"少なくとも1本以上の圧電材料からなる振動細棒を有する振動子において、該振動細棒の表面及び裏面のいずれか又はその両方に溝が形成されており、かつ、この溝の中に電極が形成されていることを特徴とする振動子。前記振動子が音叉型の水晶振動子であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の振動子。複数の振動細棒が形成されてなる振動子において、前記振動細棒の第1の表面及び第2の表面に溝部が形成されてなり、前記溝部の少なくとも一部に第1の電極が形成されてなり、前記振動細棒のうち前記溝部が形成された表面以外の面の少なくとも一部に第2の電極が形成されてなることを特徴とする振動子。前記第1の電極は、少なくとも前記振動細棒の根元付近に形成されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記第1の電極は前記溝部の側面のみに形成されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記溝部の一部に貫通穴が形成されていることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記振動細棒の幅と前記振動細棒の厚さの関係が、0.6×前記振動細棒の厚さ≦前記振動細棒の幅のように設定されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記各振動細棒がそれぞれほぼ同じ構造に形成されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記第2の電極が複数の面に形成されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記第2の電極同士を接続するための第3の電極が前記第1の表面に形成されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記第2の電極同士を接続するための第3の電極が前記第2の表面に形成されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記第2の電極同士を接続するための第3の電極が前記振動細棒の先端の面に形成されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。前記振動子の周波数が1KHz乃至200KHzの範囲で設定されてなることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の振動子。好ましくは前記振動子の周波数が16KHz乃至120KHzの範囲で設定されてなることを特徴とする請求の範囲第13項に記載の振動子。さらに好ましくは前記振動子の周波数が16KHz乃至33KHzの範囲で設定してなることを特徴とする請求の範囲第14項に記載の振動子。前記第1の電極、前記第2の電極若しくは前記第3の電極の表面には、絶縁膜が形成されてなることを特徴とする請求の範囲第3項乃至請求の範囲第12項のいずれかに記載の振動子。前記絶縁膜は酸化膜若しくは窒化膜からなることを特徴とする請求の範囲第16項に記載の振動子。複数の振動細棒より形成されてなる振動子において、前記振動細棒の一部に貫通孔が形成されてなり、前記貫通孔の少なくとも一部に第1の電極が形成されてなり、前記振動細棒のうち前記第1の電極と対向する面に第2の電極が少なくとも形成されてなることを特徴とする振動子。前記振動細棒の幅と前記振動細棒の厚さの関係が、0.6×前記振動細棒の厚さ≦前記振動細棒の幅のように設定されてなることを特徴とする請求の範囲第18項に記載の振動子。前記各振動細棒がそれぞれほぼ同じ構造に形成されてなることを特徴とする請求の範囲第18項に記載の振動子。電気軸をX軸、機械軸をY軸及び光軸をZ軸とした直交座標系を有し、前記X軸及び前記Y軸により形成される面に関して、基部が形成されるとともに、該基部から前記Y軸に沿って複数の振動細棒が配置される振動子において、前記複数の振動細棒の第1の表面及び第2の表面に溝部が形成されてなり、前記溝部の少なくとも一部に第1の電極が形成されてなり、前記溝部が形成された表面以外の面に第2の電極が形成されてなることを特徴とする振動子。