"マトリックス中に強化材が含まれてなる複合セラミックスであって、前記強化材の単位体積当たりの含有率が、前記複合セラミックス表面および表面近傍で最小値をとり、続いて表面から深さ方向に対して漸増して、その後一定値に達することを特徴とする複合セラミックス。強化材の含有率が、深さ方向に対して直線状、階段状、漸近曲線状のいずれか1つの形状で漸増することを特徴とする請求項1に記載の複合セラミックス。マトリックスが炭化ケイ素とシリコンと炭素からなり、強化材が炭素繊維であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の複合セラミックス。マトリックス中に、シリコンと銅からなる合金がさらに含まれていることを特徴とする請求項3に記載の複合セラミックス。強化材の表面に被膜用材料で被膜を形成した後集合させることで第一の強化材の集合体を得る工程と、前記第一の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤を混合して基材部用スラリーを調製する工程と、前記被膜用材料を溶剤で希釈した希釈液で前記強化材の表面に被膜を形成した後に集合させることで第二の強化材の集合体を得る工程と、前記第二の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤を混合して中間層用スラリーを調製する工程と、強化材の表面に被膜を形成せずに集合させることで第三の強化材の集合体を得る工程と、前記第三の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤を混合して表層用スラリーを調製する工程と、前記基材部用スラリーと前記中間層用スラリーと前記表層用スラリーをこの順に鋳型に投入する工程と、引き続き成形、固化させた後、脱型することで成形体を得る工程と、前記成形体を還元雰囲気下にて1000°C以上の温度で焼成して焼成体を得る焼成工程と、前記焼成体を減圧下にて溶融金属を含浸させる金属含浸工程と、からなることを特徴とする複合セラミックスの製造方法。被膜用材料1重量に対する溶剤の重量比を20以上70以下とすることを特徴とするも請求項5に記載の複合セラミックスの製造方法。基材部用スラリーと中間層用スラリーと表層用スラリーのそれぞれに対して、さらに少なくとも1種類の補助材料を添加することを特徴とする、請求項5または6に記載の複合セラミックスの製造方法。強化材は炭素繊維、マトリックス原料は炭化ケイ素、被覆用材料は炭素材料、溶剤は水または有機溶液、含浸金属はシリコン単体またはシリコンと銅からなる合金のいずれかであることを特徴とする、請求項5から7のいずれかに記載の複合セラミックスの製造方法。ところで、複合セラミックスとして、基材部の表面に1層以上の層を形成する場合、複合セラミックス製造時において、層特性の違いによる変形や亀裂の発生がしばしば問題になる。特許文献1の技術は、製品として表層の摩擦係数を変更した素材を適用しているが、このような部材の製造時においては、素材の持つ熱膨張係数の差により、亀裂が多発するおそれがある。特許文献2の技術は、厚さ方向に対して、繊維量を変更することで熱膨張率が少しずつ異なる層を形成し、熱膨張差により発生する応力を緩和し、亀裂発生を抑制できるものである。しかし、これも、複合材料製造時の亀裂発生を抑制するには不十分である。特に炭化ケイ素と強化繊維を含む複合セラミックスにおいて、この特許文献2の技術のみでは、必ずしも十分に対応できているとはいえなかった。本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、製造時に亀裂の発生が抑制された、表層と基材内部の物性が異なる複合セラミックスとその製造方法を提供する。本発明に係る複合セラミックスは、マトリックス中に強化材が含まれてなる複合セラミックスであって、前記強化材の単位体積当たりの含有率が、前記複合セラミックス表面および表面近傍で最小値をとり、続いて表面から深さ方向に対して漸増して、その後一定値に達することを特徴とする。このような構成をとることで、使用目的に応じて最適に設計された複合セラミックスとすることができる。また、本発明に係る複合セラミックスは、強化材の含有率が、深さ方向に対して直線状、階段状、漸近曲線状のいずれか1つの形状で漸増することが望ましい。