"放電ガスが封入された長尺状の放電管と、一対の電極と、を備え、前記放電管のうち当該放電管の長手方向に沿った外周面の一部が、前記放電管内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域とされ、前記一対の電極は、前記外周面の周方向において前記一対の電極の間に前記光取り出し領域が位置するように前記外周面上にそれぞれ配置されていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックを備え、前記一対の電極の少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる棒状の形状をなし、当該棒状形状の電極の各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記放電管は断面円形状の丸管であって、前記棒状形状の電極のうち前記放電管と対向する内側面は曲面とされ、当該内側面の曲率は前記放電管の外周面の曲率以下であることを特徴とする請求の範囲第2項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記棒状形状の電極のうち、前記放電管と対向する内側面以外の外側面においては、隣り合う面の間にテーパ面が形成されていることを特徴とする請求の範囲第2項または第3項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記保持ブロックの前記放電管の前記長手方向における端部に対向する対向面には、前記放電管を収容する放電管収容部と、前記放電管収容部を挟むように配置され、前記一対の電極をそれぞれ収容する電極収容部とが形成されていることを特徴とする請求の範囲第2項ないし第4項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記保持ブロックには、前記電極収容部の前記電極の端面に対向する奥面から連なり、前記保持ブロックの前記対向面とは反対側の非対向面にまで達する貫通孔が形成され、前記電極の端面には、前記貫通孔から挿入されたネジが螺合するネジ孔が形成されていることを特徴とする請求の範囲第5項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記電極の端面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度と、前記電極収容部の前記奥面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度とを異ならせて、前記電極を前記保持ブロックに連結したときに前記電極が前記放電管を押圧するように設定したことを特徴とする請求の範囲第6項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記放電管と前記一方の電極との間に、導電性の弾性部材が弾性変形された状態で挿入されていることを特徴とする請求の範囲第2項ないし第7項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックと、前記長手方向に延びる棒状の部材であって、前記長手方向における各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結される梁部材と、を備え、前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記放電管の外周面と前記梁部材との間に配置され、前記保持ブロックに連結された前記梁部材によって前記外周面側に押圧されることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる平板状をなし、前記梁部材の前記外周面と対向する対向面には、前記長手方向に沿った溝が形成されており、前記保持ブロックに連結されることにより前記一方の電極は、前記対向面のうち前記溝の両側縁に押圧されてU字形に湾曲されつつ前記外周面側に押圧されることを特徴とする請求の範囲第9項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記長手方向に延びる平板状の電極には、複数のスリットが設けられていることを特徴とする請求の範囲第10項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記長手方向に延びる平板状の電極には、前記長手方向と交差する方向に突出形成され、前記梁部材の溝に差し込まれて、前記平板状の電極のずれを防止するずれ防止突部が設けられていることを特徴とする請求の範囲第10項または第11項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記放電管は断面円形状の丸管であって、前記放電管には係合部が設けられ、前記一対の保持ブロックの少なくとも一方の保持ブロックには前記係合部と係合する被係合部が設けられていることを特徴とする請求の範囲第2項ないし第12項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。前記放電管において前記一対の電極に挟まれる2つの部分のうち、一方の部分は前記光取り出し領域とされ、他方の部分には絶縁性の反射膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第1項ないし第13項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。請求の範囲第2項ないし第14項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプを複数本、前記放電管の長手方向と交差する方向に並列配置してなる誘導体バリア放電ランプ列と、前記誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における一方の保持ブロックをまとめて支持する第一の支持部材と、前記複数本の誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における他方の保持ブロックをまとめて支持する第二の支持部材と、を備えることを特徴とするランプユニット。前記第一の支持部材は、電源に連なる第1電源端子側に接続される給電部材であり、前記第二の支持部材は、前記電源に連なる第2電源端子側に接続される給電部材であり、隣り合う2本の前記誘電体バリア放電ランプ間で互いに対向する前記電極同士は、前記第一の支持部材及び前記第二の支持部材のいずれか一方に共通接続されていることを特徴とする請求の範囲第15項に記載のランプユニット。前記第一の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、電源に連なる第1電源端子側に接続される給電部材であり、前記第二の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、前記電源に連なる第2電源端子側に接続される給電部材であり、前記各誘電体バリア放電ランプが有する前記一対の電極のうち一方の電極は前記第一の支持部材に電気的に接続され、他方の電極は前記第二の支持部材に電気的に接続されていることを特徴とする請求の範囲第15項または第16項のいずれか一項に記載のランプユニット。隣り合う2本の誘電体バリア放電ランプ間には、その対向する前記電極同士を離間する方向に付勢する付勢部材が設けられていることを特徴とする請求の範囲第15項ないし第17項のいずれか一項に記載のランプユニット。発明が解決しようとする課題上述したように従来の誘電体バリア放電ランプは、放電管のうち光を取り出すための光取り出し領域下面にメッシュ電極が配置されている。このため、光取り出し領域から出射された光の一部がメッシュ電極の網目で遮光される分だけ光透過率が低かった。本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、その目的は、光取り出し領域における光透過率を向上させることが可能な誘電体バリア放電ランプを提供することにある。