触針式表面粗さ測定機を含む触針式の輪郭形状測定機を使用して、ナイフエッジの先端部の稜線に直交する断面を、先端に球体を有する第1触針でトレースすることで測定し、その概円弧状に並ぶ測定点列に対して最小二乗円のあてはめによってその半径を第1測定値として算出し、前記輪郭形状測定機を使用して、前記ナイフエッジの先端部の稜線に直交する前記断面を、先端に球体を有する第2触針でトレースすることで測定し、その概円弧状に並ぶ測定点列に対して最小二乗円のあてはめによってその半径を第2測定値として算出し、前記輪郭形状測定機を使用して、前記第1触針と前記第2触針の一方の先端部の頂点を含む断面を、前記第1触針と前記第2触針の他方でトレースすることで測定し、その概円弧状に並ぶ測定点列に対して最小二乗円のあてはめによってその半径を第3測定値として算出し、前記第1測定値と前記第2測定値の和から前記第3測定値を減算した値の1/2を算出し、前記ナイフエッジの先端部の半径とすることを特徴とするナイフエッジ先端部の半径測定方法。前記請求項1の方法に於いて、それぞれの最小二乗円の直径値を第1測定値、第2測定値及び第3測定値として、第1測定値と第2測定値の和から第3測定値を減算した値の1/4を算出し、前記ナイフエッジの先端部の半径とすることを特徴とするナイフエッジ先端部の半径測定方法。前記第1触針および前記第2触針の先端部に取り付けられる球体の中心の測定軌跡がなす概円弧状に並ぶ測定点列に対して最小二乗円のあてはめを適用することを特長とする請求項1記載、または請求項2記載のナイフエッジ先端部の半径測定方法。前記第1触針および前記第2触針は、球体を、先端部に取り付けたものである請求項1記載のナイフエッジ先端部の半径測定方法。上記のように、電子顕微鏡およびAFMは、高価な計測機であり、一般に普及している計測機ではない。そのため、このような計測機を使用して形状を保証することは容易でなく、一般に普及している計測機を活用して、安価で簡単な方法によって正確な校正結果を提供できることが求められている。本発明は、普及している測定機を使用して、簡単な方法で、ナイフエッジ先端部の半径を正確に測定できる測定方法を実現することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明のナイフエッジ先端部の半径測定方法は、真円度の小さいものが容易に入手可能な球体を先端に取り付けた2個の触針を用意し、輪郭形状測定機を使用して、2個の触針でナイフエッジを測定し、さらに2個の触針の一方で他方を測定し、それらの測定結果からナイフエッジの半径を算出する。すなわち、本発明のナイフエッジ先端部の半径測定方法は、輪郭形状測定機を使用して、ナイフエッジの先端部の稜線に直交する断面を、先端に球体を有する第1触針で測定し、測定値から最小二乗円の半径を第1測定値として算出し、前記輪郭形状測定機を使用して、前記ナイフエッジの先端部の稜線に直交する前記断面を、先端に球体を有する第2触針で測定し、測定値から最小二乗円の半径を第2測定値として算出し、前記輪郭形状測定機を使用して、前記第1触針と前記第2触針の一方の先端部の頂点を含む断面を、前記第1触針と前記第2触針の他方で測定し、測定値から最小二乗円の半径を第3測定値として算出し、前記第1測定値と前記第2測定値の和から前記第3測定値を減算した値の1/2を算出し、前記ナイフエッジの先端部の半径とすることを特徴とする。球体は、各種用途に広く使用されており、真円度の小さいものが容易に入手可能である。また、球体の真円度は、真円度測定機により正確に測定することが可能である。このような球体を触針の先端に取り付けたものは、容易に用意することが可能である。球体は、例えば、接着により触針の先端に取り付けることができる。輪郭形状測定機を使用して、このような方法で用意した2つの触針で、ナイフエッジの先端部をトレースして得られた測定値から、それぞれ最小二乗円の半径を算出できる。さらに、輪郭形状測定機を使用して、第1触針と第2触針の一方の先端部を、第1触針と第2触針の他方でトレースして得られた測定値から、最小二乗円の半径を算出できる。