"一主面にコンベックス加工またはベベル加工された平面視略円形の凸部を有し、表裏主面に励振電極が形成された水晶振動片を容器に収容し、当該容器に蓋を接合することにより前記励振電極を気密封止した水晶振動子であって、前記水晶振動片と一体成形された脚部が、少なくとも2箇所、前記他主面から突出して環状に形成されているとともに、前記脚部が支持部材として前記容器に接合され、前記脚部を構成する側面のうち、外縁側面が平面視で前記凸部と略同心円状の円弧で形成されていることを特徴とする水晶振動子。前記脚部を構成する側面が傾斜面であることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。前記脚部を構成する側面のうち、内縁側面が平坦面であることを特徴とする請求項2に記載の水晶振動子。前記脚部が前記他主面の、平面視で前記凸部の周縁に対応する位置に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の水晶振動子。請求項1乃至4のいずれか一つに記載の水晶振動子の製造方法であって、水晶振動片の一主面にコンベックス加工またはベベル加工された平面視略円形の凸部を形成する凸部形成工程と、前記水晶振動片の他主面から突出し、当該水晶振動片と一体成形されるとともに、外縁側面が平面視で前記凸部と略同心円状の円弧である脚部を、少なくとも2箇所環状に形成する脚部形成工程と、前記脚部を前記容器に接合材を介して接合する接合工程と、前記容器に蓋を接合して前記励振電極を気密封止する封止工程と、を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、小型化に対応するとともに良好な特性を得ることができる水晶振動子および当該水晶振動子の製造方法を提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、請求項1にかかる発明によると、一主面にコンベックス加工またはベベル加工された平面視略円形の凸部を有し、表裏主面に励振電極が形成された水晶振動片を容器に収容し、当該容器に蓋を接合することにより前記励振電極を気密封止した水晶振動子であって、前記水晶振動片と一体成形された脚部が、少なくとも2箇所、前記他主面から突出して環状に形成されているとともに、前記脚部が支持部材として前記容器に接合され、前記脚部を構成する側面のうち、外縁側面が平面視で前記凸部と略同心円状の円弧で形成されている。上記発明によると、水晶振動片の主振動と高次の副振動との結合による周波数ジャンプを防止しつつ、水晶振動子の低背化を図ることができる。具体的に、本発明における水晶振動片は一主面にコンベックス加工またはベベル加工された平面視略円形の凸部を有するため、水晶振動片の主振動と高次の副振動との結合を防止することができる。これにより温度変動に対する主振動と高次の副振動との結合によって周波数が温度変化に対して不連続に変化する周波数ジャンプと呼ばれる現象を防止し、安定した特性の水晶振動子を得ることができる。また、水晶振動片と一体成形された脚部が少なくとも2箇所、前記他主面から突出して形成されているので、前記脚部を支持部材として水晶振動片を横置きにして容器に搭載することができる。これにより水晶振動子の低背化を図ることができる。なお前述のベベル加工とは水晶振動片の周縁端部の面取り加工のことをいう。さらに上記発明によると、前記脚部は脚部を構成する側面のうち、外縁側面が前記凸部と略同心円状の円弧で形成されているため、水晶振動片を容器に接合した際に発生する応力を分散することができる。これにより良好な特性の水晶振動子を得ることができる。具体的に前記脚部の外縁側面は、前記凸部と略同心円状の円弧で形成されているため、凸部の輪郭に沿った外縁形状となる。このような構造により、輪郭系等の不要振動モードの影響を抑制することができる。つまり凸部の輪郭に沿っていない外縁形状の脚部の場合、例えば平面視長方形の脚部の場合は境界となる角部の影響が無視できなくなり、不要振動モードが顕在化しやすくなる。