"第1回折格子を有する第1光学部材と、第2回折格子を有し、該第2回折格子が前記第1回折格子と対向するように配設された第2光学部材とを備えた回折光学素子であって、前記第2光学部材は、内部に無機微粒子が分散されており、前記第2光学部材のうち前記第2回折格子の部分は、前記第2光学部材のうち該第2回折格子とは反対側の部分よりも前記無機微粒子の体積比率が高い回折光学素子。前記第2光学部材は、前記無機微粒子が分散され、前記第2回折格子が形成された第1層と、該第1層に積層された第2層とを有し、前記第2層は、前記無機微粒子を含まないか又は前記第1層よりも前記無機微粒子の体積比率が低い、請求項1に記載の回折光学素子。前記第2層は、樹脂で構成されている、請求項2に記載の回折光学素子。前記第2層は、ガラスで構成されている、請求項2に記載の回折光学素子。前記第2層には、前記第1層と反対側に、反射防止膜が積層されている、請求項1乃至4の何れか1つに記載の回折光学素子。光束を所定の面上に合焦させるための結像光学系を備えた光学機器であって、前記結像光学系は、請求項1乃至5の何れか1つに記載の回折光学素子を有する光学機器。特許文献1のように、無機微粒子を分散させた光学部材が様々な目的で使用されている。しかし、樹脂中に無機微粒子を分散させる場合、樹脂と無機微粒子の種類によっては、回折光学素子自体の透過率が低下しまう虞がある。これは、樹脂の屈折率と無機微粒子の屈折率との差が大きい場合、光の散乱が発生してしまうためである。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、無機微粒子を分散させた構成でありながら、高い透過性を有する回折光学素子を提供することにある。前記課題を解決する回折光学素子は、第1回折格子を有する第1光学部材と、第2回折格子を有し、該第2回折格子が前記第1回折格子と対向するように配設された第2光学部材とを備え、前記第1光学部材には、無機微粒子が分散されており、前記第1光学部材のうち前記第1回折格子の部分は、前記第1光学部材のうち該第1回折格子とは反対側の部分よりも前記無機微粒子の体積比率が高くなっている。また、前記課題を解決する光学機器は、光束を所定の面上に合焦させるための結像光学系を備え、前記結像光学系は、前記回折光学素子を有している。本発明によれば、無機微粒子を分散させた構成でありながら、高い透過性を有する回折光学素子を提供することができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本実施形態に係る回折光学素子1を備えた交換レンズ200及びそれが取り付けられたカメラ100の概略図である。図2は、本実施形態に係る回折光学素子10を示す概略断面図である。図3は、本実施形態に係る回折光学素子10の部分拡大図である。図4aは、複合層31を示す概略図であり、図4bは、樹脂層32を示す概略図である。交換レンズ200は、カメラ100に着脱可能に構成されている。交換レンズ200は、例えば、望遠ズームレンズである。交換レンズ200は、屈折型レンズ210、220に加えて、回折光学素子10をレンズ素子として機能させている。これら屈折型レンズ210、220及び回折光学素子10によって、光束をカメラ100の撮像素子110上に合焦させるための結像光学系230を構成している。この交換レンズ200又は、交換レンズ200を備えたカメラ100が光学機器を構成する。図2に示すように、回折光学素子10は、それぞれ光透過性を有する第1光学部材20及び第2光学部材30を積層させて構成された密着積層型回折光学素子である。第1光学部材20は、第1回折格子22を有している。第2光学部材30は、第2回折格子34を有している。第1及び第2光学部材20,30は、第1回折格子22と第2回折格子34を対向させた状態で配設されている。ここで、対向とは、2つの部材が向かい合っていればよく、2つの部材を密着させた状態、2つの部材の間に隙間が存在する状態、2つの部材の間に他の部材が介在する状態を含む。