"流体の流量を制御するソレノイドバルブであって、内部が軸方向に貫通した弁空間室に形成され、当該弁空間室が細径に形成された第1仕切部、第2仕切部及び第3仕切部により順に第1感圧室、第1弁室、第2弁室及び第2感圧室に仕切られた本体、前記第1弁室に貫通して流体が流入出される供給ポート、前記第2弁室に貫通して流体が流入出される出力ポート、前記第1感圧室又は前記第2感圧室の一方あるいは両方に各々貫通して流体が流入出される排出ポート、前記第1感圧室、前記第1弁室及び前記第2弁室の内部に軸方向に移動自在に配置され、内部に軸方向に貫通し前記第1感圧室側と前記第2弁室側とを連通する第1連通路を有する第1弁部材、前記第2弁室及び前記第2感圧室の内部に軸方向に移動自在に配置され、内部に軸方向に貫通し前記第2弁室側と前記第2感圧室側とを連通する第2連通路を有する第2弁部材、前記第1弁室と前記第2弁室を仕切る前記第2仕切部に形成される弁体又は弁座体のいずれか一方と、前記第1弁部材に形成される前記弁体又は弁座体のいずれか他方とを有し、前記第1弁室と前記第2弁室との間を開閉する第1ポペット弁、前記第1弁部材の前記第2弁室側の端部に形成される弁体又は弁座体のいずれか一方と、前記第2弁部材の前記第2弁室側の端部に形成される弁体又は弁座体のいずれか他方とを有し、開弁状態においては前記第1連通路及び前記第2連通路と当該第2弁室とを連通し、閉弁状態においては前記第1連通路と前記第2連通路とを連通させる第2ポペット弁、前記第1弁部材に一体に形成され、前記第1感圧室と前記第1弁室を仕切る前記第1仕切部の内周に摺動可能に配置される第1感圧部、前記第2弁部材に一体に形成され、前記第2弁室と前記第2感圧室とを仕切る前記第3仕切部の内周に摺動可能に配置される第2感圧部、印加される電流に応じて所定方向の磁力を発生し、当該磁力を前記第2弁部材に連結されたソレノイドロッドを介して前記第2弁部材に作用させるソレノイド部、前記第1弁部材に前記第2弁部材方向の弾性力を作用させる第1スプリング、及び前記第2弁部材に前記ソレノイド部により作用される磁力と反対方向の弾性力を作用させる第2スプリングを有し、前記第1ポペット弁の着座面積である第1受圧面積と、前記第2ポペット弁の着座面積である第2受圧面積と、前記第1感圧部の受圧面積である第3受圧面積と、前記第2感圧部の受圧面積である第4受圧面積とをほぼ等しくしたことを特徴とするソレノイドバルブ。前記第1仕切部及び前記第3仕切部の少なくともいずれか一方において、当該仕切部の内周と、当該内周と摺動する前記第1感圧部又は前記第2感圧部の外周とのいずれか一方又は両方に、シール部材が配設されていることを特徴とする請求項1に記載のソレノイドバルブ。しかしながら、例えば日本国特許第3994871号公報に記載のソレノイドバルブにおいては、等しく形成された仕切板の内周孔の弁体のシール摺動面径、第1のポペット弁の弁部の着座径、及び、第2のポペット弁の着座径当接径に対して、第2のポペット弁の弁座体のシール摺動径第2シール摺動径を大きく設定する構成となっており、その結果、第2のポペット弁が出力圧の影響を受けてしまい、ソレノイド力のみで開口量を制御できなくなる場合がある。また、PCT国際公開WO2009/025366号公報に記載の制御弁においては、ベローズを用いており、部品コストが増大するという問題がある。また、このような制御弁では、高圧に耐え得るソレノイドバルブを形成する場合にはベローズの耐圧性を上げる必要があり、ベローズの板厚を厚くする必要があるが、そのような構成にするとベローズのばね定数が大きくなり、ソレノイド全体を大きくする必要があるという課題が生じる。また、ベローズを用いるこのような構成の制御弁では、ベローズの傾きに起因する弁の着座時の傾きを補正し切れない場合に、弁の開閉が適切にできない可能性もある。本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、流量制御を確実かつ高精度に行うことができ、コストが低減でき、小型で高耐圧のソレノイドバルブを提供することにある。前記課題を解決するために、請求項1に係る本願発明は、流体の流量を制御するソレノイドバルブであって、内部が軸方向に貫通した弁空間室に形成され、当該弁空間室が内周径が周囲より細径に形成された第1仕切部、第2仕切部及び第3仕切部により軸方向に順に第1感圧室、第1弁室、第2弁室及び第2感圧室に仕切られた本体、前記本体の前記第1弁室に貫通して前記本体の外部との間で所望の供給圧力の流体が流入出される供給ポート、前記本体の前記第2弁室に貫通して前記本体の外部との間で所望の制御圧力の流体が流入出される出力ポート、前記本体の前記第1感圧室又は前記第2感圧室の一方あるいは両方に各々貫通して前記本体の外部との間で所望の排出圧力の流体が流入出される排出ポート、前記本体の前記第1感圧室、前記第1弁室及び前記第2弁室の内部に軸方向に移動自在に配置される部材であって、当該部材を軸方向に貫通し前記第1感圧室側と前記第2弁室側とを連通する第1連通路を内部に有する第1弁部材、前記第2弁室及び前記第2感圧室の内部に軸方向に移動自在に配置される部材であって、当該部材を軸方向に貫通し前記第2弁室側と前記第2感圧室側とを連通する第2連通路を内部に有する第2弁部材、前記第1弁室と前記第2弁室を仕切る前記第2仕切部に形成される弁体又は弁座体のいずれか一方と、前記第1弁部材に形成される前記弁体又は弁座体のいずれか他方とを有し、前記供給ポートを介して流体が流される前記第1弁室と前記出力ポートを介して流体が流される前記第2弁室との間を開閉する第1ポペット弁、前記第1弁部材の前記第2弁室側の端部であって当該第2弁室内に形成される弁体又は弁座体のいずれか一方と、前記第2弁部材の前記第2弁室側の端部であって当該第2弁室内に形成される弁体又は弁座体のいずれか他方とを有し、開弁状態においては前記第1連通路及び前記第2連通路と当該第2弁室とを連通し、閉弁状態においては前記第1連通路と前記第2連通路とを連通させる第2ポペット弁、前記第1弁部材に一体に形成され、前記第1感圧室と前記第1弁室を仕切る前記第1仕切部の内周に摺動可能に配置される第1感圧部、前記第2弁部材に一体に形成され、前記第2弁室と前記第2感圧室とを仕切る前記第3仕切部の内周に摺動可能に配置される第2感圧部、印加される電流に応じて所定方向の磁力を発生し、当該磁力を前記第2弁部材に連結されたソレノイドロッドを介して前記第2弁部材に作用させるソレノイド部、前記本体と第1弁部材との間に設置され前記第1弁部材に前記第2弁部材方向の弾性力を作用させる第1スプリング、及び前記本体と第2弁部材との間に設置され前記第2弁部材に前記ソレノイド部により作用される磁力と反対方向の弾性力を作用させる第2スプリングを有し、前記第1ポペット弁の着座面積である第1受圧面積と、前記第2ポペット弁の着座面積である第2受圧面積と、前記第1感圧部の受圧面積である第3受圧面積と、前記第2感圧部の受圧面積である第4受圧面積とをほぼ等しくしたことを特徴とする。