弁領域31、32;131、132全体の差圧を調節する圧力補償器4であって、長手方向に移動可能な補償器スプール58、158と長手方向に移動可能な補償器制御ピストン64、164とを備え、前記補償器スプールは、前記補償器スプールの位置によって決定される流体流面積を有する可変流体流オリフィス58、13;158、113を画定し、前記補償器制御ピストンは、前記補償器スプールに対抗して作用して前記補償器スプールを移動させ、前記補償器スプールの位置を変更して前記弁領域全体の差圧を調節する圧力補償器。前記補償器スプールは圧力均衡型であり、前記補償器制御ピストンは圧力不均衡型である、請求項1に記載の圧力補償器。前記補償器制御ピストンは、前記弁領域の一方の側の流体圧力にさらされる第1の横方向断面領域64a、164aと、前記弁領域の別の側の流体圧力にさらされる、前記第1の横方向断面領域と向かい合う第2の横方向断面領域64b、164bとを有する、請求項1に記載の圧力補償器。前記補償器制御ピストンの前記第1の横方向断面領域と前記第2の横方向断面領域は実質的に等しい、請求項3に記載の圧力補償器。前記補償器スプールは、前記弁領域の一方の側の流体圧力にさらされる互いに向かい合う第1および第2の横方向断面領域58a、58b;158a、158bを有し、前記補償器スプールの前記第1の横方向断面領域と前記第2の横方向断面領域は実質的に等しい、請求項4に記載の圧力補償器。前記補償器制御ピストンの前記第1および前記第2の横方向断面領域の各々は、前記補償器スプールの前記第1および前記第2の横方向断面領域の各々よりも小さい、請求項5に記載の圧力補償器。前記補償器スプールおよび前記補償器制御ピストンの各々は、互いに向かい合いサイズが等しい横方向断面領域58a、58b;158a、158b;64a、64b;164a、164bを有し、前記補償器ピストンの前記横方向断面領域は前記補償器スプールの前記横方向断面領域よりも小さい、請求項1に記載の圧力補償器。前記補償器制御ピストンは、一方の長手方向で前記補償器スプールに対抗して作用し、前記補償器はばね61、161をさらに含み、前記ばねは、前記一方の長手方向と逆の長手方向で前記補償器スプールまたは前記補償器制御ピストンに対抗して作用する、請求項7に記載の圧力補償器。前記補償器スプールは、前記弁領域の一方の側からの流体圧力にさらされる互いに向かい合う横方向断面領域58a、58b;158a、158bを有し、前記補償器制御ピストンは、互いに向かい合う横方向断面領域64a、64b;164a、164bを有し、一方の断面領域が前記弁領域の前記一方の側からの流体圧力にさらされ、他方の断面領域が前記弁領域の他方の側からの流体圧力にさらされる、請求項8に記載の圧力補償器。前記補償器制御ピストンは、前記補償器制御ピストンを一方の長手方向に移動させたときに前記補償器制御ピストンの前記互いに向かい合う横方向断面領域の間の前記補償器制御ピストンの周りの漏れ流体流を実質的に完全に遮断する弁表面66、166を含む、請求項1から9のいずれかに記載の圧力補償器。前記弁領域は弁ポペット31、131および弁座32、132によって画定され、前記補償器制御ピストンは、一方の長手方向で前記補償器スプールに対抗して作用し、前記補償器はばねを含み、前記ばねは、前記一方の長手方向と逆の長手方向で前記補償器スプールに対抗して作用し、前記補償器スプールの横方向断面領域は、前記弁領域の一方の側からの実質的に等しい流体圧力にさらされる互いに向かい合う実質的に等しい横方向断面領域を含み、前記補償器制御ピストンの横方向断面領域は、実質的に等しい互いに向かい合う横方向断面領域を含み、一方の断面領域が前記弁領域の前記一方の側からの流体圧力にさらされ、他方の断面領域が前記弁領域の他方の側からの流体圧力にさらされ、前記補償器制御ピストンは、前記補償器制御ピストンを一方の長手方向に移動させたときに前記補償器制御ピストンの前記互いに向かい合う横方向断面領域の間の流体漏れを実質的に遮断する弁表面を含む、請求項1に記載の圧力補償器。前記弁領域の前記一方の側は前記弁領域の前記上流側であり、前記弁領域の前記他方の側は前記弁領域の前記下流側である、請求項11に記載の圧力補償器。前記補償器スプールと前記補償器制御ピストンは、段付きボア67、167内に同軸に配設され、前記段付きボアは、前記補償器スプールが配設される大径部と前記補償器制御ピストンが配設される小径部とを有する、請求項12に記載の圧力補償器。前記ばねは、前記補償器スプールを前記補償器制御ピストンに押し付ける、請求項13に記載の圧力補償器。前記ばねは、前記段付きボア内の、前記補償器制御ピストンの反対側の前記補償器スプールの側に配設され、ピン59、159が横方向にボア内に延び、前記ばねは前記ピンと前記補償器スプールとの間に作用する、請求項14に記載の圧力補償器。