"両主面が四角形状となっている2枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部と、前記平板部の一方の主面の縁部に沿って設けられ前記平板部に接する面の形状がL字形状となっているL字壁部と、を備えている接合用ジグに、露出されている前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記L字壁部の面に前記ウエハの所定の二つの側面を接触させ前記平板部の所定の他の二つの側面と前記ウエハの所定の他の側面が同一平面上となるように、前記ウエハをそれぞれの前記接合用ジグに搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハであって前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引して前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグの前記一方のウエハの所定の二つの側面が接しているL字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部の所定の二つの側面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合せ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とするウエハの接合方法。両主面が円形形状となっている2枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部と、前記平板部の一方の主面の所定の二辺の縁部に沿って設けられ前記平板部に接する面の形状がL字形状となっているL字壁部と、を備えている接合用ジグに、露出されている前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記L字壁部の面に前記ウエハの側面を2箇所接触させ、前記L字壁部から前記平板部に向かう向きに前記平板部の一方の主面を見たときに前記平板部の所定の他の二辺が前記ウエハの縁部の接線となるように、前記ウエハをそれぞれの前記接合用ジグに搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハであって前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引して前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグの前記一方のウエハの側面が接しているL字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合せ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とするウエハの接合方法。しかしながら、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光をウエハに照射した後、一方のウエハの照射された面と他方のウエハの照射された面とが対向するようにピンセットで他方のウエハを挟み保持しウエハを配置させた後接触させて接合しているので、手間と時間を要する上に、接合後に一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに一方のウエハの主面を見たとき、一方のウエハの主面の縁部と他方のウエハの主面の縁部とが重なっていないといった貼り合せずれが生じてしまう恐れがある。従って、従来のウエハの接合方法では、貼り合わせずれが生じた場合、接合をしなおすために貼り合わせずれが生じたウエハを洗浄し、再び、接合しなければならず、手間と時間を要し、生産性が低減する恐れがある。また、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光をウエハの照射し、照射された一方のウエハの面と照射された他方のウエハの面とが対向するようにピンセットで他方のウエハを挟み保持しウエハを配置させた後接触させて接合しているので、ピンセットに付着していた付着物が接合されるウエハの面に付着し接合されるウエハの間に異物として混入する恐れがある。また、接合されるウエハの面の縁部がピンセットによって欠損し、この欠損した部分がウエハの間に異物として混入する恐れがある。このため、従来のウエハの接合方法によれば、接合されるウエハの間に異物が混入し、接合後の生産性が低減する恐れがある。接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、従来のウエハの接合方法では、接合されているウエハの間に混入した異物により干渉縞が生じるといった外観不良が発生し生産性が低減する恐れがある。本発明は、ウエハの貼り合せずれがなくウエハの間に異物が混入することなく接合することができる生産性が向上されたウエハの接合方法を提供することを目的とする。