両主面が矩形形状となっている2枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が矩形形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部の一方の主面の所定の三辺に沿った縁部に第一の壁部と前記第一の壁部の両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部とからなる壁部が設けられている接合用ジグに、前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させ、前記第一の壁部の側面が前記ウエハの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の前記第二の壁部の側面が前記ウエハの所定の他の二つの側面に接触するように、それぞれに前記接合用ジグにそれぞれのウエハを搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハの前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引し前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記第一の壁部に接する面に対向する前記第二の壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記第一の壁部に接する面に対向する前記第二の壁部の面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された二つの前記接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合わせ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備え、前記接合用ジグの前記壁部が前記平板部と接する面から前記平板部に接する面に対向する前記壁部の面までの長さが前記ウエハの一方の主面から前記ウエハの他方の主面までの長さの2倍の長さとなっており、前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面から前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面に対向する前記第二の壁部の面までの長さが、前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面から前記第一の壁部が縁部に設けられている前記平板部の所定の一つの辺に対向する辺を含む平板部の所定の一つの側面までの長さの半分となっていることを特徴とするウエハの接合方法。しかしながら、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光をウエハに照射した後、一方のウエハの照射された面と他方のウエハの照射された面とが対向するようにピンセットで他方のウエハを挟み保持しウエハを配置させた後接触させて接合しているので、手間と時間を要する上に、接合後に一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに一方のウエハの主面を見たとき、一方のウエハの主面の所定の縁部と他方のウエハの主面の所定の縁部とが重なっていないといった接合ずれが生じてしまう恐れがある。従って、従来のウエハの接合方法では、接合ずれが生じた場合、接合をしなおすために接合ずれが生じたウエハを洗浄し、再び、接合しなければならず、手間と時間を要し、生産性が低減する恐れがある。また、従来のウエハの接合方法は、エキシマ照射ランプから放射された光を接合したいウエハに照射し、一方のウエハの照射された面と他方のウエハの照射された面とが対向するように、ピンセットで他方のウエハを挟み保持し二つのウエハを配置させた後接触させ接合しているので、ピンセットに付着していた付着物が接合されるウエハの面に付着し接合されウエハの間に異物として混入する恐れがある。また、接合されるウエハの面の縁部がピンセットによって欠損し、この欠損した部分がウエハの間に異物として混入する恐れがある。このため、従来のウエハの接合方法によれば、接合されるウエハの間に異物が混入し、接合後の生産性が低減する恐れがある。接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、従来のウエハの接合方法では、接合されているウエハの間に混入した異物により干渉縞が生じるといった外観不良が発生し生産性が低減する恐れがある。本発明は、ウエハの接合ずれがなくウエハの間に異物が混入することなくウエハを接合することができる生産性が向上されたウエハの接合方法を提供することを目的とする。