真空槽と、前記真空槽内に、中心軸線を水平に向けて配置された円筒形状のターゲットと、前記ターゲットの端部に固定された支持部材と、前記支持部材を前記ターゲットと一緒に前記中心軸線を中心に回転させる回転装置と、を有し、前記支持部材には、前記ターゲットの内部空間と外部空間とを連通させる給水孔と排水孔とが設けられ、前記給水孔から前記内部空間に冷却水が導入され、前記排水孔から排出されながら、前記ターゲットがスパッタされるスパッタ装置であって、前記ターゲットの前記内部空間には、ガスが供給されると体積が増加する風船部材が配置されたスパッタ装置。前記ターゲットが前記中心軸線を中心に回転するときに、前記風船部材は前記真空槽に対して静止された請求項1記載のスパッタ装置。前記風船部材は前記排水孔より下方に配置された請求項1記載のスパッタ装置。円筒形状のターゲットと、前記ターゲットの端部に固定された支持部材と、前記支持部材を前記ターゲットと一緒に前記ターゲットの中心軸線を中心に回転させる回転装置と、を有し、前記支持部材には、前記ターゲットの内部空間と外部空間とを連通させる給水孔と排水孔とが設けられ、前記給水孔から前記内部空間に冷却水が導入され、前記排水孔から排出されるターゲット装置であって、前記ターゲットの前記内部空間には、ガスが供給されると体積が増加する風船部材が配置されたターゲット装置。前記ターゲットは前記風船部材に対して前記中心軸線を中心に回転できるように構成された請求項4記載のターゲット装置。本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、円筒形状のターゲットの内部空間に冷却水が残留しにくいスパッタ装置、ターゲット装置を提供することにある。本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討を行って、ターゲットの内部空間に減容ブロックを追加することを考えたが、ターゲットの内部空間は磁石部材等の他の部材によって既に空間を占められており、構造の観点から複雑な減容ブロックの設置は困難であることが分かった。係る知見に基づいて成された本発明は、真空槽と、前記真空槽内に、中心軸線を水平に向けて配置された円筒形状のターゲットと、前記ターゲットの端部に固定された支持部材と、前記支持部材を前記ターゲットと一緒に前記中心軸線を中心に回転させる回転装置と、を有し、前記支持部材には、前記ターゲットの内部空間と外部空間とを連通させる給水孔と排水孔とが設けられ、前記給水孔から前記内部空間に冷却水が導入され、前記排水孔から排出されながら、前記ターゲットがスパッタされるスパッタ装置であって、前記ターゲットの前記内部空間には、ガスが供給されると体積が増加する風船部材が配置されたスパッタ装置である。本発明はスパッタ装置であって、前記ターゲットが前記中心軸線を中心に回転するときに、前記風船部材は前記真空槽に対して静止されたスパッタ装置である。本発明はスパッタ装置であって、前記風船部材は前記排水孔より下方に配置されたスパッタ装置である。本発明は、円筒形状のターゲットと、前記ターゲットの端部に固定された支持部材と、前記支持部材を前記ターゲットと一緒に前記ターゲットの中心軸線を中心に回転させる回転装置と、を有し、前記支持部材には、前記ターゲットの内部空間と外部空間とを連通させる給水孔と排水孔とが設けられ、前記給水孔から前記内部空間に冷却水が導入され、前記排水孔から排出されるターゲット装置であって、前記ターゲットの前記内部空間には、ガスが供給されると体積が増加する風船部材が配置されたターゲット装置である。本発明はターゲット装置であって、前記ターゲットは前記風船部材に対して前記中心軸線を中心に回転できるように構成されたターゲット装置である。円筒形状のターゲットの内部空間に残留する冷却水の量を低減できるため、メンテナンス性が向上する。<スパッタ装置の構造>本発明のスパッタ装置の構造を説明する。図1は本発明のスパッタ装置10の内部構成図である。