"シート部材を用いて基板を封止したモジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する工程を含み、前記余剰部を切除する工程にて前記余剰部が切除される前記シート部材が、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込まれて前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を有していることを特徴とするモジュールのトリミング処理方法。請求項1に記載のモジュールのトリミング処理方法であって、前記余剰部を切除する工程に先立って前記シート部材に対して前記切れ込み部を形成する工程をさらに含むことを特徴とするモジュールのトリミング処理方法。シート部材を用いて基板を封止したモジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する切除装置と、前記シート部材に対して、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込んで前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を形成する切れ込み部形成装置とを備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。請求項3に記載のモジュールのトリミング処理装置であって、前記シート部材は、金属層を含まない樹脂構造のものとされていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。請求項3又は請求項4に記載のモジュールのトリミング処理装置であって、前記切れ込み部形成装置は、単一の前記切れ込み形状とされた前記切れ込み部を前記端部において1箇所又は複数箇所に形成することを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。請求項3から請求項5までの何れか1項に記載のモジュールのトリミング処理装置であって、前記切れ込み部形成装置は、前記切断方向の上流側の切れ込み辺及び前記下流側の切れ込み辺における前記交差方向の内側端を頂点とする2辺の内角が前記下流側の切れ込み辺と前記基板の前記端面とのなす角度以下でかつ0度より大きい角度である前記切れ込み形状とされた前記切れ込み部を形成することを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。請求項3から請求項6までの何れか1項に記載のモジュールのトリミング処理装置であって、前記切除装置は、前記カット刃を前記基板側へ前記基板の前記端面に対して傾斜させた状態で前記余剰部を切除することを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。シート部材を用いて基板を封止したモジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する工程を含むトリミング処理方法に用いられる切れ込み部形成装置であって、前記シート部材に対して、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込んで前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を形成することを特徴とする切れ込み部形成装置。シート部材を用いて基板を封止したモジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する工程を含むトリミング処理方法に用いられるシート部材であって、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込まれて前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を有していることを特徴とするシート部材。請求項9に記載のシート部材であって、金属層を含まない樹脂構造とされていることを特徴とするシート部材。請求項9又は請求項10に記載のシート部材であって、前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、単一の切れ込み形状とされており、単一の前記切れ込み形状とされた前記切れ込み部が前記端部において1箇所又は複数箇所に形成されていることを特徴とするシート部材。請求項9から請求項11までの何れか1項に記載のシート部材であって、前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、前記切断方向の上流側の切れ込み辺及び前記下流側の切れ込み辺における前記交差方向の内側端を頂点とする2辺の内角が前記下流側の切れ込み辺と前記基板の前記端面とのなす角度以下でかつ0度より大きい角度である切れ込み形状とされていることを特徴とするシート部材。シート部材を用いて基板を封止した太陽電池モジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する工程を含み、前記余剰部を切除する工程にて前記余剰部が切除される前記シート部材が、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込まれて前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を有していることを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。しかしながら、特許文献1に記載の位置決め方法では、裏面支持材の側縁を検出して太陽電池モジュール端部の位置決めを行うことができるものの、余剰部を単に切断方向に直交する直交方向に沿って切り込んでいるだけなので、シート部材の余剰部を確実に切断できるようにはなっていない。そこで、本発明は、シート部材の余剰部を確実に切断することができるモジュールのトリミング処理方法及びトリミング処理装置、切れ込み部形成装置、シート部材及び太陽電池モジュールの製造方法を提供することを目的とする。本発明は、前記課題を解決するために、次のモジュールのトリミング処理方法及びトリミング処理装置、切れ込み部形成装置、シート部材及び太陽電池モジュールの製造方法を提供する。