バルブ筐体と、前記バルブ筐体とともにバルブ室を構成し、前記バルブ室内の液体の圧力によって変位するダイヤフラムと、前記バルブ室への液体の流入を遮断又は開放させる弁部と、を備え、前記バルブ筐体は、前記バルブ室へ液体が流入する流入孔と、前記流入孔の周縁に位置する弁座と、前記流入孔と連通し、前記弁部を収納する開口部と、が形成され、前記弁部は、前記弁座に当接し、前記ダイヤフラムに押下されて前記弁座から離間する弁体と、前記弁体が前記弁座に対して接近または離間する方向へ可動自在に前記弁体を支持し、前記弁座の方向へ前記弁体を附勢する支持部と、を有し、前記バルブ筐体は、前記開口部の直径をDとし、前記液体の表面張力係数をγとし、前記バルブ室の底面積をSbとし、前記弁部の前記支持部による附勢力をFsとしたとき、D>4γSb/Fsの関係を満たす形状に形成された、順止バルブ。前記液体はメタノールである、請求項1に記載の順止バルブ。請求項1又は2に記載の順止バルブと、前記順止バルブの前記流入孔に接続される燃料貯蔵部と、前記順止バルブの前記流出孔に接続されるポンプと、を備える燃料電池システム。例えば、ダイレクトメタノール型燃料電池DMFCにおいては、燃料メタノールの輸送を行うポンプを備えている。一般に、弁方式のポンプには弁による逆止機能はあるが、順止機能順方向の流れを止める機能は無い。順止機能の無いポンプを用いると、上流側の圧力順方向の圧力が燃料に印加される場合に、ポンプの非作動時にも燃料が流れてしまう。また、燃料電池システム内に組み込まれる燃料カートリッジが、外環境によっては高温になることがあり、高圧のメタノールが吐出されることがある。これにより、過剰なメタノールが燃料セルに供給され、場合によってはポンプを破壊してしまうおそれがある。そこで、高圧な液体が万が一加わった時に、順方向の流れを止めるバルブ以下、順止バルブというが求められている。例えば、特許文献1の減圧弁を、順止バルブとして用いようとしたとしても機能し得ない。また、燃料電池システムとして低背化が求められているが、ダイヤフラム1と対向するバルブ室8の底面9とダイヤフラム1との距離を狭くし、特許文献1の減圧弁を低背化すると、ダイヤフラム1が、弁の開放時にバルブ室8の底面9に接触するおそれがある。そして、メタノールのような液体を当該減圧弁に使用した場合、ダイヤフラム1とバルブ室8の底面9とが接触した時に、当該液体の表面張力によりダイヤフラム1とバルブ室8の底面9とが貼り付くおそれがある。そのため、特許文献1の減圧弁を低背化した構造では、ダイヤフラム1とバルブ室8の底面9との貼付によりダイヤフラム1が元の位置に戻らなくなってしまい、弁が閉じなくなってしまうことがある。従って、上記特許文献1の減圧弁を低背化した構造を備える従来の順止バルブでは、その順止バルブに流体として液体を使用する場合、流体制御の十分な信頼性が得られないという問題があった。そこで本発明は、低背な構造でも、ダイヤフラムとバルブ室の底面とが液体の表面張力により貼り付くことを防ぐことができる順止バルブ、及びこの順止バルブを備える燃料電池システムの提供を目的とする。本発明の順止バルブは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。1バルブ筐体と、前記バルブ筐体とともにバルブ室を構成し、前記バルブ室内の液体の圧力によって変位するダイヤフラムと、前記バルブ室への液体の流入を遮断又は開放させる弁部と、を備え、前記バルブ筐体は、前記バルブ室へ液体が流入する流入孔と、前記流入孔の周縁に位置する弁座と、前記流入孔と連通し、前記弁部を収納する開口部と、が形成され、前記弁部は、前記弁座に当接し、前記ダイヤフラムに押下されて前記弁座から離間する弁体と、前記弁体が前記弁座に対して接近または離間する方向へ可動自在に前記弁体を支持し、前記弁座の方向へ前記弁体を附勢する支持部と、を有し、前記バルブ筐体は、前記開口部の直径をDとし、前記液体の表面張力係数をγとし、前記バルブ室の底面積をSbとし、前記弁部の前記支持部による附勢力をFsとしたとき、D>4γSb/Fsの関係を満たす形状に形成された。この構成では、弁部の開放時、バルブ室および開口部に満たされた液体の表面張力によってダイヤフラムには貼り付き力Fh=4γSb/Dが作用する。しかし、この構成では、開口部の直径DがD>4γSb/Fsの関係を満たすように形成されているため、力の関係が常にFs>Fhとなり、弁部の支持部による附勢力Fsが液体の表面張力による貼り付き力Fhより強くなる。そのため、バルブが閉じる条件になると、ダイヤフラムは液体の表面張力に打ち勝って元に戻り、弁部が閉じる。