このような構成の制御弁によれば、第1弁座面と第1弁部面とが接合する内径面の第1受圧面積と、第2弁座面と第2弁部面とが接合する内径面の第2受圧面積と、第1感圧部の第3受圧面積と、第2感圧部の第4受圧面積とをほぼ等しくしたので、各ポペット弁が作動するときに、流入する圧力流体から受ける不釣り合いの力は、全てキャンセルされる。つまり、圧送ポンプ等から生じる変動圧力の流体が第1弁室に流入しても、この流体の変動圧力は、ほぼ同一の受圧面積に受けるので、受ける力は同一となって相反する力はキャンセルされる。第1ポペット弁及び第2ポペット弁に変動圧力が作用しても、スプリングのばね力と電流の大きさに応じたソレノイド部により移動するソレノイドロッドにより第1ポペット弁及び第2ポペット弁の開度は制御されるので、流量制御を確実に行うことができる。また、請求項2に係る本発明のソレノイドバルブは、前記第1仕切部及び前記第3仕切部の少なくともいずれか一方において、当該仕切部の内周と、当該内周と摺動する前記第1感圧部又は前記第2感圧部の外周とのいずれか一方又は両方に、Oリング等のシール部材が配設されていることを特徴とする。このような構成のソレノイドバルブにおいては、摺動部からの流体の漏れ低減することができ、より適切な流量制御が可能となる。第1実施形態本発明の第1実施形態について図1を参照して説明する。本実施形態においては、本発明に係るノーマルクローズ型のソレノイドバルブの基本的な構成について図1を参照して説明する。本実施形態のソレノイドバルブは、例えばオートマチックトランスミッションの油圧ブレーキ等の用途に用いられるものである。図1は、本発明に係るソレノイドバルブ100の断面図である。図1に示すように、ソレノイドバルブ100は、制御弁部101とソレノイド部102とを結合して一体に形成したものである。制御弁部101は、外枠としての本体110と、本体110の内部に軸方向に貫通した弁空間室120とを有する。弁空間室120は、第1~第3仕切部111~113により分断されることにより、第1感圧室121,第1弁室122,第2弁室123及び第2感圧室124に分室される。なお、本体110は、鉄、真鍮、銅、アルミニウム、ステンレス等の金属、工業プラスチック、特殊樹脂等の合成樹脂材で製作される。本体110には、第1感圧室121から軸方向の外方へ貫通する排出ポート131と、外周面から第1弁室122に貫通する供給ポート132と、外周面から第2弁室123へ貫通する出力ポート133が形成されている。供給ポート132及び出力ポート133は、外周面に沿って複数個設ける。供給ポート132には供給圧力Poの流体が流入し、出力ポート133においては制御圧力Pcの流体が流出又は流入し、排出ポート131からは排出圧力Pdの流体が排出される。本体110のソレノイド部102側の端部の外面は、ソレノイド部102が取り付けられる取付面114に形成されており、その端部、すなわち第2感圧室124のソレノイド部102側の端部には、当該端部を軸方向へ貫通するソレノイドロッド186用の貫通孔134が設けられている。本体110の第1仕切部111の第1感圧室121と第1弁室122とを連通する孔の周面は、第1摺動面111Aに形成されている。第1摺動面111Aには、後述する弁体140の円筒形状を有する第1感圧部145の外周面が僅かなクリアランスを持って貫通され、軸方向に摺動される。第2仕切部112の第1弁室122と第2弁室123とを連通する孔の周面には、弁孔面112Aが形成され、弁孔面112Aの第1弁室122側の端部には、第1ポペット弁103を構成する第1弁座面112Bが形成される。第3仕切部113の第2弁室123と第2感圧室124とを連通する孔の周面は、第2摺動面113Aに形成されている。第2摺動面113Aには、後述する弁座体150の円柱形状の胴体部151の外周面が僅かなクリアランスを持って貫通され、軸方向に摺動される。弁体140特許請求の範囲における第1弁部材に相当する。は、円柱状の胴体部141の一方の端部に筒状の第1感圧部145と第1弁体142が形成され、他方の端部に第2弁体143が形成された部材である。換言すれば、弁体140は、第1弁体142と第2弁体143、及び、第1感圧部145が一体化された部材である。弁体140は、第2弁体143側の端部をソレノイド部102側にして、第1弁体142と第2弁体143との間に第2仕切部112が介在されるような配置で、制御弁部101の本体110の弁空間室120内に配置される。なお、弁体140は、例えば、第1弁部142の端部に設けた嵌合孔に胴体部141の端部外周面を嵌着して連結する等して組み立てられ、上記の配置に配される。弁体140の材質は、例えば、真鍮、銅、アルミニウム、ステンレス等の金属、あるいは合成樹脂材等である。弁体140において、第1弁室122内には、第1弁体142が配置される。第1弁体142には、胴体部141に向かって小径になった、換言すれば本体110の第2仕切部112に向かって小径になったテーパ面である第1弁部面142Aが形成されている。第1弁部面142Aは、弁体140がソレノイド部102の向きに移動してテーパ面が弁孔面112A内に移動すると、第1弁座面112Bと接合して閉弁する。また、弁体140がソレノイド部102から離れる向きに移動してテーパ面が第1弁座面112Bから離れると、開弁する。このように、第1弁部面142Aと第1弁座面112Bとは、円筒面が嵌合しない形の第1ポペット弁103に構成される。ポペット弁は、弁座面に弁部面が微少な幅で接触する着座するものであるから、開閉弁時に摺動抵抗を伴わないようにできる。なお、第1弁部面142Aと第1弁座面112Bとが接合する着座する内径部分の断面積着座面積は、作動流体の圧力を受ける第1受圧面積S1となる。弁体140の胴体部141は、本体110の第2仕切部112の弁孔面112Aの内側に遊嵌合に配置される。第1弁部面142Aが第1弁座面112Bから離れて第1ポペット弁103が開弁した状態において、弁体140の胴体部141と弁孔面112Aとの間は第1流通路125になる。従って、第1ポペット弁103が開弁すると、供給圧力Poの流体は第1弁室122から第1流通路125を流れて第2弁室123へ供給される。このように、弁体140の胴体部141は、本体110の第2仕切部112の弁孔面112Aの内側に遊嵌合に配置されるため、弁体140が移動する場合も胴体部141と弁孔面112Aとの間は空間に成されて接触しない。従って、弁体140の移動は摺動抵抗を伴わない。また、胴体部141に付着物が付着しても胴体部141と弁孔面112Aとは摺動しないから、ソレノイドバルブ100が作動不良を生じることもない。弁体140において、第2弁室123内には、第2弁体143が配置される。第2弁体143は、弁体140のソレノイド部102側の端部に形成される。第2弁体143には、先端に向かって小径になった、換言すれば後述する弁座体150に向かって小径になったテーパ面である第2弁部面143Aが形成されている。第2弁部面143Aは、弁座体150が弁体140に向かって移動して第2弁体143のテーパ面が弁座体150の弁体140側の端部に形成された弁座部152の円筒形状の弁孔面152A内の位置となると、第2弁座面152Bと接合して閉弁する。また、弁座体150が弁体140から離れる向きに移動してテーパ面が第2弁座面152Bから離れると、開弁する。