"バルブ筐体と、周縁部が前記バルブ筐体に載置されて前記バルブ筐体とともにバルブ室を構成し、前記バルブ室の流体の圧力によって前記周縁部の内側の中央部が変位するダイヤフラムと、を備え、前記バルブ筐体には、前記バルブ室へ流体が流入する流入孔と、ポンプが接続されて前記ポンプによる流体の吸引圧力によって前記バルブ室から流体が流出する流出孔と、前記ダイヤフラムの前記周縁部が載置される載置部と、が形成された、順止バルブであって、前記流入孔に配置され、前記ダイヤフラムの変位によって前記流入孔から前記バルブ室への流体の流入を遮断または開放させる弁体と、前記バルブ筐体に接合され、前記ダイヤフラムの前記周縁部を押圧して前記載置部とともに前記周縁部を挟持するキャップ部と、を備える順止バルブ。前記ダイヤフラムの材質はゴムである、請求項1に記載の順止バルブ。前記ダイヤフラムは、前記周縁部が前記中央部より厚みの厚い形状に形成された、請求項1又は2に記載の順止バルブ。前記キャップ部の材質は金属であり、前記バルブ筐体の前記流体と接する部分の材質は樹脂であり、前記バルブ筐体の前記流体と接しない部分の材質は金属であり、前記キャップ部は前記バルブ筐体のうち前記流体と接しない部分に接合される、請求項1から3のいずれかに記載の順止バルブ。前記キャップ部は前記バルブ筐体のうち前記流体と接しない部分に溶接により接合される、請求項4に記載の順止バルブ。前記キャップ部と前記バルブ筺体とは、前記載置部よりも外周側であって、前記流体と接しない部分で接合される、請求項1から5のいずれかに記載の順止バルブ。前記流体はメタノールである、請求項1から6のいずれかに記載の順止バルブ。請求項1から7のいずれかに記載の順止バルブと、前記順止バルブの前記流入孔に接続される燃料貯蔵部と、前記順止バルブの前記流出孔に接続されるポンプと、を備える燃料電池システム。例えば、ダイレクトメタノール型燃料電池においては、燃料メタノールの輸送を行うポンプを備えている。一般に、弁方式のポンプには弁による逆止機能はあるが、順止機能順方向の流れを止める機能は無い。順止機能の無いポンプを用いると、上流側の圧力順方向の圧力が燃料に印加される場合に、ポンプの非作動時にも燃料が流れてしまう。また、燃料電池システム内に組み込まれる燃料カートリッジが、外環境によっては高温になることがあり、高圧の流体が吐出されることがある。これにより、過剰な流体が燃料セルに供給されたり、場合によってはポンプを破壊してしまうおそれがある。そこで、高圧な流体が万が一加わった時に、順方向の流れを止めるバルブ以下、順止バルブというが求められている。ところが、図1A,図1Bに示した特許文献1の減圧弁では、各部材の接合部が流体に接している。そのため、メタノールのような活性の高い流体を当該減圧弁に使用した場合、各部材の接合部の界面がメタノールにより劣化して接合強度低下を招くおそれがあり、最悪の場合、各部材が剥離してメタノールが各部材の間から漏洩してしまうおそれがある。具体的には、特許文献1の減圧弁の各部材を接着剤で接着した場合、当該接着剤がメタノールにより劣化し、各部材が剥離してメタノールが各部材の間から漏洩してしまう。また、特許文献1の減圧弁の各部材を金属材料で形成し、各部材を拡散接合した場合でも、各部材の接合部の界面に残る微小な隙間にメタノールが侵入し、各部材の接合部の界面が腐食する。そこで、特許文献1の減圧弁の各部材を、メタノールによる腐食に強いシリコンで一体形成する方法が考えられる。しかし、この方法では、高価な半導体プロセスを使用する必要があるため、製造コストが増大してしまう。従って、上記特許文献1の減圧弁の構造を備える従来の順止バルブでは、製造コストを考慮して順止バルブを製造し、その順止バルブに活性の高い流体を使用する場合、流体制御の十分な信頼性が得られないという問題があった。そこで本発明は、活性の高い流体を使用する場合における流体制御の信頼性を向上させた順止バルブ、及びこの順止バルブを備える燃料電池システムの提供を目的とする。本発明の順止バルブは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。