短手方向と長手方向の長さの比が1:10以上の細線状開口部を有する印刷用マスクであって、印刷パターンの領域外に、張力緩衝用の開口部が設けられていることを特徴とする印刷用マスク。前記張力緩衝用の開口部が、細線状開口部の長手方向に破線状に2本以上配列されていることを特徴とする請求項1記載の印刷用マスク。前記張力緩衝用の開口部が、細線状開口部の長手方向に破線状に2本以上配列されている場合において、これらの上下端が千鳥状にずれて配列されていることを特徴とする請求項2記載の印刷用マスク。前記破線状の張力緩衝用のX ́方向の間隔が、0.05mm以上5.0mm以下であることを特徴とする請求項2又は3何れか記載の印刷用マスク。前記破線状の張力緩衝用開口部を構成する小開口同士のY ́方向の間隔が、1mm以上10mm以下であることを特徴とする、請求項2乃至4何れか記載の印刷用マスク。前記破線状の張力緩衝用開口部を構成する小開口のY ́方向の長さが、5mm以上30mm以下であることを特徴とする請求項2乃至5何れか記載の印刷用マスク。前記張力緩衝用開口部のX ́方向の長さが、0.05mm以上10mm以下であることを特徴とする請求項1乃至6何れか記載の印刷用マスク。前記張力緩衝用開口部と印刷パターンとがX ́方向に10mm以上離れていることを特徴とする請求項1乃至7何れか記載の印刷用マスク。前記張力緩衝用の開口部のY ́方向の長さが、隣接する印刷パターンの辺の長さの0.5倍以上1.5倍以下であることを特徴とする請求項1乃至8何れか記載の印刷用マスク。印刷用マスクの、基板に接触する面の印刷パターン外の領域に印刷用マスク保持用のスペーサーが設けられていることを特徴とする請求項1乃至9何れか記載の印刷用マスク。スクリーンメッシュを介してスクリーン枠に印刷用マスクを張設した印刷用マスク枠結合体の製造方法であって、枠内に、X方向とY方向の張力の比が1:1.5以上1:2.8以下となる状態にてスクリーンメッシュを張設する工程、請求項1乃至10何れか記載の印刷用マスクにつき、当該印刷用マスクの細線状開口部の長手方向が略Y方向となる状態にて、当該印刷用マスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、前記印刷用マスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除する工程、を有することを特徴とする印刷用マスク枠結合体の製造方法。スクリーンメッシュを介してスクリーン枠に、請求項1乃至10何れか記載の印刷用マスクを、当該印刷用マスクの細線状開口部の長手方向が略Y方向となる状態にて張設した印刷用マスク枠結合体であって、当該印刷用マスクにおけるX方向とY方向の張力の比が1:1.3以上1:2.3以下であることを特徴とする印刷用マスク枠結合体スクリーンメッシュを介してスクリーン枠に印刷用マスクを張設した印刷用マスク枠結合体の製造方法であって、枠内に、X方向とY方向の張力の比が1:1.5以上1:2.8以下となる状態にてスクリーンメッシュを張設する工程、請求項1乃至9何れか記載の印刷用マスクを、当該印刷用マスクの細線状開口部の長手方向が略Y方向となる状態にて、当該印刷用マスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、前記印刷用マスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除する工程、印刷用マスクの基板接触面に印刷用マスク保持用のスペーサーを設ける工程、を有することを特徴とする印刷用マスク枠結合体の製造方法。スクリーンメッシュを介してスクリーン枠に請求項1乃至9何れか記載の印刷用マスクを、その細線状開口部の長手方向が略Y方向となる状態にて張設した印刷用マスク枠結合体であって、当該印刷用マスクにおけるX方向とY方向の張力の比が1:1.3以上1:2.3以下であり、印刷用マスクの基板接触面の、基板接触部分以外の領域に印刷用マスク保持用のスペーサーを設けられていることを特徴とする印刷用マスク枠結合体。