"ステータコイルが形成されたステータと、前記ステータと隙間を介して対向しながら動作可能に設けられた可動子と、を有する位置センサにおいて、前記可動子の前記ステータに対向する位置に形成された可動子パターンが、非磁性導電体部が周期的に形成されたものであること、前記ステータコイルが、励磁コイルと検出コイルを有すること、前記励磁コイルと前記検出コイルが共に同じ方向に巻回されており、前記励磁コイルと前記検出コイルの幅が共に、前記可動子パターンの1周期と同じ幅であること、を特徴とする位置センサ。請求項1に記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルが、第1励磁コイルと第2励磁コイルを有し、前記第1励磁コイルと前記第2励磁コイルのピッチが、前記可動子パターンの半周期分ずれて配置されていること、前記検出コイルが、第1検出コイルと第2検出コイルを有し、前記第1検出コイルと前記第2検出コイルのピッチが、前記可動子パターンの半周期分ずれて配置されていること、を特徴とする位置センサ。請求項1または請求項2に記載する位置センサにおいて、前記可動子パターンが、非磁性導電体製可動子の表面に、磁性体を塗布乾燥させたものであること、を特徴とする位置センサ。請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルと前記検出コイルが、同層に並べて配置されていること、を特徴とする位置センサ。請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルと前記検出コイルが、重ねて配置されていること、を特徴とする位置センサ。請求項1乃至請求項5のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、励磁信号が、1MHz以上の高周波であること、前記検出コイルを流れる高周波検出信号に対して、包絡線検波による信号処理を行うこと、を特徴とする位置センサ。請求項1乃至請求項6のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記可動子が、回転するロータ可動板であること、前記励磁コイルと前記検出コイルが、フレキシブルプリント基板で形成されており、前記フレキシブルプリント基板が、前記ステータに一体樹脂モールドされていること、を特徴とする位置センサ。請求項3に記載する位置センサにおいて、基準位置信号であるZ信号を出力するために、前記可動子パターンの一部に、前記磁性体が厚さを異ならせて塗布されていること、を特徴とする位置センサ。しかしながら、特許文献2の技術では、検出信号が弱いため、十分な検出信号を得るためには、位置センサ全体を大きくする必要があり、小型化の要求を満たすことができない問題があった。検出信号が弱いことの理由を、本出願人は、以下のように分析している。図10に特許文献2の技術を模式的に示す。例えば、ロータパターン103を構成する凸部101と凹部102とは、同じ幅であり、角度で表現すれば、共に4度である。これにより、ロータパターン103の1周期は、8度である。ステータに形成された励磁コイル107の内周に一対のサーチコイル104、105が配置されている。サーチコイル104、105の幅は共に、ロータパターン103の半周期分4度である。図10の状態では、凸部101とサーチコイル105が対向しており、凹部102とサーチコイル104が対向している。そのためのサーチコイル105で発生する起電力検出電圧が最大値となり、サーチコイル104で発生する起電力は最低値である。サーチコイル106は、サーチコイル104とサーチコイル105との合計値となる。図11に、図10の状態から、ロータパターン103が半周期分図中左方向に移動した状態を示す。凸部101が、サーチコイル104とサーチコイル105の中間に位置している。励磁コイル107により発生する磁束は、コイル配線の周囲に発生するものであり、コイル配線の近くで大きな磁束密度となり、コイル配線から離れると磁束密度が小さくなる。図11の状態では、磁束密度が高く通過可能な凸部101が、励磁コイル107の左右に位置するコイル配線から遠いため、磁束の発生が小さく、検出コイルにおいて起電力が少ししか発生しないと考えられる。図10の状態では、励磁コイル107の左右に位置するコイル配線と凸部101が近くに位置するので、ある程度の起電力検出電圧を得ることができるが、図11の状態では、励磁コイル107の左右に位置する配線と凸部とが離れた位置にあるので、少しの起電力検出電圧しか得ることができない。そのため、全体として、信号値の検出電圧値が少なくなり、S/N比が低下する問題があると考える。