"安定剤を含む工業用過酸化水素水を、膜表面に親水基が導入された逆浸透膜と、接触させて、安定剤の70重量以上を除去したのち、ついで、カチオンイオン交換樹脂および/またはアニオンイオン交換樹脂により、過酸化水素水に含まれる不純物を除去することを特徴とする精製過酸化水素水の製造方法。前記逆浸透膜が、ポリアミド系又はポリビニルアルコール系の複合膜からなることを特徴とする請求項1に記載の精製過酸化水素水の製造方法。安定剤がリン酸塩、ピロリン酸塩、錫酸塩、エチレンジアミンテトラメチレンのホスホン酸キレート剤や、エチレンジアミン4酢酸、ニトリロトリ酢酸から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1または2に記載の精製過酸化水素水の製造方法。得られる精製過酸化水素水の安定度が98以上であることを特徴とする請求項1~3のいずかに記載の精製過酸化水素水の製造方法。安定剤を含む工業用過酸化水素水を、カチオンイオン交換樹脂および/またはアニオンイオン交換樹脂が充填された精製塔を使用して、過酸化水素水を精製する精製過酸化水素水の精製装置であって、前処理手段として、親水基が導入され、ポリアミド系又はポリビニルアルコール系の複合膜から安定剤の70重量以上を除去しうる逆浸透膜が充填されてなるモジュールを備えてなることを特徴とする精製過酸化水素水の精製装置。安定度が98以上である精製過酸化水素水を製造することを特徴とする請求項5に記載の製造装置。このようなイオン交換樹脂による精製工程のライフは、精製する粗過酸化水素水に含まれる不純物や不純物と安定剤の含有量に依存する。特に安定剤の含有量は分解を防ぐために高濃度であり、安定剤が添加された工業用過酸化水素水を、イオン交換樹脂を用いて精製する方法において、イオン交換樹脂のライフは安定剤の添加量に依存する。このため、イオン交換樹脂での処理に先立ち、安定剤を除去することが望まれている。しかしながら、このような、安定剤を除去することに着目した技術なんら提案されていない。このような状況の下、本発明者らは、鋭意検討を行なった結果、工業用過酸化水素水を、あらかじめ、膜表面に親水基が導入された逆浸透膜と、接触させて、安定剤を除去しておくことで、イオン交換樹脂のライフを長期に保つことが可能となり、長期にわたって、安定に精製過酸化水素水を調製できることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明の構成は以下のとおりである。1安定剤を含む工業用過酸化水素水を、膜表面に親水基が導入された逆浸透膜と、接触させて、安定剤の70重量以上を除去したのち、ついで、カチオンイオン交換樹脂および/またはアニオンイオン交換樹脂により、過酸化水素水に含まれる不純物を除去する精製過酸化水素水の製造方法。2前記逆浸透膜が、ポリアミド系又はポリビニルアルコール系の複合膜からなる1の精製過酸化水素水の製造方法。3安定剤がリン酸塩、ピロリン酸塩、錫酸塩、エチレンジアミンテトラメチレンのホスホン酸キレート剤や、エチレンジアミン4酢酸、ニトリロトリ酢酸から選ばれる少なくとも1種である1または2の精製過酸化水素水の製造方法。4得られる精製過酸化水素水の安定度が98以上である前記1~3の精製過酸化水素水の製造方法。5安定剤を含む工業用過酸化水素水を、カチオンイオン交換樹脂および/またはアニオンイオン交換樹脂が充填された精製塔を使用して、過酸化水素水を精製する精製過酸化水素水の精製装置であって、前処理手段として、親水基が導入され、ポリアミド系又はポリビニルアルコール系の複合膜から安定剤の70重量以上を除去しうる逆浸透膜が充填されてなるモジュールを備えてなることを特徴とする精製過酸化水素水の精製装置。6得られる精製過酸化水素水の安定度が98以上であることを特徴とする6の製造装置。なお、逆浸透膜を使用する精製過酸化水素水の製造方法は、いくつかの特許文献により提案されている。たとえば、特開平11139811号公報には、Fe,Cr含有量10ppb以下の過酸化水素水をさらに精製する方法として、02~300μmolLの安定剤を添加後逆浸透膜で処理する。使用する逆浸透膜は芳香族架橋ポリアミドとポリスルホン系高分子及びポリエステル系高分子からなる複合膜で日東電工社製ES10,ES20が例示されている。また、特開平9102480号公報には、Si5ppb以下の過酸化水素水を得る方法として日東電工社製のNTR759HRを使用することが開示され、かかる逆浸透膜は、Si成分阻止率が高い緻密な膜表面で膜表面にスキン層を有する。さらに、特開平8151203号公報には、逆浸透膜を用いて過酸化水素水を精製する方法において逆浸透膜の濃縮水を粗過酸化水素水に戻す前にイオン交換樹脂/キレート樹脂の一種以上を使用し、遷移金属を80ppb以下とし、更に前記処理した過酸化水素水をアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂を用いて精製する方法が開示されている。また、特許第2976776号公報には、工業用過酸化水素水をRO膜で処理するとTOCが10ppm以下になり、特開平733408号公報には、工業用過酸化水素水をポリアミド系RO膜で処理するとTOCが10ppm以下になることが開示されている。