"アクチュエーターと、前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含むアーム連結装置と、複数のアームが、前記アーム連結装置により直列且つ回転可能に連結されたアーム体と、前記アーム体の一方の端部に設けられた前記アクチュエーターと前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含む基体連結装置により前記アーム体が回転可能に連結された基体と、複数の前記アームの内、被作業物保持手段が取り付けられた作業アームの前記被作業物保持手段が取り付けられる取付位置には、少なくとも角速度センサーを含む、慣性センサーと、を備え、前記角度センサーの回転角度検出データより、前記アームの角速度を演算する第1演算部と、前記慣性センサーの角速度検出データより、前記作業アームの前記取付位置での角速度を演算する第2演算部と、前記アームの前記角速度と、前記慣性センサーの前記角速度検出データによって演算された前記アームの前記角速度と、の差より、前記アクチュエーターと前記アクチュエーターに連結される前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第3演算部と、前記ねじれ角速度から、前記作業アームのオーバーシュートを演算する第4演算部と、前記作業アームの前記オーバーシュートとオーバーシュート規定値とを比較する比較手段を含み、前記比較手段のオーバーシュート比較結果によって速度ループ積分ゲインを増減させる制御部と、を備える、ことを特徴とするロボット装置。前記比較部は、前記作業アームのタクトタイムとタクトタイム規定値とを比較し、前記オーバーシュート比較結果とタクトタイム比較結果と、により前記速度ループ積分ゲインを増減させる、ことを特徴とする請求項1に記載のロボット装置。前記第4演算部によって演算された前記オーバーシュート、および前記タクトタイムの結果を表示する外部表示手段を備える、ことを特徴とする請求項1または2に記載のロボット装置。アクチュエーターと、前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含むアーム連結装置と、複数のアームが、前記アーム連結装置により直列且つ回転可能に連結されたアーム体と、前記アーム体の一方の端部に設けられた前記アクチュエーターと前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含む基体連結装置により前記アーム体が回転可能に連結された基体と、複数の前記アームの内、被作業物保持手段が取り付けられた作業アームの前記被作業物保持手段が取り付けられる取付位置には、少なくとも角速度センサーを含む、慣性センサーと、を備えるロボット装置の制御方法であって、前記角度センサーの回転角度検出データより、前記アームの角速度を演算する第1演算工程と、前記慣性センサーの角速度検出データより、前記作業アームの前記取付位置での角速度を演算する第2演算工程と、前記アームの前記角速度と、前記慣性センサーの前記角速度検出データによって演算された前記アームの前記角速度と、の差より、前記アクチュエーターと前記アクチュエーターに連結される前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第3演算工程と、前記ねじれ角速度から、前記作業アームのオーバーシュートを演算する第4演算工程と、前記作業アームの前記オーバーシュートとオーバーシュート規定値とを比較する比較工程と、前記比較手段のオーバーシュート比較結果によって速度ループ積分ゲインを増減させる制御工程と、を含む、ことを特徴とするロボット装置の制御方法。前記比較工程は、前記作業アームのタクトタイムとタクトタイム規定値とを比較し、前記オーバーシュート比較結果とタクトタイム比較結果と、により前記速度ループ積分ゲインを増減させる、ことを特徴とする請求項4に記載のロボット装置の制御方法。前記第4演算工程によって演算された前記オーバーシュート、および前記タクトタイムの結果を表示する外部表示工程を備える、ことを特徴とする請求項4または5に記載のロボット装置の制御方法。しかし、上述の特許文献1では、ロボットアームを駆動する制御系に加えてゲイン調整評価関数を設定し調整された制御ゲインを生成する振動制御の制御系を備えなければならず、複雑な制御系の構築をしなければならなかった。そこで、簡単な制御系であっても、ロボットアームの振動、特に作業機構を備えるアーム先端部においての目標位置停止時の振動が抑制できるロボット装置およびその制御方法を提供する。