"分極成分が交互に反転するよう積層された複数の圧電単結晶板を有し、前記複数の圧電単結晶板に介装される電極からの電圧印加方向に直交する方向のひずみ変形が最大となる方向を一致させて、前記複数の圧電単結晶板を積層したことを特徴とする超音波振動デバイス。前記複数の圧電単結晶板は、無鉛材料から形成されていることを特徴とする請求項1に記載の超音波振動デバイス。前記複数の圧電単結晶板は、ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウム圧電単結晶により形成されていることを特徴とする請求項2に記載の超音波振動デバイス。前記複数の圧電単結晶板は、積層方向に対して直交する方向のひずみ変形が最大となる方向を対称軸として左右対称であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の超音波振動デバイス。前記複数の圧電単結晶板は、表裏面の前記対称軸上に、ひずみ変形が最大となる方向および表裏面を識別可能な指標部を有することを特徴とする請求項4に記載の超音波振動デバイス。前記指標部は、前記複数の圧電単結晶板の表裏面に前記電極をパターン形成し、前記電極の一部がひずみ変形が最大となる方向および表裏面を識別できるように異なる形状として形成されていることを特徴とする請求項5に記載の超音波振動デバイス。請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の前記超音波デバイスを備えたことを特徴とする超音波医療装置。しかしながら、いくつかの圧電単結晶材料によっては、積層方向が回転対称軸となっておらず、向きにより圧電定数が異なり、ひずみ方が異なる。積層方向が回転対称軸となっていない、少なくとも2枚以上の圧電単結晶材料を積層して、積層方向の分極成分が交互に反転している、例えばランジュバン型の振動子においては、各圧電素子の表面、裏面を交互に反転させて積層することになるので、積層方向に対して垂直な直交する面内方向の変形、つまり、圧電振動子の面内方向の変形を、全ての方向に対して、隣接する圧電振動子間で一致させることができないという問題がある。さらに、従来のランジュバン型の振動子は、隣接する圧電振動子間での面内方向のひずみが一致しないため、面内方向の変形が阻害されて、その結果、積層方向の変形に影響して、同じ入力電圧に対する変形が小さくなる層間に余分な応力が作用して割れ易くなり駆動時に損傷する可能性が生じる。そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、圧電振動子の面内方向の変形の阻害および隣接振動子間の余分な応力をできるだけ小さくすることが可能になり、駆動時の損傷を防止し、且つより効率的に振動子積層方向の変形を得ることができる超音波振動デバイスと、この超音波振動デバイスを用いた超音波医療装置を提供できるようにすることである。本発明における一態様の超音波振動デバイスは、分極成分が交互に反転するよう積層された複数の圧電単結晶板を有し、前記複数の圧電単結晶板に介装される電極からの電圧印加方向に直交する方向のひずみ変形が最大となる方向を一致させて、前記複数の圧電単結晶板を積層した。また、本発明における一態様の超音波医療装置は、分極成分が交互に反転するよう積層された複数の圧電単結晶板を有し、前記複数の圧電単結晶板に介装される電極からの電圧印加方向に直交する方向のひずみ変形が最大となる方向を一致させて、前記複数の圧電単結晶板を積層した超音波振動デバイスを具備する。本発明によれば、圧電振動子の面内方向の変形の阻害および隣接振動子間の余分な応力をできるだけ小さくすることが可能になり、駆動時の損傷を防止し、且つより効率的に振動子積層方向の変形を得ることができる超音波振動デバイスと、この超音波振動デバイスを用いた超音波医療装置を提供することができる。以下、図を用いて本発明について説明する。なお、以下の説明において、各実施の形態に基づく図面は、模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、夫々の部分の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。超音波医療装置図1は、本実施の形態の超音波医療装置の全体構成示す断面図である。図1に示す、超音波医療装置1は、主に超音波振動を発生させる超音波デバイスとしての超音波振動子2を有する振動子ユニット3と、その超音波振動を用いて患部の治療を行うハンドルユニット4とが設けられている。ハンドルユニット4は、操作部5と、長尺な外套管7からなる挿入シース部8と、先端処置部30とを備える。挿入シース部8の基端部は、操作部5に軸回り方向に回転可能に取り付けられている。先端処置部30は、挿入シース部8の先端に設けられている。