"入射光を光電変換して信号電荷を蓄積する光電荷変換素子と、該光電荷変換素子に蓄積された信号電荷を電圧変換する電荷電圧変換端子と、該電荷電圧変換端子で電圧変換された信号を増幅する電圧信号出力手段と、前記光電荷変換素子に蓄積された信号電荷を前記電荷電圧変換端子へ転送する転送手段と、前記電荷電圧変換端子の第1のリセット電圧を有する電源への導通と切断とをオンオフにより切り替える第1のリセット手段とを備え行列方向に配列された複数の画素と、各列に属する複数の前記画素が共通に接続され浮遊電位状態に維持可能な複数の第1の信号配線と、該第1の信号配線の各々において、前記電圧信号出力手段から前記第1の信号配線に信号を出力する前記画素を選択する第1の走査手段と、前記第1の信号配線への定電流の供給をオンオフする定電流回路素子とを備え、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する複数の前記画素の前記電荷電圧変換端子を前記第1のリセット手段をオンして前記第1のリセット電圧にリセットした後に前記第1のリセット手段をオフすることにより浮遊電位状態にし、前記定電流回路素子をオンして前記第1の信号配線へ定電流を供給しながら前記電荷電圧変換端子の電圧を前記第1の信号配線に前記電圧信号出力手段を介して所定の時間読み出すことにより前記第1の信号配線に保存した後に前記定電流回路素子をオフし、各前記第1の信号配線に保存された電圧を読み出すことにより1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する複数の前記画素の前記転送手段により前記光電荷変換手段に蓄積された信号電荷を前記電荷電圧変換端子に転送し、前記定電流回路素子をオンして前記第1の信号配線へ定電流を供給しながら前記電荷電圧変換端子にて電圧変換された信号を前記第1の信号配線に前記電圧信号出力手段を介して前記所定の時間読み出すことにより前記第1の信号配線に保存した後に前記定電流回路素子をオフし、各前記第1の信号配線に保存された電圧を読み出すことにより1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを行う固体撮像装置。前記1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と、前記1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを、前記第1の走査手段により選択する画素を列方向に切り替えながら交互に繰り返す請求項1に記載の固体撮像装置。前記第1の信号配線が複数ずつ接続された複数の第2の信号配線と、各該第2の信号配線の電圧をリセットする複数の第2のリセット手段と、各前記第2の信号配線から信号を出力させる複数の信号増幅手段と、各前記第2の信号配線に接続される複数の前記第1の信号配線のうち一を選択して前記第2の信号配線に信号を出力させる第2の走査手段とを備え、各前記第2の信号配線に接続する複数の前記第1の信号配線に属する画素について、前記1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と前記1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを、前記第2のリセット手段により前記第2の信号配線の電圧をリセットしながら交互に繰り返する請求項2に記載の固体撮像装置。前記画素が、2つ以上の前記光電荷変換素子および該光電荷変換素子と同数の前記転送手段を単一の前記電荷電圧変換端子に並列に接続してなり、前記光信号読み出し動作において、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する前記画素の1つの前記光電荷変換素子の光信号を読み出す請求項1から請求項3のいずれかに記載の固体撮像装置。しかしながら、特許文献1は、画素が蓄積した信号電荷に応じた電圧をそのまま垂直信号線へ出力する構成となっており、画素に蓄積された信号電荷を完全転送する構成になっていない。