超音波を反射又は散乱する微小気泡又は微粒子が存在する対象部位に超音波を照射する超音波照射装置であって、前記微小気泡又は微粒子の共振周波数fBfBは正の実数についての情報の入力を受け付ける入力部と、周波数がf=n×fBnは2以上の整数である信号成分を含む駆動信号を作成する駆動信号設定部と、前記駆動信号に基づいて、周波数が前記fである音波成分を含む前記超音波を射出する超音波射出部と、を具備することを特徴とする超音波照射装置。前記駆動信号設定部は、周波数が前記f=n×fBである第1の信号成分と、周波数がf ́=m×fBmは自然数、ただしm<nである第2の信号成分とを含む前記駆動信号を作成し、前記超音波射出部は、前記駆動信号に基づいて、周波数が前記fである第1の超音波と、周波数が前記f ́である第2の超音波とを含む前記超音波を射出する、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波照射装置。f=2×f ́であることを特徴とする請求項2に記載の超音波照射装置。前記駆動信号設定部は、前記第1の信号成分の振幅及び/又は前記第2の信号成分の振幅が時間的に変化する前記駆動信号を作成することを特徴とする請求項2又は3に記載の超音波照射装置。前記駆動信号設定部は、前記第1の信号成分と前記第2の信号成分とのうち一方が連続的に含まれ、他方が間歇的に含まれる前記駆動信号を作成することを特徴とする請求項2又は3に記載の超音波照射装置。前記駆動信号設定部は、前記第1の信号成分と前記第2の信号成分とのうち少なくとも一方の位相が所定の時間間隔で変化する前記駆動信号を作成することを特徴とする請求項2又は3に記載の超音波照射装置。前記駆動信号設定部は、ff ́又はf-f ́がl×fBlは自然数である関係を保ったまま、f及びf ́を時間的に変化させる前記駆動信号を設定することを特徴とす請求項2又は3に記載の超音波照射装置。前記信号成分の波形は、正弦波、矩形波、又は三角波であることを特徴とする請求項1に記載の超音波照射装置。前記対象部位方向から到来する超音波を受信する超音波受信部と、前記超音波受信部で受信した信号に基づき、前記対象部位において発生している気泡の大きさを算出する気泡サイズ演算部と、をさらに具備し、前記駆動信号設定部は、前記気泡サイズ演算部が算出した前記気泡の大きさに応じて前記駆動信号の周波数及び/又は振幅を変化させる、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波照射装置。前記超音波射出部は、複数の超音波素子を有しており、前記第1の超音波を射出する前記超音波素子と、前記第2の超音波を射出する前記超音波素子とが異なることを特徴とする請求項2乃至7のうち何れか1項に記載の超音波照射装置。前記微小気泡又は微粒子を前記対象部位に注入する注入部をさらに具備することを特徴とする請求項1乃至10のうち何れか1項に記載の超音波照射装置。前記超音波射出部は、体腔内に挿入して使用されることを特徴とする請求項1乃至11のうち何れか1項に記載の超音波照射装置。超音波を反射又は散乱する微小気泡又は微粒子が存在する対象部位に超音波を照射する超音波照射装置を用いた超音波の照射方法であって、前記微小気泡又は微粒子の共振周波数fBfBは正の実数を取得し、周波数がf=n×fBnは2以上の整数である信号成分を含む駆動信号を作成し、前記駆動信号に基づいて周波数が前記fである音波成分を含む前記超音波を射出させる、ことを特徴とする超音波の照射方法。キャビテーションを発生させるために、特許文献1のように比較的低い周波数の超音波を射出するには、超音波射出部の共振周波数を低くする必要がある。共振周波数を下げるためには、超音波射出部を大きくする必要がある。すなわち、この場合、超音波射出部を小型化することが困難である。一方、小さな超音波射出部を低周波数で駆動しようとすると、エネルギ効率が悪くなる。また、特許文献2のように、予め投与した薬剤の活性を利用する場合、比較的高い周波数の超音波を用いるため、超音波射出部の小型化は比較的容易となる。しかしながら、小型の超音波射出部を用いて、例えば組織をアブレーション凝固できるレベルの高パワーを出力することは困難である。そこで本発明は、小型の超音波射出部を用いながら超音波を反射又は散乱する微小気泡あるいは微粒子が存在する部分で効率よくキャビテーションを発生させることができる超音波照射装置及び超音波の照射方法を提供することを目的とする。上記目的を果たすため、本発明の超音波照射装置の一態様は、超音波を反射又は散乱する微小気泡又は微粒子が存在する対象部位に超音波を照射する超音波照射装置であって、微小気泡又は微粒子の共振周波数fBfBは正の実数についての情報の入力を受け付ける入力部と、周波数がf=n×fBnは2以上の整数である信号成分を含む駆動信号を作成する駆動信号設定部と、駆動信号に基づいて、周波数が前記fである音波成分を含む超音波を射出する超音波射出部と、を具備することを特徴とする。また、上記目的を果たすため、本発明の超音波の照射方法の一態様は、超音波を反射又は散乱する微小気泡又は微粒子が存在する対象部位に超音波を照射する超音波照射装置を用いた超音波の照射方法であって、微小気泡又は微粒子の共振周波数fBfBは正の実数を取得し、周波数がf=n×fBnは2以上の整数である信号成分を含む駆動信号を作成し、駆動信号に基づいて周波数が前記fである音波成分を含む超音波を射出させる、ことを特徴とする。本発明によれば、微小気泡又は微粒子の共振周波数fBに対してn×fBの周波数で超音波射出部を駆動し、微小気泡又は微粒子の高次振動モードや微小気泡又は微粒子が存在する部分で生じる分調波を利用するので、小型の超音波射出部を用いながら微小気泡又は微粒子が存在する部分で効率よくキャビテーションを発生させることができる超音波照射装置及び超音波の照射方法を提供できる。