"Ti基材の表面にAuとCrとを含む表面層が形成され、前記表面層と前記Ti基材との間に、Ti,O及びCrを含み,Au20原子未満の中間層が存在し、Au濃度65原子以上の領域の厚みが1.5nm以上存在し、かつAuの最大濃度が80原子以上であり、Auの付着量が9000~40000ng/cm2であり、Auの付着量/Crの付着量で表される比が10以上であり、Crの付着量が200ng/cm2以上であり、前記中間層において、Ti,Oがそれぞれ10原子以上で、かつCrが20原子以上含まれる領域が1nm以上存在する燃料電池用セパレータ材料。前記Ti基材は、Tiと異なる基材表面に厚み10nm以上のTi被膜を形成してなる請求項1に記載の燃料電池用セパレータ材料。固体高分子形燃料電池に用いられる請求項1又は2に記載の燃料電池用セパレータ材料。ダイレクトメタノール型固体高分子形燃料電池に用いられる請求項1~3のいずれかに記載の燃料電池用セパレータ材料。請求項1~4のいずれかに記載の燃料電池用セパレータ材料を用いた燃料電池用セパレータであって、前記Ti基材に予めプレス加工による反応ガス流路及び/又は反応液体流路を形成した後、前記表面層を形成して成る燃料電池用セパレータ。請求項1~4のいずれかに記載の燃料電池用セパレータ材料を用いた燃料電池用セパレータであって、前記Ti基材に前記表面層を形成した後、プレス加工による反応ガス流路及び/又は反応液体流路を形成して成る燃料電池用セパレータ。請求項1~4のいずれかに記載の燃料電池用セパレータ材料、又は請求項5若しくは6記載の燃料電池用セパレータを用いた燃料電池スタック。請求項1~4のいずれかに記載の燃料電池用セパレータ材料の製造方法であって、前記Ti基材の表面に、前記Crを乾式成膜した後、Auを乾式成膜する燃料電池用セパレータ材料の製造方法。前記乾式成膜がスパッタリングである請求項8記載の燃料電池用セパレータ材料の製造方法。しかしながら、上記した特許文献1記載の技術の場合、密着性の良いAu合金膜を得るためには、チタン基材表面の酸化皮膜を取り除く処理が必要であり、酸化被膜の除去が不充分な場合は貴金属膜の密着性が低下するという問題がある。又、特許文献2には、基材表面の酸化皮膜の表面に導電性薄膜を形成することが規定されているが、例えば、チタン基材表面に酸化皮膜を残したまま、Auを成膜しようとすると、均一に成膜されない。特に、湿式の金めっきではめっきの電着形状が粒状であり、チタン基材表面に酸化皮膜が残っていると、チタン基材表面の一部に非めっき部分となる部分が生じてしまう。また、特許文献2には、密着性を向上させるために、Crを含む中間層を設けることも規定されているが、本発明者らの調査の結果、Crの付着量が多すぎると塩素を含有する水溶液中での耐食性が劣化することが判明した。特許文献3記載の技術は、銅板の両面にステンレスをクラッド加工した基材に、樹脂を被覆したものであり、耐食性が優れているとはいえない。すなわち、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、チタン基材表面にAuを含む高耐食性の導電性膜を高い密着性で成膜することができ、塩素を含有する水溶液中での燃料電池作動環境下でも高い耐久性を有する燃料電池用セパレータ材料、それを用いた燃料電池用セパレータ、及び燃料電池スタックの提供を目的とする。本発明者らは種々検討した結果、Ti基材表面にAuとCrを含む表面層を形成させ、Auの付着量/Crの付着量で表される比を10以上に管理することで、Auを含む層をTi上に強固かつ均一に形成可能であり、燃料電池用セパレータに要求される塩素を含有する水溶液中での耐食性や耐久性も確保できることを見出した。上記の目的を達成するために、本発明の燃料電池用セパレータ材料は、Ti基材の表面にAuとCrとを含む表面層が形成され、前記表面層と前記Ti基材との間に、Ti,O及びCrを含み,Au20原子未満の中間層が存在し、Au濃度65原子以上の領域の厚みが1.5nm以上存在し、かつAuの最大濃度が80原子以上で、Auの付着量が9000~40000ng/cm2であり、Auの付着量/Crの付着量で表される比が10以上であり、Crの付着量が200ng/cm2以上であり、前記中間層において、Ti,Oがそれぞれ10原子以上で、かつCrが20原子以上含まれる領域が1nm以上存在する。前記Ti基材は、Tiと異なる基材表面に厚み10nm以上のTi被膜を形成してなるものであってもよい。本発明の燃料電池用セパレータ材料は、固体高分子形燃料電池又はダイレクトメタノール型固体高分子形燃料電池に好適に用いられる。本発明の燃料電池用セパレータは、前記燃料電池用セパレータ材料を用い、前記Ti基材に予めプレス加工による反応ガス流路及び/又は反応液体流路を形成した後、前記表面層を形成して成る。また、本発明の燃料電池用セパレータは、前記燃料電池用セパレータ材料を用い、前記Ti基材に前記表面層を形成した後、プレス加工による反応ガス流路及び/又は反応液体流路を形成して成る。