"振動源側と支持側の一方に取り付けられる第1取付具と、振動源側と支持側の他方に取り付けられる第2取付具と、前記第1取付具と第2取付具との間に介設されたゴム状弾性体からなる防振基体と、前記防振基体が室壁の一部をなす液体が封入された主液室と、ゴム状弾性膜からなるダイヤフラムが室壁の一部をなす液体が封入された副液室と、前記主液室と副液室とを連結するオリフィス流路と、前記主液室と副液室とを仕切るとともに前記オリフィス流路が形成された仕切り体と、前記オリフィス流路の主液室側開口の開口方向に対して直交するように前記仕切り体に設けられたゴム状弾性体からなる弁部材と、を備え、前記弁部材は、外周部が前記仕切り体に液密に保持されるとともに、前記外周部よりも内側の可撓性膜部において、前記主液室側開口に対して主液室側に対向配置されて前記可撓性膜部の撓み変形により前記オリフィス流路での液体の流れを制限する弁部と、前記主液室側開口に対して重ならない位置に設けられて前記オリフィス流路を前記主液室側に連通させる連通穴とを備え、前記弁部が、前記可撓性膜部の撓み変形時に前記主液室側開口の周りに押し付けられて前記オリフィス流路での液体の流れを制限するとともに、当該押し付けられた状態でも前記仕切り体との間で液体の流れが確保されるよう形成されたことを特徴とする液封入式防振装置。前記弁部は、前記可撓性膜部の膜面から突出して前記主液室側開口を取り囲む筒状をなす筒状緩衝部を備え、前記筒状緩衝部は、前記可撓性膜部の撓み変形時に前記主液室側開口の周りに押し付けられて前記オリフィス流路での液体の流れを制限するとともに、当該押し付けられた状態でも前記仕切り体との間で液体の流れが確保されるように1又は複数の切欠部が設けられたことを特徴とする請求項1記載の液封入式防振装置。前記筒状緩衝部は、肉厚よりも突出高さが大きい筒状をなしていることを特徴とする請求項2記載の液封入式防振装置。前記筒状緩衝部は、前記可撓性膜部からの突出高さが当該筒状緩衝部の外側における前記可撓性膜部の肉厚よりも大きく設定されたことを特徴とする請求項3記載の液封入式防振装置。前記可撓性膜部には、前記筒状緩衝部の外側に当該筒状緩衝部よりも突出高さが高い突起が複数設けられたことを特徴とする請求項2~4のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記筒状緩衝部の内側の膜部分にリブが設けられたことを特徴とする請求項2~5のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記オリフィス流路が前記仕切り体の厚み方向に延びる流路部分を備え、該流路部分の一端が前記主液室に開口して前記主液室側開口となっていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記弁部材の主液室側に前記可撓性膜部の主液室側への撓み変形を規制する規制部材が設けられ、前記規制部材は、前記弁部に対向する位置に貫通穴が設けられるともに、該貫通穴の周りに複数の連通穴が設けられており、前記弁部材には、前記規制部材の前記貫通穴に対して重ならない位置における主液室側の膜面に、前記可撓性膜部の主液室側への撓み変形時に前記規制部材に押し付けられる緩衝突起が設けられたことを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記緩衝突起が、前記弁部の主液室側の膜面から突出して前記規制部材の前記貫通穴を取り囲む筒状をなしていることを特徴とする請求項8記載の液封入式防振装置。本発明は、上記の点に鑑み、キャビテーションの発生を抑制することができる液封入式防振装置を提供することを目的とする。