本発明は、少なくとも上述の課題の一つを解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。適用例1本適用例のロボット装置は、アクチュエーターと、前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含むアーム連結装置と、複数のアームが、前記アーム連結装置により直列且つ回転可能に連結されたアーム体と、前記アーム体の一方の端部に設けられた前記アクチュエーターと前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含む基体連結装置により前記アーム体が回転可能に連結された基体と、複数の前記アームの内、被作業物保持手段が取り付けられた作業アームの前記被作業物保持手段が取り付けられる取付位置には、少なくとも角速度センサーを含む、慣性センサーと、を備え、前記角度センサーの回転角度検出データより、前記アームの角速度を演算する第1演算部と、前記慣性センサーの角速度検出データより、前記作業アームの前記取付位置での角速度を演算する第2演算部と、前記アームの前記角速度と、前記慣性センサーの前記角速度検出データによって演算された前記アームの前記角速度と、の差より、前記アクチュエーターと前記アクチュエーターに連結される前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第3演算部と、前記ねじれ角速度から、前記作業アームのオーバーシュートを演算する第4演算部と、前記作業アームの前記オーバーシュートとオーバーシュート規定値とを比較する比較手段を含み、前記比較手段のオーバーシュート比較結果によって速度ループ積分ゲインを増減させる制御部と、を備えることを特徴とする。本適用例におけるオーバーシュートおよびタクトタイムを、図1により説明する。図1に示すように、本適用例のロボット装置のアーム体における被作業物保持手段が設けられる作業アームは、作業アーム待機位置から動作指令を受けて、被作業物保持手段が取り付けられている取付位置が所定の作業アーム停止規定位置まで駆動される。この際、作業アーム停止規定位置にアーム体の取付位置が到達しても、アーム体の慣性によってアーム体はアーム体の弾性範囲において弾性変形し、作業アーム停止規定位置を越えて振れ、最初の振幅から時間の経過とともに徐々に振幅が減衰し、アーム体は停止する。この最初に現れる作業アーム最大振れ位置までの作業アーム停止規定位置からの移動量をオーバーシュートと言う。また、作動アーム待機位置から駆動を始めて取付位置が作動アーム停止規定位置に到達するまでの時間をタクトタイムと言う。適用例1のロボット装置によれば、初期に設定されたオーバーシュート規定値内のオーバーシュートが、稼働時間の経過とともにシフトしてオーバーシュート規定値から外れる状態になっても、速度ループ積分ゲインを増減させることにより、長時間に亘ってオーバーシュート規定値内でロボット装置を稼動させることができる、すなわちロボットアームの振動、特にアーム先端部に備える被作業物保持手段の設置位置における目標位置停止時の振動が抑制できるロボット装置を得ることができる。また、ロボット装置の駆動中においてオーバーシュートを演算し適正な速度ループ積分ゲインを調整することにより、長期的な動作の安定性、生産性を初期の性能で維持することができる。適用例2上述の適用例において、前記比較部は、前記作業アームのタクトタイムとタクトタイム規定値とを比較し、前記オーバーシュート比較結果とタクトタイム比較結果と、により前記速度ループ積分ゲインを増減させることを特徴とする。上述の適用例によれば、オーバーシュートの調整に加えて、タクトタイムもタクトタイム規定値になるように速度ループ積分ゲインの増減で調整することで、長時間に亘ってタクトタイム規定値内でロボット装置を稼動させることができ、生産性を初期値の性能で維持することができる。適用例3上述の適用例において、前記第4演算部によって演算された前記オーバーシュート、および前記タクトタイムの結果を表示する外部表示手段を備えることを特徴とする。上述の適用例によれば、外部表示手段に所定の表示内容を表示させることができるため、オペレーターの判断によってロボット装置の駆動を制御することも可能となり、更に安全性、生産性を高めることができる。