質量で、Zr:0.1以上5.0以下、Nb:0.1以上5.0以下、Fe:0.1以下およびO:0.1以下を含有し、残部がTiおよび不純物からなる耐熱チタン合金。前記Tiの一部に代えて、質量で、Si:0.3未満およびAl:0.5未満のうち1種以上を含有する請求項1に記載の耐熱チタン合金。本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、冷間圧延により薄板を製造可能であり、かつ十分な耐高温酸化性以下、単に耐酸化性ともいう。および加工性を有するチタン合金を提供することを目的とする。本発明者らは、上記目的を達成するため、後述の基礎実験および実施例に示す試験等を行い、鋭意調査した結果、以下のa~dの知見を得た。aチタン合金の耐酸化性の向上には、ZrおよびNbの少なくとも一方を添加することが有効であり、かつ、これらの元素は単独添加より、複合添加の方がより耐酸化性に優れる。bZrおよびNbはいずれもチタンに対して全率固溶型元素であり、チタンに含有させても他の合金元素よりも加工性の劣化が少なく、両方を複合添加することで優れた加工性と耐酸化性を有するチタン合金を得ることができる。cZrおよびNbの少なくとも一方を添加したチタン合金に、SiおよびAlを添加すると、耐酸化性を向上させることができるものの加工性が大きく低下する。しかし、SiおよびAlをZrおよびNbよりも少量添加することで、加工性の低下を抑制し、耐酸化性を向上させることができる。すなわち、SiおよびAlは、ZrおよびNbの補助的な役割を果たす元素として含有させることができる。dFeおよびOはTi-Zr-Nb系チタン合金の加工性を大きく劣化させる。しかし、FeおよびOの含有率を所定値以下にすることにより、十分な加工性を確保することが可能である。本発明は、この知見に基づいて完成されたものであり、下記1および2の耐熱チタン合金を要旨としている。1質量で、Zr:0.1以上5.0以下、Nb:0.1以上5.0以下、Fe:0.1以下およびO:0.1以下を含有し、残部がTiおよび不純物からなる耐熱チタン合金。2前記Tiの一部に代えて、質量で、Si:0.3未満およびAl:0.5未満のうち1種以上を含有する前記1に記載の耐熱チタン合金。以下の説明では、チタン合金の組成についての質量を単にと表記する。本発明のチタン合金は、冷間圧延性が良好であり、冷間圧延によって薄板を製造可能である。また、優れた加工性および耐高温酸化性を有する。そのため、本発明のチタン合金を、自動車や自動二輪車の排気系部品に用いることで、軽量化によりCO2の発生量の低減を図ること、および意匠性を高めることができる。本発明のチタン合金は、質量で、Zr:0.1以上5.0以下、Nb:0.1以上5.0以下、Fe:0.1以下およびO:0.1以下を含有し、残部がTiおよび不純物からなり、前記Tiの一部に代えて、質量で、Si:0.3未満およびAl:0.5未満のうち1種以上を含有してもよい。以下、合金元素とチタン合金の加工性および耐酸化性との関係を調査するために行った基礎実験について説明する。1.基礎実験1-1.実験方法種々の合金元素を含有するチタン合金の小型試験片をアーク溶解にて作製した。この小型試験片を熱間圧延して得られた熱延板を焼鈍し、脱スケールを施した後、冷間圧延し、仕上げ焼鈍を実施して、厚さ1mmの薄板を製造した。チタン合金の合金元素の含有率は、以下の通りとした。単独添加:Zr、Nb、SiおよびAlのそれぞれを、0.3、0.5、1.0または2.0複合添加1ZrおよびNbZr:0.3、0.5、1.0または2.0に対して、Nb:0.3、0.5、1.0または2.0複合添加2Zr、NbおよびOZr:0.3およびO:0.12に対して、Nb:0.3、0.5または1.0複合添加3Zr、NbおよびFeZr:0.3およびFe:0.13に対して、Nb:0.3、0.5または1.0このチタン合金の薄板について加工性および耐酸化性を調査するため、引張試験および酸化試験を行った。加工性の評価は引張試験による伸び、耐酸化性の評価は酸化試験前後の重量変化酸化増量によって行った。また、上記のチタン合金とは異なるチタン合金および純チタンについて、酸化スケールの分析をESCAおよびGDSを用いて行った。ESCAでは、600°C、100時間の酸化処理後のTi-3Nb-1Zr合金の試験片について、表面からArスパッタを行い、酸化スケール中の深さ方向におけるZrおよびNbの存在状態を調査した。GDSでは、600°C、100時間の酸化処理後の純チタンの試験片について、表面から深さ方向のOとTiの比以下O/Ti比ともいう。の変化からスケール構成を調査した。1-2.実験結果1-2-1.単独添加の場合図1は、単独添加の場合の合金元素含有率と引張試験による伸びとの関係を示す図である。同図から、これらの元素の含有率を増加させた場合の伸びの低下は、ZrおよびNbでは小さいが、SiおよびAlでは大きいことがわかった。