特に基板5をインプリント又はエンボス加工し、能動的ウェッジエラー補償を実行するためのウェッジエラー補償ヘッド2であって、静止部3と、該静止部に対して移動可能な可動部4と、前記静止部3と前記可動部4との間の少なくとも3つのリニアアクチュエータ8と、を備え、前記リニアアクチュエータ8と前記可動部4又は前記静止部3との間に、移動可能なウェッジ9が設けられている、ウェッジエラー補償ヘッド。前記ウェッジ9は、前記ウェッジエラー補償ヘッド2の前記可動部4又は前記静止部3に組み込まれている、請求項1に記載のウェッジエラー補償ヘッド。前記可動部4は、マスク6又は基板5と結合されることが可能である、請求項1または2に記載のウェッジエラー補償ヘッド。各リニアアクチュエータ8は圧電素子を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載のウェッジエラー補償ヘッド。前記ウェッジ9を個々に移動させるための空気圧又は油圧の手段を備える、請求項1~4のいずれか1項に記載のウェッジエラー補償ヘッド。各ウェッジ9の移動を個々に制御または管理するコントローラを備える、請求項1~5のいずれか1項に記載のウェッジエラー補償ヘッド。前記ウェッジエラー補償ヘッド2の前記可動部4の位置を測定するための少なくとも3つの測定プローブ15又は少なくとも3つのセンサ13を備える、請求項1~6のいずれか1項に記載のウェッジエラー補償ヘッド。前記ウェッジエラー補償ヘッド2の前記可動部4の位置をロックするための複数のブレーキ7を備える、請求項1~7のいずれか1項に記載のウェッジエラー補償ヘッド。請求項1~8のいずれか1項に記載のウェッジエラー補償ヘッド2によって基板5をインプリント又はエンボス加工するための装置。請求項1~8のいずれか1項に記載のウェッジエラー補償ヘッド2を使用することによってウェッジエラーを能動的に補償する方法であって、前記ウェッジ9により、ウェッジエラー補償の粗い調整を実行するステップaと、前記リニアアクチュエータ8により、ウェッジエラー補償の精密な調整を実行するステップbと、を備える方法。前記ステップaは、マスク6又は基板5と逆の方向へ前記ウェッジエラー補償ヘッド2を移動させるステップa1と、測定プローブ15又はセンサ13により前記ウェッジエラー補償ヘッド2の前記可動部4の位置を測定するステップa2と、場合により基板5又はマスク6を備えたウェッジエラー補償ヘッド2と、前記マスク6又は前記基板5との間の角度を、ブレーキ7を用いることによりロックするステップa3と、前記マスク6又は前記基板5から離れるように前記ウェッジエラー補償ヘッド2を移動させるステップa4と、前記リニアアクチュエータ8と前記ウェッジエラー補償ヘッド2の前記可動部4との間に前記ウェッジ9を位置付けるステップa5と、前記ウェッジエラー補償ヘッド2の前記可動部4を前記ウェッジ9に結合させ、前記リニアアクチュエータ8を前記ウェッジ9に接触させるステップa6と、前記ブレーキ7を解放するステップa7と、前記測定プローブ15又は前記センサ13により前記ウェッジエラー補償ヘッド2の前記可動部4の位置を確認し、これに応じて前記ウェッジ9を位置合わせするステップa8と、を含み、前記ステップbは、前記リニアアクチュエータ8と、ステップa2で測定された前記ウェッジエラー補償ヘッド2の前記可動部4の位置とによって、ウェッジエラーを能動的に補償するステップb1を含む、請求項10に記載の方法。図1は、能動的ウェッジエラー補償のための装置の断面図を示す。該装置は、基板5に構造をインプリントするのに適している。該装置は、本発明に係るウェッジエラー補償ヘッド2と、基板5に前記構造をインプリントするためのマスク又はパンチ6が固定されるホルダ1とを備える。ウェッジエラー補償ヘッド2は、可動部4と静止部3とを備える。可動部4と静止部3との間には圧縮ばね14が設けられている。油圧または空気圧の操作手段17を用いることにより、可動部4に固定されたピストン19が、静止部3に配設された前記手段17における負圧によって静止部3に向かって移動されるため、可動部4と静止部3とが互いに接近するように移動され得る。複数のブレーキ7によって、可動部4は静止部3に対してロックされ得る。取り扱われる基板5は、ウェッジエラー補償ヘッド2の自由表面に取り付けられる。ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4は、さらに、リニアアクチュエータ8を介してウェッジエラー補償ヘッド2の静止部3に連結されている。