カートリッジ弁かご14、114を含み、前記弁領域と前記補償器は、一体であり、前記カートリッジ弁かご内に配設され、前記カートリッジ弁かごは、入口12、112および出口13、113と、前記入口と前記出口の間の中間チャンバ59、159とを有し、前記弁領域は、前記入口と前記中間チャンバの間の流体圧力連通の開放および閉鎖を行い、前記補償器スプールは、前記中間チャンバと前記出口の間の流体圧力連通の開放および閉鎖を行い、前記補償器は、前記入口と前記中間チャンバとの間に実質的に一定の差圧を維持する、請求項11から15のいずれかに記載の圧力補償器。前記補償器スプールに対抗して作用する前記ばねの前記力は、前記補償器制御ピストンの前記一方の横方向断面領域64a、164aに対する前記中間チャンバ圧力によって生じる前記力と前記補償器制御ピストンの前記他方の横方向断面領域64b、164bに対抗して作用する前記吸込圧力によって生じる前記力との差に等しい、請求項16に記載の圧力補償器。前記弁ポペットに動作可能に連結されたパイロットオペレータ7、107を含む、請求項11から15のいずれかに記載の圧力補償器。前記弁ポペットに動作可能に連結されたパイロットオペレータと、前記パイロットオペレータに動作可能に連結され電気ソレノイド電機子44、144とを含み、前記弁座に対する前記弁ポペットの位置は、前記ソレノイドオペレータに供給される電力に比例し、前記弁領域全体の前記入口と前記中間チャンバとの差圧は実質的に一定である、請求項11から15のいずれかに記載の圧力補償器。前記補償器スプールは、ハウジングスリーブを通して計量通路58、13;158、113を比例的に開閉するように選択的に動作可能であり、前記計量通路を遮断する際の前記補償器スプールの位置は、前記入口から出口への差圧に比例し、前記補償器制御ピストンは、前記弁領域全体の前記差圧を検知するように動作可能であり、前記補償器制御ピストンは、一端が吸込圧力にさらされ、前記補償器制御ピストンに作用する吸込圧力は、前記補償器制御ピストンの表面を強制的に補償器制御ピストン座に密封係合させる、請求項1から9のいずれかに記載の圧力補償器。前記補償器制御ピストンは円錐状密封表面66、166を含む、請求項20に記載の圧力補償器。前記補償器制御ピストンの横方向断面領域は、前記弁領域の上流側の流体圧力にさらされる1つの横方向断面領域と前記弁領域の下流側の流体圧力にさらされる別の横方向断面領域とを含み、前記上流側の横方向断面領域と前記下流側の横方向断面領域との間の漏れ流路が、前記補償器制御ピストンによって画定され、前記補償器制御ピストンは、前記弁領域が実質的な閉位置にあるときに前記補償器スプールを移動させて前記補償器スプールの可変流体流オリフィスを実質的に閉鎖する位置に前記補償器制御ピストンがあるときに漏れ流路を実質的に閉鎖する弁を含む、請求項1から9のいずれかに記載の圧力補償器。弁領域全体の差圧を調節するための圧力補償器であって、前記弁領域は、上流側と下流側とを有し、前記圧力補償器は、前記弁領域の前記上流側からの流体圧力にさらされる1つの横方向断面領域と前記弁領域の前記下流側からの流体圧力にさらされる別の横方向断面領域とを有する概ね円筒形の部材58または64;158または164を含み、前記上流側の横方向断面領域と前記下流側の横方向断面領域との間の漏れ流路が前記部材の外面によって画定され、前記部材は、前記弁領域が実質的な閉位置にあるときに前記漏れ流路を実質的に閉鎖する弁66、166を含む圧力補償器。ボア67を有するハウジング14を含み、前記部材は前記ボア内に配設され、前記漏れ流路は前記ボアと前記部材の間に画定される、請求項23に記載の圧力補償器。補償器スプールの位置によって決定される流体流面積を有する可変流体流オリフィスを有する前記補償器スプールを含み、前記部材は制御ピストンであり、前記制御ピストンが前記補償器スプールに対抗して作用して移動させる、請求項23および24のいずれかに記載の圧力補償器。0007本発明は、圧力降下が大きく流量が多い状態を維持しつつ補償器ばねを小型化するのを可能にする圧力補償器を提供する。さらに、本発明の圧力補償器は、圧力補償器の漏れを最小限に抑えて荷重の横滑りを最小限に抑える。圧力補償器は、圧力均衡補償器スプールと圧力不均衡補償器制御ピストンまたは差圧補償器制御ピストンとを含む。補償器制御ピストンは補償器スプールに作用し、補償器ばねは補償器スプールに作用し、かつ補償器制御ピストンに対抗して作用する。補償器制御ピストンは、弁ポペットを横切る流れがなく、荷重を一定の位置に保持する必要があるときに閉じて補償器からの漏れを最小限に抑えるポペットを含む。0008より詳細には、圧力補償器は弁領域全体の差圧を調節する。圧力補償器は、補償器スプールと補償器制御ピストンとを含む。補償器スプールは、補償器スプールの位置によって決定される流体流面積を有する可変流体流オリフィスを画定する。補償器制御ピストンは、補償器スプールに対抗して作用して補償器スプールを移動させ、補償器スプールの位置を変更して弁領域全体の差圧を調節する。0009補償器スプールは圧力均衡型であり、補償器制御ピストンは圧力不均衡型である。補償器制御ピストンは、弁領域の一方の側の流体圧力にさらされる第1の横方向断面領域と、弁領域の別の側の流体圧力にさらされる、第1の横方向断面領域と向かい合う第2の横方向断面領域とを有する。補償器制御ピストンの第1の横方向断面領域と第2の横方向断面領域は実質的に等しい。