"対象の液体中に存在する対象の検体を検出する方法であって、その方法が、以下のステップ、すなわち、前記対象の液体が第1の面24に接触されるステップであって、前記面24が、少なくとも1つの検出面31と平行であるステップと、電気的制御の影響下で、液体誘電泳動によって、液体のフィンガが前記第1の面24に形成されるステップであって、前記液体のフィンガは、前記第1の面24に配置されている2つの略同一平面動の電極40,41に沿って伸びており、前記電極40,41は、前記少なくとも1つの検出面31に対向する少なくとも1つの液滴形成ゾーン42を含むステップと、前記液体のフィンガが毛管現象によって壊れて、前記液滴形成ゾーン42のうちの1つに少なくとも1つの液滴を生成するように、前記電気的制御が停止されるステップであって、前記少なくとも1つの液滴が、前記少なくとも1つの検出面31に接触するような十分な厚さを有しているステップと、前記少なくとも1つの液滴中に存在する前記対象の検体が、前記少なくとも1つの検出面31と連動する検出手段70,71;72,73;74;75;76によって検出されるステップと、を含むことを特徴とする方法。前記対象の検体に結合することが可能であるプローブ要素が、少なくとも部分的に前記少なくとも1つの検出面31を覆うように、その検出面に接合される、請求項1に記載の検出方法。前記液体動電極40,41は、前記電気的制御が停止されたときに、前記液体のフィンガが、各々が前記液滴形成ゾーン42のうちの1つに位置している複数の液滴に分かれて、各液滴が、前記対応する検出面31に接触することとなるように、それぞれが個別の検出面31に対向して配置されている複数の液滴形成ゾーン42を含む、請求項1または請求項2に記載の検出方法。前記液体動電極40,41は、前記電気的制御が停止されたときに、前記液体のフィンガが、各々が前記液滴形成ゾーン42のうちの1つに位置している複数の液滴に分かれて、各液滴が、同じ検出面31に接触することとなるように、前記同じ検出面31に対向して配置されている複数の液滴形成ゾーン42を含む、請求項1~請求項3のいずれか一項に記載の検出方法。前記動電極40,41は、それぞれ、内縁部40I,41Iおよび外縁部40E,41Eを含み、内縁部40I,41Iは、互いに略対向して配置され、および外縁部40E,41Eは、距離2Rだけ互いに離間されている略直線状の部分を有し、および、液滴形成ゾーン42は、距離Rの8~10倍の距離だけ互いに離間される、請求項3または請求項4に記載の検出方法。前記液体動電極40,41は、前記電気的制御が停止されたときに、前記液体のフィンガが、前記液滴形成ゾーン42に位置する単一の液滴に分かれて、前記液滴が、前記検出面31に接触することとなるように、単一の検出面31に直面している単一の液滴形成ゾーン42を含む、請求項1または請求項2に記載の検出方法。前記動電極40,41は、絶縁層22で被覆される、請求項1~請求項6のいずれか一項に記載の検出方法。前記第1の面24は疎水性であり、また、前記少なくとも1つの検出面31は、少なくとも部分的に親水性である、請求項1~請求項7のいずれか一項に記載の検出方法。前記検出面31は、振動可能な平らな電気機械的オシレータ30の1つの面である、請求項1~請求項8のいずれか一項に記載の検出方法。前記検出ステップは、次のサブステップ、すなわち、オシレータ30が、所定の周波数で、および所定の振動モードに従って振動するように設定されるサブステップと、オシレータ30の実効振動周波数が測定されるサブステップと、測定された振動周波数と、所定の振動周波数の相違が算出されるサブステップと、を含む、請求項9に記載の検出方法。少なくとも1つの作動電極60,61が、前記オシレータ30の縁部に対向して配置され、オシレータ30を振動させるための前記設定は、前記オシレータ30と、前記少なくとも1つの作動電極60,61との間に交番電界を発生させることにより、オシレータ30と、前記少なくとも1つの作動電極60,61との間の静電結合によって実施される、請求項10に記載の検出方法。測定電極70,71が、前記オシレータ30の縁部に対向して配置され、オシレータ30の振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極70,71から流れる電流を測定することを含み、前記電流は、オシレータ30と、前記測定電極70,71との容量性結合によって生成される、請求項10または請求項11に記載の検出方法。前記少なくとも1つの検出面31は、参照電極を形成する導電性材料からなる層32を含み、および絶縁圧電材料からなる層33で被覆され、後者33は、少なくとも1つの測定電極72,73によって少なくとも部分的に覆われ、オシレータ30の振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極72;73から流れる電流を測定することを含み、前記電流は、測定電極72;73と参照電極32との容量性結合によって生成され、後者は、オシレータ30の振動による圧電層33の分極によって所定の電位状態にされる、請求項10または請求項11に記載の検出方法。前記圧電層33は、各々が金属製トラックで形成され、および互いに略平行に配置されている2つの測定電極72,73によって、少なくとも部分的に覆われており、オシレータ30の振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極72,73の少なくとも一方からの第2の電流を測定することも含み、前記第2の電流は、前記測定電極72,73間の容量性結合によって生成される、請求項13に記載の検出方法。チャネル74を形成する電極が、前記オシレータ30の縁部に対向して配置され、前記チャネル74を形成する電極は、第1の一定の電位状態にされるソース74Sを形成する電極と、第2の電位状態にされるドレイン74Dを形成する電極とに接続され、オシレータ30の振動周波数を測定する前記ステップは、チャネル74を形成する前記電極中を流れる電流の変化を測定することを含み、前記変化は、オシレータ30と、チャネル74を形成する前記電極との間の電界効果によって誘発される、請求項10または請求項11に記載の検出方法。前記オシレータ30は、チャネルを形成する電極であり、および第1の一定の電位状態にされるソース75Sを形成する電極と、第2の電位状態にされるドレイン75Dを形成する電極とに接続され、オシレータ30の振動周波数を測定する前記ステップは、チャネルを形成する前記オシレータ内を流れる電流の変化を測定することを含み、前記変化は、オシレータ30の検出面31に堆積されている対象の検体による電界効果によって誘発される、請求項10または請求項11に記載の検出方法。前記少なくとも1つの検出面31は、前記少なくとも1つの液滴によって覆われるように意図されている親水性ゾーンを有し、前記親水性ゾーンの輪郭は、前記オシレータに加えられる振動モードに従って、前記オシレータの節線と略一致している、請求項9~請求項16のいずれか一項に記載の検出方法。前記検出面31は、各々が、第1の一定の電位状態にされるソース75Sを形成する電極と、第2の一定の電位状態にされるドレイン75Dを形成する電極とに接続された複数のナノワイヤ76を含み、対象の検体を検出する前記ステップは、前記ナノワイヤ76内を流れる電流の変化を測定することを含み、前記変化は、前記検出面31に堆積されている対象の検体による電界効果によって誘発される、請求項1~請求項8のいずれか一項に記載の検出方法。