支持部材によりその一部が支持される薄板状ワークにおいて該支持部材で支持されない不支持部位に対し、粘着手段をその粘着面の一部が接触するまで、前記薄板状ワークと交差する方向へ接近移動させ、前記不支持部位に対し前記粘着面を、該粘着面と該不支持部位との接触面積が徐々に増えて略全体が接触するように動かし、前記粘着手段を、前記粘着面が前記薄板状ワークにおいて前記支持部材で支持される支持部位と同一平面となる位置まで、前記接近移動と逆方向へ移動させることを特徴とする薄板状ワークの粘着保持方法。薄板状ワークの一部と当接するように設けられて該薄板状ワークを支持する支持部材と、前記薄板状ワークにおいて前記支持部材が当接しない不支持部位と対向する粘着面を有し、前記薄板状ワークと交差する方向へ往復動自在に設けられる粘着手段と、前記不支持部位に対する前記粘着面の往復動を作動制御する往復動制御手段と、前記不支持部位に対して前記粘着面が動くように前記粘着手段を作動制御する粘着面積増大手段とを備え、前記往復動制御手段が、前記不支持部位に向けて前記粘着面を接近移動させ、該粘着面の一部が前記不支持部位に接触した時に、前記粘着面の接近移動を停止させ、前記粘着面積増大手段が、前記粘着手段の接近移動停止後に、前記不支持部位に対し前記粘着面を、該粘着面と該不支持部位との接触面積が徐々に増えて略全体が接触するように動かし、前記往復動制御手段が、前記粘着面の略全体と前記不支持部位の接触後に、前記薄板状ワークにおいて前記支持部材で支持される支持部位と同一平面となる位置まで前記粘着面を前記接近移動と逆方向へ移動させることを特徴とする薄板状ワークの粘着保持装置。前記粘着手段の本体に対して前記粘着面を傾動自在に支持し、前記粘着面積増大手段が、前記粘着面を前記薄板状ワークに撫で当てながら周回移動させることを特徴とする請求項2記載の薄板状ワークの粘着保持装置。請求項2又は3記載の薄板状ワークの粘着保持装置を備えた製造システムであって、前記薄板状ワークの非加工面と対向して設けられる平滑な磁石面と、前記薄板状ワークの加工面と対向して前記薄板状ワークと交差する方向へ往復動自在に設けられる磁性体からなる加工用マスクと、前記薄板状ワークの前記加工面に対する前記加工用マスクの往復動を作動制御するマスク移動制御手段とを備え、前記マスク移動制御手段が、前記往復動制御手段と連動して、前記粘着面の略全体と前記不支持部位の接触後に、前記加工用マスクを前記磁石面の磁気吸引力領域まで移動させることを特徴とする製造システム。ところで、近年では有機ELディスプレイなどに用いられる基板サイズが大型化する傾向で、一辺が2000mmを超えるものまで製造され始めている。このような大型基板は、ガラスなどの割れ易い材料で薄板状に成形され、格子状の支持部材を使って支持すると、支持部材で囲まれた大型基板の中央部不支持部位が、その自重により撓みを生じて垂れ下がり、しかも、この変形した不支持部位に外的負荷を掛けれると、基板が更に変形して破損するおそれがある。つまり、大型基板をその下側から全面的に支えることなく、平面状に保持することが困難であった。そこで、前述した特許文献1や特許文献2に記載されるように、大型基板を部分的に撓むことなく水平保持することが考えられる。しかし乍ら、前述した特許文献1のように、磁石と成膜用マスクとの間に基板を該磁石の磁気吸引力により挟持する装置では、基板サイズの大型化に伴って成膜用マスクも一辺が2000mm以上に大きくなるため、磁石と大型基板と成膜用マスクの周辺部をクランプ状形態の保持部で保持しても、これら積層体の中央部不支持部位が自重で撓み、磁石の磁気吸引領域よりも低い位置まで一度垂れ下がってしまうと、不支持部位を磁石により磁気吸引して平面状に戻すことができない。それにより、成膜用マスクにおけるマスクパターンに変形や歪みが生じて正確なパターン形成ができず、歩留りが低下するという問題があった。また、前述した特許文献2のように、磁石ユニットの基板支持面と蒸着マスクとの間に基板を磁石の磁気吸引力により挟持した後に、これら全体を上下反転させる方法及び装置では、基板サイズの大型化に伴って蒸着マスクや磁石ユニットも一辺が2000mm以上に大きくなって重くなるため、ロボットなどの搬送機構を用いても簡単に上下反転させることは困難で、実現性に乏しいという問題があった。