"厚さ方向に複数の貫通孔が設けられた支持体と、上記支持体によって支持される被支持基材と、上記支持体と上記被支持基材との間に設けられている、少なくとも3層を有する接着層とを備えており、上記接着層のうち、上記被支持基材に接している第1の接着層に含まれる樹脂A、および上記支持体に接している第2の接着層に含まれる樹脂Bは、ガラス転移点が80°C以下であり、上記第1の接着層と上記第2の接着層とによって挟まれる少なくとも1層の第3の接着層に含まれる樹脂Cは、ガラス転移点が100°C以上であり、上記樹脂Cは極性基を有しており、上記樹脂Aおよび上記樹脂Bは極性基を有していないことを特徴とする積層体。上記樹脂Aおよび上記樹脂Bのガラス転移点が50°C以上であることを特徴とする請求項1に記載の積層体。上記樹脂Cのガラス転移点が200°C以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の積層体。上記樹脂Cはアクリル系モノマーを含む単量体組成物を重合してなることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の積層体。上記樹脂Aおよび上記樹脂Bが、シクロオレフィンモノマーを含む単量体組成物を重合してなることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の積層体。上記樹脂Aおよび上記樹脂Bが同一の組成からなることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の積層体。しかしながら、上述のような穴あきサポートプレートを用いた場合、熱処理工程後に、接着層を形成する樹脂がサポートプレートの孔に沈み込んでしまう。このような場合、ウエハからサポートプレートを剥離することが困難である。特許文献1に記載の技術では、接着剤を高温環境に晒したときの耐性について十分に考慮されていない。よって、短時間で、且つ容易にウエハからサポートプレートを剥離することができる積層体の開発が求められている。本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、支持体が貼着された被支持基材から当該支持体を短時間で、且つ容易に剥離することができる積層体を提供することにある。本発明に係る積層体は、上記の課題を解決するために、厚さ方向に複数の貫通孔が設けられた支持体と、上記支持体によって支持される被支持基材と、上記支持体と上記被支持基材との間に設けられている、少なくとも3層を有する接着層とを備えており、上記接着層のうち、上記被支持基材に接している第1の接着層に含まれる樹脂A、および上記支持体に接している第2の接着層に含まれる樹脂Bは、ガラス転移点が80°C以下であり、上記第1の接着層と上記第2の接着層とによって挟まれる少なくとも1層の第3の接着層に含まれる樹脂Cは、ガラス転移点が100°C以上であり、上記樹脂Cは極性基を有しており、上記樹脂Aおよび上記樹脂Bは極性基を有していないことを特徴としている。また、本発明に係る積層体では、上記樹脂Aおよび上記樹脂Bのガラス転移点が50°C以上であることがより好ましい。また、本発明に係る積層体では、上記樹脂Cのガラス転移点が200°C以下であることがより好ましい。さらに、本発明に係る積層体では、上記樹脂Cはアクリル系モノマーを含む単量体組成物を重合してなることがより好ましい。本発明に係る積層体では、上記樹脂Aおよび上記樹脂Bが、シクロオレフィンモノマーを含む単量体組成物を重合してなることがより好ましい。さらに、本発明に係る積層体では、上記樹脂Aおよび上記樹脂Bが同一の組成からなることがより好ましい。本発明によれば、支持体が貼着された被支持基材から当該支持体を短時間で、且つ容易に剥離することができる。本発明に係る積層体本発明に係る積層体は、厚さ方向に複数の貫通孔が設けられた支持体と、上記支持体によって支持される被支持基材と、上記支持体と上記被支持基材との間に設けられている、少なくとも3層を有する接着層とを備えており、上記接着層のうち、上記被支持基材に接している第1の接着層に含まれる樹脂A、および上記支持体に接している第2の接着層に含まれる樹脂Bは、ガラス転移点が80°C以下であり、上記第1の接着層と上記第2の接着層とによって挟まれる少なくとも1層の第3の接着層に含まれる樹脂Cは、ガラス転移点が100°C以上であり、上記樹脂Cは極性基を有しており、上記樹脂Aおよび上記樹脂Bは極性基を有していなければよい。