本実施形態では、第1及び第2回折格子22,34は、互いに密着した状態で接合されている。こうして、第1光学部材20と第2光学部材との境界面には、第1及び第2回折格子22,34で構成された回折面40が形成されている。回折面40の光学的パワーは波長依存性を有するため、回折面40は、波長の異なる光に対してほぼ同じ位相差を付与し、波長の異なる光を相互に異なる回折角で回折させる。例えば、図3に示すように、第2光学部材30側から回折光学素子10に入射した光は、回折面40において回折されて第1光学部材20側から射出されるようになっている。第1光学部材20は、円盤状の部材であって、相対向する面の一方の面に第1回折格子22が形成されている。詳しくは、第1光学部材20は、平板状の第1ベース部21と、第1ベース部21と一体に形成された第1回折格子22とを有している。本実施形態では、第1光学部材20は、ガラス材料で構成されている。第1回折格子22は、回折光学素子10の光軸Xを中心として周方向に延び且つ、光軸Xを中心として同心円状に配列された複数の山形状の凸部22c,22c,...で構成されている。各凸部22cは、光軸Xと略平行な即ち、光軸Xに沿って延びる縦面22dと光軸Xに対して傾斜した即ち、縦面22dに対して傾斜した傾斜面22eとを有し、その横断面が略三角形状をしている。傾斜面22eは、非球面状又は球面状に湾曲していてもよい。第1ベース部21のうち、第1回折格子22と反対側の面21bは、平面に形成されている。ただし、第1ベース部21の該面21bは、球面又は非球面に形成されていてもよい。第2光学部材30は、円盤状の部材であって、相対向する面の一方の面に第2回折格子34が形成されている。第2光学部材30は、樹脂等の媒体中に無機微粒子を分散させて構成されている。詳しくは、第2光学部材30は、複合層31と樹脂層32とを有している。複合層31が第1層を、樹脂層32が第2層を構成する。複合層31は、樹脂中に無機微粒子が分散された複合材料で構成されている。複合層31は、第2ベース部33と、第2ベース部33と一体に形成された第2回折格子34とを有している。第2回折格子34は、回折光学素子10の光軸Xを中心として周方向に延び且つ、光軸Xを中心として同心円状に配列された複数の谷形状の凹部34c,34c,...で構成されている。各凹部34cは、光軸Xと略平行な縦面34dと光軸Xに対して傾斜した傾斜面34eとを有し、その横断面が略三角形状をしている。傾斜面34eは、非球面状又は球面状に湾曲していてもよい。樹脂層32は、主として樹脂で構成されている。ここで、主としてとは、樹脂層32の屈折率に影響を与えない程度であれば、無機微粒子等の、樹脂以外の物質を樹脂中に含んでいてもよいことを意味する。樹脂層32は、複合層31の第2ベース部33に積層されている。樹脂層32は、板状の部材である。ただし、樹脂層32は、板状の部材に限られるものではなく、膜状の部材であってもよい。樹脂層32のうち、第2ベース部33と反対側の面32bは、平面であって、第1回折格子22の面21bと平行に形成されている。ただし、樹脂層32の該面32bは、第1回折格子22の面21bと平行でなくてもよい。また、樹脂層32の該面32bは、球面又は非球面に形成されていてもよい。この樹脂層32が、第2光学部材30のうち第2回折格子34と反対側の部分に相当する。これら第1回折格子22と第2回折格子34とはそれぞれ、格子高dが同じで且つ格子ピッチも同じとなるように構成されている。すなわち、第1回折格子22の各凸部22cが第2回折格子34の各凹部34cにぴったりと嵌り込むように構成されている。その結果、第1光学部材20の第1回折面22aと第2光学部材30の第2回折面34aとは、隙間を空けることなく重なり合って、1つの回折面40を形成する。ただし、第1回折面22aと第2回折面34aとの間に、空気、反射防止膜、接着剤等の、第1回折格子22や第2回折格子34とは屈折率が異なる中間層があっても構わない。第1光学部材20の第1ベース部21の面21bは、反射防止膜61で被覆されている。また、第2光学部材30の樹脂層32の面32bは、反射防止膜62で被覆されている。