"平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変又は固定のレンズあるいはレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記レンズあるいはレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記ビームサイズ可変光学系では、前記レンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置。請求項1に記載のビームサイズ可変照明光学装置において、この場合、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系を備え、前記光源サイズ可変光学系では前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更することを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記該被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置。請求項3記載のビームサイズ可変照明光学装置において、前記シリンドリカルアレイレンズ群のうち、ビームサイズが変更可能な方向のシリンドリカルアレイレンズ群は2枚以上のシリンドリカルアレイレンズで構成され、変更不能な方向のシリンドリカルアレイレンズ群は1枚以上のシリンドリカルアレイレンズで構成されていることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群、とを含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記該被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群を用いて光源サイズを調整することにより、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置。請求項5記載のビームサイズ可変照明光学装置において、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に可変させる場合、前記コリメータレンズ群は長軸方向及び短軸方向それぞれ3枚以上のコリメータレンズで構成され、レンズ間隔を変えることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。請求項5記載のビームサイズ可変照明光学装置において、光源サイズを固定して使用する場合、前記コリメータレンズ群は最適な光源サイズとなるよう、長軸方向及び短軸方向それぞれ2枚以上のコリメータレンズを固定した形で構成されていることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。平行光を形成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置。請求項8に記載のビームサイズ可変照明光学装置において、前記ビームサイズ可変光学系は、長軸方向のビームサイズを変更するシリンドリカルアレイレンズ群と、短軸方向のビームサイズを変更するシリンドリカルアレイレンズ群とからなり、前記長軸方向と短軸方向のビームサイズを変更するシリンドリカルアレイレンズ群はそれぞれ、2枚あるいは3枚のシリンドリカルアレイレンズで構成されていることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記該被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群を用いて光源サイズを調整することにより、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群のレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置。請求項10記載のビームサイズ可変照明光学装置において、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に可変させる場合、前記コリメータレンズ群は長軸方向及び短軸方向それぞれ3枚以上のコリメータレンズで構成され、レンズ間隔を変えることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。請求項10記載のビームサイズ可変照明光学装置において、光源サイズを固定して使用する場合、前記コリメータレンズ群は最適な光源サイズとなる、長軸方向及び短軸方向それぞれ2枚以上のコリメータレンズを固定した形で構成されていることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。平行光を形成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が固定のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置。請求項13記載のビームサイズ可変照明光学系において、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群は長軸方向及び短軸方向それぞれに3枚のシリンドリカルテレスコープレンズで構成され、前記シリンドリカルアレイレンズ群は長軸方向及び短軸方向それぞれに1枚以上のシリンドリカルアレイレンズで構成されていることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が固定のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群を用いて光源サイズを調整することにより、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置。請求項15記載のビームサイズS可変照明光学装置において、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に可変させる場合、前記コリメータレンズ群は長軸方向及び短軸方向それぞれ3枚以上のコリメータレンズで構成され、レンズ間隔を変えることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。請求項15記載のビームサイズ可変照明光学装置において、光源サイズを固定して使用する場合、前記コリメータレンズ群は最適な光源サイズとなる長軸方向及び短軸方向それぞれ2枚以上のコリメータレンズを固定した形で構成されていることを特徴とするビームサイズ可変照明光学装置。平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変又は固定のレンズあるいはレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記レンズあるいはレンズ群により完成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記レンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向及び短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法。請求項18に記載のビームサイズ変更方法において、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系を備え、前記光源サイズ可変光学系では前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更することを特徴とする照明光学装置のビームサイズ変更方法。平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記シリンドリカルアレイレンズ群及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法。平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法。平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記シリンドリカルアレイレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法。平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法。