原料空気を圧縮する原料空気圧縮機と、前記原料空気圧縮機で圧縮した原料空気から深冷分離法によって少なくとも液体酸素を生成し、生成した液体酸素を内部に溜める精留塔と、前記精留塔内部から液体酸素の一部を抜き出す液酸抜出部と、を備え、前記原料空気圧縮機は、前記液酸抜出部で抜き出した液体酸素と圧縮中の原料空気とに熱交換を行わせる熱交換器である液酸熱交換器を備えたことを特徴とする深冷空気分離装置。前記原料空気圧縮機は、原料空気を圧縮する複数段の圧縮機と、前記圧縮機間の少なくとも1カ所に配設された冷却装置と、を備え、前記冷却装置は、前記圧縮機で圧縮した原料空気を冷却する水冷式の熱交換器である水冷熱交換器と、前記水冷熱交換器の下流に配設された前記液酸熱交換器と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の深冷空気分離装置。原料空気を原料空気圧縮機で圧縮し、圧縮した原料空気から深冷分離法によって少なくとも液体酸素を精留塔内部で分離する深冷空気分離装置の制御方法であって、前記精留塔内部から液体酸素の一部を抜き出し、抜き出した液体酸素と前記原料空気圧縮機で圧縮中の原料空気とに熱交換を行わせることを特徴とする深冷空気分離装置の制御方法。しかしながら、上記従来技術では、精留塔から抜き出した液体酸素を、蒸気や電熱器によって加熱して蒸発させている。それゆえ、蒸気発生用の熱源や電熱器駆動用の電力が別途必要となり、装置全体のエネルギー効率が悪化する可能性があった。本発明は、上記のような点に着目してなされたもので、装置全体のエネルギー効率を向上可能とすることを目的としている。本発明の深冷空気分離装置の一態様は、原料空気を圧縮する原料空気圧縮機と、前記原料空気圧縮機で圧縮した原料空気から深冷分離法によって少なくとも液体酸素を生成し、生成した液体酸素を内部に溜める精留塔と、前記精留塔内部から液体酸素の一部を抜き出す液酸抜出部と、を備え、前記原料空気圧縮機は、前記液酸抜出部で抜き出した液体酸素と圧縮中の原料空気とに熱交換を行わせる熱交換器である液酸熱交換器を備えたことを特徴とする。また、本発明の深冷空気分離装置の制御方法の一態様は、原料空気を原料空気圧縮機で圧縮し、圧縮した原料空気から深冷分離法によって少なくとも液体酸素を精留塔内部で分離する深冷空気分離装置の制御方法であって、前記精留塔内部から液体酸素の一部を抜き出し、抜き出した液体酸素と前記原料空気圧縮機で圧縮中の原料空気とに熱交換を行わせることを特徴とする。このように、精留塔から抜き出した液体酸素と、原料空気圧縮機で圧縮中の原料空気とに熱交換を行わせる構成とした。これにより、圧縮によって昇温された原料空気で液体酸素を加熱して蒸発させることができる。それゆえ、例えば、液体酸素を蒸気や電熱器によって加熱して蒸発させる方法に比べ、装置全体のエネルギー効率を向上できる。さらに、本発明の深冷空気分離装置の他の態様は、前記原料空気圧縮機は、原料空気を圧縮する複数段の圧縮機と、前記圧縮機間の少なくとも1カ所に配設された冷却装置と、を備え、前記冷却装置は、前記圧縮機で圧縮した原料空気を冷却する水冷式の熱交換器である水冷熱交換器と、前記水冷熱交換器の下流に配設された前記液酸熱交換器と、を備えることを特徴とする。このように、圧縮機で圧縮された原料空気を水冷熱交換器で冷却し、冷却した原料空気と精留塔から抜き出した液体酸素とに液酸熱交換器で熱交換を行わせる構成とした。これにより、水冷熱交換器によって冷却された原料空気を液酸熱交換器でさらに冷却させることができる。それゆえ、例えば、工場内の気温が上昇し、水冷熱交換器の冷媒の温度が上昇した場合にも、原料空気をより適切に冷却できる。それゆえ、原料空気の体積をより適切に収縮でき、原料空気圧縮機による原料空気の圧縮効率を向上できる。本発明では、精留塔から抜き出した液体酸素と、原料空気圧縮機で圧縮中の原料空気とに熱交換を行わせる構成とした。