ソレノイドコイルへの通電により励磁されて吸引力を及ぼしあう可動子および固定子、前記可動子を前記固定子による吸引方向とは反対の方向に付勢するバネ、ならびに、前記可動子の移動に応じて開弁動作または閉弁動作をする弁体とを備え、前記ソレノイドコイルへの通電により前記固定子の方に前記可動子を吸引することで、前記弁体を駆動するとともに前記バネを弾性変形させ、さらに前記可動子を前記固定子に当接するまで移動させ、前記バネは、前記ソレノイドコイルへの通電時の変形量が大きいほどバネ定数が大きくなる非線形特性を有することを特徴とする電磁弁。請求項1に記載の電磁弁において、前記可動子は、前記弁体が所定の応答位置に到達して移動を停止した後も移動し続けて前記固定子に当接し、前記バネの非線形特性は前記バネ定数に関して大小2つの数値を有し、前記バネ定数は、前記変形量が所定の閾値を超えたときに小さい数値から大きい数値に切り替わり、前記所定の閾値は、前記弁体が前記所定の応答位置に到達して移動を停止したときの前記変形量と、前記可動子が前記固定子に当接したときの前記変形量との間に設定されていることを特徴とする電磁弁。請求項1または請求項2に記載の電磁弁において、前記バネは大小2つのピッチを有するコイルスプリングであり、このコイルスプリングは、両端のピッチが小さく、かつ両端の間の中央のピッチが大きいことを特徴とする電磁弁。請求項1ないし請求項3の内のいずれか1つに記載の電磁弁を備え、内燃機関に燃料を供給する燃料供給ポンプであって、軸方向に往復動するプランジャと、このプランジャを軸方向に摺動自在に支持して収容するシリンダ孔を有するシリンダボディと、前記プランジャを駆動するカムとを備え、前記シリンダ孔の軸方向一端を前記プランジャにより液密的に区画することで燃料の加圧室を形成し、前記電磁弁は、前記加圧室への燃料の吸入路に対して前記加圧室を開閉するように組み込まれ、前記加圧室からの燃料の吐出路には、この吐出路に対して前記加圧室を開閉する逆止弁が配置され、この逆止弁は、前記加圧室の燃料圧が所定の開弁圧を超えると開弁するように設けられ、前記プランジャを前記シリンダ孔で軸方向に摺動自在に支持するとともに往復動させて前記加圧室の容積を可変し、前記加圧室の容積を縮小して前記加圧室の燃料を圧縮しているときに、前記電磁弁により前記加圧室を前記吸入路に対して閉鎖することで、前記加圧室の燃料圧を増圧するとともに前記逆止弁を開弁させ、圧縮した燃料を前記加圧室から吐出することを特徴とする燃料供給ポンプ。本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、電磁弁において、弁体の応答性を下げることなく、可動子が固定子に当接するときの当接音を下げることにある。請求項1の手段請求項1の手段によれば、電磁弁は、ソレノイドコイルへの通電により励磁されて吸引力を及ぼしあう可動子および固定子、可動子を固定子による吸引方向とは反対の方向に付勢するバネ、ならびに、可動子の移動に応じて開弁動作または閉弁動作をする弁体とを備え、ソレノイドコイルへの通電により固定子の方に可動子を吸引することで、弁体を駆動するとともにバネを弾性変形させ、さらに可動子を固定子に当接するまで移動させる。そして、バネは、ソレノイドコイルへの通電時の変形量が大きいほどバネ定数が大きくなる非線形特性を有する。これにより、吸引力による可動子の加速度は、可動子の移動開始後、バネの変形量が大きくなるほど小さくなる。したがって、可動子が移動を開始してから固定子に当接するまでの間に弁体が所定の応答位置に達する場合を考え、可動子が移動を開始してから弁体が所定の応答位置に達するまでの第1期間と、弁体が所定の応答位置に達してから可動子が固定子に当接するまでの第2期間とで可動子の加速を比較すると、第2期間の方が第1期間よりも可動子の加速が緩和される。このため、電磁弁において、弁体の応答性を下げることなく、可動子が固定子に当接するときの当接音を下げることができる。請求項2の手段請求項2の手段によれば、可動子は、弁体が所定の応答位置に到達して移動を停止した後も移動し続けて固定子に当接する。また、バネの非線形特性はバネ定数に関して大小2つの数値を有し、バネ定数は、変形量が所定の閾値を超えたときに小さい数値から大きい数値に切り替わる。