"加圧室へ燃料を吸入する吸入流路と、前記加圧室から前記燃料を吐出する吐出流路とを有し、前記加圧室内を往復動するプランジャによって燃料の吸入吐出を行い、前記吸入流路に吸入弁前記吐出流路に吐出弁をそれぞれ備え、前記吸入流路内または前記吸入流路に連通する低圧室内に、燃料の圧力脈動により体積変化をすることで圧力脈動を低減するための圧力脈動低減ダンパを備え、前記圧力脈動低減ダンパは、二枚の金属ダイアフラムをその周縁部で溶接してその間に気体を密封した金属ダイアフラムダンパである高圧燃料供給ポンプにおいて、前記金属ダンパの外表面の両方または一方と収納室のカバー若しくはポンプボディとの間に弾性保持部材を介して弾性支持されており、収納室内で前記金属ダンパ自体が燃料の脈動に追従して移動することを特徴とする高圧燃料供給ポンプ。請求項1に記載したものにおいて、前記金属ダンパを挟持する弾性保持部材が上下一対のばね部材であることを特徴とする、高圧燃料供給ポンプ。請求項1に記載したものにおいて、前記金属ダンパを挟持する弾性保持部材が上下一対の環状の樹脂部材であることを特徴とする高圧燃料供給ポンプ。請求項3に記載したものにおいて、前記金属ダンパを挟持する前記上下一対の環状の樹脂部材が前記金属ダンパ外周に一体成形されていることを特徴とする高圧燃料供給ポンプ。請求項3または4のいずれかに記載されたものにおいて、前記上下一対の環状の樹脂部材は当該上下一対の環状の樹脂部材の内外を接続する接続通路部を有する高圧燃料供給ポンプ。ボディとカバーによって形成された収納室内に金属ダンパを備え、当該収納室を通って脈動を有する流体が流れるように構成されている圧力脈動低減機構において、前記金属ダンパは、当該金属ダンパの外表面の両方または一方と前記カバー若しくはボディとの間に弾性保持部材を介して弾性支持されており、収納室内で前記金属ダンパ自体が燃料の脈動に追従して移動することを特徴とする圧力脈動低減機構。請求項6に記載したものにおいて、前記金属ダンパを挟持する弾性保持部材が上下一対のばね部材であることを特徴とする、高圧燃料供給ポンプ。請求項6に記載したものにおいて、前記金属ダンパを挟持する弾性保持部材が上下一対の環状の樹脂部材であることを特徴とする高圧燃料供給ポンプ。請求項8に記載したものにおいて、前記金属ダンパを挟持する前記上下一対の環状の樹脂部材が前記金属ダンパ外周に一体成形されていることを特徴とする高圧燃料供給ポンプ。請求項8または9のいずれかに記載されたものにおいて、前記上下一対の環状の樹脂部材は当該上下一対の環状の樹脂部材の内外を接続する接続通路部を有する高圧燃料供給ポンプ。上記従来技術では、金属ダイアフラムダンパが移動できないようにそのダンパの両面が保持部材によって固定されている。金属ダンパ自体は内燃機関の中回転領域から高回転領域における低圧燃料通路の振幅の大きな圧力脈動を低減するように設計されており、内燃機関の始動時のような極低回転側の振幅の小さな圧力脈動は十分に吸収することができない設計になっている。本発明の目的は、低圧燃料通路に発生する圧力脈動の低減域を拡大し、高圧燃料供給ポンプに安定した燃料を供給することにある。本発明では上記目的を達成するために、二枚の金属ダイアフラムを接合して、内部に気体を封入した金属ダンパ自体がダンパ収納室の中で移動できるように、金属ダンパの外表面の両方または一方と収納室のカバー若しくはポンプボディとの間に弾性部材を介して金属ダンパを弾性保持した。このように構成すると、金属ダイアフラムダンパの体積変化で内燃機関の中回転領域から高回転領域における低圧燃料通路の比較的振幅の大きい圧力脈動を吸収し、ダンパ室内で前記金属ダンパ自体が燃料の流れに追従し移動することで中回転から極低回転までの領域における比較的振幅の小さい圧力脈動を低減できる。以下、実施例を図面を用いて説明する。本発明の第1実施例について説明する。まず、図1から図2により、高圧燃料ポンプの基本動作を説明する。図1は、高圧燃料供給ポンプを含む燃料供給システムを示す。図2は、高圧燃料供給ポンプの縦断面図を示す。図1で、破線で囲まれた部分が高圧ポンプのポンプハウジング1を示し、この破線の中に示されている機構,部品は高圧ポンプのポンプハウジング1に一体に組み込まれていることを示す。