1モジュールのトリミング処理方法シート部材を用いて基板を封止したモジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する工程を含み、前記余剰部を切除する工程にて前記余剰部が切除される前記シート部材が、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込まれて前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を有していることを特徴とするモジュールのトリミング処理方法。2モジュールのトリミング処理装置シート部材を用いて基板を封止したモジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する切除装置と、前記シート部材に対して、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込んで前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を形成する切れ込み部形成装置とを備えていることを特徴とするモジュールのトリミング処理装置。3切れ込み部形成装置シート部材を用いて基板を封止したモジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する工程を含むトリミング処理方法に用いられる切れ込み部形成装置であって、前記シート部材に対して、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込んで前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を形成することを特徴とする切れ込み部形成装置。4シート部材シート部材を用いて基板を封止したモジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する工程を含むトリミング処理方法に用いられるシート部材であって、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込まれて前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を有していることを特徴とするシート部材。5太陽電池モジュールの製造方法シート部材を用いて基板を封止した太陽電池モジュールと、前記シート部材の余剰部を切断するカット刃とのうち少なくとも一方を前記基板の端面に沿った切断方向に相対的に移動させて前記余剰部を切除する工程を含み、前記余剰部を切除する工程にて前記余剰部が切除される前記シート部材が、前記基板の前記端面側の端部から前記切断方向に交差する交差方向に切れ込まれて前記切断方向の下流側の切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状の切れ込み部を有していることを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。ここで、本発明にいう前記切断方向とは、前記カット刃を少なくとも移動させる場合には、該カット刃の移動方向を意味し、前記カット刃を静止させて前記モジュールを移動させる場合には、該モジュールの移動方向とは反対方向を意味する。本発明によれば、前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、前記切断方向の下流側の前記切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状とされているので、前記カット刃にて前記余剰部を切除するにあたり、前記シート部材の前記余剰部における前記切れ込み部よりも前記切断方向の下流側近傍部分に、前記カット刃の刃先を確実に引っ掛けさせることができ、これにより、前記シート部材の前記余剰部を確実に切断することが可能となる。このことは、例えば、前記シート部材が金属層を含まない樹脂構造のものとされている場合には、該樹脂構造とされたシート部材の腰が金属層を含む樹脂構造のシート部材よりもさらに弱くなることから、特に有効となる。本発明に係るモジュールのトリミング処理方法及び太陽電池モジュールの製造方法において、前記本発明に係るシート部材を使用してもよいし、前記余剰部を切除する工程に先立って前記シート部材に対して前記切れ込み部を形成する工程をさらに含んでいてもよい。前記シート部材として前記本発明に係るシート部材を使用する場合には、前記切れ込み部を形成する工程を省くことができる。前記切れ込み部を形成する工程を含む場合には、前記基板と前記シート部材とを位置合わせする工程を省くことができ、作業効率の低下を抑制することが可能となる。前記切れ込み部は、前記端部において1箇所に形成されていてもよいし、複数箇所に形成されていてもよい。ところで、前記1箇所又は複数箇所における前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、前記切断方向に互いに近接した複数の切れ込み形状であってもよいが、この場合、前記余剰部を切除するにあたり、前記カット刃の刃先が前記切れ込み部に到達したときの前記シート部材の腰が弱くなり易く、それだけ、前記シート部材の前記余剰部を安定的に切断することが困難となる。そこで、前記切れ込み部形成装置は、単一の前記切れ込み形状とされた前記切れ込み部を前記端部において1箇所又は複数箇所に形成する態様を例示できる。また、前記シート部材において、前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、単一の切れ込み形状とされており、単一の前記切れ込み形状とされた前記切れ込み部が前記端部において1箇所又は複数箇所に形成されている態様を例示できる。この特定事項では、前記1箇所又は複数箇所における前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、単一の切れ込み形状とされるので、前記シート部材の前記余剰部を安定的にかつ確実に切断することが可能となる。前記切れ込み部形成装置は、前記切断方向の上流側の切れ込み辺及び前記下流側の切れ込み辺における前記交差方向の内側端を頂点とする2辺の内角が前記下流側の切れ込み辺と前記基板の前記端面とのなす角度以下でかつ0度より大きい角度である前記切れ込み形状とされた前記切れ込み部を形成する態様を例示できる。