"磁歪部を有する回転軸と、前記磁歪部の磁気特性の変化を検出するコイルと、前記コイル及び前記磁歪部の周りを囲む磁気シールドとを備える磁歪式トルクセンサであって、前記磁気シールドは、少なくとも第1のシールド層及び第2のシールド層を有し、前記第1のシールド層の透磁率は、前記第2のシールド層の透磁率と異なる、又は前記第1のシールド層の導電率は、前記第2のシールド層の導電率と異なることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。前記第1のシールド層は、磁性体材料で構成されることを特徴とする請求項1に記載の磁歪式トルクセンサ。前記第1のシールド層及び前記第2のシールド層は、交互に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁歪式トルクセンサ。前記第2のシールド層は、銅で構成され、前記第2のシールド層の外側表面は空気と接することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の磁歪式トルクセンサ。ところで、特許文献2の磁気シールド20aは、単一の磁気シールド材料で構成されている。従って、本発明者らは、その磁気シールド材料の特性に対応する特定の周波数の外部磁界ノイズだけしか抑制することができないことを認識した。本発明の1つの目的は、広範囲の周波数帯域の外部磁界ノイズを抑制可能な磁歪式トルクセンサを提供することである。本発明の他の目的は、以下に例示する態様及び好ましい実施形態、並びに添付の図面を参照することによって、当業者に明らかになるであろう。以下に、本発明の概要を容易に理解するために、本発明に従う態様を例示する。本発明に従う第1の態様は、磁歪部を有する回転軸と、前記磁歪部の磁気特性の変化を検出するコイルと、前記コイル及び前記磁歪部の周りを囲む磁気シールドとを備える磁歪式トルクセンサであって、前記磁気シールドは、少なくとも第1のシールド層及び第2のシールド層を有し、前記第1のシールド層の透磁率は、前記第2のシールド層の透磁率と異なる、又は前記第1のシールド層の導電率は、前記第2のシールド層の導電率と異なることを特徴とする磁歪式トルクセンサに関係する。磁気シールドを透磁率又は導電率が異なる異種のシールド材料で複数層化することにより、第1のシールド層に対応する特定の周波数の外部磁界ノイズだけでなく、第2のシールド層に対応する特定の周波数の外部磁界ノイズも抑制することが可能となる。これにより、広範囲の周波数帯域の外部磁界ノイズを抑制することができる。第1の態様において、前記第1のシールド層は、磁性体材料で構成されてもよい。第1のシールド層が磁性材料で構成される場合、第1のシールド層の内部による減衰損失が大きくなり、高周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。第1の態様において、前記第1のシールド層及び前記第2のシールド層は、交互に配置されてもよい。第1のシールド層と第2のシールド層とが交互に配置されることにより、第1のシールド層と第2のシールド層との界面で反射損失が大きくなり、選択された第1のシールド層及び第2のシールド層によって、低周波数もしくは高周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。第1の態様において、前記第2のシールド層は、銅で構成されてもよく、前記第2のシールド層の外側表面は空気と接してもよい。第2のシールド層が銅であり、第2のシールド層の外側表面が空気と接する場合、第2のシールド層の外側表面銅と空気との界面で反射損失が大きくなり、低周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。当業者は、例示した本発明に従う態様が、本発明の精神を逸脱することなく、さらに変更され得ることを容易に理解できるであろう。以下に説明する好ましい実施形態は、本発明を容易に理解するために用いられている。従って、当業者は、本発明が、以下に説明される実施形態によって不当に限定されないことを留意すべきである。図1は、磁歪式トルクセンサである操舵トルクセンサ41が組み込まれた電動パワーステアリング装置10を模式的に示している。電動パワーステアリング装置10は、車両のステアリングハンドル21から車両の操舵車輪前輪29,29に至るステアリング系20と、このステアリング系20に補助トルク、つまり付加トルクを加える補助トルク機構40とからなる。ステアリング系20は、ステアリングハンドル21にステアリングシャフト22及び自在軸継手23,23を介して回転軸24ピニオン軸、入力軸とも言う。