本発明に係る複合セラミックスは、マトリックスが炭化ケイ素とシリコンと炭素からなり、強化材が炭素繊維であること、あるいは、マトリックス中に、シリコンと銅からなる合金がさらに含まれていることがより望ましい。また、本発明に係る複合セラミックスの製造方法は、強化材の表面に被膜用材料で被膜を形成した後集合させることで第一の強化材の集合体を得る工程と、前記第一の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤を混合して基材部用スラリーを調製する工程と、前記被膜用材料を溶剤で希釈した希釈液で前記強化材の表面に被膜を形成した後に集合させることで第二の強化材の集合体を得る工程と、前記第二の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤を混合して中間層用スラリーを調製する工程と、強化材の表面に被膜を形成せずに集合させることで第三の強化材の集合体を得る工程と、前記第三の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤を混合して表層用スラリーを調製する工程と、前記基材部用スラリーと前記中間層用スラリーと前記表層用スラリーをこの順に鋳型に投入する工程と、引き続き成形、固化させた後、脱型することで成形体を得る工程と、前記成形体を還元雰囲気下にて1000°C以上の温度で焼成して焼成体を得る焼成工程と、前記焼成体を減圧下にて溶融金属を含浸させる金属含浸工程と、からなることを特徴とする。本発明に係る複合セラミックスの製造方法は、被膜用材料1重量に対する溶剤の重量比を20以上70以下とすることが望ましい。本発明に係る複合セラミックスの製造方法は、基材部用スラリーと中間層用スラリーと表層用スラリーのそれぞれに対して、さらに少なくとも1種類の充填材、補強材、架橋剤、粘度調整材などの、補助材料を添加することが望ましい。本発明に係る複合セラミックスの製造方法は、強化材は炭素繊維、マトリックス原料は炭化ケイ素、被覆用材料は炭素材料、溶剤は水または有機溶液、含浸金属はシリコン単体またはシリコンと銅からなる合金のいずれかであることが望ましい。本発明によれば、製造時に亀裂の発生が抑制された表層と基材内部の物性が異なる複合セラミックスとすることが可能となる。また本発明によれば、セラミックスの製造工程に必要な焼成工程において、焼成収縮率に大きく寄与する強化材、好適には繊維の含有率が、セラミックス内部と外部で異なる事がないので、焼成収縮に差が生じにくい複合セラミックスを製造することが可能となる。以下、本発明に係る複合セラミックスついて詳細に説明する。図1は、図1は、本発明に係る複合セラミックスの、強化材の分布を模式的に示した図と、単位体積あたりの強化材含有率を重量比で表したときのプロファイル形状を、断面方向から模式的に示した図である。本発明に係る複合セラミックス1は、マトリックス3中に強化材4が含まれてなり、強化材4の単位体積当たりの含有率が、複合セラミックス1の表面2および表面2近傍で最小値をとり、続いて表面から深さ方向に対して漸増して、その後一定値に達する構造をとる。マトリックス3には、広く既存のセラミックス材料を用いることができ、例えば、非酸化性物質である炭素、シリコン、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化チタン、窒化ホウ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、あるいはZrB2が挙げられる。また、これらを2つ以上組み合わせた構造でもよい。好適には、後述する本発明に係る製造方法が適用できる炭化ケイ素である。強化材4は、単一または複数材料による単一構造のセラミックスの課題である、低い機械強度あるいは破壊靱性の向上を目的として、各種の材料をさまざまな形態で、マトリックス3に含有させている。一例として、材料としては、炭素、炭化ケイ素、窒化ケイ素などの無機材料、形状としては、糸状、針状、粒状、繊維集合体、織物状、シート状などを単体あるいは組み合わせてなる形状が挙げられる。好適には、短繊維と呼ばれる繊維状の炭素が多数集合して出来ている繊維集合体が挙げられる。