製造システムで使用される流体を貯蔵するための内部容器と、内側に前記内部容器が位置する外部容器と、前記内部容器に貯蔵された流体を製造システムに供給するための第1連結ユニットが設置され、前記外部容器に結合される連結部と、製造システムに備えられた設置面に支持されるための第1支持面を含む第1ケースと、を含み、前記外部容器は、前記連結部と前記内部容器が連通するように連結されるための通路機構を含み、製造システムに流体を供給するとき、前記通路機構が重力方向に向かうように、製造システムに備えられた設置面に向かうように設置され、前記第1ケースは、内側に前記連結部が位置するように前記外部容器に結合されることを特徴とする、流体供給装置。前記連結部は、前記外部容器に結合される結合機構、及び前記結合機構に結合されるプローブ機構を含み、前記プローブ機構は、前記内部容器に貯蔵された流体が流入するための第1流入孔、及び前記第1流入孔に連通するように形成され、前記第1流入孔を通じて流入した流体が前記第1連結ユニットへ移動されるための通路孔を含み、前記第1連結ユニットは、前記通路孔に連通するように前記プローブ機構に結合されることを特徴とする、請求項1に記載の流体供給装置。前記結合機構は、前記プローブ機構を支持するための支持部材を含み、前記プローブ機構は、前記支持部材に支持されるための突出部材を含むことを特徴とする、請求項2に記載の流体供給装置。前記通路機構は、前記結合機構が締結されるための第1締結部材を含み、前記結合機構は、前記第1締結部材と締結されるための第2締結部材を含むことを特徴とする、請求項2に記載の流体供給装置。前記連結部には、前記内部容器に力を加えるための気体が供給される第2連結ユニットが設置され、前記結合機構は、前記第2連結ユニットから供給される気体が前記内部容器と前記外部容器との間の空間に供給されるように、前記内部容器と前記外部容器との間の空間に連通するように連結される第1連結孔を含み、前記プローブ機構は、前記第2連結ユニットと前記第1連結孔にそれぞれ連通するように連結される第2連結孔を含むことを特徴とする、請求項2に記載の流体供給装置。前記第1連結ユニットは、前記内部容器から排出される流体が製造システムに供給されるための排出孔が形成された第1連結ボディーと、前記排出孔を閉鎖させる第1位置と前記排出孔を開放させる第2位置間に移動可能なように前記第1連結ボディーに結合される開閉部材と、前記開閉部材が前記排出孔を閉鎖させる方向に、前記開閉部材に弾性力を提供する弾性部材を含むことを特徴とする、請求項1に記載の流体供給装置。前記連結部は、一側が前記内部容器に連通するように連結され、他側が前記第1連結ユニットに連通するように連結されるプローブ機構を含み、前記プローブ機構は、前記内部容器に貯蔵された流体が前記第1連結ユニットへ移動されるための通路孔、前記通路孔に連通するように形成され、前記内部容器に貯蔵された流体が流入するための第1流入孔、及び前記通路孔に連通するように形成され、前記内部容器に貯蔵された流体が流入するための第2流入孔を含み、前記第1流入孔は、前記プローブ機構の一端に形成され、前記第2流入孔は、前記プローブ機構の一端から他端に向かう方向に、前記第1流入孔から離隔した位置に形成されたことを特徴とする、請求項1に記載の流体供給装置。前記プローブ機構は、前記第2流入孔が前記内部容器の内側に位置するように設置され、前記第2流入孔は、前記内部容器に連通するように連結される入口が前記通路孔に連通するように連結される出口よりも前記プローブ機構の一端に近く位置するように斜めに形成されたことを特徴とする、請求項7に記載の流体供給装置。前記内部容器は、第1容器部材、第2容器部材、及び前記第1容器部材と前記第2容器部材との間に製造システムで使用される流体が貯蔵されるための貯蔵部が形成されるように、前記第1容器部材と前記第2容器部材とを結合させる密封部を含み、前記密封部は、前記貯蔵部がNNは、4より大きい整数個の辺を有するように形成されたことを特徴とする、請求項1に記載の流体供給装置。前記第1容器部材は、前記内部容器の外側の一面をなす第1外部シート、及び前記第1外部シートの内側に位置する第1内部シートを含み、前記第2容器部材は、前記内部容器の外側の他面をなす第2外部シート、及び前記第2外部シートの内側に位置する第2内部シートを含み、前記貯蔵部は、前記第1内部シートと前記第2内部シートとの間に形成されたことを特徴とする、請求項9に記載の流体供給装置。本発明は、上述したような問題点を解決するために案出されたもので、本発明の目的は、製造システムに流体を供給する作業後に、内部容器に残っている流体の残量を減らすことができ、使い捨ての消耗品であるディップチューブの構成を省略することによって、作業の便宜性及び作業の安全性を向上させ、維持コストを節減できる流体供給装置を提供することにある。本発明の他の目的は、製造システムに流体を供給するのに必要な構成要素の個数を減らすことができ、これによって、各構成要素の間に流体と気体が漏洩することを防止するための密封部材の個数を減らすことができる流体供給装置を提供することにある。本発明の更に他の目的は、流体を貯蔵するための機能、流体を運搬するための機能、及び製造システムに流体を供給するための機能を構成要素の変更なしに具現することができ、流体が貯蔵された内部容器が損傷する危険を減らすことができる流体供給装置を提供することにある。上述したような目的を達成するために、本発明は、下記のような構成を含むことができる。本発明に係る流体供給装置は、製造システムで使用される流体を貯蔵するための内部容器と、内側に前記内部容器が位置する外部容器と、前記内部容器に貯蔵された流体を製造システムに供給するための第1連結ユニットが設置され、前記外部容器に結合される連結部と、を含むことができる。前記外部容器は、前記連結部と前記内部容器が連通するように連結されるための通路機構を含み、製造システムに流体を供給するとき、前記通路機構が重力方向に向かうように、製造システムに備えられた設置面に向かうように設置されることができる。本発明によれば、次のような効果を得ることができる。