"X-Yテーブルが被測定物を載置するための方形の上板と、該上板とほぼ同形同大の中板と、光学測定機器本体に取り付け固定する下板とを水平に積層構成され、上記中板の上下両面にはそれぞれ2本一対のガイドレールが両側方に寄せてかつ上下両面で互いに直交する方向に取り付け固定されて、該ガイドレールに沿って上板はX軸方向に、また中板はY軸方向にそれぞれスライド移動自在に構成され、上記中板の相隣り合う側端部には、上板をX軸方向に、また中板をY軸方向にそれぞれスライド駆動するための同一構成の2個の送りねじ機構が配置固定されてなり、一方の送りねじ機構は上板に接続固定されて水平に突出する連結板が該送りねじ機構を構成する送りねじナットホルダ上部に連結されて上板をスライド駆動し、また他方の送りねじ機構は下板に接続固定されて水平に突出する他の連結板を介して上記と同様にして中板をスライド駆動するよう構成され、各送りねじ機構は、該機構全体を中板に保持固定する背板と、該背板前面にその長さ方向両端部に寄せて送りねじ駆動用モータの取付け用ホルダと、送りねじ先端部を保持する先端ベアリングホルダと、上記モータ取付け用ホルダ側に寄せて送りねじ基部側の他のベアリングホルダとをそれぞれ背板面に直角に縦方向に突出するようにして備え、互いに間隔を置いて設けられた上記2個のベアリングホルダにはそれぞれボールベアリングが設けられ、送りねじは両ボールベアリング間に差し渡されて、該ボールベアリングにより両端部を回転自在に支持し、上記2個のベアリングホルダの中間には送りねじと螺合する送りねじナットを付設固定した送りねじナットホルダが設けられ、該送りねじナットホルダは、上記背板に固定されることなく、それぞれ上記スライド移動自在の上板および中板から水平に突出する連結板の板面にシム板を介して接続固定され、上記送りねじナットホルダの高さ位置は、これと接続固定する連結板との間に間隙が生じるように製作し、この間隙中に薄肉の上記シム板を1枚又は複数枚挟み込んで、送りねじを正確に水平に保持できるように構成してなることを特徴とする光学測定機器におけるX-Yテーブルの駆動用送りねじ機構。前記送りねじのねじ切り部分の長さは、該送りねじを回転自在に支持する前記両端部のベアリング間の距離よりも若干短くして、両ベアリング間には送りねじのねじ切りされていない部分がわずかに露呈したスラスト隙間を設け、送りねじの基部側の前記ベアリングホルダの前側にはバックアップワッシャを取り付け、更にその前側の送りねじのねじ切り部分端部にバックアップナットを螺合固定し、上記ワッシャにより送りねじ先端方向に向けて押圧するよう賦勢してなることを特徴とする請求項1記載の光学測定機器におけるX-Yテーブルの駆動用送りねじ機構。本発明の光学測定機器におけるX-Yテーブルの駆動用送りねじ機構は、高精度に加工された2個の送りねじ機構ユニットを、X-Yテーブル側面に後付けで取り付け固定して上記機能を高精度に維持することができるようにした、製作コストの安価な送りねじ機構を提供するものである。この送りねじ機構をユニット化した場合、テーブルの基準取り付け面に対してX軸方向とY軸方向に駆動する各部品を固定する際に、それぞれの水平方向の寸法誤差をテーブルとの連結部分において長孔とこれと嵌合するピンとの組合せによって回避修正することは可能であっても、送りねじが基準取り付け面に対してZ軸方向上下方向に寸法誤差があった場合、即ち送りねじが正確に水平でかつテーブル面と平行となっていなければ、送りねじを回転駆動する場合に送りねじに無理な力がかかり、送りねじの円滑な回転ができなくなってしまう。そこで、本発明では、送りねじの軸芯と移動テーブルの盤面従って、対応するガイドレールに対してとを確実に平行に固定することができるようにすると共に、送りねじ機構のねじ部のスラスト隙間バックラッシュによるガタを防止することができるX-Yテーブルの駆動用送りねじ機構を提供することを課題とする。すなわち、送りねじのねじ切り部分の長さLが送りねじ両端部を回転自在に支持する両ベアリング間の距離と同一又はそれより長いと、送りねじが両端部からその軸方向に締め付け圧接されて回転し難くなるので、ねじ切り部分の長さは上記両ベアリング間の距離よりも短くする必要があるが図4参照、そうすると、両ベアリング間には送りねじのねじ切りされていない端部がわずかに露呈した隙間バックラッシュを生じさせてしまうこととなり、この隙間が送りねじ端部のガタの原因ともなってしまう。