"交流磁場を被検査体に作用させて該被検査体に発生させた渦電流により生じる磁場を検出する磁場検出手段と、前記磁場検出手段からの検出信号を予め定めた間隔毎にディジタル値として取り出すサンプリング手段と、前記サンプリング手段によりサンプリングされたディジタルデータを圧縮し、圧縮データを生成するデータ変換手段と、前記データ変換手段からの圧縮データに基づいて、前記磁場検出手段における検出信号の振幅位相平面でのX座標成分およびY座標成分を算出する振幅位相情報抽出手段とを備えたことを特徴とする渦電流探傷装置。請求項1記載の渦電流探傷装置において、前記データ変換手段は、オペレータにより予め入力された前記圧縮データのデータパターンに関する情報に基づいてデータパターンを生成するデータパターン生成手段と、前記データパターン生成手段で生成したデータパターンと前記サンプリング手段からのディジタルデータとを演算した結果得られるデータ一致度と、オペレータにより予め入力されたデータ圧縮率情報とに基づき圧縮データを生成する圧縮データ生成手段とを備えたことを特徴とする渦電流探傷装置。請求項1記載の渦電流探傷装置において、前記データ変換手段は、予め定めた基底関数に基づいて、データパターンを生成するデータパターン生成手段と、前記データパターン生成手段で生成したデータパターンに基づいて、前記サンプリング手段からのディジタルデータを変換して変換データを作成し、この変換データに基づいて圧縮データを生成する圧縮データ生成手段とを備えたことを特徴とする渦電流探傷装置。請求項2又は3記載の渦電流探傷装置において、前記データパターン生成手段は、離散ウェーブレット変換に基づいてデータパターンを生成することを特徴とする渦電流探傷装置。請求項1記載の渦電流検査装置において、前記振幅位相情報抽出手段は、前記データパターン生成手段で得られる圧縮データのうち少なくとも一つのデータと、前記被検査体に作用させる交流磁場の試験周波数と同一の正弦波或いは余弦波の参照波形とを演算する演算手段と、前記演算手段の結果より、渦電流探傷信号のX信号或いはY信号を決定する信号抽出手段とを備えたことを特徴とする渦電流探傷装置。請求項4記載の渦電流探傷装置において、前記離散ウェーブレット変換には、ドビュッシー二次の基底関数を用い、前記振幅位相情報抽出手段における前記信号抽出手段では、少なくとも前記演算手段の演算結果の第一データ要素を用いることを特徴とする渦電流探傷装置。請求項5記載の渦電流探傷装置において、前記演算手段にノイズ成分を設定する入力手段を備え、前記入力手段の情報に基づき圧縮データ要素を演算することを特徴とする渦電流探傷装置。交流磁場を被検査体に作用させて該被検査体に発生させた渦電流により生じる磁場を検出する手順と、前記検出信号を予め定めた間隔毎にディジタル値として取り出す手順と、前記ディジタルデータを圧縮し、圧縮データを生成する手順と、前記圧縮データに基づいて、前記検出信号の振幅位相平面でのX座標成分およびY座標成分を算出する手順とを設けたことを特徴とする渦電流探傷方法。しかしながら、特許文献1記載の従来技術においては、DSPを用いて信号処理速度で律速となるアナログ電子回路を極力減することにより、探傷試験の高速化を目指しているが、X信号及びY信号を算出する際に磁場信号波形に対して適用する低域フィルタすなわち積分器における積分演算に関する演算量は依然として多大であって処理に多くの時間が必要であり、この点について改善の余地があった。本発明は上記に鑑みてなされたものであり、探傷試験をより高速化することができる渦電流探傷装置および渦電流探傷方法を提供することを目的とする。1上記目的を達成するために、本発明は、交流磁場を被検査体に作用させて該被検査体に発生させた渦電流により生じる磁場を検出する磁場検出手段と、前記磁場検出手段からの検出信号を予め定めた間隔毎にディジタル値として取り出すサンプリング手段と、前記サンプリング手段によりサンプリングされたディジタルデータを圧縮し、圧縮データを生成するデータ変換手段と、前記データ変換手段からの圧縮データに基づいて、前記磁場検出手段における検出信号の振幅位相平面でのX座標成分およびY座標成分を算出する振幅位相情報抽出手段とを備えたものとする。