回転軸周りに回転可能に配置されたインペラと、該回転軸に沿った略筒形状を有し、内部に該インペラが軸支されたハウジングと、該ハウジングの筒壁内に周方向に沿って連通する環状のキャビティ部と、該キャビティ部の上流側に連通する上流側連通部を介して、該インペラの上流に開口する上流側開口部と、該キャビティ部の該上流側連通部よりも下流側に連通する下流側連通部を介して、該インペラの側方に開口する下流側開口部とを備えたターボ圧縮機であって、前記上流側開口部に、前記回転軸方向に沿って、且つ内径側に突出する板状の整流板を周方向に等間隔に備えたことを特徴とするターボ圧縮機。請求項1に記載のターボ圧縮機において、前記上流側連通部内に、周方向に等間隔に、且つ外径側から内径側に向けて板状の導流板が立設され、前記整流板が該導流板の内径側端部に延設されたことを特徴とするターボ圧縮機。請求項1に記載のターボ圧縮機において、前記整流板が前記上流側開口部よりも上流側へ延設されたことを特徴とするターボ圧縮機。請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のターボ圧縮機において、前記上流側開口部の内径側に、前記ハウジングの内周面から所定の間隔を空けて同心円状に配置される円筒状の筒状体を備え、該筒状体が前記整流板によって支持されたことを特徴とするターボ圧縮機。請求項4に記載のターボ圧縮機において、前記筒状体が前記上流側開口部よりも上流側へ延設されたことを特徴とするターボ圧縮機。ところが、上記従来の遠心圧縮機のように、吸入空気の一部を循環させる構成に対しても、さらに低流量側へ圧縮機の作動領域を拡げることが望まれている。しかしながら、吸入空気の一部を循環させる手法は、循環する空気流量分だけ圧縮機から吐出される空気流量が減少し、損失となるため、循環させる流量をできるだけ抑えなければならない。そこで、本発明は、循環する空気流量を増大させることなく、低流量側へ作動領域を拡げることができるターボ圧縮機を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、請求項1に記載した本発明のターボ圧縮機は、回転軸周りに回転可能に配置されたインペラと、該回転軸に沿った略筒形状を有し、内部に該インペラが軸支されたハウジングと、該ハウジングの筒壁内に周方向に沿って連通する環状のキャビティ部と、該キャビティ部の上流側に連通する上流側連通部を介して、該インペラの上流に開口する上流側開口部と、該キャビティ部の該上流側連通部よりも下流側に連通する下流側連通部を介して、該インペラの側方に開口する下流側開口部とを備えたターボ圧縮機であって、前記上流側開口部に、前記回転軸方向に沿って、且つ内径側に突出する板状の整流板を周方向に等間隔に備えたことを特徴とする。請求項1に記載した本発明のターボ圧縮機によれば、上流側開口部に整流板を設けることによって、上流側開口部から流出し、インペラの回転方向に旋回しつつ、ハウジングの内周壁に沿って逆流する流れの旋回を止めつつ、逆流を弱めることができる。これによって、サージ発生の限界域が低流量側へ移動し、作動領域を拡大することができる。請求項2に記載した本発明のターボ圧縮機は、請求項1に記載のターボ圧縮機において、前記上流側連通部内に、周方向に等間隔に、且つ外径側から内径側に向けて板状の導流板を備え、前記整流板が該導流板の内径側端部に延設されたことを特徴とする。請求項2に記載した本発明のターボ圧縮機よれば、上流側連通部内に導流板が立設され、導流板の内径側端部に整流板を一体に形成したことによって、インペラの回転方向と逆回転方向の流れが、ハウジングの内周壁に沿って流出するため、インペラの回転方向に旋回しつつ、ハウジングの内周壁に沿って逆流する流れをより効果的に抑制することができる。これによって、サージ発生の限界域がさらに低流量側へ移動し、作動領域を拡大することができる。請求項3に記載した本発明のターボ圧縮機は、請求項1に記載のターボ圧縮機において、前記整流板が前記上流側開口部よりも上流側へ延設されたことを特徴とする。