"原料グラファイトフィルムに圧力を加えながら2000°C以上まで熱処理する平坦性矯正処理工程を含むことを特徴とするグラファイトフィルムの製造方法。平坦性矯正処理工程で用いる原料グラファイトフィルムが、少なくとも1度は2000°C未満の温度条件を経た原料グラファイトフィルムであることを特徴とする請求項1に記載のグラファイトフィルムの製造方法。炭化工程と平坦性矯正処理工程が一連のグラファイト製造工程の中に含まれることを特徴とする請求項1に記載のグラファイトフィルムの製造方法。原料グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率が0.15cm2/s以上であることを特徴とする請求項1~請求項3のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。前記平坦性矯正処理工程を実施し、グラファイトフィルムのJISC2151に記載のたるみ評価におけるたるみZgsを幅Ugsで除したZgs/Ugsを0.2以下に改善させることを特徴とする請求項1~請求項4のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。前記平坦性矯正処理工程において、原料グラファイトフィルムを内芯に巻きつけた状態で熱処理することを特徴とする請求項1~請求項5のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。前記内芯の径が20mm以上であることを特徴とする請求項1~請求項6のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。前記内芯の熱膨張係数が0.3×10-6/K以上7.5×10-6/K以下であるであることを特徴とする請求項1~請求項7のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。前記平坦性矯正処理工程の前に、原料グラファイトフィルムを内芯に巻きつける巻替工程を含むことを特徴とする請求項1~請求項8のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。巻替工程において、10Nm/m以上での巻き締め強さで原料グラファイトフィルムを巻き締めることを特徴とする請求項9に記載のグラファイトフィルムの製造方法。炭化したポリイミドフィルムを、ロール状に巻いた状態でグラファイト化して得られるグラファイトフィルムであって、面方向の熱拡散率が5.0cm2/s以上で、厚み7μm以上120μm以下、幅Ugsが100mm以上、面積が5m2以上であり、更に、JISC2151に記載のたるみ評価におけるたるみZgsを幅Ugsで除したZgs/Ugsが0.2以下であることを特徴とするグラファイトフィルム。原料グラファイトフィルムに圧力を加えながら2000°C以上まで熱処理することを特徴とするグラファイトフィルムの平坦性矯正方法。本発明は、平坦性に優れたグラファイトフィルムを製造することを目的とする。すなわち本発明は、1原料グラファイトフィルムに圧力を加えながら2000°C以上まで熱処理する平坦性矯正処理工程を含むことを特徴とするグラファイトフィルムの製造方法に関する、2平坦性矯正処理工程で用いる原料グラファイトフィルムが、少なくとも1度は2000°C未満の温度条件を経た原料グラファイトフィルムであることを特徴とする前記第1項に記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、3炭化工程と平坦性矯正処理工程が一連のグラファイト製造工程の中に含まれることを特徴とする前記第1項に記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、4原料グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率が0.15cm2/s以上であることを特徴とする前記第1項~第3項のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、5前記平坦性矯正処理工程を実施し、グラファイトフィルムのJISC2151に記載のたるみ評価におけるたるみZgsを幅Ugsで除したZgs/Ugsを0.2以下に改善させることを特徴とする前記第1項~第4項のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、6前記平坦性矯正処理工程において、原料グラファイトフィルムを内芯に巻きつけた状態で熱処理することを特徴とする前記第1項~第5項のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、7前記内芯の径が20mm以上であることを特徴とする前記第1項~第6項のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、8前記内芯の熱膨張係数が0.3×10-6/K以上7.5×10-6/K以下であるであることを特徴とする前記第1項~第7項のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、9前記平坦性矯正処理工程の前に、原料グラファイトフィルムを内芯に巻きつける巻替工程を含むことを特徴とする前記第1項~第8項のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、10巻替工程において、10Nm/m以上での巻き締め強さで原料グラファイトフィルムを巻き締めることを特徴とする前記第9項に記載のグラファイトフィルムの製造方法に関する、11炭化したポリイミドフィルムを、ロール状に巻いた状態でグラファイト化して得られるグラファイトフィルムであって、面方向の熱拡散率が5.0cm2/s以上で、厚み7μm以上120μm以下、幅Ugsが100mm以上、面積が5m2以上であり、更に、JISC2151に記載のたるみ評価におけるたるみZgsを幅Ugsで除したZgs/Ugsが0.2以下であることを特徴とするグラファイトフィルムに関する、12原料グラファイトフィルムに圧力を加えながら2000°C以上まで熱処理することを特徴とするグラファイトフィルムの平坦性矯正方法に関する、ものである。本発明のグラファイトフィルムの製造方法によれば、平坦性に優れたグラファイトフィルムが得られる。本発明は、原料グラファイトフィルムに圧力を加えながら2000°C以上まで熱処理することを特徴とするグラファイトフィルムの平坦性矯正方法に関するものである。この平坦性矯正方法を用いて、原料グラファイトフィルムから平坦性が改良されたグラファイトフィルムを製造することができる。本発明において平坦性矯正処理とは、たるみを矯正して平坦性を高める処理をいう。<原料グラファイトフィルム>本発明において原料グラファイトフィルムとは、2000°Cの温度において寸法変化が起こりにくいものであって、このようなグラファイトフィルムであれば例えば高分子焼成タイプのグラファイトフィルムであっても天然黒鉛系のグラファイトフィルムであっても構わない。2000°Cの温度において寸法変化が起こりにくいとは、23°Cにおける50mm角の原料グラファイトフィルムの一辺の寸法50mmに対する、その原料グラファイトフィルムに圧力を加えない状態で2000°Cに加熱して10分間放置した後に、23°Cまで冷却した後のグラファイトフィルムの一辺の寸法の伸びが5以下、好ましくは3以下、より好ましくは1以下、更に好ましくは0.5以下の範囲であることをいう。