低温精留プロセスにおいて空気を分離するステップを含む、空気を分離するための方法において、前記空気を分離するステップは、高圧塔及び低圧塔を有する空気分離ユニット内で、圧縮、浄化、及び冷却された空気を精留することと、加圧液体酸素ストリームの少なくとも一部を加熱すること、及び熱交換器内での少なくともブースト圧力空気ストリームを用いた間接的な熱交換を介して液体窒素ストリームを蒸発させることと、前記加圧液体酸素ストリームを生成するために、前記低圧塔内で生成される酸素富化液体塔底液から構成される酸素富化ストリームの少なくとも一部を加圧すること、及び環流として使用されない前記酸素富化液体塔底液を部分的に蒸発させるのに対して、前記高圧塔の窒素富化蒸気塔頂留出物を凝縮させることにより形成される窒素富化液体ストリームの一部から前記液体窒素ストリームを生成することとを含み、前記加圧液体酸素ストリームの前記少なくとも一部が超臨界圧力を有し、且つ超臨界流体として酸素生成物を生成するように超臨界温度まで加熱され、且つ前記酸素富化ストリームのうちの少なくとも約90パーセントを構成し、前記液体窒素ストリームの前記少なくとも一部が超臨界圧力を有し、且つ前記窒素富化液体ストリームの前記一部のうちの少なくとも約90パーセントを構成し、前記液体窒素ストリーム、及び前記加圧液体酸素の前記少なくとも一部が、約0.3から約0.90の間の比率の流量を有し、前記ブースト圧力空気ストリームが所定のブースト圧力及び所定の流量を有し、前記ブースト圧力が、もし前記液体窒素ストリームによる前記熱交換器内での間接的な熱交換がなかったら前記流量で必要とされていたであろう圧力よりも低い空気を分離するための方法。前記熱交換器がバンク型熱交換器構成の高圧熱交換器である請求項1に記載の方法。アルゴン含有蒸気ストリームが前記低圧塔から除去されてアルゴン塔内で精留され、それによりアルゴン富化蒸気塔頂留出物及び酸素含有液体塔底液が生成され、前記アルゴン富化蒸気塔頂留出物が凝縮され、それによりアルゴン環流ストリームが生成され、前記アルゴン環流ストリームが前記アルゴン塔内に導入され、アルゴン富化生成物ストリームが前記アルゴン塔から除去され、前記酸素含有液体塔底液から構成される酸素含有液体ストリームが前記低圧塔内に導入される請求項2に記載の方法。前記高圧塔内で生成される粗製液体酸素塔底液から構成される粗製液体酸素ストリームが過冷却され、過冷却後の前記粗製液体酸素ストリームの少なくとも一部がバルブにより膨張され、前記アルゴン塔に接続されるアルゴンコンデンサ内に導入され、それにより前記アルゴン富化蒸気ストリームが凝縮され、それにより前記粗製液体酸素ストリームが部分的に蒸発し、気相及び液相が形成され、前記気相及び前記液相から構成される気相ストリーム及び液相ストリームが前記低圧塔内に導入され、前記ブースト圧力空気ストリームが液化されることにより形成される液体空気ストリームが膨張されて、第1の二次的な液体空気ストリームと第2の二次的な液体空気ストリームとに分割され、前記第1の二次的な液体空気ストリームが前記高圧塔内に導入され、前記第2の二次的な液体空気ストリームが前記アルゴンコンデンサ内に導入されて過冷却され、過冷却後の前記第2の二次的な液体空気ストリームが膨張されて、前記低圧塔内に導入される請求項3に記載の方法。前記空気が、主空気圧縮機内で供給空気ストリームを圧縮して前記空気を前記圧縮後に予備浄化ユニット内で浄化することによりって圧縮及び浄化され、それにより圧縮及び浄化された空気ストリームが形成され、前記圧縮及び浄化された空気ストリームの第1の部分が前記バンク型熱交換器構成の低圧熱交換器内で精留に適する温度まで冷却されて前記高圧塔内に導入され、前記圧縮及び浄化された空気ストリームの第2の部分の少なくとも一部が昇圧圧縮機内で圧縮され、それにより前記ブースト圧力空気ストリームが形成される請求項2又は請求項4に記載の方法。前記圧縮及び浄化された空気ストリームの第3の部分がさらに圧縮され、前記低圧熱交換器内で部分的に冷却され、ターボエキスパンダ内で膨張され、それにより排気ストリームが生成され、前記排気ストリームが、前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第1の部分と共に前記高圧塔内で精留される請求項5に記載の方法。前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第2の部分の前記一部が、前記ブースト圧力空気ストリームを形成する際に前記昇圧圧縮機内で圧縮され、前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第3の部分が、前記昇圧圧縮機の中間ステージ内で部分的に圧縮された後の前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第2の部分の別の一部から構成され、且つ別の昇圧圧縮機内でさらに圧縮される請求項5に記載の方法。前記窒素富化液体ストリームの別の部分が環流として前記高圧塔内に導入され、前記窒素富化液体ストリームより窒素純度が低い窒素含有環流ストリームが過冷却され、膨張され、環流として前記低圧塔に導入され、前記低圧塔の塔頂留出物から構成される低圧窒素蒸気ストリームが、サブクーラ内で間接的な熱交換によって前記窒素含有環流ストリーム及び前記粗製液体酸素ストリームを過冷却し、前記低圧窒素蒸気ストリームが第1及び第2の二次的な低圧窒素蒸気ストリームに分割され、これらがそれぞれ前記高圧熱交換器及び前記低圧熱交換器内に導入され、それによりコールドエンドの温度の釣り合いがとられる請求項5に記載の方法。前記液体窒素ストリーム及び前記窒素富化液体ストリームが等しい圧力を有する請求項5に記載の方法。