少なくとも1つのポンピング段2と、潤滑された支持軸受7a、7bによって支持された少なくとも1本の回転シャフト3と、回転シャフトに装着された、潤滑された支持軸受7a、7bとリングシール13の間に装着された少なくとも1つの潤滑剤偏向板12、および潤滑剤偏向板12とポンピング段2の間に装着された少なくとも1つのリングシール13と、液状潤滑剤の第1の貯留物16aを含有する第1のリザーバ28であって、第1の容積V1内の潤滑された支持軸受7a、7bと連通する第1のリザーバ28と、第1のリザーバ28内の回転シャフト3上に装着された潤滑剤分散ユニットであって、潤滑剤分散ユニットの一方の端部が、液状潤滑剤の第1の貯留物16a中に入れられている、潤滑剤分散ユニットとを備える、ドライ型真空ポンプであって、真空ポンプが、液状潤滑剤の第2の貯留物16bを含む第2のリザーバ15を有し、第2のリザーバ15が、液状潤滑剤の第1の貯留物および第2の貯留物16a、16bを連通させる連通開口34を有する分離壁20によって第1のリザーバ28から分離され、前記潤滑剤偏向板12に面するように位置付けられた1つの入口18を有する潤滑剤戻りチャネル17が、第2のリザーバの第2の容積V2内の、液状潤滑剤の第2の貯留物16bの上方に開口している、ドライ型真空ポンプ。第2のリザーバ15および前記潤滑剤戻りチャネル17が、前記真空ポンプ1のモータ駆動コンパートメント5のケーシング6内に作り出される、請求項1に記載の真空ポンプ。潤滑剤戻りチャネル17の開口部19の内径のサイズが、5ミリメートルより小さい、請求項1または2に記載の真空ポンプ。分離壁内のシャフト通路35の直径と回転シャフト3の直径の間の空隙が、3ミリメートルより小さい、請求項1から3のいずれかに記載の真空ポンプ。環状溝14が、潤滑剤偏向板12の周囲端部の正面のケーシング6内に作り出され、前記潤滑剤戻りチャネル17の入口18と連通する、請求項1から4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。それぞれの潤滑された支持軸受7a、7bによって各々が支持された2本の回転シャフト3を備え、前記潤滑剤戻りチャネル17が、第1の潤滑された支持軸受7aに関連付けられた第1のチャネル部分17aと、第2の潤滑剤支持軸受7bに関連付けられた第2のチャネル部分17bと、前記第1および第2のチャネル部分17a、17bに共通のチャネル部分17cとを備える、請求項1から5のいずれかに記載の真空ポンプ。潤滑剤戻りチャネル17が、前記第1のチャネル部分17aと前記第2のチャネル部分17bの間に連通溝36を有し、前記潤滑剤戻りチャネル17が、前記連通溝36と接合されるようになり接合チューブ38内に開口する接続要素37を備える、請求項6に記載の真空ポンプ。前記接続要素37が、前記連通する溝36を閉じるプレート39と、前記プレート39から垂直に突出する中心からずれた接合チューブ38とを備える、請求項7に記載の真空ポンプ。従来技術では、潤滑剤偏向板または邪魔板およびリップシールとして知られている摩擦リングシールを備える、潤滑剤に対して封止するための装置がすでに存在している。潤滑剤偏向板は、回転シャフト上の、潤滑された支持軸受と摩擦リングシールの間に装着され、作動中、回転シャフトと接続して回転する。偏向板は、遠心力の効果によって潤滑剤を偏向させ、この潤滑剤を、小型管を通してモータ駆動コンパートメントの底部に送り、小型管の入口は、潤滑剤偏向板の端部に面して配置され、小型管の出口は、モータ駆動コンパートメントの底部内に開口している。この装置は、潤滑剤をモータ駆動コンパートメン内に閉じ込め続ける。