"基板または下地膜上に第1の電極層を形成し、該第1の電極層の上に電気-機械変換層を形成し、該電気-機械変換層圧電層の上に第2の電極層を形成して電気-機械変換素子を形成する工程と、該電気-機械変換素子の駆動波形に対する変位特性の変化を抑制する前処理波形を印加する電気的処理工程を含む電気-機械変換素子の製造方法であって、該前処理波形の電圧の極性が該電気-機械変換層の残留分極の分極方向と逆極性であることを特徴とする電気-機械変換素子の製造方法。請求項1記載の該前処理波形による該電気的処理工程が該電気-機械変換素子の良否について選別するスクリーニング工程を含んでいることを特徴とする電気-機械変換素子の製造方法。請求項1又は2記載の該前処理波形が該電気-機械変換層に100kV/cm以上の電界強度を印加することを特徴とする電気-機械変換素子の製造方法。請求項1又は2記載の該前処理波形の周波数が20kHz以上であることを特徴とする電気-機械変換素子の製造方法。請求項1又は2記載の該前処理波形が単一周波数であることを特徴とする電気-機械変換素子の製造方法。請求項1又は2記載の該前処理波形において電圧を交番に印加することを特徴とし、このとき該残留分極の分極方向の逆極性の電圧が該前処理波形の印加時間の50以上であることを特徴とする電気-機械変換素子の製造方法。請求項1又は2記載の該前処理波形の印加時間が10分以上であることを特徴とする電気-機械変換素子の製造方法。請求項1又は2記載の該電気的処理工程において100°C以上の温度をかけることを特徴とする電気-機械変換素子の製造方法。請求項1記載の電気-機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド。請求項9記載の液滴吐出ヘッドを備えたインクジェットプリンタ。しかし、特許文献1~4に開示のエージング工程においては、圧電素子の初期の分極状態が駆動電圧方向に対して正または負の方向に偏っているとき、その偏りに対して最適なエージング電圧の選択的な印加ができず、圧電素子の変位量の低下を的確に抑制することができない。言い換えると、初期の分極状態に偏りが生じている場合、すなわち分極モーメントの圧電体膜の膜厚方向成分の絶対値が上側と下側とで異なる場合ここでは分極モーメントが上側に偏っている場合として考える、下部電極側に電荷が多く捕捉されている。そこで、この電荷を分極モーメントの逆方向逆極性の電圧を印加することで、優先的に電荷を放出することができると推考される。なお、特許文献1~4のように、実使用時前にエージング工程を含めることで、実使用時の圧電素子の変位の変動を抑制しても、圧電素子の初期の分極状態が駆動電圧方向に対して正または負の方向に偏っているとき、その偏りに対して最適なエージング電圧の選択的な印加を行うという問題を解消できていない。また、従来のエージング工程では、実使用時の変位量が低下してしまうという問題をより的確に解消できない。さらに、駆動電圧を印加する方向にこのような圧電素子を液体噴射ヘッドに用いた場合、使用した時間に伴って変位量が低下してしまうため、ヘッドが途中で作動しなくなることや、安定して液体吐出できないという問題を的確に解消できない。本発明は、初期の分極状態に偏りを有する電気-機械変換素子であって、繰り返し駆動による変位量の変動を小さくできる電気-機械変換素子の製造方法を提供し、更に、耐久性が向上した液滴吐出ヘッド並びにインクジェットプリンタを提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明は、基板または下地膜上に第1の電極層を形成し、該第1の電極層の上に電気-機械変換層を形成し、該電気-機械変換層の上に第2の電極層を形成して電気-機械変換素子を形成する工程と、該電気-機械変換素子の駆動波形に対する変位特性の変化を抑制する前処理波形を印加する電気的処理工程を含む電気-機械変換素子の製造方法であって、該前処理波形の電圧の極性が該電気-機械変換層の残留分極の分極方向と逆極性であることを特徴とする。第2の発明は、請求項1記載の電気-機械変換素子の製造方法において、前記前処理波形による該電気的処理工程が該電気-機械変換素子の良否について選別するスクリーニング工程を含んでいることを特徴とする。第3の発明は、請求項1、又は2記載の電気-機械変換素子の製造方法において、前記前処理波形が該電気-機械変換層に100kV/cm以上の電界強度を印加することを特徴とする。第4の発明は、請求項1、又は2記載の電気-機械変換素子の製造方法において、前記前処理波形の周波数が20kHz以上であることを特徴とする。第5の発明である電気-機械変換素子の製造方法は、請求項1、又は2記載の電気-機械変換素子の製造方法において、前記前処理波形が単一周波数であることを特徴とする。第6の発明である電気-機械変換素子の製造方法は、請求項1、又は2記載の電気-機械変換素子の製造方法において、前記前処理波形の電圧を交番に印加すると共にこのときの残留分極の分極方向の逆極性の電圧が該前処理波形の印加時間の50以上であることを特徴とする。第7の発明である電気-機械変換素子の製造方法は、前記前処理波形の印加時間が10分以上であることを特徴とする。