鉄白金系合金にNイオンビームを照射して合金中に窒素原子を注入した後、合金の熱処理を行うことを特徴とする保磁力に優れた鉄白金系磁性合金の製造方法。Nイオンビーム照射によって鉄白金系合金に窒素原子を20at以上添加することを特徴とする請求項1記載の保磁力に優れた鉄白金系磁性合金の製造方法。鉄白金系合金の熱処理を水素雰囲気中で行うことを特徴とする請求項1または2に記載の保磁力に優れた鉄白金系磁性合金の製造方法。鉄白金系合金の熱処理を10×103Pa以下の高真空中でも行うことを特徴とする請求項3記載の保磁力に優れた鉄白金系磁性合金の製造方法。Nイオンビームを照射する鉄白金系合金が、Fe層とPt層を交互に積層したFePt多層薄膜であることを特徴とする請求項1~4の何れか一つに記載の保磁力に優れた鉄白金系磁性合金の製造方法。そこで本発明は、上記の如き問題に鑑みて為されたものであり、その目的とするところは、高機能な永久磁石材料の製造方法であって、鉄白金系合金の保磁力を増大させることができ、しかも、増大させる保磁力の大きさや増大させる部位についても容易に制御できる保磁力に優れた鉄白金系磁性合金の製造方法を提供することにある。本発明者が上記課題を解決するために採用した手段は次のとおりである。即ち、本発明は、鉄白金系磁性合金の製造方法において、鉄白金系合金にNイオンビームを照射して合金中に窒素原子を注入してから合金の熱処理を行う工程を採用した点に特徴がある。またその際には、Nイオンビーム照射によって鉄白金系合金に窒素原子を20at以上添加して磁性合金の保磁力を増大することができる。また、上記鉄白金系合金の熱処理については、熱処理を水素雰囲気中で行って合金中の酸素を抜くことにより磁性合金の保磁力を更に向上できる。そして更に、水素雰囲気中での熱処理に、10×103Pa以下の高真空中の熱処理を組み合わせれば保磁力の増大効果は一層顕著となる。そしてまた、上記Nイオンビームを照射する鉄白金系合金については、単層膜やバルク合金も使用できるが、特にFe層とPt層を交互に積層したFePt多層薄膜が好ましい。ちなみに本明細書中では、厚みがサブミクロンからサブミリオーダーのものを薄膜合金、厚みがミリオーダー以上のものをバルク合金と呼ぶ。本発明では、鉄白金系磁性合金の製造する際、熱処理を行う前に、鉄白金系合金にNイオンビームを照射して窒素原子を直接注入する工程を採用したことにより、従来の反応性スパッタ法よりも窒素元素の添加量を大幅に増やすことが可能となる。またそれによって、保磁力の増大効果も従来以上に引き上げることができる。またここで、窒素元素の添加により保磁力が増大する理由についても簡単に説明しておくと、合金の保磁力は、熱処理時におけるFePt結晶子の成長によって著しく低下する傾向があるが、予め合金中に注入した窒素原子が熱処理時に外部に放出されることでこの結晶子の成長が抑えられ、その結果、保磁力が向上すると考えられている。また、FePt多層膜を使用する場合には、窒素原子が放出されて生じた合金中の格子欠陥によって、熱処理時における鉄白金原子の拡散が促進され、結晶の秩序化が進むことで、合金の磁気性能が向上するとも考えられる。一方、本発明では、窒素原子の導入手段にNイオンビームを用いたことにより、イオンビームのビーム電流や照射時間、照射面積を調節して、増大させる保磁力の大きさや増大させる部位の制御も容易に行うことができるため、最適な保磁力を有する鉄白金系磁石を製造することが可能となる。したがって、本発明により、マイクロ化に対応でき腐食環境にも耐え得る高機能な鉄白金系磁石の保磁力を一層向上することができ、しかも、永久磁石の用途に合わせて保磁力の調整も行える鉄白金系磁性合金の製造方法を提供できることから、本発明の実用的利用価値は頗る高い。実施例1本発明の実施例1について、以下に説明する。まずこの実施例1では、電子ビーム加熱蒸着装置を用いてFePt多層膜の成膜を行った。なお、成膜基板には、表面が酸化被膜で覆われたシリコンウェハを使用し、成膜時の装置内の真空度は1×104Paに設定した。そして、成膜時においては、蒸着原子の吸着性が向上させるために最初に基板を600°Cまで加熱した後、この加熱した基板表面にPt層を10nm成膜し、その後、基板の温度を100°Cまで下げた上で、成膜したPt層の上からFe層とPt層を交互にFePt層が17周期繰り返されるように堆積させた。なお、上記方法で成膜したFePt多層膜の厚さは、断面SEM像から判断して110±5nmであった。また、成膜時におけるFePt各層の成膜速度は、Fe層が04Ås、Pt層が03Åsであった。他方、FePt多層膜の組成は、エネルギー分散X線分光測定およびラザフォード後方散乱測定からFe54Pt46と求められた。そして次に、上記FePt多層膜に対し、中電流イオン注入装置を用いてNイオンビームの照射し、窒素原子の注入を行った。その際、注入する窒素イオンのエネルギーは、窒素原子をFePt膜中に広く分布させるために120keV或いは130keVの何れかを選択した。なお、上記イオン注入において、SRIMコードによって計算された窒素原子の飛程はFePt多層膜の膜厚の約半分であり、注入時の試料温度は80°C以下であった。また本実施例では、窒素原子の注入を、注入量05~35×1017atomscm2添加量6~31atの範囲で段階的に行い複数のサンプルを作製した。下記の表1にサンプルの具体的な内容を示す。なお、窒素の注入量は、Nイオンビームのビーム電流、照射面積、照射時間から計算した。また、添加量は、FePt多層膜の密度を140gcm3とし、膜厚を110nmとして計算した。