底部と側壁とを含み、内部に突出する支持部が形成される、ことを特徴とする真空熱処理装置用の熱処理容器。前記支持部は、前記熱処理容器の深さ方向に延長される、請求項1に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記支持部は、前記側壁に配置される、請求項1に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記支持部は、各側壁に1つまたは複数形成される、請求項3に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記支持部は、矩形状または円弧状である断面を有する、請求項1に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記支持部は、前記熱処理容器に一体形成される、請求項1に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記熱処理容器は、炭化珪素製造用である、請求項1に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。曲面形状部を備えた平面形状を有する、真空熱処理装置用の熱処理容器。前記熱処理容器の平面形状は、曲面を有する、請求項8に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記熱処理容器の平面形状は、円形または楕円形である、請求項8に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記熱処理容器は、内部に空間部を具備し、一面が開口され、前記熱処理容器を覆う蓋部材をさらに含み、前記蓋部材は、第1厚さを有し、前記熱処理容器に接触する第1部分と、前記第1厚さより厚い第2厚さを有し、前記空間部に対応する第2部分と、を含む、請求項8に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記第1部分に隣接した前記第2部分の側面は、前記蓋部材の蓋面に対して傾斜され、あるいは円弧状である、請求項11に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記熱処理容器において、前記蓋部材と隣接した部分に排気通路が形成された、請求項11に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。前記熱処理容器は、炭化珪素製造用である、請求項8に記載の真空熱処理装置用の熱処理容器。本発明の目的は、熱応力による破損を防止できる真空熱処理装置用の熱処理容器を提供することにある。本発明の一実施形態による真空熱処理装置用の熱処理容器は、底部と側壁とを含み、内部に突出する支持部が形成される。支持部は、熱処理容器の深さ方向に延長されてもよい。支持部は、側壁に配置されてもよい。支持部は、各側壁に1つまたは複数形成されてもよい。支持部は、矩形状または円弧状である断面を有していてもよい。支持部は、熱処理容器に一体形成されてもよい。熱処理容器は、炭化珪素製造用であってもよい。本発明の他の実施形態による真空熱処理装置用の熱処理容器は、曲面形状部を有する平面形状を含んでもよい。熱処理容器の平面形状は、曲面を有していてもよい。熱処理容器の平面形状は、円形または楕円形であってもよい。熱処理容器は、内部に空間部を具備し、一面が開口され、熱処理容器を覆う蓋部材をさらに含み、蓋部材は、第1厚さを有し、熱処理容器に接触する第1部分と、第1厚さより厚い第2厚さを有し、空間部に対応する第2部分と、を含んでもよい。第1部分に隣接した第2部分の側面は、蓋部材の蓋面に対して傾斜され、あるいは円弧状であることが好ましい。熱処理容器において、蓋部材と隣接した部分に排気通路が形成されていることが好ましい。熱処理容器は、炭化珪素製造用であってもよい。本発明による真空熱処理装置では、熱処理容器の内部に支持部を形成して高温で熱応力によって熱処理容器が変形することを防止することができる。この際、支持部を熱処理容器の深さ方向に沿って延長されるように形成して熱処理容器の変形を効果的に防止することができる。本発明による真空熱処理装置では、熱処理容器の形状を最適化し、熱処理容器に加えられる熱応力を最小化することにより、熱処理容器の変形及び破損を防止することができる。この際、蓋部材の形状を最適化して容器部と蓋部材との衝突による破損も防止することができる。