パイプライン等に接続されたバルブ本体内における弁体に連係されて、これを開閉させるピストンロッドと、このピストンロッドに連結されたピストンと、このピストンを閉弁方向に常時付勢する復帰手段とを有する単作動型シリンダを備え、平常時には、前記ピストンの一側方のシリンダ室に圧力流体を供給し、前記ピストンロッド及びピストンを、復帰手段に抗して開弁方向に移動させることにより、前記弁体を全開状態に維持し、かつ緊急時には、前記シリンダ室の圧力流体を排出し、前記復帰手段の付勢力により前記ピストンロッド及びピストンを閉弁方向に移動させて、前記弁体を全閉させるようにした緊急遮断弁装置において、前記単作動型シリンダにおけるピストンロッドが突出する側に同一直線上に並ぶようにして連結された第2シリンダと、前記第2シリンダのシリンダ室に摺動可能に収容され、このシリンダ室内に圧力流体が導入されることにより、予め定めた停止位置に位置させられ、この状態で、前記復帰手段の作動により、前記ピストンロッドが閉弁方向に移動されられたとき、その先端と当接して、前記ピストンロッドが、中間開度位置より閉弁方向に移動するのを阻止するようにしたストッパピストンと、流体供給源に接続され、オン状態のとき前記流体供給源と前記第2シリンダのシリンダ室とを連通させて、前記流体供給源の圧力流体を前記第2シリンダのシリンダ室に供給し、オフ状態のとき、前記第2シリンダのシリンダ室を大気に連通させる第1切換弁と、この第1切換弁の吐出ポートに接続され、オン状態のとき、前記単作動型シリンダのシリンダ室を大気に連通させ、オフ状態のとき、前記単作動型シリンダのシリンダ室を前記第1切換弁の吐出ポートに連通させる第2切換弁と、平常時は、前記第1切換弁をオン状態、前記第2切換弁をオフ状態として、前記単作動型シリンダと第2シリンダとの両シリンダ室に流体供給源の圧力流体を供給し、緊急時には、前記第1切換弁をオフ状態、前記第2切換弁をオフ状態またはオン状態として、前記単作動型シリンダと第2シリンダとの両シリンダ室を大気に連通させ、弁体作動確認時には、前記第1、第2切換弁をオン状態として、前記第2シリンダのシリンダ室に流体供給源の圧力流体を供給し、前記単作動型シリンダのシリンダ室を大気に連通させるコントローラとを備えることを特徴とする緊急遮断弁装置。第1切換弁および第2切換弁を、電磁切換弁としてなる請求項1記載の緊急遮断弁装置。第1電磁切換弁と第2電磁切換弁との間に、弁体の作動確認時に押動操作することにより、単作動型シリンダのシリンダ室に供給した圧力流体を排出しうる手動切換弁を設けてなる請求項2記載の緊急遮断弁装置。ストッパピストンにおけるピストンロッドと対向する側の内側面に、基端部に空気抜き用の通気孔を有するガイド筒部を突設し、このガイド筒部に、ピストンロッドの先端部を摺動可能に嵌合してなる請求項1~3のいずれかに記載の緊急遮断弁装置。ストッパピストンと、第2シリンダにおけるピストンロッド側の側壁との対向面のいずれか一方に、他方の対向面に頭部を当接可能としたストッパボルトを、突出長さを調節可能として螺合してなる請求項1~4のいずれかに記載の緊急遮断弁装置。しかし、上記特許文献1、2に記載されている緊急遮断弁装置においては、いずれも、第1シリンダと第2シリンダ内に、それぞれピストンと、それに連結されているピストンロッドが当接しうるストッパピストンとを収容し、これら両ピストンを作動させる圧力流体を、第1流体作動切換弁、第2流体作動切換弁、第1電磁切換弁及び第2電磁切換弁よりなる流体制御手段をもって制御することにより、弁体を全開状態に維持したり、弁体を緊急時に全閉させたり、弁体が正常に作動するか否かの確認を行ったりするようにしているので、流体制御手段の構成部品が多く、緊急遮断弁装置のコストが高くなるという問題があった。