また、前記シート部材において、前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、前記切断方向の上流側の切れ込み辺及び前記下流側の切れ込み辺における前記交差方向の内側端を頂点とする2辺の内角が前記下流側の切れ込み辺と前記基板の前記端面とのなす角度以下でかつ0度より大きい角度である切れ込み形状とされている態様を例示できる。この特定事項では、前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、前記切断方向の上流側の切れ込み辺及び前記下流側の切れ込み辺の内角が前記下流側の切れ込み辺と前記基板の前記端面とのなす角度以下でかつ0度より大きい角度である切れ込み形状とされるので、前記上流側の切れ込み辺及び前記下流側の切れ込み辺を前記交差方向の外側で確実に離間させることができ、従って、前記シート部材の前記余剰部における前記切れ込み部の前記切断方向の下流側近傍部分に、前記カット刃の刃先をさらに確実に引っ掛けさせることができ、これにより、前記シート部材の前記余剰部をさらに確実に切断することが可能となる。前記切除装置は、前記カット刃を前記基板側へ前記基板の前記端面に対して傾斜させた状態で前記余剰部を切除する態様を例示できる。この特定事項では、前記カット刃にて前記余剰部を切除するにあたり、前記カット刃を前記基板側へ前記基板の前記端面に対して傾斜させるので、前記シート部材の前記余剰部における前記切れ込み部の前記切断方向の下流側近傍部分に、前記カット刃の刃先をより一層確実に引っ掛けさせることができ、これにより、前記シート部材の前記余剰部をより一層確実に切断することが可能となる。以上説明したように、本発明によると、前記切れ込み部の前記切れ込み形状は、前記切断方向の下流側の前記切れ込み辺において前記交差方向の内側端が外側端よりも前記切断方向の下流側に位置する切れ込み形状とされていることで、前記カット刃にて前記余剰部を切除するにあたり、前記シート部材の前記余剰部における前記切れ込み部よりも前記切断方向の下流側近傍部分に、前記カット刃の刃先を確実に引っ掛けさせることができ、これにより、前記シート部材の前記余剰部を確実に切断することができる。以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下に示す実施の形態は、本発明を具体化した例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。トリミング処理装置の全体構成について図1は、本発明の実施の形態に係るトリミング処理方法を実施するトリミング処理装置100の概略構成を示す平面図である。図2は、図1に示すトリミング処理装置100により長辺側の余剰部16aをトリミング処理する工程の一例を説明するための概略平面図である。図3は、図1に示すトリミング処理装置100により短辺側の余剰部16aをトリミング処理する工程の一例を説明するための概略平面図である。ここで、モジュール10は、図11に示すものと同様のものである。よって、図11に示すものと同一符号を付し、ここではモジュール10についての詳しい説明を省略する。トリミング処理装置100は、基板11の周縁部からはみ出したバックシート16シート部材の一例の余剰部16aを除去するものであり、図2に示すように、モジュール10を第1ステージST1に向けて搬送方向図2のY2方向に搬送し、リフトアップする。第1ステージST1においてモジュール10における基板11の一方側Y方向に沿う側、ここでは長辺側の2辺を基板11の端面11a,11aに沿った切断方向Y1方向に沿って同時に切断し、その後、図3に示すように、モジュール10を第2ステージST2に向けて搬送方向Y2に搬送し、リフトアップした後、第2ステージST2において他方側X方向に沿う側、ここでは短辺側の2辺を切断方向X1方向に沿って同時に切断するようになっている。なお、長辺側でトリミング処理する第1ステージST1と、短辺側でトリミング処理する第2ステージST2とでは切断方向が90°異なる以外は実質的に同じ構成及び動作である。よって、図1では、長辺側でトリミング処理する第1ステージST1でのトリミング処理装置100を示し、短辺側でトリミング処理する第2ステージST2でのトリミング処理装置100については図示及びその説明を省略する。図1から図3に示すように、トリミング処理装置100は、セルここでは、太陽電池セルが搭載された多角形状の基板11ここでは、四角形状の透明ガラス等の透明絶縁基板をエチレンビニルアセテートEVA及びバックシート16によって封止するモジュール10ここでは、太陽電池モジュールを製造する製造過程において、基板11に被着されたバックシート16の基板11の周縁部から外側にはみ出た余剰部16aを回転刃121カット刃の一例によって除去するものである。なお、EVA15の一部が基板11の周縁部からはみ出している場合には、トリミング処理装置100は、バックシート16の余剰部16aをEVA15の余剰部15aと共に除去する。また、本実施の形態において、モジュール10においてEVA15は設けられていなくてもよい。前記バックシートとしては、1層のものポリエチレンテレフタレートPET系、複数層のもの例えば、PET系等の2層の樹脂層で金属酸化物蒸着層や金属箔層等の金属層を挟持した、金属層を含む樹脂構造や、PET系等の3層の樹脂層を含む一方、金属層を含まない樹脂構造金属レス構造のものを例示でき、特開2009-188299号公報で知られているような材料を挙げることができる。具体的には、前記バックシートの材料として、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリブチレンテレフタレートPBT、ポリシクロヘキサンジメタノール-テレフタレートPCTから選ばれるポリエステル基材、ポリカーボネート系基材、或いはアクリル系基材から選択することができる。その他のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアリレート系樹脂などについても、耐熱性、強度物性、電気絶縁性等を考慮して適宜選択することが可能である。フッ素系樹脂フィルムの材料としては、例えば、ポリフッ化ビニルPVF、ポリフッ化ビニリデンPVDF、ポリクロロトリフルオロエチレンPCTFE、ポリエチレンテトラフルオロエチレンETFE、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体PFA、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体FEP、或いはこれらフッ素系樹脂のアクリル変性物のフィルム又はシートから適宜選択することができる。