"磁性、光学及び半導体基材の少なくとも一つを研磨するのに有用な研磨パッドであって、研磨層を含み、前記研磨層がポリウレタン窓を有し、前記ポリウレタン窓が、プレポリマー混合物中の脂肪族又は脂環式イソシアネート及びポリオールで形成された架橋構造を有し、前記プレポリマー混合物が、OH又はNH2基を有する連鎖延長剤と反応し、かつ未反応NCOに対するOH又はNH2の化学量論比が95未満であり、前記ポリウレタン窓が、60°Cの一定温度で1kPaの軸方向一定引張り荷重を用いて140分間計測した場合で0.02以下の時間依存性ひずみ、45~80のショアD硬さ、及び1.3mmの試料厚さの場合に400nmの波長で少なくとも15のダブルパス光透過率を有する研磨パッド。前記ポリウレタン窓が負の時間依存性ひずみを示して準安定性である、請求項1記載の研磨パッド。前記プレポリマーが、二つを超えるイソシアナート基を含む、請求項1記載の研磨パッド。二つを超える官能基を有するポリオール又は二つを超える官能基を有するポリアミンが前記プレポリマーと反応する、請求項1記載の研磨パッド。磁性、光学及び半導体基材の少なくとも一つを研磨するのに有用な研磨パッドであって、研磨層を含み、前記研磨層がポリウレタン窓を有し、前記ポリウレタン窓が、プレポリマー混合物中の脂肪族又は脂環式イソシアネート及びポリオールで形成された架橋構造を有し、前記プレポリマー混合物が、OH又はNH2基を有する連鎖延長剤と反応し、かつ未反応NCOに対するOH又はNH2の化学量論比が90未満であり、前記ポリウレタン窓が準安定性であり、前記ポリウレタン窓が、60°Cの一定温度で1kPaの軸方向一定引張り荷重を用いて140分間計測した場合で負の時間依存性ひずみ、50~80のショアD硬さ、及び1.3mmの試料厚さの場合に400nmの波長で少なくとも15のダブルパス光透過率を有する研磨パッド。前記プレポリマーが、二つを超えるイソシアナート基を含む、請求項5記載の研磨パッド。二つを超える官能基を有するポリオール又は二つを超える官能基を有するポリアミンが前記プレポリマーと反応する、請求項5記載の研磨パッド。前記ポリウレタン窓が部分的硬化形態を有する、請求項5記載の研磨パッド。前記ポリウレタン窓が少なくとも18のダブルパス光透過率を有する、請求項5記載の研磨パッド。前記ポリウレタン窓が55~75のショアD硬さを有する、請求項5記載の研磨パッド。高い光透過性を有し、外方への窓の膨れを起こさず、厳しい研磨用途に求められる耐久性を有する研磨窓の必要性がある。本発明の一つの態様において、磁性、光学及び半導体基材の少なくとも一つを研磨するのに有用な研磨パッドであって、研磨層を含み、研磨層がポリウレタン窓を有し、ポリウレタン窓が、プレポリマー混合物中の脂肪族又は脂環式イソシアネート及びポリオールで形成された架橋構造を有し、プレポリマー混合物が、OH又はNH2基を有する連鎖延長剤と反応し、かつ未反応NCOに対するOH又はNH2の化学量論比が95未満であり、ポリウレタン窓が、60°Cの一定温度で1kPaの軸方向一定引張り荷重を用いて140分間計測した場合で0.02以下の時間依存性ひずみ、45~80のショアD硬さ及び1.3mmの試料厚さの場合に400nmの波長で少なくとも15のダブルパス光透過率を有する研磨パッド。本発明のもう一つの態様において、磁性、光学及び半導体基材の少なくとも一つを研磨するのに有用な研磨パッドであって、研磨層を含み、研磨層がポリウレタン窓を有し、ポリウレタン窓が、プレポリマー混合物中の脂肪族又は脂環式イソシアネート及びポリオールで形成された架橋構造を有し、プレポリマー混合物が、OH又はNH2基を有する連鎖延長剤と反応し、かつ未反応NCOに対するOH又はNH2の化学量論比が90未満であり、ポリウレタン窓が準安定性であり、ポリウレタン窓が、60°Cの一定温度で1kPaの軸方向一定引張り荷重を用いて140分間計測した場合で負の時間依存性ひずみ、50~80のショアD硬さ及び1.3mmの試料厚さの場合に400nmの波長で少なくとも15のダブルパス光透過率を有する研磨パッド。詳細な説明本発明の研磨パッドは、磁性、光学及び半導体基材の少なくとも一つを研磨するのに有用である。