"下記のA成分をベースポリマーとして含有するとともに、下記のB~F成分を含有し、上記A成分とC成分の配合割合が、C成分のエポキシ基のモル数/A成分のカルボキシル基のモル数=1~1.5となるように設定されていることを特徴とする感光性接着剤組成物。A分子中にカルボキシル基とラジカル重合性基とウレタン結合とを有するポリマー。B分子中にカルボキシル基を有しないウレタンメタアクリレートポリマー。Cエポキシ樹脂。D光重合開始剤。E熱硬化促進剤。F吸水性付与用ラジカル重合制御剤。上記F成分の吸水性付与用ラジカル重合制御剤の含有量が、組成物全体に対し0.005~0.07重量に設定されている請求項1記載の感光性接着剤組成物。上記F成分の吸水性付与用ラジカル重合制御剤が、多環芳香族化合物である請求項1または2記載の感光性接着剤組成物。組成物が、実質的に無機質充填剤を含有しないものである請求項1~3のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物。上記A成分のベースポリマーが、カルボキシル基含有ウレタンメタアクリレートポリマーである請求項1~4のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物。請求項1~5のいずれか一項に記載された感光性接着剤組成物を用いてなる中空部材であって、上記感光性接着剤組成物からなる接着層が、露光による硬化によって平面視環状に形成されており、上記環状接着層の環状面を利用して複数の部材が接合され、上記環状接着剤層の枠部と、接合された部材とでつくられる空間によって中空部が形成されていることを特徴とする中空部材。上記接着層の吸水率が、60°C×湿度90RHの雰囲気下で20時間放置後において、3.0~5.0重量となるよう設定されている請求項6記載の中空部材。そこで、先に開発した感光性接着剤組成物を、上記MEMSデバイスも含めて各種電子部品のシール材として広く提供していくには、この感光性接着剤組成物を用いた中空部材において、結露が生じないようにすることが重要な課題であることが判明した。本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、パターン形成が可能で、しかも微細な凹凸に対する優れた追従性と高い接着力を兼ね備えているだけでなく、中空部材に適用した場合に、その中空部に結露を生じることのない、優れた感光性接着剤組成物と、それを用いて得られる中空部材の提供をその目的とする。上記の目的を達成するために、本発明は、下記のA成分をベースポリマーとして含有するとともに、下記のB~F成分を含有し、上記A成分とC成分の配合割合が、C成分のエポキシ基のモル数/A成分のカルボキシル基のモル数=1~1.5となるように設定されている感光性接着剤組成物を第1の要旨とする。A分子中にカルボキシル基とラジカル重合性基とウレタン結合とを有するポリマー。B分子中にカルボキシル基を有しないウレタンメタアクリレートポリマー。Cエポキシ樹脂。D光重合開始剤。E熱硬化促進剤。F吸水性付与用ラジカル重合制御剤。そして、本発明は、そのなかでも、特に、上記F成分の吸水性付与用ラジカル重合制御剤の含有量が、組成物全体に対し0.005~0.07重量に設定されている感光性接着剤組成物を第2の要旨とし、上記F成分の吸水性付与用ラジカル重合制御剤が、多環芳香族化合物である感光性接着剤組成物を第3の要旨とする。また、本発明は、それらのなかでも、特に、組成物が、実質的に無機質充填剤を含有しないものである感光性接着剤組成物を第4の要旨とし、上記A成分のベースポリマーが、カルボキシル基含有ウレタンメタアクリレートポリマーである感光性接着剤組成物を第5の要旨とする。さらに、本発明は、上記第1~第5のいずれかの要旨である感光性接着剤組成物を用いてなる中空部材であって、上記感光性接着剤組成物からなる接着層が、露光による硬化によって平面視環状に形成されており、上記環状接着層の環状面を利用して複数の部材が接合され、上記環状接着剤層の枠部と、接合された部材とでつくられる空間によって中空部が形成されていることを特徴とする中空部材を第6の要旨とする。また、本発明は、そのなかでも、特に、上記接着層の吸水率が、60°C×湿度90RHの雰囲気下で20時間放置後において、3.0~5.0重量となるよう設定されている中空部材を第7の要旨とする。