前記振動細棒を前記X軸及び前記Z軸により形成される面における断面が略H形状に形成されてなることを特徴とする請求の範囲第21項に記載の振動子。前記第1の表面及び前記第2の表面は、前記X軸及び前記Y軸により形成される面であることを特徴とする請求の範囲第21項に記載の振動子。前記Z軸を前記振動子の厚さとしたとき、前記振動子の厚さと前記振動細棒の幅がほぼ同じであることを特徴とする請求の範囲第21項に記載の振動子。前記第1の電極及び前記第2の電極は、異なる材料により形成された層が複数層積層されてなる積層膜であることを特徴とする請求の範囲第21項に記載の振動子。前記第1の電極及び前記第2の電極の表面には酸化膜が形成されてなることを特徴とする請求の範囲第21項に記載の振動子。前記第1の電極及び前記第2の電極は、クロム、金、アルミニウム、ニッケル若しくはチタンのいずれかにより形成されてなることを特徴とする請求の範囲第25項に記載の振動子。請求の範囲第1項乃至請求の範囲第27項のいずれかに記載の振動子を搭載したことを特徴とする電子機器。ところで、このような音叉型水晶振動片10は、安定した発振周波数例えば32.768kHを維持することと、振動細棒12の振動損失を抑えるため、低いCI値クリスタルインピーダンス又は等価直列抵抗Rrを保持することが必要となっている。一方、近年の時計や電子機器は、小型化の傾向にあり、音叉型水晶振動片10も小型化が要請されている。この音叉型水晶振動片10全体を小型化するには、振動細棒12の図11における上下方向である2.4mmを更に短くする必要がある。このように、振動細棒12を短くすると共振周波数が高くなり、所望の周波数より高い周波数と成ってしまう。このため、振動細棒12の幅図11においては、0.23mmを細くして共振周波数が上昇するのを防ぐ必要があった。しかし、このように振動細棒12の幅を狭くすると、振動細棒12の振動損失であるCI値が上昇してしまうという問題があった。すなわち、図13に示すように、振動細棒22の幅図において横方向を狭くすると、電極23aの幅が大きくとれないため電界の加わる面積が減少する。すなわち図12と比較して電界はその中央付近ほど弱まる図では電界の強度を矢印の数で示した。すなわち矢印の数が多いほど電界強度は大きくなることを示している。。従って、電極23aと電極23bとの間に生じた電界図において矢印は、図示のように振動細棒22全体に分布しなくなり、図12の振動細棒12と同じ振動は生ぜず、小さくなってしまう。一方、この振動損失であるCI値の上昇を防ぐには、図12に示す音叉型水晶振動片10上下方向である厚み、例えば約0.1mm程度を、更に薄くする必要があるが、この場合、加工が著しく困難になり、製品の歩留りが悪化するという問題もあった。本発明は、以上の点に鑑み、CI値を低く抑え、且つ加工が容易な小型の振動子を提供することを目的とする。前記目的は、請求の範囲第1項の発明によれば、少なくとも1本以上の圧電材料からなる振動細棒を有する振動子において、該振動細棒の表面及び裏面のいずれか又はその両方に溝が形成されており、かつ、この溝の中に電極が形成されていることを特徴とする振動子により、達成される。前記構成によれば、該振動細棒の表面及び裏面のいずれか又はその両方に溝が形成されており、かつ、この溝の中に電極が形成されているので、加工が容易であると共に、前記振動細棒の深さ方向に一定で強く分布し、CI値の上昇を抑えることができる。また、好ましくは、請求の範囲第2項の発明によれば、請求の範囲第1項の構成において、前記振動子が音叉型の水晶振動子である。前記構成によれば、前記音叉型の水晶振動子において、前記振動細棒に配置された前記電極から生じる電界が、前記振動細棒に広く分布し、CI値の上昇を抑えることができる。前記目的は、請求範囲第3項の発明によれば、複数の振動細棒が形成されてなる振動子において、前記振動細棒の第1の表面及び第2の表面に溝部が形成されてなり、前記溝部の少なくとも一部に第1の電極が形成されてなり、前記振動細棒のうち前記溝部が形成された表面以外の面の少なくとも一部に第2の電極が形成されてなる振動子により、達成される。前記構成によれば、前記振動細棒の第1の表面及び第2の表面に溝部が形成されてなり、前記溝部の少なくとも一部に第1の電極が形成されているので、前記振動細棒のうち前記溝部が形成された表面以外の面の少なくとも一部に形成されている第2の電極と前記溝部の第1の電極との間で生じる電界が、前記振動細棒の深さ方向に一定で強く分布し、振動子の振動細棒のCI値の上昇を抑えることができる。