固体電解質体と該固体電解質体に配置された一対の電極とを有する検知部を含む板状素子と、該板状素子のうち、前記検知部が位置する一端部の周囲を少なくとも取り囲むように設けられ、セラミック粒子にて形成された多孔質保護層と、を備えるガスセンサ素子であって、前記多孔質保護層は、前記検出素子の表面側から外側に向かって、内側領域、中間領域及び外側領域の3つの領域を有し、前記中間領域は、前記内側領域及び前記外側領域よりも気孔率が低いガスセンサ素子。前記外側領域は、前記内側領域よりも気孔率が低い請求項1に記載のガスセンサ素子。前記外側領域は、粗粒子と該粗粒子より粒径が小さい微粒子から形成されてなり、前記中間領域は前記外側領域よりも多い含有率の前記微粒子が含有される請求項1又は2に記載のガスセンサ素子。前記中間領域には、前記内側領域の粒子が含有されてなる請求項1~3のいずれかに記載のガスセンサ素子。前記中間領域の厚みが、前記内側領域の厚み及び前記外側領域の厚みよりも薄い請求項1~4のいずれかに記載のガスセンサ素子。被測定ガス中の特定ガス成分の濃度を検出するセンサ素子と、該センサ素子を保持するハウジングとを備えるガスセンサにおいて、前記センサ素子は、請求項1~5のいずれかに記載のガスセンサ素子を用いることを特徴とするガスセンサ。しかしながら、単に多孔質保護層を下層の気孔率を上層の気孔率よりも大きくするだけでは多孔質保護層中の界面の密着強度が十分であるとはいえず、被水時にこれら多孔質保護層中の2領域の界面で剥離することがある。なお、この剥離の傾向は、多孔質保護層の厚みが大きくなればなるほど大きくなる。また、多孔質保護層を下層の気孔率を上層の気孔率よりも大きくすることで、下層が断熱効果を有し、ガスセンサ素子が被水して水滴が多孔質保護層に付着しても、検知部の熱が多孔質保護層に奪われることが抑制できる。しかしながら、2領域の多孔質保護層では、断熱効果が十分に発揮できる構造とは言い難く、ガスセンサ素子が被水すると、検知部の熱が奪われる可能性が多少なりとあった。そこで、本発明は、複数領域の多孔質保護層の密着強度を高めると共に、ガスセンサ素子の断熱効果を維持するガスセンサ素子及びガスセンサの提供を目的とする。上記課題を解決するため、本発明のガスセンサ素子は、固体電解質体と該固体電解質体に配置された一対の電極とを有する検知部を含む板状素子と、該板状素子のうち、前記検知部が位置する一端部の周囲を少なくとも取り囲むように設けられ、セラミック粒子にて形成された多孔質保護層と、を備えるガスセンサ素子であって、前記多孔質保護層は、前記検出素子の表面側から外側に向かって、内側領域、中間領域、外側領域の3つの領域を有し、前記中間領域は、前記内側領域及び前記外側領域よりも気孔率が低い。このガスセンサ素子によれば、内側領域及び外側領域よりも、中間領域の方が気孔率が低いので、中間領域を構成するセラミック粒子が密に存在する。これにより中間領域の内側、外側に設けられた内側領域及び外側領域と結合するセラミック粒子の数が多くなり、中間領域が内側領域及び外側領域とそれぞれ強固に密着することができ、複数領域の多孔質保護層の密着強度を高めることができる。又、中間領域より検出素子側の内側領域を比較的気孔率を大きくすることができる。これにより、内側領域の断熱効果が高まり、外側領域が被水しても、検知部の熱が外側領域に奪われることを抑制できる。その上、気孔率の低い中間領域にて内側領域が閉塞されるので、断熱効果がさらに高まる。さらに、中間領域より外側の外側領域が気孔率が大きいので、ガスセンサ素子の外部からの被測定ガスが外側多孔質層の気孔を通って内部に取り込まれ易くなり、ガス透過性を確保できる。さらに、中間領域が外側領域よりも気孔率が小さいので、被毒物質や水滴が中間領域に透過されにくく、確実に外側領域にて被毒物質を捕捉できると共に、確実に外側領域にて水滴を浸透させることができる。