特開2000302418号公報には、工業用過酸化水素水の製造工程で水添、酸化後の作動液から過酸化水素を水で抽出した時に混入する有機物を蒸留して除去しているが、この蒸留に替えて逆浸透膜処理すると熱による過酸化水素分解のロスを抑えることができることが開示されている。さらに、特開20031070号公報には、41~75の工業用過酸化水素水を逆浸透膜で処理し、さらにTOCを含まない超純水で希釈し、31過酸化水素水を精製すればTOCが3ppm以下にできることが開示されている。また、特開平10330102号公報には、工業用過酸化水素水をRO膜で処理するとTOCが10ppm以下になると記載されている。このように、逆浸透膜を使用して過酸化水素水を精製することは知られていたが、本特許では安定剤が添加された工業用過酸化水素水を、イオン交換樹脂を用いて精製する方法において、イオン交換樹脂のライフ長期に保つため、前処理として逆浸透膜を使用し、イオン交換樹脂やキレート樹脂導入前の過酸化水素水中の安定剤を除去するという観点で逆浸透膜を使用することはなんら知られていなかった。本発明によれば、あらかじめ工業用過酸化水素水に含まれる安定剤を70以上除去するので、後段のイオン交換樹脂精製工程での処理ライフを長くすることができ、また安定剤を含まずに安定度98以上の過酸化水素水を得ることができる。このように、逆浸透膜を使用することにより後段のイオン交換樹脂やキレート樹脂の性能を維持しつつ、逆浸透膜そのものの性能も長期に亘り維持することができる。従って過酸化水素水の精製工程全体の能力を低下させずに長時間運転することが可能であり、生産コストを抑制することが可能である。また、本発明で使用される逆浸透膜は低圧運転が可能であり、このことによって逆浸透膜工程のランニングコストも抑制できる。以下、本発明に係る精製過酸化水素水の製造方法について具体的に説明する。なお、本明細書中において、ppm、ppb、pptおよびppqは、いずれも重量ppm、重量ppb、重量pptおよび重量ppqを示す。[精製過酸化水素水の製造方法]本発明では、まず、工業用過酸化水素水と、逆浸透膜と、接触させて、安定剤を除去する。工業用過酸化水素水本発明で使用される工業用過酸化水素水としては、アントラキノン自動酸化法、水素と酸素を直接反応させる直接合成法など、公知の製造法によって製造された工業用過酸化水素水が使用される。通常、工業用過酸化水素水中の過酸化水素濃度は70以下であれば特に制限されない。この方法によって製造された過酸化水素水中には、装置材質などに起因するAl、Fe、Crなどの無機イオン化合物不純物の他、製造方法などに起因する有機不純物が含まれている。特に金属不純物は過酸化水素水の分解触媒となり得るため、これら不純物の存在下においては過酸化水素水の安定度が低くなる。このため工業用の製品過酸化水素水となる過酸化水素水には、安定剤が添加されている。安定剤としては、リン酸塩、ピロリン酸塩、錫酸塩などの無機キレート剤や有機キレート剤ではエチレンジアミンテトラメチレンなどのホスホン酸系キレート剤や、エチレンジアミン4酢酸、ニトリロトリ酢酸等が列挙される。このような安定剤がppmオーダーで工業用過酸化水素水中に添加されている。具体的には、01~100ppm程度の量で含まれている。なお安定剤量は、塩を構成する金属アルカリ土類金属、有機物量TOC、リン、窒素、錫量などから、求めることができる。逆浸透膜逆浸透膜としては、表面に親水基が導入された逆浸透膜が使用される。このような本発明で使用される逆浸透膜としては、ポリアミド系又はポリビニルアルコール系の複合膜からなる逆浸透膜であり、該逆浸透膜は電気的に中性の有機化合物を含有するか、および/または表面に電気的に中性の有機化合物を含有する保護層を有するものが使用される。このような逆浸透膜としては、特開平1066846号公報、特開平1128344号公報、特開平1128466号公報、特開平10337454号公報、国際公開WO9734686号公報、特開平8192033号などに開示されたものを使用できる。また特開200695476号公報、特開200695480号公報、特開2006102624号公報、特開2006130497号公報に開示されたものも使用することも可能である。本発明で使用される逆浸透複合膜は、ポリアミド系、ポリビニルアルコール系等のスキン層が支持膜表面に界面重合法により製膜されたものがある。これらの膜は従来の公知の方法等によって、容易に得ることができる。たとえば、多官能芳香族アミンと多官能酸ハロゲン化物を多孔性支持体表面で界面重合すれば、ポリアミド系スキン層を形成できる。具体的には、多孔性支持膜を用い、メタフェニレンジアミン、ピペラジン、ポリエチレンイミン、等の反応性アミノ基を有するモノマー、又はポリマーの水溶液を前記多孔性支持膜の少なくとも片面に塗布した後、トリメシン酸クロライド、イソフタル酸クロライド等の多官能酸クロライド、またはトリレンジイソシアネート等の多官能イソシアネート、又はこれら混合物のヘキサン等の溶媒と接触させ、多孔性支持膜上で界面重合を行なわせてポリアミド系被膜を形成する方法などが挙げられる。また、ポリビニルアルコール層のスキン層は、多孔性支持体にポリビニルアルコールを浸漬させると形成可能であるが、ポリビニルアルコールは、多価アルデヒドで架橋してもよく、また、ジルコニウムによって架橋されていてもよい。さらに、多孔質支持膜表面に形成された、ポリアミド薄膜のスキン層を形成したのち、表面に、ポリビニルアルコールのスキン層を設けてもよい。