基板を搬送する基板搬送装置であって、基板を上側から保持する上乗せローラと、前記上乗せローラの回転軸となる上乗せローラ軸と、前記上乗せローラに対して前記基板を挟むように配置された搬送ローラと、前記搬送ローラの回転軸となる搬送ローラ軸と、前記上乗せローラに前記基板への荷重を付加する荷重付加手段とを備えている、基板搬送装置。前記荷重付加手段は、前記基板の下方に設けられた荷重部材であり、前記荷重部材は、前記上乗せローラ軸に接続された荷重伝達部材に連結されている、請求項1に記載の基板搬送装置。前記荷重伝達部材は、前記基板の両側に配置されており、前記両側のそれぞれの側における前記荷重伝達部材に、前記荷重部材が連結されている、請求項2に記載の基板搬送装置。前記荷重付加手段は、前記基板の下方に設けられたモータである、請求項1に記載の基板搬送装置。前記荷重付加手段は、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方である、請求項1に記載の基板搬送装置。前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方は、前記基板への荷重を付加する材質、または、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方の内部に当該荷重を付加する材質が配置されている、請求項5に記載の基板搬送装置。さらに、前記基板への荷重を測定するセンサが設けられている、請求項1から6の何れか1つに記載の基板搬送装置。前記上乗せローラ軸は、当該上乗せローラ軸を軸受けする第1上部ベアリングを介して前記荷重伝達部材に接続されており、前記荷重伝達部材には、前記搬送ローラ軸を軸受けする第1下部ベアリングが上下方向に移動可能な開口部が形成されている、請求項1から7の何れか1つに記載の基板搬送装置。さらに、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を支持する第1台部材が設けられており、前記搬送ローラ軸は、前記搬送ローラ軸を軸受けする第2下部ベアリングを介して前記第1台部材に接続されており、前記第1台部材には、前記上乗せローラ軸を軸受けする第2上部ベアリングが上下方向に移動可能な開口部が形成されている、請求項1から8の何れか1つに記載の基板搬送装置。前記第1台部材に、前記基板への荷重を測定するセンサが設けられている、請求項9に記載の基板搬送装置。前記第1台部材の外側には、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を回転駆動させるギア部が設けられており、前記ギア部の外側には、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を支持する第2台部材が設けられている、請求項9または10に記載の基板搬送装置。さらに、前記上乗せローラ軸と前記搬送ローラ軸との間の距離を計測する手段を備えている、請求項1から11の何れか1つに記載の基板搬送装置。前記基板は、液晶パネル用のマザーガラスであり、前記基板の上方には、前記基板に液体を吹き付けるスプレーノズルが配置されている、請求項1から12の何れか1つに記載の基板搬送装置。しかしながら、本願発明者の検討によると、図11に示したウエットエッチング装置1000では、上乗せローラ1103aと基板1102との間、または、搬送ローラ1103bと基板1102との間で滑りが生じて、グリップ力が低下するという問題があることがわかった。基板搬送手段1103は、基板1102を搬送可能なように構成されているものの、大型マザーガラスになると基板1102自身の質量が大きくなるとともに、その基板1102の表面に滞留する液体例えば、エッチング液、または、洗浄液の量も膨大となり、当該液体の質量も大きなものとなる。その結果、非常に重たくなった基板1102を移動させる場合、または、移動している基板1102を停止させる時に、上乗せローラ1103aおよび/または搬送ローラ1103bのグリップ力では基板1102を移動または停止させることができない可能性が生じている。特に、基板1102と上乗せローラ1103aとの間、または、基板1102と搬送ローラ1103bとの間に、粘度の高い薬液滑りやすいヌルヌルした液体が挟まると、当該グリップ力が低下して、その結果、基板1102の搬送制御が難しくなる。また、基板1102の移動から停止させる時には、非常に重たくなった基板1102にはより大きな慣性力が働いているため、上乗せローラ1103aと搬送ローラ1103bとによって基板1102を停止させることが難しくなる。さらに、基板1102が大型化すると、基板1102に撓みが生じやすくなり、その撓みによって生じた隙間に薬液が入り込みやすくなることが多い。