"ショートアーク型の放電ランプおよび該放電ランプを取り囲み配置された該放電ランプからの光を反射するリフレクタよりなる光源素子の複数が、一方向に並んで配置された光源素子列を有する光出射部と、個々の光源素子からの光の光到達領域に配置され、該光源素子からの光を拡散させて放射する拡散手段と、該拡散手段からの拡散散乱光を受光し、受光した各箇所における該拡散散乱光の光量を検出する複数の光検出素子を備えた光量検出手段と、上記光量検出手段の出力を処理する画像処理ユニットとを備えた光照射装置であって、上記画像処理ユニットは、上記光量検出手段上の各位置を、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置に対応付け、光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域の各位置における光量変動を表す信号に変換する変換処理部と、上記変換処理部により得られた光照射領域の各位置の光量変動を表す信号を出力する手段とを備えたことを特徴とする光照射装置。上記光照射装置は、表示ユニットを備え、上記画像処理ユニットは、上記変換処理部により得られた光量変動を表す信号を、上記表示ユニットに、光照射領域の位置に対応づけて表示させる表示処理手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。上記光照射装置は、光照射装置の各光源素子の放電ランプを点灯させるため電力を供給する電源装置を備え、上記画像処理ユニットは、さらに、上記変換処理部により得られた光照射領域の各位置の光量変動を表す信号を監視する光量変動監視手段と、上記電源装置から各光源素子に供給される電力を制御するための給電制御手段を備え、上記光量変動監視手段は、上記光照射領域の各位置の光量変動を表す信号により、光源素子のうちの特定の光源素子の放電ランプの光量低下が検出されたとき、上記給電制御手段により上記電源装置を制御して、上記光量が低下した放電ランプに供給される電力を増大させ、該放電ランプの光量を増加させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光照射装置。上記画像処理ユニットは、上記光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域における各位置の光量を表す信号に変換するための変換比率データを格納したメモリを有し、上記変換処理部は、上記メモリから変換比率データを読み込み、上記光量検出手段上の各箇所における該拡散散乱光の光量と、上記メモリに格納された変換比率データとから、光照射領域における各位置の光量変動を表す信号を算出することを特徴とする請求項1,2または請求項3に記載の光照射装置。前記画像処理ユニットは、当該光照射装置の光源素子列の放電ランプを最初に点灯させたときに検出された光量検出手段上の各位置における光量を、基準光量データとして格納したメモリを有し、上記変換処理部は、上記光量検出手段上の各箇所における該拡散散乱光の光量と、上記メモリに格納された基準光量データとから、光照射領域における各位置の光量変動を表す信号を算出することを特徴とする請求項1,2または請求項3に記載の光照射装置。特許文献1の測定方法は、複数の光源ユニット101の光が加算された値が照度測定装置107で検出される。このため、個別の光源ユニットの値を測定するためには、光源部100を消灯する際に、一灯ずつ光源ユニットを消灯させながら照度の変動を記録しなければならない。装置が稼動しているときには、個々の照度ユニットの照度を測定することができず、測定する際には照明系ユニットを一度消灯させなければならず、測定に時間がかかる。また、この方法ではインテグレーター等を使用して2次光源を作る光学系でのみ有効である。特許文献2の方法では、照明光学系1を点灯させた状態で、光センサ115をスキャンさせることでXYZステージ117上の照度分布を測定することができる。したがって、測定を行うときには基板116をXYZステージ117上から除かなければならない。基板がフィルム状の場合は、容易に取り除くことができないため、照度測定はフィルム状の基板を交換する時などに限られる。このため、装置を稼動させている間は測定を行うことができず、装置稼動中の異常を検出して照度分布を制御することができない。また、1個の光センサ115をスキャンさせながら測定する方法では、詳細な照度分布を測定する場合には測定ポイント数を増やす必要がある為に非常に時間がかかる。更に測定中に光センサ115が照明光源の強い光に曝されるため光センサの温度が上昇する。光センサは温度によって測定感度が変化するため、正確な照度分布の測定を行うことができない。正確な照度分布を測定するためには、光センサが同じ温度で同時に測定することが必要になる。更に、ショートアーク型放電ランプを用いて複数の光源素子を並べた光照射装置の場合、照度が低下する原因は、個別の光源素子の照度が低下するだけでなく、任意の光源素子が照度は低下しない状態で、他の光源素子に対して光軸がずれる場合がある。この場合に、低下した照度を回復させるために、放電ランプに投入する電流値を増加させると、照度分布が悪化するばかりか、放電ランプの寿命が低下したり、装置が故障したりする原因になる。このため、照度分布の測定を行うだけでなく、測定結果を元に照度の変動原因を把握し、これに基づき適切な対応をできるようにすることが望ましい。本発明は上記事情に基づくものであって、光源としてショートアーク型放電ランプを用いて複数の光源素子を並べた光照射装置において、複数の光源素子から放射された光の照度分布の変動を一括して検出することができるとともに、明るさの低下した放電ランプ等、不具合の生じた光源素子を判定して表示することができ、また、光照射領域において照度分布が変動したときに照度の均一化を図ることができる光照射装置を提供することである。本発明においては、ショートアーク型の放電ランプおよび該放電ランプを取り囲み配置された該放電ランプからの光を反射するリフレクタよりなる光源素子を一方向に並べ同時に点灯させ、上記光源素子からの光を光照射領域に照射することにより、露光処理等を行う光照射装置において、該光源素子からの光の光到達領域に配置され、該光源素子からの光を拡散させて放射する拡散手段を設けるとともに、該拡散手段で反射する拡散散乱光の光量光強度を検出するための複数の光検出素子を並べた光量検出手段を設ける。上記光量検出手段は、上記光源素子から出射し、拡散手段で反射した拡散散乱光を受光するが、光量検出手段の各位置で検出される光量光強度は、光量検出手段への光の入射角度や、拡散板の反射特性等によって、必ずしも上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域上の各位置における照度を正確に反映したものにならない。例えば、同じ強度の散乱光であっても、光量検出手段の正面から入射する散乱光に対して、光量検出手段に斜めに入射する光の散乱光の方が低く測定される。そこで、本発明では、上記光量検出手段上の各位置において検出された光量を、光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置における照度に対応付け、光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域の各位置における照度変動を表す信号に変換する手段を設ける。これにより、上記光量検出手段の出力により、光照射領域における照度分布に相当する信号を得ることができ、照度分布の変動を検出することが可能となる。なお、照度は光照射領域等に照射される光の明るさを表す物理量である。