固定部と、この固定部に一端が接続されるとともに上面に配線パターンを設けた連接梁と、この連接梁の他端に接続されるとともに前記連接梁の配線パターンと電気的に接続された少なくとも一つの検出電極を設けた検出電極振動体と、一端が前記検出電極振動体の他端に接続されるとともに上面に少なくとも一対の駆動電極を設けた駆動電極振動体とを備え、前記検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けた角速度センサ素子。検出電極振動体における検出電極と駆動電極振動体における駆動電極と屈曲部における屈曲部検出電極に電気的に接続される電極ランドを固定部に設けた請求項1記載の角速度センサ素子。駆動電極振動体の他端に錘部を設けた請求項1記載の角速度センサ素子。前記固定部に対して駆動電極振動体の駆動振動方向と垂直な方向の線対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合する構成とした請求項1記載の角速度センサ素子。前記固定部に対して駆動電極振動体と点対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合する構成とした請求項1記載の角速度センサ素子。しかしながら、上記従来の構成においては、第1の駆動電極振動体6および第2の駆動電極振動体9と第1の検出電極振動体2および第2の検出電極振動体3とが互いに平行に配設されているため、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが第1の駆動電極振動体6および第2の駆動電極振動体9の長手方向に働き、第1の検出電極振動体2および第2の検出電極振動体3を座屈させる方向であり、これにより、第1の検出電極振動体2および第2の検出電極振動体3が変形しにくいから、出力信号の感度が低下してしまうという課題を有していた。本発明は上記従来の課題を解決するもので、出力信号の感度が向上した角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、固定部と、この固定部に一端が接続されるとともに上面に配線パターンを設けた連接梁と、この連接梁の他端に接続されるとともに前記連接梁の配線パターンと電気的に接続された少なくとも一つの検出電極を設けた検出電極振動体と、一端が前記検出電極振動体の他端に接続されるとともに上面に少なくとも一対の駆動電極を設けた駆動電極振動体とを備え、前記検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けたもので、この構成によれば、検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けたため、駆動電極振動体と屈曲部とが互いに垂直に配設されていることとなり、これにより、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが駆動電極振動体の長手方向に働くと、屈曲部に曲げ応力が加わることとなるから、屈曲部が撓み易くなり、出力信号の感度が向上するという作用効果を有するものである。本発明の請求項2に記載の発明は、特に、検出電極振動体における検出電極と駆動電極振動体における駆動電極と屈曲部における屈曲部検出電極に電気的に接続される電極ランドを固定部に設けたもので、この構成によれば、検出電極振動体における検出電極と駆動電極振動体における駆動電極と屈曲部における屈曲部検出電極に電気的に接続される電極ランドを固定部に設けたため、固定部は、駆動電極振動体の駆動振動時に、振動しないため、固定部に設けた電極ランドと外部回路との信号の入出力をワイヤ線を介して容易に行うことができるという作用効果を有するものである。本発明の請求項3に記載の発明は、特に、駆動電極振動体の他端に錘部を設けたもので、この構成によれば、駆動電極振動体の他端に錘部を設けたため、錘部の質量によりコリオリ力が増加することとなり、これにより、出力信号の感度がさらに向上するという作用効果を有するものである。本発明の請求項4に記載の発明は、特に、固定部に対して駆動電極振動体の駆動振動方向と垂直な方向の線対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合する構成としたもので、この構成によれば、固定部に対して駆動電極振動体の駆動振動方向と垂直な方向の線対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合したため、各々の駆動電極振動体の固定部に対する重量バランスが確保できることとなり、これにより、駆動電極振動体を正確に駆動振動させることができるから、出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。本発明の請求項5に記載の発明は、特に、固定部に対して駆動電極振動体と点対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合する構成としたもので、この構成によれば、固定部に対して駆動電極振動体と点対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合したため、角速度によるコリオリ力発生時に、各々の駆動電極振動体が点対称に変形することとなり、これにより、さらに出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。