プローブ物質を配列して固定化するための1または複数のウェルが形成されたバイオチップであって、基板上に1または複数の電極配線が形成され、該1または複数の電極配線は、金属酸化物の絶縁膜で被覆され、該1または複数の電極配線の各々の一領域上の絶縁膜に、電極表面に達する1または複数の孔を設けることによって1または複数のウェルが形成されたバイオチップ。該1または複数のウェル底部に露出した電極配線表面上に、核酸、タンパク質、ペプチド、リポソーム、β-アミロイドオリゴマーおよび還元糖よりなる群から選択されるプローブ物質が固定化されている、請求項1に記載のバイオチップ。金属酸化物が、TiO2、SiO2、ZnOよりなる群から選択される、請求項1に記載のバイオチップ。少なくとも、作用電極、対極および参照電極を含むバイオセンサーであって、ここに、該作用電極は、プローブ物質を配列して固定化するための1または複数のウェルが形成されたバイオチップであって、基板上に1または複数の電極配線が形成され、該1または複数の電極配線は、金属酸化物の絶縁膜で被覆され、該1または複数の電極配線の各々の一領域上の絶縁膜に、電極表面に達する1または複数の孔を設けることによって1または複数のウェルが形成されたバイオチップであり、該1または複数のウェル底部に露出した電極配線表面上に、核酸、タンパク質、ペプチド、リポソーム、β-アミロイドオリゴマーおよび還元糖よりなる群から選択されるプローブ物質が固定化され、処理前に、該バイオチップの第1の電気的信号を測定し;該バイオチップを試験溶液中で処理した後、該バイオチップの第2の電気的信号を測定し;次いで、第1の電気的信号と第2の電気的信号との強度差から、試験溶液中に存在する、該1または複数のプローブ物質と特異的結合する非標識ターゲット分子を検出することを特徴とするバイオセンサー。該電気的信号が、酸化還元電流値である請求項4記載のバイオセンサー。プローブ物質を配列して固定化するための1または複数のウェルが形成されたバイオチップの製造方法であって、基板上に1または複数の電極配線を形成し、該1または複数の電極配線を金属酸化物の絶縁膜で被覆し、ついで、該1または複数の電極配線の各々の一領域上の絶縁膜に、電極表面に達する1または複数の孔を設けることによって1または複数のウェルを形成する、バイオチップの製造方法。該金属酸化物の絶縁膜にウェルを形成する技術が、ナノインプリンティング技術、KrFステッパーパターニング、E-ビーム法、収束イオンビーム法よりなる群から選択される、請求項6に記載の製造方法。特許文献1~6に開示されたバイオチップを作用電極として用いたバイオセンサーは、非常に有用であるが、本発明者らは、得られる酸化還元電位が測定毎に大きく変動することに気がついた。本発明者らは、この酸化還元電位の変動は、バイオチップの絶縁性レジスト膜の膨潤に起因することを突き止めた。すなわち、バイオチップの絶縁膜にレジスト組成物を用いているので、バイオチップを測定試料に浸積しているときに樹脂組成物が水により膨潤することによって、絶縁性レジスト膜の膜厚や絶縁性に変化が生じ、得られる酸化還元電位に影響を与えていると考えられる。したがって、本発明の目的は、絶縁性レジスト膜の膨潤によって、センサーの測定変動を発生させないバイオチップを提供することにある。本発明は、プローブ物質を固定化するためのウェルのアレイが形成されたバイオチップであり、ウェルの底部には、バイオチップ上の電極配線が露出している。金属酸化物の絶縁膜に形成された複数のウェルの底部に、検出対象によって適切なプローブ物質を固定することができる。より詳しくは、本発明は、プローブ物質を配列して固定化するための1または複数のウェルが形成されたバイオチップであって、基板上に1または複数の電極配線が形成され、該1または複数の電極配線は、金属酸化物の絶縁膜で被覆され、該1または複数の電極配線の各々の一領域上の絶縁膜に、電極表面に達する1または複数の孔を設けることによって1または複数のウェルが形成されたバイオチップを提供する。本発明によるバイオチップにおいて、該1または複数のウェル底部に露出した電極配線表面上に、核酸、タンパク質、ペプチド、リポソーム、β-アミロイドオリゴマーおよび還元糖よりなる群から選択されるプローブ物質を固定化することができる。