これに対して本発明の脚部は外縁側面が前記凸部と略同心円状の円弧で形成されているため、水晶振動片の前記不要振動モードを抑制することができる。さらに上記発明によると、水晶振動片の容器への搭載精度が向上する。これは本発明における前記脚部が水晶振動片と一体で成形され、当該脚部が従来構造における支持部材の役割を果たすためである。つまり外形サイズの大きい平面視円形の水晶振動片を横置きにして容器内に搭載した,従来の表面実装型水晶振動子の場合、容器の内底面上に一対の金属製の支持部材を接合し、当該支持部材上に導電性接着材を用いて、前記脚部が形成されていない水晶振動片を接合する構造であった。このような支持部材を用いる場合、各支持部材の容器内底面上への接合位置ばらつきや、支持部材自体の形状ばらつき等が、水晶振動片の搭載精度に影響を及ぼしていた。これに対して本発明における水晶振動片は、水晶振動片と一体で成形された脚部が前記支持部材の役割を果たすため、前述の搭載精度の問題を解消することができる。また、前記脚部は水晶振動片と同材料で成形されているため、従来の異種材料使用による熱膨張係数差に起因する応力の発生を防止することができる。これによって支持部材に係る応力に起因する水晶振動子の特性劣化を防止することができる。さらには脚部を水晶振動片と一体で成形することによって従来の支持部材が不要となるので低コスト化を図ることができる。さらに上記目的を達成するために、前記脚部を構成する側面が傾斜面であってもよい。このような脚部であれば、水晶振動片の主面と、当該主面から突出した脚部とのなす角が緩やかになるため、脚部の機械的強度を向上させることができる。具体的に前記水晶振動片として不純物の少ない人工水晶が一般的に用いられており、このような水晶を湿式エッチング法を用いて溶解させることによって容易に前記傾斜面を形成することができる。これは水晶の結晶方位固有の角度で前記溶解が進行するためである。具体例としてATカット水晶振動板を用い、水晶振動板の一主面の,脚部を形成する領域等に保護膜を形成し、前記一主面を湿式エッチングによって選択的に溶解させることにより、保護膜によって溶解せずに残存した領域を脚部として成形することができる。このとき水晶は異方性結晶材料であるため、湿式エッチングによって前記一主面に対して約20度から70度傾斜して水晶振動板の溶解が進行する。これにより水晶振動片の一主面と、当該一主面から突出した脚部とのなす角が緩やかになるため、前記一主面に対して垂直な側面を有する脚部よりも、前記一主面と脚部との境界領域の機械的強度を向上させることができる。さらに上記目的を達成するために、前記脚部を構成する側面のうち、内縁側面が平坦面であってもよい。このような構成によれば、前記脚部の内縁側面が周縁方向に窪んだ曲面で形成されている場合に比べて幅広となるため、脚部の機械的強度を向上させることができる。一般に、コンベックス加工やベベル加工が施された水晶振動板の表裏主面に一対の励振電極を形成した水晶振動素子は、水晶振動素子の中央部分が振動エネルギーの変位が最大となり、水晶振動板の周縁に向かうにつれて振動エネルギーの変位が連続的に減衰していくエネルギー分布となるため、可能な限り水晶振動片の周縁付近で水晶振動片を支持する方が振動阻害防止の点から望ましい。このため本発明において支持部材の役割を果たす前記脚部の形成領域も小さくすることが望ましいが、脚部の機械的強度確保の点からある程度脚部の形成領域を確保する必要がある。上記構成は水晶振動板の厚みが非常に薄くなる高周波帯において好適である。これは前記脚部の内縁側面を平坦面で形成して内縁側面が曲面の脚部よりも幅広にすることによって脚部の機械的強度を向上させ、薄肉部分となる水晶振動板脚部以外の領域をより確実に支持することができることによる。さらに上記目的を達成するために、前記脚部が前記他主面の、平面視で前記凸部の周縁に対応する位置に形成されていてもよい。例えばコンベックス加工またはベベル加工された平面視略円形の凸部を水晶振動片の一主面全体に形成し、前記脚部を他主面の平面視で前記凸部の周縁に対応する位置,つまり他主面の周縁に形成することにより、振動エネルギーが最も減衰する位置で水晶振動片を支持することができる。