"窒素酸化物を含む排ガスにアンモニア及び/または尿素を添加し脱硝触媒により処理し、次いでアンモニア分解触媒により処理し、更に亜酸化窒素分解触媒により処理することを特徴とする排ガス処理方法。当該アンモニア及び/または尿素の添加量は当該排ガス中の一酸化窒素及び二酸化窒素を窒素に分解することができる当量に対して1.0~2.0倍であることを特徴とする請求項1記載の排ガス処理方法。当該排ガス処理方法において、亜酸化窒素分解触媒入口の排ガス中に含まれる一酸化窒素及び二酸化窒素の合計の濃度が0.001容量以下である請求項1及び2記載の排ガス処理方法。当該排ガス処理方法において、亜酸化窒素分解触媒入口の排ガス中に含まれるアンモニアの濃度が0.001容量以下である請求項1~3記載の排ガス処理方法。当該亜酸化窒素分解触媒の活性成分が、コバルト、ニッケル及び鉄からなる群から選ばれる少なくとも1種類以上の元素またはその化合物であることを特徴とする請求項1~4の排ガス処理方法。当該亜酸化窒素分解触媒の助触媒成分が、アルカリ金属及びアルカリ土類金属の中から選ばれる少なくとも1種類以上の元素またはその化合物であることを特徴とする請求項1~5の排ガス処理方法。本発明は、排ガスに含まれる窒素酸化物である二酸化窒素以下NO2、一酸化窒素以下NO、N2Oを窒素、水及び酸素にまで分解する技術であり、特にN2Oを効率的に分解することを目的とするものである。本発明にかかる課題を解決するために、本発明者らは鋭意検討の結果、下記構成を見出し、発明を関係したものである。以下に発明は特定されるものである。窒素酸化物を含む排ガスにアンモニア及び/または尿素を添加し、NOxを脱硝触媒により処理し、次いでアンモニア分解触媒によりアンモニアを処理し、更にN2O分解触媒によりN2Oを処理することを特徴とする排ガス処理方法である。本発明を用いることで、通常の排ガス処理技術に比べ、排ガス中の窒素酸化物を高度に窒素、水に分解できるものである。本発明は、窒素酸化物を含む排ガスにアンモニア及び/または尿素を添加し脱硝触媒により処理し、次いでアンモニア分解触媒により処理し、更にN2O分解触媒により処理することを特徴とする排ガス処理方法である。以下に本発明を具体的に説明する。本発明は、3段階の工程により構成され、第1工程は脱硝触媒を用いてNOxを処理する工程であり、第2工程は工程1の下流側でアンモニア分解触媒によりアンモニアを処理する工程であり、第3工程は工程2の下流側でN2O分解触媒によりN2Oを処理する工程である。工程1本工程では排ガス中に含まれるNOxを低減することを目的とする。NOxとは、NO2、NOである。排ガス中に含まれる当該NOxの量は、0.001~5容量基準、以下ガス体について同じ、好ましくは0.005~2である。なお本発明にかかる技術を実施するに差し支えない量であれば他に成分が含まれていても問題はない。排ガスに含まれる他の成分としては、排出されるガスにより異なるが酸素、窒素、二酸化炭素、一酸化炭素、水、二酸化硫黄、炭化水素、有機化合物、アンモニア、ダストなどがある。また当該成分の中で、還元作用を有する成分、例えば一酸化炭素、炭化水素、アンモニアなどの還元物質が含まれていることが好ましい。排ガスに添加するガスとしてはアンモニア、尿素を用いることができる。当該アンモニア及び/または尿素の添加量は、NOxを窒素と水に分解できる当量に対して1.0~2.0倍、好ましくは1.0~1.5倍、より好ましくは1.0~1.2倍が望ましい。アンモニア及び/または尿素の添加量がNOxを窒素と水に分解できる当量に対して1.0倍未満だとNO2、NOが残存してしまう。アンモニア及び/または尿素の添加量がNOxを窒素と水に分解できる当量に対して2倍を超えると、工程2の後の排ガス中にアンモニアが残存してしまい、N2O分解触媒の性能に悪影響を与えてしまう。なおNOxを窒素と水に分解できる当量とは次のようになる。すなわち対象物質がNOの場合は、NO1モルに対してアンモニアは1モルであり、尿素は0.5モルとなる。また対象物質がNO2の場合は、NO21モルに対してアンモニアは2モルであり、尿素は1モルとなる。脱硝触媒はNOxを効率よく処理できるものであれば良いが、具体的にはモリブデン、バナジウム、タングステン、ニッケル、コバルト、鉄を活性成分として含むものであり、好ましくはモリブデン、バナジウム、タングステンから選ばれる1種以上の元素またはその化合物を活性成分として含むものである。また、上記活性成分をチタン、アルミニウム、ケイ素、ジルコニウムの酸化物や、これらの中から選ばれる2種以上の元素の複合酸化物からなる基材に担持させて用いる事もできる。