反射防止膜61,62は、シリコン系酸化物、チタン系酸化物、アルミニウム系酸化物、ジルコニア系酸化物、タンタル系酸化物、マグネシウム系酸化物、又はシリコン、チタン、アルミニウム等の合金酸化物で構成されている。例えば、反射防止膜61,62は、SiO2やTiO2で構成されている。反射防止膜61,62は、これらの材料を単層に積層させたものでもよいし、多層に積層させたものでもよい。反射防止膜61,62の厚みは、例えば、200~400nmである。尚、反射防止膜61,62は、同じ材料で構成されていてもよいし、別々の材料で構成されていてもよい。ここで、複合層31および樹脂層32について、さらに詳しく説明する。複合層31は、図4Aに示すように、第1の樹脂31aを母材とし、第1の樹脂31a中に無機微粒子31bを分散させている。以下、第1の樹脂31a中に無機微粒子31bを分散させたものを、単に複合材料と称することもある。また、樹脂層32は、図4Bに示すように、主として第2の樹脂32aで構成されている。本実施形態では、樹脂層32は、第2の樹脂32aのみで構成されている。樹脂層32の中には無機微粒子が含まれていないので、樹脂層32の透過率は、複合層31の透過率よりも高い。尚、樹脂層32は、樹脂層32の屈折率に影響を与えない範囲で無機微粒子を含んでいてもよい。ただし、透過率を向上させるためには、無機微粒子を含まないことが好ましい。図2,3に示すように、複合材料が第1回折格子22の凸部22c,22c間の凹部を満たすように構成されているため、複合層31の厚さtは、第2回折格子34の格子高dと第2ベース部33の厚さ光軸方向の寸法とで決まる。複合層31は無機微粒子を含んでいるので、複合層31の厚さを厚くしすぎると、第2光学部材30の透過率が低下してしまう。このような観点から、複合層31の厚さtは、50μm以下であることが好ましく、30μm以下であることがさらに好ましい。第1の樹脂31a及び第2の樹脂32aは、例えば、アクリル系、エポキシ系、ビニル系などの樹脂である。また、第1の樹脂31a及び第2の樹脂32aは、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂などのエネルギー硬化型樹脂である。第1の樹脂31a及び第2の樹脂32aは、同一の材料であってもよく、異なる材料であってもよい。無機微粒子31bは、平均粒子径が1nm以上50nm以下であることが望ましい。平均粒子径を1nm以上とすることによって、無機微粒子31bが第1の樹脂31a中において安定した分散状態を保つことができる。また、平均粒子径を50nm以下とすることによって、複合層31における光の散乱を抑制することができる。無機微粒子31bの形状は、球形状であっても、非球形状であってもよい。また、無機微粒子31bは、不定形であってもよい。また、無機微粒子31bの表面は、分散性を高めるためのコーティングや分散剤処理などの表面処理が施されていてもよい。無機微粒子31bの材料は、例えば、酸化チタンTiO2、酸化亜鉛ZnO、酸化ジルコニウムZrO2、二酸化珪素SiO2、酸化アルミニウムAl2O3、酸化インジウムIn2O3、チタン酸バリウムBaTiO3などである。無機微粒子31bは、第2光学部材30に求められる光学機能を実現することができる材料であればよい。-製造方法-次に、回折光学素子10の製造方法について説明する。まず、第1回折格子22の反転形状が形成された成形型図示なしを用意する。この成形型に軟化したガラス材料を充填する。こうして、第1光学部材20を成形する。次に、複合材料50を作製する。本実施形態では、第1の樹脂31aとしてアクリル系紫外線硬化樹脂を用い、無機微粒子31bとして酸化亜鉛を用いる。例えば、まず、分散媒ケトンが77質量、平均粒子径8nmの酸化亜鉛が20質量、アミン系分散剤が3質量から構成される分散液を作製する。アクリル系紫外線硬化樹脂とこの分散液とを、アクリル系紫外線硬化樹脂が44質量、分散液が56質量の分量で混合する。