すると、それによってもグリップ力がより低下して、基板1102の搬送制御が難しくなる。また、上乗せローラ1103aおよび搬送ローラ1103bの材質を変更させることによって、グリップ力を向上させることも考えられるが、これらのローラは、薬液に耐える必要があるために、材料変更の選択肢は少なく、それゆえに、材料変更に基づくグリップ力の向上にも限界がある。エッチング装置1000内において基板1102を停止させる時に、基板1102が滑ってしまい、所定の位置から外れた位置で停止したとすると、基板1102の全面に均一にエッチング液が吹き付けられなくなることがある。すると、基板1102の一部だけエッチングがされたり、または、エッチング装置1000内に配置されたエアーナイフによる吹き付け跡が基板1102に生じたりする可能性がある。加えて、図11に示したエッチング装置1000では、上乗せローラ1103aのシャフトが、基板1102の上方に位置しているので、この上乗せローラ1103aのシャフトの影響により、エッチング液の吹き付けが不均一になることがある。そして、それにより、基板1102の面内の処理の均一性が損なわれる可能性がある。本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、基板の滑りを抑制することによって基板を安定して搬送できる基板搬送装置を提供することにある。本発明に係る基板搬送装置は、基板を搬送する装置であり、基板を上側から保持する上乗せローラと、前記上乗せローラの回転軸となる上乗せローラ軸と、前記上乗せローラに対して前記基板を挟むように配置された搬送ローラと、前記搬送ローラの回転軸となる搬送ローラ軸と、前記上乗せローラに前記基板への荷重を付加する荷重付加手段とを備えている。ある好適な実施形態において、前記荷重付加手段は、前記基板の下方に設けられた荷重部材であり、前記荷重部材は、前記上乗せローラ軸に接続された荷重伝達部材に連結されている。ある好適な実施形態において、前記荷重伝達部材は、前記基板の両側に配置されており、前記両側のそれぞれの側における前記荷重伝達部材に、前記荷重部材が連結されている。ある好適な実施形態において、前記荷重付加手段は、前記基板の下方に設けられたモータである。ある好適な実施形態において、前記荷重付加手段は、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方である。ある好適な実施形態において、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方は、前記基板への荷重を付加する材質、または、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方の内部に当該荷重を付加する材質が配置されている。ある好適な実施形態では、さらに、前記基板への荷重を測定するセンサが設けられている。ある好適な実施形態において、前記上乗せローラ軸は、当該上乗せローラ軸を軸受けする第1上部ベアリングを介して前記荷重伝達部材に接続されており、前記荷重伝達部材には、前記搬送ローラ軸を軸受けする第1下部ベアリングが上下方向に移動可能な開口部が形成されている。ある好適な実施形態では、さらに、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を支持する第1台部材が設けられており、前記搬送ローラ軸は、前記搬送ローラ軸を軸受けする第2下部ベアリングを介して前記第1台部材に接続されており、前記第1台部材には、前記上乗せローラ軸を軸受けする第2上部ベアリングが上下方向に移動可能な開口部が形成されている。ある好適な実施形態では、前記第1台部材に、前記基板への荷重を測定するセンサが設けられている。ある好適な実施形態において、前記第1台部材の外側には、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を回転駆動させるギア部が設けられており、前記ギア部の外側には、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を支持する第2台部材が設けられている。ある好適な実施形態では、さらに、前記上乗せローラ軸と前記搬送ローラ軸との間の距離を計測する手段を備えている。ある好適な実施形態において、前記基板は、液晶パネル用のマザーガラスであり、前記基板の上方には、前記基板に液体を吹き付けるスプレーノズルが配置されている。本発明によると、基板を上側から保持する上乗せローラと、基板を挟むように配置された搬送ローラとを備え、上乗せローラに基板への荷重を付加する荷重付加手段とを備えているので、基板の滑りを抑制することができ、基板を安定して搬送させることができる。