亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気と、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも1種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気とを流動し、それぞれの流動方向が90度以上の角度で前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させることによって混合する混合工程と、該混合工程で混合された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化工程とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造方法であって、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が3.0~10.0ミリ秒以下であることを特徴とする導電性酸化亜鉛粉末の製造方法。亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気を流動させる亜鉛含有蒸気流動路と、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも1種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気を流動させるハロゲン化アルミニウム含有蒸気流動路と、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気の混合蒸気を流動させる混合蒸気流動路と、該混合蒸気流動路の下流に設けられ、流動された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化反応槽とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造装置であって、前記亜鉛含有蒸気流動路と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気流動路は、それらの下流側でそれぞれの流動方向が90度以上の角度で合流して、前記混合蒸気流動路の上流側に連通しており、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が3.0~10.0ミリ秒以下になるように調整できることを特徴とする導電性酸化亜鉛粉末の製造装置。しかしながら、特許文献8に記載の製造方法には、導電性酸化亜鉛粉末の導電性能に関して、さらに改善する余地がある。そこで、本発明は、帯電静電防止を目的としたフィラー用途、更には透明導電膜形成のための導電ペースト原料などの用途に好適な均質で高導電性の酸化亜鉛粉末を安定して製造できる方法及びその製造装置を提供することを目的とする。本発明者らは、導電性酸化亜鉛粉末の安定製造に関して鋭意研究を重ねたところ、先ず、以下の問題があるとの知見に至った。即ち、亜鉛蒸気とハロゲン化アルミニウム蒸気とからなる混合蒸気を酸化性ガスにより酸化させて導電性酸化亜鉛粉末を得ることができるが、亜鉛の沸点以上の高温で亜鉛蒸気とハロゲン化アルミニウム蒸気を不用意に混合すると、ハロゲンと亜鉛が反応してハロゲン化亜鉛が生成し、それが酸化性ガスと接触して酸化されると、塩基性ハロゲン化亜鉛が生成してしまう。塩基性ハロゲン化亜鉛は、酸化亜鉛の導電性を低下させてしまうし、酸化亜鉛粉末の中に塩素が残っているとフィラーやペーストなどとして使用したときに悪影響を及ぼすという問題が発生する。そして、本発明者らは、上記問題を解決すべく、さらに鋭意研究を重ねた結果、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流する際の角度と、合流してから酸化性ガスと接触するまでの時間とを調整することによって、高導電性の酸化亜鉛粉末を安定して製造できることを見出した。すなわち、本発明は、亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気と、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも1種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気とを流動し、それぞれの流動方向が90度以上の角度で前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させることによって混合する混合工程と、該混合工程で混合された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化工程とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造方法であって、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が3.0~10.0ミリ秒以下であることを特徴とする導電性酸化亜鉛粉末の製造方法である。