また、好ましくは請求の範囲第4項の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記第1の電極は、少なくとも前記振動細棒の根元付近に形成されてなる振動子である。前記構成によれば、前記第1の電極は、少なくとも前記振動細棒の根元付近に形成されてなるので、前記振動細棒を振動させるに必要な電界を得ることができる。また、好ましくは請求の範囲第5項の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記第1の電極は前記溝部の側面のみに形成されてなる振動子である。また、好ましくは請求の範囲第6項の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記溝部の一部に貫通穴が形成されている振動子である。また、請求の範囲第7項に記載の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記振動細棒の幅と前記振動細棒の厚さの関係が、0.6×前記振動細棒≦前記振動細棒の幅のように設定されてなる振動子である。前記構成によれば、前記振動細棒の幅と前記振動細棒の厚さの関係が、0.6×前記振動細棒≦前記振動細棒の幅のように設定されてなるので、従来の構成である1.0×振動細棒の厚み<振動細棒の幅の関係と異なり,前記振動細棒の幅を前記振動細棒の厚みに対して十分小さく取れるため、振動子全体の小型化が可能となる。また、請求の範囲第8項に記載の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記各振動細棒がそれぞれほぼ同じ構造に形成されてなる振動子である。前記構成によれば、前記各振動細棒がそれぞれほぼ同じ構造に形成されているので、振動漏れを防止し、精度の高い振動子を得ることができる。また、請求の範囲第9項に記載の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記第2の電極が複数の面に形成されてなる振動子である。また、請求の範囲第10項の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記第2の電極同士を接続するための第3の電極が前記第1の表面に形成されてなる振動子である。また、請求の範囲第11項の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記第2の電極同士を接続するための第3の電極が前記第2の表面に形成されてなる振動子である。また、請求の範囲第12項の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記第2の電極同士を接続するための第3の電極が前記振動細棒の先端の面に形成されてなる振動子である。また、請求の範囲第13項の発明によれば、請求の範囲第3項の構成において、前記振動子の周波数が1KHz乃至200KHzの範囲で設定されてなる振動子である。また、請求の範囲第14項の発明によれば、請求の範囲第13項の構成において、前記振動子の周波数が16KHz乃至120KHzの範囲で設定されてなる振動子である。また、請求の範囲第15項の発明によれば、請求の範囲第14項の構成において、前記振動子の周波数が16KHz乃至33KHzの範囲で設定してなる振動子である。また、請求の範囲第16項の発明によれば、請求の範囲第3項乃至請求の範囲第12項のいずれかの構成において、前記第1の電極、前記第2の電極若しくは前記第3の電極の表面には、絶縁膜が形成されてなる振動子である。前記構成によれば、前記第1の電極、前記第2の電極若しくは前記第3の電極の表面には、絶縁膜が形成されているので、振動子全体を小型化しても前記第1の電極、前記第2の電極若しくは前記第3の電極が異物等によりショートするのを防ぐことができる。また、請求の範囲第17項の発明によれば、請求の範囲第16項の構成によれば、前記絶縁膜は酸化膜若しくは窒化膜からなる振動子である。前記構成によれば、前記絶縁膜は酸化膜若しくは窒化膜からなるので、振動子全体を小型化しても前記第1の電極、前記第2の電極若しくは前記第3の電極が異物等によりショートするのを防ぐことができる。