多孔性支持膜としては、化学的、機械的、及び熱的に安定である観点から、ポリスルホン、ポリエーテルスルホンのようなポリアリールエーテルスルホンなどの多孔性ポリスルホン支持膜が好ましく、かかる多孔性ポリスルホン支持膜は、通常使用される逆浸透膜の厚さに応じて、厚さは適宜選択されるが、通常約25~125μm、好ましくは約40~75μmの厚みを有するが、必ずしもこれらに限定されるものではない。多孔性ポリスルホン支持膜は織布、不織布等による裏打ちにて補強されていてもよい。本発明で使用される逆浸透複合膜においては、スキン層を構成するポリアミドが、芳香族系ポリアミドであることが好ましい。ここで芳香族系ポリアミドとは、酸成分及びアミン成分から選ばれる少なくとも一つの成分が芳香族を含むものをいう。好ましい芳香族系ポリアミドは、酸成分及びアミン成分がともに芳香族を含む全芳香族系ポリアミドである。このような芳香族系ポリアミドは、高い透液性と高い塩阻止率を保持できるとともに、過酸化水素水の処理にも使用することができる。またポリビニルアルコールはケン化度90以上のものが好ましい。この場合、分子鎖間水素結合により25°Cでは水不溶性になるが、80°Cの水には可溶であることが好ましい。このようなポリビニルアルコールは膜汚染物質の吸着を抑制する作用が高く、過酸化水素水の処理にも使用することができる。このような有機化合物を含むか表面に保護層を有するものは、表面に親水基を有する。このため、安定剤が通過しにくくなり除去できる。電気的に中性の有機化合物とは、非イオン系の親水性基を有する、ビニル系重合体、縮合系重合体または付加系重合体などの有機重合体である。非イオン系の親水性基としては、-OH、ピロリドン基、-CONH-、-CH2CH2ORRは炭素数が1~4のアルキル基、-SHなどが挙げられる。有機重合体は、上記に例示したような親水性基のうちの少なくとも1種を含んでいればよいが、水酸基を含んでいることが好ましい。また、有機重合体は、ポリビニルピロリドン、ポリアミド系重合体、ポリエチレングルコール等であってもよいが、ポリビニルアルコ-ル系重合体であることが好ましい。ここで、ポリビニルアルコール系重合体とは、ビニルアルコールを主な単量体とする重合体であり、ポリビニルアルコールおよびポリビニルアルコールと他のビニル単量体との共重合体を含むものである。ここにいうビニル単量体には、例えば、エチレン、ビニルピロリドン、アクリロニトリル、塩化ビニルが含まれる。ポリビニルアルコール系共重合体は、このようなビニル単量体を50モル未満含むものが好ましい。また、電気的に中性の有機化合物としては、カチオン性官能基とアニオン性官能基とを双方有する有機重合体すなわち電気的には中和されているものであってもよい。たとえば芳香族多官能アミン成分と多官能酸ハライド化合物成分との反応物であってもよく、m-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、o-フェニレンジアミン、1,3,5-トリアミノベンゼン、1,2,4-トリアミノベンゼン、3,5-ジアミノ安息香酸、2,4-ジアミノトルエン、2,6-ジアミノトルエン、N,N-ジメチル-m-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノアニソール、アミドール、及びキシリレンジアミン等の芳香族多官能アミンと、反応性カルボニル基を2個以上有する芳香族、脂肪族、又は脂環式の多官能酸ハライドとの反応物でもよい。電気的に中性の有機化合物からなる表層を形成する場合には、逆浸透膜を電気的に中性の有機化合物を含む溶液に浸透させたり、塗布したりすればよい。表層の厚みは、0.001μm~1μm、さらには0.005μm~0.5μm程度とすることが好ましい。電気的に中性の有機化合物を、逆浸透膜に含ませる場合には、有機重合体を、前述のポリアミドの界面重合法において使用する、反応性アミノ基を有するモノマーおよび/またはポリマーの水溶液、あるいは多官能酸クロライド等を含む有機溶媒に混合して、逆浸透複合膜を製膜すればよい。このような逆浸透膜として具体的には、低圧逆浸透膜が望ましく、このような膜としては東レ製逆浸透膜SU700シリーズ、SULGシリーズが挙げられる。浸透膜の形態としては、平膜、プリーツ膜、スパイラル膜、チューブ膜、ロッド膜ファインチューブ膜、スパゲティ膜または中空糸膜またはそれら複数の組合せが挙げられる。過酸化水素水を逆浸透膜で処理する装置は、逆浸透膜を固定支持する耐圧容器と加圧手段を有する逆浸透法により液体を精製する装置が用いられる。加圧圧力は低圧逆浸透膜の一般的な操作圧力は15MPa以下であり、05~10MPaの範囲が好ましい。また、加圧時の温度は30°Cを越えない範囲が好ましい。このため冷却手段を設けていてもよい。このような、逆浸透膜による処理によって、工業用過酸化水素水中の安定剤は、その添加量の70重量以上、より好ましくは90重量以上を除去する。これ以下の量であれば、後述イオン交換のライフを長期に保つことは難しく、また安定剤除去にイオン交換能力を多く消費するため、イオン価数が低く、交換順位の低い金属を効率良く除去することが出来ず、結果安定度の高い過酸化水素水を得ることが難しいことがある。このように前段の逆浸透膜処理によって安定剤を除去しても、後述のイオン交換処理によって、それ以外の不純物も効果的に除去されるため、非常に安定性が高い。