真空装置の外部に設置されたレーザ光源と、微粒子の通過する検出領域を有し、前記真空装置内部の測定対象箇所に設置された測定ユニットと、前記レーザ光源から出射されるレーザ光を第1の光ファイバを介して前記測定ユニットの内部へ導き、前記レーザ光を変調して微粒子検出用の測定光を照射する測定光照射光学系と、前記測定光の照射時に前記測定ユニットの検出領域を通過する微粒子から発せられる散乱光を受光し、第2の光ファイバを介して前記真空処理装置の外部に配置された受光素子へ導く散乱光受光光学系と、前記受光素子から出力される信号を演算処理して微粒子検出信号を出力する信号処理ユニットと、を備えた微粒子検出装置であって、前記測定光照射光学系は、前記レーザ光の波長を短い波長に変換する非線形光学結晶と、前記非線形光学結晶の入射側の面に形成され、波長変換された光のみを反射する反射膜と、前記非線形光学結晶から出射される光の光線幅を拡大するビームエキスパンダ光学系と、前記ビームエキスパンダ光学系の光軸上に前記非線形光学結晶と対向するように配置され、前記ビームエキスパンダ光学系から出射される光を反射する反射ミラーと、を含み、前記反射膜および前記反射ミラーが前記非線形光学結晶と協働して前記測定ユニット内に光学的共振器を構成すると共に、この光学的共振器内で繰り返し反射を行う前記測定光の光軸と交わるように前記検出領域を設定した、ことを特徴とする微粒子検出装置。請求項1に記載の微粒子検出装置において、前記非線形結晶は前記レーザ光を第二高調波に変換することを特徴とする微粒子検出装置。請求項1または請求項2に記載の微粒子検出装置において、前記非線形光学結晶として、LiNbO3ニオブ酸リチウム、または、KTiOPO4KTPを用いたことを特徴とする微粒子検出装置。請求項1乃至請求項3の何れかに記載の微粒子検出装置において、前記測定ユニットの筐体は金属材料製であり、その表面にはレイデント処理が施されている、ことを特徴とする微粒子検出装置。上述のように従来の微粒子検出装置にあっては、真空装置の排気ラインに検出装置を配置することで真空装置内部の微粒子の検出を行っている。しかしながら、排気ラインにおける測定では、真空装置内部の総和的な微粒子数の測定は可能であるものの、真空装置内部の発塵箇所の特定や発塵のタイミングを明確にすることは困難である。歩留まり向上の観点から発塵源を特定し対策を講じるにしても、排気ラインの測定だけでは対処する事ができない。加えて、排気ラインに到達せずに真空処理装置内部に留まる微粒子もあると想定され、真空装置内部の発塵状況を正確に把握することもできない。このような事情から、真空装置内部に検出装置を配置してリアルタイムで微粒子を測定することが望まれるようになっており、微粒子の検出に必要な光学系を真空装置内部に配置して微粒子を測定することも試みられている。しかしながら、真空装置の内部は、高真空かつ高温環境下であり、殆どの光源、受光素子には耐真空性および耐熱性がないため何らかの工夫が必要となる。この点については、1真空装置の観察窓からレーザ光を照射したり、2光ファイバを介して真空装置内部にレーザ光を導く、といった対応が考えられる。しかしながら、1の方法に関しては、実際の真空装置の観察窓が必ずしも都合の良い位置にはなく、ましてや都合の良い数があるわけでもないので、真空装置内部でミラーやプリズムを用いてレーザ光を曲げ、所望の位置までレーザ光を導くという形態にせざるを得ない場合が多く、光学部品の汚損に起因する光量減衰や光軸調整の煩雑さといった問題もあって実現が難しい。また、2の方法に関しては、光ファイバを介すると光量が大幅に減衰するため、計測に必要な測定用のレーザ光の光量を確保するには高出力レーザ光源を用意する必要があり、高価な装置となってしまう。本発明は上記の問題点に鑑みなされたもので、真空装置内部の所望の箇所に設置してリアルタイムで浮遊する微粒子を検出することができ、しかも、安価で、高感度な微粒子計測を実現することのできる微粒子検出装置を提供することを目的とする。請求項1の発明は、真空装置の外部に設置されたレーザ光源と、微粒子の通過する検出領域を有し、前記真空装置内部の測定対象箇所に設置された測定ユニットと、前記レーザ光源から出射されるレーザ光を第1の光ファイバを介して前記測定ユニットの内部へ導き、前記レーザ光を変調して微粒子検出用の測定光を照射する測定光照射光学系と、前記測定光の照射時に前記測定ユニットの検出領域を通過する微粒子から発せられる散乱光を受光し、第2の光ファイバを介して前記真空処理装置の外部に配置された受光素子へ導く散乱光受光光学系と、前記受光素子から出力される信号を演算処理して微粒子検出信号を出力する信号処理ユニットと、を備えた微粒子検出装置であって、前記測定光照射光学系は、前記レーザ光の波長を短い波長に変換する非線形光学結晶と、前記非線形光学結晶の入射側の面に形成され、波長変換された光のみを反射する反射膜と、前記非線形光学結晶から出射される光の光線幅を拡大するビームエキスパンダ光学系と、前記ビームエキスパンダ光学系の光軸上に前記非線形光学結晶と対向するように配置され、前記ビームエキスパンダ光学系から出射される光を反射する反射ミラーと、を含み、前記反射膜および前記反射ミラーが前記非線形光学結晶と協働して前記測定ユニット内に光学的共振器を構成すると共に、この光学的共振器内で繰り返し反射を行う前記測定光の光軸と交わるように前記検出領域を設定した、ことを特徴とする。