特に、ポリウレタンパッドは、半導体ウェーハを研磨するのに有用であり、特に、終点検出を要する先進用途、たとえば銅バリヤ又はシャロートレンチ素子分離STI用途に有用である。本明細書に関して、ポリウレタンとは、二官能又は多官能イソシアネートから誘導される生成物、たとえばポリエーテルウレア、ポリイソシアヌレート、ポリウレタン、ポリウレア、ポリウレタンウレア、それらのコポリマー及びそれらの混合物である。研磨層は、研磨される面の光学的終点検出を可能にするポリウレタン窓を含む。良好なポリウレタン窓は、許容可能な光透過性、研磨面への低い欠陥取り込み性及び研磨加工条件に耐える能力をはじめとするいくつかの加工要件を満たさなければならない。特に、本発明は耐クリープ性の明澄な窓を記載する。本明細書に関して、明澄な窓とは、400nmで15以上のダブルパス光透過率を可能にするポリウレタン窓と定義され、耐クリープ性の窓とは、60°Cの一定温度で1kPaの軸方向一定引張り荷重を用いて140分間計測した場合で、負のひずみを含む0.02以下の時間依存性ひずみを有するポリウレタン窓と定義される。同様に、クリープ応答とは、60°Cの一定温度で1kPaの軸方向一定引張り荷重を用いて計測された時間依存性ひずみと定義される。本明細書に関して、時間依存性ひずみとクリープ応答とは交換可能に使用されている。ポリウレタン窓は、少なくとも一つの連鎖延長剤と一つのプレポリマーとの反応を経て形成される。明澄な窓に使用されるプレポリマーは、プレポリマー混合物中、脂肪族又は脂環式ジイソシアネートとポリオールとの反応を経て生成される。好ましい脂肪族ポリイソシアネートとしては、メチレン-ビス44シクロヘキシルイソシアネートH12MDI、シクロヘキシルジイソシアネート、イソホロンジイソシアネートIPDI、ヘキサメチレンジイソシアネートHDI、プロピレン-1,2-ジイソシアネート、テトラメチレン-1,4-ジイソシアネート、1,6-ヘキサメチレン-ジイソシアネート、ドデカン-1,12-ジイソシアネート、シクロブタン-1,3-ジイソシアネート、シクロヘキサン-1,3-ジイソシアネート、シクロヘキサン-1,4-ジイソシアネート、1-イソシアナト-3,3,5-トリメチル-5-イソシアナトメチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキシレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートのトリイソシアネート、2,4,4-トリメチル-1,6-ヘキサンジイソシアネートのトリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートのウレトジオン、エチレンジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート及びこれらの混合物があるが、これらに限定されない。好ましい脂肪族ポリイソシアネートは、14未満の未反応のイソシアナート基を有する。例示的なポリオールとしては、ポリエーテルポリオール、末端ヒドロキシ修飾ポリブタジエン部分的/完全に水素化された誘導体を含む、ポリエステルポリオール、ポリカプロラクトンポリオール及びポリカーボネートポリオールがあるが、これらに限定されない。一つの好ましい態様において、ポリオールとしてポリエーテルポリオールがある。例は、ポリテトラメチレンエーテルグリコールPTMEG、ポリエチレンプロピレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール及びそれらの混合物又はコポリマーを含むが、これらに限定されない。炭化水素鎖は、飽和又は不飽和結合を有することができ、置換又は非置換の芳香族及び環式基を有することができる。好ましくは、本発明のポリオールとしてはPTMEGがある。適当なポリエステルポリオールとしては、ポリエチレンアジペートグリコール、ポリブチレンアジペートグリコール、ポリエチレンプロピレンアジペートグリコール、o-フタレート-1,6-ヘキサンジオール、ポリヘキサメチレンアジペートグリコール及びこれらの混合物があるが、これらに限定されない。炭化水素鎖は、飽和又は不飽和結合を有することができ、置換又は非置換の芳香族及び環式基を有することができる。