"二種類以上の流体の混合に用いられるマイクロミキサーであって、前記マイクロミキサーは、第1流路形成部と第2流路形成部とを有する混合プレートを備え、前記第1流路形成部には、第1流体が流れる第1流路が形成され、前記第2流路形成部には、第2流体が流れる第2流路が形成されているマイクロミキサーにおいて、第1流路形成部と第2流路形成部との間には、前記第1流体及び前記第2流体が合流する合流路が設けられ、前記合流路を介して、前記第1流路の出口と前記第2流路の出口とが対向し、前記合流路の中心軸に面する前記第1流路の出口の位置は、前記中心軸に面する前記第2流路の出口の位置に含まれるか又は同一であることを特徴とするマイクロミキサー。請求項1記載のマイクロミキサーにおいて、前記第1流路の出口の断面中心軸は、前記第2流路の出口の断面中心軸と同一であることを特徴とするマイクロミキサー。請求項1又は2記載のマイクロミキサーにおいて、前記第1流路の出口面は、前記第2流路の出口面と平行であることを特徴とするマイクロミキサー。請求項1~3のいずれか一項に記載のマイクロミキサーにおいて、前記第1流路の出口は複数の出口のうちの1つであり、前記第2流路の出口は複数の出口のうちの1つであり、前記第1流路の出口と前記第2流路の出口とが1対1の関係で対向していることを特徴とするマイクロミキサー。請求項1~4のいずれか一項に記載のマイクロミキサーにおいて、前記合流路は長尺状に形成され、前記合流路を形成する一対の対向する側面のうち、一方の側面には、複数の第1流路の出口が前記合流路の長手方向に沿って並んでおり、他方の側面には、複数の第2流路の出口が前記合流路の長手方向に沿って並んでいることを特徴とするマイクロミキサー。請求項1~5のいずれか一項に記載のマイクロミキサーは、更に、前記混合プレートに積層される温度調節プレートを備え、前記温度調節プレートは、第1媒体が流れる第1媒体流路と、第2媒体が流れる第2媒体流路と、前記第1媒体流路及び前記第2媒体流路間に設けられた断熱部とを有し、前記混合プレート及び前記温度調節プレートが積層された状態で、前記第1流路形成部と前記第1媒体流路とが積層方向に対応するように配置され、前記第2流路形成部と前記第2媒体流路とが積層方向に対応するように配置されていることを特徴とするマイクロミキサー。請求項1~6のいずれか一項に記載のマイクロミキサーにおいて、前記第1流路及び前記第2流路では、出口の断面積が入口の断面積よりも小さいことを特徴とするマイクロミキサー。本発明の目的は、高粘度流体又は異粘度流体を効率良く混合することのできるマイクロミキサー及び流体混合構造体を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の第一の態様によれば、二種類以上の流体の混合に用いられるマイクロミキサーが提供される。マイクロミキサーは、第1流路形成部と第2流路形成部とを有する混合プレートを備えている。第1流路形成部には、第1流体が流れる第1流路が形成され、第2流路形成部には、第2流体が流れる第2流路が形成されている。第1流路形成部と第2流路形成部との間には、第1流体及び第2流体が合流する合流路が設けられている。合流路を介して、第1流路の出口と第2流路の出口とが対向し、合流路の中心軸に面する第1流路の出口の位置は、中心軸に面する第2流路の出口の位置に含まれるか又は同一である。この構成によれば、第1流路から送出される第1流体の流れの方向は、第2流路から送出される第2流体の流れの方向と反対方向であり、かつ合流路の軸線に対し対称となる。このため、各流体は、合流路にて正面から衝突する。これにより、各流体の接触面積が大きくなり、衝突位置付近でせん断力が発生する。よって、高粘度流体又は異粘度流体を効率良く混合することができる。上記のマイクロミキサーにおいて、第1流路の出口の断面中心軸は、第2流路の出口の断面中心軸と同一であることが好ましい。この構成によれば、第1及び第2流路の各出口から送出された流体同士が正面から衝突するため、高粘度流体又は異粘度流体を効率良く混合することができる。上記のマイクロミキサーにおいて、第1流路の出口面は、第2流路の出口面と平行であることが好ましい。この構成によれば、第1流路からの第1流体の流れの方向は、第2流路からの第2流体の流れの方向と平行であり、かつ逆方向となる。