"酸化モリブデンを有する少なくとも1つのモリブデン含有層を含む被膜において、前記酸化モリブデンが実質的に一酸化モリブデンであることを特徴とする被膜。前記被膜は、実質的に一酸化モリブデンを含む少なくとも1つの酸化モリブデン層を含み、前記一酸化モリブデン層のX線回折XRDスペクトルは実質的にMoO2ピークもMoO3ピークも示さないことを特徴とする請求項1に記載の被膜。前記被膜は、少なくとも1つの窒化モリブデン層を含むことを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の被膜。前記被膜は、モリブデン窒素結合と酸化モリブデン結合とを含むMo-N-O層を少なくとも1つ含み、実質的にモリブデン原子は、最大1つの酸素原子と化合物を形成し、前記被膜中に好ましくは一酸化モリブデンを含有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の被膜。前記Mo-N-O層は、窒化モリブデン層と一酸化モリブデン層との間にあることを特徴とする請求項4に記載の被膜。前記Mo-N-O層中の原子濃度割合は、以下の式により表され、すなわち、MozNdOeで、eは、前記Mo-N-O層中の酸素原子濃度であり、dは、前記Mo-N-O層中の窒素原子濃度であり、zは、前記Mo-N-O層中のモリブデン原子濃度であり、z≧yであることを特徴とする請求項4または5に記載の被膜。前記Mo-N-O層は漸進的な層であり、前記Mo-N-O層の基板に近い境界面から表面に近い境界面に向かって、窒素濃度は低下し、酸素濃度は上昇することを特徴とする請求項4、5または6に記載の被膜。前記Mo-N-O層は漸進的な層であり、前記Mo-N-O層の基板に近い境界面から表面に近い境界面に向かって、酸素濃度は低下し、窒素濃度は上昇することを特徴とする請求項4、5または6に記載の被膜。前記被膜は、請求項7に記載の被膜を少なくとも1つと、請求項8に記載の被膜を少なくとも1つ含むことを特徴とする請求項4、5または6に記載の被膜。前記被膜は、MoO3を有する被覆層を有することを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の被膜。基体と前記Mo含有層との間に、少なくとも1つの付着層および/または少なくとも1つの機能層が析出されていることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の被膜。少なくとも1つのMo含有層は、とりわけ非常に良好な機械安定性を有し、Mo1-x,MexAaBbCcを含有し、0≦x≦0.99で、好ましくは0≦x≦0.5であり、Meは、W、Ti、Al、Cr、Si、Zr、Ta、Nb、Ag、CuおよびVの群の1つの金属またはこの群の2つ以上の金属の組み合わせであり、Aは、0.5≦a≦1の窒素Nであり、Bは、0≦b≦0.5の炭素Cであり、Cは、0≦c≦0.5の酸素Oであり、a、bおよびcは元素N、CおよびO間のat原子百分率を示し、abc=1であり、これ以外の追加的な元素を設けることもできるが、好ましくは設けず、x≧cであることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の被膜。少なくとも1つのMo含有層は、とりわけ非常に良好な潤滑剤特性および滑り特性を有し、Mo1-y,MeyAuBvCwを含有し、0≦y≦0.99で、好ましくは0≦y≦0.5であり、Meは、W、Ti、Al、Cr、Si、Zr、Ta、Nb、Ag、CuおよびVの群の1つの金属またはこの群の2つ以上の金属の組み合わせであり、Aは、0≦u≦0.5の窒素であり、Bは、0≦v≦0.5の炭素であり、Cは、0.5≦w≦1の酸素であり、u、vおよびwは元素N、CおよびO間のatを示し、uvw=1であり、これ以外の追加的な元素を設けることもできるが、好ましくは設けず、y≧wであることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の被膜。前記被膜は、少なくとも1つの請求項12に記載の第1層と、1つの請求項13に記載の第2層とを含むことを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の被膜。上記請求項のいずれか1項に記載の被膜を作り出すためのPVD物理的蒸着法またはPVDとCVD化学的蒸着法とを組み合わせた方法において、前記一酸化モリブデンを含む層中の前記一酸化モリブデンは、スパーク蒸発を用いて析出されることを特徴とする方法。