天井プレナムチャンバと、発熱温度が異なる生産装置が混在して配置され前記天井プレナムチャンバからの空気が流入するクリーンルームと、前記クリーンルームからの空気が流入する床下チャンバと、を備え、前記床下チャンバから排出される空気をリターン風道を介して前記天井プレナムチャンバへ還流させるクリーンルーム空調システムであって、前記天井プレナムチャンバの天井部に設けられ清浄空気を前記クリーンルームに供給するファンフィルタユニットと、前記天井部に形成され前記クリーンルーム内の上方の空気を前記ファンフィルタユニットの吸引力を利用して前記天井プレナムチャンバに吸い戻す開口手段と、前記床下チャンバと前記リターン風道のいずれかに設けられ、前記天井プレナムチャンバに還流される空気を冷却する空気冷却手段と、を備え、前記ファンフィルタユニットは、前記クリーンルームの前記製造装置の発熱温度に対応して配置位置および配置数が設定されており、前記ファンフィルタユニットは、前記製造装置の周辺の温度が所定温度に維持されるように前記クリーンルームへの送風量が調節可能であり、前記クリーンルームには、前記床下チャンバから前記天井プレナムチャンバへ還流される空気と、前記空気冷却手段で冷却され前記クリーンルームの室内温度よりも低温の空気とが混合されて供給される、ことを特徴とするクリーンルーム空調システム。前記ファンフィルタユニットは、前記製造装置の稼動量を計測する稼働量計測手段または前記開口手段の近傍に設けられた温度計測手段からの計測値に基づき前記クリーンルームへの送風量を制御する、ことを特徴とする請求項1記載のクリーンルーム空調システム。前記空気冷却手段は、有圧扇と熱交換器とを有し、前記熱交換器へ供給する冷却水量を制御可能な空調機から構成されており、前記クリーンルーム内に設けられた室内温度計測手段で計測された室内温度に基づき前記熱交換器へ供給する冷却水量を制御する、ことを特徴とする請求項1または2記載のクリーンルーム空調システム。前記リターン風道には、外調機によって温度と湿度が調整された外気が供給されており、前記クリーンルーム内の圧力に基づいて前記外調機の供給外気量を制御することにより、前記クリーンルーム内の圧力を陽圧に維持する、ことを特徴とする請求項3に記載のクリーンルーム空調システム。前記空気冷却手段からの温度調整された空気と前記外調機からの空気は、前記リターン風道にて対向流で衝突するとともに、前記開口手段を介して前記天井プレナムチャンバに吸い戻された前記クリーンルームからの室内空気と混合し、前記ファンフィルタユニットを介して前記クリーンルームに吹き出される、ことを特徴とする請求項4に記載のクリーンルーム空調システム。しかしながら、特許文献1では、局所冷却装置としてのドライコイルユニットの採用と、この天井設置が必須とされている。また、特許文献2では、製造装置の熱気を吸い込んで室内に吐出するが、気流の乱れ防止を目的としたものであり、室内温度を補償するために局所冷却装置としての冷却コイルを天井裏に設けることが必要となる。さらに、特許文献3では、室内において発熱温度の異なる製造装置が混在する場合や、異なる温度の空気が混合される場合については、温度を均一にできないという問題がある。つまり、例えばリタンプレナムエリアから冷却コイルを通った気流と、バイパス路を通った気流とが、ダクトシャフト内で混合されずに温度の偏在が生じ、外側壁面中央部内側壁面においては外側ほど温度が低くなるので、ファンフィルタユニットFFUからクリーンルーム内に供給される空気も、位置によって温度が異なるおそれがある。この発明は、前記の課題を解決し、発熱温度の異なる製造装置が混在するクリーンルームにおいて、局所冷却手段を設けことなく、クリーンルーム内の温度を均一化することが可能なクリーンルーム空調システムを提供することを目的としている。