"第1取付部材と、筒状の第2取付部材と、前記第2取付部材および第1取付部材を連結すると共にゴム状弾性体から構成される防振基体と、前記第2取付部材に取り付けられて前記防振基体との間に液封入室を形成すると共にゴム状弾性体から構成されるダイヤフラムと、前記液封入室を前記防振基体側の第1液室および前記ダイヤフラム側の第2液室に仕切る仕切り部材と、前記第1液室および第2液室を連通させるオリフィスとを備えた液封入式防振装置において、前記液封入室を外部に連通させる減圧兼注入用孔と、その減圧兼注入用孔を封止する封止手段とを備え、前記減圧兼注入用孔を介して前記液封入室内を減圧した後、前記減圧兼注入用孔から液体を注入することで、前記液体を前記液封入室に充填し、前記減圧兼注入用孔を前記封止手段により封止することで製造され、前記ダイヤフラムは、前記仕切り部材側に膨張した部分球状を有し軸周りに対称な膜状に形成され、前記仕切り部材は、前記ダイヤフラム側の面から突設される複数の突起からなりそれら複数の突起が互いに所定間隔を隔てつつ前記ダイヤフラムと同心の環状に配置される第1突起群を備えることを特徴とする液封入式防振装置。前記仕切り部材は、前記ダイヤフラム側の面の中央に凹設される凹部と、前記凹部の周囲に位置し前記ダイヤフラム側に対面する環状の平面として形成される環状部とを備え、前記環状部から前記第1突起群の突起が突設されることを特徴とする請求項1記載の液封入式防振装置。前記仕切り部材は、前記ダイヤフラム側の面から突設される複数の突起からなりそれら複数の突起が互いに所定間隔を隔てつつ前記第1突起群よりも径方向外方において環状に配置される第2突起群を備えることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記第2突起群の突起の前記ダイヤフラム側の面からの突設高さが、前記第1突起群の突起の前記ダイヤフラム側の面からの突設高さよりも大きくされることを特徴とする請求項3記載の液封入式防振装置。前記第2突起群の突起の突設先端と前記ダイヤフラムとの間の対向間隔が、前記第1突起群の突起の突設先端と前記ダイヤフラムとの間の対向間隔と略同一であることを特徴とする請求項4記載の液封入式防振装置。少なくとも前記第1突起群の突起の突設先端は、前記環状の内周側に位置する縁部よりも前記環状の外周側に位置する縁部の方が、前記ダイヤフラム側の面からの突設高さが高くされることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。少なくとも第1突起群の突起の突設先端は、前記ダイヤフラム側へ向けて突出する円弧状、又は、前記ダイヤフラムから離間する方向へ凹む円弧状に湾曲して形成されることを特徴とする請求項6記載の液封入式防振装置。しかしながら、上述した従来の技術では、液封入室内を真空引きにより減圧する工程の前に、キャップ部材内を真空引きにより先に減圧しておく工程を別途行う必要があるため、その分、製造工数が嵩むという問題点があった。本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、製造工数の増加を抑制しつつ、液封入室内に空気が残留することを抑制できる液封入式防振装置を提供することを目的としている。以下、本発明の好ましい実施例について、添付図面を参照して説明する。まず、図1及び図2を参照して、防振ユニット1の全体構成について説明する。図1aは、本発明の第1実施の形態における防振ユニット1の上面図であり、図1bは、図1aの矢印Ib方向から視た防振ユニット1の正面図である。また、図2は、図1aのII-II線における防振ユニット1の断面図である。なお、図2は、軸Oを含む断面に対応する。また、図2では、ボルトを断面視せずに図示する。図1及び図2に示すように、防振ユニット1は、自動車のエンジン図示せずを支持固定しつつ、そのエンジンの振動が車体図示せずへ伝達されることを抑制するための装置であり、ボス部材11と外筒部材12との間が防振基体13により連結された防振装置10と、その防振装置10の外筒部材12を保持すると共にエンジン側に取り付けられる第1ブラケット20と、防振装置10のボス部材11が固定されると共に車体側に取り付けられる第2ブラケット30とを備える。防振装置10は、軸O方向を鉛直方向に一致させた縦姿勢に配置されると共にボス部材11側を下方とした倒立状態に配置され、正面視枠状に形成される第2ブラケット30によって周囲が取り囲まれる。第1ブラケット20は、防振装置10の側方から径方向外方軸O直角方向、図1a上方へ向けて水平に張り出される。なお、第1ブラケット20及び第2ブラケット30には、それぞれ3ヶ所に取付穴h1,h2が穿設されており、それら各取付穴h1,h2に挿通されたボルトによりエンジン側または車体側にそれぞれ締結固定される。防振ユニット1が自動車のエンジンを車体に支持固定した状態いわゆる1W状態では、エンジンの重量により、防振基体13が圧縮変形され即ち、外筒部材12がボス部材11へ近接変位され、その分、防振装置10の上端側と第2ブラケット30の上辺側との間に所定の隙間が形成される。この場合、ダイヤフラム14が仕切り部材15と反対側へ向けて膨張される。なお、図1及び図2では、エンジンを支持固定する前の状態無負荷状態が図示される。防振装置10は、第2ブラケット30を介して車体側に取り付けられるボス部材11と、第1ブラケット20を介してエンジン側に取り付けられる筒状の外筒部材12と、これら両部材11,12を連結すると共にゴム状弾性体から構成される防振基体13とを主に備える。ボス部材11は、アルミニウム合金から上窄まりの断面略円錐台形状に形成され、下面側図2下側が第2ブラケット30にボルトにより締結固定される。外筒部材12は、樹脂材料から上下端図2上側および下側が開口した筒状に形成され、ボス部材11の上方図2上側に同軸状に配設される。なお、外筒部材12は、段差を有して構成されており、その段差の下側図2下側に大径の筒部が、段差の上側図2上側に小径の筒部が、それぞれ配設されると共に、大径の筒部が第1ブラケット20に軸O方向に圧入され保持される。防振基体13は、ゴム状弾性体から軸O回りに対称な下窄まりの断面略円錐台形状に形成され、ボス部材11の外面と外筒部材12大径の筒部および段差の部分の内壁面との間に加硫接着される。防振基体13の外筒部材12側の端部には、膜状のゴム膜が連なり、そのゴム膜により外筒部材12の小径の筒部の内壁面が覆われる。外筒部材12の上端側図2上側には、ダイヤフラム14が密着水密状態で装着される。これにより、ダイヤフラム14の下面側と防振基体13の上面側との間に液体が封入される液封入室が形成される。液封入室には、エチレングリコールなどの不凍性の液体図示せずが封入される。