"マイクロコンタクトプリントの印刷用版の製造に用いられる表面に凹凸パターンを有する成形型であって、SiO2層をボックス層とするSOI基板の所定厚さのシリコン活性層にフォトリソグラフィ技術により前記凹凸パターンが形成されてなることを特徴とする成形型。マイクロコンタクトプリントに用いる印刷用版の製造方法であって、請求項1に記載の成形型の凹凸パターン形成面に、液体状樹脂を塗布する工程と、前記成形型の凹凸パターン面に塗布された前記液体状樹脂の層を挟んで、支持基板を前記成形型に押圧させ、その状態で加熱により前記液体状樹脂を硬化させて硬化樹脂層とする工程と、前記成形型を前記硬化樹脂層から剥離して、前記凹凸パターンが転写された硬化樹脂層と前記支持基板からなる印刷用版を得る工程と、を有することを特徴とする印刷用版の製造方法。前記支持基板は、前記成形型と熱膨張係数が略同一であることを特徴とする請求項2に記載の印刷用版の製造方法。前記支持基板は、ホウ珪酸ガラスまたはアルミナ珪酸ガラスからなることを特徴とする請求項2または3に記載の印刷用版の製造方法。前記液体状樹脂は、ポリジメチルシロキサン樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリウレタン樹脂のいずれかであることを特徴とする請求項2~4のいずれかに記載の印刷用版の製造方法。前記支持基板の前記液体状樹脂の層と接する表面が表面改質されていることを特徴とする請求項2~5のいずれかに記載の印刷用版の製造方法。請求項2~6のいずれかに記載の印刷用版の製造方法により製造されてなることを特徴とする印刷用版。請求項7に記載の印刷用版の前記凹凸パターン形成面に有機分子含有溶液を塗布し、該凹凸パターン面を被印刷面に接触させて、該被印刷面上に有機分子膜を転写することにより、撥液部で区分される所定パターンの親液部を形成する第1の工程と、前記被印刷面上に形成された前記親液部にインクジェット法を用いて選択的に機能液を供給する第2の工程と、前記親液部に供給された機能液にエネルギーを付与して所定パターンの機能性膜を形成する第3の工程と、を有することを特徴とする機能性膜の形成方法。隔壁により区画されてなり、それぞれが液滴吐出孔を有する複数の個別液室と、前記複数の個別液室の前記液滴吐出孔が設けられる板面とは別の面に設けられる振動板と、前記振動板上の前記複数の個別液室それぞれに対応する位置に設けられ、該振動板側から共通電極となる下部電極、圧電体、個別電極となる上部電極の順に積層されてなる複数の圧電素子と、前記下部電極と接続される共通電極配線と、前記複数の圧電素子それぞれの上部電極と個別に導通し駆動信号が入力される個別電極配線と、を備えるインクジェットヘッドにおいて、前記下部電極、圧電体、上部電極の少なくともいずれかが、請求項8に記載の機能性膜の形成方法により形成されてなることを特徴とするインクジェットヘッド。請求項9に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。しかしながら、従来のμCP法で用いる印刷用版における凹凸パターンの凸部の高さが、所期の寸法通りではなく、対象の印刷領域で均一に印刷することが困難であった。本発明は、以上の従来技術における課題に鑑みてなされたものであり、表面の凹凸パターンにおける凹部の深さのばらつきが抑制された成形型、該成形型を用いた印刷用版の製造方法、該印刷用版の製造方法により得られる印刷用版、該印刷用版を用いた機能性膜の形成方法、該機能性膜の形成方法により製造されるインクジェットヘッド並びに該インクジェットヘッドを用いたインクジェット記録装置を提供することを目的とする。発明者が前述した問題の原因を調査したところ、印刷用版における凹凸パターンの凸部の高さはマイクロメートルオーダ乃至ナノメートルオーダと微小なものであるため、印刷用版の歪みや反り、あるいは印刷用版の表面全面に配置した凹凸パターン間の凸部の高さばらつきが対象の印刷領域での印刷性に影響し、とりわけ凹凸パターン間の凸部の高さばらつきがその印刷の均一性を阻害していることが分かった。また、印刷用版は、液状のPDMS樹脂を凹凸パターンを形成した成形型に塗布した後に加熱処理により硬化させ該成形型の凹凸パターンが転写されて得られるが、成形型の全面のマイクロメートルオーダ乃至ナノメートルオーダの微細な凹凸パターンをPDMS樹脂に転写させるものであるため、印刷用版の製造工程中における成形型の凹凸パターンの凹部の深さのばらつきが印刷用版における凹凸パターン間の凸部の高さばらつきに影響していることが判明した。そこで、発明者はその知見に基づいて前記問題を解決すべく鋭意検討を行い、本発明を成すに至った。すなわち、前記課題を解決するために提供する本発明は、以下の通りである。なお、カッコ内に本発明を実施するための形態において対応する部位及び符号等を示す。1マイクロコンタクトプリントの印刷用版の製造に用いられる表面に凹凸パターンを有する成形型であって、SiO2層をボックス層SiO2ボックス層14bとするSOI基板SOI基板14kの所定厚さのシリコン活性層活性層14aにフォトリソグラフィ技術により前記凹凸パターンが形成されてなることを特徴とする成形型成形型14、図1。2マイクロコンタクトプリントに用いる印刷用版の製造方法であって、前記1に記載の成形型の凹凸パターン形成面に、液体状樹脂液体状樹脂13aを塗布する工程図12aと、前記成形型の凹凸パターン面に塗布された前記液体状樹脂の層を挟んで、支持基板ガラス基板52を前記成形型に押圧させ、その状態で加熱により前記液体状樹脂を硬化させて硬化樹脂層硬化樹脂層13とする工程図12b,2cと、前記成形型を前記硬化樹脂層から剥離して、前記凹凸パターンが転写された硬化樹脂層と前記支持基板からなる印刷用版印刷用版50を得る工程と、を有することを特徴とする印刷用版の製造方法図1。3前記支持基板は、前記成形型と熱膨張係数が略同一であることを特徴とする前記2に記載の印刷用版の製造方法。