1バルブ筐体と、周縁部が前記バルブ筐体に載置されて前記バルブ筐体とともにバルブ室を構成し、前記バルブ室の流体の圧力によって前記周縁部の内側の中央部が変位するダイヤフラムと、を備え、前記バルブ筐体には、前記バルブ室へ流体が流入する流入孔と、ポンプが接続されて前記ポンプによる流体の吸引圧力によって前記バルブ室から流体が流出する流出孔と、前記ダイヤフラムの前記周縁部が載置される載置部と、が形成された、順止バルブであって、前記流入孔に配置され、前記ダイヤフラムの変位によって前記流入孔から前記バルブ室への流体の流入を遮断または開放させる弁体と、前記バルブ筐体に接合され、前記ダイヤフラムの前記周縁部を押圧して前記載置部とともに前記周縁部を挟持するキャップ部と、を備える。この構成では、キャップ部がバルブ筐体に接合されると、ダイヤフラムの周縁部がキャップ部と載置部とに押圧されて挟持される。この結果、ダイヤフラムの周縁部がキャップ部と載置部によって圧縮され、ダイヤフラムの周縁部と載置部との当接部分の密着性が高くなる。そのため、流体がダイヤフラムの周縁部と載置部との間を通過して当該周縁部の外側へ漏れるのを防ぐことができる。即ち、この構成における順止バルブでは、キャップ部とバルブ筐体との接合部を含む各部材の接合部が流体に接触しない。よって、活性の高い流体を順止バルブに使用しても、各部材の接合部の界面が流体により劣化して接合強度低下を招くことがなく、各部材が剥離して流体が各部材の間から漏洩してしまうこともない。従って、この構成によれば、活性の高い流体を使用する場合における流体制御の信頼性を向上させることができる。また、この構成における順止バルブは、材質にシリコンを用いておらず半導体プロセスを使用せずに製造できるため、低コストで製造できる。2前記ダイヤフラムの材質はゴムであることが好ましい。この構成では、ダイヤフラムの周縁部がキャップ部と載置部とに押圧されて挟持されときにおける、ダイヤフラムの周縁部の圧縮量が大きい。そのため、ダイヤフラムの周縁部と載置部との当接部分の密着性が極めて高くなる。よって、流体がダイヤフラムの周縁部と載置部との間を通過して当該周縁部の外側へ漏れるのを一層防ぐことができる。従って、上記流体制御の信頼性を一層向上させることができる。なお、液体を流体として順止バルブに使用した場合、液体の表面張力が大きいため、気体を流体として順止バルブに使用した場合より大きな流体の流路が必要となる。しかし、この構成の順止バルブではダイヤフラムの材質がゴムであるため、ダイヤフラムをシリコンや金属で形成した場合に比べてダイヤフラムの可動範囲が大きくなる。そのため、この構成の順止バルブでは、十分な流体の流路を確保できる。3前記ダイヤフラムは、前記周縁部が前記中央部より厚みの厚い形状に形成されることが好ましい。上記12で説明したように、ダイヤフラムの周縁部はキャップ部と載置部によって圧縮されるため、この構成のように周縁部の厚みが中央部の厚みより厚いことが好ましい。4前記キャップ部の材質は金属であり、前記バルブ筐体の前記流体と接する部分の材質は樹脂であり、前記バルブ筐体の前記流体と接しない部分の材質は金属であり、前記キャップ部は前記バルブ筐体のうち前記流体と接しない部分に接合されることが好ましい。この構成では、流体がバルブ室を通過しても、金属イオンが流体中に溶出することがない。そのため、この構成によれば、金属イオンの溶出によるDMFCの特性の劣化が起こらない。5前記キャップ部は前記バルブ筐体のうち前記流体と接しない部分に溶接により接合されることが好ましい。6前記キャップ部と前記バルブ筺体とは、前記載置部よりも外周側であって、前記流体と接しない部分で接合されることが好ましい。この構成によれば、キャップ部とバルブ筺体との接合部が、ダイヤフラムの周縁部が載置される載置部よりも外周側に位置しているため、流体が存在する位置から構造的に離れている。そのため、キャップ部とバルブ筐体との接合部がより流体に接触しにくくなる。従って、活性の高い流体を順止バルブに使用しても、各部材の接合部の界面が流体により劣化して接合強度低下を招くことを確実に防ぐことができる。7前記流体はメタノールであることが好ましい。メタノールは他の流体に比べて活性が高い流体である。そのため、上記1の構成は、メタノールを流体として使用するこの構成において好適である。また、本発明の燃料電池システムは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。