"オゾン処理と、過酸化水素処理又は紫外線処理のうち1つ以上を併用して、廃水中に含まれる1,4-ジオキサンを分解する促進酸化工程で発生するオゾンガスと共に気散した前記1,4-ジオキサンを含む廃ガスを水に溶解させて前記1,4-ジオキサンを水溶液化することを特徴とする廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法。前記水溶液化は、ケーシング内に前記水の噴霧器を備えたスクラバーにより、前記ケーシング内の前記廃ガスの流路に前記噴霧器で噴霧して、前記廃ガスと前記水を気液接触させることを特徴とする請求項1に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法。前記スクラバーに供給する前記水は、前記促進酸化工程で処理された処理水を用いることを特徴とする請求項2に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法。前記水溶液化は、前記促進酸化工程を含む処理ラインと別ラインの生物処理工程の散気用ガスとして前記廃ガスを用いて、前記1,4-ジオキサンを前記生物処理工程の処理水に溶解させることを特徴とする請求項1に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法。前記水溶液化は、前記促進酸化工程の前段の生物処理工程の散気用ガスとして前記廃ガスを用いて、前記1,4-ジオキサンを前記生物処理工程の処理水に溶解させることを特徴とする請求項1に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法。前記生物処理工程は、前記促進酸化工程の前段に直列に配置された複数の生物処理槽で行うことを特徴とする請求項5に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法。前記スクラバーから排出された前記1,4-ジオキサンを前記促進酸化工程よりも前段の生物処理工程へ導入することを特徴とする請求項2又は3に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法。紫外線と、過酸化水素水と、アルカリ溶液のうちいずれか1つ以上と、オゾンガスを用いて、廃水中に含まれる1,4-ジオキサンを分解する促進酸化手段と、前記促進酸化手段の促進酸化工程で発生する前記オゾンガスと共に気散した前記1,4-ジオキサンを含む廃ガスを水と接触させる1,4-ジオキサンの水溶液化手段と、を備えたことを特徴とする廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置。前記1,4-ジオキサンの水溶液化手段は、ケーシング内に前記水の噴霧器を備え、前記ケーシング内の前記廃ガスの流路に前記噴霧器で散水して、前記廃ガスと前記水を気液接触させるスクラバーであることを特徴とする請求項8に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置。前記スクラバーに供給する前記水は、前記促進酸化手段で処理された処理水を用いることを特徴とする請求項9に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置。前記1,4-ジオキサンの水溶液化手段は、前記促進酸化手段を含む処理ラインと別ラインの生物処理槽へ散気用ガスとして前記廃ガスを用いる生物処理手段であることを特徴とする請求項8に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法。前記1,4-ジオキサンの水溶液手段は、前記促進酸化手段の前段の生物処理槽の散気用ガスとして前記廃ガスを用いる生物処理手段であることを特徴とする請求項8に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置。前記生物処理手段は、前記促進酸化手段の前段に直列に配置された複数の生物処理槽で行うことを特徴とする請求項12に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置。前記スクラバーから排出された前記1,4-ジオキサンを前記促進酸化手段よりも前段の生物処理手段へ導入することを特徴とする請求項8又は9に記載の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置。しかしながら、促進酸化法のオゾン処理は、処理槽の下部からオゾンガスを散気させて槽内に供給しているため、廃水中の1,4-ジオキサンの一部がオゾンガスを含む気体気泡により、液体から気体へと気散してしまう。