圧力を基準圧力に対して測定するように配設されている静電容量センサ組立体において、筺体組立体と、前記筺体組立体に対して定着的に固定されている電極配列と、可撓性のダイヤフラムであって、a活動部分とb1つ又はそれ以上の箇所で前記筺体組立体に対して定着されている定着部分とを有する、ダイヤフラムと、を備えており、前記筺体組立体は、前記ダイヤフラムと前記電極配列を互いに離間関係に、前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対し当該ダイヤフラムの当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧に応えて撓むように支持しており、前記ダイヤフラムは、当該可撓性のダイヤフラムが前記筺体組立体に対して定着されている前記箇所と前記活動部分との間に、前記ダイヤフラムの前記活動部分への何らかの応力を逃がすための少なくとも1つの溝を含んでいる、静電容量センサ組立体。前記溝は、前記ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通している、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。前記筺体組立体は、前記ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面側に基準気体を受け入れるための基準室を、そして前記活動部分の他方の面側に圧力を前記基準気体に対して測定される気体を受け入れるための測定室を、含むように構成されている、請求項2に記載の静電容量センサ組立体。前記基準気体は周囲圧力にあり、前記静電容量センサ組立体は、周囲圧力の気体を前記基準室の中へ導入するための入口を更に含んでいる、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。前記基準気体は所定圧力にあり、前記静電容量センサ組立体は、基準圧力の気体を前記基準室の中へ導入するための入口を更に含んでいる、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。前記基準室と前記測定室は互いからシールされている、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。前記電極配列は前記基準室内に固定されている、請求項6に記載の静電容量センサ組立体。前記電極配列は、リング電極と中心電極であって、前記ダイヤフラムの前記活動部分に対して所定距離だけ各々離間されている、リング電極と中心電極を含んでいる、請求項7に記載の静電容量センサ組立体。前記溝は前記基準室と流体連通している、請求項3に記載の静電容量センサ組立体。前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対して当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧の所定範囲一杯に撓むように前記ダイヤフラムと前記電極配列の間のスペーシングを所定距離に維持するため、前記ダイヤフラムと前記電極配列に対して固定されているスペーサリングを更に備えている、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。前記スペーサは、前記ダイヤフラムの前記溝の少なくとも一部分を当該ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通させられるように形成されている、請求項10に記載の静電容量センサ組立体。前記ダイヤフラムの前記溝と当該ダイヤフラムの前記活動部分の前記一方の面は基準気体を受け入れる、請求項11に記載の静電容量センサ組立体。前記基準気体は周囲圧力にある、請求項12に記載の静電容量センサ組立体。前記基準気体は基準圧力にある、請求項12に記載の静電容量センサ組立体。前記スペーサは、複数の溝であって、それぞれが前記ダイヤフラムの前記溝との間に流体連通が許容されるように当該溝と整列している、複数の溝を含んでいる、請求項11に記載の静電容量センサ組立体。前記ダイヤフラムは当該ダイヤフラムの前記定着部分の全周に亘って前記筺体組立体へ固定されており、前記ダイヤフラムの前記溝は環状溝である、請求項1に記載の静電容量センサ組立体。前記静電容量センサ組立体は、前記ダイヤフラムの前記活動部分が前記電極配列に対して当該活動部分の互いに反対側の面に掛かる差圧の所定範囲一杯に撓むように前記ダイヤフラムと前記電極組立体の間のスペーシングを既定距離に維持するため、前記ダイヤフラムと前記電極配列に対して固定されているスペーサリングを更に含んでおり、前記スペーサは、複数の溝であって、それぞれが前記ダイヤフラムの前記環状溝を当該ダイヤフラムの前記活動部分の一方の面と流体連通に維持するように当該ダイヤフラムの当該溝と整列している、複数の溝を含んでいる、請求項16に記載の静電容量センサ組立体。