本発明の燃料電池スタックは、前記燃料電池用セパレータ材料、又は前記燃料電池用セパレータを用いたものである。本発明の燃料電池用セパレータ材料の製造方法は、前記燃料電池用セパレータ材料の製造方法であって、前記Ti基材の表面に、前記Crを乾式成膜した後、Auを乾式成膜する。前記乾式成膜がスパッタリングであることが好ましい。本発明によれば、Auを含む層をTi上に強固かつ均一に形成させることができ、燃料電池用セパレータに要求される塩素を含有する水溶液中での密着性、耐食性を確保できる。以下、本発明の実施形態に係る燃料電池用セパレータ材料について説明する。なお、本発明においてとは、特に断らない限り、原子atを示すものとする。又、本発明において燃料電池用セパレータとは、電気伝導性を有し、各単セルを電気的に接続し、各単セルで発生したエネルギー電気を集電すると共に、各単セルへ供給する燃料ガス燃料液体や空気酸素の流路が形成されたものをいう。セパレータは、インターコネクタ、バイポーラプレート、集電体とも称される。従って、詳しくは後述するが、燃料電池用セパレータとして、板状の基材表面に凹凸状の流路を設けたセパレータの他、上記したパッシブ型DMFC用セパレータのように板状の基材表面にガスやメタノールの流路孔が開口したセパレータを含む。図1に示すように、本発明の実施形態に係る燃料電池用セパレータ材料は、Ti基材2の表面に中間層2aが形成され、中間層2aの表面に表面層6が形成されてなる。<Ti基材>燃料電池用セパレータ材料は耐食性と導電性が要求され、基材には耐食性が求められる。このため基材には耐食性が良好なチタン材を用いる。Ti基材は無垢のチタン材であってもよいが、Tiと異なる基材表面に厚み10nm以上のTi被膜を形成したものであってもよい。Tiと異なる基材としてはステンレス鋼やアルミニウム,銅等が挙げられ、これらの表面にTiを被覆することにより、チタンと比べて耐食性の低いステンレス鋼やアルミニウム,銅等の耐食性を向上させることができる。但し、耐食性向上効果はTiを10nm以上被覆しないと得られない。Ti基材2の材質はチタンであれば特に制限されない。又、Ti基材2の形状も特に制限されず、Cr及び金をスパッタできる形状であればよいが、セパレータ形状にプレス成形することを考えると、Ti基材の形状は板材であることが好ましく、Ti基材全体の厚みが10μm以上の板材であることが好ましい。中間層2aに含まれるO酸素は、Ti基材2を空気中に放置することにより自然に形成されるが、酸化雰囲気で積極的にOを形成してもよい。なお、Tiの濃度は、後述するXPSによる濃度検出で行い、指定元素の合計を100として、各元素の濃度を分析して行う。又、燃料電池用セパレータ材料の最表面から1nmの深さとは、XPS分析によるチャートの横軸厚み方向の距離SiO2換算での距離である。<表面層>Ti基材2上に、CrとAuとを含み、Au濃度65以上の領域の厚みが1.5nm以上存在する表面層6が形成される。この表面層は、Ti基材にAuの特性耐食性、導電性等や耐水素脆性を付与するためのものである。Crは、a酸素と結合しやすい、bAuと合金を構成する、c水素を吸収し難い、という性質を有しており、表面層に上記した機能を付与するとともに、中間層を形成して表面層とTi基材との密着性を向上させる。又、Crが電位pH図からAuより易酸化性であり、また水素を吸収しにくい特性を利用し、Crを以下の中間層の構成元素として用いる。表面層は、後述するXPS分析により確認することができ、XPS分析により最表面から下層に向かってAuとCrを含む部分であって、以下の中間層より上層に位置する部分Au20以上の部分を表面層とする。表面層の厚みは5~100nmであることが好ましい。表面層の厚みが5nm未満であると、Ti基材上に燃料電池用セパレータに要求される耐食性を確保できなくなる場合がある。表面層の厚みがより好ましくは7nm以上、さらには好ましくは10nm以上である。また、CrとAuを成膜後に熱処理をしてもよい。熱処理を行なうと、酸化と拡散が進行し、表層のAuの濃度は下がる場合もある。しかし、Au濃度65以上の領域の厚みが1.5nm以上存在すれば、チタンが表面層に拡散しせず、表面層としての機能をはたす。表面層の厚みが100nmを超えると省金化が図られずコストアップとなる場合がある。又、表面層において、Au濃度65以上の領域の厚みが1.5nm未満である場合、燃料電池用セパレータに要求される耐食性を確保できなくなる。又、表面層6におけるAuの最大濃度が80以上である必要がある。Auの最大濃度が80未満であると、Ti基材にAuの特性耐食性、導電性等や耐水素脆性が十分に付与されなくなる。なお、表面層6の最表面部分にAu単独層が形成されていてもよい。Au単独層は、XPS分析によりAuの濃度がほぼ100の部分である。又、表面層6の中間層側において、主にCrからなる組成領域貴金属領域を有していてもよい。