太陽電池用基板の電極を製造するためのものであることを特徴とする請求項12又は14何れか記載の印刷用マスク枠結合体。請求項15記載の印刷用マスク枠結合体を用いて製造されたことを特徴とする太陽電池セル。本発明は、印刷ペーストの転写性を犠牲にすることなく、細線状開口部を有する場合においても張力による細線状開口部の形状の変形が少ない印刷用マスク及び印刷用マスク枠結合体及びこれらにより作製された太陽電池セルを得るという課題を解決することを目的とするものである。本発明における請求項1記載の印刷用マスクは、短手方向と長手方向の長さの比が1:10以上の細線状開口部を有する印刷用マスクであって、印刷パターンの領域外に、張力緩衝用の開口部が設けられていることを特徴とする印刷用マスクであり、また、請求項2記載の印刷用マスクは、前記張力緩衝用の開口部が、細線状開口部の長手方向に破線状に2本以上配列されていることを特徴とする請求項1記載の印刷用マスクであり、また、請求項3記載の印刷用マスクは、前記張力緩衝用の開口部が、細線状開口部の長手方向に破線状に2本以上配列されている場合において、これらの上下端が千鳥状にずれて配列されていることを特徴とする請求項2記載の印刷用マスクであり、また、請求項4記載の印刷用マスクは、前記破線状の張力緩衝用の開口部のX ́方向の間隔が、0.05mm以上5.0mm以下であることを特徴とする請求項2又は3何れか記載の印刷用マスクであり、また、請求項5記載の印刷用マスクは、前記破線状の張力緩衝用開口部を構成する小開口同士のY ́方向の間隔が、1mm以上10mm以下であることを特徴とする、請求項2乃至4何れか記載の印刷用マスクであり、また、請求項6記載の印刷用マスクは、前記破線状の張力緩衝用開口部を構成する小開口のY ́方向の長さが、5mm以上30mm以下であることを特徴とする請求項2乃至5何れか記載の印刷用マスクであり、また、請求項7記載の印刷用マスクは、前記張力緩衝用開口部のX ́方向の長さが、0.05mm以上10mm以下であることを特徴とする請求項1乃至6何れか記載の印刷用マスクであり、また、請求項8記載の印刷用マスクは、前記張力緩衝用開口部と印刷パターンとがX ́方向に10mm以上離れていることを特徴とする請求項1乃至7何れか記載の印刷用マスクであり、また、請求項9記載の印刷用マスクは、前記張力緩衝用の開口部のY ́方向の長さが、隣接する印刷パターンの辺の長さの0.5倍以上1.5倍以下であることを特徴とする請求項1乃至8何れか記載の印刷用マスクであり、また、請求項10記載の印刷用マスクは、印刷用マスクの、基板に接触する面の印刷パターン外の領域に印刷用マスク保持用のスペーサーが設けられていることを特徴とする請求項1乃至9何れか記載の印刷用マスクであり、また、請求項11記載の印刷用マスク枠結合体の製造方法は、スクリーンメッシュを介してスクリーン枠に印刷用マスクを張設した印刷用マスク枠結合体の製造方法であって、枠内に、X方向とY方向の張力の比が1:1.5以上1:2.8以下となる状態にてスクリーンメッシュを張設する工程、請求項1乃至10何れか記載の印刷用マスクにつき、当該印刷用マスクの細線状開口部の長手方向が略Y方向となる状態にて、当該印刷用マスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、前記印刷用マスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除する工程、を有することを特徴とする印刷用マスク枠結合体の製造方法であり、また、請求項12記載の印刷用マスク枠結合体は、スクリーンメッシュを介してスクリーン枠に、請求項1乃至10何れか記載の印刷用マスクを、その細線状開口部の長手方向が略Y方向となる状態にて張設した印刷用マスク枠結合体であって、当該印刷用マスクにおけるX方向とY方向の張力の比が1:1.3以上1:2.3以下であることを特徴とする印刷用マスク枠結合体であり、また、請求項13記載の印刷用マスク枠結合体の製造方法は、スクリーンメッシュを介してスクリーン枠に印刷用マスクを張設した印刷用マスク枠結合体の製造方法であって、枠内に、X方向とY方向の張力の比が1:1.5以上1:2.8以下となる状態にてスクリーンメッシュを張設する工程、請求項1乃至9何れか記載の印刷用マスクを、当該印刷用マスクの細線状開口部の長手方向が略Y方向となる状態にて、当該印刷用マスク周辺部を前記スクリーンメッシュに固着する工程、前記印刷用マスク固着部の内側部分の前記スクリーンメッシュを切除する工程、印刷用マスクの基板接触面に印刷用マスク保持用のスペーサーを設ける工程、を有することを特徴とする印刷用マスク枠結合体の製造方法であり、また、請求項14記載の印刷用マスク枠結合体は、スクリーンメッシュを介してスクリーン枠に請求項1乃至9何れか記載の印刷用マスクを、細線状開口部の長手方向が略Y方向となる状態にて張設した印刷用マスク枠結合体であって、当該印刷用マスクにおけるX方向とY方向の張力の比が1:1.3以上1:2.3以下であり、印刷用マスクの基板接触面の、基板接触部分以外の領域に印刷用マスク保持用のスペーサーを設けられていることを特徴とする印刷用マスク枠結合体であり、また、請求項15記載の印刷用マスク枠結合体は、太陽電池用基板の電極を製造するためのものであることを特徴とする請求項12又は14何れか記載の印刷用マスク枠結合体であり、また、請求項16記載の印刷用マスク枠結合体は、請求項15記載の印刷用マスク枠結合体を用いて製造されたことを特徴とする太陽電池セルである。上記印刷用マスクは、太陽電池用基板の電極を始めとした細線状の電極を製造するための印刷用マスク枠結合体に使用される場合に特に有効である。上記製造方法は、太陽電池用基板の電極を始めとした細線状の電極を製造するための印刷用マスク枠結合体の製造において特に有効である。さらに、当該印刷用マスク枠結合体は太陽電池用基板の電極を始めとした、細線状の電極を製造するためのものである場合に特に有効である。本発明により製造された印刷用マスク枠結合体によれば、開口部内に架橋が存在せず、かつ張設時の開口部の形状の変形が少なく、さらに印刷時の開口部の変形も少ないため、高精度のペースト印刷が可能となる。添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について以下に説明する。従来の異方張力マスク版は、それまでスクリーンメッシュの張力はできるだけ等方的に±5以内なるようにするのが望ましいとされ、当該範囲内となるように留意して製造が行なわれていたのに対し、細線状開口部を有する印刷用マスクにおいて、あえて張力の異方性を設けることにより、架橋を設けることなく問題が解決しうることを見出したものであった。ここで、スクリーン枠の製造時において張力を調整する手法としては、スクリーンメッシュの4辺をクランプして牽引する方法が一般的であるが、これに限られるものではない。また、スクリーンメッシュの張力の比は、1:3程度が上限であると考えられる。これを超える高比率を与えようとすると、X方向の張力を一定にし、Y方向の張力を強く調整した場合にはスクリーンメッシュの破断がおき、Y方向の張力を一定にし、X方向の張力を弱くした場合には、印刷後に印刷用マスク枠結合体を基板から剥がす際に不具合が起きるので好ましくない。なお、スクリーンメッシュのX方向とY方向の張力の比は1:1.5以上で効果が得られるが、1:2以上1:2.8以下であればさらに望ましい。また、完成後の印刷用マスク枠結合体の印刷用マスク面上における張力比に着目した場合には、1:1.3以上で効果が得られるが、1:1.5以上1:2.3以下であればさらに望ましい。