測定を行う光検出素子には有限の大きさがあり、例えば、長方形の光検出素子を長辺が搬送方向と平行になる様に配置して測定を行う場合、測定される量は積算光量など別の名称で呼ばれる場合もあるが、本明細書では光検出素子で測定された明るさを表す物理量を総称して照度と表記している。上記光量検出手段上の各位置における光量を、光照射領域の各位置における照度変動を表す信号に変換する処理は、例えば、以下のように行うことができる。予め、光量検出手段上の各位置における光量を、光照射領域における各位置の照度を表す信号に変換するための変換比率データを用意し、この変換比率データを用いて、光量検出手段上の各位置における該拡散散乱光の光量から、光照射領域における各位置の照度変動を表す信号を算出する。光源素子列の放電ランプを最初に点灯させたときに検出される光量検出手段上の各位置における光量を、基準光量データとして保存し、光量検出手段上の各位置における該拡散散乱光の光量と、上記基準光量データとから、光照射領域における各位置の照度変動を表す信号を算出する。このようにして検出した照度分布の変動を出力して表示することにより、複数の光源素子から放射された光の照度分布の変動を監視することができる。また、上記照度分布の変動から、特定の光源素子から照射される光の照度が低下したことが検出されたとき、例えば該光源素子の放電ランプに供給する電力を増大させることで、照度の低下を補償することができる。上記拡散手段としては、上記光源素子と光照射領域の間の光路中に光を拡散して反射する拡散素子を設けてもいいが、装置を稼動させている間にも照度分布の変動を検出したい場合には、上記光路中に設けられたマスク等を拡散手段として利用したり、また、上記光路中に設けられた集光部材等の光学素子をコールドミラーとし、該コールドミラーの背面側に拡散手段を設け、コールドミラーを透過した光を拡散手段で反射させて、光量検出手段に導くようにしてもよい。以上に基づき、本発明においては、以下のようにして前記課題を解決する。1ショートアーク型の放電ランプおよび該放電ランプを取り囲み配置された該放電ランプからの光を反射するリフレクタよりなる光源素子の複数が、一方向に並んで配置された光源素子列を有する光出射部と、個々の光源素子からの光の光到達領域に配置され、該光源素子からの光を拡散させて放射する拡散手段と、該拡散手段からの拡散散乱光を受光し、受光した各箇所における該拡散散乱光の光量を検出する複数の光検出素子を備えた光量検出手段と、上記光量検出手段の出力を処理する画像処理ユニットとを備えた光照射装置であって、上記画像処理ユニットに、上記光量検出手段上の各位置を、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置に対応付け、光量検出手段により検出された各位置における光量を、該光照射領域における各位置における光量変動を表す信号に変換する変換処理部と、上記変換処理部により得られた光照射領域の各位置の光量変動を表す信号を出力する手段とを設ける。2上記1において、上記画像処理ユニットは、上記変換処理部により得られた光量変動を表す信号を、光照射領域の位置に対応づけて表示ユニットに表示させる表示処理手段を設ける。3上記12において、上記画像処理ユニットに、上記変換処理部により得られた光照射領域の各位置の光量変動を表す信号を監視する光量変動監視手段と、各光源素子の放電ランプを点灯させるため電力を供給する電源装置から各光源素子に供給される電力を制御するための給電制御手段を設け、上記光量変動監視手段は、上記光照射領域の各位置の光量変動を表す信号により、光源素子のうちの特定の光源素子の放電ランプの光量低下が検出されたとき、上記給電制御手段により、各光源素子の放電ランプを点灯させるため電力を供給する電源装置を制御して、上記光量が低下した放電ランプに供給される電力を増大させ、該放電ランプの光量を増加させる。4上記123において、上記画像処理ユニットは、光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域における各位置の光量を表す信号に変換するための変換比率データを格納したメモリを有し、上記変換処理部は、上記メモリから変換比率データを読み込み、上記光量検出手段上の各位置における該拡散散乱光の光量と、上記メモリに格納された変換比率データとから、光照射領域における各位置の光量変動を表す信号を算出する。5上記123において、前記画像処理ユニットは、当該光照射装置の光源素子列の放電ランプを最初に点灯させたときに検出された光量検出手段上の各位置における光量を、基準光量データとして格納したメモリを有し、上記変換処理部は、上記光量検出手段上の各位置における該拡散散乱光の光量と、上記メモリに格納された基準光量データとから、光照射領域における各位置の光量変動を表す信号を算出する。本発明においては、以下の効果を得ることができる。1光源素子からの光を拡散させて放射する拡散手段を設け、該拡散手段上の各箇所における該拡散散乱光の光量を光量検出手段で検出して、光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域における各位置における照度変動を表す信号に変換して出力するようにしたので、複数の光源素子から放射された光の照度分布の変動を、従来技術のように一灯ずつ光源を消灯しながら照度の変動を観察したり、光センサをスキャンさせることなく、同時に監視することができる。このため、簡便に短時間で照度分布を測定することが可能になり、照度分布測定のために必要であった時間を短くすることができ、効率的な設備の稼動が可能になる。また、光照射領域における各位置の照度変動を表す信号を、光照射領域の位置に対応づけて表示ユニットに表示させることにより、どの光源素子の光量が低下したのかなどを監視することができる。2光照射領域の各位置の照度変動を表す信号を監視する光量変動監視手段を設け、光照射領域の各位置の照度変動を表す信号により、光源素子のうちの特定の光源素子の放電ランプの照度低下が検出されたとき、該放電ランプに供給する電力を増大させ、照度の低下を補償することにより、光源装置の照度低下などの性能低下を防ぎ、不良品の大量発生を防止することができる。3光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域における各位置の照度を表す信号に変換するための変換比率データを設け、光量検出手段上の各箇所における該拡散散乱光の光量と、上記メモリに格納された変換比率データとから、光照射領域における各位置の照度変動を表す信号を算出することにより、比較的簡単に、光照射領域における各位置の照度変動を表す信号を得ることができる。4光照射装置の光源素子列の放電ランプを最初に点灯させたときに検出された光量検出手段上の各位置における光量を、基準光量データとして格納し、光量検出手段上の各箇所における該拡散散乱光の光量と、上記メモリに格納された基準光量データとから、光照射領域における各位置の照度変動を表す信号を算出することにより、光源素子列の放電ランプを最初に点灯させたときの照度分布に比べて、どの程度照度分布が変動したかを把握することができる。また、光源素子の照度の低下や、光源素子の光軸のずれ等を容易に検出することができ、ランプ又はランプユニット交換の必要性の有無やタイミングを的確に判断できる。図1は本発明の実施例の光照射装置の全体の概略構成を示す図、図2は図1の光照射部をA-A断面で切断した側面断面図である。また、図3は図2に示す光照射部を集光部材40の背面側から光源側を透視して見た図である。