このような構成においては、画素が蓄積した信号電荷をリセット電圧に初期化する際にスイッチ動作に伴って画素に残るリセットノイズを除去することができないという問題がある。本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、低消費電力の回路構成としつつ画素のリセットノイズを除去することができる固体撮像装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。本発明は、入射光を光電変換して信号電荷を蓄積する光電荷変換素子と、該光電荷変換素子に蓄積された信号電荷を電圧変換する電荷電圧変換端子と、該電荷電圧変換端子で電圧変換された信号を増幅する電圧信号出力手段と、前記光電荷変換素子に蓄積された信号電荷を前記電荷電圧変換端子へ転送する転送手段と、前記電荷電圧変換端子の第1のリセット電圧を有する電源への導通と切断とをオンオフにより切り替える第1のリセット手段とを備え行列方向に配列された複数の画素と、各列に属する複数の前記画素が共通に接続され浮遊電位状態に維持可能な複数の第1の信号配線と、該第1の信号配線の各々において、前記電圧信号出力手段から前記第1の信号配線に信号を出力する前記画素を選択する第1の走査手段と、前記第1の信号配線への定電流の供給をオンオフする定電流回路素子とを備え、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する複数の前記画素の前記電荷電圧変換端子を前記第1のリセット手段をオンして前記第1のリセット電圧にリセットした後に前記第1のリセット手段をオフすることにより浮遊電位状態にし、前記定電流回路素子をオンして前記第1の信号配線へ定電流を供給しながら前記電荷電圧変換端子の電圧を前記第1の信号配線に前記電圧信号出力手段を介して所定の時間読み出すことにより前記第1の信号配線に保存した後に前記定電流回路素子をオフし、各前記第1の信号配線に保存された電圧を読み出すことにより1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する複数の前記画素の前記転送手段により前記光電荷変換手段に蓄積された信号電荷を前記電荷電圧変換端子に転送し、前記定電流回路素子をオンして前記第1の信号配線へ定電流を供給しながら前記電荷電圧変換端子にて電圧変換された信号を前記第1の信号配線に前記電圧信号出力手段を介して前記所定の時間読み出すことにより前記第1の信号配線に保存した後に前記定電流回路素子をオフし、各前記第1の信号配線に保存された電圧を読み出すことにより1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを行う固体撮像装置を提供する。本発明によれば、光電荷変換素子に入射した光は、信号電荷に変換されて蓄積された後、転送手段によって電荷電圧変換端子に転送されて電圧に変換され、電圧信号増幅手段によって増幅された後に浮遊電位状態の第1の信号配線に読み出されることにより該第1の信号配線に一時的に保存される。その後、第1の信号配線から信号を読み出すことにより、第1の走査手段により選択された一行分の画素の光信号を得ることができる。この場合に、上述した光信号の読み出しに先立ち、以下の動作が実行される。すなわち、電荷電圧変換端子を第1のリセット手段により第1のリセット電圧にリセットする。次いで、リセット後の電荷電圧変換端子の電圧の信号を、定電流回路素子から定電流が供給されている第1の信号配線に読み出すことにより該第1の信号配線に一時的に保持した後、該第1の信号配線から読み出す。これにより、1行分の画素について電荷電圧変換端子のリセット後の信号が読み出されることとなる。これら動作の後、前述した光信号の読み出しが行われる。ここで、ノイズ信号読み出し動作において読み出される各画素の信号と、光信号読み出し動作において読み出される各画素の信号には、電荷電圧変換端子のリセットに伴うリセットノイズが共通して含まれる。これら2つの信号の差分を求めることにより、各画素についてリセットノイズが除去された正味の光信号を得ることができる。