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、弁体を全開状態に維持したり、弁体を緊急時に全閉させたり、弁体が正常に作動するか否かの確認を、構成部品が少なく、構成の簡単な流体制御手段により容易に行いうるようにすることにより、信頼性の高い安価な緊急遮断弁装置を提供することを目的としている。本発明によると、上記課題は、次の各項のようにして解決される。1パイプライン等に接続されたバルブ本体内における弁体に連係されて、これを開閉させるピストンロッドと、このピストンロッドに連結されたピストンと、このピストンを閉弁方向に常時付勢する復帰手段とを有する単作動型シリンダを備え、平常時には、前記ピストンの一側方のシリンダ室に圧力流体を供給し、前記ピストンロッド及びピストンを、復帰手段に抗して開弁方向に移動させることにより、前記弁体を全開状態に維持し、かつ緊急時には、前記シリンダ室の圧力流体を排出し、前記復帰手段の付勢力により前記ピストンロッド及びピストンを閉弁方向に移動させて、前記弁体を全閉させるようにした緊急遮断弁装置において、前記単作動型シリンダにおけるピストンロッドが突出する側に同一直線上に並ぶようにして連結された第2シリンダと、前記第2シリンダのシリンダ室に摺動可能に収容され、このシリンダ室内に圧力流体が導入されることにより、予め定めた停止位置に位置させられ、この状態で、前記復帰手段の作動により、前記ピストンロッドが閉弁方向に移動されられたとき、その先端と当接して、前記ピストンロッドが、中間開度位置より閉弁方向に移動するのを阻止するようにしたストッパピストンと、流体供給源に接続され、オン状態のとき前記流体供給源と前記第2シリンダのシリンダ室とを連通させて、前記流体供給源の圧力流体を前記第2シリンダのシリンダ室に供給し、オフ状態のとき、前記第2シリンダのシリンダ室を大気に連通させる第1切換弁と、この第1切換弁の吐出ポートに接続され、オン状態のとき、前記単作動型シリンダのシリンダ室を大気に連通させ、オフ状態のとき、前記単作動型シリンダのシリンダ室を前記第1切換弁の吐出ポートに連通させる第2切換弁と、平常時は、前記第1切換弁をオン状態、前記第2切換弁をオフ状態として、前記単作動型シリンダと第2シリンダとの両シリンダ室に流体供給源の圧力流体を供給し、緊急時には、前記第1切換弁をオフ状態、前記第2切換弁をオフ状態またはオン状態として、前記単作動型シリンダと第2シリンダとの両シリンダ室を大気に連通させ、弁体作動確認時には、前記第1、第2切換弁をオン状態として、前記第2シリンダのシリンダ室に流体供給源の圧力流体を供給し、前記単作動型シリンダのシリンダ室を大気に連通させるコントローラとを備えるものとする。このような構成とすると、弁体を全開状態に維持したり、弁体を緊急時に全閉させたり、弁体を中間開度まで閉弁してそれが正常に作動するか否かの確認を行う流体制御手段は、緊急遮断用の第1切換弁と、弁体作動確認用の第2切換弁との2部品のみでよく、かつその分、両切換弁を作動させるコントローラの制御系も単純化するので、故障等が生じる恐れは小さく、信頼性の高い安価な緊急遮断弁装置を提供することができる。2上記項において、第1及び第2切換弁を、電磁切換弁とする。このような構成とすると、第1及び第2切換弁を、緊急遮断弁装置の設置現場から離れた遠隔地からのオンラインにより作動させて、弁体を全閉させたり、弁体の作動確認テストを行いうるので、便利である。3上記項において、第1電磁切換弁と第2電磁切換弁との間に、弁体の作動確認時に押動操作することにより、単作動型シリンダのシリンダ室に供給した圧力流体を排出しうる手動切換弁を設ける。このような構成とすると、弁体の作動確認テストを、緊急遮断弁装置の設置現場から離れた遠隔地からのオンラインと、その設置現場での手動切換弁の手動操作との両方で行うことができる。4上記~項のいずれかにおいて、ストッパピストンにおけるピストンロッドと対向する側の内側面に、基端部に空気抜き用の通気孔を有するガイド筒部を突設し、このガイド筒部に、ピストンロッドの先端部を摺動可能に嵌合する。