本発明に係る液封入式防振装置は、振動源側と支持側の一方に取り付けられる第1取付具と、振動源側と支持側の他方に取り付けられる第2取付具と、前記第1取付具と第2取付具との間に介設されたゴム状弾性体からなる防振基体と、前記防振基体が室壁の一部をなす液体が封入された主液室と、ゴム状弾性膜からなるダイヤフラムが室壁の一部をなす液体が封入された副液室と、前記主液室と副液室とを連結するオリフィス流路と、前記主液室と副液室とを仕切るとともに前記オリフィス流路が形成された仕切り体と、前記オリフィス流路の主液室側開口の開口方向に対して直交するように前記仕切り体に設けられたゴム状弾性体からなる弁部材と、を備えたものである。前記弁部材は、外周部が前記仕切り体に液密に保持されるとともに、前記外周部よりも内側の可撓性膜部において、前記主液室側開口に対して主液室側に対向配置されて前記可撓性膜部の撓み変形により前記オリフィス流路での液体の流れを制限する弁部と、前記主液室側開口に対して重ならない位置に設けられて前記オリフィス流路を前記主液室側に連通させる連通穴とを備える。そして、前記弁部が、前記可撓性膜部の撓み変形時に前記主液室側開口の周りに押し付けられて前記オリフィス流路での液体の流れを制限するとともに、当該押し付けられた状態でも前記仕切り体との間で液体の流れが確保されるよう形成されている。本発明の好ましい態様において、前記弁部は、前記可撓性膜部の膜面から突出して前記主液室側開口を取り囲む筒状をなす筒状緩衝部を備え、前記筒状緩衝部は、前記可撓性膜部の撓み変形時に前記主液室側開口の周りに押し付けられて前記オリフィス流路での液体の流れを制限するとともに、当該押し付けられた状態でも前記仕切り体との間で液体の流れが確保されるように1又は複数の切欠部が設けられてもよい。この場合、前記筒状緩衝部は、肉厚よりも突出高さが大きい筒状をなすことが好ましい。また、前記筒状緩衝部は、前記可撓性膜部からの突出高さが当該筒状緩衝部の外側における前記可撓性膜部の肉厚よりも大きく設定されてもよい。また、前記可撓性膜部には、前記筒状緩衝部の外側に当該筒状緩衝部よりも突出高さが高い突起が複数設けられてもよい。また、前記筒状緩衝部の内側の膜部分にリブが設けられてもよい。他の好ましい態様において、前記オリフィス流路が前記仕切り体の厚み方向に延びる流路部分を備え、該流路部分の一端が前記主液室に開口して前記主液室側開口となっていてもよい。また、他の好ましい態様において、前記弁部材の主液室側に前記可撓性膜部の主液室側への撓み変形を規制する規制部材が設けられ、前記規制部材は、前記弁部に対向する位置に貫通穴が設けられるともに、該貫通穴の周りに複数の連通穴が設けられており、前記弁部材には、前記規制部材の前記貫通穴に対して重ならない位置における主液室側の膜面に、前記可撓性膜部の主液室側への撓み変形時に前記規制部材に押し付けられる緩衝突起が設けられてもよい。また、この場合、前記緩衝突起が、前記弁部の主液室側の膜面から突出して前記規制部材の前記貫通穴を取り囲む筒状をなしてもよい。なお、以上の好ましい各態様は適宜に組み合わせることができる。本発明に係る液封入式防振装置であると、所定振幅未満の振動入力に対しては、可撓性膜部の撓み変形が小さく、弁部材によってオリフィス流路の流れが制限されないので、オリフィス流路内での液流動による本来の減衰性能を発揮することができる。その際、弁部材はオリフィス流路内に設けられるものではないので、圧力損失の増大を抑えることができ、減衰性能の低下を回避することができる。一方、所定振幅以上の大振幅振動入力に対し、液体が主液室側から副液室側に流れる際には、オリフィス流路での液流動によって、可撓性膜部が撓み変形して、弁部が主液室側開口に押し付けられることにより流路が制限即ち、狭窄される。これにより、主液室内の正圧が大きくなる。その後、副液室側から主液室側に液体が流れる際には、可撓性膜部が主液室側に撓み変形しても流路は制限されず、オリフィス流路は開放状態に保持される。そのため、オリフィス流路を通って副液室側から主液室側への液体の供給が可能である。