平面が長方形または正方形である板状の基材の前記平面上に薄膜層が形成されている板状部材の周縁部の不必要な薄膜層を除去するための加工装置であって、前記加工装置は、前記板状部材の周縁部が挿入されるための開口部を備え、該周縁部の不必要な薄膜層を除去するための周縁部加工室と、前記板状部材を前記周縁部加工室に配置されたブラスト加工用ノズルに対して相対的に移動させるための移動手段を備え、前記周縁部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている周縁部加工用飛散防止カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部加工用飛散防止カバーの壁面で覆われるように該飛散防止カバーに配置される周縁部加工用ブラスト加工ノズルと、前記周縁部加工用飛散防止カバーの開口面と同じ形状の開口面を有する周縁部加工用吸引カバーと、両端面が開口され、端面が前記周縁部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された中空形状の周縁部加工用吸引部材と、を備え、前記周縁部用飛散防止カバーの前記開口面と前記周縁部加工用吸引カバーの前記開口面とが連結され、且つ前記板状部材の周縁部を挿入するための開口部を備えた構造体を形成し、前記開口部は、前記板状部材の周縁部を挿入した際に、該開口部の開口上端部と前記板状部材の被加工面との間、および該開口部の開口下端部と前記被加工面の裏面との間に外気が導入可能な空隙を形成できるように形成されていることを特徴とする板状部材の加工装置。前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルは、前記板状部材を前記開口部に挿入した際に、該板状部材とのなす角度が30~75°となるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の加工装置。前記開口部の少なくともいずれかの開口端部は外気を導入するための案内部を備えることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の加工装置。前記周縁部加工室を2つ備え、前記周縁部加工室は、水平面にある前記板状部材の平行する被加工辺である2辺の外周面にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の加工装置。前記周縁部加工室は、前記被加工辺以外の他の2辺に平行となるようにそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項4に記載の板状部材の加工装置。前記板状部材の被加工辺である周縁部と平行するように該板状部材の内側部を加工する内側部加工室が、平行する被加工辺である周縁部の間に少なくとも1つ以上配置されていることを特徴とする請求項4に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部加工用吸引カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部加工用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部加工用ブラスト加工ノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部加工用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置されていることを特徴とする請求項6に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記内側部加工用吸引部材に対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の後方側に配置されていると共に、前記内側部加工用吸引部材は、該ブラスト加工ノズルに対して、該板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の前方側の上面に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記板状部材とのなす角度が30~75°となるように配置されていることを特徴とする請求項8に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工用吸引カバーの側壁面には、吸引手段に連通した補助吸引部材が配置されており、前記補助吸引部材は、前記内側部ブラスト加工ノズルに対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する移動方向の前方側に位置する該内側部加工用吸引カバーの側壁面に配置されていることを特徴とする請求項8に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工用吸引カバーの開口端部は、外気を導入するための案内部を備えていることを特徴とする請求項7に記載の板状部材の加工装置。前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口が矩形であることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口が矩形であることを特徴とする請求項7に記載の板状部材の加工装置。前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルおよび前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの少なくともいずれかは、ブラスト加工ノズル本体と、前記ブラスト加工ノズル本体の内部に圧縮空気を導入するとともに、該ブラスト加工ノズル本体の内部に負圧を発生するための空気ノズルと、前記負圧によりブラスト加工ノズル本体の内部に吸引されると共に、該ブラスト加工ノズル本体内部の混合室にて圧縮空気と混合された噴射材を噴射するめの噴射口を備える噴射部と、を備えることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の板状部材の加工装置。前記周縁部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引回収するための周縁部用クリーニング室が少なくとも1つ以上隣接されていることを特徴とする請求項1または請求項4に記載の板状部材の加工装置。前記周縁部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の周縁部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される周縁部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記周縁部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された周縁部クリーニング用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置されていることを特徴とする請求項15に記載の板状部材の加工装置。前記周縁部加工用クリーニング室の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えていることを特徴とする請求項16に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引回収するための内側部加工用クリーニング室が隣接されていることを特徴とする請求項6に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部クリーニング用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置されていることを特徴とする請求項18に記載の板状部材の加工装置。前記内側部加工用クリーニング室の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えていることを特徴とする請求項19に記載の板状部材の加工装置。前記移動手段は、前記板状部材が載置されると共に、該板状部材を加工するために移動させる機構を備えることを特徴とする、請求項1に記載の板状部材の加工装置。