本発明は、このような問題に対処することを課題とするものであり、薄板状ワークを破損することなく粘着保持して薄板状ワークの自重撓みを補正することが可能な薄板状ワークの粘着保持方法を提供すること、薄板状ワークを破損することなく粘着保持して薄板状ワークの自重撓みを補正することが可能な薄板状ワークの粘着保持装置を提供すること、薄板状ワークを破損することなく粘着保持して磁石面と加工用マスクの間に平面状に挟持することが可能な製造システムを提供すること、などを目的とするものである。このような目的を達成するために本発明による薄板状ワークの粘着保持方法は、支持部材によりその一部が支持される薄板状ワークにおいて該支持部材で支持されない不支持部位に対し、粘着手段をその粘着面の一部が接触するまで、前記薄板状ワークと交差する方向へ接近移動させ、前記不支持部位に対し前記粘着面を、該粘着面と該不支持部位との接触面積が徐々に増えて略全体が接触するように動かし、前記粘着手段を、前記粘着面が前記薄板状ワークにおいて前記支持部材で支持される支持部位と同一平面となる位置まで、前記接近移動と逆方向へ移動させることを特徴とする。さらに本発明による薄板状ワークの粘着保持装置は、薄板状ワークの一部と当接するように設けられて該薄板状ワークを支持する支持部材と、前記薄板状ワークにおいて前記支持部材が当接しない不支持部位と対向する粘着面を有し、前記薄板状ワークと交差する方向へ往復動自在に設けられる粘着手段と、前記不支持部位に対する前記粘着面の往復動を作動制御する往復動制御手段と、前記不支持部位に対して前記粘着面が動くように前記粘着手段を作動制御する粘着面積増大手段とを備え、前記往復動制御手段が、前記不支持部位に向けて前記粘着面を接近移動させ、該粘着面の一部が前記不支持部位に接触した時に、前記粘着面の接近移動を停止させ、前記粘着面積増大手段が、前記粘着手段の接近移動停止後に、前記不支持部位に対し前記粘着面を、該粘着面と該不支持部位との接触面積が徐々に増えて略全体が接触するように動かし、前記往復動制御手段が、前記粘着面の略全体と前記不支持部位の接触後に、前記薄板状ワークにおいて前記支持部材で支持される支持部位と同一平面となる位置まで前記粘着面を前記接近移動と逆方向へ移動させることを特徴とする。また本発明による製造システムは、前記薄板状ワークの粘着保持装置と、前記薄板状ワークの非加工面と対向して設けられる平滑な磁石面と、前記薄板状ワークの加工面と対向して前記薄板状ワークと交差する方向へ往復動自在に設けられる磁性体からなる加工用マスクと、前記薄板状ワークの前記加工面に対する前記加工用マスクの往復動を作動制御するマスク移動制御手段とを備え、前記マスク移動制御手段が、前記往復動制御手段と連動して、前記粘着面の略全体と前記不支持部位の接触後に、前記加工用マスクを前記磁石面の磁気吸引力領域まで移動させることを特徴とする。前述した特徴を有する本発明による薄板状ワークの粘着保持方法は、格子状の支持部材で一部が支持された薄板状ワークにおいて、その自重により下方へ撓み変形した不支持部位に対し、粘着手段を薄板状ワークと交差する方向へ接近移動させて、不支持部位に粘着手段の粘着面の一部を接触させ、その後、不支持部位に対し粘着面を、これら粘着面と不支持部位との接触面積が徐々に増えて略全体が接触するように動かすことにより、不支持部位の自重撓みに倣って粘着面が部分的に時間差をかけつつ徐々に接触し、それに伴い薄板状ワークに対する外的負荷を非常に小さく押さえつつ、粘着面の略全体が不支持部位に接触して粘着保持され、その後、粘着手段を粘着面が薄板状ワークにおいて支持部材で支持される支持部位と同一平面となる位置まで、粘着手段を前記接近移動と逆方向へ移動させることにより、不支持部位の自重撓みが減少して、薄板状ワークの全体が平面状に粘着保持されるので、薄板状ワークを破損することなく粘着保持して薄板状ワークの自重撓みを補正することができる。その結果、薄板状ワークの基板サイズが一辺2000mm以上に大型化しても、大型基板をその下側から格子状の支持部材で部分的に支持することで、不支持部位の自重撓みを一定の範囲内で抑制することができ、平面状に保持することができる。