これにより、圧縮によって昇温された原料空気で液体酸素を加熱して蒸発させることができる。また、液酸蒸発器によって原料空気の圧縮効率を向上させることができる。それゆえ、例えば、液体酸素を蒸気や電熱器によって加熱して蒸発させる方法に比べ、装置全体のエネルギー効率を向上できる。次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。構成まず、深冷空気分離装置1の構成について説明する。図1は、深冷空気分離装置1の構成を模式的に表す構成図である。図1に示すように、深冷空気分離装置1は、原料空気を圧縮し、圧縮した原料空気から深冷分離方式によって酸素、窒素及びアルゴンを生成する装置である。深冷分離方式とは、圧縮した原料空気を液化させ、その液化してなる液体空気を、酸素、窒素及びアルゴンの沸点差を利用して精留し、液体酸素、液体窒素及びアルゴンを生成する方法である。深冷空気分離装置1は、エアフィルタ2、原料空気圧縮機3、水洗冷却塔4、MS吸着ユニット5、熱交換器6、及び精留塔7を備える。エアフィルタ2は、原料空気圧縮機3が吸引した原料空気から異物を除去する。原料空気圧縮機3は、複数段の圧縮機3Aを有する多段式空気圧縮機であり、エアフィルタ2を介して原料空気を吸引し、吸引した原料空気を順次圧縮する。隣り合う圧縮機3Aの間、つまり、原料空気圧縮機3で圧縮中の原料空気が流れる流路上には、冷却装置9が配設されている。冷却装置9は、インタークーラ3Baと、インタークーラ3Baの下流側に配設された熱交換器3Bbとを有している。インタークーラ3Baの下流側とは、原料空気圧縮機3で圧縮中の原料空気が流れる方向である。インタークーラ3Ba及び熱交換器3Bbのそれぞれは、多管式熱交換器等によって構成されている。インタークーラ3Baには、循環水用管8が接続されている。循環水用管8は、冷却塔9で冷却された循環水をインタークーラ3Baおよび後述するアフタークーラ3Cに供給し、インタークーラ3Baおよびアフタークーラ3Cから排出される循環水を冷却塔9に再度冷却させる。そして、インタークーラ3Baは、循環水用管8から供給される循環水を内部に導入し、導入した循環水と圧縮機3Aで圧縮された原料空気とに熱交換を行わせて原料空気を冷却するとともに、熱交換によって昇温した循環水を循環水用管8に排出する。すなわち、インタークーラー3Baは、循環水を冷媒とする水冷式の熱交換器となっている。これにより、原料空気は、例えば、35°C程度まで冷却される。熱交換器3Bbには、液酸抜出用管10が接続されている。液酸抜出用管10は、後述するように精留塔7から抜き出された液体酸素を熱交換器3Bbに供給し、熱交換器3Bbから排出される、液体酸素が蒸発気化してなる酸素を製品酸素の供給路11に導入する。そして、熱交換器3Bbは、液酸抜出用管10から供給される液体酸素を内部に導入し、導入した液体酸素とインタークーラ3Baで冷却された原料空気、つまり、原料空気圧縮機3が圧縮中の原料空気とに熱交換を行わせて原料空気をさらに冷却する。これにより、原料空気は、例えば、34.5~34.8°C程度まで冷却される。このように、熱交換器3Bbが、インタークーラ3Baによって冷却された原料空気をさらに冷却させる。それゆえ、例えば、気温が上昇し、インタークーラ3Baの冷媒である循環水の温度が上昇した場合にも、原料空気をより適切に冷却できる。そのため、原料空気の体積をより適切に収縮でき、圧縮機3Aによる原料空気の圧縮効率を向上できる。また、熱交換器3Bbは、熱交換によって液体酸素を加熱して蒸発させ、その蒸発によって得た蒸発ガス酸素を常温とし、常温とした酸素を液酸抜出用管10に排出する。このように、熱交換器3Bbが、圧縮によって昇温された原料空気で液体酸素を加熱して蒸発させる。