"始点から終点まで軌道に沿って搬送対象物を搬送する搬送装置であって、予め設定された設定軌道を用いて搬送制御するにあたり、目標となる始点及び終点が前記設定軌道の始点及び終点と位置ズレしている場合に前記設定軌道の始点及び終点が目標始点及び目標終点となるように前記設定軌道を補正する軌道補正部を具備し、前記軌道補正部は、始点又は終点のいずれか一方を基準端点とし、他方を非基準端点とした場合に前記基準端点を基準として前記非基準端点が目標点と一致するように前記設定軌道を補正する第一の補正処理と、この第一の補正処理後の始点又は終点のいずれか他方を基準端点とし、一方を非基準端点とした場合に前記基準端点を基準として前記非基準端点が目標点と一致するように前記第一の補正処理で得られる軌道を補正する第二の補正処理と、を実行するように構成されており、前記補正処理は、補正前の非基準端点と補正後の目標点とを結ぶ方向をズレ方向とし、補正前軌道上の基準端点から或る点までの距離のうちズレ方向成分の距離を補正前距離とし、補正後軌道上の点のうち前記或る点を通るズレ方向に沿った軸上に位置する点を対応点として補正後軌道上の基準端点から前記対応点までの距離のうちズレ方向成分の距離を補正後距離とした場合に、前記或る点が軌道上の所定の点のうちいずれにあっても補正前距離と補正後距離との比率が同一になるように、基準端点を基準として補正前距離をズレ方向に沿って拡大又は縮小することにより当該軌道を補正する処理であることを特徴とする搬送装置。前記予め設定された設定軌道は、始点及び終点を含む複数の点により構成されており、前記軌道補正部は、前記設定軌道を構成する各点を前記ズレ方向に沿って移動させることにより前記補正前距離を拡大又は縮小する請求項1に記載の搬送装置。複数のリンクを屈曲可能に接続した多関節ロボットアームからなる搬送機構を用いて前記搬送対象物を搬送する搬送装置であって、前記設定軌道は、多関節ロボットアームを構成する各リンクの角度により表されており、前記軌道補正部は、前記設定軌道を示す各リンクの角度を、前記補正前距離をズレ方向に沿って拡大又は縮小する方向に補正する請求項1又は2に記載の搬送装置。前記軌道補正部は、第一の補正処理において各リンクの角度を補正するための数式と、第二の補正処理において各リンクの角度を補正するための数式とを一体化した数式を用いて、第一の補正処理による中間軌道の生成を経ないように、各リンクの角度に対する第一及び第二の補正処理を一括して実行するように構成されている請求項3に記載の搬送装置。ところが、ロボットアーム自体の設定位置精度によって、搬送元や搬送先となる周辺機器に対するロボットアームの相対位置にバラツキが生じてしまい、オフラインで生成した設定軌道の始点及び終点の双方が所望の始点及び終点からズレてしまう。この場合、搬送には数ミリや数μメートルオーダの精度を必要とするので、軌道を修正する必要がある。ロボット自体の設置等を客先等で行う場合には、客先に別の機器を持ち込んでオフラインで軌道を生成し直すことは難しく、既存の設定軌道を動作時にリアルタイムで補正するのが好ましい。このような軌道のリアルタイム補正を実現する構成として、予め設定された設定軌道に沿った搬送動作の開始時及び終了時に補正動作を加えることが一つの有効な手段として考えられる。この具体的な一例として図9に示すように、破線で示すように目標始点S’から設定軌道Ptの始点Sまで移動する補正動作を行い、その後、実線で示すように設定軌道Ptの始点Sから終点Eまで搬送し、その後、破線で示すように設定軌道Ptの終点Eから目標終点E’まで移動する補正動作を行うことが挙げられる。しかしながら、このように、予め設定した最適な軌道Ptと独立して補正動作を加えた場合には、軌道の急激な変化によって設定軌道Ptが備えていた特性が損なわれてしまう。特に設定軌道が搬送時間短縮や振動抑制等を考慮して生成されている場合には、補正動作によってこれらの特性が失われる可能性があり、結果として搬送効率等の低下を招くことが考えられる。