適用例4本適用例のロボット装置の制御方法は、アクチュエーターと、前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含むアーム連結装置と、複数のアームが、前記アーム連結装置により直列且つ回転可能に連結されたアーム体と、前記アーム体の一方の端部に設けられた前記アクチュエーターと前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含む基体連結装置により前記アーム体が回転可能に連結された基体と、複数の前記アームの内、被作業物保持手段が取り付けられた作業アームの前記被作業物保持手段が取り付けられる取付位置には、少なくとも角速度センサーを含む、慣性センサーと、を備えるロボット装置の制御方法であって、前記角度センサーの回転角度検出データより、前記アームの角速度を演算する第1演算工程と、前記慣性センサーの角速度検出データより、前記作業アームの前記取付位置での角速度を演算する第2演算工程と、前記アームの前記角速度と、前記慣性センサーの前記角速度検出データによって演算された前記アームの前記角速度と、の差より、前記アクチュエーターと前記アクチュエーターに連結される前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第3演算工程と、前記ねじれ角速度から、前記作業アームのオーバーシュートを演算する第4演算工程と、前記作業アームの前記オーバーシュートとオーバーシュート規定値とを比較する比較工程と、前記比較手段のオーバーシュート比較結果によって速度ループ積分ゲインを増減させる制御工程と、を含むことを特徴とする。本適用例のロボット装置の制御方法は、初期に設定されたオーバーシュート規定値内のオーバーシュートが、稼働時間の経過とともにシフトしてオーバーシュート規定値から外れる状態になっても、速度ループ積分ゲインを増減させる制御方法を実行させることにより、長時間に亘ってオーバーシュート規定値内でロボット装置を稼動させることがでる、すなわちロボットアームの振動、特にアーム先端部に備える被作業物保持手段の設置位置における目標位置停止時の振動が抑制できるロボット装置を得ることができる。また、ロボット装置の駆動中においてオーバーシュートを演算し適正な速度ループ積分ゲインを調整することにより、長期的な動作の安定性、生産性を初期の性能で維持することができる。適用例5上述の適用例において、前記比較工程は、前記作業アームのタクトタイムとタクトタイム規定値とを比較し、前記オーバーシュート比較結果とタクトタイム比較結果と、により前記速度ループ積分ゲインを増減させることを特徴とする。上述の適用例によれば、オーバーシュートを調整する制御方法に加えて、タクトタイムもタクトタイム規定値になるように速度ループ積分ゲインの増減で調整する制御方法を実行することで、長時間に亘ってタクトタイム規定値内でロボット装置を稼動させることができ、生産性を初期値の性能で維持することができる。適用例6上述の適用例において、前記第4演算工程によって演算された前記オーバーシュート、および前記タクトタイムの結果を表示する外部表示工程を備えることを特徴とする。上述の適用例によれば、外部表示手段に所定の表示内容を表示させる工程を備えることにより、オペレーターの判断によってロボット装置の駆動を制御することも可能となり、更に安全性、生産性を高めることができる。以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。第1実施形態図2は第1実施形態に係るロボット装置を示し、aは概略平面図、bは概略断面図である。本実施形態のロボット装置は、水平方向に回転可能に2本のアームが連結された、いわゆる2軸水平多関節ロボット100以下、ロボット装置100というである。ロボット装置100は、第1アーム11と第2アーム12とがアーム連結装置20によって回転可能に連結されて構成されるアーム体10を備えている。アーム体10は、基体連結装置30により、基盤に固定された基体40と回転可能に連結され、ロボット装置100を構成している。アーム連結装置20は、アクチュエーター51と、アクチュエーター51のトルクを所定の減速比で伝達するトルク伝達装置61と、を含む。また、基体連結装置30は、アクチュエーター52と、アクチュエーター52のトルクを所定の減速比で伝達するトルク伝達装置62と、を含む。アーム体10の基体40とは反対の端部となる第2アーム12の端部には加工用ツールもしくは被加工物を保持する被作業物保持手段としてのワーク保持装置70が備えられている。アーム連結装置20に含まれるアクチュエーター51には回転角度を検出する角度センサー81が備えられている。