課題を解決するための手段上記の目的を達成するための手段として、本発明は、放電ガスが封入された長尺状の放電管と、一対の電極と、を備え、前記放電管のうち当該放電管の長手方向に沿った外周面の一部が、前記放電管内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域とされ、前記一対の電極は、前記外周面の周方向において前記一対の電極の間に前記光取り出し領域が位置するように前記外周面上にそれぞれ配置されていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプである。本発明によれば、一対の電極は、放電管の外周面の周方向において両電極の間に光取り出し領域が位置するように配置されており、当該光出射領域には電極が存在しない。そのため、光取り出し領域に電極が配置された従来の構成に比べて、光透過率を高めることができる。また、本発明によれば、光取り出し領域の内面が直接プラズマにさらされないから光透過率の低下を小さくすることができる。ところで、メッシュ電極を備える放電ランプから光を取り出す場合には、メッシュ電極において生じるマイクロスパッタによる光透過率低下を防止するために、光透過性の保護膜たとえばMgF2などが必要となり、コスト高となることがあった。しかし、本発明によれば、マイクロスパッタを引き起こすメッシュ電極を設けなくてもよいので、光透過性の保護膜を不要とすることができる。本発明の誘電体バリア放電ランプは以下の構成であってもよい。1前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックを備え、前記一対の電極の少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる棒状の部材であって、当該棒状の電極の各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結されていてもよい。このような構成とすると、棒状の部材である電極は放電管の長手方向における各端部を保持する一対の保持ブロック間を連結することで、構造材梁として放電管を保護するよう機能する。そのため、電極とは別に構造材を設けた構成に比べて部品点数を低減させることができる。1の構成において前記放電管は断面円形状の丸管であって、前記棒状形状の電極のうち前記放電管と対向する内側面は曲面とされ、当該内側面の曲率は前記放電管の外周面の曲率以下であってもよい。放電管の内側面の曲率が放電管の曲率よりも大きいと、両者の間で発生したスパッタが外部に漏れ易くなり、スパッタにより生じた金属膜等が光取り出し領域に付着し、当該光取り出し領域の光透過率が低下してしまうおそれがある。そこで上記のような構成とすると、スパッタが外部に漏れることを抑制することができる。1の構成において、前記棒状形状の電極のうち、前記放電管と対向する内側面以外の外側面においては、隣り合う面の間にテーパ面が形成されていてもよい。このような構成とすると、電極において角ばった部分をなくすことができるので外側面でコロナ放電が生じることを抑制することができる。1の構成において前記保持ブロックの前記放電管の前記長手方向における端部に対向する対向面には、前記放電管を収容する放電管収容部と、前記放電管収容部を挟むように配置され、前記一対の電極をそれぞれ収容する電極収容部とが形成されていてもよい。このような構成とすると、保持ブロックにより、放電管が一対の電極の間に挟まれて一体化された状態で保護される。上記構成において、前記保持ブロックには、前記電極収容部の前記電極の端面に対向する奥面から連なり、前記保持ブロックの前記対向面とは反対側の非対向面にまで達する貫通孔が形成され、前記電極の端面には、前記貫通孔から挿入されたネジが螺合するネジ孔が形成されていてもよい。このような構成とすると、電極の端面に形成されたネジ孔に電極収容部の貫通孔から挿入されたネジを螺合させることで、電極が保持ブロックに強固に固定される。上記構成において、前記電極の端面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度と、前記電極収容部の前記奥面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度とを異ならせて、前記電極を前記保持ブロックに連結したときに前記電極が前記放電管を押圧するように設定してもよい。このような構成とすると、電極を保持ブロックに連結した際に電極が放電管を押圧するので放電管と電極との非接触領域を確実に低減することができる。1の構成において、前記放電管と前記一方の電極との間に、導電性の弾性部材が弾性変形された状態で挿入されていてもよい。このような構成とすると、弾性部材により放電管と電極との非接触領域が低減するから、放電管の点灯時において放電管と電極との間で放電が生じることを抑制することができる。2前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックと、前記長手方向に延びる棒状の部材であって、前記長手方向における各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結される梁部材と、を備え、前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記放電管の外周面と前記梁部材との間に配置され、前記保持ブロックに連結された前記梁部材によって前記外周面側に押圧されていてもよい。このような構成とすると、少なくとも一方の電極は梁部材によって放電管の外周面に押圧されるから、当該電極と外周面とをより確実に接触させることができる。また、梁部材自体が構造材として作用するから、上記一方の電極自体に高い強度は不要である。2の構成において、前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる平板状をなし、前記梁部材の前記外周面と対向する対向面には、前記長手方向に沿った溝が形成されており、前記保持ブロックに連結されることにより前記一方の電極は、前記対向面のうち前記溝の両側縁に押圧されてU字形に湾曲されつつ前記外周面側に押圧されていてもよい。このような構成とすると、平板状の電極が、梁部材側に形成された溝の両側縁によってU字形に湾曲されつつ放電管の外周面側に押圧されるから、上記一方の電極の両側縁側を外周面側により確実に接触させることができる。2の構成において、前記長手方向に延びる平板状の電極には、複数のスリットが設けられていてもよい。このような構成とすると、平板状の電極が熱を受けた際にスリットから熱を逃がすことができ、熱膨張による変形を防ぐことができる。また2の構成において、前記長手方向に延びる平板状の電極には、前記長手方向と交差する方向に突出形成され、前記梁部材の溝に差し込まれて、前記平板状の電極のずれを防止するずれ防止突部が設けられていてもよい。このような構成とすると、電極が梁部材の所定位置に位置決めされ、ずれにくくなる。3前記放電管は断面円形状の丸管であって、前記放電管には係合部が設けられ、前記一対の保持ブロックの少なくとも一方の保持ブロックには前記係合部と係合する被係合部が設けられていてもよい。電極と放電管とが相対的に回転すると、放電管のうち電極との隙間や電極のエッジ部分で生じた微少放電によって電極材が放電管へスパッタされることにより汚れた領域が、光取り出し領域の一部を構成するようになり、その結果、当該光取り出し領域における光透過率が低下するおそれがある。しかし、上記のような構成とすると、係合部と被係合部とが係合することにより、電極と放電管とが相対的に回転することを抑えて、当該光取り出し領域における光透過率が低下することを抑制することができる。4前記放電管において前記一対の電極に挟まれる2つの部分のうち、一方の部分は前記光取り出し領域とされ、他方の部分には絶縁性の反射膜が形成されていてもよい。このような構成とすると、別途、反射板を設ける必要がない。また、反射膜は絶縁性なので、一対の電極間が短絡することを防止することができる。