図7は、弱い曝気による1,4-ジオキサンの除去効果を示すグラフである。同グラフは、12Lのリアクターに2l/minで曝気したときの1,4-ジオキサンの濃度を計測したものである。同図の横軸は曝気時間Hrを示し、縦軸は1,4-ジオキサン濃度mg/Lを示している。なお、図7は曝気処理のみを行い、1,4-ジオキサンの分解処理は行っていない。図示のように、曝気処理の開始前の1,4-ジオキサン235mg/Lは、約140時間の曝気処理を行うと、約180mg/Lまで低減されている。曝気処理により、水溶液中の1,4-ジオキサンは気散してしまい、大気中に放出されてしまう。1,4-ジオキサンは、人体に有害な物質であり、大気中への放出は、極力低減する必要がある。また、促進酸化法では、すべてのオゾンガスが利用できず、水深等の条件により異なるが、注入量の3~20程度のオゾンガスが排ガスとして排出されてしまう。オゾンガスは人体に有害なものであり、このオゾンガスを分解除去する必要があり、通常、活性炭などの触媒により酸素に分解する。この触媒は定期的に交換を行う必要があり、排ガス処理に費用がかからないことが好ましい。そこで、本発明は、上記従来技術の問題点を解決するため、オゾンガスを用いた促進酸化法で1,4-ジオキサンを含む廃水を処理する際、大気中への1,4-ジオキサンの放出を効率的に低減することができる廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法及びその装置を提供することを目的としている。本発明の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法は、オゾン処理と、過酸化水素処理又は紫外線処理のうち1つ以上を併用して、廃水中に含まれる1,4-ジオキサンを分解する促進酸化工程で発生するオゾンガスと共に気散した前記1,4-ジオキサンを含む廃ガスを水に溶解させて前記1,4-ジオキサンを水溶液化することを特徴としている。これにより、オゾンガスを用いた促進酸化工程で排出される廃ガス中に含まれる1,4-ジオキサンを効率的に回収することができ、大気に放出される虞がない。前記水溶液化は、ケーシング内に前記水の噴霧器を備えたスクラバーにより、前記ケーシング内の前記廃ガスの流路に前記噴霧器で噴霧して、前記廃ガスと前記水を気液接触させることを特徴としている。これにより、オゾンガスと共に気散した1,4-ジオキサンを効率的に水溶液化することができ、オゾンガスによる配管の腐食の虞がない。前記スクラバーに供給する前記水は、前記促進酸化工程で処理された処理水を用いることを特徴とする。これにより、1,4-ジオキサンを溶解させる水を新たに外部から供給する必要がないため、処理水の総量を増大させることがなく、分解処理全体の低コスト化が図れる。前記水溶液化は、前記促進酸化工程を含む処理ラインと別ラインの生物処理工程の散気用ガスとして前記廃ガスを用いて、前記1,4-ジオキサンを前記生物処理工程の処理水に溶解させることを特徴としている。これにより、1,4-ジオキサンを水溶液化するために、スクラバーなどの装置を新たに設ける必要がない。よって装置全体の低コスト化が図れる。前記水溶液化は、前記促進酸化工程の前段の生物処理工程の散気用ガスとして前記廃ガスを用いて、前記1,4-ジオキサンを前記生物処理工程の処理水に溶解させることを特徴としている。これにより、1,4-ジオキサンを水溶液化するため、スクラバーなどの装置を新たに設ける必要がない。促進酸化工程と同じライン上の生物処理槽を用いることで、装置全体の低コスト化を図ることができる。前記生物処理工程は、前記促進酸化工程の前段に直列に配置された複数の生物処理槽で行うことを特徴としている。これにより、上流側の生物処理槽のオゾン濃度よりも下流側の生物処理槽のオゾン濃度を低く設定することができ、生物処理に適した生物処理環境を形成することができる。前記スクラバーから排出された前記1,4-ジオキサンを前記促進酸化工程よりも前段の生物処理工程へ導入することを特徴としている。これにより、オゾンガスを生物処理槽へ導入する間に、オゾンが配管を腐食する虞がない。従って1,4-ジオキサンの系外への排出を低減できると共に、装置全体の経年劣化を防止することができる。本発明の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置は、紫外線と、過酸化水素水と、アルカリ溶液のうちいずれか1つ以上と、オゾンガスを用いて、廃水中に含まれる1,4-ジオキサンを分解する促進酸化手段と、前記促進酸化手段の促進酸化工程で発生する前記オゾンガスと共に気散した前記1,4-ジオキサンを含む廃ガスを水と接触させる1,4-ジオキサンの水溶液化手段と、を備えたことを特徴としている。