前記板状部材の被加工辺である周縁部を加工後、該板状部材を略90°旋回させるための手段を備えていることを特徴とする請求項1、4、6、15、19、21のいずれか1つに記載の板状部材の加工装置。前記板状部材の周縁部を加工する領域へ該板状部材を搬送する搬入手段を備え、前記搬入手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることを特徴とする請求項1、4、6、15、19、21のいずれか1つに記載の板状部材の加工装置。前記搬入手段は、搬送された前記板状部材の停止位置を設定するための停止位置設定手段を備えることを特徴とする請求項23に記載の板状部材の加工装置。前記停止位置設定手段は、搬送方向側の停止位置を設定するための搬送方向側設定手段を備え、前記搬送方向側設定手段は、前記搬送方向と直交するように、円柱状の搬送方向側設定部材が少なくとも1つ以上配置されていることを特徴とする請求項24に記載の板状部材の加工装置。前記停止位置設定手段は、搬送方向側に直交する側の停止位置を設定するための加工辺側設定手段を備え、前記加工辺側設定手段は、円柱状の加工辺側設定部材が少なくとも1つ以上配置されていることを特徴とする請求項25に記載の板状部材の加工装置。前記板状部材の周縁部を加工した後に該部材を加工領域外へ搬送する搬出手段を備え、前記搬出手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることを特徴とする請求項23に記載の板状部材の加工装置。ガラス等の透光性基材の平面上に透明電極層、光半導体層や金属層等の薄膜太陽電池パネルを形成するのに必要な薄膜層が積層された薄膜太陽電池パネルである板状部材を加工することを特徴とする請求項1、4、6、15、19、21のいずれか1つに記載の板状部材の加工装置。請求項1、4、6、15、19、21のいずれか1つに記載の板状部材の加工装置による板状部材の加工方法であって、前記周縁部加工室の開口部に被加工物である板状部材の周縁部を加工開始位置より挿入する工程と、前記周縁部加工用ブラストノズルより噴射材を被加工物に向けて噴射する工程と、該噴射材によって非加工物表面の不必要な薄膜層を切削除去する工程と、該噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引手段の吸引力により周縁部加工用吸引カバー側に移動させて、該吸引手段により吸引する工程と、をそなえることを特徴とする板状部材の加工方法。前記板状部材を挿入する方向に該板状部材方向を移動することで最初の非加工辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、最初の被加工辺の加工が完了した後に該板状部材を略90°回転させると共に該被加工物を前記加工開始位置に移動する工程と、該板状部材を前記挿入する方向に移動することで最初の被加工辺に隣接する辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、を備えることを特徴とする請求項29に記載の板状部材の加工方法。特許文献3では、吸引手段に連結したカバーを太陽電池パネルの被加工面およびその裏面の両面に配置し、前記カバーの両方から研磨材および粉塵を除去するとあるが、被加工面側に発生させる負圧吸引力とその裏面側に発生させる負圧のバランス調整が不十分であると、前記噴射材および粉塵を十分に回収することができない。また、前記吸引手段として集塵機が用いられることが実施形態として記載されているが、集塵機の集塵力は経時変化するため吸引が進行し、濾布へ噴射材および粉塵が堆積することによる、被加工面側と裏面の吸引バランス調整が非常に困難であり、その結果前記噴射材および粉塵を十分に回収できない恐れがある。さらに、ブラスト加工ノズルから噴射された噴射材が、太陽電池パネルに衝突して反発反射するが、反発した研磨材が例えば前記ノズル等に衝突して反発し再度太陽電池パネルに衝突した結果、前記噴射材によって太陽電池パネルの周縁部以外の箇所が受傷し、太陽電池モジュールの光起電力の低下につながることから、噴射材および前記ブラスト加工によって生じた粉塵割れ欠け等で小さくなった噴射材および切削除去された前記薄膜層等は、前記周縁部以外の部分を受傷させる前に吸引回収する必要がある。さらに、ブラスト加工装置においては、ブラスト加工ノズルもしくは、被加工物を移動させることにより全面の加工が行われている。装置の設置コストから被加工物を移動させる方法が多々選択されているが、ブラスト加工ノズルから噴射された噴射材が、被加工物太陽電池パネルを移動させるための搬送装置に付着し、付着した噴射材と太陽電池パネルの接触により太陽電池パネルが受傷する場合がある。本発明は、以上の課題に鑑み、基材表面に薄膜層が形成されている板状部材において、周縁部の不必要な薄膜層が除去された板状部材を得るための加工装置を提供することを目的とする。なお、本発明における不必要な薄膜層の除去とは、特に断り書きがない場合、基材表面より薄膜層を完全に取り除くことばかりでなく、例えば先述0003段落に記載のように薄膜層の形成の際に周縁部と内側部で生じた薄膜層の厚さの不均衡を調節するために薄膜層の表面の一部を取り除くことも含まれる。本発明は、平面が四角形である板状の基材の前記平面上に薄膜層が形成されている板状部材の周縁部の不必要な薄膜層を除去するための加工装置であって、前記加工装置は、前記板状部材の周縁部が挿入され、該周縁部の不必要な薄膜層を除去するための周縁部加工室と、前記板状部材を前記周縁部加工室に配置されたブラスト加工用ノズルに対して相対的に移動させるための移動手段を備え、前記周縁部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている周縁部加工用飛散防止カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部加工用飛散防止カバーの壁面で覆われるように該飛散防止カバーに配置される周縁部加工用ブラスト加工ノズルと、前記周縁部加工用飛散防止カバーの開口面と同じ形状の開口面を有する周縁部加工用吸引カバーと、両端面が開口され、端面が前記周縁部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された中空形状の周縁部加工用吸引部材と、を備え、前記周縁部用飛散防止カバーの前記開口面と前記周縁部加工用吸引カバーの前記開口面とが連結された構造体を形成し、前記構造体は、前記周縁部を挿入することが可能であり、且つ、前記周縁部を挿入した際に、該加工室の開口端部と前記板状部材の被加工面およびその裏面との間に外気が導入可能な空隙を形成することができる開口部が形成されている。第1の発明また、第1の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材を前記開口部に挿入した際に、前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルを、該板状部材とのなす角度が30~75°となるように配置することができる。第2の発明また、第1の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記開口部の少なくともいずれかの開口端部が外気を導入するための案内部を備えることができる。第3の発明また、第1の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記周縁部加工室を2つ備え、前記周縁部加工室は、水平面にある前記板状部材の平行する被加工辺である2辺の外周面にそれぞれ配置することができる。第4の発明また、第4の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記周縁部加工室を前記被加工辺以外の他の2辺に平行となるようにそれぞれ配置することができる。第5の発明また、第4の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材の被加工辺である周縁部と平行するように該板状部材の内側部を加工する内側部加工室を、平行する被加工辺である周縁部の間に少なくとも1つ以上配置することができる。