"反射面を有するミラー部と、該ミラー部を支持する支持部と、一端が前記ミラー部に、他端が前記支持部にそれぞれ連結され、圧電駆動により前記ミラー部を前記支持部に対して所定の軸周りに揺動させる圧電アクチュエータとを備えた光偏向器において、前記圧電アクチュエータの圧電駆動により前記支持部に伝達される振動を検知する検知用圧電素子が、前記支持部に配置されていることを特徴とする光偏向器。請求項1に記載の光偏向器において、前記支持部は、前記検知用圧電素子が配置された部分が、検知用圧電素子が配置されていない部分より薄く形成されていることを特徴とする光偏向器。請求項1又は2に記載の光偏向器において、前記ミラー部は、前記反射面を有する反射体と、前記反射体を支持する反射体支持部と、圧電駆動により前記反射体を前記反射体支持部に対して前記軸と交差する別の軸周りに揺動させる前記圧電アクチュエータとは別の圧電アクチュエータとを備え、前記圧電アクチュエータは、一端が前記反射体支持部に連結され、他端が前記支持部に連結され、前記別の圧電アクチュエータは、一端が前記反射体に連結され、他端が前記反射体支持部に連結され、前記検知用圧電素子は、前記圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される振動及び前記別の圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される振動を検知することを特徴とする光偏向器。しかしながら、特許文献1の光学反射素子では、第一振動子及び第二振動子を構成する複数の振動板上に、ドライブ素子に加えてモニター素子が配置されている。このため、ドライブ素子が振動板上で占める面積が減る。これによって、光学反射素子は、複数の振動板を屈曲させる力が少なくなり、モニター素子を配置しないものに比べて反射面の回転角が減少する。そこで、本発明は、反射面を揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の揺動を検知できる光偏向器を提供することを目的とする。本発明は、反射面を有するミラー部と、ミラー部を支持する支持部と、一端がミラー部に、他端が支持部にそれぞれ連結され、圧電駆動によりミラー部を支持部に対して所定の軸周りに揺動させる圧電アクチュエータとを備えた光偏向器において、圧電アクチュエータの圧電駆動により支持部に伝達される振動を検知する検知用圧電素子が支持部に配置されたことを特徴とする。本発明によれば、圧電アクチュエータの圧電駆動によりミラー部が所定の軸周りに揺動することで反射面が揺動する。この圧電駆動によって支持部に伝達される振動は、支持部上に配置されている検知用圧電素子で検知される。検知用圧電素子は、これらの振動の検知により、圧電アクチュエータの圧電駆動による実際の屈曲変形の変形量を検知できる。従って、圧電アクチュエータには、検知用圧電素子を設けなくてよい。このため、本発明の光偏向器では、圧電アクチュエータ特許文献1における振動子に相当にセンサ素子が配置されたものに比べて、反射面の大きな回転角が得られる。従って、本発明の光偏向器によれば、反射面を揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の揺動を検知できる。本発明において、支持部は、検知用圧電素子が配置された部分が、検知用圧電素子が配置されていない部分より薄く形成されていることが好ましい。支持部の薄く形成された部分は、振動による支持部の屈曲変形の変形量が大きくなり、振動が伝達されやすくなる。すなわち、検知用圧電素子が配置された部分は振動が伝達されやすくなる。これにより、検知用圧電素子は、精度良く振動を検知できる。本発明において、ミラー部は、反射面を有する反射体と、反射体を支持する反射体支持部と、圧電駆動により反射体を反射体支持部に対して軸と交差する別の軸周りに揺動させる圧電アクチュエータとは別の圧電アクチュエータとを備え、圧電アクチュエータは、一端が反射体支持部に連結され、他端が支持部に連結され、別の圧電アクチュエータは、一端が反射体に連結され、他端が反射体支持部に連結され、検知用圧電素子は、圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される振動及び別の圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される振動を検知することが好ましい。これにより、ミラー部が所定の軸周りに揺動し、反射体が別の軸周りに揺動することで、反射面が二次元方向に揺動する。この場合には、支持部には、圧電アクチュエータの圧電駆動によりミラー部の反射体支持部を揺動させるときの振動が伝達される。従って、検知用圧電素子は、この伝達される振動を検知できる。更に、支持部の検知用圧電素子が配置された部分を薄く加工する場合においては、検知用圧電素子は、圧電アクチュエータの圧電駆動によりミラー部の反射体支持部を揺動させるときの振動に加え、別の圧電アクチュエータの圧電駆動により反射部を揺動させるときの振動も伝達されやすい。このため、検知用圧電素子は、圧電アクチュエータ及び別の圧電アクチュエータのそれぞれの圧電アクチュエータの振動を検知できる。[第1実施形態]本発明の第1実施形態の光偏向器の構成について説明する。第1実施形態の光偏向器1は、反射体としての反射部2と、一対の第1圧電アクチュエータ31,32と、第1支持部4と、一対の第2圧電アクチュエータ51,52と、第2支持部6とを備える。反射部2は、入射した光を反射する矩形の反射面2aと、反射面2aを支持する矩形の反射面支持体2bとを備える。反射面2aは、反射面支持体2b上の金属薄膜第1実施形態では一層の金属薄膜を半導体プレーナプロセスを用いて形状加工して形成されている。金属薄膜の材料としては、例えば、金Au、白金Pt、銀Ag、アルミニウムAl等が用いられる。金属薄膜の厚みは、例えば100~500nm程度とする。金属薄膜は、例えば、スパッタ法、電子ビーム蒸着法等により成膜する。反射面支持体2bは、シリコン基板で構成される。ここで、第1実施形態の反射面支持体2bは、本発明における反射体支持部に相当する。第1圧電アクチュエータ31,32は、反射部2を挟んで対向して配置されている。第1圧電アクチュエータ31,32は、それらの先端部が、反射部2の一対の対向する辺にそれぞれ連結されている。この連結されている反射部2の辺は、第1軸Yに直交する辺である。第1支持部4は、矩形の枠形状に形成されており、反射部2と第1圧電アクチュエータ31,32とを囲むように設けられている。第1支持部4は、第1圧電アクチュエータ31,32の反射部2が接続されていない側のそれぞれの端部基端部が連結されており、第1圧電アクチュエータ31,32を介して反射部2を支持している。第2圧電アクチュエータ51,52は、第1支持部4を挟んで対向して配置されている。第2圧電アクチュエータ51,52は、それらの先端部が、第1支持部4の第1軸Yと平行な方向の一対の対向する辺にそれぞれ連結されている。第2支持部6は、矩形の枠形状に形成されており、第1支持部4と第2圧電アクチュエータ51,52とを囲むように設けられている。第2支持部6には、第2圧電アクチュエータ51,52の、第1支持部4と連結されていない側の一対の他端がそれぞれ連結されている。