"絶縁体からなり弾性を有する板状の弾性ソケットと、前記弾性ソケット内に個別に保持されて前記弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、前記電気貫通部は、電気的に接続しつつ前記弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材および第二の可動部材を備え、前記第一の可動部材は、測定対象物に付設される電極と接触するための電極接触部を前記弾性ソケットの一方の主面側に備え、前記第二の可動部材は、測定装置の配線基板と接触するための基板接触部を前記弾性ソケットの他方の主面側に備え、前記電極接触部と前記基板接触部とに外力が付与されてこれらが前記弾性ソケットの厚さ方向に近接したときにこれらを離間させる弾性復元力が前記弾性ソケットに生じるように、前記第一および第二の可動部材は、少なくとも前記電極接触部と前記基板接触部とが近接した状態では前記弾性ソケットの一部を圧縮可能に配置され、前記電気貫通部は、前記第一または第二の可動部材の一方に設けられたすべり軸とこれらの部材の他方に設けられたすべり面とが前記弾性ソケットの厚さ方向に相互に摺動する摺動接触構造を備え、当該摺動接触構造によって、前記電極接触部と前記基板接触部との距離は、これらの接触部の電気的接続を維持したまま前記弾性ソケットの厚さ方向に変動可能であり、前記摺動接触構造は前記すべり軸が前記すべり面上を前記弾性ソケットの厚さ方向に摺動する範囲を制限する可動制限手段を備え、当該可動制限手段によって、前記電極接触部の前記基板接触部に対する可動範囲は上限を有することを特徴とする異方導電性部材。前記可動制限手段は前記電極接触部が前記基板接触部に対して離間する範囲を制限する脱離止めを含み、当該脱離止めは、前記すべり面から前記すべり軸側に突出するすべり面突出部、および当該すべり面突出部に接触することにより前記すべり軸の一方向への摺動を停止させるすべり軸係止部からなる、請求項1記載の異方導電性部材。前記電極接触部および前記基板接触部の一方から前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに延設された第一の柱状体を前記第一および第二の可動部材の一方が備え、さらに前記電極接触部および前記基板接触部の他方から前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに延設された第二の柱状体を前記第一および第二の可動部材の他方が備え、前記第一の柱状体は、前記弾性ソケットの厚さ方向に連続して配置される太径部と細径部とを備え、前記すべり軸は前記太径部に設けられ、前記すべり軸係止部は前記太径部と前記細径部との連結部に設けられ、前記第二の柱状体は、内部が中空であって前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側の端部に開口を有し、前記すべり面は前記中空部の内側面に設けられ、前記開口を部分的に閉塞するように前記開口の縁部から内側に突出する部分閉塞部が前記すべり面突出部を構成し、前記太径部に設けられた前記すべり軸は前記中空部内に配置されて、前記中空部の内側面に設けられた前記すべり面と接触して前記摺動接触構造を構成する、請求項2記載の異方導電性部材。前記部分閉塞部は前記太径部との接触により変形可能とされ、前記太径部は、前記部分閉塞部の当該変形により前記部分閉塞部を超えて前記第二の柱状体の中空部内へと挿設されてなる、請求項3記載の異方導電性部材。前記部分閉塞部は、異方導電性部材が使用されて前記電極接触部と前記測定対象物に付設された電極との間に発生する密着力に相当する外力が前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きと反対向きに付与された場合でも前記すべり面突出部を構成する、請求項4記載の異方導電性部材。前記太径部は金属系材料から構成され、前記部分閉塞部は樹脂系材料から構成される、請求項5記載の異方導電性部材。前記第一および第二の可動部材は、前記第一および第二の柱状体が前記弾性ソケットに設けられた貫通孔内に挿設され、前記貫通孔は、径が細い細孔部および径が太い太孔部を前記弾性ソケットの厚さ方向に隣接して備え、前記細孔部内に前記第一の柱状体の細径部の少なくとも一部が配置され、前記太孔部内に前記第二の柱状体が配置される、請求項3から6のいずれかに記載の異方導電性部材。前記第二の柱状体は、前記部分閉塞部を構成する部材が他の部材と別体であって、前記部分閉塞部を構成する部材は、前記太孔部および前記細孔部によって形成される段差と前記他の部材とに挟まれることにより、前記他の部材に対する位置変動が制限される、請求項7記載の異方導電性部材。前記第二の柱状体を備える前記第一および第二の可動部材の他方は、いずれも内部が中空であるとともに前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側の端部に開口を有し同軸上に配置される、第一の柱状部材および第二の柱状部材を備え、前記第一の柱状部材は、その開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が前記第二の柱状部材の中空内に配置され、前記部分閉塞部は前記第二の柱状部材の開口に設けられている、請求項3から8のいずれかに記載の異方導電性部材。