本発明のバイオチップにおいて、該金属酸化物が、TiO2、SiO2、ZnOよりなる群から選択される。さらに、本発明は、少なくとも、作用電極、対極および参照電極を含むバイオセンサーであって、ここに、該作用電極は、本発明のバイオチップ、すなわち、プローブ物質を配列して固定化するための1または複数のウェルが形成されたバイオチップであって、基板上に1または複数の電極配線が形成され、該1または複数の電極配線は、金属酸化物の絶縁膜で被覆され、該1または複数の電極配線の各々の一領域上の絶縁膜に、電極表面に達する1または複数の孔を設けることによって1または複数のウェルが形成されたバイオチップであり、該1または複数のウェル底部に露出した電極配線表面上に、核酸、タンパク質、ペプチド、リポソーム、β-アミロイドオリゴマーおよび還元糖よりなる群から選択されるプローブ物質が固定化され、処理前に、該バイオチップの第1の電気的信号を測定し;該バイオチップを試験溶液中で処理した後、該バイオチップの第2の電気的信号を測定し;次いで、第1の電気的信号と第2の電気的信号との強度差から、試験溶液中に存在する、該1または複数のプローブ物質と特異的結合する非標識ターゲット分子を検出することを特徴とするバイオセンサーを提供する。ここで、処理とは、プローブ物質と非標識ターゲット分子とを特異的結合させるために必要なプロセスをいう。したがって、処理前、バイオチップにおいては、該1または複数のプローブ物質には非標識ターゲット分子が結合していない。また、試験溶液中に該非標識ターゲット分子が存在していれば、この処理によって、該1または複数のプローブ物質に非標識ターゲット分子が特異的結合する。本発明のバイオチップに上記の処理を行う前後で、電気的信号を測定し、電気的信号に変化があれば、該試験溶液中に、非標識ターゲット分子が存在していたことを確認することができる。本発明において、特に、電気的信号として酸化還元電流値を用いる。すなわち、本発明によれば、非標識ターゲット分子のプローブ物質への特異的結合の有無をバイオチップのバイオ分子アレイ上の酸化還元状態の変化から検出する。したがって、ターゲット分子に蛍光物質等を標識することなく、酸化還元電流値を測定するだけで特異的結合を検出できるので、迅速かつ簡便な測定が可能となる。すなわち、プローブ物質にターゲット分子が結合していない系で測定した電気的信号とプローブ物質にターゲット分子が結合した系で測定した電気的信号との間に統計学的に有意な変化があった場合、当該有意な変化をターゲット分子とプローブ物質との特異的結合に関連付けることができる。本発明は、さらに、プローブ物質を配列して固定化するための1または複数のウェルが形成されたバイオチップの製造方法であって、基板上に1または複数の電極配線を形成し、該1または複数の電極配線を金属酸化物の絶縁膜で被覆し、ついで、該1または複数の電極配線の各々の一領域上の絶縁膜に、電極表面に達する1または複数の孔を設けることによって1または複数のウェルを形成する、バイオチップの製造方法も提供する。本発明のバイオチップは、従来のいかなる技術を適用して作製してもよい。特に、本発明のバイオチップの製造方法において、該金属酸化物の絶縁膜にウェルを形成する技術が、ナノインプリンティング技術、KrFステッパーパターニング、E-ビーム法、収束イオンビーム法よりなる群から選択される。本発明のバイオチップは金属酸化物を絶縁膜として用いるので、試料溶液に浸漬したとき、レジストを絶縁膜として用いる従来のバイオチップと比較して、膨潤による電気的特性への悪影響がないので、安定した測定が可能となる。また、本発明のバイオチップは金属酸化物を絶縁膜として用いるので、レジストを絶縁膜として用いる従来のバイオチップと比較して、ウェルのサイズを小さく作ることができるので、ウェル内部にタンパク質などのプローブ物質を固定化するとき、ウェル内部に多数のプローブ物質を取り込んでしまうことが減少し、プローブ物質のセンシング能が向上するため、より高い精度の測定が可能となる。