前記課題を解決するため、両主面が矩形形状となっている2枚のウエハの主面同士を接合するウエハの接合方法であって、両主面が矩形形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部の一方の主面の所定の三辺に沿った縁部に第一の壁部と前記第一の壁部の両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部とからなる壁部が設けられている接合用ジグに、前記平板部の一方の主面に前記ウエハの一方の主面を接触させ、前記第一の壁部の側面が前記ウエハの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の前記第二の壁部の側面が前記ウエハの所定の他の二つの側面に接触するように、それぞれに前記接合用ジグにそれぞれのウエハを搭載するウエハ搭載工程と、前記接合用ジグに搭載されている前記ウエハの前記平板部に接する面に対向する前記ウエハの面に、エキシマ照射ランプから放射された光を照射する照射工程と、前記ウエハの一方の主面が前記ウエハの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部の他方の主面側の前記貫通孔の開口部から吸引し前記ウエハを前記接合用ジグに保持した状態で、一方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記第一の壁部に接する面に対向する前記第二の壁部の面が他方の前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグの前記第一の壁部に接する面に対向する前記第二の壁部の面に接触するように、前記ウエハが搭載されている前記接合用ジグを配置する接合用ジグ配置工程と、配置された二つの前記接合用ジグに保持されている前記ウエハを接触させ前記ウエハを貼り合わせる貼り合わせ工程と、前記接合用ジグから貼り合わせた前記ウエハを取り外す取り外し工程と、を備え、前記接合用ジグの前記壁部が前記平板部と接する面から前記平板部に接する面に対向する前記壁部の面までの長さが前記ウエハの一方の主面から前記ウエハの他方の主面までの長さの2倍の長さとなっており、前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面から前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面に対向する前記第二の壁部の面までの長さが、前記第一の壁部に接する前記第二の壁部の面から前記第一の壁部が縁部に設けられている前記平板部の所定の一つの辺に対向する辺を含む平板部の所定の一つの側面までの長さの半分となっていることを特徴とする。このようなウエハの接合方法によれば、第一の壁部及びこの第一の壁部の両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部とからなる壁部が一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔が形成されている平板部の一方の主面の所定の三辺の沿った縁部に設けられ壁部の厚みがウエハの厚みの2倍となっており、第一の壁部に接する第二の壁部の面から第一の壁部に接する第二の壁部の面に対向する第二の壁部の面までの長さが第二の壁部に接する第二の壁部の面から第一の壁部が縁部に設けられている平板部の所定の一つの辺に対向する辺を含む平板部の所定の一つの側面までの長さの半分となっている接合用ジグであって、平板部の一方の主面にウエハの一方の主面を接触させ、第一の壁部の側面がウエハの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の第二の壁部の側面がウエハの所定の他の二つの側面に接触するようにそれぞれのウエハをそれぞれの接合用ジグに搭載し、エキシマ照射ランプから放射された光を照射した後、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引してウエハを接合用ジグに保持した状態で、一方のウエハが搭載されている接合用ジグの第一の壁部に接する面に対向する第二の壁部の面が他方のウエハが搭載されている接合用ジグの第一の壁部に接する面に対向する第二の壁部の面に接触するようにウエハが搭載されている接合用ジグを配置しているので、エキシマ照射ランプから放射された光が照射されたウエハの面同士を容易に対向させ接触させることができる。このため、このようなウエハの接合方法によれば、主面が四角形状のウエハを接合ずれのないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。また、このようなウエハの接合方法によれば、接合用ジグにウエハを搭載した状態でウエハにエキシマ照射ランプから放射された光を照射し、貫通孔から吸引しウエハを接合用ジグに保持し接合用ジグを配置し、光が照射されたウエハの面を貼り合わせて接合しているので、ウエハの側面をピンセットで挟むことなくウエハを接合することができる。このため、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。接合されている一方のウエハから他方のウエハに向かう向きに光を入射させる場合、このようなウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの製造方法と比較して生産性を向上させることができる。次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面において各構成要素の状態を分かりやすくするために誇張して図示している。本発明の実施形態に係るウエハの接合方法では、両主面が四角形状となっている二つのウエハの主面同士を直接接合により接合している。また、本発明の実施形態に係るウエハの接合方法は、ウエハ搭載工程、照射工程、接合ジグ配置工程、貼り合わせ工程、取り外し工程を備えている。