基板を保持するトレーを立てた状態で保持する保持ベースを有し、前記保持ベースに保持された前記トレーの姿勢を維持した状態で前記保持ベースが回転するように設けられたトレー移載機構と、前記トレーを搬送するための第1の搬送路及び第2の搬送路間で、前記保持ベースに保持された前記トレーの移動経路が形成されるように、前記トレー移載機構を駆動する駆動部とを具備するトラバース装置。請求項1に記載のトラバース装置であって、前記保持ベースに設けられ、前記トレーの係合部に係合して前記トレーを支持するための係合部材をさらに具備するトラバース装置。請求項2に記載のトラバース装置であって、前記トレー移載機構による動力を前記係合部材に伝達する動力伝達機構をさらに具備するトラバース装置。請求項2または3に記載のトラバース装置であって、前記係合部材は、前記トレーの係合部に係合する部分である係合端部を有し、前記保持ベースの上端部より前記係合端部が上方に位置するように、前記係合部材が前記保持ベースの前記上端部寄りの位置に接続されているトラバース装置。請求項2から4のうちいずれか1項に記載のトラバース装置であって、前記保持ベースは、前記係合部材が回転可能に接続された縦長部と、前記トレーが載置されて前記トレーを下から支持する支持部を含み、前記縦長部の下部から水平方向に突出するように設けられた突出部とを有し、前記保持ベースは、前記第1及び前記第2の搬送路が並ぶ方向において、前記第1及び前記第2の搬送路から等しい距離にある中心線上に、前記保持ベースの前記支持部における回転中心が配置されるように駆動されるトラバース装置。請求項1から5のうちいずれか1項に記載のトラバース装置であって、前記トレー移載機構は、固定ベースと、前記駆動部により駆動され、前記固定ベースと前記保持ベースとの間に接続されたクランクシャフトとをさらに有するトラバース装置。基板を処理するための処理室と、基板を保持するトレーを立てた状態で搬送する、前記処理室内に設けられた第1の搬送路及び第2の搬送路と、前記トレーを立てた状態で保持する保持ベースを有し、前記保持ベースに保持された前記トレーの姿勢を維持した状態で前記保持ベースが回転するように設けられたトレー移載機構と、前記第1の搬送路及び前記第2の搬送路間で、前記保持ベースに保持された前記トレーの移動経路が形成されるように、前記トレー移載機構を駆動する駆動部とを有するトラバース装置とを具備する基板処理装置。請求項7に記載の基板処理装置であって、前記処理室は、前記処理室内で真空状態を維持することが可能であり、前記トラバース装置の前記駆動部は、前記処理室外に配置されるモータを有する基板処理装置。しかしながら、このトラバース装置は、リフト機構及びスライド機構の2軸の機構により搬送トレーを移動させるものであり、また、それぞれに駆動源が設けられるため、それらの機構が複雑となる。機構が複雑になると部品点数も増え、コストも高くなる。また、このトラバース装置は、リフト機構による上昇、スライド機構による水平移動及びリフト機構による下降、という3つの動作によって搬送トレーを移動させるため、動作時間が長いという問題もある。以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、構成を簡易化することで部品点数を減らすことができ、また、基板の移動時間を短縮することができるトラバース装置及びこれを搭載した真空処理装置を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るトラバース装置は、トレー移載機構と、駆動部とを具備する。前記トレー移載機構は、基板を保持するトレーを立てた状態で保持する保持ベースを有する。前記保持ベースに保持された前記トレーの姿勢を維持した状態で前記保持ベースが回転するように設けられている。前記駆動部は、前記トレーを搬送するための第1の搬送路及び第2の搬送路間で、前記保持ベースに保持された前記トレーの移動経路が形成されるように、前記トレー移載機構を駆動する。本発明では、トレー移載機構によってトレーを保持する保持ベースが回転することにより、そのトレーが第1及び第2の搬送路間で移動する。したがって、従来のようなリフト機構及びスライド機構の2軸での移動動作が不要になり、トレー移載機構を駆動する1つの駆動部によりトレーの移動を実現することができる。すなわち、トラバース装置の構成を簡易化することができ、部品点数を減らすことができる。また、トレー移載機構の回転による保持ベースの移動により、従来のトラバース装置に比べその移動時間を短縮することができる。