多段に配列されたロータ翼を有するロータと、前記各段のロータ翼間に配置されたステータ翼と、前記ロータを定速駆動する電動モータと、前記ロータ、前記ステータ翼および前記電動モータを収容するケーシング部材と、前記ケーシング部材の外周面側に設けられたポンプヒータと、前記ケーシング部材に設けられ、前記ロータを冷却する冷却手段と、前記電動モータの慣性による回転エネルギを電力として回生する回生回路と、前記ケーシング部材の外周面側に設けられ、前記回生回路から供給される電力により発熱するブレーキヒータと、前記ロータの温度を制御する温度制御手段と、を備えることを特徴とするターボ分子ポンプ。請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記電動モータによる前記ロータの定速駆動が終了し、前記ロータを減速する際、前記温度制御手段は、外部電力により前記ポンプヒータを発熱させると共に、前記回生回路を介して前記ブレーキヒータに回生電力を供給して前記ブレーキヒータを発熱させることを特徴とするターボ分子ポンプ。請求項2に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記ロータを減速する際、前記ロータを、前記ロータの定速駆動時の目標温度よりも高い温度に昇温することを特徴とするターボ分子ポンプ。請求項3に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記ロータを減速する際、前記温度制御手段は、前記ロータを、前記ロータの定速駆動時の目標温度よりも高い温度に設定することを特徴とするターボ分子ポンプ。請求項4に記載のターボ分子ポンプにおいて、さらに、前記ロータの定速駆動時の目標温度を記憶する第1の記憶手段と、前記ロータの減速時の目標温度を記憶する第2の記憶手段とを有し、前記温度制御手段は、前記ロータの定速駆動時には、前記第1の記憶手段に記憶された目標温度が維持されるように前記ポンプヒータの発熱および前記冷却手段による冷却を制御し、前記ロータの減速時には、前記第1の記憶手段に記憶された目標温度が維持されるように前記ポンプヒータと前記ブレーキヒータの発熱、および前記冷却手段による冷却を制御することを特徴とするターボ分子ポンプ。請求項4に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記ロータを減速する際、前記温度制御手段は、前記冷却手段による前記ロータの冷却を停止状態に維持することを特徴とするターボ分子ポンプ。特許文献2においては、電源装置の内部に設けられブレーキ抵抗は、ロータの停止時間の短縮を図るためにのみ用いられている。このため、ロータの減速状態時において、ポンプ本体内部における反応生成物の堆積を防止するためには、消費電力が大きいものとなってしまう。この発明のターボ分子ポンプは、多段に配列されたロータ翼を有するロータと、回転各段のロータ翼間に配置されたステータ翼と、回転ロータを定速駆動する電動モータと、回転ロータ、回転ステータ翼および回転電動モータを収容するケーシング部材と、回転ケーシング部材の外周面側に設けられたポンプヒータと、回転ケーシング部材に設けられ、回転ロータを冷却する冷却手段と、回転電動モータの慣性による回転エネルギを電力として回生する回生回路と、回転ケーシング部材の外周面側に設けられ、回転回生回路から供給される電力により発熱するブレーキヒータと、ロータの温度を制御する温度制御手段と、を備えることを特徴とする。この発明によれば、ケーシング部材の外周面にポンプヒータとブレーキヒータとを設けたので、ロータの減速状態時に、ポンプ本体の温度をポンプヒータのみによる場合よりも高い温度に昇温することが可能となる。このため、ロータの減速状態時における反応生成物の堆積を防止し、または低減することができる。また、電動モータの慣性による回転エネルギを回生してブレーキヒータを発熱するので、電力の節減を図ることができる。