前記第二の柱状部材は前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側と反対側の端部に第二の開口を有し、当該第二の開口はその縁部から内側に突出する第二の部分閉塞部を備え、前記第一の柱状部材はその開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が前記部分閉塞部と前記第二の部分閉塞部とを両端とする前記第二の柱状部材の中空内に配置される、請求項9記載の異方導電性部材。前記第一の柱状部材は金属系材料から構成され、前記第二の柱状部材は樹脂系材料から構成される、請求項9または10に記載の異方導電性部材。前記第一の柱状体が延設される前記電極接触部および前記基板接触部の一方は、導電性材料からなり電極と直接接触する中心側の部材と、前記電極接触部および前記基板接触部の一方における最も外径が大きな部分を含む絶縁体からなるリング状の部材とからなり、当該リング状の部材における中央の中空部に前記中心側の部材がはめ込まれることにより前記電極接触部および前記基板接触部の一方は構成される、請求項3から11のいずれかに記載の異方導電性部材。前記第二の柱状体が延設される前記電極接触部および前記基板接触部の他方は、前記弾性ソケットの主面の面内方向に突出する突出部を備え、当該突出部が前記弾性ソケットの主面に接触するように、前記第二の柱状体は前記貫通孔内に挿設される、請求項3から12のいずれかに記載の異方導電性部材。電気貫通部は、電流を可能な限り損失少なく通過させることという基本要求のほかに、電気貫通部の電気的接触状態を長期にわたり安定化すること接触安定化、隣接する電気貫通部の間隔を可能な限り狭めること高密度化、および上記の基本要求を満たすための具体的な手段の一つとして異方導電性部材の主面間の距離を可能な限り狭くすること薄肉化も求められている。しかしながら、前掲の従来技術に係る電気貫通部は、これらの要請の全てを満たすことができていない。すなわち、導電性細線や導電性微粒子を弾性体の内部に埋め込む形式の電気貫通部は、ICの端子と接触する部分が細線の断面や微粒子の表面であり、ICの端子に対する接触状態が安定化しにくい。また、製造上の理由により、高密度化への対応にも限界がある。プローブピンの場合には、コイルスプリングを内在することから、高密度化と薄肉化とが原理的にトレードオフの関係にある。特許文献1に開示される電気貫通部は、金属板材料からなる導電部材が圧縮力の印加と解除との繰り返しを受けるため、この部材が金属疲労しやすく、接触安定化の観点で大きな問題を抱えている。特許文献2に開示される電気貫通部は、主面上に金属回路を有し、さらにこの金属回路とは主面上別の位置にスルーホールを有するため、高密度化を実現することは不可能である。かかる技術背景を鑑み、本発明は、前述の接触安定化、高密度化および薄肉化のいずれについても高いレベルで達成し得る電気貫通部を備える異方導電性部材を提供することを課題とする。上記課題を解決するために提供される本発明は次のとおりである。1絶縁体からなり弾性を有する板状の弾性ソケットと、前記弾性ソケット内に個別に保持されて前記弾性ソケットの厚さ方向すなわち、本発明に係る異方導電性部材の主面の法線方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、前記電気貫通部は、電気的に接続しつつ前記弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材および第二の可動部材を備え、前記第一の可動部材は、測定対象物に付設される電極と接触するための電極接触部を前記弾性ソケットの一方の主面側に備え、前記第二の可動部材は、測定装置の配線基板と接触するための基板接触部を前記弾性ソケットの他方の主面側に備え、前記電極接触部と前記基板接触部とに外力が付与されてこれらが前記弾性ソケットの厚さ方向に近接したときにこれらを離間させる弾性復元力が前記弾性ソケットに生じるように、前記第一および第二の可動部材は、少なくとも前記電極接触部と前記基板接触部とが近接した状態では前記弾性ソケットの一部を圧縮可能に配置され、前記電気貫通部は、前記第一または第二の可動部材の一方に設けられたすべり軸とこれらの部材の他方に設けられたすべり面とが前記弾性ソケットの厚さ方向に相互に摺動する摺動接触構造を備え、当該摺動接触構造によって、前記電極接触部と前記基板接触部との距離は、これらの接触部の電気的接続を維持したまま前記弾性ソケットの厚さ方向に変動可能であり、前記摺動接触構造は前記すべり軸が前記すべり面上を前記弾性ソケットの厚さ方向に摺動する範囲を制限する可動制限手段を備え、当該可動制限手段によって、前記電極接触部の前記基板接触部に対する可動範囲は上限を有することを特徴とする異方導電性部材。2前記可動制限手段は前記電極接触部が前記基板接触部に対して離間する範囲を制限する脱離止めを含み、当該脱離止めは、前記すべり面から前記すべり軸側に突出するすべり面突出部、および当該すべり面突出部に接触することにより前記すべり軸の一方向への摺動を停止させるすべり軸係止部からなる、上記1記載の異方導電性部材。