入口104;604、出口106;606、ロータ112;212;312およびチャネル108;208;308を備え、この場合、ロータはロータ部分をチャネル内に入り込ませ、且つロータ部分とチャネルとの協働によりポンプ作用が達成され、および入口と出口との間に配置されたスクレーパ110を備えた、真空ポンプ段100;610において、前記ロータ部分が構造要素114、116;214;314、340を有し、これらの構造要素により、分子流れ範囲内においてはゲーデGaedeに基づくポンプ作用が発生され、およびより高い圧力範囲内においてはサイドチャネル原理に基づくポンプ作用が発生されることを特徴とする真空ポンプ段。前記構造要素が羽根114;214;314を含み、この場合、少なくとも1つの羽根214が、次の羽根との間隔230の約1/5より大きい厚さを有することを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ段。前記構造要素が羽根114;214;314を含み、この場合、少なくとも1つの羽根214が、次の羽根との間隔230と同じ厚さまたはそれより大きい厚さを有することを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ段。前記構造要素がベースウェブ340を含み、ベースウェブはチャネル内に入り込んでいることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の真空ポンプ段。前記構造要素114、116;214;314、340がほぼロータ112;212;312の面234;334内に存在するように配置されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の真空ポンプ段。真空ポンプが、高真空側ポンプ段620と大気側ポンプ段630との間のガス流れ内に配置されている、請求項1ないし5のいずれかに記載の真空ポンプ段610を含むことを特徴とする真空ポンプ600。前記真空ポンプ段610が、吸込開口612および高真空側ポンプ段620の出口622とガス流れ結合をなしていることを特徴とする請求項6に記載の真空ポンプ。したがって、本発明の課題は、粘性流れ範囲内においてのみならず、分子流れ範囲内においてもまた、圧縮および排気速度を有する真空ポンプ段を提供することである。この課題は、請求項1の特徴を有する真空ポンプ段により解決される。従属請求項2-7は有利な変更態様を与える。請求項1の特徴を有する真空ポンプ段は、粘性流れ範囲内においてのみならず、分子流れ範囲内においてもまた、圧縮および排気速度を有している。したがって、この真空ポンプ段は、両方の流れ範囲内において、およびそれらの間の移行範囲内において使用可能であることが有利である。請求項2-4に記載の変更態様は、構造要素が低コストで製造可能であるので有利である。請求項5に記載のように、ロータディスクの面内にロータ部分の構造要素を配置することは、好ましい質量分布が存在するので、製造上有利であるばかりでなく、ロータの動特性においても有利である。さらに、ガス流れにより対称の力が発生する。請求項6および7に記載の真空ポンプは、ゲーデ段またはサイドチャネル段を有する真空ポンプ段に比較して、圧縮経過および排気速度特性に基づいてより低い有利な電力消費を特徴とする。実施例およびそれらの変更態様に基づき、本発明を詳細に説明し且つそれらの利点を解明することとする。図1に示す真空ポンプ段100はハウジング102を有している。ハウジング内に入口104が設けられ、入口からガスが真空ポンプ段内に吸い込まれる。真空ポンプ段の内部で供給されたガスは出口106から排出される。入口および出口はチャネル108により相互に結合されている。このチャネル内に、ハウジング内に回転可能に配置されたロータ112がロータ部分を入り込ませ、この場合、チャネルおよびロータ部分は協働してポンプ作用を発生する。ロータ部分は、ロータの回転軸から半径方向に見てチャネルの内側限界118を超えてチャネル内に突出するロータの部分を含む。図1に示す実施例においては、ロータ部分は、構造要素、即ち羽根114および少なくとも1つの平滑部分116により形成される。平滑部分はロータの1つの領域により形成され、この領域は、羽根底半径120を超えて外半径122まで突出し、且つ周囲に沿ってある角度範囲124にわたって伸長する。羽根底半径は、ほぼチャネルの内側限界の半径付近に存在する。外半径は、一方ではスクレーパ110に対して小さい隙間のみを残し、他方ではチャネル深さ126の一部のみが利用されるように選択されている。スクレーパは、ロータ部分において同伴されたガス流れを分離し、且つ入口と出口との間の直接流れを阻止する。平滑部分は、分子流れ範囲内において、チャネルと協働して圧縮および排気速度を発生し、且つゲーデの原理に基づいて作動する。羽根114は、粘性流れ範囲内において、チャネルと協働するサイドチャネルポンプ構造として作動する。複数の平滑部分が、質量平衡が得られるようにロータの周囲にわたって分配されることが有利である。これは、例えば、向かい合う2つの平滑部分によって達成される。さらに、この形態は、羽根および平滑部分の寸法が、向かい合うそれぞれの質量の値が一致するように決定されることにより、改良可能であることは有利である。このようなロータの製造は、例えば、はじめに中実ディスクが製造され、中実ディスクから複数の羽根が鋸引きにより削り出されるので、コスト的に有利である。平滑部分の範囲内においては、鋸引きによる削り出しが不要である。一変更態様において、チャネルが、図示のようにディスク面内に配置されず、軸方向にオフセットされて配置されている。このとき、羽根および平滑部分は図面平面から飛び出している。次に、第2の実施例を図2および3により説明する。図2にチャネルおよびロータ部分が展開図で示され、図3は線I-I′による断面図を示す。