前記課題を解決するため、両主面が四角形状となっている2枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部と、前記平板部の一方の主面の縁部に沿って設けられ前記平板部に接する面の形状がL字形状となっているL字壁部と、を備えている接合用ジグに、露出されている前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記L字壁部の面に前記ウエハの所定の二つの側面を接触させ前記平板部の所定の他の二つの側面と前記ウエハの所定の他の側面が同一平面上となるように、前記ウエハをそれぞれの前記接合用ジグに搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハであって前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引して前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグの前記一方のウエハの所定の二つの側面が接しているL字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部の所定の二つの側面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合せ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とする。また、前記課題を解決するため、両主面が円形形状となっている2枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部と、前記平板部の一方の主面の所定の二辺の縁部に沿って設けられ前記平板部に接する面の形状がL字形状となっているL字壁部と、を備えている接合用ジグに、露出されている前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させつつ前記L字壁部の面に前記ウエハの側面を2箇所接触させ、前記L字壁部から前記平板部に向かう向きに前記平板部の一方の主面を見たときに前記平板部の所定の他の二辺が前記ウエハの縁部の接線となるように、前記ウエハをそれぞれの前記接合用ジグに搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハであって前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引して前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグの前記一方のウエハの側面が接しているL字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記平板部の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合せ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備えていることを特徴とする。このようなウエハの接合方法によれば、露出されている平板部の一方の主面にウエハの一方の主面を接触させつつL字壁部の面にウエハの所定の二つの側面を接触させ平板部の所定の他の二つの側面とウエハの所定の他の側面が同一平面上となるように、主面が四角形状となっているウエハをそれぞれの接合用ジグに搭載し、エキシマ照射ランプから放射された光を照射した後、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引してウエハを接合用ジグに保持した状態で、一方のウエハが搭載されている接合用ジグの一方のウエハの所定の二つの側面が接しているL字壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている接合用ジグの前記平板部の所定の二つの側面に接触するように、接合されるウエハを保持したまま接合用ジグを配置しているので、エキシマランプから放射された光が照射されたウエハの面同士を容易に対向させ接触させることができる。このため、このようなウエハの接合方法によれば、主面が四角形状のウエハを貼り合わせずれがないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。また、このようなウエハの接合方法によれば、接合用ジグにウエハを搭載した状態でウエハにエキシマ照射ランプから放射された光を照射し、貫通孔から吸引しウエハを接合用ジグに保持し接合用ジグを配置し、光が照射されたウエハの面を貼り合せて接合しているので、ウエハの側面をピンセットで挟むことなくウエハを接合することができる。このため、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの製造方法と比較して生産性を向上させることができる。また、このようなウエハの接合方法によれば、露出されている平板の一方の主面にウエハの一方の主面を接触させつつL字壁部の面にウエハの側面を2箇所接触させ、L字壁部から平板部に向かう向きに平板部の一方の主面を見たときに平板部の所定の他の二辺がウエハの縁部の接線となるように、ウエハをそれぞれの接合用ジグに搭載し、エキシマ照射ランプから放射された光を照射した後、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引してウエハを接合用ジグに保持した状態で、一方のウエハが搭載されている接合用ジグの一方のウエハの側面が接しているL字壁部の面が他方のウエハが搭載されている接合用ジグの平板部の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、接合されるウエハを保持したまま接合用ジグを配置しているので、エキシマ照射ランプから放射された光が照射されたウエハの面同士を容易に対向させ接触させることができる。