これにより、促進酸化工程で排出される排ガス中に含まれる1,4-ジオキサンを効率的に回収することができ、大気に放出される虞がない。前記1,4-ジオキサンの水溶液化手段は、ケーシング内に前記水の噴霧器を備え、前記ケーシング内の前記廃ガスの流路に前記噴霧器で散水して、前記廃ガスと前記水を気液接触させるスクラバーであることを特徴としている。これにより、オゾンガスと共に気散した1,4-ジオキサンを効率的に水溶液化することができ、オゾンガスによる配管の腐食の虞がない。前記スクラバーに供給する前記水は、前記促進酸化手段で処理された処理水を用いることを特徴としている。これにより、1,4-ジオキサンを溶解させる水を新たに外部から供給する必要がないため、処理水の総量を増大させることがなく、処理全体の低コスト化が図れる。前記1,4-ジオキサンの水溶液化手段は、前記促進酸化手段を含む処理ラインと別ラインの生物処理槽へ散気用ガスとして前記廃ガスを用いる生物処理手段であることを特徴としている。これにより、1,4-ジオキサンを水溶液化するため、スクラバーなどの装置を新たに設ける必要がない。よって装置全体の低コスト化が図れる。前記1,4-ジオキサンの水溶液手段は、前記促進酸化手段の前段の生物処理槽の散気用ガスとして前記廃ガスを用いる生物処理手段であることを特徴としている。これにより、1,4-ジオキサンを水溶液化するため、スクラバーなどの装置を新たに設ける必要がない。促進酸化工程と同じライン上の生物処理槽を用いることで、装置の低コスト化を図ることができる。前記生物処理手段は、前記促進酸化手段の前段に直列に配置された複数の生物処理槽で行うことを特徴としている。これにより、上流側の生物処理槽のオゾン濃度よりも下流側の生物処理槽のオゾン濃度を低く設定することができ、生物処理に適した生物処理環境を形成することができる。前記スクラバーから排出された前記1,4-ジオキサンを前記促進酸化手段よりも前段の生物処理手段へ導入することを特徴としている。これにより、オゾンガスを生物処理槽へ導入する間に、オゾンが配管を腐食する虞がない。従って1,4-ジオキサンの系外への排出を低減できると共に、装置全体の経年劣化を防止することができる。上記構成による本発明の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法及び装置によれば、促進酸化工程で排出される排ガス中に含まれる1,4-ジオキサンを容易かつ効率的に回収することができ、大気に放出される虞がない。本発明の廃水中の1,4-ジオキサンの処理方法及びその装置の実施形態を添付の図面を参照しながら、以下詳細に説明する。図1は第1実施形態の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置の構成概略図である。図示のように第1実施形態の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置10以下、単に処理装置10というは、オゾン処理と、過酸化水素処理又は紫外線処理のうち1つ以上を併用して、廃水中に含まれる1,4-ジオキサンをOHラジカルで分解する促進酸化手段となる促進酸化処理装置20と、促進酸化手段の促進酸化工程で発生するオゾンガスと共に気散した1,4-ジオキサンを含む廃ガスを水と接触させる1,4-ジオキサンの水溶液化手段となるスクラバー装置50と、を主な基本構成としている。処理装置10の促進酸化処理装置20の前段には、貯留槽12が配置されている。貯留槽12は、原水流量の変動を考慮しながら、上流側から流れてくる原水を一時的に貯留している。そして貯留された原水は、貯留槽12と促進酸化処理装置20との間に配置された導入管22のポンプ14により、導入管22を通過して後段の促進酸化処理装置20へ送られる。促進酸化処理装置20は、処理槽の底面に原水の導入管22が接続され、処理槽の側面に処理水の導出管24が接続されている。促進酸化処理装置20には、オゾン処理装置30と、紫外線照射装置40が設けられている。オゾン処理装置30は、オゾン発生器32と、オゾンガス注入管34と、散気管36から構成されている。オゾン発生器32は、促進酸化処理装置20の近傍に取り付けられ、オゾンガスを発生させている。発生したオゾンガスは、オゾンガス注入管34を通過して促進酸化処理装置20の底部に配置された散気管36によって廃水中へ散気されている。廃水中へ散気されたオゾンガスは、促進酸化処理装置20の上部に設けられた排気管26から排気される。なお、促進酸化処理装置20は、一例として、10mg/L~300mg/L程度になるオゾンガス量がオゾン処理装置30から注入されることが好ましい。