2000°Cの温度で寸法変化が起こりにくいことによって、平坦性矯正処理を行った場合にグラファイトフィルムの平坦性平滑性を与えることができる。また、本発明の原料グラファイトフィルムは、2400°Cの温度において寸法変化が起こりにくいものが更に好ましい。原料グラファイトフィルムの2400°Cの温度における寸法変化は、5以下、好ましくは3以下、より好ましくは1以下、更に好ましくは0.5以下であるとよい。原料グラファイトフィルムの2400°Cの温度における寸法変化の測定方法の詳細は、実施例の項に示す。また、本発明の原料グラファイトフィルムのシート面内方向面方向ともいう熱拡散率は、0.15cm2/s以上が好ましく、より好ましくは2.0cm2/s以上、更に好ましくは4.0cm2/s以上、特に好ましくは7.0cm2/s以上であるとよい。原料グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率が、0.15cm2/s以上であれば、グラファイト化が十分に進行しているため熱処理の際の寸法変化が小さく、平坦性矯正処理が実施しやすい。特に原料グラファイトフィルムを内芯に巻き付けて、内芯と原料グラファイトフィルムの熱膨張の差を利用して平坦性矯正処理を実施する場合には、原料グラファイトフィルムの寸法変化が小さいと内芯から原料グラファイトフィルムが押し広げられやすいために平坦性矯正の効果が出やすい。また、強度も強く柔軟で裂けにくいフィルムに転換されているため、後述する巻替作業も実施しやすい。さらに、原料グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率が、0.15cm2/s以上であれば、原料グラファイトフィルムの熱移動がスムーズであるために、均一に平坦性矯正処理が実施できる。原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの熱拡散率の測定方法は実施例の項に示す。また、本発明の原料グラファイトフィルムのXRD反射法測定における002面ピークの半価幅は、3度以下が好ましく、より好ましくは1度以下、更に好ましくは0.5度以下、特に好ましくは0.3度以下であるとよい。半価幅が、3度以下であれば、グラファイト化が十分に進行しているため熱処理の際の寸法変化が小さく、平坦性矯正処理が実施しやすい。特に原料グラファイトフィルムを内芯に巻き付けて、内芯と原料グラファイトフィルムの熱膨張の差を利用して平坦性矯正処理を実施する場合には、原料グラファイトフィルムの寸法変化が小さいと内芯から原料グラファイトフィルムが押し広げられやすいために平坦性矯正の効果が出やすい。また、強度も強く柔軟で裂けにくいフィルムに転換されているため、後述する巻替作業も実施しやすい。原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムのXRD反射法測定における002面ピークの半価幅評価方法は実施例の項に示す。また、本発明の原料グラファイトフィルムのMIT耐屈曲試験における屈曲回数は、100回以上が好ましく、より好ましくは500回以上、更に好ましくは5000回以上、特に好ましくは10000回以上であるとよい。原料グラファイトフィルムのMIT耐屈曲試験における屈曲回数が100回以上であれば、強度も強く柔軟で裂けにくいフィルムであるため、後述する巻替作業も実施しやすい。原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムのMIT耐屈曲試験の評価方法は実施例の項に示す。本発明の原料グラファイトフィルムのたるみZgsの大きさは、原料グラファイトフィルムの幅Ugsと相関がある。原料グラファイトフィルムの幅が小さいと、たるみは小さくなる。したがって、本発明では原料グラファイトフィルムの幅当たりのたるみ値Zgs/Ugsを平坦性の指標とする。平坦性矯正したグラファイトフィルムについても、Zgs/Ugsを平坦性の指標とする。本発明の原料グラファイトフィルムのJIS日本工業規格C2151電気用プラスチックフィルム試験方法に記載のたるみ評価におけるたるみZgsを幅Ugsで除したZgs/Ugsは0.2より大きい、さらには0.23以上、特には0.25以上である。Zgs/Ugsは0.2より大きいと平坦性が悪い場合は、特に平坦性矯正処理工程の効果が期待できる。平坦性矯正処理工程後のグラファイトフィルムのZgs/Ugsは0.2以下、好ましくは0.16以下、さらに好ましくは0.11以下に改善できるとよい。平坦性矯正処理工程後のグラファイトフィルムのZgs/Ugsは0.2以下であると、平坦性が十分に改善されており、他のシートとのラミネートや支管への巻取りがしやすい。原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムのZgs/Ugsの測定方法は実施例の項に示す。平坦性矯正処理は、平坦性を改善したい原料グラファイトフィルムや形状を変更したい原料グラファイトフィルムを対象に行ってもよいし、グラファイトフィルムの製造工程において、平坦性矯正処理工程を追加してもかまわない。また、本発明では、少なくとも1度は2000°C未満の温度条件を経た原料グラファイトフィルムを用いて平坦性矯正処理を行い、平坦性が矯正されたグラファイトフィルムを得ることもできる。2000°C未満の温度条件を経るとは、熱処理して得られた原料グラファイトフィルムを一旦2000°C未満に冷却することを意味する。原料グラファイトフィルムを冷却することで巻き替え工程などの平坦性矯正処理の準備を実施しやすい。<平坦性矯正方法>本発明において平坦性を矯正するたるみを矯正して平坦性を高めることを意味する。本明細書において同じ。方法とは、原料グラファイトフィルムに圧力を加えながら、2000°C以上の温度で加熱して、たるみを有し平坦性の悪い原料グラファイトフィルムの平坦性を改善する方法である。原料グラファイトフィルムに圧力を加える方法は、特に制限を受けないが、1シート状の原料グラファイトフィルムの面に対して荷重を加える方法や、2ロール状に巻かれた原料グラファイトフィルムを内側から押し広げる方法、3原料グラファイトフィルムを引っ張る方法などが挙げられる。1シート状の原料グラファイトフィルムの面に対して荷重を加える方法としては、図4のように、フィルム面に重石を載せたり、熱処理中にプレスを実施して圧力を加えたりする方法などが挙げられる。本手法にて、平坦性を矯正するために必要な圧力は、5g/cm2以上、好ましくは、50g/cm2以上、より好ましくは100g/cm2以上である。平坦性を矯正するために必要な圧力が5g/cm2以上であれば、矯正たるみを矯正して平坦性を高めることを意味する。本明細書において同じ。の効果が得られる。圧力の上限は、フィルムが破損しない程度であればよい。2ロール状に巻かれた原料グラファイトフィルムを内側から押し広げる方法としては、拡張する機能を有する内芯を用いて、これに原料グラファイトフィルムを巻きつけ、内芯から原料グラファイトフィルムに圧力を加える方法などが挙げられる。一例として図16に、分割した内芯を外側に押し広げる方法を示す。