このため、各流体の接触面積が大きくなり、高粘度流体又は異粘度流体を効率良く混合することができる。上記のマイクロミキサーにおいて、第1流路の出口は複数の出口のうちの1つであり、第2流路の出口は複数の出口のうちの1つであり、第1流路の出口と第2流路の出口とが1対1の関係で対向していることが好ましい。この構成によれば、各流体をそれぞれ複数の微小な流れに分割し、更に分割された微小な流れを1対1の関係で衝突させることができる。このため、各流体の接触面積が大きくなり、混合速度が高められる。上記のマイクロミキサーにおいて、合流路は長尺状に形成され、合流路を形成する一対の対向する側面のうち、一方の側面には、複数の第1流路の出口が合流路の長手方向に沿って並んでおり、他方の側面には、複数の第2流路の出口が合流路の長手方向に沿って並んでいることが好ましい。この構成によれば、流路の出口間の距離を変更せずに、合流路の長さを調節するか又は流路の数を増やすことにより、マイクロミキサーの処理量が向上する。従って、流体の衝突効果を低減させずに処理量を向上させることができる。上記のマイクロミキサーにおいて、混合プレートに積層される温度調節プレートを備え、温度調節プレートは、第1媒体が流れる第1媒体流路と、第2媒体が流れる第2媒体流路と、第1媒体流路及び第2媒体流路間に設けられた断熱部とを有し、混合プレート及び温度調節プレートが積層された状態で、第1流路形成部と第1媒体流路とが積層方向に対応するように配置され、第2流路形成部と第2媒体流路とが積層方向に対応するように配置されていることが好ましい。この構成によれば、第1媒体は第1流体のみに作用し、第2媒体は第2流体のみに作用することができる。また、第1及び第2媒体流路形成部間の断熱部により、第1媒体と第2媒体との間の熱伝導が抑制されるため、温度を精度良く調節することができる。上記のマイクロミキサーにおいて、第1流路及び第2流路では、出口の断面積が入口の断面積よりも小さいことが好ましい。この構成によれば、合流路から送出される流体の流速を高めることで、各流体の混合効率がより一層向上する。以下、本発明のマイクロミキサーを具体化した一実施形態について図1~図6に従って説明する。図1に示すように、マイクロミキサー1は、中空状のケースCを有している。ケースC内には、各種微細流路が形成された積層体11が固定されている。積層体11は、混合対象物又は反応対象物である第1流体F1及び第2流体F2と、第1熱媒H1第1媒体及び第2熱媒H2第2媒体とが流れる流路を有している。第1熱媒H1及び第2熱媒H2は、流体F1,F2とそれぞれ熱交換を行う。ケースCの左端C1には、第1流体F1をケースC内に供給する第1流体供給部4Aが設けられている。ケースCの右端C2には、第2流体F2をケースC内に供給する第2流体供給部4Bが設けられている。以下、各流体供給部4A,4Bを区別しないで説明する場合は、単に、流体供給部4として説明する。流体供給部4は、ケースCの端部に形成された開口部2と、開口部2に連結されたコネクタ3とを有している。コネクタ3は、各流体F1,F2をそれぞれ貯留するタンクに接続されている。また、コネクタ3は、加圧ポンプ、このポンプに連結された管路等を含む圧送機構にも接続されている。各流体F1,F2は、圧送機構により加圧された状態で、コネクタ3に向けてそれぞれ圧送される。ケースCの両端には、開口部2がそれぞれ設けられている。ケースCの各開口部2と、ケースC内の積層体11の各側面11a,11bとの間には、空間が設けられている。この空間は、圧送機構から送出された各流体F1,F2を一時貯留するための貯留部S1,S2として機能する。ケースCの上端C3には、熱媒供給部7A,7Bが形成されている。各熱媒H1は、熱媒供給部7Aを通じてケースC内に供給され、各熱媒H2は、熱媒供給部7Bを通じてケースC内に供給される。熱媒供給部7A,7Bは、流体供給部4と同様に、開口部5A,5B、コネクタ6A,6Bをそれぞれ有している。ケースCの下端C4には、熱媒送出部7C,7Dが形成されている。各熱媒供給部7A,7Bに供給された熱媒H1,H2は、積層体11内の流路を通過してから、各熱媒送出部7C,7DよりケースC外部へとそれぞれ送出される。熱媒送出部7C,7Dは、流体供給部4と同様に、開口部5C,5D、コネクタ6C,6Dをそれぞれ有している。