"変調した駆動信号を生成する変調部と、前記変調部によって生成された前記駆動信号と被駆動体の位置とに応じた検出信号を出力する検出素子を有し、変調された出力信号を前記検出信号に基づいて出力する検出部と、前記検出部から出力された前記出力信号を周波数逓倍した逓倍信号を生成する信号逓倍部と、前記信号逓倍部によって生成された前記逓倍信号に基づいて、前記被駆動体の位置を検出する位置検出部と、を備えることを特徴とする位置検出装置。前記変調部は、前記検出部が出力する前記変調された出力信号の振幅に応じて、前記駆動信号の振幅を制御する駆動制御部を備えることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。前記検出部は、互いに位相の異なる2つの前記出力信号を出力し、前記信号逓倍部は、前記互いに位相の異なる2つの前記出力信号を合成し、合成した合成信号を周波数逓倍した前記逓倍信号を生成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の位置検出装置。前記検出素子は、前記駆動信号が供給される駆動端子と、前記検出信号を出力する出力端子とを有し、前記検出部は、前記駆動端子と前記出力端子とを切り替える切り替え部を備えることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記変調部は、前記駆動信号を反転増幅した反転駆動信号を生成する反転信号生成部を備え、前記検出素子は、前記駆動信号が供給される第1駆動端子と、前記反転駆動信号が供給される第2駆動端子と、前記駆動信号と前記被駆動体の位置とに応じた信号を出力する第1出力端子及び第2出力端子とを有し、前記検出部は、前記第1出力端子の出力信号と、前記第2出力端子の出力信号とを差動増幅して、前記検出信号を出力する差動増幅部を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記被駆動体は、回転子であり、前記検出部は、複数の前記検出素子であって、前記複数の検出素子のうちの前記回転子の回転中心軸を中心として互いに対向している2つの前記検出素子を有する少なくとも2つの検出素子グループに分けられる前記複数の検出素子と、前記検出素子グループごとに前記互いに対向している2つの前記検出素子から出力される前記検出信号を合成して、前記互いに位相の異なる2つの前記出力信号を生成する合成部と、を備えることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記駆動信号には、前記少なくとも2つ検出素子グループうちの第1の検出素子グループに供給される第1駆動信号と、前記第1の検出素子グループとは異なる第2の検出素子グループに供給される第2駆動信号とが含まれ、前記変調部は、前記第1の検出素子グループの前記検出信号によって合成された前記出力信号の振幅と、前記第2の検出素子グループの前記検出信号によって合成された前記出力信号の振幅とが一致するように、前記第1駆動信号又は前記第2駆動信号の駆動電圧を補正する駆動補正部を備えることを特徴とする請求項6に記載の位置検出装置。前記第1駆動信号又は前記第2駆動信号の駆動電圧を補正する補正値を記憶している記憶部を備え、前記駆動補正部は、前記記憶部に記憶されている補正値に基づいて、前記第1駆動信号又は前記第2駆動信号の駆動電圧を補正することを特徴とする請求項7に記載の位置検出装置。前記駆動信号の変調成分を周波数逓倍した参照信号を生成する参照信号生成部を備え、前記位置検出部は、前記参照信号生成部によって生成された前記参照信号と、前記逓倍信号とに基づいて同期検波を行って前記被駆動体の位置を検出することを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の位置検出装置。変調した駆動信号を生成する変調部と、前記変調部によって生成された前記駆動信号と被駆動体の位置とに応じた検出信号を出力する検出素子を有し、変調された出力信号を前記検出信号に基づいて出力する検出部と、前記検出部から出力された前記出力信号に基づいて、前記被駆動体の位置を検出する位置検出部と、を備え、前記変調部は、前記検出部が出力する前記変調された出力信号の振幅に応じて、前記駆動信号の振幅を制御する駆動制御部を備えることを特徴とする位置検出装置。請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の位置検出装置と、前記被駆動体を駆動する駆動部と、を備えることを特徴とする駆動装置。しかしながら、上述のような位置検出装置の周波数特性又は周波数応答、もしくはダイナミック特性は、変調信号の周波数に依存する。そのため、例えば、上述のような位置検出装置は、高い周波数帯域で使用された場合に、回転子の回転速度に対して回転角度位置の検出に遅延による影響が生じるため、被駆動体の回転角度位置を高精度に検出することが困難になる場合がある。本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、被駆動体の位置を高精度に検出することができる位置検出装置、及び駆動装置を提供することにある。上記問題を解決するために、本発明の一実施形態は、変調した駆動信号を生成する変調部と、前記変調部によって生成された前記駆動信号と被駆動体の位置とに応じた検出信号を出力する検出素子を有し、変調された出力信号を前記検出信号に基づいて出力する検出部と、前記検出部から出力された前記出力信号を周波数逓倍した逓倍信号を生成する信号逓倍部と、前記信号逓倍部によって生成された前記逓倍信号に基づいて、前記被駆動体の位置を検出する位置検出部と、を備えることを特徴とする位置検出装置である。また、本発明の一実施形態は、変調した駆動信号を生成する変調部と、前記変調部によって生成された前記駆動信号と被駆動体の位置とに応じた検出信号を出力する検出素子を有し、変調された出力信号を前記検出信号に基づいて出力する検出部と、前記検出部から出力された前記出力信号に基づいて、前記被駆動体の位置を検出する位置検出部と、を備え、前記変調部は、前記検出部が出力する前記変調された出力信号の振幅に応じて、前記駆動信号の振幅を制御する駆動制御部を備えることを特徴とする位置検出装置である。また、本発明の一実施形態は、上記に記載の位置検出装置と、前記被駆動体を駆動する駆動部と、を備えることを特徴とする駆動装置である。本発明によれば、被駆動体の位置を高精度に検出することができる。以下、本発明の一実施形態による位置検出装置について図面を参照して説明する。[第1の実施形態]本実施形態では、位置検出装置の一例として、回転角度位置を検出する回転角度検出装置100について説明する。なお、回転角度検出装置には、エンコーダやレゾルバなどの装置が含まれる。図1は、本実施形態による回転角度検出装置100の構成の一例を示す概略構成図である。この図1において、回転角度検出装置100は、磁石70を有する回転子80と、この回転子80の近傍に配置された複数の磁気検出素子1MS1,2MS2,3MS3,4MS4と、その磁気検出素子1,2,3,4やその他の制御部品を搭載した基板組9とを備えている。ここで、回転子80の近傍とは、例えば、この回転子80の周囲、又は、回転子80の円周上のことを含むものである。磁石70は、例えば、永久磁石である。磁気検出素子1~4検出素子は、例えば、それぞれホール素子である。以降、磁気検出素子1~4を、ホール素子1~4と称して説明する。この図1において、回転子80被駆動体が紙面に対して垂直となる回転軸を中心として回転すると、回転子80の回転に伴い磁石70が回転し、ホール素子1,2,3,4で検出される磁石70からの磁界が変化する。回転角度検出装置100は、この磁界の変化を、ホール素子1,2,3,4の4個のホール素子によりそれぞれ検出し、この検出した磁界の変化量変位から回転子80の回転角度位置を検出する。ここで、回転角度位置とは、回転角度θ、回転位置を示す位置情報、又は回転角度などを示す角度情報のことである。本実施形態では、一例として、回転角度位置を回転角度θとして説明する。なお、図1を用いて説明した4個のホール素子1~4は、例えば、それぞれが同様の検出感度を有しており、それぞれが同様の出力レベルを有している。また、4個のホール素子1~4は、例えば、それぞれ基板組9の平面上であって、回転子80の回転軸と法線ベクトルの方向を同一とする平面上に配置されており、回転子80の回転軸から等距離となる円周上に配置されている。また、各ホール素子1~4は、等間隔この場合は、回転子80の回転軸を中心として90度の等角度で配置されている。