移動子と、前記移動子に面接触可能な振動子と、前記移動子と前記振動子とを加圧接触させる予圧手段と、前記振動子に超音波振動を発生させることにより前記移動子を移動させる振動手段と、前記移動子と前記振動子との間に液体潤滑剤を供給可能な潤滑剤供給手段とを備え、前記予圧手段は、前記移動子と前記振動子との間に10MPa~100MPaの範囲内の面圧が作用するように、前記移動子と前記振動子とを加圧接触させること、前記液体潤滑剤の40°Cにおける動粘度は、ISO粘度分類でVG200~VG1200の範囲内であること、及び前記液体潤滑剤の表面張力は、15mN/m~25mN/mの範囲内であることを特徴とする振動アクチュエータ。前記潤滑剤供給手段は、前記液体潤滑剤が含浸されるとともに前記移動子と前記振動子との少なくとも一方に接触可能に設けられる供給体である請求項1に記載の振動アクチュエータ。前記面圧は、30MPa~60MPaの範囲内である請求項1または2に記載の振動アクチュエータ。前記液体潤滑剤の40°Cにおける前記動粘度は、ISO粘度分類でVG400~VG800の範囲内である請求項1~3のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。前記潤滑剤供給手段は、前記液体潤滑剤をベースオイルとするグリースを前記移動子と前記振動子との間に供給する請求項1~4のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。上述したように、振動アクチュエータは移動子と振動子との間に作用する摩擦力を利用して移動子を駆動するため、耐久性を向上するためには、移動子と振動子との摺動部分を潤滑して摩耗を低減することが必要となる。一方で、移動子の駆動トルクを高めようとする場合、移動子と振動子との圧接力を高めて両部材間の摩擦力を大きくすることが必要となり、摩擦力を大きくした分、摺動部分の摩耗も増加する。つまり、振動アクチュエータにおいて、耐久性を向上することと高トルク化を図ることとの間にはトレードオフの関係が生じる。ここで、特許文献1に記載されているように、固体潤滑剤はめっきに混入された層として、あるいはコーティングや樹脂性フィルム等に混入された層として摺動部分に設けられることが一般的である。しかしながら、これらの層を移動子と振動子との摺動部分に設けた場合、両部材間の圧接力を高くしすぎると層の剥離や破損等が生じることがある。つまり、移動子と振動子との潤滑に固体潤滑剤を利用しようとする場合、固体潤滑剤を含む層の硬さや密着性に応じて両部材間の圧接力の上限値が制限されてしまい、耐久性を確保しつつ高トルク化を図ることが困難であるという問題点を有していた。この発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、耐久性の向上と高トルク化とを両立することを実現した振動アクチュエータを提供することを目的とする。本発明者らは、上述した問題点を解決するために移動子と振動子との潤滑に液体潤滑剤を用いることに着目し、研究及び開発を鋭意遂行した結果、移動子と振動子との圧接力と液体潤滑剤の特性とが所定の条件を満たした場合に、耐久性の向上と高トルク化とを両立可能であることに想到して本発明を完成するに至った。すなわち、この発明に係る振動アクチュエータは、移動子と、移動子に面接触可能な振動子と、移動子と振動子とを加圧接触させる予圧手段と、振動子に超音波振動を発生させることにより移動子を移動させる振動手段と、移動子と振動子との間に液体潤滑剤を供給可能な潤滑剤供給手段とを備え、予圧手段は、移動子と振動子との間に10MPa~100MPaの範囲内の面圧が作用するように、移動子と振動子とを加圧接触させること、液体潤滑剤の40°Cにおける動粘度は、ISO粘度分類でVG200~VG1200の範囲内であること、及び液体潤滑剤の表面張力は、15mN/m~25mN/mの範囲内であることを特徴とするものである。潤滑剤供給手段は、液体潤滑剤が含浸されるとともに移動子と振動子との少なくとも一方に接触可能に設けられる供給体であってもよい。また、移動子と振動子との間に作用する面圧は、30MPa~60MPaの範囲内であってもよい。さらに、液体潤滑剤の40°Cにおける動粘度は、ISO粘度分類でVG400~VG800の範囲内であってもよい。また、潤滑剤供給手段は、液体潤滑剤をベースオイルとするグリースを移動子と振動子との間に供給してもよい。