この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、S/N比の高い位置センサを提供することにある。上記目的を達成するために、本発明の位置センサは、次の構成を有する。1ステータコイルが形成されたステータと、ステータと隙間を介して対向しながら動作可能に設けられた可動子と、を有する位置センサにおいて、a可動子のステータに対向する位置に形成された可動子パターンが、非磁性導電体部が周期的に形成されたものであること、bステータコイルが、励磁コイルと検出コイルを有すること、c励磁コイルと検出コイルが共に同じ方向に巻回されており、励磁コイルと検出コイルの幅が共に、可動子パターンの1周期と同じ幅であること、を特徴とする。21に記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルが、第1励磁コイルと第2励磁コイルを有し、前記第1励磁コイルと前記第2励磁コイルのピッチが、前記可動子パターンの半周期分ずれて配置されていること、前記検出コイルが、第1検出コイルと第2検出コイルを有し、前記第1検出コイルと前記第2検出コイルのピッチが、前記可動子パターンの半周期分ずれて配置されていること、を特徴とする。31または2に記載する位置センサにおいて、前記可動子パターンが、非磁性導電体製可動子の表面に、磁性体を塗布乾燥させたものであること、を特徴とする。41乃至3のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルと前記検出コイルが、同層に並べて配置されていること、を特徴とする。すなわち、多層構造を有するコイル構造において、同じ層に並べて配置されている。51乃至3のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルと前記検出コイルが、重ねて配置されていること、を特徴とする。すなわち、多層構造を有するコイル構造において、絶縁層を挟んだ異なる層に形成されており、前記励磁コイルと前記検出コイルが完全に重ねられている状態を言う。61乃至5のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、励磁信号が、1MHz以上の高周波であること、前記検出コイルを流れる高周波検出信号に対して、包絡線検波による信号処理を行うこと、を特徴とする。71乃至6のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記可動子が、回転するロータ可動板であること、前記励磁コイルと前記検出コイルが、フレキシブルプリント基板で形成されており、前記フレキシブルプリント基板が、前記ステータに一体樹脂モールドされていること、を特徴とする。83に記載する位置センサにおいて、基準位置信号であるZ信号を出力するために、可動子パターンの一部に、前記磁性体が厚さを異ならせて塗布されていること、を特徴とする。本発明の位置センサは、上記構成を有することにより、次のような作用、効果を奏する。1ステータコイルが形成されたステータと、ステータと隙間を介して対向しながら動作可能に設けられた可動子と、を有する位置センサにおいて、a可動子のステータに対向する位置に形成された可動子パターンが、非磁性導電体部が周期的に形成されたものであること、bステータコイルが、励磁コイルと検出コイルを有すること、c励磁コイルと検出コイルが共に同じ方向に巻回されており、励磁コイルと検出コイルの幅が共に、可動子パターンの1周期と同じ幅であること、を特徴とするので、励磁コイルと検出コイルとが同じ幅で構成され、かつ可動子パターンの1周期であるため、励磁コイルのコイル配線が、非磁性導電体部でない位置磁性体部の位置に対向しているときに、励磁コイルのコイル配線の周囲で発生する磁束密度の高い磁束により、大きな起電力検出電圧を得ることができ、S/N比を高くすることができる。21に記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルが、第1励磁コイルと第2励磁コイルを有し、前記第1励磁コイルと前記第2励磁コイルのピッチが、前記可動子パターンの半周期分ずれて配置されていること、前記検出コイルが、第1検出コイルと第2検出コイルを有し、前記第1検出コイルと前記第2検出コイルのピッチが、前記可動子パターンの半周期分ずれて配置されていること、を特徴とするので、第1検出コイルの左右一対のコイル配線が、磁性体部と対向しているときに、第2検出コイルの左右一対のコイル配線が非磁性導電体部と対向しているため、第1検出コイルと第2検出コイルとの差が大きく変化するため、第1検出コイルと第2検出コイルとの差動増幅により信号値を得ると、大きな信号値Sを得ることができるため、さらにS/N比を高くすることができる。