"太陽電池の表面に単色光を照射するための単色光用光学系と、単色光用光学系の光路上の単色光の進行方向における所定位置に太陽電池を保持する電池保持部と、電池保持部により所定位置に保持された太陽電池にバイアス光を照射するバイアス光用光学系とを備えており、単色光用光学系とバイアス光用光学系とが交差する箇所にはビームスプリッタが設けられており、ビームスプリッタは、バイアス光の一部を反射しつつ単色光の一部を透過させてバイアス光及び単色光を同じ向きに進ませて同じ角度で太陽電池に入射させるものであるか、バイアス光の一部を透過しつつ単色光の一部を反射させてバイアス光及び単色光を同じ向きに進ませて同じ角度で太陽電池に入射させるものであることを特徴とする太陽電池分光感度特性測定装置。太陽電池の表面に単色光を照射するための測定光用光学系と、測定用光学系の光路上の単色光の進行方向における所定位置に太陽電池を保持する電池保持部と、所定位置に太陽電池が保持されているかをモニタする電池位置モニタとを備えており、電池位置モニタは、単色光が入射する側を前側とした場合、前記所定位置に保持された太陽電池の斜め前方からレーザー光を照射するレーザー照射系より成るものであり、レーザー照射系は、太陽電池の表面に入射する単色光の光軸を挟んで両側からレーザー光を照射するするものであって前記所定位置に太陽電池が保持された際に当該太陽電池の表面上で二つのレーザー光によるビームスポットが重なるよう照射するものであることを特徴とする太陽電池分光感度特性測定装置。上述した太陽電池分光感度特性測定では、測定精度を向上させるため、バイアス光をできるだけ単色光と同じ条件で太陽電池に照射させたり、太陽電池の保持位置の精度を高めたりすることが必要になっている。本願の発明は、これら課題を解決するためになされたものであり、バイアス光をできるだけ単色光と同じ条件で太陽電池に照射させたり、太陽電池の保持位置の精度を高めたりすることで、より精度の高い分光感度特性測定を可能にする技術的意義を有するものである。上記課題を解決するため、本願の請求項1記載の太陽電池分光感度特性測定装置の発明は、太陽電池の表面に単色光を照射するための単色光用光学系と、単色光用光学系の光路上の単色光の進行方向における所定位置に太陽電池を保持する電池保持部と、電池保持部により所定位置に保持された太陽電池にバイアス光を照射するバイアス光用光学系とを備えており、単色光用光学系とバイアス光用光学系とが交差する箇所にはビームスプリッタが設けられており、ビームスプリッタは、バイアス光の一部を反射しつつ単色光の一部を透過させてバイアス光及び単色光を同じ向きに進ませて同じ角度で太陽電池に入射させるものであるか、バイアス光の一部を透過しつつ単色光の一部を反射させてバイアス光及び単色光を同じ向きに進ませて同じ角度で太陽電池に入射させるものであるという構成を有する。また、上記課題を解決するため、請求項2記載の太陽電池分光感度特性測定装置の発明は、太陽電池の表面に単色光を照射するための測定光用光学系と、測定用光学系の光路上の単色光の進行方向における所定位置に太陽電池を保持する電池保持部と、所定位置に太陽電池が保持されているかをモニタする電池位置モニタとを備えており、電池位置モニタは、単色光が入射する側を前側とした場合、前記所定位置に保持された太陽電池の斜め前方からレーザー光を照射するレーザー照射系より成るものであり、レーザー照射系は、太陽電池の表面に入射する単色光の光軸を挟んで両側からレーザー光を照射するするものであって前記所定位置に太陽電池が保持された際に当該太陽電池の表面上で二つのレーザー光によるビームスポットが重なるよう照射するものであるという構成を有する。以下に説明する通り、本願の請求項1記載の発明によれば、単色光用光学系とバイアス光用光学系の交差箇所にビームスプリッタを設け、単色光とバイアス光とが同じ角度で太陽電池に入射するようにしたので、波長角度依存性の影響が無くなり、バイアス光と同じ条件での単色光入射時の特性を測定することができる。また、請求項2記載の発明によれば、電池位置モニタによって太陽電池の保持位置を監視し、所定位置に保持した上で測定することができるので、位置再現性の点で精度の高い測定が行える。次に、本願発明を実施するための形態以下、実施形態について説明する。図1は、本願発明の実施形態に係る太陽電池分光感度特性測定装置の概略構成を示した図である。図1に示す太陽電池分光感度特性測定装置は、太陽電池Sの表面に単色光を照射するための単色光用光学系1と、単色光用光学系1の光路上の単色光の進行方向における所定位置に太陽電池Sを保持する電池保持部2と、電池保持部2により所定位置に保持された太陽電池Sにバイアス光を照射するバイアス光用光学系3とを備えている。