"炭化水素系ガスと空気と触媒とを用いて変成ガスを生成するとともに、この変成ガスより高いカーボンポテンシャルを有しCO2濃度が小さい低CO2変成ガスを生成し、前記変成ガス、前記低CO2変成ガス、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの混合ガスのいずれかを、浸炭のための一連の熱処理工程で雰囲気ガスとして用いる、ガス浸炭方法。前記変成ガスを単独で雰囲気ガスとして用いるか、あるいは、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの両方を雰囲気ガスとして用いる第1の熱処理工程と、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの両方を雰囲気ガスとして用いるか、あるいは、前記低CO2変成ガスを単独で雰囲気ガスとして用いる第2の熱処理工程と、を備える、請求項1に記載のガス浸炭方法。前記変成ガスを単独で雰囲気ガスとして用いるか、あるいは、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの両方を雰囲気ガスとして用いる第3及び第4の熱処理工程を備える、請求項1又は2に記載のガス浸炭方法。前記第1の熱処理工程が昇温工程であり、前記第2の熱処理工程が浸炭工程であり、前記第3の熱処理工程が拡散工程であり、前記第4の熱処理工程が降温工程である、請求項3に記載のガス浸炭方法。前記低CO2変成ガスは、前記変成ガスからその中に含まれるCO2を分離することで生成される、請求項1乃至4のいずれかに記載のガス浸炭方法。前記一連の熱処理工程に含まれる浸炭工程において、前記雰囲気ガスの炉内流速が1.5m/s以上の流速である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のガス浸炭方法。前記一連の熱処理工程に含まれる浸炭工程において、前記雰囲気ガスの炉内流量が炉内雰囲気置換回数29回/h以上となる流量である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のガス浸炭方法。炭化水素系ガスと空気と触媒とを用いて変成ガスを生成する変成炉と、該変成炉と浸炭のための一連の処理を行う熱処理室とを連結する変成ガス管路と、前記変成ガスより高いカーボンポテンシャルを有しCO2濃度が小さい低CO2変成ガスを生成する低CO2変成ガス生成装置と、該低CO2変成ガス生成装置の低CO2変成ガス出口と前記熱処理室とを連結する低CO2変成ガス管路と、前記変成ガス管路と前記低CO2変成ガス管路上に配設され、前記熱処理室に、前記変成ガス、前記低CO2変成ガス、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスとの混合ガスのいずれを導入するかを切り替えるバルブと、を備える、ガス浸炭装置。前記低CO2変成ガス生成装置が、前記変成ガスからその中に含まれるCO2を吸着分離するCO2吸着器である、請求項8に記載のガス浸炭装置。しかしながら、特許文献1に記載のもののように、変成ガスに加えてエンリッチガスや空気等を炉内に供給すると、雰囲気がばらつきやすいため、浸炭の品質にばらつきが発生するおそれがある。また、空気を加えた場合には、被処理体が酸化することもあるため、浸炭処理の効率及び被処理体の品質が低下する。さらに、CP制御のために各種の分析計や演算機、センサー、流量計等、さまざまな精密機器が必要であるため、設備コストの増大にもつながる。特許文献2のもののように、処理の工程ごとに異なるCPの変成ガスを供給するには、複数のガス変成炉が必要となり、設備コストの増大が避けられない。また、浸炭工程用に高CPの変成ガスを変成炉で生成させると、変成炉がスーティングするおそれがある。特許文献3のものは、源ガスとして、炭化水素、二酸化炭素、酸素、必要に応じて窒素と、単独ガスを供給するので、コストアップが避けられず、実用性に欠ける。本発明は、前記の如き事情に鑑みてなされたものであり、安定した雰囲気で熱処理ができ、且つ、設備コストも低減できるガス浸炭方法及びガス浸炭装置を提供しようとするものである。前記課題を解決するため、本発明に係るガス浸炭方法は、炭化水素系ガスと空気と触媒とを用いて変成ガスを生成するとともに、この変成ガスより高いカーボンポテンシャルを有しCO2濃度が小さい低CO2変成ガスを生成し、前記変成ガス、前記低CO2変成ガス、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの混合ガスのいずれかを、浸炭のための一連の熱処理工程で雰囲気ガスとして用いることを特徴とする請求項1。