これにより、第2支持部6は、第2圧電アクチュエータ51,52を介して第1支持部4を支持している。次に、第1圧電アクチュエータ31,32の詳細な構成について説明する。第1圧電アクチュエータ31,32は、それぞれが、圧電駆動によって屈曲変形するように構成された一対の第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dを備える。詳細には、一対の第1圧電アクチュエータ31,32のうちの一方の第1圧電アクチュエータ31は、4つの圧電カンチレバーからなる一方の第1圧電カンチレバー31A~31Dで構成される。また、一対の第1圧電アクチュエータ31,32のうちの他方の第1圧電アクチュエータ32は、4つの圧電カンチレバーからなる他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dで構成される。一方の第1圧電カンチレバー31A~31Dは、その長さ方向が同じになるようにそれぞれの両端部が隣り合うと共に、反射部2を第1軸Y周りに揺動可能に所定の間隔で並んで配置されている。そして、一方の第1圧電カンチレバー31A~31Dは、隣り合う圧電カンチレバーに対して折り返すように連結されている。他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dは、一方の第1圧電カンチレバー31A~31Dと同様に、その長さ方向が同じになるようにそれぞれの両端部が隣り合うと共に、反射部2を第1軸Y周りに揺動可能に所定の間隔で並んで配置されている。そして、他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dは、隣り合う圧電カンチレバーに対して折り返すように連結されている。このように、一方の第1圧電アクチュエータ31及び他方の第1圧電アクチュエータ32は、それを形成する一方の第1圧電カンチレバー31A~31D及び他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dが、所謂ミアンダ形状に形成されている。一方の第1圧電カンチレバー31A~31D及び他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dのうちの反射部2側に配置されているカンチレバー以下、1番目の第1圧電カンチレバーという31A,32Aは、その隣り合う第1圧電カンチレバー以下、2番目の第1圧電カンチレバーという31B,32Bと連結されていない側のそれぞれの一端が反射部2の外周部に連結されている。同様に、一方の第1圧電カンチレバー31A~31D及び他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dのうちの第1支持部4側に配置されている圧電カンチレバー以下、4番目の第1圧電カンチレバーという31D,32Dは、その隣り合う第1圧電カンチレバー以下、3番目の第1圧電カンチレバーという31C,32Cと連結されていない側のそれぞれの一端が第1支持部4の内周部に連結されている。これにより、反射部2は、第1圧電アクチュエータ31,32を構成する第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dの屈曲変形によって、第1支持部4に対して第1軸Y周りに揺動可能となっている。以降、一対の第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dのうち、反射部2から数えて奇数番目に配置されたそれぞれの圧電カンチレバー1番目の第1圧電カンチレバー31A,32A及び3番目の第1圧電カンチレバー31C,32Cを奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31C,32A,32Cという。また、奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31C,32A,32Cのうち、一方の第1圧電カンチレバー31A~31Dに含まれるものを一方の奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31Cといい、他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dに含まれるものを他方の奇数番目の第1圧電カンチレバー32A,32Cという。同様に、一対の第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dのうち、反射部2から数えて偶数番目に配置されたそれぞれの圧電カンチレバー2番目の第1圧電カンチレバー31B,32B及び4番目の第1圧電カンチレバー31D,32Dを偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31D,32B,32Dという。また、偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31D,32B,32Dのうち、一方の第1圧電カンチレバー31A~31Dに含まれるものを一方の偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31Dといい、他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dに含まれるものを他方の偶数番目の第1圧電カンチレバー32B,32Dという。次に、第2圧電アクチュエータ51,52の詳細な構成について説明する。第2圧電アクチュエータ51,52は、それぞれが、圧電駆動によって屈曲変形するように構成された一対の第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dを備える。詳細には、一対の第2圧電アクチュエータ51,52のうちの一方の第2圧電アクチュエータ51は、4つの圧電カンチレバーからなる一方の第2圧電カンチレバー51A~51Dで構成される。また、一対の第2圧電アクチュエータ51,52のうちの他方の第2圧電アクチュエータ52は、4つの圧電カンチレバーからなる他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dで構成される。一方の第2圧電カンチレバー51A~51Dは、その長さ方向が同じになるようにそれぞれの両端部が隣り合うと共に、反射部2を第2軸X第1軸Yに直交する軸周りに揺動可能に所定の間隔で並んで配置されている。そして、一方の第2圧電カンチレバー51A~51Dは、隣り合う圧電カンチレバーに対して折り返すように連結されている。他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dは、一方の第2圧電カンチレバー51A~51Dと同様に、その長さ方向が同じになるようにそれぞれの両端部が隣り合うと共に、反射部2を第2軸X周りに揺動可能に所定の間隔で並んで配置されている。そして、他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dは、隣り合う圧電カンチレバーに対して折り返すように連結されている。