対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置であって、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと、物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルと、前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り機器と、前記第二開口から吸い込んだ液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し機器と、を備えることを特徴とする物質捕集装置。前記液送り機器が前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる、ことを特徴とする請求項1に記載の物質捕集装置。前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である、ことを特徴とする請求項2に記載の物質捕集装置。前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口である、ことを特徴とする請求項3に記載の物質捕集装置。前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、ことを特徴とする請求項4に記載の物質捕集装置。前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる、ことを特徴とする請求項5に記載の物質捕集装置。前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での前記離間距離より小さい、ことを特徴とする請求項6に記載の物質捕集装置前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である、ことを特徴とする請求項1に記載の物質捕集装置。前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、ことを特徴とする請求項1に記載の物質捕集装置。前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる、ことを特徴とする請求項1に記載の物質捕集装置。前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である、ことを特徴とする請求項1に記載の物質捕集装置。対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集方法であって、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルとを準備する準備工程と、対象物の表面に前記捕集面を対面させて対象物の表面に沿って前記回収ヘッドを相対移動させる移動工程と、前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り工程と、前記第二開口から吸い込んだ前記液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し工程と、を備え、前記移動工程と前記液送り工程と前記液戻し工程を同時に実施する、ことを特徴とする物質捕集方法。前記液送り工程が前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる、ことを特徴とする請求項12に記載の物質捕集方法前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である、ことを特徴とする請求項13に記載の物質捕集方法。前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口である、ことを特徴とする請求項14に記載の物質捕集方法。前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、前記移動工程が前記案内部を対象物の表面に倣って移動させる、ことを特徴とする請求項15に記載の物質捕集方法。前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる、ことを特徴とする請求項16に記載の物質捕集方法。前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での前記離間距離より小さい、ことを特徴とする請求項17に記載の物質捕集方法前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である、ことを特徴とする請求項12に記載の物質捕集方法。前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記捕集面の全域で前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、前記移動工程が前記案内部を対象物の表面に倣って移動させる、ことを特徴とする請求項12に記載の物質捕集方法。前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる、ことを特徴とする請求項12に記載の物質捕集方法。前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である、ことを特徴とする請求項12に記載の物質捕集方法。対象物の表面に付着した物質を捕集するために用いる回収ヘッドであって、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられ、物質を取り込むことができる液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んだ前記液体を回収液ボトルに戻すことができる、ことを特徴とする回収ヘッド。本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、簡易な構成で、対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置と物質捕集方法とそれに用いる回収ヘッドとを提供しようとする。上記目的を達成するため、本発明に係る対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置を、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと、物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルと、前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り機器と、前記第二開口から吸い込んだ液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し機器と、を備えるものとした。上記本発明の構成により、前記回収ヘッドが、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられる。前記回収液ボトルが、物質を取り込むことができる液体を貯留できる。前記液送り機器が、前記液体を前記第一開口から噴き出させる。前記液戻し機器が、前記第二開口から吸い込んだ液体を前記回収液ボトルに戻す。その結果、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。以下に、本発明の実施形態に係る複数の物質捕集装置を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。本発明に実施形態に係る物質捕集装置は、前記液送り機器が前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる。上記実施形態の構成により、前記液送り機器が、前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる。その結果、前記第一開口から噴き出た前記液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて前記第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭が略長方形である。前記第一開口が、前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が、前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭が略長方形である。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口である。その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、前記液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる。上記実施形態の構成により、前記回収へッドに設けられた案内部が、対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる。その結果、前記離間距離を容易に維持できる。さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる。上記実施形態の構成により、前記回収ヘッドに設けられた柔軟材料でできる囲い部が、前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ、対象物の表面に接触できる面を形成する。その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記第二開口のスリット状の部分が前記第一開口の周囲を囲う様に延びる。その結果、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。上記目的を達成するため、本発明に係る基板を液滴で処理する物質捕集方法を、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルとを準備する準備工程と、対象物の表面に前記捕集面を対面させて対象物の表面に沿って前記回収ヘッドを移動させる移動工程と、前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り工程と、前記第二開口から吸い込んだ前記液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し工程と、を備え、前記移動工程と前記液送り工程と前記液戻し工程を同時に実施する、ものとした。上記本発明の構成により、回収ヘッドが、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられる。回収液ボトルが、物質を取り込むことができる液体を貯留できる。対象物の表面に前記捕集面を対面させて対象物の表面に沿って前記回収ヘッドを移動させ、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んだ前記液体を前記回収液ボトルに戻す。その結果、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。以下に、本発明の実施形態に係る複数の物質捕集方法を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記液送り工程が前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる。上記実施形態の構成により、前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる。その結果、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて前記第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面である。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面である。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口である。その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、前記移動工程が前記案内部を対象物の表面に倣って移動させる。上記実施形態の構成により、前記回収へッドに設けられる案内部が、対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる。前記案内部を対象物の表面に倣って移動させる。その結果、前記離間距離を容易に維持できる。本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる。上記実施形態の構成により、前記回収ヘッドに設けられる囲い部が、前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ、対象物の表面に接触できる面を形成する。その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記捕集面の輪郭の付近での離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭の付近での離間距離が、前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集方法は、前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記第二開口のスリット状の部分が前記第一開口の周囲を囲う様に延びる。その結果、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。上記目的を達成するため、本発明に係る基板を液滴で処理する回収ヘッドを、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられ、物質を取り込むことができる液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んだ液体を回収液ボトルに戻すことができる、ものとした。上記本発明の構成により、形成される捕集面が、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる。前記第一開口と前記第二開口とが、前記捕集面にを設けらる。物質を取り込むことができる液体を前記第一開口から噴き出させる。前記第二開口から吸い込んだ液体を回収液ボトルに戻すことができる。その結果、前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持でき、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。以下に、本発明の実施形態に係る複数の回収ヘッドを説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、、前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口である。その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる。上記実施形態の構成により、前記回収へッドに設けられる案内部が、対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる。その結果、前記離間距離を容易に維持できる。さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる。上記実施形態の構成により、回収ヘッドに設けられる囲い部が、前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる。その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記捕集面の輪郭の付近での離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭の付近での離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である。上記実施形態の構成により、前記第二開口のスリット状の部分が前記第一開口の周囲を囲う様に延びる。その結果、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。以上説明したように本発明に係る物質捕集装置とは、その構成により、以下の効果を有する。前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持でき、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。また、前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持でき、前記回収液ボトルに駐留する前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて前記第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第一開口を間に挟む1対のスピットである前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、前記案内部が対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる様にしたので、前記離間距離を容易に維持できる。また、捕集面の輪郭を囲う前記囲い部分が対象物の表面に接触できる様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。また、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。また、第二開口が第一開口の周囲を囲う様にしたので、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。以上説明したように本発明に係る物質捕集方法は、その構成により、以下の効果を有する。前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持できる前記回収ヘッドを対象物の表面に沿って移動させながら、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。また、前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持できる前記回収ヘッドを対象物の表面に沿って移動させながら、前記回収液ボトルに駐留する前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて前記第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第一開口を間に挟む1対のスピットである前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、前記案内部が対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる様にしたので、前記離間距離を容易に維持できる。また、捕集面の輪郭を囲う前記囲い部分が対象物の表面に接触できる様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。また、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。また、第二開口が第一開口の周囲を囲う様にしたので、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。以上説明したように本発明に係る回収ヘッドは、その構成により、以下の効果を有する。前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持でき、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第一開口を間に挟む1対のスピットである前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、前記案内部が対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる様にしたので、前記離間距離を容易に維持できる。また、捕集面の輪郭を囲う前記囲い部分が対象物の表面に接触できる様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。また、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。また、第二開口が第一開口の周囲を囲う様にしたので、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。従って、簡易な構成で、対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置と物質捕集方法とそれに用いるのに適する回収ヘッドとを提供できる。以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。最初に、本発明の実施形態にかかる物質捕集装置を、図を基に、説明する。図1は、本発明の第一の実施形態に係る物質捕集装置の概念図である。図2は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその1の平面図である。図3は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその1の側面図である。図4は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその1の正面図である。図5は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその1の部分拡大断面図である。物質捕集装置は、対象物10の表面Sに付着した物質を捕集する装置である。例えば、対象物10は配管である。例えば、表面Sは、対象物の外面である。例えば、表面Sは、配管の外周面である。例えば、表面Sは、配管の内周面である。物質捕集装置は、回収ヘッド20と回収液ボトル30と液送り機器40と液戻し機器50とで構成される。回収ヘッド20は、対象物10に接近させるときに対象物10の表面Sに対面して表面との間に所定の離間距離Dを維持できる面である捕集面22を形成し、捕集面22に第一開口O1と第二開口O2とを設けられるものである。回収ヘッド20は、対象物10に接近させるときに対象物10の表面Sに対面して表面との間に所定の離間距離Dを維持できる面である捕集面22を形成し、捕集面22に内部で互いに連通しない第一開口O1と第二開口O2とを設けられるものであってもよい。回収ヘッド20は回収ヘッド本体21で構成される。回収ヘッド本体21は、捕集面22と第一開口O1と第二開口O2と液送り回路24と液戻し回路25とを形成する。液送り回路24は、第一開口O1と後述する液送り機器40とを連通する内部回路である。液戻し回路25は、第二開口O2と後述する液戻し機器50とを連通する内部回路である。液体60が、第一開口O1から噴き出し、第二開口O2から吸い込まれる。液体60が、第一開口O2から噴き出し、対象物10の表面Sと捕集面22との間に形成される隙間空間に滞留し、第二開口O2から吸い込まれる。