以上のように本発明の角速度センサ素子は、固定部と、この固定部に一端が接続されるとともに上面に配線パターンを設けた連接梁と、この連接梁の他端に接続されるとともに前記連接梁の配線パターンと電気的に接続された少なくとも一つの検出電極を設けた検出電極振動体と、一端が前記検出電極振動体の他端に接続されるとともに上面に少なくとも一対の駆動電極を設けた駆動電極振動体とを備え、前記検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けたもので、この構成によれば、検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けたため、駆動電極振動体と屈曲部とが互いに垂直に配設されていることとなり、これにより、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが駆動電極振動体の長手方向に働くと、屈曲部に曲げ応力が加わることとなるから、屈曲部が撓み易くなり、出力信号の感度の向上した角速度センサ素子を提供することができるという効果を有するものである。以下、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子について、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施の形態における角速度センサ素子の上面図である。図1において、21は直方体形状のSiからなる固定部で、この固定部21の上面には第1の駆動電極ランド22、第2の駆動電極ランド23、第1の検出電極ランド24、第2の検出電極ランド25、モニター電極ランド26およびGND電極ランド27を設けている。28はSiからなる第1の連接梁で、この第1の連接梁28は、前記固定部21に一端が接続されるとともに、上面にPt、PZT、TiおよびAUを層状に積層させた配線パターン29を設けている。また、前記第1の連接梁28の上面には、上面にPt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させたモニター電極30を設けており、このモニター電極30を前記固定部21におけるモニター電極ランド26と配線パターン29により電気的に接続している。31はSiからなる第2の連接梁で、この第2の連接梁31は、前記固定部21に一端が接続されるとともに、前記第1の連接梁28と反対側に延出され、さらに上面にPt、PZT、TiおよびAUを層状に積層させた配線パターン29を設けている。32は第1の屈曲部で、この第1の屈曲部32は前記第1の連接梁から垂直左方向に延出されるとともに、Pt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させた第1の屈曲部検出電極33を設けており、この第1の屈曲部検出電極33を配線パターン29を介して、固定部21における第1の検出電極ランド24と電気的に接続している。そして、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、第1の検出電極振動体34と第1の連接梁28との接続部に第1の屈曲部32を設け、この第1の屈曲部32の上面に第1の屈曲部検出電極33を設けたため、第1の駆動電極振動体36と第1の屈曲部32とが互いに垂直に配設されていることとなり、これにより、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが第1の駆動電極振動体36の長手方向に働くと、第1の屈曲部32に曲げ応力が加わることとなるから、第1の屈曲部32が撓み易くなり、出力信号の感度が向上するという作用効果を有するものである。34は第1の検出電極振動体で、この第1の検出電極振動体34は、一端を前記第1の屈曲部32と接続されるとともに、上面にPt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させた第1の検出電極35を設けており、この第1の検出電極35を第1の屈曲部32における第1の屈曲部検出電極33および配線パターン29を介して固定部21における第1の検出電極ランド24と電気的に接続している。36はSiからなる第1の駆動電極振動体で、この第1の駆動電極振動体36は一端を前記第1の検出電極振動体35と接続されるとともに、第2の屈曲部37で折り曲げて構成されており、さらに上面に、Pt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させた第1の駆動電極38と第2の駆動電極39とを互いに並設するように設けている。そして、前記第1の駆動電極振動体36における第1の駆動電極38を配線パターン29を介して、固定部21における第1の駆動電極ランド22と電気的に接続させるとともに、第2の駆動電極39を配線パターン29を介して第2の駆動電極ランド23と電気的に接続している。40は第1の錘部で、この第1の錘部40は前記第1の駆動電極振動体36の他端に接続されている。41は第3の屈曲部で、この第3の屈曲部41は前記第1の連接梁28から垂直右方向に延出されるとともに、Pt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させた第2の屈曲部検出電極42を設けており、この第2の屈曲部検出電極42を配線パターン29を介して、固定部21における第2の検出電極ランド25と電気的に接続している。