第6の発明また、第6の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部加工用吸引カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部加工用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部加工用ブラスト加工ノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部加工用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置ことができる。第7の発明また、第7の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記内側部加工用吸引部材に対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の後方側に配置されていると共に、前記内側部加工用吸引部材は、該ブラスト加工ノズルに対して、該板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の前方側の上面に配置することができる。第8の発明また、第8の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記板状部材とのなす角度を30~75°となるように配置することができる。第9の発明また、第8の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用吸引カバーの側壁面には、吸引手段に連通した補助吸引部材が配置されており、前記補助吸引部材は、前記内側部ブラスト加工ノズルに対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する移動方向の前方側に位置する該内側部加工用吸引カバーの側壁面に配置することができる。第10の発明また、第7の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用吸引カバーの開口端部に、外気を導入するための案内部を備えることができる。第11の発明また、第1または第7の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口および前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口の少なくともいずれかを矩形とすることができる。第12、13の発明また、第12の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルおよび前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの少なくともいずれかは、ブラスト加工ノズル本体と、前記ブラスト加工ノズル本体の内部に圧縮空気を導入するとともに、該ブラスト加工ノズル本体の内部に負圧を発生するための空気ノズルと、前記負圧によりブラスト加工ノズル本体の内部に吸引されると共に、該ブラスト加工ノズル本体内部の混合室にて圧縮空気と混合された噴射材を噴射するめの噴射口を備える噴射部と、を備えることができる。第14の発明また、第1または第4の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引回収するための周縁部加工用クリーニング室が少なくとも1つ以上隣接することができる。第15の発明また、第15の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の周縁部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される周縁部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記周縁部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された周縁部クリーニング用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置することができる。第16の発明また、第16の発明に記載の板状部材の加工装置における前記周縁部加工用クリーニング室の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えることができる。第17の発明また、第6の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引回収するための内側部加工用クリーニング室を隣接することができる。第18の発明また、第18の発明に記載の板状部材の加工装置前記における内側部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部クリーニング用吸引部材と、を備え、該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置することができる。第19の発明また、第19の発明に記載の板状部材の加工装置における前記内側部加工用クリーニング室の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えることができる。第20の発明また、第1の発明に記載の板状部材の加工装置において、前記移動手段は、前記板状部材が載置されると共に、該板状部材を加工するために移動させる機構を備えることができる第21の発明。また、第1、4、6、15、19、21の発明のいずれか1つに記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材の被加工辺である周縁部を加工後、該板状部材を略90°旋回させるための手段を備えることができる。第22の発明また、第1、4、6、15、19、21の発明のいずれか1つに記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材の周縁部を加工する領域へ該板状部材を搬送する搬入手段を備え、前記搬入手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることができる。第23の発明また、第23の発明に記載の板状部材の加工装置前記搬入手段は、搬送された前記板状部材の停止位置を設定するための停止位置設定手段を備えることができる第24の発明。また、第24の発明に記載の板状部材の加工装置における前記停止位置設定手段は、搬送方向側の停止位置を設定するための搬送方向側設定手段を備え、前記搬送方向側設定手段は、前記搬送方向と直交するように、円柱状の搬送方向側設定部材を少なくとも1つ以上配置することができる第25の発明。また、第25の発明に記載の板状部材の加工装置における前記停止位置設定手段は、搬送方向側に直交する側の停止位置を設定するための加工辺側設定手段を備え、前記加工辺側設定手段は円柱状の加工辺側設定部材を少なくとも1つ以上配置することができる第26の発明。また、第23の発明に記載の板状部材の加工装置は、前記板状部材の周縁部を加工した後に該部材を加工領域外へ搬送する搬出手段を備え、前記搬出手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることができる第27の発明。また、第1、4、6、15、19、21の発明のいずれか1つに記載の板状部材の加工装置であって、それにより加工される前記板状部材を、ガラス等の透光性基材の平面上に透明電極層や、光半導体層や金属層等の薄膜太陽電池パネルを形成するのに必要な薄膜層が積層された薄膜太陽電池パネルとすることができる。第28の発明第1、4、6、15、19、21のいずれか1つの発明に記載の板状部材の加工方法は、前記空隙に被加工物である板状部材の周縁部を挿入する工程と、前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルより噴射材を噴射する工程と、該噴射材より被加工物表面の不必要な薄膜層を切削除去する工程と、該噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引手段により吸引する工程と、を備えることができる。