一端において、前記リニアアクチュエータは、ウェッジエラー補償ヘッド2の前記静止部に直結されている。リニアアクチュエータ8の他端には支持要素16が設けられている。この目的で設けられたチャンネルK内でウェッジwedge9が移動されることができ、これにより、一方においては、支持要素16とウェッジ9との接触が、他方においては、ウェッジ9と可動部4との接触が成し遂げられ得る。図1は2つのリニアアクチュエータ8を示す。好ましくは、ウェッジエラー補償ヘッド2は、インプリント方向Zに見られるように120°の方位角間隔で対称的に配置された3つのリニアアクチュエータ8を備える。さらに、リニアアクチュエータ8は、圧電素子を含むことが好ましい。全てのアクチュエータ8の同時の偏位により、マスク6に向けてウェッジエラー補償ヘッドの可動部4を基板5と共に押し込むインプリントストロークを生じさせる。マスク6に加えて、スペーサ18も、ホルダ1に取り付けられている。スペーサ18は、マスク6と基板5との間に差し込まれ得る。図1に係る装置は、測定プローブ15を更に備える。測定プローブ15は、ホルダ1の穴を通って測定ヘッド12に接続されている。測定ヘッド12は、測定プローブ15の移動または位置を検出し、対応する信号をコントローラ図示せずに供給する。前記測定プローブは、その自由端すなわち先端部により、ウェッジエラー補償ヘッドの可動部4の位置を検出するために該可動部4の表面に当接可能である。好ましくは、インプリント方向Zに対する方位において120°ずつオフセットされ、対応する測定ヘッド12を備えた少なくとも3つの測定プローブ15が、可動部4の位置を平面内において正確に測定できるようにするために用いられる。ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4に固定されたセンサピン11の移動または位置を検出するためのセンサ13が、ウェッジエラー補償ヘッド2の静止部3に設けられている。好ましくは、センサ13とセンサピン11とのペアが少なくとも3組使用され、これら3組のペアは、インプリント方向Zに対する方位において120°ずつオフセットされている。センサ13とセンサピン11とは、ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4の位置を測定するための更なる可能性を提供する。ウェッジエラー補償ヘッド2全体は、リフト手段20によりインプリント方向Zに移動され得る。例えば、基板5及び/又はマスク6を交換するためにリフト手段20によりウェッジエラー補償ヘッド2をホルダ1から遠く離れるように移動させることが必要である。図2は、ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4の位置を検出しているときのウェッジエラー補償装置の断面図を示す。後にウェッジエラーを補償できるようにするために、先ず、基準測定が実行されなければならない。基板5とマスク6との間の角度が最小であるとき、すなわち、これら2つの要素が最適に平行に並べられるときのウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4の位置が測定されなければならない。この目的のために、基板5とマスク6との間にスペーサ18が差し込まれてもよい。この場合、可動部4は、スペーサ18が基板5とマスク6との両方に接触するまで、マスク6の方向に移動される。測定プローブ15又はセンサ13によって基準測定が実行される。これに代えて、基準測定は、スペーサ18を用いることなく、マスク6と基板5とが直接接触することで実行されてもよい。図2は、基準測定の後に、ウェッジ9が可動部4と支持要素16との両方に接触する目的で、設けられたチャンネルK内でウェッジ9が移動された状態を示す。ウェッジ9は、圧搾空気用の連絡部10により空気圧で移動される。図3は、スペーサ18を除去した後の本発明に係る装置を示す。ウェッジエラーと、基板5を含めてシステムで使用される部品の許容誤差とは、ウェッジ9によってすでに粗く補償されている。ウェッジエラーは、リニアアクチュエータ8を用いることにより精密に補償される。粗い補償は既に実行されているため、精密な補償には、リニアアクチュエータ8の僅かな制御変位のみが必要となる。例えば、精密な補償には、リニアアクチュエータ8の最大限利用可能な制御変位の約10しか必要でない。