なお、本発明において、メタアクリレートとは、その記載部分がアクリレートである場合とメタクリレートである場合の双方を含む趣旨で用いている。すなわち、本発明者らは、露光現像によるパターン形成が可能で、そのパターン形成後も高い接着力と微細な凹凸への追従性を備え、しかも中空部材に適用した場合に結露を生じることのない、優れた感光性接着剤組成物を得るために、一連の研究を重ねた。その結果、先に開発した感光性接着剤組成物において、無機質充填剤を添加して接着剤組成物の吸水率を下げることによって結露を防止するのではなく、逆に、接着剤組成物の吸水性能を高め、中空部材に適用した場合に結露の原因となる、内部に存在する水分を、接着剤組成物自体に吸着保持させることによって、結露を防止することができることを見いだし、本発明に到達した。本発明の樹脂組成物は、ベースポリマーとしてカルボキシル基とラジカル重合性基とウレタン結合とを有する特殊なポリマーAと、光重合開始剤Dとが用いられているため、露光現像によるパターン形成が可能な感光性を備えている。しかも、上記ベースポリマーAはウレタン結合を有するため、ウレタンメタアクリレートポリマーBの存在と相俟って、全体に柔軟性が高められており、微細な凹凸等への追従性が非常に高いという優れた特性を備えている。そして、光照射によっては変化しないエポキシ樹脂Cと熱硬化促進剤Eとが用いられているため、パターン形成後の加熱時に、この両者と上記特殊なポリマーAのカルボキシル基とが反応して、優れた接着機能が発現するようになっている。さらに、吸水性付与用ラジカル重合制御剤Fが用いられ、この吸水性付与用ラジカル重合制御剤の作用により、組成物硬化後の吸水率が高められている。したがって、本発明の感光性接着剤組成物を用いて、ガラス基板、有機基板、シリコン基板等の第1の被着体上に、接着剤層をパターン形成し、空間となる開口部を設けた後、この上に、固体撮像素子や各種センサ等の第2の被着体を熱圧着するようにすると、このとき、感光性接着剤組成物には、光照射では反応しない未反応のエポキシ樹脂が存在するため、組成物が流動性を有し、被着体の凹凸に追従して上記空間の周囲を完全にシールした状態で両者の接着を、強固に行うことができる。そして、上記感光性接着剤組成物からなる接着層シール部分の吸水率が高められているため、上記開口部等の中空構造において、存在する水分が、この部分を囲う接着剤層の内部に吸着保持されて、結露が防止されるという利点を有する。なお、本発明の感光性接着剤組成物のなかでも、特に、上記F成分の吸水性付与用ラジカル重合制御剤の含有量を、組成物全体に対し0.005~0.07重量に設定したものは、とりわけ優れた結露防止性能とシール性能とを備えたものとなり、好適である。そして、本発明の感光性接着剤組成物のなかでも、特に、上記F成分の吸水性付与用ラジカル重合制御剤として、多環芳香族化合物を用いたものは、とりわけ吸水性能の向上効果に優れ、好適である。さらに、本発明の感光性接着剤組成物のなかでも、特に、この組成物が、実質的に無機質充填剤を含有しないものである場合には、この組成物を用いてMEMSデバイスを作製した場合等において、上記無機質充填剤が素子上に残留付着して動作不良を招く等の不具合がなく、より高品質の製品を提供することができる。なお、上記実質的に無機質充填剤を含有しないとは、本発明の感光性接着剤組成物の調製において、その組成物材料として無機質充填剤を含有させないという趣旨であり、組成物の調製過程やその後の工程において、無機質充填剤に相当する無機物質がごくわずかに紛れ込んだ場合等は、実質的に含有しないものとする。また、本発明の感光性接着剤組成物のなかでも、特に、上記A成分のベースポリマーとして、カルボキシル基含有ウレタンメタアクリレートポリマーを用いたものは、とりわけ熱圧着時の柔軟性、凹凸への追従性に優れたものとなり、好適である。そして、本発明の中空部材のなかでも、特に、上記接着層の吸水率が、60°C×湿度90RHの雰囲気下で20時間放置後において、3.0~5.0重量となるよう設定されているものは、とりわけ、接着層に囲まれた中空部における結露防止性能に優れ、かつシール性能にも優れたものとなり、好適である。