測定対象物を冷却する冷却サンプルホルダーであって、測定対象物を冷却する冷却部と、冷却によって発生する熱を放熱する放熱部と、測定対象物の温度を測定する温度測定部と、温度測定部によって測定される温度が一定となるように制御する温度制御部を備えることを特徴とする冷却サンプルホルダー。請求項1記載の冷却サンプルホルダーであって、前記冷却部がペルチェ素子であることを特徴とする冷却サンプルホルダー請求項1または請求項2記載の冷却サンプルホルダーであって、前記放熱部が、銅を含む金属材料からなるヒートシンクであることを特徴とする冷却サンプルホルダー。請求項3項に記載の冷却サンプルホルダーであって、前記ヒートシンクが、前記冷却部を越える表面積を持つことを特徴とする冷却サンプルホルダー。請求項1から4いずれか1項に記載の冷却サンプルホルダーであって、走査型プローブ顕微鏡のプローブを接近させる機構を有し、プローブと測定対象物との相互作用を検出する相互作用検出器を有し、走査型プローブ顕微鏡のプローブを測定対象物の表面上で走査する機構を有し、測定対象物の各点における前記相互作用を記録し、画像表示するデータ入出力、表示システムを有する顕微鏡撮像部を備えることを特徴とする冷却サンプルホルダー。請求項5に記載の冷却サンプルホルダーであって、前記顕微鏡撮像部を保持する顕微鏡保持部を有し、前記顕微鏡保持部の中心に測定対象物を搬入する搬入部を有することを特徴とする冷却サンプルホルダー。請求項6に記載の冷却サンプルホルダーであって、前記搬入部内に前記ヒートシンクを備えることを特徴とする冷却サンプルホルダー。上述したように、図1のサンプルホルダーはヒートアンカー6を常時氷水9により冷却することが必要となる。このため、従来のAFM用サンプルホルダーではスキャナーを制御する際に、常時氷水を用意する必要があり、装置全体の小型化に不向きである。また、氷水中の氷が完全に溶解するのに要する時間が、連続測定可能な時間限界となる。長時間、安定に低温に保つことが可能なAFM用サンプルホルダーが求められている。本発明はこのような点を鑑みて成されたもので、その目的は、AFMにおいて、高分解能観察ができる水準のノイズレベルを達成し、試料を中低温領域に冷却できるサンプルホルダーを提供することにある。請求項1に記載の発明は、測定対象物2を冷却する冷却サンプルホルダーであって、測定対象物2を冷却する冷却部11と、冷却によって発生する熱を放熱する放熱部12と、測定対象物2の温度を測定する温度測定部10と、温度測定部10によって測定される温度が一定となるように制御する温度制御部13を備える。請求項2に記載の発明は、請求項1記載の冷却サンプルホルダーであって、前記冷却部11がペルチェ素子1である。請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2記載の冷却サンプルホルダーであって、前記放熱部12が、銅を含む金属材料からなるヒートシンク14である請求項4に記載の発明は、請求項3項に記載の冷却サンプルホルダーであって、前記ヒートシンク14が、前記冷却部11を越える表面積を持つ。請求項5に記載の発明は、請求項1から4いずれか1項に記載の冷却サンプルホルダーであって、走査型プローブ顕微鏡のプローブ3を接近させる機構を有し、プローブ3と測定対象物2との相互作用を検出する相互作用検出器を有し、走査型プローブ顕微鏡のプローブ3を測定対象物2の表面上で走査する機構を有し、測定対象物2の各点における前記相互作用を記録し、画像表示するデータ入出力、表示システムを有する顕微鏡撮像部を備える。請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の冷却サンプルホルダーであって、前記、顕微鏡撮像部を保持する顕微鏡保持部を有し、前記顕微鏡保持部の中心に測定対象物2を搬入する搬入部を有する。請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の冷却サンプルホルダーであって、前記搬入部内に前記ヒートシンク14を備える。本発明によれば、走査型プローブ顕微鏡の保持部の中心に測定対象物2を冷却できる冷却部11を搬入し、走査型プローブ顕微鏡のプローブを測定対象物2に接近させ、前記プローブ3を走査することにより、測定対象物2の表面形状像を取得することができる。本発明によれば、測定対象物3の温度を温度測定部10で測定し、温度制御部13を制御することによって冷却部11の温度を制御することができ、測定対象物2を目標とする温度に冷却し、制御することができる。本発明によれば、前記冷却部11は、ペルチェ素子1に直流電流を流すことによって測定対象物2を冷却し、直流電流を制御することによって温度を制御できるため、測定対象物2を振動させることなく冷却できる。本発明によれば、放熱部12はヒートシンク14を用い、顕微鏡保持部によって保持されるため、測定対象物2を冷却するときに加わる負荷は、冷却部11と温度制御部13を接続する導線の接続にかかる負荷のみとなり、測定対象物2を振動させることなく、原子分子スケール観察が可能なノイズレベルで顕微鏡測定ができる。