"座面を搭載する搭載部を有するキャリッジと、そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングとを備え、該ハウジングの一面には、キャリッジの移動経路に沿って開口するスリットが設けられるとともに、該スリットを貫通してキャリッジの搭載部がハウジングの外側に突出し、かつ、スリットの開口が、搭載部の移動に伴って移動しつつシールされるシール構造を備えたアクチュエータにおいて、シール構造は、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域、及び搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの対向領域とからなるスリット開口の全領域を、搭載部の移動中においてシールしており、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域を帯状のシール部材によってシールし、搭載部とスリットとの間の対向領域を搭載部に備えられた鍔状のシール部材によってシールすることを特徴とするアクチュエータ。搭載部の軸方向中央部が段差状に突出して座面を取付ける取付部を形成し、取付部の各軸方向側にはスリットと対向する固定面が形成され、各固定面には、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域をシールする帯状のシール部材が固定され、鍔状のシール部材は、スリットと対向する搭載部の端面に備えられた基端部と、その基端部からハウジングのスリットの端面に向けて、帯状のシール部材と同一平面を成して延設された先端部とで構成され、その先端部が、搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの間の対向領域をシールすることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。スリットの開口の対向する一対の端面には、スリットの全長に亘たり、それぞれスリットを挟む方向で対向して開口した一対の案内溝が備えられ、帯状のシール部材及び鍔状のシール部材が案内溝に案内されることによってシールを形成することを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。帯状のシール部材は、スリットの軸方向両端側でハウジング内部へ誘導され、ハウジング内部で可動ループを形成しているシールベルトであることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のアクチュエータ。鍔状のシール部材は、搭載部の側面に一体に形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のアクチュエータ。本発明の目的は、ハウジングに設けられたスリットの全領域をシールして、低発塵の効果が高く、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造を提供することである。上記課題を達成するために、本発明は、座面を搭載する搭載部を有するキャリッジと、そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングとを備え、該ハウジングの一面には、キャリッジの移動経路に沿って開口するスリットが設けられるとともに、該スリットを貫通してキャリッジの搭載部がハウジングの外側に突出し、かつ、スリットの開口が、搭載部の移動に伴って移動しつつシールされるシール構造を備えたアクチュエータにおいて、シール構造は、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域、及び搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの対向領域とからなるスリット開口の全領域を、搭載部の移動中においてシールしており、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域を帯状のシール部材によってシールし、搭載部とスリットとの間の対向領域を搭載部に備えられた鍔状のシール部材によってシールする。