その結果、例えばウエットエッチング装置内で基板を停止させる場合において、所定の位置で基板を安定して停止させることができることから、基板の停止の滑りが生じて異なる位置で停止したような場合と比較して、基板の面内処理の均一性を確保することが容易となる。図面を参照しながら、本発明の好適ないくつかの実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。なお、以下の図面において、同じ作用を奏する部材、部位には同じ符号を付し、重複する説明は省略又は簡略化することがある。また、各図における寸法関係長さ、幅、厚さ等は、必ずしも実際の寸法関係を正確に反映するものではない。また、図中のハッチングは、構成要素の把握のし易さを主な目的として付しており、必ずしも材料の要素を表現するものではない。加えて、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。実施形態1以下、図1および図2を参照しながら、本発明の好ましい一実施形態について説明する。図1は、本発明の実施形態に係る基板搬送装置100の断面構成を模式的に示している。図2aは、基板搬送装置100における荷重伝達部材13の断面構成を模式的に示しており、具体的には、図1におけるIIa-IIa線に沿った断面模式図である。図2bは、荷重伝達部材13内に配置された第1下部ベアリング31の周囲構造を模式的に表しており、具体的には、図2aにおけるIIb-IIb線に沿った断面模式図である。本実施形態の基板搬送装置100は、基板50を搬送する装置であり、基板50は、例えば、フラットパネルディスプレイ製造用のガラス基板である。本実施形態の基板50は、液晶パネル用ガラス基板であり、特に、液晶パネルが多面取りされる液晶パネル用マザーガラスである。具体的には、1辺が1mを越えるようなマザーガラス例えば、1100mm×1300mm第5世代基板から、2880mm×3130mm第10世代基板である。なお、基板50は、液晶パネル用ガラス基板アレイ基板、カラーフィルタ用基板に限定されるものではなく、フォトマスク用基板、有機EL用基板、プラズマディスプレイ用基板などのものでも構わない。本実施形態の基板搬送装置100は、基板50を上側から保持する上乗せローラ11と、上乗せローラ11に対して基板50を挟むように配置された搬送ローラ17とを備えている。上乗せローラ11には、上乗せローラ11の回転軸となる上乗せローラ軸12が取り付けられている。また、搬送ローラ17には、搬送ローラ17の回転軸となる搬送ローラ軸18が取り付けられている。搬送ローラ17は、基板50を搬送方向この例では、紙面の前方または後方に搬送するローラ部材である。搬送ローラ軸18には、上乗せローラ11と対向した位置に設けられた搬送ローラ17とともに、基板50の中央部を支持する中央搬送ローラ17cも取り付けられている。上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18は、水平方向この例では、基板50の主面と平行な方向に延びている。上乗せローラ軸12は、基板50を基準にして鉛直方向90の上側に配置され、一方、搬送ローラ軸18は、基板50を基準にして鉛直方向90の下側に配置されている。上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18は、それぞれ、それらを回転駆動させるギア部1515a、15bに接続されている。本実施形態の基板搬送装置100は、上乗せローラ11に、基板50への荷重を付加する荷重付加手段20を備えている。図1に示した例では、荷重付加手段20は、基板50の下方に設けられた荷重部材21であり、重力によって下向きに矢印60参照押されて、その力が基板50に加わることになる。本実施形態の荷重部材21は、いわゆる重りであり、例えば、重量のある素材から構成された部材金属棒、セラミック部材などである。荷重部材21は、上乗せローラ軸12に接続された荷重伝達部材13に連結されている。したがって、上乗せローラ軸12に接続された上乗せローラ11は、荷重伝達部材13に連結された荷重部材21の質量の力矢印60によって、鉛直方向90の下向きに荷重が付加される。その結果、上乗せローラ11と搬送ローラ17とが基板50を挟む力グリップ力が増加する。本実施形態の荷重伝達部材13は、次のように構成することができる。本実施形態の構成では、図2aに示すように、上乗せローラ軸12を軸受けする第1上部ベアリング30が、上乗せローラ軸12に設けられている。上乗せローラ軸12は、第1上部ベアリング30を介して荷重伝達部材13に接続されている。