空気を分離するための装置において、前記空気を精留するための高圧塔及び低圧塔を有する空気分離ユニットと、ブースト圧力空気ストリームから、超臨界圧力を有する加圧液体酸素ストリームの少なくとも一部及び液体窒素ストリームへと間接的に熱交換を行うように構成された熱交換器であって、それにより前記加圧液体酸素ストリームを超臨界温度まで加熱して超臨界流体として酸素生成物を形成し、且つ前記液体窒素ストリームを蒸発させて蒸気として窒素生成物を形成する熱交換器と、前記熱交換器と前記低圧塔との間に配置されるポンプであって、それにより、前記低圧塔内で生成される酸素富化液体塔底液から構成される酸素富化ストリームの少なくとも一部が前記超臨界圧力まで加圧され、且つ前記加圧液体酸素ストリームの前記少なくとも一部が前記酸素富化ストリームの少なくとも約90パーセントを構成するポンプと、を含む低温空気分離プラントを有し、前記熱交換器が、前記高圧塔及び前記低圧塔に動作可能に連結される復水再沸器に流体連通され、それにより前記液体窒素ストリームが、前記復水再沸器内で前記酸素富化液体塔底液を部分的に蒸発させるのに対して、前記高圧塔の窒素富化蒸気塔頂留出物を凝縮させることによって生成される、環流としては使用されない窒素富化液体ストリームの一部のうちの少なくとも約90パーセントで構成され、且つ臨界未満圧力を有し、前記空気分離プラントは、前記液体窒素ストリーム及び前記加圧液体酸素ストリームの前記少なくとも一部が約0.3から約0.90の間の比率の流量を有するように構成され、前記ブースト圧力空気ストリームは昇圧圧縮機によって生成され、前記昇圧圧縮機は、前記ブースト圧力空気ストリームが所定の流量と、もし前記液体窒素ストリームによる前記熱交換器内での間接的な熱交換がなかったら前記流量で必要とされていたであろう圧力より低いブースト圧力とを有するように構成されている装置。前記熱交換器がバンク型熱交換器構成の高圧熱交換器である請求項10に記載の装置。アルゴン塔が前記低圧塔に接続され、それによりアルゴン含有蒸気ストリームが前記低圧塔から除去されて前記アルゴン塔内で精留され、それによりアルゴン富化蒸気塔頂留出物及び酸素含有液体塔底液が生成され、前記酸素含有液体塔底液から構成される酸素含有液体ストリームが前記低圧塔内に導入され、アルゴンコンデンサが前記アルゴン塔に接続され、それにより前記アルゴン富化蒸気塔頂留出物が凝縮され、それによりアルゴン環流ストリームが生成され、前記アルゴン環流ストリームが前記アルゴン塔内に導入され、前記アルゴン塔が、前記アルゴン塔からアルゴン富化生成物ストリームを排出するための出口を有する請求項11に記載の装置。過冷却ユニットが前記高圧塔に接続され、それにより、前記高圧塔内で生成される粗製液体酸素塔底液から構成される粗製液体酸素ストリームが過冷却され、前記アルゴンコンデンサが前記過冷却ユニットに接続され、第1のエキスパンションバルブが前記アルゴンコンデンサと前記過冷却ユニットとの間に配置され、それにより過冷却後の前記粗製液体酸素ストリームの少なくとも一部が過冷却の後に前記第1のエキスパンションバルブによって膨張されて前記アルゴンコンデンサ内に導入され、それにより前記アルゴン富化蒸気ストリームが凝縮され、それにより前記粗製液体酸素ストリームの前記少なくとも一部が部分的に蒸発されて気相及び液相が形成され、前記アルゴンコンデンサが前記低圧塔に接続され、それにより前記気相及び前記液相からそれぞれ構成される気相ストリーム及び液相ストリームが前記低圧塔内に導入され、液体エキスパンダが前記高圧熱交換器に接続され、それにより前記ブースト圧力空気ストリームが液化されることによって生成される液体空気ストリームが膨張され、前記液体エキスパンダが前記高圧塔及び前記アルゴンコンデンサに接続され、それにより前記液体空気ストリームの一部から構成される第1の二次的な液体空気ストリームが前記高圧塔内に導入され、前記液体空気ストリームの別の一部から構成される第2の二次的な液体空気ストリームが前記アルゴンコンデンサ内に導入され、前記アルゴンコンデンサが前記第2の二次的な液体空気ストリームを過冷却するように構成され、且つ前記低圧塔に接続され、それにより過冷却後の前記第2の二次的な液体空気ストリームが前記低圧塔内に導入され、第2のエキスパンションバルブが、前記アルゴンコンデンサと前記低圧塔との間に配置され、それにより前記第2の二次的な液体空気ストリームをバルブにより膨張させる請求項12に記載の装置。主空気圧縮機が供給空気ストリームを圧縮し、予備浄化ユニットが前記主空気圧縮機に接続され、それにより圧縮後に前記供給空気ストリームから圧縮及び浄化された空気ストリームが形成され、前記バンク型熱交換器構成が前記予備浄化ユニットと前記高圧塔との間に配置される低圧熱交換器を有し、それにより前記圧縮及び浄化された空気ストリームの第1の部分が精留に適する温度まで冷却されて前記高圧塔内に導入され、昇圧圧縮機が前記予備浄化ユニットと前記高圧熱交換器との間に配置され、それにより前記圧縮及び浄化された空気の第2の部分の少なくとも一部が前記昇圧圧縮機内でさらに圧縮され、それによりブースト圧力空気ストリームが形成される請求項13に記載の装置。前記昇圧圧縮機が、前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第2の部分の一部を圧縮し、それにより前記ブースト圧力空気ストリームが生成されるように、また前記昇圧圧縮機の中間ステージからの前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第2の部分の別の一部から構成される前記圧縮及び浄化された空気ストリームの第3の部分を排出するように構成され、別の昇圧圧縮機が前記中間ステージと前記低圧熱交換器との間に配置され、それにより前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第3の部分がさらに圧縮されて前記低圧熱交換器内に導入され、前記低圧熱交換器が前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第3の部分を部分的に冷却するように構成され、ターボエキスパンダが前記低圧熱交換器に接続され、それにより前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第3の部分を膨張させ、それにより排気ストリームが生成され、前記ターボエキスパンダが前記高圧塔に流体連通され、それにより前記圧縮及び浄化された空気ストリームの前記第1の部分と共に前記排気ストリームが前記高圧塔内で精留される請求項14に記載の方法。前記復水再沸器が前記高圧塔に接続され、それにより前記窒素富化液体ストリームの別の一部が環流として前記高圧塔内に導入され、前記過冷却ユニットが前記高圧塔に接続され、それにより前記窒素富化液体ストリームより窒素純度が低い窒素含有環流ストリームが前記高圧塔から排出されて前記過冷却ユニット内で過冷却され、前記過冷却ユニットが前記低圧塔に接続され、それにより前記窒素含有環流ストリームが環流として前記低圧塔に導入され、第3のエキスパンションバルブが前記サブクーラと前記低圧塔との間に配置され、それにより前記窒素含有環流ストリームが前記第3のエキスパンションバルブ内で膨張され、前記サブクーラがまた、前記低圧塔に接続され、それにより前記低圧塔の塔頂留出物から構成される低圧窒素蒸気ストリームが間接的な熱交換を介して前記窒素含有環流ストリーム及び前記粗製液体酸素ストリームを過冷却し、前記高圧熱交換器及び前記低圧熱交換器が前記サブクーラに接続され、それにより前記低圧窒素蒸気ストリームから構成される第1及び第2の二次的な低圧窒素蒸気ストリームがそれぞれ前記高圧熱交換器及び前記低圧熱交換器内に導入され、それにより温度の釣り合いがとられる請求項14に記載の方法。