送信モジュールを有するアンテナ素子が複数個配列され、前記複数の送信モジュールの各々は、送信中間周波信号を出力する送信信号発生器と、局部発振信号を出力する局部発振信号発生器と、前記送信中間周波信号と前記局部発振信号とを混合して送信高周波信号に周波数変換する送信ミキサとを有するアレイアンテナ装置であって、前記送信信号発生器および前記局部発振信号発生器に基準信号を入力する基準信号源を備え、前記送信中間周波信号と前記局部発振信号とは、前記基準信号により同期されていることを特徴とするアレイアンテナ装置。送受信モジュールを有するアンテナ素子が複数個配列され、前記複数の送受信モジュールの各々は、送信中間周波信号を出力する送信信号発生器と、局部発振信号を出力する局部発振信号発生器と、前記送信中間周波信号と前記局部発振信号とを混合して送信高周波信号に周波数変換する送信ミキサと、前記局部発振信号と受信高周波信号とを混合して受信中間周波信号に周波数変換する受信ミキサとを有するアレイアンテナ装置であって、前記送信信号発生器および前記局部発振信号発生器に基準信号を入力する基準信号源と、前記複数の送受信モジュール内の各受信ミキサから出力される前記複数の受信中間周波信号を合成する信号合成器と、を備え、前記送信中間周波信号と前記局部発振信号とは、前記基準信号により同期されていることを特徴とするアレイアンテナ装置。送受信モジュールを有するアンテナ素子が複数個配列され、前記複数の送受信モジュールの各々は、送信中間周波信号を出力する送信信号発生器と、局部発振信号を出力する局部発振信号発生器と、前記送信中間周波信号と前記局部発振信号とを混合して送信高周波信号に周波数変換する送信ミキサと、受信局部発振信号を出力する受信局部発振信号発生器と、前記受信局部発振信号と受信高周波信号とを混合して受信中間周波信号または受信ベースバンド信号に周波数変換する受信ミキサとを有するアレイアンテナ装置であって、前記送信信号発生器、前記局部発振信号発生器および前記受信局部発振信号発生器に基準信号を入力する基準信号源と、前記複数の送受信モジュール内の各受信ミキサから出力される前記複数の受信中間周波信号または受信ベースバンド信号を合成する信号合成器と、を備え、前記送信中間周波信号と前記局部発振信号と前記受信局部発振信号とは、前記基準信号により同期されていることを特徴とするアレイアンテナ装置。前記送信信号発生器に対する位相制御信号を出力する位相制御部を備え、前記送信中間周波信号の位相は、前記位相制御信号により制御されることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のアレイアンテナ装置。前記局部発振信号発生器に対する位相制御信号を出力する位相制御部を備え、前記局部発振信号の位相は、前記位相制御信号により制御されることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のアレイアンテナ装置。前記送信信号発生器に対するタイミング制御信号を出力するタイミング制御部を備え、前記送信中間周波信号の信号発生タイミングは、前記タイミング制御信号により制御されることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のアレイアンテナ装置。前記局部発振信号発生器および前記受信局部発振信号発生器に対する位相制御信号を出力する位相制御部を備え、前記局部発振信号および前記受信局部発振信号の位相は、前記位相制御信号により制御されることを特徴とする請求項3に記載のアレイアンテナ装置。受信モジュールを有するアンテナ素子が複数個配列され、前記複数の受信モジュールの各々は、受信局部発振信号を出力する受信局部発振信号発生器と、前記受信局部発振信号と受信高周波信号とを混合して受信中間周波信号または受信ベースバンド信号に周波数変換する受信ミキサとを有するアレイアンテナ装置であって、前記受信局部発振信号発生器に基準信号を入力する基準信号源と、前記複数の受信モジュール内の各受信ミキサから出力される前記複数の受信中間周波信号または受信ベースバンド信号を合成する信号合成器と、を備え、前記受信局部発振信号は、前記基準信号により同期されていることを特徴とするアレイアンテナ装置。