本発明によれば、浸炭のための一連の熱処理工程のそれぞれにおいて、前記変成ガス、前記低CO2変成ガス、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの混合ガスの中から、処理品に求められる品質に応じて最適なガスを選んで熱処理を行うことができる。前記低CO2変成ガスは、前記変成ガスよりCP値が高いので、より大きな浸炭力を発揮する。よって、従来のようにエンリッチガスを添加する必要がなく、またエンリッチガスのように炭化水素ガスの分解を伴わないので、常に安定した雰囲気で熱処理を行うことができる。複数の変成炉が必要なわけでもないし、CP制御のために多数の精密機器が必要なわけでもないので、設備コスト上も有利である。なお、本発明に係るガス浸炭方法において、浸炭のための一連の熱処理工程とは、複数の熱処理室間で被処理体を移動させながら行うものであっても良いし、単一の熱処理室で一連の熱処理工程を順次行うものであっても良い。好適な実施の一形態として、前記変成ガスを単独で雰囲気ガスとして用いるか、あるいは、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの両方を雰囲気ガスとして用いる第1の熱処理工程と、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの両方を雰囲気ガスとして用いるか、あるいは、前記低CO2変成ガスを単独で雰囲気ガスとして用いる第2の熱処理工程と、を備える態様を例示する請求項2。さらに、前記変成ガスを単独で雰囲気ガスとして用いるか、あるいは、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの両方を雰囲気ガスとして用いる第3及び第4の熱処理工程を備える態様とすることもできる請求項3。具体例としては、前記第1の熱処理工程が昇温工程であり、前記第2の熱処理工程が浸炭工程であり、前記第3の熱処理工程が拡散工程であり、前記第4の熱処理工程が降温工程である請求項4。好適な実施の一形態として、前記低CO2変成ガスは、前記変成ガスからその中に含まれるCO2を分離することで生成できる請求項5。好適な実施の一形態として、前記一連の熱処理工程に含まれる浸炭工程において、前記雰囲気ガスの炉内流速が1.5m/s以上の流速である態様請求項6や、前記雰囲気ガスの炉内流量が炉内雰囲気置換回数29回/h以上となる流量である態様請求項7を採用することもできる。これらの態様によれば、有効硬化層深さを確実に目標値に到達させることができるとともに、浸炭時間も短縮できる。一方、本発明に係るガス浸炭装置は、炭化水素系ガスと空気と触媒とを用いて変成ガスを生成する変成炉と、該変成炉と浸炭のための一連の処理を行う熱処理室とを連結する変成ガス管路と、前記変成ガスより高いカーボンポテンシャルを有しCO2濃度が小さい低CO2変成ガスを生成する低CO2変成ガス生成装置と、該低CO2変成ガス生成装置の低CO2変成ガス出口と前記熱処理室とを連結する低CO2変成ガス管路と、前記変成ガス管路と前記低CO2変成ガス管路上に配設され、前記熱処理室に、前記変成ガス、前記低CO2変成ガス、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスとの混合ガスのいずれを導入するかを切り替えるバルブと、を備えたものである請求項8。前記ガス浸炭装置によれば、前記バルブの切り替えで、前記熱処理室に、前記変成ガス、前記低CO2変成ガス、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの混合ガスの中から、処理品に求められる品質に応じて最適なガスを選んで供給することができる。前記低CO2変成ガスは、前記変成ガスよりCP値が高いので、より大きな浸炭力を発揮する。よって、従来のようにエンリッチガスを添加する必要がなく、したがって、常に安定した雰囲気で熱処理を行うことができる。従来例のように複数の変成炉が必要なわけでもないし、CP制御のために多数の精密機器が必要なわけでもないので、コスト上も有利である。なお、本発明に係るガス浸炭装置において、前記熱処理室は、浸炭のための一連の処理を行う複数の熱処理室であっても良いし、浸炭のための一連の処理を行う単一の熱処理室であっても良い。好適な実施の一形態として、前記低CO2変成ガス生成装置が、前記変成ガスからその中に含まれるCO2を吸着分離するCO2吸着器である態様を例示する請求項9。以下、添付図面を参照して、本発明の実施の一形態に係るガス浸炭方法及びガス浸炭装置について説明する。