ケースCの下端C4には、送出部10が設けられている。積層体11内で混合又は反応した各流体F1,F2の混合液F3又は反応液は、送出部10を通じてケースC外へと送出される。送出部10は、開口部8と、開口部8に連結されたコネクタ9とを有している。即ち、各流体F1,F2は、各流体供給部4A,4BからケースC内部に供給されると、積層体11の微細流路において混合又は反応される。ここで、各流体F1,F2が微細流路で混合されるため、各流体F1,F2の拡散距離は短くなる。これにより、各流体F1,F2の混合速度が大きくなり、所望量の各流体F1,F2が効率良く混合される。各流体F1,F2は、混合されて混合液F3又は反応液となり、送出部10からケースC外へと送出される。尚、マイクロミキサー1のケースCや各流体供給部4A,4B、送出部10の位置等は、上記の構成に限定されず、必要に応じて変更してもよい。次に、積層体11について図2を参照して説明する。図2に示すように、積層体11は、長方形状の一対のカバープレートP1,P2と、複数のプレートからなるプレート群12とを備えている。プレート群12は、両カバープレートP1,P2間に設けられている。プレート群12は、3枚の温調プレート13と、2枚の混合プレート14とを備えている。プレート群12は、温調プレート13及び混合プレート14を積層して構成されている。温調プレート13が、プレート群12の最上層と最下層とを構成し、混合プレート14が、温調プレート13間に挟まれた状態で積層されている。各カバープレートP1,P2、各温調プレート13及び各混合プレート14の外形はいずれも、同じ長方形を有している。各カバープレートP1,P2、温調プレート13及び混合プレート14は、例えば、金属材、樹脂、ガラス、セラミックス等により形成されている。これらの材料を用いて各プレート13,14,P1,P2を形成すれば、流路を形成するための加工が容易となり、液漏れ等が生じ難く密着した状態で各プレートを互いに固定することができる。各プレート13,14,P1,P2を、同じ材料により形成してもよく、又は、異なる材料により形成してもよい。例えば、各プレート13,14,P2,P2をステンレス鋼から形成し、拡散結合により密着した状態で各プレートを固定してもよい。各プレート13,14,P2,P2の加工方法として、例えば、射出成型、溶剤キャスト法、溶融レプリカ法、切削、エッチング、フォトリソグラフィー、レーザーアプレーション等が挙げられる。次に、混合プレート14について図3及び図4に従って詳述する。図3に示すように、混合プレート14は、一対のプレートからなる。混合プレート14は、第1流路形成部14Aと第2流路形成部14Bとを有している。第1及び第2流路形成部14A,14Bはいずれも矩形で、且つ板状に形成されている。第1流路形成部14Aの上面14aにおいて短手方向図中Y方向の中央には、3本の第1流路15が形成されている。各第1流路15は、等間隔で配置されている。各第1流路15は、第1流路形成部14Aの左側端14bから右側端14cにまで延びる溝状に形成されている。各第1流路15は、第1流路形成部14Aの左側端14b、右側端14c及び上面14aにおいて開口している。第1流路形成部14Aの左側端14bの開口は第1流路15の入口15aを形成し、第1流路形成部14Aの右側端14cの開口は第1流路15の出口15bを形成する。入口15aは、第1流体F1が供給される第1流体供給部4Aに連通している。第1流路15は、流路幅の大きい幅広部16と、流路幅の小さい幅狭部17と、テーパ部18とを有している。テーパ部18の流路幅は、幅広部16から幅狭部17にかけて緩やかに小さくなる。流体の流れる方向と直交する幅広部16の断面は矩形状をなしている。幅広部16は、第1流路形成部14Aの左側端14bから右側端14c付近にまで延びている。幅広部16の幅及び深さは、流体の温度分布の均一性や装置の強度を確保するため、例えば、幅0.1mm以上100mm以下、深さ5mm以下の範囲に設定することが好ましく、幅0.1mm以上20mm以下、深さ2mm以下の範囲に設定することがより好ましい。即ち、幅広部16は、圧損が大きくなりすぎず、流路閉塞が生じ難く、流路を迅速に加熱冷却可能であり、生産性が向上するように設計されていればよい。幅狭部17の断面も矩形状をなしている。