[第1の実施形態]第1の実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態に係る超音波照射装置100は、例えば腹部や胸部などに小孔を開けて局所に対して処置を行う硬性鏡外科手術に用いられる。超音波照射装置100は、患部等の目標位置に超音波を照射し、その目標位置及びその近傍にある生体組織を加熱凝固させるために用いられる。なお、当該処置においては、目標位置に予め微小気泡あるいは微粒子以下、単に微小気泡と称する。が存在する。そのために、例えば超音波造影剤であるソナゾイド登録商標等が、目標位置に予め投与される。超音波照射装置100の構成を図1に示す。この図に示すように、超音波照射装置100は、超音波射出部110と、入力部120と、表示部130と、駆動信号設定部140と、駆動部150とを有する。超音波射出部110は、例えば凹面型の表面形状を有する圧電素子を含む。この圧電素子を挟んで対向するように、凹面及び凸面に沿って図示しない電極がそれぞれ形成されている。超音波射出部110は、駆動部150によって電極間に交流電圧を印加されることで駆動される。その結果、超音波射出部110は、その凹面側から超音波を射出する。超音波射出部110は、例えば対象物900に向けられる。このとき、超音波射出部110から射出された超音波射出超音波は、対象物900内において焦点920に集束する。焦点920に超音波造影剤等の微小気泡を予め存在させておくと、射出超音波が照射されたとき、その微小気泡が圧壊し、気泡核サテライトバブルが生成する。その結果、焦点920においてキャビテーションが発生し、焦点920及びその近傍にある生体組織の加熱凝固が促進される。入力部120は、ユーザの指示を受け取り、その指示をユーザ指示信号として駆動信号設定部140に出力する。表示部130は、駆動信号設定部140の制御下で、超音波の照射条件等を表示する。ユーザは、表示部130に表示される情報を確認しながら、超音波照射装置100の状況や、射出超音波の情報を取得できる。ユーザは、入力部120を介して、超音波照射の開始及び終了に関する情報や射出超音波の強度に関する情報等を入力できる。特に入力部120を介して、超音波造影剤等の微小気泡の共振周波数fBが入力される。駆動信号設定部140は、入力部120から入力されるユーザ指示信号に基づいて、射出超音波の周波数や強度を設定する。ここで駆動信号設定部140は、入力部120から入力された微小気泡の周波数fBに基づいて、駆動周波数f1を決定する。本実施形態では、f1=2×fBとする。駆動信号設定部140は、f1生成回路142を有する。駆動信号設定部140は、設定した周波数や強度に基づく駆動信号を、f1生成回路142を用いて作成する。駆動信号設定部140は、作成した駆動信号を駆動部150に出力する。また、駆動信号設定部140は、設定した周波数や強度等の射出超音波の情報を表示部130に表示させ、ユーザにその内容を報知する。この情報を、音を用いてユーザに報知するようにしてもよい。本実施形態では、例として共振周波数fBが4.5~4.8MHz程度であるソナゾイドを微小気泡として用いるものとする。本実施形態では、駆動周波数f1を例えば共振周波数fBの2倍とする。微小気泡の共振周波数には、ある程度の分布があるので、その中心周波数等の代表値に基づいて駆動周波数f1を適宜決定する。本実施形態では、駆動周波数f1を例えば9.28MHzとする。駆動部150は、駆動信号設定部140から入力された駆動信号を増幅する。駆動部150は、増幅した信号を用いて、超音波射出部110を駆動周波数f1で駆動する。その結果、超音波射出部110は振動し、周波数が駆動周波数f1であり焦点920に集束する超音波を射出する。このように、例えば入力部120は、微小気泡の共振周波数fBについての情報の入力を受け付ける入力部として機能し、例えば駆動信号設定部140は、周波数がf=n×fBである信号成分を含む駆動信号を作成する駆動信号設定部として機能し、例えば超音波射出部110は、駆動信号に基づいて周波数がfである音波成分を含む超音波を射出する超音波射出部として機能する。本実施形態に係る超音波照射装置100の動作を説明する。まず、ユーザは対象物900に超音波射出部110を向ける。ここで、対象物900と超音波射出部110との間に、超音波ゼリー等のカップリング材を挟むようにしてもよい。このカップリング材は、対象物900と超音波射出部110との音響インピーダンスを整合させるためのものである。また、ユーザは、対象物900の目標位置に例えば共振周波数fBが4.5~4.8MHz程度である微小気泡を存在させておく。ユーザは、入力部120を用いて超音波照射装置100に、微小気泡の共振周波数fBと、射出超音波の強度等とを入力する。入力部120は、ユーザの指示をユーザ指示信号として駆動信号設定部140に出力する。駆動信号設定部140は、入力部120から入力されたユーザ指示信号に基づいて、射出超音波の周波数や強度等を設定する。ここで、ユーザは、微小気泡の共振周波数fBや射出超音波の強度を直接入力してもよいし、予め用意された選択肢の中から選択してもよい。また、ユーザは、用いる微小気泡の種類や、治療や処置の術式等を直接入力することも、予め用意された選択肢の中から選択することもできる。これらの情報に基づいて、駆動信号設定部140は射出超音波の強度や周波数を設定する。ここで駆動周波数f1は、例えば2×fBである9.28MHzと設定される。駆動信号設定部140は、設定したパラメータに基づいて、f1生成回路142を用いて駆動信号を作成する。駆動信号設定部140は、作成した駆動信号を駆動部150に出力する。