"第1の方向に延在し前記第1の方向と直交する第2の方向に相互に対向する第1の梁の組と、前記第2の方向に延在し前記第1の方向に相互に対向する第2の梁の組と、前記第1の梁と前記第2の梁との間を接続する複数の接続部とを有する環状のフレームと、前記第1及び第2の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、前記一方の組が離間したときに前記他方の組が近接する振動モードで、前記フレームを前記第1及び第2の方向が属する第1の面内において振動させる駆動部と、前記振動モードで振動する前記フレームの前記第1の面内における変形量に基づいて、前記第1及び第2の方向と直交する第3の方向の軸回りの角速度を検出する第1の検出部と、前記接続部に接続され、前記フレームを支持する支持部とを具備する角速度センサ。請求項1に記載の角速度センサであって、前記第1の面内において前記第1及び第2の方向と交差する第4の方向に延在するように前記接続部に設けられ、前記第1の面内で前記フレームの振動に同期して振動する第1の振り子部と、前記第1の面内において前記第1、第2及び第4の方向と交差する第5の方向に延在するように前記接続部に設けられ、前記第1の面内で前記フレームの振動に同期して振動する第2の振り子部と、前記第1の面と直交する方向への前記第1及び第2の振り子部の変形量に基づいて、前記第1の面内における所定の2つの方向の軸回りの角速度を検出する第2の検出部とをさらに具備する角速度センサ。請求項2に記載の角速度センサであって、前記第2の検出部は、前記第1及び第2の方向の軸回りの角速度を検出する角速度センサ。請求項2に記載の角速度センサであって、前記第2の検出部は、前記第1及び第2の振り子上に配置され前記第1の面と直交する方向への前記第1及び第2の振り子部の変形を電気的に検出する圧電層を含む角速度センサ。請求項1に記載の角速度センサであって、前記駆動部は、前記第1及び第2の梁にそれぞれ配置された圧電駆動層を含む角速度センサ。請求項1に記載の角速度センサであって、前記第1及び第2の梁の少なくとも一方に配置され、前記振動モードでの振動による前記梁の変形を検出するための圧電層を含む参照部をさらに具備する角速度センサ。請求項1に記載の角速度センサであって、前記支持部は、固定部に機械的に固定されるベースと、前記ベースと前記接続部との間を連結し変形可能な連結部とを有する角速度センサ。請求項7に記載の角速度センサであって、前記ベースは、前記フレームの外側を囲む枠状に形成される角速度センサ。請求項7に記載の角速度センサであって、前記ベースは、前記固定部に電気的に接続される電極パッドを有する角速度センサ。請求項1に記載の角速度センサであって、前記フレームは、前記第1及び第2の梁のうち少なくとも一方に形成された重錘部をさらに有する角速度センサ。請求項1に記載の角速度センサであって、前記第1の面内において前記第1及び第2の方向と交差する第4の方向に延在するように前記接続部に設けられ、前記第1の面内で前記フレームの振動に同期して振動する第1の振り子部と、前記第1の面と直交する方向への前記第1の振り子部の変形量に基づいて、前記第4の方向の軸回りの角速度を検出する第3の検出部とをさらに具備する角速度センサ。請求項11に記載の角速度センサであって、前記第1の面内において前記第1、第2及び第4の方向と直交する第5の方向に延在するように前記接続部に設けられ、前記第1の面内で前記フレームの振動に同期して振動する第2の振り子部と、前記第1の面と直交する方向への前記第2の振り子部の変形量に基づいて、前記第5の方向の軸回りの角速度を検出する第4の検出部とをさらに具備する角速度センサ。請求項12に記載の角速度センサであって、前記第3の検出部は、前記第1の振り子部上に配置され、前記第1の面と直交する方向への前記第1の振り子部の変形を電気的に検出する圧電層を含み、前記第4の検出部は、前記第2の振り子部上に配置され、前記第1の面と直交する方向への前記第2の振り子部の変形を電気的に検出する圧電層を含む角速度センサ。請求項1に記載の角速度センサであって、前記第1の検出部は、前記第1及び第2の梁の少なくとも一方に配置され、前記梁の変形を電気的に検出する圧電層を含む角速度センサ。請求項1に記載の角速度センサであって、前記第1及び第2の梁は、前記フレームの内方側に突出する突出部を有する角速度センサ。第1の方向に延在し前記第1の方向と直交する第2の方向に相互に対向する第1の梁の組と、前記第2の方向に延在し前記第1の方向に相互に対向する第2の梁の組と、前記第1の梁と前記第2の梁との間を接続する複数の接続部とを有する環状のフレームと、前記第1及び第2の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、前記一方の組が離間したときに前記他方の組が近接する振動モードで、前記フレームを前記第1及び第2の方向が属する第1の面内において振動させる駆動部と、前記第1の面内において前記第1及び第2の方向と交差する第3の方向に延在するように前記接続部に設けられ、前記第1の面内で前記フレームの振動に同期して振動する第1の振り子部と、前記第1の面内において前記第1、第2及び第3の方向と交差する第4の方向に延在するように前記接続部に設けられ、前記第1の面内で前記フレームの振動に同期して振動する第2の振り子部と、前記第1の面と直交する方向への前記第1及び第2の振り子部の変形量に基づいて、前記第1の面内における所定の2つの方向の軸回りの角速度を検出する検出部と前記接続部に接続され、前記フレームを支持する支持部とを具備する角速度センサ。第1の方向に延在し前記第1の方向と直交する第2の方向に相互に対向する第1の梁の組と、前記第2の方向に延在し前記第1の方向に相互に対向する第2の梁の組と、前記第1の梁と前記第2の梁との間を接続する複数の接続部とを有する環状のフレームと、前記第1及び第2の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、前記一方の組が離間したときに前記他方の組が近接する振動モードで、前記フレームを前記第1及び第2の方向が属する面内において振動させる駆動部と、前記振動モードで振動する前記フレームの前記面内における変形量に基づいて、前記第1及び第2の方向と直交する第3の方向の軸回りの角速度を検出する検出部と、前記接続部に接続され、前記フレームを支持する支持部とを有する角速度センサを備えた電子機器。第1の方向に延在し前記第1の方向と直交する第2の方向に相互に対向する第1の梁の組と、前記第2の方向に延在し前記第1の方向に相互に対向する第2の梁の組と、前記第1の梁と前記第2の梁との間を接続する複数の接続部とを有する環状のフレームを、前記接続部に接続した支持部で支持し、前記第1及び第2の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、前記一方の組が離間したときに前記他方の組が近接する振動モードで、前記フレームを前記第1及び第2の方向が属する第1の面内において振動させ、前記振動モードで振動する前記フレームの前記第1の面内における変形量に基づいて、前記第1及び第2の方向と直交する第3の方向の軸回りの角速度を検出する角速度の検出方法。近年、電子機器の小型化に伴い、これに搭載される電子部品の小型化、薄型化が要求されている。しかしながら、特許文献1及び2に記載の構成では、3つの振動子のうち1つはその長手方向を垂直方向厚み方向に向けて配置されていた。このため、センサの厚み寸法が大きくなるという問題があった。また、上記垂直方向に配置される振動子の長さを短くすることでセンサの厚み寸法を低減することも考えられるが、この場合、当該厚み方向の軸回りの角速度を高精度に検出することが困難になるという問題がある。以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、センサの薄型化を実現することができる角速度センサ、電子機器及び角速度の検出方法を提供することにある。また、本発明の目的は、平面内で厚み方向の軸回りの角速度を高精度に検出することができる角速度センサ、電子機器及び角速度の検出方法を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る角速度センサは、環状のフレームと、駆動部と、第1の検出部と、支持部とを具備する。上記環状のフレームは、第1の梁の組と、第2の梁の組と、複数の接続部とを有する。上記第1の梁の組は、第1の方向に延在し、上記第1の方向と直交する第2の方向に相互に対向する。上記第2の梁の組は、上記第2の方向に延在し、上記第1の方向に相互に対向する。上記接続部は、上記第1の梁と上記第2の梁との間を接続する。上記駆動部は、上記第1及び第2の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、上記一方の組が離間したときに上記他方の組が近接する振動モードで、上記フレームを上記第1及び第2の方向が属する第1の面内において振動させる。上記第1の検出部は、上記振動モードで振動する上記フレームの上記第1の面内における変形量に基づいて、上記第1及び第2の方向と直交する第3の方向の軸回りの角速度を検出する。上記支持部は、上記接続部に接続され、上記フレームを支持する。上記フレームは、駆動部により、第1の面内において上記振動モードで励振される。このとき、第1及び第2の梁は、上記接続部を支点振動節点とする両持ち梁の形態で振動する。この状態で、フレームに上記第3の方向の軸回りへの角速度が作用すると、上記の各梁に対しその瞬間での振動方向単方向と直交する方向のコリオリ力が発生する。上記コリオリ力は、上記第1及び第2の梁の組に作用し、フレームを第1の面内において略平行四辺形状に歪ませる。第1の検出部は、当該フレームの第1の面内における歪み変形を検出し、その変形量に基づいて、フレームに作用した角速度を検出する。なお、支持部は、フレームの接続部に接続されることで、上記振動モードを阻害することなく、また上記歪み変形を阻害することなく、フレームを支持することが可能となる。上記角速度センサによれば、第3の方向の軸回りの角速度を、当該第3の方向と直交する平面内で振動するフレームの当該平面内における変形に基づいて検出することができる。これにより、必ずしも、振動する梁の長手方向を、検出する回転の回転軸方向とする必要はなくなり、垂直方向厚み方向の軸回りの角速度を検出する場合であっても、垂直方向厚み方向に合わせて梁の長手方向を配置する必要がなくなる。このため、センサの厚み寸法を大きくすることなく、厚み方向の軸回りの角速度を高精度に検出することができ、さらにセンサの薄型化を実現することが可能となる。上記角速度センサは、第1の振り子部と、第2の振り子部と、第2の検出部とをさらに具備してもよい。上記第1の振り子部は、上記第1の面内において上記第1及び第2の方向と交差する第4の方向に延在するように上記接続部に設けられ、上記第1の面内で前記フレームの振動に同期して振動する。上記第2の振り子部は、上記第1の面内において上記第1、第2及び第4の方向と交差する第5の方向に延在するように上記接続部に設けられ、上記第1の面内で前記フレームの振動に同期して振動する。上記第2の検出部は、上記第1の面と直交する方向への上記第1及び第2の振り子部の変形量に基づいて、上記第1の面内における所定の2つの方向の軸回りの角速度を検出する。上記角速度センサにおいて、第1及び第2の振り子部は、フレームの振動に同期して第1の面内で振動する。