互いに連通する駆動部及びレンズ部を含む内部空間を有するスペーサフレームと、前記スペーサフレームの一の外面上に付着されて、少なくとも前記レンズ部をカバーする弾性膜と、前記スペーサフレームの他の外面上に配されて、温度変化によって前記内部空間の体積を増減させるように変形される透明な単一物質で形成される熱変形部材と、前記内部空間に入れられている光学流体と、を含むことを特徴とする光学装置。前記熱変形部材は、前記光学流体と熱膨張係数が実質的に同じか、または前記光学流体よりも熱膨張係数が大きい物質で形成されることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。前記熱変形部材は、前記光学流体の熱膨張係数の50以上の熱膨張係数を有する物質で形成されることを特徴とする請求項2に記載の光学装置。前記熱変形部材は、液体レンズの動作温度範囲内で実質的に線形弾性変形を行う疎水性物質で形成されることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。前記熱変形部材は、シリコン弾性重合体またはシリコンレジンで形成されることを特徴とする請求項4に記載の光学装置。前記熱変形部材は、ポリジメチルシロキサンPDMSで形成されることを特徴とする請求項5に記載の光学装置。前記スペーサフレームは、シリコンで形成され、前記スペーサフレームと前記熱変形部材との間の界面には、シリコン酸化物またはシリコン窒化物で形成された接着補助パターンが介在されていることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の光学装置。前記熱変形部材は、前記レンズ部に対応する部分が縁部の部分より外側に突出する形状を有することを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の光学装置。前記熱変形部材は、前記レンズ部に対応する部分が実質的に平らな形状を有することを特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載の光学装置。互いに連通する駆動部及びレンズ部を含む内部空間の周りに配されているスペーサフレームと、前記スペーサフレームの一の外面上に付着されて、少なくとも前記レンズ部をカバーする弾性膜と、前記スペーサフレームの他の外面上の前記内部空間に対応するように配されて、温度変化によって前記内部空間の体積を増減させるように変形される熱変形部材と、前記スペーサフレームの他の外面上の前記スペーサフレームの枠に対応するように、前記熱変形部材の周りに沿って配されるフランジ部と、前記内部空間に入れられている光学流体と、を含むことを特徴とする光学装置。前記フランジ部は、前記熱変形部材より熱膨張係数が小さな物質で形成されることを特徴とする請求項10に記載の光学装置。前記スペーサフレームは、シリコンで形成され、前記フランジ部は、ガラスで形成されることを特徴とする請求項10または請求項11に記載の光学装置。前記熱変形部材と前記フランジ部との界面は、外側に行くほど前記フランジ部の幅が狭くなるように傾斜を有することを特徴とする請求項10~12のいずれか1項に記載の光学装置。前記熱変形部材と前記フランジ部との界面は、水平面に対して30°~90°の傾斜を有することを特徴とする請求項13に記載の光学装置。前記レンズ部に対応する位置の前記熱変形部材に配され、平らな形状を有する変形防止部材をさらに含むことを特徴とする請求項10~14のいずれか1項に記載の光学装置。前記変形防止部材は、前記熱変形プレートの内部に配されることを特徴とする請求項15に記載の光学装置。互いに連通する駆動部及びレンズ部を含む内部空間の周りに配されているスペーサフレームと、前記スペーサフレームの一の外面上に付着されて、少なくとも前記レンズ部をカバーする弾性膜と、前記スペーサフレームの他の外面上に配されて、温度変化によって前記内部空間の体積を増減させるように変形される透明な単一物質で形成される熱変形部材と、前記熱変形部材の前記レンズ部に対応する位置に配され、平らな形状を有する透明な変形防止部材と、前記内部空間に入れられている光学流体と、を含むことを特徴とする光学装置。前記変形防止部材は、前記熱変形部材より厚さが薄く、前記熱変形部材の内部に配されることを特徴とする請求項17に記載の光学装置。前記変形防止部材は、前記熱変形部材と厚さが実質的に同じであり、前記熱変形部材の一部を構成することを特徴とする請求項17に記載の光学装置。前記変形防止部材は、ガラス、ポリイミド、またはポリエーテルスルホンで形成されることを特徴とする請求項17~19のいずれか1項に記載の光学装置。前記スペーサフレームは、前記駆動部が前記内部空間の中心に位置する前記レンズ部を取り囲むように配されていることを特徴とする請求項17~20のいずれか1項に記載の光学装置。スペーサフレームと、前記スペーサフレームの一の外面上に配されている光学部と、前記スペーサフレームの他の外面上に配されている熱変形部材と、前記スペーサフレーム、前記光学部、及び前記熱変形部材によって形成される内部空間に入れられている光学物質と、を含み、前記熱変形部材と前記スペーサフレームは、相異なる物質で形成されており、前記熱変形部材は、所定の形状を有し、温度変化によって前記内部空間の体積を増減させるように変形されることを特徴とする光学装置。前記光学部は、弾性膜を含むことを特徴とする請求項22に記載の光学装置。前記スペーサフレームの枠に対応するように、前記熱変形部材の周りに沿って配されるフランジ部を含むことを特徴とする請求項22または請求項23に記載の光学装置。前記光学部に対応する位置の前記熱変形部材に配されており、平らな形状を有する変形防止部材をさらに含むことを特徴とする請求項22~24のいずれか1項に記載の光学装置。前記光学流体の粘度は、100cP以下であることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。前記駆動部と前記レンズ部との間に、前記光学流体が即時流動できるように、前記駆動部と前記レンズ部とが連通されていることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。前記光学流体は、前記駆動部と前記レンズ部との間で自在に流動することができることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。