被検査体の検査対象面上に光を照射する投光部と反射光を受光する受光部を備えた表面検査装置であって、前記投光部および受光部を、検出すべきロール疵の原因となる圧延ロールの後段で、かつ、被検査体を圧下または挟持するロールの前段に設置し、前記投光部は、被検査体の幅方向斜めより被検査体の検査対象面上に光を照射すること特徴とする圧延性ロール疵検査装置。請求項1に記載の圧延性ロール疵検査装置において、前記圧下または挟持するロールは、ダウンコイラ前に配置したピンチロールであることを特徴とする圧延性ロール疵検査装置。しかしながら、特許文献1および特許文献2で示される技術では、従来の目視検査により発見しているA級からD級までの全等級の疵の内、実際には、比較的重いC~D級の疵に対して適用できるだけであり、A~B級の軽度の疵はほとんど検出することができないという問題がある。また、C~D級の疵についても、その検出率は十分ではなかった。また、特許文献1および特許文献2では光学系については提案されているものの、検出される疵の表面性状、ラインにおける検査装置設置位置などが明らかにされていない。本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、鋼板の圧延プロセスにおけるロール疵を軽度なものから重度のものまで精度よく検出する圧延性ロール疵検査装置を提供することを目的とする。上記課題は次の発明により解決される。[1]被検査体の検査対象面上に光を照射する投光部と反射光を受光する受光部を備えた表面検査装置であって、前記投光部および受光部を、検出すべきロール疵の原因となる圧延ロールの後段で、かつ、被検査体を圧下または挟持するロールの前段に設置し、前記投光部は、被検査体の幅方向斜めより被検査体の検査対象面上に光を照射すること特徴とする圧延性ロール疵検査装置。[2]上記[1]に記載の圧延性ロール疵検査装置において、前記圧下または挟持するロールは、ダウンコイラ前に配置したピンチロールであることを特徴とする圧延性ロール疵検査装置。本発明によれば、鋼板の圧延プロセスにおけるロール疵を軽度なものから重度のものまで精度よく検出することが可能になる。発明者らは、圧延性ロール疵を検出するための装置として、図2および図3と同様の光学系を構築し、さらに図1に示す装置配置にて圧延ロール疵検出性能オンラインテストを、一定期間実施した。すなわち、ストロボ照明2とエリアカメラ3を正反射の位置に配置する光学系を用いて、画像処理装置4および演算装置5で処理することにより、周期性疵の自動検出可否を確認したものである。熱延ラインの仕上げ圧延機11通常、6~8スタンドあるが、後の3スタンドのみ表記の最終スタンドとダウンコイラ14前のピンチロール13との間の、冷却帯12の後のランナウトテーブル上に、圧延性ロール疵検出装置15を設置した。このオンラインテスト結果は、D級の全てとC級の多くの疵は検出可能であったが、A、B級の検出率は高くなかった。そこで、オンラインテストにて検出できなかったロール疵がどのようなものであったかを確認するために、更なる調査を行った。それは、ダウンコイラにて巻かれた後、最外周の部分に存在するロール疵の切り板サンプルを採取し、ライン休止中にラインアウトテーブル上にサンプルを置いたオフライン試験を行うことにより、どのような光学条件であればロール疵の検出が可能になるかを調査したものである。ところがこの調査の結果、オンラインでの測定結果と、冷却され表面に黒皮酸化膜が生成した切り板サンプルのオフライン測定結果との間で、以下の点で矛盾があることが分かった。図9は、この結果の一例を示す図であり、切り板サンプルのオフライン画像aとオンライン画像bである。1切り板サンプルでは、軽度のものでも明らかに疵が目視で確認でき、図2の光学系によっても十分検出可能であるのにもかかわらず、オンライン画像では対応する位置に何ら疵らしいものが写っていないケースがある。そして、黒皮サンプルでは大別すると、疵部がつるつるである場合と、ざらざらである場合とに分けられるが、上記現象はざらざらのタイプにおいて観察された。中には、黒皮では、隣接してつるつる図9aのC級及びざらざら図9aのA級の2種類のロール疵が目視およびオフライン画像にて確認できるのに、オンライン画像では、そのうちのつるつる図9bのC級に対応する疵のみが観察されるケースもあった。2オンラインにて見えている画像についても、黒皮サンプルでは疵部の輪郭は暗く見え、それ以外の中央の部分が均等に明るく見えているのに対し、オンライン画像では輪郭のように見えた部分も含めて光の照射方向に位置する部分が明るく、照射方向とは反対の部分が暗く見える図9。3また、上記1については、疵部の黒皮酸化膜が剥がれることにより、目視可能になっていることも考えられるため、隣接してつるつるざらざら2種類のロール疵が含まれる黒皮サンプルを酸洗し、黒皮のついていない状態のサンプルも作成して確認を行った。その結果、オンライン画像とは逆に、つるつるのサンプルが見えにくくなり、ざらざらサンプルは目視可能なままであり、上記の矛盾が説明できなかった。そこで、黒皮の状態のサンプルを光学顕微鏡にてさらに観察した。観察方法は、明視野条件通常の落射照明と、暗視野外部の光を側方から照射した側射照明の両方を行った。