また、上記の目的を達成するための手段として、本発明は、前記誘電体バリア放電ランプを複数本、前記放電管の長手方向と交差する方向に並列配置してなる誘導体バリア放電ランプ列と、前記誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における一方の保持ブロックをまとめて支持する第一の支持部材と、前記複数本の誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における他方の保持ブロックをまとめて支持する第二の支持部材と、を備えることを特徴とするランプユニットである。この発明によれば、従来のものよりも光取り出し領域の光透過率を高めた誘電体バリア放電ランプが複数本、並列配置された状態で支持部材及び梁部材により一体化されている。そのため、例えば複数本の誘電体バリア放電ランプを所定の設置場所からまとめて取り出して交換作業を行うなど、利便性を向上させることができる。本発明のランプユニットは以下の構成であってもよい。前記各誘電体バリア放電ランプが有する前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記長手方向に延びる棒状の形状をなし、かつ、当該棒状形状の電極の各端部が前記第一の支持部材と前記第二の支持部材とに連結されることにより前記梁部材を構成していてもよい。このような構成とすると、各誘電体バリア放電ランプが有する一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、導電性の棒状の部材であり、梁部材を構成するから、この一方の電極によって各誘電体バリア放電ランプの放電管が保護される。また、電極と梁部材とを共通化することにより、両者を別部材とする構成に比べて部品点数を低減させることができる。前記梁部材は、前記各誘電体バリア放電ランプに対して少なくとも1本ずつ設けられ、前記各誘電体バリア放電ランプが有する一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記放電管の外周面と1本の前記梁部材との間に配置され、前記第一の支持部材と前記第二の支持部材とに連結された前記梁部材によって前記外周面側に押圧されていてもよい。このような構成とすると、少なくとも一方の電極は梁部材によって放電管の外周面に押圧されるから、当該電極と外周面とをより確実に接触させることができる。また、各梁部材自体が構造材として作用するから、上記一方の電極自体に高い強度は不要である。前記第一の支持部材は、電源に連なる第1電源端子側に接続される給電部材であり、前記第二の支持部材は、前記電源に連なる第2電源端子側に接続される給電部材であり、隣り合う2本の前記誘電体バリア放電ランプ間で互いに対向する前記電極同士は、前記第一の支持部材及び前記第二の支持部材のいずれか一方に共通接続されていてもよい。このような構成とすると、隣り合う2本の誘電体バリア放電ランプ間で互いに対向する電極同士が、第一の支持部材及び第二の支持部材のいずれか一方に共通接続されている。このため、例えば対向する電極の一方が第一の支持部材に接続され、他方が第二の支持部材に接続された構成において両電極が短絡するといった事態を回避することができ、誘電体バリア放電ランプ同士の間隔を狭くすることができる。前記第一の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、電源に連なる第1電源端子側に接続される給電部材であり、前記第二の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、前記電源に連なる第2電源端子側に接続される給電部材であり、前記各誘電体バリア放電ランプが有する前記一対の電極のうち一方の電極は前記第一の支持部材に電気的に接続され、他方の電極は前記第二の支持部材に電気的に接続されていてもよい。このような構成とすると、第一の支持部材と第二の支持部材とを、棒状の部材であって誘電体バリア放電ランプの並列方向上記交差する方向における構造材とするとともに、電源からの電力を電極に供給する給電部材としても機能させることができる。隣り合う2本の誘電体バリア放電ランプ間には、その対向する前記電極同士を離間する方向に付勢する付勢部材が設けられていてもよい。このような構成とすると、付勢部材の付勢力により、各電極は放電管の外周面側に押圧されるため、電極と放電管との非接触領域が低減し、放電管の点灯時において放電管と電極との間で放電が生じることを抑制することができる。発明の効果本発明によれば、光取り出し領域における光透過率を向上させることができる。実施形態1のランプユニットの上面図である。ランプユニットの前面図である。ランプユニットの左側面図である。ランプユニットの右側面図である。誘電体バリア放電ランプの上面図である。誘電体バリア放電ランプの側面図である。図6のB-B断面図である。図6のC-C断面図である。図5のA-A断面図である。連結前の側面電極と保持ブロックとを示した拡大図である。連結後の側面電極と保持ブロックとを示した拡大図である。実施形態2の側面電極と保持ブロックの連結前における放電管と側面電極とを示した模式図である。側面電極と保持ブロックとの連結後における放電管と側面電極とを示した模式図である。実施形態3の誘電体バリア放電ランプの断面図である。放電管、電極及び梁部材の分解図である。実施形態4の各誘電体バリア放電ランプ1の放電管及び側面電極を模式的に示した上面図である。実施形態5のランプユニットの下面図である。誘電体バリア放電ランプの下面図である。誘電体バリア放電ランプの側面図である。放電管、電極および梁部材の分解側面図である。ずれ防止突部を折り曲げる前の電極の上面図である。1,101誘電体バリア放電ランプ2,102誘電体バリア放電ランプ列3,103放電管3A,103A光取り出し領域3B凸部係合部5側面電極105電極7,110保持ブロック7E凹部被係合部9反射膜10,100ランプユニット21,121給電部材支持部材21A,121A給電部材第1の支持部材21B,121B給電部材第2の支持部材33コイルスプリング弾性部材43梁部材51コイルスプリング付勢部材106スリット107ずれ防止突部130梁部材132梁部材の溝<実施形態1>本発明の実施形態1について図1~図10を参照しつつ説明する。なお、各図に示されたXの矢印方向がランプユニット10、誘電体バリア放電ランプ1の右方誘電体バリア放電ランプ1の長手方向を示し、Yの矢印方向が前方を示し、Zの矢印方向が上方を示す。1.ランプユニットの全体構成図1は本実施形態のランプユニット10の上面図であり、図2はその前面図であり、図3は左側面図であり、図4は右側面図である。ランプユニット10は、図1に示すように、複数本例えば10本の誘電体バリア放電ランプ1を前後方向に並列した状態で一体化したものである。具体的には、ランプユニット10は、上記複数本の誘電体バリア放電ランプ1誘電体バリア放電ランプ列2、及び、一対の給電部材21第一の支持部材21A及び第二の支持部材21Bの一例を備えて構成されている。2.各誘電体バリア放電ランプの構成図5は誘電体バリア放電ランプ1の上面図であり、図6はその側面図であり、図7は図6のB-B断面図である。各誘電体バリア放電ランプ1は、放電管3と、一対の側面電極5,5電極の一例と、一対の保持ブロック7,7とを備える。放電管3の左右方向長手方向に沿った外周面のうち下面側外周面の一部の一例が、当該放電管3内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域3Aとされている図6を参照。一対の側面電極5,5は、放電管3の外周面の周方向において両電極5,5の間に光取り出し領域3Aが位置するように外周面上にそれぞれ配置されている。以下、両側面電極を区別する場合には側面電極5A,側面電極5Bという。1放電管放電管3は、合成石英ガラス製の円筒の両端を閉じた単管構造を有する。即ち、図7に示すように放電管3は断面が円形の丸管である。放電管3内部に形成された放電空間6内には誘電体バリア放電用ガスが充填されている。