"成形用のガラス素材を、下面に複数のマイクロレンズ成形部を有する上型及び平板状の下型で押圧して複数個のマイクロレンズを成形するマイクロレンズアレイ用成形型であって、前記マイクロレンズ成形部が、レンズ径を決定する円形の開口部を有し、前記開口部は、貫通孔又は前記マイクロレンズの高さよりも深さの深い凹状孔とされていることを特徴とするマイクロレンズアレイ用成形型。前記貫通孔又は凹状孔が、抜き勾配をつけて設けられている請求項1記載のマイクロレンズアレイ用成形型。前記抜き勾配の傾斜が、鉛直方向に対して1~10度である請求項2記載のマイクロレンズアレイ用成形型。請求項1乃至3のいずれか1項記載のマイクロレンズアレイ用成形型を用い、前記下型の上面に成形用のガラス素材を載置し、前記ガラス素材を加熱して軟化させ、前記上型で軟化したガラス素材を上方からプレスし、軟化したガラス素材を前記貫通孔又は前記凹状孔内に球面状に押し出して、前記ガラス素材の表面に複数のマイクロレンズを形成することを特徴とするマイクロレンズアレイの成形方法。前記ガラス素材のプレス時の粘度を1×104~1×109dPas、プレス圧力を0.1~100MPaとする請求項4記載のマイクロレンズアレイの成形方法。前記プレスして得られるマイクロレンズの曲率半径が、0.01mm~10mmである請求項4又は5記載のマイクロレンズアレイの成形方法。自由表面としてレンズ面を形成する方法は、成形に際して気体が巻き込まれないためレンズ面を転写する成形方法の不具合を解消しながら、レンズ面形状を滑らかな面として得られる利点がある。この成形方法では、ガラス素材をレンズ形状にし易いように、下型に凹部を形成し、ガラス素材を軟化し、成形型で押圧する際に、重力を利用してレンズ面を形成しようとしている。しかしながら、このように重力を利用する方法の場合、ガラス素材を下型に載置した状態で加熱するため、プレスの前段階として加熱して軟化状態とすると、プレス前にガラス素材の凹部に対応する部分が下方に垂れこんでしまう場合がある。また、自重では垂れこまない程度のガラスの粘性であっても、ガラスと下型との接触状態が凹部と平坦部で異なるため、ガラスに温度分布、粘性分布が生じる場合がある。そのため、加熱温度及び素材の粘度の管理条件が厳しく、レンズ形状の制御が難しい。このような状態になると、一つ一つのレンズごとに形状が異なったり、所望のレンズ形状とならなかったり、マイクロレンズアレイとしての特性に大きく影響を与えてしまい、歩留まりが低下するという問題があった。本発明は、この問題点を解決するためになされ、マイクロレンズアレイの製造にあたって、形状の制御を容易に、かつ、形状精度を向上させて、歩留まりを向上できるマイクロレンズアレイ用成形型及びマイクロレンズアレイの成形方法の提供を目的とする。本発明のマイクロレンズアレイ用成形型は、成形用のガラス素材を、下面に複数のマイクロレンズ成形部を有する上型及び平板状の下型で押圧して複数個のマイクロレンズを成形するマイクロレンズアレイ用成形型であって、前記マイクロレンズ成形部が、レンズ径を決定する円形の開口部を有し、前記開口部は、貫通孔又は前記マイクロレンズの高さよりも深さの深い凹状孔とされていることを特徴とする。このマイクロレンズアレイ用成形型においては、上記貫通孔又は凹状孔には抜き勾配をつけて設けるのが好ましい。本発明のマイクロレンズアレイの成形方法は、本発明のマイクロレンズアレイ用成形型を用い、前記下型の上面に成形用のガラス素材を載置し、前記ガラス素材を加熱して軟化させ、前記上型で軟化したガラス素材を上方からプレスし、軟化したガラス素材を前記貫通孔内又は前記凹状孔内に球面状に押し出して、前記ガラス素材の表面に複数のマイクロレンズを形成することを特徴とする。本発明のマイクロレンズアレイ用成形型及びマイクロレンズアレイの成形方法によれば、マイクロレンズの形状を容易、かつ、安定して制御でき、マイクロレンズアレイの形状精度を向上させ、製品歩留まりを向上できる。