前記熱変形部材と前記弾性膜との距離が増加するように、前記熱変形部材は、温度の増加によって変形されて、前記内部空間の体積が増加することを特徴とする請求項1に記載の光学装置。外側に突出するように所定の凸状を有し、周りの温度が増加すれば、さらに外側に突出するように熱的に変形される物質で形成された第1メンブレンと、前記第1メンブレンの中間に配されており、前記第1メンブレンを形成する物質よりさらに硬い物質で形成された変形防止部材と、前記第1メンブレンの下部に配されているフレームと、前記フレームの下部に配されている第2メンブレンと、前記第1メンブレン、前記フレーム、及び前記第2メンブレンによって形成された内部チャンバに満たされている流体と、を含むことを特徴とする光学装置。前記第1メンブレンが、熱膨張をすれば、前記内部チャンバの体積は増加することを特徴とする請求項30に記載の光学装置。前記第1メンブレン、前記変形防止部材、前記フレーム、及び前記第2メンブレンは、同一線上に配されていることを特徴とする請求項30または請求項31に記載の光学装置。周りの温度が増加しても、前記変形防止部材が配される前記第1メンブレンの部分は、平らな形状を保持することを特徴とする請求項30~32のいずれか1項に記載の光学装置。周りの温度が増加しても、前記第1メンブレンの部分の真下側に配される前記第2メンブレンの部分は、前記第1メンブレンの部分に対して平行に保持されることを特徴とする請求項33に記載の光学装置。本発明は、温度の変化に関係なく正常な作動が保証される液体レンズのような光学装置を提供することである。本発明は、温度変化によって光学流体の体積が増減しても、焦点距離は実質的に変化しない液体レンズのような光学装置を提供することである。本発明の一実施形態による光学装置は、互いに連通する駆動部drivingportion及びレンズ部lensportionを含む内部空間spaceを形成するスペーサフレームspacerframeを含む。スペーサフレームに形成される内部空間には、光学流体が入れられている。スペーサフレームの両外面上には、弾性膜elasticmembraneと熱変形プレートthermallydeformableplateのような熱変形部材thermallydeformablememberとが付着されており、弾性膜は少なくともレンズ部をカバーし、透明な単一物質で形成される熱変形プレートは、スペーサフレームの他の外面上に配されて、温度変化によって内部空間の体積を増減させるように変形される。熱変形プレートは、レンズ部に対応する部分が縁部の部分より外側に突出する形状を有し、また、レンズ部に対応する熱変形プレートの部分は、実質的に平らな形状を有しうる。本発明の他の実施形態による光学装置は、互いに連通する駆動部及びレンズ部を含む内部空間を形成するスペーサフレームを含む。スペーサフレームに形成される内部空間には、光学流体が入れられている。そして、スペーサフレームの一の外面上には、弾性膜が付着されて少なくともレンズ部をカバーする。そして、スペーサフレームの他の外面上には、内部空間に対応するように配されて、温度変化によって内部空間の体積を増減させるように変形される熱変形プレートと、スペーサフレームの枠に対応するように、熱変形プレートの周りに沿ってフランジ部flangeunitとが配されている。光学装置は、変形防止部材stiffeningmemberをさらに含みうる。変形防止部材は、レンズ部に対応する位置の熱変形プレートに配され、平らな形状を有する。変形防止部材は、熱変形プレートの内部に配置される。本発明のまた他の実施形態による光学装置は、互いに連通する駆動部及びレンズ部を含む内部空間を形成するスペーサフレームを含む。スペーサフレームに形成される内部空間には、光学流体が入れられている。そして、スペーサフレームの一の外面上には、少なくともレンズ部をカバーする弾性膜が付着されており、スペーサフレームの他の外面上には、透明な単一物質で形成される熱変形プレートが配されている。熱変形プレートは、温度変化によって内部空間の体積を増減させるように変形されうる。そして、レンズ部に対応する位置の熱変形プレートには、平らな形状を有する透明な変形防止部材が配置される。本発明のさらに他の実施形態による光学装置は、スペーサフレームspacerframe、光学部opticalportion、熱変形プレート、及び光学物質を含む。光学部は、スペーサフレームの一の外面上に配されており、熱変形プレートは、光学部が配されている反対側であるスペーサフレームの他の外面上に配されている。そして、光学物質は、スペーサフレーム、光学部、及び熱変形プレートによって形成される内部空間に入れられている。また、熱変形プレートとスペーサフレームは、相異なる物質で形成されており、熱変形プレートは、所定の形状を有し、温度変化によって内部空間の体積を増減させるように変形されうる。以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態を詳しく説明する。使われる用語は、実施形態での機能を考慮して選択された用語であって、その用語の意味は、ユーザ、運用者の意図または慣例などによって変わりうる。したがって、後述する実施形態で使われた用語の意味は、本明細書に具体的に定義された場合には、その定義に従い、具体的な定義がない場合は、当業者が一般的に認識する意味として解釈しなければならない。そして、第1物質層が、第2物質層上に形成されるとする場合に、それは、第1物質層が、第2物質層の真上directlyonに形成される場合はもとより、明示的にこれを排除する記載のない限り、他の第3の物質層が、第2物質層と第1物質層との間に介在されている場合も含むものと解釈しなければならない。図1は、本発明の一実施形態による光学装置を示す斜視図であり、図2は、図1の光学装置の分離斜視図であり、図3は、図1でABラインに沿って切り取った光学装置の断面図である。図1ないし図3に示された光学装置は、携帯用電子機器の撮像モジュールに備えられる液体レンズであり得るが、これは単に例示的なものである。以下、光学装置が、このような液体レンズである場合を中心に実施形態を詳しく説明する。しかし、光学装置が、液体レンズにのみ限定されるものではなく、他の用途にも使われる。図1ないし図3を参照すると、光学装置100は、スペーサフレーム110、弾性膜120、熱変形プレート150、及び光学流体opticalfluid125を含む。そして、光学装置100は、アクチュエータactuator130とアクチュエータフレームactuatorframe140とをさらに含みうる。