本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、予め設定された軌道の始点及び終点と、目標となる始点及び終点との間に位置ズレが生じた場合に、補正前の軌道の特性を損なうことなく、位置ズレに応じて設定軌道を補正する搬送装置を提供することである。本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。すなわち、本発明の搬送装置は、始点から終点まで軌道に沿って搬送対象物を搬送する搬送装置であって、予め設定された設定軌道を用いて搬送制御するにあたり、目標となる始点及び終点が前記設定軌道の始点及び終点と位置ズレしている場合に前記設定軌道の始点及び終点が目標始点及び目標終点となるように前記設定軌道を補正する軌道補正部を具備し、前記軌道補正部は、始点又は終点のいずれか一方を基準端点とし、他方を非基準端点とした場合に前記基準端点を基準として前記非基準端点が目標点と一致するように前記設定軌道を補正する第一の補正処理と、この第一の補正処理後の始点又は終点のいずれか他方を基準端点とし、一方を非基準端点とした場合に前記基準端点を基準として前記非基準端点が目標点と一致するように前記第一の補正処理で得られる軌道を補正する第二の補正処理と、を実行するように構成されており、前記補正処理は、補正前の非基準端点と補正後の目標点とを結ぶ方向をズレ方向とし、補正前軌道上の基準端点から或る点までの距離のうちズレ方向成分の距離を補正前距離とし、補正後軌道上の点のうち前記或る点を通るズレ方向に沿った軸上に位置する点を対応点として補正後軌道上の基準端点から前記対応点までの距離のうちズレ方向成分の距離を補正後距離とした場合に、前記或る点が軌道上の所定の点のうちいずれにあっても補正前距離と補正後距離との比率が同一になるように、基準端点を基準として補正前距離をズレ方向に沿って拡大又は縮小することにより当該軌道を補正する処理であることを特徴とする。所定の点とは、搬送軌道を構成する点であればよいという程度の意味であり、例えば、搬送軌道を連続的に表現するものや離散的に表現するものが挙げられる。この構成によれば、補正処理において、軌道上の所定の点のうちいずれであっても補正前距離と補正後距離との比率が同一となるように、基準端点を基準として補正前距離をズレ方向に沿って拡大又は縮小することにより軌道を補正するので、補正前の軌道の形状をほぼ維持したまま軌道が徐々に補正される。そして、この補正方法を利用して、始点又は終点のいずれか一方を基準として他方が目標点と一致するように軌道を補正する第一の補正処理と、始点又は終点のいずれか他方を基準として一方が目標点と一致するように第一の補正処理で得られた軌道を補正する第二の補正処理とを実行するので、設定軌道の形状をほぼ維持したまま目標始点から目標終点に至るまで軌道全体が徐々に補正され、搬送開始時及び終了時に補正搬送動作を行う等の急激な軌道変化によって補正前の軌道の特性を損なうことなく、始点及び終点の双方の位置ズレを補正することができる。搬送軌道の補正を簡易な演算で実現するためには、前記予め設定された設定軌道は、始点及び終点を含む複数の点により構成されており、前記軌道補正部は、前記設定軌道を構成する各点を前記ズレ方向に沿って移動させることにより前記補正前距離を拡大又は縮小することが好ましい。搬送軌道が各リンクの角度から表されるような複雑な搬送機構であっても簡易な処理で軌道を補正するためには、複数のリンクを屈曲可能に接続した多関節ロボットアームからなる搬送機構を用いて前記搬送対象物を搬送する搬送装置であって、前記設定軌道は、多関節ロボットアームを構成する各リンクの角度により表されており、前記軌道補正部は、前記設定軌道を示す各リンクの角度を、前記補正前距離をズレ方向に沿って拡大又は縮小する方向に補正することが望ましい。軌道補正に要する演算回数を低減させるためには、前記軌道補正部は、第一の補正処理において各リンクの角度を補正するための数式と、第二の補正処理において各リンクの角度を補正するための数式とを一体化した数式を用いて、第一の補正処理による中間軌道の生成を経ないように、各リンクの角度に対する第一及び第二の補正処理を一括して実行するように構成されていることが効果的である。