また、組とされるホール素子1及びホール素子3第1の検出素子グループG1と、ホール素子2及びホール素子4第2の検出素子グループG2とは、回転子80の回転軸を中心として、互いに対向して配置されており、回転子80の回転軸を中心として180度の角度になるように配置されている。図2は、第1の実施形態における回転角度検出装置100を示す概略ブロック図である。図2において、回転角度検出装置100は、検出部10、信号逓倍部20、変調部30、位置検出部50、正弦波発生部53、余弦波発生部54、位相シフタ61、減算器62、及び入出力切り替え信号生成部63を備えている。変調部30は、変調した駆動信号を生成し、生成した駆動信号を検出部10のホール素子1~4に供給する。また、変調部30は、変調信号発生部31、ゲイン制御部32、及びD/Aデジタル/アナログ部33を備えている。変調信号発生部31は、例えば、シンセサイザなどの信号発生器であり、ホール素子1~4に供給する駆動信号を時間的に変調する変調信号を生成する。例えば、変調信号発生部31は、ホール素子1~4に供給される電圧値又は電流値を、一定にするのではなく時間的に変調する。変調信号発生部31は、生成した変調信号sinωtをゲイン制御部32に供給する。また、変調信号発生部31は、変調信号cos2ωtcosωtを生成し、生成した変調信号cos2ωtcosωtを乗算器25、26に供給する。この変調信号cos2ωtcosωtは、検出部10から出力された出力信号を周波数逓倍した逓倍信号を生成するために用いられる。ここで、定数ωは角周波数を示し、変数tは時間を示す。なお、本実施形態における変調信号発生部31は、参照信号生成部40に対応する。変調信号発生部31参照信号生成部40は、ホール素子1~4に供給する駆動信号の変調成分を周波数逓倍した参照信号を生成する。本実施形態における変調信号発生部31は、ホール素子1~4に供給する駆動信号の変調成分を所定の整数倍n倍逓倍した参照信号を生成することができる。本実施形態では、この参照信号は、変調信号sinωtを4逓倍した信号sin4ωtになる。変調信号発生部31参照信号生成部40は、生成した参照信号sin4ωtを位置検出部50の同期検波回路部51に供給する。ゲイン制御部32駆動制御部は、変調信号発生部31から供給された変調信号sinωtと、後述する減算器62が出力する信号sinωt-θとに基づいて、ホール素子1~4に供給する駆動信号sinωtの振幅を制御する。又は、ゲイン制御部32は、信号sinωt-θの振幅に応じて、駆動信号sinωtの振幅を制御する。ここで、変数θは、回転角度位置である。検出部10のホール素子1~4及び差動増幅部11~17は、温度変動や外部からの力による機械的変形などにより振幅が変動することがある。そこで、ゲイン制御部32は、例えば、ACエーシーディテクションにより信号sinωt-θの振幅情報を評価し、温度変動や外部からの力による機械的変形などによる振幅の変動を打ち消すように、駆動信号sinωtの振幅を制御する。ここでACディテクションは、例えば、全波整流してピーク値を求めることにより振幅情報を取得してもよいし、ピークホールド回路を使用して振幅情報を取得してもよい。なお、上記の信号sinωt-θは、検出部10が出力する変調された出力信号sinωtsinθ、sinωtcosθから生成される信号である。よって、ゲイン制御部32は、検出部10が出力する変調された出力信号sinωtsinθの振幅に応じて、駆動信号sinωtの振幅を制御する。ゲイン制御部32は、振幅を制御調整した駆動信号sinωtをD/A部33に供給する。D/A部33は、例えば、デジタル/アナログ変換器であり、ゲイン制御部32から供給されたデジタル信号の駆動信号sinωtをアナログ信号の駆動信号sinωtに変換し、変換した駆動信号sinωtを検出部10のアナログSW5~8に供給する。検出部10は、変調部30によって生成された駆動信号sinωtと回転子80の回転角度位置とに応じた検出信号を出力するホール素子1~4を有し、変調された出力信号を検出信号に基づいて出力する。検出部10は、ホール素子1~4によって出力された検出信号に基づいて、2つの出力信号sinωtcosθ、sinωtsinθを出力する。すなわち、検出部10は、互いに位相の異なる2つの出力信号を出力する。また、検出部10は、ホール素子1~4と、アナログSWアナログスイッチ5~8、差動増幅部11~14、及び合成部17を備えている。ホール素子1~4検出素子は、上述した図1に示すように、複数のホール素子1~4であって、少なくとも2つの検出素子グループG1、G2に分けられる。この2つの検出素子グループG1、G2は、複数のホール素子1~4のうちの回転子80の回転中心軸を中心として互いに対向している2つのホール素子1及び3、又は2及び4を有する。また、ホール素子1~4検出素子は、変調部30によって生成された駆動信号が供給される駆動端子例えば入力端子in及びin-と、検出信号を出力する出力端子例えば出力端子out及びout-とをそれぞれ有している。すなわち、ホール素子1~4には、4つの端子があり、それぞれ、入力端子in及びin-、出力端子out及びout-がある。なお、ホール素子1~4は、後述するように、入力端子in及びin-と、出力端子out及びout-とを逆にして使用することが可能である。ホール素子1の各端子は、アナログSW5に接続され、ホール素子2の各端子は、アナログSW6に接続されている。また、ホール素子3の各端子は、アナログSW7に接続され、ホール素子2の各端子は、アナログSW8に接続されている。ホール素子1~4は、変調部30によって生成された駆動信号sinωtと回転子80の回転角度位置とに応じた検出信号を出力する。アナログSW5~8切り替え部は、入出力切り替え信号生成部63から供給される切り替え信号に基づいて、ホール素子1~4の駆動端子と出力端子とを切り替える。すなわち、アナログSW5~8は、切り替え信号に基づいて、次の2つの接続状態を切り替える。アナログSW5~8は、第1の接続状態として、ホール素子1~4の入力端子inに変調部30から供給された駆動信号を供給し、入力端子in-にGNDグランド又は仮想GNDを接続する。また、アナログSW5~8は、第1の接続状態として、出力端子out及びout-を差動増幅部11~14の入力端子に接続する。また、アナログSW5~8は、第2の接続状態として、ホール素子1~4の出力端子out-に変調部30から供給された駆動信号を供給し、出力端子outにGND又は仮想GNDに接続する。また、アナログSW5~8は、第1の接続状態として、入力端子in及びin-を差動増幅部11~14の入力端子に接続する。アナログSW5は、ホール素子1と、変調部30及び差動増幅部11との間に接続され、ホール素子1の駆動端子と出力端子とを切り替えて、変調部30が生成した駆動信号を供給する。また、アナログSW5は、ホール素子1の駆動端子と出力端子とを切り替えて、ホール素子1の出力信号を差動増幅部11に出力する。また、アナログSW6は、ホール素子2と、変調部30及び差動増幅部12との間に接続され、ホール素子2の駆動端子と出力端子とを切り替えて、変調部30が生成した駆動信号を供給する。また、アナログSW6は、ホール素子2の駆動端子と出力端子とを切り替えて、ホール素子2の出力信号を差動増幅部12に出力する。また、アナログSW7は、ホール素子3と、変調部30及び差動増幅部13との間に接続され、ホール素子3の駆動端子と出力端子とを切り替えて、変調部30が生成した駆動信号を供給する。また、アナログSW7は、ホール素子3の駆動端子と出力端子とを切り替えて、ホール素子3の出力信号を差動増幅部13に出力する。また、アナログSW8は、ホール素子4と、変調部30及び差動増幅部14との間に接続され、ホール素子4の駆動端子と出力端子とを切り替えて、変調部30が生成した駆動信号を供給する。また、アナログSW8は、ホール素子4の駆動端子と出力端子とを切り替えて、ホール素子4の出力信号を差動増幅部14に出力する。差動増幅部11~14は、例えば、差動増幅回路であり、アナログSW5~8を介してホール素子1~4のそれぞれから出力された2つの出力信号を差動増幅して、検出信号を出力する。すなわち、差動増幅部11は、ホール素子1から出力された2つの出力信号を差動増幅して、検出信号を出力し、差動増幅部12は、ホール素子2から出力された2つの出力信号を差動増幅して、検出信号を出力する。また、差動増幅部13は、ホール素子3から出力された2つの出力信号を差動増幅して、検出信号を出力し、差動増幅部14は、ホール素子4から出力された2つの出力信号を差動増幅して、検出信号を出力する。合成部17は、上述した検出素子グループG1、G2ごとに互いに対向している2つのホール素子1及び3、又は2及び4から出力される検出信号を合成する。