ここで、ガスセンサ素子は、板状素子の他、絶縁セラミック体に通電により発熱するヒータを設けてなるヒータ素子を有していても良い。また、本発明では、多孔質保護層が素子の表面から外側に向かって内側領域、中間領域、外側領域を有するものの他、外側領域のさらに外側に他の領域を、1つもしくは複数有していても良い。さらに、本発明のガスセンサ素子は、前記外側領域は、前記内側領域よりも気孔率が低いことが好ましい。前記外側領域の気孔率を、前記内側領域の気孔率よりも低くすると、外側領域にて被毒物質を効果的に捕捉でき、且つ外側領域にて水滴を効果的に浸透させることができる。さらに、本発明のガスセンサ素子は、前記外側領域は、粗粒子と該粗粒子より粒径が小さい微粒子から形成されてなり、前記中間領域は前記外側領域よりも多い含有率の前記微粒子を含有してもよい。このガスセンサ素子によれば、外側領域を粗粒子と微粒子により形成することで、外側領域にて被毒物質をより多く捕捉したり、水滴をより多く浸透する構造とすることができる。そして、中間領域においては、外側領域に用いる微粒子を含んで形成することで、中間領域の気孔率を外側領域及び内側領域よりも低くすることができ、複数領域の多孔質保護層の密着強度を高めることができる。又、中間領域が外側領域に含まれる微粒子を含むので、中間領域と外側領域との密着強度が向上する。なお、中間領域は外側領域よりも多い含有率の微粒子を含むとは、外側領域に含まれるセラミック粒子粗粒子と微粒子の合計含有量に対する微粒子の含有量の割合に比べ、中間領域に含まれるセラミック粒子の合計含有量に対する微粒子含有量の割合が多いことを指す。こ外側領域、中間領域の微粒子の含有量については、多孔質保護層の断面写真SEMに基づき、外側領域、又は中間領域の単位面積あたりの微粒子の量から特定することができる。さらに、本発明のガスセンサ素子は、前記中間領域には、前記内側領域の粒子が含有されていることが好ましい。中間領域に内側領域の粒子が含有されていることで、中間領域と内側領域との密着強度がより向上する。さらに、本発明のガスセンサ素子は、前記中間領域の厚みが、前記内側多孔質層の厚み及び前記外側多孔質層の厚みよりも薄いことが好ましい。これにより、密着強度を高める中間領域を有する構成のもと、厚みの厚い内側領域でのガスセンサ素子の断熱効果、及び厚みの厚い外側領域での被毒物質の捕捉及び水滴の浸透が効果的に得られる。ガスセンサは、被測定ガス中の特定ガス成分の濃度を検出するセンサ素子と、該センサ素子を保持するハウジングとを備えるガスセンサにおいて、前記センサ素子は、前記ガスセンサ素子を用いることを特徴とする。この発明によれば、複数領域の多孔質保護層の密着強度を高めると共に、ガスセンサ素子の断熱効果を維持するガスセンサ素子及びガスセンサが得られる。以下、本発明の実施形態について説明する。図1は本発明の実施形態に係るガスセンサ酸素センサ1の長手方向軸線L方向に沿う断面図、図2は検出素子300及びヒータ200の模式分解斜視図、図3は検出素子300の軸線L方向に直交する断面図である。図1に示すように、ガスセンサ1は、板状素子300、及び板状素子300に積層されるヒータ200から構成されるガスセンサ素子100、板状素子300等を内部に保持する主体金具特許請求の範囲のハウジングに相当30、主体金具30の先端部に装着されるプロテクタ24等を有している。ガスセンサ素子100は軸線L方向に延びるように配置されている。ヒータ200は、図2に示すように、アルミナを主体とする第1基体101及び第2基体103と、第1基体101と第2基体103とに挟まれ、白金を主体とする発熱体102を有している。発熱体102は、先端側に位置する発熱部102aと、発熱部102aから第1基体101の長手方向に沿って延びる一対のヒータリード部102bとを有している。そして、ヒータリード部102bの端末は、第1基体101に設けられるヒータ側スルーホール101aに形成された導体を介してヒータ側パッド120と電気的に接続している。