実施形態1以下、図を参照して本発明に係るターボ分子ポンプの一実施の形態を説明する。図1は、磁気軸受式のターボ分子ポンプの一実施の形態としての断面図である。ターボ分子ポンプ1は、上ケース12とベース13からなるケーシング部材11を備えている。上ケース12の下端に設けられたフランジ18とベース13の上端に設けられたフランジ19とは、シール部材42を介装してボルトなどの締結部材により締結されている。これにより、上ケース12とベース13とは、外部から密封された構造とされている。ケーシング部材11の中心軸上には、ロータ軸5が配置されている。ロータ軸5には、ロータ4が同軸に取り付けられている。ロータ軸5とロータ4とは、ボルト等の締結部材48により強固に固定されている。ロータ軸5は、ラジアル方向の磁気軸受312箇所およびスラスト方向の磁気軸受32上下一対によって非接触で支持される。ロータ軸5の浮上位置は、ラジアル変位センサ33a、33bおよびアキシャル変位センサ33cによって検出される。磁気軸受31、32によって回転自在に磁気浮上されたロータ軸5は、電動モータ35により高速回転駆動される。ロータ軸5の下部側には、メカニカルベアリング34を介してロータディスク38が取り付けられている。また、ロータ軸5の上部側にはメカニカルベアリング36が設けられている。メカニカルベアリング34、36は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受が作動していない時にはメカニカルベアリング34、36によりロータ軸5が支持される。ロータ4は、上部側と下部側の二段構造を有し、上部側には複数段のロータ翼6が設けられている。最下段のロータ翼6から下方は、ロータ円筒部9とされている。ロータ4の上部側においては、ロータ翼6とステータ翼7とがリング状のスペーサ21を間に挟んで、ポンプの軸方向に交互に積層されている。ベース13の上面上にスペーサ21とステータ翼7を交互に積層し、上ケース12によりスペーサ21とステータ翼7を収容するように被せて上ケース12をベース13に固定する。このようにすることにより、積層されたスペーサ21とステータ翼7とがベース13の上面と上ケース12の内壁に設けられた段部との間に挟持される。ロータ4のロータ円筒部9の外周側には、リング状のねじステータ8がボルト41によりベース13に固定されている。ねじステータ8は、ほぼ円筒形状に形成され、内面側に螺旋状突部8aを有し、螺旋状突部8a間には、ねじ溝部8bが形成されている。ロータ4のロータ円筒部9の外周面とねじステータ8の内周面とは、ロータ4が高速に回転したときに、気体分子を上方から下方に移送することができるような間隙が設けられている。ロータ円筒部9に螺旋状突部およびねじ溝部を設け、ねじステータ8の内周面は平坦面としてもよい。ベース13には排気ポート45が設けられ、この排気ポート45にバックポンプが接続される。ロータ4を磁気浮上させ、この状態で電動モータ35により高速回転駆動することにより、吸気口15側の気体分子が排気ポート45側へと排気される。このターボ分子ポンプ1は、上ケース12の内部空間にタービン排気部2を有し、ベース13の内部空間にねじ溝排気部3を有している。タービン排気部2は複数段のロータ翼6と複数段のステータ翼7とで構成され、ねじ溝排気部3はロータ円筒部9とねじステータ8とで構成されている。上ケース12は、円筒体と、円筒体の上下端面に設けられた上下フランジ17、18を備えている。ベース13は、ロータ軸5をベアリングで支承する軸部と、軸部の下部から径方向に延設される底板と、ケース底板の周縁から上方に延設される円筒体と、円筒体の上端面に形成されたフランジ19とを備えている。上ケース12の上端に形成されたフランジ17は、締結部材図示せずにより、図示しない半導体装置製造装置などの真空チャンバの排気系の取付部に締結される。電動モータ35によりロータ4を回転駆動すると真空チャンバ内の気体分子が、上ケース12の上部に設けられた吸気口15からターボ分子ポンプ1内部に流入する。