<中間層>表面層又はAu単独層6とTi基材2との間に、Ti、O及びCrを含み、Au20未満の中間層2aが存在する。通常、Ti基材は表面に酸化層を有しており、酸化され難いAu含有層をTi表面に直接形成させるのは難しい。一方、上記金属はAuに比べて酸化され易く、Ti基材の表面でTi酸化物中のO原子と酸化物を形成し、Ti基材表面に強固に結合するものと考えられる。又、上記金属は水素を吸収しにくい。これらの点で、Auを含んだ導電性膜上記表面層又はAu単独層の厚みが数10nm以下の場合には、従来、中間層として単にTi,Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W等を用いた場合に比べ、Ti、O及びCrから中間層を形成することにより、耐久性が良好なセパレータ材を提供できる。なお中間層にはAuは含まれないほうが好ましく、Auが20以上含まれると密着性が低下する。中間層中のAu濃度を20未満とするためには、Ti基材上に、Cr単体のターゲット、又は低Au濃度のCr-Au合金ターゲットを用いてスパッタすることが好ましい。Crの付着量が200ng/cm2以上であり、中間層において、Ti、Oがそれぞれ10以上でかつCrが20以上含まれる1nm以上の層として存在する。この場合、燃料電池用セパレータ材料の断面をXPSで分析したとき、Ti、Oがそれぞれ10以上でかつCrが20以上含まれると共に、Auが20以上含まれる領域が厚み方向に1nm以上存在する。このような組成を有する中間層の厚みの上限は限定されないが、Crのコストの点から100nm以下であることが好ましい。Crの付着量が200ng/cm2未満であると、Crが少ないために表面層の密着性が劣化する場合がある。ここで、XPSX線光電子分光分析による深さDepthプロファイルを測定し、Au,Ti,O,Crの濃度分析を行ってスパッタ層の層構造を決定することができる。なお、XPSによる濃度検出は、指定元素の合計を100として、各元素の濃度を分析する。又、XPS分析で厚み方向に1nmの距離とは、XPS分析によるチャートの横軸の距離SiO2換算での距離である。Ti、Oの下限をそれぞれ10とし、Crの下限を20とした理由は、Crが20未満である部分はTi基材の表面に近く、Tiが10未満である部分は表面層に近くなるためであり、又、Oが10未満である部分はCrとTiがO原子と充分な酸化物を形成しておらず、中間層として機能しないと考えられるからである。又、Ti、Oはそれぞれ10から急激に減少するので、測定上から10を下限とする。Auを20未満とした理由は密着性を向上させるためである。中間層が1nm未満の場合には,Crが薄く,Ti基材とAuが接する部分が多くなるため、表面層の密着性が劣化する場合がある。本発明の燃料電池用セパレータ材料において、Auの付着量が9000~40000ng/cm2である必要がある。Auの付着量が9000ng/cm2未満であると、燃料電池用セパレータに要求される耐食性を確保できなくなる。一方、省金化の点からAuの付着量が40000ng/cm2未満である必要がある。又、Auの付着量/Crの付着量で表される比が10以上である。Auの付着量が40000ng/cm2未満のときに,Auの付着量/Crの付着量で表される比が10未満であると,スパッタ膜の表面にCrが露出する部分が存在し,塩素含有腐食液での耐食性試験において試験後の接触抵抗が増加し,Crの溶出も比較的多いという問題がある。Auの付着量/Crの付着量で表される比の上限は特に限定されないが、この比があまり大きくなるとCrの割合が減ってCrによる表面層の密着性向上効果が確保できなくなるので、上記比が100以下であることが好ましい。上記比があまり多くなると必要以上にAuが付着されることになり,コストが増えるため,上記比が50以下であることが好ましい。より好ましくは上記比が30以下,更に好ましくは20以下である。本発明において、Ti基材と表面層6との間に、Tiが50未満でOが20以上含まれる酸化層が100nm未満の厚みで形成されていることが好ましい。この酸化層の一部が中間層の領域と重なる場合もある。酸化層が存在すると、燃料電池の連続発電試験を行った場合にチタン基材が脆化することを防止する。Tiが50を下回る部分は,チタン量が全量の半分以下であるので,チタン基材の部分ではないと考える。そしてチタン基材の表面には酸化膜が存在するため,Tiが50を下回る部分から表面層のところまでは酸化層とする。Oを20以上含まれる領域を酸化層とした理由は、酸化層のO酸素濃度が20未満であると、燃料電池の連続発電試験を行った場合にチタン基材が脆化して燃料電池用セパレータ材料としての耐久性が劣化するためである。但し、酸化層の厚みが100nm以上になると、表面層の密着性や導電性が低下する場合がある。