幅狭部17は、第1流路形成部14Aの右側端14c付近から右側端14cにまで延びている。幅狭部17は、少なくとも幅広部16の断面積よりも小さい断面積を有している。幅狭部17は、例えば、幅0.1mm以上20mm以下、深さ5mm以下の範囲に設定することが好ましく、幅0.1mm以上5mm以下、深さ2mm以下の範囲に設定することがより好ましい。即ち、幅狭部17は、圧損が大きくなりすぎず、流路閉塞が生じ難く、流路を迅速に加熱冷却可能であり、生産性が向上するように設計されていればよい。第1流路形成部14Aと第2流路形成部14Bとの間には、合流路19が設けられている。合流路19は、所定幅の空間からなる。図3に示すように、合流路19では、底面及び上面が開口し、混合プレート14の前面14g及び背面14hにおいて開口している。混合プレート14の前面14gにて開口する開口部19cは、合流路19の出口であって、送出部10に連通されている。混合プレート14の背面14hにて開口する開口部19bは、ケースC又はその他の部材によって閉塞されている。合流路19を形成する一対の側面は、第1及び第2流路形成部14A,14Bによってそれぞれ構成されている。合流路19は、平面視で長方形をなす長尺状の流路として形成されている。合流路19の長手方向は、混合プレート14の短手方向と平行である。第2流路形成部14Bは、第2流体F2が流れる第2流路20を有している。第2流路形成部14Bは、合流路19に対して第1流路形成部14Aと対称である。即ち、第2流路形成部14Bの上面14dにおいて短手方向の中央には、3本の第2流路20が形成されている。各第2流路20は、等間隔で配置されている。各第2流路20は、第2流路形成部14Bの左側端14e、右側端14f及び上面14d及び底面において開口している。第2流路形成部14Bの左側端14eの開口は第2流路20の出口20bを形成し、第2流路形成部14Bの右側端14fの開口は第2流路20の入口20aを形成する。入口20aは、第2流体F2が供給される第2流体供給部4Bに連通している。第2流路20は、幅広部21と、幅狭部22と、幅広部21及び幅狭部22間に設けられたテーパ部23とを有している。幅広部21は、第1流路形成部14Aの幅広部16と同じ形状及び同じ流路幅を有している。幅広部21は、第2流路形成部14Bの右側端14fから左側端14e付近にまで延びている。幅狭部22も、第1流路形成部14Aの幅狭部17と同じ形状及び同じ流路幅を有している。幅狭部22は、第2流路形成部14Bの左側端14e付近から左側端14eにまで延びている。図4に示すように、第1及び第2流路形成部14A,14Bは、第1流路15の出口15bと第2流路20の出口20bとを合流路19を介して対向させるように配置されている。合流路19の中心軸X1に面する出口15bの位置は、中心軸X1に面する出口20bの位置と同一である。出口15b,20bの出口面は平行である。また、第1及び第2流路15,20の各出口15b,20bの断面中心軸は、同一の中心軸X2である。第1流路15の位置は、図4に示す左側ではなく、右側でもあってもよい。また、第2流路20は、図4に示す右側ではなく、左側であってもよい。さらに、合流路19を形成する一対の対向する側面のうち一方の側面には、3つの第1流路15の出口15bが形成され、他方の側面には、3つの第2流路20の出口20bが形成されている。各出口15b,20bは、合流路19の長手方向に沿って並んでそれぞれ配置されている。第1及び第2流路15,20の入口15a,20aより加圧されて供給された流体F1,F2は、各幅広部16,21を流れてから、各テーパ部18,23を介して、各幅狭部17,22へとそれぞれ流入する。幅狭部17,22に流入した各流体F1,F2は、入口15a,20aに流入したときよりも速い流速で、出口15b,20bから合流路19へとそれぞれ流入する。このとき、中心軸X1に面する両出口15b,20bの位置が同一であり、かつ1対1の関係で対向しているため、流体F1,F2は、出口15b,20bからそれぞれ合流路19に送出されると、互いに正面から衝突する。このため、各流体F1,F2が層流の状態で合流する場合に比べ、各流体F1,F2の接触面積が大きくなり、各流体F1,F2が効率よく混合される。