バッファタンク部を含む流路が設けられたミラー基部と、前記ミラー基部に設けられた反射膜と、を備えるミラー。前記ミラー基部は、基部ヘッドおよび支持部を含み、前記反射膜は、前記基部ヘッド側に設けられ、前記流路は、第1流路、第2流路、第3流路、第4流路をさらに含む、請求項1記載のミラー。前記第2流路は、複数設けられ、前記基部ヘッド内に放射状に配置される、請求項2記載のミラー。前記第4流路は、複数設けられ、前記第2流路は、前記第4流路を介してそれぞれ前記バッファタンク部と連通する、請求項3記載のミラー。前記第2流路それぞれの断面積を合わせた面積は、前記バッファタンク部の流路断面積より小さい、請求項4記載のミラー。前記第2流路は、前記第1流路を介して前記ミラーの外部と連通し、前記バッファタンク部は、前記第3流路を介して前記ミラーの外部と連通する、請求項4記載のミラー。前記バッファタンク部は、前記基部ヘッド内に設けられる、請求項2記載のミラー。前記バッファタンク部は、前記基部ヘッドと前記支持部との接合部分に設けられる、請求項2記載のミラー。前記バッファタンクは、前記支持部内に設けられる、請求項2記載のミラー。前記第2流路は、扇型に形成される、請求項2記載のミラー。前記第2流路の断面積は、一端から他端にかけて略均一である、請求項10記載のミラー。請求項1記載のミラーと、前記ミラーに設けられる流路に接続される管路と、前記管路に設けられる圧送装置と、前記管路に設けられる冷却装置と、を備えるミラー装置。マスターオシレータと、請求項1記載のミラーを含む増幅器と、を備えるレーザ装置。波面補正装置をさらに備える、請求項13記載のレーザ装置。内部に極端紫外光の生成空間を画定するためのチャンバと、前記チャンバに設けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するためのターゲット供給部と、請求項1記載のミラーと、を備える極端紫外光生成装置。