第1圧力が掛かった冷却液を取入れる取入れ口と、前記冷却液を排出する排出口と、を有したハウジングと、前記ハウジング内に収容され、電子を放出する陰極と、前記陰極から放出される電子が衝突されることによりX線を放出する陽極ターゲットと、前記陰極及び陽極ターゲットが収納配置された真空外囲器と、前記陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱を前記第1圧力より低い第2圧力が掛かった前記冷却液に沸騰熱伝達し、かつ前記ハウジングの排出口に直接、又は継手を介して間接的に接続されている熱伝達面と、を有したX線管と、前記取入れ口と前記排出口と間の前記ハウジング内に形成され、前記冷却液を収容し、前記熱伝達面を含む循環路と、前記ハウジングの取入れ口と排出口との間に取付けられ、前記循環路との間で前記冷却液を循環させる循環ポンプと、を備えていることを特徴とするX線管装置。前記循環路は、前記ハウジングの内面と前記X線管の外面との間の空間を含んでいることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記ハウジングの取入れ口と前記循環ポンプとの間に取付けられ、前記冷却液の熱を外部に放出する熱交換器をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記循環路は、前記冷却液が、前記ハウジング内部、前記熱伝達面の順に流れるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記陰極から前記陽極ターゲットに向かう電子が前記陽極ターゲットにて反跳した反跳電子を捕獲する内面を有し、前記循環路の一部を形成する反跳電子捕獲構造体をさらに備え、前記循環路は、前記冷却液が、前記ハウジング内部及び反跳電子捕獲構造体の一方、前記ハウジング内部及び反跳電子捕獲構造体の他方、前記熱伝達面の順に流れるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。容器と、前記容器を、前記循環路を含む前記冷却液の流路に連通し前記冷却液が充満する第1空間と、第2空間とに隔て、前記冷却液の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズと、を有したベローズ機構をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。上記のようなX線管装置では、X線を放出させて使用する際、熱伝達面近傍の冷却液はサブクール沸騰状態となる。その場合の冷却液としては蒸発熱が大きい水系冷却液が好ましく、一般的に水またはグリコール水溶液が使用される。冷却液を含んだままでの装置の輸送を行う場合には、凍結を防ぐため、グリコール水溶液が使用される。いずれにしても、沸点は大気圧下で100°C以上となるため、熱伝達面近傍の冷却液温度は100°Cを越えることになる。また、冷却器のポンプより吐出した冷却液は大気圧より高い圧力となっているため、沸点はさらに高くなる。冷却液が高温となり、陽極ターゲットの冷却特性が悪化した場合、X線管装置に、例えば以下に示すような悪影響を及ぼすことになる。1安全上の問題として、X線管装置の外表面温度が80°C以上とならない設計が求められる。しかし、冷却液の沸点が100°C以上である場合、長時間の熱負荷が継続されるとこの安全基準を満たすことが困難となるという大きな問題がある。2グリコールは冷却液中に酸素が存在すると、酸化されて最終的にはギ酸やグリコール酸が生成される。このため、冷却液としてグリコール水溶液を使用した場合、使用期間中に次第に酸性になり、冷却液に浸る金属の腐食を増大させる。その結果、腐食による真空破壊を引き起こしたり、腐食生成物がフィルタをつまらせて冷却液の循環流量を低下させたり、腐食生成物がスケールとして熱伝達面に堆積することにより熱伝達率が低下してX線管内部温度が上昇して故障を引き起こしたりする場合がある。このような腐食の進行悪化の速度は冷却液の温度が高いほど大きく、上記の100°Cを超える温度は好ましくない。冷却液の循環路が密閉系である場合、予め冷却液を脱気しておくことにより初期的には冷却液中に溶存する酸素の量は少ない状態が保たれるが、長期間の使用に伴って、外気から非常に遅い速度で侵入してくる酸素ガスの累積的影響は無視できるレベルではない。