そして、所定の閾値は、弁体が所定の応答位置に到達して移動を停止したときの変形量と、可動子が固定子に当接したときの変形量との間に設定されている。これにより、可動子は、弁体が所定の応答位置に到達するまで、吸引力による加速がバネの付勢力によってさほど緩和されず、弁体が所定の応答位置に到達した後に、吸引力による加速がバネの付勢力によって大きく緩和される。このため、より確実に、弁体の応答性を下げることなく、可動子が固定子に当接するときの当接音を下げることができる。請求項3の手段請求項3の手段によれば、バネは大小2つのピッチを有するコイルスプリングであり、コイルスプリングは、両端のピッチが小さく、かつ両端の間の中央のピッチが大きい。これにより、弁体の応答性を下げることなく当接音を緩和することができるバネを、容易に製造することができる。請求項4の手段請求項4の手段によれば、燃料供給ポンプは、請求項1~請求項3の内のいずれか1つに記載の電磁弁を備え、内燃機関に燃料を供給する。また、燃料供給ポンプは、軸方向に往復動するプランジャと、プランジャを軸方向に摺動自在に支持して収容するシリンダ孔を有するシリンダボディと、プランジャを駆動するカムとを備え、シリンダ孔の軸方向一端をプランジャにより液密的に区画することで燃料の加圧室を形成する。また、電磁弁は、加圧室への燃料の吸入路に対して加圧室を開閉するように組み込まれ、加圧室からの燃料の吐出路には、吐出路に対して加圧室を開閉する逆止弁が配置され、逆止弁は、加圧室の燃料圧が所定の開弁圧を超えると開弁するように設けられている。そして、燃料供給ポンプは、プランジャをシリンダ孔で軸方向に摺動自在に支持するとともに往復動させて加圧室の容積を可変し、加圧室の容積を縮小して加圧室の燃料を圧縮しているときに、電磁弁により加圧室を吸入路に対して閉鎖することで、加圧室の燃料圧を増圧するとともに逆止弁を開弁させ、圧縮した燃料を加圧室から吐出する。この手段は、弁体の応答性を下げることなく当接音を緩和することができる電磁弁を、燃料供給ポンプに適用する一態様を示すものである。実施形態の電磁弁は、ソレノイドコイルへの通電により励磁されて吸引力を及ぼしあう可動子および固定子、可動子を固定子による吸引方向とは反対の方向に付勢するバネ、ならびに、可動子の移動に応じて開弁動作または閉弁動作をする弁体とを備え、ソレノイドコイルへの通電により固定子の方に可動子を吸引することで、弁体を駆動するとともにバネを弾性変形させ、さらに可動子を固定子に当接するまで移動させる。そして、バネは、ソレノイドコイルへの通電時の変形量が大きいほどバネ定数が大きくなる非線形特性を有する。また、可動子は、弁体が所定の応答位置に到達して移動を停止した後も移動し続けて固定子に当接する。また、バネの非線形特性はバネ定数に関して大小2つの数値を有し、バネ定数は、変形量が所定の閾値を超えたときに小さい数値から大きい数値に切り替わる。そして、所定の閾値は、弁体が所定の応答位置に到達して移動を停止したときの変形量と、可動子が固定子に当接したときの変形量との間に設定されている。さらに、バネは大小2つのピッチを有するコイルスプリングであり、コイルスプリングは、両端のピッチが小さく、かつ両端の間の中央のピッチが大きい。また、実施形態の燃料供給ポンプは電磁弁を備え、内燃機関に燃料を供給する。また、燃料供給ポンプは、軸方向に往復動するプランジャと、プランジャを軸方向に摺動自在に支持して収容するシリンダ孔を有するシリンダボディと、プランジャを駆動するカムとを備え、シリンダ孔の軸方向一端をプランジャにより液密的に区画することで燃料の加圧室を形成する。また、電磁弁は、加圧室への燃料の吸入路に対して加圧室を開閉するように組み込まれ、加圧室からの燃料の吐出路には、吐出路に対して加圧室を開閉する逆止弁が配置され、逆止弁は、加圧室の燃料圧が所定の開弁圧を超えると開弁するように設けられている。そして、燃料供給ポンプは、プランジャをシリンダ孔で軸方向に摺動自在に支持するとともに往復動させて加圧室の容積を可変し、加圧室の容積を縮小して加圧室の燃料を圧縮しているときに、電磁弁により加圧室を吸入路に対して閉鎖することで、加圧室の燃料圧を増圧するとともに逆止弁を開弁させ、圧縮した燃料を加圧室から吐出する。実施例の構成実施例の燃料供給ポンプ1の構成を、図1を用いて説明する。燃料供給ポンプ1は、例えば、車両の内燃機関図示せずに噴射供給すべき燃料を加圧して吐出するものである。