ユーザは、入力部120に超音波の射出開始の指示を入力する。このとき駆動信号設定部140は、f1生成回路142から駆動部150に交流信号である駆動信号を出力する。駆動部150は、入力された駆動信号を増幅し、増幅した駆動信号を超音波射出部110に印加する。その結果、超音波射出部110は駆動される。すなわち、超音波射出部110は振動する。この振動により、超音波射出部110から対象物900に向けて射出超音波が照射される。射出超音波は焦点920に集束する。微小気泡の共振周波数fBに対して射出超音波の周波数が2×fBであるので、射出超音波が照射された焦点920において、微小気泡は、2次共振周波数に対応する振動モードで共振する。その結果、微小気泡は圧壊する。この微小気泡の圧壊に伴いキャビテーションが発生する。また、微小気泡が圧壊するときに、その微小気泡から超音波と微小気泡の非線形性に由来して分調波サブハーモニックが放射されることが知られている。この分調波は、周波数が駆動周波数f1の2分の1、すなわちf1/2である超音波である。本実施形態では駆動周波数はf1=2×fBであるので、その分調波の周波数f1/2はfBとなる。このように、駆動周波数f1の超音波が照射されることによって、微小気泡は、まず2次共振周波数に対応する振動モードで振動し圧壊する。その結果、圧壊によって分調波が放射される。分調波の周波数は微小気泡の共振周波数fBと一致するので、分調波によって微小気泡は共振する。その結果、微小気泡の圧壊はさらに促進される。焦点920においては、圧壊で細かくなった気泡核サテライトバブルの振動が促進される。なぜなら、このサテライトバブルの直径は予め存在させておいたバブルの直径よりも小さいので、その共振周波数はバブルの共振周波数fBよりも高いからである。サテライトバブルの振動が促進される結果、対象物900に対して高い加熱効果が得られ、焦点920及びその近傍の生体組織が凝固する。焦点920で観測される音圧の周波数解析の結果例の模式図を図2に示す。この図に示すように、焦点920では、駆動周波数f1と分調波の周波数f1/2との2つのピークが認められる。ここで駆動周波数f1=2×fBである。したがって、周波数f1/2は、微小気泡の共振周波数fBに相当する。駆動周波数f1を微小気泡の共振周波数fBとも2×fBとも一致させなかった場合における周波数と音圧との関係を図2中に破線で示す。この破線で示した周波数特性と実線で示した本実施形態の場合の周波数特性とを比べると、本実施形態では微小気泡の共振周波数fBと、その倍音である2×fBにピークが認められ、キャビテーションを発生させるためのエネルギ効率がよいことが明らかである。なお、図2における破線で示す場合でも分調波は発生する。しかしながら、微小気泡の圧壊が生じる頻度が低いので、発生する分調波の音圧も低く、図2においては図示されていない。また、本実施形態の場合、周波数がf1/3やf1/4等である分調波も発生する。しかしながら図2では、一部の周波数領域しか示されていないので、周波数がより低いこれら分調波については図示されていない。本実施形態によれば、小型化のため共振周波数が比較的高くなる小さな超音波振動子を超音波射出部110として用いても、駆動周波数を微小気泡の共振周波数の2倍に設定しているので、比較的低い周波数を有する超音波分調波を発生させることができる。その結果、効率よくキャビテーションを発生させることができる。したがって、効率的に生体組織を加熱凝固することが可能となる。本実施形態では、f1=2×fBとしたが、f1は、fBの2倍に限らず、3倍や4倍など、fBのn倍nは2以上の整数としてもその分調波として周波数fBの超音波が発生するので、同様に機能し同様の効果が得られる。また、本実施形態では、射出超音波は集束するものとして説明したが、これに限らない。射出超音波は平行波でもよいし、目標位置が比較的近距離であり十分なエネルギを与えられるのであれば射出超音波は拡散波でもよい。また、超音波射出部110の形状も、本実施形態のように凹面型に限定されるものではなく、超音波射出部110が複数に分割され、分割した素子それぞれに所定の時間差をつけて駆動することで超音波を所望の位置に集束させるようにしても良い。また時間差の与え方を変更することによって、焦点位置920を変更したり、所望のタイミングで平行波や拡散波へ変更するなどしても良い。[第2の実施形態]第2の実施形態について説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について説明し、同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。本実施形態では、2つの異なる周波数を有する超音波を射出する。異なる周波数の超音波が照射されると、対象物の非線形性に起因して差音が発生する。本実施形態では、この差音を利用する。なお、差音とは、周波数が、複数の周波数の差である超音波のことである。本実施形態に係る超音波照射装置100の構成の概略を図3に示す。この図に示すように、本実施形態に係る駆動信号設定部140は、f1生成回路142と、f2生成回路144と、加算器146とを有する。本実施形態において駆動信号設定部140は、入力部120から入力されたユーザ指示信号に基づいて、第1の駆動周波数f1と第2の駆動周波数f2とを設定する。本実施形態では、第1の駆動周波数f1は、入力部120から入力された微小気泡の共振周波数fBと等しく設定される。例えば、微小気泡の共振周波数fBが4.64MHzであるとき、第1の駆動周波数f1も4.64MHzに設定される。また、第2の駆動周波数f2は、第1の駆動周波数f1の2倍に設定される。