また不純物も含まないために、半導体や基板洗浄に使用しても、結晶欠陥による酸化膜耐圧の劣化やリーク電流の増加やシリコン酸化膜の絶縁耐圧の劣化などを引き起こすこともない。本発明ではこのような逆浸透膜処理に続いてイオン交換樹脂による処理を行う。このような逆浸透膜処理と組み合わせることで、イオン交換能力を過剰消費する安定剤が除かれるとともに、イオン交換樹脂表面に付着しイオン交換を阻害する高分子有機物も除去されているので、イオン交換樹脂による過酸化水素水の精製を、高水準で長期間行うことができる。更にまたイオン交換樹脂の交換洗浄間隔を従来に比べて長くすることが可能となり、運転効率を高めることができる。イオン交換処理次に、前記特定の逆浸透膜で処理した過酸化水素水を、さらにカチオンイオン交換樹脂および/またはアニオンイオン交換樹脂により、過酸化水素水に含まれる不純物を除去する。イオン交換樹脂はアニオンイオン交換樹脂あるいはカチオンイオン交換樹脂あるいはこれらの混合でも良い。カチオンイオン交換樹脂は、H型カチオンイオン交換樹脂が使用される。カチオンイオン交換樹脂としては一般にはスチレンージビニルベンゼン架橋共重合体にスルホン酸基を導入した網目状分子構造からなる強酸性カチオンイオン交換が望ましい。例えばPK216,SK1B,IR-120Bなどが挙げられる。これら樹脂は一般にNaイオン型で上市されている。これらカチオンイオン交換樹脂を塩酸や硫酸などの無機酸で処理し使用する。市販のカチオンイオン交換樹脂を5重量の塩酸などで再生する。このときのSVは20Hr1以下であることが望ましい。次いで、水洗液が中性になるまで水で洗浄する。アニオンイオン交換樹脂としては、一般にはスチレンジビニルベンゼン架橋共重合体をクロルメチル化後、アミノ化をトリメチルアミン、ジメチルエタノールアミンで行い4級化して得られる強塩基性樹脂交換基は第4級アンモニウム基、スチレンジビニルベンゼン架橋共重合体で第1ないし第3級アミンを交換基とする弱塩基性樹脂、アクリル酸系架橋重合体で第3級アミンを交換基とする樹脂、ピリジル基または置換ピリジル基を有するポリマーからなるピリジン系アニオン樹脂などが挙げられる。このうち第4級アンモニウム基を有する強塩基性アニオン交換樹脂が好ましい。第4級アンモニウム基のアニオン交換樹脂としては、多くのものが市販されている。例えば、ダイヤイオンのPAシリーズ例えばPA-316,PA-416、SAシリーズ例えばSA-10A、SA-20AやアンバーライトのIRAシリーズ例えばIRA400、IRA410、IRA900、IRA904が代表例として挙げられる。これらの樹脂は一般に塩化物イオン型で上市されている。これらアニオンイオン交換樹脂を炭酸塩、炭酸水素塩で処理し使用する。炭酸塩、炭酸水素塩で処理する際に、まず、市販のアニオンイオン交換樹脂を初めに5重量水酸化ナトリウム水溶液で再生する。このときのSVは20Hr1以下であることが望ましい。次いで、水洗液が中性になるまで水で洗浄する。次に5~10重量の炭酸塩、炭酸水素塩で再生する。このときのSVは20Hr1以下であることが望ましい。水洗液が中性になるまで水で洗浄する。また、前記した塩化物イオン型などのアニオン交換樹脂を、フッ化物アニオン型に変換して使用してもよい。上記で処理されたカチオンイオン交換樹脂あるいはアニオンイオン交換あるいはカチオンイオン交換樹脂/アニオンイオン交換樹脂の混床イオン交換樹脂に逆浸透膜を透過した過酸化水素水を通液する。SVは小さいほど望ましい。このときの液温は過酸化水素水の分解抑制の安全面から5°C以下の低温が望ましい。また、イオン交換処理として、本願の出願人による特許第3895540号に記載のイオン交換樹脂を組み合わせても良い。具体的には、上記逆浸透膜を使用して安定剤を除去したのち、以下の製造方法と組み合わせることが望ましい。安定剤が除去された過酸化水素水を、H型カチオン交換樹脂と接触させた後、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂と接触させ、次いで、H型カチオン交換樹脂と接触させる。または、安定剤が除去された過酸化水素水を、H型カチオン交換樹脂と接触させた後、フッ化物イオンF型アニオン交換樹脂と接触させ、次いで、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂と接触させ、さらに、H型カチオン交換樹脂と接触させる。このように逆浸透膜を使用して安定剤を除去したのち、2段階または4段階のイオン交換樹脂で処理することによって、金属イオン不純物が極力除去された高純度な過酸化水素水を製造することができる。H型カチオン交換樹脂処理1段目たとえば、逆浸透膜を透過した過酸化水素水をH型カチオン交換樹脂と接触させる。使用されるH型カチオン交換樹脂は、強酸性カチオン交換樹脂として公知のものが使用される。強酸性カチオン交換樹脂の種類としては、一般にはスチレン-ジビニルベンゼン架橋共重合体にスルホン酸基を導入した網目状分子構造からなる強酸性カチオン交換樹脂が好ましい。このようなカチオン交換樹脂の架橋度は、通常6~10、好ましくは7~9の範囲にあることが望ましい。H型強酸性カチオン交換樹脂として具体的には、たとえばPK216、SK1B、IR-120Bなどが使用される。