摩擦リングシールは、潤滑剤残留物が、それでもなお潤滑剤偏向板を通過する場合の第2の防護要素を形成する。しかしながら、この安全手段は、不十分であることが判明し得る。生成出力レートが増大すると、真空ポンプの作動温度が上昇し、これは、摩擦リングシールをより脆弱にする恐れがある。さらに、潤滑剤偏向板を通り抜けた潤滑剤中の腐食性に関連付けられ得る、摩擦リングシールの両側の圧力変動の繰り返しが増えると、摩擦リングシールの早期の摩耗を引き起こし、より短い間隔で保守が必要となる恐れがあり、その介入の度に、半導体製造設備の停止および真空ポンプの停止を伴い、これは非常にコストがかかるものである。本発明の狙いの1つは、潤滑された支持軸受とポンピング段の間に装着された潤滑剤封止装置を備え、その寿命が増大されるドライ型の真空ポンプを提案することである。この目的のため、本発明の目的は:少なくとも1つのポンピング段と、潤滑された支持軸受によって支持された少なくとも1つの回転シャフトと、回転シャフトに装着された、潤滑された支持軸受とリングシールの間に装着された少なくとも1つの潤滑剤偏向板、および潤滑剤偏向板とポンピング段の間に装着された少なくとも1つのリングシールと、液状潤滑剤の第1の貯留物を含有する第1のリザーバであって、第1の貯留物が、第1の容積内の潤滑された支持軸受と連通する第1のリザーバと、第1のリザーバ内の回転シャフト上に装着された潤滑剤分散ユニットであって、潤滑剤分散ユニットの一方の端部が、液状潤滑剤の第1の貯留物中に入れられている、潤滑剤分散ユニットとを備える、ドライ型真空ポンプである。真空ポンプは、液状潤滑剤の第2の貯留物を含む第2のリザーバを有し、第2のリザーバは、液状潤滑剤の第1および第2の貯留物を連通させる連通開口を有する分離壁によって第1のリザーバから分離されている。前記潤滑剤偏向板に面するように位置付けられた1つの入口を有する潤滑剤戻りチャネルが、第2のリザーバの第2の容積内の、液状潤滑剤の第2の貯留物の上方に開口している。作動中、第1の潤滑された支持軸受および潤滑剤分散ユニットを含む第1の容積は、特に潤滑剤分散ユニットの回転によって創出された、真空ポンプのローラ軸受を潤滑することを可能にするガスおよび潤滑剤の混合物を含む内部の霧状雰囲気を有する。この雰囲気は、潤滑剤戻りチャネルが中を通る第2のリザーバの雰囲気から分離壁によって分離される。第2のリザーバは、潤滑剤分散ユニットまたは真空ポンプの作動中に動作するいかなる他の回転要素も含まないため、潤滑剤噴霧を有さない穏やかなガス雰囲気を液状潤滑剤の上方に有し、液相およびガス相は、互いに良好に分離されている。したがって、潤滑剤噴霧が潤滑された支持軸受からポンピング段に引き出されるとき、潤滑剤は、第2の隔てられたリザーバの液状潤滑剤の貯留物内に注がれるようになるまで、潤滑剤偏向板によって偏向されて遠心力の効果によって潤滑剤戻りチャネルに入る。次いで、潤滑された支持軸受の圧力が、ポンピング段の圧力より大きいときの圧力平衡段階中、リザーバの底部の潤滑剤の第2の貯留物内まで、潤滑剤戻りチャネルの開口部より低いレベルに降下した潤滑剤は、このチャネルで上昇することができない。その反対に、第2のリザーバ内の潤滑剤液体のレベルの上方に位置付けられたドライガス、すなわち潤滑剤を含まないガスが、潤滑剤戻りチャネルを満たし、封止装置の両側に圧力の平衡を復元する。第2のリザーバの分離は、こうして作動時の潤滑された支持軸受のオイル環境内に含まれた霧状潤滑剤空気が、潤滑剤戻りチャネルに入ることを防ぐ。第2のリザーバおよび前記潤滑剤戻りチャネルは、たとえば、前記真空ポンプのモータ駆動コンパートメントのケーシング内に作り出される。