また、各流体F1,F2同士を正面から衝突させることにより、各流体F1,F2中の流体要素は、第1流体F1の流れの方向と第2流体F2の流れの方向とからせん断力を受ける。このため、各流体F1,F2の混合速度が高められる。特に、流体F1,F2のうち少なくとも一方の流動性が低く高粘度流体である場合や、流体F1,F2の粘度差が大きい場合、特に効果を発揮することができる。合流路19の開口部19bは閉塞されている。このため、各流体F1,F2は、衝突した後に、主液圧送機構の圧力により開口部19cへと流れる。合流路19にて発生する圧力損失、高粘度流体及び異粘度流体の安定した通流、混合力、装置的強度を考慮すると、合流路19の幅、即ち、各出口15b,20bの間の距離は、0.1mm以上30mm以下に設定することが好ましい。また、合流路19の深さは、0.3mm以上に設定することが好ましい。合流路19の幅は、各流体F1,F2の粘性と、目的とする混合度合等に応じて変更可能である。合流路19の幅を短くすれば、圧力損失が比較的大きくなる一方で、各流体同士の衝突力が増大し、流体内のせん断力が高められる。合流路19の幅を長くすれば、衝突力は弱くなるものの、圧力損失が低減される。次に、温調プレート13について図5に従って説明する。温調プレート13は、長方形状で、かつ板状に形成されている。温調プレート13は、混合プレート14とほぼ同じ大きさを有している。温調プレート13の長手方向の中央には、断熱部30が形成されている。断熱部30は、積層された混合プレート14により形成される合流路19と重なるように配置されている。断熱部30は、長尺状に形成されている。断熱部30は、温調プレート13をその前面13cから奥行方向図中Y方向に切り欠くことにより形成されている。断熱部30は、温調プレート13をその厚み方向図中Z方向に貫通している。断熱部30は、温調プレート13の前面13cに開口部30aを有している。断熱部30の幅は、混合プレート14の合流路19の幅とほぼ同じである。温調プレート13において、断熱部30に対して左側及び右側には、略長方形状の凹部24がそれぞれ形成されている。温調プレート13の上面13aには、流入路26及び流出路27が形成されている。流入路26及び流出路27はいずれも、溝状に形成されると共に、凹部24にそれぞれ連通している。凹部24の底面には、長尺状の壁部24a,24bが形成されている。壁部24a,24bは、温調プレート13の長手方向図中X方向に延びている。壁部24a,24bの先端と凹部24の内壁面との間には、流路の一部を構成するための空間が設けられている。凹部24の底面において、両壁部24a,24b間には、長尺状をなす4本の壁部25が形成されている。壁部25の全長は、凹部24の幅図中X方向の長さよりも短い。壁部25の両端と凹部24の内壁面との間にも、流路の一部を構成するための空間が設けられている。各壁部24a,24b,25は、凹部24内の空間を区画して、熱媒H1,H2が流れる流路を構成している。つまり、各壁部24a,24b,25は、熱媒H1,H2が流れる媒体流路としての熱媒流路31を構成している。熱媒流路31は、流入路26及び流出路27を含む。熱媒流路31は、流入路26より温調プレート13の中央へ延びてから屈曲し、凹部24の左側面24cへと延びている。熱媒流路31は、更に、左側面24cの手前で屈曲し、凹部24の右側面24dへと延びている。熱媒流路31は、更に、右側面24dの手前で屈曲し、再び左側面24cへと延びている。このように、熱媒流路31は、凹部24内で複数回屈曲してから流出路27に至る。温調プレート13の左側の凹部24には熱媒流路31Aが形成され、右側の凹部24には熱媒流路31Bが形成されている。熱媒流路31Aには熱媒H1が供給され、熱媒流路31Bには熱媒H2が供給される。温調プレート13の上方又は下方に混合プレート14が積層されると、図4に示すように、第1流体F1が流れる第1流路15の上方又は下方には、熱媒H1が流れる第1熱媒流路31Aが重なる。第2流体F2が流れる第2流路20の上方又は下方には、熱媒H2が流れる第2熱媒流路31Bが重なる。このため、第1熱媒H1と第1流体との間で熱交換が行われ、第2熱媒H2と第2流体との間で熱交換が行われる。各熱媒流路31A,31B周辺部での熱移動は、断熱部30によって抑制されている。このため、温度差が大きい熱媒H1,H2を各熱媒流路31A,31Bにそれぞれ供給しても、熱媒H1,H2の温度は、所望の温度より著しく低下することも、上昇することもない。