"記録媒体に対向する媒体対向面と、再生ヘッド部と、前記再生ヘッド部に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された記録ヘッド部と、前記媒体対向面の一部を突出させるための熱を発生する少なくとも1つのヒーターと、前記少なくとも1つのヒーターによって発生された熱を受けて膨張して、前記媒体対向面の一部を突出させる膨張層と、前記媒体対向面の前記一部が前記記録媒体に接触したことを検出するセンサと、非磁性材料よりなり、前記膨張層およびセンサの周囲に配置された非磁性部とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、前記再生ヘッド部は、前記記録媒体に記録された情報を再生する再生素子と、前記再生素子を挟むように配置された第1および第2の再生シールド層とを有し、前記記録ヘッド部は、前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、磁性材料よりなり、前記媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、非磁性材料よりなり、前記主磁極と前記記録シールドとの間に配置されたギャップ部と、磁性材料よりなる第1の帰磁路部とを有し、前記記録シールドの端面は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第1の端面部分を含み、前記第1の帰磁路部は、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置されたヨーク層と、前記ヨーク層と前記記録シールドとを連結する第1の連結部と、前記媒体対向面から離れた位置に配置されて前記ヨーク層と前記主磁極とを連結する第2の連結部とを含み、前記膨張層、センサおよび非磁性部は、前記再生ヘッド部と記録ヘッド部の間に配置され、前記膨張層は、前記非磁性部に比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きいことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。前記記録ヘッド部は、前記主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第1の帰磁路部によって囲まれた第1の空間を含み、前記コイルは、前記第1の空間を通過する第1の部分を含むことを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。前記記録ヘッド部は、更に、磁性材料よりなる第2の帰磁路部を有し、前記第2の帰磁路部は、前記媒体対向面から離れた位置にあって前記主磁極に接する端面を有し、前記主磁極に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置されて、前記記録シールドと前記主磁極とを接続していることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。前記記録ヘッド部は、前記主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第1の帰磁路部によって囲まれた第1の空間と、前記主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第2の帰磁路部によって囲まれた第2の空間とを含み、前記コイルは、前記第1の空間を通過する第1の部分と、前記第2の空間を通過する第2の部分とを含むことを特徴とする請求項3記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。前記記録シールドの端面は、更に、第2、第3および第4の端面部分を含み、前記第2の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置され、前記第3および第4の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。前記センサは、前記媒体対向面の一部が前記記録媒体に接触したときに生じる自身の温度変化によって抵抗値が変化する抵抗体であることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。前記少なくとも1つのヒーターは、前記膨張層およびセンサに対して、前記記録媒体の進行方向の後側に配置された第1のヒーターを含むことを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。前記少なくとも1つのヒーターは、更に、前記膨張層およびセンサに対して、前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第2のヒーターを含むことを特徴とする請求項7記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。上述のように媒体対向面の一部を突出させる場合、媒体対向面の一部が記録媒体の表面に接触しやすくなる。また、記録媒体の表面には、微小な突起が存在する場合がある。この場合は、媒体対向面の一部が、記録媒体の表面のうち、突起以外の部分には接触しなくとも、突起に対しては接触する可能性がある。また、記録媒体の表面にうねりがある場合には、媒体対向面の一部が、記録媒体の表面のうち、特定の部分にのみ接触する可能性がある。媒体対向面の一部が記録媒体の表面に接触すると正常な読み出し動作や書き込み動作ができなくなるため、この接触を防止する必要がある。そこで、磁気ディスク装置の製品出荷前に、媒体対向面の一部の突出量を一定にして、記録媒体の表面のうち、媒体対向面の一部が接触する部分を検出する試験を行うことが考えられる。これにより、この試験で接触が検出された部分を磁気ヘッドが通過する際には、接触が生じないように媒体対向面の一部の突出量を小さくするようにプログラミングされた製品を製造することが可能になる。上記の試験を行うためには、媒体対向面の一部が記録媒体の表面に接触したことを検出するセンサが必要になる。特許文献3には、ヒーターとセンサとを兼ねた発熱抵抗部と、発熱抵抗部の上方または下方に配置された熱伝導層を備えたスライダが記載されている。ここで、再生ヘッド部に対して記録媒体の進行方向の前側に記録ヘッド部が配置され、記録ヘッド部が、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置された帰磁路部を備えた構成の磁気ヘッドにおいて、ヒーターとセンサを設けることを考える。この場合、センサは、再生ヘッド部と記録ヘッド部の間に配置するのが適当である。ところが、その場合、上記帰磁路部のヨーク層の存在によって、以下のような問題が生じる。まず、センサは、媒体対向面のうち突出量が大きい部分の近傍に設ける必要がある。そのため、センサの近傍には、ヒーターによって発生された熱を受けたときに記録媒体側への膨張量が大きい層が存在することが好ましい。上記帰磁路部を備えた磁気ヘッドにおいて再生ヘッド部と記録ヘッド部の間にセンサを設ける場合には、再生ヘッド部と主磁極の間に帰磁路部のヨーク層が存在するため、このヨーク層がヒーターによって発生された熱を受けて記録媒体側に大きく膨張すれば都合がよい。しかし、ヨーク層は、記録シールドと主磁極とに接続されているため、記録媒体側への膨張が抑制される。このように、再生ヘッド部と主磁極の間にヨーク層が存在する磁気ヘッドにおいて再生ヘッド部と記録ヘッド部の間にセンサを設ける場合には、ヨーク層によって媒体対向面の一部の突出が妨げられて、再生ヘッド部および記録ヘッド部と記録媒体の表面との間の距離の制御と、媒体対向面の一部が記録媒体に接触したことの検出を効果的に行うことが難しくなるという問題が生じる。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、再生ヘッド部と主磁極の間に、記録シールドと主磁極とに接続されたヨーク層が存在していても、媒体対向面の一部の突出が妨げられることなく、再生ヘッド部および記録ヘッド部と記録媒体の表面との間の距離の制御と、媒体対向面の一部が記録媒体に接触したことの検出ができるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供することにある。本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、再生ヘッド部と、再生ヘッド部に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された記録ヘッド部と、媒体対向面の一部を突出させるための熱を発生する少なくとも1つのヒーターと、少なくとも1つのヒーターによって発生された熱を受けて膨張して、媒体対向面の一部を突出させる膨張層と、媒体対向面の一部が記録媒体に接触したことを検出するセンサと、非磁性材料よりなり、膨張層およびセンサの周囲に配置された非磁性部とを備えている。再生ヘッド部は、記録媒体に記録された情報を再生する再生素子と、再生素子を挟むように配置された第1および第2の再生シールド層とを有している。記録ヘッド部は、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、磁性材料よりなり、媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、非磁性材料よりなり、主磁極と記録シールドとの間に配置されたギャップ部と、磁性材料よりなる第1の帰磁路部とを有している。記録シールドの端面は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第1の端面部分を含んでいる。