本発明は、以上の構成によれば、設定軌道の形状をほぼ維持したまま目標始点から目標終点に至るまで軌道全体が徐々に補正されるので、搬送開始時や終了時に補正動作を行う等の急激な軌道変化によって補正前軌道の特性を損なうことなく、位置ズレを補正することが可能となる。しかも、補正前軌道の特性をほぼ維持できるので、補正前の搬送軌道が搬送時間短縮や振動抑制等の特性を有する場合に、搬送効率を向上させることが可能となる。以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。本実施形態の搬送装置1は、図1に示すように、半導体ウェハ等の搬送対象物Wを搬送するロボットアーム等の搬送機構2と、この搬送機構2を駆動して搬送対象物Wの搬送制御を行う搬送制御手段3とを有している。搬送機構2は、図2に示すように、複数のリンク2122を屈折可能に直列接続した、いわゆる多関節ロボットアームであり、ロボットアームの先端に設定された保持部22bに搬送対象物Wを載置した状態で各関節にある図示しないモータの駆動により各々のリンク間の角度θTθRを変更して搬送対象物Wを所望の位置に搬送するものである。本実施形態の搬送機構2は、ベース20に基端21aが接続された第1のリンク21と、第1のリンク21の先端21bに基端22aが接続され先端に搬送対象物Wを保持するための保持部22bが設定された第2のリンク22とを備え、各リンク2122はそれぞれ水平方向に回転可能に接続されて二リンク式ロボットアームとも呼ばれる二軸水平多関節ロボットを構成している。各リンク2122の長さはそれぞれL1、L2に設定してある。勿論、リンクを3つ以上設けてロボットアーム等を構成してもよい。図1に示すように、搬送制御手段3は、CPU、ROMやRAM等のメモリ、各種インターフェイス等を備えた通常のマイクロコンピュータにより構成されるもので、CPUが、メモリに予め記憶されている図示しない搬送制御処理ルーチンや図7及び図8に示す軌道補正処理ルーチン等を実行することにより、ソフトウェア及びハードウェアが協働して、軌道補正部33と、搬送制御部34とを実現する。また、図1に示すように、搬送制御手段3は、軌道データ31を予めメモリに記憶しているとともに、目標となるべき始点S’及び終点E’の位置に関する目標位置情報32を教示データとして外部から受け付け、受け付けた目標位置情報32をメモリに記憶可能に構成されている。なお、目標位置情報32のうち目標始点S’は現在のロボットアームの位置角度から取得するように構成してもよい。また、目標終点E’は軌道データ31の終点Eの近くの任意の位置としてもよい。図1に示すようにメモリに予め設定記憶されている軌道データ31は、図3に模式的に示すように、搬送対象物Wの中心が通る設定軌道Ptを表すもので、この設定軌道Ptを時間間隔Tsサンプリング周期などでn-1等分し、始点S及び終点Eを含む複数の点Pii=1~n、nは自然数で設定軌道Ptを表現する離散データである。各々の点PiのXY座標Xi,Yiは、以下の数式1及び2を用いて搬送機構2を構成する各リンク2122の角度θTiθRiで表現されている。Xi=L1cosθTiL2cosθTiθRi...数式1Yi=L1sinθTiL2sinθTiθRi...数式2図1の搬送制御部34は、図3に示すように、設定軌道Ptに沿って搬送対象物Wが搬送されるように搬送機構2の駆動を制御するものであり、具体的には、各リンク2122の角度θTθR図2参照が設定軌道Ptを構成する点P1~nの示すリンクの角度になるように各リンク2122を回転駆動し、この回転駆動を始点Sから終点Eまで点Pi毎に順次実行することで搬送軌道Ptに沿った搬送制御を行うものである。図1の軌道補正部33は、図1に示す目標位置情報32の表す目標となる始点S’及び終点E’が、図5及び図6に示すように、設定軌道Ptの始点S及び終点Eと位置ズレしている場合に設定軌道Ptの始点S及び終点Eが目標始点S’及び目標終点E’となるように設定軌道Ptを補正する。