"被処理ガスを回収するための処理流路を備え、前記処理流路には、前記被処理ガスの流れ方向に見て下流側に向けて第1冷却域及び第2冷却域がこの順に配設され、前記第1冷却域には第1熱交換器が配設され、前記第2冷却域には第2熱交換器が配設され、前記第1及び第2冷却域に対応してそれらの下方には、液体を回収するための液体回収容器が配設された冷却回収装置において、前記第1冷却域は第1冷却ハウジングにより規定され、前記第1冷却ハウジング内に前記第1熱交換器が配設され、また前記第2冷却域は前記第2冷却ハウジングにより規定され、前記第2冷却ハウジング内に前記第2熱交換器が配設され、前記第1及び第2冷却ハウジングが水平方向に並列的に配置されており、前記第1及び第2熱交換器は循環流路を通して冷却装置に接続され、前記冷却装置にて冷却された冷却媒体が前記循環流路並びに前記第1及び第2熱交換器を通して循環されるように構成されており、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内を所定方向に前記第1熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との熱交換によって冷却され、次いで前記第2冷却ハウジング内を上記所定方向と反対方向に前記第2熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との熱交換によって冷却され、冷却によって凝縮された液体が前記液体回収容器に回収されることを特徴とする冷却回収装置。前記第1熱交換器は、前記第1冷却ハウジング内に前記第2ハウジング側から下方に傾斜して配設され、前記第2熱交換器は、前記第2冷却ハウジング内に前記第1冷却ハウジング側から下方に傾斜して配設され、前記第1及び第2冷却ハウジングの接続下部に前記第1及び前記第2冷却域を連通するための下連通開口が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の冷却回収装置。前記第1熱交換器は、上下方向に配設された複数の第1熱交換ユニットから構成され、前記第2熱交換器は、上下方向に配設された複数の第2熱交換ユニットから構成され、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内においては上方から下方に流れ、前記第2冷却ハウジング内においては下方から上方に流れ、前記第1熱交換器においては、最上位の第1熱交換ユニットから下方に最下位の第1熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給され、また前記第2熱交換器においては、最下位の第2熱交換ユニットから上方に最上位の第2熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給されることを特徴とする請求項1又は2に記載の冷却回収装置。被処理ガスを回収するための処理流路を備え、前記処理流路には、前記被処理ガスの流れ方向に見て下流側に向けて第1冷却域及び第2冷却域がこの順に配設され、前記第1冷却域には第1熱交換器が配設され、前記第2冷却域には第2熱交換器が配設された冷却回収装置において、前記処理流路には、更に、前記第2冷却域の下流側に第3冷却域が配設され、前記第3冷却域には第3熱交換器が配設され、前記液体回収容器は、前記第1~第3冷却域に対応してそれらの下方に配設されており、前記処理流路を流れる被処理ガスは、前記第1冷却域の前記第1熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との間の熱交換によって冷却され、次いで前記第2冷却域の前記第2熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との熱交換によって冷却され、その後前記第3冷却域の前記第3熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との熱交換によって更に冷却され、これらの冷却によって凝縮された液体が前記液体回収容器に回収されることを特徴とする冷却回収装置。前記第1冷却域は第1冷却ハウジングにより規定され、前記第1冷却ハウジング内に前記第1熱交換器が配設され、また前記第2冷却域は前記第2冷却ハウジングにより規定され、前記第2冷却ハウジング内に前記第2熱交換器が配設され、更に前記第3冷却域は第3冷却ハウジングにより規定され、前記第3冷却ハウジング内に前記第3熱交換器が配設され、前記第1及び第2冷却ハウジング並びに前記第3冷却ハウジングが水平方向に並列的に配置されており、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内を所定方向に流れる間に前記第1熱交換器によって冷却され、次いで前記第2冷却ハウジング内を前記所定方向と反対方向に流れる間に前記第2熱交換器によって冷却され、更に前記第3冷却ハウジング内を上記所定方向に流れる間に前記第3熱交換器によって冷却されることを特徴とする請求項4に記載の冷却回収装置。前記第1熱交換器は、前記第1冷却ハウジング内に前記第2ハウジング側から下方に傾斜して配設され、前記第2熱交換器は、前記第2冷却ハウジング内に前記第1冷却ハウジング側から下方に傾斜して配設され、また前記第3熱交換器は、前記第3冷却ハウジング内に前記第2冷却ハウジング側に向けて下方に傾斜して配設され、前記第1及び第2冷却ハウジングの接続下部に前記第1及び前記第2冷却域を連通するための下連通開口が設けられ、前記第2冷却ハウジング及び前記第3冷却ハウジングの接続上部に前記第2冷却域及び前記第3冷却域を連通するための上連通開口が設けられていることを特徴とする請求項5に記載の冷却回収装置。