"所定の駆動信号を印加されることで励起される複数の振動モードによって被駆動体を駆動する超音波振動子に用いられる圧電素子であって、前記複数の振動モードにおける振動のうち、前記被駆動体を複数軸方向に駆動する際の推進方向の振動成分を検出する振動検出電極を含む振動検出電極層を具備し、前記振動検出電極層は、同一周波数で互いに直交する方向の複数の屈曲振動モードにおける腹部近傍に設けられていることを特徴とする圧電素子。前記圧電素子は、第1の方向と、第2の方向と、第3の方向と、から成る三軸直交座標系において、前記第3の方向を長手方向とし、前記圧電素子のうち、前記第3の方向について略2等分された一方側部分において、前記第1の方向に並列に配設された少なくとも2つの第1圧電活性領域と、前記圧電素子のうち、前記第3の方向について略2等分された他方側部分において、前記第2の方向に並列に配設された少なくとも2つの第2圧電活性領域と、を具備し、前記第1圧電活性領域及び前記第2圧電活性領域は、前記振動検出電極層と、前記振動検出電極層を前記第3の方向から挟み込むように配設され、前記所定の駆動信号が印加される駆動電極層と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。前記第1圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層は、前記第1の方向における推進方向の振動成分を検出し、前記第2圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層は、前記第2の方向における推進方向の振動成分を検出することを特徴とする請求項2に記載の圧電素子。前記第1圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層は、さらに前記第2の方向に並列に配設された圧電活性領域を含み、前記第1の方向における推進方向の振動成分及び前記第2の方向における推進方向の振動成分を検出し、前記第2圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層は、さらに前記第1の方向に並列に配設された圧電活性領域を含み、前記第1の方向における推進方向の振動成分及び前記第2の方向における推進方向の振動成分を検出することを特徴とする請求項3に記載の圧電素子。略球体形状を呈する被駆動体と、所定の駆動信号を印加されることで励起される複数の振動モードによって前記被駆動体を多自由度に駆動する圧電素子と、前記圧電素子のうち前記被駆動体に対向する面に設けられた摩擦接触子と、前記圧電素子に押圧力を与え、前記摩擦接触子を介して前記圧電素子を前記被駆動体に加圧接触させる押圧部材と、前記被駆動体を複数の軸周りに回転可能に支持するための支持部材と、前記駆動信号である2相の交番信号を出力して前記圧電素子を駆動させ、且つ、前記圧電素子の振動状態を検出する制御部と、を具備し、前記圧電素子は、前記複数の振動モードにおける振動のうち、前記被駆動体を複数軸方向に駆動する際の推進方向の振動成分を検出する振動検出電極を含む振動検出電極層を具備し、前記振動検出電極は、同一周波数で互いに直交する方向の複数の屈曲振動モードにおける腹部近傍に設けられていることを特徴とする超音波モータ。前記圧電素子は、第1の方向と、第2の方向と、第3の方向と、から成る三軸直交座標系において、前記第3の方向を長手方向とし、前記圧電素子のうち、前記第3の方向について略2等分された一方側部分において、前記第1の方向に並列に配設された少なくとも2つの第1圧電活性領域と、前記圧電素子のうち、前記第3の方向について略2等分された他方側部分において、前記第2の方向に並列に配設された少なくとも2つの第2圧電活性領域と、を具備し、前記第1圧電活性領域及び前記第2圧電活性領域は、前記振動検出電極層と、前記振動検出電極層を前記第3の方向から挟み込むように配設され、前記所定の駆動信号が印加される駆動電極層と、を含むことを特徴とする請求項5に記載の超音波モータ。前記第1圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層は、前記第1の方向における推進方向の振動成分を検出し、前記第2圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層は、前記第2の方向における推進方向の振動成分を検出することを特徴とする請求項6に記載の超音波モータ。前記第1圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層は、さらに前記第2の方向に並列に配設された圧電活性領域を含み、前記第1の方向における推進方向の振動成分及び前記第2の方向における推進方向の振動成分を検出し、前記第2圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層は、さらに前記第1の方向に並列に配設された圧電活性領域を含み、前記第1の方向における推進方向の振動成分及び前記第2の方向における推進方向の振動成分を検出することを特徴とする請求項7に記載の超音波モータ。前記制御部は、前記第1圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層及び前記第2圧電活性領域が具備する前記振動検出電極層から出力された信号の位相と、前記駆動信号の位相との位相差が所定の値になるように、前記駆動信号の周波数を制御することを特徴とする請求項6に記載の超音波モータ。ところで、現在、外的な要因例えば負荷変動や温度変動によって超音波モータの振動状態が変化した場合であっても、当該超音波モータの駆動を安定させる補正を行うことができる超音波モータが望まれている。