前記トラバース装置は、前記保持ベースに設けられ、前記トレーの係合部に係合して前記トレーを支持するための係合部材をさらに具備してもよい。これにより、トレーの移動時にトレーの姿勢を安定させることができる。前記トラバース装置は、前記トレー移載機構による動力を前記係合部材に伝達する動力伝達機構をさらに具備してもよい。本発明では、係合部材を駆動させるための駆動源が必要ないのでトラバース装置の構成を簡易化することができる。動力伝達機構として、例えばカム機構が用いられてもよい。前記係合部材は、前記トレーの係合部に係合する部分である係合端部を有し、前記保持ベースの上端部より前記係合端部が上方に位置するように、前記係合部材が前記保持ベースの前記上端部寄りの位置に接続されていてもよい。すなわち、保持ベースの大きさを小さくあるいは、高さを低く抑えることができるので、トラバース装置の小型化、軽量化を実現することができる。前記保持ベースは、縦長部と、突出部とを有してもよい。縦長部は、前記係合部材が回転可能に接続されている。突出部は、前記トレーが載置されて前記トレーを下から支持する支持部を含み、前記縦長部の下部から水平方向に突出するように設けられている。その場合、前記保持ベースは、前記第1及び前記第2の搬送路が並ぶ方向において、前記第1及び前記第2の搬送路から等しい距離にある中心線上に、前記保持ベースの前記支持部における回転中心が配置されるように駆動される。例えば、第1及び第2の搬送路の高さ位置が実質的に同じである場合に、本発明は特に効果的である。つまり本発明では、トレーの第1及び第2の搬送路による搬送方向で見て、トラバース装置の配置を第1及び第2の搬送路に最も近づけることができる。その結果、第1、第2の搬送路及びトラバース装置を含む全体の構成を小型化しつつ、トレーの搬送を妨げることなくトレーの回転の移動経路を形成することができる。前記トレー移載機構は、固定ベースと、前記駆動部により駆動され、前記固定ベースと前記保持ベースとの間に接続されたクランクシャフトとを有してもよい。本発明に係る基板処理装置は、処理室と、第1及び第2の搬送路と、上記トラバース装置とを具備する。前記処理室は、基板を処理するためのものである。前記第1及び第2の搬送路は、基板を保持するトレーを立てた状態で搬送し、前記処理室内に設けられている。本発明では、トレー移載機構によってトレーを保持する保持ベースが回転することにより、そのトレーが処理室内に設けられた第1及び第2の搬送路間で移動する。したがって、従来のようなリフト機構及びスライド機構の2軸での移動動作が不要になり、トレー移載機構を駆動する1つの駆動部によりトレーの移動を実現することができる。すなわち、トラバース装置の構成を簡易化することができ、部品点数を減らすことができる。また、トレー移載機構の回転による移動により、その移動時間を短縮することができる。前記処理室は、前記処理室内で真空状態を維持することが可能であり、前記トラバース装置の前記駆動部は、前記処理室外に配置されるモータを有してもよい。従来では、スライド機構のモータをその真空の処理室外に配置させるためには、処理室内の真空を維持するためにベローズが必要であった。その上、従来のようにリフト機構のモータを処理室外に配置させる場合、そのモータの回転軸周りをシールする機構が必要であった。これに対し、本発明ではスライド機構のようなリニア駆動機構を必要としないので、駆動部のモータを処理室外に位置させても、ベローズが必要なく、本発明ではモータの回転軸周りのシール機構のみで足りる。以上、本発明によれば、構成を簡易化することで部品点数を減らすことができるので、コストを抑えることができ、また、基板の移動時間を短縮することができる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。図1は、トラバース装置30を備えた基板処理装置としての真空処理装置10を模式的に示す斜視図である。真空処理装置10は、複数の処理室11~15を備えている。図1において、真空処理装置10は、着脱室11、ロードロック室以下単に、LL室12と言う。、第一処理室13、第二処理室14、及び搬送室15がそれぞれゲートバルブ16を介して連結されている。真空処理装置10には、着脱室11から搬送室15へ向かって延びる第1の搬送路以下単に、往路R1と言う。と、搬送室15から着脱室11へ向かって延びる第2の搬送路以下単に、復路R2と言う。とが設けられている。本実施形態における往路R1と復路R2とは互いに平行である。往路R1及び復路R2においては、それぞれ複数の搬送トレー17が、ローラ搬送によって搬送される。例えば、Y軸方向を回転軸として回転駆動する搬送ローラ19によって搬送トレー17の下面が支持されながら、往路R1及び復路R2に沿って搬送される。