これ未満であるときは細線状開口部の変形が大きくなり、ペーストの細線の形状不良を起こしやすくなり、これより大きい場合は、前記の通り、印刷後の版離れが悪くなる恐れがあるからである。しかしながら、このような張力の異方性だけでは、印刷用マスクにかかる張力によるX方向の変形を完全には抑えきれず、印刷パターンの両端付近の開口部のX方向への変形を生じていたのは前記の通りである。これに対し、本発明に係る印刷用マスクは、印刷用マスク内部にあえて印刷に供しない開口部を設け、これに張力を緩衝する機能を持たせ、ここにX方向の張力を吸収させることで、スクリーンメッシュのテンションによる開口部のX方向への変形をほぼ完全に解消することができるものである。また、基板接触面に印刷用マスク保持用スペーサーを設けることで、印刷時の印刷用マスクの基板密着性を向上させた。この張力緩衝用の開口部の形態には様々なものがある。図1に効果的な開口部の形態を例示する。例えば、一本線の細長いスリット状の開口a、短い開口が破線状に配列された開口パターンbなどが挙げられる。その他、円形や多角形などの小開口を配列することにより、全体として一体のパターンを形成する方式が考えられるが、いずれにしても、そのパターンはY ́方向を向く細長い形状であることが好ましい。ここで、印刷用マスクに単体おける細線状開口部の長手方向をY ́方向、短手方向をX ́方向と称し、スクリーン枠等におけるX方向、Y方向と区別する即ち、印刷用マスク枠結合体においては、XとX ́、YとY ́はそれぞれ略同じ方向を向くことになる。。以下場合に応じて同様な表記をする。ここで、張力緩衝用開口部が前記スリッド状開口の場合、その効果を有効に発揮するという意味で、その幅は0.05mm以上10mm以下が好ましく、0.10mm以上1.0mm以下がさらに好ましい。太すぎると、これにより印刷用マスクの形状が不安定になるため、印刷用マスクをスクリーンに固着する際に不測の変形を起こし易くなるので好ましくない。また、貼付後も、開口部の長手方向の中央近傍が捲れやすくなるため、張力緩衝効果が落ちると言う問題がある。ここで、張力緩衝用開口部を太くせずに効果を増すためには、張力緩衝用の開口部を一本に限らず、間隔をあけて複数本横に並べると良い。この場合、張力緩衝用開口部同士のX ́方向の間隔図2の23参照は、狭いほど張力を吸収し易くなるため、その緩衝効果が高まる傾向にある。具体的には0.05mm以上5.0mm以下であると好ましく、0.05mm以上1.0mm以下であるとさらに好ましい。ここで、0.05mm未満の場合、間隔が狭すぎて、これらを隔離する部分が破断しやすくなるという問題がある。また、張力緩衝用開口部の位置は、張力によるこれの変形の影響を、細線状開口部に与えないように、印刷パターンから離して設けると効果的である。この場合、10mm以上離すと好ましく、20mm以上であることがさらに好ましい。ここで、この距離は、印刷パターンの端の細線状開口部と、これに隣接する張力緩衝用開口部の、X ́方向の最短距離であると定める図5の511参照。一方、破線状に配列する場合を図2に示す。この破線を複数本設けるならば、隣接する破線の上下端の位置は一致させるよりも、ずらした方が効果的である。これは、上下端の位置を一致させた場合a、破線を構成する開口以下小開口というの間の空間部分は開口がなく、印刷用マスクの素材が存在するので、張力を緩衝しないため、全体として張力の緩衝効果が小開口のある部分とない部分と異なり、X ́方向のバランスが悪くなる反面、在る程度ずらした場合b、X ́方向に小開口部と空間部が入れ替わるため、バランス良く張力を緩衝するためである。このとき、ずらす量としては小開口一つ分以下の長さで、略周期的な千鳥状にずらすとより効果的である。bは隣接する破線を、上下端の位置をずらして配列した場合を現したものである。なお、図では一例として破線が3本の場合を挙げたが、実施形態としてはこれに限られるものではなく、2本以上であるとき、効果を発揮しうる。