"屈曲振動モードが励振されて振動し、または前記屈曲振動モードと縦振動モードとが同時に励振されて振動する圧電素子と、面内振動によって被駆動体を駆動する矩形の圧電素子と、前記圧電素子の第1主面の4隅方向に分離配置される支持部に面接触する上部支持部材と、前記上部支持部材の前記第1主面と向かい合う面に面接触する押え部材と、前記圧電素子を挟んで前記上部支持部材に対して面対称となる位置に配設され、前記圧電素子に面接触する下部支持部材と、前記下部支持部材の前記圧電素子との接触面に対して反対側の面に面接触する機枠部材と、前記機枠部材と前記下部支持部材と前記圧電素子と前記上部支持部材と前記押え部材とが順に積み重ねられ他状態で、前記支持部の位置で押圧する弾性部材と、が備えられていることを特徴とする圧電モーター。前記支持部が、前記圧電素子の二次の屈曲振動の節を通り、前記圧電素子の縦振動に直交する線上にかかる範囲に配置されていること、を特徴とする請求項1に記載の圧電モーター。前記圧電素子の前記第1主面の前記支持部が配置されている位置に励振電極が形成されており、前記圧電素子の前記第1主面に向かい合う第2主面には共通電極があり、前記上部支持部材の前記励振電極との接触面には凹凸があり、前記下部支持部材の前記共通電極との接触面には凹凸があること、を特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電モーター。前記圧電素子の前記第1主面の前記支持部が配置されている位置に励振電極が形成されており、前記圧電素子の第2主面に共通電極が形成されており、前記励振電極の前記上部支持部材との接触面に凹凸が形成されており、前記共通電極の前記下部支持部材との接触面に凹凸が形成されていること、を特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電モーター。前記圧電素子の前記第1主面の前記支持部が配置されている位置に励振電極が形成されており、前記圧電素子の第2主面に共通電極が形成されており、前記上部支持部材と前記励振電極の両方の接触面に凹凸が形成され、前記下部支持部材と前記共通電極の両方の接触面に凹凸が形成されていること、を特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電モーター。前記上部支持部材と前記励振電極の接触面、及び前記下部支持部材と前記共通電極の接触面に凹凸が形成されており、さらに、前記上部支持部材と前記押え部材との接触面のいずれか、または両方と、前記下部支持部材と前記機枠部材との接触面のいずれか、または両方に凹凸が形成されていること、を特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の圧電モーター。請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の圧電モーターと、前記突起部を被駆動体に付勢させる弾性部材と、前記突起部の楕円運動によって駆動される前記被駆動体と、が備えられていることを特徴とする駆動装置。請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の圧電モーターと、前記突起部に当接する接触面と、前記第1主面に対して直交する回転軸を有する被駆動体、または前記第1主面に対して平行な回転軸を有する被駆動体と、が備えられていることを特徴とする請求項7に記載の駆動装置。請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の圧電モーターと、前記被駆動体を支持する直線状のガイドレールと、前記突起部に当接する接触面を有し、前記ガイドレールに沿って移動可能に支持される被駆動体と、が備えられていること、を特徴とする請求項7に記載の駆動装置。請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の圧電モーターと、前記突起部に当接する面が直線状に延在される固定レールと、前記突起部を前記固定レールに付勢させる弾性部材と、を有し、前記突起部の楕円運動によって、前記圧電モーターが前記固定レールに沿って移動可能であること、を特徴とする請求項7に記載の駆動装置。アームと、前記アームを連結する関節部と、前記関節部に配置される請求項8に記載の駆動装置と、が備えられていることを特徴とするロボット。