第8の発明である電気-機械変換素子の製造方法は、請求項1、又は2記載の電気-機械変換素子の製造方法において、前記電気的処理工程において100°C以上の温度をかけることを特徴とする。第9の発明は、請求項1、又は2記載の電気-機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッドを特徴とする。第10の発明は、請求項9記載の液滴吐出ヘッドを備えたインクジェットプリンタを特徴とする。本発明によれば、前処理波形を印加する電気的処理工程であるエージング工程において、前処理波形の電圧の極性を電気-機械変換素子の残留分極の分極方向と逆極性とすることで、エージング工程を的確に行うことができ、実使用時の変位量の低下や作動不良を防止し、安定して液体吐出制御できるようにした電気-機械変換素子の製造方法を提供することができる。請求項1また、本発明によれば、スクリーニング工程により電気-機械変換素子の良否を選別でき、実使用時の変位量の低下を防止し安定して液体吐出制御できるようにした電気-機械変換素子を製造できる。請求項2また、本発明によれば、該電気-機械変換層に100kV/cm以上の電界強度の前処理波形を印加することで、実使用時の変位量の低下を防止し安定して液体吐出制御できるようにした電気-機械変換素子を製造できる。請求項3また、本発明によれば、該電気-機械変換層に周波数が20kHz以上の前処理波形を印加することで、実使用時の変位量の低下を防止し安定して液体吐出制御できるようにした電気-機械変換素子を製造できる。請求項4また、本発明によれば、該電気-機械変換層に単一周波数の前処理波形を印加する場合も、実使用時の変位量の低下を防止し安定して液体吐出制御できるようにした電気-機械変換素子を製造できる。請求項5また、本発明によれば、前処理波形を交番に印加すると共にこのときの残留分極の分極方向の逆極性の電圧が該前処理波形の印加時間の50以上加えられる場合も、実使用時の変位量の低下を防止し安定して液体吐出制御できるようにした電気-機械変換素子を製造できる。請求項6また、本発明によれば、前処理波形の印加時間を10分以上加えられる場合も、実使用時の変位量の低下を防止し安定して液体吐出制御できるようにした電気-機械変換素子を製造できる。請求項7また、本発明によれば、前処理波形を印加する電気的処理工程の際に、100°C以上の温度をかけることにした場合も、電気-機械変換素子を容易に製造できる。請求項8また、本発明によれば、請求項1又は2に記載の電気-機械変換素子の効果を同様に得られる液滴吐出ヘッドを提供できる。請求項9また、本発明によれば、請求項9に記載の液滴吐出ヘッドの効果を同様に得られるインクジェットプリンタを提供できる。請求項10以下、図1に基づいて本発明を適用した電気機械変換素子を用いた液滴吐出ヘッドについて説明する。図1は、本実施の形態に係る電気機械変換素子を用いた液滴吐出ヘッドを例示する断面図である。図1を参照するに、液滴吐出ヘッド94は、電気機械変換素子100と、振動板下地105と、Si基板である圧力室基板104と、ノズル102が設けられたノズル板103とを有する。液滴吐出ヘッド94の駆動部は、図2に示すように、振動板下地105と、これに不図示の密着層で密着力を強めている第1の電極下部電極106と、電気―機械変換膜電気―機械変換層とも言う107と、第2の電極上部電極108とを積層した構成を採る。ここでは、第1の電極下部電極106と電気―機械変換膜107と第2の電極上部電極108とが電気機械変換素子100を成す。次に、圧力室基板104としては、シリコン単結晶基板を用いることが好ましく、通常100~600μmの厚みを持つことが好ましい。面方位としては、100、110、111と3種あるが、半導体産業では一般的に100、111が広く使用されており、本構成においては、主に100の面方位を持つ単結晶基板を主に使用した。また、図1に示すような圧力室101を作製していく場合、エッチングを利用してシリコン単結晶基板を加工していくが、この場合のエッチング方法としては、異方性エッチングを用いることが一般的である。異方性エッチングとは結晶構造の面方位に対してエッチング速度が異なる性質を利用したものである。例えばKOH等のアルカリ溶液に浸漬させた異方性エッチングでは、100面に比べて111面は約1/400程度のエッチング速度となる。従って、面方位100では約54°の傾斜を持つ構造体が作製できるのに対して、面方位110では深い溝をほることができるため、より剛性を保ちつつ、配列密度を高くすることができることが分かっており本構成としては110の面方位を持った単結晶基板を使用することも可能である。但し、この場合、マスク材であるSiO2もエッチングされてしまうということが挙げられるため、この辺りも留意して利用している。振動板下地105としては、図1に示すように電気-機械変換膜107によって発生した力を受けて、振動板105が変形変位して、圧力室101のインク滴を吐出させる。そのため、振動板下地105としては所定の強度を有したものであることが好ましい。材料としては、Si、SiO2、Si3N4をCVD法原料となる物質をガス状態で供給し固体表面に固体反応性物質を獲る手法により作製したものが挙げられる。さらに図1に示すような下部電極106、電気-機械変換膜107の線膨張係数に近い材料を選択することが好ましい。