前記目的は、請求の範囲第18項の発明によれば、複数の振動細棒より形成されてなる振動子において、前記振動細棒の一部に貫通孔が形成されてなり、前記貫通孔の少なくとも一部に第1の電極が形成されてなり、前記振動細棒のうち前記第1の電極と対向する面に第2の電極が少なくとも形成されてなる振動子により、達成される。また、請求の範囲第19項の発明によれば、請求の範囲第18項の構成において、前記振動細棒の幅と前記振動細棒の厚さの関係が、0.6×前記振動細棒の厚さ≦前記振動細棒の幅のように設定されてなる振動子である。前記構成によれば、前記振動細棒の幅と前記振動細棒の厚さの関係が、0.6×前記振動細棒の厚さ≦前記振動細棒の幅のように設定されてなるので、従来の構成である1.0×振動細棒の厚み<振動細棒の幅の関係と異なり,前記振動細棒の幅を前記振動細棒の厚みに対して十分小さく取れるため、振動子全体の小型化が可能となる。また、請求の範囲第20項の発明によれば、請求の範囲第18項の構成において、前記各振動細棒がそれぞれほぼ同じ構造に形成されてなる振動子である。前記構成によれば、前記各振動細棒がそれぞれほぼ同じ構造に形成されているので、振動漏れを防止し、精度の高い振動子を得ることができる。前記目的は、請求の範囲第21項の発明によれば、電気軸をX軸、機械軸をY軸及び光軸をZ軸とした直交座標系を有し、前記X軸及び前記Y軸により形成される面に関して、基部が形成されるとともに、該基部から前記Y軸に沿って複数の振動細棒が配置される振動子において、前記複数の振動細棒の第1の表面及び第2の表面に溝部が形成されてなり、前記溝部の少なくとも一部に第1の電極が形成されてなり、前記溝部が形成された表面以外の面に第2の電極が形成されてなる振動子により、達成される。前記構成によれば、前記複数の振動細棒の第1の表面及び第2の表面に溝部が形成されてなり、前記溝部の少なくとも一部に第1の電極が形成されてなり、前記溝部が形成された表面以外の面に第2の電極が形成されているので、高精度の振動子の振動細棒に設けられた前記第2の電極と前記溝部の第1の電極との間で生じる電界が、前記振動細棒に深さ方向に一定で強く分布し、高精度の振動子の振動細棒のCI値の上昇を抑えることができる。また、請求の範囲第22項の発明によれば、請求の範囲第21項の構成において、前記振動細棒を前記X軸及び前記Z軸により形成される面における断面が略H形状に形成されてなる振動子である。前記構成によれば、前記振動細棒を前記X軸及び前記Z軸により形成される面における断面が略H形状に形成されているので、前記溝部の第1の電極と前記第2の電極間で生じる電界を、前記振動細棒により深さ方向に一定で強く分布させることができる。また、請求の範囲第23項の発明によれば、請求の範囲第21項の構成において、前記第1の表面及び前記第2の表面は、前記X軸及び前記Y軸により形成される面である振動子である。また、請求の範囲第24項の発明によれば、請求の範囲第21項の構成において、前記Z軸を前記振動子の厚さとしたとき、前記振動子の厚さと前記振動細棒の幅がほぼ同じである振動子である。また、請求の範囲第25項の発明によれば、請求の範囲第21項の構成において、前記第1の電極及び前記第2の電極は、異なる材料により形成された層が複数層積層されてなる積層膜である振動子である。前記構成によれば、前記第1の電極及び前記第2の電極は、異なる材料により形成された層が複数層積層されてなる積層膜であるので、これら積層された相互の層で密着性を高めることができる。また、請求の範囲第26項の発明によれば、請求の範囲第21項の構成において、前記第1の電極及び前記第2の電極の表面には酸化膜が形成されてなる振動子である。前記構成によれば、前記第1の電極及び前記第2の電極の表面には酸化膜が形成されているので、振動子全体を小型化しても前記第1の電極、前記第2の電極若しくは前記第3の電極が異物等によりショートするのを防ぐことができる。また、請求の範囲第27項の発明によれば、請求の範囲第25項の構成において、前記第1の電極及び前記第2の電極は、クロム、金、アルミニウム、ニッケル若しくはチタンのいずれかにより形成されてなる振動子である。また、請求の範囲第28項の発明によれば、請求の範囲第1項乃至請求の範囲第27項のいずれかに記載の構成の振動子を搭載した電子機器である。以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。