なお、この誘電体バリア放電ランプ1は、汎用の丸管を、複雑な加工をせずにほとんどそのままを放電管3として使用する。すなわち、円筒形の原管丸管の両端を、排気管チップ管を有するように先端先細り状に加工し、チップ管から放電用ガスを封入する。そして、チップオフする封止加工により放電管とする。従って、扁平な角筒状の放電管を使用する構成に比べて、加工負担コストを低減することができる。なお、誘電体バリア放電用ガスとしては、キセノンXe、アルゴンAr、及びクリプトンKr、等の希ガス、並びにフッ素F2、塩素Cl2等のハロゲンガス等が使用される。誘電体バリア放電ランプ1は、ガスの種類によって、異なる波長172nm、222nm、308nm等の波長のエキシマ光を発光する。例えば、電子部品の洗浄、すなわち、電子部品に付着した有機化合物を分解するためには、172nmを中心波長とするエキシマ光が用いられる。したがって、この場合には、キセノンXeを含有するガスが使用される。なお、ガスの封入圧力は特に限定されないが、通常、10~80KPa程度の圧力で封入される。2側面電極各側面電極5は、放電管3と略同等の長さを有する棒状の形状をなす部材梁部材の一例である図6を参照。側面電極5の材質としてはアルミ合金、ステンレスSUS、真鍮など、導電性を有するものであればよいが、コスト面や加工性を考慮するとアルミ合金が好ましい。なお、各側面電極5は、押出成形または切削により製造することができる。また、各側面電極5はアルマイト処理により表面に酸化皮膜が形成されている。側面電極5の端面5Dのネジ孔5Cは導通確保のためアルマイト処理はされていない。また、図7に示すように、一対の側面電極5A,5Bは、放電管3を前後方向から挟んだ位置に配置されている。より具体的には、一対の側面電極5A,5Bは、それぞれの位置と放電管3の中心軸Oとを結ぶ直線同士がなす角度θ1が略180度をなすように配置されている。更に図7に示すように、各側面電極5のうち放電管3と対向する内側面11は、当該放電管3の外面とほぼ同じ曲率の曲面になっている。なお、内側面11の曲率は、放電管3の曲率と同等、或いは、それよりも小さい方が好ましい。その理由は次の通りである。即ち、内側面11の曲率が放電管3の曲率よりも大きいと、両者3,11間で発生したスパッタが外部に漏れ易くなる。そうすると、そのスパッタにより生じた金属膜等が光取り出し領域3Aに付着し、当該光取り出し領域3Aの光透過率が低下してしまうおそれがある。これに対して、内側面11の曲率が放電管3の曲率以下とすれば、スパッタが外部に漏れることを抑制することができるからである。また、各側面電極5のうち上記内側面11以外の外側面については、それを構成する上面と前面或いは後面との間、下面と前面或いは後面との間にそれぞれテーパ面13が形成されている。このテーパ面13を形成することにより、各側面電極5において角張った部分を無くし、外側面でコロナ放電が生じることを抑制することができる。なお、外側面全体を曲面形状にすれば、コロナ放電をより効果的に抑制することができる。3反射膜放電管3において電極5A,5B間に挟まれる2つの部分のうち、下側部分が光取り出し領域3Aとされ、上側部分の外面には絶縁性の反射膜9が形成されている。この反射膜9には、例えば絶縁性の微粒子を焼結してなる反射膜や誘電体多層膜など、公知のものを利用することができる。4保持ブロック図8は図6のC-C断面図であり、図9は図5のA-A断面図である。但し、図8,9には、前述した誘電体バリア放電ランプが2本だけ例示され、且つ、これらを連結するための上記給電部材21,21が示されている点で、図5~7とは異なる。一対の保持ブロック7,7は、図5,6に示すように放電管3の各端部をそれぞれ保持するように配置される。以下、両保持ブロック7,7を区別する場合には保持ブロック7A,保持ブロック7Bという。各保持ブロック7は、例えばセラミックスなど、絶縁性を有する材料で形成されている。各保持ブロック7は、全体として直方体状をなし、そのうち放電管3と対向する対向面7Cには、放電管収容部23と一対の電極収容部25とが形成されている。放電管収容部23は、放電管3の外形に対応した断面円形状の凹所であり、放電管3の端部を収容可能になっている。なお、放電管収容部23の奥側は放電管3の端部形状に対応して、先端先細り状に形成されている。一対の電極収容部25は、放電管収容部23を前後で挟むように配置されている。各電極収容部25は、側面電極5の外形に対応した断面略矩形状の凹所であり、側面電極5の端部を収容可能になっている。また、各電極収容部25の奥面25Aには、保持ブロック7のうち上記対向面7Cとは反対側の非対向面7Dまで達する貫通孔27が形成されている。この貫通孔27は、放電管3の左右方向に沿って延びており、電極収容部25寄りのネジ挿通部分27Aと、当該ネジ挿通部分27Aよりも径大である径大部分27Bとから構成されている。一方、各側面電極5の端面5Dには、ネジ孔5Cが形成されている。そして、図8に示すように、放電管3及び側面電極5の各端部に保持ブロック7A,7Bがそれぞれ嵌められており、貫通孔27から挿入されたネジ29のネジ部が、ネジ挿通部分27Aを通って側面電極5のネジ孔5Cに螺合されている。これにより、一対の側面電極5,5は、放電管3を挟みつつ、保持ブロック7A,7B間を連結する梁として放電管3を保護するよう機能し、これにより放電管3と一対の側面電極5,5とが一体化されている。5放電管の回転を抑制するための構成放電管3に対して側面電極5を蒸着などにより接合する構成でも良いが、本実施形態では、蒸着等による作業負担やコスト高を抑制するために、放電管3と側面電極5とは接合されていない。このため、例えば振動などにより側面電極5に対して放電管3が相対的に回転するおそれがある。ここで、仮にこの相対的な回転を許容すると、放電管3のうち側面電極5のエッジ部分との間で生じた放電により汚れた部分が、光取り出し領域3Aの一部を構成するようになり、その結果、当該光取り出し領域3Aにおける光透過率が低下するおそれがある。そこで、本実施形態では、誘電体バリア放電ランプ1には、放電管3の回転を抑制するための構成が設けられている。具体的には、図5,7に示すように、放電管3の端部寄りの部分には凸部3B係合部の一例が形成されている。一方、保持ブロック7には、その凸部3Bと係合可能な凹部7E同図の切り込み部分、被係合部の一例が形成されている。そして、両者3B,7Eが係合することにより、側面電極5に対して放電管3が相対的に回転することを抑制することができる。6放電管と側面電極との非接触領域を低減するための構成図10Aは連結前の側面電極5と保持ブロック7とを示した拡大図であり、図10Bは連結後の側面電極5と保持ブロック7とを示した拡大図である。上述したように放電管3と側面電極5とは接合されていないため、両者3,5間に非接触領域が多くなり得る。そうすると、側面電極5への電圧印加時において両者3,5間に放電が生じ易くなり、その放電により放電管3や側面電極5が劣化して寿命が短くなるおそれがある。そこで、側面電極5と保持ブロック7との連結前において電極収容部25の奥面25Aと側面電極5の端面5Dとで前後方向側面電極5A,5Bの並び方向、放電管の長手方向に垂直な方向に対する角度を異ならせている。これにより、ネジ29による連結時において側面電極5が放電管3に押圧されるようにしている。図10Aに示した例では、側面電極5Aの端面5Dが前後方向に略平行である一方、電極収容部25の奥面25Aがやや放電管収容部23側に向くように前後方向に対して傾斜している。このため、側面電極5Aと保持ブロック7Bとをネジ29により連結した際、両面5D,25A間において側面電極5Aを放電管3側に反らせる力が生じ、その結果、側面電極5Aが放電管3に押圧される。これにより、上記非接触領域を少なくすることができる。なお、その他の例として、電極収容部25の奥面25Aが前後方向に略平行である一方、側面電極5Aの端面5Dがやや放電管収容部23側に向くように前後方向に対して傾斜している構成が挙げられる。3.給電部材の構成図8に示すように複数本の誘電体バリア放電ランプ1は、前後方向に沿って並列され、棒状の給電部材21,21によって一体化できるようになっている。