対象の液体中に存在する対象の検体を検出する方法であって、次のステップ、すなわち、前記液体が、基板10の表面で形成された主面と、検出面31を形成する平らな検出器30の表面と、前記基板10に対して検出器30を支持する手段50の表面とに接触されるステップと、液体のフィンガが、電気的制御の影響下で、液体誘電泳動によって前記主面に形成されるステップであって、前記液体のフィンガは、前記主面に配置されている2つの略同一平面上にある動電極40,41に沿って伸び、前記電極40,41は、オシレータ30の前記検出面31に設けられている少なくとも1つの液滴形成ゾーン42を含むステップと、前記電気的制御は、前記液体のフィンガが毛管現象によって壊れて、前記液滴形成ゾーン42のうちの1つに少なくとも1つの液滴を生成するように停止されるステップと、前記少なくとも1つの液滴中に存在する前記対象の検体は、前記少なくとも1つの検出面31と連動する電気的検出手段70,71によって検出されるステップと、を含むことを特徴とする方法。前記対象の検体に結合することが可能な前記プローブ要素は、前記少なくとも1つの検出面31を少なくとも部分的に覆うように前記検出面に接合される、請求項19に記載の検出方法。前記検出器は、振動可能な平らな電気機械的オシレータであり、前記検出ステップは、次のサブステップ、すなわち、オシレータ30が、所定の周波数で、および所定の振動モードに従って振動するように設定されるサブステップと、オシレータ30の実効振動周波数が測定されるサブステップと、測定された振動周波数と、前記所定の振動周波数の相違が算出されるサブステップと、を含む、請求項19または請求項20に記載の検出方法。少なくとも1つの作動電極60;61が、前記オシレータ30の縁部に対向して配置され、オシレータ30を振動させるための前記設定は、前記オシレータ30と、前記少なくとも1つの作動電極60;61との間に交番電界を発生させることにより、オシレータ30と、前記少なくとも1つの作動電極60;61との静電結合によって実施される、請求項21に記載の検出方法。測定電極70;71が、前記オシレータ30の縁部に対向して配置され、オシレータ30の振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極から流れる電流を測定することを含み、前記電流が、オシレータ30と前記測定電極70;71との容量性結合によって生成される、請求項21または請求項22に記載の検出方法。請求項1~請求項18のいずれか一項に記載の前記検出方法を実施するための検出装置であって、第1の面24および少なくとも1つの検出面31であって、前記第1の面24が、前記少なくとも1つの検出面31と平行であり、および前記検出面から所定の距離に配置されている第1の面および少なくとも1つの検出面と、前記液体を前記第1の面24に接触させることができるように配置された対象の液体のタンク25と、液体誘電泳動により、第1の面24の前記タンク25からの液体のフィンガを形成する電気的手段であって、前記第1の面24に配置され、および前記少なくとも1つの検出面31に対向する少なくとも1つの液滴形成ゾーン42を含む2つの略同一平面上にある動電極40,41を含む電気的手段と、前記少なくとも1つの検出面31に接触している前記液滴中の対象の検体を検出する手段70,71;72,73;74;75;76であって、前記少なくとも1つの検出面31と連動する検出手段と、を含むことを特徴とする検出装置。請求項19~請求項23のいずれか一項に記載の前記検出方法を実施するための検出装置であって、基板10、少なくとも1つの平らな電気機械的オシレータ30、および前記基板10に対して各オシレータ30を支持する手段50であって、主面が、前記基板10の表面で形成され、前記オシレータ30の表面が、検出面31と、前記支持手段50の表面とを形成している基板、オシレータおよび支持手段と、前記液体を前記主面に接触させることができるように配置された対象の液体のタンクと、液体誘電泳動により、前記主面上の前記タンクからの液体のフィンガを形成する電気的手段であって、前記主面に配置され、および各々が前記検出面31に設けられた少なくとも1つの液滴形成ゾーン42を含む2つの略同一平面上にある動電極40,41を含む電気的手段と、前記少なくとも1つの検出面31に接触している前記液滴中の対象の検体を検出する手段70;71であって、前記少なくとも1つの検出面31と連動する検出手段と、を含むことを特徴とする検出装置。しかし、従来技術による重量法によるこの検出装置は、いくつかの欠点を有している。例えば、液体サンプル中の対象の検体の濃度は、該微小流路内の液体のフローに存在する流体力によって大幅に影響を及ぼされる。実際には、該微小流路の測微法的寸法は、粘着力を非常に高くする。その結果、該微小流路の壁部近傍、および特に縁部に存在する検体は、その粘着力によって実質的に引き止められ、それにより、センサまで有効に至る検体の濃度が低くなる傾向がある。また、該微小流路の壁部は、対象の液体を汚染し、および潜在的に、該センサの上流で該検体と、または、該検出面のプローブ要素と相互作用する可能性がある化学的要素を含んでいる可能性があり、それによって、該センサの検出感度に干渉する可能性がある。加えて、該プレートは、対象の液体中に浸される。また、該液体は、特に、該プレートの振動ゾーン内に、すなわち、容量性結合による変換の場合においては、該プレートと、側電極との間に存在しており、それによって、スクイーズ減衰と呼ばれる振動の減衰が生じ、その減衰には粘性減衰も加わり、両減衰とも、該センサの品質係数を大幅に低下させる。このようなセンサの品質係数は、通常、その共振ピークの先鋭度に相当する。また、品質係数は、検出の感度に相関することが分かっている。換言すれば、共振ピークが鋭ければ鋭いほど、品質係数は、より大きく増加し、および該センサの検出の感度は、より大きく増加することになる。品質係数は、一般的に、振幅を振動周波数の関数として表すグラフにおける、中間高さにおける共振ピークの幅によって決まる。しかし、共振ピークの先鋭度に相当する他のどのような指標も用いることができる。また、対象の液体中に浸される、容量性変換を伴う重量測定センサの場合、該作動電極および検出電極の表面を絶縁層で覆うことが必要である。実際に、この層がない場合には、対象の液体が導電性である場合、電気分解の危険性がある。一方、この絶縁層の存在は、同じ振動振幅を得るための作動電圧を増加させてしまう。本発明の目的は、従来技術の実施に関連する上述した欠点を少なくとも部分的に克服する、液体中に存在する対象の検体を検出する方法を提示することである。この目的のために、本発明は、対象の液体中に存在する対象の検体を検出する方法であって、以下のステップ、すなわち、前記対象の液体が第1の面に接触されるステップであって、前記面が、少なくとも1つの検出面と平行であるステップと、電気的制御の影響下で、液体誘電泳動によって、液体のフィンガが前記第1の面に形成されるステップであって、該液体のフィンガは、前記第1の面に配置されている2つの略同一平面動の電極に沿って伸びており、前記電極は、前記少なくとも1つの検出面に対向する少なくとも1つの液滴形成ゾーンを含むステップと、該液体のフィンガが毛管現象によって壊れて、前記液滴形成ゾーンのうちの1つに少なくとも1つの液滴を生成するように、前記電気的制御が停止されるステップであって、前記少なくとも1つの液滴が、前記少なくとも1つの検出面に接触するような十分な厚さを有しているステップと、前記少なくとも1つの液滴中に存在する前記対象の検体が、前記少なくとも1つの検出面と連動する検出手段によって検出されるステップと、を含む方法に関連している。液体誘電泳動liquiddielectrophoresis:LDEPは、電気絶縁性または導電性の液体への電気力の印加であり、該力は、不均一な振動電界によって生成されると理解されたい。