43は第2の検出電極振動体で、この第2の検出電極振動体43は、一端を前記第3の屈曲部41と接続されるとともに、上面にPt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させた第2の検出電極44を設けており、この第2の検出電極44を第3の屈曲部41における第2の屈曲部検出電極42および配線パターン29を介して固定部21における第2の検出電極ランド25と電気的に接続している。45はSiからなる第2の駆動電極振動体で、この第2の駆動電極振動体45は一端を前記第2の検出電極振動体43と接続されるとともに、第4の屈曲部46で折り曲げて構成されており、さらに上面に、Pt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させた第3の駆動電極47と第4の駆動電極48とを互いに並設するように設けている。そして、前記第2の駆動電極振動体45における第3の駆動電極47を配線パターン29を介して、固定部21における第1の駆動電極ランド22と電気的に接続させるとともに、第4の駆動電極48を配線パターン29を介して第2の駆動電極ランド23と電気的に接続している。50は第2の錘部で、この第2の錘部50は前記第2の駆動電極振動体45の他端に接続されている。51は第5の屈曲部で、この第5の屈曲部51は前記第2の連接梁31から垂直左方向に延出されるとともに、Pt、PZT、TiおよびAUを層状に積層させた配線パターン29を設けている。52は第3の駆動電極振動体で、この第3の駆動電極振動体52は、一端を前記第5の屈曲部51と接続されるとともに、第6の屈曲部53および第7の屈曲部54で折り曲げて構成されており、さらに上面に、Pt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させた第5の駆動電極55と第6の駆動電極56とを互いに並設するように設けている。そして、第5の駆動電極55を配線パターン29を介して第1の駆動電極ランド22に電気的に接続するとともに、第6の駆動電極56を配線パターン29を介して第2の駆動電極ランド23に電気的に接続している。また、第3の駆動電極振動体52の他端と、前記第1の駆動電極振動体36の他端とは、一直線上に設けられており、前記第1の錘部40を、第3の駆動電極振動体52の他端に設けている。57は第8の屈曲部で、この第8の屈曲部57は前記第2の連接梁31から垂直右方向に延出されるとともに、Pt、PZT、TiおよびAUを層状に積層させた配線パターン29を設けている。58は第4の駆動電極振動体で、この第4の駆動電極振動体58は、一端を前記第8の屈曲部57と接続されるとともに、第9の屈曲部59および第10の屈曲部60で折り曲げて構成されており、さらに上面に、Pt、PZT、TiおよびAUを層状かつ幅広に積層させた第7の駆動電極61と第8の駆動電極62とを互いに並設するように設けている。そして、第7の駆動電極61を配線パターン29を介して第1の駆動電極ランド22に電気的に接続するとともに、第8の駆動電極62を配線パターン29を介して第2の駆動電極ランド23に電気的に接続している。また、第4の駆動電極振動体58の他端と、前記第2の駆動電極振動体45の他端とは、一直線上に設けられており、前記第2の錘部50を、第4の駆動電極振動体58の他端に設けている。そして、前記第3の駆動電極振動体52は前記固定部21に対して、前記第1の駆動電極振動体36の駆動振動方向と垂直な方向の線対象の位置に設けられるとともに、第4の駆動電極振動体58は固定部21に対して第2の駆動電極振動体45の駆動振動方向の線対称の位置に設けられている。また、固定部21、第1の連接梁28、第1の屈曲部32、第1の検出電極振動体34、第2の屈曲部37、第1の駆動電極振動体36、第3の駆動電極振動体52、第7の屈曲部54、第3の駆動電極振動体52、第6の屈曲部53、第5の屈曲部51および第2の連接梁31で環状に結合する構成とされている。すなわち、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、固定部21に対して第1の駆動電極振動体36の駆動振動方向と垂直な方向の線対称の位置に第3の駆動電極振動体52を設け、環状に結合したため、第1の駆動電極振動体36および第3の駆動電極振動体52の固定部21に対する重量バランスが確保できることとなり、これにより、第1の駆動電極振動体36および第3の駆動電極振動体52を正確に駆動振動させることができるから、出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。同様に、固定部21、第1の連接梁28、第3の屈曲部41、第2の検出電極振動体43、第4の屈曲部46、第2の駆動電極振動体45、第4の駆動電極振動体58、第10の屈曲部60、第4の駆動電極振動体58、第8の屈曲部57および第2の連接梁31で環状に結合する構成とされている。さらに、前記第4の駆動電極振動体58は固定部21に対して第1の駆動電極振動体36と点対称の位置に設けられるとともに、第3の駆動電極振動体52は固定部21に対して、第2の駆動電極振動体45と点対称の位置に設けられることにより、第1の駆動電極振動体36、第2の駆動電極振動体45、第4の駆動電極振動体58および第3の駆動電極振動体52により、環状に結合する構成とされている。