前記の課題を解決するために、請求項1の発明は、天井プレナムチャンバと、発熱温度が異なる生産装置が混在して配置され前記天井プレナムチャンバからの空気が流入するクリーンルームと、前記クリーンルームからの空気が流入する床下チャンバと、を備え、前記床下チャンバから排出される空気をリターン風道を介して前記天井プレナムチャンバへ還流させるクリーンルーム空調システムであって、前記天井プレナムチャンバの天井部に設けられ清浄空気を前記クリーンルームに供給するファンフィルタユニットと、前記天井部に形成され前記クリーンルーム内の上方の空気を前記ファンフィルタユニットの吸引力を利用して前記天井プレナムチャンバに吸い戻す開口手段と、前記床下チャンバと前記リターン風道のいずれかに設けられ、前記天井プレナムチャンバに還流される空気を冷却する空気冷却手段と、を備え、前記ファンフィルタユニットは、前記クリーンルームの前記製造装置の発熱温度に対応して配置位置および配置数が設定されており、前記ファンフィルタユニットは、前記製造装置の周辺の温度が所定温度に維持されるように前記クリーンルームへの送風量が調節可能であり、前記クリーンルームには、前記床下チャンバから前記天井プレナムチャンバへ還流される空気と、前記空気冷却手段で冷却され前記クリーンルームの室内温度よりも低温の空気とが混合されて供給される、ことを特徴とするクリーンルーム空調システムである。この発明によれば、クリーンルームに配置された生産装置には、発熱温度に応じた適量の冷却空気がファンフィルタユニットから供給される。そして、クリーンルームの上方に位置する温度の高い空気は、一部が開口手段を介して天井プレナムチャンバに吸い戻される。請求項2の発明は、請求項1記載のクリーンルーム空調システムにおいて、前記ファンフィルタユニットは、前記製造装置の稼動量を計測する稼働量計測手段または前記開口手段の近傍に設けられた温度計測手段からの計測値に基づき前記クリーンルームへの送風量を制御する、ことを特徴としている。請求項3の発明は、請求項1または2記載のクリーンルーム空調システムにおいて、前記空気冷却手段は、有圧扇と熱交換器とを有し、前記熱交換器へ供給する冷却水量を制御可能な空調機から構成されており、前記クリーンルーム内に設けられた室内温度計測手段で計測された室内温度に基づき前記熱交換器へ供給する冷却水量を制御する、ことを特徴としている。請求項4の発明は、請求項3に記載のクリーンルーム空調システムにおいて、前記リターン風道には、外調機によって温度と湿度が調整された外気が供給されており、前記クリーンルーム内の圧力に基づいて前記外調機の供給外気量を制御することにより、前記クリーンルーム内の圧力を陽圧に維持する、ことを特徴としている。請求項5の発明は、請求項4に記載のクリーンルーム空調システムにおいて、前記空気冷却手段からの温度調整された空気と前記外調機からの空気は、前記リターン風道にて対向流で衝突するとともに、前記開口手段を介して前記天井プレナムチャンバに戻された前記クリーンルームからの室内空気と混合し、前記ファンフィルタユニットを介して前記クリーンルームに吹き出される、ことを特徴としている。請求項1に記載の発明によれば、クリーンルームに設置されている製造装置には、発熱温度を考慮して配置位置および配置数が設定されたファンフィルタユニットから冷却された適量の空気が供給されるので、クリーンルームにおける生産装置の周辺の温度は均一化される。また、クリーンルームの上方に位置する温度の高い空気は、一部が開口手段を介して天井プレナムチャンバに吸い戻されるので、クリーンルーム内の温度が均一化される。したがって、発熱温度の異なる生産装置がクリーンルームに配置される場合でも、従来のように生産装置を冷却するための局所冷却手段を設ける必要がなくなり、クリーンルームの温度を均一化するためのコストを低減することができる。請求項2に記載の発明によれば、ファンフィルタユニットは、製造装置の稼動量を計測する稼働量計測手段または開口手段の近傍に設けられた温度計測手段からの計測値に基づきクリーンルームへの送風量を制御するので、製造装置の発熱温度の差異に基づくクリーンルームの室内温度のムラを解消する調和空気の分配が可能となる。これにより、クリーンルーム内の温度の均一度をさらに高めることができる。請求項3に記載の発明によれば、空調機で冷却した空気を、有圧扇の攪拌作用によってリターンプレナム内において室内空気と効率的に混合できるので、風路断面での異なる空気温度の偏在を防止し、温度を均一にすることができる。また、空気を還流させており、換気回数が少なく外気の混合率が低いため、外気の混合に伴う熱損失を低減することができるので、空気冷却手段の熱交換器の小型化し、運転費を低減することができる。