平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が固定のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳面に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法。平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が固定のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳面に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法。特許文献1ないし6に記載されている光学系は、第2光源像の大きさを変えることはできるが、投影面上でのビームサイズを任意に変更することはできなかった。また、特許文献7記載の発明では光源が1つのみであるので投影面での均一強度を得ることが困難であった。さらに、特許文献7ではレーザ光が投影面に対して斜め方向から照射されるため、光のムラができる可能性があった。そこで、本発明が解決しようとする課題は、長短軸方向ビームサイズを方向別に変更可能とし、均一な強度でビームを照射することができるようにすることにある。また、加工部ビームサイズと入射瞳面における照明サイズを独立に制御し、加工断面のテーパ解像度を調整することにある。加工断面のテーパは、入射瞳面における照明サイズに起因する。前記課題を解決するため、第1の手段は、平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変又は固定のレンズあるいはレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記レンズあるいはレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記ビームサイズ可変光学系では、前記レンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置を特徴とする。この場合、前記平行光の光路上に配置された、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系を備え、前記光源サイズ可変光学系では前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更する。第2の手段は、平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記該被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置を特徴とする。この場合、前記シリンドリカルアレイレンズ群のうち、ビームサイズが変更可能な方向のシリンドリカルアレイレンズ群は2枚以上のシリンドリカルアレイレンズで構成し、変更不能な方向のシリンドリカルアレイレンズ群は1枚以上のシリンドリカルアレイレンズで構成する。第3の手段は、平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群、とを含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記該被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群を用いて光源サイズを調整することにより、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置を特徴とする。光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に可変させる場合には、前記コリメータレンズ群を長軸方向及び短軸方向それぞれ3枚以上のコリメータレンズで構成し、レンズ間隔を変更する。また、光源サイズを固定して使用する場合、前記コリメータレンズ群が最適な光源サイズとなるよう、長軸方向及び短軸方向それぞれ2枚以上のコリメータレンズを固定した形で構成する。第4の手段は、平行光を形成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置を特徴とする。この場合、前記ビームサイズ可変光学系を、長軸方向のビームサイズを変更するシリンドリカルアレイレンズ群と、短軸方向のビームサイズを変更するシリンドリカルアレイレンズ群とから構成し、前記長軸方向と短軸方向のビームサイズを変更するシリンドリカルアレイレンズ群をそれぞれ、2枚あるいは3枚のシリンドリカルアレイレンズで構成する。第5の手段は、平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記該被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群を用いて光源サイズを調整することにより、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群のレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置を特徴とする。光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に可変させる場合には、前記コリメータレンズ群を長軸方向及び短軸方向それぞれ3枚以上のコリメータレンズで構成し、レンズ間隔を変更する。また、光源サイズを固定して使用する場合には、最適な光源サイズとなる長軸方向及び短軸方向それぞれ2枚以上のコリメータレンズが固定された形で前記コリメータレンズ群を構成する。第6の手段は、平行光を形成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が固定のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置を特徴とする。この場合、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群を長軸方向及び短軸方向それぞれに3枚のシリンドリカルテレスコープレンズで構成し、前記シリンドリカルアレイレンズ群を長軸方向及び短軸方向それぞれに1枚以上のシリンドリカルアレイレンズで構成する。第7の手段は、平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が固定のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、前記フィールドレンズによって前記被照射面の像が結像される投影面と、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群を用いて光源サイズを調整することにより、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔を変更し、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更するビームサイズ可変照明光学装置を特徴とする。光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に可変させる場合には、前記コリメータレンズ群を長軸方向及び短軸方向それぞれ3枚以上のコリメータレンズで構成し、レンズ間隔を変更する。また、光源源サイズを固定して使用する場合、最適な光源サイズとなる長軸方向及び短軸方向それぞれ2枚以上のコリメータレンズが固定した形で前記コリメータレンズ群を構成する。第8の手段は、平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変又は固定のレンズあるいはレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記レンズあるいはレンズ群により完成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記レンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向及び短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法を特徴とする。この場合、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系を備え、前記光源サイズ可変光学系では前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更する。