"少なくともA1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、A2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、B架橋ポリマー粒子、C熱硬化性樹脂、D光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。前記B架橋ポリマー粒子の平均粒子径が、1~10μmであることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。前記B架橋ポリマー粒子の配合量が、A1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂及びA2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂の合計100重量部に対して30~100重量部であることを特徴とする請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。前記B架橋ポリマー粒子が、分子内にウレタン結合を含有する架橋ポリマー粒子であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。更にEリン系難燃剤を含有することを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。前記Eリン系難燃剤が、ホスフィン酸塩であることを特徴とする請求項5に記載の感光性樹脂組成物。前記C熱硬化性樹脂が、多官能エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。少なくとも請求項1~7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を基材表面に塗布した後、乾燥して得られた樹脂フィルム。請求項8に記載の樹脂フィルムを硬化させて得られる絶縁膜。請求項9に記載の絶縁膜がプリント配線板に被覆された絶縁膜付きプリント配線板。上記特許文献では、感光性ソルダーレジストの課題を解決する種々の方法が提案されている。しかし、特許文献1に記載されている感光性樹脂組成物は、柔軟骨格を含有するエチレン性不飽和結合を有するウレタン化合物及び芳香族リン酸エステルを含有するため感度、解像度、耐折れ性、難燃性には優れるものの、電気絶縁信頼性、硬化膜からのブリードアウト、塗膜乾燥後のベタツキが大きくタックフリー性に劣るという問題があった。特許文献2に記載されているソルダーレジスト用インキ組成物は、ガラス転移温度が20°C以下のポリマー微粒子が分散しているため、塗膜のタックフリー性に優れ、クラックの発生や体積収縮による密着性の低下あるいは剥離が抑制されているものの、フレキシブルプリント配線板の絶縁保護膜として利用した場合、耐折れ性、難燃性に乏しく反りが大きいという問題があった。本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、少なくともA1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、A2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、B架橋ポリマー粒子、C熱硬化性樹脂、D光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物から、塗膜乾燥後のタックフリー性に優れ、感光性を有するため微細加工が可能であり、得られる硬化膜が柔軟性、難燃性、電気絶縁信頼性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい感光性樹脂組成物、樹脂フィルム、絶縁膜、絶縁膜付きプリント配線板が得られる知見を得、これらの知見に基づいて、本発明に達したものである。本願発明は以下の新規な構成の感光性樹脂組成物により上記課題を解決しうる。すなわち、本願発明は、少なくともA1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、A2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、B架橋ポリマー粒子、C熱硬化性樹脂、D光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記B架橋ポリマー粒子の平均粒子径が、1~10μmであることが好ましい。また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記B架橋ポリマー粒子の配合量が、A1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂及びA2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂の合計100重量部に対して30~100重量部であることが好ましい。また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記B架橋ポリマー粒子が、分子内にウレタン結合を含有する架橋ポリマー粒子であることが好ましい。また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、更にEリン系難燃剤を含有することが好ましい。また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記Eリン系難燃剤が、ホスフィン酸塩であることが好ましい。また、本願発明にかかる感光性樹脂組成物では、前記C熱硬化性樹脂が、多官能エポキシ樹脂であることが好ましい。また、本願発明にかかる樹脂フィルムは、上記感光性樹脂組成物を基材表面に塗布した後、乾燥して得られるものである。また、本願発明にかかる絶縁膜は、上記樹脂フィルムを硬化させて得られるものである。また、本願発明にかかる絶縁膜付きプリント配線板は、上記絶縁膜がプリント配線板に被覆されてなるものである。本願発明の感光性樹脂組成物は、以上のように、少なくともA1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、A2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、B架橋ポリマー粒子、C熱硬化性樹脂、D光重合開始剤を含有する構成を備えているので、本願発明の感光性樹脂組成物は、塗膜乾燥後のタックフリー性に優れ、感光性を有するため微細加工が可能であり、得られる硬化膜が柔軟性、難燃性、電気絶縁信頼性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい。従って、本願発明の感光性樹脂組成物は、種々の回路基板の保護膜等に使用でき、優れた効果を奏するものである。以下本願発明について、I感光性樹脂組成物、II感光性樹脂組成物の使用方法の順に詳細に説明する。I感光性樹脂組成物本願発明の感光性樹脂組成物とは、少なくともA1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、A2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、B架橋ポリマー粒子、C熱硬化性樹脂、D光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。ここで、本願発明の感光性樹脂組成物は、各種特性に優れる事を、本発明者らは見出したが、これは、以下の理由によるのではないかと推測している。つまり、A1成分である分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂は、ラジカル重合性基を実質的に含有しないためこれを含有する感光性樹脂組成物から得られる硬化膜の架橋点間距離が長くなり、更に柔軟性に優れるウレタン結合を含有するため柔軟性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、更に分子内にカルボキシル基を含有するためこれを含有する感光性樹脂組成物は微細パターン形成時の現像液であるアルカリ水溶液への溶解性に優れる。また、A1成分とA2成分である分子内にラジカル重合性基を含有するウレタン結合含有樹脂とを組み合わせることにより、柔軟性と感光性を高いレベルで両立することが可能となる。また、B成分である架橋ポリマー粒子は、塗膜表面に凹凸を設ける役割を果たすため、これを含有する感光性樹脂組成物から得られる塗膜乾燥後のタックフリー性に優れ、ポリマー粒子が軟質であるため塗膜の柔軟性低下を招かない。更に、ポリマー粒子が架橋構造を有するため耐熱性や耐薬品性に優れる。更に、驚くべきことに、一般的にはフィラー成分を高充填すると繰り返し折り曲げに耐える柔軟性が低下するが、A1、A2、及びB成分を組み合わせることにより、感光性に優れているにも拘らず、これらを含有する感光性樹脂組成物から得られる硬化膜が非常に柔らかく耐折れ性に優れるものになる。これは、架橋ポリマー粒子と硬化膜のマトリックスを構成するA1及びA2成分との親和性が、架橋ポリマー粒子が有機フィラーであるため無機フィラーと比べて良好であり、架橋ポリマー粒子表面からA1及びA2成分が内部に染み込むため、A1及びA2成分とB成分との界面で強固な接着性が得られるためではないかと推測している。以下A1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂、A2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂、B架橋ポリマー粒子、C熱硬化性樹脂、D光重合開始剤、Eリン系難燃剤、その他の成分、及び、感光性樹脂組成物の混合方法について説明する。<A1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂>本願発明のA1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂とは、分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、少なくとも1つのウレタン結合を含有する繰り返し単位及び少なくとも1つのカルボキシル基を含有する繰り返し単位を含有している、重量平均分子量が、ポリエチレングリコール換算で、1,000以上1,000,000以下のポリマーである。ここで、分子内にラジカル重合性基を実質的に含有しないとは、分子内にメタアクリロイル基やビニル基等のラジカル重合性基を全く含有しなくてもよいし、本願発明の効果の発現を損なわない範囲であれば含有していてもよい。