また、熱交換器へ供給する冷水量を制御して、空気温度を制御することができるので、発熱温度の大きい製造装置が設置されている生産エリアに、適切な温度に冷却された空気を供給することができる。請求項4に記載の発明によれば、クリーンルーム内の圧力に基づいて外調機の供給外気量を制御することにより、クリーンルーム内の圧力を陽圧正圧に維持するので、外部からクリーンルーム内へ微細な異物が侵入するのを確実に防止することができる。請求項5に記載の発明によれば、空気冷却手段からの温度調整された空気と外調機からの空気は、リターン風道にて対向流で衝突するとともに、開口手段を介して天井プレナムチャンバに戻されたクリーンルームからの室内空気と混合するので、天井プレナムチャンバに均一な温度、湿度の空気を偏在なく行き渡らせることができる。したがって、クリーンルームには、均一な温度、湿度の空気を供給することができ、クリーンルーム内の温度および湿度を均一させることができる。図1ないし図3は、この発明の実施の形態を示している。図1に示すように、例えば、精密機器や医薬品などの工場の建物Rは、クリーンルーム1と、天井プレナムチャンバ2と、床下チャンバ3と、リターン風道4と、外気調整室5と、補機収納室6を有している。天井プレナムチャンバ2の上面は、天井スラブC1から構成されている。床下チャンバ3は、建物Rの床スラブF1とクリーンルーム1の床部F2との間に位置し、後述する空気冷却手段としてのファンコイルユニットFCU50などが設置されている。床下チャンバ3の下方には、補機収納室6が形成されている。床下チャンバ3と補機収納室6は、床スラブF1によって区画されている。外気調整室5は、上下方向に延びる壁部F3によってクリーンルーム1と天井プレナムチャンバ2と床下チャンバ3に対して区画されている。クリーンルーム1は、天井プレナムチャンバ2と床下チャンバ3との間に位置している。クリーンルーム1の下部に位置する床部F2は、調和空気A3を通過させるために、グレイチング材などの多孔材を水平方向に張り渡して形成されている。クリーンルーム1の天井部C2は、天井プレナムチャンバ2の天井スラブC1から所定距離だけ下方に位置しており、水平方向に張り渡された天井フレームから構成されている。この実施の形態では、クリーンルーム1の室内は間仕切りのない大空間を構成し、搬送装置図示略が各工程間を連結している。さらに、クリーンルーム1からの空気の排気量は、外調機101からの取入外気量供給外気量と同量であり、クリーンルーム1内の圧力は常に一定に保持されている。リターン風道4は、クリーンルーム1の長手方向の両端部の外方に形成されている。リターン風道4は、天井プレナムチャンバ2と床下チャンバ3とを連通している。これにより、建物Rにはクリーンルーム1に空気A3を供給する空気循環系が形成されている。クリーンルーム1の床F2には、発熱温度が異なる第1の生産装置10と第2の生産装置0が設置されている。第1の製造装置10および第2の製造装置20には、排気を外部に排出させるための排気ダクトをそれぞれ備えている。ここでは、第1の製造装置10は、発熱温度の高い高発熱機器であり、第2の製造装置20は、発熱温度の低い低発熱機器である。開口手段30は、天井部C2の格子状開口に設けられている。開口手段30は、例えば多数の通気穴を有するパンチング板から構成されている。パンチング板からなる開口手段30は、外周にシール機能を有するパッキンが設けられおり、自重によって天井部C2の格子状開口に装着されている。開口手段30は、FFU40の吸引力により室内空気A3を吸い込むためのものあり、吸込量が調節可能なシャッタ付の吸込口を有している。つまり、開口手段30は、例えばシャッタ付きのグリル型吸い込み口やHS型で構成されており、シャッタ開度吸込量は試運転時に手動で調整するようになっている。この開口面積は各製造装置10、20の発熱の程度を応じて設計され、試運転時に調整自在となるように、開口率可変の構造となっている。また、この開口手段30の設置数および配置位置は、後述するようにクリーンルーム1に設置された各製造装置10、20の発熱温度によって決定される。