ハンドルユニット4の操作部5は、操作部本体9と、固定ハンドル10と、可動ハンドル11と、回転ノブ12とを有する。操作部本体9は、固定ハンドル10と一体に形成されている。操作部本体9と固定ハンドル10との連結部には、背面側に可動ハンドル11を挿通するスリット13が形成されている。可動ハンドル11の上部は、スリット13を通して操作部本体9の内部に延出されている。スリット13の下側の端部には、ハンドルストッパ14が固定されている。可動ハンドル11は、ハンドル支軸15を介して操作部本体9に回動可能に取り付けられている。そして、ハンドル支軸15を中心として可動ハンドル11が回動する動作に伴い、可動ハンドル11が固定ハンドル10に対して開閉操作されるようになっている。可動ハンドル11の上端部には、略U字状の連結アーム16が設けられている。また、挿入シース部8は、外套管7と、この外套管7内に軸方向に移動可能に挿通された操作パイプ17とを有する。外套管7の基端部には、先端側部分よりも大径な大径部18が形成されている。この大径部18の周囲に回転ノブ12が装着されるようになっている。操作パイプ19の外周面には、リング状のスライダ20が軸方向に沿って移動可能に設けられている。スライダ20の後方には、コイルばね弾性部材21を介して固定リング22が配設されている。さらに、操作パイプ19の先端部には、把持部23の基端部が作用ピンを介して回動可能に連結されている。この把持部23は、プローブ6の先端部31と共に超音波医療装置1の処置部を構成している。そして、操作パイプ19が軸方向に移動する動作時に、把持部23は、作用ピンを介して前後方向に押し引き操作される。このとき、操作パイプ19が手元側に移動操作される動作時には作用ピンを介して把持部23が支点ピンを中心に回動される。これにより、把持部23がプローブ6の先端部31に接近する方向閉方向に回動する。このとき、片開き型の把持部23と、プローブ6の先端部31との間で生体組織を把持することができる。このように生体組織を把持した状態で、超音波電源から電力を超音波振動子2に供給し、超音波振動子2を振動させる。この超音波振動は、プローブ6の先端部31まで伝達される。そして、この超音波振動を用いて把持部23とプローブ6の先端部31との間で把持されている生体組織の凝固切開を行う。振動子ユニットここで、振動子ユニット3について説明する。なお、図2は、振動子ユニット3の全体の概略構成を示す図、図3は超音波振動子の全体の概略構成を示す斜視図である。振動子ユニット3は、図2および図3に示すように、超音波振動子2と、この超音波振動子2で発生した超音波振動を伝達する棒状の振動伝達部材であるプローブ6とを一体的に組み付けたものである。超音波振動子2は、振幅を増幅するホーン32が連設されている。ホーン32は、ジュラルミン、あるいは例えば64Tiなどのチタン合金によって形成されている。ホーン32は、先端側に向かうに従って外径が細くなる円錐形状に形成されており、基端外周部に外向フランジ33が形成されている。プローブ6は、例えば64Tiなどのチタン合金によって形成されたプローブ本体34を有する。このプローブ本体34の基端部側には、上述のホーン32に連設された超音波振動子2が配設されている。このようにして、プローブ6と超音波振動子2とを一体化した振動子ユニット3が形成されている。そして、超音波振動子2で発生した超音波振動は、前記ホーン32で増幅されたのち、プローブ6の先端部31側に伝達するようになっている。プローブ6の先端部31には、生体組織を処置する後述する処置部が形成されている。また、プローブ本体34の外周面には、軸方向の途中にある振動の節位置の数箇所に弾性部材でリング状に形成された間隔をあけて2つのゴムライニング35が取り付けられている。そして、これらのゴムライニング35によって、プローブ本体34の外周面と後述する操作パイプ19との接触を防止するようになっている。つまり、挿入シース部8の組み立て時に、振動子一体型プローブとしてのプローブ6は、操作パイプ19の内部に挿入される。このとき、ゴムライニング35によってプローブ本体34の外周面と操作パイプ19との接触を防止している。なお、超音波振動子2は、超音波振動を発生させるための電流を供給する図示しない電源装置本体に電気ケーブル36を介して電気的に接続される。この電気ケーブル36内の配線を通じて電源装置本体から電力を超音波振動子2に供給することによって、超音波振動子2が駆動される。超音波振動子ここで、振動子ユニット3の超音波振動子2について以下に説明する。なお、図4は超音波振動子の構成を示す部分断面図、図5は積層振動子の構成を示す断面図である。振動子ユニット3の超音波デバイスとしての超音波振動子2は、図3および図4に示すように、先端から順にホーン32に接合された円筒状のケース体37と、このケース体37の基端に連設され、電気ケーブル36が後方に延設された折れ止38と、を有している。ケース体37内には、積層振動子41が配設されている。