燃料タンク20の燃料は、エンジンコントロールユニット27以下ECUと称すからの信号に基づきフィードポンプ21によって汲み上げられ、適切なフィード圧力に加圧されて吸入配管28を通して高圧燃料供給ポンプの低圧燃料流路10aに送られる。低圧燃料流路10aを通過した燃料は、吸入ジョイント101内に固定された吸入フィルター102を通過し、さらに金属ダイアフラムダンパ9,低圧燃料流路10b,10cを介して容量可変機構を構成する電磁吸入弁機構30の吸入ポート30aに至る。吸入ジョイント101内の吸入フィルター102は、燃料タンク20から低圧燃料流路10aまでの間に存在する異物を燃料の流れによって高圧燃料供給ポンプ内に吸収することを防ぐ役目がある。吸入ジョイント101が取付けられたカバー14はポンプボディ1の外壁に形成された環状面122にレーザ溶接によって固定される。これにより、カバー14とポンプボディ1の間には低圧燃料流路10b,10cによって金属ダイアフラムダンパ9を収納する収納室が形成されている。圧力脈動低減のための金属ダイアフラムダンパ9については、詳細は後述する。電磁吸入弁機構30は電磁コイル30bを備え、この電磁コイル30bが通電されている状態では電磁プランジャ30cが図1の右方に移動した状態で、ばね33が圧縮された状態が維持される。このとき電磁プランジャ30cの先端に取付けられた吸入弁31が高圧ポンプの加圧室11につながる吸入口32を開く。電磁コイル30bが通電されていない状態で、かつ低圧燃料流路10c吸入ポート30aと加圧室11との間の流体差圧が無い時は、このばね33の付勢力により、吸入弁31は閉弁方向に付勢され吸入口32は閉じられた状態となっている。後述するカムの回転により、プランジャ2が図2の下方に変位する吸入工程状態にある時は、加圧室11の容積は増加し加圧室11内の燃料圧力が低下する。この工程で加圧室11内の燃料圧力が低圧燃料流路10c吸入ポート30aの圧力よりも低くなると、吸入弁31には燃料の流体差圧による開弁力吸入弁31を図1の右方に変位させる力が発生する。この流体差圧による開弁力により、吸入弁31は、ばね33の付勢力に打ち勝って開弁し、吸入口32を開くように設定されている。この状態にて、ECU27からの制御信号が電磁吸入弁30に印加されると電磁吸入弁30の電磁コイル30bには電流が流れ、それにより発生する磁気付勢力により電磁プランジャ30cが図1の右方に移動し、ばね33が圧縮された状態が維持される。その結果、吸入弁31が吸入口32を開いた状態が維持される。電磁吸入弁30に入力電圧の印加状態を維持したままプランジャ2が吸入工程を終了し、プランジャ2が図2の上方に変位する圧縮工程に移ると、磁気付勢力は維持されたままであるので、依然として吸入弁31は開弁したままである。加圧室11の容積は、プランジャ2の圧縮運動に伴い減少するが、この状態では、一度加圧室11に吸入された燃料が、再び開弁状態の吸入弁31を通して低圧燃料流路10c吸入ポート30aへと戻されるので、加圧室の圧力が上昇することは無い。この工程を戻し工程と称す。この状態で、ECU27からの制御信号を解除して、電磁コイル30bへの通電を断つと、電磁プランジャ30cに働いている磁気付勢力は一定の時間後磁気的,機械的遅れ時間後に消去される。吸入弁31にはばね33による付勢力が働いている,で、電磁プランジャ30cに作用する電磁力が消滅すると吸入弁31はばね33による付勢力で吸入口32を閉じる。吸入口32が閉じるとこのときから加圧室11の燃料圧力はプランジャ2の上昇運動と共に上昇する。そして、燃料吐出口12の圧力以上になると、吐出弁機構8を介して加圧室11に残っている燃料の高圧吐出が行われ、コモンレール23へと供給される。この工程を吐出工程と称す。すなわち、プランジャ2の圧縮工程下始点から上始点までの間の上昇工程は、戻し工程と吐出工程からなる。そして、電磁吸入弁30の電磁コイル30cへの通電を解除するタイミングを制御することで、吐出される高圧燃料の量を制御することができる。電磁コイル30cへの通電を解除するタイミングを早くすれば、圧縮工程中、戻し工程の割合が小さく吐出工程の割合が大きい。すなわち、低圧燃料流路10c吸入ポート30aに戻される燃料が少なく、高圧吐出される燃料は多くなる。一方、入力電圧を解除するタイミングを遅くすれば、圧縮工程中の、戻し工程の割合が大きく、吐出工程の割合が小さい。