"所定の単一波長光束を発する光源部と、正のパワーを持つコリメータミラーと、小さな開口が形成された板状部材の片方の面が鏡面となっており、前記開口が前記コリメータミラーの焦点位置と一致し、前記鏡面が前記コリメータミラー側を向き且つ前記コリメータミラーで集光された光束が反射した際に前記コリメータミラーに戻らないように光軸に対して傾けて設置された開口板とを有して構成され、前記開口板の前記開口から入射した前記光源部からの光束を前記コリメータミラーで平行光束に変換するコリメータ部と、前記コリメータ部からの平行光束を透過可能な窓を備え、内部が密閉され且つ温度の可変制御が可能な恒温槽と、前記恒温槽内部に設置され、ウェッジプリズム型試料を載置した状態で、前記試料の頂角を挟んだ第1面と第2面とがなす稜線に平行な回転軸を中心として回転可能な回転ステージと、前記回転ステージの回転角度を検出する回転角度検出部と、前記窓を介して前記恒温槽内部に入射し前記試料の前記第1面で反射した後に前記窓を介して前記恒温槽外部へ射出した前記平行光束か、または、前記窓を介して前記恒温槽内部に入射し前記第1面から前記試料内部に入射し前記第2面の裏面で反射した後に前記第1面を経て前記試料外部へ射出し、前記窓を介して前記恒温槽外部へ射出した前記平行光束が、前記コリメータ部に戻り前記コリメータミラーで集光された後に前記開口板の前記鏡面で反射された光束を受信する測定光デテクタと、前記回転ステージの回転制御を行い、前記測定光デテクタからの出力と、前記回転角度検出部で検出された前記ステージの回転角度との関係に基づき、前記試料の屈折率を算出する解析制御部とを有することを特徴とする測定装置。前記解析制御部は、前記回転ステージの回転制御を行い、前記第1面で反射された前記平行光束が前記開口を透過し、前記測定光デテクタへ入射する光量が最小になるときの、前記回転角度検出部で検出された前記回転ステージの回転角度と、前記第2面で裏面反射された前記平行光束が前記開口を透過し、前記測定光デテクタへ入射する光量が最小になるときの、前記回転角度検出部で検出された前記回転ステージの回転角度との関係に基づき、前記試料の屈折率を算出することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。前記光源部は、赤外域の所定の測定波長帯域において連続スペクトラム光を発する測定光源と、前記測定光源から発せられた前記連続スペクトラム光の中から前記試料の屈折率測定に使用する前記所定の単一波長光を取り出すモノクロメータ部とを有することを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。可視域輝線光を発する波長較正用光源と、前記測定光源からの光束と、前記波長較正用光源からの光束とが同一光路を通るように重畳する第1のダイクロイックミラーと、入り口スリット、反射型回折格子、および、出口スリットを有し、その他のすべての光学素子が反射素子から構成されていて、前記回折格子を回転させ、前記出口スリットから射出する光束の波長を変化させる回転駆動部とを有する前記モノクロメータ部と、前記出口スリットから射出した光束から、前記測定光源からの光束と、前記波長較正用光源からの光束とを分離する第2のダイクロイックミラーと、前記第2のダイクロイックミラーにより分離された前記波長較正用光源からの光束を受信する波長較正光デテクタと、前記出口スリットから射出した光束が所定波長となるように、前記波長較正光デテクタの出力結果に基づき、前記回転駆動部の制御を行う回転制御部とを有することを特徴とする請求項3に記載の測定装置。前記恒温槽は、前記窓で反射した光束が前記測定光デテクタに入射しないように、前記窓が前記コリメータ部からの前記平行光束に対して傾けて設置されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の測定装置。前記解析制御部は、前記試料の屈折率と、前記恒温槽の内部の温度変化量との関係に基づき、前記試料の屈折率温度係数を算出することを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載の測定装置。従来の測定装置よりも、簡単な構成でありながら、広い波長帯域で使用でき、高い測定精度が得られるものが要望されている。