3前記電極接触部および前記基板接触部の一方から前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに延設された第一の柱状体を前記第一および第二の可動部材の一方が備え、さらに前記電極接触部および前記基板接触部の他方から前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに延設された第二の柱状体を前記第一および第二の可動部材の他方が備え、前記第一の柱状体は、前記弾性ソケットの厚さ方向に連続して配置される太径部と細径部とを備え、前記すべり軸は前記太径部に設けられ、前記すべり軸係止部は前記太径部と前記細径部との連結部に設けられ、前記第二の柱状体は、内部が中空であって前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側の端部に開口を有し、前記すべり面は前記中空部の内側面に設けられ、前記開口を部分的に閉塞するように前記開口の縁部から内側に突出する部分閉塞部が前記すべり面突出部を構成し、前記太径部に設けられた前記すべり軸は前記中空部内に配置されて、前記中空部の内側面に設けられた前記すべり面と接触して前記摺動接触構造を構成する、上記2記載の異方導電性部材。4前記部分閉塞部は前記太径部との接触により変形可能とされ、前記太径部は、前記部分閉塞部の当該変形により前記部分閉塞部を超えて前記第二の柱状体の中空部内へと挿設されてなる、上記3記載の異方導電性部材。5前記部分閉塞部は、異方導電性部材が使用されて前記電極接触部と前記測定対象物に付設された電極との間に発生する密着力に相当する外力が前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きと反対向きに付与された場合でも前記すべり面突出部を構成する、上記4記載の異方導電性部材。6前記太径部は金属系材料から構成され、前記部分閉塞部は樹脂系材料から構成される、上記5記載の異方導電性部材。7前記第一および第二の可動部材は、前記第一および第二の柱状体が前記弾性ソケットに設けられた貫通孔内に挿設され、前記貫通孔は、径が細い細孔部および径が太い太孔部を前記弾性ソケットの厚さ方向に隣接して備え、前記細孔部内に前記第一の柱状体の細径部の少なくとも一部が配置され、前記太孔部内に前記第二の柱状体が配置される、上記3から6のいずれかに記載の異方導電性部材。8前記第二の柱状体は、前記部分閉塞部を構成する部材が他の部材と別体であって、前記部分閉塞部を構成する部材は、前記太孔部および前記細孔部によって形成される段差と前記他の部材とに挟まれることにより、前記他の部材に対する位置変動が制限される、上記7記載の異方導電性部材。9前記第二の柱状体を備える前記第一および第二の可動部材の他方は、いずれも内部が中空であるとともに前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側の端部に開口を有し同軸上に配置される、第一の柱状部材および第二の柱状部材を備え、前記第一の柱状部材は、その開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が前記第二の柱状部材の中空内に配置され、前記部分閉塞部は前記第二の柱状部材の開口に設けられている、上記3から8のいずれかに記載の異方導電性部材。10前記第二の柱状部材は前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側と反対側の端部に第二の開口を有し、当該第二の開口はその縁部から内側に突出する第二の部分閉塞部を備え、前記第一の柱状部材はその開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が前記部分閉塞部と前記第二の部分閉塞部とを両端とする前記第二の柱状部材の中空内に配置される、上記9記載の異方導電性部材。11前記第一の柱状部材は金属系材料から構成され、前記第二の柱状部材は樹脂系材料から構成される、上記9または10に記載の異方導電性部材。12前記第一の柱状体が延設される前記電極接触部および前記基板接触部の一方は、導電性材料からなり電極と直接接触する中心側の部材と、前記電極接触部および前記基板接触部の一方における最も外径が大きな部分を含む絶縁体からなるリング状の部材とからなり、当該リング状の部材における中央の中空部に前記中心側の部材がはめ込まれることにより前記電極接触部および前記基板接触部の一方は構成される、上記3から11のいずれかに記載の異方導電性部材。13前記第二の柱状体が延設される前記電極接触部および前記基板接触部の他方は、前記弾性ソケットの主面の面内方向に突出する突出部を備え、当該突出部が前記弾性ソケットの主面に接触するように、前記第二の柱状体は前記貫通孔内に挿設される、上記3から12のいずれかに記載の異方導電性部材。本発明に係る異方導電性部材は、電気的接触状態を維持しつつ弾性ソケットの厚さ方向に摺動し得る二つの可動部材を有し、これらの可動部材が離間する方向にこれらを付勢する力は、二つの可動部材間に配置される弾性ソケットの弾性復元力によりもたらされている。したがって、接触安定化、高密度化および薄肉化を高度にバランスすることが実現されている。しかも、ICの端子と電極接触部との間に高い接触圧力が発生し、このため電極接触部がICの端子に食い込むようなことがあっても、二つの可動部材は垂直方向の可動制限手段を有するため、検査が終了してICを異方導電性部材から離間させたときにICの端子に食い込んだ電極接触部を有する可動部材が異方導電性部材から脱離してしまうような事態が十分に抑制されている。以下、図面を参照しつつ、本発明に係る異方導電性部材を説明する。図1は、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。本実施形態に係る異方導電性部材100は、絶縁体からなり弾性を有する板状の弾性ソケット101と、弾性ソケット101内に個別に保持されて弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部102とを備える。