フレキシブル基板16に対するチャンバ入り口18またはチャンバ出口を密封するためのデバイス100であって、シール面108を有する本体104と、前記本体内に形成され、前記フレキシブル基板が横断するように構成された基板開口106と、少なくとも部分的に前記シール面に対向する弾性チューブ116とを備えており、前記弾性チューブが、ガス供給136に連通する連通部分を有し、かつ動作中に膨張および収縮する、デバイス。前記本体内で前記シール面の反対側に形成された凹部110をさらに備えており、具体的には前記凹部110が、前記弾性チューブの長手方向軸に直交する断面において、実質上U字状であるか、または実質的に半円形の横断面を有する、請求項1に記載のデバイス。前記弾性チューブ116が、少なくとも部分的に前記凹部内に配置される、請求項2に記載のデバイス。前記シール面108が前記基板開口106内に形成される、請求項1ないし3のいずれか一項に記載のデバイス。前記弾性チューブ116内に剛性バー124、具体的には剛性チューブが配置され、具体的には前記剛性チューブの内部が、前記剛性チューブと前記弾性チューブとの間の空間と流体連通している、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のデバイス。前記本体104が、前記凹部110の前記長手方向軸Xの方向に前記凹部を延ばす少なくとも1つのチューブ取り付け開口126であって、前記弾性チューブおよび前記剛性バーからなる群から選択された少なくとも1つの要素を取り付けるためのチューブ取り付け開口を備えている、請求項2ないし5のいずれか一項に記載のデバイス。前記少なくとも1つのチューブ取り付け開口126が、円周方向チューブ取り付け開口シール面128を有し、前記弾性チューブが、前記少なくとも1つのチューブ取り付け開口を流れる方向の流体流が防止されるように、前記チューブ取り付け開口シール面128に押し付けられ、具体的には前記供給開口シール面が実質上円錐形である、請求項6に記載のデバイス。チューブ取り付け開口内にそれぞれ配置された少なくとも1つのプラグ130をさらに備え、前記プラグが、前記弾性チューブ116を前記取り付け開口シール面に押し付け、具体的には前記少なくとも1つのプラグが実質上円錐形である、請求項6または7に記載のデバイス。前記少なくとも1つのプラグが前記剛性バー124を維持している、請求項8に記載のデバイス。フレキシブル基板を処理するための基板処理装置であって、第1のチャンバ12および前記第1のチャンバから分離された第2のチャンバ14と、請求項1ないし9のいずれか一項に記載のデバイスとを備えており、前記デバイスが、前記第1のチャンバと前記第2のチャンバとの間の流体連通を選択的に開閉する、基板処理装置。フレキシブル基板16に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスを組み立てる方法であって、シール面108を有する本体104を設けるステップであり、前記フレキシブル基板が横断するように構成された基板開口106が前記本体内に形成されるステップと、前記弾性チューブ116が少なくとも部分的に前記シール面108に対向するように前記本体内へ弾性チューブ116を挿入するステップであり、前記弾性チューブが連通部分を有し、かつ動作中に膨張および収縮するステップと、前記弾性チューブの前記連通部分をガス供給136に連通させるステップとを含む方法。前記デバイスが、前記本体内で前記シール面の反対側に形成された凹部110をさらに備え、前記方法が、前記弾性チューブ116を少なくとも部分的に前記凹部内へ挿入するステップを含む、請求項11に記載の方法。前記本体が、前記凹部の長手方向軸の方向に前記凹部を延ばす少なくとも1つのチューブ供給開口126を備え、前記弾性チューブが、前記チューブ供給開口を通って前記凹部内へ導入される、請求項12に記載の方法。前記少なくとも1つのチューブ供給開口を流れる方向の流体流が防止されるように、前記少なくとも1つのチューブ供給開口の円周方向チューブ供給開口シール面128に前記弾性チューブを押し付けるステップをさらに含む、請求項13に記載の方法。剛性バー124の周りに前記弾性チューブを構成するステップをさらに含む、請求項11ないし14のいずれか一項に記載の方法。様々な実施形態について次に詳細に参照し、図には1つまたは複数の例を示す。各例は、説明を目的として提供するものであり、本発明の限定を意味するものではない。以下の図面の説明の範囲内で、同じ参照番号は同じ構成要素を指す。全体として、個々の実施形態に対する違いのみについて説明する。図1は、第1のチャンバ12と第2のチャンバ14との間の壁10の横断面の側面図を概略的に示す。両チャンバ12、14内で、フレキシブル基板16が処理される。通常は、処理中、チャンバ12、14は、約10-4ミリバールまたは約10-5ミリバールの圧力を有する。たとえば、第1のチャンバ12内では、フレキシブル基板16を被覆デバイス20によって被覆することができる。チャンバ14内では、フレキシブル基板ロール22上でフレキシブル基板の巻取りまたは巻出しを行うことができる。