31または2に記載する位置センサにおいて、前記可動子パターンが、非磁性導電体製可動子の表面に、磁性体を塗布乾燥させたものであること、を特徴とするので、非磁性導電体部と磁性体部とを交互に形成するのに、特許文献2の技術のように、可動子外周面を切削加工等の機械加工を行う必要がないため、コストを低減することができる。41乃至3のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルと前記検出コイルが、同層に並べて配置されていること、を特徴とするので、励磁コイルと検出コイルとを同層に二重に巻回しているため、コイルをインクジェットプリンタで塗布し、乾燥させて形成すれば、微細なコイル配線パターンを形成できるため、位置センサの検出精度を高くすることができる。51乃至3のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記励磁コイルと前記検出コイルが、重ねて配置されていること、を特徴とするので、異なる層において、励磁コイルと検出コイルの位置を径方向で完全に一致させることができるため、検出精度の高い位置センサを実現できる。61乃至5のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、励磁信号が、1MHz以上の高周波であること、前記検出コイルを流れる高周波検出信号に対して、包絡線検波による信号処理を行うこと、を特徴とする。従来、高周波を使用することにより、検出コイルの配線パターンの数を少なくできることが知られている。本発明においても、1MHz以上の高周波を使うことにより、検出コイルの配線パターンの数を少なくできたのである。高周波の励磁信号を使うと、検出信号も高周波で出力される。本発明では、出力された高周波信号を、包絡線検波による信号処理を行うことにより、信号を得ているので、簡便な方法で精度の高い信号を得ることができる。71乃至6のいずれか1つに記載する位置センサにおいて、前記可動子が、回転するロータ可動板であること、前記励磁コイルと前記検出コイルが、フレキシブルプリント基板で形成されており、前記フレキシブルプリント基板が、前記ステータに一体樹脂モールドされていること、を特徴とするので、回転体であるロータ可動板の一部に対向するステータを、小型化することができ、全体としてコンパクトな位置センサを提供することができる。83に記載する位置センサにおいて、基準位置信号であるZ信号を出力するために、可動子パターンの一部に、前記磁性体が厚さを異ならせて塗布されていること、を特徴とするので、可動子パターンの一部の磁性体を、例えば厚く形成するだけで、Z信号を得ることができるため、余分な装置を必要としないため、低コストでZ信号を得ることができる。以下、この発明の位置センサをクランク軸の回転角センサであるロータリーエンコーダに具体化した第1実施例につき図面を参照して詳細に説明する。図3に、ロータリーエンコーダ8の全体構成を模式図で示す。ロータリーエンコーダ8は、回転軸に取り付けられたロータ10と、ロータ10の外周の一部に対向して固設されたステータ9より構成されている。ロータ10の外周に形成されたロータパターン13、及びステータ9を構成する検出コイル16、励磁コイル17,18を図1に示す。ロータパターン13は、外周に形成されているため正確には円弧状に配置されているが、見やすくするために、平面化して記載している。本実施例のロータ10は、非磁性導電体金属製であり、外径80mm、幅図1における上下方向の厚み10mmの円筒形状である。外周の幅全体にロータパターン13が形成されている。本実施例では、ロータ10を非磁性体金属であるSUSステンレスで製造したが、アルミ製等でも良い。図1に示すように、ロータパターン13は、ステンレス製ロータ10の外周面に、磁性体部11が周期的に形成されている。磁性体部11の角度幅図1における左右方向の厚みは、4度にしている。磁性体部11は、スクリーン印刷により、磁性粉末磁性体を樹脂バインダに混合したものをストライプ状に塗布し、乾燥させることにより形成している。磁性粉末としては、本実施例では、フェライトを使用しているが、フェライトに限るものではない。磁性体部11が形成されていない部分が、非磁性導電体部12を構成している。非磁性導電体部12の角度幅は、磁性体部11と同じく2度にしている。磁性体部11と非磁性導電体部12とで、ロータパターン13が形成されている。ロータパターン13の角度幅は、4度であり、全周に90周期分形成されている。ここで、ロータパターン13の90箇所の磁性体部11のうち、連続する2箇所の磁性体部の厚みのみを他の磁性体部の2倍の厚みとしている。