外縁に凹部を有する板状部材の外方に位置するとともに、板状部材の面方向の移動を規制可能なガイド手段と、板状部材を浮上させる浮上手段と、この浮上手段によって浮上した前記板状部材に回転力を付与する回転力付与手段と、この回転力付与手段により回転する板状部材の凹部に嵌り合って当該板状部材の回転方向の位置決め可能に設けられた位置決め手段とを備えていることを特徴とするアライメント装置。前記ガイド手段は、前記浮上方向に行く従って平面視で板状部材の中心から離れる方向に延びる傾斜部を備えていることを特徴とする請求項1記載のアライメント装置。前記回転力付与手段は、前記板状部材に気体を噴出して当該板状部材に回転力を付与することを特徴とする請求項1又は2記載のアライメント装置。前記位置決め手段は、板状部材の外縁に接する回転ローラを備えていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のアライメント装置。前記回転力付与手段は、前記回転ローラを回転駆動させる駆動手段を備えていることを特徴とする請求項4記載のアライメント装置。前記ガイド手段は、板状部材の前記回転によって回転可能なガイドローラを備えていることを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載のアライメント装置。前記回転力付与手段は、前記ガイドローラを回転駆動させる回転手段を備えていることを特徴とする請求項6記載のアライメント装置。外縁に凹部を有する板状部材の外方にガイド手段が位置するように当該板状部材を移動する工程と、前記板状部材を浮上する工程と、浮上した前記板状部材に回転力を付与する工程と、回転する板状部材の凹部に位置決め手段を嵌め合わせて当該板状部材の回転方向の位置決めを行う工程とを備えていることを特徴とするアライメント方法。しかしながら、特許文献1にあっては、ウエハを回転するために回転ステージも一緒に回転させることが必要となる。このため、駆動手段の動力源となるモータや、その動力を伝達するギヤ等が大きく嵩張ったものとなり、装置全体が大型化するばかりでなく、エネルギー消費量の増大化を招来する、という不都合がある。[発明の目的]本発明の目的は、装置の小型化等を図ることができるアライメント装置及びアライメント方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、外縁に凹部を有する板状部材の外方に位置するとともに、板状部材の面方向の移動を規制可能なガイド手段と、板状部材を浮上させる浮上手段と、この浮上手段によって浮上した前記板状部材に回転力を付与する回転力付与手段と、この回転力付与手段により回転する板状部材の凹部に嵌り合って当該板状部材の回転方向の位置決め可能に設けられた位置決め手段とを備える、という構成を採っている。本発明において、前記ガイド手段は、前記浮上方向に行く従って平面視で板状部材の中心から離れる方向に延びる傾斜部を備える、という構成を採ってもよい。また、前記回転力付与手段は、前記板状部材に気体を噴出して当該板状部材に回転力を付与する、という構成も好ましくは採用される。更に、前記位置決め手段は、板状部材の外縁に接する回転ローラを備える、という構成を採ることができる。また、前記回転力付与手段は、前記回転ローラを回転駆動させる駆動手段を備える、という構成を採ってもよい。更に、前記ガイド手段は、板状部材の前記回転によって回転可能なガイドローラを備える、という構成を採用することができる。また、前記回転力付与手段は、前記ガイドローラを回転駆動させる回転手段を備える、という構成を採ってもよい。更に、本発明のアライメント方法は、外縁に凹部を有する板状部材の外方にガイド手段が位置するように当該板状部材を移動する工程と、前記板状部材を浮上する工程と、浮上した前記板状部材に回転力を付与する工程と、回転する板状部材の凹部に位置決め手段を嵌め合わせて当該板状部材の回転方向の位置決めを行う工程とを備える、という方法を採っている。本発明によれば、板状部材を浮上させた状態で回転力を付与可能としたので、板状部材の回転に伴ってテーブル等の大きな部材を回転させる必要をなくすことができる。これにより、従来のような装置に比べて回転力を付与する手段における動力源を小さくすることができ、装置全体を小型することができる上、動力源の小型に伴いエネルギー消費量を少なくすることが可能となる。また、ガイド手段の傾斜部が前述した方向に延びるので、ガイド手段の上方では傾斜部と板状部材外縁との隙間を大きく設定でき、板状部材をスムースに回転させることができる。しかも、ガイド手段の下方では傾斜部と板状部材外縁との隙間を小さくしたり殆どなくしたりすることができ、浮上を解除した後の板状部材を精度良く位置決めすることが可能となる。更に、板状部材に気体を噴出して回転させる場合、当該回転のために板状部材に接触する部材を少なくして当該板状部材に付与されるストレスを軽減することができる。また、位置決め手段が回転ローラを有するので、板状部材の回転を阻害する抵抗を小さくすることができる。