"溶剤種A、B及びCの混合物を含む、有機金属前駆物質の液体供給化学蒸着のための溶剤組成物であって、該混合物の全容量に対して、Aが約3~約7容量部であり、Bが約2~約6容量部であり、Cが約3容量部まで存在しているA:B:Cの比率を有し、AがC6-C8アルカンであり、BがC8-C12アルカンであり、A及びBが互いに異なっており、Cがグライムを主成分とする溶剤及びポリアミンからなる群から選択される溶剤組成物。前記溶剤種Cが、グライム、ジグライム、及びテトラグライムからなる群から選択されたグライムを主成分とする溶剤である請求項1に記載の溶剤組成物。前記溶剤種Cが、N,N,N’,N’-テトラメチルエチレンジアミン、N,N,N’,N’’,N’’-ペンタメチルジエチレントリアミン、及びN,N,N’,N’’,N’’’,N’’’-ヘキサメチルトリエチレンテトラミンからなる群から選択されたポリアミンである請求項1に記載の溶剤組成物。溶剤組成物の全容量に対して、オクタンが約3~約7容量部であり、デカンが約2~約6容量部であり、ポリアミンが約3容量部まで存在しているオクタン:デカン:ポリアミンの比率のオクタン、デカン、及びポリアミンを含む溶剤組成物。A:B:Cがおよそ5:4:1の容量比である請求項1に記載の溶剤組成物。前記溶剤種Cが、N,N,N’,N’’,N’’-ペンタメチルジエチレントリアミンを含む請求項1に記載の溶剤組成物。前記溶剤種Cが、N,N,N’,N’’,N’’’,N’’’-ヘキサメチルトリエチレンテトラミンを含む請求項1に記載の溶剤組成物。前記溶剤種Cが、N,N,N’,N’-テトラメチルエチレンジアミンを含む請求項1に記載の溶剤組成物。それぞれのおよその容量比が5:4:1のオクタン、デカン及びポリアミンを含む、有機金属前駆物質の液体供給化学蒸着のためのアルカン/ポリアミン溶剤組成物。溶剤種A、B及びCの混合物を含む溶剤組成物中に有機金属前駆物質を含む、液体供給化学蒸着のための前駆物質組成物であって、該混合物の全容量に対して、Aが約3~約7容量部であり、Bが約2~約6容量部であり、Cが約3容量部まで存在しているA:B:Cの比率を有し、AがC6-C8アルカンであり、BがC8-C12アルカンであり、A及びBが互いに異なっており、Cがグライムを主成分とする溶剤及びポリアミンからなる群から選択される前駆物質。前記溶剤種Cが、グライム、ジグライム、及びテトラグライムからなる群から選択されたグライムを主成分とする溶剤である請求項10に記載の前駆物質組成物。前記溶剤種Cが、N,N,N’,N’-テトラメチルエチレンジアミン、N,N,N’,N’’,N’’-ペンタメチルジエチレントリアミン、及びN,N,N’,N’’,N’’’,N’’’-ヘキサメチルトリエチレンテトラミンからなる群から選択されたポリアミンである請求項10に記載の前駆物質組成物。i有機金属前駆物質及びiiオクタン、デカン及びポリアミンの溶剤混合物であって、該溶剤混合物の全容量に対して、オクタンが約3~約7容量部であり、デカンが約2~約6容量部であり、ポリアミンが約3容量部まで存在しているオクタン:デカン:ポリアミンの比率を有する溶剤組成物、を含んでなる前駆物質組成物。A:B:Cがおよそ5:4:1の容量比である請求項10に記載の前駆物質組成物。前記溶剤種Cが、N,N,N’,N’’,N’’-ペンタメチルジエチレントリアミンを含む請求項10に記載の前駆物質組成物。前記溶剤種Cが、N,N,N’,N’’,N’’’,N’’’-ヘキサメチルトリエチレンテトラミンを含む請求項10に記載の前駆物質組成物。前記溶剤種Cが、N,N,N’,N’-テトラメチルエチレンジアミンである請求項10に記載の前駆物質組成物。前記有機金属前駆物質が、金属β-ジケトネート前駆物質を含む請求項10に記載の前駆物質組成物。前記有機金属前駆物質がII族の金属を含む請求項10に記載の前駆物質組成物。前記有機金属前駆物質が、Bi、Ca、Cu、Sr、Ba、Pb、Na、Fe、Al、Sc、Y、Ti、Nb、Ta、W、Mo及びランタニド系列の金属からなる群から選択された金属を含む請求項10に記載の前駆物質組成物。