液体誘電泳動による液体のフィンガの形成は、特に、LiquiddielectrophoresisonthemicroscaleJ.Electrostat.,51-522001,290-299というタイトルのJonesの論文に記載されている。該液体が電界内にある場合、該液体の分子は、非ヌル双極子を得て分極される。電界が不均一である限りにおいて、クーロン力が生じ、および該クーロン力が、該液体の、および全ての液体の分子の最大場への動きを誘発する。該電気的制御が停止されると、該液体のフィンガは不安定な状態になることに留意すべきである。その結果、毛細管の不安定性が急速に増加して、該フィンガを1つ以上の液滴に分け、それによって、該液体の界面エネルギを低下させることを可能にする。このようにして、本発明による方法は、該検出面に接触している液滴中に存在する対象の検体の検出を実現できる。また、該方法は、多数の液滴を同時に形成することも可能にする。該液滴は、単一の検出面または個別の検出面と接触することができる。上述した従来技術とは対照的に、該検体は、微小流路内を流れる液体によってだけではなく、第1の面と接触している液体のフィンガによっても運ばれる。したがって、粘着力の影響は、接液壁部の全表面がかなり小さくなる程度まで大幅に低減される。したがって、該壁部の近傍、ここでは、第1の面の近傍で捕捉される検体の量はかなり少なく、それによって、該検出面まで有効に運ばれる検体の量が増える。また、接液壁部の全表面が小さくなることにより、汚染された面との接触により、該対象の液体を汚染する危険性が大幅に低下する。加えて、該検出面は、液滴が該検出面に接触すると、該液体のみに接触し、それによって、接触する化学的物質によって、該検出面を汚染する危険性がかなり低下する。また、そのうちの1つの面が検出面を形成する、上述したような電気機械的オシレータの場合、該振動ゾーン内に液体がないことが、スクイーズ減衰タイプの振動の減衰を回避することを可能にしている。その結果、その品質係数が維持される。複数の液滴が、該液体のフィンガから同時に形成されて、面当たり1つの液滴で複数の検出面に接触する場合、前記検出面は、異なる種類の検体を検出するのに用いることができ、それによって、異なる種類の大量の検体を正確かつ迅速に検出することが可能になる。対象の液体がガスで包囲されている場合には、1つの検出面の作動は、異なる対応オシレータが液体に浸されていない限りにおいて、隣接する検出面における検出には影響を及ぼさないことに留意すべきである。該振動ゾーンがその平面内で振動している場合は、該ガスのみが各オシレータの振動ゾーン内に存在している。該振動ゾーンが、その平面の外部で振動している場合は、このことが、隣接するオシレータの振動に干渉することなく、対応する検出面の液滴のみが変形される。好ましくは、前記動電極は、略矩形状で同一平面上にあり、および互いにほぼ平行である。前記第1の面と、前記少なくとも1つの検出面は、該液体のフィンガの最大厚さよりも大きく、かつ前記少なくとも1つの液滴の最大厚さよりも小さい高さだけ、互いに離間されている。したがって、該液体のフィンガは、前記少なくとも1つの検出面に触れることなく、第1の面に形成される。少なくとも1つの液滴が、該流体フィンガの毛細管破砕によって生成されると、該液滴は、該液滴が、2つの面を隔てる距離よりも大きい最大厚さを有する限りにおいて、必然的に該検出面に接触することになる。有利には、該対象の検体に結合することが可能な該プローブ要素は、前記少なくとも1つの検出面を少なくとも部分的に覆うように、その検出面に接合される。これらの接合されるプローブ要素は、例えば、抗体、核酸のためのプローブ、または、印刷ポリマーとすることができる。一実施形態によれば、前記液体動電極は、それぞれ、個別の検出面に対向して配置されている複数の液滴形成ゾーンを含んでいる。該電気的制御が停止されると、該液体のフィンガは、各々が、前記液滴形成ゾーンのうちの1つに位置している複数の液滴に分かれ、各液滴は、対応する検出面に接触することになる。該液滴形成ゾーンは、同一平面上にある電極の枝部に対応することが可能である。好ましくは、半円盤の形態である。したがって、該方法は、複数の液滴を形成することを可能にする。それらの液滴は、同時に形成されて、対応する検出面に同時に接触することとなる。また、該液滴の配置は、各駅敵が、該動電極の該液滴形成ゾーン上に形成される限りにおいて、完全に制御される。加えて、該液滴は全て、較正された容積を有している。各液滴が、同一容積を有することが可能である。各液滴の容積は、該液滴形成ゾーンのサイズ、特に幅と、該液体のフィンガの幅と、第1の面の親水性とに依存している。該流体フィンガが、該検出面に対向する第1の面に形成される場合は、該液滴の容積は、第1の面と該検出面とを隔てる距離にも依存する。該流体フィンガの幅は、該動電極の外縁部の直線状部分間の距離2Rに略等しい。各検出面は、考慮されている検出面に従って、異なる対象の検体に結合することが可能なプローブ要素を含むことができる。その結果、該プローブ要素の種類に従って、異なる種類の検体の検出を進めることが可能である。別の実施形態によれば、前記液体動電極は、同じ検出面に対向して配置されている複数の液滴形成ゾーンを含む。該電気的制御が停止されると、該液体のフィンガは、各々が、前記液滴形成ゾーンのうちの1つに位置している複数の液滴に分かれ、各液滴は、前記対応する検出面に接触することとなる。既に述べたように、該液滴は、同時に形成され、および較正された容積を有している。各液滴の容積は、同一にすることも可能である。有利には、前記動電極は、それぞれ、内縁部および外縁部を含み、該内縁部は、互いに略対向して配置され、および該外縁部は、略直線状の部分を有している。前記直線状部分は、距離2Rだけ互いに離間され、また、前記液滴形成ゾーンは、有利には、距離Rの8~10倍の距離、および好ましくは、距離Rの9倍程度の距離、および好ましくは、9.016Rの距離だけ互いに離間されている。この距離は、該液体のフィンガの最も不安定な波長にほぼ等しい。一実施形態によれば、前記液体動電極は、単一の検出面に直面している単一の液滴形成ゾーンを含む。該電気的制御が停止されると、前記液体のフィンガは、前記液滴形成ゾーン上に位置する単一の液滴に分かれ、前記液滴は、前記検出面に接触することとなる。好ましくは、前記動電極は、絶縁層で被覆されている。好ましくは、前記第1の面は疎水性であり、また、前記少なくとも1つの検出面は、少なくとも部分的に親水性である。本発明の第1の好適な実施形態によれば、前記検出面は、振動することが可能である平らな電気機械的オシレータの1つの面である。その場合、前記検出ステップは、次のサブステップ、すなわち、該オシレータが、所定の周波数で、および所定の振動モードに従って振動するように設定されるサブステップと、該オシレータの実効振動周波数が測定されるサブステップと、測定された振動周波数と、所定の振動周波数の相違が算出されるサブステップと、を含むことができる。この相違は、該検出面に堆積した該液滴の質量によるものである。該検出面が、固有のプローブで機能的に形成されている場合、該相違も、対象の液体中に存在するターゲットと、該プローブとの相互作用によるものとなる。重量測定検出という用語を用いることもできる。好ましくは、少なくとも1つの作動電極が、好ましくは、前記オシレータと平行に、および有利には、該オシレータと同一平面上に、該オシレータの縁部に対向して配置される。該オシレータを振動させるための前記設定は、前記オシレータと、前記少なくとも1つの作動電極との間に交番電界を発生させることにより、該オシレータと、前記少なくとも1つの作動電極との間の静電結合によって実施される。