このため、このようなウエハの接合方法によれば、主面が円形形状のウエハを貼り合わせずれがないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面において各構成要素の状態を分かりやすくするために誇張して図示している。第一の実施形態本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法では、両主面が四角形状となっている二つのウエハの主面同士を直接接合により接合している。また、本発明の第一の実施形態に係る接合方法は、ウエハ搭載工程、照射工程、接合用ジグ配置工程、貼り合わせ工程、取り外し工程、を備えている。ウエハ搭載工程ウエハ搭載工程は、図2に示すように、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔112図1a及び図1b参照が形成されている平板部111と、前記平板部111の一方の主面の縁部に沿って設けられ前記平板部111に接する面の形状がL字形状となっているL字壁部113と、を備えている接合用ジグ110に、露出されている前記平板部111の一方の主面に前記ウエハW1の一方の主面を接触させつつ前記L字壁部112の面に前記ウエハW1の所定の二つの側面を接触させ前記平板部111の所定の他の二つの側面と前記ウエハW1の所定の他の側面が同一平面上となるように、前記ウエハW1をそれぞれの前記接合用ジグ110に搭載する工程である。ウエハ搭載工程では、例えば、ウエハW1が二つ用いられ、それぞれのウエハW1が接合用ジグ110に搭載されている。一方のウエハW11図3参照は、例えば、互いに直交するX軸とY軸とZ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。また、一方のウエハW11は、例えば、主面がX軸とY軸に平行でかつ厚み方向がZ軸に平行となっている旋光板となっている。他方のウエハW12図3参照は、主面の大きさが一方のウエハW1の主面の大きさと同じ大きさとなっている。また、他方のウエハW12は、例えば、互いに直交するX軸とY軸とZ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。また、他方のウエハW12は、例えば、主面がX軸とY軸に平行でかつ厚み方向がZ軸に平行となっている。接合用ジグ110は、図1a及び図1bに示すように、平板部111とL字壁部113とから構成されている。平板部111は、図1aに示すように、両主面が四角形状となっており所定の一つの隅部に切り欠きが形成されている。また、平板部111は、図1a及び図1bに示すように、一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔112が形成されている。また、平板部111は、図1a及び図1bに示すように、一方の主面の縁部にL字壁部113が設けられている。L字壁部113は、前述したように、平板部111の一方の主面の縁部に沿って設けられている。また、L字壁部113は、平板部111と接する面の形状がL字形状となっている。また、L字壁部113は、平板部111に接する面から平板部111に接する面に対向する面までの長さが接合される二つのウエハW1の厚みの和と比較して長くなっている。従って、接合用ジグ110は、貫通孔112が形成されている平板部111の一方の主面であって所定の二つの辺の縁部に沿ってL字壁部が設けられており、平板部111の一方の主面の一部が露出された状態となっている。ウエハ搭載工程では、ウエハW1の一方の主面が接合用ジグ110の平板部111の露出されている面と接するように配置され、ウエハW1の所定の二つの側面がL字壁部113の面と接するように配置され、ウエハW1が接合用ジグ110に搭載される。このとき、ウエハW1の所定の他の二つの側面が平板部111の一方の主面であって所定の他の二つの辺を含む平板部111の側面と同一平面上に位置している。ここで、所定の他の二つの辺を含む平板部111の側面を平板部111の所定の二つの側面とする。照射工程照射工程は、図3に示すように、二つの前記接合用ジグ110にそれぞれ搭載されている前記ウエハW11,W12であって前記平板部110に接する面に対向する前記ウエハW11,W12の面に、エキシマ照射ランプ120から放射された光を照射する工程である。照射工程では、エキシマ照射ランプ120から照射された光がウエハW11,W12に照射されることで、ウエハW11,W12の面の酸化膜や吸着物が除去され、ウエハW11,W12の面が活性化される。接合用ジグ配置工程接合用ジグ配置工程は、図4に示すように、前記ウエハW11,W12の一方の主面が前記ウエハW11,W12の前記平板部111a,111bに接触したままとなるように前記平板部111a,111bの他方の主面側の前記貫通孔112a,112bの開口部から吸引して前記ウエハW11,W12を前記接合用ジグ110に保持した状態で、一方の前記ウエハW11が搭載されている接合用ジグ110の前記一方のウエハW11の所定の二つの側面が接しているL字壁部113aの面が他方の前記ウエハW12が搭載されている前記接合用ジグ110の前記平板部111bの所定の二つの側面に接触するように、前記ウエハW11,W12が搭載されている前記接合用ジグ110を配置する工程である。