本発明について説明するに当たって、各層膜、領域、パターン、または構造物が、基板、各層膜、領域、パッド、またはパターンの上に、または下に形成されるという記載は、直接または他の層を介して形成されることを全て含む。図面において、各層膜、領域、パターン、または構造物の厚さやサイズは説明の明確化のため及び便宜上変形することがあり、実際のサイズをそのまま反映するものではない。以下、添付した図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態による真空熱処理装置の概略図である。図1を参照すると、実施形態による真空熱処理装置100は、チャンバ10と、チャンバ10内に配置された断熱部材20と、断熱部材20の内部に配置された熱処理容器部30と、加熱部材40と、を含む。以下、これらについてさらに詳細に説明する。雰囲気ガス供給パイプ図示せずを通じてチャンバ10の内部に雰囲気ガスが注入される。雰囲気ガスには、アルゴンAr、ヘリウムHeなどの不活性ガスを使用することができる。チャンバ10内に配置される断熱部材20は、熱処理容器部30が反応に適した温度に維持されるように断熱する役割を果たす。このような断熱部材20は高温に耐えることができるように黒鉛を含むことが好ましい。原料が充填され、これらの反応によって所望の物質が生成される熱処理容器部30が、断熱部材20の内部に配置される。このような熱処理容器部30は高温に耐えることができるように黒鉛を含むことが好ましい。反応中に生成されるガスまたは未反応ガスなどは熱処理容器部30に連結された排気口12を通じて排出することができる。断熱部材20と熱処理容器部30との間には熱処理容器部30を加熱する加熱部材40が配置される。このような加熱部材40はさまざまな方法により熱処理容器部30に熱を供給することができる。一例として、加熱部材40は黒鉛に電圧を加えて熱を発生させることができる。このような真空熱処理装置100の熱処理容器部30は、原料を入れて熱を加えて所望の物質を製造する坩堝であるが、これについて図2及び図3を参照して後述する。このような真空熱処理装置100は、一例として、炭素源と珪素源とを含む混合原料を加熱して炭化珪素を製造する炭化珪素の製造装置に用いられる。即ち、真空熱処理装置100の熱処理容器部30に炭素源と珪素源とを混合した混合原料を入れて加熱部材40によりこれらを共に加熱する。本実施形態において、珪素源は珪素を提供することができるさまざまな物質を含むことができる。一例として、珪素源はシリカを含むことができる。このような珪素源には、シリカ粉末、シリカゾル、シリカゲル、石英粉末などが挙げられる。しかしながら、実施形態はこれらに限定されるものではなく、珪素を含む有機珪素化合物を珪素源として使用することもできる。炭素源は、固体炭素源または有機炭素化合物を含む。固体炭素源には、黒鉛、カーボンブラック、カーボンナノチューブcarbonnanotube:CNT、フラーレンfullerene:C60などが挙げられる。有機炭素化合物には、フェノール、フラン、キシレン、ポリイミド、ポリウレタン、ポリビニールアルコール、ポリアクリロニトリル、またはポリビニールアセテートなどが挙げられる。その他にも、セルロース、しょ糖、ピッチ、タールなどを使用することができる。このような珪素源と炭素源とを混合させる。また、有機炭素化合物が炭素源として用いられる場合には、固体炭素源の場合より約2倍多い炭素源が必要となる。しかしながら、炭化過程で生成される炭素生成量によって多少の差が生じる場合がある。有機炭素化合物が炭素源として使われる場合には、珪素源と炭素源とが混合した混合物を加熱して混合物に含まれた炭素源を炭化させる。このような炭化工程は、温度700°C以上1200°C以下が好ましいが、900°C以上1100°C以下に維持することがより好ましい。しかしながら、炭素源が有機炭素化合物ではない場合、炭化工程は省略できる。以後、熱処理容器部30に炭素源と珪素源とが混合された原料を入れて加熱すれば、以下の反応式1乃至3による炭素熱還元反応carbothermalreactionにより炭化珪素が製造される。反応式1SiO2sCs→SiOgCOg反応式2SiOg2Cs→SiCsCOg反応式3SiO2s3Cs→SiCs2COgこのような加熱工程は、アルゴンAr雰囲気や真空雰囲気で遂行できる。真空度は0.03torrから0.5torr以下であってもよく、0.03torrから0.1torr以下とすることが好ましい。