各搬送トレー17は、被処理基板以下、単に基板と言う。Sの外縁を囲う四角枠体状に形成されている。なお、搬送ローラ19に代えて、ラックアンドピニオン機構により搬送トレー17が搬送されてもよい。この場合、搬送トレー17の下部にラックが設けられ、このラックに噛み合うピニオンが各搬送路R1及びR2に沿って複数設けられていればよい。また、ローラ搬送、ラックアンドピニオン機構による搬送のいずれにおいても、Z軸方向を回転軸として回転駆動する不図示のガイドローラが、各搬送路R1及びR2に沿って設けられていてもよい。各搬送トレー17の左右両側搬送方向における前側及び後側には、それぞれ係合部としての凸部17aが設けられている。各凸部17aは、搬送トレー17の搬送工程において、後述するようにトラバース装置30により該搬送トレー17をロックするために利用される。また、各搬送トレー17の上側には、トレー磁石21が配設されている。第一処理室13、第二処理室14、及び搬送室15の各々には、搬送トレー17のトレー磁石21と磁気的に作用する保持装置22が配設されている。搬送トレー17のトレー磁石21は、該搬送トレー17の搬送過程において、各保持装置22の保持磁石23と作用することにより、該搬送トレー17を各搬送路の上方で非接触的に拘束する。保持装置22は、図5A~Eに示すように、下部に設けられた保持磁石23を有し、昇降駆動部により、この保持磁石23が昇降可能となっている。保持磁石23は、往路R1及び復路R2のピッチに一致するようなピッチでY軸方向において2つ設けられている。本案施形態においては、往路R1における搬送トレー17の搬送方向をX軸方向と言う。また、水平面に対して垂直の方向をZ軸方向とし、X軸方向及びZ軸方向と直交する方向であって、往路R1及び復路R2が並ぶ方向をY軸方向と言う。着脱室11は、外部から投入される処理前の基板Sを搬送トレー17に取り付けて保持させ、該基板Sを立てた状態でLL室12へ搬出する。また、着脱室11は、搬送トレー17に保持された処理後の基板Sを搬送トレー17から取り外して、真空処理装置10の外部へ搬出する。着脱室11は、上記基板Sの着脱を大気圧の下で行う。LL室12は、室内を大気圧にして、着脱室11から搬送トレー17を往路R1に沿って搬入し、その後、室内を減圧することにより、該搬送トレー17を往路R1に沿って第一処理室13へ搬出する。また、LL室12は、室内を減圧して、第一処理室13から搬送トレー17を復路R2に沿って室内へ搬入し、その後、室内を大気に解放することにより、該搬送トレー17を復路R2に沿って着脱室11へ搬出する。第一処理室13は、LL室12から搬送トレー17を往路R1に沿って搬入して、保持装置22による磁気的な作用によって、該搬送トレー17を往路R1上に拘束する。第一処理室13は、搬送トレー17に保持された基板Sに成膜処理や加熱処理等の処理を施した後、保持装置22による拘束を解除して、該搬送トレー17を往路R1に沿って第二処理室14へ搬出する。また、第一処理室13は、第二処理室14から搬送トレー17を復路R2に沿って搬入して、保持装置22による磁気的な作用によって、該搬送トレー17を復路R2上に拘束する。第一処理室13は、搬送トレー17に保持された基板Sに成膜処理や加熱処理等の処理を施した後、保持装置22による拘束を解除して、該搬送トレー17を復路R2に沿ってLL室12へ搬出する。第一処理室13は、上記搬送トレー17の搬入及び搬出を減圧下で行う。第二処理室14も、成膜処理や加熱処理等の処理を基板Sに施す。第二処理室14において、保持装置22を利用する動作及び搬送トレー17の搬入及び搬出の手法等は、第一処理室13におけるものと同様である。第二処理室14は、往路R1に沿って、第一処理室13から基板Sを搬入し、及び搬送室15へ基板Sを搬出する。また、第二処理室14は、復路R2に沿って、搬送室15から基板Sを搬入し、及び第一処理室15へ基板Sを搬出する。搬送室15におけるX軸方向の両側搬送方向における前側及び後側には、一対のトラバース装置30が搭載されている。搬送室15は、第二処理室14から搬送トレー17を往路R1に沿って搬入して、保持装置22による磁気的な作用によって、該搬送トレー17を一旦往路R1上に拘束する。搬送室15は、往路R1上における搬送トレーの磁気的な拘束を解きながら、トラバース装置30を用いて、該搬送トレー17を往路R1から復路R2上へ搬送する。搬送室15は、復路R2へ移動させた搬送トレー17を復路R2に沿って第二処理室14へ搬出する。