紫外線照射装置40は、促進酸化処理装置20の中心で直立した状態で設けられ、促進酸化処理装置20内の廃水に対して所定波長の紫外線が照射されている。なお、紫外線照射装置40の紫外線照射量は、廃水量あたりのランプ電力として、0.2~4.0kw/m3で照射されることが好ましい。このような構成の促進酸化装置20では、流入した廃水中の1,4-ジオキサンがオゾンガスと紫外線を併用した促進酸化法によって酸化分解される。なお、促進酸化法は、オゾンガスと紫外線照射の組み合わせの他にも、処理槽内でオゾンガスを散気する構成であれば、オゾンガスと過酸化水素の組み合わせ、あるいはオゾンガスと紫外線照射と過酸化水素との組み合わせも使用することができる。なお、過酸化水素を適用した場合には、流入量としてオゾンガス注入量の0.01倍~0.5倍注入されることが好ましい。第1実施形態の水溶液化手段となるスクラバー装置50は、給水ポンプ52と、噴霧器54と、排気ポンプ58を主な基本構成としている。スクラバー装置50は、ケーシング51内の下方にろ材56が取り付けられている。ろ材56は廃ガスの流路と交差する方向に配置されている。噴霧器54はケーシング51内のろ材56の上方に取り付けられている。噴霧器54は給水ポンプ52が設けられ、第1実施形態では水道水を噴霧している。ケーシング51の上方には、オゾン廃ガス管59が接続している。オゾン廃ガス管59には、排気ポンプ58が取り付けられ、オゾンの廃ガスがオゾン処理装置60へ導入される。ケーシング51の下部には、1,4-ジオキサンの水溶液の廃水管が取り付けられ、1,4-ジオキサンの水溶液を貯留槽12へ導入可能に構成している。スクラバー装置50は、ケーシング51内で給水ポンプ52から供給された水が噴霧器54により下方のろ材56へ噴霧されている。一方、促進酸化処理装置20から供給された廃ガスは、排気ポンプ58の吸引力によって、上方向へ流れ、ろ材56を介して噴霧された水と接触して上方から排出される。噴霧器54から噴霧された水は、廃水管53を介して、1,4-ジオキサンの水溶液としてスクラバー装置50の底部から貯留槽12へ排出される。オゾン処理装置60は、廃ガス中に含まれるオゾンガスを活性炭等の触媒を用いて分解する装置である。上記構成による第1実施形態の処理装置10を用いた1,4-ジオキサンの処理方法は、次のように行う。まず、貯留槽12に一時的に貯留された1,4-ジオキサンを含む廃水が、促進酸化処理装置20へ導入される。所定量の廃水が貯留された促進酸化処理装置20では、オゾン発生器32により底部から散気管36を介してオゾンガスが散気されると共に、紫外線照射装置40により紫外線が照射される。1,4-ジオキサンの分解は、紫外線によりオゾンが分解して生じるOHラジカルヒドロキシラジカルとの反応によって行われる。これにより、廃水は、オゾン処理と紫外線照射とを併用した促進酸化処理が回分処理によって行われ、その強力な酸化分解によって、廃水中の1,4-ジオキサンが分解処理される。促進酸化処理装置20では、1,4-ジオキサンの分解処理と同時に、1,4-ジオキサンの気散処理も行われている。1,4-ジオキサンは常温で揮発性を有している。1,4-ジオキサンの気散処理は、処理槽内で散気されたオゾンガスにより、1,4-ジオキサンの一部が廃水から容易に気散してオゾンガスと共に処理槽内で廃ガスとなる。促進酸化処理装置20で発生した未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンの廃ガスは、処理槽の上部から廃ガスポンプ28により、排気管26を介して、スクラバー装置50に導入される。スクラバー装置50では、ケーシング51内で給水ポンプ52から供給された水が噴霧器54により下方のろ材56へ噴霧されている。そして、促進酸化処理装置20から導入された、未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンの廃ガスは、ろ材56の下方からケーシング51内へ導入される。廃ガスは、排気ポンプ58の吸引力によって、上方向へ流れて、ろ材56を介して噴霧された水と接触して上方から排出される。1,4-ジオキサンは水に溶け易い性質であるため、廃ガス中に含まれる1,4-ジオキサンは、噴霧した水へ積極的に溶解して水溶液化、すなわち1,4-ジオキサンの水溶液となる。1,4-ジオキサンの水溶液は廃水管53を介して、貯留槽12へ導入され、再度、促進酸化処理装置20で促進酸化処理を行うことができる。一方、オゾンガスを含む廃ガスは、排気ポンプ58によって、オゾン処理装置60へ送られて、活性炭などの触媒により分解される。