を連結し、回転軸24にラックアンドピニオン機構25を介してラック軸26を連結し、ラック軸26の両端に左右のタイロッド27,27及びナックル28,28を介して左右の操舵車輪29,29を連結したものである。ラックアンドピニオン機構25は、回転軸24に有したピニオン31と、ラック軸26に有したラック32とからなる。ステアリング系20によれば、運転者がステアリングハンドル21を操舵することで、その操舵トルクによりラックアンドピニオン機構25を介して、操舵車輪29,29を操舵することができる。補助トルク機構40は、ステアリングハンドル21に加えたステアリング系20の操舵トルクを操舵トルクセンサ41で検出し、この検出信号に基づき制御部42で制御信号を発生し、この制御信号に基づき操舵トルクに応じた補助トルク付加トルクを電動モータ43で発生し、補助トルクを減速機構44を介して回転軸24に伝達し、さらに、補助トルクを回転軸24からステアリング系20のラックアンドピニオン機構25に伝達するようにした機構である。電動モータ43は、例えばブラシレスモータからなり、レゾルバ等の回転センサを内蔵している。この回転センサは、電動モータ43におけるロータの回転角を検出するものである。制御部42の概要を説明すると、次の通りである。制御部42は、電源回路、モータ電流を検出する電流センサ、入力インターフェース回路、マイクロプロセッサ、出力インターフェース回路、FETブリッジ回路などによって構成される。入力インターフェース回路は、外部からトルク信号や車速信号やモータ回転信号などを取り込むものである。マイクロプロセッサは、入力インターフェース回路によって取り込んだトルク信号や車速信号などに基づいて、電動モータ43をベクトル制御するものである。出力インターフェース回路は、マイクロプロセッサの出力信号をFETブリッジ回路への駆動信号に変換するものである。FETブリッジ回路は、電動モータ43ブラシレスモータに3相交流電流を通電するスイッチング素子である。このような制御部42は、回転センサによって検出された電動モータ43のロータの回転信号と、モータ電流センサ制御部42に内蔵によって検出された電流信号とに基づいて、ベクトル制御する。このベクトル制御はd-q制御であり、電動モータ43のトルクを制御するq軸電流と、界磁を制御するd軸電流とを、直流制御する。つまり、制御部42は、操舵トルクセンサ41によって検出された操舵トルク信号と、図示せぬ車速センサによって検出された車速信号と、回転センサによって検出されたロータの回転信号などに基づいて、目標q軸電流及び目標d軸電流を設定する。そして、制御部42は、回転センサによって検出された回転信号と、モータ電流センサによって検出された電流信号とに基づいて、d-q変換された、実q軸電流及び実d軸電流を、前記目標q軸電流及び目標d軸電流に一致させるように、PI制御をする。電動パワーステアリング装置10によれば、運転者の操舵トルクに電動モータ43の補助トルク付加トルクを加えた複合トルクにより、ラック軸26で操舵車輪29,29を操舵することができる。減速機構44は、例えばウォームギヤ機構によって構成される。以下、減速機構44のことを、適宜ウォームギヤ機構44と言い換えることにする。図2は、図1に示された電動パワーステアリング装置10の全体構成を示し、左端部及び右端部を破断して表したものである。図2に示すように、ラック軸26は、車幅方向図2の左右方向に延びるハウジング51に、軸方向にスライド可能に収容されている。ラック軸26には、ハウジング51から突出した長手方向両端に、ボールジョイント52,52を介してタイロッド27,27が連結されている。ラック軸26の両端部は、ダストシール用ブーツ53,53によって覆われている。図2及び図3に示すように、ハウジング51は回転軸24の下半分、ラックアンドピニオン機構25及びウォームギヤ機構44を収納するとともに、上端に形成されている上部開口51aに、センサハウジング55を取付けたものである。このようなハウジング51は、上部開口51aに対して反対側、つまり底部が塞がれている。さらに詳しく述べると、図3に示すように、回転軸24はハウジング51の内部で起立するように位置しており、一端24a下端面から他端24b上端面へ向かって、第1の軸受61、ピニオン31、第2の軸受62、第3の軸受63、磁歪式トルクセンサ41における2つの磁歪部81,82、第4の軸受64が、この順に設けられている。回転軸24は、ハウジング51の内部に取り付けられた状態において、上半分が上部開口51aからセンサハウジング55を貫通して上方へ延びる。