第9の手段は、平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記シリンドリカルアレイレンズ群及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法を特徴とする。第10の手段は、平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向のうち一方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群及び前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法を特徴とする。第11の手段は、平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記シリンドリカルアレイレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法を特徴とする。第12の手段は、平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が可変のシリンドリカルアレイレンズ群を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルアレイレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法を特徴とする。第13の手段は、平行光を生成する光源と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が固定のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳面に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法を特徴とする。第14の手段は、平行光を生成する光源と、前記平行光の光路上に配置され、光源サイズを長軸方向及び短軸方向独立に変更するとともに、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するコリメータレンズ群を含む光源サイズ可変光学系と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間の間隔が固定のシリンドリカルアレイレンズ群と、長軸方向及び短軸方向それぞれの方向に対応して配置され、各レンズ間隔が可変のシリンドリカルテレスコープレンズ群と、を含み、前記光源から入射した平行光の直交する2軸方向のサイズを変更するビームサイズ可変光学系と、前記シリンドリカルアレイレンズ群により形成された複数の2次光源像からの光を被照射面に集光し、重畳させるコンデンサレンズと、前記光源による平行光から形成される複数の2次光源像を投影レンズの入射瞳面に再形成させるフィールドレンズと、を備え、前記光源サイズ可変光学系では、前記コリメータレンズ群により、マスク面に対する照明光の開き角を変更し、投影レンズの入射瞳における照明サイズを方向別に変更し、前記ビームサイズ可変光学系では、前記シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔を変更することにより前記投影レンズの入射瞳面に対する照明光の開き角を変更し、前記被照射面の像が結像される前記投影面上の投影光の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更する照明光学装置のビームサイズ変更方法を特徴とする。なお、後述の実施形態では、光源は符号1に、シリンドリカルアレイレンズ群は10a,10b,10b’,10c,10d,10d’,20a,20a’,20b,20c,20c’,20d,50a,60a,70a,80a,90a,100a,110a,120a,170a,180a,210a,220a,250a,260a,290a,300aに、シリンドリカルテレスコープレンズ群は30a,30a’,30c,30c’,40b,40b’,40d,40d’,150a,150a’,160a,160a’,190a,190a’,200a,200a’,230a,230a’,240a,240a’,270a,270a’,280a,280a’,310a,310a’に、被照射面は符号6に、コンデンサレンズは符号4に、入射瞳面は符号7に、フィールドレンズは符号5に、投影面は符号9に、それぞれ対応する。本発明によれば、シリンドリカルアレイレンズ群及びシリンドリカルテレスコープレンズ群のいずれか一方のレンズ群のレンズ間隔を変更するだけで、前記投影面上の長軸方向又は短軸方向のビームサイズを方向別に変更することができる。また、加工部ビームサイズと入射瞳面における照明サイズを独立に制御することができる。本発明の実施形態について説明するにあたり、まず、本発明で実施されるビームサイズ可変の原理について説明する。図1は本発明のビームサイズ可変原理を説明するための説明図である。図1において、本発明が対象とする光学系は、光源1と光源1から照射された光が照射される被照射面6との間に光源1側から長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20a、コンデンサレンズ4、及びフィールドレンズ5が配置された構成である。なお、同図aは長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20aのレンズ枚数が1枚の例、同図bは2枚の例をそれぞれ示す。図1の例では、長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20aのレンズ間隔dを変化させることによって被照射面6上の長軸方向ビームサイズを変化させることができる。ただし、被照射面6と後述する投影面9とは共役関係にあるものとする。まず、図1aの長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20aのレンズ枚数が1枚の場合に、長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21の焦点距離をf1コンデンサレンズ4の焦点距離をf3、長軸方向シリンドリカルレンズの半径をrとすると、被照射面6上のビームサイズRは、R=f3/f1r1で表すことができる。式1から被照射面6上のビームサイズRを変化させるには、第1の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21の焦点距離f1、コンデンサレンズ4の焦点距離f3あるいは第1の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21の半径rのいずれかを変化させれば良いことが分かる。従ってこの構成でビームサイズを可変とするためには様々な焦点距離のシリンドリカルアレイレンズ21、及びコンデンサレンズ4を用意する必要がある。また、図1bの長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20aのレンズ枚数が2枚の場合に、第1及び第2の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21,22の焦点距離をそれぞれf1,f2、両者のレンズ間隔をd、コンデンサレンズ4の焦点距離をf3、長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21の半径をrとした場合、被照射面6上のビームサイズRは、R=f3f1f2-dr/f1f22で表すことができる。この式2から被照射面6上のビームサイズRを変化させるためには、焦点距離f1,f2,f3、及び長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21の半径rは、同一の光学系では定数であるから、第1及び第2の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21,22のレンズ間隔dを変化させれば良いことが分かる。また、図1a及びbにおいて、長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20aを、これと直交する方向に軸が位置する短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群10a図4参照に置き換えると、短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群10aも同様の原理で短軸方向のビームサイズを変化させることができる。