したがって、前記オシレータは、一定の電位状態にすることができ、また、交流電圧を前記少なくとも1つの作動電極に印加することができる。測定電極は、好ましくは、前記オシレータと平行に、および有利には、該オシレータと同一平面上に、前記オシレータの縁部に対向して配置される。該オシレータの振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極から流れる電流を測定することを含み、前記電流は、該オシレータと、前記測定電極の容量性結合によって生成される。いくつかの測定電極を配置することができ、その場合、それらの測定電極は、該オシレータに容量結合される。別法として、対象の検体は、圧電気によって検出される。前記少なくとも1つの検出面は、参照電極を形成する導電性材料からなる層を含み、および絶縁圧電材料で被覆され、後者は、少なくとも1つの測定電極によって少なくとも部分的に覆われる。該オシレータの振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極から流れる電流を測定することを含み、前記電流は、該参照電極と該測定電極との容量性結合によって生成され、後者は、該オシレータの振動による該圧電層の分極によって、所定の電位状態にされる。変形例によれば、前記圧電層は、各々が金属製トラックで形成され、および互いに略平行に配置されている2つの測定電極によって、少なくとも部分的に覆われている。該オシレータの振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極の少なくとも一方からの第2の電流を測定することも含み、前記第2の電流は、前記測定電極間の容量性結合によって生成される。別法として、対象の検体は、該オシレータが、共振電気格子を形成する方法によって検出される。チャネルを形成する電極は、好ましくは、そのチャネルに平行で、および有利には、そのチャネルと同一平面上にある前記オシレータの縁部に対向して配置され、前記チャネルを形成する電極は、第1の一定の電位状態にされるソースを形成する電極と、第2の電位状態にされるドレインを形成する電極とに接続される。該オシレータの振動周波数を測定する前記ステップは、チャネルを形成する該電極中を流れる電流の変化を測定することを含み、前記変化は、該オシレータと、該チャネルを形成する電極との間の電界効果によって誘発される。別法として、対象の検体は、該オシレータが共振電気チャネルを形成する、電界効果による検出方法によって検出される。前記オシレータは、チャネルを形成する電極であり、および第1の一定の電位状態にされる、ソースを形成する電極と、第2の電位状態にされる、ドレインを形成する電極とに接続される。該オシレータの振動周波数を測定する前記ステップは、チャネルを形成する該電極内を流れる電流の変化を測定することを含み、前記変化は、該オシレータの検出面に堆積されている対象の検体により、電界効果によって誘発される。有利には、前記少なくとも1つの検出面は、前記少なくとも1つの液滴によって覆われるように意図されている親水性ゾーンを有し、該親水性ゾーンの輪郭は、該オシレータに加えられる振動モードに従って、該オシレータの節線と略一致している。本発明の好適な第2の実施形態によれば、前記検出面は、各々が、直流電圧が印加されるソースを形成する電極と、直流電圧が印加されるドレインを形成する電極とに接続された複数のナノワイヤを含む。対象の検体を検出する前記ステップは、前記ナノワイヤ内を流れる電流の変化を測定することを含み、前記変化は、前記検出面に堆積されている対象の検体による電界効果によって誘発される。また、本発明は、対象の液体中に存在する対象の検体を検出する方法であって、次のステップ、すなわち、前記液体が、基板の表面で形成された主面と、検出面を形成する平らな検出器の表面と、前記基板に対して該オシレータを支持する手段の表面とに接触されるステップと、液体のフィンガが、電気的制御の影響下で、液体誘電泳動によって前記主面に形成されるステップであって、該液体のフィンガは、前記主面に配置されている2つの動電極に沿って伸び、前記電極は、各々が該検出器の前記検出面に配置されている少なくとも1つの液滴形成ゾーンを含むステップと、前記電気的制御は、該液体のフィンガが毛管現象によって壊れて、前記液滴形成ゾーンのうちの1つに少なくとも1つの液滴を生成するように停止されるステップと、前記少なくとも1つの液滴中に存在する前記対象の検体は、前記少なくとも1つの検出面と連動する電気的検出手段によって検出されるステップと、を含む方法に関する。前述した方法とは対照的に、ここでは、該液体のフィンガがその上に形成される面と、該少なくとも1つの検出面は、同一平面上にある。有利には、該対象の検体に結合することが可能な該プローブ要素は、前記少なくとも1つの検出面を少なくとも部分的に覆うように、該検出面に接合される。前記検出面は、振動可能な平らな電気機械的オシレータの面である。その場合、前記検出ステップは、次のサブステップ、すなわち、該オシレータが、所定の周波数で、および所定の振動モードに従って振動するように設定されるサブステップと、該オシレータの実効振動周波数が測定されるサブステップと、測定された振動周波数と、該所定の振動周波数の相違が算出されるサブステップと、を含むことができる。この相違は、該検出面に堆積されている液滴の質量によるものである。該検出面が、固有のプローブによって機能的に形成されている場合、該相違もまた、該対象の液体中に存在するターゲットと、該プローブとの相互作用によるものである。重量測定検出という用語を用いることもできる。好ましくは、少なくとも1つの作動電極が、好ましくは、前記オシレータと平行に、および有利には、該オシレータと同一平面上で、該オシレータの縁部に対向して配置される。該オシレータを振動させるための前記設定は、前記オシレータと、前記少なくとも1つの作動電極との間に交番電界を発生させることにより、該オシレータと、前記少なくとも1つの作動電極との静電結合によって実施される。例えば、該オシレータは、一定の電位状態にされ、交流電圧が前記少なくとも1つの作動電極に印加される。測定電極は好ましくは、前記オシレータと平行に、および有利には、該オシレータと同一平面上で、該オシレータの縁部に対向して配置される。該オシレータの振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極から流れる電流を測定することを含み、前記電流は、備えられたオシレータと前記測定電極との容量性結合によって生成される。上述したオシレータ圧電オシレータ、共振格子または共振チャネルを有するオシレータもまた、この実施形態に用いることができる。また、本発明は、上記の特徴のうちの1つに従って、同一平面上にない液滴形成面および検出面を用いた検出方法を実施するように、対象の検体を検出するための装置に関する。該検出装置は、第1の面および少なくとも1つの検出面であって、前記第1の面が、前記少なくとも1つの検出面と平行であり、および該検出面から所定の距離に配置されている第1の面および少なくとも1つの検出面と、前記液体を前記第1の面に接触させることができるように配置された対象の液体のタンクと、液体誘電泳動により、第1の面の前記タンクからの液体のフィンガを形成する電気的手段であって、前記第1の面に配置され、および前記少なくとも1つの検出面に対向する少なくとも1つの液滴形成ゾーンを含む2つの略同一平面上にある動電極を含む電気的手段と、前記少なくとも1つの検出面に接触している前記液滴中の対象の検体を検出する手段であって、前記少なくとも1つの検出面と連動する検出手段と、を含む。そしてまた、本発明は、上記の特徴のうちの1つに従って、同一平面上にある液滴形成面および検出面を用いた検出方法を実施するように、対象の検体を検出するための装置に関する。