8上記1~7のいずれかに記載の順止バルブと、前記順止バルブの前記流入孔に接続される燃料貯蔵部と、前記順止バルブの前記流出孔に接続されるポンプと、を備える。この構成により、上記1~7のうちいずれかに記載の順止バルブを用いることで、当該順止バルブを備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。この発明によれば、活性の高い流体を使用する場合における流体制御の信頼性を向上できる。《順止バルブの動作原理》まず、小型の燃料電池に用いられるパッシブ駆動の順止バルブの動作原理について説明する。図2Aは、弁が閉じた状態における順止バルブ90の模式断面図であり、図2Bは、弁が開いた状態における順止バルブ90の模式断面図である。順止バルブ90は、可動部となるダイヤフラム20、ダイヤフラム20とともにバルブ室40を構成するバルブ筐体30、バルブ筐体30に接合されたキャップ部10、および、弁体部51を有する弁部50からなる。バルブ筐体30には、バルブ室40へ流体が流入する流入孔43と、ポンプが接続されてポンプによる流体の吸引圧力によってバルブ室40から流体が流出する流出孔49とが形成されている。ダイヤフラム20は、伝達機構であるプッシャ23を有し、バルブ室40の流体の圧力によって変位する。ダイヤフラム20が弁部50に近づく方向へ変位した時、プッシャ23が弁体部51を押下する。弁部50は、弁体部51の流入孔43側にリング状の弁突起55が形成されており、弁突起55が流入孔43の周縁に位置する弁座48に当接するよう配置される。そして、弁体部51は、ダイヤフラム20の変位によって弁座48に対して当接または離間し、流入孔43からバルブ室40への流体の流入を遮断または開放させる。キャップ部10には、外気と通じる孔部15が上面に形成されている。この結果、ダイヤフラム20の上部に大気圧が加わる。順止バルブ90は、流体の圧力が設定圧力になると、圧力差を利用して弁部50が自動的に開閉するように構成されている。詳述すると、ダイヤフラム20上部の大気の圧力をP0、バルブ上流の1次圧力をP1、バルブ下流の圧力をP2とし、弁体部51の面積ここでは、弁体部51にリング状の弁突起55が形成されているため弁突起55で囲まれた領域の径で決まる面積をS1、ダイヤフラム20の面積をS2、弁体部51が上向きに付勢する力をFsとする。このとき、圧力の釣り合いから、図2Bのように弁部50が開く条件は、P1-P2S1Fs<P0-P2S2となる。P2がこの条件の圧力より高いと弁部50は閉じ、低いと弁部50は開く。これによって、P2を一定に保つことができる。《第1の実施形態》以下、本発明の第1の実施形態に係る順止バルブ101について説明する。図3は、本発明の第1の実施形態に係る順止バルブ101を備える燃料電池システム100のシステム構成図である。燃料電池システム100は、燃料であるメタノールを貯蔵する燃料カートリッジ102と、順止バルブ101と、メタノールを輸送するポンプ103と、ポンプ103からメタノールの供給を受けて発電する発電セル104と、を備える。ダイレクトメタノール型燃料電池DMFCにおいては、燃料であるメタノールの輸送を行うポンプ103を備えている。一般に、弁方式のポンプ103には弁による逆止機能はあるが、順止機能は無い。順止機能の無いポンプ103を用いると、上流側の圧力順方向の圧力がメタノールに印加される場合に、ポンプ103の非作動時にもメタノールが流れてしまう。そのため、ポンプ103と組み合わせて使用し、ポンプ圧力を利用して弁の開閉を行う順止バルブ101を設ける方が好ましい。順止バルブ101は、詳細を後述するが、ダイヤフラム120とともにバルブ室140を構成するバルブ筐体130を備える。バルブ筐体130には、燃料カートリッジ102が流入路163を介して接続される流入孔143と、ポンプ103が流出路165を介して接続される流出孔149とが形成されている。順止バルブ101は、流入路163と流出路165とが形成されたポリフェニレンサルファイドPPS樹脂製のシステム筐体160に、流漏れを防ぐOリング161、162を介して表面実装される。燃料電池システム100では、メタノールが燃料カートリッジ102から流入路163と流入孔143を介してバルブ室140へ流入する。