前記有機金属前駆物質が、ストロンチウム、ビスマス及びタンタルのβ-ジケトネート錯体を含む請求項10に記載の前駆物質組成物。前記有機金属前駆物質が、Srthd2ペンタメチルジエチレントリアミン、Bithd3及びTaOiPr4thdを含み、thd=2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナトである請求項10に記載の前駆物質組成物。前記有機金属前駆物質がβ-ジケトナト金属錯体を含み、そのβ-ジケトナト配位子が、2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナト、1,1,1-トリフルオロ-2,4-ペンタンジオナト、1,1,1,5,5,5-ヘキサフルオロ-2,4-ペンタンジオナト、6,6,7,7,8,8,8-ヘプタフルオロ-2,2-ジメチル-3,5-オクタンジオナト、2,2,7-トリメチル-3,5-オクタンジオナト、1,1,1,5,5,6,6,7,7,7-デカフルオロ-2,4-ヘプタンジオナト、及び1,1,1-トリフルオロ-6-メチル-2,4-ヘプタンジオナトからなる群から選択される請求項10に記載の前駆物質組成物。このような液体供給CVD法において、多種多様な溶剤が前駆物質種の溶解または懸濁のために使用されているが、前駆物質を含有する液体をその表面に放出して溶剤及び前駆物質種を揮発させる加熱要素上でのフラッシュ蒸発など、いろいろな技術によって溶液または懸濁液が気化させられる。多くの場合、いろいろな前駆物質を使用してCVD法において多成分蒸着フィルムを形成する場合、操作が容易で工程のシステムが簡単なので、それぞれの前駆物質種のために単一の溶剤媒体を利用し、それによって、異なった溶剤媒体が異なった前駆物質種のために利用されるなら生じる恐れのある何れの有害な溶剤-溶剤の相互作用も回避することが望ましい。更に、このような不安定性が全組成物を液体供給のために不適当にするため、多数の種のために用いられるとき溶剤組成物が前駆物質または金属含有分子と相互に作用して不安定な化学溶液を形成しないことが望ましい。従って、β-ジケトネート配位子を有する有機金属組成物を含むような、CVD前駆物質に対して広い効用を有する新規な溶剤組成物を提供することが、本発明の目的である。本発明の他の目的及び利点は以下の開示内容及び添付したクレームからより完全に明らかになろう。本発明は、有機金属前駆物質の液体供給化学蒸着のための溶剤組成物に関する。本発明の組成物は、溶剤種A、B及びCの混合物を含み、前記混合物の全容量に対して、Aが約3~約7容量部であり、Bが約2~約6容量部であり、Cが約3容量部まで存在しているA:B:Cの比率を有し、AがC6-C8アルカンであり、BがC8-C12アルカンであり、A及びBが互いに異なっており、Cがグライムを主成分とする溶剤グライム、ジグライム、及びテトラグライムなどまたはポリアミンからなる群から選択される。特定の及び好ましい態様において、前記溶剤組成物は、およそ5:4:1の容量比のオクタン、デカン及びポリアミンを含むことができる。前記溶剤組成物中の組成物の成分Cとして有用な好ましいポリアミン種は、例えば、N,N,N’,N’-テトラメチルエチレンジアミン、N,N,N’,N’’,N’’-ペンタメチルジエチレントリアミン、N,N,N’,N’’,N’’’,N’’’-ヘキサメチルトリエチレンテトラミン、または他の好適なポリアミン成分など、何れの好適なポリアミンであってもよい。別の態様において、本発明は、溶剤種A、B及びCの混合物を含む溶剤混合物中に少なくとも1つの有機金属前駆物質成分を含む、液体供給化学蒸着のための前駆物質組成物に関するものであり、前記混合物の全容量に対して、Aが約3~約7容量部であり、Bが約2~約6容量部であり、Cが約3容量部まで存在しているA:B:Cの比率を有し、AがC6-C8アルカンであり、BがC8-C12アルカンであり、A及びBが互いに異なっており、Cがグライムを主成分とする溶剤グライム、ジグライム、及びテトラグライムなどまたはポリアミンである。