回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させる連結路を形成する空間部形成部材を備えたことを特徴とするダイシング装置。前記空間部形成部材は、前記複数の切削部の各々の下方周辺部に配置され、前記切削部から流れ落ちた切削水を受ける凹部を有する切削水回収部材と、前記凹部の上面側を覆うカバー部材とにより構成されたことを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。前記切削水回収部材は、前記複数の切削部の全てに対する凹部を有する一体形成された部材であると共に、前記カバー部材は、前記複数の切削部の全ての凹部を覆う一体形成された部材であり、前記切削水回収部材と前記カバー部材との間の空間に、該空間を前記複数の切削部の各々に対する前記遮蔽空間部に仕切ると共に、隣接する前記遮蔽空間部を連通する開口を形成して前記連結路を形成する仕切部を備えたことを特徴とする請求項2に記載のダイシング装置。前記遮蔽空間部の各々に排気ダクトが連結されていることを特徴とする請求項1、2、又は3に記載のダイシング装置。前記複数の切削部のうち、稼働していない切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を有効にすると共に、稼働している切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を無効にすることを特徴とする請求項4に記載のダイシング装置。前記ダイシング装置は、各々1つの切削部を備えた所望台数分の切削装置ユニットを並設して組み込むことが可能であり、該切削装置ユニットを複数台組み込むことによって前記複数の切削部を備えたことを特徴とする請求項1~5のうちいずれか1項に記載のダイシング装置。ところで、ワークであるウェハを切削する場合に、ウェハは、フレーム付きの粘着シートに貼着された状態で切削される。そして、切削工程後の処理工程として、上記の洗浄工程、アンロード工程などの処理工程の他に、例えば切削されたウェハの各チップをピックアップ装置により粘着シートから剥離するピックアップ工程等が行われる。これらの切削工程後の処理工程に対して、切削工程での切削が早ければ切削工程後の処理工程での処理が追いつかず、切削工程が不稼働となる時間が長くなる。逆に切削工程での切削が遅ければ切削工程後の処理工程が不稼働となる時間が長くなる。そのため、切削工程のスループット単位時間当たりの処理枚数とその後の処理工程のスループットをできるだけ整合させて全処理工程を効率的に稼働させることが望まれる。一方、切削工程における最適なスループットが得られるように、1枚ずつのウェハを順次切削する1つの切削部のスピンドルの本数を変更することが考えられる。しかしながら、1つの切削部に設置可能なスピンドルの本数は、スペース的な問題等から限界がある。そのため、1台のダイシング装置が複数の切削部を具備できるようにすることが望ましい。例えば、1つの切削部を有する切削装置をユニット化してユーザの要望に応じて最適な台数の切削装置をダイシング装置に組み込めるようにすると、切削部の数を容易に変更することができ、また、必要な切削部の数だけ切削装置を組み込むようにすれば、ダイシング装置を無駄に大型化することなく、また、コストも不要に増大させることなく、切削工程における最適なスループットが容易に得られるようになる。このようにダイシング装置が複数の切削部を具備する場合において、メンテナンス等のために一部の切削部を一時的に停止させる場合が想定される。その場合に、稼働を停止させた切削部では切削時に使用する切削水なども停止するためミストが発生しなくなり、稼働を停止させた切削部の周辺温度が変化する。一方、切削部の周辺温度が変化している間に切削を行うと、スピンドルの伸び等によって切削位置の精度が悪化する。そのため、稼働を停止させた切削部を再稼働させる際には、切削部の周辺温度が恒温化するまで待機する必要があり、切削を開始するまでに待機時間が必要になるという問題がある。