また、本発明は、亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気を流動させる亜鉛含有蒸気流動路と、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも1種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気を流動させるハロゲン化アルミニウム含有蒸気流動路と、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気の混合蒸気を流動させる混合蒸気流動路と、該混合蒸気流動路の下流に設けられ、流動された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化反応槽とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造装置であって、前記亜鉛含有蒸気流動路と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気流動路は、それらの下流側でそれぞれの流動方向が90度以上の角度で合流して、前記混合ガス流動路の上流側に連通しており、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が3.0~10.0ミリ秒以下になるように調整できることを特徴とする導電性酸化亜鉛粉末の製造装置である。本発明によれば、帯電静電防止を目的としたフィラー用途、更には透明導電膜形成のための導電ペースト原料などの用途に好適な均質で高導電性の酸化亜鉛粉末を安定して製造できる方法及びその製造装置を提供することができる。次に、本発明に係る導電性酸化亜鉛粉末の製造方法及び製造装置の実施形態について図面に基づいて説明する。本実施形態に係る導電性酸化亜鉛粉末の製造装置は、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気の混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化反応槽10と、上流側下方から亜鉛蒸気が導入され、下流側上方が酸化反応槽10に連通する第1流動筒12と、上流側からハロゲン化アルミニウム含有蒸気が導入され、下流側が第1流動筒12に連通する第2流動筒14とを備えている。第1流動筒12は、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気とを混合して、その混合蒸気を酸化性ガス雰囲気に噴出する役割を持つが、その形状は円筒型が好ましい。第1流動筒12の上流側は、亜鉛含有蒸気噴出ノズル16を介して亜鉛含有蒸気発生部18に連通している。亜鉛含有蒸気発生部18は、金属亜鉛を加熱することにより亜鉛含有蒸気を発生させ、そこに接続されたキャリアガス導入管20から導入されたアルゴンなどのキャリアガスとともに、亜鉛含有蒸気を亜鉛含有蒸気噴出ノズル16を介して第1流動筒12の上流側に導入するように構成されている。また、第1流動筒12の下流側には、混合蒸気噴出口28が設けられており、第1流動筒12内で混合された混合蒸気が混合蒸気噴出口28から酸化反応槽10内に噴出するよう構成されている。第1流動筒12において、第2流動筒14の連通位置よりも上流側下方が亜鉛蒸気流動路として機能し、下流側上方が混合蒸気流動路として機能する。本発明において、亜鉛含有蒸気の原料となる金属亜鉛としては、その純度が99.9質量以上であることが好ましく、例えば、市販の電気亜鉛のような3Nスリーナインレベルの純度の金属亜鉛を使用することができる。第2流動筒14の上流側は、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル22を介してハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部24に連通している。ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部24は、ハロゲン化アルミニウムを加熱することによりハロゲン化アルミニウム含有蒸気を発生させ、そこに接続されたキャリアガス導入管26から導入されたアルゴンなどのキャリアガスとともに、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気をハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル22を介して第2流動筒14の上流側に導入するように構成されている。第2流動筒14の下流側は、第1流動筒12の流動方向の中程に連通している。また、本発明において、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気に用いられるハロゲン化アルミニウムは、亜鉛の沸点以下の沸点を有するものを使用することができる。ハロゲン化アルミニウムの沸点が亜鉛の沸点よりも高いと、ハロゲン化アルミニウムの蒸気が、より沸点の低い亜鉛蒸気と混合されたときに凝縮してしまうので、アルミニウムが酸化アルミニウムとして析出しやすく、アルミニウムが導電性に寄与しなくなる。亜鉛よりも沸点の低いハロゲン化アルミニウムとして、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、沃化アルミニウムが挙げられる。第1流動筒12と第2流動筒14は、それぞれに流動する亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気が、流動方向が90度以上の角度で合流するように連通している。両蒸気が合流する角度を混合角度という。例えば、図2に示すように上方に流動する亜鉛含有蒸気に対して、斜め上方からハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させても良く、また図3に示すように水平方向に流動する亜鉛含有蒸気に対して、水平方向反対混合角度が180度からハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させても良い。さらに、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気の導入方法の例として、図4のように円筒型第1流動筒12の断面に対して接線方向から導入する方法も採用できる。