補償器スプールは、弁領域の一方の側の流体圧力にさらされる互いに向かい合う第1および第2の横方向断面領域を有し、補償器スプールの第1の横方向断面領域と第2の横方向断面領域は実質的に等しい。補償器制御ピストンの第1および第2の横方向断面領域の各々は、補償器スプールの第1および第2の横方向断面領域の各々よりも小さい。0010補償器制御ピストンは、一方の長手方向で補償器スプールに対抗して作用する。補償器はばねをさらに含み、このばねは、一方の長手方向と逆の長手方向で補償器スプールまたは補償器制御ピストンに対抗して作用する。補償器スプールは、弁領域の下流側からの流体圧力にさらされる互いに向かい合う横方向断面領域を有し、圧力均衡補償器スプールを構成する。補償器制御ピストンは、互いに向かい合う横方向断面領域を有し、一方の断面領域が弁領域の上流側からの流体圧力にさらされ、他方の断面領域が弁領域の下流側からのより低い流体圧力にさらされ、差圧制御ピストンを形成する。制御ピストンに作用する差圧によって不均衡な力が生じた場合、ばねによってこれらの力が均衡する。0011上流側と下流側の間の制御ピストンの周りに漏れ流路が存在する。補償器制御ピストンは、補償器制御ピストンを一方の長手方向に移動させたときに補償器制御ピストンの周りの漏れ流体流路を実質的に完全に閉じる弁表面を含む。0012弁領域は弁ポペットおよび弁座によって画定される。補償器はばねを含み、このばねは、制御ピストンが補償器スプールに対抗して作用する方向と逆の長手方向で補償器スプールに対抗して作用する。補償器スプールの横方向断面領域は、弁領域の上流側からの実質的に等しい流体圧力にさらされる互いに向かい合う実質的に等しい横方向断面領域を含む。補償器制御ピストンの横方向断面領域は、実質的に等しい互いに向かい合う横方向断面領域を含み、一方の断面領域が弁領域の上流側からの流体圧力にさらされ、他方の断面領域が弁領域の下流側からの流体圧力にさらされる。補償器制御ピストンは、補償器制御ピストンを一方の長手方向に移動させたときに補償器制御ピストンの互いに向かい合う横方向断面領域の間の補償器制御ピストンの周りの流体漏れ経路実質的に完全に閉じる弁表面を含む。0013補償器スプールと補償器制御ピストンは、段付きボア内に同軸に配設される。段付きボアは、補償器スプールが配設される大径部と補償器制御ピストンが配設される小径部とを有する。ばねは、補償器スプールを補償器制御ピストンに押し付ける。ばねは、段付きボア内の、補償器制御ピストンの反対側の補償器スプールの側に配設される。ピンが横方向にボア内に延び、ばねはピンと補償器スプールとの間に作用する。0014弁領域と補償器は、一体であり、カートリッジ弁かご内に配設される。カートリッジ弁かごは、入口および出口と、入口と出口の間の中間チャンバとを有する。弁領域は、入口と中間チャンバの間の流体圧力連通の開放および閉鎖を行う。補償器スプールは、中間チャンバと出口の間の流体圧力連通の開放および閉鎖を行う。補償器は、弁領域全体にわたり入口と中間チャンバとの間に実質的に一定の差圧を維持する。0015補償器スプールに対抗して作用するばねの力は、補償器制御ピストンの一方の横方向断面領域に対抗する中間チャンバ圧力によって生じる力と補償器制御ピストンの他方の横方向断面領域に対抗して作用する吸込圧力によって生じる力との差に等しい。パイロットオペレータが弁ポペットに動作可能に連結され、電気ソレノイド電機子がパイロットオペレータに動作可能に連結される。弁座に対する弁ポペットの位置は、ソレノイドオペレータに供給される電力に比例し、弁領域全体の入口と中間チャンバとの差圧は実質的に一定である。0016補償器制御ピストンは、弁領域全体の差圧を検知するように動作可能である。補償器制御ピストンは、一端が弁領域の上流側で吸込圧力にさらされ、補償器制御ピストンに作用する吸込圧力は、補償器制御ピストンの表面を強制的に補償器制御ピストン座に密封係合させる。0017ハウジングがボアを有し、このボアに補償器部材が配設され、ボアと補償器部材の間に漏れ流路が画定される。補償器は、弁領域が実質的な閉位置にあるときに制御ピストンの上流側横方向断面領域と下流側横方向断面領域との間の漏れ流路を実質的に遮断する弁を含む。0018本発明は、以下に記載された特許請求の範囲で説明する特徴および構造および方法のうちの様々な特徴および構成および方法をそれぞれ単独でかつ組み合わせて提供し、特許請求の範囲は、参照によりこの本発明の概要に組み込まれる。0019次に、本発明の実施形態について、添付の図面を参照してさらに詳しく説明する。0027次に、図面を詳しく参照して、本発明の原則、実施形態、および動作を添付の図面に示し、本明細書で詳しく説明する。これらの図面およびこの説明は、開示される本発明の特定の例示的な形態に限定されると解釈されるべきではない。したがって、当業者には、本発明の趣旨または範囲から逸脱せずに本明細書の実施形態に様々な修正を施してもよいことが明らかになろう。0028本発明によって構成された常閉弁4の好ましい実施形態が図1~図4に示されている。