仕切り部材15は、液封入室を防振基体13側の第1液室とダイヤフラム側の第2液室とに仕切る部材であり、その外周側には、第1液室と第2液室とを連通させるオリフィス流路が形成される。なお、液封入室への液体の充填は、防振ユニット1防振装置10を組み立てた後、減圧兼注入用孔44a図3a参照を介して液封入室内を真空引きにより減圧して負圧とした後、その負圧を利用して、減圧兼注入用孔44aから液封入室内へ液体を注入することで行われる。ダイヤフラム14は、仕切り部材15側に膨張した部分球状を有し軸O周りに対称な膜状に形成される膜本体41と、膜本体41の外周縁に連なると共に防振装置10の上面側および第1ブラケット20の本体部21の外周側を覆うストッパ部43とを備え、これら各部位41,43がゴム状弾性体から一体に形成される。なお、ダイヤフラム14は、ストッパ部43が、樹脂材料から軸O方向視円環状に形成される円環取付部44に加硫接着される。この円環取付部44が外筒部材12の上端側に内嵌され超音波溶着により連結されることで、ダイヤフラム14が外筒部材12に取着される。仕切り部材15は、外周側に位置するオリフィス形成部51と、そのオリフィス形成部51の内周面に加硫接着されゴム弾性体から軸O方向視円環状に形成される弾性壁部52と、その弾性壁部52を軸O方向で上下から挟み込むと共に樹脂材料から軸O方向視円形に形成される上下一対の挟持板部53,54と、挟持板部53からダイヤフラム14へ向けて突設される複数の突起55aからなる第1突起群55とを備える。オリフィス形成部51は、樹脂材料から、断面形状が外周側に開放する断面コ字状に形成されると共に軸O方向視形状が円環状に形成され、外筒部材12小径の筒部に嵌め込まれることで、その外筒部材12の内壁面を覆うゴム膜に密着して、上述したオリフィスを形成する。弾性壁部52は、中央に軸Oに沿って貫通する円形の貫通穴を備え、上下一対の挟持板部53,54は、弾性壁部52の中央の貫通穴に挿通された円柱状の部分を介して互いに連結される。なお、挟持板部53は、ダイヤフラム14に対面する側に配設され、挟持板部54は、防振基体13に対面する側に配設される。第1ブラケット20は、平板状の本体部21と、その本体部21の一側図1a右上側角部から斜め方向に延設されるブロック状の延設部22とを備え、これらがアルミニウム合金から一体に形成される。本体部21の下方には、上面視円形の圧入穴が穿設され、この圧入穴に外筒部材12が軸O方向に圧入されることで、防振装置10外筒部材12が第1ブラケット20に保持される。第2ブラケット30は、アルミニウム合金から正面視枠状に形成され、防振装置10の周囲を取り囲むことで、大変位の振動入力時に防振装置10の所定以上の変位を規制する。次いで、図3を参照して、ダイヤフラム14の詳細構成について説明する。図3aは、ダイヤフラム14の下面図であり、図3bは、図3aのIIIb-IIIb線におけるダイヤフラム14の断面図である。図3a及び図3bに示すように、ダイヤフラム14の環状取付部44は、外筒部材12図2参照に内嵌される筒状の部位に、図3aに示すように、径方向内方へ向けて突設される軸O方向視半円形状の突部が複数本実施の形態では5個形成され、それら各突部の内の1個の突部に減圧兼注入用孔44aが形成される。減圧兼注入用孔44aは、液封入室内を真空引きにより減圧する際に使用される貫通孔であり、ストッパ部43及び環状取付部44を貫通する貫通孔として形成されることで、液封入室内と外部とを連通可能に形成される。なお、減圧兼注入孔44aは、液封入室内を減圧し、液体の液封入室への充填が完了した後、図示しない封止手段例えば、鋼球やリベットなどの公知の手段により封止される非連通状態とされる。なお、ダイヤフラム14の膜本体41は、上述したように、仕切り部材15側に膨張した部分球状を有し軸O周りに対称な膜状に形成され、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態においては、膜本体41は、挟持板部53から突設される第1突起群55突起55aの突設先端面に当接される位置に配置される図5a参照。但し、ダイヤフラム14膜本体41の形状は、液封入室内を減圧する前の状態における形状と、液封入室内に液体を充填した後の状態における形状とがほぼ一致する。よって、液封入室内に液体を充填した後においても、上記位置関係当接される関係は満たされる。次いで、図4を参照して、仕切り部材15における挟持板部53の詳細構成について説明する。図4aは、挟持板部53の上面図であり、図4bは、図4aのIIIb-IIIb線における挟持板部53の断面図である。なお、図4bでは、弾性壁部52及び挟持板部54の対応する断面も図示される。図4a及び図4bに示すように、挟持板部53は、その上面即ち、ダイヤフラム14側の面が、弾性壁部52よりも外径の小さな軸Oを中心とする円形に形成されると共に、軸Oに略直交する平坦面として形成される。この挟持板部53の上面には、軸Oを中心とする上面視円形の中央凹部53a1とその中央凹部53a1と同心の上面視環状の外周凹部53a2とがそれぞれが凹設される。これにより、中央凹部53a1と外周凹部53a2との間には、ダイヤフラム14に対面する環状の平面として形成される中央環状部53b1と、外周凹部53a2の周囲に位置しダイヤフラム14に対面する環状の平面として形成される外周環状部53b2とが形成される。挟持板部53の外周凹部53a2には、上面視略矩形に形成されると共に軸Oに沿って挟持板部53を貫通する複数本実施の形態では6個の貫通孔53cが周方向等間隔に配設される。挟持板部53の中央環状部53b1には、第1突起群55が形成される。第1突起群55は、液封入室内を減圧する工程において、ダイヤフラム14の膜本体41が挟持板部53に吸い付けられ、これら膜本体41と挟持板部53との間にエアーポケット空気の残留する空間が形成されることを抑制するための部位であり、複数本実施の形態では4個の突起55aを備える。突起55aは、中央環状部53b1から突設され、挟持板部53上面の軸O方向視即ち、図4aの状態において、軸Oを中心とする環状に形成される突起を、放射状に分断した形状に形成される。即ち、第1突起群55を構成する複数の突起55aは、互いに所定間隔を隔てつつ軸Oを中心とする環状に配置される。このように、第1突起群55の複数の突起55aを、中央環状部53b1から突設させることで、液封入室内を減圧する工程において、ダイヤフラム14の膜本体14が仕切り部材15の挟持板部53へ向けて変位される場合に、エアーポケットが形成されることを効果的に抑制できる。