このようにして導入すると第1流動筒12内で両蒸気が旋回するので混合性が高まって好ましい。なお、本実施形態においては、第1流動筒12に亜鉛含有蒸気を導入し、第2流動筒14にハロゲン化アルミニウム含有蒸気を導入したが、その逆であっても良い。本実施形態に係る導電性酸化亜鉛粉末の製造装置において、第1流動筒12の下流から導入された亜鉛含有蒸気は、上方に流動し、第2流動筒14から導入されたハロゲン化アルミニウム含有蒸気と合流し、混合され、混合蒸気が混合蒸気噴出口28から酸化反応槽10に噴出され、酸化反応槽10内の酸化性ガスと接触する。混合蒸気は、酸化性ガスと接触すると、酸化され導電性酸化亜鉛粉末が生成する。生成した導電性酸化亜鉛粉末は、バグフィルターなどの製品捕集器図示せずにより捕集される。第1流動筒12の下流から導入される亜鉛含有蒸気の濃度は、10~50体積であることが好ましい。10体積未満では、酸化反応温度が低くなり亜鉛が十分に酸化されないため好ましくない。また、濃度が50体積を超えると、混合蒸気噴出口28の出口で析出が起こり、噴出口28が閉塞して安定製造できないため好ましくない。また、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気の混合の際の両者の混合比は、酸化亜鉛として計算して100重量部の酸化亜鉛に対して、ドーパント形成性金属の酸化物として計算して0.005~5重量部のアルミニウムとなるように調節することが好ましい。アルミニウム含有量が上記の範囲よりも少ない場合には充分な導電性が得られない。一方、上記の範囲よりも多く添加しても添加量に応じた添加効果の増加が得られない。亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気は、酸化性ガスと接触する前に充分混合されていることが好ましく、第1流動筒12において、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が、3.0~10.0ミリ秒の範囲であることが好ましい。混合時間が3.0ミリ秒未満の場合、両蒸気が第1流動筒12内で十分に混合されず、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気がそれぞれ分離した状態で酸化され、酸化亜鉛と酸化アルミニウムの混合粉末が製造される。このような粉末は導電性を示さなくなるため好ましくない。また、混合時間が10.0ミリ秒を超えると、第1流動筒12の噴出口から酸化性ガス雰囲気に噴出されて酸化される前に、第1流動筒12内で亜鉛蒸気とハロゲン化アルミニウム蒸気が反応し、ハロゲン化亜鉛が生成する。生成したハロゲン化亜鉛は、酸化性雰囲気に噴出され酸化されて塩基性ハロゲン化亜鉛となり、導電性酸化亜鉛粉末中に取り込まれる。塩基性ハロゲン化亜鉛は酸化亜鉛の導電性を阻害するため、得られた導電性酸化亜鉛粉末の導電性が著しく低下するため好ましくない。亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間とは、第1流動筒12内で亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流し、混合され、混合蒸気噴出口28から酸化性雰囲気中に噴出されるまでの時間以下、混合時間というである。混合時間は、例えば、下記数1で示されるように、混合距離、第1流動筒12の断面積、及び第1流動筒12内に導入されるガス量から算出することができ、また、それらにより混合時間を調節することができる。ここで、混合距離とは、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流する地点から混合蒸気噴出口28までの距離をいい、本実施形態においては、図1に示すように第1流動筒12の第2流動筒14が連通する開口の上端から混合蒸気噴出口28までの距離をいう。また、全ガス流量は、例えば、下記数2に示すように各ガスの流量や第1流動筒の温度から算出することができ、全ガス流量は、第1流動筒12内の温度などによって調整することができる。ここで、混合距離は、0.02~0.50mが好ましい。混合距離が0.02m未満では、十分な導電性能が得られない。0.50mを超えると、第1流動筒内のガス流速が速くなりすぎてフレームが立たなくなる。また、第1流動筒12の内径は、5~50mmの範囲が好ましい。5mmよりも短いと混合蒸気噴出口28が析出物により閉塞に至りやすく安定製造できない。50mmよりも長いと第1流動筒12の径方向の混合距離が長くなって亜鉛蒸気とアルミニウム蒸気の混合が不十分になり、十分な導電性が得られなくなる。また、第1流動筒12内の温度は、亜鉛の沸点以上である必要があり、950~1200°Cが好ましい。950°C未満の温度では、亜鉛蒸気がノズル内で凝縮してしまうため好ましくない。1200°Cを超えると、材料的にも経済的にも見合わなくなってしまうため好ましくない。本発明に係る導電性酸化亜鉛粉末の製造方法において、両蒸気を第1流動筒12に導く過程に、キャリアガスとしてヘリウム、ネオン、アルゴンなどのような不活性ガスを使用しても良い。また、混合時間を調整する目的と、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気の第1流動筒12内での混合性を高める目的のため、混合ガスを用いることができる。混合ガスとしては、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンなどのような不活性ガスが挙げられる。混合ガスは、図1に示すように第1流動筒12内の混合性を高めるため、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル22の途中に接続された混合ガス導入ノズル30を介して、あらかじめハロゲン化アルミニウム含有蒸気と混合されて第1流動筒12に導入されることが好ましい。