前記小開口のY ́方向の長さは、短すぎると張力による変形を起こしにくくなり効果が少なくなるため、5mm以上30mm以下であることが好ましく、10mm以上30mm以下であるとさらに好ましい。また、小開口同士のY ́方向の間隔は、張力緩衝効果を有効に発揮するためには、1mm以上10mm以下が好ましい。一方、X ́方向の幅は、前記の通り、0.05mm以上10mm以下であることが好ましく、0.1mm以上1.0mm以下である場合さらに好ましい。また、破線同士のX ́方向の間隔は前記の通り、狭いほうが張力緩衝効果を発揮しやすい。ここで、前記いずれの張力緩衝開口部の形態をとったとしても、その全長は、有効に張力緩衝効果を示すと言う意味で、これと平行する印刷パターンの辺の長さの0.5倍以上1.5倍以下であるのが好ましい。0.5倍以下のときは、張力を受けたときの張力緩衝用開口部が変形し難くなるため、効果は少なくなる。また、印刷パターンの辺の長さと略同じ長さ、具体的には0.9乃至1.1倍であることが特に好ましい。また、印刷用マスクの印刷面のうち、基板に接しない部分に印刷用マスク保持用のスペーサーを設けることで、印刷時に印刷用マスクが基板の段差に追従して変形することによる細線状開口部の変形を解消することができる。図3に、印刷用マスク保持用スペーサーがない場合aと、設けられている場合bの印刷時の印刷用マスクの変形の様子を示した。aでは、スキージの圧力により、印刷用マスクが基板端部により変形することで、印刷パターンの端が基板から浮いている。このまま印刷をすれば、印刷パターンの端付近の細線状開口部で印刷されたペースト細線は、その裾野が滲んだ形状になってしまうが36、bではスペーサーが支柱となり、印刷用マスクの変形を発生させていない。これにより印刷されたペースト細線は、印刷パターンの端であっても、その内部と同様に、裾野のにじみの無い綺麗な矩形を保つ37。このスペーサーは、様々な方法で形成できる。例えば、基板相当の厚さの板を、基板接触部分外に貼付することが考えられる。この際、当該板は張力緩衝用開口部の機能が損なわれないように、これを塞がないようなサイズや配置にする必要がある。貼付の方法は、工程の簡略化を図るのであれば、接着剤による貼付、堅牢さを重視するのであれば、メッキ法を用いると効果的である。これは接着剤で板を貼付した印刷用マスクに対し、メッキによりメッキ皮膜を形成して板をコーティングする。これは後述する、印刷用マスクをメッキ法で作製する場合に特に有効である。すなわち、印刷パターン部の板厚が所望の厚さに形成される直前でメッキを一旦停止し、所望の箇所に前記の板を貼付し、これに対してさらにメッキを行なうことで、印刷用マスク上に堅牢にスペーサーを形成できる。この場合、板は金属片を用いる必要があり、さらに電気メッキの場合には、導電性の接着剤を使用するなどの手段により、当該金属片と印刷用マスク表面が電気的な導通が得られるように接着する必要がある。また、メッキ被膜そのものをスペーサーとするとさらに堅牢にすることができる。これは、印刷用マスク作製後、フォトリソグラフィにより、印刷用マスク表面において、スペーサーを設置したい部分だけがメッキされるように加工して、メッキによりメッキ被膜を当該部分に形成する方法である。これも特に、メッキ法で印刷用マスクを作製する場合に効果的な方法である。一方、工程を簡略化したい場合は、印刷用マスクをスクリーン版に固着して、固着した内部のメッシュを切除した後に、基板接触面の、基板接触部以外の部分にスペーサーを設ける方法がある。このとき、スペーサーの素材として、厚手のテープを貼付しても、十分な効果が得られる。この場合、既に印刷用マスクはスクリーン版に張設されている状態なので、張力緩衝用の開口部を塞いでしまっても問題はない。ここで、スペーサーの厚さは基板と同じ程度であることが好ましい。