このように大振幅振動入力時にオリフィス流路の流れを制限することにより主液室内の正圧を高めることができるので、続けて主液室の液圧が下降する方向の荷重が入力されたときに主液室内の過度な負圧状態を抑制して、キャビテーションの発生を抑えることができる。また、その際、上記構成の弁部材であると、液室間の圧力差のみならず、オリフィス流路での液流動により弁部材を撓み変形させることができるので、圧力差のみで弁部材を作動させる場合に比べて、信頼性を損なうことなく、より低振幅側から作動させることができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1に示された本実施形態に係る液封入式防振装置10は、自動車のエンジンを支承するエンジンマウントであり、振動源であるエンジン側に取り付けられる上側の第1取付具12と、支持側の車体に取り付けられる筒状をなす下側の第2取付具14と、これら両取付具12,14の間に介設されて両者を連結するゴム弾性体からなる防振基体16とを備えてなる。なお、図1は無負荷状態を示している。第1取付具12は、第2取付具14の軸芯部上方に配されたボス金具であり、径方向外方に向けてフランジ状に突出するストッパ部18が形成されている。また、上端部にはボルト穴20が設けられ、不図示のボルトを介してエンジン側に取り付けられるよう構成されている。第2取付具14は、防振基体16が加硫成形される円筒状の筒状金具22とカップ状の底金具24とからなり、底金具24の底面に下向きの取付ボルト26が突設され、このボルト26を介して車体側に取り付けられるように構成されている。筒状金具22は、その下端部が底金具24の上端開口部に対し、かしめ部28によりかしめ固定されている。符号30は、筒状金具22の上端部にかしめ固定されたストッパ金具であり、第1取付具12のストッパ部18との間でストッパ作用を発揮する。また、符号32は、ストッパ金具30の上面を覆うストッパゴムである。防振基体16は略傘状に形成され、その上端部が第1取付具12に、下端部が筒状金具22の上端開口部にそれぞれ加硫接着されている。この防振基体16の下端部に、筒状金具22の内周面を覆うゴム膜状のシール壁部34が連なっている。第2取付具14には、防振基体16の下面に対して軸方向Xに対向配置されて当該下面との間に液体封入室36を形成する可撓性ゴム膜からなるダイヤフラム38が取り付けられ、液体封入室36に水やエチレングリコール、シリコーンオイル等の液体が封入されている。ダイヤフラム38は、外周部に環状の補強金具39を備え、該補強金具39を介して上記かしめ部28に固定されている。上記液体封入室36は、仕切り体40により、防振基体16が室壁の一部をなす上側即ち、防振基体側の主液室42と、ダイヤフラム38が室壁の一部をなす下側即ち、ダイヤフラム側の副液室44とに仕切られている。仕切り体40は、平面視円形状をなして筒状金具22の内側にシール壁部34を介して嵌着された金属や樹脂等の剛性材料からなる仕切り体本体46と、該仕切り体本体46の下面側に当接配置された仕切り受板48とで構成されている。仕切り受板48は、略中央部に円形の開口部を持つ円板状の金具であり、該仕切り受板48を、ダイヤフラム38の補強金具39とともに、上記かしめ部28で固定することにより、仕切り体本体46は、シール壁部34に設けられた段部34Aと仕切り受板48との間で軸方向Xに挟まれた状態に保持されている。主液室42と副液室44は、仕切り体40に設けられた絞り流路であるオリフィス流路50を介して互いに連通されている。オリフィス流路50は、この例では車両走行時のシェイク振動を減衰するために、シェイク振動に対応した低周波数域例えば、5~15Hz程度にチューニングされた低周波域オリフィスである。すなわち、オリフィス流路50を通じて流動する液体の共振作用に基づく減衰効果がシェイク振動の入力時に有効に発揮されるように、流路の断面積及び長さを調整することによってチューニングされている。