2上記1において、好ましくは、前記データ変換手段は、オペレータにより予め入力された前記圧縮データのデータパターンに関する情報に基づいてデータパターンを生成するデータパターン生成手段と、前記データパターン生成手段で生成したデータパターンと前記サンプリング手段からのディジタルデータとを演算した結果得られるデータ一致度と、オペレータにより予め入力されたデータ圧縮率情報とに基づき圧縮データを生成する圧縮データ生成手段とを備えたものとする。3また、上記1において、好ましくは、前記データ変換手段は、予め定めた基底関数に基づいて、データパターンを生成するデータパターン生成手段と、前記データパターン生成手段で生成したデータパターンに基づいて、前記サンプリング手段からのディジタルデータを変換して変換データを作成し、この変換データに基づいて圧縮データを生成する圧縮データ生成手段とを備えたものとする。4上記2又は3において、好ましくは、前記データパターン生成手段は、離散ウェーブレット変換に基づいてデータパターンを生成するものとする。5上記1において、好ましくは、前記振幅位相情報抽出手段は、前記データパターン生成手段で得られる圧縮データのうち少なくとも一つのデータと、前記被検査体に作用させる交流磁場の試験周波数と同一の正弦波或いは余弦波の参照波形とを演算する演算手段と、前記演算手段の結果より、渦電流探傷信号のX信号或いはY信号を決定する信号抽出手段とを備えたものとする。6上記4において、好ましくは、前記離散ウェーブレット変換には、ドビュッシー二次の基底関数を用い、前記振幅位相情報抽出手段における前記信号抽出手段では、少なくとも前記演算手段の結果の第一データ要素を用いるものとする。7上記5において、好ましくは、前記演算手段にノイズ成分を設定する入力手段を備え、前記入力手段の情報に基づき圧縮データ要素を演算するものとする。8上記目的を達成するために、また、本発明は、交流磁場を被検査体に作用させて該被検査体に発生させた渦電流により生じる磁場を検出する手順と、前記検出信号を予め定めた間隔毎にディジタル値として取り出す手順と、前記ディジタルデータを圧縮し、圧縮データを生成する手順と、前記圧縮データに基づいて、前記検出信号の振幅位相平面でのX座標成分およびY座標成分を算出する手順とを設けたものとする。本発明によれば、探傷試験における演算量を低減することができ、探傷試験をより高速化することができる。以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。<第1の実施の形態>まず、本発明の第1の実施の形態について説明する。1装置構成図1は、本実施の形態に係る渦電流探傷装置の全体構成を示す機能ブロック図であり、図2は渦電流プローブの構成および探傷試験時の被検査体との位置関係を概略的に示す図である。図1において、本実施の形態に係る渦電流探傷装置は、渦電流プローブ1、アナログ-ディジタルA/D変換器2、データ変換部3、振幅位相情報抽出部4、表示部5、励磁電源6、及び、図示しない全体制御装置により概略構成されている。1-1渦電流プローブ1図2に示すように、渦電流プローブ1は、励磁電源6から供給される励磁電流を用いて交流磁束を発生する励磁コイル7と、その交流磁束によって金属材料などの被検査体100に発生する渦電流により生じる磁場の検出を行う磁場検出素子8とを備えている。渦電流プローブ1は、探傷試験時に励磁コイル7に交流の励磁電流を供給して交流磁束を生成し、励磁コイル7を金属材料などの被検査体100に接近させることによって被検査体100に渦電流を発生させ、この渦電流により発生する磁場を磁場検出素子8により検出信号として取得する。図3は、励磁電源6により励磁コイル7に供給される励磁電流の波形励磁電流波形17の一例を模式的に示す図であり、縦軸に励磁電流の値を、横軸に時間をそれぞれ示している。また、図4は図2に示すような配置の場合において、図3に示した励磁電流を供給したときの磁場検出素子8により検出される磁場の波形磁場検出波形18の一例を模式的に示す図であり、縦軸に検出電圧を、横軸に時間をそれぞれ示している。