光源からの光束を通過および遮蔽して、上記光源からの光束による露光のタイミングを設定するスライド板と、上記スライド板をスライドさせるスライド板駆動部とを含むスライドシャッターと光通過部を有すると共に、一方向に回転されて光源からの光束を通過および遮蔽して、上記光源からの光束による露光時間を設定する回転板と、上記回転板を上記一方向に回転させる回転板駆動部とを含む回転シャッターとを備え、上記スライドシャッターと上記回転シャッターとは、上記スライド板と上記回転板とを互いに対向させて配置されていることを特徴とするシャッター装置。請求項1に記載のシャッター装置において、上記スライドシャッターと上記回転シャッターとのうち、上記スライドシャッターを上記光源側に配置したことを特徴とするシャッター装置。請求項1あるいは請求項2に記載のシャッター装置において、上記回転シャッターの上記回転板には、上記光通過部がただ一つだけ設けられていることを特徴とするシャッター装置。請求項3に記載のシャッター装置において、上記光通過部がただ一つだけ設けられた上記回転板を2枚積層し、上記積層された2枚の回転板における上記光通過部同士の重なり量を変更可能にしたことを特徴とするシャッター装置。光源と、上記光源からの光束の照度分布を略均一するためのフライアイレンズと、上記光源からの光束を上記フライアイレンズの入射面に集光する集光部と、上記フライアイレンズの出射面からの光束を平行光束にして露光面を照射するコリメーション部と、上記フライアイレンズと上記コリメーション部との間に配置されて、上記フライアイレンズからの光束を通過および遮蔽する請求項1から請求項4までの何れか一つに記載のシャッター装置とを備えたことを特徴とする露光装置。請求項5に記載の露光装置において、上記シャッター装置を構成する上記スライドシャッターと上記回転シャッターとの夫々の動作を、互いの同期を取って制御する制御部を備えたことを特徴とする露光装置。そこで、この発明の第1の課題は、迅速且つ正確な露光動作を行うことができるシャッター装置を提供することにある。また、この発明の第2の課題は、光の熱で駆動手段が劣化し難いシャッター装置を提供することにある。また、この発明の第3の課題は、上記シャッター装置を備えた露光装置を提供することにある。上記課題を解決するため、この発明のシャッター装置は、光源からの光束を通過および遮蔽して、上記光源からの光束による露光のタイミングを設定するスライド板と、上記スライド板をスライドさせるスライド板駆動部とを含むスライドシャッターと光通過部を有すると共に、一方向に回転されて光源からの光束を通過および遮蔽して、上記光源からの光束による露光時間を設定する回転板と、上記回転板を上記一方向に回転させる回転板駆動部とを含む回転シャッターとを備え、上記スライドシャッターと上記回転シャッターとは、上記スライド板と上記回転板とを互いに対向させて配置されていることを特徴としている。上記構成によれば、一方向に回転される回転板を含んでいる回転シャッターによって、光源からの光束による露光時間を設定する一方、スライド板を含んでいるスライドシャッターによって、上記光源からの光束による露光のタイミングを設定するようにしている。このように、シャッター開閉動作に対する慣性力の影響が往復動よりも少ない一方向への回転によってシャッターの開閉を行う上記回転シャッター側で露光時間を設定するので、迅速且つ正確な露光動作を行うことができる。したがって、スループットの向上に伴う露光時間の短縮化に対処することができる。さらに、一方向に回転される上記回転板によって光源からの光束を通過および遮蔽するので、常に一方向に回転する光通過部によって上記光束を通過させた側から遮断することができ、照射開始から照射終了までの間における露光面での積算光量を一定にすることができる。また、1実施の形態のシャッター装置では、上記スライドシャッターと上記回転シャッターとのうち、上記スライドシャッターを上記光源側に配置している。この実施の形態によれば、上記光源からの光束による露光のタイミングを設定する上記スライドシャッターを上記光源側に配置しているので、上記スライド板は、露光面に対して実際に露光を行う場合以外には、長時間に亘って上記光源からの光束を受けることになる。しかしながら、上記スライド板における上記光束の入射位置を上記スライド板駆動部から離れた位置に設定することによって、上記スライド板の熱が上記スライド板駆動部に伝わり難くできる。