以下、両給電部材21,21を区別する場合には給電部材21A,給電部材21Bという。各給電部材21は、図3および図4に示すように、前後方向に延びる扁平な棒状形状の部材である。給電部材21の材質としてはアルミ合金、ステンレスSUS、真鍮など、導電性を有するものであればよいが、コスト面や加工性を考慮するとアルミ合金が好ましい。給電部材21Aは、交流電圧を印加する電源装置の高電圧端子図示せず第1電源端子の一例側に電気的に接続されると共に、複数本の誘電体バリア放電ランプ1の保持ブロック7Aをまとめて支持する第1の支持部材21Aとして機能する。他方の給電部材21Bは、電源装置のアース端子図示せず第2電源端子の一例側に電気的に接続されると共に、複数本の誘電体バリア放電ランプ1の保持ブロック7Bをまとめて支持する第2の支持部材21Bとして機能する。具体的には、上記ネジ29には、頭部が長い第1ネジ29Aと、頭部が短い第2ネジ29Bとの2種類あり、少なくとも第1ネジ29Aは導電性を有する材料で形成されている。また、第1ネジ29Aの頭部にはネジ孔29Cが形成されている。側面電極5Aは、その一方の端面5D右側端面に第1ネジ29Aが螺合され、その第1ネジ29Aの頭部に、給電部材21Aに形成されたネジ挿通孔21Cから通されたネジ31が螺合されている。このため、側面電極5Aと給電部材21Aとが電気的に接続される。また、側面電極5Aは、その他方の端面5D左側端面に第2ネジ29Bが螺合されており、当該第2ネジ29Bと給電部材21Bとは離間している。このため、側面電極5Aと給電部材21Bとは絶縁状態になっている。逆に、側面電極5Bは、その一方の端面5D右側端面に第2ネジ29Bが螺合されており、当該第2ネジ29Bと給電部材21Aとが離間している。このため、側面電極5Bと給電部材21Aとは絶縁状態になっている。また、側面電極5Bは、その他方の端面5D左側端面に第1ネジ29Aが螺合され、その第1ネジ29Aの頭部に、給電部材21Bに形成されたネジ挿通孔21Cから通されたネジ31が螺合されている。このため、側面電極5Bと給電部材21Bとが電気的に接続される。以上のように、側面電極5Aは、給電部材21Aに直接連結されると共に、保持ブロック7Bを介して間接的に給電部材21Bに連結される。また、側面電極5Bは、給電部材21Bに直接連結されると共に、保持ブロック7Aを介して間接的に給電部材21Aに連結される。そして、側面電極5Aは給電部材21Aを介して電源装置の上記高電圧端子側に接続され、側面電極5Bは給電部材21Bを介してアース端子側に接続される。しかも、隣り合う2本の誘電体バリア放電ランプ1,1間で互いに対向する側面電極5A,5Bは、給電部材21A及び給電部材21Bのいずれか一方に共通接続されている。図8では、前側の誘電体バリア放電ランプ1の側面電極5Bと、後側の誘電体バリア放電ランプ1の側面電極5Aとが給電部材21Bに接続される。また、当該後側の誘電体バリア放電ランプ1の側面電極5Bと、更に後側の誘電体バリア放電ランプ図示せずの側面電極5Aとが給電部材21Aに接続されている。このため、例えば対向する一方の側面電極5Aが給電部材21Aに、他方の側面電極5Bが給電部材21Bに別々に接続された構成において両電極5A,5Bが短絡するといった事態を回避することができ、各誘電体バリア放電ランプ1同士を近接配置することができる。4.本実施形態の効果本実施形態によれば、一対の側面電極5,5は、放電管3の外周面の周方向において両電極5,5の間に光取り出し領域3Aが位置するように外周面上にそれぞれ配置されている。このため、光取り出し領域3Aには電極が存在しない。従って、光取り出し領域にメッシュ電極が配置された従来の構成に比べて、光透過率を高めることができる。また、誘電体バリア放電ランプにより被処理物例えば液晶パネルのガラス基板を光洗浄する場合、雰囲気中のミストや被処理物から発生する分解ガスにより光取り出し領域が汚れて、当該光取り出し領域における光透過率が低下することがある。そのため、その汚れを除去する必要がある。しかし、上記特許文献1に記載の従来の構成従来の構成では、メッシュ電極が邪魔になり光取り出し領域の汚れを除去することが困難であった。これに対して、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ1においては、光取り出し領域3Aに電極が存在しないため、光取り出し領域3Aの汚れを簡単に除去することができる。また、従来の構成では、電極への電圧印加時において、メッシュ電極にスパッタが発生して放電管の表面に金属膜が付着して、光取り出し領域における光透過率が低下するおそれがある。これに対して、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ1は、光取り出し領域3Aに電極が存在しないため、たとえ側面電極5においてスパッタが発生しても光取り出し領域3Aに金属膜が付着し難く、光取り出し領域3Aにおける光透過率の低下を抑制することができる。また、従来の構成のようにメッシュ電極を使用する場合には、それを放電管に形成するのに手間とコストがかかるが、本実施形態によれば、メッシュ電極を使用しないので、そのような手間やコストを低減することができる。更に、従来の構成では、光取り出し領域に形成されたメッシュ電極が被処理物と接触するなどして断線し、誘電体バリア放電ランプ自体が使用できなくなるおそれがあるが、本実施形態ではそのようなことが発生することを抑制することができる。さらに、本実施形態によれば、放電管3には凸部3B係合部が設けられ、保持ブロック7には凹部7E被係合部が設けられているから、係合部と被係合部とが係合することにより、電極5と放電管3とが相対的に回転することを抑えて、光取り出し領域3Aにおける光透過率が低下することを抑制することができる。さらに、本実施形態によれば、複数本の誘電体バリア放電ランプが並列配置された状態で給電部材21支持部材及び側面電極5梁部材により一体化されている。このため、複数本の誘電体バリア放電ランプ1を所定の設置場所で平面ランプとして使用しつつ、当該設置場所からまとめて取り出して交換作業を行うなど、利便性を向上させることができる。更に、本実施形態において、一対の保持ブロック7,7は放電管3の各端部をそれぞれ保持し、側面電極5,5は棒状の形状をなす部材であり、一対の保持ブロック7,7間を連結することで構造材梁として放電管3を保護するように機能する。そのため、電極とは別に構造材を設けた構成に比べて部品点数を低減させることができる。また、側面電極5として棒状形状のものを用いることによりメッシュ電極等に比べて断面積が大きくなるためインピーダンスが低くなり、電極での電力ロスを低減させることができる。加えて、本実施形態では、側面電極5,5間であって光取り出し領域3Aとは異なる部分に絶縁性の反射膜9が形成されている。このため、別途、反射板を設ける必要がない。また、反射膜9は絶縁性なので、側面電極5,5間が短絡することを防止することができる。<実施形態2>図11A,11Bは実施形態2を示す。上記実施形態1との相違は、放電管3と側面電極5との接触方法にあり、その他の点は前記実施形態1と同様である。従って、実施形態1と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。図11Aは側面電極5と保持ブロック7との連結前における放電管3と側面電極5とを示した模式図であり、図11Bは側面電極5と保持ブロック7との連結後における放電管3と側面電極5とを示した模式図である。本実施形態では、放電管3と側面電極5との間に、導電性のクッション部材弾性部材が弾性変形された状態で挿入されている。具体的には、側面電極5のうち放電管9との対向面5Eに、左右方向に沿って溝5Fが形成されており、その溝5F内にコイルスプリング33クッション部材の一例が挿入されている図11A参照。そして、側面電極5と保持ブロック7と連結すると、コイルスプリング33が放電管3と側面電極5との間に挟まれて圧縮変形する。これにより、両者3,5の非接触領域を少なくすることができる。