これにより、熱処理工程を経た後であっても、支持体が貼着された被支持基材から当該支持体を短時間で、且つ容易に剥離することができる。本発明に係る積層体は、被支持基材を支持体に仮止めした積層体として用いるのであれば、具体的な用途は特に限定されない。本実施形態では、ウエハハンドリングシステムにおいて利用される、半導体ウエハ被支持基材をサポートプレート支持体に対して仮止めした積層体を例に挙げて説明する。なお、上記サポートプレートは、半導体ウエハ以下、ウエハを研削するときに当該ウエハに貼り合わせて、研削によって薄化したウエハにクラックおよび反りが生じないように保護するための基板である。また、本実施形態において用いられるサポートプレートには厚さ方向に複数の貫通孔が設けられており、この貫通孔はウエハからサポートプレートを剥離するときに剥離液を供給するための孔である。接着層本発明に係る積層体は、樹脂Aを含む第1の接着層と、樹脂Bを含む第2の接着層と、樹脂Cを含む少なくとも1層の第3の接着層とが積層された構成になっている。第1の接着層はウエハ側に設けられており、第2の接着層はサポートプレート側に設けられており、第3の接着層は第1の接着層と第2の接着層とによって挟まれている。これら接着層が含む樹脂A,Bのガラス転移点と、樹脂Cのガラス転移点とが互いに大幅に異なることにより、また、樹脂A,Bと樹脂Cとの極性が異なることにより、耐熱性および薬品耐性を兼ね備えた接着層にすることができる。なお、本実施形態では積層体が3層からなっている構成を例に挙げて説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、ウエハに接している接着層に樹脂Aが含まれ、サポートプレートに接している接着層に樹脂Bが含まれ、これらの接着層によって挟まれる少なくとも1層の接着層に樹脂Cが含まれていれば、4層以上の多層構造であってもよい。この場合、さらに追加される層に含まれる樹脂のガラス転移点は、特に限定されるものではないが、50°C以上、200°C以下であることがより好ましい。各接着層の厚さは、積層体の膜厚に応じて適宜選択すればよいが、例えば、第1の接着層の膜厚が10~120μmであり、第2の接着層の膜厚が10~50μmであり、第3の接着層の膜厚が10~30μmであることが好ましい。すなわち、接着層全体の厚さが30~200μmの範囲内であることが好ましい。接着層の厚さが上記範囲内であることにより、ウエハとサポートプレートとを好適に貼り付けることができる。なお、本明細書において極性基を有している樹脂とは、側鎖にカルボキシル基または水酸基を少なくとも1つ有する樹脂を指す。樹脂A第1の接着層に含まれる樹脂Aは、ガラス転移点が80°C以下の樹脂であり、極性基を有していなければよく、好ましくはガラス転移点が50°C以上、80°C以下の樹脂である。樹脂Aのガラス転移点がこのような範囲内であれば、接着層を膜厚化することが可能であり、薬品に対する耐性を向上させることができる。樹脂Aとしては上記範囲内のガラス転移点を有する樹脂であればよいが、極性基を有していない樹脂であることが好ましい。そのような樹脂としては、例えば、シクロオレフィンモノマーを含む単量体組成物を重合してなる樹脂を用いることができる。具体的には、シクロオレフィンモノマーを含む単量体成分の開環共重合体、シクロオレフィンモノマーを含む単量体成分を付加共重合させた樹脂などが挙げられる。シクロオレフィンモノマーとしては、例えば、ノルボルネンおよびノルボルナジエンなどの二環体、シクロペンタジエンおよびジヒドロキシペンタジエンなどの三環体、テトラシクロドデセンなどの四環体、シクロペンタジエン三量体などの五環体、テトラシクロペンタジエンなどの七環体、ならびにこれら多環体のアルキルメチル、エチル、プロピル、ブチルなど置換体、アルケニルビニルなど置換体、アルキリデンエチリデンなど置換体、アリールフェニル、トリル、ナフチルなど置換体等が挙げられる。これらの中でも特に、下記式1で示されるノルボルネン、テトラシクロドデセンまたはこれらのアルキル置換体からなる群より選ばれるノルボルネン系モノマーが好ましい。