また、基体連結装置30にも、アクチュエーター52に角度センサー82が備えられている。また、第2アーム12のワーク保持装置70が備えられる取付位置Pに対応する位置に慣性センサー90が備えられている。慣性センサー90は、少なくとも角速度センサーを含み、慣性センサー90の取付位置、すなわちワーク保持装置70の取付位置Pでの角速度および位置の検出を可能にしている。図3は、本実施形態に係るロボット装置100の構成を示す制御ブロック図である。CPU200は、後述する第1演算部510、第2演算部520、第3演算部530、第4演算部540および制御部600を含み、ROM300に記憶されたプログラムを読み出して実行する。また、RAM400はCPU200におけるプログラム実行によって得られるデータを保存し、CPU200へ保存されたデータから必要なデータを送出する。ロボット装置100に備える角度センサー81,82によって検出されたアクチュエーター51,52の回転角度データは、第1演算部510においてアクチュエーター51の回転角度θ1、アクチュエーター52の回転角度θ2、に換算され、換算されたそれぞれの回転角度θ1、θ2を時間で1回微分し、アクチュエーターの回転角速度を演算する。得られたアクチュエーターの回転角速度から、アクチュエーターが駆動するアームの回転角速度を求める。第1アーム11の場合は、アクチュエーター52から減速比1/N2を持つトルク伝達装置62によって駆動されるため、基体連結装置30の出力部の回転角速度ω2は、ω2=dθ2/dt×1/N2となる。同様に、第2アーム12を駆動するアクチュエーター51を含むアーム連結装置20の出力部の回転角速度ω1は、ω1=dθ1/dt×1/N11/N1:トルク伝達装置61の減速比となる。第2演算部520では、第2アーム12に備えられた慣性センサー90が検出した検出値から、アーム体10の角速度としての基体連結装置30を回転軸とする慣性センサー90の配置位置、すなわちワーク保持装置70部の角速度ωaが演算される。第3演算部530では、上述のように演算されたアクチュエーター51の回転によるアクチュエーター51を含む連結装置を回転軸とする第2アーム12の角速度ω1、第1アーム11の角速度ω2と、第2アーム12に取り付けられた慣性センサー90から得られた基体連結装置30を回転軸とする第2アームの角速度ωaとの差であるねじれ角速度ωbが、ωb=ωa-ω2-ω1によって得られる。得られたねじれ角速度ωbは、第1アーム11に起因するねじれ角速度ωb1と、第2アーム12に起因するねじれ角速度ωb2と、が合成されたものと考えられ、ωb=ωb1ωb2と表される。換言すれば、ねじれ角速度ωbを、各アーム11,12に起因するねじれ角速度ωb1,ωb2に分解することによって、アーム体10の振動を適正なオーバーシュートおよびタクトタイムになるようにアクチュエーター51,52を制御するための積分ゲインの調整をすることができる。ねじれ角速度ωbを、各アーム11,12に起因するねじれ角速度ωb1,ωb2に分解する方法を説明する。図4は、図2に示すロボット装置100のアーム連結装置20および基体連結装置30を、ばね特性と減衰特性ダンパー特性の特性模型で表した図である。図4に示すように、ロボット装置100のアーム連結装置20は、仮想ばね20aと仮想減衰装置20bとを備えて第1アーム11と第2アーム12が連結され、基体連結装置30は、仮想ばね30aと仮想減衰装置30bとを備えて第1アーム11が基体40に連結されている、と模型的にロボット装置100を示すことができる。この模型化したロボット装置100において、第1アーム11と第2アーム12では、重量、長さ、剛性などが異なることが一般的であり、そのことによって第1アーム11が基体連結装置30に備えるアクチュエーター52によって駆動される場合の周波数応答と、第2アーム12がアーム連結装置20に備えるアクチュエーター51によって駆動される場合の仮想ばね20a,30aと仮想減衰装置20b,30bとの構成を用いて算出される周波数応答と、では異なる特性を示す。すなわち、第1アーム11は、基体連結装置30に備えるアクチュエーター52は高出力のものを備えることができるため、高い剛性を備え、重量も重くすることができる。一方、第2アーム12は、第1アーム11にアーム連結装置20を備えるため、小型で低出力のアクチュエーター51とする必要があることから、軽量化が図られている。そのように構成されることにより、第1アーム11と第2アーム12とでは周波数特性が異なることに注目し、ねじれ角速度ωbを、各アーム11,12に起因するねじれ角速度ωb1,ωb2に分解することができる。