第29の発明第29の発明に記載の板状部材の加工方法であって、前記板状部材を挿入する方向に該板状部材方向を移動することで最初の被加工辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、最初の被加工辺の加工が完了した後に該板状部材を略90°回転させると共に該被加工物を加工開始位置に移動する工程と、該板状部材を前記挿入する方向に移動することで最初の被加工辺に隣接する辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、を備える。第30の発明前記周縁部加工室に挿入された被加工物平面が四角形である板状の基材の前記平面上に薄膜層が形成されている板状部材の周縁部に向けて前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルから噴射材を噴射することで、被加工物の不必要な薄膜層がブラスト加工により除去される。その際、前記噴射材および除去された薄膜層等のブラスト加工で生じた粉塵以降、単に粉塵と記すは、前記周縁部加工用飛散防止カバーおよび前記周縁部加工用吸引カバーにより該周縁部加工室の外部に飛散することがなく、また該吸引カバーに連通された吸引手段により吸引され、回収される。また、該周縁部加工室の前記開口部の開口端部と被加工物とによって形成された空隙により、被加工面側およびその裏面側の開口端部と被加工物とが接触することなく、外気を導入しながら効率よく前記噴射材および前記粉塵の吸引および回収をおこなうことができる第1、29の発明。また、該ブラスト加工ノズルを被加工物に対し、30~75°の角度をなし、かつ該ブラスト加工ノズルの噴射口が被加工物の周縁部側に向くように配置することで、該ブラスト加工ノズルより噴射された噴射材の吸引手段への移動が促進されると共に、噴射材による被加工物の加工されていない内側の受傷を防ぐことができる第2の発明。前記周縁部加工室を、被加工物の平行する2辺被加工辺に配置し、移動手段によって被加工物を前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルに対して相対的に移動させることで、同時に前記2辺の加工を行うことができる。前記移動手段は、前記周縁部加工室を移動させても、被加工物を移動させてもどちらでもよいが、被加工物を移動させる構造とすることで、装置を簡略化することができる第21の発明。また、該周縁部加工室は、前記被加工辺に直交する辺に対し、平行となるようにすなわち、該ブラスト加工ノズルの噴射口の中心点同士を結んだ仮想線図17参照が平行となるように配置してもよい第4、5の発明。また、前記被加工辺を加工後、被加工物を該ブラスト加工ノズルに対し90°回転させた後に同様の加工をおこなうことで、4辺の周縁部を加工することができる第22、30の発明。大型の板状部材を切断して、周縁部が除去された板状部材を複数枚得る場合、予め大型の板状部材の外周部および切断後の板状部材の外周部となる箇所内側部の薄膜層を除去した後に切断するという手段を用いることができる。このように、内側部を加工する必要がある場合は、平行する前記被加工辺の間には、内側部の不必要な薄膜層を除去するための内側部加工室を配置することができる。前記内側部加工用ブラスト加工ノズルより噴射された噴射材により不必要な薄膜層が除去され、また前記噴射材および粉塵は、前記内側部加工用吸引カバーにより該内側部加工室の外部に飛散することなく、また該吸引カバーに連通された吸引手段により吸引され、回収される。また、該吸引カバーの開口端部と被加工物との間に形成された空隙により、前記開口端部と被加工物が接触することなく、外気を導入しながら効率よく前記噴射材および前記粉塵の吸引回収をおこなうことができる第6、7の発明。また、前記内側部加工用吸引部材を被加工物の相対的な移動方向の前方の上方に配置し、該ノズルを後方に配置することで、該ノズルより噴射され該部材に衝突、または残留した噴射材は該吸引部材の直下近傍を通過することとなり、該噴射材を効率よく吸引および回収をおこなうことができる第8の発明。さらに、該ノズルを被加工物に対し30°~75°の角度をなすように配置し、前記前方の壁面に前記補助吸引部材を配置するとより効果的である第9、10の発明。前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルおよび前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの噴射口を矩形幅XW≧長さXLとすることで、噴射口が円形状の場合に比べ、一度に広い面積の加工が可能である。さらに、被加工物の移動方向を該噴射口の長さ方向とすることで、一度により広い幅の加工が可能である第12、13の発明。また、該ノズルを、第14の発明に記載の構造とすることで、複雑な付帯設備を必要とせず連続した加工が可能となる。前記周縁部加工室を通過した被加工物に噴射材および粉塵が残留した場合、ノズルより圧縮空気を吹き付けることで被加工物より剥離することができるエアブロー。前記周縁部クリーニング用エアブローノズルを備える前記周縁部加工用クリーニング室を前記周縁部加工室に隣接させることで、該エアブローノズルより噴射された圧縮空気により前記噴射材および前記粉塵を前記被加工物より剥離することができ、剥離された前記噴射材および前記粉塵は、前記周縁部クリーニング用吸引カバーにより該クリーニング室の外部に飛散することなく、また該吸引カバーに連通された吸引手段により吸引され、回収される。また、該吸引カバーの開口端部と被加工物との間に形成された空隙により、前記開口端部と被加工物が接触することなく、外気を導入しながら効率よく前記噴射材および前記粉塵の吸引回収をおこなうことができる第15、16の発明。同様に、前記内側部加工室を通過した被加工物に噴射材および粉塵が残留した場合、前記内側部加工用クリーニング室を前記内側部加工室に隣接させることで、前記噴射材および前記粉塵を被加工物より剥離させると共に、該クリーニング室外へ飛散させることなく吸引回収することができる第18、19の発明。前記周縁部加工室、前記内側部加工室、前記周縁部加工用クリーニング室、前記内側部加工用クリーニング室、の開口端部は、外気を導入するための案内部を備えることで、外気の導入がスムーズになり、結果として前記噴射材および切削除去された薄膜等の粉塵の吸引手段への移動を促進し、効率よく吸引および回収をおこなうことができる第3、11、17、20の発明。前記周縁部加工室および前記内側部加工室により加工を行う領域へ被加工物を搬送する搬入手段および加工後の被加工物を前記領域より外部へ被加工物を搬送する搬出手段を有することで、自動的に連続して被加工物の加工を行うことができる。被加工物を搬送する前記搬入手段および前記搬出手段は、搬送ローラを介して搬送する構造とすると、簡単な構造で被加工物を搬送することができる。万一前記搬送ローラに噴射材や粉塵が付着していた場合、被加工物を搬送する際に前記噴射材および前記粉塵により被加工物が受傷するおそれがある。被加工物と接触する前記搬送ローラの材質を、独立気泡構造をもつウレタン樹脂製とすることで、被加工物を傷つけることなく搬送することができる第23、第27の発明。また、前記搬送手段に、搬送された板状部材の停止位置を設定するための停止位置設定手段を配置することで、連続して安定した加工を行うことができる第24の発明。前記停止位置設定手段は第25、26の発明に記載のように配置することが好ましい。前記板状部材の加工装置によって、ガラス等の透光性基材の表面に太陽電池パネルを形成するのに必要な薄膜層が積層された薄膜太陽電池パネルの周縁部および内側部の不必要な薄膜層を除去することで、前記薄膜層の積層面と該積層面の裏面との絶縁性が確保された薄膜太陽電池パネルを得ることができる第28の発明。なお、本明細書における平面が四角形の板状部材とは、例えば平面が正方形または長方形である板状部材を指し、また製造上の誤差を有するものも含まれる。以下、板状部材を薄膜太陽電池パネルとし、この薄膜太陽電池パネルの加工を例に、本発明を実施するための一例を示す。薄膜太陽電池パネルは、前述の通り薄膜層が形成されている面とその裏面との絶縁性を確保するため、周縁部の薄膜層がガラス等の基材から完全に除去されている必要がある。本実施形態では、ガラス基材に薄膜層が形成された大型の薄膜太陽電池パネルを切断し、4辺の周縁部の薄膜層が除去されている4枚の小型の薄膜太陽電池パネルを得る方法について説明する。なお、本発明の加工装置は本実施形態の構成に限られず、必要に応じ適宜変更することができる。また、説明における前後左右方向は特に断りのない限り図における方向を示す。