このため、流路内の各流体F1,F2の温度が変化しやすいマイクロミキサー1においても、第1及び第2流体F1,F2の温度を精度良く調整することができる。つまり、流体F1,F2が所望の温度範囲より低下することを抑制できる。このため、各流路15,20や合流路19が析出物によって閉塞されることはない。よって、微粒子製造において、晶析等による生産性の低下を防止することができる。図6に示すように、3層の温調プレート13及び2層の混合プレート14を交互に積層すると、温調プレート13の断熱部30と混合プレート14の合流路19とが重なる。その結果、積層体11には、積層方向の長さと同じ距離の深さを有する合流路32が構成される。合流路32の左側面には、6つの第1流路15の出口15bが設けられている。合流路32の右側面にも、6つの第2流路20の出口20bが設けられている。各出口15bは、各出口20bとそれぞれ対向している。各温調プレート13及び各混合プレート14が互いに密着して結合した状態で、混合プレート14の第1及び第2流路15,20の上面開口は、温調プレート13の底面によって閉塞されている。また、温調プレート13の各熱媒流路31A,31Bの上面開口は、混合プレート14の底面又はカバープレートP1の底面によって閉塞されている。上記の積層体11において、第1流体F1は、第1流体供給部4AからケースC内へ加圧した状態で供給される。第1流体F1は、貯留部S1に一時的に貯留された後、積層体11の6つの第1流路15に分割されて供給される。一方、第2流体F2は、第2流体供給部4BからケースC内へ加圧した状態で供給される。第2流体F2は、貯留部S2に一時的に貯留された後、積層体11の6つの第2流路20に分割されて供給される。第1流体F1は、各第1流路15の幅広部16から幅狭部17にかけて流速を高めながら、出口15bより合流路19へと送出される。一方、第2流体F2も、各第2流路20の幅広部21から幅狭部22にかけて流速を高めながら、出口20bより合流路19へと送出される。各出口15bから送出された第1流体F1の微小な流れは、各出口20bから送出された第2流体F2の微小な流れと1対1の関係で正面から衝突する。このため、各流体F1,F2の微小な流れはそれらの衝突により混合されるため、全体としての混合速度がより一層高められる。6対の出口15b,20bからそれぞれ送出された各流体F1,F2は、合流路19内で乱流を生じながら混合した後、合流路32の出口32aに向けて流れる。混合液F3は、出口32aから送出部10に送られて、ケースC外へと送出される。マイクロミキサー1において、混合対象の流体F1,F2の処理量を増加させるには、合流路32の幅、即ち出口15b,20b間の距離を変えずに、合流路32の長さを延長すればよい。或いは、合流路32の幅を変えずに、合流路19の側面に開口する流路15,20の数を増やすか、積層される混合プレート14の数を増やせばよい。これらにより、合流路32における混合効率を低下させずに、処理量が増大する。また、マイクロミキサー1では、合流路32の容積が比較的大きく、圧力損失の増大による流路の閉塞を防ぐことができる。さらに、混合対象の流体の粘性に応じて、合流路32の幅も適宜変更できる。よって、装置の設計に関する自由度が向上する。ここで、マイクロミキサー1の利用例をそれぞれ説明する。まず、樹脂合成実験の一例を説明する。第1流体F1として、粘度3mPasに調整したイソシアネート化合物を用い、第2流体F2として、粘度4mPasに調整したアクリレートを用いた。そして、プランジャポンプを用いて、第1及び第2流体F1,F2の流量を100g/minとし、第1及び第2流体F1,F2を合流路32で衝突させて混合した。その後、マイクロミキサー1を連続的に使用して、合成反応を行った。その結果、反応率は94であった。これに対し、従来の積層型マイクロミキサーを用いて同様に実験を行ったが、反応率は90であった。即ち、上記実施形態のマイクロミキサー1を用いれば、流体が効率良く混合されるため、反応率が向上する。上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。