この状態で、第1及び第2の振り子部に上記第1の面と平行な軸回りへの角速度が作用すると、上記第1及び第2の振り子部にその瞬間での振動方向単方向と直交する方向のコリオリ力が発生する。上記コリオリ力は、上記第1及び第2の振り子部に作用し、第1及び第2の振り子部を上記第1の面に直交する方向第3の方向に変形振動させる。第2の検出部は、当該第1及び第2の振り子部の第1の面に直交する方向第3の方向への変形をそれぞれ検出し、その変形量に基づいて、第1及び第2の振り子部に作用した角速度を検出する。したがって、上記角速度センサによれば、第3の方向の軸回りの角速度だけでなく、第1の面内における所定の2つの方向の軸回りの角速度をも検出することが可能である。上記第1の検出部は、上記第1及び第2の梁の少なくともいずれか一方に配置されてもよい。第3の方向の軸回りに角速度が作用すると、コリオリ力により、第1及び第2の梁を含むフレーム全体が第1の面内において歪み変形を受ける。したがって、少なくともひとつの梁に、当該梁の歪み変形を検出する検出部が配置されることで、上記角速度の検出が実現可能となる。上記第1の検出部は、当該梁の変形を電気的に検出する圧電層を含むことができる。一方、上記角速度センサは、第1の振り子部と、第3の検出部とをさらに具備してもよい。上記第1の振り子部は、上記第1の面内において上記第1及び第2の方向と交差する第4の方向に延在するように上記接続部に設けられる。上記第1の振り子部は、上記第1の面内で上記フレームの振動に同期して振動する。上記第3の検出部は、上記第1の面と直交する方向への上記第1の振り子部の変形量に基づいて、上記第4の方向の軸回りの角速度を検出する。この場合、上記角速度センサは、第2の振り子部と、第4の検出部とをさらに具備してもよい。上記第2の振り子部は、上記第1の面内において上記第1、第2及び第4の方向と交差する第5の方向に延在するように上記接続部に設けられる。上記第2の振り子部は、上記第1の面内で上記フレームの振動に同期して振動する。上記第4の検出部は、上記第1の面と直交する方向への上記第2の振り子部の変形量に基づいて、上記第5の方向の軸回りの角速度を検出する。一方、上記第3の検出部は、上記第1の振り子部上に配置された圧電層を含んでもよく、この圧電層によって、上記第1の面と直交する方向への上記第1の振り子部の変形を電気的に検出してもよい。同様に、上記第4の検出部は、上記第2の振り子部上に配置された圧電層を含んでもよく、この圧電層により、上記第1の面と直交する方向への上記第2の振り子部の変形を電気的に検出してもよい。また上記第2の検出部も同様に、上記第1の振り子部上及び上記第2の振り子部上に配置された圧電層を含んでもよく、この圧電層によって上記第1の面と直交する方向への上記第1及び第2の振り子部の変形を電気的に検出してもよい。第1及び第2の振り子部は、それぞれ複数形成されてもよい。この場合、第1の振り子部は、上記第4の方向に相互に対向するようにフレームの接続部に各々形成され、第2の振り子部は、上記第5の方向に相互に対向するようにフレームの接続部に各々形成される。第1及び第2の振り子部は、フレームの外側に向かって延在してもよいし、フレームの内側に向かって延在してもよい。この場合、複数形成された第1及び第2の振り子部の全てに圧電層が形成されてもよいし、少なくとも各々1つに圧電層が形成されてもよい。上記支持部は、上記振動モードで振動するフレームの振動の節ノードとなる上記接続部に設けられる。上記支持部は、ベースと、連結部とを有する。上記ベースは、固定部に機械的に固定される。上記連結部は、上記ベースと上記接続部との間を連結し変形可能に構成される。この構成により、上記振動モードでのフレームの振動を阻害することなく、またコリオリ力によるフレーム及び振り子部の歪み変形を阻害することなく、フレームを固定部へ固定することができる。上記ベースは、上記フレームの外側を囲む枠状に形成されてもよい。これにより、上記フレームを固定部に対して安定に固定することができる。上記フレームは、上記第1及び第2の梁のうち少なくとも一方に形成された重錘部をさらに有してもよい。これにより、第1及び第2の梁の振幅や共振周波数、離調度等を容易に調整することが可能となる。本発明の他の形態に係る角速度センサは、環状のフレームと、駆動部と、第1の振り子部と、第2の振り子部と、検出部と、支持部とを具備する。上記フレームは、第1の梁の組と、第2の梁の組と、複数の接続部とを有する。上記第1の梁の組は、第1の方向に延在し上記第1の方向と直交する第2の方向に相互に対向する。上記第2の梁の組は、上記第2の方向に延在し上記第1の方向に相互に対向する。上記接続部は、上記第1の梁と上記第2の梁との間を接続する。上記駆動部は、上記第1及び第2の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、前記一方の組が離間したときに前記他方の組が近接する振動モードで、上記フレームを上記第1及び第2の方向が属する第1の面内において振動させる。上記第1の振り子部は、上記第1の面内において上記第1及び第2の方向と交差する第3の方向に延在するように上記接続部に設けられる。上記第1の振り子部は、上記第1の面内で上記フレームの振動に同期して振動する。上記第2の振り子部は、上記第1の面内において上記第1、第2及び第3の方向と交差する第4の方向に延在するように上記接続部に設けられる。上記第2の振り子部は、上記第1の面内で上記フレームの振動に同期して振動する。上記検出部は、上記第1の面と直交する方向への上記第1及び第2の振り子部の変形量に基づいて、上記第1の面内における所定の2つの方向の軸回りの角速度を検出する。上記支持部は、上記接続部に接続され、上記フレームを支持する。上記角速度センサにおいて、第1及び第2の振り子部は、フレームの振動に同期して第1の面内で振動する。支持部は、フレーム及び第1、第2の振り子部を上記振動モードで振動可能かつコリオリ力によって変形可能に支持する。この状態で、第1及び第2の振り子部に上記第1の面と平行な軸回りへの角速度が作用すると、上記第1及び第2の振り子部にその瞬間での振動方向単方向と直交する方向のコリオリ力が発生する。上記コリオリ力は、上記第1及び第2の振り子部に作用し、第1及び第2の振り子部を第1の面に直交する方向に変形振動させる。検出部は、当該第1及び第2の振り子部の第1の面に直交する方向への変形をそれぞれ検出し、その変形量に基づいて、第1及び第2の振り子部に作用した角速度を検出する。したがって、上記角速度センサによれば、第1の面内における所定の2つの方向の軸回りの角速度をも検出することが可能である。本発明の一形態に係る電子機器は、環状のフレームと、駆動部と、検出部と、支持部とを有する角速度センサを備える。上記環状のフレームは、第1の梁の組と、第2の梁の組と、複数の接続部とを有する。上記第1の梁の組は、第1の方向に延在し、上記第1の方向と直交する第2の方向に相互に対向する。上記第2の梁の組は、上記第2の方向に延在し、上記第1の方向に相互に対向する。上記接続部は、上記第1の梁と上記第2の梁との間を接続する。上記駆動部は、上記第1及び第2の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、前記一方の組が離間したときに前記他方の組が近接する振動モードで、上記フレームを上記第1及び第2の方向が属する第1の面内において振動させる。上記検出部は、上記振動モードで振動する上記フレームの上記第1の面内における変形量に基づいて、上記第1及び第2の方向と直交する第3の方向の軸回りの角速度を検出する。上記支持部は、上記接続部に接続され、上記フレームを支持する。本発明の一形態に係る角速度の検出方法は、第1の方向に延在し前記第1の方向と直交する第2の方向に相互に対向する第1の梁の組と、上記第2の方向に延在し上記第1の方向に相互に対向する第2の梁の組と、上記第1の梁と上記第2の梁との間を接続する複数の接続部とを有する環状のフレームを、上記接続部に接続した支持部で支持することを含む。上記第1及び第2の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、上記一方の組が離間したときに上記他方の組が近接する振動モードで、上記フレームは、上記第1及び第2の方向が属する第1の面内において振動させられる。上記振動モードで振動する上記フレームの上記第1の面内における変形量に基づいて、上記第1及び第2の方向と直交する第3の方向の軸回りの角速度が検出される。以上のように、本発明によれば、センサの薄型化を実現することができる。また、本発明によれば、平面内で厚み方向の軸回りの角速度を高精度に検出することができる。すなわち、本発明においては、必ずしも、振動する梁の長手方向を、検出する回転の回転軸方向とする必要はなくなり、垂直方向厚み方向の軸回りの角速度を検出する場合であっても、垂直方向厚み方向に合わせて梁の長手方向を配置する必要がなくなる。このため、厚み方向の回転検出を含む1軸、又は相互に直交する2軸もしくは3軸の回転検出において、理論上は上記1軸の回転検出を行うセンサと同じ厚み寸法で相互に直交する3軸の検出が可能となる。これにより、センサの厚み寸法を大きくすることなく、厚み方向の軸回りの角速度を高精度に検出することができ、さらにセンサの薄型化を実現することが可能となる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。第1の実施形態図1は、本発明の一実施形態に係る角速度センサの駆動部分の基本構成を示す平面図である。図1では、角速度センサのフレーム及び駆動部の構成例が示されており、角速度の検出部の構成例は図6、図9、図13等に示されている。以下、図1を参照して、この角速度センサの駆動部分の基本構成を説明する。[フレーム]本実施形態の角速度センサ1は、四辺を有する環状のフレーム10を備える。フレーム10は、a軸方向に横方向、b軸方向に縦方向、c軸方向に厚み方向を有する。一方、図1において、X軸方向は、c軸を中心としてa軸を反時計まわりに45度回転させたときの軸方向に相当し、Y軸方向は、c軸を中心としてb軸を反時計まわりに45度回転させたときの軸方向に相当する。Z軸方向は、c軸方向と平行な軸方向である。フレーム10の各辺は、振動梁として機能し、第1の梁の組11a、11bと、第2の梁の組12a、12bとを含む。第1の梁の組11a、11bは、図1においてa軸方向第1の方向に相互に平行に延在し、a軸方向と直交するb軸方向第2の方向に相互に対向する一組の対辺で構成される。第2の梁の組12a、12bは、b軸方向に相互に平行に延在し、a軸方向に相互に対向する他の一組の対辺で構成される。梁11a、11b、12a、12bは、それぞれ同一の長さ、幅及び厚みを有しており、フレーム10の外観は、中空の正方形状を有している。フレーム10は、シリコン単結晶基板に微細加工技術を施すことで形成される。例えば、フレーム10は、公知のMEMSMicroElectroMechanicalSystemsの製造技術を用いて形成することができる。フレーム10の大きさは特に限定されず、例えば、フレーム10の一辺の長さは1000~4000μm、フレーム10の厚みは10~200μm、梁11a、11b、12a、12bの幅は50~200μmである。フレーム10の四隅に相当する部位には、第1の梁の組11a、11bと第2の梁の組12a、12bとの間を接続する接続部13a、13b、13c、13dがそれぞれ形成されている。第1の梁の組11a、11b及び第2の梁の組12a、12bの両端は、接続部13a~13dによってそれぞれ支持される。後述するように、各梁11a、11b、12a、12bは、接続部13a~13dによって両端が支持された振動梁として機能する。