H型カチオン交換樹脂は、カチオン交換樹脂を下降流の無機酸水溶液再生剤で処理したのち、上昇流の超純水で洗浄する操作を一工程とし、その工程を2回以上、好ましくは2~12回繰り返すことによって再生されたものが好ましい。通常、カチオン交換樹脂と再生剤水溶液との接触は、再生剤水溶液を通液したのち、押出し、超純水で水洗することによって行われるが、本発明では、特に2回以上、再生剤通液超純水水洗のサイクルを繰り返すことが望ましい。このように無機酸水溶液超純水通液を繰り返すことで、カチオン交換樹脂が収縮膨潤するため、交換樹脂の内部まで洗浄できる。無機酸としては、硫酸、塩酸などの公知の無機酸が使用される。再生剤水溶液中の無機酸濃度としては、5~15重量好ましくは5~12重量の範囲にあるものが好適に使用される。このような再生剤の使用量は、処理するカチオン交換樹脂の樹脂量体積の3倍以上、好ましくは4~12倍の範囲にあることが望ましい。このような再生剤の通液は、通常SV空間速度=1~5Hr1、BVBedVolumeイオン交換樹脂の体積の何倍量を処理したかを表す。単位はL/LR=0.5~1L/LRの下降流で行い、SV=10~30Hr1、BV=0.1~0.5L/LRの超純水上昇流を通液して洗浄する。また、再生剤および超純水通液後、さらに超純水の下降流および超純水の上昇流の通液を一工程とする超純水洗浄を、4回~9回繰り返し行い、再生後のイオン交換樹脂をさらに洗浄する。超純水の上昇流通液は、SV=10~30Hr1、BV=3~5L/LRで行い、下降流通液は、SV=10~30Hr1、BV=3~5L/LRで行うことが望ましく、樹脂量に対し、30~60倍の体積の超純水で洗浄することが望ましい。本発明において、不純物を含む原料過酸化水素水をH型カチオン交換樹脂と接触させる方法は、通常、連続通液方式が採用され、過酸化水素水のカチオン交換樹脂層を通液は、空間速度SVが、5~40Hr1、好ましくは10~30Hr1の範囲で行うことが望ましい。こうしてH型カチオン交換樹脂で処理することによって、過酸化水素水中のカチオン性の金属イオン不純物が除去される。アニオン交換樹脂処理炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂次に、過酸化水素水をアニオン交換樹脂と接触させる。アニオン交換樹脂としては、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂が使用される。炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂は、公知のアニオン交換樹脂を、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂に再生したものである。公知のアニオン交換樹脂としては、一般にはスチレン-ジビニルベンゼン架橋共重合体をクロロメチル化後、アミノ化をトリメチルアミン、ジメチルエタノールアミンで行い4級化して得られる強塩基性樹脂交換基は第4級アンモニウム基、スチレン-ジビニルベンゼン架橋共重合体で第1ないし第3級アミンを交換基とする弱塩基性樹脂、アクリル酸系架橋重合体で第3級アミンを交換基とする樹脂、ピリジル基または置換ピリジル基を有するポリマーからなるピリジン系アニオン交換樹脂などが知られている。このうち、本発明では交換基として第4級アンモニウム基を有する強塩基性アニオン交換樹脂が好ましく使用される。このような第4級アンモニウム基を交換基として有するアニオン交換樹脂としては、多くの種類のものが市販されている。たとえばダイヤイオンのPAシリーズたとえばPA316、PA416、SAシリーズたとえばSA10A、SA20A、アンバーライトのIRAシリーズたとえばIRA-400、IRA-410、IRA-900、IRA-904が代表例として挙げられる。これらの樹脂は一般に塩化物イオン型で上市されている。本発明で使用される炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂は、前記した塩化物イオン型などのアニオン交換樹脂を、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型に変換して使用する。なお、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型に変換する前のアニオン交換樹脂は、塩化物イオン型に限らず、水酸化物イオン型、フッ化物イオン型等であってもよい。本発明で使用される炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂の再生は、塩化物イオン型のアニオン交換樹脂を、水酸化物イオン型にアニオン交換樹脂を変換したのち、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型に変換することによって行われる。また、いったん使用した炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂の再生も、同様に水酸化物イオン型にアニオン交換樹脂を変換したのち、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型に変換することによって行われる。水酸化物イオン型アニオン交換樹脂への変換は、アニオン交換樹脂を下降流の強アルカリ水溶液再生剤で処理したのち、上昇流の超純水で処理する操作を一工程とし、その工程を2回以上繰り返すことによって再生されたものが好ましい。