本発明の感光性樹脂組成物は、A分子中にカルボキシル基とラジカル重合性基とウレタン結合とを有するポリマーをベースポリマーとして用い、さらに、B分子中にカルボキシル基を有しないウレタンメタアクリレートポリマーと、Cエポキシ樹脂と、D光重合開始剤と、E熱硬化促進剤と、F吸水性付与用ラジカル重合制御剤とを用いて得られるものである。まず、ベースポリマーとして用いられるポリマーAは、その分子中に、Cのエポキシ樹脂のエポキシ基と反応して接着性を発現するためのカルボキシル基と、主として光触媒によって重合反応を生起してパターン形成するためのラジカル重合性基と、光硬化後の樹脂に柔軟性を付与して被着体の凹凸に沿わせるためのウレタン結合とを有するものである。このようなポリマーAとしては、ラジカル重合性を有するエチレン性不飽和モノマーと、メタアクリル酸やカルボキシル基含有スチレン誘導体、無水マレイン酸等のカルボキシル基導入モノマーと、ウレタン結合を形成するための有機イソシアネートと、ポリオールとを組み合わせてなるウレタンオリゴマーもしくは反応性ポリウレタンがあげられる。上記エチレン性不飽和モノマーとしては、各種のオレフィン系モノマーが用いられるが、なかでも、メタアクリレートが好適に用いられる。例えば、メタアクリル酸メチルエステル、メタアクリル酸エチルエステル、メタアクリル酸ブチルエステル等のメタアクリル酸のアルキルエステル、メタアクリル酸2-エチルヘキシルエステル、メタアクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、メタアクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、メタアクリル酸ジエチルアミノエチルエステル等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。また、上記有機イソシアネートとしては、分子内に反応性のイソシアネート基を2個以上有する各種の有機ポリイソシアネートを用いることができる。例えば、1,5-ナフチレンジイソシアネート、4,4′-ジフェニルメタンジイソシアネート、4,4′-ジフェニルジメチルメタンジイソシアネート、4,4′-ジベンジルイソシアネート、ジアルキルジフェニルメタンジイソシアネート、テトラアルキルジフェニルメタンジイソシアネート、1,3-フェニレンジイソシアネート、1,4-フェニレンジイソシアネート、ブタン-1,4-ジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、シクロヘキサン-1,4-ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン-4,4′-ジイソシアネート、1,3-ビスイソシアネートメチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキサンジイソシアネート等や、それらジイソシアネートから得られる三量体、上記ジイソシアネート類をトリメチロールプロパン等の多価アルコールと反応させたプレポリマー、ポリメチレンポリフェニルポリイソシアネート等があげられ、これらは単独で用いても2種以上を併用してもよい。また、上記有機イソシアネートとともに用いられるポリオールとしては、例えば、ポリエーテルポリオール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリカプロラクタンポリオール、ポリエステルポリオール等があげられ、単独で用いても2種以上を併用してもよい。なお、前記エチレン性不飽和モノマーとして、水酸基を含有するモノマーを用いる場合は、上記ポリオールを用いる必要はなく、上記モノマーの水酸基を利用して、ウレタン結合を形成することができる。このような水酸基含有エチレン性不飽和基としては、例えば、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、4-ヒドロキシブチルメタアクリレート等の2-ヒドロキシアルキルメタアクリレート類、ε-カプロラクトン縮合物、ポリエチレングリコールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタアクリレート、2-ヒドロキシフェノキシプロピルメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、エポキシ樹脂とメタアクリル酸等との反応により得られるエポキシメタアクリレート等があげられる。