4前記支持基板は、ホウ珪酸ガラスまたはアルミナ珪酸ガラスからなることを特徴とする前記2または3に記載の印刷用版の製造方法。5前記液体状樹脂は、ポリジメチルシロキサン樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリウレタン樹脂のいずれかであることを特徴とする前記2~4のいずれかに記載の印刷用版の製造方法。6前記支持基板の前記液体状樹脂の層と接する表面が表面改質されていることを特徴とする前記2~5のいずれかに記載の印刷用版の製造方法。7前記2~6のいずれかに記載の印刷用版の製造方法により製造されてなることを特徴とする印刷用版印刷用版50、図1。8前記7に記載の印刷用版の前記凹凸パターン形成面に有機分子含有溶液を塗布し、該凹凸パターン面を被印刷面に接触させて、該被印刷面上に有機分子膜を転写することにより、撥液部撥液性領域301で区分される所定パターンの親液部親液性領域302を形成する第1の工程図2aと、前記被印刷面上に形成された前記親液部にインクジェット法を用いて選択的に機能液機能液401を供給する第2の工程図2bと、前記親液部に供給された機能液にエネルギーを付与して所定パターンの機能性膜機能性膜500を形成する第3の工程図2cと、を有することを特徴とする機能性膜の形成方法図2。9隔壁隔壁部503aにより区画されてなり、それぞれが液滴吐出孔ノズル孔505を有する複数の個別液室個別液室506と、前記複数の個別液室の前記液滴吐出孔が設けられる板面とは別の面に設けられる振動板振動板540と、前記振動板上の前記複数の個別液室それぞれに対応する位置に設けられ、該振動板側から共通電極となる下部電極下部電極500a、圧電体圧電体500b、個別電極となる上部電極上部電極500cの順に積層されてなる複数の圧電素子圧電素子501と、前記下部電極と接続される共通電極配線と、前記複数の圧電素子それぞれの上部電極と個別に導通し駆動信号が入力される個別電極配線と、を備えるインクジェットヘッドにおいて、前記下部電極、圧電体、上部電極の少なくともいずれかが、前記8に記載の機能性膜の形成方法により形成されてなることを特徴とするインクジェットヘッドインクジェットヘッド1、図4,図5。10前記9に記載のインクジェットヘッドインクジェットヘッド1を備えることを特徴とするインクジェット記録装置インクジェット記録装置90、図8,図9。本発明の成形型によれば、SiO2層をボックス層とするSOISilicononInsulator基板の所定厚さのシリコン活性層にフォトリソグラフィ技術により前記凹凸パターンが形成されてなることにより、SiO2層においてSOI基板のエッチング反応を停止させることができるので、凹凸パターンにおける凹部の深さのばらつきを抑制することができ、引いては該成形型により製造される印刷用版の凹凸パターンにおける凸部の高さのばらつきを抑制でき、該印刷用版を用いた印刷品質を向上させることが可能となる。またその結果、前記印刷用版を用いた機能性膜の形成方法では、該機能性膜を精度よく形成することが可能となり、引いては安定した吐出性能を有するインクジェットヘッドを得ることができる。また本発明のインクジェット記録装置によれば、本発明のインクジェットヘッドを有し、該インクジェットヘッドの液滴吐出孔からインク滴を安定して吐出するので、良質な画像を安定して形成することが可能となるとともに製造不良が減少して低コスト化を図ることができる。以下に、本発明に係る成形型及び印刷用版の製造方法について説明する。図1は、本発明に係る本発明に係る成形型及び印刷用版の製造方法を示す製造工程図である。このうち、図11a~1cは本発明の成形型に関する製造工程であり、図12a~2dは本発明の印刷用版に関する製造工程である。成形型本発明に係る成形型14は、マイクロコンタクトプリントの印刷用版の製造に用いられる表面に所定の凹凸パターンを有する成形型であって、SiO2層をボックス層とするSOI基板の所定厚さのシリコン活性層にフォトリソグラフィ技術により前記凹凸パターンが形成されてなることを特徴とするものである。この成形型の製造工程について、図11a~1cを参照しながら説明する。S1aエッチングマスク形成図11a本発明の成形型を形成するための基板14kは、シリコンから成る活性層14aと、SiO2ボックス層14bと、Si基板14cとからなるSOI基板である。本工程では、活性層14aの表面にフォトレジストを塗布ベーク露光することにより、所定パターンの開口部図中、白抜き部分を有するエッチングマスク17を形成する。S1bエッチング図11bつぎに、エッチングマスク17の開口部を通して基板14kをドライエッチングすることにより、活性層14a表面にエッチングマスク17の開口部のパターンに対応した凹凸パターンを形成する。S1cエッチングマスク除去図11c活性層14aに凹凸パターンを形成した後、フォトレジストから成るエッチングマスク17を剥離することにより成形型14を得る。以上のように、SiO2ボックス層14bにおいて基板14kのエッチング反応を停止させることができるので、凹凸パターンにおける凹部の深さは、エッチングパターンのエッチング幅の広さに影響を受けることなく、活性層14aの厚さに対応した一定の深さとなり、そのばらつきが抑制される。印刷用版の製造方法次に、印刷用版の具体的な製造工程について、図12a~2dを参照しながら説明する。S2a液体状樹脂塗布工程図12aまず、前述のように得られた成形型14の凹凸パターン形成面図中、上面において、その水平方向の端部に成形型支持部材12を立設した後、微細な凹凸パターン表面を埋めるように液体状樹脂13aを塗布する。ここで、液体状樹脂13aとしては、ポリジメチルシロキサンPDMS樹脂、ポリメチルメタクリレートPMMA樹脂、ポリウレタンPU樹脂のいずれかを用いることができ、特に弾性、耐溶剤性、溶液に対する版離れ性の観点からPDMS樹脂が好適である。