本発明に係るガス浸炭方法は、炭化水素系ガスと空気を原料ガスとして変成炉で変成ガスを生成するとともに、この変成ガスより高いカーボンポテンシャルを有しCO2濃度が小さい低CO2変成ガスを生成し、前記変成ガス、前記低CO2変成ガス、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスの混合ガスのいずれかを、浸炭のための一連の熱処理工程で雰囲気ガスとして用いるものである。なお、本発明において、浸炭のための一連の熱処理工程とは、複数の熱処理室間で被処理体を移動させながら行うものであっても良いし、単一の熱処理室で一連の熱処理工程を順次行うものであっても良い。前記変成ガスは、従来公知の変成炉を用いて生成できる。変成炉で生成される変成ガスは、炭化水素系ガス例えば、13Aガス、天然ガス、プロパン、ブタン等と空気の混合比や、また目的とするガス組成、CP値によって様々であるが、概ね、CO:18~25体積、H2:30~41体積、N2:35~50体積、CO2:0.12~0.25体積、H2O:0.6体積以下、CH4:0.04体積以下であることが好ましい。炭化水素系ガスとして13A都市ガスを用いた場合、さらに変成ガス組成の一例を挙げると次の通りである850°C、CP値0.8のとき。N2窒素:約39.85体積H2水素:約36体積CO一酸化炭素:約24体積CO2二酸化炭素:約0.15体積前記低CO2変成ガスは、前記変成炉で生成された変成ガスから、従来公知のCO2吸着器を用いてCO2を吸着分離することによって生成できる。したがって、前記低CO2変成ガスは、CO2の割合が前記変成ガスよりも小さくなる。具体的には、CO2が0.15体積未満、さらには0.1体積以下、0.05体積以下であることが好ましい。本発明において低CO2変成ガスの生成方法は前記方法には限定されず、N2,H2,CO,CO2等の複数のガスを混合して前記低CO2変成ガスと同様の組成のガスとしたものでも良く、便宜上これも低CO2変成ガスと称する。なお、本発明において、低CO2変成ガスとは、CO2がゼロの場合も含む。低CO2変成ガスのCPカーボンポテンシャルは、前記変成ガスよりもCO2が低減されたことで、前記変成ガスのCPよりも高くなり、これを浸炭雰囲気ガスとして用いることで浸炭力が高まる。また、変成ガスの浸炭力の弱さを補うために従来添加されていたエンリッチガスを使用する必要がなくなり、炭化水素系ガスの分解がなく、安定した浸炭雰囲気ガス中で浸炭が行われるので、浸炭むらやスーティングが生じにくい。この利点は、前記低CO2変成ガスのみを雰囲気ガスとして浸炭を行う場合だけでなく、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスとの混合ガスを雰囲気ガスとして用いて浸炭を行う場合にも得られる。本発明の発明者等は、COとCO2とH2とN2の4種のガスを混合して、変成ガスと、それよりCO2濃度の小さい低CO2変成ガスを生成し、SCr420の被処理体ワークに対してガス浸炭処理を行った。試験炉はゴールドファーネス、浸炭実施時間は2時間である。その浸炭条件と浸炭雰囲気ガス組成を表1に、浸炭結果を表2及び表3に示す。これらの表において、従来例1は、変成ガスで浸炭処理を行ったものであり、実施例2~4が低CO2変成ガスで浸炭処理を行ったものである。実施例の雰囲気ガス低CO2変成ガスのCPは、CO2濃度が小さい分だけ従来例の雰囲気ガス変成ガスのCPより高くなっている。表1において、CP値は、CO濃度2/CO2濃度×Kp平衡定数×飽和炭素量浸炭温度での鋼の飽和炭素量の計算式で求めた。表1において、CH4は、反応により微量生成されたものと考えられる。表3に示すように、従来例、実施例ともに、表面組織に炭化物の析出はなく、良好な浸炭が行えた。また、表2に示すように、従来例に比べて実施例のものは、浸炭能力が高くワークの表面炭素濃度も高く、良好な結果が得られた。いずれの実施例でもスーティングの発生はなかった。なお、変成炉において950°CにおいてCPが1.2になるような変成ガスを生成すると、変成炉にスーティングが発生した。前記試験により、変成ガスによるガス浸炭に対する低CO2変成ガスによるガス浸炭の優位性が実証された。次に、本発明方法を実施するのに用いて好適なガス浸炭装置について説明する。図1に示すように、本発明の実施の一形態に係るガス浸炭装置100は、昇温室予熱室1、浸炭室2、拡散室3、降温室4からなる一連の熱処理室を有する熱処理部5と、前記熱処理室1,2,3,4で使用する雰囲気ガスを生成する変成炉6と、低CO2変成ガス生成装置7,7と、を備える。