前記高圧熱交換器が前記復水再沸器に流体連通され、それにより、前記液体窒素ストリーム及び前記窒素富化液体ストリームが等しい圧力を有する請求項11又は請求項16に記載の装置。一観点では、本発明は空気を分離するための方法を提供し、ここでは、低温精留プロセスにおいて空気が分離される。このプロセスでは、圧縮され、浄化され、冷却された空気が高圧塔及び低圧塔を有する空気分離ユニット内で精留され、加圧液体酸素ストリームの少なくとも一部が加熱され、液体窒素ストリームがブースト圧力空気ストリームを用いた間接的な熱交換を介して気化蒸発される。低圧塔内で生成される酸素富化液体塔底液から構成される酸素富化ストリームの少なくとも一部が加圧され、それにより加圧液体酸素ストリームが生成される。液体窒素ストリームは、酸素富化液体塔底液の一部が蒸発するのに対して、高圧塔の窒素富化蒸気塔頂留出物を凝縮させることによって形成される、環流としては使用されない窒素富化液体ストリームの一部から生成される。加圧液体酸素ストリームのこの少なくとも一部は超臨界圧力を有し、超臨界温度まで加熱され、それにより超臨界流体として酸素生成物が生成される。加圧液体酸素ストリームのこの少なくとも一部は酸素富化ストリームのうちの少なくとも約90パーセントを構成し、液体窒素ストリームのこの少なくとも一部は臨界未満圧力を有し、窒素富化液体ストリームのこの一部のうちの少なくとも約90パーセントを構成する。液体窒素ストリーム及び加圧液体酸素ストリームのこの少なくとも一部は0.3から0.90の間の比率の流量を有する。ブースト圧力空気ストリームは1つのブースト圧力及び1つの流量を有する。ブースト圧力は、もし液体窒素ストリームによる熱交換器内での間接的な熱交換がなければ上記の流量で要求されるであろう圧力よりも低い。本明細書の発明者らは、特定の運転条件下で、加圧液体酸素ストリームを加熱することと共に液体窒素ストリームを蒸発させることが、複合冷却曲線の形状に大きく影響することを発見した。酸素回収に著しく影響せず且つ十分な量の環流が確実に得られるように選択される比率の上限は0.90であり、また、ブースト圧力空気ストリームのために必要となる圧力が十分に低減されなくなってしまう下限の比率は0.3である。加熱曲線及び冷却曲線が、冷却されるブースト圧力空気ストリーム及び任意の別のストリームから、加熱される温度上昇酸素温度上昇/蒸発窒素ストリーム並びに任意の別のストリームへの全体の熱伝達を表すことに留意されたい。複合曲線は、複数の温度低下ストリーム高温ストリームを1つの曲線に集約し、さらに、複数の温度上昇ストリーム低温ストリームを1つのストリームに集約する。熱交換器内の所与の温度では、複合曲線は次のように定義される。すなわち、高温ストリーム又は低温ストリームの各々のエネルギー変化の合計が高温又は低温複合曲線のそれぞれの負荷dutyを定める。同時に熱を伝達する2つ以上のストリームを用いた熱交換器の分析を単純化及び理想化するのに、複合曲線が使用される。加圧液体酸素ストリームを加熱することに加えて、同時に高圧熱交換器内の液体窒素ストリームを蒸発させることの効果は、複合冷却曲線の形状が次ぎのように変化することである。すなわち、設計者は、酸素ストリームのみが高圧熱交換器内で加熱されるストリームである場合に、そうでなければ超臨界圧力で酸素ストリームを超臨界温度まで加熱するのにブースト圧力空気ストリームに要求される圧力を低減することが可能となる。この点に関して、非バンク型の熱交換器構成では、温められる又は冷却されるすべてのストリームが、ほとんどの実際的な用途において並列の一連の熱交換器である単一の熱交換器内で間接的な熱交換を受ける。設計者がブースト圧力空気ストリームの圧力を低減することを所望する場合、このストリームの流量を増加させなければならないという問題が発生する。液体窒素ストリームが蒸発する場合では、これらの曲線形状が変化することにより、ブースト圧力空気ストリームの流量が、このような液体窒素ストリームが存在しない場合の流量より少なくさせることができる。流量が増加すると生成される液体空気が増加し、塔性能が低下し、最終的には塔を運転することが不可能となる。これらのすべての熱交換が1つの高圧熱交換器内で行われるようなバンク型では、液体窒素が蒸発することにより、液体酸素が超臨界流体になるところの熱交換器内の温度である合理的なアプローチ温度で熱交換器を機能させることが可能となり、これは通常は5ケルビン未満である。液体窒素が存在しない場合、液体窒素を用いる場合に必要となる流量では熱交換器が機能しないことに加えて、極限の運転状態において、加熱曲線及び冷却曲線が実際に交差してしまい、それにより熱交換器を運転することができなくなる。上で示したように、加圧液体酸素ストリームの少なくとも一部が加熱され得、また、液体窒素ストリームが、ブースト圧力空気ストリームを用いた間接的な熱交換を介してバンク型熱交換器構成の高圧熱交換器内で蒸発され得る。アルゴン含有蒸気ストリームが低圧塔から除去されてアルゴン塔内で精留され得、それによりアルゴン富化蒸気塔頂留出物及び酸素含有液体塔底液が生成される。アルゴン富化蒸気塔頂留出物が凝縮され、それによりアルゴン環流ストリームが生成され、このアルゴン環流ストリームはアルゴン塔内に導入される。アルゴン富化生成物ストリームがアルゴン塔から除去され、酸素含有液体塔底液から構成される酸素含有液体ストリームが低圧塔内に導入される。特定の実施例では、高圧塔内で生成される粗製液体酸素塔底液から構成される、粗製液体酸素ストリームが過冷却される。過冷却後の粗製液体酸素ストリームの少なくとも一部がバルブにより膨張され、アルゴン塔に接続されるアルゴンコンデンサargoncondenser内に導入され、それによりアルゴン富化蒸気ストリームが凝縮され、それにより粗製液体酸素ストリームが部分的に蒸発し、気相及び液相が形成される。これらの気相及び液相からそれぞれ構成される気相ストリーム及び液相ストリームが低圧塔内に導入され、ブースト圧力空気ストリームが液化されることにより形成される液体空気ストリームが膨張され、第1の二次的な液体空気ストリームと第2の二次的な液体空気ストリームとに分割される。