特に、電気-機械変換膜107としては、一般的に材料としてPZTが使用されることから線膨張係数8×10^-61/Kに近い線膨張係数として、5×10^-6~10×10^-6の線膨張係数を有した材料が好ましく、さらには7×10^-6~9×10^-6の線膨張係数を有した材料がより好ましい。具体的な材料としては、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化イリジウム、酸化ルテニウム、酸化タンタル、酸化ハフニウム、酸化オスミウム、酸化レニウム、酸化ロジウム、酸化パラジウム及びそれらの化合物等であり、これらをスパッタ法もしくは、Sol-gel法を用いてスピンコータにて作製することができる。膜厚としては0.1~10μmが好ましく、0.5~3μmがさらに好ましい。この範囲より小さいと図1に示すような圧力室の加工が難しくなり、この範囲より大きいと下地が変形変位しにくくなり、インク滴の吐出が不安定になる。次に、第1、2の電極106,108としては、金属材料としては従来から高い耐熱性と低い反応性を有する白金が用いられているが、鉛に対しては十分なバリア性を持つとはいえない場合もあり、イリジウムや白金-ロジウムなどの白金族元素や、これら合金膜も挙げられる。また、白金を使用する場合には下地特にSiO2との密着性が悪いために、Ti、TiO2、Ta、Ta2O5、Ta3N5等を先に積層することが好ましい。作製方法としては、スパッタ法や真空蒸着等の真空成膜が一般的である。膜厚としては、0.05~1μmが好ましく、0.1~0.5μmがさらに好ましい。またこのとき、電気-機械変換膜としてPZTを選択したときにその結晶性として111配向を有していることが好ましい。そのために第1の電極材料としては、111配向性が高いPtを選択することが好ましい。また、電気-機械変換膜107の変位の経時的な疲労特性に対する懸念から、第1の電極106と電気-機械変換膜107および電気-機械変換膜と第2の電極108との間にルテニウム酸ストロンチウムなどの導電性酸化物を電極部として積層することが好ましい。次に、電気-機械変換膜107としては、チタン酸ジルコン酸鉛PZTを主に使用した。PZTとはジルコン酸鉛PbTiO3とチタン酸PbTiO3の固溶体で、その比率により特性が異なる。一般的に優れた圧電特性を示す組成はPbZrO3とPbTiO3の比率が53:47の割合で、化学式で示すとPbZr0.53Ti0.47O3、一般PZT53/47と示される。PZT以外の複合酸化物としてはチタン酸バリウムなどが挙げられ、この場合はバリウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒に溶解させることでチタン酸バリウム前駆体溶液を作製することも可能である。これら材料は一般式ABO3で記述され、A=Pb、Ba、SrB=Ti、Zr、Sn、Ni、Zn、Mg、Nbを主成分とする複合酸化物が該当する。その具体的な記述としてPb1-x,BaxZr,TiO3、PbZrx,Tiy,Nb1-x-yO3、これはAサイトのPbを一部Baで置換した場合およびBサイトのZr、Tiを一部Nbで置換した場合である。このような置換はPZTの変位特性の応用に向けた材料改質で行なわれる。作製方法としては、スパッタ法もしくは、Sol-Gel法を用いてスピンコータにて作製することができる。その場合は、パターニング化が必要となるので、フォトリソエッチング等により所望のパターンを得る。PZTをSol-Gel法により作製した場合、出発材料に酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒としてメトキシエタノールに溶解させ均一溶液を得ことで、PZT前駆体溶液が作製できる。金属アルコキシド化合物は大気中の水分により容易に加水分解してしまうので、前駆体溶液に安定化剤としてアセチルアセトン、酢酸、ジエタノールアミンなどを適量添加しても良い。下地基板105の全面にPZT膜を得る場合、スピンコート平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する手法などの溶液塗布法により塗膜を形成し、溶媒乾燥、熱分解、結晶化の各々の熱処理を施すことで得られる。塗膜から結晶化膜への変態には体積収縮が伴うので、クラックフリーな膜を得るには一度の工程で100nm以下の膜厚が得られるように前駆体濃度の調整が必要になる。電気-機械変換膜107の膜厚としては0.5~5μmが好ましく、さらに好ましくは1μm~2μmとなる。この範囲より小さいと十分な変位を発生することが出来なくなり、この範囲より大きいと何層も積層させていくため、工程数が多くなりプロセス時間が長くなる。上述記載の第1の電極106上にPZTをSol-Gel法一般的な意味でアルコキシド系ゾルを加熱などによりゲル状態とし、セラミックスなどを合成する化学操作により作製した溶液を用いてスピンコートにより1μm成膜した後のXRD高輝度放射光を利用したX線回析について図3に示す。これより、PZTは111面が非常に優先配向した膜が得られている。また、PZTの熱処理条件によっては111以外の配向膜にもなっており、以下の式を用いたときに、111配向度が0.95以上かつ110配向度が0.05以下であることが好ましい。