"平行に配置された第1透明基板と第2透明基板とからなる透明基板対、前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に充填された液晶、前記第1透明基板の何れか一方の面側に形成した第1半透明ミラーと、前記第2透明基板の何れか一方の面側に形成した第2半透明ミラーとからなるミラー対、前記第1透明基板の何れか一方の面側に形成した第1電極と、前記第2透明基板の何れか一方の面側に形成した第2電極とからなる透明電極対、および、前記第1電極と前記第2電極との間に交流電圧を加える交流電源、を備え、前記第1透明基板の前記液晶が充填されていない側の面から帯域を持つ光BLが入射され、前記第2透明基板の前記液晶が充填されていない側の面から前記交流電圧に対応する周波数間隔の光周波数コム光が出射される、ことを特徴とする光周波数コム発生装置。前記第1電極が前記第1半透明ミラーと共用され、および/または、前記第2電極が前記第2半透明ミラーと共用されることを特徴とする請求項1に記載の光周波数コム発生装置。平行に配置された第1透明基板と第2透明基板とからなる透明基板対、前記第1透明基板と第2透明基板との間に充填された液晶、前記第1透明基板の何れか一方の面側に形成した半透明ミラー、前記第2透明基板の何れか一方の面側に形成した反射ミラー、前記第1透明基板の何れか一方の面側に形成した第1電極と、前記第2透明基板の何れか一方の面側に形成した第2電極とからなる透明電極対、および、前記第1電極と前記第2電極との間に交流電圧を加える交流信号源、を備え、前記第1透明基板の前記液晶が充填されていない側の面から帯域を持つ光が入射され、前記第1透明基板の前記液晶が充填されていない側の面から前記交流電圧に対応する周波数間隔の光周波数コム光が出射される、ことを特徴とする光周波数コム発生装置。前記第1電極が前記第1半透明ミラーと共用され、および/または、前記第2電極が前記第2半透明ミラーと共用されることを特徴とする請求項3に記載の光周波数コム発生装置。図12に示す光周波数コム発生装置光変調器8では、レーザ光源が必要であるため、装置が大型化する。また、掃引の中心周波数がレーザ光源の周波数に依存するのでゼロHzを中心にした掃引ができないので、距離測定の場合に不都合が生じる。図13A,Bに示す光周波数コム発生装置光変調器9は、コムの周波数間隔を変えることができない。また、光周波数コムは空間に分離するため、光周波数コムを単一のビームとして扱う用途たとえば、光通信の用途には不向きである。本発明の目的は、入射した広帯域光典型的には、白色光から交流電圧の強さに応じて周波数間隔が変動する光周波数コムを発生する光周波数コム発生装置に関する。本発明は1~4を要旨とする。1平行に配置された第1透明基板と第2透明基板とからなる透明基板対、前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に充填された液晶、前記第1透明基板の何れか一方の面側に形成した第1半透明ミラーと、前記第2透明基板の何れか一方の面側に形成した第2半透明ミラーとからなるミラー対、前記第1透明基板の何れか一方の面側に形成した第1電極と、前記第2透明基板の何れか一方の面側に形成した第2電極とからなる透明電極対、および、前記第1電極と前記第2電極との間に交流電圧を加える交流電源、を備え、前記第1透明基板の前記液晶が充填されていない側の面から帯域を持つ光が入射され、前記第2透明基板の前記液晶が充填されていない側の面から前記交流電圧に対応する周波数間隔の光周波数コム光が出射される、ことを特徴とする光周波数コム発生装置。帯域を持つ光とは、典型的には白色光である。レーザ光等の単一スペクトル光や狭帯域幅光は含まないが、所定の帯域幅を持つ光は含む。2前記第1電極が前記第1半透明ミラーと共用され、および/または、前記第2電極が前記第2半透明ミラーと共用されることを特徴とする1に記載の光周波数コム発生装置。