この発明によれば、振動アクチュエータの耐久性の向上と高トルク化とを両立することが可能となる。以下に、この発明の実施の形態について、添付図面に基づいて説明する。実施の形態1.図1に、この実施の形態1に係る振動アクチュエータ101を示す。振動アクチュエータ101は、超音波振動を利用して略円筒状のロータ1を軸方向周り矢印P及び矢印Q参照に回転させるものであって、ロータ1に一方の端部側で接触するステータ2を備えている。また、ステータ2の他方の端部側には、ステータ2に超音波振動を発生させる圧電素子3と、第一基部ブロック4及び第二基部ブロック5とが順次設けられている。圧電素子3は複数の圧電素子板を積層したものであり、これらの圧電素子板に図示しない駆動回路から交流電圧を印加することによってステータ2に超音波振動が発生する。尚、ステータ2及び圧電素子3は全体として略円筒状の外形を有しており、ロータ1の軸方向とステータ2及び圧電素子3の軸方向とが直交している。ここで、ロータ1、ステータ2及び圧電素子3は、振動アクチュエータ101における移動子、振動子及び振動手段をそれぞれ構成している。ロータ1は、同一の円筒形状を有する第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bと、これらのロータ部材1a、1bの中央部を貫通するロータ軸1cとを備えている。第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bは、ロータ軸1cの両端部にそれぞれ一体として固定されており、ロータ軸1cの中心軸線を回転中心として、第一ロータ部材1a、第二ロータ部材1b及びロータ軸1cが一体として回転するようになっている。また、ロータ1の外周部には、例えば振動アクチュエータ101をロボットハンドとして適用した場合に、その腕部や指部を構成する部材となる柱状のアーム部材6が設けられている。アーム部材6は、第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baにそれぞれ固定されており、ロータ1とアーム部材6とが一体として回転可能となっている。ここで、以下の説明の便宜上、ステータ2及び圧電素子3の中心軸をZ軸として規定し、その正方向を第二基部ブロック5側からステータ2側へ向かう方向とする。また、Z軸に対して直交するロータ軸1cの中心軸をX軸として規定するとともに、Z軸及びX軸に直交するようにY軸が延びているものと規定する。ロータ1側となるステータ2の端部には、Z軸に沿って正方向に突出するとともにX軸に沿って直線状に延びる一対の第一突出爪部2a及び第二突出爪部2bが形成されている。また、第一突出爪部2aと第二突出爪部2bとの間に形成された凹部2cの内部には、後に詳述するオイルが含浸された供給体10が設けられている。第一突出爪部2aの先端部において、内側、すなわち凹部2c側に位置する部位には、第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baに沿った円弧状の断面を有する第一接触面2a1が形成されており、この第一接触面2a1と第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baとが接触している。同様に、第二突出爪部2bの先端部において内側に位置する部位にも、第一接触面2a1と同様の断面を有する第二接触面2b1が形成されており、第二接触面2b1と第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baとが接触している。つまり、ステータ2は、第一突出爪部2aの第一接触面2a1及び第二突出爪部2bの第二接触面2b1において、ロータ1の第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bと面接触可能となっている。また、振動アクチュエータ101は、ロータ1とステータ2とを加圧接触させるための予圧部材8を備えている。予圧部材8は、ステータ2及び圧電素子3の中央部をZ軸に沿って延びる軸部8aを有している。軸部8aの一端は、ステータ2から突出してロータ1の第一ロータ部材1aと第二ロータ部材1bとの間に延出しており、ロータ軸1cの外周部を囲んで回転可能に支持する取付部8bに連結されている。