冷媒槽と、該冷媒槽を貫通し、内壁が円筒状の空洞を有する冷却部と、該冷却部の空洞内に、空洞の内壁との間に熱良導性材料層を挟んで移動自在に嵌合する熱伝導棒と、該熱伝導棒を内部に収容するパイプ部とを備え、前記熱伝導棒は、先端に、試料を装着する試料装着部を有する透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダー。前記熱良導性材料層は、銅とアルミニウムのうち少なくとも1種を含む金属製の繊維層である請求項1に記載の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダー。前記パイプ部は、試料冷却ホルダーに固定され、前記パイプ部は、先端に電子線が通過する窓部を備え、前記熱伝導棒をパイプ部内で長手方向に前進または後進することにより、試料を観察するときは、パイプ部の前記窓部を通過して電子線が試料に照射するように前記熱伝導棒を配置し、該熱伝導棒はパイプ部内で自在に回転させることができ、試料を観察しないときは、パイプ部により試料を外気から遮断するように前記熱伝導棒を配置する請求項1または2に記載の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダー。試料装着部を取り付けるカートリッジを備え、試料装着部を取り付けたカートリッジを冷却した状態で熱伝導棒に装着する請求項1~3のいずれかに記載の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダー。透過型電子顕微鏡により試料を観察するときに、顕微鏡内で試料を試料ホルダー軸回りに回転移動し、電子線に対して試料を傾斜させることにより、試料を異なった方向から観察することが可能となる。しかし、特許文献1に記載された試料冷却ホルダーでは、図3aに示すように、熱伝導棒37が冷媒槽38に固定されているため、試料35を冷却しながら、冷媒槽38から冷媒を散逸することなく傾斜するには、おのずと制限が生じる。本発明の課題は、冷媒により試料を冷却しながら、冷媒を散逸することなく、顕微鏡内で試料を360度自在に回転させることができる透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーを提供することにある。また、凍結した試料を試料冷却ホルダーに取り付け、透過型電子顕微鏡にセットする過程で、試料表面への霜の付着を抑制する透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーを提供することを課題とする。本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーは、冷媒槽と、冷媒槽を貫通し、内壁が円筒状の空洞を有する冷却部と、冷却部の空洞内に、空洞の内壁との間に熱良導性材料層を挟んで移動自在に嵌合する熱伝導棒とを有する。また、この試料冷却ホルダーは、熱伝導棒を内部に収容するパイプ部を備え、熱伝導棒は、先端に、試料を装着する試料装着部を有する。使用する熱良導性材料層は、銅とアルミニウムのうち少なくとも1種を含む金属製の繊維層とする態様が好ましい。本発明の試料冷却ホルダーは、パイプ部を試料冷却ホルダーに固定し、先端に電子線が通過する窓部を備える態様が好適である。かかる態様において、熱伝導棒をパイプ部内で長手方向に前進または後進することにより、試料を観察するときは、パイプ部の窓部を通過して電子線が試料に照射するように熱伝導棒を配置し、この熱伝導棒はパイプ部内で自在に回転させることができる。一方、試料を観察しないときは、パイプ部により試料を外気から遮断するように熱伝導棒を配置する。また、試料冷却ホルダーが、試料装着部を取り付けるカートリッジを備え、試料装着部を取り付けたカートリッジを冷却した状態で熱伝導棒に装着する態様が好ましい。本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーは、冷媒により試料を冷却しながら、冷媒を散逸することなく、顕微鏡内で試料を360度自在に回転させることができるため、360度連続的に試料傾斜角を変えながら試料の観察が可能になる。また、凍結した試料を試料冷却ホルダーに装着し、透過型電子顕微鏡にセットする過程で、試料表面への霜の付着を抑制することができる。図1は、本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーの断面図であり、図1aは、電子顕微鏡により試料を観察しているときの状態を示し、図1bは、試料を観察していないときの状態、すなわちシャッターを閉じ、試料を外気から遮断している状態を示す。図1に示すように、この試料冷却ホルダーは、冷媒槽8と、冷媒槽8を貫通して配置する冷却部1と、冷却部に嵌合する熱伝導棒7と、熱伝導棒7を内部に収容するパイプ部6を備える。冷媒槽8には、液体窒素または液体ヘリウム等の冷媒9を注入する。冷媒槽8は、耐圧性容器18内に収容し、冷媒槽8を低温に保持するため、耐圧性容器18内は真空に調整する。この冷媒槽8を貫通した状態で冷却部1を配置し、冷却部1内に熱伝導棒7を嵌合することにより熱伝導棒7を冷却し、熱伝導棒7の先端に装着する試料を低温に維持する。熱伝導棒7は、内部を真空に保ち、断熱性を保持したパイプ部6の内部に収容することにより、低温に保持するとともに、試料の装着時や試料冷却ホルダーの電子顕微鏡へのセット時に、試料と熱伝導棒を機械的に保護する。