上記課題を解決するため、本発明に係るX-Yテーブルの駆動用送りねじ機構では、特に送りねじが正確に水平でかつテーブル面と平行とするため、X-Yテーブルが被測定物を載置するための方形の上板と、該上板とほぼ同形同大の中板と、光学測定機器本体に取り付け固定する下板とを水平に積層構成され、上記中板の上下両面にはそれぞれ2本一対のガイドレールが両側方に寄せてかつ上下両面で互いに直交する方向に取り付け固定されて、該ガイドレールに沿って上板はX軸方向に、また中板はY軸方向にそれぞれスライド移動自在に構成され、上記中板の相隣り合う側端部には、上板をX軸方向に、また中板をY軸方向にそれぞれスライド駆動するための同一構成の2個の送りねじ機構が配置固定されてなり、一方の送りねじ機構は上板に接続固定されて水平に突出する連結板が該送りねじ機構を構成する送りねじナットホルダ上部に連結されて上板をスライド駆動し、また他方の送りねじ機構は下板に接続固定されて水平に突出する他の連結板を介して上記と同様にして中板をスライド駆動するよう構成され、各送りねじ機構は、該機構全体を中板に保持固定する背板と、該背板前面にその長さ方向両端部に寄せて送りねじ駆動用モータの取付け用ホルダと、送りねじ先端部を保持する先端ベアリングホルダと、上記モータ取付け用ホルダ側に寄せて送りねじ基部側の他のベアリングホルダとをそれぞれ背板面に直角に縦方向に突出するようにして備え、互いに間隔を置いて設けられた上記2個のベアリングホルダにはそれぞれボールベアリングが設けられ、送りねじは両ボールベアリング間に差し渡されて、該ボールベアリングにより両端部を回転自在に支持し、上記2個のベアリングホルダの中間には送りねじと螺合する送りねじナットを付設固定した送りねじナットホルダが設けられ、該送りねじナットホルダは、上記背板に固定されることなく、それぞれ上記スライド移動自在の上板および中板から水平に突出する連結板の板面にシム板を介して接続固定され、上記送りねじナットホルダの高さ位置は、これと接続固定する連結板との間に間隙が生じるように製作し、この間隙中に薄肉の上記シム板を1枚又は複数枚挟み込んで、送りねじを正確に水平に保持できるように構成してなることを特徴とする。また、本発明では、上記した送りねじ端部のガタを解消するため、送りねじのねじ切り部分の長さは、該送りねじを回転自在に支持する前記両端部のベアリング間の距離よりも若干短くして、両ベアリング間には送りねじのねじ切りされていない部分がわずかに露呈したスラスト隙間を設け、送りねじの基部側の前記ベアリングホルダの前側にはバックアップワッシャを取り付け、更にその前側の送りねじのねじ切り部分端部にバックアップナットを螺合固定し、上記ワッシャにより送りねじ先端方向に向けて押圧するよう賦勢するよう構成する。本発明に係る光学測定機器におけるX-Yテーブルの駆動用送りねじ機構によれば、上記のような構成から、テーブルのX軸方向又はY軸方向へのスライド移動の際に、送り駆動トルクと送りねじピッチを正確かつ円滑にX-Yテーブルへ伝達することができ、送りねじが正確に水平でかつテーブル面と確実に平行とすることができ、また、送りねじ端部のガタを確実に解消することができるので、光学精密測定器の基本である数値制御と測定を、ばらつきなく安価に行うことができ、JIS規格に適合した製品を容易に提供することができる。図1は、本発明に係るマイクロスコープ等の精密光学測定機器における金属製のX-Yテーブルとその駆動用の金属製送りねじ機構の一例を示す斜視図、第2図は第1図の機構を別の方向から見た斜視図であり、このX-YテーブルAは、被測定物を載置する方形の上板1と、該上板1とほぼ同形同大の中板2と、該中板2より小さな方形の下板3との上下3層からなって水平に積層構成され、下板3は光学測定機器本体の取付け板図示せずに取付け固定されている。上記の上中下の各板1,2,3の中央部には開口部1a、2a、3aが形成されていて、該開口部を通して下方から被測定物をライトで照射することができるようになっている。なお、図示されていないが、最上段の上板1の開口部1a上には透明なガラス板やアクリル板が嵌め込まれ、その上に被測定物を載置できるようになっている。上記中板2の上下両面には、それぞれ2本一対のガイドレール4,4及び5,5が両側方に寄せてかつ上下両面で互いに直交する方向に取り付け固定されており、例えば中板2上面のガイドレール4,4はX軸前後方向と、また中板2下面のガイドレール5,5はY軸左右方向と平行となるよう構成され、上板1の下面及び下板3の上面の上記ガイドレール4,4及び5,5位置の相応個所には該ガイドレール4,4上及び5,5上にまたがるようにしてスライド移動自在に噛合する少なくとも2個の略コ字形のスライダ6,6及び7,7がそれぞれ固定されている。図1~2参照BはX-YテーブルAのガイドレール4,4と平行する一側面に配設された送りねじ機構で、該送りねじ機構Bは上板1に接続固定されて水平に突出する連結板8が後記する送りねじナットホルダ17上部と連結されていて、X-YテーブルAの上板1をX軸方向前後方向にスライド駆動するようになっており、また、CはX-YテーブルAのガイドレール5,5と平行する一側面に配設された送りねじ機構で、該送りねじ機構CはX-YテーブルAを下板3に接続した他の連結板図示せずを介して中板2をY軸方向左右方向にスライド駆動するようになっている。