第1の二次的な液体空気ストリームが高圧塔内に導入され、第2の二次的な液体空気ストリームがアルゴンコンデンサ内に導入されて過冷却される。過冷却後の第2の二次的な液体空気ストリームが膨張されて低圧塔内に導入される。この空気は、主空気圧縮機内で供給空気ストリームを圧縮してその空気を圧縮後に予備浄化ユニット内で浄化することにより圧縮及び浄化され得、それにより圧縮及び浄化された空気ストリームが形成される。圧縮及び浄化された空気ストリームの第1の部分がバンク型熱交換器構成の低圧熱交換器内で精留に適する温度まで冷却されて高圧塔内に導入される。圧縮及び浄化された空気ストリームの第2の部分の少なくとも一部が、ブースト圧力空気ストリームを形成する際に昇圧圧縮機内で圧縮される。圧縮及び浄化された空気ストリームの第3の部分がさらに圧縮され得、低圧熱交換器内で部分的に冷却され得、ターボエキスパンダ内で膨張され得、それにより排気ストリームが生成される。排気ストリームは圧縮及び浄化された空気ストリームの第1の部分と共に高圧塔内で精留される。圧縮及び浄化された空気ストリームの第2の部分の一部は、ブースト圧力空気ストリームを形成する際に昇圧圧縮機内で圧縮され得る。この場合、圧縮及び浄化された空気ストリームの第3の部分は、昇圧圧縮機の中間ステージ内で部分的に圧縮された後の圧縮及び浄化された空気ストリームの第2の部分の別の一部から構成され、別の昇圧圧縮機内でさらに圧縮される。窒素富化液体ストリームの別の一部が環流として高圧塔内に導入され得、窒素富化液体ストリームより窒素純度が低い窒素含有環流ストリームが過冷却され得、膨張され得、環流として低圧塔に導入され得る。低圧塔の塔頂留出物から構成される低圧窒素蒸気ストリームが、サブクーラ内で間接的な熱交換を介して窒素含有環流ストリーム及び粗製液体酸素ストリームを過冷却するのに使用され得る。低圧窒素蒸気ストリームは第1及び第2の二次的な低圧窒素蒸気ストリームに分割され、これらはそれぞれ高圧熱交換器及び低圧熱交換器内に導入され、それによりコールドエンドの温度の釣り合いがとられる。本発明のいずれの実施例においても、液体窒素ストリーム及び窒素富化液体ストリームは等しい圧力を有することができる。しかし、本発明が、液頭又はポンプにより液体窒素ストリームの圧力を増加させることができることを企図していることを理解されたい。本発明の別の観点では、低温空気分離プラントを含む、空気を分離するための装置が提供される。このようなプラントは、空気を精留するための、高圧塔及び低圧塔を有する空気分離ユニットと、空気分離ユニットに流体連通される熱交換器と、ポンプとを含む。熱交換器は、ブースト圧力空気ストリームから、超臨界圧力を有する加圧液体酸素ストリームの少なくとも一部及び液体窒素ストリームへと間接的に熱交換を行うように構成され、それにより加圧液体酸素ストリームが超臨界温度まで加熱され、超臨界流体として酸素生成物が形成され、また液体窒素ストリームが蒸発して蒸気としての窒素生成物が形成される。ポンプは熱交換器と低圧塔との間に配置され、それにより低圧塔内で生成される酸素富化液体塔底液から構成される酸素富化ストリームの少なくとも一部が超臨界圧力まで加圧され、加圧液体酸素ストリームの少なくとも一部が酸素富化ストリームの少なくとも約90パーセントを構成するようになる。熱交換器は高圧塔及び低圧塔に動作可能に連結される復水再沸器に流体連通され、それにより液体窒素ストリームは、復水再沸器内で酸素富化液体塔底液の一部が蒸発するのに対して、高圧塔の窒素富化蒸気塔頂留出物を凝縮させることによって生成される、環流としては使用されない窒素富化液体ストリームの一部のうちの少なくとも約90パーセントから構成される。このような液体窒素ストリームは臨界未満圧力を有する。空気分離プラントは次のように構成される。すなわち、液体窒素ストリーム及び加圧液体酸素ストリームの少なくとも一部が0.3から0.90の間の比率の流量を有する。ブースト圧力空気ストリームは、次のように構成される昇圧圧縮機によって生成される。すなわち、ブースト圧力空気ストリームが、1つの流量と、もし液体窒素ストリームによる熱交換器内での間接的な熱交換がなければ上記の流量で必要とされるであろう圧力より低いブースト圧力とを有する。熱交換器は、低圧熱交換器をさらに有するバンク型熱交換器構成の高圧熱交換器であってよい。アルゴン塔が低圧塔に接続されてよく、ここでは、アルゴン含有蒸気ストリームが低圧塔から除去されてアルゴン塔内で精留され、それによりアルゴン富化蒸気塔頂留出物及び酸素含有液体塔底液が生成される。酸素含有液体塔底液から構成される酸素含有液体ストリームが低圧塔内に導入される。アルゴンコンデンサがアルゴン塔に接続され、ここでは、アルゴン富化蒸気塔頂留出物が凝縮されてそれによりアルゴン環流ストリームが生成され、このアルゴン環流ストリームはアルゴン塔内に導入され、ここでは、このアルゴン塔はアルゴン塔からアルゴン富化生成物ストリームを排出するための出口を有する。特定の実施例では、過冷却ユニットが高圧塔に接続され得、ここでは、高圧塔内で生成される粗製液体酸素塔底液から構成される粗製液体酸素ストリームが過冷却される。アルゴンコンデンサがこの過冷却ユニットに接続され、第1のエキスパンションバルブがアルゴンコンデンサと過冷却ユニットとの間に配置され、ここでは、過冷却後の粗製液体酸素ストリームの少なくとも一部が第1のエキスパンションバルブによって膨張されてアルゴンコンデンサ内に導入され、それによりアルゴン富化蒸気ストリームが凝縮され、粗製液体酸素ストリームのこの少なくとも一部が部分的に蒸発され、気相及び液相が形成される。アルゴンコンデンサはまた、低圧塔に接続され、ここでは、気相及び液相からそれぞれ構成される気相ストリーム及び液相ストリームが低圧塔内に導入される。液体エキスパンダが高圧熱交換器に接続され、ここでは、ブースト圧力空気ストリームが液化されることによって生成される液体空気ストリームが膨張される。この液体エキスパンダは高圧塔及びアルゴンコンデンサに接続され、それにより液体空気ストリームの一部から構成される第1の二次的な液体空気ストリームが高圧塔内に導入され、液体空気ストリームの別の一部から構成される第2の二次的な液体空気ストリームがアルゴンコンデンサ内に導入される。アルゴンコンデンサは第2の二次的な液体空気ストリームを過冷却するように構成され、また過冷却後の第2の二次的な液体空気ストリームを低圧塔内に導入するために低圧塔に接続される。