本発明の光照射装置は、例えばパターン化位相差フィルムを製造するために用いられるものであって、図1に示すように、集光部材40を備えた光出射部10と、光出射部10からの光をストライプ状に整形するマスク45とを備えた光照射部1と、画像処理ユニット7と、光照射部1のランプに電力を供給する電源部9から構成されている。マスク45の下側には、図2に示すように、搬送手段50が設けられ、搬送手段50により被照射物Wが搬送され、被照射物Wに光照射部1から出射する光が照射される。なお、図1、図2には、照度分布を測定するための拡散板55がマスク45の光入射側に挿入されているが、これについては後述する。上記光出射部10は、複数の光源素子21よりなる光源素子列20と、この光源素子列20からの光を、光源素子21が並ぶ一方向に伸びる線状に集光する集光部材シリンドリカル集光ミラー40とから構成され、これらがランプハウス11内に収納されている。ランプハウス11の集光部材40の下方には、集光部材40の長手方向に沿って一方向に伸びる光出射用開口12Aが形成され、また、該光出射用開口12Aが形成された下壁の集光部材40の背面側の位置に、後述する光出射部10から出射した光が照射される光到達領域で反射した拡散散乱光をランプハウス11内に入射させる拡散光入射用開口12Bが形成されている。そして、例えば石英ガラスよりなる窓板部材13が光出射用開口12Aを覆うように設けられている。光出射部10には、光源素子21が一方向図2において紙面に垂直な方向。以下、この方向をX方向ともいう。に並ぶよう配置され、これらにより光源素子列20が構成される。光源素子列20における各光源素子21は、ショートアーク型放電ランプ30と、この放電ランプ30を取り囲むよう配置された、当該放電ランプ30からの光を反射するリフレクタ22とを有する。放電ランプ30としては、例えば波長270~450nmの紫外光を高い効率で放射する超高圧水銀ランプを用いることができる。この放電ランプ30は、発光部およびこの発光部の両端に連続するロッド状の封止部を有する発光管を備え、発光管内には、一対の電極35が対向して配置されていると共に、水銀、希ガスおよびハロゲンが封入されている。このような放電ランプ30においては、一対の電極間の電極間距離が例えば0.5~2.0mm、水銀の封入量が例えば0.08~0.30mg/mm3である。リフレクタ22は、その光軸Cを中心とする回転放物面状の光反射面23を有するパラボラミラーにより構成されており、該リフレクタ22は、その光軸Cが放電ランプ30における発光管31の管軸上に位置し、かつ、その焦点Fが放電ランプ30における電極間の輝点に位置されるよう配置されている。集光部材40は、X方向に垂直な断面が放物線状の光反射面41を有するシリンドリカルパラボラミラーにより構成されており、その長手方向はX方向に沿って伸び、その焦点fが被照射物Wの表面上に位置するよう配置されている。この集光部材40は、例えば、目的とする波長の紫外光のみを反射させ、不要な可視光および赤外光を透過させる波長選択コーティングが施されたコールドミラーであってもよい。マスク45は、X方向に長尺な矩形の板状のものであって、集光部材40の下方において、当該集光部材40による反射光の光軸Lに対して垂直な平面に沿って配置されている。このマスク45は、それぞれX方向に垂直な方向図2において左右方向。以下、この方向をY方向ともいう。に伸びる線状の多数の遮光部および多数の透光部がX方向に交互に並ぶよう配置されてなるものである。被照射物Wは、例えば図2に示すようにローラー51を有する搬送手段50によってY方向に搬送され、マスク45は、被照射物Wに対して離間して配置される。マスク45と被照射物Wとの間の最小ギャップGは、例えば50~1000μmである。この実施例に係る光照射装置においては、光出射部10からの光を拡散反射させる拡散板55が、光出射部10から出射される光の光路、具体的には、集光部材40とマスク45との間の光路に進退自在に設けられている。拡散板55は、被照射物Wに対する光照射処理を行う場合には、光出射部10からの光の光路上から退避されると共に、後述する各放電ランプ30の点灯状態の監視動作各放電ランプの照度測定、照度分布測定を行う場合には、図示しない駆動機構によって、光出射部10からの光の光路上において、集光部材40による反射光の光軸Lに対して垂直な平面に沿って配置されるように、移動する図1、図2の拡散板55参照。このような拡散板55としては、例えば波長270~450nmの紫外光の拡散反射率が90以上であるものを用いることが好ましく、例えばフッ素樹脂粒子が焼結されてなるものや、例えば硫酸バリウムなどの透過率の低い遮光物質を含む光拡散層が基材上に形成されてなるものなどを用いることができる。また、紫外線で励起され主に可視域の光を発光する蛍光体を塗布、あるいは含有混合させた板も入射光に対して非常に拡散性良くかつ効率良く発光するため、拡散板として好適に用いることができる。本実施例の光照射装置において、光照射領域における照度分布を監視する際、前記したように光出射部10から出射される光の光到達領域に拡散板55が挿入される。図3に示すように、集光部材40の背面側には、該拡散板55からの拡散散乱光を受光し、受光した各箇所における該拡散散乱光の光量を検出する複数の光検出素子を備えた光量検出手段である光検出素子アレイCCDカメラを内蔵した光センサ60が設けられ、また、ランプハウス11に形成された拡散光入射用開口12Bには、ピンホール板等の結像光学素子65が設けられ、拡散板55が挿入されると、光出射部10から出射する光は、拡散板55で反射し、その拡散散乱光は、上記結像光学素子65により光センサ60の光検出素子アレイ上に結像する。光センサ60により検出された信号は、図1に示す画像処理ユニット7に送られる。画像処理ユニット7は上記光センサ60により検出された光量信号を被照射物Wが配置された光照射領域の照度分布信号に対応した信号に変換し、例えば表示装置にこの照度分布信号を表示したり、特定のランプの照度が低下した場合にアラーム信号などを出力する。また、光源素子列20を構成する光源素子21の内の特定の光源素子21のランプの劣化等により照度が低下したとき、例えば光源素子21に電力を供給する電源装置9を制御して、当該ランプへの供給電力を増加させて、照度低下を補償する。また、例えばランプの光軸がずれるなどの原因で照度分布が変動したとき、アラーム等を出力する。光センサ60の検出素子アレイは、例えばCCDからなる2次元エリアセンサ、CCDラインセンサ一次元ラインセンサである。図3に示すように、拡散板55上の光拡散面における複数の測定箇所の各々の拡散散乱光は、結像光学素子65を介して、光センサ60の光検出素子アレイの各光検出素子に入射し、各光検出素子により、該拡散散乱光の光量を検出する。例えば数十個の光源素子21により光源素子列20が構成されている場合には、光センサ60の光検出素子アレイとしては、X軸方向において500~2000ピクセル、またはそれ以上の解像度を有するものが用いられる。結像光学素子65としては、例えば、薄い金属板をエッチングにより穴あけ加工したピンホール板が用いられる。ここに、ピンホール板65の開口径は、例えばφ50μm~φ1000μm、厚みは、例えば100μm~1000μmである。また、ガラスにクロム膜を蒸着し、エッチングでクロム膜にピンホールを形成させたものでもよい。上記の光照射装置において、光出射部10から出射された光は、マスク45を介して、搬送手段50によってY方向に搬送される被照射物Wに照射される。すなわち、光出射部10においては、光源素子列20における各光源素子21の放電ランプ30から放射された光は、当該光源素子21におけるリフレクタ22の光反射面23によって反射されてリフレクタ22の光軸Cに沿った平行光とされ、集光部材40に向かって出射される。