すなわち、荷重伝達部材13には、第1上部ベアリング30が配置されるための貫通孔が形成されている。また、搬送ローラ軸18を軸受けする第1下部ベアリング31が、搬送ローラ軸18に設けられている。荷重伝達部材13には、第1下部ベアリング31が上下方向に移動可能な開口部32が形成されている。荷重伝達部材13のうちの開口部32が位置する部分には、図2bに示すように、上下方向に移動可能な第1下部ベアリング31を支持できるように凹部33が形成されている。したがって、荷重伝達部材13の凹部33によって第1下部ベアリング31は嵌合されているので、第1下部ベアリング31は上下に移動しても荷重伝達部材13から外れないようにされている。本実施形態の基板搬送装置100は、基板50の上方から液体を噴霧する基板処理装置例えば、ウエットエッチング装置、基板洗浄装置などにおいて使用することができる。具体的には、スプレーノズルを備えたような基板処理装置例えば、図11に示したような装置を参照に用いることができる。その場合、基板50を搬送する搬送ローラ17および上乗せローラ11は、使用する液体薬液に対して耐えることができる材質であることが好ましい。使用する液体薬液が強い材料侵食性を有している場合、搬送ローラ17および上乗せローラ11は、例えば、ポリフッ素化樹脂などから構築することができる。上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18などの部材は、例えば、ステンレスなどから構築することができる。本実施形態の基板搬送装置100では、基板50を上側から保持する上乗せローラ11と、基板50を挟むように配置された搬送ローラ17とを備えている。そして、上乗せローラ11には、基板50への荷重を付加する荷重付加手段20荷重部材21が設けられている。したがって、上乗せローラ11が基板50に加える荷重を増加させることができるので、上乗せローラ11と搬送ローラ17とが基板50を挟むグリップ力を向上させることができる。それゆえに、搬送時における基板50の滑りを抑制することができ、その結果、基板50を安定して搬送させることができる。具体的には、基板搬送装置100が例えばウエットエッチング装置内で使用される場合には、基板搬送装置100が基板50を停止させる場合において、所定の位置で基板50を安定して停止させることができることから、基板50の停止時に滑りが生じて異なる位置で停止したような場合と比較して、基板50の面内処理の均一性を確保することが容易となる。したがって、基板処理装置内に配置されたエアーナイフによる基板50への吹き付け跡が、異なった位置で基板50が停止した時において生じ得る可能性があるが、本実施形態の構成ではそのようなことを防止することができる。また、基板50の搬送滑りによって、接液時間が延びることに起因する不良、または、シャワー跡が残ることを抑制することができる。さらに、基板50の搬送の始動時において搬送ローラ17の滑りが生じて、基板50の安定した搬送に時間が生じてスループットの低下がもたらされる場合もあるが、本実施形態の構成ではグリップ力が向上しているのでそのような問題も緩和することができる。さらには、基板50への荷重を付加する荷重部材21は、基板50の下方に配置されているので、荷重部材21が、基板50の上方から噴霧される液体薬液を妨げることがない。したがって、本実施形態の基板搬送装置100では、均一な薬液の噴霧、または、基板50の面内処理の均一性を確保することが容易となる。また、本実施形態の構成では、荷重伝達部材13を介して上乗せローラ軸12に荷重部材21が連結された構成によって、基板50への荷重を大きくする機能を上乗せローラ11に付け加えることができる。すなわち、重りとなる荷重部材21を追加することによって、上乗せローラ11に対して、基板50への荷重を大きくする機能を追加することができるので、当該機能の追加による装置コストの上昇を抑制することができる。また、本実施形態の構成では、上乗せローラ軸12は、第1上部ベアリング30を介して荷重伝達部材13に接続されている。したがって、荷重部材21が連結された荷重伝達部材13によって上乗せローラ軸12が下方に鉛直方向90の下向き引っ張られていても、上乗せローラ軸12は、第1上部ベアリング30を介在させていることによって円滑に回転させることができる。それゆえに、荷重伝達部材13が存在していても、ギア部15aの回転は、上乗せローラ軸12を通じて、円滑に上乗せローラ11に伝えることができる。さらに、搬送ローラ軸18は、第1下部ベアリング31を介して荷重伝達部材13に接続されている。したがって、荷重伝達部材13が存在していても、ギア部15bの回転は、搬送ローラ軸18を通じて、円滑に搬送ローラ1717cに伝えることができる。