該検出装置は、基板、少なくとも1つの平らな電気機械的オシレータ、および前記基板に対して各オシレータを支持する手段であって、主面が、前記基板の表面で形成され、前記オシレータの表面が、検出面と、前記支持手段の表面とを形成している基板、該オシレータおよび該支持手段と、前記液体を前記主面に接触させることができるように配置された対象の液体のタンクと、液体誘電泳動により、該主面上の前記タンクからの液体のフィンガを形成する電気的手段であって、前記主面に配置され、および各々が前記検出面に設けられた少なくとも1つの液滴形成ゾーンを含む2つの略同一平面上にある動電極を含む電気的手段と、前記少なくとも1つの検出面に接触している前記液滴中の対象の検体を検出する手段であって、前記少なくとも1つの検出面と連動する検出手段と、を含む。本発明のその他の効果および特徴は、以下の非限定的な詳細な説明において明らかになるであろう。図1は、本発明の第1の実施形態による、液体中に存在する対象の検体を検出するための装置を示す。検出装置1は、互いに対向して配置されている、下方基板10と、カバーを形成している上方基板20とを含む。カバー20は、絶縁層22および疎水性層23で形成された下方面を有する。前記疎水性層の自由表面は、第1の面24と呼ばれている。下方基板10は、振動するように設定されることが可能な複数の電気機械的オシレータ30を含む。前記オシレータ30については、以下で詳細に説明する。各オシレータ30の上方面31は、検出面31と呼ばれ、およびカバー20の第1の面24に対向している。以下の全ての説明においては、慣例により、図1に示すように、デカルト座標X,Y,Zにおける直接正規直交枠が用いられる。平面X,Yは、前記面と平行であり、また、方向Zは、検出面31から該カバーの第1の面24へ向いている。上方および下方という用語は、ここでは、前記枠の方向Zが進む方向の観点から理解すべきである。前記検出面31は、同一平面上にあり、および所定の距離Hだけ第1の面24から離れている。カバー20は、第1の面24を貫通して、該面内に開口している開口部25を含む。開口部25は、液体で満たすことができ、その中には、対象の検体が存在することが可能であり、その結果、液体タンク25を形成することができる。該液体は、数μS.cm-1~数mS.cm-1、例えば、1μS.cm-1~100mS.cm-1、好ましくは、10mS.cm-1程度の導電性を有している。検出装置1は、液体誘電泳動により、カバー20の第1の面24で液体のフィンガを形成する電気的手段を含む。それらの手段は、AhmedおよびJonesによるOptimizedliquidDEPdropletdispensingというタイトルの論文J.Micromech.Microeng.,172007,1052-1058に提示されているものと同様である。したがって、図2Aおよび図2Bに示すように、2つの動電極40,41が、第1の面24に配置され、および各々が異なる検出面に対向している複数の液滴形成ゾーン42を含んでいる。電極40,41は、それぞれ、金属製トラックで形成されている。それらは、互いに平行であり、同一平面上にあり、および略直線形状である。図2Bがより詳細に図示しているように、各トラック40,41は、内縁部40I,41Iと、外縁部40E,41Eとを含んでいる。内縁部40I,41Iは、互いに対向して配置されている。前記液滴形成ゾーン42は、各動電極40,41の外側に伸びている平らな突出部または平らなバンプ42-0および42-1で形成されている。バンプ42-0および42-1は、電極40,41の一部であり、およびそれらの電極と同一平面上にある。バンプ42-0および42-1は、ここでは、互いに対称的に配置され、およびそれぞれ、異なる動電極40,41の一部である。このようにして、動電極40,41は、直線状部分43と、前記直線状部分43によって互いに接続されている液滴形成ゾーン42とを含んでいる。動電極40,41の内縁部40I,41Iは、互いに距離gだけ離間している。直線状部分43は、幅wを有し、および各バンプ42-0,42-1は、半径Rbの半円盤状であり、その中心は、直線状部分43の外縁部40E,41Eの延長線上に位置している。これらの様々な距離の表記は、上記のAhmedおよびJonesによる論文で用いられているものと同様である。2Rは、動電極40,41の直線状部分43の外縁部40E,41Eを隔てている距離である。液滴形成ゾーン42は、互いに等距離に配置され、その距離は、好ましくは、8R~10R、および好ましくは、9.016Rである。以下に詳細に説明するように、液滴形成ゾーン42を隔てている距離は、動電極40,41に沿って伸びる液体のフィンガの最も不安定な波長λmaxに略等しい。動電極40,41は、電極40,41間に電位差を加えることが可能な電圧源44図2Aに接続されている。印加される該電圧は交流電圧であり、その周波数は、例えば、数キロヘルツ~数メガヘルツ、例えば、10kHz~10MHz、および10kHz~100kHzであり、また、該電圧は、数RMSボルト~数百RMSボルトの好適な電圧である。そして、図1を参照して上述したように、絶縁層22は、カバー20の下面21と、動電極40,41を被覆するように設けられている。疎水性層23は、絶縁層22を覆っている。有利には、該絶縁層および該疎水性層は、同じ材料からなる単一の層とすることができる。下方基板10は、振動するように設定されることが可能な平らな電気機械的オシレータ30図1の形態の複数の検出器を含む。各オシレータ30は、検出面31と呼ばれる上面を有している。それらの検出面31は、同一平面上にあり、およびカバー20の第1の面24から距離Hだけ離れている。オシレータ30は、上記の国際出願WO2009/141515に記載されているのと同様または同一とすることができ、または、当業者には周知の他の何らかの重量測定検出器ビーム、カンチレバー等とすることができる。図3に示すように、各オシレータ30は、ここでは、動電極40,41の液滴形成ゾーン42に直面して配置されている四角いプレートである。しかし、該オシレータは、他の形態、例えば、ディスク状、リング状または多角形状とすることができる。プレート30は、該プレートをその平面の内外で振動させることが可能なキャビティ11の上に配置されている。図4Aおよび図4Bに示すように、プレート30は、支持手段50、ここではビームによって、該下方基板上に取り付けられており、それらの支持手段は、該オシレータの4つの頂点に配置され、および該下方基板の対角線をたどる方向に向けられて配置されている。これらのビームは、例えば、シリコン、ポリシリコン、タングステン、ニッケル、または、微小電気機械システムまたはナノ電気機械システムMEMS,NEMSの分野で使用される他のいずれかの材料から成ることが可能である。各オシレータを振動させるように設定するために、作動手段が設けられている。少なくとも1つの作動電極60が、好ましくは、前記オシレータ30と平行に、および有利には、該オシレータと同一平面上に、該オシレータの縁部に対向して配置される。図4Bは、オシレータ30の近傍に配置されている、2つの隣接する作動電極60,61を示す。作動電極60,61は、数百ナノメータ程度の距離、例えば、100nmまたは300nmだけオシレータ30から離れている。電圧源図示せずは、所定の周波数の交流電圧を、作動電極60,61のそれぞれに印加するために該作動電極に接続され、その結果、オシレータ30は、一定の電位状態にされる。設定すべき電圧のパラメータを選定するために、制御手段図示せずが該電圧源に接続されている。その印加電圧の周波数は、有利には、該オシレータの固有振動周波数に等しい。