様々な油圧回路に組み入れられる弁4が図5および図6に概略的に示されている。本発明によって構成された常開弁104の好ましい実施形態が図7および図8に示されている。弁4および104のすべての構成部材は、圧力、温度、流体の種類、および弁4および104が使用される用途の他の要件に応じて選択された適切な材料で作られる。図示の実施形態では、各金属構成部材は、必要に応じて強化することのできる炭素鋼で作られている。Oリングシールは、フッ化炭素材料のような他の適切な材料で作られてもよく、バックアップリングは、非ゴム熱可塑性材料で作られてもよい。弁4および104は、カートリッジ弁と呼ばれる一般的な種類の弁である。より詳細には、弁4および104は、一体的な圧力補償機能を有するカートリッジ式電磁比例パイロット作動式ポペット弁である。油圧カートリッジ弁は、一体的なハウジングを有さない弁の一体的な内部可動部材を含む油圧流れ制御装置である。カートリッジ弁が、多岐管のような適切な流路を有するハウジングの空洞に挿入されており、結果として得られる組合せは任意の従来の油圧弁と同様に動作する。一体的なは、流体連結部を外部に露出することなく組み立てられ、全体として、少なくとも一方の構成部材が他方の構成部材を補完する必須の部分になるように使用される、機能的に異なる協働する2つ以上の構成部材を意味する。たとえば、一体的なカートリッジ弁は、弁ポペットと、弁座と、弁ポペットを弁座に対して制御するアクチュエータとを含んでもよい。圧力補償式または圧力補償器は後補償と前補償の両方を含む。可動油圧部材に関連する均衡は、互いに向かい合う横方向断面領域に対して互いに逆方向から作用する実質的に等しい油圧を受ける装置を指す。可動油圧部材に関連する不均衡または差圧は、互いに向かい合う横方向断面領域に対して互いに逆方向から作用する油圧差を受ける装置を指す。0029まず図1~図4を参照すると、図1には弁4が吸込圧力を加えない状態で示されており、図2には吸込圧力が加えられる状態で示されている。図3には、弁4が弁体または多岐管内に組み立てられた状態で示されており、図4には、弁4が吸込圧力が加えられる状態で概略的に示されている。弁4は、主流体流れ制御弁5と、パイロットオペレータ6と、ソレノイドアクチュエータ7と、圧力補償器8とを含む。流体流れ制御弁5は、弁4を通過する作動油の流量を調節する。パイロットオペレータ6は、流体流れ制御弁5の位置を調節し、ソレノイドアクチュエータ7は、パイロット6の位置を調節する。圧力補償器8は、主制御弁5全体にわたり実質的に一定の圧力降下または差圧を維持する。電源不図示がソレノイドアクチュエータ7に接続されている。以下にさらに説明するように、主制御弁5の開口、および弁4を通過する流量は、電源によってソレノイドアクチュエータ7に供給される電流に比例する。これらの構成部材は、互いに一体であり、長手方向軸11に沿って互いに同軸に配設される。0030弁4は、作動油入口12と作動油出口13とを含む。入口12および出口13の各々は、弁かご14の周方向に間隔を置いて配置され半径方向に掘削された複数の通路である。弁かご14の外面は、Oリングおよびバックアップリングシール組立体15を含む。弁4の各構成部材は、多岐管17図3の機械加工された段付き直径開口部16内に組み立てられる一体的なカートリッジとして組み立てられ、各シール組立体15が入口12と出口13を分離する。弁4は、ねじ付きアダプタ18によって開口部16に固定されており、ねじ付きアダプタ18は、ねじ19によってアダプタ18の内面上に弁かご14を支持し、ねじ20によってアダプタ18の外径上に開口部16を連結する。Oリングシール21がアダプタ18の外面と多岐管17の間を密封している。段付きボアまたは中央通路22が弁かご14の両端間を長手方向に延びている。流体は、多岐管17の入口孔30から弁かご14のクロスドリルされた入口穴12に進入する。主弁5は、概ね円筒形の弁ポペット31と、弁かご14内面上に支持された関連する環状の弁座32とを含む。弁4がその常閉位置にあるとき、主弁5の上流の入口穴12および入口孔30からの入口流体は、弁座32に係合するポペット31によって遮断される。0031弁4のパイロットオペレータ6は、ポペット31の一方の側を貫通して延びる長手方向通路33を含む。通路33は、流体が入口穴12から図1において上方にポペット31の上側34まで流れるのを可能にする。ポペットの上側34からの流体は次いで、円筒形のパイロット36内の長手方向に延びる中央通路35を通って下降する。通路35の下端は、中央通路35をパイロット36の外部に連結する半径方向通路の所が終端となっている。通路35を通って下降する流体は、ポペット31の後側でパイロット座37に係合するパイロット36の下端によって遮断される。弁ポペット31が弁座32に係合し、パイロット36がパイロット座37に係合すると、流体が入口穴12および入口孔30から下流側に出口穴13および出口孔38まで流れるのが妨げられる。ばね39がパイロット36とポペット31の間に作用している。0032引き続き図1~図4を参照すると分かるように、アダプタ18の上部はソレノイドアクチュエータ7を支持している。