第2の二次的な液体空気ストリームをバルブにより膨張させるために、第2のエキスパンションバルブがアルゴンコンデンサと低圧塔との間に配置される。供給空気ストリームを圧縮するために主空気圧縮機が設けられてもよく、圧縮後に供給空気ストリームから圧縮及び浄化された空気ストリームを形成するために、予備浄化ユニットが主空気圧縮機に接続されてよい。このバンク型熱交換器構成は予備浄化ユニットと高圧塔との間に配置される低圧熱交換器を有し、ここでは、圧縮及び浄化された空気ストリームの第1の部分が精留に適する温度まで冷却されて高圧塔内に導入される。昇圧圧縮機が予備浄化ユニットと高圧熱交換器との間に配置され、ここでは、圧縮及び浄化された空気の第2の部分の少なくとも一部が昇圧圧縮機内でさらに圧縮され、それによりブースト圧力空気ストリームが形成される。この昇圧圧縮機は、ブースト圧力空気ストリームを生成することを目的として、圧縮及び浄化された空気ストリームの第2の部分の一部を圧縮するように、さらには昇圧圧縮機の中間ステージからの圧縮及び浄化された空気ストリームの第2の部分の別の一部から構成される圧縮及び浄化された空気ストリームの第3の部分を排出するように構成され得る。別の昇圧圧縮機が中間ステージと低圧熱交換器との間に配置され、ここでは、圧縮及び浄化された空気ストリームの第3の部分がさらに圧縮されて低圧熱交換器内に導入される。低圧熱交換器は圧縮及び浄化された空気ストリームの第3の部分を部分的に冷却するように構成され、ターボエキスパンダが、圧縮及び浄化された空気ストリームの第3の部分を膨張させてそれにより排気ストリームを生成するために、低圧熱交換器に接続される。このターボエキスパンダは高圧塔に流体連通され、ここでは、圧縮及び浄化された空気ストリームの第1の部分と共に排気ストリームが高圧塔内で精留される。復水再沸器が高圧塔に接続され、ここでは、窒素富化液体ストリームの別の一部が環流として高圧塔内に導入される。過冷却ユニットが高圧塔に接続され、ここでは、窒素富化液体ストリームより窒素純度が低い窒素含有環流ストリームが高圧塔から排出されて過冷却ユニット内で過冷却される。この過冷却ユニットは低圧塔に接続され、ここでは、窒素含有環流ストリームが環流として低圧塔に導入される。第3のエキスパンションバルブがサブクーラと低圧塔との間に配置され、ここでは、窒素含有環流ストリームが第3のエキスパンションバルブ内で膨張される。サブクーラはまた低圧塔に接続され、ここでは、低圧塔の塔頂留出物から構成される低圧窒素蒸気ストリームが間接的な熱交換を介して窒素含有環流ストリーム及び粗製液体酸素ストリームを過冷却する。高圧熱交換器が低圧塔に接続され、低圧熱交換器がサブクーラに接続され、ここでは、低圧窒素蒸気ストリームから構成される第1及び第2の二次的な低圧窒素蒸気ストリームがそれぞれ高圧熱交換器及び低圧熱交換器内に導入され、それにより温度の釣り合いがとられる。高圧熱交換器は復水再沸器に流体連通され得、ここでは、液体窒素ストリーム及び窒素富化液体ストリームが等しい圧力を有する。本明細書は、出願人がそれらの発明とみなす主題を明確に示す特許請求の範囲で締めくくるが、本発明は添付図面と併せて読むことによってより良く理解されると考えられる。図1を参照すると、圧縮及び浄化された空気を分離してそれにより超臨界流体として酸素生成物を生成するように設計された低温精留プラント1が示されている。低温精留プラント1は、バンク型banked熱交換器構成2及び空気分離ユニット3を備える。空気分離ユニット3は、好適には、後で考察する理由により、アルゴン生成物を生成するためのアルゴン塔62を備える。バンク型熱交換器構成2は、その高圧熱交換器28より低い平均圧力で動作する低圧熱交換器22を有する。酸素生成物は、酸素生成物ストリーム132として高圧熱交換器28から排出される。加えて、窒素生成物ストリーム134がやはり高圧熱交換器28から排出される。しかし、本発明が、非バンク型熱交換器構成のみを採用し且つそこではアルゴン塔が使用されないような低温精留プラントにも等しく適用されることを理解されたい。上で説明したように資本コストが低くなるという理由からバンク型の構成が好適であり、またバンク型の構成では、すべてのストリームが間接的な熱交換関係にある完全な一体型の構成と比較してエネルギー損失が低減される。というのは、完全な一体型の構成では、利用可能な冷却の一部が回復され得ないからである。この点に関して、本発明は、その広い範囲の観点において、高圧塔及び低圧塔を利用し、超臨界流体として酸素生成物を生成するように設計される任意の低温精留プラントに対して適用される。低温精留プラント1では、供給空気ストリーム10が圧縮機12内で圧縮され、それにより圧縮空気ストリーム14が生成される。後置冷却器16により、圧縮の熱が圧縮空気ストリーム14から除去される。圧縮機12は、凝縮物除去機能を備えるマルチステージの中間冷却一体型ギヤ圧縮機multi-stageintercooledintegralgearcompressorを構成してもよく、したがって後置冷却器アフタークーラー16が圧縮機12の一部であってもよいことを理解されたい。いずれの場合も、後置冷却器16さらには言及する別の後置冷却器により、予備浄化又は熱交換などの下流側のユニットの動作の効率を向上させることが可能となる。しかし、本発明の一実施例はこのような後置冷却器を用いずに構成されることも可能である。次いで、圧縮空気ストリーム14が予備浄化ユニット18内に導入され、それにより空気から、水蒸気、二酸化炭素及び炭化水素などの高沸点の不純物が除去され、圧縮及び浄化された空気ストリーム20が生成される。当技術分野でよく知られているように、このようなユニット16は、温度及び圧力スイング吸着作用の組み合わせ、或いは純粋な温度スイング吸着サイクル又は圧力スイング吸着サイクルである1つのサイクルで動作する吸着剤層を内蔵することができる。バンク型熱交換器構成2は、予備浄化ユニット18と空気分離ユニット3の高圧塔58との間に配置される低圧熱交換器22を有し、ここで圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第1の部分24が精留に適する温度まで冷却され、高圧塔58内に導入される。昇圧圧縮機26が予備浄化ユニット18とバンク型熱交換器構成2の高圧熱交換器28との間に配置され、ここで圧縮及び浄化された空気の第2の部分30の一部が昇圧圧縮機26内でさらに圧縮され、それによりブースト圧力空気ストリーム32が形成される。昇圧圧縮機26はマルチステージ一体型圧縮機である。