単色光用光学系1は、平板型の回折格子11を分光素子として使用したツェルニーターナー型の光学系となっており、単色光用光源12、入射スリット13、第一第二の二つの凹面鏡14,15、回折格子グレーティング11、出射スリット16、出射スリット16を通過した光を再度集光して太陽電池Sに照射する集光レンズ17等から構成されている。単色光用光源12からの光は、入射スリット13を通して入射し、第一凹面鏡14で平行光となった後に回折格子11に照射される。回折格子11で反射した光は単色光となり、第二凹面鏡15に反射し、出射スリット16を経て集光レンズ17により再度集光されて太陽電池Sに入射するようになっている。本実施形態では、分光素子としては回折格子11が使用されており、回折格子11の駆動系18が付設されている。駆動系18は、指定された波長の光が単色光として出力されるよう、回折格子11の姿勢光軸上での配置角度を調節するものである。ある波長範囲における分光感度特性が測定される場合、駆動系18は、その波長範囲において分解能が規定する波長幅毎に単色光が順次出力されるよう回折格子11の姿勢を順次変化させる波長掃引する。一方、バイアス光用光学系3は、バイアス光用光源31と、バイアス光用光源31からの光を平行光にするコリメータ素子32と、バイアス用フィルタ33等から構成されている。バイアス光用光源31としては、キセノンランプのような太陽光に近い発光スペクトル分布を持つものが使用される。バイアス用フィルタ33は、スペクトルをより実使用状態に近づけるためのフィルタであり、例えば使用場所の緯度に合わせてスペクトル分布を調整するエアマスフィルタが使用される。尚、単色光用光学系1やバイアス光用光学系3には、不図示のシャッタが配置されており、シャッタの開閉によって測定開始と停止とを制御するようになっている。そして、本実施形態では、単色光とバイアス光とを同じ角度で同軸上で太陽電池Sに入射させるため、ビームスプリッタ4が設けられている。図1に示すように、ビームスプリッタ4は、単色光用光学系1の光軸とバイアス光用光学系3の光軸が直角に交差する箇所に設けられており、単色光の一部を透過させて太陽電池Sに指向せしめるとともにバイアス光の一部を反射して太陽電池Sに指向せしめるものとなっている。電池保持部2は、集光レンズ17による集光位置に太陽電池Sを保持するものである。電池保持部2は、太陽電池Sを載せる電池台21と、電池台21上で太陽電池Sを固定するクランプのような不図示の固定具と、電池台21の位置を微調節する調節機構22等から構成されている。調節機構22は、マイクロメータのような精密ネジ機構を採用し、電池台21を光軸に沿った方向と光軸に垂直な方向に変位させることができるようにしている。光軸に垂直な方向としては、光軸に垂直な面内で互いに直交する二つの方向とすることが好ましい光軸をz方向とした場合のxy方向。また、装置は、電池保持部2に保持されて単色光及びバイアス光の照射を受けた太陽電池Sにおける分光感度特性光起電力による電流特性等を測定する測定回路ユニット5を備えている。測定回路ユニット5は、太陽電池Sに接続した負荷端に生じる電圧や負荷を通して流れる電流を測定する回路、SN比を改善するための回路、測定結果を出力する出力回路等を含んでいる。一方、図1に示すように、本実施形態の太陽電池分光感度特性測定装置は、所定位置に太陽電池Sが保持されているかを監視する電池位置モニタ6を備えている。本実施形態では単色光を集光レンズ17により集光して用いているので、電池位置モニタ6が監視する所定位置とは集光レンズ17による集光位置である。図1に示すように、電池位置モニタ6は、単色光が入射する側を前側とした場合、集光位置に保持された太陽電池Sの斜め前方からレーザー光を照射するレーザー照射系より成るものである。レーザー照射系は、単色光の光軸を挟んで両側からレーザー光を照射するするものであり、レーザー発振器61,62を集光位置の斜め右上と斜め左上に配置して成るものである。各レーザー発振器61,62は、He-Neレーザや可視光半導体レーザのような可視光レーザ発振器である。二つのレーザー発振器61,62は、レーザー光が丁度集光位置で重なる位置に設けられている。図2は、電池位置モニタ6の動作について示した平面概略図である。図21は、太陽電池Sが集光位置に正しく位置していない状態、2は正しく位置した状態を示している。電池台21に太陽電池Sを載置してレーザー照射系を動作させると、レーザー光によるビームスポットB,B’が太陽電池Sの表面に現れる。太陽電池Sの表面が集光位置に正しく位置していない場合、図21に示すように二つのビームスポットB,B’が分離して現れる。調節機構22を操作して電池台21を光軸方向に変位して微調節し、太陽電池Sの表面が集光位置に正しく位置させると、2に示すように二つのビームスポットB,B’が丁度重なり1つのビームスポットとなったように見えることになる。