"光源からの光が分割された光であって、移動体に取り付けられた再帰反射体で反射される測定光を用いて前記移動体までの距離を測定する測長部と、前記再帰反射体で反射された測定光を受光する検出器を備える追尾用光学部とを有する本体と、前記検出器からの受光信号に基づいて前記本体の姿勢を制御し、前記本体に前記再帰反射体を追尾させる制御手段とを備える追尾式レーザ干渉計であって、前記制御手段は、前記本体に前記再帰反射体を追尾させることを停止させた状態で、前記再帰反射体で反射された測定光の前記検出器における受光位置に基づいて、前記移動体の移動方向に対して直交する方向における前記移動体のずれ量を測定するずれ量測定部を備えることを特徴とする追尾式レーザ干渉計。請求項1に記載の追尾式レーザ干渉計において、前記再帰反射体で反射された測定光を通して前記検出器に入射させるレンズが設けられていることを特徴とする追尾式レーザ干渉計。しかし、従来は、移動体の移動量と、移動体の移動方向と直交する方向におけるずれ量とは、前述のレーザ干渉計や変位計などといった別の測定装置を用いて別個に測定されていたため、測定装置の入換え作業や調整作業などが必要となり、測定時間が長くなる。また、複数の測定装置を用いるため、測定にコストもかかる。本発明の目的は、移動体の移動量と、移動体の移動方向と直交する方向におけるずれ量との測定にかかる測定時間を短くすることができるとともに、測定にかかるコストを低減できる追尾式レーザ干渉計を提供することである。本発明の追尾式レーザ干渉計は、光源からの光が分割された光であって、移動体に取り付けられた再帰反射体で反射される測定光を用いて前記移動体までの距離を測定する測長部と、前記再帰反射体で反射された測定光を受光する検出器を備える追尾用光学部とを有する本体と、前記検出器からの受光信号に基づいて前記本体の姿勢を制御し、前記本体に前記再帰反射体を追尾させる制御手段とを備える追尾式レーザ干渉計であって、前記制御手段は、前記本体に前記再帰反射体を追尾させることを停止させた状態で、前記再帰反射体で反射された測定光の前記検出器における受光位置に基づいて、前記移動体の移動方向に対して直交する方向における前記移動体のずれ量を測定するずれ量測定部を備えることを特徴とする。このような構成によれば、本体に再帰反射体を追尾させることを停止させた状態では、移動体のずれは、再帰反射体で反射された測定光の検出器における受光位置のずれとなるので、再帰反射体で反射される測定光を用いて、移動体までの距離に基づく移動体の移動方向の移動量に加えて、ずれ量測定部で移動体のずれ量が測定される。単独の追尾式レーザ干渉計によって、移動体の移動方向の移動量が測定され、かつ移動体のずれ量も測定されるため、移動体の移動量を測定するためと移動体のずれ量を測定するために別々の測定装置などを用いて別々の測定を行うことが不要となる。また、測定装置などの入換え作業や調整作業なども不要となり、測定時間を短くすることができ、測定にかかるコストも低減できる。また、従来のレーザ干渉計では、測定対象物には、複数の再帰反射体とこれら複数の再帰反射体を保持するための保持部材が装着されているため、複数の再帰反射体と保持部材との重さにより、測定対象物の本来の特性が変化し、適切な測定が困難であった。しかし、本願の上記構成では、再帰反射体が単一であるため、測定対象物の本来の特性は変化せず、適切な測定が可能となる。また、従来のレーザ干渉計では、複数の再帰反射体が設けられているため、測定対象物に複数のレーザ光が出射され、個々のレーザ光に対して光軸調整が必要となり、測定時間がかかって測定作業の効率も上がらず、調整作業には熟練度も必要となる。そして、調整作業に時間がかかると、測定時に、調整作業する人が熱源となって温度の影響を受ける可能性もでてきてしまう。しかし、本願の上記構成では、単一の再帰反射体に単一のレーザ光が入射し、単一の再帰反射体で単一のレーザ光が反射するので、単一のレーザ光に対してのみ光軸調整すればよく、光軸調整が容易となり、測定時間を短くすることができ、適切な測定も可能となる。