一方、酸化層が薄いと,燃料電池の連続発電試験を行った場合にチタン基材が脆化して燃料電池用セパレータ材料としての耐久性が劣化する恐れもある。従って、酸化層の厚みが好ましくは5nm以上,より好ましくは10nm以上である。表面層中のAuの割合が下層側から上層側に向かって増加する傾斜組成になっていることが好ましい。ここで、Auの割合は、上記したXPS分析で求めることができる。表面層の厚みは、XPS分析での走査距離の実寸である。表面層を傾斜組成とすると、表面層の下層側ではAuより易酸化性のCrの割合が多くなり、Ti基材表面との結合が強固になる一方、表面層の上層側ではAuの特性が強くなるので、耐食性と耐久性が向上する。<燃料電池用セパレータ材料の製造>燃料電池用セパレータ材料の中間層の形成方法としては、Ti基材の表面Ti酸化膜を除去せずに、この基材にCrをターゲットとしてスパッタ成膜することにより、表面Ti酸化膜中のOにCrが結合し、中間層を形成することができる。又、Ti基材2の表面Ti酸化膜を除去後、Crの酸化物をターゲットとしてスパッタ成膜することや、Ti基材2の表面Ti酸化膜を除去後、Crをターゲットとし酸化雰囲気でスパッタ成膜することによっても中間層を形成することができる。なお、スパッタの際、Ti基材の表面Ti酸化膜を適度に除去し、基材表面のクリーニングを目的として逆スパッタイオンエッチングを行ってもよい。逆スパッタは、例えばRF100W程度の出力で、アルゴン圧力0.2Pa程度としてアルゴンガスを基材に照射して行うことができる。中間層のAuは、以下の表面層を形成するためのAuスパッタにより、Au原子が中間層に入り込むことによって中間層内に含まれるようになる。又、CrとAuを含む合金ターゲットを用いてTi基材表面にスパッタ成膜してもよい。表面層の形成方法としては、例えば上記したスパッタによりTi基材上にCrを成膜した後、Cr膜の上にAuをスパッタ成膜することができる。この場合、スパッタ粒子は高エネルギーを持つため、Cr膜のみがTi基材表面に成膜されていても、そこにAuをスパッタすることにより、Cr膜にAuが入り込み、表面層となる。又、この場合、表面層中のAuの割合が下層側から上層側に向かって増加する傾斜組成となる。Ti基材表面に最初にCrとAuのうちAu濃度が低い合金ターゲットを用いてスパッタ成膜し、その後、CrとAuのうちAu濃度が高い合金ターゲットを用いてスパッタ成膜してもよい。本発明の実施形態に係る燃料電池用セパレータ材料によれば、Auを含む層をTi上に強固かつ均一に形成させることができ、この層が導電性、耐食性及び耐久性を有することから、燃料電池用セパレータ材料として好適である。又、本発明の実施形態によれば、Auを含む層をスパッタ成膜すればこの層が均一な層となるので、湿式の金めっきに比べて表面が平滑となり、Auを無駄に使用しなくて済むという利点がある。<燃料電池用セパレータ>次に、本発明の燃料電池用セパレータ材料を用いた燃料電池用セパレータの一例について説明する。燃料電池用セパレータは、上記した燃料電池用セパレータ材料を所定形状に加工してなり、燃料ガス水素又は燃料液体メタノール、空気酸素、冷却水等を流すための反応ガス流路又は反応液体流路溝や開口が形成されている。<積層型アクティブ型燃料電池用セパレータ>図3は、積層型アクティブ型燃料電池の単セルの断面図を示す。なお、図3では後述するセパレータ10の外側にそれぞれ集電板140A,140Bが配置されているが、通常、この単セルを積層してスタックを構成した場合、スタックの両端にのみ一対の集電板が配置される。そして、セパレータ10は電気伝導性を有し、後述するMEAに接して集電作用を有し、各単セルを電気的に接続する機能を有する。又、後述するように、セパレータ10には燃料ガスや空気酸素の流路となる溝が形成されている。図3において、固体高分子電解質膜20の両側にそれぞれアノード電極40とカソード電極60とが積層されて膜電極接合体MEA;MembraneElectrodeAssembly80が構成されている。又、アノード電極40とカソード電極60の表面には、それぞれアノード側ガス拡散膜90A、カソード側ガス拡散膜90Bがそれぞれ積層されている。本発明において膜電極接合体という場合、ガス拡散膜90A、90Bを含んだ積層体としてもよい。又、例えばアノード電極40やカソード電極60の表面にガス拡散層が形成されている等の場合は、固体高分子電解質膜20、アノード電極40、カソード電極60の積層体を膜電極接合体と称してもよい。MEA80の両側には、ガス拡散膜90A、90Bにそれぞれ対向するようにセパレータ10が配置され、セパレータ10がMEA80を挟持している。MEA80側のセパレータ10表面には流路10Lが形成され、後述するガスケット12、流路10L、及びガス拡散膜90A又は90Bで囲まれた内部空間20内をガスが出入可能になっている。そして、アノード電極40側の内部空間20には燃料ガス水素等が流れ、カソード電極60側の内部空間20に酸化性ガス酸素、空気等が流れることにより、電気化学反応が生じるようになっている。