電子部品を把持する把持部と、X軸方向に前記把持部を移動させるX軸駆動装置と、X軸方向に直交するY軸方向に前記把持部を移動させるY軸駆動装置と、を備え、前記X軸駆動装置と前記Y軸駆動装置とが、請求項10に記載の駆動装置であること、を特徴とする電子部品搬送装置。被検査部材の検査を行う検査部と、X軸方向に前記検査部を移動させる第1駆動装置と、X軸方向に直交するY軸方向に前記検査部を移動させる第2駆動装置と、を備え、前記第1駆動装置と前記第2駆動装置とが、請求項10に記載の駆動装置であること、を特徴とする電子部品検査装置。記録媒体を搬送する搬送機構と、前記記録媒体に液滴を吐出する吐出ヘッドと、前記記録媒体の搬送方向に直交する方向に移動可能な請求項10に記載の駆動装置と、が備えられていることを特徴とするプリンター。上述の特許文献1及び特許文献2では、圧電素子の振動方向、特に屈曲振動に対して振動を制限するように圧電素子を保持する弾性部材を配置することにより、圧電素子の振動が弾性部材を通じて保持機体に漏れ、被駆動体の駆動エネルギーを損失してしまうという課題がある。また、特許文献3の構造でも、案内ケースの案内部からの振動漏れを生じ、被駆動体への駆動エネルギーの伝達効率を低下させてしまうという課題がある。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例に係る圧電モーターは、屈曲振動モードが励振されて振動し、または前記屈曲振動モードと縦振動モードとが同時に励振されて振動する圧電素子と、前記圧電素子の第1主面の4隅方向に分離配置される支持部に面接触する上部支持部材と、前記上部支持部材の前記第1主面と向かい合う面に面接触する押え部材と、前記圧電素子を挟んで前記上部支持部材に対して面対称となる位置に配設され、前記圧電素子に面接触する下部支持部材と、前記下部支持部材の前記圧電素子との接触面に対して反対側の面に面接触する機枠部材と、前記機枠部材と前記下部支持部材と前記圧電素子と前記上部支持部材と前記押え部材とが順に積み重ねられ他状態で、前記支持部の位置で押圧する弾性部材と、が備えられていることを特徴とする。本適用例によれば、圧電素子の第1主面4隅方向に分離配置される支持部を、上部支持部材と下部支持部材とによって挟み込むように押圧して保持することから、圧電素子の確実な保持と、上部支持部材と下部支持部材への振動漏れを抑制し、被駆動体への駆動エネルギーの伝達効率を向上させることができる。[適用例2]上記適用例に係る圧電モーターにおいて、前記支持部が、前記圧電素子の二次の屈曲振動の節を通り、前記圧電素子の縦振動に直交する線上にかかる範囲に配置されていること、が好ましい。本適用例の圧電素子は、一次の縦振動モードと、二次の屈曲振動モードとを有する。二次の屈曲振動の節を通り、圧電素子の縦振動に直交する線上にかかる位置の圧電素子の変位が他より小さいことから、この位置で圧電素子を押圧支持すれば、上部支持部材と下部支持部材への振動漏れを抑制することができる。[適用例3]上記適用例に係る圧電モーターにおいて、前記圧電素子の前記第1主面の前記支持部が配置されている位置に励振電極が形成されており、前記圧電素子の前記第1主面に向かい合う第2主面に共通電極が形成されており、前記上部支持部材の前記励振電極との接触面に凹凸が形成されており、前記下部支持部材の前記共通電極との接触面に凹凸が形成されていること、が好ましい。このような構成にすれば、上部支持部材と下部支持部材とを弾性部材によって圧電素子を挟むように押圧したときに、上部支持部材の凹凸が励振電極に転写されると共に下部支持部材の凹凸が共通電極に転写されることによって、接触面の摩擦力が大きくなり、圧電素子のより確実な保持が可能となり、そのことによって振動漏れをより抑制することができる。[適用例4]上記適用例に係る圧電モーターにおいて、前記圧電素子の前記第1主面の前記支持部が配置されている位置に励振電極が形成されており、前記圧電素子の第2主面に共通電極が形成されており、前記励振電極の前記上部支持部材との接触面に凹凸が形成されており、前記共通電極の前記下部支持部材との接触面に凹凸が形成されていること、が好ましい。このような構成では、励振電極の凹凸が上部支持部材に転写され、共通電極の凹凸が下部支持部材に転写されることによって、接触面の摩擦力が大きくなり、圧電素子のより確実な保持が可能となり、そのことによって振動漏れをより抑制することができる。[適用例5]上記適用例に係る圧電モーターにおいて、前記圧電素子の前記第1主面の前記支持部が配置されている位置に励振電極が形成されており、前記圧電素子の第2主面に共通電極が形成されており、前記上部支持部材と前記励振電極との両方の接触面に凹凸が形成され、前記下部支持部材と前記共通電極との両方の接触面に凹凸が形成されていること、が好ましい。