また、従来のレーザ干渉計では、1つの光源からの光を複数のレーザ光に分けているため、複数のレーザ光に分けるためのプリズムやレンズ等の光学部品を多数使用する必要があり、測定装置の製造コストが高くなる。しかし、本願の上記構成では、1つの光源からの光は単一のレーザ光に分けられるので、必要な光学部品を少なくでき、測定装置の製造コストを低減できる。本発明の追尾式レーザ干渉計において、前記再帰反射体で反射された測定光を通して前記検出器に入射させるレンズが設けられていることが好ましい。このような構成によれば、レンズが設けられていない場合には、移動体の実際のずれ量の2倍の距離が検出器を介してずれ量測定部で測定されるが、レンズが設けられているため、例えば、レンズから、レンズの焦点距離よりも大きい距離だけ離れた位置に検出器を配置すると、移動体の実際のずれ量の2倍の距離よりも大きな距離を検出器を介してずれ量測定部で測定できるため、検出器の分解能を上げて測定精度を高めることができる。また、例えば、レンズから、レンズの焦点距離よりも小さい距離だけ離れた位置に検出器を配置すると、移動体の実際のずれ量の2倍の距離よりも小さな距離を検出器を介してずれ量測定部で測定でき、検出器を介して測定する距離の測定可能な範囲が広がるため、移動体のずれ量を広範囲に測定できる。以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各実施形態において、同一の構成部分には同じ符号を付すとともに、それらの説明を省略または簡略化する。<第1実施形態>図1に示す追尾式レーザ干渉計1以下、干渉計1とする。はマイケルソン型の干渉計であり、本体2と、本体2の姿勢を制御する制御手段3とを備え、本体2は、制御手段3によって、図示しない三次元測定機などの産業機械に設けられた移動体Mに取り付けられた再帰反射体としてのレトロリフレクタRを追尾するように制御される。光源としてのレーザ光源211からのレーザ光L1が分割された測定光L2はレトロリフレクタRに向けて出射され、レトロリフレクタRに入射されて反射される。移動体Mは測定光L2の光軸方向と平行な方向図1中左右方向に移動する。レトロリフレクタRで反射された測定光L2と、レーザ光L1が分割された参照光L3との干渉光に基づいて、レトロリフレクタRまでの距離が測定され、それによって移動体Mの移動方向における移動体Mまでの距離が測定される。移動体Mとしては、例えば測定対象物を測定するためのプローブが取りつけられた三次元測定機のスライダが挙げられる。本体2は測長部21と追尾用光学部22とを備えている。測長部21は、レーザ光源211と、ビームスプリッタ212と、ミラー213と、検出器214とを備え、追尾用光学部22はビームスプリッタ221と検出器222とを備えている。レーザ光源211から出射されたレーザ光L1は、図示しないコリメータレンズを通ってビームスプリッタ212に入射される。ビームスプリッタ212は、光L1を測定光L2と参照光L3とに分割する。測定光L2がレトロリフレクタRの中心P0から距離δ/2離れた位置P1に入射すると、中心P0に対して位置P1と点対称な位置P2で測定光L2が反射され、位置P2で反射された測定光L2は位置P1に入射してきた測定光L2と平行となる。よって、位置P2で反射された測定光L2の光軸と位置P1に入射した測定光L2の光軸とが距離δだけずれる。この場合には、位置P2で反射された測定光L2は、ビームスプリッタ221に再び入射し、図1に実線で示されるように、一部の測定光L21がビームスプリッタ221で反射されて、検出器222の基準受光位置Q1から距離δ離れた位置Q2で受光される。基準受光位置Q1は、図1に点線で示されるように、移動体MおよびレトロリフレクタRが図1に示す位置よりも図1中上方向の位置にあり、測定光L2がレトロリフレクタRの中心P0に入射してその中心P0で反射された場合に、その反射された測定光L2がビームスプリッタ221で反射されて検出器222で受光される位置である。レトロリフレクタRの位置P2で反射された測定光L2のうち測定光L22は、ビームスプリッタ221を透過してビームスプリッタ212に入射する。