この積層振動子41には、先端および基端側に絶縁板42が設けられている。ホーン32の基端面に固着された先端側の絶縁板42と、バックマス43の前方側に接合されて連設された基端側の絶縁板42との間に、複数、ここでは6つの圧電単結晶板44a~44fが積層されている。これらの圧電単結晶板44a~44fは、隣接板間で、積層方向の分極成分が交互に反転するように積層されている。また、各圧電単結晶板44a~44f間には、各圧電単結晶板44a~44fに電圧を印加できるように、銅箔からなる折り曲げ可能な正電極板45aおよび負電極板45bが交互に挟み込まれ、積層振動子41の後方に延出されている。なお、電極板45a,45bは、それぞれが各圧電単結晶板44a~44fの同じ分極面に接続されるように構成されている。これらの電極板45a,45bは、電気ケーブル36に配設された配線46a,46bに接続されている。そして、各電極板45a,45bは、圧電単結晶板44a~44fに電圧を印加し、圧電効果により、積層振動子41を圧電単結晶板44a~44fの積層方向に超音波振動させる。また、絶縁板42、バックマス43、圧電単結晶板44a~44fおよび各電極板45a,45bの接合は、図5に示すように、接合材料47により、接着されて一体化されている。この接合材料47としては、導電性接着剤などの有機系材料や、半田などの金属系材料が使用される。また、積層振動子41をボルト締めランジュバン振動子として、ホーン32とバックマス43をボルトで締結することにより、ホーン32、絶縁板42、バックマス43、圧電単結晶板44a~44f、および各電極板45a,45bを一体化させても良い。圧電単結晶板以下、本実施の形態で用いられる圧電単結晶板44a~44fについて、以下に説明する。なお、ここでの圧電単結晶板44a~44fは、鉛Pbを含有しない無鉛単結晶材であるLiNbO3LithiumNiobate:ニオブ酸リチウムで、ウエハの厚さ方向の振動を得るのに適した36°Yカット基板を用いた場合を説明する。なお、図6は、単結晶ウエハを示す斜視図、図7は単結晶ウエハのポリッシュ面側から見た平面図である。図6および図7に示すLiNbO3単結晶のウエハ50は、用途に応じて所望の特性が得られるように、結晶軸X,Y,Zに対して特定の向きとなるようなウエハ形状に加工される。例えば、SAW表面弾性波デバイス用途には、128°Yカットと呼ばれるウエハが使用されるが、本実施の形態の圧電単結晶板44a~44fでは、LiNbO3圧電単結晶を積層して積層方向の振動を得るため、積層方向の圧電定数が大きくなる36°Yカット基板が適している。LiNbO3単結晶のウエハ50は、結晶軸に対する方向がオイラー角により規定される。ウエハ50における座標系は、ウエハ50のポリッシュ面51に垂直直交な方向をx3軸、ウエハ50中心からOFオリエンテーションフラットの方向をx1軸とし、x2方向は、x1軸x2軸x3軸が右手直交座標系を成すように選ばれている。圧電単結晶板44a~44fに用いられるLiNbO3単結晶の結晶軸X,Y,Zと、ウエハ50上の座標系の関係は、オイラー角により関連付けられる。オイラー角φ,ψにより、ウエハ50のポリッシュ面51面が決まり、θによりOFオリエンテーションフラットの方向、つまり、x3軸の方向が決まる。ここでの圧電単結晶板44a~44fは、結晶軸X,Y,Zに対してオイラー角180°,54°180°となる特定の向きをもったLiNbO336°Yカット基板より、ダイシングもしくは機械加工されて、矩形あるいは円板形状のチップに加工される。図8に圧電単結晶板44a~44fの厚さ方向に電圧を印加した場合の、電圧印加方向に対して垂直な直交する方向の変形を示す。なお、図8は、圧電単結晶板のひずみ方を示し、図8aが電圧印加方向、図8bが垂直直交ひずみおよび図8cがせん断ひずみを示す図である。図8に示すように、圧電単結晶板44a~44fのひずみ方には、図8aに示す電圧印加方向に対して、図8bに示す垂直直交ひずみと、図8cに示すせん断ひずみの2通りがある。圧電単結晶板44a~44fにおける垂直ひずみは、電圧印加方向に対して直交する方向に全体的に圧電単結晶板44a~44fが伸び縮みするのに対して、圧電単結晶板44a~44fにおけるせん断ひずみは、電圧印加面が電圧印加方向に対して直交する方向に変位し、圧電単結晶板44a~44fの断面が斜めに歪む。圧電単結晶板44a~44fに電圧を印加した時のひずみの大きさは圧電ひずみ定数dにより表され、電圧印加方向を座標系の3軸方向とすると、垂直ひずみはd31,d32せん断ひずみはd35,d34により表される。本実施の形態のような圧電単結晶の場合、結晶異方性により、この圧電定数が振動子面内で方向により異なる。ここで、圧電ひずみ定数d31,d35の36°Yカット基板における面内方向依存性について説明する。