図1ないし図3に示された光学装置100は、常温例えば、20°Cでの光学装置の形状を示すものであって、後述するように、温度が上昇下降すれば、光学装置100、より具体的に、熱変形プレート150の形状は変形されうる。光学装置100は、液体レンズとして撮像装置に単独で使われるか、または撮像装置の結像光学系に付け加わられて使われる。前者の場合に、光学装置100は、自体の焦点距離を変化させることができる。一方、後者の場合には、光学装置100を用いて結像光学系の焦点距離を変化させることができる。そして、前者後者の場合でも、光学装置100を利用すれば、焦点距離の変化を通じて自動焦点機能、ズーム機能、及び/または近接距離撮影機能のような可変焦点機能を撮像装置に具現することができる。スペーサフレーム110は、光学流体125が入れられるか、または満たされうる所定の内部空間internalspaceを形成するより詳しく説明すれば、光学流体125が入れられるか、満たされる内部空間は、スペーサフレーム110、弾性膜120、及び熱変形プレート150によって形成及び密封される。一実施形態によれば、光学流体は、所定の内部空間にいっぱいに満たされうる。所定の内部空間のために、スペーサフレーム110は、内部空間の側面を取り囲む側壁sidewalls112を含む。そして、スペーサフレーム110は、この内部空間を互いに連通するレンズ部と駆動部とに区画するパーティションpartition114を含みうる。例えば、内部空間の下側部分lowerportionは、パーティション114によってレンズ部と駆動部とに区画され、内部空間の上側部分upperportionは、互いに連通されている。パーティション114は、側壁112と構造的に連結されうるが、これは任意的なものである。スペーサフレーム110は、シリコンsiliconなどのように硬くて耐化学性、耐湿性が大きい物質で形成され、透明または不透明な材質で形成される。パーティション114は、光学流体125をレンズ部と駆動部との間で自在に流せる形状を有しうる。一例として、パーティション114の高さは、スペーサフレーム110の総高さの1/2以下であり得る。他の例として、パーティション114の高さは、150~200μmの範囲であり得る。レンズ部は、入射光が通過する部分、すなわち、レンズとしての機能を行う部分である。そして、駆動部は、レンズ部を覆っている弾性膜120の一部レンズ面のプロファイルを変更させることができる駆動力を伝達する部分である。より具体的に、駆動部に所定の圧力例えば、アクチュエータ130の駆動による所定の圧力が光学流体125に加えられれば、駆動部にある光学流体125は、レンズ部側に移動する。その結果、レンズ部には、光学流体125の量が増加して、レンズ面を構成する弾性膜120に加えられる圧力が増加し、その結果、レンズ面は、上に凸状に飛び出す形状、すなわち、凸レンズ状に変形される。ここで、駆動部で光学流体125に加えられる圧力を調節すれば、レンズ部が変形される大きさ、すなわち、凸レンズの曲率を調整して、光学装置100の屈折率refractivepowerを制御することができる。レンズ部は、光学装置100の中央部分に配され、駆動部は、このレンズ部の周りを取り囲むように配置される。駆動部が、レンズ部の周りを取り囲むように配される場合、あらゆる方向から均一に光学流体が駆動部からレンズ部に流入されうる。したがって、光学流体の流入で変形されるレンズ部は、より球型に近い凸レンズ状を有し、これによって、優れた光学能を有する可変焦点液体レンズを具現することができる。駆動部は、複数の領域に分割されうるが、図2に示したように、レンズ部に対して互いに対称になる4個の領域に分割されるか、または異なる個数2個、3個、または5個以上の領域に分割されうる。スペーサフレーム110によって限定される内部空間を駆動部とレンズ部とに区画することは、パーティション114のような物理的な構造物なしになされうる。すなわち、スペーサフレーム110は、側壁112にのみによって構成され、内部空間は、側壁112のみで取り囲まれた、例えば、円柱状または直方体状であり得る。この場合に、内部空間を駆動部とレンズ部とに区画することは、機能的な観点例えば、アクチュエータ130によって加圧される部分であるか否かからなるか、及び/または周りの他の構成要素との構造的な関連性例えば、内部空間のうちからアクチュエータ130に対応する部分が駆動部であり、変形防止部材160図5Aまたは図5B参照に対応する部分がレンズ部であり得るによってなされうる。スペーサフレーム110によって形成された内部空間、すなわち、駆動部とレンズ部には、光学流体125が満たされうる。光学流体125は、内部空間に満たされうる光学物質の一つであって、必ずしも液体に限定されるものではない。例えば、光学流体125は、ガスやゲルgel状の物質であり得る。そして、内部空間に満たされた光学流体125は、スペーサフレーム110の両側の外面上に付着または配されている弾性膜120と熱変形プレート150とによって密封される。光学流体125としては、ジメチルシロキサンDiMethylSiloxane、DMSオイルのような透明なシリコン系オイル、透明な炭化水素系オイル、透明なエステルester系オイル、またはパーフルオロポリエーテルオイルPerFluoroPolyEther、PFPEのような透明なポリエーテルpolyether系オイルなどが使われ、ガスやゲル状の物質も使われる。そのうち、シリコン系オイルやポリエーテル系オイルは、約-55°Cないし250°C範囲の温度で液状を有するだけではなく、一般的に温度による粘度の変化も他の物質に比べて大きくない。例えば、1000cP以下の粘度で重合度が50以上である透明なシリコン系オイルを光学流体125として使い、この場合に、光学装置100は、非常に速い反応速度を支援することができる。一例として、光学流体125は、100cP以下の粘度を有しうる。但し、シリコン系オイルやポリエーテル系オイルなどは、熱膨張係数CoefficientofThermalExpansion、CTEが330ppm/°C以上であって、高い熱膨張率を表わす。前述した物理的な特性を充足させるならば、如何なる他の物質や材料も好適に使われる。弾性膜120は、スペーサフレーム110の一外面図1ないし図3では、下面上に付着されて、少なくとも内部空間のレンズ部をカバーする。レンズ部をカバーする弾性膜120の部分は、光学装置100のレンズ面を形成する光学部opticalportionと言える。