例えば、微小気泡の共振周波数fBが4.64MHzであるとき、第2の駆動周波数f2は9.28MHzに設定される。駆動信号設定部140は、周波数が第1の駆動周波数f1である第1の駆動信号を、f1生成回路142を用いて作成する。また、駆動信号設定部140は、周波数が第2の駆動周波数f2である第2の駆動信号を、f2生成回路144を用いて作成する。f1生成回路142で作成された第1の駆動信号と、f2生成回路144で作成された第2の駆動信号とは、加算器146に入力される。加算器146は、第1の駆動信号と第2の駆動信号とを重畳し、重畳駆動信号を作成する。加算器146は、作成した重畳駆動信号を駆動部150に出力する。その他の構成は、第1の実施形態の場合と同様である。本実施形態では、超音波射出部110は、重畳駆動信号に基づいて、周波数が第1の駆動周波数f1である第1の超音波と、周波数が第2の駆動周波数f2である第2の超音波とを射出する。その結果、焦点920において次のような現象が生じる。対象物900の超音波伝播性の非線形性に由来して、焦点920では、第1の駆動周波数f1と第2の駆動周波数f2との差音、すなわち周波数がf2-f1=4.64MHz=fBである超音波が発生する。第1の駆動周波数f1=fBとし、第2の駆動周波数f2=2×f1=2×fBとすることで、次のようにして周波数fBの超音波が3通りの方法で得られる。すなわち、1つ目は、第1の超音波によるものである。第1の超音波の周波数は、前述のとおり第1の駆動周波数f1=fBである。2つ目として、対象物900の非線形性に由来する差音周波数がf2-f1=fBの超音波が、焦点920において発生する。3つ目として、第1の実施形態の場合と同様に、第2の超音波の分調波が、微小気泡の圧壊時に発生する。第2の超音波の周波数は、第2の駆動周波数f2=2×fBである。したがって、第2の超音波の分調波の周波数は、f2/2=fBである。これら3種類に由来する周波数fBの超音波によって、射出超音波を効率的に用いることができる。したがって、超音波照射装置100は、高いエネルギ効率を得ることができる。すなわち、超音波射出部110から射出する超音波のエネルギを比較的低くしながら、焦点920において微小気泡を圧壊させ、それに伴ってキャビテーションを発生させることができる。本実施形態は、単パルス、又は、数パルスからバースト波状の駆動信号を用いることによって、微小気泡の圧壊やその結果生じるキャビテーションを用いる治療、例えば生体組織を破砕する処置やアブレーション等に利用できる。なお、本実施形態の場合、対象物900の非線形性に由来する和音を利用することもできる。和音とは、周波数が、複数の周波数の和である超音波のことである。本実施形態では第1の駆動周波数f1と第2の駆動周波数f2との和音、すなわち、周波数がf1f2=13.92MHzである超音波も焦点920において発生する。このような高い周波数を有する超音波は、それ自体で対象物900にキャビテーションを発生させる。すなわち、本実施形態のような射出超音波を連続的に照射することにより、焦点920及び近傍の生体組織の加熱凝固を促進する効果も得られる。また、このような超音波周波数f1f2は、後述のサテライトバブルの振動の促進にも有効となる。本実施形態において、第1の駆動信号の振幅は、第2の駆動信号の振幅よりも大きくなるように設定してもよい。その理由は、以下のとおりである。本実施形態では、超音波射出部110を小型化している。このため、その共振周波数は高くならざるを得ない。その結果、超音波射出部110は、周波数がより高い第2の駆動周波数f2である超音波の方が出力を高くしやすい。そこで、処置の種類によっては、第1の駆動周波数f1を有する第1の超音波の強度と、第2の駆動周波数f2を有する第2の超音波の強度とが同程度になるように、駆動信号設定部140によって第1の駆動信号及び第2の駆動信号の振幅を調整する場合がある。本実施形態では、f1=fBとし、f2=2×fBとしているが、これに限らず、f1=m×fB、f2=n×fBn、mはそれぞれ自然数でありm<nであれば、同様に機能し同様の効果が得られる。特にn=m1とすることが、差音がfBとなるので好ましい。[第2の実施形態の第1の変形例]第2の実施形態の第1の変形例について説明する。ここでは、第2の実施形態との相違点について説明し、同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。本変形例では、第1の駆動周波数f1を有する第1の駆動信号の振幅を、所定の時間毎に大きくしたり小さくしたり変化させる。本変形例における第1の駆動信号の時間経過に対する電位の関係と、第2の駆動信号の時間経過に対する電位の関係とを図4に示す。この図に示すように、第1の時間領域210と、第2の時間領域220とが交互に設けられている。第1の駆動信号の振幅は、第1の時間領域210において相対的に大きく、第2の時間領域220において相対的に小さくなっている。第2の駆動信号の振幅は、第1の時間領域210と第2の時間領域220とで変化しない。なお、前記したとおり、射出される第1の超音波及び第2の超音波は、それぞれ第1の駆動信号及び第2の駆動信号に応じる。したがって第1の超音波の強度は、第1の時間領域210において高く、第2の時間領域220において低い。このような第1の駆動信号の振幅を変化させると次のような効果が得られる。第1の時間領域210においては、第1の駆動信号による第1の超音波と、第2の駆動信号による第2の超音波とが重畳されて、第2の実施形態の説明で述べたとおりキャビテーションの発生が非常に顕著となる。一方、第2の時間領域220においては、第2の超音波の効果が支配的となる。第2の超音波の照射によって、圧壊で細かくなったサテライトバブルの振動が促進される。