そして、強化材4の単位体積当たりの含有率が、複合セラミックス1の表面2および表面2近傍で最小値をとり、続いて表面から深さ方向に対して漸増して、その後一定値に達する構造を、図3を用いて説明する。複合セラミックス1の表面2とは、例えばブレーキディスク板の場合、ブレーキパッドとの接触面になる一主面を指す。また、この一主面は、片面のみでも両面でもよい。強化材4の単位体積当たりの含有率とは、マトリックス3と強化材4との存在比に相当するもので、複合セラミックス1の単位体積当たりに含まれている強化材4の割合を、強化材4の重量比から算出して表す方法が、好適といえる。炭化ケイ素に炭素繊維の短繊維を強化材として添加して作製した、直径150mmで厚みが10mmの円盤状のブレーキディスクの場合を一例として、含有率の評価方法を説明する。このブレーキディスクを直径方向に切断し、中央部と外周20mmの2箇所から幅2cmのサンプルを採取する。このサンプル断面の成形時の原料積層厚みの比から求められるブレーキディスクの表層原料積層部分、中間層原料積層部分、基材原料積層部分の厚みから1.5mmを超えない範囲で切断分離を行う。それぞれのサンプルを解砕し、粉末状にした後、酸素気流中燃焼赤外線吸収法による固体中炭素分析装置を用いて炭素量を測定し、炭素量を測定する。得られた重量比より炭素の体積を換算し、それぞれの体積当たりの炭素含有率を算出する。この発明においては、製造された複合セラミックスは、図5に示すように、製造過程における表層原料積層部分、中間原料積層部分、及び基材原料積層部分などの層が比較的区分しやすい領域として存在している。そして、この各層においては、炭素含有率は概ね均一な層として得られる。それ故、上記大きさのサンプル採取及び計測によって充分本発明の構成要件に適合するか否かを確認することが可能である。図5の例では、基材部11は炭素分70~35、中間層12は30~15、表層13は10~0の範囲である。繊維がマクロな大きさを持って分散する複合セラミックスの製造上、この値は一定の幅を持ち、かつその幅を数の範囲で制御することが困難である。本発明においても、含有率は複合セラミックスの製造時に制御されていればよく、完成した複合セラミックスでは、目視で観察し判別できる程度で差し支えない。なお、強化材4の単位体積当たりの含有率は、重量換算では、通常5重量45重量以下が好ましいとされる。この場合、少なすぎると強化材の機能が発揮されず、多すぎるとマトリックスのもつ特性を維持できないので、いずれも好ましくない。図2は、複合セラミックス1の断面方向から見た場合の、縦軸が表面から厚さ方向への位置、横軸が強化材4の単位体積当たりの含有率を重量比で表した値を、直線あるいは曲線で表現したものである。複合セラミックス1の表面2および表面2近傍で最小値をとる、とは、複合セラミックス1の厚さ方向でみたとき、表面より深い位置のほうが強化材4の単位体積当たりの含有率が高いことを表している。従って、表面が高く、厚さ方向に向かって、一旦下がり、再び上昇する形態や、厚さ方向に向かって漸減する形態は含まれない。ここで、表面2近傍とは、表面2から一定の厚さ方向の領域では、強化材4の単位体積当たりの含有率が一定の値を取ることを示すものである。実際には、ごく表層のみ最小値をとるように設計することは困難だからである。一例として、強化材4の単位体積当たりの含有率が、表面から10μm以上200μmまでの深さまでは、ほぼ一定値である形態が好ましい。続いて表面から深さ方向に対して漸増するという形態は、いくつか考えられるが、図2に示すように、強化材4の含有率が、深さ方向に対して直線状、階段状、漸近曲線状のいずれか1つの形状で漸増する形態が好ましい。これらは、セラミックスで形成するのが比較的容易であるためである。また、強化材4の単位体積当たりの含有率が常に増加する必要はなく、図2のaや図2のcのように、深さ方向に対して階段状で漸増してもよい。さらには、図2のcように多段形状にすると、段階的に組成が変化するので、いわゆる、緩衝層としての作用が発現できるので、好ましい。その後一定値に達する構造をとる、というのは、複合セラミックス1の厚さ方向に十分深い領域は、図3の基材部11に相当する箇所であることを表すものである。ここは、複合セラミックス1の大部分を占める領域で、基本的に一定の組成を持つことが好ましいからである。