ホッパから粉体の供給を受けるトラフを加振手段で振動させることにより、前記トラフの搬送面上にある粉体を所定の搬送方向に沿って移動させ前記トラフの下流端から落下させて供給先に供給する粉体供給装置であって、前記所定の搬送方向に交差する方向に沿って前記搬送面から起立する突状をなし、前記ホッパから供給され前記トラフの振動によって前記下流端に向かおうとする粉体の一部を塞き止める堰部と、前記堰部及び前記下流端を経由して当該下流端から落下する粉体に対して投光する発光部及び発光部から照射され粉体pwで反射した光を受光する光センサと、前記光センサの受光量に基づき前記下流端から落下した粉体の量を検出する流量検出部と、前記流量検出部による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、前記加振手段で加振する振動を制御する振動制御部とを具備することを特徴とする粉体供給装置。前記搬送面には、単一の粉体の通過を許容する溝幅に設定され且つ前記下流端から上流側に向かって延びる溝が、前記下流端に沿って複数配列して形成されており、前記溝によってガイドされる粉体の飛び出し方向が全ての溝で平面視同一方向を向くように設定されている請求項1に記載の粉体供給装置。前記搬送面の上流側から下流側に向かうにつれて粉体の搬送速度が速くなるように振動角度が設定されている請求項1又は2に記載の粉体供給装置。前記ホッパ及び前記トラフを少なくとも収める収容容器を備え、前記収容容器内は、真空環境又は不活性ガスを充填した減圧環境に設定されている請求項1~3のいずれかに記載の粉体供給装置。前記粉体又は前記搬送面を帯電させる帯電手段を設けている請求項1~4のいずれかに記載の粉体供給装置。しかしながら、上記のような粉体の供給量を重量変化で推量する重量測定方式では、例えば毎分数グラムといった微量を供給しようとする場合に、ホッパや搬送路供給パイプ、加振手段を含めた数十キログラムに対し、グラム単位やミリグラム単位の重量変化を測定しなければならず、測定精度を確保することが困難である。そこで、このような単位時間あたりに微量の粉体を供給するために、供給先への粉体の流量を検出する新たな測定方式を備えた粉体供給装置が求められる。本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、単位時間あたりの粉体の供給量が微量であっても、供給先への粉体の流量の測定精度を確保して適切な供給を可能とした粉体供給装置を提供することである。本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。すなわち、本発明に係る粉体供給装置は、ホッパから粉体の供給を受けるトラフを加振手段で振動させることにより、前記トラフの搬送面上にある粉体を所定の搬送方向に沿って移動させ前記トラフの下流端から落下させて供給先に供給する粉体供給装置であって、前記所定の搬送方向に交差する方向に沿って前記搬送面から起立する突状をなし、前記ホッパから供給され前記トラフの振動によって前記下流端に向かおうとする粉体の一部を塞き止める堰部と、前記堰部及び前記下流端を経由して当該下流端から落下する粉体に対して投光する発光部及び発光部から照射され粉体で反射した光を受光する光センサと、前記光センサの受光量に基づき前記下流端から落下した粉体の量を検出する流量検出部と、前記流量検出部による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、前記加振手段で加振する振動を制御する振動制御部とを具備することを特徴とする。このように、振動により搬送される粉体をトラフの下流端から落下させ、落下する粉体に発光部が投光してその反射光を光センサで検出し、反射光量に基づき落下した粉体の量を検出するので、粉体の流量が微量であっても、ホッパ及びトラフを含めて重量で測定する場合に比べて粉体の流量を精度良く検出することが可能となる。一方、トラフの搬送面上に盛られた粉体が固まった状態で下流端から落下すると、発光部の投光領域に進入する複数の粉体が投光方向に重合してしまい、光センサによる正確な供給量検出ができないと考えられるものの、本発明では、トラフの搬送面から起立する突状をなす堰部によって、下流端に向かおうとする複数の粉体が鉛直方向に重合しない状態で堰部の頂部を乗り越えるので、トラフの下流端から落下して発光部の投光領域に進入する粉体が投光方向に重合することが低減又は無くなり、光センサによる流量検出精度を確保できる。