ソレノイドアクチュエータ7はソレノイドチューブ42を含む。ソレノイドチューブ42は、アダプタ18の雌ねじ部に連結された雄ねじ部をチューブ42の下部領域の近くに有する。ソレノイドプラグまたはキャップ43がチューブ42の上部領域上の雌ねじに係合するキャップ43上の雄ねじによってチューブ42に固定されている。電機子44がチューブ42内で長手方向に移動できるように滑り可能に配設されており、電機子44とキャップ43との間にエアギャップ45が設けられている。穴46が長手方向にキャップ43の両端間を延びており、穴47が長手方向に電機子44の両端間を延びている。穴46および47にロッド48が滑り可能に配設されており、穴46の上端は、止めねじ49および不正開封防止ねじ50によって閉鎖されている。ばね51がロッド48の下端とパイロット36との間に作用し、パイロット36を下方にパイロット座37の方へ付勢している。止めねじ49は、パイロット36に対して下方に作用するばね負荷を調整する。半径方向に延びるピン52が、電機子44とパイロット36を自在継手式に連結しており、それよって、電機子44とパイロット36を長手方向に移動可能に固定しつつ電機子44とパイロット36のずれを可能にする。0033ソレノイドコイル53図1および図3には示されていないが図2に示されているがキャップ43および電機子44を囲んでいる。ソレノイドコイル53に電力が印加されると、印加された電流に比例して電機子44が上方に移動してエアギャップ45を密閉する。電機子44がこのように上昇すると、パイロット36がパイロット座37から引き上げられ、流体が入口穴12から通路33を通ってポペット31および弁座32の下流側に流れるのが可能になる。パイロット36への流れを可能にするポペット31の側の通路33は、通路33から半径方向にポペット31の外周面まで延びるオリフィス33aを通して入口12に連結されている。任意の所与の吸込圧力に対してパイロット36からパイロット座37までの開口面積が大きくなると、図1に見られるポペット31の上部34に対する圧力であるポペット31の後方の圧力が低下する。ポペット31の外径とポペット31が弁座32に係合する弁座直径との間のポペット31の下部の環状の領域であるポペット31の下部の差分領域に作用する入口穴12からの吸込圧力は、ポペット31を上方または開方向に移動させる引き上げ力を発生させる。このようにして、ポペット31が移動してポペット31に作用する力同士を均衡させ、ポペット31の位置は、パイロット36の位置に比例するとともにソレノイドコイル53に印加される電流に比例する。0034弁4の圧力補償器8は、圧力補償器スプール58である概ね円筒形の部材を含む。補償器スプール58は、弁かご14の中央開口部22に滑り可能に配設されている。補償器スプール58および出口通路13は可変オリフィスを画定し、補償器スプール58は、出口通路13を覆ったり露出させたりしてオリフィスのサイズを大きくしたり小さくしたりするように構成されている。出口通路13は、圧力補償器スプール58が図1に示されたスプール58の位置にあるときには圧力補償器スプール58によって露出される。横方向に延びるピン59が弁かご14のクロスドリルされた穴に配置されており、ばね受け60が、ピン59に係合し、弁かご14に対して長手方向に移動しないように保持される。同心ばね61がばね受け60を通してピン59と圧力補償器スプール58との間に作用している。パイロット36を通過し、次いで弁座32を通過した流体は次に、補償器スプール58のばね側または上部にさらされる。長手方向に延びる中央通路62がスプール58を貫通して延びている。流体は、スプール58の中央の通路62およびスプール58の下端上の半径方向切り欠きを通過する。このようにして、流体は、圧力補償器スプール58の両側と開放連通している。流体圧力は、スプール58の両側58aおよび58bで等しく、各側は、同じ横方向断面領域を有し、スプール58に対して互いに逆方向から作用する力同士を均衡させる。0035長手方向通路63が入口通路12と多岐管段付きボア16の下端と中央通路22の下端との間を延びている。概ね円筒形の別の圧力補償器部材は、中央通路22の下端に滑り可能に配設された圧力補償器制御ピストン64である。通路63は、入口通路12と補償器制御ピストン64の下端64bとの間に、開放されたまたは制限されない流体圧力連通を確立する。圧力補償器制御ピストン64は、圧力補償器スプール58の下端に対して上方に作用する。補償器スプール58の反対側または上側のばね61は、スプール58に対抗して下方に作用し、補償器スプール58と制御ピストン64を一緒に押す。弁かご14の中央通路22の下端および制御ピストン64の下端64bは、開放通路63を介して入口通路12における吸込圧力にさらされる。多岐管17図3の孔65はねじ付きプラグ不図示によって塞がれる。孔65は、入口または出口としては使用されず、通路63を通して入口流体圧力にさらされる圧力補償器制御孔である。代替として、多岐管17の長手方向通路が貫通孔ではなく止まり穴として切削される設計不図示によって前述のねじ付きプラグを無くしてもよい。