本発明に係る複合セラミックス1は、マトリックス3が炭化ケイ素とシリコンと炭素からなり、強化材2が炭素繊維であると、より好ましい。好適な例としては、マトリックス3は、炭化ケイ素が主成分であり、炭化ケイ素より少ない割合でシリコンと炭素が含まれている形態である。あるいは、マトリックス3が、炭化ケイ素が主成分であり、炭化ケイ素より少ない割合でシリコンと炭素を含み、シリコンと銅からなる合金をさらに含む、という形態も挙げられる。この場合には、合金の有する特性を活かした複合セラミックス1とすることができ、さらに好ましいものである。炭化ケイ素に炭素繊維を強化材として含む複合セラミックスは、高い耐熱性と耐摩耗性、破壊靭性に優れているセラミックスである。このような優れた特性をさらに向上させるのが、本発明の構成である。特に、ブレーキディスクのように、こすりあう面では、短時間で高温になり、表面の摩擦による摩耗が生じ、高温下での酸化が進行し、表面が劣化するという技術的課題に、好適に対応できる構造である。一例として、表層13は、炭素繊維を含まない炭化ケイ素の層とすることで、耐酸化性が高く、硬いことで摩擦にも強いという特性を与える。そして、表面から厚さ方向に強化材である炭素繊維が増加する中間層12を有することで、表層部13と基材部11の炭素繊維含有率の熱膨張率の差で生じる応力や応力に起因する亀裂の発生を抑制できる。また、表層13で発生した亀裂は、中間層12の炭素繊維含有率が表層13より大きいことで、基材部11に進展しにくいという効果も得られる。このことにより、耐酸化性と合わせて、高い破壊エネルギーを持つ基材部11への亀裂進展による物性低下を防ぐ効果を持たせることも可能である。図5に、本発明に係る複合セラミックスの一部を、断面方向から光学顕微鏡写真で撮影した写真を示す。黒色に見える部分が、強化材としての炭素繊維の断面である。ここで、製造時には、基材部11、中間層12、表層13と区分できる領域は、複合セラミックス1にした後は、その境界を明確に特定することは困難である。従って、図5でも、顕微鏡観察で把握できる程度の区分を、図5の右側に示しているにとどめている。次に、本発明に係る複合セラミックスの、好ましい一形態に係る製造方法について、図3と図4を参照して説明する。本発明に係る複合セラミックスの製造方法は、まず強化材の表面に被膜用材料で被膜を形成した後集合させることで第一の強化材の集合体を得る工程と、前記第一の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤とを混合して基材用スラリーを調製する工程を有する。第一の強化材の集合体は、図3における基材部11に含まれる強化材として調合される。強化材の表面に被膜用材料で被膜を形成する目的のひとつとして、後工程の金属含浸工程で、強化材4と含浸金属との反応を抑制させ、強化材4の減少を抑えることにある。強化材4は、複合セラミックス1に適用できる形態を広く用いることが出来るが、好適には、炭素繊維が好ましく、中でも、短繊維と呼ばれる平均長さ0.1mmから20mmの範囲、平均径0.1μmから2mmの範囲のものが、より好ましいといえる。マトリックス3中に分散しやすく、被覆が精度よくかつ容易に行うことが出来、強化材4としての機能にも優れているからである。次に、前記第一の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤とを混合して基材部用スラリーを調製する。マトリックス原料は、製造の容易さや金属含浸効果が顕著な点から、炭化ケイ素が好ましい。溶剤は、スラリーの作製に用いられる公知のものが適用される。一例として、水、エタノール、ブタノール、プロパノール、およびこれらの水溶液が挙げられ、好適には、廉価で扱いやすいエタノールが用いられる。ここで、少なくとも1種類の原料には、複合セラミックス1の製造において、必要に応じて付加機能目的で適時添加される、さまざまな形態の炭素材料が適用できる。一例として、金属含浸時の金属と反応する炭素材料、強度向上として用いる架橋重合性樹脂やその架橋剤が挙げられる。なお、少なくとも金属含浸時の金属と反応する材料は必要ではあるが、その他の付加機能目的で追加される材料は、必ずしも必須ではなく、適時取捨選択して用いてよい。