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、複数の切削部を備えたダイシング装置において、メンテナンス等のために一時的に稼働を停止している切削部を、切削精度を低下させることなく迅速に再稼働させることができるダイシング装置を提供することを目的とする。前記目的を達成するため、本発明は、回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させる連結路を形成する空間部形成部材を備えたことを特徴としている。これによれば、複数の切削部の周辺温度を遮蔽空間部及び連結空間部を通じて相互に伝達する熱によって恒温に維持することができ、一部の切削部においてメンテナンス等のために稼働を停止した場合であっても、切削精度の低下を防止するために周辺温度が安定するまで待機することなく、迅速に稼働を再開することができる。本発明は、前記空間部形成部材は、前記複数の切削部の各々の下方周辺部に配置され、前記切削部から流れ落ちた切削水を受ける凹部を有する切削水回収部材と、前記凹部の上面側を覆うカバー部材とにより構成されたことが好ましい。本発明は、前記切削水回収部材は、前記複数の切削部の全てに対する凹部を有する一体形成された部材であると共に、前記カバー部材は、前記複数の切削部の全ての凹部を覆う一体形成された部材であり、前記切削水回収部材と前記カバー部材との間の空間に、該空間を前記複数の切削部の各々に対する前記遮蔽空間部に仕切ると共に、隣接する前記遮蔽空間部を連通する開口を形成して前記連結路を形成する仕切部を備えたことが好ましい。本発明は、前記遮蔽空間部の各々に排気ダクトが連結されていることが好ましい。これによれば、各切削部から飛散したミストが遮蔽空間部外に拡散することが確実に防止される。本発明は、前記複数の切削部のうち、稼働していない切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を有効にすると共に、稼働している切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を無効にすることが好ましい。これによれば、稼働していない稼働を停止している切削部に対して稼働している稼働を停止していない切削部の熱をミストや空気を媒体にして効率的に伝達することができる。本発明は、前記ダイシング装置は、各々1つの切削部を備えた所望台数分の切削装置ユニットを並設して組み込むことが可能であり、該切削装置ユニットを複数台組み込むことによって前記複数の切削部を備えたことが好ましい。これによれば、ユーザの要望に応じて最適な数の切削部を備えたダイシング装置を容易に提供することができる。本発明によれば、複数の切削部を備えたダイシング装置において、メンテナンス等のために一時的に稼働を停止している切削部を、切削精度を低下させることなく迅速に再稼働させることができる。以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。図1及び図2は、本発明が適用されるダイシング装置の全体構成を示した正面側斜視図及び背面側斜視図である。これらの図に示すようにダイシング装置10は、カセット投入部12、複数台の切削装置ユニット14141、142、洗浄装置ユニット16、搬送装置18を備えている。ここで、以下で使用する符号について説明すると、図1、2では、同一構造の2台の切削装置ユニット14を並設した形態を例示しているが、ダイシング装置10は任意の台数n分の切削装置ユニット14を具備することができ、それらの切削装置ユニット14に対して正面側から見て左側から順に1~nの番号を付すものとし、番号mm=1~nの切削装置ユニット14には符号14の後にmを付加して14mと表すものとする。また、これと同様に全ての切削装置ユニット14において共通する構成要素には同一数字Pの符号を付し、番号mの切削装置ユニット14mに関連する部材にはその数字pの後にmを付加してPmと表すものとする。ただし、特定の番号の切削装置ユニット14のみに関して該当する説明ではなく、全ての切削装置ユニット14に関して該当する説明の場合には、切削装置ユニット14の番号を付加しない符号で記載するものとする。カセット投入部12は、未切削のウェハを搬出し、切削済み及び洗浄済みのウェハを搬入するロード/アンロード装置ユニットであり、ダイシング装置10の左端の位置に配備されている。