前記第1熱交換器は、上下方向に配設された複数の第1熱交換ユニットから構成され、前記第2熱交換器は、上下方向に配設された複数の第2熱交換ユニットから構成され、前記第3熱交換器は、上下方向に配設された複数の第3熱交換ユニットから構成され、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内においては上から下に流れ、前記第2冷却ハウジング内においては下から上に流れ、更に前記第3冷却ハウジング内においては上から下に流れ、前記第1熱交換器においては、最上位の第1熱交換ユニットから下方に最下位の第1熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給され、また前記第2熱交換器においては、最下位の第2熱交換ユニットから上方に最上位の第2熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給され、更に前記第3熱交換器においては、最上位の第3熱交換ユニットから下方に最下位の第3熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給されることを特徴とする請求項5又は6に記載の冷却回収装置。前記処理流路には、前記第3冷却域の下流側に不純物除去域が配設され、前記不純物除去域は不純物除去ハウジングにより規定され、前記不純物除去ハウジング内に不純物除去フィルタが配設されており、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内を流れる間に前記第1熱交換器によって冷却され、次いで前記第2冷却ハウジング内を流れる間に前記第2熱交換器によって冷却され、また前記第3冷却ハウジング内を流れる間に前記第3熱交換器によって更に冷却れ、その後前記不純物除去ハウジング内を流れる間に前記不純物除去フィルタによって前記被処理ガスに含まれた不純物が除去されることを特徴とする請求項7に記載の冷却回収装置。前記第1冷却ハウジングの上端部には導入ダクトが設けられ、前記不純物除去ハウジングの上端部には排出ダクトが設けられ、前記排出ダクトに排気ファンが配設されており、前記排気ファンが作動すると、前記被処理ガスは、前記排気ファンの吸引作用によって、前記導入ダクトを通して前記第1冷却ハウジング内に導入され、前記第1冷却ハウジング、前記第2冷却ハウジング、前記第3冷却ハウジング及び前記不純物除去ハウジングを通して流れ、その後前記排出ダクトを通して排出されることを特徴とする請求項8に記載の冷却回収装置。被処理ガスを回収するための処理流路を規定する冷却ハウジングを備え、前記冷却ハウジングの冷却域冷却域に熱交換器が配設され、前記冷却域に対応してその下方には、液体を回収するための液体回収容器が配設された冷却回収装置において、前記熱交換器は、所定方向に間隔をおいて配設された複数のプレートを備え、前記複数のプレートを貫通して管部材が設けられ、前記管部材を通して冷却媒体が流れ、前記被処理ガスは前記複数のプレート間を通して流れ、前記熱交換器は、前記冷却ハウジング内に前記所定方向に対して垂直な方向に下方に傾斜して配設され、前記熱交換器において凝縮した液体は、前記複数のプレートの傾斜方向に沿って下方に流下することを特徴とする冷却回収装置。前記熱交換器は、上下方向に配設された複数の熱交換ユニットから構成され、前記複数の熱交換ユニットが前記所定方向に対して垂直な方向に下方に傾斜して配設されていることを特徴とする請求項10に記載の冷却回収装置。しかしながら、従来の冷却回収装置には、次の通りの解決すべき問題がある。第1に、第1及び第2冷却域が処理流路に沿って上下方向に配設されているので、処理流路の上下方向の長さが長くなり換言すると、処理流路の高さが高くなる、冷却回収装置全体が大型化する問題がある。第2に、第1及び第2冷却域に対応して第1及び第2蒸発器が設けられる構成であるために、被処理ガスの温度が高いときには充分に冷却して凝縮するのが難しく、液体としての回収率が悪くなる問題がある。第3に、熱交換器は複数のプレートを備えているが、複数のプレート間の間隔が小さいときには凝縮した液体が隣接するプレート間に膜状となって通路を塞ぎ、被処理ガスの流れが悪くなる問題がある。本発明の目的は、冷却回収装置全体の小型化を図り、工場内などの設置が容易である冷却回収装置を提供することである。本発明の他の目的は、被処理ガスの回収率を高めることができる冷却回収装置を提供することである。本発明の更に他の目的は、熱交換器において凝縮した液体を効率良く流下させることができる冷却回収装置を提供することである。本発明の請求項1に記載の冷却回収装置は、被処理ガスを回収するための処理流路を備え、前記処理流路には、前記被処理ガスの流れ方向に見て下流側に向けて第1冷却域及び第2冷却域がこの順に配設され、前記第1冷却域には第1熱交換器が配設され、前記第2冷却域には第2熱交換器が配設され、前記第1及び第2冷却域に対応してそれらの下方には、液体を回収するための液体回収容器が配設された冷却回収装置において、前記第1冷却域は第1冷却ハウジングにより規定され、前記第1冷却ハウジング内に前記第1熱交換器が配設され、また前記第2冷却域は前記第2冷却ハウジングにより規定され、前記第2冷却ハウジング内に前記第2熱交換器が配設され、前記第1及び第2冷却ハウジングが水平方向に並列的に配置されており、前記第1及び第2熱交換器は循環流路を通して冷却装置に接続され、前記冷却装置にて冷却された冷却媒体が前記循環流路並びに前記第1及び第2熱交換器を通して循環されるように構成されており、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内を所定方向に前記第1熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との熱交換によって冷却され、次いで前記第2冷却ハウジング内を上記所定方向と反対方向に前記第2熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との熱交換によって冷却され、冷却によって凝縮された液体が前記液体回収容器に回収されることを特徴とする。