前記分離壁内のシャフトの通路のコンダクタンスおよび潤滑剤戻りチャネルの開口部におけるコンダクタンスは、潤滑剤戻りチャネル内のガス流を第2の容積から潤滑剤偏向板に方向付けるように較正される。コンダクタンス値のこの較正により、圧力がポンピング段内で降下するとき、圧力は、隔てられた第2のリザーバ内の第2の容積内より、潤滑された支持軸受を含む第1の容積内の方がよりすばやく降下する。第2の容積は、次いで、第1の容積に対してわずかに超える圧力を維持する。ドライガスは、次いで、潤滑剤戻りチャネルをすばやく通り抜け、その中で潤滑剤戻りチャネルの入口まで加速されるようになり、それによって潤滑剤偏向板においてドライガスの障壁が形成される。このプロセスは、第1の容積から第2の容積ではなく、第2の容積から潤滑剤偏向板までの潤滑剤戻りチャネル内のガス流の加速を促す。たとえば、分離壁内のシャフト通路の直径と回転シャフトの直径の間の空隙は、3ミリメートルより小さく、好ましくは約2ミリメートル程度であることが規定される。また、潤滑剤戻りチャネルの開口部の内径のサイズは、5ミリメートルより小さく、好ましくは約4ミリメートル程度であることも規定され得る。環状溝が、ケーシング内の、潤滑剤偏向板の周囲端部の前に作り出され得、前記環状溝は、前記潤滑剤戻りチャネルの入口と連通する。1つの実施形態によれば、真空ポンプは、個別の潤滑された支持軸受によって支持された2本の回転シャフトを有する。前記潤滑剤戻りチャネルは、次いで、第1の潤滑された支持軸受に関連付けられた第1のチャネル部分と、第2の潤滑剤支持軸受に関連付けられた第2のチャネル部分と、2つの潤滑された支持軸受上で潤滑剤の均衡を維持するための、前記第1および第2のチャネル部分の共通のチャネル部分とを備えることができる。たとえば、潤滑剤戻りチャネルは、前記第1のチャネル部分と前記第2のチャネル部分の間に連通溝を有し、前記潤滑剤戻りチャネルは、前記連通溝と接合し、接合チューブ内に開口する接続要素を備える。前記接続要素は、前記連通溝を閉じるプレートと、前記プレートから垂直に突出する中心からずれた接合チューブとを備えることができる。本発明の他の特徴および特性は、例としてのみ与えられ、いかなる網羅的特徴も有さず、付属の図を参照して行われる以下の説明から明らかになるものとする。これらの図では、同一要素は、同じ参照番号を有する。図1から6は、2本のルーツ型回転ローブシャフトを有するドライ型真空ポンプの例示的な実施形態を示している。当然ながら、本発明は、クロー、渦巻き、またはねじ型のポンプあるいは任意の他の類似の原理をベースにしたポンプなどの他のタイプのドライ型真空ポンプにも適用され得る。真空ポンプ1は、ポンピングされるガスが吸気入口から送出口図示せずまで中で循環する1つまたは複数の直列に装着されたポンピング段2を有する。図1では1つしか見ることができない回転シャフト3は、回転ローブロータ4によってポンピング段2内に延び、真空ポンプ1のモータ駆動コンパートメント5内の送出段側で駆動される。ポンピング段2は、作動中、ロータ4が、真空ポンプ1のロータ4とケーシング6の間にいかなる機械的接触も有することなく反対方向にケーシング6の内側で回転し、潤滑剤を完全に無くすことができるため、ドライといわれている。真空ポンプは、図1に示されるように水平状態で動作し、すなわち真空ポンプの作動中、回転シャフト3は、地面に対してほぼ平行である。回転シャフト3は、たとえば吸引段においてグリースで潤滑された2つの潤滑された支持軸受見ることはできない、およびたとえばオイルなどの液状潤滑剤によって潤滑された、送出段側のモータ駆動コンパートメント5の2つの潤滑された支持軸受7a、7bによってシャフトの端部で支持される。