弾性ソケットの材質は特に限定されない。その材質を例示すれば、シリコーンゴムやフッ素ゴム、あるいはアクリル系エラストマーなど弾性を有する絶縁材料が挙げられる。電気貫通部102は、電気的に接続しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材103および第二の可動部材104を備える。第一の可動部材103は、測定対象物に付設される電極と接触するための電極接触部105を弾性ソケット101の一方の主面側に備える。第二の可動部材104は、測定装置の配線基板と接触するための基板接触部106を弾性ソケット101の他方の主面側に備える。第一および第二の可動部材103,104は、少なくとも電極接触部105と基板接触部106とが近接した状態では弾性ソケット101の一部を圧縮可能に配置される。図1では、電極接触部105および基板接触部106における最も外径が大きな部分以下、鍔部分ともいう。107,108が、それぞれ、弾性ソケット101の主面における貫通孔109の周縁部110,111に接触するように配置されている。このため、電極接触部105と基板接触部106とが近接すると、これらの接触部の鍔部分107,108によって弾性ソケット101の主面における貫通孔109の周縁部110,111は圧縮される。このように配置されることにより、電極接触部105と基板接触部106とに外力が付与されてこれらが弾性ソケットの厚さ方向に近接したときにこれらを離間させる弾性復元力が弾性ソケット101に生じることが実現される。電気貫通部102は、第一または第二の可動部材103,104の一方、本実施形態では第一の可動部材103に設けられたすべり軸112と、これらの部材103,104の他方、本実施形態では第二の可動部材104に設けられたすべり面113とが弾性ソケットの厚さ方向に摺動する摺動接触構造114を備える。この摺動接触構造114によって、電極接触部105と基板接触部106との距離は、これらの接触部の電気的接続を維持したまま弾性ソケットの厚さ方向に変動可能である。摺動接触構造114はすべり軸112がすべり面113上を弾性ソケットの厚さ方向に摺動する範囲を制限する可動制限手段115を備える。この可動制限手段115によって、電極接触部105の基板接触部106に対する可動範囲は上限を有する。可動制限手段115は電極接触部105が基板接触部106に対して離間する範囲を制限する脱離止めを含む。本実施形態では、可動制限手段115は脱離止めからなる。この脱離止め115は、すべり面113からすべり軸112側、本実施形態ではすべり軸112を備える第一の可動部材103の中心軸側に突出するすべり面突出部116、およびこのすべり面突出部116に接触することによりすべり軸112の一方向への摺動を停止させるすべり軸係止部117から構成される。本実施形態に係る電気貫通部102において、電極接触部105から弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケット101の中心向きに延設された第一の柱状体を第一の可動部材103が備える。以下、この第一の柱状体と電極接触部105とからなる第一の可動部材103をプランジャーともいう。プランジャー103において、弾性ソケット101の主面から突出する部分は電極接触部105に含まれる。したがって、第一の柱状体はその全体が弾性ソケット101の貫通孔109内部に配置される。本実施形態においては、電極接触部105は貫通孔109内部に部分的に埋設されており、その埋設された部分の外径は貫通孔109の孔径とほぼ同じである。この電極接触部105における部分的に埋設された部分は、プランジャー103がIC端子との接触によって軸倒れすることを防止するためのものである。また、基板接触部106から弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケット101の中心向きに延設された第二の柱状体を第二の可動部材104が備える。以下、この第二の柱状体と基板接触部106とからなる第二の可動部材104をバレルともいう。バレル104において、弾性ソケット101の主面から突出する部分は基板接触部106に含まれる。したがって、第二の柱状体はその全体が弾性ソケット101の貫通孔109内部に配置される。プランジャー103が備える第一の柱状体は、弾性ソケットの厚さ方向に連続して配置される太径部118と細径部119とを備え、すべり軸113は太径部118に設けられ、すべり軸係止部117は太径部118と細径部119との連結部に設けられる。バレル104が備える第二の柱状体は内部が中空であって弾性ソケットの厚さ方向で第一の柱状体側すなわち、本実施形態においてはプランジャー103側の端部に開口を有する。この開口の内部にある中空部の内側面にすべり面113は設けられ、この開口を部分的に閉塞するように開口の縁部から内側に突出する部分閉塞部がすべり面突出部116を構成する。この部分閉塞部の具体的形状は任意である。開口の縁部全周から内側に突出してリング状をなしていてもよいし、開口の縁部の一部から内側に突出していてもよい。太径部118に設けられたすべり軸112はバレル104の開口の内部にある中空部内に配置され、中空部の内側面に設けられたすべり面113と接触して摺動接触構造114を構成している。