この混合は、ホットスターラーを用いて、温度50°C、回転数200rpm、混合時間30分という条件で行う。その後、この混合材料をエバポレータによって脱溶媒を行う。脱溶媒は、混合材量を投入したフラスコ及びこのフラスコを浸すウォーターバスの温度を45°Cとし、脱溶媒時間30分という条件で行う。このようにして、複合材料50を作製する。また、無機材料で構成された第1光学部材20と有機材料を主成分とした複合材料50との密着性を上げるためのプライマ処理を施す。プライマ処理の準備としてまず、市販のシランカップリング剤をエタノールと純水とで0.2まで希釈した溶液を作製する。この溶液を第1回折格子22上にディッピング法により均一に塗布する。その後、例えば110°Cの温度で20分間乾燥させることで、プライマ処理を完了させる。次に、図5Aに示すように、第1光学部材20を、成形型70に対して間隔を空けて対向する位置にセットする。このとき、第1回折格子22が成形型70の方を向いている。そして、ディスペンサを用いて成形型70の成形面上に複合材料50を塗布する。続いて、第1光学部材20を成形型70へ向けて所定の位置まで移動させる。本実施形態では、複合材料50の厚さが30μmになるよう、第1光学部材20の位置を調整している。こうして、複合材料50が第1光学部材20の第1回折格子22上に積層される。このとき、第1回折格子22の凸部22c,22cの間の凹部に複合材料50が流れ込み、第1回折格子22と重なり合う第2回折格子34が形成される。そして、図5Bに示すように、複合材料50に対して紫外線80を照射することで、複合層31が形成される。複合層31の厚さは30μmである。その後、図5Cに示すように、成形型70から第1光学部材20と複合層31とを離型する。続いて、図5Dに示すように、ディスペンサを用いて、成形型70の成形面上に第2の樹脂32aを塗布する。本実施形態では、第2の樹脂32aとしてアクリル系紫外線硬化樹脂を用いている。そして、第1光学部材20を成形型70へ向けて所定の位置まで移動させる。本実施形態では、第2の樹脂32aの厚さが170μmになるよう、第1光学部材20の位置を調整している。こうして、第2の樹脂32aが複合層31の上に積層される。そして、図5Eに示すように、第2の樹脂32aに対して紫外線80を照射することで、樹脂層32が形成される。その結果、複合層31と樹脂層32とを有する第2光学部材30が形成される。樹脂層32の厚さは170μmである。その後、図5Fに示すように、成形型70から第1光学部材20および第2光学部材30を離型する。続いて、樹脂層32の面32b上に、真空蒸着法や、ウエットプロセス法によって反射防止膜61,62を積層させる。こうして、回折光学素子10が作製される。尚、この製造方法は一例であって、回折光学素子10を製造できる限りにおいては、任意の製造方法を適用することができる。-まとめ-本実施形態によれば、第2光学部材30の複合層31は、第1の樹脂31a中に無機微粒子31bが分散された複合材料で形成されている。そのため、複合層31が第1の樹脂31aだけで構成される場合に比べて、温度変化に対する複合層31の屈折率の変化を小さくすることができる。複合層31には第2回折格子34が形成されており、第2回折格子34の屈折率は回折面40での回折効率に影響を与える。つまり、樹脂に無機微粒子31bを分散させた複合材料で第2回折格子34を構成することによって、温度変化に対する屈折率の変化を抑制し、ひいては、温度変化に対する、回折光学素子10の回折効率の変化を抑制することができる。一方、第2回折格子34に比べて、回折効率への影響が小さい樹脂層32は、無機微粒子31bを分散させないことによって、透過性を向上させることができる。つまり、第2光学部材30の全体に無機微粒子31bを分散させる構成と比べて、第2光学部材30の透過性を向上させることができる。こうして、複合層31と樹脂層32とによって、第2光学部材30に求められる光学特性を実現することができる。具体的には、複合層31では屈折率の安定性を向上させ、樹脂層32では透過性を向上させることによって、回折光学素子10全体として、回折効率を安定させつつ、透過性を向上させることができる。