そして、ポンプ103によるメタノールの吸引圧力によってバルブ室140から流出路165と流出孔149を介してポンプ103へメタノールが流出する。そして、メタノールはポンプ103によって発電セル104へ供給される。図4は、第1の実施形態に係る順止バルブ101の分解斜視図である。図5Aは、図4の順止バルブ101に備えられるキャップ部110の上面図である。図5Bは、図4の順止バルブ101に備えられるバルブ筐体130の下面図である。図6は、図5AのS-S線における断面図である。順止バルブ101は、図4に分解斜視するように、キャップ部110と、可動部となるダイヤフラム120と、バルブ筐体130と、弁部150と、を備える。バルブ筐体130は、略正方形板状である。バルブ筐体130には、バルブ室140へ流体が流入する流入孔143と、ポンプ103が接続されてポンプ103による流体の吸引圧力によってバルブ室140から流体が流出する流出孔149と、が形成されている。また、バルブ筐体130には、キャップ部110とバルブ筐体130をシステム筐体160に固定するためのネジ止め用の穴131と、ダイヤフラム120の周縁部121が載置される載置部134と、が形成されている。また、バルブ筐体130には、図4及び図6に示すように、弁部150が流入孔143からバルブ室140へのメタノールの流入を開放させたときに、ダイヤフラム120が当接する突出部144と、メタノールを突出部144の内側から外側へ通過させる流路145とが、ダイヤフラム120と対向するバルブ室140の底面141上における流入孔143の周囲に形成されている。また、バルブ筐体130には、図5B及び図6に示すように、弁部150をバルブ筐体130の実装面側から嵌めこむことにより弁部150を収納する開口部147と、流入孔143の周縁に位置する弁座148と、が形成されている。なお、バルブ筐体130の材質については、バルブ筐体130のメタノールと接する部分134、141、144、145、148の材質は耐メタノール性の高い樹脂、例えばPPSPolyphenylenesulfide樹脂等からなり、バルブ筐体130のメタノールと接しない部分である縁部132の材質は金属からなる。バルブ筐体130は、金属部分の縁部132をモールド金型にインサートして射出成形するインサートモールドにより形成される。ダイヤフラム120は、図4及び図6に示すように、伝達機構であるプッシャ123を中心に有し、周縁部121の厚みが中央部122より厚い円板状に形成されている。ダイヤフラム120の材質は、耐メタノール性の高いゴム、例えばエチレンプロピレンゴムまたはシリコーンゴムである。ダイヤフラム120は、周縁部121がバルブ筐体130に載置されてバルブ筐体130とともにバルブ室140を構成する。ダイヤフラム120は、バルブ室140の流体の圧力によって周縁部121の内側の中央部122が変位する。ダイヤフラム120の中央部122が弁部150に近づく方向へ変位した時、プッシャ123が弁体部151を押下する。なお、液体を流体として順止バルブ101に使用した場合、液体の表面張力が大きいため、気体を流体として順止バルブ101に使用した場合より大きな流体の流路が必要となる。しかし、この実施形態の順止バルブ101ではダイヤフラム120の材質がゴムであるため、ダイヤフラム120をシリコンや金属で形成した場合に比べてダイヤフラム120の可動範囲が大きくなる。そのため、この実施形態の順止バルブ101では、十分なメタノールの流路を確保できる。弁部150は、図4及び図6に示すように、略円形状であり、耐メタノール性の高いゴム、例えばシリコーンゴムからなる。弁部150は、ダイヤフラム120の変位によって弁座148に対して当接または離間し、流入孔143からバルブ室140への流体メタノールの流入を遮断または開放させる弁体部151と、弁体部151が弁座148に対して接近および離間する方向へ可動自在に弁体部151を支持する支持部152と、メタノールを通過させる孔部153と、弁部150が開口部147に収納されたときにバルブ筐体130の開口部147の内周面に当接し、支持部152を固定する固定部154と、を有する。なお、弁体部151には、弁座148とのシール性を高めるため、流入孔43側にリング状の弁突起155が形成されているが、弁突起155は必ずしも形成される必要はない。