"回転ステージ上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤を前記回転ステージを回転させることにより回転させつつ、該原盤に電子線を照射して前記ディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光装置と、該電子線露光装置に描画設計データに基づく描画データ信号を送出して該露光装置による描画を制御する制御装置とを備え、該制御装置が、外部から入力された環境の異常に関する情報に基づいて、前記描画を一時停止させると共に、該停止した際の前記原盤の回転角度を記憶し、該回転角度に基づいて前記原盤上の描画停止位置から前記描画を再開する一時停止制御部とを有していることを特徴とする電子線露光システム。前記制御装置が、前記描画設計データに基づいて各半径位置の周方向の所定領域毎の描画データ信号群を生成し、該描画データ信号群のデータ信号を前記所定領域毎に前記描画データ信号として前記電子線露光装置に順次送出するものであり、前記一時停止制御部が、前記環境の異常に関する情報が入力された際に描画中の前記描画データ信号群のデータ信号に基づく描画終了後に描画を一時停止させるものであることを特徴とする請求項1記載の電子線露光システム。前記制御装置に接続された前記環境の所定の環境値を測定する環境値測定装置を備え、該環境値測定装置が、測定した前記環境値が予め定められた範囲外である場合に、前記環境の異常に関する情報を前記制御装置に入力するものであることを特徴とする請求項1または2記載の電子線露光システム。前記一時停止制御部が、前記環境値測定装置から前記環境の異常に関する情報が所定時間連続して入力された場合に、前記描画を一時停止させるものであることを特徴とする請求項3記載の電子線露光システム。前記一時停止制御部が、前記環境値測定装置において測定された環境値が前記定められた範囲内に戻った後に、前記描画を再開させるものであることを特徴とする請求項3または4記載の電子線露光システム。前記制御装置が、広域ネットワークと接続されており、該広域ネットワークから前記環境の異常に関する情報が入力されるものであることを特徴とする請求項1または2記載の電子線露光システム。前記一時停止制御部が、前記環境の異常に関する情報が地震に関する情報である場合には、前記一時停止の後、所定時間経過後に前記描画を再開させるものであることを特徴とする請求項6記載の電子線露光システム。回転ステージ上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤を前記回転ステージを回転させることにより回転させつつ、該原盤に電子線を照射して前記ディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光方法であって、環境の異常に関する情報に基づいて描画を一時的に停止させる共に、停止した際の前記原盤の回転角度を記憶し、その後、前記回転角度に基づいて前記原盤上の描画停止位置から前記描画を再開することを特徴とする電子線露光方法。特許文献3に記載されているような半導体露光装置の場合には、パターン描画は、X-Yステージ上に載置されたウエハに対して行われる。したがって、描画途中で一時停止を行い、その後描画開始を行うのは、単なるビームのオフおよびオンブランクのオンおよびオフを行うのみでよい。一方、ディスク状記録媒体の原盤用の電子線露光装置は、原盤を回転させつつ電子線を照射して露光描画しているため、単なる電子ビームのオフおよびオンの制御では、原盤上における描画停止位置から描画を再開することができず、所望のパターンを連続的に描画することができない。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、回転させている原盤上に電子線描画を行う電子線露光システムであって、一時的な異常環境変動が生じた場合においても、不良な原盤とならないように制御可能な電子線露光システムおよび電子線露光方法を提供することを目的とするものである。本発明の電子線露光システムは、回転ステージ上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤を前記回転ステージを回転させることにより回転させつつ、該原盤に電子線を照射して前記ディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光装置と、該電子線露光装置に描画設計データに基づく描画データ信号を送出して該露光装置による描画を制御する制御装置とを備え、該制御装置が、外部から入力された環境の異常に関する情報に基づいて、前記描画を一時停止させると共に、該停止した際の前記原盤の回転角度を記憶し、該回転角度に基づいて前記原盤上の描画停止位置から前記描画を再開する一時停止制御部とを有していることを特徴とするものである。