このような構成とすると、ピストンロッドの先端部を、ストッパピストンのガイド筒部に摺動可能に嵌合してあるので、弁体の作動確認時において、ピストンロッドを安定よく閉弁方向に移動させることができる。5上記~項のいずれかにおいて、ストッパピストンと、第2シリンダにおけるピストンロッド側の側壁との対向面のいずれか一方に、他方の対向面に頭部を当接可能としたストッパボルトを、突出長さを調節可能として螺合する。このような構成とすると、ストッパボルトの突出長さを調節して、ストッパピストンの停止位置、すなわちピストンロッド側への移動ストロークを調節しうるので、パイプラインを流通する流体の種類等に応じて、弁体の開度を最適に調節することができる。本発明によれば、弁体を全開状態に維持したり、弁体を緊急時に全閉させたり、弁体が正常に作動するか否かの確認を行う流体制御手段は、緊急遮断用の第1切換弁と、弁体作動確認用の第2切換弁との2部品のみでよく、かつその分、両切換弁を作動させるコントローラの制御系も単純化するので、故障等が生じる恐れは小さく、信頼性の高い安価な緊急遮断弁装置を提供することができる。以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。図1及び図2に示すように、本発明の第1の実施形態の緊急遮断弁装置は、内部にボール形の弁体1が収容された公知のバルブ本体2と、弁体1を開閉駆動するエアシリンダ3と、弁体1の開閉及び作動確認用の後記する流体制御手段29とを備えている。バルブ本体2は、プラント等のパイプライン4の途中に接続され、弁体1に連結された弁軸5は、弁ケース6の上端より上方に突出している。バルブ本体2の上端と、エアシリンダ3の中間部下面とは、弁軸5を囲むヨーク7により結合されている。エアシリンダ3は、筒状の連結ボディ8の両側端に、弁体1開閉用の単作動型の第1シリンダ9と、弁体1の作動確認用の第2シリンダ10とを、互いに同一軸線上に並ぶように連結したものよりなっている。第1シリンダ9のシリンダ室9a内には、ピストン11と、このピストン11を常時左方、すなわち第2シリンダ10側に向かって付勢する圧縮コイルばね12が収容されている。ピストン11には、ピストンロッド13の右端部が連結され、このピストンロッド13は、連結ボディ8を貫通するとともに、第1シリンダ9と第2シリンダ10との対向部の側壁14、14を摺動可能に挿通して、第2シリンダ10のシリンダ室10a内の中間部まで延出している。連結ボディ8の中央部には、弁軸5に連結された駆動軸15が、ピストンロッド13と干渉しないように偏移させて、回動可能に貫通、支持されている。連結ボディ8内において、駆動軸15には、弁駆動アーム16の基部が相対回転不能として嵌合され、この弁駆動アーム16の先端部に形成された、上下方向とピストンロッド13側に開口する凹溝17には、ピストンロッド13に圧嵌された上下方向の駆動ピン18が、摺動可能に嵌合されている。連結ボディ8の周壁には、左右2個のストッパボルト19、19が取付けられ、それらの先端に弁駆動アーム16の円周方向の両側端が当接することにより、弁駆動アーム16は、平面視時計方向と反時計方向への最大回動量が規制されるようになっている。すなわち、ピストン11がピストンロッド13と共に左方に移動し、弁駆動アーム16の左側面が左方のストッパボルト19に当接したとき、弁体1が全閉し、ピストン11がピストンロッド13と共に右方に移動し、弁駆動アーム16の右側面が右方のストッパボルト19に当接したとき、弁体1が全開されるようになっている。連結ボディ8の右端部の周壁と第1シリンダ9の側壁14には、第1シリンダ9におけるピストン11の左方、すなわちピストンロッド13側のシリンダ室9aに連通する給気ポート20が形成され、この給気ポート20は、後記する流体制御手段29における第2電磁切換弁32と第2電磁切換弁33を介して、エアタンク等の圧縮空気供給源に接続されている。