また、このような平面視円形のみからなる構成の水晶振動片の場合、水晶振動片の外周につば状の平面部分を設けた構成の水晶振動片よりも小型化を図ることができる。これにより水晶振動片を収容する容器の外形寸法も小型化できるため、水晶振動子の小型化を図ることが可能となる。上記例のような平面視円形のみからなる構成の水晶振動片の場合、脚部の形成数は3個または4個が好ましい。この場合、脚部の形成位置は、中心角が120度で3等分した他主面周縁の3箇所または、中心角が90度で4等分した他主面周縁の4箇所に均等に離間配置することが水晶振動片の安定支持の点から好ましい。なお、本発明における脚部の形成数および形成位置は前記例に限定されるものではなく、前記例以外で2以上の形成数および前記例以外の形成位置に脚部を形成してもよい。さらに上記目的を達成するために本発明は、前述した水晶振動子のうち、いずれか一つの水晶振動子の製造方法であって、水晶振動片の一主面にコンベックス加工またはベベル加工された平面視略円形の凸部を形成する凸部形成工程と、前記水晶振動片の他主面から突出し、当該水晶振動片と一体成形されるとともに、外縁側面が平面視で前記凸部と略同心円状の円弧である脚部を、少なくとも2箇所環状に形成する脚部形成工程と、前記脚部を前記容器に接合材を介して接合する接合工程と、前記容器に蓋を接合して前記励振電極を気密封止する封止工程とを有する水晶振動子の製造方法となっている。上記製造方法によれば、水晶振動片の主振動と高次の副振動との結合による周波数ジャンプを防止しつつ、低背化を図った水晶振動子を製造することができる。具体的に、本発明における水晶振動片は一主面にコンベックス加工またはベベル加工された平面視略円形の凸部を有するため、水晶振動片の主振動と高次の副振動との結合を防止することができる。これにより、温度変動に対する主振動と高次の副振動との結合による周波数ジャンプを防止し、安定した特性の水晶振動子を得ることができる。また、水晶振動片と一体成形された脚部が少なくとも2箇所、前記他主面から突出して形成されているので、前記脚部を支持部材として水晶振動片を横置きにして容器に搭載することができる。これにより低背化を図った水晶振動子を製造することができる。さらに上記製造方法によると、前記脚部は脚部を構成する側面のうち、外縁側面が前記凸部と略同心円状の円弧で形成されているため、前記接合工程の際に発生する応力を分散することができる。これにより良好な特性の水晶振動子を製造することができる。具体的に前記脚部の外縁側面が前記凸部と略同心円状の円弧で形成されているので、凸部の輪郭に沿った外縁形状となっている。このような構造により、輪郭系等の不要振動モードの影響を抑制することができる。さらに上記製造方法によると、前記接合工程の際の、水晶振動片の容器への搭載精度が向上する。これは本発明における前記脚部が水晶振動片と一体で成形され、当該脚部が従来構造における支持部材の役割を果たすためである。また、前記脚部は水晶振動片と同材料で成形されているため、従来の異種材料使用による熱膨張係数差に起因する応力の発生を防止することができる。これによって支持部材に係る応力に起因する水晶振動子の特性劣化を防止することができる。さらには脚部を水晶振動片と一体で成形することによって従来の支持部材が不要となるので低コスト化を図ることができる。以上のように、本発明によれば小型化に対応するとともに良好な特性を得ることができる水晶振動子および当該水晶振動子の製造方法を提供することができる。以下、本発明による実施形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態で適用される高安定水晶振動子以下、水晶振動子と略記は平面視矩形の表面実装型水晶振動子である。本実施形態における水晶振動子は平面視の外形寸法が縦10mm×横10mmとなっている。まず本発明の水晶振動子について説明した後、本発明の水晶振動子の製造方法について説明する。