参照光L3は、ミラー213に向かって進み、ミラー213で反射されてビームスプリッタ212に入射し、ビームスプリッタ212で検出器214に向かって反射される。ビームスプリッタ212では、入射してくる測定光L22と入射してくる参照光L3とが合成される。この合成によって光の干渉が起こり、干渉光が生成されて検出器214に送られる。制御手段3は、移動量測定部31とずれ量測定部32とを備えている。移動量測定部31は、検出器214での干渉光の受光量に応じた受光信号を用いて、測定光L2の光軸方向におけるレトロリフレクタRまでの距離を測定し、それによって移動体Mの移動方向における移動体Mまでの距離を測定する。そして、移動量測定部31は、測定された移動体Mまでの距離に基づいて、図1中左右方向における移動体Mの移動量を測定する。ずれ量測定部32は、検出器222での測定光L21の受光位置に応じた受光信号に基づいて、測定光L21の検出器222における受光位置の基準受光位置Q1からの離間距離、すなわち移動体Mの移動方向に対して直交する例えば図1中上下方向における移動体Mのずれ量を測定する。例えば、測定光L2がレトロリフレクタRの中心P0に入射するような本体2の姿勢で、移動体MおよびレトロリフレクタRが図1中右方向に移動されているときに、移動体MおよびレトロリフレクタRが移動体Mの移動方向と直交する図1中下方向にずれた場合には、測定光L2のレトロリフレクタRへの入射位置が中心P0からずれ、よって、レトロリフレクタRで反射された測定光L21の検出器222における受光位置が基準受光位置Q1から離れる。このとき、その離間距離がδであれば、移動体MおよびレトロリフレクタRが図1中下方向に、ずれ量としての距離δ/2だけずれたことがわかる。なお、本実施形態および第2実施形態において、ずれ量測定部32で移動体Mのずれ量を測定するときには、本体2にレトロリフレクタRを追尾させる制御は停止される。以上のような本実施形態の干渉計1では、以下の効果がある。本実施形態の干渉計1では、本体2にレトロリフレクタRを追尾させることを停止させた状態では、移動体Mのずれは、レトロリフレクタRで反射された測定光L21の検出器222における受光位置のずれとなるので、レトロリフレクタRで反射される測定光L2を用いて、移動体Mまでの距離に基づく移動体Mの移動方向の移動量が移動量測定部31で測定されることに加えて、ずれ量測定部32で移動体Mのずれ量が測定される。単独の干渉計1によって、移動体Mの移動方向の移動量が測定され、かつ移動体Mのずれ量も測定されるため、移動体Mの移動量を測定するためと移動体Mのずれ量を測定するために別々の測定装置などを用いて別々の測定を行うことが不要となる。また、測定装置などの入換え作業や調整作業なども不要となり、測定時間を短くすることができ、測定にかかるコストも低減できる。追尾式レーザ干渉計は、図1に示すマイケルソン型の干渉計1には限定されず、図2に示すようなフィゾー型の追尾式レーザ干渉計1A以下、干渉計1Aとする。であってもよい。干渉計1Aでは、測長部21は、レーザ光源211と、ビームスプリッタ212と、ハーフミラー213Aと、検出器214とを備え、追尾用光学部22はビームスプリッタ221と検出器222とを備えている。レーザ光源211から出射されたレーザ光L1は、図示しないコリメータレンズを通ってビームスプリッタ212を透過し、ハーフミラー213Aに入射される。ハーフミラー213Aに入射された光L1は、ハーフミラー213Aに形成された参照面213A1において、参照面213A1を透過する測定光L2と、参照面213A1で反射される参照光L3とに分けられる。測定光L2は、ビームスプリッタ221を通ってレトロリフレクタRの位置P1に入射して位置P2で反射され、ビームスプリッタ221に再度入射する。ビームスプリッタ221に入射した測定光L2のうち測定光L21はビームスプリッタ221で反射され、検出器222の位置Q2で受光される。