請求項3に記載した本発明のターボ圧縮機よれば、整流板が上流側開口部よりも上流側へ延設されたことによって、インペラの回転方向に旋回しつつ、ハウジングの内周壁に沿って逆流する流れを広い範囲で抑制することができる。これによって、サージ発生の限界域をさらに低流量側へ移動し、作動領域を拡大することができる。請求項4に記載した本発明のターボ圧縮機は、請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のターボ圧縮機において、前記上流側開口部の内径側に、前記ハウジングの内周面から所定の間隔を空けて同心円状に配置される円筒状の筒状体を備え、該筒状体が前記整流板によって支持されたことを特徴とする。請求項4に記載した本発明のターボ圧縮機よれば、上流側開口部の内径側に、ハウジングの内周面から所定の間隔を空けて同心円状に配置される円筒状の筒状体を備えたことによって、ハウジングの内周壁に沿って逆流する流れは、ハウジングの内周壁と筒状体との間に留まり、回転軸方向へ拡がることを抑制される。これにより、インペラには安定した流れが供給され、サージ発生を抑制することができる。請求項5に記載した本発明のターボ圧縮機は、請求項4に記載のターボ圧縮機において、前記筒状体が前記上流側開口部よりも上流側へ延設されたことを特徴とする。請求項5に記載した本発明のターボ圧縮機よれば、筒状体が上流側開口部よりも上流側へ延設されたことによって、ハウジングの内周壁に沿って逆流する流れを、回転軸方向へ拡がることを広い範囲に渡って抑制することができる。これにより、インペラにはさらに安定した流れが供給され、サージ発生をより一層抑制することができる。本発明のターボ圧縮機では、循環する空気流量を増大させることなく、サージ発生の限界域を低流量側へ移動し、作動領域を拡大することができる。本発明の第1実施形態について、図1を参照して説明する。本実施形態のターボ圧縮機は、車両用エンジン図示せずの過給器を構成し、回転軸方向に沿って導入する空気を圧縮しつつ、放射状に吐出する遠心圧縮機1である。この遠心圧縮機1は、主にインペラ11と、ハウジング21とで構成されている。インペラ11は、回転軸L周りに回転可能に軸支され、上流側から下流側に向かって拡径する末広がりの略円錐台形状を備えたハブ12と、ハブ12の回転軸Lに対して傾斜する傾斜側面13に所定の間隔で配置されたブレード14とで構成されている。ハウジング21は、ハウジング21の最上流側に位置し、円筒形状を有し、筒内に導入された空気が流れる主流路50が形成され、環状の入口縁22からブレード14の上流端15に向けて主流路50が徐々に縮径する導入部23と、導入部23の下流側に位置し、上流側から下流側に向かってインペラ11の外形形状に沿って徐々に拡径する円筒形状を有し、筒内にインペラ11を回転可能に収容する圧縮部24と、圧縮部24の下流側に位置し、インペラ11から放射状に排出された圧縮空気を機外に吐出する渦巻き状の導出部25と、導出部25の中心に位置し、インペラ11を軸支する基部26と、で構成されている。ハウジング21の導入部23から圧縮部24に移行する部位には、筒壁内に周方向に沿って連通する環状のキャビティ部34と、キャビティ部34の上流側に連通する上流側連通部33を介して、インペラ11の上流に開口する上流側開口部32と、キャビティ部34の上流側連通部33よりも下流側に連通する下流側連通部35を介して、インペラ11の側方に開口する下流側開口部36とからなる循環路31が設けられている。また、上流側開口部32には、回転軸方向に沿って、且つ内径側に突出する板状の整流板42が、周方向に等間隔に設けられている。各整流板42は、上流側開口部32の上流側に突設されつつ、上流側開口部32上に重なるように延びている。整流板42の導入部23内面からの径方向高さは、回転軸Lの上流側からインペラ11を見た際に、整流板42がインペラ11に重ならないように設定されている。