燃焼炉の炎の状況を導電現象を利用して検出する炎検出手段と、該炎検出手段で検出された電流が入力される炎制御ユニットと、前記炎検出手段で検出される前記電流に代えて前記炎の擬似電流を前記炎制御ユニットに入力する故障箇所特定ツールとを備えたことを特徴とする燃焼式排ガス処理装置。前記擬似電流により、前記炎の状況を確認する機能が正常であることを確認することで、次の処理ステップに進む統括制御ユニットとを備えたことを特徴とする請求項1記載の燃焼式排ガス処理装置。前記故障箇所特定ツールが抵抗と該抵抗に対して直列に接続されたスイッチとを備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の燃焼式排ガス処理装置。前記故障箇所特定ツールが前記抵抗に対して直列に接続された整流素子を備えたことを特徴とする請求項3記載の燃焼式排ガス処理装置。前記抵抗に流れる電流が0.1μA以上であることを特徴とする請求項3又は請求項4記載の燃焼式排ガス処理装置。前記抵抗に流れる前記電流が、0.1μA以上1A以下であることを特徴とする請求項3~5のいずれか1項に記載の燃焼式排ガス処理装置。前記炎はパイロットバーナで生成された種火であり、該種火を基にメインバーナから供給された燃料及び空気を燃焼させることで排ガスを燃焼分解する前記燃焼炉と、該燃焼炉で生成された生成物を水に溶解させる有害物質除去装置とを備えたことを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の燃焼式排ガス処理装置。ところで、この自動処理は、例えば、種火を形成するパイロットバーナ部分に生成物が付着し種火が点かない場合や、メインのガス燃料が配管の詰まり等により供給されなかったり等の様々な要因でエラー停止され、シーケンサーが次の処理に進めない状況の生ずることがあった。かかる場合、種火系統で障害を生じているのか、あるいは、種火以外の他の系統で障害を生じているのか区別がつきにくく、現場で種火が点いているか否か目視により確認したり、圧力や流量が正常か否かを全系統について確認する等、故障箇所や故障原因を特定するのに時間と手間がかかっていた。本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、故障原因と思われる対象範囲を容易に絞り込めるようにすることで迅速な復旧を可能とした燃焼式排ガス処理装置を提供することを目的とする。このため本発明請求項1は、燃焼炉の炎の状況を導電現象を利用して検出する炎検出手段と、該炎検出手段で検出された電流が入力される炎制御ユニットと、前記炎検出手段で検出される前記電流に代えて前記炎の擬似電流を前記炎制御ユニットに入力する故障箇所特定ツールとを備えて構成した。擬似電流が炎制御ユニットに入力される。そして、このとき、炎制御ユニット側から見れば、あたかも炎が点いていることを確認できたかのように判定されることになる。従って、本当は炎装置に何らかの障害があって炎が点かないことによりシステムが停止しているかもしれない場合であっても、擬似電流により炎は正常に存在するという仮想認識の元に次の処理ステップに進むことになる。従って、炎処理も含め、一通り全体のステップについて動作を確認できる。また、本発明請求項2は、前記擬似電流により、前記炎の状況を確認する機能が正常であることを確認することで、次の処理ステップに進む統括制御ユニットとを備えて構成した。炎処理以外の箇所で故障があった場合にはその箇所で停止することになるので炎設備とそれ以外の設備との故障範囲の区別が容易に行える。一方、全体のステップについて問題なくシーケンスを進めることができた場合には、炎処理に故障原因があることが疑われる。このように故障範囲を容易に絞り込めるようにしたことで迅速な復旧が可能である。更に、本発明請求項3は、前記故障箇所特定ツールが抵抗と該抵抗に対して直列に接続されたスイッチとを備えて構成した。故障箇所特定ツールは簡素に構成可能である。更に、本発明請求項4は、前記故障箇所特定ツールが前記抵抗に対して直列に接続された整流素子を備えて構成した。整流素子を備えることでより実際の炎に近い疑似電流を得ることができる。更に、本発明請求項5は、前記抵抗に流れる電流が0.1μA以上であることを特徴とする。更に、本発明請求項6は、前記抵抗に流れる前記電流が、0.1μA以上1A以下であることを特徴とする。