これらも、単独で用いても2種以上を併用してもよい。これらを用いて得られるポリマーAとしては、特に、カルボキシル基含有ウレタンメタアクリレートポリマーが好ましく、そのなかでも特に、メタアクリレート当量が550~4,400g/当量であることが好ましい。また、酸価は20~75KOHmg/gであることが好ましく、その重量平均分子量は12,000~37,000であることが好ましい。すなわち、上記メタアクリレート当量が550g/当量未満では、弾性率が上がり、凹凸への追従性が低下するという傾向がみられ、逆に4,400g/当量を超えると、パターン形成性が低下するという傾向がみられるため、好ましくない。そして、酸価が20KOHmg/g未満では、現像性アルカリ性水溶液への溶解性が低下するという傾向がみられ、逆に75KOHmg/gを超えると、吸水率が高くなるという傾向がみられるため、好ましくない。さらに、その重量平均分子量が12,000未満では、感光性接着剤組成物の粘度が低下し、塗膜形成が困難になるおそれがあり、逆に37,000を超えると、現像性アルカリ性水溶液への溶解性が低下するおそれがあるため、好ましくない。一方、本発明に用いられる、分子中にカルボキシル基を有しないウレタンメタアクリレートポリマーBは、上記ポリマーAのウレタン結合と同様、光硬化後の樹脂に柔軟性を付与して被着体の凹凸に沿わせることを目的として配合されるもので、ポリマーAの場合と同様の、メタアクリル酸や各種のメタアクリレートと、ウレタン結合を形成するための有機イソシアネートと、ポリオールとを組み合わせてなるウレタンオリゴマーもしくは反応性ポリウレタンを用いて得ることができる。上記ウレタンメタアクリレートポリマーBのなかでも、特に、メタアクリレート当量が1,000~30,000g/当量、重量平均分子量が2,500~50,000のものが好ましい。すなわち、上記メタアクリレート当量が1,000g/当量未満では、光硬化後の弾性率が上がり、凹凸追従性が低下するという傾向がみられ、逆に30,000g/当量を超えると、パターン形成性が低下するという傾向がみられるため、好ましくない。そして、その重量平均分子量が2,500未満では、感光性接着剤組成物の粘度が低下し、塗膜形成が困難になるおそれがあり、逆に、50,000を超えると、上記ポリマーAとの相溶性が低下するおそれがあるため、好ましくない。さらに、本発明に用いられるエポキシ樹脂Cは、露光硬化後の熱圧着時に、前記ポリマーAに含有されるカルボキシル基と反応して優れた接着性を発現させるためのもので、例えば、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビフェニル型、ノボラック型またはフルオレン型のグリシジルエーテル型エポキシ樹脂や、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂、ビスフェノールF型フェノキシ樹脂等があげられる。なお、上記フェノキシ樹脂とは、ビスフェノールAやビスフェノールFとエピクロルヒドリンとを反応させ、分子量を格段に大きくしたエポキシ樹脂をいう。これらのエポキシ樹脂は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。そして、上記エポキシ樹脂のなかでも、特に、エポキシ当量が100~500g/当量であることが好ましい。すなわち、エポキシ当量が100g/当量未満では、感光性接着剤組成物の粘度が低下し、塗膜形成が困難になるという傾向がみられ、逆に500g/当量を超えると、現像性アルカリ性水溶液への溶解性が低下するという傾向がみられるため、好ましくない。なお、前記ポリマーAと上記エポキシ樹脂Cとの組成比は、ポリマーAのカルボキシル基とエポシキ樹脂Cのエポキシ基の割合によって決まり、上記エポキシ樹脂Cのエポキシ基のモル数/ポリマーAのカルボキシル基のモル数=1~1.5となる割合に設定することが必要である。