このような形状にすることにより、ハロゲン化アルミニウムの蒸発速度に影響を与えることなく、混合ガスを導入することができる。別途、混合ガスを導入するノズルを設置しても良いが、第1流動筒12形状が複雑になるので、加工性やコストの面から好ましくない。以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。亜鉛及びハロゲン化アルミニウムの蒸発速度、キャリアガス流量、導電性酸化亜鉛粉末中のアルミニウム含有量、体積抵抗率及び比表面積は、以下の方法で測定した。蒸発速度亜鉛及びハロゲン化アルミニウムの蒸発速度は、実験中の重量変化により算出した。キャリアガス流量キャリアガス流量は、マスフロメーター0°C、1気圧体積流量で測定した。アルミニウム含有量導電性酸化亜鉛粉末中のアルミニウム含有量は、ICP発光分析で分析した。体積抵抗率アルミニウム含有導電性酸化亜鉛粉末の体積抵抗率は、以下の方法で測定した。導電性酸化亜鉛粉末を一軸加圧で200MPa圧粉体に成形し、抵抗値をデジタルマルチメーターケースレイ2000で測定し、体積抵抗率を算出した。比表面積導電性酸化亜鉛粉末の比表面積は、窒素ガス吸着によるBET1点法により測定した。実施例1~3まず、図1に示す装置を使い、表1に示す条件で導電性酸化亜鉛粉末を製造した。亜鉛含有蒸気発生部18内に収容された金属亜鉛株高純度化学研究所製:純度99.9以上を1100°Cに加熱し、アルゴンガス1NL/minをキャリアガス導入管20より供給した。生成した亜鉛含有蒸気は、亜鉛含有蒸気噴出ノズル16から第1流動筒12に導かれた。亜鉛蒸気は、2.5g/minで発生した。同時に、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部24内に収容された塩化アルミニウム和光純薬工業株製、試薬特級を200°Cに加熱し、アルゴンガス0.5NL/minをキャリアガス導入管26より供給した。生成した塩化アルミニウム含有蒸気は、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル22から第1流動筒12に導かれた。塩化アルミニウム蒸気は0.15~0.17g/minで発生した。混合ガスとして、アルゴンガス1.3~4.0L/minを混合ガス導入ノズル30からハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル22の上流に導入した。第1流動筒12は、図2に示す円筒型第1流動筒12で混合角度90度のものを使用した。第1流動筒12の内径は、12mmφ、混合距離は25mmであった。第1流動筒12の温度は、1000°Cであった。このときの混合時間は、5.7~9.9ミリ秒であった。結果を表2に示す。いずれも体積抵抗率が2.1Ωcm以下の高導電性酸化亜鉛粉末を得た。実施例4表1に示すように、ハロゲン化アルミニウムが臭化アルミニウム和光純薬工業株製、試薬特級で、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部24の加熱温度が290°Cであること以外は、実施例2と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、8.3ミリ秒であった。結果を表2に示す。体積抵抗率が1.5Ωcmの高導電性酸化亜鉛粉末を得た。実施例5表1に示すように、ハロゲン化アルミニウムが沃化アルミニウム和光純薬工業株製、試薬特級で、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部24の加熱温度が400°Cであること以外は、実施例2と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、8.3ミリ秒であった。結果を表2に示す。体積抵抗率が1.7Ωcmの高導電性酸化亜鉛粉末を得た。実施例6~8混合ガスとしてのアルゴン量を0.2~0.7L/minとしたことと、第1流動筒12の内径を6mmφにしたこと以外は、実施例1~3と同様の方法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、3.1~3.8ミリ秒であった。結果を表2に示す。いずれも体積抵抗率が4.3Ωcm以下の高導電性酸化亜鉛粉末を得た。比較例1、2混合ガスとしてアルゴン量を0.5~1.0L/minとしたこと以外は、実施例1~3と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、10.7~12.5ミリ秒であった。結果を表2に示す。いずれも体積抵抗率は540Ωcm以上であり、著しく導電性の低い酸化亜鉛であった。比較例3、4混合ガスとしてアルゴン量を1.5~4.0L/minとしたこと以外は、実施例6~8と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、1.5~2.5ミリ秒であった。結果を表2に示す。いずれも体積抵抗率は980Ωcm以上であり、著しく導電性の低い酸化亜鉛であった。実施例9~11第1流動筒12の混合角度を120~180度に変えたこと以外は、実施例2と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、8.3ミリ秒であった。結果を表2に示す。いずれも体積抵抗率が0.85Ωcm以下の導電性酸化亜鉛粉末を得た。比較例5~7第1流動筒12の混合角度を0~60度に変えたこと以外は、実施例2と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、8.3ミリ秒であった。結果を表2に示す。いずれも体積抵抗率は130Ωcm以上であり、著しく導電性の低い酸化亜鉛であった。