このように、励振電極と上部支持部材の両方に凹凸を形成し、共通電極と下部支持部材の両方に凹凸を形成する構成にすれば、圧電素子のより確実な保持が可能となり、そのことによって振動漏れをより抑制することができる。なお、このような構成は、各接触面の硬度がほぼ同等な場合に効果的である。[適用例6]上記適用例に係る圧電モーターにおいて、前記上部支持部材と前記励振電極との接触面、及び前記下部支持部材と前記共通電極との接触面のいずれか、または両方に凹凸が形成されており、さらに、前記上部支持部材と前記押え部材との接触面のいずれか、または両方に前記下部支持部材と前記機枠部材との接触面に凹凸が形成されていること、が好ましい。このような構成によれば、圧電素子との接触面に形成される凹凸に加え、上部支持部材と押え部材との接触面、下部支持部材と機枠部材との接触面にも凹凸を形成することによって、上部支持部材と押え部材との接触面、及び下部支持部材と機枠部材との接触面においても摩擦力を高め、圧電素子をより一層確実に保持可能でき、そのことによって振動漏れをより一層抑制することができる。[適用例7]本適用例に係る駆動装置は、前述した各適用例のいずれかに記載の圧電モーターと、前記突起部を被駆動体に付勢させる弾性部材と、前記突起部の楕円運動によって駆動される前記被駆動体と、が備えられていることを特徴とする。本適用例によれば、前述したように振動漏れが小さい圧電モーターを用いることによって、被駆動体への駆動エネルギーの伝達効率を高め、高効率の駆動装置を実現できる。[適用例8]上記適用例に係る駆動装置において、前述した各適用例のいずれかに記載の圧電モーターと、前記突起部に当接する接触面と、前記第1主面に対して直交する回転軸を有する被駆動体、または前記第1主面に対して平行な回転軸を有する被駆動体と、が備えられていること、が好ましい。このような構成にすれば、縦振動方向に直交する回転軸を有する場合には、円柱状の被駆動体の側面を突起部で押駆動し回転させることができる。また、縦振動方向に平行な回転軸を有する場合には、円盤状の被駆動体の平面を突起部で押駆動して被駆動体を回転させることができる。[適用例9]上記適用例に係る駆動装置において、前述した各適用例のいずれかに記載の圧電モーターと、被駆動体を支持する直線状のガイドレールと、前記突起部に当接する接触面を有し、前記ガイドレールに沿って移動可能な被駆動体と、が備えられていること、が好ましい。このような構成にすれば、被駆動体をガイドレールに沿って直線状に効率よく駆動させることができる。[適用例10]上記適用例に係る駆動装置において、前述した各適用例のいずれか一項に記載の圧電モーターと、前記突起部に当接する面が直線状に延在される固定レールと、前記突起部を前記固定レールに付勢させる弾性部材と、を有し、前記突起部の楕円運動によって、前記圧電モーターが前記固定レールに沿って移動可能であること、が好ましい。このような構成では、固定レールに対して圧電モーター自身が固定レールに沿って移動可能となる。そこで例えば、圧電モーターに他の機能機構としてロール紙のカッティング装置等を取付けておけば、カッティング装置等を所定の速度、方向に効率よく移動させることを可能にする。[適用例11]本適用例に係るロボットは、アームと、前記アームを連結する関節部と、前記関節部に配置される前述した適用例に記載の駆動装置と、が備えられていることを特徴とする。本適用例によれば、振動漏れがなく駆動力の伝達効率がよい駆動装置を用いることによって、アームを高効率で駆動させることが可能なロボットを実現できる。なお、ワークを把持する指部を有するロボットハンドにおいても、指部を小さいアームとすれば、指部間の関節に前述した駆動装置を用いれば、小型化で高効率のロボットハンドの駆動を実現できる。[適用例12]本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を把持する把持部と、X軸方向に前記把持部を移動させるX軸駆動装置と、X軸方向に直交するY軸方向に把持部を移動させるY軸駆動装置と、を備え、X軸駆動装置とY軸駆動装置とが、請求項10に記載の駆動装置であること、を特徴とする。本適用例によれば、振動漏れがなく駆動力の伝達効率がよい駆動装置を用いることによって、把持部を高効率で移動させることが可能な電子部品搬送装置を実現できる。