例えば、基板が太陽電池の電極を印刷するウエファーである場合には、一般に100以上150μm以下であることが好ましい。図4にスペーサーの形態を例示列挙した。aは板を貼付したもの、bは板を貼付後メッキで印刷用マスクに固着したもの、cはメッキ法で印刷用マスクと一体に形成したもの、dは印刷用マスク枠結合体作製後、テープを貼付したものである。なお、印刷用マスクの製造方法は、例えばエッチング法、メッキ法、レーザー加工法、ドリル加工等の機械加工法等が挙げられる。また、その素材は、ニッケル、ステンレス、アルミニウムなどの金属、ポリイミドなどの樹脂、または前記金属類と樹脂類の複合構造などが挙げられるが、選択する加工法により適した素材を選ぶべきである。このようにして得られた印刷用マスクを異方張力マスク版の印刷用マスク部材として使用することで、従前の異方張力マスク版を上回る印刷性能を有する印刷用マスク枠結合体を製造することができる。これにより、短手方向と長手方向の長さの比以下、場合により縦横比という。が1:10以上の細線状開口部を有する印刷用マスクを有するコンビネーション版を得ることが可能となった。縦横比が1:500、さらには1:1500を超える細線状開口部を有する印刷用マスクを用いる場合には、さらに顕著に効果が現れる。なお、以上に言う短手方向と長手方向の長さの比が1:10以上の細線状開口部とは、架橋がなされていない縦横比1:10以上の開口部はもちろん、架橋部間、または架橋部と辺の間の開口部、換言すれば架橋部の無い部分の開口部の縦横比が1:10以上である場合を含む。このとき、印刷用マスク上の開口部が全てこの範囲の細線状開口部である必要はない。また、全ての細線状開口部のY ́方向がY方向を向いていることも必須ではない。すなわち、細線状開口部を有し、かつ主要な細線状開口部のY ́方向がY方向ないしY方向に近い方向を向いていればよい。上記において略Y方向と記載されているのはその趣旨である。なお、以上の様に印刷用マスク枠結合体作製し、そのまま印刷をすると、ペーストが張力緩衝用開口部に入り、印刷面に回りこむおそれがある。これは、張力緩衝用開口部をテープで塞ぐことで簡単に防ぐことができ、また製品としても見栄えが良くなる。このとき、当該テープは、前記の印刷用マスク保持用スペーサーを兼ねてもよい。実施例1以下、本発明の実施例について具体的に説明する。本発明の印刷用マスク、印刷用マスク枠結合体およびその製造方法の一例を図5に示す。印刷用マスク枠結合体516の作製には、スクリーンメッシュ53の張力比を、X:Y=1:2に設定してスクリーンメッシュ53を枠52に張設したスクリーン枠51を使用し、印刷用マスク55の開口部56、57、58のY ́方向をスクリーン枠のY方向と略同一方向に向くように固着したc。スクリーン枠51のサイズはX方向が350mm、Y方向が350mmである。このときスクリーン枠測定用のテンションゲージSTG-75、プロテック社製。以下、テンションゲージ1というの測定値は、枠のX方向が2.0mm、Y方向が1.0mmであり、張力比はX:Yが1:2であった。なお、今回用いたテンションゲージを含む一般のテンションゲージは、スクリーンメッシュ上に錘を戴置し、当該錘の沈み込み量を計測するものであるため、計測値の単位系はmmであり、テンション張力が大きいほど0に近くなる。ここで、本発明における張力の比ないし張力比とは、当該計測値の逆数の比である。また、本発明において、テンションゲージ1はスクリーン枠の面の中央近傍に載置して張力を測定した。ここで、印刷用マスク55のサイズは260mm×260mm、厚みは0.05mmで、ニッケルの電気メッキにより作製したa。印刷用マスク55の開口部の形状は、X ́方向が0.04mm、Y ́方向が38mmの長さの細線状開口部56縦横比1:475と、74mmの長さの細線状開口部57縦横比1:925と、38mmの長さの細線状開口部58縦横比1:475を、X ́方向に2.3mm間隔で67本配列した。