これは、ロータ10の基準位置とするためである。ステータ9の構成を、図4に示す。ステータ本体26には、取付板24が固設されている。ステータ本体26の上面には、回路部25が付設されている。回路部25は、製品としてはモールドに覆われていて外部から見えないのであるが、図4では、モールドの一部を省略して図示している。ステータ本体26の先端面はロータ10の曲率に合わせた曲率の円弧を形成している。ステータ本体26の先端面には、フレキシブルプリント基板23が、一体的にモールドされている。フレキシブルプリント基板23の表面には、2組の検出コイル1614A、15A、14B、15B、2組の励磁コイル17,18が形成されている。検出コイル16、励磁コイル17,18は、フレキシブルプリント基板で構成されている。第1実施例の検出コイル16、励磁コイル17,18の詳細な構成を図2に示す。検出コイル16は、一対の第1検出コイル14と第2検出コイル15とを有している。第1検出コイル14は、第1励磁コイル17と二重に巻回されている。すなわち、第1検出コイル14の間に、第1励磁コイル17が配置されている。同様に、第2検出コイル15は、第2励磁コイル18と二重に巻回されている。すなわち、第2検出コイル15の間に、第2励磁コイル18が配置されている。第1検出コイル14と第2検出コイル15は、約2周分巻回されている。第1励磁コイル17と第2励磁コイル18も、約2周分巻回されている。第1検出コイル14及び第1励磁コイル17の角度幅は、ロータパターンの1周期分である4度としている。同じく、第2検出コイル15及び第2励磁コイル18の角度幅は、ロータパターンの1周期分である4度としている。第1検出コイル14及び第1励磁コイル17と、第2検出コイル15及び第2励磁コイル18とは、図1に示すように、2度ロータパターン13の半周期分位相がずれて形成している。すなわち、第1検出コイル14及び第1励磁コイル17と、第2検出コイル15及び第2励磁コイル18とは、周期を同じにするならば4度をずらして形成するのであるが、本実施例では4度ではなく、6度ずらして、2度位相をずらしているのである。第1検出コイル14の外周端部は、端子14aを構成している。第1検出コイル14の内周端部14bは、別な層において端子19の接続部19aに接続されている。第1励磁コイル17の外周端部17aは、別な層において端子21の接続部21aに接続されている。第2検出コイル15の外周端部は、端子15aを構成している。第2検出コイル15の内周端部15bは、別な層において端子20の接続部20aに接続されている。第2励磁コイル18の外周端部18aは、別な層において、第1励磁コイル17の内周端部17bと接続されている。第2励磁コイル18の内周端部18bは、別な層において端子22の接続部22aに接続されている。次に、ロータリーエンコーダ8の検出ブロック図を図9に示す。励磁コイル17,18には、本実施例では、2MHzの高周波正弦波を入力している。高周波の励磁信号波を用いることにより、検出コイル16の巻線の数を少なくできるのである。本実施例では、2MHzの高周波を用いているが、検出コイル16の巻回数を、本実施例のように2周期分取るならば、1MHzの高周波を用いても良い。第1検出コイル14の端子14aの出力S1、端子19の出力S2を差動アンプ31に入力して、差動増幅して、信号S5を得る。同時に、第2検出コイル15の端子15aの出力S3、端子20の出力S4を差動アンプ32に入力して、差動増幅して、信号S6を得る。次に、差動アンプ31で差動増幅された高周波信号S5の外形包絡線を包絡線検波器33で包絡線検波して、信号の出力波形S7を得る。また、差動アンプ32で差動増幅された高周波信号S8の外形包絡線を包絡線検波器34で包絡線検波して、信号の出力波形S8を得る。包絡線検波器33の出力波形S7と、包絡線検波器34の出力波形S8は、半周期位相がずれて形成されている。これは、第1検出コイル14と第2検出コイル15とが、ロータパターン13に対して、半周期位相をずらして配置されているためである。次に、包絡線検波器33の出力波形S7と、包絡線検波器34の出力波形S8を、差動アンプ35に入力して、両者を差動増幅して、信号S9を得る。次に、差動アンプ35の出力信号S9をコンパレータ36に入力して、パルス信号S10を得る。パルス信号S10をカウントすることにより、ステータ9に対するロータ10の回転角度を算出することができる。また、差動アンプ35の出力信号S9は、コンパレータ37にも入力されている。コンパレータ37の基準値は、コンパレータ36より大きく設定されており、磁性体が厚く形成されている磁性体部11Aが、検出コイル16の位置に来たときに発生する通常より大きい出力信号のみを選択的に検出している。