2つの磁歪部81,82はセンサハウジング55内に位置している。図3に示すように、ハウジング51は内周面に、回転軸24を第1の軸受61及び第2の軸受62を介して回転可能に支持している。つまり、回転軸24の下端部分は、第1の軸受61を介して、ハウジング51で回転可能に支持されている。回転軸24の中間部分において、ピニオン31とウォームホイール47との間の位置は、第2の軸受62を介して、ハウジング51で回転可能に支持されている。図3において、CLは回転軸24の中心線軸心である。第3の軸受63及び第4の軸受64は、例えばボールベアリング等の転がり軸受からなり、回転軸24の中間部分及び上端部分は、第3の軸受63及び第4の軸受64を介して、センサハウジング55で回転可能に支持されている。センサハウジング55は、操舵トルクセンサ41を収納するものであり、回転軸24が上下貫通する筒状の本体55aと、この本体55aの下端に形成された平板状のフランジ55bとからなる。本体55aの上部には、回転軸24のシールをするためのオイルシール56が設けられている。図3の例において、センサハウジング55は、2層構造を有し、本体55a及びフランジ55bは、第1のシールド層を形成し、本体55a及びフランジ55bの上層55cは、第2のシールド層を形成する。センサハウジング55の2層構造については、後述する。センサハウジング55のフランジ55bは、センサハウジング55の上層55cとともに、ボルト58により取り付けられている。ハウジング51に対して、センサハウジング55は径方向への移動が規制されている。図3において、電動モータ43は、図示せぬモータ軸が、紙面の向こう側から手前側のハウジング51内に水平に延びたものである。モータ軸は、ウォームギヤ機構44のウォーム軸45を連結した出力軸である。ウォーム軸45は、一体に形成したウォーム46を備える。ウォーム軸45の両端部は、軸受を介してハウジング51によって回転可能に支持されている。ウォームギヤ機構44は、駆動側のウォーム46に従動側のウォームホイール47を噛合わせることで、ウォーム46からウォームホイール47を介して、負荷側にトルクを伝達するようにした構成である。ハウジング51はラックガイド70を備える。このラックガイド70は、ラック32の反対側からラック軸26に当てるガイド部71と、ガイド部71を圧縮ばね72を介して押す調整ボルト73と、ラック軸26の背面を滑らせる当て部材74と、調整ボルト73の位置決めをするロックナット75とからなる。操舵トルクセンサ41は、回転軸24と、この回転軸24の表面に設けられてトルクに応じて磁歪特性磁気特性が変化する上下一対の磁歪部81,82と、この磁歪部81,82の近傍に配置されて磁歪部81,82に生じた磁歪効果を検出するコイル85,85,85,85とからなる、磁歪式トルクセンサである。言い換えると、操舵トルクセンサ41は、回転軸24に設けた一対の磁歪部81,82と、磁歪部81,82の周囲に設けた検出部83とからなる。磁歪部81,82は、例えば回転軸24の軸長手方向に互いに逆方向の残留歪みが付与された磁歪膜からなる。以下、磁歪部81,82のことを、適宜磁歪膜81,82と言い換えることにする。磁歪膜81,82は、歪みの変化に対して磁束密度の変化の大きい材料からなる膜であり、例えば、回転軸24の外周面に気相メッキ法で形成したNi-Fe系の合金膜である。この合金膜の厚みは望ましくは30~50μm程度である。なお、合金膜の厚みは、これ以下又はこれ以上であってもよい。第1磁歪膜81の磁歪方向に対して、第2磁歪膜82の磁歪方向は異なっている磁歪異方性を有する。このように、2つの磁歪膜81,82は、回転軸24の外周面に全周にわたって形成された、概ね一定の幅で且つ一定の厚さの膜である。なお、2つの磁歪膜81,82は、軸長手方向に所定の間隔を有して配列したものである。Ni-Fe系の合金膜は、Niを概ね50重量含んだ場合に、磁歪定数が大きくなるので磁歪効果が高まる傾向にあり、このようなNi含有率の材料を使用することが好ましい。例えば、Ni-Fe系の合金膜として、Niを50~70重量含み、残りがFeである材料を使用する。なお、磁歪膜81,82は強磁性体の膜であればよく、Ni-Fe系の合金膜に限定されるものではない。例えば、磁歪膜81,82は、Co-Fe系の合金膜やSm-Fe系の合金膜であってもよい。検出部83は、磁歪膜81,82に生じた磁歪効果を電気的に検出し、その検出信号をトルク検出信号として出力するものであり、センサハウジング55内に収納されている。この検出部83は、回転軸24が貫通した上下一対の筒状のコイルボビン84,84と、コイルボビン84,84に多重巻きされたコイル85,85,85,85とからなる。