本発明は、製造システムに流体を供給する作業後に、内部容器に残っている流体の残量を減らすことによって材料費の損失などを減らすことができ、使い捨ての消耗品であるディップチューブの構成を省略することによって、作業の便宜性を向上させると共に、製造単価及び維持コストを節減できる効果を図ることができる。以下では、本発明に係る流体供給装置の好適な実施例を添付の図面を参照して詳細に説明する。図3は、本発明に係る流体供給装置の概略的な斜視図で、図4は、本発明に係る流体供給装置の概略的な断面図で、図5は、本発明に係る流体供給装置において結合機構及びプローブ機構の概略的な分解斜視図で、図6は、本発明に係る流体供給装置において結合機構及びプローブ機構の概略的な分解断面図で、図7は、本発明に係る流体供給装置において連結部の概略的な結合斜視図で、図8は、本発明の変形された実施例に係る流体供給装置において連結部の概略的な結合斜視図で、図9は、本発明に係る流体供給装置において第2連結ユニットから供給される気体が移動される経路を示す概略図で、図10は、本発明の一実施例に係る内部容器の概略的な正面図で、図11は、図10のG-G線に沿う断面図で、図12は、本発明の他の実施例に係る内部容器の概略的な正面図で、図13は、図12のH-H線に沿う断面図である。図3及び図4を参考すると、本発明に係る流体供給装置1は、内部容器2、外部容器3、及び連結部4を含む。前記内部容器2には、製造システム100に使用される流体が貯蔵されることができる。前記内部容器2は、前記外部容器3の内側に位置するように設置される。前記内部容器2は、前記連結部4に連通するように連結され、これによって、前記内部容器2に貯蔵された流体は、前記連結部4を通じて前記製造システム100に供給されることができる。前記製造システム100は、半導体素子などの電子部品、液晶表示装置などのディスプレイ装置、バイオ産業、製薬産業、太陽光産業などに使われる製造システム100であってもよく、本発明に係る流体供給装置1は、前記製造システム100において使われるフォトレジスト、エッチング剤、化学気相蒸着反応剤、溶媒、ウェハ及び器具洗浄剤、化学機械的研磨組成物などのような流体を前記製造システム100に供給することができる。前記外部容器3には、その内側に前記内部容器2が位置する。前記外部容器3は、外力により前記内部容器2が損傷することを防止できるように十分な強度を持つ材質で形成されることができ、例えば、金属材質、プラスチック材質などで形成されることができる。前記外部容器3は、前記連結部4と前記内部容器2が連通するように連結されるための通路機構31を含むことができる。前記外部容器3は、全体的に円筒形状に形成されることができ、前記通路機構31により一側が開放されるように形成されることができる。本発明に係る流体供給装置1が前記製造システム100に流体を供給するとき、前記外部容器3は、前記通路機構31が前記製造システム100に備えられた設置面300に向かうように設置されることができる。これによって、本発明に係る流体供給装置1が前記製造システム100に流体を供給するとき、前記通路機構31は、重力方向矢印B方向に向かうことができる。すなわち、本発明に係る流体供給装置1は、前記通路機構31が下側方向矢印B方向に向かうように位置された状態で前記製造システム100に流体を供給することができる。これによって、前記内部容器2に貯蔵された流体は、重力方向矢印B方向に移動されて前記内部容器2から排出されることができ、前記連結部4を通じて前記製造システム100に供給されることができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、次のような作用効果を図ることができる。第一に、従来技術による流体供給装置は、前記内部容器に貯蔵された流体が重力方向矢印B方向に対して反対方向に移動されて前記内部容器から排出されるため、流体を前記製造システム100に供給した後、前記内部容器にかなりの量の流体が残っていることになり、材料費の損失などが生じるという問題がある。これとは異なり、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2に貯蔵された流体が重力方向矢印B方向に移動されて前記内部容器2から排出される。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、従来技術による流体供給装置と比較するとき、前記内部容器2に貯蔵された流体を前記製造システム100に供給した後、前記内部容器2に残ることになる流体の残量を減らすことができ、これによって、材料費の損失などを減らすことができる。第二に、従来技術による流体供給装置は、前記内部容器に貯蔵された流体が重力方向矢印B方向に対して反対方向に移動されて前記内部容器から排出されるため、使い捨ての消耗品である前記ディップチューブを必要とすることで、前記ディップチューブに対する交替、洗浄などのための追加作業及び追加コストが生じるという問題がある。これに対して、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2に貯蔵された流体が重力方向矢印B方向に移動されて前記内部容器2から排出されるため、使い捨ての消耗品である前記ディップチューブの構成を省略でき、ディップチューブと前記連結部4を連結するための継ぎ部材の構成も省略することができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、従来技術による流体供給装置と比較するとき、作業の便宜性を向上させることができ、製造単価及び維持コストを節減することができる。第三に、従来技術による流体供給装置は、前記内部容器に貯蔵された流体を重力方向矢印B方向に対して反対方向に移動させるために前記内部容器をかなりの力で圧縮させなければならず、この過程で前記内部容器に過度な力が加わり、前記内部容器が損傷する危険が大きいという問題がある。前記内部容器が損傷すると、前記内部容器に貯蔵された流体が前記外部容器に漏洩することによって材料費の損失などが生じるという問題がある。