本発明は、このような課題を鑑みてなされたものであり、簡単な構成でありながら、広い波長帯域で使用でき、測定精度を向上し得る屈折率および屈折率温度係数の測定装置を提供することを目的とする。このような目的達成のため、本発明を例示する態様に従えば、所定の単一波長光束を発する光源部と、正のパワーを持つコリメータミラーと、小さな開口が形成された板状部材の片方の面が鏡面となっており、前記開口が前記コリメータミラーの焦点位置と一致し、前記鏡面が前記コリメータミラー側を向き且つ前記コリメータミラーで集光された光束が反射した際に前記コリメータミラーに戻らないように光軸に対して傾けて設置された開口板とを有して構成され、前記開口板の前記開口から入射した前記光源部からの光束を前記コリメータミラーで平行光束に変換するコリメータ部と、前記コリメータ部からの平行光束を透過可能な窓を備え、内部が密閉され且つ温度の可変制御が可能な恒温槽と、前記恒温槽内部に設置され、ウェッジプリズム型試料を載置した状態で、前記試料の頂角を挟んだ第1面と第2面とがなす稜線に平行な回転軸を中心として回転可能な回転ステージと、前記回転ステージの回転角度を検出する回転角度検出部と、前記窓を介して前記恒温槽内部に入射し前記試料の前記第1面で反射した後に前記窓を介して前記恒温槽外部へ射出した前記平行光束か、または、前記窓を介して前記恒温槽内部に入射し前記第1面から前記試料内部に入射し前記第2面の裏面で反射した後に前記第1面を経て前記試料外部へ射出し、前記窓を介して前記恒温槽外部へ射出した前記平行光束が、前記コリメータ部に戻り前記コリメータミラーで集光された後に前記開口板の前記鏡面で反射された光束を受信する測定光デテクタと、前記回転ステージの回転制御を行い、前記測定光デテクタからの出力と、前記回転角度検出部で検出された前記ステージの回転角度との関係に基づき、前記試料の屈折率を算出する解析制御部とを有することを特徴とする測定装置が提供される。本発明によれば、簡単な構成でありながら、広い波長帯域で使用でき、測定精度を向上し得る屈折率および屈折率温度係数の測定装置を実現できる。以下、本実施形態について、添付の図面に基づいて説明する。屈折率測定については、従来からいろいろな方法が知られているが、よく用いられているのは最小偏角法である。最小偏角法は、図5に概略を示すように、測定対象の媒質でできたウェッジプリズム型の試料7における、屈折率測定に用いる単一波長平行光束に対する最小偏角位置を探して最小偏角値εを計測し、この計測された最小偏角値εと試料7の入射面と射出面のなす頂角τとから、1式によって、試料7の屈折率nを算出するものである。ところで、屈折率の温度係数の測定では、まず基準温度で試料7の屈折率を測定し、次いで試料7を所定量温度変化させた後で再び試料7の屈折率を測定し、その変化量を求めるが、測定系全体の温度を一様に変化させるのは大変である。そこで、図5に示す最小偏角法を用いて屈折率温度係数を測定する場合には、図6に示すように試料7のみを恒温槽6の中に入れ、恒温槽6内部のみ温度変化させ、最小偏角値εを測るのが普通である。最小偏角値εは測定媒質の屈折率に依存するが、恒温槽6の入射窓602と射出窓603の位置は恒温槽6に対して固定されているため、試料7がおおよそ所定の最小偏角値εを示すようにするには、試料7の屈折率に応じて試料7の頂角τを変える必要がある。しかしながら、試料7の屈折率が不明である場合には、まず恒温槽6なしの状態で基準温度における試料7の屈折率を測定し、その測定結果を基に改めて恒温槽6に適合する試料7を作り直し、温度特性の測定をするという二度手間がかかる。このような手間を省くためには、恒温槽6の窓が一つで済む、リトロー法を採用することが考えられる。リトロー法は、最小偏角法の一形態であり、図3a,bに示すような、頂角τを挟んだ第1面701と第2面702とを有するウェッジプリズムを試料7として用いる。このようなウェッジプリズム型の試料7では、第1面701から入射した平行光束は、第1面701で屈折作用を受け、第2面702で反射し、再び第1面701に戻って屈折作用を受け、試料7の外に射出される。ここで、測定光束が試料7の第2面702に対して垂直に入射する条件のとき、第1面701における二回の屈折角度は全く同じとなり、最小偏角での屈折条件と同等になる。