なお、オゾンガスは有害かつ腐食性を有しているため、まず、促進酸化処理装置20から排出された廃ガスをオゾン処理装置60で活性炭などの触媒により、オゾン分解処理を行ってもよい。1,4-ジオキサンを含む廃ガスは、触媒では分解できないため、その後、スクラバー装置50へ廃ガスを導入して、1,4-ジオキサンの分解処理を行う構成としてもよい。このような第1実施形態の処理方法及び装置によれば、1,4-ジオキサンの水に溶け易い性質を利用して、促進酸化処理工程で排出される廃ガス中に含まれる1,4-ジオキサンを効率的に回収することができ、大気に放出される虞がない。図2は第2実施形態の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置の構成概略図である。第2実施形態の処理装置10Aは、スクラバー装置50で噴霧する水に促進酸化処理装置20で処理した処理水を用いている。その他の構成は第1実施形態の処理装置10と同様の構成であり、同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。第1実施形態の処理装置では、スクラバー装置で噴霧する水に水道水を用いている。1,4-ジオキサンを水溶液化する媒体としては、容易に入手できる。しかしながら、処理システム全体の水処理効率を考慮した場合、処理系外の水道水を用いると、処理系内の処理しなければならない水が増加することになるため、効率的ではない。そこで、図示のように、1,4-ジオキサンの分解処理を行った処理水の一部を散気用水として用いている。このような第2実施形態の処理方法及び装置によれば、1,4-ジオキサンと溶解する水を新たに用いることがないため、処理水の総量を増大させることがなく、低コスト化を図れる。図3は第3実施形態の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置の構成概略図である。第3実施形態の処理装置10Bは、1,4-ジオキサンの水溶液化手段として、別ラインの生物処理槽へ散気用ガスとして前記廃ガスを用いる生物処理装置を用いている。その他の構成は、第1実施形態の処理装置と同様の構成であり、同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。生物処理装置62は、貯留槽12と促進酸化処理装置20の処理工程と別の原水が導入される別ラインの処理槽である。生物処理装置62は、底部に曝気管64を備えている。曝気管64は、促進酸化処理装置20の排気管26と接続している。これにより、処理槽に流入した原水をエア曝気して好気性状態にしている。また、処理槽内には、有機物を生物学的に分解する有機物分解菌を有している。有機物分解菌としては、BOD又はCODの酸化分解に通常使用される好気性細菌を使用することができ、一例として、下水処理場の活性汚泥を使用することができる。有機物分解菌は、原水が下水の場合、処理槽に供給される原水中に浮遊汚泥として含まれているので、特に活性汚泥を投入しなくても良い。あるいは活性汚泥を固定化材料に包括又は付着させた担体として処理槽に投入しても良い。更には、処理槽内に固定床を設け、この固定床に活性汚泥を生物膜として付着させるようにしても良い。なお、この他にも、有機物分解菌として、1,4-ジオキサン分解菌を使用することもできる。上記構成による第3実施形態の処理装置10Bは、処理槽内に所定量の原水が流入する。そして、促進酸化処理装置20で発生した未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンの廃ガスが廃ガスポンプ28により、エア曝気用ガスとして曝気管64に導入される。処理槽内では、曝気管64による前記廃ガスのエア曝気によって好気性状態下で有機物分解菌と原水が接触する。これにより、原水中の有機物が酸化分解される。これと同時に、オゾンガスと1,4-ジオキサンを含む廃ガスが曝気することにより、1,4-ジオキサンは、水に溶け易い性質のため、原水中に容易に溶解させることができる。また、同時にオゾンガスが含まれる場合は、オゾンガスも原水へと溶解させることができ、1,4-ジオキサンとオゾンガスを同時に処理することができる。そして、原水中に溶解したオゾンガスは,廃水中の有機物質等反応して分解除去される。オゾンガスの分解と共に,有機物質も分解するため,生物処理効率も上昇させることができる。また、有機物分解菌に1,4-ジオキサン分解菌を用いれば、処理槽内で1,4-ジオキサンを分解処理することができる。このような第3実施形態の処理装置によれば、1,4-ジオキサンを水溶液化するため、スクラバーなどの装置を新たに設ける必要がなく、装置全体の低コスト化を図ることができる。