本発明の請求項2に記載の冷却回収装置では、前記第1熱交換器は、前記第1冷却ハウジング内に前記第2ハウジング側から下方に傾斜して配設され、前記第2熱交換器は、前記第2冷却ハウジング内に前記第1冷却ハウジング側から下方に傾斜して配設され、前記第1及び第2冷却ハウジングの接続下部に前記第1及び前記第2冷却域を連通するための下連通開口が設けられていることを特徴とする。また、本発明の請求項3に記載の冷却回収装置では、前記第1熱交換器は、上下方向に配設された複数の第1熱交換ユニットから構成され、前記第2熱交換器は、上下方向に配設された複数の第2熱交換ユニットから構成され、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内においては上方から下方に流れ、前記第2冷却ハウジング内においては下方から上方に流れ、前記第1熱交換器においては、最上位の第1熱交換ユニットから下方に最下位の第1熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給され、また前記第2熱交換器においては、最下位の第2熱交換ユニットから上方に最上位の第2熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給されることを特徴とする。また、本発明の請求項4に記載の冷却回収装置は、被処理ガスを回収するための処理流路を備え、前記処理流路には、前記被処理ガスの流れ方向に見て下流側に向けて第1冷却域及び第2冷却域がこの順に配設され、前記第1冷却域には第1熱交換器が配設され、前記第2冷却域には第2熱交換器が配設された冷却回収装置において、前記処理流路には、更に、前記第2冷却域の下流側に第3冷却域が配設され、前記第3冷却域には第3熱交換器が配設され、前記液体回収容器は、前記第1~第3冷却域に対応してそれらの下方に配設されており、前記処理流路を流れる被処理ガスは、前記第1冷却域の前記第1熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との間の熱交換によって冷却され、次いで前記第2冷却域の前記第2熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との熱交換によって冷却され、その後前記第3冷却域の前記第3熱交換器の周囲を通して流れる間に、前記冷却装置からの前記冷却媒体との熱交換によって更に冷却され、これらの冷却によって凝縮された液体が前記液体回収容器に回収されることを特徴とする。また、本発明の請求項5に記載の冷却回収装置では、前記第1冷却域は第1冷却ハウジングにより規定され、前記第1冷却ハウジング内に前記第1熱交換器が配設され、また前記第2冷却域は前記第2冷却ハウジングにより規定され、前記第2冷却ハウジング内に前記第2熱交換器が配設され、更に前記第3冷却域は第3冷却ハウジングにより規定され、前記第3冷却ハウジング内に前記第3熱交換器が配設され、前記第1及び第2冷却ハウジング並びに前記第3冷却ハウジングが水平方向に並列的に配置されており、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内を所定方向に流れる間に前記第1熱交換器によって冷却され、次いで前記第2冷却ハウジング内を前記所定方向と反対方向に流れる間に前記第2熱交換器によって冷却され、更に前記第3冷却ハウジング内を上記所定方向に流れる間に前記第3熱交換器によって冷却されることを特徴とする。また、本発明の請求項6に記載の冷却回収装置では、前記第1熱交換器は、前記第1冷却ハウジング内に前記第2ハウジング側から下方に傾斜して配設され、前記第2熱交換器は、前記第2冷却ハウジング内に前記第1冷却ハウジング側から下方に傾斜して配設され、また前記第3熱交換器は、前記第3冷却ハウジング内に前記第2冷却ハウジング側に向けて下方に傾斜して配設され、前記第1及び第2冷却ハウジングの接続下部に前記第1及び前記第2冷却域を連通するための下連通開口が設けられ、前記第2冷却ハウジング及び前記第3冷却ハウジングの接続上部に前記第2冷却域及び前記第3冷却域を連通するための上連通開口が設けられていることを特徴とする。また、本発明の請求項7に記載の冷却回収装置では、前記第1熱交換器は、上下方向に配設された複数の第1熱交換ユニットから構成され、前記第2熱交換器は、上下方向に配設された複数の第2熱交換ユニットから構成され、前記第3熱交換器は、上下方向に配設された複数の第3熱交換ユニットから構成され、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内においては上から下に流れ、前記第2冷却ハウジング内においては下から上に流れ、更に前記第3冷却ハウジング内においては上から下に流れ、前記第1熱交換器においては、最上位の第1熱交換ユニットから下方に最下位の第1熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給され、また前記第2熱交換器においては、最下位の第2熱交換ユニットから上方に最上位の第2熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給され、更に前記第3熱交換器においては、最上位の第3熱交換ユニットから下方に最下位の第3熱交換ユニットに向けて前記冷却装置からの前記冷却媒体が送給されることを特徴とする。