潤滑された支持軸受7a、7bには、回転シャフト3を誘導し、支持するためにローラ軸受9が設けられる。真空ポンプ1は、モータ駆動コンパートメント5内に収容されたモータ図示せずならびに駆動シャフトおよび被駆動シャフトを同期式に駆動するためにそれぞれの回転シャフト3上に装着されたギア組立体図示せずを有する。真空ポンプ1は、液状潤滑剤の第1の貯留物16aを含む第1のリザーバ28を有する。第1のリザーバ28は、図1ではダッシュ線で示されている第1の容積V1内で潤滑された支持軸受7aと連通する。真空ポンプ1はまた、第1のリザーバ28内の駆動回転シャフト3上に装着された潤滑剤分散ユニット11を有し、潤滑剤分散ユニット11の一方の端部は、液状潤滑剤の第1の貯留物16a内に入っている。潤滑剤分散ユニット11は、たとえば回転シャフト3と同軸に装着されたディスクの形態をとる。作動中、駆動シャフト3の回転が、潤滑剤分散ユニット11の回転を引き起こし、したがって、支持軸受7a、7b内で真空ポンプ1のローラ軸受9の潤滑を可能にする潤滑剤の噴霧を発生させる。真空ポンプ1はさらに、潤滑剤がモータ駆動コンパートメント5からポンピング段2への通路をブロックするために潤滑剤に対して封止するための装置を備える。封止装置は、潤滑剤偏向板12図1および図5と、それぞれの回転シャフト3上に装着されたリングシール13とを有し、リングシール13は、潤滑剤偏向板12とポンピング段2の間に装着され、潤滑剤偏向板12は、リングシール13と潤滑された支持軸受7a、7bの間に装着される。リングシール13は、たとえば二重リップの摩擦リングシールである。潤滑剤偏向板12は、回転可能なシャフト3と接続して回転し、潤滑された支持軸受7a、7bからの潤滑剤およびその粒子を、遠心力によって、たとえば潤滑剤偏向板12の周囲端部に面する、モータ駆動コンパートメント5の本体内に作り出された環状溝14に向かって迂回させることができるより詳細は図1および5を参照。潤滑剤偏向板12は、たとえば回転シャフト3と同軸に装着されたディスクの形態をとる。真空ポンプ1は、真空ポンプ1のケーシング6内に作り出された、オイルなどの液状潤滑剤の第2の貯留物16bを含む第2のリザーバ15を有する。第2のリザーバ15は、液状潤滑剤の第1および第2の貯留物16a、16bを連通させる連通開口34を有する分離壁20によって第1のリザーバ28から分離される。真空ポンプ1の潤滑剤戻りチャネル17は、たとえば環状溝14内で潤滑剤偏向板12に面して位置付けられた入口18を有する。潤滑剤戻りチャネル17は、潤滑された支持軸受7a、7bの下方でモータ駆動コンパートメント5の本体のハウジング内に延び、開口部19を通って、第2のリザーバ15の第2の容積V2内の、潤滑剤液体の第2の貯留物16bの上方に至る。作動中、潤滑された支持軸受7a、7bおよび潤滑剤分散ユニット11を含む第1の容積V1は、特に潤滑剤分散ユニット11の回転によって創出された、ガスおよび潤滑剤の混合物、一般的にはオイル潤滑空気を伴った霧状の内部雰囲気を有する。この雰囲気は、分離壁20によって、潤滑剤戻りチャネル17が中に至る第2のリザーバ15の第2の容積V2の雰囲気から分離される。第2のリザーバ15は、潤滑剤分散ユニットも、真空ポンプ1の作動中に動作するいかなる回転要素も含まないため、いかなる潤滑剤噴霧も有さない穏やかなガス雰囲気を液状潤滑剤16bの上方に有し、液相およびガス相は、互いから良好に分離されている。したがって、潤滑剤噴霧が潤滑された支持軸受7a、7bからポンピング段2に引き出されるとき、潤滑剤は、第2のリザーバ15の液状潤滑剤の第2の貯留物16b内に注がれるようになるまで、潤滑剤偏向板12によって偏向されて環状溝14内に、次いで遠心力の効果によって潤滑剤戻りチャネル17内に入る。