なお、コイルスプリング33以外に、例えばスチールワイヤや導電性ゴムなどでもよい。本実施形態によれば、コイルスプリング33により放電管3と側面電極5との非接触領域が低減するから、側面電極5への電圧印加時において放電管3と側面電極5との間で放電が生じることを抑制することができる。<実施形態3>図12A,12Bは実施形態3を示す。上記実施形態1との相違は、電極の構造、及び、放電管3を保護するための梁構造にあり、その他の点は前記実施形態1と同様である。従って、実施形態1と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。図12Aは本実施形態の誘電体バリア放電ランプ1を左右方向から見た断面図であり、図12Bは放電管3と、一対の電極41,41と、一対の梁部材43,43とを組み付ける前の分解図である。以下、両電極41,41を区別する場合には電極41A,電極41Bといい、両梁部材43,43を区別する場合には梁部材43A,梁部材43Bという。各電極41は、放電管3の左右方向に沿って延びる平板状の板バネである。素材としてはりん青銅、ステンレス、ベリリウム銅など、導電性を有するものであればよいが、特に耐食性が高い材質が好ましく、本実施形態では厚さ略0.03mmのステンレス製の板バネである。各梁部材43は、放電管3の左右方向に沿って延びる棒状の部材である。具体的には、各梁部材43のうち放電管3の外周面との対向面には、上記左右方向に沿った溝45が開口形成されており、これにより、各梁部材43は、左右方向から見た断面が略C字形角ばったCをなしている。なお、各梁部材43は、ステンレス製であればアルマイト処理が不要であり、例えば鏡保持用などに使用される汎用のCチャンネルを利用すれば更にコストを低減することができる。一対の保持ブロック7,7には、各梁部材43の左右方向における各端部の断面形状に対応した電極収容部25,25が形成されている。そして、各梁部材43は、図12Bに示すように、放電管3との間に各電極41を挟むようにして配置され、左右方向の各端部が一対の保持ブロック7、7の電極収容部25内に収容されつつ連結される。なお、各梁部材43は、導電性を有するステンレス製とし、例えば各端部が閉塞されており、ここに、上記実施形態1と同様のネジ29A,29Bを介して各保持ブロック7に固定され、その結果、各電極41が各給電部材21に電気的に接続される構成が好ましい。そして、各梁部材43を一対の保持ブロック7,7に連結することにより、各電極41は各梁部材43によって放電管3の外周面側に押圧される。より具体的には、各電極41は、梁部材43の開口端溝45の両側縁47,47に押圧されることにより、放電管3の外周面に倣うようにU字形に湾曲される図12A参照。これにより、各電極の上下方向における両側縁側を、放電管3の外周面により確実に接触させることができる。また、梁部材43自体が構造材として作用するから、電極に上記実施形態1,2ほどの強度を求める必要がない。<実施形態4>図13は実施形態4を示す。上記実施形態1との相違は、電極を放電管に押圧する方法にあり、その他の点は前記実施形態1と同様である。従って、実施形態1と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。図13は、各誘電体バリア放電ランプ1の放電管3及び側面電極5を模式的に示した上面図である。同図に示すように、隣り合う2本の誘電体バリア放電ランプ1,1間には、その対向する側面電極5A,5B同士を離間する方向に付勢するコイルスプリング51付勢部材の一例が圧縮変形した状態で配置されている。本実施形態によれば、コイルスプリング51の反発力付勢力により、各側面電極5は放電管3の外周面側に押圧される。このため、側面電極5と放電管3との非接触領域が低減し、放電管3の点灯時において放電管3と側面電極5との間で放電が生じることを抑制することができる。<実施形態5>本発明の実施形態5について図14ないし図18を参照しつつ説明する。図14は本実施形態のランプユニット100を下側から示した下面図である。ランプユニット100は、図14に示すように、複数本例えば10本の誘電体バリア放電ランプ101を前後方向に並列した状態で一体化したものである。具体的には、ランプユニット100は、上記複数本の誘電体バリア放電ランプ101を並列させてなる誘電体バリア放電ランプ列102、及び、一対の給電部材121,121第一の支持部材121A及び第二の支持部材121Bの一例を備えて構成されている。誘電体バリア放電ランプ列102は、図14に示すように、複数の誘電体バリア放電ランプ101を隣接する誘電体バリア放電ランプ101の接続片135詳細は後述するが隣り合うように並列して構成される図14の右下側に接続片135を有する誘電体バリア放電ランプ101を101Aとし、同図右上側に接続片135を有する誘電体バリア放電ランプ101を101Bとする。誘電体バリア放電ランプ101は、図15~図17に示すように、放電管103と、一対の電極105,105と、一対の梁部材130,130と、一対の保持ブロック110,110と、梁部材130と保持ブロック110とを接続する接続片135と、を備える。図15は誘電体バリア放電ランプ101を下側から示した下面図、図16は誘電体バリア放電ランプ101の側面図、図17は放電管103、電極105および梁部材130の分解側面図である。放電管103の長手方向図15の左右方向に沿った外周面のうち下面側は、当該放電管103内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域103Aとされ、上側部分の外面には絶縁性の反射膜図示せずが形成されている。一対の電極105,105は、放電管103の外周面の周方向において両電極105,105の間に光取り出し領域103Aが位置するように外周面上にそれぞれ配置されている。以下、両側面の電極105,105を区別する場合には電極105A,電極105Bという。なお、反射膜の構成は、上記実施形態1と同様である。図15中の104は放電空間である。放電管103は、端部寄りの部分に凸部3Bを有していないという点で実施形態1と相違するが、その他の構成は、実施形態1の誘電体バリア放電ランプ1の放電管3と概ね同じである。各電極105は、放電管103の長手方向に沿って延びる平板状の板バネである。素材としてはりん青銅、ステンレス、ベリリウム銅など、導電性を有するものであればよいが、特に耐食性が高い材質が好ましく、本実施形態では厚さが略0.03mmのステンレス製の板バネを用いている。本実施形態において、各電極105には、図18に示すように、長手方向と交差する方向に形成された複数のスリット106が設けられている。スリット106は電極105の長手方向に沿った縁部および中央部分に、多数形成されている。これらのスリット106は、電極105が熱を受けた際に熱を逃がして、電極105が熱膨張により変形するのを防止する機能を有する。なお、本実施形態においても、実施形態3と同様に、一対の梁部材130,130を一対の保持ブロック110,110に連結することにより、各電極105は各梁部材130,130によって放電管103の外周面側に押圧されるようになっている。これにより、各電極105の上下方向における両側縁側を、放電管103の外周面により確実に接触させることができる。さらに、各電極105には、図18に示すように、長手方向と交差する方向幅方向に突出形成された複数の突部107が設けられている。複数の突部107は、略垂直に折り曲げられて、梁部材130,130の溝131に差し込まれ、これにより電極105がずれることなく、梁部材130,130の所定位置に組みつけられている。すなわち、電極105に設けられた突部107は、電極105がずれるのを防ぐずれ防止突部の一例。一対の梁部材130,130は、放電管103の長手方向に沿って延びる棒状の部材であり、実施形態3の梁部材43と同様に、放電管103の外周面との対向面に長手方向に沿った溝131が開口形成されている。これにより本実施形態の梁部材130も、左右方向から見た断面が略C字形をなしている。