図2は、本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーにおける冷却部の配置を示す部分断面図である。図2に示すように、冷却部1は、冷媒槽8を貫通し、内壁1aが円筒状の空洞を有する。冷却部1の円筒状の空洞内には、円柱状の熱伝導棒7が嵌合し、熱伝導棒7の外壁と空洞の内壁1aとの間に、熱良導性材料層3を備える。このため、極低温の冷媒9により冷却部1が冷却され、熱良導性材層3を通して熱伝導棒7が極低温に冷却される。図2に示す例では、冷却部1は、内壁が円筒状の空洞を有するブロック状の部材であるが、ブロック状の部材の代わりに、図1に示すように、内壁が円筒状のパイプを使用することもできる。金属は、熱伝導率が大きい点で、熱良導性材料層3に好ましく使用することができる。また、金属の中でも、銅CuとアルミニウムAlのうち少なくとも1種を含む金属が、熱伝導棒7の冷却効率が大きい点で、より好ましい。すなわち、熱良導性材料層3には、Cu、またはAl、またはCuとAlとの合金を含有する金属が好適である。Cuの熱伝導率は398W/mKであり、Alの熱伝導率は236W/mKであり、金属の中でも熱伝導率が大きく、比較的高価でない点で、熱良導性材料層に好ましく使用できる。熱良導性材料層には、必要に応じて、銀、金、鉄などの他の金属を含めることができる。熱良導性材料層3は、綿状の繊維層とすることにより、クッション性が改善し、冷却部1の空洞内に嵌合する熱伝導棒7の滑り性を高め、熱伝導棒7を回転自在に保持し、長手方向への移動も容易化する。綿状の熱良導性材料層3は、たとえば、材料としてCuを使用する場合には、線径20μm程度の繊維からなる層を好ましく使用することができる。図1に示すように、熱伝導棒7は、先端に、試料を装着する試料装着部13を有する。本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーでは、熱伝導棒7は、冷却部1の空洞内に回転自在に保持されている。したがって、熱伝導棒7を冷媒9で冷却することにより、熱伝導棒7の先端に装着する試料を冷却しながら、駆動部17により熱伝導棒7を回転移動すると、冷媒9を散逸することなく、顕微鏡内で試料を360度自在に回転させることができる。このため、電子線に対して試料を任意に傾斜させることにより、試料の観察方向を360度変えることができ、試料の微細な断層構造あるいは三次元構造を詳細に観察することができる。本発明の試料冷却ホルダーを図1に例示する。図1に示す例では、試料冷却ホルダーにおいて、パイプ部6は試料冷却ホルダー本体に固定されている。図4は、図1におけるパイプ部6の先端の部分拡大図であり、図4aは、図1aにおけるIVAの部分拡大図であり、図4bは図1bにおけるIVBの部分拡大図である。図4に示すように、熱伝導棒7は、先端に、試料11を装着する試料装着部13を有し、パイプ部6は、先端に電子線が通過する窓部12を備える。パイプ部6は試料冷却ホルダー本体に固定されているため、試料冷却ホルダー本体における窓部12の位置も固定されている。図1aは、電子顕微鏡により試料を観察しているときの状態を示し、図1bは、試料を観察していないときの状態を示す。したがって、図4aは、電子顕微鏡により試料を観察しているときのパイプ部6の先端の状態を示し、図4bは、試料を観察していないときのパイプ部6の先端の状態を示す。本発明の試料冷却ホルダーにおいて、熱伝導棒7は冷却部1の空洞内に移動自在に嵌合する。したがって、熱伝導棒7がパイプ部6内において長手方向に移動自在に保持されている。試料を観察するときは、駆動部17により熱伝導棒7を後進し、熱伝導棒7を図1aに示すように配置する。熱伝導棒7を矢印Cの方向に後進し、図1aのように配置すると、図4aに示すように、熱伝導棒7の先端の試料装着部13にある試料11が、パイプ部の先端の窓部12の部位に配置するため、窓部12を通過する電子線が試料11に照射し、試料11を観察することができる。この熱伝導棒は、パイプ部内で自在に回転させることができる。一方、試料を観察しないときは、駆動部17により熱伝導棒7を前進し、熱伝導棒7を図1bに示すように配置する。熱伝導棒7を矢印Dの方向に前進し、図1bに示すように配置すると、図4bに示すように、試料11と試料装着部13は、パイプ部6の先端の部屋に入り、密閉されるため、パイプ部6により試料11は外気から遮断される。したがって、外気による試料11への霜の付着を効果的に抑制することができる。図5は、本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーがカートリッジを備える態様を示す断面図である。図5aは、熱伝導棒7の先端に試料11を装着する前の状態を示し、図5bは、熱伝導棒7の先端に試料11を装着した後の状態を示す。図5に示す例では、試料11を装着する試料装着部13と熱伝導棒7のほかに、カートリッジ14を備え、熱伝導棒7の先端をカートリッジ14の形状に合わせて成形し、板バネ等の弾性部材15を備える。図5aに示すように、試料11を装着する試料装着部13をカートリッジ14にセットした後、矢印Eの方向に移動することにより、図5bに示すように、試料11を熱伝導棒7に取り付けることができる。このように試料11を試料装着部13に装着した後、試料装着部13を取り付けたカートリッジ14を冷却した状態で熱伝導棒7に取り付けると、極低温下での試料の取り扱いが容易化して、試料の取り付けに要する時間を短縮することができるため、試料への霜の付着をより一層抑制することができる。