ノズル開口に連通する第1圧力室と、前記第1圧力室の上流側に設けられた第2圧力室と、前記第1圧力室と前記第2圧力室の間に設けられ、前記第2圧力室から前記第1圧力室への流体の流れだけを許容する第1逆止弁と、前記第2圧力室の上流側に設けられ、前記上流側からの前記第2圧力室への流体の流れだけを許容する第2逆止弁と、前記第1圧力室に対応して設けられ、前記第1圧力室に圧力変動を与えて前記ノズル開口から流体を吐出させる第1圧力発生手段と、前記第2圧力室に対応して設けられ、前記第1圧力室に圧力変動を与えて前記第1圧力室に流体を送る第2圧力発生手段とを備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項1に記載の液体噴射ヘッドにおいて、前記ノズル開口が複数備えられ、前記第1圧力室及び前記第2圧力室が前記複数の前記ノズル開口毎に備えられ、前記第2圧力室の上流側は、前記複数の前記ノズル開口から吐出する流体のリザーバーであり、前記第2圧力発生手段が個別に駆動されることで、前記第2圧力室から前記第1圧力室に個別に前記流体が送られることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項2に記載の液体噴射ヘッドにおいて、前記第2圧力室から前記第1圧力室に個別に前記流体が送られることで前記ノズル開口から個別に前記流体を吐出させることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項2もしくは請求項3に記載の液体噴射ヘッドにおいて、前記第2圧力室から前記第1圧力室に個別に前記流体が送られることで前記第1圧力室に流体を充填することを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項1から請求項4に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドの前記第2圧力室の上流側に流体を供給する流体源とを備えたことを特徴とする液体噴射装置。本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、ノズル開口単体で圧力室から流体を押し出すことができると共にノズル開口単体で圧力室に流体を充填することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するための本発明の液体噴射ヘッドは、ノズル開口に連通する第1圧力室と、前記第1圧力室の上流側に設けられた第2圧力室と、前記第1圧力室と前記第2圧力室の間に設けられ、前記第2圧力室から前記第1圧力室への流体の流れだけを許容する第1逆止弁と、前記第2圧力室の上流側に設けられ、前記上流側からの前記第2圧力室への流体の流れだけを許容する第2逆止弁と、前記第1圧力室に対応して設けられ、前記第1圧力室に圧力変動を与えて前記ノズル開口から流体を吐出させる第1圧力発生手段と、前記第2圧力室に対応して設けられ、前記第1圧力室に圧力変動を与えて前記第1圧力室に流体を送る第2圧力発生手段とを備えたことを特徴とする。これにより、通常時には、第1圧力発生手段で第1圧力室に圧力変動を与えてもしくは、第2圧力発生手段で第2圧力室に圧力変動を与える動作を加えて、ノズル開口から流体を吐出させ、クリーニングを行う時、及び、第1圧力室にインクを充填する時には、第2圧力発生手段で第2圧力室に圧力変動を与え、第2逆止弁で上流側への流体の流通を阻止した状態で、第2圧力室の流体空気を含むを第1圧力室に送る。このため、ノズル開口単体で圧力室から流体を押し出すことが可能になると共にノズル開口単体で圧力室に流体を充填することが可能になり、無駄な流体の消費を抑制することが可能になると共に専用の動力を備えることなく流体の初期充填が可能になる。第1圧力室及び第2圧力室を備えた液体噴射ヘッドとして、特開平1-169650号公報特開2001-353872号公報特開2009-226929号公報等に開示された技術が知られている。これらの技術は、第1圧力室及び第2圧力室を備え、駆動周波数を高く維持してインク滴を吐出することができるように制御する技術である。このため、逆止弁を備えて第1圧力室側だけに流体を送る思想は存在しない技術であり、本願発明とは分野の異なる技術であるといえる。また、本発明の液体噴射ヘッドは、前記ノズル開口が複数備えられ、前記第1圧力室及び前記第2圧力室が前記複数の前記ノズル開口毎に備えられ、前記第2圧力室の上流側は、前記複数の前記ノズル開口から吐出する流体のリザーバーであり、前記第2圧力発生手段が個別に駆動されることで、前記第2圧力室から前記第1圧力室に個別に前記流体が送られることを特徴とする。これにより、リザーバー側が負圧になっていても、ノズル開口単体で第1圧力室から流体を押し出すことができると共にノズル開口単体で第1圧力室に流体を充填することができる。