"1感放射線性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程、2上記塗膜をフォトマスクを介して露光する工程、3上記露光された塗膜を現像する工程、及び4上記現像された塗膜を加熱する工程を有する硬化膜形成方法であって、上記感放射線性樹脂組成物が、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、[C]光重合開始剤、及び[D]酸発生剤を含有し、かつ上記工程2において、紫外線LEDを光源として露光することを特徴とする硬化膜形成方法。[A]アルカリ可溶性樹脂が、メタアクリロイルオキシ基を有する構造単位及びエポキシ基を有する構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含む共重合体である請求項1に記載の硬化膜形成方法。[D]酸発生剤が、300nm以上の光で酸を発生する酸発生剤である請求項1又は請求項2に記載の硬化膜形成方法。[D]酸発生剤の含有割合が、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.05質量部以上10質量部以下である請求項1、請求項2又は請求項3に記載の硬化膜形成方法。上記感放射線性樹脂組成物が、[E]着色剤をさらに含有する請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の硬化膜形成方法。請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の形成方法から形成される硬化膜。請求項6に記載の硬化膜を備える表示素子。[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、[C]光重合開始剤、及び[D]酸発生剤を含有する紫外線LED用感放射線性樹脂組成物。本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は光重合開始剤の昇華を抑制しつつ、紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いる場合においても、優れた表面硬化性及び深部硬化性を有する硬化膜を形成可能な硬化膜形成方法を提供することである。上記課題を解決するためになされた発明は、1感放射線性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程、2上記塗膜をフォトマスクを介して露光する工程、3上記露光された塗膜を現像する工程、及び4上記現像された塗膜を加熱する工程を有する硬化膜形成方法であって、上記感放射線性樹脂組成物が、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物以下、[B]重合性化合物とも称する、[C]光重合開始剤、及び[D]酸発生剤を含有し、かつ上記工程2において、紫外線LEDを光源として露光することを特徴とする硬化膜形成方法である。本発明の形成方法に用いられる感放射線性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂と[D]酸発生剤とを含有し、ポジ型の感放射線特性を発揮することができる。また、紫外線LEDに感応して、[C]光重合開始剤は、[B]重合性化合物の重合を開始する。本発明の形成方法によれば、上記特定成分を含有する感放射線性樹脂組成物を用いることで、露光光源として紫外線LEDを用いた場合においても、光重合開始剤の昇華を抑制しつつ、紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いる場合においても、優れた表面硬化性及び深部硬化性を有する硬化膜を形成することができる。[A]アルカリ可溶性樹脂は、メタアクリロイルオキシ基を有する構造単位及びエポキシ基を有する構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含む共重合体であることが好ましい。[A]アルカリ可溶性樹脂が、上記特定構造単位を含むことで、優れた表面硬化性及び深部硬化性を有する硬化膜を形成することができる。[D]酸発生剤は、300nm以上の光で酸を発生する酸発生剤であることが好ましい。[D]酸発生剤を300nm以上の光で酸を発生する酸発生剤とすることで紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いる場合においても十分な酸を発生することができる。[D]酸発生剤の含有割合は、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.05質量部以上10質量部以下であることが好ましい。[D]酸発生剤の含有割合を上記特定範囲とすることで、より深部硬化性に優れる硬化膜を形成することができる。上記感放射線性樹脂組成物は、[E]着色剤をさらに含有してもよい。上記感放射線性樹脂組成物が、[E]着色剤をさらに含有することで当該形成方法は各種カラーフィルタの作製等においても好適に適用できる。本発明には、当該形成方法から形成される硬化膜及び当該硬化膜を備える表示素子も好適に含まれる。本発明の感放射線性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物、[C]光重合開始剤、及び[D]酸発生剤を含有する。本発明には紫外線LED用感放射線性樹脂組成物も好適に含まれる。本発明の形成方法によれば、光重合開始剤の昇華を抑制しつつ、紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いる場合においても、優れた表面硬化性及び深部硬化性を有する硬化膜を提供することができる。従って、当該形成方法は、カラー表示素子用カラーフィルタ、固体撮像素子の色分解用カラーフィルタ、有機EL表示素子用カラーフィルタ、電子ペーパー用カラーフィルタ等、各種カラーフィルタの作製に好適に適用できる。本発明の硬化膜形成方法は、上記工程1~4を有し、当該形成方法に用いられる感放射線性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物、[C]光重合開始剤及び[D]酸発生剤を含有する。以下、感放射線性樹脂組成物、各工程、硬化膜、表示素子の順で詳述する。<感放射線性樹脂組成物>当該形成方法に用いられる感放射線性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物、[C]光重合開始剤及び[D]酸発生剤を含有する。また、好適な成分として[E]着色剤を含有してもよい。さらに、本発明の効果を損なわない限りその他の任意成分を含有してもよい。以下、各成分を詳述する。<[A]アルカリ可溶性樹脂>[A]アルカリ可溶性樹脂としては、アルカリ難溶性又は不溶性で、露光により発生する酸によりアルカリ可溶性となる性質を有する樹脂であれば特に限定されないが、メタアクリロイルオキシ基を有する構造単位及びエポキシ基を有する構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含む共重合体であることが好ましい。[A]アルカリ可溶性樹脂が、上記特定構造単位を含むことで、優れた表面硬化性及び深部硬化性を有する硬化膜を形成することができる。[A]アルカリ可溶性樹脂は、A1不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群より選択される少なくとも1種以下、A1化合物とも称すると、A2エポキシ基含有不飽和化合物以下、A2化合物とも称するとを共重合して合成することができる。[A]アルカリ可溶性樹脂は、例えば溶媒中で重合開始剤の存在下、カルボキシル基含有構造単位を与えるA1化合物と、エポキシ基含有構造単位を与えるA2化合物とを共重合することによって製造できる。また、A3水酸基含有構造単位を与える水酸基含有不飽和化合物以下、A3化合物とも称するをさらに加えて、共重合体とすることもできる。さらに、[A]アルカリ可溶性樹脂の製造においては、上記A1化合物、A2化合物及びA3化合物と共に、A4化合物上記A1、A2及びA3化合物に由来する構造単位以外の構造単位を与える不飽和化合物をさらに加えて、共重合体とすることもできる。以下、各化合物を詳述する。[A1化合物]A1化合物としては、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和ジカルボン酸の無水物、多価カルボン酸のモノメタアクリロイルオキシアルキルエステル、両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノメタアクリレート、カルボキシル基を有する不飽和多環式化合物及びその無水物等が挙げられる。不飽和モノカルボン酸としては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等;不飽和ジカルボン酸としては、例えばマレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等;不飽和ジカルボン酸の無水物としては、例えば上記ジカルボン酸として例示した化合物の無水物等;多価カルボン酸のモノメタアクリロイルオキシアルキルエステルとしては、例えばコハク酸モノ2-メタアクリロイルオキシエチル、フタル酸モノ2-メタアクリロイルオキシエチル等;両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノメタアクリレートとしては、例えばω-カルボキシポリカプロラクトンモノメタアクリレート等;カルボキシル基を有する不飽和多環式化合物及びその無水物としては、例えば5-カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-6-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-6-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン無水物等が挙げられる。これらのA1化合物のうち、モノカルボン酸、ジカルボン酸無水物、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸が好ましく、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸が共重合反応性、アルカリ水溶液に対する溶解性及び入手の容易性からより好ましい。これらのA1化合物は、単独で使用してもよいし2種以上を混合して使用してもよい。A1化合物の使用割合としては、A1化合物並びにA2化合物必要に応じて任意のA3化合物及びA4化合物の合計に基づいて、5質量~30質量が好ましく、10質量~25質量がより好ましい。A1化合物の使用割合を5質量~30質量とすることによって、[A]アルカリ可溶性樹脂のアルカリ水溶液に対する溶解性を最適化すると共に、放射線性感度に優れる感放射線性樹脂組成物が得られる。[A2化合物]A2化合物はラジカル重合性を有するエポキシ基含有不飽和化合物である。エポキシ基としては、オキシラニル基1,2-エポキシ構造、オキセタニル基1,3-エポキシ構造が挙げられる。オキシラニル基を有する不飽和化合物としては、例えばアクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2-メチルグリシジル、α-エチルアクリル酸グリシジル、α-n-プロピルアクリル酸グリシジル、α-n-ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸3,4-エポキシブチル、メタクリル酸3,4-エポキシブチル、アクリル酸6,7-エポキシヘプチル、メタクリル酸6,7-エポキシヘプチル、α-エチルアクリル酸-6,7-エポキシヘプチル、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、メタクリル酸3,4-エポキシシクロへキシルメチル等が挙げられる。