フレーム10の四隅は、図示するように角張った形状に限らず、面取りされたり、丸みを帯びた形状に形成されたりしてもよい。フレーム10は、さらに、第1の振り子部21a、21bと、第2の振り子部22a、22bとを有する。第1の振り子部21a、21bは、X軸方向に対向する2つの接続部13a、13cにそれぞれ形成されており、X軸方向に沿ってフレーム10の内側に延在している。第1の振り子部21a、21bのそれぞれの一端は、接続部13a、13cに固定され、それぞれの他端は、フレーム10の中央付近において相互に対向している。第2の振り子部22a、22bは、Y軸方向に対向する2つの接続部13b、13dにそれぞれ形成されており、Y軸方向に沿ってフレーム10の内側に延在している。第2の振り子部22a、22bのそれぞれの一端は、接続部13b、13dに固定され、それぞれの他端は、フレーム10の中央付近において相互に対向している。振り子部21a、21b、22a、22bは、それぞれ典型的には同一の形状及び大きさを有しており、フレーム10の外形加工の際に同時に形成される。振り子部21a、21b、22a、22bの形状、大きさは特に限定されず、全く同一の形状でなくてもよい。本実施形態において、振り子部21a、21b、22a、22bは、自由端側に形成されたヘッド部Hと、ヘッド部Hと接続部13a~13dとの間を接続するアーム部Lとを有する。アーム部Lは、後述するように梁11a、11b、12a、12bの振動によってXY平面内において励振される。ヘッド部Hは梁11a、11b、12a、12bからみて振動錘として機能する。なお、振り子部21a、21b、22a、22bの形成は省略されてもよい。フレーム10は上述した正方形状に限られず、長方形状や平行四辺形状を含む他の四角形状であってもよい。また、フレーム10は、四角形に限られず、八角形等の他の多角形状であってもよい。四隅の接続部により両端が支持された各梁は直線でなく、屈曲した直線や曲線で構成されていてもよく、内周もしくは外周側に突出していてもよい。また、各接続部13a~13dには、フレーム10を固定部へ支持する支持部が接続されているが、その図示はここでは省略されている。[駆動電極]角速度センサ1は、フレーム10を振動させる駆動部として、圧電駆動層を有する。圧電駆動層は、第1の梁の組11a、11bにそれぞれ設けられた第1の圧電駆動層31a、31bと、第2の梁の組12a、12bにそれぞれ設けられた第2の圧電駆動層32a、32bとを有する。圧電駆動層31a、31b、32a、32bは、入力電圧に応じて機械的に変形し、その変形の駆動力で梁11a、11b、12a、12bを振動させる。変形の方向は、入力電圧の極性で制御される。第1の圧電駆動層31a、31b及び第2の圧電駆動層32a、32bはそれぞれ、第1の圧電駆動体301と、第2の圧電駆動体302とを有している。圧電駆動体301、302は、梁11a、11b、12a、12bの上面であってそれらの軸線に関して対称な位置にそれぞれ直線的に形成されている。図1においては、理解を容易にするため、第1及び第2の圧電駆動体301、302をそれぞれ異なる種類のハッチングで示す。第1の圧電駆動体301は、第1の梁の組11a、11bの内縁側と、第2の梁の組12a、12bの外縁側とに各々平行に配置されている。第2の圧電駆動体302は、第1の梁の組11a、11bの外縁側と、第2の梁の組12a、12bの内縁側とに各々平行に配置されている。第1及び第2の圧電駆動体301、302は、それぞれ同一の構成を有している。図2は、第2の梁12aに配置された第2の圧電駆動層32aの断面図である。第1及び第2の圧電駆動体301は、下部電極層303と、圧電材料層304と、上部電極層305との積層構造を有する。圧電駆動体301、302は、例えば0.5~3μmの厚みで形成される。なお、圧電駆動体が形成される梁を有するフレームはシリコン単結晶基板からなり、上記圧電駆動体が形成される面にはあらかじめシリコン酸化膜等の絶縁膜が形成されているが、図2ではその記載を省略している。圧電材料層304は、下部電極層303と上部電極層305との電位差に応じて伸縮するように分極配向されている。したがって、圧電駆動体301、302の各々の下部電極層303を共通の基準電位に接続し、各々の上部電極層305に逆位相の交流電圧を印加することで、圧電駆動体301と圧電駆動体302とは相互に逆位相で伸縮することになる。下部電極層303、圧電材料層304及び上部電極層305の構成材料は特に限定されず、例えば、下部電極層303はチタンTiと白金Ptの積層膜、圧電材料層304はチタン酸ジルコン酸鉛PZT、上部電極層305は白金で構成される。これら各層は、スパッタリング法や真空蒸着法、CVD法等の薄膜製造技術を用いて形成することができる。また、形成された膜のパターニングには、フォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工を用いることができる。なお、以下の説明では、第1の圧電駆動体301を第1の駆動電極301とも称し、第2の圧電駆動体302を第2の駆動電極302とも称する。第1及び第2の駆動電極301、302は全ての梁11a、11b、12a、12bにそれぞれ形成される例に限られない。例えば、第1及び第2の駆動電極301、302のうち何れか一方が各梁に形成されていればよい。また、相互に対向する梁の組のうち一方の梁が振動すれば、その振動がフレームの接続部を介して他方の梁に伝播し、当該他方の梁の振動を励起させることができる。このため、相互に対向する梁の組のうち一方の梁にのみ駆動電極が配置されてもよい。[角速度センサの動作原理]図3は、図1の第2の梁の組12a、12bの振動の態様を説明する模式図である。第1の駆動電極301と第2の駆動電極302とは、一方が伸びたとき他方が縮むように相互に逆位相の電圧が印加される。これにより、梁12a、12bは、両端が接続部13a~13dに支持された状態でa軸方向に撓み変形を受け、XY平面内において双方が離間する方向と双方が近接する方向とに交互に振動する。図1の第1の梁の組11a、11bも同様に、両端が接続部13a~13dに支持された状態でb軸方向に撓み変形を受け、XY平面内において双方が離間する方向と双方が近接する方向とに交互に振動する。ここで、第1の梁の組11a、11bと第2の梁の組12a、12bとにおいては、それらの内縁側と外縁側とに配置される第1及び第2の駆動電極301、302の位置関係が反対の関係にある。したがって、第1の梁の組11a、11bの対向する梁の中央部が相互に近接する方向に振動する場合は、第2の梁の組12a、12bの対向する梁の中央部は相互に離間する方向に振動し、第1の梁の組11a、11bが相互に離間する方向に振動する場合は、第2の梁の組12a、12bは相互に近接する方向に振動する。このとき、各梁11a、11b、12a、12bの中央部は、振動の腹を形成し、それらの両端部接続部13a~13dは、振動の節ノードを形成する。このような振動モードを以下、フレーム10の基本振動と称する。梁11a、11b、12a、12bは、それらの共振周波数で駆動される。各梁11a、11b、12a、12bの共振周波数は、それらの形状、長さ等によって定められる。フレーム10の基本振動における共振周波数と、角速度検出時における共振周波数とが近いほど、検出出力を上げることができる。Z軸まわりの角速度を検出する場合、上記2つの共振周波数は、フレーム10の厚みにほとんど依存しないため、フレーム10の厚みを小さくすることで、圧電駆動による機械的変位をより大きくすることができる。一方、フレーム10が薄いとフレーム10の機械的強度が低下するため、デバイスとしての信頼性を確保できる厚みに設定される。また、振動梁の動作周波数が低いほど振動子の振幅が大きくなるため、角速度センサとしては高特性が得られる。一方、振動梁が小型であるほど、その動作周波数は高くなる傾向にある。本実施形態では、梁11a、11b、12a、12bの共振周波数は、1~100kHzの範囲で設定される。図4は、フレーム10の基本振動の時間変化を示す模式図である。図4において、駆動信号1は、第1の駆動電極301に印加される入力電圧の時間変化を示し、駆動信号2は、第2の駆動電極302に印加される入力電圧の時間変化を示す。図4に示すように、駆動信号1と駆動信号2とは相互に逆位相に変化する交流波形を有する。これにより、フレーム10は、a、b、c、d、a、の順に変化し、第1の梁の組11a、11bと第2の梁の組12a、12bのうち、一方の組が近接したときは他方の組が離間し、上記一方の組が離間したときは上記他方の組が近接する振動モードで、フレーム10は振動する。なお、実際には入力信号が印加されてからフレームが変化変位するまでには圧電体の応答時間や入力動作周波数、フレーム共振周波数などの影響で遅延時間が存在する。本例においては、上記遅延時間は十分に小さいものとして図4の時間変化を説明している。また、上述したフレーム10の基本振動に伴って、第1の振り子部21a、21b及び第2の振り子部22a、22bもまた、フレーム10の振動に同期して、接続部13a~13dを中心としてXY平面内でそれぞれ振動する。振り子部21a、21b、22a、22bの振動は、梁11a、11b、12a、12bの振動により励起される。この場合、第1の振り子部21a、21bと第2の振り子部22a、22bとは、XY平面内における振り子部分の支点部すなわち上記接続部13a~13dからの左右の揺動方向において、相互に逆位相で振動揺動する。図4に示すように、第1の梁の組11a、11bが相互に近接する方向へ振動するときは、第1の振り子部21aと第2の振り子部22aとは相互に離間する方向へ振動し状態b、第1の梁の組11a、11bが相互に離間する方向へ振動するときは、第1の振り子部21aと第2の振り子部22aとは相互に近接する方向へ振動する状態d。第1の振り子部21bと第2の振り子部22bもまた、第2の梁の組12a、12bの振動方向によって、相互に離間する方向と近接する方向とに交互に振動する。以上のように、第1の振り子部21a、21bと第2の振り子部22a、22bとは、フレーム10の基本振動に同期して相互に逆位相で振動する。以上のように構成される本実施形態の角速度センサ1においては、駆動電極301、302に対して逆位相の交流電圧が印加されることで、フレーム10の各梁11a、11b、12a、12bは、図4に示した振動モードで振動する。このような基本振動を継続するフレーム10にZ軸まわりの角速度が作用すると、フレーム10の各点に当該角速度に起因するコリオリ力が作用することで、フレーム10は図5に示したようにXY平面内において歪むように変形する。したがって、このXY平面内におけるフレーム10の変形量を検出することで、フレーム10に作用した角速度の大きさ及び方向を検出することが可能となる。図5は、Z軸まわりに角速度が作用したフレーム10のある瞬間におけるフレーム10の変形の様子を概略的に示す平面図である。なお説明を分かりやすくするため、フレーム10の形状及び変形の様子はやや誇張して示している。基本振動をするフレーム10にZ軸を中心とする時計回り方向の角速度が作用すると、フレーム10内の各点梁11a、11b、12a、12b、振り子部21a、21b、22a、22bには、Z軸と直交するXY平面内において、上記各点のその瞬間における移動方向振動方向と時計回り方向へ90度をなす方向に当該角速度の大きさに比例したコリオリ力が発生する。すなわち、コリオリ力の向きは、図5に示すように当該コリオリ力が作用する点の上記瞬間における振動の方向によって決まる。