アノード電極40とガス拡散膜90Aの周縁の外側は、これらの積層厚みとほぼ同じ厚みの枠状のシール部材31で囲まれている。又、シール部材31とセパレータ10の周縁との間には、セパレータに接して略枠状のガスケット12が介装され、ガスケット12が流路10Lを囲むようになっている。さらに、セパレータ10の外面MEA80側と反対側の面にはセパレータ10に接して集電板140A又は140Bが積層され、集電板140A又は140Bとセパレータ10の周縁との間に略枠状のシール部材32が介装されている。シール部材31及びガスケット12は、燃料ガス又は酸化ガスがセル外に漏れるのを防止するシールを形成する。又、単セルを複数積層してスタックにした場合、セパレータ10の外面と集電板140A又は140Bとの間の空間21には空間20と異なるガス空間20に酸化性ガスが流れる場合、空間21には水素が流れるが流れる。従って、シール部材32もセル外にガスが漏れるのを防止する部材として使われる。そして、MEA80及びガス拡散膜90A、90B、セパレータ10、ガスケット12、集電板140A、140Bを含んで燃料電池セルが構成され、複数の燃料電池セルを積層して燃料電池スタックが構成される。次に、セパレータ10の構造について、平面図4を参照して説明する。セパレータ10は、本発明の燃料電池用セパレータ材料からプレス加工によって矩形状に成形され、セパレータ10の上端縁上辺には、燃料ガス導入孔10xが左側に開口している。又、セパレータ10の下端縁下辺には、燃料ガス排出孔10yが右側に開口している。さらに、セパレータ10の上辺から下辺へ向かう方向図4の上下方向に平行に延びる複数の直線状流路溝10Lがプレス加工等によって形成されている。直線状流路溝10Lは、ガス流に平行流を生じさせる。また、この実施形態では、直線状流路溝10Lの始端及び終端はセパレータ10の外縁まで到達せず、セパレータ10の外周縁には直線状流路溝10Lが形成されない平坦部が存在する。また、この実施形態では、隣接する直線状流路溝10Lはそれぞれ等間隔で位置しているが、不等間隔であってもよい。又、セパレータ10の対向する側端縁側辺には、それぞれ位置決め孔10fが開口している。なお、流路溝は直線だけでなく曲線であってもよく、又、各流路溝は必ずしも互いに平行でなくてもよい。又、曲線としては、例えば湾曲線の他、S字状であってもよい。流路溝の形成を容易にする点からは、互いに平行な直線が好ましい。セパレータ10の厚みは、プレス成形性の面で10μm以上であることが好ましいが、コストの点から200μm以下とすることが好ましい。次に、ガスケット12の構造について、平面図5を参照して説明する。ガスケット12は例えばテフロン登録商標からなるシート状であり、外縁がセパレータ10とほぼ同じ大きさの矩形枠体であって、その内縁が燃料ガス導入孔10x、排出孔10y、及び直線状流路溝10Lを囲む略矩形状に形成され、ガスケット12の内部空間において燃料ガス導入孔10x、排出孔10y、及び直線状流路溝10Lが連通するようになっている。なお、ガスケット12の対向する側端縁側辺には、それぞれ位置決め孔12fが開口し、セパレータ10の位置決め孔10fと重なるようにガスケット12を積層することにより、セパレータ10とガスケット12の相対位置を規定する。ガスケット12の材料としては、耐食性、燃料電池の稼働温度である80~90°Cでの耐熱性を有するテフロン登録商標、耐食性と導電性を有する貴金属を成膜した金属板チタン、ステンレス、アルミニウム等のシート、又はカーボン材料を用いることができる。ガスケット12の厚みはセパレータ10の凹凸形状によって異なるが、セパレータの溝高さ枠部と凹或いは凸との高低差と同等以上の厚みとする必要がある。例えば、セパレータの溝高さが0.5mmの場合、ガスケットの厚みは0.5mmとする。次に、ガスケット12の形状をより詳細に説明する。ガスケット12の上側内縁12cは直線状流路溝の上端10L1よりやや上側に位置し、直線状流路溝10Lに沿って流れるガスが折り返して180度向きを変えるための空間が形成されている。又、上側内縁12cの左端部は外側に延び、セパレータ10の燃料ガス導入孔10xがガスケット12内に表出するようになっている。同様に、ガスケット12の下側内縁12dは直線状流路溝の下端10L2よりやや下側に位置し、直線状流路溝10Lに沿って流れるガスが折り返して180度向きを変えるための空間が形成されている。又、下側内縁12dの右端部は外側に延び、セパレータ10の燃料ガス排出孔10yがガスケット12内に表出するようになっている。さらに、上側内縁12cのうち燃料ガス導入孔10xに向かって延びる部分に隣接する位置には内側に向かって片状の仕切り部材12e1が延びている。又、上側内縁12cのうち仕切り部材12e1から所定距離だけ右側の位置には、内側に向かって別の片状の仕切り部材12e2が延びている。