しかしながら、特許文献1に開示されている圧電素子には、外的な要因に起因する共振周波数の変化を検出する手段が設けられていない。従って、特許文献1に開示されている技術によれば、特別な検出手段を設ける等しない限り、上述のような外的要因によって圧電素子の振動状態が変化した場合に、当該超音波モータのモータ特性を安定させるような補正を行うことができない。なお、特別な検出手段を別途設けることは、当然ながら当該超音波モータの構成の複雑化大型化に繋がる。本発明は、前記の事情に鑑みてなされたものであり、多自由度の駆動が可能な超音波モータに利用される圧電素子であって、振動状態を検出可能で且つ簡易な構成の圧電素子、及び該圧電素子を具備する超音波モータを提供すること目的とする。前記の目的を達成するために、本発明の第1の態様による圧電素子は、所定の駆動信号を印加されることで励起される複数の振動モードによって被駆動体を駆動する超音波振動子に用いられる圧電素子であって、前記複数の振動モードにおける振動のうち、前記被駆動体を複数軸方向に駆動する際の推進方向の振動成分を検出する振動検出電極を含む振動検出電極層を具備し、前記振動検出電極層は、同一周波数で互いに直交する方向の複数の屈曲振動モードにおける腹部近傍に設けられていることを特徴とする。前記の目的を達成するために、本発明の第2の態様による超音波モータは、略球体形状を呈する被駆動体と、所定の駆動信号を印加されることで励起される複数の振動モードによって前記被駆動体を多自由度に駆動する圧電素子と、前記圧電素子のうち前記被駆動体に対向する面に設けられた摩擦接触子と、前記圧電素子に押圧力を与え、前記摩擦接触子を介して前記圧電素子を前記被駆動体に加圧接触させる押圧部材と、前記被駆動体を複数の軸周りに回転可能に支持するための支持部材と、前記駆動信号である2相の交番信号を出力して前記圧電素子を駆動させ、且つ、前記圧電素子の振動状態を検出する制御部と、を具備し、前記圧電素子は、前記複数の振動モードにおける振動のうち、前記被駆動体を複数軸方向に駆動する際の推進方向の振動成分を検出する振動検出電極を含む振動検出電極層を具備し、前記振動検出電極は、同一周波数で互いに直交する方向の複数の屈曲振動モードにおける腹部近傍に設けられていることを特徴とする。本発明によれば、多自由度の駆動が可能な超音波モータに利用される圧電素子であって、振動状態を検出可能で且つ簡易な構成の圧電素子、及び該圧電素子を具備する超音波モータを提供することができる。以下、本発明の実施形態に係る圧電素子及び超音波モータについて、図面を参照して説明する。なお、本発明の実施形態に係る圧電素子に、所定の駆動子及びホルダ部材等を設けることで超音波振動子を構成することができる。そして、超音波振動子に、所定の制御系及び被駆動体等を設けることで超音波モータを構成することができる。第1実施形態図1は、本第1実施形態に係る圧電素子10の一構成例を示す分解斜視図である。図2は、本第1実施形態に係る圧電素子の斜視図である。図1及び図2に示すように、圧電素子10は、圧電活性領域群11,12詳細は後述を備える第1の積層部1と、圧電活性領域群21,22詳細は後述を備える第2の積層部2とを具備する。図1に示すように、第1の積層部1と第2の積層部2は、絶縁シート100により絶縁されている。また、当該圧電素子10の最上位及び最下位にも絶縁シート100が配設されている。以下、各積層部について詳細に説明する。なお、本第1実施形態においては、三軸直交座標系として図1に示すように第1の方向、第2の方向、及び第3の方向を定義している。すなわち、本第1実施形態に係る圧電素子10は、第3の方向にシート状の圧電素子後に詳述を積層した構造を採る圧電素子である。前記第1の積層部1は、上層側から順に、駆動電極形成層1-Aと、振動検出電極形成層3と、駆動電極形成層1-Bと、を有する。同様に、前記第2の積層部2は、上層側から順に、駆動電極形成層2-Aと、振動検出電極形成層4と、駆動電極形成層2-Bと、を有する。前記駆動電極形成層1-A及び前記駆動電極形成層1-Bは、駆動電極を構成する内部電極が形成された圧電シート1-1と圧電シート1-2とが、所定の厚みを呈するまで交互に積層されて成る層である。各圧電シートの構成については後に詳述する。ここで、駆動電極形成層1-Aと駆動電極形成層1-Bとは略同じ厚みであるとする。前記振動検出電極形成層3は、振動検出電極を構成する圧電シート3-1と圧電シート3-2とが、所定の厚みを呈するまで交互に積層されて成る層である。この振動検出電極形成層3は、上述の駆動電極形成層1-Aと駆動電極形成層1-Bとによって挟み込まれた態様で設けられている。同様に、前記駆動電極形成層2-A及び前記駆動電極形成層2-Bは、駆動電極を構成する内部電極が形成された圧電シート2-1と圧電シート2-2とが、所定の厚みを呈するまで交互に積層されて成る層である。各圧電シートの構成については後に詳述する。駆動電極形成層2-Aと駆動電極形成層2-Bとは略同じ厚みであるとする。前記振動検出電極形成層4は、振動検出電極を構成する圧電シート4-1と圧電シート4-2とが、所定の厚みを呈するまで交互に積層されて成る層である。この振動検出電極形成層4は、上述の駆動電極形成層2-Aと駆動電極形成層2-Bとによって挟み込まれた態様で設けられている。ところで、上述の振動検出電極形成層3,4は、当該圧電素子10に屈曲振動当該圧電素子10が超音波モータに用いられた場合に、被駆動体の駆動に寄与する振動成分が励起された場合において、当該屈曲振動の腹部近傍に位置するように設けられている。これら振動検出電極形成層3,4によって、圧電素子10の振動のうち駆動に係る振動成分を検出することが可能となる。