金属酸化物蒸着層や金属箔層としては、例えば、酸化珪素または酸化アルミニウム、銅、アルミ箔などから選択することができる。2層の樹脂層で金属層を挟持した、金属層を含む樹脂構造のバックシートとしては、PET系層/金属箔又は金属酸化物層/PET系層の構造のもの、より具体的には、裏側から、白色のPET材料で構成した白色PET層と、アルミニウム等の金属泊で構成した金属層と、透明のPET材料で構成した透明PET層とをこの順に配設したものを例示できる。また、3層の樹脂層を含む一方、金属層を含まない樹脂構造のバックシートとしては、PET系層/PET系層/PET系層の構造のもの、より具体的には、裏側から、白色のPET材料で構成した白色PET層と、PET材料を蒸着した蒸着PET層と、透明のPET材料で構成した透明PET層とをこの順に配設したものを例示できる。トリミング処理装置100は、モジュール10を水平に載置する昇降式の載置台113後述する図4参照と、X方向に沿って延びている第1支持部110aと、Y方向に沿って延びている第2支持部111bとを備えている。第1支持部110aは、Y方向に間隔をおいて配設された一対のものとされており、垂直方向に立設された支柱図示せずを介して床面G図4参照にそれぞれ固定されている。第2支持部111bは、X方向に間隔をおいて配設された一対のものとされており、Y方向における両端部が一対の第1支持部110a,110aに支持されている。トリミング処理装置100は、基板位置決め機構図示省略と、切除装置120と、切れ込み部形成装置150図1では図示省略、後述する図6参照とを備えている。基板位置決め機構について基板位置決め機構は、CCDカメラ等の撮像手段を用いて、基板11の輪郭を位置情報として検出し、得られた位置情報に基づき移動手段によりモジュール10をX方向に移動させるようになっている。なお、モジュール10及び回転刃121の少なくとも一方をX方向に移動させるようになっていてもよい。切除装置について図4は、切除装置120を中心に示す図であって、図1に示すトリミング処理装置100のA-A線に沿った断面図である。また、図5は、回転刃121によってバックシート16の余剰部16aを切断している状態を示す図である。図5aは、その概略断面図を示しており、図5bは、その概略平面図を示しており、図5cは、図1に示すトリミング処理装置100の回転刃121部分を回転軸122aの方向の内側から視た概略側面図を示している。図5bにおいて、EVA15及びバックシート16は図示を省略している。なお、バックシート16の余剰部16aの切断状態において、基板11の一辺側と他辺側とでは実質的に同じ構成となっている。よって、図4及び図5では、基板11の一辺側に代表させて示し、基板11の他辺側については図示を省略してある。図1、図4及び図5に示すように、切除装置120は、X方向の両側に設けられた回転刃121,121と、回転刃121,121をそれぞれ回転駆動する回転駆動部122,122と、回転刃121,121の回転軸122aをそれぞれ回転自在に支持する回転刃支持部123,123と、載置台113に載置されたモジュール10を保持する保持部124,124と、回転刃支持部123,123をそれぞれ切断方向Y1に移動させる切断用移動部125,125とを備えている。回転刃121,121は、回転駆動部122,122の回転軸122a,122aの方向から視て円形状のものであり、刃厚方向図5aのW方向において径方向図5aのV方向の外方に向かうに従い尖鋭状に傾斜させた刃先121a図5参照を有している。回転駆動部122,122は、回転刃121,121を回転させる回転モーターとされており、回転軸122a,122aと回転刃121,121とが同軸上に連結されている。回転駆動部122,122は、回転刃121,121を一方側又は他方側ここでは一方側の矢印方向A、図5c参照に回転駆動させるようになっている。回転刃支持部123,123は、バックシート16の余剰部16aを切断する刃先121aが基板11側に向くように基板11の厚み方向Z方向上下方向に沿った軸心回りに傾斜させる切断角度θ図5b参照を持たせた状態で基板11の端面11aに対して閉じた方向で回転刃121,121の回転軸122aを回転自在に支持している。ここで、切断角度θは、基板11の表面11b及び裏面11cに垂直な方向から視て、基板11の端面11aに沿った仮想面E1図5b参照と、回転刃121の回転軸122aに直交する側面121bに沿った仮想面E2図5b参照とのなす角度とされている。切断角度θは、0.6°~10°程度であることが好ましい。図1及び図4に示すように、保持部124,124は、それぞれ、Y方向に沿って複数設けられておりここではモジュール10をY方向の両側で保持する一対のものとされており、載置台113に向けてモジュール10を押圧するクランプ部基板押さえ部124a,124aと、クランプ部124a,124aをZ方向に往復移動させる押圧部移動機構124b,124bとを有している。クランプ部124a,124aは、モジュール10のバックシート16に接触する接触面124c,124cを有し、接触面124c,124cでモジュール10を確実に保持できるようになっている。押圧部移動機構124b,124bは、クランプ部124a,124aをZ方向に往復移動させるアクチュエーター124d,124dを有している。アクチュエーター124d,124dは、支持部材124e,124eによって第2支持部111b,111bに支持されたシリンダー124f,124fと、シリンダー124f,124fに対してZ方向に可動するピストン124g,124gとを含んでいる。クランプ部124a,124aは、ピストン124g,124gの先端部に設けられている。本実施の形態では、一方側図1中の右側のクランプ部124aは、一方側の複数のここでは一対の保持部124間で図1中の上下方向に一体的に連結されており、他方側図1中の左側のクランプ部124aは、他方側の複数のここでは一対の保持部124間で図1中の上下方向に一体的に連結されている。切断用移動部125,125は、回転刃121,121とモジュール10とのうち少なくとも一方ここでは回転刃121,121を切断方向ここでは回転刃121,121の進行方向Y1に沿って相対的に移動させるものであり、回転刃支持部123,123をY方向に沿って案内するガイド部125a,125aと、回転刃支持部123,123をY方向に往復移動させる移動機構125b,125bをそれぞれ備えている。