したがって、上記スライド板駆動部が、上記光源からの光の熱によって劣化して、動きが鈍くなることを防止できる。尚且つ、上記回転シャッターの上記回転板が上記光源からの光束を受けることを防止して、上記回転板駆動部が上記光源からの光の熱によって劣化するのを防止できる。また、1実施の形態のシャッター装置では、上記回転シャッターの上記回転板には、上記光通過部がただ一つだけ設けられている。この実施の形態によれば、上記回転板には上記光通過部がただ一つだけ設けられているので、上記光通過部が形成されていない領域である非光通過部の角度を大きく設定することができる。したがって、上記回転板が回転し始めてから上記光通過部における回転方向前側の縁が所望の一定回転速度になるまでの時間を十分に確保することができ、上記光通過部が上記光束を通過させる際における上記回転板の回転速度を常に上記一定回転速度にすることができる。そのため、上記スライドシャッターの動作と上記回転シャッターの動作との同期を容易に取ることが可能になる。また、1実施の形態のシャッター装置では、上記光通過部がただ一つだけ設けられた上記回転板を2枚積層し、上記積層された2枚の回転板における上記光通過部同士の重なり量を変更可能にしている。この実施の形態によれば、積層された2枚の上記回転板における上記光通過部同士の重なり量を変更可能にしたので、2枚の上記回転板で形成される光束を通過させる切欠き部の角度を微少角度から大きな角度まで切り換え可能にできる。したがって、露光量が微少な場合や露光量を頻繁に変化させる必要がある場合に、対処することができる。また、この発明の露光装置は、光源と、上記光源からの光束の照度分布を略均一するためのフライアイレンズと、上記光源からの光束を上記フライアイレンズの入射面に集光する集光部と、上記フライアイレンズの出射面からの光束を平行光束にして露光面を照射するコリメーション部と、上記フライアイレンズと上記コリメーション部との間に配置されて、上記フライアイレンズからの光束を通過および遮蔽する上記この発明のシャッター装置とを備えたことを特徴としている。上記構成によれば、フライアイレンズからの光束を通過および遮蔽するシャッター装置として、スライドシャッターと回転シャッターとを併設して構成されたシャッター装置を用い、上記回転シャッターによって露光時間を設定する一方、上記スライドシャッターによって露光のタイミングを設定するようにしている。したがって、迅速且つ正確な露光動作を行うことができる。さらに、常に一方向に回転する上記回転板の光通過部によって上記光束を通過させた側から遮断することができ、照射開始から照射終了までの間における露光面での積算光量を一定にすることができる。すなわち、この発明によれば、スループットの向上に伴う露光時間の短縮化に対処可能な露光装置を提供することができる。さらに、上記回転板に上記光通過部を1つだけ設けた場合には、上記回転板が回転し始めてから上記光通過部における回転方向前側の縁が所望の一定回転速度になるまでの時間を十分に確保することができる。したがって、上記スライドシャッターの動作と上記回転シャッターの動作との同期を容易に取ることができる。また、1実施の形態の露光装置では、上記シャッター装置を構成する上記スライドシャッターと上記回転シャッターとの夫々の動作を、互いの同期を取って制御する制御部を備えている。この実施の形態によれば、制御部によって、上記スライドシャッターと上記回転シャッターとの夫々の動作を互いの同期を取って制御するので、正しく、上記回転シャッターによって露光時間を設定し、上記スライドシャッターによって露光のタイミングを設定することができる。以上より明らかなように、この発明のシャッター装置は、一方向に回転される回転板を含む回転シャッターによって、光源からの光束による露光時間を設定する一方、スライド板を含むスライドシャッターによって、上記光源からの光束による露光のタイミングを設定するようにしたので、シャッター開閉動作に対する慣性力の影響が往復動よりも少ない一方向への回転によってシャッターの開閉を行う上記回転シャッター側で、露光時間を設定することができる。したがって、迅速且つ正確な露光動作を行うことができる。さらに、常に一方向に回転する光通過部によって上記光束を通過させた側から遮断することができ、照射開始から照射終了までの間における露光面での積算光量を一定にすることができる。