筺体組立体と、電極配列と、ダイヤフラムであって前記筺体組立体へ固定されている定着部分と前記ダイヤフラムの互いに反対側の面に掛かる差圧に応えて前記電極配列に対し動く活動部分とを有するダイヤフラムと、を含んでいる型式のセンサ組立体を構成する方法において、前記ダイヤフラムの前記定着部分を1つ又はそれ以上の箇所で前記筺体組立体の少なくとも一部分に対して固定する工程と、前記ダイヤフラムの前記定着部分の、当該ダイヤフラムが前記筺体組立体に対して定着されている前記箇所と前記活動部分との間に、前記ダイヤフラムの前記活動部分への何らかの応力を逃がすための少なくとも1つの溝を形成する工程と、を備えている方法。前記ダイヤフラムの前記定着部分を固定する工程は、前記ダイヤフラムの前記定着部分を前記筺体組立体の一部分へ溶接する工程を含んでいる、請求項18に記載の方法。前記少なくとも1つの溝を形成する工程は、前記ダイヤフラムが所定場所に固定された後に、前記溝を前記ダイヤフラムの前記定着部分に放電機械加工する工程を含んでいる、請求項18に記載の方法。前記電極配列と前記ダイヤフラムの間に、当該ダイヤフラムの前記活動部分と当該電極配列の間のギャップスペーシングを確定するためのスペーサリングを固定する工程を更に含んでいる、請求項18に記載の方法。少なくとも1つの溝を前記スペーサに形成する工程であって、前記ダイヤフラムの前記溝が前記ダイヤフラムの一方の面と流体連通するよう前記スペーサの前記溝が当該ダイヤフラムの当該溝と整列するように、少なくとも1つの溝を前記スペーサに形成する工程を更に含んでいる、請求項21に記載の方法。センサ組立体において、筺体組立体と、電極配列と、ダイヤフラムであって、前記筺体組立体へ固定されている定着部分と、前記ダイヤフラムの互いに反対側の面に掛かる差圧に応えて前記電極配列に対し動く活動部分と、を有するダイヤフラムと、を備えており、前記ダイヤフラムの前記定着部分は1つ又はそれ以上の箇所で前記筺体組立体の少なくとも一部分に対して固定されており、前記ダイヤフラムの前記定着部分には、当該ダイヤフラムが前記筺体組立体に対して定着されている箇所と前記活動部分との間に、前記ダイヤフラムの前記活動部分への何らかの応力を逃がすための少なくとも1つの溝が形成されている、センサ組立体。0011図1を参照すると、静電容量センサ組立体10の或る実施形態が、圧力を基準圧力に対して測定するのに使用されている。静電容量センサ組立体10は、筺体組立体12を備えている。筺体組立体12は、測定側副組立体14と基準側副組立体16の少なくとも2つの副組立体を含んでいる。副組立体14は、一端に圧力を測定される気体を受け入れるための開口部20をそして他端にダイヤフラム22を有する円筒部分18を含んでいる。部分18と開口部20とダイヤフラム22とによって画定される空間は、圧力を測定される気体を収容するための測定室24を画定している。第2の基準側副組立体16は、入口管32を受け入れるための第1開口部30と、中心電極36及びリング電極38を含む電極配列を受け入れるための第2開口部34と、ゲッタ点線で表示40と、を有するエンドプレート28、を有している円筒部分26を含んでいる。円筒部分26及びエンドプレート28が第1の筺体組立体へ固定されると、反対側の端をダイヤフラム22によって閉じられた基準気体室42が形成される。入口管32は、気体が当該管を通って基準気体室38の中へ導入されること又は基準気体室38から除去されることが可能になるように、エンドプレート28内にシールされている。基準気体は、既定の基準圧力にあってもよく、その場合、管は、ひとたび基準圧力が確立されたらシール閉鎖されることになる。代わりに、管が開きっぱなしにされている事例では、基準気体は周囲圧力となる。電極36及び38は、それらがダイヤフラムの活動部分に対し且つ互いに対して正しく位置付けられるように、適切な電気絶縁性シール材料44ガラス、セラミック、などを用いて所定場所にシールされることになる。スペーサ要素46は、典型的には、電極36と38がそれぞれダイヤフラム22の一方の面から既定距離だけ離間されるようにダイヤフラムと両電極の間に配置されるリングの形態をしている。0012ダイヤフラム22は、測定気体室24と基準気体室42が互いからシールされるように所定場所に固定されている。また、ダイヤフラム22の外側部分は、筺体組立体14に対して定着されており、一方、電極に対向するダイヤフラム22の中央部分48は、ダイヤフラム22の互いに反対側に掛かる差圧の関数としての量だけ撓む活動部分になっている。