第1の実施の形態図1は本発明の第1の実施の形態に係る振動子を示す図である。図1は、例として時計用に用いられる32KHzの水晶で構成された音叉型の振動子100の外観を示している。この振動子100は、通常二本の振動細棒120と基部である固定部130とから構成されている。固定部130は、パッケージとの固定や、電極を外部に取り出すためのパッド部分を形成するために設けられている。二本の振動細棒120は、これらが互いに近づいたり離れたりする方向に振動する。この振動細棒120の表面と裏面のいずれかあるいは両方に溝120aを形成する。溝120aの形成方法は、振動子100の材料を溶解することが可能なエッチング液を用いてフォトリソグラフィーを応用した加工等が用いられる。水晶製の振動子ならば、弗酸系のエッチング液で加工が可能である。図1では溝120aは固定部130の一部分まで形成されているが、振動子100の特性と加工プロセスによってはこの限りではない。また溝120aの長さであるが、できるだけ長く振動細棒120の長さすべてにわたって溝120aを設けた方がCI値は減少する。しかし、電極間容量は増加するため振動子の仕様に合わせて溝120aの長さは調節される。また、電極の引き回し等の関係や、振動細棒120の先端に重りとなる材料を付着させ、周波数調整を行う必要がある場合には振動細棒120上のすべてにわたって溝120aを設ける必要はない。ここで溝120aを設けることによって何故、特性が向上するかを説明する。図2は、本実施の形態に係る振動子100における振動細棒120の断面図である。本実施の形態に係る振動細棒120では電界160は振動細棒120の深さ方向全体にわたって分布する。すなわち、電極140aが溝120aの中まで形成されているため電界160は深さ方向まで分布しやすくなる。この場合の溝120aの深さは深い方が良い。振動細棒が100マイクロメートルの音叉型振動子で、基板固定部及び振動細棒の厚みが100マイクロメートルの場合、等価直列抵抗CI値は大気圧中で測定したところ1ギガオームであった。振動細棒120の縁を15マイクロメートル残し深さ20マイクロメートルの溝120aを振動細棒120の両面に形成した本実施の形態に係る音叉型の振動子100では、大気中の等価直列抵抗CI値は600キロオームとなり通常の音叉型振動子と変わらない特性を有する事がわかった。電極140aを深さ方向すべてにわたって形成できるならば、溝120aは表面、裏面で繋がってしまっても良い。すなわち、振動細棒120にスリッドを入れたような構造であっても良い。以上述べたように、本実施の形態によれば、振動子100の厚さを薄くすることなく特性の良い振動子を供給することが可能となる。さらに厚さが従来のものと変わらないため取り扱いが容易で、歩留まりが落ちないという効果を有する。そして、小型で安価な振動子100を供給することができる。第2の実施の形態図3は、第2の実施の形態に係る電極が設けられていない音叉型水晶振動子200を示す概略斜視図である。この音叉型水晶振動子200は、例えば水晶の単結晶から切り出され音叉型に加工されて形成されている。このとき、図3に示すX軸が電気軸、Y軸が機械軸及びZ軸が光軸となるように水晶の単結晶から切り出されることになる。このように電気軸が図3のX軸方向に配置されることにより、高精度が要求される時計及び時計付き機器全般に好適な音叉型水晶振動子200となる。また、水晶の単結晶から切り出す際、上述のX軸、Y軸及びZ軸からなる直交座標系において、X軸回りに、X軸とY軸とからなるXY平面を反時計方向に約1度乃至5度傾けた、所謂水晶Z板として、音叉型水晶振動子200が形成されることになる。この音叉型水晶振動子200は、上述の第1の実施の形態に係る音叉型の振動子100と同様に、基部である固定部230と、この固定部230から図においてY軸方向に突出するように形成された例えば2本の振動細棒220とを有している。また、この2本の振動細棒220の第1及び第2の表面には、図3に示すように溝220aがそれぞれ形成されている。このように形成されている図3に示す音叉型水晶振動子200には、図4に示すように第1の電極である電極240a、第2の電極である電極240b、第3の電極である電極240cが配置されることになる。すなわち、電極を固定部230から振動細棒220にかけて配置するに際し、電極は振動細棒220の側面及び前記第1及び第2の表面には、それぞれ電極240b,240aが設けられている。