実施例1[金属酸化膜を絶縁膜とするバイオチップ]1バイオチップの製造一般的な電子ビームリソグラフィー法を利用してナノサイズのウェルを有するバイオチップを製造した。まず、図4のa~fのように従来の方法と同様に基板上に電極を形成する。次に、スピンコーティング法を利用して、電極上にe-ビーム用レジストポリメチルメタクリレートの2クロロベンゼン溶液を150nm厚さでコーティングし、熱処理過程を経て硬化したレジスト膜61を形成した図11a。硬化したレジスト膜61に、所定のパターンで電子ビーム62を照射し図11b、その後、基板を現像溶液メチルエチルケトン:イソプロピルアルコール=1:3に30秒の間浸漬することによってレジスト膜61を現像した図11c。以後、一般的な金属酸化蒸着装置を用いる直流マグネトロンスパッタリング法金属ターゲット、常温蒸着、圧力:5mTorr、DC電力:60Wによって、SiO2を蒸着して金属酸化物膜63を形成した図11d。さらに、基板をアセトンに30分以上浸漬して蒸着後に残ったレジスト膜61およびレジスト上に蒸着したSiO2を除去することによって、電極表面を露出させ、複数のウェル63aの配列を形成した図11e。得られたバイオチップ概略上面図は示さないが、図8と同様であり、絶縁性レジスト膜14が金属酸化物ここでは、SiO2の絶縁膜63であることが相違する。上記の方法で、直径60nmで深さが40nmでサイズが非常に小さいウェルのアレイが形成された。ウェルのアレイ部分の電子顕微鏡像を図12に示す。次に、図9aから9fに図示する従来例のように、露出した電極配線上にストレプトアビジンを固定化したバイオチップAを作製した。2電気化学的測定BAS100B/WポテンシオスタットBioanalyticalSystemsIncを用いて、室温にてバイオチップの電気化学的測定を行った。測定の際には、バイオチップを作用電極とし、3MKCl中のAg/AgClを参照電極とし、プラチナ線を対電極とした1mM。各EC測定の前には、ナノサイズのウェルのアレイを形成したバイオチップをH2SO4溶液中で1.7Vにて1分間予備処理を行った。サイクリックボルタンメトリーCV測定は、100mMリン酸緩衝生理食塩水pH7.4を含有する溶液中で、スキャン速度200mV/秒にて行った。CV測定の設定は以下である。初期電位:-0.3V、最終電位:0.6V、振幅:25mV、ステップ電位:4mV、周期:50Hz.バイオチップAを溶液に浸漬した直後および、浸漬後30分から240分まで、CV曲線を得た結果を図13に示す。図13の結果から分かるように、金属酸化膜を絶縁膜として用いたバイオチップは長時間溶液に浸漬してもCV曲線の変動がなく、非常に安定して測定できることが示された。上の方法で作ったナノ構造のバイオセンサーは既存のポリマーを利用して製作した時より小さい大きさの製作が容易で、ポリマーより耐久性および安定性特にメタル酸化物の絶縁性が非常に良いからバイオセンサーの性能を向上させるのに良いことが分かった。比較例1[レジスト膜を絶縁膜とするバイオチップ]1バイオチップの製造直径5μm以上の単一ウェルを作製したときと同様にして電極配線を形成し図4、その後、図5aに示す工程と同様に、スピンコーターを用いて電極配線13が形成された基板上に絶縁性レジスト14ZEP520:日本ゼオン株式会社を塗布し、90°Cにて2分間ベーキングする図7a。次いで、75kVにて電子ビーム15を照射し図7b、レジスト14を現像することによって電極表面を露出させて、バイオ分子アレイ領域131上に複数のウェル131aの配列を形成した図7c。これを200°Cにて5分間ベーキングすることによって、レジスト14を固着させた図7d。ウェルが形成されたチップの概略上面図は図8に示したものと同様である。次に、実施例1と同様にして、露出した電極配線上にストレプトアビジンが固定化されたバイオチップBを作製した。2電気化学的測定実施例1と同じ条件で、サイクリックボルタンメトリーCV法によりバイオチップの電気化学的測定を行った。バイオチップBを溶液に浸漬した直後および、浸漬後20分から120分まで、CV曲線を得た結果を図14に示す。図14の結果から分かるように、レジストを絶縁膜として用いたバイオチップは溶液に浸漬すると、CV曲線が大きく変動した。