本願発明の効果の発現を損なわない範囲とは、A1成分の分子内のラジカル重合性基をヨウ素価として測定することにより定量した値が5未満である。ヨウ素価とは、試料100gにハロゲンを反応させたとき、結合するハロゲンの量をヨウ素のg数に換算した値であり、JISK0070で規定された方法で測定することができる。本願発明のA1成分の分子量は、例えば、以下の方法で測定することができる。使用装置:東ソーHLC-8220GPC相当品カラム:東ソーTSKgelSuperAWM-H6.0mmI.D.×15cm×2本ガードカラム:東ソーTSKguardcolumnSuperAW-H溶離液:30mMLiBr20mMH3PO4inDMF流速:0.6mL/minカラム温度:40°C検出条件:RI:ポラリティ、レスポンス05sec試料濃度:約5mg/mL標準品:PEGポリエチレングリコール上記範囲内に重量平均分子量を制御することにより、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。重量平均分子量が1,000以下の場合は、柔軟性や耐薬品性が低下する場合があり、重量平均分子量が1,000,000以上の場合は感光性樹脂組成物のアルカリ現像性が低下し、粘度が高くなる場合がある。本願発明のA1成分のカルボキシル基含有量は、酸価として測定できる。A1成分の酸価は、50~200mgKOH/gとすることが好ましく、50~150mgKOH/gとすることがより好ましい。酸価が50mgKOH/gより小さい場合では感光性樹脂組成物のアルカリ現像性が低下する場合があり、200mgKOH/gより大きい場合では硬化膜の吸湿性が高くなり電気絶縁信頼性が低下する場合がある。本願発明のA1成分は、任意の反応により得ることが可能であるが、例えば、下記一般式1式中、R1は2価の有機基を示すで示されるジオール化合物、下記一般式2式中、R2は3価の有機基を示すで示される2つの水酸基及び1つのカルボキシル基を含有する化合物、及び下記一般式3式中、X1は2価の有機基を示すで示されるジイソシアネート化合物を反応させることにより、下記一般式4式中、R1は2価の有機基、R2は3価の有機基、X1は2価の有機基を示し、nは1以上の整数、mは1以上の整数を示すで示されるウレタン結合を含有する繰り返し単位を含有する構造として得られる。上記ジオール化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、1,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、3-メチル-1,5-ペンタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、1,8-オクタンジオール、2-メチル1,8-オクタンジオール、1,9-ノナンジオール、1,10-デカンジオール、1,4-シクロヘキサンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノール等のアルキレンジオール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、テトラメチレングリコールとネオペンチルグリコールとのランダム共重合体等のポリオキシアルキレンジオール、多価アルコールと多塩基酸とを反応させて得られるポリエステルジオール、カーボネート骨格を有するポリカーボネートジオール、γ-ブチルラクトン、ε-カプロラクトン、δ-バレロラクトン等のラクトン類を開環付加反応させて得られるポリカプロラクトンジオール、ビスフェノールA、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物、水添ビスフェノールA、水添ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物、水添ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。特に、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリオキシアルキレンジオール、ポリエステルジオール、ポリカーボネートジオール、ポリカプロラクトンジオール等の長鎖ジオールを用いた場合、感光性樹脂組成物を硬化させることにより得られる硬化膜の弾性率を低下させ、屈曲性、低反りに優れる点で好ましい。上記2つの水酸基及び1つのカルボキシル基を含有する化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸、2,2-ビス2-ヒドロキシエチルプロピオン酸、2,2-ビス3-ヒドロキシメプロピルプロピオン酸、2,3-ジヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸、2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸、2,2-ビス2-ヒドロキシエチルブタン酸、2,2-ビス3-ヒドロキシプロピルブタン酸、2,3-ジヒドロキシブタン酸、2,4-ジヒドロキシ-3,3-ジメチルブタン酸、2,3-ジヒドロキシヘキサデカン酸、2,3-ジヒドロキシ安息香酸、2,4-ジヒドロキシ安息香酸、2,5-ジヒドロキシ安息香酸、2,6-ジヒドロキシ安息香酸、3,4-ジヒドロキシ安息香酸、3,5-ジヒドロキシ安息香酸等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。特に、脂肪族系の2つの水酸基及び1つのカルボキシル基を含有する化合物を用いた場合、感光性樹脂組成物の感光性に優れる点で好ましい。上記ジイソシアネート化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、ジフェニルメタン-2,4′-ジイソシアネート、3,2′-又は3,3′-又は4,2′-又は4,3′-又は5,2′-又は5,3′-又は6,2′-又は6,3′-ジメチルジフェニルメタン-2,4′-ジイソシアネート、3,2′-又は3,3′-又は4,2′-又は4,3′-又は5,2′-又は5,3′-又は6,2′-又は6,3′-ジエチルジフェニルメタン-2,4′-ジイソシアネート、3,2′-又は3,3′-又は4,2′-又は4,3′-又は5,2′-又は5,3′-又は6,2′-又は6,3′-ジメトキシジフェニルメタン-2,4′-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-4,4′-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-3,3′-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-3,4′-ジイソシアネート、ジフェニルエーテル-4,4′-ジイソシアネート、ベンゾフェノン-4,4′-ジイソシアネート、ジフェニルスルホン-4,4′-ジイソシアネート、トリレン-2,4-ジイソシアネート、トリレン-2,6-ジイソシアネート、m-キシリレンジイソシアネート、p-キシリレンジイソシアネート、ナフタレン-2,6-ジイソシアネート、4,4′-[2,2-ビス4-フェノキシフェニルプロパン]ジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート化合物、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート化合物、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。特に、脂環族ジイソシアネート及び脂肪族ジイソシアネート化合物を用いた場合、感光性樹脂組成物の感光性に優れる点で好ましい。本願発明のA1成分の合成方法は、ジオール化合物とジイソシアネート化合物との配合量を、水酸基数とイソシアネート基数との比率が、イソシアネート基/水酸基=0.5以上2.0以下になるように配合し、無溶媒あるいは有機溶媒中で反応させることで得られる。また、2種類以上のジオール化合物を用いる場合、ジイソシアネート化合物との反応は、2種類以上のジオール化合物を混合した後に行ってもよいし、それぞれのジオール化合物とジイソシアネート化合物とを別個に反応させてもよい。また、ジオール化合物とジイソシアネート化合物とを反応させた後に、得られた末端イソシアネート化合物をさらに他のジオール化合物と反応させ、さらにこれをジイソシアネート化合物と反応させてもよい。また、2種類以上のジイソシアネート化合物を用いる場合も同様である。このようにして、所望のA1成分を製造することができる。ジオール化合物とジイソシアネート化合物との反応温度は、40~160°Cとすることが好ましく、60~150°Cとすることがより好ましい。40°C未満では反応時間が長くなり過ぎ、160°Cを超えると反応中に三次元化反応が生じてゲル化が起こり易い。反応時間は、バッチの規模、採用される反応条件により適宜選択することができる。また、必要に応じて、三級アミン類、アルカリ金属、アルカリ土類金属、錫、亜鉛、チタニウム、コバルト等の金属又は半金属化合物等の触媒存在下に反応を行っても良い。上記反応は、無溶媒で反応させることもできるが、反応を制御する為には、有機溶媒系で反応させることが望ましく、例えば有機溶媒としては、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N-メチル-2-ピロリドン、N-ビニル-2-ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ-ブチロラクトンなどを挙げることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。更に、例えばメチルモノグライム1,2ジメトキシエタン、メチルジグライムビス2メトキシエテルエーテル、メチルトリグライム1,2ビス2メトキシエトキシエタン、メチルテトラグライムビス2エーテル、エチルモノグライム1,2ジエトキシエタン、エチルジグライムビス2エトキシエチルエーテル、ブチルジグライムビス2ブトキシエチルエーテル等の対称グリコールジエーテル類、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート別名、カルビトールアセテート、酢酸22ブトキシエトキシエチル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn-プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn-プロピルエーテル、プロピレングリコールn-ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn-ブチルエーテル、トリピレングリコールn-プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。