したがって、リニアアクチュエータ8の最大制御変位の約90は、次のエンボス又はインプリントのストロークに利用することができる。以下、本発明に係るウェッジエラー補償の一連のステップの一例について説明する。ステップ1では、先ず、前記ウェッジが、該ウェッジの基本位置にあるかどうかが確認される。ウェッジが基本位置になければ、ウェッジは基本位置に移動される。基本位置は、図1に示すようにウェッジ9がリニアアクチュエータ8から遠く離れた外側の位置にあるときの位置である。ステップ2では、基板5又は可動部4がマスク6と平行に並べられるように、ウェッジエラー補償ヘッド2がマスク6と逆の方向へ移動される。ステップ3では、ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4の位置が測定される。この基準測定は、ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4をインプリント前の正確な位置に再調整できるようにするために必要である。ステップ4では、基板5又はウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4とマスク6との間の角度が、ブレーキを用いることによってロックされる。ステップ5では、ウェッジエラー補償ヘッド2がマスク6から離反するように移動する。ステップ6では、リニアアクチュエータ8とウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4との間でウェッジ9を移動させることにより、ウェッジ9が固定される。ステップ7では、ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4が、前記手段17のピストン19によりリニアアクチュエータ8上に引き込まれる。ステップ8では、ブレーキ7が解放される。そして、ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4の位置が、ウェッジ9の位置によって決定される。ステップ9では、ウェッジ9の位置が確認および改善され得る。ステップ10では、ウェッジエラーがリニアアクチュエータ8により能動的に精密に補償される。ステップ3で測定されたウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4の位置が基準位置として使用される。これにより、リニアアクチュエータ8を同期制御することによる前記のZ方向におけるインプリントストロークの準備が整う。以上では、静止ホルダ1を備えたマスク6と、可動部4上にある基板5とに基づいて、本発明が説明された。本発明に係る図1~図3に示される実施形態に代えて、マスク6は、ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4上に配置されてもよく、この場合、これに応じて、基板5はホルダ1に固定される。さらに、以上では、上記の粗いウェッジエラー補償をできるだけ正確に実行するために、ウェッジ9が能動的に移動され得ることを説明した。別の実施形態では、基準位置を測定し、ウェッジエラー補償ヘッド2の可動部4をロックした後のみ、前記移動可能なウェッジが、リニアアクチュエータ8とウェッジエラー補償ヘッドの一部との間を一度だけ移動される。ウェッジは、リニアアクチュエータ8と、ウェッジエラー補償ヘッドの対応部分とにすでに接触可能であるが、関連要素の位置に変化をもたらさない。別の実施形態において、ウェッジとリニアアクチュエータ8又はウェッジエラー補償ヘッドの対応部分とが接触しない程度にのみウェッジが移動される。このウェッジの制御変位は、例えば好適なセンサによりモニタされ得る。ウェッジが位置付けられた後、ブレーキが解放される。ウェッジの位置付けにより、ウェッジエラーはすでに粗く補償される。精密なウェッジエラー補償のために、リニアアクチュエータの僅かな制御変位のみが必要となる。別の実施形態において、圧縮ばね14に代えて伸張性のあるばねを用いることができる。この場合、伸張性のあるばねは可動部4と静止部3との間に配置される。この場合、可動部4と静止部3とは、油圧または空気圧の操作手段17を用いることによって、互いから離間するように移動されることができ、このことは、可動部4に固定されたピストン19が、静止部3に位置付けられた前記手段17における正圧により、静止部3から離反するように移動されることでなされる。