設定軌道Ptの補正は、第一の補正処理及び第二の補正処理を実行することで行う。第一の補正処理は、図5に示すように、始点又は終点のいずれか一方を基準端点とし、他方を非基準端点とした場合に基準端点を基準として非基準端点が目標点と一致するように設定軌道Ptを中間軌道Pt’に補正する処理である。第二の補正処理は、図6に示すように、第一の補正処理後の始点又は終点のいずれか他方を基準端点とし、一方を非基準端点とした場合に基準端点を基準として非基準端点が目標点と一致するように第一の補正処理で得られる中間軌道Pt’を補正軌道Pt’’に補正する処理である。これら補正処理について下記で具体例を挙げて説明する。下記の具体例では、図5に示すように、終点Eを基準端点とし、始点Sを非基準端点として第一の補正処理を実行するとともに、図6に示すように、第一の補正処理後の始点S’を基準端点とし、終点Eを非基準端点として第二の補正処理を実行している。すなわち、搬送制御手段3は、図5及び図7に示すように、ステップSP1においてメモリに記憶されている複数の設定軌道のうち搬送制御に用いる設定軌道Ptを選択する。次のステップSP2において搬送制御手段3は、選択した設定軌道Ptの始点S及び終点EのXY座標を、上記数式1及び2を用いて各リンクの角度θTθRから算出する。次のステップSP3において設定軌道Ptの始点Sと目標となる始点S’との位置ズレが所定範囲内であるか否かを判定するとともに、次のステップSP4において設定軌道Ptの終点Eと目標となる終点E’との位置ズレが所定範囲内であるか否かを判定する。ステップSP3又はステップSP4のいずれかで位置ズレが所定範囲内でないと判定された場合SP3:NO又はSP4:NOには、図8に示すように、ステップSP5において軌道補正で対応できないとしてエラーを報知し、軌道補正処理を終了する。一方、図7に示すステップSP3及びステップSP4の両方で位置ズレが所定範囲内であると判定され、軌道補正で対応可能な場合には、搬送制御手段3は、図5及び図7に示すように、軌道Ptの始点Sが目標始点S’になるように設定軌道Ptを中間軌道Pt’に補正する処理とも言える第一の補正処理を実行するステップSP6~ステップSP9。本実施形態では、設定軌道Ptを表す各リンクの角度θTθRを補正するものであるが、理解し易いようにXY座標系で説明し、その後角度で説明する。まず、搬送制御手段3は、図5及び図7に示すように、ステップSP6において、補正前の始点S非基準端点と補正後の目標始点S’目標点を結ぶ方向をズレ方向G1とし、補正前軌道Pt上の終点E基準端点から始点S或る点までの距離のうちズレ方向成分の距離を補正前距離d11とし、補正後軌道Pt’上の点のうち上記始点S或る点を通るズレ方向G1に沿った軸上に位置する目標始点S’を対応点として補正後軌道Pt’上の終点E基準端点から目標始点S’対応点までの距離のうちズレ方向成分の距離を補正後距離d21として、補正前距離d11に対する補正後距離d21の割合d21/d11を算出する。次に、搬送制御手段3は、図5及び図7に示すように、軌道Ptを構成する各点P1~N毎に以下のステップSP7~SP9を順次行う。ステップSP7において補正前軌道Pt上の終点E基準端点から点Pi或る点までの距離のうちズレ方向成分の補正前距離d1iを算出する。次のステップSP8において補正前距離d1iに上記割合d21/d11を乗じて補正後距離d2iを算出する。次のステップSP9において補正前軌道Pt上の終点E基準端点から点Pi或る点までの距離のうちズレ方向成分の距離が補正後距離d2iとなるように点Piをズレ方向G1に沿って移動させて点P’iとする。以上のステップSP7~ステップSP9を点P1~N毎に順次行うと、図5に示すように、補正後の軌道Pt’を構成する点P’1~Nのうちいずれの箇所でも補正前距離d1iと補正後距離d2iとの比率が同一のまま、軌道Ptが中間軌道Pt’に補正される。第一の補正処理の実行が終わると、搬送制御手段3は、図6及び図8に示すように、第一の補正処理で得られた中間軌道Pt’を、軌道の終点Eが目標終点E’になるように補正する処理とも言える第二の補正処理を実行するステップSP10~ステップSP13。