本発明のスパッタ装置10は、真空槽11とターゲット装置20とを有している。ターゲット装置20は、円筒形状のターゲット21と、ターゲット21の端部に固定された支持部材24と、支持部材24をターゲット21と一緒にターゲット21の中心軸線Lを中心に回転させる回転装置22とを有している。本実施形態では、支持部材24は円柱形状であり、中心軸線を水平に向けた状態で真空槽11の側壁を気密に貫通して設けられている。支持部材24の外周面と真空槽11の側壁との間は不図示のシール部材により気密に封止されており、支持部材24が中心軸線を中心に回転しても真空槽11の気密性が維持されるようになっている。ターゲット21は中心軸線Lを支持部材24の中心軸線と一致させた状態で真空槽11内に配置され、ターゲット21の一端は支持部材24に固定されて支持されている。ターゲット21の中心軸線Lは水平に向けられており、ターゲット21の外周面は真空槽11の内壁面から離間されている。回転装置22はここではモーターであり、真空槽11の外側に配置され、支持部材24に接続されている。回転装置22から支持部材24に動力が伝達されると、支持部材24はターゲット21と一緒に中心軸線Lを中心に回転するようになっている。本実施形態では、ターゲット装置20は、ターゲット21の内部空間に配置された磁石部材23を有している。磁石部材23はここでは細長形状であり、ターゲット21の内部空間に中心軸線Lと平行に配置されている。磁石部材23の磁極は中心軸線Lとは逆側に向けられて、ターゲット21の内周面と対面されており、磁極から出た磁力線はターゲット21を厚み方向に貫通して、ターゲット21の外周面に磁場を形成している。本実施形態では磁石部材23は中心軸線Lより上方に配置され、磁石部材23の磁極は上方に向けられており、ターゲット21の外周面のうち上方を向いた部分に磁場が形成されている。なお、磁石部材23はターゲット21の内周面とは離間されており、ターゲット21が中心軸線Lを中心に回転するときに、磁石部材23は真空槽11に対して静止するようになっている。支持部材24には電源装置31が電気的に接続されている。電源装置31から支持部材24に電圧が印加されると、支持部材24を介してターゲット21に電圧が印加されるようになっている。真空槽11には、真空排気部12とスパッタガス供給部13とがそれぞれ接続されている。真空排気部12により真空槽11内が真空排気され、スパッタガス供給部13から真空槽11内にスパッタガスが供給され、電源装置31からターゲット21に電圧が印加されると、ターゲット21の外周面上でスパッタガスは電離されてプラズマが生成され、プラズマ中の荷電粒子は磁石部材23の磁場に捕捉されて、ターゲット21の外周面がスパッタされるようになっている。ターゲット21の外周面がスパッタされるときに、回転装置22によりターゲット21を中心軸線Lを中心に回転させると、ターゲット21の外周面は周方向に亘って均一にスパッタされ、ターゲット21の使用効率が高くなる。ターゲット21の支持部材24とは逆側の端部には蓋部材27が固定されており、ターゲット21の一端と他端はそれぞれ支持部材24と蓋部材27により水密に蓋されている。支持部材24には、ターゲット21の内部空間と外部空間とを連通させる給水孔25と排水孔26とがそれぞれ設けられている。本実施形態では、排水孔26は支持部材24を中心軸線Lと同軸状に貫通して設けられ、排水孔26には排水管36が挿入されている。排水管36の外周面と排水孔26の内周面との間には不図示のシール部材例えばオーリングが配置され、水密に封止されている。支持部材24が中心軸線Lを中心に回転するときには、排水管36は磁石部材23に対して静止され、すなわち真空槽11に対して静止されるようになっている。このときシール部材により排水管36の外周面と排水孔26の内周面との間の封止状態は維持され、水漏れが起こらないようになっている。排水管36の内側にはここでは同軸状に給水管35が挿入され、給水孔25は給水管35の内部空間で構成されている。