トランスデューサと、メモリと、プロセッサと、走査領域内に配置された、パーツのトレイを基準にした、所定の経路内で、前記トランスデューサを移動させるように適合された、前記メモリ及び前記プロセッサに応答するドライバと、前記走査領域へのアクセスを許可する開位置から、前記走査領域を少なくとも部的に囲む閉位置まで移動可能な、安全囲いとを備え、前記安全囲いは、前記閉位置にある場合、前記ドライバが前記トランスデューサを前記所定の経路内で迅速に移動させている最中の前記トランスデューサへの干渉を防止し、これにより、ユーザの負傷の可能性を最小にし、かつ、パーツのトレイが、別のトレイが走査されている間に搭載されることを可能にするように適合された、走査型超音波顕微鏡。前記走査領域は、タンクの走査部内に配置される、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。前記タンクは、前記走査部と連通した搭載部を更に含む、請求項2に記載の走査型超音波顕微鏡。前記タンクは、結合流体を保持するように適合された、請求項3に記載の走査型超音波顕微鏡。前記搭載部は、前記走査部の横に配置される、請求項3に記載の走査型超音波顕微鏡。前記トランスデューサは、ウォーターフォール式超音波トランスデューサを備える、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。前記プロセッサによって実行された場合、マウス、及び走査対象である前記パーツの表現を表示する画面上の表示によって、前記走査経路が規定されることを可能にする命令が、メモリ内に記憶されている、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。前記プロセッサによって実行された場合、マウス、及び走査対象である前記パーツの写真を表示する画面上の表示によって、前記所定の経路がパーツのトレイに対して規定されることを可能にする命令が、前記メモリ内に記憶されている、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。前記プロセッサによって実行された場合、パーツのトレイが1回のラスタ走査において走査されることを可能にする命令が、前記メモリ内に記憶されている、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。前記プロセッサによって実行された場合、パーツのトレイの各パーツが個別に走査されることを可能にする命令が、前記メモリ内に記憶されている、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。前記走査領域は、搭載部を含む構造の走査部内に配置される、請求項2に記載の走査型超音波顕微鏡。前記構造は、パーツのトレイを、前記搭載部から、前記走査部に移送する装置を更に含む、請求項11に記載の走査型超音波顕微鏡。前記構造は、パーツのトレイを、前記走査部内の特定の位置に配置する、更なる装置を含む、請求項12に記載の走査型超音波顕微鏡。センサが、前記安全囲いの開/閉状態を検出し、コントローラが、前記安全囲いが開いている場合、前記トランスデューサの移動を防止するように前記センサの出力に応答する、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。センサが、前記安全囲いの開/閉状態を検出し、コントローラが、前記安全囲いが閉じられている場合、前記トランスデューサの移動を許可するように前記センサの出力に応答する、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。テスト対象であるパーツを運ぶトレイと組み合わされた、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。結合流体と組み合わされた、請求項1に記載の走査型超音波顕微鏡。超音波エネルギーを生成するように動作可能なトランスデューサと、コントローラと、走査領域内に配置された複数のパーツに対して、走査経路に沿って前記トランスデューサを移動させるために、前記コントローラに応答する手段と、前記走査領域へのアクセスを許可する開位置と、前記走査領域を囲む閉位置との間を移動可能な、安全囲いと、を備え、前記安全囲いは、前記閉位置にある場合、移動手段が前記トランスデューサを前記走査経路に沿って移動させている場合において、前記トランスデューサがユーザに接触すること防止し、別のトレイが走査されている間にパーツのトレイが搭載されることを可能にするように適合された、走査型超音波顕微鏡。前記走査領域は、結合流体を保持するように適合され、走査部と搭載部とを有する、タンク内に配置される、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。前記走査部は、第1の複数のパーツを、第2の複数のパーツが前記搭載部内に搭載されている期間中に、受け入れるように適合される、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。