このカセット投入部12には、複数枚のウェハを1枚ずつ収容可能な複数段のスロットを備えたカセット不図示が投入配備され、投入されたカセットの各スロットから未切削のウェハが切削装置ユニット14へと搬出される共に、切削装置ユニット14及び洗浄装置ユニット16による切削及び洗浄後のウェハが洗浄装置ユニット16からカセットの空きスロットへと搬入されるようになっている。なお、図3に示すようにカセットに収容されるウェハWは、環状のフレーム20が取り付けられた粘着テープ22に貼着されて粘着テープ22を介してフレーム20に支持されている。ただし、フレーム20の粘着テープ22に貼着したウェハに限らず、切削する基板をカセットに直接収容して、後述の搬送装置18によりカセット内の基板を直接面吸着して搬送することも可能である。切削装置ユニット14は、カセット投入部12から搬出された未切削のウェハを切削予定ラインストリートに沿って切削する装置であり、カセット投入部12に隣接して配備されている。図1、2のダイシング装置10では、同一構造の2台の切削装置ユニット141、142を並設した形態を例示しているが、上記のようにユーザの要望に応じて所望台数1台又は複数台の切削装置ユニット14を組み込んで並設することが可能である。複数台の切削装置ユニット14を並設した場合には、その台数に相当する枚数のウェハを並行して切削することができるため、切削装置ユニット14を並設する台数が多い程、スループットを高くすることができる。従って、切削工程において他工程でのスループットを考慮した最適なスループットを得るために、ダイシング装置10として、過不足のない最適台数の切削装置ユニット14を具備することができる。なお、切削装置ユニット14の構成については後述する。洗浄装置ユニット16は、切削装置ユニット14で切削されたウェハを例えばスピン洗浄した後、スピン乾燥させるスピンナ洗浄装置であり、図1、2のように複数台の切削装置ユニット14を並設した場合には、カセット投入部12から最も離れた切削装置ユニット14図1、2の形態の場合には切削装置ユニット142に隣接して配備される。この洗浄装置ユニット16により洗浄及び乾燥されたウェハは、上記のようにカセット投入部12の空きスロットに収容される。搬送装置18は、ウェハを保持してウェハを搬送する装置であり、図1のように切削装置ユニット14の支持体90に対して正面側に配備されている。搬送装置18は、負圧吸着式の吸着パッドやクランプ等によりウェハを保持する搬送アーム30301、302と、搬送アーム30を左右方向Y軸方向及び上下方向Z軸方向に移動させる搬送アーム移動機構とを備えている。搬送アーム移動機構は、切削装置ユニット14に設けられる門型の支持体90の正面側に設置されたベースプレート32と、ベースプレート32にY軸方向に設置されガイドレール34341、342と、ガイドレール34に摺動可能に設置され、モータ駆動によりY軸方向に移動する支持部材36361、362とを備え、支持部材36に設置された搬送アーム30をモータ駆動によりZ軸方向に移動させることにより、搬送アーム30をY軸方向及びZ軸方向に移動させる構成となっている。この搬送装置18により、搬送アーム30にウェハが保持されて、カセット投入部12から切削装置ユニット14へのウェハの搬送、切削装置ユニット14から洗浄装置ユニット16へのウェハの搬送、洗浄装置ユニット16からカセット投入部12へのウェハの搬送が行われるようになっている。なお、同図のダイシング装置10では2台の切削装置ユニット141、142に対応して2つの搬送アーム301、302が設けられているが、搬送アーム301、302の各々が、切削装置ユニット141、142うちの決められた一方のみの切削装置ユニットに対するウェハの搬送に関わるものである必要はなく、また、必ずしも切削装置ユニット14の台数と搬送アーム30の数が一致している必要もない。