本発明の電子線露光システムにおいては、前記制御装置が、前記描画設計データに基づいて各半径位置の周方向の所定領域毎の描画データ信号群を生成し、該描画データ信号群のデータ信号を前記所定領域毎に前記描画データ信号として前記電子線露光装置に順次送出するものであり、前記一時停止制御部が、前記環境の異常に関する情報が入力された際に描画中の前記描画データ信号群のデータ信号に基づく描画終了後に描画を一時停止させるものであることが好ましい。ここで、前記環境の異常に関する情報が入力された際とは、描画を終了すべき時点であり、環境の異常に関する情報が入力された直後に限らず、該情報が所定時間後に地震の発生を予告する地震に関する予測情報などである場合には、情報が入力された直後から発生予告されている所定時間後までの間を含むものとする。前記制御装置に接続された前記環境の所定の環境値を測定する環境値測定装置を備え、該環境値測定装置は、測定した前記環境値が予め定められた範囲外である場合に、前記環境の異常に関する情報を前記制御装置に入力するものとすることができる。本発明の電子線露光システムが環境値測定装置を備えている場合、前記一時停止制御部が、前記環境値測定装置から前記環境の異常に関する情報が所定時間連続して入力された場合に、前記描画を一時停止させるものとすることが好ましい。また、前記一時停止制御部が、前記環境値測定装置において測定された環境値が前記定められた範囲内に戻った後に、前記描画を再開させるものであることが好ましい。本発明の電子線露光システムは、前記制御装置が、広域ネットワークと接続されており、該広域ネットワークから前記環境の異常に関する情報が入力されるものとすることもできる。本発明の電子線露光システムが広域ネットワークと接続されている場合、前記一時停止制御部が、前記環境の異常に関する情報が地震に関する情報である場合には、前記一時停止の後、所定時間経過後に前記描画を再開させるものであることが好ましい。本発明の電子線露光方法は、回転ステージ上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤を前記回転ステージを回転させることにより回転させつつ、該原盤に電子線を照射して前記ディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光方法であって、環境の異常に関する情報に基づいて描画を一時的に停止させる共に、停止した際の前記原盤の回転角度を記憶し、その後、前記回転角度に基づいて前記原盤上の描画停止位置から前記描画を再開することを特徴とする。本発明の電子線露光システムおよび電子線露光方法によれば、環境の異常に関する情報に基づいて描画を一時的に停止させる場合に、回転させている原盤の回転角度を記憶し、その回転角度に基づいて原盤上の描画停止位置から描画を再開するので、原盤への露光描画中に地震などによる一時的な環境変動が発生した場合においても、露光中の原盤を無駄にすることなく、欠陥の発生を未然に防ぐまたは最小限に抑えることができる。また、これにより生産性の低下を防ぐことができる。以下、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。まず、本発明の第1の実施形態に係る電子線露光システムについて説明する。図1は本発明の第1の実施形態に係る電子線露光システム1の概略構成を示すブロック図である。電子線露光システム1は、回転ステージ31上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤8を回転ステージ31を回転させることにより回転させつつ、原盤8に電子線電子ビームを照射してディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光装置10と、電子線露光装置10に描画設計データに基づく描画データ信号を送出して露光装置10による描画を制御する制御装置50とを備えている。電子線露光装置10は、原盤8に対して電子ビームを照射する電子ビーム照射部20と、原盤を回転および直線移動させる機械駆動部30とを備えている。電子ビーム照射部20は、鏡筒18内に電子ビームを出射する電子銃21、電子ビームを半径方向Yおよび円周方向Xへ偏向させるとともに円周方向Xに一定の振幅で微小往復振動させる偏向手段22,23、電子ビームの照射をオンオフするためのブランキング手段24としてアパーチャ25およびブランキング26偏向器を備えており、電子銃21から出射された電子ビームは偏向手段22、23および図示しない電磁レンズ等を経て、原盤8上に照射される。