"液体が充填される圧力室と、この圧力室内の液体を吐出するノズルと、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータと、前記圧力室の容積を拡張するための拡張パルス、前記圧力室の容積を収縮するための第1収縮パルス、および前記圧力室の容積を収縮するための第2収縮パルスが順に含まれる波形の電圧を、前記アクチュエータに対する駆動電圧として出力するとともに、前記拡張パルスの開始から前記第1収縮パルスの終了までの期間を、前記液体と前記圧力室との共振周期の半値以下に設定する駆動ユニット。前記駆動ユニットは、前記拡張パルス、前記圧力室の容積を前記拡張パルスによる拡張から定常状態に戻すためのグラウンド電位、前記第1収縮パルス、前記圧力室の容積を前記第1収縮パルスによる収縮から前記定常状態に戻すためのグラウンド電位、前記第2収縮パルス、および前記圧力室の容積を前記第2収縮パルスによる収縮から前記定常状態に戻すためのグラウンド電位が順に含まれる波形の電圧を、前記アクチュエータに対する駆動電圧として出力する、ことを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。前記駆動ユニットは、前記拡張パルスの開始から前記第1収縮パルスの終了までの第1期間を前記液体と前記圧力室との共振周期の半値以下に設定するとともに、その第1期間の中間点から前記第2収縮パルスの中間点までの第2期間を前記共振周期以下に設定する、ことを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。液体が充填される圧力室と、この圧力室内の液体を吐出するノズルと、前記液体を変化させるアクチュエータと、前記液体の吐出に際し、前記圧力室内の液体が前記ノズルから吐出されるよう前記圧力室の容積を変化させるための電圧を前記アクチュエータに対する駆動電圧として出力するとともに、前記液体の非吐出時、前記圧力室内の液体が前記ノズルから吐出されない程度に前記圧力室の容積を拡張および収縮するための拡張パルスおよび収縮パルスが順に含まれる波形の電圧を前記アクチュエータに対する駆動電圧として出力し且つ前記拡張パルスの中間点から前記収縮パルスの中間点までの期間を前記液体と前記圧力室との共振周期以下に設定する駆動ユニット、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。前記駆動ユニットは、前記液体の非吐出時、前記拡張パルス、前記圧力室の容積を前記拡張パルスによる拡張から定常状態に戻すためのグラウンド電位、前記収縮パルス、および前記圧力室の容積を前記収縮パルスによる収縮から前記定常状態に戻すためのグラウンド電位が順に含まれる波形の電圧を、前記アクチュエータに対する駆動電圧として出力することを特徴とする請求項4記載のインクジェットヘッド。前記駆動ユニットは、前記設定した第1期間および第2期間を前記圧力室内の液体の温度を検知する温度センサの検知温度に応じて補正する、請求項3または4いずれか一記載のインクジェットヘッド。液体が充填される圧力室と、この圧力室内の液体を吐出するノズルと、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータとを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記圧力室の容積を拡張するための拡張パルス、前記圧力室の容積を収縮するための第1収縮パルス、および前記圧力室の容積を収縮するための第2収縮パルスが順に含まれる波形の電圧を、前記アクチュエータに対する駆動電圧として出力し、前記拡張パルスの開始から前記第1収縮パルスの終了までの期間を、前記液体と前記圧力室との共振周期の半値以下に設定することを備えることを特徴とするインクジェットヘッド。前記第1収縮パルスの電位および前記第2収縮パルスの電位は、互いに同じ極性である、前記拡張パルスの電位は、前記第1収縮パルスの電位および前記第2収縮パルスの電位と反対の極性である、ことを特徴とする請求項7記載のインクジェットヘッド。