ここで、一方のウエハW11が搭載されている接合用ジグ110を第一のジグ110aとする。また、他方のウエハW12が搭載されている接合用ジグ110を第二のジグ110bとする。接合用ジグ配置工程では、第一の接合用ジグ110aに着目すると、前記平板部111aの他方の主面側の貫通孔112aの開口部から、吸引手段図示せずによって吸引して一方のウエハW11を第一のジグの平板部111aの一方の主面に保持している。また、接合用ジグ配置工程では、第二の接合用ジグ110bに着目すると、前記平板部111bの他方の主面側の貫通孔112bの開口部から、吸引手段図示せずによって吸引して他方のウエハW12を第一のジグの平板部111bの一方の主面に保持している。その後、接合用ジグ配置工程では、それぞれの接合用ジグ110a,110bにそれぞれのウエハW11,W12を保持した状態で、第一の接合用ジグ110aの一方のウエハW11の所定の二つの側面が接しているL字壁部113aの面が第二の接合用ジグ110bの平板部111bの所定の二つの側面に接触するように、第一の接合用ジグ110aと第二の接合用ジグ110bとを配置する。このとき、一方のウエハW11は、所定の二つの側面が第一のジグ110aのL字壁部113aの面、つまりL字壁部113aの側面に接しつつ所定の他の二つの側面が第一のジグ110aの平板部111aの所定の二つの側面と同一平面上に位置するように、第一のジグ110aに搭載されている。また、他方のウエハW12は、所定の二つの側面が第二のジグ110bのL字壁部113bの側面に接しつつ所定の他の二つの側面が第二のジグ110bの平板部111bの所定の二つの側面と同一平面上に位置するように、第二のジグ110bに搭載されている。このため、一方のウエハW11の所定の二つの側面が接している第一のジグ110aのL字壁部113aの面を第二のジグ110bの平板部111bの所定の二つの側面と接するように配置することで、第一のジグ110aに保持されている一方のウエハW11であってエキシマ照射ランプ120によって表面が活性化されている主面と第二のジグ110bに保持されている他方のウエハW12であってエキシマ照射ランプ120によって表面が活性化されている主面とを対向するように容易に配置させることができる。貼り合わせ工程貼り合わせ工程は、配置された接合用ジグ110a,110bに保持されている前記ウエハW11,W12を接触させ前記ウエハW1、W2を貼り合わせる工程である。貼り合せ工程では、一方のウエハW11の表面が活性化されている主面と他方のウエハW12の表面が活性化されている主面とが接触されることで、一方のウエハW11と他方のウエハW12とが直接接合により接合される。取り外し工程取り外し工程は、前記接合用ジグ110aから貼り合わせた前記ウエハW11,W12を取り外す工程である。取り外し工程では、前述したように、第一の接合用ジグ110aの平板部111aの一方の主面の所定の一つの端部にはきり欠き部が形成されているので、第一の接合用ジグ110aから接合されたウエハW11,W12を容易に取り外すことができる。このような本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、露出されている平板部111の一方の主面にウエハWの一方の主面を接触させつつL字壁部113の面にウエハWの所定の二つの側面を接触させ平板部111の所定の他の二つの側面とウエハWの所定の他の側面が同一平面上となるように、主面が四角形状となっているウエハW1,W2をそれぞれの接合用ジグ110a,110bに搭載し、エキシマ照射ランプ120から放射された光を照射した後、平板部111a,111bの他方の主面側の貫通孔112a,112bの開口部から吸引してウエハW1,W2を接合用ジグ110a,110bに保持した状態で、一方のウエハW1が搭載されている接合用ジグ110aの一方のウエハW1の所定の二つの側面が接しているL字壁部113aの面が他方の前記ウエハW2が搭載されている接合用ジグ110bの前記平板部111bの所定の二つの側面に接触するように、接合されるウエハW1,W2を保持したまま接合用ジグ110a,110bを配置しているので、エキシマ照射ランプ120から放射された光が照射されたウエハW1,W2の面同士を容易に対向させ接触させることができる。このため、このような本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、貼り合わせずれがないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。また、このような本発明の第一の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、接合用ジグ110にウエハWを搭載した状態でウエハWにエキシマ照射ランプ120から放射された光を照射し、貫通孔112から吸引しウエハWを接合用ジグ110に保持し接合用ジグ110を配置し、光が照射されたウエハWの面を貼り合せて接合しているので、ウエハWの側面をピンセットで挟むことなくウエハWを接合することができる。このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハWの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。