したがって、このような流量検出部による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、トラフに加振する振動を制御するので、目標流量との誤差を低減又は無くした粉体供給装置を提供することが可能となる。発光部の投光領域に進入する複数の粉体が投光方向に重合することを低減して、適切な流量検出を可能とするためには、前記搬送面には、単一の粉体の通過を許容する溝幅に設定され且つ前記下流端から上流側に向かって延びる溝が、前記下流端に沿って複数配列して形成されており、前記溝によってガイドされる粉体の飛び出し方向が全ての溝で平面視同一方向を向くように設定されていることが好ましい。適切な流量検出を追求するためには、前記搬送面の上流側から下流側に向かうにつれて粉体の搬送速度が速くなるように振動角度が設定されていることが望ましい。空気中の酸素によって酸化してしまう粉体をその酸化を防止しつつ供給するためには、前記ホッパ及び前記トラフを少なくとも収める収容容器を備え、前記収容容器内は、真空環境又は不活性ガスを充填した減圧環境に設定されていることが効果的である。粉体の損傷やトラフの摩耗を低減するためには、前記粉体又は前記搬送面を帯電させる帯電手段を設けていることが望ましい。本発明は、以上説明したように、トラフの下流端から落下させた粉体に発光部が投光してその反射光を光センサで検出し、反射光量に基づき落下した粉体の量を検出するので、粉体の流量が微量であっても、ホッパ及びトラフを含めて重量で測定する場合に比べて粉体の流量を精度良く検出することが可能となる。また、トラフの搬送面から起立する突状をなす堰部によって、下流端に向かおうとする複数の粉体が鉛直方向に重合しない状態で堰部の頂部を乗り越えるので、トラフの先端から落下して発光部の投光領域に進入する粉体が投光方向に重合することが抑制又は無くなり、光センサによる的確な流量検出精度を確保できる。したがって、このような流量検出部による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、トラフに加振する振動を制御するので、目標流量との誤差を低減又は無くした粉体供給装置を提供することが可能となる。以下、本発明の一実施形態に係る粉体供給装置を、図面を参照して説明する。粉体供給装置は、図1及び図2に示すように、供給対象物としての粉体pwを貯蔵するためのホッパ1と、ホッパ1から粉体pwの供給を受けて粉体pwを搬送するためのトラフ2と、トラフ2に振動を加振する加振手段としての電磁駆動部3とを備え、加振手段たる電磁駆動部3でトラフ2を振動させることにより、トラフ2の搬送面20上にある粉体pwを所定の搬送方向Xに沿って移動させ、トラフ2の下流端2aから落下させて供給先に供給する装置である。また、単位時間あたりに所望量の粉体pwを供給すべく、トラフ2の下流端2aから供給先に向けて落下する粉体pwの量流量を検出する流量検出手段4と、流量検出手段4での検出結果に基づき電磁駆動部3加振手段で加振する振動を制御する振動制御部5とを有する。さらに、例えば粉体pwが空気中の酸素によって酸化してしまう場合には、その粉体pwの酸化を防止するために、少なくともホッパ1及びトラフ2を収容する収容容器6を備えている。収容容器6は、図1に示すように、軸方向が水平方向となる横筒部60に、軸方向が鉛直方向となる縦筒部61を合わせた形状をなし、トラフ2を含むリニアフィーダLFとホッパ1とを主として収納する。収容容器6は、収容容器6内の収納空間SPを真空環境又は減圧環境にするための真空ポンプ62と、収容容器6内を窒素などの不活性ガスでパージするためのパージユニット63とを接続可能に構成されている。収容容器6内は、窒素パージを行い且つ減圧して、窒素などの不活性ガスを充填した減圧環境に設定されている。その真空度としての圧力は、8~10torrトールに設定されている。トラフ2は、図2aに示すように、平面視ほぼ矩形状をなすと共に、その長手方向に直交する横断面が上向きコの字状をなしており、その長手方向を所定の搬送方向Xとして、所定の搬送方向Xに沿って粉体pwを搬送するための搬送面20が設定されている。図2b及び図2cに示すように、搬送面20には、単一の粉体pwの通過を許容する溝幅w1に設定され且つ下流端2aから上流側X2に向かって延びる溝2121が、下流端2aに沿って複数配列して形成されている。溝21の横断面はU字状をなしており、溝幅w1は、粉体pwの径をw0としたときに、w0<w1<2×w0の条件を満たすように設定されている。