脱硝触媒の調製法としては各種金属塩を用いた一般的な調製方法を用いる事ができ、例えば、含浸法、共沈法、混錬法、アルコキシド法などが用いられる。各触媒成分の出発原料としては、各元素の酸化物、水酸化物、無機塩、有機塩などが用いられる。具体的にはアンモニウム塩、シュウ酸塩、硫酸塩、硝酸塩、ハロゲン化物などが挙げられ、例えばチタン供給源としては、硫酸チタニル、四塩化チタン、テトライソプロピルチタネートなどが用いられ、ケイ素供給源としてはシリカゾル、水ガラス、四塩化ケイ素などを用いる事ができる。またバナジウム源としては、メタタングステンバナジン酸アンモニウムなどが用いられ、タングステン源としてはメタタングステン酸アンモニウム、パラタングステン酸アンモニウムなどが用いられ、モリブデン源としてはパラモリブデン酸アンモニウム、モリブデン酸などが用いられる。脱硝触媒は、押し出し成形、打錠成形、転動造粒などにより、サドル状、ペレット、球体、ハニカム状に成形して用いることができる。またサドル状、ペレット、球体、ハニカム状の一般的な基材に脱硝触媒の成分を被覆して用いる事もできる。排ガスの圧力損失を少なくするにはハニカム状が好ましい。工程2本工程では脱硝触媒の上流側で添加したアンモニア及び/または尿素から発生したアンモニアを分解する事を目的とする。また、排ガスに当初から含まれるアンモニアを分解対象とすることもできる。アンモニア分解触媒はアンモニアを窒素と水に分解することができるものであれば何れの組成であっても良いが、具体的には白金、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウム、マンガン、銅、銀、コバルト、鉄、ニッケルから選ばれる1種以上の元素またはその化合物を活性成分として含むものであり、好ましくは白金、パラジウム、ロジウム、イリジウム、コバルトから選ばれる1種以上の元素またはその化合物を活性成分として含むものである。また、上記活性成分をチタン、アルミニウム、ケイ素、ジルコニウムの酸化物や、これらの中から選ばれる2種以上の元素の複合酸化物からなる基材に担持させて用いる事もできる。さらに、第2活性成分として、モリブデン、バナジウム、タングステン、ニッケル、コバルト、鉄から選ばれる1種以上の元素またはその化合物を含む事が好ましい。当該アンモニア分解触媒の形状は、粉体、粒体、サドル状、ペレット、球体、ハニカム状に成形して用いることができる他、球体、サドル状、ハニカム状の触媒用基材に当該アンモニア分解触媒を被覆して用いることができる。排ガスの圧力損失を少なくするにはハニカム状が好ましい。アンモニア分解触媒の調製法としては各種金属塩を用いた一般的な調製方法を用いる事ができ、例えば、含浸法、共沈法、混錬法、アルコキシド法などが用いられる。各触媒成分の出発原料としては、各元素の酸化物、水酸化物、無機塩、有機塩などが用いられる。具体的にはアンモニウム塩、シュウ酸塩、硫酸塩、硝酸塩、ハロゲン化物などが挙げられる。例えば、チタン供給源としては、硫酸チタニル、四塩化チタン、テトライソプロピルチタネートなどが用いられ、ケイ素供給源としてはシリカゾル、水ガラス、四塩化ケイ素などを用いる事ができる。また白金源としては、ヘキサクロロ白金酸六水和物、ジアンミンジニトロ白金硝酸溶液、ヘキサアンミン白金クロライド溶液、テトラアンミン白金クロライド、テトラアンミン白金水酸塩溶液などが用いられ、パラジウム源としては、塩化パラジウム、硝酸パラジウム、硫酸パラジウム、ジアンミンジニトロパラジウム、テトラアンミンパラジウムクロライド、テトラアンミンパラジウム水酸塩溶液、酢酸パラジウムなどが用いられ、バナジウム源としては、メタタングステンバナジン酸アンモニウムなどが用いられ、タングステン源としてはメタタングステン酸アンモニウム、パラタングステン酸アンモニウムなどが用いられ、モリブデン源としてはパラモリブデン酸アンモニウム、モリブデン酸などが用いられる。アンモニア分解触媒は、押し出し成形、打錠成形、転動造粒などにより、サドル状、ペレット、球体、ハニカム状に成形して用いることができる。またサドル状、ペレット、球体、ハニカム状の一般的な基材にアンモニア分解触媒の成分を被覆して用いる事もできる。排ガスの圧力損失を少なくするにはハニカム状が好ましい。工程3本工程では工程1、工程2で処理できなかったN2Oを分解処理する事を目的とする。