接合されている一方のウエハW11から他方のウエハW12に向かう向きに光を入射させる場合、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの製造方法と比較して生産性を向上させることができる。第二の実施形態本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法は、接合されるウエハの主面が円形形状となっている点で第一の実施形態と異なる。ウエハ搭載工程ウエハ搭載工程では、図6a及び図6bに示すように、両主面が四角形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔212が形成されている平板部211と、前記平板部211の一方の主面の所定の二辺の縁部に沿って設けられ前記平板部211に接する面の形状がL字形状となっているL字壁部213と、を備えている接合用ジグ210に、露出されている前記平板部211の一方の主面に前記ウエハW2の一方の主面を接触させつつ前記L字壁部213の面に前記ウエハW2の側面を2箇所接触させ、前記L字壁部213から前記平板部211に向かう向きに前記平板部211の一方の主面を見たときに前記平板部211の所定の他の二辺が前記ウエハW2の縁部の接線となるように、前記ウエハW2をそれぞれの前記接合用ジグ210に搭載する工程である。ウエハ搭載工程では、例えば、ウエハW2が二つ用いられ、それぞれのウエハW2が接合用ジグ210に搭載されている。一方のウエハW2は、例えば、互いに直交するX軸とY軸とZ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が円形形状となっている。また、一方のウエハW11は、例えば、主面がX軸とY軸に平行でかつ厚み方向がZ軸に平行となっている旋光板となっている。他方のウエハW2は、主面の大きさが一方のウエハW2の主面の大きさと同じ大きさとなっている。また、他方のウエハW12は、例えば、互いに直交するX軸とY軸とZ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が円形形状となっている。また、他方のウエハW12は、例えば、主面がX軸とY軸に平行でかつ厚み方向がZ軸に平行となっている。接合用ジグ110は、図6a及び図6bに示すように、平板部211とL字壁部213とから構成されている。平板部211は、図6a及び図6bに示すように、一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔212が形成されている。また、平板部211は、図6a及び図6bに示すように、一方の主面の縁部にL字壁部213が設けられている。L字壁部213は、前述したように、平板部211の一方の主面の縁部に沿って設けられている。また、L字壁部213は、平板部211と接する面の形状がL字形状となっている。また、L字壁部213は、平板部211に接する面から平板部211に接する面に対向する面までの長さが接合される二つのウエハW2の厚みの和と比較して長くなっている。従って、接合用ジグ210は、貫通孔212が形成されている平板部211の一方の主面であって所定の二つの辺の縁部に沿ってL字壁部が設けられており、平板部211の一方の主面の一部が露出された状態となっている。このとき、L字壁部213から平板部211に向かう向きに平板部211の一方の主面を見た場合、露出されている平板部211の一方の主面が正方形形状となっており、この正方形の一辺がウエハW2の直径と同じ長さとなっている。ウエハ搭載工程では、ウエハW2の一方の主面が露出されている平板部211の一方の主面に接しつつ、ウエハW2の側面がL字壁部213の側面に2箇所接するように配置され、ウエハW2が接合用ジグ210に搭載される。このとき、露出されている平板部211の一方の主面の一辺の長さがウエハW2の直径と同じ長さとなっているので、前記L字壁部213から前記平板部211に向かう向きに前記平板部211の一方の主面を見たときに、露出されている平板部211の一方の主面のそれぞれの辺がウエハW2の縁部の接線となっている。つまり、前記L字壁部213から前記平板部211に向かう向きに前記平板部211の一方の主面を見たときに、ウエハW2の接しているL字壁部213の面と平板部211の所定の他の二辺がウエハW2の縁部の接線となっている。接合用ジグ配置工程接合用ジグ配置工程は、前記ウエハW2の一方の主面が前記ウエハW2の前記平板部211に接触したままとなるように前記平板部211の他方の主面側の前記貫通孔212の開口部から吸引して前記ウエハW2を前記接合用ジグ210に保持した状態で、一方の前記ウエハW2が搭載されている接合用ジグ210の前記一方のウエハW2の側面が接しているL字壁部213の面が他方の前記ウエハW2が搭載されている前記接合用ジグ210の前記平板部211の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、前記ウエハW2が搭載されている前記接合用ジグ210を配置する工程である。ここで、一方のウエハW2が搭載されている接合用ジグ210を第一のジグとする。また、他方のウエハW2が搭載されている接合用ジグ210を第二のジグとする。