1マイクロミキサー1の混合プレート14は、第1流体F1が流れる第1流路15が形成された第1流路形成部14Aと、第2流体F2が流れる第2流路20が形成された第2流路形成部14Bとを有している。第1及び第2流路15,20の各出口15b,20bは、第1流体F1及び第2流体F2が合流する合流路19を介して互いに対向している。合流路19の中心軸X1に面する出口15bの位置は、中心軸X1に面する出口20bの位置と同一である。即ち、第1及び第2流路15,20の各出口15b,20bの断面中心軸は、同一の中心軸X2である。このため、第1流路15からの第1流体F1の流れの方向は、第2流路20からの第2流体F2の流れの方向と反対方向であり、合流路19の中心軸X1に対し対称である。このため、各流体F1,F2は、正面から衝突する。これにより、各流体F1,F2の接触面積が大きくなり、せん断力が発生する。よって、高粘度流体や異粘度流体を効率良く混合することができる。2第1及び第2流路15,20の各出口15b,20bの出口面は平行である。このため、第1流路15からの第1流体F1の流れの方向は、第2流路20からの第2流体F2の流れの方向と平行であり、かつ逆方向となる。これにより、各流体F1,F2が正面から衝突するため、各流体F1,F2の接触面積が大きくなり、大きなせん断力を発生させることができる。3第1及び第2流路15,20の出口15b,20bが、1対1の関係で互いに対向している。このため、流体F1,F2をそれぞれ複数の微小な流れに分割し、更に分割された微小な流れを1対1の関係で衝突させて、混合することができる。よって、各流体F1,F2の混合効率がより一層高められる。4長尺状の合流路19を形成する一対の側面のうち、一方の側面には、3つの出口15bが合流路19の長手方向に沿って並び、他方の側面には、3つの出口20bが合流路19の長手方向に沿って並んでいる。このため、両出口15b,20b間の距離を変更せずに、合流路19を延長するか又は両出口15b,20bの数を増やすことにより、1枚の混合プレート14当りの処理量が向上する。従って、混合効率を低下させずに、処理量が向上する。5マイクロミキサー1は、混合プレート14上に積層される温調プレート13を備えている。温調プレート13は、第1熱媒H1が流れる第1熱媒流路31Aと、第2熱媒H2が流れる第2熱媒流路31Bと、第1熱媒流路31A及び第2熱媒流路31B間に設けられた断熱部30とを有している。混合プレート14及び温調プレート13が積層された状態では、第1流路形成部14Aと第1熱媒流路31Aとが積層方向に対応するように配置され、第2流路形成部14Bと第2熱媒流路31Bとが積層方向に対応するように配置されている。このため、第1熱媒H1は第1流体F1のみに作用し、第2熱媒H2は第2流体F2のみに作用する。また、第1及び第2熱媒流路31A,31B間には、断熱部30が設けられている。このため、流路内の流体の温度が変化しやすいマイクロミキサー1において、第1及び第2熱媒H1,H2間の熱伝導が抑制されるため、温度を精度良く調節することができる。6第1及び第2流路15,20の出口15b,20bの各断面積は、入口15a,20aの各断面積よりも小さい。このため、合流路19に送出される各流体F1,F2の流速を高めることができる。よって、第1流路15からの流体F1と第2流路20からの流体F2との衝突力が大きくなり、大きなせん断力が得られる。実施例1マイクロミキサー1を用いて、異粘性流体実験を行った。第1及び第2流路15,20は、幅広部16,21を幅8mm×深さ0.2mm×長さ30mmとし、幅狭部17,22を幅0.4mm×深さ0.2mm×長さ1mmとした。また、合流路19及び断熱部30を、幅2.0mm×深さ1.0×長さ15mmとした。1枚の混合プレート14をカバープレートP1,P2で固定し、2枚の温調プレート13を上下に積層してケースC内に収容した。プランジャポンプを用いて、粘度1mPasの水と粘度100mPasの水飴とを10g/minの流速で流し、合流路19で合流させた。その結果、合流路32での圧力損失が0.2MPa程度となり、各流体F1,F2を間欠なく、スムーズに流通させることができた。従って、実施例1のマイクロミキサー1では合流路32の容量が大きいため圧力損失を低減できる、ことが判明した。比較例1従来のY型マイクロミキサーを用いて、異粘性流体実験を行った。