また、前記内部容器が損傷すると、前記内部容器の内部に異物が流入することがあり、これによって、前記内部容器に残っている流体の残量に関係なく、前記内部容器に貯蔵された流体を廃棄させなければならないので、材料費の損失などがさらに生じうるという問題がある。例えば、前記製造システムに所定の液体を供給する場合、前記内部容器が損傷すると、前記内部容器へ気体が流入し、前記内部容器に貯蔵された液体にバブルbubbleなどが生じることがあり、これによって、前記内部容器に残っている液体の残量に関係なく、前記内部容器に貯蔵された液体を廃棄させなければならないという問題がある。これとは異なり、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2に貯蔵された流体が重力方向矢印B方向に移動されて前記内部容器2から排出されるので、前記内部容器2を圧縮させなくても、または前記内部容器2を相対的に小さな力で圧縮させても前記内部容器2に貯蔵された流体を前記内部容器2から排出させることができる。したがって、従来技術による流体供給装置と比較するとき、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2に過度な力が加わり前記内部容器2が損傷する危険を減らすことができる。また、前記内部容器2が損傷する危険を減らすことによって、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2に貯蔵された流体が前記外部容器3へ漏洩することを防止でき、前記内部容器2に異物が流入することを防止でき、異物の流入によって上述したようなバブルなどが発生することを防止することができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。第四に、従来技術による流体供給装置は、上述したように、ディップチューブを必要とするが、前記ディップチューブが損傷すると、前記ディップチューブを通じて前記製造システムに供給される流体に異物が混入することがあり、異物が混入することによって上述したようなバブルなどが発生するという問題がある。これに対して、本発明に係る流体供給装置1は、上述したように、ディップチューブの構成を省略できるので、ディップチューブが損傷することによって生じる問題を根本的に遮断することができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。第五に、図1の拡大図に示されたように、従来技術による流体供給装置10は、前記内部容器11が前記通路部材121に結合されるが、前記内部容器11に貯蔵された流体が有する重量により前記内部容器11が前記通路部材121から分離される危険があるという問題がある。前記内部容器11が前記通路部材121から分離されると、前記内部容器11に貯蔵された流体が前記外部容器12へ漏洩し、前記内部容器11に異物が流入することがあり、前記内部容器11に流入した異物によって上述したようなバブルなどが生じるという問題がある。これとは異なり、本発明に係る流体供給装置1は、図4の拡大図に示されたように、前記内部容器2に貯蔵された流体が有する重量を前記通路機構31と前記内部容器2とに分散させることができ、前記内部容器2において前記通路機構31の外側に位置された部分が前記外部容器3に支持されることができるので、前記内部容器2に貯蔵された流体が有する重量により前記内部容器2が前記通路機構31から分離される危険を減らすことができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2が前記通路機構31から分離されることによって材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。図3及び図4を参考すると、前記通路機構31は、第1締結部材311、通路部材312、及び連結機構313を含むことができる。前記第1締結部材311は、前記外部容器3の一側から突出するように形成されることができる。前記第1締結部材311は、全体的に中空の円筒形状に形成されることができる。前記第1締結部材311によって前記外部容器3は一側が開放されるように形成されることができる。前記第1締結部材311には前記連結部4が締結されることができ、前記第1締結部材311の外面には雄ねじが形成されることができる。前記通路部材312は、前記第1締結部材311の内側に位置するように前記第1締結部材311に結合されることができる。前記通路部材312は、前記通路部材312の中央側において前記通路部材312を貫通して形成された設置孔を含むことができる。前記連結機構313は、前記設置孔に位置するように前記通路部材312に結合されることができる。前記通路部材312は、連通孔3121を含むことができる。前記連通孔3121は、前記設置孔の外側に位置するように前記通路部材312を貫通して形成されることができる。前記連通孔3121は、前記内部容器2の外側と前記外部容器3の内側との間の空間Aに連通するように連結されることができ、前記第1締結部材311に締結された前記連結部4に連通するように連結されることができる。前記通路部材312には前記連通孔3121が複数形成されてもよい。前記連結機構313は、前記設置孔に位置するように前記通路部材312に結合されることができる。前記連結機構313は、前記連結機構313の中央側において前記連結機構313を貫通して形成された結合孔を含むことができる。前記連結部4は、前記結合孔を通じて前記連結機構313を貫通して前記内部容器2に連通するように連結されることができる。前記連結機構313には前記内部容器2が結合されることができる。前記内部容器2は、前記内部容器2において流体が貯蔵される内側空間Cが、前記内部容器2の外側と前記外部容器3の内側との間の空間Aと連通しないように、前記連結機構313に結合されることができる。前記連結機構313は、所定の弾性力を有する弾性材質で形成されることができ、前記連結部4において前記結合孔を貫通した部分に弾性的に密着して、前記連結機構313と前記連結部4との間を密封することができる。