"網目状の電極を設置した紫外線透過物質からなる上蓋と、電極となる金属を設置した下蓋とを備え、前記上蓋の電極と前記下蓋の電極が平行に向かい合うように前記上蓋と前記下蓋を接合し、前記向かい合う電極間に規定のガスを封入したUVセンサを備えることを特徴とする火炎センサ。前記上蓋と前記下蓋のうち少なくとも一方がキャビティを有することを特徴とする請求項1記載の火炎センサ。前記上蓋と前記下蓋の間に穴あきウェハを挟んで接合されていることを特徴とする請求項1記載の火炎センサ。前記上蓋の上面がレンズ状であることを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項記載の火炎センサ。前記下蓋に設置された電極が接触しないように固定された外側部分と内側部分の2つに分かれていることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の火炎センサ。網目状の電極を設置した紫外線透過物質からなる上蓋と、少なくとも1つの面を研磨した金属板からなる下蓋とを備え、前記上蓋の電極と前記下蓋の研磨した面が平行に向かい合うように前記上蓋と前記下蓋とを接合し、前記上蓋の電極と前記下蓋の研磨した面の間に規定のガスを封入したUVセンサを備えることを特徴とする火炎センサ。従来の火炎センサに用いられるUVチューブは、図1のガラス管10の上下方向の長さが4.3cm前後の比較的大きなものであるため、振動に弱く、ガスタービンや発電所等の特殊な市場では使えないという問題があった。そこで、UVチューブを小型化することが考えられる。図2は、従来のUVチューブ図2左側と、小型化したUVチューブ図2右側との外観を比較する模式図である。図2右側のUVチューブは、大幅な小型化を図ったものであり、ガラス管20の上下方向の長さは1.7cm前後である。このように小型化されたUVチューブは、耐振動性、耐衝撃性を向上できるため、このUVチューブを用いた火炎センサは、ガスタービンの燃焼検出など、従来では安定した火炎検出が困難であった過酷な環境での使用が可能となる。しかしながら、UVチューブを小型化したことにより、アノード電極21とカソード電極22とを支えるコバール線リード線23図2においては図示せず及びコバール線リード線24と、ガラスシール部ガラス管20の溶接部とが近距離に配置されるため、ガラスシール時の熱影響でコバール線23,24が変動し、ゆがみの生じていないアノード電極21及びカソード電極22を得ることは容易ではないという課題が発生した。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、小型化を実現し、かつ、電極にゆがみが生じない火炎センサを提供することを目的とする。上記目的を達成するため、この発明の火炎センサは、網目状の電極を設置した紫外線透過物質からなる上蓋と、電極となる金属を設置した下蓋とを備え、上蓋の電極と下蓋の電極が平行に向かい合うように上蓋と下蓋を接合し、向かい合う電極間に規定のガスを封入したことを特徴とする。また、この発明の火炎センサは、上蓋と下蓋のうち少なくとも一方がキャビティを有することを特徴とする。また、この発明の火炎センサは、上蓋と下蓋の間に穴あきウェハを挟んで接合されていることを特徴とする。また、この発明の火炎センサは、上蓋の上面がレンズ状であることを特徴とする。また、この発明の火炎センサは、下蓋に設置された電極が接触しないように固定された外側部分と内側部分の2つに分かれていることを特徴とする。また、この発明の火炎センサは、網目状の電極を設置した紫外線透過物質からなる上蓋と、少なくとも1つの面を研磨した金属板からなる下蓋とを備え、上蓋の電極と下蓋の研磨した面が平行に向かい合うように上蓋と下蓋とを接合し、上蓋の電極と下蓋の研磨した面の間に規定のガスを封入することを特徴とする。この発明における火炎センサによれば、網目状又はストライプ状に電極を設置された紫外線透過物質からなる上蓋と、少なくとも電極となる金属を設置された下蓋とを備え、上蓋の電極と下蓋の電極が平行に向かい合うように上蓋と下蓋を接合するので、電極にゆがみの生じない火炎センサを容易に実現することができる。以下、この発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。実施の形態1.図3は、この発明の実施の形態1に係る火炎センサのUVセンサの構成図であり、このUVセンサは、図3aに示すように、上蓋31と下蓋32によって構成されている。上蓋31は、紫外線透過物質であるガラス板33の表面に網目状の電極である上側電極アノード電極34が設置され、上側電極34に接続された入力用導電性リード貫通電極35が反対側の面に引き出されたものであり、貫通部は気密になっている。下蓋32は、ガラス板36にエッチング等により約0.5mmの深さのキャビティ37が設けられ、このキャビティ37の底に下側電極カソード電極38が設置され、下側電極38に接続された出力用導電性リード貫通電極39が反対側の面に引き出されたものであり、貫通部は気密になっている。