4つのコイル85,85,85,85の各々を検出コイルとして用いることにより、検出信号は、トルク検出信号だけでなく、故障検出信号も含むことができる。一対のコイルボビン84,84は、スペーサ86で位置決めすることができる。なお、4つの検出コイル85,85,85,85からの磁束は、磁歪膜81,82を励磁し、4つの検出コイル85,85,85,85は、4つの励磁コイルとしても働く。磁歪膜81,82とコイルボビン84,84との隙間は、0.5~1mm程度の範囲で設定される。コイル85,85,85,85は、1~100kHzの範囲で適当な、例えば10kHz程度の周波数で励磁され、回転軸24に操舵トルクが働くと、異方性の付与された磁歪部81,82の透磁率が変化し、従ってコイル85,85,85,85のインダクタンスも変化する。図3の例において、第1磁歪膜81に対向して2つの検出コイル85,85が配置され、第2磁歪膜82に対向して2つの検出コイル85,85が配置されているが、これらの検出コイル85,85,85,85と図1に示した制御部42との間の配線及び電子回路は、図示されていない。これらの配線及び電子回路は、例えば特開2009-264812号公報の図2に示されるような構成を採用してもよい。図3の例を変形して、第1磁歪膜81に対向して1つの検出コイルが配置されてもよく、第2磁歪膜82に対向して1つの検出コイルが配置されてもよく、例えば特許文献1の図10に示すような構成を採用してもよい。代替的に、第1磁歪膜81及び第2磁歪膜82に対向して1つの独立した専用の励磁コイルが配置されてもよく、例えば特許文献2の図6に示すような構成を採用してもよい。連結部24iは、図1に示す自在軸継手23,23及びステアリングシャフト22を介してステアリングハンドル21に連結される軸端部分である。連結部24iは、例えば、自在軸継手23を連結するためのセレーションからなる。連結部24iは、回転軸24に一体に形成されている。図4は、図3の検出部83付近に配置されたリング90及びセンサハウジング55を示し、図5は、図3又は図4のリング90の全体構成図を示し、リング90の一部を破断して表したものである。リング90は、複数層構造を有し、回転軸24又はリング90の径方向に沿って内側から外側に、内側層90a、絶縁層90c、外側層90bが、この順で複数層構造を形成している。内側層90aは、良導体金属等の導体で構成され、中空の円筒状の形状を有し、さらに、回転軸24又はリング90の径方向外側に渦電流を発生することができる厚みtaを有する。外側層90bも、良導体で構成され、中空の円筒状の形状を有し、さらに、回転軸24又はリング90の径方向外側に渦電流を発生することができる厚みtbを有する。良導体導体の導電率は、例えば106S/m以上である。厚みta,tbは、それぞれ例えば1~5mmである。内側層90a及び外側層90bの各々は、径方向外側の表面積を大きくするために円筒状の形状を有することが好ましいが、回転軸24を囲む環状の形状を有していれば十分である。内側層90a及び外側層90bは、導電率が高い程好ましく、銅、アルミニウム、金、銀等の非磁性材料で構成される。銅、アルミニウム、金、銀等の金属は、合金であってもよい。内側層90aは例えば第1の金属層を形成し、外側層90bは、例えば第2の金属層を形成する。内側層90a及び外側層90bは、鉄、ケイ素鋼等の磁性材料で構成してもよい。内側層90aの材料は、外側層90bの材料と同じでもよく、異なってもよい。内側層90aの材料第1の金属層を構成する金属が外側層90bの材料第2の金属層を構成する金属と異なる場合、絶縁層90cを省略してもよく、操舵トルクセンサ41の部品点数を削減することができる。さらに、内側層90aの材料及び外側層90bの材料の両者が、非磁性材料でもよく、磁性材料でもよい。代替的に、内側層90aの材料及び外側層90bの材料の一方が非磁性材料であり、且つ内側層90aの材料及び外側層90bの材料の他方が磁性材料であってもよい。絶縁層90cは、絶縁体で構成され、例えば絶縁シート、絶縁テープ等で内側層90aの径方向外側の表面を覆い、その後、内側層90a及び絶縁層90cに外側層90bを圧入して一体的なリング90を形成する。絶縁層90cは、ポリエチレン樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の合成樹脂材料で構成されてもよく、自然ゴム、シリコーンゴム等のゴム材料で構成されてもよく、紙、絹、ポリアミド繊維等の合成繊維材料で構成されてもよい。