次いで、潤滑剤支持軸受7a、7b内の圧力がポンピング段2の圧力より大きい圧力平衡段階中、第2のリザーバ15の底部の液状潤滑剤の第2の貯留物16b内まで、潤滑剤戻りチャネル17の開口部19より低いレベルに降下した液状潤滑剤は、このチャネル内で上昇することができない。その反対に、第2のリザーバ15内の液状潤滑剤のレベルの上方に位置付けられた、ドライガス、すなわち潤滑剤を含まないガスが、潤滑剤戻りチャネル17を満たし、封止装置の両側の圧力間の平衡を復元する。第2のリザーバ15の分離は、こうして作動時の潤滑された支持軸受7a、7bのオイル環境内に含まれた潤滑剤霧状化空気が、潤滑剤戻りチャネル17に入ることを防ぐ。この目的のため、および図1から図6に示された実施形態により、モータ駆動コンパートメント5のケーシングは、たとえば一緒に組み立てられる、駆動ステータ21、オイルケーシング22、およびたとえば鋳鉄製の端部フランジ23またはHP高圧支持体と、第2のリザーバ15の第2の容積V2図1では点で満たされているを、第1のリザーバ28および潤滑された支持軸受7a、7bを備える第1の容積V1から分離する分離壁20とを備える。図2により見えやすい分離壁20は、たとえば駆動ステータ21に組み付けられたオイルケーシング22に固定して接合される。駆動ステータ21およびオイルケーシング22の組立ては、底部に液状潤滑剤の第2の貯留物16bを有する第2の容積V2を形成する。組立ては、従来、Oリング24および締結手段を用いて行われる。駆動ステータ21は、さらに、モータを冷却剤で冷却するための手段26を有する。これらの手段は、軸方向ハウジング27が、駆動ロータ図示せずを収容するように駆動シャフトの回転軸内に作り出される樹脂によって部分的に隠される。オイルケーシング22および一緒に組み立てられた端部フランジ23によって形成された第1の容積V1の底部は、潤滑された支持軸受7a、7bの回転要素を潤滑するための液状潤滑剤の第1の貯留物16aを含む図3および図5。図3は、オイルケーシング22の後部の充填穴30を示している。この充填穴30は、オイルケーシングの右手上のコーナに、第1の容積V1と連通して見られ得る。充填穴30は、プラグ31によってブロックされる。オイルケーシング22の右手コーナの底部では、液状潤滑剤の設定レベルNを示す参照マーキングもまた見られ得る。この参照マーキングは、ユーザが液状潤滑剤16aで設定レベルNまで充填するのを誘導するために縁上図3では見ることができないに作り出されたオイルケーシング22の透明部分に対応する。オイルケーシング22はまた、ブロックされ底部28と連通する排出穴32と、真空ポンプ1を空にするための、ブロックされた容器部分33とを有する。図2に見られ得るように、分離壁20は、液状潤滑剤の第1および第2の貯留物16a、16bの潤滑剤液体のレベルを上げるために、液状潤滑剤の設定レベルNの下方に連通開口34を有する。したがって、連通開口34は、潤滑剤流体戻りチャネル17の開口部19の下方に位置付けられる。本発明は、こうして、オイルケーシング22を充填し、排出し、空にするための手段によって、第2の貯留物16bの液状潤滑剤のレベルを、第1の貯留物16aの液状潤滑剤のレベルと同時に確認する。その上、分離壁内のシャフト通路35のコンダクタンスおよび潤滑剤戻りチャネル17の開口部19のコンダクタンスは、ガス流を、潤滑剤戻りチャネル17に入るように第2の容積V2から潤滑剤偏向板12まで方向付けるように較正される。