この平行光は、集光部材40における光反射面41により下方に向かって反射され、ランプハウス11に形成された光出射用開口12Aを介して、X方向に伸びる線状に集光されながらマスク45に入射するこのとき拡散板55は未挿入。このとき、マスク45に入射される光は、X方向において互いに平行な平行光であるそして、マスク45に入射された光が当該マスク45における遮光部および透光部によってストライプ状に整形されて被照射物Wに照射されることにより、被照射物Wにおけるローラー51が接する箇所の表面には、光出射部10によるマスク45における遮光部および透光部のパターンに対応するストライプ状の光照射領域が形成される。一方、例えば始業点検時や1日の作業の終了時などにおいて、光出射部10における各放電ランプ30の照度および光出射部10による光照射領域における照度分布を監視する場合には、拡散板55が図示しない適宜の駆動機構によって集光部材40とマスク45との間の光路上に挿入配置され、この状態において、光出射部10から出射された光が拡散板55に照射される。このとき、拡散板55に照射される光は、X方向において互いに平行な平行光であって、拡散板55の光拡散面上に、光出射部10による帯状の光照射領域が形成される。拡散板55に照射された光は、図4に示すように、光拡散面55Aで拡散反射され、各々の測定箇所P11~P1m-Pn1~Pnmからの拡散散乱光が、結像光学素子ピンホール板65を介して、光センサ60の光検出素子アレイ61に入射する。図4は、光センサ60の光検出素子アレイ61として、2次元エリアセンサCCDを用いた場合を示しており、同図に示すように、光検出素子アレイ61の受光面上における各々の測定箇所に対応する受像位置D11~D1m-Dn1~Dnmに、上記光出射部10による光照射領域LAの2次元の光量分布像として結像する。そして、光検出素子アレイ61における各光検出素子によって、対応する各測定箇所における拡散散乱光の光量が検出される。光検出素子アレイ61として、2次元エリアセンサを用いれば、図4に示すように、Y方向の光量分布Dk1~Dkmk=1~nの光強度分布を検出することも可能であり、Y方向について光量分布を積算することにより、被照射物の搬送方向の積算光量を求めることができる。なお、光検出素子アレイ61として、2次元エリアセンサCCDに代えて、ラインセンサを用いてもよい。ラインセンサを用いた場合、拡散板55上の計測点と光検出素子アレイ61の受光面上の個々の光検出素子との対応関係は図5に示すようになる。すなわち、拡散板55上の光拡散面における複数の測定箇所P1,P2,...,Pn-1,Pnの各々の拡散散乱光は、結像光学素子65を介して、光検出素子アレイ61の各光検出素子に入射し、各光検出素子により、該拡散散乱光の光量を検出する。この場合、光検出センサが一次元に配列されているため、積算光量を求めることはできないが、光検出素子の受光面が搬送方向に対して長い長方形のセンサを選択すれば、計測される値は積算光量になる。なお、光検出素子アレイ61と結像光学素子65からなる光センサ60は、必ずしも図2に示すようにランプハウス11内に配置する必要はなく、ランプハウス11の外部に配置してもよい。この場合は、上記結像光学素子として、拡散板55の光拡散面における拡散散乱光を光センサ60の光検出素子上に結像させる結像レンズを用いることができる。また、前述したように集光部材40として、コールドミラーを用い、集光部材40を透過した、被照射物の処理には不要な可視光または赤外光の拡散散乱光を検出することにより、光照射領域における照度分布を取得するようにしてもよい。図6に、集光部材40を透過した可視光または赤外光の拡散散乱光を検出する場合の構成例を示す。集光部材40には、被照射物の処理に必要な波長の紫外光270~340nmを反射させ、それ以外の波長の光例えば近紫外光や可視光を透過させる波長選択コーティングが施されており、同図に示すように、集光部材40の背面側の集光部材40の透過光の光路上に、当該透過光を拡散反射させる拡散板55が配置される。この拡散板55としては、例えば波長350~700nmの可視光の拡散反射率が90以上であるものを用いる。拡散板55は、光拡散面が斜め上方を向くよう透過光の光軸に傾斜した状態で設けられ、拡散板55の光拡散面における複数の測定箇所の各々の拡散散乱光は、結像光学素子65を介して光検出素子アレイ60に入射し、光量が検出される。その他の構成は図2に示したものと同じであり、同一のものには同一の符号が付されている。このように構成すれば、図2で説明したように集光部材40と光照射領域間の光路中に拡散板を挿入することなく、光量を検出することができるので、装置を稼動させている間にも照度分布の変動を検出することが可能である。また、図3では、1個の光センサ60を用いた場合を示したが、複数の光センサ60を用いて、1個の光センサ60を用いる場合よりも広い領域の照度分布の測定を行うようにしてもよい。図7は、2個の光センサを用いた場合を示しており、ランプハウス11内に、光センサ60a,60bが、X方向に並んで配置されている。その他の構成は図3に示したものと同様であり、同一のものには同一の符号が付されている。なお、このような構成においては、第1の光センサ60aおよび第2の光センサ60bの検出可能範囲の一部が、図7に示すように重複するよう並んで配置されているのが好ましい。このように配置することで、第1、第2の光センサ60a,60bとの感度の個体差による照度分布測定値のバラツキの発生を回避することができ、検出結果に高い信頼性を得ることができる。次に、上記構成の光照射装置に適用され、光照射領域における照度分布の変動を監視する画像処理ユニットの実施例について説明する。図8は、本発明の第1の実施例を示す光照射装置の画像処理ユニットの機能ブロック図であり、図9は上記画像処理ユニットにおける処理手順を示すフローチャートである。図8において、前記したように放電ランプ30同図では各ランプをL1~L5と記載から放出された光はリフレクタ楕円ミラー22で反射され、平行な光として放出される。この平行な光は集光部材40で反射され、拡散板55上に照射され光が照射されるエリアは、図中の網掛け部分、拡散板55で拡散反射される。拡散板55で拡散反射された光図8ではランプ毎にSL1...SL5と記載は、光センサ60に内蔵されたレンズユニット又はピンホールなどの結像光学素子65により、光検出素子アレイ61上に、拡散板55上の照度分布に対応した光量の光が結像する。なお、光検出素子アレイ61としては、前記したように2次元エリアセンサCCDまたはラインセンサを用いることができるが、以下の実施例では、2次元エリアセンサを用いた場合について説明する。上記光センサ60で検出した光量に対応した信号は、画像処理ユニット7に送られる。画像処理ユニット7は、図8に示すように、処理部71と、記憶部72と表示部73と警報部74等から構成される。上記記憶部72には、光センサ60で検出した光量に対応した信号を光源素子21から出射する光が照射される光照射領域における各位置に対応付けるための位置対応付けデータ72aと、光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域の各位置における照度変動を表す信号に変換するための変換比率データ72bと、照度変動の限界値を示す照度変動閾値データ72cと、ランプの使用を保障できる積算点灯時間に対応したランプ寿命保障時間データ72dが格納されている。