式1において、R1およびR2はそれぞれ独立して水素原子または炭素数1~6のアルキル基であり、nは0または1であるなお、シクロオレフィンモノマーは1種のみを用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。樹脂Aを構成する単量体組成物は、上記シクロオレフィンモノマーの他に、シクロオレフィンモノマーと共重合可能な他のモノマーを含有していてもよい。他のモノマーとしては、例えば下記式2で示されるアルケンモノマーが挙げられる。式2において、R3~R6はそれぞれ独立して水素原子または炭素数1~4のアルキル基であるアルケンモノマーは直鎖状であってもよいし、分岐状であってもよい。当該アルケンモノマーとしては、例えば、エチレン、プロピレン、1-ブテン、イソブテンおよび1-ヘキセンなどのα-オレフィンが挙げられる。アルケンモノマーは1種のみを用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。樹脂Aを構成する単量体組成物がシクロオレフィンモノマー以外のモノマーを含有している場合、シクロオレフィンモノマーの含有量が単量体組成物全体の15重量以上であることが好ましく、20重量以上であることがより好ましい。シクロオレフィンモノマーの含有量が単量体組成物全体の10重量以上であれば、接着層の高温環境下における軟化を好適に防止することができる。上記単量体成分を重合する際の重合方法および重合条件などは特に限定されるものではなく、従来公知の方法に従って適宜選択すればよい。なお、樹脂Aは市販されている樹脂を用いてもよく、例えば、ポリプラスチックス社製のTOPAS商品名、三井化学社製のAPEL、日本ゼオン社製のZEONORまたはZEONEX、JSR社製のARTONなどが挙げられる。樹脂Aの重量平均分子量Mw:ゲルパーミエーションクロマトグラフィGPCのポリスチレン換算による測定値は、30,000~300,000であり、より好ましくは50,000~200,000である。樹脂Aの重量平均分子量が上記範囲内であれば、脱ガス量を低減させることができる。樹脂B第2の接着層に含まれる樹脂Bは、ガラス転移点が80°C以下の樹脂であり、極性基を有していなければよく、好ましくはガラス転移点が50°C以上、80°C以下の樹脂である。樹脂Bのガラス転移点がこのような範囲内であれば、接着層を膜厚化することが可能であり、薬品に対する耐性を向上させることができる。樹脂Bとしては上記範囲内のガラス転移点を有する樹脂であればよいが、極性基を有していない樹脂であることが好ましい。そのような樹脂としては、例えば、シクロオレフィンモノマーを含む単量体組成物を重合してなる樹脂を用いることができる。シクロオレフィンモノマーとしては、上記樹脂Aの説明において例示したものを用いることができる。樹脂Bを構成する単量体組成物は、上記シクロオレフィンモノマーの他に、シクロオレフィンモノマーと共重合可能な他のモノマーを含有していてもよい。他のモノマーとしては、上記樹脂Aの説明において例示したモノマーを用いることができる。樹脂Bを構成する単量体組成物がシクロオレフィンモノマー以外のモノマーを含有している場合、シクロオレフィンモノマーの含有量が単量体組成物全体の15重量以上であることが好ましく、20重量以上であることがより好ましい。シクロオレフィンモノマーの含有量が単量体組成物全体の10重量以上であれば、接着層の高温環境下における軟化を好適に防止することができる。上記単量体成分を重合する際の重合方法および重合条件などは特に限定されるものではなく、従来公知の方法に従って適宜選択すればよい。なお、樹脂Bは、上述した市販されている樹脂を用いてもよい。樹脂Bの重量平均分子量Mwは、30,000~300,000であり、より好ましくは50,000~200,000である。樹脂Bの重量平均分子量が上記範囲内であれば、脱ガス量を低減させることができる。なお、取り扱いが容易である点から、樹脂Bは樹脂Aと同一の組成からなることがより好ましい。樹脂C第3の接着層に含まれる樹脂Cは、ガラス転移点が100°C以上の樹脂であればよく、より好ましくはガラス転移点が100°C以上、200°C以下であり、極性基を有する樹脂である。樹脂Cのガラス転移点がこのような範囲内であれば、積層体が高温環境に晒されても接着層の軟化を防ぎ、サポートプレートに形成された孔への沈み込みを防止することができる。