通常、フレキシブル基板16は、壁開口18を通って壁10を横断する。第1のチャンバ12と第2のチャンバ14は、たとえばロール22が新しいロール22と交換されるとき、異なる圧力を有することがある。このとき壁開口18は、フレキシブル基板16の一部分が壁開口18を横断している場合でも、しっかりと密封することができる。この目的のため、チャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイス100が、壁開口18に、または壁開口18内に配置される。デバイス100を、フレキシブル基板16が横断する。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができるさらなる実施形態では、デバイス100を壁10内に組み込むことができ、または壁10の一部分とすることができ、したがって壁開口は、デバイス100の基板開口に対応することができる。いくつかの実施形態では、デバイス100は、たとえばねじまたはボルトによって、壁10にしっかりと固定される。図2は、デバイス100の横断方向の横断面を概略的に示す。デバイス100は、基板開口106を有する本体104を含み、通常は、フレキシブル基板16が基板開口106をフレキシブル基板の輸送方向102に横断する。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、本体104は、剛性材料、通常は金属、たとえば鋼鉄またはステンレス鋼から製造される。たとえば、一実施形態では、本体104はサブアセンブリから製造することができ、サブアセンブリは、本体104の半分にそれぞれ対応することができる。基板開口106はシール面108を有し、シール面108は通常、デバイス100の長手方向に沿って延び、シール面108の反対側には、溝または凹部110が配置される。図3に示すデバイス100の長手方向の横断面に見られるように、基板開口106は、デバイス100の長手方向Xに第1の端部112および第2の端部114を有する。図3では、デバイス100は、横断するフレキシブル基板なしで示す。凹部110内には、弾性チューブ116が配置される。典型的な実施形態では、弾性チューブ116は、ゴム、ヴァイトン、シリコーン、および/またはニトリルブタジエンゴムNBRから製造することができる。弾性チューブは膨張させることができ、したがって一実施形態では、弾性チューブ116の表面の一部分がシール面108に押し付けられる。フレキシブル基板16が基板開口106を横断している場合、膨張した弾性チューブは、フレキシブル基板16に押し付けられる。通常、収縮した弾性チューブは、約25mm~約50mm、特に30mm~45mmの外径を有することができる。さらに、収縮した弾性チューブは、2mm~約8mm、特に約3mm~約7mmの厚さを有することができる。一実施形態では、弾性チューブ116は、長手方向Xに基板開口106を超過する。したがって、弾性チューブ116の長手方向の長さは、基板開口106の長手方向の長さより大きい。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブ116は、圧力源によって膨張させることができる。シール面は通常、デバイス100の長手方向軸Xに対して実質上平行な長手方向軸を有し、本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、この長手方向軸Xは弾性チューブ116の長手方向軸Xと一致することができる。通常、凹部110は、横断方向の横断面において実質上U字状であり、したがって膨張した弾性チューブ116は、凹部110の壁にしっかりと押し付けることができる。別の実施形態では、凹部110は、横断方向の横断面において実質上半円形または半楕円形の形状とすることができる。典型的な実施形態では、凹部110の横断方向の長さは、収縮した弾性チューブ116の外径に実質上対応する。たとえば、U字状の横断面の半円形部分の半径は、収縮した弾性チューブの外半径に対応する半径、またはわずかに超過する半径を有することができる。たとえば、凹部の半円形部分の半径は、収縮した弾性チューブの外半径を5超過することができる。別の実施形態では、収縮した弾性チューブは、凹部の壁に接触することができる。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、凹部の半円形部分の半径は、約15mm~約30mm、特に約20mmとすることができる。通常、具体的には長手方向軸Xに沿って配置される膨張した弾性チューブ116の連続部分は、凹部の壁に押し付けられる。通常、連続部分は、少なくとも基板開口106の第1の端部112と第2の端部114との間を延びる。したがって、膨張した弾性チューブの場合、圧力差が大きい場合でも、第1のチャンバ12と第2のチャンバ14との間の流体連通が凹部を通過することは実質上防止される。他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブ116内に剛性チューブ124が配置され、典型的な実施形態では、剛性チューブ124は、少なくとも基板開口106の長さを有する。