そして、この屈曲振動成分の検出信号を用いて、圧電素子10の振動状態を補正することによって、モータの駆動特性を劣化させることなく常に安定した駆動を行うことが可能になる詳細は後述する。以下、各層を構成する圧電シートについて詳細に説明する。前記圧電シート1-1,1-2,2-1,2-2,3-1,3-2,4-1,4-2は、矩形シート状の圧電素子である。これらの材料としては、例えばハード系のチタン酸ジルコン酸鉛の圧電セラミックス素子PZTを挙げることができる。詳細は後述するが、各圧電シート1-1,1-2,2-1,2-2,3-1,3-2,4-1,4-2には、厚み方向に分極されてなる活性化領域を構成する内部電極が設けられている。この内部電極としては、例えば厚さ4μmの銀パラジウム合金を挙げることができる。まず、駆動電極形成層1-A,1-Bを構成する圧電シート1-1,1-2、及び駆動電極形成層2-A,2-Bを構成する圧電シート2-1,2-2について詳細に説明する。前記圧電シート1-1の電極形成面上には、内部電極1d-1と内部電極1d-2とが、当該電極形成面を第1の方向に二等分する線に対して対称に第1の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極1d-1には、当該圧電シート1-1の一方辺の縁部位第1の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部1d-1eが設けられている。前記内部電極1d-2には、当該圧電シート1-1の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部1d-2eが設けられている。同様に、前記圧電シート1-2の電極形成面上には、内部電極1d-1 ́と内部電極1d-2 ́とが、当該電極形成面を第1の方向に二等分する線に対して対称に第1の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極1d-1 ́には、当該圧電シート1-2の一方辺の縁部位第1の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部1d-1 ́eが設けられている。前記内部電極1d-2 ́には、当該圧電シート1-2の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部1d-2 ́eが設けられている。ここで、圧電シート1-1に形成された内部電極1d-1の露出部1d-1eと、圧電シート1-2に形成された内部電極1d-2の露出部1d-1 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部1d-1e,1d-1 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。同様に、圧電シート1-1に形成された内部電極1d-2の露出部1d-2eと、圧電シート1-2に形成された内部電極1d-2の露出部1d-2 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部1d-2e,1d-2 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。以上説明したように、圧電シート1-1と圧電シート1-2とは、形成された内部電極のパターンが同一で且つそれら内部電極を外部へ引き出すパターンが互いに異なる圧電シートである。ところで、圧電シート1-1の分極方向と、圧電シート1-2の分極方向とは互いに逆方向である逆の極性を有する。前記圧電シート2-1の電極形成面上には、内部電極2d-1と内部電極2d-2とが、当該電極形成面を第2の方向に二等分する線に対して対称に第2の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極2d-1には、当該圧電シート2-1の一方辺の縁部位第2の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部2d-1eが設けられている。前記内部電極2d-2には、当該圧電シート2-1の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部2d-2eが設けられている。同様に、前記圧電シート2-2の電極形成面上には、内部電極2d-1 ́と内部電極2d-2 ́とが、当該電極形成面を第2の方向に二等分する線に対して対称に第2の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極2d1 ́には、当該圧電シート2-2の一方辺の縁部位第2の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部2d-1 ́eが設けられている。前記内部電極2d2 ́には、当該圧電シート2-2の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部2d-2 ́eが設けられている。ここで、圧電シート2-1に形成された内部電極2d-1の露出部2d-1eと、圧電シート2-2に形成された内部電極2d1 ́の露出部2d-1 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部2d-1e,2d-1 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。同様に、圧電シート2-1に形成された内部電極2d-2の露出部2d-2eと、圧電シート2-2に形成された内部電極2d2 ́の露出部2d-2 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部2d-2e,2d-2 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。