次に、上記構成を有するロータリーエンコーダ8の作用を説明する。図6に、検出コイル16と励磁コイル1718の位置に対して、非磁性導電体部12が丁度内側に入り込んでいる状態を示す。また、図7に、検出コイル16と励磁コイル1718の位置に対して、磁性体部11が丁度内側に入り込んでいる状態を示す。図6の状態では、励磁コイル1718のコイル配線の近くで発生する磁束は、磁性体部11内を通過するため、高い磁束密度の磁束が発生する。高い磁束密度の磁束が発生すると、検出コイル16に発生する起電力も大きくなる。一方、図7の状態では、励磁コイル1718のコイル配線の近くで発生する磁束は、非磁性導電体部12を通過する。非磁性導電体部12は、非磁性導電体金属製であるため、非磁性導電体部12の表面では、渦電流が発生し、励磁コイル1718で発生した磁束と反対方向励磁コイル1718で発生した磁束を打ち消す方向に磁束が発生する。そのため、励磁コイル1718で発生した磁束は打ち消されて弱くなるため、検出コイル16で起電力は、ほとんど発生しない。第1検出コイル14と第2検出コイル15が、ロータパターン13に対して図1に示す位置関係にある場合には、第1検出コイル14は、図7に示す状態にあり、第2検出コイル15は、図6に示す状態にある。そのため、第2検出コイル15には、大きな起電力が発生し、第1検出コイル14には、ほとんど起電力が発生しない。一方、第1検出コイル14と第2検出コイル15が、ロータパターン13に対して図5に示す位置関係にある場合には、第1検出コイル14は、図6に示す状態にあり、第2検出コイル15は、図7に示す状態にある。そのため、第1検出コイル14には、大きな起電力が発生し、第2検出コイル15には、ほとんど起電力が発生しない。第1検出コイル14の波形は、差動アンプ35のプラス入力端子に入力され、第2検出コイル15の波形は、差動アンプ35のマイナス入力端子に入力されているため、差動アンプ35の出力信号S9の波形として、図5の位置関係にある場合には、プラス側のS91の波形となり、図1の位置関係にある場合には、マイナス側のS92の波形となる。例えば、第1検出コイル14と第2検出コイル15の幅を、ロータパターン13の1周期分の幅角度としているので、図1に示すように、非磁性導電体部12が第2検出コイル15のコイル配線の内側に完全に入った状態になり、磁性体部11が第2検出コイル15のコイル配線に対応する位置にあるため、第2検出コイル15で大きな起電力を得ることができる。同時に、磁性体部11が第1検出コイル14のコイル配線の内側に完全に入った状態になり、非磁性導電体部12が第1検出コイル14のコイル配線に対応する位置にあるため、第1検出コイル14において、ほとんど起電力を発生させないことができる。なお、ここで、コイル幅とは、実効的なコイル幅のこと、すなわち、コイルの最外周間の距離からコイル配線の幅を引き算したものであり、コイルの最外周間の距離等、コイルが占める空間の幅とは異なる。また、磁性体部11Aの位置が、検出コイル16の位置に来たときには、差動アンプ35の出力信号S9の振幅が大きくなる。コンパレータ37は、その大きい出力信号のみを選択的に検出するため、コンパレータ37の出力信号により、ロータ10の基準位置をZ信号として得ることができる。以上詳細に説明したように、本発明の第1実施例のロータリーエンコーダ8によれば、1aロータ10のステータ9に対向する位置に形成されたロータパターン13が、非磁性導電体部12が周期的に形成されたものであること、bステータコイルが、励磁コイル17,18と検出コイル1614、15を有すること、c励磁コイル17,18と検出コイル16が共に同じ方向に巻回されており、励磁コイル17,18と検出コイル16の幅が共に、ロータパターン13の1周期と同じ幅であること、を特徴とするので、励磁コイル17,18と検出コイル16とが同じ幅で構成され、かつロータパターン13の1周期であるため、励磁コイル17,18のコイル配線が、非磁性導電体部12でない位置磁性体部11の位置に対向しているときに、励磁コイル17,18のコイル配線の周囲で発生する高い磁束密度の磁束により、大きな起電力検出電圧を得ることができ、S/N比を高くすることができる。2さらに、励磁コイルが、第1励磁コイル17と第2励磁コイル18を有し、第1励磁コイル17と第2励磁コイル18のピッチが、ロータパターン13の半周期分ずれて配置されていること、検出コイル16が、第1検出コイル14と第2検出コイル15を有し、第1検出コイル14と第2検出コイル15のピッチが、ロータパターン13の半周期分ずれて配置されていること、を特徴とするので、第1検出コイル14の左右一対のコイル配線が、磁性体部11と対向しているときに、第2検出コイル15の左右一対のコイル配線が非磁性導電体部12と対向しているため、第1検出コイル14と第2検出コイル15との差が大きく変化するため、両者の差動増幅により信号値を得ると、大きな信号値Sを得ることができるため、さらにS/N比を高くすることができる。