オリフィス流路50は、仕切り体40の外周部に設けられた主たる流路部分である第1流路部分52と、仕切り体40の内周側でその厚み方向第2取付具14の軸方向Xと同じ。に延びる第2流路部分54と、第1流路部分52と第2流路部分54を連結する第3流路部分56とで構成されている。第1流路部分52は、仕切り体本体46の外周部に設けられた外向きに開かれた第1オリフィス形成溝58と、上記シール壁部34との間で、周方向に延びて形成されている。第1流路部分52は、その周方向の一端に副液室44に対して開口する副液室側開口不図示を備え、これがオリフィス流路50の副液室側開口となっている。第2流路部分54は、仕切り体本体46を軸方向Xに貫通する断面円形の孔により形成されており、その一端即ち、主液室42側に位置する上端が主液室42に対して開口しており、該開口がオリフィス流路50の主液室側開口50Aとなっている。第3流路部分56は、第1流路部分52の周方向の他端と第2流路部分54の他端即ち、下端とを繋ぐ流路部分であり、軸方向Xに直交する方向に延びている。第3流路部分56は、仕切り体本体46の下面副液室側の面に凹設された溝と、当該下面を覆う仕切り受板48との間に形成されている。以上より、オリフィス流路50は、第2流路部分54の上端の主液室側開口50Aで主液室42に対して開口し、第2流路部分54から第3流路部分56を介して第1流路部分52に接続され、第1流路部分52の一端の副液室側開口で副液室44に対して開口することにより、主液室42と副液室44との間を連通している。図1,2に示すように、防振装置10は、オリフィス流路50での液体の流れを制限し得るゴム弾性体からなる膜状隔壁状の弁部材60を備える。弁部材60は、仕切り体40の主液室42側において、オリフィス流路50の主液室側開口50Aを開閉するものであり、該主液室側開口50Aの開口方向即ち、この部分でのオリフィス流路50の流れ方向である軸方向Xに対して直交するように、当該開口50Aの主液室42側に対向して設けられている。弁部材60を収容するため、図3に示すように、仕切り体40の主液室42側には弁収容凹部62が設けられている。弁収容凹部62は、主液室42側に開かれた平面視円形の凹部であり、仕切り体本体46の上面に段付き凹状に形成されている。この弁収容凹部62の底面の中央部に、オリフィス流路50の上記主液室側開口50Aが設けられている。また、弁収容凹部62の開口側には、金属や樹脂等の剛性材料からなる円板状の規制部材64が内嵌固定されており、これにより弁部材60が仕切り体42に保持されている。詳細には、弁部材60は、円板状円形膜状をなし、その外周部60Aが弁収容凹部62の外周部と規制部材64の外周部との間で軸方向Xに液密即ち、液体がリークしないように挟持された状態にて、仕切り体40に保持されている。図4に示すように、弁部材60は、外周部60Aが全周にわたって厚肉状をなすとともに、該厚肉の外周部60Aの内側に薄肉膜状をなす可撓性膜部60Bを備える。可撓性膜部60Bは、厚肉の外周部60Aの厚み方向軸方向Xの中間位置において、その内周面間を塞ぐように形成されている。可撓性膜部60Bは、主液室42と副液室44との間の液圧差及びそれに基づくオリフィス流路50内の液流動によって、図3に示す中立位置から軸方向Xに撓み変形弾性変形するように構成されている。可撓性膜部60Bの中央部には、主液室側開口50Aに対して主液室42側に対向配置されて、上記可撓性膜部60Bの撓み変形によりオリフィス流路50での液体の流れを制限する弁部66が設けられている。弁部66は、可撓性膜部60Bの下方、即ち副液室44側への撓み変形時に、主液室側開口50Aの周りに押し付けられて当該開口50Aを塞ぐことによりオリフィス流路50での液体の流れを制限するとともに、当該押し付けられた状態でも仕切り体40詳細には、前記開口50Aの周りの仕切り体部分との間で液体の流れが確保されるように形成されている。