第1の帰磁路部は、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側に配置されたヨーク層と、ヨーク層と記録シールドとを連結する第1の連結部と、媒体対向面から離れた位置に配置されてヨーク層と主磁極とを連結する第2の連結部とを含んでいる。膨張層、センサおよび非磁性部は、再生ヘッド部と記録ヘッド部の間に配置されている。膨張層は、非磁性部に比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きい。本発明の磁気ヘッドにおいて、記録ヘッド部は、主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第1の帰磁路部によって囲まれた第1の空間を含んでいてもよい。この場合、コイルは、第1の空間を通過する第1の部分を含んでいてもよい。また、本発明の磁気ヘッドにおいて、記録ヘッド部は、更に、磁性材料よりなる第2の帰磁路部を有していてもよい。この第2の帰磁路部は、媒体対向面から離れた位置にあって主磁極に接する端面を有し、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側に配置されて、記録シールドと主磁極とを接続していてもよい。この場合、記録ヘッド部は、主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第1の帰磁路部によって囲まれた第1の空間と、主磁極、ギャップ部、記録シールドおよび第2の帰磁路部によって囲まれた第2の空間とを含んでいてもよい。また、コイルは、第1の空間を通過する第1の部分と、第2の空間を通過する第2の部分とを含んでいてもよい。また、本発明の磁気ヘッドにおいて、記録シールドの端面は、更に、第2、第3および第4の端面部分を含み、第2の端面部分は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置され、第3および第4の端面部分は、主磁極の端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていてもよい。また、本発明の磁気ヘッドにおいて、センサは、媒体対向面の一部が記録媒体に接触したときに生じる自身の温度変化によって抵抗値が変化する抵抗体であってもよい。また、本発明の磁気ヘッドにおいて、少なくとも1つのヒーターは、膨張層およびセンサに対して、記録媒体の進行方向の後側に配置された第1のヒーターを含んでいてもよい。この場合、少なくとも1つのヒーターは、更に、膨張層およびセンサに対して、記録媒体の進行方向の前側に配置された第2のヒーターを含んでいてもよい。本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、再生ヘッド部と、第1の帰磁路部を有する記録ヘッド部との間に、膨張層、センサおよび非磁性部が配置されている。これにより、本発明によれば、再生ヘッド部と主磁極の間に、記録シールドと主磁極とに接続されたヨーク層が存在していても、媒体対向面の一部の突出が妨げられることなく、再生ヘッド部および記録ヘッド部と記録媒体の表面との間の距離の制御と、媒体対向面の一部が記録媒体に接触したことの検出が可能になるという効果を奏する。[第1の実施の形態]以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図1ないし図5を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る磁気ヘッドの構成について説明する。図1は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図1は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面を示している。図1において記号Tで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図2は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図3は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける第1のヒーターおよび膨張層を示す平面図である。図4は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける膨張層およびセンサを示す平面図である。図5は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第1の部分を示す平面図である。図2ないし図5において記号TWで示す矢印は、トラック幅方向を表している。図1および図2に示したように、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド以下、単に磁気ヘッドと記す。は、アルミニウムオキサイドチタニウムカーバイドAl2O3TiC等のセラミック材料よりなり、上面1aを有する基板1と、この基板1の上面1a上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層81と、この絶縁層81の上に配置された第1のヒーター82と、絶縁層81および第1のヒーター82を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層83とを備えている。絶縁層81,83は、例えばアルミナAl2O3によって形成されている。第1のヒーター82については、後で詳しく説明する。磁気ヘッドは、更に、第1のヒーター82に対して記録媒体の進行方向Tの前側トレーリング端側に配置された再生ヘッド部8を備えている。再生ヘッド部8は、絶縁層83の上に配置された磁性材料よりなる第1の再生シールド層3と、第1の再生シールド層3の周囲において絶縁層83の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層71と、第1の再生シールド層3および絶縁層71を覆うように配置された絶縁膜である第1の再生シールドギャップ膜4と、この第1の再生シールドギャップ膜4の上に配置された再生素子としてのMR磁気抵抗効果素子5と、このMR素子5の上に配置された絶縁膜である第2の再生シールドギャップ膜6と、この第2の再生シールドギャップ膜6の上に配置された磁性材料よりなる第2の再生シールド層7と、第2の再生シールド層7の周囲において第2の再生シールドギャップ膜6の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層72とを有している。MR素子5の一端部は、記録媒体に対向する媒体対向面2に配置されている。MR素子5には、AMR異方性磁気抵抗効果素子、GMR巨大磁気抵抗効果素子あるいはTMRトンネル磁気抵抗効果素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。GMR素子としては、磁気的信号検出用の電流を、GMR素子を構成する各層の面に対してほぼ平行な方向に流すCIPCurrentInPlaneタイプでもよいし、磁気的信号検出用の電流を、GMR素子を構成する各層の面に対してほぼ垂直な方向に流すCPPCurrentPerpendiculartoPlaneタイプでもよい。磁気ヘッドは、更に、再生ヘッド部8に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置された記録ヘッド部9と、再生ヘッド部8と記録ヘッド部9の間に配置された膨張層84、センサ85および非磁性部86とを備えている。非磁性部86は、非磁性材料によって形成されている。非磁性部86の材料としては、例えばアルミナを用いることができる。非磁性部86は、非磁性層87,88,89,90を有している。非磁性層87は、第2の再生シールド層7の上に配置されている。膨張層84は、非磁性層87の上に配置されている。非磁性層88は、膨張層84の周囲において非磁性層87の上に配置されている。非磁性層89は、膨張層84および非磁性層88を覆うように配置されている。センサ85は、非磁性層89の上に配置されている。非磁性層90は、センサ85を覆うように配置されている。図4に示したように、非磁性層90は、センサ85の上面の一部を露出させる開口部90aと、センサ85の上面の他の一部を露出させる開口部90bとを有している。磁気ヘッドは、更に、非磁性層90の上に配置されて、媒体対向面2に垂直な方向に延びるリード層94A,94Bを備えている。リード層94Aは、開口部90aを通してセンサ85に電気的に接続されている。リード層94Bは、開口部90bを通してセンサ85に電気的に接続されている。リード層94A,94Bは、銅等の導電材料によって形成されている。膨張層84およびセンサ85については、後で詳しく説明する。記録ヘッド部9は、コイルと、主磁極15と、記録シールド16と、ギャップ部17とを有している。コイルは、第1の部分10と第2の部分20とを含んでいる。第1の部分10と第2の部分20は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。図5に示したように、第1の部分10は、平面渦巻き形状をなしている。第2の部分20は、第1の部分10と同様の平面渦巻き形状をなしている。第1の部分10と第2の部分20は、直列または並列に接続されている。図1および図5において、符号10Eは、第1の部分10のうち、第2の部分20に接続されるコイル接続部を示している。図1において、符号20Sは、第2の部分20のうち、第1の部分10のコイル接続部10Eに接続されるコイル接続部を示している。