以上説明したように、圧電シート2-1と圧電シート2-2とは、形成された内部電極のパターンが同一で且つそれら内部電極を外部へ引き出すパターンが互いに異なる圧電シートである。ところで、圧電シート2-1の分極方向と、圧電シート2-2の分極方向とは互いに逆方向である逆の極性を有する。なお、圧電シート1-1,1-2と、圧電シート2-1,2-2とは、下記の関係にあるとも言える。すなわち、前記圧電シート1-1,1-2を90度だけ第1の方向から第2の方向へ向かって回転させると、それぞれ圧電シート2-1,2-2と同様の構成の圧電シートとなる。従って、実質的には2種類の圧電シートを製造するだけで、圧電シート1-1,1-2,2-1,2-2を得ることができる。以下、振動検出電極形成層3を構成する圧電シート3-1,3-2、及び振動検出電極形成層4を構成する圧電シート4-1,4-2について詳細に説明する。前記圧電シート3-1の電極形成面上には、内部電極3d-1と内部電極3d-2とが、当該電極形成面を第1の方向に二等分する線に対して対称に第1の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極3d-1には、当該圧電シート3-1の一方辺の縁部位第1の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部3d-1eが設けられている。前記内部電極3d-2には、当該圧電シート3-1の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部3d-2eが設けられている。前記圧電シート3-2の電極形成面上には、内部電極3d-1 ́と内部電極3d-2 ́とが、当該電極形成面を第1の方向に二等分する線に対して対称に第1の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極3d-1 ́には、当該圧電シート3-2の一方辺の縁部位第1の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部3d-1 ́eが設けられている。前記内部電極3d2 ́には、当該圧電シート3-2の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部3d-2 ́eが設けられている。ここで、圧電シート3-1に形成された内部電極3d-1の露出部3d-1eと、圧電シート3-2に形成された内部電極3d-1 ́の露出部3d-1 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部3d-1e,3d-1 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。同様に、圧電シート3-1に形成された内部電極3d-2の露出部3d-2eと、圧電シート3-2に形成された内部電極3d2 ́の露出部3d-2 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部3d-2e,3d-2 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。以上説明したように、圧電シート3-1と圧電シート3-2とは、形成された内部電極のパターンが同一で且つそれら内部電極を外部へ引き出すパターンが互いに異なる圧電シートである。ところで、圧電シート3-1の分極方向と、圧電シート3-2の分極方向とは互いに逆方向である逆の極性を有する。前記圧電シート4-1の電極形成面上には、内部電極4d-1と内部電極4d-2とが、当該電極形成面を第2の方向に二等分する線に対して対称に第2の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極4d-1には、当該圧電シート4-1の一方辺の縁部位第2の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部4d-1eが設けられている。前記内部電極4d-2には、当該圧電シート4-1の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部4d-2eが設けられている。前記圧電シート4-2の電極形成面上には、内部電極4d-1 ́と内部電極4d-2 ́とが、当該電極形成面を第2の方向に二等分する線に対して対称に第2の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極4d-1 ́には、当該圧電シート4-2の一方辺の縁部位第2の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部4d-1 ́eが設けられている。前記内部電極4d2 ́には、当該圧電シート4-2の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部4d-2 ́eが設けられている。ここで、圧電シート4-1に形成された内部電極4d-1の露出部4d-1eと、圧電シート4-2に形成された内部電極4d-1 ́の露出部4d-1 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部4d-1e,4d-1 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。