ここで、上側電極34及び下側電極38は、それぞれ上蓋31、下蓋32の面に沿って設置された簡単な構成であり、製造過程において電極にゆがみが生じることはない。なお、ガラス板33,36に電極34,38を設置する方法としては真空蒸着やスパッタ等の薄膜生成方法を用いればよい。下側電極38の材料としては、例えばニッケル、モリブデン、タングステンなど、紫外線が照射されることにより光電子を放出する金属が挙げられる。この際、上蓋31及び下蓋32に電極及び導電性リードを設置する加工技術として、MEMS加工技術を採用することにより、設計通りの寸法及び位置に電極や導電性リードを設置することができ、製造過程での細かな調整、修正は必要なくなる。なお、MEMSとは、微小電気機械システムMicroElectroMechanicalSystemのことである。図3bに示すように、このUVセンサは、上側電極34と下側電極38が平行に向かい合うように、上蓋31と下蓋32を接合して形成されており、向かい合う上側電極34と下側電極38間に例えば水素とネオンの混合ガスなど、規定のガスを封入する。この際、上蓋31と下蓋32の接合部分を鏡面に仕上げ、規定のガス雰囲気中で室温で直接接合することにより、上蓋31と下蓋32を接合して規定ガスを封入する。なお、上蓋31と下蓋32の接合は、このような直接接合技術により行っても良いし接着剤や加熱硬化接着剤により行ってもよい。このUVセンサに対して、図3bの矢印Aが示すように上面から紫外線光が照射されると、紫外線は、上蓋31のガラス板33及び網目状の上側電極34を透過し、下蓋32の下側電極38にぶつかる。このUVセンサは、上側電極34と下側電極38間に直流電圧を印加されており、このように紫外線が下側電極38にぶつかると上側電極34と下側電極38の間で放電が起きるので、この放電を検出することにより紫外線の有無火炎の有無を検出する。なお、上蓋31を形成する物質は、紫外線透過ガラス33に限らず、石英やサファイアなど紫外線透過物質であればよい。一方、下蓋32を形成する物質は、紫外線透過物質に限らず、素材によって制限されないが、上蓋31を形成する物質と同じ素材である方が接合後のゆがみなどがないため望ましい。さらに、下蓋32はガラス板36に電極となる金属を設置するものとしたが、下蓋32自体を上面を研磨したタングステン板などの金属板としたり、上面を研磨した紫外線透過ガラスと同じ熱膨張率を有する合金板に電極となる金属を設置するものとしてもよい。なお、下蓋32自体をタングステン板とする場合には、電極38を別途設ける必要はない。また、このように下蓋32を、タングステン板などの金属板又は紫外線透過ガラスと同じ熱膨張率を有する合金板とした場合には、出力用導電性リード39は不要となる。また、上蓋31の入力用導電性リード35及び下蓋32の出力用導電性リード39は、それぞれ電極と反対の面に引き出されるものとしたが、反対の面に限らず、別の面から外部に引き出されるものとしてもよい。以上のように、この発明の火炎センサによれば、電極34,38がそれぞれ設置された上蓋31及び下蓋32を備え、電極が平行に向かい合うように上蓋31と下蓋32を接合してUVセンサが形成されるので、電極34,38にゆがみの生じない火炎センサを容易に実現することができる。また、この発明の火炎センサによれば、UVセンサが非常に小型であるため、設置するのに必要なスペースが非常に小さく、ひとつの火炎センサに複数のUVセンサを設置することができる。これにより、例えば、設置したUVセンサのうち1つのUVセンサが故障しても、他のUVセンサにより火炎を検出することができるため、火炎センサの検出結果に冗長性を持たせることができると共に、火炎センサの寿命を延ばすことができる。実施の形態2.実施の形態1では、下蓋32にキャビティ37を設け、上蓋31と下蓋32を接合してUVセンサを形成する構成について記載しているが、下蓋32にキャビティ37を設けず、上蓋31と下蓋32の間に穴あきウェハ40を挟んで接合してUVセンサを形成する構成としてもよい。図4は、この発明の実施の形態2に係る火炎センサのUVセンサの構成図であり、実施の形態1の図3に示すUVセンサとの違いは、下蓋32がキャビティを有さないガラス板であり、上蓋31と下蓋32の間に例えば0.5mm厚の穴あきウェハ40を挟んで接合する点のみであり、その他の構成については実施の形態1と同じであるので説明を省略する。穴あきウェハ40は穴41を有するウェハであり、図4bに示すように、上蓋31の上側電極34と下蓋32の下側電極38が穴あきウェハ40の穴41において向かい合うように接合し、向かい合う上側電極34と下側電極38間に例えば水素とネオンの混合ガスなど、規定のガスを封入する。そして、図4cに示すように、上蓋31、下蓋32、穴あきウェハ40を接合したものをダイシングして個片に分離する。このようにして、一度に同じ構成のUVセンサを製造することができる。なお、接合については、実施の形態1同様、上蓋31と下蓋32と穴あきウェハ40の接合部分を鏡面に仕上げ、規定のガス雰囲気中で室温で直接接合することにより行ってもよいし、接着剤や過熱硬貨接着剤によって行ってもよい。