加えて、この例では、荷重伝達部材13には、第1下部ベアリング31が上下方向に移動可能な開口部32が形成されている。したがって、荷重部材21が連結された荷重伝達部材13が上乗せローラ軸12を下向きに押した時に、すなわち、荷重伝達部材13が下向きに引っ張られた時に、搬送ローラ軸18もあわせて下向きに移動してしまうことを防止することができる。さらに説明すると、荷重伝達部材13が下向きに引っ張られても、搬送ローラ軸18を、開口部32の存在によって定位置に留めることができ、相対的にみると、上乗せローラ軸12と搬送ローラ軸18との間の距離を縮めることができ、その結果、上乗せローラ11と搬送ローラ17とが挟むグリップ力を向上させることができる。なお、本実施形態の搬送ローラ軸18は、図11に示した構成と同様に基板の搬送方向1500に沿って並列に複数本配置することができる。すなわち、基板の搬送方向1500に対して垂直になるように、複数の搬送ローラ軸18が互いに平行になるように配置することができる。また、上乗せローラ軸12または、上乗せローラ11は、基板の搬送方向1500における入口と出口との2箇所だけ配置することしてもよいが、2箇所以上配置することも可能である。また、本実施形態の基板搬送装置100は、次のように改変することが可能である。図3および図4は、本実施形態の基板搬送装置100の改変例を示している。図3は、本改変例の基板搬送装置100の断面構成を模式的に示している。図4は、基板搬送装置100における台部材14の断面構成を模式的に示しており、具体的には、図3におけるIV-IV線に沿った断面模式図である。本改変例の基板搬送装置100では、上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18を支持する第1台部材14が設けられている。上乗せローラ軸12は、上乗せローラ軸12を軸受けする第2上部ベアリング35を介して、第1台部材14に接続されている。また、搬送ローラ軸18は、搬送ローラ軸18を軸受けする第2下部ベアリング36を介して、第1台部材14に接続されている。すなわち、第1台部材14には、第2下部ベアリング36が配置されるための貫通孔が形成されている。加えて、第1台部材14には、第2上部ベアリング35が上下方向に移動可能な開口部34が形成されている。なお、第1台部材14のうち開口部34が位置する部分には、上述した図2bに示した構造と同様に、上下方向に移動可能な第2上部ベアリング35を支持できるような凹部不図示を形成することができる。すなわち、第2上部ベアリング35は上下に移動しても第1台部材14から外れないようにすることができる。本改変例の構成では、搬送ローラ軸18は、第2下部ベアリング36を介して第1台部材14に接続されている。したがって、まず、荷重伝達部材13が下向きに引っ張られた時において、図2aに示したように荷重伝達部材13では開口部32によって搬送ローラ軸18の上下移動は、荷重伝達部材13を下向き移動と切り離すことができる。それとともに、搬送ローラ軸18の固定位置は、第1台部材14によって保持することができる。それゆえに、搬送ローラ軸18の位置を第1台部材14によって安定して保持することが容易となる。さらには、搬送ローラ軸18は、第2下部ベアリング36を介して第1台部材14に接続されている。したがって、第1台部材14が存在していても、ギア部15bの回転は、搬送ローラ軸18を通じて、円滑に搬送ローラ1717cに伝えることができる。さらに、第1台部材14には、第2上部ベアリング35が上下方向に移動可能な開口部34が形成されている。したがって、荷重部材21が連結された荷重伝達部材13が上乗せローラ軸12を下向きに引っ張られた時に、この開口部34の存在によって、上乗せローラ軸12を下向きに引っ張ることができる。したがって、荷重伝達部材13が下向きに引っ張られた時に、第1台部材14によって、搬送ローラ軸18の位置を固定しつつ、上乗せローラ軸12を下向き移動させることができる。すなわち、第1台部材14を設けることによって、上乗せローラ軸12と搬送ローラ軸18との間の距離を縮めることをより安定的に実行することができる。なお、上記説明と同様に、上乗せローラ軸12は、第2上部ベアリング35を介して第1台部材14に接続されているので、第1台部材14が存在していても、ギア部15aの回転は、上乗せローラ軸12を通じて、円滑に上乗せローラ11に伝えることができるまた、図3に示した例では、第1台部材14の外側にギア部1515a、15bが設けられており、さらにその外側に、第2台部材16が設けられている。