ウエハ搭載工程ウエハ搭載工程は、図2に示すように、両主面が矩形形状に形成され一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔112が形成されている平板部111の一方の主面の所定の三辺に沿った縁部に第一の壁部113aと前記第一の壁部113aの両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部113bとからなる壁部113が設けられている接合用ジグ110に、前記平板部111の一方の主面に前記ウエハWの一方の主面を接触させ、前記第一の壁部113aの側面が前記ウエハWの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の前記第二の壁部113bの側面が前記ウエハWの所定の他の二つの側面に接触するように、それぞれに前記接合用ジグ110にそれぞれのウエハWを搭載する工程である。ウエハ搭載工程では、例えば、ウエハWが二つ用いられ、それぞれのウエハWの接合用ジグ110に搭載される。一方のウエハWは、例えば、互いに直交するX軸とY軸とZ軸とからなる結晶軸を有している右水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。また、一方のウエハWは、例えば、主演がX軸およびY軸に平行でかつ厚み方向がZ軸に平行となっている旋光板となっている。他方のウエハWは、主面の大きさが一方のウエハWの主面と同じ大きさとなっている。また、他方のウエハWは、例えば、互いに直交するX軸とY軸とZ軸とからなる結晶軸を有している左水晶が用いられ、両主面が四角形状となっている。また、他方のウエハWは、例えば、主面がX軸及びY軸に平行でかつ厚み方向がZ軸に平行となっている。接合用ジグ110は、図1aと図1bと図1cに示すように、平板部111と壁部113とから構成されている。平板部111は、図1aと図1bと図1cに示すように、一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔112が形成されている。また、平板部111は、図1aと図1bと図1cに示すように、一方の主面に壁部113が設けられている。壁部113は、図1aと図1bと図1cに示すように、第一の壁部113aと第二の壁部113bとで設けられている。また、壁部113は、平板部111に接している面からこの面に対向する面までの長さが接合されるウエハWの一方の主面からウエハWの他方の主面までの長さの2倍の長さとなっている。第一の壁部113aは、平板部111の一方の主面の所定の一辺の縁部に沿って設けられている。また、第一の壁部113aは、両主面が矩形形状となっている直方体形状となっている。第二の壁部113bは、図1aと図1bと図1cに示すように、二つ一対で設けられている。また、第二の壁部113bは、図1aと図1bに示すように、平板部111の一方の主面の所定の一辺に接続している所定の他の二辺に沿って設けられている。従って、第二の壁部113bは、図1a及び図1bに示すように、第一の壁部113aの両端部に設けられている。また、第二の壁部113bは、両主面が矩形形状となっている直方体形状となっている。従って、接合用ジグ110は、図1a及び図1bに示すように、一方の主面を見た場合、第一の壁部113aの両端部に第二の壁部113bが設けられて一方の主面を見た場合に片仮名のコの字状となっている壁部113が平板部の一方の主面の所定の三辺の縁部に沿って設けられている。また、接合用ジグ110は、図2に示すように、一方の第二の壁部113bの他方の第二の壁部113b側を向く面から他方の第二の壁部113bの一方の第二の壁部113b側を向く面までの長さがウエハWの所定の一辺の長さと同じ長さとなっている。また、接合用ジグ110は、図2に示すように、第二の壁部113bに接している第一の壁部113aの面から平板部111の一方の主面の所定の他の一辺を含む側面までの長さが、ウエハWの所定の一辺に接続している所定の他の一辺の長さと同じ長さとなっている。つまり、接合用ジグ110は、平板部111と二つの第二の壁部113bとに接している第一の壁部113aの辺から、この辺に平行でかつ第一の壁部113aと第二の壁部113bに接していない平板部111の辺までの長さが、前記ウエハWの所定の一辺に接続している所定の他の一辺の長さと同じ長さとなっている。また、接合用ジグ110は、第一の壁部113aに接している第二の壁部113bの面からこの面に対向する第二の壁部113bの面までの長さが、第二の壁部113bに接している第一の壁部113aの面から第一の壁部113aが縁部に沿って設けられている平板部111の一方の主面の所定の一辺を含む側面に対向している平板部111の側面までの長さの半分の長さとなっている。つまり、接合用ジグ110は、平板部111と二つの第二の壁部113bとに接している第一の壁部113aの辺から、この辺に平行で平板部111に接している第二の壁部113bまでの辺の長さが、平板部111と二つの第二の壁部113bとに接している第一の壁部113aの辺から、この辺に平行でかつ第一の壁部113aと第二の壁部113bに接していない平板部111の辺までの長さの半分の長さとなっている。