例えば、第1の製造装置10のように高発熱機器の上方には少数の開口手段30を設置し、第2の製造装置20のように低発熱機器の上方には多数の開口手段30を設置する。ファンフィルタユニットFFU40は、製造装置の周辺の温度が所定温度に維持されるようにクリーンルーム1への送風量が調節可能であり、天井部C2の格子状開口に設けられている。FFU40は、高性能フィルタと送風機を有し、上方上面側から空気A3を吸い込み、下方底面側から空気A3を吹き出す構成となっている。FFU40は、具体的には、ケーシング内に、ファンと、ファンを駆動させる可変速モータDCブラシレスモータと、高性能フィルタとが内蔵され、天井プレナムチャンバ2内の空気A3をケーシング内に取り入れ、塵埃等を高性能フィルタによって除去して清浄化し、クリーンルーム1内に供給する機能を有している。FFU40は、送風機ファンの回転数によって、送風量を調節可能となっている。このFFU40の設置台数および配置位置は、後述するようにクリーンルーム1に設置された各製造装置10、20の発熱温度によって決定される。例えば、第1の製造装置10のように高発熱機器の上方には多数のFFU40を設置し、第2の製造装置20のように低発熱機器の上方には少数のFFU40を設置する。天井部C2の格子状開口を塞ぐためのブランクパネル図示略は、外周にシール機能を有するパッキンが設けられおり、自重によって天井部C2の格子状開口に装着されている。また、ブランクパネルは、天井部C2の開口手段30やFFU40が設置されない箇所に設置されることで、天井プレナムチャンバ2とクリーンルーム1との隙間を塞ぎ、清浄化されていない空気がクリーンルーム1内等に侵入することを防ぐようになっている。さらに、クリーンルーム1の稼動時には、クリーンルーム1内の圧力は天井プレナムチャンバ2の圧力より高くなるので、天井フレーム11に載置されるブランクパネルなどの部材は、FFU40の吸引力によって浮上しないように、質量や固定方法が考慮された構造となっている。空気冷却手段としての空調機であるFCUファンコイルユニット50は、リターン風道4に設置されている。FCU50は定速送風機としての有圧扇50Aと、熱媒ここでは冷水が内部を流れる熱交換器50Bとを備えている。このFCU50は、熱交換器50Bへ供給する冷却水量を弁によって制御可能であり、クリーンルーム1内に設けられた温度計で計測された室内温度に基づき熱交換器50Bへ供給する冷却水量を制御する。ここでは、冷却水量は、各製造装置10、20の中で最も発熱温度が高い製造装置の生産エリアが適温となるように調節されている。熱交換器50Bは、冷凍機や蓄熱槽などの熱源を有し、例えば7°Cの冷水が供給されると、14°Cで返送されるように設定されている。また、熱交換器50Bに導かれる往管には、自動弁が設けられている。有圧扇50Aは、床下チャンバ3の空気A4を吸ってリターン風道4の上部に吐出する程度の静圧で設計され、FCU50の天面に対して羽根の軸線を水平にして設けられる。このFCU50は、建物R外から外気を取り込むとともに、空気を建物R外へ排出する機能を有している。温度計測手段としての温度計図示略は、各製造装置10、20の稼働量、すなわち、発熱温度を計測するためのもので、各製造装置10、20の近傍に設置されている。また、温度計で計測された温度にもとづいて、FFU40の風量または風速は指示されるようになっている。ここで、温度計は、各製造装置10、20の近傍に設置するのではなく、FFU40の直下に設け、この領域の各製造装置10、20の発熱温度を見込んだ演算値でFFU40の送風量の制御するようにしてもよい。気圧計図示略は、室内に設置され、室内圧力を計測するものである。気圧計は、計測値を外調機101のMDを操作するためのコントローラ図示略に随時出力する。この気圧計の設置位置は、クリーンルーム1内であれば設置場所は限定されないが、ここでは例えば、リターンプレナム4に最も近いFFU40の下部に設けられており、この気圧計によって計測される室内圧力は、FFU40の下部における室内圧力である。外調機101は、クリーンルーム1の空気循環系の系外の外気調整室5に設置され、室内からの排気量に応じて取入量が設定され、屋外から取り入れた新鮮外気を除塵、調温、調湿してリターンプレナム4内に供給するものである。