"単一入力ポートおよび複数の出力ポートまたは単一出力ポートおよび複数の入力ポートと、前記入力ポートから出射される波長多重光信号を波長分離する分光手段と、前記分光手段で波長分離された光信号を集光する集光レンズと、前記集光レンズにより集光された複数のチャネルで構成される光信号を反射する複数のMEMSミラーから構成されたMEMSミラーアレイであって、反射された光信号は、前記集光レンズおよび前記分光手段を介して前記出力ポートに結合するMEMSミラーアレイとを備えた波長選択スイッチであって、前記複数のMEMSミラーのうちの隣接するMEMSミラー間のミラーピッチは、波長分散方向に沿って短波側から長波側へ進むにつれて増加し、前記複数のMEMSミラーのうち最も短波側のチャネルに対応するMEMSミラー上に入射した信号光の径は、他の全てのチャネルに対応する複数のMEMSミラー上に入射した信号光の径より小さいことを特徴とする波長選択スイッチ。前記複数のMEMSミラーは、ミラー幅のミラーピッチに対する比率が、短波側チャネルよりも長波側チャネルにおいて増大することを特徴とする請求項1に記載の波長選択スイッチ。前記複数のMEMSミラーは、隣接するMEMSミラーとの間隙が等しくなるようなミラー幅とミラーピッチを有することを特徴とする請求項1に記載の波長選択スイッチ。前記集光レンズの光軸を基準としたとき、前記入力または出力ポート端から当該入力または出力ポートからの光が前記集光レンズに入射する位置までの距離と、最も短波側のチャネルに対応するMEMSミラーから当該MEMSミラーからの光が前記集光レンズに入射する位置までの距離とは、該同一となることを特徴とする請求項1に記載の波長選択スイッチ。波長選択スイッチの性能指標の一つに透過帯域がある。波長選択スイッチの透過帯域が広いほどビットレートの上限が向上する。波長選択スイッチの透過帯域は、ミラー幅に対するビーム径の比率で決まり、ミラー幅が大きくビーム径が小さいほど透過帯域は広くなる。このため、広い透過帯域を確保するためには、個々のMEMSミラーに当たる波長のビーム径をミラー幅Wとするに対してできるだけ小さくすることが必要である。また、ビームがMEMSミラーのできるだけ中央に当たるようにすることが必要である。図5に、図3に示した波長選択スイッチの一部を示す。分光光学系112として、図4に示した回折格子を使用する。上述したように、波長選択スイッチは、回折格子により、WDM光を波長ごとに分離した後、集光レンズ113で各波長の光を平行にして対応する個々のMEMSミラー140に当てる構造を有する。WDM光の波長間隔をΔλ、回折格子によるWDM光の分解角度をβとすると、分光光学系112の波長分解能力は、dβ/dλで表され、分解角度βはβ=Δλdβ/dλで表される。このとき、分光光学系112-集光光学系113間の距離Lと、ミラーピッチ隣接するMEMSミラー中心間の距離Pとの間には、という関係が成立することが知られている。またこのとき、異なる波長波長間隔Δλが集光レンズ113を通過した後に出射面上で形成する空間距離ビーム間隔をdyとすると、dyと波長間隔Δλとの間には、という関係が成立することが知られている。ここで、fLは集光レンズ113の焦点距離を、Nは回折格子の溝本数mmを、mは回折次数を夫々表す。式2から、ビーム間隔即ち、入射光線の位置変化dyと、波長間隔即ち、チャネルあたりの波長変化Δλとの関係は、分散角度βに依存することがわかる。図6に、使用波長範囲をCバンド152877~156305nm、波長間隔Δλを100GHz、波長数を44波長、回折格子の溝本数Nを1200本/mm、回折次数mを1、入射角αを68度、ミラーピッチPを250μmとした場合の計算例を示す。図6において、実線62がチャンネル番号波長に対するMEMSミラーの位置mmを示し、破線64がチャンネル番号に対するビーム位置mmを示し、一本鎖線66がチャンネル番号に対する隣接チャンネル間ピッチμmを示している。図6からは、回折格子出射後の各波長のビーム中心位置破線64が、等間隔に並ぶMEMSミラーの位置実線62に対して、ずれてゆく様子が分かる。即ち、回折格子出射後、チャンネル番号=1,2間のビーム間隔が250μmとなるよう、集光レンズ113の焦点距離fLを定めた場合、チャンネル番号=43,44間のビーム間隔は343μm程度まで広がることがわかる。