また、ベースプレート32は、カセット投入部12、切削装置ユニット14、洗浄装置ユニット16、搬送装置18を所定の位置関係で配置する際の基準位置としても使用されており、図1、2のように複数台の切削装置ユニット14を並設した場合には、全ての切削装置ユニット14の支持体90の正面側に掛け渡される1枚のプレートとしてもよいが、各切削装置ユニット14に個別に設置して、それらのベースプレートを前後方向X軸方向及び上下方向Z軸方向にずれなどが生じずに左右方向Y軸方向に一列に連結されるように切削装置ユニット14を配置するようにしてもよい。更に、図1、図2に示すダイシング装置では、洗浄装置ユニット16により洗浄及び乾燥されたウェハは、カセット投入部12の空きスロットに収容されるものとしているが、これに限らない。例えば、ダイシング装置10にハンドラピックプレースユニットを組み込むことも可能であり、その場合には、カセット投入部12に投入された基板をハンドラのアームで直接搬送するようにし、切削装置ユニット16による切削、及び、洗浄装置ユニット16による洗浄の後、ハンドラの装置内において、個片化された一つ一つのチップを取り分ける作業を行うことが可能である。そのため、洗浄後のウェハがカセット投入部12に搬送されない場合もある。また、ダイシング装置10にハンドラを組み込む場合、ハンドラでのスループットが装置によって大きく異なるため、上記のようにダイシング装置10に所望台数の切削装置ユニット14を組み込めるようにしたことは、ハンドラでのスループットに対して切削工程でのスループットを最適にするために特に効果的である。次に、切削装置ユニット14及びその周辺部材について説明する。まず、切削装置ユニット14の周辺部材について説明すると、切削装置ユニット14は、図1、2に示すように架台部40によって所定の高さとなる位置で支持されている。架台部40は、図4に示すように板状の台座42と台座42上に固定された支持台44とから構成されており、支持台44の上面に切削装置ユニット14の基台74が固定されることによって架台部40の上部に切削装置ユニット14が載置されるようになっている。台座42の下面には図1に示すように各所にキャスタ46とストッパ48が設置されており、キャスタ46によって架台部40と共に切削装置ユニット14を容易に床の上を水平移動させることができ、また、ストッパ48を回転操作してストッパ48を地面に当接させることによって架台部40を所望の位置に固定することができるようになっている。また、図1、2のように2台の切削装置ユニット14141、142を並設する場合には、各々の架台部40401、402の2つの台座42421、422は、図4のように下面側に角パイプ50、50、が格子状に固設されて連結され、一体化される。これによって、2台の切削装置ユニット14141、142及び架台部40401、402を一体の装置として工場で組み上げてから出荷することができるようになっている。2台以上の切削装置ユニット14を並設する場合も同様に全ての切削装置ユニット14の架台部40を連結して全ての切削装置ユニット14及び架台部40を一体の装置と組み上げることも可能であるし、複数台分ずつ連結して複数組の装置として組み上げることも可能である。なお、複数台2台以上の切削装置ユニット14を並設した場合には、カセット投入部12から最も離れた切削装置ユニット14図1、2の形態の場合には切削装置ユニット142の架台部40の台座42上に洗浄装置ユニット16が設置される。更に、切削装置ユニット14とその架台部40は、図1、2、4の破線で示すように全体を覆う矩形状の外カバー52に収容され、その外カバー52に操作パネル54、モニタ56、表示灯58などが配設される。複数台の切削装置ユニット14を並設する場合には、外カバー52はそれらの複数台の切削装置ユニット14及び架台部40の全体を覆う1つの外カバー52として構成してもよいし、個別の外カバー52に対して隣接する外カバー52の当接する側壁部分の一部を適宜開口させて内部の空間を連通させるようにしてもよい。また、複数台の切削装置ユニット14を並設した場合に、操作パネル54、モニタ56、表示灯58のように外カバー52に配設される各装置を各切削装置ユニット14に対して1つずつ設けるのではなく、全ての切削装置ユニット14に対して1つ設けるようにしてもよい。続いて、切削装置ユニット14の構成を図5の拡大図を参照して説明する。