すなわち、低圧燃料流路10cに戻される燃料が多く、高圧吐出される燃料は少なくなる。電磁コイル30cへの通電を解除するタイミングは、ECUからの指令によって制御される。以上のように構成することで、電磁コイル30cへの通電を解除するタイミングを制御することで、高圧吐出される燃料の量を内燃機関が必要とする量に制御することができる。かくして、低圧燃料流路10aに導かれた燃料はポンプ本体1の加圧室11にてプランジャ2の往復動によって必要な量が高圧に加圧され、燃料吐出口12からコモンレール23に圧送される。コモンレール23には、インジェクタ24,圧力センサ26が装着されている。インジェクタ24は、内燃機関の気筒数に合わせて装着されており、エンジンコントロールユニットECU27の制御信号にしたがって開閉弁して、燃料をシリンダ内に噴射する。ポンプハウジング1には中心に加圧室11としての凹部1Aが形成されており、この加圧室11の内周壁から吐出口12の間に吐出弁機構8装着用の凹所11Aが形成されている。さらに加圧室11に燃料を供給するための電磁吸入弁機構30を取付けるための孔30Aが吐出弁機構8装着用の凹所11Aと同一軸線上で、ポンプハウジングの外側壁に設けられている。加圧室11としての凹部1Aの中心軸線に対して、吐出弁機構8装着用の凹所11Aと電磁吸入弁機構30を取付けるための孔の軸線は交わる方向に形成されており、加圧室11から吐出通路に燃料を吐出するための吐出弁機構8が設けられている。また、プランジャ2の往復運動をガイドするシリンダ6が加圧室に臨むようにして取付けられている。加圧室11の出口には吐出弁機構8が設けられている。吐出弁機構8はシート部材シート部材8a,吐出弁8b,吐出弁ばね8c,吐出弁ストッパとしての保持部材8dからなる。加圧室11と吐出口12との間に燃料の差圧が無い状態では、吐出弁8bは吐出弁ばね8cによる付勢力でシート部材8aに圧着され閉弁状態となっている。加圧室11内の燃料圧力が、吐出口12の燃料圧力よりも所定の値だけ大きくなった時に初めて、吐出弁8bは吐出弁ばね8cに抗して開弁し、加圧室11内の燃料は吐出口12を経てコモンレール23へと吐出される。吐出弁8bは開弁した際、保持部材8dと接触し、動作を制限される。したがって、吐出弁8bのストロークは保持部材8dによって適切に決定される。もし、ストロークが大きすぎると、吐出弁8bの閉じ遅れにより、燃料吐出口12へ吐出された燃料が、再び加圧室11内に逆流してしまうので、高圧ポンプとしての効率が低下してしまう。また、吐出弁8bが開弁および閉弁運動を繰り返す時に、吐出弁8bがストローク方向にのみ運動するように、保持部材8dにてガイドしている。以上のように構成することで、吐出弁機構8は燃料の流通方向を制限する逆止弁となる。また、高圧燃料供給ポンプのエンジンへの固定は、フランジ41およびブッシュ43により行われる。フランジ41は、ブッシュ43を介して止めねじ42によりエンジンへ圧着固定される。フランジ41は内周がポンプハウジング1に溶接固定されているので、ポンプハウジング1はこれによりエンジンへ固定される。ポンプハウジング1にはさらに、吐出弁8bの下流側と低圧燃料流路10cを連通するリリーフ通路とが設けられている。リリーフ通路には燃料の流れを吐出通路から低圧燃料流路10cへの一方向のみに制限する図示しないリリーフ弁機構が設けられており、リリーフ弁機構入り口は吐出弁8bの下流側と連通されている。リリーフ弁機構はバルブ,バルブシート,スプリングで構成され所定の圧力で開弁するようにスプリングのセット荷重が設定されている。エンジンに燃料を供給する燃料噴射弁の故障や、燃料噴射弁および高圧燃料供給ポンプなどを制御するECU27等の故障により発生したコモンレール23内の異常高圧が、リリー弁のセット開弁圧以上になると、燃料は吐出弁8bの下流側からリリーフ流路を通り、リリーフ弁へと達する。そして、リリーフ弁を通過した燃料は、低圧部である低圧燃料流路10cへ開放される。これにより、コモンレール23等の高圧部の保護がなされる。シリンダ6は外周がシリンダホルダ7で保持され、シリンダホルダ7は外周に螺刻されたねじを、ポンプハウジング1に螺刻されたねじにねじ込むことによって、ポンプハウジング1に固定される。