さらに前述した特徴を有する本発明による薄板状ワークの粘着保持装置は、格子状の支持部材で一部が支持された薄板状ワークにおいて、その自重により下方へ撓み変形した不支持部位に対し、往復動制御手段で、粘着手段を薄板状ワークと交差する方向へ接近移動させて、不支持部位に粘着手段の粘着面の一部を接触させ、その後、粘着面積増大手段で、不支持部位に対し粘着面を、これら粘着面と不支持部位との接触面積が徐々に増えて略全体が接触するように動かすことにより、不支持部位の自重撓みに倣って粘着面が部分的に時間差をかけつつ徐々に接触し、それに伴い薄板状ワークに対する外的負荷を非常に小さく押さえつつ、粘着面の略全体が不支持部位に接触して粘着保持され、その後、往復動制御手段で、粘着手段を粘着面が薄板状ワークにおいて支持部材で支持される支持部位と同一平面となる位置まで、粘着手段を前記接近移動と逆方向へ移動させることにより、不支持部位の自重撓みが減少して、薄板状ワークの全体が平面状に粘着保持されるので、薄板状ワークを破損することなく粘着保持して薄板状ワークの自重撓みを補正することができる。その結果、薄板状ワークの基板サイズが一辺2000mm以上に大型化しても、大型基板をその下側から格子状の支持部材で部分的に支持することで、不支持部位の自重撓みを一定の範囲内で抑制することができ、平面状に保持することができる。また前述した特徴を有する本発明による製造システムは、粘着面の略全体と不支持部位が接触した後に、マスク移動制御手段で加工用マスクを磁石面の磁気吸引力領域まで移動させることにより、磁石面の磁気吸引力で加工用マスクと共に薄板状ワークが磁石面へ向け引き付けられて、これら磁石面と加工用マスクの間に薄板状ワーク全体が挟持されるので、薄板状ワークを破損することなく粘着保持して磁石面と加工用マスクの間に平面状に挟持することができる。その結果、薄板状ワークの基板サイズが一辺2000mm以上に大型化しても、大型基板をその下側から格子状の支持部材で部分的に支持することで、不支持部位の自重撓みを一定の範囲内で抑制することができ、平面状に保持することができる。それにより、加工用マスクにおけるマスクパターンに変形や歪みが発生しないので、蒸着などで正確なパターン形成ができ、精密度が向上して歩留りを向上させることができる。さらに、磁石ユニットの基板支持面と蒸着マスクとの間に基板を磁石の磁気吸引力により挟持した後に、これら全体を上下反転させる従来の装置に比べ、基板サイズが一辺2000mm以上に大型化しても、大型基板全体を上下反転させずに、平面状に保持することができて、実現性に優れている。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。本発明の実施形態に係る薄板状ワークの粘着保持方法を実施するために使用する薄板状ワークの粘着保持装置Aは、図1~図4に示すように、薄板状ワークWの一部と部分的に当接するように設けられて薄板状ワークWを支持する支持部材1と、薄板状ワークWにおいて支持部材1が当接しない不支持部位W1と対向する粘着面2aを有し、薄板状ワークWと交差する方向へ往復動自在に設けられる粘着手段2と、不支持部位W1の表面に対する粘着面2aの往復動を作動制御する往復動制御手段3と、不支持部位W1の表面に対して粘着面2aが動くように粘着手段2を作動制御する粘着面積増大手段4を、主要な構成要素として備えている。さらに図示しないが、薄板状ワークWの不支持部位W1に粘着した粘着面2aを不支持部位W1の表面から剥がすための後述する剥離手段を備えることが好ましい。薄板状ワークWは、例えば有機ELディスプレイや液晶ディスプレイなどに用いられるガラス製の基板などであり、その表面積に対して厚さが比較的に薄いため、変形することで割れ易いという欠点を有している。さらに、薄板状ワークWは、例えば有機ELディスプレイや液晶ディスプレイなどの製造過程において、互いに貼り合わされる一方の面に、例えば有機EL素子などの機能部図示しないを有する膜面が形成される。支持部材1は、薄板状ワークWの膜面貼り合わせ面においてその一部のみを支持するように、例えば格子状又はそれに類似した他の形状に形成される。その具体例として図1及び図2に示すように、支持部材1が格子状に形成される場合には、Y方向へ延びる2本以上の縦フレーム1aと、X方向へ延びる2本以上の横フレーム1bとを同一平面において枠組みすることで構成され、略水平に配置している。