後置冷却器34により圧縮の熱が除去された後、ブースト圧力空気ストリーム32が高圧熱交換器28内に導入される。昇圧圧縮機26は、当技術分野でよく知られる手法により、本発明で必要となるようなブースト圧力空気ストリーム32の流量及び圧力を得るように構成される。この点に関して、昇圧圧縮機26は、必要となる圧力及び流量flowを提供する能力を有するために適切なサイズを有する必要があり、入口案内翼などの手段以外でその圧力出力及び流量を制御するための適切な制御装置と、下流側の制御装置とを内蔵している。主空気圧縮機12及び昇圧圧縮機26が単一のユニットとして示されていることに留意されたい。しかし、当技術分野で知られているように、主空気圧縮機12又は昇圧圧縮機26を形成するために2つ以上の圧縮機が並列に設置されてもよい。2つの圧縮機のサイズは等しくても等しくなくてもよい。例えばこの能力は顧客の要求に適切に適合するように70/30又は60/40の比であってよい。通常、圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第2の部分30は、圧縮及び浄化された空気ストリーム20の流量のうちの約25パーセントから約40パーセントの間の範囲の流量を有する。高圧熱交換器28及び低圧熱交換器22は共に、好適には、ろう付けアルミニウム構成であり、加熱及び冷却されるストリームのための流れ通路を形成するためにサイドバーによって分離されたパーティングシートの複数の層から構成される。これらの流れ通路は、各々が、上記の熱交換器内での熱伝達のための表面積を拡張するために当技術分野でよく知られるフィンを備える。高圧熱交換器28がこのように称されるのは、高圧熱交換器28が低圧熱交換器22と比較してより高い最高使用圧力を有するからである。高圧熱交換器28は、液体空気ストリーム36を生成するためにブースト圧力空気ストリーム32を完全に冷却するように構成され、低圧熱交換器22は、主供給空気ストリーム38を生成するために圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第1の部分24を完全に冷却するように構成される。この点に関して、本明細書及び特許請求の範囲で使用される完全に冷却されるという用語は、低圧熱交換器22又は高圧熱交換器28のコールドエンドの温度まで冷却されることを意味する。別のタイプの熱交換器が使用されてもよく、例えば高圧熱交換器28は、銅又はステンレス鋼のスパイラル型、ステンレス鋼の印刷回路、或いはステンレス鋼のプレート-フィン構成であってもよい。さらに、上で示したように、本発明は、1つの熱交換器、又は並列の1組の熱交換器の各々が、ブースト圧力空気ストリーム32を液化すること及び圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第1の部分24を冷却することの両方に使用されるような、非バンク型の構成にも適用され得る。また、高圧熱交換器28及び低圧熱交換器22の各々は単一ユニットとして示されるが、実際には、各々が、並列に一体に連結されるいくつかの個別の熱交換器ブロック又はコアから構成されてもよい。圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第2の部分30の別の一部を構成する、圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第3の部分40が昇圧圧縮機26内で部分的に圧縮されて次いでその中間ステージから除去される。圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第3の部分40は、次いで別の昇圧圧縮機42内に導入され、後置冷却器44内で冷却されてそれにより圧縮の熱が除去され、さらに、低圧熱交換器22内で部分的に冷却され、ターボエキスパンダ46内に導入され、それにより排気ストリーム48が生成される。本明細書及び特許請求の範囲で使用される部分的に冷却されるという用語は、低圧熱交換器22のウォームエンドの温度とコールドエンドの温度との間のある温度まで冷却されることを意味する。排気ストリーム48は、圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第1の部分24と共に、組み合わせのストリーム50として、高圧塔58内に導入される。ターボエキスパンダからエネルギーが回収され、このエネルギーは昇圧圧縮機42に適用される。この目的は、低温空気分離プラントでの冷却の需要の一部を生み出すことである。当技術分野で知られるように、このような冷却は、低圧熱交換器22及び高圧熱交換器28でのウォームエンドロスwarmendlossと、熱の内部漏洩による損失heatin-leaklossとを原因として、さらには、プラントが液体を生成するのを可能にすることを目的として行われる。圧縮及び浄化された空気ストリーム20の第3の部分40が高圧熱交換器28内で部分的に冷却されるような本発明の一実施例を構成することも可能である。しかし、これは、昇圧圧縮機26により多くの動力を送る必要があることから、好適ではない。後で考察するように、ブースト圧力空気ストリーム32を液化することを介して生成される液体空気ストリーム36が液体エキスパンダ52内に導入され得、それによりプラントでのさらなる冷却の需要が生み出される。膨張後の液体空気ストリーム36は第1の二次的な液体空気ストリーム54及び第2の二次的な液体空気ストリーム56に分割され得る。後で考察する手法で、第1の二次的な液体空気ストリーム54が高圧塔58内に導入され、第2の二次的な液体空気ストリーム56が低圧塔60内に導入される。空気分離ユニット3は、高圧塔58と、低圧塔60と、アルゴン塔62とを備える。これらの塔はすべて、トレイ、又は、例えば成形充填物といったような充填物、或いはトレイと充填物との組み合わせなどの、物質移動接触要素を包含する。高圧塔58内に導入される組み合わせのストリーム50から発生する上昇気相が常に窒素含有率が高くなり、それにより窒素富化蒸気塔頂留出物が生成され、この窒素富化蒸気塔頂留出物は窒素富化蒸気ストリーム64として、低圧塔60の液だめ内に位置する復水再沸器66内に引き込まれて凝縮され、それにより窒素富化液体ストリーム68が生成される。酸素富化液体塔底液70の一部が、窒素富化蒸気ストリーム64の凝縮に際して蒸発する。