また、その塗布方法としては、塗布する樹脂の物性、塗布面積に応じて適宜選択することができ、具体的には、スピンコート、バーコート、スキージコート、スリットコート、ロールコート、ブレードコート、ディスペンス等の各種の塗布方法を用いることができる。S2b加圧工程図12b次に、未硬化状態の液体状樹脂13aの上方から、硬化後に該樹脂層の支持基板となるガラス基板52を貼り合わせた。本発明における印刷版用の支持基板として、成形型14と熱膨張係数が略同一の基板を用いることが好ましい。ここで熱膨張係数が略同一とは、これ以降に行われる加熱、冷却の熱サイクルにおいてガラス基板52の膨張収縮により成形型14が破損しない程度に、熱膨張係数の差異が微差であることをいい、熱膨張係数の差が温度範囲20~200°Cにおいて±0.8×10-6K-1以内であることをいう。特に本発明においては、後述する印刷装置において、印刷用版の上方から透過光を照射することによって該印刷用版と被印刷体の位置を調整する機能を付与しているため、光学特性の観点からガラス基板52の材料として、珪酸系ガラスが好ましく、特に耐熱強化ガラスであるパイレックスコーニング社登録商標、テンパックスショット社登録商標のようなホウ珪酸ガラスやSWガラス基板旭硝子社製のようなアルミナ珪酸ガラスが好適である。なお、該ガラス基板52は、PDMS樹脂等の液体状樹脂13aが硬化した後の樹脂との密着性を向上させる目的で予め表面改質処理を行うことができる。具体的には、該ガラス基板52の液体状樹脂13aの層と接する表面密着面に酸素プラズマを照射するか、あるいはUV光を照射して表面改質処理を行うことができる。本工程では、液体状樹脂13aにガラス基板52を貼り合わせた後に、荷重および温度制御可能な加圧加熱装置図示せずを用いて成形型14と支持基板としてのガラス基板52とを液体状樹脂13aを介して加圧する。S2c硬化工程図12c引き続き、前記加圧加熱装置を用いて、成形型14と支持基板としてのガラス基板52とを液体状樹脂13aを介して加圧した状態で、所定の加熱条件で加熱することにより、前記液体状樹脂13aを完全硬化させて硬化樹脂層13とする。S2d離型工程図12d成形型14、ガラス基板52、および硬化樹脂層13を徐冷した後、完全硬化状態の硬化樹脂層13を成形型14から離型させることにより、表面に凹凸パターンを有する硬化樹脂層13とガラス基板52とからなる印刷用版50を得る。以上の製造工程により、凹部深さが一定の成形型14を用いるので、凸部高さが一定の凹凸パターンを有する印刷用版50を製造することが可能となる。機能性膜の形成方法次に、本発明に係る機能性膜の形成方法について説明する。図2は、本発明に係る機能性膜の形成方法に関する工程図である。本発明に係る機能性膜の形成方法は、図2に示すように、前述した印刷用版50の凹凸パターン形成面に所定の機能性溶液例えば、有機分子含有溶液を塗布し、該凹凸パターン面を被印刷面印刷基材53の主面に接触させて、該被印刷面上に有機分子膜を転写することにより、撥液部撥液性領域301で区分される所定パターンの親液部親液性領域302を形成する第1の工程図2aと、前記被印刷面上に形成された前記親液部にインクジェット法液体塗布手段400を用いて選択的に機能液機能液401を供給する第2の工程図2bと、前記親液部に供給された機能液にエネルギーを付与して所定パターンの機能性膜機能性膜500を形成する第3の工程図2cと、を有することを特徴とする。以下、各工程について後述する圧電体素子における圧電体を形成する場合を例にとり説明する。第1の工程図3に示す印刷装置を用いて、印刷基材53の表面に機能性溶液として撥液性化合物を塗布し、所定パターンの撥液性領域301及び親液性領域302を形成する図2a。ここで、図3は、本発明に係る本発明に係る機能性膜の形成方法に用いられる印刷装置の構成を示す概略図である。図3に示すように、印刷装置20は、前述のように得られた印刷用版50を硬化樹脂層13の凹凸パターン形成面が下方を向くように保持する保持手段22と、印刷用版50を保持した保持手段22をインキング部23、転写部24それぞれの直上に搬送する搬送機構21と、印刷用版50に機能性溶液を付着させるインキング部23と、印刷用版50から印刷基材53に機能性溶液を転写させる転写部24と、インキング部23、転写部24それぞれを制御する制御装置25と、を備えている。インキング部23は、該インキング部23直上に配置された印刷用版50の凹凸パターン形成面図中、下方に向いている面に前記機能性溶液を塗布する溶液塗布手段23aと、液体塗布手段10に機能性溶液を供給する溶液供給手段23bと、を備える。ここで、溶液塗布手段23aとしては、塗布する前記機能性溶液の物性、塗布面積に応じて適宜選択することができ、具体的には、バーコート、スキージコート、スリットコート、ロールコート、ブレードコート、ディップコート等の塗布手段を用いることができる。転写部24は、該転写部24直上に配置された印刷用版50の凹凸パターン形成面図中、下方を向いている面に対向する位置に、印刷基材53を保持するステージ図示せずと、該ステージの下部に設けられる印刷基材53を印刷用版50側に移動させて、該印刷用版50に接触させるための駆動部24aと、を備える。印刷装置20を用いた印刷工程第1の工程は、制御装置25の制御によりつぎの手順で行われる。S11まず印刷用版50を保持手段22にセットし、搬送機構21により保持手段22とともに印刷用版50をインキング部23に移動する。S12溶液塗布手段23aが前記機能性溶液を印刷用版51の凹凸パターン形成面に付着させる。S13次に、搬送機構21により保持手段22とともに印刷用版50を転写部24に移動する。S14駆動部24aにより印刷基材53を保持するステージを上昇させ、印刷用版50の凹凸パターン形成面における機能性溶液を保持した凸部と印刷基材53の対象面とを接触させることにより、機能性溶液を所定のパターンで印刷基材53に転写する印刷工程終了。