以下、本発明について図面を参照しながら説明する。ここで、図1は本発明の一実施形態であるマイクロレンズアレイ用成形型の側断面図である。この図では、成形型の概略構成を説明するため凹状孔の個数を簡略して示した。図1に示したマイクロレンズアレイ用成形型1は、下面に複数のレンズ成形用の凹状孔2aを有する上型2、上面にガラス素材50を載置する平板状の下型3、とから構成される。上型2は、下面に複数のレンズ成形用の凹状孔2aを有する平板状の成形型である。この凹状孔2aは碁盤目状に整列して設けられ、その一つが成形するマイクロレンズ一つの大きさに対応した円形状の開口部を有する。なお、碁盤目状の他、千鳥配置などでも同様である。また、凹状孔2aの深さはレンズの高さガラス素材面からレンズの面頂までの高さよりも深くなるように設けられ、凹状孔2aの底部表面がガラスに接触しないため、本実施形態は、成形型形状を転写してレンズ面を成形するものではない。この凹状孔2aの側面は、その上方に向かって開口部から底部方向に向かって鉛直方向に形成されている。したがって、上記したようにレンズ面を成形型で転写しないため、プレス成形の際に形成されるレンズ面は自由表面となる。凹状孔2aの開口部の大きさは、その直径が30~1000μmであり、その凹状孔2a間のピッチは30~5000μmであって、凹状孔の直径/ピッチで表わされる比は、0.1~1であり、好ましくは0.2~0.9である。凹状孔2aの深さは、プレスした時にレンズ面に接触しなければ特に限定されない。このとき、プレス後に、上型2とガラス素材50とが密着するのを防止し、容易に離形できる観点から、凹状孔2aの側面は抜け勾配をつけて加工しておくのが好ましい。例えば、図2aに示したように、上型12に設けられている凹状孔が、開口部から凹状孔の底部に向かって狭まるように側面に傾斜をつけて設けられている凹状孔12aとすればよい。このとき、抜け勾配の傾斜角度は、鉛直方向に対して1~10度が好ましく、4~6度がさらに好ましい。また、この凹状孔は、その凹部底面が形成時にレンズ面と接触しなければよいため、上記のように内面円柱状の凹状孔2aや内面が部分円錐状の凹状孔12aとしてもよいし、上型2の上面まで貫通させた内面円柱状の貫通孔として設けてもよい。貫通孔を設けた例としては、図2bに示したように、上型22に設けられている凹状孔が、開口部から鉛直方向に向かって、上型22の上面まで貫通している。このとき、貫通孔に抜け勾配を設けてもよい。ここで、凹状孔を内面円柱状や部分円錐状とした場合には、成形時に、上部に形成される空隙に封入されたガスがレンズ形状に悪影響を及ぼさないように十分な余裕を有する深さの凹状孔が好ましく、具体的には、成形するマイクロレンズの高さに対する凹状孔2aの深さは2倍以上が好ましく、4倍以上がより好ましい。また、貫通孔としておくと、成形時に気体が凹状孔2aに溜まるのを防止できるため、よりマイクロレンズの形状を所望の形状とできる。また、凹状孔の内面円柱状は大きさの違う直径の円柱を多段としても良く、凹状孔の部分円錐状の抜け勾配の傾斜角度は傾斜途中で変化する形状としても良い。マイクロレンズ側の面の直径を大きく、反対面の直径を小さくすることによって、貫通孔の場合は開放径を小さくでき、上部からの異物などの混入を抑えることができる。下型3は、平板状の成形型であり、その上面は成形用のガラス素材50を載置し、プレス時にマイクロレンズの片面を平らにする機能を有し、その成形型表面も滑らかで平らな面となっている。ガラス素材50としては、マイクロレンズアレイを製造できれば特に限定されず、従来マイクロレンズアレイに用いられている成形用のガラス素材を使用できる。例えば、このガラス素材50としては矩形又は円形の平板状のものが挙げられ、そのときプレス前の厚さは1mm~30mmである。