冷却液の循環路が開放系である場合にはより深刻な結果となる。また、上記のように、腐食生成物がスケールとして熱伝達面に堆積してしまった場合、救済する手立てはなかった。熱伝達率が低下してX線管内部温度が上昇する結果引き起こされる故障が予期せず発生するため、X線の曝射が長期間中断されてしまうという恐れがある。3特許文献3のように液体金属を潤滑材とした軸受を介して熱伝達を行う場合には、軸受面の温度が高いと軸受面と液体金属との反応が促進され、次第に軸受面に反応物が堆積して軸受性能が低下する。このため軸受設計では使用時の軸受面温度を極力低くすることが要求される。冷却液の沸点が100°C以上であることは、熱伝達面の温度は110°C乃至160°Cとなることを意味し、これが上記の軸受設計上の障害となる場合がある。この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を提供することにある。一実施形態に係るX線管装置は、第1圧力が掛かった冷却液を取入れる取入れ口と、前記冷却液を排出する排出口と、を有したハウジングと、前記ハウジング内に収容され、電子を放出する陰極と、前記陰極から放出される電子が衝突されることによりX線を放出する陽極ターゲットと、前記陰極及び陽極ターゲットが収納配置された真空外囲器と、前記陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱を前記第1圧力より低い第2圧力が掛かった前記冷却液に沸騰熱伝達し、かつ前記ハウジングの排出口に直接、又は継手を介して間接的に接続されている熱伝達面と、を有したX線管と、前記取入れ口と前記排出口と間の前記ハウジング内に形成され、前記冷却液を収容し、前記熱伝達面を含む循環路と、前記ハウジングの取入れ口と排出口との間に取付けられ、前記循環路との間で前記冷却液を循環させる循環ポンプと、を備えていることを特徴としている。以下、図面を参照しながら第1の実施形態に係るX線管装置について詳細に説明する。図1に示すように、X線管装置は、例えばX線画像診断装置や非破壊検査装置に組み込まれ、対象物すなわち非検査対象に対して照射すべきX線を放射するものである。X線管装置は、固定陽極型のX線管装置であり、ハウジング2と、ハウジング2に収容され、所定強度のX線を所定方向に向けて放射可能なX線管1と、冷却液3を循環させる冷却装置5とを備えている。X線管1は、電子を放出する陰極と、陰極から放出される電子が衝突されることによりX線を放出する陽極ターゲットと、陰極及び陽極ターゲットが収納配置された真空外囲器と、陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられる熱伝達面1sと、を有している。X線管1は、冷却液取入れ口1b及び冷却液排出口1cを含む熱伝達チャンバ1aをさらに有している。熱伝達面1sでは、X線管1の内部における熱流速が最も高くなるものである。熱伝達面1sは、熱伝達チャンバ1aの壁面である。熱伝達面1sは、熱伝達率に優れた材料として、例えば銅等の金属で形成されている。熱伝達チャンバ1aは、陽極ターゲットに近接している。熱伝達チャンバ1aは、冷却液3が循環する領域である。熱伝達チャンバ1aを冷却液3が循環することで、X線管1、特に陽極ターゲットが冷却される。X線管装置は、ハウジング2内に形成された循環路6を備えている。循環路6は、ハウジング2における冷却液3の取入れ口と冷却液3の排出口と間に形成されている。循環路6は、ハウジング2の内面とX線管1の外面との間の空間ハウジング内部を含んでいる。循環路6は、冷却液3を収容し、熱伝達チャンバ1a熱伝達面1sを含んでいる。冷却液取入れ口1bは、ハウジング2に取付けられたソケット2aに気密に連通している。冷却液排出口1cは、ハウジング2に取付けられたソケット2bに気密に連通している。図1乃至図4に示すように、X線管1は固定陽極型のX線管である。X線管1は、真空外囲器131を備えている。真空外囲器131は、真空容器132と、絶縁部材150とを備えている。この実施形態において、絶縁部材150は、高電圧絶縁部材として機能している。絶縁部材150には陰極136が取り付けられ、絶縁部材150は、真空外囲器131の一部を形成している。陽極ターゲット135は、真空外囲器131の一部を形成している。陽極ターゲット135は、真空外囲器131の外部に小さく開口し、ターゲット面135b近傍で膨らんだ壺形に形成されている。