すなわち、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、固定部21に対して第1の駆動電極振動体36と点対称の位置に第4の駆動電極振動体58を設け、環状に結合したため、角速度によるコリオリ力発生時に、第1の駆動電極振動体36および第4の駆動電極振動体58が点対称に変形することとなり、これにより、さらに出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサ素子について、次に、その組立方法を説明する。まず、予め準備した図2aに示すSiからなる基材71の上面に図2bに示すように、PtとTiの合金薄膜からなる共通GND電極72を蒸着により形成し、その後、図2cに示すように、共通GND電極72の上面にPZT薄膜からなる圧電層73を蒸着により形成する。次に、図2dに示すように、圧電層73の上面にTiとAuの合金薄膜からなる形成途上電極74を蒸着により形成し、その後、所定の形状になるように、共通GND電極72、圧電層73および形成途上電極74の不要な箇所を除去し、圧電層73の上面に第1の駆動電極38、第2の駆動電極39、第3の駆動電極47、第4の駆動電極48、第5の駆動電極55、第6の駆動電極56、第7の駆動電極61、第8の駆動電極62、第1の屈曲部検出電極33、第2の屈曲部検出電極42、第1の検出電極35、および第2の検出電極44を形成する。次に、共通GND電極72側に電圧を印加するとともに、第1の駆動電極38、第2の駆動電極39、第3の駆動電極47、第4の駆動電極48、第5の駆動電極55、第6の駆動電極56、第7の駆動電極61、第8の駆動電極62、第1の屈曲部検出電極33、第2の屈曲部検出電極42、第1の検出電極35、および第2の検出電極44を接地することにより、圧電層73を分極する。次に、基材71における不要な箇所を除去することにより、個片の角速度センサ素子を形成する。以上のようにして組み立てられた本発明の一実施の形態における角速度センサ素子について、次にその動作を説明する。第1の駆動電極振動体36、第2の駆動電極振動体45、第3の駆動電極振動体52および第4の駆動電極振動体58の各々の第1の駆動電極38、第2の駆動電極39、第3の駆動電極47、第4の駆動電極48、第5の駆動電極55、第6の駆動電極56、第7の駆動電極61および第8の駆動電極62に交流電圧を印加すると、電圧を印加する方向と分極の方向とが同一の場合には、第1の駆動電極38、第2の駆動電極39、第3の駆動電極47、第4の駆動電極48、第5の駆動電極55、第6の駆動電極56、第7の駆動電極61および第8の駆動電極62に引張応力が発生し、一方、電圧を印加する方向と分極の方向とが反対の場合には、圧縮応力が発生する。そうすると、交流電圧の位相に応じて、図3に示すように、第1の駆動電極振動体36と第2の駆動電極振動体45とが互いに反対の方向に振動駆動するとともに、第3の駆動電極振動体52と第4の駆動電極振動体58とが互いに反対の方向に速度Vで駆動振動する。そして、角速度センサ素子を設けた平面と垂直な方向を中心軸として角速度センサ素子が角速度ωで回転すると、図4に示すように、第1の検出電極振動体34および第2の検出電極振動体43にF=2mv×ωのコリオリ力が発生し、そして、このコリオリ力により、第1の屈曲部32および第3の屈曲部41に曲げモーメントが発生する。そして、第1の屈曲部32における第1の屈曲部検出電極33に発生する電荷を固定部21における第1の検出電極ランド24を介して外部に出力するとともに、第3の屈曲部41における第2の屈曲部検出電極42に発生する電荷を固定部21における第2の検出電極ランド25を介して外部に出力することにより、角速度を検出するものである。そして、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、第1の検出電極振動体34における第1の検出電極35と第1の駆動電極振動体36における第1の駆動電極38、第2の駆動電極39と、第1の屈曲部32における第1の屈曲部検出電極33に電気的に接続される第1の駆動電極ランド22、第2の駆動電極ランド23、第1の検出電極ランド24を固定部21に設けたため、固定部21は、第1の駆動電極振動体36の駆動振動時に、振動しないため、固定部21に設けた第1の駆動電極ランド22、第2の駆動電極ランド23、第1の検出電極ランド24と外部回路図示せずとの信号の入出力をワイヤ線図示せずを介して容易に行うことができるという作用効果を有するものである。また、同様に、コリオリ力により、第1の検出電極振動体34および第2の検出電極振動体43に引張力あるいは圧縮力が発生する。そして、第1の検出電極振動体34における第1の検出電極35に発生する電荷を固定部21における第1の検出電極ランド24を介して外部に出力するとともに、第2の検出電極振動体43における第2の検出電極44に発生する電荷を固定部21における第2の検出電極ランド25を介して外部に出力することにより、角速度を検出するものである。そしてまた、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、第1の駆動電極振動体36、第2の駆動電極振動体45、第3の駆動電極振動体52および第4の駆動電極振動体58の他端に第1の錘部40および第2の錘部50を設けたため、第1の錘部40および第2の錘部50の質量によりコリオリ力が増加することとなり、これにより、出力信号の感度がさらに向上するという作用効果を有するものである。