従って、弁部66は、可撓性膜部60Bの下方への撓み変形時にオリフィス流路50の主液室側開口50Aを狭窄するように形成されている。可撓性膜部60Bには、また、上記開口50Aに対して重ならない位置、即ち軸方向Xからみてラップしない位置に、オリフィス流路50を主液室42側に連通させる連通穴68が設けられている。連通穴68は、図5に示すように、弁部66を取り囲む円周上の複数箇所に並設されており、この例では、等間隔にて4個の連通穴68が設けられている。連通穴68は、弁部66が上記開口50Aから離間して開放した状態図3参照で、該連通穴68を通ってオリフィス流路50内に液体が流動し、これによりオリフィス流路50を開放させるよう構成されている。連通穴68の開口面積は、連通穴68において絞り効果が発揮されないように、その総面積が、オリフィス流路50の断面積、即ち上記開口50Aの面積よりも大きく設定されている。図3~5に示すように、弁部66は、可撓性膜部60Bの膜面詳細には下面、即ち副液室44側の膜面から突出した筒状緩衝部70を備えてなる。筒状緩衝部70は、可撓性膜部60Bの下方への撓み変形時に主液室側開口50Aの周りに当接して当該開口50Aを取り囲む円筒状のゴム部分であり、当該撓み変形時に主液室側開口50Aの周りに押し付けられてオリフィス流路50での液体の流れを制限する。なお、弁部材60の中立位置では、筒状緩衝部70と仕切り体40との間に設けられた隙間を介して、主液室42とオリフィス流路50とが連通されており、この隙間での流路面積は、圧力損失がないように、オリフィス流路50の断面積、即ち上記開口50Aの面積よりも大きく設定されている。筒状緩衝部70は、仕切り体40への当接による衝撃を和らげるとともに、当接後にも弁部66の変形を許容して仕切り体40への伝達エネルギーを緩和させるように構成されている。すなわち、筒状緩衝部70は、その肉厚Pよりも突出高さ可撓性膜部60Bからの突出高さQが大きくP<Qなるように薄肉かつ高く設定されており図7参照、これにより、図9に示すオリフィス流路50の狭窄後にも、軸方向Xにおいて弁部66即ち、筒状緩衝部70が容易に変形できるよう構成されている。より好ましくは、筒状緩衝部70の突出高さQはその外側における可撓性膜部60Bの肉厚Rよりも大きく設定されQ>R、また、筒状緩衝部70の肉厚Pは突出高さQに対してP<0.5Qを満足するように設定されている。一例として、本実施形態ではR=1例えば1mmとして、Q=2.5、P=0.6に設定されている。図4,5に示すように、筒状緩衝部70には、仕切り体40との当接後にも仕切り体40との間で流路確保可能にするための切欠部として、スリット72が設けられている。スリット72は、筒状緩衝部70の高さ方向軸方向Xと同じに延びる細い切込み隙間であり、筒状緩衝部70の周方向における複数箇所この例では3箇所に設けられている。特に限定するものではないが、スリット72の幅Sは、筒状緩衝部70の肉厚Pと同等に設定することが好ましく、また、スリット72の深さT軸方向Xにおける寸法は、筒状緩衝部70の突出高さQと同等、即ち筒状緩衝部74の高さ方向の全体にわたって延びるように形成することが好ましい図6b参照。図4~6に示すように、可撓性膜部60Bには、筒状緩衝部70の外側に筒状緩衝部70よりも突出高さの高い円柱状の突起74が複数設けられている。突起74は、上記開口50Aに対して重ならない位置の膜面に設けられており、図5aに示すように、筒状緩衝部70を取り囲む円周上この例では、上記連通穴68と同じ円周上において、連通穴68の間に各2個ずつ設けられている。突起74は、弁部材60の中立位置において、その先端が仕切り体40の壁面に当接しても当接しなくてもよい。