尚、第1の樹脂31a中に無機微粒子31bを分散させる目的は、温度変化に対する複合層31の屈折率の変化を抑制することに限られない。複合層31の屈折率を調節するために、第1の樹脂31a中に無機微粒子31bを分散させる構成であってもよい。その場合であっても、複合層31の屈折率、特に、第2回折格子34の部分の屈折率を所望の値に調整しつつ、第2光学部材30の透過性を、複合材料のみで構成されたものより高くすることができる。こうして、複合層31と樹脂層32とによって、第2光学部材30に求められる光学性能を実現することができる。具体的には、回折光学素子10全体として、回折効率を調整しつつ通常は、向上させつつ、透過性を向上させることができる。また、樹脂層32を設けることによって、第2光学部材30の厚さを確保することができる。すなわち、第2光学部材30の透過性を向上させるためには、無機微粒子31bが必要な部分、即ち、複合層31だけで第2光学部材30を構成することも考えられる。さらには、無機微粒子31bが分散された第2回折格子34だけで第2光学部材30を構成することも考えられる。無機微粒子31bを分散させた部分を可及的に少なくすることによって、透過性を向上させることができるからである。しかしながら、第2光学部材30が第2回折格子34だけ、又は複合層31だけで構成されていると、第2回折面34aと反対側の面を球面や非球面に形成することが困難となる。つまり、当該面を球面や非球面に形成するためには、第2光学部材30は、球面や非球面の形状に応じて、部分的に厚い部分が必要になる。しかし、第2光学部材30が薄すぎると、球面や非球面を形成できるだけの厚みを確保することができない。そこで、複合層31に樹脂層32を積層させることによって、第2光学部材30の厚みを確保することができる。これにより、第2光学部材30のうち、第2回折格子34と反対側の面32bを球面や非球面に形成することができる。それに加えて、複合層31は、第2回折格子34の存在により厚い部分と薄い部分とが混在している。そのため、成形時の硬化収縮による複合層31の厚み方向への収縮量が場所によってばらつき、複合層31のうち、第2回折格子34と反対側の面には、凹部34c,34c,...に倣った凹凸形状が発現する場合がある。それに対して、複合層31に樹脂層32を積層することによって、第2回折格子34と反対側の面の変形を抑制することができる。さらに、第2光学部材30を複合層31と樹脂層32との積層構造にすることによって、複合層31と樹脂層32とでそれぞれに求められる性能に応じた材料を選択することができる。つまり、複合層31の材料としては、第1光学部材20との関係及び分散させる無機微粒子31bとの関係で、所望の回折効率を実現可能な樹脂を選択することが好ましい。そのような観点で複合層31の材料を選択した結果、強度や耐候性が高くない樹脂が選択される場合がある。そのような場合には、樹脂層32の材料として、強度や耐候性が高い樹脂を選択することが好ましい。このように、複合層31は回折効率を求めて、樹脂層32は信頼性を求めて、材料を選択することができる。また、上記の観点で複合層31の材料を選択した結果、反射防止膜62との接着性が低い樹脂が選択される場合がある。そのような場合には、樹脂層32の材料として、反射防止膜62との接着性が高い樹脂を選択することが好ましい。このように、複合層31とは別の層を設けることによって、強度又は耐候性を向上させたり、反射防止膜62との接着性を向上させたりすることができる。また、無機微粒子の平均粒子径は、1nm以上50nm以下である。こうすることによって、成形性を維持しつつ、光の散乱を抑制することができる。《その他の実施形態》前記実施形態は、以下のような構成としてもよい。前記第2光学部材30は、複合層31と樹脂層32とが明確に認識できるような層構造となっているが、これに限られるものではない。すなわち、樹脂中に無機微粒子31bを、その体積比率が場所によって異なるように分散させて、第2光学部材30を構成してもよい。