これらのうち、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2-メチルグリシジル、メタクリル酸-6,7-エポキシヘプチル、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、メタクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシルが、共重合反応性及び着色パターン等の耐溶媒性等の向上の観点から好ましい。オキセタニル基を有する不飽和化合物としては、例えば3-アクリロイルオキシメチルオキセタン、3-アクリロイルオキシメチル-2-メチルオキセタン、3-アクリロイルオキシメチル-3-エチルオキセタン、3-アクリロイルオキシメチル-2-トリフルオロメチルオキセタン、3-アクリロイルオキシメチル-2-ペンタフルオロエチルオキセタン、3-アクリロイルオキシメチル-2-フェニルオキセタン、3-アクリロイルオキシメチル-2,2-ジフルオロオキセタン、3-アクリロイルオキシメチル-2,2,4-トリフルオロオキセタン、3-アクリロイルオキシメチル-2,2,4,4-テトラフルオロオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチルオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチル-2-エチルオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチル-3-エチルオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチル-2-トリフルオロメチルオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチル-2-ペンタフルオロエチルオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチル-2-フェニルオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチル-2,2-ジフルオロオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチル-2,2,4-トリフルオロオキセタン、3-2-アクリロイルオキシエチル-2,2,4,4-テトラフルオロオキセタン等のアクリル酸エステル;3-メタクリロイルオキシメチルオキセタン、3-メタクリロイルオキシメチル-2-メチルオキセタン、3-メタクリロイルオキシメチル-3-エチルオキセタン、3-メタクリロイルオキシメチル-2-トリフルオロメチルオキセタン、3-メタクリロイルオキシメチル-2-ペンタフルオロエチルオキセタン、3-メタクリロイルオキシメチル-2-フェニルオキセタン、3-メタクリロイルオキシメチル-2,2-ジフルオロオキセタン、3-メタクリロイルオキシメチル-2,2,4-トリフルオロオキセタン、3-メタクリロイルオキシメチル-2,2,4,4-テトラフルオロオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチルオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチル-2-エチルオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチル-3-エチルオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチル-2-トリフルオロメチルオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチル-2-ペンタフルオロエチルオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチル-2-フェニルオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチル-2,2-ジフルオロオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチル-2,2,4-トリフルオロオキセタン、3-2-メタクリロイルオキシエチル-2,2,4,4-テトラフルオロオキセタン等のメタクリル酸エステル等が挙げられる。これらのA2化合物のうち、メタアクリル酸グリシジルが好ましい。これらのA2化合物は、単独で使用してもよいし2種以上を混合して使用してもよい。A2化合物の使用割合としては、A1化合物並びにA2化合物必要に応じて任意のA3化合物及びA4化合物の合計に基づいて、5質量~60質量が好ましく、10質量~50質量がより好ましい。A2化合物の使用割合を5質量~60質量とすることによって、優れた硬化性等を有する硬化膜を形成できる。[A3化合物]A3化合物としては、水酸基を有するメタアクリル酸エステル、下記式1で表されるフェノール性水酸基含有不飽和化合物等が挙げられる。上記式1中、R1は、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基である。R2~R6は、それぞれ独立して、水素原子、水酸基又は炭素数1~4のアルキル基である。Xは、単結合、-COO-、又は-CONH-である。aは、0~3の整数である。但し、R2~R6の少なくとも1つは、水酸基である。上記水酸基を有するメタアクリル酸エステルとしては、例えばヒドロキシメチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、3-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、4-ヒドロキシブチルメタアクリレート、ポリエチレングリコールn=2~10モノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールn=2~10モノメタアクリレート、2,3-ジヒドロキシプロピルメタアクリレート、2-メタクリロキシエチルグリコサイド等が挙げられる。上記式1で表されるフェノール性水酸基含有不飽和化合物としては、例えば下記式で表される化合物等が挙げられる。上記式中、aは、1~3の整数である。R2~R6は、上記式1と同義である。上記式中、R1~R6は、上記式1と同義である。上記式中、aは、1~3の整数である。R1~R6は、上記式1と同義である。上記式中、R1~R6は、上記式1と同義である。上記式中、R1~R6は、上記式1と同義である。これらのA3化合物のうち、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、4-ヒドロキシフェニルメタクリレート、o-ヒドロキシスチレン、p-ヒドロキシスチレン、α-メチル-p-ヒドロキシスチレンが好ましい。これらのA3化合物は、単独で使用してもよいし2種以上を混合して使用してもよい。A3化合物の使用割合としては、A1化合物、A2化合物並びにA3化合物必要に応じて任意のA4化合物の合計に基づいて、1質量~30質量が好ましく、5質量~25質量がより好ましい。[A4化合物]A4化合物は、上記のA1化合物、A2化合物及びA3化合物以外での不飽和化合物であれば特に制限されるものではない。A4化合物としては、例えばメタクリル酸鎖状アルキルエステル、メタクリル酸環状アルキルエステル、アクリル酸鎖状アルキルエステル、アクリル酸環状アルキルエステル、メタクリル酸アリールエステル、アクリル酸アリールエステル、不飽和ジカルボン酸ジエステル、ビシクロ不飽和化合物、マレイミド化合物、不飽和芳香族化合物、共役ジエン、テトラヒドロフラン骨格、フラン骨格、テトラヒドロピラン骨格、ピラン骨格、下記式2で表される骨格をもつ不飽和化合物及びその他の不飽和化合物等が挙げられる。上記式2中、R7は、水素原子又はメチル基である。bは、1以上の整数である。メタクリル酸鎖状アルキルエステルとしては、例えばメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n-ブチル、メタクリル酸sec-ブチル、メタクリル酸t-ブチル、メタクリル酸2-エチルヘキシル、メタクリル酸イソデシル、メタクリル酸n-ラウリル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸n-ステアリル等が挙げられる。メタクリル酸環状アルキルエステルとしては、例えばメタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸2-メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イルオキシエチル、メタクリル酸イソボロニル等が挙げられる。アクリル酸鎖状アルキルエステルとしては、例えばアクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸n-ブチル、アクリル酸sec-ブチル、アクリル酸t-ブチル、アクリル酸2-エチルヘキシル、アクリル酸イソデシル、アクリル酸n-ラウリル、アクリル酸トリデシル、アクリル酸n-ステアリル等が挙げられる。アクリル酸環状アルキルエステルとしては、例えばシクロヘキシルアクリレート、2-メチルシクロヘキシルアクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イルアクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イルオキシエチルアクリレート、イソボロニルアクリレート等が挙げられる。メタクリル酸アリールエステルとしては、例えばメタクリル酸フェニル、メタクリル酸ベンジル等が挙げられる。アクリル酸アリールエステルとしては、例えばフェニルアクリレート、ベンジルアクリレート等が挙げられる。不飽和ジカルボン酸ジエステルとしては、例えばマレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等が挙げられる。ビシクロ不飽和化合物としては、例えばビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-t-ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジt-ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジシクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-2’-ヒドロキシエチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジ2’-ヒドロキシエチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシ-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシ-5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシメチル-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン等が挙げられる。マレイミド化合物としては、例えばN-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド、N-4-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-4-ヒドロキシベンジルマレイミド、N-スクシンイミジル-3-マレイミドベンゾエート、N-スクシンイミジル-4-マレイミドブチレート、N-スクシンイミジル-6-マレイミドカプロエート、N-スクシンイミジル-3-マレイミドプロピオネート、N-9-アクリジニルマレイミド等が挙げられる。不飽和芳香族化合物としては、例えばスチレン、α-メチルスチレン、m-メチルスチレン、p-メチルスチレン、ビニルトルエン、p-メトキシスチレン等が挙げられる。共役ジエンとしては、例えば1,3-ブタジエン、イソプレン、2,3-ジメチル-1,3-ブタジエン等が挙げられる。テトラヒドロフラン骨格を含有する不飽和化合物としては、例えばテトラヒドロフルフリルメタアクリレート、2-メタクリロイルオキシ-プロピオン酸テトラヒドロフルフリルエステル、3-メタアクリロイルオキシテトラヒドロフラン-2-オン等が挙げられる。