請求項2の発明は、請求項1に記載の微粒子検出装置において、前記非線形結晶は前記レーザ光を第二高調波に変換することを特徴とする。請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載の微粒子検出装置において、前記非線形光学結晶として、LiNbO3ニオブ酸リチウム、または、KTiOPO4KTPを用いたことを特徴とする。請求項4の発明は、請求項1乃至請求項3に記載の微粒子検出装置において、前記測定ユニットの筐体は金属材料製であり、その表面にはレイデント処理が施されていることを特徴とする。本発明によれば、レーザ光源、受光素子、および信号処理ユニットなどの構成要素を真空装置の外部に設置する一方、真空装置内部の所望の測定対象箇所に測定ユニットを配置し、測定光照射光学系の第1の光ファイバを介してレーザ光を測定ユニットへ導くと共に、微粒子から発せられる散乱光を散乱光受光光学系の第2の光ファイバを介して外部の受光素子へ導く構成としているので、微粒子検出装置に耐真空性および耐熱性を持たせることが出来る。また、レーザ光をより短い波長に変換して測定光として照射するようにしているので微粒子から発せられる散乱光の光量を多くすることができ、さらに、測定ユニット内に光学的共振器を組み、この光学的共振器内で反射を繰り返す測定光の光軸と交わるように検出領域を設定しているので、検出領域に照射される測定光の光量光パワー密度は非常に高いものとなり、光ファイバによる伝送損失を十分に補うことができることと相俟って、高感度で微粒子の検出を行うことが可能になる。以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。図1に示す微粒子検出装置100は、半導体製造装置、液晶をはじめとするフラットディスプレイ製造装置など、その内部が1.33×10-3Pa105Torrといった高真空状態になる真空処理装置10を対象に、装置内部で発生する粉塵の量を管理するものである。微粒子検出装置100は、微粒子に測定光を照射したときに微粒子から発せられる散乱光に基づいて数量および大きさを測定する光散乱検出方式を採用している。図1に示すように、レーザ光源40とその駆動回路41、受光信号光信号を電気信号に変換して出力する受光素子74、信号処理ユニット電気回路50などの構成要素は、耐真空性及び耐熱性の問題から、真空装置10の外部に設置された本体筐体30内に収容されている。真空装置10内部の所望の場所測定対象箇所には測定ユニット20が設置されている。この測定ユニット20は、方形状を呈する筐体21の両側壁に貫通穴を有し、紙面と垂直な方向に微粒子80の通過する検出領域22が形成されている。測定光照射光学系60は、レーザ光源40に結合された第1のホルダ61と第1の光ファイバ62と測定ユニット20に設けられた照射部63とからなり、レーザ光源40から出射されたレーザ光を第1の光ファイバ62を介して真空装置10内部の測定ユニット20へ導光する。第1のホルダ61は、レーザ光を集光する集光レンズを収容すると共に、この集光レンズと対向するように第1の光ファイバ62の入射端側を保持している。なお、検出領域22に向けて測定光65を照射する照射部63の詳細については後述する。また、散乱光受光光学系70は、光検出素子74に結合された第2のホルダ73と第2の光ファイバ72と測定ユニット20に設けられた受光部71とからなり、微粒子80から発せられる散乱光81を捉え、第2の光ファイバ72を介して受光素子74へ導光する。受光部71は、散乱光81を集光する集光レンズを収容すると共に、この集光レンズと対向するように第2の光ファイバ72の入射端側を保持している。そして、第2のホルダ73は、結合効率を高めるための集光レンズを収容すると共に、この集光レンズと対向するように第2の光ファイバ72の出射端側を保持している。ここで、真空装置10が稼動して真空状態になると、プロセスガスの流れや重力により装置内部で微粒子パーティクルが浮遊または降下する。この微粒子80の一部が測定ユニット20の検出領域22に到達した場合、照射部63から照射された測定光65によって微粒子80から散乱光81が発せられる。この散乱光81は受光部71で集光され、第2の光ファイバ72を介して外部の受光素子74へと導かれる。