また、本発明の請求項8に記載の冷却回収装置では、前記処理流路には、前記第3冷却域の下流側に不純物除去域が配設され、前記不純物除去域は不純物除去ハウジングにより規定され、前記不純物除去ハウジング内に不純物除去フィルタが配設されており、前記被処理ガスは、前記第1冷却ハウジング内を流れる間に前記第1熱交換器によって冷却され、次いで前記第2冷却ハウジング内を流れる間に前記第2熱交換器によって冷却され、また前記第3冷却ハウジング内を流れる間に前記第3熱交換器によって更に冷却れ、その後前記不純物除去ハウジング内を流れる間に前記不純物除去フィルタによって前記被処理ガスに含まれた不純物が除去されることを特徴とする。また、本発明の請求項9に記載の冷却回収装置では、前記第1冷却ハウジングの上端部には導入ダクトが設けられ、前記不純物除去ハウジングの上端部には排出ダクトが設けられ、前記排出ダクトに排気ファンが配設されており、前記排気ファンが作動すると、前記被処理ガスは、前記排気ファンの吸引作用によって、前記導入ダクトを通して前記第1冷却ハウジング内に導入され、前記第1冷却ハウジング、前記第2冷却ハウジング、前記第3冷却ハウジング及び前記不純物除去ハウジングを通して流れ、その後前記排出ダクトを通して排出されることを特徴とする。また、本発明の請求項10に記載の冷却回収装置は、被処理ガスを回収するための処理流路を規定する冷却ハウジングを備え、前記冷却ハウジングの冷却域冷却域に熱交換器が配設され、前記冷却域に対応してその下方には、液体を回収するための液体回収容器が配設された冷却回収装置において、前記熱交換器は、所定方向に間隔をおいて配設された複数のプレートを備え、前記複数のプレートを貫通して管部材が設けられ、前記管部材を通して冷却媒体が流れ、前記被処理ガスは前記複数のプレート間を通して流れ、前記熱交換器は、前記冷却ハウジング内に前記所定方向に対して垂直な方向に下方に傾斜して配設され、前記熱交換器において凝縮した液体は、前記複数のプレートの傾斜方向に沿って下方に流下することを特徴とする。更に、本発明の請求項11に記載の冷却回収装置では、前記熱交換器は、上下方向に配設された複数の熱交換ユニットから構成され、前記複数の熱交換ユニットが前記所定方向に対して垂直な方向に下方に傾斜して配設されていることを特徴とする。本発明の請求項1に記載の冷却回収装置によれば、上流側の第1冷却域は第1冷却ハウジングにより規定され、この第1冷却ハウジング内に第1熱交換器が配設され、また下流側の第2冷却域は第2冷却ハウジングにより規定され、この第2冷却ハウジング内に第2熱交換器が配設され、第1及び第2冷却ハウジングが水平方向に並列的に配置されているので、二つの熱交換器即ち、第1及び第2熱交換器を備えているにもかかわらず冷却回収装置の高さを低く抑えることができ、装置全体の小型化を図ることができる。また、被処理ガスは、第1冷却ハウジング内を所定方向に第1熱交換器の周囲を通して流れる間に、冷却装置からの冷却媒体との熱交換によって冷却され、次いで第2冷却ハウジング内を所定方向に対して反対方向に第2熱交換器の周囲を通して流れる間に、冷却装置からの冷却媒体との熱交換よって冷却されるので、被処理ガスを効率よく冷却して凝縮回収することができる。また、本発明の請求項2に記載の冷却回収装置によれば、第1熱交換器は、第1冷却ハウジング内に第2冷却ハウジング側から下方に傾斜して配設されているので、第1熱交換器にて凝縮された被処理ガスの液体は、第2冷却ハウジング側から下方に流下して液体回収容器に回収される。また、第2熱交換器は、第2冷却ハウジング内に第1冷却ハウジング側から下方に傾斜して配設されているので、第2熱交換器にて凝縮した被処理ガスの液体は、第1冷却ハウジング側から下方に流下して液体回収容器に回収される。更に、第1及び第2冷却ハウジングの接続下部に第1及び前記第2冷却域を連通するための下連通開口が設けられているので、第1及び第2熱交換器の傾斜に関連して大きな下連通開口を設けることができ、第1及び第2冷却ハウジング並びに第1及び第2熱交換器を効果的に配置して装置全体の小型化を図ることができる。また、本発明の請求項3に記載の冷却回収装置によれば、第1冷却ハウジング内においては被処理ガスが上方から下方に流れ、第1熱交換器は、上下方向に配設された複数の第1熱交換ユニットから構成され、この第1熱交換器においては、最上位の第1熱交換ユニットから下方に最下位の第1熱交換ユニットに向けて冷却装置からの冷却媒体が送給されるので、被処理ガスの高温側に冷たい冷却媒体が送給されるようになり、第1熱交換器における冷却効率を高めることができる。また、第2冷却ハウジングにおいては被処理ガスは下方から上方に流れ、第2熱交換器は、上下方向に配設された複数の第2熱交換ユニットから構成され、この第2熱交換器においては、最下位の第2熱交換ユニットから上方に最上位の第2熱交換ユニットに向けて冷却装置からの冷却媒体が送給されるので、この第2熱交換器においても被処理ガスの高温側に冷たい冷却媒体が送給されるようになり、第2熱交換器における冷却効率を高めることができる。また、本発明の請求項4に記載の冷却回収装置によれば、第1及び第2冷却域が配設された処理流路には、更に、第2冷却域の下流側に第3冷却域が配設され、第3冷却域に第3熱交換器が配設されているので、被処理ガスは、三つの冷却域第1~第3冷却域において冷却され、従って、被処理ガスを充分に冷却して凝縮回収することができる。また、処理流路を流れる被処理ガスは、第1段階においては第1冷却域の第1熱交換器の周囲を通して流れる間に、第2段階においては第2冷却域の第2熱交換器の周囲を通して流れる間に、また第3段階においては第3冷却域の第3熱交換器の周囲を通して流れる間に、冷却装置からの冷却媒体との熱交換によって冷却されるので、被処理ガスを効率よく冷却して凝縮回収することができる。