しかしながら、ノズルから1つのインク滴が吐出されるごとに、圧力室内のインクに振動が残る。この振動が収まらないうちに次のインク滴が吐出されると、適正なインク滴の吐出が困難となる。本発明の実施形態の目的は、液体の吐出に悪影響を与えることなく、液体の吐出速度を高めることができるインクジェットヘッドを提供することである。本発明の実施形態のインクジェットヘッドは、液体が充填される圧力室と、この圧力室内の液体を吐出するノズルと、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータと、前記圧力室の容積を拡張するための拡張パルス、前記圧力室の容積を収縮するための第1収縮パルス、および前記圧力室の容積を収縮するための第2収縮パルスが順に含まれる波形の電圧を、前記アクチュエータに対する駆動電圧として出力するとともに、前記拡張パルスの開始から前記第1収縮パルスの終了までの期間を、前記液体と前記圧力室との共振周期の半値以下に設定する駆動ユニット、を備える。以下、この発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。インクジェットヘッドの構成を図1に示す。インクジェットヘッド1は、インク供給源に接続したインク流入口2、このインク流入口2から流入するインクを収容する収容室3、この収容室3内のインクが充填される複数の圧力室4、これら圧力室4と上記収容室3とを仕切る仕切壁5、上記各圧力室4にそれぞれ連通するインク吐出用の複数のノズル6、上記各圧力室4の一壁面を形成する複数の振動板7、これら振動板7上にそれぞれ配置した複数の圧電素子8、上記収容室3内のインクの温度を検知する温度センサ9、および駆動ユニット10を有する。上記各振動板7および上記各圧電素子8により、上記各圧力室4の容積を変化させる複数のアクチュエータが構成される。圧力室4の容積が拡張すると、収容室3内のインクがその圧力室4に導入される。圧力室4の容積が収縮すると、その圧力室4内のインクが対応するノズル6からインク滴20となって吐出される。上記駆動ユニット10は、上記各アクチュエータの個々に対する駆動電圧を出力するもので、第1駆動部11、第2駆動部12、および補正部13を有する。上記第1駆動部11は、上記インク滴20の吐出に際し、図2に示すように、圧力室4の容積を拡張するための拡張パルスA1、圧力室4の容積を上記拡張パルスA1による拡張から定常状態に復帰させるためのグラウンド電位パルス休止A2、圧力室4の容積を収縮するための第1収縮パルスA3、圧力室4の容積を上記第1収縮パルスA3による収縮から上記定常状態に戻すためのグラウンド電位パルス休止A4、圧力室4の容積を収縮するための第2収縮パルスA5、および圧力室4の容積を上記第2収縮パルスA5による収縮から上記定常状態に戻すためのグラウンド電位パルス休止A6が順に含まれる波形の電圧を、上記アクチュエータに対する駆動電圧として出力する。また、上記第1駆動部は、複数のインク滴20を連続吐出する場合、上記A1~A6が順に含まれる波形の駆動電圧を、繰り返し出力する。上記拡張パルスA1の時間幅はT1μsである。グラウンド電位A2の時間幅はT2μsである。第1収縮パルスA3の時間幅はT3μsである。グラウンド電位A4の時間幅はT4μsである。第2収縮パルスA5の時間幅はT5μsである。上記第1収縮パルスA3の電位および上記第2収縮パルスA5の電位は、互いに同じ極性たとえば正極性の28Vである。前記拡張パルスA1の電位は、第1収縮パルスA3の電位および第2収縮パルスA5の電位と反対の負極性の28Vである。なお、第1収縮パルスA3の電位および上記第2収縮パルスA5の電位を負極性とし、拡張パルスA1を正極性としてもよい。拡張パルスA1の期間では、圧力室4の容積が拡張する。この拡張により、収容室3内のインクが圧力室4に導入される。