さらに、絶縁層90cは、マイカ雲母、ガラス等の固体材料であってもよく、空気等の気体材料であってもよい。内側層90aと外側層90bとの間の絶縁層90cは、内側層90aと絶縁層90cとの界面を確実に形成し、内側層90a内に渦電流を確実に発生させることができる。リング90は、回転軸24又はリング90の軸方向の長さhを有し、長さhは、例えば1~5mmである。図5において、CLRはリング90又は環状の形状の中心線であり、この中心線CLRが図3の回転軸24の中心線CLと一致するようにリング90がセンサハウジング55内に配置されている。図3において、リング90は、第2磁歪膜82に対向する上側ステアリングハンドル21側のコイル85と第4の軸受64との間に、センサハウジング55に固定される。例えばスペーサ91及びコイルボビン84を絶縁体で構成することにより、リング90が全体として絶縁体と接し、例えば外側層90b内に渦電流を確実に発生させることができる。スペーサ91を省略してリング90がセンサハウジング55と接する場合であっても、リング90の導電率をセンサハウジング55の導電率よりも高くすることで、外側層90b内に渦電流を発生させることができる。なお、リング90は、回転軸24に固定されてもよく、この場合、リング90が回転軸24近づくので、より多くの渦電流をリング90全体で発生させることができる。また、リング90は、センサハウジング55の外部のオイルシール56と連結部24iとの間に固定されてもよい。ところで、回転軸24は、一般に、機械的な捩じりと曲げ強度を必要とするので、鉄合金を母材とし、さらに熱処理が必要である。この熱処理によって、母材中に炭素が残留してしまう。このような炭素等の不純物を含む回転軸24は、不純物を含まない回転軸と比べて、外部磁界ノイズの影響を受けやすい。言い換えれば、回転軸24がリング90によって囲まれていない場合、エンジン、発電機、モータ等の交番磁界による交番磁束が回転軸24中を通過すると、操舵トルクセンサ41からの検出信号にノイズが生じ、検出精度が低下してしまう。このようなノイズをローパスフィルタの代わりにリング90で抑制することができる。即ち、回転軸24がリング90によって囲まれている場合、外部からの外部磁界ノイズが回転軸24に進入して、回転軸24を通り抜けようとする際、電磁誘導によるリング90での渦電流が、回転軸24に進入した外部磁界ノイズ回転軸24の断面を通り抜ける磁束を打ち消し又は抑制することができる。リング90は、複数層構造を有し、外側層90bに発生する渦電流の電流分布は、回転軸24の径方向外側の表面で最大であり、径方向外側の表面から離れて径方向内側外側層90bと絶縁層90cとの界面に近づくほど減少する。また、内側層90aに発生する渦電流の電流分布は、回転軸24の径方向外側の表面内側層90aと絶縁層90cとの界面で最大であり、径方向外側の表面から離れて径方向内側に近づくほど減少する。従って、リング90全体での径方向外側から径方向内側への方向における渦電流の電流分布は、外側層90bと絶縁層90cとの界面で小さくなるが、内側層90aと絶縁層90cとの界面で再び大きくなる。このような渦電流の電流分布の特性を利用することで、リング90は、より強い外部磁界ノイズを打ち消すことができる。言い換えれば、リング90全体の径方向外側の表面積は、外側層90bの径方向外側の表面積だけでなく、内側層90aの径方向外側の表面積も含み、リング90全体の径方向外側の表面積が増加することにより、リング90全体での渦電流を増加させることができる。なお、リング90は、絶縁層90cを備えなくてもよい。リング90が絶縁層90cを備えない場合であっても、内側層90a第1の金属層又は第1の良導体層と外側層90b第2の金属層又は第2の良導体層との間に界面があれば、この界面で電流の流れ易さが変化し、渦電流は、内側層90aの径方向外側の表面で大きくなる。代替的に、図5の例を変形して、リング90は、3層の金属構造を有してもよい。例えば、リング90は、外側層90bの外側に絶縁層をさらに備え、且つその絶縁層の外側に第3の金属層をさらに備えてもよい。この場合、リング90全体の直径Rを大きくしてもよく、リング90全体の直径Rを維持して、厚みta,tbを薄くしてもよい。もちろん、リング90は、4層以上の金属構造等の良導体構造を有してもよい。このように、リング90は、複数層の良導体構造で、外部磁界ノイズを効率的に打ち消すことができる。また、複数層の良導体構造を採用しないで軸方向の長さhを単に大きくした特許文献1のリング22と比べて、リング90は、磁歪式トルクセンサ41を小型化することができる。リング90は、ステアリングハンドル21側から回転軸24に進入する外部磁界ノイズを抑制することができる。