次に、被膜用材料を有機溶剤で希釈した希釈液で前記強化材の表面に被膜を形成した後に、これらを集合させることで、第二の強化材の集合体を得る。第二の強化材の集合体と第一の強化材との違いとして、強化材4の表面に形成される被覆膜の形成度合いが挙げられる。さらに、強化材4の表面に形成される被覆膜の形成度合いを、被膜用材料を溶剤で希釈するときの希釈割合で調整することが可能であることを見出した。ここで、被膜用材料は、前述のように、強化材と、含浸金属との反応を抑制するために、強化材表面に被膜として形成して用いる。本発明で用いるのに適切な被膜用材料としては、熱硬化性樹脂をあげることができる。そして、強化材表面に付与する際には、この樹脂材料と、硬化剤及び溶媒を混合して、強化材表面に付与して行う。その濃度は、下記のように、強化材表面に付与する被膜用材料の厚さに影響を及ぼすものである。本発明の好適な例として、強化材4にピッチ系と呼ばれる炭素繊維を、被覆用材料として、熱硬化性樹脂、とりわけフェノール樹脂、フラン樹脂、あるいは天然樹脂等の炭素材料を、含浸用金属としてシリコン、チタン、またはチタン酸化物、チタンホウ化物を、それぞれ適用できる。中でも、扱いやすさと炭化ケイ素との相性の良さの点で、シリコンがより好適である。ビッチ系炭素繊維は、シリコン溶融含浸時、容易にシリコンと反応して炭化ケイ素になる。よって本来の強化材としての効果がなくなってしまう。ここで、被覆用材料として用いる樹脂材料の炭素材料は、それ自身がシリコンと反応して炭化ケイ素の膜を形成し、これが炭素繊維とシリコンの間に存在することで、ビッチ系炭素繊維のケイ素への反応ケイ化を抑制する効果をもつ。さらに、被覆用材料として用いる上記熱硬化性樹脂などの炭素材料を、希釈用の溶剤で希釈して用いると、炭素繊維表面への被覆厚さが希釈の割合に応じて変化することがわかった。炭素繊維表面への被覆厚さが厚いと、シリコン含浸時の炭素繊維のケイ化が、あまり進行せず、炭素繊維表面への被覆厚さが薄いと、シリコン含浸時の炭素繊維のケイ素化が相対的に早く進行する。このことから、被膜用材料を溶剤で希釈するときの希釈割合を調整すると、シリコン含浸後の炭素繊維のケイ化割合、言い換えると、炭素繊維としての残存量を制御することが可能である。また、本発明に係る複合セラミックスの製造方法は、被膜用材料1重量に対する溶剤の重量比を20以上70以下とすることが好ましい。被膜用材料1重量に対する溶剤の重量比が20未満では、中間層12に存在する炭素繊維が多すぎて、表層13との熱膨張率の差が大きく、亀裂発生等の不具合が出るおそれがあり、好ましくない。しかし、被膜用材料1重量に対する溶剤の重量比が70を越えると、今度は基材部11との熱膨張率の差が大きくなり、好ましくない。そして、この第二の強化材の集合体とマトリックス原料と溶剤を混合して中間層用スラリーを調製する。この工程は、基材用スラリーの作製と同様の内容にて行われる。さらに、強化材の表面に被膜を形成せずに集合させることで第三の強化材の集合体を得る工程と、前記第三の強化材の集合体とマトリックス原料を混合して表層11用スラリーを調製する。表層11に相当する層は、炭素繊維を0またはほとんど含まない形態が好ましい。特に、表層はブレーキを作製する場合に擦れあう面になるが、擦れあった際に高温になり、酸化が進行する。そのときに炭素繊維が多いと、炭素成分が容易に酸化してしまい、表層が脆くなるおそれがある。ただし、炭素繊維の含有率が0であることは必須でなく、数の残存、好ましくは5重量以下であれば差し支えない。なお、表層の繊維の残存が許容される場合に限り、第二の強化材の被膜を超えない範囲で、第三の強化材表面が被膜されていてもかまわない。そして、この第三の強化材の集合体とマトリックス原料と有機溶剤とを混合して表層用スラリーを調製する。この工程は、基材用スラリーの作製と同様の内容にて行われる。次に、基材部用スラリーと中間層用スラリーと表層用スラリーをこの順に鋳型に投入する工程と、引き続き成形、固化させた後、脱型することで成形体を得る工程を経る。成形体を得る工程は、広く公知の製法を適用できるが、好適な一例として、加圧成形またはキャスティングによって熱、化学反応、乾燥によりゲル化または硬化させた後に脱型する方法が挙げられる。次に、焼成工程として、前記成形体を還元雰囲気下にて1000°C以上の温度で焼成して焼成体を得る。