そして、仕切り部材12e1、12e2の先端は直線状流路溝の上端始端又は終端に相当10L1に接している。同様に、下側内縁12dのうち仕切り部材12e1に対向する位置から所定距離だけ右側の位置には、内側に向かって片状の仕切り部材12e3が延びている。又、下側内縁12dのうち仕切り部材12e2に対向する位置から所定距離だけ右側であって、燃料ガス排出孔10yに向かって延びる部分に隣接する位置には、内側に向かって片状の仕切り部材12e4が延びている。そして、仕切り部材12e3、12e4の先端は直線状流路溝の下端始端又は終端に相当10L2に接している。又、ガスケット12の対向する内縁12c、12dからそれぞれ延びる仕切り部材12e1~12e4は、図5の左側から、仕切り部材12e1上側内縁12c、12e3下側内縁12d、12e2上側内縁12c、12e4下側内縁12dの順に配置されている。このように、ガスケット12の対向する内縁からそれぞれ延びる仕切り部材は互いに千鳥状に配置されているので、直線状流路溝10Lに沿って流れるガス流路が仕切り部材近傍で折り返されて蛇行流路を構成するようになる。具体的には、燃料ガス導入孔10xからセパレータ10内に導入されたガスは、直線状流路溝10Lに沿って図5の下方向に流れるが、仕切り部材12e3が1つの流路溝10Lの下端に接しているため、この流路溝10Lに沿う流れが抑制される。又、流路溝10Lを横断する流れは、もともと抑制されている。従って、仕切り部材12e3が接している流路溝10Lは、ガスが横方向図5の右方向へショートカットする流れと、縦方向への流れをいずれも防止する堤防として機能し、このため、ガス流は仕切り部材12e3近傍で折り返して180度向きを変え、直線状流路溝10Lに沿って上方向に流れる。次に、仕切り部材12e1、e2が同様に横方向のショートカット流を防止するため、ガス流は仕切り部材12e2近傍で折り返して直線状流路溝10Lに沿って下方向に流れる。以下同様にして、ガス流は仕切り部材12e4近傍で折り返し、直線状流路溝10Lに沿った後、ガスケット12の右側内縁側縁がショートカット流を防止するため、この部分で折り返した後、直線状流路溝10Lに沿って燃料ガス排出孔10yへ排出される。なお、1個の仕切り部材が接している流路溝の個数は、セパレータの大きさや流路溝の大きさ幅にも依存するので特に限定されないが、あまり個数が多くなるとガスの流れに寄与する溝が減ることになるので、好ましくは1~3本とする。以上のように、加工が容易なガスケットの形状によってセパレータ内のガス流路が蛇行流路になるよう構成しているため、セパレータに複雑な流路を形成する必要がなく、セパレータ自体の流路形状を簡単にし、生産性を損なわずにガスの流れを改善して燃料電池の発電特性を向上できる。つまり、セパレータの流路による平行流を、ガスケットの形状によって蛇行流サーペンタインに変えることができる。但し、セパレータの流路溝として、サーペンタイン蛇行状に繋がるものを用いても勿論よく、流路溝の形状は限定されない。図3に示す積層型アクティブ型燃料電池は、上記した水素を燃料として用いる燃料電池のほか、メタノールを燃料として用いるDMFCにも適用することができる。<平面型パッシブ型燃料電池用セパレータ>図6は、平面型パッシブ型燃料電池の単セルの断面図を示す。なお、図3では後述するセパレータ10の外側にそれぞれ集電板140A,140Bが配置されているが、通常、この単セルを積層してスタックを構成した場合、スタックの両端にのみ一対の集電板が配置される。なお,図6において、MEA80の構成は図5の燃料電池と同一であるので同一符号を付して説明を省略する図6では、ガス拡散膜90A、90Bの記載を省略しているが、ガス拡散膜90A、90Bを有していてもよい。図6において、セパレータ100は電気伝導性を有し、MEAに接して集電作用を有し、各単セルを電気的に接続する機能を有する。又、後述するように、セパレータ100には燃料液体や空気酸素の流路となる孔が形成されている。セパレータ100は、断面がクランク形状になるよう、長尺平板状の基材の中央付近に段部100sを形成してなり、段部100sを介して上方に位置する上側片100bと、段部100sを介して下方に位置する下側片100aとを有する。段部100sはセパレータ100の長手方向に垂直な方向に延びている。そして、複数のセパレータ100を長手方向に並べ、隣接するセパレータ100の下側片100aと上側片100bとの間に空間を形成させ、この空間にMEA80を介装する。2つのセパレータ100でMEA80が挟まれた構造体が単セル300となる。このようにして、複数のMEA80がセパレータ100を介して直列に接続されたスタックが構成される。図7は、セパレータ100の上面図を示す。下側片100aと上側片100bには、それぞれ複数個の孔100hが開口し、酸素空気の反応ガス流路やメタノールの反応液体流路となっている。