"弁室及び弁座を有する弁本体と、前記弁室内で前記弁座の開口を開閉可能に配置される弁部を有する弁棒と、前記弁本体に固着される円筒状のキャンと、該キャンの外周部に装着されるモータ励磁装置と、前記キャンの内周部に回転自在に支持され前記励磁装置によって回転駆動される永久磁石型ロータと、該ロータの内部に配設されてロータの回転を減速する遊星歯車式減速装置とを備え、前記ロータの内部空間に配設される前記遊星歯車式減速装置の出力ギヤと、出力ギヤにより駆動される雄ねじ部材と、弁本体の上部に固着されて雄ねじ部材と螺合する雌ねじ部材と、雄ねじ部材の内部に挿入される弁棒と、雄ねじ部材と弁棒の間に配設されて弁棒を前記弁座に向けて付勢するコイルスプリングを備えることを特徴とする減速装置付電動弁。前記第1のタイプの電動弁は、比較的コンパクトに構成できるものの、用途が低負荷の場合に限られ、また1駆動パルス当たりの弁開度の分解能を高くすることは困難である不都合を有している。前記第2のタイプの電動弁は、負荷が大きい場合にも使用でき、1駆動パルス当たりの弁開度の分解能を高くすることはできるが、減速装置のためのギヤボックスがモータ部分と別個に構成されるために電動弁全体が大型化してしまう問題を有している。そこで、本発明の目的は、減速装置を備えた電動弁において、キャンの内部にロータと一緒に減速装置をも配置して、小型でかつ強力な弁操作力と高分解能の弁開度特性を得ることができる減速装置付電動弁を提供するものである。上記目的を達成するために、本発明の減速装置付電動弁は、基本的手段として、弁室及び弁座を有する弁本体と、前記弁室内で前記弁座の開口を開閉可能に配置される弁部を有する弁棒と、前記弁本体に固着される円筒状のキャンと、該キャンの外周部に装着されるモータ励磁装置と、前記キャンの内周部に回転自在に支持され前記励磁装置によって回転駆動される永久磁石型ロータと、該ロータの内部に配設されてロータの回転を減速する遊星歯車式減速装置を備える。そして、前記ロータの内部空間に配設される前記遊星歯車式減速装置の出力ギヤと、出力ギヤにより駆動される雄ねじ部材と、弁本体の上部に固着されて雄ねじ部材と螺合する雌ねじ部材と、雄ねじ部材の内部に挿入される弁棒と、雄ねじ部材と弁棒の間に配設されて弁棒を前記弁座に向けて付勢するコイルスプリングを備えるものである。本発明の電動弁は、以上のように、減速装置をロータと一緒にキャン内に収容するので、小型で大出力高分解能の電動弁を低価格で提供することができる。図1に示すように、本発明が適用されるベースとなる減速装置付電動弁は、弁座12と弁室14を有する弁本体10を備える。弁室14内には弁体30が配置され、弁座12に対して離接する。弁室14に連通する2本の配管20、22が弁本体10に取り付けられる。弁本体30には弁棒32が連結される。弁本体10の上部の開口部には、リング部材38が載置され、この実施例では、一例としてカシメ加工部K1により固定されている。リング部材38の固定は、はんだ付けにより封止固定されることもある。リング部材38と弁棒32との間には、ベローズ40が設けられ、冷媒の浸入をシールする。弁棒32の上端部には、ボール36の受け部材34が挿入固定される。ボール36の上部には、ねじ軸320が当接され、ねじ機構により軸方向の推力を弁棒32側へ伝達する。弁本体10の上端の外周部には、弁本体の一部を構成するフランジ部材70が溶接等の手段により固定され、これによって外気と遮断し、ガスや水分等の浸入を防止している。このフランジ部材70の上部には受け部材80が固着される。受け部材80の外周側には、円筒部材82が取付けられ、受け部材80の内周側には、雌ねじ部材90が取付けられる。一方、フランジ部材70の上部には、キャンと称する非磁性の金属材で作られる円筒形状のキャン100が、溶接等で固着される。キャン100の外側には、駆動モータの一例としてのステッピングモータ用の励磁装置Mが取り付けられる。この励磁装置Mは、樹脂モールド120と、その内に装備されるボビン130に巻き付けたコイル140と、このコイルへの通電によって励磁されるステータSを有し、コイル140はリード142を介して給電される。この励磁装置Mは、下部に取付用金具180を有し、この取付用金具180の穴182をキャン100に形成した突起102に係合することにより、着脱自在にキャン100に装着される。キャン100の頂部には、円筒状の突部104が形成され、この突部104の内部に支持部材150が圧入固定される。この支持部材150は固定シャフト152を支持する。キャン100の内部には、ステッピングモータの永久磁石型ロータ170が回転自在に配設される。ロータ170は永久磁石材料で円筒状に作られ、樹脂等で作られる回転部材160と一体に形成される。回転部材160の回転力は、全体を符号200で示す減速装置に伝達される。図2乃至図5は、ロータ内部に組込まれる減速装置200の説明図である。減速装置200は、この実施例では、遊星歯車機構を利用して大きな減速比を実現している。この減速装置200は、シャフト210を介して、図1に示すロータ170と一体の回転部材160と一体に形成されるサンギヤ220を有する。