図2は、図1に示した本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材100が検査用基板201に取り付けられ、IC202と検査用基板201との間で圧縮され、IC202を検査可能な状態本明細書において、使用状態ともいう。を概念的に示す断面図である。異方導電性部材100全体が検査装置により対向するIC202と検査用基板201との間において圧縮されると、電極接触部の鍔部分203および基板接触部の鍔部分204の間で弾性ソケット205が圧縮され、双方の鍔部分203,204は弾性ソケット205から弾性復元力を受ける。この弾性復元力に基づく力が電極接触部206に伝達されることにより、電極接触部206はIC202の電極に所定の圧力で接触する。したがって、電極接触部206とIC202との電気的接触は安定化する。続いて、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材におけるプランジャーおよびバレルの部分構造が具体的に特定された異方導電性部材を、本発明の第二の実施形態として、図3および4を用いて詳しく説明する。図3は、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材300において、太径部301は金属系材料から構成され、部分閉塞部302は樹脂系材料から構成される。ここで、金属系材料とは、金属または合金から構成される材料であって、次に説明する樹脂系材料よりも十分に高い硬度を有することおよび導電性を有することが特性となる。一方、樹脂系材料は、樹脂を成分として有する材料であって、実質的に絶縁体であり、上記の金属系材料に比べて十分に低い弾性率を有し、それゆえ金属系材料と接触した場合には樹脂系材料が優先的に弾性変形する特性を有する。したがって、樹脂系材料は、ゴムからなる場合や、エラストマーからなる場合を含む。樹脂系材料を具体的に例示すれば、ナイロンやポリアセタールなど比較的軟質な樹脂が挙げられる。金属系材料を具体的に例示すれば、ステンレスや炭素鋼などの鉄系金属、あるいは黄銅、ベリリウム銅などの銅系金属が挙げられる。なお、金属系材料には摺動部分の接触抵抗を抑制するため金めっきが施されていることが望ましい。金属系材料および樹脂系材料はそれぞれ上記のような特性を有することから、部分閉塞部302は太径部301との接触により弾性的に変形可能である。このため、太径部301は、当初はバレル303の中空部304の外にあったものが、部分閉塞部302と接触し、部分閉塞部302の上記の変形により部分閉塞部302を超えてバレル303の中空部304内へと挿入されることにより設置されたものである。ここで、部分閉塞部302は、異方導電性部材300が使用されて電極接触部305と測定対象物であるICに付設された電極、具体例を挙げればはんだボールとの間に発生する密着力に相当する外力が弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケット306の中心向きと反対向き、つまりICが異方導電性部材300から離れる向きに付与された場合でも、すべり面突出部を構成し、プランジャー307がバレル303から分離してしまうことが抑制されている。バレル303は上記のように樹脂系材料で構成され、樹脂系材料は一般的には良導体ではない。一方、バレル303の中空部304の内側面にあるすべり面は、プランジャー307に対する電気的接触部であることから、良導体であることが必要である。そこで、本実施形態に係る異方導電性部材300のバレル303は、いずれも内部が中空であるとともに弾性ソケットの厚さ方向で第一の柱状体側すなわち、本実施形態においてはプランジャー307側の端部に開口を有し同軸上に配置される、金属系材料からなる第一の柱状部材308および樹脂系材料からなる第二の柱状部材309を備える。本実施形態では、第一の柱状部材308は一つの開口316を有し、第二の柱状部材309は弾性ソケットの厚さ方向で第一の柱状体側すなわち、本実施形態においてはプランジャー307側の端部に第一の開口317を有し、この第一の開口317が設けられた側と反対側の端部に第二の開口318を有している。第一の柱状部材308は、その開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が第二の柱状部材309の中空内に配置されている。すなわち、本実施形態に係るバレル303は、同軸上に配置された二重管構造を有する。以下、第一の柱状部材308をインナーバレル、第二の柱状部材309をアウターバレルともいう。そして、樹脂系材料からなる部分閉塞部302はアウターバレル309の第一の開口317に設けられている。また、インナーバレル308の開口316とは反対側の端部319はアウターバレル309の第二の開口318より突出し、基板接触部における基板と直接的に接触する部分を構成している。アウターバレル309は一体構造であってもよいし、複数の部材から構成されていてもよい。複数の部材から構成される場合の具体例として、アウターバレル309の中心軸を含む平面で分割することが挙げられる。このようにバレル303が二重管構造を有し、インナーバレル308は良導体であってアウターバレル309は絶縁体であることは、異方導電性部材の使用時に流れる電気信号が高周波信号である場合に、波形劣化が少なくなるという利点も有する。すなわち、高周波信号は表皮効果により導体の表面を流れるため、バレルの導体部分についてバレルの中心軸を含む断面で切断した断面の外側面の長さが短いことが、高周波信号の劣化を抑制する観点から好ましい。