中でも、副反応が生じにくいことから、対称グリコールジエーテル類を用いることが好ましい。反応の際に用いられる溶剤量は、反応溶液中の溶質重量濃度すなわち溶液濃度が5重量以上90重量以下となるような量とすることが望ましい。反応溶液中の溶質重量濃度は、更に好ましくは、10重量以上80重量以下となることが望ましい。溶液濃度が5以下の場合には、重合反応が起こりにくく反応速度が低下すると共に、所望の構造物質が得られない場合があるので好ましくない。<A2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂>本願発明のA2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂とは、少なくとも1つのラジカル重合開始剤により重合反応が進行するラジカル重合性基及びウレタン結合を含有している重量平均分子量が、ポリエチレングリコール換算で、1,000以上100,000以下のポリマーである。上記範囲内に重量平均分子量を制御することにより、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。重量平均分子量が1,000以下の場合は、柔軟性や耐薬品性が低下する場合があり、重量平均分子量が100,000以上の場合はアルカリ現像性が低下し、感光性樹脂組成物の粘度が高くなる場合がある。本願発明のA2成分のラジカル重合性基は、不飽和二重結合であることが好ましい。さらには、上記不飽和二重結合は、メタアクリロイル基、もしくはビニル基であることが好ましい。上記ラジカル重合性基含有量は、上記A1成分と同様にヨウ素価として測定できる。A2成分のヨウ素価は、10~200とすることが好ましく、50~150とすることがより好ましい。ヨウ素価が10より小さい場合では感光性樹脂組成物の感光性が低下する場合があり、200より大きい場合では感光性基が多すぎるために架橋密度が高くなり、得られる硬化膜の柔軟性が悪化し、反りが大きくなる場合がある。本願発明のA2成分は、分子内にラジカル重合性基を含有するウレタン結合含有樹脂であれば特に限定されないが、例えば、ウレタンメタアクリレート樹脂、ウレタン変性エポキシメタアクリレート樹脂の場合、得られる硬化膜の耐折れ性に優れ、反りが小さいため好ましい。本願発明のA2成分は、任意の反応により得ることが可能であるが、例えば、ウレタンメタアクリレート樹脂は、上記一般式1で示されるジオール化合物、及び上記一般式3で示されるジイソシアネート化合物に加えて、下記一般式5式中、R3はr1価の有機基を示し、R4は水素又はアルキル基を示す。rは1~3の整数を示すで示される水酸基及び少なくとも1つのメタアクリロイル基を含有する化合物及び/又は下記一般式6式中、X2はs1価の有機基を示し、X3は水素又はアルキル基を示す。sは1~3の整数を示すで示されるイソシアネート基及び少なくとも1つのメタアクリロイル基を含有する化合物を反応させることにより得られる。上記ジオール化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、1,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、3-メチル-1,5-ペンタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、1,8-オクタンジオール、2-メチル1,8-オクタンジオール、1,9-ノナンジオール、1,10-デカンジオール、1,4-シクロヘキサンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノール等のアルキレンジオール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、テトラメチレングリコールとネオペンチルグリコールとのランダム共重合体等のポリオキシアルキレンジオール、多価アルコールと多塩基酸とを反応させて得られるポリエステルジオール、カーボネート骨格を有するポリカーボネートジオール、γ-ブチルラクトン、ε-カプロラクトン、δ-バレロラクトン等のラクトン類を開環付加反応させて得られるポリカプロラクトンジオール、ビスフェノールA、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物、水添ビスフェノールA、水添ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物、水添ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。特に、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリオキシアルキレンジオール、ポリエステルジオール、ポリカーボネートジオール、ポリカプロラクトンジオール等の長鎖ジオールを用いた場合、感光性樹脂組成物を硬化させることにより得られる硬化膜の弾性率を低下させ、屈曲性、低反りに優れる点で好ましい。上記ジイソシアネート化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、ジフェニルメタン-2,4′-ジイソシアネート、3,2′-又は3,3′-又は4,2′-又は4,3′-又は5,2′-又は5,3′-又は6,2′-又は6,3′-ジメチルジフェニルメタン-2,4′-ジイソシアネート、3,2′-又は3,3′-又は4,2′-又は4,3′-又は5,2′-又は5,3′-又は6,2′-又は6,3′-ジエチルジフェニルメタン-2,4′-ジイソシアネート、3,2′-又は3,3′-又は4,2′-又は4,3′-又は5,2′-又は5,3′-又は6,2′-又は6,3′-ジメトキシジフェニルメタン-2,4′-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-4,4′-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-3,3′-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-3,4′-ジイソシアネート、ジフェニルエーテル-4,4′-ジイソシアネート、ベンゾフェノン-4,4′-ジイソシアネート、ジフェニルスルホン-4,4′-ジイソシアネート、トリレン-2,4-ジイソシアネート、トリレン-2,6-ジイソシアネート、m-キシリレンジイソシアネート、p-キシリレンジイソシアネート、ナフタレン-2,6-ジイソシアネート、4,4′-[2,2-ビス4-フェノキシフェニルプロパン]ジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート化合物、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート化合物、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。特に、脂環族ジイソシアネート及び脂肪族ジイソシアネート化合物を用いた場合、感光性樹脂組成物の感光性に優れる点で好ましい。上記水酸基及び少なくとも一つのメタアクリロイル基を含有する化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、2-ヒドロキシブチルメタアクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルメタアクリレート、2-ヒドロキシ-1-アクリロキシ-3-メタクリロキシプロパン、o-フェニルフェノールグリシジルエーテルメタアクリレート、ポリエチレングリコールモノメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、トリス2-ヒドロキシエチルイソシアヌレートジメタアクリレート、1,4-シクロヘキサンジメタノールモノメタアクリレート、4-ヒドロキシフェニルメタアクリレート、2-4-ヒドロキシフェニルエチルメタアクリレート、N-メチロールアクリルアミド、3,5-ジメチル-4-ヒドロキシベンジルアクリルアミド等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。上記イソシアネート基及び少なくとも一つのメタアクリロイル基を含有する化合物は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、2-メタアクリロイルオキシエチルイソシアネート、1,1-ビスアクリロイルオキシメチルエチルイソシアネート、2-2-メタクリロイルオキシエチルオキシエチルイソシアネート等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。本願発明のA2成分の合成方法は、ジオール化合物、ジイソシアネート化合物、及び水酸基及び少なくとも1つのメタアクリロイル基を含有する化合物及び/又はイソシアネート基及び少なくとも1つのメタアクリロイル基を含有する化合物との配合量を、水酸基数とイソシアネート基数との比率が、イソシアネート基/水酸基=0.5以上2.0以下になるように配合し、無溶媒あるいは有機溶媒中で反応させることで得られる。また、2種類以上のジオール化合物を用いる場合、ジイソシアネート化合物との反応は、2種類以上のジオール化合物を混合した後に行ってもよいし、それぞれのジオール化合物とジイソシアネート化合物とを別個に反応させてもよい。また、ジオール化合物とジイソシアネート化合物とを反応させた後に、得られた末端イソシアネート化合物をさらに水酸基及び少なくとも1つのメタアクリロイル基を含有する化合物と反応させてもよい。また、2種類以上のジイソシアネート化合物を用いる場合、ジオール化合物との反応は、2種類以上のジイソシアネート化合物を混合した後に行ってもよいし、それぞれのジイソシアネート化合物とジオール化合物とを別個に反応させてもよい。また、ジイソシアネート化合物とジオール化合物とを反応させた後に、得られた末端水酸基化合物をさらにイソシアネート及び少なくとも1つのメタアクリロイル基を含有する化合物と反応させてもよい。このようにして、所望のA2成分を製造することができる。ジオール化合物とジイソシアネート化合物との反応温度は、40~160°Cとすることが好ましく、60~150°Cとすることがより好ましい。40°C未満では反応時間が長くなり過ぎ、160°Cを超えると反応中に三次元化反応が生じてゲル化が起こり易い。反応時間は、バッチの規模、採用される反応条件により適宜選択することができる。