コンダクタンス値のこの較正により、圧力がポンピング段2内で降下するとき、圧力は、第2のリザーバ15内の第2の容積V2内より、潤滑されたステージ7a、7bを含む第1の容積V1内の方がよりすばやく降下する。第2の容積V2は、次いで、第1の容積V1に対して約2バールのわずかに超える圧力を維持する。ドライガスは、次いで、潤滑剤戻りチャネル17をすばやく通り抜け、その中で潤滑剤戻りチャネル17の入口18まで加速されるようになり、それによって潤滑剤偏向板12においてドライガスの障壁が形成される。したがって、ガス流の加速は、第1の容積V1から第2の容積V2ではなく、第2の容積V2から潤滑剤偏向板12までの潤滑剤戻りチャネル17内で促される。第1の容積V1と第2の容積V2の間のコンダクタンスは、分離壁20内の駆動シャフト3とシャフト通路35の間に作り出された空間によって規定される。たとえば、シャフト通路35の直径と回転シャフト3の直径の間の空隙は、3ミリメートルより小さく、好ましくは約2ミリメートル程度であることが規定される。また、潤滑剤戻りチャネル17の開口部19の内径のサイズは、5ミリメートルより小さく、好ましくは約4ミリメートル程度であることも規定され得る。したがって、シャフト通路35のレベルにおける小さい空間は、第1の容積V1よりも第2の容積V2内の圧力が過度になることに有利に働き、潤滑剤戻りチャネル17の低コンダクタンスは、潤滑剤流体戻りチャネル17内のドライガスの加速に有利に働き、それによって潤滑剤偏向板12においてガス障壁の形成を可能にする。潤滑剤戻りチャネル17が、第1の潤滑された支持軸受7aに関連付けられた第1のチャネル部分17aと、第2の潤滑された支持軸受7bに関連付けられた第2のチャネル部分17bと、第1および第2のチャネル部分17a、17bに共通のチャネル部分17Cとを備えることがさらに考案され得る。各々のチャネル部分17aおよび17bは、それぞれの潤滑された支持軸受7a、7bに関連付けられた潤滑剤偏向板12に面する環状溝14内に位置付けられた入口を有する。潤滑剤流体戻りチャネル17は、したがって、2つの潤滑された支持軸受7a、7b内の潤滑剤の平衡を維持するために、第1および第2の潤滑された支持軸受7a、7bの間を連通させる。この目的のため、また図5に見られ得るように、潤滑剤戻りチャネル17は、第1のチャネル部分17aと第2のチャネル部分17bの間に連通溝36を有する。潤滑剤戻りチャネル17は、さらに、連通溝36に組み付けられるようになり接合チューブ38内に開口する接続要素37を有する。接続要素37が、オイルケーシング22と端部フランジ23の間に接合されると、接合チューブ38は、分離壁20から開口部19を抜けて第2の容積V2内に開口する。接続要素37は、たとえば連通溝36を閉じるプレート39と、プレート39から垂直に突出するプレートの中間から中心からずれた接合チューブ38とを備える。接合チューブ38は、駆動シャフト3の潤滑された支持軸受7aの潤滑剤分散ユニット11などの回転要素の回転を可能にするように中心からずらされている。潤滑剤戻りチャネル17を通り抜け、潤滑された支持軸受7a、7bを通り抜けて封止装置に至る潤滑剤の移動は、潤滑剤が、モータ駆動コンパートメント5の潤滑された支持軸受7a、7bを迂回せずに潤滑剤偏向板12によって処理されることなくリングシール13に直接到達することを確実にすることにおいてこうして限定され、これは、リングシール13の耐用年数を増大させる。真空ポンプ送出側に位置する封止装置および液状潤滑剤リザーバの説明が行われてきたが、封止装置および液状潤滑剤リザーバは、グリースによる潤滑のための取り換えとして、最低の圧力を有して吸引または吸気側のその段の端部に同様に良好に載置されてもよい。