上記請求項のいずれか1項に記載の被膜を作り出すためのPVD方法において、前記モリブデン含有層は、反応雰囲気中で少なくとも1つのモリブデン含有ターゲットをスパーク蒸発させることにより作り出されることを特徴とする方法。被膜を備えた構成部品において、前記被膜が上記請求項1から14のいずれか1項に記載の被膜であることを特徴とする構成部品。金属または合金製の構成部品を作るために請求項17に記載の被膜がなされた工具の応用において、前記被膜により、前記工具の被膜した表面への、加工した金属または合金の油性染みの発生が低減または好ましくは完全に回避されることを特徴とする応用。非常に興味深く考慮されるべきであるのは、EP1783244号中で実証される後酸化の効果である。Yamamoto氏他は、この文献中で、少なくとも1つの窒化物層または炭窒化物層を含む機械切削工具および成形工具用の硬質被膜について報告している。この窒化物層または炭窒化物層は、モリブデンまたはタングステンを含有し、スパッタリング技術および/またはアーク技術により析出され、その表面は、おそらくは滑らかな表面において生じる温度近くの温度で後酸化される。Yamamoto氏他は、ここで、MoO2およびMoO3を、Mo-N層の後酸化の生成物として言及している。これらの後酸化効果には、以下の欠点が付随する。一方で、後酸化が制御されず生じ、これが、MoO3やMoO2の生成を引き起こす点を顧慮すべきである。上述のように、MoO2は研磨特性を有し、これは、例えば必要とされる良好な滑り特性との関連で非常に大きい欠点となる。他方で、高い機械的要求度のあるMo-N層の応用では、反応Mo-Nの後酸化も、Mo-Nの滑り特性も、MoO3の期待される潤滑特性と組み合わせると安定しないが、この理由は、この応用時に生成される酸化物化合物とりわけMoO3粒子が、継続的にMo-N層から離れるからである。これにより、Mo-N層表面が迅速にさらに酸化され、プロセスを継続すると、Mo-N層の分解を招いてしまうからである。発明の課題本発明の課題は、さらに良好なトライボロジー面での特性および/または電気的特性以外に、とりわけ良好で安定した潤滑剤特性も有し、かつ/または、柔軟性が改善され、かつ、好ましくは従来公知の層の上述したこれ以外の欠点を、少なくとも低減するような、改善された層およびその製法を提供することである。本発明による課題の解決方法本発明によれば、この課題は、モリブデンからなる安定した酸化物を含む硬質材料層を作り出すことにより達成される。とりわけ、本発明によれば、この課題は、安定したモリブデンの酸化物を含むモリブデンからなる酸窒化物Mo-N-O層を作り出すことにより達成される。さらに、本発明による制御可能なPVDプロセスを示すが、このプロセスにより、目的に合うように酸素をモリブデンと反応させ、その結果、層中に安定した酸化モリブデン化合物を形成することができる。とりわけ、さらに1つの本発明による制御可能なPVDプロセスが提供され、これにより、層中に実質的にMoO2および/またはMoO3化合物を形成せずに、目的に合わせて酸素をMoN中に取り入れることができる。この本発明のプロセスによれば、任意選択的に、固体潤滑剤としてMoO3層を表面に析出することができる。好適な変形例による本発明のある層システムは、酸素濃度が≧0.03の以下の2つの層のうちの少なくとも1つを含み、好ましくは、少なくとも2つの以下の層を含む。すなわち、第1層であって、とりわけ非常に良好な機械安定性を有し、Mo1-x,MexAaBbCcを含有し、0≦x≦0.99で、好ましくは0≦x≦0.5であり、Meは、W、Ti、Al、Cr、Si、Zr、Ta、Nb、Ag、CuおよびVからなる群の1つの金属またはこの群の2つ以上の金属の組み合わせであり、Aは、0.5≦a≦1の窒素Nであり、Bは、0≦b≦0.5の炭素Cであり、Cは、0≦c≦0.5の酸素Oであり、a、bおよびcは元素N、CおよびO間の原子百分率atを示し、abc=1であり、これ以外の追加的な元素を設けることもできるが、好ましくは設けない、第1層と、第2層であって、とりわけ非常に良好な潤滑剤特性および滑り特性を有し、Mo1-y,MeyAuBvCwを含有し、0≦y≦0.99で、好ましくは0≦y≦0.5であり、Meは、W、Ti、Al、Cr、Si、Zr、Ta、Nb、Ag、CuおよびVからなる群の1つの金属またはこの群の2つ以上の金属の組み合わせであり、Aは、0≦u≦0.5の窒素であり、Bは、0≦v≦0.5の炭素であり、Cは、0.5≦w≦1の酸素であり、u、vおよびwは元素N、CおよびO間のatを示し、uvw=1であり、これ以外の追加的な元素を設けることもできるが、好ましくは設けない、第2層とを含む。