支持部材1の上面に対して薄板状ワークWをその膜面において機能部などの後加工後処理が必要な領域と接触しないように載置することにより、後加工が不必要な領域のみが支持部材1の上面と部分的に当接して、薄板状ワークWの全体が保持される。すなわち、薄板状ワークWにおいて機能部などを除いた後加工が不必要な領域は、支持部材1で支持される支持部位W2となり、機能部などの後加工が必要な領域は、支持部材1と当接せずに、支持部材1で支持されない不支持部位W1となって、その自重により下方へ撓み変形し、不支持部位W1の中央部分が最も垂れ下がる。このように自重で撓み変形した不支持部位W1に対し、例えば粘着手段2の粘着面2aを面接触させるなどして、不支持部位W1に外的負荷が一気に掛けられると、基板が更に変形して破損するおそれがある。つまり、後述する粘着手段2の粘着面2aとなる粘着材が、薄板状ワークWの表面に接触すると、粘着材には弾性があるため、先ず粘着材が変形しその弾力分の力が作用して、多少の粘着力が発現する。さらに粘着材を押圧すると、薄板状ワークWは変形して、その反発力により粘着力は増加する。しかし、この変形がある限界を超えると、薄板状ワークW表面の張力は、これに耐えず割れてしまう。そのため、この限界以内のところで、粘着材による押圧を止めておけば、薄板状ワークWを割れることなく粘着できることになる。粘着材による押圧を限界以内の力に止めるには、接触する面積をごく局部的なものに小さくし、なおかつ、薄板状ワークWに必要以上の変位を与えない程度の押圧力に限ることが肝要である。一旦、薄板状ワークWの表面に対して粘着面2aが局部的に粘着されたとすれば、その隣の局部についても、同程度の押圧を加えることにより同様のことが実現できる。この場合、既に隣の局部が粘着されているとすれば、その近傍は薄板状ワークWの表面張力は以前よりは緩み、割れ難い状態になっており、かつ、薄板状ワークWの自重による垂れ下りも緩和されているので粘着が容易になる。このような薄板状ワークWの表面に対する粘着面2aの局部的な粘着を次々と隣接した局部に拡げて行くことにより、あまり大きくない粘着面2aの全体を粘着することができる。もし、薄板状ワークWと粘着面2aが完全に平行であり、完全に平行を保ったまま接触できるとするならば、上述した局部的な接触を積み重ねる必要はないだろう。すなわち、一気に粘着力を得ることができるはずである。しかし実際には、薄板状ワークWの表面はその自重により上方へ向け凹状に撓んでいるため、平面状の拡がりを持った粘着面2aの全体で一気に粘着力を発現させようとして近づけ過ぎると、特に粘着面2aの端部で片当たりに近い状態が生じ、その部分で割れてしまう。そのため、実際の装置としては、薄板状ワークWの表面に対して粘着面2aが局部に限って接触するようにして、先ずその局所的な接触部分で粘着を実現させ、この粘着部分を基にして薄板状ワークWの表面に対する粘着面2aの粘着面積を徐々に増やして行く工夫が必要になる。また、支持部材1の格子ピッチは、薄板状ワークWのサイズに対応して、縦フレーム1a同士の間隔と横フレーム1b同士の間隔を、それぞれ調整可能に構成することが好ましい。さら、薄板状ワークWの一例として、一枚の大型基板図示しないから単品サイズの基板図示しないを多数取りする場合には、3本以上の縦フレーム1aと3本以上の横フレーム1bを格子状に枠組みした支持部材1上に、各基板の境界部分のみと部分的に接するように載置することで、各基板の境界部分が支持部材1で支持される支持部位W2となり、各基板の膜面が支持部材1と当接せずに支持部材1で支持されない不支持部位W1となる。図1a~cに示される例では、薄板状ワークWとして一枚の大型基板から単品サイズの基板を多数取りする場合を部分拡大して示しており、一つの単品サイズの基板において不支持部位W1の中央部分と対向するように、後述する粘着手段2を一つずつ配置している。すなわち、図示省略されたその他の単品サイズの基板に対しても、それぞれの不支持部位W1の中央部分と対向するように、後述する粘着手段2が一つずつ配置される。また、その他の例として図示しないが、一つの単品サイズの基板において不支持部位W1と対向するように、後述する粘着手段2を複数個配置したり、薄板状ワークWとして一つの単品サイズの基板の外周縁を、2本の縦フレーム1aと2本の横フレーム1bが格子状に枠組みされた支持部材1で支持するとともに、該基板の不支持部位W1と対向するように、後述する粘着手段2を単数又は複数個配置することも可能である。