板状素子300は、酸素濃度検出セル130と酸素ポンプセル140とを備える。酸素濃度検出セル130は、第1固体電解質体105と、その第1固体電解質105の両面に形成された第1電極104及び第2電極106とから形成されている。第1電極104は、第1電極部104aと、第1電極部104aから第1固体電解質体105の長手方向に沿って延びる第1リード部104bとから形成されている。第2電極106は、第2電極部106aと、第2電極部106aから第1固体電解質体105の長手方向に沿って延びる第2リード部106bとから形成されている。そして、第1リード部104bの端末は、第1固体電解質体105に設けられる第1スルーホール105a、後述する絶縁層107に設けられる第2スルーホール107a、第2固体電解質体109に設けられる第4スルーホール109a及び保護層111に設けられる第6スルーホール111aのそれぞれに形成される導体を介して板状素子側パッド121と電気的に接続する。一方、第2リード部106bの端末は、後述する絶縁層107に設けられる第3スルーホール107b、第2固体電解質体109に設けられる第5スルーホール109b及び保護層111に設けられる第7スルーホール111bのそれぞれに形成される導体を介して板状素子側パッド121と電気的に接続する。一方、酸素ポンプセル140は、第2固体電解質体109と、その第2固体電解質体109の両面に形成された第3電極108、第4電極110とから形成されている。第3電極108は、第3電極部108aと、この第3電極部108aから第2固体電解質体109の長手方向に沿って延びる第3リード部108bとから形成されている。第4電極110は、第4電極部110aと、この第4電極部110aから第2固体電解質体109の長手方向に沿って延びる第4リード部110bとから形成されている。そして、第3リード部108bの端末は、第2固体電解質体109に設けられる第5スルーホール109b及び保護層111に設けられる第7スルーホール111bのそれぞれに形成される導体を介して板状素子側パッド121と電気的に接続する。一方、第4リード部110bの端末は、後述する保護層111に設けられる第8スルーホール111cに形成される導体を介して板状素子側パッド121と電気的に接続する。なお、第2リード部106bと第3リード部108bは同電位となっている。これら第1固体電解質体105、第2固体電解質体109は、ジルコニアZrO2に安定化剤としてイットリアY2O3又はカルシアCaOを添加してなる部分安定化ジルコニア焼結体から構成されている。発熱体102、第1電極104、第2電極106、第3電極108、第4電極110、ヒータ側パッド120及び板状素子側パッド121は、白金族元素で形成することができる。これらを形成する好適な白金族元素としては、Pt、Rh、Pd等を挙げることができ、これらはその一種を単独で使用することもできるし、又二種以上を併用することもできる。もっとも、発熱体102、第1電極104、第2電極106、第3電極108、第4電極110、ヒータ側パッド120及び板状素子側パッド121は、耐熱性及び耐酸化性を考慮するとPtを主体にして形成することがより一層好ましい。さらに、発熱体102、第1電極104、第2電極106、第3電極108、第4電極110、ヒータ側パッド120及び検出素子側パッド121は、主体となる白金族元素の他にセラミック成分を含有することが好ましい。このセラミック成分は、固着という観点から、積層される側の主体となる材料例えば、第1固体電解質体105、第2固体電解質体109の主体となる成分と同様の成分であることが好ましい。そして、上記酸素ポンプセル140と酸素濃度検出セル130との間に、絶縁層107が形成されている。絶縁層107は、絶縁部114と拡散律速部115とからなる。この絶縁層107の絶縁部114には、第2電極部106a及び第3電極部108aに対応する位置に中空部のガス検出室107cが形成されている。