ここで用いられる機能性溶液は、印刷基材53に撥液性または親液性を付与するための有機分子含有溶液である。このうち、印刷基材53に撥液性を付与する材料としては、CnH2n1SHで示されるアルキルチオール化合物やCnF2n1CH22SHで示されるフルオロアルキルチオール化合物等の撥液材料を用いることができ、所望の撥液性、あるいは印刷基材53の材料に対する反応性にしたがって材料種、あるいは濃度を適宜選択することができる。これらの化合物はアルコール、アセトン、トルエン、キシレン等の有機溶媒に溶解することにより、機能性溶液とされる。第2の工程つぎに、ゾルゲル法により電気-機械変換膜圧電体の前駆体を含有する金属有機化合物溶液である機能液401を、液体塗布手段400を用いて、印刷基材53の親液性領域302に塗布する図2b。ここで、ゾルゲル法とは、金属アルコキシド等の金属有機化合物を溶液系で加水分解、重縮合させて金属-酸素-金属結合を成長させ、最終的に焼結することにより完成させる無機酸化物の作製方法である。ゾルゲル法の特徴は低基板温度で均一大面積な膜が得られることである。さらに溶液から製膜するため基板との密着性に優れる。具体的には、対象の基板上に金属有機化合物を含む溶液を塗布し、無機酸化物からなる厚膜を積層したあと、次工程第3の工程で焼結を行うものである。用いられる金属有機化合物としては、無機酸化物を構成する金属のメトキシド、エトキシド、プロポキシド、ブトキシド等のアルコキシドやアセテート化合物等が挙げられる。硝酸塩、しゅう酸塩、過塩素酸塩等の無機塩でもよい。またこれら化合物から無機酸化物を作製するには、加水分解及び重縮合反応を進める必要があるため、塗布溶液中には水の添加が必要となる。その添加量は系により異なるが、多すぎると反応が速く進むため得られる膜質が不均一となり易く、また反応速度の制御が難しい。水の添加量が少なすぎても反応のコントロールが難しく、適量がある。一般的には加水分解される結合数に対して0.5等量モルから5倍等量モルが好ましい。さらに、加水分解触媒を添加すると、反応速度及び反応形態の制御が可能である。触媒としては一般の酸および塩基が用いられる。添加用溶媒としては、上記材料が沈澱しないもの、すなわち相溶性に優れたものが望ましい。溶液濃度は塗布方法にもよるが、スピンコート法の場合、溶液粘度が数cP~十数cPとなるように調整するとよい。アセチルアセトン、ジエタノールアミンなどのアルカノールアミンやキレート剤等を添加してもよい。また、液体塗布手段400として、具体的には、微細な領域に塗布可能な液体塗布手段であるインクジェット方式が好ましい。本工程において、親液性領域302に塗布された機能液401は、印刷基材53上の表面エネルギー差により親液性領域302に対して濡れ拡がり、撥液性領域301に対しては濡れ拡がりが抑制されるため、高解像度のパターニングが可能である。第3の工程印刷基材53に塗布された機能液401を乾燥、焼結処理することにより、膜状の圧電体である機能性膜500を形成する図2c。以上のように、本発明の機能性膜の形成方法によれば、印刷基材53上に、印刷用版50の凹凸パターン詳しくは、凸部のパターンに対応した微細パターンの機能性膜を印刷基材53全面に精度よく形成することが可能である。インクジェットヘッドつぎに、本発明に係るインクジェットヘッドの構成について説明する。図4に、本発明に係るインクジェットヘッドの一部を断面にて示した分解斜視図を示す。また図5に、本発明に係るインクジェットヘッドの幅方向の断面概略構成を示す。なお、図5では単一の個別液室506を示しているが、インクジェットヘッドは図4に示すとおり液室基板503の隔壁部503aで区画されることにより、図5中では左右方向に個別液室506が配列する構造をとる。インクジェットヘッド1は、インクを吐出する液滴吐出孔であるノズル孔505を有するノズル板504と、複数の個別液室506、振動板540不図示、圧電素子501が形成され、圧電体500bの駆動のための駆動回路が搭載されたフレキシブルプリント基板FPC573を有する液室基板503と、圧電素子保護空間574を配した保持基板572との3枚の基板を重ねた積層構造となっている。液室基板503は、Si基板上に積層膜により振動板540が形成されている。本実施形態における振動板540はSOI基板を用いてSi基板の片側面にシリコン酸化膜、シリコン活性膜、シリコン酸化膜を堆積させたものである。また、その上に複数の圧電素子501を設けており、更に該複数の圧電素子501それぞれに対応する個別液室506、該個別液室506に液体を供給する為の流体抵抗部供給路532、共通液室533を形成している。ノズル板504は、例えばニッケル高速電鋳法を用いて厚さ20μmに形成したニッケル基板であり、液室基板503の面部に個別液室506それぞれに対応して連通するように設けられたノズル孔505を有する。保持基板572は、圧電素子501の保護及び変位を妨げないための圧電素子保護空間574と液滴であるインクが外部から共通液室533へ供給するためのインク供給部533aを形成した基板である。なお、個別液室506は、振動板540と、液室基板503の壁面隔壁部503aと、ノズル孔505が設けられるノズル板504と、で囲まれた空間である。また、振動板540の個別液室506とは反対面側に、下部電極500a,圧電体500b,上部電極500cが積層されてなる圧電素子501が形成されている。また、個別液室506の振動板540に対向する板面がノズル板504となっている。このように構成されたインクジェットヘッド1において、各個別液室506内に液体、例えば記録液インクが満たされた状態で、図示しない制御部から画像データに基づいて、発振回路により、記録液の吐出を行いたいノズル孔505に対応する上部電極500cに対して、20Vのパルス電圧を印加する。