第1シリンダ9の外側壁には、ピストン11の右方、すなわち圧縮コイルばね12が収容されているシリンダ室9aと連通する通気孔21が穿設されている。第2シリンダ10のシリンダ室10a内には、ピストンロッド13側が開放された、ピストン11と同径をなす有底円筒状のストッパピストン22が、軸線方向に独立して摺動しうるように収容されている。ストッパピストン22のピストンロッド13側の内側面には、ストッパピストン22の軸方向の長さと等しい寸法のガイド筒部23が、ピストンロッド13側に向かって突設され、このガイド筒部23に形成された有底孔23aには、ピストンロッド13の先端部が摺動可能に嵌合されている。ガイド筒部23の基端部には、有底孔23aと連通する空気抜き用の通気孔24が穿設されている。図3に示すように、ストッパピストン22が側壁14と当接する右限位置まで移動するとともに、ピストン11とピストンロッド13が右限まで移動して、弁体1が全開状態に維持されているとき、ピストンロッド13の先端と、ストッパピストン22における有底孔23aの奥面との間に、所要の間隙Sが形成されるように設定してある。この間隙Sは、ピストン11及びピストンロッド13を間隙S分のストロークだけ左方に移動させて、全開とした弁体1を、設備の稼働に支障を来さない中間開度、例えば全開に対し15~30の開度まで閉弁方向に作動させるためのものである。第2シリンダ10の側端部の周壁には、第2シリンダ10におけるストッパピストン22の左方のシリンダ室10aに連通する給気ポート25が穿設され、この給気ポート25は、後記する流体制御手段29における緊急遮断用の第1電磁切換弁32を介して、エアタンク等の圧縮空気供給源に接続されている。連結ボディ8の左端部の周壁と第2シリンダ10の側壁14には、ストッパピストン22の右方のシリンダ室10aに連通する通気孔26が設けられている。図4~図6は、緊急遮断弁装置における上記エアシリンダ3と、その制御系の概略図で、図4は、弁体1の全開時を、図5は、弁体1の全閉時を、図6は、弁体1の作動確認時を、それぞれ示している。エアシリンダ3の制御系は、弁駆動軸15の回動、すなわち弁体1の回動動作を検知するリミットスイッチ等のセンサ27と、このセンサ27に接続されたロジックコントローラ28と、エアシリンダ3への圧縮空気の供給と排出を制御する流体制御手段29とからなっている。流体制御手段29は、フィルタレギュレータ30を介して、エアタンク等の圧縮空気供給源31に接続され、かつ吐出ポートを第2シリンダ10の給気ポート24に接続した緊急遮断用の第1電磁切換弁32と、この第1電磁切換弁32の吐出ポートに直列に接続されるとともに、第1シリンダ9の給気ポート20に接続された、弁体1の作動確認用の第2電磁切換弁33とよりなっている。第1電磁切換弁32は、平常時、すなわちプラント等の設備が正常に稼働しているときに通電されてオン状態とされ、地震等の緊急時にロジックコントローラ28等より発せられる緊急遮断信号またはプラント等が停止しているときに、非通電状態となってオフさせられるようになっている。第2電磁切換弁33は、平常時には非通電状態とされてオフとされ、弁体1が正常に作動するか否かの確認を行うときのみ、通電されてオン状態となるようになっている。図4に示す平常状態では、第1電磁切換弁32がオン状態、第2電磁切換弁33がオフ状態とされて、それらの空気流入ポートが開口されているので、圧縮空気供給源31よりの圧縮空気は、矢印で示すように、第1シリンダ9の給気ポート20と第2シリンダ10の給気ポート24を介して、それぞれシリンダ室9a、10aの左室内に供給される。これにより、ピストン11は、圧縮コイルばね12を圧縮させながら、ピストンロッド13と共に右限位置まで移動させられ、弁体1は全開状態に維持される。また、ストッパピストン22も、独立して右方に移動させられ、側壁14と当接する右限位置で停止する。この際、上述したように、ピストンロッド13の先端と、ストッパピストン22における有底孔23aの奥面との間には、所要の間隙Sが形成される。