このように、一方の第2圧電アクチュエータ51及び他方の第2圧電アクチュエータ52は、それを形成する一方の第2圧電カンチレバー51A~51D及び他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dが、所謂ミアンダ形状に形成されている。一方の第2圧電カンチレバー51A~51D及び他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dのうちの反射部2側第1支持部4側に配置されているカンチレバー以下、1番目の第2圧電カンチレバーという51A,52Aは、その隣り合う第2圧電カンチレバー以下、2番目の第2圧電カンチレバーという51B,52Bと連結されていない側のそれぞれの一端が第1支持部4の外周部に連結されている。同様に、一方の第2圧電カンチレバー51A~51D及び他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dのうちの第2支持部6側に配置されている圧電カンチレバー以下、4番目の第2圧電カンチレバーという51D,52Dは、その隣り合う第2圧電カンチレバー以下、3番目の第2圧電カンチレバーという51C,52Cと連結されていない側のそれぞれの一端が第2支持部6の内周部に連結されている。これにより、第1支持部4は、第2圧電アクチュエータ51,52を構成する第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの屈曲変形によって、第2支持部6に対して第2軸X周りに揺動可能となっている。以降、一対の第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dのうち、反射部2から数えて奇数番目に配置されたそれぞれの圧電カンチレバー1番目の第2圧電カンチレバー51A,52A及び3番目の第2圧電カンチレバー51C,52Cを奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51C,52A,52Cという。また、奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51C,52A,52Cのうち、一方の第2圧電カンチレバー51A~51Dに含まれるものを一方の奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51Cといい、他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dに含まれるものを他方の奇数番目の第2圧電カンチレバー52A,52Cという。同様に、一対の第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dのうち、反射部2から数えて偶数番目に配置されたそれぞれの圧電カンチレバー2番目の第2圧電カンチレバー51B,52B及び4番目の第2圧電カンチレバー51D,52Dを偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51D,52B,52Dという。また、偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51D,52B,52Dのうち、一方の第2圧電カンチレバー51A~51Dに含まれるものを一方の偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51Dといい、他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dに含まれるものを他方の偶数番目の第2圧電カンチレバー52B,52Dという。なお、本実施形態の光偏向器1は、第1圧電アクチュエータ31,32及び第2圧電アクチュエータ51,52を、それぞれ4つの圧電カンチレバーで構成しているが、圧電カンチレバーの数はこれに限られるものではない。図2は、光偏向器1の模式的なII-II線端面図を示す。第1圧電アクチュエータ31,32を構成する第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dのそれぞれと、第2圧電アクチュエータ51,52を構成する一対の第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dのそれぞれとは、起歪体カンチレバー本体としての支持体Bの層上に、下部電極L1、圧電体L2及び上部電極L3を積層した構造の圧電カンチレバーである。なお、圧電カンチレバーの詳細な構造は、支持体Bの層上に、下部電極L1、圧電体L2、及び上部電極L3が積層されており、これらの下部電極L1、圧電体L2、及び上部電極L3を囲むように層間絶縁膜M1が設けられている。そして、層間絶縁膜M1上に上部電極配線Wが積層され、この上部電極配線Wを囲むようにパッシベーション膜M2が設けられている。なお、上部電極配線Wは、後述するように、第1駆動用奇数上部電極配線Wyo、第1駆動用偶数上部電極配線Wye、第2駆動用奇数上部電極配線Wxo、及び第2駆動用偶数上部電極配線Wxeがあり、これらを特に区別する必要が無いときは、上部電極配線Wという。これらの圧電カンチレバー31A~31D,32A~32D,51A~51D,52A~52Dの圧電体L2は、上部電極L3と下部電極L1との間に駆動電圧が印加されることで、圧電駆動により屈曲変形する。これらの圧電カンチレバー31A~31D,32A~32D,51A~51D,52A~52Dは、圧電体L2の屈曲変形に伴って、屈曲変形する。なお、第1圧電アクチュエータ31,32を構成する一対の第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dのそれぞれの隣り合う圧電カンチレバーの連結部は、その隣り合う圧電カンチレバーのそれぞれの支持体Bを一体に連結した部分となっており、その連結部には圧電体L2及び上部電極L3の層或いは下部電極L1、圧電体L2及び上部電極L3の層は設けられていない。これは、第2圧電アクチュエータ51,52においても同様である。第2支持部6上には、検知部71,72が設けられている。検知部71,72は、第2支持部6上に、当該第2支持部6の第1軸Yに平行な辺第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの各圧電カンチレバーの長手方向の辺に平行な辺に沿うように、当該辺の第2圧電アクチュエータ51,52が連結されている付近に配置されている。検知部71,72は、第2圧電アクチュエータ51,52の圧電駆動によって、第1支持部4を第2支持部6に対して第2軸X周りに揺動させるときに、第2支持部6に伝達される振動を検知するためのセンサとして設けられている。検知部71,72は、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dと同様に、第2支持部6を構成する支持体Bの層上に、下部電極L1、圧電体L2及び上部電極L3を積層した構造になっている。また、検知部71,72には、層間絶縁膜M1、パッシベーション膜M2が設けられている。そして、第2支持部6に第2圧電アクチュエータ51,52の圧電駆動による振動が伝達されることで、第2支持部6が屈曲変形したときに、検知部71,72の圧電体L2がこの屈曲変形の変形量に応じた電圧を出力する。