フラン骨格を含有する不飽和化合物としては、例えば2-メチル-5-3-フリル-1-ペンテン-3-オン、フルフリルメタアクリレート、1-フラン-2-ブチル-3-エン-2-オン、1-フラン-2-ブチル-3-メトキシ-3-エン-2-オン、6-2-フリル-2-メチル-1-ヘキセン-3-オン、6-フラン-2-イル-ヘキシ-1-エン-3-オン、アクリル酸-2-フラン-2-イル-1-メチル-エチルエステル、6-2-フリル-6-メチル-1-ヘプテン-3-オン等が挙げられる。テトラヒドロピラン骨格を含有する不飽和化合物としては、例えばテトラヒドロピラン-2-イルメチルメタクリレート、2,6-ジメチル-8-テトラヒドロピラン-2-イルオキシ-オクト-1-エン-3-オン、2-メタクリル酸テトラヒドロピラン-2-イルエステル、1-テトラヒドロピラン-2-オキシ-ブチル-3-エン-2-オン等が挙げられる。ピラン骨格を含有する不飽和化合物としては、例えば4-1,4-ジオキサ-5-オキソ-6-ヘプテニル-6-メチル-2-ピラン、4-1,5-ジオキサ-6-オキソ-7-オクテニル-6-メチル-2-ピラン等が挙げられる。その他の不飽和化合物としては、例えばアクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル等が挙げられる。これらのA4化合物のうち、メタクリル酸鎖状アルキルエステル、メタクリル酸環状アルキルエステル、メタクリル酸アリールエステル、マレイミド化合物、テトラヒドロフラン骨格、フラン骨格、テトラヒドロピラン骨格、ピラン骨格、上記式4で表される骨格を有する不飽和化合物、不飽和芳香族化合物、アクリル酸環状アルキルエステルが好ましい。これらのうち、スチレン、メタクリル酸メチル、メタクリル酸t-ブチル、メタクリル酸n-ラウリル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イル、p-メトキシスチレン、2-メチルシクロヘキシルアクリレート、N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、テトラヒドロフルフリルメタアクリレート、ポリエチレングリコールn=2~10モノメタアクリレート、3-メタアクリロイルオキシテトラヒドロフラン-2-オンが、共重合反応性及びアルカリ水溶液に対する溶解性の点からより好ましい。これらのA4化合物は、単独で使用してもよいし2種以上を混合して使用してもよい。A4化合物の使用割合としては、A1化合物、A2化合物並びにA4化合物及び任意のA3化合物の合計に基づいて、10質量~80質量が好ましい。<[A]アルカリ可溶性樹脂の合成方法1>[A]アルカリ可溶性樹脂は、例えば溶媒中で重合開始剤の存在下、上記A1化合物並びにA2化合物任意のA3化合物及びA4化合物とを共重合することによって製造できる。かかる合成方法によれば、少なくともエポキシ基含有構造単位を含む共重合体を合成することができる。[A]アルカリ可溶性樹脂を製造するための重合反応に用いられる溶媒としては、例えばアルコール、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート、ケトン、エステル等が挙げられる。アルコールとしては、例えばベンジルアルコール等;グリコールエーテルとしては、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等;エチレングリコールアルキルエーテルアセテートとしては、例えばエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等;ジエチレングリコールモノアルキルエーテルとしては、例えばジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル等;ジエチレングリコールジアルキルエーテルとしては、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル等;ジプロピレングリコールジアルキルエーテルとしては、例えばジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルメチルエーテル等;プロピレングリコールモノアルキルエーテルとしては、例えばプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、プロピレングリコールブチルエーテル等;プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートとしては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等;プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートとしては、例えばプロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート等;ケトンとしては、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペンタノン、メチルイソアミルケトン等;エステルとしては、例えば酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸3-メトキシブチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、2-エトキシプロピオン酸エチル、2-エトキシプロピオン酸プロピル、2-エトキシプロピオン酸ブチル、2-ブトキシプロピオン酸メチル、2-ブトキシプロピオン酸エチル、2-ブトキシプロピオン酸プロピル、2-ブトキシプロピオン酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸プロピル、3-メトキシプロピオン酸ブチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸プロピル、3-エトキシプロピオン酸ブチル、3-プロポキシプロピオン酸メチル等が挙げられる。これらの溶媒のうち酢酸3-メトキシブチル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテートが好ましく、酢酸3-メトキシブチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートがより好ましい。[A]アルカリ可溶性樹脂を製造するための重合反応に用いられる重合開始剤としては、一般的にラジカル重合開始剤として知られているものが使用できる。ラジカル重合開始剤としては、例えば2,2’-アゾビスイソブチロニトリルAIBN、2,2’-アゾビス-2,4-ジメチルバレロニトリル、2,2’-アゾビス-4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリル等のアゾ化合物;ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、t-ブチルペルオキシピバレート、1,1’-ビス-t-ブチルペルオキシシクロヘキサン等の有機過酸化物及び過酸化水素が挙げられる。ラジカル重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、過酸化物を還元剤とともに用いてレドックス型開始剤としてもよい。[A]アルカリ可溶性樹脂を製造するための重合反応においては、分子量を調整するために、分子量調整剤を使用できる。分子量調整剤としては、例えばクロロホルム、四臭化炭素等のハロゲン化炭化水素類;n-ヘキシルメルカプタン、n-オクチルメルカプタン、n-ドデシルメルカプタン、t-ドデシルメルカプタン、チオグリコール酸等のメルカプタン類;ジメチルキサントゲンスルフィド、ジイソプロピルキサントゲンジスルフィド等のキサントゲン類;ターピノーレン、α-メチルスチレンダイマー等が挙げられる。[A]アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量Mwとしては、1,000~30,000が好ましく、5,000~20,000がより好ましい。[A]アルカリ可溶性樹脂のMwを上記範囲とすることで、感放射線性樹脂組成物の感度及び現像性を高めることができる。なお、本明細書における重合体のMw及び数平均分子量Mnは下記の条件によるゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCにより測定した。装置:GPC-101昭和電工製カラム:GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803及びGPC-KF-804を結合移動相:テトラヒドロフランカラム温度:40°C流速:1.0mL/分試料濃度:1.0質量試料注入量:100μL検出器:示差屈折計標準物質:単分散ポリスチレン<[A]アルカリ可溶性樹脂の合成方法2>また、[A]アルカリ可溶性樹脂は、例えば上述のA1化合物を1種以上使用して合成できる共重合体以下、特定共重合体とも称すると、上記A2化合物とを反応させて合成できる。かかる合成方法によれば、少なくともメタアクリロイルオキシ基を有する構造単位を含む共重合体を合成することができる。[A]アルカリ可溶性樹脂が含むメタアクリロイルオキシ基を有する構造単位は、下記式3で表される。この構造単位は、A1化合物に由来する特定共重合体中のカルボキシル基とA2化合物のエポキシ基とが反応し、エステル結合を形成して得られる。上記式3中、R8及びR9は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基である。cは、1~6の整数である。R10は、下記式3-1又は3-2で表される2価の基である。上記式3-1中、R11は、水素原子又はメチル基である。上記式3-1及び式3-2中、は、酸素原子と結合する部位を示す。上記式3で表される構造単位について、例えばカルボキシル基を有する共重合体に、A2化合物としてメタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2-メチルグリシジル等の化合物を反応させた場合、式3中のR10は、式3-1となる。一方、A2化合物としてメタクリル酸3,4-エポキシシクロヘキシルメチル等の化合物を反応させた場合、式3中のR10は、式3-2となる。特定共重合体の合成に際しては、A1化合物以外の化合物、例えば上述のA3化合物、A4化合物等を共重合成分として用いてもよい。これらの化合物としては、共重合反応性の点から、メタクリル酸メチル、メタクリル酸n-ブチル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸2-ヒドロキシエチルエステル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.026]デカン-8-イル、スチレン、p-メトキシスチレン、メタクリル酸テトラヒドロフラン-2-イル、1,3-ブタジエンが好ましい。特定共重合体の共重合の方法としては、例えばA1化合物、及び必要に応じてA3化合物等を、溶媒中ラジカル重合開始剤を使用して重合する方法が挙げられる。ラジカル重合開始剤としては、上述の[A]アルカリ可溶性樹脂の項で例示したものと同様のものが挙げられる。ラジカル重合開始剤の使用量としては、重合性不飽和化合物100質量に対して、通常0.1質量~50質量、好ましくは0.1質量~20質量である。特定共重合体は、重合反応溶液のまま[A]アルカリ可溶性樹脂の製造に供してもよく、共重合体を一旦溶液から分離した後に[A]アルカリ可溶性樹脂の製造に供してもよい。特定共重合体のMwとしては、2,000~100,000が好ましく、5,000~50,000がより好ましい。Mwを2,000以上とすることで、感放射線性樹脂組成物の十分な現像マージンを得ると共に、形成される塗膜の残膜率パターン状薄膜が適正に残存する比率の低下を防止し、さらには得られるパターンの形状や耐熱性等を良好に保つことができる。一方、Mwを100,000以下とすることで、高度な感度を保持し、良好なパターン形状を得ることができる。また、特定共重合体の分子量分布Mw/Mnとしては、5.0以下が好ましく、3.0以下がより好ましい。