サンギヤ220はプラネタリギヤ230に噛み合い、プラネタリギヤ230はキャリアによって支持される。本装置にあっては、キャリアは1対の円盤240,242と、2枚の円盤240,242を連結する軸232により構成され、3個のプラネタリギヤ230はキャリアに対して回転自在に取付けられる。図4に示すように、キャリア240は、3本の支柱244を有し、プレート242により3つのプラネタリギヤ230の軸232を支持するとともに、プレート242はビス等で支柱244に固定される。このキャリア全体は、後述する出力ギヤ260上で自由に回転できるように支持されている。プラネタリギヤ230は、リング状の固定ギヤ250と出力ギヤ260に同時に噛み合っている。固定ギヤ250は、弁本体10側に固定された円筒部材82の内側に固定される。出力ギヤ260は、固定ギヤ250とは異なる数の内歯を有し、受け部材80上に回転摺動自在に支持されていて、下面側にドライバー300が突出して備わっている。ドライバー300は、マイナスドライバー形状の駆動部310を有し、ねじ軸320に挿入される。ねじ軸320の回転は、軸方向の移動に変換され、ボール36を介して弁棒32側へ伝達される。ロータ側の回転部材160と減速装置側の固定ギヤ250との間に皿ばね190を介在させて回転部材160サンギヤ220を支持部材150側へ付勢している。この減速装置200にあって、出力ギヤ260の歯数が固定ギヤ250の歯数より多い場合は、ロータ170と一体に回転するサンギヤ220が時計廻りCWに回転すると、プラネタリギヤ230は反時計廻りCCWに回転する。キャリア240は減速されて時計廻りCWに回転する。出力ギヤ260は、時計廻りCWに回転する。逆に出力ギヤ260の歯数が固定ギヤ250の歯数より少ない場合は、サンギヤ220が時計廻りCWに回転すると、出力ギヤ260は反時計廻りCCWに回転する。この遊星歯車式減速装置にあっては、サンギヤ220、プラネタリギヤ230、固定ギヤ250、出力ギヤ260の歯数をそれぞれZa,Zb,Zc,Zfとしたとき、出力ギヤ260の出力ギヤ比は次式で表される。ZaZf-ZaZc/[ZfZaZc]ただし、Zf≠Zc因みに、Za=12、Zb=18、Zc=48、Zf=54としたとき、出力ギヤ260の出力ギヤ比は、1/45の大きな減速比となる。ロータの回転は大きな減速比でねじ軸320に伝達されるので、微小に、つまりは高分解能をもって弁開度を制御することが可能となる。ロータ170とロータ170の回転を減速する減速装置200は、単一のキャン100内に封入されるので、外気や水分等の浸入を完全に防ぐことができる。このため、内部の結露等の発生もなく、厳しい環境下でも確実な流量制御を行うことができる。図6は、本発明の実施態様に係る電動弁の構成を示す説明図である。この電動弁にあっても、弁本体の構成やキャン100の外側に駆動モータの一例であるステッピングモータの励磁装置Mを着脱自在に装着する構成と、ステッピングモータのロータの内部に減速装置を組込む構成は、先に説明した電動弁と同様であるので、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。この電動弁にあっては、弁本体10の上部の外側にフランジ部材70Aが固着され、フランジ部材70Aはキャン100を支持する。弁本体10の上部の内側に雌ねじ部材420が固着され、雌ねじ部材420は、受け部材80を介して円筒部材82を支持する。雌ねじ部材420にねじ部S1で螺合される雄ねじ部材410は、内部に弁棒400が挿動自在に挿入される。弁棒400の先端には弁部402が形成され、弁座12に当接する。弁棒400は、コイルスプリング430とプレート432を介して雄ねじ部材410内に挿入される。雄ねじ部材410の外側には、樹脂製の伝動部材440が一体に成型される。この伝動部材440は、雄ねじ部材の軸線に平行な溝442が形成される。一方、ロータ170の内側に装備される減速装置200の出力部材である出力ギヤ260は、伝動部材440側へ伸びるアーム状の駆動部262を有する。この駆動部262は、伝動部材440の溝442に係合する。この構成により、出力ギヤ260の回転力は、伝動部材440に伝動され、雄ねじ部材410は回転駆動される。雄ねじ部材410の回転は、ねじ部S1で軸方向の移動に変換され、弁棒400を上下動させる。ステッピングモータにより駆動されるロータ170の回転量は、大きな減速比で減速され、弁棒400を駆動する。そこで、小型で小トルクのステッピングモータを使用して大容量高分解能の電動弁を構成することが低価格で可能となる。なお、以上の実施例にあっては、いずれも遊星歯車を利用した減速装置の例を説明したが、複数の平歯車群からなる多段の歯車列を用いた歯車減速装置に置き換えることもできる。また、いずれの実施例においても、減速装置をロータ170の内部に収容した例を示したが、減速装置をロータの下方に配置するように構成することも可能である。また、ねじ機構を構成するねじのピッチを選択したり、弁座に対向する弁体の先端形状を変更することにより、ロータの回転に対する弁の流量制御特性を任意に設定することができる。したがって、ユーザの要求等を満足する弁特性を備えた電動弁を容易に提供することができる。"