合成部17は、合成した互いに位相の異なる2つの出力信号sinωtcosθ、sinωtsinθを生成する。すなわち、合成部17は、差動増幅部11から出力された検出信号と、差動増幅部13から出力された検出信号とを合成して出力信号sinωtcosθを生成し、生成した出力信号sinωtcosθを信号逓倍部20に供給する。また、合成部17は、差動増幅部12から出力された検出信号と、差動増幅部14から出力された検出信号とを合成して出力信号sinωtsinθを生成し、生成した出力信号sinωtsinθを信号逓倍部20に供給する。合成部17は、差動増幅部15、16を備えている。差動増幅部15は、例えば、差動増幅回路であり、差動増幅部11及び差動増幅部13から出力された2つの検出信号を合成して出力信号sinωtcosθを信号逓倍部20に供給する。差動増幅部16は、例えば、差動増幅回路であり、差動増幅部12及び差動増幅部14から出力された2つの検出信号を合成して出力信号sinωtsinθを信号逓倍部20に供給する。信号逓倍部20は、検出部10から出力された出力信号を周波数逓倍した逓倍信号を生成する。例えば、信号逓倍部20は、検出部10から出力された互いに位相の異なる2つの出力信号sinωtcosθ、sinωtsinθを合成し、合成した合成信号を周波数逓倍した逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φを生成する。信号逓倍部20は、生成した逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φを位置検出部50に供給する。また、信号逓倍部20は、変調信号発生部31から供給される変調信号に応じて検出部10から出力された出力信号を周波数逓倍した逓倍信号を生成することができる。また、信号逓倍部20は、A/Dアナログ/デジタル部21、22、乗算器23~26、及び減算器27を備えている。A/D部21、22は、例えば、アナログデジタル変換器であり、検出部10から出力された出力信号sinωtcosθ、sinωtsinθをアナログ信号からデジタル信号に変換する。すなわち、A/D部21は、差動増幅部15から出力された出力信号sinωtcosθをアナログ信号からデジタル信号に変換し、変換した信号sinωtcosθを乗算器23及び減算器62に供給する。また、A/D部22は、差動増幅部16から出力された出力信号sinωtsinθをアナログ信号からデジタル信号に変換し、変換した信号sinωtsinθを乗算器24及び位相シフタ61に供給する。乗算器25は、後述する正弦波発生部53から供給される信号sinφと、変調信号発生部31から供給される変調信号cos2ωtcosωtとを乗算し、乗算した信号cos2ωtcosωtsinφを乗算器23に供給する。乗算器23は、A/D部21から供給される出力信号sinωtcosθと、乗算器25から供給される信号cos2ωtcosωtsinφとを乗算し、4逓倍された信号1/4sin4ωtcosθsinφを生成する。乗算器23は、生成した4逓倍された信号1/4sin4ωtcosθsinφを減算器27に供給する。乗算器26は、後述する余弦波発生部54から供給される信号cosφと、変調信号発生部31から供給される変調信号cos2ωtcosωtとを乗算し、乗算した信号cos2ωtcosωtcosφを乗算器24に供給する。乗算器24は、A/D部22から供給される出力信号sinωtsinθと、乗算器26から供給される信号cos2ωtcosωtcosφとを乗算し、4逓倍された信号1/4sin4ωtsinθcosφを生成する。乗算器24は、生成した4逓倍された信号1/4sin4ωtsinθcosφを減算器27に供給する。減算器27は、乗算器24から供給された信号1/4sin4ωtsinθcosφを乗算器23から供給された信号1/4sin4ωtcosθsinφにより減算して、4逓倍した逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φを生成する。減算器27は、生成した4逓倍した逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φを位置検出部50に供給する。位置検出部50は、信号逓倍部20によって生成された逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φに基づいて、回転子80の回転角度位置を検出する。位置検出部50は、例えば、参照信号生成部40によって生成された参照信号sin4ωtと、逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φとに基づいて同期検波を行って回転子80の回転角度位置を検出する。すなわち、位置検出部50は、4次の高調波成分sin4ωtをリファレンスとして入力することで、sinθ-φ情報を取り出す。位置検出部50は、この値が0になるように制御を行うこと零位法構成でθ=φとして、回転子80の回転角度位置情報である回転角度検出装置100の出力φを外部に出力する。位置検出部50は、同期検波回路部51と、積分回路部52とを備えている。同期検波回路部51は、参照信号sin4ωtをリファレンスとして、信号逓倍部20の減算器27から供給された4逓倍された逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φに同期検波を行って、sinθ-φ情報を取り出す。同期検波回路部51は、取り出したsinθ-φ情報を積分回路部52に供給する。積分回路部52は、同期検波回路部51から供給されたsinθ-φ情報に含まれる高周波成分を除去し、sinθ-φ情報の値が0になるように制御を行うこと零位法構成で出力φを得る。積分回路部52の出力φは、正弦波発生部53及び乗算器25と、余弦波発生部54及び乗算器26とを介してフィードバックされ、位相同期ループを形成しており、積分回路部52は、ループフィルタとして機能する。ここで、位相同期ループは、正弦波発生部53、乗算器25、23、余弦波発生部54、乗算器26、24、減算器27、及び位置検出部50におけるループが対応する。正弦波発生部53は、積分回路部52の出力φを正弦波に変換した信号sinφを生成し、乗算器25に供給する。余弦波発生部54は、積分回路部52の出力φを正弦波に変換した信号cosφを生成し、乗算器26に供給する。位相シフタ61は、A/D部22から供給された変調された出力信号sinωtsinθの位相を90度シフトさせた信号cosωtsinθを生成する。位相シフタ61は、生成した信号cosωtsinθを減算器62に供給する。減算器62は、A/D部21から供給された変調された出力信号sinωtcosθを、位相シフタ61から供給された信号cosωtsinθにより減算して、信号sinωt-θを生成する。減算器62は、生成した信号sinωt-θをゲイン制御部32に供給する。なお。この信号sinωt-θは、ゲイン制御部32において、駆動信号sinωtの振幅を制御するために用いられる。入出力切り替え信号生成部63は、アナログSW5~8を上述した第1の接続状態と第2の接続状態とに切り替える切り替え信号を生成する。入出力切り替え信号生成部63は、例えば、スイッチングに伴うノイズやレベル変化がシステムに影響しないように、変調周波数ω2πの整数倍の周波数によって、切り替え信号を切り替える。次に、本実施形態における回転角度検出装置100の動作について説明する。なお、図2において、以下のように、ノードA1、ノードA2、ノードB1、ノードB2、ノードC1、ノードC2、及びノードD1を設定し、回転角度検出装置100の動作を説明する。ここで、A/D部21の出力信号線をノードA1とし、A/D部22の出力信号線をノードA2とする。また、乗算器25の出力信号線をノードB1とし、乗算器26の出力信号線をノードB2とする。また、乗算器23の出力信号線をノードC1とし、乗算器24の出力信号線をノードC2とし、減算器27の出力信号線をノードD1とする。まず、回転角度検出装置100における回転子80の回転角度位置の検出処理について説明する。回転角度検出装置100において、変調部30は、変調信号生成部31が変調信号sinωtを生成し、ゲイン制御部32が、変調信号sinωtに基づいて、振幅を制御した駆動信号sinωtをD/A部33に供給する。D/A部33は、ゲイン制御部32から供給されたデジタル信号の駆動信号sinωtをアナログ信号の駆動信号sinωtに変換し、変換した駆動信号sinωtを検出部10のアナログSW5~8に供給する。各アナログSW5~8は、ホール素子1~4にそれぞれ変調された駆動信号を供給する。