このように、第2弁部面143Aと第2弁座面152Bとは、円筒面が嵌合しない形の第2ポペット弁104に構成される。第2ポペット弁104も、第1ポペット弁103と同様に、弁座面に弁部面が微少な幅で接触する着座するものであるから、開閉弁時に摺動抵抗を伴わないようにできる。なお、第2弁部面143Aと第2弁座面152Bとが接合する着座する内径部分の断面積着座面積は、作動流体の圧力を受ける第2受圧面積S2となる。また、この弁体140の内部には、第1感圧部145から第2弁体143へ貫通する第1連通路146が形成されている。弁体140において、ソレノイド部102とは反対側の端部には第1感圧部145が配置される。第1感圧部145は、端部側が第1感圧室121に開口した有底円筒形状の部分であって、その外周面は本体110の第1仕切部111の第1摺動面111Aに軸方向に摺動自在に嵌合されている。円筒形状の第1感圧部145の底面となる第1弁体142側の面には、第2弁体143へ貫通する第1連通路146の端部開口が形成されている。円筒形状の第1感圧部145の内周部には、第1のスプリング161が設置されている。第1のスプリング161の一方の端部は、円筒形状の第1感圧部145の底面に接続されており、第1のスプリング161の他方の端部は、第1感圧室121の排出ポート131が形成されている端面に接続されている。第1のスプリング161は、弁体140を、ばね力F1により弾発にソレノイド部102の方向へ押圧する。第1感圧室121は、弁体140の第2弁体143の第2弁部面143Aが弁座体150の第2弁座面152Bから離れて開弁したときに、第1連通路146を介して第2弁室123と連通する。また、第1感圧室121は、第2弁体143の第2弁部面143Aが弁座体150の第2弁座面152Bに密着して閉弁したときには、第1連通路146及び第2連通路156を介して第2感圧室124と連通する。なお、第1感圧部145が供給圧力Poを受ける面積は、第3受圧面積S3である。本体110の内部の弁体140のソレノイド部102側には、弁座体150が、軸方向に移動可能に配設されている。弁座体150特許請求の範囲における第2弁部材に相当する。は、円柱状の胴体部151の弁体140側の端部に筒状の弁座部152が形成され、胴体部151のソレノイド部102側に第2感圧部155が形成されている。また、弁座体150のさらにソレノイド部102側の端部には、ソレノイドロッド186の端部が連結されている。また、弁座体150のソレノイド部102側の端部は、外径方向にフランジ部153が形成されており、フランジ部153と第3仕切部113のソレノイド部102側の環状側面との間に第2のスプリング162が設置されている。第2のスプリング162はソレノイドロッド186を図示右側、すなわちソレノイド部102側に付勢する伸長ばねである。なお、第2感圧部155の受圧面積は、第4受圧面積S4である。弁座体150の弁座部152の弁体140側の端部の内周角部に設けた第2弁座面152Bは、弁体140の第2弁体143の第2弁部面143Aと離接して開閉弁を形成する。前述したように、この第2弁座面152Bと第2弁部面143Aとは、接合幅が小さく接合して開閉する第2ポペット弁104を構成する。また、第2弁座面152Bと第2弁部面143Aとの接合する内径部の断面における制御圧力Pcの流体を受圧する面積は、第2受圧面積S2である。本実施形態においては、前述した第1受圧面積第1ポペット弁103の着座面積S1、第2受圧面積第2ポペット弁104の着座面積S2、第3受圧面積第1感圧部145の受圧面積S3及び第4受圧面積第2感圧部155の受圧面積S4は、いずれもほぼ等しく形成する。なお、ほぼ等しいとは、±6の範囲内であれば、ほぼ同一の作用効果が達せられる。また、弁座体150には、円筒状の弁座部152の底部と第2感圧室124とを連通させる第2連通路156が形成されている。第2連通路156は、第2ポペット弁104が開弁したときに、第2弁室123の流体を第2のスプリング162が配置される第2感圧室124に導入できるようにする。同時に、第2連通路156は、第2感圧室124と第1連通路146、第1感圧室121及び排出ポート131とを常に連通する。第2感圧室124に流入した流体は、連通するソレノイド部102内の各部材に作用して流体の圧力が一方の面にのみ作用しないように圧力をバランスさせる第2感圧室124からソレノイド部102の内部にも流体は流入する。このような構成の弁座体150により、ソレノイド部102が作動しないときには、第2のスプリング162のばね力F2により弁座体150は弁体140から離されて、第2ポペット弁104は開弁する。第2ポペット弁104が開弁すると、第2弁室123と第2感圧室124とが第2連通路156を介して連通し、第2弁室123から第2感圧室124に制御圧力Pcの流体を流すことができる。ソレノイド部102は、前述したように制御弁部101の取付面114に連結する。ソレノイド部102は、内部に可動芯181を設けるとともに、可動芯181にはソレノイドロッド186を結合する。また、可動芯181の対向した位置には固定芯182を設け、可動芯181と固定芯182の周囲には電磁コイル183を配置して電磁回路を構成する。この電磁コイル183に電流が印可されると、その電流の大きさに応じて電磁回路に発生する磁力Fにより、可動芯181は固定芯182に吸引される。可動芯181が固定芯182に吸引されると、可動芯181と一体のソレノイドロッド186は可動芯181とともに移動して、第2のスプリング162を圧縮させながら弁座体150を押圧する。弁座体150が移動すると、弁座体150は弁体140と閉弁しながら弁体140を図示左方へ移動させ、第1弁部面142Aを第1弁座面112Bから離脱させて第1ポペット弁103を開弁する。このとき、第1のスプリング161も圧縮される。次に、このような構成のソレノイドバルブ100の動作を説明する。まず、ソレノイド部102に電流が印加されていない状態においては、ソレノイド部102の可動芯181と固定芯182との間には磁力Fは作用せず、可動芯181と固定芯182とは離間した状態になり、弁座体150は、第2のスプリング162のばね力F2の伸長力によりソレノイド部102側へ押動された状態となる。その結果、弁座部152の第2弁座面152Bは弁体140の第2弁部面143Aから離間して、第2ポペット弁104はストローク開口量が最大の開弁状態となる。第2ポペット弁104が開弁状態のときは、第2弁室123から第1連通路146へ流体が流れ得る状態であり、制御圧力Pcの流体は、第2弁室123から第1連通路146と第1感圧室121とを通して排出ポート131へ排出され、制御圧力Pcは低下する。すなわち、ソレノイド部102への電流が停止した状態においては、制御圧力Pcは低下した状態となる。また、第2ポペット弁104が開弁状態のときは、第2感圧室124は第2連通路156を介して第2弁室123と連通し、第2感圧室124、第2弁室123及び第1感圧室121はいずれも同一圧力状態となる。