本実施の形態において、非破壊検査手法である渦電流探傷法では、渦電流により発生する磁場が被検査体100の導電率や透磁率、傷の位置、形状深さなどで変化することから、被検査体100の検査部位における磁場検出波形18の振幅や位相励磁電流波形に対する位相差を測定し、予め定めた基準値と比較することにより被検査体100を検査する。1-2アナログ-ディジタル変換器2アナログ-ディジタルA/D変換器2は、渦電流プローブ1の磁場検出素子8により検出された磁場の検出信号をアナログ信号からディジタル信号に変換するA/D変換するものであり、ディジタル信号に変換した検出信号を後段のデータ変換部3に送る。図5は、磁場検出波形18をA/D変換器2によりディジタルサンプリングした結果の波形データディジタル波形19の一例を示す図であり、図3と同様に、縦軸に電圧を、横軸に時間をそれぞれ示している。A/D変換器2によって、検出信号をサンプリングしてディジタルの波形データとすることにより、ディジタルシグナルプロセッサDSPやフィールドプログラマブルゲートアレイFPGAなどディジタル信号を高速に処理することができる電子回路を用いることが有効となり、探傷検査における信号処理を高速に行うことが可能となる。なお、A/D変換器2のサンプリング周波数は、磁場検出波形18の最大周波数に対して十分高い周波数である。1-3データ変換部3データ変換部3は、A/D変換器2からの検出信号に圧縮処理後に詳述を施して後段の振幅位相情報抽出部4に出力するものであり、データパターン生成部9、メモリ10、圧縮データ生成部11、及び、入力部12,13を備えている。1-3.1入力部12,13入力部12,13は、オペレータがメモリ10や圧縮データ生成部11にデータの圧縮率やノイズ信号の設定などを入力するものであり、例えは、キーボードやマウス、表示部5に表示されるGUIなどが挙げられる。1-3.2メモリ10メモリ10は、データパターン生成部9で生成するデータパターンの元となる1つ以上の基底関数を記憶しており、入力部12によるオペレータからの指示に基づいて、その基底関数の情報をデータパターン生成部9に送る。1-3.3データパターン生成部9データパターン生成部9は、圧縮データ生成部11での処理に用いるデータパターンを生成するものである。図6は、データパターン生成部9で生成するデータパターン変換行列の一例として、直交変換手法の一つである離散ウェーブレット変換に用いるデータパターン変換行列Wを示す図である。このデータパターン生成部9で生成するデータパターンの条件としては、被変換データ本実施の形態の場合は、A/D変換器2からのディジタルデータのデータ数に対して大きい次元を有する行列であることが求められる。圧縮データの特性を決める基底関数としてはドビュッシーの2次を用いている。1-3.4圧縮データ生成部11圧縮データ生成部11は、データパターン生成部9で生成されたデータパターンに基づいて、A/D変換器2からのディジタルデータに変換処理を施すものである。図7に、一例として、図5に示した検出信号ディジタル波形19に対して、図6に示したデータパターン変換行列Wに基づいた変換処理を施した結果を示す。このような変換処理の一例を、被変換データをf、変換結果のデータをf’、ウェーブレット変換行列をWとして示すと下記の式1に示す関係が成り立つ。f‘=Wf式1離散ウェーブレット変換の性質として変換行列Wは、直交性をもっており、圧縮データを再生するには、次の式2を実行すればよい。f=WTf‘式2ここで、上記式2における変換行列WTは、変換行列Wの転置であると同時に逆行列であるため、圧縮データが再生できる。図7に示すように、変換結果のデータを構成するデータ要素の値は、データ列の先頭付近に大きな値が集中している。データ列の先頭付近以外のデータ要素の値は、ほぼ零となる。そのため、データ変換手段3の後段の処理や演算においては、データ列の先頭付近のデータ要素のみを用いて行うことで、元データ被変換データの特性をほぼ維持しつつ処理に供するデータ数の大幅な削減を行うことができる。具体的には、データ変換手段3においてデータ列の先頭付近のデータ要素以外のデータを0に置換する、或いは、データ変換手段3の後段において先頭付近のデータ要素以外のデータを計算しないように処理する例えば、上位の制御装置等に情報を上げることで、処理データの大幅な削減がなされる。