よって、試料7の屈折率nは、図7に示す幾何学的関係と1式とを比較することにより、2式で求められることが判る。なお、角度iは、測定光束の第1面701の法線に対する角度である。リトロー法による赤外域における屈折率の測定装置については、例えば、上述の非特許文献1、2に紹介されている。これらの従来技術においては、光源には波長が分かっている輝線光源またはモノクロメータ光源を用い、光学系には全て反射系で構成したものを用いている。そして、コリメータへの入射光束と、試料からコリメータに戻り集光された反射光束との光路分離をするために、試料へ入射する測定光の平行光束を傾けることによって、それぞれの光路のコリメータのスリット長手方向についての通過位置を、コリメータ光軸に対称となるようにずらしてあるのが特徴である。このリトロー法の従来技術について、図8の模式図を用いて説明する。なお、図8では、コリメータミラー502を薄肉レンズで表現している。図8に示すように、入射光束と反射光束のスリット504における通過位置を、スリット504の長手方向についてずらすと、試料7に入射する平行光束が試料主断面704に対して傾き角度αを持つことになる。なお、試料主断面704とは、試料7の第1面701と第2面702とがなす稜線703に垂直な平面である。この条件で測定される最小偏角値は、試料主断面704に平行な入射光束についての最小偏角値εよりも大きな値を示す例えば、応用分光学ハンドブック吉永弘編集朝倉書店1973年P.399参照。つまり、屈折率nは、試料主断面704に平行な入射光束についての最小偏角値εから求めるべきものだが、この従来技術による方法では原理的に本来の値εからずれた値が算出されることになる。この問題を解決する一般的な手法として、図9に示すように、ビームスプリッタプリズム505を用いて、試料7への入射光束と反射光束の光路を分離する方法がある。この方法で用いる光学系は、可視域で使うオートコリメータによく用いられている光学系であり、試料7への入射光束が試料主断面704に対して傾かない設定が可能となる。具体的には、試料7からの反射光束の一部が、ビームスプリッタプリズム505によって分岐され、試料7への入射光束が通るスリット504と共役なスリット507を通過するように、試料7が載置されている回転ステージ8を回転させて、試料7への平行光束の入射角度を調整する。但し、この方法では、ビームスプリッタプリズム505内を非平行光束が通過し、ビームスプリッタプリズム505によって軸上色収差や球面収差などが発生することから、これら収差を補正するために、光学系の全部または一部に屈折レンズを用いることが多い。図9では、コリメータとして、ダブレットレンズ506を用いた例を示した。このような光学系では、使用する透過材料の分光透過特性によって、測定できる波長帯域が制限されることになる。従って、装置の波長帯域をなるべく広く確保するためには、透過材料の使用を避け、光学系を反射ミラーで構成する必要がある。また、測定光束として赤外域を使用する場合、赤外域では輝線光源が少なく、単一波長光束を作り出すためには連続スペクトラム光源からバンドパスフィルタを用いて、単一波長とみなせる光束を切り出すことが普通である。バンドパスフィルタとしてはモノクロメータがよく使われるが、モノクロメータから出力される単一波長光束の波長精度は、モノクロメータの波長表示精度に依存するため、使用するモノクロメータの波長表示精度についての定期的な較正が必要不可欠であった。以上のような従来技術の課題を解決するために、本実施形態では、恒温槽の窓が一つであるため屈折率および屈折率温度係数の測定がし易いリトロー法を採用し、反射ミラー主体で構成された光学系を用いて広い波長帯域で使用を可能とし、試料への入射測定光束が試料主断面に対して傾かないようにして正確な最小偏角値が得られ、輝線の少ない赤外域において測定光束の正確な波長値が簡便に把握できるように構成した、屈折率および屈折率温度係数の測定装置を提供する。以下、本実施形態に係る屈折率および屈折率温度係数の測定装置について、図1を用いて説明する。図1に示す光源部1は、ニクロム線やセラミックヒーターなど、電熱式の赤外域光源101を測定光光源としている。