ブランキング手段24における上記アパーチャ25は、中心部に電子ビームが通過する透孔を備え、ブランキング26は電子ビーム照射オン信号ブランキングオフ時には電子ビームを偏向させることなくアパーチャ25の透孔を通過させて照射させ、一方、電子ビーム照射のオフ信号ブランキングオン時には電子ビームを偏向させてアパーチャ25の透孔を通過させることなくアパーチャ25で遮断して、電子ビームの照射を行わないように作動する。機械駆動部30は、鏡筒18が上面に配置された筐体19内に原盤を支持する回転ステージ31および回転ステージを回転駆動させるスピンドルモータからなる回転駆動機構32とを備えた回転ステージユニット33と、回転ステージユニット33を回転ステージ31の一半径方向に直線移動させるための直線移動手段34とを備えている。直線移動手段34は、回転ステージユニット33の一部に螺合された精密なネジきりが施されたロッド35と、このロッド35を正逆回転駆動させるパルスモータ36とを備えている。また、ステージユニット33には、回転ステージ31の回転角度に応じたエンコーダ信号を出力する図示しないエンコーダが設置されている。エンコーダは、スピンドルモータのモータ軸に取り付けられる、多数の放射状のスリットが形成された回転板と、そのスリットを光学的に読み取り、エンコーダ信号を出力する光学素子とを備えている。制御装置50は、描画データ信号群のデータ信号を制御信号として電子線露光装置10に順次送出するものである。制御信号は、電子ビームを偏向するための偏向信号出力、電子線の出力ON/OFF信号ブランキングのOFF/ON信号、回転ステージを制御する回転基準パルス信号などからなる。制御装置50は、描画すべきパターンディスク状記録媒体の原盤パターンに関する設計データ描画パターンや描画タイミングを示すデータなどに基づいて、原盤パターンの各半径位置の周方向の所定領域毎に生成された描画データ信号群を蓄える描画データメモリ52と、描画タイミングを計るためのインデックス信号を生成するインデックス信号生成部54と、メモリ52上の描画データ信号群から制御信号を生成し、電子線露光装置10に送出する制御回路コントロールIC56と、外部から入力された環境の異常に関する情報に基づいて一時停止信号を生成すると共に、その後、描画を再開するための再開信号を生成する一時停止/再開信号生成部58とを備えている。ここでは、インデックス信号生成部54、制御回路56および一時停止/再開信号生成部58により一時停止制御部が構成されている。なお、制御装置50は、具体的には、所謂フォーマッタ、あるいはフォーマッタとそれに接続されたパーソナルコンピュータにより構成することができる。制御回路56による制御信号の出力タイミングは、インデックス信号生成部54からのインデックス信号によって制御される。インデックス信号生成部54において、インデックス信号は、回転ステージユニット33に備えられているエンコーダの出力A/B/Z相信号および制御部内部で生成される描画クロックから生成される。例えば、各所定領域の直前に生じるエンコーダ信号を基準とし、そのエンコーダ信号から所定クロック数後にインデックス信号が生じるように設定されている。図2は、ディスク状記録媒体の原盤パターン描画パターンと描画開始インデックスとの関係を模式的に示す図であり、図3はその原盤パターンの一部を拡大した模式図である。ここでは、ディスク状記録媒体として、ディスクリートトラックメディアの原盤パターンを示している。図2および図3に示すように、原盤パターンは、周方向にサーボ領域S、データ領域Dが交互に配置された構成を有している。サーボ領域Sは、同心円中心部からほぼ放射方向に延びる細幅の領域である。一般には、サーボ領域は半径方向に延びる円弧状に形成されているが、ここでは模式的に直線状に示している。サーボ領域Sには、プレアンブル、アドレス、サーボ等の微細パターン微細パターンは図示していない。が設けられており、データ領域Dには、トラックT間を分離するグルーブパターンGが設けられている。本実施形態においては、1つのサーボ領域とそれに隣接する1つのデータ領域からなる1セクタを所定領域として、この所定領域毎にインデックス信号を基準に描画を開始するものとしている。図4は、描画データメモリ52に蓄積される描画データ信号群の構造を模式的に示す図である。描画データメモリ52には、各所定領域毎の描画データ信号群として、図4に示すように、1セクタ分のデータ列がインデックスフラグIを先頭に、出力データ1、出力データ2として蓄積されている。この描画データ信号群は、予め作成されたデータ列としてメモリ52に蓄えられたものであってもよいし、描画動作中に生成されたデータ列として順次メモリ52に蓄えられるものであってもよい。