処理部71は、光センサ60から送られてくる光量信号についてY方向ライン方向の光量分布図4におけるDk1~Dkmk=1~nの光強度の積算処理等の前処理を行う前処理部71aと、記憶部72に記憶された位置対応付けデータ72aと変換比率データ72bとに基づき、上記光センサ60の光検出素子アレイ61上の各位置を、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置に対応付け、光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域の各位置における照度変動を表す信号に変換する変換処理部71bを備える。また、該変換処理部71bにより変換された光照射領域の各位置における照度変動と、記憶部72に記憶された照度変動閾値72cとを比較するなどして、照度が変動したか否かを監視し、警報部74から警報信号を出力する照度変動監視部71cを有し、さらに、前記変換処理部71bにより変換された光照射領域の各位置に照度を表示部73に表示させる処理を行う表示処理部71dと、電源部9から送られてくるランプ点灯信号に基づき、各ランプの点灯時間が記憶部72に格納されたランプ保障寿命時間72dに達しているかを監視する点灯時間監視部71eを備える。ここで、上記変換処理部71bにおける変換処理について説明する。上記変換処理においては、1光量検出手段上の各位置を、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置に対応付ける処理、2光検出素子アレイ61上の各位置における光量を、該光照射領域の各位置における照度変動を表す信号に変換する処理を行っている。以下上記12の処理についてさらに詳細に説明する。1光検出素子アレイ上の各位置と照射領域の各位置との対応付けの処理について。記憶部72には、位置対応付けデータ72aが格納されており、光センサ60の光検出素子アレイ61上の各位置と、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置とは、上記データ72aを参照することにより対応づけられる。これは、光センサ60の光検出素子アレイ61上の各位置が、光照射領域のどの位置に対応しているかがわからないと、光照射領域における照度分布を正しく測定することはできないためである。例えば光検出素子アレイ61CCDカメラの向きが少しずれた場合、各検出素子CCD上のピクセル位置が実際の照射領域の何処に対応しているかどのランプの照射位置に対応するかの情報を更新しないと間違った情報を出力してしまう。各検出素子CCDのピクセル位置と照射領域位置とが線形1次関数の関係にあり、スケール傾きが分かっていたとしても、図10に示すように、y軸照射領域位置の切片に相当するパラメータが決まらないと実際の位置を明確には求める事が出来ない。すなわち、光検出素子アレイ61のどの位置がどのランプが照射しているエリアかが分からないと、ランプの照度が低下し、照度調整をする場合に、どのランプの照度フィードバック電力調整をやれば良いかも定まらなくなる。更に、前記図7に示すように、複数の光センサを並べて幅広いエリアを照射する場合にも、重なりの部分が具体的にどの位置に対応するかが明確にならないと複数の光センサで検出された光量データを合わせて、全体の照度分布を得ることができない。以上の理由から、光センサ60の光検出素子アレイ61上の各位置と、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置を対応づける位置対応付けデータ72aを設けることが望ましい。なお、予め装置の出荷時に、照度分布を測定して、光検出素子アレイ61上の位置とランプ30との関係を対応付けしておくことも考えられ、必ずしも、光検出素子アレイ61上の位置と照射領域の位置との対応情報でなくてもよい。2光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域の各位置における照度変動を表す信号に変換する処理について。前記したように、光検出素子アレイ61に入射する光は、光の入射角度や拡散板55の散乱特性などの要因から、光照射領域の照度分布を正確に反映したものにならず、例えば、光検出素子アレイ正面からの拡散散乱光に比べて、斜め方向から入射する拡散散乱光は、同じ強度の散乱光であっても光量が低く計測される。すなわち、拡散板55の散乱光の強度が散乱角度により異なる配向角度依存性と光検出素子アレイCCD61への入射角度の違いで同じ光量の光であっても測定値が変化する余弦則による効果等が含まれる。図11は、前記変換比率データ72bである補正係数の一例を示す図であり、光検出素子アレイ61への入射角度θに対して概ねcosθ2に近い係数となっており前記の余弦則の効果が大きい場合の補正係数を表している。この補正係数を決定するには、例えば予め、当該光照射装置における照射条件にてマスク、ワーク面上において受光器等を用いて正しい照度分布を測定しておき、得られた光検出素子アレイ61の出力信号との比率を求めて補正係数のテーブルを作成しておく方法がある。測定は例えば離散的に行い、各測定点間の値は補間処理を行い求める。または、十分な長さを有した棒状ランプの光源を配置して均一な光源条件を設定して補正係数を求める方法を用いることもできる。図12は上記光検出素子アレイ61により検出された光量分布と、前記変換比率データにより変換した後の照度分布光照射領域における照度分布に相当を示す図であり、同図の横軸はランプ配列長手方向の位置各ランプの正面に位置する光照射領域上の位置を示し、L1~L11はそれぞれのランプL1~L11の照度分布のピーク位置に相当する。また、縦軸は照度相対値であり、上記変換処理により、同図の一点鎖線で示す光検出素子アレイ61により検出された光量分布Aは、同図の実線に示す照度分布Bのように補正される。図13は、本実施例における上記変換処理を説明する図であり、同図aは光検出素子アレイ61により検出された光量データA光量分布データを示す。この例では、同図の丸で囲んだ領域において、ランプの照度が低下した等の理由により、照度が低下した場合を示している。また、同図bは上記図11に示した変換比率データBを示す。前記変換処理は、例えば、上記光量データAを変換比率データBで割って、A/Bを演算することにより行われる。これにより、図13cに示すように、光照射領域の照度分布に対応した信号を得ることができる。このように変換処理をすることにより、ランプ配列長手方向の位置前記X方向の位置における照度の大きさを揃えることができ、照度が低下した部分を直ちに把握できるようになる。図9は画像処理ユニット7における処理を示すフローチャートであり、図8を参照しながら図9のフローチャートにより、画像処理ユニットにおける処理を説明する。処理部71は光センサ60により検出されたCCD画像を取り込みステップS1、前処理部71aで前記したようにライン方向Y方向の光量分布の積算処理を行うステップS2。次いで、記憶部72から変換比率データ72b、位置対応付けデータ72aを読み込み、変換処理部71bにおいて前記したように変換処理を行うステップS3,S4。ついで、上記変換処理部71bで変換処理した照度分布データを表示処理部71dで処理し、画像データとして表示部73に表示するステップS5。これにより、前記図13cに示したように、照度分布の変動が表示される。照度変動監視部71cは、上記変換処理部71bで変換処理した照度分布データと、記憶部72に記憶された照度変動閾値データ72cと比較し、特定ランプの照度変化があるかを判定するステップS6,S7。図14は、一部ランプの照度が低下した場合の照度変化を示す図であり、同図の横軸はランプ配列長手方向の位置各ランプの正面に位置する光照射領域上の位置を示し、L1、L2、L3はそれぞれのランプL1~L4の照度分布のピーク位置に相当する。また、縦軸は照度相対値であり、Aは検出された光量分布データ、Bは照度閾値、Cは光源素子列20の各光源素子21に設けられた各放電ランプL1~L4による照度分布を示す。