磁気ヘッドは、更に、それぞれ導電材料よりなり、コイル接続部10Eの上に順に積層された接続層25,26,27,28を備えている。コイル接続部20Sは、接続層28の上に配置されている。第1および第2の部分10,20を含むコイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。主磁極15は、媒体対向面2に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。図1は、媒体対向面2に配置された主磁極15の端面と交差し、媒体対向面2および基板1の上面1aに垂直な断面以下、主断面と言う。を示している。記録シールド16は、媒体対向面2に配置された端面を有している。記録シールド16の端面は、第1ないし第4の端面部分16Aa,16Ba,16Ca,16Daを含んでいる。第1の端面部分16Aaは、主磁極15の端面に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第2の端面部分16Baは、主磁極15の端面に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。第3および第4の端面部分16Ca,16Daは、主磁極15の端面に対してトラック幅方向TWの両側に配置されている。媒体対向面2において、第1ないし第4の端面部分16Aa,16Ba,16Ca,16Daは、主磁極15の端面の周りを囲むように配置されている。記録シールド16は、磁性材料によって形成されている。記録シールド16の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。記録ヘッド部9は、更に、第1の帰磁路部30および第2の帰磁路部40を有している。第1および第2の帰磁路部30,40は、いずれも磁性材料によって形成されている。第1および第2の帰磁路部30,40の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。第1の帰磁路部30は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されて記録シールド16と主磁極15とに接触し、記録シールド16と主磁極15とを磁気的に連結している。第2の帰磁路部40は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されて記録シールド16と主磁極15とに接触し、記録シールド16と主磁極15とを磁気的に連結している。第1の帰磁路部30は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されたヨーク層31と、ヨーク層31と記録シールド16とを連結する第1の連結部32と、媒体対向面2から離れた位置に配置されてヨーク層31と主磁極15とを連結する第2の連結部35とを含んでいる。第1の連結部32は、磁性層33,34を含んでいる。第2の連結部35は、磁性層36,37,38を含んでいる。ヨーク層31は、非磁性層90の上に配置されている。磁性層33,36は、いずれもヨーク層31の上に配置されている。磁性層33は、媒体対向面2の近傍に配置されている。磁性層36は、磁性層33に対して、媒体対向面2からより遠い位置に配置されている。ヨーク層31および磁性層33は、それぞれ、媒体対向面2に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面2から離れた位置に配置されている。磁気ヘッドは、更に、ヨーク層31およびリード層94A,94Bの周囲において非磁性層90の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層51と、ヨーク層31、リード層94A,94Bおよび絶縁層51の上面の一部の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層52とを備えている。絶縁層51,52は、例えばアルミナによって形成されている。第1の部分10の少なくとも一部は、絶縁層52の上に配置されている。第1の部分10は、第1の帰磁路部30の一部である磁性層36の周りに巻かれている。磁気ヘッドは、更に、第1の部分10の巻線間および周囲ならびに磁性層36の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層53と、絶縁層53および磁性層33の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層54とを備えている。第1の部分10、磁性層33,36および絶縁層53,54の上面は平坦化されている。絶縁層53は、例えばフォトレジストによって形成されている。本実施の形態では、特に、絶縁層54は、磁性層33を構成する磁性材料よりも硬い無機絶縁材料、例えばアルミナによって形成されている。磁性層34は、磁性層33および絶縁層54の上に配置されている。磁性層37は、磁性層36の上に配置されている。磁性層34は、媒体対向面2に配置された端面を有している。接続層25は、第1の部分10のコイル接続部10Eの上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、磁性層34,37および接続層25の周囲において第1の部分10および絶縁層53,54の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層55を備えている。絶縁層55は、例えばアルミナによって形成されている。磁性層34,37、接続層25および絶縁層55の上面は、平坦化されている。図2に示したように、記録シールド16は、第1のシールド16Aと、第2のシールド16Bと、2つのサイドシールド16C,16Dとを有している。2つのサイドシールド16C,16Dは、主磁極15のトラック幅方向TWの両側に配置されている。第1のシールド16Aは、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第2のシールド16Bは、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。サイドシールド16C,16Dは、第1のシールド16Aと第2のシールド16Bを磁気的に連結している。第1のシールド16Aは、第1の端面部分16Aaを有している。第2のシールド16Bは、第2の端面部分16Baを有している。サイドシールド16Cは、第3の端面部分16Caを有している。サイドシールド16Dは、第4の端面部分16Daを有している。第2のシールド16Bは、磁性層34の上に配置されている。磁性層38は、磁性層37の上に配置されている。接続層26は、接続層25の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁層91,93と、第2のヒーター92とを備えている。絶縁層91は、第2のシールド16B、磁性層38および接続層26の周囲において、磁性層34の上面の一部および絶縁層55の上面の上に配置されている。第2のヒーター92は、絶縁層91の上に配置されている。絶縁層93は、絶縁層91および第2のヒーター92を覆うように配置されている。絶縁層91,93は、例えばアルミナによって形成されている。第2のヒーター92については、後で詳しく説明する。主磁極15は、基板1の上面1aにより近い端部である下端部15Lと、下端部15Lとは反対側の上面15Tと、トラック幅方向TWの両側に配置された第1および第2の側部SP1,SP2とを有している。サイドシールド16Cは、主磁極15の第1の側部SP1に対向する第1の側壁SW1を有している。サイドシールド16Dは、主磁極15の第2の側部SP2に対向する第2の側壁SW2を有している。ギャップ部17は、非磁性材料よりなり、主磁極15と、記録シールド16との間に設けられている。ギャップ部17は、主磁極15と第2のシールド16Bおよびサイドシールド16C,16Dとの間に配置された第1のギャップ層18と、主磁極15と第1のシールド16Aとの間に配置された第2のギャップ層19とを含んでいる。サイドシールド16C,16Dは、第2のシールド16Bの上に配置され、第2のシールド16Bの上面に接している。第1のギャップ層18は、サイドシールド16C,16Dの側壁、第2のシールド16Bの上面および絶縁層93の上面に沿って配置されている。第1のギャップ層18は、非磁性材料によって形成されている。第1のギャップ層18を構成する非磁性材料は、絶縁材料でもよいし、非磁性金属材料でもよい。第1のギャップ層18を構成する絶縁材料としては、例えばアルミナが用いられる。第1のギャップ層18を構成する非磁性金属材料としては、例えばRuが用いられる。第1のギャップ層18には、接続層26の上面を露出させる開口部と、磁性層38の上面を露出させる開口部とが形成されている。接続層27は、接続層26の上に配置されている。主磁極15は、第2のシールド16Bおよび絶縁層93の上面と主磁極15との間に第1のギャップ層18が介在するように、第2のシールド16Bおよび絶縁層93の上に配置されている。また、図2に示したように、主磁極15とサイドシールド16C,16Dとの間にも、第1のギャップ層18が介在している。媒体対向面2から離れた位置において、主磁極15の下端部15Lは、磁性層38の上面に接している。主磁極15は、金属磁性材料によって形成されている。主磁極15の材料としては、例えば、NiFe、CoNiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。主磁極15の形状については、後で詳しく説明する。磁気ヘッドは、更に、主磁極15、第2のシールド16B、サイドシールド16C,16Dおよび接続層27の周囲に配置された非磁性材料よりなる非磁性層57を備えている。