なぜなら、このサテライトバブルの直径は予め存在させておいたバブルの直径よりも小さいので、その共振周波数はバブルの共振周波数fBよりも高いからである。サテライトバブルの振動が促進される結果、対象物900に対して高い加熱効果が得られる。すなわち、第1の駆動信号の振幅を第2の駆動信号の振幅に対して時間的に変化させることにより、効率的に治療のための処置を行うことができる。なお、第1実施形態においても、上記の第2の超音波2×fBに該当する超音波を用いていることから、同様の効果が得られることはいうまでもない。なお、第1の駆動信号の振幅の変化は図4に示すようなものに限らない。例えば図5に示すように、第1の時間領域210では第1の駆動信号をONにし、第2の時間領域220では第2の駆動信号をOFFにするようにしてもよい。このように制御することによって、第1の時間領域210で圧壊のみ選択的に引き起こし気泡核サテライトバブルを生成し、第2の時間領域220で積極的に気泡核サテライトバブルの振動を選択的に促進して効率的な加熱凝固が期待できる。また、図6に示すように、第1の駆動信号を徐々に低下させるようにしてもよい。また、第1の駆動信号の振幅が一定であり、第2の駆動信号の振幅が時間とともに変化するようにしてもよい。また、第1の駆動信号の振幅と第2の駆動信号の振幅とを共に変化させてもよい。何れの場合も本変形例と同様の効果が得られる。[第2の実施形態の第2の変形例]第2の実施形態の第2の変形例について説明する。ここでは、第2の実施形態の第1の変形例との相違点について説明し、同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。本変形例では、第1の時間領域210と第2の時間領域220とで、第1の駆動信号の位相を変化させる。本変形例における時間経過に対する第1の駆動信号の電位の関係と、時間経過に対する第2の駆動信号の電位の関係とを図7に示す。この図に示すように、第2の時間領域220における第1の駆動信号の位相は、第1の時間領域210における第1の駆動信号の位相と180°ずれている。このような駆動信号を用いることにより、超音波射出部110における圧電素子の変位量は、正方向と負方向で不均等となる。その結果、超音波射出部110は、和音、差音、及び高調波の音場を変化させることができる。このように変化させることによって、上述した第1の変形例の場合と同様に、キャビテーションの発生を非常に顕著とすることと、圧壊で細かくなったサテライトバブルの振動を促進して対象物900において高い加熱効果を得ることとを、時間的に切り替えることができる。なお、第1の時間領域210における駆動信号と第2の時間領域220における駆動信号との位相差は180°に限らず、治療対象や微小気泡の種類、処置の種類に応じて、適宜調整することで同様の効果が得られる。また、第1の駆動信号の位相のみならず、第2の駆動信号の位相を変化させてもよいし、第2の駆動信号の位相のみを変化させてもよい。[第2の実施形態の第3の変形例]第2の実施形態の第3の変形例について説明する。ここでは、第2の実施形態との相違点について説明し、同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。本変形例では、第1の時間領域210と第2の時間領域220とで、第1の駆動信号の第1の駆動周波数f1と、第2の駆動信号の第2の駆動周波数f2とを変化させる。本変形例における時間経過に対する第1の駆動信号の電位の関係と、時間経過に対する第2の駆動信号の電位の関係とを図8に示す。本変形例では、例えば、第1の駆動信号の周波数を、第1の時間領域210においては微小気泡の共振周波数fBとする。また、第1の駆動信号の周波数を、第2の時間領域220においては2×fBとする。一方、第2の駆動信号の周波数を、第1の時間領域210において2×fBとする。また、第2の駆動信号の周波数を、第2の時間領域220においては3×fBとする。この例では、第1の駆動信号と第2の駆動周波数との差が、常にfBとなっている。すなわち、第1の超音波と第2の超音波との差音の周波数が微小気泡の共振周波数fBとなっている。このような第1の駆動信号及び第2の駆動信号を用いると、キャビテーション生成を継続しながら、射出超音波の周波数を高低に変化させることができる。したがって、第1の変形例と同様に加熱効果を促進させられる。なお、第1の駆動信号の周波数と第2の駆動信号の周波数との組み合わせは上記に限定されない。第1の超音波と第2の超音波の和音又は差音の周波数が、l×fBlは自然数となるようにすれば、同様の効果が得られる。また、第1の駆動信号の周波数と第2の駆動信号の周波数とを共に変化させなくても、第1の超音波と第2の超音波の和音又は差音の周波数が、l×fBlは自然数となるようにすれば、一方を変化させてもよい。また、第1の駆動信号の周波数と第2の駆動信号の周波数とを、上記の関係を維持したまま連続的に変化させてもよい。[第3の実施形態]第3の実施形態について説明する。ここでは、第2の実施形態との相違点について説明し、同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。本実施形態では、超音波射出部110は、2つの超音波射出部を有している。2つの超音波射出部のそれぞれから異なる周波数の超音波を射出する。本実施形態に係る超音波照射装置100の構成の概略を図9に示す。この図に示すように、本実施形態に係る駆動信号設定部140は、f1生成回路142と、f2生成回路144とを有する。駆動部150は、第1の増幅器152と第2の増幅器154とを有する。超音波射出部110は、第1の超音波素子112と第2の超音波素子114とを有する。