赤外域光源101から発せられた測定光束は、回転式チョッパ102を経て、光源部凹面ミラー103で反射集光され、光源部ダイクロイックミラー104で反射された後、モノクロメータ部2の入り口スリット201上に赤外域光源101の発光源像を形成する。光源部ダイクロイックミラー104は、可視域で透明なガラス製平行平面板を基板とし、反射面にはITO膜が形成されている。ITO膜は、赤外光を反射し、可視光を透過する性質がある。可視域輝線光源105は、測定光束の波長較正のための可視域輝線光を発する光源であり、可視域レーザや輝線ランプなどが使われるが、本実施形態の場合は波長632.82nmのHe-Neレーザとする。可視域輝線光源105から発せられたレーザ光束は、集光光学系106によって集光され、光源部ダイクロイックミラー104を透過して、モノクロメータ部2の入り口スリット201上に集光する。モノクロメータ部2には、全ての光学素子がミラーまたは反射型回折格子で構成されたものを用いる。本実施形態では、ツェルニーターナー型を採用している。このようなモノクロメータ部2では、入り口スリット201から入射した測定光束が、平面ミラー202で光路を曲げられ、コリメータミラー203によって平行光束にコリメートされ、平面反射グレーティング204によって分光作用を受け、波長に応じて異なる回折角度で反射回折する。その後、測定光束は、集光ミラー205で集光作用を受け、平面ミラー206で光路を曲げられるが、所定の回折角度で平面反射グレーティング204を反射した光束のみが出口スリット207上に集光し、モノクロメータ部2の外に射出される。平面反射グレーティング204は、回転ステージ208上に設置され、回転ステージ208と一緒に回転する。平面反射グレーティング204を回転させ、出口スリット207から射出する光束の波長を変えることにより、所望の単一波長光束が取り出される。出口スリット207の直後には、ハルトマンプレート209が設置されている。ハルトマンプレート209は、図2に示すように、2枚の遮光板を有し、それらは図示していない保持機構に保持され、スリット207の開口長手方向紙面上下方向に沿って動くようになっており、出口スリット207の開口長手方向の寸法を変える働きをする。なお、モノクロメータ部2の入り口スリット201の直前に、上記同様のハルトマンプレートを設置してもよい。このような構成を有するモノクロメータは多い。出口スリット207から射出された光束は、モノクロメータ部ダイクロイックミラー3に当たる。モノクロメータ部ダイクロイックミラー3は、光源部ダイクロイックミラー104と同様のミラーで、反射面にITO膜が形成され、赤外光測定光束を反射し、可視光は透過させる。モノクロメータ部ダイクロイックミラー3で反射された測定光束は、第1の凹面ミラー4でミラースリット501の開口上に反射集光され、ミラースリット501を通過してコリメータ部5に入射する。モノクロメータ部ダイクロイックミラー3を透過した可視域輝線光源105からの波長較正光束は、リレーレンズ13で波長較正光デテクタ14上に集光され、該デテクタ14により受信される。コリメータ部5は、ミラースリット501、コリメータミラー502、および、平面ミラー503から構成される。ミラースリット501は、2枚のスリット刃からなり、これら2枚のスリット刃のコリメータミラー502側の面が平面研磨され、アルミニュームまたは金がコーティングされたミラー面501aとなっており、これら2枚のスリットミラー面501aが同一平面上に並ぶように、且つ、開口幅が調整可能なように保持されている。なお、ミラースリット501の開口幅について、本実施形態では可変式とするが、仕様上問題なければ固定式とする場合もある。このようなミラースリット501の保持機構については、図示を省略する。ミラースリット501を通過した測定光束は、発散しながらコリメータミラー502で反射され、平行光束になる。コリメータミラー502は正のパワーを持つ凹面の軸外しパラボラミラーであり、パラボラ焦点をミラースリット501の開口中心に合わせて設置されている。コリメータミラー502で反射された後、平行光束になった測定光束は、平面ミラー503で反射されて光路を曲げられ、窓601から恒温槽6の内部に入射する。恒温槽6は、内部が密閉された構造となっており、外界に対して温度の上げ下げができるようになっている。但し、その仕組みは本発明の対象外なので、ここでは詳述しない。