なお、図9は、圧電ひずみ定数の基板における面内方向依存性を示す図、図10は垂直ひずみとせん断ひずみを加えた圧電ひずみ定数の基板における面内方向依存性を示す図である。図9に示す、グラフのx軸は、オイラー角θであり、ウエハ50面内での方向を表す。また、図10に圧電ひずみ定数d31d35を示す。なお、値の絶対値がひずみの大きさを表す。これらのグラフからオイラー角θ270度の方向、つまり、図6および図7のウエハ座標系でx2軸の方向で圧電ひずみ定数d31,d35共に最大となり、せん断ひずみが最大になることがわかる。従って、図11に示すように、本実施の形態の超音波振動子2の積層振動子41は、各圧電単結晶板44a~44fにおいて、ウエハ座標系の相対的な関係を示すと、ウエハ50における座標系でx2軸が一致するように表裏を交互に積層して、ランジュバン振動子を構成している。なお、図11は、積層振動子のウエハ座標系の相対的な関係を示す模式図である。これにより、超音波振動子2は、積層振動子41の隣接する圧電単結晶板44a~44f間での面内の変形の違いが最小となり、面内方向の変形の阻害が減少して駆動時の損傷が防止されると共に、積層方向の振動が効率よく得られるようになる。さらに、超音波振動子2は、無鉛単結晶材のLiNbO336°Yカット基板から圧電単結晶板44a~44fにより形成しているため、近年望まれている非鉛の環境保護に適した構成とすることができる。また、圧電単結晶板44a~44fは、ニオブ酸リチウムの単結晶材に限定されることなく、せん断ひずみが最大になるウエハ座標系の軸が一致するように表裏を交互に積層する構成であれば、例えば、タンタル酸リチウム圧電単結晶を用いることも適用できる。なお、図12から図14に示すように、上述の各圧電単結晶板44a~44fは、積層方向に対して直交する方向の変形振動子単板の面内の変形が最大となる方向が、線対称の対称軸となるように円形または矩形状に外形が加工される。このような形状にすることで、励振する超音波振動が安定すると共に、x ́軸方向を一致させて積層しているため積層振動子41の外周形状が均一となる。特に、振動子の外形を矩形状とした場合に、x ́軸方向を一致させて、積層方向の分極成分を交互に反転させて積層させる際に、積層体の外形が連続的な平面となり製造し易くなる。なお、図11から図14は、圧電単結晶板における変形が最大となる方向を示す平面図である。ところで、ウエハ50からチップとなる圧電単結晶板44a~44fに加工すると、ウエハ50上の座標系とチップの向きの関係が外見からは判別不明になるという課題が生じる。そこで、ウエハ形状で電極を形成する工程を設け、電極のパターニングを行い、表裏面の対称軸上に、対称軸、および、表裏面を識別可能な印を形成し、振動子の向きの判別を容易にすることができる。通常、半田などで複数の振動子を一体化させる場合には、電極形成工程が必要となるので、それらの場合には、余分なプロセスを追加することなく、所望の印を作成することが可能である。例えば、図15および図16に示すように、圧電単結晶板44a~44fは、一面側に第1の指標部53を形成した電極52と他面側に第2の指標部54を形成した形成した電極52が設けられている。なお、図15は、第1の指標部が形成された電極が設けられた圧電単結晶板の一面を示す平面図、図16は第2の指標部が形成された電極が設けられた圧電単結晶板の他面を示す平面図である。これら圧電単結晶板44a~44fの両面への電極52の形成は、金属膜の成膜とパターニングにより行われる。金属膜の成膜は、一般的に用いられている蒸着、スパッタ、めっきなどにより行われ、パターニングは、フォトリソグラフィー、エッチングなどを利用して行われる。指標として、対称軸上の一主面には1つの切欠きの第1の指標部53が電極パターンとして形成され、その反対面には、第1の指標部53とは形状が異なる2つの切欠きの第2の指標部54が形成されている。そして、圧電単結晶板44a~44fは、第1の指標部53同士、第2の指標部54同士を合わせるように電極52を面接触させて積層することで、積層方向の分極成分が交互に反転し、積層方向に対して直交する方向の変形振動子単板の面内の変形が最大となる方向x ́方向が一致するように積層された超音波振動子2の積層振動子41を容易に作成することができる。なお、圧電単結晶板44a~44fの表裏面の区別、対称軸の位置が分かれば指標部53,54の形は、どのような形状でも良い。上述の実施の形態に記載した発明は、その実施の形態および変形例に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得るものである。例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、述べられている課題が解決でき、述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得るものである。"