各ホール素子1~4は、各アナログSW5~8から供給された駆動信号と、磁石70により磁界とに基づいて、回転子80の回転角度位置θに応じた2つの出力信号をそれぞれ出力する。各ホール素子1~4は、この2つの出力信号を各アナログSW5~8を介して各差動増幅部11~14にそれぞれ出力する。差動増幅部11、13は、ホール素子1、3第1の検出素子グループG1が出力した2つの出力信号に基づいて差動増幅を行い生成した検出信号を合成部17の差動増幅部15に供給する。差動増幅部15は、差動増幅部11、13から供給された2つの検出信号を合成し、合成した出力信号sinωtcosθを信号逓倍部20のA/D部21に供給する。また、差動増幅部12、14は、ホール素子2、4第2の検出素子グループG2が出力した2つの出力信号に基づいて差動増幅を行い生成した検出信号を合成部17の差動増幅部16に供給する。差動増幅部16は、差動増幅部12、14から供給された2つの検出信号を合成し、合成した出力信号sinωtsinθを信号逓倍部20のA/D部22に供給する。ここで、出力信号sinωtcosθと出力信号sinωtsinθとは、回転角度位置θに対して、互いに位相の異なる信号である。A/D部21、22は、検出部10から出力された出力信号をアナログ信号からデジタル信号に変換符号化する。ここで、ノードA1及びノードA2における信号は、式1及び式2によって示される。ノードA1における信号=sinωtcosθ1ノードA2における信号=sinωtsinθ2ここで、定数ωは、角周波数を、変数tは時間を、変数θは回転角度位置をそれぞれ示している。また、A/D部21、22は、式1及び式2に示される出力信号を位相同期ループに出力する。すなわち、A/D部21、22は、この2つの出力信号を乗算器23、24に供給する。なお、位相同期ループでは、入力位相θと出力位相φの位相検波信号θ-φを変調周波数の4逓倍の周波数に変換するため、乗算器25、26が、出力位相φと、変調周波数の基本波及び高調波成分とをミキシングした信号を生成する。すなわち、乗算器25、26が出力するノードB1及びノードB2における信号は、式3及び式4によって示される。ノードB1における信号=cos2ωtcosωtsinφ3ノードB2における信号=cos2ωtcosωtcosφ4また、乗算器23、24は、A/D部21、22の出力信号と、乗算器25、26の出力信号とをそれぞれ掛け合わせる。乗算器23、24が出力するノードC1及びノードC2における信号は、式5及び式6によって示される。ノードC1における信号=sinωtcosθ×cos2ωtcosωtsinφ=1/4sin4ωtcosθsinφ5ノードC2における信号=sinωtsinθ×cos2ωtcosωtcosφ=1/4sin4ωtsinθcosφ6次に、減算器27は、乗算器23、24から供給された2つの信号の差動をとることにより、ノードD1に式7に示される信号を出力する。これにより、信号逓倍部20は、位相検波信号θ-φを変調周波数の4逓倍の周波数に変換した逓倍信号を生成し、位置検出部50に供給する。ノードD1における信号=1/4sin4ωtsinθcosφ-1/4sin4ωtcosθsinφ=1/4sin4ωtsinθ-φ7位置検出部50は、信号逓倍部20によって生成された逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φに基づいて、回転子80の回転角度位置を検出する。位置検出部50は、例えば、参照信号生成部40によって生成された参照信号sin4ωtと、逓倍信号1/4sin4ωtsinθ-φとに基づいて同期検波を行って回転子80の回転角度位置を検出する。すなわち、位置検出部50は、4次の高調波成分sin4ωtをリファレンスとして入力することで、sinθ-φ情報を取り出し、この値が0になるように制御を行うこと零位法構成でθ=φとして、回転子80の回転角度位置情報である回転角度検出装置100の出力φを外部に出力する。次に、ゲイン制御部32によるホール素子1~4に供給する駆動信号の振幅制御処理について説明する。位相シフタ61は、A/D部22から供給された出力信号sinωtsinθの位相をシフトさせた信号cosωtsinθを生成し、減算器62に供給する。減算器62は、A/D部21から供給された変調された出力信号sinωtcosθを、位相シフタ61から供給された信号cosωtsinθにより減算して、信号sinωt-θを生成する。減算器62は、生成した信号sinωt-θをゲイン制御部32に供給する。ゲイン制御部32は、例えば、ACディテクションにより信号sinωt-θの振幅情報を評価し、温度変動や外部からの力による機械的変形などによる振幅の変動を打ち消すように、駆動信号sinωtの振幅を制御する。すなわち、ゲイン制御部32は、信号sinωt-θの振幅をモニタすることでその値が予め定められた閾値から外れた場合に、D/A部33の出力であるsinωtの振幅を変化させて入力信号振幅補償を実行する。この結果、回転角度検出装置100は、検出部10に温度変動などの外乱が生じた場合であっても。安定した位置検出を行うことが可能になる。次に、アナログSW5~8によるホール素子1~4の不平衡電圧の低減処理について説明する。ホール素子1~4は、出力端子の非対称性により不平衡電圧オフセット電圧が存在し、この不平衡電圧が温度に変動に伴って変動を起こす場合がある。そこで、本実施形態における回転角度検出装置100は、入出力切り替え信号生成部63が、アナログSW5~8を上述した第1の接続状態と第2の接続状態とに切り替える切り替え信号を生成する。一例として、アナログSW5~8は、入出力切り替え信号生成部63から供給される切り替え信号に基づいて、ホール素子1~4の駆動端子入力端子と出力端子とを切り替える。つまり、アナログSW5~8は、ホール素子1~4の駆動端子入力端子と出力端子とを交互に入れ替えて不平衡電圧を補償する。以上のように、本実施形態における回転角度検出装置100位置検出装置では、変調部30が変調した駆動信号を生成する。また、検出部10は、変調部30によって生成された駆動信号と回転子80の回転角度位置被駆動体の位置とに応じた検出信号を出力するホール素子1~4を有し、変調された出力信号を検出信号に基づいて出力する。信号逓倍部20は、検出部10から出力された出力信号を周波数逓倍4逓倍した逓倍信号を生成する。位置検出部50は、信号逓倍部20によって生成された逓倍信号に基づいて、回転子80の回転角度位置を検出する。これにより、検出部10から出力された出力信号を周波数逓倍した逓倍信号に基づいて、回転子80の回転角度位置を検出するため、本実施形態における回転角度検出装置100は、処理帯域を高く取ることが可能である。そのため、本実施形態における回転角度検出装置100は、周波数逓倍した逓倍信号を用いない場合に比べて、高い周波数特性ダイナミック特性を得ることができる。図3は、本実施形態における回転角度検出装置100の性能比較の一例を示す図である。図3において、表は、回転角度検出装置100のシミュレーション結果と、比較装置1との分解能、ダイナミック特性、及びトラッキングレート回転追従性を一例として示している。図3に示すように、本実施形態における回転角度検出装置100は、比較装置1に比べて、約十倍のダイナミック特性周波数特性、及びトラッキングレート回転追従性を得ることができる。また、回転子80の回転速度に対して回転角度位置の検出の遅延が低減されるため、本実施形態における回転角度検出装置100は、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。また、本実施形態では、変調部30は、検出部10が出力する変調された出力信号の振幅に応じて、ホール素子1~4に供給する駆動信号の振幅を制御するゲイン制御部32を備えている。これにより、検出部10が出力する変調された出力信号の振幅を一定に制御するので、本実施形態における回転角度検出装置100は、温度変動や機械的外乱が入力された場合であっても、回転子80の回転角度位置を正確に検出することができる。また、本実施形態では、検出部10は、互いに位相の異なる2つの出力信号sinωtcosθ、sinωtsinθを出力する。信号逓倍部20は、互いに位相の異なる2つの出力信号を合成し、合成した合成信号を周波数逓倍した逓倍信号を生成する。これにより、互いに位相の異なる2つの出力信号を用いて回転子80の回転角度位置を検出するので、本実施形態における回転角度検出装置100は、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。また、本実施形態では、ホール素子1~4は、駆動信号が供給される駆動端子と、検出信号を出力する出力端子とを有している。