切削装置ユニット14は、ウェハを載置すると共に載置されたウェハを吸着保持するワークテーブル70と、先端部に着脱可能に装着されるブレード不図示をモータ駆動により高速回転させるスピンドルユニット72とを備えている。ワークテーブル70は、ワークテーブル移動機構によってX軸方向切削送り方向に移動するようになっている。ワークテーブル移動機構は、架台部40の支持台44上に固定された切削装置ユニット14の基台74図1参照上にX軸方向に平行に延設された一対のガイドレール76図1参照と、ガイドレール76に摺動可能に設置されてモータ駆動によってX軸方向に移動するX軸テーブル78とを備えており、そのX軸テーブル78上にワークテーブル70が設置されている。これによって、ワークテーブル70がX軸テーブル78と共にモータ駆動によりX軸方向に移動するようになっている。そして、ワークテーブル70は、搬送装置18により搬送された未切削のウェハが載置される際、及び、切削済みのウェハを搬送装置18により取り除く際に、正面手前側の待機位置に配備され、ブレードにより切削を行う際には、待機位置よりも正面奥側となる切削部60ダイシング装置10において各ウェハに対してブレードにより切削が行われる切削領域まで送られ、ブレードによる切削と共に所定の切削送り速度でX軸方向に移動するようになっている。なお、ウェハの切削予定ラインを正確にX軸方向にアライメントするため、X軸テーブル78に対してワークテーブル70をモータ駆動により回転させる回転機構も設けられている。また、スピンドルユニット72の先端部にはブレードを覆うブレードカバーが装着され、そのブレードカバーに切削水をブレードや切削箇所に噴射する噴射ノズル等が設けられている。スピンドルユニット72は、1台の切削装置ユニット14に対して左右に2つ対向して設けられており図1、2参照、各々、先端部にブレードが装着されるスピンドル80、スピンドル80を回転駆動するモータ、及び、スピンドル80を回動可能に支持すると共にモータを支持するスピンドルハウジング82とを備えている。そして、このスピンドルユニット72は、スピンドルユニット移動機構によりY軸方向割出し送り方向及びZ軸方向切込み方向に移動するようになっている。スピンドルユニット移動機構は、基台74上に固定された門型の支持体90にY軸方向に平行に延設された一対のガイドレール不図示と、ガイドレールに摺動可能に設置され、モータ駆動によってY軸方向に移動するアーム86とを備えており、そのアーム86の先端にスピンドルユニット72が設置されている。支持体90は、ブレードによる切削が行われる切削部において正面から背面まで貫通する開口部92を有しており、一対のガイドレール76は、その開口部92の上面側にY軸方向に設けられている。また、アーム86は、スピンドルユニット72をモータ駆動によりZ軸方向に移動させる昇降機構を備えている。このようなスピンドルユニット移動機構によって、スピンドルユニット72と共にスピンドルユニット72の先端部に装着されたブレードがY軸方向及びZ軸方向に移動するようになっている。そして、ワークテーブル70に載置されたウェハを切削する際には、ブレードがY軸方向の移動によってウェハの切削予定ラインの位置に位置合わせされた後、Z軸方向の移動によってウェハに接触する位置まで下降してウェハを切削する。また、切削装置ユニット14は、図1、2に示すように支持体90の背面側上方に設置される電装部品収容部100、ワークテーブル70の下側に配置されるドレンパン102回収部材、ドレンパン102の上部開口の上側及び支持体90の開口部92の背面側を覆うミストカバー内カバー104等を備えている。電装部品収容部100は、支持体90の上部に配置される筐体100Aを有し、筐体100Aの内部に電装部品を収容している。この筐体100Aは、例えば外カバー52の内面又は支持体90の上部に固設されている。また、電装部品によって発生した熱が金属製の支持体90鋳物等を伝導して切削部の周辺温度を変化高温化させてしまうと、スピンドル80の伸びの影響等によって切削位置がずれてしまう問題があるため、これを防止するために筐体100Aの背面及び外カバー52を貫通する開口に複数のファン110が設置されている。これによって、電装部品で発生した熱が外カバー52の外部に廃熱されるようになっている。