なお、ストッパピストン22が右限位置で停止するまでは、このストッパピストン22はピストンロッド13と連動して右方に移動するので、ストッパピストン22に加わる圧縮空気の推力がピストンロッド13にも付加され、弁体1は速やかに全開される。この状態で、ロジックコントローラ28より緊急遮断信号が発せられると、図5に示すように、第1電磁切換弁32がオフ状態となって、圧縮空気供給源31よりの圧縮空気の流入ポートが閉じられるとともに、空気排出側のポートに切換わってこれが開口することにより、第1シリンダ9と第2シリンダ10のシリンダ室9a、10a内に供給されていた圧縮空気が、第1電磁切換弁32の吐出ポートより大気に排出される。その結果、ピストン11とストッパピストン22は、圧縮コイルばね12の付勢力により、左限まで移動させられ、ピストンロッド13に連係された弁体1が全閉される。弁体1が全開している平常状態において、弁体1が正常に作動するか否かの確認を行う際には、図6に示すように、例えば緊急遮断弁装置の設置現場から離れた位置のコントロールルームからの遠隔操作により、オンラインで、ロジックコントローラ28に作動信号を発信し、それより発せられる作動信号により、第2電磁切換弁33をオン状態とする。すると、第2電磁切換弁33における圧縮空気供給源31よりの圧縮空気の流入ポートが閉じられるとともに、排出側のポートに切換わってこれが開口することにより、第1シリンダ9のシリンダ室9a内に供給されていた圧縮空気が、第2電磁切換弁33の排出ポートより大気に排出される。この際、第2シリンダ10のシリンダ室10aには、オンされている第1電磁切換弁32を介して、引き続き圧縮空気が供給されているので、ストッパピストン22は、側壁14と当接する右限位置で停止した状態にある。従って、ピストン11及びピストンロッド13は、図4に示す右限位置から、間隙S分のストロークだけ閉弁方向に移動し、ストッパピストン22と当接したところで自動的に停止する。これにより、弁体1は、プラント等の設備の稼働に支障を来さない中間開度まで閉じられる。この動きを、センサ27が検知してロジックコントローラ28にフィードバックすることにより、弁体1が正常に作動したか否かを、遠隔地でも容易に確認することができる。なお、ピストンロッド13がストッパピストン22に当接したとき、ストッパピストン22が左方に移動することのないように、圧縮コイルばね12の強さ、すなわち圧縮コイルばね12によるピストン11の押圧加重を、圧縮空気によるストッパピストン22の押圧加重と等しいか、それよりも小さくなるように設定してある。上記弁体1の作動確認中において、本来の緊急遮断信号が発せられた際には、それまでオンされていた第1電磁切換弁32がオフ側に切り替わることにより、図5に示すのと同様に、弁体1は全閉される。図7~図9は、本発明の第2の実施形態の緊急遮断弁装置を示すもので、弁体1の作動確認テストを、遠隔地からのオンラインと、設置現場との両方で行いうるようにした流体制御手段34を備えている。この緊急遮断弁装置の流体制御手段34は、上述と同様の第1電磁切換弁32と第2電磁切換弁33との間に、手動切換弁35を設けたものである。図7に示す平常状態では、図4に示すのと同様に、第1電磁切換弁32がオン、第2電磁切換弁33がオフ状態とされるとともに、手動切換弁35も非操作状態にあって、第1、第2電磁切換弁32、33の圧縮空気の流入ポートに接続されたポートを開口することにより、圧縮空気供給源31よりの圧縮空気は、図4に示すのと同様に、第1シリンダ9と第2シリンダ10のシリンダ室9a、10aの左室内に供給される。これにより、弁体1が全開される。図示は省略するが、この状態で、緊急遮断信号が発せられると、図5に示すのと同様に、第1電磁切換弁32がオフ状態とされることにより、弁体1は全閉される。弁体1が、全開しているとき、それが正常に作動するか否かを、緊急遮断弁装置の設置現場から離れた位置において遠隔操作により確認するには、図8に示すように、オンラインにより、第2電磁切換弁33をオン状態とすればよい。