給水管35の一端と配水管36の一端はそれぞれ真空槽11の外側まで延ばされ、冷却水を循環させる冷却水循環部32に接続されている。冷却水循環部32から給水管35に冷却水が供給されると、冷却水は給水管35の他端からターゲット21の内部空間に流出される。ターゲット21の端部は支持部材24と蓋部材27により水密に塞がれており、ターゲット21の内部空間は冷却水で満たされるようになっている。ターゲット21の内部空間に満たされた冷却水は排水管36の他端に流入して冷却水循環部32に戻されるようになっている。本実施形態では、給水管35の他端はターゲット21の長手方向に沿って蓋部材27まで伸ばされており、給水管35の側面には、給水管35の内部空間とターゲット21の内部空間とを連通させる流出孔34が複数個、長手方向に沿って並んで設けられている。給水管35に供給された冷却水は、各流出孔34からそれぞれターゲット21の内部空間に流出されるようになっており、ターゲット21は長手方向に亘って均等に冷却され、ターゲット21の冷却効率が向上している。図2はターゲット装置20のA-A線切断断面図である。本発明のターゲット装置20では、ターゲット21の内部空間には、ガスが供給されると体積が増大する風船部材28が配置されている。風船部材28は弾性を有する部材から成る中空の袋であり、ここではポリエーテルエーテルケトン樹脂から成る。風船部材28の復元力により、ガスが供給される前は風船部材28はしぼんでおり、狭い空間でも容易に設置できるようになっている。風船部材28はここでは細長形状であり、ターゲット21の内部空間のうち中心軸線Lから見て磁石部材23とは逆側に、中心軸線Lと平行に配置されている。風船部材28は、ターゲット21が中心軸線Lを中心に回転するときに、真空槽11に対して静止されるようになっている。すなわち、ターゲット21は風船部材28に対して中心軸線Lを中心に回転できるように構成されている。そのため、ターゲット21が中心軸線Lを中心に回転するときに、真空槽11に対して静止されたターゲット21内の他の部材例えば磁石部材23と風船部材28とが衝突することはない。図1と図2aの図面上では、風船部材28はターゲット21の内周面と離間して配置されているが、ターゲット21の内周面と接触して配置され、ターゲット21が中心軸線Lを中心に回転するときには、風船部材28がターゲット21の内周面を摺動するように構成してもよい。風船部材28には通気管39が接続され、通気管39の端部は排水管36の内側を通って真空槽11の外側まで伸ばされ、真空槽11の外側に配置されたガスポンプ38に接続されている。ガスポンプ38からガスが放出されると、ガスは通気管39の内側を通って風船部材28に供給され、図2bを参照し、風船部材28は膨らんで体積が増大する。風船部材28は、ターゲット21の内周面と離間して配置されている場合には、中心軸線Lとは逆向きに膨らみ、ターゲット21の内周面と接触して配置されている場合には、中心軸線Lに向かって膨らむようになっており、風船部材28の体積が増大すると、増大量だけターゲット21の内部空間のうち中心軸線Lから見て磁石部材23とは逆側の空間の体積が減少する。本実施形態では、風船部材28は排水孔26より下方に配置され、磁石部材23は風船部材28の上方に配置されており、風船部材28が膨らむと、ターゲット21の内部空間のうち排水孔26より下方の空間の体積が減少するようになっている。<スパッタ装置の使用方法>本発明のスパッタ装置10の使用方法を説明する。成膜工程真空排気部12により真空槽11内を真空排気して、真空雰囲気を形成する。以後、真空排気を継続して、真空槽11内の真空雰囲気を維持する。真空槽11内の真空雰囲気を維持しながら、真空槽11内に基板50を搬入し、ターゲット21の外周面のうちスパッタされる部分と対面する位置に配置する。本実施例では基板50をターゲット21の上方に水平に配置する。