光偏向器1は、このときの電圧値によって、第2支持部6に伝達された振動を検知することができる。第1実施形態の光偏向器1の第2支持部6は、反射部2を第2軸X周りで揺動しているときには、第1軸Yに平行な2辺のそれぞれ第2圧電アクチュエータ51,52が連結されている部分が屈曲変形しやすいことが、予め行なわれた実験によって分かった。このため、検知部71,72を当該連結されている部分に配置している。このように、第1実施形態では、検知部71,72詳細には、検知部71,72の圧電体L2が、本発明における検知用圧電素子に相当する。光偏向器1は、第2支持部6上に、下部電極パッド61a,62aと、奇数用第1上部電極パッド61bと、偶数用第1上部電極パッド62bと、奇数用第2上部電極パッド61c,62cと、偶数用第2上部電極パッド61d,62dと、検知用電極パッド61e,62eとを備える。下部電極パッド61a,62aのうちの一方の下部電極パッド61aは、一方の第1圧電カンチレバー31A~31Dの下部電極L1、一方の第2圧電カンチレバー51A~51Dの下部電極L1、及び検知部71,72のうちの一方の検知部71の下部電極L1に電気的に接続されている。下部電極パッド61a,62aのうちの他方の下部電極パッド62aは、他方の第1圧電カンチレバー32A~32Dの下部電極L1、他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dの下部電極L1、及び検知部71,72のうちの他方の検知部72の下部電極L1に電気的に接続されている。このように、下部電極パッド61a,62aは、第1圧電アクチュエータ31,32、第2圧電アクチュエータ51,52、及び検知部71,72で共通の電極パッドとしている。奇数用第1上部電極パッド61bは、奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31C,32A,32Cの上部電極L3に電気的に接続されている。偶数用第1上部電極パッド62bは、偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31D,32B,32Dの上部電極L3に電気的に接続されている。奇数用第2上部電極パッド61c,62cのうちの一方の奇数用第2上部電極パッド61cは、一方の奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51Cの上部電極L3に電気的に接続されている。奇数用第2上部電極パッド61c,62cのうちの他方の奇数用第2上部電極パッド62cは、他方の奇数番目の第2圧電カンチレバー52A,52Cの上部電極L3に電気的に接続されている。偶数用第2上部電極パッド61d,62dのうちの一方の偶数用第2上部電極パッド61dは、一方の偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51Dの上部電極L3に電気的に接続されている。偶数用第2上部電極パッド61d,62dのうちの他方の偶数用第2上部電極パッド62dは、他方の偶数番目の第2圧電カンチレバー52B,52Dの上部電極L3に電気的に接続されている。一方の検知用電極パッド61eは、一方の検知部71の上部電極L3に電気的に接続されている。他方の検知用電極パッド62eは、他方の検知部72の上部電極L3に電気的に接続されている。以上のような電気的接続により、上部電極L3と下部電極L1との間に駆動電圧が印加された場合に、この印加された上部電極L3と下部電極L1との間に積層された圧電体L2が圧電駆動により屈曲変形する。これにより、この屈曲変形した圧電体L2に応じた支持体B圧電カンチレバーが屈曲変形する。また、後述するように、第2支持部6は、伝達された振動による屈曲変形によって発生する圧電効果により検知部71,72から発生した電圧が、検知用電極パッド61e,62eと一方の下部電極パッド61aとの間の電位差として出力される。一対の下部電極パッド61a,62aと、第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32D、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52D、及び検知部71,72の下部電極L1とは、シリコン基板上の金属薄膜第1実施形態では2層の金属薄膜、以下、下部電極層ともいうを、半導体プレーナプロセスを用いて形状加工することにより形成される。この金属薄膜の材料としては、例えば、1層目下層にはチタンTi、二酸化チタンTiO2又は酸化量が調整された酸化チタンTiOxが用いられ、2層目上層には白金Pt、LaNiO3又はSrRuO3が用いられる。この場合、第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dの下部電極L1は、当該第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dの支持体B上のほぼ全面に形成される。第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの下部電極L1は、当該第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの支持体B上各圧電カンチレバーが延在する直線部と連結部とを合わせた全体のほぼ全面に形成される。検知部71,72の下部電極L1は、第2支持部6の支持体B上の検知部71,72が配置される部分に形成される。そして、下部電極パッド61a,62aは、第2支持部6上及び第1支持部4上に形成された下部電極L1を介して、第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dの下部電極L1、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの下部電極L1、及び検知部71,72の下部電極L1に、上述したように導通される。第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32D、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52D、及び検知部71,72のそれぞれの圧電体L2は、半導体プレーナプロセスを用いて、下部電極層上の1層の圧電膜以下、圧電体層ともいうを形状加工することにより、それぞれの圧電カンチレバーの下部電極L1上に互いに分離して形成されている。この圧電膜の材料としては、例えば、圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTが用いられる。この場合、第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dの圧電体L2は、各第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32D毎に下部電極L1上の延在部分直線部に形成されている。第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの圧電体L2は、各第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの延在部分直線部において、下部電極L1上のほぼ全面に形成されている。