前記変成炉6と前記各熱処理室1,2,3,4は、変成ガス管路8で連結される。また、前記低CO2変成ガス生成装置7,7の低CO2変成ガス出口9,9と前記各熱理室1,2,3,4は、低CO2変成ガス管路10で連結される。前記変成炉6は従来公知のものと同一であり、ニッケル触媒等の触媒図示せずを内蔵する。メタン、プロパン、ブタン、13A都市ガス等の炭化水素系ガスと空気が前記変成炉6に導入され、例えば1080°Cに加熱された触媒層を通過する。この際の触媒反応変成反応により変成ガスが生成される。前記変成炉6には、冷却装置11が付属している。生成された1080°Cの変成ガスは、前記冷却装置11により常温まで冷却された後に、前記変成ガス管路8へと導出される。前記変成炉6に冷却装置11が付属していない場合には、前記変成炉6と前記低CO2変成ガス生成装置7,7との間の前記変成ガス管路8上に冷却装置を配設しておけばよい。前記低CO2変成ガス生成装置7は、前記変成炉6で生成される変成ガスよりもCO2濃度が小さい低CO2変成ガスを生成する。前記低CO2変成ガス生成装置7としては、従来公知のCO2吸着剤を充填したCO2吸着器を用いることができる。この場合、前記変成炉6で生成される変成ガスを分岐管路12,12で前記CO2吸着器7,7に導入し、CO2吸着剤で変成ガス中のCO2を吸着分離する。CO2が吸着分離されることで、前記変成ガスは前記低CO2変成ガスとなる。該低CO2変成ガスは、前記低CO2変成ガス管路10を通って前記昇温室1、浸炭室2、拡散室3及び降温室4の方向へと導出される。なお、前記CO2吸着器7を用いることにより、CO2と同時に変成ガス中の水分H2Oも効率的に除去され、変成ガスより高CPの低CO2変成ガスを得ることができる。前記低CO2変成ガス生成装置7の他の例として、前記変成ガスを利用することなく、N2,H2,CO,CO2等の複数のガスを混合して低CO2変成ガスを生成する、図示しないガス混合装置を採用することもできる。図1の例では、前記変成ガス管路8に対して二つのCO2吸着器7,7が切換え可能に接続されている。これは、CO2の吸着とCO2の脱着とを二つのCO2吸着器7,7間で交互に行わせ、連続運転を支障なく行わせるためである。分離されたCO2は、排出管路13を通してCO2吸着器7,7から外部へ排出される。前記排出管路13と前記低CO2変成ガス管路10にはCO2分析計14が配設され、両管路を流れるガス中のCO2濃度が常時監視され測定される。前記変成ガス管路8及び前記低CO2変成ガス管路10上には、多数のバルブ1a~4a、1b~4bが配設されている。これらのバルブは、前記一連の熱処理室1,2,3,4のそれぞれに、前記変成ガス、前記低CO2変成ガス、前記変成ガスと前記低CO2変成ガスとの混合ガスのいずれを導入するかを切り替えるためのバルブである。前記各バルブの下流側にはガス混合部15が配設される。このガス混合部15において、前記変成ガス管路8を通して供給される変成ガスと、前記低CO2変成ガス管路10を通して供給される低CO2変成ガスとがミキシングされ所定の組成となる。前記バルブ1a~4a、1b~4bの操作により、昇温工程として、前記昇温室1には、前記変成ガスが単独で導入されるか、あるいは、前記混合ガスが導入される。前記浸炭室2には、浸炭工程として、前記低CO2変成ガスが単独で導入されるか、あるいは、前記混合ガスが導入される。前記拡散室3には、拡散工程として、前記変成ガスが単独で導入されるか、あるいは、前記混合ガスが導入される。前記降温室4にも、降温工程として、前記変成ガスが単独で導入されるか、あるいは、前記混合ガスが導入される。前記各熱処理室1,2,3,4の雰囲気ガスは、前記低CO2変成ガスの割合が大きいほど浸炭力が大きくなる。前記各工程で前記各熱処理室にどのガスをどれだけ導入するかは、処理品に要求される品質に応じて適宜に決定する。但し、浸炭室2に変成ガスを単独供給することはない。変成ガス単独ではCP値が低くて所望の浸炭が得られないからである。また、昇温室1、拡散室3、降温室4に低CO2変成ガスが単独供給されることもない。昇温室1と降温室4に低CO2変成ガスを単独供給すると、昇温途中及び降温途中の低温時にワーク表面に炭化物が析出するおそれがあるからである。拡散室3に低CO2変成ガスを単独供給すると、ワークの表面炭素濃度が上がりすぎてしまい、その後の油焼入工程で残留オーステナイトの析出量が増えることが予想されるからである。好ましくは、降温室4に使用される変成ガスのCPを狙って変成炉で変成ガスを生成させ、この変成ガスを降温室4に単独供給し、浸炭室2には低CO2変成ガスを単独供給し、昇温室7、拡散室3には変成ガスと低CO2変成ガスの混合ガスを供給する。