陽極ターゲット135、陰極136、集束電極109及び加速電極108は、真空外囲器131に収納されている。陽極ターゲット135には、電圧供給配線が接続されている。陽極ターゲット135及び加速電極108は接地電位に設定されている。陰極136及び集束電極109と対向した個所の真空容器132は筒状に形成されている。陰極136には、負の高電圧が印加される。集束電極109には、調整された負の高電圧が供給される。真空外囲器131の内部は真空状態である。金属表面部134は、X線透過窓131wの真空側の表面を含む真空容器132の内側に設けられ、接地電位に設定されている。また、X線管1は、管部141と、環部142とを備えている。管部141は、金属で形成されている。管部141の一端部は、陽極ターゲット135の内部に挿入されている。環部142は、陽極ターゲット135内に設けられている。環部142は、管部141の一端部の側面を囲むように管部141と一体に形成されている。環部142は陽極ターゲット135に隙間を置いて設けられている。管部141の他端部は、冷却液排出口1cを形成している。陽極ターゲット135の開口は、管部141との間に冷却液取入れ口1bを形成している。このため、ハウジング2内は、冷却液3で満たされる。ハウジング2は、X線透過窓131wに対向したX線透過窓2wを有している。ハウジング2において、冷却液3を取入れる取入れ口にはソケット2aが取付けられ、冷却液3を排出する排出口にはソケット2bが取付けられている。ソケット2bは、冷却液排出口1cに連通している。ハウジング2の取入れ口は、第1圧力が掛かった冷却液を取入れるものである。熱伝達面1sは、ハウジング2の排出口に直接、又は継手を介して間接的に接続されている。ここでは、熱伝達面1sは、ハウジング2の排出口に管部141を介して間接的に接続されている。ハウジング2内には、偏向部170が収容されている。偏向部170は、磁気偏向部であり、真空容器132の外側で、電子ビームの軌道を取り囲む位置に設けられている。偏向部170は、陰極136から放出される電子ビームを偏向させ、焦点の位置をターゲット面135b上で移動させるものである。図1に示すように、冷却装置5は、循環流路10、循環ポンプ20、ベローズ機構としての空盆30及び熱交換器40を有している。また、冷却装置5は、循環流路10、循環ポンプ20、空盆30及び熱交換器40を収容した筐体5aを有している。循環流路10は、導管10a、導管10b及び導管10cを有している。導管10aの一端には、プラグ11が気密に取付けられている。ソケット2b及びプラグ11は、着脱可能な連結器としてのカプラ8を形成している。導管10cの一端には、プラグ12が気密に取付けられている。ソケット2a及びプラグ12は、着脱可能な連結器としてのカプラ9を形成している。循環流路10は、熱伝達面1sを含む循環路6に連通されている。詳しくは、導管10aは、カプラ8を介して循環路6の冷却液排出口1cに連通している。導管10cは、カプラ9を介して循環路6の冷却液取入れ口1bに連通している。循環流路10は、熱伝達面1sから放出される熱沸騰熱が伝達される冷却液3を収容する。循環ポンプ20は、ハウジング2における冷却液3の取入れ口と冷却液3の排出口との間に取付けられている。ここでは、循環ポンプ20は循環流路10に気密に取付けられている。詳しくは、循環ポンプ20は、導管10a及び導管10b間に気密に取付けられている。循環ポンプ20は、導管10bに冷却液3を吐き出し、導管10aから冷却液3を取り込む。循環ポンプ20は、循環路6との間で冷却液3を循環させることができる。これにより、冷却液3は、導管10b、導管10c、循環路6及び導管10aの順に流れる。循環路6は、冷却液3が、ハウジング2内部、熱伝達面1sの順に流れるように形成されている。このため、熱伝達面1sには、上記第1圧力より低い第2圧力が掛かった冷却液3が流れる。そして、熱伝達面1sから第2圧力が掛かった冷却液3に沸騰熱伝達される。ベローズ機構としての空盆30は、容器31及びベローズ32を有している。容器31は、開口部31aを有している。ベローズ32は、容器31を、循環路6を含む冷却液3の流路に連通し冷却液3が充満する第1空間33と、第2空間34とに隔てる。ここでは、開口部31aは第1空間33に開口し、循環流路10の導管10aに気密に連通されている。ベローズ32は、容器31に液密に取付けられている。