XRDで得られた各配向のピークの総和を1とした時のそれぞれの配向の比率を表す計算方法であり、平均配向度を表している。ρ=Ihkl/ΣIhkl分母:各ピーク強度の総和分子:任意の配向のピーク強度この範囲を超える場合は、連続駆動後の変位劣化については十分な特性が得られない。電気-機械変換層107は内部電界が第1の電極106側あるいは第2の電極107側に傾いているものである。この内部電界の偏りとは、電気-機械変換層107に外部から電界が印加されずとも、内部電界の膜厚方向図4aで上下方向成分がいずれか一方向に絶対値が大きくなっていることを指す。これは、電気-機械変換層107の第1の電極106側あるいは第2の電極108側に電荷の存在分布が偏っているためである。このとき、第1の電極106と第2の電極108との間に外部電界を印加したとき、分極が正方向と負方向で対称ではなく、絶対値に差がある。このような時における分極は第1の電極106と第2の電極108との間に外部電界が印加されていないときの値であるため、残留分極といわれており、これはP-Eヒステリシスループ図4b参照の最初のループを測定することにより、評価することができる。ここでは初期の残留分極Pini図4bに記載と表記する。ここで、Pは分極、Eは電界である。ここで内部電界が上を向いているとき、すなわち、第1の電極106から第2の電極108に電界方向が向いているとき図4aの上向き矢印参照、分極方向は下に、すなわち、第2の電極108から第1電極106に向いている。このような状態のとき、Piniは負の方向の状態にある。なお、外部電界の無印加状態において分極に偏りのないない場合、すなわち、電気-機械変換層107内で電荷の存在分布に偏りがない状態の場合、Piniはゼロ点にある。従って、P-Eヒステリシスループの最初のループを測定することにより、分極の偏りの有無方向について容易に判断することができる。実施例1シリコンウエハに熱酸化膜膜厚1μmを形成し、第1の電極106として、チタン膜膜厚50nm、引続き下部電極として白金膜膜厚250nm、SrRuO3膜膜厚50nmを順次スパッタ成膜真空中にArガスを導入しながら基板と成膜させる物質間に直流高電圧を印加し、Arガスをに衝突してはじき飛ばされたターゲット物質を基板に成膜させるした。チタン膜については、熱酸化膜と白金膜の間の密着層としての役割を持つ。スパッタ成膜時の基板加熱温度については550°Cにて成膜を実施した。次に電気-機械変換膜としてPb:Zr:Ti=110:53:47の組成比で調合した溶液を準備した。具体的な前駆体塗布液の合成については、出発材料に酢酸鉛三水和物、イソプロポキシドチタン、イソプロポキシドジルコニウムを用いた。酢酸鉛の結晶水はメトキシエタノールに溶解後、脱水した。化学両論組成に対し鉛量を過剰にしてある。これは熱処理中のいわゆる鉛抜けによる結晶性低下を防ぐためである。イソプロポキシドチタン、イソプロポキシドジルコニウムをメトキシエタノールに溶解し、アルコール交換反応、エステル化反応を進め、先記の酢酸鉛を溶解したメトキシエタノール溶液と混合することでPZT前駆体溶液を合成した。このPZT濃度は0.5モル/リットルにした。この液を用いて、スピンコートにより成膜し、成膜後、120°C乾燥→500°C熱分解を行った。3層目の熱分解処理後に、結晶化熱処理温度750°CをRTA急速熱処理にて行った。このときPZTの膜厚は240nmであった。この工程を計8回24層実施し、約2μmのPZT膜厚を得た。次に第2の電極108としてSrRuO3膜膜厚40nm、白金膜膜厚125nmを順次スパッタ成膜した。スパッタ成膜時の基板温度については300°Cにて成膜を実施した。SrRuO3膜についてはRTA処理にて酸素雰囲気中で550°C/300sのポストアニール処理をした。その後、東京応化社製フォトレジストTSMR8800をスピンコート法で成膜し、通常のフォトリソグラフィーでレジストパターンを形成した後、ICPエッチング装置サムコ製を用いてパターンを作製した。次に、後の圧力室101を形成するために、シリコン基板104を所望の厚さt例えば厚さ80μmになるように、公知の技術で研磨する。研磨法以外にもエッチングなどでもよい。次に、リソグラフィー法により、圧力室101以外の隔壁部をレジストで被覆する。その後、アルカリ溶液KOH溶液、あるいはTMHA溶液で異方性ウェットエッチングをおこない圧力室101を形成し、図1のような電気-機械変換素子100の形成工程電気-機械変換素子を形成する工程を完了し、およびそれにより構成される液体吐出ヘッドを作製した。圧力室101形成後、本発明では初期の分極Piniの方向図4bでは負極性とは逆極性正極性の電界強度100kV/cm、周波数50kHzの三角波を10分印加し,電気的処理工程エージング工程を行った。実施例2実施例1と同様に圧力室101形成後電気-機械変換素子を形成する工程後、実施例2では初期の分極Piniの方向図4bでは負極性とは逆極性正極性の電界強度200kV/cm、周波数50kHzの三角波を10分印加し、電気的処理工程エージング工程を行った。