同様に、圧電シート4-1に形成された内部電極4d-2の露出部4d-2eと、圧電シート4-2に形成された内部電極4d2 ́の露出部4d-2 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部4d-2e,4d-2 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。以上説明したように、圧電シート4-1と圧電シート4-2とは、形成された内部電極のパターンが同一で且つそれら内部電極を外部へ引き出すパターンが互いに異なる圧電シートである。ところで、圧電シート4-1の分極方向と、圧電シート4-2の分極方向とは互いに逆方向である逆の極性を有する。なお、圧電シート3-1,3-2と、圧電シート4-1,4-2とは、下記の関係にあるとも言える。すなわち、前記圧電シート3-1,3-2を90度だけ第1の方向から第2の方向へ向かって回転させると、それぞれ圧電シート4-1,4-2と同様の構成の圧電シートとなる。従って、実質的には2種類の圧電シートを製造するだけで、圧電シート3-1,3-2,4-1,4-2を得ることができる。なお、これら露出部3d-1e,3d-1 ́eと、上述した圧電シート1-1,1-2の露出部1d-1e,1d-1 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部1d-1e,1d-1 ́e,3d-1e,3d-1 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。同様に、露出部4d-1e,4d-1 ́eと、圧電シート2-1,2-2の露出部2d-1e,2d-1 ́eとは、積層時に重なる辺に設けられてはいるが、それら露出部2d-1e,2d-1 ́e,4d-1e,4d-1 ́e同士は互いに重ならないように所定間隔だけずらして設けられている。本第1実施形態に係る圧電素子10は、上述した積層構造を採り、例えば一体焼成により製造される。そして、第1の積層部1と第2の積層部2とにおいて、下記のように圧電活性領域群が設けられる。第1の積層部1においては、前記圧電シート1-1の内部電極1d-1と、前記圧電シート1-2の内部電極1d-1 ́と、前記圧電シート3-1の内部電極3d-1と、前記圧電シート3-2の内部電極3d-1 ́と、に対応する領域は、圧電的に活性化された圧電活性領域群11を構成する。同様に、前記圧電シート1-1の内部電極1d-2と、前記圧電シート1-2の内部電極1d-2 ́と、前記圧電シート3-1の内部電極3d-2と、前記圧電シート3-2の内部電極3d-2 ́と、に対応する領域は、圧電的に活性化された圧電活性領域群12を構成する。第2の積層部2においては、前記圧電シート2-1の内部電極2d-1と、前記圧電シート2-2の内部電極2d-1 ́と、前記圧電シート4-1の内部電極4d-1と、前記圧電シート4-2の内部電極4d-1 ́と、に対応する領域は、圧電的に活性化された圧電活性領域群21を構成する。同様に、前記圧電シート2-1の内部電極2d-2と、前記圧電シート2-2の内部電極2d-2 ́と、前記圧電シート4-1の内部電極4d-2と、前記圧電シート4-2の内部電極4d-2 ́と、に対応する領域は、圧電的に活性化された圧電活性領域群22を構成する。図3は、検出電極層3を構成する圧電シート3-1の電極形成面に形成された内部電極3d-1,3d-2の詳細な形成位置及び形状の一例を示す図である。説明の便宜上、図3に示すように圧電シート3-1の各辺を2等分するように第1の方向軸及び第2の方向軸を設定する。内部電極3d-1は第1の方向軸に対して対称に且つ第1の方向軸を含むように形成されている。同様に、内部電極3d-2も第1の方向軸に対して対称に且つ第1の方向軸を含むように形成されている。ここで、内部電極3d-1と内部電極3d-2とは、第2の方向軸に対して対称に形成されている。前記圧電シート3-1上において、上述のような形状及び位置に内部電極3d-1,3d-2を形成することで、第2の方向の駆動第1の方向軸周りの駆動についての圧電素子10の伸縮時には、圧電活性領域群11,12内においてそれぞれ前記内部電極3d-1,3d-2の各面内で、第1の方向軸を境にして一方側と他方側とにそれぞれ互いに逆方向に伸縮を行なう。その結果、前記内部電極3d-1,3d-2の各面内で、互いに逆極性の電荷が生じる。そして、この互いに逆極性の電荷は、当該内部電極3d-1,3d-2の各面内で相殺キャンセルされる図4A参照。一方、第1の方向の駆動についての圧電素子10の伸縮時には、圧電活性領域群11,12内においてそれぞれ前記内部電極3d-1,3d-2の各面内で一方向の伸縮を行なう。その結果、前記内部電極3d-1,3d-2の各面内で一方極性正または負の電荷が生じる。そして、この電荷が、振動検出信号として検出される。なお、前記内部電極3d-1に生じる電荷と前記内部電極3d-2に生じる電荷との関係は互いに逆極性の関係である。つまり、第1の積層部1の圧電活性領域群11,12によって、第1の方向の駆動第2の方向軸周りの駆動についてのみ、振動検出することができる。なお、前記圧電シート3-2については、上述したように露出部の位置が異なるのみであり、振動検出については圧電シート3-1と同様であるので、ここでは説明を省略する。図5は、検出電極層4を構成する圧電シート4-1の電極形成面に形成された内部電極4d-1,4d-2の詳細な形成位置及び形状の一例を示す図である。説明の便宜上、図4に示すように圧電シート4-1の各辺を2等分するように第1の方向軸及び第2の方向軸を設定する。内部電極4d-1は第2の方向軸に対して対称に且つ第2の方向軸を含むように形成されている。同様に、内部電極4d-2も第2の方向軸に対して対称に且つ第2の方向軸を含むように形成されている。ここで、内部電極4d-1と内部電極4d-2とは、第1の方向軸に対して対称に形成されている。