また、本発明の請求項5に記載の冷却回収装置によれば、第1冷却域は第1冷却ハウジングにより規定され、第1冷却ハウジング内に第1熱交換器が配設され、また第2冷却域は第2冷却ハウジングにより規定され、第2冷却ハウジング内に第2熱交換器が配設され、更に第3冷却域は第3冷却ハウジングにより規定され、第3冷却ハウジング内に第3熱交換器が配設され、第1及び第2冷却ハウジング並びに第3冷却ハウジングが水平方向に並列的に配置されているので、三つの熱交換器を備えているにもかかわらず装置全体の高さを低く抑えることができる。また、被処理ガスは、第1冷却ハウジング内を所定方向に流れる間に第1熱交換器によって主として冷却され、次いで第2冷却ハウジング内を所定方向に対して反対方向に流れる間に第2熱交換器によって主として冷却され、更に第3冷却ハウジング内を上記所定方向に流れる間に第3熱交換器によって冷却されるので、被処理ガスを効率よく冷却して凝縮回収することができる。また、本発明の請求項6に記載の冷却回収装置によれば、第1熱交換器は、第1冷却ハウジング内に第2冷却ハウジング側から下方に傾斜して配設されているので、第1熱交換器において凝縮した被処理ガスの液体は、第2冷却ハウジング側から下方に流下して流れ、また第2熱交換器は、第2冷却ハウジング内に第1冷却ハウジング側から下方に傾斜して配設されているので、第2熱交換器において凝縮した被処理ガスの液体は、第1冷却ハウジング側から下方に流下して流れ、更に、第3熱交換器は、第3冷却ハウジング内に第2冷却ハウジング側に向けて下方に傾斜して配設されているので、第3熱交換器において凝縮した被処理ガスの液体は、第2冷却ハウジング側に向けて下方に流下して流れ、これら凝縮した液体を所要の通りに液体回収容器に回収することができる。また、第1及び第2冷却ハウジングの接続下部にこれらを連通するための下連通開口が設けられ、第2及び第3冷却ハウジングの接続上部にこれらを連通するための上連通開口が設けられているので、第1及び第2熱交換器の傾斜に関連して大きな下連通開口を設けることができ、また第2熱交換器及び第3熱交換器の傾斜に関連して大きな上連通開口を設けることができ、第1及び第2熱交換器並びに第3熱交換器を効果的に配置して装置全体の小型化を図ることができる。また、本発明の請求項7に記載の冷却回収装置によれば、第1冷却ハウジング内を上方から下方に被処理ガスが流れ、第1熱交換器においては、最上位の第1熱交換ユニットから下方に最下位の第1熱交換ユニットに向けて冷却装置からの冷却媒体が送給されるので、上述したように第1熱交換器における冷却効率を高めることができる。また、第2冷却ハウジング内を下方から上方に被処理ガスが流れ、第2熱交換器においては、最下位の第2熱交換ユニットから上方に最上位の第2熱交換ユニットに向けて冷却装置からの冷却媒体が送給されるので、上述したように第2熱交換器における冷却効率を高めることができる。更に、第3冷却ハウジング内を上方から下方に被処理ガスが流れ、第3熱交換器においては、最上位の第3熱交換ユニットから下方に最下位の第3熱交換ユニットに向けて冷却装置からの冷却媒体が送給されるので、被処理ガスの高温側に冷たい冷却媒体が送給され、第3熱交換器みおける冷却効率をも高めることができる。また、本発明の請求項8に記載の冷却回収装置によれば、第3冷却域の下流側に不純物除去域が配設され、不純物除去域は不純物除去ハウジングにより規定され、この不純物除去ハウジング内に不純物除去フィルタが配設されているので、この不純物除去フィルタによって、被処理ガスに含まれた不純物を除去することができる。また、被処理ガスは、第1冷却ハウジング内を流れる間に前記第1熱交換器によって冷却され、次いで第2冷却ハウジング内を流れる間に第2熱交換器によって冷却され、また第3冷却ハウジング内を流れる間に前記第3熱交換器によって冷却され、更に不純物除去ハウジング内を流れる間に不純物除去フィルタによって被処理ガスに含まれた不純物が除去されるので、装置全体の小型化を図りながら被処理ガスを凝縮回収するとともに、被処理ガス中の不純物も除去することができる。また、本発明の請求項9に記載の冷却回収装置によれば、不純物除去ハウジングの上端部には排出ダクトが設けられ、この排出ダクトに排気ファンが配設されてているので、排気ファンの吸引作用によって、導入ダクトを通して第1冷却ハウジング内に被処理ガスを導入するとともに、導入した被処理ガスを処理流路を通して下流側に流し、処理後の被処理ガスを排出ダクトを通して外部に排出することができる。また、本発明の請求項10に記載の冷却回収装置によれば、被処理ガスを冷却するための熱交換器は、冷却ハウジング内に傾斜して配設され、この熱交換器の傾斜方向は、複数のプレートの配設方向に対して垂直な方向であるので、熱交換器にて凝縮した液体は、複数のプレートの表面に沿ってその傾斜方向に流下し、複数のプレート表面に凝縮付着した液体を効率よく流下させて回収することができ、複数のプレートの配設ピッチを狭くした場合においても凝縮液体が膜状となるのを抑えて流下回収することができる。更に、本発明の請求項11に記載の冷却回収装置によれば、熱交換器は、上下方向に配設された複数の熱交換ユニットから構成され、これら熱交換ユニットが複数のプレートの配設方向に対して垂直な方向に傾斜しているので、各熱交換ユニットにて凝縮した液体を効率よく流下させて回収することができる。以下、添付図面を参照して、本発明に従う冷却回収装置の一実施形態について説明する。図1において、図示の冷却回収装置2は、第1冷却域Pを規定する第1冷却ハウジング4と、第2冷却域Qを規定する第2冷却ハウジング6と、第3冷却域Rを規定する第3冷却ハウジング8とを備えている。この形態では、第1~第3冷却ハウジング4,6,8が水平方向に並列に配置されており、このように配置することによって、装置全体の高さを小さくしてコンパクト化を図ることができる。第1冷却ハウジング4は、例えば断面形状が矩形状の中空筒状部材から構成され、その内部に第1冷却域Pを規定し、第1冷却域Pの上方が開放され、開放された第1冷却ハウジング4の上面に流入開口10が設けられている。