また、細線状開口部56、57、58の間のY ́方向の間隔は2mmである。また、Y ́方向を軸とした印刷用マスク左右両端と印刷パターンの間の領域に張力緩衝用の開口部を設けてある。張力緩衝用の開口部は、破線状であり、小開口一つの長さは15mm、幅は0.10mm、そのY ́方向の間隔は7mmであり、破線はX ́方向に1mm間隔で3本、その上下端をずらして千鳥状に配列した510。印刷用パターンの左又は右端の開口部と、これと隣接する張力緩衝用開口部の距離以下これを単に印刷パターンと張力緩衝用開口部の距離と言う511は、10mmであった。また、印刷用マスク枠結合体516には、基板接触部以外の部分に印刷用マスク保持用スペーサー515が設けられている。当該スペーサーは、印刷用マスクをスクリーン版に固着後、樹脂製の補強テープを貼付したものであり、このスペーサーの厚さは約100μmである。スクリーン枠51に印刷用マスク55を固着し、固着内部のスクリーンメッシュを切除したc。印刷用マスク周辺のスクリーンメッシュ部に補強テープ513を貼り、当該テープを貼り付けた裏面に接着剤を塗布して補強し、印刷用マスク枠結合体516を得るd。完成後の印刷用マスク枠結合体の印刷用マスク面上における張力を印刷用マスク版測定用のテンションゲージプロテック社製MTG-08A。以下テンションゲージ2というで測定したところ、X方向が1.05mm、Y方向が0.7mmであり、張力比はX:Yが1:1.5であった。ここで、本発明においてテンションゲージ2は印刷用マスク枠結合体の印刷用マスク面の中央近傍に載置して張力を測定した。この印刷用マスク枠結合体の細線状開口部寸法を測定したところ、張設による細線状開口部寸法の変化量は最大で0.007mmであることが確認された。この様にして作製した印刷用マスク枠結合体を用いて、印刷試験を行った。当該試験は、手刷り印刷機の金属スキージを用いて、160mm×160mmのサイズのシリコンウエファー上に銀ペーストを印刷した。ここで、印刷方向は細線状開口部の長手方向に対して平行になるように実施した。結果としては、充填不足による銀ペーストの印刷細線の割れ、欠けなどなく、断面形状が矩形をした良好な印刷結果が得られた。拡大観察では、表面に凹凸がなく、平坦であることが確認された。印刷パターン内に印刷されたペースト細線の幅を測定したところ、その幅の差は最大0.010mmであることが確認された。また、ペースト細線の断面はその殆どが矩形をしており、裾野の滲みは見られなかった。ここで、ペースト細線の測定及び観察は、図6の様にその中心近傍について行なった。実施例2実施例1で用いたものと同じ仕様のスクリーン枠に対し、実施例1と同じ製造方法で破線状の張力緩衝用の開口部を形成した印刷用マスクを固着して印刷用マスク枠結合体を作製した。ここで、本実施例における印刷用マスクは、破線のX ́方向の間隔が0.5mmである以外は実施例1のものと同様である。この印刷用マスク枠結合体の細線状開口部寸法を測定したところ、張設による細線状開口部寸法の変化量の最大値は0.007mmであった。実施例3さらに、破線のX ́方向の間隔が0.2mmである以外は実施例1のものと同仕様の印刷用マスクを使い、前記と同様の印刷用マスク枠結合体を作製したところ、張設による細線状開口部寸法の変化量の最大値は0.003mmであった。これから、破線の間隔を狭めることで張力緩衝効果が増すことが分かる。実施例4次に、印刷パターンと張力緩衝用開口部の距離を20mmにした以外は、実施例1と同様である印刷用マスク枠結合体を作製したところ、張設による細線状開口部寸法の最大値は0.003mmであった。実施例5また、印刷パターンと張力緩衝用開口部の距離を30mmにした以外は、実施例1と同様である印刷用マスク枠結合体を作製したところ、張設による細線状開口部寸法の最大値は0.002mmであった。