前記搭載部は、前記走査部の横に配置される、請求項20に記載の走査型超音波顕微鏡。前記トランスデューサは、ウォーターフォール式超音波トランスデューサを備える、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。プロセッサによって実行された場合、マウス、及び走査対象である前記パーツの表現を表示する画面上の表示によって、前記走査経路が規定されることを可能にする命令が、メモリ内に記憶されている、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。プロセッサによって実行された場合、マウス、及び走査対象である前記パーツの写真を表示する画面上の表示によって、前記走査経路がパーツのトレイに対して規定されることを可能にする命令が、メモリ内に記憶されている、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。センサが、前記安全囲いの開/閉状態を検出し、前記コントローラは、前記安全囲いが開いている場合、前記トランスデューサの移動を防止するように前記センサの出力に応答する、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。センサが、前記安全囲いの開/閉状態を検出し、前記コントローラは、前記安全囲いが閉じられている場合、前記トランスデューサの移動を許可するように前記センサの出力に応答する、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。テスト対象であるパーツを運ぶトレイと組み合わされた、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。結合流体と組み合わされた、請求項18に記載の走査型超音波顕微鏡。搭載部及び走査部を含む構造であって、前記搭載及び走査部は共に、結合流体を保持するように適合されたタンクを備え、前記走査部内に配置され、超音波エネルギーを生成するように動作可能な、トランスデューサと、コントローラと、第2の複数のパーツが前記搭載部内に搭載されている最中に、前記走査部内に配置された第1の複数のパーツを基準にした走査経路に沿って、前記トランスデューサを移動させることが可能な、前記コントローラに応答するドライバと、を備える、走査型超音波顕微鏡。前記構造は、前記走査部へのアクセスを許可する開位置と、前記走査部を囲む閉位置との間を移動可能な、安全囲いを更に含む、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。前記安全囲いは、前記閉位置にある場合、移動手段が前記トランスデューサを前記走査経路に沿って移動させている最中の前記トランスデューサとのユーザの接触を防止し、かつ、パーツの第1のトレイが、パーツの第2のトレイが走査されている間に、前記搭載部内に搭載されることを可能にするように適合される、請求項30に記載の走査型超音波顕微鏡。前記構造は、パーツの前記第1のトレイが走査され、前記走査部から取り出された後に、パーツの前記第2のトレイを、前記走査部内に移送する装置を含む、請求項31に記載の走査型超音波顕微鏡。前記構造は、各トレイを、前記走査部内の特定の位置に配置する、更なる装置を含む、請求項32に記載の走査型超音波顕微鏡。前記搭載部は、前記走査部の横に配置される、請求項33に記載の走査型超音波顕微鏡。前記トランスデューサは、前記走査部内に配置された結合流体内に浸される、請求項31に記載の走査型超音波顕微鏡。プロセッサによって実行された場合、マウス、及び走査対象である前記パーツの表現を表示する画面上の表示によって、前記走査経路が規定されることを可能にする命令が、メモリ内に記憶されている、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。プロセッサによって実行された場合、マウス、及び走査対象である前記パーツの写真を表示する画面上の表示によって、前記走査経路がパーツのトレイに対して規定されることを可能にする命令が、メモリ内に記憶されている、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。プロセッサによって実行された場合、パーツのトレイが1回のラスタ走査において走査されることを可能にする命令が、メモリ内に記憶されている、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。プロセッサによって実行された場合、パーツのトレイの各パーツが個別に走査されることを可能にする命令が、メモリ内に記憶されている、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。前記構造は、前記走査部へのアクセスを許可する開位置と、前記走査部を囲む閉位置との間を移動可能な、安全囲いを更に含み、センサが、前記安全囲いの開/閉状態を検出し、前記コントローラは、前記安全囲いが開いている場合、前記トランスデューサの移動を防止するように前記センサの出力に応答する、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。