また、第2ポペット弁104が開弁状態のときは、弁体140は、第1感圧室121に配置される第1のスプリング161のばね力F1により押圧され、第1弁部面142Aが第1弁座面112Bと接合した状態とされる。すなわち、第1弁部面142Aと第1弁座面112Bからなる第1ポペット弁103は、ストローク開口量がゼロの閉弁状態となる。このため、供給ポート132から供給される供給圧力Poの流体は、第1ポペット弁103により遮断され、第2弁室123への流入は停止される。なお、前述したように、本実施形態のソレノイドバルブ100においては、第1受圧面積S1、第2受圧面積S2、第3受圧面積S3及び第4受圧面積S4はいずれも同一面積に構成されているから、作動流体から受ける互いの力はキャンセルされる。このような状態からソレノイド部102に電流を印加すると、ソレノイド部102の可動芯181と固定芯182との間には磁力Fが作用し、可動芯181と固定芯182とは近接した状態になり、弁座体150は、第2のスプリング162のばね力F2の伸長力に抗してソレノイド部102側から離れた位置に移動する。その結果、弁座部152の第2弁座面152Bは第2弁部面143Aに近接し、第2ポペット弁104のストローク開口量は小さくなる。このときの磁力F、可動芯181と固定芯182との近接状態、弁座体150の移動位置及び第2ポペット弁104のストローク開口量は、ソレノイド部102に印加する電流量により決まる。すなわち、ソレノイド部102に印加する電流量が大きいほどソレノイド部102の可動芯181と固定芯182との間に作用する磁力Fは大きくなり、可動芯181と固定芯182とはより近接した状態になり、弁座体150はソレノイド部102側からより離れた位置に移動し、第2ポペット弁104のストローク開口量はより小さくなり、その結果として、第2弁室123と第1連通路146との流体の流れはより抑制される状態となる。ソレノイド部102に印加する電流量がある値に達すると、弁座体150は、第2弁座面152Bが弁体140の第2弁部面143Aに接合する位置にまで移動し、第2ポペット弁104のストローク開口量はゼロとなり、第2ポペット弁104は閉弁状態となる。この状態においては、第2弁室123から第1連通路146への流体の流れは遮断され、出力ポート133を流れる制御圧力Pcの流体の排出ポート131側への流出は停止される。なお、この状態、すなわち弁座体150が単に第2弁座面152Bが第2弁部面143Aに接合する位置に移動した状態においては、第1ポペット弁103も未だストローク開口量がゼロの閉弁状態であり、第1ポペット弁103及び第2ポペット弁104が共に閉じた状態となる。この状態よりさらにソレノイド部102に印加する電流量を大きくすると、第2弁部面143Aが弁座部152の第2弁座面152Bと接合することにより弁座体150と一体的となった弁体140は、第1感圧室121の第1のスプリング161のばね力F1に抗して第1感圧室121側に移動され、第1ポペット弁103の第1弁部面142Aが第1弁座面112Bから離間した状態となる。その結果、供給ポート132から供給される供給圧力Poの流体が第1弁座面112Bと第1弁部面142Aとの間の第1流通路125を流れて第2弁室123へ流入し始め、出力ポート133側の制御圧力Pcの流量を増大させる。このときの第1ポペット弁103のストローク開口量も、ソレノイド部102に印加する電流量により決まる。すなわち、ソレノイド部102に印加する電流量が大きいほど、弁体140が第1のスプリング161のばね力F1に抗して第1感圧室121側に移動する距離が長くなり、第1ポペット弁103の第1弁部面142Aと第1弁座面112Bとの離間状態が大きくなり、第1ポペット弁103のストローク開口量は大きくなる。ソレノイド部102に最大の電流が印加された場合は、可動芯181と固定芯182との間には最大の磁力Fが作用し、可動芯181と固定芯182とは互いに最大の近接状態になる。可動芯181に連結したソレノイドロッド186は、第2感圧室124の第2のスプリング162及び第1感圧室121の第1のスプリング161を圧縮させながら、弁座体150と弁体140を一体に感圧室121側へ移動させる。この状態においては、前述したように第2弁座面152Bが第2弁部面143Aに接合し第2ポペット弁104が閉じた状態なので、第2弁室123と第1連通路146との流体の流れは遮断され、出力ポート133を流れる制御圧力Pcの流体の排出ポート131側への流出は停止される。一方、第1ポペット弁103は開弁状態となり、供給ポート132から供給される供給圧力Poの流体は、第1弁座面112Bと第1弁部面142Aとの間の第1流通路125を流れて第2弁室123へ流入する。その結果、出力ポート133側の例えば、油圧ブレーキの制御圧力Pcの流量を増大させる。このように、第2ポペット弁104が閉弁した状態では、ソレノイド部102に流される制御された電流に応じて弁体140が移動し、第1ポペット弁103が開閉作動をする。この際、ソレノイドバルブ100においては、第1受圧面積S1と第2受圧面積S2及び第3受圧面積S3と第4受圧面積S4をほぼ等しくしているので、供給圧力Poの流体からの変動圧力による不釣り合いな力がキャンセルされ、油圧ポンプから供給される供給圧力Poの流体が変動しても、供給圧力Poによって弁体140が変動するのを効果的に防止でき、第1ポペット弁103の開閉の開度をソレノイドロッド186のストロークに応じて設定通りに開閉させることができる。すなわち、第1ポペット弁103は、ソレノイド部102の磁力Fによるソレノイドロッド186の移動と、第1感圧室121の第1のスプリング161のばね力F1と第2感圧室124の第2のスプリング162のばね力F2との力のみで開閉が成されることとなり、これにより制御圧力Pcの流体の流量が制御される。つまり、第1弁体142の第1ポペット弁103の受圧面積S1、第2弁体143第2ポペット弁104の受圧面積S2、第1感圧部の受圧面積S3及び第2感圧部の受圧面積S4はそれぞれ同一面積に構成されているから、流体の各圧力Po,Pcがそれらの各受圧面積S1~S4に作用しても、それらの相反する力はキャンセルされる。第1のスプリング161と第2のスプリング162のばね力F1,F2とソレノイド部102の磁力Fにより制御された可動芯181は、固定芯182との距離が制御されるから、可動芯181と一体のソレノイドロット186も制御されて所望の距離だけ移動される。その結果、ソレノイドロッド186と連結した弁座体150の第2弁座面152Bは、第1のスプリング161と第2のスプリング162を弾性的に伸縮させながら、弁体140の第2弁部面143Aと閉弁に接合した状態で、第1ポペット弁103の開閉の開度を制御することができる。つまり、この場合の弁体140の応動は、第1弁座面112Bと第1弁部面142Aとの間の開閉弁の開度を、供給圧力Poの変動に左右されることなく制御することができる。このような第1ポペット弁103の制御された開閉により第1弁室122から第2弁室123へ流れる供給圧力Poの流体を流量比例制御することができる。