具体的には、第3演算部530に、第1アーム11と第2アーム12とで異なる周波数特性に対応したそれぞれの特性を備えるバンドパスフィルターによってねじれ角速度ωbをフィルタリングすることによって、第1アーム11のねじれ角速度ωb1成分と、第2アーム12のねじれ角速度ωb2成分と、を抽出し、得ることができる。このようにして得られた、第1アーム11のねじれ角速度ωb1成分と、第2アーム12のねじれ角速度ωb2成分と、を第4演算部540において積分し、取付位置P図2参照における図1に示すような振動を算出し、オーバーシュートを演算し、タクトタイムも取得する。算出された振動による取付位置Pのオーバーシュートおよびタクトタイムのデータは、制御部600に送られる。制御部600では、ロボット装置100の仕様として規定されている、オーバーシュート規定値およびタクトタイム規定値と、第4演算部540から送られたオーバーシュートおよびタクトタイムと、が比較手段としての比較部610において比較され、その比較結果に基づいて制御部600に備える制御手段620に含む速度ループ積分ゲインを調整する。図5に制御手段620の一例としての制御ブロック図を示す。図5の制御ブロック図に示すように、制御手段620は速度ループ積分ゲインKvi620a以下、Kvi620aというを含む制御ループにより構成されている。比較部610における比較結果に基づきゲイン調整指示部620bは、Kvi620aにゲインの増減が指示され、オーバーシュートおよびタクトタイムを規定値に合わせ込むように調整される。具体的には、入力される位置指令とアクチュエーター51,52が検出した現在位置との差分を基に位置ループ620cが速度指令を生成する。なお、位置ループ620cとしては比例ゲインKppによる比例制御などが好ましい。この速度指令と角度センサー81,82が検出した現在位置とを微分し、実際速度との偏差に対して比例ゲインKp620dを調整する比例制御と、積分ゲインKvi620aを調整する積分制御とを実施し、速度指令に基づく速度になるよう電流指令が生成される。そして、電流指令と実際の駆動電流との差分に対し、電流ループ620e比例制御、積分制御を行い、モーターに電流指令通りの電流が供給されるように制御される。このように制御されることにより、モーターは位置指令および速度指令に合った駆動状態となる。ここで、ゲイン調整について説明する。本来、本実施形態に係るロボット装置100において、取付位置Pのオーバーシュートおよびタクトタイムは、できるだけ小さいことが好ましい。しかし、上述したように、アーム11,12の弾性変形によるアーム体10の停止時に生じる振動は避けられず、予めロボット装置100に行わせる作業内容によって所定の仕様に基づくオーバーシュート規定値およびタクトタイム規定値が定められる。図6aは要求仕様であるオーバーシュート規定値およびタクトタイム規定値の範囲内で制御された状態の取付位置Pの動作軌跡を示し、図6bはオーバーシュートが規定値内であるがタクトタイムが規定値を超えた状態の取付位置Pの動作軌跡を示し、図6cはタクトタイムが規定値内であるがオーバーシュートが規定値を超えた状態の取付位置Pの動作軌跡を示す。図6aに示すようにロボット装置100は予め調整され、製造出荷される。すなわち、取付位置Pは待機停止状態のS0位置から駆動を開始し、停止規定位置SsまでのタクトタイムTaはタクトタイム規定値Ts以下に設定される。そして規定停止位置Ssに到達後、アーム体10の振動によりオーバーシュートDaを生じ、時間の経過に従って振動は減衰してゆく。このオーバーシュートDaも、オーバーシュート規定値Ds以下に設定され、取付位置Pの動作軌跡F0の振動形態となる。このオーバーシュート規定値Dsは、ワーク保持装置70によってワーク保持が可能な領域に対応して設定される。しかし、ロボット装置100を稼動させることで、徐々にオーバーシュートDa、タクトタイムTaは変化し、オーバーシュート規定値Ds、タクトタイム規定値Tsを超える場合がある。すなわち、一例として図6b,cに示す取付位置Pの動作軌跡F1,F2の振動形態となる場合である。図6bに示す動作軌跡F1は、オーバーシュートDbはオーバーシュート規定値Dsより小さいオーバーシュートの動作軌跡F1の振動であるため、言い換えると振動は短時間で減衰する。しかし、図からも明らかなように、取付位置Pの停止規定位置Ssまでの移動は図6aに示す動作軌跡F0と比べなだらかであり、アーム体10の移動速度が遅くなっていることを示している。従って、タクトタイムTbはタクトタイム規定値Tsより長くなってしまう。