実施例3実施例1と同様に圧力室101形成後電気-機械変換素子を形成する工程後、実施例3では初期の分極Piniの方向図4bでは負極性とは逆極性正極性の電界強度100kV/cm、周波数100kHzの三角波を10分印加し、電気的処理工程エージング工程を行った。実施例4実施例1と同様に圧力室101形成後電気-機械変換素子を形成する工程後、実施例4では初期の分極Piniの方向図4bでは負極性とは逆極性正極性の電界強度100kV/cm、周波数50kHzの三角波を20秒交番に10分印加し、電気的処理工程エージング工程を行った。実施例5実施例1と同様に圧力室101形成後電気-機械変換素子を形成する工程後、実施例4では初期の分極Piniの方向図4bでは負極性とは逆極性正極性の電界強度100kV/cm、周波数100kHzの三角波を温度100°Cの状態で10分印加し、電気的処理工程エージング工程を行った。比較例1実施例1と同様に圧力室101形成後電気-機械変換素子を形成する工程後、比較例1では初期の分極Piniの方向図4bでは負極性とは同極性負極性の電界強度100kV/cm、周波数100kHzの三角波を10分印加し、電気的処理工程エージング工程を行った。上述の実施例1~5、比較例1で電気的処理工程エージング工程を経た液体吐出ヘッドを用いて印加電界150kV/cmにおける変位の変動の評価をおこなった。変位はレーザードップラ振動計を用いて計測した。変位の変動の評価は、電気的処理を実施した後の最初の変位の絶対値を100としたときの10^10回繰り返し電界を印加したあとの変位の変化率で評価した。また、電気的処理前後での変位の比較もおこなった。ここでも、電気的処理を実施したあとの変位を100としたときの処理前の変位を比較した。図5に10^10回駆動での変位の変化の評価結果、および下記の表1に10^10回繰り返した後の変化率と電気的処理前後での変位の変化率をまとめた。ここで正符号となっているのは100より大きい状態、負符号となっているのは100より小さい状態である。実施例1~5についてはすべて変位の変動幅が3以内であり、Piniの逆方向の電界印加による効果が確認できる。残留分極発生の起因となっている電気-機械変換膜107中の電荷を逆極性の電界を印加することで効率的に取り除くことができているためである。また、実施例2において電界強度を高くする電界強度200kV/cm、実施例3において周波数を大きくする周波数100kHzことで変位の変動の抑制が効果的に達成できている。電界強度および周波数は電気-機械変換膜107の絶縁破壊が生じない程度に大きくすることが好ましい。実施例4においては逆極性の電界を印加したあとに同極性の電界を印加した後に同極性の電界を印加することで効率的に電荷を取り除いたあとに、ふたたび同極性の電界を印加することで三角波を20秒交番に10分印加、電荷の蓄積の偏りを生じさせないようにした。これにより、外部電界の無印加状態で残留分極が偏っているため、逆極性の印加時間は同極性の印加時間より長いことが望まれる。実施例5において熱をかけながら電界を印加しても効果的であった。温度をかけることで、電気-機械変換膜ここではPZTの温度特性により分極が容易に移動したため、すなわち、電荷の移動が容易にできたためである。耐熱性および電気-機械変換膜の脱分極温度の存在から、温度は室温以上、熱破壊しない温度以下および脱分極温度以下であることが好ましい。また、電気的処理前後で変位が大きく低下していないことがわかる。逆極性の電界強度を印加することで、効率的に偏っている電荷の抜き取りを効率的におこなっているためである。交番で印加した実施例4においては同極性の電界強度が印加されていることで、変位のエージングも進行しているためである。比較例1は変位が大きく変動している。Piniと同極性の電界を印加するだけでは、電気-機械変換膜中に偏って蓄積されている電荷の抜き取りを効果的に行なうことができないためである。また、電気的処理前後で変位が大きく低下していることがわかる。同極性の電界強度を印加することで変位のエージングが生じているためである。このような前処理波形による該電気的処理工程エージング工程において、上述のような各実施例を複数実施することで、電気-機械変換素子の良否について選別するスクリーニング工程を行うことができ、実使用時の変位量の低下を確実に防止し安定して液体吐出制御できるようにした電気-機械変換素子を製造できる。上述のように、図1に1ノズルの液体吐出ヘッド構成を示した。また、図6にこれらを複数個配置した液体吐出ヘッド900を示す。本発明によれば、図中電気-機械変換素子907が簡便な製造工程でかつバルクセラミックスと同等の性能を持つ形成でき、その後の圧力室901形成のための裏面からのエッチング除去、ノズル孔902を有するノズル板903を接合することで液体吐出ヘッド900ができる。なお、符号904が圧力室基板、符号905が振動板下地、符号906が第1電極を示す。図中には液体供給手段、流路、流体抵抗についての記述は略した。次に、本発明に係るインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置インクジェットプリンタ80の一例について図7及び図8を参照して説明する。なお、図7は同記録装置の斜視説明図、図8は同記録装置の機構部の側面説明図である。