3さらに、ロータパターン13が、非磁性導電体製ロータの表面に、磁性体を塗布乾燥させたものであること、を特徴とするので、非磁性導電体部12と磁性体部11とを交互に形成するのに、特許文献2の技術のように、ロータ外周面を切削加工等の機械加工を行う必要がないため、コストを低減することができる。4さらに、励磁コイル17,18と検出コイル16が、同層に並べて配置されていること、を特徴とするので、励磁コイル17,18と検出コイル16とを同層に二重に巻回しているため、コイルをインクジェットプリンタで塗布し、乾燥させて形成すれば、微細なコイル配線パターンを形成できるため、ロータリーエンコーダ8の検出精度を高くすることができる。5さらに、励磁信号が、1MHz以上の高周波であること、検出コイル16を流れる高周波検出信号に対して、包絡線検波による信号処理を行うこと、を特徴とするので、検出コイルの配線パターンの数を少なくできたのである。高周波の励磁信号を使うと、検出信号も高周波で出力される。本実施例では、出力された高周波信号を、包絡線検波による信号処理を行うことにより、信号を得ているので、簡便な方法で精度の高い信号を得ることができる。6さらに、ロータ10が、回転するロータであること、励磁コイル17,18と検出コイル16が、フレキシブルプリント基板23で形成されており、フレキシブルプリント基板23が、ステータ本体26の先端面に一体樹脂モールドされていること、を特徴とするので、回転体であるロータ10の一部に対向するステータ9を、小型化することができ、全体としてコンパクトな位置センサを提供することができる。7さらに、基準位置信号であるZ信号を出力するために、ロータパターン13の一部に、磁性体が厚さを異ならせて塗布されていること、を特徴とするので、ロータパターン13の一部の磁性体を、例えば厚く形成するだけで、Z信号を得ることができるため、余分な装置を必要としないため、低コストでZ信号を得ることができる。次に、本発明の第2の実施例について説明する。第2実施例は、基本的内容は第1実施例と同じなので、重複する内容については、説明を割愛し、異なる点のみ詳細に説明する。第2実施例の第1検出コイル41、第2検出コイル42、第1励磁コイル45、及び第2励磁コイル46を図8に示す。第1検出コイル41と第2検出コイル42とは、同じ第1層に形成されており、第1励磁コイル45、第2励磁コイル46は、第1層と絶縁層を挟んで重ねられた第2層に形成されている。ここで、第1検出コイル41と第1励磁コイル45とは、層は異なるが完全に重なる位置に配置されている。また、第2検出コイル42と第2励磁コイル46とは、層は異なるが完全に重なる位置に配置されている。第1検出コイル41の一端は端子41aを構成し、他端41bは端子43に接続されている。第2検出コイル42の一端は端子42aを構成し、他端42bは端子44に接続されている。第1励磁コイル45の一端は端子45aを構成し、他端45bは端子47に接続されている。第2励磁コイル46の一端は端子46aを構成し、他端46bは端子48に接続されている。第2実施例のロータリーエンコーダ8によれば、第1励磁コイル45と第1検出コイル41が重ねて配置され、第2励磁コイル46と第2検出コイル42が重ねて配置されていること、を特徴とするので、異なる層において、励磁コイルと検出コイルの位置を径方向で完全に一致させることができるため、検出精度の高いロータリーエンコーダ8を実現できる。なお、この発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で構成の一部を適宜に変更して実施することもできる。本実施例では、角度検出用のロータリーエンコーダ8について説明したが、検出コイルの配線パターン、及びロータ10を直線状に形成することにより、直動型の位置センサを形成することができる。また、本実施例では、磁性粉末を樹脂バインダに混合したものを塗布乾燥させて、ロータパターン13の磁性体部11を形成しているが、焼結フェライトシート等の磁性シートを貼り付けることにより、ロータパターン13を形成しても良い。また、本実施例では、ロータ10の外周面にパターンを形成し、対向する径方向外側に励磁コイル、検出コイルを配置したが、ロータ10の回転軸方向の表面にパターンを形成し、対向する軸方向に、励磁コイル、検出コイルを配置しても良い。"