前記受信局部発振信号発生器に対する位相制御信号を出力する位相制御部を備え、前記受信局部発振信号の位相は、前記位相制御信号により制御されることを特徴とする請求項8に記載のアレイアンテナ装置。従来のアレイアンテナ装置は、特許文献1に記載の装置では、複数のアンテナ素子の送受信モジュールに同一の送信中間周波信号を分配していたので、群分けされたアンテナ素子ごとに異なる送信信号を送信し、同一のアレイアンテナ装置を用いて同時に複数の通信や電子戦、レーダーとして使用する開口面分割ができないという課題があった。また、非特許文献1に記載の装置では、送信信号発生器が生成する送信信号が高周波信号であり、送信高周波信号をアンテナ素子に分配するために伝送損失が大きいという課題があった。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、SN比を改善したアレイアンテナ装置を得ることを目的とする。この発明に係るアレイアンテナ装置は、送信モジュールを有するアンテナ素子が複数個配列され、複数の送信モジュールの各々は、送信中間周波信号を出力する送信信号発生器と、局部発振信号を出力する局部発振信号発生器と、送信中間周波信号と局部発振信号とを混合して送信高周波信号に周波数変換する送信ミキサとを有するアレイアンテナ装置であって、送信信号発生器および局部発振信号発生器に基準信号を入力する基準信号源を備え、送信中間周波信号と局部発振信号とは、基準信号により同期されているものである。この発明によれば、複数n個の局部発振信号から生成された送信高周波信号を合成することにより、単一の局部発振信号から生成された送信高周波信号をn倍に増幅する場合よりも、n倍だけSN比を改善することができる。実施例1図1および図2はこの発明の実施の形態1に係るアレイアンテナ装置を示すブロック図であり、それぞれ異なる構成例を示している。ここでは、複数n個のアンテナ素子10a~10nの送信モジュール20a~20nのみを示しているが、各アンテナ素子10a~10nは、受信モジュール図5、図6ともに後述するも備えており、各アンテナ素子10a~10nは、送受信アンテナにより構成されているものとする。図1、図2において、アレイアンテナ装置は、個別の送信モジュール20a~20nを有するn個nは2以上の任意の自然数のアンテナ素子10a~10nが複数個配列されて構成されている。各送信モジュール20a~20nは、同一の回路構成により構成されているので、送信モジュール20a~20n内の各回路要素には、同一符号の後にa、b、、nを付している。代表的に、図1内の左端のアンテナ素子10aに注目すると、送信モジュール20aは、送信中間周波信号S1を出力する送信信号発生器11aと、局部発振信号S2を出力する局部発振信号発生器21aと、送信中間周波信号S1と局部発振信号S2とを混合して送信高周波信号S3に周波数変換する送信ミキサ12aと、送信高周波信号S3を増幅する送信電力増幅器13aと、を備えている。各送信モジュール20a~20nには、信号分配器2を介して基準信号源1が接続されており、基準信号源1は、基準信号Srを生成し、信号分配器2を介して、各送信モジュール20a~20n内の送信信号発生器11a~11nおよび局部発振信号発生器21a~21nに基準信号Srを入力する。これにより、送信信号発生器11a~11nから出力される送信中間周波信号S1と、局部発振信号発生器21a~21nから出力される局部発振信号S2とは、基準信号Srにより同期されるようになっている。各アンテナ素子10a~10nは、送信電力増幅器13a~13nで増幅された送信高周波信号S3を電波として送信する。なお、局部発振信号発生器21aは、基準信号Srに同期した局部発振信号S2を発生するものであれば任意の要素が適用可能であり、注入同期発振器で構成してもよく、位相ロックループPLLで構成してもよい。また、図1において、送信モジュール20a~20n内の送信信号発生器11a~11nには、位相制御部3Aが接続されており、位相制御部3Aは、送信信号発生器11a~11nに位相制御信号P1を入力して、送信信号発生器11a~11nからの送信中間周波信号S1の位相を制御する。