なお、ソレノイドバルブ100においては、第2ポペット弁104の閉弁と第1ポペット弁103の開弁、あるいは第1ポペット弁103の閉弁と第2ポペット弁104の開弁は、ソレノイド部102に印加する電流量に対して連続的に切り替わるものではない。弁体140の第2弁部面143Aが弁座体150の第2弁座面152Bと接合されて弁体140と弁座体150とが一体に第1感圧室121の第1のスプリング161のばね力F1及び第2感圧室124の第2のスプリング162のばね力F2に抗して移動する状態と、弁体140と分離した弁座体150のみが第2感圧室124の第2のスプリング162のばね力F2のみに抗して移動する状態とでは、ソレノイドロッド186の駆動にかかる負荷は非連続に増減する。そのため、これらの駆動のためにソレノイド部102に求められる磁力Fの大きさも非連続に変化する。従って、その切り替わりの状態、すなわち、第1ポペット弁103が閉弁し第2ポペット弁104が開弁した状態と、第1ポペット弁103が開弁し第2ポペット弁104が閉弁した状態との間で状態が切り替わる際には、ソレノイド部102に印加する電流量を変化させてもソレノイドロッド186が移動せず、第1ポペット弁103及び第2ポペット弁104が共に閉弁状態となる状態が生じる。すなわち、ソレノイド部102に印加する電流量には、電流量を増減しても第1ポペット弁103及び第2ポペット弁104の両方が閉弁状態となったままとなる所定の電流量の範囲を存在させる。このように、本実施形態のソレノイドバルブ100は、ソレノイド部102のソレノイドロッド186を電流の大きさに応じて作動させ、第1及び第2のスプリング161、162のばね力F1,F2と協働して第1ポペット弁103及び第2ポペット弁104の開閉度開口量を制御し、この弁の開閉度に応じて制御圧力Pcの流体を流して流量制御する。このとき、ソレノイドバルブ100の第1ポペット弁103及び第2ポペット弁104を作動させる構成は、S1=S2=S3=S4であるから、第1ポペット103及び第2ポペット弁104には流体圧力による不釣り合いな力が作用しない。このため、ソレノイド部102の磁力Fのみでソレノイドロッド186を設定通りに移動して第1ポペット弁103及び第2ポペット弁104の開閉度を制御することができる。また、本実施形態のソレノイドバルブ100においては、弁体140の胴体部141と第2仕切部112の弁孔面112Aとの間に関しては摺動部が形成されないように構成されており、また、第1ポペット弁103と第2ポペット弁104の弁面は、線接触の状態で当接する狭い幅の接触である。従って、第1ポペット弁103と第2ポペット104は、摩擦抵抗を低減することができ、摺動面も少ないので摺動面間に粉末が付着して摺動抵抗を増大させる可能性を低減することができる。また、弁部をポペット弁で構成することにより、各弁における漏れ量を減らすことができ、結果として弁全体の内部漏れを低減することができる。また、本実施形態のソレノイドバルブ100においては、ベローズを使用せずに弁体が僅かなクリアランスを持って摺動している。従って、ベローズの傾きに起因して弁の着座時に傾きが生じるのを防ぐことができ、弁の開閉を適切に行うことができる。また、ベローズを使用する場合と比較して高圧に耐え得るソレノイドバルブを構成することができる。換言すれば、ソレノイドバルブを小型の状態で、流量を確保することができる。また、部品コストを低減することができ、装置を小型化することも可能となる。第2実施形態本発明の第2実施形態について図2を参照して説明する。本実施形態においては、本発明に係るノーマルオープン型のソレノイドバルブの基本的な構成について図2を参照して説明する。本実施形態のソレノイドバルブも、第1実施形態と同様に、例えばオートマチックトランスミッションの油圧ブレーキ等の用途に用いられるものである。図2は、本発明に係るソレノイドバルブ200の断面図である。図2に示すように、ソレノイドバルブ200は、制御弁部201とソレノイド部202とを結合して一体に形成したものである。制御弁部201は、外枠としての本体210と、本体210の内部に軸方向に貫通した弁空間室220とを有する。弁空間室220は、第1~第3仕切部211~213により分断されることにより、第1感圧室221,第1弁室222,第2弁室223及び第2感圧室224に分室される。なお、本体210は、鉄、真鍮、銅、アルミニウム、ステンレス等の金属、工業プラスチック、特殊樹脂等の合成樹脂材で製作される。本体210には、第2感圧室224から軸方向の外方へ貫通する排出ポート231と、外周面から第1弁室222に貫通する供給ポート232と、外周面から第2弁室223へ貫通する出力ポート233が形成されている。供給ポート232及び出力ポート233は、外周面に沿って複数個設ける。供給ポート232には供給圧力Poの流体が流入し、出力ポート233においては制御圧力Pcの流体が流出又は流入し、排出ポート231からは排出圧力Pdの流体が排出される。本体210のソレノイド部202側の端部の外面は、ソレノイド部202が取り付けられる取付面214に形成されており、その端部、すなわち第1感圧室221のソレノイド部202側の端部には、当該端部を軸方向へ貫通するソレノイドロッド286用の貫通孔234が設けられている。本体210の第1仕切部211の第1感圧室221と第1弁室222とを連通する孔の周面は、第1摺動面211Aに形成されている。第1摺動面211Aには、後述する弁体240の円筒形状を有する第1感圧部245の外周面が僅かなクリアランスを持って貫通され、軸方向に摺動される。第2仕切部212の第1弁室222と第2弁室223とを連通する孔の周面には、弁孔面212Aが形成され、弁孔面212Aの第1弁室222側の端部には、第1ポペット弁203を構成する第1弁座面212Bが形成される。第3仕切部213の第2弁室223と第2感圧室224とを連通する孔の周面は、第2摺動面213Aに形成されている。第3摺動面213Aには、後述する弁座体250の円柱形状の胴体部251及び第2感圧部255の外周面が僅かなクリアランスを持って貫通され、軸方向に摺動される。弁体240特許請求の範囲における第1弁部材に相当する。は、円柱状の胴体部241の一方の端部に筒状の第1感圧部245と第1弁体242が形成され、他方の端部に第2弁体243が形成された部材である。換言すれば、弁体240は、第1弁体242と第2弁体243、及び、第1感圧部245が一体化された部材である。弁体240は、第1感圧部245側の端部をソレノイド部202側にして、第1弁体242と第2弁体243との間に第2仕切部212が介在されるような配置で、制御弁部201の本体210の弁空間室220内に配置される。なお、弁体240は、例えば、第1弁部242の端部に設けた嵌合孔に胴体部241の端部外周面を嵌着して連結する等して組み立てられ、上記の配置に配される。弁体240の材質は、例えば、真鍮、銅、アルミニウム、ステンレス等の金属、あるいは合成樹脂材等である。弁体240において、第1弁室222内には、第1弁体242が配置される。第1弁体242には、胴体部241に向かって小径になった、換言すれば本体210の第2仕切部212に向かって小径になったテーパ面である第1弁部面242Aが形成されている。