"流路Aの上流及び下流に、一対の超音波センサB,Bを、当該流路Aを横切り、且つ相互に対向する位置関係となるように設置し、流体が流れる方向に計測波wを通過させる際の所要時間と、流体の流れに逆らう方向に計測波wを通過させる際の所要時間の往路差に基いて流体の流量を検出する超音波式流量計において、計測波wの発信から受信までの総時間xを計測するラフクロック1と、計測波wの受信から計測波受信直後のラフクロックパルス1pの検出までの超過時間aを計測するメインクロック2と、計測波受信直後のメインクロックパルス2pの検出から前記計測波受信直後のラフクロックパルス1pの検出までの誤差時間bを計測する遅延整合手段3と、計測波wの受信から計測波受信直後のラフクロックパルス1pの検出までに出力したメインクロックパルス2pの数分に相当する倍数時間dから誤差時間bを減じた残りの時間を総時間xから減じたものを前記所要時間yとして出力する演算手段4を備え、前記遅延整合手段3は、直列に接続した遅延ゲート5と、計測波受信直後のメインクロックパルス2pの検出後、最も早くメインクロックパルス2pを出力した遅延ゲートGの順位をカウントするカウンタ6と、前記順位を時間に換算する変換手段7と、を備えることを特徴とする超音波式流量計。しかし、前記特許文献1に記載の第一の手法の様に、遅延時間に変化を与えつつ複数回の計測結果の平均を得るとすれば、一の計測結果を得るにあたって複数の発信が必要となり消費電力がかさむこととなる。また、第二の手法の様に、高周波数クロックを依然として最終の分解能のよりどころとする手法では、高周波クロックの稼働時間は削減されるものの、クロック周辺素子のスペックを下げることができない。また、前記特許文献2の様に逓倍クロックを形成する手法で計測精度を維持するためには、依然として高周波数のクロックが必要となることから、逓倍クロック周辺素子のスペックを抑え消費電力を抑えるという目的に対して得られる効果としては不十分であった。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、周辺素子のスペック及びコストを抑え消費電力を抑えつつ、時間計測において高精度の分解能を得ることができる超音波式流量計の提供を目的とする。上記課題を解決するためになされた本発明による超音波流量計は、流路の上流及び下流に、一対の超音波センサを、当該流路を横切り、且つ相互に対向する位置関係となるように設置し、流体が流れる方向に計測波を通過させる際の所要時間と、流体の流れに逆らう方向に計測波を通過させる際の所要時間の往路差に基いて流体の流量を検出する超音波式流量計である。本発明による超音波流量計は、計測波の発信から受信までの総時間を計測するラフクロックと、計測波の受信から計測波受信直後のラフクロックパルスの検出までの超過時間を計測するメインクロックと、計測波受信直後のメインクロックパルスの検出から前記計測波受信直後のラフクロックパルスの検出までの誤差時間を計測する遅延整合手段と、超過時間から誤差時間を減じた残りの時間を総時間から減じたものを前記所要時間として出力する演算手段を備え、前記遅延整合手段は、直列に接続した遅延ゲートと、計測波受信直後のメインクロックパルスの検出後、最も早くメインクロックパルスを出力した遅延ゲートの順位をカウントするカウンタと、前記順位を時間に換算する変換手段と、を備えることを特徴とする。尚、前記パルスを検出する際は、立ち上がりエッジ、立下りエッジ、又は中間点のいずれを検出しても良い。本発明による超音波流量計によれば、ラフクロックとメインクロックを切り替えることによって、メインクロックの稼働時間を短縮することができると共に、更に、メインクロックの周期を下回る遅延時間の遅延ゲートを計測時間の一単位とした遅延整合手段を具備することによって、メインクロックの低周波数化が可能となり、低消費電力で高分解能の時間計測を行うことができる。以下、本発明による超音波流量計の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図2Aは、流体この例ではガスが流通する流路例えば管路Aを斜めに横切る形で一対の超音波センサ以下センサと記すB,Bを配置した超音波式流量計の一例を示したものである。この例は、一方のセンサBからバースト波計測波wを発信し、他方のセンサBで当該バースト波wを受信し、発信から受信に至るまでの所要時間を計測することによって、流路Aを流通するガスの流量を計測するものである。当該例は、バースト波wの発信から受信までの総時間xを計測するラフクロック1と、バースト波wの受信から計測波受信直後のラフクロックパルス1pの立ち上がり検出までの超過時間aを計測するメインクロック2と、計測波受信直後のメインクロックパルス2pの立ち上がり検出から前記計測波受信直後のラフクロックパルス1pの立ち上がり検出までの誤差時間bを計測する遅延整合手段3と、バースト波wの受信から計測波受信直後のラフクロックパルス1pの検出までに出力したメインクロックパルス2pの数分に相当する倍数時間dから誤差時間bを減じた残りの時間を総時間xから減じたものを前記所要時間yとして出力する演算手段4を備えている。前記ラフクロック1、メインクロック2、及び遅延整合手段3図1参照の起動は、クロック制御手段8で制御されている。ラフクロック1は、数MHz程度の方形パルス波ラフクロックパルス1pを発振する電気回路であり、メインクロック2は、数十MHzから数百MHz程度の方形パルス波メインクロックパルス2pを発振する電気回路であり、前記遅延整合手段3は、直列に多数接続した遅延ゲート5と、カウンタ6と、変換手段7とからなるものである。遅延ゲート5は、当該遅延ゲートを通過することにより入力と出力に1ns未満の遅延時間cが発生する素子であって、メインクロック2の周波数に応じて数十個から数百個を直列に接続した形で具備する。各遅延ゲートの出力は、各々メインクロックパルス2pと対となる形で比較回路に入力し、当該比較回路で両者の一致不一致を出力する。尚、一致とは、例えば、各遅延ゲートの出力を、各々メインクロックパルス2pと対となる形でANDゲートに入力し、出力からHi出力を得た際の立ち上がりを検出した場合が挙げられる。カウンタ6は、更に、各遅延ゲートの出力の立ち上がり又は立ち下りの何れか一方を検出してカウント動作を行い、計測波受信直後のメインクロックパルス2pの検出後、最も早くメインクロックパルス2pを出力した遅延ゲートGの順位をカウントする。変換手段7は、当該カウント動作で得たカウント値周期数を時間に換算して演算手段4へ出力する。当該例におけるクロック制御手段8は、第一に、バースト波wを発振させるスタートパルスの立ち上がりをトリガーとしてラフクロック1を発振させ、例えば、バースト波wの受信後一定の時間を経て停止させ、第二に、バースト波wの受信をトリガーとしてメインクロック2を発振させ、計測波受信直後のラフクロックパルス1pの立ち上がり検出後一定の時間を経て停止させ、第三に、計測波受信直後のメインクロックパルス2pの立ち上がりをトリガーとしてカウンタ6のカウント動作をリセットスタートさせ、計測波受信直後のメインクロックパルス2pの検出後、最も早くメインクロックパルス2pを出力した遅延ゲート5の出力を受けてカウンタ6のカウント動作を終了させる。本発明による超音波式流量計は、上記の如くラフクロック1、メインクロック2、及び遅延整合手段3を制御することによって、比較的低い周波数のクロックによって、1ns未満の計測精度を得ることができる。また、高い計測精度を得る為に、1GHz以上のクロックを要することなく、ガス等の超音波式流量計について、低コスト、低消費電力化が可能となる。"