ビームスプリッタ221に入射した測定光L2のうち測定光L22は、ビームスプリッタ221とハーフミラー213Aとを透過してビームスプリッタ212に入射し、ビームスプリッタ212で検出器214に向かって反射される。参照光L3は、ビームスプリッタ212に入射し、ビームスプリッタ212で検出器214に向かって反射される。ビームスプリッタ212では、入射してくる測定光L22と入射してくる参照光L3とが合成されて光の干渉が起こり、干渉光が生成されて検出器214に送られる。そして、図1に示す干渉計1と同様に、移動量測定部31が移動体Mの移動量を測定し、ずれ量測定部32が移動体Mのずれ量を測定する。<第2実施形態>次に、図3に基づき、本発明の第2実施形態について説明する。図3に示すように、本実施形態の追尾式レーザ干渉計1B以下、干渉計1Bとする。では、第1実施形態の干渉計1と異なり、ビームスプリッタ221と検出器222との間に、レトロリフレクタRで反射された測定光L2のうち測定光L21を通して検出器222に入射させるレンズ223が設けられている。他の構成は図1に示す干渉計1の構成と同様である。本実施形態では、ビームスプリッタ221で反射された測定光L21はレンズ223に入射し、レンズ223の焦点fを通って検出器222の位置Q3で受光される。位置Q3の基準受光位置Q1からの離間距離δ1は距離δのk=F2/F1倍となる。kは拡大率で、F1はレンズ223の焦点距離であり、F2は焦点fから検出器222までの距離である。よって、距離F2が焦点距離F1よりも大きいときは拡大率kが1より大きくなり、検出器222における離間距離δ1が距離δより大きくなって検出器222の分解能が上がる。逆に、距離F2が焦点距離F1よりも小さいときや、検出器222がレンズ223と焦点fとの間に配置されているときには、検出器222における離間距離δ1が距離δより小さくなって距離δの測定可能な範囲が広がる。このような干渉計1Bでは、図1に示す干渉計1や図2に示す干渉計1Aと同様に、移動量測定部31が移動体Mの移動量を算出する。ずれ量測定部32は、検出器222からの測定光L21の受光信号に基づいて離間距離δ1を測定し、この離間距離δ1と拡大率kから距離δを測定して、図1中下方向における移動体Mのずれ量δ/2を測定する。以上のような本実施形態の干渉計1Bでは、以下の効果がある。本実施形態の干渉計1Bでは、ビームスプリッタ221と検出器222との間にレンズ223が設けられているため、例えば、焦点距離F1よりも大きい距離F2だけレンズ223から離れた位置に検出器222を配置すると、距離δよりも大きな距離δ1を検出器222を介してずれ量測定部32で測定できるため、検出器222の分解能を上げて測定精度を高めることができる。また、例えば、焦点距離F1よりも小さい距離F2だけレンズ223から離れた位置に検出器222を配置すると、距離δよりも小さな距離δ1を検出器222を介してずれ量測定部32で測定でき、検出器222を介して測定する距離δの測定可能な範囲が広がるため、移動体のずれ量を広範囲に測定できる。なお、図2に示す干渉計1Aにおいても、ビームスプリッタ221と検出器222との間にレンズ223を設けることで、本実施形態のような干渉計を実現できる。なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。前記各実施形態では、移動体MおよびレトロリフレクタRが図1中右方向に移動しているときに、移動体MおよびレトロリフレクタRが図1中下方向にずれた場合について説明しているが、移動体MおよびレトロリフレクタRが図1中右方向に移動していてその移動方向と直交する図1中上方向にずれた場合や図1中紙面と直交する方向にずれた場合についても、干渉計1,1A,1Bによって移動体Mのずれ量を測定できる。また、移動体MおよびレトロリフレクタRが図1中左方向に移動している場合にも同様に、移動体Mのずれ量を測定できる。また、前記各実施形態では、再帰反射体としてレトロリフレクタRについて説明したが、入射してくる測定光L2をその光軸と平行に反射するものであれば、屈折率2の球面レンズなどであってもよい。"