前記構造は、前記走査部へのアクセスを許可する開位置と、前記走査部を囲む閉位置との間を移動可能な、安全囲いを更に含み、センサが、前記安全囲いの開/閉状態を検出し、前記コントローラは、前記安全囲いが閉じられている場合、前記トランスデューサの移動を許可するように前記センサの出力に応答する、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。テスト対象であるパーツを運ぶトレイと組み合わされた、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。結合流体と組み合わされた、請求項29に記載の走査型超音波顕微鏡。本発明の一態様によれば、走査型超音波顕微鏡scanningacousticmicroscopeは、トランスデューサと、メモリと、プロセッサと、を含む。ドライバが、メモリ及びプロセッサに応答し、そして、走査領域内に配置された、パーツのトレイを基準にした、所定の経路内で、トランスデューサを移動させるように適合される。安全囲いenclosureが、走査領域へのアクセスを許可する開位置から、走査領域を少なくとも部的に囲む閉位置まで移動可能である。安全囲いは、閉位置にある場合、ドライバがトランスデューサを所定の経路内で迅速に移動させている最中のトランスデューサへの干渉を防止し、これにより、ユーザの負傷の可能性を最小にし、かつ、パーツのトレイが、別のトレイが走査されている間に搭載されることを可能にするように適合されている。本発明の別の態様によれば、走査型超音波顕微鏡が、超音波エネルギーを生成するように動作可能なトランスデューサと、コントローラと、走査領域内に配置された複数のパーツを基準にした走査経路に沿ってトランスデューサを移動させるために、コントローラに応答する手段と、を含む。安全囲いが、走査領域へのアクセスを許可する開位置と、走査領域を囲む閉位置との間を移動可能である。安全囲いは、閉位置にある場合、移動手段がトランスデューサを走査経路に沿って移動させている最中のトランスデューサとのユーザの接触を防止し、かつ、パーツのトレイが、別のトレイが走査されている間に、搭載されることを可能にするように適合されている。本発明の更に別の態様によれば、走査型超音波顕微鏡は、搭載部及び走査部を含む構造と、走査部内に配置された、かつ、超音波エネルギーを生成するように動作可能なトランスデューサと、コントローラと、を含む。ドライバは、コントローラに応答し、そして、第2の複数のパーツが搭載部内に搭載されている最中、走査部内に配置された第1の複数のパーツを基準にした走査経路に沿って、トランスデューサを移動させることが可能である。本発明の様々な例示的目的、要素、及び付随する利点は、それらが、添付の図面これらの中では、いくつかの図面を通して、同様の参照文字が、同じ、又は類似した部を示すと組み合わせて考慮された場合により良く理解されるようになるにつれて、十分に認識されるようになるであろう。本発明は様々な実施の形態を取ることができるが、図面に示され、以下で説明されるのは、本開示は、本発明の例示とみなされるべきであり、示される特定の実施形態に本発明を限定することを意図するものではない、という理解のもとで、現在好ましい実施形態である。この明細書のこのセクションのタイトル、すなわち発明を実施するための形態は、米国特許庁の要件に関するものであり、本明細書中で開示される主題を限定することを意味せず、そのように推定されるべきでもない、ということを更に理解されたい。本開示では、単語a又はanは、単数及び複数の両方を含むものと解釈されるべきである。反対に、複数のアイテムへの任意の言及は、適切な場合、単数を含む。図1A及び図1Bを参照すると、搭載中走査要素を有する走査型超音波顕微鏡10が示されている。図1Aでは、安全扉36は、直立した開位置に示されている。図1Bでは、安全扉36は、タンク38を基準にした下の閉位置に示されている。安全扉36は、タンク38を第1の走査部40及び第2の搭載部42という2つの部分に分離する。図1Cを参照すると、走査型超音波顕微鏡10は、接触媒質又は流体14水など内に沈められたサンプル12例えば、集積回路パッケージを検査するように適合されている。サンプル12は、例えば、実験室応用における場合のように、単独で検査されてもよく、又は、商業的応用において一般的であるように、例えば、検査対象の他のパーツのトレイ上に取り付けられていてもよい。パルス発生器pulser16は、モーションコントローラ18の制御下にあり、一般に、10MHz又はそれ未満から、230MHz又はそれを超えるまでの範囲の周波数における、超音波エネルギーのパルス22を生成するように、トランスデューサ20を励起するために使用される。トランスデューサ20は、コントローラ18の制御下にあるX-Y-Zステージドライバ26を介して、X-Y-Zステージ24によって、X、Y、及びZ座標において走査される。