検出部10は、駆動端子と出力端子とを切り替えるアナログSW5~8を備えている。これにより、ホール素子1~4の入出力スイッチングを行うことにより、本実施形態における回転角度検出装置100は、ホール素子1~4の不平衡電圧オフセット電圧を低減することが可能である。つまり、本実施形態における回転角度検出装置100は、ホール素子1~4の不平衡電圧オフセット電圧による検出誤差を低減することができる。よって、本実施形態における回転角度検出装置100は、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。また、本実施形態では、検出部10は、少なくとも2つの検出素子グループG1、G2に分けられる複数のホール素子1~4と、検出素子グループG1、G2ごとに互いに対向している2つのホール素子1及び3、2及び4から出力される検出信号を合成して、互いに位相の異なる2つの出力信号を生成する合成部17と、を備える。複数のホール素子1~4は、複数のホール素子1~4のうちの回転子80の回転中心軸を中心として互いに対向している2つのホール素子1及び3、2及び4を有する少なくとも2つの検出素子グループG1、G2に分けられる。対向する2つのホール素子1及び3、2及び4から出力される検出信号を合成するので、検出信号の信号強度を強めることができる。そのため、本実施形態における回転角度検出装置100は、S/N比エスエヌ比を向上させて、高い分解能を得ることができる。また、本実施形態における回転角度検出装置100は、駆動信号の変調成分を周波数逓倍した参照信号を生成する参照信号生成部40を備えている。位置検出部50は、参照信号生成部40によって生成された参照信号と、逓倍信号とに基づいて同期検波を行って回転子80の回転角度位置を検出する。これにより、本実施形態における回転角度検出装置100は、簡易な構成により、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。また、本実施形態における回転角度検出装置100は、変調信号を利用して回転子80の回転角度位置を検出する。すなわち、本実施形態における回転角度検出装置100は、変調方式の工夫や変調周波数帯域をノイズの小さい帯域とすることにより、検出信号のS/N比を大きくとることができる。このS/N比が処理回路のダイナミックレンジを決定するので、本実施形態における回転角度検出装置100は、S/N比を向上させて、高い分解能を得ることができる。また、本実施形態では、信号逓倍部20は、位置検出部50が出力する位相情報φと変調周波数の基本波及び高調波成分とを合成した信号を合成し、合成した信号と互いに位相の異なる2つの出力信号とに基づいて、周波数を逓倍した逓倍信号を生成する。これにより、本実施形態における回転角度検出装置100は、簡易な構成により逓倍信号を生成することができる。なお、本実施形態によれば、回転角度検出装置100は、変調部30が変調した駆動信号を生成する。また、検出部10は、変調部30によって生成された駆動信号と回転子80の回転角度位置被駆動体の位置とに応じた検出信号を出力するホール素子1~4を有し、変調された出力信号を検出信号に基づいて出力する。位置検出部50は、検出部10から出力された出力信号に基づいて、回転子80の回転角度位置を検出する。変調部30は、検出部10が出力する変調された出力信号の振幅に応じて、駆動信号の振幅を制御するゲイン制御部を備える。これにより、検出部10が出力する変調された出力信号の振幅を一定に制御するので、本実施形態における回転角度検出装置100は、温度変動や機械的外乱が入力された場合であっても、回転子80の回転角度位置を正確に検出することができる。よって、本実施形態における回転角度検出装置100は、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。[第2の実施形態]図4は、第2の実施形態による回転角度検出装置100の構成を示す概略ブロック図である。図4において、図2と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。また、実施形態による回転角度検出装置100のホール素子1~4の配置に関する構成は、図1と同様である。図4において、回転角度検出装置100は、検出部10、信号逓倍部20、変調部30a、位置検出部50、正弦波発生部53、余弦波発生部54、位相シフタ61、減算器62、及び入出力切り替え信号生成部63を備えている。また、変調部30aは、変調信号発生部31、ゲイン制御部32、D/A部33、及び反転アンプ34を備えている。本実施形態では、反転アンプ34を備える点が、第1の実施形態における回転角度検出装置100と異なり、その他は同様である。反転アンプ34について説明する。反転アンプ34反転信号生成部は、例えば、反転増幅回路であり、ホール素子1~4に供給する駆動信号を反転増幅した反転駆動信号を生成する。すなわち、反転アンプ34は、D/A部33が供給する駆動信号の反転信号を生成し、生成した反転信号をアナログSW5~8に供給する。本実施形態では、アナログSW5~8は、GND又は仮想GNDの代わりに反転アンプ34が生成した反転駆動信号の信号線が接続され、反転駆動信号がアナログSW5~8に供給される。なお、ホール素子1~4は、駆動信号が供給される第1駆動端子例えばin又はout-と、反転駆動信号が供給される第2駆動端子例えばin-又はoutとを有している。また、ホール素子1~4は、駆動信号と回転子80の回転角度位置とに応じた信号を出力する第1出力端子out又はin及び第2出力端子out-又はin-とを有している。また、検出部10は、第1出力端子の出力信号と、第2出力端子の出力信号とを差動増幅して、検出信号を出力する差動増幅部11~14を備えている。次に、本実施形態における回転角度検出装置100の動作について説明する。本実施形態において、回転角度位置の検出処理、駆動信号の振幅制御処理、及びホール素子1~4の不平衡電圧の低減処理は、第1の実施形態における回転角度検出装置100と同様である。ここでは、反転アンプ34による検出信号のS/N比向上処理について説明する。図5は、本実施形態におけるホール素子1の出力信号強度の一例を示す図である。図5において、グラフの横軸は時間tを示し、縦軸は信号レベル電圧を示している。図5aにおいて、波形W1は、第1の実施形態におけるホール素子1の駆動信号入力信号を示している。すなわち、ホール素子1における駆動信号の電圧幅V1は、駆動信号と仮想GNDレベルとの差分である。この場合、ホール素子1は、電圧幅V1に対応した振幅の出力信号を出力し、差動増幅部11は、ホール素子1の出力信号を差動増幅して、図5bに示すような波形W2の出力信号を出力する。一方、図5cにおいて、波形W3及び波形W4は、本実施形態におけるホール素子1の駆動信号及び反転駆動信号を示している。波形W3は駆動信号に対応し、波形W4は反転アンプ34が生成した反転駆動信号に対応する。すなわち、ホール素子1における駆動信号の電圧幅V2は、駆動信号と反転駆動信号との差分である。この場合、ホール素子1は、電圧幅V2に対応した振幅の出力信号を出力し、差動増幅部11は、ホール素子1の出力信号を差動増幅して、図5dに示すような波形W5の出力信号を出力する。なお、図5bにおける電圧幅V2は、図5aにおける電圧幅V1の約2倍の値になる。そのため、図5dの波形W5の信号振幅L2は、図5bの波形W2の信号振幅L1に比べ、振幅が約2倍大きく、ホール素子1の出力信号強度が強い。ホール素子2~4についても同様である。このように、本実施形態では、駆動信号と反転駆動信号とをホール素子1~4に供給することにより、ホール素子1~4の出力信号強度を強めることができる。これにより、検出信号のS/N比を大きくとることができる。以上のように、本実施形態における回転角度検出装置100は、変調部30aが変調した駆動信号を生成する。また、検出部10は、変調部30aによって生成された駆動信号と回転子80の回転角度位置とに応じた検出信号を出力するホール素子1~4を有し、変調された出力信号を検出信号に基づいて出力する。信号逓倍部20は、検出部10から出力された出力信号を周波数逓倍4逓倍した逓倍信号を生成する。位置検出部50は、信号逓倍部20によって生成された逓倍信号に基づいて、回転子80の回転角度位置を検出する。これにより、本実施形態における回転角度検出装置100は、第1の実施形態と同様に、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。また、本実施形態では、変調部30aは、駆動信号を反転増幅した反転駆動信号を生成する反転アンプ34を備えている。