダイヤフラムプレート9と外周部にダイヤフラムプレート9を保持する役割を担うダイヤフラムプレート枠26を電鋳で同時作成した部品を使用する。この時、ダイヤフラムプレート枠26の部分は、ハンドリング性を向上させるためにダイヤフラムプレート9の剛性の補助する目的でダイヤフラムプレート9よりも厚くする。そして、接着剤の熱硬化時にダイヤフラムプレート9の線膨張による影響を抑制するため、ダイヤフラムプレートのみ複数個に分割する。このダイヤフラムプレート9のみを複数に分割することにより、加熱硬化時にピッチズレが少なくできるので、インクジェットヘッドとして高精度の吐出が可能となる。また、ダイヤフラムプレート枠26のハンドリング時に受ける応力の影響を少なくするため、ダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27は積層圧電素子15とダイヤフラムプレート9との接着される部分から離れた場所に設ける。ここで、ダイヤフラムプレート9におけるダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27との接続部分の形状は、ダイヤフラムプレート枠26からの応力による影響を小さくするため、ダイヤフラムプレート9側を凹ます形状にする。9-aはその凹みである。図4bまた、ダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27の位置はダイヤフラムプレートに対してエアリーポイントとなる位置に設ける。このエアリーポイントになる位置に設けることにより、ハンドリングの際、ダイヤフラムプレート9がたわみにくくなる。具体的には、ダイヤフラムプレート9は2分割にし、ダイヤフラムプレート枠26の部分はダイヤフラムプレート9の剛性の補助する目的で厚みを50μmとした。ダイヤフラムプレート枠26とダイヤフラムプレート9の間は、電鋳で同時に作成されたダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27により接続されている。このダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27の厚みは、ダイヤフラムプレートと同じ11μmとした。本発明の実施の形態1を示すダイヤフラムプレート9の場合、オリフィスプレート2とチャンバプレート4とリストリクタプレート6との接合体に接着を行うと、図5に示すようにダイヤフラムプレート9上のシワ25発生は抑制された。また、本発明にかかるインクジェットヘッドの製造方法とは、共通インク通路12からリストリクタ5を連通して前記圧力室3に流入するインクの流路となるフロントエンド組を形成する工程と、積層圧電素子固定板16に前記フレキシブルケーブル17と複数の積層圧電素子15を有する積層圧電素子組を形成する工程と、フロントエンド組と積層圧電素子組を組み合せてインクジェッヘッドを形成する工程とから成る。このフロントエンド組を形成する工程は、ダイヤフラムプレート9の外周部にダイヤフラムプレート9を保持する役割を担うダイヤフラムプレート枠26を電鋳で同時作成したダイヤフラムプレート9と被接着部材とを接着する工程と、ダイヤフラムプレート9とダイヤフラムプレート9の外周部にダイヤフラムプレート9を保持する役割を担うダイヤフラムプレート枠26とを切り離す工程を備えている。ここで、被接着部材とは、オリフィスプレート2とチャンバプレート4とリストリクタプレート6との接合体のことを示し、ダイヤフラムプレート枠26は、ダイヤフラムプレート9と被接着部材との接着-加熱硬化後にダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27を切断することにより、切り離す。このとき、予めオリフィスプレート2とチャンバープレート4とリストリクタプレート6に、ダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27の逃げ22図1参照を設けておくと、プレスで容易に切断できる。このダイヤフラムプレート枠26とダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27により、ダイヤフラムプレート9の取り扱いが容易となり、かつ、接着後にダイヤフラムプレート9上に発生するシワ25を抑制することが可能となる。実施の形態2本実施形態例では、ダイヤフラムプレート9上のシワ25を抑制する手段として、実施の形態1のダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27に加え、ダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート間の継ぎ手28を備えている。図6は、本発明の実施の形態2を示すダイヤフラムプレートとそのダイヤフラムプレート枠を電鋳で同時作成した部品の平面図である。シワ25を防ぐ手段として、図6に示すように、ダイヤフラムプレート9と外周部にダイヤフラムプレート9を保持する役割を担うダイヤフラムプレート枠26、さらにダイヤフラムプレート9とダイヤフラムプレート9を保持する役割を担うダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート間の継ぎ手28を電鋳で同時作成した部品を使用する。このとき、ダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート間の継ぎ手28を設けることにより、ダイヤフラムプレート9を例えば接着剤24が塗布されたリストリクトプレート6に接着するために静かに置いた際、ダイヤフラムプレート枠26に対してダイヤフラムプレート9が浮く現象が抑制され、シワ25発生の抑制が可能となる。具体的には、ダイヤフラムプレート9は2分割にし、ダイヤフラムプレート枠26の部分はダイヤフラムプレート9の剛性の補助する目的で厚みを50μmとした。ダイヤフラムプレート枠26とダイヤフラムプレート9の間は、電鋳で同時に作成されたダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27とダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート間の継ぎ手28により接続されている。このダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27とダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート間の継ぎ手28の厚みは、ダイヤフラムプレートと同じ11μmとした。本発明の実施の形態1を示すダイヤフラムプレート9の場合、オリフィスプレート2とチャンバプレート4とリストリクタプレート6との接合体に接着を行うと、図5に示すようにダイヤフラムプレート9上のシワ25発生は抑制された。これらのダイヤフラムプレート枠26、ダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート枠間の継ぎ手27、ダイヤフラムプレート-ダイヤフラムプレート間の継ぎ手28により、ダイヤフラムプレート9の取り扱いが容易となり、かつ、接着後にダイヤフラムプレート9上に発生するシワを抑制することが可能となる。