吸気口15から流入した気体分子はタービン排気部2において、下流側へと叩き飛ばされる。図示はしないが、ロータ翼6とステータ翼7とは翼の傾斜の向きが逆であり、且つ、傾斜角度は、高真空側である前段側から下流側である後段側に向けて、気体分子が逆行しにくい角度に変化して形成されている。気体分子は、タービン排気部2において圧縮されて図示下方のねじ溝排気部3へ移送される。ねじ溝排気部3においては、ねじステータ8に対してロータ円筒部9が高速回転すると粘性流による排気機能が発生し、タービン排気部2からねじ溝排気部3へと移送された気体は圧縮されながら排気ポート45へ移送され排気される。ベース13のケース底板の円周には溝28が設けられ、溝28内には、ベース13の温度を検出する温度センサ25が取り付けられている。ベース13の軸部の底面には、溝29が設けられており、この溝29内に冷却管55が配設されている。冷却管55内には、ターボ分子ポンプ1を冷却するための冷却水が循環する。溝29は、平面視で環状に設けられており、冷却管55は、この環状の溝29のほぼ全周に形成され、ベース13全体は、ほぼ均一に冷却される。また、ベース13の円筒体上端のフランジ19近傍の外周面には、ポンプヒータ51がベース13のほぼ全周に沿って設けられている。ポンプヒータ51は、巻線抵抗やブロック抵抗で構成された、後述する如く、商用電源81が供給される絶縁トランス68図2参照を介して印加される電力により発熱する。また、ポンプヒータ51に隣接して、ポンプヒータ51と同様にベース13のほぼ全周に沿ってブレーキ抵抗ブレーキヒータ52が設けられている。ブレーキ抵抗52は、ラバーヒータ、シーズヒータ等の所定の抵抗値を有する発熱体であり、後述する如く、ロータ4が減速した時に回生電力により発熱するように制御される。図2は、本発明のターボ分子ポンプ1の一実施の形態としてのブロック図である。ケーシング部材11内には、タービン排気部2、ねじ溝排気部3、電動モータ35、磁気軸受31、32、保護用のメカニカルベアリング34、36および回転数センサ26が収容されている。また、ケーシング部材11には、冷却水が循環する冷却管55によって構成される冷却器55a、ポンプヒータ51、ブレーキ抵抗52、温度センサ25が設けられている。ケーシング部材11およびケーシング部材11内に設けられた上記部材によりポンプ本体1aが構成されている。なお、図2においては、ブレーキ抵抗52は、電源装置60内に図示されているが、これは図示の都合であって、実際には、図1に図示されるように、ベース13の外周に設けられている。電源装置60は、AC/DCコンバータ61、電動モータ駆動用の三相インバータ62、磁気軸受31、32を駆動する磁気軸受制御回路63、ポンプ本体1aが目標温度に維持されるように冷却器55a、ポンプヒータ51、ブレーキ抵抗52のオンオフを制御する温度制御回路64等を含む。電源装置60は、これらの回路系を有する回路基板を金属ケース内部に収容している。電源装置60は、ベース13の内部の空間に収容され、またはベース13の底部に取り付けられている。電源装置60のAC/DCコンバータ61には、例えば、200V程度の商用電源81が接続される。AC/DCコンバータ61に入力される交流電力の電圧は電圧センサ71によって検出される。AC/DCコンバータ61は、供給された交流電力を直流電力に変換する。AC/DCコンバータ61から出力された直流電力は、電動モータ35を駆動する三相インバータ62とDC/DCコンバータ72に入力される。DC/DCコンバータ72に入力される直流電力の電圧は、電圧センサ73によって検出される。DC/DCコンバータ72の出力は、三相インバータ62をPWM制御等で制御するインバータ制御回路66、および磁気軸受31、32による磁気浮上の制御を行う磁気軸受制御回路63のそれぞれに入力される。磁気軸受制御回路63は、励磁電流を磁気軸受31、32に供給する励磁アンプ74を備えており、磁気軸受31、32によってロータ4を、回転時に磁気浮上する。