シリンダ6は加圧室11内で進退運動するプランジャ2をその進退運動方向に沿って摺動可能に保持する。プランジャ2の下端には、エンジンのカムシャフトに取り付けられたカム5の回転運動を上下運動に変換し、プランジャ2に伝達するタペット3が設けられている。プランジャ2はリテーナ15を介してばね4にてタペット3に圧着されている。リテーナ15は圧入によってプランジャ2に固定されている。これによりカム5の回転運動に伴い、プランジャ2を上下に進退往復運動させることができる。また、シリンダホルダ7の内周下端部に保持されたプランジャシール13がシリンダ6の図中下端部においてプランジャ2の外周に摺動可能に接触する状態で設置されており、これによりシール室10f中の燃料がタペット3側、つまりエンジンの内部に流入するのを防止する。同時にエンジンルーム内の摺動部を潤滑する潤滑油エンジンオイルも含むがポンプ本体1の内部に流入するのを防止する。ここで、低圧燃料流路10cはシリンダ6に設けられた低圧燃料流路10eを介して、シール室10fに接続しており、シール室10fは常に吸入燃料の圧力に接続している。加圧室11内の燃料が高圧に加圧されたときには、シリンダ6とプランジャ2の摺動クリアランスを通して微小の高圧燃料がシール室10f内に流入するが、流入した高圧燃料は吸入圧力に開放されるのでプランジャシール13が高圧により破損する事はない。プランジャ2にはシリンダに滑合する直径の太い部分と、プランジャシールが装着される直径の細い部分とが形成されている。シール室10f内で、直径の太い部分と細い部分とのつながり部段差部が往復動することで、シール室10f内の燃料が低圧燃料流路10eを通って、ダンパが収納された低圧燃料流路10cへ送り出される。また、プランジャ2が上方へ移動する際には低圧燃料流路10cからシール室10f内へ低圧燃料が流れ込む。かくして金属ダイアフラムダンパ9が装着された低圧燃料流路10cでは低圧燃料流路10a,低圧燃料流路10eおよび吸入弁31を通って加圧室11へ流れる燃料流、加圧室11からスピルする燃料流の4者が合流して複雑な低圧脈動を発生する。金属ダイアフラムダンパ9は内燃機関の中回転から高回転で運転されているときの低圧燃料通路の脈動を低減するように、設計されているため、内燃機関の極低回転例えば500rpm以下で運転されているときの低圧燃料通路の脈動の振幅では金属ダイアフラムダンパ9は変形しない。以下、低圧側の圧力脈動を低減するメカニズムについて、図3,図4,図5を用いて説明する。図4は、プランジャ2の動きと、吸入弁31の動きと燃料の流れとの関係を示したものである。最上段の表はプランジャ2の動きを表し、TDCTOPDEADCENTERの略は図4中でプランジャ2の位置が最も上に来たときであり、BDCBOTTOMDEADCENTERの略はプランジャ2の位置が最も下に来たときを示している。プランジャ2が下降運動中は吸入工程からなり、上昇運動中は戻し工程と吐出工程からなる。下段の表は電磁吸入弁機構30の電磁コイル30bへの通電タイミングと吸入弁31の開閉動作を表したものであり、プランジャ2の下降工程で電磁コイル30bに通電されると吸入弁31が開き吸入工程となる。次に、プランジャ2が上昇工程に入っても電磁コイル30bが通電中で吸入弁31が開状態を保持している間は戻し工程となる。最後に電磁コイル30bの通電を切ると吸入弁31が閉じ加圧工程となる。さらにその下の図は燃料の流れを示している。次に、燃料の流れの各工程中の様子を説明する。<吸入工程>1プランジャ2の下降運動によって加圧室11の容積は増大し、この容積増加分の燃料が低圧燃料流路10cから高圧燃料供給ポンプに流れ込む。<戻しスピル工程>1プランジャ2の上昇運動によって加圧室11の容積は減少し、この容積減少分の燃料が低圧燃料流路10cへと流れ出る。<吐出工程>1プランジャ2の上昇運動によって加圧室11の容積は減少し、加圧室11内の燃料は高圧に加圧される。そして吐出弁機構8,燃料吐出口12を介してコモンレール23へと供給される。この場合、加圧室11内の容積は減少するが、低圧燃料流路10cと加圧室11との間では燃料の行き来はない。したがって、燃料の流れ量は0となる。フィードポンプ21と低圧燃料流路10aの間の吸入流路28に発生する圧力脈動は、この低圧燃料流路10aから低圧燃料流路10cへと流れ込む燃料に関係する。