また、必要に応じて、三級アミン類、アルカリ金属、アルカリ土類金属、錫、亜鉛、チタニウム、コバルト等の金属又は半金属化合物等の触媒存在下に反応を行っても良い。上記反応は、無溶媒で反応させることもできるが、反応を制御する為には、有機溶媒系で反応させることが望ましく、例えば有機溶媒としては、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N-メチル-2-ピロリドン、N-ビニル-2-ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ-ブチロラクトンなどを挙げることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。更に、例えばメチルモノグライム1,2ジメトキシエタン、メチルジグライムビス2メトキシエテルエーテル、メチルトリグライム1,2ビス2メトキシエトキシエタン、メチルテトラグライムビス2エーテル、エチルモノグライム1,2ジエトキシエタン、エチルジグライムビス2エトキシエチルエーテル、ブチルジグライムビス2ブトキシエチルエーテル等の対称グリコールジエーテル類、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート別名、カルビトールアセテート、酢酸22ブトキシエトキシエチル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn-プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn-プロピルエーテル、プロピレングリコールn-ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn-ブチルエーテル、トリピレングリコールn-プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。中でも、副反応が生じにくいことから、対称グリコールジエーテル類を用いることが好ましい。反応の際に用いられる溶剤量は、反応溶液中の溶質重量濃度すなわち溶液濃度が5重量以上90重量以下となるような量とすることが望ましい。反応溶液中の溶質重量濃度は、更に好ましくは、10重量以上80重量以下となることが望ましい。溶液濃度が5以下の場合には、重合反応が起こりにくく反応速度が低下すると共に、所望の構造物質が得られない場合があるので好ましくない。また、上記ウレタン変性エポキシメタアクリレート樹脂としては、例えば、日本化薬株式会社製の商品名KAYARADUXE-3000、UXE-3024が挙げられる。上記A2成分はこれらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。本願発明のA2成分の含有量は、好ましくはA1成分100重量部に対してA2成分10~200重量部、より好ましくは10~100重量部とすることにより、感光性樹脂組成物から得られる微細パターンの解像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。<B架橋ポリマー粒子>本願発明のB架橋ポリマー粒子とは、分子内に架橋構造を有している、平均粒子径が1~100μmの球状ポリマーである。平均粒子径が1μm以下の場合は、感光性樹脂組成物の粘度やチクソ性が高くなり、塗工時の塗膜の発泡やレベリング不足による外観不良が発生する場合があり、平均粒子径が100μm以上の場合は微細パターン形成時の開口部に粒子が露出し、解像性不良になる場合がある。ここで、球状とは、真球状であってもよいし、楕円状であってもよい。本願発明のB成分の平均粒子径は、好ましくは1~50μm、より好ましくは1~10μmとすることにより、微細パターンの解像性、得られる硬化膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。本願発明のB成分の平均粒子径は、例えば、以下の方法で体積基準のメジアン径積算分布値50に対する粒子径として測定することができる。平均粒子径測定使用装置:株式会社堀場製作所製LA-950V2相当品測定方式:レーザー回折/散乱式本願発明のB成分の含有量は、好ましくはA1成分とA2成分の合計100重量部に対して30~100重量部、より好ましくは40~80重量部とすることにより、得られる硬化膜表面に効果的に凹凸を形成することが可能となりタックフリー性に優れ、B成分による充填硬化が得られるため硬化膜の反りが低下し、応力緩和効果や破壊靱性の向上により繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性が向上する。B成分が30重量部より少ない場合はタックフリー性や繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性に劣る場合があり、100重量部より多い場合は難燃性や感光性樹脂組成物溶液を塗工する際の塗工性が悪化し、塗工時の塗膜の発泡やレベリング不足による外観不良が発生する場合がある。本願発明のB成分は、特に限定はされないが、例えば、ポリメタクリル酸メチル系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGM-0600、GM-0600W、架橋ポリメタクリル酸メチル系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGM-0105、GM-0205S、GM-0401S、GM-0407S、GM-0449S、GM-0630H、GM-0801S、GM-0807S、GM-0849SGM-1001、GM-1001-S、GM-1007S、GM-1407S、GM-1505S-S、GM-2001、GM-2003S-S、GM-2007S、GM-2801、GM-4003、GM-5003、GM-9005、GMX-0610、GMX-0810、GMP-0800、GMDM-050M、GMDM-080M、GMDM-100M、GMDM-150M、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーMBX-5、MBX-8、MBX-12、架橋ポリメタクリル酸ブチル系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGB-05S、GB-08S、GB-10S、GB-15S、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーBM30X-5、BM30X-8、架橋アクリル系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGMP-0820、アクリルコポリマー系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGBM-55COS、架橋スチレン系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGS-0605、GS-1105、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーSBX-6、SBX-8、架橋ポリアクリル酸エステル系架橋ポリマー粒子としては、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーABX-8、AF10X-8、AFX-15、ARX-15、ナイロン系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGPA-550、シリコーン系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールSI-020、SI-030、SI-045、架橋シリコーン系架橋ポリマー粒子としては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールSIG-070、架橋ウレタン系架橋ポリマー粒子としては、大日精化工業株式会社製の商品名ダイミックビーズUCN-8070CMクリヤー、UCN-8150CMクリヤー、UCN-5070Dクリヤー、UCN-5150Dクリヤー、根上工業株式会社製の商品名アートパールC-100透明、C-200透明、C-300透明、C-300WA、C-400透明、C-400WA、C-600透明、C-800透明、C-800WA、P-400T、P-800T、U-600T、CF-600T、JB-400T、JB-800T、CE-400T、CE-800T等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。本願発明のB成分は、上記架橋ポリマー粒子の中でも、特に分子内にウレタン結合を含有する架橋ポリマー粒子を用いることが、絶縁膜の反り低下、繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性の向上のために好ましい。<C熱硬化性樹脂>本願発明のC熱硬化性樹脂とは、分子内に少なくとも1つの熱硬化性の有機基を含有する化合物である。本願発明のC成分は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、フェノール樹脂、イソシアネート樹脂、ブロックイソシアネート樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、ポリエステル樹脂例えば不飽和ポリエステル樹脂等、ジアリルフタレート樹脂、珪素樹脂、ビニルエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリビスマレイミドトリアジン樹脂BT樹脂、シアネート樹脂例えばシアネートエステル樹脂等、ユリア樹脂、グアナミン樹脂、スルホアミド樹脂、アニリン樹脂、ポリウレア樹脂、チオウレタン樹脂、ポリアゾメチン樹脂、エピスルフィド樹脂、エン-チオール樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、これらの共重合体樹脂、これら樹脂を変性させた変性樹脂、又はこれらの樹脂同士もしくは他の樹脂類との混合物等が挙げられる。本願発明のC成分は、上記熱硬化性樹脂の中でも、特に多官能エポキシ樹脂を用いることが、感光性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化膜に対して耐熱性を付与できると共に、金属箔等の導体や回路基板に対する接着性を付与することができるため好ましい。