ここで、回転ローラを回転駆動させることにより、浮上した板状部材に回転力を付与でき、位置決め手段に回転力付与手段の機能を付与することが可能となる。更に、ガイド手段が回転可能なガイドローラを有するので、板状部材の面方向の移動を規制しつつ、板状部材の回転を阻害する抵抗を小さくすることができる。ここで、ガイドローラを回転駆動させることにより、浮上した板状部材に回転力を付与でき、ガイド手段においても回転力付与手段の機能を付与することが可能となる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書において、特に明示しない限り、上、下は、図2を基準として用いる。図1及び図2において、アライメント装置10は、外縁に凹部としてのVノッチNを有する板状部材としてのウエハWを支持する支持手段12と、支持面11からウエハWを浮上させる浮上手段13と、この浮上手段13によって浮上したウエハWに対し周方向に回転する力を付与可能な回転力付与手段15と、支持手段11に支持されたウエハWの外方位置に設けられるガイド手段16及び位置決め手段17とを備えて構成されている。前記支持手段12は、ベース21と、このベース21上において平面視でウエハWの周方向約120°間隔毎に3体設けられるとともに、上面に支持面11を形成する支持面形成体22とを備えている。図2に示されるように、ベース21の上面には、チャンバ23に連通する複数の第1孔25が形成されている。チャンバ23には、図示しない加圧ポンプ等の加圧手段が図示しない切替弁を介して接続されており、加圧手段からの気体の吹付けによって第1孔25から気体を噴出し、支持面11上のウエハWを浮上させる力を付与可能となっている。各支持面形成体22の支持面11には、ウエハWの円周方向に並ぶ第2及び第3孔26、27がそれぞれ形成されており、当該第2及び第3孔26、27もチャンバ23に連通している。第2孔26は、鉛直方向上向きに気体を噴出可能に設けられ、支持面11からウエハWを浮上可能に設けられている。第3孔27は、図3中斜め左上方向であって平面視ではウエハW外縁の接線に略平行に気体を噴出可能に設けられ、支持面11から浮上したウエハWに回転力を付与可能に設けられている。ここにおいて、チャンバ23、第1及び第2孔25、26、加圧手段を含んで浮上手段13が構成され、チャンバ23、第3孔27、加圧手段を含んで回転力付与手段15が構成される。なお、第3孔27に気体を供給する系統と、第1及び第2孔25、26に気体を供給する系統とを別々の系統としてもよい。前記各ガイド手段16は、支持面形成体22に連なってベース21上にそれぞれ立設され、支持面11上のウエハW外方にそれぞれ位置するように設けられている。各ガイド手段16は、支持面形成体22側の端部に傾斜部29をそれぞれ備え、当該傾斜部29は、ウエハWの浮上方向すなわち上方に向かうに従って平面視でウエハWの中心から離れる方向に傾斜している。各ガイド手段16の傾斜部29下端では、支持面11上に載置されたウエハWの外縁3箇所位置に接して当該ウエハWの面方向の移動が規制される。一方、各ガイド手段16の傾斜部29上端側では、ウエハW外縁との間に隙間を設けることができ、ウエハWが回転するときに、ウエハWがガイド手段16に当接してその回転が阻害されることを極力防止する。傾斜部29は、平面視で、支持面11上のウエハW中心方向に円弧状に膨出する凸状部30を備えた形状に設けられ、これにより、ウエハWがガイド手段16に接触する面積を少なくし、回転中のウエハWがガイド手段16に当接した場合の抵抗を小さくすることができる。前記位置決め手段17は、図示しないブラケット等を介して上端側が軸支され、下端側が揺動可能な支持棒32と、この支持棒32の下端側に設けられてウエハWの外縁に接触可能な回転ローラ33と、回転ローラ33がウエハW外縁に接した状態を維持する方向に支持軸32を付勢するばね部材34とを備えている。回転ローラ33は、ウエハWのVノッチNに嵌り合い可能な形状及びサイズに設けられ、これらが嵌り合ったときに、ウエハW周方向の回転が規制されてVノッチNの位置決めが可能となっている。支持棒32の近傍位置には、センサ35が設けられ、このセンサ35は、回転ローラ33がVノッチNに嵌り合うことで接近する支持棒32を検出可能に設けられている。また、回転ローラ33は、駆動機器としてのモータからなる駆動手段36により回転駆動可能に設けられ、当該回転により、ウエハWに周方向の回転力を付与することができる。この場合、チャンバ23、第3孔27、加圧手段に加えて、又は、これらを省いて、回転ローラ33及び駆動手段36を含んで回転力付与手段15を構成できる。なお、駆動手段36を設けない場合、回転するウエハWの外縁上を回転ローラ33が転動するので、それらの間の摩擦抵抗を抑制することが可能となる。次に、本実施形態におけるウエハWのアライメント方法について説明する。