このことは、ワーク保持装置70が被作業物に到着する時間が長くなり、サイクルタイムの低下、すなわち生産性を低下させてしまう。従って、図6bに示すような動作軌跡F1の場合には、オーバーシュートDbをオーバーシュートDsに近づける調整を行うことで、タクトタイムTbはタクトタイム規定値Ts以下にすることができる。具体的にはKvi620aにおけるゲインを上げることで、タクトタイムTbが小さくなるようにオーバーシュートDbを大きくすることができる。Kvi620aにおけるゲインの調整は、1回の調整動作では2の調整幅で実行させることが好ましい。図6cに示す動作軌跡F2は、オーバーシュートDcはオーバーシュート規定値Dsを超えるオーバーシュートの動作軌跡F2の振動である。図からも明らかなように、取付位置Pの停止規定位置Ssまでの移動は図6aに示す動作軌跡F0と比べ急峻で、アーム体10の移動速度が速くなっていることを示している。従って、タクトタイムTcはタクトタイム規定値Tsより短くなる。しかし、オーバーシュートDcがオーバーシュート規定値Dsを超えて生じているためにワーク保持装置70は被作業物の保持動作には移行できず、次のオーバーシュート規定値Ds領域になる動作可能開始時間Tnになって、被作業物の保持動作を実行させることができる。すなわち、実質的にタクトタイムが長くなることを意味し、ワーク保持装置70が被作業物の保持動作開始までの時間が長くなり、サイクルタイムの低下、すなわち生産性を低下させてしまう。従って、図6cに示すような動作軌跡F2の場合には、オーバーシュートDcをオーバーシュートDsに近づける調整を行うことで、タクトタイム規定値Ts以下のタクトタイムTcから被作業物の保持動作、すなわちワーク保持装置70の動作を開始させることができる。具体的にはKvi620aにおけるゲインを下げることで、オーバーシュートDbを小さくすることができる。Kvi620aにおけるゲインの調整は、1回の調整動作では2の調整幅で実行させることが好ましい。なお、図3に示すように、ロボット装置100には表示部700を備えていてもよい。表示部700は、第4演算部によって演算された取付位置Pの図6に示す移動軌跡F0,F1,F2などや、具体的なオーバーシュートDa、Db,DcあるいはタクトタイムTa,Tb,Tcなどの数値を表示したり、制御部600によるKvi620aにおけるゲインの数値表示、更には調整範囲を超えた場合の異常表示をして、オペレーターへ情報を提供することができる。以上説明した本実施形態に係るロボット装置100は、初期に設定されたオーバーシュート規定値Ds内およびタクトタイム規定値Ts内のオーバーシュート、タクトタイムが、稼働時間の経過とともにシフトしてオーバーシュート規定値Dsあるいはタクトタイム規定値Tsから外れる状態になっても、速度ループ積分ゲインKvi620aにおけるゲインを増減させることにより、オーバーシュート規定値Ds内およびタクトタイム規定値Ts内でロボット装置100を稼動させることができ、長時間に亘って動作の安定性、生産性を初期値の性能で維持することができる。また、表示部700に表示工程によって所定の表示内容を表示させることができるため、オペレーターの判断によってロボット装置100の駆動を制御することも可能となり、特に安全性を更に高めることができる。第2実施形態第2実施形態として、第1実施形態に係るロボット装置100の制御方法を説明する。図7はロボット装置100の制御方法を示すフローチャートである。第1演算工程ロボット装置100の稼動状態において、先ず第1演算工程S111が実行される。第1演算工程S111では、第1演算部510においてアクチュエーター51,52に備える角度センサー81,82から回転角度データを入手する。得られた回転角度データから、回転角度へ換算し、回転角度を時間で1回微分を行い、第2アーム12を駆動するアクチュエーター51を含むアーム連結装置20の出力部の回転角速度ω1、基体連結装置30の出力部の回転角速度ω2を演算する。第2演算工程同時に第2演算工程S112において、第2演算部520に第2アーム12に備える慣性センサー90から角速度データを入手し、アーム体10を連結駆動する各連結装置20,30を回転軸とする各アーム11,12の角速度を演算する。すなわち、上述したように慣性センサー90から得られたデータから、基体連結装置30を回転軸とするアーム体10の慣性センサー90の配置位置での角速度ωaが演算される。第3演算工程次に、第3演算工程S120に移行する。