一方、軸部8aの他端は第二基部ブロック5の内部に延出しており、コイルばね等から構成される付勢部8cに連結されている。付勢部8cは、軸部8a及び取付部8bを介してロータ軸1cを矢印Fで示される方向Z軸の負方向に付勢しており、それにより、ロータ1とステータ2とが加圧接触するようになっている。ここで、予圧部材8が加圧接触させることによってロータ1とステータ2との間に作用する面圧、すなわち、第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baと、第一突出爪部2aの第一接触面2a1及び第二突出爪部2bの第二接触面2b1との間に作用する面圧は、10MPa~100MPaの範囲内、より好ましくは30MPa~60MPaの範囲内から選択されるようになっている。尚、軸部8a、取付部8b及び付勢部8cから構成される予圧部材8は、振動アクチュエータ101における予圧手段を構成するものである。次に、ステータ2の凹部2c内に設けられた供給体10と、供給体10に含浸されたオイルの特性とについて説明する。供給体10は、柔軟性を有する多孔質の樹脂を材料とした略直方体状の部材であって、その両側面がステータ2の第一突出爪部2a及び第二突出爪部2bにそれぞれ隣接して接触するように設けられている。また、供給体10の上部表面は、第一突出爪部2aに隣接する部位と第二突出爪部2bに隣接する部位との間の全体にわたって、第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baと接触している。一方、供給体10の底部表面は、全面にわたって凹部2cの底部壁面と接触している。ここで、ロータ1は、予圧部材8に矢印Fで示される方向へ付勢されることによってステータ2に加圧接触している。供給体10は、ロータ1の第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bに押圧され、その外周面1aa及び外周面1baに沿った形状に変形されることによって凹部2c内に保持されている。以上のように構成される供給体10に、液体潤滑剤であるオイルが含浸されている。このオイルは、供給体10を形成する樹脂における連続気孔体構造の毛細管現象によって供給体10に吸収及び保持されており、供給体10とロータ1の第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bとが接触していることにより、各ロータ部材1a、1bの外周面1aa及び外周面1baに供給される。ここで、振動アクチュエータ101において用いられるオイルは、40°Cにおける動粘度がISO粘度分類でVG200~VG1200の範囲内、より好ましくはVG400~VG800の範囲内となるように、且つ表面張力が15mN/m~25mN/mの範囲内となるように選択される。尚、供給体10を形成する多孔質の樹脂は、気孔率が高いものほどオイルの含浸量が多くなり、気孔径が大きいものほどオイルの供給量が多くなる。つまり、供給体10の材料となる樹脂としては、例えば約90以上の気孔率を有するPVA樹脂ポリビニルアルコール等、気孔率が高い樹脂ほど好ましい。また、所望する気孔径を有する樹脂を選択することにより、オイルの供給量を設定することができる。上述したように、本実施の形態1における振動アクチュエータ101は、ロータ1とステータ2との間に作用する面圧と、これらの部材を潤滑するオイルの特性とが、下記の条件1~3を満たすように構成されている。1ロータ1とステータ2との間に作用する面圧が10MPa~100MPaの範囲内、より好ましくは30MPa~60MPaの範囲内であること。2ロータ1とステータ2との潤滑に用いられるオイルの40°Cにおける動粘度が、ISO粘度分類でVG200~VG1200の範囲内、より好ましくはVG400~VG800の範囲内であること。3上記オイルの表面張力が15mN/m~25mN/mの範囲内であること。以下に、これらの条件1~3による作用について説明する。まず、上記の条件1について、ロータ1とステータ2との潤滑に液体潤滑剤であるオイルを用いる場合、両部材間の潤滑が流体潤滑状態、すなわち、ロータ1とステータ2との接触部の表面間にオイルの層油膜が形成されて表面同士が接触していない状態になると、摩耗が低減される一方で両部材間の摩擦力が著しく低下する。つまり、ロータ1とステータ2とが流体潤滑状態となると、ロータ1を高いトルクで駆動することが困難となる。