また、この発明の露光装置は、フライアイレンズからの光束を通過および遮蔽するシャッター装置として、スライドシャッターと回転シャッターとを併設したシャッター装置を用い、上記回転シャッターによって露光時間を設定する一方、上記スライドシャッターによって露光のタイミングを設定するので、迅速且つ正確な露光動作を行い、露光期間における露光面での積算光量を一定にすることができる。したがって、スループットの向上に伴う露光時間の短縮化に対処可能な露光装置を提供することができる。さらに、上記回転板に上記光通過部を1つだけ設けた場合には、上記回転板が回転し始めてから上記光通過部における回転方向前側の縁が所望の一定回転速度になるまでの時間を十分に確保することができる。したがって、上記スライドシャッターと上記回転シャッターとの同期を容易に取ることができる。以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。図1は、本実施の形態のシャッター装置を備えた露光装置における概略構成図である。図1の露光装置21において、紫外線ランプ22から出射された紫外線を含む光束は、楕円集光ミラー23によって集光されて第1平面ミラー24に入射される。第1平面ミラー24で反射されて光軸が略直角に曲げられた光束は、露光面での照度分布を均一化するためのフライアイレンズ25の入射面に収束される。フライアイレンズ25から出射した光束は、フライアイレンズ25の後方に配置されたシャッター装置26が開くと、シャッター装置26を通過し、第2平面ミラー27で反射されて、光束が広がらないように光軸に平行に反射する鏡面を有するコリメーションミラー28に入射される。そして、コリメーションミラー28で光軸に平行となった光束は露光面29を照射する。一方、シャッター装置26が閉じると、露光面29の照射を終了する。図2は、上記シャッター装置26の正面図および側面図である。以下、図2に従って、シャッター装置26について説明する。上記シャッター装置26は、フライアイレンズ25側に位置するスライドシャッター30と、スライドシャッター30に併設された回転シャッター31との、2つのシャッターによって構成されている。ここで、図2の正面図においては、前側に位置している回転シャッター31を通して、後側に位置しているスライドシャッター30が見えるように表現している。上記スライドシャッター30は、図1中上下方向にスライドしてフライアイレンズ25からの出射光を通過遮断するスライド板32と、このスライド板32を上下方向にスライドさせる上記スライド板駆動部としてのエアシリンダ33とを有している。エアシリンダ33はトリプルロッド型であり、3本のピストンロッド33a33b33cの先端にはスライド板32の上端が取り付けられている。さらに、エアシリンダ33は取付板34に取り付けられており、この取付板34は、紫外線ランプ22および第1平面ミラー24の収納ケース35の側壁35aに台座を介して取り付け固定されている。上記回転シャッター31は、切欠き部を有すると共に、回転してフライアイレンズ25からの出射光を通過遮断する回転板36と、この回転板36を図2中の矢印方向に回転する上記回転板駆動部としてのサーボモータ37とを有している。上記収納ケース35の側壁35aに取り付けられている取付板34を跨ぐように、スライド板32とは所定の間隔を空けて、取付板34と平行にモータ取付板38が配設されており、側壁35aに台座を介して取り付け固定されている。そして、モータ取付板38の表面には、サーボモータ37が、モータ取付板38に穿たれた貫通穴に回転軸を裏面側に向かって挿通させて取り付けられている。スライド板32とモータ取付板38との間には、回転板36が取付板34と平行に配設されており、この回転板36はサーボモータ37の上記回転軸に取り付けられている。図3は、上記スライドシャッター30の正面図および側面図である。図3は側面図であり、図3は正面図である。上記スライドシャッター30のスライド板32は、図3に示すように、フライアイレンズ25のサイズに比べて、十分に大きな矩形の板の両側をフライアイレンズ25側に折り曲げて、横断面がコ字状に形成されている。このように、シャッター装置26が閉じている間にフライアイレンズ25から出射した光束を遮断しているスライド板32の面積を大きく、且つ厚みを薄く形成して、熱伝導性と放熱性とを高め、伝達された熱を速やかに放出してスライド板32の温度が上がり難くしている。