また、電極240aは、振動細棒220の溝220aの内部にも設けられている。このような電極240a,240bは、電極240a,240b間に電界を発生させ、圧電体である振動細棒220を振動させるために設けられている。さらに、電極240cは、振動細棒220の二つの側面に形成された第2の電極、すなわち電極240b同士を接続するために設けられたものである。これらの電極240a,240b,240cは、具体的には、複数層、例えば2層から成り、下地としてCr、上層がAuから形成されている。この場合、Crの代わりにNiやTi等を使用してもよい。また、電極240a,240b,240cとして、1層からなる場合もあり、このとき例えばAl層が用いられる。この他にも、Al電極で表面を陽極酸化した電極やCr電極1層で、このCr層の上に保護膜としてSiO2等を形成する電極も用いることができる。本実施の形態では、電極240aは、図4に示すように、溝220aの内部に設けられているが、これに限らず溝220aの複数箇所に分けて配置してもよく、また、溝220aの側面又は底面にのみ形成されてもよい。また、電極240bは、図4に示すように振動細棒220の側面に配置されているが、これに限らず、後述する図6aのように、この電極240bが振動細棒220の複数の面に形成されても良い。以上のように形成されている音叉型水晶振動子200は、例えば共振周波数が32.768kHであるにもかかわらず、従来の32.768kHの音叉型水晶振動子と比べ、小型となっている。例えば図5に示すように構成されている。すなわち、図5に示す音叉型水晶振動子200のY軸方向の長さは、例えば約2.2mm程度となっており、音叉型水晶振動子200のX軸方向の幅は、約0.56mm程度となっている。この寸法は、図10の従来の音叉型水晶振動片10の寸法である、3.6mmY軸方向、0.69mmX軸方向と比べ著しく小さくなっている。また、図5に示す振動細棒220のX軸方向の長さは、例えば約1.6mm程度であり、各振動細棒220のX軸方向の幅は、例えば0.1mm程度となっている。このような振動細棒220の大きさは、図10に示す振動細棒12の寸法である2.4mmY軸方向、0.23mmX軸方向と比べ、著しく小さくなっている。一方、この音叉型水晶振動子200のZ軸方向である音叉型水晶振動子の厚みは、例えば約0.1mm程度となっており、これは、従来の音叉型水晶振動子200の厚みと略同様となっている。しかし、本実施の形態に係る音叉型水晶振動子200の振動細棒220には、上述のように溝220aが形成されており、この溝220aは、振動細棒220上においてY軸方向に例えば約1.3mm程度の長さに形成されている。この溝220aのX軸方向の幅は、図5に示すように例えば約0.07mm程度であり、そのZ軸方向の深さは、例えば約0.02mm程度となっている。さらに、このような小型の音叉型水晶振動子200に配置される電極240a,240b,240cの厚みは、例えば下層Crが100Åで上層Auが1000Åと成っている。次に、以上のような小型の音叉型水晶振動子200の振動細棒220の断面を示したのが図6aである。図6aに示すように振動細棒220には溝220aが図において上下方向にそれぞれ設けられているため、その断面形状が略H形に形成されている。そして、この2カ所の溝220aには、それぞれ電極240aが設けられている。また、振動細棒220の両側面にも電極240bがそれぞれ設けられている。このような電極240a,240bは、図示しない電源に接続されているとともに、これらの電極240aと電極240bには、それぞれ極性の異なる電圧が交互に印加されるようになっている。そして、例えば電極240aにプラスの電圧を印加し、電極240bにマイナスの電圧を印加した場合、第1の実施の形態の図2の矢印のように電界が発生することになる。この電界が生じることによって、振動細棒220は、振動し、この音叉型水晶振動子200が用いられる例えば携帯電話やICカードの発振源の部品として使用されることになる。なお、上述のような振動細棒220に対する電極240a,240bの配置の態様は、図6aのような態様だけでなく、図6bや図6cのように構成してもよい。また、本実施の形態では、振動細棒220に溝220aを設けたが、これに限らず、この溝220aを貫通孔としてもよい。