この第1冷却域Pには、第1熱交換器12が配設されている。この第1冷却ハウジング4の上端部には導入ダクト14が設けられ、処理すべき被処理ガス例えば、VOCを含む蒸気ガスは、この導入ダクト14から流入開口10を通して第1冷却域Pに流入される。第2冷却ハウジング6は、第1冷却ハウジング4の横側図1において右側に配設され、第1冷却ハウジング4と同様に、例えば断面形状が矩形状の中空筒状部材から構成され、その内部に第2冷却域Qを規定する。この第2冷却域Qには、第2熱交換器16が配設されている。第1冷却ハウジング4及び第2冷却ハウジング6の接続下部には、第1冷却域Pと第2冷却域Qとを連通する下連通開口18が設けられ、被処理ガスは、この下連通開口18を通して第1冷却域Pから第2冷却域Qに流れる。また、第3冷却ハウジング8は、第2冷却ハウジング6の横側図1において右側に配設され、第1及び第2冷却ハウジング4,6と同様に、例えば断面形状が矩形状の中空筒状部材から構成され、その内部に第3冷却域Rを規定する。この第3冷却域Rには、第3熱交換器20が配設されている。第2冷却ハウジング6及び第3冷却ハウジング8の接続上部には、第2冷却域Qと第3冷却域Rとを連通する上連通開口22が設けられ、被処理ガスは、この上連通開口2を通して第2冷却域Qから第3冷却域Rに流れる。第3冷却ハウジング8の横側図1において右側には、更に、不純物除去ハウジング24が並列的に配設され、第1及び第2冷却ハウジング4,6などと同様に、例えば断面形状が矩形状の中空筒状部材から構成され、その内部に不純物除去域Sを規定する。この不純物除去域Sには、不純物を除去するための不純物除去フィルタ26が配設されている。第3冷却ハウジング8及び不純物除去ハウジング24の接続下部には、第3冷却域Rと不純物除去域Sとを連通する下連通開口34が設けられ、被処理ガスは、この下連通開口34を通して第3冷却域Rから不純物除去域Sに流れる。不純物除去域Sの上方は開放され、開放された不純物除去ハウジング24の上面に流出開口28が設けられている。この不純物除去ハウジング24の上端部には排出ダクト30が設けられ、後述するように処理されたガスは、不純物除去ハウジング24の流出開口28から排出ダクト30を通して外部に排出される。この排出ダクト30内には、排気ファン32が設けられ、この排気ファン32の吸引作用によって、処理すべき被処理ガスは後述するように流れる。このように構成されているので、第1~第3冷却ハウジング4,6,8及び不純物除去ハウジング24は、被処理ガスが流れる処理流路を規定し、この処理流路に、第1~第3冷却域P,Q,R及び不純物除去域Sがこの順に配設され、この処理流路を流れる間に、被処理ガスは後述するように処理されて外部例えば、大気中に排出される。この形態では、不純物除去域Sに上下方向に間隔をおいて一対の不純物除去フィルタ26が設けられているが、不純物除去フィルタ26の配設個数については、適宜設定することができる。尚、不純物の除去が必要でないときには、不純物除去ハウジング24及び不純物除去フィルタ26に関連する構成を省略することができる。図1とともに図2を参照して、この実施形態では、第1冷却域Pの第1熱交換器12は、第2冷却ハウジング6側から図1及び図2において右から左に向けて下方に傾斜して配設され、第2熱交換器16は、第1冷却ハウジング4側から図1及び図2において左から右に向けて下方に傾斜して配設され、また第3熱交換器20は、第2冷却ハウジング側6に向けて図1及び図2において右から左に向けて下方に傾斜して配設されている。このような配置構成に関連して、第1~第3冷却域P,Q,R第1~第3冷却ハウジング4,6,8に対応して、それらの下方に液体収容容器38が配設され、この形態では、この液体回収容器38は不純物除去域S不純物除去ハウジング24の下方まで延びており、液体回収容器38の端部不純物除去域Sまで延びた端部に排出管40が接続され、この排出管40に排出開閉弁42が配設されている。従って、排出開閉弁42を開状態にすると、液体回収容器38に溜まった液体を排出管40を通して外部に排出することができる。第1冷却域Pに対応して、第1冷却ハウジング4の底壁4aの側壁4b図1及び図2において左側壁に流下孔44が設けられ、第1熱交換器12にて凝縮された液体は、この側壁4bに沿って下方に流下し、流下孔44を通して液体回収容器38に回収される。また、第2冷却域Qに対応して、第2冷却ハウジング6の底壁6aの側壁6b図1及び図2において右側壁に流下孔46が設けられ、第2熱交換器12にて凝縮された液体は、この側壁6bに沿って下方に流下し、流下孔46を通して液体回収容器38に回収され、更に第3冷却域Rに対応して、第3冷却ハウジング8の底壁8aの側壁8b図1及び図2において左側壁に流下孔48が設けられ、第3熱交換器20にて凝縮された液体は、この側壁8bに沿って下方に流下し、流下孔46を通して液体回収容器38に回収される。また、図1及び図2から理解されるように、第1及び第2熱交換器12,16の上述した傾斜に関連して、第1及び第2冷却ハウジング4,6の接続下部に比較的大きなスペースが確保でき、かかるスペースを利用して下連通開口18が設けられており、また第2熱交換器16及び第3熱交換器20の上述した傾斜に関連して、第2冷却ハウジング6及び第3冷却ハウジング8の接続上部に比較的大きなスペースを確保することができ、かかるスペースを利用して上連通開口22が設けられており、更に第3熱交換器20の上述した傾斜に関連して、第3冷却ハウジング8及び不純物除去ハウジング24の接続下部に比較的大きなスペースが確保され、かかるスペースに下連通開口34が配設されており、このような構成にすることによって、装置の高さを効果的に抑えて装置全体のコンパクト化を図ることができる。