3枚の長短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズを用いたビームサイズ可変照明光学系では、図4に示すように3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ31,32,33による倍率とマスク面上のビームサイズの関係を近似式として導出する。この近似式を用いることにより、倍率とマスク面上のビームサイズの関係を把握することが容易になる。なお、図1において、参照符号Oは軸線、参照符号βxは開き角をそれぞれ示す。図2は第2光源からマスク面までの周縁光線XZ断面を示す説明図で、2次光源像3と被照射面6との間にN枚のレンズ面数を有する短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズが設けられたときの状態を示している。横倍率βが1倍であるビームサイズ可変照明光学系の後焦点距離Bfは、レンズの最終面後の屈折率をnN,マスク面上のビームサイズをHN,マスク面上で周縁光線と光軸のなす角度をαとすると、Bf=nNHN/αN13で表すことができる。横倍率βが任意であるビームサイズ可変照明光学系の後焦点距離Bf’は、レンズの最終面後の屈折率をnN’、マスク面上のビームサイズをHN’、マスク面上で周縁光線と光軸のなす角度をαN1’とすると、Bf’=nN’HN’/αN1’4で表すことができる。横倍率βが1倍であるビームサイズ可変照明光学系の焦点距離fallは、第1レンズ上のビームサイズをH1とすると、fall=nNH1/αN15で表すことができる。横倍率βが任意であるビームサイズ可変照明光学系の焦点距離fall’は、第1レンズ上のビームサイズをH1’とすると、fall’=nN’H1’/αN1’6で表すことができる。さらに,横倍率βが1倍であるビームサイズ可変照明光学系の関係式は、式3及び式5から、H1=fallHN/Bf7となる。同様に,横倍率βが任意であるビームサイズ可変照明光学系の関係式は、式4及び式6からH1’=fall’HN’/Bf’8となる。そして、横倍率βが1倍時と任意時の式7及び式8からBf/fall=BfHN’/fallHN9が導かれ、ビームサイズ可変照明光学系の横倍率P及び角倍率γは、γ=1/β=HN’/HN10の関係となる。そこで、ビームサイズ可変照明光学系の原理式は,式8,式9及び式10からHN’=BfH1’/fallβ=BfγH1’/fall11となる。この式11から、横倍率βあるいは角倍率γによりマスク面上のビームサイズHN’が変化することが分かる。図3は3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズを示す図である。同図において、3枚のシリンドリカルテレスコープレンズ31,32,33の横倍率をβ最小倍率βw、最大倍率βt、2番目の短軸方向シリンドリカルレンズ32の焦点距離をf2としたとき、1番目及び3番目の短軸方向シリンドリカルレンズ31,33の焦点距離f1とf3は、f1=11/βwf212f3=1βtf213から求められる。さらに、3枚の短軸方向シリンドリカルレンズ31,32,33の焦点距離をf1,f2,f3、横倍率をβとしたとき、レンズ間隔D1,D2は、それぞれD1=f1-f3/β14D2=f3-βf115の式で表すことができる。また、3枚の長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ間隔が変化したときに、マスク面上の長軸方向ビームサイズが変化する原理も同様である。以下、前記原理を適用した本発明の実施形態の各実施例について図面を参照しながら説明する。実施例1はビームサイズ可変照明光学系における開き角φx、φyを変化させ、ビームサイズを変える例である。図4は実施例1のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。なお、以下の説明において、レンズ系に付した’は間隔を変化させたレンズを示す。図4aにおいて、ビームサイズ可変照明光学系は照明光学系と投影光学系から構成される。照明光学系は、エキシマレーザ、水銀ランプ等の平行光を形成する光源1と、光源1による平行光から複数の2次光源像3を形成する2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21,22と、2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21,22により形成された複数の2次光源像3からの光を被照射面6に集光し、重畳するコンデンサレンズ4から構成される。同様に投影光学系は、光源1による平行光から形成される複数の2次光源像3を投影レンズ8の入射瞳面7に再形成させるフィールドレンズ5と、被照射面6の像を投影面9に結像させる投影レンズ8から構成される。図4bにおいても同様にビームサイズ可変照明光学系は照明光学系と投影光学系から構成される。照明光学系は、平行光を形成する光源1と、光源1による平行光から複数の2次光源像3’を形成する固定した2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ11,12と、レンズ間隔を変更可能な3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ31,32,33と、2次光源像3’からの光を被照射面6に集光し、重畳するコンデンサレンズ4から構成される。同様に投影光学系は、光源1による平行光から形成される複数の2次光源像3’を投影レンズ8の入射瞳面7に再形成させるフィールドレンズ5と、被照射面6の像を投影面9に結像させる投影レンズ8から構成される。また、図1及び図4に示したように本明細書では、点線2は主光線、実線2’は周縁光線をそれぞれ示す。なお、2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ11,12は短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群10aを、2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ21,22は長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20aを、3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ31,32,33は短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群30aをそれぞれ構成する。図4において、φx、φyはビームサイズ可変照明光学系のx軸方向及びy軸方向のそれぞれの開き角であり、それぞれ軸線Oを基準として角度である。図5は開き角φx、φyを変化させてビームサイズを変更する例を示す図で、同図aはx方向、同図bはy方向の開き角を変更する例を示す。図5aは図4aに、図5bは図4bにそれぞれ対応する。図5aでは、図4aにおいて2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20a’のレンズ間隔Daを変化させ広げ、焦点距離を変化させて長くして投影レンズ8の入射瞳面7に対する照明光の開き角φxを小さい開き角φx’とした例である。このようにすると、投影面上9の長軸方向ビームサイズ幅が小さくなるが、3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群30aの焦点距離は変えていないため、投影面上9の短軸方向ビームサイズ幅は変化しない。図5bでは、図4bにおいて、3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群30a’のレンズ間隔Dbを変化させ広げ、焦点距離を変化させて長くして投影レンズ8の入射瞳面7に対する照明光の開き角φyを小さい開き角φy’とした例である。このようにすると、投影面上9の長軸方向ビームサイズ幅は小さくなるが、2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20aの焦点距離は変えていないため、投影面9上の短軸方向ビームサイズ幅は変化しない。また、焦点距離変更時に移動させる3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群30a’のレンズ31,32,33の箇所は式14及び式15によって導かれたD1及び/又はD2によって設定される。