このガス検出室107cは、絶縁層107の幅方向で外部と連通しており、該連通部分には、外部とガス検出室107cとの間のガス拡散を所定の律速条件下で実現する拡散律速部115が配置されている。絶縁部114は、絶縁性を有するセラミック焼結体であれば特に限定されなく、例えば、アルミナやムライト等の酸化物系セラミックを挙げることができる。拡散律速部115は、アルミナからなる多孔質体である。この拡散律速部115によって検出ガスがガス検出室107cへ流入する際の律速が行われる。また、第2固体電解質体109の表面には、第4電極110を挟み込むようにして、保護層111が形成されている。この保護層111は、第4電極部110aを挟み込むようにして、第4電極部110aを被毒から防御するための多孔質の電極保護部113aと、第4リード部110bを挟み込むようにして、第2固体電解質体109を保護するための補強部112とからなる。なお、本実施の形態のガスセンサ100は、板状素子300の先端側に設けられた、酸素濃度検知セル130第1固体電解質体105、第1電極104、第2電極106とガス検出107cにて検知部300aを構成している。また、本実施の形態のガスセンサ100は、酸素濃度検知セル130の電極間に生じる電圧起電力が所定の値例えば、450mVとなるように、酸素ポンプセル140の電極間に流れる電流の方向及び大きさが調整され、酸素ポンプセル140に流れる電流に応じた被測定ガス中の酸素濃度をリニアに検出する酸素センサ素子に相当する。図1に戻り、主体金具30は、SUS430製のものであり、ガスセンサを排気管に取り付けるための雄ねじ部31と、取り付け時に取り付け工具をあてがう六角部32とを有している。また、主体金具30には、径方向内側に向かって突出する金具側段部33が設けられており、この金具側段部33はガスセンサ素子100を保持するための金属ホルダ34を支持している。そしてこの金属ホルダ34の内側にはセラミックホルダ35、滑石36が先端側から順に配置されている。この滑石36は金属ホルダ34内に配置される第1滑石37と金属ホルダ34の後端に渡って配置される第2滑石38とからなる。金属ホルダ34内で第1滑石37が圧縮充填されることによって、ガスセンサ素子100は金属ホルダ34に対して固定される。また、主体金具30内で第2滑石38が圧縮充填されることによって、ガスセンサ素子100の外面と主体金具30の内面との間のシール性が確保される。そして第2滑石38の後端側には、アルミナ製のスリーブ39が配置されている。このスリーブ39は多段の円筒状に形成されており、軸線に沿うように軸孔39aが設けられ、内部にガスセンサ素子100を挿通している。そして、主体金具30の後端側の加締め部30aが内側に折り曲げられており、ステンレス製のリング部材40を介してスリーブ39が主体金具30の先端側に押圧されている。また、主体金具30の先端側外周には、主体金具30の先端から突出するガスセンサ素子100の先端部を覆うと共に、複数のガス取り入れ孔24aを有する金属製のプロテクタ24が溶接によって取り付けられている。このプロテクタ24は、二重構造をなしており、外側には一様な外径を有する有底円筒状の外側プロテクタ41、内側には後端部42aの外径が先端部42bの外径よりも大きく形成された有底円筒状の内側プロテクタ42が配置されている。一方、主体金具30の後端側には、SUS430製の外筒25の先端側が挿入されている。この外筒25は先端側の拡径した先端部25aを主体金具30にレーザ溶接等により固定している。外筒25の後端側内部には、セパレータ50が配置され、セパレータ50と外筒25の隙間に保持部材51が介在している。この保持部材51は、後述するセパレータ50の突出部50aに係合し、外筒25を加締めることにより外筒25とセパレータ50とにより固定されている。