よく知られるように、明視野条件では水平な面が、暗視野条件では光源位置と観察位置とが正反射の関係になるような斜めの面が、明るく観察される。その結果の一例を、図10に示す。つるつるのサンプルの疵部は、落射照明では一様に明るく、側射照明で一様に暗く観察され、疵部が水平に近い角度を有する面で構成されていることがわかった。また、ざらざらのサンプルの疵部は、落射照明でも側射照明でも明るい筋が観察されることから、長手方向に連続するぎざぎざの面で構成されていることがわかる。以上のことから、ランナウトテーブル上では凸形状をしているが、ダウンコイラで巻き取られた時点では、何らかの原因により、表面が潰されていると考えられる。そして、ダウンコイラで巻き取られた最外周のおもて面でも発生していることすなわち、板と擦れたということではない、および仕上げ最終ロール以降の装置設置位置からダウンコイラ間ではおもて面についてはダウンコイラ前ピンチロール以外に接触するものが存在しないという理由のため、その原因はダウンコイラ前ピンチロールと考えられる。上述の考察より考えられる疵の生成モデルを、図4に示す。何らかの原因で凹みが形成された圧延ロールで圧延された直後は、凹凸量の大小に拘わらずaに示すように山型をしている。そして、ダウンコイラ前ピンチロールを通過する際、ピンチロールに擦られてロール目が転写される。凹凸が低ければ、ロール目の中で最も高い部分のみがあたりロール目がはっきり残るが、凹凸が高ければ、いろいろなロール目がランダムにあたるため、結果的に平らな面となるb。ちょうど、薄板の砥石がけ検査で観察される状況と類似している。さらに、酸洗した場合には、黒皮が全て除かれ表面の色の影響は除かれるが、形状としては、若干酸により荒らされるものの基本的にはbの形状を保持している。その結果、逆に、疵部/母材部の粗さが大きく異なる低い凸の場合の方が目立つようになりc、上述の現象も説明できる。以上のことから、これらの疵を検出するための光学系を考えると、まず、ダウンコイラ前ピンチロールの後に設置する場合、疵の有無はフラットの部分が存在するか否かにより判別できるから、フラットな部分をもっともよく検出できる正反射の光学系がもっとも疵を検出しやすい光学系であると考えられる。また、仕上げ圧延機の最終スタンドからダウンコイラ前ピンチロールまでの間に光学系を設置する場合は、疵の有無は、正反射から外し、凸形状の斜面を検出するような拡散反射光学系の方が望ましいと考えられる。ただし、どの程度、あるいはどの方向に、正反射から外すべきかについては、検出対象とする疵母集団がどのような形状をしているかによる。以上のことを実際に確かめるために、確認実験を行った。まず、ピンチロール後に設置したことを想定し、ダウンコイラで採取した切り板サンプルを用い、図2に示す構成の光学系を用いて、投光角を20°とし、受光角を変化させた場合のS/Nを評価した。図5は、この結果を示す図である。投光角20°と同じ受光角20°の時にS/Nが良い、すなわち、正反射光受光光学系が最もS/Nが良好であることを確認し、この条件で全ての疵サンプルを検出することが可能であることを確かめた。次に、図6aに示すような従来技術の光学系投光角:長手方向に20°、受光角:0°、図6bに示すような拡散光受光光学系投光角:幅方向に20°、受光角:0°、図6cに示すような正反射光受光光学系投光角:長手方向に20°、受光角:20°を構築し、それぞれ一定期間設置し、オンラインでのロール疵検出性能評価を実施した。その際、幅方向分解能は0.5mm、長手方向分解能は1mmに統一するとともに、光源は、発光時間20μsecのキセノンストロボ光源を用い、4倍速のエリアカメラにて1/120secごとに画像を取り込むというように、条件を統一した。その検出結果を図7に示す。図より明らかなように、bの幅方向に照射した場合が最も検出性能がよく、B~D級については全て、A級についてもほとんどの疵が検出できていることがわかる。また、検出できなかったA級の疵も、目視により画像を見れば、疵の存在が認識できた。また、図7それぞれの場合について、検出した疵、検出できなかった疵を比較してみると、前述のタイプ1a板の先端がロールにぶつかることによるものとタイプ2ロールに異物が付着し、圧延中に異物が直接板に押し込まれることにより、板に凹状の疵として転写されるものについては、いずれの場合でも良好に検出していることがわかった。これらの疵は、比較的凹凸量が大きいため、いずれの条件においても検出可能であったと考えられる。逆に、図6a、cにて検出できなかった疵は、タイプ1bヘゲ異物などを挟んだ状態で圧延したことによるものとタイプ1c板の絞りを挟んで圧延したことによるものに属するものであった。これらの疵は、図8に示すように、比較的凸量が小さいという特徴とともに、原因となるものヘゲや絞りが長手方向に長いという特徴がある。従って、比較的形状変化が大きい幅方向に照明を照射することが有効であると考えられる。また、図6bの条件にて、長手方向に投受光角をそれぞれ0~10°の範囲で振ってみたが、検出性能に大きな差はなく、幅方向に投光することが本質的であることを確認した。また、受光角を20°とし、正反射条件としてみると、図7cと同様の結果になり、拡散反射条件が重要であることが確認された。以上、鋼板の熱間圧延を対象にして説明を行ってきたが、本発明は、材質や熱間/冷間に拘わらず、圧延プロセス全般に適用可能である。