オシレータ30は、好ましくは、その平面内で、ラーメモード、ボリュームエクステンションモード、ワイングラスモードと呼ばれるモード、または、他のいずれかの輪郭のモードから選択された所定の振動モードに従って振動することができることに留意すべきである。以下に詳細に説明するように、オシレータ30は、一定の電位状態にされるオシレータ30と、所定の周波数の交流電圧が印加される前記作動電極60,61との静電結合によって振動するように設定される。該対象の検体は、ここでは、重量測定によって検出される。図4Bに示すように、2つの隣接する測定電極70,71は、好ましくは、前記オシレータ30に平行に、および有利には、該オシレータと同一平面上で、該オシレータの縁部に対向して配置される。これらの測定電極は、作動電極60,61と同じ、該測定電極とオシレータ30を隔てている距離を有している。以下に詳細に説明するように、該オシレータの振動周波数を測定する前記ステップは、前記測定電極70,71から流れる電流を測定することを含む。この電流は、オシレータ30と測定電極70,71との容量性結合によって生成される。そして、測定された電気信号を記憶および分析する手段図示せずが、生成された電流を測定する該手段と、該作動電極を制御する手段とに接続される。該手段は、一方においては、該オシレータの実効振動周波数を計算することを可能にし、また、測定された振動周波数と、最初に設定された所定の振動周波数との相違から該対象の検体を検出することを可能にする。オシレータ30の検出面31は、有利には、前記液滴によって覆われるように意図されている親水性ゾーンを有することに留意すべきである。該親水性ゾーンの輪郭は、有利には、該オシレータに加えられる振動モードに従って、該オシレータの節線と略一致することが可能である。このことは、該液滴の三重線の振動によって引き起こされたエネルギ散逸を弱めることが可能であり、その場合、この振動は、無視できるほどの振幅である。また、該対象の検体に結合することが可能な該プローブ要素は、前記検出面を少なくとも部分的に覆うように、前記検出面に接合することができる。これらの接合されたプローブ要素は、例えば、抗体、核酸のためのプローブ、または、印刷ポリマーとすることができる。該プローブ要素は、該検出面により異ならせることが可能である。そのため、各検出面は、異なる種類の対象の検体を受け入れるように意図されている。下方基板10は、単結晶シリコン、多結晶シリコン、ダイヤモンド、窒化ケイ素、酸化ケイ素、ニッケル、タングステンまたはプラチナ等の材料で実施することができる。上方基板20の材料は、上述した材料から選択することができるが、ポリカーボネートまたはPEEK等のガラス、パイレックス登録商標または有機材料が好適であろう。該上方基板は、有利には、透明である。該上方基板の厚さは、数百ミクロン~数ミリメートルとすることができる。動電極40,41は、金属材料、例えば、金またはアルミニウムで実施することができる。電極40,41は、20μm程度の幅wを有することができ、および互いに20μm程度の距離gだけ離間させることができる。その結果、該液体のフィンガの幅は、R=wg/2=30μm程度になる。該バンプは、Rb=0.98Rの半円盤状とすることができる。動電極40,41を覆っている絶縁層22は、例えば、SiO2、Al2O3、HfO2、SiNとすることができ、および100nm~数ミクロンの厚さを有することができる。これにより、該液体が、動電極40,41に直接接触している場合でも、該液体の電気分解を回避することが可能である。第1の面24を形成している疎水性層23は、SiOC、PTFEポリテトラフルオロエチレンまたはパリレンからなることが可能であり、および数ミクロンの厚さを有することができる。オシレータ30は、5μm~数百ミクロンの幅からなる四角いプレートである。その厚さは、典型的には、その幅の十分の一以下である。該プレートは、単結晶シリコン、多結晶シリコン、ダイヤモンド、窒化ケイ素、酸化ケイ素、ニッケル、タングステンまたはプラチナから選択された材料で実施される。第1の面24と検出面31を隔てる距離Hは、数十ミクロン程度、例えば、50μmとすることができる。各検出面31は、形成された液滴を受容れるように意図されているゾーンに対応する親水性ゾーンを有する。この親水性ゾーンは、該検出面に既に堆積されている疎水性層を構造化することによって形成することができる。別法として、該親水性ゾーンは、疎水性シランおよび親水性シランから始める化学的処理によって形成することができる。本発明の第1の好適な実施形態による検出装置1は、図5A~図5Cに関して次のように作動する。第1のステップ図5Aに従って、該対象の液体が、液体タンク25から第1の面24に接触される。電気的制御の影響下で、2つの動電極40,41に適切な電圧を印加することにより、振動する不均一な電界が生成される。次いで、静電力が該液体に加えられて、液体誘電泳動によって、前記第1の面24での液体のフィンガの形成が引き起こされる図5B。該液体のフィンガは、2つの動電極40,41に沿って伸びている。該液体が動く速度は速く、10cm/s程度であることに留意すべきである。したがって、動電極40,41の長さが5mm程度である場合は、該液体のフィンガを形成するには、50msで十分である。該液体のフィンガは、動電極40,41の全長にわたって該電極をほぼ覆い、その幅は、電極40,41の直線状部分における該電極の外縁部を隔てている距離に相当する、上記のように定義された距離2Rに略等しい。次に、該電気的制御が停止されると図5C、該液体のフィンガは、毛管現象によって、各々が液滴形成ゾーン上にある複数の液滴に分かれる。実際には、該液体のフィンガは、静電力がない場合には、本質的に不安定である。該フィンガは、レイリープラトー型の流体力学的不安定性の影響下で分かれる。実際には、該フィンガの複数の液滴へのこの分裂は、該液体の界面エネルギを低減することを可能にする。その不安定性は、毛管現象と慣性の競り合いであり、最も不安定な波長は、kmaxR=1/√2であり、ただし、kmaxは、波数である。したがって、該最も不安定な波長は、λmax=9.016Rと表される。また、該液滴形成ゾーンは、λmaxに略等しい距離だけ、互いに離間されている。該液滴形成ゾーンは、λmax波長における該液体のフィンガの接触面を変形させて、それによって、所望の波長を予め選択することを可能にする。このようにして、該液滴は、同時に形成され、それぞれ、1つの液滴形成ゾーン内に配置される。各液滴は、較正された容積を有している。該容積は、該液体のフィンガの幅2Rと、該液滴形成ゾーン間の距離λmaxとに依存している。形成される該液滴は、対応する検出面31に接触するのに十分な厚さを有している。また、第1の面24と各検出面31を隔てている距離Hと、動電極40,41の横方向の寸法gおよびwは、該液体のフィンガが、距離Hよりも小さい最大厚さを有し、および形成される各液滴が、この距離Hよりも大きい最大厚さを有するように適合される。該液体のフィンガは、検出面31に接触することなく、第1の面24のみを濡らす。該フィンガが分かれると、形成される該液滴は、自然に前記検出面31に接触する。各平らな電気機械的オシレータ30は、該作動電極と静電結合することによって、所定の周波数および所定の振動モードに従って振動するように設定される。前記設定される所定の周波数は、好ましくは、オシレータ30の共振周波数である。このため、オシレータ30の共振周波数に等しい周波数の交流電圧が、互いに位相差πで該作動電極に印加される。このようにして、ラーメの振動モードが得られる。また、ボリュームエクステンションモードまたはワイングラスモードも、国際出願WO2009/141515に詳細に示されているように、作動電極の異なる分極によって得ることができる。