1-4振幅位相情報抽出部4振幅位相情報抽出部4は、検出信号波形データ変換手段でデータ圧縮されたデータに基づき演算し、検出信号のX信号及びY信号を取得するものであり、X信号を決定するX信号抽出部14と、Y信号を決定するY信号抽出部15とで構成されている。1-4.1X信号抽出部14X信号抽出部14は、演算部141、参照波形記憶部142、及び信号抽出部143から構成されている。以下、X信号抽出部14における処理について図8~図11を参照しつつ説明する。1-4.1.1参照波形記憶部142参照波形記憶部142は、演算部141での演算に用いる参照波形図9参照を記憶するものである。参照波形記憶部142に記憶されている参照波形は、X信号として抽出したい周波数と同一の正弦波である。1-4.1.2演算部141演算部141は、データ変換部3からの圧縮データ図8参照と参照波形記憶部142からの参照波形図9参照とを乗算演算するものである。図10は、図8に示した圧縮データと図9に示した参照波形との乗算演算結果を示している。1-4.1.3信号抽出部143信号抽出部141は、オペレータが入力部16により指示したX信号抽出方法本例では積分演算に基づき、X信号図11参照を抽出する。図10に示した演算結果は、参照波形のデータをrとすれば、次の式3であらわされる。f‘r=Wfr=Wfr式3これは、検出信号と参照信号を乗算した結果に対してデータ圧縮データ変換したものと、初めに検出信号を圧縮変換しておき、その後参照信号を乗算演算した結果は等価であることを示している。圧縮データ図8参照を構成する要素値は、図10に示した演算結果データも図7に示した場合と同様に、データ列の先頭付近の点線で囲む範囲20に大きな値を示しており、それ以外の領域ではほぼ零になっている。これは、データ列の先頭付近の範囲20のみの演算で、波形数周期分のデータの演算を近似して求めることができることを意味している。なお、本実施の形態のように、ドビュッシーの2次の基底関数を用いた離散ウェーブレット変換をデータパターンとして用いた場合、図10の先頭範囲20の値は、圧縮前のデータ検出信号の平均値に対応する値をとるため、一般的な渦電流探傷装置で必要な乗算器演算後の積分演算が不要であり、演算数の低減が本発明で可能となる。1-4.2Y信号抽出部15Y信号抽出部15は、演算部151、参照波形記憶部152、及び信号抽出部153から構成されている。Y信号抽出部15において、X信号抽出部14との相違点は、参照波形記憶部152に記憶されている参照波形の位相が、参照波形記憶部142に記憶されている参照波形図9参照の位相と異なる点である。たとえば、参照波形記憶部142の参照波形が試験周波数と同一の正弦波であるとすれば、参照波形記憶部152の参照波形は、参照波形記憶部142の参照波形に対して位相が90度異なる余弦波である。なお、その他の構成は、X信号抽出部14と同様の構成を有しており、説明を省略する。1-4.3入力部16入力部16は、X信号抽出方法及びY信号抽出方法を信号抽出部143,153に指示するものであり、入力部12,13と兼用であっても良い。1-5表示部5図12に示すように、表示部5は、振幅位相情報抽出部4で算出されたX信号及びY信号の表示や各種設定を行うものであり、検出結果表示部21と設定表示部22とを備えている。1-5.1検出結果表示部21結果表示部21は、横軸にX信号、縦軸にY信号をプロットしたグラフリサージュ図であり、検出信号の振幅21b|V|と位相21cθを表現している。X信号、Y信号、振幅21b及び位相21cの関係は、下記の式4及び式5で表される。|V|=X2Y2-1/2式4θ=tan-1Y/X式5信号パターン21aは、被検査体100における検査部分の傷などの有無でX信号及びY信号が連続的に変化することで形成される。1-5.2設定表示部22設定表示部22は、周波数設定部22a、演算方法設定部22b、圧縮手法設定部22c、及び圧縮率設定部22dを備えている。これらの設定は、キーボード図示せずやポインタデバイス23等による指定により決定する。1-5.2.1周波数設定部22a周波数設定部22aは、励磁電源6から渦電流プローブ1に供給する励磁電流正弦波電流の周波数測定周波数を設定するものである。