Mw/Mnを5.0以下とすることで、得られるスペーサーパターンの形状を良好に保つことができる。また、上記特定範囲のMw/Mnを有する特定共重合体を含む感放射線性樹脂組成物は、高度な現像性を有し、現像工程において、現像残りを生じることなく容易に所定パターン形状を形成することができる。[A]アルカリ可溶性樹脂のA1化合物に由来する構造単位の含有率としては、5質量~60質量が好ましく、7質量~50質量がより好ましく、8質量~40質量が特に好ましい。[A]アルカリ可溶性樹脂のA1化合物以外のA3化合物、A4化合物等の化合物に由来する構造単位の含有率としては、10質量~90質量、20質量~80質量である。特定共重合体とA2化合物との反応においては、必要に応じて適当な触媒の存在下において、好ましくは重合禁止剤を含む共重合体の溶液に、エポキシ基を有する不飽和化合物を投入し、加温下で所定時間攪拌する。上記触媒としては、例えばテトラブチルアンモニウムブロミド等が挙げられる。上記重合禁止剤としては、例えばp-メトキシフェノール等が挙げられる。反応温度としては、70°C~100°Cが好ましい。反応時間としては、8時間~12時間が好ましい。A2化合物の使用割合としては、共重合体中のA2化合物に由来するカルボキシル基に対して、10質量~99質量が好ましく、5質量~97質量がより好ましい。A2化合物の使用割合を上記範囲とすることで、共重合体との反応性、硬化膜の硬化性等がより向上する。A2化合物は、単独で又は2種以上を混合して使用できる。<[B]重合性化合物>[B]重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物であれば特に限定されないが、例えばω-カルボキシポリカプロラクトンモノメタアクリレート、エチレングリコールメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、1,9-ノナンジオールジメタアクリレート、テトラエチレングリコールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジメタアクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジメタアクリレート、2-ヒドロキシ-3-メタアクリロイロキシプロピルメタクリレート、2-2’-ビニロキシエトキシエチルメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリ2-メタアクリロイロキシエチルフォスフェート、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート等の他、直鎖アルキレン基及び脂環式構造を有しかつ2個以上のイソシアネート基を有する化合物と、分子内に1個以上の水酸基を有しかつ3個~5個のメタアクリロイロキシ基を有する化合物とを反応させて得られるウレタンメタアクリレート化合物等が挙げられる。[B]重合性化合物の市販品としては、例えばアロニックスM-400、同M-402、同M-405、同M-450、同M-1310、同M-1600、同M-1960、同M-7100、同M-8030、同M-8060、同M-8100、同M-8530、同M-8560、同M-9050、アロニックスTO-756、同TO-1450、同TO-1382以上、東亞合成製、KAYARADDPHA、同DPCA-20、同DPCA-30、同DPCA-60、同DPCA-120、同MAX-3510以上、日本化薬製、ビスコート295、同300、同360、同GPT、同3PA、同400以上、大阪有機化学工業製、ウレタンアクリレート系化合物としてニューフロンティアR-1150第一工業製薬製、KAYARADDPHA、KAYARADDPHA-40H、UX-5000日本化薬製、UN-9000H根上工業製、アロニックスM-5300、同M-5600、同M-5700、M-210、同M-220、同M-240、同M-270、同M-6200、同M-305、同M-309、同M-310、同M-315以上、東亞合成製、KAYARADHDDA、KAYARADHX-220、同HX-620、同R-526、同R-167、同R-604、同R-684、同R-551、同R-712、UX-2201、UX-2301、UX-3204、UX-3301、UX-4101、UX-6101、UX-7101、UX-8101、UX-0937、MU-2100、MU-4001以上、日本化薬製、アートレジンUN-9000PEP、同UN-9200A、同UN-7600、同UN-333、同UN-1003、同UN-1255、同UN-6060PTM、同UN-6060P以上、根上工業製、同SH-500Bビスコート260、同312、同335HP以上、大阪有機化学工業製等が挙げられる。[B]重合性化合物は、単独又は2種以上を使用できる。本発明の形成方法に用いられる感放射線性樹脂組成物における[B]重合性化合物の含有割合としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して10質量部~300質量部が好ましく、20質量部~200質量部がより好ましい。[B]重合性化合物の含有割合を上記特定範囲とすることで、感放射線性樹脂組成物は、紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いる場合においても硬化性を有する硬化膜を形成できる。<[C]光重合開始剤>本発明の形成方法に用いられる感放射線性樹脂組成物に含有される[C]光重合開始剤は、光に感応して[B]重合性化合物の重合を開始しうる活性種を生じる成分である。このような[C]光重合開始剤としては、O-アシルオキシム化合物、アセトフェノン化合物、ビイミダゾール化合物等が挙げられる。これらの化合物は、単独で使用してもよいし2種以上を混合して使用してもよい。O-アシルオキシム化合物としては、例えば1,2-オクタンジオン1-[4-フェニルチオ-2-O-ベンゾイルオキシム]、エタノン-1-9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシム、1-9-エチル-6-ベンゾイル-9.H.-カルバゾール-3-イル-オクタン-1-オンオキシム-O-アセテート、1-9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9.H.-カルバゾール-3-イル-エタン-1-オンオキシム-O-ベンゾエート、1-9-n-ブチル-6-2-エチルベンゾイル-9.H.-カルバゾール-3-イル-エタン-1-オンオキシム-O-ベンゾエート、エタノン-1-[9-エチル-6-2-メチル-4-テトラヒドロフラニルベンゾイル-9.H.-カルバゾール-3-イル]-1-O-アセチルオキシム、エタノン-1-9-エチル-6-2-メチル-4-テトラヒドロピラニルベンゾイル-9.H.-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシム、エタノン-1-9-エチル-6-2-メチル-5-テトラヒドロフラニルベンゾイル-9.H.-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシム、エタノン-1-9-エチル-6-{2-メチル-4-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソラニルメトキシベンゾイル}-9.H.-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシム等が挙げられる。これらのうち、1,2-オクタンジオン1-[4-フェニルチオ-2-O-ベンゾイルオキシム]、エタノン-1-9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシム、エタノン-1-9-エチル-6-2-メチル-4-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル-9.H.-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシム又はエタノン-1-9-エチル-6-{2-メチル-4-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソラニルメトキシベンゾイル}-9.H.-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシムが好ましい。アセトフェノン化合物としては、例えばα-アミノケトン化合物、α-ヒドロキシケトン化合物が挙げられる。α-アミノケトン化合物としては、例えば2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルホリノフェニル-ブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルフォリン-4-イル-フェニル-ブタン-1-オン、2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルフォリノプロパン-1-オン等が挙げられる。α-ヒドロキシケトン化合物としては、例えば、1-フェニル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-4-i-プロピルフェニル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、4-2-ヒドロキシエトキシフェニル-2-ヒドロキシ-2-プロピルケトン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等が挙げられる。これらのうちα-アミノケトン化合物が好ましく、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルホリノフェニル-ブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルフォリン-4-イル-フェニル-ブタン-1-オン、2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルフォリノプロパン-1-オンがより好ましい。ビイミダゾール化合物としては、例えば2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス4-エトキシカルボニルフェニル-1,2’-ビイミダゾール、2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール、2,2’-ビス2,4-ジクロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール、2,2’-ビス2,4,6-トリクロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール等が挙げられる。これらのうち、2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール、2,2’-ビス2,4-ジクロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール又は2,2’-ビス2,4,6-トリクロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾールが好ましく、2,2’-ビス2,4-ジクロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾールがより好ましい。[C]光重合開始剤の含有割合としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.1質量部~40質量部が好ましく、1質量部~30質量部がより好ましい。[C]重合開始剤の含有割合を上記特定範囲とすることで、感放射線性樹脂組成物は、紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いる場合においても良好な硬化性を有する硬化膜を形成できる。<[D]酸発生剤>[D]酸発生剤は、本発明の光源として用いられる紫外線LEDの照射によって酸を発生する化合物である。