本実施形態では、径w0が100~500μmの粉体pwを搬送対象としている。また、全ての溝2121を所定の搬送方向Xに沿って延びるように形成することで、溝21を構成する溝側壁21a21aによってガイドさせる粉体pwの飛び出し方向が全ての溝2121で平面視同一方向を向くように設定してある。なお、図1に示すように、トラフ2の下流端2aの下方には、落下した粉体pwを受けて供給先に案内するための漏斗状をなす回収部7が設けられている。さらに、図1に示すように、トラフ2を可動に支持する支持手段8が設けられている。支持手段8は、トラフ2の底部が取り付けられる可動ブロック81と、上述した収容容器6の底部に防振ゴム8585及びベース86を介して固定される固定ブロック82と、可動ブロック81と固定ブロック82とを連結し上流側X2及び下流側X1に対をなす板バネ8384とを有する。加振手段たる電磁駆動部3は、可動ブロック81と固定ブロック82との間に構成され、両ブロック8182間に電磁吸引力を作用させてトラフ2に振動を発生させるものである。具体的には、図示しないコイルを鉄心に巻回して構成される電磁石が固定ブロック82に取り付けられ、図示しないコイルに対して通電することにより、トラフ2に振動を加振し、この結果、図1に示すように、トラフ2の搬送面20上にある粉体pwが所定の搬送方向Xに向かって移動することになる。また、対をなす板バネ8384のうち上流側X2にある板バネ83は、その板面が鉛直方向に沿って起立した姿勢で取り付けられているのに対し、下流側X1にある板バネ84は、その板面が鉛直方向に交差するように若干寝かせた姿勢で取り付けられている。すなわち、両板バネ8384の姿勢を異ならせることにより、図3に模式的に示すように、トラフ2の上流側X2の振動方向と下流側X1の振動方向とを異ならせて、搬送面20の上流側X2から下流側X1に向かうにつれて粉体pwの搬送速度が速くなるように振動角度θが設定されている。なお、粉体pwの種類やトラフ2の材質などに応じて搬送速度が最も速くなる振動角度θが定まり、この最速の振動角度θよりも角度が小さくなるほど搬送速度が低下し、逆に、この最速の振動角度θよりも角度が大きくなるほど搬送速度が低下する。本実施形態では、上流側X2の振動角度に対し下流側X1の振動角度が最速の振動角度に近づくように、上流側X2から下流側X1に向かうにつれ振動角度を大きくなるように設定している。図1及び図2aに示すように、ホッパ1は、上部に補給口1a、下部に供給口1bを有する筒状をなし、下部が下方に向かうにつれて次第に狭まった漏斗状に形成されており、漏斗部の最下端にある供給口1bが所定の搬送方向Xに直交する方向に沿って長い長孔に形成されて、供給口1bと上記トラフ2の搬送面20とが近接する位置にホッパ1が収容容器6に固定具6Xを介して固定されている。ホッパ1に貯留される粉体pwは自重によりトラフ2に供給される。流量検出手段4は、下流端2aから落下する粉体pwに対して投光するLED等の発光部40と、発光部40から照射され粉体pwで反射した光を受光する光センサ41と、光センサ41の受光量に基づき下流端2aから落下した粉体pwの量を検出する流量検出部42とを有している。発光部40及び光センサ41は、トラフ2の下方に位置するようにブラケット43を介してベース86に取り付けられている。発光部40による光の投光方向は、斜め上を向くように設定されており、投光先には、光の反射を防止するための反射防止板44が鉛直方向に延びて上記回収部7を足場として設けられている。なお、反射防止板44は、回収部7の役割も担っている。また、粉体が、搬送面20の下流端2aのいずれの部位から落下しても、光を照射可能とするために、複数の発光部40を搬送方向Xに直交する方向に沿って複数配置している。これに合わせて、図5に示すように、光センサ41も搬送方向Xに直交する方向トラフの幅方向に沿って複数配置している。複数の光センサ4141は、受光漏れを無くすべく、各々の受光面41aの一部を鉛直方向に重合させて、トラフ2の幅方向に沿って千鳥状に配置している。上記図1に示すように、トラフ2の振動によって粉体pwを下流端2aから落下させ、落下する粉体pwに発光部40が投光してその反射光を光センサ41で検出し、反射光量に基づき落下した粉体pwの量流量を検出するように構成した場合には、トラフ2の搬送面20上に盛られた粉体pwが固まった状態で下流端2aから落下すると、発光部40の投光領域に進入する複数の粉体pwが発光部40の投光方向に重合してしまい、光センサ41による正確な供給量検出ができなくなることが考えられる。