第1弁部面242Aは、弁体240がソレノイド部202とは反対側に移動してテーパ面を弁孔面212A内に移動すると、第1弁座面212Bと接合して閉弁する。また、弁体240がソレノイド部202に近づく向きに移動してテーパ面が第1弁座面212Bから離れると、開弁する。このように、第1弁部面242Aと第1弁座面212Bとは、円筒面が嵌合しない形の第1ポペット弁203に構成される。ポペット弁は、弁座面に弁部面が微少な幅で接触する着座するものであるから、開閉弁時に摺動抵抗を伴わないようにできる。なお、第1弁部面242Aと第1弁座面212Bとが接合する着座する内径部分の断面積着座面積は、作動流体の圧力を受ける第1受圧面積S1となる。弁体240の胴体部241は、本体210の第2仕切部212の弁孔面212Aの内側に遊嵌合に配置される。第1弁部面242Aが第1弁座面212Bから離れて第1ポペット弁203が開弁した状態において、弁体240の胴体部241と弁孔面212Aとの間は第1流通路225になる。従って、第1ポペット弁203が開弁すると、供給圧力Poの流体は第1弁室222から第1流通路225を流れて第2弁室223へ供給される。このように、弁体240の胴体部241は、本体210の第2仕切部212の弁孔面212Aの内側に遊嵌合に配置されており、換言すれば弁体240が移動する場合も胴体部241と弁孔面212Aとの間には間隙が確保されており、これらは接触しない。従って、弁体240の移動は摺動抵抗を伴わない。また、胴体部241に付着物が付着しても胴体部241と弁孔面212Aとは摺動しないから、ソレノイドバルブ200が作動不良を生じることもない。弁体240において、第2弁室223内には、第2弁体243が配置される。第2弁体243は、弁体240のソレノイド部202とは反対側の端部に形成される。第2弁体243には、先端に向かって小径になった、換言すれば後述する弁座体250に向かって小径になったテーパ面である第2弁部面243Aが形成されている。第2弁部面243Aは、弁座体250が弁体240に向かって移動して第2弁体243のテーパ面が弁座体250の弁体240側の端部に形成された有底円筒形状の弁座部252の内周面である弁孔面252A内の位置となると、円筒形状の弁孔面252Aの開口部の環状の内周角部である第2弁座面252Bと接合して閉弁する。また、弁座体250が弁体240から離れる向きに移動してテーパ面が第2弁座面252Bから離れると、開弁する。このように、第2弁部面243Aと第2弁座面252Bとは、円筒面が嵌合しない形の第2ポペット弁204に構成される。第2ポペット弁204も、第1ポペット弁203と同様に、弁座面に弁部面が微少な幅で接触する着座するものであるから、開閉弁時に摺動抵抗を伴わない。なお、第2弁部面243Aと第2弁座面252Bとが接合する着座する内径部分の断面積着座面積は、作動流体の圧力を受ける第2受圧面積S2となる。また、この弁体240の内部には、第1感圧部245から第2弁体243へ貫通する第1連通路246が形成されている。この第1連通路246にソレノイド部202からソレノイドロッド286が貫通され、その端部は弁座体250のソレノイド部202側の端部と連結される。具体的には、ソレノイドロッド286の端部は、弁座体250の有底円筒形状の弁座部252の底面の中央部に連結される。弁体240において、第1弁体242のソレノイド部202側には、第1感圧部245が形成される。第1感圧部245は、第1弁体242のソレノイド部202側の端部から第1仕切部211の内側を貫通して第1感圧室221まで延伸しており、その内部には、前述した第1連通路246が形成されている。また、第1感圧部245のソレノイド部202側の端部はフランジ状に形成されており、そのフランジ状の端面の中央部に第1連通路246の端部開口が形成されている。また、第1感圧部245のフランジ状の端面の周辺部には、第1のスプリング261の一方の端部が設置されている。第1のスプリング261の他方の端部は、第1感圧室221のソレノイド部202側の端面に接続されている。第1のスプリング261は、弁体240を、ばね力F1により弾発にソレノイド部202とは反対方向へ押圧する。第1感圧室221に流入した流体は、連通するソレノイド部202内の各部材に作用して流体の圧力が一方の面にのみ作用しないように圧力をバランスさせる第1感圧室221からソレノイド部202の内部にも流体は流入する。第1感圧室221は、弁体240の第2弁体243の第2弁部面243Aが弁座体250の第2弁座面252Bから離れて第2ポペット弁204が開弁したときに、第1連通路246を介して第2弁室223と連通する。また、弁体240の第2弁部面243Aが弁座体250の第2弁座面252Bに密着して第2ポペット弁204が閉弁したときには、第1連通路246を介して第2感圧室224と連通する。なお、第1感圧部245が供給圧力Poを受ける面積は、第3受圧面積S3である。本体210の内部のソレノイド部202とは反対側には、弁座体250が、軸方向に移動可能に配設されている。弁座体250特許請求の範囲における第2弁部材に相当する。は、円柱状の胴体部251の弁体240側の端部に筒状の弁座部252が形成され、また、その弁体240側ソレノイド部202側の端部にソレノイドロッド286の端部が連結されている。また、弁座体250のソレノイド部202とは反対側の端部は、その端部側に開口した有底円筒形状に形成されており、第2感圧部255を形成している。その、円筒形状の第2感圧部255の内側に、第2のスプリング262が設置されている。第2のスプリング262はソレノイドロッド286を図示左側、すなわちソレノイド部202側に付勢する伸長ばねである。なお、第2のスプリング262のばね力は、前述した第1のスプリング261のばね力よりも大きく、ソレノイド部202により何ら磁力Fが作用していないときは、第1のスプリング261のばね力に抗して第2のスプリング262のばね力により、弁座体250及び弁体240はソレノイド部202方向に押動されるものである。なお、第2感圧部255の受圧面積は、第4受圧面積S4である。弁座体250の弁座部252の弁体240側の端部の内周角部に設けた第2弁座面252Bは、弁体240の第2弁体243の第2弁部面243Aと離接して開閉弁を形成する。前述したように、この第2弁座面252Bと第2弁部面243Aとは、接合幅が小さく接合して開閉する第2ポペット弁204を構成する。また、第2弁座面252Bと第2弁部面243Aとの接合する内径部の断面における制御圧力Pcの流体を受圧する面積は、第2受圧面積S2である。本実施形態においては、前述した第1受圧面積第1ポペット弁203の着座面積S1、第2受圧面積第2ポペット弁204の着座面積S2、第3受圧面積第1感圧部245の受圧面積S3及び第4受圧面積第2感圧部255の受圧面積S4は、いずれもほぼ等しく形成する。また、弁座体250には、円筒状の弁座部252の底部と第2感圧室224とを連通させる第2連通路256が形成されている。第2連通路256は、第2ポペット弁204が開弁したときに、第2弁室223の流体を第2のスプリング262が配置される第2感圧室224に導入できるようにする。