0.1μA以上1A以下とすることで感度のよい炎検出が行える。更に、本発明請求項7は、前記炎はパイロットバーナで生成された種火であり、該種火を基にメインバーナから供給された燃料及び空気を燃焼させることで排ガスを燃焼分解する前記燃焼炉と、該燃焼炉で生成された生成物を水に溶解させる有害物質除去装置とを備えて構成した。燃焼式排ガス処理システムのように複雑なシステムであっても故障箇所の対象範囲を絞り込むことで保守が容易に行える。以上説明したように本発明によれば、炎の擬似電流により炎の存在を確認することで、炎について異常無しとして自動的に次の処理ステップに進むように構成したので、炎処理も含め、一通り全体のステップについて動作を確認できる。炎処理以外の箇所で故障があった場合にはその箇所で停止することになるので炎設備とそれ以外の設備との故障範囲の区別が容易に行える。一方、全体のステップについて問題なくシーケンスを進めることができた場合には、炎処理に故障原因があることが疑われる。このように故障範囲を容易に絞り込めるようにしたことで迅速な復旧が可能である。以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の実施形態の構成図を図1に示す。図1において、プロセスチャンバ1で発生した可燃性ガスSiH4等やクリーニングガス等の被処理ガスが燃料及び空気と共に吸入口21を通じて燃焼装置7の燃焼炉23内に導入されるようになっている。燃焼炉23は円筒状に形成されている。燃焼炉23の上部には種火用のパイロットバーナ22が配設されている。パイロットバーナ22の火種の監視は炎制御ユニットに相当する種火制御ユニットBurnerControlUnit26により行われるようになっている。フレームロッド18が種火と接触するように配置されている。そして、種火制御ユニット26からケーブル16が布設され、このケーブル16の端部がそれぞれフレームロッド18とパイロットバーナ22の金属筐体に対し接続されている。フレームロッド18とパイロットバーナ22との間に種火制御ユニット26側から交流電圧が印加されることで炎の強度に比例した電流が発生する。この電流を種火制御ユニット26で検出するようになっている。また、ケーブル16の途中には図1中に点線枠で示す故障箇所特定ツール14が配設されている。この故障箇所特定ツール14は、ケーブル16の正極と負極間に接続されており、スイッチ41、ダイオード43、抵抗45が直列に接続されている。種火の着火された炎は高温燃焼炎である。即ち、通常よりも被処理ガスに対する燃料と酸素の混合比を高めて高温燃焼により無害化効率を高めるように構成されている。種火制御ユニット26は、また、統括制御ユニットに相当するメインPLC28ProgramableLogicControllerにより制御されるようになっている。そして、このパイロットバーナ22の配設位置より下方にメイン燃料及び空気の混合ガスを供給するためのメイン燃料ノズル24が配設されている。燃焼炉23内において、1000°C程度の高温で排ガスや微粒子ダストが燃焼されることで化学分解されるようになっている。例えば、半導体材料ガスであるシランを燃焼分解した場合には、微粒子ダストとしてSiO2粉体が発生する。燃焼炉23の下段には円錐状の冷却部25が配設されている。この冷却部25には水27が供給され、燃焼分解によって生じた高温の排ガスがこの水27により数十°C程度にまで冷却されるようになっている。そして、水27は排ガスと共に冷却部25の底部開口を通じて配管29に排出されるようになっている。この配管29には、また、有害物質除去装置9に相当する円筒状の水スクラバー31が燃焼装置7と並ぶように立設されている。水スクラバー31の底部には配管29に通じる開口が形成されており、この開口を通じて除害処理対象の排ガスや微粒子ダストが導入されるようになっている。水スクラバー31内に導入された排ガスや微粒子ダストは、水スクラバー31内部を上昇するが、このとき水スクラバー31内の上部空間に設けたシャワーノズル32から下方に向けて水等の処理水スクラバ水が霧状に散布されるようになっている。シャワーノズル32から散布された霧状の処理水は、自重で落下しながら水スクラバー31内の排ガスや微粒子ダストと接触することで、それらを捕集するようになっている。