3平行に配置された第1透明基板と第2透明基板とからなる透明基板対、前記第1透明基板と第2透明基板との間に充填された液晶、前記第1透明基板の何れか一方の面側に形成した半透明ミラー、前記第2透明基板の何れか一方の面側に形成した反射ミラー、前記第1透明基板の何れか一方の面側に形成した第1電極と、前記第2透明基板の何れか一方の面側に形成した第2電極とからなる透明電極対、および、前記第1電極と前記第2電極との間に交流電圧を加える交流信号源、を備え、前記第1透明基板の前記液晶が充填されていない側の面から帯域を持つ光が入射され、前記第2透明基板の前記液晶が充填されていない側の面から前記交流電圧に対応する周波数間隔の光周波数コム光が出射される、ことを特徴とする光周波数コム発生装置。4前記第1電極が前記第1半透明ミラーと共用され、および/または、前記第2電極が前記第2半透明ミラーと共用されることを特徴とする3に記載の光周波数コム発生装置。2枚のミラーは、基板の裏表にそれぞれ配置可能なので、ミラー配置の組み合わせは4通りである。また、それぞれについて、電極の配置も4通りあるので、合わせて、16通りのミラー配置の組み合わせがある。さらに、2枚のミラーは、ともに半透明の場合と、一方が半透明、他方が反射実質上全反射と同様の作用を奏するような反射率をもつ反射とがあるので、総計で32通りのミラー配置の組み合わせがある。一方が半透明、他方が反射のミラーにより共振器を構成したときは、反射のミラー側の基板は透明で無くてもよい場合がある反射ミラーと電極を共用した場合や、反射ミラーが内側で電極が外側にある場合。なお、液晶に代えて、屈折率が電界により変化する材料を採用することも可能である。入射光として白色光等の広い帯域の光を採用でき、かつ、空間分離することのない光周波数コムを得ることができる。ミラーの面方向と、電極の面方向とが同じなので、装置のコンパクト化が可能となるし、製造プロセスも簡易化できる。ミラーと電極とを共有したときには、これらの効果は特に顕著である。ミラー面間の距離の設計の自由度が高いので、目的に応じた周波数間隔の光周波数コムを生成することができる。基板厚を大きくすることで2つのミラーの間の距離を調整する大きくとることができるので、周波数コムの大きさを調整することも容易である。図1は本発明の第1実施形態の第1の例を示す説明図である。図1において光周波数コム発生装置1Aは、透明基板対11と、液晶12と、ミラー対13と、透明電極対14と、交流電源15と、配向膜対16とを備えている。透明基板対11は、平行に配置された第1透明基板111と第2透明基板112とからなる。液晶12は、第1透明基板111と第2透明基板112との間に充填されている。液晶12の第1透明基板111に接する側には配向膜161が形成され、第2透明基板112に接する側には配向膜162が形成されている。この配向膜161,162はポリイミド樹脂からなる。ミラー対13は、第1透明基板111の液晶12側の面とは反対側に形成した第1半透明ミラー131と、第2透明基板112の液晶12側の面とは反対側に形成した第2半透明ミラー132とからなる。透明電極対14は、第1透明基板111の液晶12側の面に形成した第1電極141と、第2透明基板112の液晶12側の面に形成した第2電極142とからなる。図1の光周波数コム発生装置1Aでは、第1半透明ミラー131と第1電極141とが別々に形成され、また第2半透明ミラー132と第2電極142とが別々に形成されている。交流電源15は、第1電極141と前記第2電極142との間に交流電圧vACを加える。第1透明基板111の液晶12側の面から帯域を持つ光BLが入射され、第2透明基板112の液晶12が充填されていない側の面から交流電圧に対応する周波数間隔の光周波数コム光FCが出射される。図2は本発明の第1実施形態の第2の例を示す説明図である。図2において光周波数コム発生装置1Bは、透明基板対11と、液晶12と、交流電源15と、液晶12の外面に形成した配向膜対16と、透明基板対11の外面に形成した導体ミラー対17とを備えている。図1の光周波数コム発生装置1Aでは、第1半透明ミラー131と第1電極141とを別々に形成したが、図2の光周波数コム発生装置1Bでは、第1半透明導体ミラー171が第1半透明ミラーと第1電極とを共用している。また、図1の光周波数コム発生装置1Aでは、第2半透明ミラー132と第2電極142とが別々に形成されたが、図2の光周波数コム発生装置1Bでは、第2半透明導体ミラー172が第2半透明ミラーと第2電極とを共用している。