ここでは、切断用移動部125,125は、回転刃121,121が切断開始時には低速の第1移動速度具体的には70mm/sで移動し、所定時間例えば1秒経過後に第1移動速度よりも速い高速の第2移動速度具体的には221.7mm/sに切り替わる構成とされている。なお、回転刃121,121の周速度は、ここでは、3.2m/sとされている。具体的には、ガイド部125a,125aは、第2支持部111b,111bに設けられており、第2支持部111b,111bに対して回転刃支持部123,123をY方向に移動自在に案内する従動式LMガイドLinearMotionGuideを有している。移動機構125b,125bは、回転刃支持部123,123をY方向に往復移動させる走行駆動部125c,125cを有している。走行駆動部125a,125aは、図示しない回転軸に連結された車輪を含む走行部125d,125dをガイド部125a,125a上に走行させることで回転刃支持部123,123をY方向に往復移動させるようになっている。なお、バックシート16の余剰部16aを切断する構成は、バックシート16に外力を加えて余剰部16aを切断する構成であり、前記したような回転刃を回転させる構成に限定されるものではなく、例えば、丸鋸刃を回転させる構成や、長尺の刃をZ方向に振動させる構成であってもよい。本実施の形態において、トリミング処理装置100は、回転刃121によって切除されるバックシート16の余剰部16aの浮き上がりを規制する浮き上がり規制部材130ここでは両側に設けられた一対の規制部材130,130をさらに備えている。このように、回転刃121によって切除されるバックシート16の余剰部16aの浮き上がりを規制する浮き上がり規制部材130を設けることによって、回転刃121のせん断応力によるバックシート16の余剰部16aの浮き上がりを抑制することができ、回転刃121によるバックシート16の余剰部16aの切断をスムーズに行うことができる。また、本実施の形態において、トリミング処理装置100は、モジュール10を一方の面ここでは回転軸122aとは反対側で保持する保持ローラー140をさらに備えている。このように、モジュール10を一方の面で保持する保持ローラー140を設けることによって、保持ローラー140と共に回転刃支持部123に支持された回転刃121の高さ位置を特定することができる。すなわち、基板11のソリやEVA15の厚みバラツキなどで、モジュール10の厚みが不均一であったり、モジュール10の高さが微小に異なっていたりしても、回転刃121と基板11とのZ方向の位置関係を一定に維持したままバックシート16の余剰部16aを安定して切断することができる。例えば、モジュール10の厚みが不均一な場合に、保持ローラー140がないと不均一なせん断応力でバックシート16の余剰部16aを切断しなければならないところ、保持ローラー140を設置することにより、部材公差を吸収でき、均一なせん断応力でバックシート16の余剰部16aを切断することができる。切れ込み部形成装置について図6は、トリミング処理装置100における切れ込み部形成装置150部分を説明するための説明図である。図6aは、その概略平面図を示しており、図6bは、その概略側面図を示している。切れ込み部形成装置150は、第1切れ込み部形成加工部151と、第2切れ込み部形成加工部152と、第1切れ込み部形成駆動部153と、第2切れ込み部形成駆動部154とを備えている。第1切れ込み部形成加工部151は、X方向における一方側図中右側の切れ込み部形成加工部とされており、基板11の一辺側においてバックシート16の余剰部16aに切れ込み部16c図6aの右側の想像線参照を形成する第1切れ込み刃151bと、第1切れ込み刃151bを切断方向Y1の上流側が内側に向く斜め方向とされた第1切れ込み方向図6aのN1方向に往復移動させる第1切れ込み刃移動機構151cとを備えている。具体的には、第1切れ込み刃151bは、刃先151aを有し、基端側が第1切れ込み刃移動機構151cに支持されている。第1切れ込み刃移動機構151cは、一方の第2支持部111b図1参照に支持された第3支持部112b図6b参照に接続されており、第1切れ込み刃151bの刃先151aがZ方向において基板11の高さ位置に位置するように第3支持部112bを介して一方の第2支持部111bに支持されている。第1切れ込み刃移動機構151cは、第1切れ込み刃151bをN1方向に往復移動させるアクチュエーター151dを有している。アクチュエーター151dは、第3支持部112bを介して一方の第2支持部111bに支持されたシリンダー151eと、シリンダー151eに対してN1方向に可動するピストン151fとを含んでおり、ピストン151fの先端部に第1切れ込み刃151bが設けられている。第2切れ込み部形成加工部152は、X方向における他方側図中左側の切れ込み部形成加工部とされており、基板11の他辺側においてバックシート16の余剰部16aに切れ込み部16c図6aの左側の想像線参照を形成する第2切れ込み刃152bと、第2切れ込み刃152bを切断方向Y1の上流側が内側に向く斜め方向とされた第2切れ込み方向図6aのN2方向に往復移動させる第2切れ込み刃移動機構152cとを備えている。具体的には、第2切れ込み刃152bは、刃先152aを有し、基端側が第2切れ込み刃移動機構152cに支持されている。第2切れ込み刃移動機構152cは、他方の第2支持部111b図1参照に支持された第3支持部112b図6b参照に接続されており、第1切れ込み刃151bの刃先152aがZ方向において基板11の高さ位置に位置するように第3支持部112bを介して他方の第2支持部111bに支持されている。第2切れ込み刃移動機構152cは、第2切れ込み刃152bをN2方向に往復移動させるアクチュエーター152dを有している。アクチュエーター152dは、第3支持部112bを介して他方の第2支持部111bに支持されたシリンダー152eと、シリンダー152eに対してN2方向に可動するピストン152fとを含んでおり、ピストン152fの先端部に第2切れ込み刃152bが設けられている。なお、本実施の形態では、切れ込み部16c,16cを切断方向Y1に直交する直交方向X方向における両側の端部161,161後述する図7参照においてそれぞれ1箇所形成する構成としたが、複数箇所に形成する構成としてもよい。