上記感放射線性樹脂組成物が[D]酸発生剤と酸解離性基を有する[A]重合体を含むことで、ポジ型の感放射線特性を発揮できる。[D]酸発生剤としては、300nm以上の光で酸を発生する化合物であれば特に限定されない。[D]酸発生剤の感放射線性樹脂組成物における含有形態としては、後述するような化合物である酸発生剤の形態でも、[A]アルカリ可溶性樹脂又は他の重合体の一部として組み込まれた酸発生基の形態でも、これらの両方の形態でもよい。[D]酸発生剤としては、オニウム塩、スルホンイミド化合物、テトラヒドロチオフェニウム塩、オキシムスルホネート化合物、チアントレン系化合物が好ましい。これらの化合物は、単独で使用してもよいし2種以上を混合して使用してもよい。オニウム塩としては、例えば下記式4で表される化合物等が挙げられる。上記式4中、R12~R16は、それぞれ独立して、炭素数1~12のアルキル基、炭素数1~12のアルコキシ基、水酸基又はハロゲン原子である。Y-は、非求核性のアニオンである。d、f、g、h、iは、それぞれ独立して、0~5の整数である。eは、0又は1である。但し、abは5以下の条件を満たす。但し、Y-が複数の場合、複数のY-は同一であっても異なっていてもよい。上記R12~R16が示す炭素数1~12のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、n-プロピル基、n-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-オクチル基、n-ドデシル基、n-テトラデシル基、n-オクタデシル基等の直鎖状アルキル基、i-プロピル基、i-ブチル基、t-ブチル基、ネオペンチル基、2-ヘキシル基、3-ヘキシル基等の分岐状アルキル基等が挙げられる。これらのうちメチル基が好ましい。上記R12~R16が示す炭素数1~12のアルコキシ基としては、例えばメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基等が挙げられる。これらのうちブトキシ基が好ましい。上記R12~R16が示すハロゲン原子としては、例えばフッ素原子、塩素原子等が挙げられる。これらのうちフッ素原子が好ましい。上記Y-が示す非求核性のアニオンとしては、例えばPF6-、SbF6-、BF4-、BCjF2j14-、CjF2j1SO3-、及びPF6-kCkF2j1k-からなる群より選択されるアニオンであることが好ましい。jは、1~8の整数である。kは、1~5の整数である。オニウム塩としては、例えば下記式4-1~4-27でそれぞれ表される化合物等が挙げられる。これらのうち、上記式4-1、4-8、4-12、4-17、4-24、4-26でそれぞれ表される化合物が好ましい。[D]酸発生剤としてのオニウム塩は公知の方法で製造することもできるが、市販品を使用することもできる。市販品としては、例えばCPI-100P、CPI101A、CPI-200K等が挙げられる以上、サンアプロ製。スルホンイミド化合物としては、例えばN-トリフルオロメチルスルホニルオキシスクシンイミド、N-カンファスルホニルオキシスクシンイミド、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシスクシンイミド、N-2-トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシスクシンイミド、N-4-フルオロフェニルスルホニルオキシスクシンイミド、N-トリフルオロメチルスルホニルオキシフタルイミド、N-カンファスルホニルオキシフタルイミド、N-2-トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシフタルイミド、N-2-フルオロフェニルスルホニルオキシフタルイミド、N-トリフルオロメチルスルホニルオキシジフェニルマレイミド、N-カンファスルホニルオキシジフェニルマレイミド、4-メチルフェニルスルホニルオキシジフェニルマレイミド、N-2-トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシジフェニルマレイミド、N-4-フルオロフェニルスルホニルオキシジフェニルマレイミド、N-4-フルオロフェニルスルホニルオキシジフェニルマレイミド、N-フェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-トリフルオロメタンスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-ノナフルオロブタンスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-カンファスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-カンファスルホニルオキシ-7-オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-トリフルオロメチルスルホニルオキシ-7-オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシ-7-オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-2-トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-2-トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ-7-オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-4-フルオロフェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-4-フルオロフェニルスルホニルオキシ-7-オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミド、N-トリフルオロメチルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプタン-5,6-オキシ-2,3-ジカルボキシルイミド、N-カンファスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプタン-5,6-オキシ-2,3-ジカルボキシルイミド、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプタン-5,6-オキシ-2,3-ジカルボキシルイミド、N-2-トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプタン-5,6-オキシ-2,3-ジカルボキシルイミド、N-4-フルオロフェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプタン-5,6-オキシ-2,3-ジカルボキシルイミド、N-トリフルオロメチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-カンファスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-フェニルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-2-トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-4-フルオロフェニルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-ペンタフルオロエチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-ヘプタフルオロプロピルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-ノナフルオロブチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-エチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-プロピルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-ブチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-ペンチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-ヘキシルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-ヘプチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-オクチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、N-ノニルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド等が挙げられる。スルホンイミド化合物の市販品としては、例えばN-トリフルオロメチルスルホニルオキシスクシンイミドSI-105、N-カンファスルホニルオキシスクシンイミドSI-106、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシスクシンイミドSI-101、N-トリフルオロメチルスルホニルオキシジフェニルマレイミドPI-105、N-フェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミドNDI-100、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミドNDI-101、N-トリフルオロメタンスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミドNDI-105、N-ノナフルオロブタンスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミドNDI-109、N-カンファスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシルイミドNDI-106、N-トリフルオロメチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミドNAI-105、N-カンファスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミドNAI-106、N-4-メチルフェニルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミドNAI-101、N-フェニルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミドNAI-100、N-ノナフルオロブチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミドNAI-109、N-ブチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミドNAI-1004等以上、みどり化学製が挙げられる。テトラヒドロチオフェニウム塩としては、例えば1-4-n-ブトキシナフタレン-1-イルテトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホネート、1-4,7-ジブトキシ-1-ナフタレニルテトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホナート等のテトラヒドロチオフェニウム塩が挙げられる。オキシムスルホネート化合物としては、下記式5で表されるオキシムスルホネート基を有する化合物が好ましい。上記式4中、R17は、置換されていてもよい直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、又は置換されていてもよいアリール基である。R17が示すアルキル基としては、炭素数1~10の直鎖状又は分岐状アルキル基が好ましい。