また、本発明の液体噴射ヘッドは、前記第2圧力室から前記第1圧力室に個別に前記流体が送られることで前記ノズル開口から個別に前記流体を吐出させることを特徴とする。また、本発明の液体噴射ヘッドは、前記第2圧力室から前記第1圧力室に個別に前記流体が送られることで前記第1圧力室に流体を充填することを特徴とする。これにより、ノズル開口単体で第2圧力室から第1圧力室に個別に流体が送られて第1圧力室から流体を押し出すことでインク流路のクリーニングを行い、ノズル開口単体で第2圧力室から第1圧力室に個別に流体空気を含むが送られることで第1圧力室に流体を充填する。上記目的を達成するための本発明の液体噴射装置は上記液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドの前記第2圧力室の上流側に流体を供給する流体源とを備えたことを特徴とする。これにより、ノズル開口単体で圧力室から流体を押し出すことができると共にノズル開口単体で圧力室に流体を充填することができる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置とすることができる。図1には本発明の一実施例に係るインクジェット式記録装置の全体構成、図2にはインク噴射ヘッドの概略構成を示す分解斜視、図3にはインク噴射ヘッドの概略構成を示す断面を示してある。図1に基づいてインクジェット式記録装置を説明する。図に示すように、液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置1は、インクカートリッジ2が搭載されるキャリッジ3やキャリッジ3に取り付けられた液体噴射ヘッドとしてのインク噴射ヘッド5を有している。キャリッジ3はタイミングベルト6を介してステッピングモーター7に接続され、ガイドバー8に案内されて記録紙9の紙幅方向主走査方向に往復移動するようになっている。キャリッジ3は上部に開放する箱型をなし、記録紙9と対面する面下面にインク噴射ヘッド5のノズル開口面が露呈するよう取り付けられると共に、インクカートリッジ2が収容されるようになっている。インク噴射ヘッド5はキャリッジ3を移動し、インク噴射ヘッド5にはインクカートリッジ2から液体としてインクが供給され、キャリッジ3を移動させながら記録紙9の上面にインク滴を吐出させて記録紙9に画像や文字をドットマトリックスにより印刷するようになっているインクを噴射する位置。図1中の符号で、10は印刷休止中にインク噴射ヘッド5のノズル開口を封止することによりノズル開口の乾燥を防止すると共にインク噴射ヘッド5のノズル開口面に負圧を作用させてクリーニング動作をするキャップであり、11はインク噴射ヘッド5のノズル開口面をワイピングするワイパーブレードであり、12はクリーニング動作で吸引した廃インクを貯留する廃インク貯留部であり、13はインクジェット式記録装置1の動作を制御する制御装置である。図2、図3に基づいてインク噴射ヘッドを説明する。インク噴射ヘッド5を構成する、例えば、シリコン製の流路形成基板21の一方の面には弾性膜22が備えられ、流路形成基板21には、複数の隔壁23と仕切り壁24によって区画された第1圧力室としての第1圧力発生室25及び第2圧力室としての第2圧力発生室26が並設されている。流路形成基板21の一端側には上流側仕切り壁27が設けられ、上流側仕切り壁27により、第1圧力発生室25及び第2圧力発生室26の共通のインク室となる連通部28が形成されている。流路形成基板21の開口面側図中下面側には、ノズル開口プレート31が接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。ノズル開口プレート31には第1圧力発生室25に連通するノズル開口32が穿設されている。ノズル開口プレート31は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼などで形成される。流路形成基板21の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜22が形成され、第1圧力発生室25に対応する弾性膜22の上には、下電極膜、圧電体層、上電極膜で構成される第1圧力発生手段としての第1圧電素子34が設けられている。また、第2圧力発生室26に対応する弾性膜22の上には、下電極膜、圧電体層、上電極膜で構成される第2圧力発生手段としての第2圧電素子35が設けられている。尚、圧力発生手段として圧電素子を適用した例を挙げて説明したが、圧力発生手段としては、薄膜を積層した圧電素子やバルク状態の圧電素子、発熱素子、圧電材料と電極板部材とを積層した縦振動形の圧電素子等、種々の振動素子を適用することが可能である。第1圧電素子34には電極36が設けられ、第2圧電素子35には個別電極37が設けられ、図示しない駆動IC等に接続されている。