弾性膜120は、内部空間の駆動部も共にカバーできるが、この場合に、弾性膜120は、全体が一体に形成される一つのシートsheet状になりうる。しかし、これに限定されるものではなく、内部空間の駆動部は、レンズ部をカバーする弾性膜、すなわち、光学部とは別個の弾性膜でカバーされるか、または弾性膜ではない他の構成要素によってカバーされることもある。弾性膜120は、透明transparentで高い弾性特性を有していなければならず、化学的に安定しなければならない。そして、少なくとも弾性膜120の外面は、湿気に強い特性を有していなければならない。このような条件を満足させる物質としては、例えば、ポリジメチルシロキサンPolyDiMethylSiloxane、PDMS弾性重合体、ポリメチルフェニルシロキサンPolyMethylPhenylSiloxane、PMPS弾性重合体、フッ素シリコン弾性重合体fluro-siliconeelsatomerのような透明なシリコン弾性重合体siliconelastomer、炭化水素弾性重合体、ポリエーテル弾性重合体polyetherelastomerまたは酸化プロピレン弾性重合体ptopylenoxideelastomer、ポリエステル弾性重合体polyesterelastomerなどがある。このような弾性膜120は、必ずしも単一膜の構造である必要はなく、二重膜のような複合膜の構造であり得る。前述した物理的な特性を充足させるならば、如何なる他の物質や材料も好適に使われる。前述した弾性重合体は、通常、熱膨張係数CTEが大きい物質であって、これをそのまま使って作られた膜membraneは、温度の変化によって膨張するか、収縮が大きく起こりうる。しかし、図1ないし図3に示された光学装置100の一構成要素として使われる弾性膜120は、温度の変化にもかかわらず、膨張や収縮がほとんど起こらないようにスペーサフレーム110に付着される。これを具現する方法には、特別な制限もない。例えば、製造時には、液状のPDMSが固定された基板上でメンブレンの形態で硬化させた後、非常に薄い厚さになるように、十分に引っ張った状態で弾性膜120をスペーサフレーム110に接合させるか、及び/または熱膨張が起こらないように所定の処理を行った後に、スペーサフレーム110に接合させることができる。例えば、熱変形プレート150が熱的に膨張する間にも、膨張または変形を防止するために、弾性膜120は、引張残留応力を有するように、ストレッチされるか、引っ張られる。一実施例によれば、弾性膜120は、予備負荷pre-load状態で製造可能である。例えば、予備負荷状態での弾性膜120の長さは、39.0mmであるが、予備負荷が除去されれば、その長さは3.85減少して、37.5mmになりうる。予備負荷を除去した後に、弾性膜120の長さ変化を測定することによって、予備負荷を測定することができる。一実施例によれば、弾性膜120のCTE範囲は、180ppm/°Cから320ppm/°Cまでであり得る。同じ物質で形成される場合に、熱変形プレート150の厚さは、弾性膜120の厚さの3倍または4倍程度になりうる。他の実施例によれば、熱変形プレート150は、弾性膜120の厚さの6倍になることもある。アクチュエータ130は、駆動部に対応する位置の弾性膜120上に配されるポリマーアクチュエータであり得る。ポリマーアクチュエータは、駆動部に対応して単一構造物であるか、または複数の領域に分割され、所定の接合手段によって弾性膜120上に接合されうる。アクチュエータ130の種類や材質には、特別な制限もなく、通常使われている多様な方式のアクチュエータが使われる。例えば、アクチュエータ130としては、厚さが非常に薄く、消費電力の少ない電気的能動ポリマーElectroActivePolymer、EAPやPolyVinyliDeneFluoride-TriFluoroEthylene-ChloroTriFluoroEthylene[PVDF-TrFE-CTFE]、PolyVinyliDeneFluoride-TriFluoroEthylene-ChloroFluoroEthylene[PVDF-TrFE-CFE]のような混成重合体で製作された緩和型強誘電性relaxorferroelectricポリマーアクチュエータが使われる。前述した物理的な特性を充足させるならば、如何なる他の物質や材料も好適に使われる。アクチュエータ130は、所定の駆動電圧が印加されれば、駆動部に圧力を加えてレンズ部に光学流体125を流入させる機能を行い、これによって、レンズ部の弾性膜120、すなわち、レンズ面を突出させて凸状にする。この場合に、駆動電圧の大きさを調節すれば、アクチュエータ130の変位を調整されるため、これによって、駆動部の光学流体125に加えられる圧力の大きさも制御が可能である。このようなポリマーアクチュエータ130は、駆動部を加圧して光学流体125をレンズ部側に流入させて、レンズ面を外側に突出させるための加圧手段の一例である。したがって、ポリマーアクチュエータ130の代りに、マイクロポンプなどを用いて駆動部の光学流体125をレンズ部側に流入させることもできる。パーティション114のデザインに起因して、駆動部からレンズ部側に、そして、その逆方向に即時的、またはほとんど即時的な光学流体125の流れがある。言い換えれば、パーティション114は、光学流体125の流れを制限せず、その結果、駆動部での圧力とレンズ部での圧力は、経時的に漸次的に平衡になる。アクチュエータ130上には、固定フレームとして機能するアクチュエータフレーム140が配される。アクチュエータフレーム140は、弾性膜120及び/またはアクチュエータ130をスペーサフレーム110に堅く固定させる機能を行う。アクチュエータフレーム140は、少なくともレンズ部に対応する弾性膜120を露出させる平面状を有し、アクチュエータ130も露出させる形状になることもある。例えば、アクチュエータフレーム140は、駆動部とレンズ部とに対応する部分の弾性膜120のみを露出させることができるが、光軸に対する軸対称の平面状であり得る。アクチュエータフレーム140の材質には、特別な制限もないが、例えば、シリコンのように硬くて熱膨張係数CTEが小さな物質で形成される。スペーサフレーム110の他側の外面、すなわち、弾性膜120が付着されている方向の反対側方向の外面図1ないし図3では、上面上には、熱変形プレート150が付着されている。熱変形プレート150は、少なくともスペーサフレーム110に形成された内部空間の一面の全部をカバーするか、または内部空間の一部をカバーすることができる。