上記多官能エポキシ樹脂とは、分子内に少なくとも2つのエポキシ基を含有する化合物であり、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER828、jER1001、jER1002、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP-4100E、アデカレジンEP-4300E、日本化薬株式会社製の商品名RE-310S、RE-410S、DIC株式会社製の商品名エピクロン840S、エピクロン850S、エピクロン1050、エピクロン7050、東都化成株式会社製の商品名エポトートYD-115、エポトートYD-127、エポトートYD-128、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER806、jER807、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP-4901E、アデカレジンEP-4930、アデカレジンEP-4950、日本化薬株式会社製の商品名RE-303S、RE-304S、RE-403S,RE-404S、DIC株式会社製の商品名エピクロン830、エピクロン835、東都化成株式会社製の商品名エポトートYDF-170、エポトートYDF-175S、エポトートYDF-2001、ビスフェノールS型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA-1514、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jERYX8000、jERYX8034,jERYL7170、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP-4080E、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA-7015、東都化成株式会社製の商品名エポトートYD-3000、エポトートYD-4000D、ビフェニル型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jERYX4000、jERYL6121H、jERYL6640、jERYL6677、日本化薬株式会社製の商品名NC-3000、NC-3000H、フェノキシ型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER1256、jER4250、jER4275、ナフタレン型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の商品名エピクロンHP-4032、エピクロンHP-4700、エピクロンHP-4200、日本化薬株式会社製の商品名NC-7000L、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER152、jER154、日本化薬株式会社製の商品名EPPN-201-L、DIC株式会社製の商品名エピクロンN-740、エピクロンN-770、東都化成株式会社製の商品名エポトートYDPN-638、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名EOCN-1020、EOCN-102S、EOCN-103S、EOCN-104S、DIC株式会社製の商品名エピクロンN-660、エピクロンN-670、エピクロンN-680、エピクロンN-695、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名EPPN-501H、EPPN-501HY、EPPN-502H、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名XD-1000、DIC株式会社製の商品名エピクロンHP-7200、アミン型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER604、jER630、東都化成株式会社の商品名エポトートYH-434、エポトートYH-434L、三菱ガス化学株式会社製の商品名TETRAD-X、TERRAD-C、可とう性エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER871、jER872、jERYL7175、jERYL7217、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA-4850、ウレタン変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEPU-6、アデカレジンEPU-73、アデカレジンEPU-78-11、ゴム変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEPR-4023、アデカレジンEPR-4026、アデカレジンEPR-1309、キレート変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP-49-10、アデカレジンEP-49-20、複素環含有エポキシ樹脂としては、日産化学株式会社製の商品名TEPIC等が挙げられる。本願発明の感光性樹脂組成物には、上記熱硬化性樹脂の硬化剤として、特に限定されないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、アミノ樹脂、ユリア樹脂、メラミン、ジシアンジアミド等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。また、硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、トリフェニルホスフィン等のホスフィン系化合物;3級アミン系、トリメタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラエタノールアミン等のアミン系化合物;1,8-ジアザ-ビシクロ[5,4,0]-7-ウンデセニウムテトラフェニルボレート等のボレート系化合物等、イミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、2-イソプロピルイミダゾール、2,4-ジメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール等のイミダゾール類;2-メチルイミダゾリン、2-エチルイミダゾリン、2-イソプロピルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリン、2-ウンデシルイミダゾリン、2,4-ジメチルイミダゾリン、2-フェニル-4-メチルイミダゾリン等のイミダゾリン類;2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-1’]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-1’]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-1’]-エチル-s-トリアジン等のアジン系イミダゾール類等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。<D光重合開始剤>本願発明のD光重合開始剤とは、UVなどのエネルギーによって活性化し、ラジカル重合性基の反応を開始促進させる化合物である。本願発明のD成分は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、ミヒラ-ズケトン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、44’4’’-トリスジメチルアミノトリフェニルメタン、22’-ビス2-クロロフェニル-44’55’-テトラフェニル-12’-ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2-メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエ-テル、ベンゾインエチルエ-テル、ベンゾインイソプロピルエ-テル、ベンゾインイソブチルエ-テル、2-t-ブチルアントラキノン、1,2-ベンゾ-9,10-アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタ-ル、ベンジルジエチルケタ-ル、22’-フリルエチリデン-4,6-ビストリクロロメチル-S-トリアジン、2[2’5’’-メチルフリルエチリデン]-4,6-ビストリクロロメチル-S-トリアジン、2p-メトキシフェニル-4,6-ビストリクロロメチル-S-トリアジン、2,6-ジp-アジドベンザル-4-メチルシクロヘキサノン、4,4’-ジアジドカルコン、ジテトラアルキルアンモニウム-4,4’-ジアジドスチルベン-2,2’-ジスルフォネ-ト、22-ジメトキシ-12-ジフェニルエタン-1-オン、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、1-4-2-ヒドロキシエトキシ-フェニル-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタン-1、ビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-フェニルフォスフィンオキサイド、ビス26-ジメトキシベンゾイル-2,4,4-トリメチル-ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイド、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-ケトン、ビスn5-2,4-シクロペンタジエン-1-イル-ビス2,6-ジフルオロ-3--フェニルチタニウム、1,2-オクタンジオン,1-4-フェニルチオ-,2-O-ベンゾイルオキシム、ヨード二ウム,4-メチルフェニル4-2-メチルプロピルフェニル-ヘキサフルオロフォスフェート、エチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、2-エチルヘキシル-4-ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1-9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル-1-O-アセチルオキシオム等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。<Eリン系難燃剤>本願発明のEリン系難燃剤とは、分子内に少なくとも1つのリン元素を含有し、有機物の燃焼を抑制する効果を有する化合物である。