すなわち、上記範囲よりもカルボキシル基が多いと、後述する吸水性付与用ラジカル重合制御剤Fによる吸水性能向上効果と相俟って、吸水率が増加しすぎてトラブルを生じやすく、逆にエポキシ基が多いと、熱圧着前の弾性率が大きくなって、感光性接着剤組成物が微細な凹凸に追従しにくくなるとともに、露光後現像時にパターンが白濁して光学的な品質が悪くなるからである。さらに、本発明に用いられる光重合開始剤Dとしては、例えば、置換または非置換の多核キノン類2-エチルアントラキノン、2-t-ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等、α-ケタルドニルアルコール類ベンゾイン、ピバロン等、エーテル類、α-炭化水素置換芳香族アシロイン類α-フェニル-ベンゾイン、α,α-ジエトキシアセトフェノン類等、芳香族ケトン類ベンゾフェノン、N,N′-テトラエチル-4,4′-ジアミノベンゾフェノン等の4,4′-ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等、チオキサントン類2-メチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、2-エチルチオキサントン等、2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-モルホリノプロパン-1-オン等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。上記光重合開始剤Dは、通常、A成分とB成分の合計量に対し、1.0~2.0重量の範囲内で用いることが好適である。そして、本発明の感光性樹脂組成物に用いられる熱硬化促進剤Eとしては、エポキシ樹脂を熱硬化させるための促進剤として、例えば、イミダゾール系、アミン系、リン系トリフェニルフォスフィン等を使用することができる。上記熱硬化促進剤Eは、通常、C成分に対し、2.5~4.0重量の範囲内で用いることが好適である。さらに、本発明の感光性接着剤組成物に用いられる吸水性付与用ラジカル重合制御剤Fは、感光性接着剤組成物から得られる接着層の吸水性能を高める作用を果たすものであり、例えば、露光による硬化時に、そのラジカル重合を制御するような特性を示すものがあげられる。すなわち、感光性接着剤組成物が露光により硬化する際、ラジカル重合の進行により緻密な高分子構造が形成されていく過程で、部分的に、そのラジカル重合を制限することによって、疎となる部分をつくり、その疎の部分に、水分を吸収保持させることができるため、その吸水性能を高めることができるのである。このような吸水性付与用ラジカル重合制御剤Fとしては、例えば、t-ブチルカテコール等のカテコール類、ヒドロキノン、メチルヒドロキノン、t-ブチルヒドロキノン、p-メトキシフェノール等のヒドロキノン類、メトキノン等のアルコキシキノン類、p-ベンゾキノン、メチル-p-ベンゾキノン、t-ブチル-p-ベンゾキノン等のベンゾキノン類、2-ヒドロキシ-1,4-ナフトキノン等のナフトキノン類、アントラセン類、アントラキノン類等があげられる。これらのなかでも、特に、重合制御性の観点から、ヒドロキノン類、ナフトキノン類が好適であり、なかでも、多環芳香族構造を有するものが、特に好ましい。そして、上記吸水性付与用ラジカル重合制御剤Fの含有量は、組成物全体に対し、0.005~0.07重量に設定することが好適で、より好ましくは、0.01~0.06重量である。すなわち、上記F成分の含有量が少なすぎると、企図する吸水性向上効果が充分に得られないおそれがあり、逆に多すぎると、それ以上の吸水性能向上効果は得られない半面、露光現像によるパターン形成時に、精密なパターン形状が得られにくくなる傾向がみられるからである。また、本発明の感光性接着剤組成物には、上記必須成分以外に、必要に応じて、他の添加剤、例えば、フタロシアニングリーン,フタロシアニンブルー等の顔料、シリカ,硫酸バリウム,タルク等の充填剤、消泡剤、レベリング剤、難燃剤、安定剤、2-アミノ-5-メルカプト-1,3,4-チアジアゾールや5-アミノ-1-H-テトラゾール等の密着性付与剤、ベンゾトリアゾール等の防錆剤、ブロックイソシアネート等の熱架橋剤等を適宜配合することができる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。