照度変動監視部71cは図14に示すように、変換処理された照度分布Aと照度閾値Bとを比較し、同図の点線に示すように照度閾値Bより照度が低下している領域があると、照度低下の原因となっているランプはどのランプであるかを判定し、警報部74から警報信号を出力するステップS11。この例では、ランプL2の照度が低下したことが分かるので、警報信号として、ランプL2の照度が低下したことを出力する。警報信号として上記照度低下信号が出力されると、光照射装置は異常終了、あるいは消灯される。点灯時間監視部71eは、ランプL1~L5に給電する電源部9から送られてくるランプL1~L5の積算点灯時間を監視するステップS8。そして、記憶部72dに記憶されたランプ保障寿命時間と比較し、積算点灯時間が保障寿命に達したか否かを判定しステップS9、積算点灯時間が保障寿命に達すると、警報部74からランプ交換の警報信号を出力するステップS10。これにより、光照射装置の動作は終了し、消灯される。また、積算点灯時間が保障寿命に達していなければ、所定のインターバル時間後にステップS1に戻り、上記処理を繰り返す。図15は、本発明の第2の実施例を示す光照射装置の画像処理ユニットの機能ブロック図であり、図16は上記画像処理ユニットにおける処理手順を示すフローチャートである。図15において、光照射部1の構成は図8に示したものと同じであり、放電ランプ30同図では各ランプをL1~L5と記載から放出された光はリフレクタ楕円ミラー22で反射され、平行な光として放出された光は集光部材40で反射され、拡散板55上に照射される。拡散板55で拡散反射された光は、光センサ60に内蔵されたレンズユニット又はピンホールなどの結像光学素子65により、光検出素子アレイ61上に拡散板55上の照度分布に対応した光の強度が結像する。上記光センサ60で検出した光強度に対応した信号光量は、画像処理ユニット7に送られる。画像処理ユニット7は、前記図8に示したものと同様に、処理部71と、記憶部72と表示部73と警報部74等から構成される。上記記憶部72には、前記光量を光照射領域における各位置に対応付けるための位置対応付けデータ72aと、光照射部10の各放電ランプ30の照度が低下していない状態において光検出素子アレイ61により検出された光検出素子アレイ61上の各位置における光量データである基準光量データ72eと、照度変動の限界値を示す照度変動閾値データ72cと、ランプの使用を保障できる積算点灯時間に対応したランプ寿命保障時間データ72dが格納されている。上記基準光量データ72eは、例えば、光照射部10に新規な放電ランプ30を取り付けて該放電ランプ30を最初に点灯させたときに検出された光検出素子アレイ61上の各位置における光量データを上記記憶部72に記録したものであり、このデータを基準光量データとして用いる。処理部71は、図8に示したものと基本的に同様に構成であり、光センサ60から送られてくる光量信号について前記したように積算処理等の前処理を行う前処理部71aと、記憶部72に記憶された位置対応付けデータ72aと上記基準光量データ72eとに基づき、上記光センサ60の光検出素子アレイ61上の各位置を、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置に対応付け、光量検出手段上の各位置における光量を、該光照射領域の各位置における照度変動を表す信号に変換する変換処理部71bを備える。また、該変換処理部71bにより変換された光照射領域の各位置における照度変動と、記憶部72に記憶された照度変動閾値72cとを比較するなどして、照度が変動したか否かを監視し、警報部74から警報信号を出力する照度変動監視部71cを有し、さらに、前記変換処理部71bにより変換された光照射領域の各位置に照度を表示部73に表示させる処理を行う表示処理部71dと、電源部9から送られてくるランプ点灯信号に基づき、各ランプの点灯時間が記憶部72に格納されたランプ保障寿命時間72dに達しているかを監視する点灯時間監視部71eを備える。本実施例において、上記変換処理部71bにおける変換処理は、前記したように、1光量検出手段上の各位置を、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置に対応付ける処理と、2光検出素子アレイ61上の各位置における光量を、該光照射領域の各位置における照度変動を表す信号に変換する処理を行うが、該2の処理が前記第1の実施例とは異なる。上記1の処理については、前記したように、位置対応付けデータ72aを用いて、光センサ60の光検出素子アレイ61上の各位置と、上記光源素子から出射する光が照射される光照射領域における各位置との対応付けを行う。なお、前記したように、光検出素子アレイ61上の位置とランプとの関係を対応付けしておくようにしてもよい。上記2の処理については、本実施例では次のようにして変換を行う。図17は本実施例における上記変換処理を説明する図であり、同図aは光検出素子アレイ61により検出された光量データA光強度の分布データを示す。この例では、同図の丸で囲んだ領域において、ランプの照度が低下した等の理由により、光量が低下した場合を示している。また、同図bは基準光量データBを示す。基準光量データは前記したように、新規な放電ランプ30を取り付けて該放電ランプ30を最初に点灯させたときに光検出素子アレイ61により検出された光検出素子アレイ61上の各位置における光量を、基準データとして記憶部72に記憶させたものである。本実施例における変換処理は、例えば、上記光量データAを基準光量データBで割って、A/Bを演算することにより行わる。これにより、図17cに示すように、放電ランプを最初に点灯させたときの光照射領域における照度分布に対して、どの位置の光量がどの程度低下したのかを示す信号、すなわち光量の低下の割合を示す信号以下、この信号を照度維持率というが得られる。同図では、丸を付した部分で照度が低下している。このように変換処理をすることにより、ランプ配列長手方向の位置前記X方向の位置において、基準光量データを計測した時点に比べて、どの程度照度が低下したのかを直ちに把握できるようになる。図18は、照度維持率の変動照度の低下の割合例を示す図シミュレーション結果であり、図18aは特定のランプの照度が低下した場合を示し、図18bは特定のランプの光軸がずれた場合を示す。なお、同図横軸はランプ配列長手方向の位置各ランプの正面に位置する光照射領域上の位置を示し、L1、L2、L3はそれぞれのランプL1~L4の照度分布のピーク位置に相当する。縦軸は、照度維持率、照度相対値を示し、Aは上記照度維持率データを示し、実線は照度が初期値に比べて0.9まで低下した場合、1点鎖線は照度が初期値に比べて0.8まで低下した場合を示す。また、Cは光源素子列20の各光源素子21に設けられた各放電ランプL1~L4による照度である。図18aに示すように、特定ランプの照度が低下すると、上記変換により得られた照度維持率データAは、照度低下したランプに対応する位置この例では、ランプL2に対応した位置で低下する。これにより、どのランプの照度が低下したのかを把握することができる。また、特定ランプこの例では、ランプL2の光軸が傾くと、図18bに示すように、照度維持率データは変動する。すなわち、特定ランプの照度が低下した場合には図18aに示すようにその中心に対応した位置の光量維持率が低下するが、ランプの光軸がずれた場合には隣り合うランプからの光量の重なりの程度が変わる事で谷部と山部が隣り合う形で出てくる。特に谷部と山部のピーク位置はランプ中心の正面の位置とは異なるずれた場所に生じる。