さらに必要に応じて、支持部材1には、縦フレーム1a及び横フレーム1bと薄板状ワークWを挟んで配置される押さえ用の縦フレーム1c及び横フレーム1dを有し、これら押さえ用の縦フレーム1c及び横フレーム1dを、支持用の縦フレーム1a及び横フレーム1bに対して昇降移動自在に設けることが好ましい。支持用の縦フレーム1a及び横フレーム1b又は押さえ用の縦フレーム1c及び横フレーム1dのいずれか一方、若しくは支持用の縦フレーム1a及び横フレーム1bと押さえ用の縦フレーム1c及び横フレーム1dの両方には、例えば磁石や磁性体などの磁気吸引手段図示しないが設けられ、この磁気吸引手段により、薄板状ワークWを上下方向に挟み込んで移動不能に保持することが好ましい。粘着手段2は、薄板状ワークWの不支持部位W1と着脱自在に粘着する粘着面2aを備えた粘着チャックなどからなり、その本体2bに対して粘着面2aを可動自在に取り付け、本体2bを粘着面2aが薄板状ワークWの不支持部位W1と対向するように、支持部材1による薄板状ワークWの支持方向と交差直交するZ方向へ往復動自在に設けている。本体2bに対する粘着面2aの取り付け構造は、薄板状ワークWの表面に沿って粘着面2aが例えば傾動自在や揺動自在や振動自在など、所定の機械的な動きが行えるように支持されている。さらに詳しく説明すれば、粘着面2aを薄板状ワークWの表面に撫で当てながら周回又は旋回するように支持することが好ましい。粘着面2aは、例えばフッ素ゴムやエラストマー、ブチルゴム、感光性樹脂、アクリル系やシリコン系などの粘着材料からなる粘着シートであり、その表面が弾性のある面状に形成されている。さらに、粘着面2aの表面は、例えばエンボス処理や凹溝などを形成して全体的に弾性変形し易くすることにより、不支持部位W1の表面に対して容易に粘り付くように構成することが好ましい。粘着手段2の本体2bは、後述する往復動制御手段3により、薄板状ワークWの不支持部位W1の表面に対する粘着面2aの往復動が作動制御されている。さらに、粘着手段2の本体2bに対し粘着面2aは、後述する粘着面積増大手段4により、薄板状ワークWの不支持部位W1の表面に対して粘着面2aを、薄板状ワークWの表面に撫で当てながら周回旋回させるなど動くように作動制御されている。往復動制御手段3及び粘着面積増大手段4は、例えば支持部材1の格子ピッチを変更させるために作動制御する手段や、押さえ用の縦フレーム1c及び横フレーム1dの昇降移動を制御する手段などの、その他の作動制御手段と共に、後述するコントローラ図示しないに備えられる。コントローラは、粘着手段2の本体2bを往復動させるための駆動源図示しない、粘着手段2の本体2bに対し粘着面2aを動かすための駆動源図示しないなどと電気的に接続しており、予め入力設定されたプログラムに従って、往復動制御手段3により往復動用駆動源を作動制御するとともに、粘着面積増大手段4により粘着用駆動部を作動制御している。往復動制御手段3による往復動用駆動源の作動制御の一例を挙げると、その初期状態では、粘着手段2の本体2bを、粘着面2aが支持部材1で支持される薄板状ワークWの支持部位W2の表面と同一平面上か又はそれより離れるように待機させている。その後、作業者の操作などにより作動開始信号を入力すると、薄板状ワークWの不支持部位W1に向けて接近移動させ、粘着面2aの一部が不支持部位W1に接触した時点で、本体2bの接近移動を停止させる。その後、粘着面積増大手段4から出力される後述する動作完了信号に基づいて、粘着面2aが薄板状ワークWの支持部位W2の表面と同一平面上となる位置まで、本体2bを前記接近移動と逆方向へ移動させるように設定されている。往復動用駆動源による本体2bの往復移動距離は、予め対象となる薄板状ワークWを支持部材1に載置して、不支持部位W1の自重撓み量を実側し、この実測値に基づいて粘着面2aの待機位置からその一部が不支持部位W1に接触するまでの本体2bの接近移動距離と、粘着面2aの接近移動停止位置から粘着面2aが薄板状ワークWの支持部位W2の表面と同一平面上となる位置までの本体2bの逆移動距離とを算出し、これら算出値をコントローラに設定入力している。