図4は第4実施形態の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置の構成概略図である。第4実施形態の処理装置10Cは、1,4-ジオキサンの水溶液化手段として、貯留槽12及び促進酸化処理装置20の前段に備えた生物処理装置を用いている。その他の構成は第1実施形態の処理装置10と同様の構成であり、同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。生物処理装置62Aは、貯留槽12の前段に配置している。生物処理装置62Aは、第3実施形態の生物処理装置62と同様に、処理槽内に曝気管64Aを備えている。曝気管64Aは、促進酸化処理装置20の排気管26と接続している。処理槽内には有機物を生物学的に分解する有機物分解菌を有している。有機物分解菌としては、BOD又はCODの酸化分解に通常使用される好気性細菌を使用することができる。上記構成による第4実施形態の処理装置10Cは、生物処理装置62Aの処理槽内に所定量の原水が流入する。そして、促進酸化処理装置20で発生した未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンの廃ガスが廃ガスポンプ28により、エア曝気用ガスとして曝気管64Aに導入される。処理槽内では、曝気管64Aによる前記廃ガスのエア曝気によって好気性状態下で有機物分解菌と原水が接触する。これにより、原水中の有機物が酸化分解される。これと同時に、オゾンガスと1,4-ジオキサンを含む廃ガスが曝気することにより、1,4-ジオキサンは、水に溶け易い性質のため、原水中に容易に溶解させることができる。また、同時にオゾンガスが含まれる場合は、オゾンガスも原水へと溶解させることができ、1,4-ジオキサンとオゾンガスを同時に処理することができる。そして、原水中に溶解したオゾンガスは,廃水中の有機物質等と反応して分解除去される。オゾンガスの分解と共に,有機物質も分解するため,生物処理効率も上昇させることができる。生物分解処理装置で生物処理された第1処理水は、後段の貯留槽12へ導入される。生物処理装置62Aで、水に溶解した1,4-ジオキサンは,通常の有機物分解菌を用いた生物処理では分解できない。このため、1,4-ジオキサンのほとんどが第1処理水中に溶解されたまま貯留槽12へと導入される。そして、第1実施形態と同様に、促進酸化処理装置20で1,4-ジオキサンの分解処理が行われ、第2処理水として系外へ排出される。一方、処理槽内で発生した未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンを含む廃ガスは、前段の生物処理装置のエア曝気用ガスとして用いている。なお、有機物分解菌に1,4-ジオキサン分解菌を用いれば、生物分解処理装置62Aの処理槽内で1,4-ジオキサンを分解処理することもできる。このような第4実施形態の処理方法及び装置によれば、1,4-ジオキサンを水溶液化するため、スクラバーなどの装置を新たに設ける必要がない。促進酸化工程と同じライン上の生物処理槽を用いることで、装置の低コスト化を図ることができる。図5は第5実施形態の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置の構成概略図である。第5実施形態の処理装置10Dは、1,4-ジオキサンの水溶液化手段として、貯留槽12及び促進酸化処理装置20の前段に備えた複数の生物処理装置を用いている。その他の構成は第1実施形態の処理装置10と同様の構成であり、同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。第5実施形態の生物処理装置は、具体的に第1生物処理装置70と、第2生物処理装置72から構成されている。この他にも生物処理槽は生物処理工程に応じて3つ以上配置する構成としても良い。第1生物処理装置70は、第3実施形態の生物処理装置と同様に、処理槽内に曝気管64Bを備えている。曝気管64Bは、促進酸化処理装置20の排気管26と接続している。処理槽内には有機物を生物学的に分解する有機物分解菌を有している。有機物分解菌としては、BOD又はCODの酸化分解に通常使用される好気性細菌を使用することができる。第2生物処理装置72は、処理槽内に曝気管64Cを備えている、曝気管64Cにはブロア65が接続し、エア曝気用ガスを供給可能に構成している。処理槽内には有機物を生物学的に分解する有機物分解菌を有している。有機物分解菌としては、BOD又はCODの酸化分解に通常使用される好気性細菌を使用することができる。上記構成による第5実施形態の処理装置10Dは、第1生物処理装置70の処理槽内に所定量の原水が流入する。