本実施形態における加工装置01は、被加工物Wの周縁部および内側部を加工するための加工ユニット60と、被加工物Wを搬送させるための搬送ユニット50と、前記加工ユニット60および搬送ユニット50を覆うハウジング70と、で構成される。前記加工ユニット60は、被加工物Wの周縁部を加工するための周縁部加工室10と、被加工物Wの内側部を加工するための内側部加工室30と、必要に応じて前記周縁部加工室10に隣接される周縁部加工用クリーニング室以降、クリーニング室Eと記す62および内側部加工室に隣接される内側部加工用クリーニング室以降、クリーニング室Iと記す67と、を含む。周縁部加工室周縁部加工室10の構成について、図を用いて説明する。周縁部加工室10は、一定した四角形の横断面を持ち、天井面が閉止されている中空形状の飛散防止カバー周縁部加工用以降、飛散防止カバーAと記す11と、前記飛散防止カバーAと同じ横断面を連続して有すると共に、下方底部に向かって横断面の面積が連続的に減少し逆四角錐形状、かつ両端が開口されている中空形状の吸引カバー周縁部加工用以降、吸引カバーAと記す12と、前記飛散防止カバーAと前記吸引カバーAとを連結させるための連結部材以降、連結部材Aと記す14と、ブラスト加工を行う為のブラスト加工ノズル周縁部加工用以降、ノズルAと記す15と、吸引手段と前記吸引カバーAとを連結させるための吸引部材周縁部加工用以降、吸引部材A13と、にて構成される図1参照。飛散防止カバーA11および吸引カバーA12を連結させる位置には、それぞれ同形状のフランジ部11a、12aが配置されている本実施形態ではコ字形状。フランジ部11a、12aは共に同じ形状であり、かつ該フランジ部と同形状の連結部材A14を介して前記飛散防止カバーA11と前記吸引カバーB12とを連結することで、該飛散防止カバーAと該吸引カバーBとは、内部が連続した空間を形成すると共に、飛散防止カバーA11と吸引カバーA12間の一部一端に空隙SAが得られる。該空隙SAは、太陽電池パネル以降、被加工物と記すWの周縁部被加工辺を挿入することができると共に、通過できる形状でなくてはならない。また、空隙SAには、被加工物Wが挿入された際に、飛散防止カバーA11および吸引カバーA12の開口端部11b、12bと被加工物Wとの間の空隙sa1、sa2を十分に確保できるようにする図1および図2参照。図2Cにおける破線は外気が導入される様子を示す。図2Aの様に挿入された被加工物を前記ノズルAに対し相対的に同図上下方向に移動させることで被加工辺である周縁部が加工される。吸引カバーA12は底部に吸引部材A13が配置されている。前記吸引部材A13は両端が開口された中空形状であり、一端が吸引カバーA12の底部側の開口面に連結され、他端がダクト周縁部加工用図示せずを介して吸引手段図示せず本実施形態では集塵装置に連結されている。すなわち、飛散防止カバーA11と吸引カバーA12とが形成する空間と、該吸引手段が形成する空間とは、連通された空間となっている。飛散防止カバーA11の天井面には、ノズルAが配置されている。すなわち、飛散防止カバーA11によって該ノズルA11の噴射口15aが覆われている。ノズルA15の被加工物Wに対する角度θaは垂直でもよいが、前記噴射口15aが被加工物Wの周縁部方向を向くように、30~75°の範囲で傾けることが好ましい。前記噴射口15aより被加工物Wにむけて噴射された後、被加工物Wに衝突した噴射材および噴射材と衝突することで切削除去された薄膜層等の粉塵以降、単に粉塵と記すは上方に舞い上がる。一方、被加工物Wの下部、すなわち吸引カバー12側では、吸引部材13に連結された吸引手段により空隙sa1sa2より外気を導入しながら吸引を行っているので、該噴射材および該粉塵は、吸引カバー12側へと移動し、吸引部材13を介して吸引手段によって回収される。特に噴射材は、被加工物Wに衝突して反射した噴射材が飛散防止カバーA11内部の天井面または側壁面部に衝突した後反射し、再び被加工物Wに衝突するおそれがあるが、ノズルA15を先述のように被加工物Wの周縁部の方向に向くように傾けることで、ノズルA15より噴射された噴射材は下方、すなわち吸引部材A13へ向かうことが促進される気流が生じるので、飛散防止カバー11の天井面および側壁面へ衝突しないため反射することがなく、噴射材によって被加工物Wが受傷するのを防ぐことができる図3参照。ノズルA15と被加工物Wのなす角度θaが小さすぎると薄膜層を切削する力が得られず、θaが大きすぎるとノズルA15を傾けた事による、噴射材および粉塵が吸引部材A13へ向かうことが促進される効果が十分に得られない。また、ノズルA15の噴射口15aの形状を矩形形状幅XW≧長さXLとし、該噴射口15aの長手方向が被加工辺と直交するようにノズルA15を配置した図13A参照。ノズルA15は、ノズル本体15cと、前記ブラスト加工ノズル本体の内部に圧縮空気を導入するとともに、該ブラスト加工ノズル本体の内部に負圧を発生するための空気ノズル15bと、前記負圧によりブラスト加工ノズル本体の内部に吸引されると共に、該ブラスト加工ノズル本体内部の混合室にて圧縮空気と混合された噴射材を噴射するめの噴射口15aを備える噴射部15dと、を備える構造とした。圧縮空気発生源図示せずより発生した圧縮空気を、圧縮空気導入用ホース周縁部加工用図示せずを介して、前記空気ノズル15bより前記ノズル本体15cの内部に導入することで負圧が発生する。噴射材は、該ノズル本体15c内で発生した負圧によって噴射材貯蔵ホッパー図示せずより噴射材供給用ホース図示せずを介して該ノズル本体15c内に吸引される。吸引された噴射材は該ノズル本体15c内の混合室15eにて圧縮空気と混合され、固気二相流として噴射口15aより噴射される。本実施形態の構造とすることで、安定して長時間加工することができる図12参照。また、薄膜層の硬度が硬く、より強力な加工力が必要な場合は、噴射材を装填した加圧タンク内を加圧することで噴射材を圧縮空気流に投入し、圧縮空気と噴射材の固気二相流としてノズルに圧送して、噴射口より噴射する構造としてもよい。加圧タンクおよびそれに伴う付帯設備が必要となり、本実施形態に比べ装置が大型化するが、噴射材の噴射速度が速くなり、強力な加工力を得ることができる。飛散防止カバーA11および吸引カバーA12の開口端部11b、12bでは、図2Cの破線で示すように前記空隙sa1sa2より周縁部加工室の内部に外気が導入される。より効率よく外気を導入するために、前記開口端部11b12bには、それぞれ外気を導入するための案内部11c、12cを配置してもよい。案内部を配置することで、圧力損失を低減することができ、効率よく外気を導入することができる。本実施形態では、案内部の形状は内側から外側へ向かうR形状とした図4参照。図4Cにおける破線は外気が導入される様子を示す。内側部加工室平行する2辺の前記被加工辺の間に配置される内側部加工室について、図を用いて説明する。内側部加工室30は、連続した四角形の横断面を持ち、天井面が閉止されている中空形状の吸引カバー内側部加工用以降、吸引カバーBと記す32と、前記吸引カバーBと吸引手段とを連結させるための吸引部材内側部加工用以降、吸引部材Bと記す33と、圧縮空気を被加工物Wに吹き付けて、被加工物Wに付着した噴射材および粉塵を被加工物より剥離させるためのブラスト加工ノズル内側部加工用以降、ノズルBと記す35と、によって構成される。両端が開口されている中空形状の前記吸引部材Bの一端が前記吸引カバーB32の天井面に連結され、他端がダクト内側部加工用図示せずを介し吸引手段に連結されている。すなわち、該吸引カバーB32と該吸引手段とは連通した空間を形成している図5参照。吸引カバーB32は、被加工物Wの上方に配置され、かつ、前記吸引手段によって吸引を行うための外気を導入するために、被加工物Wと、吸引カバーB32の開口端部32b間の空隙sb2を十分に確保できるようにする図5D参照。図中の破線は外気が導入される様子を示す。また、被加工物Wは前述の通りノズルB35に対して相対的に移動して加工が行われる。前記ノズルB35は、前記吸引カバーB32の天井面に配置されている。すなわち、吸引カバーB32によって該ノズルB35の噴射口図示せずが覆われている。吸引部材B33とノズルB35の位置関係は、被加工物Wの移動方向前方側図5Cにおける矢印方向に吸引部材B33を、被加工物Wの移動方向に対して該吸引部材B33の後方にノズルB35を配置することが好ましい。