このスタックにおいて、図6の上方から空気酸素を流すと、セパレータ100の孔100hを通ってMEA80のカソード電極60側に酸素が接触し、反応を生じるようになる。一方、図6の下方からメタノールを流すと、セパレータ100の孔100hを通ってMEA80のアノード電極40側にメタノールが接触し、反応を生じるようになる。なお、メタノールは、図6の下方のタンクメタノールカートリッジ200から供給される。図6に示す平面型パッシブ型燃料電池は、上記したメタノールを燃料として用いるDMFCのほか、水素を燃料として用いる燃料電池にも適用することができる。又、平面型パッシブ型燃料電池用セパレータの開口部の形状や個数は限定されず、開口部として上記した孔の他、スリットとしてもよく、セパレータ全体が網状であってもよい。本発明の燃料電池用セパレータにおいて、プレス加工による反応ガス流路及び/又は反応液体流路が予め前記Ti基材に形成されていると好ましい。このようにすると、後工程で反応ガス流路反応液体流路を形成する必要がなく、中間層や表面層等を形成する前のTi基材をプレス加工することで、容易に反応ガス流路反応液体流路を形成できるので、生産性が向上する。又、本発明の燃料電池用セパレータにおいて、Ti基材表面に表面層又はAu単独層を形成した燃料電池用セパレータ材料に対し、後からプレス加工によって反応ガス流路及び/又は反応液体流路を形成してもよい。本発明の燃料電池用セパレータ材料は表面層やAu単独層がTi基材表面に強固に密着しているので、被膜形成後にプレス加工しても被膜が剥がれずに反応ガス流路反応液体流路を形成でき、生産性が向上する。なお、反応ガス流路反応液体流路形成のためのプレス加工をするためには、燃料電池用セパレータ材料として、Ti基材の厚みを10μm以上とすることが好ましい。Ti基材の厚みの上限は限定されないが、コストの点から200μm以下とすることが望ましい。<燃料電池用スタック>本発明の燃料電池用スタックは、本発明の燃料電池用セパレータ材料、又は本発明の燃料電池用セパレータを用いてなる。燃料電池用スタックは、1対の電極で電解質を挟み込んだセルを複数個直列に接続したものであり、各セルの間に燃料電池用セパレータが介装されて燃料ガスや空気を遮断する。燃料ガスが接触する電極が燃料極であり、空気が接触する電極が空気極である。燃料電池用スタックの構成例は、既に図3及び図6で説明した通りであるが、これに限定されない。<試料の作製>Ti基材として、厚み100μmの工業用純チタン材JIS1種を用い、FIB集束イオンビーム加工による前処理をした。FE-TEM電解放射型透過電子顕微鏡によるエネルギー分散型蛍光X線分析EDXにより観察したところ、Ti基材の表面には予め約10nmのチタン酸化物層が形成されていたのを確認した。又、一部の実施例では、厚み100μm工業用純ステンレス鋼材SUS316L若しくは厚み100μm純銅C1100に対し、表1に示す所定厚みのTiを被覆したものを用いたTi被覆材。Tiの被覆は、電子ビーム蒸着装置アルバック製、MB05-1006を用いた真空蒸着により行った。次に、Ti基材のチタン酸化物層の表面に、スパッタ法を用いて所定の目標厚みとなるように、Crを成膜した。ターゲットには純Crを用いた。次に、スパッタ法を用いて所定の目標厚みとなるようにAuを成膜した。ターゲットには純Auを用いた。目標厚みは以下のように定めた。まず、予めチタン基材にスパッタで対象物Cr、Auを成膜し、蛍光X線膜厚計SeikoInstruments製SEA5100、コリメータ0.1mmΦで実際の厚みを測定し、このスパッタ条件におけるスパッタレートnmminを把握した。そして、スパッタレートに基づき、厚み1nmとなるスパッタ時間を計算し、この条件でスパッタを行った。Cr及びAuのスパッタは、株式会社アルバック製のスパッタ装置を用い、出力DC50Wアルゴン圧力0.2Paの条件で行った。<層構造の測定>得られた試料について、XPSX線光電子分光分析による深さDepthプロファイルを測定し、AuTi,O,Crの濃度分析を行ってスパッタ層の層構造を決定した。XPS装置としては、アルバックファイ株式会社製5600MCを用い、到達真空度:6.5×10-8Pa、励起源:単色化AlK、出力:300W、検出面積:800μmΦ、入射角:45度、取り出し角:45度、中和銃なしとし、以下のスパッタ条件で、測定した。イオン種:Ar加速電圧:3kV掃引領域:3mm×3mmレート:2nm/min.SiO2換算なお、XPSによる濃度検出は、指定元素の合計を100として、各元素の濃度を分析した。又、XPS分析で厚み方向に1nmの距離とは、XPS分析によるチャートの横軸の距離SiO2換算での距離である。図2は、実施例1の試料の断面の実際のXPS像を示す。Ti基材2の表面に、CrとAuからなる表面層6が形成されている。