粘着面積増大手段4による粘着用駆動部の作動制御の一例を挙げると、その初期状態では、粘着手段2の粘着面2aを、薄板状ワークWの不支持部位W1に対し所定角度で対向するように待機させている。その後、本体2bの接近移動により粘着面2aの一部が不支持部位W1に接触した時点で、本体2bに対し粘着面2aを、不支持部位W1の表面との接触面積が徐々に増えるように、薄板状ワークWの表面に撫で当てながら周回旋回させるなど動かし、粘着面2aの略全体が不支持部位W1の表面に接触した時点で、本体2bに対する粘着面2aの動きを停止させるとともに、往復動制御手段3へ動作完了信号を出力するように設定されている。不支持部位W1の表面に対する粘着面2aの動きは、その動作内容に応じて、粘着面2aを1回だけ又は複数回の周回旋回移動をさせたり、何回か揺動を繰り返したり、所定時間に亘って振動を連続させることが可能である。そして、本発明の実施形態に係る薄板状ワークWの粘着保持方法は、図3に示すフローチャートのように、粘着手段2の接近移動工程と、粘着面2aの粘着工程と、粘着手段2の逆移動工程と、粘着面2aの剥離工程とを含んでいる。粘着手段2の接近移動工程は、図1aに示されるように、支持部材1で支持される薄板状ワークWから離れた粘着手段2の待機位置から、往復動制御手段3により粘着手段2の本体2bを、薄板状ワークWの不支持部位W1に向けて接近移動させる。これに続いて、不支持部位W1の表面に対し、粘着手段2の粘着面2aの一部が接触したところで、粘着手段2の接近移動を停止させる。粘着面2aの粘着工程は、図1bに示されるように、不支持部位W1の表面に一部が接触した粘着面2aを、粘着面積増大手段4により不支持部位W1の表面との接触面積が徐々に増えるように動かす。これに続いて、粘着面2aの動きにより粘着面2aの略全体が不支持部位W1の表面に接触してから、粘着面2aの動きを停止させる。粘着手段2の逆移動工程は、図1cに示されるように、不支持部位W1の表面に接触して粘着された粘着面2aを、往復動制御手段3により前記接近移動と逆方向へ逆移動して、粘着面2aが薄板状ワークWにおいて支持部材1で支持される支持部位W2の表面と同一平面上となる位置で、粘着手段2の逆移動を停止させる。さらに、粘着面2aの剥離工程は、不支持部位W1の表面から粘着面2aを強制的に押し剥がすか又は引き剥がす。その後、粘着手段2を待機位置に戻して、それ以降は前述した各工程を繰り返すようにプログラムされている。このような本発明の実施形態に係る薄板状ワークWの粘着保持方法及び薄板状ワークWの粘着保持装置Aによると、先ず、粘着手段2の接近移動工程で往復動制御手段3により、薄板状ワークWにおいて自重により下方へ撓み変形した不支持部位W1に向け、粘着手段2の本体2bが待機位置から接近移動する。これに続き、不支持部位W1の表面に対して、粘着手段2の粘着面2aの一部が接触したところで、粘着手段2の接近移動を停止させる。図1a参照それにより、粘着面2aの一部を不支持部位W1の表面に撫で当て接触させて、局部的な粘着が行われる。その後、粘着面2aの粘着工程で粘着面積増大手段4により、粘着面2aが薄板状ワークWの表面に撫で当てながら周回旋回させるなど動いて、これら粘着面2aと不支持部位W1の表面との接触領域が徐々に拡大する。図1b参照それにより、不支持部位W1の自重撓みに倣って粘着面2aが部分的に時間差をかけつつ徐々に接触し、それに伴い薄板状ワークWに対する外的負荷を非常に小さく押さえつつ、粘着面2aの略全体が不支持部位W1の表面に接触して粘着保持される。その後、粘着手段2の逆移動工程で往復動制御手段3により、粘着手段2の粘着面2aが、薄板状ワークWにおいて支持部材1で支持される支持部位W2の表面と同一平面上となる位置まで逆移動される。図1c参照それにより、不支持部位W1の自重撓みが減少して、薄板状ワークWの全体が平面状に粘着保持される。したがって、薄板状ワークWを破損することなく不支持部位W1が支持部位W2と略面一となるように粘着保持して薄板状ワークWの自重撓みを補正することができる。さらに、本発明の実施形態に係る製造システムは、図2a~eに示すように、前述した薄板状ワークの粘着保持装置Aと、薄板状ワークWに沿ってその表面となる非加工面W3と対向するように設けられる磁石面5と、薄板状ワークWに沿ってその膜面となる加工面W4と対向するように設けられる磁性体からなる加工用マスク6と、薄板状ワークWの加工面膜面W4に対する加工用マスク6の往復動を作動制御するマスク移動制御手段7とを備えている。