図1乃至2に示すように本発明における水晶振動子1は、水晶振動片を収容する凹部31を備えた容器3と、厚みすべり振動を行う水晶振動片2と、容器と接合材を介して接合され、水晶振動片の表裏主面に形成された励振電極を気密に封止する蓋8が主要構成部材となっている。なお、本実施形態において水晶振動子の共振周波数は基本波振動モードで100MHzとなっている。以下、前記各構成部材について説明する。本実施形態で使用される水晶振動片2は、所定角度で切断された平面視略円形のATカット水晶片であり、その直径は約6mmとなっている。水晶振動片2の一主面200および他主面210には、当該水晶振動片を駆動させるための一対の励振電極22,24が対向形成されている図2参照。図2に示すように励振電極22,24はそれぞれ引出電極23,25を経由して、4つの脚部21のうち、引出電極の延出方向に形成された2つの脚部の端部に形成された搭載電極26,26と各々接続されている。図1に示すように水晶振動片2の一主面200には平面視略円形の凸部20が形成されている。凸部20は凸レンズ形状になるようにフォトリソグラフィ技術およびドライエッチング技術を用いて形成されている。なお凸部20の形成方法の詳細については後述する本発明の水晶振動子の製造方法において説明する。凸部20を形成することによって、水晶振動片の稜部は面取り加工されるとともに、水晶振動片の厚みは端部に近づくにつれて連続的に薄肉となり、断面視では片凸レンズ形状となっている。水晶振動片2の他主面210には、他主面210から突出し、水晶振動片2と一体で成形された脚部21が、水晶振動片の周縁27の近傍に環状に4箇所、離間形成されている図1参照。本実施形態において脚部21の形成位置は、図1に示すように平面視略円形の水晶振動片の直交する2つの直径の端部にそれぞれ形成されている。なお、4つの脚部21,21,21,21の各端部には搭載電極26,26,26,26がそれぞれ形成されており、これら4つの脚部のうち、引出電極23および25の延出方向と同方向に形成された2つの脚部は平面視で引出電極23および25とそれぞれ重なるように形成されているとともに、引出電極23,25が搭載電極26,26に電気的に接続されている。なお最終的には励振電極22,24は、容器3の底面310に形成された外部接続端子6,6と電気的に接続されることになる。脚部21は水晶振動片の支持部材として機能し、4つの脚部21,21,21,21の各端部に形成された搭載電極26,26,26,26が、容器3の内底面300に形成された4つのパッド電極4,4,4,4の上に接合材7によって接合されることになる。なお本実施形態において脚部21の高さ厚みは約1mmとなっている。しかしながら本発明の脚部の高さ厚みは前記数値に限定されるものはなく、支持部材としての機能を発揮できる高さ厚みで他主面から突出形成されていればよい。次に脚部21の詳細について図3を参照して説明する。脚部21は略直方体状に形成されている。そして平面視では、脚部21を構成する側面のうち、外縁側面21a水晶振動片の周縁27側の側面は、凸部20と略同心円状の円弧で形成されている。つまり凸部20の輪郭に沿った外縁形状となっている。一方、脚部を構成する側面のうち、内縁側面21b21aの対向面もまた平面視では凸部20と略同心円状の円弧で形成されている。なお図3では内縁側面21bが曲面で形成されていることを明示するために、補助線として内縁側面21bに沿った点線を表示している。図3において脚部21は、外縁側面21aおよび内縁側面21bともに凸部20と略同心円状の円弧で形成され、巨視的にみれば平面視で矩形に近い形状となっている。そして脚部21の長手方向の寸法外縁側面21aおよび内縁側面21bの辺長は引出電極23の幅と略同一となっている。しかしながら本発明における脚部21の長手方向の辺の寸法は引出電極の幅と略同一に限られるものではなく、例えば引出電極の幅よりも幅広大きくに形成されていてもよい。脚部21の長手方向の辺の寸法が、引出電極の幅よりも大きいほど、水晶振動片の厚みに係る厚み系の振動モードに起因する不要振動モードの抑制に効果が期待できる。上記脚部の構造によると、脚部21は脚部を構成する側面のうち、外縁側面21aが凸部20と略同心円状の円弧で形成されているため、水晶振動片2を容器3に接合した際に発生する分散を抑制することができる。