本実施形態において駆動信号設定部140は、入力部120から入力されたユーザ指示信号に基づいて、第1の駆動周波数f1と第2の駆動周波数f2とを設定する。駆動信号設定部140は、f1生成回路142を用いて周波数が第1の駆動周波数f1である駆動信号を作成し、f2生成回路144を用いて周波数が第2の駆動周波数f2である駆動信号を作成する。f1生成回路142で生成された駆動信号は、第1の増幅器152に入力される。第1の増幅器152に入力され増幅された駆動信号は、第1の超音波素子112に入力される。その結果、第1の超音波素子112は、周波数が第1の駆動周波数f1である第1の超音波を射出する。f2生成回路144で生成された駆動信号は、第2の増幅器154に入力される。第2の増幅器154に入力され増幅された駆動信号は、第2の超音波素子114に入力される。その結果、第2の超音波素子114は、周波数が第2の駆動周波数f2である第2の超音波を射出する。第1の超音波と第2の超音波とが重なる領域において、対象物900の超音波伝播性の非線形性に由来して、第1の駆動周波数f1と第2の駆動周波数f2との差音、すなわち周波数がf2-f1である超音波が発生する。本実施形態においても、第2の実施形態の場合と同様に、第1の駆動周波数f1を入力部120から入力された微小気泡の共振周波数fBと等しくする。例えば、微小気泡の共振周波数fBが4.64MHzであるとき、第1の駆動周波数f1は4.64MHzに設定される。また、第2の駆動周波数f2は第1の駆動周波数f1の2倍に設定される。例えば、微小気泡の共振周波数fBが4.64MHzであるとき、第2の駆動周波数f2は9.28MHzに設定される。第2の実施形態の場合と同様に、第1の駆動周波数f1=fBとし、第2の駆動周波数f2=2×f1=2×fBとすることで、周波数fBを有する超音波が3通りの方法で得られる。すなわち、1つ目として、周波数が第1の駆動周波数f1である第1の超音波が第1の超音波素子112から射出される。2つ目として、対象物900の非線形性に由来する差音周波数がf2-f1=fBの超音波が、第1の超音波と第2の超音波が重畳する領域で発生する。3つ目として、第2の超音波の分調波として生じる周波数f2/2=fBを有する超音波が、微小気泡の圧壊時に発生する。これら3種類の由来を有する周波数fBの超音波によって、超音波射出部110から射出する超音波を高いエネルギ効率で利用することができる。すなわち、超音波射出部110から射出する超音波のエネルギを比較的低くしながら、焦点920において微小気泡を圧壊させ、キャビテーションを発生させることができる。また、対象物900の非線形性に由来して生じる周波数がf1f2である和音も2種類の超音波が重畳する領域において発生する。このような高い周波数を有する超音波は、それ自体で対象物900にキャビテーションを発生させることができる。すなわち、このような超音波を連続的に照射することにより、和音によって生体組織の加熱凝固を促進する効果も得られる。なお、本実施形態では、第1の超音波素子112と第2の超音波素子114との形状は、平面状であるよう図示したが、凹面形状にしてもよい。この場合、第1の超音波素子112と第2の超音波素子114とからは集束超音波が射出される。ここで、第1の超音波素子112と第2の超音波素子114とは、第1の超音波の集束位置と第2の超音波の集束位置とが一致するように配置されることが好ましい。なお、第1の駆動信号と第2の駆動信号とは、第2の実施形態の各変形例のようにしてもよい。その場合、第2の実施形態の各変形例と同様に機能し同様の効果が得られる。また、超音波の伝播において、周波数が高いほど直進性が高い。したがって、第1の駆動周波数f1を有する第1の超音波と、第2の駆動周波数f2を有する第2の超音波とでは、第2の超音波の方が直進性が高く、第1の超音波の方が拡散しやすい。そのため、同一の領域に超音波を照射しようとする場合、第1の超音波素子112の超音波を射出する部分の面積は、第2の超音波素子114の超音波を射出する部分の面積よりも狭くてもよい。[第3の実施形態の変形例]第3の実施形態の変形例について説明する。ここでは、第3の実施形態との相違点について説明し、同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。本変形例は、第3の実施形態と超音波射出部110の構成が異なる。本変形例では、図10に示すように、超音波射出部110において第1の超音波素子112と第2の超音波素子114とは互いに隣り合うように複数配置されている。その他の構成は第3の実施形態と同様である。本変形例によっても第3の実施形態の場合と同様に動作し、同様の効果を得ることができる。なお、第1の駆動信号と第2の駆動信号とは、第2の実施形態の各変形例のようにしてもよい。その場合、第2の実施形態の各変形例と同様に機能し、同様の効果が得られる。第1乃至第3の実施形態及びそれらの変形例では、各駆動信号は正弦波である場合を例として示したが、波形はこれに限定されない。駆動信号は、例えば矩形波や三角波であってもよい。また、複数の波形を組み合わせてもよい。[第4の実施形態]第4の実施形態について説明する。ここでは、第2の実施形態との相違点について説明し、同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。本実施形態の超音波照射装置400は、図11に示すように、第1の実施形態の超音波照射装置100の構成に加えて、さらに超音波受信部160と、低周波信号検出部170と、照射条件変更部180とを備える。超音波受信部160は、例えば広帯域特性を有する圧電素子であり、ハイドロホンとして機能する。超音波受信部160は、音波を受信する。