そして、これらの他の添加剤は、組成物全体の0.01~20重量の範囲内で用いることが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、これらの成分を、有機溶剤中に所定の割合で投入し、混合することにより、ワニスとして用いることができる。上記有機溶剤としては、例えば、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ソルベントナフサ、N-メチルピロリドン、γ-ブチロラクトン、ブチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ、トルエン、キシレン、メシチレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等の溶剤またはこれらの混合溶剤を用いることができる。なお、上記有機溶剤の使用量は、感光性樹脂組成物の付与作業の容易性と付与後の乾燥時間とを考慮して、適宜に設定することができる。このようにして得られる感光性樹脂組成物ワニスを、基板等の表面に所定厚みで付与し、露光による硬化現像後、その上に所定の被着体を重ねて熱圧着することにより、被着体を密着させることができる。このとき、上記感光性接着剤組成物は、露光による硬化後であっても柔軟な物性を有しているため、被着体の接着面に微細な凹凸があっても、凹凸に隙間なく入り込んだ状態で、接着力を発揮し、両者を強固に密着させることができる。したがって、本発明の感光性接着剤組成物は、各種電子部品用シール材として優れた性能を発揮することができる。しかも、上記感光性接着剤組成物によって形成された接着層は、その光硬化特性を利用して、フォトリソグラフィ工程によって、予めパターン形成を行い、平面視が四角枠形状等の環状となるようにして、その環状枠部で囲われた部分によって、中空部を形成することができる。したがって、この感光性接着剤組成物は、素子の表面に一定の空間ギャップを設ける必要のあるイメージセンサ素子やSAWSurfaceAcousticWave:表面弾性波フィルタ素子のパッケージを構成するのに非常に有用である。そして、このような中空部材に適用した場合、上記接着層が、前記吸水性付与用ラジカル重合制御剤Fの含有によって、吸水性能が高められているため、上記中空部に存在する水分が、この部分を囲う接着層の内部に吸着保持されて、結露が防止されるという利点を有する。ちなみに、本発明の感光性接着剤組成物を用いて、例えばつぎのようにして、イメージセンサ素子のパッケージングを行うことができる。すなわち、まず、本発明の感光性接着剤組成物を有機溶剤と混合してワニスを調製する。そして、これを剥離紙上に所定厚みで付与し、有機溶剤を乾燥除去することにより、未硬化の、粘着性ある感光性接着剤層シートを形成する。そして、この感光性接着剤層1を、図1aに示すように、光学ガラスからなるウェーハ2の表面に転写する。そして、フォトマスクを利用して露光し、感光性接着剤層1のうち、目的とするパターン部分を光硬化させる。図1bにおいて、露光によって光硬化した部分を細かい斜線Pで示す。なお、上記露光のための光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハイドライドランプ等の紫外線を有効に照射するものが用いられる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に照射するものも用いられる。つぎに、アルカリ性水溶液等の現像液を用いて、例えば、スプレー,揺動浸漬,ブラッシング,スクラッピング等の公知の方法により、上記感光性接着剤層1の未硬化部分を除去して現像し、図1cに示すように、目的とするパターンこの例では、縦横に正方形の枠が並ぶパターンを形成することができる。なお、上記現像液としては、例えば、0.1~5重量炭酸ナトリウムの希薄溶液、0.1~5重量炭酸カリウムの希薄溶液、0.1~5重量水酸化ナトリウムの希薄溶液、0.1~5重量四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液、0.008~0.04重量テトラメチルアンモニウムの希薄溶液等を用いることができる。一方、図1dに示すように、別途シリコンウェーハ3を用意し、その表面に、上記感光性接着剤層1のパターンの、正方形の各枠内に収まる配置でイメージセンサ素子4を規則的に設ける。