この場合、貫通孔を有する振動細棒220’は、図7に示すように例えば電極240aと電極240bが対向して配置される構成となる。図7は貫通孔を有する振動細棒220’の断面を示した概略図である。さらに、この場合において、電極240aをこの貫通孔のすべてに配置してよいが、これと異なり、電極240aを、この貫通孔の複数箇所に分けて配置してもよい。ところで、音叉型水晶振動子200の小型化に伴って、上述のように、振動細棒220のY軸方向の長さを短くすると、共振周波数が高くなり、安定した共振周波数を維持できないという問題があるため、これを防ぐため、振動細棒220のX軸方向の幅を狭くする必要がある。しかし、この振動細棒220のX軸方向の幅を狭くすると、図12に示すように電極23bを大きくとれないため、電極23aと電極23bとの間に生じる電界が振動細棒22に深さ方向に一定で強く分布せず、電界の強度が小さくなり、これによって振動細棒22の振動が弱くなり、振動損失が大きくなってしまっていた。この振動損失は、CI値クリスタルインピーダンス又は等価直列抵抗Rrで示される。通常の音叉型水晶振動子のCI値は、真空中で30KΩ乃至60KΩが好ましく、また、大気中でのCI値を参考値として示せば400KΩ程度となる。本実施の形態に係る音叉型水晶振動子200の振動細棒220に溝220aを設けない場合のCI値は、図8に示すように大気中で、1000KΩとなり、上述の参考値である400KΩを大きく上回っている。このため、単に小型化された音叉型水晶振動子では、CI値が高くなり過ぎ、携帯電話やICカード等の発振器に使用するには不適切であった。しかし、本実施の形態では、図8に示すように溝220aの深さを0.02mm20μmとしたので、CI値が425KΩとなり、上述の好適値400KΩに近似した値となるため、CI値は適正範囲に止まり、携帯電話やICカード等の発振器に使用するのに好適になった。また、このように溝220aを振動細棒220に形成するのは、振動細棒220自体の厚さを薄くする場合に比べ、格段に加工性に優れているため、製造される音叉型水晶振動子200の歩留りが向上することになる。なお、本実施の形態においては、加工の容易さ等に鑑み、溝220aの深さを0.02mmとしたが、図8の表からも明らかなように溝220aの深さが深い程、CI値は下がり、少なくとも0.035mmの深さの場合は、333KΩとなった。この場合、少なくとも真空でのCI値は40KΩとなった。このように本実施の形態では、振動細棒220に2カ所の溝220a,220aを設け、電極240aをそれぞれに配置したため、図13に示す従来の振動細棒220の電極23aと異なり、電極240aを大きく配置することができるため、第1の実施の形態の図2に示すように電界が振動細棒220の深さ方向に一定で強く分布し、振動損失を低く抑えることができることになる。この振動損失の低下は、図8に示すCI値からも明らかである。なお、本実施の形態では図6aに示すように振動細棒220にのみ溝220aを設けたが、図9に示すように、振動細棒320と固定部330にかけて溝320aを形成してもよい。この場合、溝320aの中に振動による応力を閉じ込めることができるため振動子を固定した場合、周波数の変動を押さえることができる。以上のように小型でCI値が適正範囲にある32.768kHの音叉型水晶振動子200,300を小さなパッケージ、例えば3.2mmY軸方向、1.6mmX軸方向0.9mmZ軸方向に入れることで、小型の携帯電話やICカード等に用いることができるようになる。また、本実施の形態では、32.738kHの音叉型水晶振動子200を例に説明したが、15kH乃至155kHの音叉型水晶振動子に適用し得ることは明らかである。さらに、本実施の形態では、図6に示すように、振動細棒220に溝220aを2つ形成した場合について説明したが、図10に示すように振動細棒420の上下に2つずつ溝を設け、それぞれに電極440aを配置してもよい。なお、上述の各実施の形態に係る音叉型の振動子100及び音叉型水晶振動子200は、小型の携帯電話やICカードのみならず、他の電子機器であるジャイロ、携帯情報端末、さらに、テレビジョン、ビデオ機器、所謂ラジカセ、パーソナルコンピュータ等の時計内蔵機器及び時計にも用いられることは明らかである。以上説明したように本発明によれば、CI値を低く抑え、且つ加工が容易な小型の振動子とすることができる。"