本発明の層を作り出すためには、非反応性ガス雰囲気中または反応性ガス雰囲気中酸素の添加はなしでPVD層を生成するためのPVD法を実行する間、室内に供給される反応性ガスが、次第に部分的に酸素によって置き換えられ、これにより一酸化モリブデンMoOが層中に形成されるというプロセス条件の下で作業するのが好ましい。一酸化モリブデンMoOを生成するために被膜室中で必要であるモリブデンは、モリブデン含有ターゲットから供給され、これは、PVD源、好ましくはスパーク蒸発源中に相応に取り入れられている。モリブデン含有ターゲットを有するPVD源は、少なくとも被膜室中に酸素が添加される少し前に活性化されねばならない。一酸化モリブデンMoOは、二酸化モリブデンMoO2および三酸化モリブデンMoO3に対してより有利であるが、その理由は、MoOは、MoO2とは異なり研磨性がなく、MoOは、MoO3と同様に、非常に良好な滑り特性および潤滑剤特性を有するが、MoO2およびMoO3と比較すると、実質的により安定性を有するとわかっていて、MoOは油性染みに対して作用するからである。とりわけ、純粋窒素雰囲気下で窒化モリブデンMoNの六方晶相が生成されるが、酸素の添加により、次第に窒素が部分的に酸素に置き換わり、これにより、層中に一酸化モリブデンが形成されるというプロセス条件下で作業するのが好ましい。酸化モリブデンMoOは、機械的要求度の高い応用においても、層中および層上に安定的に存在し続けるので、MoN層の後酸化の進行が妨げられるかまたは抑制され、したがって、窒化モリブデンも安定化させられる。本発明により合成された層について、X線スペクトルは典型的な二酸化モリブデンピークも三酸化モリブデンピークも示さない。しかし、これらの層では、分析例えば、高エネルギー重イオンの弾性前方散乱ERDによる定量元素分析時には、酸素を純粋MoO一酸化物に関連付けると、酸素含有量は、3atを上回り50at未満となる。特定の応用の場合、モリブデン酸窒化物Mo-N-O層には、炭素C、ホウ素B、シリコンSi、タングステンWまたは銅Cuなどのさらなる元素を添加することができる。多くの種類の鋼鉄では、従来の被膜例えば、TiAlNまたはCrAlNで被膜された構成部品または工具の表面に油性染みが生じるという問題が生じ、これは、とりわけ金属を切削加工例えば、回転、除去またはフライス盤で切削する際に生じる望まない効果である。本発明者らは、さらに、スパーク蒸発を用いてMoNで被膜することにより、この種の鋼鉄の油性染みが少なくとも実質的に防がれると確定した。この点は、とりわけ窒化モリブデンが別の窒化物中に適切な量だけ取り入れられる際にも有効である。これは、ベースとなる窒化物が持っている非常に良好な元の特性は保持され続けるが、窒化モリブデンを追加することにより、追加的に油性染みを防ぐことができるということを意味する。この場合にも、本発明により、目的に合わせて、MoNが部分的にMoOにより、好ましくは層の表面においてはより高い程度でまたは完全に置換されることにより、制御されない後酸化によるMoNの分解を防ぐことができる、または少なくとも抑制することができる。さらに、本発明者らは、スパーク蒸発およびパルススパーク蒸発を用いることにより、初めて、高濃度≧50atの酸化モリブデンを有する比較的厚い>50nm酸化モリブデン含有層を作り出すことができた。PVDプロセスでの酸窒化モリブデンMo-N-O層の合成は、プラズマ支援された反応性被覆、例えば、反応性スパーク蒸発を用いて行われるが、これは、通常0.1Pa~10Paでの窒素雰囲気中で、モリブデンターゲット上で、カソードスパークを引き起こすことにより行われる。酸素を添加することにより酸化モリブデンであるMo-O化合物が結果として形成される。モリブデンから形成される公知の酸化物、すなわち、MoO2およびMoO3は、上述のように、揮発性の高い特性を有する。MoO3については、500°C~600°Cの温度で昇華する、すなわち気体相に移行することがわかっている。反応性プラズマ中では、この気体相への移行は、プラズマの高い反応性により、実質的により低い基板温度においても生じる。すなわち、この移行は、基板の温度というよりは、むしろプラズマの反応性により引き起こされる。