0013作動時、ダイヤフラムに掛かる差圧は、ダイヤフラム22の活動部分48と中心電極36の間の静電容量及びダイヤフラム22とリング電極38の間の静電容量における差の関数として測定されることになる。この理由から、ダイヤフラムの活動領域48と中心電極36とリング電極38は、それらが同軸に互いに整列するように固定されていなくてはならず、ダイヤフラム22は、2つの電極に対しての正確な静電容量測定が提供されるように可能な限り平坦であることが必要である。0014組み立て中、ダイヤフラム22は、ダイヤフラムがその周辺縁50に沿って所定場所に固定されるように、溶接の様な何らかの適した手段によって筺体組立体12へ固定される。同じ溶接を、スペーサ要素46と2つの副組立体14及び16を固定するのに使用することができる。ダイヤフラム22は、測定気体室24と基準気体室42が互いから独立した圧力に維持されるよう、測定気体室24と基準気体室42が互いから絶縁されることが保証されるやり方で取り付けられねばならない。溶接プロセス中、大抵はダイヤフラムに機械的応力が引き起こされ、それが起因となってダイヤフラム22の活動部分48がその平坦度に幾分歪みを来たす。これは、当然ながら、静電容量測定に、ひいては圧力測定に誤差を引き起こすことになる。0015従って、ダイヤフラム22が筺体組立体12に対して固定された後もその平坦度を保持するようにセンサ組立体10を構成するのが望ましい。具体的には、センサ組立体を、ダイヤフラム22が所定場所に溶接された後にその活動部分48の機械的圧力を逃がすための構造を含むように構成する。示されている実施形態では、ダイヤフラム22の、当該ダイヤフラムが筺体組立体10に対して定着されている箇所とダイヤフラム22の活動部分48の間に溝52を形成することによって機械的応力を逃がす。記載の実施形態では、溝52がダイヤフラム全体を廻って環状になるようにダイヤフラムの周辺部全周が定着されている。溝の深さは、何らの応力もダイヤフラムの活動部分に作用すること無く溝によって吸収されることを確約するのに十分でなくてはならない。溝の深さ対幅のアスペクト比が少なくとも大凡5:1であれば最良の結果がもたらされることが実験から求められているが、これは変わることもある。溝52は、一方の室と流体連通しており、図示の実施形態では、溝は基準気体室42と流体連通であることが示されている。これによりダイヤフラム22の互いに反対側の面で差圧が存在しているときに溝52の気体と測定室24の気体の間に差圧が生じる。従って、溝52と測定気体室42の間の壁54は、差圧がセンサの設計が対象としている差圧範囲の最大値になったときも堅いままでいられるように十分に厚くなくてはならない。0016リングとして示されているスペーシング要素46は、溝52と基準気体室42の間の流体連通を確保するように設計されている。これは、リングの内径を溝の直径より大きくするか又は図2に描かれている様にリングに環状溝の1つ又はそれ以上の部分と整列する開口又は溝56を形成するかのどちらかによって達成することができ、図2では、スペーサはリングの内側部分に形成されている溝56を有するものとして示されている。0017ダイヤフラムへの機械的応力を逃がすように静電容量センサを形成することにより、どれ程の応力が初期に発生するかに関わらず、幾つもの数の技法に従ってダイヤフラムをハウジングに対して固定することができるようになる、ということが理解されるはずである。従って、センサの製造費用が下がるようにGTWA又はプラズマ溶接の様な費用の低い技法を採用することができる。0018ここに開示されている本開示の新規な改善された静電容量センサ組立体及び方法並びにそのあらゆる要素は、付随の特許請求の範囲による請求項の少なくとも1つの範囲内に含まれている。本開示によるシステム及び方法の要素は、何れも権利を放棄するつもりはなく、またそれら要素は必ずしも請求項の解釈を制限することを意図するものでもない。これらの請求項では、要素が単数形で言及されている場合、それは、厳密にそう述べられていない限り1つ又は1つだけを指すことを意図しているわけではなく、むしろ1つ又はそれ以上を意味する。本開示全体を通して記載されている様々な実施形態の要素に匹敵する全ての構造及び機能等価物は、当業者に既知であるものも、これから先に既知となるものも、言及することによって明白にここに組み入れられ、特許請求の範囲によって網羅されるものとする。また、ここに開示されているものは何れも、その様な開示が特許請求の範囲の中に明示的に示されているかどうかに関わりなく、公衆に献呈されることを意図するものではない。請求項の要素については、要素が明白に、~のための手段という語句を使用して示されていない限り、或いは方法の請求項の場合には~のための工程という語句を使用して示されていない限り、何れの要素も35U.S.C.第112条の規定事項の下に解釈されてはならない。