図6は実施例2のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。実施例2では実施例1に対してシリンドリカルテレスコープレンズ群30aを90°回転させ、長軸方向シリンドリカルテレスコープ光学系40b,40b’としたものである。その他の各部は実施例1と同等に構成されているので、同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例2では、ビームサイズの変更は、長軸X方向については長軸方向シリンドリカルテレスコープ光学系40b’の3枚の長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ41,42,43のレンズ間隔Dcを、また、短軸Y方向が短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群10b’のレンズ11,12のレンズ間隔Ddを、それぞれ変えることによってX,Yの各方向の開き角φx、φyを変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例1の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群40b’、短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群10b’の焦点距離を変更することによりビームサイズをX,Y方向別に自由に変えることができる。特に説明しない各部は実施例1と同等に構成され、同等に機能する。図7は実施例3のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。実施例3では実施例1のシリンドリカルアレイレンズ群10b’のシリンドリカルアレイレンズ12を取り除いて短軸方向のシリンドリカルアレイレンズをシリンドリカルアレイレンズ11の1枚とし図7ではシリンドリカルアレイレンズ群10cとして示す、長軸x方向については長軸方向シリンドリカルアレイレンズ20c’のレンズ間隔Deを、短軸Y方向については短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ30c’のレンズ間隔Dfを、それぞれ変えることによってX,Yの各方向の開き角φx’、φy’を変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例1の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群30c’、短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群20c’の焦点距離を変更することによりビームサイズをX,Y方向別に自由に変えることができる。特に説明しない各部は実施例1と同等に構成され、同等に機能する。図8は実施例4のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。実施例4では実施例1のシリンドリカルアレイレンズ群20aのシリンドリカルアレイレンズ22を取り除いて短軸方向のシリンドリカルアレイレンズをシリンドリカルアレイレンズ21の1枚とし図8ではシリンドリカルアレイレンズ群10d,10d’として示す、長軸X方向については長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群40d’のレンズ間隔Dgを、短軸Y方向については短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群10d’のレンズ間隔Dhを、それぞれ変えることによってX,Yの各方向の開き角φx’、φy’を変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例1の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群40d’、短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群10d’の焦点距離を変更することによりビームサイズをX,Y方向別に自由に変えることができる。特に説明しない各部は実施例1と同等に構成され、同等に機能する。実施例5はビームサイズ可変照明光学系における開き角φx、φyを変化させ、ビームサイズを変える例である。図9は実施例5のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。なお、以下の説明において、レンズ系に付した’は間隔を変化させたレンズを示す。図9aにおいて、ビームサイズ可変照明光学系は照明光学系と投影光学系から構成される。照明光学系は、エキシマレーザ、水銀ランプ等の平行光を形成する光源1と、光源1による平行光から複数の2次光源像3を形成するレンズ間隔が変更可能な2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ61,62と、同様にレンズ間隔が変更可能な2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ51,52からの光を被照射面6に集光し、重畳するコンデンサレンズ4から構成される。同様に投影光学系は、光源1による平行光から形成される複数の2次光源像3を投影レンズ8の入射瞳面7に再形成させるフィールドレンズ5と、被照射面6の像を投影面9に結像させる投影レンズ8から構成される。図9bにおいても同様にビームサイズ可変照明光学系は照明光学系と投影光学系から構成される。照明光学系は、平行光を形成する光源1と、光源1による平行光から複数の2次光源像3’を形成するレンズ間隔が変更可能な2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ51、52と、同様にレンズ間隔が変更可能な2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ61,62と、2次光源像3’からの光を被照射面6に集光し、重畳するコンデンサレンズ4から構成される。同様に投影光学系は、光源1による平行光から複数の2次光源像3’を投影レンズ8の入射瞳面7に再形成させるフィールドレンズ5と、被照射面6の像を投影面9に結像させる投影レンズ8から構成される。また図9において点線2は主光線、実線2’は周縁光線をそれぞれ示す。なお、2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ51,52は短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群50aを、2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ61,62は長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群60aをそれぞれ構成する。図9において、φx、φyはビームサイズ可変光学系のX軸方向及びY軸方向のそれぞれの開き角であり、それぞれの軸線Oを基準とした角度である。図10は開き角φx、φyを変化させてビームサイズを変更する例を示す図で、同図aはX方向、同図bはY方向の開き角を変更する例を示す。図10aは図9aに、図10bは図9bにそれぞれ対応する。図10aでは、図9aにおいて2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群60a’のレンズ間隔Diを変化させ広げ、焦点距離を変化させて長くして投影レンズ8の入射瞳面7に対する照明光の開き角φxを小さい開き角φx’とした例である。このようにすると、投影面9上の長軸方向ビームサイズ幅が小さくなる。このとき、2枚の短軸方向ビームサイズは変化しない。図10bでは、図9bにおいて、2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群50aのレンズ間隔Djを変化させ広げ、焦点距離を変化させて長くして投影レンズ8の入射瞳面7に対する照明光の開き角φyを大きい開き角φy’とした例である。このようにすると、投影面9上の短軸方向ビームサイズ幅が大きくなる。なお、レンズ間の間隔変更のための機構はここでは特に例示してはいないがこの種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構であれば十分である。