第3演算工程S120では、第1演算工程S111で演算された角速度ω1,ω2と、第2演算工程S112において慣性センサー90の検出データから演算されたアーム体10の角速度ωaから、ωb=ωa-ω2-ω1によって、ねじれ角速度ωbを演算する。演算されたねじれ角速度ωbを、バンドパスフィルターによってフィルタリングし、第1アーム11のねじれ角速度ωb1、第2アーム12のねじれ角速度ωb2、を抽出、演算する。第4演算工程次に、第4演算工程S130に移行する。第4演算工程S130では、第3演算工程S120で演算された、第1アーム11のねじれ角速度ωb1成分と、第2アーム12のねじれ角速度ωb2成分と、を積分し、取付位置P図2参照における図1に示すような振動を算出し、オーバーシュートを演算する。その結果に基づき制御工程としての積分ゲイン調整工程S140に移行する。なお、第4演算工程S130では、タクトタイムも取得する。積分ゲイン調整工程制御工程としての積分ゲイン調整工程S140は、図8に示すフローチャートで構成されている。積分ゲイン調整工程S140では、制御部600において、得られた第4演算工程S130における演算結果であるオーバーシュート以下、オーバーシュートDというを基にKvi620a図5参照の積分ゲインを調整する。数量判定工程図8に示すように、第4演算工程S130からまずはロボット装置100の作業が終了したか、すなわち予め入力された被作業物が予定数量に達したかを判定する数量判定工程S210に移行される。数量判定工程S210において、予定数量に達しているYESと判定された場合には、後述するロボット装置停止確認工程S150へ移行する。S210において、予定数量に達していないNOと判定された場合には、次の規定値読込工程S220へ移行する。規定値読込工程規定値読込工程S220は、予め仕様、あるいは要求基準として決められたオーバーシュート規定値Dsおよびタクトタイム規定値Tsを制御部600に読み込む。オーバーシュート規定値DsおよびタクトタイムTsは、予めRAM400に書き込んでおくか、ROM300に入力手段によって入力して記憶させ、RAM400もしくはROM300から呼び出して読み込むことができる。また、入力手段によって制御部600に直接入力することでもよい。次に、第4演算工程S130において演算されたオーバーシュートDと、オーバーシュート規定値Dsと、を比較する比較工程としてのオーバーシュート比較工程S230へ移行する。オーバーシュート比較工程比較工程としてのオーバーシュート比較工程S230では、オーバーシュートDがオーバーシュート規定値Ds内であるか、を判定する。オーバーシュート比較工程S230において、オーバーシュートDがオーバーシュート規定値Ds以内、すなわちD≦Dsと判定された場合、次に第1タクトタイム比較工程S240へ移行する。また、オーバーシュートDがオーバーシュート規定値Dsを超えている、すなわちD>Dsと判定された場合、次に第2タクトタイム比較工程S250へ移行する。第1タクトタイム比較工程オーバーシュート比較工程S230で、D≦Dsと判定され、移行した第1タクトタイム比較工程S240では、第4演算工程S130までに取得されたタクトタイム以下、タクトタイムTというと、規定値読込工程S220で読み込まれたタクトタイム規定値Tsと、を比較する。第1タクトタイム比較工程S240において、タクトタイムTがタクトタイム規定値Ts以内、すなわちT≦Tsと判定された場合、オーバーシュートDおよびタクトタイムTともに規定値Ds,Ts以内にあることとなり、積分ゲインを調整する必要が無いことから、次のロボット装置動作停止確認工程S150に移行する。第1ゲイン調整指示工程しかし、第1タクトタイム比較工程S240において、タクトタイムTがタクトタイム規定値Tsを超えている、すなわちT>Tsと判定された場合、第1ゲイン調整指示工程S250に移行する。第1ゲイン調整指示工程S250では、タクトタイムTを小さくしタクトタイムTs以内になるようにゲイン調整指示部620bからKvi620aへゲインの調整の指示が送られる。この場合、オーバーシュートDはオーバーシュート規定値Ds以内であり、上述の図6cで説明した動作軌跡F2で示すように、オーバーシュートDを大きくすることでタクトタイムTを短くすることができる。従って、第1ゲイン調整指示工程S250では、オーバーシュートDを大きくするようにKvi620aにおけるゲインを上げる指示が出され、調整されたゲインを有するKvi620aとなり、テスト動作工程S260へ移行する。この時の調整量としては、5程度ゲインを上げることが好ましい。