インバータ制御回路66には回転数センサ26により検出されたロータ4の回転数が入力され、インバータ制御回路66は、ロータ回転数に基づいて三相インバータ62を制御して電動モータ35を一定回転数で駆動する。また、ロータ減速時に電動モータ35で発生する回生交流電流は三相インバータ62で直流電流に変換される。インバータ制御回路66は、ロータ4の減速時に、トランジスタ制御回路76にトランジスタ77をオンする指令を行う。トランジスタ77がオンすると、三相インバータ62から回生直流電流がブレーキ抵抗52に流れ、ブレーキ抵抗52が発熱する。このため、ロータ減速時の回生電力がこのブレーキ抵抗52で消費される。78は、回生時の電力逆流防止用のダイオードである。AC/DCコンバータ61から出力される直流電力は、温度制御回路64にも供給される。温度制御回路64は、メモリ部により構成される目標温度設定部67に接続されている。目標温度設定部67には、予め、ロータ4が定速回転する際の目標温度Tαと、ロータ4が減速を開始してから停止するまでの期間の目標温度Tβが記憶されている。目標温度Tαおよび目標温度Tβは、図示しない入力装置から入力される。この場合、目標温度Tβは、目標温度Tαよりも高い温度に設定される。商用電源81は、絶縁トランス68を介して、ヒータオンオフ部79に接続されている。温度制御回路64は、ロータ4の定速回転時および減速状態時に適宜なタイミングでヒータオンオフ部79にオンオフ信号を送出して電気的な接続と切断とを切り換える。ヒータオンオフ部79には、ポンプヒータ51が接続されており、ヒータオンオフ部79がオン状態において電力が供給され、ポンプヒータ51が発熱する。温度制御回路64は、インバータ制御回路66に制御信号を送出して、トランジスタ制御回路76を介してブレーキ抵抗52の発熱のタイミングを制御する。また、温度制御回路64は、冷却器55aの冷却管55内を循環する冷却水のバルブ図示せずの開閉を行い、冷却水の流量を制御して、ベース13の温度の調整を行う。つまり、温度制御回路64は、ロータ4の定速回転時には、ヒータオンオフ部79を介してポンプヒータ51の発熱を制御すると共に、冷却器55aのバルブの開閉を制御して、ポンプ本体1aを目標温度Tαに維持する。また、温度制御回路64は、ロータ4の定速回転を終了し、減速状態となった場合には、ヒータオンオフ部79およびトランジスタ77をオンオフしてポンプヒータ51およびブレーキ抵抗52の発熱を制御すると共に、冷却器55aのバルブの開閉を制御して、ポンプ本体1aを目標温度Tβに維持する。図3は、反応生成物の昇華温度と圧力との関係を示す特性図である。図3において、横軸は温度、縦軸は圧力である。曲線fの下側は気体状態を表しており、曲線fの上側は液体または固体状態を表している。図3から分かるように、同一温度であれば圧力が高いほど、気体分子は、液化または固化し易い、換言すれば、気体分子がポンプ本体1a内部に堆積しやすい。電動モータ35によりロータ4を高速回転すると、ロータ翼6には、製造装置のプロセスチャンバから導入された気体分子が衝突して温度が上昇する。ロータ翼6に発生した熱は、ステータ翼7→スペーサ21→上ケース12→ベース13の経路で伝達される。ポンプ本体1aの内部温度は、気体分子の堆積を防止するという観点では高い方が望ましい。しかし、アルミニウム等により形成されたロータ4は、過度の高温ではクリープが発生する。そこで、ベース13に設けた冷却管55内に冷却水を循環させてベース13を冷却する。ベース13を冷却すると、スペーサ21を介してステータ翼7の温度が下降する。ロータ翼6の温度は、ステータ翼7の温度の下降に伴って下降する。タービン排気部2においては、下段側のロータ翼6ほど、温度が上昇する。そこで、ベース13側に冷却器55aを設けることにより、ロータ翼6全体、すなわちポンプ本体1aの内部全体を、ほぼ均一な温度に維持することができる。