これにより、フレーム10は、正方形状から概略平行四辺形状となるように、XY平面内において、ひしゃげられる歪む。なお、図5は、Z軸を中心として時計まわりに所定の角速度が作用したときの様子を示している。なお、角速度の向きが反対反時計まわりの場合は、各点に作用するコリオリ力の向きも反対となる。フレーム10に作用した角速度の検出にはどのような手段が用いられてもよく、例えば、フレーム10に圧電検出層を配置してもよい。図6は、角速度検出用の圧電検出層51第1の検出部を備えた角速度センサの平面図である。図6において、図1と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。[検出電極]図6に示す角速度センサ2は、第1の梁の組11a、11bのうち一方の梁11bに形成される電極構造が、図1に示した角速度センサ1と異なる。すなわち本実施形態では、第2の駆動電極302に代えて、圧電検出層51が配置されている。圧電検出層51は、第1の圧電検出体51aと第2の圧電検出体51bとを有する。第1及び第2の圧電検出体51a、51bは、第1の梁11bの軸線方向の中央部に関して対称な位置にそれぞれ配置されている。第1及び第2の圧電検出体51a、51bは、圧電駆動体301、302と同様な構成を有しており、下部電極層と、圧電材料層と、上部電極層との積層体図2で構成され、梁11bの機械的変形を電気信号に変換する機能を有する。なお、以下の説明では、第1の圧電検出体51aを第1の検出電極51aとも称し、第2の圧電検出体51bを第2の検出電極51bとも称する。図5に示したように、Z軸まわりに角速度が生じると、コリオリ力により各梁11a、11b、12a、12bは、XY平面内において歪み変形を受ける。この歪み変形は、各梁11a、11b、12a、12bに対して同時に発生する。したがって、一部の梁に圧電検出層51を配置することで、フレーム10に作用する角速度を検出することが可能となる。また、圧電検出層51は、角速度に起因するフレーム10の変形だけでなく、基本振動における梁11bの変形をも検出する。ここで、角速度の発生に伴うフレーム10の変形は、各梁の軸線方向の中央部に関して対称である。すなわち、梁11bの中央部を境界とする一方の領域はフレーム10の内方側に向かって凸なる形状に変形し、他方の領域はフレーム10の外方側に凸なる形状に変形する。このため、梁11bの上記一方の領域の外縁側は縮み、上記他方の領域の外縁側は伸長する。これら領域の各々の外縁側に配置された第1及び第2の検出電極51a、51bは、相互の逆位相の検出信号を出力する。したがって、これら検出信号の差分信号を生成することで、梁11bの基本振動成分を除去しつつ、角速度成分を高精度に検出することが可能となる。一方、図6に示す角速度センサ2は、第2の梁の組12a、12bのうち一方の梁12aに形成される電極構造が、図1に示した角速度センサ1と異なる。すなわち本実施形態では、第1の駆動電極301に代えて、参照電極61参照部が配置されている。参照電極61は、駆動電極301、302と同様な構成を有しており、下部電極層と、圧電検出層と、上部電極層との積層体図2で構成され、梁12aの機械的変形を電気信号に変換する機能を有する。参照電極61は、梁12aの外縁側に配置されることで、駆動電極302によって励振される梁12aの振動を検出し、その検出出力は、フレーム10を基本振動で発振させるための参照信号の生成に用いられる。なお、参照電極61の形成に代えて、第1及び第2の検出電極51a、51bの各出力の和信号を生成し、これを上記参照信号とすることも可能である。[角速度センサの駆動回路]次に、以上のように構成される角速度センサ2の駆動回路について説明する。図7は、角速度センサ2の駆動回路100Aを示すブロック図である。駆動回路100Aは、例えば、ICチップ、あるいは1チップ化されたIC部品で構成される。駆動回路100Aは、Go1端子と、Go2端子と、GFB端子と、Gaz端子と、Gbz端子と、Vref端子とを有する。Go1端子は、第1の駆動電極301の上部電極層305図2に接続されている。Go2端子は、第2の駆動電極302の上部電極層305図2に接続されている。GFB端子は、参照電極61に接続されている。Gaz端子は、第1の検出電極51aの上部電極層に接続され、Gbz端子は、第2の検出電極51bの上部電極層に接続されている。Vref端子は、第1及び第2の駆動電極301、302の各々の下部電極層303図2と、第1及び第2の検出電極51a、51bの各々の下部電極層とに、それぞれ接続されている。駆動回路100Aにおいて、Go1端子は、自励発振回路101の出力端に接続されている。自励発振回路101は、駆動電極301、302を駆動するための駆動信号交流信号を生成する。Go2端子は、反転アンプ102を介して自励発振回路101の出力端に接続されている。反転アンプ102は、自励発振回路101にて生成された駆動信号の位相を反転させる。これにより、第1の駆動電極301と第2の駆動電極302とは、相互に逆位相で伸縮される。Vref端子は、所定の基準電位に接続されている。基準電位は、グラウンド電位でもよいし、一定のオフセット電位でもよい。駆動回路100Aはさらに、演算回路103Aと、検波回路104zと、平滑回路105zとを有する。GFB端子、Gaz端子及びGbz端子はそれぞれ演算回路103Aの入力端に接続されている。演算回路103Aは、GFB端子を介して供給される参照電極61の出力電圧に基づいて参照信号を生成し、これを自励発振回路101へ出力する。また、演算回路103Aは、Gaz端子及びGbz端子を介して供給される検出電極51a、51bの出力電圧の差分信号を生成し、これを検波回路104zへ出力する。検波回路104zは、自励発振回路101からの駆動信号の出力あるいは参照信号に同期して上記差分信号を全波整流し、直流化する。平滑回路105zは、検波回路の出力を平滑化する。平滑回路105zから出力される直流電圧信号ωzは、Z軸まわりの角速度の大きさ及び方向に関する情報が含まれる。すなわち、基準電位Vrefに対する上記直流電圧信号ωzの大きさが角速度の大きさに関する情報に相当し、当該直流電圧の極性が角速度の方向に関する情報に相当する。図7に示した実施形態では、角速度センサ2の駆動電極301、302の各々の下部電極層303がいずれも基準電位Vrefに接続される回路例について説明した。これに限られず、駆動電極301、302のうち何れか一方について、入力電圧が印加される電極層を下部電極層303側としてもよい。図8は、その接続例を示す駆動電極301、302の要部断面図である。図8の例では、第1の駆動電極301の下部電極層303に駆動信号Go端子が接続され、その上部電極層305にVref端子が接続されている。この接続例においても、第1及び第2の駆動電極301を相互に逆位相で伸縮させることが可能である。また、駆動回路100Aから反転アンプ102を省略できるとともに、Go1端子とGo2端子とを共通のGo端子で構成することができる。角速度センサ2は、駆動回路100Aとともに固定部としての回路基板図示略上に実装されることで、1つのセンサ部品パッケージ部品を構成する。回路基板に対する角速度センサ2の実装方式としては、フリップチップ方式でもよいし、ワイヤボンディング方式でもよい。角速度センサ2は、フレーム10の振動時において振動の節を形成する接続部13a~13dを介して回路基板上へ実装される。これにより、フレーム10の振動を阻害することなく、フレーム10を支持することが可能となる。また、後述するように、接続部13a~13dに支持部を形成し、当該支持部を介してフレーム10を振動変形可能に弾性的に支持してもよい。回路基板と角速度センサ2との間の電気的接続もまた、接続部13a~13dを介して行うことができる。以上のように、本実施形態によれば、Z軸方向の軸まわりの角速度を、XY平面内で振動するフレーム10のXY平面内における変形に基づいて検出することができる。すなわち、本実施形態においては、必ずしも、振動する梁の長手方向を、検出する回転の回転軸方向とする必要はなくなり、垂直方向厚み方向の軸回りの角速度を検出する場合であっても、垂直方向厚み方向に合わせて梁の長手方向を配置する必要がなくなる。これにより、厚み寸法を大きくすることなく、厚み方向の軸まわりの角速度を高精度に検出することができ、さらにセンサの薄型化を実現することが可能となる。また、本実施形態に係る角速度センサは、デジタルスチルカメラやビデオカメラ、バーチャルリアリティ装置、カーナビゲーションシステム等の電子機器に内蔵され、手振れ検知や動作検知、方向検知等のためのセンサ部品として広く用いられる。特に、本実施形態によれば、センサの小型化、薄型化を図ることができるため、電子機器の小型化、薄型化等に対する要求にも十分に応えることが可能である。第2の実施形態図9は、本発明の第2の実施形態に係る角速度センサを示している。本実施形態に係る角速度センサは、X軸方向及びY軸方向に平行な軸まわりの角速度を検出可能な構造を有する。図9は、本実施形態の角速度センサ3の構成を示す平面図である。図9において図1と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。本実施形態の角速度センサ3は、図1に示した角速度センサ1に対して、X軸まわりの角速度を検出するための検出電極71a、71bと、Y軸まわりの角速度を検出するための検出電極72a、72bとを付加することで構成される。図9に示すように、X軸まわりの角速度を検出する検出電極71a、71bは、第1の振り子部21a、21bの表面にそれぞれ配置されている。Y軸まわりの角速度を検出する検出電極72a、72bは、第2の振り子部22a、22bの表面にそれぞれ配置されている。検出電極71a、71b、72a、72bは、各振り子部21a、21b、22a、22bのアーム部Lの軸心上に直線的に形成されている。検出電極71a、71b、72a、72bは、第1及び第2の駆動電極301、302と同様な構成を有しており、下部電極層と、圧電材料層と、上部電極層との積層体図2で構成され、アーム部Lの機械的変形を電気信号に変換する機能を有する。特に、検出電極71a、71b、72a、72bは、アーム部LのZ軸方向の変形を検出する機能を有する。本実施形態の角速度センサ3においては、駆動電極301、302に対して逆位相の交流電圧が印加されることで、フレーム10の各梁11a、11b、12a、12b、第1の振り子部21a、21b及び第2の振り子部22a、22bは、図4に示した振動モードで振動する。図10A、B及びCは、フレーム10にX軸まわりの角速度が作用したときの振り子部21a、21bの振動形態を説明する図であり、Aは平面図、BはX軸方向から見た側断面図、Cは各振り子部の概略斜視図である。図11A、B及びCは、フレーム10にY軸まわりの角速度が作用したときの振り子部22a、22bの振動形態を説明する図であり、Aは平面図、BはY軸方向から見た側断面図、Cは各振り子部の概略斜視図である。図10Aに示すように、基本振動を継続するフレーム10にX軸まわりの角速度が作用すると、第1の振り子部21a、21bにその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力F1が発生する。これにより、第1の振り子部21a、21bは図10Bに示したようにXY平面と直交する方向へ変形する。検出電極71a、71bは、XZ平面内における第1の振り子部21a、21bの変形量を電気的に検出する。これにより、フレーム10に作用したX軸まわりの角速度を検出することが可能となる。