基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートが貼付された板状部材の搬送装置であって、前記接着シートは、前記板状部材の外縁に達する位置まで貼付され、前記板状部材の外縁に当接可能な複数の当接手段と、これら当接手段を離間接近して前記板状部材を把持可能に設けられた把持手段と、この把持手段及び当接手段を支持する支持手段と、この支持手段を移動可能な移動手段とを備え、前記当接手段は、前記板状部材の外縁側に当接したとき、当該板状部材に貼付された接着シート外縁側の接着剤層に非接触となる逃げ部を備えた形状に設けられていることを特徴とする板状部材の搬送装置。前記板状部材は、厚さ方向両側に位置する第1及び第2面を備え、前記当接手段は、第1面に対して傾斜する第1傾斜面と、第2面に対して傾斜する第2傾斜面とを備え、これら第1及び第2傾斜面が前記板状部材と基材シートとに線接触可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の板状部材の搬送装置。前記逃げ部は、第1及び第2傾斜面が狭まる方に連設された凹溝により形成されていることを特徴とする請求項2記載の板状部材の搬送装置。上述のようにウエハWに貼付された接着シートSを切断すると、接着シートSの接着剤層ADがウエハWの外縁側に表出することとなる。このため、図5に示されるような当接部材51では、接触面51Aに表出した接着剤層ADが付着してしまう、という不都合がある。この結果、ウエハWを搬送して載置する際に、ウエハWを当接部材51から切り離すことができず、搬送先のウエハWの載置位置がずれてしまったり、当接手段51とウエハWとが接着したままハンドが次の動作に移行し、ウエハWが予期しない位置に落下して破損してしまったりする、という不都合を招来する。[発明の目的]本発明の目的は、板状部材に貼付された接着シートの接着剤層が当接手段に接触することを防止することができる板状部材の搬送装置を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートが貼付された板状部材の搬送装置であって、前記接着シートは、前記板状部材の外縁に達する位置まで貼付され、前記板状部材の外縁に当接可能な複数の当接手段と、これら当接手段を離間接近して前記板状部材を把持可能に設けられた把持手段と、この把持手段及び当接手段を支持する支持手段と、この支持手段を移動可能な移動手段とを備え、前記当接手段は、前記板状部材の外縁側に当接したとき、当該板状部材に貼付された接着シート外縁側の接着剤層に非接触となる逃げ部を備えている、という構成を採っている。本発明において、前記板状部材は、厚さ方向両側に位置する第1及び第2面を備え、前記当接手段は、第1面に対して傾斜する第1傾斜面と、第2面に対して傾斜する第2傾斜面とを備え、これら第1及び第2傾斜面が前記板状部材と基材シートとに線接触可能に設けられる、という構成を採ってもよい。また、前記逃げ部は、第1及び第2傾斜面が狭まる方に連設された凹溝により形成される、という構成も好ましくは採用される。本発明によれば、当接手段が逃げ部を有するので、この逃げ部により接着シート外縁側の接着剤層と当接手段とを非接触にすることができるので、板状部材と当接手段とが接着してしまうことで、板状部材を当接手段から切り離すことができず、搬送先の板状部材の載置位置がずれてしまったり、当接手段と板状部材とが接着したまま当接手段が次の動作に移行し、板状部材が予期しない位置に落下して破損してしまったりすることを防止することが可能となる。また、板状部材と基材シートとに線接触可能な第1及び第2傾斜面を当接手段が有するので、当該当接手段と板状部材等との接触面積をできるだけ小さくでき、当接手段が接着剤層に非接触な状態にし易くすることが可能となる。更に、逃げ部を凹溝により形成することにより、簡単な構成で接着シート外縁側の接着剤層と当接手段との接触をより良く回避することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1~図3において、搬送装置10は、二股状に分岐したアーム部材からなる支持手段11と、この支持手段11を移動可能に設けられた駆動機器としての多関節ロボットからなる移動手段12と、板状部材としてのウエハWの外縁に当接可能な複数の当接手段13と、当接手段13を離間接近可能にする把持手段15とを備え、複数枚のウエハWを収容可能なカセットCと、図示しないテーブル等との間でウエハWを搬送可能に設けられている。前記ウエハWは、平面視略円形をなし、図3中下面が回路面となる第1面W1、同図中上面が第2面W2とされ、第1及び第2面W1、W2がウエハWの厚さ方向両側に位置する。ウエハWは、第2面W2の外縁側にリング状の凸部W3を有する形状に設けられる一方、径方向に断面視したときに外縁形状が円弧状に形成されている。ウエハWの第1面W1には保護用の接着シートSが貼付され、接着シートSは、基材シートBSと、この基材シートBSの一方の面同図中上面に積層された接着剤層ADとを備え、この接着剤層ADを介してウエハWに貼付されている。