成形体を得る工程も、公知の製法を適用できる。焼成は必要に応じて、焼成温度を変更した2段階焼成で行ってもよい。次に、金属含浸工程として前記焼成体を減圧下にて溶融金属を含浸させる。含浸用金属は、前述の通りシリコンが好ましい。含浸体を得る工程も、広く公知の製法を適用できる。また、溶融金属を含浸させる工程では、還元剤などを用いることで熱処理後に金属状態になるものであれば、各種の金属酸化物も問題なく使用できる。さらに、シリコン単体ではなく、シリコンと銅を合金として含浸してもよい。なお、銅以外の金属としては、鉄、アルミニウム、チタン、クロム、錫、アンチモン、銀、鉛が適用できる。そして、シリコン以外の金属は、前述の各金属を複数種類選択して添加することも可能である。なお、基材部用スラリーと中間層用スラリーと表層用スラリーのそれぞれに対して、さらに少なくとも1種類の補助材料を添加してもよい。補助材料の一例として、成形工程の補助としての架橋剤、基材部11への補強材としての長繊維、あるいは、粘度調整材等が挙げられる。本発明のもう一つの特徴は、図4に示すように、成型時および焼成時において、表層11、中間層12、基材部13の強化材4の複合セラミックス単位体積当たりの含有率を、いずれもほぼ同一に出来るという点である。このため、焼成後に各層の熱膨張率の差によるひずみや亀裂の発生がほとんどない。これは、あらかじめ強化材の含有率の異なる材料を積層させて焼成する方法と比べて、極めて優れているといえる。また、本発明の好適な一方法である、炭化ケイ素をマトリックス3、強化材4を炭素繊維、含浸金属をシリコンとした場合においては、焼成後、さらに含浸後においても、亀裂や歪み等の発生を低く抑えることができる。すなわち、複合セラミックスの製造過程における不具合も大幅に改善することが可能となる。以上のとおり、本発明によれば、製造時に亀裂の発生が抑制された、表層と基材内部の物性が異なる複合セラミックスとその製造方法を提供することが可能となる。以下、本発明の好ましい実施形態を実施例に基づき説明するが、本発明はこの実施例により限定されるものではない。実験1強化材として平均直径10μm、平均長さ6mmのピッチ系炭素繊維と、樹脂材料としてDIC社製レジンを準備する。次に、この炭素繊維が十分に浸る量の樹脂材料に対してこのピッチ系炭素繊維を浸漬し、そのまま1時間放置する。その後、炭素繊維を取り出し乾燥オーブンにて50°C×300分乾燥させる。このようにして、炭素繊維の集合体を得る。次に、この炭素繊維の集合体20重量部に対して、スタルク社製BF-15の炭化ケイ素粉末30重量部、エタノール15重量部と、平均粒径50nmのカーボンブラック10重量部、フェノール樹脂10重量部と、イミン系樹脂等の架橋重合性樹脂であるソルビトールポリグリシジルエーテル10重量部と、架橋剤であるポリエチレンイミン5重量部とを添加し、混合して基材部用スラリーを調製する。次に、強化材として、ピッチ系で平均直径10μm、平均長さ6mmの炭素繊維を準備する。また、樹脂材料重量部1に対してエタノール重量部1の割合で混合したレジン希釈液を作製する。次に、この炭素繊維が十分に浸る量のレジン希釈液にこのピッチ系炭素繊維を浸漬し、そのまま1時間放置する。その後は基材部スラリーと同様の工程を経て、中間層用スラリーを調製する。さらに、強化材として、ピッチ系で平均直径10μm、平均長さ6mmの炭素繊維を準備する。この炭素繊維に対しては樹脂材料の浸漬を行わず、その後は基材部用スラリーと同様の工程を経て、表層用スラリーを調製する。これら3つのスラリーを12時間放置することで脱泡後、基材部用スラリー、中間層用スラリー、表層用スラリーの順にSUS製の型に鋳込む。このとき、焼成体としたときに中間層12が1000μm厚さ、表層13が500μm厚さになるように、各スラリーの量を適時調整する。そして100N/cm2の加圧の条件下でゲル化または硬化させた後に、脱型して乾燥させることで成形体を得る。この成形体を、還元雰囲気下にて、1000°Cで、一次焼成する。そして更に、還元雰囲気下にて、2000°Cで二次焼成する焼成工程を行う。そして、10Paの減圧下で、1600°Cで、前記工程により得られた焼成体に溶融シリコンを含浸させるシリコン含浸工程を行う。最終的にはφ500mm,厚さ30mmの円盤形状の評価用サンプルを作製する。