また、ガラス素材は上記した平板状だけではなく、球形や球状が潰れた偏平状等の種々の形状のものを使用できる。次に、上記成形型を用いたマイクロレンズアレイの成形方法について説明する。まず、図1のマイクロレンズアレイ用成形型1の下型3の上にガラス素材50を載置する図3a。次に、上下の成形型2,3を成形温度まで加熱し、ガラス素材50も同温度にまで加熱して軟化させる。このときの加熱温度は、ガラス素材50が軟化する温度とすればよく、用いるガラス素材によって異なるが、一般に、500~1100°C程度である。また、このとき、ガラスの粘度を1×104~1×109とすればよく、成形操作を円滑に行うために1×105~1×107とするのが好ましい。十分に加熱して軟化状態となったガラス素材50の上方から上型2を下降させ、下型と上型でガラス素材を挟んでプレスする。プレス圧力により開口部のガラスは、球面状に押し上げられ、上型の円柱状の凹状孔2a内にマイクロレンズを形成する図3b。このとき、プレス圧力は0.1~100MPa、プレス時間は10~600秒が好ましい。また、この成形は高温に加熱した状態で実施され、成形型の酸化による劣化を防止するため、例えば、1×10-2Pa以下の真空条件下や窒素やアルゴン等の不活性ガス雰囲気とするのが好ましい。ここでガラス素材の粘度とプレス圧力を調整すれば、得られるマイクロレンズの形状も容易に制御でき、例えば、その高さが10~100μm、曲率半径が0.01mm~10mmの範囲のマイクロレンズを形状精度が高く得られる。本発明によれば、従来のように垂れて形状精度が低下する等の不具合が生じない。プレス後は、上型2を上昇させ図3c、成形したガラス素材を冷却して固化し、マイクロレンズアレイを得る。このようにして、球面状のマイクロレンズが隣接するマイクロレンズと等間隔に碁盤目状に整列したマイクロレンズアレイが得られる。以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。実施例1図2bのマイクロレンズ用成形型を用いて、以下の操作によりマイクロレンズアレイを成形した。ここで用いたマイクロレンズアレイ用成形型は、直径40mmの平板状の上型と下型とからなる。上型には、下型と対抗する面下面に、開口部がφ60μmの球面形状のレンズを成形するための貫通孔が、ピッチ120μmで碁盤目状に50×50個整列されている。貫通孔は、鉛直方向に対して4度の抜け勾配を有する孔である。下型は、上成形面と対抗する面は平滑な平面となっており、平板状である。この成形型は、ステンレス鋼ウッデホルム株式会社製、商品名:STAVAX;熱膨張係数αは115×10-7at300°Cで形成され、その表面をIr-Reでコートしてなる。直径20mm、高さ5mmの円筒状のガラス素材旭硝子株式会社製、商品名:A-PHB17B175相当品;熱膨張係数αは114×10-7at300°Cを、下型の上に載置し、上下の成形型を540°Cまで加熱し、ガラス素材も同温度にまで加熱して軟化させた。このときのガラスの粘度は1×109程度であった。十分に加熱して軟化状態となったガラス素材の上方から上型を下降させ、下型と上型でガラス素材を挟んで、圧力0.4MPa、プレス時間60秒でプレスした。このとき、プレス雰囲気は1.0×10-3Paの真空条件とした。上型を上昇させ、プレスされたガラス素材50を冷却、固化させ、φ60μmの球面形状のマイクロレンズ曲率半径30μmが120μmピッチで碁盤目状に整列したマイクロレンズアレイを得た。得られたマイクロレンズアレイのマイクロレンズ形状は、自由表面で滑らかに成形され、所望の形状であった。本発明により、成形時におけるガラス素材の垂れや、成形型とガラス素材との間に気体が巻き込まれる等によるレンズ形状の不具合が解消され、形状にバラツキのないマイクロレンズアレイを、歩留まりを良好に得られる。"