また、樹脂Cに含まれる極性基の割合は、1モル~10モルであることがより好ましい。上記範囲内の割合で極性基を有していれば、脱ガスの量を抑えることができる。そのような樹脂を構成するモノマーとしては、極性基含有アクリルモノマーまたは極性基含有スチレンモノマーが挙げられ、極性基含有アクリルモノマーとしてはメタアクリル酸、カルボキシメチルメタアクリレート、カルボキシエチルメタアクリレート、ヒドロキシエチルメタアクリレート、4-ヒドロキシフェニルメタアクリレート、4-ヒドロキシベンジルメタアクリレート、3-ヒドロキシ-1-アダマンチルメタアクリレート等が挙げられる。極性基含有スチレンモノマーとしては、ヒドロキシスチレン、ジヒドロキシスチレン、ビニル安息香酸等が挙げられる。なお、これらのモノマーは1種のみを用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。樹脂Cを構成する単量体組成物は、上記アクリル系モノマーの他に、例えば、スチレンまたはマレイミド系モノマーなどの他のモノマーを含有していてもよい。他のモノマーとしては、例えば、アクリル酸メチル、メタクリル酸、メタクリル酸メチル、N,N-ジメチルアクリルアミド、N,N-ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド、N,N-ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、N-メチルアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、N,N-ジメチルアミノエチルメタクリレート、N,N-ジエチルアミノエチルメタクリレート、N,N-ジメチルアミノエチルアクリレート、N-メチルマレイミド、N-エチルマレイミド、N-イソブチルマレイミド、N-sec-ブチルマレイミド、N-tert-ブチルマレイミド、N-n-ペンチルマレイミド、N-n-ヘキシルマレイミド、N-n-ヘプチルマレイミド、N-n-オクチルマレイミド、N-ラウリルマレイミド、N-ステアリルマレイミドなどのアルキル基を有するマレイミド、N-シクロプロピルマレイミド、N-シクロブチルマレイミド、N-シクロペンチルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-シクロヘプチルマレイミド、N-シクロオクチルマレイミド等の脂肪族炭化水素基を有するマレイミド、N-フェニルマレイミド、N-m-メチルフェニルマレイミド、N-o-メチルフェニルマレイミド、N-p-メチルフェニルマレイミド等のアリール基を有する芳香族マレイミド等が挙げられる。樹脂Cを構成する単量体組成物がアクリル系モノマー以外のモノマーを含有している場合、アクリル系モノマーの含有量が単量体組成物全体の30重量以上であることが好ましく、40重量以上であることがより好ましい。アクリル系モノマーの含有量が単量体組成物全体の20重量以上であれば、クラック無く積層体を形成することができる。上記単量体成分を重合する際の重合方法および重合条件などは特に限定されるものではなく、従来公知の方法に従って適宜選択すればよい。樹脂Cの重量平均分子量Mwは、50,000~400,000であり、より好ましくは80,000~200,000である。樹脂Cの重量平均分子量が上記範囲内であれば、耐熱性とクラック耐性の両立が可能となる。その他の成分第1の接着層、第2の接着層および第3の接着層は、それぞれ本発明における本質的な特性を損なわない範囲において、混和性のある他の物質をさらに含有していてもよい。例えば、接着剤の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、接着補助剤、安定剤、着色剤および界面活性剤等、慣用されている各種添加剤をさらに用いてもよい。積層体の製造方法本発明に係る積層体は、例えば、以下の方法により製造することができる。まず、ウエハの上に樹脂Aを含む第1の接着層を形成し、次いで当該第1の接着層の上に樹脂Cを含む第3の接着層を形成した後、第3の接着層の上に樹脂Bを含む第2の接着層を形成し、サポートプレートを接着することによって本発明の積層体が得られる。