そこで、本実施形態では、図1及び図2aに示すように、搬送面20のうちホッパ1から粉体pwが供給される部位の下流側X1には、所定の搬送方向Xに直交する方向に沿って搬送面20から起立する突状をなし、ホッパ1から供給されトラフ2の振動によって下流端2aに向かおうとする粉体pwの一部を塞き止める堰部9が設けられている。このような堰部9を設けると、トラフ2の振動によって下流端2aに向かおうとする複数の粉体pwが鉛直方向Yに重合しない状態で突状の頂部を乗り越えて、下流端2aに移動し、トラフ2の下流端2aから落下して発光部40の投光領域に進入する粉体pwが投光方向に重合することを低減又は無くしている。図1に示すように、流量検出部42は、収容容器6外に設けられた、図示しないCPU、メモリ及びインターフェイスを具備するマイクロコンピュータユニットにより構成される制御部Coコントローラともいうで実現されるもので、図4に示すように、或る圧力下において粉体pwの供給量と光センサ41による受光量とを関連付けた受光情報45を予めメモリに記憶しておき、光センサ41で検出された単位時間あたりの受光量と上記受光情報45とに基づき下流端2aから落下した粉体pwの量を検出する。なお、粉体pwの供給量と受光量との関係はほぼリニアな関係であるが、圧力に応じてその勾配が変化する。図1に戻り、振動制御部5は、制御部Coで実現されるもので、流量検出部42による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、加振手段たる電磁駆動部3で加振する振動を制御する。具体的には、目標となる光量になるように、振動周波数を一定に維持した状態で電磁駆動部3に印加する電圧を制御する。例えば、検出した光量が目標光量に足りない場合には、印加する電圧を大きくする。すると、それに伴い電流も大きくなるので、トラフ2に加振される振動の振幅が大きくなり、粉体pwの搬送速度が増し、その結果、落下する粉体pwの量が増えて、検出される光量が目標光量に向けて増加することになる。逆に、検出した光量が目標光量を上回る場合には、印加する電圧を小さくする。すると、それに伴い電流も小さくなるので、トラフ2に加振される振動の振幅が小さくなり、粉体pwの搬送速度が減り、その結果、落下する粉体の量が減少して、検出される光量が目標光量に向けて減少することになる。なお、本実施形態では、電圧制御方式を採用しているが、検出した光量に応じて電流値を変化させる電流制御方式や、検出した光量に応じて周波数を変化させる周波数制御方式を採用してもよい。上記構成において、粉体pwの搬送を行っているときに、減圧環境から通常の大気状態1気圧に戻すと、一時的に大量の粉体pwが供給されることが分かった。これは、減圧環境では、収容容器6内の水分が少ない状態すなわち湿度が低い状態であるので、粉体pwが静電気を帯電して、堰部9から下流端2aに至るまでの搬送面20の全面に粉体pwが付着した状態になり、付着した粉体pwの上を別の粉体pwが移動する状態になるものと考えられる。そして、減圧環境から通常の大気状態に戻すと、収容容器6内の湿度が戻り、粉体pwの帯電が失われて、付着が解除されて、付着していた大量の粉体pwが搬送されるものと考えられる。すなわち、本実施形態では、収容容器6内を真空環境又は減圧環境にする真空ポンプ等の手段が、粉体pwを帯電させる帯電手段6Xを兼ねており、これによって、振動によって移動する粉体pwが直接トラフに接触しなくなり、搬送される粉体pwがトラフ2によって削られることやトラフ2自体が摩耗することを抑制するものと考えられる。勿論、トラフ2自体に電圧印加することにより搬送面20を帯電させる帯電手段を設け、搬送面20の帯電により粉体pwを付着するように構成してもよい。以上のように、本実施形態に係る粉体供給装置は、ホッパ1から粉体pwの供給を受けるトラフ2を加振手段たる電磁駆動部3で振動させることにより、トラフ2の搬送面20上にある粉体pwを所定の搬送方向Xに沿って移動させトラフ2の下流端2aから落下させて供給先に供給する粉体供給装置であって、所定の搬送方向Xに直交する方向に沿って搬送面20から起立する突状をなし、ホッパ1から供給されトラフ2の振動によって下流端2aに向かおうとする粉体pwの一部を塞き止める堰部9と、堰部9及び下流端2aを経由して下流端2aから落下する粉体pwに対して投光する発光部40及び発光部40から照射され粉体pwで反射した光を受光する光センサ41と、光センサ41の受光量に基づき下流端2aから落下した粉体pwの量を検出する流量検出部42と、流量検出部42による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体pwの搬送速度を得られるように、加振手段たる電磁駆動部3で加振する振動を制御する振動制御部5とを具備している。