受光素子74は、散乱光81の受光量に応じた電気信号を信号処理ユニット50へ出力する。信号処理ユニット50は、この電気信号を増幅した後、演算処理波高分析を行って微粒子の数量と大きさを求め、測定結果を出力する。このように、外部に設置したレーザ光源40からの出射光を第1の光ファイバ62を介して真空装置10内部の測定ユニット20へ導く構成とすれば、測定ユニット20を比較的自由な位置に設置できるという利点がある。しかしながら、レーザ光源40と測定光照射光学系60との間、及び受光素子74と散乱光受光光学系70との間の結合効率は良くても50程度であり、光ファイバによる伝送損失は大きい。粒子の検出感度は、微粒子80に照射される光量に大きく依存するため、測定ユニット20の検出領域22に到達する光量が小さいと微粒子の高感度検出が困難になってしまう。そこで、本実施形態に係る微粒子検出装置100では、光ファイバを用いることの利便性を確保しつつ、測定光照射光学系60の照射部63の構成に工夫を凝らすことで、高感度な微粒子検出を可能にしている。以下、図2に基づいて照射部63の構成を詳細に説明する。測定ユニット20の一方の側壁に取り付けられた照射部63の筐体635内には、集光レンズ631、非線形光学結晶632、及びビームエキスパンダ634などの光学部品が配置されている。また、測定ユニット20の他方の側壁には、反射ミラー用のホルダ64が取り付けられており、非線形光学結晶632と対向するように高反射率ミラー641が配置されている。非線形光学結晶632は、例えば、LiNbO3ニオブ酸リチウムやKTiOPO4KTPといった入射光の波長を変換することのできる素子である。また、この非線形光学結晶632の光源からの光が入射する面側には、波長変換後の光だけを反射する波長選択性を有する反射膜633が蒸着されている。第1の光ファイバ62の端面から出射されたレーザ光は、集光レンズ631を介して非線形光学結晶632に照射され、非線形光学結晶632で所定の波長に波長変換された後、ビームエキスパンダ634でビーム幅を拡大されて測定光65となる。そして、この測定光65は、非線形光学結晶632と対向する位置に配置された高反射率ミラー641で反射され、再度ビームエキスパンダ634に戻り、さらには非線形光学結晶632に到達する。非線形光学結晶632には反射膜633が設けられているので、ここで再度、測定光65は反射し、高反射率ミラー641に向かうことになる。本実施形態における反射膜633および高反射率ミラー641は、非常に高い光反射率好ましくは、999以上の光反射率を有しており、そのため反射膜633及び高反射率ミラー641が非線形光学結晶632と協働して光学的共振器を構成する。従い、この光学的共振器内で繰り返し反射をする測定光65は、非常に高い光パワー密度をもつものとなる。この測定光65の光量光パワー密度は、高反射率ミラー641と反射膜633の反射率に大きく依存するが、数10W以上の高出力を実現することができる。この光パワー密度であれば、微粒子80の高感度検出例えば01μmの検出が可能となり、前述の各光ファイバによる伝送損失を十分に補うことができる。なお、微粒子80から発せられる散乱光81に関しては、微粒子80に照射する光の波長が短い方がより散乱光量が多くなることが知られている。つまり、同じ光量であっても短波長の測定光65を照射する方が、より高感度に微粒子80を検出できる。そこで、本実施形態に係る微粒子検出装置においては、非線形光学結晶632を用いた波長変換部により、第1の光ファイバ62から出射されるレーザ光を第二高調波光の周波数は2倍、波長は12に変換している。すなわち、測定光65の光パワーの増強だけでなく、波長も短くすることによっても微粒子80の高感度検出を可能にするようにしている。具体的には、非線形光学結晶632としてニオブ酸リチウムなどの光学結晶を選定すればよい。また、このような真空装置10に適用される装置では、微粒子検出装置100自体からのアウトガスおよび発塵のないことが極めて重要である。特に真空装置10の内部に設置される測定ユニット20からの発塵は、真空装置10内部を汚染するだけに留まらず誤検出の原因になる。そこで、本実施形態においては、金属材料からなる測定ユニット20の筐体21の表面に、耐真空性と耐熱性に優れた表面処理であって真空状態で発塵の少ないレイデント処理を施している。これにより、長期に渡って高い測定精度で微粒子の測定を行うことが可能になる。なお、上述の実施形態の説明では、真空装置10内に1つの測定ユニット20を設置した例にもとづいて説明を行ったが、本発明はこれに限定されるものではなく、真空装置10内の複数の箇所に測定ユニット20を設け、レーザ光源40から伝送されるレーザ光を分岐させて各測定ユニット20に導くようにして、複数個所で微粒子の検出を同時に行うようにしても良いことは勿論である。