弁体部151は、弁部150が開口部147に収納されたときに弁体部151の弁突起155が弁座148に当接し、弁体部151が流入孔143からバルブ室140への流体の流入を遮断する方向へ弁座148を弁閉時に与圧する。そして、弁体部151は、ダイヤフラム120が下降してダイヤフラム120に押し下げられることによって弁座148から離間し、流入孔143と孔部153が連通して、バルブ室140へのメタノールの流入を開放させる。キャップ部110は、図4、図5A及び図6に示すように、略正方形板状であり、例えば、ステンレススチールの板を用いて金型成形により形成される。キャップ部110には、キャップ部110とバルブ筐体130をシステム筐体160に固定するためのネジ止め用の穴111が形成されている。ここで、金属製のキャップ部110の縁部116は、ダイヤフラム120が載置部134に載置された状態で、バルブ筐体130の金属製の縁部132と溶接により接合される。キャップ部110の周縁部位114は、接合されると、ダイヤフラム120の周縁部121を押圧して載置部134とともに周縁部121を挟持する。また、キャップ部110の中央部位113には、外気と通じる孔部115が形成されている。この結果、ダイヤフラム120の上部に大気圧が加わる。ダイヤフラム120には、この大気圧とバルブ室140の内圧との差圧を受ける円形の金属からなる受圧板125が接合されている。順止バルブ101は、上述した順止バルブ90図2参照と同じように、流体の圧力が設定圧力になると、圧力差を利用して弁部150が自動的に開閉するように構成されている。以上の構成において、上述のレーザ溶接によりキャップ部110の縁部116がバルブ筐体130の縁部132に接合されると、ダイヤフラム120の周縁部121がキャップ部110の周縁部位114と載置部134により押圧されて挟持される。さらに、ダイヤフラム120の材質はゴムである。この結果、ダイヤフラム120の周縁部121がキャップ部110の周縁部位114と載置部134によって圧縮され、ダイヤフラム120の周縁部121と載置部134との当接部分の密着性が極めて高くなる。そのため、メタノールがダイヤフラム120の周縁部121と載置部134との間を通過してバルブ筐体130から外側へ漏れることもない。また、キャップ部110とバルブ筺体130との接合部が、ダイヤフラム120の周縁部121が載置される載置部134よりも外周側に位置しているため、流体が存在する位置から構造的に離れている。そのため、この実施形態における順止バルブ101では、キャップ部110の縁部116とバルブ筐体130の縁部132との接合部を含む各部材の接合部がメタノールに接触しない。よって、メタノールのような活性の高い流体を順止バルブ101に使用しても、各部材の接合部の界面がメタノールにより劣化して接合強度低下を招くことがなく、各部材が剥離してメタノールが各部材の間から漏洩してしまうこともない。従って、この実施形態における順止バルブ101によれば、活性の高い流体を使用する場合における流体制御の信頼性を向上させることができる。また、この実施形態における順止バルブ101は、材質にシリコンを用いておらず半導体プロセスを使用せずに製造できるため、低コストで製造できる。また、以上の構成において、バルブ筐体130のメタノールと接する部分134、141、144、145、148の材質は全て樹脂であり、ダイヤフラム120と弁部150の材質もゴムであるため、金属イオンがメタノール中に溶出することがない。そのため、この実施形態の順止バルブ101では、金属イオンの溶出によるDMFCの特性の劣化も起こらない。従って、この実施形態の順止バルブ101を用いることで、当該順止バルブ101を備える燃料電池システム100においても同様の効果を奏する。《第2の実施形態》図7は、本発明の第2の実施形態に係る順止バルブ201に備えられるキャップ部210の上面図である。図8は、図7のT-T線における断面図である。この実施形態における順止バルブ201が上記順止バルブ101と相違する点は、キャップ部210とバルブ筐体230の接合方法である。詳述すると、バルブ筐体230は、全てが耐メタノール性の高い樹脂で形成され、ダイヤフラム120の周縁部121の厚みより厚い環状の縁部232を当該周縁部121の外側に有する点で、図6に示すバルブ筐体130と異なる。