これにより良好な特性の水晶振動子1を得ることができる。具体的に脚部21の外縁側面21aは、凸部20と略同心円状の円弧で形成されているため、凸部20の輪郭に沿った外縁形状となる。このような構造により、輪郭系等の不要振動モードの影響を抑制することができる。つまり凸部20の輪郭に沿っていない外縁形状の脚部の場合、例えば平面視長方形の脚部の場合は境界となる角部の影響が無視できなくなり、不要振動モードが顕在化しやすくなる。これに対して本発明の脚部21は外縁側面21aが凸部20と略同心円状の円弧で形成されているため、水晶振動片2の前記不要振動モードを抑制することができる。なお、本発明における脚部の変形例として、図4に示すような形状の脚部であってもよい。図4では脚部21’を構成する側面のうち、内縁側面21’bは曲面ではなく平坦面となっている。このような構成によれば、脚部の内縁側面が周縁方向に窪んだ曲面で形成されている場合、つまり図3における脚部21に比べて短手方向に幅広となるため、脚部の機械的強度を向上させることができる。上記構成は水晶振動片の厚みが非常に薄くなる高周波帯例えば100MHz帯において好適である。これは脚部21’の内縁側面21’aを平坦面で形成して内縁側面が曲面の脚部よりも幅広にすることによって脚部の機械的強度を向上させ、薄肉部分となる水晶振動片脚部以外の領域をより確実に支持することができることによる。また前述の水晶振動子1によると、水晶振動片の主振動と高次の副振動との結合による周波数ジャンプを防止しつつ、水晶振動子の低背化を図ることができる。具体的に、本発明における水晶振動片2は一主面にコンベックス加工された平面視略円形の凸部20を有するため、水晶振動片2の主振動と高次の副振動との結合を防止することができる。これにより、温度変動に対する主振動と高次の副振動との結合による周波数ジャンプを防止し、安定した特性の水晶振動子を得ることができる。また、水晶振動片と一体成形された脚部21が4箇所、他主面210から突出して形成されているので、脚部21を支持部材として水晶振動片2を横置きにして容器3に搭載することができる。これにより水晶振動子の低背化を図ることができる。さらに上記水晶振動片2によると、水晶振動片2の容器3への搭載精度が向上する。これは本kdしp発明における脚部21が水晶振動片2と一体で成形され、脚部21が従来構造における支持部材の役割を果たすためである。つまり、外形サイズの大きい平面視円形の水晶振動片を横置きにして容器内に搭載した,従来の表面実装型水晶振動子の場合、容器の内底面上に一対の金属製の支持部材を接合し、当該支持部材上に導電性接着材を用いて水晶振動片前記脚部が形成されていないを接合する構造であった。このような支持部材を用いる場合、各支持部材の容器内底面上への接合位置ばらつきや、支持部材自体の形状ばらつき等が、水晶振動片の搭載精度に影響を及ぼしていた。これに対して本発明における水晶振動片2は、水晶振動片2と一体で成形された脚部21が前記支持部材の役割を果たすため、前述の搭載精度の問題を解消することができる。また、脚部21は水晶振動片2と同材料で成形されているため、従来の異種材料使用による熱膨張係数差に起因する応力の発生を防止することができる。これによって支持部材に係る応力に起因する水晶振動子の特性劣化を防止することができる。さらには脚部を水晶振動片と一体で成形することによって従来の支持部材が不要となるので低コスト化を図ることができる。次に本実施形態で使用される容器3について図1乃至2を用いて説明する。容器3は水晶振動片を収容するための凹部31を有し、上部が開口した平面視略正方形の箱状体である。容器3は複数のセラミックグリーンシートの積層体であり、これら複数の層は所定位置に内部配線導体の印刷処理を施した後に位置決め積層され、焼成によって一体成形されている。凹部31の周囲には堤部30が環状に形成されており、堤部30の上面32は平坦な状態となっている。