したがって、ロータ1及びステータ2の摩耗を低減しながら摩擦力を確保しようとする場合、ロータ1とステータ2とを境界潤滑状態、すなわち、ロータ1及びステータ2の表面同士が少なくとも一部で接触し、残りの一部に油膜が形成されている状態とすることが必要となる。ここで、振動アクチュエータ101においてステータ2に発生する超音波振動の振幅は、約1μm~2μm程度となっている。つまり、ロータ1とステータ2との間に形成される油膜の厚さを1μm以下とすれば、両部材を境界潤滑状態とすることが可能であり、予圧部材8によってロータ1とステータ2との間に作用する面圧が上記の条件1を満たす場合、油膜の厚さが1μm以下となることが確認された。次に、上記の条件2について、ロータ1とステータ2との間に1μm以下の油膜が形成されている場合、両部材間の駆動力の伝達はオイルのせん断力を利用して行われるため、オイルの動粘度は高い方が好ましい。ここで、オイルの動粘度をVG180からVG800まで段階的に変化させた場合に、ステータ2からロータ1に伝達される駆動力、すなわちロータ1の駆動トルクがどのように推移するのかを実験したグラフを図2aに示す。また、オイルの動粘度をVG180からVG800まで段階的に変化させた場合にロータ1とステータ2との接触部の摩耗がどのように推移するのかを実験したグラフを図2bに示す。尚、本実験の条件として、ロータ1とステータ2との間に作用する面圧を30MPaとし、フッ素系オイルを用いて潤滑を行っている。また、図2bの縦軸に示される平均摩耗量は、この条件でロータ1を100万回転させた場合の平均摩耗量を示している。図2aのグラフに示されるように、ロータ1の駆動トルクは、オイルの動粘度が増加するのに伴って増大する。一方、図2bのグラフに示されるように、ロータ1とステータ2との接触部における摩耗量は、オイルの動粘度の増加に伴って徐々に減少する。これらのグラフから、好ましいオイルの動粘度がVG200以上であることが明らかであり、動粘度をVG400以上とすればより好ましいことが明らかである。尚、オイルの動粘度は、ISOの粘度分類40°Cにおける分類でVG2~VG1500まで規定されているが、VG1200を超えるオイルは、通常、特殊用途に用いられるものであり、そのコストも高くなる。また、あまり動粘度が大きいと、低温時において駆動時の速度が低下する恐れがある。つまり、オイルの動粘度をVG200~VG1200の範囲内、より好ましくはVG400~VG800の範囲内とした場合、駆動トルクと摩耗量とのバランスを低コストで最適にすることが可能となっている。また、上記の条件3について、ロータ1とステータ2とをオイルで潤滑する場合、使用されるオイルはロータ1とステータ2との間に入り込むのに十分な濡れ性を有していること、換言すればオイルの表面張力が低いことが必要となる。ここで、主なオイルの表面張力を挙げると、鉱油の表面張力が29.7mN/m、トルエンの表面張力が28.4mN/m、シリコーンオイルの表面張力が20~21mN/m、フッ素系オイルの表面張力19.1mN/mとなっている。つまり、上記のオイルの中で表面張力が低いのはシリコーンオイル及びフッ素系オイルであり、これらのオイルを選択すれば、上記の条件3が満たされることとなる。以上より、本実施の形態1における振動アクチュエータ101は、予圧部材8によってロータ1とステータ2との間に作用する面圧が30MPaとなるように構成されている。また、ロータ1とステータ2とを潤滑するためのオイルには、動粘度がVG400であるフッ素系オイルが選択されている。ここで、ロータ1とステータ2との間に作用する面圧を30MPaとし、動粘度がVG400である複数種類のオイルを用いてロータ1とステータ2とを潤滑した場合に、ロータ1の駆動トルクがどのように推移するのかを実験した結果を図3に示す。尚、オイルとしては、振動アクチュエータ101で用いられているフッ素系オイルの他に、グリコール系オイル、合成炭化水素系オイル及びエステル系オイルを用いている。図3からは、フッ素系オイルを用いた場合に良好な駆動トルクが得られることが明らかである。つまり、図2a、図2b及び図3から、上記の条件1~3を満たす場合に、振動アクチュエータ101の耐久性の向上と高トルク化とを両立することが可能であることが明らかである。特に、本発明に係る振動アクチュエータ101は、比較的低い回転数で駆動され、且つ高い駆動トルクを要求されるロボットハンドに適用した場合、耐久性と駆動トルクとのバランスを好適に保つことができる。