回収へッド20が、対象物10の表面Sに倣って移動して離間距離Dを維持できる部分である案内部23を設けられてもよい。回収へッド20が、対象物10の表面Sに倣って移動して、捕集面の全域で離間距離Dを維持できる部分である案内部23を設けられてもよい。案内部23は、対象物10の表面Sを摺動する面をもつ部分であってよい。案内部23は、対象物10の表面Sを転動する車輪をもつ部分であってもよい。案内部23は、対象物10の表面Sを転動する球体をもつ部分であってもよい。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口O1が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、第二開口O2が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であってもよい。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口O1が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、第二開口O2が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であってもよい。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口O1が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、第二開口O2が第一開口O1を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口であってもよい。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口O1が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、第二開口O2が第一開口O1を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の開口であってもよい。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第二開口O2が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、第一開口O1が第二開口O2を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の部分を持つ開口であってもよい。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第二開口O2が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、、第一開口O1が第二開口O1を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の開口であってもよい。第二開口O2が第一開口O1の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口であってもよい。第二開口O2が第一開口O1の周囲を環状に囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口であってもよい。回収ヘッド20が、捕集面22の輪郭を囲う様に設けられ対象物10の表面Sに接触できる面を形成する囲い部26を設けられてもよい。囲い部26は、柔軟材料でできていてもよい。捕集面22の輪郭の付近での離間距離Dが捕集面22の輪郭より内側での離間距離Dより小さくてもよい。捕集面22の輪郭の付近での離間距離Dが、捕集面22の輪郭より内側での離間距離Dより大きくてもよい。以下に、本発明の実施形態にかかる各種の対応の回収ヘッドを、図を基に、説明する。図2は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその1の平面図である。図3は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその1の側面図である。図4は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその1の正面図である。図5は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその1の部分拡大断面図である。図6は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその2の部分拡大断面図である。図7は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその3の部分拡大断面図である。図8は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその4の部分拡大断面図である。図9は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその5の部分拡大断面図である。図10は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその6の部分拡大断面図である。図11は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその7の部分拡大断面図である。図12は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその8の部分拡大断面図である。図13は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその9の平面図である。図14は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその9の側面図である。その1のタイプの回収ヘッド20を説明する。図2乃至図5は、その1のタイプの回収ヘッド20を示す。回収ヘッド20は、対象物10に接近させるときに対象物10の表面Sに対面して表面との間に所定の離間距離Dを維持できる面である捕集面22を形成し、捕集面22に内部で互いに連通しない第一開口O1と第二開口O2とを設けられる。回収へッド20が、対象物10の表面Sに倣って移動して、捕集面の全域で離間距離Dを維持できる部分である案内部23を設けられる。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口O1が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状開口であり、第二開口O2が第一開口O1を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の開口である。その2のタイプの回収ヘッド20を説明する。図6は、その2のタイプの回収ヘッド20を示す。捕集面22の輪郭の付近での離間距離Dが捕集面の輪郭より内側での離間距離Dより小さい。その他の構造は、その1のタイプの回収ヘッド20の構造と同じなので、説明を省略する。その3のタイプの回収ヘッド20を説明する。図7は、その3のタイプの回収ヘッド20を示す。捕集面22の輪郭の付近での離間距離Dが捕集面22の輪郭より内側での離間距離Dより大きい。その他の構造は、その1のタイプの回収ヘッド20の構造と同じなので、説明を省略する。その4のタイプの回収ヘッド20を説明する。図8は、その4のタイプの回収ヘッド20を示す。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第二開口O2が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、、第一開口O1が第二開口O2を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の開口である、その他の構造は、その1のタイプの回収ヘッド20の構造と同じなので、説明を省略する。