図1の二点鎖線で示すアーム部材B1によりウエハWを保持した後、図示しないロボットアーム等の作動によりアーム部材B1を移動させ、ウエハWが各ガイド手段16の内側に位置するよう搬送する。このとき、図2に示されるように、ウエハWの下面と支持面11との間に隙間が空いた状態とする。次いで、図示しない切替弁を介して加圧手段から気体を噴出するように制御する。その後、アーム部材B1によるウエハWの保持を解除させると、自重によりウエハWが落下しようとするが、第1及び第2孔25、26からの気体の噴出によってウエハWが上方に付勢され、ウエハWが支持面11から浮上した状態が保たれる。また、ばね部材34に付勢力により回転ローラ33がウエハWに弱い力で圧接し、駆動手段36の作動による回転ローラ33の回転と、第3孔27からの気体の噴出とによってウエハWが周方向に回転する。この回転中、各支持面11上からウエハWが脱落しないように各ガイド手段16によりウエハWの面方向の移動が規制される。ウエハWを回転してウエハWのVノッチN内に回転ローラ33が嵌り合うと、ウエハWの回転が規制される。このとき、支持棒32が図4A中二点鎖線で示す位置に揺動し、これがセンサ35により検出されて図示しない切替弁を介して第1ないし第3孔25~27からの気体の噴出を停止するよう制御する。すると、ウエハWは、自重によって落下するときにガイド手段16の傾斜部29によって支持面11上の所定の位置に位置決めされて着地する。そして、支持面11上にウエハWが載置され、各ガイド手段16の下端側でウエハWが面方向にずれないように位置決めされてアライメントが完了する。アライメント完了後、アーム部材B1によりウエハWを把持して後工程に搬送され、このとき、傾斜部29が傾斜しているので、ウエハW外縁とガイド部材16との間に隙間が生じて搬出し易くなっている。従って、このような実施形態によれば、ウエハWを支持面11から浮上させて回転させるので、支持手段11におけるベース21や支持面形成体21を回転させることなく、ウエハWだけを回転することが可能となる。これにより、回転に要する動力を第3孔27からの気体に吹き付けや回転ローラ33の回転だけとすることができ、エネルギー消費を削減できる他、ベース21全体を回転可能とする大きな装置や動力源を省略することが可能となる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。前記ガイド手段16は、種々の設計変更が可能であり、例えば、図5に示されるように、傾斜部29をガイドローラ40により形成してもよい。これによれば、ウエハWが回転中に当該ガイド手段16に接触した場合にでも、ウエハWの回転を阻害する抵抗を小さくすることができる。また、ガイドローラ40を、駆動機器としてのモータからなる駆動手段41により回転駆動可能に設け、当該回転により、ウエハWに回転力を付与する構成とした場合、ウエハWに効率よく回転力を付与することができる。この場合、上述の回転力付与手段15の少なくとも一方に加えて、又は、これらを省いて、ガイドローラ40及び駆動手段41を含んで回転力付与手段15を構成することができる。また、支持手段12は、前述の支持面形成体22を省略し、図6及び図7に示されるように、ベース21上面を、ウエハWを支持する支持面として形成してもよい。同図では、第3孔27がベース21上面の4箇所位置に形成され、チャンバ23とは異なる通路43を介して気体を噴出可能に設けられている。更に、図8に示されるように、支持面11に第4孔44を設けて当該第4孔44から同図中斜め右上方向に気体を噴出可能とし、第3孔27からの気体の噴出によるウエハWの回転方向とは反対方向の力を付与可能としてもよい。このとき、第3孔27と第4孔44との気体の噴出を図示しない切替弁等を介して切り替え可能とすれば、ウエハWの回転を制動させることもできるし、ウエハWを逆回転させることもできる。なお、同図のように第2孔26、第3孔27、第4孔44をそれぞれ別々の系統から気体を噴出するように構成してもよいし、第2孔26に第3孔27又は第4孔44を図3のように連結して構成してもよい。また、浮上手段13は、板状部材を支持手段12から浮上できるものであれば何ら限定されることはなく、気体としては大気の他に、窒素やネオン等のガス又は混合気を噴出するもの以外に、水や液化化合物等の液体を噴出するものや、静電気や磁石等を採用してもよい。更に、回転力付与手段15は、ウエハWを回転できるものであれば何ら限定されることはなく、気体としては大気の他に、窒素やネオン等のガス又は混合気を噴出するもの以外に、水や液化化合物等の液体を噴出するものや、静電気や磁石等で構成してもよい。また、凹部はVノッチN以外に、U形状のものや凹形状等の他の形状であってもよく、位置決め手段17が嵌り合って回転方向の位置決め可能であれば足りる。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。更に、本発明において、板状部材は、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。