Y型マイクロミキサーに設けられた第1流体が流れる流路を、幅0.4mm×深さ0.2mm×長さ15mmとし、第2流体が流れる流路を、幅0.4mm×深さ0.2mm×長さ15mmとした。また、混合液が流れる流路を、幅0.8mm×深さ0.2×長さ15mmとした。流路を形成したプレートは、実施例1と同じ材質である。このため、流路壁面の粗さは、実施例1と同様である。また、実施例1と同様に、プランジャポンプを用いて、粘度1mPasの水と粘度100mPasの水飴とを流した。その結果、混合液が流れる流路の圧力損失が10MPa以上となり、低粘度である水に間欠的な流通がみられ、安定的な流通が困難であった。Y字型ミキサーは、各流路を交差させて各流体を合流させるように設計されている。このため、粘度が異なる2種類の流体を各流路に流通させたとき、低粘度の流体の流速が大きくなる一方で、高粘度の流体の流速が小さくなる。このため、間欠的な流通が発生してしまう。尚、上記実施形態は、以下のように変更してもよい。図7に示すように、混合プレート14の前面14gの中央に長尺状の切欠を形成し、合流路19を形成してもよい。図8に示すように、第1実施形態の混合プレート14の合流路19の開口部19bに、T字型の閉塞部材42を連結してもよい。図9に示すように、第1流路15の入口幅広部の流路幅φ1を、第2流路20の入口幅広部の流路幅φ2と異ならせてもよい。また、第1流路15の出口幅狭部の流路幅φ3を、第2流路20の出口幅狭部の流路幅φ4と異ならせてもよい。例えば、第1流体F1よりも高粘度の第2流体F2を第2流路20に流す場合、第2流路20の流路幅φ2を、第1流路15の流路幅φ1よりも大きくしてもよい。ここでは、各流路の流路幅が異なると、各流路の断面積も異なる。また、第1流路15の流路長L1を、第2流路20の流路長L2と異ならせてもよい。図10に示すように、第1及び第2流路15,20の数をそれぞれ1本にしてもよい。或いは、第1及び第2流路15,20の数をそれぞれ2本又は4本以上にしてもよい。図11に示すように、混合プレート14の背面14hに最も近い第1流路15と中央の第1流路15との間隔d1よりも、中央の第1流路15と混合プレート14の前面14gに最も近い第1流路15との間隔d2を大きくしてもよい。また、間欠的な通流が生じ易い流体を処理する場合、図12に示すように、第1及び第2流路15,20は、混合プレート14の長手方向に沿って直線状に延びていてもよい。第1及び第2流路15,20のいずれか一方のみを直線状にする等、一方の流路と他方の流路とを異なる形状に形成してもよい。図13に示すように、合流路19を、幅広部19eと、幅広部19eより幅が小さい幅狭部19fと、幅広部19e及び幅狭部19f間に設けられたテーパ部19gとから構成してもよい。図14に示すように、合流路19の流路幅を、合流路19の出口である開口部19cに向けて緩やかに縮小させてもよい。図15に示すように、温調プレート13の断熱部30を挟む両側にそれぞれ、上面、背面13b及び前面13cに開口した凹部45を形成すると共に、凹部45内に壁部46を形成してもよい。壁部46は、背面13bから前面13cにかけて温調プレート13の短手方向に沿って延びている。この場合も、凹部45内の空間が壁部46により長尺状の複数の空間に区画されて、熱媒流路47が構成されている。熱媒流路47は、第1及び第2流路15,20と直交するように形成されている。このため、加熱効率又は冷却効率が向上する。温調プレート13の断熱部30に断熱材を嵌合したり、断熱部30を一体成したりしてもよい。合流路19の中心軸X1に面する第1流路15の出口15bの位置は、中心軸X1に面する第2流路20の出口20bの位置に含まれていてもよい。例えば、図16に示すように、第2流路20の出口20bの幅W2を、第1流路15の出口15bの幅W1の2倍以上としてもよい。つまり、2つの第1流路15から送出される第1流体F1を、1つの第2流路20から送出される第2流体F2に衝突させてもよい。混合プレート14の第1及び第2流路15,20を、入口15a,20aから延びる1本の流路と、その流路から分岐した複数の出口15b,20bとを有する構成に変更してもよい。温度調節が不要である場合は、混合プレート14のみを積層してもよい。1枚の混合プレート14のみから、マイクロミキサー1を構成してもよい。"