次に、この発明の実施の形態1に係る振動アクチュエータの動作について説明する。図1に示すように、まず圧電素子3の複数の圧電素子板に対して図示しない駆動回路から交流電圧が印加されると、各圧電素子板は、振動方向が互いに異なる超音波振動をそれぞれ発生する。これらの超音波振動が複合振動としてステータ2に伝達されると、ステータ2の第一突出爪部2a及び第二突出爪部2bの先端部にX軸周りの楕円振動が発生する。また、第一突出爪部2aの第一接触面2a1及び第二突出爪部2bの第二接触面2b1にはX軸周りの楕円振動による進行波が発生し、これらの接触面2a1及び2b1と、ロータ1の第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baとの間に作用する摩擦力により、ロータ1及びアーム部材6が矢印Pまたは矢印Qで示される方向に回転される。尚、ロータ1の回転方向は、圧電素子3の各圧電素子板に印加する交流電圧に応じて制御される。ロータ1の第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baには、ステータ2の凹部2c内の供給体10に含浸されたオイルが付着している。これらの外周面1aa及び外周面1baに付着したオイルは、ロータ1の回転に伴って、外周面1aa及び外周面1baとステータ2の第一接触面2a1及び第二接触面2b1との間に入り込む。ここで、供給体10に含浸されているオイルは表面張力が低く、濡れ性が良いフッ素系オイルであるため、ロータ1の外周面1aa及び外周面1baと第一接触面2a1及び第二接触面2b1ステータ2との間に入り込みやすくなっており、入り込んだオイルがロータ1とステータ2との間に油膜を形成して両部材を潤滑する。また、ロータ1とステータ2との間には、予圧部材8によって30MPaの面圧が作用しており、この面圧により、ロータ1とステータ2との間に入り込んだオイルが厚さ1μm以下の油膜を形成する。この場合、ステータ2に発生する超音波振動の振幅は1μm~2μmであるため、ロータ1とステータ2とは、両部材間の表面同士が少なくとも一部で接触し、残りの一部に油膜が形成される境界潤滑状態となる。さらに、オイルの動粘度は高粘度40°CにおけるISOの粘度分類でVG400であるため、1μmの油膜が形成された状態において、オイルのせん断力を利用してステータ2からロータ1への動力の伝達が行われる。つまり、ロータ1とステータ2との潤滑を行いつつ、両部材間に所定の摩擦力を作用させることが可能であり、それにより、振動アクチュエータ101の耐久性の向上と高トルク化とが両立される。尚、圧電素子3が発生させる超音波振動の位相は、各圧電素子板に印加する交流電圧に応じて制御可能となっており、振動アクチュエータ101では、振動が最も大きくなる、いわゆる振動の腹が、ステータ2の第一接触面2a1及び第二接触面2b1の位置、あるいはその近傍となるように制御されている。そのため、ステータ2の第一接触面2a1及び第二接触面2b1の位置における振動が大きくなる。また、オイルの供給体10は、その両側面がステータ2の第一突出爪部2a及び第二突出爪部2bに接触するように、すなわち第一接触面2a1及び第二接触面2b1に隣接するように設けられている。ここで、超音波振動が発生する部位の近傍に供給された液体は、超音波振動の腹となる位置に集まるという特性を有している。したがって、ステータ2の凹部2c内に供給体10を配置し、且つ超音波振動の腹の位置をステータ2の第一接触面2a1及び第二接触面2b1の位置、あるいはその近傍とすることにより、ロータ1とステータ2との間に効率よくオイルを供給できるようになっている。また、ステータ2の第一接触面2a1及び第二接触面2b1に超音波振動が発生している場合、ロータ1とステータ2との間には、ロータ1が回転していなくても供給されるようになっている。したがって、例えば振動アクチュエータ101の起動時等において、ロータ1とステータ2との間に直ちにオイルを供給することが可能となり、振動アクチュエータ101をスムーズに起動することや、起動時における摩耗を低減することが可能となる。さらに、供給体10は、予圧部材8がロータ1をステータ2に対して付勢する力によってステータ2の凹部2c内に保持されているため、例えばPVC樹脂のような柔軟な材料を供給体10の材料とした場合、供給体10がロータ1に与える回転抵抗を低く抑えることが可能となる。