本実施形態に係るバレル303は、この外側面はインナーバレル308によって形成されるため、二重管構造を有さないバレルの上記外側面に比べて外側面の長さが短くなる。したがって、本実施形態に係るバレル303は通常の単管構造のバレルに比べて高周波信号を劣化させにくい。このような高周波信号における表皮効果を考慮する観点から、本実施形態に係る異方導電性部材300のプランジャー307の電極接触部305は、導電性材料、具体的には金属材料からなり電極と直接接触する中心側の部材311と、電極接触部305における最も外径が大きな部分鍔部分を含む絶縁体、具体的には樹脂系材料からなるリング状の部材以下、リング状絶縁部材ともいう。312とからなる。このリング状絶縁部材312における中央の中空部に中心側の部材311がはめ込まれることにより、電極接触部305は構成される。このような構造を有する電極接触部305は、そのような構造を有さないものに比べて、プランジャーの導体部分についてプランジャーの中心軸を含む断面で切断した断面の外側面の長さは、リング状絶縁部材312を含まない分短くなる。それゆえ、このような構造を有することにより高周波信号の劣化が抑制される。なお、中心側の部材311に対して弾性ソケット306を弾性ソケットの厚さ方向に圧縮するような力が付与されたときに、その力が電極接触部305の鍔部分に確実に伝達され、鍔部分において弾性ソケット306を圧縮できる構造を、中心側の部材311とリング状絶縁部材312とは有しているべきである。また、リング状絶縁部材312は段差構造を有し、弾性ソケット306における貫通孔314の内部にリング状絶縁部材312の一部分本実施形態では段差部分が挿入されていることが、使用状態またはその前後の使用時にプランジャーがバレルに対して傾きながら摺動することを抑制する観点から好ましい。本実施形態に係るアウターバレル309は前述のように二つの開口を有し、弾性ソケットの厚さ方向で第一の柱状体側本実施形態においてはプランジャー307側と反対側の端部に設けられた第二の開口318はその縁部から内側に突出する第二の部分閉塞部313を備える。そして、インナーバレル308は少なくともその一部、具体的には、インナーバレル308の開口316の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が部分閉塞部302と第二の部分閉塞部313とを両端とするアウターバレル309の中空内に配置される。第二の部分閉塞部313の具体的な構造は、部分閉塞部302同様任意である。このような構造を有することにより、アウターバレル309の内側面とインナーバレル308の外側面との間にクリアランスがあってアウターバレル309内でインナーバレル308が自由に動くことができる状態であっても、アウターバレル309からインナーバレル308が脱落することが防止される。なお、このような二つの部分閉塞部を有するアウターバレル309を、成形金型を用いて一体で作る場合には材料として軟質樹脂などを選定すればよい。一般的に無理抜きと言われる方法により、内側面から突出する部分があってもアウターバレル309を金型から取り出すことが可能である。そのような材料の具体例として、先に例示したナイロンやポリアセタールなどが挙げられる。以下、本実施形態に係る異方導電性部材の製造方法の一例について説明する。まず、インナーバレル308は、アウターバレル309の第二の部分閉塞部313が設けられた第二の開口318側からその内部に圧入され、部分閉塞部302および第二の部分閉塞部313によってアウターバレル309内に保持される。次に、インナーバレル308とアウターバレル309とからなるバレル303を、弾性ソケット306における貫通孔314の一方の開口側から挿入する。すなわち、バレル303の部分閉塞部302を有する開口と反対側の端部の外側面から外側に突出する突出部である鍔部分315における弾性ソケット306の主面に対向する一方の面が、弾性ソケット306の主面における貫通孔314の周縁部に接触するように、バレル303を貫通孔314に部分的に挿入する。ここで、貫通孔314の内径はバレル303の筒状の外側面の直径とほぼ等しく設定されているため、貫通孔314の内側面によってバレル303は保持され、貫通孔314からバレル303は容易には抜け落ちない。なお、アウターバレル309が前述のように中心軸を含む平面で分割されている場合には、まず、アウターバレル309を貫通孔314に挿入し、その後インナーバレル308をアウターバレル309内に挿入してもよい。アウターバレル309は分割されているため、インナーバレル308の挿入は容易である。続いて、中心側の部材311とリング状絶縁部材312とを備えるプランジャー307を、弾性ソケット306における貫通孔314の他方の開口側から挿入する。プランジャー307を挿入することによってプランジャー307の太径部301がバレル303の部分閉塞部302に接したら、さらにプランジャー307を貫通孔314内に挿入するよう押し込んで、太径部301によって部分閉塞部302を変形させて、太径部301をバレル303の中空部304内に挿入する。太径部301が中空部304内に完全に挿入されると、部分閉塞部302は変形した状態から初期の状態に戻り、太径部301は中空部304内に保持される。こうして、プランジャー307とバレル303とからなる連結体以下、プローブピンという場合もある。は、弾性ソケット306の貫通孔314内に、容易には分離しない状態で保持される。図4は、本実施形態に係る異方導電性部材300の使用状態を概念的に示す断面図である。