[適用例13]本適用例に係る電子部品検査装置は、被検査部材の検査を行う検査部と、X軸方向に前記検査部を移動させる第1駆動装置と、X軸方向に直交するY軸方向に前記検査部を移動させる第2駆動装置と、を備え、前記第1駆動装置と前記第2駆動装置とが、請求項10に記載の駆動装置であること、を特徴とする。本適用例によれば、前述した駆動装置は小型化軽量化が可能であるため駆動負荷が小さく、駆動装置によって検査部を被検査部材の位置に素早く、正確な位置に移動させることができる電子部品検査装置を実現できる。[適用例14]本適用例に係るプリンターは、記録媒体を搬送する搬送機構と、前記記録媒体に液滴を吐出する吐出ヘッドと、前記記録媒体の搬送方向に直交する方向に移動可能な請求項10に記載の駆動装置と、が備えられていることを特徴とする。本適用例では、前述した駆動装置を用いることによって、小型化軽量化が可能となり、駆動負荷が小さいプリンターを実現できる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。なお、以下の説明で参照する図は、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材ないし部分の縦横の縮尺は実際のものとは異なる模式図である。圧電モーター図1は、圧電モーター10を示す平面図、図2は、図1のD-D切断面を示す断面図である。図1、図2において、圧電モーター10は、矩形の平面を有し面内振動によって被駆動体を駆動する圧電素子20と、圧電素子20の第1主面20aの4隅方向に分離配置される支持部の各々に当接する第1支持部材30及び第2支持部材31を有する。なお、第1支持部材30及び第2支持部材31を上部支持部材とする。また、圧電モーター10は、第1支持部材30を押圧する第1押え板40と、第2支持部材31を押圧する第2押え板41とからなる押え部材と、圧電素子20の第1主面20aと向かい合う第2主面20bと当接し、圧電素子20を挟んで、第1支持部材30に対して面対称となる位置に配設される第3支持部材32と、第2支持部材31の面対称となる位置に配設される第4支持部材33と、を有している。これら第3支持部材32と第4支持部材33を下部支持部材とする。これら下部支持部材を圧電素子20に押圧する機枠部材としてのケース70を、さらに有している。そして、ケース70のケース底面71に、下部支持部材第3支持部材32及び第4支持部材33と、圧電素子20と、上部支持部材第1支持部材30及び第2支持部材31と、押え部材第1押え板40及び第2押え板41とを順に積み重ねて支持部の位置で押圧する弾性部材としての第1押えバネ60及び第2押えバネ61と、が備えられている。第1押えバネ60は、第1押え板40と第1固定板50との間に挟持されており、固定ネジ80をケース70に締め付けることによって、第1支持部材30と第3支持部材32を圧電素子20に押圧する。第2押えバネ61は、第2押え板41と第2固定板51との間に挟持されており、固定ネジ80をケース70に締め付けることによって、第2支持部材31と第4支持部材33を圧電素子20に押圧する。なお、図2では、第1押えバネ60及び第2押えバネ61が押圧していない初期状態を表している。この際、図2に示すように、第1固定板50及び第2固定板51と、ケース70との間には厚さ方向にギャップが存在する。これは、圧電素子20と上部支持部材と下部支持部材と第1押え板40及び第2押え板41とを積み重ねた場合に、これら構成要素の厚さのばらつきを第1押えバネ60と第2押えバネ61で吸収するためである。なお、本実施の形態では、第1押えバネ60と第2押えバネ61の押圧力はおよそ数kgである。圧電素子20の短辺側の端部には、突起部28が設けられている。突起部28は、被駆動体と接触し、その摩擦力によって被駆動体を駆動させることから被駆動体との摩擦係数は高く、且つ耐摩耗性の優れた材料が用いられる。例えば、ジルコニア、セラミックス等の硬質材料が用いられる。突起部28は、圧電素子20の屈曲振動によって楕円運動し、被駆動体を駆動する。続いて、本実施例の圧電モーター10に用いられる圧電素子20、及び駆動方法について説明する。図3は、圧電素子20の構成及び駆動方法を示す模式図であり、aは静止時の平面図、b及びCは圧電素子20の振動と、被駆動体の駆動方法を示し、dは、bとcの振動を合成して表す模式図である。図3aにおいて、圧電素子20には、圧電体21の第1主面20a側に第1励振電極22、第2励振電極23、第3励振電極24、第4励振電極25が形成されている。