すなわち、ここでも、層の析出時における、粉末状の酸化モリブデンMoO2またはMoO3の固体潤滑剤の取り入れを防ぐために、気体状のMo-O化合物は非常に正確に制御されねばならない。より明確にするために、この点を、Mo-N層、Mo-O層およびMo-N-O層のいくつかの破面の走査型電子顕微鏡撮影SEM撮像の例で検討する。図1は、本発明者らが反応性スパーク蒸発を用いて作り出した窒化モリブデンMoN層の典型的な層の形態の略図である。本発明者らは、窒化クロムCrNからなる付着層付着層の厚さは約300nm上に窒化モリブデンMoN層を析出した。450°Cの温度で、Moターゲットおよび220Aのスパーク流を用いてMoN層を作り出した。窒素圧力は3.5Paで、20Vの基板バイアス電圧を用いた。この破面のSEM撮像は、厚い層形態を示している。硬度計測により、HV3000±500の典型的な値が得られた。この層は、通常スパーク蒸発により作り出される層に比べて、粗度が極めて低くRz=1.07μmでRa=0.13μmである。さらに、析出された層の摩擦係数も導き出した。これについては、SRV振動摩擦摩耗試験、すなわち、オプチモール計器試験技術OptimolInstrumentsPrueftechnik有限会社の摩擦計を適用した。SRV試験の実施時には、試験室中に取り付けられた2つの試験体板上の玉が、所定の垂直力により互いに押し付け合わされた。計測時には、上方の試験体この場合には、対抗する物体であって鋼鉄100Cr6製の被膜されていない玉であるが、下方の試験体被膜された試験板上で振動した。測定用の周波数、滑り路、試験力、試験温度および試験時間を予め定めた。測定時には、センサーによって摩擦力が継続的に記録され、これにより、自動的に摩擦値を演算することができた。計測時に双方の試験体において生じる磨耗も、計測後に評価した。SRV試験中で計測した摩擦係数、およびMoNで被膜した試験板上に置いて使用した鋼鉄100Cr6製の対抗する物体の油性染みに関する観察を、表1中に一覧で示した。SRV試験における全ての計測について、周波数、滑り路、試験力、試験温度および試験時間に関する同じパラメータを予め定めた。表1に記載のように、3つの異なる試験進行に従って計測を行った。全ての計測に関して、鋼鉄100Cr6製の対抗する物体すなわち玉が適用され、被膜された試験板の接触表面上での鋼鉄の油性染みの出現が予測されたが、これは所定の条件下で通常のことである。しかしながら、驚くべきことに、本発明者らはMoNで被膜された試験板の表面上に対抗する物体の油性染みの出現を観察しなかった。表1:SRV試験における、スパーク蒸発を用いて作り出したMoN層の摩擦係数と、層上での、対抗する物体の油性の染みの確定図4のX線回折スペクトルは、スパーク蒸発を用いて作り出されたMoNに関する典型的なブラッグ反射を示す。図2は、CrN付着層上に析出したMo-N-O層の略図である。このMo-N-O層は、約300nmのCrN付着層上に、上述のMoN層の場合と類似の条件で、すなわち、450°Cの基板温度で、220Aのスパーク電流を用いて作り出した。窒素圧力を3.5Paに制御したプロセスに純粋な窒素中で、数分の短い段階の後、酸素を添加し、この酸素流は、約2時間に渡って、50sccmから800sccmへ次第にないし線形に高められた。このSEM破面は、層の最後の3分の1中では、緩い層構造へ明らかに移行していることを示している図2中に概略図示。上方の層は、緩やかに析出されたMoO3層を示し、この層は、潤滑特性は有するが、機械的強度は、ほぼ有していない。当業者には明らかであるが、この種の層を層システム中に取り入れることにより、付着の問題が生じる。本発明者らは、層の最後の3分の1におけるこの望ましくない構造が、被膜室中でモリブデン原子が迅速に反応することに起因する、それも被膜室中に添加された酸素を有するMoN層中でモリブデン原子が迅速に反応することに起因するとしている。本発明者らは、所定の酸素流を上回ると、この迅速な反応が被膜時の揮発性の酸化モリブデンMoO2およびMoO3の形成を促進すると推測している。したがって、この結果により、被膜時のMoO2およびMoO3の昇華を防ぐこと、すなわち、実質的に非揮発性の酸化モリブデン例えば、一酸化モリブデンMoOのみが層システム中に取り入れられるように酸素流を制御することが非常に重要であると強調される。しかしながら、本発明によれば、層表面に三酸化モリブデンMoO3を形成し、したがって、柔軟な入口層例えば、MoO上のMoO3を生成するために、層の終端で、意図的に高い酸素流で作業を行うことが有利でありえる。