本手法において、平坦性を矯正するために必要な圧力として、内芯に巻かれた原料フィルムの最内周の内面に対して内芯から、5g/cm2以上、好ましくは、50g/cm2以上、より好ましくは100g/cm2以上の圧力を加えるとよい。圧力が5g/cm2以上であれば、矯正の効果が得られる。圧力の上限は、フィルムが破損しない程度であればよい。また、図5のように内芯の熱膨張を利用して原料グラファイトフィルムを押し広げる方法が挙げられる。この方法は、特殊な機構を炉内に設けることなく、簡易的に平坦性矯正処理が実施できるため好ましい。黒鉛化が十分に進行している原料グラファイトフィルムは、グラファイト結晶子が面方向に高度に配向しているため、面方向への熱膨張が小さく、黒鉛製の内芯に巻きつけて熱処理すると、原料グラファイトフィルムが熱膨張した内芯から押し広げられやすく、平坦性矯正処理工程の効果が大きい。巻物は内芯に巻きつけて処理することが好ましい。本手法において、平坦性を矯正するために必要な圧力は測定できないため、代わりに巻替工程における巻き締め強さにて規定できる。本発明の巻替工程における巻き締め強さは1Nm/m以上、好ましくは5Nm/m以上、より好ましくは10Nm/m以上、更に好ましくは100Nm/m以上、特に好ましくは200Nm/m以上である。巻き締め強さは1Nm/m以上であると、平坦性矯正処理工程時に、内芯に巻かれた原料グラファイトフィルムの最内周の内面に対して内芯から、十分な圧力がかかり、矯正の効果が得られる。巻き締め強さの上限は、フィルムが破損しない程度であればよい。3原料グラファイトフィルムを引っ張りながら熱処理することでも平坦性を矯正することができる。本手法において、平坦性を矯正するために必要な圧力は、フィルムにかかる張力として規定できる。平坦性を矯正するために必要な張力は、5g/cm以上、好ましくは20g/cm以上、更に好ましくは50g/cm以上である。張力が5g/cm以上であると、矯正の効果が得られる。張力の上限は、フィルムが破損しない程度であればよい。平坦性を矯正するために必要な最高温度は、2000°C以上、好ましくは2200°C以上、より好ましくは2400°C以上、更に好ましくは2600°C以上、更により好ましくは2750°C以上、特に好ましくは2800°C以上である。2000°C以上になるとグラファイト結晶子が再配列をはじめるため原料グラファイトフィルムが矯正されやすい。また、内芯に巻き付けて、内芯と原料グラファイトフィルムの熱膨張の差で平坦性矯正処理を実施する場合にも、2000°C以上になると内芯と原料グラファイトフィルムの膨張量に差がつくため、矯正されやすい。また、本発明のグラファイトフィルムの製造方法は、平坦性矯正処理工程を含むとよい。平坦性矯正処理工程とは、熱と圧力を加え原料グラファイトフィルムの平坦性を矯正する方法である。平坦性矯正処理工程に付随して巻き替えなどができる。本発明の原料グラファイトフィルムは、高分子焼成タイプのグラファイトフィルムであっても天然黒鉛系のグラファイトフィルムであっても構わない。高分子焼成タイプのグラファイトフィルムは天然黒鉛系のグラファイトフィルムより、グラファイト結晶子の配向がよいため、面方向の熱膨張率が小さい。そのため、原料グラファイトフィルムを内芯に巻いて矯正する場合の効果は、高分子焼成タイプのグラファイトフィルムの方が好ましい。<炭化工程と平坦性矯正処理工程が一連のグラファイト製造工程の中に含まれるグラファイトフィルムの製造工程の一例>炭化工程と平坦性矯正処理工程が一連のグラファイト製造工程の中に含まれるグラファイトフィルムの製造工程の一例を説明する。本発明のグラファイトフィルムの製造方法は、1炭化工程、2黒鉛化工程、3平坦性矯正処理工程を含むとよい。1炭化工程は、高分子フィルムを少なくとも800°C程度の温度まで予備加熱する工程であり、高分子フィルムを加熱分解し、炭化フィルムを得る工程である。高分子フィルムを保持する方法として、シート状にカットして角型冶具内に板やシートで挟んで保持する方法や、長尺の高分子フィルムを内芯冶具に巻き付けて保持する方法などがある。このとき使用する冶具は黒鉛材のように耐熱性があるものが好ましい。また、高分子フィルムを巻き付ける内芯は円筒形状が好ましい。また、ロール状に巻いたフィルムを別のロールに巻替ながら焼成する方法もある。得られる炭化フィルムは、高分子フィルムの6割程度の重さとなり、ガラス状のフィルムである。2黒鉛化工程とは、炭化工程で作成された炭化フィルム、あるいは高分子フィルムを1800°C以上の温度で加熱し、原料グラファイトフィルムを作製する工程である。黒鉛化最高温度は、1800°C以上、好ましくは2000°C以上、より好ましくは2200°C以上、更に好ましくは2400°C以上、更により好ましくは2600°C以上、特に好ましくは2800°C以上である。1800°C以上であると、グラファイト化が十分に進行しているため、その後の平坦性矯正処理工程において寸法変化が小さく、平坦性を改善しやすい原料グラファイトフィルムが得られる。特に原料グラファイトフィルムを内芯に巻き付けて、内芯と原料グラファイトフィルムの熱膨張の差を利用して平坦性矯正処理を実施する場合に、原料グラファイトフィルムの寸法変化が小さいと内芯から原料グラファイトフィルムが押し広げられやすいために平坦性矯正の効果が出やすい。また、1800°C以上であると、グラファイト化により強度も強く、柔軟で裂けにくいフィルムに転換されているため、巻替作業も実施しやすい。炭化工程と黒鉛化工程は連続しておこなっても、炭化工程を終了させて、その後黒鉛化工程のみを単独で行っても構わない。3平坦性矯正処理工程を追加する場合には、黒鉛化工程を実施し得られた原料グラファイトフィルムに対して、平坦性矯正処理工程を実施するとよい。平坦性矯正処理工程と黒鉛化工程は連続して行っても、黒鉛化工程を終了させて、その後単独で行っても構わない。<原料グラファイトフィルムを内芯に巻きつけた状態で熱処理し、内芯の熱膨張を利用して矯正する方法>本発明の平坦性矯正処理工程では、原料グラファイトフィルムを内芯に巻きつけた状態で熱処理する方法が好ましい。この方法では、熱処理の過程で図5のように内芯の熱膨張により、低熱膨張性の原料グラファイトフィルムが押し広げられて矯正される。本手法では、限られた空間で、大面積の平坦性に優れたグラファイトフィルムを得ることができる。内芯について本発明において、原料グラファイトフィルムを巻き付ける内芯の形状は、特に限定されず、円柱状、多角柱状などが用いられる。円柱状の内芯は、平坦性矯正処理の際に、均一に原料グラファイトフィルムに力を伝えることができ、良質のグラファイトフィルムを得られるために、特に好ましい。本発明で使用される内芯の径は、20mm以上、好ましくは50mm以上、さらに好ましくは80mm以上である。内芯の径が20mm以上であると、内芯の膨張量が十分なため原料グラファイトフィルムは押し広げられ、矯正される。また、グラファイトフィルムの巻き癖も少なく、容易に引き伸ばすことができる。本発明で使用される内芯の線膨張係数熱膨張係数、熱膨張率は、0.3×10-6/K以上7.5×10-6/K以下、好ましくは0.7×10-6/K以上6.5×10-6/K以下、さらに好ましくは2.0×10-6/K以上5.0×10-6/K以下である。内芯の熱膨張率が、0.3×10-6/K以上であると、内芯の膨張量が十分なため原料グラファイトフィルムは押し広げられ、矯正される。