上記発明においては、前記1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と、前記1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを、前記第1の走査手段により選択する画素を列方向に切り替えながら交互に繰り返すこととしてもよい。このように各画素についてノイズ信号読み出し動作と光信号読み出し動作とを連続して実行することにより、電荷電圧変換端子のリセット後の電圧が読み出されてから信号電荷の転送後の信号が読み出されるまでの時間が最短となる。これにより、この間に電荷電圧変換端子に他の要因によるノイズが加わることが防止され、より正確な光信号を得ることができる。また、上記発明においては、前記第1の信号配線が複数ずつ接続された複数の第2の信号配線と、各該第2の信号配線の電圧をリセットする複数の第2のリセット手段と、各前記第2の信号配線から信号を出力させる複数の信号増幅手段と、各前記第2の信号配線に接続される複数の前記第1の信号配線のうち一を選択して前記第2の信号配線に信号を出力させる第2の走査手段とを備え、各前記第2の信号配線に接続する複数の前記第1の信号配線に属する画素について、前記1行分の画素のノイズ信号を出力するノイズ信号読み出し動作と前記1行分の画素の光信号を出力する光信号読み出し動作とを、前記第2のリセット手段により前記第2の信号配線の電圧をリセットしながら交互に繰り返することとしてもよい。このように全画素を列単位で複数の群に分割し、各群において画素からの信号の読み出し動作を並行して行うことにより、全ての画素の信号の読み出しに要する時間を短縮することができる。また、上記発明においては、前記画素が、2つ以上の前記光電荷変換素子および該光電荷変換素子と同数の前記転送手段を単一の前記電荷電圧変換端子に並列に接続してなり、前記光信号読み出し動作において、前記第1の走査手段により選択された一の行に属する前記画素の1つの前記光電荷変換素子の光信号を読み出すこととしてもよい。このように複数の光電荷変換端子によって一部の構成を共有することにより、画素が占める面積を縮小することができる。本発明によれば、画素のリセットノイズを除去することができるという効果を奏する。以下に、本発明の一実施形態に係る固体撮像装置1について図面を参照して説明する。本実施形態に係る固体撮像装置1は、図1に示されるように、複数の画素2を備える画素アレイ3と、垂直シフトレジスタ4と、水平シフトレジスタ5と、最終出力増幅回路6と、制御回路7とを基本構成として備えている。また、これらの周辺には、図示しないアナログ-デジタルAD変換回路や信号処理回路等が備えられている。画素アレイ3は、複数の画素2が行方向と列方向に配列されてなる。同一の列に属する画素2は共通の垂直信号線8に接続され、各垂直信号線8は列選択トランジスタ10を介して共通の水平信号線9に接続されている。符号11は、垂直信号線8と接地電圧との間に接続され、垂直信号線8に定電流を供給する負荷トランジスタ定電流回路素子である。符号12は、水平信号線9に接続され、該水平信号線9を第2のリセット電圧Vrst2にリセットする水平信号線リセットトランジスタ第2のリセットトランジスタである。これらのトランジスタ11,12は、図示しないパルス回路からゲートにパルスφCS,φHclrがそれぞれ入力されることにより駆動する。垂直シフトレジスタ4は、画素アレイ3の中から一の行を選択し、選択した行に属する画素2に後述するパルスφRj,φTj,φXjを入力することにより、各画素2から垂直信号線8へ信号を出力させる。水平シフトレジスタ5は、水平信号線9に沿って並ぶ列選択トランジスタ10のゲートに1列目から順番に列選択パルスφHφH1,φH2,...,φHnを入力することにより、1列目の垂直信号線8から順番に水平信号線9へ信号を出力させる。最終出力増幅回路6は、水平信号線9の信号を増幅して出力する。最終出力増幅回路6から出力された信号は、図示しないAD変換回路に入力されてデジタル信号に変換された後、信号処理回路により画像化のために処理される。制御回路7は、予め設定されたパルスシーケンスに従い、上述した各パルスを出力させる制御信号を各シフトレジスタ4,5およびパルス回路に出力することにより、画素アレイ3からの信号の読み出し動作を制御する。