上記複数の突起74は、この例では、突出高さが異なる3種類の突起からなる。詳細には、突出高さが最も高い4つの第1突起74Aと、突出高さが最も低い2つの第3突起74Cと、これらの中間の突出高さを持つ2つの第2突起74Bとからなる。筒状緩衝部70には、その先端に複数の補助突起76が設けられている。補助突起76は、微小な半球状の突起であり、筒状緩衝部70の先端部において周方向に等間隔にて並設されている。図5bに示すように、補助突起76の高さは上記突起74特には最も低い第3突起74Cよりも低く設定されている。筒状緩衝部70には、また、その内側の膜部分60Cに筒状緩衝部70を補強するための突条からなるリブ78が設けられている。リブ78は、弁部材60の中心弁部66の中心と同じから複数本この例では3本が放射状に延びて筒状緩衝部70の内周面に連結された形状をなし、図6に示すように中心から径方向外方に向かって漸次高くなるように上面が傾斜して形成されており、これにより筒状緩衝部70の根元部を補強している。図3に示すように、上記規制部材64は、弁部材60の主液室42側において可撓性膜部60Bに対向配置されて、当該可撓性膜部60Bの上方即ち、主液室42側への所定以上の撓み変形を規制する。図3,8に示されるように、規制部材64には、中央部に平面視円形状の貫通穴80が設けられるともに、該貫通穴80の周りに複数の連通穴82が設けられている。中央の貫通穴80は、主液室42の液圧とオリフィス流路50への液流れを弁部66に作用させやすくするために、弁部66に対向する位置に設けられている。貫通穴80の開口面積は、貫通穴80において絞り効果が発揮されないように、オリフィス流路50の断面積、即ち上記開口50Aの面積よりも大きく設定されている。規制部材64の連通穴82は、オリフィス流路50を主液室42側に連通させるための開口部であり、弁部材60の連通穴68が設けられた円周上と重なり合う同径の円周上において、周方向に等間隔にて複数個この例では4個が設けられている。連通穴82は、図10に示すように弁部材60が主液室42側に撓み変形して中央の貫通穴80が塞がれた場合でも、連通穴82において絞り効果が発揮されないように、その総面積がオリフィス流路50の断面積、即ち上記開口50Aの面積よりも大きく設定されている。この例では、規制部材64の連通穴82は、弁部材60の連通穴68に対して、軸方向Xにおいて互いに重なり合う位置に設けられており、この部分での液体の流動抵抗ができるだけ小さくなるようにしている。図3に示すように、弁部材60には、規制部材64の貫通穴80に対して重ならない位置における主液室42側の膜面に、可撓性膜部60Bの主液室42側への撓み変形時に規制部材64に押し付けられる緩衝突起84が設けられている。この例では、緩衝突起84は、弁部66の主液室42側の膜面から突出して規制部材64の貫通穴80を取り囲む円筒状に形成されている。より詳細には、緩衝突起84は、上記弁部66の副液室44側の膜面に設けられた筒状緩衝部70と同一形状に形成されている。従って、緩衝突起84には、筒状緩衝部70と同様のスリット72及び補助突起76も設けられており、これらは下側の筒状緩衝部70と上側の緩衝突起84とで上下対称に形成されている。また、主液室42側の膜面には、上記副液室44側の膜面と同様に、突起74即ち、第1突起74A、第2突起74B、第3突起74Cが設けられるとともに、リブ78も設けられている。突起74は可撓性膜部62Bの両側の膜面で上下対称に形成されている。一方、リブ78は上下で位相をずらして配置されている図5a及びc参照。これにより、弁部材60の組み付け時における上下方向性をなくして、組み立て作業性を向上している。以上よりなる液封入式防振装置10であると、車両走行時においてシェイク振動のような所定振幅未満の振動入力に対しては、可撓性膜部60Bの撓み変形が小さく、そのため、図3に示すように、弁部材60によってオリフィス流路50の流れが制限されないので、オリフィス流路50内での液流動による本来の減衰性能を発揮することができる。