また、第1の振り子部21a、21bとに作用するコリオリ力F1は各々向きが逆であるため、振り子部21a、21bは相互に逆位相でZ軸方向に励振される。したがって、検出電極71a、71bによって検出される検出信号は相互に逆位相となり、これらの差分信号を取得することでX軸まわりの角速度信号を生成することが可能となると共に、例えば検出電極71a、71bがいずれか単独の場合と比べて感度を約2倍にすることができる。同様に、図11Aに示すように、基本振動を継続するフレーム10にY軸まわりの角速度が作用すると、第2の振り子部22a、22bにその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力F2が発生する。これにより、第2の振り子部22a、22bは図11Bに示したようにXY平面と直交する方向へ変形する。検出電極72a、72bは、YZ平面内における第2の振り子部22a、22bの変形量を電気的に検出する。これにより、フレーム10に作用したY軸まわりの角速度を検出することが可能となる。また、第2の振り子部22a、22bとに作用するコリオリ力F2は各々向きが逆であるため、振り子部22a、22bは相互に逆位相でZ軸方向に励振される。したがって、検出電極72a、72bによって検出される検出信号は相互に逆位相となり、これらの差分信号を取得することでY軸まわりの角速度信号を生成することが可能となる。次に、以上のように構成される角速度センサ3の駆動回路について説明する。図12は、角速度センサ3の駆動回路100Bを示すブロック図である。駆動回路100Bは、例えば、ICチップ、あるいは1チップ化されたIC部品で構成される。なお、図12に示す角速度センサ3は、一部の梁12aについて、第1の駆動電極301の代わりに参照電極61を有する。また、図12において図7に示した駆動回路100Aと共通する構成要素については同一の符号を付する。駆動回路100Bは、Go1端子と、Go2端子と、GFB端子と、Gax端子と、Gbx端子と、Gay端子と、Gby端子と、Vref端子とを有する。Go1端子は、第1の駆動電極301の上部電極層305図2に接続されている。Go2端子は、第2の駆動電極302の上部電極層305図2に接続されている。GFB端子は、参照電極61に接続されている。Gax端子は、検出電極71aの上部電極層に接続され、Gbx端子は、検出電極71bの上部電極層に接続されている。Gay端子は、検出電極72aの上部電極層に接続され、Gby端子は、検出電極72bの上部電極層に接続されている。Vref端子は、駆動電極301、302の各々の下部電極層303図2と、検出電極71a、71b、72a、72bの各々の下部電極層とに、それぞれ接続されている。駆動回路100Bにおいて、Go1端子は、自励発振回路101の出力端に接続されている。自励発振回路101は、駆動電極301、302を駆動するための駆動信号交流信号を生成する。Go2端子は、反転アンプ102を介して自励発振回路101の出力端に接続されている。反転アンプ102は、自励発振回路101にて生成された駆動信号の位相を反転させる。これにより、第1の駆動電極301と第2の駆動電極302とは、相互に逆位相で伸縮される。Vref端子は、所定の基準電位に接続されている。基準電位は、グラウンド電位でもよいし、一定のオフセット電位でもよい。駆動回路100Bはさらに、演算回路103Bと、検波回路104x、104yと、平滑回路105x、105yとを有する。GFB端子、Gax端子、Gbx端子、Gay端子及びGby端子はそれぞれ演算回路103Bの入力端に接続されている。演算回路103Bは、GFB端子を介して供給される参照電極61の出力電圧に基づいて参照信号を生成し、これを自励発振回路101へ出力する。また、演算回路103Bは、Gax端子及びGbx端子を介して供給される検出電極71a、71bの出力電圧の差分信号を生成し、これを検波回路104xへ出力する。さらに、演算回路103Bは、Gay端子及びGby端子を介して供給される検出電極72a、72bの出力電圧の差分信号を生成し、これを検波回路104yへ出力する。検波回路104x、104yは、自励発振回路101からの駆動信号の出力あるいは参照信号に同期して上記差分信号を全波整流し、直流化する。平滑回路105x、105yは、検波回路の出力を平滑化する。平滑回路105xから出力される直流電圧信号ωxは、X軸まわりの角速度の大きさ及び方向に関する情報が含まれる。また、平滑回路105yから出力される直流電圧信号ωyは、Y軸まわりの角速度の大きさ及び方向に関する情報が含まれる。すなわち、基準電位Vrefに対する上記直流電圧信号ωx、ωyの大きさが角速度の大きさに関する情報に相当し、当該直流電圧の極性が角速度の方向に関する情報に相当する。以上のように、本実施形態によれば、X及びY軸方向の軸まわりの角速度を、XY平面内で振動するフレーム10のXZ平面内及びYZ平面内における変形に基づいて検出することができる。これにより、厚み寸法を大きくすることなく、X及びY軸方向の2軸まわりの角速度を高精度に検出することができ、さらにセンサの薄型化を実現することが可能となる。また、本実施形態に係る角速度センサは、デジタルスチルカメラやビデオカメラ、バーチャルリアリティ装置、カーナビゲーションシステム等の電子機器に内蔵され、手振れ検知や動作検知、方向検知等のためのセンサ部品として広く用いられる。特に、本実施形態によれば、センサの小型化、薄型化を図ることができるため、電子機器の小型化、薄型化等に対する要求にも十分に応えることが可能である。第3の実施形態図13は、本発明の第3の実施形態に係る角速度センサを示している。本実施形態に係る角速度センサは、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に平行な軸まわりの角速度を検出可能な構造を有する。図13は、本実施形態の角速度センサ4の構成を示す平面図である。図13において図6及び図9と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。本実施形態の角速度センサ4は、図6に示した角速度センサ2に対して、X軸まわりの角速度を検出するための検出電極71a、71bと、Y軸まわりの角速度を検出するための検出電極72a、72bとを付加することで構成される。図13に示すように、X軸まわりの角速度を検出する検出電極71a、71bは、第1の振り子部21a、21bの表面にそれぞれ配置されている。Y軸まわりの角速度を検出する検出電極72a、72bは、第2の振り子部22a、22bの表面にそれぞれ配置されている。検出電極71a、71b、72a、72bは、各振り子部21a、21b、22a、22bのアーム部Lの軸心上に直線的に形成されている。検出電極71a、71b、72a、72bは、第1及び第2の駆動電極301、302と同様な構成を有しており、下部電極層と、圧電材料層と、上部電極層との積層体図2で構成され、アーム部Lの機械的変形を電気信号に変換する機能を有する。特に、検出電極71a、71b、72a、72bは、アーム部LのZ軸方向の変形を検出する機能を有する。次に、以上のように構成される角速度センサ4の駆動回路について説明する。図14は、角速度センサ4の駆動回路100Cを示すブロック図である。駆動回路100Cは、例えば、ICチップ、あるいは1チップ化されたIC部品で構成される。なお、図14において図7及び図12に示した駆動回路100A、100Bと共通する構成要素については同一の符号を付する。駆動回路100Cは、Go1端子と、Go2端子と、GFB端子と、Gax端子と、Gbx端子と、Gay端子と、Gby端子と、Gaz端子と、Gbz端子と、Vref端子とを有する。Go1端子は、第1の駆動電極301の上部電極層305図2に接続されている。Go2端子は、第2の駆動電極302の上部電極層305図2に接続されている。GFB端子は、参照電極61に接続されている。Gax端子は、検出電極71aの上部電極層に接続され、Gbx端子は、検出電極71bの上部電極層に接続されている。Gay端子は、検出電極72aの上部電極層に接続され、Gby端子は、検出電極72bの上部電極層に接続されている。Gaz端子は、検出電極51aの上部電極層に接続され、Gbz端子は、検出電極51bの上部電極層に接続されている。Vref端子は、駆動電極301、302の各々の下部電極層303図2と、検出電極51a、51b、71a、71b、72a、72bの各々の下部電極層とに、それぞれ接続されている。駆動回路100Cにおいて、Go1端子は、自励発振回路101の出力端に接続されている。自励発振回路101は、駆動電極301、302を駆動するための駆動信号交流信号を生成する。Go2端子は、反転アンプ102を介して自励発振回路101の出力端に接続されている。反転アンプ102は、自励発振回路101にて生成された駆動信号の位相を反転させる。これにより、第1の駆動電極301と第2の駆動電極302とは、相互に逆位相で伸縮される。Vref端子は、所定の基準電位に接続されている。基準電位は、グラウンド電位でもよいし、一定のオフセット電位でもよい。駆動回路100Cはさらに、演算回路103Cと、検波回路104x、104y、104zと、平滑回路105x、105y、105zとを有する。GFB端子、Gax端子、Gbx端子、Gay端子、Gby端子、Gaz端子及びGbz端子はそれぞれ演算回路103Cの入力端に接続されている。演算回路103Cは、GFB端子を介して供給される参照電極61の出力電圧に基づいて参照信号を生成し、これを自励発振回路101へ出力する。演算回路103Cは、Gax端子及びGbx端子を介して供給される検出電極71a、71bの出力電圧の差分信号を生成し、これを検波回路104xへ出力する。また、演算回路103Cは、Gay端子及びGby端子を介して供給される検出電極72a、72bの出力電圧の差分信号を生成し、これを検波回路104yへ出力する。さらに、演算回路103Cは、Gaz端子及びGbz端子を介して供給される検出電極51a、51bの出力電圧の差分信号を生成し、これを検波回路104zへ出力する。検波回路104x、104y、104zは、自励発振回路101からの駆動信号の出力あるいは参照信号に同期して上記差分信号を全波整流し、直流化する。平滑回路105x、105y、105zは、検波回路の出力を平滑化する。平滑回路105xから出力される直流電圧信号ωxは、X軸まわりの角速度の大きさ及び方向に関する情報が含まれる。また、平滑回路105yから出力される直流電圧信号ωyは、Y軸まわりの角速度の大きさ及び方向に関する情報が含まれる。さらに、平滑回路105zから出力される直流電圧信号ωzは、Z軸まわりの角速度の大きさ及び方向に関する情報が含まれる。すなわち、基準電位Vrefに対する上記直流電圧信号ωx、ωy、ωzの大きさが角速度の大きさに関する情報に相当し、当該直流電圧の極性が角速度の方向に関する情報に相当する。以上のように、本実施形態によれば、X、Y及びZ軸方向の軸まわりの角速度を、XY平面内で振動するフレーム10のXZ平面内、YZ平面内及びXY平面内におけるそれぞれの変形に基づいて検出することができる。これにより、厚み寸法を大きくすることなく、X、Y及びZ軸方向の3軸まわりの角速度を高精度に検出することができ、さらにセンサの薄型化を実現することが可能となる。また、本実施形態に係る角速度センサは、デジタルスチルカメラやビデオカメラ、バーチャルリアリティ装置、カーナビゲーションシステム等の電子機器に内蔵され、手振れ検知や動作検知、方向検知等のためのセンサ部品として広く用いられる。