図5は、X線回折分析XRDにより生成された、図2中で撮像されたMo-O-N層のXRDスペクトルを示す。ISDNデータベースから得た参照スペクトルと比較すると、良好な固体潤滑剤として作用するMoO3が形成されていることも確認される。図2中に概略図示された層については、この層の上方部分は再現性のある計測を行うのには軟質すぎるので、表面粗度を導き出すことはできない。ここでも、SRV試験で後処理されない層の摩擦係数が測定された。このSRV試験は、ドライランニングで、かつ上述と同じ試験パラメータで実施された。これらの層は、SRV試験の開始前に被膜表面においてMoO3層が損傷する可能性を回避するために、後研磨されなかった。このようにして計測されたこれらの層の摩擦係数は0.75であったが、これは、純粋なMoN層これは、SRV試験中で、同じ試験条件すなわち同じ試験温度および同じ試験進行の特徴を有するの摩擦係数と比べると、驚くほど高いものであった。本発明者らの推測によれば、この予期せぬ結果は、おそらくは二酸化モリブデンMoO2をMo-N-O中に取り入れたことに起因している。文献から公知であるように、かつ上述したように、MoO2は非常に研磨性がある。いかに、本発明の製法においてMoO2の発生が避けられるかを、さらに以下に説明する。図3には、制御された酸素含有量を用いて、本発明により作り出された層のSEM層断面が概略図示されている。この層は、図2中に概略図示された層とは明らかに異なる形態を有する。制御された酸素含有量を用いて本発明により作り出された層の形態は、MoNの場合の形態と類似しているが、しかしエネルギー分散型X線分光法EDXでは5atを上回る割合の酸素が層中に検出されうる。本発明により実施される製法では、MoN層中に実質的に一酸化モリブデンMoOの相形成のみが得られる。この際に、MoZNdOe層中の酸素の原子濃度が、z≧ded、eおよびzはatの条件下で、e=0.03~1の間の値である。Moの割合z-dyは、窒素および/または酸素により反応しないモリブデンの割合に相当する。これは、例えば層中に取り入れられた塊形状の物質のスパーク蒸発において生じるが、これは、完全に反応し尽くしたモリブデンに由来するものではなく、当業者間ではドロップレットとして知られているものである。図3中に概略図示されている層は、付着層なしに析出された層である。この本発明による層を析出するために、2つのモリブデンターゲットが用いられた。これらは双方とも220Aのスパーク電流で行われた。被膜プロセスでは、4Paの一定の全圧力に制御され、この圧力は、まず、窒素を被膜室中に入れることにより作られる。制御された全圧力に対して、50sccmの酸素流をそれぞれ40秒に渡って添加し、続いて、全層厚が得られるまで再び3分間酸素流を中断することにより、プロセスパラメータを、全析出プロセスの間、交互におよび連続的に変化させた。エネルギー分散型のX線微量分析EDXにより、このように析出した本発明の層が、10atを上回る割合の酸素を有することが確定された。しかしながら、この層のXRDスペクトル中では、顕著な二酸化モリブデンピークまたは三酸化モリブデンピーク図6参照は検出されない。これらは逆に図5中では見ることができる。したがって、スパーク蒸発により作り出されたMo-O層は、酸素流を介して、以下のように制御されることがわかるが、すなわち、安定しかつ可延性のMoO一酸化モリブデンが作り出され、MoN中にマトリックスが取り入れられうる、または、単独の層としても合成可能であるように制御が行われる。研磨性のあるMoO2なしにまたは非常にわずかな量のみ層中に取り入れることによるMoO3への移行は、迅速な酸化物傾斜路中で実施可能であり、これにより、同じプロセス中で強度の表面潤滑を作り出すことが可能となる。上述したように、このように作り出された外側のMoO3層は、入口層としてとりわけ良く適している。本発明により適用されたスパーク蒸発、および、パルススパーク蒸発プロセスの柔軟性により、本発明によるMoO層は、各所望の層中に取り入れることもできる。MoO層およびMoOMoO3層MoO3は、入口層として使用されるは、当初の層システムと比較して所定の軟質性または改善された入口挙動を設定することができるように、とりわけ、外側層として取り入れられ、これにより、例えば、トライボロジーシステム中での対抗する物体の磨耗が最低限に抑えられ、同時に、Mo含有層の安定した酸化挙動が存在する。