次に、各画素2の回路構成について図2を参照して説明する。画素2は、図2に示されるように、受光した光信号を光電変換して信号電荷を蓄積するフォトダイオード21と、該PD21に蓄積された信号電荷を転送する転送トランジスタ転送手段22と、該転送トランジスタ22によって転送された信号電荷を蓄積するフローティングディフュージョンFD、電荷電圧変換端子23と、FD23に蓄積された信号電荷を電圧として読み出す増幅トランジスタ電圧信号出力手段24と、該増幅トランジスタ24と垂直信号線8との間に接続された画素選択トランジスタ25と、FD23の電圧を第1のリセット電圧Vrst1にリセットするFDリセットトランジスタ第1のリセット手段26とを備えている。転送トランジスタ22、画素選択トランジスタ25およびFDリセットトランジスタ26のゲートは、垂直シフトレジスタ4に接続され、該垂直シフトレジスタ4から各ゲートにパルスが入力されることにより各画素2は駆動する。具体的には、転送トランジスタ22は、ゲートに転送パルスφTjが入力されることにより、ソース側のPD21からドレイン側のFD23へ、PD21が蓄積した信号電荷を転送する。この転送動作によりPD21が蓄積していた信号電荷量はゼロにリセットされる。FD23は、転送トランジスタ22を介してPD21から転送されてきた信号電荷を蓄積し、蓄積した信号電荷量に応じた信号電圧を生成する。増幅トランジスタ24は、ゲートに接続されたFD23の信号電圧を増幅し、その信号をソース側の画素選択トランジスタ25に出力する。画素選択トランジスタ25は、ゲートに垂直シフトレジスタ4から画素選択パルスφXjが入力されることにより、増幅トランジスタ24から入力された信号を垂直信号線8に出力する。FD23が蓄積した信号電荷は、垂直シフトレジスタ4からFDリセットトランジスタ26のゲートにFDリセットパルスφRjが入力されることにより、FDリセットトランジスタ26のドレイン側に排出される。これによりFD23の電圧は第1のリセット電圧Vrst1にリセットされる。次に、このように構成された固体撮像装置1の駆動方法について図3のタイミングチャートを参照して説明する。本実施形態に係る固体撮像装置1の駆動方法は、画素2が受光した光信号を読み出す光信号読み出し動作と、該光信号読み出し動作に先立って実行されるノイズ信号読み出し動作とからなる。具体的には、ノイズ信号読み出し動作は、FD23をリセットする第1の工程S1と、リセット後のFD23の電圧を垂直信号線8に読み出して該垂直信号線8に保存する第2の工程S2と、各垂直信号線8に保存された信号を順番に水平信号線9に読み出して最終出力増幅回路6から出力する第3の工程S3とを含む。初期状態においてトランジスタ10,11,12,22,25,26はゲートへのパルスの入力がないオフ状態とされ、FD23、垂直信号線8および水平信号線9は浮遊電位状態とされている。第1の工程S1において、垂直シフトレジスタ4から1行目の各画素2にFDリセットパルスφR1が印加されることにより、各画素2のFD23の電圧は第1のリセット電圧Vrst1にリセットされる。このFD23のリセット動作において、FDリセットトランジスタ26がオンオフ動作することに伴うリセットノイズも第1のリセット電圧Vrst1と共にFD23に保存される。次に、第2の工程S2において、パルス回路から負荷トランジスタ11にスイッチパルスφCSが印加されることにより、各垂直信号線8の電圧V_VLiは接地電圧にリセットされる。図3には、n本の垂直信号線8のうち代表して1列目の電圧V_VL1のみが示されている。垂直信号線8のリセットに続き、負荷トランジスタ11がオン状態とされたまま、垂直シフトレジスタ4から1行目の各画素2に画素選択パルスφX1が印加される。これにより、各画素2のFD23の電圧の信号が増幅トランジスタ24および画素選択トランジスタ25を介して垂直信号線8に読み出される。垂直信号線8に読み出された信号は、この後に負荷トランジスタ11がおよび画素選択トランジスタ25がオフ状態とされて垂直信号線8が再び浮遊電位状態とされることにより、該垂直信号線8に保存される。