この電圧パルスを印加することにより、圧電体500bは、電歪効果により圧電体500bそのものが振動板540と平行方向に縮むことにより、振動板540が個別液室506側に凸となるように撓むことになる。これにより、個別液室506内の圧力が急激に上昇して、個別液室506に連通するノズル孔505から記録液が吐出されるようになる。次に、パルス電圧印加後は、縮んだ圧電体500bが元に戻ることから撓んだ振動板540は、元の位置に戻るため、個別液室506内が共通液室533内に比べて負圧となり、共通液室533から流体抵抗部532を通って記録液が個別液室506に供給される。以上の動作制御を繰り返すことにより、インクジェットヘッド1は液滴を連続的に吐出でき、インクジェットヘッド1に対向して配置された被記録媒体用紙に画像を形成することが可能となる。図5に示すように、インクジェットヘッド1は、Si基板上に形成された振動板540と、該振動板540上に、下部電極500a,圧電体500b,上部電極500cがこの順番で積層されてなる圧電素子501と、を備え、圧電素子501及び振動板540からなる圧電アクチュエータを用いてノズル板504の基板面部に設けた液滴吐出孔であるノズル孔505から液滴を吐出させるサイドシュータータイプのものである。ここで、ノズル板504は、SUS、Ni、Siなどの金属または無機材料、PIポリイミドなどの樹脂材料にノズル孔505を形成して構成され、図示していない接着剤または陽極接合等の他の接合手段によって液室基板503に接合されるものである。液室基板503は、必要とされる機械的強度および化学的耐性を備えた加工しやすい材料であるSi基板で作られる。Si基板を用いる場合、フォトリソグラフィとエッチング法による加工に、いわゆる半導体プロセスを用いることができるため、液室配列の高集積化が可能となる。振動板540は、圧電素子501による変位の範囲内で弾性変形する材質とすることが必要である。材質としては、無機材料、有機材料の薄膜が用いられるが、電極との密着性を考慮すると無機材料を用いることが好ましい。無機材料としては、金属、合金、半導体、誘電体等の任意の材料を用いることができる。材料は加工方法から最適のものを選定することができ、液室基板503にSiを用いた場合は、SiO2,Si3N4,他結晶Siを用いることが好ましい。一般にはSiの熱酸化膜とするケースが多い。また、これらの積層膜とすることで、残留応力を相殺する構造をとることができる。また、SiO2,Si3N4等の誘電体材料は化学的に安定であり、吐出するインクに接触しても、インクによる腐食による振動板540の破壊を防止することができる。さらに、これらの薄膜の成膜技術は半導体プロセスで確立された技術であるため、安定した振動板540を得ることができる。振動板540の厚さは、材料の剛性や形成方法から最適化することが好ましいが、前述の無機材料SiO2,Si3N4を用いた場合、1~5μmの範囲とすることが好ましい。例えばまず、Si基板上に振動板540となる絶縁物を形成し、その後個別液室506などの液室となる空洞をエッチングにより形成後、必要な厚みに研磨される。エッチングの際は絶縁物層がストップ層となる。下部電極500aは、複数の圧電素子501における共通電極であり、共通電極配線不図示と接続している。また、下部電極500aは、例えば圧電体500bの配向性を制御するために111結晶配向した薄膜であり、下部電極500aを構成する材料としては、任意の導電性材料を用いることができる。導電材料としては、金属、合金、導電性化合物等を用いることができるが、圧電体500bの成膜方法により耐熱性の高い電極材料を用いることが好ましい。通常圧電体500bは成膜後に結晶化させるプロセスが必要であり、一般的な圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTを用いた場合、結晶化プロセス温度は500°C~800°Cとなることが一般的である。そのため、圧電素子に用いられる材料は高融点であると同時に高温で隣接する振動板540や圧電材料と化合物を形成しない安定性の高い材料であることが必要である。これらの材料としてはPt,Ir,Pd,Au等の反応性が低く高融点である金属やその合金を用いることが好ましい。このうち、一般的に圧電体500bを構成する代表的材料であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTと格子定数が近く酸化しにくい貴金属であるPtが最も多く使用されている。また、高温安定性の高い化合物導電材料を用いても良い。これらの化合物導電材料としては、任意の複合酸化物を用いることができる。例えば、IrO2、RuO2、SrO、SrRuO3、CaRuO3、BaRuO3、SrxCa1-xRuO3等の白金族金属含有導電性酸化物やLaNiO3などが挙げられる。下部電極500aの膜厚は電極に必要とされる電気抵抗により任意に設定することができるが、100nmから1μmの範囲が好ましい。圧電体500bを構成する材料としては、ペロブスカイト型結晶構造を有し化学式ABO3で示すことのできる複合酸化物を用いることができる。ここで、Aサイトの元素としてはPb、Ba、Nb、La、Li、Sr、Bi、NaおよびKなどである。また、Bサイトの元素としてはCd、Fe、Ti、Ta、Mg、Mo、Ni、Nb、Zr、Zn、WおよびYbなどである。この中でも、Aには鉛Pb、BにジルコニウムZrとチタンTiの混合を適用したチタン酸ジルコン酸鉛PZTが多く用いられている。この材料は、温度特性,圧電特性に優れているため、高信頼性、高安定性の圧電素子501を得ることができる。PZTの他には、鉛を使用しないという環境的な利点があり変位量が大きく原料が安価であり使用実績が多いものとしては、チタン酸バリウムBaTiO3を用いることができる。圧電体500bの膜厚は所望の特性により最適値を設定することができるが、0.1μmから5μmの範囲とすることが好ましい。