また、ホール素子1~4は、駆動信号が供給される第1駆動端子と、反転駆動信号が供給される第2駆動端子と、駆動信号と回転子80の回転角度位置とに応じた信号を出力する第1出力端子及び第2出力端子とを有している。検出部10は、第1出力端子の出力信号と、第2出力端子の出力信号とを差動増幅して、検出信号を出力する差動増幅部11~14を備えている。これにより、本実施形態における回転角度検出装置100は、検出部10が出力する検出信号のS/N比を大きくすることができるので、第1の実施形態に比べて、高い分解能を得ることができる。[第3の実施形態]図6は、第3の実施形態による回転角度検出装置100の構成を示す概略ブロック図である。図6において、図4と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。また、実施形態による回転角度検出装置100のホール素子1~4の配置に関する構成は、図1と同様である。図6において、回転角度検出装置100は、検出部10、信号逓倍部20a、変調部30b、参照信号生成部40a、位置検出部50、正弦波発生部53a、余弦波発生部54a、及び入出力切り替え信号生成部63を備えている。第1及び第2の実施形態では、周波数を4逓倍した逓倍信号を用いる形態であったが、本実施形態では、周波数を2逓倍した逓倍信号を用いる形態の一例について説明する。変調部30bは、変調した駆動信号を生成し、生成した駆動信号を検出部10のホール素子1~4に供給する。また、変調部30bは、変調信号発生部31a、ゲイン制御部32a、D/A部33A、33B、及び反転アンプ34A、34Bを備えている。変調信号発生部31aは、例えば、シンセサイザなどの信号発生器であり、ホール素子1~4に供給する駆動信号を変調する変調信号を生成する。変調信号発生部31aは、生成した変調信号sinωtをゲイン制御部32aに供給する。また、変調信号発生部31aは、変調信号sin2ωtを生成し、生成した変調信号sin2ωtを乗算器25に供給する。また、変調信号発生部31aは、変調信号cos2ωtを生成し、生成した変調信号cos2ωtを乗算器26に供給する。この変調信号sin2ωt、cos2ωtは、位置検出部50に供給される参照信号を生成するために用いられる。ここで、定数ωは角周波数を示し、変数tは時間を示す。なお、本実施形態では、変調信号発生部31aは、参照信号生成部40aの一部に対応する。参照信号生成部40aの構成については、後述する。ゲイン制御部32a駆動制御部は、変調信号発生部31aから供給された変調信号sinωtと、後述するA/D部22が出力する信号sinωt-θとに基づいて、ホール素子1~4に供給する駆動信号sinωt、cosωtの振幅を制御する。ゲイン制御部32aは、信号sinωt-θの振幅に応じて、駆動信号sinωt、cosωtの振幅を制御する。ここで、変数θは、回転角度位置である。ゲイン制御部32aは、駆動信号として2つの信号sinωt、cosωtを出力する点が異なる点を除き、第1及び第2の実施形態におけるゲイン制御部32と同様である。ゲイン制御部32aは、振幅を制御調整した駆動信号sinωtをD/A部33Aに供給し、振幅を制御調整した駆動信号cosωtをD/A部33Bに供給する。D/A部33A、33Bは、例えば、デジタル/アナログ変換器であり、第1及び第2の実施形態におけるD/A部33と基本的に同様である。D/A部33Aは、ゲイン制御部32aから供給されたデジタル信号の駆動信号sinωtをアナログ信号の駆動信号sinωtに変換し、変換した駆動信号sinωtを反転アンプ34A及び検出部10のアナログSW5、7に供給する。また、D/A部33Bは、ゲイン制御部32aから供給されたデジタル信号の駆動信号cosωtをアナログ信号の駆動信号cosωtに変換し、変換した駆動信号cosωtを反転アンプ34B及び検出部10のアナログSW6、8に供給する。反転アンプ34A、34B反転信号生成部は、例えば、反転増幅回路であり、第2の実施形態におけるD/A部33と基本的に同様である。反転アンプ34A、34Bは、ホール素子1~4に供給する駆動信号を反転増幅した反転駆動信号を生成する。すなわち、反転アンプ34Aは、D/A部33Aが供給する駆動信号の反転信号を生成し、生成した反転信号をアナログSW5、7に供給する。また、反転アンプ34Bは、D/A部33Bが供給する駆動信号の反転信号を生成し、生成した反転信号をアナログSW6、8に供給する。参照信号生成部40aは、ホール素子1~4に供給する駆動信号の変調成分を周波数逓倍した参照信号を生成する。本実施形態では、この参照信号は、信号-cos2ωt-φになる。参照信号生成部40aは、生成した参照信号-cos2ωt-φを位置検出部50の同期検波回路部51に供給する。また、参照信号生成部40aは、変調信号発生部31a、乗算器25、26、及び反転加算器41を備えている。乗算器25は、正弦波発生部53aから供給される信号sin2φと、変調信号発生部31aから供給される変調信号cos2ωtとを乗算し、乗算した信号cos2ωtsin2φを反転加算器41に供給する。乗算器26は、余弦波発生部54aから供給される信号cos2φと、変調信号発生部31aから供給される変調信号cos2ωtとを乗算し、乗算した信号cos2ωtcos2φを反転加算器41に供給する。反転加算器41は、乗算器25から供給された信号cos2ωtsin2φと、乗算器23から供給された信号cos2ωtcos2φとを反転加算して、周波数逓倍した参照信号-cos2ωt-φを生成する。反転加算器41は、参照信号-cos2ωt-φを位置検出部50に供給する。信号逓倍部20aは、検出部10から出力された出力信号を周波数逓倍した逓倍信号を生成する。例えば、信号逓倍部20aは、検出部10から出力された互いに位相の異なる2つの出力信号sinωtcosθ、cosωtsinθを合成し、合成した合成信号を周波数逓倍した逓倍信号1/2sin2θ-φを生成する。信号逓倍部20aは、生成した逓倍信号1/2sin2θ-φを位置検出部50に供給する。また、信号逓倍部20aは、A/D部22、乗算器24、差動増幅部28、及び位相シフタ29を備えている。差動増幅部28は、例えば、差動増幅回路であり、差動増幅部15及び差動増幅部15から出力された2つの検出信号を合成して、合成信号sinωt-θを生成する。差動増幅部28は、合成した合成信号sinωt-θをA/D部22に供給する。A/D部22は、第1及び第2の実施形態におけるA/D部22と同様の機能を有している。A/D部22は、差動増幅部28から供給された合成信号sinωt-θをアナログ信号からデジタル信号に変換し、変換した合成信号sinωt-θを乗算器24及び位相シフタ29に供給する。また、本実施形態では、A/D部22は、変換した合成信号sinωt-θをゲイン制御部32aに供給する。位相シフタ29は、A/D部22から供給された変調された出力信号sinωt-θの位相を90度シフトさせた信号cosωt-θを生成する。位相シフタ29は、生成した信号cosωt-θを乗算器24に供給する。乗算器24は、第1及び第2の実施形態における乗算器24と同様の機能を有している。乗算器24は、A/D部22から供給される合成信号sinωt-θと、位相シフタ29から供給される信号cosωt-θとを乗算し、2逓倍された信号1/2sin2ωt-θを生成する。乗算器24は、生成した2逓倍された信号1/2sin2ωt-θを位置検出部50に供給する。位置検出部50は、第1及び第2の実施形態における位置検出部50と同等の処理を有するが、同期検波に用いる信号が異なる。位置検出部50は、信号逓倍部20aによって生成された逓倍信号1/2sin2ωt-θに基づいて、回転子80の回転角度位置を検出する。位置検出部50は、例えば、参照信号生成部40aによって生成された参照信号-cos2ωt-φと、逓倍信号1/2sin2ωt-θとに基づいて同期検波を行って回転子80の回転角度位置を検出する。すなわち、位置検出部50は、参照信号-cos2ωt-φをリファレンスとして入力することで、sinθ-φ情報を取り出す。位置検出部50は、この値が0になるように制御を行うこと零位法構成でθ=φとして、回転子80の回転角度位置情報である回転角度検出装置100の出力φを外部に出力する。位置検出部50は、同期検波回路部51aと、積分回路部52とを備えている。同期検波回路部51aは、参照信号-cos2ωt-φをリファレンスとして、信号逓倍部20aの減算器27から供給された2逓倍された逓倍信号1/2sin2ωt-θに同期検波を行って、sinθ-φ情報を取り出す。同期検波回路部51aは、取り出したsinθ-φ情報を積分回路部52に供給する。ここで、位相同期ループは、正弦波発生部53a、乗算器25、余弦波発生部54a、乗算器26、反転加算器41、及び位置検出部50aにおけるループが対応する。