R17が示すアルキル基は、炭素数1~10のアルコキシ基又は脂環式基で置換されていてもよい。なお、上記脂環式基としては、7,7-ジメチル-2-オキソノルボルニル基等の有橋式脂環式基を含み、好ましくはビシクロアルキル基である。R12が示すアリール基としては、炭素数6~11のアリール基が好ましく、フェニル基、ナフチル基がより好ましい。R17が示すアリール基は、炭素数1~5のアルキル基、アルコキシ基又はハロゲン原子で置換されてもよい。上記式5で表されるオキシムスルホネート基を有する化合物としては、下記式5-1で表される化合物がより好ましい。上記式5-1中、R18は、上記式5と同義である。R19は、アルキル基、アルコキシ基又はハロゲン原子である。mは、0~3の整数である。但し、R19が複数の場合、複数のR19は同一であっても異なっていてもよい。R19が示すアルキル基としては、炭素数1~4の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基が好ましい。R19が示すアルコキシ基としては、炭素数1~4の直鎖状又は分岐状のアルコキシ基が好ましい。R19が示すハロゲン原子としては、塩素原子又はフッ素原子が好ましい。mとしては、0又は1が好ましい。上記式5-1において、mが1であり、R19がメチル基であり、R19の置換位置がオルト位である化合物がより好ましい。上記式5-1で表される化合物としては、例えば下記式5-1-1~5-1-5で表される化合物等が挙げられる。チアントレン系化合物としては、例えば下記式6-1~6~12で表される化合物等が挙げられる。これの[D]酸発生剤のうち、N-トリフルオロメチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミド、1-4,7-ジブトキシ-1-ナフタレニルテトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホナート、上記式5-1、5-2、6-3、6-9で表される化合物が特に好ましい。[D]酸発生剤の含有割合としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.05質量部~10質量部が好ましく、0.1質量部~5質量部がより好ましい。[D]酸発生剤の含有割合を上記特定範囲とすることで、より深部硬化性に優れる硬化膜を形成することができる。<[E]着色剤>上記感放射線性樹脂組成物は、[E]着色剤をさらに含有してもよい。上記感放射線性樹脂組成物が、[E]着色剤をさらに含有することで当該形成方法は各種カラーフィルタの作製等においても好適に適用できる。[E]着色剤としては着色性を有すれば特に限定されるものではなく、着色パターン及びカラーフィルタの用途に応じて色彩や材質を適宜選択することができる。着色剤としては、例えば顔料、染料及び天然色素のいずれをも使用できるが、着色パターン及びカラーフィルタには高い色純度、輝度、コントラスト等が求められることから、顔料、染料が好ましく、染料がより好ましい。顔料としては、有機顔料、無機顔料のいずれでもよく、有機顔料としては、例えばカラーインデックスC.I.;TheSocietyofDyersandColouristsにおいてピグメントに分類されている化合物が挙げられる。具体的には、下記のようなカラーインデックスC.I.名が付されているものが挙げられる。C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー185、C.I.ピグメントイエロー211;C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ68、C.I.ピグメントオレンジ70、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ72、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントオレンジ74;C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド214、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド221、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド262、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド272;C.I.ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット38;C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントブルー80;C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン58;C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7等が挙げられる。また、無機顔料としては、例えば酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら赤色酸化鉄、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等が挙げられる。染料としては有機溶媒に可溶である限り公知の染料を使用できる。染料の化学構造としては、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系等が挙げられる。これらのうち、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料が好ましい。染料としては、例えば油溶性染料、アシッド染料又はその誘導体、ダイレクト染料、モーダント染料等が挙げられる。C.I.油溶性染料としては、例えばC.I.ソルベントイエロー4以下、C.I.ソルベントイエローの記載を省略し、番号のみを記載する。その他の染料も同様に記載する、14、15、23、24、38、62、63、68、82、88、94、98、99、162、179;C.I.ソルベントレッド45、49、125、130;C.I.ソルベントオレンジ2、7、11、15、26、56;C.I.ソルベントブルー35、37、59、67;C.I.ソルベントグリーン1、3、4、5、7、28、29、32、33、34、35等が挙げられる。C.I.アシッド染料としては、例えばC.I.アシッドイエロー1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、38、40、42、54、65、72、73、76、79、98、99、111、112、113、114、116、119、123、128、134、135、138、139、140、144、150、155、157、160、161、163、168、169、172、177、178、179、184、190、193、196、197、199、202、203、204、205、207、212、214、220、221、228、230、232、235、238、240、242、243、251;Valifastyellow1101、1109、1151、3108、3120、3130、3150、3170、4120;C.I.アシッドレッド1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、66、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、182、183、198、206、211、215、216、217、227、228、249、252、257、258、260、261、266、268、270、274、277、280、281、195、308、312、315、316、339、341、345、346、349、382、383、394、401、412、417、418、422、426;C.I.アシッドオレンジ6、7、8、10、12、26、50、51、52、56、62、63、64、74、75、94、95、107、108、169、173;C.I.アシッドブルー1、7、9、15、18、23、25、27、29、40、42、45、51、62、70、74、80、83、86、87、90、92、96、103、108、112、113、120、129、138、147、150、158、171、182、192、210、242、249、243、256、259、267、278、280、285、290、296、315、324、335、340;C.I.アシッドバイオレット6B、7、9、17、19、49;C.I.アシッドグリーン1、3、5、9、16、25、27、50、58、63、65、80、104、105、106、109;C.I.アシッドブラック24等の染料が挙げられる。C.I.ダイレクト染料としては、例えばC.I.ダイレクトイエロー2、33、34、35、38、39、43、47、50、54、58、68、69、70、71、86、93、94、95、98、102、108、109、129、136、138、141;C.I.ダイレクトレッド79、82、83、84、91、92、96、97、98、99、105、106、107、172、173、176、177、179、181、182、184、204、207、211、213、218、220、221、222、232、233、234、241、243、246、250;C.I.ダイレクトオレンジ34、39、41、46、50、52、56、57、61、64、65、68、70、96、97、106、107;C.I.ダイレクトブルー57、77、80、81、84、85、86、90、93、94、95、97、98、99、100、101、106、107、108、109、113、114、115、117、119、137、149、150、153、155、156、158、159、160、161、162、163、164、166、167、170、171、172、173、188、189、190、192、193、194、196、198、199、200、207、209、210、212、213、214、222、228、229、237、238、242、243、244、245、247、248、250、251、252、256、257、259、260、268、274、275、293;C.I.ダイレクトバイオレット47、52、54、59、60、65、66、79、80、81、82、84、89、90、93、95、96、103、104;C.I.ダイレクトグリーン25、27、31、32、34、37、63、65、66、67、68、69、72、77、79、82等が挙げられる。C.I.モーダント染料としては、例えばC.I.モーダントイエロー5、8、10、16、20、26、30、31、33、42、43、45、56、61、62、65;C.I.モーダントレッド1、2、3、4、9、11、12、14、17、18、19、22、23、24、25、26、30、32、33、36、37、38、39、41、43、45、46、48、53、56、63、71、74、85、86、88、90、94、95;C.I.モーダントオレンジ3、4、5、8、12、13、14、20、21、23、24、28、29、32、34、35、36、37、42、43、47、48;C.I.モーダントブルー1、2、3、7、8、9、12、13、15、16、19、20、21、22、23、24、26、30、31、32、39、40、41、43、44、48、49、53、61、74、77、83、84;C.I.モーダントバイオレット1、2、4、5、7、14、22、24、30、31、32、37、40、41、44、45、47、48、53、58;C.I.モーダントグリーン1、3、4、5、10、15、19、26、29、33、34、35、41、43、53等が挙げられる。[E]着色剤の含有量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、1質量部~400質量部が好ましく、5質量部~350質量部がより好ましい。[E]着色剤の含有量を上記範囲とすることで、感放射線性樹脂組成物のアルカリ現像性や、画素の耐熱性、耐溶媒性と着色パターン及びカラーフィルタとしての高輝度化や高コントラスト化が高いレベルでバランス良く達成できる。