ここで、除塵はフィルタによって、調温はコイル等で構成される加熱器や冷却器の温調装置によって、調湿は除湿の場合は前記冷却器によって、加湿の場合は加湿器によって行われる。なお、これらの機器は外調機101に一体に組み込まれていなくとも、各々独立した別体で構成されていても良い。この外調機101は、モータダンパ以下MDというが介装されたダクト102ここでは、外調機101への外気取入ダクトを介して、吐出口103に接続されている。吐出口103は、リターンプレナム4の中間部に下向きに配設されている。ここで、MDは、開度を調節するコントローラを有し、コントローラはクリーンルーム1の室内の圧力にもとづいて開度を制御するようになっている。例えば、コントローラに気圧計によって計測された室内圧力が入力されると、コントローラは、入力された計測値を室全体の圧力に換算し、室全体の圧力が低くなったと判断した場合はMDの開度を大とし、室全体の圧力が高くなったと判断した場合はMDの開度を小とするように制御している。また、外調機101からの外気の取入量と、空気循環系からの排気量とは、クリーンルーム1内が陽圧正圧に保持されるように設定されている。このため、天井プレナムチャンバ2からFFU40を介してクリーンルーム1の室内に、浄化された空気A3が供給されるようになっている。これにより、クリーンルーム1の室内に供給された空気A3は、床部F2を介して床下チャンバ3に排出される。床下チャンバ3に排出された空気A4は、リターン風道4を介して天井プレナムチャンバ2へ送出され、再びFFU40によって清浄化されて、クリーンルーム1内へ供給される。このように、建物R内の空気A1、A2、A3、A4は所定の清浄度を維持したまま、天井プレナムチャンバ2、クリーンルーム1、床下チャンバ3、レターン風道4を一方向に循環する空気循環系を形成している。次に、このような構成のクリーンルーム1の温度制御方法について説明する。まず、天井プレナムチャンバ2に設置されたFFU40によって清浄化された空気A3が、クリーンルーム1内に供給される。クリーンルーム1内の空気A3は、生産エリアの各製造装置10、20の発熱によって温度が上昇する。このクリーンルーム1内の上方に位置する空気A3の一部は、床部F2を通過して床下チャンバ3へ排出される。そして、床下チャンバ3に排出された空気A4は、FCU50によって冷却される。さらに、冷却空気A2は、有圧扇50Aによってレターン風道4上方へ吹き出される。また、クリーンルーム1内の空気A3の一部は、開口手段30を介して天井プレナムチャンバ2へ吸い戻される。建物Rの外側の外気OAは、外調機101によって除塵、調温、調湿され、MDが介装されたダクト102を介して、レターン風道4に設置された吐出口103から下方に外気A1となって吹き出される。そして、レターン風道4においては、FCU50からの冷却空気A2と外調機101で調温調湿された外気A1とが対向流となって衝突し、冷却空気A2と外気A1とは混合される。また、天井プレナムチャンバ2においては、レターン風道4から供給される冷気が混合された空気A3と、開口手段30から吸い戻されたクリーンルーム1からの空気A3とが、拡散しながら混合し、空気A3は温度、湿度が調整された状態でFFU40によって吸い込まれ清浄化されて、クリーンルーム1に吹き出される。このようにして、建物R内の空気A1、A2、A3、A4は、所定の清浄度を維持したまま、天井プレナムチャンバ2、クリーンルーム1、床下チャンバ3、レターン風道4を一方向に循環するようになっている。つぎに、各製造設備10、20の発熱温度に対応したクリーンルーム1の温度制御方法について説明する。発熱温度の高い第1の製造装置10の上方の天井フレームには、FFU40は多く、開口手段30は少なく設置されている。このため、製造装置10の周辺においては、温度が高い空気A3の天井プレナムチャンバ2への戻し量が少なくなる。また、発熱温度の低い第2の製造装置20の上方の天井部C2には、FFU40の設置数は少なく、開口手段30は多く設置されている。このため、第2の製造装置20の周辺においては、温度が高い空気A3の天井プレナムチャンバ2への戻し量が多くなる。