この場合、例えば、複数の切れ込み刃151b,...,152b,...を、刃先151a,...,152a,...がY方向に揃うようにY方向に離間させて支持する支持部図示せずを介してピストン151f,152fにそれぞれ保持する構成とすることができる。第1及び第2切れ込み部形成駆動部153,154は、それぞれ、第1及び第2切れ込み刃151b,152bによってバックシート16の余剰部16aに切れ込み部16cを形成するために第1及び第2切れ込み刃151b,152bを駆動させるものである。第1及び第2切れ込み部形成加工部151,152としては、第1及び第2切れ込み刃151b,152bによってバックシート16の余剰部16aを機械的に切断して切れ込み部16cを形成する切断加工部例えば金属製カッター、長尺のカッターを備えるものや、第1及び第2切れ込み刃151b,152bを加熱することでバックシート16の余剰部16aを溶融させて切れ込み部16cを形成する熱溶融加工部例えばホットカッター、電熱線を備えるものを例示できる。また、第1及び第2切れ込み部形成加工部151,152は、第1及び第2切れ込み刃151b,152bとして作用するレーザー光カッターによってバックシート16の余剰部16aを溶融させて切れ込み部16cを形成するものであってもよい。例えば、第1及び第2切れ込み部形成加工部151,152が前記切断加工部である場合、第1及び第2切れ込み部形成駆動部153,154としては、第1及び第2切れ込み刃151b,152bとして作用する回転カッターを回転させる回転駆動部や、第1及び第2切れ込み刃151b,152bとして作用する長尺のカッターをZ方向に振動させる振動駆動部を例示できる。また、第1及び第2切れ込み部形成加工部151,152が前記溶融加工部である場合、第1及び第2切れ込み部形成駆動部153,154としては、第1及び第2切れ込み刃151b,152bとして作用する加熱カッターを加熱する加熱駆動部を例示できる。なお、前記切断加工部において前記熱溶融加工部と同様に第1及び第2切れ込み刃151b,152bを加熱するようになってもよい。本実施の形態では、第1及び第2切れ込み部形成加工部151,152は、前記溶融加工部とされており、第1及び第2切れ込み部形成駆動部153,154は、前記加熱駆動部とされている。そして、第1及び第2切れ込み刃151b,152bとして作用する加熱カッターの刃先151a,152aの形状は、切れ込み部16cの形状に対応する形状とされている。トリミング処理工程について以上説明したトリミング処理装置100では、モジュール10の余剰部16aをトリミング処理するにあたり、図2に示すように、モジュール10における基板11の長辺側の余剰部16aを切断する第1ステージST1へと搬送し、載置台113に載置する。[モジュール位置決め工程]次に、図示しない基板位置決め機構によって、モジュール10を位置決めし、押圧部移動機構124bによって、クランプ部124a,124aを下降させ、クランプ部124a,124aによりモジュール10を押さえ、クランプ部124a,124aと載置台113との間でモジュール10を保持する図4の破線参照。[切れ込み部形成工程]そして、図6に示すように、第1及び第2切れ込み部形成駆動部153,154をそれぞれ駆動させながら、第1及び第2切れ込み刃移動機構151c,152cにて第1及び第2切れ込み刃151b,152bをN1,N2方向の基板11側へ前進させて刃先151a,152aにてバックシート16の余剰部16aを切れ込んで基板11の端面11aに接触させ、第1切れ込み刃151bと第2切れ込み刃152bとの間で基板11を挟み込む。こうして、バックシート16に対して切れ込み部16cを形成し、第1及び第2切れ込み刃移動機構151c,152cにて第1及び第2切れ込み刃151b,152bをN1,N2方向の基板11側とは反対方向へ後退させる。図7は、バックシート16の余剰部16aに形成された切れ込み部16cを示す概略平面図である。なお、バックシート16の一辺側及び他辺側に形成された切れ込み部16c,16cは、同じ形状であるため、図7では1つの図で示している。図7に示すように、バックシート16に形成された切れ込み部16cは、基板11の端面11a側の直交方向X方向における端部161から切断方向Y1に交差する交差方向N1,N2方向に切れ込まれている。そして、切れ込み部16cの切れ込み形状は、切断方向Y1の下流側の切れ込み辺162において交差方向N1,N2方向の内側端162aが外側端162bよりも切断方向Y1の下流側に位置する切れ込み形状とされている。詳しくは、下流側の切れ込み辺162は、直線とされており、切れ込み部16cの切れ込み形状は、下流側の切れ込み辺162と基板11の端面11aとのなす角度φ1が鋭角の切れ込み形状とされている。下流側の切れ込み辺162の内側端162aは、基板11の端面11aの位置に位置している。具体的には、切断方向Y1の上流側の切れ込み辺163において交差方向N1,N2方向の内側端163aが下流側の切れ込み辺162の内側端162aと同一位置に位置している。また、上流側の切れ込み辺163の外側端163bが下流側の切れ込み辺162の外側端162bよりも切断方向Y1の上流側に位置している。そして、上流側の切れ込み辺163は、直線とされており、切れ込み部16cの切れ込み形状は、交差方向N1,N2方向の内側端162a,163aを頂点とする三角形状の切れ込み形状とされている。また、上流側の切れ込み辺163の内側端163aは、下流側の切れ込み辺162の内側端162bとは異なる位置であって下流側の切れ込み辺162よりも切断方向Y1の上流側に位置していてもよい。この場合、切れ込み部16cの切れ込み形状は、四角形状以上の多角形状の切れ込み形状とすることができる。なお、切れ込み部形成工程は、次の切除工程を実施する前であれば、何れの段階で実施してもよい。[切除工程]次に、回転刃支持部123,123図1及び図4参照により回転刃121,121を基板11側へ傾斜させ図5b参照、かつ、回転駆動部122,122図4参照により一方側に回転させた状態で、回転刃121,121とモジュール10とのうち少なくとも一方ここでは回転刃121,121を切断用移動部125,125図1及び図4参照により切断方向Y1に沿って相対的に移動させつつ基板11の長辺側における回転刃121,121側の辺に対応するバックシート16の余剰部16a,16aを切断する図2参照。