そして、促進酸化処理装置20で発生した未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンの廃ガスが廃ガスポンプ28により、エア曝気用ガスとして曝気管64Bに導入される。処理槽内では、曝気管64Bによる前記廃ガスのエア曝気によって好気性状態下で有機物分解菌と原水が接触する。これと同時に、オゾンガスと1,4-ジオキサンを含む廃ガスが曝気することにより、1,4-ジオキサンは、水に溶け易い性質のため、原水中に容易に溶解させることができる。また、同時にオゾンガスが含まれる場合は、オゾンガスも原水へと溶解させることができる。しかし、廃ガス中のオゾンガスが多い場合には、生物活性が低下するため、生物処理が進行し難い環境となる。そこで、第1生物処理装置70では、主に、オゾンガスを廃水中の有機物質等と反応させて分解除去して、オゾン濃度を低下させている。そして、第1生物処理装置70で処理された第1処理水は、後段の第2生物処理装置72へ導入している。第2生物処理装置72では、第1生物処理装置70よりもオゾン濃度が低下しているため、生物活性が高い状態となる。そこで、曝気管64Cによるエア曝気によって好気性状態下で有機物分解菌と第1処理水が接触して、第1処理水中の有機物が酸化分解される。第2生物処理装置72で生物処理された第2処理水は、後段の貯留槽12へ導入される。第1生物処理装置70で、水に溶解した1,4-ジオキサンは,通常の有機物分解菌を用いた生物処理では分解できない。このため、1,4-ジオキサンのほとんどが第2処理水中に溶解されたまま貯留槽12へと導入される。そして、第1実施形態と同様に、促進酸化処理装置20で1,4-ジオキサンの分解処理が行われ第3処理水として系外へ排出される。一方、処理槽内で発生した未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンを含む廃ガスは、前段の第1生物処理装置70のエア曝気用ガスとして用いている。なお、第2生物処理装置72の有機物分解菌に1,4-ジオキサン分解菌を用いれば、処理槽内で1,4-ジオキサンを分解処理することもできる。このような第5実施形態の処理方法及び装置によれば、廃ガス中に未反応のオゾンガスが多く含まれる場合に、生物処理槽の生物活性が低下する虞があるが、複数の生物処理槽間でオゾン濃度を変えることができ、生物処理に適した生物処理環境を形成することができる。従って、オゾンガスが有機物分解菌に与える影響を抑制することができる。図6は第6実施形態の廃水中の1,4-ジオキサンの処理装置の構成概略図である。第6実施形態の処理装置10Eは、原水の処理工程は第4実施形態の処理装置10Cと同様であるが、1,4-ジオキサンの水溶液化手段として、第1実施形態の処理装置10のスクラバー装置50を用いている。具体的に第6実施形態の処理装置10Eは、原水が生物処理装置62Bに導入される。生物処理装置62Bは、処理槽内に曝気管64Cを備えている、曝気管64Cにはブロア65が接続し、エア曝気用ガスを供給可能に構成している。処理槽内には有機物を生物学的に分解する有機物分解菌を有している。またスクラバー装置50の1,4-ジオキサンの水溶液は、生物処理装置62Bに導入される。上記構成による第6実施形態の処理装置は、生物処理装置62Bの処理槽内に所定量の原水が流入する。生物処理装置62Bでは、曝気管64Cによるエア曝気によって、好気性状態下で有機物分解菌と第1処理水が接触して、原水中の有機物が酸化分解される。また生物処理装置62Bにはスクラバー装置50で生じた1,4-ジオキサンの水溶液が導入されている。生物処理装置62Bで生物処理された第1処理水は、後段の貯留槽12へ導入される。生物処理装置62Bにおいて、水に溶解した1,4-ジオキサンは、通常の有機物分解菌を用いた生物処理では分解できない。このため、1,4-ジオキサンのほとんどが第1処理水中に溶解されたまま貯留槽12へと導入される。そして、第1実施形態と同様に、促進酸化処理装置20で1,4-ジオキサンの分解処理が行われ第2処理水として系外へ排出される。一方、処理槽内で発生した未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンを含む廃ガスは、促進酸化処理装置20の上部から廃ガスポンプ28により、排気管26を介して、スクラバー装置50に導入される。スクラバー装置50では、ケーシング51内で給水ポンプ52から供給された水が噴霧器54により下方のろ材56へ噴霧されている。そして、促進酸化処理装置20から導入された、未反応のオゾンガスと1,4-ジオキサンの廃ガスは、ろ材56の下方からケーシング51内へ導入される。