いずれにしても長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群60a’,短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群50a’の焦点距離を変更することによりビームサイズをX,Y方向別に自由に替えることができる。ビームサイズは、X,Y方向で逐次的に変更でき、また、X,Y方向の両方向同時に変更することもできる。図11は実施例6のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aは、ビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。実施例6では実施例5に対して短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群50a及び長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群60aのシリンドリカルアレイレンズの枚数をそれぞれ2枚から3枚にしたものである図11ではシリンドリカルアレイレンズ群70a,80aとして示す。その他の各部は実施例1と同等に構成されているので、同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例6では、ビームサイズの変更は、長軸X方向については図12aに示すように長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群80a’の3枚のシリンドリカルアレイレンズ81,82,83のレンズ間隔Dkを、また、短軸Y方向については図12bに示すように短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群70a’の3枚のシリンドリカルアレイレンズ71,72,73のレンズ間隔Dlをそれぞれ変えることによって、X,Y各方向の開き角φx’、φy’を変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例5の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群80a’、短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群70a’の焦点距離を変更することによりビームサイズをX、Y方向別に自由に変えることができる。特に説明しない各部は実施例5と同等に構成され、同等に機能する。図13は、実施例7のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aは、ビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。実施例7では実施例5に対して短軸方向シリンドリカルレンズ群50aのシリンドリカルレンズの枚数を2枚から3枚にしたものである図13では、シリンドリカルアレイレンズ群90a,100aとして示す。その他の各部は実施例5と同等に構成されているので、同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例7では、ビームサイズの変更は、長軸X方向については図14aに示すように長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群100a’の2枚のシリンドリカルアレイレンズ101,102のレンズ間隔Dmを、また、短軸Y方向については図14bに示すように短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群90a’の3枚のシリンドリカルアレイレンズ91,92,93のレンズ間隔Dnを、それぞれ変えることによって、X,Y各方向の開き角φx’、φy’を変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例5の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群100a’、短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群90a’の焦点距離を変更することによりビームサイズをX,Y方向別に自由に変えることができる。特に説明しない各部は実施例5と同等に構成され、同等に機能する。図15は、実施例8のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aは、ビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ平面をそれぞれ示す。実施例8では実施例5に対して長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群60aのシリンドリカルレンズの枚数を2枚から3枚にしたものである図15では、シリンドリカルアレイレンズ群110a,120aとして示す。その他の各部は実施例5と同等に構成されているので、同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例8では、ビームサイズの変更は、長軸X方向については図16aに示すように長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群120a’の3枚のシリンドリカルアレイレンズ121、122,123のレンズ間隔Doを、また、短軸Y方向については図16bに示すように短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群110a’の2枚のシリンドリカルアレイレンズ111,112のレンズ間隔Dpを、それぞれ変えることによって、X,Y各方向の開き角φx’、φy’を変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例5の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群120a’、短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群110a’の焦点距離を変更することによりビームサイズをX、Y方向別に自由に変えることができる。特に説明しない各部は実施例5と同等に構成され、同等に機能する。実施例9はビームサイズ可変照明光学系における開き角φx、φyを変化させ、ビームサイズを変える例である。図17は実施例9のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。なお、以下の説明において、レンズ系に付した’は間隔を変化させたレンズを示す。図17aにおいて、ビームサイズ可変照明光学系は、照明光学系と投影光学系から構成される。照明光学系は、エキシマレーザ、水銀ランプ等の平行光を形成する光源1と、光源1による平行光から複数の2次光源像3を形成する固定した2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ141,142と、レンズ間隔を変更可能な3枚の長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ161,162,163と、固定した2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ141,142により形成された複数の2次光源像3からの光を被照射面6に集光し、重畳するコンデンサレンズ4から構成される。同様に投影光学系は、光源1による平行光から形成される複数の2次光源像3を投影レンズ8の入射瞳面7に再形成させるフィールドレンズ5と、被照射面6の像を投影面9に結像させる投影レンズ8から構成される。図17bにおいても、ビームサイズ可変照明光学系は、照明光学系と投影光学系から構成される。照明光学系は、平行光を形成する光源1と、光源1による平行光から複数の2次光源像3’を形成する固定した2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ131,132と、レンズ間隔が変更可能な3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ151,152,153と、固定した2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ131,132により形成された複数の2次光源像3’からの光を被照射面6に集光し、重畳するコンデンサレンズ4から構成される。