グラウンド電位A2の期間では、圧力室4の容積が拡張パルスA1による拡張から定常状態へと復帰する。そして、第1収縮パルスA3の期間では、圧力室4の容積が収縮する。この復帰と収縮により、圧力室4内のインクがノズル6から吐出される。グラウンド電位A4の期間では、圧力室4の容積が第1収縮パルスA3による収縮から定常状態に復帰する。そして、第2収縮パルスA5の期間では、圧力室4の容積が再び収縮する。この復帰と収縮により、圧力室4内のインクの振動が抑制される。インクの振動を抑制することをダンピングという。また、上記第1駆動部11は、インクの吐出に際し、図2に示すように、上記拡張パルスA1の開始から上記第1収縮パルスA3の終了までの第1期間Tx=T1T2T3を圧力室4内のインクとその圧力室4との共振周期の半値=AL以下に設定するとともに、その第1期間Txの中間点から上記第2収縮パルスA5の中間点までの第2期間Tyを上記共振周期以下に設定する。上記共振周期は、圧力室4の構造およびインクの特性などによって決まるもので、ヘルムホルツ共振周期と称される。Tx≦AL、Ty=Tx/2T4T5/2、Ty≦2AL上記第2駆動部12は、インクの非吐出時、図11に示すように、圧力室4内のインクがノズル6から吐出されない程度に圧力室4の容積を拡張するための拡張パルスB1、圧力室4の容積を上記拡張パルスB1による拡張から上記定常状態に戻すためのグラウンド電位パルス休止B2、圧力室4内のインクがノズル6から吐出されない程度に圧力室4の容積を収縮するための収縮パルスB3、および圧力室4の容積を上記収縮パルスB3による収縮から上記定常状態に戻すためのグラウンド電位パルス休止B4が順に含まれる波形の電圧を、上記アクチュエータに対する駆動電圧として出力する。上記拡張パルスB1の時間幅はT11μsである。グラウンド電位B2の時間幅はT12μsである。収縮パルスB3の時間幅はT13μsである。また、上記第2駆動部12は、インクの非吐出時、図11に示すように、上記拡張パルスB1の中間点から上記収縮パルスB3の中間点までの第3期間Tzを、上記ヘルムホルツ共振周期=2AL以下に設定する。上記拡張パルスB1の電位は、例えば負極性の16Vであり、インク吐出用の拡張パルスA1の電位=28Vより低い。電位が低いことにより、圧力室4内のインクおよびノズル6におけるメニスカスが吐出されない程度に微振動する。上記収縮パルスB3の電位は、拡張パルスB1の電位と反対の極性、例えば正極性の16Vであり、インク吐出用の第1および第2収縮パルスA3,A5=28Vの電位より低い。電位が低いことにより、圧力室4内のインクおよびノズル6におけるメニスカスが吐出されない程度に微振動する。なお、拡張パルスB1の電位を正極性とし、収縮パルスB3の電位を負極性としてもよい。上記補正部13は、上記設定した第1期間Tx、第2期間Ty、および第3期間Tzを、温度センサ9の検知温度に応じて補正する。次に、インクジェットヘッド1の動作を説明する。駆動ユニット10は、インクの吐出に際し、拡張パルスA1、グラウンド電位A2、第1収縮パルスA3、グラウンド電位A4、第2収縮パルスA5、およびグラウンド電位A6が順に含まれる波形の駆動電圧を出力する。このとき、圧力室4内のインクに、図3に示す振動が生じる。すなわち、圧力室4内のインクの振動は、拡張パルスA1のタイミングで一方向に振れ、次のグラウンド電位A2および第1収縮パルスA3のタイミングで他方向に振れ、続くグラウンド電位A4および第2収縮パルスA5のタイミングで再び一方向および他方向にそれぞれ振れてから収束する。図4は、ヘルムホルツ共振周期が例えば4.8μsであって、かつ駆動ユニット10から出力される駆動電圧が拡張パルスA1およびグラウンド電位A2のみの波形である場合に、圧力室4内のインクにどのような振動が生じるかを実験により確かめた結果である。図5のA1A2は、図4の駆動電圧を使用した場合の拡張パルスA1の時間幅T1とインクの吐出速度との関係を、実験により確かめた結果である。