正弦波発生部53aは、積分回路部52の出力φを正弦波に変換した信号sin2φを生成し、乗算器25に供給する。余弦波発生部54aは、積分回路部52の出力φを正弦波に変換した信号cos2φを生成し、乗算器26に供給する。次に、本実施形態における回転角度検出装置100の動作について説明する。なお、図6において、以下のように、ノードA3、ノードA4、ノードB3、ノードC3、及びノードD3を設定し、回転角度検出装置100の動作を説明する。ここで、差動増幅部15の出力信号線をノードA3とし、差動増幅部16の出力信号線をノードA4とする。また、反転加算器41の出力信号線をノードB3とし、差動増幅部28の出力信号線をノードC3とし、乗算器24の出力信号線をノードD3とする。まず、回転角度検出装置100における回転子80の回転角度位置の検出処理について説明する。本実施形態では、信号逓倍部20aは、検出部10から出力された互いに位相の異なる2つの出力信号sinωtcosθ、cosωtsinθをアナログ信号で合成し、合成した合成信号から2逓倍に周波数逓倍した逓倍信号を生成する。位置検出部50は、2逓倍の逓倍信号に基づいて、回転子80の回転角度位置を検出する。この点が、第1及び第2の実施形態と異なる。以下、信号逓倍部20aの処理を中心に、回転角度位置の検出処理について説明する。検出部10から出力されるノードA3及びノードA4における信号は、式8及び式9によって示される。ノードA3における信号=sinωtcosθ8ノードA4における信号=cosωtsinθ9ここで、定数ωは、角周波数を、変数tは時間を、変数θは回転角度位置をそれぞれ示している。信号逓倍部20aの差動増幅部28は、式8及び式9に示される2つの検出信号を合成して、式10に示される合成信号を生成する。差動増幅部28は、合成した合成信号をA/D部22に供給するノードC3。ノードC3における信号=sinωtcosθ-cosωtsinθ=sinωt-θ10A/D部22は、式10に示される出力信号をアナログ信号からデジタル信号に変換符号化する。A/D部22は、式10を符号化した信号を状残部24及び位相シフタ29に供給する。位相シフタ29は、A/D部22から供給された変調された出力信号の位相を90度シフトさせた信号cosωt-θを生成する。位相シフタ29は、生成した信号cosωt-θを乗算器24に供給する。これにより、乗算器24は、ノードD3において式11に示される2逓倍に周波数逓倍した逓倍信号を出力する。ノードD3における信号=sinωt-θ×cosωt-θ=1/2sin2ωt-θ11このように、本実施形態では、変調された検出信号sinωt-θを位相シフトさせた位相シフト信号cosωt-θと、変調された検出信号sinωt-θとを乗算して、周波数逓倍した逓倍信号を生成する。また、位相同期ループの参照信号生成部40aでは、出力位相φと変調周波数の高調波成分とをミキシングした信号を生成し、式11に示される逓倍信号と位相が90度異なる参照信号を生成する。この参照信号生成部40aが出力するノードB3における参照信号は、式12によって示される。ノードB3における信号=-cos2ωtsin2φ×-sin2ωtcos2φ=-cos2ωt-φ12位置検出部50の同期検波回路部51aは、式11に示される逓倍信号と、式12に示される参照信号とを掛け算することでsinθ-φ情報を取り出す。すなわち、位置検出部50は、この値が0になるように制御を行うこと零位法構成でθ=φとして、回転子80の回転角度位置情報である回転角度検出装置100の出力φを外部に出力する。ゲイン制御部32aによるホール素子1~4に供給する駆動信号の振幅制御処理については、2種類の駆動信号sinωt、cosωtの振幅を制御する点を除いて、第1及び第2の実施形態と同様である。また、アナログSW5~8によるホール素子1~4の不平衡電圧の低減処理については、2つのD/A部33A、33Bを用いる点を除いて、第1及び第2の実施形態と同様である。また、反転アンプ34による検出信号のS/N比向上処理については、2つのD/A部33A、33B及び2つの反転アンプ34A、34Bを用いる点を除いて、第1及び第2の実施形態と同様である。以上のように、本実施形態における回転角度検出装置100位置検出装置は、変調部30aが変調した駆動信号を生成する。また、検出部10は、変調部30aによって生成された駆動信号と回転子80の回転角度位置被駆動体の位置とに応じた検出信号を出力するホール素子1~4を有し、変調された出力信号を検出信号に基づいて出力する。信号逓倍部20aは、検出部10から出力された出力信号を周波数逓倍2逓倍した逓倍信号を生成する。位置検出部50は、信号逓倍部20によって生成された逓倍信号に基づいて、回転子80の回転角度位置を検出する。これにより、本実施形態における回転角度検出装置100は、処理帯域を高く取ることが可能であるため、第1及び第2の実施形態と同様に、周波数逓倍した逓倍信号を用いない場合に比べて、高い周波数特性ダイナミック特性及びトラッキングレート回転追従性を得ることができる。よって、本実施形態における回転角度検出装置100は、第1及び第2の実施形態と同様に、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。また、本実施形態における回転角度検出装置100は、ゲイン制御部32aにより、第1及び第2の実施形態と同様に、温度変動や機械的外乱が入力された場合であっても、回転子80の回転角度位置を正確に検出することができる。また、本実施形態における回転角度検出装置100は、切り替えるアナログSW5~8により、第1及び第2の実施形態と同様に、ホール素子1~4の不平衡電圧オフセット電圧による検出誤差を低減することができる。また、本実施形態における回転角度検出装置100は、2つのD/A部33A、33B及び2つの反転アンプ34A、34Bにより、検出部10が出力する検出信号のS/N比を大きくすることができるので、第2の実施形態と同様に、高い分解能を得ることができる。また、本実施形態では、信号逓倍部20aは、アナログ回路である差動増幅部28により合成信号位相変調信号を生成して、A/D部22によりデジタル信号に変換する。これにより、回転角度検出装置100の分解能は、A/D部22の分解能とこの合成信号における横軸分解能との積でほぼ決定される。このため、本実施形態における回転角度検出装置100は、A/D部22の分解能が低い場合であっても、高い分解能を得ることができる。また、差動増幅部28により合成信号位相変調信号を生成した後に、A/D部22によりデジタル信号に変換するので、A/D部22を1つにすることが可能である。そのため、本実施形態における回転角度検出装置100は、簡易な構成によって、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。また、本実施形態では、信号逓倍部20aは、変調された検出信号sinωt-θを位相シフトさせた位相シフト信号cosωt-θと、変調された検出信号sinωt-θとを乗算して、周波数逓倍した逓倍信号を生成する。これにより、信号逓倍部20aは、簡易な構成により、逓倍信号を生成することができる。また、本実施形態では、参照信号生成部40aは、位置検出部50が出力する位相情報φと、変調周波数の高調波成分とに基づいて、周波数を逓倍した逓倍信号と90度位相の異なる参照信号を生成する。これにより、本実施形態における回転角度検出装置100は、簡易な構成により参照信号を生成することができる。[第4の実施形態]図7は、第4の実施形態による回転角度検出装置100の構成を示す概略ブロック図である。図7において、図6と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。また、実施形態による回転角度検出装置100のホール素子1~4の配置に関する構成は、図1と同様である。図7において、回転角度検出装置100は、検出部10、信号逓倍部20a、変調部30c、参照信号生成部40a、位置検出部50、正弦波発生部53a、余弦波発生部54a、入出力切り替え信号生成部63、及び補正記憶部64を備えている。本実施形態の回転角度検出装置100は、変調部30bの代わりに変調部30cと、補正記憶部64とを備えている点を除いて第3の実施形態と同様である。以下、変調部30c及び補正記憶部64について説明する。変調部30cは、変調した駆動信号を生成し、生成した駆動信号を検出部10のホール素子1~4に供給する。ここで、駆動信号には、第1の検出素子グループG1に供給される第1駆動信号と、異なる第2の検出素子グループG2に供給される第2駆動信号とが含まれる。