一方、図2において、送信モジュール20a~20n内の局部発振信号発生器21a~21nには、位相制御部3Bが接続されており、位相制御部3Bは、局部発振信号発生器21a~21nに位相制御信号P2を入力して、局部発振信号発生器21a~21nからの局部発振信号S2の位相を制御する。図1、図2のいずれの場合においても、位相制御部3A、3Bの制御下で、送信電力増幅器13a~13nから出力される送信高周波信号S3の位相が制御されるので、アンテナ素子10a~10nからの送信ビームの形状および方向を制御することが可能となる。図1において、位相制御信号P1によって送信信号発生器11a~11nからの送信中間周波信号S1の位相を制御するためには、たとえば、送信信号発生器11a~11nをダイレクトデジタルシンセサイザで構成し、ダイレクトデジタルシンセサイザの出力信号の位相を制御してもよい。または、送信信号発生器11a~11nの出力部に移相器図示せずを設け、移相器を制御してもよい。また、図2において、位相制御信号P2によって局部発振信号発生器21a~21nからの局部発振信号S2の位相を制御するためには、たとえば、局部発振信号発生器21a~21nの出力部に移相器図示せずを設け、移相器を制御することにより、局部発振信号S2の位相を直接制御してもよい。または、局部発振信号発生器21a~21nに入力される基準信号Srの入力部に移相器図示せずを設け、移相器を制御することにより、基準信号Srの位相を制御してもよい。次に、図1、図2を参照しながら、この発明の実施の形態1に係るアレイアンテナ装置の動作について説明する。送信モジュール20a~20nにおいて、送信ミキサ12a~12nは、送信信号発生器11a~11nからの送信中間周波信号S1と、局部発振信号発生器21a~21nからの局部発振信号S2と、を混合して送信高周波信号S3に周波数変換する。送信高周波信号S3は、送信電力増幅器13a~3nで増幅された後、アンテナ素子10a~10nから送信される。このとき、前述のように、送信中間周波信号S1と局部発振信号S2とは、信号分配器2を介して分配入力された基準信号Srに同期しているので、送信高周波信号S3も基準信号Srと同期する。したがって、位相制御部3Aの位相制御信号P1、または位相制御部3Aの位相制御信号P2によって送信高周波信号S3の位相を制御することにより、各アンテナ素子10a~10nから送信される送信ビームの形状や方向を制御することが可能となる。また、局部発振信号発生器21a~21nは、アンテナ素子10a~10nごとに独立して設けられているので、局部発振信号S2の周波数の揺らぎ位相雑音も独立している。したがって、送信高周波信号S3の位相を制御して信号をベクトル合成して送信ビームを形成すると、信号は振幅合成される一方で、送信高周波信号S3に含まれる位相雑音は電力合成される。つまり、n個の局部発振信号S2から生成された送信高周波信号S3を合成することにより、単一の局部発振信号から生成された送信高周波信号をn倍に増幅する場合よりも、n倍だけSN比を改善することができる。以上のように、この発明の実施の形態1図1、図2に係るアレイアンテナ装置は、送信モジュール20a~20nを有するアンテナ素子10a~10nが複数n個配列されて構成されている。複数の送信モジュール20a~20nは、それぞれ個別の要素として、送信中間周波信号S1を出力する送信信号発生器11a~11nと、局部発振信号S2を出力する局部発振信号発生器21a~21nと、送信中間周波信号S1と局部発振信号S2とを混合して送信高周波信号S3に周波数変換する送信ミキサ12a~12nと、を有する。また、この発明の実施の形態1に係るアレイアンテナ装置は、送信信号発生器11a~11nおよび局部発振信号発生器21a~21nに基準信号Srを入力する基準信号源1を備えており、送信中間周波信号S1と局部発振信号S2とは、基準信号Srにより同期されている。また、図1の構成例においては、送信信号発生器11a~11nに対する位相制御信号P1を出力する位相制御部3Aを備えており、送信中間周波信号S1の位相は、位相制御信号P1により制御される。一方、図2の構成例においては、局部発振信号発生器21a~21nに対する位相制御信号P2を出力する位相制御部3Bを備えており、局部発振信号S2の位相は、位相制御信号P2により制御される。