このようにして、開口手段30から戻された空気A3は、天井プレナムチャンバ2において、レターン風道4から供給される冷気が混合された空気A3と混合されて、それぞれの位置において所定の温度となり、隣接するFFU40からクリーンルーム1内に吹き出される。このようにして、クリーンルーム1内の各製造装置10、20の各生産エリアに吹き出される空気A3の温度は、各製造装置10、20の発熱温度に対応してそれぞれ適正値に調節される。クリーンルーム1においては、1室内の発熱温度が最大の負荷が最大の製造装置の生産エリアの温度を計測し、室内に供給する空気A3の温度を調整する制御と、2室内圧力を計測し、外気の取入量を調整する制御と、3FFUの下部領域の温度またはFFUの吹出温度を計測し、FFUの送風機の風量または風速を調整する制御と、を行うことができる。そして、これらの制御の中で、最も優先されるのは2の外気取入量制御であり、これを前提として1の空気A3の温度の制御が行われ、さらに、3FFUの可変風量風速制御が行われる。なお、FFU40の風量は、クリーンルーム1内の清浄度を維持するために必要な所定の風量以上となるように制御されている。図2は、発熱温度が最大の製造装置の生産エリアを適温に保つようにFCU50の熱交換器50Bを制御して空気冷却をする場合であって、開口手段30がない場合のシミュレーション結果を示している。図3に示すように、この実施の形態における建物Rの全長はL1であるが、図2のシミュレーションは、図3における切断面Kの領域長さL2に限定したものである。例えば、15°Cの冷気がFCU50の有圧扇50Aによって吐出され、25°Cの床下チャンバ3からの還気と混合し、さらに、この混合空気に、外調機101からの13°Cの空気が混合される場合は、各FFU40からクリーンルーム1には20°Cで給気される。この場合の風量比は、熱交換器50Bで冷却された循環空気が35とすると、熱交換器50Bで冷却されずに混合に付される循環空気排気が45、外調機101によって調温調湿された外気が20である。このとき、混合されて19°Cとなった空気は、各FFU40に吸引され、モータで熱を付与され20°Cで給気されることになる。また、発熱温度が最大の製造装置の生産エリアは23°C、床下チャンバ3における排気は25°Cとなっている。この結果が示すように、FCU50は、循環空気の一部のみを10°Cの温度差、つまり、吸込温度25°C、吹出温度15°Cで冷却する。このように温度差が10°Cあるということは、熱媒としての冷水の搬送動力が大幅に改善されることを意味する。ここで、熱交換器50Bへの熱源からの送水温度は7°Cであり、熱交換器50Bを出た冷水還り温度は14°Cとなっている。また、発熱温度が最少の製造装置の生産エリアは21°Cとなり、生産エリアの相対湿度が上昇し、製造装置の内部に結露が生じてしまうことが予測される。そこで、FFU40の送風機を低速で、例えば送風機の回転数が最大のときを100としたときに、クリーンルーム1内の清浄度を維持できる所定風量以上である50まで回転数を下げて運転するとともに、開口手段30から室内の昇温した空気を吸い込んで混合すればよいことがわかる。すなわち、発熱温度が低い製造装置の上方のFFU40には、例えば可変風量機構としてインバータを用いればよく、さらにまた、電磁ノイズを低減するために、ブラシレスモータを連結してもよい。ここで、この生産エリアにおけるFFU40からの供給風量と、開口手段30からの還気量の比は約9:2例えば、900CMHに対して200CMHである。以上のように、この実施の形態1に係る発明によれば、クリーンルーム1に設置されている各製造装置10、20には、発熱温度を考慮して配置位置および配置数が設定されたFFU40から冷却された適量の空気A3が供給されるので、クリーンルーム1における各生産装置10、20の周辺の温度は均一化される。また、クリーンルーム1の上方に位置する温度の高い空気A3は、一部が開口手段30を介して天井プレナムチャンバ2に吸い戻されるので、クリーンルーム1内の温度が均一化される。したがって、発熱温度の異なる各生産装置10、20がクリーンルーム1に配置される場合でも、従来のように各生産装置10、20を冷却するための局所冷却手段を設けたり、各生産装置10、20に供給したい空気A3の温度に合わせて複数のFCUを設置したりする必要がなくなり、クリーンルーム1の温度を均一化するためのコストを低減することができる。