図2は、単独添加の場合の合金元素含有率と酸化増量との関係を示す図である。同図から、SiおよびAlは、ZrおよびNbと比較して、含有率を増加させた場合に酸化増量がより小さくなっており、耐酸化性向上効果が高いことがわかった。また、いずれの元素も一定の含有率を超えると酸化増量の低下幅が小さくなり、耐酸化性向上効果が小さくなることがわかった。このように、図1および図2に示す引張試験と酸化試験の結果から、ZrおよびNbをそれぞれ単独で添加したチタン合金では、優れた加工性と耐酸化性が得られることがわかった。1-2-2.複合添加の場合図3は、ZrおよびNbを複合添加した場合の合金元素含有率と引張試験による伸びとの関係を示す図である。同図から、ZrおよびNbは、複合添加の場合も前記図1に示す単独添加の場合と同様に、含有率を増加させた場合の伸びの低下が小さいことがわかった。さらに、FeおよびOの含有率がそれぞれ0.1を超えると伸びが大きく低下することがわかった。図4は、ZrおよびNbを複合添加した場合の合金元素含有率と酸化増量との関係を示す図である。同図から、ZrおよびNbは、複合添加した方が、前記図1に示す単独添加した場合と比較して耐酸化性向上効果が大きいことがわかった。耐酸化性の向上には、酸化スケール形成の律速過程である酸化スケール中の酸素の拡散を抑制することが有効である。これには、チタン酸化物中のチタンよりも大きな原子価をもつ元素を含有させること、つまり原子価制御の原理を働かせることにより酸化スケール中の酸素の拡散を抑制することで可能である。図5は、ESCAを用いて調査した、ZrおよびNbを複合添加した場合の酸化スケール中でのZrおよびNbの存在状態を示す図であり、同図aはZr、同図bはNbについての図である。同図から、Zrは、スケール表層から内部にかけて、原子価が4であるZnO2の状態で存在することがわかる。一方、Nbは、スケール表層では原子価が5であるNb2O5の状態で存在し、内部では原子価が2であるNbOの状態で存在することがわかる。図6は、酸化試験後の純チタンの酸化スケールの調査結果を示す図であり、同図aは表層のSEM写真、同図bはGDSを用いて調査した表面からのO/Ti比およびスケール構成を示す図である。チタンのスケールには、TiO2、Ti2O3、TiOがあり、それぞれの原子価は4、3、2である。同図から、これらのチタン酸化物は、スケール表層から内部にかけて、O/Ti比が減少しており、TiO2、Ti2O3、TiOの順に存在することがわかる。Nbは、スケール表層で原子価が5であるため、Tiの原子価が4であるスケール表層のTiO2中での酸素の拡散抑制に有効である。しかし、Nbは、スケール内部では原子価が2であるため、これより原子価が大きいスケール内部のTi2O3中およびTiO中での酸素の拡散抑制効果はない。Zrは原子価が4であるため、Tiの原子価が4であるスケール表層のTiO2中では酸素の拡散抑制効果はないが、これより原子価が小さいスケール内部のTi2O3中およびTiO中では酸素の拡散抑制効果がある。よって、ZrおよびNbの複合添加は、スケール全体で酸素の拡散抑制効果を発揮することが可能であり、これらの元素は、チタン合金の耐酸化性をより効率的に向上させることができる組み合わせである。さらに、ZrおよびNbは、含有させた場合の伸びの低下も小さいことから、ZrおよびNbの複合添加は、チタン合金の耐酸化性と加工性を両立することが可能な組み合わせである。2.チタン合金の組成の範囲および限定理由以上の基礎実験および後述する実施例に示す試験等、本発明者らの検討の結果に基づき、本発明のチタン合金の組成を決定した。以下、本発明のチタン合金の組成の範囲および限定理由について説明する。2-1.必須元素ZrおよびNb:それぞれ0.1以上5.0以下工業的にNbを含有するチタン合金を製造する場合、偏析を抑制するために粉末状のNbが多くの場合に使用される。しかし、この粉末状のNbには不純物が含まれており、多く添加すると、特にO含有率の増加につながるため、Nbの含有率の最大値は5.0とする。また、β相安定化元素であるNbの含有率が増加すると、高温での使用中にβ相が存在しやすくなる。β相は、α相よりも元素の拡散が容易であり、α相とβ相が共存していると、α単相である場合よりも耐熱性の低下が懸念されるため、Nbの含有率は、3.0以下が望ましい。Nbと同様にβ相安定化元素であるZrは、含有率を増加させるとNbとの複合添加において、α単相を維持できる最大Nb含有率が減少するため、Zrの含有率の最大値は5.0とする。また、ZrおよびNbは、いずれも含有率が低すぎると耐酸化性の向上効果が小さいため、含有率の最小値はともに0.1とする。Fe:0.1以下Feはチタン合金の加工性を低下させるため、Feの含有率は0.1以下とする。