また、供給体10は多孔質の樹脂を材料としているため、その気孔率や気孔径を適宜選択することが可能となっている。例えば、気孔率を変更することによってロータ1に付着するオイルの量を調整し、それにより、ロータ1とステータ2との接触部で発生した摩耗粉が第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baに付着することを防止することが可能である。また、ロータ1とステータ2との接触部で発生した摩耗粉の大きさに応じて気孔径を選択すれば、発生した摩耗粉を供給体10で拭き取って第一ロータ部材1aの外周面1aa及び第二ロータ部材1bの外周面1baを保護することも可能となる。以上に説明したように、予圧部材8によってロータ1とステータ2とを加圧接触させ、ステータ2に発生する超音波振動を利用してロータ1を駆動する振動アクチュエータ101において、液体潤滑剤であるオイルを用いてロータ1とステータ2との潤滑を行うとともに、ロータ1とステータ2との間に作用する面圧を30MPaとしたので、ロータ1とステータ2とが境界潤滑状態で潤滑される。また、潤滑に用いるオイルを、ISO粘度分類でVG400の動粘度を有し、且つ表面張力が低いフッ素系オイルをオイルとしたので、境界潤滑状態で潤滑されるロータ1及びステータ2において、摩耗を低減しつつ両部材間に効率よく摩擦力を発生させることが可能となる。したがって、本発明によれば、振動アクチュエータ101の耐久性を向上するとともに高トルク化を図ることが可能となる。実施の形態2.次に、この発明の実施の形態2に係る振動アクチュエータについて説明する。この実施の形態2に係る振動アクチュエータ102は、実施の形態1における振動アクチュエータ101がロータ1とステータ2との潤滑にオイルを使用していたのに対し、グリースを使用して潤滑を行うように構成したものである。そのため、本実施の形態2に係る振動アクチュエータは、図1に示される振動アクチュエータ101と同様の構成を有する。振動アクチュエータ102における供給体10には、実施の形態1において用いられたオイルをベースオイルとし、PTFEポリテトラフルオロエチレンを増ちょう剤として添加したグリースが含浸されている。ここで、通常、グリースの特性はベースオイルの特性に依存するため、振動アクチュエータ102において用いられるグリースは、振動アクチュエータ101において使用されるオイルと共通した特性を有するものとなる。このように、ロータ1とステータ2との潤滑にグリースを利用しても、ロータ1とステータ2との間の面圧に関する条件1を満たし、且つグリースのベースオイルが動粘度に関する条件2及び表面張力に関する条件3を満たしていれば、耐久性の向上と高トルク化とを両立するという効果に関し、実施の形態1とほぼ同様の効果を得ることができる。尚、オイルの代わりにグリースを用いることにより、ロータ1とステータ2との間で駆動力を伝達する際の摩擦損失は高くなるが、その分、供給体10からグリースが漏れ出す量は低減される。実施の形態3.次に、この発明の実施の形態3に係る振動アクチュエータについて、図4に基づいて説明する。この実施の形態3に係る振動アクチュエータ103は、実施の形態1に係る振動アクチュエータ101が略円筒状のロータ1を移動子としていたのに対し、球体状のロータを移動子とするように構成したものである。尚、以下に説明する実施の形態3において、図1に示される符号と同一の符号は同一または同様の構成要素であるため、その詳細な説明は省略する。図4に示すように、振動アクチュエータ103は、球体状の移動子であるロータ31と、ロータ31が接触する振動子であるステータ32とを備えている。ロータ31側に位置するステータ32の端部には、略円環状に形成された3つの突出爪部32a~32cがロータ31に向かって突出するように設けられており、これらの突出爪部32a~32cには、ロータ31の外表面31aに対応する球状の接触面32a1~32c1がそれぞれ形成されている。また、突出爪部32a~32cの内側に形成された凹部32dの内部には、実施の形態1における供給体10と同様の樹脂を材料とする略円筒状の供給体33が設けられており、この供給体33には、40°Cにおける動粘度がISO粘度分類でVG400であるフッ素系オイルが含浸されている。