実施例6実施例1の印刷用マスクにおいて、印刷パターンと張力緩衝用開口部の距離を30mmにし、破線の本数を3本から5本に増やし、さらに破線間のX ́方向の間隔を0.5mmにした印刷用マスクを用いて実施例1同様の印刷用マスク枠結合体を作製したこところ細線状開口部の変化量の最大値は0.006mmであった。実施例7実施例1の印刷用マスクにおいて、印刷パターンと張力緩衝用開口部の距離を30mmにし、破線間のX ́方向の間隔を0.5mmにし、さらに破線の小開口のY ́方向の長さを20mmにした印刷用マスクを用いて実施例1同様の印刷用マスク枠結合体を作製したこところ、細線状開口部の変化量の最大値は0.003mmであった。実施例8実施例1の印刷用マスクにおいて、張力緩衝用開口部を図1aの様なスリッド状にした。ここで、開口の幅は1mm、長さは155mm、印刷パターンからのX ́方向の距離は10mmとした。この印刷用マスクを用いて、実施例1同様の印刷用マスク枠結合体を作製したこところ、細線状開口部の変化量の最大値は0.010mmであった。実施例9開口の幅は10mmとした以外は、実施例8と同様の印刷用マスクにおいて、この印刷用マスクを用いて、実施例8と同様の印刷用マスク枠結合体を作製したこところ、細線状開口部の変化量の最大値は0.010mmであった。比較例1張力緩衝用開口部である破線の配列が、上下端の位置が揃っていること以外は実施例1と同様の印刷用マスク枠結合体を作製した。このとき、張設による細線状開口部寸法の変化量の最大値は0.020mmであった。[比較例2]印刷パターンと張力緩衝用開口部の距離を1mmにして、実施例1と同様の印刷用マスク枠結合体を作製した。このとき、張設による細線状開口部寸法の変化量の最大値は0.035mmであった。[比較例3]開口の幅は15mmとした以外は、実施例8と同様の印刷用マスクにおいて、この印刷用マスクを用いて、実施例8と同様の印刷用マスク枠結合体を作製したこところ、細線状開口部の変化量の最大値は0.030mmであった。また、このとき印刷用マスクの形状は不安定であり、印刷用マスクをスクリーンに固着する際に、歪みが発生した。[比較例4]実施例1と同様のスクリーンメッシュ枠を用いて、印刷用マスク枠結合体を作製した。当該印刷用マスク枠結合体は、張力緩衝用の開口部と印刷用マスク保持用スペーサーを設けられていない以外は、実施例1の印刷用マスクと同仕様、すなわち、異方張力マスク版である。張設による細線状開口部寸法の変化量の最大値は、張力緩衝用の開口部がないことにより、実施例1より大きく、0.040mmあることが確認された。この印刷用マスク枠結合体を用いて、実施例1と同様の印刷試験を行った。結果としては、銀ペーストの充填や印刷細線の断面形状に関しては実施例1と同様の良好な結果が得られたが、印刷パターン内に印刷されたペースト細線の幅を測定では、印刷パターンの端の細線の幅と内側の細線の幅の差は最大0.040mmであった。なお、印刷方向は細線状開口部の長手方向に対して平行になるように実施した。また、印刷パターンの端のペースト細線には、印刷用マスクとウエファーに生じた隙間により、裾野ににじみが見られた。[比較例5]実施例1と同様のスクリーンメッシュ枠を用いて、これに印刷用マスク枠結合体を作製した。当該印刷用マスク枠結合体は、印刷用マスク保持用スペーサーを有しない点以外は、実施例1のものと同様である。この印刷用マスク枠結合体を用いて、実施例1と同様の印刷試験を行った結果、印刷パターンの端のペースト細線には、印刷用マスクとウエファーに生じた隙間により、裾野に滲みが見られた。[比較例6]張力異方性がX:Y=1:1.1となるような印刷用マスク枠結合体を、実施例1と同様な仕様で作製した。このとき、この印刷用マスク枠結合体は細線状開口部寸法の変化が著しく、最大で0.050mmであり、電極の形状不良が確認された。また、同様に1:1.2の場合、1:1.3、1:1.5、1:2.3、1:2.5の場合の結果を図7の表に示す。