前記圧電シート4-1上において、上述のような形状及び位置に内部電極4d-1,4d-2を形成することで、第1の方向の駆動第2の方向軸周りの駆動についての圧電素子10の伸縮時には、圧電活性領域群21,22内においてそれぞれ前記内部電極4d-1、4d-2の各面内で、第2の方向軸を境にして一方側と他方側とにそれぞれ互いに逆方向に伸縮を行なう。その結果、前記内部電極4d-1,4d-2の各面内で、互いに逆極性の電荷が生じる。そして、この互いに逆極性の電荷は、当該内部電極4d-1,4d-2の各面内で相殺キャンセルされる図6A参照。一方、第2の方向の駆動についての圧電素子10の伸縮時には、圧電活性領域群21,22内においてそれぞれ前記内部電極4d-1、4d-2の面内で一方向の伸縮を行なう。その結果、前記内部電極4d-1,4d-2の各面内で一方極性正または負の電荷が生じる。そして、この電荷が、振動検出信号として検出される。なお、前記内部電極4d-1に生じる電荷と前記内部電極4d-2に生じる電荷とは互いに逆極性の関係である。つまり、第2の積層部2の圧電活性領域群21,22によって、第2の方向の駆動第1の方向軸周りの駆動についてのみ、振動検出することができる。なお、前記圧電シート4-2については、上述したように露出部の位置が異なるのみであり、振動検出については圧電シート4-1と同様であるので、ここでは説明を省略する。以上説明したように、本第1実施形態に係る圧電素子10では、第1の積層部1圧電活性領域群11,12中において、第1の方向についてのみ振動検出する為の振動検出電極形成層3を設け、第2の積層部2圧電活性領域21,22中において第2の方向についてのみ振動検出する為の振動検出電極形成層4を設ける構成を採る。これにより、第1の方向の屈曲振動と、第2の方向の屈曲振動とについて、別個に振動検出を行うことができる。図7A及び図7Bは、圧電素子10の第1の方向における両側面図2において矢印A1,A2で示す方向から観た面の各露出部に対して設ける外部電極の一構成例を示す図である。なお、図2において矢印A1で示す方向から観た面以降、第1の側面と称すると、矢印A2で示す方向から観た面以降、第2の側面と称するとでは、見た目上の構成は同じである。従って、図7A及び図7Bにおいては、それぞれ一つの図面中に、上述の両側面に対応する符号を付して、各構成部材について説明する。第1の側面における内部電極1d-1に対応する露出部1d-1e同士を外部電極1d-1Eによって短絡する。第2の側面における内部電極1d-2に対応する露出部1d-2e同士を外部電極1d-2Eによって短絡する。第1の側面における内部電極3d-1 ́に対応する露出部3d-1 ́e同士を外部電極3d-1 ́Eによって短絡する。第2の側面における内部電極3d-2 ́に対応する露出部3d-2 ́e同士を外部電極3d-2 ́Eによって短絡する。第1の側面における内部電極1d-1 ́に対応する露出部1d-1 ́e同士を外部電極1d-1 ́Eによって短絡する。第2の側面における内部電極1d-2 ́に対応する露出部1d-2 ́e同士を外部電極1d-2 ́Eによって短絡する。第1の側面における内部電極3d-1に対応する露出部3d-1e同士を外部電極3d-1Eによって短絡する。第2の側面における内部電極3d-2に対応する露出部3d-2e同士を外部電極3d-2Eによって短絡する。なお、外部電極1d-1E,1d-2E,1d-1 ́E,1d-2 ́Eの形状としては、少なくとも各々対応する露出部に対して設けられていればよく、図7Aに示すように略コ字状の形状としてもよいし、図7Bに示すように略I字状の形状としてもよい。図8A及び図8Bは、圧電素子の第2の方向における両側面図2において矢印A3,A4で示す方向から観た面の各露出部に対して設ける外部電極の一構成例を示す図である。なお、図2において矢印A3で示す方向から観た面以降、第3の側面と称すると、矢印A4で示す方向から観た面以降、第4の側面と称するとでは、見た目上の構成は同じである。従って、図8A及び図8Bにおいては、それぞれ一つの図面中に、上述の両側面に対応する符号を付して、各構成部材について説明する。第3の側面における内部電極2d-2に対応する露出部2d-2e同士を外部電極2d-2Eによって短絡する。第4の側面における内部電極2d-1に対応する露出部2d-1e同士を外部電極2d-1Eによって短絡する。第3の側面における内部電極4d-2 ́に対応する露出部4d-2 ́e同士を外部電極4d-2 ́Eによって短絡する。第4の側面における内部電極4d-1 ́に対応する露出部4d-1 ́e同士を外部電極4d-1 ́Eによって短絡する。第3の側面における内部電極4d-2に対応する露出部4d-2e同士を外部電極4d-2Eによって短絡する。第4の側面における内部電極4d-1に対応する露出部4d-1e同士を外部電極4d-1Eによって短絡する。第3の側面における内部電極2d-2 ́に対応する露出部2d-2 ́e同士を外部電極2d-2 ́Eによって短絡する。第4の側面における内部電極2d-1 ́に対応する露出部2d-1 ́e同士を外部電極2d-1 ́Eによって短絡する。なお、外部電極2d-2E,2d-1 ́E,2d-2 ́E,2d-1 ́Eの形状としては、少なくとも各々対応する露出部に対して設けられていればよく、図8Aに示すように略コ字状の形状としてもよいし、図8Bに示すように略I字状の形状としてもよい。以下、圧電素子10に励起させる振動の一例について詳細に説明する。図9は、本第1実施形態に係る圧電素子を利用して、略球体形状を呈する被駆動体を多自由度に駆動する超音波モータの駆動概念を示す図である。