図4乃至図6を参考すると、前記連結部4は、前記内部容器2に連通するように前記外部容器3に結合される。前記連結部4には、前記内部容器2に貯蔵された流体を前記製造システム100に供給するための第1連結ユニット5が設置される。前記内部容器2に貯蔵された流体は、前記連結部4と前記第1連結ユニット5を通じて前記製造システム100に供給されることができる。前記連結部4は、結合機構41及びプローブ機構42を含むことができる。図4乃至図6を参考すると、前記結合機構41は前記外部容器3に結合されることができる。前記結合機構41には前記プローブ機構42が結合されることができる。前記プローブ機構42は、前記結合機構41を貫通して前記内部容器2に連通するように連結されることができる。そのために、前記結合機構41は、貫通孔411図5に示されるを含み、前記貫通孔411は、前記結合機構41を貫通して形成されることができる。前記結合機構41は、支持部材412及び第2締結部材413を含むことができる。前記支持部材412は、前記プローブ機構42を支持することができる。前記支持部材412は、前記結合機構41の内周面において前記貫通孔411が形成された方向に突出するように形成されることができ、これによって、前記結合機構41に結合された前記プローブ機構42を支持することができる。前記プローブ機構42は、前記支持部材412に支持され、前記結合機構41に結合されることができる。前記第2締結部材413は、前記第1締結部材311に締結されることができ、これによって、前記結合機構41は、前記外部容器3に結合されることができる。前記第2締結部材413は、前記結合機構41において前記貫通孔411が形成された内側面に形成されることができる。前記結合機構41は、前記第1締結部材311に形成された雄ねじに締結可能なように、雌ねじが形成された前記第2締結部材413を含むことができる。図4乃至図6を参考すると、前記プローブ機構42は、一側が前記内部容器2に連通するように連結され、他側が前記第1連結ユニット5に連通するように連結されることができる。前記プローブ機構42は、前記結合機構41に結合されることができる。前記プローブ機構42は、第1流入孔421、通路孔422及び突出部材423を含むことができる。前記第1流入孔421は、前記通路孔422に連通するように形成され、前記プローブ機構42の一端42aに形成されることができる。前記内部容器2に貯蔵された流体は、前記第1流入孔421を通じて前記通路孔422へ移動可能である。前記通路孔422は、前記第1流入孔421に連通するように前記プローブ機構42の内側に形成されることができる。前記通路孔422は、前記第1流入孔421を通じて流入した流体が前記第1連結ユニット5へ移動されるための流路として機能することができる。前記通路孔422は、前記プローブ機構42の長手方向に長く形成されることができ、全体的に円筒形状に形成されることができる。前記連結ユニット5は、前記通路孔422に連通するように前記プローブ機構42に結合されることができる。前記突出部材423は、前記支持部材412に支持されることができる。前記突出部材423は、前記通路孔422の外側方向に突出するように形成されることができる。前記突出部材423は、全体的に円盤状に形成されることができるが、これに限定されず、前記貫通孔411に挿入可能で、前記支持部材412に支持されることができる形態であれば、他の形状に形成されてもよい。図4及び図7に示されたように、本発明に係る流体供給装置1は、前記結合機構41に結合される支持機構Sを含むことができる。前記プローブ機構41は、前記突出部材423の一面が前記支持部材412に支持され、前記突出部材423の他面が前記支持機構Sに支持されることによって前記結合機構41に結合されることができる。図示されていないが、前記プローブ機構42は、前記結合機構41に締結によって結合されてもよい。この場合、前記プローブ機構42の外周面には雄ねじが形成され、前記結合機構41の内周面には雌ねじが形成されることができる。上述したように、本発明に係る流体供給装置1は、従来技術による流体供給装置と比較するとき、前記連結部4をなす構成の個数を減らすことができる。具体的に説明すると、図1に示されたように、従来技術による流体供給装置10は、前記連結部13が、前記結合部材131、前記連結部材132、前記支持部材133、前記プローブ134、及び前記継ぎ部材135を含んでなる。これとは異なり、本発明に係る流体供給装置1は、図4に示されたように、前記連結部4が、前記結合機構41と前記プローブ機構42を含んでなるので、従来技術による流体供給装置と比較するとき、前記連結部4をなす構成の個数を減らすことができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、前記連結部4を簡単に構成することによって、前記連結部4を組み立てる作業を単純化することができ、前記連結部4を組み立てるのにかかる時間を減らすことができる。また、本発明に係る流体供給装置1は、前記連結部4をなす構成の個数を減らすことによって、従来技術による流体供給装置と比較するとき、前記連結部4をなす構成の間を密封するためのオーリングO-ringのような密封部材の個数を減らすことができる。図4乃至図6を参考すると、前記プローブ機構42は、第2流入孔424をさらに含むことができる。前記第2流入孔424は、前記通路孔422に連通するように形成されることができ、前記プローブ機構42の側壁を貫通して形成されることができる。前記内部容器2に貯蔵された流体は、前記第1流入孔421と前記第2流入孔424を通じて前記通路孔422へ移動されることができ、前記通路孔422を経て前記第1連結ユニット5を通じて前記製造システム100に供給されることができる。前記第2流入孔424は、前記プローブ機構42の一端42aから他端42bに向かう方向矢印B方向に、前記第1流入孔421から所定の距離だけ離隔した位置に形成されることができる。図4に示されたように、前記プローブ機構42は、前記第1流入孔421と前記第2流入孔424が前記内部容器2の内側に位置するように設置されることができ、前記第2流入孔424は、前記第1流入孔421から下側方向矢印B方向に所定距離だけ離隔した位置に位置するように形成されることができる。