<その他の任意成分>本発明の形成方法に用いられる感放射線性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物、[C]光重合開始剤及び[D]酸発生剤並びに好適成分である[E]着色剤に加え、本発明の効果を損なわない範囲で必要に応じて界面活性剤、保存安定剤、接着助剤等のその他の任意成分を含有できる。これらの各任意成分は、単独で使用してもよいし2種以上を混合して使用してもよい。以下、各成分を詳述する。[界面活性剤]界面活性剤は、感放射線性樹脂組成物の塗膜形成性をより向上させるために使用できる。界面活性剤としては、例えばフッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤及びその他の界面活性剤が挙げられる。フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖及び側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキル基及び/又はフルオロアルキレン基を有する化合物が好ましい。く、例えば1,1,2,2-テトラフロロ-n-オクチル1,1,2,2-テトラフロロ-n-プロピルエーテル、1,1,2,2-テトラフロロ-n-オクチルn-ヘキシルエーテル、ヘキサエチレングリコールジ1,1,2,2,3,3-ヘキサフロロ-n-ペンチルエーテル、オクタエチレングリコールジ1,1,2,2-テトラフロロ-n-ブチルエーテル、ヘキサプロピレングリコールジ1,1,2,2,3,3-ヘキサフロロ-n-ペンチルエーテル、オクタプロピレングリコールジ1,1,2,2-テトラフロロ-n-ブチルエーテル、パーフロロ-n-ドデカンスルホン酸ナトリウム、1,1,2,2,3,3-ヘキサフロロ-n-デカン、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-デカフロロ-n-ドデカンや、フロロアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、フロロアルキルリン酸ナトリウム、フロロアルキルカルボン酸ナトリウム、ジグリセリンテトラキスフロロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フロロアルキルアンモニウムヨージド、フロロアルキルベタイン、他のフロロアルキルポリオキシエチレンエーテル、パーフロロアルキルポリオキシエタノール、パーフロロアルキルアルコキシレート、カルボン酸フロロアルキルエステル等が挙げられる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えばBM-1000、BM-1100以上、BMCHEMIE製、メガファックF142D、同F172、同F173、同F183、同F178、同F191、同F471、同F476以上、大日本インキ化学工業製、フロラードFC-170C、同-171、同-430、同-431以上、住友スリーエム製、サーフロンS-112、同-113、同-131、同-141、同-145、同-382、サーフロンSC-101、同-102、同-103、同-104、同-105、同-106以上、旭硝子製、エフトップEF301、同303、同352以上、新秋田化成製、フタージェントFT-100、同-110、同-140A、同-150、同-250、同-251、同-300、同-310、同-400S、フタージェントFTX-218、同-251以上、ネオス製等が挙げられる。シリコーン系界面活性剤の市販品としては、例えばトーレシリコーンDC3PA、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH-190、同SH-193、同SZ-6032、同SF-8428、同DC-57、同DC-190以上、東レダウコーニングシリコーン製、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452以上、GE東芝シリコーン製、オルガノシロキサンポリマーKP341信越化学工業製等が挙げられる。その他の界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル;ポリオキシエチレン-n-オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン-n-ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレート等のポリオキシエチレンジアルキルエステル等のノニオン系界面活性剤、メタアクリル酸系共重合体ポリフローNo.57、同No.95以上、共栄社化学製等が挙げられる。界面活性剤の使用量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、1.0質量部以下が好ましく、0.7質量部以下がより好ましい。界面活性剤の使用量が1.0質量部を超えると、膜ムラを生じやすくなる。[保存安定剤]保存安定剤としては、例えば硫黄、キノン類、ヒドロキノン類、ポリオキシ化合物、アミン、ニトロニトロソ化合物等が挙げられ、より具体的には、4-メトキシフェノール、N-ニトロソ-N-フェニルヒドロキシルアミンアルミニウム等が挙げられる。保存安定剤の使用量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、3.0質量部以下が好ましく、1.0質量部以下がより好ましい。保存安定剤の配合量が3.0質量部を超えると、感度が低下してパターン形状が劣化する場合がある。[接着助剤]接着助剤は、形成される硬化膜の接着性をより向上させるために使用できる。接着助剤としてはカルボキシル基、メタクリロイル基、ビニル基、イソシアネート基、オキシラニル基等の反応性官能基を有する官能性シランカップリング剤が好ましく、例えばトリメトキシシリル安息香酸、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ-イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン等が挙げられる。接着助剤の使用量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、20質量部以下が好ましく、15質量部以下がより好ましい。接着助剤の使用量が20質量部を超えると、現像残りを生じやすくなる傾向がある。<感放射線性樹脂組成物の調製方法>本発明の形成方法に用いられる感放射線性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物、[C]光重合開始剤及び[D]酸発生剤並びに好適成分である[E]着色剤、必要に応じてその他の任意成分を均一に混合することによって調製される。この感放射線性樹脂組成物は、好ましくは適当な溶媒に溶解されて溶液状で用いられる。当該感放射線性樹脂組成物の調製に用いられる溶媒としては、必須成分及び任意成分を均一に溶解し、各成分と反応しないものが用いられる。溶媒としては、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ-n-プロピルエーテル、エチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ-n-プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ-n-プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等のポリアルキレングリコールモノアルキルエーテル類;酢酸エチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノ-n-プロピルエーテル、酢酸エチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノ-n-プロピルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸3-メトキシブチル、酢酸3-メチル-3-メトキシブチル等の酢酸ポリアルキレングリコールモノアルキルエーテル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン、ジアセトンアルコール4-ヒドロキシ-4-メチルペンタン-2-オン、4-ヒドロキシ-4-メチルヘキサン-2-オン等のケトン類;プロピレングリコールジアセテート、1,3-ブチレングリコールジアセテート、1,6-ヘキサンジオールジアセテート等のジアセテート類;乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;酢酸エチル、酢酸n-プロピル、酢酸i-プロピル、酢酸n-ブチル、酢酸i-ブチル、ぎ酸n-ペンチル、酢酸i-ペンチル、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、プロピオン酸n-ブチル、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、酪酸エチル、酪酸n-プロピル、酪酸i-プロピル、酪酸n-ブチル、ヒドロキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n-プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、2-ヒドロキシ-3-メチル酪酸メチル、2-オキソ酪酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N-メチルピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸3-メトキシブチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン、1,3-ブチレングリコールジアセテート、1,6-ヘキサンジオールジアセテート、乳酸エチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、酢酸n-ブチル、酢酸i-ブチル、ぎ酸n-アミル、酢酸i-アミル、プロピオン酸n-ブチル、酪酸エチル、酪酸i-プロピル、酪酸n-ブチル、ピルビン酸エチルが好ましい。溶媒は単独又は2種以上を使用できる。溶媒の含有量としては限定されないが、得られる感放射線性樹脂組成物の塗布性、安定性等の観点から感放射線性樹脂組成物の溶媒を除いた各成分の合計固形分濃度が、5質量~50質量となる量が好ましく、10質量~40質量となる量がより好ましい。このようにして調製された組成物溶液は、孔径0.5μm程度のミリポアフィルタ等を用いて濾過した後、使用に供することができる。<硬化膜及び硬化膜形成方法>本発明には、当該形成方法から形成される硬化膜も好適に含まれる。また、当該硬化膜は層間絶縁膜、保護膜、スペーサー又はカラーパターンとしての表示素子用硬化膜として適用できる。本発明の硬化膜形成方法は、1感放射線性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程、2上記塗膜をフォトマスクを介して露光する工程、3上記露光された塗膜を現像する工程、及び4上記現像された塗膜を加熱する工程を有する。以下、各工程を詳述する。[工程1]本工程では感放射線性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する。基板の材料としては、例えばガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、無アルカリガラス等が挙げられる。また、これらの基板には、所望によりシランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。感放射線性樹脂組成物を基板に塗布する方法としては、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法スピンコート法、スリットダイ塗布法、バー塗布法等が挙げられる。これらのうち、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。プレベークの条件としては、通常70°C~110°Cで1分~10分程度である。