第2台部材16は、ギア部1515a、15bから外側に延びた上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18を支持しており、それによって、上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18ならびにギア部1515a、15bを固定している。第2台部材16は、ギア部15の外側に位置する上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18を支持するものであるので、図4に示したような開口部34を設けなくてもよいが、第2台部材16にも、第1台部材14と同様に開口部34を設けてもよい。また、本実施形態の基板搬送装置100は、次のように改変することが可能である。図5は、本実施形態の基板搬送装置100の改変例を示している。図1および図3に示した例では、荷重付加手段20としての荷重部材21は、基板50の左右側に配置された一対の荷重伝達部材13を連結するように一つの荷重部材21を設けた。しかしながら、本実施形態の基板搬送装置100は、それに限らず、図5に示すように、複数の荷重部材22を設けることも可能である。図5に示した基板搬送装置100では、基板50の左右側に配置された一対の荷重伝達部材13のそれぞれに、図1に示した荷重部材21よりも大きさの小さい荷重部材22を設けている。荷重付加手段20として小さい荷重部材22を用いる場合には、基板搬送装置100の下方におけるレイアウトの自由度を向上させることができる。小さい荷重部材22を用いて、下方への力重力62を大きくしたい場合には、より比重の重い材料例えば、鉛などを用いるようにすればよい。実施形態2次に、図6を参照しながら、本発明の実施形態2の基板搬送装置100について説明する。図6は、本実施形態の基板搬送装置100の断面構成を模式的に示している。なお、図6に示した基板搬送装置100において、図1または上述した実施形態1と共通の部分については説明を省略する。上述した実施形態1の基板搬送装置100では、荷重付加手段20として荷重部材21または、荷重部材22を使用したが、本発明の実施形態における基板搬送装置100はそれに限定されない。すなわち、本実施形態における荷重付加手段20は、図6に示すように、モータ24から構築されている。このモータ24は、荷重伝達部材13を下向きの力矢印66参照によって引っ張ることができる。したがって、荷重伝達部材13に接続された上乗せローラ軸12を介して、上乗せローラ11によって、基板50に荷重を加えることができる。その結果、上乗せローラ11と搬送ローラ17とが基板50を挟むグリップ力を向上させることができる。本実施形態の構成では、荷重付加手段20がモータ電動モータ24から構築されているので、実施形態1における荷重部材21と比較して、基板50への荷重を可変することを容易に実行することができる。すなわち、このモータ24が下向きに引っ張る力矢印66参照を電気的に制御することができるので、電気的な制御によって、あるプロセスにおいて処理される基板50に対して加える好適な荷重を簡便に加えることができる。具体的には、基板50に吹き付ける液体薬液の量または粘度、基板50の大きさまたは厚さによって、基板50に加える荷重を適宜好適なものに変化させたい場合がある。上述の実施形態1の構成では、荷重部材21を取り替えて、適切な重さの荷重部材22に変更することが必要であるが、本実施形態の構成では、モータ24の出力を変更することでその好適な荷重を実現することができる。また、必要以上の荷重が基板50に加わると、基板50の割れが生じたり、搬送負荷がかかったりする可能性があるとともに、ギアの摩耗などが発生する可能性がある。本実施形態の構成では、モータ24によって荷重を適切なものに調整することができるので、そのような問題を回避することができる。また、モータ24によって下向きの力を加えることを前提として、モータ24の力が加わっていない時に、上向きの力が発生するように付勢手段バネなどを用いた機構にして、モータ24による力の調整をより容易にした構造にすることも可能である。また、図6に示した基板搬送装置100では、基板50への荷重を測定するセンサ25が設けられている。このセンサ25で計測した荷重を、モータ24にフィードバックして制御することができる。この例では、センサ25は、搬送ローラ軸18に加わる応力下向きの応力を測定することによって、基板50への荷重を算出している。ただし、基板50への荷重を測定できるセンサであれば、この構成に限定されず他の構成例のものを採用しても構わない。また、本実施形態の基板搬送装置100は、次のように改変することが可能である。図6は、本実施形態の基板搬送装置100の改変例を示している。図6に示した基板搬送装置100は、図3に示した構成における荷重部材21を、モータ24に変更したものである。