酸素を含む原料ガスからオゾン化ガスを発生させるオゾン発生装置であって、前記原料ガスの入口および前記オゾン化ガスの出口を備えた筒状気密容器と、前記容器内に配置された誘電体管および前記誘電体管の内部に設けられた第1の電極を含む放電管と、前記放電管との間に放電ギャップを形成するように前記放電管から離間して前記第1の電極を取り囲むように前記気密容器内に配置された第2の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に放電電圧を印加するように構成された放電電圧源と、前記第2の電極を囲む冷却水ジャケットとを備え、前記誘電体管が、12mm以上、19mm以下の外径を有することを特徴とするオゾン発生装置。前記放電ギャップのギャップ長が0.15mm以上、0.3mm以下である請求項1に記載のオゾン発生装置。前記放電ギャップが、スペーサにより確保される請求項1または2に記載のオゾン発生装置。前記スペーサが、前記誘電体管の外周面に形成された凸部により構成される請求項3に記載のオゾン発生装置。前記スペーサが、前記第2の電極の、前記放電管に面する面に設けられた凸部により構成される請求項3に記載のオゾン発生装置。前記第1の電極が、前記誘電体管の内面に密着して形成され、前記オゾン発生装置は、前記誘電体管の内側に配置された断面形状が円形で棒状の高圧給電子と、前記第1の電極と前記高圧給電子との間に両者に接して配置されたステンレス鋼ウール材とを更に具備する請求項1~5のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。前記高圧給電子の軸方向に添ってスリットが形成され、このスリットに前記ステンレス鋼ウール材の一部が挟み込まれ、該ステンレス鋼ウール材の他の部分が前記高圧給電子の外周面に巻きつけられていることを特徴とする請求項6に記載のオゾン発生装置。前記放電管と前記第2の電極はオゾン発生デバイスを構成し、複数の該オゾン発生デバイスが前記気密容器内に配置されている請求項1~7のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。本発明が解決しようとする課題は、放電ギャップ長を0.6mmより小さくしても均一な放電ギャップを維持でき、従って均一な放電を行うことができるオゾン発生装置を提供することにある。一実施形態に係るオゾン発生装置は、酸素を含む原料ガスからオゾン化ガスを発生させる。オゾン発生装置は、前記原料ガスの入口および前記オゾン化ガスの出口を備えた筒状気密容器と、前記容器内に配置された誘電体管および前記誘電体管の内部に設けられた第1の電極を含む放電管と、前記放電管との間に放電ギャップを形成するように前記放電管から離間して前記第1の電極を取り囲むように前記気密容器内に配置された第2の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に放電電圧を印加するように構成された放電電圧源と、前記第2の電極を囲む冷却水ジャケットとを備える。前記誘電体管は、12mm以上、19mm以下の外径を有する。一実施形態に係るオゾン発生装置は、酸素を含む原料ガスからオゾン化ガスを発生させるオゾン発生装置である。オゾン発生装置は、前記原料ガスの入口および前記オゾン化ガスの出口を備えた筒状気密容器と、前記容器内に配置された誘電体管および前記誘電体管の内部に設けられた第1の電極を含む放電管と、前記放電管との間に放電ギャップを形成するように前記放電管から離間して前記第1の電極を取り囲むように前記気密容器内に配置された第2の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に放電電圧を印加するように構成された放電電圧源と、前記第2の電極を囲む冷却水ジャケットとを備える。前記誘電体管は、12mm以上、19mm以下の外径を有する。ここで、誘電体管の外径が12mmmm以上19mm以下の範囲を外れると、十分な放電面積を確保すると同時に誘電体管の外径を精度よく保つことができない。上記オゾン発生装置は、通常のように、第1電極と第2の電極との間に高AC電圧を印加し、それにより放電プラズマを発生させることにより、酸素を含む原料ガスをオゾン化させる。さらに、原料ガスは、高パルス電圧パルス幅1ミリ秒以下、特に、10マイクロ秒以下に印加することによって、オゾン化させことができる。このパルス電圧操作は、イオン損失が減少されるので、高いオゾン化発生効率に適している。上記オゾン発生装置において、放電管と第2の電極の作る放電ギャップ長は、0.15mm以上0.3mm以下であることが好ましい。ここで、放電ギャップ長が0.15mm未満の場合、放電管内でのガスの圧力損失が大きくなり、ガスを放電ギャップ中に十分に流せず、オゾン発生効率が低下する。また、放電ギャップ長が0.3mmを越えると、オゾン発生効率が低下する。上記オゾン発生装置において、放電ギャップは、スペーサにより確保され得る。スペーサは、放電管および第2の電極とは別体のものであってもよい。