なお、各梁部材130として、ステンレス製のものを用いれば、アルマイト処理が不要であり、例えば鏡保持用などに使用される汎用のCチャンネルを利用すれば更にコストを低減することができる。各梁部材130の長手方向における2つの端部130C,130Dはネジ部材140第2のネジ部材140Bの螺合により各保持ブロック110,110に接続されている。各梁部材130の2つの端部130C,130Dには、保持ブロック110と直接接続される第1の接続孔132Aと、接続片135とともに保持ブロック110に接続される第2の接続孔132Bがそれぞれ設けられている。なお、一対の梁部材130,130を区別する場合には梁部材130A,梁部材130Bという。一対の保持ブロック110,110は、図15および図16に示すように放電管103の各端部をそれぞれ保持するように配置される。以下、両保持ブロック110,110を区別する場合には保持ブロック110A,保持ブロック110Bという。各保持ブロック110は、例えばセラミックスなど、絶縁性を有する材料で形成されている。各保持ブロック110は、全体として略円筒状をなし、そのうち放電管103と対向する対向面110Cには、放電管収容部111が形成されている。放電管収容部111は、放電管103の外形に対応した断面円形状の凹所であり、放電管103の端部を収容可能になっている。なお、放電管収容部111の奥側は放電管103の端部形状に対応して、先端先細り状に形成されている。各保持ブロック110の外側面には、外側方向に突出形成され、接続片135と給電部材121に接続される接続突部112が形成されている。接続突部112は、保持ブロック110の対向面110Cから、対向面110Cとは反対側の面110D非対向面110Dを経て対向面110Cに連なるように略U字状に形成されており、接続突部112の一端部112Aと他端部112Bとは、対向面110Cにおいて対向する位置に配される。保持ブロック110の非対向面110Dには、接続片135を間に挟んで、保持ブロックと給電部材121とを接続するネジ部材140第1のネジ部材140Aが螺合可能とされる。接続突部112の非対向面110D側に至る部分は弧状をなす弧状部112Dであり、接続片135の屈曲部138を容易に添わせられるようになっている。保持ブロック110の対向面110Cには、接続突部112の端部112A,112Bから連なり、放電管103の中央方向側図15~図17の中央方向側に突出形成され、梁部材130の端部130C,130Dが取り付けられる梁取付部113,113が対向する位置に設けられている。梁取付部113と接続突部112との間には段差114が形成されており、この段差114のところに梁部材130の端部130C,130Dが当接して固定されるようになっている。各梁取付部113には第2のネジ部材140Bの螺合により接続片135および梁部材130を接続可能とされる。接続片135は、保持ブロック110と梁部材130とを接続するとともに、保持ブロック110と給電部材121とを接続する部材であり、図17に示すように略L字状をなす導電性の部材である。接続片135は、保持ブロック110の非対向面110Dに重ねられ給電部材121に接続される第1の接続部136と、保持ブロック110の梁取付部113に取り付けられた梁部材130に接続される第2の接続部137とを有する。接続片135の第1の接続部136から第2の接続部137に至る屈曲部138は、保持ブロック110の弧状部112Dに沿う形状弧状をなすように屈曲されている。接続片135の第1の接続部136には、第1のネジ部材140Aが挿通可能なネジ挿通孔図示せずが設けられており、接続片135の第2の接続部137には、第2のネジ部材140Bが挿通されるネジ挿通孔図示せずが設けられている。また、接続片135の第2の接続部137には、保持ブロック110の接続突部112を幅方向から挟持する一対の挟持片137B,137Bが設けられている。接続片135は、1つの保持ブロック110に対して1つずつ取り付けられている。具体的には、図15の右側の保持ブロック110Aにおいては梁部材130A側に取り付けられ、同図左側の保持ブロック110Bにおいては梁部材130B側に取り付けられている。複数本の誘電体バリア放電ランプ101を一体化する一対の給電部材121,121は、放電管103の並列方向に沿って延びる棒状の部材であり、梁部材130と同様に、長手方向に沿った溝122が開口形成され、保持ブロック110,110の非対向面110Dに形成された接続突部112をはめ込んで保持可能とされる。以下、一対の給電部材121,121を区別する場合には給電部材121A,給電部材121Bという。各給電部材121の材質としてはアルミ合金、ステンレスSUS、真鍮など、導電性を有するものであればよいが、コスト面や加工性を考慮するとステンレスやアルミ合金が好ましい。各給電部材121として、梁部材130と同様のステンレス製の汎用のCチャンネルを用いると、さらにコストを低減することができるので特に好ましい。給電部材121Aは、交流電圧を印加する電源装置の高電圧端子図示せず、第1電源端子の一例側に電気的に接続されると共に、複数本の誘電体バリア放電ランプ101の保持ブロック110Aをまとめて支持する第1の支持部材121Aとして機能する。他方の給電部材121Bは、電源装置のアース端子図示せず、第2電源端子の一例側に電気的に接続されると共に、複数本の誘電体バリア放電ランプ101の保持ブロック110Bをまとめて支持する第2の支持部材121Bとして機能する。給電部材121,121には、第1のネジ部材140Aを挿入可能なネジ挿入孔123が形成されており、給電部材121,121は、第1のネジ部材140Aの螺合により、接続片135および各誘電体バリア放電ランプ101の保持ブロック110と接続されている。誘電体バリア放電ランプ101Aの電極105Aが取り付けられた梁部材130Bの一方の端部130D図14における左側端部は第2のネジ部材140Bの螺合により接続片135に接続され、この接続片135は第1のネジ部材140Aの螺合により給電部材121Bに接続されている。このため電極105Aと給電部材121Bとは電気的に接続される。一方、電極105Aが取り付けられた梁部材130Bの他方の端部130C図14における右側端部は第2のネジ部材140Bの螺合により保持ブロック110Aに接続されるため、電極105Aと給電部材121Aとは絶縁状態になっている。そして、誘電体バリア放電ランプ101Aの電極105Bが取り付けられた梁部材130Aの一方の端部130D図14における右側端部は第2のネジ部材140Bの螺合により接続片135に接続され、この接続片135は第1のネジ部材140Aの螺合により給電部材121Aに接続されている。このため電極105Bと給電部材121Aとは電気的に接続される。一方、電極105Bが取り付けられた梁部材130Aの他方の端部130C図14における左側端部は第2のネジ部材140Bの螺合により保持ブロック110Bに接続されるため、電極105Bと給電部材121Bとは絶縁状態になっている。一方、誘電体バリア放電ランプ101Bの電極105Aが取り付けられた梁部材130Bの一方の端部130D図14における右側端部は第2のネジ部材140Bの螺合により接続片135に接続され、この接続片135は第1のネジ部材140Aの螺合により給電部材121Aに接続されている。このため電極105Aと給電部材121Aとは電気的に接続される。一方、電極105Aが取り付けられた梁部材130Bの他方の端部130C図14における左側端部は第2のネジ部材140Bの螺合により保持ブロック110Bに接続されるため、電極105Aと給電部材121Bとは絶縁状態になっている。そして、誘電体バリア放電ランプ101Bの電極105Bが取り付けられた梁部材130Aの一方の端部130D図14における左側端部は第2のネジ部材140Bの螺合により接続片135に接続され、この接続片135は第1のネジ部材140Aの螺合により給電部材121Bに接続されている。このため電極105Bと給電部材121Bとは電気的に接続される。一方、電極105Bが取り付けられた梁部材130Aの他方の端部130C図14における右側端部は第2のネジ部材140Bの螺合により保持ブロック110Aに接続されるため、電極105Bと給電部材121Aとは絶縁状態になっている。