ドレンパン102は、ワークテーブル70をX軸方向に移動させるガイドレール76の両横及び前後を囲むようにしてワークテーブル70の下側周辺部に設置されている。このドレンパン102には、ブレードでウェハを切削している際にブレードや切削箇所に噴射された切削水、ブレードでウェハを切削している際に発生した切削屑を回収する凹部が形成されている。また、ドレンパン102の後部は図2に示すように下方に突出して下面に開口が形成されており、その開口を内部に収容するようにして箱型のゴミ受け120が設置されている。ゴミ受け120の底面には、排出パイプ122が連結される排出口と、下側に回収ボックス124が配備される排出口とが設けられている。これにより、ドレンパン102で回収された切削水や切削屑等がゴミ受け120に排出された後、切削水や小さい切削屑はゴミ受け120から排出パイプ122に排出され、端材等の比較的大きな切削屑は、ゴミ受け120から回収ボックス124に排出されるようになっている。なお、エアシリンダなどの駆動源によってゴミ受け120内に蓄積した切削屑を回収ボックス124へと掃き落とすようにしてもよい。図1、2のように複数台の切削装置ユニット14を並設する場合には、それらのドレンパン102からの切削水等を排出する排出パイプ1221221、1222が互いに連結され、いずれの排出パイプからでも排出が行われるようになっている。これによって、いずれかの切削装置ユニット14の排出パイプに不具合つまる等が生じて排出が行われなくなった場合であっても他の切削装置ユニット14の排出パイプから排出が行われ、ドレンパン102から切削水が溢れ出すという不具合が防止されている。ミストカバー104は、支持体90よりも背面側において、ワークテーブル70を含むドレンパン102の上方の領域を覆うようにしてドレンパン102に取り付けられている。即ち、ミストカバー104の縁部が、ドレンパン102の上部の外縁部のうち、支持体90の背面側の範囲となる外縁部と、支持体90の開口部92の背面側の縁部に略沿って設置されている。切削水を噴射しながらブレードでウェハを切削している際にブレードとウェハが接触している切削箇所ではブレードがX軸方向の前側正面側から後側背面側に向けて回転移動しているため、即ち、支持体90の背面側がブレードの下流側となるため、切削部60から発生する切削水の水滴、切削屑、霧状のミスト等は主に支持体90の背面側に向けて飛散する。従って、切削部から飛散した切削水の水滴、切削屑、霧状のミスト等は、ミストカバー104及びドレンパン102によって囲まれた内部空間空間部内に送り込まれて、それ以外の空間への拡散が遮蔽されるようになっている。ところで、図1、2のように複数台の切削装置ユニット14を並設する場合、図2のように切削装置ユニット14の各々に対して独立してドレンパン102とミストカバー104が配設されることになる。このとき、例えば、一部の切削装置ユニットがメンテナンス等で一時的に稼働が停止している場合に、その切削装置ユニットの切削部の周辺温度が変化し、稼働を再開する際に即座に切削を開始すると、切削位置の精度が悪くなるため、切削部の周辺温度が安定するまで待機する必要がある。そこで、このような待機時間を不要にするため、複数台の切削装置ユニット14を並設する場合には、各切削装置ユニット14のドレンパン102及びミストカバー104で囲まれた内部空間を背面側で連結し、稼働中の切削装置ユニット14の切削部で発生するミスト及び空気を利用して稼働停止中非稼働の切削装置ユニット14の切削部の恒温化を図るようにすると好適である。以下、各切削装置ユニット14のドレンパン102及びミストカバー104の内部空間を連結する態様を図1、2のように2台の切削装置ユニット14141、142を並設した場合を例に説明する。図6Aは、図1、2のように2台の切削装置ユニット14のドレンパン102及びミストカバー104を個別に設けた場合の2台の切削装置ユニット14の支持体90の一部、ドレンパン102及びミストカバー104を抽出して示した背面斜視図であり、図6Bは、図6Aにおける2台の切削装置ユニット14のドレンパン102及びミストカバー104を連結して一体化して、ドレンパン130及びミストカバー132とした態様を示した背面斜視図である。