第1圧電素子34に駆動信号が印加されることにより弾性膜22を介して第1圧力発生室25に圧力変動が生じる。第2圧電素子35に駆動信号が印加されることにより弾性膜22を介して第2圧力発生室26に圧力変動が生じる。電極36は全ての第1圧電素子34に対して共通の電極でもよいし、第1圧電素子34毎の個別電極でもよい。流路形成基板21の上には保護基板38が接合され、保護基板38には第1圧電素子34及び第2圧電素子35を保護するための圧電素子保護部39が設けられている。第1圧電素子34及び第2圧電素子35は圧電素子保護部39の内部に配され、外部環境の影響を受けにくい状態で保護されている。また、保護基板38には連通部28に連通するリザーバー40が設けられている。リザーバー40の上部は封止膜30で封止されている。保護基板38の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板21の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることが好ましい。ノズル開口プレート31は、上プレート41及び下プレート42が接合されて形成され、ノズル開口32が上プレート41及び下プレート42にわたり形成されている。仕切り壁24に対応する部位の下プレート42には第1流路凹部43が形成され、第1流路凹部43の前後における上プレート41には第1流出口44及び第1流入口45が形成されている。第2仕切り壁27に対応する部位の下プレート42には第2流路凹部46が形成され、第2流路凹部46の前後における上プレート41には第2流出口47及び第2流入口48が形成されている。仕切り壁24に対応する部位のノズル開口プレート31に、第1圧力発生室25と第2圧力発生室26を連通する第1流路51が形成される。また、第2仕切り壁27に対応する部位のノズル開口プレート31に、第2圧力発生室26と連通部28上流側を連通する第2流路52が形成されている。第1流路51の第1流出口44には第1逆止弁54が設けられ、第1逆止弁54は第2圧力発生室26から第1圧力発生室25側へのインクの流通が許容される。第2流路52の第2流出口47には第2逆止弁55が設けられ、第2逆止弁55は連通部28上流側から第2圧力発生室26側へのインクの流通が許容される。第1逆止弁54及び第2逆止弁55は薄膜により形成され、第1逆止弁54を構成する薄膜が仕切り壁24と上プレート41の間に接合され、第2逆止弁55を構成する薄膜が第2仕切り壁27と上プレート41の間に接合されている。尚、第1逆止弁54及び第2逆止弁55としては、ボールやフロート材等の弁体を備えた逆止弁を適用することも可能である。上述したインク噴射ヘッド5を備えたインクジェット式記録装置1で通常の印刷を行う場合、第1圧電素子34に駆動信号を印加することにより第1圧力発生室25に圧力変動を与え、連通部28から第2圧力発生室26を通して第1圧力発生室25にインクを送ると共に第1圧力発生室25内のインクをノズル開口32から吐出させる。もしくは、第2圧電素子35にも駆動信号を印加して第2圧力発生室26に圧力変動を与えると共に、第1圧力発生室25に圧力変動を与え、連通部28から第2圧力発生室26にインクを送り、第2圧力発生室26内のインクを第1圧力発生室25に送ると共に第1圧力発生室25内のインクをノズル開口32から吐出させる。第1圧力発生室25に残留する劣化したインクを排出したり、ノズル開口32に付着したインクを排出する場合、インクの排出の対象となる第1圧力発生室25ノズル開口32に対応した第2圧力発生室26の第2圧電素子35に個別に駆動信号を印加して第2圧力発生室26の圧力を高くする。第2圧力発生室26の流体は第2逆止弁55により連通部28側への移動が阻止され、第1逆止弁54を介してインクの排出の対象となる第1圧力発生室25だけに送られる。これにより、一つの第1圧力発生室25内のインクが個別にノズル開口32から押し出され、劣化したインクやノズル開口32に付着したインクが排出される。従って、単体のノズル開口32を対象として第1圧力発生室25からインクを押し出すことが可能になりクリーニング時に全ての第1圧力発生室25からインクを押し出す必要がなくなり、無駄なインクの消費を抑制してクリーニングを行うことができる。また、クリーニングのための動力を別途備える必要がない。そして、第2逆止弁55で連通部28側へのインク流体の流通を阻止した状態で、第2圧力発生室26のインク空気を含むを第1圧力発生室25に送ることができるので、専用の動力を備えることなく、第2圧力発生室26の圧力変動によりインクの初期充填を行うことができる。尚、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED電界放出ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。