本実施の形態では、特に、非磁性層57は、アルミナ等の非磁性絶縁材料よりなる。磁気ヘッドは、更に、媒体対向面2から離れた位置において、主磁極15の上面15Tの一部の上に配置された非磁性金属材料よりなる非磁性金属層58と、この非磁性金属層58の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層59とを備えている。非磁性金属層58は、例えばRu、NiCrまたはNiCuによって形成されている。絶縁層59は、例えばアルミナによって形成されている。第2のギャップ層19は、主磁極15、非磁性金属層58および絶縁層59を覆うように配置されている。第2のギャップ層19は、非磁性材料によって形成されている。第2のギャップ層19の材料は、アルミナ等の非磁性絶縁材料でもよいし、Ru、NiCu、Ta、W、NiB、NiP等の非磁性導電材料でもよい。第1のシールド16Aは、サイドシールド16C,16Dおよび第2のギャップ層19の上に配置され、サイドシールド16C,16Dおよび第2のギャップ層19の上面に接している。媒体対向面2において、第1のシールド16Aの端面の一部は、主磁極15の端面に対して、第2のギャップ層19の厚みによる所定の間隔を開けて配置されている。第2のギャップ層19の厚みは、5~60nmの範囲内であることが好ましく、例えば30~60nmの範囲内である。主磁極15の端面は、第2のギャップ層19に隣接する辺を有し、この辺はトラック幅を規定している。第2の帰磁路部40は、ヨーク層41と磁性層42とを含んでいる。ヨーク層41は、媒体対向面2から離れた位置において主磁極15の上に配置されている。接続層28は、接続層27の上に配置されている。磁気ヘッドは、更に、第1のシールド16A、ヨーク層41および接続層28の周囲に配置された非磁性層61を備えている。非磁性層61は、例えば無機絶縁材料によって形成されている。この無機絶縁材料としては、例えばアルミナまたはシリコン酸化物が用いられる。第1のシールド16A、ヨーク層41、接続層28および非磁性層61の上面は平坦化されている。磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁層62,63を備えている。絶縁層62は、ヨーク層41および非磁性層61の上面の一部の上に配置されている。第2の部分20の少なくとも一部は、絶縁層62の上に配置されている。第2の部分20のコイル接続部20Sは、接続層28の上に配置されている。絶縁層63は、第2の部分20を覆うように配置されている。絶縁層62は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層63は、例えばフォトレジストによって形成されている。磁性層42は、第1のシールド16A、ヨーク層41および絶縁層63の上に配置され、第1のシールド16Aとヨーク層41とを接続している。また、磁性層42は、媒体対向面2に配置された端面を有している。第2の部分20は、第2の帰磁路部40の一部である磁性層42のうち、ヨーク層41の上に配置された部分の周りに巻かれている。磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、磁性層42および絶縁層62,63を覆うように配置された保護層70を備えている。保護層70は、例えば、アルミナ等の無機絶縁材料によって形成されている。以上説明したように、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面2と再生ヘッド部8と記録ヘッド部9とを備えている。再生ヘッド部8と記録ヘッド部9は、基板1の上に積層されている。記録ヘッド部9は、再生ヘッド部8に対して、記録媒体の進行方向Tの前側トレーリング端側に配置されている。再生ヘッド部8は、再生素子としてのMR素子5と、媒体対向面2側の一部がMR素子5を挟んで対向するように配置された、MR素子5をシールドするための第1の再生シールド層3および第2の再生シールド層7と、MR素子5と第1の再生シールド層3との間に配置された第1の再生シールドギャップ膜4と、MR素子5と第2の再生シールド層7との間に配置された第2の再生シールドギャップ膜6とを有している。記録ヘッド部9は、第1の部分10および第2の部分20を含むコイルと、主磁極15と、記録シールド16と、ギャップ部17と、第1および第2の帰磁路部30,40とを有している。記録シールド16は、第1のシールド16Aと、2つのサイドシールド16C,16Dと、第2のシールド16Bとを有している。ギャップ部17は、第1のギャップ層18と第2のギャップ層19とを含んでいる。第1の帰磁路部30は、ヨーク層31と第1および第2の連結部32,35とを含んでいる。ヨーク層31は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置されている。第1の連結部32は、磁性層33,34を含んでいる。第2の連結部35は、磁性層36,37,38を含んでいる。図1に示したように、第1の帰磁路部30は、主磁極15、ギャップ部17ギャップ層18、記録シールド16および第1の帰磁路部30によって囲まれた第1の空間S1が形成されるように、記録シールド16と主磁極15とを接続し、これにより、記録シールド16と主磁極15とを磁気的に連結している。コイルの第1の部分10は、第1の空間S1を通過している。第1の帰磁路部30において、第1の連結部32磁性層34,33は、第2のシールド16Bとヨーク層31とを磁気的に連結している。磁性層34は、媒体対向面2において第2のシールド16Bの端面に対して記録媒体の進行方向Tの後側に配置された端面を有している。前記主断面において、ヨーク層31は、媒体対向面2に垂直な方向について第2のシールド16Bよりも大きな長さを有している。前記主断面において、磁性層34,33は、媒体対向面2に垂直な方向について第2のシールド16Bよりも大きくヨーク層31よりも小さな長さを有している。本実施の形態では、ヨーク層31および磁性層33は、媒体対向面2に露出していない。ヨーク層31および磁性層33は、それぞれ、媒体対向面2に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面2から離れた位置に配置されている。ヨーク層31の上記端面と媒体対向面2との間には絶縁層51の一部が介在している。磁性層33の上記端面と媒体対向面2との間には絶縁層54の一部が介在している。第2の帰磁路部40は、主磁極15に対して記録媒体の進行方向Tの前側に配置されている。第2の帰磁路部40は、ヨーク層41と磁性層42とを含んでいる。図1に示したように、第2の帰磁路部40は、主磁極15、ギャップ部17ギャップ層19、記録シールド16および第2の帰磁路部40によって囲まれた第2の空間S2が形成されるように、記録シールド16と主磁極15とを接続し、これにより、記録シールド16と主磁極15とを磁気的に連結している。コイルの第2の部分20は、第2の空間S2を通過している。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、更に、第1および第2のヒーター82,92と、膨張層84と、センサ85と、非磁性部86とを備えている。膨張層84、センサ85および非磁性部86は、再生ヘッド部8と記録ヘッド部9の間に配置されている。第1のヒーター82は、膨張層84およびセンサ85に対して、記録媒体の進行方向Tの後側リーディング端側に配置されている。第2のヒーター92は、膨張層84およびセンサ85に対して、記録媒体の進行方向Tの前側トレーリング端側に配置されている。非磁性部86は、膨張層84およびセンサ85の周囲に配置されている。以下、第1のヒーター82、第2のヒーター92、膨張層84およびセンサ85について詳しく説明する。始めに、図3を参照して、第1のヒーター82、第2のヒーター92および膨張層84について説明する。第1のヒーター82、第2のヒーター92および膨張層84は、再生ヘッド部8および記録ヘッド部9と記録媒体の表面との間の距離を小さくするために、媒体対向面2の一部を突出させるためのものである。後で説明するように、第1および第2のヒーター82,92は、媒体対向面2の一部を突出させるための熱を発生する。膨張層84は、第1および第2のヒーター82,92によって発生された熱を受けて膨張して、媒体対向面2の一部を突出させる。図3に示したように、第1のヒーター82は、媒体対向面2の近傍においてトラック幅方向TWに延びる発熱層82aと、発熱層82aのトラック幅方向TWの両端に電気的に接続された2つのリード層82b,82cとを有している。図3に示した例では、発熱層82aはミアンダ形状を有している。発熱層82aの媒体対向面2により近い端部は、媒体対向面2から離れた位置に配置されている。発熱層82aは、電流が流されることによって発熱する金属等の導電材料によって形成されている。発熱層82aは、例えば、Ta膜、NiCu膜およびTa膜からなる積層膜や、NiCr膜によって形成されている。リード層82b,82cは、銅等の導電材料によって形成されている。第2のヒーター92の構成は、第1のヒーター82と同様である。膨張層84のトラック幅方向TWの幅は、例えば10~25μmの範囲内である。媒体対向面2に垂直な方向についての膨張層84の長さは、例えば5~10μmの範囲内である。膨張層84の厚みは、例えば0.4~1.0μmの範囲内である。また、膨張層84は、非磁性部86に比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きい材料によって形成されている。