但し、両側を折り曲げて横断面をコ字状に形成することによって、スライド板32の剛性を高めるようにしている。また、上記スライド板32の面積を大きくすることによって、フライアイレンズ25からの光束が入射される箇所を上記スライド板駆動部としてのエアシリンダ33から離すことができ、スライド板32の熱がエアシリンダ33に伝わり難くしている。さらに、上記スライド板32を3本のピストンロッド33a33b33cを有するトリプルロッド型のエアシリンダ33でスライドさせるので、高い不回転精度と先端触れ精度とを得ると共に、高い推力を得ることができる。したがって、スライド板32が薄板で軽量に構成されていることと相俟って、スライド板32を正確且つ迅速に移動させることができ、迅速なシャッター動作を行うことができる。また、エアシリンダ33を薄く構成してスペース効率を高めることができる。また、トリプルロッド型のエアシリンダ33を用いることによって、スライド板32からエアシリンダ33の本体へ熱を伝達するピストンロッドの本数を3本にして熱の放熱性を高め、エアシリンダ33の本体への熱の伝達量を抑制することができる。図4は、上記回転シャッター31の正面図および側面図である。図4は側面図であり、図4は正面図である。上記回転シャッター31の回転板36には、開き角度が略90度の扇型の切欠き部でなる光通過部39をただ一つだけ設けて、光通過部39が形成されていない非光通過部の角度を大きく設定するようにしている。このように、光通過部39を1つだけ設けて、非光通過部の角度を大きく設定することによって、回転板36が回転し始めてから光通過部39における回転方向前側の縁39aが所望の一定回転速度になるまでの時間を十分に確保することができる。したがって、縁39aがフライアイレンズ25の位置に至る前に回転板36の回転速度が上記一定回転速度になるようにすることができ、回転板36が所望の回転速度になっている期間に光通過部39がフライアイレンズ25の位置を通過するようにできる。その場合の光通過部39の開き角度は、上記90度に限定されるものではなく、所望の回転速度で回転板36を回転させた場合に、少なくとも所望の露光時間だけフライアイレンズ25からの光束を通過させることができる角度であればよい。上記構成を有するスライドシャッター30のエアシリンダ33は、図1に示すように、シリンダ駆動部40によって駆動されてスライド板32を上下方向にスライドさせて、フライアイレンズ25からの出射光を通過遮断する。一方、回転シャッター31のサーボモータ37は、モータ駆動部41によって駆動されて回転板36を上記矢印方向に回転させて、フライアイレンズ25からの出射光を通過遮断する。制御部42は、シリンダ駆動部40およびモータ駆動部41の動作を同期を取って制御することにより、以下のようなシャッター開閉動作を行う。第1シャッター開閉動作この第1シャッター開閉動作では、回転シャッター31側で露光時間を設定し、スライドシャッター30側で露光のタイミングを設定する。先ず、上記制御部42により、回転シャッター31における回転板36の回転速度を、所望の露光時間だけフライアイレンズ25からの光束を通過できるように設定する。さらに、回転板36における光通過部39の縁39aの回転開始位置を、上記設定した回転速度になった後に縁39aがフライアイレンズ25の位置に到達するように設定し、上記回転速度と共に内部メモリ等に格納する。そして、モータ駆動部41に対して制御信号を出力して、縁39aの回転開始位置を上記予め設定した位置に位置決めさせる。次に、外部からの信号によってワークが所定の位置にセットされたことを制御部42が検知すると、制御部42によって、シリンダ駆動部40に対して制御信号を出力して、スライドシャッター30のスライド板32を上方にスライドさせる。そして、スライド板32が確実にフライアイレンズ25からの光束を通過させるまでの時間が経過すると、モータ駆動部41に対して制御信号を出力して、回転板36の上記設定した回転速度での回転を開始させる。次に、上記制御部42によって、回転板36における光通過部39の回転方向後側の縁39bがフライアイレンズ25の位置を通り過ぎるまでの時間が経過すると、シリンダ駆動部40に対して制御信号を出力して、スライドシャッター30のスライド板32を下方にスライドさせる。