冷却水循環部32から給水管35を通してターゲット21の内部空間に冷却水を供給し、ターゲット21の内部空間を冷却水で満たして、ターゲット21を冷却する。ターゲット21の内部空間に満たされた冷却水は排水管36を通って冷却水循環部32に戻される。以後、冷却水循環部32による冷却水の循環を継続して、ターゲット21を冷却し続ける。回転装置22によりターゲット21を中心軸線Lを中心に回転させておく。スパッタガス供給部13から真空槽11内にスパッタガス例えばArガスを供給し、電源装置31からターゲット21に電圧を印加すると、スパッタガスはターゲット21の外周面上で電離されてプラズマが生成される。本実施形態では、ターゲット21の外周面のうち上方を向いた部分には磁石部材23による磁場が形成されており、プラズマ中の荷電粒子は磁場に捕捉され、ターゲット21の外周面のうち上方を向いた部分がスパッタされる。ターゲット21は中心軸線Lを中心に回転しており、ターゲット21の外周面は周方向に亘って均等にスパッタされる。ターゲット21の外周面のうち上方を向いた部分から放出されたスパッタ粒子は、ターゲット21の上方に配置された基板50の表面に到達して、基板50の表面に薄膜が形成される。基板50表面に所望の膜厚の薄膜を形成した後、ターゲット21への電圧印加を停止し、真空槽11内の真空雰囲気を維持しながら成膜済みの基板50を真空槽11の外側へ搬出する。次いで、未成膜の基板50を真空槽11内に搬入し、上述の成膜工程を繰り返す。複数枚の基板50の成膜を繰り返すと、ターゲット21の外周面は徐々に削られて、ターゲット21の厚みが減少し、ターゲット21に穴が空いて冷却水が真空槽11内に漏れ出すおそれがある。そのため、ターゲット21に穴が空く前に後述するメンテナンス工程を行う。メンテナンス工程冷却水循環部32から給水管35への冷却水の供給を停止する。ターゲット21の内部空間のうち、排水孔26と同じ高さ又は排水孔26より上方の空間に位置する冷却水は、排水管36に流入してターゲット21の外部空間に排出され、冷却水の水面の高さは徐々に降下するが、排水孔26より下方の空間に位置する冷却水は排水管36に到達できず、ターゲット21の内部空間に残留する。ガスポンプ38から通気管39を通して風船部材28にガスを供給すると、図2bを参照し、風船部材28は膨らんで、ターゲット21の内部空間のうち排水孔26より下方の空間の体積が減少し、排水孔26より下方の空間に位置する冷却水は、風船部材28により押し上げられて排水孔26から排出され、ターゲット21の内部空間に残留する冷却水の量が減少する。風船部材28を膨らませて冷却水を排水させた後、ターゲット21を支持部材24から分離させ、ターゲット21の交換を行う。ターゲット21の内部空間に残留する冷却水の量は減少しており、ターゲット21を支持部材24から分離させるときに、ターゲット21と支持部材24との間から冷却水が漏れ出して、周囲の機器を浸水させるおそれがなく、メンテナンス性が向上する。なお、上述のスパッタ装置10では、風船部材28は排水孔26より下方に配置され、磁石部材23は風船部材28の上方に配置され、ターゲット21の外周面のうち上方を向いた部分がスパッタされるように構成されていたが、本発明はこの構成に限定されず、風船部材28は排水孔26より上方に配置され、磁石部材23は風船部材28の下方に配置され、ターゲット21の外周面のうち下方を向いた部分がスパッタされるように構成されていてもよいし、風船部材28と磁石部材23とは水平方向に並んで配置され、ターゲット21の外周面のうち水平方向に向いた部分がスパッタされるように構成されていてもよい。これらの別構成のスパッタ装置10では、風船部材28と磁石部材23とを真空槽11に対して中心軸線Lを中心に回転移動させる補助回転装置を有し、成膜工程後、メンテナンス工程の前に、風船部材28と磁石部材23とを中心軸線Lを中心に回転させて、風船部材28を排水孔26より下方に配置し、磁石部材23を風船部材28の上方に配置した状態で、メンテナンス工程を行う。