捕集後の処理水は水スクラバー31の底部から配管29に流入し、ドレイン管33の内壁を下ってドレインタンク35に流れ込むようになっている。シャワーノズルは配管29内にも設けられ、配管29内でも処理水37の散布が行われるようになっている。水スクラバー31の上部には排出ポート39が設けられており、水スクラバー31で浄化されたガスは、排出ポート39から図示しない工場内配管を経て大気へ放出されるようになっている。ドレインタンク35内の処理水は、図示しない排水口から排出後、ポンプでシャワーノズル32の給水タンクに圧送され、シャワーノズル32から散布される処理水として再利用されるようになっている。このように処理水を再利用する処理水循環系では、循環する処理水中の排ガス濃度やダスト濃度を図示しないセンサで監視していて、それらの濃度が所定濃度になるまで処理水は繰り返し利用される。メインPLC28は種火制御ユニット26経由でパイロットバーナ22をモニタする他、被処理ガス、燃料、空気及び水の流量のモニタ、燃焼炉23内の圧力、水スクラバー31の背圧のモニタ、被処理ガス、燃料、空気及び水の流量調整バルブの開閉制御、燃焼炉23内の温度のモニタを実施するようになっている。以上、有害物質除去装置9は、湿式集塵機の水スクラバーを例に説明したが、バグフィルタのような乾式集塵方式であっても良い。次に、本発明の実施形態の動作を説明する。通常運転時には、故障箇所特定ツール14のスイッチ41は開放している。吸入口21から導入された被処理ガスは、燃焼炉23内に導入される。そして、この被処理ガスはパイロットバーナ22の種火により着火され、メイン燃料ノズル24から導入されたメイン燃料及び空気の混合ガスにより燃焼分解される。このとき、図2に示すように、フレームロッド18とパイロットバーナ22の筐体との間に流れる電流は種火制御ユニット26に入力され、種火制御ユニット26において種火の点いていることが確認される。燃焼分解の結果生じた排ガスや微粒子ダストは、冷却部25及び配管29内で散布された水に溶解された形で配管29内に捕集されると共に一部は水スクラバー31内に導入される。そして、排ガスや微粒子ダストが水スクラバー31内部を上昇する際にも散布された水に溶解された形で配管29内に捕集される。次に、メインPLC28において何らかのアラームを検出し燃焼除害のシステムが停止している場合の復旧方法について説明する。このシステム停止の原因は、例えば、種火に起因、流量に起因、圧力に起因、バルブに起因、温度に起因等様々考えられる。このため、システム停止が起こった場合に、以下の方法により故障原因と思われる対象範囲を絞り込むこととする。故障箇所の特定に当たっては、まず、図3に示すスイッチ41を閉じる。このとき、種火制御ユニット26から供給された電流はダイオード43を介して抵抗45を流れる。即ち、抵抗45に流れる擬似電流が種火制御ユニット26に入力されることになる。但し、ダイオード43を配設したのは、炎の特性である整流作用を擬似的に模倣するために配設したものであり、炎の特性を無視すればダイオード43は配設しないことも可能である。また、炎の電流は0.1μA以上であるが、好ましくは0.1μA以上1A以下である。そして、このとき、種火制御ユニット26側から見れば、あたかも種火が点いていることを確認できたかのように判定されることになる。従って、本当は種火装置に何らかの障害があって種火が点かないことにより燃焼除害のシステムが停止しているかもしれない場合であっても、擬似電流により種火は正常に存在するという仮想認識の元に次のメイン燃料の供給等のステップに進むことになる。従って、種火処理も含め、一通り全体のステップについて動作を確認できる。種火処理以外の箇所で故障があった場合にはその箇所で停止することになるので種火処理とそれ以外の設備との故障範囲の区別が容易に行える。一方、全体のステップについて問題なくシーケンスを進めることができた場合には、種火処理に故障原因があることが疑われる。このように故障範囲を容易に絞り込めるようにしたことで迅速な復旧が可能である。なお、図1に示すようにスイッチ41へのオン、オフ信号47をメインPLC28から伝送するようにしてもよい。そして、システムに異常のあったとき、若しくは定期的にオン、オフ信号47を伝送する。この場合には、人手を介さずに故障範囲を自動判別可能である。このため、種火装置が異常な場合にのみ、種火に精通した作業員を派遣する等効率のよい保守が可能となる。