適当なポリカプロラクトンポリオールとしては、1,6-ヘキサンジオール誘導ポリカプロラクトン、ジエチレングリコール誘導ポリカプロラクトン、トリメチロールプロパン誘導ポリカプロラクトン、ネオペンチルグリコール誘導ポリカプロラクトン、1,4-ブタンジオール誘導ポリカプロラクトン、PTMEG誘導ポリカプロラクトン及びこれらの混合物があるが、これらに限定されない。炭化水素鎖は、飽和又は不飽和結合を有することができ、置換又は非置換の芳香族及び環式基を有することができる。適当なポリカーボネートとしては、ポリフタレートカーボネート及びポリヘキサメチレンカーボネートグリコールがあるが、これらに限定されない。炭化水素鎖は、飽和又は不飽和結合を有することができ、置換又は非置換の芳香族及び環式基を有することができる。有利には、連鎖延長剤はポリアミン、たとえばジアミンである。好ましいポリアミンとしては、ジエチルトルエンジアミンDETDA、3,5-ジメチルチオ-2,4-トルエンジアミン及びその異性体、3,5-ジエチルトルエン-2,4-ジアミン及びその異性体、たとえば3,5-ジエチルトルエン-2,6-ジアミン、4,4′-ビス-sec-ブチルアミノ-ジフェニルメタン、1,4-ビス-sec-ブチルアミノ-ベンゼン、4,4′-メチレン-ビス-2-クロロアニリン、4,4′-メチレン-ビス-3-クロロ-2,6-ジエチルアニリンMCDEA、ポリテトラメチレンオキシド-ジ-p-アミノベンゾエート、N,N′-ジアルキルジアミノジフェニルメタン、p,p′-メチレンジアニリンMDA、m-フェニレンジアミンMPDA、メチレン-ビス2-クロロアニリンMBOCA、4,4′-メチレン-ビス-2-クロロアニリンMOCA、4,4′-メチレン-ビス-2,6-ジエチルアニリンMDEA、4,4′-メチレン-ビス-2,3-ジクロロアニリンMDCA、4,4′-ジアミノ-3,3′-ジエチル-5,5′-ジメチルジフェニルメタン、2,2′,3,3′-テトラクロロジアミノジフェニルメタン、トリメチレングリコールジ-p-アミノベンゾエート及びこれらの混合物があるが、これらに限定されない。好ましくは、本発明の連鎖延長剤としてはDETDAがある。適当なポリアミン連鎖延長剤としては、第一級及び第二級アミンの両方がある。加えて、他の連鎖延長剤、たとえばジオール、トリオール、テトラオール又は他の末端ヒドロキシ修飾連鎖延長剤をポリウレタン組成物に加えてもよい。適当なジオール、トリオール及びテトラオールの群は、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、低分子量ポリテトラメチレンエーテルグリコール、1,3-ビス2-ヒドロキシエトキシベンゼン、1,3-ビス-[2-2-ヒドロキシエトキシエトキシ]ベンゼン、1,3-ビス-{2-[2-2-ヒドロキシエトキシエトキシ]エトキシ}ベンゼン、1,4-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、レソルシノール-ジ-β-ヒドロキシエチルエーテル、ヒドロキノン-ジ-β-ヒドロキシエチルエーテル及びこれらの混合物を含む。好ましい末端ヒドロキシ修飾連鎖延長剤としては、1,3-ビス2-ヒドロキシエトキシベンゼン、1,3-ビス-[2-2-ヒドロキシエトキシエトキシ]ベンゼン、1,3-ビス-{2-[2-2-ヒドロキシエトキシエトキシ]エトキシ}ベンゼン、1,4-ブタンジオール及びこれらの混合物がある。末端ヒドロキシ修飾連鎖延長剤及びアミン連鎖延長剤はいずれも一つ以上の飽和、不飽和、芳香族及び環式基を含むことができる。さらには、末端ヒドロキシ修飾連鎖延長剤及びアミン連鎖延長剤はハロゲン化を含むことができる。ポリウレタン組成物は、連鎖延長剤、たとえば末端ヒドロキシ修飾化合物及びアミンのブレンド又は混合物で形成することができる。しかし、望むならば、ポリウレタン組成物は、単一の連鎖延長剤で形成することもできる。ポリウレタンの架橋は、多数の機構を経て起こることができる。一つのそのような機構は、プレポリマー中のイソシアネート基の比に対して連鎖延長剤の量を減らすことである。たとえば、プレポリマーの脂肪族イソシアネート基に対して連鎖延長剤中のヒドロキシル又はアミン基の比を95未満に減らすと、架橋が増大する。