ここでは、インデックスフラグIをセクタ単位で設定するものとしているが、トラック単位で設定してもよいし、1セクタよりも細かく設定してもよい。制御回路56は、インデックス信号生成部54からインデックス信号が入力されると、メモリ52から所定のインデックスフラグが付されている1セクタ分の描画データを読み出し、制御信号として順次露光装置10に送出し、次のインデックス信号が入力されると、次のインデックスフラグが付されている1セクタ分の描画データを読み出して順次露光装置10に送出する。また、インデックス信号生成部54は、描画を一時停止させた際の原盤8の回転角度を記憶するメモリ55を備えている。具体的には、回転角度に同期した信号、すなわちエンコーダ信号をカウントし、一時停止させた際のエンコーダ信号を記憶することにより間接的に原盤の回転角度を記憶するよう構成されていればよい。なお、インデックス信号生成部54は、描画再開時には、このメモリ55に記憶されている回転角度に基づいて、原盤上の描画が停止された位置から描画が再開されるように、インデックス信号を生成し制御回路56に出力する。さらに、本実施形態の電子線露光システム1は、制御装置50に接続された、システム1が配置されている環境の所定の環境値を測定する環境値測定装置70を備えている。環境値測定装置70は、機械駆動部30の筐体19上に配置されたセンサ71と、該センサ71により測定された測定値を収集し、その値が予め定められた範囲外である場合に、その測定値あるいは警告などの環境の異常に関する情報を制御装置50に入力するデータロガー72とを備えてなる。環境値としては、振動、磁場、温度、湿度などが挙げられる。センサ71は、これらのいずれかあるいは複数の環境値を測定可能なものであればよく、具体的には震度計、磁場測定器、温度計、湿度計などである。センサ71は、電子線露光装置10に接するように配置されていることが好ましい。特に、電子線照射位置となる原盤設置箇所に近い場所に配置されているのが好ましい。本実施形態の電子線露光システム1を用いた露光方法において、環境異常発生時の動作について説明する。原盤パターンの描画中に、センサ71により測定された環境値はデータ収集装置であるデータロガー72に蓄えられる。データロガー72は、センサ71から取得した環境値環境値の測定値が予め設定された所定の範囲上限および/または下限を超えた場合、制御装置50に環境の異常に関する情報を通知する。この環境の異常に関する情報は、測定値自体であってもよいし、異常を知らせる警報などであってもよい。環境値として振動を測定する場合、例えば、加速度015cms2以下を正常値予め定められた範囲とし、この値を超えると、データロガー72から制御装置50に環境の異常に関する情報が通知されるものとすればよい。また、環境値として磁場を測定する場合、例えば、交流磁界01μT以下を正常値とし、この値を超えると、環境の異常に関する情報が通知されるものとすればよい。データロガー72から環境の異常に関する情報を受け取った制御装置50は一時停止可能な位置まで描画をした後、描画を一時停止させると共に、描画を停止した位置原盤の回転角度をメモリに記憶する。より具体的には、環境の異常に関する情報は制御装置50の一時停止/再生信号生成部58に入力され、ここで、異常状態による一時停止の是非が判断される。一時停止/再生信号生成部58は、環境の異常に関する情報が入力された瞬間に一時停止信号を生成するよう構成されていてもよいし、環境の異常に関する情報が一定時間以上連続して受信した場合に生成するように構成されていてもよい。例えば、環境値が振動である場合には1秒以上連続して受信したとき、磁場である場合には0.5秒以上、温度である場合には10分以上、湿度である場合には10分以上のときに一時停止信号を生成するなどである。一時停止/再生信号生成部58において生成された一時停止信号は、インデックス信号生成部54に入力される。インデックス信号生成部54は、インデックス信号の生成を停止する。制御回路56は一時停止信号受信時に描画している所定領域の描画データ群に基づく制御信号は全て露光装置10へ送信し、露光装置10ではその所定領域内の描画は最後まで行う。例えば、一時停止信号受信時に図4に示す最初のインデックスフラグIに続く出力データ1、出力データ2が露光装置10に送出されていた場合、次のインデックスフラグIの直前までの出力データまでは送出を続ける。インデックス信号生成部54からの新たなインデックス信号が入力されないため、制御回路56はこの描画データ群の送出後、ブランクONビームOFF信号のみを露光装置10に送出し、露光装置10による描画を実質的に停止させる。