詳しくは、第2回折格子34の部分の方が、それとは反対側の部分面32bの近傍部分に比べて、無機微粒子31bの体積比率が高くなっていればよい。あるいは、第2回折格子34の部分が、第2光学部材30の他の部分に比べて、無機微粒子31bの体積比率が高くなっていればよい。こうすることで、回折光学素子10全体として、回折効率を安定させつつ、又は、所望の回折効率に調整しつつ、透過性を向上させることができる。尚、第2回折格子34における無機微粒子の体積比率を部分的に高くした回折光学素子10は、以下のように製造することができる。例えば、成形した第1光学部材20の第1回折面22a上に、粘性を高めた複合材料50を塗布する。そして、その複合材料50が固まる前に、複合材料50の母材となっている樹脂だけで構成された樹脂材料を複合材料50に積層させる。その後、複合材料50及び樹脂材料を成形して、紫外線80を照射して硬化させることによって、第2光学部材30が形成される。こうすることで、複合材料50の母材と、後から塗布された樹脂材料とが同じ材料であるため、第2光学部材30は層構造とはならない。しかし、先に塗布された複合材料50に相当する部分にだけ無機微粒子が分散された状態となっている。あるいは、第1回折格子22が上を向く状態で第1光学部材20を配置し、第1回折面22a上に、無機微粒子31bを分散させた粘性の低い複合材料50を塗布する。そして、比較的時間をかけて、複合材料50を成形する。その間に、複合材料50中の無機微粒子が第1回折面22aの方へ沈んでいく。その結果、第2回折格子34の部分の方が、それとは反対側の部分に比べて、無機微粒子の体積比率が高くなる。複合材料50の粘性が高い場合は、上述の方法では粒子が沈み込み難いので、遠心分離器等で遠心力を加えて、第2回折格子34の無機微粒子の体積比率を高くしてもよい。無機微粒子の体積比率は、第2光学部材30の切断面における、無機微粒子の面積比率によって求めることができる。尚、無機微粒子の体積比率に限らず、第2光学部材30において、第2回折格子34の部分の方が、それとは反対側の部分に比べて、無機微粒子の重量濃度又は個数が大きくなっていればよい。また、第1光学部材20は、ガラスで構成されているが、これに限られるものではない。例えば、第1光学部材20を樹脂で構成してもよい。また、樹脂層32の中には無機微粒子が含まれない構成としているが、これに限られるものではない。複合層31よりも高い透過率を有し、かつ、所望の光学特性を実現できるのであれば、樹脂層32は無機微粒子を含む構成であってもよい。例えば、樹脂層32の方が無機微粒子の体積比率が低ければよい。さらに、第2光学部材30において、複合層31に積層される層が樹脂層32であるが、これに限られるものではない。すなわち、ガラスで構成された層を複合層31に積層させて第2光学部材30を構成してもよい。この場合、ガラス層が第1層を構成し、複合層31が第2層を構成する。また、前記実施形態では、第1光学部材20と成形型70とで複合材料50を挟み込むことで、第1光学部材20と複合材料50とを積層させているが、これに限られるものではない。例えば、図6に示すように、スピンコータ91を回転させることによって、第1光学部材20上に複合材料50を積層させてもよい。また、前記実施形態では、第1の樹脂13aおよび第2の樹脂14aとして紫外線硬化樹脂を用いているが、これに限られるものではない。例えば、熱硬化樹脂を用いても良い。このような場合は、図7に示すように、複合材料50と第1光学部材20とを熱乾燥炉92内に配置し、例えば80°Cの温度で15分間熱処理すればよい。また、前記実施形態では、第1光学部材20側から複合材料50や第2の材料32aに対して紫外線80を照射しているが、これに限られるものではない。例えば、成形型70側から紫外線を照射してもよい。このような場合、成形型70の材料を透明なガラスにすればよい。尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。"