次に、主として図2を参照して、各熱交換器12,16,20を冷却するための冷却媒体の流れについて説明する。図示の冷却回収装置2は、冷却液体を冷却するための冷却装置50を備えており、かかる冷却装置50は、冷却液体例えば、水、純水などを供給するための供給ポンプ52を含んでいる。この冷却装置50の供給側54には主供給流路56が接続され、この主供給流路56に第1~第3分岐送給流路58,60,62が接続され、第1分岐送給流路58が第1熱交換器12の流入側64に接続され、第2分岐送給流路60が第2熱交換器16の流入側66に接続され、第3分岐送給流路62が第3熱交換器20の流入側68に接続されている。また、この冷却装置50の戻り側70には主戻り流路72が接続され、この主戻り流路72に第1~第3分岐戻り流路74,76,78が接続され、第1分岐戻り流路74が第1熱交換器12の流出側80に接続され、第2分岐戻り流路76が第2熱交換器16の流出側82に接続され、第3分岐戻り流路78が第3熱交換器20の流出側84に接続されている。このように構成されているので、主供給流路56、第1分岐送給流路58、第1分岐戻り流路74及び主戻り流路72が、第1熱交換器12を通して冷却媒体を循環するための第1循環流路を構成し、主供給流路56、第2分岐送給流路60、第2分岐戻り流路76及び主戻り流路72が、第2熱交換器16を通して冷却媒体を循環するための第2循環流路を構成し、また主供給流路56、第3分岐送給流路62、第3分岐戻り流路78及び主戻り流路72が、第3熱交換器20を通して冷却媒体を循環するための第3循環流路を構成する。尚、このような構成に代えて、第1~第3循環流路を独立の循環流路から構成するようにしてもよく、この場合、冷却装置50からの冷却媒体が独立した循環系統でもって第1~第3熱交換器12,16,20に送給される。図3をも参照して、第1熱交換器12は、上下方向に積層状態に配設された複数の第1熱交換ユニット92から構成され、これら第1熱交換ユニット92は実質上同一の構成である。また、第2熱交換器16又は第3熱交換器20は、上下方向に積層状態に配設された第2熱交換ユニット94又は第3熱交換ユニット96から構成され、これら第2熱交換ユニット94又は第3熱交換ユニット96は、上述した第1熱交換ユニット92と実質上同一の構成である。尚、図1~図3においては、理解を容易にするために、第1~第3熱交換ユニット92,94、96を5つ示しているが、実際のものでは多数のユニットが上下方向に積層されている。この実施形態では、図1及び図2に矢印で示すように、第1冷却ハウジング4においては、被処理ガスは上から下に向かって流れ、このことに関連して、冷却装置50からの冷却媒体は、第1熱交換器12の最上位の第1熱交換ユニット92aの流入側64に送給され、この第1熱交換器12を所要の通りに流れた後に、最下位の第1熱交換ユニット92bの流出側80から流出して冷却装置50に戻る。このように冷却媒体を流すことによって、第1冷却域Pにおいて被処理ガスの温度が高い側に冷却装置50からの冷えた冷却媒体が送給され、これによって、第1熱交換器12の熱交換効率を高めて被処理ガスの凝縮効率を高めることができる。また、第2冷却ハウジング6においては、被処理ガスは下から上に向かって流れ、このことに関連して、冷却装置50からの冷却媒体は、第2熱交換器16の最下位の第2熱交換ユニット94bの流入側66に送給され、この第2熱交換器16を所要の通りに流れた後に、最上位の第2熱交換ユニット94aの流出側82から流出して冷却装置50に戻る。このように冷却媒体を流すことによって、第1熱交換器12と同様に、第2冷却域Qにおいても被処理ガスの温度が高い側に冷却装置50からの冷えた冷却媒体が送給され、これによって、第2熱交換器16の熱交換効率を高めることができる。更に、第3冷却ハウジング8においては、被処理ガスは上から下に向かって流れ、このことに関連して、冷却装置50からの冷却媒体は、第3熱交換器20の最上位の第3熱交換ユニット96aの流入側68に送給され、この第3熱交換器20を所要の通りに流れた後に、最下位の第3熱交換ユニット96bの流出側84から流出して冷却装置50に戻る。このように冷却媒体を流すことによって、第1熱交換器12と同様に、第3冷却域Rにおいても被処理ガスの温度が高い側に冷却装置50からの冷えた冷却媒体が送給され、これによって、第3熱交換器16の熱交換効率を高めることができる。第1熱交換ユニット92又は第2熱交換ユニット94、第3熱交換ユニット96における冷却媒体の流れは、図4に示す通りに流れる。即ち、第1熱交換ユニット92又は第2熱交換ユニット94、第3熱交換ユニット96は、図4において上下方向図1及び図2において紙面に垂直な方向に間隔をおいて配設された多数枚のプレート100を備え、かかる多数枚のプレート100を貫通して複数の管部材102が図4において左右方向図1及び図2において左右方向に間隔をおいて配設され、隣接する管部材102の一端部がU字管104により接続され、それらの他端側がU字管106により接続されている。このように構成されているので、第1熱交換ユニット92又は第2熱交換ユニット94、第3熱交換ユニット96の流入側108から流入した冷却媒体は、管部材102及びU字管104,106を通して下流側に流れてその流出側110から流出し、被処理ガスは、第1熱交換ユニット92又は第2熱交換ユニット94、第3熱交換ユニット96の複数のプレート100間の空間を通して流れる。また、第1熱交換器12又は第2熱交換器16、第3熱交換器20における冷却媒体の流れは、図3に矢印で示す通りとなる。