また、サポートプレートの上に樹脂Bを含む第2の接着層を形成し、次いで第2の接着層の上に樹脂Cを含む第3の接着層を形成した後、樹脂Aを含む第1の接着層を形成して、第1の接着層をウエハに接着させてもよいし、予めウエハの上に第1の接着層を形成し、サポートプレートの上に第2の接着層を形成しておき、第1の接着層および第2の接着層のいずれかに第3の接着層を形成してこれらを貼り合わせてもよい。接着剤の調製まず、以下に示す7種類の接着剤を調製した。接着剤1ノルボルネンとエチレンとをメタロセン触媒にて共重合したシクロオレフィンコポリマーポリプラスチックス社製TOPAS商品名8007、ノルボルネン:エチレン=35:65重量比、ガラス転移点:70°C、Mw:98,200、熱分解温度:459°Cを用いて、p-メンタンに溶解させて、固形分濃度25重量の接着剤1を得た。接着剤2シクロドデセンとエチレンとを共重合したシクロオレフィンコポリマー三井化学社製APL商品名8008T、シクロドデセン:エチレン=80:20重量比、ガラス転移点:65°C、Mw:100200、熱分解温度:446°Cを用いて、p-メンタンに溶解させて、固形分濃度25重量の接着剤2を得た。接着剤3シクロヘキシルマレイミド、スチレン、メタクリル酸メチル、アクリル酸、ジメチロール-トリシクロデカンジアクリレートを18:32:40:10:0.7モル比で用いて、PGMEAに溶解させて、固形分濃度30重量の接着剤3を得た。得られた接着剤3は、ガラス転移点:124°C、Mw:153000、熱分解温度:319°Cであった。接着剤4シクロヘキシルマレイミド、スチレン、メタクリル酸メチル、アクリル酸、ジメチロール-トリシクロデカンジアクリレートを18:32:40:1:0.7モル比で用いて、PGMEAに溶解させて、固形分濃度30重量の接着剤4を得た。得られた接着剤4は、ガラス転移点:125°C、Mw:163,000、熱分解温度:322°Cであった。接着剤5シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、スチレン、メタクリル酸メチル、アクリル酸、ジメチロール-トリシクロデカンジアクリレートを20:20:10:40:10:0.7モル比で用いて、PGMEAに溶解させて、固形分濃度30重量の接着剤5を得た。得られた接着剤5は、ガラス転移点:159°C、Mw:179,000、熱分解温度:335°Cであった。接着剤6スチレン、メタクリル酸メチル、メタクリル酸イソボニル、アクリル酸n-ブチル、アクリル酸を52:15:10:13:10のモル比で含むランダム共重合体の樹脂を用いて、PGMEAに溶解させて、固形分濃度40重量の接着剤6を得た。得られた接着剤6は、ガラス転移点:65°C、Mw:82,000、熱分解温度:258°Cであった。接着剤7ノルボルネンとエチレンとをメタロセン触媒にて共重合したシクロオレフィンコポリマーポリプラスチックス社製TOPAS商品名5013、ノルボルネン:エチレン=40:60重量比、ガラス転移点:126°C、Mw:85,100、熱分解温度:463°Cを用いて、p-メンタンに溶解させて、固形分濃度25重量の接着剤7を得た。<実施例1~7>実施例1~7では、以下の表1に示す組み合わせで積層体を作製した。具体的には、第1層第1の接着層および第3層第2の接着層にはガラス転移点が80°C以下の樹脂を含む接着剤を使用し、第2層第3の接着層にはガラス転移点が100°C以上の樹脂を含む接着剤を使用した。積層体の作製実施例1~7では、次のように積層体を作製した。まず、シリコン基板ウエハに第1層となる接着剤を塗布し、110°C,170°C,220°Cで各5分間ベークして、厚さ50μmの第1層を形成した。次に、形成した第1層の上に、第2層となる接着剤を塗布し、110°C,170°C,220°Cで各3分間ベークして、厚さ15μmの第2層を形成した。最後に、形成した第2層の上に、第3層となる接着剤を塗布し、110°C,170°C,220°Cで各5分間ベークして、厚さ35μmの第3層を形成した。その後、第3層の上に、穴あきサポートプレートを170°C、圧力0.21kg/cm2で貼り付け、実施例1~7の積層体を得た。接着層の評価実施例1~7の積層体を以下の試験項目により評価した。耐熱性の評価耐熱性は、220°Cで1時間加熱した後の接着層の沈み込み量によって評価した。