受信するこの音波は、超音波射出部110から射出された集束超音波によって生じたキャビテーション気泡から放射される音波を含む。超音波受信部160は、受信した超音波に応じた信号を低周波信号検出部170に出力する。超音波受信部160は、例えば超音波射出部110の射出面中央に設けられている。超音波受信部160の位置は、超音波射出部110の中央に限定されない。超音波受信部160は、対象物から到来する音波を検出できればよい。低周波信号検出部170は、超音波受信部160から入力された信号のうち、所望の周波数以下の低周波信号について、FFT処理を施す。その結果、低周波信号検出部170は、低周波信号について、周波数毎の信号強度、特にピークをとる周波数とその強度を所定の時刻毎に算出する。低周波信号検出部170は、低周波信号の周波数毎の信号強度について、所定の比較演算を行う。低周波信号検出部170は、当該比較演算の結果を比較演算結果として照射条件変更部180に出力する。照射条件変更部180は、比較演算結果に応じて、射出超音波の停止の指示、又は射出超音波の強度や周波数の変更値を駆動信号設定部140に出力する。駆動信号設定部140は、入力部120から入力されるユーザの指示に基づいて、駆動信号を作成する。また、駆動信号設定部140は、照射条件変更部180から入力された変更値に基づいて、駆動信号を作成する。駆動信号設定部140は、作成した駆動信号を駆動部150に出力する。また、駆動信号設定部140は、照射条件変更部180から入力された変更値に基づいて超音波の照射条件を変更するときは、その変更内容を表示部130に表示させ、ユーザに変更内容を報知する。このように、例えば超音波受信部160は、対象部位方向から到来する超音波を受信する超音波受信部として機能し、例えば低周波信号検出部170及び照射条件変更部180は、超音波受信部で受信した信号に基づき、対象部位において発生している気泡の大きさを算出する気泡サイズ演算部として機能する。ここで、例えば駆動信号設定部140は、気泡サイズ演算部が算出した気泡の大きさに基づいて駆動信号の周波数及び/又は振幅を決定する。振幅を零とすることは駆動信号を停止することを意味する。本実施形態に係る超音波照射装置400の動作を説明する。まず、ユーザは対象物900に超音波射出部110を向ける。ここで、対象物900と超音波射出部110との間には、超音波ゼリー等のカップリング材を挟むようにしてもよい。なお、対象物900には、予め例えばソナゾイド等の微小気泡を存在させておく。駆動信号設定部140は、入力部120からバブルの共振周波数fBの情報を含むユーザ指示信号を取得する。駆動信号設定部140は、ユーザ指示信号に基づいて、射出超音波の周波数や強度等の初期パラメータを設定する。駆動信号設定部140は、初期パラメータに基づいて、駆動部150に出力する駆動信号を作成する。駆動信号設定部140は、駆動部150に駆動信号を出力する。その結果、超音波射出部110は、超音波を射出する。射出超音波は、焦点920に集束する。超音波照射によって焦点920において、微小気泡が圧壊しキャビテーションが発生する。焦点920及びその近傍において、キャビテーションによる加熱によって生体組織が凝固する。超音波照射を長時間継続すると、目標位置である焦点920よりも超音波射出部110側を含む領域に、キャビテーション気泡群が発生する。このキャビテーション気泡群は、超音波照射時間の経過とともにその量が増えていく。これらのキャビテーション気泡群は、超音波照射を停止すると、ただちに消滅する。キャビテーション気泡は、小さければ焦点920における生体組織の加熱凝固を促進させる効果を示す。一方、キャビテーション気泡が大きくなると、キャビテーション気泡群を形成する。キャビテーション気泡群が形成されると、焦点920よりも超音波射出部110側の領域にキャビテーション位置が移動し、それに伴って焦点920よりも超音波射出部110側を含む領域が加熱凝固されてしまう。すなわち、治療や処置すべきでない部位の組織に損傷を与えてしまう。したがって、安全に治療や処置を行うためには、キャビテーション気泡の状態に応じて、タイミングよく射出超音波の出力強度を変化させたり射出超音波を停止させたりする必要がある。本実施形態では、超音波受信部160で受信した音波の情報に基づいて、超音波射出部110から射出する超音波を変化させる。超音波受信部160は、焦点920方向から到来する音波を受信する。この焦点920方向から到来する音波には、前述のキャビテーション気泡群に由来する音波が含まれている。超音波受信部160は、受信した信号を、低周波信号検出部170に出力する。低周波信号検出部170は、超音波受信部160から入力された信号のうち、所望の周波数以下の周波数を有する低周波信号を抽出する。低周波信号検出部170は、低周波信号をFFT解析し、周波数毎の信号強度、特にピークをとる周波数とその強度を所定の時刻毎に算出する。低周波信号検出部170は、この算出結果に基づいて、キャビテーション気泡群が発生したか否かを所定の比較演算により判定する。より詳しくは、キャビテーション気泡群が生じるとき、低周波数のピークが認められる。本実施形態ではこのような低周波数のピークを検出する。例えば、周波数f1/6近傍に発生するピーク以下、第1のピークと称するの強度が、所定の閾値Th1よりも高くなったとき、キャビテーション気泡群が発生したと判定する。低周波信号検出部170は、このような比較演算結果を照射条件変更部180に出力する。キャビテーション気泡群が発生していないと判定されれば、超音波照射装置400は照射条件を変更せずに超音波照射を継続する。一方、キャビテーション気泡群が発生していると判定されれば、超音波照射装置400は、超音波の照射を停止する。