図1、図2のいずれの構成例においても、複数n個の局部発振信号発生器21a~21nに基づいて生成された送信高周波信号S3を合成することにより、単一の局部発振信号から生成された送信高周波信号をn倍に増幅する場合よりも、n倍だけSN比を改善することができる。実施例2なお、上記実施の形態1図1、図2では、送信信号発生器11a~11nまたは局部発振信号発生器21a~21nの位相のみを制御したが、図3または図4のように、送信信号発生器11a~11nのタイミングを制御してもよい。図3および図4はこの発明の実施の形態2に係るアレイアンテナ装置を示すブロック図であり、前述と同様に、送信モジュール20a~20nのみを示しており、それぞれ異なる構成例を示している。図3、図4において、前述図1、図2参照と同様のものについては、前述と同一符号を付して詳述を省略する。図3においては、図1内の位相制御部3Aに代えて、位相タイミング制御部4を備えている点のみが図1と異なる。図3において、位相タイミング制御部4は、送信信号発生器11a~11nに対して、位相制御信号P1のみならず、タイミング制御信号Tを入力し、送信信号発生器11a~11nが出力する送信中間周波信号S1の位相および信号発生タイミングを制御する。一方、図4においては、図2の構成に加えて、タイミング制御部5を備えている点のみが図2と異なる。図4において、タイミング制御部5は、送信信号発生器11a~11nに対してタイミング制御信号Tを入力し、送信信号発生器11a~11nからの送信中間周波信号S1の信号発生タイミングを制御する。また、前述と同様に、位相制御部3Bは、局部発振信号発生器21a~21nに位相制御信号P2を入力して局部発振信号発生器21a~21nが出力する局部発振信号S2の位相を制御する。以上のように、この発明の実施の形態2図3、図4に係るアレイアンテナ装置は、図3の構成例では、送信信号発生器11a~11nに対する位相制御信号P1およびタイミング制御信号Tを出力する位相タイミング制御部4を備えており、送信中間周波信号S1の位相が制御されるとともに、送信中間周波信号S1の信号発生タイミングは、タイミング制御信号Tにより制御される。また、図4の構成例では、送信信号発生器11a~11nに対するタイミング制御信号Tを出力するタイミング制御部5を備えており、送信中間周波信号S1の信号発生タイミングは、タイミング制御信号Tにより制御される。これにより、図3、図4のいずれの場合においても、送信ミキサ12a~12nから出力される送信高周波信号S3の位相および信号発生タイミングが制御されるので、アンテナ素子10a~10nが離散的に分散配置された場合各アンテナ素子10a~10nから標的までの距離が異なる場合であっても、各アンテナ素子10a~10nから標的に到来する電波送信高周波信号S3のタイミングが一致するように、アンテナ素子10a~10nから出力される送信高周波信号S3のタイミングを制御することができる。また、図3において、位相タイミング制御部4からの位相制御信号P1およびタイミング制御信号Tは、パラレル形式またはシリアル形式で出力することが可能である。たとえば、位相制御信号P1およびタイミング制御信号Tを、シリアル形式で出力した場合には、各送信モジュール20a~20n各送受信モジュールに分配する配線の数を減らすことができる。実施例3なお、上記実施の形態1、2図1~図4では、送信モジュール20a~20nのみに適用した場合を示したが、図5または図6のように、送受信モジュール30a~30n送信モジュールおよび受信モジュールに適用してもよい。図5および図6はこの発明の実施の形態3に係るアレイアンテナ装置を示すブロック図であり、それぞれ異なる構成例を示している。図5、図6において、前述図1~図4参照と同様のものについては、前述と同一符号を付して詳述を省略する。図5において、送受信モジュール30a~30nは、それぞれ個別の要素として、前述の送信モジュール20a~20nの構成要素に加えて、送受信切換器22a~22nと、高周波増幅器31a~31nと、受信ミキサ32a~32nとを備えている。また、各送受信モジュール30a~30nには、前述図2の基準信号源1、信号分配器2および位相制御部3Bに加え、信号合成器6を介した受信部7が接続されている。