N2O分解触媒はN2Oを効率よく処理できるものであれ良いが、具体的にはコバルト、ニッケル及び鉄から選ばれる1種以上の元素またはその化合物を活性成分として含むものであり、より好ましくはコバルト、ニッケルから選ばれる1種以上の元素またはその化合物を活性成分として含むものである。また上記の活性成分と共に助触媒成分を含んでいることが好ましい。助触媒成分としてはアルカリ金属またはアルカリ土類金属の中から選ばれる少なくとも1種類以上の元素またはその化合物である。また、上記成分をチタン、アルミニウム、ケイ素、ジルコニウムの酸化物や、これらの中から選ばれる2種以上の元素の複合酸化物からなる基材に担持させて用いる事もできる。N2O分解触媒の形状は、粉体、粒体、サドル状、ペレット、球体、ハニカム状に成形して用いることができる他、球体、サドル状、ハニカム状の触媒用基材にN2O分解触媒を被覆して用いることができる。排ガスの圧力損失を少なくするにはハニカム状が好ましい。当該N2O分解触媒の調製法としては各種金属塩を用いた一般的な調製方法を用いる事ができ、例えば、含浸法、共沈法、混錬法、アルコキシド法などが用いられる。各触媒成分の出発原料としては、各元素の酸化物、水酸化物、無機塩、有機塩などが用いられる。具体的にはアンモニウム塩、シュウ酸塩、酢酸塩、硫酸塩、硝酸塩、ハロゲン化物などが挙げられる。例えばコバルト供給源は酸化コバルト、硝酸コバルト、硫酸コバルト、塩化コバルト、酢酸コバルト、水酸化コバルトなどが用いられる。N2O分解触媒は、押し出し成形、打錠成形、転動造粒などにより、サドル状、ペレット、球体、ハニカム状に成形して用いることができる。またサドル状、ペレット、球体、ハニカム状の一般的な基材にN2O分解触媒の成分を被覆して用いる事もできる。排ガスの圧力損失を少なくするにはハニカム状が好ましい。排ガスの温度は、100~650°C、好ましくは200~600°Cである。100°C未満であれば触媒の処理効率が低下し、650°Cを超える場合には触媒の劣化が促進され好ましくはないからである。処理に際して空間速度は1,000~1,000,000hr-1、好ましくは2,000~100,000hr-1である。当該N2O分解触媒は、排ガス中にNOxが共存すると性能が低下する事から、N2O分解触媒入口の排ガスに含まれるNOxの濃度は0.001以下、好ましくは0.0005以下、より好ましくは0.0001である事が望ましい。そのため工程1での排ガスの温度は、100~650°C、好ましくは200~600°Cであることが望ましい。100°C未満であれば触媒の処理効率が低下し、650°Cを超える場合には触媒の劣化が促進され好ましくはないからである。また工程1の脱硝反応における空間速度は1,000~100,000hr-1、好ましくは2,000~50,000hr-1、より好ましくは3,000~20,000hr-1が望ましい。空間速度が100,000hr-1を超える場合にはNOxを0.001以下まで除去するのが困難であり、空間速度が1,000hr-1未満であれば触媒性能は大きく変わらないが装置が大きくなって非効率だからである。また当該N2O分解触媒は排ガス中にアンモニアが共存すると性能が低下する事から、N2O分解触媒入口の排ガスに含まれるアンモニアの濃度は0.001以下、好ましくは0.0005以下、より好ましくは0.0001である事が望ましい。そのため工程2での排ガスの温度は、100~650°C、好ましくは200~600°Cであることが望ましい。100°C未満であれば触媒の処理効率が低下し、650°Cを超える場合には触媒の劣化が促進され好ましくはないからである。また工程2のアンモニア分解反応における空間速度は1,000~100,000hr-1、好ましくは2,000~50,000hr-1、より好ましくは3,000~20,000hr-1が望ましい。空間速度が100,000hr-1を超える場合にはアンモニアを0.001以下まで除去するのが困難であり、空間速度が1,000hr-1未満であれば触媒性能は大きく変わらないが装置が大きくなって非効率だからである。また排ガス中にNOx及びアンモニアが両方共存している場合は、どちらもそれぞれ濃度が0.001以下、好ましくは0.0005以下、より好ましくは0.0001である事が望ましい。本発明に係る各触媒同士の容量は、排ガス中の被処理成分により左右されるものであるが、通常、脱硝触媒/アンモニア分解触媒の容量比は0.1~10が好ましい。アンモニア分解触媒/N2O分解触媒との容量比は、0.1~10であることが好ましい。N2O分解触媒/脱硝触媒の容量比は、0.1~10であることが好ましい。