図9に示すように、上述した圧電素子の圧電活性領域群11と圧電活性領域群12とに、互いに所定の位相差を有する駆動信号交流信号ACをそれぞれ入力すると、当該圧電素子10には、図10Aに示すように第3の方向への振動である縦一次振動と、図10Bに示すように第1の方向への振動である屈曲二次振動と、を組み合わせた複合振動が励起される。この複合振動が励起された共振状態の当該圧電素子10の端面10cは、楕円軌跡を描くように振動する。ここで、多自由度にすなわち図9に示すx方向、y方向、z方向の何れにも回転可能な球形の被駆動体50に対して、所定の押圧部材不図示を利用して、当該圧電素子10の端面10cを加圧接触させると、被駆動体50は、第2の方向の軸周り矢印y方向に回転する。同様の原理で、第2の積層部2の圧電活性領域群21,22図9においては図示を省略に交流信号を入力した場合、当該圧電素子10には共振振動が励起され、端面10cに対して加圧接触する被駆動体50は、第1の方向の軸周り矢印x方向の回転運動を行う。なお、図示はしていないが、圧電素子10の端面10cには、被駆動体50を摩擦駆動する為の摩擦接触子駆動子が設けられており、圧電素子10は摩擦接触子を介して被駆動体50に対して接触している。同様に図示はしていないが、被駆動体50を上述した多自由度に複数の軸周りに回転可能に支持するための支持部材が設けられている。そして、上述した第1の方向の軸周り矢印x方向の回転運動と、第2の方向の軸周り矢印y方向の回転運動とを組み合わせて実行することで、被駆動体50を第3の方向の軸周り矢印z方向に回転運動させることができる。本第1実施形態に係る圧電素子10を用いた超音波モータにおいては、上述したように駆動信号を入力することで、球形の被駆動体50を、多自由度にすなわち図9に示すx方向、y方向、z方向の何れにも駆動することができる。以下、本第1実施形態に係る超音波モータにおいて、上述した駆動方法により駆動する際の振動検出方法について詳細に説明する。図11は、本第1実施形態に係る超音波モータの駆動時の圧電素子の振動を検出する為の検出回路の一構成例を示す図である。図12は、圧電素子10の駆動電極形成層の内部電極に印加する駆動信号と、振動検出電極形成層の内部電極から検出される検出信号と、の位相差の一例のグラフを示す図である。図11に示す例では、前記検出回路は、公知のジェネレータ122aと位相変換器122bと計算機122cとクロック122dとを備える制御部122と、位相差検出回路128-1,128-2と、ドライブ回路130-1,130-2と、バッファ135-1,135-2と、コンパレータ140-1,140-2と、を具備する。前記ドライブ回路130-1は、外部電極1d-1Eに接続されている。前記バッファ135-1は、外部電極3d-1 ́Eに接続されている。前記ドライブ回路130-2は、外部電極2d-1 ́Eに接続されている。前記バッファ135-2は、外部電極4d-2 ́Eに接続されている。すなわち、図11に示す例の検出回路は、第1の積層部1における圧電活性領域群11について振動検出をする為の回路と、第2の積層部2における圧電活性領域群22について振動検出をする為の回路と、を備える。換言すれば、図11に示す例の検出回路は、第1の方向における振動を検出する為の回路と、第2の方向における振動を検出する為の回路と、を備える。詳細には、下記のように振動検出及び駆動制御を行う。まず、駆動時に振動検出電極形成層3の内部電極3d-1 ́eにおいて生じた電気信号が、外部電極3d-1 ́Eからバッファ135-1を介してコンパレータ140-1に入力されてA/D変換され、位相差検出回路128-1に出力される。他方、制御部122による制御で、ドライブ回路130によって外部電極1d-1Eを介して駆動電極形成層1-A,1-Bの内部電極1d-1に印加される駆動信号は、位相差位相差検出回路128-1にも出力されている。そして、駆動電極形成層1-A,1-Bの内部電極1d-1に印加されている駆動信号と、振動検出電極形成層3の内部電極3d-1 ́eにおいて生じた電気信号と、の位相差が、前記位相差検出回路128-1によって検出される。さらに、制御部122によって、上述した処理で検出された位相差が所定の値になるように所定の値を維持し続けるように、駆動信号の周波数を変化させる制御が行われる。このような振動検出及び駆動制御により、例えば外的な要因で振動状態が変化するような場合であっても、当該超音波モータは安定して駆動される。より具体的には、制御部122は、図12に示すように所定の位相差を有する2相の駆動信号本例では、実線で示すA相入力信号及び破線で示すB相入力信号のうち位相が進んでいる方の信号本例ではB相入力信号の立ち下がりパルスと、一点鎖線で示す検出信号の立ち上がりパルスと、の位相差が所定の位相関係を保つように本例では位相差が45[deg]を保つように;両者の立ち上がりパルス間の位相関係で言うと位相差が130[deg]を保つように、駆動信号の周波数を変化させる制御を行う。そして、本第1実施形態に係る超音波モータは、このような補正処理を行う制御系を、2つの屈曲振動検出の為の2つの振動検出電極形成層3,4毎に個別に具備し、且つ、個別に制御する。以上説明したように、本第1実施形態によれば、多自由度の駆動が可能な超音波モータに利用される圧電素子であって、振動状態を検出可能で且つ簡易な構成の圧電素子、及び該圧電素子を具備する超音波モータを提供することができる。具体的には、第1の積層部1において駆動電極形成層1-Aと駆動電極形成層1-Bとの間であって、且つ、圧電素子10の屈曲振動における腹部近傍の位置に振動検出電極形成層3を設ける。同様に、第2の積層部2において振動検出電極形成層2-Aと振動検出電極形成層2-Bとの間であって、且つ、圧電素子10の屈曲振動における腹部近傍の位置に振動検出電極形成層4を設ける。