図3は本発明の第2実施形態の第1の例を示す説明図である。図3において光周波数コム発生装置2Aは、透明基板対21と、液晶22と、ミラー対23と、透明電極対24と、交流電源25と、配向膜対26とを備えている。透明基板対21、液晶22、透明電極対24、交流電源25および配向膜対26は、図1において説明した透明基板対11、液晶12、透明電極対14、交流電源15および配向膜対16と同じであるが、反射ミラー対が図1の実施形態とは異なる。すなわち図1では、反射ミラーミラー対13として第1半透明ミラー131と第2半透明ミラー132とから構成した。図3では反射ミラーとして、半透明ミラー231と、反射ミラー232が使用される。半透明ミラー231は、第1透明基板211の液晶12側の面とは反対側に形成され、反射ミラー232は第2透明基板212の液晶12側の面とは反対側に形成してある。図4は本発明の第2実施形態の第2の例を示す説明図である。図4において光周波数コム発生装置2Bは、図3の光周波数コム発生装置2Aと同様、透明基板対21と、液晶22と、ミラー対23と、透明電極対24と、交流電源25と、配向膜対26とを備えている。図3の光周波数コム発生装置2Aでは、半透明ミラー231と第1電極241とを別々に形成したが、図4の光周波数コム発生装置2Bでは、半透明ミラー231と第1電極241とを共用している。また、図3の光周波数コム発生装置2Aでは、反射ミラー232と第2電極242とを別々に形成したが、図4の光周波数コム発生装置2Bでは、第2半透明ミラー232と第2電極242とを共用している。図5は、本発明の光周波数コム発生装置を距離測定装置に適用した例を示す図である。図において、広帯域光源SLDからの白色光が光ファイバーを介して光周波数コム発生装置1に入射される。光周波数コム発生装置1からのコム光はファイバーポート、レンズ系を介してマッハツェンダー干渉計に入力される。サンプルを介したコム光は入力される。SPMは、時間遅延を空間分離する素子である。電圧ゼロのときのコム間隔をFSR1とする。FSR1は、c/2ndで表される。cは光速、dは共振器長、nは共振器内部の屈折率、すなわち液晶,基板ガラス等を合わせた屈折率である。干渉が現れる位置Lは、L=mc/2×FSR2で表される。ここで、mは干渉次数である。Lの微小変化ΔLは、ΔL=mcFSR1-FSR2/2FSR12で表される。図5の光周波数コム発生装置では、機械的な可動部が全く不必要となった。図6は、入力白色光と、光周波数コムの関係を示す図である。図7は、サンプルアルミニウムミラーの表面の位置を示す画像干渉波形を示す図である。同図のグラフは、横軸が位置写真画像上の縦方向の位置を表している。本発明では光周波数コムを使用して検出しているので、干渉波形が、繰り返しCCD上に画像として表れる。図8は、電源の電圧の値に応じて生成される光コム周波数コムを表している。各電圧によって表れる光周波数コムのコム間隔は、電圧の値が大きくなれば広くなる例が示されている。図9は、ある電圧値のときのコム間隔と、電圧がゼロのときのコム間隔との差を表している。前述したように、干渉波形は繰り返しCCD上の現れるので、どの次数に基づく干渉波形かを特性する必要がある。電圧に応じて、上述したコム間隔の差が異なるので、ゼロボルトから所定の電圧に変化させたときの、CCD上の移動量を検出することで、次数を特定することができる図10参照。これにより、サンプル位置を正確に知ることができる。なお、図11は、340Vを加えたときの次数ごとに一つのピークを描いた図である。図11は、ゼロ次と1次のピーク間距離、ゼロ次と2次のピーク間距離等を表すもので、この図と図10の340Vのグラフが対応している。11:透明電極対111:第1透明基板112:第2透明基板12:液晶13:ミラー対131:第1半透明ミラー132:第2半透明ミラー14:透明電極対141:第1電極142:第2電極15:交流電源16:配向膜対161:第1配向膜162:第2配向膜21:透明電極対211:第1透明基板212:第2透明基板22:液晶23:ミラー対231:透明ミラー232:反射ミラー24:透明電極対241:第1電極242:第2電極25:交流電源26:配向膜対261:第1配向膜262:第2配向膜"