ロータ4を定速に回転駆動する際の、ロータ4の目標温度Tαは、このような定速駆動時における適切な維持温度として設定される。しかして、ターボ分子ポンプ1による排気処理を完了し、電動モータ35を減速すると、ロータ4の回転数の減少と共に、ポンプ本体1a内の圧力が上昇してくる。このため、ロータ4の定速回転時には堆積しなかった気体分子が、ロータ4の減速時にはポンプ本体1a内部に堆積するようになる。そこで、本発明の一実施の形態では、次のようにして、ロータ4の減速時における気体分子の堆積を防止または低減するようにしている。図4aは、ターボ分子ポンプの回転速度と時間との関係を示す図であり、図4bは、各回転速度の状態におけるヒータと冷却器の制御の状態を示す図である。電動モータ35を起動して、ロータ4を加速する際には、ポンプヒータ51を発熱させておく。ロータ4が定速回転数に達した状態では、温度制御回路64によりポンプヒータ51および冷却器55aのオンオフを制御して、ポンプ本体1aが目標温度Tαを維持するようにする。ロータ4の定速回転駆動を終了した場合、ロータ4は慣性力により回転する。慣性力により回転するロータ4は、徐々に回転数が低下し、これに伴って、ポンプ本体1aの内部圧力が上昇してくる。ロータ4の回転速度が減速を開始した時点で、ポンプ本体1aの目標温度をTαよりも高い目標温度Tβに変更する。そして、温度制御回路64からインバータ制御回路66に指令を出して、トランジスタ77をオンする。同時に、電動モータ35の慣性による回生電力を三相インバータ62からブレーキ抵抗52に供給する。このような動作により、ブレーキ抵抗52が発熱する。この状態において、ポンプヒータ51も発熱しているので、ポンプ本体1aは、ロータ4の定速駆動時よりも温度が上昇する。このため、ロータ4の減速状態時におけるポンプ本体1a内部における気体分子の堆積を防止または低減することができる。しかも、ポンプ本体1aの温度上昇を、電動モータ35の回生電力を活用して行うので、消費電力を節減することができる。次に、図5~7に示す処理フロー図により、本発明によるターボ分子ポンプ1の温度制御方法の一実施の形態を説明する。図5は、この発明に係るターボ分子ポンプの温度制御実施の形態を示す処理フロー図であり、図6は、図5において、ポンプ本体を目標温度Tαに維持するサブプロセスとしての処理フロー図であり、図7は、図5において、ポンプ本体を目標温度Tβに維持するサブプロセスとしての処理フロー図である。図5において、ターボ分子ポンプ1がオンされると、ステップS1で、ポンプ本体の1aの目標温度をTαに設定する。ステップS2で、磁気軸受制御回路63は励磁アンプ74に指令を出し、磁気軸受31、32に電流を流してロータ4を浮上する。これと共に、三相インバータ62により電動モータ35を駆動してロータ4の回転駆動を開始する。この時、温度制御回路64は、ヒータオンオフ部79をオン状態にし、冷却器55aのバルブを閉じておく。ロータ4は、徐々に、回転速度を上昇し、やがて定速回転に達するステップS3。ステップS4で、温度センサ25によりポンプ本体1aの温度tを検出する。ステップS5において、温度制御回路64は目標温度Tαとポンプ本体1aとの温度差ΔTαを算出する。ステップS6において、目標温度Tαとポンプ本体1aとの温度差ΔTαの絶対値が所定値k1より小さいか否か判断する。ステップS6において、肯定されればステップS7に進み、否定されれば、ステップS7をジャンプしてステップS8に進む。ステップS7では、ポンプ本体1aの温度を目標温度Tαに維持する制御が行われる。図6は、ポンプ本体1aの温度を目標温度Tαに維持するサブプロセスとしての処理フローを示す。先ず、ステップS21において、ΔTαが正か否かが判断される。ΔTαが正であればステップS22に進み、負であればステップS24に進む。ステップS22では、冷却管55を循環する冷却水のバルブを閉じ、冷却を行わないようにする。冷却水の流量を低減し、冷却能率を低減するようにしてもよい。続いて、ステップS23において、ヒータオンオフ部79をオンにして、ポンプヒータ51を発熱させる。