従って、この構成によれば、低背な構造でも、ダイヤフラムとバルブ室の底面とが液体の表面張力により貼りつくことを防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。2前記液体はメタノールであることが好ましい。また、本発明の燃料電池システムは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。3上記1又は2に記載の順止バルブと、前記順止バルブの前記流入孔に接続される燃料貯蔵部と、前記順止バルブの前記流出孔に接続されるポンプと、を備える。この構成により、上記1又は2に記載の順止バルブを用いることで、当該順止バルブを備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。この発明によれば、低背な構造でも、ダイヤフラムとバルブ室の底面とが液体の表面張力により貼り付くことを防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。《順止バルブの動作原理》まず、小型の燃料電池に用いられるパッシブ駆動の順止バルブの動作原理について説明する。図2Aは、弁が閉じた状態における順止バルブ90の模式断面図であり、図2Bは、弁が開いた状態における順止バルブ90の模式断面図である。順止バルブ90は、可動部となるダイヤフラム20、ダイヤフラム20とともにバルブ室40を構成するバルブ筐体30、バルブ筐体30に接合されたキャップ部10、および、弁体部51を有する弁部50からなる。バルブ筐体30には、バルブ室40へ流体が流入する流入孔43と、ポンプが接続されてポンプによる流体の吸引圧力によってバルブ室40から流体が流出する流出孔49とが形成されている。ダイヤフラム20は、伝達機構であるプッシャ23を有し、バルブ室40の流体の圧力によって変位する。ダイヤフラム20が弁部50に近づく方向へ変位した時、プッシャ23が弁体部51を押下する。弁部50は、弁体部51の流入孔43側にリング状の弁突起55が形成されており、弁突起55が流入孔43の周縁に位置する弁座48に当接するよう配置される。そして、弁体部51は、ダイヤフラム20の変位によって弁座48に対して当接または離間し、流入孔43からバルブ室40への流体の流入を遮断または開放させる。キャップ部10には、外気と通じる孔部15が上面に形成されている。この結果、ダイヤフラム20の上部に大気圧が加わる。順止バルブ90は、流体の圧力が設定圧力になると、圧力差を利用して弁部50が自動的に開閉するように構成されている。詳述すると、ダイヤフラム20上部の大気の圧力をP0、バルブ上流の1次圧力をP1、バルブ下流の圧力をP2とし、弁体部51の面積ここでは、弁体部51にリング状の弁突起55が形成されているため弁突起55で囲まれた領域の径で決まる面積をS1、ダイヤフラム20の面積をS2、弁体部51が上向きに付勢する力をFsとする。このとき、圧力の釣り合いから、図2Bのように弁部50が開く条件は、P1-P2S1Fs<P0-P2S2となる。P2がこの条件の圧力より高いと弁部50は閉じ、低いと弁部50は開く。これによって、P2を一定に保つことができる。《本発明の実施形態》以下、本発明の実施形態に係る順止バルブ101について説明する。図3は、本発明の実施形態に係る順止バルブ101を備える燃料電池システム100のシステム構成図である。燃料電池システム100は、燃料であるメタノールを貯蔵する燃料カートリッジ102と、順止バルブ101と、メタノールを輸送するポンプ103と、ポンプ103からメタノールの供給を受けて発電する発電セル104と、を備える。ダイレクトメタノール型燃料電池DMFCにおいては、燃料であるメタノールの輸送を行うポンプ103を備えている。一般に、弁方式のポンプ103には弁による逆止機能はあるが、順止機能は無い。順止機能の無いポンプ103を用いると、上流側の圧力順方向の圧力がメタノールに印加される場合に、ポンプ103の非作動時にもメタノールが流れてしまう。そのため、ポンプ103と組み合わせて使用し、ポンプ圧力を利用して弁の開閉を行う順止バルブ101を設ける方が好ましい。順止バルブ101は、詳細を後述するが、ダイヤフラム120とともにバルブ室140を構成するバルブ筐体130を備える。バルブ筐体130には、燃料カートリッジ102が流入路163を介して接続される流入孔143と、ポンプ103が流出路165を介して接続される流出孔149とが形成されている。順止バルブ101は、流入路163と流出路165とが形成されたポリフェニレンサルファイドPPS樹脂製のシステム筐体160に、流漏れを防ぐOリング161、162を介して表面実装される。