すなわち、前記第2流入孔424は、前記第1流入孔421よりも前記通路機構31にさらに近く位置されることができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2に貯蔵された流体を前記製造システム100に供給した後、前記内部容器2に残ることになる流体の残量をさらに減らすことができる。これを具体的に説明すると、次の通りである。前記内部容器2に貯蔵された流体が前記製造システム100に供給され、前記内部容器2に貯蔵された流体が前記第1流入孔421の位置よりも下側に位置する量が残る場合、前記第1流入孔41へ前記内部容器2に残っている流体が流入しにくい状態になる。このような場合、前記内部容器2に残っている流体が前記第2流入孔424を通じて前記通路孔422へ移動できるので、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2に残る流体の残量をさらに減らすことができる。前記プローブ機構42は、前記第2流入孔424を複数含むことができ、前記第2流入孔424は、前記プローブ機構42の円周方向に沿って互いに所定距離だけ離隔して形成されることができる。図6には前記プローブ機構42が3個の第2流入孔424を含むものと示しているが、前記プローブ機構42は、2個以下の第2流入孔424を含んでもよく、または4個以上の第2流入孔424を含んでもよい。図6を参考すると、前記第2流入孔424は、前記内部容器2図4に示されるに連通するように連結される入口424aが、前記通路孔422に連通するように連結される出口424bよりも前記プローブ機構42の一端42aに近く位置するように斜めに形成されることができる。これによって、本発明に係る流体供給装置1図4に示されるは、前記内部容器2図4に示されるに貯蔵された流体が前記第2流入孔424を通じて前記通路孔422に容易に移動されるように具現することができる。図4及び図7を参考すると、前記第1連結ユニット5は、一側が前記プローブ機構42に連結され、他側が前記製造システム100に連結される。前記第1連結ユニット5は、第1連結ボディー51、開閉部材52、及び弾性部材53を含むことができる。前記第1連結ボディー51は、前記内部容器2から排出される流体が前記製造システム100に供給されるための排出孔511を含むことができる。前記内部容器2に貯蔵された流体は、前記第1流入孔421及び前記第2流入孔424を通じて前記通路孔422へ移動することができ、前記通路孔422と前記排出孔511を経て前記製造システム100に供給されることができる。前記開閉部材52は、前記排出孔511を選択的に開閉させることができる。前記開閉部材52は、前記排出孔511を閉鎖させる第1位置E図7に示されると前記排出孔511を開放させる第2位置F図7に示される間に移動可能なように前記第1連結ボディー51に結合されることができる。前記開閉部材52が前記第1位置Eに位置すると、図7の拡大図に示されたように、前記開閉部材52は、前記第1連結ボディー51に接触されて前記排出孔511を閉鎖させることができる。これによって、前記開閉部材52は、前記内部容器2に貯蔵された流体が前記製造システム100に供給されることを遮断できる。前記開閉部材52が前記第2位置Fに位置すると、前記開閉部材52は、前記第1連結ボディー51から離隔して前記排出孔511を開放させることができる。これによって、前記開閉部材52は、前記内部容器2に貯蔵された流体が前記製造システム100に供給されるようにすることができる。前記弾性部材53は、前記開閉部材52が前記排出孔511を閉鎖させる方向矢印D方向に前記開閉部材52に弾性力を提供することができる。これによって、前記開閉部材52に外力が作用しない場合、前記開閉部材52は、前記弾性部材53により前記排出孔511を閉鎖させる第1位置Eに位置できる。図示していないが、前記製造システム100に備えられた連結装置が前記開閉部材52を押して移動させることができ、これによって、前記開閉部材52は、前記第1連結ボディー51から離隔されることによって前記排出孔511を開放させる前記第2位置Fに位置することができる。この場合、前記弾性部材53は弾性的に圧縮されることができる。上記のような第1連結ユニット5によって、本発明に係る流体供給装置1は、流体を貯蔵するための機能、流体を運搬するための機能、及び前記製造システム100に流体を供給するための機能を構成要素の変更なしに具現することができ、これによって作業の便宜性を向上させることができる。これについてより具体的に説明すると、次の通りである。まず、従来技術による流体供給装置は、流体を貯蔵するための機能及び流体を運搬するための機能を具現するために、流体供給装置に密封機構とキャップを結合しなければならない。また、前記製造システム100に流体を供給するための機能を具現するために、流体供給装置に連結部を結合しなければならない。これによって、流体供給装置の供給者が前記内部容器に流体を満たし、流体供給装置に密封機構とキャップを結合させた後、前記製造システム100が位置した場所に運搬すると、製造システム100の運営者が流体供給装置からキャップを分離し、流体供給装置に連結部及び第1連結ユニットを結合させる追加作業を行うことによって、従来技術による流体供給装置は、前記製造システム100に流体を供給できる状態となり得る。これとは異なり、本発明に係る流体供給装置1は、流体を貯蔵するための機能、流体を運搬するための機能、及び前記製造システム100に流体を供給するための機能を構成要素の変更なしに具現することができる。これによって、流体供給装置の供給者が前記内部容器2に流体を満たし、前記流体供給装置1に前記第1連結ユニット5が設置された前記連結部4を結合させた後、前記製造システム100が位置した場所に運搬すると、製造システム100の運営者が前記製造システム100に備えられた連結装置を前記第1連結ユニット5に連結させることによって、本発明に係る流体供給装置1は、前記製造システム100に流体を供給できる状態となり得る。