また、内芯の熱膨張率が、7.5×10-6/K以下であると、押し広げされ過ぎて原料グラファイトフィルムが裂けることがない。特に、内芯の線膨張係数熱膨張係数が、2.0×10-6/K以上5.0×10-6/K以下であると、フィルムの裂け不良を発生させることなく、十分にたるみを矯正することができる。内芯の材質は、耐熱性の観点から黒鉛製が好ましく、中でも押出成型品、型込成型品、CIP成型品などが適している。巻替工程について原料グラファイトフィルムを内芯に巻きつけて平坦性矯正処理工程を実施する際、原料グラファイトフィルムを緩みなく内芯に巻きつけた方が好ましい。したがって、本発明では平坦性矯正処理を実施する前に、内芯に原料グラファイトフィルムを巻きつける巻替工程を含むとよい。巻替工程では、巻替装置を用いることができる。その際、端部を揃えて巻いた方が、平坦性矯正処理の際に内芯からの力をムラなく伝えることができる。このことによって、フィルム状に圧力が伝わらない場所ができないため、平坦性矯正処理の効果が大きくなる。エッジポジションコントロールフィルムエッジ、いわゆる耳を均一に揃える操作を自動的に行う制御装置などを使用して、端部を揃えることも可能だが、図6のように縦型の巻替装置を使用して、端部を揃えた状態で巻替るとよい。巻替の際は、両面テープなどで、内芯と原料グラファイトフィルムを固定し巻き始めると作業がしやすい。本発明の巻き締め強さとは、芯の回転軸のトルクと巻物状の原料グラファイトフィルムにおける最外周の半径の積である図6参照。回転軸を所定のトルクで回転させ、原料グラファイトフィルムの最外周が動かないように固定して、回転軸の回転が止まるまで、巻き締めをおこなう。例えば、図6の原料グラファイトフィルムの内芯の半径69が50mmであり、原料グラファイトフィルムの巻き厚み610が5mm、回転軸のトルクが4Nmであれば、巻き締め強さは、220Nm/mである。本発明の巻替工程における巻き締め強さは、1Nm/m以上、好ましくは5Nm/m以上、さらに好ましくは10Nm/m以上、更には100Nm/m以上、特に好ましくは200Nm/m以上である。巻き締め強さは1Nm/m以上であると、内芯の膨張の力が原料グラファイトフィルムの巻きの外周まで伝わるため、平坦性が改善されたグラファイトフィルムが得られる。特に、巻き締め強さは200Nm/m以上であると平坦性を十分に改善することができる。端部の固定方法について内芯に原料グラファイトフィルムを巻きつけた状態で平坦性矯正処理をおこなう場合、熱処理中に内芯から原料グラファイトフィルムが解けると、矯正の効果が得られにくい。したがって、原料グラファイトフィルムが解けてこないように巻きを固定する必要がある。一例として、内芯に巻かれた原料グラファイトフィルムの最外周に重石を乗せ、解けないようにすることができる。また、巻かれた原料グラファイトフィルムをそのまま横向きに炉床に置くだけで、自重で解けないように固定することもできる。また、原料グラファイトフィルムの最外周端部を引っ張って固定することも可能である。さらに、固定の圧力を制御しながら、解きを抑制する方法も有効である。固定の方法は、巻き緩みをしなければ特に制約はない。<原料グラファイトフィルムの長さ、幅>本発明の原料グラファイトフィルムの幅Ugsは特に制限がなく、本発明の製造方法を平坦性の悪い原料グラファイトフィルムに用いれば、平坦性が改善できるが、100mm以上、さらに200mm以上、特には400mm以上の範囲であれば、原料グラファイトフィルムのたるみが大きいため、平坦性矯正処理の改善効果が特に期待できる。なお、原料グラファイトフィルムの幅とは、原料グラファイトフィルムの連続体のシートにおいて短辺側の長さを示す。また、本発明の原料グラファイトフィルムの長さは特に制限がなく、本発明の製造方法を平坦性の悪い原料グラファイトフィルムに用いれば、平坦性が改善できるが、たるみが大きい1m以上、さらに10m以上、特には、25m以上の範囲であれば、特に改善効果が期待できる。なお、原料グラファイトフィルムの長さとは、グラファイトフィルムの連続体のシートにおいて長辺側の長さを示す。また、本発明の原料グラファイトフィルムの面積は特に制限がなく、本発明の製造方法を平坦性の悪い原料グラファイトフィルムに用いれば、平坦性が改善できるが、たるみが大きい5m2以上、さらに10m2以上、特には、20m2以上の範囲であれば、特に改善効果が期待できる。<高分子フィルム>本発明で用いる高分子フィルムは特に限定はされないが、例えば、ポリイミドPI、ポリアミドPA、ポリオキサジアゾールPOD、ポリベンゾオキサゾールPBO、ポリベンゾビスオキサザールPBBO、ポリチアゾールPT、ポリベンゾチアゾールPBT、ポリベンゾビスチアゾールPBBT、ポリパラフェニレンビニレンPPV、ポリベンゾイミダゾールPBI、ポリベンゾビスイミダゾールPBBIからなる群より選択される高分子のフィルムを挙げることができる。これらの少なくとも1種を用いることにより、結晶性に優れ、熱拡散性熱伝導性に優れる原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムを得やすい。<平坦性が改良されたグラファイトフィルムの用途への適用>本発明のグラファイトフィルムは、平坦性が良いため基材との密着性が高く、グラファイトフィルムの本来の効果が得られやすい。電子機器での放熱シートとして使用される場合は、発熱体からの熱をグラファイトフィルムにスムーズに伝えることができるため、本発明の平坦性が改良されたグラファイトフィルムの放熱効果は非常に高い。一例として、本発明のグラファイトフィルムをLED基板に適用することで、簡便に重量が重くなることなくLED温度を低減することができる。近年、照明蛍光灯や電球の代替や液晶TVのバックライト冷陰極管の代替などLED光源の使用が増加している。LEDは白熱電球などと比較して発熱量は少ないものの、熱に弱いため何らかの熱対策を実施しないと温度が上昇し、寿命が短くなってしまう。現在、LEDの基板には主にガラエポ基板が使用されているが、放熱量が十分でなく、LED温度が高くなってしまう問題がある。そのため、アルミ板などの金属材をコア材とした基板が開発されているが、このような基板も重量が重い、加工性が悪いといった問題がある。図15に6種類の適用方法を示すが、適用方法は特に制限されない。例えば151と152を比較すると、152のようにLEDに近い位置にグラファイトフィルムを適用するとLED温度を低減しやすい。なお、グラファイトフィルムを基板に適用する場合は、グラファイトフィルム単体でもよいし、グラファイトフィルムの少なくとも片面に粘着テープや保護テープアクリル系シリコン系のPET粘着テープPI粘着テープを貼り合わせたグラファイト複合品でもよい。以下において、本発明の種々の実施例をいくつかの比較例と共に説明する。<各種物性測定条件><原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムのJISC2151記載のたるみZgsの測定>原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの平坦性の評価は、JISC2151に記載のフィルムの巻取り性評価に基づくたるみ測定で、たるみの大きさを室温23°Cにて測定した。試験片試験片は、ロールから新しく約2mの長さを引き出したものとする。このとき試験片を取り出す場所は、ロールの巻きの中央付近からとする。