X-Y-Zステージドライバ26は、従来のブラシレスDCモータを含んでもよく、又は、所望される場合には、従来のモータブラシレスDCモータ、ステッピングモータ、又はブラシモータなどを使用する場合よりトランスデューサ20が迅速に加速されることを可能にする、1つ以上のバランスリニアモータアセンブリを含んでもよい。コントローラ18は、メモリ19と、プロセッサ21と、を含む。以下で更に詳しく説明するように、命令が、メモリ19内に記憶され、それらの命令は、プロセッサ21によって実行された場合に、検査対象の少なくとも1つのサンプル12のトレイを基準にした、トランスデューサ20の走査経路を、ユーザが生成することを可能にする。トランスデューサ20は、サンプル12内に存在する音響インピーダンス要素に向けられ、次に、それによって反射された、超音波パルス22の反射を受信するように適合される。そのような反射信号は、アナログ形態で、受信機図示せずによって処理され、マルチチャネルプロセッサ30に供給される。反射信号のデジタル化バージョンは、マルチチャネルメモリ32内に記憶されてもよく、そして、所望される場合には、ディスプレイ34上に表示される図3Eを参照。本発明の特定の実施形態では、マルチチャネルメモリ32は、例えば、サンプル12の表面上の又は内部の複数の3次元的に多様な点の焦点の合ったA-scanを、及び、各サンプル12の外形のディスプレイ34上の視覚的描写を生成するために使用されてもよいプロファイル測定値を、記憶する。これは、例えば、検査されるサンプル12が、適切な程度まで歪んでいるかどうかを判定するために有用な可能性がある。図2A及び図3Aは、走査部40と、搭載部42とを有する、例示的なタンク38を示す。ユーザは、取付具44図7を参照を、2本のレール46及び47上に配置することが許可され、これにより、パーツ搭載面50が、タンク38の両方の部40及び42内に含まれる結合流体couplingfluid14下に浸される。取付具44が、安全扉36によって囲まれる容積の外部のタンク38の搭載部42の内部に位置している場合、取付具44は、パーツ搭載位置に配置されている。搭載部42は、図面中では、走査部40の右に位置するとして示されているが、搭載部42は、走査部40の任意の側左、右、前、後ろに配置されてもよい。取付具44が、安全扉36によって囲まれる容積の内部のタンク38の走査部40内に位置している場合、かつ、取付具44が、所定の位置にラッチされている場合、取付具44は、超音波照射位置に位置している。この構造は、例えば、ユーザが、検査対象のパーツから、いかなる泡も、それらのパーツがパーツ搭載面50上に搭載される際に払いのけて、次に、搭載されたパーツを周囲大気にさらすことなく、取付具44を、超音波照射位置に移送することを可能にする。当業者にとって容易に明らかになるように、パーツ上のいかなるそのような泡の存在も、泡を有するパーツの走査の結果を混乱させる、音響インピーダンス要素を生む。走査型超音波顕微鏡10の1つの利点は、パーツの第1のトレイの走査が行われているのと同時に、検査対象のパーツの第2のトレイをユーザが搭載することを可能にするということである。図3A及び図3Dに最も良く示されているように、第1のトレイ又は取付具44aが、走査部40内に搭載され、安全扉36が下げられる。第2のトレイ又は取付具44bが、次に、搭載位置42内に配置される。上述のように、ユーザが、サンプル12を、第2のトレイ44bのパーツ搭載面50上に配置し、サンプル12を、走査のために準備する。第1のトレイ44aが走査されたら、安全扉が開かれ、そして、第1のトレイは、例えば、第1のトレイ44aを走査部40から持ち上げることによって、かつ、開いている安全扉36を通して、走査部42から取り出される。第3の取り出し部図示せずが、更に、タンク38内に含まれてもよく、又は、タンク38に取り付けられてもよい。取り出し部は、走査部40の後ろ、左、右、又は前に位置してもよく、これにより、第1のトレイ44aは、走査部40から取り出し部に摺動させられ、次に、走査型超音波顕微鏡10から持ち上げられることが可能になる。第1のトレイ44aが走査部40から取り出されたら、第2のトレイ44bが、搭載部42から、走査部40内に、レール46及び48を介して摺動させられてもよい。第3のトレイ又は取付具図示せずが、次に、搭載部42内に搭載されてもよく、そして、上記のプロセスは繰り返されてもよい。本発明の例示される実施形態では、取付具44のパーツ搭載面50は、硬い材料、例えば、ガラス等から形成される。この適用例では、スルー走査through-scanningが行われることが可能であり、この場合、トランスデューサ20は、検査対象のパーツと、ガラス表面とを通過した音響エネルギーを捕捉するための取付具44の下面に位置するレセプタと、を含む。本発明の代替の実施形態では、パーツ搭載面50は、多孔質である。この例では、これは、多孔質のパーツ搭載面50を提供するように成形された、プラスチック材料から形成されてもよい。