そして、燃料供給ポンプ1は、例えば、蓄圧容器としてのコモンレールで高圧状態に蓄圧された燃料を内燃機関に噴射供給する蓄圧式の燃料噴射装置の一部を構成し、燃料タンクから汲み上げた燃料を加圧して吐出することでコモンレールに供給する。なお、燃料噴射装置は、各機器の動作を制御する電子制御ユニット以下、ECU2と呼ぶを備えており、燃料供給ポンプ1の動作もECU2により制御される。燃料供給ポンプ1は、軸方向に往復動するプランジャ3と、プランジャ3を軸方向に摺動自在に支持して収容するシリンダ孔4を有するシリンダボディ5と、プランジャ3を駆動するカム6とを備え、シリンダ孔4の軸方向一端をプランジャ3により液密的に区画することで燃料の加圧室7を形成している。また、燃料供給ポンプ1は、加圧室7への燃料の吸入路9に対して加圧室7を開閉する電磁弁10を備え、加圧室7からの燃料の流出口には、加圧室7からの燃料の吐出路11に対して加圧室7を開閉する逆止弁12が配置され、逆止弁12は、加圧室7の燃料圧が所定の開弁圧を超えると開弁するように設けられている。以上のような構成により、燃料供給ポンプ1は、プランジャ3をシリンダ孔4で軸方向に摺動自在に支持するとともに往復動させて加圧室7の容積を可変する。そして、燃料供給ポンプ1は、加圧室7の容積を縮小して加圧室7の燃料を圧縮しているときに、電磁弁10により加圧室7を吸入路9に対して閉鎖することで、加圧室7の燃料を圧縮して加圧室7の燃料圧を増圧するとともに逆止弁12を開弁させ、圧縮した燃料を加圧室7から吐出する。また、燃料供給ポンプ1は、加圧室7の容積を拡大しているときに、加圧室7を吸入路9に対して開放しておき、加圧室7に燃料を吸入する。また、電磁弁10は、ソレノイドコイル14への通電により励磁されて吸引力を及ぼしあう可動子15および固定子16、可動子15を固定子16による吸引方向とは反対の方向に付勢する第1バネ17、可動子15の移動に応じて加圧室7を吸入路9に対して開閉する弁体18、ならびに、加圧室7を吸入路9に対して閉鎖する方向に弁体18を付勢する第2バネ19を備える。ここで、吸入路9の内、シリンダボディ5に設けられる部分には、弁体18が離着する座面20が形成されており、弁体18は、座面20に着座することで加圧室7を吸入路9に対して閉鎖し、座面20から離座することで加圧室7を吸入路9に対して開放する。また、弁体18は、ロッド21と一体に設けられており、ロッド21は、可動子15に当接し、可動子15、弁体18およびロッド21は一体となって移動することができる。また、可動子15、固定子16、弁体18、および第1、第2バネ17、19は、電磁弁10において同軸をなすように組み込まれており、可動子15および固定子16に作用する吸引力の方向、第1、第2バネ17、19の伸縮方向は、プランジャ3やシリンダ孔4の軸方向に一致している。さらに、第1、第2バネ17、19は、ソレノイドコイル14への通電が停止されている状態で、弁体18が座面20から離座するようにセットされている。なお、ECU2は、ソレノイドコイル14への通電の開始および停止を指令することで電磁弁10の弁体18を駆動させ、燃料供給ポンプ1の動作を制御する。以上のような構成により、電磁弁10は、ソレノイドコイル14への通電開始により固定子16の方に可動子15を吸引することで、弁体18を座面20に向けて駆動するとともに可動子15により第1バネ17を圧縮し、さらに可動子15を固定子16に当接するまで移動させる。これにより、弁体18は、座面20に着座して加圧室7を吸入路9に対して閉鎖する。また、可動子15は、弁体18が座面20に着座した後、ロッド21との当接を解除して固定子16の方に移動し続けて固定子16に当接する。そして、電磁弁10は、ソレノイドコイル14への通電停止により、第1バネ17の付勢力によって可動子15を固定子16から引き離すとともに可動子15をロッド21に当接させ、さらに、可動子15と弁体18とを一体として移動させる。これにより、弁体18は、第2バネ19を圧縮するとともに座面20から離座して加圧室7を吸入路9に対して開放する。実施例の特徴実施例の燃料供給ポンプ1の特徴を、図1および図2を用いて説明する。まず、第1バネ17は、大小2つのピッチを有するコイルスプリングであり、両端のピッチが小さく、かつ両端の間の中央のピッチが大きい不等ピッチバネである以下、第1バネ17において、両端のピッチが小さい部分を小ピッチ部23と呼び、中央のピッチが大きい部分を大ピッチ部24と呼ぶ。。