つまり、100mの巻きであれば、巻き終わりから50m付近から試験片を3枚取り出す。試験片を3枚取り出せない実施例14のようなシート状のサンプルについては、そのまま試験片として使用し、測定は1回のみとした。装置について装置について次に説明する図9。aロールを取り付けた架台について自由に回転する2本の金属製ロール及びこの2本のロールを平行に支える堅固な架台を有する。各ロールは、直径が100mm±10mmで、長さが試験するフィルムの最大幅が十分に載せられるものを準備する。2本のロールの軸は同一水平面にあり、互いに1500mm±15mmの間隔を置いて0.1度以内すなわち、ロールの長さ1mについて1.8mm以内で平行な状態に固定する。ロールは、円筒度0.1mm以内の円筒状とし、表面は適切ななし地仕上げ研磨仕上げではないとする。架台には、図9の96のように、一方のロール第一ロールのすぐ下に試験するフィルムロールを載せるための装置脱着軸を取り付ける。この装置は、1フィルムを載せる脱着軸は、第一ロールの軸と1度以内で平行とする、2フィルムの側部の位置が自由に調整できる、ものである。bフィルムに張力を加える装置について架台の反対側の端で、2本目のロール第2ロールから自由に垂れ下がったフィルムにおもり又はばね付きクランプを固定できるようにする。おもり又はばね荷重は、フィルムの幅1cm当たり50gをかけ、フィルムの幅方向にできるだけ均一に張力を加えられるように調節できるものとする。あるいは、テンションロールに巻きつけて、幅1cm当たり50gの、均一な張力を加えてもよい。c寸法測定器具について2本のロール間の中央部でロールに平行な線に沿って、2本のロール間の平面と下に下がったフィルムとの距離を測定するための器具を準備する。測定に用いる器具は、長さ1525mm以上の鋼製直定規及び1mm目盛りの付いた長さ150mmの鋼製物差しとする。又は、フィルムの位置を自動的に又は半自動的に示すような複雑な器具を用いてもよい。測定手順図9のように、装置の2本のロール上に試験片を長さ方向に載せる。フィルムの自由端には張力上述の1cm当たり50gを加える。フィルムの第2のロールを通過する最終的な位置は、フィルムが2本のロールの中央でほぼ水平になるように調節する。鋼製直定規及び目盛り付きの鋼製物差しを用いて、2本のロールの中央部で幅方向に沿ってフィルムを確認する。結果最も大きいたるみをたるみZgsとし、3個の測定値の中央値とした。シート状のサンプルについては、1回の測定結果を表1~表4、表5~表8に記載した。<原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの面方向の熱拡散率測定>原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの面方向の熱拡散率は、光交流法による熱拡散率測定装置アルバック理工株社製LaserPitを用いて、グラファイトフィルムを4×40mmの形状に切り取ったサンプルを、23°Cの雰囲気下、10Hzにて測定した。3枚の試験片を、図11の1、2、3点から抜き出した。1は原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの巻きの内側から50mmの中央付近、3は外側から50mmの中央付近、2は1と3の中間である。中央付近とは、TD幅200mm巻きのロールであれば、幅100mm付近を指す。なお、シート状のサンプルについても同様に3枚の試験片を抜き出した。3枚の試験片を用いて測定した熱拡散率の平均値を表1~表4、表5~表8に記載した。<ラミネートテスト>図12のようなラミネートテストを実施した。より詳細には、紙製の径が3インチの紙管にまかれたグラファイトフィルムを、互いに平行に並んだ、外径50mm長さ635mmの第一ロールと第二ロールの間に、連続的に供給して、厚み10μm、幅がグラファイトフィルムの幅より20mm短いPETテープと貼り合わせた。PETテープは寺岡製作所から入手できる633Kのセパレーター付きを使用し、セパレーターを80度の角度で剥がしながら第二ロールに供給した。グラファイトフィルムのMD方向に加える張力は30g/cm、巻替速度は1m/minとした。グラファイトフィルムの裂けの程度、貼り合わせシワの程度を評価した。図2のような、ラミネート後のグラファイト複合フィルムのシワについて評価した。複合フィルムの全長にわたり、長さ5mm以上のシワの個数を数え、単位長さ1mあたりのシワの個数として換算した。1mあたりのシワの個数が、0.05個/m未満はA、0.05個/m以上0.2個/m未満はB、0.2個/m以上~1個/m未満はC、1個/m以上~1.5個/m未満はD、1.5個/m以上~2個/m未満はE、2個/m以上はFとした。<原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムのMIT耐屈曲試験>原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムのMIT耐屈曲試験を行った。1.5×10cmの試験片3枚を、図11の1、2、3点から抜き出した。東洋精機株製のMIT耐揉疲労試験機型式Dを用いて、試験荷重100gf0.98N、速度90回/分、折り曲げクランプの曲率半径Rは2mmでおこなった。23°Cの雰囲気下、折り曲げ角度は左右へ135度で切断するまでの折り曲げ回数屈曲回数を測定した。3枚の試験片を用いて測定し、平均値を表1~表4、表5~表8に記載した。<原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの002面ピークの半価幅評価反射XRD>原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムのXRD測定X線回折を、リガク製RINT-2500HLを使用して実施した。25×30mmの試験片3枚を、図11の1、2、3点から抜き出し、続いてアルミ製フォルダーに固定された試験片を測定面とフィルム面が一致するように装置にセットした。電流10mA、電圧20kVに調節し、スキャン角度10度~40度までを、スキャン速度4度/min、サンプリング幅0.02度で測定を実施した。スリットの条件は、発散スリット1度、散乱スリット1度、受光スリット0.3mm、発散縦スリット5mmとした。2θ/θ軸を連動で制御し、反射配置での測定を実施した。解析は、横軸に2θ、縦軸にcps表示し、2θが26.5度付近に出現する002面のピークの半価幅を見積もった。3枚の試験片を用いて測定し、平均値を表1~表4、表5~表8に記載した。<原料グラファイトフィルムの2400°Cの温度における寸法変化>原料グラファイトフィルムの2400°Cの温度における寸法変化を測定した。23°Cにおいて、50×50mmの試験片3枚を、図11の1、2、3点から抜き出した。圧力を加えない状態で2400°Cに加熱して10分間放置して冷却した。23°Cまで冷却した後のグラファイトフィルムの一辺の寸法の変化を見積もった。3枚の試験片を用いて測定し、平均値を表1~表4、表5~表8に記載した。<原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの面積の測定方法>原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの面積の測定方法としては、フィルムの幅と、長さを測定した値の積で見積もることができる。