さらに圧電体500bは個別液室506ごとに個別に形成される必要があり、個別液室幅よりも圧電体幅を狭くする必要がある。それにより、剛性の高い圧電体500bの膜が形成されない部分が個別液室506上に形成され、振動変位する領域を確保することができる。そのため、後述する圧電体500bのパターニングが重要である。上部電極500cは、個別液室506ごとに形成される圧電体500bの上方に形成される。また上部電極500cは、複数の圧電素子501ごとに設けられる個別電極であり、個別電極配線不図示と接続している。該個別電極配線は複数の圧電素子501それぞれの上部電極500cと個別に導通しており、駆動信号入力部不図示から個別電極配線を通じてそれぞれの圧電素子501に駆動信号が入力される。上部電極500cを構成する材料としては、下部電極500aの場合と同じ材料群のいずれかを用いることができる。すなわち、上部電極500cの材料は任意の導電性材料を用いることが可能である。導電材料としては、金属、合金、導電性化合物等が挙げられるが、金属または合金を用いることが好ましい。その際、圧電体500bとの密着性を考慮した材料を選定する必要がある。また、圧電材料に含まれるPb等の材料と反応相互拡散し合金を形成する材料は好ましくない。さらに、圧電材料に含まれる酸素等と反応する材料も好ましくない。従って、反応性の低い安定した材料を用いるのが好ましい。これらの材料としては、Au,Pt,Ir,Pdまたはこれらの合金,固溶体を例として挙げられる。また、上部電極500cの幅は圧電体500bの幅より狭くすることが好ましい。圧電体500b端部まで上部電極500cを形成した場合、圧電体500b端部の電界集中により、下部電極500a-上部電極500c間の放電現象に繋がる可能性があり、圧電素子2の信頼性を著しく損なう可能性がある。ここで、本発明のインクジェットヘッド1は、下部電極500a、圧電体500b、上部電極500cの少なくともいずれかが、前述した本発明の機能性膜の形成方法により形成されてなることを特徴とするものである。図6を参照しながら、下部電極500a、圧電体500b、上部電極500cすべてを本発明の機能性膜の形成方法で形成する場合を説明する。S21まず、印刷装置20のインキング部23において、溶液塗布手段23aにより機能性溶液である有機分子含有溶液608を下部電極500aを形成するために作製した印刷用版50の凹凸パターン形成面に塗布する。S22ついで、印刷装置20の転写部24において有機分子含有溶液608が塗布された印刷用版50の凹凸パターン形成面と、印刷基材である振動板540液室基板503等は省略とを接触させて接触状態を保持する図6A1。これにより、印刷用版50の凹凸パターンの凸部において、有機分子300と振動板540とを化学結合させて所望の撥液性領域301a、親液性領域302aからなるパターンを形成する図6A2。S23次に、液滴吐出ヘッドなどの液体塗布手段400aを用いて、電極材料含有溶液401aを親液性領域302aに選択的に塗布する図6A3。親液性領域302aに塗布された電極材料含有溶液401aは、振動板540上の表面エネルギー差により親液性領域302aに対して濡れ拡がり、撥液性領域301aに対しては濡れ拡がりが抑制されるため、高解像度のパターニングを行うことができる。ここで、電極材料含有溶液401aとしては、白金微粒子をエタノール溶媒中に分散させた溶液を用いているが、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウム等の白金系金属微粒子を、アルコール等の有機溶媒中に分散させた金属微粒子分散液や、ゾルゲル法により金属アルコキシド等の金属有機化合物を溶媒中に溶解、分散した所謂ゾルゲル液を用いてもよい。S24次に、エネルギー付与手段700を用いて、振動板540上の電極材料含有溶液401aにエネルギーを加えて下部電極500aを形成する図6A4。ここで、エネルギー付与手段700としては、ホットプレート、オーブンを用いているが、ハロゲンランプ、キセノンランプ、赤外線ランプ等の加熱手段や、YAGレーザ、CO2レーザ、Arレーザ等のレーザ照射手段を用いてもよい。以上、ステップS21~S24の工程を下部電極500aの膜が所望の膜厚となるまで複数回実施する。S31次に、印刷装置20のインキング部23において、溶液塗布手段23aにより機能性溶液である有機分子含有溶液608を圧電体500bを形成するために作製した印刷用版50の凹凸パターン形成面に塗布する。S32ついで、印刷装置20の転写部24において有機分子含有溶液608が塗布された印刷用版50の凹凸パターン形成面と、振動板540液室基板503等は省略の下部電極500a形成面とを接触させて接触状態を保持する図6B1。これにより、印刷用版50の凹凸パターンの凸部において、有機分子300と振動板540及び下部電極500a上における外縁部とを化学結合させて所望の撥液性領域301b、親液性領域302bからなるパターンを形成する図6B2。S33次に、液滴吐出ヘッドなどの液体塗布手段400bを用いて、圧電体前駆体溶液401bを親液性領域302b下部電極500aに選択的に塗布する図6B3。ここで、圧電体前駆体溶液401bとしては、ゾルゲル法により成膜される圧電体材料、具体的には酢酸鉛、イソプロポキシドジルコニウム、イソプロポキシドチタンを出発材料にし、共通溶媒としてメトキシエタノールに溶解させたチタン酸ジルコン酸鉛PZT系の材料を用いる。S34次に、エネルギー付与手段700を用いて、下部電極500a上の圧電体前駆体溶液401bにエネルギーを加えて圧電体500bを形成する図6B4。以上、ステップS31~S34の工程を圧電体500bの薄膜が所望の膜厚となるまで複数回実施する。S41次に、印刷装置20のインキング部23において、溶液塗布手段23aにより機能性溶液である有機分子含有溶液608を上部電極500cを形成するために作製した印刷用版50の凹凸パターン形成面に塗布する。