ここで、図6Aにおいて支持体90の一部として示した部材1401401、1402は、上記の説明において、単に支持体90として説明した部材であるが、部材140は支持体90とは別体の部材であり、スピンドルユニット72が設置されるアーム86図5参照をY軸方向に案内するためのガイドレール等が形成されるスピンドルユニット案内部材140である。また、このスピンドルユニット案内部材140は、支持体90の開口部92の背面側に固設されるものであってもよいし、ドレンパン102と一体化されてドレンパン102と共に切削装置ユニット14に設置され、支持体90の開口部92の背面側に配置されるものであってもよい。更に、各切削装置ユニット14のドレンパン102及びミストカバー104を連結する場合には、これと共にスピンドルユニット案内部材140も連結して一体化することが可能であり、図6Bにおいては、2台の切削装置ユニット141、142のスピンドルユニット案内部材1401、1402を連結して一体化し、スピンドルユニット案内部材142とした態様が示され、また、ドレンパン130とも一体化された態様が示されている。図6Bに示す態様のドレンパン130は、支持体901、902の背面側スピンドルユニット案内部材142の背面側において、切削装置ユニット141、142の両方のガイドレール761、762図1参照の両横及び前後の範囲と、それらの間の範囲の全体を囲むようにして設置される。スピンドルユニット案内部材140の中央部分における背面側の壁面も取り除かれている。同様に、ミストカバー132も支持体901、902の背面側においてワークテーブル70の通過位置を含むドレンパン130の上方の空間を覆うようにしてドレンパン130に取り付けられている。また、ドレンパン130とミストカバー132とで囲まれた内部空間を切削装置ユニット141側左側というの空間部621と、切削装置ユニット142側右側というの空間部622とに仕切る仕切板134が切削装置ユニット141と切削装置ユニット142の間の中央部分においてX軸方向に延設されている。これによって、切削装置ユニット141と切削装置ユニット142の各々における切削部の背後側の空間が、左側の空間部621と右側の空間部622とに分離され、一方の切削部で発生したミスト等が他方の切削部に直接的に飛散することが防止されている。一方、仕切板134の後部上方には、切欠き開口136が形成されており、この開口136によって左側の空間部621と右側の空間部622が後部側で連通されている。これによって、一方の切削部で発生して左側と右側の空間部621、622の一方に送り込まれたミスト及び空気が後部側の開口136を通じて他方の空間部に回り込むことが可能となっている。また、左側と右側の空間部621、622のいずれか一方において、排出パイプ122の不具合が生じ、ドレンパン130で回収された切削水等が排出されないという事態が生じた場合であっても開口136を介して他方の空間部に流れ込み、正常な排出パイプから排出されるため、切削水がドレンパン130から溢れ出すという不測の事態が防止される。また、ミストカバー132の左側と右側の両側に2箇所ずつの開口が形成され、それらの開口に排気ダクト1501、1521、1502、1522が連結されている。排気ダクト1501、1521、1502、1522は、外カバー52の外側の排気ダクトに図示しない経路によって連結されている。これによって、空間部621、622は、排気ダクトの管路の一部として作用し、切削装置ユニット141、142の各々の切削部で発生したミストや空気が空間部621、622を通過して排気ダクト1501、1521、1502、1522へと吸い込まれるようになっている。また、ドレンパン130とミストカバー132で囲まれた内部空間がブレードの位置から所定距離後方となる位置まで仕切板134によって空間部621、622に分離されているため、排気ダクト1501、1521、1502、1522による排気によって、各々の切削部60において正面側から背面側への空気の流れが形成される。従って、各々の切削部60で発生したミストが搬送装置18が配置される支持体90の正面側に拡散し難いものとなっている。