搬送室15は、往路R1から復路R2への搬送トレー17の搬送を減圧下で行う。また、搬送室15は、搬送トレー17を往路R1から復路R2へ搬送する間、トラバース装置30のロック機能によって、該搬送トレー17をロックする。図2は、一対のトラバース装置30のうち、1つのトラバース装置を示す斜視図である。一対のトラバース装置30は、後に詳述する保持ベースを用いて搬送トレー17の両側をそれぞれ保持する。両トラバース装置30は同じ機能及び構造形状は例えばX軸方向で対称を有している。図2に示すように、トラバース装置30は、駆動部50と、基板Sを保持した搬送トレー17を保持することが可能な保持ベース32を含むトレー移載機構としての平行リンク機構40とを備える。平行リンク機構40は、駆動部50の駆動によって駆動される。例えば、平行リンク機構40は、縦長に形成され垂直に立設された固定ベース31と、この固定ベース31及び保持ベース32の間に回転可能に接続されたクランクシャフト36及び37と、これらのクランクシャフト36及び37に接続された、縦長形状の保持ベース32とを有する。駆動部50は、モータ33と、モータ33の出力軸34に図示しないカップリングを介して接続されたギアボックス35とを有する。モータ33の出力軸34の途中において、大気と真空を隔てる搬送室の隔壁が配置される。すなわち、モータ33は大気側に配置される。ギアボックス35は、例えば固定ベース31に設置されており、モータ33の駆動力を所定の回転速度に減速して下部側のクランクシャフト37に伝達し、モータ33のY軸周りの回転動力を、X軸周りの回転動力に変換する。平行リンク機構40の動作を安定にするために、2つのクランクシャフト36及び37を接続する補助リンク44が、保持ベース32の一方の側に設けられている。補助リンク44は、クランクシャフト36及び37にそれぞれ一体的に設けられた軸部36a及び37aに回転可能に接続されている。補助リンク44は、クランクシャフト36及び37の、固定ベース31に近い側の端部に回転可能に接続されていてもよい。保持ベース32は、搬送トレー17を立てた状態で保持する。保持ベース32は縦長のL字状に形成されており、縦長部32aと、その縦長部32aの下部から水平方向Y軸方向に突出するように設けられた突出部32bの先端部である支持部32cに搬送トレー17が載置される。そして、後述するように係合部材としてのフック部材38が、上述した搬送トレー17の凸部17aに係合する。このように、支持部32cにより搬送トレー17の下方が支持され、かつ、フック部材38が凸部17aに係合することによって、保持ベース32の回転移動時に、搬送トレー17の姿勢を安定させることができる。トラバース装置30が待機状態図5A及びEに示す状態にある時は、保持ベース32の支持部32cは、往路R1及び復路R2の各路面搬送トレー17の下端部より下部側に配置される。保持ベース32の上端部には、フック部材38が回転軸39を中心として回転可能に接続されている。フック部材38は、その上部の係合端部38aに設けられた切り欠きを有し、この切り欠きが凸部17aに係合するようになっている。フック部材38は、次に説明するように、平行リンク機構40の動力を利用して動作する。図3は、上部のクランクシャフト36付近を拡大して示すトラバース装置30の図であり、Y軸方向で見た図である。上記平行リンク機構40の動力をフック部材38に伝達する動力伝達機構45が、保持ベース32の固定ベース31側に設けられている。図2では動力伝達機構45の図示を省略している。図4は、動力伝達機構45の正面図である。動力伝達機構45は、主にカム機構により構成される。カム機構は、クランクシャフト36に固定されたカム41と、このカム41により動作するカムフォロア42とを有する。カムフォロア42にはリンクレバー43の一端部が接続され、このリンクレバー43の他端部は、フック部材38に接続された接続軸48に接続されている。接続軸48は、フック部材38の係合端部38aとは逆側の端部に接続されており、保持ベース32に設けられた図示しない長穴に挿通されている。そして、接続軸48は、保持ベース32の裏側動力伝達機構45が配置される側でリンクレバー43と接続されている。図4に示すように、フック部材38の下部と、保持ベース32に設けられたバネ受け47との間にはバネ46が接続されている。図2では、これらのバネ46及びバネ受け47を省略している。このバネ46には、フック部材38が搬送トレー17の凸部17aに係合しようとして動作する時図5B~Dに示す状態の時には、あるいは常に、張力例えばバネ46が縮む方向の力が働くように設置されている。