"a機枠上に左右方向に設けられた案内レール上を左右方向に往復移動できるように設けられたワークテーブル、b噴出口を多数設けたクーラント液供給管1対を前記ワークテーブルの前後の機枠に取り付けたワーク表面クーラント液供給機構、cコラムに上下昇降可能に取り付けた砥石軸に軸承されたダイヤモンド砥石車、d前記ダイヤモンド砥石車の近傍に設けられ、ダイヤモンド砥石車とワークとが接する加工点に研削液を供給する研削液供給ノズル、を備える研削装置を用い、前記ワークテーブル上にワークを固定し、ワークテーブルを左右方向に往復反転移動させ前記一対のワーク表面クーラント液供給機構よりクーラント液を前記ワーク表面に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させるとともに、前記研削液供給ノズルより前記ダイヤモンド砥石車に向けて研削液を供給し、回転する前記ダイヤモンド砥石車を下降させて前記左右方向に往復反転移動するワークテーブル上に固定されたワーク表面に当接させてワーク表面の研削加工を開始し、前記ワークとダイヤモンド砥石車の相対的な動きによりダイヤモンド砥石車でワーク表面を研削加工する長尺状ワークピースの研削方法において、長尺状ワークピースの研削ステージを取り代量1.5~15μmの粗研削ステージと取り代量0.05~1.0μmの仕上げ研削ステージとに分け、粗研削ステージでは砥番800~1,500番のダイヤモンド砥石車を用い、ダイヤモンド砥石車の周速度を150~380m/分として平面研削加工を行い、仕上げ研削ステージでは砥番2,000~3,000番のダイヤモンド砥石車を用い、ダイヤモンド砥石車の周速度を20~40m/分として平面仕上げ研削加工を行うことを特徴とする、長尺状ワークピースの研削方法。上記特許文献4記載の平面研削方法は、研削加工中において、常時、ワークテーブル表面全域にクーラント液膜が形成され、ワークテーブルの温度を一定に保つことができるので、反りの小さい、ワークの前後方向の真直度が0.3μm、ワークの左右方向の真直度が0.6μmの研削加工ワークを得ることができた。本願発明者は、真直度の値が0.1μm前後とさらに小さい加工ワークを得るには、最終研削ステージにおいて、砥番が2,000~3,000番と砥粒径が小さいダイヤモンド砥石車を用い、ダイヤモンド砥石車の周速度を20~40m/分程度に小さくすれば可能であると想到した。本発明の請求項1は、a機枠上に左右方向に設けられた案内レール上を左右方向に往復移動できるように設けられたワークテーブル、b噴出口を多数設けたクーラント液供給管1対を前記ワークテーブルの前後の機枠に取り付けたワーク表面クーラント液供給機構、cコラムに上下昇降可能に取り付けた砥石軸に軸承されたダイヤモンド砥石車、d前記ダイヤモンド砥石車の近傍に設けられ、ダイヤモンド砥石車とワークとが接する加工点に研削液を供給する研削液供給ノズル、を備える研削装置を用い、前記ワークテーブル上にワークを固定し、ワークテーブルを左右方向に往復反転移動させ前記一対のワーク表面クーラント液供給機構よりクーラント液を前記ワーク表面に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させるとともに、前記研削液供給ノズルより前記ダイヤモンド砥石車に向けて研削液を供給し、回転する前記ダイヤモンド砥石車を下降させて前記左右方向に往復反転移動するワークテーブル上に固定されたワーク表面に当接させてワーク表面の研削加工を開始し、前記ワークとダイヤモンド砥石車の相対的な動きによりダイヤモンド砥石車でワーク表面を研削加工する長尺状ワークピースの研削方法において、長尺状ワークピースの研削ステージを取り代量1.5~15μmの粗研削ステージと取り代量0.05~1.0μmの仕上げ研削ステージとに分け、粗研削ステージでは砥番800~1,500番のダイヤモンド砥石車を用い、ダイヤモンド砥石車の周速度を150~380m/分として平面研削加工を行い、仕上げ研削ステージでは砥番2,000~3,000番のダイヤモンド砥石車を用い、ダイヤモンド砥石車の周速度を20~40m/分として平面仕上げ研削加工を行うことを特徴とする、長尺状ワークピースの研削方法を提供するものである。