通常、アニオン交換樹脂と再生剤水溶液との接触は、再生剤水溶液を通液したのち、押し出し超純水で水洗することによって行われるが、本発明では特に2回以上、再生剤通液超純水水洗のサイクルを繰り返すことが望ましい。このように強アルカリ水溶液超純水通液を繰り返すことで、アニオン交換樹脂が収縮膨潤するため、交換樹脂の内部まで洗浄できる。強アルカリとしては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどの公知のアルカリが使用される。再生剤水溶液中の強アルカリ濃度としては、2~10重量好ましくは2~8重量の範囲にあるものが好適である。このような再生剤の使用量は、処理するアニオン交換樹脂の樹脂量体積の3倍以上、好ましくは4~12倍の範囲にあることが望ましい。このような再生剤の通液は、通常SV空間速度=1~5Hr1、BVBedVolumeイオン交換樹脂の体積の何倍量を処理したかを表す。単位はL/LR=0.5~1L/LRの下降流で行い、SV=10~30Hr1、BV=0.1~0.5L/LRの超純水上昇流を通液して洗浄する。また、再生剤および超純水通液後、さらに超純水の下降流および超純水の上昇流の通液を1工程とする超純水洗浄を、4回~9回繰り返し行い、再生後のイオン交換樹脂をさらに洗浄してもよい。超純水の上昇流通液は、SV=10~30Hr1、BV=3~5L/LRで行い、下降流通液は、SV=10~30Hr1、BV=3~5L/LRで行うことが望ましく、樹脂量に対し、30~60倍の体積の超純水で洗浄することが望ましい。次に、こうして水酸化物イオン型にしたアニオン交換樹脂を炭酸塩または炭酸水素塩水溶液再生剤で処理して炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂に変換再生する。本発明で使用される炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂は、上記で処理した水酸化物イオン型アニオン交換樹脂を下降流の炭酸塩または炭酸水素塩水溶液再生剤で処理したのち、上昇流の超純水で処理する操作を一工程とし、この工程を2回以上繰り返すことによって再生されたものが好ましい。炭酸塩および炭酸水素塩としては、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウムなどの公知の炭酸塩または炭酸水素塩が使用される。このように炭酸塩または炭酸水素塩水溶液超純水通液を繰り返すことで、前記したようにアニオン交換樹脂が収縮膨潤するため、交換樹脂の内部まで洗浄できる。再生剤水溶液中の炭酸塩または炭酸水素イオン濃度としては、5~15重量好ましくは5~12重量の範囲にあるものが好適に使用される。このような再生剤の使用量は、処理するアニオン交換樹脂の樹脂量体積の3倍以上、好ましくは4~12倍の範囲にあることが望ましい。このような再生剤の通液は、通常SV空間速度=1~5Hr1、BVBedVolumeイオン交換樹脂の体積の何倍量を処理したかを表す。単位はL/LR=0.5~1L/LRの下降流で行い、SV=10~30Hr1、BV=0.1~0.5L/LRの超純水上昇流を通液して洗浄する。また、再生剤および超純水通液後、さらに超純水の下降流および超純水の上昇流の通液を1工程とする超純水洗浄を、4回~9回繰り返し行い、再生後のイオン交換樹脂をさらに洗浄する。超純水の上昇流通液は、SV=10~30Hr1、BV=3~5L/LRで行い、下降流通液は、SV=10~30Hr1、BV=3~5L/LRで行うことが望ましく、樹脂量に対し、30~60倍の体積の超純水で洗浄することが望ましい。本発明において、過酸化水素水を炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂と接触させる方法は、通常、連続通液方式が採用され、アニオン交換樹脂層を通過させる過酸化水素水の通液は、空間速度SVが、5~40Hr1、好ましくは10~30Hr1の範囲で行うことが望ましい。このようなアニオン交換樹脂と過酸化水素水との接触は、樹脂の酸化劣化防止、接触時の分解ガスの発生防止および分解発熱などの安全上の面から、低温で行うことが好ましい。特に、H型カチオン交換樹脂で処理された過酸化水素水中には、過酸化水素の解離によって生じる以上のHが含まれていることがあり、このHとアニオン交換基のCO32またはHCO3とが中和反応して、発熱することがある。また、炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂と過酸化水素水とを接触させる場合、過酸化水素水の分解によって分解ガスが発生し、さらには分解発熱することもある。このため、アニオン交換樹脂で過酸化水素水を処理する場合には、過酸化水素水を5°C以下の低温に冷却しておくことが望ましい。フッ化物イオン型アニオン交換樹脂過酸化水素水を、H型カチオン交換樹脂と接触させた後、上記炭酸イオン型または炭酸水素イオン型アニオン交換樹脂を接触させる前に、フッ化物イオン型アニオン交換樹脂と接触させてもよい。フッ化物イオン型にしたアニオン交換樹脂と過酸化水素水とを接触させることにより、過酸化水素水中に溶解している溶解性シリカが、アニオン交換樹脂に捕捉され、除去される。