例えば、熱変形プレート150は、スペーサフレーム110のような大きさ広さで作られて、内部空間の駆動部とレンズ部とを共にカバーするだけではなく、縁部の部分がスペーサフレーム110の側壁112に接合されうる。しかし、これに限定されるものではなく、熱変形プレートの大きさは、内部空間の大きさに対応するか図7参照、またはこれより小さな大きさを有することもある。熱変形プレート150は、温度の変化に対応して形状shapeが変形することによって、温度の変化による光学流体125の体積変化を補償する機能を行うことができる。より具体的に、熱変形プレート150は、温度が上昇すれば、内部空間の体積を増加させるように外側図3では、上側に変形するが、温度が下降すれば、内部空間の体積を減少させるように内側図3では、下側に変形する。このような熱変形プレート150の変形によって、温度が上昇すれば、体積が増加した光学流体125は、より体積が増加した内部空間に満たされ、逆に温度が下降すれば、体積が減少した光学流体125は、より体積が減少した内部空間に満たされる。その結果、光学装置100は、温度の変化によって光学流体125の体積が変化しても、レンズ面の形状は変形されないか、または変形が最小化されうる。従来の液体レンズ、例えば、本出願の出願人によって出願されて公開された韓国公開特許第2008-0043106号、光学レンズ及びその製造方法に開示されている液体レンズでは、熱変形プレート150の代りに、透明で硬いガラス基板transparentandrigidglasssubstrateが使われた。前述したように、シリコン系オイルなどで形成される光学流体は、熱膨張係数が約330ppm/°Cも大きい。一方、シリコンで形成されたスペーサフレームとガラス基板は、いずれも熱膨張係数が約2~3ppm/°Cであって、光学流体より非常に小さい。したがって、温度変化がある場合に、従来の液体レンズでは、光学流体の膨張や収縮によって、レンズ面に加えられる圧力の変化によって弾性膜の形状が変形されて、液体レンズの屈折率が変化する問題がある。例えば、内部空間の大きさ、すなわち、横×縦×高さが5.3mm×5.3mm×0.3mmであり、レンズ部の直径が2.4mmである従来の液体レンズは、40°Cの温度変化がある場合例えば、温度が20°Cから60°Cに上昇するか、または-20°Cに下がる場合に、レンズ面の変形すなわち、突出するか、陷沒する高さが約±134μmになる。すなわち、温度が常温で40°C増加するか、減少すれば、レンズ部に対応する弾性膜は、最大134μm程度の高さに突出するか、または陷沒するように変形される。レンズ面の直径が約2.4mmである液体レンズでレンズ面の臨界変形値すなわち、光学レンズとして許容可能なレンズ面の変形範囲は、約±15μmであると知られているので、ガラス基板を使う従来の液体レンズは、電子機器の通常の動作温度範囲-20°C~60°C内で一定のレベルの焦点を保持しにくい。光学装置100では、光学流体125の体積変化を補償できるように、熱膨張係数CTEが大きい透明な単一物質で熱変形プレート150を形成して、このようなレンズ面の変形を防止するか、最小化することができる。そのために、熱変形プレート150は、光学流体125と熱膨張係数とが実質的に同じか、またはこれよりさらに大きい物質で形成される。ここで、‘熱膨張係数が実質的に同じである’とは、熱変形プレート150と光学流体125との熱膨張係数が数値的に同一である場合にのみ限定されると解釈されてはならず、熱変形プレート150の熱膨張係数が、たとえ光学流体125の熱膨張係数より小さいとしても、温度変化による光学流体125の体積変化を補償することができるほどすなわち、温度変化による光学装置100の屈折率の変化が、所定の許容範囲以内に入る程度の値を有する場合も含まれると解釈しなければならない。例えば、熱変形プレート150の熱膨張係数が、光学流体125の熱膨張係数の50以上である場合は、熱膨張係数が実質的に同じであると言える。一実施例で、熱変形プレート150のCTE範囲は、180ppm/°Cないし320ppm/°Cであるが、光学流体125のCTE範囲は、280ppm/°Cないし380ppm/°Cであり得る。そして、熱変形プレート150は、光学装置100の動作温度範囲を含む可能な広い温度範囲で安定しており、また弾性変形特性を有する物質で形成される。熱変形プレート150が、たとえ熱膨張係数が大きいとしても、塑性変形を行う物質で形成されれば、温度変化による反復的な膨張と収縮とによって、熱変形プレートの寸法dimensionが変更されてしまうことがある。したがって、弾性変形を行う物質で熱変形プレート150を形成すれば、光学装置100が長期間の温度変化に露出されても、熱変形プレート150は、一定の寸法をそのまま保持することができる。また、光学流体125と同様に、線形で弾性変形を行う物質で熱変形プレート150を形成すれば、温度変化による光学流体125の体積変化をより効果的に補償することができる。そして、熱変形プレート150は、光学流体125を外部から密封するので、弾性膜120と同様に、優れた耐化学特性を有し、吸湿率が低い疎水性物質hydrophobicmaterialで形成することが望ましい。同時に、熱変形プレート150は、優れた透過性を有していなければならない。前述した熱変形プレート150の特性を満足させる代表的な物質として、シリコン弾性重合体のような弾性重合体elastomerやシリコンレジンsiliconeresinなどがある。シリコン弾性重合体としては、例えば、ポリジメチルシロキサンPDMS、ポリメチルフェニルシロキサンPMPS、ポリメチルビニルシロキサンPolyMethylVinylSiloxane、PMVS、フッ素シリコン弾性重合体などがある。前述した物理的な特性を充足させるならば、如何なる他の物質や材料も好適に使われる。そのうち、PDMSは、高い熱膨張係数、高い弾性特性及び透明度を有し、低い表面張力と非イオン性及び非極性の特性とを有して化学的に安定している。すなわち、PDMSは、低温はもとより、高温でも化学的に安定しており、耐熱性、耐候性UV、オゾン、及び酸化安定性などを見せる。例えば、PDMSプレートは、熱膨張率CTEが約300ppm/°Cであって、高い熱膨張率を有し、300°C以上の高温でも、安定して信頼性があるので、後続工程で高温工程が適用可能である。PDMSで形成された熱変形プレート150は、約100μmないし500μmの厚さを有しうる。