図5は、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材の一例本明細書において、実施例3-1ともいう。の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。図5に示される実施例3-1に係る異方導電性部材は、プローブピンが、弾性ソケットに設けられた貫通孔に部分的に挿設されることによって弾性ソケットに対して保持されている。実施例3-1に係る異方導電性部材のバレルの構造は第二の実施形態に係る異方導電性部材300のバレル303と同一の構造である。実施例3-1に係る異方導電性部材のプランジャーの構造も、ほとんど第二の実施形態に係る異方導電性部材300のプランジャー307と等しいが、実施例3-1に係る異方導電性部材では、第二の実施形態に係る異方導電性部材300の貫通孔314と異なり、貫通孔におけるプランジャー側の開口部を含む領域が狭まっている。つまり、実施例3-1の貫通孔は、径が細い細孔部および径が太い太孔部を弾性ソケットの厚さ方向に隣接して備え、この細孔部内にプランジャーの細径部が配置され、太孔部内にバレル303の基板接触部以外の部分が配置されている。この構成に合わせて、実施例3-1のプランジャーにおけるリング状絶縁部材は、第二の実施形態のプランジャー307におけるリング状絶縁部材312に比べて、中央の中空部の直径が小さくなっている。また、この構造の場合には、使用状態またはその前後の使用時にプランジャーがバレルに対して傾きながら摺動することが貫通孔における細孔部の内側面によって抑制されるため、実施例3-1のリング状絶縁部材は段差構造を有していなくともよい。また、リング状絶縁部材の外径が小さい場合にこの部材が貫通孔の内部に入り込んでバレルとプランジャーとの摺動を阻害することも、貫通孔における細孔部の孔径が小さいことによって抑制されている。図6は、図5に示される実施例3-1に係る異方導電性部材の使用状態を概念的に示す断面図である。図6に示されるように、ICの端子はんだボールによりプランジャーが押し込まれることによって、プランジャーの太径部はバレルの中空部内の奥に移動し、これに伴い、貫通孔の太孔部の内部におけるバレルもプランジャーも存在しない空隙領域が圧縮される。図6に示される実施例3-1に係る異方導電性部材においては、弾性ソケットにおける細孔部と太孔部との段差部分がバレルに接触している。この空隙領域の有無や大きさは、貫通孔における細孔部および太孔部の弾性ソケットの厚さ方向の長さのバランスを変更することによって任意に設定可能であり、空隙領域が使用状態において消滅するようにしてもよいし、残留するようにしてもよい。図7は、第三の実施形態に係る異方導電性部材の他の一例本明細書において、実施例3-2ともいう。の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。図7に示される実施例3-2に係る異方導電性部材では、上記の空隙領域は、使用状態の前の状態、つまり電極接触部および基板接触部にこれらを圧縮する外力が付与されていない状態でも空隙が発生しないように構成されている。すなわち、本実施例では、バレルにおける弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケットの中心側の端部以下、バレルの電極側端部ともいう。は、貫通孔の太孔部と細孔部とが作る段差部分以下、貫通孔段差部ともいう。に接している。この構造の場合には、使用状態において電極接触部と基板接触部とに外力が付与されてこれらが弾性ソケットの厚さ方向に近接したときにこれらを離間させる弾性復元力が弾性ソケットに生じるように弾性ソケットの一部を圧縮する部分は、プランジャーではリング状絶縁部材であり、バレルではバレルの電極側端部である。したがって、本変形例に係るバレルは、第一の実施形態、第二の実施形態、および実施例3-1におけるバレルでは必須となっていた基板接触部の鍔部分が不要となっている。この基板接触部が鍔部分を有さないことはプローブピンの配置を狭ピッチ化することに有効である。図8は、図7に示される実施例3-2に係る異方導電性部材の使用状態を概念的に示す断面図である。図8に示されるように、ICの端子はんだボールによりプランジャーが押し込まれることによって、プランジャーの太径部はバレルの中空部内の奥に移動する。この移動に伴い貫通孔の細孔部の周辺をなす弾性ソケットが圧縮され、この圧縮された部分の弾性ソケットの弾性回復力に基づいて、プランジャーのリング状絶縁部材およびバレルの電極側端部に対して両者を離間させる力が付与される。図9は、第三の実施形態に係る異方導電性部材の別の他の一例本明細書において、実施例3-3ともいう。の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。実施例3-3におけるプローブピンと貫通孔との関係は実施例3-2と同じであり、バレルの電極側端部は貫通孔段差部に接している。しかしながら、実施例3-3のバレルは、実施例3-2のバレルと異なり二重管構造を有していない。実施例3-3のバレルは、単管構造であるが、部分閉塞部を構成する部材が他の部材と別体であり、具体的には部分閉塞部を構成する部材は樹脂系材料からなり、その他の部分は金属系材料からなる。そして、部分閉塞部を構成する部材は、貫通孔段差部分と金属系材料からなる他の部材とに挟まれることにより、他の部材に対する位置変動が制限されている。この構成では、実施例3-2のバレルに比べて、アウターバレルを有さない分、バレルの外径が小さい。