また、参照信号記憶部142,152から読み出される参照信号の周波数も同時に設定される。1-5.2.2演算方法設定部22b演算方法設定部22bは、X信号及びY信号の導出に用いる演算方法を設定するものであり、図1では入力部16の機能に対応する。設定としては、図12に示したデータ圧縮の他、従来式の演算方法などが設定可能である。演算方法設定部22bにおいて、データ圧縮を選択した場合に、圧縮手法設定部22c及び圧縮率設定部22dが有効設定可能となる。1-5.2.3圧縮手法設定部22c圧縮手法設定部22cは、データ圧縮時のデータパターンを指定する入力部であり、図1では入力部12に対応する。データパターンとしては、データ圧縮を可能とする信号処理手法がリストされ、フーリエ変換、Waveletウェーブレット変換、カーブレット変換、などが用いられる。また、フーリエ変換、Waveletウェーブレット変換、カーブレット変換のアルゴリズムや、基底関数の指定が可能である。なお、本実施の形態では、アルゴリズムとしてウェーブレット変換を選択し、基底関数としてドビュッシーの2次を選択した場合を示している。1-5.2.4圧縮率設定部22d圧縮率設定部22dは、データ圧縮率を設定するものであり、図1では入力部13に対応する。設定が100のときは、全てのデータ情報を用いることになり、25の場合は、全てのデータ情報の4分の1に対応するデータ量で信号を導出することになる。100の場合は、従来法による演算結果と等しくなる。一方データ量がすくないほど、従来法の結果と離れる。しかしながら、健全部の信号と、欠陥部の信号というように、信号差の関係性は変わらない。この圧縮率を変えることにより、例えば、図8~図10に点線で示した範囲20の幅、すなわち、後段の演算に用いるデータ量を変えることができる。2探傷検査の手順以上のように構成した本実施の形態の渦電流探傷装置における探傷検査手順について説明する。被検査体100の探傷検査を行う場合、まず、渦電流探傷装置の入力部12,13,16又は、図示しない入力手段により、表示部5に表示された設定表示部22の測定周波数、演算方法、圧縮手法、及び圧縮率などを設定する。次に、渦電流プローブ1を被検査体100の検査対象部位に近接させ、励磁電源6により励磁電流を機供給する。続いて、渦電流プローブ1に励磁電流を供給して交流磁束を生成し、この交流磁束で被検査体100に生じる渦電流により発生する磁場を検出し検出信号として取得する。検出信号は、A/Dコンバータ2、データ変換部3、及び振幅位相情報抽出部4の順に処理され、表示部5の検出結果表示部21にリサージュ図形として表示される。このとき、被検査体を流れる渦電流により生じる磁場は被検査体の導電率や透磁率などによって変化するが、被検査体に傷がある場合にも渦電流が変化して磁場が変化する。この磁場の変化を検出することにより、その傷の形状大きさや位置深さを検出する。3作用効果以上のように構成した本実施の形態における効果を説明する。渦電流探傷装置においては、リサージュ図を得るために、渦電流探傷装置の内部において試験周波数と同一の正弦波と余弦波とを発生させ、それぞれを検出磁場波形と乗算器で演算し、その後、低域フィルタ、すなわち積分器で演算することにより、正弦波の同位相成分X信号と90度位相が異なる成分Y信号とに分解し、このX信号とY信号をそれぞれ平面グラフの縦軸、横軸にプロットすることで、振幅と位相をリサージュ図に表現している。一般的な渦電流探傷の信号処理について図13~図16を参照しつつ簡単に説明する。図13~図16は、一般的な渦電流探傷におけるX信号の抽出過程を示したものであり、図13はディジタルサンプリングされた磁場検出信号、図14は正弦波の参照信号、図15は磁場検出信号と参照信号とを乗算器で演算した結果、図16は乗算器で演算した結果の平均値より求められるX信号の波形である。磁場検出信号図13参照と参照信号図14参照とを乗算器で演算すると、両者が同一周波数である場合、参照信号が正弦波であるとすると、位相差θに対応した正弦SINθと対象の周波数の2倍の正弦波の和になることが知られている図15参照。ここで、図15の平均値を積分演算などで求めれば、2倍の高調波成分は削除され、図16に示すようにSINθに対応した一定値成分が抽出される。