沈み込みの評価手法は、加熱前後の接着層の厚さを測定する方法を用いた。その結果、実施例1~7のすべての積層体において、加熱前の厚さと加熱後の厚さとの差は10μm以下であって極めて少ない沈み込み量であり、沈み込みの評価は良好であった。薬品耐性の評価薬品耐性は、実施例1~7の積層体を、H2O、IPAIsopropylalcohol、PGMEAPropyleneGlycolMonomethylEtherAcetate、TMAHTetramethylammoniumhydroxide2.38質量水溶液、NaOH1質量水溶液およびHFフッ化水素1質量水溶液に浸漬して、10分後の溶解状態を観察することによって評価した。その結果、実施例1~7のすべての積層体において、上記の溶剤に溶解することはなく、耐性を有していた。クラック耐性の評価ウエハ上に接着層を形成した後、この接着層のクラックの有無を目視により観察した。その結果、実施例1~7のすべての積層体においてクラックの発生は見られず、クラック耐性は良好であった。剥離性の評価積層体を220°Cで加熱した後に、p-メンタン中に浸漬し、超音波処理して剥離性を評価したところ、実施例1~7のすべての積層体において、ウエハからのサポートプレートの剥離は良好に行なわれた。そして、シリコン基板を洗浄するために、NMPNmethylpyrrolidoneに浸漬して第2層を溶解し、最後にp-メンタン中に浸漬して第1層を溶解した。洗浄後のシリコン基板を顕微鏡にて観察したところ、残渣がないことを確認した。脱ガス量の評価脱ガス量は、ウエハ上に接着層を形成した後、接着層からの脱ガス量を測定することにより評価した。脱ガス量の測定には、TDSThermalDesorptionSpectroscopy装置を用いた。その結果、実施例1~7のすべての積層体は、220°Cにおいて、上記TDS測定装置により求められる強度Indensityが100000未満という良好な値であった。接着強度の評価接着強度は、ウエハ上に接着層を形成した後、接着層の上にガラス基板を200°C、1kgの加重で接着させた。このガラス基板を引っ張り、ガラス基板がウエハから剥がれたときの接着強度を、縦型電動計測スタンドMX-500N株式会社イマダ社製を用いて算出した。ガラス基板は、200°C、1kgの加重で接着層に接着させた。その結果、実施例1~7のすべての積層体において、測定装置により求められる接着強度が1kgf/cm2以上という十分な強度が確認された。<比較例1~3>比較例1~3では、以下の表2に示す組み合わせで積層体を作製した。比較例1では、シリコン基板に接着剤を塗布し、110°C,170°C,220°Cで各5分間ベークして、一層からなる厚さ100μmの接着層を形成した。その後、接着層の上に、穴あきサポートプレートを170°C、圧力0.21kg/cm2で貼り付け、比較例1の積層体を得た。なお、比較例2,3は、実施例1~7の積層体と同様の方法で、3層からなる積層体を作製した。接着層の評価比較例1~3の積層体を以下の試験項目により評価した。なお、各試験項目の評価は、実施例と同様の手順により行なった。耐熱性の評価各比較例の積層体における沈み込み量は、比較例1が48μm、比較例2が10μm以下、比較例3が45μmであった。このように、ガラス転移点が低い樹脂のみを用いた比較例1,3では耐熱性が低かった。薬品耐性の評価ガラス転移点が低い樹脂のみを用いた比較例1,3の積層体では変化が見られなかったが、ガラス転移点が高い樹脂のみを用いた比較例2の積層体では、IPAおよびPGMEAに浸漬することによってクラックが発生していた。剥離性の評価比較例1,2の積層体ではウエハからサポートプレートを剥離する際に、実施例1~7の3倍以上の時間を要した。また、比較例3の積層体では、接着層でミキシングが発生し、ウエハからサポートプレートを剥離することができなかった。脱ガス量の評価脱ガス量の測定の結果、比較例1~3の積層体は、220°Cにおいて、上記TDS測定装置により求められる強度Indensityが100000未満であった。接着強度の評価比較例1~3の積層体の接着強度は、1kgf/cm2以上であった。本発明は上述した実施形態および実施例に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。"