テスト動作工程テスト動作工程S260は、調整されたゲインを有するKvi620aによってロボット装置100をテスト駆動させ、上述した第1演算工程S111、第2演算工程S112、第3演算工程S120、第4演算工程S130を実行し、調整されたオーバーシュートD ́、およびタクトタイムT ́と、を演算、計測し、再度オーバーシュート比較工程S230に移行し、オーバーシュート比較工程S230以降の工程が実行される。この時、オーバーシュートD ́をオーバーシュートDに、タクトタイムT ́をタクトタイムTに、それぞれ書換えて実行される。第2タクトタイム比較工程上述では、オーバーシュート比較工程S230においてD≦Dsの場合を説明したが、以下では、オーバーシュート比較工程S230においてオーバーシュートDがオーバーシュート規定値Dsを超えた場合、すなわちD>Dsの場合を説明する。オーバーシュート比較工程S230において、D>Dsと判定されると第2タクトタイム比較工程S270に移行する。第2タクトタイム比較工程S270は第1タクトタイム比較工程S240と同様に、タクトタイムTとタクトタイム規定値Tsとを比較する。第2タクトタイム比較工程S270において、タクトタイムTがタクトタイム規定値Ts以内、すなわちT≦Tsと判定されると、第2ゲイン調整指示工程S280に移行する。第2ゲイン調整指示工程S280では、タクトタイムTがタクトタイム規定値Ts以内であることから、オーバーシュート比較工程S230においてD>Dsと判定されたオーバーシュートDをオーバーシュート規定値Ds以内になるように、Kvi620aにおけるゲインを下げる指示が出され、調整されたゲインを有するKvi620aとなり、テスト動作工程S260へ移行する。この時の調整量としては、5程度ゲインを下げることが好ましい。動作停止しかし、第2タクトタイム比較工程S270において、タクトタイムTがタクトタイム規定値Tsを超えた、すなわちT>Tsと判定された場合、動作停止S300に移行し、ロボット装置100の動作を停止し、表示部700に動作停止を意味する表示内容を表示する。すなわち、タクトタイムTを短くするには、上述の図6cで説明した動作軌跡F2で示すように、オーバーシュートDを大きくすることでタクトタイムTを短くすることができるが、既にオーバーシュート比較工程S230においてD>Dsと判定されているために、オーバーシュートDを大きくできるKvi620aでのゲインの調整域が無いことから、ロボット装置100は停止させられる。以上述べたように、積分ゲイン調整工程S140では、オーバーシュートDおよびタクトタイムTが、オーバーシュート規定値Dsおよびタクトタイム規定値Tsの範囲になるように、1回の調整においてKvi620aのゲインを5増減させて、規定値Ds,Tsに調整され、次のロボット装置停止確認工程S150へ移行する。なお、積分ゲイン調整工程S140においては、オーバーシュートD、タクトタイムT、オーバーシュート規定値Ds、タクトタイムTs、動作停止情報などを表示する図示しない表示工程を含み、表示部700に所定の情報が表示される。ロボット装置停止確認工程ロボット装置動作停止確認工程S150では、ロボット装置100が動作状態であるか、を確認し、動作状態Noである場合には、第1演算工程S111、第2演算工程S112に戻り、制御を繰り返す。動作停止状態Yesである場合には、制御は終了する。上述の制御方法によって、ロボット装置100は、初期に設定されたオーバーシュート規定値Ds内およびタクトタイム規定値Ts内のオーバーシュート、タクトタイムが、稼働時間の経過とともにシフトしてオーバーシュート規定値Dsあるいはタクトタイム規定値Tsから外れる状態になっても、速度ループ積分ゲインKviを増減させることにより、長時間に亘ってオーバーシュート規定値Ds内およびタクトタイム規定値Ts内でロボット装置100を稼動させることができ、動作の安定性、生産性を初期値の性能で維持することができる。また、表示部700に表示工程によって所定の表示内容を表示させることができるため、オペレーターの判断によってロボット装置100の駆動を制御することも可能となり、特に安全性を更に高めることができる。なお、上述のロボット装置100の制御方法において、オーバーシュートだけを比較判定し積分ゲインを調整することもできる。その場合には、第1タクトタイム比較工程S240および第2タクトタイム比較工程S270は省略することができる。また、上述の実施形態に係るロボット装置100の制御方法において、位置ループの比例ゲインを速度ループの積分ゲインのように調整することで同様の効果が得られる。"