レーザー光の入射角度光軸に垂直な面に対する角度,図1にθで示すとしては、30~60度より好ましくは40~50度にすると、ビームスポットB,B’の重なりを視認し易いので、好適である。尚、太陽電池Sの表面の全面が被測定面となっており、どこに入射しても良い場合もあるが、太陽電池Sの表面のうち特定のエリアのみが被測定面となっており、そこに入射させなければならな場合もある。例えば、太陽電池Sが幾つかのエリアに区画されており、それぞれについて分光感度特性を測定しなければならない場合である。この場合は、調節機構22を操作して光軸に垂直な方向に太陽電池Sを変位させ、集光位置光軸上に被測定面を位置させる。例えば、図23に示すように、太陽電池Sが三つのエリアに区画されており、中央のエリアが被測定面である場合、そのエリアにおいて上記のようにビームスポットB,B’が1つに重なるように調節機構22が操作される。上述した構成に係る本実施形態の太陽電池分光感度特性測定の動作について、以下に説明する。測定を行う場合、太陽電池Sを上述したように電池台21に載置し、電池位置モニタ6を操作して太陽電池Sの表面を所定位置この実施形態では集光レンズ17による集光位置に位置させる。その後、電池位置モニタ6の各レーザー発振器61,62を停止させ、単色光用光源12及びバイアス用光源31を点灯させる。分光素子としての回折格子11の駆動系18を操作して所定の単色光が出力される姿勢に回折格子11を制御した後、各光学系1,3に配置された不図示のシャッタを開き、測定を行う。太陽電池Sには、単色光及びバイアス光が入射し、光起電力が生じて各特性が測定回路ユニット5において測定される。単色光とバイアス光とを統合するために用いたビームスプリッタ4としては、一例としてはハーフミラーが使用できる。但し、50の透過率反射率の場合もあるが、単色光とバイアス光とが所定の割合になるよう、例えば、20の反射率80の透過率にしたり、逆に70の反射率30の透過率にしたりする場合もある。上述した構成及び動作に係る本実施形態の太陽電池分光感度特性測定装置によれば、単色光用光学系1とバイアス光用光学系3の交差箇所にビームスプリッタ4を設け、単色光とバイアス光とが同じ角度で太陽電池Sに入射するようにしたので、波長角度依存性の影響が無くなり、バイアス光と同じ条件での単色光入射時の特性を測定することができる。また、電池位置モニタ6によって配置位置を監視しながら太陽電池Sを所定位置に配置することができるので、位置再現性の点で精度の高い測定が行えるようになっている。上記実施形態では、集光レンズ17による集光位置が所定位置であったが、例えばコリメータ素子コリメータレンズ又はコリメータミラーを使用して平行光にする場合も、完全な平行度というのは望み得ないから、常に同じ位置で太陽電池Sを保持して測定を行う必要があり、そのように設定される位置が所定位置ということになる。次に、他の実施形態の構成について説明する。図1に示す実施形態では、バイアス光の一部を反射しつつ単色光の一部を透過させてバイアス光及び単色光を同じ向きに進ませて太陽電池Sに入射させるものであったが、ビームスプリッタ4は、バイアス光の一部を透過しつつ単色光の一部を反射させてバイアス光及び単色光を同じ向きに進ませて太陽電池Sに入射させるものであっても良い。この場合も、単色光とバイアス光とが所定の割合になるよう、例えば20の透過率80の反射率にしたり、逆に70の透過率30の反射率にしたりする場合がある。また、電池位置モニタ6の構成としては、レーザー照射系が一つのみのレーザー発振器を備える構成であっても良い。この場合、一つのレーザー発振器からのレーザー光をビームスプリッタで分割し、図1に示すのと同じ位置及び角度で光軸上の所定位置に到達するよう光学系が構成される。また、上記各実施形態の構成において、単色光用光源12とバイアス光用光源31との二つを用いたが、一つの光源を兼用して用いることもできる。この場合は、ビームスプリッタを使用して二つに分け、一方を前述したように分光素子を経由させて分光して用いることになる。また、単色光用光学系としては、前述したツェルニーターナー型の他、エバート型、ファスティーエバート型等、任意のものを採用し得る。特開2000-55733号公報所載の光学系を採用すると、収差が小さく分解能が高くなるので好適である。また、分光素子のとしての回折格子を走査せず、各波長域が入射する位置に太陽電池を保持してまたは一つの太陽電池の各エリアを配置して各波長を同時に測定することも可能である。電池台が上面に太陽電池を載置して保持する構造となっていることは何ら必須の要件ではなく、電池台を垂直に立てて配置し、太陽電池を立てて保持しながら測定する構造が採用されることもある。ないしは、電池台の下面に太陽電池を保持する場合もある。"