フッ化物イオン型アニオン交換樹脂は、公知のアニオン交換樹脂を、フッ化物イオン型に再生したものである。公知のアニオン交換樹脂としては、前記したものと同様のものが挙げられる。本発明で使用されるフッ化物イオン型アニオン交換樹脂は、塩化物イオン型のアニオン交換樹脂、水酸化物イオン型、炭酸イオン型、炭酸水素イオン型等のいずれかを、フッ化物イオン型に変換することによって行われる。フッ化物イオン型アニオン交換樹脂に変換するために使用される再生剤としては、フッ化ナトリウム、フッ化カリウムおよびフッ化アンモニウムからなる群から選ばれる少なくとも一種のフッ素化合物が挙げられる。アニオン交換樹脂のフッ化物イオン型への変換は、アニオン交換樹脂に前記した再生剤を含む水溶液と接触させることにより行うことができる。アニオン交換樹脂と再生剤水溶液との接触方法は、連続通液方式でカラムにアニオン交換樹脂を充填し再生剤を含む水溶液を通液した後、超純水を通水して、アニオン交換樹脂を充分に水洗する方法が効果的である。再生剤濃度は通常1~4重量、望ましくは2~4量であり、通液させる再生剤水溶液量は、樹脂量体積の3倍以上、好ましくは4~12倍の範囲にあることが望ましい。本発明では、アニオン交換樹脂をフッ化物イオン型に変換する際に、このような再生剤水溶液の通液と超純水の通液を2回以上繰り返すことが望ましく、具体的には、再生剤水溶液の下降流通液と超純水の上昇流通液を2回以上繰り返すことが望ましい。このようにフッ素化合物水溶液超純水通液を繰り返すことで、アニオン交換樹脂が収縮膨潤するため、交換樹脂の内部まで洗浄できる。このような再生剤の通液は、通常SV空間速度=1~5Hr1、BVBedVolumeイオン交換樹脂の体積の何倍量を処理したかを表す。単位はL/LR=0.5~1L/LRの下降流で行い、SV=10~30Hr1、BV=0.1~0.5L/LRの超純水上昇流を通液して洗浄する。また、再生剤および超純水通液後、さらに超純水の下降流および超純水の上昇流の通液を1工程とする超純水洗浄を、4回~9回繰り返し行い、再生後のイオン交換樹脂をさらに洗浄する。超純水の上昇流通液は、SV=10~30Hr1、BV=3~5L/LRで行い、下降流通液は、SV=10~30Hr1、BV=3~5L/LRで行うことが望ましく、樹脂量に対し、30~60倍の体積の超純水で洗浄することが望ましい。なお、フッ化物イオン型のアニオン交換樹脂で処理する場合、過酸化水素水は分解しないため、炭酸塩型または重炭酸塩型アニオン交換樹脂のように、過酸化水素水と接触させる際に、冷却する必要はない。本発明において、過酸化水素水をフッ化物イオン型アニオン交換樹脂と接触させる方法は、通常、連続通液方式が採用され、アニオン交換樹脂層を通過させる過酸化水素水の通液は、空間速度SVが、5~40Hr1、好ましくは10~30Hr1の範囲で行うことが望ましい。フッ化物イオン型アニオン交換樹脂で処理された精製過酸化水素水中には、イオン交換によって生じたフッ化物イオンが含まれているが、このフッ化物イオンは、前記炭酸塩または重炭酸塩型などのアニオン交換樹脂と接触させることによって除去することができる。以上のように、アニオン交換樹脂と過酸化水素水とを接触させることによって、溶解性シリカおよびアニオン性の金属錯体不純物や他のアニオン類および使用したH型カチオン交換樹脂に起因する硫酸イオンなどが除去される。H型カチオン交換樹脂処理2段目こうしてアニオン交換樹脂と過酸化水素水とを接触させたのち、再度、H型カチオン交換樹脂と過酸化水素水とを接触させてもよい。H型カチオン交換樹脂としては、前記したものと同様のものが使用される。過酸化水素水をカチオン交換樹脂と接触させる方法は、前記したように連続通液方式で行われ、H型カチオン交換樹脂層を通過させる過酸化水素水は、空間速度SVが、5~40、好ましくは10~30Hr1の範囲で行うことが望ましい。本発明では、アニオン交換樹脂で処理した過酸化水素水をさらにH型カチオン交換樹脂で処理している。このように、再度H型カチオン交換樹脂で処理することによって、アニオン交換樹脂中に不純物として含まれる微量のNa、K、Al3などが除去できるので、極めて高レベルpptないしサブpptオーダーまで金属イオン不純物を除去できる。なお、除去されるべきNa、K、Al3などのカウンターイオンは炭酸イオンまたは炭酸水素イオンであり、これらはカチオン交換後に二酸化炭素となって揮散し、過酸化水素水中には残存しない。なお、2段目のH型カチオン交換樹脂で過酸化水素水の処理を行わないと、不純物として含まれる微量の金属イオンを除去できないことがある。以上のような操作によって、安定剤、金属イオン不純物が極めて少ない高純度精製過酸化水素水を製造することができる。図1は、本発明の処理装置における一態様を示し、濃縮タンク1、高圧ポンプ2、逆浸透膜モジュール3、循環ライン4を備えてなる。逆浸透膜モジュールには、圧力バルブおよび精製された過酸化水素水の排出口が適宜設けられている。原料の工業用過酸化水素水は濃縮タンク1からポンプ2によって逆浸透膜モジュール3に送られる。過酸化水素水は循環するものと透過するものに分かれる。一部の過酸化水素水は逆浸透膜を透過して、次工程であるイオン交換樹脂処理5に送液される。同時に、安定剤と残りの過酸化水素は循環ラインを通り、濃縮液として濃縮タンク1に戻され、原料の工業用過酸化水素水と混合され、また再度逆浸透膜モジュール3へ供給される。