窒素富化液体ストリーム68の一部72が環流として高圧蒸留塔58に戻され、それにより降下液相が確立され、この降下液相は上昇気相に接触することにより常に酸素含有率が高くなり、それにより高圧塔58の粗製液体酸素塔底液74が生成される。粗製液体酸素塔底液74から構成される粗製液体酸素ストリーム75が低圧塔60内でさらに精製される。この目的のために、粗製液体酸素ストリーム75は過冷却ユニット76内で過冷却され、その後分割される。粗製液体酸素ストリーム74の一部78が、エキスパンションバルブ80内での膨張後に、低圧塔60内に導入される。次いで、粗製液体酸素ストリーム75の一部82がエキスパンションバルブ84により膨張されてアルゴンコンデンサ102内に導入され、そこで、部分的に蒸発し、それにより気相及び液相が得られる。これらの液相及び気相からそれぞれ構成される液相ストリーム86及び気相ストリーム88が低圧塔60内に導入される。低圧塔60で、高圧塔58から除去された窒素含有環流ストリーム90があるレベルで環流し、ここではこのストリームは、窒素富化液体ストリーム68の一部72より窒素含有量が低い。窒素含有液体ストリーム90が過冷却ユニット76内で過冷却され、エキスパンションバルブ92により膨張され、低圧塔60内に導入される。アルゴン塔60の利点は、降下液相からアルゴンが分離されることにより、酸素の回収が改善されることである。アルゴン含有蒸気ストリーム94が低圧塔60から除去され、アルゴン塔62内に導入されて精留され、それによりアルゴン富化塔頂留出物及び酸素含有液体塔底液96が生成される。酸素含有液体塔底液96から構成される酸素含有液体ストリーム98が低圧塔60に戻される。アルゴン富化蒸気塔頂留出物がアルゴン富化蒸気ストリーム100として除去されてアルゴンコンデンサ102内で凝縮され、それによりアルゴン塔62のための環流が得られる。本明細書で示されるアルゴンコンデンサは、シェル104と、シェル104内にある熱交換器106とを有する。過冷却されて膨張された後の粗製液体酸素ストリーム75の一部82がシェル104内に導入され、シェル104において、この粗製液体酸素ストリーム75の一部82が、熱交換器106を通過するアルゴン富化蒸気ストリーム100中に含まれるアルゴン富化蒸気を凝縮させるのと反対に、部分的に蒸発し、それにより液相及び気相が得られる。これらの液相及び気相から構成される液相ストリーム86及び気相ストリーム88が低圧塔60内に再び導入される。得られたアルゴン富化液体ストリーム108は相分離器110内に入り、それにより気相ストリーム112として排出される気相と、液体環流ストリーム114として相分離器110から排出されてアルゴン塔62内に再び導入される液相とが生成される。この目的は、規定外の動作operationalexcursion時にストリーム100内で窒素が増加するのを防止することである。当技術分野で知られているように、窒素が過剰に存在すると、温度差が縮小されることにより復水器106の動作が停止する可能性がある。アルゴン生成物ストリーム116が液体又は蒸気としてアルゴン塔から除去され得る。示される実施例では、熱交換器106は、第2の二次的な液体空気ストリーム56を過冷却するための1組の通路を備える。得られる過冷却された第2の二次的な液体空気ストリーム118は、エキスパンションバルブ120により低圧塔62の圧力まで膨張され、低圧塔62内に導入される。この場合の利点は、アルゴンを回収することと共に、酸素の回収が改善されることである。酸素富化液体塔底液70から構成される酸素富化液体ストリーム122が、第1の酸素富化液体ストリーム124及び第2の酸素富化液体ストリーム126に分割され得る。第1の酸素富化液体ストリーム124がポンプ128内で超臨界圧力まで加圧ポンピングされ、加圧液体酸素ストリーム130が生成される。第2の酸素富化液体ストリーム126は任意選択であり、生成物として取り出され得る。別法として及び/又は加えて、加圧液体酸素の一部も生成物として取り出され得る。次いで、加圧液体酸素ストリーム130が高圧熱交換器28内で超臨界温度まで加熱され、酸素生成物ストリーム132が超臨界流体として排出される。上で言及したように、ブースト圧力の空気ストリームに必要となる圧力を低減するために、窒素富化液体ストリーム68の一部から形成される液体窒素ストリーム133が高圧熱交換器28内で蒸発され、それにより所定の圧力の窒素生成物ストリーム134が生成される。このストリームは窒素富化液体ストリーム68と等しい圧力を有するものとして示されるが、液体窒素ストリーム133は、高圧窒素が必要となる場合のストリーム中に含有される窒素の超臨界圧力未満の圧力まで加圧されてもよい。しかしこの窒素は、加熱中に実際に蒸発するような圧力であることが重要である。また、窒素富化液体ストリーム68の別の部分から構成される別の液体窒素ストリーム136が過冷却ユニット76内で過冷却され得、任意選択の液体窒素生成物ストリーム138として取り出され得ることにも留意されたい。しかし、液体窒素ストリーム133は、環流ストリーム72として高圧塔58に戻されない窒素富化液体ストリーム68の一部の少なくとも90パーセントを構成しなければならない。さらに、液体窒素ストリーム133及び加圧液体酸素ストリーム130の流量は約0.3から約0.90の間の比率でなければならない。この点に関して、加圧液体酸素ストリーム、又は高圧熱交換器28内で加熱されるその一部が、酸素富化液体ストリーム122の流量の少なくとも90パーセントを構成しなければならない。比率が0.90を超えると、酸素生成物が、それ以外の場合で蒸発窒素を生成させることなく生成されるであろう酸素生成物の量の約94パーセントまで低下する。後で考察するように、この下限は、ブースト圧力空気ストリーム32のブースト圧力を低下させることができる有意な効果が得られなくなるところの限界である。このような窒素の流量が、流れ経路のための適切なサイズの、配管及び熱交換器などの設備を備えるバルブにより制御され得ることに注目されたい。窒素が加圧される場合、ポンプの流量特性及びヘッド特性が窒素の流量を制御する。また、液体窒素ストリーム133は、約34バール絶対である超臨界圧力を超えるまで加圧されない範囲で加圧されてよい。0.3の下限は図2を参照して最もよく説明され得る。図2に示されるように、80バール絶対の加圧液体酸素ストリームが超臨界温度まで加熱され、ここでは、多様な比率で液体窒素ストリームが蒸発する。すべての場合において、計算しやすいように、液体生成物の量を少なくした。明らかなように、0.30未満において、曲線がもはや線形ではなくなるような変曲点が存在する。