ここでは、ベローズ32はゴムで形成されている。ベローズ32は、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収し、伸縮自在である。このため、ベローズ32は、冷却液3の体積の膨張及び収縮を吸収することができる。熱交換器40は、循環流路10に取付けられ、詳しくは、ハウジング2における冷却液3の取入れ口と循環ポンプ20との間に取付けられ、冷却液3の熱を外部に放出する。熱交換器40は、ラジエータ41、ファン42及びファン43を有している。ラジエータ41は、導管10b及び導管10cに気密に取付けられている。熱交換器40は、ファン42及びファン43により、ラジエータ41に空気を吹き付けることにより、冷却液3の熱を外部へ放出させ、冷却液3を冷却するものである。なお、熱交換器40及び循環ポンプ20も循環流路10の一部を形成している。上記のようにX線管装置が形成されている。上記のように構成された第1の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、ハウジング2と、X線管1と、循環路6と、循環ポンプ20と、を備えている。ハウジング2は、第1圧力が掛かった冷却液3を取入れる取入れ口を有している。X線管1の熱伝達面1sは、循環ポンプ20の吸い込み口の近くに配置されている。熱伝達面1sでは、陽極ターゲット135への電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられるため、X線管1の内部における熱流速が最も高く、第1圧力より低い第2圧力が掛かった冷却液3が流れるものである。圧力が低減された冷却液3が熱伝達面1sを流れるため、次に挙げる効果を得ることができる。冷却液3に掛かる圧力を第1圧力から第2圧力に低減できた分、冷却液3の沸点を下げることができる。冷却液3の温度が高温にならなくとも、優れた熱流速を得ることができる。X線管装置の外表面温度を上がり難くすることができるため、長時間の熱負荷が継続される場合であっても、X線管装置の外表面温度が80°C以上とならない設計に貢献することができる。上記のように優れた熱流速を得ることができるため、冷却液3の温度の上昇を抑制することができ、冷却液3に浸る金属の腐食を低減することができる。冷却液3に金属部分が接触し、金属部分が腐食し易い銅を主成分とする材料で形成されている場合であっても、腐食の発生を抑制することができる。すなわち、冷却液3によるX線管装置の内部腐食を低減することができる。熱伝達チャンバ1aや、循環流路10に穴が形成される等の腐食によって生じる不良を低減できるため、長期にわたって信頼性が高く、製品寿命の長いX線管装置を得ることができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第2の実施形態に係るX線管装置について詳細に説明する。この実施形態において、X線管装置は、回転陽極型のX線管装置である。また、上記第1の実施形態と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。図5に示すように、X線管装置は、ハウジング2と、ハウジング2内に収容された回転陽極型のX線管1とを備えている。X線管1は、後述する陽極ターゲット226の電位が接地電位となる陽極接地型のX線管である。ハウジング2内には、冷却液3が収容されている。冷却液3としては、例えばグリコール水などの不凍液を含む水系冷却液を利用することができる。ハウジング2は、第1圧力が掛かった冷却液3を取入れる取入れ口2iと、冷却液3を排出する排出口2oと、を有している。取入れ口2iと排出口2oと間のハウジング2内には、熱伝達面1sを含む循環路6が形成されている。冷却液3は、循環路6に収容されている。取入れ口2iはホースを介してソケット2aに接続されている。排出口2oはホースを介してソケット2bに接続されている。冷却液3は、循環路6と冷却装置5との間で循環され、冷却器にて冷却される。ハウジング2は、X線が透過するX線透過窓2wを有している。X線管1は、真空外囲器215を備えている。真空外囲器215は、円筒状の径大部216と、径大部216より径の小さい円筒状の径小部217及び径小部218とを有している。径大部216及び径小部217は、円環部216aを介して気密に接続されている。径大部216及び径小部218は、円環部216bを介して気密に接続されている。