検知部71,72の圧電体L2は、各検知部71,72毎に下部電極L1上のほぼ全面に形成されている。奇数用第1上部電極パッド61b、偶数用第1上部電極パッド62b、奇数用第2上部電極パッド61c,62c、偶数用第2上部電極パッド61d,62d、一方の検知用電極パッド61e、及び他方の検知用電極パッド62eと、第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32D、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52D、及び検知部71,72のそれぞれの上部電極L3と、これらを導通する上部電極配線Wは、半導体プレーナプロセスを用いて、圧電体層上の金属薄膜第1実施形態では1層の金属薄膜。以下、上部電極層ともいうを形状加工することにより形成されている。この金属薄膜の材料としては、例えば白金Pt、金Au、アルミAl、又はアルミ合金Al合金等が用いられる。この場合、第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32D、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52D、及び検知部71,72のそれぞれの上部電極L3は、各圧電カンチレバー毎又は各検知部毎の圧電体L2上のほぼ全面に形成されている。そして、奇数用第1上部電極パッド61bは、奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31C,32A,32Cの上部電極L3に、第1駆動用奇数上部電極配線Wyoを介して、上述したように導通される。また、偶数用第1上部電極パッド62bは、それぞれ、偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31D,32B,32Dの上部電極L3に、第1駆動用偶数上部電極配線Wyeを介して、上述したように導通される。また、奇数用第2上部電極パッド61c,62cは、それぞれ、奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51C,52A,52Cの上部電極L3に、第2駆動用奇数上部電極配線Wxoを介して、上述したように導通される。また、偶数用第2上部電極パッド61d,62dは、それぞれ、偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51D,52B,52Dの上部電極L3に、第2駆動用偶数上部電極配線Wxeを介して、上述したように導通される。また、一方の検知用電極パッド61eは、一方の検知部71の上部電極L3に、電極配線図示省略を介して、上述したように導通される。また、他方の検知用電極パッド62eは、他方の検知部72の上部電極L3に、電極配線図示省略を介して、上述したように導通される。図2に示されるように、第1駆動用奇数上部電極配線Wyo、第1駆動用偶数上部電極配線Wye、第2駆動用奇数上部電極配線Wxo、及び第2駆動用偶数上部電極配線Wxeは、平面的に互いに分離して設けられている。また、上部電極配線Wは、上部電極L3との間に形成された層間絶縁膜M1によって絶縁されており、上部電極配線Wを上部電極L3に導通する場合には、当該上部電極配線Wと当該上部電極L3とを導通可能に層間絶縁膜M1に導通部材例えば、電極ビア等が形成される。また、パッシベーション膜M2は、半導体プレーナプロセスを用いて、上部電極配線W上に、当該上部電極配線Wを囲うように形成されている。また、反射面支持体2bと、支持体Bと、第1支持部4と、第2支持部6とは、複数の層から構成される半導体基板シリコン基板を形状加工することにより一体的に形成されている。半導体基板を形状加工する手法としては、フォトリソグラフィ技術やドライエッチング技術等を利用した半導体プレーナプロセス及びMEMSプロセスが用いられる。次に、第1実施形態の光偏向器1の作動について説明する。まず、第1圧電アクチュエータ31,32により、反射部2を第1支持部4に対して第1軸Y周りに揺動させる場合について説明する。この場合には、光偏向器1は、第1圧電アクチュエータ31,32に駆動電圧を印加する。具体的には、一方の第1圧電アクチュエータ31では、一方の奇数用第1上部電極パッド61bと一方の下部電極パッド61aとの間に第1電圧Vy1を印加して、一方の奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31Cを駆動させる。これと共に、一方の第1圧電アクチュエータ31では、一方の偶数用第1上部電極パッド62bと一方の下部電極パッド61aとの間に第2電圧Vy2を印加して、一方の偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31Dを駆動させる。更に、他方の第1圧電アクチュエータ32では、他方の奇数用第1上部電極パッド61bと他方の下部電極パッド62aとの間に第1電圧Vy1を印加して、他方の奇数番目の第1圧電カンチレバー32A,32Cを駆動させる。これと共に、他方の第1圧電アクチュエータ32では、他方の偶数用第1上部電極パッド62bと他方の下部電極パッド62aとの間に第2電圧Vy2を印加して、他方の偶数番目の第1圧電カンチレバー32B,32Dを駆動させる。ここで、第1電圧Vy1と第2電圧Vy2は、互いに逆位相或いは位相のずれた交流電圧例えば正弦波、鋸波等である。このとき、第1電圧Vy1及び第2電圧Vy2の揺動用の電圧成分は、第1圧電アクチュエータ31,32の垂直方向図1の上方向U及びその反対の方向である下方向について、奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31C,32A,32Cと偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31D,32B,32Dとの角度変位が、逆方向に発生するように設定される。例えば、第1軸Y周りに揺動するとき、第1圧電アクチュエータ31,32の先端部を上方向図1に示す方向Uに変位させる場合には、奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31C,32A,32Cを上方向に変位させ、偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31D,32B,32Dを下方向に変位させる。第1圧電アクチュエータ31,32の先端部を下方向に変位させるには、奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31C,32A,32Cを下方向に変位させ、偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31D,32B,32Dを上方向に変位させる。これにより、奇数番目の第1圧電カンチレバー31A,31C,32A,32Cと、偶数番目の第1圧電カンチレバー31B,31D,32B,32Dとが、互いに逆方向に屈曲変形する。図3は、光偏向器1の一方の第1圧電アクチュエータ31の作動を示す図である。