例えば柔軟性を設定するために、各所望の層中およびとりわけ他の酸化物層例えば、Al-O、CrO、Zr-O、Ti-O中、および/または、混合酸化物層例えば、Al、CrO、Zr、CrOまたはCr-O中へMoOを取り入れることも有利である。このために、別の元素の酸素に対する反応性を非常に精確に顧慮せねばならない。例えば、段階的に高められた酸素流を用いた様々な実験により、いずれの程度の酸素流以降で二酸化モリブデンおよび三酸化モリブデンが層中に形成されるのかを分析することができる。その後、低い酸素流での本来の被膜プロセス中に留まる場合は、望まない酸化モリブデンの形成が回避される。本発明者らが導き出すことができたように、MoO層と基板との間にMoN含有層を設けることはとりわけ利点がある。これにより、層内の硬さおよび付着強度の例における層の機械安定性もさらに改善される。モリブデン以外に、さらなる金属成分を層中に設けることが有利でありえる。本発明のとりわけ好適な変形例は、Mo-N-O層を、スパーク蒸発および/またはパルススパーク蒸発を用いて、例えば以下のように作り出すことである。窒素を被膜室中に導入した後、窒素雰囲気中で、カソードとして機能するモリブデンターゲットにスパークを発火させ、これにより、モリブデンおよび/またはすでに反応していた窒化モリブデンが蒸発する。所定の層厚に達した後に、追加的に、被膜室中にわずかな量の酸素が導入され、これによりMo-N-O層が作り出され、この層は、Mo-Nの非常に良好な特性を有するが、追加的に、層中に取り入れられたMo-O化合物の量が少ないがゆえに、改善された潤滑剤特性および/または柔軟性も有する。窒素を被膜室中に導入した後、窒素雰囲気中で、カソードとして機能するモリブデンターゲットにスパークを発火させ、これにより、モリブデンおよび/またはすでに反応していた窒化モリブデンが蒸発する。所定の層厚に達した後に、追加的に、被膜室中にわずかな量の酸素が導入され、所定の時間経過後、酸素流を再度中断し、その結果再び窒化モリブデンのみが生成される。被膜プロセスは、このように交互に続けられ、これは、多重層からなるMo-N/Mo-N-O/Mo-N/Mo-N-O層の所望の全層厚が達成されるまで続けられる。個々の層厚、および、全層厚は、応用に応じて合わせられる。この変形例では、1つの被膜中に、非常に良好なMo-Nの特性と、Mo-Oの潤滑剤特性および/または柔軟性を組み合わせることができる。Moの合金ターゲットを他の金属と組み合わせても、類似の層システムを作り出すことができる。あるいは、この1つまたは複数のMoターゲット以外に、他の金属および/または合金および/または他の材料からなるターゲットを、被膜時に活性化ないし蒸発させることにより、類似の層システムを作り出すことができる。上述のような層システムであって、特別な機械特性を有する層システムを作り出すために、本発明者らは炭化物を含む本発明の層システムも設けた。この層システムは、スパーク蒸発を用いて、および/または、パルススパーク蒸発を用いて作られるが、これは、被膜時に、追加的に炭素含有気体を導入し、および/または、炭素ターゲットおよび/または炭素含有ターゲットを活性化ないし蒸発させることにより行われる。一般的に表現すると、少なくとも2つの層、すなわち、主要構成成分としてMoNを有し、したがって非常に良好な機械安定性を有する第1層と、主要構成成分として一酸化モリブデンを有し、したがって非常に良好な潤滑剤特性を有する第2層とが含まれる場合、本発明の層システムのとりわけ望ましい変形例となる。この第1層と第2層との間の移行は、漸進的に形成されうる。粘性の実質的な改善は、多重層からなる層を析出することにより達成される。同時に、このようにして、表面から基材へ向かう亀裂の広がりが阻止される。さらに、多くの場合では、最大の層厚を大きくすることができるが、これは、多重層からなる層結合では、単層である層と比較すると、機械的な内部応力を小さくすることができるからである。全層内に良好な強度を確保するために、様々な層の材料特性を適切に合わせることが必要である。これは、例えば、漸進的な境界層/移行層を生成することにより、または、中間層を析出することにより達成されうる。実施例に基づく本発明の詳細な説明以下の実施例は、本発明を詳細に説明するのに役立つが、本発明の範囲を限定するものとしてみなされるべきではない。実施例1:一般に、ピストンリングおよびシャフト密閉リングは、良好な機械安定性および同時に良好な潤滑剤特性および/または柔軟性を有する場合に有利である。