典型的な実施形態では、剛性チューブ124は、デバイス100の長手方向軸Xに、基板開口106の長手方向の長さを超過する長さを有することができる。さらに、一実施形態では、弾性チューブ116の長手方向の長さは、剛性チューブ124の長手方向の長さより大きい。たとえば、本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、剛性チューブは、収縮した弾性チューブの内径よりわずかに小さい外径、たとえば5~20小さい外径を有することができる。したがって、収縮した弾性チューブと剛性チューブとの間には空間が形成される。いくつかの実施形態では、弾性チューブ116内に剛性バー、具体的には円筒形の剛性バーを配置することができる。いくつかの実施形態では、剛性バーを剛性チューブの代わりに使用することができる。通常、剛性チューブは、剛性バーの一実施形態とすることができる。典型的な実施形態では、剛性バーは、少なくとも基板開口106の長さを有することができる。典型的な実施形態では、剛性バーは、デバイスの長手方向軸Xに、基板開口106の長手方向の長さを超過する長さを有することができる。典型的な実施形態では、弾性チューブ116の長手方向の長さは、剛性バーの長手方向の長さより大きい。たとえば、本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる一実施形態では、剛性バーは、収縮した弾性チューブの内径よりわずかに小さい外径、たとえば5~20小さい外径を有することができる。したがって、収縮した弾性チューブと剛性バーとの間には空間が形成される。通常、剛性バーは、弾性チューブより強い剛性を有する。たとえば、剛性バーは、金属、たとえば鋼鉄から製造することができる。一実施形態では、剛性チューブ124および/または剛性バーは、デバイス100の凹部110内で固定の位置に維持される。したがって、弾性チューブ116は、剛性チューブまたは剛性バーによって、デバイス100内で固定の位置に維持される。したがって、収縮した弾性チューブ116が基板開口106を横断するフレキシブル基板16に損傷を与えないように、収縮した状態でも、弾性チューブは凹部内へ、または凹部の方向に後退する。このように、収縮した弾性チューブ116は、フレキシブル基板に擦傷を与えないことが可能である。通常、剛性チューブ124または剛性バーは、特に収縮した弾性チューブを凹部内で維持するため、弾性チューブ116より強い剛性を有する。たとえば、剛性チューブは、金属、たとえばアルミニウム、ステンレス鋼、または鋼鉄から製造することができる。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、凹部110は、開口の各末端112、114で、チューブ取り付け開口126によって長手方向軸Xの方向に延ばされる。チューブ取り付け開口126は、弾性チューブ116および剛性チューブ124を凹部110内へ挿入するために使用される。通常、チューブ取り付け開口126はそれぞれ、実質上円錐形の表面128を有する横方向部分を有する。他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、弾性チューブは、プラグ130によって、チューブ取り付け開口126の円錐形の表面128に押し付けられる。典型的な実施形態では、プラグ130は、チューブ取り付け開口126を流れる凹部の長手方向の流体流が防止されるように、円周方向の突起132を有することができる。さらに、一実施形態では、プラグ130は、剛性チューブ124を支持する支持突起134を有することができる。したがって、剛性チューブ124は、凹部110内でその位置に固定される。通常、プラグ130は、たとえばねじまたはボルトによって、デバイス100の本体104に固定される。プラグは、流体供給136と弾性チューブ116の内部との間の流体連通138を提供するようにさらに設計される。たとえば、各プラグは、そのような流体連通138を有することができる。さらなる実施形態では、弾性チューブを排気または収縮させるポンプに第1のプラグを連通させることができ、他の流体連通138を圧力源136に連通させることができる。本明細書に開示する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態では、流体供給は、剛性チューブ124の内部に連通する。剛性チューブと弾性チューブ116との間の空間に圧力を提供するために、剛性チューブは開口140を含むことができ、したがって、剛性チューブ124の内部と、剛性チューブ124と弾性チューブ116との間の空間との間で、流体連通が可能になる。たとえば、弾性チューブ116は、膨張した弾性チューブ116の内部が約6バールの圧力を有するように膨張させることができる。いくつかの実施形態では、流体連通138は、剛性チューブ124と弾性チューブ116との間の空間内に圧縮空気が直接提供されるように配置することができる。弾性チューブ116は、チューブ取り付け開口126のシール面に機械的にしっかりと押し付けられるため、弾性チューブ116は通常、本体104に加硫処理または亜鉛めっき処理されない。