さらに、ロータ31の上部には予圧手段34が配置されており、この予圧手段34によってロータ31がステータ32に対して加圧されている。ここで、図4は、ステータ32の凹部32d及び供給体33を図示するために、ロータ31とステータ32とが離間した状態を示したものであり、実際の振動アクチュエータ103では、ロータ31の外表面31aと、ステータ32の突出爪部32a~32cの接触面32a1~32c1とが面接触するようになっている。また、予圧手段34は、ロータ31とステータ32との間、すなわち、ロータ31の外表面31aと、ステータ32の突出爪部32a~32cの接触面32a1~32c1との間に30MPaの面圧を作用させている。つまり、この実施の形態3は、圧電素子3がステータ32に発生させる超音波振動を利用してロータ31を多自由度で回転させる振動アクチュエータ103を、実施の形態1で挙げた条件1~3を満たすように構成したものである。また、上記以外の構成については、実施の形態1と同様である。以上のように、振動アクチュエータ103を、球体状のロータ31を駆動するように構成しても、実施の形態1と同様に耐久性の向上と高トルク化との両立を図ることが可能となる。実施の形態1において、潤滑剤供給手段である供給体10図1参照は、ステータ2の凹部2c内に配置される単一の部材として形成されたが、供給体10を単一の部材とすることに限定するものではない。ロータ1とステータ2との間にオイルを供給可能であればよいため、例えば図5に示す振動アクチュエータ104のように、ステータ2の凹部2c内に2つの供給体41、42を配置するように構成することも可能である。尚、この場合、供給体41は、ロータ1の第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bとステータ2の第一突出爪部2aとに接触しており、供給体42は、ロータ1の第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bとステータ2の第二突出爪部2bとに接触している。また、これらの供給体41、42を凹部2c内に保持するために、金属等を材料とする平板状の支持部材43、44を凹部2cの底部に設け、これらの支持部材43、44上に供給体41、42をそれぞれ固定することも可能である。また、実施の形態1における振動アクチュエータ101図1参照は、ステータ2に一対の突出爪部2a、2bを設け、それらの間の凹部2cに供給体10が配置されるように構成されたが、複数の突出爪部の間に供給体を配置する構成に限定するものではない。例えば図6に示す振動アクチュエータ105のように、ステータ52を、その中央部を直線状に延びる単一の突出爪部52aを有するものとして構成することも可能である。この場合、ロータ1の第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bと、突出爪部52aの先端部に形成された接触面52a1とが面接触する。また、オイルが含浸された供給体53は、突出爪部52aの一方の側部または両側部に配置されており、ロータ1の第一ロータ部材1a及び第二ロータ部材1bに接触することによってオイルを供給する。実施の形態1~3において、ロータとステータとの間にオイルを供給するための潤滑剤供給手段として、多孔質の樹脂を材料とする供給体が用いられたが、このような供給体を用いることに限定するものではない。例えば図7に示される振動アクチュエータ106のステータ62のように、第一突出爪部2aと第二突出爪部2bとの間を塞ぐ、つまりステータ2の凹部2cをX軸方向における両端部で塞ぐ壁部62dを設け、その内部に溜められたオイルにロータ1が浸かるような構成とすることも可能である。この場合、供給体を用いることなくロータ1の外周面にオイルを直接供給できるため、部品点数を低減して低コスト化を図ることが可能である。尚、この場合の潤滑剤供給手段は、第一突出爪部2a、第二突出爪部2b及び一対の壁部62dに囲まれてオイルが溜められた空間となる。実施の形態1~3において、移動子である各ロータは略円筒状または球体状の部材として構成されたが、移動子の形状を円筒状及び球体状に限定するものではない。例えば、円環状の移動子を軸方向周りに回転させる振動アクチュエータや、棒状や柱状の移動子を直線移動させる、いわゆるリニア型の振動アクチュエータ等、他の形状を有する移動子を備えた振動アクチュエータに本発明を適用することも可能である。