まず、搬送制御手段3は、図6及び図8に示すように、ステップSP10において、補正前の終点E非基準端点と補正後の目標終点E’を結ぶ方向をズレ方向G2とし、補正前軌道Pt’上の始点S’基準端点から終点E或る点までの距離のうちズレ方向成分の距離を補正前距離d3nとし、補正後軌道Pt’’上の点のうち上記終点E或る点を通るズレ方向G2に沿った軸上に位置する目標終点E’を対応点として補正後軌道Pt’’上の始点S’基準端点から目標終点E’対応点までの距離のうちズレ方向成分の距離を補正後距離d4nとして、補正前距離d3nに対する補正後距離d4nの割合d4n/d3nを算出する。次に、搬送制御手段3は、中間軌道Pt’を構成する各点P’1~N毎に以下のステップSP11~SP13を順次行う。ステップ11において補正前軌道Pt’上の始点S’基準端点から点P’i或る点までの距離のうちズレ方向成分の補正前距離d3iを算出する。次のステップSP12において補正前距離d3iに上記割合d4n/d3nを乗じて補正後距離d4iを算出する。次のステップSP13において補正前軌道Pt’上の始点S’基準端点から点P’i或る点までの距離のうちズレ方向成分の距離が補正後距離d4iとなるように点P’iをズレ方向G2に沿って移動させて点P’’iとする。以上のステップSP11~SP13を点P’1~N毎に順次行うと、図6に示すように、補正後の軌道Pt’’を構成する点P’’1~Nのうちいずれの箇所でも補正前距離d3iと補正後距離d4iとの比率が同一のまま、中間軌道Pt’が補正軌道Pt’’に補正される。上記の補正処理をXY座標系ではなく、各リンク2122の角度θTθRで行う場合を説明する。まず、目標位置情報32で表現される目標始点S’及び目標終点E’のXY座標を、以下の数式3及び4を用いて目標始点S’を示す角度θs={θ’T1,θ’R1}、目標終点E’を示すθe={θ’’Tn,θ’’Rn}に変換する図5及び図6参照。次に、上記で求めた目標始点S’を示す角度θsを用いて、関節毎θT,θRに第一の補正処理を実行する。すなわち、図5及び図7に示すように、上記ステップSP6に対応する処理として、上記補正前距離d11に対応するθ1-θn、上記補正後距離d21に対応するθs-θnを算出して、上記割合d21/d11に対応する割合βs=θs-θn/θ1-θnを算出する。なお、上記XY座標系でいうズレ方向G1は、角度θではその増減方向として表される。そして、図5及び図7に示すように、上記ステップSP7~SP9に対応する処理として、上記割合βs及び下記数式5を用いて軌道Ptを構成する各点P1~N毎に、補正前の各リンクの角度θTi,θRiを補正後の角度θ’Ti,θ’Riに変換する処理を順次行う。θ’i=βsθi-θnθn...数式5このように、前記処理を点P1~N毎に順次行うと、その結果、第一の補正処理による補正後の中間軌道Pt’を構成するP’1~Nのうちいずれの箇所でも補正前距離d11に対応するθ1-θnと補正後距離d21に対応するθs-θnの比率割合βsが同一のまま、設定軌道Ptが中間軌道Pt’に補正される。続けて、上記で求めた目標終点E’を示す角度θeを用いて、関節毎θT,θRに第二の補正処理を実行する。すなわち、図6及び図8に示すように、上記ステップSP10に対応する処理として、上記補正前距離d3nに対応するθ’n-θ’1、上記補正後距離d4nに対応するθe-θ’1を算出して、上記割合d4n/d3nに対応する割合βe=θe-θ’1/θ’n-θ’1を算出する。なお、上記XY座標系でいうズレ方向G2は、角度θではその増減方向として表される。そして、図6及び図8に示すように、上記ステップSP11~SP13に対応する処理として、上記割合βe及び下記数式6を用いて軌道Pt’を構成する各点P’1~N毎に、補正前の各リンクの角度θ’Ti,θ’Riを補正後の角度θ’’Ti,θ’’Riに変換する処理を順次行う。θ’’i=βeθ’i-θ’1θ’1...