さらに、ノズルB35の被加工物Wに対する角度θbは垂直でもよいが、ノズルB35の噴射口35aが被加工物Wの移動方向側、すなわち前記吸引部材B33が配置されている側を向くように、被加工物Wに対して30~75°となるように配置するのが好ましい。内側部加工室30による被加工物Wの加工では、ノズルB35より被加工物にむけて噴射された噴射材が被加工物と衝突することで薄膜層が切削除去される。被加工物Wに衝突した噴射材および切削除去された粉塵は上方に舞い上がる。一方、被加工物Wの上部では、吸引部材33に連結された吸引手段により空隙sb2より外気を取り込みながら吸引を行っているので、該噴射材および粉塵は、吸引部材33を介して、吸引手段によって回収される。ノズルB35の噴射口35aが被加工物Wの移動方向側に向くように、傾けて設置することで、噴射材が被加工物Wに衝突後、吸引部材B33の方向に向かって反射し、効率よく噴射材を回収することができる。θbが小さすぎると、開口端部32bにおける外気の吸引力が噴射材の噴射力を下回るため、周縁部加工室外に噴射材が漏出し、θbが大きすぎると、先述の効果が十分に得られないばかりか、壁面に衝突し反射した噴射材により、被加工物Wが受傷する恐れがある図6AおよびB参照。ノズルBを傾けて配置するために、吸引カバーB32は断面が台形をなす箱状とすることで、吸引部材B33を片側の斜面上に、ノズルB35を吸引部材B33が設けられている側と反対側の斜面上に配置することができる図6C参照。さらに、両端が開口され、一端がダクト周縁部加工用補助吸引図示せずを介して吸引手段に連結された中空形状の補助吸引部材36の他端を吸引部材B33が設置されている側の壁面に配置した。補助吸引部材36の目的は、内側部加工室30内において、噴射材および粉塵が吸引部材に向かう気流の発生を促進させるためである。よって、補助吸引部材36における吸引力は吸引部材B33における吸引力より小さくてもよい。本実施例では吸引部材B33の径より十分に小さい径を持つ補助吸引部材36を5個配置した図7参照。前記ノズルB35は、被加工物Wの薄膜層をブラスト加工によって除去できれば、その形状および構造は特に限定されないが、本実施形態では、前記ノズルA15と同じものを使用した。また、ノズルB35は噴射口35aの長手方向が前記被加工辺に直交するように配置した図13B参照。吸引カバーB32の開口端部32bには、効率よく外気を導入するための案内部32cを配置してもよい。本実施形態では、案内部の形状は前述の周縁部加工室10同様、内側から外側へ向かうR形状とした図8参照。図8Cにおける破線は外気が導入される様子を示す。クリーニング室前記周縁部加工室10および前記内側部加工室30により被加工物Wを加工後、被加工物Wの表面に噴射材および粉塵が付着残留している場合等、必要に応じて前記周縁部加工室10および前記内側部加工室30にはクリーニング室20を隣接することができる。クリーニング室は、連続した四角形の横断面を持ち、天井面が閉止されている中空形状の吸引カバークリーニング用以降、吸引カバーCと記す22と、前記吸引カバーCと吸引手段とを連結させるための吸引部材クリーニング用以降、吸引部材Cと記す23と、圧縮空気を被加工物Wに吹き付けて、被加工物Wに付着した噴射材および粉塵を被加工物より剥離させるためのエアブローノズル以降、ノズルCと記す25と、によって構成される。両端が開口されている中空形状の前記吸引部材Cの一端が前記吸引カバーC22の天井面に連結され、他端がダクトクリーニング用図示せずを介し吸引手段に連結されている。すなわち、該吸引カバーC22と該吸引手段とは連通した空間を形成している。なお、周縁部加工室10に隣接されるクリーニング室E62と内側部加工室に隣接されるクリーニング室I67は同一の形状でも異なる形状でもどちらでもよいが、本実施例では同一の形状のものを使用した。また、前記ノズルC25は、前記吸引カバーC22の天井面に配置されている。すなわち、吸引カバーC22によって該ノズル25の噴射口図示せずが覆われている。前記吸引部材C23およびノズルC25の位置関係、および設置角度等は特に規定されず、運転条件に合わせて適宜変更が可能である。例えば、吸引カバーC22の天井部には、被加工物Wの移動方向前方側に吸引部材C23、被加工物Wの移動方向に対して該吸引部材C23の後方にノズルC25を配置してもよい。本実施例では、ノズルC25は、吸引カバーC22の天井部の中心になるように設置し、ノズルC25を挟んで、被加工物Wの移動方向前方側及び後方側に各々吸引部材C23を設置した図9参照。吸引カバーC22は、被加工物Wの上方に配置され、かつ、前記吸引手段によって吸引を行うための外気を導入するために、被加工物Wと、吸引カバーC22の開口端部22b間の空隙sb2を十分に確保できるようにする。圧縮空気供給源より発生した圧縮空気を、圧縮空気供給源およびノズルC25に連結された圧縮空気導入用ホース周縁部クリーニング用図示せずを介してノズルC25に導入し、これをノズルC25の噴射口より被加工物Wに吹き付けることにより、噴射材および粉塵が被加工物から脱離させる。脱離された噴射材および粉塵は空隙sc1により外気を取り込みながら、吸引部材C23を介して吸引手段により吸引され回収される図9参照。図9Dにおける破線は外気が導入される様子を示す。吸引カバーC22の開口端部22bには、効率よく外気を導入するための案内部32cを配置してもよい。本実施形態では、案内部の形状は前述の周縁部加工室10および内側部加工室30同様、内側から外側へ向かうR形状とした図10参照。図10Cにおける破線は外気が導入される様子を示す。噴射材および粉塵が強固に付着している場合、例えば前記噴射材および前記粉塵の帯電を除去する等の付着力を弱める手段若干の水分、静電除去材、イオンまたはラジカル、等を圧縮空気と共に噴射してもよいし、超音波エアブローを用いてもよい。また、前記噴射口の形状は矩形や円形等、特に限定されず、適宜選択することができる。加工ユニット加工ユニット60は、図11に平行する2辺の被加工辺を加工するための1対の周縁部加工室10および前記周縁部加工室10に連結部材周縁部加工用以降、連結部材Eと記す61cを介してそれぞれ隣接されたクリーニング室E62からなる周縁部加工ユニット61と、前記周縁部加工室の間に配置された内側部加工室30および前記内側部加工室30に連結部材内側部加工用以降、連結部材Iと記す66cを介して隣接されたクリーニング室I67からなる内側部加工ユニット66と、によって構成される。内側部加工ユニット66は、必要に応じて複数台配置してもよく、あるいは配置しなくてもよい。また、前述の通り被加工物WはノズルA15およびノズルB35に対して相対的に移動するため、前記クリーニング室E62およびクリーニング室I67は被加工物のノズルA15およびノズルB35に対する相対的な移動方向の前方側外壁面または前方側と後方側の外壁面両方に配置してもよく、あるいは配置しなくてもよい。本実施形態では、図11に示すように一台の内側部加工室30を配置し、またクリーニング室E62およびクリーニング室I67をそれぞれ前記移動方向前方側同図における矢印方向に配置した。1対の周縁部加工室10は、ノズルA15の噴射口15aの中心を結んだ仮想線iが被加工辺図13Aにおける網掛け部以外の平行する水平面上の辺に対し平行に配置すると、加工時間が最も短くなり好ましいが、被加工物Wの大きさおよび加工装置01の形状により平行、非平行のいずれをも適宜選択することができる。また、内側部加工室30は周縁部である被加工辺の間に配置されていればよく、ノズルB35の噴射口35aの中心が前記仮想線i上に配置されていなくてもよい図13B参照。搬送ユニット搬送ユニットは、被加工物Wを移送手段52の位置まで搬送し、また加工が完了した被加工物Wをハウジング70の外部へ搬送するための搬送手段51と、前記加工ユニット60により被加工物Wを加工するために移動させる為の移送手段52と、で構成される。なお、加工が完了した被加工物Wをハウジング71の外部へ搬送するための搬出手段51Bは、被加工物Wを移送手段52の位置まで搬送するための搬入手段51Aと兼ねてもよいが、本実施形態では、搬入手段51Aと搬出手段51Bをそれぞれ配置した搬送手段51とした。搬入手段51Aは、被加工物Wが載置されて、該被加工物Wの搬送を行う為の搬送ローラ51aと、前記搬送ローラ51aの軸心を貫通すると共に、該搬送ローラ51aを保持するためのシャフト51bと、前記シャフト51bに連結され、該搬送ローラ51aを駆動させるための駆動手段図示せずと、によって構成される。