これを実施例1とする。比較例1として、中間層用スラリーを用いず、表層が500μm厚さになる量の表層用スラリーを調整する以外は、実施例1と同様に作製した評価用サンプルを得る。比較例2として、炭素繊維をまったく混合せず表層用スラリーを作製する以外は、実施例1と同様に作製した評価用サンプルを得る。作製した評価サンプルの評価方法は、JIS番号Z2343-1非破壊試験―浸透探傷試験―第1部:一般通則:浸透探傷試験方法及び浸透指示模様の分類に準拠した。評価結果を表1に示す。ここで、亀裂有無の評価は、評価用サンプル中心部断面を、幅5mm程度切り出し、光学顕微鏡10倍の視野下、肉眼で判断し、1つでも亀裂に該当するものがあれば、×とした。表1の結果より、実施例1では、焼成後、含浸後のいずれにおいても、亀裂発生がほぼ見られなかった。一方、比較例1では、含浸後に、基材部と表層の熱膨張率の差に起因する亀裂が、基材層11と中間層12と表層13の各層間に相当する領域、および表面に発生していた。また、比較例2では、焼成後に、基材部と表層の熱膨張率の差に起因する亀裂が、中間層12と表層13の各層間に相当する領域、および表面に発生していた。実験2中間層用スラリーの作製工程において、樹脂材料重量部1に対して混合するエタノール重量部の割合を、表2の内容で変化させた各種の、炭素繊維の集合体を作製する。この、炭素繊維の集合体を用いて、実施例1と同様にして、各種の評価用サンプルの作製と評価を実施した。評価結果も表2に示す。表2の結果より、エタノール重量部の割合が20重量から70重量の範囲では、亀裂の発生が見られなかったか、この範囲を外れると、比較例1,2よりは程度が小さいものの、若干の亀裂が発生する箇所が確認された。なお、総合評価における△は、本発明の効果が見られるものの、○と比べるとやや見劣りすることを表している。なお、実施例3~6は、エタノール重量部の割合が多いほど中間層の炭化ケイ素の比率が高いため、全体の強度は高くなる。反対にエタノール重量部の割合が低いほど中間層の繊維が残存しやすく全体破壊エネルギーは高くなる。すなわち、本発明の実施範囲内で、さらに目的に合わせて適当な条件を選ぶことが出来る。実験3焼成体としたときに中間層12が表3に示す厚さになるように、中間層用スラリーの量を適時調整し、それ以外の作製方法、評価方法は実施例1と同様にして、評価用サンプルの作製と評価を実施した。評価結果も表3に示す。なお、厚さは、炭素繊維、炭化ケイ素等の各種の成型用原料の、重量および充填かさより算出される成形時の厚みに対して、焼成後の評価サンプルの収縮率をかけた値を用いる。表3の結果より、中間層12の厚さが薄すぎると、成型時の厚さ均一性の確保に難がある傾向がみられる。一方、中間層12の厚さが厚すぎると、強度を確保している炭素繊維の比が小さい中間層が、製品全体に占める割合が相対的に大きくなるので、製品全体の破壊エネルギーが低下する傾向がみられる。いずれも、本発明の効果以外の好ましくない影響が懸念される。実施例1と、実施例9または実施例10とを比較すると、本発明の効果が得られている点では共通である。しかし、基材厚みを多く取れることと破壊エネルギーの点では、実施例9のほうがより好ましいといえる。一方、成形の容易さを考えるならば、中間層12の厚さが1000μm超である実施例10のほうが好ましいといえる。実験4中間層用スラリーの作製工程において、樹脂材料の希釈割合を変更した数種類の中間層用スラリーを積層することで、含浸後炭素繊維の含有率が階段状に変化した中間層領域を形成する。それ以外の作製方法と評価方法は実施例1と同様にして、実施例12の評価用サンプルを得た。また、得られた評価用サンプルから、3×4×40mmの試験片を切り出し、日本セラミックス協会規格JCRS-201シェブロンノッチ試験片の準静的3点曲げ破壊によるセラミック系複合材料の破壊エネルギー試験方法に準拠した破壊エネルギーの測定も行った。評価内容と結果を合わせて表4に示す。表4の結果から、実施例1と実施例12は、ともに亀裂の発生がない点では同等である。しかしながら、中間層12で炭素繊維が組成傾斜されている実施例9のほうが、表層13で発生した亀裂が、基材部11の亀裂発生誘発を抑制する効果が高く、実施例1と比べて、特に破壊エネルギーの点でより優れているといえる。"