このようなバネ46の張力により、カムフォロア42が例えばカム41の凹部41a上を走る時、リンクレバー43が下降し、フック部材38が矢印Aの方向に回転することにより、フック部材38と搬送トレー17の凸部17aとの係合が解除される。つまり、カムフォロア42がカム41の凹部41a上を走るタイミングが、トラバース装置30が待機状態にあるタイミングつまり保持ベース32が待機位置にある時図5A及びEに示す状態のタイミングと一致するように、動力伝達機構45の動きカム41のタイミングが設計されている。以上のように構成されたトラバース装置30の動作を説明する。図5はその動作を説明するための模式的な図であり、X軸方向で見た図である。図6は、保持ベース32の支持部32cの回転軌跡を説明するための図である。なお、図5及び6では、補助リンク44の図示を省略している。図5Aでは、上記したようにトラバース装置30は待機状態にあり、保持ベース32が待機位置にある。この状態では、上記したようにフック部材38が搬送路R1及びR2上にはなく、退避している。待機位置にある保持ベース32の支持部32cの回転角度位置を、図6に示すように0°とする。この時、保持装置22の保持磁石23が既に下降しており、搬送トレー17の上部が非接触で保持され、その姿勢が安定している。図5Bに示すように、平行リンク機構40の動作により、保持ベース32が図5及び6における時計回りに回転し、その支持部32cが図6に示す90°の位置に来ると、搬送トレー17が支持部32cに接触して載置される。この時、動力伝達機構45図3及び4参照の作用によりフック部材38が回転し、フック部材38の係合端部38aが搬送トレー17の凸部17aの真下の位置に配置される。この後、さらに保持ベース32が時計回りに回転し始めることにより、フック部材38の係合端部38aの切り欠きが凸部17aに係合してロックされ、このようなロック状態で保持ベース32が搬送トレー17を保持しながら回転する。ロックされた後、保持装置22の保持磁石23が上昇することで非接触での保持が解除される。図5Cに示すように、保持ベース32が時計回りに回転し、保持ベース32の支持部32cが180°の回転位置図6参照を通過する。そして図5Dに示すように、支持部32cが270°の回転位置に達するまでに、保持装置22による非接触の保持が開始される。そして支持部32cが270°の回転位置に達すると、搬送トレー17が復路R2に載置される。支持部32cが270°の回転位置を通過した後、動力伝達機構45の作用によりフック部材38が回転し始め、フック部材38によるロック状態が解除される。このようにして、トラバース装置30は、保持ベース32に保持された搬送トレー17の姿勢を維持しながら、平行リンク機構40の作用による保持ベース32の回転によって搬送トレー17を往路R1から復路R2へ移動させる。すなわち、往路R1及び復路R2間で搬送トレー17の移動経路が形成される。図5Eに示すように、図5Dの状態の後も保持ベース32が時計回りに回転することにより、保持ベース32が待機位置に戻り、フック部材38も退避する。以上のように、本実施形態では、搬送トレー17を保持する保持ベース32が平行リンク機構40によって回転させられことにより、搬送トレー17が往路R1及び復路R2間で移動する。したがって、従来のようなリフト機構及びスライド機構の2軸での移動動作が不要になり、平行リンク機構40を駆動する1つの駆動部50により搬送トレー17の移動を実現することができる。すなわち、トラバース装置30の構成を簡易化することができ、部品点数を減らすことができる。これにより、コストを低減することができ、メンテナンス頻度も減らすことができる。また、平行リンク機構40の回転による移動により、従来のトラバース装置に比べその移動時間を短縮することができる。本実施形態では、フック部材38を作用させるために動力伝達機構45が用いられている。すなわち、フック部材38を駆動させるための別途の駆動源が必要ないのでトラバース装置30の構成を簡易化することができる。ここで、保持ベース32の回転時に搬送トレー17の姿勢を安定させるために、フック部材38を用いずに、保持装置22の動きを搬送トレー17の回転の動きに追従させることも考えられる。しかし、保持装置22の構造を回転動作が可能な構成とすると、その保持装置22から発生する粉塵が多くなりおそれがあり、発生した粉塵が重力で落ちると下部にある基板Sの処理に悪影響を及ぼす。したがって、搬送トレー17より上部にある構造は極力単純なものとされることが好ましく、搬送トレー17の姿勢安定のためにフック部材38が装備されている。