一方、ステップS24では、ヒータオンオフ部79をオフにして、ポンプヒータ51が発熱しないようにする。続いて、ステップS25において、冷却管55を循環する冷却水のバルブを開け、冷却を行うようにする。ステップS23または25が終了した後、またはステップS6が否定された場合は、ステップS8において、ロータ4の停止信号が有るか否か判断される。ステップS8が否定されればステップS3に戻り、肯定されればステップS9に進む。ロータ4の停止信号があるまで、ステップS2~S7が繰り返され、ポンプ本体1aの温度は目標温度Tαに維持される。つまり、ロータ4の定速回転時においては、温度制御回路64は、ヒータオンオフ部79を介してポンプヒータ51の発熱を制御すると共に、冷却器55aのバルブの開閉を制御して、ポンプ本体1aを目標温度Tαに維持する。この状態では、インバータ制御回路66からトランジスタ制御回路76にはオフ信号が送られ、トランジスタ77はオフ状態である。従って、ブレーキ抵抗52は発熱しない。ステップS8が肯定されることは、三相インバータ62による電動モータ35の駆動が停止することを意味する。しかし、ロータ4は、慣性力による回転を継続しており、これに伴い、電動モータ35に回生電力が生じる。つまり、図4に図示される減速状態となる。ステップS9では、温度制御回路64は、ポンプ本体1aの目標温度をTαよりも高いTβに変更する。ステップS10で、温度センサ25によりポンプ本体1aの温度tを検出する。ステップS11において、目標温度Tβとポンプ本体1aとの温度差ΔTβを算出する。ステップS12において、目標温度Tβとポンプ本体1aとの温度差ΔTβの絶対値が所定値k2より小さいか否かを判断する。ステップS12において、肯定されればステップS13に進み、否定されれば、ステップS13をジャンプしてステップS14に進む。ステップS13では、ポンプ本体1aの温度を目標温度Tβに維持する制御が行われる。図7は、ポンプ本体1aの温度を目標温度Tβに維持するサブプロセスとしての処理フローを示す。先ず、ステップS31において、ΔTβが正か否かが判断される。ΔTβが正であればステップS32に進み、負であればステップS35に進む。ステップS32では、冷却管55を循環する冷却水のバルブを閉じ、冷却を行わないようにする。冷却水の流量を低減し、冷却能率を低減するようにしてもよい。続いて、ステップS33において、ヒータオンオフ部79をオンにして、ポンプヒータ51を発熱させる。また、引き続いて、ステップS34において、温度制御回路64は、インバータ制御回路66に、トランジスタ制御回路76を介してトランジスタ77をオンする指令を行う。これにより、ロランジスタ77がオンし、三相インバータ62からブレーキ抵抗52に電動モータ35の回生電力が供給され、ブレーキ抵抗52が発熱する。つまり、ステップS34では、ポンプヒータ51とブレーキ抵抗52とが同時に発熱している状態となる。このため、ポンプ本体1aの温度を、定速駆動時における目標温度Tαよりも高い目標温度Tβに昇温させることができる。なお、ステップS32~S34の順序は、この上記の順序に限られるものではなく、要は、冷却器55aのバルブが閉じ、ポンプヒータ51とブレーキ抵抗52とが発熱する状態にすればよい。一方、ステップS35では、ヒータオンオフ部79をオフにして、ポンプヒータ51が発熱しないようにする。続いて、ステップS36で、温度制御回路64は、インバータ制御回路66に、トランジスタ制御回路76を介してトランジスタ77をオフする指令を行う。これにより、三相インバータ62からブレーキ抵抗52には回生電力が供給されず、ブレーキ抵抗52は発熱することはない。引き続いて、ステップS37において、冷却管55を循環する冷却水のバルブを開け、冷却を行うようにする。上記ステップS35~S37により、ポンプ本体1aは冷却される。