真空度が0.03torr以下の場合、量産設備に対する機械的な負荷が多く、追加の設備が必要となるため設備のメインテナンスが困難であり、費用が嵩む場合がある。加熱温度は1300°C以上1900°C以下、より好ましくは1600°C以上1900°C以下としてもよい。ここで、加熱時間は約3時間であるが、これに限定されるものではない。このように、本実施形態の真空熱処理装置100は炭化珪素製造用に使用できるが、実施形態はこれに限定されるものではない。合成に熱処理を必要とする多様な物質の製造に利用できることは勿論である。図2及び図3を参照して、第1実施形態による真空熱処理装置の熱処理容器部についてより詳細に説明する。図2は本発明の第1実施形態による真空熱処理装置の熱処理容器部の斜視図であり、図3は図2のIII-III線に沿って切断した熱処理容器部の一部を示す断面図である。図2及び図3を参照すると、熱処理容器部30は、内部の空間部を具備し、一面が開口される熱処理容器150と、この熱処理容器150を覆う蓋部材130と、を含む。このような熱処理容器部30は高温に耐えることができる物質、例えば黒鉛からなってもよい。熱処理容器150は一体に形成される底部と側壁とを含み、内部に原料が充填される空間部が備えられる。そして、図2を参照すると、熱処理容器150の内壁に内部に向けて突出する支持部152が形成される。このような支持部152は高温で熱応力により熱処理容器150が変形することを防止できる。真空熱処理装置が炭化珪素を製造する炭化珪素製造装置に用いられる場合を例にとって説明する。熱処理容器150内に炭素源、珪素源などが充填され、高温による反応によって炭化珪素が生成される。この際、熱処理容器150が高温に耐えるために黒鉛からなるため、熱処理容器150の黒鉛と珪素源とが反応して熱処理容器150の内部に炭化珪素層が形成される。そうすると、黒鉛からなる熱処理容器150に異種物質である炭化珪素層が形成されるため、熱処理容器150の中間部分Cが周辺部分より外部に向けて撓むことがある。ここに、本実施形態では熱処理容器150の側壁に撓む力を保持する支持部152を形成して熱処理容器150の変形を防止することができる。図面では支持部152が熱処理容器150の内壁に形成されたものとして図示したが、実施形態はこれに限定されるものではない。したがって、支持部152は熱処理容器150の外壁に形成することもできる。このような支持部152は熱処理容器150の深さ方向に沿って延長してもよい。これによって、熱処理容器150の変形を効果的に防止することができる。図3を参照すると、支持部152は断面が矩形からなってもよい。しかしながら、実施形態はこれに限定されるものではない。即ち、図4に示すように、支持部154の断面が台形からなってもよい。または、図5に示すように、支持部156の断面で隅部分Rを円弧状roundとしてもよい。図6に示すように、支持部158が凸形状を有して全体的に円弧状であってもよい。このように、支持部152、154、156、158は多様な断面形状を有してもよい。また、図3を参照すると、このような支持部152は熱処理容器150と一体に形成されて熱処理容器150との結合特性に優れて、熱処理容器150が撓むことを効果的に防止できる。しかしながら、実施形態はこれに限定されるものではない。即ち、図7に示すように、支持部160が熱処理容器150と別個に形成されて熱処理容器150に付着させてもよい。また、図2を参照すると、このような支持部152は熱処理容器150の各側壁に1つずつ形成できる。この場合、支持部152は熱処理容器150の中間部分Cに配置してもよい。しかしながら、実施形態はこれに限定されるものではない。即ち、図8に示すように、支持部162が熱処理容器150の各側壁に複数形成されてもよい。この際、1つの側壁に複数形成された支持部162は所定間隔をおいて互いに離隔させてもよい。また、変形例として図9に示すように、このような熱処理容器150と蓋部材130とを含む熱処理容器部30を複数積層し、この外部を外郭部材310で覆いかぶせるようにすることができる。このような外郭部材310にも支持部図示せずを形成することもでき、これもまた実施形態の範囲に属する。以下、本発明の他の実施形態による熱処理容器部を図10乃至図13を参照して説明する。上述した実施形態と同一の構成については詳細な説明を省略し、互いに異なる部分のみについて詳細に説明する。