従って、図7に示すように、短波側でチャネル間ピッチが狭く、長波側でチャネル間ピッチが広くなるようにMEMSミラーアレイは設計される。図7に示すMEMSミラーアレイにおいて、各MEMSミラーは、分光方向に沿って配置される。MEMSミラーアレイの構成について、短波側から長波側に進むにつれて、Pa<Pb<Pc<<Pi且つWa<Wb<Wc<<Wiとなり、ミラーピッチP、ミラー幅W共に広くなっていくことがわかる。しかしながら、従来の波長選択スイッチの構成では、波長選択スイッチを小型化する際に、以下のような問題があった。図8は、従来の波長選択スイッチの課題を説明するための概念図である。図8aに示すように、波長選択スイッチの光学系は、ビームウェストBWがMEMSミラー140上に配置されるように設計される。ここで、図8aの光学系を小型化することを検討する。さらなる小型化のために、分散能力がより向上した分光光学系分光器112、焦点距離がより短い集光レンズ113を使用する場合、レンズの軸外収差が大きくなり像面湾曲が発生してしまい、ビームウェストを全てのMEMSミラー140上に配置することができない。このため、従来の波長選択スイッチには、小型化の際、チャネルごとの透過帯域の幅が一定にならないという課題があった。本発明は、上記課題を解決すべくなされたものであり、小型化可能であり、且つ、チャネルごとの透過帯域の幅が一定な波長選択スイッチを提供することを目的とする。本発明は、単一入力ポートおよび複数の出力ポートまたは単一出力ポートおよび複数の入力ポートと、入力ポートから出射される波長多重光信号を波長分離する分光手段と、分光手段で波長分離された光信号を集光する集光レンズと、集光レンズにより集光された複数のチャネルで構成される光信号を反射する複数のMEMSミラーから構成されたMEMSミラーアレイであって、反射された光信号は、集光レンズおよび分光手段を介して出力ポートに結合するMEMSミラーアレイとを備えた波長選択スイッチであって、複数のMEMSミラーのうちの隣接するMEMSミラー間のミラーピッチは、波長分散方向に沿って短波側から長波側へ進むにつれて増加し、複数のMEMSミラーのうち最も短波側のチャネルに対応するMEMSミラー上に入射した信号光の径は、他の全てのチャネルに対応する複数のMEMSミラー上に入射した信号光の径より小さいことを特徴とする。本発明の一実施形態において、複数のMEMSミラーは、ミラー幅のミラーピッチに対する比率が、短波側チャネルよりも長波側チャネルにおいて増大することを特徴とする。本発明の一実施形態において、複数のMEMSミラーは、隣接するMEMSミラーとの間隙が等しくなるようなミラー幅とミラーピッチを有することを特徴とする。本発明の一実施形態において、集光レンズの光軸を基準としたとき、入力または出力ポート端から入力または出力ポートからの光が集光レンズに入射する位置までの距離と、最も短波側のチャネルに対応するMEMSミラーからMEMSミラーからの光が集光レンズに入射する位置までの距離とは、該同一となることを特徴とする。小型化可能であり、且つ、チャネルごとの透過帯域の幅が一定な、波長選択スイッチを提供することができる。以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。本実施形態に係る波長選択スイッチは、単一入力ポートおよび複数の出力ポートまたは単一出力ポートおよび複数の入力ポートと、入力ポートから出射された波長多重光信号を波長分離する分光手段と、分光手段で波長分離された光信号を集光する集光レンズと、集光レンズにより集光された光信号を反射する複数のMEMSミラーから構成されたMEMSミラーアレイとを備える。MEMSミラーで反射された光信号は、集光レンズおよび分光手段を介して出力ポートに結合する。MEMSミラーアレイにおいて、複数のMEMSミラーは、分光手段によって分光される方向に沿って一列に配列される。図9は、本実施形態に係る波長選択スイッチのMEMSミラーアレイの概略図である。MEMSミラーアレイの構成について、短波側から長波側に進むにつれて、Pa<Pb<Pc<<Pi且つWa<Wb<Wc<<Wiとなり、ミラーピッチP、ミラー幅W共に広くなっていくことについては、従来の波長選択スイッチと同様である。