即ち、第1熱交換器12又は第3熱交換器20においては、最上位の第1熱交換ユニット92a又は最上位の第3熱交換ユニット96aの流入側から流入した冷却媒体は、この最上位の第1熱交換ユニット92a最上位の第3熱交換ユニット96aを上述したように流れた後にその流出側から流出し、かく流出した冷却媒体はその下側上から第2番目の第1熱交換ユニット92又は第3熱交換ユニット96の流入側に送給され、この上から第2番目の第1熱交換ユニット92第2番目の第3熱交換ユニット96を上述したように流れた後にその流出側から流出し、このように上側の第1熱交換ユニット92又は第3熱交換ユニット96から下側の第1熱交換ユニット92又は第3熱交換ユニット96へと最下位の第1熱交換ユニット92b又は最下位の第3熱交換ユニット96bまで順次に送給される。また、第2熱交換器16においては、最下位の第2熱交換ユニット94bの流入側から流入した冷却媒体は、この最下位の第2熱交換ユニット94bを上述したように流れた後にその流出側から流出し、かく流出した冷却媒体はその上側下から第2番目の第2熱交換ユニット94の流入側に送給され、この下から第2番目の第2熱交換ユニット94を上述したように流れた後にその流出側から流出し、このように下側の第2熱交換ユニット92から上側の第2熱交換ユニット94へと最上位の第2熱交換ユニット94aまで順次に送給される。尚、第1熱交換器12又は第2熱交換器16、第3熱交換器20は、上下方向に隣接する第1熱交換ユニット92又は第2熱交換ユニット94、第3熱交換ユニット96の流出側と流入側とは、例えば、管部材102を連結するためのU字管104,106と同様の管部材図示せずにより接続され、かかる管部材を通して下流側に送給される。次に、主として図1及び図2を参照して、上述した冷却回収装置2による処理回収について説明する。被処理ガスを処理するには、冷却装置50を作動させるとともに、排気ファン32を作動させればよい。排気ファン32を作動させると、その吸引作用によって、導入ダクト14を通して被処理ガス例えば、VOCを含む被処理蒸気ガスが第1冷却ハウジング4内に導入され、かく導入された被処理ガスが所定方向この形態では、矢印で示す下方に向けて流れ、第1冷却域Pの第1熱交換器12の周囲即ち、第1熱交換ユニット92の複数のプレート100の間を通して流れる間に、冷却装置50からの冷却媒体との間の熱交換によって冷却され、この冷却により凝縮した被処理ガス中の液体例えば、VOBを含むは、第1熱交換器12を傾斜方向に下方に流れ、第1冷却ハウジング4の側壁4bの表面を流下して流下孔44を通して液回収容器38に回収される。第1冷却ハウジング4を下方に流れた被処理ガスは、下連通開口18を通して第2冷却ハウジング6内に流入し、この第2冷却ハウジング6内を上記所定方向と反対方向この形態では、矢印で示す上方に向けて流れ、第2冷却域Qの第2熱交換器16の周囲即ち、第2熱交換ユニット94の複数のプレート100の間を通して流れる間に、冷却装置50からの冷却媒体との間の熱交換によって冷却され、冷却により凝縮した被処理ガス中の液体VOCを含むは、第2熱交換器16を傾斜方向に下方に流れ、第2冷却ハウジング6の側壁6bの表面を流下して流下孔46を通して液回収容器38に回収される。そして、第2冷却ハウジング6を上方に流れた被処理ガスは、上連通開口22を通して第3冷却ハウジング8内に流入し、この第3冷却ハウジング8内を上記所定方向この形態では、矢印で示す下方に向けて流れ、第3冷却域Rの第3熱交換器20の周囲即ち、第3熱交換ユニット96の複数のプレート100の間を通して流れる間に、冷却装置50からの冷却媒体との間の熱交換によって更に冷却され、冷却により凝縮した液体VOCを含むは、第3熱交換器20を傾斜方向に下方に流れ、第3冷却ハウジング8の側壁8bの表面を流下して流下孔48を通して液回収容器38に回収される。このように凝縮処理された被処理ガスは、下連通開口34を通して不純物除去ハウジング24内に流入し、この不純物除去ハウジング24内を上記所定方向と反対方向この形態では、矢印で示す上方に向けて流れ、不純物除去域Sの不純物除去フィルタ26を通して流れる間に、被処理ガス中の不純物が除去され、このように処理された被処理ガス例えば、VOC及び不純物が除去されたガスが上方に流れて排気ダクト30から外部に排出される。この冷却回収装置は、VOC揮発性有機化合物を冷却回収するために好適に用いることができ、VOCを含む被処理ガスを上述したように処理した場合に、被処理ガスに含まれるVOCを約80回収することができた。上述した実施形態に基づいて本発明に従う冷却回収装置の一実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変更乃至修正が可能である。例えば、上述した実施形態では、第1及び第2冷却域P,Q並びに第3冷却域Rの三つの領域にて冷却して被処理ガスを凝縮回収しているが、充分に凝縮回収することができる場合には、第3冷却域R第3熱交換器20及びこれに関連する構成を省略することもできる。また、上述した実施形態では、被処理ガスは第1冷却ハウジング4の上端部から導入され、第1冷却域Pを上方から下方に流れているこれに伴って、第2冷却域Qにおいては下方から上方に、第3冷却域Rにおいては上方から下方に流れているが、このような構成に限定されず、被処理ガスを第1冷却ハウジング4の下端部から導入するようにしてもよく、かく導入した場合、被処理ガスは第1冷却域Pを下方から上方に流れるこれに伴って、第2冷却域Qにおいては上方から下方に、第3冷却域Rにおいては下方から上方に流れるようになる。尚、この場合、上述した記載から理解されるように、第1~第3熱交換器12,16,20の傾斜方向は、上述した実施形態と反対方向となる例えば、第1熱交換器12においては、図1及び図2において右に向けて下方に傾斜するようにするのが好ましい。また、例えば、上述した実施形態では、床設置型のものに適用しているが、このようなものに限定されず、移動型のものにも同様に適用することができ、この場合、冷却回収装置を、複数の移動用車輪を備えたベース体一つ又は二つ以上のベース体に載置するようにすればよい。"