ただし、形が歪で長さの測定が困難である場合、フィルムが破損しやすく、長さの測定が困難である場合は、ロール状の原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの全重量を測定し、一部100mm×100mmを切り出した重量との比で、面積を算出してもよい。<原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの幅Ugs測定>原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの幅Ugsは、図11のポイント1~3の幅を23°Cで測定し、平均値を表に記載した。<原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムのたるみZgsを幅Ugsで除したZgs/Ugs>たるみZgsを幅Ugsで除したZgs/Ugsを表1~表4、表5~表8に記載した。<原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの重量測定>原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの重量は、10cm角の原料グラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの重量gを23°Cで測定した。<グラファイトフィルムの収率裂け>グラファイトフィルムの収率裂けの評価方法を説明する。ロールの全長さにわたり、図13のような、両端部から30mm以内TD方向に発生した長さ5mm以上の裂け不良を数え、単位長さ1mあたりの裂け不良の数として換算した。1mあたりの裂け不良が、0.05個/m未満はA、0.05個/m以上0.2個/m未満はB、0.2個/m以上~1個/m未満はC、1個/m以上~2個/m未満はD、2個/m以上はEとした。<ポリイミドフィルムAの製造方法>4,4’-オキシジアニリンの1当量を溶解したDMFジメチルフォルムアミド溶液に、ピロメリット酸二無水物の1当量を溶解してポリアミド酸溶液18.5重量を得た。この溶液を冷却しながら、ポリアミド酸に含まれるカルボン酸基に対して、1当量の無水酢酸、1当量のイソキノリン、およびDMFを含むイミド化触媒を添加し脱泡した。重合工程で作られたポリアミド酸のDMF溶液はミキサーで硬化剤無水酢酸、イソキノリンと一定の比率で混合して、Tダイスからエンドレスベルト上に連続的に流延塗布し、ベルトを回転させながら熱風乾燥した。この混合ワニスは加熱される事により分子内の脱水が起こり、イミド化反応が進行した。溶媒が蒸発する事によりベルト室出口での残溶媒量が約46となった自己支持性を有するフィルムゲルフィルムをベルトから引き剥がし、ピン枠に固定し、テンター室で300°C~580°Cで合計4分の熱処理をおこない厚み50μmのポリイミドフィルムAを製造した。本検討では、同様の方法で製造されたカネカ製ポリイミドフィルム製品名:アピカル200AVを使用した。実施例1炭化工程厚さ50μm、幅500mm、長さ50mのポリイミドフィルムAを外径100mm、長さ550mmの円筒状の黒鉛製内芯に図7のように巻き付け、内径130mmの外筒を被せた。この容器を電気炉内に横向きにセットした。1400°Cまで2°C/minの昇温条件で炭化工程を実施した。黒鉛化工程次に、得られたロール状の炭化フィルムを外径100mmの内芯に、図8のように、横向きに黒鉛化炉内にセットした支えにより内芯を浮かせた状態。2900°Cまで5°C/minの昇温条件で黒鉛化工程を実施し、室温まで冷却した。黒鉛化工程実施後の原料グラファイトフィルムの熱拡散率、幅Ugs、たるみZgs、MIT屈曲回数、XRDにおける002面ピークの半価幅を測定し、表1~表4に記載した。巻替工程次に、得られた原料グラファイトフィルムをSECカーボン株式会社から入手できる黒鉛化材型番:MSG、線膨張係数熱膨張係数4.0×10-6/Kで作製した、外径100mmの内芯に両面テープで貼り付けて固定し、図6のように端が揃うように立てた状態で巻きつけた。その後、駆動軸に4Nmのトルクを与え、原料グラファイトフィルムの最外周が動かないように固定して、内芯にきつく巻き締めた。以上のようにして、巻替工程をおこなった。平坦性矯正処理工程次に、内芯に巻き締めた原料グラファイトフィルムを黒鉛化炉に横向きに置いてセットし、2900°Cまで5°C/minの昇温条件で平坦性矯正処理工程以下、矯正処理工程ともいうを実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例2平坦性矯正処理工程の最高温度を2600°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例3平坦性矯正処理工程の最高温度を2200°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例4黒鉛化工程の最高温度を2600°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例5黒鉛化工程の最高温度を2200°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例6SECカーボン株式会社から入手できる黒鉛化材型番:NSG、線膨張係数熱膨張係数0.7×10-6/Kで作製した、外径100mmの内芯に巻替て平坦性矯正処理工程をおこなったこと以外は実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例7新日本テクノカーボン株式会社から入手できる黒鉛化材型番:GS-203R、線膨張係数熱膨張係数6.0×10-6/Kで作製した、外径100mmの内芯に巻替て平坦性矯正処理工程をおこなったこと以外は実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例8外径30mmの内芯に巻替えて平坦性矯正処理工程をおこなったこと以外は実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例9外径60mmの内芯に巻替えて平坦性矯正処理工程をおこなったこと以外は実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例10駆動軸に6Nmのトルクを与え、巻替工程をおこなったこと以外は実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例11駆動軸に2Nmのトルクを与え、巻替工程をおこなったこと以外は実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例12駆動軸に0.5Nmのトルクを与え、巻替工程をおこなったこと以外は実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例13幅250mm、長さ2mのポリイミドフィルムAを、内寸250mm×2.1m×30mmの角型容器に入れること以外は実施例1と同様に、1400°Cまで2°C/minの昇温条件で炭化工程を実施することにより、炭化フィルムを得た。得られた炭化フィルムに対し、2900°Cまで5°C/minの昇温条件で黒鉛化工程を実施し、室温まで冷却した。