この代替の実施形態によれば、図11に示すようなウォーターフォール式トランスデューサ51を利用することが可能であり、この場合、結合流体の流れ53が、検査対象のサンプル又はパーツ12に向けて放出され、超音波パルス22が、結合流体の流れ53の内側で放出される。ウォーターフォール式トランスデューサ51は、パーツ12の上方に位置し、水、及び超音波パルスは、パーツに向けて下に向けられる。多孔質のパーツ搭載面50を通して、パーツの下面に吸引を適用することも可能であり、これにより、超音波検査の間に、検査対象のパーツが散らされる可能性が最小になる。この点において、コントローラ18のメモリ19は、プロセッサ21によって実行された場合に、多孔質のパーツ搭載面50の下面に吸引が一定期間印加されることを可能にする命令を含み、吸引は、空気が多孔質のパーツ搭載面50内に、かつ、その面を通して引き込まれて、パーツ上に供給される結合流体の流れの少なくともいくらかを一緒に運ぶように吸引し、そして、それによって、パーツ搭載面50上にパーツを少なくとも部的に固定する圧力が発生するようにさせる。浸漬走査が行われる場合、結合流体14のタンク内でのトランスデューサの移動は、タンク内に白波を発生させ、かつ、タンク内の結合流体を撹拌する。結合流体のこの撹拌が、パーツ担持トレイpartsbearingtray上に位置するパーツ又はチップが走査中に移動させられることを引き起こす可能性を減らすために、超音波エネルギーに対して概して透過的な、かつ、低い音響インピーダンスを有する、非常に薄いシート又はフィルムが使用されてもよい。いくつかのパーツは、表面に浮上する可能性があるため、シートは、パーツ担持トレイが結合流体内に浸漬されている間、そのパーツ担持トレイの上に配置されて、パーツ上に少なくともいくらかの押下力を提供する。特定のプラスチックが、この目的のために好適であり、約5ミル約127μmの厚さであってもよい。シート又はフィルムは、また、動いているトランスデューサ1つ又は複数の乱流からパーツを隔離し、これにより、パーツを所定の位置に保持する。クリップ又は複数のクリップなどが、シート又はフィルムをパーツの上に更に固定するために使用されてもよい。スルー走査が行われる場合、トランスデューサが、トレイのパーツ搭載面上のパーツを通過した超音波エネルギーを捕捉するために、パーツ搭載面の下方に配置される。取付具のパーツ搭載面が多孔質である場合、多孔質の孔を通して移動することによってパーツ担持トレイ上のパーツを擾乱させる可能性がある、結合流体中でのスルー走査トランスデューサの移動によって作られる乱流の影響を最小にするために、追加のシート又はフィルムが使用されてもよい。クリップ又は複数クリップなどが、追加のシート又はフィルムをパーツ搭載面の底面に更に固定するために使用されてもよい。図1Bを再度参照すると、走査型超音波顕微鏡10は、安全扉36が下の閉位置に配置されている場合を検出するためのセンサ図示せずを含む。センサの1つの目的は、安全扉36が閉じられている場合のみ、X-Y-Zモーションステージドライバ26がトランスデューサ20を移動させることを許可することである。この要素は、走査型超音波顕微鏡10のオペレータを、例えば、オペレータのネクタイが、移動しているトランスデューサ20によって引っかけられることを防止することによって、行われている走査によって害されることから保護するために役立つ。コントローラ18のメモリ19は、プロセッサ21によって実行された場合に、X-Y-Zステージドライバ26がトランスデューサ20を移動させるのを、ドア閉信号がセンサから送信された場合を除き防止する、命令を含む。図1B、図3A、及び図3Cに示すように、安全扉36は、タンク38内に下に伸びる、拡張部52を含む。前述のように、タンク38は、一定量の結合流体14を含み、この結合流体14を通して、トランスデューサ20は、例えば、X-Yラスタ走査において、面50図7を参照上に搭載されたパーツに超音波照射する間、移動させられる。トランスデューサ20は、超音波照射の間、かなり迅速に移動する可能性があるため、波、及びその他の擾乱が、結合流体内に作られる可能性がある。安全扉36の拡張部52の1つの目的は、例えば、タンク38の走査部40から、タンク38の第2の又は搭載部42への結合流体14の波の伝達を最小にすることである。これは、例えば、検査対象のパーツがパーツ搭載面50上に搭載される際のそれらの検査対象のパーツの擾乱又は移動を減少させる。図2Bは、本発明の実施形態に従って利用されてもよい、例示的な取付具44の等角図である。取付具44は、第1及び第2の支持部材54及び56を含み、それらの間に、パーツ支持ブラケット58が取り付けられる。支持ブラケット58は、開口部60を含み、開口部60内には、以下でより詳細に説明するように、パーツ担持トレイが取り付けられてもよい。支持部材54及び56の各1つは、第1の軸受け62、及び第2の軸受け64を含む。一対の第1の軸受け62は、レール46と係合するように適合され、一対の第2の軸受け64は、レール48と係合するように適合される。図4は、本発明の例示的実施形態の詳細を示す断面図である。この例では、第1の軸受け62は、レール46の上面と係合するために、平坦である。