具体的には、架橋を促進するために、プレポリマー混合物は、未反応NCOに対するOH又はNH2の化学量論比が95未満である。有利には、架橋を促進するために、プレポリマー混合物は、未反応NCOに対するOH又はNH2の化学量論比が90未満である。もっとも有利には、架橋を促進するために、プレポリマー混合物は、未反応NCOに対するOH又はNH2の化学量論比が75~90である。これらの比は、ひとたび連鎖延長剤が消費されると、過剰な脂肪族イソシアネート基を生じさせる。硬化中、過剰なイソシアネート基がポリマー鎖のポリウレタン及びポリウレアセグメントと反応してポリマー鎖を連結する。第二のそのような機構は、二つを超える未反応脂肪族イソシアネート基を含有するプレポリマーを使用することである。二つを超える官能基を含むプレポリマーの硬化反応は、二つの官能基を含むプレポリマーに関連する比較的直鎖状の連鎖延長とは反対に、より架橋しやすい有利な構造を生じさせる。第三のそのような機構は、二つを超える官能基を有するポリオール又はポリアミン、たとえば三官能基を含むポリオールを鎖長延長剤として又は鎖長延長剤と組み合わせて使用することである。本発明の一つの態様は、これらの機構の一つ以上によって架橋を増大させて、窓の耐クリープ性を改善することである。架橋は、500nm未満の波長で十分な透過性を維持しながらもポリウレタン窓の寸法安定性を高める。ポリウレタン窓は、60°Cの一定温度で1kPaの軸方向一定引張り荷重を用いて140分間計測した場合、0.02以下の時間依存性ひずみを有する。時間依存性ひずみのこの量は、研磨中、窓が過度な変形なしに機能することを可能にする。場合によっては、準安定性ポリウレタンが耐クリープ性をさらに高めるように働く。本明細書に関して、準安定性とは、ポリウレタンが、温度、応力又は温度と応力との組み合わせによって非弾性的に収縮することを表す。たとえば、ポリウレタン窓の不完全な硬化又は窓の形成に関連して軽減されない応力は、半導体ウェーハ研磨で加えられる応力及び高温に暴露されたとき、窓の収縮を生じさせる可能性がある。準安定性ポリウレタン窓は、60°Cの一定温度で1kPaの軸方向一定引張り荷重を用いて140分間計測した場合、負の時間依存性ひずみを有することができる。この負の時間依存性ひずみが優れた耐クリープ性を生じさせる。製造時の条件としては、窓製造工程、パッド製造工程又はそれらの組み合わせがあるが、これらに限定されない。一つのそのような例は、硬化時の流し込み技術及び熱サイクルを入念に制御しながら窓材料を流し込み、硬化させ、ブロックを所望の形状に機械加工し、窓ブロックをかなり大きめの型内に配置し、パッド材料を型の中及び機械加工された窓ブロックの周囲に流し込み、入念に制御された熱サイクル下、組み合わせたパッド及び窓材料を硬化させ、ケーキを、研磨面として使用されるシートにスカイビングすることである。有利には、窓は部分的硬化形態を有する。窓は45~80のショアD硬さを有する。この硬さ範囲は、欠陥率の増大を伴う過度な硬さなしに、厳しい用途の場合に十分な剛性を提供する。有利には、窓は50~80のショアD硬さを有する。もっとも有利には、窓は55~75のショアD硬さを有する。本明細書に関して、すべての物理的性質は、室温及び相対湿度50で三日間コンディショニングされた試料から得られた値を表す。物理的性質に加えて、窓はまた、適当なダブルパス光学的性質を有しなければならない。窓は、1.3mmの試料厚さの場合に400nmの波長で少なくとも15のダブルパス光透過率を有する。有利には、窓は、1.3mmの試料厚さの場合に400nmの波長で少なくとも18のダブルパス光透過率を有する。実施例様々な芳香族及び脂肪族ポリウレタンから一連の窓ブロックを流し込み成形した。以下の実施例においては、試料A~Dは比較例を表し、試料1は本発明を表す。表1は、試験した配合物を一覧に示す。表2は、表1に掲載したパッドの光学的性質及びクリープ性をまとめる。さらなるデータはガラス転移温度Tg及び硬度計測値を含む。これらのパラメータは、クリープ性及び光学的性質が他の窓物理的性質から独立して変化することを実証するために含めたものである。