上記構成において、インペラ11が回転すると、入口縁22から回転軸L方向に沿って導入部23に導入された空気は、インペラ11に吸込まれる。そして、吸込まれた空気は、ハブ12の傾斜側面13に沿いつつ、インペラ11のブレード14によって旋回しながら圧縮され、導出部25から吐出される。また、インペラ11に吸込まれた空気の一部は、下流側開口部36から循環路31を通じて上流側開口部32から導入部23内へ流出する。上流側開口部32から導入部23内へ流出した空気は、上流の入口縁22から導入された空気と合流し、インペラ11に吸込まれる。そして、上記構成において、サージ発生の限界域付近まで空気流量が減少した場合には、上流側開口部32から導入部23内に流出した循環流の一部が、導入部23内面に沿ってインペラ11の回転方向に旋回しながら入口縁22に向かって逆流を始めようとするが、逆流しようとする流れは、上流側開口部32に設けられた整流板42によって、旋回が妨げられて不安定になり、逆流が弱められ、あるいは消される。これによって、インペラ11に吸込まれる空気の流れが安定して、サージ発生の限界域が低流量側へ移動し、遠心圧縮機1の作動領域を拡大することができる。次に、本発明の第2実施形態について図2、図3を参照して説明する。本実施形態の構成と上記第1実施形態の構成とで大きく異なるのは、循環路31a、および整流板42aの構成である。その他の構成は第1実施形態と同様であり、同様の構成については同一の符号を付すとともに、詳細な説明を省略する。本実施形態の循環路31aには、図3に示すように、上流側連通部33内に、周方向に等間隔に、且つ外径側から内径側に向けて板状の導流板41aを備えている。各導流板41aは、回転軸Lを中心とする半径方向に対して斜めに配置されている。各導流板41aの半径方向に対する角度は、上流側開口部32から導入部23内に流出する循環流が、インペラ11の回転方向と逆向きに旋回するように設定されている。また、整流板42aが、導流板41aの内径側端部に上流側開口部32から導入部23内へ突出するように延設されている。なお、整流板42aの導入部23内面からの径方向高さは、上記第1実施形態と同様に、回転軸Lの上流側からインペラ11を見た際に、整流板42aがインペラ11に重ならないように設定されている。上記構成において、インペラ11が回転した際に、インペラ11に吸込まれた空気の一部は、循環路31内の導流板41a、および整流板42aによって、インペラ11の回転方向と逆向きに旋回しつつ、上流側開口部32から導入部23内へ流出する。そして、上記構成において、サージ発生の限界域付近まで空気流量が減少した場合には、上流側開口部32から導入部23内に流出した循環流の一部が、導入部23内面に沿ってインペラ11の回転方向に旋回しながら入口縁22に向かって逆流を始めようとするが、逆流しようとする流れは、循環流がインペラ11に対して逆旋回していることによって、旋回が妨げられて不安定になり、逆流が弱められ、あるいは消される。これによって、インペラ11に吸込まれる空気の流れが安定して、サージ発生の限界域が低流量側へ移動し、遠心圧縮機1の作動領域を拡大することができる。第2実施形態の別態様として、図4に示すように、上流側開口部32から導入部23内に突出する整流板42aを、上流側開口部32からの突出寸法はそのままに、上流側に延長したものがある。このような態様では、整流板42aが上流側へ延長されたことによって、逆流しようとする流れの発生を広い範囲で防ぐことができるので、インペラ11に吸込まれる空気の流れがさらに安定して、サージ発生の限界域が低流量側へ移動し、遠心圧縮機1の作動領域を拡大することができる。次に、本発明の第3実施形態について図5を参照して説明する。本実施形態の構成と上記第1実施形態の構成とで大きく異なるのは、整流板42bで筒状体を支持している点である。その他の構成は第1実施形態と同様であり、同様の構成については同一の符号を付すとともに、詳細な説明を省略する。本実施形態の循環路31内には、第1実施形態と同様に、導流板41aは配置されておらず、回転軸方向に沿って、且つ内径側に突出する板状の整流板42bが、周方向に等間隔に設けられている。