本実施形態では、フック部材38の係合端部38aが、保持ベース32の上端部より上方に位置するように、フック部材38が保持ベース32の上端部寄りの位置に接続されている。これにより、例えば従来のトラバース装置に比べ保持ベース32の大きさを小さくあるいは、高さを低く抑えることができるので、トラバース装置30の小型化、軽量化を実現することができる。本実施形態では、図6に示したように、Y軸方向において往路R1及び復路R2から等しい距離にある中心線C上に、保持ベース32の支持部32cの回転中心軸Oが配置されるように、平行リンク機構40が保持ベース32を回転させる。例えば、これにより、X軸方向で見てトラバース装置30の配置を最も搬送路R1及びR2に近づけることができる。その結果、各搬送路R1、R2及びトラバース装置30を含む全体の構成を小型化しつつ、搬送トレー17の搬送を妨げることなく搬送トレー17の回転の移動経路を形成することができる。さらに、保持ベース32の支持部32cの回転中心軸Oは往路R1及び復路R2に対して平行である。この場合、保持ベース32が回転した際に、保持ベース32が保持した基板Sが描く軌跡からなる立体の容積が最も小さくなるため、各搬送路R1、R2及びトラバース装置30を含む全体の構成を小型化する効果が最も高くなる。本実施形態では、モータ33が搬送室外に配置されている。従来では、スライド機構のスライドモータをその真空処理室外に配置させるためには、真空処理室内の真空を維持するために、そのスライドモータの出力軸にベローズを設ける必要があった。その上、従来のようにリフト機構のリフトモータを真空処理室外に配置させる場合、そのモータ33の回転軸39周りをシールする機構、例えば磁気シール等が必要であった。これに対し、本実施形態では、スライド機構のようなリニア駆動機構を必要としないので、モータ33を搬送室外に位置させてもベローズが必要なく、リフトモータの回転軸周りのシール機構のみで足りる。その他の実施形態本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。駆動部50、ギアボックス35、クランクシャフト36、動力伝達機構45、カム機構、フック部材38等の配置や構成等は適宜変更可能である。例えば、以下に示すような変更が可能である。2つのクランクシャフト36及び37のうち上部のクランクシャフト36が駆動軸とされ、下部のクランクシャフト37が従動軸とされてもよい。あるいは、駆動部50が2つ設けられ、それらの駆動部50がクランクシャフト36及び37をそれぞれ同期して駆動するようにしてもよい。この場合、上記の補助リンク44は不要になる。フック部材38の回転軸39の高さ位置がフック部材38の係合端部38aより上方に位置するように、フック部材38が構成されていてもよい。上記実施形態では、トレー移載機構として平行リンク機構を例に挙げたが、他の機構が用いられてもよい。例えば、図2に示したクランクシャフト36に代えて、保持ベース32の回転移動をガイドするガイド部材が設けられていてもよい。この場合、保持ベース32にローラのような回転体が接続され、そのローラが例えばレール部材保持ベースの移動経路に沿った曲線状のもののような上記ガイド部材に回転可能に接続されていればよい。この場合においても、上述のように、駆動部50、ギアボックス35等の配置や構成を適宜変更できる。カム機構のカムフォロア42の動きを支持する支持部材が設けられ、その支持部材が弾性的に保持ベース32に設けられていてもよい。例えばこの場合、支持部材の一部にカムフォロア42が回転可能に接続され、支持部材の他の部位に保持ベース32に接続された回転軸39が接続される。支持部材が、その回転軸を中心に回転回動できるようになっており、その支持部材に上記リンクレバー43やバー部材が接続される。このような構成により、支持部材がその弾性力によってカム41の形状に沿ってカムフォロア42を走らせることができ、フック部材38を動作させることができる。上記実施形態のように、動力伝達機構45がフック部材38を動作させる形態に限られず、フック部材38を、図5A~Eで示したように駆動する駆動部が、駆動部50とは別に設けられていてもよい。固定ベース31、保持ベース32、フック部材38等の形状等も適宜変更可能である。上記実施形態ではフック部材38が設けられる構成であった。しかし、保持ベース32が例えば搬送トレー17の側面も保持できるような構造であれば、フック部材38は設けられていなくてもよい。往路R1及び復路R2がそれぞれ配置される高さ位置が異なっていてもよい。この場合、保持ベース32の支持部32cの回転中心が、図6における上記中心線C上になくてもよい。