例えば照度分布の谷部はL1とL2の間に生じ、山部はL2とL3の間に生じている事が分かる。以上のように、特定のランプの照度が低下した場合と、光軸が傾いた場合では、照度維持率の変動状態が異なるので、ランプの照度が低下したのか光軸が傾いたのかを判別することができる。図16は画像処理ユニット7における処理手順を示すフローチャートであり、前記図15を参照しながら図16のフローチャートにより、画像処理ユニットにおける処理を説明する。なお、本実施例における処理は、変換処理が図9のフローチャートと相違するだけで、その他の処理は基本的に図9と同じである。処理部71は光センサ60により検出されたCCD画像を取り込みステップS1、前処理部71aで前記したようにライン方向Y方向の光量分布の積算処理を行うステップ2。次いで、ステップS3に行き、記憶部72に記憶された基準光量データ72eと、位置対応付けデータ72aを読み込み、変換処理部71bにおいて前記したように変換処理を行うステップS4。次に、この画像の取り込みが、新規なランプを取り付けて最初に点灯させたときの画像の取り込みであるかを判定しステップS5、該画像の取り込みが、新規な放電ランプを取り付け最初に点灯させたときの画像の読み取りでの場合には、このデータを基準光量データとして、記憶部72に保存しステップS12、所定のインターバル時間後、ステップS1に戻る。また、画像の取り込みが、新規なランプを取り付けて最初に点灯させたときの画像の取り込みでない場合には、上記変換処理部71bで変換処理した照度分布データを表示処理部71dで処理し、画像データとして表示部73に表示するステップS6。これにより、前記図17cに示したように、照度分布の変動が表示される。照度変動監視部71cは、上記変換処理部71bで変換処理した照度分布の変動データと、記憶部72に記憶された照度変動閾値データ72cと比較し、特定ランプの照度変化があるかを判定するステップS7,S8。照度変動監視部71cは例えば図18aに示したように照度が低下している領域があると、照度低下の原因となっているランプはどのランプであるかを判定し、警報部74から警報信号を出力するステップS13。この例では、ランプL2の照度が低下したことが分かるので、警報信号として、ランプL2の照度が低下したことを出力する。警報信号として上記照度低下信号が出力されると、光軸ずれの程度が一定値以上の場合には光照射装置は異常終了、あるいは消灯される。また、照度変動監視部71cは前記した図18bに示したように、照度分布の谷部が特定の第1のランプL1と第2のランプL2との間に生じ、山部が第2ランプL2と第3のランプL3の間に生じている場合には、ランプL2の光軸がずれていると判定し、警報部74から警報信号を出力しステップS13、光照射装置は異常終了、あるいは消灯される。点灯時間監視部71eは、前記したようにランプL1~L5に給電する電源部9から送られてくるランプL1~L5の積算点灯時間を監視するステップS9。そして、記憶部72dに記憶されたランプ保障寿命時間と比較し、積算点灯時間が保障寿命に達したか否かを判定しステップS10、積算点灯時間が保障寿命に達すると、警報部74からランプ交換の警報信号を出力するステップS11。これにより、光照射装置の動作は終了し、消灯される。また、積算点灯時間が保障寿命に達していなければ、所定のインターバル時間後にステップS1に戻り、上記処理を繰り返す。図19は、本発明の第3の実施例を示す光照射装置の画像処理ユニットの機能ブロック図であり、図20は上記画像処理ユニットにおける処理手順を示すフローチャートである。本実施例は、前記図8、図9に示した第1の実施例において、特定のランプの照度が低下したとき、当該ランプに供給される電力を増加させて照度分布を回復させるように構成したものである。図19において、光照射部1の構成は図8に示したものと同じであり、放電ランプ30同図では各ランプをL1~L5と記載から放出された光はリフレクタ楕円ミラー22で反射され、平行な光として放出された光は集光部材40で反射され、拡散板55上に照射される。拡散板55で拡散反射された光は、光センサ60に内蔵されたレンズユニット又はピンホールなどの結像光学素子65により、光検出素子アレイ61上に拡散板55上の照度分布に対応した光量が結像する。上記光センサ60で検出した光強度に対応した信号光量は、画像処理ユニット7に送られる。画像処理ユニット7は、前記したように処理部71と、記憶部72と表示部73と警報部74等から構成され、上記記憶部72には、前記位置対応付けデータ72aと、変換比率データ72bと、照度変動閾値データ72cと、ランプ寿命保障時間データ72dが格納されている。処理部71は、前記図8に示したように、前処理部71aと、変換処理部71bと、照度変動監視部71cと、表示処理部71dと、各ランプの点灯時間が記憶部72に格納されたランプ保障寿命時間72dに達しているかを監視する点灯時間監視部71eを備える。また、本実施例では、上記照度変動監視部71cで特定のランプの照度の低下が検出されたとき、当該ランプの電力が増加するように制御する給電制御部71fを備える。給電制御部71fは、照度の低下が電力調整可能な範囲であれば、ランプの電源部9の電源ユニットPS1~PS5の内の当該ランプに電力を供給する電源ユニット例えばランプL2の場合には電源ユニットPS2を制御して、電力を増加させる。なお、照度の低下が電力調整可能な範囲にない場合は、照度変動監視部71cは、警報部74から照度低下アラームを出力させる。上記給電制御部71fを有することを除き、本実施例の画像処理ユニットの構成は、前記図8に示したものと同様であり、各部の動作も同様である。図20のフローチャートにより、本実施例における処理部の処理について説明する。なお、特定のランプの照度の低下が検出されたとき、当該ランプの電力が増加するように制御する点を除き、図9の処理と同様である。処理部71は光センサ60により検出されたCCD画像を取り込みステップS1、前処理部71aで前記したようにライン方向Y方向の光量分布の積算処理を行うステップS2。次いで、記憶部72から変換比率データ72b、位置対応付けデータ72aを読み込み、変換処理部71bにおいて前記したように変換処理を行うステップS3,S4。ついで、上記変換処理部71bで変換処理した照度分布データを表示処理部71dで処理し、画像データとして表示部73に表示するステップS5。これにより、前記図13cに示したように、照度分布の変動が表示される。照度変動監視部71cは、上記変換処理部71bで変換処理した照度分布データと、記憶部72に記憶された照度変動閾値データ72cと比較し、特定ランプの照度変化があるかを判定するステップS6,S7。照度変動監視部71cは照度が低下している領域があると、照度低下の原因となっているランプはどのランプであるかを判定し、電力調整可能な範囲での照度低下であるかを判定するステップS11。電力調整で照度低下を回復できる場合には、ステップS13に行き、給電制御部71fを制御して当該ランプの電力を調整する。この電力調整は、例えば光センサ60で検出される光量分布が所望の分布になるように電力量をフィードバック制御するようにしてもよいし、あるいは、照度低下量に対する電力調整量を記憶しておき、照度低下量に応じて電力量を増大させるようにしてもよい。照度の低下が電力調整で回復可能な範囲にない場合には、警報部74から照度低下の警報信号を出力するステップS12。警報信号として上記照度低下信号が出力されると、光照射装置は異常終了、あるいは消灯される。また、点灯時間監視部71eは、ランプL1~L5の積算点灯時間を監視しステップS8、記憶部72dに記憶されたランプ保障寿命時間と比較し、積算点灯時間が保障寿命に達したか否かを判定しステップS9、積算点灯時間が保障寿命に達すると、警報部74からランプ交換の警報信号を出力するステップS10。