変調部30cは、変調信号発生部31a、ゲイン制御部32a、D/A部35A、35B、及び反転アンプ34A、34Bを備えている。D/A部35A、35Bは、例えば、デジタル/アナログ変換器であり、第3の実施形態におけるD/A部33A、33Bと異なり、後述する補正記憶部63に記憶されている補正値に基づいて、駆動電圧駆動信号の電圧を補正変更する機能を有している。その他の機能は、D/A部33A、33Bと基本的に同様である。本実施形態では、D/A部35Aが第1駆動信号を出力し、D/A部35Bが第2駆動信号を出力する。なお、本実施形態において、D/A部35A、35Bは、駆動補正部60に対応する。駆動補正部60は、第1の検出素子グループG1の検出信号によって合成された出力信号sinωtcosθの振幅と、第2の検出素子グループG2の検出信号によって合成された出力信号cosωtsinθの振幅とが一致するように、第1駆動信号又は第2駆動信号の駆動電圧を補正する。補正記憶部64記憶部は、例えば、EEPROMElectricallyErasableProgrammableReadOnlyMemoryなどの不揮発性メモリであり、第1駆動信号又は第2駆動信号の駆動電圧を補正する補正値を記憶している。なお、本実施形態では、補正記憶部64は、第1駆動信号及び第2駆動信号の両方の駆動電圧を補正する補正値を記憶している。次に、本実施形態における回転角度検出装置100の動作について説明する。本実施形態における回転角度検出装置100は、駆動補正部60及び補正記憶部64による補正処理を除く動作は、第3の実施形態と同様である。以下、駆動補正部60及び補正記憶部64による補正処理について説明する。駆動補正部60のD/A部35A、35Bは、ゲイン制御部32aから供給される駆動信号をアナログ信号に変換する際に、補正記憶部64から読み出した補正値に基づいて、駆動信号の電圧を補正する。例えば、補正記憶部64から読み出したD/A部35A用の補正値が1.1である場合、D/A部35Aは、1.1倍の係数をかけて、アナログ信号に変換した第1駆動信号を出力する。また、D/A部35B用の補正値が1.0である場合、D/A部35Bは、1.0倍の係数をかけて、アナログ信号に変換した第2駆動信号を出力する。この場合、第1駆動信号の駆動電圧と第2駆動信号の駆動電圧とに差を付けることにより、出力信号sinωtcosθの振幅と、出力信号cosωtsinθの振幅とが一致するように補正する。なお、補正記憶部64に記憶されている補正値は、以下のように、校正装置200によって記憶される。校正装置100は、回転角度検出装置100の出荷検査、又は校正作業が行われる際に回転角度検出装置100に接続される。校正装置200は、検出部10の出力信号である、ノードA3及びノードA4の信号を検出し、この2つの信号の振幅が一致するように、D/A部35A、35Bの補正値を算出する。校正装置200は、算出した補正値を補正記憶部64に記憶させる。このように、校正装置200は、第1の検出素子グループG1の検出信号によって合成された出力信号の振幅と、第2の検出素子グループG2の検出信号によって合成された出力信号の振幅とが一致するように補正値を算出し、算出した補正値を補正記憶部64に記憶させる。以上のように、本実施形態による回転角度検出装置100は、第3の実施形態と同様に、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。さらに、本実施形態では、駆動信号には、少なくとも2つ検出素子グループうちの第1の検出素子グループG1に供給される第1駆動信号と、第1の検出素子グループG1とは異なる第2の検出素子グループG2に供給される第2駆動信号とが含まれる。変調部30cは、第1駆動信号又は第2駆動信号の駆動電圧を補正する駆動補正部60を備えている。駆動補正部60は、第1の検出素子グループG1の検出信号によって合成された出力信号の振幅と、第2の検出素子グループG2の検出信号によって合成された出力信号の振幅とが一致するように、第1駆動信号又は第2駆動信号の駆動電圧を補正する。これにより、本実施形態による回転角度検出装置100は、駆動信号の出力側を補正するので、簡易な校正方法により、校正することができる。このため、本実施形態による回転角度検出装置100は、回転子80の回転角度位置を高精度に検出することができる。また、本実施形態による回転角度検出装置100は、第1駆動信号又は第2駆動信号の駆動電圧を補正する補正値を記憶している補正記憶部64を備えている。駆動補正部60は、補正記憶部64に記憶されている補正値に基づいて、第1駆動信号又は第2駆動信号の駆動電圧を補正する。これにより、本実施形態による回転角度検出装置100は、経時変化や部品交換により、検出部10の検出特性が変化した場合に、補正記憶部64に記憶されている補正値を変更することにより、容易に対応することができる。[第5の実施形態]次に、上述の実施形態における回転角度検出装置100位置検出装置を備える駆動装置モータ装置、アクチュエータについて説明する。図8は、本実施形態における駆動装置DRの概略図である。本実施形態における駆動装置DRは、入力軸IAXを回転させるモータMTRと、入力軸IAX回転子80に設けられた回転角度検出装置100と、を備える。すなわち、駆動装置DRは、回転角度検出装置100と、入力軸IAX被駆動体を駆動するモータMTR駆動部と、を備えている。回転角度検出装置100は、入力軸IAX被駆動体の回転位置角度位置を検出し、駆動装置DRを制御する上位のコントローラに対して回転位置を含む情報をエンコーダ信号として出力する。上位のコントローラは、回転角度検出装置100から受信したエンコーダ信号をもとに、駆動装置DRを制御する。本実施形態における回転角度検出装置100は回転位置を高精度に検出することができるため、本実施形態における駆動装置DRはモータMTRの入力軸IAXを高精度に位置制御することができる。なお、本実施形態における駆動装置DRは、図9に示すように、モータMTRの入力軸IAXに減速機RG例、遊星歯車式機構を設ける構成としてもよい。この場合、本実施形態における回転角度検出装置100は、その減速機RGの出力軸OAXに配置するようにしてもよいし、モータMTRの入力軸IAXと減速機RGの出力軸OAXとの両方に配置するようにしてもよい。なお、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。上記の各実施形態において、位置検出装置の一例として、回転角度検出装置100に適用する形態を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、回転角度検出装置100は、エンコーダ装置でもよいし、レゾルバ装置でもよい。また、エンコーダ装置は、ロータリ式のエンコーダ装置に限定されず、リニア式のエンコーダ装置に適用する形態でもよい。また、上記の実施形態において、回転角度検出装置100は、2逓倍と4逓倍の逓倍信号を用いる形態について説明したが、これに限定されるものではない。3逓倍、8逓倍などの他の逓倍数の逓倍信号を用いる形態でもよい。また、上記の各実施形態において、信号逓倍部2020aは、所定の逓倍数の逓倍信号が生成できる構成であれば他の形態でもよい。また、上記の各実施形態において、回転角度検出装置100は、検出素子としてホール素子を有する形態を説明したが、他の検出素子を有する形態でもよい。また、回転角度検出装置100は、ホール素子を4個備える形態を説明したが、2個や4個以上の個数を備える形態でもよい。回転角度検出装置100は、磁気式に限定されるものではなく、光学式のセンサーを備える光検出式や、磁気式と光検出式との両方を備える形態でもよい。また、上記の各実施形態において、変調信号の変調周波数ω2πは、任意の値を取ることができるが、S/N比の劣化を防ぐため、回転角度検出装置100が処理回路の1/fノイズの影響を受けないような周波数例えば2kHz以上を用いる形態でもよい。また、上記の各実施形態において、回転角度検出装置100の各部は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、メモリ及びCPUCentralProcessingUnitを備えて、プログラムによって実現されてもよい。上述の回転角度検出装置100は内部に、コンピュータシステムを有している。そして、上述した回転角度検出装置100の処理過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、CD-ROM、DVD-ROM、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしてもよい。"