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、従来技術による流体供給装置と比較するとき、作業の便宜性を向上させることができる。前記第1連結ユニット5と前記製造システム100に備えられた連結装置としてクイックコネクタQuickConnectorを用いることができる。前記クイックコネクタは、雌コネクタと雄コネクタで構成されることができる。前記雌コネクタと前記雄コネクタは、結合されると互いに連通するように連結されることができ、分離されるとそれぞれ閉鎖された状態になることができる。図7に示されたように、前記第1連結ユニット5として前記雄コネクタを用いることができる。この場合、前記製造システム100に備えられた連結装置としては前記雌コネクタを用いることができる。図8に示されたように、前記第1連結ユニット5として前記雌コネクタを用いることができる。この場合、前記製造システム100に備えられた連結装置としては前記雄コネクタを用いることができる。図9を参考すると、前記連結部4には前記内部容器2に力を加えるための気体が供給される第2連結ユニット6が設置されることができる。図9において点線で示された矢印は、第2連結ユニットから供給される気体が移動する経路を表示したものである。前記第2連結ユニット6は、気体供給源200に連結されることができる。前記気体供給源200から供給される気体は、前記第2連結ユニット6及び前記連結部4を通じて前記内部容器2の外側と前記外部容器3の内側との間の空間Aに供給されることができ、これによって、前記内部容器2に力を加えることで前記内部容器2を圧縮させることができる。前記内部容器2が圧縮されることによって、前記内部容器2に貯蔵された流体は、前記プローブ機構42へ容易に移動されることができる。前記第2連結ユニット6から供給される気体が、前記連結部4を通じて前記内部容器2の外側と前記外部容器3の内側との間の空間Aに供給されることができるように、前記結合機構41と前記プローブ機構42は、次のような構成を含むことができる。前記結合機構41は、前記内部容器2と前記外部容器3との間の空間Aに連通するように連結される第1連結孔414を含むことができる。これによって、前記第2連結ユニット6から供給される気体は、前記連結部4を通じて、前記内部容器2と前記外部容器3との間の空間Aへ移動することができる。これについて具体的に説明すると、次の通りである。図6に示されたように、前記結合機構41に形成された貫通孔411は、前記支持部材412が形成された第1設置空間411a、前記第2締結部材413が形成された第2設置空間411b、及び前記第1設置空間411aと前記第2設置空間411bとの間に形成された第3設置空間411cを含むことができる。図6及び図9を参考すると、前記第2連結ユニット6から供給される気体は、前記第1設置空間411aに流入されるが、前記プローブ機構42、前記結合機構41、及び前記通路機構31の間に設置された密封部材によって、前記第3設置空間411c図6に示されるを通じて前記第2設置空間411bへ移動することができなくなる。したがって、前記第2連結ユニット6から供給される気体が、前記第1設置空間411aから前記第2設置空間411bに移動できるように、前記結合機構41は、前記第1設置空間411aと前記第2設置空間411bにそれぞれ連通するように連結される第1連結孔414を含むことができる。前記結合機構41は、前記第1連結孔414を複数含んでもよい。前記第2連結ユニット6から供給される気体は、前記第1設置空間411a、前記第1連結孔414、及び前記第2設置空間411bを経た後、前記通路部材312に形成された連通孔3121を通じて、前記内部容器2と前記外部容器3との間の空間Aに供給されることができる。図6及び図9を参考すると、前記プローブ機構42は、前記第2連結ユニット6と前記第1連結孔414に連通するように連結される第2連結孔425を含むことができる。前記第2連結孔425は、前記突出部材423を貫通して形成されることができる。前記第2連結孔425は、一側が前記第2連結ユニット6に連通するように連結されることができ、他側が前記第1設置空間411aに連通するように連結されることができる。前記第2連結ユニット6から供給される気体は、図9に点線で示された矢印のように、前記第2連結孔425、前記第1設置空間411a、前記第1連結孔414、前記第2設置空間411b、及び前記連通孔3121を経て前記内部容器2と前記外部容器3との間の空間Aに供給されることができる。図示されていないが、前記プローブ機構42は、前記第2連結孔425を複数含んでもよい。以下では、本発明に係る内部容器の好適な実施例を、添付の構成を参照してより具体的に説明する。図4及び図9を参考すると、前記内部容器2は、前記製造システム100に使用される流体を貯蔵することができ、内側に流体が満たされることによって膨張することができる。前記内部容器2は、前記第2連結ユニット6から供給された気体により圧縮されて潰れることができ、これによって、前記内部容器2に貯蔵された流体が前記製造システム100へ容易に供給されることができるようにする。図4、図10及び図11を参考すると、前記内部容器2は、第1容器部材21、第2容器部材22、及び密封部23を含むことができる。前記第1容器部材21と前記第2容器部材22との間には、前記製造システム100において使用される流体を貯蔵するための貯蔵部Cが形成されることができる。前記第1容器部材21は、前記貯蔵部Cに流体が満たされると膨張することができ、前記第2連結ユニット6から供給された気体により圧縮されることができる材質で形成されることができる。例えば、前記第1容器部材21は、ポリエチレンPE、Polyethyleneで形成されることができる。前記第1容器部材21は、全体的に四角形状に形成されることができる。前記第2容器部材22は、前記貯蔵部Cに流体が満たされると膨張することができ、前記第2連結ユニット6から供給された気体により圧縮されることができる材質で形成されることができる。