非磁性部86がアルミナによって形成されている場合には、膨張層84の材料としては、アルミナに比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きい材料とする必要がある。アルミナの25°Cにおける熱伝導率は30W/mK程度である。アルミナの25~100°Cにおける線熱膨張係数は6.5×10-6/°C程度である。膨張層84の材料としては、金属材料を用いることができる。膨張層84を構成する金属材料は、非磁性金属材料でもよいし、磁性金属材料でもよい。膨張層84を構成する非磁性金属材料としては、例えばAl、Cu、Auのいずれかを用いることができる。膨張層84を構成する磁性金属材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。次に、図6を参照して、第1のヒーター82、第2のヒーター92および膨張層84によって、再生ヘッド部8および記録ヘッド部9と記録媒体の表面との間の距離を小さくする方法について説明する。図6は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける媒体対向面2の一部を突出させる動作を示す説明図である。第1のヒーター82の発熱層82aには、2つのリード層82b,82cを介して電流が流される。同様に、第2のヒーター92の発熱層には、第2のヒーター92の2つのリード層を介して電流が流される。これにより、ヒーター82,92によって、媒体対向面2の一部を突出させるための熱が発生される。磁気ヘッドの構成要素は、ヒーター82,92によって発生された熱を受けて膨張する。特に、膨張層84は、その周囲に配置された非磁性部86に比べて、熱伝導率が大きい材料によって形成されている。そのため、膨張層84では、非磁性部86に比べて、ヒーター82,92によって発生された熱が速やかに均一に分布する。また、膨張層84は、非磁性部86に比べて、線熱膨張係数が大きい材料によって形成されている。そのため、膨張層84は、ヒーター82,92によって発生された熱を受けて、非磁性部86に比べて、速やかに、且つ大きく膨張して、媒体対向面2の一部を突出させる。これにより、再生ヘッド部8および記録ヘッド部9と記録媒体100の表面100aとの間の距離が小さくなる。図6において、符号2aは、ヒーター82,92を発熱させていない状態における媒体対向面2の位置を示し、符号2bは、ヒーター82,92を発熱させて一部を突出させた媒体対向面2の位置を示している。符号2aで示した位置を基準とした媒体対向面2の一部の突出量は、ヒーター82,92に流される電流の大きさを調整することによって制御することができる。また、ヒーター82,92に流される電流の大きさを独立して調整することにより、突出時の媒体対向面2の形状をある程度制御することができる。次に、図4を参照して、センサ85について説明する。センサ85は、媒体対向面2の一部が記録媒体100に接触したことを検出するためのものである。本実施の形態におけるセンサ85は、トラック幅方向TWに延びる細長い検出部85aと、検出部85aのトラック幅方向TWの両端に接続された接続部85b,85cとを有している。本実施の形態では、検出部85aおよび接続部85b,85cは、媒体対向面2に露出している。このようなセンサ85の形状は、磁気ヘッドの製造過程で、研磨によって媒体対向面2を形成する際に決定される。すなわち、磁気ヘッドの製造過程では、センサ85となる部分を含む予備センサ層が形成され、この予備センサ層が、媒体対向面2を形成する際に研磨されて、その残った部分がセンサ85となる。図4において、予備センサ層のうち、媒体対向面2を形成する際に研磨されて除去された部分を二点鎖線で示している。媒体対向面2に垂直な方向についての検出部85aの長さは、トラック幅方向TWの位置によらずに一定である。媒体対向面2に垂直な方向についての接続部85b,85cの最大の長さは、同方向についての検出部85aの長さよりも大きい。リード層94Aは、開口部90aを通して接続部85bに電気的に接続されている。リード層94Bは、開口部90bを通して接続部85cに電気的に接続されている。センサ85は、媒体対向面2の一部が記録媒体100に接触したときに自身の温度変化によって抵抗値が変化する抵抗体である。センサ85の材料としては、温度変化に対する抵抗値の変化の割合、すなわち抵抗の温度係数がある程度大きい金属材料や半導体材料が用いられる。具体的には、センサ85の材料としては、例えば、NiFe、W、Cu、Ni、Ptのいずれかを用いることができる。媒体対向面2の一部が記録媒体100に接触すると、接触による摩擦熱によって、媒体対向面2のうち、記録媒体100に接触した部分およびその近傍の部分の温度が上昇する。このような温度の上昇に伴って、センサ85自身の温度も上昇する。その結果、センサ85の抵抗値が変化する。そのため、リード層94A,94Bを介してセンサ85の抵抗値を測定することによって、媒体対向面2の一部が記録媒体100に接触したことを検出することができる。図4に示した例では、トラック幅方向TWに直交する検出部85aの断面の面積は、接続部85b,85cの断面の面積に比べて非常に小さい。そのため、センサ85の抵抗値は、ほとんど検出部85aの抵抗値によるものであり、センサ85の抵抗値の変化も、ほとんど検出部85aの抵抗値の変化によるものである。次に、図7および図8を参照して、主磁極15の形状について詳しく説明する。図7は、主磁極15の媒体対向面2の近傍の部分を示す斜視図である。図8は、主磁極15の媒体対向面2の近傍の部分を示す断面図である。図7に示したように、主磁極15は、媒体対向面2に配置された端面とその反対側の端部とを有するトラック幅規定部15Aと、トラック幅規定部15Aの端部に接続された幅広部15Bとを含んでいる。また、図7および図8に示したように、主磁極15は、基板1の上面1aにより近い端部である下端部15Lと、下端部15Lとは反対側の上面15Tと、第1の側部SP1と、第2の側部SP2とを有している。幅広部15Bにおける上面15Tのトラック幅方向TWの幅は、トラック幅規定部15Aにおける上面15Tのトラック幅方向TWの幅よりも大きい。トラック幅規定部15Aにおける上面15Tのトラック幅方向TWの幅は、媒体対向面2からの距離によらずにほぼ一定である。幅広部15Bにおける上面15Tのトラック幅方向TWの幅は、例えば、トラック幅規定部15Aとの境界位置ではトラック幅規定部15Aにおける上面15Tのトラック幅方向TWの幅と等しく、媒体対向面2から離れるに従って、徐々に大きくなった後、一定の大きさになっている。ここで、媒体対向面2に垂直な方向についてのトラック幅規定部15Aの長さをネックハイトと呼ぶ。ネックハイトは、例えば0~0.3μmの範囲内である。ネックハイトが0の場合は、トラック幅規定部15Aがなく、幅広部15Bの端面が媒体対向面2に配置される。下端部15Lは、媒体対向面2に近い順に、連続するように配置された第1の部分15L1、第2の部分15L2および第3の部分15L3を含んでいる。第1の部分15L1は、媒体対向面2に配置された端部を有している。第1および第2の部分15L1,15L2は、2つの面が交わってできるエッジでもよいし、2つの面を連結する面でもよい。第3の部分15L3は、実質的に媒体対向面2に垂直な方向に延在する面になっている。上面15Tは、媒体対向面2に近い順に、連続するように配置された第4の部分15T1、第5の部分15T2および第6の部分15T3を含んでいる。第4の部分15T1は、媒体対向面2に配置された端部を有している。図8に示したように、第1および第2の部分15L1,15L2における任意の位置の基板1の上面1aからの距離は、任意の位置が媒体対向面2から離れるに従って小さくなっている。媒体対向面2に垂直な方向に対する第2の部分15L2の傾斜角度θL2は、媒体対向面2に垂直な方向に対する第1の部分15L1の傾斜角度θL1よりも大きい。第2のシールド16Bは、ギャップ部17第1のギャップ層18を介して第1の部分15L1に対向する上面を有している。この第2のシールド16Bの上面における任意の位置の基板1の上面1aからの距離は、任意の位置が媒体対向面2から離れるに従って小さくなっている。また、第4および第5の部分15T1,15T2における任意の位置の基板1の上面1aからの距離は、任意の位置が媒体対向面2から離れるに従って大きくなっている。媒体対向面2に垂直な方向に対する第5の部分15T2の傾斜角度θT2は、媒体対向面2に垂直な方向に対する第4の部分15T1の傾斜角度θT1よりも大きい。第6の部分15T3は、実質的に媒体対向面2に垂直な方向に延在している。第1のシールド16Aは、ギャップ部17第2のギャップ層19を介して第4および第5の部分15T1,15T2に対向する下面を有している。第1のシールド16Aの下面における任意の位置の基板1の上面1aからの距離は、任意の位置が媒体対向面2から離れるに従って大きくなっている。第1の部分15L1の傾斜角度θL1および第4の部分15T1の傾斜角度θT1は、いずれも、15°~45°の範囲内であることが好ましい。第2の部分15L2の傾斜角度θL2および第5の部分15T2の傾斜角度θT2は、いずれも、45°~85°の範囲内であることが好ましい。また、図7に示したように、媒体対向面2に配置された主磁極15の端面は、第2のギャップ層19に隣接する第1の辺A1と、第1の辺A1の一端部に接続された第2の辺A2と、第1の辺A1の他端部に接続された第3の辺A3とを有している。第1の辺A1はトラック幅を規定する。記録媒体100に記録される記録ビットの端部の位置は、第1の辺A1の位置によって決まる。媒体対向面2に配置された主磁極15の端面のトラック幅方向TWの幅は、主磁極15の下端部15Lに近づくに従って、すなわち基板1の上面1aに近づくに従って小さくなっている。