そして、これを、上記パターン形成された感光性接着剤層1の上方に、正確に位置決めして対峙させる。そして、対峙された両者を貼り合わせ、例えば90~200°C、より好ましくは100~160°C、0.1~6N/m2、より好ましくは0.5~3N/m2の加熱加圧条件で、両者を熱圧着する。この熱圧着時の熱によって、ポリマーAのカルボキシル基とエポキシ樹脂Cとが反応して完全に硬化するとともに、両者の界面で強固な接着力を発現する。ただし、上記熱圧着時の加熱温度は、被着体が熱的ダメージを受けて損傷しないようできるだけ低く設定することが好ましい。そして、上記熱圧着によって強固に接着され一体化された積層物を、図2aに示すように、鎖線Qで示す切断ラインに沿って、個々にダイシングして、目的とするイメージセンサ素子4のパッケージ品を得ることができる。得られたパッケージ品を図2bに示す。このものは、イメージセンサ素子4の上部が中空で、その周囲が、本発明の感光性接着剤組成物によって形成された枠状の接着層によって強固に接着され密封されているとともに結露防止がなされているため、高品質のものとなる。また、本発明の感光性接着剤組成物を用いて、例えばつぎのようにして、SAWフィルタ素子のパッケージングを行うことができる。すなわち、まず、表面にSAWフィルタ素子図示せずが形成されたシリコンウェーハ10を準備し、図3に示すように、その上に、前記イメージセンサ素子のパッケージングの場合と同様にして、感光性接着剤組成物をシート状に成形してなる感光性接着剤層1を転写して積層する。そして、前記の場合と同様、フォトマスクを利用して露光し、感光性接着剤層1のうち、目的とするパターン部分を光硬化させる。図4aにおいて、露光によって光硬化した部分を細かい斜線Pで示す。つぎに、アルカリ性水溶液等の現像液を用いて、前記と同様にして、上記感光性接着剤層1の未硬化部分を除去して現像し、図4bに示すように、目的とするパターンバンプ形成予定部のウェーハ面が露出するよう、その周囲を環状に囲ったパターンを形成することができる。つぎに、上記パターンのバンプ形成予定部に、図4cに示すように、はんだを用いてバンプ11を形成する。そして、図4dに示すように、上記バンプ11が形成されたシリコンウェーハ10を、上下逆にして、別途用意される基板12に対峙させ、基板12側の導線パターンと上記バンプ11とを正確に位置決めする。そして、両者を貼り合わせ、例えば100~160°C、0.5~3N/m2の加熱加圧条件で、両者を熱圧着する。この熱圧着時の熱によって、ポリマーAのカルボキシル基とエポキシ樹脂Cとが反応して完全に硬化するとともに、両者の界面で強固な接着力を発現する。つぎに、上記熱圧着によって強固に接着され一体化された積層物を、鎖線Qで示す切断ラインに沿って、個々にダイシングして、目的とするSAWフィルタ素子のパッケージ品を得ることができる。得られたパッケージ品を図4eに示す。このものは、SAWフィルタ素子の上部が中空で、その周囲が感光性接着剤層1によって強固に接着され密封されているとともに結露防止がなされているため、高品質のものとなる。特に、従来の感光性接着剤組成物を用いて同様の構成のものを得ようとしても、露光後の感光性接着剤層1の粘弾性が低く、凹凸に追従しにくいため、図5aに示すように、バンプ11の周囲と感光性接着剤層1との間に隙間が生じて、接続信頼性が損なわれやすいという問題がある。これに対し、本発明の感光性接着剤組成物を用いた感光性接着剤層1によれば、図5bに示すように、バンプ11の周囲に感光性接着剤層1が完全に充填されて強固に接着するため、高い接続信頼性を実現することができる。また、無機質充填剤を配合しなくても結露防止性能に優れているため、MEMSデバイス等に広く適用することができる。つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。実施例1~8、比較例1~4後記の表1~表3に示す組成の感光性接着剤組成物を調製し、感光性接着剤組成物100重量部と、45重量部のメチルエチルケトンとを混合してワニスを得た。そして、シリコーン樹脂で剥離処理されたPETフィルム上に上記ワニスを、乾燥後の厚みが50μmとなるように付与し乾燥することにより、感光性接着シートを作製した。