次に、第3の工程S3において、水平シフトレジスタ5から列選択トランジスタ10へ、1列目から順番に列選択パルスφH1,φH2,...,φHnが印加される。これにより、各垂直信号線8に保存されていた信号N1,N2,...,Nnが、1列目の垂直信号線8からN列目の垂直信号線8まで順番に水平信号線9に読み出される。水平信号線9に読み出された信号N1,N2,...,Nnは最終出力増幅回路6から外部に出力される。このときに、列選択パルスφHii=1,2,...,nと水平信号線リセットパルスφHclrとが交互に出力されることにより、水平信号線9の電圧V_HLは、最終出力増幅回路6から1つの信号Niが出力される度に第2のリセット電圧Vrst2にリセットされる。このようにして最終出量増幅回路6から出力された信号N1,N2,...,Nnは、第1のリセット電圧Vrst1と、FD23のリセット動作に伴うリセットノイズとを含んでいる。以上のノイズ信号読み出し動作に続いて、光信号読み出し動作が行われる。光信号読み出し動作は、PD21に蓄積された信号電荷をFD23に転送する第4の工程S4と、信号電荷転送後のFD23の電圧を垂直信号線8に読み出して該垂直信号線8に保存する第5の工程S5と、各垂直信号線8に保存された信号を順番に水平信号線9に読み出して最終出力増幅回路6から出力する第6の工程S6とを含む。第4の工程S4において、垂直シフトレジスタ4から1行目の各画素2に転送パルスφT1が印加されることにより、それまでPD21が蓄積した信号電荷が転送トランジスタ22を介してFD23に転送される。これにより、FD23の電圧は、第1の工程S1におけるリセット動作後の電圧から信号電荷量に基づく信号電圧の分だけ変化する。次に、第5の工程S5において、上述した第2の工程S2と同様にしてパルス回路から負荷トランジスタ11へスイッチパルスφCSが印加され、続いて垂直シフトレジスタ4か1行目の各画素2に画素選択パルスφX1が印加される。これにより、各画素2のFD23の電圧の信号が増幅トランジスタ24および画素選択トランジスタ25を介して垂直信号線8に読み出される。垂直信号線8に読み出された信号は、この後に負荷トランジスタ11および画素選択トランジスタ25がオフ状態とされて垂直信号線8が再び浮遊電位状態とされることにより、該垂直信号線8に保存される。次に、第6の工程S6において、上述した第3の工程S3と同様にして水平シフトレジスタ5から列選択トランジスタ10へ列選択パルスφH1,φH2,...,φHnが印加される。これにより、各垂直信号線8に保存されていた信号S1,S2,...,Snが1列目から順番に水平信号線9へ読み出され、最終出力増幅回路6から外部に出力される。このようにして最終出量増幅回路6から出力された信号S1,S2,...,Snは、ノイズ信号読み出し動作において読み出された信号N1,N2,...,Nnに、PD21の光信号の受光量に相当する信号が重畳したものとなる。制御回路7は、以上のように1行目の画素2についてノイズ信号読み出し動作と光信号読み出し動作とを実行した後、垂直シフトレジスタ4によって2行目の画素2を選択し、1行目と同様にノイズ信号読み出し動作と光信号読み出し動作とを実行する。以下、制御回路7は、垂直シフトレジスタ4によって選択する行を順番にずらしながら、全ての行についてノイズ信号読み出し動作と光信号読み出し動作とを実行することにより、全ての画素2の信号を読み出す。本実施形態に係る固体撮像装置1は、以上のようにして最終出力増幅回路6から出力された2つの信号を信号処理回路において処理する。すなわち、光信号読み出し動作における信号Siからノイズ読み出し動作における信号Niを減算し、その差を当該画素2の正味の信号とする。これにより、FD23のリセットノイズが除去された、PD21の信号電圧に基づく正味の信号を得ることができる。また、垂直信号線8に読み出したFD23の電圧の信号を垂直信号線8に一時的に保存することにより、画素2から読み出した信号を記憶するためのキャパシタのようなアナログメモリを不要とし、小型化を図ることができる。