その5のタイプの回収ヘッド20を説明する。図9は、その5のタイプの回収ヘッド20を示す。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口O1が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、第二開口O2が第一開口O1の周囲を囲う様に延びるスリット状の開口である。その他の構造は、その1のタイプの回収ヘッド20の構造と同じなので、説明を省略する。その6のタイプの回収ヘッド20を説明する。図10は、その6のタイプの回収ヘッド20を示す。回収ヘッド20が、捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する柔軟材料でできた囲い部26を設けられる、その他の構造は、その1のタイプの回収ヘッド20の構造と同じなので、説明を省略する。ぞの7のタイプの回収ヘッド20を説明する。図11は、その7のタイプの回収ヘッド20を示す。捕集面は円の輪郭をもつ面であり、第一開口O1が円形の輪郭をもつ開口であり、第二開口O2が第一開口O1の周囲を環状に囲う様に延びるスリット状の開口である。その他の構造は、その1のタイプの回収ヘッド20の構造と同じなので、説明を省略する。その8のタイプの回収ヘッド20を説明する。図12は、その8のタイプの回収ヘッド20を示す。回収ヘッド20が、捕集面22の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する柔軟材料でできた囲い部26を設けられる。その他の構造は、その6のタイプの回収ヘッド20の構造と同じなので、説明を省略する。その9のタイプの回収ヘッド20を説明する。図13乃至図14は、その9のタイプの回収ヘッド20を示す。回収ヘッド20は、対象物10に接近させるときに対象物10の表面Sに対面して表面との間に所定の離間距離Dを維持できる面である捕集面22を形成し、捕集面22に内部で互いに連通しない第一開口O1と第二開口O2とを設けられる。回収へッド20が、対象物10の表面Sに倣って移動して、捕集面の全域で離間距離Dを維持できる部分である案内部23を設けられる。捕集面22が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口O1が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状開口であり、第二開口O2が第一開口O1を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる1対のスリット状の開口である。回収ヘッド20が、回収ヘッド本体21と1対のガイド部材27とで構成されてよい。1対のガイド部材27が、回収ヘッド本体21を間に挟む姿勢で固定される。1対のガイド部材27が、回収ヘッド本体21を間に挟む姿勢で固定される板材であってもよい。1対の案内部23が、ガイド部材27の対象物10に対面する端面に設けられる。回収ヘッド20は、1対のガイド部材27の4つの案内部23を対象物10の表面Sに各々に倣って、相対移動する。その9のタイプの回収ヘッド20は、対象物10の表面が所定の曲率をもつ場合に、用いられる。その他の構造は、その1のタイプの回収ヘッド20の構造と同じなので、説明を省略する。回収液ボルト30は、物質を取り込むことができる液体を貯留できる容器状のものである。液送り機器40は、液体60を第一開口O1から噴き出させる機器である。液送り機器40は、回収液ボルト30から吸い上げた液体60を第一開口O1から噴き出させてもよい。液送り機器40は、液送り回路41と液送りポンプ42とで構成される。液送り回路41は、回収液ボトル30と回収ヘッド20とを連通する回路である。液送りポンプ42は、液送り回路41の途中に設けられ、液を回収ヘッド20の側へ圧送するポンプである。液戻し機器50は、第二開口O2から吸い込んだ液体60を回収液ボトル30に戻す機器である。液戻し機器50は、液戻し回路51とエジェクタ52とコンプレッサ53とで構成される。液戻し回路51は、回収液ボトル30と回収ヘッド20とを連通する回路である。エジェクタ52は、液戻し回路51の途中に設けられ、回収ヘッド20の内部の液を回収液ボトル30へ移動させる機器である。コンプレッサ53は、エジェクタ52を作動させる圧縮空気を供給する機器である。次に、本発明の第二の実施形態にかかる物質捕集装置について、図を基に説明する。物質捕集装置は、対象物10の表面Sに付着した物質を捕集する装置である。例えば、対象物10は配管である。例えば、表面Sは、対象物の外面である。例えば、表面Sは、配管の外周面である。例えば、表面Sは、配管の内周面である。物質捕集装置は、回収ヘッド20と回収液ボトル30と液送り機器40と液戻し機器50とで構成される。回収ヘッド20と回収液ボトル30と液戻し機器50の構造は、第一の実施形態にかかる物質捕集装置のものと同じなので、説明を省略する。液送り機器40は、回収液ボトル30から吸い込んだ液体60を第一開口O1から噴き出させる機器である。液送り機器40は、液送り回路41と液送りポンプ42と原液ボトル43とで構成される。液送り回路41は、原液ボトル43と回収ヘッド20とを連通する回路である。液送りポンプ42は、液送り回路41の途中に設けられ、液を回収ヘッド20の側へ圧送するポンプである。原液ボトル43は、液を貯留するボトルである。以下に、本発明の実施形態にかかる物質捕集方法を、図を基に、説明する。図16は、本発明の実施形態に係る物質捕集方法のフローチャート図である。本発明の実施形態にかかる物質捕集方法は、準備工程S10と移動工程S20と液送り工程S30と液戻し工程S440とで構成される。準備工程S10は、物質捕集装置を準備する工程である、物質捕集装置は、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルとで構成されてもよい。物質捕集装置の詳細は、上述したので、説明を省略する。移動工程S20は、対象物の表面に捕集面を対面させて対象物の表面に沿って回収ヘッドを相対移動させる工程である。対象物の表面に捕集面を対面させて対象物の表面に沿って回収ヘッドを移動させてもよい。対象物の表面に捕集面を対面させて対象物の表面に沿って所定の領域の中を回収ヘッドを相対移動させてもよい。例えば、対象物が直線状に延びる円管であり、表面がその外周面であり、捕集面の輪郭が略長方形であり、第一開口O1と第二開口O2がスリット状の開口であるときに、略長方形の長辺は円管の軸心に平行になるように姿勢を維持して、回収ヘッドを相対移動させる。液送り工程S30は、液体を第一開口O1から噴き出させる工程である。液戻し工程S40は、第二開口O2から吸い込んだ液体を回収液ボトルに戻す工程である。移動工程S20と液送り工程S30と液戻し工程S40を同時に実施する、この様にすると、対象物の表面に付着する物質を液に取り込み、液を回収液ボトルに戻すことができる。液回収ボトルんに溜まった液を検査すると、捕集した物質の種類を特定し、また捕集した物質の量を計量できる。その結果、回収ヘッドを相対移動させた対象物10の表面Sの領域に付着する物質を特定し、物質の単位面積あたりの濃度を計量できる。上述の実施形態に係る物質捕集装置を用いれば、以下の効果を発揮する。回収ヘッド20を対象物10の表面Sに接近させるときに第一開口O1と第二開口O2とを設けられる捕集面22が対象物10の表面Sとの間に所定の離間距離Dを維持でき、液体を第一開口O1から噴き出させ、第二開口O2から吸い込んで回収液ボトル30に戻す様にしたので、第一開口O1から噴き出た液体60が対象物10の表面Sと捕集面22との間にある所定の離間距離Dの隙間を流れて第二開口O2から吸い込んで、物質を取り込んだ液体60が回収液ボトル30に溜まり、物質を捕集できる。