この場合、搭載部の軸方向中央部が段差状に突出して座面を取付ける取付部を形成し、取付部の各軸方向側にはスリットと対向する固定面が形成され、各固定面には、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域をシールする帯状のシール部材が固定され、鍔状のシール部材は、スリットと対向する搭載部の端面に備えられた基端部と、その基端部からハウジングのスリットの端面に向けて、帯状のシール部材と同一平面を成して延設された先端部とで構成され、その先端部が、搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの間の対向領域をシールするようにすればよい。その際には、スリットの開口の対向する一対の端面に、スリットの全長に亘たり、それぞれスリットを挟む方向で対向して開口した一対の案内溝を備え、帯状のシール部材及び鍔状のシール部材が案内溝に案内されることによってシールが形成されるシール構造とすることが好ましい。なお、帯状のシール部材は、スリットの軸方向両端側でハウジング内部へ誘導され、ハウジング内部で可動ループを形成するシールベルトとすることが可能である。また、鍔状のシール部材は、搭載部の側面に一体に形成することが可能である。本発明によれば、ハウジングに設けられたスリットの全領域をシールして、低発塵の効果が高く、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造を提供することができるようになった。以下本発明の実施の一形態を図に基づいて説明する。本発明は、ハウジング30に設けられたスリットSのスリット両端部と搭載部11との間の領域以下、この開口領域をF2領域ともいう。、及び搭載部11の移動方向と直交する側面111とスリットSとの間の対向領域以下、この開口領域をF1領域ともいう。のスリット開口の全領域以下、この全開口領域をF領域ともいう。をシールしてハウジング30の内と外を隔離するものであるが、特に、F1領域において、スリットSと搭載部11との隙間Gをシールするシール構造に特徴を有している。その具体的な実施の形態を以下、図1~図9にて詳細に説明する。なお、F1領域におけるシール構造以外の構成は、F2領域におけるシール構造を含め、前述した従来技術の構造が採用可能であるため、ここでは、本発明特有の構成であるF1領域におけるシール構造を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。また、以下の実施形態では、2本の搭載部11を備えたアクチュエータの場合を説明するが、本発明によるシール構造は1本の搭載部11を備えたアクチュエータの場合にも適用可能である。さらに、直線案内装置、直線駆動装置、駆動源等の形式や種類についても以下の実施形態に限定されるものではない。図1~図4は本発明の第1の実施形態であり、座面20を取付けるキャリッジ10の搭載部11とスリットSのF1領域をキャリッジ10の搭載部11に固定された帯状のシール部材によってシールするシール構造を示す。なお、搭載部11は従来と同様の構成のものが使用される。帯状のシール部材として本実施形態ではシールベルト40が採用されている。シールベルト40は、スリットSの全長を搭載部11の移動に伴なってシール可能な長さに連続して形成される。また、シールベルト40は、スリットSの両端側34,34からハウジング30の内部へ誘導され、ハウジング30の内部でループ状に配設されることにより、可動ループを形成している。例えば、本実施例では従来と同様に、ハウジング30の長さ方向両端側にそれぞれ配設されたプーリー41を介して可動ループを形成している図10及び図12参照。なお、可動ループを形成する手段は、シールベルト40が円滑に可動すればどのような手段でも良いので、ここでは特に限定をしない。また、シールベルト40は、スリットSの案内溝33間を架け渡し可能な幅に形成されている。さらに、シールベルト40には、その幅方向の中心に合わせて、取付部12よりも僅かに大きく形成された孔部42が備えられ、シールベルト40は、その孔部42に搭載部11の取付部12が貫通した状態で固定面112に固定されている。なお、シールベルト40を固定面112に固定する場合には、シールベルト40の孔部42を取付部12が貫通するように搭載部11の固定面112上に配し、シールベルト40を固定面112に固定する。これにより、シールベルト40の幅方向の両端側が取付部12からはみ出し、そのはみ出し部分60の先端側がスリットSの案内溝33の開口に挿入される。なお、シールベルト40は軸方向図中両矢印参照に移動することによって、案内溝33に案内される。また、シールベルト40は従来と同様に、雄ネジ113と固定面112に設けた雌ネジによって共締され固定されている。なお、シールベルト40を固定面112に固定する手段は、シールベルト40が固定面112に堅牢に固定されればどのような固定方法でも良いので、ここでは特に限定しない。