例えば、前記第2容器部材22は、ポリエチレンPE、Polyethyleneで形成されることができる。前記第2容器部材22は、全体的に四角形状に形成されることができる。前記密封部23は、前記第1容器部材21と前記第2容器部材22との間に前記貯蔵部Cが形成されるように前記第1容器部材21と前記第2容器部材22とを結合させることができる。前記密封部23は、前記第1容器部材21と前記第2容器部材22を互いに重なるように位置させた状態で、前記貯蔵部Cの外周面に沿って熱を加えることによって形成されることができる。前記貯蔵部Cは、前記密封部23により密封されることができる。前記内部容器2は、注入口24を含むことができる。前記注入口24は、前記第1容器部材21または前記第2容器部材22のうちいずれか一つを貫通して前記貯蔵部Cに連通するように形成されることができる。前記内部容器2は、前記注入口24を通じて前記連結機構313図4に示されるに結合されることができる。前記プローブ機構42図4に示されるは、前記注入口24を通じて前記内部容器2の内部に挿入されることができ、前記貯蔵部Cに連通するように連結されることができる。前記製造システム100に使用される流体は、前記注入口24を通じて前記貯蔵部Cに満たされることができる。ここで、本発明の一実施例に係る内部容器2は、図10に示されたように、矩形形状に形成された前記密封部23を含むことができる。これによって、前記貯蔵部C図11に示されるは、4個の辺を有するように形成されることができる。このような本発明の一実施例に係る内部容器2は、次のような問題がある。第一に、前記内部容器2は、前記製造システム100に使用される流体が前記貯蔵部Cに満たされると膨張した状態になる。前記内部容器2が膨張することによって、本発明の一実施例に係る内部容器2は、前記貯蔵部Cが有する4個の角部にかなりの力が加えられて損傷する危険が高いという問題がある。第二に、前記内部容器2は、前記第2連結ユニット6から供給された気体により圧縮されて潰れながら、前記貯蔵部Cに貯蔵された流体が前記製造システム100へ容易に供給されることができるようにする。本発明に係る流体供給装置1は、前記製造システム100に所定の液体を供給できるが、前記内部容器2が圧縮されて潰れる過程で、前記貯蔵部Cが有する4個の角部に残存していた気体がバブルなどを発生させるという問題がある。バブルなどが発生すると、前記貯蔵部Cに残っている液体の残量に関係なく、前記内部容器2に貯蔵された液体を廃棄させなければならないため、本発明の一実施例に係る内部容器2は、材料費の損失などが生じる危険があるという問題がある。図12及び図13を参考すると、上述したような問題を解決するために、本発明の他の実施例に係る内部容器2は、NNは、4より大きい整数個の辺を有する前記貯蔵部Cを含むことができる。すなわち、前記密封部23は、前記貯蔵部Cが5個以上の辺を有するように形成されることができる。したがって、本発明の他の実施例に係る内部容器2は、次のような作用効果を図ることができる。第一に、本発明の他の実施例に係る内部容器2は、上述した一実施例と比較するとき、前記貯蔵部Cがさらに多くの個数の辺を有する。すなわち、本発明の他の実施例に係る内部容器2は、上述した一実施例よりも前記貯蔵部Cがさらに多くの個数の角を有する。したがって、本発明の他の実施例に係る内部容器2は、前記貯蔵部Cに貯蔵された流体が加える力をさらに多くの個数の角に分散させることによって、損傷する危険を減らすことができる。第二に、本発明の他の実施例に係る内部容器2は、上述した一実施例と比較するとき、前記貯蔵部Cが有する辺の刃先角includedangleを増大させることができる。上述した一実施例は、前記貯蔵部Cが4個の辺を有するので、各辺が90°の刃先角23a図10に示されるを有するように形成されるが、本発明の他の実施例に係る内部容器2は、前記貯蔵部Cがさらに多くの個数の辺を有することによって、各辺が90°より大きい刃先角23b図12に示されるを有するように形成されることができる。例えば、図12に示されたように、前記貯蔵部Cが8個の辺を有する場合、各辺は135°の刃先角23bを有するように形成されることができる。したがって、本発明の他の実施例に係る内部容器2は、前記貯蔵部Cが有する角部に気体が残存することを防止できるので、前記第2連結ユニット6から供給された気体により圧縮されて潰れる過程で、バブルなどが発生することを防止でき、これによって、材料費の損失などが生じることを防止することができる。図12には、本発明の他の実施例に係る内部容器2が八角形の形状に形成された前記密封部23を含むものと示されているが、これに限定されず、前記密封部23は、前記貯蔵部Cが5個以上8個以下の辺を有するように形成されてもよく、前記貯蔵部Cが9個以上の辺を有するように形成されてもよい。また、図12には、前記内部容器2が全体的に八角形の形状に形成された第1容器部材21図13に示される及び第2容器部材22図13に示されるを含むものと示されているが、これに限定されず、前記第1容器部材21図13に示される及び第2容器部材22図13に示されるは、前記貯蔵部Cに対応する形状に形成されてもよく、前記貯蔵部Cの形状に関係なく、矩形形状などの他の形状に形成されてもよい。図13を参考すると、本発明に係る内部容器2は、次のような構成をさらに含むことができる。前記第1容器部材21は、前記内部容器2の外側の一面をなす第1外部シート211、及び前記第1外部シート211の内側に位置する第1内部シート212を含むことができる。前記第1外部シート211と前記第1内部シート212との間には第1補助貯蔵部21aが形成されることができる。前記第2容器部材22は、前記内部容器2の外側の他面をなす第2外部シート221、及び前記第2外部シート221の内側に位置する第2内部シート222を含むことができる。前記第2外部シート221と前記第2内部シート222との間には第2補助貯蔵部22aが形成されることができる。前記貯蔵部Cは、前記第1内部シート212と前記第2内部シート222との間に形成されることができる。