図4は、本実施例のプランジャ2の動きと、吸入弁31の動きと燃料の流れとの関係を示したものである。ダンパ室上流側の圧力,容積をそれぞれP1,V1とし、下流側をP2,V2とする。金属ダイアフラムダンパ9はダンパ室構成部材に弾性保持部材116この場合はスプリングで上下を固定されている。吸入工程では、燃料は金属ダイアフラムダンパ9上流から下流側に向かって流れ、P1とP2が等しくなる位置で金属ダイアフラムダンパ9が保持されている。次に、戻し工程では燃料の流れが逆転し加圧室11から低圧燃料流路10cに流れ込むためダンパ室下流側の圧力P2が大きくなる。しかし、下流側圧力P2の増加に伴い金属ダイアフラムダンパ9が上流側に移動しダンパ室下流側容積V2が増えるため圧力P2の増加が抑えられる。一方、上流側は金属ダイアフラムダンパ9移動により容積P1が減少するため、それに伴い圧力P1が上昇し、圧力P1とP2が等しくなる位置で金属ダイアフラムダンパ9は保持される。吐出工程では、ダンパ室内の燃料の流れが無いため、上下の弾性保持部材116a,116bの弾性力が釣り合う位置で保持される。このように、金属ダイアフラムダンパ9自身が燃料の動きに合わせて移動できるように支持することで、吸入,戻し工程における低圧燃料流路10cの圧力変動を小さくできる。すなわち、ダンパ室内の燃料圧力脈動が小さくなり、フィードポンプ21と低圧燃料流路10aの間の吸入流路28に発生する圧力脈動も小さくなる。次に、低圧圧力脈動の低減効果を図5に示す。図5の最上段のカーブはダンパ機構を持たない場合の低圧圧力脈動の特性である。中段のカーブは金属ダイアフラムダンパ9を備えた場合の特性で、全域にわたって振幅が低減される。更に、金属ダイアフラムダンパ9を移動可能にすると、図5の下段のカーブのように金属ダンパでは吸収しきれない低回転領域の振幅低減に効果がある。次に、本発明の第2実施例を図6に示す。第2実施例と第1実施例の違いは、ダンパの弾性保持部材116a,116bの違いであり、材質を弾性のある樹脂にしたものである。弾性保持部材116a,116bは環状に構成されておりところどころに内外を接続する接続通路108が複数個設けられている。次に、本発明の第3実施例を図7に示す。第3実施例は第2実施例のダンパ上下に設けた弾性保持部材116a,116bを金属ダイアフラムダンパ9に一体モールド成形したものである。接続通路108が複数個設けられている点は第2実施例と同じである。これにより、部品点数と組立工数の低減が図れる。次に、本発明の第4実施例を図8に示す。第4実施例はダンパの弾性保持部材116の一方を非弾性保持部材109としリジットにしたものである。図8では上流側の弾性保持部材116はスプリングで、下流側の非弾性保持部材109はポンプボディに形成された環状突起で構成している。この実施例の場合、低圧燃料流路10bと低圧燃料流路10cとを接続する接続通路108は非弾性保持部材109を構成する環状突起に複数個設けられている。戻しスピル工程で低圧燃料流路10c側の圧力が高くなった場合、金属ダイアフラムダンパ9上下の圧力差とスプリング116の荷重が釣り合う位置まで金属ダイアフラムダンパ9が上流側に移動し保持される。なお、全実施例を通じて、カバー14はその周囲のスカート部14Aの内側が、ポンプボディ1の外周の環状面122に圧入され、全周をレーザ溶接することで固定されている。このとき、カバー14をポンプボディ1に圧入する際の力の一部が弾性保持部材116a,116bにセット荷重として作用し、内燃機関の振動によって、金属ダイアフラムダンパ9が共鳴振動することのないように構成されている。また、この圧入量を調整することで、弾性保持部材116,116a,116bのセット荷重を調整できる。本実施例によれば、高回転になるにつれ吸入通路内の燃料の脈動周期が早く小さくなってダンパ自身の移動が追従できなくなる追従可能な範囲でダンパの微少な移動はあるような中高回転状態では燃料の振幅が大きくなってダンパ変形による脈動吸収効果が大きくなる。一方、低回転側領域、特に極低圧領域では燃料の振幅が小さくなってダンパ変形がしづらくなるが、この状態では燃料の脈動周期が遅く大きくなるのでダンパ自身が移動して上述したように圧力変動を抑えることができる。"