このような組成物中の有機金属前駆物質は、例えば、1つ以上の金属β-ジケトネート及び/またはその付加物を含んでもよい。本発明の他の態様、特徴及び実施態様は、以下の開示内容及び添付したクレームからより完全に明らかになろう。本発明の詳細な説明、及びその好ましい実施態様以下の米国特許出願の開示内容を、全て、本願明細書に引用したものとする。1997年11月20日に出願された米国特許出願第08/975,372号で現在は米国特許第5,916,359号、1995年6月7日に出願された米国特許出願第08/484,654号、1995年3月31日に出願された米国特許出願08/414,504号で現在は米国特許第5,820,664号、1997年10月30日に出願された米国特許出願第08/960,915号で現在は米国特許第5,859,274号、及び1997年11月20日に出願された米国特許出願第08/976,087号。本発明は、例えば、II族の金属の、金属β-ジケトネート前駆物質などの有機金属前駆物質の液体供給化学蒸着法のために有利に用いられる溶剤組成物の発見に基づいている。このような溶剤組成物は、ストロンチウム、ビスマス、タンタルなどの金属のβ-ジケトネートを主成分とする錯体など、このようなβ-ジケトネート前駆物質から金属を析出させるのに非常に有利であることが見いだされた。本発明の組成物は、溶剤種A、B及びCの混合物を含み、前記混合物の全容量に対して、Aが溶液ABCの約3~約7容量部であり、Bが溶液の約2~約6容量部であり、Cが0より多く約3容量部まで存在しているA:B:Cの比率を有し、AがC6-C8アルカンであり、BがC8-C12アルカンであり、A及びBが互いに異なっており、Cがグライムを主成分とする溶剤グライム、ジグライム、及びテトラグライムなどまたはポリアミンである。本発明による非常に好ましい組成物は、溶剤種Aとしてオクタン、溶剤種Bとしてデカン、並びにポリアミンまたはテトラグライムのCを、それぞれ溶剤種A、B及びCの5:4:1の比率で含有する。本発明の特に好ましい態様において、オクタン:デカン:ポリアミンの5:4:1の溶剤組成物が、SrBi2Ta2O9の液体供給化学蒸着のためにストロンチウム、ビスマス及びタンタルβ-ジケトネート前駆物質のための溶剤種として利用される。本発明の組成物は、β-ジケトネート前駆物質の低圧揮発を可能にし、気化及び化学蒸着法において良好な移動及び最小の残留物をもたらす。A:B:C溶剤組成物中のCがポリアミンであるとき、溶剤組成物のポリアミン成分は何れの好適なポリアミンであってもよい。例には、N,N,N’,N’-テトラメチルエチレンジアミン、N,N,N’,N’’,N’’-ペンタメチルジエチレントリアミン、及びN,N,N’,N’’,N’’’,N’’’-ヘキサメチルトリエチレンテトラミンなどがある。本発明の溶剤組成物と共に使用することができる金属β-ジケトネート前駆物質には、その金属成分が、例えばストロンチウム、ビスマス、タンタル、ニオビウム、鉛、カルシウム、バリウム、鉄、アルミニウム、スカンジウム、イットリウム、チタン、タングステン、モリブデン及び、Ce、La、Pr、Ho、Eu、Yb等のランタニド金属など、何れの好適な金属であってもよいβ-ジケトナト組成物などがある。そのβ-ジケトネート配位子は、例えば、2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナト、1,1,1-トリフルオロ-2,4-ペンタンジオナト、1,1,1,5,5,5-ヘキサフルオロ-2,4-ペンタンジオナト、6,6,7,7,8,8,8-ヘプタフルオロ-2,2-ジメチル-3,5-オクタンジオナト、2,2,7-トリメチル-3,5-オクタンジオナト、1,1,1,5,5,6,6,7,7,7-デカフルオロ-2,4-ヘプタンジオナト、及び1,1,1-トリフルオロ-6-メチル-2,4-ヘプタンジオナトからなる群から選択されたβ-ジケトネート配位子など、何れの好適な種であってもよい。