前述したように、熱変形プレート150は、温度が上昇すれば、内部空間の体積を増加させるように変形され、温度が下降すれば、内部空間の体積を減少させるように変形される。このような熱変形プレート150の変形は、温度の変化によって直接的に誘発される過程であり、光学流体125の体積変化によって伴われる、すなわち、体積が変化される光学流体125による圧力の増減によって誘発される間接的な過程ではない。むしろ、光学装置100は、温度変化によって直接的に誘発される熱変形プレート150の変形によって内部空間の体積が増減することによって、温度の変化による光学流体125の体積の増減にもかかわらず、光学流体125によって弾性膜120に加えられる圧力を変化なしに保持するか、または圧力の変化を最小化させうる。したがって、光学装置100やそれを含む撮像装置は、通常の動作温度範囲内で温度が変化しても、光パワーopticalpowerはほとんど変化がないか、または所定の臨界値以下に変化を制限することができる。このような温度変化による光学流体125の体積変化を補償するために、熱変形プレート150は、温度が上昇すれば、外側に飛び出して凸状に変形されなければならず、逆に温度が下降すれば、反対側である内側に変形されねばならない。すなわち、熱変形プレート150の変形は、温度変化に対応して所定の方向性を有して起こらなければならない。熱変形プレート150の長さは、温度が上昇すれば、長くなり、温度が下降すれば、短くなるが、この際、光学流体125も、温度の変化によって体積が増加または減少するので、熱変形プレート150の変形は、本質的に前述した方向性を有しうる。しかし、全体的に平らに形成された熱変形プレート150の変位は、光学流体125の体積変化を十分に補償することができない可能性があり、特に、温度が下降する場合に、このような可能性はさらに増加する。一実施例で、中間側に延びた熱変形プレート150の部分は、常温で上側図3の水平ラインに対して上側に0.1°程度の角度を有しうる。他の実施例で、その角度は、8°であり得る。熱変形プレート150の変形の方向性を保証し、また十分な大きさの変形がなされるように、光学装置100の熱変形プレート150には、外側図3では、上側に所定の大きさd1ほど凸状convexcurvatureにさせる初期変形initialdeformationが付与されうる。凸状を有する熱変形プレート150は、温度が増加すれば、寸法が増加してさらに凸状になる一方、温度が減少すれば、寸法が減少して凸状の程度が小さくなるか、または平らな状態になりうる。初期変形の大きさd1は、約25μmないし200μmであり得るが、光学装置100の大きさによって、初期変形の大きさd1は変わりうる。例えば、内部空間の大きさが、約5.3mm×5.3mm×0.3mm横×縦×高さであり、レンズ部の直径が、約2.4mmであり、熱変形プレート150の厚さが、約300μmである光学装置の場合に、初期変形の大きさd1は、約50μmないし200μmになりうる。熱変形プレート150に付与された初期変形は、特に、温度が下降する場合に、光学流体125の体積減少がより効率的に補償されるようにする。すなわち、熱変形プレート150は、温度が下降する場合に、凸状に突出された中心部がより平らな形状に近くなるように変形すなわち、寸法が小さくなる方向に変形されることによって、内部空間の体積が減少するように変形されうる。これとは違って、初期変形のない平らな熱変形プレートは、温度が減少しても、光学流体125の体積減少に対応する十分な量ほどの内部空間の体積が減少するように変形されにくい。図4A及び図4Bは、温度の変化による図3の光学装置100に表われる構造変化を例示的に示す断面図であって、例えば、図4Aは、温度が20°Cから60°Cに上昇した場合であり、図4Bは、温度が20°Cから-20°Cに下降した場合である。図4Aを参照すると、温度が上昇すれば、光学装置100の熱変形プレート150は、外側にさらに突出するように変位が増加しd1<d2、図4Bを参照すると、温度が下降すれば、光学装置100の熱変形プレート150は、内側に変形を行って変位が減少するか、または平らな状態になりうる。そして、温度の変化にもかかわらず、光学装置100のレンズ面、すなわち、レンズ部に対応する弾性膜130は、そのプロファイルにほとんど変化がないか、許容可能な範囲以内になりうる。光学装置100では、レンズ部に対応する熱変形プレート150の部分、すなわち、中心部は、実質的に平らな形状を有する。そして、中心部が平らな熱変形プレート150の形状は、温度の変化にもかかわらず、そのまま保持させなければならない。これは、熱変形プレート150による入射光の屈折を防止するか、または屈折量を最小化するためであるが、そのために、平らな形状を有する熱変形プレート150の中心部は、少なくともレンズ部をカバーする大きさを有する。熱変形プレート150の中心部が平らな形状になり、また温度の変化にもかかわらず、平らな形状を保持できるように、光学装置100は、レンズ部に対応する位置に配された変形防止部材をさらに含みうる。図5A及び図5Bは、それぞれ変形防止部材をさらに含む光学装置100′、100′′の構造を示す断面図である。図5A及び図5Bを参照すると、光学装置100′は、熱変形プレート150にエンベデッドembeddedされた変形防止部材160または熱変形プレート150の一部を構成する変形防止部材160′をさらに含むという点で、図3に示された光学装置100の構造と差がある。変形防止部材160、160′は、熱変形プレート150、特に、レンズ部に対応する熱変形プレート150の部分の変形を防止するためのものであるので、硬くてrigid透明な材質の物質で形成される。例えば、変形防止部材160、160′は、透明なガラス、透明なポリイミドpolyimide、または透明なポリエーテルスルホンpolyethersulfone、PESなどで形成される。そして、変形防止部材160、160′は、レンズ部の形状に対応するように円形状を有するか、またはレンズ部をいずれもカバーする大きさを有する四角形や他の多角形状になることもある。他の具現例で、変形防止部材160、160′は、熱変形プレート150として使われるPDMS物質よりさらに硬化力が強い硬化剤で硬化させたPDMS物質で作られうる。図5Aに示したように、変形防止部材160は、熱変形プレート150の内部、例えば、下側にエンベデッドされうる。変形防止部材160が、熱変形プレート150の内部にエンベデッドされれば、空気や水蒸気などと接触を行うことが防止されうるので、使える材料に対する制限例えば、耐湿性を、その分だけ減らすことができる。