より詳しくは、低周波信号検出部170からキャビテーション気泡群が発生していることを表す比較演算結果を入力した照射条件変更部180は、超音波射出部110からの超音波の射出を停止するように駆動信号設定部140に指示を出力する。この指示に基づいて、駆動信号設定部140は、駆動部150への駆動信号の出力を停止する。その結果、超音波射出部110は、超音波の射出を停止する。この際、駆動信号設定部140は、表示部130に超音波の射出を停止する旨の表示をさせる。その後、超音波照射装置100は、処理を終了する。本実施形態によれば、超音波照射装置400は、焦点920よりも超音波射出部110側の領域におけるキャビテーション気泡群の発生を検出することができる。キャビテーション気泡群の発生が検出されたら、超音波照射装置400は超音波照射を停止する。この超音波照射の停止によって、加熱凝固されるべきでない領域の組織が損傷することを防止できる。なお、焦点920よりも超音波射出部110側の領域におけるキャビテーション気泡群の発生が検出された際に、超音波照射を停止させなくてもよい。代わりに例えば超音波の強度や周波数を変化させてもよい。また、本実施形態では、第1の実施形態の代わりに、第2若しくは第3の実施形態又はそれらの変形例と同様の構成を有し、同様に機能させることができる。その場合、第2若しくは第3の実施形態又はそれらの変形例と同様の効果が得られる。[第5の実施形態]第5の実施形態について説明する。ここでは、第4の実施形態との相違点について説明し、同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。本実施形態では、超音波射出部110及び超音波受信部160が軟性内視鏡の先端に配置されている。さらにその軟性内視鏡には、超音波照射対象領域に超音波造影剤を投与するための機構が備えられている。本実施形態に係る注入手段を有する超音波治療装置の構成図を図12に示す。この図に示すように、軟性の内視鏡190の先端部には、超音波射出部110及び超音波受信部160が配置されている。内視鏡190は、超音波射出部110及び超音波受信部160が配置されている端から、例えば経口的に体内に挿入される。超音波射出部110に接続する駆動部150と、超音波受信部160に接続する低周波信号検出部170とは、内視鏡190の基端側に配置されている。超音波射出部110と駆動部150とは、内視鏡190内を通る配線によって接続されている。また、超音波受信部160と低周波信号検出部170とも、内視鏡190内を通る配線によって接続されている。第4の実施形態と同様に低周波信号検出部170には、照射条件変更部180が接続されている。照射条件変更部180には、駆動信号設定部140が接続されている。駆動信号設定部140には、駆動部150が接続されている。また、駆動信号設定部140には、入力部120と表示部130とが接続されている。内視鏡190の先端の超音波射出部110及び超音波受信部160の近傍には、さらに穿刺部192が配置されている。この穿刺部192には、内視鏡190の基端側に配置された加圧部194が接続されている。穿刺部192は、射出超音波の焦点920の近傍に、加圧部194から供給された超音波造影剤等を投与することができる。このように、穿刺部192及び加圧部194は、微小気泡を対象部位に注入する注入部として機能する。その他の構成は第4の実施形態の場合と同様である。本実施形態によれば、例えば消化管越しに膵臓や胆嚢に集束超音波を照射することができる。一般に周波数の高い超音波ほど減衰率が高い。例えば体外から体内深部の臓器に超音波を照射する場合、超音波の減衰を考慮すると高周波数の超音波を用いることは困難である。これに対して本実施形態では、超音波の伝播距離を短くできるので、射出超音波の周波数を高くすることができる。さらに、この集束超音波の焦点920の近傍のみに穿刺部192によって超音波造影剤等を投与できる。このため、極めて狭い領域に対して超音波照射による加熱効果が見込める。この際、超音波照射装置を第1乃至第3の実施形態又はそれらの変形例のように駆動することで、第1乃至第3の実施形態又はそれらの変形例と同様の効果を得ることができる。なお、穿刺部192による超音波造影剤等の投与位置及び集束超音波の焦点位置は、治療対象領域の中心よりも超音波射出部110から遠い側に偏った位置とすることが望ましい。このような位置関係とすることにより、造影剤などによる遮蔽効果を低減しつつ、高い治療効果を得ることができる。内視鏡190は軟性内視鏡に限らず、硬性鏡を用いてもよい。また、第4の実施形態のように超音波受信部160と低周波信号検出部170と照射条件変更部180とを有さずに、例えば第1の実施形態と同様の構成を利用してもよい。さらには、超音波射出部110と分離して超音波受信部160が配置されたり、アレイ状素子であったりしてもよく、周波信号検出部170の変わりにBモードや造影モードの信号処置が行える受信信号検出部を用いてもよい。また、注入する薬液は、超音波造影剤を含有するものに限定されず、ナノバブルや、金などの微粒子といった、超音波を反射する物質を含有するものでもよい。超音波を反射する物質を投与すると、その部分でキャビテーションが起こりやすくなり、さらに、反射超音波を有効に利用することができるようになる。なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても、発明が解決しようとする課題の欄で述べられた課題が解決でき、かつ、発明の効果が得られる場合には、この構成要素が削除された構成も発明として抽出され得る。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。