そして最後に、上記窒素原子を注入したサンプルを、赤外線ランプアニール装置によって熱処理することでFePt薄膜合金を作製した。なお加熱条件に関しては、加熱温度を650°C、加熱時間を15分間とし、高真空中で加熱した。また、最高温度までの到達時間は10分間とした。実施例2次に、本発明の実施例2について、以下に説明する。この実施例2では、上記実施例1と同じ方法条件でFePt多層膜の成膜、及び窒素原子の注入を行う一方、FePt多層膜の熱処理については、高真空中での熱処理だけでなく水素雰囲気下での熱処理も組み合わせて行った。具体的には、一回目の熱処理の条件を、加熱温度650°C、加熱時間15分間、高真空雰囲気とし、二回目の熱処理の条件を、加熱温度350°C、加熱時間30分間、01気圧中の水素雰囲気とした。また、どちらの熱処理も最高温度までの到達時間は10分とした。効果の実証試験次に、本発明の保磁力増大効果を実証するために行った実証試験について説明する。この実証試験では、実施例1の方法で作製したFePt薄膜合金と、実施例2の方法で作製したFePt薄膜合金についてそれぞれ保磁力を測定した。その結果、図1に示すように、窒素原子を22at以上添加した試料D~F及びD’~F’の方が、添加なしの比較試料S及びS’よりも膜面に対し水平方向の保磁力が高い数値で計測された。また、膜面に対し垂直方向の保磁力も、窒素原子を11at以上添加した試料B~F及びB’~F’の方が添加なしの比較試料S及びS’よりも高い数値で計測された。したがって、上記保磁力の測定結果により、窒素元素を多く注入した試料の方が保磁力が増大していることが確認できた。また、高真空中のみで熱処理を行った試料A~Fよりも水素雰囲気下での熱処理を組み合わせた試料A’~F’の方が保磁力が向上していることも確認できた。図1のグラフの具体的な数値については以下の表2に示す。一方、この実証試験では、試料FF’と比較試料SS’の磁化曲線の測定も行った。その結果は図2に示す。なお、保磁力及び磁化曲線の測定は、PPMSVSMmaxも大きな低下は見られなかった。本発明の作用効果に関する検証試験次に、本発明の作用効果を裏付けるために行った検証試験について説明する。この検証試験では、窒素の注入量が16×1017atomscm2及び32×1017atomscm2の2種類のFePt薄膜について、窒素注入前、熱処理前、熱処理後の各段階で60MeVの4He2イオンビームを照射して後方散乱スペクトルの測定を行った。その結果、図3に示すように、Fe及びPtによって散乱した4Heのカウント数から、FeとPtの組成比が5446であると求められた。なお、上記測定時のビーム電流は7nA、検出角は165°とした。また60MeVの4Heの14Nによる165°方向への微分散乱断面積は86×1026cm2であり、FeおよびPtからの微分散乱断面積にはラザフォードの散乱断面積を用いた。また更に、図4に示すグラフは、上記後方散乱スペクトルのカウント数からFePt合金中のNの面密度を算出したものであるが、この結果からFePt合金中の窒素元素は注入直後には注入した量だけほぼそのまま合金中に残っているものの、FePt合金の熱処理後には注入された窒素の殆どが外部に放出されていることが確認できた。本発明の作用効果に関する検証試験次に、本発明の作用効果を裏付けるために行った検証試験について説明する。この検証試験では、窒素元素の注入量および熱処理の条件の異なる5つの試料についてX線回折装置RigakuRINT2500を用いて、X線回折パターンの測定を行った。なお、測定は入射X線をCuKαとし、q2q法により行った。また、測定に用いた試料~の詳細は以下に記載する。N注入量:なし、熱処理の条件:650°C15分間高真空中、N注入量:15×1017atomscm2、熱処理の条件:650°C15分間高真空中、N注入量:30×1017atomscm2、熱処理の条件:650°C15分間高真空中、N注入量:15×1017atomscm2、熱処理の条件:650°C15分間高真空中350°C30分間01気圧の水素雰囲気、N注入量:30×1017atomscm2、熱処理の条件:650°C15分間高真空中350°C30分間01気圧の水素雰囲気。そして、上記X線回折パターンの測定によって得られた図5のFePt回折ピークから、Scherrerの式を用いて得られた結晶子の大きさを求めたところ、図6に示す数値が算出された。またこの結果により、窒素の注入量が多い方が、熱処理後のFePt合金の結晶子が小さくなること、及び水素雰囲気で加熱しても、結晶子の大きさは変わらないことが確認できた。本発明は、概ね上記のように構成されるが、記載した実施例にのみ限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載内において種々の変更が可能であって、例えば、Nイオンビームを照射する鉄白金系合金には、FePt多層膜だけでなくFePt単層膜やバルク合金等も使用することもできる。また、鉄白金系合金に薄膜合金を使用する場合には、蒸着以外の例えば、スパッタ法や電着法、冷間圧延法等によってFePt薄膜を成膜することができ、またバルク合金の場合に関しても、一般的に用いられている種々の方法を採用することができる。また更に、鉄白金系合金にバルク合金を使用する場合には、Nイオンビームの照射に用いるイオン注入器に、高エネルギーイオン注入装置を用いることによってバルク合金の深い部分にまで窒素元素を注入することができる。そしてまた、熱処理の条件に関しても、高真空中の加熱を組み合わせず水素雰囲気下の加熱のみで熱処理を行っても優れた保磁力増大効果が得られることが分かっており、何れのものも本発明の技術的範囲に属する。