中空軸モータに、ボールネジとボールスプラインを同一軸上に設けた駆動軸を挿通させ、前記ボールネジ部にネジナットを、前記スプライン部にスプラインナットを各々装着させ、前記中空軸モータの回転駆動力を、噛合させた外歯ギアと内歯ギアを介して、前記ボールネジナット、前記駆動軸へと伝達させることを特徴とする電動シリンダ。しかしながら、この上記特許文献1に関する高圧ポンプは、以下の問題が生じることになる。確かに回転ナットを軸受けとし推力伝達軸にプランジャを取り付けることで、小型化やシリンダ交換、装置の保守といった点で効果を達成していると認めるが、運転が継続されるにつれ、熱変形等に起因して生じる機械誤差、あるいは組立誤差や部品固有の加工誤差等の対応に乏しい構造となっており、装置の破損や、運転に影響を及ぼす可能性を否定できない。本発明では、上記装置の小型化や装置の保守といった効果をふまえ、課題となる熱膨張の影響を防いだ高圧ポンプ用の往復運動する動力装置として使用可能な電動シリンダを提供することを目的とする。上記目的達成の為に、請求項に基づき下記0009乃至0011記載の発明を提案する。なお、以下の説明では便宜上、図中にて矢印Xで示す方向を、駆動軸の軸方向と呼称する。請求項1に記載の発明は、サーボモータもしくはサーボモータと同等の性能を持つ中空軸モータ以下、中空軸モータと記すに、ボールネジとボールスプラインを同一軸上に設けた駆動軸を挿通させ、ボールネジ部にはネジ溝上に設置した多数の鋼球を介してネジナットを螺合させ装着、ボールスプライン部には、軸方向に設けたスプライン溝に設置した多数の鋼球を介してスプラインナットを装着させ、さらに中空軸モータと、噛合させた外歯ギアと内歯ギアを介して、ボールネジナットとを連結させた電動シリンダである。前記電動シリンダは、中空軸モータの回転駆動力を、ボールネジナットへ伝達させることでボールネジに回転駆動力を伝達させる。一方で、スプラインに設けられたスプラインナットを軸方向の一定位置に回転も移動もしないよう固定することで廻り止め機構となる。従って、中空軸モータを回転駆動させる事により、回転抑制された駆動軸が軸方向へ移動する作用を成す。中空軸モータの正逆回転を繰り返すことで駆動軸が軸方向へ往復運動を達成し、駆動軸の両先端部にプランジャを取付けることで、シリンダ内の液体を圧送させる装置となる。本装置には、緩衝装置として、中空軸モータ―ネジナット間に、外歯ギア内歯ギアを噛合させた継手が備わっている。本装置内に緩衝装置を設けることで、運転時に起こりうる熱膨張の変位、機械誤差及び組立誤差等を、ギアの噛合部にて吸収する構造であることから、機械要素部の変位等に影響されることなく運転が可能となる。また、構造上シリンダ容量も大きく消耗品も無い為、部品交換も不要であり、サーボモータまたは同等の中空軸モータを擁するシリンダに対応可能な装置であることから、高圧ポンプ用の動力装置として、または搬送位置決め装置としても安定性小型化長寿命を達成した最適なシリンダとなっている。以下本考案の形態を図1及び図2に基づき、説明する。図1は、本発明の形態に係る電動シリンダの正面断面図及び右側面図である。中空軸モータ1に、ボールネジ2‐aとボールスプライン2‐bを同一軸上に設けた駆動軸2を挿通させる。ボールネジ2‐a部にはネジ溝上に設置した多数の鋼球を介してネジナット3を螺合させ装着、ボールスプライン2‐b部には、軸方向に設けたスプライン溝に設置した多数の鋼球を介してスプラインナット4を装着させる。ネジナット3はハウジング7により回転自在に固定、スプラインナット4は回転不能に固定され、ハウジング7はイケール10にて固定される。さらに、中空軸モータ1を、噛合させた外歯ギアと内歯ギアからなる継手5、及び接続軸6を介して、ボールネジナット3と連結させる。中空軸モータ1の回転駆動力を、ボールネジナット3へ伝達させることでボールネジ2‐aに回転駆動力を伝達させる。一方で、スプライン2‐bに設けられたスプラインナット4を軸方向の一定位置に固定することで廻り止め機構とする。従って、中空軸モータ1を回転駆動させる事により、回転抑制された駆動軸2が軸方向へ移動する作用を成す。中空軸モータ1の正逆回転を繰り返すことで駆動軸がX方向へ往復運動を達成し、駆動軸の両先端部にプランジャ8を取付けることで、シリンダ9内の液体を圧送させる装置となる。図中の継手5に関しては、外歯ギア内歯ギアを噛合させて成り立っており、これは装置の組立の際の簡易容易を追究し、はめ込み式とすることで組み立て易く構築したものであるが、同時に、ギアの螺合部が、運転時に起こりうる熱膨張の変位、機械誤差や組立誤差等のズレを吸収する緩衝部の役割も果たしている。なお、本発明のシリンダ図1に示したボールネジ設置方向において、向きを反転移設させて装着する場合にも、同等の能力を持つ装置として対応可能である。その構造を図2に示す。図1同様、中空軸モータ1に駆動軸2を挿通させ、ネジナット3、スプラインナット4を装着させる。ここで、中空軸モータ1と継手5の間に出力軸11を設置する。さらに動力を伝達する際の継手5に関して、図1の場合は中空軸モータ1から外歯ギア、内歯ギア、接続軸6の順で動力伝達を行っているが、図2の場合、中空軸モータ1から出力軸11、内歯ギア、外歯ギア、接続軸6の順で動力伝達を行う。以上の構造にすることにより、ボールネジ3を反転移設させて装着させた場合も、図1の装置と同等の能力を持つ装置として成り立つ。