また、接合用ジグ110は、平板部111の一方の主面にウエハWの一方の主面を接触させた状態で、第一の壁部113aの面にウエハWの所定の一つの側面を接触させつつ、ウエハWの所定の一つの側面に接している二つの側面がそれぞれ第二の壁部113bの側面に接触させた場合、ウエハWの所定の一つの側面に対向するウエハWの側面が平板部111の一方の主面の所定の他の一辺を含む側面と同一平面上に位置している。ここで、第一の壁部113aに接している第二の壁部113bの面からこの面に対向する第二の壁部113bの面までの長さを第一の距離L1とする。また、第一の壁部113aに接している第二の壁部113bの面から第一の壁部113aが縁部に沿って設けられている平板部111の一方の主面の所定の一辺を含む側面に対向している平板部111の側面までの長さを第二の距離L2とする。つまり、接合用ジグ110は、一方の第二の壁部113bの他方の第二の壁部113b側を向く面から他方の第二の壁部113bの一方の第二の壁部113b側を向く面までの長さがウエハWの所定の一辺の長さと同じとなっている。また、接合用ジグ110は、第二の距離L2がウエハWの所定の一辺に接続している所定の他の一辺と同じ長さとなっている。また、接合用ジグ110は、第一の距離L1が第二の距離L2の半分の長さとなっている。ウエハ搭載工程では、平板部111の一方の主面とウエハWの一方の主面が接触しつつ、第一の壁部113aの側面及び隣接する第二の壁部113b側を向く第二の壁部113bの側面がウエハの所定の三つの側面に接触するように、それぞれのウエハWがそれぞれの接合用ジグ110に搭載される。このとき、ウエハWの所定の一つの側面に対向するウエハWの側面が平板部111の一方の主面の所定の他の一辺を含む側面と同一平面上に位置している。照射工程照射工程は、図3に示すように、前記接合用ジグ110に搭載されている前記ウエハWの前記平板部111に接する面に対向する前記ウエハWの面に、エキシマ照射ランプ120から放射された光を照射する工程である。照射工程では、エキシマ照射ランプ120か放射された光がウエハWに照射されることで、ウエハWの面の酸化膜や吸着物や汚染物が除去され、ウエハWの面が活性化される。接合用ジグ配置工程接合用ジグ配置工程は、図4に示すように、前記ウエハWの一方の主面が前記ウエハWの前記平板部に接触したままとなるように前記平板部111の他方の主面側の前記貫通孔112の開口部から吸引し前記ウエハWを前記接合用ジグ110に保持した状態で、一方の前記ウエハWが搭載されている前記接合用ジグ110の前記第一の壁部113aに接する面に対向する前記第二の壁部113bの面が他方の前記ウエハWが搭載されている前記接合用ジグ110の前記第一の壁部113aに接する面に対向する前記第二の壁部113bの面に接触するように、前記ウエハWが搭載されている前記接合用ジグ110を配置する工程である。ここで、一方のウエハWが搭載されている接合用ジグ110を第一の接合用ジグとし、他方のウエハWが搭載されている接合用ジグ110を第二の接合用ジグとする。接合用ジグ配置工程では、第一の接合用ジグに着目すると、平板部111の他方の主面側の貫通孔112の開口部から吸引手段図示せずによって吸引して一方のウエハWを第一の接合用ジグの平板部111の一方の主面側に保持している。また、接合用ジグ配置工程では、第二の接合用ジグに着目すると、平板部111の他方の主面の貫通孔112の開口部から吸引手段図示せずによって吸引して他方のウエハWを第二の接合用ジグの平板部111の一方の主面側に保持している。その後、接合用ジグ配置工程では、図4に示すように、それぞれの接合用ジグ110にそれぞれのウエハWを保持した状態で、第一の接合用ジグの第二の壁部113bの面であって第一の壁部111aに接する面に対向する面が第二の接合用ジグの第二の壁部113bの面であって第一の壁部111aに接する面に対向する面と接触するように、第一の接合用ジグと第二の接合用ジグとが配置される。また、接合用ジグ配置工程では、図4に示すように、第一の接合用ジグのウエハWの所定の一辺に接している第一の壁部113aの側面がウエハWの所定の他の辺と同一平面上にある第二の接合用ジグの平板部111の側面と接触しつつ、ウエハWの所定の他の辺と同一平面上にある第一の接合用ジグの平板部111の側面が第二の接合用ジグのウエハWの所定の一辺に接している第一の壁部113aの側面と接触するように、第一の接合用ジグと第二の接合用ジグが配置される。接合用ジグ配置工程では、図4に示すように、接合用ジグ110に搭載されているウエハWの側面であって第一の壁部113aに接している面に対向している側面が平板部111の一方の主面の辺であって第一の壁部113aが縁部に沿って設けられている辺に対向する辺を含む平板部111の側面と同一平面上に位置するように、ウエハWが接合用ジグ110に搭載され保持された状態で行われる。また、接合用ジグ配置工程では、接合用ジグ110の第一の距離L1が接合用ジグ110の第二の距離L2の半分の長さとなっている接合用ジグを用いている。このため、接合用ジグ配置工程では、図4に示すように、第一の接合用ジグの第二の壁部113bの面であって第一の壁部111aに接する面に対向する面が第二の接合用ジグの第二の壁部113bの面であって第一の壁部111aに接する面に対向する面と接触するように第一の接合用ジグと第二の接合用ジグとを配置することで、第一の接合用ジグのウエハWの所定の一辺に接している第一の壁部113aの側面がウエハWの所定の他の辺と同一平面上にある第二の接合用ジグの平板部111の側面と接触しつつ、ウエハWの所定の他の辺と同一平面上にある第一の接合用ジグの平板部111の側面が第二の接合用ジグのウエハWの所定の一辺に接している第一の壁部113aの側面と接触するように容易に配置することができる。