特に、本実施形態によれば、センサの小型化、薄型化を図ることができるため、電子機器の小型化、薄型化等に対する要求にも十分に応えることが可能である。第4の実施形態図15及び図16は、本発明の第4の実施形態に係る角速度センサを示している。フレーム10の構成及びフレーム10上の電極配置例は、第1~第3の実施形態で説明したいずれの例をも採用可能である。本実施形態では、フレーム10上の電極配置例は、図13に示した電極配置例と同一とした。図15は、本実施形態の角速度センサ5Aの構成を示す平面図である。図16は、回路基板150に実装された角速度センサ5Aの側面図である。本実施形態の角速度センサ5Aは、固定部としての回路基板150に対してフレーム10を接続するための支持部を備えている。上記支持部は、ベース81と、連結部82a、82b、82c、82dとを有している。ベース81は、フレーム10の外側を囲む四角形状の枠状に形成されている。ベース81は、上記回路基板に対して電気的に接続される複数の電極パッド152を有している。電極パッド152にはバンプ153がそれぞれ形成されており、各電極パッド152は、バンプ153を介して回路基板150上の複数のランド151に電気的機械的に接続されている。すなわち、本実施形態の角速度センサ5Aは、回路基板150に対してフリップチップ方式で実装されている。ただしバンプを形成せずに、単純に半田溶融で各電極パッドと回路基板とを電気的機械的に接続するように実装されてもよい。また、角速度センサ5Aの実装にはワイヤボンディング方式を用いてもよい。この場合、角速度センサ5Aは、図16に示した例とは逆に、回路基板に対して裏返しとなるように、すなわち複数の電極パッドが上向きとなるように接着等で機械的に接続される。その後、各電極パッドは、ワイヤボンディングによって回路基板と電気的に接続される。連結部82a~82dはそれぞれ、接続部13a~13dとベース81との間に形成されている。連結部82a~82dは、クランク状に略90度屈曲した屈曲部分を有しており、フレーム10の振動を受けて、主としてXY平面内において変形可能にフレーム10と一体的に形成されている。連結部82a、82bは、ベース81の梁12aと対向する領域に各々接続され、連結部82c、82dは、ベース81の梁12bに対向する領域に各々接続されている。また、連結部82a~82dの表面には、駆動電極301、302、検出電極51a、51b、71a、71b、72a、72bの各々の上部電極層及び下部電極層と、これらに対応する各電極パッド152との間を電気的に接続する配線層が形成されている。以上のように構成される本実施形態の角速度センサ5Aによれば、フレーム10からベース81へ伝播する振動成分を連結部82a~82dの変形により吸収あるいは緩和することが可能となる。これにより、フレーム10の振動を阻害することなく、角速度センサ5Aを回路基板150に対して安定して実装でき、高精度な角速度検出機能と実装信頼性を確保することができる。以上の例ではフレームと連結部とベースは、全て同じ厚さで形成されている。このことにより、加工時の出発材料であるシリコン単結晶基板の厚さで、フレームと連結部とベースの厚みが決まるため、厚さのばらつきが小さくなり、角速度センサの特性が安定する。しかしフレームと連結部とベースの厚みとは必ずしも同じである必要はなく、例えばベースの厚さをフレームや連結部の厚さよりも大きくしてもよい。これにより角速度センサ製造時のハンドリング性が向上する。また当該角速度センサを回路基板等に実装する際に、ベースの変形や破損を防止することができる。フレーム10とベース81との間を連結する連結部の構成は、上記の例に限られず、例えば図17及び図18に示すように構成されてもよい。図17に示す角速度センサ5Bにおいて、フレーム10の各接続部13a~13dとベース81との間を連結する連結部83a~83dは、略180度転回した転回部分を有している。本例では、連結部83a、83dは、ベース81の梁11aと対向する領域に各々接続され、連結部83b、83cは、ベース81の梁11bに対向する領域に各々接続されている。本例の角速度センサ5Bにおいても、上述の角速度センサ5Aと同様な作用効果を有する。角速度センサ5Bは、角速度センサ5Aに比べて連結部の長さが長いので、フレーム10の振動をより阻害しにくい点で優れているが、その分角速度センサ5Bの方がベースを含めた大きさが大きくなる。このため、振動特性を確認した上で、両者のバランスをとって決めればよい。また角速度センサ5A,5Bともに連結部はa軸、b軸に対し線対称になるように配置されたが、これに限られず例えば4回回転対称になるように配置されてもよい。しかし、図5のようにフレームがコリオリ力によって歪変形する際に、コリオリ力が正逆両方に作用しても安定して対称に変形するように設計することが難しいため、図15や図17のように連結部はa軸、b軸に対し線対称にすることが好ましい。一方、図18に示す角速度センサ5Cは、フレーム10の内周側で回路基板150と接続される構造を有しており、ベース84と、フレーム10の各接続部13a~13dとベース84との間を連結する連結部84a~84dとを有している。本例の角速度センサ5Cにおいても、上述の角速度センサ5Aと同様な作用効果を有する。特に本例によれば、フレーム10と同等の実装面積で実装することができるため、回路基板150に対する実装領域の縮小を図ることができる。第5の実施形態図19~図22は、本発明の第5の実施形態に係る角速度センサをそれぞれ示している。各図において、フレーム10の構成及びフレーム10上の電極配置例は、第1~第3の実施形態で説明したいずれの例をも採用可能である。本実施形態では、フレーム10上の電極配置例は、図13に示した電極配置例と同一とした。図19に示す角速度センサ6Aは、フレーム10の各梁11a、11b、11c、11dにこれら梁の振動重錘を構成する重錘部91が形成されている。重錘部91は、各梁の中央部内側に各々形成されている。重錘部91は、梁11a、11b、12a、12bに対して変形可能に構成されてもよい。重錘部91の形状、大きさ、重さ、数を適宜設定することにより、フレーム10の基本振動における梁11a、11b、12a、12bの振幅や共振周波数、離調度等を容易に調整することが可能となる。重錘部は、各梁に形成される場合に限られず、任意のひとつの梁にのみ形成されてもよい。また、重錘部の形成位置は、梁の内側に限られず、外側でもよいし、内側と外側の双方であってもよい。後者の場合、重錘部の形状、大きさあるいは重さは、梁の内側と外側とで同一でもよいし、異ならせてもよい。また、重錘部は梁と一体的に形成されてもよいし、梁とは別部材で構成されてもよい。例えば図20に示す角速度センサ6Bは、各梁11a、11b、12a、12bの中央部の内側と外側に重錘部92a、92bを有する。本例では、各重錘部92a、92bは形状が異なり、重錘部92aよりも重錘部92bが重く形成されている。また、図21に示す角速度センサ6Cは、各梁11a、11b、12a、12bの中央部の内側と外側に重錘部93a、93bを有する。本例では、各重錘部93a、93bは大きさが異なり、重錘部93bよりも重錘部93aが重く形成されている。さらに、図22に示す角速度センサ6Dは、各梁11a、11b、12a、12bの中央部の内側と外側に重錘部94a、94bを有する。本例では、各重錘部94a、94bは形状及び大きさが同一であり、同一の重さで形成されている。第6の実施形態図23~図25は、本発明の第6の実施形態に係る角速度センサを示している。以下、第1~第3の実施形態と異なる構成について主に説明し、上記各実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。図23は、本実施形態の角速度センサ7の平面図である。本実施形態では、a軸に平行な軸方向に一方の角速度検出軸Y軸が設定され、b軸に平行な軸方向に他方の角速度検出軸X軸が設定される。このような構成において、振り子部21a、21b、22a、22bに形成された検出電極71a、71b、72a、72b各々は、X軸まわりの角速度及びY軸まわりの角速度をそれぞれ検出するための検出部として機能する。駆動電極301、302には、相互に逆位相の交流電圧がそれぞれ印加される。これにより、フレーム10の各梁11a、11b、12a、12b及び振り子部21a、21b、22a、22bは、図4に示した振動モード基本振動で振動する。図24Aは、フレーム10にX軸まわりの角速度が作用したときの振り子部21a、21b、22a、22bの振動形態を説明する概略斜視図である。一方、図24Bは、フレーム10にY軸まわりの角速度が作用したときの振り子部21a、21b、22a、22bの振動形態を説明する概略斜視図である。基本振動で振動するフレーム10にX軸まわりの角速度が作用すると、図24Aに示すように各振り子部21a、21b、22a、22bにその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力F1がそれぞれ発生する。これにより、X軸方向に隣接する一方の振り子部21a及び振り子部22bの組は、コリオリ力F1によりZ軸の正の方向へ変形し、それらの変形量が検出電極71a、72bによって各々検出される。また、X軸方向に隣接する他方の振り子部22a、21bの組は、コリオリ力F1によりZ軸の負の方向へ変形し、それらの変形量が検出電極72a、71bによって各々検出される。一方、基本振動で振動するフレーム10にY軸まわりの角速度が作用すると、図24Bに示すように各振り子部21a、21b、22a、22bにその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力F2がそれぞれ発生する。これにより、Y軸方向に隣接する一方の振り子部21a及び振り子部22aの組は、コリオリ力F2によりZ軸の負の方向へ変形し、それらの変形量が検出電極71a、72aによって各々検出される。また、Y軸方向に隣接する他方の振り子部21b、22bの組は、コリオリ力F2によりZ軸の正の方向へ変形し、それらの変形量が検出電極71b、72bによって各々検出される。X軸及びY軸に各々斜めに交差する方向の軸まわりに角速度が生じた場合にも上述と同様な原理で角速度が検出される。すなわち、各振り子部21a、21b、22a、22bは、当該角速度のX方向成分及びY方向成分に応じたコリオリ力によって変形し、それらの変形量が検出電極71a、71b、72a、72bによって各々検出される。角速度センサ7の駆動回路は、これら検出電極の出力に基づいて、X軸まわりの角速度及びY軸まわりの角速度をそれぞれ抽出する。これにより、XY平面に平行な任意の軸まわりの角速度を検出することができる。図25は、角速度センサ7の駆動回路100Dを示すブロック図である。駆動回路100Dは、角速度センサ7の各検出電極と電気的に接続されるGxy1端子、Gxy2端子、Gxy3端子、Gxy4端子、Gz1端子及びGz2端子を有する。Gxy1端子は、振り子部21aの検出電極71aに接続され、Gxy2端子は、振り子部22aの検出電極72bに接続される。Gxy3端子は、振り子部21bの検出電極71bに接続され、Gxy4端子は、振り子部22bの検出電極72aに接続される。そして、Gz1端子は、フレーム10の検出電極51aに接続され、Gz2端子は、フレーム10の検出電極51bに接続される。駆動回路100Dの演算部103Dは、X軸まわりの角速度信号を生成するための第1の差分回路と、Y軸まわりの角速度信号を生成するための第2の差分回路と、Z軸まわりの角速度信号を生成するための第3の差分回路とを有する。