即ち、ダイヤフラム14の膜本体41が、仕切り部材15の挟持板部53における中央環状部53b1に吸い付けられることで、膜本体41と中央凹部53a1との間の空間がエアーポケットを形成しやすい箇所となるところ、本実施の形態では、第1突起群55の介在により、かかる箇所にエアーポケットが形成されることを効果的に抑制して、液封入室に空気が残留することをより確実に抑制できる。突起55aの軸Oを含む断面形状は、ダイヤフラム14図4b上側へ向けて凸となる半円状に形成される。このように突起55aの断面形状を半円状とすることで、突起55aの突設先端面とダイヤフラム14の膜本体41との間の接触面積を確保でき、その結果、接触部分の面圧を下げることができる。よって、液封入室内を減圧する工程や大振幅の振動入力時に膜本体41が突起55aの突設先端面に衝突する際には図4b参照、膜本体41に亀裂が発生することを抑制できる。一方で、突起55aの断面形状が半円状とされることで、突起55aへダイヤフラム14の膜本体41が衝突する際の初期段階においては、突起55aの突設先端面の一部を部分的に衝突させ、その後、徐々に接触面積を増加させる態様とすることができるので、打音の発生を抑制することができる。また、最終的には、突起55aの突設先端面の全面が接触することで、接触部分の面圧を下げ、膜本体41の亀裂の発生を抑制できる。なお、ダイヤフラム14の膜本体41に第1突起群突起を一体に配設する場合には、それらゴム状弾性体からなる突起の緩衝効果により、打音の問題は生じ難い。しかし、膜本体41に突起を配設すると、その変位変形性が阻害され、動的特性の低下を招く。これに対し、挟持板部53に第1突起群55突起55aを配設することで、膜本体41に突起を配設することを不要として、動的特性の向上を図ることができる。一方で、挟持板部53の第1突起群55突起55aは、膜本体41と比較して比較的硬い材料樹脂材料からなるため、衝突時の打音と膜本体41の亀裂とが生じ易くなる。この衝突時の打音および膜本体41の亀裂の抑制に対し、突起55aの断面形状を半円形とすることが特に有効となる。次いで、図5を参照して、防振ユニット1の製造方法およびその製造過程における第1突起群55の機能について説明する。図5aは、液封入室内を減圧する前の状態における防振ユニット1の部分拡大断面図であり、図5bは、液封入室内を減圧した後の状態における防振ユニット1の部分拡大断面図である。なお、図5aは、図2のVa部に対応する。図5bは、軸Oを含む断面を図示し、図2に対応する。防振ユニット1の製造は、まず、ボス部材11と外筒部材12との間を防振基体13により連結した第1成形体と、ダイヤフラム14と、仕切り部材15オリフィス形成部51及び弾性壁部52とを加硫成形する。仕切り部材15については、弾性壁部52を挟持板部53,54で上下から挟みこみ、挟持板部53,54の中央部を超音波溶着により接合する。第1成形体の外筒部材12を、第1ブラケット20の本体部21における圧入穴に圧入し、第1成形体外筒部材12を第1ブラケット20に保持させると共に、第1成形体の外筒部材12内に仕切り部材15を嵌め入れた後、ダイヤフラム14の円環取付部44を外筒部材12の上端側に内嵌させ、超音波溶着により連結する。これにより、防振基体13とダイヤフラム14との間に液封入室が形成される。液封入室を形成した後は、減圧兼注入用孔44a図3a参照を介して、液封入室内を真空引きにより所定の負圧状態に達するまで減圧した後、その負圧を利用して、減圧兼注入用孔44aから液体を注入することで、液体を液封入室に充填する。液体の充填が完了した後は、減圧兼注入用孔44aを鋼球やリベットなどの封止手段により封止して、防振ユニット1の製造が完了する。この場合、液封入室内を減圧する工程において、ダイヤフラム14の膜本体41が仕切り部材15の挟持板部53へ向けて変位されるが、図5bに示すように、膜本体41と挟持板部53との間に第1突起群55を介在させ、その第1突起群55の突起55aと突起55aとの間即ち、隣接する突起55a間の隙間を利用して、膜本体41と挟持板部53との間にエアーポケット空気の残留する空間が形成されることを抑制できる。よって、その後、液封入室内へ液体を注入する際に、液封入室内に残留していた空気が液体に混入することを抑制できる。また、液封入室内を十分に減圧することができるので、液体の注入効率の向上を図ることができる。また、ダイヤフラム14の膜本体41は、仕切り部材15側に膨張した部分球状を有し軸O周りに対称な膜状に形成され、第1突起群55は、複数の突起55aが互いに所定間隔を隔てつつダイヤフラム14と同心の環状に配置されるので、液封入室内を減圧する工程において、膜本体41が仕切り部材15へ向けて変位される場合には、第1突起群55の突起55aのそれぞれを膜本体41に確実に当接させて支持させることができる。これにより、第1突起群55により支持されない膜本体41の一部が挟持板部53に袋状に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることを抑制することができる。また、このように、第1突起群55の複数の突起55aの配置を、ダイヤフラム14の膜本体41と同心の環状とすることで、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群55に当接した膜本体41が、液封入室内の負圧によりさらに変形変位する場合には、一部に変形を偏らせることなくその膜本体41全体を均一に変形させることができる。即ち、膜本体41の一部が挟持板部53に袋状に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることを抑制できる。第1突起群55は、複数の突起55aがダイヤフラム14の膜本体41と同心の環状に配置されるので、外筒部材12に仕切り部材15及びダイヤフラム14を組み付ける工程において、ダイヤフラム14と仕切り部材15との間の相対的な周方向の方向性を考慮する必要がない。即ち、仕切り部材15の第1突起群55複数の突起55aに対するダイヤフラム14膜本体41の相対的な周方向位置を位置決めする必要がないので、その分、組み付け作業を簡素化して、製造工数の削減を図ることができる。ここで、防振装置10は、エンジンの重量を防振基体13の圧縮変形で支持する構造なので、経時劣化や繰り返しの使用により、防振基体13にへたりが生じた場合には、そのへたりの分、ダイヤフラム14を仕切り部材15と反対側へ向けて膨張させることができる。即ち、防振基体13のへたりの発生に伴い、ダイヤフラム14が仕切り部材15へ向けて近接する構造即ち、エンジンの重量を防振基体13の引張変形で支持する構造であると、車両への防振ユニット1の組み付け後には、時間の経過と共に、突起55aの突設先端面が仕切り部材15に衝突し易くなり、打音の発生を招く。