接合用ジグ配置工程では、第一の接合用ジグに着目すると、前記平板部211の他方の主面側の貫通孔212の開口部から、吸引手段図示せずによって吸引して一方のウエハW2を第一のジグの平板部211の一方の主面に保持している。また、接合用ジグ配置工程では、第二の接合用ジグに着目すると、前記平板部211の他方の主面側の貫通孔212の開口部から、吸引手段図示せずによって吸引して他方のウエハW2を第一のジグの平板部211の一方の主面に保持している。その後、接合用ジグ配置工程では、それぞれの接合用ジグ210にそれぞれのウエハW2を保持した状態で、第一の接合用ジグの一方のウエハW2の側面が接しているL字壁部213の面が第二の接合用ジグの平板部211の一方の主面の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、第一の接合用ジグと第二の接合用ジグとを配置する。このとき、一方のウエハW2は、保持された状態でL字壁部213から平板部211に向かう方向で平板部211の一方の主面を見たとき、L字壁部213に接している2面と平板部211の一方の主面の所定の他の二辺とが一方のウエハW2の縁部の接線となるように、第一のジグに搭載されている。また、他方のウエハW2は、保持された状態でL字壁部213から平板部211に向かう方向で平板部211の一方の主面を見たとき、L字壁部213に接している2面と平板部211の一方の主面の所定の他の二辺とが他方のウエハW2の縁部の接線となるように、第二のジグに搭載されている。このため、それぞれの接合用ジグ210にそれぞれのウエハW2を保持した状態で、第一の接合用ジグの一方のウエハW2の側面が接しているL字壁部213の面が第二の接合用ジグの平板部211の一方の主面の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、第一の接合用ジグと第二の接合用ジグとを配置することで、第一のジグに保持されている一方のウエハW2であってエキシマ照射ランプ120によって表面が活性化されている主面と第二のジグに保持されている他方のウエハW2であってエキシマ照射ランプ120によって表面が活性化されている主面とを対向するように容易に配置させることができる。また、このような本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、露出されている平板部211の一方の主面にウエハW2の一方の主面を接触させつつL字壁部213の面にウエハW2の側面を2箇所接触させ、L字壁部213から平板部211に向かう向きに平板部211の一方の主面を見たときに平板部211の所定の他の二辺がウエハW2の縁部の接線となるように、ウエハW2をそれぞれの接合用ジグ210に搭載し、エキシマ照射ランプ120から放射された光を照射した後、平板部211の他方の主面側の貫通孔212の開口部から吸引してウエハW2を接合用ジグ210に保持した状態で、一方のウエハW2が搭載されている接合用ジグ210の一方のウエハW2の側面が接しているL字壁部213の面が他方のウエハW2が搭載されている接合用ジグ210の平板部211の所定の他の二つの辺を含む側面に接触するように、接合されるウエハW2を保持したまま接合用ジグ210を配置しているので、エキシマ照射ランプ120から放射された光が照射されたウエハW2の面同士を容易に対向させ接触させることができる。このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、主面が円形形状のウエハW2を貼り合わせずれがないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。また、このような本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、接合用ジグ210にウエハW2を搭載した状態でウエハW2にエキシマ照射ランプ120から放射された光を照射し、貫通孔112から吸引しウエハW2を接合用ジグ210に保持し接合用ジグ210を配置し、光が照射されたウエハW2の面を貼り合せて接合しているので、ウエハW2の側面をピンセットで挟むことなくウエハW2を接合することができる。従って、このような本発明の第二の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、ウエハW2の側面をピンセットで挟むことなくエキシマ照射ランプから放射されたウエハW2の面を接合することができるので、第一の実施形態と同様の効果を奏する。なお、貫通孔が平板部に一つ設けられている場合について説明しているが、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引手段を用いて吸引しウエハを平板部の一方の主面に保持することができれば、貫通孔を複数形成してもよい。右水晶からなる旋光板と左水晶からなる旋光板とを接合する場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、波長板を貼り合わせてもよい。また、ウエハが水晶からなる場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、ガラスであってもよい。また、2枚のウエハを接合する場合について説明しているが、例えば、接合されているウエハを一つのウエハとみなして、接合されているウエハ同士をさらに接合してもよい。"