窓601は、赤外光である測定光束に対して透明な材質例えば、シリコン結晶、ゲルマニウム結晶、硫化亜鉛結晶などからなる平行平面板であり、恒温槽6の側壁にはめ込まれている。窓601の両面には、屈折率の測定波長範囲に分光特性を適合させた、反射防止コートが施されている。しかしながら、窓601が入射して来る測定光束に直交していると、窓601による反射光が入射光束と同一方向に戻り、屈折率測定光束と混じって測定ノイズになる。これを避けるため、窓601は測定光束に対して傾けて設置し、試料7における反射光束が測定光束と同一光路に戻らないようにする。窓601を通過した測定光束は、恒温槽6内部の試料回転ステージ8の上に設置された試料7に入射する。試料7は、図3a,bに示すように、屈折率を測定すべき光学材料で製作されたウェッジプリズムであって、平面研磨された第1面入射面701と第2面反射面702を有する。本実施形態では、第1面701と第2面702とのなす頂角をτとしている。測定光束の入射面である第1面701には、必要に応じて反射防止コートを施す。また、試料7内に入射した測定光束が反射する第2面702には、必要に応じてミラーコートを施し、裏面ミラーにする。いずれも測定S/N比を向上させたい場合の処置である。第1面701と第2面702との交線である稜線703に直交する平面を試料主断面704とする。第1面701から試料7内に屈折作用を受けながら入射した測定光束は、第2面702で反射され、第1面701に戻って再び屈折作用を受け、試料7の外部に射出される。試料7を載せている試料回転ステージ8は、試料7を稜線703に平行な回転軸中心に回転させる。また、試料回転ステージ8には、回転角度検出部8aが設けられており、所定の初期位置を基準として、該ステージ8の回転角度が読み取れる機能が備わっている。回転角度検出部8aにより読み取られた試料回転ステージ8の回転角度は、解析制御部15に送信される。試料7の第1面701における反射光束、または第2面702における反射光束は、窓601を経て、恒温槽6の外部へ出る。恒温槽6への入射光束測定光束と、恒温槽6から戻って来た反射光束とのなす角度が所定角度範囲内にあれば、恒温槽6から射出された光束はコリメータ部5に入射し、ミラースリット501の開口像をミラースリット501上に投影倍率1倍で形成する。ミラースリット501のミラー面501aは光軸に対して傾けて設置されており、ミラースリット501のミラー面501aで反射された光束は、第2の凹面ミラー9で反射集光され、測定光デテクタ11へ向かい、該デテクタ11で受信される。もし、ミラースリット501の開口像がミラースリット501の開口に一致して形成された場合には、ほとんどの光エネルギーは反射されずにミラースリット501を通過し、測定光デテクタ11には到達しない。測定光デテクタ11の受信S/N比を高めるために、本実施形態では赤外域の測光でよく用いられる交流測光方式を採用する。すなわち、機械式のチョッパ102により、赤外域光源101から発する測定光束を所定周波数でチョッピングする。この機械式のチョッパ102と、測定光デテクタ11とをロックインアンプ12によって同期制御することによって、測定光束の交流測光を行う。解析制御部15は、試料回転ステージ8の回転制御を行うとともに、測定光デテクタ11からの出力と、回転角度検出部8aで検出された試料回転ステージ8の回転角度との関係に基づき、試料7の屈折率を算出する。また、この算出された屈折率と、恒温槽6の内部温度との関係に基づき、試料7の屈折率温度係数を算出する。以下にその手順を示す。まず、屈折率の測定手順について述べる。試料7の第1面701が入射する測定光束に対して直交するように、試料7を恒温槽6内の試料回転ステージ8に載せる。試料回転ステージ8を回転させながら、第1面701からの反射光を測定光デテクタ11でモニタリングする。第1面701からの反射光束がミラースリット501を通過するときが、第1面701が入射光束に対して直交しているときで、そのとき測定光デテクタ11出力は最小となる。回転角度検出部8aでは、このときの試料回転ステージ8の位置を基準位置とし、図4に示すように、試料回転ステージ8の固定カーソル801に合致している回転側目盛り位置を、基準目盛り802とする。