また、セパレータ50には、板状素子300やヒータ200用のリード線11~15を挿入するための通孔50bが先端側から後端側にかけて貫設されているなお、リード線14、15については図示せず。通孔50b内には、リード線11~15と、板状素子300の板状素子側パッド121及びヒータ200のヒータ側パッド120とを接続する接続端子16が収容されている。各リード線11~15は、外部において、図示しないコネクタに接続されるようになっている。このコネクタを介してECU等の外部機器と各リード線11~15とは電気信号の入出力が行われることになる。また、各リード線11~15は詳細に図示しないが、導線を樹脂からなる絶縁皮膜にて披覆した構造を有している。さらに、セパレータ50の後端側には、外筒25の後端側の開口部25bを閉塞するための略円柱状のゴムキャップ52が配置されている。このゴムキャップ52は、外筒25の後端内に装着された状態で、外筒25の外周を径方向内側に向かって加締めることにより、外筒25に固着されている。ゴムキャップ52にも、リード線11~15をそれぞれ挿入するための通孔52aが先端側から後端側にかけて貫設されている。次に、本発明の特徴部分である多孔質保護層20について説明する。図1に示すように、多孔質保護層20は、ガスセンサ素子100の先端側一端側の全周を覆って設けられている。図3は、図1のガスセンサ素子100の先端側の部分拡大図であり、多孔質保護層20は、板状素子300とヒータ200との積層体の表面直上に設けられる内側領域21と、内側領域21の外表面を覆って形成される外側領域23とを備えており、内側領域21と外側領域23との間に、後述する中間領域22が形成されている。なお、中間領域22は内側領域21及び外側領域23に比べて厚みが非常に小さいため、図3においては、線として記載する。なお、多孔質保護層20は、ガスセンサ素子100の先端面を含み、軸線L方向に沿って後端側に延びるように形成され、かつガスセンサ素子100の表裏面及び両側面の4面を完全に囲んで形成されている。又、軸線L方向に見て、多孔質保護層20が検出素子300の少なくとも第1電極部104a、第2電極部106a、第3電極部108a及び第4電極部110aと重なる領域より後端まで形成されているとよい。図4、図5は、後述する実施例の多孔質保護層20の実際の断面写真を示す図である。多孔質保護層20は、検出素子300側に設けられる内側領域21と、内側領域21を覆って形成される外側領域23とを備えており、内側領域21と外側領域23との間に中間領域22が形成されている。ここで、中間領域22の気孔率は、内側領域21の気孔率及び外側領域23の気孔率より小さくなっている。なお、多孔質保護層20に形成される気孔は、ガス透過が可能なように三次元網目構造をなしている。このようにすると、内側領域21及び外側領域23よりも、中間領域22の方が構成するセラミック粒子が密に存在する。これにより中間領域22の内側、外側に設けられた内側領域21及び外側領域23と結合するセラミック粒子の数が多くなり、中間領域22が内側領域21及び外側領域23とそれぞれ強固に密着することができ、複数領域の多孔質保護層20の密着強度を高めることができる。又、中間領域22より検出素子300側の内側領域21の気孔率を大きくすることができる。これにより、内側領域21の断熱効果が高まり、外側領域23側が被水しても、検知部300aの熱が外側領域23に奪われることを抑制できる。その上、気孔率の低い中間領域22にて内側領域21が閉塞されるので、断熱効果が高まる。さらに、中間領域22より外側の外側領域23が中間領域22より気孔率が大きいので、ガスセンサ素子の外部からの被測定ガスが外側多孔質層23の気孔を通って内部に取り込まれ易くなり、ガス透過性を確保できる。さらに、被毒物質や水滴が中間領域22に透過されにくく、確実に外側領域23にて被毒物質を捕捉できると共に、確実に外側領域23にて水滴を浸透させることができる。