廃ガスは、排気ポンプ58の吸引力によって、上方向へ流れて、ろ材56を介して噴霧された水と接触して上方から排出される。1,4-ジオキサンは水に溶け易い性質であるため、廃ガス中に含まれる1,4-ジオキサンは、噴霧した水へ積極的に溶解して水溶液化、すなわち1,4-ジオキサンの水溶液となる。1,4-ジオキサンの水溶液は前段の生物処理装置62Bへ導入される。そして、再度、促進酸化処理装置20で促進酸化処理を行うことができる。一方、オゾンガスを含む廃ガスは、排気ポンプ58によって、オゾン処理装置60へ送られて、活性炭などの触媒により分解される。このような第6実施形態の処理方法及び装置によれば、配管を腐食する虞のあるオゾンガスをスクラバー装置で1,4-ジオキサンと分離して、除去することができる。従って、生物処理装置へオゾンガスを導入することがないため、処理槽に接続する配管の腐食の虞がなく、装置全体の経年劣化を防止することができる。[実施例1]第1実施形態の処理装置10で、廃水中の1,4-ジオキサンを処理した実施例について以下説明する。促進酸化処理装置20では、円筒型の内容積12Lの処理槽内に、紫外線照射装置40となるランプ電力48Wの低圧水銀ランプを投入した。このときの紫外線ランプの照射量は4kw/m3である。オゾン処理装置30により、処理槽の下部からガス濃度20mg/Lのオゾンガスを5L/minのガス流速で通水した。処理槽内の滞留時間は、2時間とし、原水は下部の導入管22よりポンプ14で処理槽内へ流入させた。本実施例の廃水は、A工場廃水を生物処理した処理水を用いた。この廃水中には1,4-ジオキサンが200mg/L、COD成分として498mg/Lが含まれており、1,4-ジオキサン以外の有機物質も含まれていた。促進酸化処理水中の1,4-ジオキサンは、8mg/L~12mg/Lであり、95の1,4-ジオキサンが酸化分解又は気散により除去され、流入する1,4-ジオキサンの約5が処理水から流出していた。このとき、廃ガス中の1,4-ジオキサン濃度を測定し、気散する1,4-ジオキサン量を計算した結果、約8の1,4-ジオキサンが気散していることがわかった。なお、流入したオゾンガスの15が未反応のまま、廃ガス中に含まれていた。この1,4-ジオキサンを含む廃ガスをスクラバー装置50で処理した結果、スクラバー処理後の処理ガスから流出する1,4-ジオキサン量は0.8未満へ削減できることがわかった。これらのことから、従来の促進酸化処理装置では、約8の1,4-ジオキサンが気散して大気中に放出されるが、本実施形態の処理装置10を用いることで、オゾンガスとともに気散して系外に放出される1,4-ジオキサン量を大幅に削減できることがわかった。促進酸化処理装置の物質収支は、以下の通りである。従来の促進酸化処理装置では、原水100に対し、処理水が5、気散が8であった。本実施形態の処理装置では、原水100に対し、処理水が5、気散が0.8であった。なお、スクラバー処理後の処理ガス中のオゾンガスの濃度は、処理前と比較して約1/3に減少しており、廃オゾンガス処理への負担を軽減することが可能となった。[実施例2]第3実施形態の処理装置で、廃水中の1,4-ジオキサンを処理した実施例について以下説明する。生物処理装置62は、1,4-ジオキサンを含まないBOD処理装置であり、BOD濃度が約1200mg/Lの廃水を滞留時間24時間で処理する。反応槽内には、生物を維持するためのプラスチック製の接触材が投入してある。原水および促進酸化処理装置の運転条件は、実施例1と同様であり、廃ガスの処理方法だけが異なる。廃ガスを生物処理装置62へエア曝気用ガス空気、酸素を供給するラインに接続し、オゾンガスと1,4-ジオキサンを含む廃ガスを供給した。その結果、生物処理装置62から気散して排出される1,4-ジオキサン濃度は、検出することができず、気散を防止することができた。また、廃オゾンガスも0.1mg/L以下まで処理できた、このため、廃オゾンガスを処理するための装置が不要となった。[実施例3]第5実施形態の処理装置で、廃水中の1,4-ジオキサンを処理した実施例について以下説明する。A工場廃水のCODは2010mg/Lであり、第1生物処理装置70で生物処理することにより498mg/Lまで処理でき、1,4-ジオキサン濃度は200mg/Lであった実施例1の生物処理水と同じ。廃オゾンガスも0.1mg/L以下まで処理できた。このため、廃オゾンガスを処理するための装置が不要となった。第2生物処理装置72では、もともと曝気により気散が生じているため、実施例2の場合とは異なり、1,4-ジオキサンの気散が確認された。気散量の増加はほぼ無かった。これらのことから、促進酸化処理装置で気散した1,4-ジオキサンの処理と、廃オゾンガスの処理に有効であることが確認できた。"