径小部217の一端は、円環部217aで閉塞されている。径小部218の一端は、円環部218aで閉塞されている。円環部216aの中心から外れた開口部には、周壁部38が気密に取り付けられている。径大部216の外周面には、X線が透過するX線透過窓220が取り付けられている。X線透過窓220は、X線透過窓2wに対向している。X線管1は、固定軸223、回転体224及び陽極ターゲット226を備えている。固定軸223は、真空外囲器215内に配置され、真空外囲器215の中心に位置している。固定軸223は、中心軸に沿って開口した筒状に形成されている。固定軸223には、陽極ターゲット226への電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられる熱伝達面1sが形成されている。熱伝達面1sでは、X線管1の内部における熱流速が最も高いものである。熱伝達面1sは、ハウジング2の排出口2oに直接、又は継手を介して間接的に接続されている。ここでは、熱伝達面1sは、ハウジング2の排出口2oに直接、接続されている。回転体224は、真空外囲器215内に配置され、固定軸223により回転可能に支持されている。回転体224は、径小部218内に位置したロータ部225を有している。なお、X線管1は、すべり軸受けを使用しており、固定軸223及び回転体224間には、潤滑剤としての液体金属が充填されている。液体金属としては、例えばガリウムインジウム錫合金GaInSnを利用することができる。陽極ターゲット226は、円環状に形成され、回転体224の外周面に固定されている。ここでは、陽極ターゲット226は、内周面全体が回転体224の外周面から連続するように回転体224と一体成形されている。後述する陰極231と対向した側の陽極ターゲット226には、所定の角度で傾斜が形成されている。陽極ターゲット226の傾斜部上には、ターゲット層227が形成されている。ターゲット層227に陰極231から放出される電子が衝撃することにより焦点が形成され、焦点からX線が放出される。径小部218真空外囲器215の外側には、コイルステータコイル228が配置されている。コイル228は、ロータ部225に与える誘導電磁界を発生する。これにより、ロータ部225、すなわち、回転体224及び陽極ターゲット226を回転させることができる。X線管1は、陰極231を備えている。陰極231は、ターゲット層227に対向配置されている。陰極231は、電子を放出する電子発生源としてのフィラメント232と、フィラメント232を支持する陰極支持体233とを備えている。ここでは、フィラメント232は、長手方向が陽極ターゲット226の径方向に沿うように配置されている。陰極支持体233は、絶縁体235に固定されている。周壁部238は、絶縁体としての絶縁セラミックスにて筒状に形成され、円環部216aの開口部及び絶縁体235に気密に接続されている。また、周壁部238は、ハウジング2に液密に接続されている。絶縁体235及び周壁部238は、陰極収納部219を形成し、陰極収納部219は真空外囲器215の一部を形成している。このため、真空外囲器215内には、陰極231及び陽極ターゲット226が収納配置されている。なお、X線管1は陽極接地型のX線管であるが、陽極ターゲット226のみならず、真空外囲器215の金属部分も接地電位に設定されている。冷却装置5は、循環流路10、循環ポンプ20、ベローズ機構としての空盆30及び熱交換器40を有している。また、冷却装置5は、循環流路10、循環ポンプ20、空盆30及び熱交換器40を収容した筐体5aを有している。循環流路10は、熱伝達面1sを含む循環路6に連通されている。詳しくは、導管10aは、カプラ8を介してハウジング2の排出口2oに連通している。導管10cは、カプラ9を介してハウジング2の取入れ口2iに連通している。循環流路10は、熱伝達面1sから放出される熱沸騰熱が伝達される冷却液3を収容する。循環ポンプ20は、ハウジング2の取入れ口2iと排出口2oとの間に取付けられている。ここでは、循環ポンプ20は循環流路10に気密に取付けられている。詳しくは、循環ポンプ20は、導管10a及び導管10b間に気密に取付けられている。循環ポンプ20は、導管10bに冷却液3を吐き出し、導管10aから冷却液3を取り込む。循環ポンプ20は、循環路6との間で冷却液3を循環させることができる。