プラズマ処理チャンバ部品であって、プラズマ処理チャンバ内に配置された作業面と、作業面の下にあるに部品内に配置された第1チャネルを含み、第1チャネルは、第1熱伝導流体を伝導することができ、作業面の第1温度ゾーンの下にある第1チャネルの第1長さは、作業面の第2温度ゾーンの下にある第1チャネルの第2長さよりも低い熱伝達率又は伝熱面積を含むプラズマ処理チャンバ部品。作業面の第1温度ゾーンの下にある部品内に配置された第2チャネルを更に含み、第2チャネルは、第2熱伝導流体を伝導することができ、第2長さは、第1長さの下流にあり、第1長さに沿った熱伝達率又は伝熱面積は、第2チャネルの長さに沿ったものよりも低い請求項1記載の部品。第1温度ゾーンは、第2温度ゾーンに隣接して配置される請求項2記載の部品。第1チャネルは、第2長さの下流にあり第1温度ゾーンに隣接する第3長さを更に含み、熱伝達率又は伝熱面積は、第2長さに沿ってよりも第3長さに沿ってより低い請求項3記載の部品。第1長さに沿った熱伝達率は、第2長さよりも低い請求項1記載の部品。第1長さは、第2長さに対して熱抵抗を高める熱抵抗材料のチャネルスリーブを含む請求項6記載の部品。第1チャネルは、第2長さに沿ってよりも第1長さに沿って作業面の下により大きな距離で配置されている請求項6記載の部品。断熱層が、第1チャネルと、第1長さの少なくとも一部に沿った作業面との間に配置され、これによって第2長さに対して熱抵抗を高める請求項6記載の部品。断熱層は、排出空間又は非金属材料を含む請求項9記載の部品。第1長さに沿った伝熱面積は、第2長さに沿ったものよりも小さい請求項1記載の部品。第1チャネルは、第2長さに沿って第1長さには無い多数のフィンを含む請求項11記載の部品。第1長さは、第2長さの第2断面積よりも大きな第1断面積を有し、これによって第1長さと第2長さの間の流速を変化させる請求項1記載の部品。処理チャンバ内に配置されたワークピースの処理中にプラズマを励起するために処理チャンバに結合されたプラズマ電源と、第1熱伝導流体ループによってヒートソース又はシンクに結合された温度制御された部品を含む処理チャンバであって、第1流体ループは温度制御された部品に埋め込まれたチャネルの第1及び第2長さを通過し、第1長さは部品の第1温度ゾーンの下にあり、第2長さは部品の第2温度ゾーンの下にあり、第1長さは第2長さよりも低い熱伝達率及び/又は伝熱面積を含む処理チャンバとを含むプラズマ処理装置。温度制御された部品は、ガス分配シャワーヘッド又は基板支持チャックであり、第1温度ゾーンは、第2温度ゾーンを囲むシャワーヘッド又はチャックの環状部分を含み、シャワーヘッド又はチャックは、第2熱伝導流体ループに更に結合されており、第2流体ループは、部品の第1温度ゾーンの下にある温度制御された部品内に埋め込まれたチャネルの第3長さを通過する請求項15記載のプラズマ処理装置。第1長さは、第2長さと第3の長さの両方よりも低い熱伝達率又は伝熱面積を有する請求項16記載のプラズマ処理装置。