その後、環境異常が回復し、データロガー72から環境の異常に関する情報の入力がなくなった場合、一時停止/再開信号生成部58が再開信号を生成する。再開信号生成部58は、データロガー72からの環境の異常に関する情報が入力されなくなった瞬間に再開信号を生成するように構成されていてもよしい、一定時間以上連続して入力されなかった場合に再開信号を生成するように構成されていてもよい。再開信号はインデックス信号生成部54に入力され、インデックス信号生成部54で描画を一時停止した時の次のインデックス信号を生成し、インデックス信号生成部54から制御回路56にインデックス信号が出力されて描画が再開される。このとき、メモリ55に記憶されている描画を一時停止した際の原盤の回転角度エンコーダ信号に基づいて、原盤上の描画を一時停止した箇所から、一時停止前に描画データの送出が完了した描画データ群の次のインデックスフラグが付された描画データ列に基づく描画が開始される。このように、本電子線露光システム1によれば、環境の異常が生じた際に、速やかに一時停止を行うことができるので、環境変動による欠陥の発生を未然に防ぐ、または欠陥の発生を最小限に抑えることが可能となる。また、回転されている原盤上の一時停止した箇所から引き続き描画を再開することができるため、パターン重なりや、欠如等の欠陥をさらに抑制することができる。なお、一時停止が数十分程度以上続く場合には、電子線露光装置において電子ビームと原盤との位置関係に大きなズレが生じる懸念があるため、一定時間例えば、30分経過後に異常が回復しない場合、描画の一時停止から描画終了処理へ移行するように設定することが望ましい。具体的には、環境値として温度を測定した場合に、温度が所定の範囲より高い状態が10分以上続くような場合、まず一時停止処理を行う。その後、温度が所定の範囲より高い状態が連続して30分以上継続している場合には描画処理を終了させる。また、1枚の原盤の描画において、異常状態が規定回数例えば3回、あるいは5回など発生した場合には、規定回数目に描画終了処理へ移行するように設定することが望ましい。異常状態が複数回に及ぶことにより、原盤中の欠陥が無視できなくなり、原盤として不良となると考えられるからである。これらの描画終了処理は、描画を続けても不良な原盤となる確率が高い場合に行うように設定すれば、結果として生産性の低下の抑制に繋がる。なお、本実施形態においては一時停止/再開信号生成部58を備えるものとしたが、制御装置50の外部からの環境の異常に関する情報の入力信号を一時停止信号としてインデックス信号生成部54に入力するものとしてもよい。次に、本発明の第2の実施形態に係る電子線露光システムについて説明する。図5は本発明の第2の実施形態に係る電子線露光システム2の概略構成を示すブロック図である。図5において図1に示した電子線露光システム1の構成要素と同等の要素には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。本実施形態の電子線露光システム2は、環境値測定装置を備えていない点で第1の実施形態の電子線露光システムと異なる。電子線露光システム2は、制御装置50が広域ネットワークインターネットと接続されており、インターネットから環境の異常に関する情報を受信するよう構成されている。インターネットから入力される環境の異常に関する情報としては、緊急地震速報が挙げられる。電子線露光システム2においては、インターネットからの緊急地震速報を受信すると、その情報をもとに、一時停止/再開信号生成部58において一時停止信号を生成する。一時停止信号に基づく一時停止処理は第1の実施形態の場合と同様である。緊急地震速報受信によりすぐさま一時停止信号を生成して一時停止処理を行ってもよいし、地震発生場所が電子線露光システム2の設置場所に近い場合には終了処理を行っても良い。なお、地震による揺れの継続時間は長くて数分程度であるため、緊急地震速報により一時停止処理をした場合には、一定時間例えば、10分経過後に、一時停止/再開信号生成部58において再開信号を生成し、描画を再開するようにすればよい。本実施形態の電子線露光システム2は、環境の異常が生じた際、あるいは生じる前に、速やかに描画の一時停止を行うことができるので、環境変動による欠陥の発生を未然に防ぐ、または欠陥の発生を最小限に抑えることが可能となる。また、回転されている原盤上の一時停止した箇所から引き続き描画を再開することができるため、パターン重なりや、パターン欠如等の欠陥をさらに抑制することができる。なお、露光描画システムとしては、環境値測定装置70を備え、さらに、制御装置50が広域ネットワークと接続されていてもよく、環境値測定装置70からの情報および広域ネットワークの少なくとも一方の情報をもとに描画の一時停止処理を行うように構成することもできる。"