以下に実施例により発明を詳細に説明するが本発明の効果を奏するものであれば以下の実施例に限定されるものではない。以下、実施例及び比較例に使用する触媒、各ガスの濃度測定法について記載する。各ガスの測定は各触媒の作用を考慮し、NOx及びアンモニアガスについてはN2O分解触媒入口で測定し、N2OについてはN2O分解触媒の出口で測定した。-脱硝触媒-<チタンケイ素複合酸化物粉体の調製>シリカゾルSiO2として30質量含有16kgと25質量アンモニア水270kgと水180Lを混合した液に、硫酸チタニルの硫酸溶液TiO2として70g/L、硫酸濃度285g/L500Lをよく攪拌しながら徐々に滴下し、沈澱を生成させた。このスラリーを熟成、ろ過、洗浄した後、150°Cで10時間乾燥した。これを500°Cで5時間焼成し、さらにハンマーミルを用いて粉砕し、チタンケイ素複合酸化物以下ではTi-Si複合酸化物と記すを得た。<バナジウムおよびタングステンの添加>メタバナジン酸アンモニウム2.0kg、シュウ酸2.6kg、モノエタノールアミン0.8kgを水3Lに混合溶解させ、均一溶液を調製した。このバナジウム含有溶液とパラタングステン酸アンモニウムの10質量メチルアミン水溶液WO3として400g/L2.8Lを成形助剤と適量の水とともに、先に調製したTi-Si複合酸化物粉体20kgに加え、ニーダーで混練した後、外形80mm角、長さ500mm、目開き2.9mm、肉厚0.4mmのハニカム状に押し出し成形した。その後、80°Cで乾燥した後、450°Cで3時間焼成し、触媒1を得た。触媒1の組成はTi-Si複合酸化物:V2O5:WO3=88:7:5質量比であった。-アンモニア分解触媒-<パラジウムバナジウムタングステンチタン-ケイ素複合酸化物の調製>先に調製した触媒1に硝酸パラジウム溶液を含浸し、80°Cで乾燥した後、400°Cで2時間焼成し、触媒2を得た。触媒2の組成はTi-Si複合酸化物:V2O5:WO3:Pd=87.6:7:5:0.4質量比であった。-N2O分解触媒-<CoCs酸化物の調製>市販の炭酸コバルトナカライテスク社製25gに硝酸セシウム0.47gを含む水溶液を加え、ホットスターラーで水分が十分に蒸発するまで100°Cで1時間攪拌加熱した。120°Cで2時間乾燥した後、400°Cで4時間の焼成を行って触媒を得たCs/Coモル比=0.01。-アンモニア濃度の測定法-ガス中のアンモニア濃度は以下のように算出した。0.5質量のホウ酸溶液を含む吸収瓶に一定量のガスを通気させてガス中に含まれるアンモニアをホウ酸溶液に吸収させ、吸収操作後のアンモニアを含むホウ酸水溶液を純水にて所定量に調節した後、東ソー製陽イオンクロマトグラフにて液中のアンモニウムイオンを定量することでアンモニア濃度を測定した。-NOx濃度の測定法-ガス中のNOx濃度は日本サーモエレクトロン製NOx計を用いて、化学発光法にて測定した。-N2O濃度の測定法-ガス中のN2O濃度はガスクロマトグラフ島津製作所製、GC-8A、カラム:porapakQにて測定した。実施例1反応管には入口側より脱硝触媒、アンモニア分解触媒、N2O分解触媒の順に充填した。反応ガスとして、NOxが0.05500ppm、N2Oが0.03300ppm、H2Oが10、O2が16、アンモニア還元剤が0.055550ppm、残りがN2であるものを用いた。常圧下、300°Cで反応ガスを触媒が充填された反応管に流通させて、評価試験を実施した。各反応におけるSVhr-1は以下の通りである。脱硝反応は5,000、アンモニア分解反応が7,500、N2O分解反応が10,000である。評価試験の結果、N2O分解触媒入口の排ガス中に含まれるNOxの濃度は0.000020.2ppm、アンモニアの濃度は0.000666.6ppmであった。またN2O分解触媒出口後のN2O濃度は0.0062162.1ppmであり、N2O除去率は79.3であった。比較例1反応管には入口側より脱硝触媒、N2O分解触媒の順に充填した。反応ガスとして、NOxが0.05500ppm、N2Oが0.03300ppm、H2Oが10、O2が16、アンモニア還元剤が0.055550ppm、残りがN2であるものを用いた。常圧下、300°Cで反応ガスを触媒が充填された反応管に流通させて、評価試験を実施した。各反応におけるSVhr-1は以下の通りである。脱硝反応は5,000、N2O分解反応は10,000である。評価試験の結果、N2O分解触媒入口の排ガス中に含まれるアンモニアの濃度は0.0032132.1ppmであった。またN2O分解触媒出口後のN2O濃度は0.0291291ppmであり、N2O除去率は3.0であった。"