また、第1主面20aとは表裏の関係にある第2主面20b側に共通電極26図2、参照が、圧電体21の第2主面20b側のほぼ全面に形成されている。圧電体21の材料としては、圧電性を有する材料であれば特に限定されないが、PZTチタン酸ジルコン酸鉛が好適に用いられる。また、第1励振電極22、第2励振電極23、第3励振電極24、第4励振電極25及び共通電極26の材質としては、導電性金属であれば限定されないが、Agペーストをスクリーン印刷等で形成する方法や、Al,Au,W,Cu,Agなどをスパッタリング法や蒸着法などの方法で形成することができる。なお、第1励振電極22と第3励振電極24とは電気的に接続されており、第2励振電極23と第4励振電極25とは、電気的に接続されている。このような電極構成によれば、第1励振電極22と第3励振電極24とに電荷を印加すると圧電体21は伸長し実線の矢印で示す、電荷を除去すると復帰する縦振動が励起される。一方、第2励振電極23と第4励振電極25に電荷を印加すると圧電体21は伸長し破線の矢印で示す、電荷を除去すると復帰する縦振動が励起される。このように、第1励振電極22と第3励振電極24、または第2励振電極23と第4励振電極25に電荷を印加することにより、圧電素子20は屈曲振動が励振される。このように励起される屈曲振動ついて図3b,c,dを参照して説明する。図3bは、第1励振電極22及び第3励振電極24と共通電極26との間に電荷を印加し、第2励振電極23と第4励振電極25には電荷を印加しない場合を表しており、第1励振電極22及び第3励振電極24が形成されている範囲で縦振動が励起される図3a、参照。しかし、第2励振電極23と第4励振電極25には電荷が印加されていないため縦振動は励起されず、その結果、圧電素子20は、図3bに示すように第1主面20aと第2主面20bの平面内において二次の屈曲振動を励起する。その結果、突起部28が図示する楕円軌道QLの矢印方向に楕円運動する。突起部28は被駆動体90に押圧されているため、突起部28のQL方向の楕円軌道によって、当接されている被駆動体90をHL方向に移動させる。なお、図3bに示すように、屈曲振動の中心軸をLで表し、振動の節をP1,P2,P3で表し、振動モードをLaで表している。突起部28と被駆動体90との接触部においては、突起部28の楕円軌道QLによって被駆動体90に対して接触部の摩擦力によって駆動力が生じる。この駆動力によって被駆動体90がHL方向に駆動される。図3cは、第2励振電極23及び第4励振電極25と共通電極26との間に電荷を印加し、第1励振電極22及び第3励振電極24には電荷を印加しない場合を表しており、第2励振電極23と第4励振電極25とが形成されている範囲で縦振動が励起される図3a、参照。しかし、第1励振電極22及び第3励振電極24には電荷が印加されていないため縦振動は励起されず、その結果、圧電素子20は、図3cに示すように第1主面20aと第2主面20bの平面内において二次の屈曲振動を励起する。図3cに示す二次の屈曲振動は、図3bに示した二次の屈曲振動に対して逆位相となる。その結果、突起部28が図示する楕円軌道QRの矢印方向に楕円運動する。突起部28は被駆動体90に押圧されているため、突起部28のQR方向の楕円運動によって、被駆動体90をHR方向に駆動させる。なお、図3cに示すように、屈曲振動の中心軸をLで表し、振動の節をP1,P2,P3で表し、振動モードをLbで表している。突起部28と被駆動体90との接触部においては、突起部28の楕円軌道QRによって被駆動体90に対するして摩擦力によって駆動力が生じる。この駆動力によって被駆動体90がHR方向に駆動される。このように、第1励振電極22及び第3励振電極24と、第2励振電極23及び第4励振電極25への電荷の印加を切り換えることにより、圧電素子20の屈曲振動の方向を変え、被駆動体90の駆動方向を容易に切り換えることができる。上述の圧電素子20の屈曲振動および縦振動の2つの振動モードにおける振動の節について図3dを用いて説明する。図3dは、圧電素子20の振動モードを示す概念図である。図3dに示すように、圧電素子20は、図3b、図3cを用いて説明した振動状態の振動モードLa,Lbを表している。振動モードLa,Lbを合成して表すと、振動の中心軸L上に振動の節P1,P2,P3が存在する。この振動の節P1,P2,P3を通り圧電素子20の縦振動に直交する方向に延長した線Pr1,Pr2,Pr3以降、節線Pr1,Pr2,Pr3と表す上にかかる範囲は、圧電素子20の変位が他の位置より小さい領域である。