また、FFU40は、各製造装置10、20の稼動量を計測する稼働量計測手段または開口手段30の近傍に設けられた温度計からの計測値に基づきクリーンルーム1への送風量を制御するので、各製造装置10、20の発熱温度の差異に基づくクリーンルーム1の室内温度のムラを解消する調和空気A3の分配が可能となる。これにより、クリーンルーム1内の温度の均一度をさらに高めることができる。また、発熱温度の最も大きい生産エリアでは、FFU40が可変風量機構の最大風量風速で運転されて熱と塵埃の滞留が排除され、空気余命室内への給気が室内に滞在する期間を短縮できる。また、発熱温度の最も小さい生産エリアでは、室内からの空気A3を混合して昇温した空気A3を相対的に少量供給することとなり、当該生産エリアも設定温度を維持できるので、機器内部結露などの心配が無くなる。また、FCU50で冷却した空気A2を、有圧扇50Aの攪拌作用によってリターン風道4内において空気A1と効率的に混合できるので、風路断面での異なる空気温度の偏在を防止し、温度を均一にすることができる。また、空気A4を還流させており、換気回数が少なく外気の混合率が低いため、外気の混合に伴う熱損失を低減することができるので、FCU50の熱交換器50Bを小型化し、運転費を低減することができる。また、熱交換器50Bへ供給する冷水量を制御して、空気温度を制御することができるので、発熱温度の大きい製造装置10が設置されている生産エリアに、適切な温度に冷却された空気A3を供給することができる。また、クリーンルーム1内の圧力に基づいて各外調機101の供給外気量を制御することにより、クリーンルーム1内の圧力を陽圧正圧に維持することができる。これにより、外部からクリーンルーム1内へ微細な異物が侵入するのを確実に防止することができる。さらにまた、FCU50からの温度調整された空気A2と、外調機101からの空気A1は、リターン風道4にて対向流で衝突するとともに、開口手段30を介して天井プレナムチャンバ2に吸い戻されたクリーンルーム1からの室内空気A3と混合するので、天井プレナムチャンバ2に均一な温度、湿度の空気A3を偏在なく行き渡らせることができる。したがって、クリーンルーム1には、均一な温度、湿度の空気A3を供給することができ、クリーンルーム1内の温度および湿度を均一させることができる。以上、この発明の実施の形態について説明したが、具体的な構成は、上記の実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても、この発明に含まれる。例えば、上記の実施の形態では、開口手段30は、シャッタ付の吸込口として説明したが、MD付きの開口とし、FFU40からの吹出空気A3の風速を計測し、その計測結果に基づいてMDの開度を調整するようにしてもよい。また、すべてのFFU40を可変風量風速機構付きのものにする必要は無く、発熱温度の大きな製造装置10の生産エリアの天井部には、所要の風量の能力をもつFFUを設置して常時、定風量運転するようにしてもよい。また、各製造装置10、20の稼働量を測定する手段を温度計として説明したが、製造装置の稼動量自体を計測してもよい。製造装置の稼働量とは、例えば、製造装置のモータ回転数や装置発熱冷却水の流量、あるいは、製造装置の使用電力量などによって測定することができる。そして、稼働量が大きい生産エリアには、稼働量が小さい生産エリアより低温の空気A3を供給するようにしてもよい。また、天井プレナムチャンバ2の陽圧制御は、室内外の差圧を計測する差圧計の計測値を入力値としてもよく、さらには、MD1の開度制御ではなく、外調機の送風機をインバータ付きとし、開度制御するようにしてもよい。さらに、空気冷却手段は、ヒートポンプを採用して、直膨方式としてもよい。この場合、室内温度の計測値によって圧縮機の回転数が制御されるようになる。さらにまた、開口手段30の設置数は、各製造装置10、20の上方で同数とし、高発熱機器の上方で開口面積を小さく開度を小、全閉も含む、低発熱機器の上方で開口面積を大きく開度を大としてもよい。