第2の辺A2と第3の辺A3がそれぞれ基板1の上面に垂直な方向に対してなす角度は、例えば7°~17°の範囲内であり、10°~15°の範囲内であることが好ましい。第1の辺A1の長さは、例えば0.05~0.20μmの範囲内である。ここで、図8に示したように、媒体対向面2における主磁極15の厚み基板1の上面1aに垂直な方向の長さをD1とし、第3の部分15L3と第6の部分15T3との距離をD2とする。また、基板1の上面1aに垂直な方向における第1の部分15L1の両端間の、同方向の長さをDL1とする。また、基板1の上面1aに垂直な方向における第2の部分15L2の両端間の、同方向の長さをDL2とする。また、基板1の上面1aに垂直な方向における第4の部分15T1の両端間の、同方向の長さをDT1とする。また、基板1の上面1aに垂直な方向における第5の部分15T2の両端間の、同方向の長さをDT2とする。例えば、D1は0.05~0.2μmの範囲内であり、D2は0.4~0.8μmの範囲内である。また、例えば、DL1は0より大きく0.3μm以下であり、DL2は0.15~0.3μmの範囲内である。また、例えば、DT1は0より大きく0.3μm以下であり、DT2は0.15~0.3μmの範囲内である。なお、図7には、第2の部分15L2と第3の部分15L3の境界位置と媒体対向面2との間の距離と、第5の部分15T2と第6の部分15T3の境界位置と媒体対向面2との間の距離が、いずれも、トラック幅規定部15Aと幅広部15Bとの境界位置と媒体対向面2との間の距離すなわちネックハイトと等しい例を示している。しかし、第2の部分15L2と第3の部分15L3の境界位置と媒体対向面2との間の距離と、第5の部分15T2と第6の部分15T3の境界位置と媒体対向面2との間の距離は、それぞれ、ネックハイトよりも小さくてもよいし、大きくてもよい。図2に示したように、媒体対向面2において、トラック幅方向TWにおける主磁極15の第1および第2の側部SP1,SP2の間隔は、基板1の上面1aに近づくに従って小さくなっている。同様に、媒体対向面2において、トラック幅方向TWにおけるサイドシールド16C,16Dにおける第1および第2の側壁SW1,SW2の間隔は、基板1の上面1aに近づくに従って小さくなっている。媒体対向面2において、第1の側部SP1と第1の側壁SW1は実質的に平行であり、第2の側部SP2と第2の側壁SW2も実質的に平行である。媒体対向面2において、第1の側部SP1と第1の側壁SW1との間隔と、第2の側部SP2と第2の側壁SW2との間隔は等しい。ここで、これらの間隔をG1とする。G1は、例えば20~80nmの範囲内である。また、媒体対向面2において、主磁極15の下端部15Lと第2のシールド16Bとの間隔をG2とする。G2は、G1よりも大きく、G1の3倍以下である。この関係は、側壁SW1,SW2を有するサイドシールド16C,16Dを形成した後に第1のギャップ層18および主磁極15を形成することによって実現される。次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。この磁気ヘッドでは、記録ヘッド部9によって記録媒体100に情報を記録し、再生ヘッド部8によって、記録媒体100に記録されている情報を再生する。記録ヘッド部9において、第1の部分10および第2の部分20を含むコイルは、記録媒体100に記録する情報に応じた磁界を発生する。第1の部分10によって発生された磁界に対応する磁束は、第1の帰磁路部30と主磁極15を通過する。第2の部分20によって発生された磁界に対応する磁束は、第2の帰磁路部40と主磁極15を通過する。従って、主磁極15は、第1の部分10によって発生された磁界に対応する磁束と第2の部分20によって発生された磁界に対応する磁束とを通過させる。なお、第1の部分10および第2の部分20は、直列に接続されていてもよいし、並列に接続されていてもよい。いずれにしても、主磁極15において、第1の部分10によって発生された磁界に対応する磁束と第2の部分20によって発生された磁界に対応する磁束が同じ方向に流れるように、第1の部分10および第2の部分20は接続される。主磁極15は、上述のようにコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体100に記録するための記録磁界を発生する。記録シールド16は、磁気ヘッドの外部から磁気ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む。これにより、外乱磁界が主磁極15に集中して取り込まれることによって記録媒体100に対して誤った記録が行なわれることを防止することができる。また、記録シールド16は、主磁極15の端面より発生されて記録媒体100の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体100に達することを阻止する機能を有している。また、記録シールド16と第1および第2の帰磁路部30,40は、主磁極15の端面より発生されて、記録媒体100を磁化した磁束を還流させる機能を有している。具体的に説明すると、主磁極15の端面より発生されて、記録媒体100を磁化した磁束の一部は、記録シールド16と第1の帰磁路部30を通過して主磁極15に還流する。また、主磁極15の端面より発生されて、記録媒体100を磁化した磁束の他の一部は、記録シールド16と第2の帰磁路部40を通過して主磁極15に還流する。記録シールド16は、第1のシールド16Aと、第2のシールド16Bと、2つのサイドシールド16C,16Dとを有している。これにより、本実施の形態によれば、主磁極15の端面に対して記録媒体100の進行方向Tの前側および後側ならびにトラック幅方向TWの両側において、主磁極15の端面より発生されて記録媒体100の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体100に達することを抑制することができる。その結果、本実施の形態によれば、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。第1のシールド16Aおよび第2のシールド16Bは、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することに寄与する他に、記録磁界の勾配を大きくすることに寄与する。サイドシールド16C,16Dは、特に隣接トラック消去を抑制することへの寄与が大きい。このような記録シールド16の機能により、本実施の形態によれば、記録密度を高めることができる。また、本実施の形態では、図2に示したように、媒体対向面2において、トラック幅方向TWにおける主磁極15の第1および第2の側部SP1,SP2の間隔すなわち主磁極15の端面の幅は、基板1の上面1aに近づくに従って小さくなっている。本実施の形態によれば、この特徴によっても、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。また、本実施の形態では、媒体対向面2において、トラック幅方向TWにおけるサイドシールド16C,16Dにおける第1および第2の側壁SW1,SW2の間隔は、主磁極15の第1および第2の側部SP1,SP2の間隔と同様に、基板1の上面1aに近づくに従って小さくなっている。従って、本実施の形態によれば、媒体対向面2において、第1の側部SP1と第1の側壁SW1との間隔、ならびに第2の側部SP2と第2の側壁SW2との間隔を、小さく、且つ均一にすることが可能になる。これにより、サイドシールド16C,16Dによって、主磁極15の端面より発生されてトラック幅方向TWの両側に広がる磁束を、効果的に取り込むことができる。その結果、本実施の形態によれば、特にサイドシールド16C,16Dの機能を高めることが可能になり、スキューに起因した隣接トラック消去の発生をより効果的に抑制することが可能になる。ところで、記録シールド16で取り込んだ磁束を吸収できるような、体積が大きい磁性層が記録シールド16に磁気的に接続されていないと、記録シールド16によって多くの磁束を取り込むことはできない。本実施の形態では、記録ヘッド部9は、記録シールド16と主磁極15とを磁気的に連結する第1の帰磁路部30ヨーク層31、第1の連結部32および第2の連結部35と、記録シールド16と主磁極15とを磁気的に連結する第2の帰磁路部40ヨーク層41および磁性層42を有している。このような構成により、記録シールド16で取り込んだ磁束は、第1および第2の帰磁路部30,40を経由して主磁極15に流れ込む。本実施の形態では、記録シールド16に対して、体積が大きい磁性層である第1および第2の帰磁路部30,40と主磁極15が磁気的に接続されている。従って、本実施の形態によれば、記録シールド16によって多くの磁束を取り込むことが可能になり、その結果、前述の記録シールド16の効果を効果的に発揮させることができる。また、本実施の形態では、第1の帰磁路部30とは別に第2のシールド16Bが設けられている。前記主断面において、第1の帰磁路部30を構成するヨーク層31、第1の連結部32および第2の連結部35のうち主磁極15から最も遠いヨーク層31は、媒体対向面2に垂直な方向について第2のシールド16Bよりも大きな長さを有している。コイルの第1の部分10は、空間S1を通過している。このような構造により、本実施の形態によれば、ヨーク層31が第2のシールドを兼ねた構造に比べて、第2のシールド16Bと主磁極15とを十分に近付けることが可能になり、その結果、第2のシールド16Bの機能を高めることが可能になる。ここで、第1の連結部32磁性層34,33の役割について説明する。まず、第1の連結部32がなく、第2のシールド16Bとヨーク層31が磁気的に連結されていない場合を考える。この場合、第2のシールド16Bまたはサイドシールド16C,16Dで取り込まれて下方に向かった磁束は、ヨーク層31の方へ流れることができないため、上方に向かうように戻る。