例えば、強力な接着剤によって固定するものであっても良い。さらに、シールベルト40の材質は、スリットSの開口をシール可能な材質であれば良いので、特に限定しない。例えば、ゴム等の樹脂や柔軟な金属によって形成されていても良いし、ポリウレタン等の樹脂を含浸してなる繊維によって形成されていても良い。さらに、アクチュエータには図示しない吸引機構が連結され、ハウジング30の内気を吸引するようにしている。このとき、シールベルト40の取付部12からはみ出した部分60は図3aに示すように、搭載部11の移動方向図中両矢印参照と直交する側面111から案内溝33まで架け渡される。これにより、搭載部11の側面111とスリットSの端面32との間の対向領域F1領域の隙間Gがシールされるので、ハウジング30の内側と外側が隔離される。また、案内溝33のハウジング内方側の溝面36とシールベルト40のはみ出し部分60とが広い面積で面接触しているので、ハウジング30内を負圧にしてハウジング30の外方への塵の放出を防止する吸引機構の併用も相俟って、その負圧により、案内溝33の面36にシールベルト40のはみ出し部分60が吸い付けられ、ハウジング30の内外を確実に隔離することが可能となる。なお、図3bに示すように、シールベルト40のはみ出し部分60の案内溝33内に位置する部分がハウジング30と接触しないようにされていても良い。このような構成によれば、F1領域の隙間Gがシールされるとともに、シールベルト40のはみ出し部分60がハウジング30と摺接しないため、シールベルト40の摩耗が生じない。なお、微少な隙間を介してハウジング30内外が連通することになるが、隙間は微少なため、吸引機構による内気の吸引に伴うベンチュリ効果によって外気の流入速度が高まることにより、ハウジング30内から外部への塵埃排出は抑制されるので、この部分も実質的にシールされた状態となる。さらに、同図で案内溝33の形状について、溝底の幅を狭めるようにしているのは、吸引機構による吸引に伴うベンチュリ効果を高めるためである。また、図3cに示すように、案内溝33の溝内部の形状は、スリットSの端面32側が狭く、溝底35側に向けて広くなるように形成されていても良い。このような構成によれば、F1領域の隙間Gはシールされつつ、案内溝33のハウジング内方側の面36とシールベルト40のはみ出し部分60との接触面積は小さく押えることができるので、シールベルト40のはみ出し部分60が案内溝33に案内される際の摺動抵抗を小さくすることができる。また、シールベルト40は、搭載部11からそれぞれ、スリットSの軸方向両端側34,34に向かってスリットSの案内溝33に案内されつつハウジング30の両端側34,34までハウジング30の一面31に架け渡され、これにより、スリットSのF2領域がシールされている。このように、本発明の第1の実施形態では、F2領域においては、従来と同様に、シールベルト40がスリットSの案内溝33に案内されることによって、スリットSの開口をシールベルト40でシールされるシール構造を構成する。さらに、F1領域においても、キャリッジ10の搭載部11に固定されたシールベルト40のはみ出し部分60が、スリットSの案内溝33に案内されることによって、搭載部11の側面111とスリットSの端面32との間の対向領域の隙間Gがシールされるシール構造を構成する図2~図4参照。従って、前記F2領域と前記F1領域が連続してシールされるので、ハウジング30に設けられたスリットSが設けられた長さの全領域F1領域及びF2領域からなる全開口領域であるF領域に亘ってハウジング30の内と外が隔離され、低発塵の効果を高くすることができる。なお、本実施形態では、シールベルト40がハウジングの内部でループして可動ループを成している場合を説明したが、スリットSが設けられた長さの全領域F1領域及びF2領域からなる全開口領域であるF領域をシールベルト40でシール可能であれば、この限りではなく、例えば、スリットSの両端側34,34において、シールベルト40が巻き取られる構成であっても良い。この場合には、前記全領域F領域においてシールベルト40がたるみ無く配されるように、シールベルト40に一定の張力をもたせる機構を付加することが好ましい。例えば、巻き取り装置にバネ機構を付加してシールベルト40に一定の張力を持たせても良い。また、本実施形態では、スリットSに案内溝33を備え、シールベルト40がその案内溝33に案内されてシールするシール構造を説明したが、スリットSに案内溝33を備えない形態であっても本発明の範囲内である。