本願発明のE成分は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、赤リン、縮合リン酸エステル系化合物、環状有機リン系化合物、ホスファゼン系化合物、リン含有メタアクリレート系化合物、リン含有エポキシ系化合物、リン含有ポリオール系化合物、リン含有アミン系化合物、ポリリン酸アンモニウム、メラミンリン酸塩、ホスフィン酸塩、等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。本願発明のE成分は、上記リン系難燃剤の中でも、特にホスフィン酸塩を用いることが、感光性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化膜に対して優れた難燃性を付与できると共に、硬化膜からの難燃剤のブリードアウトが少ないため、接点障害や工程汚染を抑制することができるため好ましい。本願発明のホスフィン酸塩とは、下記一般式7で示される化合物である。式中、R5及びR6は、それぞれ独立に直鎖状または枝分かれした炭素数1~6のアルキル基またはアリール基を示し、Mは、Mg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Fe、Zr、Zn、Ce、Bi、Sr、Mn、Li、Na及びKからなる群の少なくとも1種より選択される金属類を示し、tは1~4の整数である。本願発明のホスフィン酸塩は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、トリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスジフェニルホスフィン酸アルミニウム、ビスジエチルホスフィン酸亜鉛、ビスメチルエチルホスフィン酸亜鉛、ビスジフェニルホスフィン酸亜鉛、ビスジエチルホスフィン酸チタニル、ビスメチルエチルホスフィン酸チタニル、ビスジフェニルホスフィン酸チタニル等を挙げることができ、これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。本願発明のホスフィン酸塩が更にアルミニウム元素を含有することが、高い難燃性が得られる点で好ましく、中でも特にトリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウムを用いた場合、さらに高い難燃性が得られるため好ましい。本願発明のホスフィン酸塩の含有量は、好ましくはA1成分とA2成分の合計100重量部に対して20~80重量部、より好ましくは25~75重量部とすることにより、得られる硬化膜の難燃性、電気絶縁信頼性に優れる。E成分が20重量部より少ない場合は難燃性に劣る場合があり、80重量部より多い場合は感光性樹脂組成物溶液を塗工する際の塗工性が悪化し、塗工時の塗膜の発泡やレベリング不足による外観不良が発生する場合がある。<その他成分>本願発明の感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じてラジカル重合性化合物、充填剤、接着助剤、消泡剤、レベリング剤、着色剤、重合禁止剤等の各種添加剤を加えることができる。上記ラジカル重合性化合物とは、ラジカル重合開始剤により重合反応が進行するラジカル重合性基を分子内に含有する化合物である。その中でも分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する樹脂であることが好ましい。さらには、上記不飽和二重結合は、メタアクリロイル基、もしくはビニル基であることが好ましい。上記ラジカル重合性化合物としては、例えばビスフェノールFEO変性n=2~50ジアクリレート、ビスフェノールAEO変性n=2~50ジアクリレート、ビスフェノールSEO変性n=2~50ジアクリレート、ビスフェノールFEO変性n=2~50ジメタクリレート、ビスフェノールAEO変性n=2~50ジメタクリレート、ビスフェノールSEO変性n=2~50ジメタクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β-メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β-メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3-クロロ-2-ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β-アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3-ブチレングリコールジメタクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2-ヒドロキシ-1,3-ジメタクリロキシプロパン、2,2-ビス[4-メタクリロキシエトキシフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-メタクリロキシジエトキシフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-メタクリロキシポリエトキシフェニル]プロパン、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2-ビス[4-アクリロキシジエトキシフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-アクリロキシポリエトキシフェニル]プロパン、2-ヒドロキシ-1-アクリロキシ-3-メタクリロキシプロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、1-アクリロイルオキシプロピル-2-フタレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4-ブタンジオールジメタクリレート、3-メチル-1,5-ペンタンジオールジメタクリレート、1,6-メキサンジオールジメタクリレート、1,9-ノナンジオールメタクリレート、2,4-ジエチル-1,5-ペンタンジオールジメタクリレート、1,4-シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、22-水添ビス[4-アクリロキシポリエトキシフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-アクリロキシポリプロポキシフェニル]プロパン、2,4-ジエチル-1,5-ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリエタンアクリレート、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアリルエーテル、1,3,5-トリアクリロイルヘキサヒドロ-s-トリアジン、トリアリル1,3,5-ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3-ジアリロキシ-2-プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’-イソプロピリデンジフェノールジメタクリレート、4,4’-イソプロピリデンジフェノールジアクリレート等を挙げることができ、これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。特に、ジアクリレートあるいはジメタクリレートの一分子中に含まれるEOエチレンオキサイドの繰り返し単位が2~50モル含有されるものを用いた場合、感光性樹脂組成物のアルカリ水溶液に代表される水系現像液への溶解性が向上し、現像時間が短縮されるので好ましい。上記充填剤としては、シリカ、マイカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト、炭酸カルシウムなどの微細な無機充填剤が挙げられる。上記消泡剤としては、例えば、アクリル系化合物、ビニル系化合物、ブタジエン系化合物等が挙げられる。上記レベリング剤としては、例えば、アクリル系化合物、ビニル系化合物等が挙げられる。上記着色剤としては、例えば、フタロシアニン系化合物、アゾ系化合物、カーボンブラック等が挙げられる。上記接着助剤密着性付与剤ともいう。としては、シランカップリング剤、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、トリアジン系化合物等が挙げられる。上記重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等が挙げられる。本願発明の感光性樹脂組成物は、リン系難燃剤を含むため難燃性に優れているが、より高い難燃効果を得るために他の難燃剤を加えてもよい。難燃剤としては、例えば、含ハロゲン系化合物、金属水酸化物、メラミン系化合物等を添加することができる。上記各種添加剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。<感光性樹脂組成物の混合方法>本願発明の感光性樹脂組成物は、上記成分を粉砕分散させて混合し、得られることができる。粉砕分散方法としては、特に限定されるものではないが、例えばビーズミル、ボールミル、3本ロールミル等の一般的な混練装置を用いて行われる。感光性樹脂組成物に含まれる粒子の粒子径はJISK5600-2-5で規定されたグラインドゲージを用いる方法で測定することができる。また粒度分布測定装置を使用すれば、平均粒子径、粒子径、粒度分布を測定することができる。II感光性樹脂組成物の使用方法本願発明の感光性樹脂組成物を直接に用いて、又は、感光性樹脂組成物溶液を調製した後に、以下のようにして硬化膜又はレリーフパターンを形成することができる。先ず、上記感光性樹脂組成物、又は、感光性樹脂組成物溶液を基板に塗布し、乾燥して有機溶媒を除去する。基板への塗布はスクリ-ン印刷、カ-テンロ-ル、リバ-スロ-ル、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行うことができる。塗布膜好ましくは厚み:5~100μm、特に10~100μmの乾燥は120°C以下、好ましくは40~100°Cで行う。次いで、乾燥後、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線などの活性光線を照射する。次いで、未露光部分をシャワー、パドル、浸漬または超音波等の各種方式を用い、現像液で洗い出すことによりレリ-フパタ-ンを得ることができる。なお、現像装置の噴霧圧力や流速、エッチング液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが望ましい。上記現像液としては、アルカリ水溶液を使用することが好ましい。