なお、このとき測定光束は必ずしも測定波長光である必要はなく、測定S/N比を上げるためにモノクロメータ部2から強い強度が得られる0次回折光を出力し、これを光源としても構わない。回転角度検出部8aを介して基準目盛り802を読み取った後、モノクロメータ部2から射出される光束の波長が測定波長である状態で試料回転ステージ8を回転させ、試料7の第2面702からの反射光束が測定光デテクタ11でモニタできるようにする。次いで、試料回転ステージ8の回転角度を調整し、測定光デテクタ11の出力が最小となる位置を探す。測定光デテクタ11の出力が最小となる位置が最小偏角状態であり、そこを最小偏角位置とする。そして、最小偏角位置におけるカーソル801に合致する目盛りを、最小偏角目盛り803とする。基準目盛り802と最小偏角目盛り803との間の角度が、図7に示すように、最小偏角時における測定光束の試料7の第1面701への入射角度iになる。解析制御部15は、試料7の頂角τと入射角度iの実測値を上述の2式に代入し、試料7の測定波長における屈折率nを算出する。続いて、屈折率温度係数の測定手順について述べる。まず、基準温度における試料7の屈折率を上述のように測定する。次に、恒温槽6の内部の温度を所定温度だけ変化させ、この状態で安定させる。そして、上述の試料7の屈折率測定を再び行う。変化させる温度は、これらの測定で得られた屈折率変化量を温度変化量で割った値が、基準温度近傍の試料7の屈折率の温度について近似的に微分値とみなせる程度に設定する。こうして得られた値が、測定波長についての基準温度近傍における試料7の屈折率温度係数となる。なお、恒温槽6内部の温度を変化させると、恒温槽6の内外空気の屈折率に差異が生じる。恒温槽6の窓601は前述の通り光軸に対して傾けて設置されているので、窓601の外界側の面における測定光束の屈折角度と、窓601の内界側の面における測定光束の屈折角度とに差異が生じ、窓601の通過に際して測定光束に偏角を生ずるが、最小偏角状態のとき、窓601の往復光路は原理的に一致するので、測定値には影響を与えない。次に、測定光束の波長値の正確な把握方法について述べる。赤外域光源101と可視域輝線光源105とからの光束は、共にモノクロメータ部2の入り口スリット201を通過する。平面反射グレーティング204の格子定数は、可視域輝線光源105として使用しているHe-Neレーザの波長632.82nm光束が、所定の高次回折で反射されるように設定する。本実施形態では、平面反射グレーティング204の格子定数を0.01mmとする。以下の表1に、波長632.82nm高次回折光束と一緒にモノクロメータ部2の出口スリット207から出力される赤外域光源101からの測定光束波長を、波長632.82nm光束の回折次数を10まで取ったものを示す。なお、測定光束については、全て1次回折光の場合である。表1波長63282nm光束回折次数測定光束nm2126564318984642531285316410637969274429748506256956953810632820モノクロメータ部2の回転ステージ208を回転させながら、出口スリット207から出力される波長632.82nm光束を、波長較正光デテクタ14でモニタする。波長632.82nm光束は、出口スリット207から出力された後、発散しながらモノクロメータ部ダイクロイックミラー3を透過し、リレーレンズ13で集光され、波長較正光デテクタ14に至る。波長632.82nm光束の回折次数は、波長632.82nm、格子定数0.01mm、回転ステージ208の0次回折位置からの回転角度、および、平面反射グレーティング204に対する光束入射角度と回折角度から求めるが、回転ステージ208の回転角度と回折次数との対応関係を予め求めておけば、いちいち計算する必要はない。また、モノクロメータ部2は、全て反射光学素子で構成されているため、波長依存性がない。よって、測定光束の波長は、光学系の色収差などの影響を受けることなく、波長632.82nm光束を基準として正確に決まる。なお、例えば表1において、測定光束である、波長6328.20nm光束を出力しているときは、波長3164.10nm光束の2次回折光も一緒に出力される。同時に出力される短波長の高次回折光を除くために、次数選択フィルタターレット10を測定光デテクタ11の直前に設置する。