これにより、レール46の軸と垂直な、鉛直方向における、取付具44の移動が防止される。第2の軸受け64は、レール48を捉えるために、概してU字形であり、これにより、レール46の軸に垂直な方向における、取付具44の移動が防止される。図5を参照すると、タンク38及び走査部40の一部の部等角図が示されており、これは、取付具44を、較正された超音波照射位置において保持するために使用される、例示的なラッチを示す。ラッチは、例示される実施形態では、図2Bに示す第1の支持部材56と同等である第1の支持部材68の一部として一体形成された、拡張部材66を含む。拡張部材66は、ショルダ部70と、接合ピン72とを含む。接合ピン72が、タンク38の走査部40の一部に付けられた当接ピン74に対して接触して保持されている場合、取付具44は、超音波照射位置に保持されている。バネ76は、ピボット部材78を拡張部材66に向けた方向への軸80の周りの回転のために、偏向させる。ピボット部材78は、傾斜面82と、ショルダ部84とを含む。取付具44と、第1の支持部材68とが、ラッチに向けた方向にレールそのうちの1つが、図5において、レール48として示されているに沿って摺動させられるにつれて、傾斜面82は、拡張部材66のショルダ部70の外面に沿って動く。これは、バネ76を圧縮する。ショルダ部材70及び84の係合面のうちの一方は、レール48の軸に対して垂直からわずかにずれた角度において配置され、その結果、ピン72及び74が相互に触れている場合、バネに打ち勝つ十分な力をユーザが印加しない限り、ピボット部材78が回転しないことが、バネ76によって印加される偏向力によって保証される。このラッチングメカニズムは、従って、取付具44がレール48に沿って摺動することを防止し、そして、第1及び第2の軸受け62及び64と、レール46及び48との係合と組み合わせて、取付具44を含むパーツを超音波照射位置にロックする。以下でより詳細に説明するように、これにより、取付具のパーツ搭載面50上の任意のパーツを基準にした、トランスデューサ20の移動の経路を、ユーザがプログラムすることを可能にするために使用されてもよい、既知の位置が提供される。図6は、図2Bに示すように構築された例示的な取付具86の等角図であり、但し、これは、その中に形成された開口部60内に挿入された、例えば、プラスチックトレイ88を含む。一実施形態では、プラスチックトレイ88は、取付具86内に形成された対応する開口部60の内側に締り嵌めされる、突起図示せずを含む。あるいは、取付具86の内部の回転ピン図示せずが取り出され、次に、プラスチックトレイ88を支持するために伸長されてもよい。トレイは、任意の好適な材料例えば、プラスチックから形成されてもよく、例示的な適用例では、多孔質に形成されてもよく、これにより、超音波照射中のパーツの移動を減らすために、プラスチックトレイ88の下面に吸引を印加することが可能になる。図8を参照すると、本発明の代替の実施形態の部分平面図が示されている。この例では、パーツ支持トレイpartssupporttray90は、超音波エネルギーに対して少なくとも概して透過的な材料例えば、ガラスなどから形成される。この実施形態は、超音波エネルギーがパーツを通過し、次に、エネルギーが発生させられた側とは反対の側において読み出される、スルー走査適用例のために有用である。パーツ支持トレイ90は、図2Bに示す取付具44などの好適な取付具内に形成された開口部60において挿入され、支持される。トレイ90は、x軸ルーラセクション92と、y軸ルーラセクション94とを含む。トレイ90が、取付具44内に形成された開口部60の内側に挿入された場合、かつ、取付具44が、バネ76の力によって共に係合して保持されたピン72及び74を使用して、超音波照射位置に固定された場合、2つのルーラセクション92及び94の接点における原点96は、例えば、取付具44の構造に起因して、超音波トランスデューサ20の初期の静止位置を基準にした、既知の点において保持される。これは、ユーザが、検査対象のパーツ又はチップ91を、トレイ90の表面上のスペーサバーによって隔てられた列内に配置することを可能にする。スペーサバーは、パーツ91の材料より重い材料でできており、チップがトレイ上に配置された後にチップがトレイ上を動き回ることを防止する。図8Bに示す例では、パーツの3つの列98、100、及び102が、スペーサバー104及び106によって隔てられている。同じ厚さの2つのパーツが列98を形成し、同じ幅の3つのパーツが列100を形成し、1つのパーツが列102を形成する。図9Aは、プロセスステップこれによって、ユーザは、パーツのトレイ例えば、図8Bに示すトレイ90などを基準にした、トランスデューサ20の飛行経路をプログラムするために、ディスプレイ34図1A~図1C上のグラフィックユーザインタフェースと対話することが可能になるを示すフローチャートである。ステップ108で、ユーザは、取付具44を、タンク38の搭載部42内に浸漬し、次に、検査対象の複数のパーツ又はチップ91を、例えば、図8Bに示すように、取付具44の内側に保持されたトレイ90上に配置する。