これにより、冷却液3は、導管10b、導管10c、循環路6及び導管10aの順に流れる。循環路6は、冷却液3が、ハウジング2内部、熱伝達面1sの順に流れるように形成されている。このため、熱伝達面1sには、上記第1圧力より低い第2圧力が掛かった冷却液3が流れる。そして、熱伝達面1sから第2圧力が掛かった冷却液3に沸騰熱伝達される。ベローズ機構としての空盆30は、容器31及びベローズ32を有している。容器31は、開口部31aを有している。ベローズ32は、容器31を、循環路6を含む冷却液3の流路に連通し冷却液3が充満する第1空間33と、第2空間34とに隔てる。ここでは、開口部31aは第1空間33に開口し、循環流路10の導管10aに気密に連通されている。ベローズ32は、容器31に液密に取付けられている。ここでは、ベローズ32はゴムで形成されている。ベローズ32は、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収し、伸縮自在である。このため、ベローズ32は、冷却液3の体積の膨張及び収縮を吸収することができる。熱交換器40は、循環流路10に取付けられ、詳しくは、ハウジング2における冷却液3の取入れ口と循環ポンプ20との間に取付けられ、冷却液3の熱を外部に放出する。熱交換器40は、ラジエータ41、ファン42及びファン43を有している。ラジエータ41は、導管10b及び導管10cに気密に取付けられている。熱交換器40は、ファン42及びファン43により、ラジエータ41に空気を吹き付けることにより、冷却液3の熱を外部へ放出させ、冷却液3を冷却するものである。なお、熱交換器40及び循環ポンプ20も循環流路10の一部を形成している。上記のように構成されたX線管装置において、X線撮影時には、コイル228が発生する誘導電磁界がロータ部225に与えられ、回転体224及び陽極ターゲット226が回転する。陰極231のフィラメント232から放出される電子は陽極ターゲット226に衝突し、フィラメント232の形状に対応したX線焦点がターゲット層227に形成される。ターゲット層227のX線焦点から発生したX線は、真空外囲器215のX線透過窓220及びハウジング2のX線透過窓2wを透過して外部へ出射される。上記のように構成された第2の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、ハウジング2と、X線管1と、循環路6と、循環ポンプ20と、を備えている。ハウジング2は、第1圧力が掛かった冷却液3を取入れる取入れ口2iを有している。X線管1の熱伝達面1sは、循環ポンプ20の吸い込み口の近くに配置されている。熱伝達面1sでは、陽極ターゲット226ターゲット層227への電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられるため、X線管1の内部における熱流速が最も高く、第1圧力より低い第2圧力が掛かった冷却液3が流れるものである。圧力が低減された冷却液3が熱伝達面1sを流れるため、上記第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。その他、次に挙げる効果を得ることができる。液体金属を潤滑材とした軸受を介して陽極ターゲット226から熱伝達面1sに熱伝達を行う場合図5であっても、上記のように優れた熱流速を得ることができるため、固定軸223及び回転体224の軸受面と、液体金属との反応を低減することができる。これにより、回転体224陽極ターゲット226の回転速度を上げることができ、したがって陽極ターゲット226ターゲット層227への電子ビームの入射量を増やすことができ、X線出力を上げることができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第3の実施形態に係るX線管装置について詳細に説明する。この実施形態において、X線管装置は、回転陽極型のX線管装置である。また、上記第2の実施形態と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。図6に示すように、X線管1は、反跳電子トラップ構造体239をさらに備えている。反跳電子トラップ構造体239は、円環部216aの開口部及び周壁部238に気密に接続されている。反跳電子トラップ構造体239は、陰極収納部219を形成している。