これに対し、防振装置10によれば、時間の経過と共に、衝突をし難くして、打音の発生を抑制することができる。次いで、図6から図8を参照して、第2実施の形態における防振ユニット201について説明する。第1実施の形態では、突起55aの突設先端面における断面形状が半円状に形成される場合を説明したが、第2実施の形態における突起255aは、その突設先端面における断面形状が、軸Oへ向けて下降傾斜する形状に形成される。なお、第1実施の形態と同一の部分については同一の符号を付して、その説明を省略する。図6aは、第2実施の形態における挟持板部253の上面図であり、図6bは、図6aのVIb-VIb線における挟持板部253の断面図である。図7は、液封入室内を減圧する前の状態における防振ユニット201の部分拡大断面図である。なお、図6bでは、弾性壁部52及び挟持板部54の対応する断面も図示される。また、図7は、軸Oを含む断面を図示し、図2に対応する。図6及び図7に示すように、第2実施の形態における挟持板部253には中央環状部53b1に第1突起群255が形成される。第1突起群255は、第1実施の形態における第1突起群55と同様の機能を有する部位であり、複数本実施の形態では4個の突起255aを備える。突起255aは、第1実施の形態における突起55aに対し、突設先端面の断面形状が異なる点を除き、他の構成は同一である。即ち、突起255aは、中央環状部53b1から突設され、挟持板部253上面の軸O方向視即ち、図6aの状態において、軸Oを中心とする環状に形成される突起を放射状に分断した形状に形成され、これにより、複数の突起255aは、互いに所定間隔を隔てつつ軸Oを中心とする環状に配置される。これにより、第1実施の形態の場合と同様に、エアーポケットが最も形成されやすい箇所膜本体41が中央環状部53b1に吸い付けられた場合に形成される膜本体41と中央凹部53a1との間の空間に対し、第1突起群255を膜本体41と中央環状部53b1との間に介在させることで、上記箇所にエアーポケットが形成されることを効果的に抑制できる。その結果、液封入室に空気が残留することを抑制できる。突起255aの突設先端は、その軸Oを含む断面形状が、環状の内周側軸O側に位置する縁部よりも環状の外周側軸Oと反対側に位置する縁部の方が、中央環状部53b1からの突設位置が高くされる。即ち、図6bに示すように、突起255aの突設先端面は、軸Oへ向けて下降傾斜して形成される。なお、突起255aの突設先端面と内壁面および外壁面との間は、円弧状に湾曲して滑らかに接続される。ここで、第1突起群255の突起255aの突設先端面とダイヤフラム14の膜本体41との間の接触面積が小さいと、例えば、液封入室内を減圧する工程図7b参照や大振幅の振動入力時において、接触部分の面圧が高くなり、膜本体41に亀裂が発生するおそれがある。これに対し、本実施の形態では、突起255aの突設先端面が傾斜して形成されるので、突設先端面が軸Oに対し垂直に形成される場合と比較して、突設先端面の面積を拡大することができる。よって、その分、突起255aの突設先端面と膜本体41との間の接触面積を大きくして、接触部分の面圧を下げることができ、その結果、膜本体41に亀裂が発生することを抑制できる。一方で、接触面積が大きくなると、大振幅の振動入力に伴い膜本体41が突起255aの突設先端面に衝突した際に、打音が発生し易くなるところ、突起255aの突設先端面が傾斜して形成されることで、衝突の初期においては、突起255aの突設先端面の一部を部分的に衝突させ、その後、徐々に接触面積を増加させる態様とすることができ、その結果、打音の発生を抑制することができる。また、最終的には、突起255aの突設先端面の全面が接触することで、接触部分の面圧を下げ、膜本体41の亀裂の発生を抑制できる。突起255aの突設先端は、その軸Oを含む断面形状が、図6bに示すように、ダイヤフラム14の膜本体41から離間する方向図6b下方向へ向けて凹む円弧状に湾曲して形成される。これにより、突起255aの突設先端面の面積をさらに拡大できるので、膜本体41と突起255aの突設先端面との間の接触面積を大きくして、接触部分の面圧を下げることができ、その結果、膜本体41の亀裂の発生をより確実に抑制できる。また、このように、突起255aの突設先端面が円弧状に湾曲して形成されることで、膜本体41が突起255aの突設先端面に衝突する際には、その接触面積を徐々に増加させる態様をより円滑に発揮させることができるので、打音の発生を効果的に抑制することができる。なお、本実施の形態では、図7に示すように、軸Oを含む断面形状において、突起255aの突設先端面の円弧状に湾曲する形状が、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態における膜本体41であって、突起255aの突設先端面に対面する部分の円弧状に湾曲する形状と同形状とされる。また、突起255aの突設先端面は、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態において、膜本体41との間に若干の隙間を有する高さ位置に配置される。但し、ダイヤフラム14膜本体41の形状は、液封入室内を減圧する前の状態における形状と、液封入室内に液体を充填した後の状態における形状とがほぼ一致する。よって、液封入室内に液体を充填した後においても、上記位置関係若干の隙間を有する関係は満たされる。次いで、図8を参照して、第2実施の形態における防振ユニット201の製造方法およびその製造過程における第1突起群255の機能について説明する。図8は、防振ユニット201の部分拡大断面図であり、液封入室内を減圧した状態が図示される。なお、図8は、軸Oを含む断面を図示し、図2に対応する。また、防振ユニット201の製造方法は、第1実施の形態における防振ユニット1の場合と同様であるので、その説明を省略する。図8に示すように、減圧兼注入用孔44a図3参照を介して、液封入室内が真空引きにより減圧され、ダイヤフラム14の膜本体41が仕切り部材215の挟持板部253へ向けて変位された場合には、膜本体41と挟持板部253との間に第1突起群255を介在させることで、第1実施の形態の場合と同様に、エアーポケットが形成されることを抑制できる。よって、その後、液封入室内へ液体を注入する際に、液封入室内に残留していた空気が液体に混入することを抑制できる。また、液封入室内を十分に減圧することができるので、液体の注入効率の向上を図ることができる。