これにより、第1バネ17では、圧縮量が小さいときに主に小ピッチ部23が圧縮され、圧縮量が大きいときに主に大ピッチ部24が圧縮される。このため、第1バネ17は、圧縮量が大きいほどバネ定数が大きくなる非線形特性を有する図2b参照。より具体的に、第1バネ17の非線形特性は、バネ定数に関して大小2つの数値A、Bを有し、バネ定数は、圧縮量が所定の閾値Cを超えたときに小さい数値Aから大きい数値Bに切り替わる。そして、閾値Cは、ソレノイドコイル14への通電開始により弁体18が座面20に到達して移動を停止したときの圧縮量として設定されている。すなわち、第1バネ17は、可動子15が移動を開始してから弁体18が座面20に着座するまでの第1期間において、バネ定数を数値Aとして圧縮されていき、弁体18が座面20に着座してから可動子15が固定子16に当接するまでの第2期間において、バネ定数を数値Bとして圧縮されていく。したがって、第1、第2期間で可動子15の加速を比較すると、第2期間の方が第1期間よりも加速が緩和される。実施例の効果実施例の燃料供給ポンプ1によれば、電磁弁10は、可動子15を固定子16による吸引方向とは反対の方向に付勢する第1バネ17を備え、ソレノイドコイル14への通電により固定子16の方に可動子15を吸引することで、弁体18を駆動するとともに第1バネ17を圧縮し、可動子15は、弁体18が座面20に着座した後も移動し続けて固定子16に当接する。そして、第1バネ17は、圧縮量が大きいほどバネ定数が大きくなる非線形特性を有する。これにより、吸引力による可動子15の加速度は、可動子15の移動開始後、第1バネ17の圧縮量が大きくなるほど小さくなる。したがって、第1、第2期間で可動子15の加速を比較すると、第2期間の方が第1期間よりも可動子15の加速が緩和される。このため、電磁弁10において、弁体18の閉弁応答性を下げることなく、可動子15が固定子16に当接するときの当接音を下げることができる。また、第1バネ17の非線形特性はバネ定数に関して大小2つの数値A、Bを有し、バネ定数は、圧縮量が所定の閾値Cを超えたときに小さい数値Aから大きい数値Bに切り替わる。そして、閾値Cは、弁体18が座面20に着座して移動を停止したときの圧縮量として設定されている。これにより、可動子15は、弁体18が座面20に着座するまで、第1バネ17の付勢力によって加速がさほど緩和されず、弁体18が座面20に着座した後に、第1バネ17の付勢力によって加速が大きく緩和される。このため、より確実に、弁体18の閉弁応答性を下げることなく、可動子15が固定子16に当接するときの当接音を下げることができる。さらに、第1バネ17は小、大ピッチ部23、24を有するコイルスプリングである。これにより、弁体18の閉弁応答性を下げることなく当接音を緩和することができる第1バネ17を、容易に製造することができる。変形例燃料供給ポンプ1の電磁弁10の態様は、実施例に限定されず、種々の変形例を考えることができる。例えば、実施例の電磁弁10によれば、第1バネ17は、圧縮量が大きいほど強い付勢力を可動子15に及ぼす圧縮バネであったが、例えば、伸長量が大きいほど強い付勢力を可動子15に及ぼす伸長バネを第1バネ17として採用してもよい。また、実施例の電磁弁10は、ソレノイドコイル14への通電開始により加圧室7を吸入路9に対して閉鎖するものであったが、ソレノイドコイル14への通電開始により加圧室7を吸入路9に対して開放するようにしてもよい。また、実施例の電磁弁10によれば、第1バネ17の非線形特性は、バネ定数に関して大小2つの数値A、Bを有し、圧縮量が所定の閾値Cを超えたときに小さい数値Aから大きい数値Bに切り替わるものであったが、このような態様に限定されない。例えば、バネ定数に関して大、中、小の3つの数値を有し、バネの弾性変形量が第1の閾値を超えたときに小さい数値から中の数値に切り替わり、第2の閾値を超えたときに中の数値から大きい数値に切り替わるようにしてもよい。また、バネ定数が弾性変形量の増加に応じて連続的に大きくなるようにしてもよい。さらに、実施例の電磁弁10によれば、第1バネ17はコイルスプリングであったが、板バネ、皿バネ等を第1バネ17として採用してもよい。