そして、スライド板32が確実にフライアイレンズ25からの光束を遮断するまでの時間が経過すると、モータ駆動部41に対して制御信号を出力して、回転板36の回転を停止させて、光通過部39の縁39aを回転開始位置に位置させる。以後、上述した動作を、ワークが所定の位置にセットされる毎に繰り返して行う。第2シャッター開閉動作この第2シャッター開閉動作では、回転シャッター31側で露光時間を設定し、スライドシャッター30側で露光のタイミングを設定する。先ず、上記制御部42により、回転シャッター31における回転板36の回転速度を、所望の露光時間だけフライアイレンズ25からの光束を通過できるように設定し、上記内部メモリ等に格納する。そして、モータ駆動部41に対して制御信号を出力して、回転板36の上記設定した回転速度での回転を開始させる。以後、回転板36を、上記設定した回転速度で回転し続ける。次に、外部からの信号によってワークが所定の位置にセットされたことを上記制御部42が検知すると、回転板36の回転速度が上記設定した回転速度に到達した以降に、回転板36がフライアイレンズ25を閉鎖している期間において、制御部42によって、シリンダ駆動部40に対して制御信号を出力して、スライドシャッター30のスライド板32を上方にスライドさせる。その場合、回転板36がフライアイレンズ25を閉鎖している期間にスライド板32がフライアイレンズ25を完全に解放するように、スライド板32のスライド開始時点を設定しておく。そして、回転板36における光通過部39の回転方向後側の縁39bがフライアイレンズ25の位置を通り過ぎるまでの時間が経過すると、シリンダ駆動部40に対して制御信号を出力して、スライドシャッター30のスライド板32を下方にスライドさせる。以後、上述した制御部42によるシリンダ駆動部40に対する制御を、ワークが所定の位置にセットされる毎に繰り返して行う。その間、回転板36は上記設定した回転速度での回転を続行する。そして、全てのワークに対する露光処理が終了したことを制御部42が検知すると、制御部42によってモータ駆動部41に対して制御信号を出力して、回転板36の回転を停止させるのである。上記第2シャッター開閉動作の場合には、回転シャッター31の回転板36を常時一定の回転速度で回転するので、回転板36を回転駆動するサーボモータ37は大きな駆動力を必要とはせず、小型で安価なモータを使用することができる。また、制御部42によるシリンダ駆動部40およびモータ駆動部41に対する制御も簡単になる。上述したように、上記第1シャッター開閉動作および第2シャッター開閉動作においては、何れも回転シャッター31側で露光時間を設定するようにしている。したがって、常に一方向に回転する光通過部39によってフライアイレンズ25を開放した側から閉鎖することができ、照射開始から照射終了までの間における露光面29での積算光量を一定にできるのである。尚、上記スライドシャッター30のスライド板32に、一つの光通過穴とこの光通過穴の両側に設置された2つの光遮光部とを設けて、スライドシャッター30を図6に示す従来のスライドシャッター5の場合と同様に動作させれば、フライアイレンズ25を開放した側から閉鎖して照射開始から照射終了までの間における露光面29での積算光量を一定にすることが可能になる。その場合は、スライドシャッター30側で露光時間を設定し、回転シャッター31側で露光のタイミングを設定することが可能になる。しかしながら、上記サーボモータ37によって回転板36を回転する回転シャッター31側で露光時間を設定する方が、シャッター開閉動作に対する慣性力の影響を少なくすることができ、迅速且つ正確に露光時間を設定することができるので好ましい。以上のごとく、本実施の形態においては、ワークに対して紫外線ランプ22からの光束を露光するに際して上記光束を通過遮断するシャッター装置26を、エアシリンダ33でスライドされる一枚のスライド板32で上記光束を通過遮断するスライドシャッター30と、サーボモータ37で回転される回転板36で上記光束を通過遮断する回転シャッター31とを、併設して構成している。そして、上記サーボモータ37によって回転板36を回転する回転シャッター31側で露光時間を設定する一方、スライドシャッター30側で露光のタイミングを設定するようにしている。したがって、迅速に正確な露光動作を行うことができる。