図10は、本発明の第2実施形態による真空熱処理装置の熱処理容器部の斜視図である。図11は、図10のX-X線に沿って切断した断面図である。図10及び図11を参照すると、熱処理容器部30の平面形状は曲面形状部を有して熱処理容器部30の破損を防止することができる。真空熱処理装置は、例えば炭化珪素を製造する炭化珪素製造装置に使われる。熱処理容器部30内に炭素源、珪素源などが充填され、高温による反応によって炭化珪素が生成される。この際、熱処理容器部30が高温に耐えるために黒鉛からなってもよいが、熱処理容器部30の黒鉛と珪素源とが反応して熱処理容器部30の内部に炭化珪素層が形成される。そうすると、黒鉛からなる熱処理容器部30に異種物質である炭化珪素層が形成される。従来は炭化珪素の熱膨張係数が熱処理容器部30をなす黒鉛の熱膨張係数より大きいので、熱処理容器部30の中間部分が膨らむことがあった。しかしながら、本実施形態では熱処理容器部30の平面形状が曲面形状部を含むようにして熱処理容器部30に加えられる熱応力同士の間の指向性を利用して熱処理容器部30に加えられる力を最小化することができる。これによって、熱処理容器の変形及び破損を防止することができる。この際、熱処理容器部30の平面形状が全て曲面からなり熱処理容器部30に加えられる力をほぼゼロに近づけることができる。一例として、熱処理容器部30の平面形状が円形または楕円形であってもよい。本実施形態において、熱処理容器部30は内部の空間部を具備し、一面が開口される熱処理容器32と、この熱処理容器32を覆う蓋部材34と、を含むことができる。熱処理容器32は反応原料が充填される内部の空間部を具備する。そして、熱処理容器32には排気通路322が形成されて蓋部材34と熱処理容器32との間に気体が流れるようにすることができる。このような排気通路322によって熱処理時に発生するガスが排出される。このような排気通路322は第1実施形態の熱処理容器図2の参照符号150にも形成できることは勿論である。蓋部材34は、熱処理容器32に接触するように外郭領域に形成される第1部分341と、熱処理容器32の空間部に対応するように中央領域に形成される第2部分342と、を含むことができる。この際、第2部分342の第2厚さT2を第1部分341の第1厚さT1より大きく形成して熱処理容器32と蓋部材34をしっかりと固定することができる。第1部分341に隣接した第2部分342の側面343は蓋部材34の蓋面に対して傾斜するように形成される。このように、側面343を傾斜するように形成することによって、熱処理容器32と蓋部材34との衝突による破損を効果的に防止することができる。第2部分342の側面343は多様な形状を有することができ、一例として、図12及び図13に示すように、側面344、345が円弧状のround部分を含むことができる。このような蓋部材34は上述した第1実施形態にも適用できる。そして、本実施形態でも、図5に示すように、このような熱処理容器32と蓋部材34とを含む熱処理容器部30を複数積層し、この外部を外郭部材図5の参照符号310、以下、同一が覆いかぶさるようにすることができる。このような外郭部材310の蓋部材も上述した第1部分と第2部分とを有することができ、これもまた発明の範囲に属する。以上、実施形態で説明した特徴、構造、効果などは、本発明の少なくとも1つの実施形態に含まれ、必ずしも1つの実施形態のみに限定されるものではない。延いては、各実施形態で例示された特徴、構造、効果などは、実施形態が属する分野の通常の知識を有する者により他の実施形態に対しても組み合せられ、または変形されて実施可能である。したがって、このような組み合せと変形に関連した内容は本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。以上、本発明を好ましい実施形態をもとに説明したが、これは単なる例示であり、本発明を限定するものではない。本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲内で、多様な変形及び応用が可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、実施形態に具体的に表れた各構成要素は変形して実施することができ、このような変形及び応用にかかわる差異点も、特許請求の範囲で規定する本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。