このように構成することで、圧電素子10の第1の方向における屈曲振動に係る振動成分と、第2の方向における屈曲振動に係る振動成分とを個別に検出することが可能となり、該検出信号を利用した補正制御が可能となる。すなわち、外的要因例えば温度変化や負荷変動等による振動状態の変化を検出し、該検出結果に基づいて補正制御を行うことで、当該圧電素子10を具備する多自由度駆動の超音波モータを常に安定駆動できる。なお、本第1実施形態は、一体焼成されて成る積層型構造の圧電素子以外にも、複数の単板圧電素子を一体に組み合わせた構造の圧電素子や、凹部を有する金属に複数の圧電素子を組み込んで一体とした構造の圧電素子等に対しても適用できることは勿論である。また、圧電素子10の積層方向は、第1の方向、第2の方向、第3の方向、又はそれらを組み合わせた方向の何れの方向であっても構わない。[第2実施形態]以下、本発明の第2実施形態に係る圧電素子及び超音波モータについて説明する。説明の重複を避ける為、前記第1実施形態との相違点のみを説明する。前記第1実施形態との主な相違点の一つは、振動検出電極形成層の構成及び外部電極の構成である。図13は、本発明の第2実施形態に係る圧電素子の一構成例を示す分解斜視図である。図14Aは、図13に示す圧電素子の第1の方向における両側面図2において矢印A1,A2で示す方向から観た面の各露出部に対して設ける外部電極の一構成例を示す図である。図14Bは、図13に示す圧電素子の第2の方向における両側面図2において矢印A3,A4で示す方向から観た面の各露出部に対して設ける外部電極の一構成例を示す図である。本第2実施形態に係る圧電素子10では、第1実施形態に係る圧電素子10の第1の積層部1における振動検出電極形成層3の代わりに、後述する振動検出電極形成層5が設けられている。同様に、第1実施形態に係る圧電素子10の第2の積層部2における振動検出電極形成層4の代わりに、後述する振動検出電極形成層5が設けられている。以下、振動検出電極形成層5について詳細に説明する。振動検出電極形成層5は、圧電シート5-1と圧電シート5-2とが交互に積層されて成る。前記圧電シート5-1の電極形成面上には、内部電極5d-1と内部電極5d-2とが、当該電極形成面を第1の方向に二等分する線に対して対称に第1の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極5d-1には、当該圧電シート5-1の一方辺の縁部位第1の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部5d-1eが設けられている。前記内部電極5d-2には、当該圧電シート5-1の他方辺の縁部位前記一方縁部位の逆側の縁部位に向かって延出された露出部5d-2eが設けられている。さらに、前記圧電シート5-1の電極形成面上には、内部電極5d-3と内部電極5d-4とが、当該電極形成面を第2の方向に二等分する線に対して対称に第2の方向に並列に、且つ、略同形状に設けられている。前記内部電極5d-3には、当該圧電シート5-1の一方辺の縁部位第2の方向における一方縁部位に向かって延出された露出部5d-3eが設けられている。前記内部電極5d-4には、当該圧電シート5-1の第2の方向における他方辺の縁部位に向かって延出された露出部5d-4eが設けられている。同様に、前記圧電シート5-2の電極形成面上には、上述の圧電シート5-1における内部電極5d-1乃至内部電極5d-4にそれぞれ対応する内部電極5d-1 ́乃至内部電極5d-4 ́が、それぞれ対応する位置に形成されている。これら内部電極5d-1 ́乃至内部電極5d-4 ́の各露出部5d-1 ́e乃至露出部5d-4 ́eは、それぞれ対応する露出部5d-1e乃至露出部5d-4eが延出されている辺に対応する辺に向かって設けられている。但し、露出部5d-1 ́e乃至露出部5d-4 ́eは、積層された状態においてそれぞれ対応する露出部5d-1e乃至露出部5d-4eと重ならない位置に設けられている。上述したように、圧電シート5-1と圧電シート5-2とは、形成された内部電極のパターンが同一で且つそれら内部電極を外部へ引き出すパターンが互いに異なる圧電シートである。ところで、圧電シート5-1の分極方向と、圧電シート5-2の分極方向とは互いに逆方向である逆の極性を有する。ここで、本第2実施形態に係る超音波モータに、2つの屈曲振動モードに対する検出回路を別個に備えさせることで、第1の積層部1と第2の積層部2とに同時に駆動信号を印加する同時駆動を行うと共に、2つの屈曲振動に対してより精度良く補正制御を行うことができる。すなわち、2つの屈曲振動モードの各々について個別の検出電極からの信号を用いた補正の制御を行うことが可能となる。この場合には、例えば所謂差動入力により微小駆動時の微小信号を増幅することができる。従って、当該超音波モータをより安定して駆動することができる。以上説明したように、本第2実施形態によれば、前記第1実施形態に係る圧電素子及び超音波モータと同様の効果を奏する上に、圧電シートにおける電極形成面を有効活用して、より高精度な振動検出が可能な圧電素子及び超音波モータを提供することができる。以上、第1実施形態乃至第2実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で、例えば次のような変形及び応用が可能なことは勿論である。さらに、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示した複数の構成要件の適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示す全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。"