すなわち、圧力室4内のインクの振動は、拡張パルスA1のタイミングで一方向に振れ、次のグラウンド電位A2および第1収縮パルスA3のタイミングで他方に振れ、そのまま収束せずに残留している。インクの吐出速度は、拡張パルスA1の時間幅T1がヘルムホルツ共振周期の半値の2.4μs近傍である場合に、最高となる。拡張パルスA1の時間幅T1が1.8μs以下になると、インクの吐出が不可能となる。インクの吐出を可能とするための拡張パルスA1の時間幅T1の許容域は、図6に示すように、2.4μs~1.9μsの範囲である。図7は、ヘルムホルツ共振周期の半値が例えば2.4μsであって、かつ駆動ユニット10から出力される駆動電圧が拡張パルスA1、グラウンド電位A2、第1収縮パルスA3,グラウンド電位A4の波形であって、かつ拡張パルスA1の開始から第1収縮パルスA3の終了までの第1期間Tx=T1T2T3がヘルムホルツ共振周期の半値以下であって、かつグラウンド電位A2の時間幅T2が0.2μsである場合に、圧力室4内のインクにどのような振動が生じるかを実験により確かめた結果である。図5のA1A2A3A4は、図7の駆動電圧を使用した場合の拡張パルスA1の時間幅T1とインクの吐出速度との関係を、実験により確かめた結果である。すなわち、圧力室4内のインクの振動は、拡張パルスA1のタイミング一方向に振れ、次のグラウンド電位A2および第1収縮パルスA3のタイミングで他方に大きく振れ、そのまま収束せずに残留する。インクの吐出速度は、拡張パルスA1の時間幅T1が2.2μs~1.2μsの範囲でほぼ一定である。拡張パルスA1の時間幅T1が1.1μs以下になると、インクの吐出が不可能となる。インクの吐出を可能とするための拡張パルスA1の時間幅T1の許容域は、図8に示すように、2.4μs~1.2μsの範囲である。つまり、拡張パルスA1にグラウンド電位A2、第1収縮パルスA3,グラウンド電位A4を加えることにより、拡張パルスA1の時間幅T1をより短縮することが可能となる。図9は、図7の駆動電圧を使用した場合のインクの振動を、図5の駆動電圧を使用した場合のインクの振動と対比して示している。すなわち、図7の駆動電圧を使用した場合のインクの振動は、図5の駆動電圧を使用した場合のインクの振動よりも、位相が進む。この位相の進み幅は、拡張パルスA1の時間幅T1が短いほど、大きい。要するに、アクチュエータに対する駆動電圧が、拡張パルスA1、グラウンド電位A2、第1収縮パルスA3,グラウンド電位A4を含む図7の波形であって、かつ拡張パルスA1の開始から第1収縮パルスA3の終了までの第1期間Tx=T1T2T3がヘルムホルツ共振周期の半値以下であれば、インクの振動の位相を進ませることができる。仮に、アクチュエータに対する駆動電圧が、拡張パルスA1、グラウンド電位A2、第1収縮パルスA3,グラウンド電位A4を含む図7の波形であっても、拡張パルスA1の開始から第1収縮パルスA3の終了までの第1期間Tx=T1T2T3がヘルムホルツ共振周期の半値より大きい場合は、インクの振動の位相は図5の駆動電圧の場合と変わらないか、もしくは位相が遅れる。図10は、図7の波形の駆動電圧にグラウンド電位A4、第2収縮パルスA5、およびグラウンド電位A6の波形を加えた場合のインクの振動を、図5の波形の駆動電圧に同じグラウンド電位A4、第2収縮パルスA5、およびグラウンド電位A6の波形を加えた場合のインクの振動と対比して示している。グラウンド電位A4、第2収縮パルスA5、およびグラウンド電位A6の波形は、インクの振動を抑制するいわゆるダンピング用である。上記したように、図7の波形の駆動電圧を使用すると、図5の波形の駆動電圧を使用する場合よりもインクの振動の位相が進むので、その位相の進み分だけ早い時点でダンピング作用を加えることができる。すなわち、図7の波形の駆動電圧にグラウンド電位A4、第2収縮パルスA5、およびグラウンド電位A6の波形を加えた場合のインクの振動は、図5の駆動電圧に同じグラウンド電位A4、第2収縮パルスA5、およびグラウンド電位A6の波形を加えた場合のインクの振動よりも、早期に収束する。