燃料電池システム100では、メタノールが燃料カートリッジ102から流入路163と流入孔143を介してバルブ室140へ流入する。そして、ポンプ103によるメタノールの吸引圧力によってバルブ室140から流出路165と流出孔149を介してポンプ103へメタノールが流出する。そして、メタノールはポンプ103によって発電セル104へ供給される。図4は、本発明の実施形態に係る順止バルブ101の分解斜視図である。図5Aは、図4の順止バルブ101に備えられるキャップ部110の上面図である。図5Bは、図4の順止バルブ101に備えられるバルブ筐体130の下面図である。図6は、図5AのS-S線における断面図である。順止バルブ101は、図4に分解斜視するように、キャップ部110と、可動部となるダイヤフラム120と、バルブ筐体130と、弁部150と、を備える。バルブ筐体130は、略正方形板状である。バルブ筐体130には、バルブ室140へメタノールが流入する流入孔143と、ポンプ103が接続されてポンプ103によるメタノールの吸引圧力によってバルブ室140からメタノールが流出する流出孔149と、が形成されている。また、バルブ筐体130には、キャップ部110とバルブ筐体130をシステム筐体160に固定するためのネジ止め用の穴131と、ダイヤフラム120の周縁部121が載置される載置部134と、が形成されている。また、バルブ筐体130には、図4、図6及び図7に示すように、弁部150が流入孔143からバルブ室140へのメタノールの流入を開放させたときに、ダイヤフラム120が当接する半円状の突出部144と、メタノールを突出部144の内側から外側へ通過させる流路145とが、ダイヤフラム120と対向するバルブ室140の底面141上における流入孔143の周囲に形成されている。また、バルブ筐体130には、図5B及び図6に示すように、弁部150をバルブ筐体130の実装面側から嵌めこむことにより弁部150を収納する開口部147と、流入孔143の周縁に位置する弁座148と、が形成されている。ここで、バルブ筐体130は、メタノールの表面張力係数をγとし、バルブ室140の底面積をSbとし、詳細を後述する弁部150の支持部152の附勢力をFsとし、開口部147の直径をDとしたとき、D>4γSb/Fsの関係を満たす形状に形成されている。この実施形態では、開口部147の直径Dを0.5mmに、当該底面積Sbを113mm2に設定している。当該底面積Sbは、突出部144の上面の面積も含む。また、この実施形態で使用するメタノールの表面張力係数γは22.6mN/mである。なお、バルブ筐体130の材質については、バルブ筐体130のメタノールと接する部分134、141、144、145、148の材質は耐メタノール性の高い樹脂、例えばPPSPolyphenylenesulfide樹脂等からなり、バルブ筐体130のメタノールと接しない縁132の材質は金属からなる。バルブ筐体130は、金属部分の縁132をモールド金型にインサートして射出成形するインサートモールドにより形成される。ダイヤフラム120は、図4及び図6に示すように、伝達機構であるプッシャ123を中心に有し、周縁部121の厚みが中央部122より厚い円板状に形成されている。ダイヤフラム120の材質は、耐メタノール性の高いゴム、例えばエチレンプロピレンゴムまたはシリコーンゴムである。ダイヤフラム120は、周縁部121がバルブ筐体130に載置されてバルブ筐体130とともにバルブ室140を構成する。ダイヤフラム120は、バルブ室140のメタノールの圧力によって周縁部121の内側の中央部122が変位する。ダイヤフラム120の中央部122が弁部150に近づく方向へ変位した時、プッシャ123が弁体部151を押下する。なお、液体を流体として順止バルブ101に使用した場合、液体の表面張力が大きいため、気体を流体として順止バルブ101に使用した場合より大きな流体の流路が必要となる。しかし、この実施形態の順止バルブ101ではダイヤフラム120の材質がゴムであるため、ダイヤフラム120をシリコンや金属で形成した場合に比べてダイヤフラム120の可動範囲が大きくなる。そのため、この実施形態の順止バルブ101では、十分なメタノールの流路を確保できる。弁部150は、図4及び図6に示すように、略円形状であり、耐メタノール性の高いゴム、例えばシリコーンゴムからなる。弁部150は、ダイヤフラム120の変位によって弁座148に対して当接または離間し、流入孔143からバルブ室140への液体メタノールの流入を遮断または開放させる弁体部151と、弁体部151が弁座148に対して接近および離間する方向へ可動自在に弁体部151を支持する支持部152と、メタノールを通過させる孔部153と、弁部150が開口部147に収納されたときにバルブ筐体130の開口部147の内周面に当接し、支持部152を固定する固定部154と、を有する。