また、複数の突起255aがダイヤフラム14と同心の環状に配置されるので、第1実施の形態の場合と同様に、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群255の突起255aのそれぞれを膜本体41に確実に当接させて支持させることができると共に、液封入室内の減圧がさらに進行して膜本体41が変形変位される過程において、膜本体41の一部に変形を偏らせることなく全体を均一に変形させることができる。よって、膜本体41の一部が挟持板部253に袋状に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることを抑制できる。また、外筒部材12に仕切り部材215及びダイヤフラム14を組み付ける工程においては、仕切り部材215の第1突起群255複数の突起255aに対するダイヤフラム14膜本体41の相対的な周方向位置の位置決めを不要として、その分、製造工数の削減を図ることができる。更に、本実施の形態では、突起255aの突設先端は、環状の内周側軸O側に位置する縁部よりも環状の外周側軸Oと反対側に位置する縁部の方が、中央環状部53b1からの突設位置が高くされるので、液封入室内の減圧に伴い、ダイヤフラム14の膜本体41が挟持板部53へ向けて変位する際には、その膜本体41を、第1突起群255の外周側径方向外方側において、より高い位置で支持することができる。これにより、膜本体41の一部が外周凹部53a2や外周環状部53b2に袋状に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることを抑制できる。その結果、液体への空気の混入を抑制できるだけでなく、液封入室内の減圧度を高めることができるので、液体の注入効率の向上をさらに図ることができる。次いで、図9から図12を参照して、第3実施の形態における防振ユニット301について説明する。第1実施の形態では、弾性壁部52がオリフィス形成部51に固定加硫接着されて仕切り部材15が形成される場合を説明したが、第3実施の形態における仕切り部材315は、一対の変位規制部352,353の対向面間に弾性仕切り膜354が遊動可能に収納される。なお、第3実施の形態における防振ユニット301と第1実施の形態における防振ユニット1とは、仕切り部材315と仕切り部材15とが互いに異なる点を除き、他の構成は同一である。第1実施の形態と同一の部分については同一の符号を付して、その説明を省略する。図9は、第3実施の形態における防振ユニット301の断面図である。なお、図9は、軸Oを含む断面に対応する。また、図9では、ボルトを断面視せずに図示する。仕切り部材315は、外周側に位置するオリフィス形成部351と、そのオリフィス形成部351の内周面側に一体に形成される変位規制部352と、オリフィス形成部351の下端側に配設されると共に変位規制部352と所定間隔を隔てて対向する変位規制部353と、それら一対の変位規制部352,353の対向面間に遊動可能に収納される弾性仕切り膜354と、変位規制部352からダイヤフラム12膜本体41へ向けて突設される複数の突起355aからなる第1突起群355とを備える。オリフィス形成部351は、樹脂材料から、断面形状が外周側に開放する断面コ字状に形成されると共に軸O方向視形状が円環状に形成され、外筒部材12小径の筒部に嵌め込まれることで、その外筒部材12の内壁面を覆うゴム膜に密着して、ダイヤフラム14側の液室と防振基体13側の液室とを連通させるオリフィスを形成する。変位規制部352,353は、弾性仕切り膜354を受け止めてその変位を規制する板状の部位であり、複数の開口貫通孔352a1~352a3等により格子形状に形成される図10a参照。なお、変位規制部352,353の格子形状は互いに同一とされる。変位規制部352は、オリフィス形成部351の内周面に一体に形成され、ダイヤフラム14に対面する側に配設される。変位規制部352のダイヤフラム14側の面は、軸Oに直交する平面とされる。変位規制部353は、オリフィス形成部351と同等の外径を有する円板状に形成され、防振基体13に対面する側に配設される。弾性仕切り膜354は、ゴム状弾性体から円板状に形成され、中央において最大の膜厚を有すると共に、外縁側ほど膜厚が小さくされ、中央における最大の膜厚が変位規制部352,353の対向面間の間隔と同等か又は若干小さくされる。次いで、図10及び図11を参照して、仕切り部材315における変位規制部352の詳細構成について説明する。図10aは、仕切り部材315の上面図であり、図10bは、図10aのXb-Xb線における仕切り部材315の部分拡大断面図である。図11は、液封入室内を減圧する前の状態における防振ユニット301の部分拡大断面図である。なお、図11は、図9のXI部に対応する。図10及び図11に示すように、変位規制部352は、中央の貫通孔352a1と、周方向に2列に並ぶ複数の貫通孔352a2,352a3とを備える。図10aに示す変位規制部352の上面視即ち、軸O方向視において、貫通孔352a1は、軸Oを中心とする円形に形成され、貫通孔352a2,353a3は、軸Oを中心とする環状の貫通孔を放射状に分断した形状にそれぞれ形成される。本実施の形態では、放射状に分断する位置が周方向等間隔内側の列は90度間隔、外側の列は45度間隔とされ、これにより、内側の列では4個の貫通孔352a2がそれぞれ同形状とされると共に、外側の列では8個の貫通孔352a3がそれぞれ同形状とされる。なお、2列の貫通孔352a2,353a3は、内側の列の貫通孔352a2の周方向位置が、外側の列の45度ごとの貫通孔352a3の周方向位置に一致するように配置される。これにより、変位規制部352には、貫通孔352a1と貫通孔352a2との間に中央環状部352b1が、貫通孔352a2と貫通孔352a3との間に中間環状部352b2が、貫通孔352a3の外周側に外周環状部352b3が、ダイヤフラム14に対面する同心の環状の平面としてそれぞれ形成される。また、中央環状部352b1と中間環状部352b2との間には4本の放射状部352c1が、中間環状部352b2と外周環状部352b3との間には8本の放射状部352c2が、ダイヤフラム14に対面し軸Oを中心とする放射直線状の平面としてそれぞれ形成される。変位規制部352の中央環状部352b1には、第1突起群355が形成される。第1突起群355は、第1実施の形態における第1突起群55と同様に、エアーポケットが形成されることを抑制するための部位であり、複数本実施の形態では4個の突起355aを備える。突起355aは、中央環状部352b1から突設され、変位規制部352上面の軸O方向視即ち、図10aの状態において、軸Oを中心とする環状に形成される突起を、放射状に分断した形状に形成される。即ち、第1突起群355を構成する複数の突起355aは、互いに所定間隔を隔てつつ軸Oを中心とする環状に配置される。