別の態様では、スペーサは、前記誘電体管の外周面に形成された凸部により構成され、さらに別の態様では、スペーサは、前記第2の電極の、前記放電管に面する面に設けられた凸部により構成される。上記オゾン発生装置において、前記第1の電極は、前記誘電体管の内面に密着して形成され、前記オゾン発生装置は、前記誘電体管の内側に配置された断面形状が円形で棒状の高圧給電子と、前記第1の電極と前記高圧給電子との間に両者に接して配置されたステンレス鋼ウール材とを更に具備し得る。ここで、前記高圧給電子の軸方向に添ってスリットが形成され得、このスリットに前記ステンレス鋼ウール材の一部が挟み込まれ、該ステンレス鋼ウール材の他の部分が前記高圧給電子の外周面に巻きつけられ得る。こうした構成にすることにより、簡単な構造で高周波電圧を第1の電極に安定して供給でき、オゾンを高効率で生成できる。一つの実施形態において、前記放電管と前記第2の電極はオゾン発生デバイスを構成し、複数の該オゾン発生デバイスが前記気密容器内に配置されている。次に、いくつかの実施形態を、図面を参照して説明する。全図にわたり、同様の要素には同一の符号が付されている。図1は第1の実施形態に係るオゾン発生装置10の概略断面図である。オゾン発生装置10は、酸素を含む原料ガス例えば、乾燥空気、酸素ガスからオゾン化ガスを生成するものであり、例えばステンレス鋼で形成された気密容器11を具備する。気密容器11は、円筒状本体111を有し、その両端は、端板112、113により閉じられている。気密容器11内には、一端121が閉じたガラス製の円筒状誘電体管12が気密容器11と同軸的に設けられている。誘電体管12は、12mm以上19mm以下の外径を有する。誘電体管12は、1mm~3mmの厚さを有し得る。従来のオゾン発生装置においては、外径76mmのガラス製誘電体管が用いられてきた。誘電体管12の内面には、金属例えば、ニッケルまたはステンレス鋼で形成された第1の電極13が形成されている。第1の電極13は、誘電体管12とともに誘電体電極を構成する。第1の電極13を有する誘電体管12は、放電管21と称される。誘電体管12の外側には、複数のスペーサ14を介して円筒状の第2の電極15が第1の電極13を囲むように、気密容器11と同軸的に配置されている。スペーサ14により、誘電体管12と第2の電極15との間に放電ギャップ16が形成される。第2の電極15は、両端にフランジ151および152を有し、気密容器11との間に冷却水ジャケット17を構成している。誘電体管12の内部には、断面形状が円形で棒状の高圧給電子18が誘電体管12と同軸的に配置されている。第1の電極13と高圧給電子18との間には、ステンレス鋼ウール材19が第1の電極13と高圧給電子18に接するように配置されている。高圧給電子18と第2の電極15には、放電電圧源高電圧発生器20が電気的に接続されている。第1の電極13は、高圧給電子18およびステンレス鋼ウール材19を介して高圧電源20に電気的に接続される。気密容器11に設けられたガス導入口11aから酸素を含む原料ガスを気密容器11内に導入し、第1電極13と第2の電極15の間に高電圧をパルス状1パルス1ミリ秒以下、特に、10マイクロ秒以下に印加し、放電ギャップ16内に無声放電を発生させることにより、当該放電ギャップ16を通過する原料ガスをオゾン化させる。オゾン化ガスは、気密容器11に設けられたオゾン化ガス導出口11bから導出される。この操作の間、気密容器11に設けられた冷却水導入口11cから冷却水を冷却水ジャケット17内に導入し、第2の電極15を冷却する。冷却水は、気密容器11に設けられた冷却水導出口11dから導出される。誘電体管12と第1の電極13とによって構成される放電管21、および放電管21から放電ギャップ16を形成するように間隔を空けて設けられた円筒状の第2の電極15は、オゾン発生デバイスを構成する。また、フランジ151および152は、気密容器11内を、原料ガス導入口11a側の端部領域により構成される原料ガス室111aと、オゾン化ガス導出口11b側の端部領域により構成されるオゾン化ガス室111bとに仕切る隔壁として作用する。図2は、第2の実施形態に係るオゾン発生装置30の概略断面図である。オゾン発生装置30は、図1に関して説明したオゾン発生デバイス誘電体管12および第1の電極13によって構成される放電管21と、その放電管21から放電ギャップ16を形成するように間隔を空けて設けられた円筒状の第2の電極15とによって構成されるを複数備える。複数のオゾン発生デバイスは、隔壁151と152の間にわたって互いに平行に延びている。図3は、第2の実施形態に係るオゾン発生装置の効果を示す説明図である。図3において、簡便のため、気密容器11と誘電体管12のみが示されている。複数の誘電体管12は、例えば隔壁151の正六角形の領域内にコンパクトに収納されている。このように収納される誘電体管12の総数は、図3から以下のように求めることができる。気密容器11に収納される誘電体管12の総数Nは、上記正六角形の1辺Bと上記正六角形の中心Cの作る正三角形図3中破線で示すの内部の誘電体管中心の誘電体管を除くの数qから次式で求めることができる。