それゆえ、例えば、精留塔7から抜き出した液体酸素を蒸気や電熱器によって加熱して蒸発させる方法に比べ、深冷空気分離装置1のエネルギー効率を向上できる。最終段の圧縮機3Aの下流には、アフタークーラ3Cが配設されている。アフタークーラ3Cは、多管式熱交換器等によって構成されている。アフタークーラ3Cには、インタークーラ3Baと同様に、循環水用管8が接続されている。そして、アフタークーラ3Cは、循環水用管8から供給される循環水を内部に導入し、導入した循環水と最終段の圧縮機3Aで圧縮された原料空気とに熱交換を行わせて原料空気を冷却するとともに、熱交換によって昇温した循環水を循環水用管8に排出する。これにより、原料空気圧縮機3は、圧縮機3Aによる圧縮と、インタークーラ3Ba及び熱交換器3Bbによる冷却とを繰り返しながら、原料空気を昇圧する。水洗冷却塔4は、原料空気圧縮機3が圧縮した原料空気に冷却水を塔上部から散水し、原料空気を水洗及び冷却する。これにより、原料空気は、10°C程度まで冷却される。MS吸着ユニット5は、水洗冷却塔4が冷却した原料空気から水分や二酸化炭素を除去する。なお、MS吸着ユニット5は、通常2筒式であって、1筒で水分二酸化炭素を吸着しているときに、もう1筒で吸着した水分二酸化炭素を大気に放出する。熱交換器6及び精留塔7は、コールドボックスCB内に配設されている。熱交換器6は、MS吸着ユニット5が水分や二酸化炭素を除去した原料空気と、後述する供給路11、12、13内の液体酸素、液体窒素及びアルゴンとに熱交換を行わせて原料空気を極低温に冷却する。これにより、原料空気は、-200°C程度まで冷却される。精留塔7は、熱交換器6が冷却した原料空気から液体空気を生成し、生成した液体空気から液体酸素、液体窒素及びアルゴンを分離する。精留塔7で分離された液体酸素、液体窒素及びアルゴンは、それぞれ個別の供給路11、12、13によって精留塔7から取り出される。各供給路11、12、13は、熱交換器6を介して、それぞれの供給先に向けて延在している。これにより、精留塔7で分離された液体酸素、液体窒素及びアルゴンは、熱交換器6によって原料空気とに熱交換が行われて蒸発し、その蒸発によって得た蒸発ガスが製品ガスである製品酸素、製品窒素、及び製品アルゴンとなる。なお、精留塔7で分離して取り出した製品酸素は、不図示の酸素供給路を通じて酸素使用設備に供給可能となっている。酸素使用設備としては、例えば、製鉄設備で使用される高炉、転炉、連続鋳造設備等がある。また、符号14は過冷却器、符号15は低温吸着器、符号16は粗アルゴン塔、符号17は主凝縮器、符号18は副凝縮器である。また、精留塔7には、液酸抜出用管10が接続されている。液酸抜出用管10は、精留塔7内部の炭化水素の濃度が予め設定した保安管理上の設定閾値以下となるように、精留塔7内部から一部を液体酸素を抜き出し、抜き出した液体酸素を熱交換器3Bbに供給する。これにより、熱交換器3Bbは、液酸抜出用管10から供給される液体酸素と、圧縮機3Aで圧縮された原料空気とに熱交換を行わせる。精留塔7内部から抜き出す液体酸素の抜出量は、深冷空気分離装置1の酸素搬出量の1程度とする。動作、その他次に、深冷空気分離装置1の動作について説明する。まず、原料空気圧縮機3が、エアフィルタ2を介して原料空気を吸引し、吸引した原料空気を順次圧縮する。続いて、水洗冷却塔4が、圧縮された原料空気を水洗及び冷却する。続いて、MS吸着ユニット5が、冷却された原料空気から水分や二酸化炭素を除去する。続いて、熱交換器6が、水分や二酸化炭素が除去された原料空気と、供給路11、12、13内の液体酸素、液体窒素及びアルゴンとに熱交換を行わせて原料空気を極低温に冷却する。続いて、精留塔7が、熱交換器6が冷却した原料空気から液体空気を生成し、生成した液体空気から液体酸素、液体窒素及びアルゴンを分離する。