このバレルが細いことは、貫通孔の最大内径を小さくすることができるため、プローブピンの配置を狭ピッチ化することに有効である。なお、実施例3-3では部分閉塞部を構成する部材は樹脂系材料からなるが、これに限定されない。例えば、部分閉塞部を構成する部材が複数の部材から構成されている場合には、この部材は金属系材料から構成されていてもよい。このような場合の具体例として、リング状の構造体がリングの中心軸を含む面で2分割された構成が挙げられる。この構成では、プランジャーの太径部と接触することによってこの部材はリング状の構造体が折れ曲がるように分離し、部分閉塞部としての機能を失って、太径部がバレルの内部に挿入されることが可能となる。一方、使用状態では、貫通孔段差部と金属系材料からなる他の部材とがこのリング状の構造体を圧縮するため、この構造体の分離は抑制される。したがって、使用状態において太径部がバレルから抜けてしまうことは十分に抑制されている。以下、これまで説明した第二の実施形態に係る異方導電性部材、および実施例3-1から3-3に係る異方導電性部材の変形例について列記する。図10は第二の実施形態に係る異方導電性部材の一変形例本明細書において、変形例1ともいう。の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。変形例1に係る異方導電性部材は、使用前の状態、すなわち弾性ソケットの貫通孔内にプローブピンが配置された状態で、電極接触部の鍔部分および基板接触部の鍔部分は弾性ソケットを圧縮している。このため、異方導電性部材の電極接触部とICの端子はんだボールとの接触が開始された初期の段階から、プランジャーとICの端子、およびバレルと検査用基板の電極との間に接触圧力が発生し、電気的接触がより安定して好ましい。この変形例1の構成は、第二の実施形態に係る異方導電性部材、および実施例3-1から3-3に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。図11は第二の実施形態に係る異方導電性部材の他の一変形例本明細書において、変形例2ともいう。の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。変形例2に係る異方導電性部材は、リング状絶縁部材とこれに対向する弾性ソケットの表面との間に接着層を有している。リング状絶縁部材が弾性ソケットの表面に接着剤などで固着されることにより、弾性ソケットが圧縮されたときにリング状絶縁部材が弾性ソケットの貫通孔内に潜り込む可能性を排除することができ、好ましい。この例では接着剤層によりリング状絶縁部材と弾性ソケットとを固着させたが、弾性ソケットがラバーからなる場合には、接着剤層に代えて、硬度の高い薄いリング状のラバーを挟んでもよい。ラバー同士の摩擦力は極めて大きいため、リング状絶縁部材の弾性ソケットに対するずれを安定的に抑制することができる。この変形例2の構成は、第二の実施形態に係る異方導電性部材、および実施例3-1から3-3に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。図12は実施例3-1に係る異方導電性部材の一変形例本明細書において、変形例3ともいう。の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。変形例3に係る異方導電性部材は、プランジャーがリング状絶縁部材を有していない。このため、プランジャーの外径が小さくなっている。このプランジャーの最大外径部が細いことはプローブピンの配置を狭ピッチ化することに有効である。この変形例3の構成は、実施例3-1から3-3に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。図13は第二の実施形態に係る異方導電性部材の別の他の一変形例本明細書において、変形例4ともいう。の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。変形例4に係る異方導電性部材は、インナーバレルがすべり面を構成する筒状の部材と基板接触部の一部を構成する部材とからなる。かかる構造を有することにより、筒状の部材の肉厚を薄くすることが可能となる。それゆえ、アウターバレルの外径を小さくすることができる。アウターバレルが細くなることは、貫通孔の最大内径を小さくすることができるため、プローブピンの配置を狭ピッチ化することに有効である。また、インナーバレルの製造が容易になるという利点もある。この変形例4の構成は、第二の実施形態に係る異方導電性部材、および実施例3-1から3-3に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。図14は第二の実施形態に係る異方導電性部材のさらに別の一変形例本明細書において、変形例5ともいう。の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。変形例5に係る異方導電性部材は、基本構造が第二の実施形態に係る異方導電性部材と反対である。すなわち、すべり軸を備えるプランジャーが基板接触部を有し、すべり面を備えるバレルが電極接触部を有する。この変形例5の構成は、第二の実施形態に係る異方導電性部材、ならびに実施例3-1および3-2に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。以上の変形例1から5は、単独で適用してもよいし、複数の変形例に係る構成を組み合わせて適用してもよい。"