従って、接合用ジグ配置工程では、エキシマ照射ランプ120から照射され光が照射され活性化された一方のウエハWの面とエキシマ照射ランプ120に照射され活性化された他方のウエハWの面とが対向するように容易に配置することができる。貼り合わせ工程貼り合わせ工程は、図5に示すように、配置された二つの前記接合用ジグ110に保持されている前記ウエハWを接触させ前記ウエハWを貼り合わせる工程である。貼り合わせ工程では、一方のウエハWの活性化されている主面と他方のウエハWの活性化されている主面とが接触されることで、一方のウエハWと他方のウエハWとが直接接合により接合される。取り外し工程取り外し工程は、前記接合用ジグ110から貼り合わせた前記ウエハWを取り外す工程である。このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、第一の壁部113a及びこの第一の壁部113aの両端部に設けられている二つ一対の第二の壁部113bとからなる壁部113が一方の主面から他方の主面にかけて貫通孔112が形成されている平板部111の一方の主面の所定の三辺の沿った縁部に設けられ壁部113の厚みがウエハWの厚みの2倍となっており、第一の壁部113aに接する第二の壁部113bの面から第一の壁部113aに接する第二の壁部113bの面に対向する第二の壁部113bの面までの長さが第二の壁部113bに接する第二の壁部113bの面から第一の壁部113aが縁部に設けられている平板部111の所定の一つの辺に対向する辺を含む平板部111の所定の一つの側面までの長さの半分となっている接合用ジグ110であって、平板部111の一方の主面にウエハWの一方の主面を接触させ、第一の壁部113aの側面がウエハWの所定の一つの側面に接触しつつ二つ一対の第二の壁部113bの側面がウエハWの所定の他の二つの側面に接触するようにそれぞれのウエハWをそれぞれの接合用ジグ110に搭載し、エキシマ照射ランプ120から放射された光を照射した後、平板部111の他方の主面側の貫通孔112の開口部から吸引してウエハWを接合用ジグ110に保持した状態で、一方のウエハWが搭載されている接合用ジグ110の第一の壁部113aに接する面に対向する第二の壁部113bの面が他方のウエハWが搭載されている接合用ジグ110の第一の壁部113aに接する面に対向する第二の壁部113bの面に接触するようにウエハWが搭載されている接合用ジグ110を配置しているので、エキシマ照射ランプ12-から放射された光が照射されたウエハWの面同士を容易に対向させ接触させることができる。このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、主面が四角形状のウエハWを接合ずれのないように容易に接合することができ、接合後の生産性を向上させることができる。また、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、接合用ジグ110にウエハWを搭載した状態でウエハWにエキシマ照射ランプ120から放射された光を照射し、貫通孔112から吸引しウエハWを接合用ジグ110に保持し接合用ジグ110を配置し、光が照射されたウエハWの面を貼り合わせて接合しているので、ウエハWの側面をピンセットで挟むことなくウエハWを接合することができる。このため、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、従来のウエハの接合方法と比較して接合されているウエハWの主面の間に異物が混入するのを抑えることができ、接合後の生産性を向上させることができる。接合されている一方のウエハWから他方のウエハWに向かう向きに光を入射させる場合、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合方法によれば、従来のウエハWの接合方法と比較して異物の混入を抑えることができるので、従来のウエハの接合方法と比較して異物の混入により干渉縞による外観不良を抑えることができ、従来のウエハの製造方法と比較して生産性を向上させることができる。また、このような本発明の実施形態に係るウエハの接合によれば、一方のウエハの主面を平板部111の一方の主面上で180度の角度で面内回転させた状態で、一方のウエハの主面と他方のウエハの主面とが接合されるので、ウエハWの両主面が長方形形状であっても接合することができる。なお、貫通孔が平板部に一つ設けられている場合について説明しているが、平板部の他方の主面側の貫通孔の開口部から吸引手段を用いて吸引しウエハを平板部の一方の主面に保持することができれば、貫通孔を複数形成してもよい。右水晶からなる旋光板と左水晶からなる旋光板とを接合する場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、波長板を貼り合わせてもよい。また、ウエハが水晶からなる場合について説明しているが、ウエハの主面を直接接合によって接合していれば、例えば、ガラスであってもよい。また、2枚のウエハを接合する場合について説明しているが、例えば、接合されているウエハを一つのウエハとみなして、接合されているウエハ同士をさらに接合してもよい。