この場合には、シール性を向上させるために、F1領域およびF2領域にてスリットSの開口近傍の壁面などに摺接するリップなどの構成がシールベルトに備えられているのが好ましい。また、図5は、本発明の第2の実施形態であり、キャリッジ10の搭載部11を分割型とした場合を示している。この場合の搭載部11は、キャリッジ10と一体に形成される固定部114と、キャリッジ10と別体に形成され、座面20を取付ける取付部12とで構成され、シールベルト40は固定部114と取付部12とに挟持され固定されF1領域においてシール構造を形成する。その他の構成及び作用効果は、上述した第1の実施形態と同様であるので、ここでは、第2の実施形態における搭載部11とシールベルト40との構成及び配置関係を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。なお、本実施形態に使用されるシールベルト40は前述の第1の実施形態と同様の構成である。具体的には、キャリッジ10と一体に形成される固定部114の軸方向図中両矢印参照の中央部は段差状の凹部115が形成され、その凹部115の各軸方向側には、ハウジング30のスリットSの案内溝33と同一平面で対向する固定面112が備えられている。一方、座面20を取付ける取付部12は、座面20が取付けられる一面を有し、さらに、取付部12の他面には、固定部114の固定面112と対向して形成される押え面121を有して構成される。また、その押え面121の軸方向図中両矢印参照の中央部には、固定部114の凹部115と嵌合する凸部122が形成されている。シールベルト40を搭載部11に固定する場合には、まず、取付部12の凸部122がシールベルト40の孔部42に貫通するように、シールベルト40を取付部12の凸部122に被せる。さらに、取付部12と固定部114をその凸部122と凹部115が嵌合するように嵌め合わせることによって、シールベルト40が取付部12の押え面121と固定部114の固定面112とに挟持される。そして、取付部12と固定部114とを固定することによって、取付部12の押え面121と固定部114の固定面112とに挟持されたシールベルト40が固定面112に固定される。なお、シールベルト40を固定面112に固定する手段は、本実施形態では、一例として、取付部12の一面から凸部122を貫通するネジ孔と、固定部114の凹部115に設けた雌ネジと、雄ネジ113とによって、固定部114と取付部12を共締めして固定する手段を採用する。なお、シールベルト40の固定手段は、固定部114と取付部12がシールベルト40を挟持しつつ、かつ、堅牢に固定される限りにおいて、これに限定されるものではなく、例えば、強力な接着剤によって固定されるものであっても良い。また、本実施形態では、固定部114に凹部115を設け、取付部12に凸部112を設けられているが、固定部114に凸部を設け、取付部12に凹部が設けられていても良い。さらに、シールベルト40が確実に挟持され、かつ、堅牢に固定される限りにおいて、凹部及び凸部を設けない構成であっても良い。その場合には、固定部114と取付部12とを堅牢に固定するために、例えば、シールベルト40を挟持しつつ取付部12を固定部114にネジによって共締めする等の固定手段が用いられることが好ましい。なお、本実施形態において使用されたシールベルト40の変形例として、例えば、図6に示すように、シールベルト40は固定部114の一方の固定面112に固定される部位で分割されるように構成しても良い。この場合であっても、シールベルト40の固定部112に固定される部位と孔部42を設けた部位が固定部114と取付部12とに挟持され固定され、F1領域においてシール構造を形成する。この場合には、シールベルト40の固定部114への堅牢な固定を確保するために、本実施形態のシールベルト40を固定部114と取付部12とで挟持して固定する構成に加えて、分断されたシールベルト40のそれぞれを固定面112に直接固定する手段を備えることが好ましい。なお、シールベルト40の固定手段は、シールベルト40が固定面112に堅牢に固定される限りにおいて、特に限定しないが、例えば、雄ネジ116と固定面112に設けた雌ネジによって、シールベルト40を共締めして固定しても良いし、強力な接着剤によって固定するものであっても良い。また、本変形例では、シールベルト40は固定部114の一方の固定面112に固定される部位のみが分割された場合を説明したが、これに限定されるものではなく、シールベルト40が固定部114と取付部12とに挟持され固定され、シールベルト40の孔部42を設けた部位がF1領域におけるシール構造を形成する限りにおいて、例えば、固定部114の一対の固定面112に固定される部位でそれぞれ分割されていても良い。