なお、排気ダクト1501、1521、1502、1522は、切削部60の上方等に開口を有する外カバー52内の他の排気ダクトに連結されて外カバー52の外側の排気ダクトへと連結されるようにしてもよいし、直接、外カバー52の外側の排気ダクトに連結されるようにしてもよい。一方、これらの排気ダクト1501、1521、1502、1522には、例えば、ミストカバー132との連結部分において電動で開閉動作する開閉弁が設けられており、排気ダクト1501、1521、1502、1522の排気を停止無効にすることができるようになっている。これによれば、メンテナンス等のために切削装置ユニット141、142のいずれか一方の稼働を一時的に停止した際に、稼働中の他方の切削部60から発生してミストカバー132の左側と右側の空間部621、2の一方に送り込まれたミストを他方の空間部に効果的に回り込ませることができる。即ち、稼働を停止した切削装置ユニットを切削装置ユニット141左側とすると、左側の排気ダクト1501、1521の開閉弁を通常通りに開鎖状態にして排気を有効にし、稼働中の切削装置ユニット142側右側の排気ダクト1502、1522の開閉弁を閉鎖状態にして排気を無効にする。これによって、稼働中の切削装置ユニット142側の切削部602から発生して右側の空間部622に送り込まれたミスト及び空気が、右側の空間部622に連結された閉鎖状態の排気ダクト1502、1522からは排気されず、左側の空間部621に回り込んで空間部621に連結された開鎖状態の排気ダクト1501、1521から排気されるようになる。このとき、稼働中の切削装置ユニット142の切削部602の周辺部の熱がミスト及び空気を媒体として稼働を停止している切削装置ユニット141の切削部601の周辺部に伝達され、切削装置ユニット141の切削部601の周辺温度が稼働時と同様の温度に維持されて恒温に保たれる。なお、排気ダクト1521も閉鎖状態にして排気を無効にし、できるだけ切削部に近い排気ダクト1501の位置まで多くのミストを回り込ませるようにしてもよい。このようにして稼働中の切削装置ユニット142の切削部602の周辺部の熱により、稼働を停止している切削装置ユニット141の切削部601の周辺温度を恒温に保つようにすれば、切削装置ユニット141の稼働を再開する際に、その切削部601の周辺温度が安定するまで待機する必要がなく、即座に切削を開始することが可能となる。また、このように左側と右側の空間部621、622の一方から吸い込んだミストを他方の空間部に回り込ませる際でも、切削部60の近傍の範囲では、仕切板134によって左右の空間部621、622に仕切られていることから、空気やミストの流れが乱されることなく正面側から背面側への流れが維持され、搬送装置18等が配置される支持体90の正面側にミストが拡散し難く、他のウェハに汚れが付着する等の不具合が生じないようになっている。以上、上記説明では、2台の切削装置ユニット141、142を並設した場合に、それらのドレンパンとミストカバーとを連結する態様を示したが、3台以上の切削装置ユニット14を並設する場合においても同様に全ての切削装置ユニット14又は所定台数分ずつの切削装置ユニット14のドレンパンとミストカバーを連結して一体化し、稼働を停止している切削装置ユニットの切削部の周辺温度を恒温に維持することができる。また、ミストカバー132に排気ダクトを連結しない場合であって、稼働中の切削装置ユニットの切削部60からミストカバー132の左側と右側の空間部621、622の一方に送り込まれたミストは自然に他方の空間部に回り込むため、必ずしもミストカバー132に排気ダクトを連結する必要はない。更に各切削装置ユニット14の切削部のメンテナンスブレードの着脱等を行う際に、上記のように各切削装置ユニット14のドレンパン102及びミストカバー104ドレンパン130及びミストカバー132を一体化した場合には、一体化しない場合のように装置側面側から各切削装置ユニット14の間に作業者が入り込んで作業を行うことができないため、各切削部に対して装置背面側又は装置正面側から対向した位置からでも作業が行い易いように支持体90の開口部92特に横幅を広くすると好適である。