出力するレーザ光のスペクトル線幅を調節可能なレーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器に入射する前記レーザ光の光強度を調節可能な減衰部と、を備えるレーザ装置。前記減衰部は、レーザ光の入射位置に依存して透過率が変化する可変アッテネータと、前記レーザ光の入射位置が変化するように前記可変アッテネータを移動させる移動機構と、を含む、請求項1記載のレーザ装置。前記可変アッテネータは、回転ディスク形状であり、前記移動機構は、前記可変アッテネータを回転させることで前記レーザ光の入射位置を変化させる、請求項2記載のレーザ装置。前記可変アッテネータは、平板状であり、前記移動機構は、前記可変アッテネータをスライドさせることで前記レーザ光の入射位置を変化させる、請求項2記載のレーザ装置。前記減衰部は、入射角度に応じて透過率が変化する誘電体多層膜が形成された基板と、前記基板への前記レーザ光の入射角度を変化させる回転機構と、を含む、請求項1記載のレーザ装置。前記減衰部は、入射角度に応じて透過率が変化する誘電体多層膜が形成された第1基板と、前記第1基板への前記レーザ光の入射角度を変化させる第1回転機構と、入射角度に応じて透過率が変化する誘電体多層膜が形成された第2基板と、前記第1基板を透過した前記レーザ光が前記第2基板へ入射する角度を前記第1回転機構とは反対方向に変化させる第2回転機構と、を含む、請求項1記載のレーザ装置。前記スペクトル検出器に入射する前記レーザ光のピーク強度が所定のダイナミックレンジ内に収まるように、前記減衰部の減衰率を調節する制御部をさらに備える、請求項1記載のレーザ装置。前記制御部は、前記スペクトル検出器で検出されたスペクトルに基づいて前記減衰部の減衰率を調節する、請求項7記載のレーザ装置。前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光のパルスエネルギーを検出するエネルギー検出器をさらに有し、前記制御部は、前記エネルギー検出器で検出されたパルスエネルギーに基づいて前記減衰部の減衰率を調節する、請求項8記載のレーザ装置。前記レーザ発振器は、出力結合ミラーとグレーティングとを含んで構成された光共振器と、前記光共振器内を進行するレーザ光のビーム径を調節可能な倍率調節部と、前記光共振器内を進行するレーザ光の波面を調節可能な波面調節部と、を備え、前記制御部は、前記スペクトル検出器で検出されたスペクトルに基づいて前記倍率調節部および前記波面調節部の少なくとも一方を調節する、請求項7記載のレーザ装置。前記制御部は、目標とするスペクトル線幅を外部から入力し、該目標とするスペクトル線幅に応じて前記減衰部を調節する、請求項7記載のレーザ装置。前記スペクトル検出器は、エタロンを含む分光器である、請求項1記載のレーザ装置。前記スペクトル検出器は、グレーティングを含む分光器である、請求項1記載のレーザ装置。前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光を増幅する増幅装置と、前記増幅装置で増幅されたレーザ光を分岐するビームスプリッタと、をさらに備え、前記減衰部および前記スペクトル検出器は、前記ビームスプリッタで分岐されたレーザ光の光路上に配置される、請求項1記載のレーザ装置。