塗膜の膜厚としては通常0.6μm~8.0μm、好ましくは1.2μm~5.0μmである。[工程2]本工程では、工程1で形成した塗膜にフォトマスクを介して露光をする。光源として用いられるLED方式の紫外線硬化装置LED-UVとしては、340nm~380nmの範囲をピークとするシングルピークの紫外光を発光する装置が用いられる。また、UV強度としては100mW/cm2~3,000mW/cm2程度のエネルギー強度のものが用いられる。[工程3]本工程では、工程2で露光された塗膜をアルカリ現像液を用いて現像する。アルカリ現像液としては、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8-ジアザビシクロ-[5.4.0]-7-ウンデセン、1,5-ジアザビシクロ-[4.3.0]-5-ノネンが好ましい。アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤等を適量添加できる。なお、アルカリ現像後は通常、水洗する。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ浸漬現像法、パドル液盛り現像法等を適用できる。現像条件としては、常温で5秒~300秒が好ましい。[工程4]本工程では、工程3で現像された塗膜を加熱ポストベークする。ポストベークの加熱条件としては、通常200°C~300°C程度である。ポストベークの加熱時間としては、10分~60分程度である。<表示素子及びその製造方法>本発明には、当該硬化膜を備える表示素子も好適に含まれる。本発明の表示素子は、例えば以下の方法により作製できる。まず片面に透明導電膜電極を有する透明基板を一対2枚準備し、そのうちの一枚の基板の透明導電膜上に、感放射線性樹脂組成物を用いて、上記の硬化膜形成方法に従ってスペーサー若しくは保護膜又はその双方を形成する。続いてこれらの基板の透明導電膜及びスペーサー又は保護膜上に液晶配向能を有する配向膜を形成する。これら基板を、その配向膜が形成された側の面を内側にして、それぞれの配向膜の液晶配向方向が直交又は逆平行となるように一定の間隙セルギャップを介して対向配置し、基板の表面配向膜及びスペーサーにより区画されたセルギャップ内に液晶を充填し、充填孔を封止して液晶セルを構成する。そして、液晶セルの両外表面に、偏光板を、その偏光方向が当該基板の一面に形成された配向膜の液晶配向方向と一致又は直交するように貼り合わせることにより、本発明の表示素子が得られる。他の方法としては、上記方法と同様にして透明導電膜と、層間絶縁膜、保護膜、スペーサー又はカラーパターン又はその双方と、配向膜とを形成した一対の透明基板を準備する。その後一方の基板の端部に沿って、ディスペンサーを用いて紫外線硬化型シール剤を塗布し、次いで液晶ディスペンサーを用いて微小液滴状に液晶を滴下し、真空下で両基板の貼り合わせを行う。そして、上記のシール剤部に、高圧水銀ランプを用いて紫外線を照射して両基板を封止する。最後に、液晶セルの両外表面に偏光板を貼り合わせることにより、本発明の表示素子が得られる。上記の各方法において使用される液晶としては、例えばネマティック型液晶、スメクティック型液晶等が挙げられる。また、液晶セルの外側に使用される偏光板としては、ポリビニルアルコールを延伸配向させながら、ヨウ素を吸収させたH膜と呼ばれる偏光膜を酢酸セルロース保護膜で挟んだ偏光板、又はH膜そのものからなる偏光板等が挙げられる。以下、実施例に基づき本発明を詳述するが、この実施例に本発明が限定的に解釈されるものではない。<[A]アルカリ可溶性樹脂の合成>[合成例1]冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’-アゾビス2,4-ジメチルバレロニトリル5質量部及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル220質量部を仕込んだ。引き続き、A1化合物としてメタクリル酸12質量部、A2化合物としてメタクリル酸グリシジル40質量部、A4化合物としてスチレン20質量部及びメタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン-8-イル28質量部を仕込み、窒素置換し、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70°Cに上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、共重合体A-1を含有する溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は31.3であり、共重合体A-1のMwは、12,000であった。[合成例2]冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、AIBN4質量部及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル300質量部を仕込み、引き続きA1化合物としてメタクリル酸23質量部、A4化合物としてスチレン10質量部、メタクリル酸ベンジル32質量部及びメタクリル酸メチル35質量部を仕込み、さらにα-メチルスチレンダイマー2.7質量部を仕込み、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を80°Cに上昇し、この温度を4時間保持した後、100°Cに上昇させ、この温度を1時間保持して重合することにより共重合体を含有する溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は24.9、Mwは12,500であった。次いで、得られた共重合体を含む溶液に、テトラブチルアンモニウムブロミド1.1質量部、重合禁止剤として4-メトキシフェノール0.05質量部を加え、空気雰囲気下90°Cで30分間攪拌後、A2化合物としてメタクリル酸グリシジル16質量部を入れて90°Cのまま10時間反応させることにより、共重合体A-2を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は29.0であり、Mwは、14,200であった。<感放射線性樹脂組成物の調製>[実施例1~11及び比較例1~4]表1に示す種類、配合量の各成分を混合し、固形分濃度が30質量となるように溶媒としてのプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートを加えた後、孔径0.5μmのミリポアフィルタでろ過することにより、感放射線性樹脂組成物を調製した。なお、欄中の-は該当する成分を使用しなかったことを表す。表1に示す感放射線性樹脂組成物の調製に使用した各成分の詳細を以下に示す。<[B]重合性化合物>B-1:ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物KAYARADDPHA、日本化薬製B-2:コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレートアロニックスTO-756、東亞合成製B-3:エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート<[C]光重合開始剤>C-1:1,2-オクタンジオン-1-[4-フェニルチオ-2-O-ベンゾイルオキシム]イルガキュアOXE01、チバスペシャルティーケミカルズ製C-2:エタノン-1-9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシムイルガキュアOXE02、チバスペシャルティーケミカルズ製C-3:2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルフォリノプロパン-1-オンイルガキュア907、チバスペシャルティーケミカルズ製C-4:2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルフォリン-4-イル-フェニル-ブタン-1-オンイルガキュア379、チバスペシャルティーケミカルズ製<[D]酸発生剤>D-1:N-トリフルオロメチルスルホニルオキシナフチルジカルボキシルイミドみどり化学製、NAI-105D-2:1-4,7-ジブトキシ-1-ナフタレニルテトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホナートD-3~D-6:下記式でそれぞれ表される化合物<[E]着色剤>E-1:C.I.ソルベントレッド45E-2:C.I.ソルベントイエロー98E-3:C.I.ソルベントブルー59E-4:Valifastyellow1101E-5:C.I.アシッドブラック24<硬化膜の形成>95mm×95mmの無アルカリガラス基板上にスピンコート法を用いて、調製した各感放射線性樹脂組成物を塗布した後、90°Cのホットプレート上で3分間プレベークして、膜厚3.5μmの塗膜を形成した。次いで、得られた塗膜に、開口部として直径12μmの円状パターンが形成されたフォトマスクを介して、365nmにシングルピークの紫外光を発する紫外線LEDを光源とする露光装置を用いて露光した。その後、水酸化カリウム0.05水溶液により、25°Cで60秒間現像したのち、純水で1分間洗浄し、さらに230°Cのオーブン中で30分間ポストベークすることにより、円状パターンを有する硬化膜を形成した。なお、実施例1~11並びに比較例4及び5については、上述の通り露光光源として紫外線LEDを使用し、比較例1~3については、露光光源として高圧水銀ランプを使用した。<評価>形成した硬化膜について下記の評価を行った。結果を表1にあわせて示す。[感度J/m2]下記式から算出される残膜率が、90以上になる場合の最小の露光量を感度とした。最小露光量が2,000J/m2以下の時、感度を良好と判断した。残膜率=ポストベーク後の膜厚/露光後の膜厚×100[硬化性]上記感度の評価と同様に操作して、残膜率が90以上になる露光量で基板上に円状パターンを形成した。このパターンを微小圧縮試験機フィッシャースコープH100C、フィッシャーインストルメンツ製で50μm角状の平面圧子を用い、40mNの荷重により圧縮試験を行い、荷重に対する圧縮変位量の変化を測定した。40mNの荷重における変位量と、40mNの荷重を取り除いた時の変位量から回復率を算出し、硬化性とした。回復率が90以上である場合、硬化膜の表面硬化性及び深部硬化性が良好と判断し、回復率が90未満である場合、硬化膜の深部硬化性が不十分であると判断した。[昇華性]上記パターンの形成と同様に操作して、95mm×95mmの無アルカリガラス基板上に膜厚3.5μmの塗膜を形成した。次いで、幅1cm、厚さ100μmの粘着テープをカバーガラスとしての塗膜が形成されていない別の無アルカリガラス基板の両端に貼った。このカバーガラスを、膜厚3.5μmの塗膜が形成された基板の上に重ねた。なお、この場合、粘着テープの厚さにより100μmの間隙が基板とカバーガラスとの間に存在することになる。この重ね合わせた基板について、365nmにシングルピークの紫外光を発する紫外線LEDを光源とする露光装置又は高圧水銀ランプにより露光した。露光後のカバーガラスの表面をアセトンで洗浄し、その洗浄後の溶液をHPLC高速液体クロマトグラフィーで分析した溶出溶媒:アセトニトリル、流速:1.0mL/分、試料濃度:1.0質量、試料注入量:100μL、検出器:UV検出器。HPLC分析の結果、露光による光重合開始剤由来の昇華物が確認できなかった場合をA良好と判断、昇華物が確認できた場合をB不良と判断とした。表1の結果から本発明の形成方法から形成される硬化膜は、紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いた場合においても、光重合開始剤の昇華を抑制しつつ、優れた表面硬化性及び深部硬化性を有することがわかった。なお、従来一般的に用いられている水銀ランプを使用した場合は、十分な硬化性を得られるものの、光重合開始剤の昇華物が確認された。また、紫外線硬LED方式の紫外線硬化装置を用いた場合であっても、感放射線性樹脂組成物が[D]酸発生剤を含有しない場合は、十分な硬化性が得られないことがわかった。"