得られた原料グラファイトフィルムに6g/cm2の圧力が均一にかかるように重石をのせて、実施例1と同様に、2900°Cまで5°C/minの昇温条件で平坦性矯正処理工程を実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例14実施例13と同様に炭化工程、黒鉛化工程を実施し、得られたシート状の原料グラファイトフィルムを、実施例1と同様にして平坦性矯正処理工程をおこなった。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例15厚み100μmの天然黒鉛シート東洋炭素株社製商品名:PERMA-FOILグレード名:PFを実施例1と同様にして平坦性矯正処理工程をおこなった。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例16黒鉛化工程の最高温度を2400°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例17黒鉛化工程の最高温度を2000°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例18黒鉛化工程の最高温度を1800°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例19平坦性矯正処理工程の最高温度を2750°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例20平坦性矯正処理工程の最高温度を2400°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例21平坦性矯正処理工程の最高温度を2000°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例22実施例13と同様にして炭化工程を実施することにより、炭化フィルムを作製した。得られた炭化フィルムを図17の冶具にセットした。172は250mm×2.1m×30mmの黒鉛化材新日本テクノカーボン株式会社、型番:GS-203R、線膨張係数6.0×10-6/K、171は270mm×2.1m×51mm×肉厚10mmの黒鉛外周冶具SECカーボン株式会社、型番:NSG、線膨張係数0.7×10-6/Kを使用した。2900°Cまで5°C/minの昇温条件で平坦性矯正処理工程を実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例23実施例13と同様にして炭化工程を実施することにより、炭化フィルムを作製した。得られた炭化フィルムに荷重をかけずに2600°Cまで5°C/minの昇温条件で昇温し、2600°Cの温度にて、フィルムに6g/cm2の圧力がかかるようにホットプレスを実施した。そのままの状態で、2900°Cまで5°C/minの昇温条件で熱処理を実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例24実施例1と同様にして炭化工程を実施することにより、炭化フィルムを作製した。次に、得られたロール状の炭化フィルムを実施例1と同様に黒鉛化炉にセットし、2600°Cまで5°C/minの昇温条件で昇温した。2600°Cにて内芯を回転させ、緩んだフィルムを巻き取った。そのまま2900°Cまで5°C/minの昇温条件で熱処理を実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例25実施例1と同様にして炭化フィルムを作製した。次に、得られたロール状の炭化フィルムを図16のΦ100mmの分割冶具に巻きつけたこと以外は、実施例1と同様に黒鉛化炉にセットした。2600°Cまで5°C/minの昇温条件で昇温し、2600°Cにて内芯を回転させ、緩んだフィルムを巻き取った。そのまま2900°Cまで5°C/minの昇温条件で熱処理を実施した。さらに2900°Cで、フィルム最内周に6g/cm2の圧力が加わるように分割冶具を分割拡張した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例26黒鉛化後のフィルムを水平にセットし、同じく水平にセットした外径100mmの内芯に、横向きの状態で巻替工程をおこなったこと以外は、実施例1と同様にして実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。実施例27黒鉛化後のフィルムを水平にセットし、同じく水平にセットした外径100mmの内芯に、エッジポジションコントロールシステムを利用し、端部が揃うように横向きの状態で巻替工程をおこなったこと以外は、実施例1と同様にして実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表1~表4に示す。比較例1実施例1と同様に炭化工程、黒鉛化工程を実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表5~表8に示す。比較例2平坦性矯正処理工程の最高温度を1800°Cとしたこと以外は、実施例1と同様に実施した。得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表5~表8に示す。比較例3実施例13と同様に炭化工程、黒鉛化工程を実施し、得られたグラファイトフィルムの各種物性を測定した。表5~表8に示す。<平坦性矯正処理工程の効果>表1~表4に示すように、平坦性矯正処理工程を実施した実施例1~27は、平坦性矯正処理工程を実施していない比較例1、3と比較して、Zgs/Ugsが0.2以下と平坦性が非常に良かった。これは、平坦性が悪い原料グラファイトフィルムに再び荷重をかけながら、温度を加えることで、グラファイト結晶子が再配列し、たるみが矯正されたためである。実施例1~27の平坦性矯正処理前のZgs/Ugsが0.2より大きかったのに対し、Zgs/Ugsが0.2以下となり、劇的にたるみを改善することができた。一例として図14に、実施例1の黒鉛化後の原料グラファイトフィルムと平坦性矯正処理後のグラファイトフィルムの概観写真を示す。実施例1~12、14~21、24、26、27では、内芯とそれに巻かれた原料グラファイトフィルムの熱膨張の差により、熱処理の過程で内芯により原料グラファイトフィルムが外側に押し広げられグラファイトフィルムのたるみが矯正されている。実施例13は、重石を載せることで、熱処理の過程で面方向に均一に荷重が加わり、たるみが矯正されている。また、平坦性矯正処理時に加えられた面方向への圧力により、原料グラファイトフィルムの表面性も改善されており、得られたグラファイトフィルムはムラがなく非常に均一であった。実施例22は熱膨張係数の異なる黒鉛材を組み合わせることで、熱膨張の差によって、熱処理過程で原料グラファイトフィルムに圧力を加えてたるみを矯正している。実施例23は2600°C以上の温度で炭化フィルムにホットプレスを実施し、フィルムのたるみを矯正している。実施例25は、芯の分割拡張により、内芯からフィルムを外側へ押し広げている。また、平坦性矯正処理時に加えられた面方向への圧力により、原料グラファイトフィルムの表面性も改善されており、得られたグラファイトフィルムはムラがなく非常に均一であった。