同時に、第2連通路256は、第2感圧室224と第1連通路246、第1感圧室221及び排出ポート231とを常に連通する。なお、第2連通路256の弁体240側の端部開口は、弁座体250の有底円筒形状の弁座部252の底面の中央部に形成されているが、ここには前述したようにソレノイドロッド286が連結されている。しかし第2連通路256の開口部は、図2に示すように、その一部がソレノイドロッド286の外径よりもさらに外周部に拡径され、あるいはそのような位置まで溝が形成され、ソレノイドロッド286により開口が閉塞されず、第2弁室223との間で十分な流体の流量が確保できるようにその流路が確保されている。このような構成の弁座体250により、ソレノイド部202が作動しないときには、第2のスプリング262のばね力F2により弁座体250は弁体240側に移動される。弁座体250が移動すると、弁座体250は弁体240と閉弁しながら弁体240を図示右方へ移動させ、第1弁部面242Aを第1弁座面212Bから離脱させて第1ポペット弁203を開弁する。このとき、第1のスプリング261も圧縮される。ソレノイド部202の構成は、ソレノイド部102の構成と同じなので、説明は省略する。次に、このような構成のソレノイドバルブ200の動作を説明する。ソレノイド部202に電流が印加されていない状態において、ソレノイド部202の磁力Fは作用せず、弁座体250は、第2のスプリング262のばね力F2の伸長力により、弁体240側へ移動し、弁座体250の第2弁座面252Bが第2弁体243の第2弁部面243Aと接合して第2ポペット弁204をストローク開口量がゼロの閉弁状態にする。その結果、第2弁室223と第2連通路256との流体の流れは遮断され、出力ポート233を流れる制御圧力Pcの流体は、排出ポート231側へ流出させることができなくなる。また、第2のスプリング262のばね力は第1のスプリング261のばね力よりも大きいので、第2のスプリング262はさらに第1感圧室221の第1のスプリング261を圧縮させながら弁体240をソレノイド部202側へ移動させ、第1弁部面242Aと第1弁座面212Bは離されて、第1ポペット弁203はストローク開口量が最大の開弁状態とされる。その結果、供給ポート232から供給される供給圧力Poの流体は、第1弁座面212Bと第1弁部面242Aとの間の第1流通路225を流れて第2弁室223へ流入する。その結果、出力ポート233側の例えば、油圧ブレーキの制御圧力Pcの流量を増大させる。つまり、ソレノイド部102へ電流が流されないときに、制御圧力Pcを増大させることができる。このような状態からソレノイド部202に電流を印加すると、ソレノイド部202の可動芯181と固定芯182との間に磁力Fが作用し、この磁力Fと第1のスプリング261のばね力を合わせた力が第2のスプリング262のばね力より大きくなると、第2のスプリング262のばね力に抗して、弁座体250はソレノイド部202から離れる方向に移動する。このとき、弁体240には第1のスプリング261が作用しているので、弁体240は弁座体250に追随して一体的にソレノイド部202から離れる方向に移動し、第2ポペット弁204の閉弁状態は維持される。一方で、第2ポペット弁204がソレノイド部202から離れる方向に移動することで、第1ポペット弁203を形成する第1弁体242の第1弁部面242Aは第1弁座面212Bに近接し、第1ポペット弁203のストローク開口量は小さくなる。なお、このときの磁力F、弁体240及び弁座体250の移動位置及び第1ポペット弁203のストローク開口量は、第1実施形態と同様にソレノイド部202に印加する電流量により決まる。ソレノイド部102に印加する電流量がある値に達すると、弁体240の第1弁部面242Aは第1弁座面212Bに接合する位置に達し、第1ポペット弁203のストローク開口量がゼロとなり閉弁状態となる。この状態においては、第1弁室222から第2弁室223への流体の流れは遮断され、供給ポート232から出力ポート233への制御圧力Pcの流体の流れは停止される。なお、この第1ポペット弁203が閉弁した直後の状態においては、第2ポペット弁204も未だストローク開口量がゼロの閉弁状態であり、第1ポペット弁203及び第2ポペット弁204が共に閉じた状態となる。このような状態でソレノイド部202に制御された中間の電流が流される場合は、第2ポペット弁204が閉弁した作動状態で、ソレノイド部202に流れる電流に応じて弁座体250及び弁体240が移動し、第1ポペット弁203が開閉作動をする。このような第1ポペット弁203の制御された開閉により第1弁室222から第2弁室223へ流れる供給圧力Poの流体を流量比例制御することができる。この状態よりさらにソレノイド部202に印加する電流量を大きくすると、弁体240は、既に第1弁体242が第2仕切部212により掛止されているので弁座体250方向には移動できないが、ソレノイドロッド286に直接連結されている弁座体250は、さらにソレノイド部202とは反対方向に移動する。その結果、第2ポペット弁204を構成する弁座体250の第2弁座面252Bが弁体240の第2弁部面243Aから離間し、第2ポペット弁204は開弁状態となる。その結果、第2弁室223の制御圧力Pcの流体は第2連通路256及び第2感圧室224を通して排出ポート231へ排出される状態となり、制御圧力Pcは低下し始める。ソレノイド部202に最大の電流が印加された場合は、ソレノイド部202の磁力Fは最大となり、ソレノイドロッド286は、弁座体250をソレノイド部202の遠位側の端部へ移動させる。その結果、弁座部252の第2弁座面252Bは第2弁体243の第2弁部面243Aから離間して第2ポペット弁204はストローク開口量が最大の開弁状態になり、例えばオートマチックトランスミッションの油圧ブレーキ用等の制御圧力Pcの流体を第2弁室223から第1連通路246と第2感圧室224とを通して排出ポート231へ排出することができる。このとき、弁体240は第1のスプリング261のばね力F1により弁座体250方向に押圧されて第1弁部面242Aが第1弁座面212Bと接合し、第1弁部面242Aと第1弁座面212Bからなる第1ポペット弁203は閉弁している。このため供給ポート232から供給される供給圧力Poの流体は、第1ポペット弁203により遮断されて第2弁室223へ流入するのが停止される。つまり、ソレノイド部202への十分な電流が流されると、制御圧力Pcを低下させることができる。このように、本実施形態のソレノイドバルブ200は、ソレノイド部202のソレノイドロッド286を電流の大きさに応じて作動させ、第1及び第2のスプリング261、262のばね力F1,F2と協働して第1ポペット弁203及び第2ポペット弁204の開閉度開口量を制御し、この弁の開閉度に応じて制御圧力Pcの流体を流して流量制御する。このとき、ソレノイドバルブ200の第1ポペット弁203及び第2ポペット弁204を作動させる構成は、S1=S2=S3=S4であるから、第1ポペット203及び第2ポペット弁204には流体圧力による不釣り合いな力が作用しない。