架橋密度は、溶媒膨潤試験によって定量したものであり、値が低いほど架橋度が高いことを示す。光学的性質計測HR4000複合格子分光計を、それぞれ405nm及び800nmに中心を合わせた2個のOceanOpticsInc製LED光源とともに使用して、光学的性質を測定した。計測は、光を窓の下面に照射し、窓を透過させ、窓の上面に対して配置された表面から反射させ、窓を逆に透過させ、原点で計測することによって実施した。窓の厚さに等しい長さの空気を通して同様なやり方で試験した場合に計測された強さを100透過率と定義した。窓を二回透過させるこの透過はダブルパス透過とも知られている。同様に、シングルパス透過率はダブルパス透過率の平方根である。クリープ計測引張りクリープ実験は、一定の適用応力σ0に付された試料の時間依存性ひずみεtを計測した。時間依存性ひずみは、試料の変形の程度であり、ΔLt/L0×100によって定義される。適用応力は、適用した力Fを試験片の断面積で割ったものと定義される。引張りクリープコンプライアンスDtは、Dt=εt/σ0と定義される。クリープコンプライアンスは通常、対数目盛で報告される。実験値のいくつかは負であり、負の数値の対数は決定することができないため、クリープコンプライアンスの代わりにひずみ値が報告される。両方の値は一定応力下では同じ意味を有するため、報告されるひずみ値には技術的意義がある。クリープコンプライアンスは時間の関数としてプロットされ、粘弾性ポリマーの時間の関数としてのクリープ応答ひずみの教科書的な例が図1に示されている。応力σはt=0で加えられる。ポリマーははじめ、弾性的に変形し、時間とともにゆっくり伸びクリープし続ける左側の曲線。応力が解除されると、ポリマーは反跳する右側の曲線。弾粘性材料は完全には収縮しないが、純粋に弾性の材料はその初期長さに戻る。TAInstrumentsQ800DMA上、引張りクランプ固定具を使用してクリープ計測を実施した。研磨温度をシミュレートするため、すべてのクリープ実験は60°Cで実施した。試料を試験温度で15分間平衡させたのち、応力を加えた。試料に加えた応力は1kPaであった。試験前に、マイクロメータを使用して各試験片の寸法を計測した。呼び試料寸法は通常、18mm×6mm×2mmであった。応力を150分間試料に適用した。150分後、加えた応力を解除し、さらに60分間、計測を続けた。クリープコンプライアンス及び試料ひずみを時間の関数として記録した。試験に供給された窓材料は、製造された一体型窓パッドからのものであった。試験のために窓材料片をパッドから切り取った。試料は、そのままで製造後及びオーブン中60°Cで夜通し16時間アニールした後でアニール後試験した。示差走査熱量測定TAInstrumentsQ1000示差走査熱量計を使用して、アルミニウム気密パンに封入したポリウレタンの15mg試料を用いてポリウレタン窓のガラス転移温度を測定した。-90°C~250°C毎分10°Cの加熱勾配を適用した。UniversalAnalysisSoftwareV24を使用して、変曲によってTgを測定した。代用架橋密度CrossLinkDensitySurrogate溶媒膨潤試験を使用して架橋密度指向性を評価した。良好な溶媒Floryの意味でがポリマー試料によって吸収されるとき、ポリマー鎖は移動し、最後に、別のポリマー鎖への接続によって制限されるすなわち架橋。試料が架橋をほとんど又は全く有しないならば、ポリマー鎖は、試料が構造結着性を失う、又は溶媒によって溶解されるまで、拡張し続ける。架橋したポリマーは、制限された鎖移動を有し、そのため、架橋の増大とともに膨潤は低下する。ポリマー試料を60°CのN-メチル-2-ピロリドンNMPに24時間ソークし、ソークの前後の試料の直径を計測することにより、膨潤試験を実施した。線形膨潤は、以下のように、24時間ソークした試料の直径を試料の初期直径によって割ったものと定義される。線形膨潤=D24時間/D0一体型窓パッドからポリウレタン窓材料を取り出し、寸法を直径12.7mm及び厚さ1.3mmに修正することにより、試料を調製した。実施例1:比較窓A比較窓Aは、500nm未満での透過性を要しない光学終点検出装置との使用のために設計された市販の窓であった。