この場合に、変形防止部材160は、熱変形プレート150より厚さがさらに小さな厚さに形成されることもある。例えば、変形防止部材160の厚さは、熱変形プレート150の厚さの約1/4ないし3/4約50μmないし300μmであり得るが、これは単に例示的なものである。これとは違って、変形防止部材160は、熱変形プレート150の上面及び/または下面にさらに付着されることもある。または、図5Bに示したように、変形防止部材160′は、熱変形プレート150のような厚さに形成されることもある。この場合に、変形防止部材160′は、レンズ部に対応する熱変形プレート150の部分を代替しうる。前者後者の場合でも、変形防止部材160′は、大気や光学流体125などに露出されうるので、耐湿性及び耐化学性がある物質で形成することが望ましい。次いで、図1ないし図3を参照すると、スペーサフレーム110の大きさに対応する大きさを有する熱変形プレート150図5Aまたは図5Bに示したように、変形防止部材160、160′がさらに備えられることもあるは、所定の接着剤152を用いてスペーサフレーム110に付着されうる。接着剤152としては、例えば、紫外線硬化エポキシ接着剤UltraVioletUVcurableepoxyadhesiveが使われうるが、これは単に例示的なものである。例えば、スぺーサフレーム110と熱変形プレート150のそれぞれの材質を考慮して、これらを効果的に接着させることができる他種の接着手段が紫外線硬化エポキシ接着剤152の代わりにするか、またはこれにさらに使われる。図6は、図3に示された光学装置100の変形例を示す光学装置100′′′の断面図である。図6を参照すると、光学装置100′′′は、熱変形プレート150がスペーサフレーム110より強力で容易に接着されるように、接着剤152の以外に接着補助パターン154をさらに含む。このような接着補助パターン154は、熱変形プレート150とスペーサフレーム110より正確には、接着剤152との界面に介在されうるが、接着補助パターン154の材質は、スペーサフレーム110と熱変形プレート150のそれぞれの材質によって変わりうる。例えば、スペーサフレーム110がシリコンで形成され、熱変形プレート150がPDMSのようなシリコン弾性重合体で形成される場合に、接着補助パターン154は、シリコン酸化物siliconoxideやシリコン窒化物siliconnitrideのようなシリコン化合物で形成される。シリコン化合物で形成された接着補助パターン154は、構成分子の構造及び化学的特性などがシリコンフレームとは異なるシリコン弾性重合体の低い接着特性を補充するためのものである。そのために、熱変形プレート150の表面上には、縁部にシリコン酸化物などで接着補助パターン154を形成しうる。接着補助パターン154を形成する方法には、特別な制限もないが、例えば、パターン転写法を用いて接着補助パターン154を熱変形プレート150の縁部に形成しうる。より具体的に、まずパターン転写離型が可能な基板上にシリコン酸化物などで接着補助パターンを形成する。接着補助パターン154は、熱変形プレート150とスペーサフレーム110との界面を考慮して、適切な形状と幅とに形成される。そして、パターンが転写される位置の熱変形プレート150の表面をプラズマ処理例えば、酸素を処理ガスとして利用するプラズマ処理した後、表面処理された熱変形プレート150を準備された接着補助パターン154が形成された基板と接触させることによって、熱変形プレート150側にパターン転写がなされるようにする。図7は、本発明の他の実施形態による光学装置の構造を示す断面図である。図7を参照すると、光学装置200は、スペーサフレーム210、弾性膜220、熱変形プレート250、フランジ部270、及び光学流体225を含み、またアクチュエータ230とアクチュエータフレーム240とをさらに含みうる。図7に示された光学装置200も、常温例えば、20°Cでの光学装置の形状を示すものであるが、光学装置200は、フランジ部270をさらに含むという点で、図1ないし図3を参照して前述した光学装置100と本質的に差がある。以下、前述した光学装置100との差異点を中心に光学装置200に関して説明する。したがって、以下で具体的に説明されていない事項は、前述した光学装置100に対する事項が同様に適用可能である。スペーサフレーム210は、所定の内部空間を形成するが、内部空間の側面を取り囲む側壁212を含み、この内部空間を互いに連通するレンズ部と駆動部とに区画するパーティション214をさらに含むこともできる。そして、光学流体225は、スペーサフレーム210に限定された内部空間、すなわち、駆動部とレンズ部とに満たされ、内部空間に満たされた光学流体225は、スペーサフレーム210の両側の外面上に付着または配されている弾性膜220と熱変形プレート250とによって密封される。そして、駆動部に対応する位置の弾性膜220上には、ポリマーアクチュエータ230が配され、ポリマーアクチュエータ230は、その上側に配されたアクチュエータフレーム240によってスペーサフレーム210に固定されうる。熱変形プレート250は、透明な単一物質で形成されるが、弾性膜220が付着されている方向の反対側方向のスペーサフレーム210の外面上に付着されている。熱変形プレート250は、図4Bに示された光学装置100のように全体が平らな形状であるか、または図5Aに示された光学装置100′のようにレンズ部に対応する部分のみ外側図7では、上側に突出された形状であり得る。但し、スペーサフレーム110のような大きさ広さを有する前述した光学装置100、100′の熱変形プレート150とは異なって、光学装置200の熱変形プレート250は、スペーサフレーム210より大きさが小さい。より具体的に、熱変形プレート250の大きさは、内部空間の大きさに対応し、熱変形プレート250の縁部すなわち、スペーサフレーム210と熱変形プレート250との大きさの差に該当するスペーサフレーム210の側壁212部分には、フランジ部270が追加的に配されている。すなわち、スペーサフレーム210の側壁に対応するように、環状例えば、四角形の環状に形成されたフランジ部270の内側に熱変形プレート250が配されている。フランジ部270は、スペーサフレーム210と接合特性に優れ、またスペーサフレーム210を形成する物質例えば、シリコンと熱膨張係数とが類似している物質で形成しうる。