バックシート16の余剰部16a,16aの切断後、押圧部移動機構124b,124b図1及び図4参照によって、クランプ部124a,124aを上昇させてモジュール10を解放し、モジュール10をリフトダウンさせて、図3に示すように、モジュール10を基板11の短辺側におけるバックシート16の余剰部16a,16aを切断する第2ステージST2へと搬送する。そして、第2ステージST2に搬送されたモジュール10を第1ステージST1と同様にしてクランプ部124a,124aと載置台113との間で保持した後、第1ステージST1の場合と同様に、回転刃121,121とモジュール10とのうち少なくとも一方ここでは回転刃121を切断用移動部125,125により切断方向X1に沿って相対的に移動させつつ基板11の短辺側におけるバックシート16の余剰部16a,16aを切断する。ところで、回転刃121,121により切断が開始されるバックシート16の切断開始辺16b図13a参照から回転刃121,121により切断方向Y1に切り込むバックシート16の切り込み動作において、切断開始辺16bで切断方向Y1X1への切り込みが入らず、バックシート16が回転刃121,121から逃げてしまうことがある。図8は、本実施の形態に係るトリミング処理においてバックシート16の切断開始辺16bで切り込みが入らない場合での余剰部16a,16aの除去を説明するための説明図である。図8aは、その概略斜視図を示しており、図8bは、図8aのα部分を拡大した概略平面図を示している。なお、図8では、トリミング処理装置100における回転刃121,121のみを示し、他の部材については図示を省略している。本実施の形態によれば、たとえバックシート16の切断開始辺16bで切断方向Y1X1への切り込みが入らず、バックシート16が回転刃121,121から逃げてしまうことがあっても、図8に示すように、余剰部16a,16aが切除されるバックシート16が、端部161,161から交差方向N1,N2方向に切れ込まれた切れ込み部16c,16cを有している。このため、回転刃121,121にて余剰部16a,16aを切除するときに、切れ込み部16c,16cを境にして、バックシート16の切断方向Y1X1の上流側で余剰部16a,16aが折れる一方、バックシート16の下流側が上流側に支えられているために腰が強くなっている下流側で余剰部16a,16aが必然的に回転刃121,121が入り易い構造となり、これにより、バックシート16の余剰部16a,16aを確実に切断することが可能となる。しかも、切れ込み部16c,16cの切れ込み形状は、切断方向Y1X1の下流側の切れ込み辺162,162において交差方向N1,N2方向の内側端162a,162aが外側端162b,162bよりも切断方向Y1X1の下流側に位置する切れ込み形状とさているので、回転刃121,121にて余剰部16a,16aを切除するにあたり、バックシート16の余剰部16a,16aにおける切れ込み部16c,16cよりも切断方向Y1X1の下流側近傍部分16e,16eに、回転刃121,121の刃先121a,121aを確実に引っ掛けさせることができ、これにより、バックシート16の余剰部16a,16aを確実に切断することが可能となる。このことは、例えば、バックシート16をPET系等の樹脂層を3層に形成した、アルミニウム膜等の金属層を含まない樹脂構造金属レス構造のものとした場合には、バックシート16の腰が金属層を含む樹脂構造のバックシートよりもさらに弱まるために、本実施の形態のような切れ込み部16cをバックシート16に形状することが特に有効となる。なお、切れ込み部16cを境にしてバックシート16の上流側に支えられた下流側でより強い腰を得るという観点からは、切れ込み部16cは、下流側の切れ込み辺162の内側端162aが基板11における切断方向Y1X1の上流側のコーナー位置11bよりも下流側例えば図8に示すように切断方向Y1X1の中央部に位置していてもよい。こうすることで、切れ込み部16cを境にしてバックシート16の上流側が基板11によって安定し、これにより、安定した上流側で支えられた下流側でより強い腰を得ることができる。この場合、余剰部16aの下流側を切断する第1切断動作に加えて、余剰部16aの切断方向Y1X1とは逆方向Y2X2の下流側切断方向Y1X1の上流側を切断する第2切断動作をさらに行うことができる。このように、前記第1切断動作及び前記第2切断動作を行う場合、バックシート16は、前記第1切断動作で使用する第1の切れ込み部16cに加えて、前記第2切断動作で使用する第2の切れ込み部16cを有していてもよい。そして、バックシート16において、第1の切れ込み部16cと第2の切れ込み部16cとを連結させて第1の切れ込み部16cの切れ込み形状と第2の切れ込み部16cの切れ込み形状とで台形状を構成していてもよい。しかし、前記第1切断動作及び前記第2切断動作を行う場合、多くて2回の切断動作を行うことになるために切除工程の作業性の低下を抑制するという観点からは、下流側の切れ込み辺162の内側端162aがコーナー位置11bに位置するか、又は、コーナー位置11bよりも上流側に位置していることが好ましい。こうすることで、コーナー位置11bよりも切断方向Y1X1の上流側でバックシート16の余剰部16aを切断することができ、これにより、1回の切断動作で余剰部16aを切除することが可能となる。また、本実施の形態に係るモジュールのトリミング処理方法及び太陽電池モジュールの製造方法は、前記切除工程を行う前にバックシート16に対して切れ込み部16cを形成する前記切れ込み部形成工程を含んでいるが、本実施の形態に係るモジュールのトリミング処理方法及び太陽電池モジュールの製造方法において、事前に切れ込み部16cが形成されたバックシート16を使用してもよい。事前に切れ込み部16cが形成されたバックシート16を使用する場合には、前記切れ込み部形成工程を省くことができる。しかし、この場合、バックシート16を基板11に封止するときに、基板11とバックシート16とを位置合わせする位置合わせ工程が必要となり、バックシート16を基板11に封止する封止作業の効率の低下を招く。この点、前記切れ込み部形成工程を含む場合には、前記位置合わせ工程を設けなくても、基板11を封止したバックシート16における基板11の位置に合わせて切れ込み部16cを形成することができる。すなわち、前記切れ込み部形成工程は単に切れ込み部16cを形成する工程であって前記位置合わせ工程よりも簡易な工程であるため、作業効率の低下を抑制することが可能となる。