この場合であれば、波長6328.20nm光束は透過させ、波長3164.10nm光束は阻止する分光特性を持つフィルタを光路中に挿入する。このように互いに異なる所定の分光特性を有する複数のフィルタをターレットに設置し、測定波長に応じて適切なフィルタを選択し、光路に挿入することで、不要な高次回折光束が測定光デテクタ11へ入射することを阻止することができる。続いて、波長632.82nm光束の高次回折位置の中間にある測定光束、例えば表1の波長範囲ならば、3000nm、4000nm、5000nmなどの波長を出力する方法について述べる。まず、表1の測定光束波長に対応する、モノクロメータ部2の回転ステージ208の回転角度を、測定前後あるいは中間に実測しておき、これらの値から上記中間波長に対応する回転ステージ208の回転角度をインターポレーションによって算出する。回転ステージ208をそれら算出された回転角度に合わせることで、所望の中間波長の測定光束を高精度で出力することができる。モノクロメータ部2の入り口スリット201の開口幅、および、出口スリット207のスリット開口幅が、測定光束の波長純度に直接的に影響することは言うまでもない。それだけでなく、出口スリット207の開口の長手方向寸法も、測定光束の波長純度に影響を与える。出口スリット207から出力される測定光束と、測定光束の波長較正のための波長632.82nm光束は、出口スリット207の開口全域で重なるように光学系は設定されているが、出口スリット207上にできる入り口スリット201の像は、長波長側に凹となるように湾曲するので例えば、応用分光学ハンドブック吉永弘編集朝倉書房1973年P.409を参照、出口スリット207の開口長手方向が長すぎると、出口スリット207の開口中心部と端部では通過波長にずれが生じ、測定光束の波長純度が低下する。さらに、従来技術の説明でも述べたように、試料7への入射光束が試料主断面704に対して角度を持つと、最小偏角値が正しい値に対して増大する方向にずれる。出口スリット207が長いほど、この効果が大きくなり、屈折率の測定精度を低下させる。上述の通り、モノクロメータ部2の出口スリット207の開口長手方向寸法は、測定光束の波長純度と最小偏角値の測定誤差に影響を与えることから、極力短い開口寸法にすることが原則となる。一方、入り口スリット201および出口スリット207の開口幅は大きいほど、測定光束の光エネルギーを大きくすることが可能になるため、測定光デテクタ11の出力のS/N比を見ながら、入り口スリット201および出口スリット207のスリット開口幅と、長手方向の長さとを決める。出口スリット207の開口長手方向のスリット幅については、ハルトマンプレート209の間隔を調整して決定する。本実施形態では、出口スリット207の開口長手方向の中央部を通過する測定光束を使うので、必要最小の出口スリット207の開口長手方向寸法になる。なお、測定に必要な精度および光強度が得られることが判っている場合には、入り口スリット201および出口スリット207の開口は固定式であってもよい。以上のように、本実施形態に係る測定装置においては、1リトロー法を用いた屈折率測定装置であることから恒温槽の窓が一つだけで済むので、屈折率および屈折率温度係数を容易に測定でき、2反射ミラー主体で構成された光学系を用いているため、広い波長帯域で使用可能であり、3回転ステージの回転角度を調整して試料への入射光束の試料主断面に対する傾き成分を最小限に抑えることができるため、誤差が小さく、より正確な最小偏角値が得られ、4特に輝線の少ない赤外域において、測定光束の正確な波長値が簡便に把握できる。また、5恒温槽の窓を入射光束に対して傾けて設けているため、恒温槽の窓で反射した測定光束が測定光デテクタに至ることがなく、ミラースリットのミラー面で反射した恒温槽からの戻り光束と、ミラースリットから抜けて出てくる測定光束とが重ならない角度で、ミラースリットを光軸に対して傾けて設けているため、ミラースリットのミラー面で反射した恒温槽からの戻り光束だけが測定光デテクタへ入射することから、高いS/N比で屈折率および屈折率温度係数を測定することができる。なお、本実施形態においては、モノクロメータ部2として、ツェルニーターナー型を採用したが、これに限定されものではない。例えば、凹面の回折格子1枚で構成される瀬谷波岡型のモノクロメータを採用することも可能である。"