また、回収ヘッド20を対象物10の表面Sに接近させるときに第一開口O1と第二開口O2とを設けられる捕集面22が対象物10の表面Sとの間に所定の離間距離Dを維持でき、回収液ボトル30に駐留する液体を第一開口O1から噴き出させ、第二開口O2から吸い込んで回収液ボトル30に戻す様にしたので、第一開口O1から噴き出た液体60が対象物10の表面Sと捕集面22との間にある所定の離間距離Dの隙間を流れて第二開口O2から吸い込んで、物質を取り込んだ液体60が回収液ボトル30に溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面22に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口O1と第二開口O2とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに離間距離Dを維持し易く、液体60が第一開口O1から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口O2に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面22に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口O1と第一開口O1を間に挟む1対のスリット状の第二開口O2とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに離間距離Dを維持し易く、液体が第一開口O1から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口O2に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、案内部23が対象物10の表面Sに倣って移動して離間距離Dを維持できる様にしたので、離間距離Dを容易に維持できる。また、捕集面22の輪郭を囲う囲い部分が対象物の表面に接触できる様にしたので、液体が捕集面22の輪郭から漏れにくくなる。また、捕集面22の輪郭の付近での離間距離Dが捕集面22の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体60が捕集面22の輪郭から漏れにくくなる。以上説明したように本発明に係る物質捕集方法を用いれば、以下の効果を有する。回収ヘッド20を対象物の表面に接近させるときに第一開口O1と第二開口O2とを設けられる捕集面22が対象物10の表面Sとの間に所定の離間距離Dを維持できる回収ヘッド20を対象物10の表面Sに沿って移動させながら、液体60を第一開口O1から噴き出させ、第二開口O2から吸い込んで回収液ボトル30に戻す様にしたので、第一開口O2から噴き出た液体60が対象物10の表面Sと捕集面22との間にある所定の離間距離Dの隙間を流れて第二開口O2から吸い込んで、物質を取り込んだ液体60が回収液ボトル30に溜まり、物質を捕集できる。また、回収ヘッド20を対象物10の表面Sに接近させるときに第一開口O1と第二開口O2とを設けられる捕集面22が対象物10の表面Sとの間に所定の離間距離Dを維持できる回収ヘッド20を対象物10の表面Sに沿って移動させながら、回収液ボトル30に駐留する液体60を第一開口O1から噴き出させ、第二開口O2から吸い込んで回収液ボトル30に戻す様にしたので、第一開口O1から噴き出た液体60が対象物10の表面Sと捕集面22との間にある所定の離間距離Dの隙間を流れて第二開口O2から吸い込んで、物質を取り込んだ液体60が回収液ボトル30に溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面22に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口O1と第二開口O2とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに離間距離Dを維持し易く、液体60が第一開口O1から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口O2に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面22に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口O1と第一開口O1を間に挟む1対のスピットである第二開口O2とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに離間距離Dを維持し易く、液体60が第一開口O1から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口O2に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、案内部23が対象物10の表面Sに倣って移動して離間距離を維持できる様にしたので、離間距離を容易に維持できる。また、捕集面22の輪郭を囲う囲い部26が対象物10の表面に接触できる様にしたので、液体60が捕集面22の輪郭から漏れにくくなる。また、捕集面22の輪郭の付近での離間距離Dが捕集面22の輪郭より内側での離間距離Dより小さい様にしたので、液体60が捕集面22の輪郭から漏れにくくなる。以上説明したように本発明に係る回収ヘッドは、その構成により、以下の効果を有する。回収ヘッド20を対象物10の表面Sに接近させるときに第一開口O1と第二開口O2とを設けられる捕集面22が対象物10の表面Sとの間に所定の離間距離Dを維持でき、液体60を第一開口O1から噴き出させ、第二開口O2から吸い込んで回収液ボトル30に戻す様にしたので、第一開口O1から噴き出た液体60が対象物10の表面Sと捕集面22との間にある所定の離間距離Dの隙間を流れて第二開口O2から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が回収液ボトル30に溜まり、物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面22に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口O1と第二開口O2とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面Sに対面させるときに離間距離Dを維持し易く、液体60が第一開口O1から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口O2に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、略長方形の輪郭をもつ捕集面22に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口O1と第一開口O1を間に挟む1対のスピットである第二開口O2とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面Sに対面させるときに離間距離Dを維持し易く、液体60が第一開口O1から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口O2に吸い込まれて、物質を捕集できる。また、案内部23が対象物の表面に倣って移動して離間距離Dを維持できる様にしたので、離間距離Dを容易に維持できる。また、捕集面22の輪郭を囲う囲い部分が対象物10の表面Sに接触できる様にしたので、液体が捕集面22の輪郭から漏れにくくなる。また、捕集面22の輪郭の付近での離間距離Dが捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体が捕集面の輪郭から漏れにくくなる。本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。