その際、弁部材60はオリフィス流路50内に設けられるものではなく、また、弁部66の筒状緩衝部70と仕切り体40との間に設けられた隙間、弁部材60に設けられた連通穴68、並びに規制部材64に設けられた貫通穴80及び連通穴82が、オリフィス流路50の断面積に対して同等以上に設定されているので、圧力損失の増大を伴わず、減衰性能の低下を回避することができる。一方、所定振幅以上の大荷重振動入力例えば、路面の段差を乗り越えたとき等のような瞬間的に大きな荷重の入力に対し、液体が主液室42側から副液室44側に流れる際には、主液室42と副液室44との圧力差のみならず、オリフィス流路50での液流れによる噴流の効果として、図9に示すように可撓性膜部60Bを下方に押し下げるように撓み変形する。そのため、中央の弁部66が主液室側開口50Aの周りに押し付けられて、流路が制限即ち、狭窄される。これにより、オリフィス流路50での主液室42から副液室44への液体の流れが規制されるので、主液室42内の正圧が大きくなる。その後、副液室44側から主液室42側に液体が流れる際には、図10に示すように、可撓性膜部60Bが主液室42側に撓み変形するが、これによってオリフィス流路50は制限されず、開放状態に保持される。そのため、オリフィス流路50を通って副液室44から主液室42への液体の供給が可能である。このように大振幅振動入力時にオリフィス流路50の流れを制限することにより主液室42内の正圧を高めることができるので、続けて主液室42の液圧が下降する方向の荷重が入力されたときに主液室42内の過度な負圧状態を抑制して、キャビテーションの発生を抑えることができる。また、本実施形態であると、弁部材60を主液室側開口50Aの開口方向に対して直交するように対向配置させた上で、その外周部60Aを液密に保持するようにしたので、液室42,44間の圧力差のみならず、オリフィス流路50での液流動により弁部材60を撓み変形させることができる。そのため、圧力差のみで弁部材を作動させる場合に比べて、信頼性を損なうことなく、より低振幅側から作動させることができる。また、弁部66である筒状緩衝部70に切欠部としてのスリット72を設けて、筒状緩衝部70が仕切り体40に押し付けられた状態でも流路を確保できる形状としたので、弁部66が仕切り体40の上記開口50A周りに吸い付くことにより中立位置に復帰できなくなるという不具合を回避することができる。また、かかるスリット72は、筒状緩衝部70が仕切り体40に押し付けられて圧縮されたときに、圧縮量に従い流路面積が徐々に小さくので、入力振幅の大きさに応じて流路を絞る量が変化し、入力振幅に応じたキャビテーション対策を行うことができる。また、弁部66に薄肉状のゴム壁からなる筒状緩衝部70を設けたので、図9に示すオリフィス流路50の閉塞後においても、筒状緩衝部70が弾性変形することにより弁部66の変形が許容されている。そのため、例えば、悪路走行時等の大振幅入力時においてオリフィス流路50の閉塞後にも弁部66が変形することで、仕切り体40への伝達エネルギーを緩和させることができる。すなわち、この場合、仕切り体40への伝達エネルギーEは、上記液流動により撓み変形する弁部材60の運動エネルギーをE1とし、弁部66の変形による消費エネルギーをE2として、E=E1-E2で表されるので、弁部66の変形による消費エネルギーの分だけ、仕切り体40への伝達エネルギーを低減することができ、異音の発生を抑えることができる。可撓性膜部60Bの主液室42側の膜面に設けた円筒状の緩衝突起84についても、同様であり、規制部材64に対する当接後にも変形によって規制部材64への伝達エネルギーを低減することができる。