送受信切換器22a~22nは、アンテナ素子10a~10nと送信電力増幅器13aおよび高周波増幅器31a~31nとの間に挿入され、送信モードと受信モードとに応じて通過信号を切換える。すなわち、送受信切換器22a~22nは、同一のアンテナ素子10a~10nを送受信モードで共有するためのものであり、たとえばサーキュレータを用いてもよい。高周波増幅器31a~31nは、アンテナ素子10a~10nで受信した信号を増幅する。受信ミキサ32a~32nは、高周波増幅器31a~31nからの受信高周波信号S4と局部発振信号発生器21a~21nからの局部発振信号S2とを混合して、受信中間周波信号S5に周波数変換し、受信中間周波信号S5を信号合成器6に入力する。この場合、局部発振信号発生器21a~21nからの局部発振信号S2は、送信ミキサ12a~12nと受信ミキサ32a~32nとの両方に入力される。信号合成器6は、受信ミキサ32a~32nからの受信中間周波信号S5を合成して受信部7に入力する。以上のように、この発明の実施の形態3図5に係るアレイアンテナ装置は、送受信モジュール30a~30nを有するアンテナ素子10a~10nが複数個配列され、複数の送受信モジュール30a~30nは、それぞれ個別の要素として、送信中間周波信号S1を出力する送信信号発生器11a~11nと、局部発振信号S2を出力する局部発振信号発生器21a~21nと、送信中間周波信号S1と局部発振信号S2とを混合して送信高周波信号S3に周波数変換する送信ミキサ12a~12nと、局部発振信号S2と受信高周波信号S4とを混合して受信中間周波信号S5に周波数変換する受信ミキサ32aと、を有する。また、この発明の実施の形態3図5に係るアレイアンテナ装置は、送信信号発生器11a~11nおよび局部発振信号発生器21a~21nに基準信号Srを入力する基準信号源1と、複数の送受信モジュール30a~30n内の各受信ミキサ32a~32nから出力される複数の受信中間周波信号S5を合成する信号合成器6と、を備えている。送信中間周波信号S1と局部発振信号S2とは、基準信号Srにより同期されている。このように、送信ミキサ12a~12nでの周波数変換に用いる局部発振信号S2と、受信ミキサ32a~32nでの周波数変換に用いる局部発振信号S2を同一信号とすることにより、局部発振信号S2の周波数の揺らぎ局部発振信号S2に含まれる位相雑音の影響を相殺することができる。また、送信信号の場合と同様に、受信信号側にも信号合成器6を設け、n個の局部発振信号S2から生成された受信中間周波信号S5を合成するように構成されているので、単一の局部発振信号から生成された受信中間周波信号をn倍に増幅する場合よりも、n倍だけSN比を改善することができる。さらに、前述図2と同様の位相制御部3Bを設けることにより、前述と同様に、位相制御部3Bの制御下で、送信電力増幅器13a~13nから出力される送信高周波信号S3の位相が制御されるので、アンテナ素子10a~10nからの送信ビームの形状および方向を制御することが可能となる。また、図5においては、局部発振信号発生器21a~21nに対する位相制御部3Bを設けたが、図1と同様に、送信信号発生器11a~11nに対する位相制御部3Aを設けてもよく、図3または、図4と同様に、送信信号発生器11a~11nに対する位相タイミング制御部4または、タイミング制御部5を設けてもよく、いずれの場合も前述と同様の作用効果を奏する。なお、図5においては、同一の局部発振信号発生器21a~21nが発生した局部発振信号S2を送信ミキサ12a~12nと受信ミキサ32a~32nとに分配したが、図6のように、送信ミキサ12a~12nに対する局部発振信号発生器21a~21nとは別に、受信ミキサ32a~32nに対する受信局部発振信号S6を出力する受信局部発信信号発生器23a~23nを設けてもよい。すなわち、図6において、この発明の実施の形態3に係るアレイアンテナ装置の送受信モジュール30a~30nは、それぞれ個別の要素として、送信信号発生器11a~11n、局部発振信号発生器21a~21nおよび送信ミキサ12a~12nに加えて、受信局部発振信号を出力する受信局部発振信号発生器23a~23nと、受信局部発振信号S6と受信高周波信号S4とを混合して受信中間周波信号S5に周波数変換する受信ミキサ32a~32nと、を有する。