"互いに平行に設置された一対のガイドレールと、各ガイドレールにそれぞれガイドされてガイドレールに沿って移動するスライダとを備えたリニアガイドに両側下部が支持されて前記ガイドレールの長手方向に移動可能に設けられたステージと、該ステージを前記ガイドレールに沿って移動させるリニアサーボモータとを備えたレーザ加工機用ステージ装置において、前記リニアサーボモータとしてコア付タイプのリニアサーボモータを使用し、該リニアサーボモータの固定子を前記ガイドレールの外側で該ガイドレールより高い位置に各ガイドレールと平行にしてステージ側を向いた状態でそれぞれ配置するとともに、前記リニアサーボモータの移動子を、前記ステージの両側部で前記固定子のステージ側に対向する位置に配置したことを特徴とするレーザ加工機用ステージ装置。金属薄板とレーザ加工ヘッドとを相対的に移動させる手段として、レーザ加工ヘッドを固定して金属薄板を保持したステージを移動させるものと、金属薄板を固定してレーザ加工ヘッドを搭載したステージを移動させるものとがある。金属薄板を移動させるものでは、金属薄板の面積が大きくなると、ステージの大型化や重量増加に伴って振動が発生しやすくなり、加工誤差を生じる原因となることから、レーザ加工ヘッドを移動させるものが好ましい。しかし、レーザ加工ヘッドを移動させるものでも、金属薄板の面積が大きいと、レーザ加工ヘッドを搭載するステージが長くなり、重量も増加するため、ステージ自体の重量で中央が下方に撓むことがある。ステージの撓みが僅かなものであっても、メタルマスクをレーザ加工するような超微細な加工を行う際には、数ミクロン程度の撓みでも製品の品質に影響を及ぼすことがある。そこで本発明は、ステージ自体の重量によるステージ中央部の下方への撓みを解消することができ、レーザ光による超微細加工も確実に行うことが可能なレーザ加工機用ステージ装置を提供することを目的としている。上記目的を達成するため、本発明のレーザ加工機用ステージ装置は、互いに平行に設置された一対のガイドレールと、各ガイドレールにそれぞれガイドされてガイドレールに沿って移動するスライダとを備えたリニアガイドに両側下部が支持されて前記ガイドレールの長手方向に移動可能に設けられたステージと、該ステージを前記ガイドレールに沿って移動させるリニアサーボモータとを備えたレーザ加工機用ステージ装置において、前記リニアサーボモータとしてコア付タイプのリニアサーボモータを使用し、該リニアサーボモータの固定子を前記ガイドレールの外側で該ガイドレールより高い位置に各ガイドレールと平行にしてステージ側を向いた状態でそれぞれ配置するとともに、前記リニアサーボモータの移動子を、前記ステージの両側部で前記固定子のステージ側に対向する位置に配置したことを特徴としている。本発明のレーザ加工機用ステージ装置によれば、一対のガイドレールの外側上方位置に配置した固定子と、ステージの両側部に装着した移動子との吸引力により、ガイドレールより高い位置でステージを両側から引っ張る力が発生するので、ステージの中央部がステージ自体の重量によって下方に撓むことを防止できる。本形態例に示すレーザ加工機用ステージ装置は、基台11の両側部分に、門型構造のステージ12を移動可能に支持するためのリニアガイド13と、ステージ12を移動させるための駆動源となるリニアサーボモータ14とをそれぞれ備えている。リニアガイド13は、互いに平行に設置された一対のガイドレール15,15と、各ガイドレール15,15にそれぞれガイドされてガイドレール15の長手方向に移動するスライダ16,16とを備えており、スライダ16は、ステージ12のテーブル部12aの両側下部に形成された脚部12bの下面に装着され、ガイドレール15の上方からガイドレール15に跨がるようにして設けられている。前記リニアサーボモータ14は、コア付タイプのリニアサーボモータであって、磁極を交互に併設した固定子17と、コアに導線を巻回した移動子18とで構成されている。前記固定子17は、前記ガイドレール15の外側に立ち上がった支持部材11aの内面ステージ側面に、ガイドレール15よりも高い位置で、ステージ12側を向いた状態で、ガイドレール15と平行に、ガイドレール15に沿った状態で基台11の全長にわたって配置されている。また、前記移動子18は、前記ステージ12における上部外面、すなわち、脚部12bの上部のテーブル部12aの両側部であって、前記ガイドレール15より高い位置で、前記固定子17のステージ12側に対向した状態になる位置にそれぞれ装着されており、ガイドレール15と移動子18との間には、所定の間隔が設けられている。このように、リニアガイド13のガイドレール15に上方から跨がるように形成したスライダ16を介して門型構造のステージ12をガイドレール15に沿って移動可能に設けるとともに、ガイドレール15より上方の基台11の支持部材11aとステージ12のテーブル部12aとの間に、コア付タイプのリニアサーボモータ14を対向面が鉛直方向を向くようにして横向きに配置することにより、リニアサーボモータ14における固定子17と移動子18との間に磁力によって、ガイドレール15より高い位置でステージ12を両側から引っ張る方向の大きな吸引力が発生する。これにより、自重によってステージ12の中央部が下方に撓む際に脚部12bの上部に加わるステージ12の中心方向への力を、前記リニアサーボモータ14の固定子17と移動子18との間の吸引力で打ち消すことができ、脚部12bを直立状態に保持してステージ12の中央部が自重で下方に撓むことを防止することができる。したがって、ステージ12の平面度を保つことができ、ステージ12に搭載されてガイド21に沿ってステージ12の長手方向に移動するレーザ加工ヘッド22の上下方向位置を一定に保つことができる。これにより、レーザ加工ヘッド22の下方に配置された金属薄板とレーザ加工ヘッド22との距離がレーザ加工ヘッド22の移動位置に関係なく一定となり、金属薄板に超微細な加工を施してメタルマスクを形成する際の加工精度を確保することができ、品質の安定化や歩留まりの向上を図ることができる。前記リニアガイド13のガイドレール15に対するコア付タイプのリニアサーボモータ14の高さは、ステージ12の重量や剛性、一対のガイドレール15,15間の距離、撓み許容量、固定子17と移動子18との間の吸引力などの各種条件に応じて設定することが可能であるが、ステージ12のテーブル部の両端を両側から一直線状に引っ張る状態になる位置に配置することが好ましい。なお、ステージ装置としての位置検出手段や移動制御手段は特に限定されるものではなく、ステージ装置の使用目的も任意である。"