そして、前記誘電体バリア放電ランプ101Bの電極105Aは梁部材130および給電部材121Aを介して電源装置の上記高電圧端子側に接続され、前記誘電体バリア放電ランプ101Bの電極105Bは梁部材130および給電部材121Bを介してアース端子側に接続される。しかも、隣り合う2本の誘電体バリア放電ランプ101A,101B間で互いに対向する電極105A,105Bは、給電部材121A及び給電部材121Bのいずれか一方に共通接続されている。図14では、誘電体バリア放電ランプ101Aの電極105Bと、これに隣接する誘電体バリア放電ランプ101Bの電極105Aとが給電部材121Aに接続される。また、誘電体バリア放電ランプ101Bの電極105Bと、これに隣接する誘電体バリア放電ランプ101Aの電極105Aとが給電部材121Bに接続されている。このため、例えば対向する一方の電極105Aが給電部材121Aに、他方の電極105Bが給電部材121Bに別々に接続された構成において両電極105A,105Bが短絡するといった事態を回避することができ、各誘電体バリア放電ランプ101A,101Bを近接配置することができる。次に本実施形態の効果を説明する。本実施形態においては、一対の電極105,105は、放電管103の外周面の周方向において両電極105,105の間に光取り出し領域103Aが位置するように、それぞれ配置されており、光取り出し領域103Aには電極105が存在しない。したがって、本実施形態によれば、実施形態1と同様に、光透過率を高めることができるとともに、光取り出し領域103Aの汚れを簡単に除去することができ、かつ、電極105においてスパッタが発生したとしても光取り出し領域103Aに金属膜が付着し難く、光取り出し領域103Aにおける光透過率の低下を抑制することができる。また、本実施形態によれば、メッシュ電極を使用しないので、放電管103にメッシュ電極を形成する手間やコストを低減することができるとともに、メッシュ電極を使用した構成における問題の発生メッシュ電極と被処理物との接触による断線の発生などを抑制することができる。また、本実施形態によれば、複数本の誘電体バリア放電ランプ101が並列配置された状態で給電部材121支持部材及び梁部材130により一体化されている。このため、複数本の誘電体バリア放電ランプ101を所定の設置場所で平面ランプとして使用しつつ、当該設置場所からまとめて取り出して交換作業を行うなど、利便性を向上させることができる。また、本本実施形態によれば、実施形態3と同様に、一対の梁部材130,130を一対の保持ブロック110,110に連結することにより、各電極105,105は各梁部材130,130によって放電管103の外周面側に押圧されるから、各電極105,105の上下方向における両側縁側を、放電管103の外周面により確実に接触させることができる。特に、本実施形態によれば、電極105には、長手方向と交差する方向に突出形成され、梁部材130の溝131に差し込まれて、平板状の電極105,105のずれを防止するずれ防止突部107が設けられているから、電極105が梁部材130の所定位置に位置決めされ、ずれにくくなり良好な接触状態を確保することができる。さらに、本実施形態では、電極105には、長手方向と交差する方向に複数のスリット106が設けられているから、電極105が熱を受けた際にスリット106から熱を逃がすことができ、熱膨張による変形を防ぐことができる。<他の実施形態>本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような種々の態様も本発明の技術的範囲に含まれる。1上記実施形態では、光取り出し領域は、被処理物側に向けられる対向部分放電管3の下側部分であったが、本発明はこれに限らず、その対向部分とは反対側の部分放電管3の上側部分でもよい。例えば紫外線照射装置の中には、誘電体バリア放電ランプの上方被処理物側とは反対側に反射板を設けて、誘電体バリア放電ランプの上側部分から出射された光を反射板にて反射させて被処理物に照射させるものがある。このように使用される誘電体バリア放電ランプでは、その放電管の上側部分が光取り出し領域である。2上記実施形態では、一対の側面電極5,5は、それぞれの位置と放電管3の中心軸とを結ぶ直線同士がなす角度が略180度をなすように配置されていたが、本発明はこれに限られない。例えば132度をなすように配置してもよい。要するに、一対の側面電極5,5は外周面の周方向において一対の電極の間に光取り出し領域が位置するように外周面上にそれぞれ配置されていればよい。但し、一対の電極5,5は、短絡しない程度に離間させる必要がある。3上記実施形態では、棒状形状や平板状の側面電極5A,5Bを用いたが、本発明の電極はこれに限られない。例えばメッシュ状、ストライプ状、放射状、又は渦巻き状の導電体からなる電極でもよい。更に、めっき、溶射、蒸着又はスパッタにより放電管3上に形成された薄膜電極や、印刷された電極でもよい。但し、上記実施形態1の構成棒状の電極であれば、電極5A,5Bを構造材梁としても機能させることができるというメリットがある。薄膜電極は、材質がアルミニウムの場合、紫外線を反射しやすいので、紫外線強度を向上するというメリットがあるが、膜厚が小さすぎると抵抗が大きくなり、膜厚が大きいと応力が大きくなって剥離しやすくなる。これらの点を考慮すると、適度な膜厚の電極を形成することができるという点で、溶射により電極を形成するのが好ましい。蒸着では真空チャンバーが必要であるが、溶射では、真空チャンバーが不要であるので低コストである。なお、溶射により電極を形成する場合には、密着性がよいという点で、アルミニウムを溶射するのが好ましい。4上記実施形態では、反射膜9を放電管3の外面に形成したが、本発明はこれに限られず、放電管3の内面に形成してもよい。特に、反射膜9が紫外線照射などにより劣化してパーチクルを発生し、それが被処理物上に落下する問題が生じ得る場合には、反射膜9を放電管3の内面に形成することが好ましい。但し、このような構成は製造負荷コストが高くなるため、上記問題が生じなければ、上記実施形態の構成を採用することが好ましい。5上記実施形態1および実施形態2では、両側面電極5,5を棒状の部材としたが、本発明はこれに限られない。例えば両側面電極5,5の少なくとも一方を、メッシュ電極等とし、保持ブロック7,7間を別の構造材で連結してもよい。但し、上記実施形態の構成であれば部品点数を低減させるなどのメリットがある。6上記実施形態3では、板バネからなる電極41を利用したが、本発明はこれに限られない。例えばステンレス製以外の導電体導電ゴム含むからなる電極でもよい。更に、メッシュ電極でもよい。7上記実施形態では、梁部材として機能する部材側面電極5や梁部材43が、各誘電体バリア放電ランプ1本につき2本設けられていたが、本発明はこれに限られない。例えば、ランプユニット全体として梁部材を1本だけ有する構成や、前後方向における端部に梁部材をそれぞれ1本ずつ有する構成でもよい。また、上記実施形態1,2において隣り合う側面電極5A,5Bを、同一部材で共通化してもよい。8上記実施形態では、付勢部材としてコイルスプリング51を利用したが、本発明はこれに限られない。対向する電極を離間する方向に付勢可能なものであればよく、例えば板バネやゴム部材でもよい。9上記実施形態5では、電極の長手方向に対して交差する方向にスリット106が形成され、かつずれ防止突部107が形成された電極105,105を備えるものを示したが、本発明はこれに限定されない。ずれ防止突部107かスリット106のいずれか一方のみが形成されている電極であってもよいし、スリット106の形成方向が長手方向に対して略平行であってもよい。10上記実施形態では、合成石英ガラス製の放電管を備えるものを示したが、放電管の材料はこれに限定されない。例えば222nmなど、200nm以下の真空紫外領域よりも高波長領域の発光であれば、合成石英ガラス以外のガラスも使用できる。放電用ガスとしてフッ素系を用いる場合は、ガラス内面に耐フッ素処理を施すと良い。"