図6に示した構成では、第1台部材14および第2台部材16によって、上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18が支持されているので、モータ24によって下向きの力矢印66参照を加える時において、安定して基板50への荷重を加えることが容易となる。図8および図9は、本実施形態の基板搬送装置100の改変例を示している。図8は、本改変例の基板搬送装置100の断面構成を模式的に示している。図9は、基板搬送装置100における台部材14の断面構成を模式的に示しており、具体的には、図8におけるIX-IX線に沿った断面模式図である。図8および図9に示した基板搬送装置100では、第1台部材14に、基板50への荷重を測定するセンサ28を設けた構成を示している。この例のように、第1台部材14に加わる力応力をセンサ28で測定することによって、基板50への荷重を算出することが可能である。そして、このセンサ28で計測した荷重を、モータ24にフィードバックして制御することができる。また、図6および図8に示したセンサ25、28に限らず、図8に示すように、上乗せローラ軸12および搬送ローラ軸18の間の距離を測定する手段29cを用いて、基板50への荷重を測定することも可能である。ここでは、上乗せローラ軸12の端部および搬送ローラ軸18の端部に、軸間の距離を測定する部材2929a、29bを取り付けて、その部材2929a、29bの間の距離を測定している。測定用部材29a、29bの間の距離が小さければ、基板50に大きな荷重が加わっており、測定用部材29a、29bの間の距離が大きければ基板50に加わっている荷重は小さくなる。測定用部材29a、29bの間の距離を測定する手段としては、両者の間の距離を測定する光学センサを挙げることができる。また、測定用部材29a、29bの間に弾性部材例えば、バネを配置して、その弾性部材の変位によって両者の間の距離、または、基板50に加わる荷重を算出してもよい。また、測定用部材29a、29bの間に配置された弾性部材29cは、過剰な荷重が基板50に加わらないための荷重ストッパ部材として機能するようなものを配置しても構わない。実施形態3次に、図10を参照しながら、本発明の実施形態3の基板搬送装置100について説明する。図10は、本実施形態の基板搬送装置100の断面構成を模式的に示している。なお、図10に示した基板搬送装置100において、図1または上述した実施形態1または実施形態2と共通の部分については説明を省略する。上述した実施形態1の基板搬送装置100では、荷重付加手段20として荷重部材22または、荷重部材21を使用したが、本実施形態における荷重付加手段20は、図10に示すように、上乗せローラ軸12aおよび上乗せローラ11aのうちの少なくとも一方である。具体的には、上乗せローラ軸12a及び/又は上乗せローラ11aは、上述した実施形態1における上乗せローラ軸12及び/又は上乗せローラ11よりも質量が大きいものから構成されている。したがって、本実施形態の上乗せローラ軸12a及び/又は上乗せローラ11aは、実施形態1の構成と比較して、下向きへの力矢印64が大きくなる。その結果、上乗せローラ11によって、基板50に荷重を加えることができるので、上乗せローラ11と搬送ローラ17とが基板50を挟むグリップ力を向上させることができる。上乗せローラ軸12及び/又は上乗せローラ11の質量を、上述した実施形態1のもの典型的な形態のものよりも大きくするには、それらを構築する材料として、比重が重い材料を使用するか、あるいは、それらの部材の内部に比重が重い材料を配置する構造を挙げることができる。そのような比重が重いものとしては、例えば、金属ステンレス、鉄などを耐薬液性の材料PVCポリ塩化ビニル、テフロン登録商標などで被覆したものを挙げることができる。以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。例えば、上述した実施形態では、基板処理装置ウエットエッチング装置などにおける基板搬送装置100の構成について説明したが、基板処理装置以外の箇所において本実施形態の基板搬送装置100の構成を採用することも可能である。また、上述したように、液晶パネルの製造工程だけでなく、他の製品の製造工程における基板搬送に、本実施形態の基板搬送装置100の構成を用いることが可能である。さらに、上述した各実施形態または改変例における各要素を相互に適用することも可能である。具体的には、本発明の実施形態1の構成において、基板50への荷重を測定するセンサ25などを搭載することが可能である。また、荷重付加手段20として、例えば荷重部材21とモータ24とを共に使用するような構成を採用してもよい。