なお、中間領域22の厚みを、内側領域21の厚み及び外側領域23の厚みよりも薄くしている。これにより、密着強度を高める中間領域22を有する構成のもと、厚みの厚い内側領域21でのガスセンサ素子100の断熱効果、及び厚みの厚い外側領域23での被毒物質の捕捉及び水滴の浸透がより得られる。なお、内側領域21、中間領域22、外側領域23は、次のようにして決定される。まず、セラミック粒子の材質、大きさ、粒子形状等が異なる箇所で内側領域21と中間領域22とを区別する区分線を引く。その後、この区分線と平行な線で、且つ比較的粗大な気孔が層状に顕著に表れる箇所と表れない箇所で中間領域22と外側領域23とを区別する区分線を引いた。また、内側領域21、中間領域22、外側領域23のそれぞれの気孔率は以下のように求める。多孔質保護層20の断面写真SEM像、図4参照に基づき、外側領域23、中間領域22、内側領域21の厚み方向の2値化を市販の画像解析ソフトを用いて行い、断面写真の黒色部の割合を求めてゆく。断面写真の黒色部図4の矢視CA、CBに相当は気孔に対応し、白色部はセラミック粒子に対応するので、黒色部が多いほど気孔率が大きいことを示す。なお、画像解析の領域が中間領域22の厚みよりも大きくなる場合には、中間領域22の厚み全体を含むように領域を特定し、その領域内にて中間領域22の部位のみにて気孔率を求めた。内側領域21は、例えばアルミナ、スピネル、ジルコニア、ムライト、ジルコン及びコージェライトの群から選ばれる1種以上のセラミック粒子を焼成等により結合して形成することができる。これらの粒子を含むスラリーを焼結することでセラミック粒子間に気孔を形成することができるが、上記粒子を含むスラリーに焼失性の造孔材を添加したものを焼結すると、造孔材が焼失した部分が気孔となるので、以下に述べるように内側領域21を低密度高い気孔率にすることができ、好ましい。造孔材としては、例えばカーボン、樹脂製ビーズ、有機又は無機バインダの粒子を用いることができる。又、上記した画像解析で求めた内側領域21の気孔率を35~70とすると、内側領域21に断熱性を良好に確保できるので好ましい。内側領域21の気孔率が35未満であると、空隙の合計体積が小さくなって断熱層としての効果が低下し、70を超えると内側領域21を構成することが難しくなることがある。又、内側多孔質層21の厚みを100~800μmとすると好ましい。外側領域23は、例えばアルミナ、スピネル、ジルコニア、ムライト、ジルコン及びコージェライトの群から選ばれる1種以上のセラミック粒子を焼成等により結合して形成することができる。これらの粒子を含むスラリーを焼結することで、セラミック粒子間の隙間や、スラリー中の有機又は無機バインダが焼失する際に、セラミック粒子間に気孔が形成される。特に、粗粒子と該粗粒子より粒径が小さい微粒子から外側領域23を形成すると、外側領域23にて被毒物質をより多く捕捉したり、水滴をより多く浸透する構造とすることができる。また、後述するようにこの微粒子が中間領域22に移行し、中間領域22と外側領域21との密着強度をさらに向上させることができる。又、上記した画像解析で求めた外側領域23の気孔率を10~50とすると、被毒物質の捕捉や水滴の浸透を確保しつつガス透過性を低下させないので好ましい。外側領域23の気孔率が10未満であると被毒物質によって目詰まりし易く、50を超えると水が外側領域23内部に浸入して耐被水性が低下することがある。又、外側多孔質層23の厚みを100~800μmとすると好ましい。内側領域21の気孔率と外側領域23の気孔率の大小関係は限定されず、内側領域21と外側領域23とを同一の気孔率としてもよいが、外側領域23の気孔率を内側領域21の気孔率より低くすると好ましい。このように、外側領域23の気孔率を内側領域21の気孔率より低くすると、外側領域23にて被毒物質を効果的に捕捉でき、且つ外側領域23にて水滴を効果的に浸透させることができる。