そして堤部の上面32には下から順にタングステンメタライズ層、ニッケルメッキ層、金メッキ層の3層から成る金属膜図示省略が周状に形成されている。なお、本実施形態では容器3の基材としてセラミックを用いているが、本発明における容器基材はセラミックに限定されるものではなく、ガラスや水晶等の結晶性材料を用いてもよい。図2において凹部30の内底面300は平坦面となっており、金属膜からなるパッド電極4が4箇所形成されている。具体的に内底面300は平面視略正方形となっており、4つのパッド電極4,4,4,4は、内底面300の対向する2組の辺の略中央の位置に各々形成されている。なお図5に示すように、4つのパッド電極のうち、一部のパッド電極41,43を、引出電極23,25と平面視で重ならないよう一部を切り欠いた形状としてもよい図5で点線で示す脚部41,43の一部領域。このような形状のパッド電極とすることにより、引出電極とパッド電極間の容量の増加を防止することができる。これにより発振周波数のずれの少ない、より安定した水晶振動子を得ることができる。パッド電極4は平面視で略矩形となっており、内底面300上にタングステンメタライズを施し、その上部にニッケルメッキが、さらにその上部に金メッキが施された層構成となっている。そして、パッド電極4は容器内部に形成された貫通電極5を介して、容器の底面310に形成された外部接続端子6と電気的に接続されている。なお、パッド電極4と外部接続端子6との電気的接続は、容器外周の角部の上下方向に導体いわゆるキャスタレーションを形成することによって行ってもよい。搭載電極26は前述のパッド電極4の上に接着材4を介して接合される。前記接着材4として、例えばシリコーン系の導電性樹脂接着材が使用される。なお、前記接着材はシリコーン系の導電性樹脂接着材に限定されるものではなく、シリコーン系以外にもエポキシ系などの導電性樹脂接着材も使用可能であり、また樹脂系接着材以外に金属バンプメッキバンプやスタッドバンプ等や金錫合金等の合金を使用してもよい。次に本実施形態で使用される蓋8について図2を参照して説明する。蓋8はコバールを基体とする平面視略円形で金属性の蓋体であり、蓋8の表裏面にはニッケルメッキ層図示省略が形成されている。また蓋8の容器3との接合面側には前記ニッケルメッキ層の上に金属から成るロウ材図示省略が全面に亘って形成されている。なお前記蓋の基材としてコバール等の金属材料以外にセラミックを使用してもよい。この場合、封止材として低融点ガラスが好ましい。あるいは前記蓋の基材としてガラスや水晶等の結晶性材料を用いてもよい。以上が水晶振動子1の主要構成部材についての説明である。以下、本発明の水晶振動子製造方法について図面を参照しながら説明する。本発明の水晶振動子製造方法について水晶振動片の製造方法を中心に説明する。図6乃至12は本発明の実施形態における水晶振動片の製造工程を表す断面模式図である。<凸部形成工程>まず図6に示すように、表裏主面一主面200,他主面210が鏡面加工された円盤状の水晶ウエハW以下、単にウエハWと表記するを用意する。本実施形態においてウエハWはATカット水晶振動板となっている。次にウエハWの表裏主面一主面200,他主面210にレジストRを形成する図7。ここで一主面200には、平面視略円形の凸部20の形状に対応した窪みを備えた金型に感光性樹脂を充填し、主面200に転写して硬化させる。次に図7において矢印で示すように一主面200の上方からドライエッチング法によってレジストRを除去していく。図8はドライエッチング法による加工後の状態であり、レジストRを除去した状態を表している。図8に示すように、図7で形成された一主面200上の凸レンズ状のレジストの形状がそのままウエハWに転写されて薄肉化されている。このようにして一主面200にコンベックス形状で平面視略円形の凸部20が形成される。なお凸部20の形成は前述の方法以外の手段によって形成してもよい。例えば従来より行われている機械的研磨によって凸部を形成してもよい。<脚部形成工程>次に、ウエハWの一主面200および他主面210上に下地金属膜と、その上に金からなる金属膜を形成する図9乃至11において図示省略。