本発明の溶剤組成物は、無水単環式トリス2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナトビスマス及びポリアミン付加Srthd2などのビスマス前駆物質を用いる、ビスマスを含有する薄いフィルムの析出のために特に有用である。このような金属β-ジケトネート化合物は、本発明の溶剤組成物中で容易に使用され、SrBi2Ta2O9など、すぐれたビスマスを含有する薄いフィルムを作製することができる。本発明の特徴及び利点は、以下の非制限的な例に対してより完全に示され、特に指示しない限り、すべての部及びパーセントは重量基準である。5:4:1のオクタン:デカン:ペンタメチルジエチレントリアミンの溶剤混合物中、7原子百分率のSrthd2ペンタメチルジエチレントリアミン、55原子百分率のBithd3及び38原子百分率のTaOiPr4thdthd=2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナトであるを含有する溶液を、液体供給化学蒸着装置に計量しながら供給し、そこで前記の前駆物質溶液を190°Cでフラッシュ気化させ、次に400sccmのアルゴン中でCVD室に運んだ。前記の前駆物質の蒸気を1100sccmの酸素と混合し、次に、更に100sccmのアルゴンと混合して配合物を7:3の酸素:アルゴン比とし、シャワーヘッドディスパーサーを介して1トールに維持されている化学蒸着室に通す。分解は385°Cの表面温度に加熱された基材上で行われる。前記の基材は、白金で覆われたSiO2TEOS構造体の0.5ミクロンのラインである。基材上に生じたSBTフィルムは高度に適合し、最大厚さの90より大きい最小SBT厚さを示し、マイクロ電子二次加工ための装置必要条件と合致している。析出の低温度及び非晶質の特徴は蒸着フィルムの適合したコーティングに寄与する。これらの条件下で、前記の組成物は0.5未満で相対的に変化する使用されたX線螢光法の精度である。図1は、180°Cで前駆物質溶液を気化し、テトラヒドロフラン:イソプロパノール:ポリアミンの8:2:1の溶剤組成物中、ストロンチウム、ビスマス及びタンタルのためのβ-ジケトネート前駆物質を利用する、ストロンチウムビスマスタンタレートの析出のために使用される液体供給装置について、分単位の時間の関数としてのトール単位の上流の圧力のプロットである。このような溶剤組成物は、金属β-ジケトネート及びそれらの付加物などの前駆物質のために従来技術でこれまで用いられた溶剤組成物の代表例である。図2は、本発明の溶剤組成物、5:4:1のオクタン:デカン:ペンタメチルジエチレントリアミン中の有機金属前駆物質の気化のために使用された液体供給装置の上流の圧力を示す。このような前駆物質溶液の前駆物質の成分は、Srthd2ペンタメチルジエチレントリアミン、Bithd3及びTaOiPr4thdであり、式中、thd=2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナトであり、前記のビスマス試薬は無水単環式の形である。図2のプロットは、180°Cの前駆物質溶液の気化について分単位の時間の関数としてトール単位の上流の圧力を示す。図示のように、上流の圧力は、プロセスのタイムフレームの全体にわたり非常に均一であり、このような溶剤混合物中の前記の前駆物質の十分な気化及び移動特性、並びにそれに相伴なう低量の残留物かなりの量の残留物は、上流の圧力を著しく増大させる目詰まりを示すを示す。図1の曲線に示された圧力の急な増大は、液体供給装置の目詰まりを引き起こす前駆物質の分解を示す。このような目詰まりの結果として、前記の液体供給装置は、前記の前駆物質を所望の量及び所望の速度で下流の化学蒸着法室に供給することができず、それによって全体的なプロセスの効率を下げる。従って、図1及び2のプロットは、本発明の溶剤組成物のすぐれた溶剤効率を示す。"