前記各熱処理室1,2,3,4で熱処理に関与した雰囲気ガスは、一部が排気管路16により排ガスとして燃焼排出され、他の一部はCO2脱着用管路17により前記CO2吸着器7,7に向けて送られ、該CO2吸着器7においてCO2脱着時の加熱手段として用いられる。前記ガス浸炭装置100によれば、前記バルブ1a~4a、1b~4bの操作により、前記各熱処理室1,2,3,4において常に最適な雰囲気ガスでワークに対して熱処理を行うことができる。従来の装置のように、設備費がかさむ問題もない。また、エンリッチガスを使う必要がないので、安定した雰囲気で処理ができ、処理品の品質も向上する利点がある。なお、図示例は、前記熱処理部5が、浸炭のための一連の処理を行う複数の熱処理室を備える例であるが、本発明に係るガス浸炭装置はこれには限定されず、浸炭のための一連の処理を単一の熱処理室において行う態様も含む。さらに、本発明の発明者は、本発明の方法を実施する際の、浸炭雰囲気ガスの好ましい流速及び流量について探求した。まず、実験用の装置として、既存のゴールドファーネス炉に内管を取替え挿入できるものを作製し、該内管内を炉として用いる。前記内管として、様々な内径を有するものを準備し、前記内管を取り替えて管内径を変更することで、前記内管内を流れる浸炭雰囲気ガスの流速や流量が変わるようにする。図2は、この実験における処理工程図である。図2に示すように、まず、窒素ガスを炉内内管内に供給し、10分で950°Cまで昇温した。昇温後10分間保持した後CO2ガスを供給し、N2CO2の雰囲気でさらに5分間保持した。次に低CO2変成ガスガス組成は表4参照を炉内に供給し、雰囲気を安定させるために30分間保持した。その後、試験片TPテストピース:SCr420を炉内に挿入して70分間保持し、前記低CO2変成ガスを連続的に供給しながら浸炭処理を実施した。浸炭処理後には、拡散処理14分、降温処理14分を実施し、その後焼入れ処理を実施した。様々な内径を有する内管表5の管内径を参照を用いることで、浸炭処理中における低CO2変成ガスの流速と流量を様々な値に変えることができる。前記実験の結果を表5に示す。表5のうち、上から三つの例、すなわち、比較例1と実施例1,2が、流速を変更した場合流量一定の実験結果である。それ以下の例、すなわち、実施例3と比較例2~4が、流量を変更した場合流速一定の実験結果である。表5を参照して、浸炭雰囲気ガスの好ましい流速と流量について考察する。<流速について>CP値の高い前記低CO2変成ガスで浸炭しても、比較例1のように流速が小さいと本実験の目標としたカーボン濃度が0.3wtである試験片表面からの深さ位置0.75mm以上に達しないことが分かる。これに対し、実施例1,2より、流速が3.04m/s、5.98m/sの場合には目標とする十分な浸炭深さを得られ、従来よりも早く浸炭できる。この試験結果を用いて流速とカーボン濃度が0.3wtである試験片表面からの深さ位置との関係をグラフにしたものが図3である。図3より、目標とする深さ0.75mmを得るためには、浸炭雰囲気ガスの流速を1.5m/s以上にすればよいことが分かる。なお、浸炭炉の浸炭室或いは拡散室内のワーク設置範囲内において浸炭雰囲気ガスの流速を1.5m/s以上とするために、浸炭室或いは拡散室にガス攪拌用のファンを上下、左右に必要に応じて設置して流速のバラツキを抑制することが好ましく、これにより安定した浸炭処理を実現することができる。ガス流速風速は風速計で測定することができる。また、流速を上げることで炭素移行係数β値が増加し、流速増加は流量物質供給量増加との関係はない。<流量について>比較例2~4より、浸炭雰囲気ガスの流量が小さい場合、すなわち、炉内ガス置換回数が1時間当たり5.1~19回、流速約0.1m/sのときは、前記目標とする浸炭深さが得られないことが分かる。これに対し、実施例3のように流量が大きい場合は、目標とする浸炭深さが得られ、従来よりも早く浸炭できる。この試験結果を用いて流量とカーボン濃度が0.3wtである試験片表面からの深さ位置との関係をグラフにしたものが図4である。図4より、目標とする深さ0.75mmを得るためには、浸炭雰囲気ガスの流量を炉内雰囲気置換回数29回/h以上となる流量にすればよいことが分かる。なお、炉内雰囲気置換回数は、炉内に供給する1時間あたりのガス流量を炉内体積で割った値である。炉内雰囲気置換回数を大きくするために、炉内に連続的に新しいガスを供給しても良いが、炉内ガスを循環させて炉内に供給することがコスト面から好ましい。また、流量置換回数を増加させると炭素移行係数β値が低下することがわかり、浸炭効率を向上させるためにはガス流量よりもガス流速を増加させる方が好ましい。"