この場合、輪郭形状測定機の位置調整機能を利用して、第1触針の球体と第2触針の球体の中心をできるだけ測定する断面上に一致させることが重要である。以上のようにして算出した3つの最小二乗円の半径から、簡単な式でナイフエッジの先端部の半径を算出できる。本発明によれば、ナイフエッジの先端部の半径の測定に於いて、原子間力顕微鏡AFMなどの高価な計測機を使用せずとも、容易に入手可能な真円度の小さい球体と、広く普及している輪郭形状測定機とを使用して測定でき、触針の先端に取り付けられた球体の径の校正値に含まれる不確かさを排除したナイフエッジの先端部の半径の測定値を得ることができる。図3は、実施形態で使用する2個の球体と、それを先端部に取り付けた触針を示す図であり、Aは第1の球体31を、Bは第2の球体32を、Cは第1触針33に球体31を取り付けた状態を示す。第1の球体31および第2の球体32は、できるだけ小さな半径のものであることが望ましい。図3のCに示すように、球体31は、第1触針33に接着剤35で接着または蝋付けなどの方法で固定されて取り付けられる。また、球体32も、同様に第2触針34に接着剤で接着または蝋付けなどの方法で固定されて取り付けられる。第1および第2触針は、輪郭形状測定機で使用可能な形状であるように製作される。図4は、実施形態のナイフエッジ測定方法における処理手順を示すフローチャートである。また、図5は、実施形態のナイフエッジ測定方法における処理を説明する図である。以下の測定は、輪郭形状測定機を利用して行う。輪郭形状測定機は、形状解析データ処理ソフトウェアがインストールされている。これにより測定軌跡の概円弧状に並ぶ測定点列に最小二乗円をあてはめ、その半径値または直径値を求める。ステップS1では、図5のAに示すように、輪郭形状測定機の触針として第1触針33を取り付け、ナイフエッジ20をワーク台に配置し、ナイフエッジ20を、第1触針33で測定トレースして最小二乗円の半径Rkaを算出する。ナイフエッジ20のエッジ部の半径がRk、触針の先端部に取り付けられた球体の半径がRaであるとすると、Rka=RkRaとなる。なお、図5のAおよびBでは、図示の都合で、Rkがある程度の大きさである場合を示したが、実際のナイフエッジのRkは非常に小さい。ステップS2では、図5のBに示すように、輪郭形状測定機の触針として第2触針34を取り付け、ナイフエッジ20をワーク台に配置し、ナイフエッジ20を、第2触針34で測定トレースして最小二乗円の半径Rkbを算出する。この場合、Rkb=RkRbとなる。ステップS3では、図5のCに示すように、輪郭形状測定機の触針として第2触針34を取り付け、第1触針33をワーク台に配置し、第2触針34で第1触針33を測定トレースして最小二乗円の半径Rabを算出する。この際、トレース時に、第2触針34の先端の球体32の頂点が、第1触針33の先端の球体31の頂点を通過するように、輪郭形状測定機の位置調整機構を利用して、第1触針33と第2触針34の相対位置を調整する。必要に応じて、位置を少しずつシフトしながら、複数回のトレースを行い、最小二乗円の半径が最大になる測定結果を採用するようにしてもよい。この場合、Rab=RaRbとなる。なお、ステップS3で、第1触針33で第2触針34を測定するようにしてもよく、その場合でも、最小二乗円の半径Rab=RaRbとなる。ステップS4では、ナイフエッジの半径Rkを、Rk=RkaRkb-Rab/2の式にしたがって算出する。この式は、RkaRkb-Rab=RkRaRkRb-RaRb=2Rkから容易に求まる。以上説明したように、実施形態によれば、普及している測定機を使用して、簡単な方法で、ナイフエッジ先端部の半径を正確に測定できる。ナイフエッジはJISB0659-1およびISO5436-1に標準片の一つ、タイプB3として規定されており、触針スタイラスの先端の半径を校正する場合に広く使用されている。したがって、表面粗さ測定機を例として説明したが、それに限らず、本発明は、触針式輪郭形状測定機、座標測定機などのスタイラスに対しても、ナイフエッジを基準として校正結果を得る場合に、効果がある。以上、本発明の実施例を説明したが、各所の変形例が可能であるのはいうまでもない。