本実施例では、ステンレススチール製のピストンリングを、Mo-Nを用いたスパーク蒸発で被膜する。このために、ピストンリングを被膜設備の被膜室中に設置する。被膜室を真空にして表面を清浄化/活性化するために、表面を被膜前に加熱し、エッチングする。窒素を被膜室中に導入した後に、窒素雰囲気中で、カソードとして機能するモリブデンターゲットに対して、スパークを発火させる。これにより、モリブデンおよび/またはすでに反応した窒化モリブデンが蒸発する。ピストン表面上への材料の析出により、2μmの厚さのMo-N層が形成される。この被膜方法では、応用に応じて層厚を合わせることができる。本発明によるMo-Nを用いたスパーク蒸発を用いたピストンの被膜により、本発明者らは、作動時の摩擦が明らかに低減し、ピストンリングの寿命も明らかに長くなるとの結論に達した。本発明者らは、摩擦が低減したのは、なかんずく、スパーク蒸発により層中に取り入れられたドロップレットに起因するとみなす。これらのドロップレットは、Mo-N層の安定性、および、これにともなって硬さを実質的に損なわない程度に数が少ないが、このようにして存在するモリブデンが、この製法により滑らかなMo-N層のすでに良好である滑り特性を、モリブデンの潤滑剤特性によりさらに改善する程度に数が多い。スパーク蒸発の特別な利点は、層厚が、必要な精度ないしトライボロジーのシステムにおける寸法に従って析出可能であるので、精密部品の機能面を被膜しうる点である。上述の被膜方法でパルス技術が採用される際には、パルスバイアス電圧をかける際および/またはパルススパーク蒸発源を作動させる際に、様々なパルスパラメータを設定することにより、Mo-Nの様々な相の成長を非常に良好に制御することができる。これにより、被膜パラメータ、とりわけパルスパラメータを所定の通りに設定することにより、所定の相の成長を促進し、特別な特性を有するMo-N層を、被膜される部品の使用に合わせて作り出すことが可能になる。被膜時の被膜パラメータを変えることにより、様々な相を有する多重層のMo-N層を、例えば交互に構築することも可能であり、とりわけ、これにより、立方晶のMo-Nを六方晶のMo-Nと交互にするように層システムを構築することも可能である。この種の少なくとも2つの層を含む層システムは、これにより内側の立方晶でありしたがって硬質である層を少なくとも1つと、外側の六方晶でありすなわち軟質である層1つとを含む。本発明のさらなる実施形態によれば、例えば、燃焼機関中のとりわけ要求度の高いピストンにおいて、または、外側の中間材料を断念することができるためにも、2重層の層システムを、機能面上ないし基板1上に塗布する。この際、第1層はMo-N層5で、第2層は、図7aに示すように一酸化モリブデン層9である。ここでも、さらに上述のように、図7bに示したように追加的な付着層を設けることが可能である。付着層3は、層システム中の基板1と第1層5との間に設けられている。付着層は、純粋な金属層例えば、Cr、Mo、Ti、Siでもよいし、複合材料例えば、Me-NまたはMe-NCでもよく、この場合に、Meが金属の組み合わせであることも可能である。第1層5と第2層9との間の移行は漸進的に形成され、基板の表面からの距離が長くなるにしたがって、Mo-N濃度は低下し、同時にMo-O濃度が上昇する。これにより、層システム内での付着強度が非常に良好になる。同様の点が、この発明の詳細な説明中で挙げられた層システムの全ての層の移行に該当する。とりわけ、この漸進性は、全ての各層および/または全層も含みうる。層システム中の粘性のさらなる改善は、複数のナノ層の析出によって、または、ナノ結合構造この中には、例えば、ナノ粒子形状のより硬質の相がより軟質の相からなるマトリックス内に埋め込まれているを作り出すことにより達成される。本説明の枠内では、X層とは、この層が主にXを含有する場合に、そのように称される。ここで、Xはある元素材料または化合物でありうる。本説明の枠内では、酸化モリブデンを有する少なくとも1つのモリブデン含有層を含む被膜であって、酸化モリブデンが実質的に一酸化モリブデンであることを特徴とする被膜が開示された。本発明の被膜は、例えば、実質的に一酸化モリブデンを含む1つの酸化モリブデン層を含有する。このMoO層は、MoO2層およびMoO3層とは区別されうるが、これは例えば、一酸化モリブデンMoO層のX線回折XRDスペクトルは実質的にMoO2ピークもMoO3ピークも示さないことにより区別されうる。