ハウジング202内に、チャネル深さ226をもつチャネル208が設けられている。チャネルの内側限界218を超えてロータ部分がチャネル内に入り込んでいる。チャネル内に、構造要素として羽根214が設けられ、羽根はロータの回転によりチャネル内を円運動する。羽根は運動方向に厚さ228を有している。羽根の少なくとも1つは、次の羽根との間隔230の約1/5より大きい厚さを有している。この厚さにより、チャネル壁240、242および244に向かい合う羽根表面250、252および254は、分子流れ範囲内において、ゲーデポンプ構造のように作動する。粘性流れ範囲内においては、ロータ部分は羽根によりサイドチャネルポンプ段として作動する。この場合もまた、他の2つの例で説明したように、チャネルがロータの面234に対して軸方向にオフセットされて配置されていてもよい。このとき、構造要素は、図においてロータの横の左側または右側に配置されている。しかしながら、ロータ動特性を改善するために、構造要素特に羽根214をロータ212の面234内に存在するように配置することが有利である。これは、質量分布および作用力に関して有利である。一変更態様において、少なくとも1つの羽根214が、次の羽根との間隔230とほぼ同じ厚さまたはそれより大きい厚さを有している。他の一実施例が図4および5に示されている。図4に、チャネルおよびロータ部分が展開図で示され、図5は線II-II′による断面図を示す。ここでは、ハウジング302内にチャネル308が設けられ、チャネルは、回転軸への方向に内側限界318によって制限される。ロータ部分内に構造要素として羽根314が設けられ、羽根は、粘性流れ範囲内において、サイドチャネルポンプ作用を導く。さらに、ロータ部分はベースウェブ340を有し、ベースウェブは、内側限界を超えてチャネル内に入り込んでいる。図5の断面図に、ベースウェブ高さ332をもつベースウェブが内側限界を超えて突出していることが示されている。これにより、ベースウェブの側面342はチャネル内を円運動する。側面は、分子流れ範囲内において、チャネル壁と協働してゲーデポンプ段として作動する。この場合もまた、他の2つの例で既に説明したように、チャネルはロータの面334に対して軸方向にオフセットされて配置されていてもよい。このとき、構造要素は、図においてロータの横の左側または右側に配置されている。しかしながら、構造要素即ちベースウェブおよび羽根は、ディスク形ロータ312の面334内に存在することが有利であり、これにより、ロータの動特性はより良好となる。一変更態様において、ベースウェブは、ロータの周囲の一部に沿ってのみ設けられている。実施例の個々の手段は組み合わされてもよい。即ち、それにより、分子流れ範囲内においてはゲーデに基づくポンプ作用が発生され、およびより高い圧力範囲内においてはサイドチャネル原理に基づくポンプ作用が発生される構造要素をロータ部分内に形成するために、ベースウェブが、より厚い羽根および/または平滑部分と共に利用されてもよい。上記の形態の有利な作用が、図7の測定曲線から明らかである。それぞれそれらの最大値に正規化された4つの測定曲線が示されている。ゼロ流量における圧縮、即ち、ポンプ段入口からのガス流れなしに測定された、出口圧力の入口圧力に対する比が、背圧に対して示されている。曲線70は純ゲーデポンプ段に対する経過を示す。分子流れ範囲内においては、より急な上昇が観察され、一方、より高い圧力に対して、特に1hPa以上においては、顕著な圧縮が発生していない。曲線72は純サイドチャネルポンプ段の経過を示す。ここでは、圧縮はより高い圧力においてその最大値に到達する。曲線74は図1に示す平滑部分をもつ実施例に対する圧縮経過を示し、曲線76は図2および3に示す厚い羽根をもつ実施例に対する経過を示す。これらの曲線経過は、実施例に示す形状を使用することにより、分子流れ範囲78内においてのみならず、粘性流れ範囲80内においてもまた、圧縮が達成されることが有利であることを表わす。この圧縮は、分子流れ範囲内においては純サイドチャネルポンプ段よりも良好であり、粘性流れ範囲内においては純ゲーデ段よりも良好である。図6に、上記の真空ポンプ段の利点が特に顕著である真空ポンプ600が、原理構造図で示されている。真空ポンプのハウジング602内に軸640が設けられ、軸は軸受650および652により回転可能に支持される。軸受は、グリス潤滑またはオイル潤滑の転がり軸受、ガス軸受、滑り軸受または磁気軸受であってもよい。これらの軸受構造形式は混在して使用されてもよく、この場合、オイル等のような潤滑剤は、むしろ、軸受652の側に見られる背圧の範囲内において使用される。ポンプ入口680からガスが真空ポンプ内に流入し、且つ高真空ポンプ段620に到達する。高真空ポンプ段はホルベックポンプ段またはターボ分子ポンプ段として形成されていることが有利であり、且つそれ自身多段として形成されていてもよい。これらの個々の段内に異なるポンプ原理が使用されてもよい。高真空ポンプ段の出口622からガスが流出し、且つ多重範囲段610の入口604に到達し、多重範囲段は図1-5に記載のデータに基づいて形成されている。入口604は吸込開口612とガス流れ結合をなしているので、多重範囲段610は、この吸込開口からのみならず、高真空ポンプ段の出口622からもまたガスを吸い込む。多重範囲段内で圧縮されたガスは出口606から排出され、且つ背圧段630に供給される。背圧段はサイドチャネルポンプ段として形成されていることが有利であり、それ自身、複数のポンプ段を含んでいてもよい。ポンプ出口682を通過して、ガスは、真空ポンプから、例えば大気にまたは背圧ポンプへの供給配管内に排出される。ポンプ段610、620および630は駆動手段660により共通に駆動される。この装置により、多重範囲段は、純ゲーデポンプ段または純サイドチャネルポンプ段よりも、単位消費電力当たり、より良好な圧縮特性および排気速度特性を有する圧力範囲および流れ範囲内において作動することが有利である。