同様に投影光学系は、光源1による平行光から形成される複数の2次光源像3’を投影レンズ8の入射瞳面7に再形成させるフィールドレンズ5と、被照射面6の像を投影面9に結像させる投影レンズ8から構成される。また、図17において点線2は主光線、実線2’は周縁光線をそれぞれ示す。なお、2枚の短軸方向シリンドリカルアレイレンズ131,132は短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群130aを、2枚の長軸方向シリンドリカルアレイレンズ141,142は長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群140aを、3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ151,152,153は短軸方向シリンドリカルテレスコープ群150aを、3枚の長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ161,162,163は長軸方向シリンドリカルテレスコープ群160aを、それぞれ構成する。図17において、φx、φyはビームサイズ可変照明光学系のX軸方向及びY軸方向のそれぞれの開き角であり、それぞれ軸線Oを基準とした角度である。図18は開き角φx、φyを変化させてビームサイズを変更する例を示す図で、同図aはX方向、同図bはY方向の開き角を変更する例を示す。図18aは図17aに、図18bは図17bにそれぞれ対応する。図18aでは図17aにおいて3枚の長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔Dqを変化させ広げ、焦点距離を変化させて長くして投影レンズ8の入射瞳面7に対する照明光の開き角φxを小さい開き角φx’とした例である。このようにすると、投影面9上の長軸方向ビームサイズ幅が小さくなるが、3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群150aの焦点距離は変えていないため、投影面9上の短軸方向ビームサイズ幅は変化しない。図18bでは図17aにおいて3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群のレンズ間隔Drを変化させ広げ、焦点距離を変化させて長くして投影レンズ8の入射瞳面7に対する照明光の開き角φyを大きい開き角φy’とした例である。このようにすると、投影面9上の短軸方向ビームサイズ幅が大きくなるが、3枚の長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群160aの焦点距離は変えていないため投影面9上の長軸方向ビームサイズ幅は変化しない。また、焦点距離変更時に移動させる3枚の短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群150a’のレンズ151,152,153及び3枚の長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群160a’のレンズ161,162,163の箇所は式12及び式13によって導かれたD1及びD2のいずれか一方によって設定される。なお、レンズ間の間隔変更のための機構はここで特に例示してはいないがこの種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構であれば十分である。いずれにしても長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群160a’,短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群150a’の焦点距離を変更することによりビームサイズをX,Y方向別に自由に変えることができる。ビームサイズはX,Y方向で逐次的に変更でき、また、X,Y方向同時に変更することもできる。図19は実施例10のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。実施例10では実施例9に対して短軸方向及び長軸方向のシリンドリカルアレイレンズ群130a、140aのそれぞれのシリンドリカルアレイレンズの枚数を2枚から1枚にしたものである図19では、シリンドリカルアレイレンズ群170a,180aとして示す。その他の各部は実施例9と同等に構成されているので、重複する説明は省略する。本実施例10においても、ビームサイズの変更は長軸X方向については図20aに示すように長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群200a’の3枚のシリンドリカルテレスコープレンズ201,202,203のレンズ間隔Dsを、また、短軸Y方向については図20bに示すように短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群190a’の3枚のシリンドリカルテレスコープレンズ191,192,193のレンズ間隔Dtをそれぞれ変えることによってX,Y方向の開き角φx’、φy’を変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例9の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群200a’、短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群190a’の焦点距離を変更することによりX,Y方向に自由にビームサイズを変更することができる。特に説明しない各部は実施例9と同等に構成され、同等に機能する。図21は実施例11のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。実施例11では実施例9に対して短軸方向のシリンドリカルアレイレンズ群130aのシリンドリカルアレイレンズ枚数を2枚から1枚にしたものであるシリンドリカルアレイレンズ群210a。その他の各部は実施例9と同等に構成されているので、重複する説明は省略する。本実施例11においても、ビームサイズの変更は長軸X方向については図22aに示すように長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群240a’の3枚のシリンドリカルテレスコープレンズ241,242,243のレンズ間隔Duを、また、短軸Y方向については図22bに示すように短軸方向テレスコープレンズ群230a’の3枚のシリンドリカルテレスコープレンズ群231,232,233のレンズ間隔Dvを、それぞれ変えることによってX,Y方向の開き角φx’、φy’を変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例9の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群240a’、短軸方向シリンドリカルテレスコープ群230a’の焦点距離を変更することによりX,Y方向に自由にビームサイズを変更することができる。特に説明しない各部は実施例9と同等に構成され、同等に機能する。図23は実施例12のビームサイズ可変照明光学系を示す説明図で、同図aはビームサイズ可変照明光学系のXZ断面を、同図bはビームサイズ可変照明光学系のYZ断面をそれぞれ示す。実施例12では実施例9に対して長軸方向のシリンドリカルアレイレンズ群140aのシリンドリカルアレイレンズ枚数を2枚から1枚にしたものであるシリンドリカルアレイレンズ群260a。その他の各部は実施例9と同等に構成されているので、重複する説明は省略する。本実施例12においても、ビームサイズの変更は長軸X方向については図24aに示すように長軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群280a’の3枚のシリンドリカルテレスコープレンズ281,282,283のレンズ間隔Dwを、また、短軸Y方向については図24bに示すように短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群270a’の3枚のシリンドリカルテレスコープレンズ271,272,273のレンズ間隔Dxを、それぞれ変えることによってX,Y方向の開き角φx’、φy’を変化させ、ビームサイズを変更する。本実施例の場合も実施例9の場合と同様に、この種の光学装置に使用される公知の平行移動の機構により長軸方向シリンドリカルテレスコープ群280a’、短軸方向シリンドリカルテレスコープ群270a’の焦点距離を変更することによりX,Y方向に自由にビームサイズを変更することができる。