本実施の形態では、放射状に分断する位置が周方向等間隔とされ即ち、突起355a間に形成される各隙間の周方向位置が、放射状部352c1の周方向位置に一致する、よって、4個の突起355aがそれぞれ同形状とされる。なお、突起355a間の隙間の幅は、放射状部352c1の幅と同一とされる。これにより、第1実施の形態の場合と同様に、エアーポケットが最も形成されやすい箇所膜本体41が中央環状部352b1に吸い付けられた場合にその膜本体41と弾性仕切り膜354との間に形成されるに空間である中央の貫通孔352a1に対し、第1突起群355を膜本体41と中央環状部352b1との間に介在させることで、上記箇所にエアーポケットが形成されることを効果的に抑制できる。その結果、液封入室に空気が残留することを抑制できる。突起355aの突設先端は、軸Oを含む断面形状が、環状の内周側軸O側に位置する縁部よりも環状の外周側軸Oと反対側に位置する縁部の方が、中央環状部53b1からの突設位置が高くされる。即ち、図10bに示すように、突起355aの突設先端面は、軸Oを含む断面形状が、軸Oへ向けて直線状に下降傾斜して形成される。なお、突起355aの突設先端面と内壁面および外壁面との間は、円弧状に湾曲して滑らかに接続される。このように、本実施の形態では、突起355aの突設先端面が傾斜して形成されるので、第2実施の形態の場合と同様に、突設先端面が軸Oに対し垂直に形成される場合と比較して、突設先端面の面積を拡大することができる。よって、その分、突起355aの突設先端面と膜本体41との間の接触面積を大きくして、接触部分の面圧を下げることができ、その結果、膜本体41に亀裂が発生することを抑制できる。また、このように、突起355aの突設先端面が傾斜して形成されることで、衝突の初期においては、突起355aの突設先端面の一部を部分的に衝突させ、その後、徐々に接触面積を増加させる態様とすることができ、その結果、打音の発生を抑制することができる。また、最終的には、突起355aの突設先端面の全面が接触することで、接触部分の面圧を下げ、膜本体41の亀裂の発生を抑制できる。なお、本実施の形態では、図11に示すように、突起355aの突設先端面は、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態において、膜本体41との間に若干の隙間を有する高さ位置に配置される。但し、ダイヤフラム14膜本体41の形状は、液封入室内を減圧する前の状態における形状と、液封入室内に液体を充填した後の状態における形状とがほぼ一致する。よって、液封入室内に液体を充填した後においても、上記位置関係若干の隙間を有する関係は満たされる。次いで、図12を参照して、第3実施の形態における防振ユニット301の製造方法およびその製造過程における第1突起群355の機能について説明する。図12は、防振ユニット301の部分拡大断面図であり、液封入室内を減圧した状態が図示される。なお、図12は、軸Oを含む断面を図示し、図9に対応する。防振ユニット301の製造は、第1実施の形態の場合と同様に、第1成形体外筒部材12を第1ブラケット20に保持させると共に、第1成形体の外筒部材12内に仕切り部材315を嵌め入れた後、ダイヤフラム314の円環取付部44を外筒部材12の上端側に内嵌させ、超音波溶着により連結する。なお、仕切り部材315は、変位規制部353、弾性仕切り膜354、オリフィス形成部351及び変位規制部352をそれぞれ別々に外筒部材12内へ嵌め入れても良く、或いは、弾性仕切り膜354を変位規制部352,353の対向間に挟みこみ、オリフィス形成部351と変位規制部353とを超音波溶着などにより連結し、これら一体化したもの仕切り部材315を外筒部材12内に嵌め入れても良い。これにより、防振基体13とダイヤフラム14との間に液封入室が形成されるので、減圧兼注入用孔44a図3a参照を介して、液封入室内を真空引きにより所定の負圧状態に達するまで減圧した後、その負圧を利用して、減圧兼注入用孔から液体を注入することで、液体を液封入室に充填する。液体の充填が完了した後は、減圧兼注入用孔44aを鋼球やリベットなどの封止手段により封止して、防振ユニット301の製造が完了する。図12に示すように、減圧兼注入用孔44a図3a参照を介して、液封入室内が真空引きにより減圧され、ダイヤフラム14の膜本体41が仕切り部材315の変位規制部352へ向けて変位された場合には、膜本体41と変位規制部352との間に第1突起群355を介在させることで、第1実施の形態の場合と同様に、エアーポケットが形成されることを抑制できる。よって、その後、液封入室内へ液体を注入する際に、液封入室内に残留していた空気が液体に混入することを抑制できる。また、液封入室内を十分に減圧することができるので、液体の注入効率の向上を図ることができる。また、複数の突起355aがダイヤフラム14と同心の環状に配置されるので、第1実施の形態の場合と同様に、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群355の突起355aのそれぞれを膜本体41に確実に当接させて支持させることができると共に、液封入室内の減圧がさらに進行して膜本体41が変形変位される過程において、膜本体41の一部に変形を偏らせることなく全体を均一に変形させることができる。よって、膜本体41の一部が変位規制部352に袋状に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることを抑制できる。また、外筒部材12に仕切り部材315及びダイヤフラム14を組み付ける工程においては、仕切り部材315の第1突起群355複数の突起355aに対するダイヤフラム14膜本体41の相対的な周方向位置の位置決めを不要として、その分、製造工数の削減を図ることができる。更に、突起355aの突設先端は、環状の内周側軸O側に位置する縁部よりも環状の外周側軸Oと反対側に位置する縁部の方が、中央環状部352c1からの突設位置が高くされるので、第2実施の形態の場合と同様に、液封入室内の減圧に伴い、ダイヤフラム14の膜本体41が変位規制部352へ向けて変位する際には、その膜本体41を、第1突起群355の外周側径方向外方側において、より高い位置で支持することができる。これにより、膜本体41の一部第1突起群355よりも径方向外方側の部分が中間環状部352b2や外周環状部352b3に袋状に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることを抑制できる。その結果、液体への空気の混入を抑制できるだけでなく、液封入室内の減圧度を高めることができるので、液体の注入効率の向上をさらに図ることができる。