研削加工中において、常時、ワークテーブル表面全域にクーラント液膜が形成され、ワークテーブルの温度を一定に保つことができるので、反りの小さい、真直度のバラツキが小さい研削加工ワークを製作することができる。また、仕上げ研削ステージでの砥石車の回転周速度を粗研削ステージの砥石車の周速度150~380m/分の約1/10~1/15程度の低速で行うのでRxが0.01μm前後、Ryが0.09~0.12μmの鏡面を有する加工ワークを得ることができた。本発明を実施する研削装置は、研削装置が噴出口を多数設けたクーラント液供給管1対20a,20bを前記ワークテーブルの前後の機枠に取り付けたワーク表面クーラント液供給機構20を備える点を除いては、前記特許文献1、特許文献2、特許文献3記載および既知のコラム式、サドル式、門型の平面研削装置100が使用できる。砥石車3としては、粗研削ステージでは砥番800~1,500番のダイヤモンド砥石車を用い、ダイヤモンド砥石車の周速度を150~380m/分として平面研削加工を行う。仕上げ研削ステージでは砥番2,000~3,000番のダイヤモンド砥石車を用い、ダイヤモンド砥石車の周速度を20~40m/分として平面仕上げ研削加工を行う。図1において、ワーク表面クーラント液供給機構20は、孔径2~5mmの噴出口20dを30cm間隔に多数設けた口径8~15mmのクーラント液供給管一対20a,20bを前記ワークテーブル4の前後の機枠2に取り付けており、クーラント液供給管20a,20bの長さは、ワークテーブル4の左右移動幅より10~20cm若干長い長さとなっている。前記クーラント液供給管一対20a,20bの先端は分岐管20cに結合され、この分岐管にクーラント液タンクからポンプでクーラント液が供給され、噴出口20dより噴流20eがワークwおよび電磁チャック13上面および側面に供給される。この噴出口20dのクーラント液供給管上での穿孔位置は、噴出口より10~250リットル/分の割合で噴流されるクーラント液がワークテーブル4上の電磁チャック13表面に届くように設けられ、供給されたクーラント液がワークテーブル4の左右移動により電磁チャック13上表面全域に亘って液膜を形成するとともに、ワークテーブル4上にも垂下、もしくはワークテーブル4にもクーラント液の噴流20eがかかって電磁チャック13を冷却する。更に、ワークテーブル4をも冷却する。ダイヤモンド砥石車3の近傍には、ダイヤモンド砥石車3とワークwとが接する加工点に研削液を供給する研削液供給ノズル11が設けられ、研削液クーラント液が2~30リットル/分の割合で供給される。クーラント液、研削液はそれぞれ別のクーラント液タンクに貯蔵され、それらの保管温度は、コラム9やワークテーブル4、電磁チャックを冷却するクーラント液と略同一温度に保たてられる。実施例1コラム型超精密平面研削盤UPG12000商品名のワークテーブル4の前後の機枠6に、孔径4mmの噴出口を30cm間隔に多数設けた口径12mm、長さ12050mmのクーラント液供給管一対20a,20bを取り付け、これらクーラント液供給管の一方の端を分岐管に連結し、分岐管の先をクーラント液タンクに臨ませ、ポンプによりクーラント液を分岐管に供給できる構造とした。研削砥石3として、砥石径300mm、砥石幅50mmの砥番1,000の粗研削ダイヤモンド砥石車または砥番2,000の仕上げ研削ダイヤモンド砥石車を用い、前後幅150mm、左右長さ2500mm、高さ40mm寸法のワークwをワークテーブル4上の電磁チャック13を介して固定した。前記ワークテーブル4を9m/分の速度で左右方向に往復反転移動させ、前記一対のワーク表面クーラント液供給機構20よりクーラント液を1つの噴出孔より40リットル/分の割合で前記磁気チャック上に固定されるワーク表面上に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させるとともに、前記研削液供給ノズル11より前記砥番1,000の砥石車3に向けて10リットル/分量の研削液を供給した。