そして前記金属膜の上にレジストRを再形成する一主面200,他主面210ともに。その後、フォトリソグラフィ技術を用いて所定の開口部分を有するパターンを形成する。この状態を表したものが図9である。次に図9に示すように、他主面210の所定位置が開口したウエハWをドライエッチング法によって加工していく。つまりレジストRが形成されていない他主面210の領域はドライエッチング法によって削られ、最終的に図10に示すような凹部が他主面側に形成される。前記凹部の周囲にはレジストRで保護されることによって残存した領域が脚部21となって一括で形成される。本実施形態では一つの水晶振動片の他主面側に4つの脚部が、他主面210の各水晶振動片形成領域の,直交する2つの直径の端部周縁近傍にそれぞれ形成されている。本実施形態では脚部21をドライエッチング法を用いることによって形成しているが、ドライエッチング法以外にブラスト法や湿式エッチング法を用いてもよい。例えばブラスト法の場合、ショットブラスト等の機械式ブラストやサンドブラスト等の空気式ブラストあるいは、研磨剤溶液をノズルから高圧で噴射させて加工を行う湿式ブラストが適用可能である。脚部21をブラストによる水晶主面の切削によって形成することにより、高精度で微細な加工を行うことができる。湿式エッチング法は側面に傾斜面を有する脚部を形成する場合に好適である。<個片化工程>その後、多数個の水晶振動片2,2,,2が一体形成されたウエハWの各水晶振動片の形成領域のうち、励振電極22,24および引出電極23,25と搭載電極26以下、励振電極等と表記を形成する領域のみが開口するようにして、蒸着マスクと呼ばれるカバーをウエハW全体に被せる図示省略。そしてスパッタリングによって一括で多数の励振電極等を各水晶振動片の表裏に形成する図示省略。励振電極等が形成された水晶振動片を以下、水晶振動素子と表記する。その後所定の周波数調整等の工程を経て、図10に示す仮想線Lを基準としてダシイングまたは湿式エッチング法によってウエハWを分割する。これにより、複数の水晶振動素子を一括同時に得ることができる。<接合工程>図示省略次に、容器3の内底面300に4箇所形成されたパッド電極上の各々に予め接着材7を塗布しておく。本実施形態では接着材7としてシリコーン系の導電性樹脂接合材が使用されている。その後、接着材7が塗布された容器3の4つのパッド電極4上に、4つの脚部21の各端部に形成された4つの搭載電極26が一対一で対応するように、水晶振動素子の他主面側が容器3に正対するようにして、水晶振動素子が容器3の凹部31内に位置決め載置される。そして、接着材7を所定条件の加熱雰囲気下で硬化させることにより、水晶振動素子が容器3に接合される。<封止工程>図示省略次に平面視円形の蓋8を、搭載ツールを使用して、容器3の堤部上面32に形成された金属膜の上に位置決め載置する。このとき、前記金属膜の上に、蓋8の容器3との接合面側に形成されたロウ材が略一致するようにして蓋8が載置される。そして一対のシームローラー、封止等を蓋8に当接させ、蓋8と前記金属膜とに大電流を印加させながら転接させることによって蓋8と容器3とが気密に接合される。なお本実施形態におけるシーム溶接は、真空雰囲気中あるいは不活性ガス雰囲気中にて行われる。上記製造方法によれば、水晶振動片の主振動と高次の副振動との結合による周波数ジャンプを防止しつつ、低背化を図った水晶振動子を製造することができる。具体的に、本発明における水晶振動片2は一主面200にコンベックス加工された平面視略円形の凸部20を有するため、水晶振動片の主振動と高次の副振動との結合を防止することができる。これにより、温度変動に対する主振動と高次の副振動との結合による周波数ジャンプを防止し、安定した特性の水晶振動子を得ることができる。また、水晶振動片2と一体成形された脚部21が、他主面210から突出して形成されているので、脚部21を支持部材として水晶振動片2を横置きにして容器3に搭載することができる。これにより低背化を図った水晶振動子を製造することができる。さらに上記製造方法によると、脚部21は脚部を構成する側面のうち、外縁側面21aが凸部20と略同心円状の円弧で形成されているため、前記接合工程の際に発生する応力を分散することができる。