中間領域22は、内側領域21のセラミック粒子が含有されると共に、外側領域23の微粒子が含有されている。このように、中間領域22に内側領域21のセラミック粒子が含有されることで、中間領域22と内側領域21との密着強度が向上する。さらに、中間領域22に外側領域の微粒子が含有されることで、中間領域22と外側領域23との密着強度が向上する。その上、中間領域22に含まれる微粒子の含有率が外側領域23の含有率よりも多いので、中間領域22の気孔率を内側領域21及び外側領域23よりも低くすることができる。なお、中間領域22に外側領域23を形成する微粒子を含有させる方法としては、以下の製造方法が挙げられる。又、中間領域22の厚みを20~80μmとすると好ましい。次に、図6の模式図を参照して多孔質保護層20の製造方法の一例について説明する。まず、ガスセンサ素子100の先端部の表面全周にわたって内側層となる内側ペーストを塗布し、焼成する図6a。この際、内側ペーストが後述する外側ペーストに対して高い気孔率となるよう、上記した内側領域21を形成するためのスラリーに焼失性の造孔材を添加したものを焼結するとよく、造孔材が焼失した部分が三次元網目構造の比較的大きな気孔CAを形成する。なお、内側ペーストは、ディップ法によりガスセンサ素子100に塗布することができる。次に、内側層の表面に外側層となるスラリー23xをディップ法により塗布する図6b。スラリー23xは、粗粒子231と、粗粒子231より粒径が小さい微粒子232とを含む。このとき、スラリー23x中の微粒子232が、内側層との界面近傍の気孔CA内の一部に入り込む。この状態で外側層を焼結して形成する図6c。このようにして、内側層の表面上の気孔CAの一部に微粒子232が入り込んだ領域が、緻密な中間領域22となるので、中間領域22を容易に形成することができる。そして、中間領域22よりも内側の領域が内側領域21となり、外側の領域が外側領域23となる。なお、中間領域22が微粒子232を含むので、微粒子232を介して中間領域22と外側領域23との密着性が向上する。なお、外側領域23のうち、中間領域22側の部分では微粒子232が減少するが、粗粒子231が残存して多孔質を形成するので、外側領域23が安定して形成される。粗粒子231や微粒子232の隙間が外側領域23の三次元網目構造をなす気孔CBを形成する。多孔質保護層20の製造方法としては、上記の方法の他、それぞれ内側領域21、中間領域22及び外側領域23となるスラリーを順に塗布して焼結してもよい。この場合、内側領域21となるスラリーを塗布して焼結後に、中間領域22となるスラリーを塗布して焼結し、さらに外側領域23となるスラリーを塗布して焼結してもよい。又、それぞれ内側領域21、中間領域22及び外側領域23となるスラリーを順に塗布して一度に焼結してもよい。なお、このように、それぞれ内側領域21、中間領域22及び外側領域23となるスラリーを別個に塗布する場合には、外側領域23となるスラリー2が粗粒子と微粒子とを共に含むことが必須でないのはいうまでもない。本発明は上記実施形態に限定されず、固体電解質体と一対の電極を有する板状素子を有するあらゆるガスセンサガスセンサ素子に適用可能であり、本実施の形態の酸素センサ酸素センサ素子に適用することができるが、これらの用途に限られず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。例えば、被測定ガス中のNOx濃度を検出するNOxセンサNOxセンサ素子や、HC濃度を検出するHCセンサHCセンサ素子等に本発明を適用してもよい。また、上記実施形態では、多孔質保護層20をセラミック粒子にて形成したが、セラミック粒子にセラミックファイバーを含有させて多孔質保護層20を形成してもよい。図1、図2に示す板状のガスセンサ素子酸素センサ素子100の先端側の表面表裏面及び両側面に、内側層となるスラリーAを適当な粘度になるように調整し、ディップ浸漬法で300μmの厚みになるよう塗布した。