この現像液には、メタノ-ル、エタノ-ル、n-プロパノ-ル、イソプロパノ-ル、N-メチル-2-ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。上記のアルカリ水溶液を与えるアルカリ性化合物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムイオンの、水酸化物または炭酸塩や炭酸水素塩、アミン化合物などが挙げられ、具体的には水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、N-メチルジエタノ-ルアミン、N-エチルジエタノ-ルアミン、N,N-ジメチルエタノ-ルアミン、トリエタノ-ルアミン、トリイソプロパノ-ルアミン、トリイソプロピルアミンなどを挙げることができ、水溶液が塩基性を呈するものであればこれ以外の化合物も当然使用することができる。本願発明の感光性樹脂組成物の現像工程に好適に用いることのできる、アルカリ性化合物の濃度は、0.01~20重量、特に好ましくは、0.02~10重量とすることが好ましい。また、現像液の温度は感光性樹脂組成物の組成や、アルカリ現像液の組成に依存しており、一般的には0°C以上80°C以下、より一般的には、10°C以上60°C以下で使用することが好ましい。上記現像工程によって形成したレリ-フパタ-ンは、リンスして不用な残分を除去する。リンス液としては、水、酸性水溶液などが挙げられる。次いで、上記得られたレリ-フパタ-ンの加熱処理を行う。加熱処理を行って、分子構造中に残存する反応性基を反応させることにより、耐熱性に富む硬化膜を得ることができる。硬化膜の厚みは、配線厚み等を考慮して決定されるが、2~50μm程度であることが好ましい。このときの最終硬化温度は配線等の酸化を防ぎ、配線と基材との密着性を低下させないことを目的として低温で加熱して硬化できることが望まれている。この時の硬化温度は100°C以上250°C以下であることが好ましく、更に好ましくは120°C以上200°C以下であり、特に好ましくは130°C以上180°C以下である。最終加熱温度が高くなると配線の酸化劣化が進むので望ましくない。本願発明の感光性樹脂組成物から形成した硬化膜は、柔軟性、難燃性、電気絶縁信頼性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい。また、例えば、感光性樹脂組成物から得られる絶縁膜は、好適には厚さ2~50μm程度の膜厚で光硬化後少なくとも10μmまでの解像力、特に10~1000μm程度の解像力のものである。このため感光性樹脂組成物から得られる絶縁膜は、フレキシブル基板の絶縁材料として特に適しているのである。また更には、光硬化型の各種配線被覆保護剤、感光性の耐熱性接着剤、電線ケーブル絶縁被膜、等に用いられる。尚、本願発明は上記感光性樹脂組成物、又は、感光性樹脂組成物溶液を基材表面に塗布し乾燥して得られた樹脂フィルムを用いても同様の絶縁材料を提供することができる。以下本発明を実施例により具体的に説明するが本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。合成例1<A1分子内にラジカル重合性基を実質的に含有せず、かつウレタン結合及びカルボキシル基を含有する樹脂>攪拌機、温度計、及び窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム=1,2ビス2メトキシエトキシエタン30.00gを仕込み、これに、ノルボルネンジイソシアネート10.31g0.050モルを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80°Cに加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール50.00g0.025モル旭化成株式会社製:商品名PCDLT5652、重量平均分子量2000及び2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸3.70g0.025モルをメチルトリグライム30.00gに溶解した溶液を1時間かけて添加した。この溶液を5時間80°Cで加熱攪拌を行い反応させた。上記反応を行うことで分子内にラジカル重合性基を実質的に含有しないウレタン結合及びカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は52、重量平均分子量は5,600、固形分の酸価は22mgKOH/gであった。尚、固形分濃度、重量平均分子量、酸価は下記の方法で測定した。<固形分濃度>JISK5601-1-2に従って測定を行った。尚、乾燥条件は150°C×1時間の条件を選択した。<重量平均分子量>下記条件で測定を行った。使用装置:東ソーHLC-8220GPC相当品カラム:東ソーTSKgelSuperAWM-H6.0mmI.D.×15cm×2本ガードカラム:東ソーTSKguardcolumnSuperAW-H溶離液:30mMLiBr20mMH3PO4inDMF流速:0.6mL/minカラム温度:40°C検出条件:RI:ポラリティ、レスポンス05sec試料濃度:約5mg/mL標準品:PEGポリエチレングリコール<酸価>JISK5601-2-1に従って測定を行った。合成例2<A2分子内にラジカル重合性基を含有し、かつウレタン結合を含有する樹脂>攪拌機、温度計、及び窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム=1,2ビス2メトキシエトキシエタン30.00gを仕込み、これに、ノルボルネンジイソシアネート10.31g0.050モルを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80°Cに加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール50.00g0.025モル旭化成株式会社製:商品名PCDLT5652、重量平均分子量2000及び2-ヒドロキシエチルメタクリレート6.51g0.050モルをメチルトリグライム30.00gに溶解した溶液を1時間かけて添加した。この溶液を5時間80°Cで加熱攪拌を行い反応させた。上記反応を行うことで分子内にウレタン結合及びメタクリロイル基を含有する樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は53、重量平均分子量は5,200であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量は合成例1と同様の方法で測定した。実施例1~6<感光性樹脂組成物の調製>A1成分、A2成分、B架橋ポリマー粒子、C熱硬化性樹脂、D光重合開始剤、Eリン系難燃剤、その他成分、及び有機溶媒を添加して感光性樹脂組成物を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表1に記載する。なお、表中の溶媒である1,2ビス2メトキシエトキシエタンは上記合成した樹脂溶液に含まれる溶剤も含めた全溶剤量である。感光性樹脂組成物ははじめに一般的な攪拌翼のついた攪拌装置で混合し、その後3本ロールミルで2回パスし均一な溶液とした。グラインドゲージにて粒子径を測定したところ、いずれも10μm以下であった。混合溶液を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して下記評価を実施した。<1>日本化薬株式会社製ウレタン変性エポキシメタアクリレート樹脂の製品名<2>ガンツ化成株式会社製架橋ポリメタクリル酸メチル系架橋ポリマー粒子の製品名、平均粒子径2μm<3>ガンツ化成株式会社製架橋ポリメタクリル酸ブチル系架橋ポリマー粒子の製品名、平均粒子径5μm<4>大日精化工業株式会社製分子内にウレタン結合を含有する架橋ポリマー粒子の製品名、平均粒子径7μm<5>日産化学株式会社製多官能エポキシ樹脂トリグリシジルイソシアヌレートの製品名<6>BASFジャパン株式会社製光重合開始剤の製品名<7>クラリアントジャパン株式会社製ホスフィン酸塩の製品名<8>日立化成工業株式会社製EO変性ビスフェノールAジメタクリレートの製品名<9>共栄社化学株式会社製ブタジエン系消泡剤の製品名<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、25μmのポリイミドフィルム株式会社カネカ製:商品名25NPIに最終乾燥厚みが20μmになるように100mm×100mmの面積に流延塗布し、80°Cで20分乾燥した後、300mJ/cm2の積算露光量の紫外線を照射して露光した。次いで、1.0重量の炭酸ナトリウム水溶液を30°Cに加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mm2の吐出圧で90秒スプレー現像を行った。現像後、純水で十分洗浄した後、150°Cのオーブン中で30分加熱硬化させてポリイミドフィルム上に感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。<硬化膜の評価>以下の項目につき評価を行った。評価結果を表2に記載する。i感光性上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で得られた硬化膜の表面観察を行い判定した。ただし、露光は、ライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスクを置いて露光した。〇:ポリイミドフィルム表面に顕著な線太りや現像残渣無くライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けているもの。×:ポリイミドフィルム表面にライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けていないもの。iiタックフリー性上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、25μmのポリイミドフィルム株式会社カネカ製:商品名25NPIに最終乾燥厚みが20μmになるように100mm×100mmの面積に流延塗布し、80°Cで20分乾燥して溶媒乾燥後の塗膜を作製した。塗膜のタックフリー性の評価方法は、作製した溶媒乾燥後の塗膜付きフィルムを50mm×30mmの短冊に切り出して、塗膜を内側にして塗膜面同士を重ね合わせ、重ね合わせた部分に300gの荷重を3秒間のせた後、荷重を取り除き、塗膜面を引き剥がした時の状態を観察した。○:塗膜同士の貼り付きがなく、塗膜に貼り付き跡も残っていない。△:塗膜同士が少し貼り付き、塗膜に貼り付き跡が残っている。