図7の波形の駆動電圧にグラウンド電位A4、第2収縮パルスA5、およびグラウンド電位A6の波形を加えた駆動電圧は、すなわち図2の波形の駆動電圧に相当する。第2収縮パルスA5は、拡張パルスA1および第1収縮パルスA3によって発生するインクの振動を効率よく打消すように、最適なタイミングに決定する必要がある。この最適タイミングは、圧力室4の構造およびインクの特性などによって決定されるヘルムホルツ共振周期に左右される。この点を考慮し、図2に示すように、第1期間Tx=T1T2T3の中間点から第2収縮パルスA5の中間点までの第2期間Tyを、ヘルムホルツ共振周期以下に設定する。図2の波形の駆動電圧をアクチュエータに供給することにより、1つのインク滴20の吐出によって圧力室4内のインクに生じる振動を、次の1つのインク滴20の吐出前に、確実に収束できる。よって、インクの吐出に悪影響を与えることなく、インクの吐出速度を高めることができる。なお、気温などの影響でインクの温度が変化すると、それに伴ってヘルムホルツ共振周期が変動する。このヘルムホルツ共振周期の変動の影響を受けないよう、駆動ユニット10は、第1期間Txおよび第2期間Tyを温度センサ9の検知温度に応じて補正する。一方、駆動ユニット10は、インクの非吐出時、図11に示すように、圧力室4内のインクがノズル6から吐出されない程度に圧力室4の容積を拡張するための拡張パルスB1、圧力室4の容積を上記拡張パルスB1による拡張から上記定常状態に戻すためのグラウンド電位パルス休止B2、圧力室4内のインクがノズル6から吐出されない程度に圧力室4の容積を収縮するための収縮パルスB3、および圧力室4の容積を上記収縮パルスB3による収縮から上記定常状態に戻すためのグラウンド電位パルス休止B4が順に含まれる波形の駆動電圧を出力する。この駆動電圧がアクチュエータに供給されることにより、図12に示すように、圧力室4内のインクおよびノズル6におけるメニスカスが吐出されない程度に微振動する。この微振動により、圧力室4内のインクが攪拌される。この攪拌により、インクの粘度が不要に増大しない。インクの粘度が不要に増大しないので、インク吐出時の吐出効率が向上する。拡張パルスB1の時間幅T11は、ヘルムホルツ共振周期の半値の近傍であることが望ましいが、必ずしも一致する必要はない。収縮パルスB3は、拡張パルスB1によって発生するインクの微振動を効率よく打消すように、最適なタイミングに決定する必要がある。この最適タイミングは、圧力室4の構造およびインクの特性などによって決定されるヘルムホルツ共振周期に左右される。この点を考慮し、図11に示すように、拡張パルスB1の中間点から収縮パルスB3の中間点までの第3期間Tzを、ヘルムホルツ共振周期=2AL以下に設定する。Tz=T11/2T12T13/2、Tz≦2ALヘルムホルツ共振周期の半値が例えば2.4μsの場合に、拡張パルスB1の時間幅T11を2.3μsとし、かつ収縮パルスB3の時間幅T13を1.0μsとすると、グラウンド電位B2の時間幅T12は、3.15μsとなる。拡張パルスB1によって生じる微振動は、収縮パルスB3により、次のインク吐出が始まる前に、確実に収束する。よって、インクの吐出に悪影響を与えない。なお、図11の波形の駆動電圧を3回繰り返してアクチュエータに供給してもよい。この場合の駆動電圧と微振動との関係を図13に示す。気温などの影響でインクの温度が変化すると、それに伴ってヘルムホルツ共振周期が変動する。このヘルムホルツ共振周期の変動の影響を受けないよう、駆動ユニット10は、第3期間Tzを温度センサ9の検知温度に応じて補正する。上記実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、書き換え、変更を行うことができる。これら実施形態や変形は、発明の範囲は要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。"