すると、図6に示すのと同様に、ピストン11及びピストンロッド13が、右限位置から、図7に示す間隙S分のストロークだけ左方に移動して、ストッパピストン22により中間位置で自動的に停止させられることにより、弁体1は中間開度まで閉じられる。弁体1の作動確認を、緊急遮断弁装置の設置現場で行うには、図9に示すように、弁体1が全開している平常状態において、手動切換弁35を操作してこれをオン状態とすればよい。すると、それまで第1シリンダ9に供給されていた圧縮空気が遮断されるとともに、手動切換弁35が排出ポート側に切り替わることにより、シリンダ室9a内の圧縮空気が、第2電磁切換弁33と手動切換弁35を介して大気に排出される。また、第2電磁切換弁32はオンとされ、第2シリンダ10に引き続き圧縮空気が供給されているので、ストッパピストン22は、側壁14と当接する右限に位置している。従って、図8に示すのと同様に、ピストンロッド13はストッパピストン22と当接する中間位置まで移動し、弁体1は中間開度まで閉じられる。これにより、弁体1が正常に作動するか否かを、緊急遮断弁装置の設置現場において容易に確認することができる。以上説明したように、本発明の緊急遮断弁装置においては、弁体1を開閉駆動するエアシリンダ3を、ピストン11及びピストンロッド13を圧縮コイルばね12をもって常時閉弁方向に付勢するようにした一般的な単作動型の第1シリンダ9と、ピストンロッド13を所定の中間位置まで閉弁方向に移動させて停止させうるストッパピストン22を有する第2シリンダ10とからなるものとし、両シリンダ9、10におけるピストン11とストッパピストン22を作動させる圧縮空気を、第1電磁切換弁32と第2電磁切換弁33とからなる流体制御手段29をもって制御することにより、弁体1を全開状態に維持するとともに、緊急時には弁体1を確実に全閉状態とし、さらには、弁体1が正常に作動するか否かの確認テストを容易に行うことができる。従って、流体制御手段29の構成部品は、第1電磁切換弁32と第2電磁切換弁33との2部品のみでよく、かつその分、第1、第2電磁切換弁32、33に作動信号を発信するロジックコントローラ28の制御系も単純化しうるので、故障等が生じる恐れは小さく、信頼性の高い安価な緊急遮断弁装置を提供することができる。本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態では、ストッパピストン22を側壁14に当接させて、それを右限位置で停止させるようにしてあるが、例えば図10に示すように、第2シリンダ10側の側壁14に、複数のめねじ孔36を、円周方向に等間隔おきに、かつストッパピストン22におけるガイド筒部23より外側の内側面と対向するように設け、各めねじ孔36に、ストッパボルト37を、ストッパピストン22側より螺合して、ロックナット38により回り止めし、各ストッパボルト37の頭部にストッパピストン22の内側面を当接させることにより、ストッパピストン22を右限位置で停止させるようにしてもよい。このようにすると、ストッパボルト37の突出長さを調節して、ストッパピストン22の停止位置、すなわちピストンロッド13側への移動ストロークを調節しうるので、パイプライン4を流通する流体の種類等に対応して、弁体1の開度を最適に調節することができる。なお、上記とは反対に、ストッパピストン22側に有底の複数のめねじ孔を設け、これに螺合したストッパボルトの頭部を、側壁14に当接させるようにしてもよい。図4~図6に示す流体制御装置29において、例えば緊急遮断弁装置の設置現場で弁体1の作動を確認する際には、第2電磁切換弁33の代わりに、図7のような手動切換弁35を使用することができる。また、第2電磁切換弁32を、図7のような手動切換弁35に換えてもよく、このようにすれば、緊急遮断弁装置の設置現場で弁体1を緊急に全閉することができる。