平坦性矯正処理工程を実施したグラファイトフィルムは、フラット性が高いためにラミネートテストにおいても、貼り合わせシワが発生しにくかった。<平坦性矯正処理工程の最高温度>実施例1~3、19~21、比較例2を比較すると、平坦性矯正処理工程の最高温度が高いほど、たるみが小さくフラットなグラファイトフィルムが得られた。特に実施例1、2、19のように最高温度が2600°C以上であると、得られるグラファイトフィルムのたるみZgsが45mm以下となり、平坦性が非常に良かった。一方、比較例2のように最高温度が1800°C以下であると、たるみが大きかった。これは、平坦性矯正処理工程の最高温度が高いほど、内芯とそれに巻かれた原料グラファイトフィルムの膨張量に差ができるために、よりたるみが矯正されたためである。また、温度が高いほど、グラファイト結晶子の再配列が活発に起きるためである。<黒鉛化工程の最高温度>実施例1、4、5、16~18を比較すると、黒鉛化工程の最高温度が高いほど、たるみが小さくフラットなグラファイトフィルムが得られた。特に実施例1、4のように最高温度が2600°C以上であると、得られるグラファイトフィルムのたるみZgsが35mm以下となり、平坦性が非常に良かった。図10のように、黒鉛化の工程でフィルムは約10伸びる。これは、熱膨張とは別の変化で、アモルファスな構造の炭素が面方向に配列する不可逆的な構造変化である。したがって、1800°C以下までしか熱処理していないフィルムを内芯に巻き締めても、フィルムは伸びて内芯から離れていくため、たるみが矯正できない。特に2600°C以上でたるみ矯正の効果が現れたのは、2600°Cまで熱処理されたフィルムは、伸びきっているため、内芯の膨張の力を受けやすかったためである。また、2200~2600°Cで黒鉛化したフィルムよりも強度が強いため、巻替作業がしやすく、実施例1は実施例4、5、16~18と比較して収率がよかった。<原料グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率>実施例1、4、5、16~18を比較すると、原料グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率が大きいほど、収率よくフラットなグラファイトフィルムが得られた。特に実施例1、4のように、原料グラファイトフィルムの面方向の熱拡散率が4.0cm2/s以上であると、得られるグラファイトフィルムのたるみZgsが35mm以下となり、平坦性が非常に良かった。これは、面方向の熱拡散率が0.1cm2/s未満である原料グラファイトフィルムを内芯に巻き締めても、平坦性矯正処理工程で黒鉛化が進行し、フィルムは伸びて内芯から離れていくため、たるみが矯正できない。特に面方向の熱拡散率が、4.0cm2/s以上でたるみ矯正の効果が現れたのは、黒鉛化が十分に進行しており、内芯の膨張の力を受けやすかったためである。<原料グラファイトフィルムの2400°Cの温度における寸法変化>実施例1、4、5、16~18を比較すると、原料グラファイトフィルムの2400°Cの温度における寸法変化が小さいほど、収率よくフラットなグラファイトフィルムが得られた。実施例1、4のように寸法変化が0.0であるものについては、得られたグラファイトフィルムのたるみZgsが35mm以下となり平坦性が非常に良いことが確認された。<原料グラファイトフィルムの002面ピークの半価幅評価反射XRD>実施例1、4、5、16~18を比較すると、原料グラファイトフィルムの002面ピークの半価幅評価が小さいほど、収率よくフラットなグラファイトフィルムが得られた。実施例1、4のように002面ピークの半価幅評価が0.3以下であるものについては、得られるグラファイトフィルムのたるみZgsが35mm以下となり、平坦性が非常に良いことが確認された。<平坦性矯正処理工程時の内芯の線膨張係数線膨張率>実施例1、6、7を比較すると、平坦性矯正処理工程時の内芯の線膨張係数線膨張率が大きいほど、たるみが小さくフラットなグラファイトフィルムが得られた。また、実施例7と比較して実施例1は、裂け不良も発生しにくく収率もよかった。これは、実施例1は内芯の熱膨張率が適切であったため、内芯の膨張による原料グラファイトフィルムの裂けを抑制できた。特に、内芯の線膨張係数線膨張率が、2.0×10-6/K以上5.0×10-6/K以下であると、フィルムの裂け不良を発生させることなく、十分にたるみを矯正することができた。<平坦性矯正処理工程時の内芯の径>実施例1、8、9を比較すると、平坦性矯正処理工程時の内芯の径が大きいほど、たるみが小さくフラットなグラファイトフィルムが得られた。これは、内芯の径が大きいほど、伸び量が大きいため、より矯正された。また、内芯の径が大きいほど、内芯への巻き数が少なくなるために、内芯からの力が巻きの外まで伝わりやすかった。特に内芯の径が60mm以上である、実施例1、9は、たるみが小さくフラットなグラファイトフィルムが得られた。<巻替時のトルクについて>実施例1、10~12を比較すると、巻替時のトルクが大きいほど、たるみが小さくフラットなグラファイトフィルムが得られた。これは、巻替時のトルクが大きいほど、内芯への締め付けが強いために、平坦性矯正処理工程を実施した際に、より矯正された。また、実施例1は実施例10と比較して、裂け不良の発生も少なかった。<縦巻替の効果>実施例1と実施例26、27を比較すると、縦巻で巻替工程を実施した実施例1及びエッジポジションコントロールを使用した実施例27は、端部を揃えて巻き替えることができたため平坦性矯正の効果が高く、収率も高かった。これは、端部を揃えて巻いた方が、平坦性矯正処理の際に内芯からの力をムラなく伝えることができたためである。<平坦性矯正処理工程を一連のグラファイト製造工程の中で実施した態様>実施例22~25は、黒鉛化工程の中で平坦性矯正処理工程を実施した態様について示した。実施例22は熱膨張係数の異なる黒鉛材を組み合わせることで、熱膨張の差によって、黒鉛化工程の最高温度付近でフィルムに圧力を加えた。実施例23は2600°C以上の温度でホットプレスを実施し、フィルムを矯正した。実施例24は、黒鉛化の過程で芯から緩んだフィルムを、2600°Cという高温状態のまま内芯を回転させて巻取り、そのまま2900°Cまで処理して、内芯とフィルムの熱膨張の差により、平坦性矯正処理を実施した。実施例25は、実施例24の工程に加え、芯の分割拡張により、内芯からフィルムを外側へ押し広げて平坦性矯正処理を実施した。図10に示したように黒鉛化に伴ってフィルムサイズは増加するが、サイズ増加時にはフィルムに荷重を加えずに、フィルムが伸びきった2600°C以上で圧力を加えることが好ましい。実施例22~25は、いずれもこのような工夫がなされているため、たるみが小さくフラットなグラファイトフィルムが得られた。また、平坦性矯正処理工程を黒鉛化工程の中で実施することで、工程数を削減でき生産性を向上させることができた。<高分子焼成及び天然黒鉛系グラファイトフィルムの矯正の程度>実施例1と実施例15を比較する。原料グラファイトフィルムが高分子焼成グラファイトフィルムである実施例1の方が、天然黒鉛系グラファイトフィルムである実施例15と比較して、矯正の効果が大きかった。これは、高分子焼成グラファイトフィルムは面方向へのグラファイト結晶子が高度に配向しているため熱膨張しにくく、平坦性矯正処理の際に内芯から押し広げられやすいからである。"