これにより良好な特性の水晶振動子を製造することができる。具体的に脚部21の外縁側面21aが凸部20と略同心円状の円弧で形成されているので、凸部20の輪郭に沿った外縁形状となっている。このような構造により、輪郭系等の不要振動モードの影響を抑制することができる。さらに上記製造方法によると、前記接合工程の際の、水晶振動片2の容器3への搭載精度が向上する。これは本発明における脚部21が水晶振動片2と一体で成形され、脚部21が従来構造における支持部材の役割を果たすためである。また、脚部21は水晶振動片2と同材料で成形されているため、従来の異種材料使用による熱膨張係数差に起因する応力の発生を防止することができる。これによって支持部材に係る応力に起因する水晶振動子の特性劣化を防止することができる。さらには脚部21を水晶振動片2と一体で成形することによって従来の支持部材が不要となるので低コスト化を図ることができる。本発明の実施形態では脚部21の断面視形状は長方形状になっている。これは前述の脚部形成工程においてドライエッチング法を用いていることに起因するものであるが、本発明は上記構造の脚部に限定されるものではない。例えば図12乃至14に示すように脚部を構成する側面が傾斜面であってもよい。傾斜面を有する脚部は例えば水晶ウエハを湿式エッチング法によって溶解させることによって、水晶の結晶方位固有の角度で成形することができる。なお基材の一主面に対する側面の傾斜角は、異方性結晶材料である水晶の場合、結晶方位によって異なるが約20~70度となる。前記脚部を構成する側面が傾斜面であれば、水晶振動片の主面と、当該主面から突出した脚部とのなす角が緩やかになるため、脚部の機械的強度を向上させることができる。これにより水晶振動片の一主面と、当該一主面から突出した脚部とのなす角が緩やかになるため、前記一主面に対して垂直な側面を有する脚部よりも、前記一主面と脚部との境界領域の機械的強度を向上させることができる。本発明の実施形態では、脚部21が他主面210の、平面視で凸部20の周縁に対応する位置に形成されている。つまり他主面の周縁に脚部21を形成することにより、振動エネルギーが最も減衰する位置で水晶振動片2を支持することができる。本実施形態のように平面視円形の水晶振動片の場合、脚部21の形成数は3個または4個が安定支持の点から好ましい。例えば脚部21を3個形成する場合は、図15に示すように中心角が120度で3等分した他主面周縁の各位置に形成することが好ましい。つまり3つの脚部で水晶振動片を支持する場合は、4つの脚部を形成する場合に比べ、より広い平坦領域を他主面側に確保できるため設計余裕度が増すことになる。あるいは図16に示すように一直径の両端部分に2つの脚部を形成してもよい。また、本発明の実施形態では一主面200側にコンベックス形状の凸部が形成されているが、本発明はコンベックス形状の凸部に限定されるものではなく、図13に示すように周縁端部が面取り加工された、いわゆるベベル加工された凸部であってもよい。さらに本発明の実施形態では一主面200側の全面がコンベックス形状の凸部であり、前記凸部の下方の位置に脚部21が形成された構成となっているが、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、例えば図14に示すように、一主面200側の中央部分のみがコンベックス形状の凸部で、その周囲に平坦面の領域を有するとともに、当該平坦面の領域の下方に脚部21が形成された構成であってもよい。本発明の実施形態では、封止材としてガラス材を例にしているが、セラミック容器と金属製の蓋体を用い、封止材に銀ロウ材等のロウ材を用いたレーザー封止、電子ビーム封止による封止等でも適用できる。さらに本発明の実施形態では表面実装型水晶振動子を例にしているが、水晶フィルタ、水晶発振器など電子機器等に用いられる他の表面実装型の圧電振動デバイスにも適用可能である。本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。"