図3aは一方の第1圧電アクチュエータ31が作動していない状態を示し、図3bは一方の第1圧電アクチュエータ31が作動している状態を示す。図3bに示されるように、4番目の一方の第1圧電カンチレバー31Dは、第1支持部4と連結した基端部を支点として、その先端部に下方向の角度変位が発生している。3番目の一方の第1圧電カンチレバー31Cは、4番目の一方の第1圧電カンチレバー31Dの先端部と連結した基端部を支点として、その先端部に上方向の角度変位が発生している。2番目の一方の第1圧電カンチレバー31Bは、3番目の一方の第1圧電カンチレバー31Cの先端部と連結した基端部を支点として、その先端部に下方向の角度変位が発生している。1番目の一方の第1圧電カンチレバー31Aは、2番目の一方の第1圧電カンチレバー31Bの先端部と連結した基端部を支点として、その先端部反射部2と連結しているに上方向の角度変位が発生している。これにより、一方の第1圧電アクチュエータ31では、各一方の第1圧電カンチレバー31A~31Dの屈曲変形の大きさを加算した大きさの角度変位が発生する。従って、反射部2を第1軸Y周りに揺動することができ、所定の第1周波数Fyで所定の偏向角で光走査することができる。このとき、これらの第1圧電アクチュエータ31,32では、駆動電圧として第1圧電アクチュエータ31,32を含む反射部2の機械的な共振周波数付近の周波数の交流電圧を印加して共振駆動させることで、より大きな偏向角で光走査することができる。また、反射部2を第1軸Y周りに揺動する場合には、上述したように交流電圧を印加する必要はなく、直流電圧を印加してもよい。この場合、第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dで発生する屈曲変形の大きさは、直流電圧の大きさに応じて線形的に変化する。従って、例えば交流電圧を印加して圧電カンチレバーを共振駆動させる場合と異なり、直流電圧の大きさを制御することで第1圧電アクチュエータ31,32から任意の出力を得ることができる。このように、光偏向器1では、第1軸Y周りに揺動する場合には、駆動電圧として印加した直流電圧の大きさに応じて線形的に偏向角を制御することができるので、任意の速度で任意の偏向角を得ることができる。次に、第1圧電アクチュエータ31,32により、第1支持部4を第2支持部6に対して第2軸X周りに揺動させる場合について説明する。この場合には、光偏向器1は、第2圧電アクチュエータ51,52に駆動電圧を印加する。具体的には、一方の第2圧電アクチュエータ51では、一方の奇数用第2上部電極パッド61cと一方の下部電極パッド61aとの間に第3電圧Vx1を印加して、一方の奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51Cを駆動させる。これと共に、一方の第2圧電アクチュエータ51では、一方の偶数用第2上部電極パッド61dと一方の下部電極パッド61aとの間に第4電圧Vx2を印加して、一方の偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51Dを駆動させる。更に、他方の第2圧電アクチュエータ52では、他方の奇数用第2上部電極パッド62cと他方の下部電極パッド62aとの間に第3電圧Vx1を印加して、他方の奇数番目の第2圧電カンチレバー52A,52Cを駆動させる。これと共に、他方の第2圧電アクチュエータ52では、他方の偶数用第2上部電極パッド62dと他方の下部電極パッド62aとの間に第4電圧Vx2を印加して、他方の偶数番目の第2圧電カンチレバー52B,52Dを駆動させる。ここで、第3電圧Vx1と第4電圧Vx2は、互いに逆位相或いは位相のずれた交流電圧例えば正弦波、鋸波等である。このとき、第3電圧Vx1及び第4電圧Vx2の揺動用の電圧成分は、第2圧電アクチュエータ51,52の垂直方向図1の上方向U及びその反対の方向である下方向について、奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51C,52A,52Cと偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51D,52B,52Dとの角度変位が、逆方向に発生するように設定される。例えば、第2軸X周りに揺動するとき、第2圧電アクチュエータ51,52の先端部を上方向図1に示す方向Uに変位させる場合には、奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51C,52A,52Cを上方向に変位させ、偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51D,52B,52Dを下方向に変位させる。第2圧電アクチュエータ51,52の先端部を下方向に変位させるには、奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51C,52A,52Cを下方向に変位させ、偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51D,52B,52Dを上方向に変位させる。これにより、奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51C,52A,52Cと、偶数番目の第2圧電カンチレバー51B,51D,52B,52Dとが、互いに逆方向に屈曲変形する。このとき、第2圧電アクチュエータ51,52は、第1圧電アクチュエータ31,32と同様に、一方の第2圧電カンチレバー51A~51Dのそれぞれの屈曲変形の大きさを加算した大きさの角度変位が発生し、他方の第2圧電カンチレバー52A~52Dのそれぞれの屈曲変形の大きさを加算した大きさの角度変位が発生する。従って、第1支持部4を第2軸X周りに揺動することができ、所定の第2周波数Fxで所定の第2偏向角で光走査することができる。このとき、これらの第2圧電アクチュエータ51,52では、駆動電圧として第2圧電アクチュエータ51,52を含む第1支持部4の機械的な共振周波数付近の周波数の交流電圧を印加して共振駆動させることで、より大きな偏向角で光走査することができる。また、第1支持部4を第2軸X周りに揺動する場合には、上述したように交流電圧を印加する必要はなく、直流電圧を印加してもよい。この場合、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dで発生する屈曲変形の大きさは、直流電圧の大きさに応じて線形的に変化する。従って、例えば交流電圧を印加して圧電カンチレバーを共振駆動させる場合と異なり、直流電圧の大きさを制御することで第2圧電アクチュエータ51,52から任意の出力を得ることができる。このように、光偏向器1では、第2軸X周りに揺動する場合には、駆動電圧として印加した直流電圧の大きさに応じて線形的に偏向角を制御することができるので、任意の速度で任意の偏向角を得ることができる。また、第1圧電アクチュエータ31,32は、第2圧電アクチュエータ51,52より、小さいミアンダ形状に形成されている。このため、第1圧電アクチュエータ31,32の方が第2圧電アクチュエータ51,52よりも高い周波数で揺動させやすい。