例えば、フランジ部270は、ガラスで形成することができるが、これは単に例示的であり、シリコンを主成分とする他の物質で形成されることもある。フランジ部270を形成するガラスは、スペーサフレーム210を形成するシリコンと分子構造及び化学的特性が類似しているので、フランジ部270とスペーサフレーム210は、紫外線硬化エポキシ接着剤のような通常の接着剤252のみを使って十分な接合が可能である。したがって、接着力の向上のために、接着補助パターン図6参照がフランジ部270とスペーサフレーム210との界面にさらに介在される必要のないこともある。同時に、約3.5ppm/°Cの熱膨張率を有するガラスで形成されたフランジ部270と約2.6ppm/°Cの熱膨張率を有するシリコンで形成されたスペーサフレーム210は、熱膨張率の差が小さい。熱膨張率の差が小さいということは、温度変化時に膨張するか、減少する程度も互いに類似しているということを意味する。したがって、スペーサフレーム210とフランジ部270との間の界面では、熱膨張率差によるストレスが誘発されないので、光学装置200は、熱衝撃に対して高い信頼性を有しうる。そして、フランジ部270は、スペーサフレーム210と同様に、熱膨張率が小さな物質で形成されるので、約300μmに厚さが薄いスペーサフレーム210が高温例えば、約250°Cのリフローreflow工程で熱衝撃によって反るか、または破壊される現象warpageandbreakdownも防止することができる。そして、フランジ部270と熱変形プレート250との界面252は、外側、すなわち、スペーサフレーム210に対して反対側図7では、上側に行くほどフランジ部270の幅が狭くなり、熱変形プレート250の幅が広くなるように所定の角度θで傾斜を有しうる。フランジ部270と熱変形プレート250との間の界面272が有する傾斜θは、外側に凸状を有する熱変形プレート250に界面傾斜がない場合θ=90°に比べて、温度の変化特に、温度の上昇による熱変形プレート250の変形がより容易に起こるようにする。それだけではなく、所定の傾斜を有する界面272は、熱膨張係数の差が大きいフランジ部270と熱変形プレート250との間で誘発される熱的ストレスも減少させることができる。界面272の傾斜θは、約30°ないし90°であり得るが、これは単に例示的なものである。図8A及び図8Bは、それぞれ図7の光学装置200に含まれるフランジ部の形状を例示的に示す斜視図である。図8A及び図8Bを参照すると、フランジ部270′、270′′は、熱変形プレート250と界面を形成する内側面が所定の傾斜図面で上側に行くほどフランジ部270′、270′′の幅が狭くなるを有するということが分かる。但し、図8Aのフランジ部270′は、内側面が円状である場合であり、また図8Bのフランジ部270′′は、内側面が四角形である場合である。前者の場合図8A参照は、熱変形プレート250が光軸に対して対称であるので、熱変形プレート250が光軸に対して対称になるように変形されうる。そして、後者の場合図8B参照は、熱変形プレート250がスペーサフレームによって限定される内部空間のような四角形状を有するので、製造工程が容易である。そして、光学装置200も、レンズ部に対応する熱変形プレート250の部分は実質的に平らな形状を有しうる。また、光学装置200は、レンズ部に対応する部分の熱変形プレート250に配された変形防止部材260をさらに含みうる。変形防止部材260は、熱変形プレート250より小さな厚さを有して熱変形プレート250の内部に配置される。例えば、変形防止部材260は、熱変形プレート250の下側に位置することができる。または、図9Aに示したように、変形防止部材260′が、熱変形プレート250の中間部分に位置するか、または図9Bに示したように、変形防止部材260′′は、熱変形プレート250の上側に位置することもできる。次いで、前述した実施形態による光学装置を利用したシミュレーション及び実験結果について説明する。シミュレーションは、有限要素解析FiniteElementAnalysis、FEA専用ソフトウェアであるABAQUSVer.6.8CAEStandardが使われたが、非線形ジオメトリnonlineargeometryを考慮して線形熱弾性変形linearthermal-elasticdeformation解析を行い、光学流体による圧力は無視した。シミュレーションでは、図7を参照して説明した光学装置200が使われ、光学装置200の細部的な大きさの一部は、図10に示されている。図10で、光学装置200のスペーサフレーム210は、横×縦×高さが約7mm×7mm×330μmの大きさを有する直方体状であり、スペーサフレーム210によって形成される内部空間は、横×縦×高さが約4.9mm×4.9mm×330μmであり、そのうち、レンズ部は、直径が約2.4mmである円形状を有する。そして、熱変形プレート250とフランジ部270との間の界面272は、約58 ゚の傾斜を有する。そして、熱変形プレート250は、1.0MPaのヤング率Young’sModulus、300ppm/°Cの熱膨張係数、及び300μmの厚さを有するPDMSプレートで形成するが、中心部が縁部より約120μm突出するように初期変形を付与し、変形防止部材260は、3.2Gpaのヤング率、58ppm/°Cの熱膨張係数、及び200μmの厚さを有するポリイミドで形成し、光学流体225としては、330ppm/°Cの熱膨張率を有するシリコンオイルを使った。そして、温度変化は、20°Cを基準温度にして電子機器光学装置の動作温度範囲-20°C~60°C内で行われた。表1は、シミュレーション結果であって、温度を変化させた場合に、熱変形プレートとレンズ面との変位を示す。表1を参照すると、温度を20°Cから60°Cに上昇した場合に、熱変形プレートは、約51.1μmがさらに突出するが、レンズ面は、変位が約-6.3μmになるということが分かる。そして、温度を20°Cから-20°Cに下降した場合に、熱変形プレートは、約-39.2μm陥入されるが、レンズ面は、変位が約7.8μmになるということが分かる。このようなレンズ面の変位は、許容される所定の臨界値±15μmより小さいということが分かる。以上の説明は、本発明の実施形態に過ぎず、この実施形態によって、本発明の技術思想が限定されると解析されてはならない。本発明の技術思想は、特許請求の範囲に記載の発明によってのみ特定されなければならない。したがって、本発明の技術思想を外れない範囲で前述した実施形態は、多様な形態で変形されて具現可能であるということは、当業者に自明である。