各整流板42bは、上流側開口部32の上流側に突設されつつ、上流側開口部32上に重なるように延びている。そして、整流板42bの内径側端縁には、導入部23と同心円状に配置される円筒状の筒状体43bが配置されている。筒状体43bの半径は、回転軸Lの上流側からインペラ11を見た際に、筒状体43bがインペラ11に重ならないように設定されている。つまり、上流側開口部32の内径側に、筒状体43bが整流板42bによって支持されている。上記構成において、インペラ11が回転した際に、インペラ11に吸込まれた空気の一部は、循環路31を通じて、インペラ11の回転方向に旋回しつつ、上流側開口部32から循環流として導入部23内へ流出する。導入部23内に流出した循環流は、筒状体43bの外周面と、整流板42bと導入部内面とで囲まれた筒状流路51bを通じて、インペラ11に吸込まれる。そして、上記構成において、サージ発生の限界域付近まで空気流量が減少した場合には、上流側開口部32から導入部23内に流出した循環流の一部が、導入部23内面に沿ってインペラ11の回転方向に旋回しながら入口縁22に向かって逆流を始めようとするが、逆流しようとする流れは、上流側開口部32に設けられた整流板42bと筒状体43bとによって、旋回が妨げられるとともに、内径側へ拡がることが妨げられて不安定になり、逆流が弱められ、あるいは消される。これによって、インペラ11に吸込まれる空気の流れがより一層安定して、サージ発生の限界域が低流量側へ移動し、遠心圧縮機1の作動領域を拡大することができる。次に、本発明の第4実施形態について図6、図7を参照して説明する。本実施形態の構成と上記第2実施形態の構成とで大きく異なるのは、整流板42cで筒状体を支持している点である。その他の構成は第2実施形態と同様であり、同様の構成については同一の符号を付すとともに、詳細な説明を省略する。本実施形態の循環路31c内には、第2実施形態と同様に、循環路31c内に導流板41cが配置され、導流板41cの内径側端部には、上流側開口部32から導入部23内へ突出するように整流板42cが延設されている。そして、整流板42cの内径側端縁には、導入部23と同心円状に配置される円筒状の筒状体43cが配置されている。筒状体43cの半径は、回転軸Lの上流側からインペラ11を見た際に、筒状体43cがインペラ11に重ならないように設定されている。上記構成において、インペラ11が回転した際に、インペラ11に吸込まれた空気の一部は、循環路31cを通じて、インペラ11の回転方向と逆向きに旋回しつつ、上流側開口部32から循環流として導入部23内へ流出する。導入部23内に流出した循環流は、筒状体43cの外周面と、整流板42cと導入部内面とで囲まれた筒状流路51cを通じて、インペラ11に吸込まれる。そして、上記構成において、サージ発生の限界域付近まで空気流量が減少した場合には、上流側開口部32から導入部23内に流出した循環流の一部が、導入部23内面に沿ってインペラ11の回転方向に旋回しながら入口縁22に向かって逆流を始めようとするが、逆流しようとする流れは、上流側開口部32に設けられた整流板42cと筒状体43cとによって、旋回が妨げられるとともに、内径側へ拡がることが妨げられて不安定になり、逆流が弱められ、あるいは消される。これによって、インペラ11に吸込まれる空気の流れがより一層安定して、サージ発生の限界域が低流量側へ移動し、遠心圧縮機1の作動領域を拡大することができる。第4実施形態の別態様として、図8に示すように、上流側開口部32から導入部23内に突出する整流板42cと筒状体43cとを、上流側に延長したものがある。このような態様では、整流板42cと筒状体43cとが上流側へ延長されたことによって、逆流しようとする流れの発生を広い範囲で防ぐことができるので、インペラ11に吸込まれる空気の流れがさらに安定して、サージ発生の限界域が低流量側へ移動し、遠心圧縮機1の作動領域を拡大することができる。