これにより、光照射装置の動作は終了し、消灯される。また、積算点灯時間が保障寿命に達していなければ、所定のインターバル時間後にステップS1に戻り、上記処理を繰り返す。図21は、本発明の第4の実施例を示す光照射装置の画像処理ユニットの機能ブロック図であり、図22は上記画像処理ユニットにおける処理手順を示すフローチャートである。本実施例は、前記図15、図16に示した第2の実施例において、特定のランプの照度が低下したとき、当該ランプに供給される電力を増加させて照度分布を回復させるように構成したものである。図21において、光照射部1の構成は図8に示したものと同じであり、放電ランプ30同図では各ランプをL1~L5と記載から放出された光はリフレクタ楕円ミラー22で反射され、平行な光として放出された光は集光部材40で反射され、拡散板55上に照射される。拡散板55で拡散反射された光は、光センサ60に内蔵されたレンズユニット又はピンホールなどの結像光学素子65により、光検出素子アレイ61上に拡散板55上の照度分布に対応した光量が結像する。上記光センサ60で検出した光強度に対応した信号光量は、画像処理ユニット7に送られる。画像処理ユニット7は、前記図15に示したものと同様に、処理部71と、記憶部72と表示部73と警報部74等から構成される。上記記憶部72には、位置対応付けデータ72aと、基準光量データ72eと、照度変動閾値データ72cと、ランプ保障寿命時間データ72dが格納されている。上記基準光量データ72eは、前記したように例えば、光照射部10に新規な放電ランプ30を取り付けて該放電ランプ30を最初に点灯させたときに検出された光検出素子アレイ61上の各位置における光量データを上記記憶部72に記録したものであり、このデータを基準光量データとして用いる。処理部71は、図15に示したものと基本的に同様に構成であり、前処理部71aと、変換処理部71bと、照度変動監視部71cと、表示処理部71dとランプ保障寿命時間72dに達しているかを監視する点灯時間監視部71eを備える。また、本実施例では、第3の実施例で説明したように、上記照度変動監視部71cで特定のランプの照度の低下が検出されたとき、当該ランプの電力が増加するように制御する給電制御部71fを備える。給電制御部71fは、照度の低下が電力調整可能な範囲であれば、ランプの電源部9の電源ユニットPS1~PS5の内の当該ランプに電力を供給する電源ユニット例えばランプL2の場合には電源ユニットPS2を制御して、電力を増加させる。なお、照度の低下が電力調整可能な範囲にない場合は、照度変動監視部71cは、警報部74から照度低下アラームを出力させる。上記給電制御部71fを有することを除き、本実施例の画像処理ユニットの構成は、前記図15に示したものと同様であり、各部の動作も同様である。図22は本実施例の画像処理ユニット7における処理手順を示すフローチャートであり、図21を参照しながら図22のフローチャートにより、画像処理ユニットにおける処理を説明する。なお、特定のランプの照度の低下が検出されたとき、当該ランプの電力が増加するように制御する点を除き、図16の処理と同じである。処理部71は光センサ60により検出されたCCD画像を取り込みステップS1、前処理部71aで光量分布の積算処理を行うステップS2。ついで、ステップS3に行き、記憶部72に記憶された基準光量データ72eと、位置対応付けデータ72aを読み込み、変換処理部71bにおいて前記したように変換処理を行うステップS4。次いで、この画像の取り込みが、新規なランプを取り付けて最初に点灯させたときの画像の取り込みであるかを判定しステップS5、該画像の取り込みが、新規な放電ランプを取り付け最初に点灯させたときの画像の読み取りでの場合には、このデータを基準光量データとして、記憶部72に保存しステップS13、所定のインターバル時間後、ステップS1に戻る。また、画像の取り込みが、新規なランプを取り付けて最初に点灯させたときの画像の取り込みでない場合には、上記変換処理部71bで変換処理した照度分布データを表示処理部71dで処理し、画像データとして表示部73に表示するステップS6。これにより、前記図17cに示したように、照度分布の変動が表示される。照度変動監視部71cは、上記変換処理部71bで変換処理した照度分布の変動データと、記憶部72に記憶された照度変動閾値データ72cと比較し、特定ランプの照度変化があるかを判定するステップS7,S8。照度変動監視部71cは照度が低下している領域があると、照度低下の原因となっているランプはどのランプであるかを判定し、電力調整可能な範囲での照度低下であるかを判定するステップS14。電力調整で照度低下を回復できる場合には、ステップS15に行き、給電制御部71fを制御して当該ランプの電力を調整する。照度の低下が電力調整で回復可能な範囲にない場合には、警報部74から照度低下の警報信号を出力するステップS16。警報信号として上記照度低下信号が出力されると、光照射装置は異常終了、あるいは消灯される。また、光量変動監視部71cは前記した図18bで説明したように、ランプの光軸がずれていると判定した場合ステップS9、警報部74から警報信号を出力しステップS17、光照射装置は異常終了、あるいは消灯される。点灯時間監視部71eは、前記したようにランプL1~L5に給電する電源部9から送られてくるランプL1~L5の積算点灯時間を監視するステップS10。そして、記憶部72dに記憶されたランプ保障寿命時間と比較し、積算点灯時間が保障寿命に達したか否かを判定しステップS11、積算点灯時間が保障寿命に達すると、警報部74からランプ交換の警報信号を出力するステップS12。これにより、光照射装置の動作は終了し、消灯される。また、積算点灯時間が保障寿命に達していなければ、所定のインターバル時間後にステップS1に戻り、上記処理を繰り返す。上記実施例の説明では、光センサ60から送られてくる光量信号について、Y方向ライン方向の光量分布の積算処理を行い、X方向について照度分布の変動を表示しているが、この積算処理を行う前のデータを使って、X方向の照度分布だけでなく、Y方向の照度分布を表示するようにしてもよい。具体的には、X方向、Y方向の照度分布を、例えば等高線図のような形で表示する。このように照度分布を表示すれば、全体の状態が一目で分かるので異常を確認しやすい。また、上記で説明では、光検出素子アレイ61としては、2次元エリアセンサを用いた場合について説明したが、前記図5に示したラインセンサを用いることができる。光検出素子アレイ61としてラインセンサを用いた場合は、前記実施例のフローチャートにおいて、ステップS2のライン方向の積分の処理が不要になるが、その他の処理は、前記実施例で説明したのと同様である。また、上記実施例では、照射エリアに拡散板を置いた場合について説明したが、蛍光板をおいて、発光した可視光の光を測定してもよいし、拡散板等を置かずにマスクからの散乱光を測定してもよい。さらに、前記図6で説明したように、集光部材40として、コールドミラーを用い、集光部材40を透過した、被照射物の処理には不要な可視光または赤外光の拡散散乱光を検出することにより、光照射領域における照度分布を取得するようにしてもよい。マスクからの散乱光を測定する場合は、場所により反射率が低くなり、測定精度は低下するが、露光を行いながらリアルタイムに測定することが可能になる。また、集光部材として、コールドミラーを用い、集光部材を透過した可視光または赤外光の拡散散乱光を検出することにより光到達領域における照度分布を取得する場合にも、同様に、露光を行いながらリアルタイムに測定することが可能になる。"