磁石面5は、薄板状ワークWと略同じ大きさの板材に永久磁石などを埋設したり、板材の全体を永久磁石などで形成することにより構成され、その平滑な磁気面部5aが、支持部材1で支持される薄板状ワークWにおいて支持部位W2の非加工面W3と同一平面上となるように配置している。つまり、磁石面5の磁気面部5aは、押さえ用の縦フレーム1c及び横フレーム1dの下面と同一平面上に配置されている。加工用マスク6は、薄板状ワークWの膜面に例えば蒸着パターンに対応する開口部図示しないが単数又は複数形成された蒸着マスクなどからなり、粘着手段2と同様にZ方向へ往復動自在に設けられ、マスク移動制御手段7により薄板状ワークWの加工面W4に対する往復動を作動制御している。マスク移動制御手段7は、往復動制御手段3などと共にコントローラに備えられ、加工用マスク6を往復動させるための駆動源図示しないとも電気的に接続しており、予め入力設定されたプログラムに従って、マスク往復動用駆動源を作動制御している。マスク移動制御手段7による加工用マスク6の作動制御の一例を挙げると、その初期状態では、図2aに示されるように、支持部材1で支持されない薄板状ワークWにおける不支持部位W1の加工面W4から離れるように加工用マスク6を待機させることが好ましい。図2a~cに示されるように、前述した粘着手段2の接近移動工程と粘着面2aの粘着工程と粘着手段2の逆移動工程においても、不支持部位W1の加工面W4から離れるように加工用マスク6を待機させることが好ましい。往復動制御手段3と連動して、粘着手段2の逆移動工程と同時か、又は粘着手段2の逆移動工程が完了した後に、図2dに示されるように、加工用マスク6を薄板状ワークWの加工面W4に向けて移動させ、加工用マスク6が磁石面5の磁気吸引力領域に入るように設定されている。図2cdに示される例では、粘着手段2の逆移動工程において粘着面2aを薄板状ワークWにおいて支持部位W2の表面と同一平面上となる位置まで逆移動させている。その他の例として図示しないが、粘着面2aを磁石面5の磁気吸引力領域に入るまで逆移動させることも可能である。このような本発明の実施形態に係る製造システムによると、粘着手段2の粘着面2aの略全体と不支持部位W1の表面が接触した後に、マスク移動制御手段7で加工用マスク6が磁石面5の磁気吸引力領域まで移動するため、磁石面5の磁気吸引力で加工用マスク6と共に薄板状ワークWが磁石面5へ向け引き付けられ、磁石面5の平滑な磁気面部5aに支持部位W2の非加工面W3が圧接すると同時に、薄板状ワークWの加工面W4に加工用マスク6の表面が圧接して、これら磁石面5と加工用マスク6の間に薄板状ワークW全体が挟持される。図2e参照したがって、薄板状ワークWを破損することなく不支持部位W1が支持部位W2と略面一となるように粘着保持して磁石面5の磁気面部5aと加工用マスク6の間に平面状に挟持することができる。それにより、加工用マスク6におけるマスクパターンに変形や歪みが発生しないので、蒸着などで正確なパターン形成ができ、精密度が向上して歩留りを向上させることができる。次に、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。この実施例は、図4a~dに示すように、粘着手段2の具体例として、粘着手段2の本体2bに対し粘着面2aを傾動自在に支持し、粘着面積増大手段4により、粘着面2aを薄板状ワークWの不支持部位W1に撫で当てながら周回旋回移動させ、さらに粘着手段2の本体2bに、薄板状ワークWの不支持部位W1から粘着面2aを剥がすための剥離手段8を一体的に組み込んだものである。粘着手段2の本体2bは、円板状や矩形の板状などに形成され、その中央に開設された貫通孔に対して円筒体2cをZ方向へ往復動自在に挿通し、これら本体2bと円筒体2cに亘って例えばコイルバネなどの付勢部材2dを設けることにより、格子状の支持部材1に載置された薄板状ワークWに対して円筒体2cが離隔する方向へ常時付勢されている。