また、図7~図9は、本発明の第3の実施形態であり、本実施形態に係るシール構造は、搭載部移動方向図中両矢印参照のスリットSの両端部34,34と搭載部11との間の領域F2領域が帯状のシール部材によってシールされ、搭載部11とスリットSとの間の対向領域F1領域が搭載部11に備えられた鍔状のシール部材60によってシールされている場合を示す。なお、本実施形態においても帯状のシール部材としてシールベルト40が使用され、搭載部11とシールベルト40の構成およびF2領域におけるシール構造は従来と同様の構成であるので、ここでは、本実施形態におけるF1領域に設けられるシール構造とスリットSとの構成及び配置関係を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。搭載部11に備えられた鍔状のシール部材60は、スリットSの端面32と対向するキャリッジ10の搭載部11の外側の側面111に、その側面111の軸方向長さに亘って連続して備えられている。さらに、その側面111への固定部分を基端部51として、該基端部51からハウジング30のスリットSの端面32に向けて、シールベルト40と同一平面を成して、先端部52が延設されている。また、鍔状のシール部材60は側面111に堅牢に固定されることを要するので、本実施形態では、断面視逆L字型の部材が使用され、側面111に沿って固定されたL字型の一方の板状部位を基端部51とする。これにより、基端部51と側面111とは広い面積で固定され、堅牢な固定が確保される。なお、基端部51を側面111に固定する手段は、特に限定しない。例えば、ネジによって基端部51を側面111に固定する手段であっても良いし、或いは、強力な接着剤によって固定されるものであっても良い。または、基端部51が側面111と一体に構成され、側面111から直接先端部52が延設されていても良い。例えば、搭載部11の成形時に鍔状のシール部材60が一体成形されているものでも良い。さらに、延設された先端部52は、搭載部11の軸方向長さに亘って連続して設けられており、その先端部52の先端側は、前記案内溝33に挿入されるとともに、案内溝33の開口を軸方向図中両矢印参照に移動可能に配されている。これにより、先端部52が前記案内溝33に案内される構成となり、鍔状のシール部材60がF1領域をシールするシール構造となる。なお、本実施形態では、鍔状のシール部材60が、少なくともキャリッジ10の搭載部11の幅方向外側端部111に備えられている場合を説明したが、キャリッジ10の幅方向外側と内側の双方の端部111に備えられていても良い。鍔状のシール部材60をキャリッジ10の幅方向外側と内側の双方に配することによって、キャリッジ10の搭載部11間のF1領域もシールされるので、ハウジング30の内外を確実に隔離することが可能となる。その他の構成及び作用効果は上述した各実施形態と同様であるので説明を省略する。また、本実施形態における鍔状のシール部材60は、シール性能を安定して発揮するため、少なくとも先端部52を所定の位置に保持することが可能な材質で形成されていることを要する。例えば、本実施形態では、鍔状のシール部材60は金属材料によって形成されている。また、鍔状のシール部材60は先端部52を所定の位置に保持可能な限りにおいて、他の材質で形成されていても良く、例えばゴム等の樹脂によって形成されていても良く、ポリウレタン等の樹脂を含浸してなる繊維によって形成されていても良い。また、本実施形態では、鍔状のシール部材60は側面111の軸方向長さに亘って連続して備えられている場合を説明したが、シール性能を安定して発揮可能な限りにおいて必ずしも一体に連続して形成されていない場合であっても良く、例えば、複数の鍔状のシール部材60が側面111の軸方向長さに亘って隙間無く並べられていても良い。さらに、本実施形態では、このような鍔状のシール部材60を備えた形態において、その鍔状のシール部材60と重ねて、帯状のシール部材40が備えられることを除外するものではない。その場合には、前述の第1の実施形態および第2の実施形態で説明した搭載部11が使用され、F1領域は鍔状のシール部材60と帯状のシール部材40とによってシールされる。また、本実施形態においても、上述の各実施形態と同様にスリットSに案内溝33を備えない形態であっても本発明の範囲内である。この場合のシールベルト40の構成例については上述した通りである。"