キャリアを運ぶコンベヤシステムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディングステーションを含む電子デバイス製造設備の第1の基板ローディングステーションから第2の基板ローディングステーションへキャリアを搬送する要求を受信し、少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤシステムのバランスが維持されるように、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの1つを割り当て、前記第1の基板ローディングステーションから前記キャリアを運び、前記第2の基板ローディングステーションへ前記キャリアを運ぶステップを含む、電子デバイス製造方法。前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの1つを割り当てるステップは、前記複数のキャリア支持体のうちの1つを選択し、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断するステップを含む請求項1の方法。係属中の搬送との衝突がなければ、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへの前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項2の方法。係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するステップを更に含む請求項2の方法。他の選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、係属中の搬送と衝突がなければ、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへのキャリアの搬送するために前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項4の方法。前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするか否かを判断するステップを更に含む請求項2の方法。係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへの前記キャリアを搬送するために前記選択されたキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項6の方法。係属中の搬送との衝突があり、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するステップを更に含む請求項7の方法。前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへの前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項8の方法。係属中の搬送は、基板ローディングステーション間のキャリアの搬送を含む請求項2の方法。前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断することは、前記コンベヤシステムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤシステムの速度と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置する準備のために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置するために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出すために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも1つと、を含む第1のパラメータ群と、前記コンベヤシステムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤシステムの速度と、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出す準備のために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置するために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出すために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも1つとを含む第2のパラメータ群のうちの少なくとも1つに基づいて行われる請求項2の方法。キャリアを運ぶコンベヤシステムに結合された複数のキャリア支持体を含む電子デバイス製造設備内の、第1の基板ローディングステーションから第2の基板ローディングステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、前記コンベヤシステムのバランスが維持されるように、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ、キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの1つを割り当て、前記第1の基板ローディングステーションから前記キャリアを運び、前記第2の基板ローディングステーションへ前記キャリアを運ぶようにした電子デバイス製造設備の制御システムを含む電子デバイス製造装置。前記制御システムは、更に、前記複数のキャリア支持体のうちの1つを選択し、前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断するようにした請求項12の装置。前記制御システムは、更に、係属中の搬送との衝突がなければ、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへの前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項13の装置。前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項13の装置。前記制御システムは、更に、前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、係属中の搬送と衝突がなければ、前記第1の基板ローディングステーションか前記第2の基板ローディングステーションへ、前記キャリアの搬送するために前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項15の装置。前記制御システムは、更に、前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするか否かを判断するようにした請求項13の装置。前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ、前記キャリアを搬送するために前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項17の装置。前記制御システムは、係属中の搬送との衝突がなく、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項7の装置。前記制御システムは、更に、前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項8の装置。係属中の搬送は、基板ローディングステーション間のキャリアの搬送を含む請求項13の方法。前記制御システムは、更に、前記コンベヤシステムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤシステムの速度と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置する準備のために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置するために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出すために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも1つと、を含む第1のパラメータ群と、前記コンベヤシステムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤシステムの速度と、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出す準備のために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置するために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出すために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも1つとを含む第2のパラメータ群のうちの少なくとも1つに基づいて、前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断するようにした請求項13の装置。電子デバイス製造設備内の複数の基板ローディングステーションと、結合された複数のキャリア支持体を有し、前記設備内でキャリアを運ぶコンベアシステムと、前記複数の基板ローディングステーションおよび前記コンベアシステムに結合され、第1の基板ローディングステーションから第2の基板ローディングステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、前記コンベヤシステムのバランスが維持されるように、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ、キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの1つを割り当て、前記第1の基板ローディングステーションから前記キャリアを運び、前記第2の基板ローディングステーションへ前記キャリアを運ぶようにした制御システムとを含む電子デバイス製造設備システム。前記制御システムは、更に、前記複数のキャリア支持体のうちの1つを選択し、前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断するようにした請求項23のシステム。前記制御システムは、更に、係属中の搬送との衝突がなければ、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項24のシステム。前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項24のシステム。前記制御システムは、更に、前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、係属中の搬送と衝突がなければ、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項26のシステム。前記制御システムは、更に、前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするか否かを判断するようにした請求項24のシステム。前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ、前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項28のシステム。前記制御システムは、係属中の搬送との衝突があるか、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項29のシステム。前記制御システムは、更に、前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤシステムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第1の基板ローディングステーションから前記第2の基板ローディングステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項30のシステム。係属中の搬送は、基板ローディングステーション間のキャリアの搬送を含む請求項24のシステム。前記制御システムは、更に、前記コンベヤシステムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤシステムの速度と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置する準備のために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置するために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出すために、前記第1の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも1つと、を含む第1のパラメータ群と、前記コンベヤシステムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤシステムの速度と、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出す準備のために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間と、前記コンベヤシステム上にキャリアを載置するために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤシステムからキャリアを取り出すために、前記第2の基板ローディングステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも1つとを含む第2のパラメータ群のうちの少なくとも1つに基づいて、前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断するようにした請求項24のシステム。各々が基板キャリアを受け取るようにした複数の基板ローディングステーションを設け、各々が基板キャリアを支持するようにした複数のキャリア支持体を含み、前記基板ローディングステーション間で基板キャリアを輸送するようにした配達システムを設け、前記基板ローディングステーション間で基板キャリアの輸送を制御するための制御システムを設け、第1の基板ローディングステーションへの搬送命令を送るために前記制御システムを用い、前記制御システムが前記第1の基板ローディングステーションからの搬送のためにキャリア支持体を割り当てることができないならば、前記搬送を取り消すために前記第1の基板ローディングステーションへ命令を送るように前記制御システムを用い、1つ以上のキャリア支持体の遅延及び状態のうちの少なくとも1つが変化した後、前記第1の基板ローディングステーションへ前記搬送命令を再送信するために前記制御システムを用いるステップを含む方法。再送信された搬送命令に応じて、前記第1の基板ローディングステーションからの搬送のために、キャリア支持体を割り当て、前記第1の基板ローディングステーションから前記キャリアを運び、第2の基板ローディングステーションへの前記キャリアを運ぶステップを更に含む請求項34の方法。