このインクジェット記録装置80は、記録装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ93、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド94、記録ヘッド94へインクを供給するインクカートリッジ95等で構成される印字機構部82等を収納し、装置本体81の下方部には前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイでもよい。84を抜き差し自在に装着することができる。また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができ、給紙カセット84或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。印字機構部82は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ93にはイエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド94を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ93にはヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95を交換可能に装着している。インクカートリッジ95は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド94を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。ここで、キャリッジ93は後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド92に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ97図7参照で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト71を張装し、このタイミングベルト71をキャリッジ93に固定しており、主走査モータ97の正逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。一方、給紙カセット84にセットした用紙83をヘッド94の下方側に搬送するために、給紙カセット84から用紙83を分離給装する給紙ローラ72及びフリクションパッド73と、用紙83を案内するガイド部材74と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ75と、この搬送ローラ75の周面に押し付けられる搬送コロ76及び搬送ローラ75からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ77とを設けている。搬送ローラ75は副走査モータ78図7参照によってギヤ列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ75から送り出された用紙83を記録ヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材79を設けている。この印写受け部材79の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ61、拍車62を設け、さらに用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ63及び拍車64と、排紙経路を形成するガイド部材65,66とを配設している。記録時には、キャリッジ93を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド94を駆動することにより、停止している用紙83にインクを吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙83を排紙する。また、キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置67図7参照を配置している。回復装置67はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ93は印字待機中にはこの回復装置67側に移動されてキャッピング手段でヘッド94をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド94の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜不図示に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。このように、このインクジェット記録装置80においては本発明の実施例1~5で作製したインクジェットヘッド94を搭載しているので、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、変位の変動も抑制されているため、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。"