なお、ステップS35~S37の順序は、この上記の順序に限られるものではなく、要は、ポンプヒータ51とブレーキ抵抗52とが発熱せず、冷却器55aによる冷却が行われる状態にすればよい。ステップS34またはS37が終了した後、またはステップS12が否定された場合は、ステップS14において、ロータ4が停止したか否か判断される。ロータ4が停止したか否かは回転数センサ26により検出される。ステップS14が否定されれば、ステップS9に戻り、ステップS9~S13が繰り返され、ポンプ本体1aの温度は目標温度Tβに維持される。つまり、ロータ4の減速状態においては、温度制御回路64は、ポンプヒータ51およびブレーキ抵抗52の発熱を制御すると共に、冷却器55aのバルブの開閉を制御して、ポンプ本体1aを目標温度Tβに維持する。そして、ステップS14が肯定されると、すなわち、ロータ4が停止するとターボ分子ポンプ1の駆動が終了する。実施形態2実施形態1では、ロータ4の減速状態時において、定速回転時の目標温度Tαよりも温度が高い目標温度Tβを維持するように制御するターボ分子ポンプで例示した。しかし、ロータ4の減速状態時においては、ロータ4は漸次減速していくので、ポンプ本体1aの温度は、左程、昇温することはない。このため、ロータ4の減速状態では、目標温度を設定しないようにしてもよい。図8は、ロータ4の減速状態では、ポンプ本体1aの目標温度を設定しない場合の一実施の形態を示し、図8aは、ターボ分子ポンプの回転速度と時間との関係を示す図でわり、図8bは、各回転速度の状態におけるヒータと冷却器の制御の状態を示す図である。実施形態2において、ロータ4の加速状態時および定速回転時における制御は、図4に示す実施形態1と同様である。しかし、ロータ4の減速状態時においては、ポンプ本体1aの目標温度は設定されていない。この状態では、温度制御回路64は、ヒータオンオフ部79をオンとし、インバータ制御回路66に、トランジスタ制御回路76を介してトランジスタ77をオンする指令を行う。また、冷却管55のバルブを閉じ、冷却器55aによる冷却は行われないようにする。上記制御により、ベース13は、ポンプヒータ51およびブレーキ抵抗52の発熱により昇温する。つまり、ロータ4は、ポンプヒータ51およびブレーキ抵抗52の発熱能力に対応する温度まで昇温する。しかし、上述した如く、ロータ4は慣性力により回転する状態となっているため、左程、温度が上昇することはない。なお、ロータ4が停止した状態で、ポンプ本体1aの温度が、所定の温度、例えば、定速回転時の目標温度Tαよりも高い場合には、冷却器55aによりポンプ本体1aを冷却するようにしてもよい。また、ポンプ本体1aが異常な高温となった場合には、温度センサ25により検出して、ポンプヒータ51およびブレーキ抵抗52の発熱を停止し、冷却器55aによる冷却を行うようにしてもよい。以上説明した通り、本発明の実施形態によれば、ケーシング部材11の外周面にポンプヒータ51とブレーキ抵抗52とを設けたので、ロータ4の減速状態時に、ポンプ本体1aの温度をポンプヒータ51のみによる場合よりも高い温度に昇温することが可能となる。このため、ロータ4の減速状態時における反応生成物の堆積を防止し、または低減することができる。また、電動モータ35の慣性による回転エネルギを回生してブレーキ抵抗52を発熱するので、電力の節減を図ることができる。なお、上記各実施形態では、ロータ4の減速状態時に、ポンプヒータ51およびブレーキ抵抗52を同時に発熱する場合で説明した。しかし、ロータ4の減速状態時に、ブレーキ抵抗52のみを発熱してポンプ本体1aを加熱するようにしてもよい。その他、本発明は、上記各実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨の範囲において種々変形して適用することが可能であり、要は、ケーシング部材の外周面側に、外部電源により発熱するポンプヒータと、電動モータによる回生電力により発熱するブレーキヒータとを設け、ロータの減速時に、ポンプヒータとブレーキヒータとが発熱するようにしたものであればよい。