N=6q1ここで、図3において、上記正三角形の辺A2により、3つの誘電体管12A、12Bおよび12Cは半分に分割されるので、その半分は0.5と数える。同様に、正三角形の辺A3により、3つの誘電体管12D、12Eおよび12Fは半分に分割されるので、その半分は0.5と数える。すなわち、図3に示す例では、qは6となり、Nは37である。誘電体管の段数中央段から数え、その中央の段を含むをpとすると、上記誘電体管の数qは、次式によって表される。q=pp-1/2すなわち、誘電体管の総数Nは、3pp-11で求めることができる。なお、図3の場合、誘電体管12の段数pは4段である。図4は、誘電体管12の放電面積と誘電体管の外径との関係を示す。図4より、誘電体管の外径を小さくしていくと、放電面積が急に上がる点がいくつか認められる。これは誘電体管の段数pが一つ増えて気密容器に収納される点である。気密容器の内径を変えると、この放電面積が急に上がる点が若干移動することになる。この放電面積が急に上がる点を結ぶ曲線aから、放電面積は、誘電体管の外径が22mm以下12mm以上の範囲で飽和的に最大値をとることがわかる。同じ図4に誘電体管の外径の標準偏差を示す。標準偏差は誘電体管の外径が小さいほど小さくなり、高精度であることを示す。しかしながら、この標準偏差は階段状に変化しており、ある外径範囲内では標準偏差は変わらない。誘電体管の外径が22mm以下12mm以上の範囲内において標準偏差は外径が20mmから19mmに変わるところで急に小さくなる。したがって、十分な放電面積を得ることができ、しかも誘電体管の外径の精度を高く保てる放電管の外径の範囲は、19mm以下12mm以上である。誘電体管の外径を19mm以下12mm以上に設定することにより、誘電体管の外径が高精度となり、放電が均一になると同時に、気密容器に収納される誘電体管放電管の総数にかかわらず、十分な放電面積が得られるため、放電電力密度を小さくでき、気密容器11内のガス温度上昇を抑えることができる結果、オゾンの熱分解を抑制し、高効率でオゾンを発生させることができる。また、放電ギャップ長を小さくするとオゾンを高効率で発生させることができる。しかし、放電ギャップ長を小さくしすぎると、放電ギャップの入口と出口との間でのガスの圧力損失が大きくなり、十分量の原料ガスを流せず、オゾン発生効率が低下するという問題がある。図5は放電ギャップ長と圧力損失の関係を示す。図5より、放電ギャップ長を小さくすると圧力損失が増えてしまうことが明らかである。実用的には、圧力損失は0.1bar以下であるので、放電ギャップ長は0.15mm以上でなければならないことが図5からわかる。また、酸素ガスを0.2MPaの圧力で気密容器11に導入し、オゾン濃度が150g/Nm3のオゾン化ガスを生成させた場合におけるオゾン発生効率を図6に示す。図6より、オゾン発生効率は放電ギャップ長が0.3mm以下の場合が良好であり、圧力損失を考慮した放電ギャップ長の最適値は0.15mm以上0.3mm以下である。すなわち、放電管21と第2の電極15との間の放電ギャップの長さを0.6mmよりも小さくしても、精度よくかつ均一な放電を行うことができる。図7は、上記第1および第2の実施形態に係るオゾン発生装置における高圧給電子18とステンレススチールウール材19の構造を示す概略図である。棒状の高圧給電子18の軸方向には、スリット18aが形成されている。ステンレス鋼ウール材19の一部はスリット18aに挟みこまれ、ステンレス製ウール材19のその他の部分は高圧給電子18に巻きつけられている。高圧給電子18の一端には、電源20への接続のためのリードLが接続されている。このような高圧給電子18とステンレススチールウール材19の構造によれば、電源20図1、図2参照からの電圧を第1の電極13図1、図2参照に安定して供給でき、その結果、高効率にオゾンを生成できる。図8は、図1および図2のオゾン発生装置に用いることができるオゾン発生デバイスの別の態様を示す断面図である。図8に示すように、円筒状の第2の電極15の内面に複数の凸部15aが一体的に形成されている。放電管21より正確には誘電体管12の外周面は、凸部15aと接しており、均一なギャップ長を有する放電ギャップ16が形成される。すなわち、凸部15aは放電ギャップを確保するスペーサとして機能する。ここで、凸部15aの先端の全てが放電管21の外周面に接している必要はなく、凸部15aの一部が放電管21の外面に接していればよい。図9は、図1および図2のオゾン発生装置に用いることができるオゾン発生デバイスのさらに別の態様を示す断面図である。図9に示すように、円筒状の誘電体管12の外周面に複数の凸部12aが一体的に形成されている。円筒状の第2の電極15の内周面は、凸部12aと接しており、均一なギャップ長を有する放電ギャップ16が形成される。すなわち、凸部12aは放電ギャップを確保するスペーサとして機能する。本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。