さらにTi基材2と表面層6との間に、Ti、O、Crがそれぞれ含まれると共に、Auが20未満である中間層2aが1nm以上存在することがわかる。さらに、表面層6よりTi基材2側に、Tiが50未満で、Oが20以上含まれる酸化層が100nm未満の厚みで形成されていることがわかる。なお、本発明においては、中間層を定義するためTi、O等の濃度を規定している。従って、中間層の境界は便宜上Ti、O濃度によって決められるため、中間層とその上下の層例えばTi基材2との間に、中間層ともTi基材とも異なる層が介在する場合もある。<各試料の作製>初期の表面Ti酸化層の厚みがそれぞれ異なるチタン基材純Ti、Ti被覆材に対し、スパッタ時のCr膜及びAu膜の目標厚みを種々変更して実施例1~11の試料を作製した。比較例9として、Au膜のスパッタ厚みを4nmに低減して試料を作製した。比較例10、14、15として、Auの付着量/Crの付着量を10未満にして試料を作製した。比較例11として、Cr膜のスパッタ厚みを0.25nmに低減して試料を作製した。比較例12として、スパッタ後に大気加熱処理120°C×12時間を施して試料を作製した。比較例13として、スパッタ時に基板を加熱300°Cして試料を作製した。<評価>各試料について以下の評価を行った。A.被膜の密着性各試料の最表面表面層に1mm間隔で碁盤の目を罫書いた後、粘着性テープをはり付け、さらに各試験片を180°曲げて元の状態に戻し、曲げ部のテープを急速にかつ強く引き剥がす剥離試験を行った。剥離が全くない場合を○とし、一部でも剥離があると目視で認められた場合を×とした。B.接触抵抗接触抵抗の測定は、試料全面に荷重を加える方法で行った。まず、40×50mmの板状の試料の表裏にそれぞれカーボンペーパーを積層し、さらに表裏のカーボンペーパーの外側にそれぞれCu/Ni/Au板を積層した。Cu/Ni/Au板は厚み10mmの銅板に1.0μm厚のNi下地めっきをし、Ni層の上に0.5μmのAuめっきした材料であり、Cu/Ni/Au板のAuめっき面がカーボンペーパーに接するように配置した。さらに、Cu/Ni/Au板の外側にそれぞれテフロン登録商標板を配置し、各テフロン登録商標板の外側からロードセルで圧縮方向に10kg/cm2の荷重を加えた。この状態で、2枚のCu/Ni/Au板の間に電流密度100mA/cm2の定電流を流した時、Cu/Ni/Au板間の電気抵抗を4端子法で測定した。又、接触抵抗は、以下の2つの条件により試料を試験した前後でそれぞれ測定した。条件1:硫酸水溶液への試料の浸漬試験浴温90°C、硫酸濃度0.5g/L、浸漬時間240時間、液量1000cc条件2塩素含有水溶液:硫酸0.5g/L塩化ナトリウムCl:10ppm水溶液への試料の浸漬試験浴温90°C、浸漬時間240時間、液量1000ccC.金属溶出量金属溶出量は上記条件1~2で試験後の試験液中の全ての金属濃度mg/LをICP誘導結合プラズマ発光分光分析することで評価した。又、燃料電池用セパレータに求められる代表的な特性は、低接触抵抗10mΩcm2以下、使用環境での耐食性耐食試験後も低接触抵抗で、有害なイオンの溶出がないの2つである。得られた結果を表1、表2に示す。なお、中間層、酸化層の存在は、試料断面の実際のXPS像から各成分の割合を求めて確認した。D.付着量付着量は,酸分解/ICP誘導結合プラズマ発光分光分析することで評価した。具体的には、50mm×50mmの試料1枚をフッ硝酸溶液に全量溶解して,AuとCrの付着量を分析した。なお、1条件当たりの試料数を5個とし、5回の測定結果の平均値をそれぞれ表1に記載した。表1、表2から明らかなように、表面層と中間層が存在し、Auが65原子以上の領域の厚みが1.5nm以上存在し、かつAuの最大濃度が80原子以上であり、Auの付着量/Crの付着量で表される比が10以上である各実施例の場合、塩素含有水溶液における耐食試験前後であっても試料の接触抵抗が変化せず、被膜の密着性及び耐食性が優れたものとなった。Au付着量が9000ng/cm2未満である比較例9の場合、塩素含有水溶液を用いた条件2の耐食性試験において試験後の接触抵抗が増加し,条件2でのCrの溶出量も多く、被膜の耐食性が劣った。Auの付着量/Crの付着量で表される比が10未満である比較例10、14、15の場合、塩素含有水溶液を用いた条件2の耐食性試験において試験後の接触抵抗が増加し,条件2でのCrの溶出量も多く、被膜の耐食性が劣った。Cr付着量が200ng/cm2未満である比較例11の場合,スパッタ膜の密着性が劣化し、耐食性の評価を行うことができなかった。スパッタ後に大気加熱処理を行ったために、Auの最大濃度が80原子未満になった比較例12の場合、条件2の耐食性試験において試験後の接触抵抗が増加し,条件2でのCrの溶出量も多く、被膜の耐食性が劣った。Au濃度65以上の領域の厚みが1.5nm未満である比較例13の場合、条件2の耐食性試験において試験後の接触抵抗が増加し,条件2でのCrの溶出量も多く、被膜の耐食性が劣った。"