このため、ソレノイド部202の磁力Fのみでソレノイドロッド286を設定通りに移動して第1ポペット弁203及び第2ポペット弁204の開閉度を制御することができる。また、ソレノイドバルブ200においても、ソレノイドバルブ100と同様に、弁体240の胴体部241と第2仕切部212の弁孔面212Aとの間に関しては摺動部が形成されないように構成されており、また、第1ポペット弁203と第2ポペット204の弁面は、線接触の状態で当接する狭い幅の接触である。従って、第1ポペット弁203と第2ポペット204は、摩擦抵抗を低減することができ、摺動面も少ないので摺動面間に粉末が付着して摺動抵抗を増大させる可能性を低減することができる。また、弁部をポペット弁で構成することにより、各弁における漏れ量を減らすことができ、結果として弁全体の内部漏れを低減することができる。また、ソレノイドバルブ200においては、ベローズを使用せずに弁体が僅かなクリアランスを持って摺動している。従って、ベローズの傾きに起因して弁の着座時に傾きが生じるのを防ぐことができ、弁の開閉を適切に行うことができる。また、ベローズを使用する場合と比較して高圧に耐え得るソレノイドバルブを構成することができる。換言すれば、ソレノイドバルブを小型の状態で、流量を確保することができる。また、部品コストを低減することができ、装置を小型化することも可能となる。第3実施形態本発明の第3実施形態について図3を参照して説明する。本実施形態のソレノイドバルブは、図1に模式的に示した本発明に係るノーマルクローズ型のソレノイドバルブを実際に実現する場合の一構成例を示したものである。従って、図3に示す第3実施形態のソレノイドバルブ300は、基本的に第1実施形態のソレノイドバルブ100と同じ構成であり、実質的に同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態のソレノイドバルブ300においては、本体310について、組み立て上の理由から、ソレノイド部102側から順に第1本体部分311と第2本体部分312と第3本体部分313とに分割するとともに、互いに端部にねじ部を設け、互いのねじ部をねじ込んで一体に組み立てる構成となっている。また、弁空間室120を区切る第2仕切部112について、本実施形態のソレノイドバルブ300においては、第1本体部分311の雌ねじに第2本体部分312の雄ねじを互いにねじ込んで結合するときに、その間に仕切部材312を狭持して固定する構成となっている。また、ソレノイドバルブ300においては、弁体340は、第1弁部341と第2弁部342との結合体として構成されている。ソレノイドバルブ300のその他の構成については、実質的に第1実施形態のソレノイドバルブ100と同じである。また、ソレノイドバルブ300の動作、作用、効果等も第1実施形態のソレノイドバルブ100と同じである。本発明に係るソレノイドバルブは、このような構成とすることで実際に適切に実現することができる。第4実施形態本発明の第4実施形態について図4を参照して説明する。本実施形態のソレノイドバルブは、図2に模式的に示した本発明に係るノーマルオープン型のソレノイドバルブを実際に実現する場合の一構成例を示したものである。従って、図4に示す第4実施形態のソレノイドバルブ400は、基本的に第2実施形態のソレノイドバルブ200と同じ構成であり、実質的に同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態のソレノイドバルブ400においては、本体410について、組み立て上の理由から、ソレノイド部202側から順に第1本体部分411と第2本体部分412と第3本体部分413とに分割するとともに、互いに端部にねじ部を設け、互いのねじ部をねじ込んで一体に組み立てる構成となっている。また、弁空間室220を区切る第2仕切部212について、本実施形態のソレノイドバルブ400においては、第1本体部分411の雌ねじに第2本体部分412の雄ねじを互いにねじ込んで結合するときに、その間に仕切部材412を狭持して固定する構成となっている。また、ソレノイドバルブ400においては、弁体440は、第1弁部441と第2弁部442との結合体として構成されている。ソレノイドバルブ400のその他の構成については、実質的に第2実施形態のソレノイドバルブ200と同じである。また、ソレノイドバルブ400の動作、作用、効果等も第2実施形態のソレノイドバルブ200と同じである。本発明に係るソレノイドバルブは、このような構成とすることで実際に適切に実現することができる。第5実施形態本発明の第5実施形態について図5を参照して説明する。本実施形態のソレノイドバルブは、図1に模式的に示した本発明に係るノーマルクローズ型のソレノイドバルブを実際に実現する場合の他の構成例を示したものである。従って、図5に示す第5実施形態のソレノイドバルブ500は、基本的に第1実施形態のソレノイドバルブ100、及び、第3実施形態のソレノイドバルブ300と同じ構成であり、実質的に同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態のソレノイドバルブ500は、図3に示したソレノイドバルブ300の構成に加えて、摺動部にシール部材としてのOリングを配設したものである。すなわち、弁体140の第1感圧部145の第1仕切部111と摺動する外周面にOリング501を配設し、弁座体150の第2感圧部155の第3仕切部113と摺動する外周面にOリング502を配設したものである。このような構成とすることにより、摺動部からの漏れを低減することができる。本発明に係るソレノイドバルブは、このような構成により実現してもよい。なお、このようなOリングは、第1仕切部111及び第3仕切部113側、すなわち本体210側に設けるようにしてもよい。また、Oリング以外の任意のシール部材を用いるようにしてもよい。第6実施形態本発明の第6実施形態について図6を参照して説明する。本実施形態のソレノイドバルブは、図2に模式的に示した本発明に係るノーマルオープン型のソレノイドバルブを実際に実現する場合の他の構成例を示したものである。従って、図6に示す第6実施形態のソレノイドバルブ600は、基本的に第2実施形態のソレノイドバルブ200、及び、第4実施形態のソレノイドバルブ400と同じ構成であり、実質的に同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態のソレノイドバルブ600は、図4に示したソレノイドバルブ400の構成に加えて、摺動部にシール部材としてのOリングを配設したものである。すなわち、弁体240の第1感圧部245の第1仕切部211と摺動する外周面にOリング601を配設し、弁座体250の第2感圧部255の第3仕切部213と摺動する外周面にOリング602を配設したものである。このような構成とすることにより、摺動部からの漏れを低減することができる。本発明に係るソレノイドバルブは、このような構成により実現してもよい。なお、このようなOリングは、第1仕切部211及び第3仕切部213側、すなわち本体210側に設けるようにしてもよい。また、Oリング以外の任意のシール部材を用いるようにしてもよい。"