なお、上記説明では、受信ミキサ32a~32nの出力信号を、受信中間周波信号S5としたが、この発明の実施の形態3では、局部発振信号S2と受信局部発振信号S6との各周波数が同じでなくてもよいので、受信ミキサ32a~32nの出力信号を、受信中間周波信号S5に代えて、受信ベースバンド信号とすることもできる。また、この発明の実施の形態3図6に係るアレイアンテナ装置は、送信信号発生器11a~11n、局部発振信号発生器21a~21nおよび受信局部発振信号発生器23a~23nに基準信号Srを入力する基準信号源1と、送受信モジュール30a~30n内の各受信ミキサ32a~32nから出力される受信中間周波信号S5または、受信ベースバンド信号を合成する信号合成器6と、を備えている。これにより、送信中間周波信号S1と局部発振信号S2と受信局部発振信号S6とは、基準信号Srにより同期されている。また、位相制御部3Bからの位相制御信号P2は、局部発振信号発生器21a~21nおよび受信局部発振信号発生器23a~23nに入力されており、これにより、局部発振信号S2および受信局部発振信号S6の位相は、位相制御信号P2により制御される。実施例4なお、上記実施の形態1、2図1~図4では、送信モジュール20a~20nのみに適用した場合を示し、上記実施の形態3図5、図6では、送受信モジュール30a~30nに適用した場合を示したが、図7のように、受信モジュール40a~40n受信モジュールのみに適用してもよい。図7はこの発明の実施の形態4に係るアレイアンテナ装置の構成例を示すブロック図であり、前述図1~図6参照と同様のものについては、前述と同一符号を付して詳述を省略する。図7において、受信モジュール40a~40nは、それぞれ個別の要素として、受信局部発振信号発生器23a~23nと、高周波増幅器31a~31nと、受信ミキサ32a~32nと、を備えている。また、各受信モジュール40a~40nには、前述図2の基準信号源1、信号分配器2および位相制御部3Bに加え、信号合成器6を介した受信部7が接続されている。高周波増幅器31a~31nは、アンテナ素子10a~10nで受信した信号を増幅する。受信ミキサ32a~32nは、高周波増幅器31a~31nからの受信高周波信号S4と受信局部発振信号発生器23a~23nからの受信局部発振信号S6とを混合して、受信中間周波信号S5または、受信ベースバンド信号に周波数変換し、受信中間周波信号S5または、受信ベースバンド信号を信号合成器6に入力する。信号合成器6は、受信ミキサ32a~32nからの受信中間周波信号S5または、受信ベースバンド信号を合成して受信部7に入力する。以上のように、この発明の実施の形態4図7に係るアレイアンテナ装置は、送受信モジュール40a~40nを有するアンテナ素子10a~10nが複数個配列され、複数の受信モジュール40a~40nは、それぞれ個別の要素として、受信局部発振信号S6と受信高周波信号S4とを混合して受信中間周波信号または受信ベースバンド信号S5に周波数変換する受信ミキサ32aと、を有する。また、この発明の実施の形態4図7に係るアレイアンテナ装置は、受信局部発振信号発生器23a~23nに基準信号Srを入力する基準信号源1と、複数の受信モジュール40a~40n内の各受信ミキサ32a~32nから出力される複数の受信中間周波信号または受信ベースバンド信号S5を合成する信号合成器6と、を備えている。受信局部発振信号S2とは、基準信号Srにより同期されている。このように、送信信号の場合と同様に、受信信号側に信号合成器6を設け、n個の局部発振信号S2から生成された受信中間周波信号S5を合成するように構成されているので、単一の局部発振信号から生成された受信中間周波信号をn倍に増幅する場合よりも、n倍だけSN比を改善することができる。さらに、前述図2と同様の位相制御部3Bを設けることにより、前述と同様に、位相制御部3Bの制御下で、受信ミキサ32a~32nから出力される受信中間周波信号または受信ベースバンド信号S5の位相が制御されるので、アンテナ素子10a~10nからの受信ビームの形状および方向を制御することが可能となる。