本実施形態に係る波長選択スイッチは、MEMSミラーアレイにおいて、図9に示すように、最も短波側のチャネルに対応するMEMSミラーに最も狭いビーム径を有する光信号が入射することを特徴とする。図9に示すように、本実施形態に係る波長選択スイッチにおいて、楕円ビームがMEMSミラーに入射している。楕円ビームの短径をDとすると、短波側から長波側に進むにつれて、各CHに対応するMEMSミラーに入射する各楕円ビームの短径Da,Db,Dc,,Diにおいて、Da<Db<Dc<<Diという関係が成立している。このような関係は、波長選択スイッチの、MEMSミラーアレイ以外の構成要素を調整することで達成される。これについては、後述する。透過帯域の幅Bとは、透過スペクトルのフラット領域を便宜的に指す用語であり、具体的に定量化するには、0.5dB透過帯域,3dB透過帯域など、基準となる透過率の低下量を示す必要がある。また、その単位は、CH間隔例えば、100GHzに対する透過帯域幅例えば、70GHzの比率を示すため、無次元量である。また、ビーム径Dとは、MEMSミラー上に入射する信号光のビームサイズ直径を便宜的に指す用語である。なお、一般的にガウシアンビームのサイズはビーム強度がビーム中心の13.5に低下する地点で定義される。MEMS波長選択スイッチの透過帯域の幅をBとすると、B,W,Dの間にという関係が成立することが知られている非特許文献1を参照。ここで、Wはミラー幅を、Pは隣接ミラー間ピッチを、DはMEMSミラー上に照射されるビームの直径を、ηは透過帯域基準値dBを、夫々表す。式3より、透過帯域の幅Bは、ミラーピッチPに占めるビーム径Dの比率D/Pが小さくなるほど、またミラーピッチPに占めるミラー幅Wの比率W/Pが大きくなるほど、広がることがわかる。図9を再び参照する。上述したように、本実施形態に係る波長選択スイッチのMEMSミラーアレイにおいて、各MEMSミラーのミラーピッチPは短波側から長波側に進むにつれて増加しPa<Pb<Pc<<Pi、各MEMSミラーに入射する信号光の径Dも短波側から長波側に進むにつれて増加するDa<Db<Dc<<Di。まず、短波側CHのビーム径とミラーピッチについて注目する。短波側のビーム径Daはとりうるビーム径の中で最小値であり、短波側のミラーピッチPaもとりうるミラーピッチのなかで最小値であるため、短波側におけるビーム径比率Da/Paを考えると、分子も分母も最小値である。次に、長波側CHのビーム径とミラーピッチについて注目する。長波側のビーム径Diはとりうるビーム径の中で最大値であり、長波側のミラーピッチPiもとりうるミラーピッチのなかで最大値であるため、長波側におけるビーム径比率Di/Piを考えると、分子も分母も最大値である。したがって、短波側CHのビーム径比率Da/Paに比較して、長波側CHのビーム径比率Di/Piが、極端に増大したり減少したりすることなく、ビーム径比率のチャネル間ばらつきを最小化できる。これは、透過帯域幅Bが極端に減少してしまうCHを発生させない効果を意味している。ここで比較のために、図10に示すように、本実施形態とは異なり、最も長波側のCHに対応するMEMSミラーに最も狭いビーム径を有する光信号が入射する場合を検討する。各MEMSミラーのミラーピッチPは短波側から長波側に進むにつれて増加する一方Pa<Pb<Pc<<Pi、各MEMSミラーに入射するビームのビーム径Dは短波側から長波側に進むにつれて減少するDa>Db>Dc>>Di。まず、短波側CHのビーム径とミラーピッチについて注目する。短波側のビーム径Daはとりうるビーム径の中で最大値であるが、短波側のミラーピッチPaはとりうるミラーピッチのなかで最小値であるため、短波側におけるビーム径比率Da/Paを考えると、とりうるビーム径比率の中で最大値となってしまう。次に、長波側CHのビーム径とミラーピッチについて注目する。長波側のビーム径Diはとりうるビーム径の中で最小値であるが、長波側のミラーピッチPiはとりうるミラーピッチのなかで最大値であるため、長波側におけるビーム径比率Di/Piを考えると、とりうるビーム径比率の中で最小値となってしまう。したがって、短波側CHのビーム径比率Da/Paは最大化され、長波側CHのビーム径比率Di/Piは最小化されるため、長波側のCHでは透過帯域幅Biを拡大できるものの、短波側のCHで透過帯域幅Baが極端に減少してしまう課題を有する。