逆浸透膜で分離された濃縮過酸化水素水の割合は、逆浸透膜へ供給された過酸化水素水量の1~60であることが好ましい。特に40~60であれば安定剤の除去効率が高い。また、安定剤が濃縮された過酸化水素水は装置の外に分離し、蒸留等などの処理を行い、再生するのが一般的であるが、ここでは濃縮タンク1へ戻し、濃縮タンク量の20倍量ぐらいの透過過酸化水素水が得られる毎に、逆浸透膜処理を停止し、濃縮タンク1内の安定剤が大量に濃縮された濃縮過酸化水素水を定期的に抜き出すことにしてもよい。このようにすると濃縮タンク1から定期的に抜き取られた再処理蒸留やイオン交換樹脂処理する必要のある濃縮過酸化水素水の量はかなり少ないので、再処理時間も短縮できる。逆浸透膜を透過して、次工程であるイオン交換樹脂処理に、ライン4をとおり、送液される。過酸化水素水はイオン交換処理としては特に制限されないが、通常イオン交換筒5を通液して精製過酸化水素水が得られる。イオン交換筒5はカラムあるいはボンベでも良く、材質はテフロンコーティングしたステンレスあるいはテフロンライニングしたステンレスあるいはPFAやPTFEなどのテフロン材が望ましい。イオン交換樹脂は合理的な処理法に従って再生し再利用することができる。本発明に係る過酸化水素水の精製装置としては、安定剤を含む原料過酸化水素水を、カチオンイオン交換樹脂および/またはアニオンイオン交換樹脂が充填された精製塔を使用して、過酸化水素水を精製する過酸化水素水の精製装置であって、工業用過酸化水素水中に含まれる安定剤の70重量以上を除去するための、逆浸透膜が充填されてなるモジュールと、イオン交換処理用の交換塔およびこれらを連結送液するためのラインおよび圧縮ポンプを備えてなる。このような装置の概略は前記図1に示される。以上のような本発明の精製過酸化水素水の製造方法および製造装置によれば安定度が98以上、さらには99以上、特に99.5以上の精製過酸化水素水が得られる。実施例以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はかかる実施例に何ら限定されるものではない。なお、実施例比較例の安定度は、特開2002122586号公報に記載された測定方法に基づいて行った。具体的にはJISK1463に準拠した試験方法で行った。すなわち、31.51重量の過酸化水素水を、合成石英ガラス製メスフラスコ50ml容量に、標線まで入れたのち、上記冷却管の嵌合部を合成石英ガラス製メスフラスコ開口部に嵌合し、沸騰水浴内で、標線が水面化に没するように保持しながら5時間加熱した。加熱後、合成石英ガラス製メスフラスコに連通した冷却管を取り外し、合成石英ガラス製メスフラスコを氷水で冷却したのち、取り出して室温20±3°Cに1時間放置し、次いで、合成石英ガラス製メスフラスコ内に充填された安定度試験後の過酸化水素水を約1ml採取し、01mgのオーダーまで精秤したのち、250mlの硬質ガラス製メスフラスコに移し、標線まで、イオン交換水を加え、均一に混合した。硬質ガラス製メスフラスコ内の試料過酸化水素水から20mlを、200ml容量のコニカルビーカーに分取し、硫酸115を20ml加え、0.02mol/Lの過マンガン酸カリウム水溶液で滴定し、終点近くになってから約70°Cに加熱し、30秒間微紅色を保持するまで0.02mol/Lの過マンガン酸カリウム水溶液で滴定して、安定度試験後の過酸化水素の濃度を求めた。[実施例1]安定剤が添加されている35工業用過酸化水素水中の金属不純物分析を行った。各金属不純物の濃度はAl900ppbCr1ppb以下Cu1ppb以下Fe4ppb以下Na8ppmMg6ppbP10ppmであり、Na,Pは安定剤由来である。この工業用過酸化水素水を逆浸透膜で圧力13MPa、温度25~29°Cで処理し、透過液として得た過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂に通液し、ついで強塩基性アニオン交換樹脂に通液した。このイオン交換樹脂の出口から任意の処理量でサンプリングを行い金属不純物の濃度を測定した。逆浸透膜には東レ社製のSU710を使用した。結果、100時間通液しても全ての金属不純物が1ppb以下であった。更にこの過酸化水素水を95°Cで5時間加熱し、加熱前後の濃度減少率を評価して安定度を求めた。結果、安定剤由来のNaやPが1ppb以下と安定剤が除去された状態にも関わらず999の安定度であった。[実施例2]実施例1と同じ工業用過酸化水素水を用いて、逆浸透膜に東レ社製のSULG10を使用した以外は全て同一の条件として、強酸性カチオン交換樹脂の出口の金属不純物濃度及び安定度を評価した。その結果、100時間通液しても全ての金属不純物が1ppb以下であり、また安定度は998であった。[比較例1]実施例1と同じ工業用過酸化水素水を用いて、逆浸透膜処理を行わず005μmのテフロンフィルターでろ過した過酸化水素水を実施例1と同一の条件でイオン交換樹脂に通液し、出口から任意の処理量でサンプリングを行い金属不純物の濃度を測定した。結果、30時間目までは全ての金属不純物が1ppb以下であったが、その後は徐々にNa濃度が上昇し、70時間目には1ppmとなり、P濃度は82時間目で600ppbであった。その他の元素については90時間通液しても1ppb以下であった。82時間目の過酸化水素水は安定剤成分がリークしたことにより980の安定度であった。"