レーザ装置を備えた極端紫外光生成装置において、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を導入するウィンドウを備えたチャンバと、前記チャンバ内部の所定位置付近にターゲットを出力するターゲット供給部と、前記所定位置付近に前記レーザ光を集光するレーザ集光光学系と、前記所定位置付近を通過したレーザ光の像を検出する検出器と、前記所定位置付近における前記ターゲットの通過位置を調整するターゲット位置調整装置と、前記所定位置付近における前記レーザ光の集光位置を調整するレーザ集光位置調整装置と、前記検出器で検出された像に基づいて、前記ターゲット位置調整装置と前記レーザ集光位置調整装置とを制御する制御部と、を備える極端紫外光生成装置。前記制御部は、前記検出器で検出された像から、前記ターゲットの像における位置と前記レーザ光の像における位置との差を算出し、該算出した差に基づいて前記ターゲット位置調整装置と前記レーザ集光位置調整装置を制御する、請求項1記載の極端紫外光生成装置。前記レーザ光の広がり角を調節する広がり角調整機構をさらに備え、前記制御部は、前記検出器で検出された像から、前記レーザ光の集光サイズを算出し、該算出した差に基づいて前記広がり角調整機構を制御する、請求項2記載の極端紫外光生成装置。前記制御部は、前記検出器で検出された像から、前記ターゲットの像における位置と前記レーザ光の像における位置との差を算出し、該算出した差に基づいて前記ターゲット供給部が前記ターゲットを供給するタイミング、または、前記レーザ装置が前記レーザ光を出力するタイミングを制御する、請求項2記載の極端紫外光生成装置。前記レーザ装置は、第1レーザ光を出力する第1レーザ装置と、第2レーザ光を出力する第2レーザ装置とを含み、前記レーザ集光光学系は、前記第1および第2レーザ光を前記所定位置付近に集光し、前記検出器は、前記所定位置付近を通過した第2レーザ光の像を検出し、前記レーザ集光位置調整装置は、前記所定位置付近における前記第1および第2レーザ光のうち少なくとも一方の集光位置を調整し、前記制御部は、前記検出器で検出された像に基づいて、前記ターゲット位置調整装置と前記レーザ集光位置調整装置とを制御する、請求項1記載の極端紫外光生成装置。レーザ装置から出力されたレーザ光を導入するウィンドウを備えたチャンバと、前記チャンバ内部の所定位置付近にターゲットを供給するターゲット供給部と、前記所定位置付近に前記レーザ光を集光するレーザ集光光学系と、前記所定位置付近を通過したレーザ光の像を検出する検出器と、を備えた装置の極端紫外光生成方法であって、前記検出器で検出された像に基づいて、前記ターゲットの通過位置と前記レーザ光の集光位置とを制御する、極端紫外光生成方法。前記検出器で検出された像から、前記ターゲットの通過位置と前記レーザ光の集光位置との差を算出し、該算出した差に基づいて、前記ターゲットの通過位置を調節する、請求項6記載の極端紫外光生成方法。前記検出器で検出された像から、前記ターゲットの通過位置と前記レーザ光の集光位置との差を算出し、該算出した差に基づいて、前記レーザ光の通過位置を調節する、請求項6記載の極端紫外光生成方法。前記検出器で検出された像から、前記ターゲットの通過位置と前記レーザ光の集光位置との差を算出し、該算出した差に基づいて、前記レーザ光の広がり角を調節する、請求項8記載の極端紫外光生成方法。前記検出器で検出された像から、前記ターゲットの通過位置と前記レーザ光の集光位置との差を算出し、該算出した差に基づいて前記ターゲット供給部が前記ターゲットを供給するタイミング、または、前記レーザ装置が前記レーザ光を出力するタイミングを制御する、請求項9記載の極端紫外光生成方法。前記レーザ装置は、第1レーザ光を出力する第1レーザ装置と、第2レーザ光を出力する第2レーザ装置とを含み、前記レーザ集光光学系は、前記第1および第2レーザ光を前記所定位置付近に集光し、前記検出器は、前記所定位置付近を通過した第2レーザ光の像を検出し、前記検出器で検出された像に基づいて、前記ターゲットの通過位置と前記第1および第2レーザ光のうち少なくとも一方の集光位置とを制御する、請求項10記載の極端紫外光生成方法。