図1~2参照この2つの送りねじ機構B、Cは、その駆動対象が異なるだけで、その構成は全く同一である。そこで、以下、上板1をX軸方向前後方向にスライド駆動する送りねじ機構Bの構成を図3~6により説明すると、9は送りねじ機構B全体を中板2に保持固定するための背板で、該背板9前面にはその長さ方向両端部に寄せて送りねじ駆動用サーボモータ10の取付け用ホルダ11と、棒状の送りねじ13の先端部を保持する先端ベアリングホルダ12と、上記モータ取付け用ホルダ11側に寄せて基部側の他のベアリングホルダ14とがそれぞれ直角に縦方向に突出するように設けられており、互いに間隔を置いて設けられた上記2個のベアリングホルダ12、14にはそれぞれボールベアリング15,16が設けられ、送りねじ13は両ボールベアリング15,16間に差し渡されて、該ボールベアリング15,16により送りねじ13のねじ切りされていない両端部を回転自在に支持している。17は上記2個のベアリングホルダ12、14の中間にあって、上記送りねじ13と螺合する送りねじナット18を付設固定した送りねじナットホルダで、該送りねじナットホルダ17は、上記背板9には固定されることなく、前記送りねじ機構B又はCにおけるスライド移動自在の上板1に接続固定して水平突出する連結板8の下面に後記するシム板22を介して取り付け固定され、モータ10の駆動によりモータ軸の突出先端部に取り付けられるモータカップリング19を介して送りねじ13を回転駆動し、送りねじ13の回転方向によって送りねじ13と螺合する送りねじナット18を備えた送りねじナットホルダ17をその上側の連結板8と共に送りねじ13のねじ軸に沿って前進又は後退させ、これにより、連結板8に固定したテーブル上板1をX軸方向前後方向にスライド移動するように構成されている。前記したように、送りねじ13のねじ切り部分例えば、ねじピッチ1mmの長さLは、送りねじ13を回転自在に支持するその両端部のベアリング15,16間の距離よりも若干短くする必要があり図4参照、これにより両ベアリング15,16間には送りねじ13のねじ切りされていない部分がわずかに露呈した0.01~1.00mm程度のスラスト隙間バックラッシュが生じて、この隙間が送りねじ13端部のガタの原因となる。そこで、このガタを吸収除去するため、送りねじ13にはその基部側のベアリング15を支持するアリングホルダ14の前方送りねじナットホルダ17側にバックアップワッシャ20を嵌め、更にその前側の送りねじ13のねじ切り部分の端部にバックアップナット21をビスで螺合固定し、該ワッシャ20により送りねじ13先端方向に押圧するよう賦勢すると共に上記スラスト隙間を埋めてガタを補正除去しているのである。また、連結板8を介してテーブル上板1をX軸方向にスライド移動させる送りねじナット18を付設固定した送りねじナットホルダ17の上面の高さ位置が、これと接続固定する上板1から突出する連結板8下面と完全かつ正確に合致していれば問題はないが、送りねじ機構BをX-YテーブルAに組み付けの際にナットホルダ17の上面が高過ぎて連結板8下面を押し上げる関係になってしまったり、逆にナットホルダ17上面と連結板8下面との間にわずかな隙間が生じてしまうような場合に、これを無理やりにナットホルダ17と連結板8とをねじ固定してしまうと、送りねじ13に対し無理な力が加わって水平を保持できなくなり、円滑な回転ができなくなる。そこで、本発明では、送りねじナットホルダ17上面の高さ位置を、これと接続固定する連結板8下面との間に若干の間隙21が生じるようにあらかじめ設定して製作しておき、この間隙21中には厚さが例えば0.01mmや0.02mm、あるいはそれ以上の厚さの肉薄のシム板22を複数準備しておき、該シム板22を1枚あるいは複数枚挟みこんで、送りねじ13を正確に水平に保持できるようにすると共に、連結板8も確実に水平に突出するようにして、送りねじ13が円滑に回転できるように構成されている。なお、送りねじ機構BをX-YテーブルAに組み付ける際、送りねじ13の軸芯が上板1の移動方向X軸方向と正確に平行でないと、送りねじ13の回転がスムーズに行かず、上板1の円滑なスライド移動ができなってしまう。そこで、前記した通り、送りねじナットホルダ17とシム板22を介して接続固定される上記連結板8の上板1側には突ピン23を上方へ向けて突出固定し、上板1側には該突ピン23と嵌合するX軸方向と直角方向Y軸方向に長い長孔24を開設して、送りねじ13の軸芯が確実に上板1の移動方向X軸方向と平行となるように、連結板8の位置調整を行うことがきるようになっている。このような構成は、テーブル中板2をY軸方向にスライド駆動する送りねじ機構CをX-YテーブルAに組み付ける際も同様であるから、その説明は省略する。以上のような構成になる本願発明は、送りねじ13に対して無理な力が加わることなく円滑に回転駆動できるので、X-Yテーブルのスライド移動も円滑かつ正確に行われることとなる。"