円筒体2cの一端には、遊動体2eが遊嵌状に設けられ、遊動体2eの先端に粘着面2aとなる粘着シートを固定し、これら円筒体2cと遊動体2eとの間に例えばゴムシートなどの弾性変形可能な弾性部材2fを介装することにより、遊動体2e及び粘着面2aが円筒体2cに対して傾動自在に支持されている。円筒体2cに対する遊動体2e及び粘着面2aの支持方向は、粘着面積増大手段4により作動制御され、薄板状ワークWの不支持部位W1に対して、所定角度で傾斜させた粘着面2aの一部を不支持部位W1の表面に接触させてから、粘着面2aとなる粘着材及び不支持部位W1相互の弾性変形可能な範囲において粘着面2aを不支持部位W1に撫で当てながら周回旋回移動させることで、不支持部位W1の表面との接触面積が徐々に増えるようにしている。図4cに示される例では、円筒体2cの内周孔に粘着用駆動部としてロッド4aが回転自在に挿通され、このロッド4aの先端に形成された傾斜面4bを、遊動体2eの基端に所定の圧力で当接させることにより、粘着面2aを所定角度θだけ傾け、且つ当接状態を維持しながらロッド4aの傾斜面4bを回転させることにより、粘着面2aが所定角度θで傾斜したまま回転移動するように構成している。さらに、図4bcに示される例では、往復動制御手段3により、粘着手段2の粘着面2aを傾斜させずに、薄板状ワークWの不支持部位W1の表面に接触する直前位置まで接近移動させ、その後、粘着面積増大手段4により、ロッド4aの傾斜面4bを遊動体2eの基端に当接させて、粘着面2aの一部が不支持部位W1の表面に接触するように傾斜し、その後、ロッド4aの傾斜面4bを回転させることで、粘着面2aとなる粘着材及び不支持部位W1相互の弾性変形可能な範囲において粘着面2aが不支持部位W1に撫で当たるように傾斜したまま周回旋回するように作動制御している。また、その他の例として図示しないが、予め粘着面2aを傾斜させた状態で待機させるか、接近移動中に粘着面2aを傾斜させ、この粘着面2aの一部が不支持部位W1の表面に接触した時点で接近移動を停止させることも可能である。さらに、剥離手段8は、互いに粘着された粘着面2aと不支持部位W1の表面とをZ方向へ粘着面2aが有する粘着力よりも大きな力で引き離すものである。剥離手段5の具体例としては、粘着面2aの面内か又は粘着面2aの周囲にプッシャ8aを、不支持部位W1の表面に向けて突出動自在に設け、プッシャ8aの突出動によって不支持部位W1の表面から粘着面2aを強制的に押し剥がすことが好ましい。図4dに示される例では、遊動体2eの中央に開穿される貫通孔2gに対し、プッシャ8aを挿通してその先端部8bが粘着面2aから突出するように作動制御している。また、その他の例として図示しないが、粘着手段2の逆移動によって不支持部位W1の表面から粘着面2aを強制的に引き剥がすことも可能である。このような本発明の実施例に係る薄板状ワークWの粘着保持方法及び薄板状ワークWの粘着保持装置A並びに製造システムによると、粘着面2aの一部を不支持部位W1の表面に撫で当て接触させて、局部的な粘着が行われた後に、粘着面積増大手段4で、粘着面2aとなる粘着材及び不支持部位W1相互の弾性変形可能な範囲において粘着面2aを不支持部位W1に撫で当てながら周回旋回移動させるため、弾性部材2fによるクッション作用により、粘着面2aが不支持部位W1の姿勢の反力などに応じて倣いながら、粘着面2aが部分的に周方向へ不支持部位W1の表面と順次接近して、これら粘着面2aと不支持部位W1の表面との接触領域が徐々に拡大する。それにより、薄板状ワークWの撓み変形した不支持部位W1に粘着手段2の粘着面2aをソフトに部分接触させ且つ粘着面2aの全体を確実に面接触させることができる。その結果、薄板状ワークWの割れを完全に防止しながら平面状に粘着保持できて、作動性に優れるという利点がある。なお、前示実施例では、粘着手段2の本体2bに対し粘着面2aを傾動自在に支持し、粘着面積増大手段4により、粘着面2aを薄板状ワークWの不支持部位W1に撫で当てながら周回旋回移動させたが、これに限定されず、粘着面2aの周回旋回移動に代えて粘着面2aの一端から他端に向けて不支持部位W1に対する傾斜角度が漸次小さくなるように倒すように作動制御しても良い。さらに粘着手段2の本体2bに、薄板状ワークWの不支持部位W1から粘着面2aを剥がすための剥離手段8を一体的に組み込んだが、これに限定されず、粘着手段2と別個に剥離手段8を設けても良い。