その結果、第2のシールド16Bまたはサイドシールド16C,16Dにおいて、下方に向かう磁束と上方に向かう磁束が生じ、その結果、第2のシールド16Bまたはサイドシールド16C,16Dで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面2の外部に漏れ出す。これにより、隣接トラック消去が生じるおそれがある。これに対し、第1の連結部32によって第2のシールド16Bとヨーク層31が磁気的に連結されていると、サイドシールド16C,16Dで取り込まれた磁束は上方と下方へ分流し、第2のシールド16Bで取り込まれた磁束は主に下方に向かう。これにより、第2のシールド16Bまたはサイドシールド16C,16Dで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面2の外部に漏れ出すことによる隣接トラック消去の発生が防止される。また、前記主断面において、媒体対向面2に垂直な方向についての第2のシールド16Bの長さが大きすぎると、主磁極15から第2のシールド16Bへの磁束の漏れが多くなり、主磁極15によって多くの磁束を媒体対向面2まで導くことができなくなる。そのため、前記主断面において、媒体対向面2に垂直な方向についての第2のシールド16Bの長さは大きすぎないようにする必要がある。この場合、前記主断面において、媒体対向面2に垂直な方向についての磁性層34,33の長さが第2のシールド16Bの長さと等しいか、それより小さい場合には、磁性層34,33第1の連結部32によって第2のシールド16Bからヨーク層31へ多くの磁束を導くことができなくなる。これに対し、本実施の形態では、前記主断面において、磁性層34,33は、それぞれ、媒体対向面2に垂直な方向について第2のシールド16Bよりも大きくヨーク層31よりも小さな長さを有している。これにより、本実施の形態によれば、磁性層34,33第1の連結部32によって第2のシールド16Bからヨーク層31へ多くの磁束を導くことが可能になる。ところで、記録媒体100に記録される記録ビットの端部の位置は、媒体対向面2に配置された主磁極15の端面のうち、記録媒体100の進行方向Tの前側に配置された端部の位置によって決まる。そのため、記録ビットの端部の位置を精度よく規定するためには、第1のシールド16Aおよび第2のシールド16Bのうち、特に第1のシールド16Aが多くの磁束を取り込むことができることが重要である。本実施の形態では、第1のシールド16Aは、第2のシールド16Bよりも体積が大きく、これにより、第2のシールド16Bよりも多くの磁束を取り込むことができる。また、本実施の形態では、前述のヒーター82,92および膨張層84の作用により、媒体対向面2の一部を突出させて、再生ヘッド部8および記録ヘッド部9と記録媒体100の表面100aとの間の距離を小さくすることができる。又、本実施の形態では、センサ85によって、媒体対向面2の一部が記録媒体100に接触したことを検出することができる。ところで、センサ85は、媒体対向面2のうち突出量が大きい部分の近傍に設ける必要がある。そのため、センサ85の近傍には、ヒーター82,92によって発生された熱を受けたときに記録媒体100側への膨張量が大きい層が存在することが好ましい。ここで、膨張層84が設けられていない場合について考える。この場合、センサ85の近傍には、第1の帰磁路部30のヨーク層31が存在している。このヨーク層31がヒーター82,92によって発生された熱を受けて記録媒体100側に大きく膨張すれば都合がよい。しかし、ヨーク層31は、第1の連結部32によって記録シールド16に接続されていると共に、第2の連結部35によって主磁極15に接続されているため、記録媒体100側への膨張が抑制される。すなわち、いずれも磁性材料よりなるヨーク層31、連結部32,35、主磁極15および記録シールド16は、熱容量および体積が大きい一体の構造体とみなすことができるため、ヨーク層31は熱を受けても膨張しにくい。そのため、この場合には、再生ヘッド部8および記録ヘッド部9と記録媒体100の表面100aとの間の距離の制御と、媒体対向面2の一部が記録媒体100に接触したことの検出を効果的に行うことが難しくなる。これに対し、本実施の形態では、センサ85の近傍に、膨張層84が存在する。膨張層84は、その周囲に配置された非磁性部86に比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きい。また、膨張層84は、記録シールド16や主磁極15に接続されていない。すなわち、膨張層84は、上記の構造体に比べて熱容量および体積が小さく、非磁性部86内で孤立した層として存在している。そのため、膨張層84は、記録媒体100側への膨張が抑制されることなく、ヒーター82,92によって発生された熱を受けて、速やかに記録媒体100側に大きく膨張することができる。そのため、本実施の形態によれば、再生ヘッド部8と主磁極15の間に、記録シールド16と主磁極15とに接続されたヨーク層31が存在していても、媒体対向面2の一部の突出が妨げられることなく、再生ヘッド部8および記録ヘッド部9と記録媒体100の表面100aとの間の距離の制御と、媒体対向面2の一部が記録媒体100に接触したことの検出が可能になる。また、本実施の形態では、膨張層84およびセンサ85に対して、記録媒体100の進行方向Tの後側に第1のヒーター82が配置され、記録媒体100の進行方向Tの前側に第2のヒーター92が配置されている。そのため、本実施の形態によれば、ヒーターが1つしか設けられていない場合に比べて、媒体対向面2の一部の突出量および突出時の媒体対向面2の形状の制御をより精度よく行うことが可能になる。ここで、センサ85の利用方法の一例として、センサ85を利用した試験について説明する。この試験は、例えば、磁気ディスク装置の製品出荷前に行われる。この試験では、まず、ヒーター82,92による媒体対向面2の一部の突出量を一定にして、記録媒体100の表面100aの全面にわたって磁気ヘッドを移動させながらセンサ85の抵抗値を測定する。これにより、記録媒体100の表面100aのうち、媒体対向面2の一部が接触する部分があれば、それが検出される。この試験を磁気ディスク装置の製品出荷前に行うことによって、この試験で接触が検出された部分を磁気ヘッドが通過する際には、接触が生じないように、媒体対向面2の一部の突出量を小さくするようにプログラミングされた製品を製造することが可能になる。以下、本実施の形態におけるその他の効果について説明する。本実施の形態では、主磁極15の下端部15Lは、媒体対向面2に近い順に、連続するように配置された第1の部分15L1、第2の部分15L2および第3の部分15L3を含んでいる。主磁極15の上面15Tは、媒体対向面2に近い順に、連続するように配置された第4の部分15T1、第5の部分15T2および第6の部分15T3を含んでいる。第1および第2の部分15L1,15L2における任意の位置の基板1の上面1aからの距離は、任意の位置が媒体対向面2から離れるに従って小さくなっている。第4および第5の部分15T1,15T2における任意の位置の基板1の上面1aからの距離は、任意の位置が媒体対向面2から離れるに従って大きくなっている。これにより、本実施の形態によれば、媒体対向面2における主磁極15の厚みを小さくすることができることから、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。しかも、本実施の形態によれば、媒体対向面2から離れた位置では主磁極15の厚みを大きくすることができることから、主磁極15によって多くの磁束を媒体対向面2まで導くことができ、その結果、オーバーライト特性等の記録特性を向上させることができる。本実施の形態における主磁極15では、第1および第4の部分15L1,15T1の傾斜角度θL1,θT1を小さくすることによって、媒体対向面2の位置の変動に伴う記録特性の変動を抑制することができる。しかも、この主磁極15では、第2および第5の部分15L2,15T2の傾斜角度θL2,θT2を大きくすることによって、図8に示した媒体対向面2における主磁極15の厚みD1を小さくしながら、第3の部分15L3と第6の部分15T3との距離D2を大きくすることができ、その結果、スキューに起因した問題の発生を防止でき、且つ記録特性を向上させることができる。このように、本実施の形態によれば、媒体対向面2の位置の変動に伴う記録特性の変動を抑制しながら、スキューに起因した問題の発生を防止し、且つ記録特性を向上させることが可能になる。[第2の実施の形態]次に、図9ないし図11を参照して、本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図9は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図9は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。図10は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図11は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるセンサを示す平面図である。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第1の実施の形態におけるセンサ85の代りに、図11に示した形状のセンサ95を備えている。センサ95は、検出部95aと接続部95b,95cとを有している。検出部95aおよび接続部95b,95cの形状および配置は、基本的には、第1の実施の形態における検出部85aおよび接続部85b,85cと同様である。