以上のように、この発明の実施の形態2に係る火炎センサによれば、エッチング等によりキャビティ37を生成する必要がなく、UVセンサを容易に生成することが可能となり、また、同じ構成のUVセンサを一度に大量に生成することができる。実施の形態3.図5は、この発明の実施の形態3に係る火炎センサのUVセンサの構成図であり、実施の形態1の図3に示すUVセンサとの違いは、上蓋31がさらにレンズ状部42を備える点のみであり、その他の構成については実施の形態1と同じであるので説明を省略する。この発明のUVセンサは従来のUVセンサと比べて非常に小型であるため、UVセンサに入射する光量が少なくなり、紫外線が下側電極にぶつかりにくいので、紫外線検出火炎検出の精度を上げるために、上蓋31の上面にレンズ状部42を備えることが望ましい。そして、上蓋31の上面にレンズ状部42を備えることにより、UVセンサ自身が集光機能を備えるようになり、これにより、入射する光量が増加し、非常に小型なUVセンサであっても紫外線の検出火炎の検出精度が低下することを防ぐことができる。以上のように、この発明の実施の形態3に係る火炎センサによれば、上蓋31の上面をレンズ状にしたので、火炎センサ自身が集光機能を備え、入射する光量が増加し、非常に小型な火炎センサであっても紫外線の検出火炎の検出精度が低下することを防ぐことができる。実施の形態4.図6は、この発明の実施の形態4に係る火炎センサのUVセンサの構成図であり、実施の形態1の図3に示すUVセンサとの違いは、下蓋32に下側内電極43と下側外電極44の2枚の電極を設置しており、下側内電極43には出力用内側導電性リード45が、下側外電極44には出力用外側導電性リード46が、それぞれ接続されて反対側の面に引き出されている点のみであり、その他の構成については実施の形態1と同じであるので説明を省略する。この発明の実施の形態1に係る火炎センサの上側電極34と下側電極38は平行に配置されているため、両電極間の電界は中心部よりも外周部において強くなり、電極の外周部が放電しやすい状態になっている。このため、実際には火が消えており、紫外線の照射が終わっているにもかかわらず、特に電界の強い電極の外周部において放電が発生する、いわゆる偽放電が発生してしまう場合があり、この偽放電の検出を防ぐために下蓋32は下側内電極43と下側外電極44を備えることが望ましい。ここで、図7aは、この発明の実施の形態1に係る火炎センサの下側電極38を、図7bは、この発明の実施の形態4に係る火炎センサの下蓋32に設置された下側内電極43と下側外電極44を、それぞれ上側電極34側から見た形状を示す。図7aに示すように、下側電極38は円形であり、出力用導電性リード39が接続されている。この場合、上述のように中心部よりも外周部の電界が強くなっており、放電しやすい状態であるため、外周部において偽放電が発生してしまう場合がある。一方、図7bに示すように、下側内電極43は下側電極38よりも小さい円形の電極であり、出力用内側導電性リード45が接続されている。また、下側外電極44は下側内電極43の周りを囲うドーナツ形の電極であり、出力用外側導電性リード46が接続されている。図7bの場合も図7aの場合と同様に、中心部よりも外周部の電界の方が強くなるため、下側外電極44の方が下側内電極43よりも電界が強く、放電しやすい状態であり、偽放電が発生する場合がある。そこで、上側電極34と下側外電極44間において起こる偽放電を含む放電は検出しないで、上側電極34と下側内電極43間において起こる偽放電を含まない放電のみを検出するようにすることで、偽放電を含まない紫外線検出が可能となる。図8は、この発明の実施の形態4に係る火炎センサのUVセンサの回路図である。図8に示すように、上側電極34と下側内電極43間及び上側電極34と下側外電極44間に電圧源47によって直流電圧がかけられている。ここで、極板間において起こる放電を検出するために放電電流を測定する電流計48は、下側内電極43に接続された出力用内側導電性リード45には接続しているものの、下側外電極44に接続された出力用外側導電性リード46には接続していない。つまり、図8に示すUVセンサは、上側電極34と下側内電極43間において起きた偽放電を含まない放電のみを検出し、上側電極34と下側外電極44間において起きた偽放電を含む放電は検出しないので、偽放電を検出することはない。以上のように、この発明の実施の形態4に係る火炎センサによれば、下蓋32に設置された電極が接触しないように固定された外側部分と内側部分の2つに分かれているようにしたので、放電の起きやすい上側電極34と下側外電極44間で起こる偽放電を含む放電は検出しないで、上側電極34と下側内電極43間で起こる偽放電を含まない放電のみを検出することで、より精度よく紫外線を検出することができる。なお、本発明の実施の形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成は、上述した実施の形態の構成に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更などがあっても本発明に含まれることは言うまでもない。"