370m/分の周速度vで回転する前記砥石車3を0.5μmの切り込み量で下降させて左右方向に9m/分テーブル速度で往復反転移動、前後送り速度10mm/分で前後移動するワークテーブル4上の磁気チャックに固定された前記ワーク表面に砥石車3を当接させてワーク表面の研削加工を開始した。前記ワークwと砥石車3の相対的な動き前後、左右、上下により砥石車3でワーク表面を粗研削加工し、15.0μm総取り代量削り取り、ワークの前後方向の真直度が0.3μm、ワークの左右方向の真直度が0.6μmの粗研削加工ワークを得た。ついで、砥石車を砥番2,000の仕上げ研削ダイヤモンド砥石車に取り替え、上記粗研削加工ワークの研削加工条件を、砥石車の切り込み量0.1μm、総取り代量0.5μm、仕上げ研削ダイヤモンド砥石車の周速度v34m/分、ワークテーブル4の左右方向移動テーブル速度6m/分、ワークテーブル4の前後送り速度0.4mm/分と変更する他は同様にして仕上げ研削加工を行い、Rxが0.098~0.10μm、Ryが0.12~0.16μmの鏡面を呈する仕上げ研削加工ワークを得た。実施例2コラム型超精密平面研削盤UPG12000商品名のワークテーブル4の前後の機枠6に、孔径4mmの噴出口を30cm間隔に多数設けた口径12mm、長さ12050mmのクーラント液供給管一対20a,20bを取り付け、これらクーラント液供給管の一方の端を分岐管に連結し、分岐管の先をクーラント液タンクに臨ませ、ポンプによりクーラント液を分岐管に供給できる構造とした。研削砥石3として、砥石径300mm、砥石幅50mmの砥番1,000の粗研削ダイヤモンド砥石車、砥番1,500の中仕上げ研削ダイヤモンド砥石車、または、砥番3,000の仕上げ研削ダイヤモンド砥石車を用い、前後幅150mm、左右長さ2500mm、高さ40mm寸法のワークwをワークテーブル4上の電磁チャック13を介して固定した。前記ワークテーブル4を9m/分の速度で左右方向に往復反転移動させ、前記一対のワーク表面クーラント液供給機構20よりクーラント液を1つの噴出孔より40リットル/分の割合で前記磁気チャック上に固定されたワーク表面上に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させるとともに、前記研削液供給ノズル11より前記砥番1,000の砥石車3に向けて10リットル/分量の研削液を供給した。370m/分の周速度vで回転する前記砥石車3を1.0μmの切り込み量で下降させて左右方向に9m/分テーブル速度で往復反転移動、前後送り速度10mm/分で前後移動するワークテーブル4上の磁気チャックに固定された前記ワーク表面に砥石車3を当接させてワーク表面の研削加工を開始した。前記ワークwと砥石車3の相対的な動き前後、左右、上下により砥石車3でワーク表面を粗研削加工し、12.0μm総取り代量削り取り、ワークの前後方向の真直度が0.36μm、ワークの左右方向の真直度が0.68μmの粗研削加工ワークを得た。ついで、砥石車を砥番1,500の中仕上げ研削ダイヤモンド砥石車に取り替え、上記粗研削加工ワークの研削加工条件を、砥石車の切り込み量0.2μm、総取り代量2.0μm、中仕上げ研削ダイヤモンド砥石車の周速度v80m/分、ワークテーブル4の左右方向移動テーブル速度6m/分、ワークテーブル4の前後送り速度0.4mm/分と変更する外は同様にして中仕上げ研削加工を行い、Rxが0.010~0.012μm、Ryが0.14~0.18μmの鏡面を呈する中仕上げ研削加工ワークを得た。続いて、砥石車を砥番3,000の仕上げ研削ダイヤモンド砥石車に取り替え、上記中仕上げ研削加工ワークの研削加工条件を、砥石車の切り込み量0.1μm、総取り代量0.5μm、仕上げ研削ダイヤモンド砥石車の周速度v34m/分、ワークテーブル4の左右方向移動テーブル速度6m/分、ワークテーブル4の前後送り速度0.4mm/分と変更する外は同様にして仕上げ研削加工を行い、Rxが0.009~0.010μm、Ryが0.09~0.12μmの鏡面を呈する仕上げ研削加工ワークを得た。"