その結果、オシレータ30の実効振動周波数が測定される。該周波数は、実際には、該液滴の質量と、適切な場合に、該検出面が機能的に形成されている場合に、該オシレータの該検出面に接合される対象の検体の量とに依存する。該オシレータと、2つの測定電極との間の静電容量の変調が、これら2つの電極から流れる電流を生成する。該記憶および分析手段は、該測定電極において測定された電流の測定値から始めて、該オシレータの実効振動周波数を判断することを可能にする。該手段は、最初に設定された周波数と、測定された周波数との相違を計算し、それから該オシレータの表面に堆積している対象の検体の存在を推測する。発明の効果このようにして、本発明による方法は、液体中に存在する可能性がある対象の検体を正確かつ迅速に検出することを可能にしている。該液体は、迅速に該検出面に運ばれることに留意すべきである。該液体のフィンガの形成は、実際に、10cm/s程度の該液体の動く速度であり、非常に急速である。5mmの液体のフィンガを形成するのに、50msしか要しない。加えて、液体密度ρ=1000kg/m3、フィンガの半値幅R=50μm、液体/空気の表面張力σ=0.072Nmである場合に、毛細管現象/慣性不安定性の特性時間が、であるか、または、0.05msである限りにおいて、該液滴はより急速に形成される。また、該液滴は、同時に形成され、および該検出面に完璧に配置される。それらの液滴は、同一の、較正された容積であり、すなわち、πR2λmax/2に略等しくすることができる。また、該液体は、すぐに第1の面に接触するため、該液体が該検出面に送られる間に汚染される危険性は、大幅に限定される。本発明の第1の好適な実施形態の重量測定検出の場合、該液体は、該検出面に配置される液滴の形態になっている。上述した従来技術による実施例とは対照的に、該オシレータが液体に浸されることはない。また、該オシレータは、もはや該液体によって減衰されることはなく、それにより、該オシレータの固有の品質係数が、この種の全ての劣化から守られる。また、該液滴の三重線は、該検出面の親水性ゾーンの輪郭と、および該オシレータの振動モードの節線とに一致する。すなわち、該オシレータのゼロ運動線上にあるということである。このことは、該振動オシレータと該液体との相互作用を最小限にすることを可能にし、具体的には、前記相互作用の影響は、該オシレータの品質係数を低下させる発熱性消散である。このようにして、該液滴の存在により、該オシレータの品質係数の低下が最小限に抑えられる。各電気機械的オシレータは、代替的に、ビームの形態にすることができることに留意すべきである。該ビームは、二重に固定する、すなわち、その2つの端部において支持手段に取り付けることができる。また、該ビームは、その中心で固定することもでき、すなわち、その中間部において、2つの支持手段に取り付けることができ、または、各々が、該中間部と、該ビームの端部との間に設けられた4つの支持手段に取り付けられることによって、4箇所で固定することもできる。後者の場合、該支持手段は、振動波長の4分の1で該オシレータに接続され、および所定の振動モードの節に配置されている横方向ビームである。本発明の第1の好適な実施形態の第1の変形例によれば、重量測定検出は、容量性結合によってではなく、圧電的方法で実施される。液体誘電泳動によって形成される液体のフィンガが分かれることによる液滴の形成は、ここでは、上述したことと同様であることに留意すべきである。同様に、該電気機械的オシレータの作動は、第1の好適な実施形態と同様にすることができる。図6Aおよび図6Bが示すように、前記検出面31は、それぞれ、導電性材料からなる層32を含み、該層は、参照電極を構成し、および例えば、モリブデンで実施される。参照電極32は、誘電圧電材料、例えば、窒化アルミニウムAlNから成る層で被覆されている。この材料物質は、該モリブデン層上に、結晶方位<002>を有する。また、この結晶方位のため、AlN層33の分極によって生じる電界の強度は、同じ機械的応力の強度の場合、より大きくなる。AlN層33は、一定の逆電位状態にされる2つの測定電極72,73によって、少なくとも部分的に覆われている。電極72,73は、ジグザグ状に該検出面を交差する金属製トラックであり、および2つの桁50上に伸びている。これらの電極は、互いに平行であり、および一定の距離だけ離間されている。測定電極72,73は、絶縁層で被覆されている。該検出面は、該検出面上での該液滴の位置をチェックすることを可能にするために、親水性ゾーンを有することができる。該オシレータが振動すると、AlN層33が変形して分極される。そして、参照電極32が、AlN層33を介して、所定の電位状態にされる。オシレータ30の機械的振動による、参照電極32と、各測定電極72,73との間の静電容量の変化は、測定電極72,73内を流れる電流の発生を引き起こす。該電流を測定することにより、オシレータ30の実効振動周波数が推定される。この結果、測定された周波数と、最初に設定された周波数との相違を計算して、それから、検出面31に堆積している対象の検体の存在を推定することが可能となる。また、オシレータ30の機械的振動は、2つの測定電極72,73を互いに隔てる距離の変動を誘発する。この変動は、それら2つの電極72,73間の静電容量の変化を引き起こして、第2の電流の発生を引き起こす。第1の電流の測定および分析に加えて、第2の電流の測定および分析が、該オシレータの実効振動周波数をより正確に推定することを可能にし、それによって、対象の検体の検出をさらに有効なものとする。本発明の第1の好適な実施形態の第2の変形例によれば、検出装置1の各オシレータ30は、電界効果トランジスタとの類似性により、共振格子を形成する。液体誘電泳動によって形成される液体のフィンガが分かれることによる液滴の形成は、ここでは、上述したことと同様であることに留意すべきである。同様に、該電気機械的オシレータの作動は、第1の好適な実施形態と同じである。図7が示すように、チャネルを形成する測定電極74は、作動電極60,61と、オシレータ30との間隔に等しい該オシレータからの距離に、すなわち、数百ナノメータの距離に、好ましくは、前記オシレータ30と平行に、および有利には、該オシレータと同一平面上で、該オシレータの縁部に対向して配置されている。チャネル74を形成する該電極は、一方の端部において、第1の一定の電位状態にされる、ソース74Sを形成する電極に接続され、また、反対側の端部において、第2の電位状態にされる、ドレイン74Dを形成する電極に接続されている。これら2つの電位は異なっている。したがって、チャネル74を形成する該電極には、直流電圧が印加される。また、オシレータ30も、一定の電位状態にすることができる。オシレータ30が、その共振周波数で振動するように設定されている場合、該オシレータは、共振格子を構成している。振動するように設定されている該オシレータの共振周波数での電界効果によって生成されるソースドレイン間電流、およびより正確には、該電流の変動が測定される。これらの電流変動は、オシレータ30と、チャネル74を形成する電極との容量性結合によって誘電される。これらの変動の測定から、該検出面に堆積されている対象の検体の存在が推測される。本発明の第1の好適な実施形態の第3の変形例によれば、該検出装置の各オシレータは、電界効果トランジスタとの類似性により、共振チャネルを形成する。液体誘電泳動によって形成される液体のフィンガが分かれることによる液滴の形成は、ここでは、上述したことと同様であることに留意すべきである。同様に、該電気機械的オシレータの作動は、第1の好適な実施形態と同じである。