したがって、弾性チューブ116は、デバイス100内で容易に交換することができる。典型的な実施形態では、シール面は、中心部分118を含む。典型的な実施形態では、シール面108の長手方向の各末端に横方向部分120がそれぞれ配置される。いくつかの実施形態では、横方向部分120は、少なくとも部分的にチューブ取り付け開口126内に配置することができる。さらに、シール面108は、各横方向部分と中心部分118との間に中間部分122を含むことができる。通常、横方向部分120は、シール面108の第1の端部112および第2の端部114に配置される。典型的な実施形態では、中心部分および/または横方向部分120は、弾性チューブ116またはデバイス110の長手方向軸Xに対して実質上平行である。通常、中心部分と中間部分との間、および中間部分とそれぞれの横方向部分との間には、平滑な遷移部が存在する。たとえば、横方向部分とそれぞれの隣接する中間部分との間、または中間部分と中心部分との間の遷移部の空胴の半径は、80mmより大きく、特に90mmより大きくすることができる。たとえば、曲率半径は、90mm~120mmとすることができる。さらに、シール面の部分間の遷移部の円形部分は、15度より小さく、特に10度未満にすることができる。たとえば、シール面の部分間の遷移部の角度は、5度~10度とすることができる。したがって、弾性チューブが加圧されて基板をシール面108に押し付ける場合でも、しっかりとした連通を実現することができる。本明細書に開示する実施形態によるデバイスは極めて気密性が高く、したがって、フレキシブル基板が基板開口内に存在する場合でも、異なる空気圧を有するチャンバを確実に分離することができる。具体的には、頑丈な丸いチューブ設計により、高レベルの気密性を実現する。したがって、膨張した弾性チューブの場合、第1のチャンバと第2のチャンバとの間の圧力差が大きい場合でも、第1のチャンバと第2のチャンバとの間の流体連通が実質上防止される。たとえば、チャンバは、フレキシブル基板処理デバイスの巻出しまたは巻取りチャンバとすることができ、巻出しまたは巻取りチャンバは、堆積チャンバに隣接している。一実施形態によれば、巻出しまたは巻取りチャンバは、堆積チャンバに対して真空気密密封することができる。したがって、たとえば、細かい粒子を含有することもある大気に別のチャンバ内のフレキシブル基板を露出させることなく、物理的気相堆積装置のターゲットを交換することができる。したがって、デバイス100は、フレキシブル基板がデバイス100を横断している場合でも、第1のチャンバと第2のチャンバとの間の開口を真空気密密封する。通常、フレキシブル基板は、基板開口内に存在する場合でも、デバイスの気密性を損なわない。開示する実施形態によれば、凹部内に弾性チューブが配置されており、加圧空気で加圧することができ、したがって弾性チューブは膨張し、フレキシブル基板に対する開口を閉じる。弾性チューブは、実質上シール面の方向のみに延びることができ、したがって基板は、対向するシール面に押し付けられる。開いた状態では、弾性チューブは、凹部内へ後退して基板開口を開く。図4は、フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイスを組み立てる方法の概略図を示す。ボックス1000で、本体が設けられる。本体はシール面を有し、本体内には、フレキシブル基板が横断するように構成された基板開口が形成される。典型的な実施形態では、本体内でシール面の反対側に、凹部が形成される。ボックス1010で、本体内へ、たとえば本体の凹部内に、弾性チューブが挿入され、したがって弾性チューブは部分的にシール面に対向している。たとえば、弾性チューブは、本体内に設けられたチューブ取り付け開口を通じて設けることができる。さらなる実施形態では、弾性チューブ内に剛性チューブを設けることができる。通常、ボックス1020で、弾性チューブ、具体的には弾性チューブの内部は、ガス供給、たとえば加圧空気源に連通している。したがって、弾性チューブを膨張させて基板開口を閉じることができる。典型的な実施形態では、凹部は実質上隅部をもたない。たとえば、特に基板開口の第1の端部と基板開口の第2の端部との間に延びる弾性チューブの連続部分が、凹部の壁に押し付けられる。上記の説明では、例を使用して、最良の形態を含めて本発明について開示し、またあらゆるデバイスまたはシステムの作製および使用ならびにあらゆる組み込まれた方法の実行を含めて、当業者が記載の主題を実施できるようにする。上記では、様々な特有の実施形態について開示したが、特許請求の範囲の精神および範囲では等しく効果的な修正形態も実現できることが、当業者には理解されるであろう。特に、上述した実施形態の相互に非排他的な特徴は、互いに組み合わせることができる。特許可能な範囲は特許請求の範囲によって定義されており、当業者には想到される修正形態および他の例を含むことができる。そのような他の例は、特許請求の範囲の文言と違いのない構造上の要素を有する場合、または特許請求の範囲の文言とほとんど違いのない同等の構造上の要素を含む場合、特許請求の範囲の範囲内に入るものとする。