このため、第1実施形態では、第1圧電アクチュエータ31,32によって揺動する場合の上方向又は下方向の変位を変化させる第1周波数Fyを、第2圧電アクチュエータ51,52によって揺動する場合の上方向又は下方向の変位を変化させる第2周波数Fxより大きくしている。また、第1圧電アクチュエータ31,32によって揺動する場合には、なるべく大きな偏向角を得るために、第1圧電アクチュエータ31,32の上方向又は下方向の変位を変化させる周波数、すなわち第1周波数Fyが、光偏向器1特に、圧電カンチレバー等の構造や材料等によって決定される共振周波数になるように設定している。以上のように、第1実施形態の光偏向器1は、反射部2を第1軸Y周りに揺動すると共に第1支持部4を第2軸X周りに揺動することで、反射部2を様々な角度に駆動させることができ、反射面2aに入射した光を様々な角度に出射することができる。上述したように、第1実施形態の光偏向器1は、第1圧電アクチュエータ31,32及び第2圧電アクチュエータ51,52の圧電駆動により、反射部2及び第1支持部4が第1軸Y及び第2軸X周りに揺動する。このとき、第2支持部6は、第2圧電アクチュエータ51,52が連結されているので、振動が伝達される。第2支持部6は、この伝達された振動によって、屈曲変形する。これによって、第2支持部6に設けられた検知部71,72の圧電体L2が屈曲変形して、当該圧電体L2は、この変形量に応じた電圧を発生する。これによって、第2支持部6に伝達された振動により検知部71,72の圧電体L2から発生した電圧は、検知用電極パッド61e,62eと下部電極パッド61a,62aとの間の電位差として出力される以下、この出力される電圧を検知信号Sという。第2支持部6の屈曲変形は、当該第2支持部6に伝達された振動に応じて発生する。このため、検知信号Sの値の変化は、第2圧電アクチュエータ51,52を圧電駆動するために印加される第3電圧Vx1及び第4電圧Vx2に応じたものとなる。すなわち、検知信号Sの周波数は、第3電圧Vx1及び第4電圧Vx2の周波数と同等である。図4は、上記のように構成された光偏向器1の第2圧電アクチュエータ51,52の圧電駆動により、第1支持部4を第2軸X周りに揺動させたときの実験結果を示す図である。本実験では、上記の実験と同様に、反射部2の反射面2aに入射したレーザ光を反射面2aから出射した光が照射される照射面に、一次元方向の光の位置を検知できるような光位置センサPSDを置き、検知信号Sとこの光位置センサの出力電圧Pとを比較している。図4aは、第2圧電アクチュエータ51,52の奇数番目の第2圧電カンチレバー51A,51C,52A,52Cに印加した第3電圧Vx1の信号を示す。図4bは、検知用電極パッド61e,62eから出力された電圧、すなわち、検知信号Sを示す。図4cは、光位置センサの出力電圧Pの信号を示す。図4a~cの横軸は時間を表し、縦軸は電圧値を表す。図4aに示されるように、印加する第3電圧Vx1は、1周期がtx=1/Fx秒である。これにより、第2支持部6は第2軸X周りの揺動の1周期がtx秒となり、第2支持部6の屈曲変形もtx秒毎に繰り返される。このため、図4bに示されるように、検知信号Sの出力電圧の1周期の長さもtx秒となっている。このときの光位置センサの出力電圧Pの1周期の長さは、図4cに示されるようにtx秒となっている。また、図4aに示されるように印加する第3電圧Vx1は鋸波であり、この鋸波のピーク時刻tp付近で、検知信号Sのピークが出力されている時刻tp。更に、これと同じタイミングで、光位置センサの出力電圧Pのピークが出力されている時刻tp。この実験結果から分かるように、検知信号Sは、印加された第3電圧Vx1に応じた電圧信号となっている。また、検知信号Sは、光位置センサの出力電圧Pとも時間変化のタイミングが一致している。これより、検知信号Sは、第2支持部6の第1軸Y周りの揺動、すなわち、反射部2の偏向角を適切に検知できることが分かる。以上のように、第1実施形態の光偏向器1では、第2圧電アクチュエータ51,52が連結される第2支持部6に、第2圧電アクチュエータ51,52の圧電駆動によって発生する振動を検知する検知部71,72が設けられている。これにより、第2圧電アクチュエータ51,52が実際に変位した量を検知できるため、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dに検知用圧電素子を設ける必要がない。従って、特許文献1のような圧電アクチュエータの圧電カンチレバーにセンサ素子、第1実施形態の検知部71,72を設けたものに比べて、圧電カンチレバー上に占める駆動用の圧電素子第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの面積が減少せず、圧電カンチレバーの屈曲変形の変形量が減少しない。このため、第1実施形態の光偏向器1は、反射面2aを二次元方向に揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面2aの二次元方向の揺動を検知できる。従って、第1実施形態の光偏向器1は、特許文献1のように、圧電アクチュエータにセンサ素子が配置されたものに比べて、反射面2aの大きな回転角が得られる。従って、第1実施形態の光偏向器1は、反射面2aを揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面2aの揺動を検知できる。更に、第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52D上に検知用圧電素子を設ける必要がないため、各圧電カンチレバー上に配置する配線の数が少なくなり、配線の複雑化が防止できる。これにより、特許文献1のように圧電カンチレバー上に検知用圧電素子を設けるものに比べて、光偏向器1の製造工程における歩留まりを向上することができる。また、同じ幅の圧電カンチレバーに対して配線の数が多くなると、少ないものに比べて配線の幅が小さくなる。これにより抵抗値が増大し、カットオフ周波数が低下する。これにより、第1実施形態のように、高い周波数で第1圧電アクチュエータ31,32による反射部2の駆動ができなくなる。しかしながら、第1実施形態の光偏向器1では、検知部71,72を第2支持部6に配置しているため、圧電カンチレバーに対する配線を少なくでき、配線の幅の減少を防止できる。また、第1実施形態の光偏向器1では、検知用圧電素子としての検知部71,72が、支持部としての第2支持部6の第2圧電アクチュエータ51,52が連結されている部分の付近に配置されている。第2支持部6の第2圧電アクチュエータ51,52が連結されている部分には、圧電駆動による振動が伝達されやすい。従って、このような部分の付近に検知部71,72が配置されることで、より精度の高い振動の検知ができる。第1実施形態の光偏向器1では、第1支持部4が本発明におけるミラー部に相当し、第1圧電アクチュエータ31,32が本発明における別の圧電アクチュエータに相当し、第2圧電アクチュエータ51,52が本発明における圧電アクチュエータに相当し、第2支持部6が本発明における支持部に相当する。なお、第1実施形態の光偏向器1は、検知用圧電素子としての検知部71,72を、第2支持部6の第2圧電アクチュエータ51,52が連結される部分の付近に配置しているがこれに限らない。