0036弁かご14の中央通路22には、段が設けられており、大径圧力補償器スプール58が配設された大径部と小径圧力補償器制御ピストン64が配設された縮小またはより小さくされた径部とを含む。制御ピストン64の上部横方向端面64aは、通路62によってポペット31および弁座32の下流側の流体圧力にさらされる横方向断面領域を形成する。制御ピストン64の下部横方向端面64bは、通路63によってポペット31および弁座32の上流側のより高い流体圧力にさらされる互いに向かい合う横方向断面領域を形成する。このように、制御ピストン64は、その互いに向かい合いかつ等しい横方向端面領域に対抗して作用する差圧を受ける。制御ピン64は、その下端に拡径ヘッド部66を有し、弁かご14の中央段付き通路22は、環状の弁座67を含む。0037弁4において入口孔30および入口通路12に油圧が加えられていないとき、弁4は図1に示す位置に位置する。この位置では、ばね61が、制御ピストン64が保持リング68に係合するまで圧力補償器スプール58および制御ピストン64を下方に付勢する。圧力補償器スプール58は出口通路13を開放する。この位置でのばね51および39は、ポペット31を弁座32に接触するポペット31の常閉位置に付勢する。0038ソレノイドコイル53への作動電流が存在しないときに油圧が入口通路12に加えられると、弁4は、図2に示す第1の動作位置または休止動作位置を保持する。この位置では、ポペット31は弁座32に接触して密閉状態を維持する。入口通路12の流体吸込圧力は、通路63を通して圧力補償器制御ピストン64の下部に伝達される。補償器制御ピストン64の上部64aは、通路62を通過する出口排水圧力または下流側排水圧力を受け、吸込圧力が高くなることによって、圧力補償器制御ピストン64のヘッド部66が座67に係合するまで、補償器制御ピストン64および圧力補償器スプール58がばね61の付勢力に対抗して上方に移動する。孔65における吸込圧力によってピストン64がこの位置に保持され、ピストン64のヘッド部66の円錐状座面が座67に係合する。補償器制御ピストン64の外面と段付きボア67との間および補償器スプール58の外面と段付きボア67との間に通常の漏れ流路が存在する。補償器制御ピストン64のヘッド部66が座67に係合すると、この漏れ流路は実質的に閉鎖される。補償器スプール58は出口通路13を覆うかあるいは閉鎖し、ピストンヘッド66がその座67に係合するため流れが生じないので補償器スプール58およびピストン64全体の圧力降下は生じない。この位置では、補償器制御ピストン64およびポペット31からの流体漏れは実質的に0なので、出口通路13および出口孔38から出口流を受け取るように連結されるかあるいは入口通路12および入口孔30に連結された油圧シリンダ図1~図3には示されていないのような任意の油圧モータは、実質的に固定され、実質的な横滑りあるいは移動の傾向を有さない。このように、この動作モードの間、弁4によって調節される任意の負荷が実質的に漏れ落ちることはない。図4には、弁4が常閉構成になるように吸込圧力が加えられ荷重を保持している場合と同様なシフト位置に補償器8が示されている。0039弁4が定常状態で常閉構成になる第1の位置または状態またはモードは、ソレノイドコイル53への電流によってポペット31が開かれ、パイロット36を図2における上方に、パイロット座37から離れる方向で移動させてポペット31上の流体圧力を低下させるまで継続する。流体は次に、ポペット31および弁座32の上流側から下流側の方へ流れ始める。これによって、ポペット31および弁座32の下流側の、チャンバ69における圧力が高くなり、この高くなった圧力が通路62を通して補償器制御ピストン64の上端64aに伝達される。補償器制御ピストン64の上端に作用するこの高くなった圧力によって生じる力がばね61の力に付加され、この合力によって補償器制御ピストン64および補償器スプール58が下方に移動して通路13を開放し、弁4を通過する流れを可能にする。補償器制御ピストン64および補償器スプール58が単体として移動して通路13を開放すると、補償器制御ピストン64および補償器スプール58が通常の圧力補償装置として動作してポペット31から弁座32への開口全体にわたり一定の圧力降下を維持する。この一定の圧力降下は、補償器スプール58および制御ピストン64が単体として動作してこの単体に両方向から作用する力同士を均衡させることによって実現される。補償器8は、中間チャンバ69内のポペット31の出口側と出口通路13との間の可変圧力降下を実現して、ポペット31から弁座32への開口全体にわたり実質的に一定の圧力降下を維持する。0040その場合、単体としての補償器スプール58および補償器制御ピストン64に対する力の均衡は次式のようになる。P1A1=P2A2F、およびばね力は次式のようになる。