また、接着シートSは、図5の接着シートSと同様に貼付及び切断され、ウエハWの外縁に達する位置まで貼付されて接着剤層ADがウエハWの外縁側に表出している。前記移動手段12は、ベース部16と、このベース部16の上面に設けられて、複数のアームが相対回転可能な多関節アーム部17とを備えている。多関節アーム部17の各アームの移動量は、それらの関節部に設けられた図示しないモータにそれぞれに対応する数値情報でプログラムにより制御される。前記当接手段13は、支持手段11の先端側図1中左側に2体設けられた固定当接手段13Aと、支持手段11の基端側図1中右側で把持手段15に支持された2体の可動当接手段13Bとを備えている。各当接手段13A、13Bは、接着剤層ADの接着剤が接着し難いフッ素樹脂やシリコーン樹脂、フッ素コートやシリコーンコートが施され、ウエハWの外縁に当接する領域が窪んだ形状に設けられている。具体的には、図3中水平に位置する第1及び第2面W1、W2に対して傾斜するとともに、ウエハW外縁から離れる方向同図中左方向に行くに従って接近する第1及び第2傾斜面21、22と、これら第1及び第2傾斜面21、22が狭まる方の端部同図中左端部を連結して鉛直方向に延びる逃げ部23とを備えた形状に設けられている。各当接手段13A、13Bを介してウエハWを把持するときに、第1傾斜面21は接着シートSの基材シートBSに線接触し、且つ、第2傾斜面22は半円弧状のウエハW外縁に線接触可能に設けられる。更に、逃げ部23は、ウエハW外縁及び接着シートS外縁側の接着剤層ADに非接触となる位置に設けられている。前記把持手段15は、支持手段11の基端側に設けられた駆動機器としてのエアシリンダ26と、このエアシリンダ26の出力軸に設けられ、2体の可動当接手段13Bを連結する連結部材27とを備え、エアシリンダ26の作動により可動当接手段13Bを図1及び図2中左右方向に移動し、固定当接手段13Aと可動当接手段13Bとが離間接近可能となっている。これにより、把持手段15は、固定当接手段13A及び可動当接手段13Bを接近させることで、ウエハWを把持する一方、それらを離間することでウエハWの把持を解除することが可能となる。次に、前記搬送装置10によるウエハWの搬送方法について説明する。先ず、移動手段12を作動させることにより、カセットC内で図2中紙面直交方向両側に設けられた棚C1上に載置されているウエハWの下面側に支持手段11を進入させ、固定当接手段13A及び可動当接手段13Bの間にウエハWを位置させる。次いで、エアシリンダ26を作動し、固定当接手段13A及び可動当接手段13Bを接近させ、これにより、各当接手段13A、13Bを介してウエハWが把持された状態となる。ウエハWが把持された状態において、各当接手段13A、13Bの第1傾斜面21が基材シートBSに線接触するとともに、第2傾斜面22がウエハW外縁に線接触し、ウエハWの図3中上下及び左右方向の移動が規制される。このとき、接着シートS外縁側に接着剤層ADが表出しているが、当該接着剤層ADに対して逃げ部23が離れて位置するようになり、各当接手段13A、13Bと接着剤層ADとが非接触に維持される。ウエハWを把持した後、移動手段12を再度作動させ、ウエハWを図示しないテーブル等の載置面上に移動する。その後、エアシリンダ26を作動して固定当接手段13A及び可動当接手段13Bを離間させ、ウエハWの把持を解除して載置面上に載置することで、当該ウエハWの搬送が完了する。従って、このような実施形態によれば、各当接手段13A、13Bと接着剤層ADとを非接触としてウエハWを搬送することができる。これにより、当接手段13A、13BとウエハWとが接着した状態となることを未然に防止でき、ウエハWの把持を解除するときに、可動当接手段13Bの移動に伴ってウエハWがずれて図示しないテーブルの載置面上に載置されることを防止することが可能となる。更に、当接手段13A、13BとウエハWとの接着を解除する専用の装置や人手による手作業等をなくすこともできる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。前記逃げ部23の形状は、種々の変更が可能であり、例えば、図4に示されるように、凹溝30により形成してもよい。この凹溝30は、第1及び第2傾斜面21、22が狭まる方に連設され、且つ、ウエハW外縁から離れるように窪んだ形状に設けられ、これにより、各当接手段13A、13Bへの接着剤層ADの付着をより良好に防止することができる。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。更に、本発明において、板状部材は、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、支持手段11を構成するアーム部材は、前記実施形態に示されるような二股状に分岐した形状のものに限定されることはなく、三股以上に分岐した形状のもの、二股状に分岐することのないI型、板状部材と同形状のもの、板状部材と相似的な関係となる形状のもの、円形、三角形、四角形やそれ以上の多角形、幾何学的な形状であってもよい。更に、各当接手段13A、13Bの設置数及び設置位置は、前述のようにウエハWを把持できる限り、アーム部材の形状に応じて変更してもよい。