第2圧電アクチュエータ51,52の圧電駆動により伝達される振動を検知できるならば、第2支持部6上のどこに配置してもよい。また、第1実施形態の光偏向器1は、検知用圧電素子としての検知部71,72を2つの検知用圧電素子で構成しているがこれに限らず、1つの検知用圧電素子で構成してもよい。また、本実施形態では、第1軸Yと第2軸Xとを直交するようにしているが正確に直交する必要はなく、反射面2aを二次元方向に揺動可能な程度の角度で交差していればよい。[第2実施形態]次に、本発明の第2実施形態の光偏向器について説明する。図5に示されるように、第2実施形態の光偏向器101は、第1実施形態の光偏向器1との相違点は、第2支持部6に、検知部71,72が設けられている位置の裏側に凹部6aが設けられている点である。これ以外の構造は同じである。図6は、第2実施形態の光偏向器101の図5のVI-VI線端面図である。図2に示された第1実施形態の光偏向器1のII-II線端面図との相違点は、第2支持部6に凹部6aが設けられたことにより、第2支持部6の支持体Bの厚さが第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32D及び第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dの支持体Bの厚さと同等に形成されている点である。第2支持部6は、剛性を保つために、可能な限り厚く形成されることが好ましい。しかしながら、厚く形成すると、反射部2及び第1支持部4を揺動するときの振動が、第2支持部6に伝達されにくくなる。このため、第2支持部6に凹部6aを設けることで、第2支持部6の一部が薄くなるため、振動、すなわち屈曲変形しやすくなる。これにより、第2支持部6に振動が伝達されやすくなるようにした。但し、第2支持部6は、一定以上の剛性を保つ必要がある。このため、第2支持部6は、剛性を保ちつつ、第1圧電アクチュエータ31,32による反射部2の第1軸Y周りの圧電駆動による振動以下、第1振動というと、第2圧電アクチュエータ51,52による第1支持部4の第2軸X周りの圧電駆動による振動以下、第2振動というとが第2支持部6に伝達できる程度に凹部6aを形成する。また、検知部71,72は、第1実施形態と同様に、第2圧電アクチュエータ51,52が連結されている部分の付近に配置されている。これによって、検知部71,72がより精度良く振動を検知できる。更に、凹部6aは、検知部71,72が設けられている位置の裏側に設けられている。このため、検知部71,72が配置されている部位が振動によって屈曲変形しやすい。これによって、第2実施形態の検知部71,72は、第1実施形態の検知部71,72に比べて、より精度良く振動を検知できる。第1実施形態の光偏向器1では、第2支持部6には、第2圧電アクチュエータ51,52の圧電駆動による振動、すなわち第2振動は伝達されるが、第1圧電アクチュエータ31,32の圧電駆動による振動、すなわち第1振動は、第2支持部6に殆ど伝達されていなかった。しかしながら、第2実施形態の光偏向器101のように、第2支持部6に凹部6aが設けられていることで、第2支持部6が薄く形成され、第2支持部6であっても、第1振動及び第2振動のいずれもが伝達されるようになった。検知部71,72の圧電体L2からは、第1振動及び第2振動の双方の伝達により混在した電圧信号が出力される。ここで、第1振動の伝達によりここで、第1振動に応じて検知部71,72から発生する電圧信号を第1信号Syという。また、第2振動に応じて検知部71,72から発生する電圧信号を第2信号Sxという。上述したように、第2周波数Fxは、第1周波数Fyに比べて充分に低く設定されている。すなわち、第2信号Sxは第1信号Syよりも充分に低い周波数となっている。このため、光偏向器1は、周波数フィルタによって、第1信号Syと第2信号Sxとを分離することで、それぞれの信号を取り出している。詳細には、検知用電極パッド61e,62eから出力される電圧に低周波帯域を通すローパスフィルタFLを通すことで、第1信号Syのみを取り出す。検知用電極パッド61e,62eから出力電圧に高周波帯域を通すハイパスフィルタFHを通すことで、第2信号Sxのみを取り出す。なお、このとき、一方の検知用電極パッド61eから出力される電圧に低周波帯域を通すローパスフィルタFLを通して第1信号Syのみを取り出し、他方の検知用電極パッド62eから出力される電圧に高周波帯域を通すハイパスフィルタFHを通して第2信号Sxのみを取り出すようにしてもよい。なお、検知用電極パッド61e,62eを2つの電極パッドで構成するのではなく、1つの電極パッドのみで構成し、この1つの電極パッドの出力に対してローパスフィルタFL及びハイパスフィルタFHを並列に接続して第1信号Sy及び第2信号Sxを取り出してもよい。このようにして取り出された第1信号Syは、第1電圧Vy1及び第2電圧Vy2を印加することで第1圧電アクチュエータ31,32が実際に変位した量第1圧電カンチレバー31A~31D,32A~32Dのそれぞれの変形量を累積した量と同等を表す。同様に、このようにして取り出された第2信号Sxは、第3電圧Vx1及び第4電圧Vx2を印加することで第2圧電アクチュエータ51,52が実際に変位した量第2圧電カンチレバー51A~51D,52A~52Dのそれぞれの変形量を累積した量と同等を表す。なお、ローパスフィルタFL及びハイパスフィルタFHのそれぞれの遮断周波数は、第1信号Syと第2信号Sxとを充分に分離可能に設定される。以上のように、第2実施形態の光偏向器101は、支持部としての第2支持部6に凹部6aを設けている。このように第2支持部6の一部を薄く形成することで第2支持部6に第1振動と第2振動を伝達させ、第2支持部6上に配置された検知部71,72によって、第1振動と第2振動とを検知できる。これにより、第2実施形態の光偏向器101は、圧電駆動により第1圧電アクチュエータ31,32が実際に変位した量、及び圧電駆動により第2圧電アクチュエータ51,52が実際に変位した量を検知できるため、これらをフィードバックすることでより精度の高い光偏向器101の制御ができる。また、第2実施形態の光偏向器101は、支持部としての第2支持部6は、検知用圧電素子としての検知部71,72が設けられる位置の裏側に凹部6aが設けられている。すなわち、第2支持部6は、検知部71,72が配置されていない部分より薄く形成されている。第2支持部6の薄く形成された部分は、振動による第2支持部6の屈曲変形の変形量が大きくなり、振動が伝達されやすくなる。すなわち、検知部71,72が配置された部分は振動が伝達されやすくなる。これにより、検知部71,72は、精度良く振動を検知できる。ここで、第2実施形態では、第1軸Yが本発明における別の軸に相当し、第2軸Xが本発明における所定の軸に相当する。第2実施形態では、第2支持部6に凹部6aを形成することが、本発明における検知用圧電素子が配置された部分が、検知用圧電素子が配置されていない部分より薄く形成されていることに相当する。なお、第1実施形態及び第2実施形態の2つの実施形態の説明をしてきたが、光偏向器はこれに限らない。例えば、検知用圧電素子を第2支持部の各電極パッド61a~61e,62a~62eが配置されている箇所以外ほぼ全てに設けてもよい。"