ステップ110で、ユーザは、ディスプレイ34上に表示されたグラフィックユーザインタフェースと対話して、トレイ90上の第1列内の第1のチップについてのx軸及びy軸の始点を入力する。ステップ112で、ユーザは、列内のチップの数を入力する。パーツ又はチップ91の別の列がある場合ステップ114、ユーザは、その列内の第1のチップのx軸の始点を入力するステップ116。ステップ110及び112が、その新たな行について繰り返される。このプロセスは、トレイ90上のパーツの列の総数について、全てのパーツ又はチップ91の寸法が入力されるまで遂行される。これが完了したら、ステップ118で、トランスデューサ走査経路が計算され、次に安全扉36が、下の閉位置にあることを、センサ図示せずが示す限り実行される。図9Bは、トレイ90上に配置されたパーツを基準にした、トランスデューサ20の飛行経路を、ユーザがプログラムすることを可能にする、例示的な代替の実施形態を示す。この実施形態では、パーツ又はチップ91がトレイ90に搭載されステップ120、トレイ90の写真が、走査型超音波顕微鏡10と関連付けられたカメラ図示せずによって撮影され、次に、写真がディスプレイ34上に表示されるステップ122。ユーザは、次に、ディスプレイ34上に表示されたパーツ91のうちの最初の1つの輪郭を、例えば、マウス、又はキーボードなどの適切なユーザ入力装置123図3Eを参照を使用してトレースするステップ124。トレイ90上に別のパーツがある場合ステップ126、ステップ124が繰り返される。このプロセスは、トレイ90上の全てのパーツ91の輪郭がトレースされるまで繰り返される。プロセスが完了した場合、トレイ90を基準にしたトランスデューサ20の飛行経路が計算され、次に安全扉36が下の閉位置にあることをセンサ図示せずが示す限り実行される。トランスデューサ20の飛行経路をプログラムするためのその他の代替は、ここで開示され請求される本発明の範囲内にある。例えば、コントローラ18のメモリ19は、既知の寸法のパーツのライブラリを含んでもよい。この代替の例示的実施形態によれば、ユーザは、トレイ90上の個々の列を形成するパーツのパーツ番号を、各列のx軸の始点と共に入力してもよい。飛行経路が、次に、パーツの既知の寸法を参照することによってプログラムされてもよい。更に、代替として、トランスデューサ飛行経路は、トレイ90上のパーツの所与の配列について、メモリ19内に記憶されていてもよい。図10は、トレイ90が走査される場合に利用可能な追加のオプションを提供するために、ディスプレイ34上に表示された適切なグラフィックユーザインタフェースとユーザとが対話することを可能にする、フローチャートを示す。ステップ130及び132で、ユーザは、トレイ90上のパーツについて、高速走査モードが実行されるかどうかを指示する。高速モードが選択された場合、各パーツについて個別のx-yラスタ走査を有するのとは対照的に、検査対象のパーツ又はチップによって覆われたトレイ90の領域全体が、1回のx-yラスタ走査において超音波照射される。パーツが位置していない、トレイ90上の位置からのデータを拒否する、かつ保存しないためのソフトウェアルーチンが、走査データが生成された後、実行される。高速モードの使用は、トランスデューサ20が最高速度で移動させられる時間を最大化する。トランスデューサ20をx-yラスタ走査のx及びy方向に移動させるためのバランスリニアモータを利用することによって、最高速度におけるトランスデューサ時間は更に最大化され、これにより、合計走査時間は更に短縮される。各パーツが個別に走査される場合、ユーザは、ステップ134においてその選好を指示することによって、その選好を指示する。ステップ136及び138で、ユーザは、トレイ90上に配置された各パーツのプロファイル測定を行う選好を指示する。プロファイル測定は、例えば、各パーツが歪んでいるかどうかを判定するために有用である。グラフィックユーザインタフェースは、トレイ90上のパーツのいくつか、又は全てについてプロファイル測定が行われることを許可するように、かつ、特定のパーツに関して、内部測定も行われることを、又は、全く行われないことを許可するように、プログラムされてもよい。ステップ140及び142で、ユーザは、トレイ90上のパーツのうちの特定の1つ又は全ての内部の3次元的に多様な点における、焦点の合ったA-scanの測定を行う選好を指示する。特に、トランスデューサ20は、トレイ90上の各サンプルを、サンプル内の3次元的に多様な位置において調査するために使用される。トランスデューサ20によって作成されるデータは、調査される各点について、その位置についてのデジタル化されたA-scanを含む。作成されたデータは、データメモリ内に記憶される。これは、トレイ90上の各サンプルの内部の音響インピーダンス要素の仮想サンプルの作成を可能にし、仮想サンプルは、後で解析されてもよく、又は、広く分散した位置における適切な人員に送信されてもよい。ステップ144でコントローラ18は、トレイ90を基準にしたトランスデューサ20の飛行経路を計算し、次にそれを安全扉36が、下のロックされた位置にあることを、センサ図示せずが示す限り実行する。