本発明の被膜の好適なある変形例は、例えば、追加的に1つの窒化モリブデン層をも含む。本発明の被膜は、モリブデン窒素結合と酸化モリブデン結合とを含むMo-N-O層も含み、実質的にモリブデン原子は、最大1つの酸素原子と化合物を形成し、被膜中に好ましくは一酸化モリブデンを含有する。少なくとも1つのMo-N-O層を備えた本発明の被膜の好適なある変形例は、Mo-N-O層が、窒化モリブデン層と一酸化モリブデン層との間にあることを特徴としている。Mo-N-O層中の原子濃度割合は、以下の式により表すことができ、すなわち、MozNdOeで、eは、Mo-N-O層中の酸素原子濃度であり、dは、Mo-N-O層中の窒素原子濃度であり、zは、Mo-N-O層中のモリブデン原子濃度であり、z≧yである。Mo-N-O層は漸進的な層でありえ、Mo-N-O層の基板に近い境界面から表面に近い境界面に向かって、窒素濃度は低下し、酸素濃度は上昇する。同様に、Mo-N-O層は漸進的な層でありえ、Mo-N-O層の基板に近い境界面から表面に近い境界面に向かって、酸素濃度は低下し、窒素濃度は上昇する。本発明の被膜は、多重層からなる層システムとして析出されることも可能で、この場合には、MoN層とMoO層とが交互に析出され、例えば、複数のMo-N-O層を含有することも可能であり、このMo-N-O層は、例えば、MoN層とMoO層との間にあり、層内の付着強度を改善するために、漸進的な層として窒素濃度および酸素濃度を適合するように変えて析出されうる。本発明の被膜は、MoO3が応用に関連してさらなる利点をもたらしうる場合には、追加的にMoO3を有する被覆層を有しうる。本発明によれば、被膜は、基体とMo含有層との間に、1つまたは複数の付着層および/または機能層を含む。本発明の好適な別の変形例では、被膜が少なくとも1つのMo含有層を含み、このMo含有層は、とりわけ非常に良好な機械安定性を有し、Mo1-x,MexAaBbCcを含有し、ここで、0≦x≦0.99で、好ましくは0≦x≦0.5であり、Meは、W、Ti、Al、Cr、Si、Zr、Ta、Nb、Ag、CuおよびVの群の1つの金属またはこの群の2つ以上の金属の組み合わせであり、Aは、0.5≦a≦1の窒素Nであり、Bは、0≦b≦0.5の炭素Cであり、Cは、0≦c≦0.5の酸素Oであり、a、bおよびcは元素N、CおよびO間のat原子百分率を示し、abc=1であり、これ以外の追加的な元素を設けることもできるが、好ましくは設けず、x≧cである。同様に、本発明のある好適な変形例では、少なくとも1つのMo含有層を含む被膜であり、この層はとりわけ非常に良好な潤滑剤特性および滑り特性を有し、Mo1-y,MeyAuBvCwを含有し、ここで、0≦y≦0.99で、好ましくは0≦y≦0.5であり、Meは、W、Ti、Al、Cr、Si、Zr、Ta、Nb、Ag、CuおよびVの群の1つの金属またはこの群の2つ以上の金属の組み合わせであり、Aは、0≦u≦0.5の窒素であり、Bは、0≦v≦0.5の炭素であり、Cは、0.5≦w≦1の酸素であり、u、vおよびwは元素N、CおよびO間のatを示し、uvw=1であり、これ以外の追加的な元素を設けることもできるが、好ましくは設けず、y≧wである。好ましくは、本発明によれば、被膜は、とりわけ非常に良好な機械安定性を有する少なくとも1つの第1Mo含有層上述のようなMo1-x,MexAaBbCc層と、とりわけ非常に良好な潤滑剤特性および滑り特性を有する少なくとも1つの第2Mo層上述のようなMo1-y,MeyAuBvCw層とを含むように構築されることができた。本発明の被膜を作り出すための方法の好適な変形例は、PVD方法またはPVDとCVD化学的蒸着法とを組み合わせた方法において、一酸化モリブデンを含む層中の一酸化モリブデンは、スパーク蒸発を用いて析出される。本発明の被膜を作り出すための方法のさらなる好適な変形例は、PVD方法であって、モリブデン含有層は、反応雰囲気中で少なくとも1つのモリブデン含有ターゲットをスパーク蒸発させることにより作り出される。モリブデン含有層の材料源としては、モリブデンターゲットも、合金モリブデン含有ターゲットも適用可能であり、例えば、溶融治金的または粉末治金的に作り出されうる。部品は、応用に応じて、本発明の被膜のより適切な変形例により被膜されうる。とりわけ、金属または合金製の構成部品を製造するための機械切削工具および成形工具は、工具の被膜された表面上での加工した金属または合金の油性の染みを低減するため、または、好ましくは完全に回避するために、本発明により被膜される。"