数式6このように、前記処理を点P’1~N毎に順次行うと、その結果、第二の補正処理による補正後の軌道Pt’’を構成するP’’1~Nのうちいずれの箇所でも補正前距離d3nに対応するθ’n-θ’1と補正後距離d4nに対応するθe-θ’1の比率割合βeが同一のまま、中間軌道Pt’が補正軌道Pt’’に補正される。ここで、補正前の軌道Ptと補正後の軌道Pt’’の速度比について検討すると、補正前の速度viは近似的に、θi-θi-1/Ts補正後の速度v’’iは近似的に、θ’’i-θ’’i-1/Ts=βeβsθi-θi-1/TsTsは、i時点とi-1時点との時間間隔=サンプリング周期で表され、補正前と補正後の速度は各々の時点に関してβeβs倍の変化しか生じないことが分かり、加速度も同様にβeβs倍となる。一般的に位置ズレ量は軌道全体の移動変位に対して十分に小さいため、βeやβsは1に近い値となり、補正前の軌道Ptは、その特性を維持したまま補正後の軌道Pt’’に修正されることになる。しかも、補正前の始点Sや終点Eで搬送動作を一旦止めることなく目標始点S’から補正後の目標終点E’まで円滑な搬送も可能となる。以上のように本実施形態に係る搬送装置は、始点Sから終点Eまで軌道Ptに沿って搬送対象物Wを搬送する搬送装置であって、予め設定された設定軌道Ptを用いて搬送制御するにあたり、目標となる始点S’及び終点E’が設定軌道Ptの始点S及び終点Eと位置ズレしている場合に設定軌道Ptの始点S及び終点Eが目標始点S’及び目標終点E’となるように設定軌道Ptを補正する軌道補正部33を具備し、軌道補正部33は、終点Eを基準端点とし、始点Sを非基準端点とした場合に基準端点たる終点Eを基準として非基準端点たる始点Sが目標点S’と一致するように設定軌道Ptを補正する第一の補正処理と、この第一の補正処理後の始点S’を基準端点とし、終点Eを非基準端点とした場合に基準端点たる始点S’を基準として非基準端点たる終点Eが目標点E’と一致するように第一の補正処理で得られる軌道Pt’を補正する第二の補正処理と、を実行するように構成されており、補正処理は、補正前の非基準端点SEと補正後の目標点S’E’とを結ぶ方向をズレ方向G1G2とし、補正前軌道PtPt’上の基準端点ES’から或る点PiP’iまでの距離のうちズレ方向成分の距離を補正前距離d1id3iとし、補正後軌道Pt’Pt’’上の点のうち或る点PiP’iを通るズレ方向G1G2に沿った軸上に位置する点P’iP’’iを対応点として補正後軌道Pt’Pt’’上の基準端点ES’から対応点P’iP’’iまでの距離のうちズレ方向成分の距離を補正後距離d2id4iとした場合に、或る点PiP’iが軌道上の所定の点のうちいずれにあっても補正前距離d1id3iと補正後距離d2id4iとの比率が同一になるように、基準端点ES’を基準として補正前距離d1id3iをズレ方向G1G2に沿って拡大又は縮小することにより軌道PtPt’を補正する処理である。この構成によれば、補正処理において、軌道上の所定の点のうちいずれであっても補正前距離d1id3iと補正後距離d2id4iとの比率が同一となるように、基準端点ES’を基準として補正前距離d1id3iをズレ方向G1G2に沿って拡大又は縮小することにより軌道PtPt’を補正するので、補正前の軌道PtPt’の形状をほぼ維持したまま軌道PtPt’が徐々に補正される。そして、この補正方法を利用して、終点Eを基準として始点Sが目標点S’と一致するように軌道Ptを補正する第一の補正処理と、第一の補正処理後の始点S’を基準として終点Eが目標点E’と一致するように第一の補正処理で得られた軌道Pt’を補正する第二の補正処理とを実行するので、設定軌道Ptの形状をほぼ維持したまま目標始点S’から目標終点E’に至るまで軌道Pt全体が徐々に補正され、搬送開始時及び終了時に補正搬送動作を行う等の急激な軌道変化によって補正前の軌道の特性を損なうことなく、始点及び終点の双方の位置ズレを補正することができる。さらに、本実施形態では、予め設定された搬送軌道Ptは、始点S及び終点Eを含む複数の点P1~Nにより構成されており、軌道補正部33は、搬送軌道Ptを構成する各点P1~Nをズレ方向G1G2に沿って移動させることにより補正前距離d1id3iの拡大又は縮小を行うので、搬送軌道Ptの補正を簡易な演算で実現することが可能となる。