続いて、供給路11、12、13が、精留塔7から液体酸素、液体窒素及びアルゴンを取り出し、取り出した液体酸素、液体窒素及びアルゴンを熱交換器6で蒸発させ、その蒸発によって得た蒸発ガスを、製品ガスである製品酸素、製品窒素、及び製品アルゴンとして供給する。その際、液酸抜出用管10が、精留塔7内部から液体酸素の一部を抜き出し、抜き出した液体酸素を熱交換器3Bbに供給する。そして、熱交換器3Bbが、精留塔7から抜き出した液体酸素と、原料空気圧縮機3で圧縮中の原料空気とに熱交換を行わせる。これにより、熱交換器3Bbが、圧縮によって昇温された原料空気で液体酸素を加熱して蒸発させる。それゆえ、深冷空気分離装置1では、例えば、液体酸素を蒸気や電熱器によって加熱して蒸発させる方法に比べ、深冷空気分離装置1のエネルギー効率を向上できる。ここで、例えば、圧縮機3Aが圧縮した原料空気をインタークーラ3Baのみで冷却する方法従来技術では、工場内の気温が上昇し、インタークーラ3Baの冷媒である循環水の温度が上昇した場合、原料空気を十分に冷却できない。それゆえ、原料空気の体積を十分に収縮できず、原料空気の圧縮効率が低下する可能性があった。これに対し、本実施形態の深冷空気分離装置1では、インタークーラ3Baが、圧縮機3Aで圧縮された原料空気を冷却する。そして、熱交換器3Bbが、冷却した原料空気と精留塔7から抜き出した液体酸素とに熱交換を行わせる。これにより、インタークーラ3Baによって冷却された原料空気を熱交換器3Bbでさらに冷却させることができる。それゆえ、例えば、工場内の気温が上昇し、インタークーラ3Baの冷媒である循環水の温度が上昇した場合にも、原料空気をより適切に冷却できる。そのため、原料空気の体積をより適切に収縮でき、原料空気圧縮機3による原料空気の圧縮効率を向上できる。以上、本実施形態では、図1の原料空気圧縮機3が原料空気圧縮機を構成する。以下同様に、図1の精留塔7が精留塔を構成する。また、図1の液酸抜出用管10が液酸抜出部を構成する。さらに、図1の熱交換器3Bbが液酸熱交換器を構成する。また、図1の圧縮機3Aが圧縮機を構成する。さらに、図1の冷却装置3Bが冷却装置を構成する。また、図1のインタークーラ3Baが水冷熱交換器を構成する。実施例次に、本実施形態の深冷空気分離装置1の実施例を図面に基づき説明する。本実施例では、深冷空気分離装置1が送出する酸素の送出量を30000Nm3hとし、精留塔7から抜き出す液体酸素の抜出量を酸素排出量の0.5~1.5である150~450Nm3hとした。また、原料空気圧縮機3として4段の遠心圧縮機を用いた。さらに、原料空気圧縮機3が吸入する原料空気の吸入量を150000Nm3hとし、原料空気圧縮機3が圧縮した原料空気の吐出圧力を0.5MPaとした。また、インタークーラ3Baに供給される循環水の温度を、工場内の気温が上昇した場合を想定して32°Cとした。本実施例では、この条件のもと深冷空気分離装置1を動作させ、熱交換器3Bbが、精留塔7から抜き出した液体酸素を加熱して蒸発可能なことを確認できた。それゆえ、液体酸素を蒸気等によって加熱する必要がなく、液体酸素の蒸発用の蒸気を40~120kgh削減できた。また、インタークーラ3Baの出口における原料空気の温度が平均35°Cとなり、熱交換器3Bbの出口における原料空気の温度が平均34.5~34.8°Cとなることを確認できた。これにより、インタークーラ3Baによって冷却された原料空気をさらに冷却可能なことが確認できた。それゆえ、原料空気圧縮機3による原料空気の圧縮状態が等温圧縮に近き、原料空気圧縮機3の動力を2.5~7.4kW削減できた。なお、本実施例は、酸素の送出量が30000Nm3hである深冷空気分離装置1に適用する例を示したが、他の深冷空気分離装置1にも適用できる。例えば、酸素の送出量が30000Nm3h以外の深冷空気分離装置1にも適用できる。