S42ついで、印刷装置20の転写部24において有機分子含有溶液608が塗布された印刷用版50の凹凸パターン形成面と、振動板540液室基板503等は省略の下部電極500a及び圧電体500b形成面とを接触させて接触状態を保持する図6C1。これにより、印刷用版50の凹凸パターンの凸部において、有機分子300と振動板540、下部電極500a上における外縁部及び圧電体500b上における外縁部とを化学結合させて所望の撥液性領域301c、親液性領域302cからなるパターンを形成する図6C2。S43次に、液滴吐出ヘッドなどの液体塗布手段400cを用いて、電極材料含有溶液401cを親液性領域302c圧電体500bに選択的に塗布する図6C3。ここでは、電極材料含有溶液401cと前述した電極材料含有溶液401aは同一の材料である。S44次に、エネルギー付与手段700を用いて、圧電体500b上の電極材料含有溶液401cにエネルギーを加えて上部電極500cを形成する図6C4。以上、ステップS41~S44の工程を上部電極500cの膜が所望の膜厚となるまで複数回実施する。以上のように、本発明の機能性膜の形成方法を用いたステップS21~S24,S31~S34,S41~S44の工程により、振動板540上に下部電極500aと、圧電体500bと、上部電極500cからなる圧電素子501を精度よく形成することが可能となり、引いては安定した吐出性能を有するインクジェットヘッド1を得ることができる。ところで、前述した本発明のインクジェットヘッドに対してインクなどの液体を供給する液体タンクを一体化して液体カートリッジとしてもよい。図7に、その液体カートリッジであるインクカートリッジの外観図を示す。このインクカートリッジ80は、ノズル孔505等を有する前述した本発明に係るインクジェットヘッド1と、このインクジェットヘッド1に対してインクを供給する液体タンクであるインクタンク82とを一体化したものである。このようにインクタンク82が一体型のインクジェットヘッド1の場合、アクチュエータ部を高精度化、高密度化、および高信頼化することで、インクカートリッジ80の歩留まりや信頼性を向上することができ、インクカートリッジ80の低コスト化を図ることができる。つぎに、本発明に係る画像形成装置について説明する。本発明に係る画像形成装置は、液滴を吐出させて画像を形成する画像形成装置であって、前述した本発明のインクジェットヘッド又は図7の一体型インクジェットヘッドユニットである液体カートリッジを備えていることを特徴とする。ここでは、図8及び図9を用いて、本発明のインクジェットヘッド1を搭載した画像形成装置であるインクジェット記録装置を実施例として説明する。なお、図8は同記録装置の斜視説明図、図9は同記録装置の機構部の側面説明図である。このインクジェット記録装置は、記録装置本体の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ98、キャリッジ98に搭載した本発明のインクジェットヘッド記録ヘッド1、インクジェットヘッド1へインクを供給するインクカートリッジ99等で構成される印字機構部91等を収納し、装置本体の下方部には前方側から多数枚の用紙92を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイでもよい。93を抜き差し自在に装着することができる。また、用紙92を手差しで給紙するために開かれる手差しトレイ94を有し、給紙カセット93あるいは手差しトレイ94から給送される用紙92を取り込み、印字機構部91によって所要の画像を記録した後、後面側の装着された排紙トレイ95に排紙する。印字機構部91は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド96と従ガイドロッド97とキャリッジ98を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ98には、イエローY、シアンC、マゼンダを主ガイドロッド96に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送上流側を従ガイドロッド97に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ98を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ101で回転駆動される駆動プーリ102と従動プーリ103との間にタイミングベルト104を張装し、このタイミングベルト104をキャリッジ98に固定しており、主走査モータ101の正逆回転によりキャリッジ98が往復駆動される。一方、給紙カセット93にセットした用紙92をインクジェットヘッド1に下方側に搬送するために、給紙カセット93から用紙92を分離給装する給紙ローラ105及びフリクションパッド106と、用紙92を案内するガイド部材107と、給紙された用紙92を反転させて搬送する搬送ローラ108と、この搬送ローラ108の周面に押し付けられる搬送コロ109及び搬送ローラ108からの用紙92の送り出し角度を規定する先端コロ110とを有する。搬送ローラ108は副走査モータによってギア列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ98の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ108から送り出された用紙92をインクジェットヘッド1の下方側で案内するため用紙ガイド部材である印写受け部材111を設けている。この印写受け部材111の用紙搬送方向下流側には、用紙92を排紙方向へ送り出すための回転駆動される搬送コロ112と拍車113を設け、さらに用紙92を排紙トレイ95に送り出す排紙ローラ114と拍車115と排紙経路を形成するガイド部材116,117とを配設している。