このように、振動により搬送される粉体pwをトラフ2の下流端2aから落下させ、落下する粉体pwに発光部40が投光してその反射光を光センサ41で検出し、反射光量に基づき落下した粉体pwの量を検出するので、粉体pwの流量が微量であっても、ホッパ1及びトラフ2を含めて重量で測定する場合に比べて粉体pwの流量を精度良く検出することが可能となる。一方、トラフ2の搬送面20上に盛られた粉体pwが固まった状態で下流端2aから落下すると、発光部40の投光領域に進入する複数の粉体pwが投光方向に重合してしまい、光センサ41による正確な供給量検出ができないと考えられるものの、本実施形態では、トラフ2の搬送面20から起立する突状をなす堰部9によって、下流端2aに向かおうとする複数の粉体pwが鉛直方向に重合しない状態で堰部9の頂部を乗り越えるので、トラフ2の下流端2aから落下して発光部40の投光領域に進入する粉体pwが投光方向に重合することが抑制又は無くなり、光センサ41による流量検出精度を確保できる。したがって、このような流量検出部42による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体pwの搬送速度を得られるように、トラフ2に加振する振動を制御するので、目標流量との誤差を低減又は無くした粉体供給装置を提供することが可能となる。特に、本実施形態では、搬送面20には、単一の粉体pwの通過を許容する溝幅w1に設定され且つ下流端2aから上流側X2に向かって延びる溝21が、下流端2aに沿って複数配列して形成されており、溝21を構成する溝側壁21a21aによってガイドされる粉体pwの飛び出し方向が全ての溝2121で平面視同一方向を向くように設定されているので、下流端2aに沿って形成された複数の溝2121によって複数の粉体pwが平面視同一方向に向かって飛び出し、発光部40の投光領域に進入するので、複数の粉体pwが投光方向に重合することを低減して、適切な流量検出が可能となる。さらに、本実施形態では、搬送面20の上流側X2から下流側X1に向かうにつれて粉体pwの搬送速度が速くなるように振動角度が設定されているので、複数の粉体pwが搬送方向に沿って前後に連なっている場合でも、進み側にある粉体pwの速度が遅れ側にある粉体pwの速度よりも速くなって、粉体pw同士が前後に分離するので、これら粉体pwが投光領域に進入したときに投光方向に重合することを低減して、より適切な流量検出が可能となる。さらにまた、本実施形態では、ホッパ1及びトラフ2を少なくとも収める収容容器6を備え、収容容器6内は、不活性ガスを充填した減圧環境に設定されているので、空気中の酸素によって酸化してしまう粉体pwをその酸化を防止しつつ供給することが可能となる。その他、真空環境又は減圧環境では、容器内の水分が低減すなわち湿度が下がり、粉体が静電気を帯びてトラフ2の搬送面20に付着しやすくなる。本実施形態では、粉体pwを帯電させる帯電手段6Xとして、収容容器6内を真空環境又は減圧環境にする真空ポンプ62等の手段が設けられているので、粉体pwが帯電して搬送面20が粉体pwで覆われると、振動によって移動する粉体pwがトラフ2に直接接触しなくなり、搬送される粉体pwがトラフ2によって削られて損傷することやトラフ2自体が摩耗することを抑制することが可能となる。以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。例えば、本実施形態では、堰部9は、所定の搬送方向Xに直交する方向に沿って設けられているが、搬送方向Xに交差する方向に沿って設けられていてもよい。また、本実施形形態では、溝21は、堰部9と下流端2aとの間の途中部位から下流端2aまで搬送方向Xに沿って形成されているが、堰部9から下流端2aまで搬送方向Xに沿って形成してもよい。また、本実施形態では、溝21は、横断面U字状に形成されているが、上向きコの字状や他の形状に形成されていてもよい。また、溝21は、搬送方向Xに沿って形成されているが、これに限定されるものではない。なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。