後述の任意元素であるSiおよびAlの少なくとも一方を含有させる場合、これらの元素を含有させることにより加工性が低下するため、Feの含有率は0.07以下とすることが望ましい。O:0.1以下Oはチタン合金の加工性を低下させるため、Oの含有率は0.1以下とする。任意元素であるSiおよびAlの少なくとも一方を含有させる場合、これらの元素を含有させることにより加工性が低下するため、Oの含有率は0.06以下とすることが望ましい。上記必須元素以外の残部は、Tiおよび不純物とする。2-2.任意元素Tiの一部に代えて、以下の任意元素を1種以上含有させてもよい。Si:0.3未満Siは、含有率が低くても耐酸化性向上の効果を発揮する。しかし、Siは加工性が大きく低下させるために、Siを含有させる場合、耐酸化性と加工性を両立させるため、含有率を0.3未満とする。Al:0.3未満Alは、含有率が低くても耐酸化性向上の効果を発揮する。しかし、Alは加工性を大きく低下する。そのため、Alを含有させる場合、耐酸化性と加工性を両立させるため、含有率を0.5未満とする。3.チタン合金の製造方法本願発明のチタン合金の製造方法は、従来のチタン合金と同様である。VAR溶解または電子ビーム溶解にてインゴットを製造する。このインゴットに対して鍛造、熱間圧延、焼鈍、脱スケール、冷間圧延および仕上げ焼鈍を順に施して板材とする。本発明のチタン合金の耐酸化性および加工性を確認するため、以下の試験を実施して、その結果を評価した。1.試験条件1-1.試料アーク溶解により、表1に示す組成の試験材を作製した。本発明例1~16は、いずれも本発明の規定を満足する組成であった。比較例1~12は、以下の点で本発明の規定を満足しない組成であった。比較例1~5および8~10は、ZrおよびNbのうち少なくとも一方を含有しなかった。また、比較例10は、本発明で規定しないCuを含有した。比較例6はFeが、比較例7はOが、本発明の規定よりも含有率が高かった。この試験材を、熱間圧延および焼鈍し、表面に生成したスケールを除去した後、厚さ4mmの板材の状態から冷間圧延して厚さ1mmの板材を作製した。この板材に700°C、60分間の真空焼鈍熱処理を施し、試験片とした。1-2.冷間圧延性試験熱間圧延および焼鈍の後、スケールを除去した板材を冷間圧延した際に、板材の端面におけるエッジ割れの有無を観察した。このとき、エッジ割れが全く生じなければ○可、長さ1mm以上のエッジ割れが生じれば×不可とした。1-2.引張試験上記試験片から圧延方向に平行に、ASTMハーフサイズの引張試験片を採取し、降伏するまで0.2/min、破断まで20/minの歪速度で室温にて引張試験を実施した。1-3.酸化試験表面を粒度600の研磨紙で研磨した試験片に大気中で600°C、100時間の酸化処理を施した。酸化処理前後の重量を比較して酸化増量を求めた。2.試験結果評価項目は、冷間圧延性、引張強度、伸びおよび酸化増量とし、これらの結果を合金組成と併せて前記表1に示した。酸化増量により、耐酸化性を評価した。酸化増量が小さいほど耐酸化性が良好である。2-1.冷間圧延性前記表1に示すように、本発明例および比較例とも、全てエッジ割れが全く生じず、良好な冷間圧延性を有しており、評価は○であった。2-2.引張強度および伸び前記表1に示すように、本発明例および比較例とも、概ね引張強度が高いほど伸びが小さい傾向であった。2-3.伸びと耐酸化性との関係図7は、本発明例および比較例の伸びと酸化増量との関係を示す図である。同図および前記表1からわかるように、本発明例は、いずれも伸びが良好であり、比較例と比較して、伸びに対して高い耐酸化性を有していた。比較例1は純チタンであり、本発明例および他の比較例と比較して、伸びは良好であるが耐酸化性に劣っていた。比較例2~5は、Zr、Nb、SiおよびAlをそれぞれ単独添加したチタン合金である。各チタン合金の伸びを比較例1の純チタンと比較すると、いずれも伸びは低下していた。このうち、ZrまたはNbを添加した比較例2および3は、SiまたはAlを添加した比較例4および5と比較して、伸びの低下が小さかった。本発明例4と比較例2および3は、ZrおよびNbの合計含有率が1で同じである。これらを比較してわかるように、ZrおよびNbの合計含有率が同じ場合、複合添加した本発明例は、単独添加した比較例よりも、伸びに対して高い耐酸化性を有していた。比較例6は、ZrおよびNbの含有率が同じである本発明例3と比較すると、Feの含有率が高かったため、伸びが大きく低下していた。比較例9は、ZrおよびNbの含有率が同じである本発明例3と比較すると、O含有率が高かったため、高強度化し伸びが大きく低下していた。比較例8および9は、いずれもマフラー用チタン合金であり、耐酸化性に優れていたものの、伸びが小さかった。比較例10は、マフラー用チタン合金の中では大きな伸びを有していた。しかし、本発明例と比較して、伸びおよび耐酸化性に劣っていた。