さらにまた、本実施形態では、複数のリンク2122を屈折可能に接続した多関節ロボットアームからなる搬送機構2を用いて搬送対象物Wを搬送するにあたり、搬送軌道Ptは、多関節ロボットアームを構成する各リンク2122の角度θTiθRiにより表されており、軌道補正部33は、設定軌道Ptを示す各リンクの角度θTiθRiを、補正前距離d1id3iをズレ方向G1G2に沿って拡大又は縮小する方向に補正するので、設定軌道Ptが各リンク2122の角度θTiθRiにより表されるような複雑な搬送機構であっても簡易な処理で軌道を補正することが可能となる。以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。例えば、本実施形態では、第一の補正処理の実行により中間軌道Pt’を生成した後、中間軌道Pt’に対して第二の補正処理を実行して軌道Pt’’を得ている。これに対し、上記数式6に数式5を代入して式変形を行うと、次の数式7が得られる。θ’’i={θs-θe/θ1-θn}×θi-θnθe...数式7この数式7を用いると、補正前の設定軌道Ptを表す角度θi、目標始点S’を表す角度θs、目標終点E’を表す角度θeに基づき補正後の軌道Pt’’を表す角度θ’’iを求めることができる。すなわち、第一の補正処理と第二の補正処理とを一括で実行することが可能となる。このように、第一の補正処理において各リンク2122の角度θTiθRiを補正するための数式5と、第二の補正処理において各リンク2122の角度θTiθRiを補正するための数式6とを一体化した数式7を用いて、第一の補正処理による中間軌道Pt’の生成を経ないように、各リンク2122の角度θTiθRiに対する第一及び第二の補正処理を一括して実行するように構成すると、各リンク2122の角度θTiθRiに対して第一の補正処理を実行して中間軌道Pt’を生成し、この第一の補正処理後の中間軌道Pt’に対して第二の補正処理を実行するように双方の補正処理を順次行う場合に比べて演算回数を減らすことができ、搬送装置に搭載する演算器を廉価なものにして製造コストを低減させることが可能となる。さらに、上記に述べた軌道補正は、複数のリンクを回転可能に直列接続したロボットアーム式の搬送機構2を用いて平面上を搬送する搬送装置に適用しているが、これ以外の搬送機構2を用いた搬送装置にも適用可能である。例えば、複数のリンクを並列接続したパラレルマニピュレータや空間上三次元を移動する多自由度型や、円筒座標型等の搬送装置が挙げられる。さらにまた、本実施形態では、ウェハ等の搬送対象物Wを先端リンク22エンドエフェクタに載置することで搬送対象物Wを保持するように構成しているが、真空吸着やメカチャック等で搬送対象物Wを保持するように構成してもよい。また、図1に示す各機能部は、所定プログラムをプロセッサで実行することにより実現しているが、各機能部を専用回路で構成してもよい。さらにまた、本実施形態では、目標位置情報32を外部のティーチングペンダント教示装置や上位システム、支援ツールからの通信により設定可能に構成しているが、別途に設けた各種センサを用いて目標とすべき始点S’及び終点E’を搬送動作開始時若しくは搬送動作中に認識し、設定軌道Ptの始点及び終点との位置ズレを検出する位置ズレ検出手段を設け、この位置ズレ検出手段により目標位置情報32を設定するように構成してもよい。その他、本実施形態では、終点Eを基準端点とし、始点Sを非基準端点として第一の補正処理を実行するとともに、第一の補正処理後の始点S’を基準端点とし、終点Eを非基準端点として第二の補正処理を実行しているが、この関係は逆であってもよい。すなわち、始点Sを基準端点とし、終点Eを非基準端点として第一の補正処理を実行するとともに、第一の補正処理後の終点E’を基準端点とし、始点Sを非基準端点として第二の補正処理を実行してもよい。各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。"