さらに、回転板36によって、フライアイレンズ25を開放した側から閉鎖することができ、照射開始から照射終了までの間における露光面29での積算光量を一定にできる。また、互いに併設されている上記スライドシャッター30と回転シャッター31とのうち、スライドシャッター30をフライアイレンズ25側に位置させている。そして、スライドシャッター30は、回転シャッター31の回転板36によってフライアイレンズ25からの光束を通過させる必要がある場合のみ開放して、露光のタイミングを設定するようにしている。したがって、非露光期間中は、フライアイレンズ25からの光束をスライドシャッター30のスライド板32で遮ることになる。その場合、上記スライドシャッター30のスライド板32は、フライアイレンズ25のサイズに比べて大きな矩形の薄板の両側を折り曲げて形成されている。このように、スライド板32の面積を大きく且つ厚みを薄くすることによって、熱伝導性と放熱性とを高めて、伝達された熱を速やかに放出してスライド板32の温度が上がり難くできる。また、スライド板32の面積を大きくすることによって、フライアイレンズ25からの光束の入射位置をピストンロッド33a33b33cを介してエアシリンダ33から離すことができ、スライド板32の熱がエアシリンダ33に伝わり難くできる。また、トリプルロッド型のエアシリンダ33を用いることにより、スライド板32から3本のピストンロッド33a33b33cを介してエアシリンダ33の本体へ伝達される熱の放熱性を高めることができる。したがって、エアシリンダ33が、フライアイレンズ25からの入射光の熱によって劣化して、動きが鈍くなることを防止できる。さらに、上記フライアイレンズ25からの光束をスライドシャッター30のスライド板32で受けることによって、非露光期間中に回転シャッター31の回転板36がフライアイレンズ25からの光束を受ける量を少なくすることができる。したがって、回転板36を直接駆動するサーボモータ37が回転板36からの熱で劣化することを防止できる。また、上記回転シャッター31の回転板36には、扇型の切欠き部でなる光通過部39を1つだけ設け、光通過部39が形成されていない非光通過部の角度を大きく設定している。このように、光通過部39を1つだけ設けことによって、回転板36が回転し始めてから光通過部39における回転方向前側の縁39aが所望の一定回転速度になるまでの時間を十分に確保することができる。したがって、光通過部39が、常時所望の回転速度でフライアイレンズ25の位置を通過するようにできる。そのため、制御部42によってシリンダ駆動部40およびモータ駆動部41の動作を制御して上記第1第2シャッター開閉動作を行う場合に、スライドシャッター30と回転シャッター31との同期を容易に取ることができる。尚、上記実施の形態においては、スライドシャッター30は、スライド板32を図1中上下方向にスライドして、フライアイレンズ25からの出射光を通過遮断するようにしているが、スライド板を図2中左右にスライドさせて、フライアイレンズ25からの出射光を通過遮断してもよい。あるいは、スライド板を揺動させて、フライアイレンズ25からの出射光を通過遮断することも可能である。また、上記露光量が微少であったり、露光量を頻繁に変化させる必要がある場合には、回転シャッター31の回転板36を2枚重ねて用い、2枚の回転板36における光通過部39同士の重なり量を変更可能に構成する。そして、光通過部39の重なり量を変更することによって、光束を通過させる切欠き部の角度を微少角度から90度まで切り換え可能にしても差し支えない。尚、その場合における上記光通過部39同士の重なり量の変更方法は、特に限定するものではない。例えば、2枚の回転板36の内面に周方向に沿って複数の係合部あるいは連結穴を設け、両回転板36の係合箇所あるいは連結箇所を換えることによって行ってもよい。尚、上記係合部としては機械式係合部や電磁式係合部がある。また、上記スライドシャッター30のスライド板32をスライドさせる上記スライド板駆動部として、エアシリンダ33を用いている。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、油等の液体シリンダを用いてもよい。また、回転シャッター31の回転板36を回転する上記回転板駆動部として、サーボモータ37を用いている。しかしながら、ロータリーシリンダを用いてもよい。