P1A1-P2A2=F上式で、P1はポペット31から弁座32への開口の上流側の流体圧力であり、A1は、圧力P1にさらされる補償器制御ピストン64の領域64aであり、P2は、ポペット31から弁座32への開口の下流側の流体圧力であり、A2は、この例ではA1に等しい圧力P2にさらされる補償器制御ピストン64の領域64bであり、Fは、ばね61の力である。0041単体として働く圧力補償器58とより小さい直径を有する圧力補償器制御ピン64とのこの構成は、より多い流量に対処するのに必要なより大きいスプール58を使用することによってばね力を低減させるしたがって、ばねを小さくするのを可能にする。このことは、特に、弁4が空間利用可能性の限定されたカートリッジ弁であるときに弁4のサイズを小さくするのを助ける。これによって、弁4は、一体的なカートリッジ弁において同軸に揃えられる主弁5および一体的な圧力補償器8を形成し、一方、比較的小さいばね力によって、主弁5全体の圧力降下を大きくして流量を多くするのが可能になる。弁4の任意の圧力およびサイズを選択してもよいが、補償器スプール58の直径としては、スプールチャンバを通過する流れを最大にして圧力損失を最小限に抑えるのを可能にする直径が選択されてもよい。言い換えれば、スプール58の直径としては、弁4のサイズによって許容される大きさの直径が選択されてもよい。0042図1~図4に示す図示の実施形態は、圧力均衡型の補償器スプール58とより小さい直径を有する別個の不均衡型補償器制御ピストン64とを含み、差圧を検知する補償器ユニット8を構成する。補償器制御ピストン64の直径は、上述の数式に従って比較的小さいばねが比較的大きい差圧に対処するように、必要に応じて小さくてもよいすなわち、上述の領域A1およびA2は必要に応じて小さくてもよい。また、従来の圧力補償スプールは、望ましくないヒステリシス効果をもたらすことがある弾性シールを備えていないかぎりある量の漏れ流を許容することがあるが、図示の補償器スプールおよび制御ピストンは、補償器部材の周囲のあらゆる実質的な流れを妨げ、荷重の横滑りを最低限に抑えるかあるいは実質的に解消する。さらに、図示の別個の補償器スプールおよび補償器制御ピストンは、製造時の同心性問題を最低限に抑える。図1~図4の図示の実施形態では、力Fを得るのに複数のばねが使用される2つの同心ばね61が使用される。このように同心ばねを使用すると、ポペット31および弁座32全体の圧力降下を所望通りに大きくして流量を所望通りに多くするのに必要なばねのサイズをさらに小さくすることができる。0043次に図5を参照すると、弁4は、たとえば、フォークリフトなどの貨物自動車不図示の荷重75を持ち上げるのに使用されるリフト機構の回路であってもよい油圧回路内に示されている。油圧ポンプ76が圧力下の作動油を油圧シリンダまたは他の油圧モータ77に供給して荷重75を持ち上げる。制御弁78がポンプ76をドレーンまたはタンク79に連結すると、ロジックチェック弁80が閉じ、シリンダ77からの流体が弁4に送られる。荷重75を実質的に固定するように保持する場合、ソレノイドコイル53に電力は供給されない。弁4は次いで、図1~図4に示し上記に説明したように弁4の常閉位置に配置され、圧力補償器スプール58および制御ピストン64は、シリンダ77からドレーン79への漏れ流を実質的に無くすかあるいは実質的に零に低減させ、荷重75の横滑りを実質的に解消する。荷重75を降下させるときは、ソレノイドコイル53に電流を供給して、ポペット31を印加された電流に比例する距離だけ弁座32から離れる方向へ移動させはじめる。この動作モード中の圧力補償器スプール58および圧力補償器制御ピストン64は、ポペット31および弁座32にわたり一定の圧力降下を維持し、したがって、弁4を通過する流れは、ポペット31と弁座32の間の開口に比例し、かつソレノイドコイル53に供給される電流に比例する。このように、荷重75の下降速度は、荷重75の重量とは実質的に無関係に、ソレノイドコイル53に供給される電流によって調節されかつこの電流に比例する。0044次に図6を参照すると、複数の弁4a~4dを使用して油圧モータ77の両側から出入りする流体流が制御される油圧回路の概略図が示されている。油圧モータ77は、たとえば任意の種類の線形油圧アクチュエータまたは回転油圧アクチュエータであってもよく、概略的に示された図6の油圧シリンダである。弁4a~4dは上述の弁4と実質的に同一である。ポンプ76からモータ77のピストン側すなわち、図5における左側に流体が供給されると、弁4aのソレノイドコイル53に電流が印加され、弁4aによって決定される流量の流体がロジックチェック弁80aを通過してモータ77のピストン側に流れる。モータ77のロッド側すなわち、モータ77の右側からタンク79に戻る流体流は、弁4dによって制御される。この動作モード中の弁4bおよび4cは、その常閉位置に保持され、弁4bおよび4cのソレノイドコイルには電流は供給されない。油圧モータ77の走行方向を反転させるときは、弁4cおよび4bのみに電流が供給され、弁4aおよび4dはその常閉位置に保持される。この動作モード中のポンプ76からの流体は、弁4cおよびロジックチェック弁80bを通過して油圧モータ77のロッド側に流れ、油圧モータ77のピストン側からの流体は弁4bを通過してドレーン79まで流れる。