検出電極71aの出力をxy1、検出電極72bの出力をxy2、検出電極71bの出力をxy3、検出電極72aの出力をxy4、検出電極51aの出力をz1、そして、検出電極51bの出力をz2とする。このとき、上記第1の差分回路は、xy1xy2-xy3xy4を演算し、その演算値を検波回路104xへ出力する。上記第2の差分回路は、xy1xy4-xy2xy3を演算し、その演算値を検波回路104yへ出力する。そして、上記第3の差分回路は、z1-z2を演算し、その演算値を検波回路104zへ出力する。すなわち本実施形態の角速度センサ7は、a軸に平行はY軸まわりの角速度と、b軸に平行なX軸まわりの角速度とを出力する。角速度センサは外部回路に実装するために四角形のパッケージに収められる。この形態ではパッケージの四角形の辺に平行な方向の軸回りの角速度を出力することが一般的である。このような場合、ab軸に平行な軸回りの角速度を出力できる本実施の形態を用いれば、パッケージの大きさを小さくすることができる。また以上のように構成される本実施形態の角速度センサ7においては、X軸方向の角速度及びY軸方向の角速度を高精度に検出することができるため、これらから簡単な演算によりXY平面内の任意の方向の軸回りの角速度を出力することが可能である。同様に第2、第3の実施形態の角速度センサは、a軸、b軸に対しab平面内で45°回転したX軸方向の角速度及びY軸方向の角速度を高精度に検出することができる。従ってこれらから簡単な演算によりabXY平面内の任意の方向の軸回りの角速度を出力することが可能である。第7の実施形態図26は、本発明の第7の実施形態に係る角速度センサの平面図である。以下、第1~第4の実施形態と異なる構成について主に説明し、上記各実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。本実施形態の角速度センサ7は、略正方形状の環状のフレーム110を有する。フレーム110は、第1の梁の組111a、111bと第2の梁の組112a、112bとの間を接続する複数の接続部13a~13dを有し、各接続部は、正方形の各頂点に対応するフレーム110の四隅に各々配置されている。そして、第1の梁の組111a、111b及び第2の梁の組112a、112bは、各接続部13a~13dを頂点とする正方形S図26の内方側に突出する突出部pをそれぞれ有し、全体として弓形に形成されている。各梁111a、111b、112a、112bは、突出部pと、突出部pの両端を接続部13a~13dに固定する傾斜部vとを有する。傾斜部vは、突出部pの両端にそれぞれ形成され、突出部pが正方形Sの内方側に位置するように突出部pを支持する。第1の梁の組111a、111bの突出部pはそれぞれa軸方向に平行に形成され、b軸方向に相互に対向している。第2の梁の組112a、112bの突出部pはそれぞれb軸方向に平行に形成され、a軸方向に相互に対向している。各々の突出部pの表面には、上述の各実施形態と同様に駆動電極がそれぞれ形成され、所定の梁の突出部には検出電極及び参照電極が形成されている。以上のように構成されるフレーム110においては、各梁111a、111b、112a、112bが弓型に形成されているため、フレームの占有面積が小さくなっても、フレームを形成する各梁の長さは短くならないので、振動モードの共振周波数は大きく変化しない。従って例えばc軸z軸まわりに角速度が作用した際、図5に示したようなab平面内における歪曲変形は阻害されないため、c軸z軸まわりの角速度検出感度を維持することができる。一方、本実施形態の角速度センサ7においては、図26に示すように、フレーム110を固定部81へ連結する連結部86a、86b、86c、86dを有する。各連結部86a~86dは、接続部13a~13d各々からa軸方向に対向する接続部に向かって直線的に延びる連結端部wa~wdをそれぞれ有する。すなわち、連結部86aは、接続部13aから接続部13dに向かって直線的に延びる連結端部waを有し、連結部86bは、接続部13bから接続部13cに向かって直線的に延びる連結端部wbを有する。同様に、連結部86cは、接続部13cから接続部13bに向かって直線的に延びる連結端部wcを有し、連結部86dは、接続部13dから接続部13aに向かって直線的に延びる連結端部wdを有する。連結端部wa~wdの延在方向はa軸方向だけに限られず、b軸方向であってもよい。連結端部wa~wdの延在方向をa軸方向またはb軸方向とすることにより、各速度センサ7の形状がa軸方向またはb軸方向に関して対称となることで、フレーム110の振動特性の調整が容易となる。勿論これに限られず、a軸方向に延びる連結端部とb軸方向に延びる連結端部とが混在していてもよい。なお連結端部は、a軸又はb軸方向に対して斜め方向に延びるように形成されてもよいが、後述するようにa軸又はb軸方向に形成された場合の方が素子の小型化に有利となる。連結部86a~86dを以上のように構成することによって、角速度センサ7の小型化を図ることが可能となる。図27は、本実施形態の角速度センサ7と、他の実施形態に係る角速度センサ8との大きさを比較した平面図であり、Aは角速度センサ7を、Bは角速度センサ8をそれぞれ示す。比較として示す角速度センサ8は、正方形状のフレーム10と、フレーム10を図示しない固定部に固定する4本の連結部87a、87b、87c、87dとを有する。フレーム10は、例えば第1の実施形態と同様に、直線的な第1及び第2の梁の組11a、11b、12a、12bで構成されている。ここで、角速度センサ7のフレーム110の外形を、角速度センサ8のフレーム10に対応する大きさの正方形Sで形成した場合を考える。角速度センサ8においては、各梁11a、11b、12a、12bが直線的に形成されているため、各連結部87a~87dは例えばL2で示すフレーム10の外側領域に形成される必要がある。これに対して角速度センサ7においては、各梁111a、111b、112a、112bが弓型に形成されていること、連結部86a~86dの連結端部wa~wdが上述のように直線的に形成されていることにより、各連結部86a~86dは例えばL1で示すL2よりも小さい範囲で形成可能となる。すなわち、フレームの各梁の中央部がフレームの内側に弓型に突出することで、逆に各梁の中央部の外側には弓型の凹部が形成される。この凹部に各連結部の一部を配置することで、連結部をコンパクトに配置することができ、角速度センサを小型化することが可能となる。フレームの振動モードやコリオリ力による歪変形を阻害しない観点から、連結部の弾性はある程度以上低い必要があるため、連結部には少なくとも1か所、好ましくは2か所以上の屈曲部を設けるとよい。図26のように連結部の2か所の屈曲部を、上記フレームの梁の外側の凹部に配置することで、フレームの4つの接続部とベースの隙間には連結部の屈曲部を無くして連結部の梁1本分だけ配置させることが可能となり、角速度センサの小型化と連結部の弾性維持による駆動検出特性確保を両立することができる。以上のように本実施形態によれば、角速度センサの小型化を図ることができる。また、本実施形態の角速度センサ7によれば、梁111a、111b、112a、112bと振り子部21a、21b、22a、22bとの間の空間部を小さくすることができる。このため、例えばエッチング加工技術によってフレーム110を一枚のシリコン基板から形成する場合、エッチングによって除去する領域を低減できるとともに、エッチング領域の粗密の分布が小さくなるため安定したエッチング加工を実現することができる。これにより角速度センサを高精度に形成することが可能となる。以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されることはなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。例えば以上の実施形態では、フレーム10の各振り子部21a、21b、22a、22bをそれぞれ接続部13a~13dからフレーム10の内側に向かって突出するように形成された。これに限らず、図28に示すように各振り子部21a、21b、22a、22bを接続部13a~13dからフレーム10の外側に向かって突出するように形成されてもよい。また、フレーム10の上に形成される各種電極の配置例は、上述の例に限られず、以下のように変形が可能である。1形成位置フレーム10に形成される各種電極駆動電極、検出電極、参照電極は、フレーム10の一方の表面にのみ形成される場合に限られない。例えば、フレーム10の表面、裏面、側面などに電極を振り分けて配置されてもよい。2参照電極図6等に示した実施形態では、参照電極61を梁12aの中心部外側に配置したが、第2の駆動電極302の形成位置に参照電極が形成されてもよい。また、参照電極が形成される梁は特に限定されず、梁11a、11b、12a、12bのいずれであってもよい。図6等に示した実施形態では、第1の駆動電極301の形成を省略し、当該駆動電極301の形成位置に参照電極61を形成したが、図29に示すように、第1及び第2の駆動電極301、302に加えて参照電極61を形成してもよい。また、図30に示すように、参照電極61は、梁12bを跨ぐように振り子部21a、22b上に形成されてもよい。なお、図29及び図30では、梁11bだけでなく梁11aにも検出電極51a、51bを配置した例を同時に示す。3検出電極Z軸まわりの角速度を検出するための検出電極51a、51bも同様に、第1及び第2の駆動電極301、301のいずれかに代えて形成される例に限られない。図31及び図32に示すように、検出電極51a、51bは、駆動電極301、302とともに形成されてもよい。図31は、第2の駆動電極302が第1の駆動電極301と一対の検出電極51a、51bとで挟まれるように各電極を配置した例を示し、図32は、第2の駆動電極302が一対の検出電極51a、51bで挟まれるように各電極を配置した例を示している。また図33に示すように、少なくとも一組の検出電極51a、51bを梁11a、11b、12a、12bを跨ぐように振り子部21a、21b、22a、22b上に形成されてもよい。図15等に示した実施形態では、フレーム10とベース81との間を連結する連結部82a~82dがXY平面内において変形自在に構成されていることから、Z軸まわりの角速度を検出する検出電極51a、51bを当該連結部に配置してもよい。その一例を図34及び図35に示す。図34は、連結部82a~82dの接続部13a~13d側の端部に検出電極51a、51bが配置された例を示す。図35は、連結部82a~82dのベース81側の端部に検出電極51a、51bが配置された例を示す。上記の構成例に限られず、検出電極51a、51bは、連結部82a~82dの両端部の途中に配置されてもよい。また、検出電極51a、51bは、全ての連結部82a~82dに形成される例に限られず、例えば、連結部82aと連結部82bの組、及び、連結部82cと連結部82dの組のいずれか一方にのみ配置されてもよい。例えば図21等に示した実施形態において、重錘部93a、93bが梁11a、11b、12a、12bに対して変形自在に構成されている場合、Z軸まわりの角速度を検出するための検出電極51a、51bは重錘部93a、93bの変形可能領域に配置されてもよい。図36は、梁11a、11bとそれらの外側の重錘部93aとの間に検出電極51a、51bが配置された例を示す。図37は、梁11a、11bとそれらの内側の重錘部93bとの間に検出電極51a、51bが配置された例を示す。図示の例に限られず、検出電極51a、51bは、重錘部93aと重錘部93bの双方に配置されてもよいし、各梁の重錘部すべてに形成されてもよい。