反跳電子トラップ構造体239は、中心部にフィラメント232から放出される電子を通過させる円形状の開口部241を有し、環状に形成されている。反跳電子トラップ構造体239は、フィラメント232から放出される電子がターゲット層227へ移動する軌道電子ビームの軌道を取り囲むように配置されている。反跳電子トラップ構造体239において、陰極231に対向する面は、平坦面であり、ターゲット層227に対向する面は凹面であり、外周面は円筒状に形成されている。反跳電子トラップ構造体239は、ターゲット層227陽極ターゲット226にて反跳した反跳電子を捕獲する内面を有している。反跳電子トラップ構造体239は、熱伝導性の高い材料で形成されることが好ましい。反跳電子トラップ構造体239は、銅、銅合金、GLID-COPなどの強化銅、モリブデン、モリブデン合金などの金属材料を利用して形成する他、熱伝導率の大きいSiC、AlN、BeOなどのセラミックス表面を金属薄膜でコーティングしたものを利用して形成することができる。反跳電子トラップ構造体239は、冷却構造としての冷却液流路242を備えている。冷却液流路242は、反跳電子トラップ構造体239の内部に形成され、冷却液3が循環する冷却液の流路である。この場合、冷却液流路242の冷却液3を冷却器に循環させることにより、反跳電子トラップ構造体239を冷却することができる。冷却液流路242は、循環路6の一部を形成している。なお、X線管1は陽極接地型のX線管であるが、この場合、反跳電子トラップ構造体239も接地電位に設定されている。循環路6は、冷却液3が、ハウジング2内部及び反跳電子トラップ構造体239冷却液流路242の一方、ハウジング2内部及び反跳電子トラップ構造体239冷却液流路242の他方、熱伝達面1sの順に流れるように形成されている。ここでは、循環路6は、冷却液3が、ハウジング2内部、反跳電子トラップ構造体239冷却液流路242、熱伝達面1sの順に流れるように形成されている。このため、熱伝達面1sには、上記第1圧力より低い第2圧力が掛かった冷却液3が流れる。そして、熱伝達面1sから第2圧力が掛かった冷却液3に沸騰熱伝達される。上記のように構成された第3の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、ハウジング2と、X線管1と、循環路6と、循環ポンプ20と、を備えている。ハウジング2は、第1圧力が掛かった冷却液3を取入れる取入れ口2iを有している。X線管1の熱伝達面1sは、循環ポンプ20の吸い込み口の近くに配置されている。熱伝達面1sでは、陽極ターゲット226ターゲット層227への電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられるため、X線管1の内部における熱流速が最も高く、第1圧力より低い第2圧力が掛かった冷却液3が流れるものである。圧力が低減された冷却液3が熱伝達面1sを流れるため、上記第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。その他、X線管1が反跳電子トラップ構造体239を備えている場合であっても、冷却液3にて反跳電子トラップ構造体239を冷却することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。例えば、冷却液は、水系冷却液に限定されるものではなく、種々変形可能であり、沸点の低い絶縁油などを利用することも可能である。また、X線管1は、陰極にのみ高電圧を印加する陽極接地型、陽極ターゲットにのみ高電圧を印加する陰極接地型、陰極及び陽極ターゲットの両方に高電圧を印加する中性点接地型の何れであっても、上記の効果を得ることができる。ベローズ機構空盆30は、循環路6を含む冷却液3の流路に連通されていればよい。このため、ベローズ機構は、筐体5aの内部に限らず、冷却装置5と独立して筐体5aの外部に設けられていてもよく、また、ハウジング2内に設けられていてもよい。冷却装置5等が冷却液3を収容するタンクを有している場合、冷却装置5は、熱交換器40無しに形成されていてもよい。反跳電子トラップ構造体は実施例で示したような、陰極から陽極ターゲットに向かう電子の軌道を取り囲む構造のものに限らず、陽極ターゲットにて反跳した反跳電子を捕獲する内面を有する任意の構造を採用することができる。本発明は、上述したX線管装置に限定されるものではなく、各種の沸騰熱伝達可能な熱伝達面を有するX線管装置に適用可能である。