これによって、本発明に係る内部容器2は、前記第1内部シート212または前記第2内部シート222が損傷しても、前記第1外部シート211と前記第2外部シート221により前記貯蔵部Cに貯蔵された流体が外部に漏洩することを防止できる。また、本発明に係る内部容器2は、前記第1外部シート211と前記第2外部シート221が損傷しても、前記第1内部シート212と前記第2内部シート222により前記貯蔵部Cに異物などが流入することを防止できる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、前記貯蔵部Cに貯蔵された流体が前記内部容器2の外部に漏洩したり、前記貯蔵部Cに異物などが流入することを二重に遮断できるので、材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。図示していないが、前記第1外部シート211、第1内部シート212、第2外部シート221、及び第2内部シート222は、それぞれ複数個のシートを結合させた多層構造に形成されることができる。例えば、前記第1外部シート211及び前記第2外部シート221は、3個のシートを結合させた3階構造に形成されることができ、前記第1内部シート212及び前記第2内部シート222は、5個のシートを結合させた5階構造に形成されることができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2が有する強度を向上させることができ、これによって、前記内部容器2が外力により損傷する危険を減らすことができる。また、本発明に係る流体供給装置1は、多層構造に形成された前記第1外部シート211、第1内部シート212、第2外部シート221、及び第2内部シート222によって前記内部容器2が有する透湿度を低くすることによって、前記内部容器2から流体が漏洩することを防止でき、前記内部容器2に異物などが浸透することを防止できる。前記第1外部シート211及び前記第2外部シート221は、ポリエチレンPEで形成されたフィルムを複数結合させた多層構造に形成されることができ、前記第1内部シート212及び前記第2内部シート222は、ポリエチレンPEで形成されたフィルム及びナイロンnylonで形成されたフィルムを複数結合させた多層構造に形成されることができる。図示していないが、本発明に係る内部容器2は、補助シートをさらに含むことができる。前記補助シートは、前記第1外部シート211と前記第1内部シート212との間に位置でき、前記第2外部シート221と前記第2内部シート222との間に位置することができる。したがって、本発明に係る流体供給装置1は、前記貯蔵部Cに貯蔵された流体が前記内部容器2の外部に漏洩したり、前記貯蔵部Cに異物などが流入することを多重に遮断できるので、材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性をさらに向上させることができる。図3及び図4を参考すると、本発明に係る流体供給装置1は、第1ケース7及び第2ケース8を含むことができる。前記第1ケース7は、内側に前記連結部4が位置するように前記外部容器2に結合される。前記第1ケース7は、前記外部容器2と一体に形成されてもよい。前記第1ケース7は、第1支持面71、連結溝72、及び第1把持孔73を含むことができる。前記第1支持面71は、前記製造システム100に備えられた設置面300に支持されることができる。前記第1支持面71が前記製造システム100に備えられた設置面300に支持されると、本発明に係る流体供給装置1は、前記通路機構31が重力方向矢印B方向に位置するように設置されることができる。すなわち、本発明に係る流体供給装置1は、前記内部容器2に貯蔵された流体が重力方向矢印B方向に移動して前記内部容器2から排出されることができる形態に設置されることができる。前記連結溝72は、前記第1ケース7の側壁を貫通して形成されることができる。前記第1支持面71が前記製造システム100に備えられた設置面300に支持された状態で、前記第1連結ユニット5は、前記連結溝72を通じて前記製造システム100に備えられた連結装置と結合されることができる。前記第1把持孔73は、前記第1ケース7の側壁を貫通して形成されることができる。前記第1把持孔73は、前記連結溝72が形成された位置と異なる位置で前記第1ケース7の側壁を貫通して形成されることができる。本発明に係る流体供給装置1は、前記第1把持孔73により容易に運搬することができる。前記第1ケース7は、前記第1把持孔73を複数含んでもよく、前記第1把持孔73は、前記第1ケース7の円周方向に沿って互いに所定距離だけ離隔して形成されることができる。前記第2ケース8は、前記外部容器2に結合される。前記外部容器2には一側に前記第1ケース7が結合され、他側に前記第2ケース8が結合されることができる。前記第2ケース8は、前記外部容器2と一体に形成されてもよい。前記第2ケース8は、第2支持面81及び第2把持孔82を含むことができる。前記第2支持面81は、底面図示せずに支持されることができる。本発明に係る流体供給装置1は、前記製造システム100に流体を供給する機能を行う場合には、図4に示すように、前記第1支持面71が前記製造システム100に備えられた設置面300に支持されるが、その他の場合には、前記第2支持面81が底面に支持されてもよい。例えば、本発明に係る流体供給装置1を運搬する場合には、前記第2支持面81が底面に支持されてもよい。前記第2把持孔82は、前記第2ケース8の側壁を貫通して形成されることができる。本発明に係る流体供給装置1は、前記第2把持孔82によって容易に運搬することができる。前記第2ケース8は、前記第2把持孔82を複数含んでもよく、前記第2把持孔82は、前記第2ケース8の円周方向に沿って互いに所定距離だけ離隔して形成されることができる。以上で説明した本発明は、前述した実施例及び添付の図面に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な置換、変形及び変更が可能であるということが、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者にとって明白である。