図8が示すように、各オシレータ30は、チャネルを形成する電極であり、および一方の端部においては、第1の一定の電位状態にされる、ソース75Sを形成する電極に接続され、また、反対側の端部においては、第2の電位状態にされる、ドレイン75Dを形成する電極に接続されている。これら2つの電位は異なっている。このようにして、該オシレータには、直流電圧が印加される。ソース電極75Sおよびドレイン電極75Dは、基板10上に配置することができ、および導電性支持ビーム50によって、オシレータ30に接続することができる。オシレータ30内を流れるソースドレイン間電流、具体的には、オシレータ30の検出面31に堆積されている対象の検体による電界効果によって誘電される電流変動が測定される。これらの変動の測定から、検出面31に堆積されている対象の検体の存在が推測される。本発明の第2の好適な実施形態によれば、該検出面は、電気機械的オシレータの面ではなく、下方基板10の上面の所定のゾーンである。この場合、検出面31は、該検出面を少なくとも部分的に覆う複数のナノワイヤ76を含む。ナノワイヤ76は、半導体材料、例えば、ナノチューブの形態のシリコンまたはカーボンで実施される。ナノワイヤ76は、それぞれ、一方の端部においては、第1の一定の電位状態にされる、ソース75Sを形成する電極に接続され、および他方の端部においては、第2の一定の電位状態にされる、ドレイン75Dを形成する電極に接続されている。したがって、各ナノワイヤには、直流電圧が印加される。電界効果トランジスタとの類似性により、該ナノワイヤは、自由キャリア該チャネルのドーピングの性質および種類により電子またはホールがその中を通るチャネルを形成する。したがって、ソースドレイン間の所定の電位降下で、該ナノワイヤに流れる電流、およびより具体的には、その表面に堆積された対象の検体の存在による電界効果によって誘電された該電流の変化が測定される。それらの検体は、その電荷により、該トランジスタの格子電位を実際に変調させる。したがって、対象の検体の検出が、測定された電流の変動から推測される。液体誘電泳動によって形成される液体のフィンガから液滴を形成する方法は、上述したことと同じであり、ここでは繰り返さない。本発明の第3の実施形態によれば、該検出装置は、同一平面上にある液滴形成面と検出面とを含んでいる。該検出装置は、少なくとも1つの検出器30を含む基板10を含んでいる。そのため、検出器は、平らな電気機械的オシレータとすることができる。支持手段50は、各オシレータ30が、基板10に対して確実に保持されるようにする。図10は、単一のオシレータ30を含む、そのような検出装置の一部を示す。それらを作動電極60,61によって振動させるように設定する電気機械的オシレータ10と、測定電極70,71による、重量測定による検出は、本発明の第1の好適な実施形態を参照して既に記載されていることと同様である。主面と呼ばれる、該液体のフィンガを形成するための、および検出のための面は、前記基板10の表面と、検出面31を形成している前記オシレータ30の表面と、前記支持手段50の表面とで形成されている。第1の好適な実施形態の場合と同様に、対象の液体のタンク図示せずが、前記液体を前記主面に接触させることが可能なように配置されている。該タンクは、該基板を貫通し、および該主面内に開口している開口部によって形成することができる。動電極40,41は、該主面の高さで、前記タンクから伸びている。これらの電極は、液滴形成ゾーン42を含んでいる。それらの電極は、該基板の表面に伸びており、および支持ビーム50を介して、それぞれが検出面31を形成するオシレータ30の表面に続いている。該液体のフィンガを形成する方法は、上述したのと同じである。該液体のフィンガは、液体誘電泳動によって形成され、および対応する支持ビーム50を介して、基板10およびオシレータ30の上に拡がる。液滴形成ゾーン42は、各検出面31の上に配置されている。したがって、該電気的制御が停止されると、該液体のフィンガは、毛管現象によって複数の液滴に分かれ、各液滴は、液滴形成ゾーン42上に、および対応するオシレータ30の検出面31上に配置される。各オシレータ30は、オシレータ30の縁部に対向して配置されている作動電極60,61との容量性結合により、好ましくは、その共振周波数で振動するように設定される。検体は、第1の好適な実施形態に関連して説明したように、オシレータ30と、オシレータ30の縁部に対向して配置されている2つの測定電極70,71との容量性結合により、該液滴中で検出される。測定された電流から、実効振動周波数と、最初に設定された周波数との周波数の相違が推測される。対象の検体の存在は、この計算された相違から、または、前記計算された相違として検出される。当然のことながら当業者により、単に非限定的な実施例として、ここまで説明してきた本発明に対する様々な変更が可能である。上述した様々な実施形態の変形例として、対象の検体は、該検出面と連動する光学的手段によって検出することができる。該検出面は、下方基板の1つの面とすることができ、および分析すべき該液滴と接触するように意図されている親水性部分を含むことができる。この基板のこの検出面は、透明な材料で実施することができる。また、この面に対向する該基板の部分も、透明な材料で実施される。この検出面は、光源によって照らすことができ、および光検知器に結合することができる。また、該検出面は、細胞膜を通過するイオン電流のための電気生理学的記録センサの表面と同じにすることができる。その場合、該検出面は、100nm~数ミリメートルの直径の多孔質膜であり、その細孔の直径は、数ナノメートル~数ミクロンである。このような膜は、1~数百以上の細孔を含むことが可能である。該膜は、絶縁材料、例えば、窒化ケイ素、酸化ケイ素、パリレンを用いて実施される。該膜の上面、すなわち、集められた液滴と接触している面と、該上面の反対側にある、該膜の下面との圧力差のためである。該検出面の同一平面上にある該基板は、前記面に、流体チャンバとして機能する開口部を有し、その壁部のうちの1つは、該膜の下面である。このようにして、該膜は、集められた液滴を該微小流体チャンバから隔てている。この微小流体チャンバは、生理食塩水バッファで満たすことができる。電位差は、通常、該膜の一方の面および他方の面に印加される。好ましくは、圧力制御手段が、該膜の一方の面および他方の面に、該液滴が、平面を有するピペットと同様の構造により、該膜に接触して保持されるような圧力差を加えることを可能にする。このようにして、該検出面に形成されている液滴が細胞を含む場合、該細胞は、該液滴が存在する場合に、該圧力差によって及ぼされる吸着力の影響により、および該膜の一方の面および他方の面に存在する電位差の影響により、該膜上に凝集されて嵌入され、後者の影響は、誘電泳動による引力という名称で知られている。また、該膜の一方の面および他方の面に配置されている2つの測定点間の電位差も利用可能である。該細胞の外膜は、2つの帯電面によって表される脂質二重層から成り、それら2つの面は、絶縁体から成る層によって隔てられていることが分かっている。このことは、それら2つの層を形成する該脂質の極性頭部の親水性によってもたらされる。したがって、細胞の各面は、コンデンサでモデル化することができる。該細胞がその中に浸される液状媒質が、該脂質二重層内に含まれている膜タンパクがそれと相互に作用しやすい分子を含んでいる場合、該脂質二重層は、改質することができ、および具体的には、部分的に開口することができ、その場合、該膜の一方の面および他方の面に印加される電位差のため、イオン種が、該細胞の内部と、該流体チャンバとの間の膜を通過することを可能にする。このイオン電流は、上述した電位差を測定するための手段によって数値化することができる。"