その後、スラリーA中の余分な有機溶剤を揮発させるため、200°Cに設定した乾燥機で数時間乾燥し、大気中、1100°Cで3時間の条件で内側層を焼成した。スラリーA:アルミナ粉末D10:0.24μm、D50:0.40μm、D90:0.60μmの粒度分布40vol、カーボン粉末D10:10.5μm、D50:20.6μm、D90:42.2μmの粒度分布60vol、アルミナゾル外配合10wtを秤量し、さらにエタノールを添加して混合して調製した。次に、内側層の表面に、外側層となるスラリーBを適当な粘度になるように調整し、ディップ浸漬法で250μmの厚みになるよう塗布した。その後、スラリーB中の余分な有機溶剤を揮発させるため、200°Cに設定した乾燥機で数時間乾燥し、大気中、1100°Cで3時間の条件で外側層を焼成した。スラリーB:スピネル粉末D10:24.6μm、D50:44μm、D90:88μm60vol、アルミナ粉末D10:0.24μm、D50:0.40μm、D90:0.60μm40vol、アルミナゾル外配合10wtを秤量し、さらにエタノールを添加して混合して調製した。なお、スラリーA及びスラリーBを構成する各粉末の粒度分布は、各セラミック粒子粉末、カーボン粒子をレーザ回折散乱法により測定した累積粒度分布の微粒側から10累積度数分布粒子径をD10、50累積度数分布粒子径をD50、90累積度数分布粒子径をD90として表した。得られた多孔質保護層20を含むガスセンサ素子100を長手方向に直交する向きに切断し、その断面横断面のもと多孔質保護層20の断面を走査型電子顕微鏡SEMで撮影し、上述の方法のもと外側領域23、中間領域22、内側領域21を断面写真にて決定した。得られた断面写真に基づき、の画像解析を行い、断面写真に占めるの黒色部の割合を求めた。個々の画像解析は100×100μmの領域について行った。なお気孔率の求め方は、上述の通りである。又、比較として、スラリーBの代わりに下記スラリーCを用いて外側層を焼成したこと以外は、上記実施例と同様にして多孔質保護層を形成したガスセンサ素子を製造した。スラリーC:スピネル粉末D10:24.6μm、D50:44μm、D90:88μm、アルミナゾル外配合10wtを秤量し、さらにエタノールを添加して混合して調製した。実施例と同様にして、比較例の多孔質保護層の断面SEMを撮影し、画像解析を行ったところ、外側層及び内側層のみ確認され、これら層よりも気孔率が低い層は確認できなかった。これは、スラリーBに配合された微粒子であるアルミナ粉末をスラリーCに配合しなかったため、内側多孔質層21上にスラリーCを塗布した際、スラリーCの成分が内側多孔質層21の気孔内に入り込めず、内側多孔質層21の気孔内が微粒子で埋められなかったためと考えられる。以上のようにして得られた多孔質保護層を含むガスセンサ素子を用い、被水試験を行った。まず、大気中、センサ素子温度800°Cにて、多孔質保護層の上から側面の拡散孔位置にそれぞれ3μL、10μLの水滴を20回ずつ滴下した。滴下後、拡大鏡にて多孔質保護層の外観を観察し、多孔質保護層の損傷の有無を目視で判定した。更に、多孔質保護層を剥がし、レッドチェックにより素子のクラックの有無を目視で判定した。得られた結果を表1に示す。なお、表1において、被水試験の結果は10本のセンサ素子の試験で多孔質保護層の損傷や素子のクラックが生じた本数を示す。表1から明らかなように、実施例の場合、被水試験の水滴量に関わらず、多孔質保護層の損傷や素子のクラックが見られず、耐被水性が優れていた。一方、比較例の場合、被水試験の水滴量が3μLでは半数以上に多孔質保護層の損傷や素子のクラックが見られ、水滴量が10μLでは全数に多孔質保護層の損傷や素子のクラックが見られ、耐被水性に劣った。これは、中間領域が形成されなかったため、被水すると外側層と内側層の界面で剥離が生じたためと考えられる。