特に説明しない各部は実施例9と同等に構成され、同等に機能する。図25は実施例13のビームサイズ可変時の入射瞳面における照明サイズを示す説明図YZ断面で、同図aは基準ビームサイズの照明光学系とその入射瞳面における照明サイズを、同図bはビームサイズを変更した場合の照明光学系とその入射瞳面における照明サイズをそれぞれ示す。図26は実施例13のビームサイズ可変時の入射瞳面における照明サイズを示す説明図XZ断面で、同図aは基準ビームサイズの照明光学系とその入射瞳面における照明サイズを、同図bはビームサイズを変更した場合の照明光学系とその入射瞳面における照明サイズをそれぞれ示す。図25及び図26に示すように、例えば、投影面上のビームサイズ600,610を方向別に変更する場合、短軸方向はシリンドリカルテレスコープレンズ群310aシリンドリカルテレスコープレンズ311,312,313のレンズ間隔を、長軸方向はシリンドリカルアレイレンズ群300aシリンドリカルアレイレンズ301,302のレンズ間隔を変更する。このとき、短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群310aのレンズ間隔を変えて、短軸方向のビームサイズ600,610を変更すると、入射瞳面7における短軸方向の照明サイズ500,510も変わる。この原因は、レンズ間隔Daaを変更するレンズの種類によるものである。短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群310a’のレンズ間隔Dzを変更した場合、図25a,bの点線で示すように、変更前後で光線2が曲げられてしまう。以上より、短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群310a’を用い、レンズ間隔Dzを変えることで、短軸方向の投影面上のビームサイズ600,610を変更する場合、これとは独立で、入射瞳面7における短軸方向の照明サイズ500,510を制御する必要がある。これは、投影面上の短軸方向ビームサイズ600,610における、加工断面テーパの調整を狙いとするものである。ここで、加工断面テーパ投影面上のビームサイズ600,610の分解能は、投影レンズ8と入射瞳面7における短軸方向の照明サイズ比による。例えば、図25に示すように、短軸方向シリンドリカルテレスコープレンズ群310a’を用い、投影面上の短軸方向ビームサイズ600,610を2倍にした場合、入射瞳面7における短軸方向の照明サイズ500、510は1/2倍になる。これにより、投影面上の短軸方向ビームサイズ600,610の分解能が高くなる。一方、投影面上の短軸方向ビームサイズ600,610を1/2倍にした場合、入射瞳面7における短軸方向の照明サイズ500,510は2倍になる。これにより、投影面上の短軸方向ビームサイズ600,610の分解能が低くなる。そこで、図25bに対し、投影面上の短軸方向ビームサイズ610の分解能を低く設定するため、図27に示すように、光源1の後に短軸方向のコリメータレンズ群330aコリメータレンズ331,332,333を配置し、レンズ間隔Dacを変更する必要がある。ここで、入射瞳面7における短軸方向の照明サイズ520を自由かつ連続的に制御させる場合、短軸方向のコリメータレンズ群320aコリメータレンズ321,322,323は3枚以上のコリメータレンズで構成しても良い。また、入射瞳面7における短軸方向の照明サイズ520を固定して使用する場合、短軸方向のコリメータレンズ群320aは最適な光源サイズとなる2枚以上のコリメータレンズを固定した形で構成しても良い。この構成により、マスク面6に対する照明光の開き角φyy’が変更され、投影レンズ8の入射瞳面7における照明サイズ520を短軸方向に自由に変えることができる。さらに、図25bに対し、投影面上の短軸方向ビームサイズ620の分解能を高く設定するため、図28に示すように、光源1の後に短軸方向のコリメータレンズ群320aを配置し、レンズ間隔Dab’を変更する必要がある。これにより、マスク面6に対する照明光の開き角φyy’が変更され、投影レンズ8の入射瞳面7における照明サイズ520’を短軸方向に自由に変えることができる。一方、図26a,bに示すように、長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群300aのレンズ間隔を変えて、長軸方向のビームサイズを変更しても、入射瞳面7における長軸方向の照明サイズは変わらない。この原因は、レンズ間隔を変更するレンズの種類によるものである。長軸方向シリンドリカルアレイレンズ群300a’のレンズ間隔Dyを変更した場合、図26a,bの実線で示すように、変更前後で光線2が変化しない。これは、光源からの平行光2が、各シリンドリカルアレイレンズの主光線となるためである。そこで、投影面上の長軸方向のビームサイズはそのままで、図26bに対し、投影面上の長軸方向ビームサイズ630の分解能を低く設定するため、図29に示すように、光源1の後に長軸方向のコリメータレンズ群330aを配置させ、レンズ間隔Dacを変更する必要がある。ここで、投影面上の長軸方向ビームサイズ630と独立させて、入射瞳面7における長軸方向の照明サイズ530を自由かつ連続的に制御させる場合、長軸方向のコリメータレンズ群330aは3枚以上のコリメータレンズで構成しても良い。また、入射瞳面7における長軸方向の照明サイズ530を固定して使用する場合、長軸方向のコリメータレンズ群330aは最適な光源サイズとなる、2枚以上のコリメータレンズを固定した形で構成しても良い。なお、290aは短軸方向シリンドリカルアレイレンズ群であり、シリンドリカルアレイレンズ291,292を備えている。この構成により、マスク面6に対する照明光の開き角φxx’が変更され、投影レンズ8の入射瞳面7における照明サイズ530を長軸方向に自由に変えることができる。さらに、図26bに対し、投影面上の長軸方向ビームサイズ630の分解能を高く設定するため、図30に示すように、光源1の後に長軸方向のコリメータレンズ群330aを配置させ、レンズ間隔Dab’を可変させる必要がある。これにより、マスク面6に対する照明光の開き角φxx’が変更され、投影レンズ8の入射瞳面7における照明サイズ530’を長軸方向に自由に変えることができる。なお、本実施例は、コリメータレンズ群を実施例1に組み込んだ構成で説明したが、本願に記載した他の実施例に組み込むことで同様の効果が期待できる。以上のように本実施形態によれば、1長軸方向のビームサイズが可変なので、エネルギロスをすることなく、様々なパッケージサイズへの対応が可能となる。2短軸方向走査方向にスリット幅を拡大することにより、光量積算を増加させ、加工速度の向上、及びスループット向上が可能となる。3長軸方向及び短軸方向のビームサイズ可変なので、同一条件による加工が可能となる。その結果、加工ばらつきを低減することができる。4長軸方向及び短軸方向のビームサイズ可変に対し、長軸及び短軸のうち一方向を固定したシリンドリカルアレイレンズを用いるので、シリンドリカルアレイレンズの光軸調整箇所が1箇所で済み、簡易な光学系で構成することができる。5軸方向及び短軸方向のビームサイズ可変に対し、長軸及び短軸の両方向のビームサイズ可変に各3枚のシリンドリカルテレスコープレンズを用いる場合と比較して、光学部品が少なくて済むため、収差の影響が小さくなる。6曲率半径が小さい長軸方向シリンドリカルアレイレンズ、及び短軸方向シリンドリカルアレイレンズを各1枚から2枚にすることにより、曲率半径を大きくすることが可能となり、製造の容易性が向上する。7長軸方向シリンドリカルアレイレンズ及び短軸方向シリンドリカルアレイレンズを2枚用いることにより、長距離伝播時の光の拡がりを抑制することができる。8長軸方向及び短軸方向にシリンドリカルアレイレンズを用いているので、2次光源を視数個形成させることが可能となり、投影面において均一な強度分布を得ることができる。9光源後に長短軸方向コリメータレンズ群を配置させることにより、光源サイズを変更し、長短軸方向の投影パターンに対し、一定、あるいは所望の分解能を得ることができる。10加工部ビームサイズと入射瞳面における照明サイズを独立に制御することができる。等の効果を奏する。なお、本発明は本実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された発明の技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。"