次いで、図13から図15を参照して、第4実施の形態における防振ユニット401について説明する。第3実施の形態では、変位規制部352に第1突起群355が配設される場合を説明したが、第4実施の形態における変位規制部452には、第1突起群355に加え、第2突起群456が配設される。なお、上記各実施の形態と同一の部分については同一の符号を付して、その説明を省略する。まず、図13及び図14を参照して、仕切り部材415における変位規制部452の詳細構成について説明する。図13aは、第4実施の形態における仕切り部材415の上面図であり、図13bは、図13aのXIIIb-XIIIb線における仕切り部材415の部分拡大断面図である。図14は、液封入室内を減圧する前の状態における防振ユニット401の部分拡大断面図である。図13及び図14に示すように、変位規制部452には、第1突起群355に加え、第2突起群456が形成される。なお、本実施の形態における変位規制部452と第3実施の形態における変位規制部352とは、第2突起群456の有無のみが異なり、その他は同一の構成である。第2突起群456は、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群355と共に、エアーポケットの形成を抑制するための部位であり、複数本実施の形態では8個の突起456aを備える。突起456aは、中間環状部352b2から突設され、変位規制部452上面の軸O方向視即ち、図13aの状態において、軸Oを中心とする環状に形成される突起を、放射状に分断した形状に形成される。即ち、第2突起群456を構成する複数の突起456aは、互いに所定間隔を隔てつつ、第1突起群355よりも径方向外方において軸Oを中心とする環状に配置される。なお、本実施の形態では、放射状に分断する位置が周方向等間隔とされ即ち、突起456a間に形成される各隙間の周方向位置が、放射状部352c2の周方向位置に一致する、よって、8個の突起456aがそれぞれ同形状とされる。突起456a間の隙間の幅は、放射状部352c2の幅と同一とされる。これにより、液封入室内を減圧する際には、第1突起群355よりも外周側径方向外方側において、第2突起群456を、ダイヤフラム14の膜本体41と変位規制部452の中間環状部352b2との間に介在させることで、膜本体41が中間環状部352b2に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることを効果的に抑制できる。その結果、液封入室に空気が残留することを抑制できる。また、第1突起群355のみが設けられる場合と比較して、液封入室内をさらに減圧することができるので、その分、液体の注入効率の向上を図ることができる。突起456aの突設先端は、軸Oを含む断面形状が、環状の内周側軸O側に位置する縁部よりも環状の外周側軸Oと反対側に位置する縁部の方が、中央環状部352b1からの突設位置が高くされる。即ち、図13bに示すように、突起456aの突設先端面は、その軸Oを含む断面形状が、突起355aの突設先端面と同様に、軸Oへ向けて直線状に下降傾斜して形成される。なお、突起456aの突設先端面と内壁面および外壁面との間は、円弧状に湾曲して滑らかに接続される。また、第2突起群456の突起456aは、その突設先端面の軸Oに対する傾斜角度が、第1突起群355の突起355aにおける突設先端面の軸Oに対する傾斜角度よりも小さくされる即ち、下降傾斜が大きくされる。これにより、図14に示すように、両突起355a,456aの突設先端面がそれぞれ膜本体41の傾斜に沿って配置される。本実施の形態では、突起456aaの突設先端面が傾斜して形成されるので、第2実施の形態の場合と同様に、突設先端面が軸Oに対し垂直に形成される場合と比較して、突設先端面の面積を拡大することができる。よって、その分、突起456aの突設先端面と膜本体41との間の接触面積を大きくして、接触部分の面圧を下げることができ、その結果、膜本体41に亀裂が発生することを抑制できる。また、このように、突起456aの突設先端面が傾斜して形成されることで、衝突の初期においては、突起456aの突設先端面の一部を部分的に衝突させ、その後、徐々に接触面積を増加させる態様とすることができ、その結果、打音の発生を抑制することができる。また、最終的には、突起456aの突設先端面の全面が接触することで、接触部分の面圧を下げ、膜本体41の亀裂の発生を抑制できる。さらに、第1突起群355に加え、第2突起群456が設けられることで、その分、膜本体41との接触面積を増加させることができる。よって、液封入室内を減圧する際や大振幅の振動入力に伴い、膜本体41が第1突起群355及び第2突起群456に当接して支持される際には、第1突起群355のみが設けられる場合と比較して、接触部分の面圧を下げることができる。よって、膜本体41に亀裂が発生することがより確実に抑制できる。第2突起群456の突起456aは、第1突起群355の突起355aに対し、変位規制部452の上面からの突設高さが高くされる。よって、第2突起群456の突起456aの突設先端面は、第1突起群355の突起355aの突設先端面よりも高い位置即ち、変位規制部452の上面から軸O方向に離間した位置に配置される。これにより、図14に示すように、第2突起群456の突起456aの突設先端面とダイヤフラム14の膜本体41との間の対向間隔軸O方向寸法が、第1突起群355の突起355aの突設先端面とダイヤフラム14の膜本体41との間の対向間隔軸O方向寸法と略同一とされる。なお、ここで定義したダイヤフラム14の膜本体41と第2突起群456の突起456a及び第1突起群355の突起355aとの位置関係は、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態において満たす。但し、ダイヤフラム14膜本体41の形状は、液封入室内を減圧する前の状態における形状と、液封入室内に液体を充填した後の状態における形状とがほぼ一致する。よって、液封入室内に液体を充填した後においても、上記位置関係は満たされる。次いで、図15を参照して、防振ユニット401の製造過程における第2突起群456の機能について説明する。図15は、防振ユニット401の部分拡大断面図であり、液封入室内を減圧した状態が図示される。なお、図15は、軸Oを含む断面を図示し、図9に対応する。また、防振ユニット401の製造方法は、第3実施の形態における防振ユニット301の場合と同様であるので、その説明を省略する。