また、参照信号を余弦波とすれば、上記と同様の処理過程で、COSθに対応した一定値成分が抽出される。すなわち、X信号及びY信号を抽出することになる。このような渦電流探傷器では、図15に対する積分演算を数周期に渡って演算する必要があり、時間がかかる課題がある。このような渦電流探傷装置において、従来技術では、信号処理の高速化を目的として、アナログ-ディジタルA/D変換器を利用して検査信号の波形をサンプリングし、デジタルシグナルプロセッサDSPで、X信号及びY信号を算出している。しかしながら、従来技術においては、DSPを用いて信号処理速度で律速となるアナログ電子回路を極力減することにより、探傷試験の高速化を目指しているが、X信号及びY信号を算出する際に磁場信号波形に対して適用する低域フィルタすなわち積分器における積分演算に関する演算量は依然として多大であって処理に多くの時間が必要であった。これに対し、本実施の形態においては、サンプリング手段によりサンプリングされたディジタルデータを圧縮して圧縮データを生成し、その圧縮データに基づいて、磁場検出手段における検出信号の振幅位相平面でのX座標成分およびY座標成分を算出するように構成したので、渦電流探傷装置による探傷試験をより高速化することができる。なお、データパターン生成部9で生成するデータパターンを周波数別の正弦波とすれば、データ圧縮は、周波数スペクトラムとなるので、周波数フィルタとして用いることができる。つまり、表示部5の設定表示部22において、入力部12,13,16などにより、演算の対象とする圧縮データのデータ要素を周波数別の正弦波とするように設定すれば、除去対象のノイズ成分を設定することになり、周波数フィルタの機能を具備することができる。また、本実施の形態のように、データパターンを離散ウェーブレット変換とすれば、データ圧縮は、ウェーブレットスペクトラムとなり、ウェーブレット変換に基づく周波数フィルタとして用いることができる。つまり、表示部5の設定表示部22において、入力手段12,13,16などにより、演算の対象とする圧縮データのデータ要素を離散ウェーブレット変換に設定すれば、除去対象のノイズ成分を設定することになり、ウェーブレット変換に基づく周波数フィルタの機能を具備することができる。<第2の実施の形態>本発明の第2の実施を図17を参照しつつ説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態におけるデータ変換部3により生成される圧縮データを記憶するメモリ90を新たに設け、このメモリ90から振幅位相情報抽出部4に圧縮データを送るように構成したものである。図中、第1の実施の形態で説明したものと同様の部材には同じ符号を付し、説明を省略する。図17は、本実施の形態に係る渦電流探傷装置の全体構成を示す機能ブロック図である。図17において、本実施の形態に係る渦電流探傷装置は、渦電流プローブ1、アナログ-ディジタルA/D変換器2、データ変換部3、振幅位相情報抽出部4、表示部5、励磁電源6、メモリ90及び、図示しない全体制御装置により概略構成されている。メモリ90は、データ変換部3の圧縮データ生成部11と振幅位相情報抽出部4のX信号抽出部14及びY信号抽出部との間に設けられており、データ変換部3から出力される圧縮データを記憶し、振幅位相情報抽出部4に出力するものである。メモリ90は、渦電流プローブ1による被検査体100の渦電流検出時にはデータ変換部3からの圧縮データを記憶し、試験終了後などに行う後処理時に記憶した圧縮データを振幅位相情報抽出部4に出力する。その他の構成は、第1の実施の形態と同様である。以上のように構成した本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。また、メモリ90に記憶する圧縮データは、圧縮データのデータ要素の値が大きいデータ列の先頭付近図8の範囲20等参照であるため、振幅位相抽出手段4の演算速度より、メモリ90の記憶速度が速い場合は、さらなる高速測定が可能である。さらに、並列制御で有利なFPGAを利用すれば、メモリ90を並列化し、大容量かつ高速な渦電流探傷装置を提供することができる。"