また、隣接する前記搬送ローラ51aは千鳥状になるように配置されている。これは、被加工物Wの搬送時に、仮に蛇行させる力が働いた場合に、搬送方向への搬送力を適切に伝達し修正するためである。搬入手段51Aに載置された被加工物Wは、搬送ローラと接触している。また、前記駆動手段本実施形態ではモータは駆動伝達手段本実施形態ではプーリおよびベルトを介して前記シャフトと連結されている。該駆動手段を駆動させることによって前記シャフト51bおよび搬送ローラ51aが回転することで被加工物Wが搬送される。搬送された被加工物Wを所定の位置で停止させるために、停止位置設定手段が配置されている。停止位置設定手段は、被加工物Wの搬送方向側図14Bにおける右方向に配置された、搬送方向側設定手段と、図14Bの上下方向側に配置された、加工辺側設定手段と、で構成される。本実施形態では、搬送方向側設定手段は円柱形状の2つの搬送方向側部材以降、設定部材Aと記す53aを、該設定部材A53aの軸心同士を結んだ仮想線iaが搬送方向図14Bにおける右方向に対し垂直となるように配置した。搬送された被加工物Wは、前記設定部材A53aの円弧面と衝突することで停止するため、前記設定部材A53aの配置位置によって搬送された被加工物Wの搬送方向側の停止位置が設定される。また、加工辺側設定手段は、上下方向のそれぞれの辺に対して、円柱形状の加工辺側設定部材以降、設定部材Bと記す53bが各少なくとも1つ配置されている。設定部材B53bはそれぞれ駆動手段図示せずに連結されており、該駆動手段により設定部材B53bは被加工物Wの方向に移動し、設定部材B53bの円弧面と被加工物Wの該辺とが接触し、被加工物Wが移動することで、搬送方向に対して垂直方向の位置が設定される。なお、前記設定部材A53aおよび前記設定部材B53bをローラとすることで、被加工物Wとの衝突する点が操作毎に異なるために、接触点が集中的に摩耗することを防ぐことができる。本実施形態では、前記設定部材A53aは被加工物Wの搬送方向側の辺に対して2つ配置されており、前記設定部材B53bは被加工物Wの上下方向のそれぞれの辺に1つずつ配置されている。必要に応じて設置する個数を変更例えば前記設定部材B53bを被加工辺に対してそれぞれ2つずつ、該位置決め部材の軸心同士を結んだ仮想線が該辺に対して平行となるように配置してもよい。また、必要に応じて停止位置設定手段を配置しなくてもよいし、加工辺側設定手段をいずれか1方の辺に対して配置してもよい。また、前記搬送方向側設定手段は、前記設定部材A53aと他の部材とを組み合わせてもよく、前記加工辺側設定手段は、前記設定部材B53bと他の部材とを組み合わせてもよい。また、搬出手段51Bは、前記停止位置設定手段が配置されていない以外は、前記搬入手段51Aと同じ構造とした。被加工物Wを搬入手段51Aおよび搬出手段51Bによって搬送する際、搬送ローラ51aの材質によっては、被加工物Wの接触面が受傷することがある。例えば、大気中の埃が搬送ローラ51aに噛み込み、それが原因で受傷する。また、搬送手段B51Bは、加工によって被加工物Wに噴射材および粉塵が残留していた場合、これらが搬送ローラ51aに噛み込み、同様に受傷する。この受傷を防ぐには、搬送ローラ51aの材質は、独立気泡構造を持つ発泡ウレタンであることが好ましい。たとえ、埃や噴射材などの硬質の異物が噛み込んだ場合でも、緩衝材として有効に働くため、被加工物Wが受傷することを防ぐことができる。前述の通り、ノズルA15およびノズルB35に対して、相対的に被加工物Wを移動させることで、連続した範囲を加工することができる。相対的な移動は、周縁部加工室10、周縁部加工ユニット20、内側部加工室30、内側部加工ユニット40を移動させてもよいが、被加工物Wを移動させる方が、装置が簡略でき、より好ましい。本実施形態では、移送手段52より、被加工物Wを移動させた。本実施形態における移送手段52は、被加工物Wを載置するためのテーブル52aと、被加工物の高さ方向の位置決めをするための位置決め手段以降、位置決め手段と記す52bと、被加工物Wを、その平面の中心点を中心に90°旋回させるための旋回手段52cと、被加工物Wを連続して加工するために移送手段52自身を移動させる移動手段52dと、で構成されている。また、前記テーブル52aは載置された被加工物Wを固定するための固定手段図示せずが配置されている。加工装置図14に示すように、加工ユニット60と、搬送ユニット50と、ハウジング70と、を配置し、加工装置01を構成した。なお、同図においてダクトおよびホースは便宜上省略した。周縁部加工ユニット61は、連結部材E61cに連結されたアーム周縁部加工用以降、アームEと記す61aを介して位置合わせ手段65に連結されている。位置合わせ手段65により、周縁部加工ユニット61は、被加工物Wの大きさおよび動作に合わせて図14Cにおける左右方向に移動し、位置を調整することができる。また、内側部加工ユニット62は、連結部材I66cを介して位置合わせ手段65に連結されている。図14Bにおいて、被加工物Wは左から右に移動する。搬送ユニット50は、同図の左側から順に搬送手段A51A、移送手段52、搬送手段B51Bの順に配置され且つその中心点が一直線上になるように配置されている。また、搬送手段A51A、移送手段52、搬送手段B51Bの中心線を結んだ線上に、前記仮想線iの中心とノズルBの噴射口35aの中心点が位置するように、加工ユニット60が配置されている。ハウジング70は、加工ユニット60、移送手段52の全体、および搬入手段A51A、搬出手段B51Bを覆うように形成されている。また、被加工物Wをハウジング内へ挿入するための開口部71aおよび排出を行うための開口部図示せずを有している。加工方法本実施形態における加工装置01を用いて太陽電池パネルの薄膜層を除去する加工を行う方法について、図15を用いて説明する。なお、図15において、網掛け部は、加工によって薄膜層が除去された箇所である。制御手段図示せずに、各種加工条件被加工物Wの寸法、被加工物Wの移動速度、噴射材の噴射圧力、加工パターン加工幅、内側部の加工の有無、等、等を入力する。入力された被加工物Wの寸法に合わせて被加工物Wの平行する2辺が、周縁部加工室10の開口部SAを通過するように位置合わせ手段65によって周縁部加工ユニット間の距離が設定される。被加工物Wを搬入手段51Aに載置し、被加工物Wを、ハウジング70の開口部70aより、ハウジング70の内部に搬入される。搬入された被加工物Wの、被加工辺図14Bの上下の辺に直交する搬送方向側の辺は設定部材A53aの円弧面に衝突し、その位置で停止する。その後、駆動手段に連結された設定部材B53bがそれぞれ被加工辺に向かって移動し、所定の位置まで被加工物Wを図14Bにおける上下方向に移動させる。以上の動作により、被加工物Wは搬入手段51Aにより移送手段52上に搬送されるこの位置を、以降加工開始位置と記す。移送手段52上に搬送された被加工物Wは、テーブル52aに配置された前記固定手段例えば吸引吸着装置や、摩擦係数が高いパッドによって移送手段52上に固定される。その後、位置決め手段52bにより被加工物Wを上昇させることで搬送手段A51Aとの接触を解除すると共に、前記開口部SAに被加工物Wが通過でき、かつ、被加工物Wと周縁部加工ユニット61間の空隙および被加工物Wと内側部加工ユニット66間の空隙が十分に確保されるように、位置決め手段52bにより、高さ方向の位置図14Dにおける上下方向が設定される。ノズルA15およびノズルB35の噴射口15a35aより噴射材を噴射すると同時に、周縁部加工室10と、内側部加工室30と、クリーニング室A62と、クリーニング室B67と、にそれぞれ連結された吸引手段を稼働させる吸引手段の台数は特に規定されない。その後、移送手段52によって、被加工物Wを図14Bおよび図15Aにおける左側から右側に移動させノズルA15およびノズルB35の直下を通過させることで、ノズルA15およびノズルB35より噴射された噴射材は被加工物Wと衝突し、この衝突により薄膜層が切削除去される。また、前記噴射材および粉塵は、吸引部材A13および吸引部材B33を介し、吸引手段により吸引回収される。周縁部加工室10に挿入された被加工物Wが周縁部加工ユニット20および内側部加工ユニット40を完全に通過することで、被加工物Wの平行する2辺の周縁部および内側部の加工が完了するこの位置を以降加工完了位置と記す図15Aおよび図15B参照。