図15に示すように、減圧兼注入用孔44a図3a参照を介して、液封入室内が真空引きにより減圧され、ダイヤフラム14の膜本体41が仕切り部材415の変位規制部452へ向けて変位された場合には、膜本体41と変位規制部452との間に第1突起群355及び第2突起群456を介在させ、それら第1突起群355の隣接する突起355a間の隙間および第2突起群456の隣接する突起456a間の隙間をそれぞれ利用して、膜本体41と変位規制部452との間にエアーポケットが形成されることを抑制できる。よって、その後、液封入室内へ液体を注入する際に、液封入室内に残留していた空気が液体に混入することを抑制できる。また、液封入室内を十分に減圧することができるので、液体の注入効率の向上を図ることができる。また、第1突起群355及び第2突起群456は、突起355a,456aの突設先端面とダイヤフラム14の膜本体41との間の対向間隔がそれぞれ略同一とされる。よって、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群355及び第2突起群456のそれぞれの突起355a,456aを膜本体41にほぼ同時に当接させることができる。これにより、これら第1突起群355と第2突起群456との両者を膜本体41に適切に当接させ、膜本体41を安定した態様で変位変形させることができる。即ち、エアーポケットが形成されることを抑制する機能を第1突起群355及び第2突起群456に確実に発揮させることができる。以上、実施の形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形が可能であることは容易に推察できるものである。上記各実施の形態で挙げた数値は一例であり、他の数値を採用することは当然可能である。例えば、上記各実施の形態では、第1突起群55,255,355がそれぞれ4個の突起55a,255a,355aを備える場合を説明したが、かかる個数は一例であり、3個以下であっても良く、或いは、5個以上であっても良い。第2突起群456の突起456aについても同様である。上記第2から第4実施の形態では、液封入室内を減圧する前の状態において、第1突起群255,355突起255a,355aの突設先端面と膜本体41との間に隙間が形成される場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、第1突起群255,355突起255a,355aの突設先端面が膜本体41に当接していても良い。その後の液封入室内を減圧する工程において、第1突起群255,355の機能を確実に発揮させ、エアーポケットが形成されることを効果的に抑制することができる。第2突起群456についても同様である。なお、防振装置10~410は、エンジンの重量を防振基体13の圧縮変形で支持する構造なので、実際の使用時には、ダイヤフラム14を仕切り部材15~415と反対側へ向けて膨張させることができる。よって、第1突起群255,355等を仕切り部材15~415へ当接させておく構成であっても、両者を衝突し難くして、打音の発生を抑制することができる。一方、第1実施の形態では、液封入室を減圧する前の状態において、第1突起群55突起55aの突設先端面が膜本体41に当接している場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、第1突起群55突起55aの突設先端面と膜本体41との間に隙間を形成することは当然可能である。上記第2から第4実施の形態では、第1突起群255,355の突起255a,355aの突設先端面を、軸O方向へ向けて下降傾斜させつつ、ダイヤフラム14膜本体41から離間する方向へ凹む円弧状に湾曲する形状または直線形状に形成する場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、図16aに示す突起555aのように、軸O方向へ下降傾斜しつつ、ダイヤフラム14膜本体41側へ突出する円弧状に湾曲する形状としても良い。第2突起群456の突起456aの突設先端面についても同様である。突起555aによっても、膜本体41の亀裂の防止と、膜本体41が衝突する際の異音の防止とを効果的に図ることができる。なお、図16aは、変形例における第1突起群555の突起555aの断面図であり、図6bに対応する。上記各実施の形態では、第1突起群55,255,355の隣接する突起55a,255a,355a同士が非連結とされる隣接する突起55a,255a,355aの間には中央環状部53b1,352b1のみが存在する場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、隣接する突起55a,255a,355a同士を、それら突起55a,255a,355aよりも突設高さが低い突起により連結しても良い。上記各実施の形態では、第1突起群55,255,355を複数の突起55a,255a,355aから構成する場合即ち、第1突起群55,255,355の軸O方向視が、周方向に連続する環状を放射状に分断した形状とされる場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、図16b及び図16cに示す第1突起群655のように、筒状即ち、軸O方向視において、周方向に連続する環状に形成しても良い。この場合には、筒状の壁部に1又は複数の貫通孔655aを設ける。第2突起群456についても同様である。これにより、エアーポケットの形成を抑制できるだけでなく、本変形例における第1突起群655は、その突設先端面が周方向に連続する即ち、周方向に沿って凹凸が形成されないため、かかる第1突起群655に当接衝突した膜本体41への押圧力を周方向に均一として、その耐久性の向上を図ることができる。この場合、第1突起群655は、上記各実施の形態の場合と同様に、突設先端面の高さ位置を周方向に沿って一定とする。第1突起群655の突設先端面の軸Oを含む断面形状は、上記各実施の形態のいずれの形状であっても良い。なお、図16bは、変形例における第1突起群655の上面図であり、図16cは、図16bのXVIc-XVIc線における第1突起群655の断面図である。上記各実施の形態において、その一部または全部の構成を、他の実施の形態における構成と入れ替える又は組み合わせて、液封入式防振装置を構成しても良い。例えば、第1又は第2実施の形態における仕切り部材15,215に、第4実施の形態における第2突起群456を設ける形態、第3及び第4実施の形態では、第1突起群355の突起355aの突設先端面を直線状に下降傾斜させたが、これに代えて、第1実施の形態における第1突起群55の突起55aの突設先端面の形状半円形状、或いは、第2実施の形態における第1突起群255の突起255aの突設先端面の形状ダイヤフラム14から離間する方向へ凹む円弧状に湾曲する形状を採用する形態、などが例示される。"