ここで開示され請求されるデバイスの一部のユーザは、安全扉36の位置を示すセンサの動作を無効にするための措置を取る可能性があるということに留意されたい。そのようなユーザがこれを行うのは、パーツのトレイが検査されるのと同時に、ユーザが第2のトレイにパーツを搭載し、トランスデューサ飛行経路をプログラムすることができるようにするためである。センサが無効にされた、ここで開示され請求されるマシンの販売に関して、特許保護を取得しようとするのは、出願人の具体的な意図である。ステップ146及び148で、タンク38の走査部40の内部で走査動作が行われている間に、ユーザが、タンク38の搭載部42内に第2の取付具44を配置したかどうかが判定される。配置した場合、他方のトレイの超音波照射が行われている間に、ユーザは、ディスプレイ34上に表示された適切なグラフィックユーザインタフェースと対話して、トランスデューサ飛行経路をプログラムする。これは、オペレータの時間がより効率的に使用されて、検査対象の一定量のパーツに対する総労働コストが減少することを可能にする。オペレータに走査が完了するのを待たせる代わりに、オペレータは、そうしないで、以前の中断時間を、検査対象のパーツの別のトレイについてのトランスデューサ飛行経路をプログラムするために使用することが可能である。本発明の一態様は、コントローラ18のメモリ19が、命令を含み、それらの命令は、プロセッサ21によって実行された場合に、グラフィックユーザインタフェース150がディスプレイ上に表示されるようにし図3Eを参照、結合流体内に浸漬された第1の取付具のパーツ搭載面上に手動で搭載されたパーツの配列に関する情報を、ユーザが入力することを可能にし、第1の取付具上のパーツを基準にした、超音波トランスデューサの飛行経路を計算し、これらの全ては、超音波トランスデューサが、結合流体内に浸漬された第2の取付具上に位置するパーツを検査するために実際に使用されるのと、概して同時に行われる、というものである。これらの命令は、所望される場合、プロセッサ21によって実行された場合に、トレイ上のパーツの全てについて単一のx-yラスタ走査が行われるべきかどうかをユーザが選択することを可能にする、命令を含んでもよい。これらの命令は、所望される場合、プロセッサ21によって実行された場合に、各パーツについて内部測定及び/又は外形測定が行われるべきかどうかをユーザが各パーツについて選択的にプログラムすることを可能にする、命令を含んでもよい。これらの命令は、所望される場合、プロセッサ21によって実行された場合に、検査対象のパーツのうちの1つ、いくつか、又は全ての内部の3次元的に多様な点においてA-scanが行われることを可能にする、命令を含んでもよい。本発明の第2の態様は、トレイ上のパーツの配列に関するデータを入力するために、ユーザがグラフィックユーザインタフェースと対話する手法に関する。一実施形態では、ユーザは、取付具上の列内に配列された、かつ、スペーサバーによって隔てられた、検査対象のパーツのx及びy軸境界に関する情報を入力する。第2の実施形態では、ユーザは、検査対象のパーツのモデル番号に関する情報を入力し、トランスデューサ走査経路は、メモリ19内に記憶された、入力されたパーツの既知の寸法を参照することによって計算される。第3の実施形態では、パーツが搭載された取付具の実際の写真がディスプレイ画面上に表示され、ユーザは、画面上に表示された各パーツの輪郭をトレースする。第4の実施形態では、パーツ搭載面の表現がディスプレイ画面上に表示され、ユーザは、各パーツの輪郭を、カーソル、又はその他のグラフィックス装置を用いてトレースする。本発明の1つの利点は、本発明が、オペレータの時間の効率的な使用を促進するということである。特に、パーツの特定のトレイの走査が完了するのを待つ代わりに、オペレータは、その時間を、パーツの第2のトレイのトランスデューサ飛行経路をプログラムするために利用することが可能である。本発明の第2の利点は、安全扉36の利用によって、走査型超音波顕微鏡10のトランスデューサ20が位置する領域が、オペレータに近い、顕微鏡の前部に配置されることが可能であるということである。これは、例えば、走査型超音波顕微鏡10のより容易な保守を、及び、異なるタイプの走査が次のトレイ上で採用される場合のトランスデューサのより容易な交換を可能にする。その上、既に検査された、パーツのトレイを取り出すために、検査されたパーツトレイが、他方のトレイが検査されている間に搭載されるように適合された別のトレイの上方又は下方を通過しなければならない、ということは要求されない。上記の説明は、走査中搭載要素などの特定の要素を使用して提示された。走査中搭載要素を、参照によって完全に記載されたかのように本明細書中に援用される特許及びその他の情報内で開示された、その他の超音波顕微鏡要素のうちのいずれとも組み合わせずに、又は、任意のものと組み合わせて、又は、いくつかと組み合わせて、又は、全てと組み合わせて含む、デバイスを請求する能力を保持することは、出願人の意図である。