ここで、上流側の切れ込み辺163の外側端163b図7参照が下流側の切れ込み辺162の外側端162bと同一位置略同一位置に位置していることで、切れ込み部16cの切れ込み形状が交差方向N1,N2方向に沿った直線形状の切れ込み形状とされていてもよいが、この場合、上流側の切れ込み辺163と下流側の切れ込み辺162とが近接するので、余剰部16aを切除するときに回転刃121によって余剰部16aの下流側が余剰部16aの上流側につられて折れる可能性がある。このため、本実施の形態では、切れ込み部16cの切れ込み形状は、図7に示すように、上流側の切れ込み辺163及び下流側の切れ込み辺162における交差方向N1,N2方向の内側端を頂点とする2辺の内角φ2が下流側の切れ込み辺162と基板11の端面11aとのなす角度φ1以下でかつ0度より大きい角度の切れ込み形状とされている。こうすることで、上流側の切れ込み辺163及び下流側の切れ込み辺162を交差方向N1,N2方向の外側で確実に離間させることができ、従って、バックシート16の余剰部16aにおける切れ込み部16cの切断方向Y1X1の下流側近傍部分16eに、回転刃121の刃先121aをさらに確実に引っ掛けさせることができ、これにより、バックシート16の余剰部16aをさらに確実に切断することが可能となる。また、本実施の形態では、回転刃121にて余剰部16aを切除するにあたり、回転刃121を基板11側へ端面11aに対して傾斜させるので、バックシート16の余剰部16aにおける切れ込み部16cの切断方向Y1X1の下流側近傍部分16eに、回転刃121の刃先121aをより一層確実に引っ掛けさせることができ、これにより、バックシート16の余剰部16aをより一層確実に切断することが可能となる。なお、下流側の切れ込み辺162と基板11の端面11aとのなす角度φ1は、切断角度θ図5b参照と同じ角度であることが好ましい。こうすることで、回転刃121の刃先121aを上流側の切れ込み辺163で引っ掛かり易くさせることができる。実施例次に、図1に示すトリミング処理装置100において、切れ込み部16cが形成されたバックシート16の余剰部16aを回転刃121にて切除したときの切除の成功率を評価したので比較例とともに以下に説明する。なお、以下の評価は、回転刃121を作業者の手で切断方向Y1に移動させてバックシート16の余剰部16aを除去するトリミング処理動作を5回行って、余剰部16aの切除に成功した回数を数えることで行った。実施例では、本実施の形態に係る切れ込み部16cの切れ込み形状で評価した。また、切れ込み部16cがない状態で行った評価を比較例1とし、何れの内角も鋭角である三角形状の切り込み形状で行った評価を比較例2とし、正方形状の切り込み形状で行った評価を比較例3とし、直交方向X方向に沿った直線形状の切り込み形状で行った評価を比較例4とした。なお、実施例及び比較例1から比較例4においてバックシート16の端部161から切り込み形状の内側端までの距離dを3mmとした。図9は、実施例及び比較例1から比較例4の評価結果を示す表である。図9に示す評価結果において、比較例1では、5回行ったトリミング処理動作のうち全てが失敗した成功率0。比較例2では、回転刃121の刃先121aが必ずしも三角形状の内側端部頂点Tに当たらず、三角形状の切り込み辺傾斜辺に当たってしまうことが多く、5回行ったトリミング処理動作のうち1回だけ成功し、成功率は20であった。また、比較例3及び比較例4では、回転刃121の刃先121aの切れ込み部への引っ掛かり性は向上したものの、5回行ったトリミング処理動作のうち、3回及び4回の成功にとどまり、成功率はそれぞれ60及び80であった。これに対して、実施例では、回転刃121の刃先121aがバックシート16の余剰部16aにおける下流側近傍部分16eに確実に引っ掛かり、5回行ったトリミング処理動作のうち全てが成功した成功率100。以上の評価結果から、本実施の形態に係る切れ込み部16cの切れ込み形状では、回転刃121にて余剰部16cを切除するにあたり、バックシート16の余剰部16aにおける下流側近傍部分16eに、回転刃121の刃先121aを確実に引っ掛けさせることができ、これにより、バックシート16の余剰部16aを確実に切断できることが分かった。参考例本実施の形態に係る切れ込み部16cは、切断方向Y1に互いに近接して切れ込み形状を複数形成したものであってもよいが、この場合、回転刃121にて余剰部16cを切除するにあたり、回転刃121の刃先121aが切れ込み部16cに到達したときのバックシート16の腰が弱くなり易く、それだけ、バックシート16の余剰部16aを安定的に切断することが困難となる。このため、本実施の形態に係る切れ込み部16cの切れ込み形状は、単一の切れ込み形状とされていることが好ましい。次に、切れ込み形状を、直交方向X方向に沿った直線形状の単一の切り込み形状とした参考例と、直交方向X方向に沿って切断方向Y1に互いに近接した直線形状の3本及び2本の切り込み形状とした比較例5及び比較例6とで、バックシート16の余剰部16aを回転刃121にて切除したときの切除の成功率を評価した。なお、以下の評価は、回転刃121を作業者の手で切断方向Y1に移動させてバックシート16の余剰部16aを除去するトリミング処理動作を、参考例では5回、比較例5では3回、比較例6では2回行って、余剰部16aの切除に成功した回数を数えることで行った。なお、参考例並びに比較例5及び比較例6においてバックシート16の端部161から切り込み形状の内側端までの距離dを3mmとした。また、比較例5及び比較例6において直線形状の切り込み形状間のピッチpを1mmとした。図10は、参考例並びに比較例5及び比較例6の評価結果を示す表である。図10に示す評価結果において、比較例5及び比較例6では、回転刃121の刃先121aが切れ込み部に到達したときのバックシート16の腰が弱くなり、3回及び2回行ったトリミング処理動作のうち、1回及び1回の成功にとどまり、成功率はそれぞれ33及び50であった。これに対して、参考例では、5回行ったトリミング処理動作のうち4回成功し、成功率は80であった。以上の評価結果から、切れ込み部の切れ込み形状が単一の切れ込み形状とされていることが好ましいことが分かった。なお、ここでは、切れ込み形状を直交方向X方向に沿った直線形状の切り込み形状としたが、切れ込み形状を、本発明に係る切れ込み部の切れ込み形状、すなわち、切断方向の下流側の切れ込み辺において交差方向の内側端が外側端よりも切断方向の下流側に位置する切れ込み形状としても同様のことが言える。"