0045次に図7を参照すると、本発明によって構成された常開弁104の好ましい実施形態が示されている。図7は、休止動作位置で吸込圧力が加えられる弁104を示す。図1~図4に示し上記に説明した構成部材と構造または機能が類似した、図7に示す各構成部材は、図1~図4に適用されたのと同じ参照符号で示されているが番号100が付加されている。図7に示す実施形態は、図1~図4の実施形態が常閉弁であり、一方、図7の実施形態が常開弁であるという点で、図1~図4に示す実施形態とは異なる。語常閉および常閉は、吸込圧力が加えられるがパイロット36、136を移動させるための電力が印加されないときの、弁座32、132に対するポペット弁31、131の構成を指す。図7の実施形態における流体制御弁105、パイロットオペレータ106、ソレノイドオペレータ107、および圧力補償器108は、後述の動作または当業者に明らかな動作を除いて、図1~図4の実施形態に示す、図7の実施形態の上記の構成部材に対応する構成部材と同様に動作する。0046弁104が図7および図8に示す休止常開位置にあるとき、入口通路112に吸込圧力が加えられる。ポペット131の下部に対抗して作用する吸込圧力は、ポペット131を弁座132に対してポペット131の開位置に保持する。ばね139がパイロット136をパイロット座137に対して開位置に維持し、通路133を通して伝達されるポペット131の上側に対する圧力を低下させる。この位置では、ソレノイドアクチュエータ107に電力は印加されず、弁104は常開位置にある。ソレノイドアクチュエータ107に電力が印加されると、電機子144が下降を開始してエアギャップ145を密閉する。電機子144がこのように下降すると、ロッド148が下方に押されてパイロット136がパイロット座137に対して閉じられる。ポペット131上の圧力が高くなり、それによってポペット131が下方に弁座132の方へ移動し、ソレノイドアクチュエータ107に印加される電流に比例してポペット131と弁座132の間の距離が短くなる。弁104は、図3に示す多岐管17などの多岐管で使用されてもよい。0047上述のように、本発明の一態様は、常閉パイロット作動式電磁比例ポペット弁または常開パイロット作動式電磁比例ポペット弁4または104を使用し、パイロット作動式ポペット31、131が閉位置にあるときの漏れを少なくする独特の圧力補償器とこのポペット弁4または104を組み合わせる。これは、単一のカートリッジ弁4、104と組み合わされる。本発明者が知る現在市販されている比例ポペット弁は、一体的な圧力補償機能を含んでいない。補償器8、108は、通常の単一のスプールではなく2つの部材で構成されている。第1の部材は、パイロット作動式ポペット31、131および弁座32、132にわたり一定の圧力降下を維持するために規制モードで使用されるスプール58、158である。スプール58、158が休止位置にあるとき、計量通路13、113が閉鎖される。スプール58、158が移動してスリーブ14、114のクロスドリルされた穴13、113を開放し、流量を維持する。穴13、113に対するスプール58、158の位置は、弁入口12、112と出口13、113の差圧に比例する。第2の部材はピストン64、164である。ピストン64、164は、ポペット31、131の下流側の圧力を検知するとともにポペット31、131の前に位置する弁の入口の所の圧力を検知するのに使用される。スプール/ピストンの組合せの1つの独特の特徴は、ピストン64、164の直径が小さくなっているので、ばね61、161をより多い流量を通過させるのに必要なより大きいスプール58、158よりも小さいままにしておくことが可能であることである。それによって、より小型の設計が可能になる。ピストン64、164のさらなる特徴は、ピストンに作用する吸込圧力にさらされるピストンの一方の端部がピストンポペット端部をスリーブ14、114に内蔵された座67、127に押し付けることである。この座設計は、漏れを少なくし、弁がスプール弁よりも長い期間にわたって荷重を所定の位置に保持するのを可能にする。0048本発明の現在好ましい実施形態を図示し、これらの実施形態について上記に詳しく説明した。しかし、本発明はこれらの特定の実施形態に限定されない。本発明にはその教示から逸脱せずに様々な変更および修正を施してもよく、本発明の範囲は以下に記載された特許請求の範囲によって定義される。さらに、図示の実施形態の構造および動作についてより明確を説明するために語第1のおよび第2の、1つのおよび別の、左および右が使用されているが、これらの語が説明を明確にするために使用されており、必要に応じて置き換えられてもよいことを理解されたい。さらに、語開く開放するまたは開かれた開放されたおよび閉じる閉鎖するまたは閉じられた閉鎖されたは、文脈に応じて部分的または完全に開かれるか開放されるかあるいは閉じられる閉鎖されることを含んでもよい。さらに、図面に示す別個の構成部材は、単一の構成部材として組み合わされてもよく、単一の構成部材を複数の部品として設けてもよい。