したがって、酸素に対する窒素の比率が約0.30未満では、液体窒素を蒸発させることの効果が漸進的に低下する。図3は、約0.85の比率での、高圧熱交換器28などの熱交換器内における複合加熱曲線及び複合冷却曲線を示しており、80バール絶対の圧力で加圧酸素が超臨界温度まで加熱される。昇圧空気ストリームの最適な圧力は68バール絶対である。図4では、比率は0.0まで低減されている。明らかなように、最適な空気圧力は110バール絶対である。図5に示されるように、使用した酸素に対する窒素の比率は0.2である。最適な空気圧力は92バール絶対である。図4及び図5では、圧力が図3の圧力より高いが、空気を圧縮して昇圧空気ストリームを形成するのに必要となるエネルギーは図3の場合より少ないことに注目されたい。これは、図3の場合では、液体窒素を蒸発させる際に損失が生じ、より多くの昇圧空気流れが必要になることが理由である。しかし、窒素が高圧塔又は低圧塔からの蒸気として引き込まれ、熱交換器28内で加圧及び蒸発されない場合に、同量の加圧窒素を供給するためには、代わりに窒素を外部で圧縮しなければならない。この場合、より高く昇圧された空気流れに伴うエネルギー損失の大部分が回避される。このエネルギー損失は、それ以外の場合でブースト圧力空気ストリーム32などの昇圧空気ストリームの高い圧力に耐えるのに必要となる熱交換器のコスト及び有用性に対して、さらには、必要である場合には追加の窒素圧縮機のコストに対して、比較衡量されなければならない。したがって、それ以外のものがすべて等しい場合、液体窒素を使用することにより、ブースト圧力空気ストリーム32の圧力を低下させることが可能となる。例えば図3を参照すると、液体窒素ストリームが一定の温度で蒸発し、それによりコールドエンド付近に低温複合曲線の平坦区間が見られる。加圧液体酸素の圧力は酸素の臨界圧力約51バール絶対に等しいか又はそれを超える。したがって液体窒素ストリームとは異なり、加圧酸素ストリームは温められるときに沸騰しない。しかし、熱容量が著しく高い場合、超臨界酸素が擬似沸騰するようなゾーンが存在する。これは、図3の低温複合曲線の、酸素の臨界温度155K付近で始まる平坦ゾーンで観察され得る。図3、4及び5では、液体窒素ストリームの流量が低温の複合温度プロファイルに大きく影響する。例えば、図3では、加圧酸素ストリームが約0.45の負荷dutyのところで擬似沸騰し始める。液体窒素ストリームの流量がゼロである図4では、加圧酸素ストリームは約0.30の負荷のところで擬似沸騰し始める。ブースト圧力空気ストリームの最適圧力では図3~5では高温複合曲線で示される、酸素の臨界温度付近でアプローチ温度差が最小となる。好適には、このアプローチ温度差は約1.0Kであるが、わずか0.5K程度である場合もあり、又は5.0K程度に高くなる場合もある。酸素の圧力によっては、この最小温度差は150Kから180Kの間の範囲に見られる。熱交換器内で、例えばウォームエンド付近に、同時に別の最小温度差が見られる場合もある。この最適設計条件により、熱交換器の所与の全表面積に対する全消費動力が最小化される。また、高温複合曲線と低温複合曲線との間の面積が概して最小化される。この条件下では、高温複合ストリームと低温複合ストリームとの間での熱伝達が最も熱力学的に可逆になることから、動力消費が最小化される。この条件を実現するために、昇圧空気ストリームの圧力が最適化される。したがって、液体窒素ストリームの量が増加すると、昇圧空気ストリームの最適な圧力が低下し、これは高温複合曲線の形状に影響する。図3の場合、昇圧空気ストリームの最適な圧力は68バール絶対であり、図4の場合、昇圧空気ストリームの最適な圧力は110バール絶対であり、図5の場合、昇圧空気ストリームの最適な圧力は92バール絶対である。昇圧空気ストリームの圧力が低下することにより、高温複合曲線の変化が大きくなり、これは超臨界のブースト圧力空気ストリームの擬似凝縮に関係する。これにより、150Kから180Kにおけるアプローチ温度差を、より高い比率の液体窒素ストリームにおける最適な値まで低減することが可能となる。昇圧空気ストリームの圧力が最適条件未満までさらに低下すると、バンク型熱交換器における高温複合曲線が過度に変化することから、150Kから180Kにおいて温度差を正に維持することが不可能となる。したがって、昇圧空気ストリームの圧力が明確にその最適値未満まで低下すると、バンク型熱交換器において必要となる熱伝達を行うことが不可能となる。非バンク型の熱交換器の場合、ブースト圧力空気ストリームの圧力をさらに低下させることは可能であるが、必要となる流量が増加し、それにより動力消費も増大する。低圧塔60の窒素富化蒸気塔頂留出物から構成される窒素蒸気ストリーム140は、好適には、第1の窒素蒸気ストリーム142及び第2の窒素蒸気ストリーム144に分割される。第1の窒素蒸気ストリーム142は、過冷却ユニット76で必要とされる過冷却の負荷のために過冷却ユニット76内に導入され、次いで、低圧熱交換器22内で完全に温められる。第2の窒素蒸気ストリーム144は高圧熱交換器28内に導入され、完全に温められ、廃棄窒素ストリーム146として排出される。第1の窒素ストリーム142及び第2の窒素ストリーム144の流量は、高圧熱交換器28及び低圧熱交換器22の温度プロファイルが最適に釣り合わされるように、既知の手法で選択されるべきである。これは、熱交換器28及び22の温度の接近が密になるのを回避することを目的として、さらには、必要となる熱伝達表面を最小化することを目的として実施される。完全に温められた後の第1の窒素ストリーム142は、予備浄化ユニット18内で吸着剤を再生するのに使用される再生ストリーム148と、廃棄窒素ストリーム150として排出される残りの部分とに分割され得る。高圧熱交換器内の第2の窒素ストリーム144が、上記の酸素に対する窒素の比率に影響しないことに留意されたい。示されるように、必要である場合には高圧である、得られる窒素生成物ストリーム132は圧縮機152により部分的に圧縮され得、それにより高圧窒素ストリーム154が生成される。その場合、窒素生成物ストリーム132の残りの部分は低圧窒素ストリーム156として取り出され得る。下の表は、本発明による空気分離プラント1の動作をシミュレートした実例である。本発明を、当業者が思いつくような好適な実施例を参照しながら説明してきたが、添付の特許請求の範囲に記載される本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、多くの変更、追加及び省略が行われ得る。