さらに、金属製のキャップ部210は、ダイヤフラム120が載置部134に載置された状態で、樹脂製のバルブ筐体230の縁部232を包むよう、キャップ部210の縁部216をカシメてバルブ筺体230の縁部232に接合固定される。キャップ部210の周縁部位214は、接合されると、ゴム製のダイヤフラム120の周縁部121を押圧して載置部134とともに周縁部121を挟持し、且つバルブ筐体230の縁部232を押圧してキャップ部210の縁部216とともに縁部232を挟持する。また、キャップ部210とバルブ筺体230との接合部が、ダイヤフラム120の周縁部121が載置される載置部134よりも外周側に位置しているため、流体が存在する位置から構造的に離れている。そのため、この実施形態における順止バルブ201においても、キャップ部210の縁部216とバルブ筐体230の縁部232との接合部を含む各部材の接合部がメタノールに接触しない。よって、メタノールのような活性の高い流体を順止バルブ201に使用しても、各部材の接合部の界面がメタノールにより劣化して接合強度低下を招くことがなく、各部材が剥離してメタノールが各部材の間から漏洩してしまうこともない。従って、この実施形態における順止バルブ201も上記順止バルブ101と同様の効果を奏する。また、この実施形態の順止バルブ201を用いることで、当該順止バルブ201を備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。《第3の実施形態》図9は、本発明の第3の実施形態に係る順止バルブ301に備えられるキャップ部310の上面図である。図10は、図9のU-U線における断面図である。この実施形態における順止バルブ301が上記順止バルブ101と相違する点は、キャップ部310とバルブ筐体330の接合方法である。詳述すると、バルブ筐体330は、全てが耐メタノール性の高い樹脂で形成され、ダイヤフラム120の周縁部121の厚みより厚い環状の縁部332を当該周縁部121の外側に有する点で、図6に示すバルブ筐体130と異なる。さらに、キャップ部310も、全てが耐メタノール性の高い樹脂で形成される点で、図5A、図6に示すキャップ部110と異なる。キャップ部310は、周縁部位314の厚みが中央部位313の厚みより厚い形状となっている。樹脂製のキャップ部310の周縁部位314は、ダイヤフラム120が載置部134に載置された状態で、樹脂製のバルブ筐体330の縁部332の上面に溶着または接着される。キャップ部310の周縁部位314は、接合されると、ゴム製のダイヤフラム120の周縁部121を押圧して載置部134とともに周縁部121を挟持する。また、キャップ部310とバルブ筺体330との接合部が、ダイヤフラム120の周縁部121が載置される載置部134よりも外周側に位置しているため、流体が存在する位置から構造的に離れている。そのため、この実施形態における順止バルブ301においても、キャップ部310の周縁部位314とバルブ筐体330の縁部332との接合部を含む各部材の接合部が、メタノールに接触しない。よって、メタノールのような活性の高い流体を順止バルブ301に使用しても、各部材の接合部の界面がメタノールにより劣化して接合強度低下を招くことがなく、各部材が剥離してメタノールが各部材の間から漏洩してしまうこともない。従って、この実施形態における順止バルブ301も上記順止バルブ101と同様の効果を奏する。また、この実施形態の順止バルブ301を用いることで、当該順止バルブ301を備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。《その他の実施形態》以上の実施形態では活性の高い流体としてメタノールを用いているが、当該流体が、気体や、液体、気液混合流、固液混合流、固気混合流などのいずれであっても適用できる。また、以上の実施形態においてダイヤフラム120は、周縁部121の厚みが中央部122より厚い形状に形成されているが、実際の際は、ダイヤフラム120が、周縁部121の厚みが中央部122より薄い形状や周縁部121の厚みと中央部122の厚みとが同じ形状に形成されていても構わない。なお、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"