位置合わせ手段65により、周縁部加工ユニット20をその間の距離を広げる方向に移動させる。この距離は、被加工物Wの対角線の長さより十分に長くする。その後、旋回手段52cによって被加工物を90°旋回させると同時に、移送手段52によって、被加工物Wを加工開始位置に移動させる。移動後、周縁部加工ユニット20間の距離を位置合わせ手段61により前述の入力された加工条件に従って設定する図15C参照。その後、移送手段52によって、被加工物Wを同様に図中左側から右側に移動させ、加工完了位置に移動させることで、残りの2辺の周縁部および内側部の中心部の加工が完了する図15D参照。位置決め手段52bが下降することにより加工が完了した被加工物Wは、被加工物Wは搬出手段51B上に置かれる。そして、搬出手段51Bによりハウジング70の開口部を通りハウジング70の外部に向けて搬送搬出される。得られた被加工物Wを、公知の手段で切断し、周縁部が加工された複数個図15では4枚の被加工物Wcが得られる図15E参照。得られた被加工物Wcの周縁部は薄膜層が除去され、基材ガラスが表面に露出している。変更例噴射された噴射材および粉塵が、周縁部加工室10および内側部加工室30に連結された吸引手段によって十分に吸引できる場合は、クリーニング室A62およびクリーニング室B67を設けなくてもよく、すなわち、周縁部加工室10および内側部加工室30のみで加工することができる。また、クリーニング室A62またはクリーニング室B67のいずれか一方を使用してもよい。周縁部のみを加工する場合は、内側部加工室30を配置しなくてもよく、あるいは、内側部加工室30を配置した場合においては、前記ノズルB35から噴射材を噴射しなくてもよい。内側部加工室30は、複数台配置することができる。内側部加工室30を複数台配置し、前記のような加工を行うことでより小さく被加工物Wを分割することができる。例えば、内側部加工室を2台配置すると、被加工物Wより9枚の被加工物wを得ることができる。クリーニング室20は、被加工物Wの相対的な移動方向前方側に吸引部材C23を、その反対側にノズルC25を配置してもよい。また、その際はノズルC25の噴射口が該被加工物Wの移動方向前方側に向くように配置することが好ましい。該ノズルC25より噴射された圧縮空気は、該被加工物に衝突後反射するが、傾けて配置されていることで該吸引部材C23に向かう。すなわち、反射した圧縮空気の気流には、被加工物Wより脱離した噴射材および粉塵が含まれており、これらの噴射材および粉塵を効率よく吸引回収することができる。該被加工物Wと該ノズルC25のなす角度は30~75°であることが好ましい。角度が小さすぎると、吸引カバーX22の開口端部22bにおける外気の吸引力が圧縮空気の噴射力を下回るため、周縁部加工室外に噴射材および粉塵が漏出し、角度が大きすぎると、先述の効果が十分に得られない。本実施形態における加工において、被加工物Wを90°旋回させる前の加工時図15Aまたは90°旋回させた後の加工時図15Dのいずれかの加工で、ノズルB35から噴射材を噴射すればよい。例えば、本実施例のように、内側部加工ユニット40を1台使用して正方形の被加工物Wの加工をおこなった場合、正方形の被加工物Wより長方形の被加工物wを2枚得ることができる。また、前述と同様に、目的となる被加工物wの寸法に合わせて内側部加工室または内側部加工ユニットを複数台設置することができる。平行する2辺の周縁部を加工後、前記加工終了位置にて被加工物Wを反転後、移送手段52によって加工開始位置まで移送させて残りの2辺を加工してもよい。すなわち、移送手段52の往復運動によって加工を行うことができる。ただし、その際は、残りの2辺を加工する際は被加工物Wの移動方向は逆方向となるので、クリーニング室A21およびクリーニング室B41を周縁部加工室10および内側部加工室30に隣接させる場合は、反転前の移動方向前方側と反転後の移動方向前方側の双方に設置する必要がある。また、この際、搬送装置A51Aが被加工物Wの挿入排出を兼ねることができる。加工物Wをテーブル52aに固定後、加工ユニット60を移動させて加工を行ってもよい。ハウジングは、加工ユニット60、移送手段52の全体、および搬入装置51A、搬出装置51Bの全体を覆う必要はなく、前記加工開始位置と前記加工終了位置の間等、一部のみを覆ってもよい。また、加工ユニットから噴射材および粉塵の漏出がなく、また周辺雰囲気の埃等が被加工物Wおよび前記ローラ51bに付着するおそれがない場合は、ハウジングを配置しなくてもよい。本実施形態では、被加工物Wの平行する2辺を同時に加工するために2台の周縁部加工室10を配置したが、1台のみ配置して加工を行ってもよい。前記実施形態の加工装置を用いて、1100×1400mmの薄膜太陽電池パネルの4辺の周縁部の薄膜層の除去除去幅は11mmを行った周縁部の薄膜層のみを除去するため、ノズルB35から噴射材は噴射しなかった。ノズルAから噴射圧力0.6MPaにて噴射材WA600を噴射した。また、薄膜太陽電池パネルの移動速度を200mm/sとした実施例1。また、比較として、下部が吸引手段と連通しているブラスト加工室内に、ブラスト加工ノズルを移送させる手段に連結されたブラスト加工ノズルを1本用い、該ノズルを移送させることで同様の加工を行った。ブラスト加工ノズル、噴射圧力、噴射材は実施例1と同じとし、またブラスト加工ノズルの移動速度は実施例1における薄膜太陽電池パネルの移動速度と同様の200mm/sとした比較例1。評価は、加工時間、加工領域での薄膜層の残留、加工領域以外での薄膜層の受傷の有無について行った。加工領域での評価はSEM観察によって行い、評価は、残留薄膜層なし:○残留薄膜層があるが、残留薄膜層は単独で存在している加工箇所以外の薄膜層と連続していない:△残留薄膜層があり、かつ加工箇所以外の薄膜層と連続している:×、とした。また、加工領域以外での薄膜層の受傷については、SEM観察によって行い、加工領域以外での薄膜層の受傷については、加工境界から1mm以上の箇所において、受傷なし:◎加工境界から2mm以上の箇所において受傷なし:○、加工境界から2mm以上の箇所に受傷あり:×、とした図28参照。矢印は傷一部を示す。太陽電池パネルの加工においては、加工箇所以外の薄膜層が受傷することで起電力の低下を招くため、加工境界より1mm以上の箇所で受傷がないことが望ましいが、実際に太陽電池モジュールとする際は2mm以上の箇所に受傷がなければ支障がないためである。実施例1では加工時間が40秒の加工時間で、薄膜層の残留がなく、また、加工箇所以外での薄膜層の受傷は、加工境界より1mm以上の箇所では確認されなかった。これに対し、比較例1では、加工時間は90秒と実施例1の2.25倍必要であり、また、薄膜層の残留はなかったものの、加工箇所以外での受傷は、加工境界より2mm以上の箇所でも多くみられた。これは、被加工面に衝突して跳ね返った噴射材および粉塵が、ブラスト加工ノズルおよびその周辺設備例えば、該ノズルの移送手段に衝突して反射した結果、該噴射材が加工箇所以外に衝突したことによる。実施例1では、被加工面に衝突した噴射材は、吸引部材13を介して吸引手段により吸引回収されるため、前述のように受傷が防ぐことができたと考えられる。また、周縁部加工室10内に外気を取り込むための空隙sa1sa2により、被加工物Wと周縁部加工室10が接触することなく、接触による受傷も見受けられなかった。さらに、本実施形態において、ノズルB35からも実施例1と同じ条件にて噴射材WA600を噴射することで、周縁部および、内側部の加工を行った実施例2。実施例1と同じ加工時間で、周縁部および内側部の加工を行うことができ、加工箇所での薄膜層の残留はなかった。加工しない箇所での薄膜層の受傷は、周縁部は実施例1と同様加工境界より1mm以上の箇所で確認されず◎の評価となったが、内側部においては2mm以上の箇所で受傷は確認されなかったが、1~2mmの箇所で確認されたことから○の評価となった。これは、被加工面に衝突した噴射材は、吸引部材33を介して吸引手段により吸引回収されることにより、比較例1に示すような受傷が防ぐことができたと考えられる。しかしながら、周縁部加工室に比べ噴射材および粉塵の吸引部材33への移動が若干スムーズでなかったため、周縁部と内側部の評価に差が出たものと考えられるが、被加工物Wの実際の使用に関しては前述の通り問題はない。また、内側部加工室30内に外気を取り込むための空隙sb2により、被加工物Wと内側部加工室30が接触することなく、接触による受傷も見受けられなかった。