×:塗膜同士が完全に貼り付いて引き剥がせない。iii耐折れ性上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム株式会社カネカ製アピカル25NPI表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。硬化膜積層フィルムの耐折れ性の評価方法は、硬化膜積層フィルムを50mm×10mmの短冊に切り出して、硬化膜を外側にして25mmのところで180°に折り曲げ、折り曲げ部に5kgの荷重を3秒間のせた後、荷重を取り除き、折り曲げ部の頂点を顕微鏡で観察した。顕微鏡観察後、折り曲げ部を開いて、再度5kgの荷重を3秒間乗せた後、荷重を取り除き完全に硬化膜積層フィルムを開いた。上記操作を繰り返し、折り曲げ部にクラックが発生する回数を折り曲げ回数とした。○:折り曲げ回数5回で硬化膜にクラックが無いもの。△:折り曲げ回数3回で硬化膜にクラックが無いもの。×:折り曲げ1回目に硬化膜にクラックが発生するもの。iv電気絶縁信頼性フレキシブル銅貼り積層版電解銅箔の厚み12μm、ポリイミドフィルムは株式会社カネカ製アピカル25NPI、ポリイミド系接着剤で銅箔を接着している上にライン幅/スペース幅=100μm/100μmの櫛形パターンを作製し、10容量の硫酸水溶液中に1分間浸漬した後、純水で洗浄し銅箔の表面処理を行った。その後、上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で櫛形パターン上に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜を作製し試験片の作製を行った。85°C、85RHの環境試験機中で試験片の両端子部分に100Vの直流電流を印加し、絶縁抵抗値の変化やマイグレーションの発生などを観察した。○:試験開始後、1000時間で10の8乗以上の抵抗値を示し、マイグレーション、デンドライトなどの発生が無いもの。×:試験開始後、1000時間でマイグレーション、デンドライトなどの発生があるもの。v半田耐熱性上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、75μm厚みのポリイミドフィルム株式会社カネカ製アピカル75NPI表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。得られた硬化膜積層フィルムを260°Cで完全に溶解してある半田浴に感光性樹脂組成物の硬化膜が塗工してある面が接する様に浮かべて10秒後に引き上げた。その操作を3回行い、フィルム表面の状態を観察した。○:塗膜に異常がない。×:塗膜に膨れや剥がれなどの異常が発生する。vi反り上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム株式会社カネカ製アピカル25NPI表面に20μm厚みの感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。得られた硬化膜積層フィルムを50mm×50mmの面積に切り出して平滑な台の上に塗布膜が上面になるように置き、フィルム端部の反り高さを測定した。測定部位の模式図を図1に示す。ポリイミドフィルム表面での反り量が少ない程、プリント配線板表面での応力が小さくなり、プリント配線板の反り量も低下することになる。反り量は5mm以下であることが好ましい。尚、筒状に丸まる場合は×とした。vii難燃性プラスチック材料の燃焼性試験規格UL94VTMに従い、以下のように燃焼性試験を行った。上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム株式会社カネカ製:商品名アピカル25NPI両面に20μm厚みの感光性樹脂組成物硬化膜積層フィルムを作製した。上記作製したサンプルを寸法:50mm幅×200mm長さ×75μm厚みポリイミドフィルムの厚みを含むに切り出し、125mmの部分に標線を入れ、直径約13mmの筒状に丸め、標線よりも上の重ね合わせ部分75mmの箇所、及び、上部に隙間がないようにPIテープを貼り、燃焼性試験用の筒を20本用意した。そのうち10本は123°C/50相対湿度/48時間で処理し、残りの10本は270°Cで168時間処理後無水塩化カルシウム入りデシケーターで4時間以上冷却した。これらのサンプルの上部をクランプで止めて垂直に固定し、サンプル下部にバーナーの炎を3秒間近づけて着火する。3秒間経過したらバーナーの炎を遠ざけて、サンプルの炎や燃焼が何秒後に消えるか測定する。○:各条件1、2につき、サンプルからバーナーの炎を遠ざけてから平均10本の平均で10秒以内、最高で10秒以内に炎や燃焼が停止し自己消火し、かつ、評線まで燃焼が達していないもの。×:1本でも10秒以内に消火しないサンプルがあったり、炎が評線以上のところまで上昇して燃焼するもの。viiiブリードアウト上記電気絶縁信頼性試験後の試験片を観察し、試験片表面の微小な膨れ、銅配線上の膨れ、油状物質の染み出しなどを観察した。○:試験開始後、1000時間で試験片表面及び銅配線上に膨れ、染み出しなどの異常が見られないもの。×:試験開始後、1000時間で試験片表面及び銅配線上に膨れ、染み出しなどの異常が見られるもの。比較例1実施例1で用いた架橋ポリメタクリル酸メチル系架橋ポリマー粒子ガンツ化成株式会社製、商品名ガンツパールGM-0105、平均粒子径2μmに代えて、無機系粒子である硫酸バリウム堺化学工業株式会社製、商品名バリエースB-30、平均粒子径0.3μmを用いて実施例1と同様の方法で物性評価を行った。その結果を表2に記載する。比較例2攪拌機、温度計、冷却管及び空気導入管付き反応容器に空気を導入させた後、ポリカーボネートジオールダイセル化学工業株式会社製、商品名プラクセルCD205PL、数平均分子量:500196.80g0.39mol、2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸58.300.39molg、ジエチレングリコール37.60g0.35mol、1,4-シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート148.10g0.75molg、p-メトキシフェノール0.55g、ジブチル錫ジラウレート0.55g、メチルエチルケトン110.20gを仕込み、空気気流下で65°Cまで均一撹拌しながら昇温した。滴下容器にトリメチルヘキサメチレンジイソシアネート305.90g1.46molを仕込み、65°Cで均一攪拌しながら3時間かけて反応容器に滴下した。滴下終了後、滴下容器をメチルエチルケトン76.50gを用いて洗浄し、洗浄後の溶液は反応容器にそのまま投入した。さらに均一撹拌しながら2時間保温した後、75°Cに昇温し、5時間均一攪拌を行った。次いで、反応容器内にメタノール9.30gを添加し、60°Cで30分均一攪拌を行った。その後メチルエチルケトンを56.40g添加し、透明な樹脂溶液を得た。上記反応を行うことで分子内にウレタン結合及びメタクリロイル基を含有する樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は75、重量平均分子量は14,800であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量は合成例1と同様の方法で測定した。得られた樹脂溶液を66.7g固形分として50g、ラジカル重合性化合物として2,2‘-ビス4-メタクリロキシペンタエトキシフェニルプロパン30g、バインダー樹脂としてメタクリル酸、メタクリル酸メチル及びアクリル酸ブチルを重量比22:71:7の割合で共重合させた樹脂溶液重量平均分子量は80,000、固形分の酸価は143mgKOH/g、メチルセルソルブ/トルエン=6/4重量比に固形分濃度40になるように溶解させた溶液を162.5g固形分として65g、光重合開始剤としてベンゾフェノン3.5g及びN,N’-テトラエチル-4,4‘-ジアミノベンゾフェノン0.1g、熱硬化性樹脂としてイソシアヌレート型ヘキサメチレンジイソシアネート系イソシアネート化合物とブロック剤としてメチルエチルケトンオキシムを反応させて得られるブロック化イソシアネート化合物の75メチルエチルケトン溶液20g固形分として15g、リン系難燃剤として大八化学工業株式会社製の製品名CR-747を40g、希釈剤としてアセトン85gを配合攪拌して3本ロールにて分散させて感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物を実施例1と同様の方法で物性評価を行った。その結果を表2に記載する。尚、上記感光性樹脂組成物には、A1成分、B成分が含まれない。比較例3クレゾールノボラック型エポキシ樹脂YDCN-703東都化成株式会社製、エポキシ当量200100.00gに、エチルカルビトールアセテート80.00gを加え、撹拌下120°Cで加熱溶解させた。60°Cまで冷却した後、メタアクリル酸エステル系ポリマー微粒子のエマルションガラス転移温度-8°C、固形分46.043.48g固形分として20.00gを加え、撹拌下で130°Cまで昇温し、水を完全に除去した。次いで、アクリル酸36.90g、塩化第二クロム六水和物0.14gおよびメチルハイドロキノン0.11gを加え、110°Cで3時間反応させた。反応物の酸価が3.0mgKOH/gになり、アクリロイル基の導入が確認された。次に、テトラヒドロ無水フタル酸45.60g、エチルカルビトールアセテート29.00gおよび無水塩化リチウム0.14gを加え、100°Cで3時間反応させて、メタアクリル酸エステル系ポリマー微粒子を6.4と、酸価90mgKOH/gの光硬化性樹脂を58.6含むエチルカルビトールアセテートとの混合樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液を90g固形分としてポリマー微粒子5.8g、光硬化性樹脂52.7g、多官能モノマーとしてペンタエリスリトールテトラアクリレート15.0g、希釈剤としてエチルカルビトールアセテート20.0g、光重合開始剤としてBASFジャパン株式会社製の製品名イルガキュア907を8.0g、熱硬化性樹脂としてフェノールノボラック型エポキシ樹脂20.0g、エポキシ硬化剤としてジシアンジアミド2.0g、充填剤として硫酸バリウム30.0g、消泡剤として共栄社化学株式会社製の製品名フローレンAC300を1.2g、顔料としてフタロシアニングリーン0.6gを配合攪拌して3本ロールにて分散させて感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物を実施例1と同様の方法で物性評価を行った。その結果を表2に記載する。尚、上記感光性樹脂組成物には、A1成分、A2成分が含まれない。"