なお、上記感光性接着剤組成物の調製に用いた成分の詳細は、下記のとおりである。A成分カルボキシル基含有ウレタンアクリレートポリマー:UN-5507、根上工業社製酸価72KOHmg/g、カルボキシル基のモル数1.28×103モル/g、重量平均分子量17000B成分カルボキシル基非含有ウレタンアクリレートポリマー:UN-333、根上工業社製二重結合当量2500g/当量C成分エポキシ樹脂:ジシクロペンタジエンエポキシ樹脂、HP-7200、大日本インキ社製エポキシ当量263g/当量、エポキシ基のモル数3.80×103モル/gD成分光重合開始剤:2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルホリノフェニル-ブタノン-1、イルガキュア登録商標369、チバジャパン社製E成分熱硬化促進剤:イミダゾールシラン、IM-100F、JX日鉱日石金属旧日鉱マテリアル社製F成分吸水性付与用ラジカル重合制御剤:2-ヒドロキシ-1,4-ナフトキノン、キノパワーLSN、川崎化成工業社製任意成分架橋剤:トリメチロールプロパントリメタクリレート、SR350、サートマー社製このようにして得られた感光性接着シートの特性を、下記の方法に従って評価し、その結果を、後記の表1~表3に併せて示した。吸水率、拡散係数上記の感光性接着シートを、UV照射1000mJ/cm2により全面露光した後、150°C×3時間加熱することによって、完全に硬化させた。そして、これを60°C×湿度90RHの雰囲気下に20時間放置し、その前後での重量変化から吸水率を求めた。また、得られた重量の時間変化と、拡散方程式を解くことによって得られる計算結果とが最も近接する際の拡散係数を、本願における拡散係数とした。パターン形状の変形の有無上記の感光性接着シートを、150mm×150mm×0.5mm厚のホウケイ酸ガラス表面の全面に、熱ロールラミネータを用いて80°Cで貼り合わせた。そして、マスクを介してUV照射400mJ/cm2してPETフィルムを剥離した後、0.7重量炭酸ナトリウム水溶液を用いて圧力0.15MPaで1分間現像し、図6aにおいて、斜線Rで示すような枠状パターンを形成した。このものの一つの枠の大きさ内寸は5mm×5mmで、ライン幅は200μmである。上記枠状パターン付ホウケイ酸ガラスを、鎖線Qの切断線に従い個々にダイシングして、図6bに示すような枠状パターン付のチップを切り出した。そして、その1個を、20mm×70mm×0.6mm厚のシリコンウェーハ上に載置し、フリップチップボンダーを用いて、125°C、1.5MPa、10secで接着することにより、図7に示すような、模擬的な中空パッケージ品を作製した。30がホウケイ酸ガラス、31が感光性接着シートに由来する感光性接着剤層、32がシリコンウェーハである。そして、上記感光性接着剤層31のパターン形状が変形していないかどうかを目視により観察した。結露性上記中空パッケージ品を、60°C×湿度90RHの雰囲気下に168時間放置した後、室温で顕微鏡観察して、パッケージ内部に結露が生じていないかどうかを目視により観察した。凹凸追従性図8に示すように、15.4mm×15mm×0.23mm厚のシリコンウェーハ32の表面に、厚み5μmのAlからなる素子形成層33を、幅140μmの環状部分33aを露出させた状態で形成した。そして、この上に、上記と同様の、図6bに示すような枠状パターン付のチップを載置し、上記と同様にして、模擬的な中空パッケージ品を作製した。そして、ホウケイ酸ガラス30の上から、枠状パターン部分の接着状態を観察した。このとき、干渉縞が見える場合は接着していない×と判断し、干渉縞が見えない場合は接着している○と判断した。上記の結果から、実施例1~8品は、パターン形状の変形がなく解像性に優れているだけでなく、凹凸追従性に優れ、高いシール性が得られるとともに、結露の発生が防止されていることがわかる。これに対し、エポキシ基のモル数/カルボキシル基のモル数が本発明の範囲から外れる比較例1、2品は、パターン形状の変形があったり、凹凸追従性が悪かったりする問題を有する。また、F成分を含有しない比較例3品、同じくF成分を含有せず逆に架橋剤を加えて架橋密度を高めた比較例4品は、ともに結露を生じるため、実用上好ましくないことがわかる。"