さらに、Z軸まわりの角速度検出用の検出電極は、図38及び図39に示すように第1の梁と第2の梁との間を接続する接続部周辺に形成されてもよい。接続部周辺とは接続部または接続部及び接続部に接続される梁の接続部隣接部または接続部に接続される梁の接続部隣接部のいずれかを指す。例えば、図38に示す角速度センサは、Z軸まわりの角速度検出用の検出電極51a、51bが接続部13a~13dの周辺の内周側に形成された例を示し、図39に示す角速度センサは、検出電極51a、51bが接続部13a~13dの周辺の外周側に形成された例を示している。検出電極51aは、対角関係にある一方の組の接続部13a、13c周辺にそれぞれ形成されている。一方の検出電極51aは、接続部13aから梁11a及び12aに沿って2方向に延びており、他方の検出電極51aは、接続部13cから梁11b及び12bに沿って2方向に延びている。また、検出電極51bは、対角関係にある他方の組の接続部13b、13d周辺にそれぞれ形成されている。一方の検出電極51bは、接続部13bから梁11b及び12aに沿って2方向に延びており、他方の検出電極51bは、接続部13dから梁11a及び12bに沿って2方向に延びている。接続部から梁に沿って延びる検出電極は、歪の検出効率を上げる観点から、フレームの1辺の長さの1/4を超えない範囲で接続部周辺に配置するとよい。図38及び図39に示す角速度センサにおいては、Z軸まわりに角速度が作用した際、フレーム10の内角の大きさが図5に示したように周期的に変動する。このとき、対角関係にある一方の接続部13a、13cの組と他方の接続部13b、13dの組とでは内角の変動が相互に逆位相となる。したがって接続部13a上の検出電極51aの出力と接続部13c上の検出電極51aの出力とは原理的には同一であり、接続部13b上の検出電極51bの出力と接続部13d上の検出電極51bの出力とは原理的には同一であるが、2つの検出電極51aの出力の和と2つの検出電極51bの出力の和との差分を算出することで、フレーム10に作用するZ軸まわりの角速度の大きさ及び方向が高感度で検出可能となる。この算出は4つの検出電極51a,51bの出力をIC回路にそれぞれ入力し、ICの内部で行ってもよい。ただしZ軸まわりの角速度を算出する式は1つに決まるため、2つの検出電極51a,51bのそれぞれの出力の和をIC回路に入力し、IC内部では両者の差分のみを算出するようにしてもよい。前記出力の和はフレーム上または角速度センサを実装する基板上で、2つの検出電極51a,51bの出力同士をそれぞれ結線することでも実現できる。このようにすれば、ICの入力端子の数を削減することができる。また、図38及び図39に示す角速度センサは、第1の梁11a、11bの組の長手方向の中心線の外側に第1の駆動電極301が線対称に形成され、第2の梁12a、12bの組の長手方向の中心線の外側に第2の駆動電極302が線対称に形成された例を示している。本例では、第1及び第2の駆動電極301、302による相互に逆位相の圧電振動によってフレーム10を基本振動させる。参照電極61は、第2の梁12a、12bの長手方向の中心線の内側にそれぞれ線対称に形成されているが、第1の梁11a、11bにそれぞれ形成されてもよい。駆動電極の長さは、単位電力あたりの駆動効率向上の観点から、フレームの1辺の長さの1/2程度とするとよい。また参照電極の長さも、歪の検出効率向上の観点から、駆動電極と同様にフレームの1辺の長さの1/2程度とするとよい。電極は必ずしも線対称に配置する必要はないが、図38、図39のように駆動電極、検出電極、参照電極を全て線対称に配置すれば、そうでない場合に比べて振動モードが安定し、検出精度も向上する。これまでの実施形態では、駆動電極の圧電層を挟む下部電極と上部電極は少なくとも一方が基準電位Vrefに接続される回路を採用していた。図38及び図39の例では図45に示すように、上部電極と下部電極に逆位相の駆動信号が接続されている。これにより一方が基準電位の場合に比べて2倍の電圧で駆動されることになる。これにより1つの梁に対応する駆動電極が1つしかないことによる振幅の低下を防止できる。図23~図39に示した構成は、相互に組み合わされてもよいし、第1~第5の実施形態に適宜組み合わされてもよい。角速度検出周波数の調整一方、単一のジャイロセンサでX、Y及びZの各軸まわりの角速度を安定に検出するために、駆動周波数と各軸の検出周波数との間の調整を図る必要がある。一般的にジャイロセンサは、駆動周波数fdと検出周波数fsとがほぼ等しくなるように設計されるが、特性を安定させるなどの理由で、fdとfsを完全に一致させずに、0.95<fd/fs<1.05の範囲でfdとfsの値が調整される。ここで図40及び図41のプロットで示すようにフレーム10の各梁の幅をW1、厚みをH1としたとき、W1:H1=1:1の場合、フレーム10や振り子部21a、21b、22a、22bの大きさを変えても、1.15<fd/fs<1.25となり、離調度が大きいためX軸及びY軸まわりの角速度の検出感度がとれないことが有限要素法による計算で明らかとなった。ここで検出周波数fsは振動子の厚みにほぼ比例するのに対し、駆動周波数fdは厚みには依存しない。そこで、1.15≦W1/H1≦1.25とすれば、フレーム10の駆動周波数をfd、X軸及びY軸まわりの角速度の検出周波数をfsとしたとき、fd/fs=1となるように調整できる。従って角速度の検出特性が安定するように、fd/fsを0.95<fd/fs<1.05の範囲に調整するには、1.1≦W/H≦1.3の範囲でW/Hを設定すればよい。図41に、W:H=1:1のときのfdとfsの関係fd/fs≒1.2を実線で示す。1.1≦W/H≦1.3とすることで、図41に破線で示すように0.95<fd/fs<1.05の関係を得ることができる。駆動周波数fdと検出周波数fsの離調度は、一般的に|fd-fs|で表される。X軸まわりの角速度検出周波数をfx、Y軸まわりの角速度検出周波数をfyとしたとき、上述のように駆動周波数fdとの関係においては、0.95<fd/fx<1.05、0.95<fd/fy<1.05を満たすようにfx、fyが設定される。このときfx、fyは、例えば図42Aに示すようにfx及びfyを同等の大きさに設定することで、|fd-fx|=|fd-fy|の関係が得られる。しかしこの場合、X軸まわりの角速度検出時の振動モードとY軸まわりの角速度検出時の振動モードとが相互に結合して、期待する振動モード以外の振動モードが現れるおそれがある。これに対して図42Bに示すように、fx<fd<fy、|fd-fx|=|fd-fy|となるようにfx、fyをそれぞれ設定すると、X軸まわりの角速度検出時の振動モードとY軸まわりの角速度検出時の振動モードとの結合を回避でき、不要な振動モードの出現を回避できる。なおfx、fyは、fy<fd<fxとなるように設定されてもよい。フレーム10の各梁に振動重錘重錘部を有する実施形態においては、重錘部の形状、大きさを変更することで、周波数比fd/fsがわずかに変化する。例えば重錘部を大きく重くしていくと、X軸、Y軸まわりの角速度検出周波数fx、fyは低下していくため、重錘部の形状によって周波数比fd/fsを微調整することができる。一方、図43A~Dは、重錘部と参照電極とを有する梁12aの概略平面図である。図43Aは重錘部95と梁12aとの接続幅が比較的広く、当該接続幅に参照電極61が配置された例を示す。この例では、重錘部95は梁12aを実質的に太くする効果があるため、重錘部95による梁12aの振動の抑制効果が働き、駆動電極302による振動モードを阻害し、振幅を小さくするおそれがある。そこで図43B~Dに示すように、重錘部95と梁12aとの接続幅をできるだけ狭くする。これにより梁12aの振動が重錘部95により阻害されることはなく、参照電極61による適正な振動検出が可能となる。特に重錘部の効果を考慮すると、図43CDのように重錘部の先端付近の幅を大きく、根元の梁との接続部を小さくするとよい。重錘部95と梁12aとの接続幅は特に限定されないが、局所的な破壊を防ぐ観点から例えば梁12aの幅と同等程度を下限とすることができる。なお安定した振動モードを維持するため、重錘部は各梁の組の両方の梁に設けることが望ましい。両方の梁の組の4つの梁全てに設けるとさらによい。重錘部は各梁の内縁側、外縁側のどちらかに設けてもよいし、両方に設けてもよい。しかし角速度センサを小型化する観点から、内縁側のみに設けることが望ましい。その他以上の実施形態では、フレーム10を単結晶シリコンで構成し、その上に薄膜の圧電駆動層を形成したが、これに限られず、カーボンやエリンバー合金など他の材料で構成してよいし、水晶やニオブ酸リチウム等の圧電材料で構成されてもよい。また、フレーム10を振動させる圧電駆動層は、全ての梁に形成される場合に限られず、例えば、各梁の組のうちそれぞれ一方側にのみ形成されてもよい。また、圧電駆動層は第1及び第2の駆動電極301、302で構成される例に限られず、単一の圧電駆動体で形成されてもよい。さらに、フレーム10を振動させる駆動源は、圧電駆動だけに限られず、例えば、電磁駆動や静電駆動等の他の駆動方式が採用されてもよい。また、以上の実施形態では角速度センサを1枚のシリコン基板で形成された例を示したが、これに代えて、SOI基板のように複数枚の基板を貼り合わせた積層板を用いて角速度センサを構成することも可能である。図44A,Bは、第1のシリコン基板S1と第2のシリコン基板S2との積層体で構成された角速度センサ9を示す。第1のシリコン基板S1は、フレーム10、ベース81およびこれらを連結する連結部を有する。第2のシリコン基板S2はシリコン酸化膜を介して第1のシリコン基板S1と接合され、開口90aを有する。開口90aは、フレーム10の振動空間を形成する。フレーム10と連結部は第1のシリコン基板S1と同一の厚みであり加工の影響を受けないため、厚みのばらつきが小さく、フレームの振動特性が安定するとともに、連結部はフレームの振動モードやコリオリ力による歪み変形を阻害せずに安定してフレームを支持することができる。第2のシリコン基板S2はベース81の上に積層されることで、ベース81の機械的強度を高める。これにより製造時のハンドリング性が向上する。またベースには回路基板150に電気的機械的に接続するための複数の電極パッドが設けられているが、図44Aに示すように当該角速度センサをフリップチップ実装等でマウントする際に、第2のシリコン基板による補強効果によってベースの変形や破損を防止することができる。また、角速度センサ9を機械的に保護するとともに、外光の影響を除去するためのキャップが基板上に設けられるが、ベースが枠状かつフレームよりもシリコン基板S2の厚み分厚く形成されているため、ベースとキャップの隙間を通常よりも小さく、例えば0.2mm以下としてもよい。これによりキャップがフレームの動作に影響を与えることなしに、キャップを含めた角速度センサの厚みを薄くすることが可能となる。角速度センサの実装方法は上記の方法に限定されず、図44Bに示すようにワイヤボンディング方式を用いてもよい。この場合角速度センサ9は、図44Aに示した例から回路基板150に対して裏返され、すなわち複数の電極パッドが上向きになるように接着等で機械的に接続され、その後ボンディングワイヤ154を介して回路基板150上の角速度センサの外側に配置されたランド151と角速度センサのベース上の電極パッドとを電気的に接続するようにボンディングされる。この場合も第2のシリコン基板による補強効果によって、接着時やワイヤボンディング時のベースの破損を防止することができる。"