また、弁部66に上記筒状緩衝部70を設けたことにより、仕切り体40への弁部66の当接による荷重変化が滑らかとなり、当接による衝撃を低減することができる。特に、本実施形態では、上記のように突起74及び補助突起76を設けたことにより、弁部材60の撓み変形時には、第1突起74A→第2突起74B→第3突起74C→補助突起76→筒状緩衝部70本体の順番で、弁部66は仕切り体40に当接していく。このように弁部66を段階的に当接させることで、弁部66の当接による荷重変化を更に滑らかなものにすることができ、異音発生を抑えることができる。可撓性膜部60Bの主液室42側についても、同様であり、上記円筒状の緩衝突起84、突起74及び補助突起76を設けたことにより、規制部材64に対する当接時の衝撃を和らげて、異音を低減することができる。また、筒状緩衝部70と緩衝突起84の内側に補強用のリブ78を設けたことにより、これら筒状緩衝部70と緩衝突起84の繰り返し変形によるヘタリを大幅に改善することができる。また、このような筒状緩衝部70と緩衝突起84の付け根部を補強するリブ78であるので、筒状緩衝部70全体としての剛性変化は小さく、異音性能への影響を抑えることができる。なお、上記実施形態では、筒状緩衝部70に設ける切欠部としてスリット72を複数設けたが、仕切り体40との当接後にも流路が確保される限り、スリット72は1つだけ設けてもよい。また、切欠部としては、スリットには限定されず、筒状緩衝部70の先端側からV字状やU字状の切込みを入れたり、筒状緩衝部70のゴム壁に貫通孔を設けたりするなど、仕切り体40との当接後にも流路が確保される限り、種々の変更が可能である。また、上記実施形態では、筒状緩衝部70は、弁部材60の中立位置で仕切り体40から離間させて設けたが、中立位置において既に仕切り体40に当接していてもよい。すなわち、中立位置において筒状緩衝部70が仕切り体40に当接していたとしても、筒状緩衝部70に設けた切欠部等によって、弁部66と仕切り体40との間にオリフィス流路50への流路が十分に確保され、かつ、可撓性膜部60Bが下方に撓み変形したときに当該流路が狭窄されるようになっていればよい。また、上記実施形態では、規制部材64側に当接する緩衝突起84を、仕切り体40側の筒状緩衝部70と同一形状としてスリット72も設けたが、緩衝突起84については、規制部材64の貫通穴80周りに当接して該貫通穴80を完全に塞いだとしても、その外周の連通孔82において主液室42への流路が確保することができるので、内側への流路を確保するためのスリット等の切欠部は設けなくてもよい。また、緩衝突起84の形状は、上記の円筒状には限定されず、規制部材64との当接による衝撃を緩衝し得る種々の形状を採用することができる。また、上記実施形態では、弁部材60の可撓性膜部60Bに複数種類の突起74を設ける際に、その突出高さを変えて設けたが、突起74の径を変えるなど断面積を変えて設けてもよい。また、突出高さと断面積の双方を変えて複数種類の突起74を設けてもよい。また、上記実施形態では、主液室42と副液室44を単一のオリフィス流路50で連結した構成、即ち、1本のオリフィス流路を持つものについて説明したが、複数本のオリフィス流路を持つ液封入式防振装置に適用してもよい。その場合、複数の副液室を設けてもよく、あるいはまた、主液室と単一の副液室との間を複数のオリフィス流路で連結してもよい。また、複数本のオリフィス流路を設ける場合、低周波数側のオリフィス流路に上記弁部材を設けることが好ましい。すなわち、第1オリフィス流路と、該第1オリフィス流路よりも高周波数域にチューニングされた第2オリフィス流路とを有する場合、低周波数側の第1オリフィス流路に上記弁部材を組み込むことが好ましい。その他、一々列挙しないが、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変更が可能である。"