架橋ポリマーは、芳香族及び脂肪族イソシアネートならびに芳香族連鎖延長剤を含むプレポリマー混合物からなるものであった。製造後の試料の負の時間依存性クリープ応答が図2に示されている。窓Aの時間依存性ひずみ応答は、図1に概略的に示すような時間とともに起こる試料の連続的な伸びではなく、負のひずみ値によって証明されるような、延長方向沿いの試料の収縮を示す。この収縮は、時間及び温度とともに収縮する準安定性ポリウレタンを実証した。比較窓Aのアニールされた試料の時間依存性ひずみ応答が図3に示されている。試料をアニールしたのち、時間依存性ひずみ応答は、図1に概略的に示す時間依存性ひずみに似たものであった。表2の数値に基づくと、準安定性の比較窓Aは、十分な耐クリープ性を有したが、求められるダブルパス透過性を欠くものであった。アニール後の比較窓Aは、求められる耐クリープ性及びダブルパス透過性の両方を欠くものであった。実施例2:比較窓B比較窓Bは、500nm未満での有意な透過性を要する光学終点検出装置との使用のために設計された実験材料を表すものであった。ポリマーは、脂肪族プレポリマー及び芳香族連鎖延長剤からなるものであった。95の化学量論比を有するにもかかわらず、ポリマーは、膨潤試験結果によって証明されるように、非常に低い架橋を示した。大気水分への偶発的暴露が化学量論比を高め、それにより、架橋度及び分子量の両方を低下させたことが考えられる。膨潤試験の完了時、試料は溶液中に溶解していた。したがって、最終寸法を計測することはできず、結果は適用不可であった。架橋の欠如はまた、図4、5及び表2に示すように、比較窓Aよりも大きな時間依存性ひずみを生じさせた。試料のアニーリングが準安定状態を低下させて、時間依存性ひずみのさらなる増大を示した。比較窓Bは、厳しい窓の用途に求められる耐クリープ性を欠くものであった。実施例3:比較窓C比較窓Cは、500nm未満での有意な透過性を要する光学終点検出装置との使用のために設計された市販の窓であった。架橋ポリマーは、脂肪族プレポリマー及び芳香族連鎖延長剤からなるものであった。比較窓B及び比較窓Cは異なるプレポリマーから製造した。図6、7及び表2を参照すると、時間依存性ひずみは、製造後又はアニール後状態のいずれでも厳しい窓用途のための十分な耐クリープ性を提供しなかった。材料は線形膨潤試験において比較窓Bよりもその結着性を維持したが、100を超える化学量論比で調製されたため、比較窓Aの化学的架橋を有するとは期待されなかった。線形膨潤結果によって示されるように、物理的架橋とも呼ばれる鎖の絡み合いが比較窓A及びCの時間依存性ひずみの減少に寄与したのかもしれない。本明細書に関して、語架橋は、化学的架橋及び鎖の絡み合いの両方を含む。実施例4:比較窓D比較窓Dは、500nm未満での有意な透過性を要する光学終点検出装置との使用のために設計された明澄な一体型窓であった。材料は、比較窓Cと同じプレポリマー及び連鎖延長剤を使用したが、架橋を増し、クリープ応答を減らすために化学量論比を低下させた。架橋の増大は、窓Cに対して低下した線形膨潤によって実証された。この材料は、図8に示す下向きに傾斜するひずみ曲線によって明らかであるように、準安定性であり、表2における製造後ひずみ応答にしたがって、厳しい研磨用途に適した耐クリープ性窓の基準を満たさなかった。準安定状態を軽減するためのアニール後の試料1の時間依存性ひずみ応答が図9に示されている。実施例5:実施例窓1実施例窓1は、500nm未満での有意な透過性を要する光学終点検出装置との使用のために設計された明澄な一体型窓であった。材料は、比較窓C及びDと同じプレポリマー及び連鎖延長剤を使用したが、架橋をさらに増し、クリープ応答を減らすために化学量論比をさらに低下させた。比較窓Aと同様に、材料のひずみは、製造後又は準安定状態で負であった。図10は、製造後状態における材料の負の時間依存性ひずみ応答を示す。アニール後のひずみ応答が図11に示されている。準安定状態の部分的軽減により、アニール後の時間依存性ひずみ傾斜が製造後の傾斜よりも大きいことが注目される。アニール後の材料の時間依存性ひずみは耐クリープ性窓の基準を満たして、増大した架橋が、許容可能なダブルパス光透過率とともに、厳しい用途に求められる耐クリープ性の窓を製造することができることを実証した。"