他の方向からコイル85,85,85,85又は検出部83に進入する外部磁界ノイズは、センサハウジング55によって抑制することができる。図4の例において、センサハウジング55は、回転軸24の径方向に2層構造第1のシールド層55a,55b及び第2のシールド層55cを有する。第1のシールド層55a,55bは、磁性材料アモルファス磁性材料を含むで構成され、透磁率が大きく且つ保磁力が小さい程好ましく、例えば、鉄、ケイ素鋼、パーマロイ、フェライト等である。第1のシールド層55a,55bは、磁気シールドを形成し、モータ電流ノイズ等の電磁波ノイズに含まれる高周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。第2のシールド層55cは、良導体金属等の導体で構成され、導電率が大きい程好ましく、例えば、銀、銅、金、亜鉛、スズ等である。第2のシールド層55cが金属である場合、その金属は、合金であってもよい。第2のシールド層55cは、磁気シールドを形成し、エンジン点火ノイズ等の電磁波ノイズに含まれる低周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。導電率が大きく、且つ経済性が高いので、第2のシールド層55cは、銅であることが好ましい。第1のシールド層55a,55bが、磁性材料で構成される場合、第1のシールド層55a,55bの内部による減衰損失が大きくなり、高周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。第2のシールド層55cが銅であり、第2のシールド層55cの外側表面が空気と接する場合、第2のシールド層55cの外側表面銅と空気との界面で反射損失が大きくなり、低周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。さらに、第1のシールド層55a,55bと第2のシールド層55cとが交互に配置されることにより、第1のシールド層55a,55bと第2のシールド層55cとの界面で反射損失が大きくなり、選択された第1のシールド層55a,55b及び第2のシールド層55cによって、低周波数もしくは高周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。第1のシールド層55a,55bの厚みは、例えば1mm~10mmである。第2のシールド層55cは、めっき、塗布等によって薄く形成することができ、この場合、第2のシールド層55cの厚さは、例えば1μm~100μmである。第1のシールド層55a,55bは、非磁性体材料で構成してもよく、第1のシールド層55a,55bの透磁率が第2のシールド層55cの透磁率と異なる又は第1のシールド層55a,55bの導電率が第2のシールド層55cの導電率と異なることで、単一のシールド層と比べて、広範囲の周波数帯域の外部磁界ノイズを抑制することができる。また、第1のシールド層55a,55b及び第2のシールド層55cは、センサハウジング55に限定されず、少なくともコイル85,85,85,85又は検出部83と磁歪膜81,82との周りを囲む磁気シールドであれば十分である。図4の例を変形して、センサハウジング55は、3層構造を有してもよい。例えば、第1の層55a,55bをシールド効果のない樹脂材料等で構成し、その第1の層55a,55bに例えば鉄粉塗布で第2の層55cを形成し、且つその第2の層55cに例えば銅めっきで第3の層を形成する。代替的に、図4の例を変形して、センサハウジング55は、例えば、第1のシールド層55a,55bと第2のシールド層55cとの間に空気層を含む絶縁層第3の層を有してもよい。このような変形例において、第1のシールド層55a,55bを例えば銅で構成し、第3の層を例えば空気層で構成すると、銅は、空気に接し、銅と空気との界面で反射損失が大きくなり、低周波数の外部磁界ノイズを抑制することができる。もちろん、センサハウジング55は、3層以上のシールド構造を有してもよい。例えば、第1の層55a,55bを鉄で構成し、その第1の層55a,55bの外側に例えば銅めっきで第2の層55cを形成し、且つその第1の層55a,55bの内側に例えば銅めっきで第3の層を形成する。代替的に、センサハウジング55は、第1のシールド層55a,55bと第2のシールド層55cとを交互に繰り返して4層以上のシールド構造を有してもよい。本発明は、上述の例示的な実施形態に限定されず、また、当業者は、上述の例示的な実施形態を特許請求の範囲に含まれる範囲まで、容易に変更することができるであろう。"