また、本実施形態に係る波長選択スイッチは、MEMSミラーアレイにおいて、ミラーピッチPに占めるミラー幅Wの比率W/Pが、長波側CHにおいて大きくなることを、別の特徴とする。上述したように、透過帯域の幅は、ミラーピッチPに占めるビーム径Dの比率D/Pが小さくなるほど、ミラーピッチPに占めるミラー幅Wの比率W/Pが大きくなるほど拡大できる。一般的な波長選択スイッチにおいては、ビーム径比率D/PはCHによってほとんど変化しないため、ミラー幅比率W/PもCHによって変化しないように設計される。ところが、本実施形態に係る波長選択スイッチでは、ビーム径比率D/Pが短波側CHから長波側CHに向かい微増する場合が多くなる。その場合、長波側CHで帯域が微減してしまうため、その帯域減少分を補うように、長波側でミラー径比率W/Pを大きくし、全CH領域で透過帯域が減少しないようにすることが望ましい。上記の具体例として、本実施形態に係る波長選択スイッチは、MEMSミラーアレイにおいて、各CHのミラー間ギャップ間隙P-Wが一定であることを特徴とする。上述したように、透過帯域の幅Bは、ミラーピッチPに占めるミラー幅Wの比率W/Pが大きくなるほど拡大できるが、ミラー幅はミラーピッチを超えて広げることはできない。したがって、ミラー幅比率を最大化するためには、各CHのミラー間ギャップP-Wを最小化し、CHによらず一定化することが望ましい。最小化可能なギャップ量はミラーの製造方法によって異なるが、ミラー間ギャップを一定にすることは、ミラー作製時の開口部の大きさを一定にできるため、ミラー寸法精度を向上させる効果およびミラー形成時に発生する異物を低減させる効果を有し、ならびに、ミラー製造歩留まりを向上させる効果も有している。以下、本発明の実施例を詳細に説明する。図11に示すように、本実施例に係る波長選択スイッチ500は、入出力光学系501と、集光レンズ502と、反射型の分光光学系503と、MEMSミラーアレイ504とを備える。入出力光学系501は、少なくとも1つの入力ポートと、複数の出力ポートとから構成される。集光レンズ502は、入出力光学系501からの信号光を屈折させ、反射型の分光光学系503に到達させる。また、集光レンズ502は、反射型の分光光学系503で波長分離された光信号を集光する。集光レンズとして、ダブレットレンズ、トリプレットレンズを使用することができる。反射型の分光光学系503は、集光レンズ502から入射した信号光を回折し、反射する。反射型の分光光学系503として、透過型回折格子と反射ミラーとの組み合わせを使用することができる。MEMSミラーアレイ504は、複数のMEMSミラーが一列に配列されて構成される。MEMSミラーアレイ504の各MEMSミラーは、分離された1波長の光を所定の出力ポートに結合するように反射する。図11に示すように、本実施例に係る波長選択スイッチにおいて、入出力光学系501は、短波側のCHに対応するMEMSミラーより、長波側のCHに対応するMEMSミラーにより近くなるように配置される。本実施例に係る波長選択スイッチ500は、図11に示すような構成を備えることにより、入出力光線の光路と分波された光線のうち短波側の光路とは、光線群の外縁部に配置されることとなる。即ち、集光レンズ502の光軸を基準としたとき、入出力ポートから集光レンズ502までの光路は、短波側のCHに対応するMEMSミラーから集光レンズ502までの光路と対称の位置にある。よって、集光レンズ502の光軸を基準としたとき、入出力ポートからの光路が集光レンズ502に入射する位置までの距離と、最も短波側のCHに対応するMEMSミラーからの光路が集光レンズ502に入射する位置までの距離とは、該同一となる。このような波長選択スイッチの構成により、入出力光線と分波された光線のうち短波側の光線は、集光レンズから受ける球面収差が同程度となり、入出力光線と短波側の分波光線との収差は小さくなる。従って、短波側のCHに対応するMEMSミラーに最も狭いビーム径を有するビームを配置しやすくなる。また本実施例の応用例として、集光レンズやMEMSミラーアレイを傾斜配置させることにより、短波側のCHに対応するMEMSミラーへの入射光線の光路差を小さくし、短波側のCHに対応するMEMSミラーに最も狭いビーム径を有するビームを配置することもできる。"