特に、従来の固体撮像装置においてアナログメモリの占有面積は比較的大きいため、このアナログメモリを省略することは固体撮像装置1全体の小型化に有効である。また、垂直信号線8に定電流を流しながら当該垂直信号線8にFD23の信号を読み出すことにより、信号を安定して読み出すことができる。なお、本実施形態においては、ノイズ信号読み出し動作と光信号読み出し動作とを交互に実行し、各行についてノイズ信号読み出し動作と光信号読み出し動作とを連続して実行することとしたが、これに代えて、全ての行についてノイズ信号読み出し動作を行った後に全ての行について光信号読み出し動作を行うこととしてもよい。また、本実施形態においては、全ての垂直信号線8が単一の水平信号線9に接続され、全ての画素2の信号が共通の水平信号線9および最終出力増幅回路6を介して出力されることしたが、これに代えて、図4に示されるように、画素アレイ3を行方向に複数の領域3aに分割し、各領域3aに水平信号線9、水平信号線リセットトランジスタ12および最終出力増幅回路6が備えられることとしてもよい。このようにすることで、各領域3aの画素2からの信号の読み出しを並行して実行し、全画素2の信号の読み出しに要する時間を短縮することができる。また、本実施形態においては、図5~図7に示されるように、画素2-1~2-3が、PD21および転送トランジスタ22を複数備え、複数のPD21および転送トランジスタ22が共通のFD23に並列に接続されてなるととしてもよい。図5、図6、図7はそれぞれ、2つ、4つまたは8つのPD21および転送トランジスタ22を備えた画素2-1~2-3を示している。このように、増幅トランジスタ24、画素選択トランジスタ25およびFDリセットトランジスタ26を複数のPD21によって共有することにより、画素アレイ3の面積を縮小することができる。図8~図10は、図5~図7に示される構成の画素2-1~2-3を備える固体撮像装置の動作をそれぞれ示している。2画素共有型の場合、図8に示されるように、垂直シフトレジスタ4は、一方のPD21についてノイズ読み出し動作と信号読み出し動作とを行い、続いて他方のPD21についてノイズ読み出し動作と信号読み出し動作とを行う。4画素共有型および8画素共有型の場合も同様に、1つの画素2-2,2,3に含まれるPD21について順番にノイズ読み出し動作と信号読み出し動作とを行う。図11および図12は、図6に示される4画素共有型の画素2-2または図7に示される8画素共有型の画素2-3の変形例を示している。これら変形例においては、画素選択トランジスタ25が省略され、FDリセットトランジスタ26が画素選択トランジスタ25の機能を兼ねる。すなわち、図13および図14に示されるように、FDリセットトランジスタ26のドレインの電圧VRが第1のリセット電圧Vrst1と十分に小さい電圧との間で切り替えられることにより、FD23から垂直信号線8への信号の読み出しのオンオフ動作が行われる。具体的には、FDリセットトランジスタ26のドレインの電圧VRが第1のリセット電圧Vrst1とされた状態で、FDリセットトランジスタ26のゲートにFDリセットパルスφRが印加されることにより、FD23から垂直信号線8へ信号が出力される。一方、FDリセットトランジスタ26のドレインの電圧VRが十分に小さい電圧とされ、FDリセットトランジスタ26のゲートにFDリセットトパルスφRが印加されることにより、FD23が低電圧となり、FD23から垂直信号線8へ信号が出力されない状態となる。このような変形例によれば、トランジスタの数をさらに減らして画素アレイ3をさらに縮小することができる。図15および図16は、図6に示される4画素共有型の画素2-4または図7に示される8画素共有型の画素2-5のもう1つの変形例を示している。この変形例においては、増幅トランジスタ24と画素選択トランジスタ25の配置が逆になっており、増幅トランジスタ24が垂直信号線8側に配置され、画素選択トランジスタ25が電源電圧側に配置されている。このような変形例によれば、画素から信号を読み出す際に増幅トランジスタ24のゲートソース間容量による電圧帰還がより高まり、信号電圧がより上昇することになり、実効的に感度を高めることができる。"