このインクジェット記録装置90による記録時には、キャリッジ98を移動させながら画像信号に応じてインクジェットヘッド1を駆動することにより、停止している用紙92にインクを吐出して1行分を記録し、その後、用紙92を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号または用紙92の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙92を排紙する。また、キャリッジ98の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、インクジェットヘッド1の吐出不良を回復するための回復装置118を配置している。回復装置118はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ98は印字待機中にはこの回復装置118側に移動されてキャップ手段でインクジェットヘッド1をキャッピングして吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係ないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出状態を維持する。また、吐出不良が発生した場合等には、キャップ手段でインクジェットヘッド1の吐出出口を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともの気泡等を吸出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜不図示に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。このように、このインクジェット記録装置90においては本発明のインクジェットヘッド1を搭載しているので、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク吐出特性が得られ、画像品質が向上する。なお、ここではインクジェット記録装置90にインクジェットヘッド1を使用した場合について説明したが、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する装置にインクジェットヘッド1を適用してもよい。以下、本発明に係る成形型及び印刷用版の製造方法に関する実施例を説明する。1成形型14本発明の成形型14を以下の手順で作製した。S51aエッチングマスク形成図11a外径150mm、活性層14a厚さ50μm、総厚625μmのSOI基板14kの表面にフォトレジストを塗布ベーク露光することにより所定パターンの開口部を有するエッチングマスク17を形成した。S51bエッチング図11bつぎに、エッチングマスク17の開口部を通して基板14kをドライエッチングすることにより、活性層14a表面にエッチングマスク17の開口部のパターンに対応した凹凸パターンを形成した。S51cエッチングマスク除去図11c活性層14aに凹凸パターンを形成した後、フォトレジストから成るエッチングマスク17を剥離することにより成形型14を得た。なお、比較例として、シリコン基板を用いて実施例と同じ条件で成形型を作製した。2印刷用版50本発明の印刷用版50を以下の手順で作製した。S52a液体状樹脂塗布工程図12a本実施例においては、主剤と硬化剤からなる二液混合型のPDMS樹脂標準硬化条件:70°C×60分150°C×30分の主剤と硬化剤とを10対1の重量比となるように秤量したのち、遊星回転機構を有する攪拌装置図示せずによって混合することによって、未硬化状態のPDMS樹脂液体状樹脂13aを調製し、成形型14の上部に設けた成形型支持部材12を用いたスキージコートにより成形型14表面の凹凸部の全領域を埋めるようにPDMS樹脂を層状に塗布した。S52b加圧工程図12b次に、未硬化状態の液体状樹脂13aの上方から、硬化後にホウ珪酸ガラスからなるガラス基板52を貼り合わせた。なお、事前にUV光を照射することにより、該ガラス基板52の表面改質を施している。ついで、加圧加熱装置図示せずを用いて成形型14とガラス基板52とを液体状樹脂13aを介して所定の圧力で加圧した。S52c硬化工程図12c引き続き、前記加圧加熱装置を用いて、成形型14とガラス基板52とを液体状樹脂13aを介して加圧した状態で、70°Cで60分間および150°Cで30分間加熱することにより、前記液体状樹脂13aを完全硬化させ、PDMS樹脂からなる硬化樹脂層13とした。S52d離型工程図12d成形型14、ガラス基板52、および硬化樹脂層13を徐冷した後、完全硬化状態の硬化樹脂層13を成形型14から離型させることにより、表面に凹凸パターンを有する硬化樹脂層13とガラス基板52とからなる印刷用版50の実施例サンプルを得た。また、比較例の成形型を用いて、実施例と同じ条件で印刷用版の比較例サンプルを作製した。3評価結果以上の製造工程ステップS52a~S52dにより作製した印刷用版50の実施例サンプルの凹凸パターン高さを3次元レーザ変位計を用いて測定したところ、50.0±0.2μmσであることが確認できた。一方、シリコン基板をドライエッチングすることによって形成した成形型を用いて作製した印刷用版比較例サンプルの凹凸パターン高さは、成形型のエッチング幅の狭いパターンはより低く、エッチング幅の広いパターンはより高くなることによってばらつきを生じて50.0±5.0μmと寸法精度の悪いものとなっていた。なお、これまで本発明を図面に示した実施形態をもって説明してきたが、本発明は図面に示した実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、変更、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。"