なお、弁体部151には、弁座148とのシール性を高めるため、流入孔43側にリング状の弁突起155が形成されているが、弁突起155は必ずしも形成される必要はない。弁体部151は、弁部150が開口部147に収納されたときに弁体部151の弁突起155が弁座148に当接し、弁体部151が流入孔143からバルブ室140へのメタノールの流入を遮断する方向へ弁座148を弁閉時に与圧する。そして、弁体部151は、ダイヤフラム120が下降してダイヤフラム120に押し下げられることによって弁座148から離間し、流入孔143と孔部153が連通して、バルブ室140へのメタノールの流入を開放させる。この弁開放時、支持部152は、弁体部151が弁座148に対して接近する方向へ弁体部151を附勢力Fsで附勢する。キャップ部110は、図4、図5A及び図6に示すように、略正方形板状であり、例えば、ステンレススチールの板を用いて金型成形により形成される。キャップ部110には、キャップ部110とバルブ筐体130をシステム筐体160に固定するためのネジ止め用の穴111が形成されている。ここで、金属製のキャップ部110の縁116は、ダイヤフラム120が載置部134に載置された状態で、バルブ筐体130の金属製の縁132と溶接により接合される。キャップ部110の周縁部位114は、接合されると、ダイヤフラム120の周縁部121を押圧して載置部134とともに周縁部121を挟持する。また、キャップ部110の中央部位113には、外気と通じる孔部115が形成されている。この結果、ダイヤフラム120の上部に大気圧が加わる。ダイヤフラム120には、この大気圧とバルブ室140の内圧との差圧を受ける円形の金属からなる受圧板125が接合されている。順止バルブ101は、上述した順止バルブ90図2参照と同じように、メタノールの圧力が設定圧力になると、圧力差を利用して弁部150が自動的に開閉するように構成されている。以上の構成では、バルブ室140の底面141とダイヤフラム120との距離を狭くし、順止バルブ101を低背化している。そして、この実施形態では弁部150の開放時、図4、図6に示すように、ダイヤフラム120が突出部144に接触する。さらに、ダイヤフラム120が突出部144に接触した時、メタノールは突出部144の内側から流路145を介して突出部144の外側へ通過する。この弁開放時、バルブ室140および開口部147に満たされた液体メタノールによる表面張力がダイヤフラム120に作用する。ここで、弁開放時におけるメタノールの表面張力について図7を用いて詳述する。図7は、本発明の実施形態に係る順止バルブ101の弁開放時の模式断面図である。液体の接触角≒0としたとき、液体内部のラプラス圧ΔPはラプラスの式より開口部147の直径Dによって決まり、ΔP=4γ/Dの式で表わされる。ここで、メタノールの表面張力係数γが約22.6mN/m、直径Dが0.5mm、バルブ室140の底面141の面積Sbが113mm2であるため、ダイヤフラム120にはメタノールの表面張力によって貼り付き力Fh=4γSb/D≒0.02Nが作用する。この実施形態では、開口部147の直径Dが、D>4γSb/Fs≒0.1mmの関係を満たすように形成されているため、弁部150の支持部152による附勢力Fs約0.1Nとの関係が常にFs>Fhとなる。そのため、ポンプ103の駆動停止等によってバルブが閉じる条件になると、ダイヤフラム120はメタノールの表面張力に打ち勝って元に戻り、弁部150が閉じる。従って、この実施形態の順止バルブ101によれば、低背な構造でも、ダイヤフラム120とバルブ室140の底面141とがメタノールの表面張力により貼り付くことを防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。また、以上の構成において、バルブ筐体130のメタノールと接する部分134、141、144、145、148の材質は全て樹脂であり、ダイヤフラム120と弁部150の材質もゴムであるため、金属イオンがメタノール中に溶出することがない。そのため、この実施形態の順止バルブ101では、金属イオンの溶出によるDMFCの特性の劣化も起こらない。従って、この実施形態の順止バルブ101を用いることで、当該順止バルブ101を備える燃料電池システム100においても同様の効果を奏する。《その他の実施形態》前記実施形態では液体としてメタノールを用いているが、当該液体が、エタノール等の他の液体であっても適用できる。なお、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。