ただし、本実施の形態では、検出部95aは媒体対向面2に露出していない。このようなセンサ95の形状は、第1の実施の形態と同様に、磁気ヘッドの製造過程で、研磨によって媒体対向面2を形成する際に決定される。すなわち、磁気ヘッドの製造過程では、センサ95となる部分を含む予備センサ層が形成され、この予備センサ層が、媒体対向面2を形成する際に研磨されて、その残った部分がセンサ95となる。図11において、予備センサ層のうち、媒体対向面2を形成する際に研磨されて除去された部分を二点鎖線で示している。本実施の形態では、検出部95aは上記の研磨によっても媒体対向面2に露出しないため、研磨によって形成される媒体対向面2の位置が変動しても、媒体対向面2に垂直な方向についての検出部95aの長さは一定である。従って、本実施の形態によれば、媒体対向面2の位置の変動に起因して、検出部95aの抵抗値が変動することを防止することができる。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1の実施の形態と同様である。[第3の実施の形態]次に、図12および図13を参照して、本発明の第3の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図12は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図12は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。図13は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、ヨーク層31および磁性層33が、それぞれ、媒体対向面2に配置された端面を有している。また、本実施の形態では、磁性層34,37、接続層25および絶縁層55が設けられていない。第2のシールド16Bは、磁性層33の上に配置されている。磁性層38は、磁性層36の上に配置されている。接続層26は、コイルの第1の部分10のコイル接続部10Eの上に配置されている。絶縁層91は、磁性層33の上面の一部、ならびに第1の部分10および絶縁層53,54の上面の上に配置されている。図12および図13には、本実施の形態に係る磁気ヘッドが、第1の実施の形態で説明したセンサ85を備えた例を示している。しかし、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、センサ85の代りに、第2の実施の形態で説明したセンサ95を備えていてもよい。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1または第2の実施の形態と同様である。[第4の実施の形態]次に、図14ないし図16を参照して、本発明の第4の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図14は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図14は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。図15は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図16は、図14における16-16線断面図である。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、磁性層34,37、接続層25および絶縁層55が設けられていない。磁性層38は、磁性層36の上に配置されている。接続層26は、コイルの第1の部分10のコイル接続部10Eの上に配置されている。絶縁層91は、磁性層33の上面の一部、ならびに第1の部分10および絶縁層53,54の上面の上に配置されている。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、第2のシールド16Bおよびサイドシールド16C,16Dが設けられていない。本実施の形態では、第1の帰磁路部30の第1の連結部32は、磁性層33に加えて、図16に示した磁性層131~134を含んでいる。磁性層131,133は、磁性層33の上において、主磁極15のトラック幅方向TWの両側に配置されている。磁性層132は、磁性層131の上に配置されている。磁性層134は、磁性層133の上に配置されている。磁性層131~134は、それぞれ、媒体対向面2に向いた端面を有し、これらの端面は、媒体対向面2から離れた位置に配置されている。第1のシールド16Aは、第2のギャップ層19を介して主磁極15に対向する部分を含む中央部分16A1と、この中央部分のトラック幅方向TWの両側に配置された2つの側方部分16A2,16A3とを有している。図示しないが、媒体対向面2に垂直な方向についての中央部分16A1の長さは、トラック幅方向TWの位置によらずに一定である。媒体対向面2に垂直な方向についての側方部分16A2,16A3の最大の長さは、同方向についての中央部分16A1の長さよりも大きい。側方部分16A2は、磁性層132および非磁性層57の上に配置され、磁性層132および非磁性層57の上面に接している。側方部分16A3は、磁性層134および非磁性層57の上に配置され、磁性層134および非磁性層57の上面に接している。第1の帰磁路部30において、磁性層131~134は、第1のシールド16Aと磁性層33とを磁気的に連結している。これにより、第1のシールド16A記録シールド16は、ヨーク層31に対して磁気的に連結されている。図14ないし図16には、本実施の形態に係る磁気ヘッドが、第1の実施の形態で説明したセンサ85を備えた例を示している。しかし、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、センサ85の代りに、第2の実施の形態で説明したセンサ95を備えていてもよい。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1または第2の実施の形態と同様である。[第5の実施の形態]次に、図17および図18を参照して、本発明の第5の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図17は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図17は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。図18は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、記録ヘッド部9は、第2の帰磁路部40の代りに、ヨーク層45を有している。ヨーク層45の形状および配置は、第1の実施の形態におけるヨーク層41と同じである。ヨーク層45は、磁性材料によって形成されている。ヨーク層45の材料としては、例えばCoFeN、CoNiFe、NiFe、CoFeのいずれかを用いることができる。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、コイルの第2の部分20、接続層25~28および絶縁層62,63が設けられていない。本実施の形態では、コイルの第1の部分10のコイル接続部10Eには、図示しないリード層が電気的に接続されている。図17および図18には、本実施の形態に係る磁気ヘッドが、第1の実施の形態で説明したセンサ85を備えた例を示している。しかし、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、センサ85の代りに、第2の実施の形態で説明したセンサ95を備えていてもよい。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1または第2の実施の形態と同様である。[第6の実施の形態]次に、図19を参照して、本発明の第6の実施の形態に係る磁気ヘッドについて説明する。図19は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図19は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面、特に前記主断面を示している。本実施の形態に係る磁気ヘッドは、以下の点で第1の実施の形態に係る磁気ヘッドと異なっている。本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、第2のヒーター92が設けられていない。また、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、絶縁層91,93の代りに、絶縁材料よりなる絶縁層56を備えている。絶縁層56は、例えばアルミナによって形成されている。図19には、本実施の形態に係る磁気ヘッドが、第1の実施の形態で説明したセンサ85を備えた例を示している。しかし、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、センサ85の代りに、第2の実施の形態で説明したセンサ95を備えていてもよい。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第1または第2の実施の形態と同様である。なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、ヒーター82,92の形状および配置は、第1の実施の形態において説明した形状および配置に限らない。また、本発明におけるセンサは、温度変化によって抵抗値が変化する抵抗体に限らず、媒体対向面の一部が記録媒体に接触したことを検出できるものであればよい。"