従って、節線Pr1,Pr2,Pr3上にかかる範囲に圧電素子20を押圧支持する支持部を配置することが好ましく、圧電素子20の外形部に最も近い振動の節P2,P3を含む領域に支持部を配置することがなお好ましい。続いて、圧電素子20押圧支持構造について図4、図5を参照して説明する。図4は、圧電素子20の支持部S1,S2,S3,S4と支持部材との関係を表す平面図である。ここで、第1支持部材30は、節線Pr2上に第1励振電極22と第2励振電極23とに跨るように配置されている。第1支持部材30と第1励振電極22とが交差する領域が支持部S1、第1支持部材30と第2励振電極23とが交差する領域が支持部S2である。第3支持部材32は、圧電素子20を挟んで第1支持部材30とほぼ面対称となるように配置されている。一方、第2支持部材31は、節線Pr3上に第3励振電極24と第4励振電極25とに跨るように配置されている。第2支持部材31と第3励振電極24とが交差する領域が支持部S3、第2支持部材31と第4励振電極25とが交差する領域が支持部S4である。第4支持部材33は、圧電素子20を挟んで第2支持部材31とほぼ面対称となるように配置されている。以上説明したように、支持部S1,S2,S3,S4各々は、圧電素子20の4隅方向に配置されている。なお、本実施の形態の圧電素子20は、長さが30mm、幅が7.5mm、厚さが3.0mmの扁平な直方体であって、他のステップモーターやサーボモーターに比べて圧電モーター10の小型軽量化を可能にする。図5は、圧電素子20の押圧保持構造を模式的に表す断面図であり、図4のC-C切断面を表している。図5に示すように、圧電素子20は、ケース底面71上に第3支持部材32及び第4支持部材33を配設し、さらに、第3支持部材32及び第4支持部材33の上部に圧電素子20を重ね、圧電素子20の上部に第1支持部材30及び第2支持部材31を重ね、さらに第1押え板40及び第2押え板41を積み重ねて、支持部S1,S2,S3,S4の位置図4参照で第1押えバネ60と第2押えバネ61図示は省略によって押圧力Fで押圧支持されている。さらに具体的には図4、図5に示すように、第1支持部材30は、第1励振電極22の表面22aと第2励振電極23の表面23aに面接触し、第2支持部材31は、第3励振電極24の表面24aと第4励振電極25の表面25aに面接触する。また、第3支持部材32及び第4支持部材33は、共通電極26の表面26aに面接触する。なお、圧電素子20の押圧支持は、上記各要素の接触面に凹凸を形成して摩擦力を大きくしておくことが望まれる。なお、第1支持部材30と第2支持部材31とを一体に形成して上部支持部材とし、上部支持部材に、第1支持部S1、第2支持部S2、第3支持部S3、第4支持部S4の各々を押圧する突設部を設ける構造としてもよい。上記各要素の接触面の構成について図6、図7に実施例を示し説明する。第1実施例図6は、第1実施例を示す模式図であり、aは押圧する前の状態を示し、bは押圧した状態の一部を示す断面図である。本実施例は、第1支持部材30と第2支持部材31と第3支持部材32と第34支持部材の圧電素子20との接触面に凹凸Tを形成した構成を示している。また、c、dは凹凸Tの形状を例示している。なお、第1支持部材30、第2支持部材31、第3支持部材32、第4支持部材33は、ほぼ共通仕様であるため、第1支持部材30と、第1支持部材30に対向する第3支持部材32を例示して説明する。図6aに示すように、第1支持部材30の圧電素子20に接触する側の表面30a、及び第3支持部材32の圧電素子20側の表面32aには凹凸Tが形成されている。本実施例では、第1支持部材30、第2支持部材31、第3支持部材32、及び第4支持部材33の材質をポリイミドまたはABS樹脂等とし、各々の長さが5.0mm、幅が6.5mm、厚さが1.0mmの直方体とした。また、第1励振電極22、第2励振電極23、第3励振電極24、第4励振電極25、及び共通電極26をAgペーストとした。次に図6bに示すように、第1支持部材30と第3支持部材32とを押圧力Fで押圧すると、第1支持部材30の凹凸Tが励振電極22,23の表面22a,23aに転写されるように喰い込む。また、第3支持部材32の凹凸Tが共通電極26の表面26aに転写されるように喰い込む。このように、第1支持部材30と第3支持部材32の凹凸Tが各電極表面に喰い込むことによって接触面の摩擦力を大きくすることができる。なお、凹凸Tも様々な形態を適用することができるので、代表的な実施例を例示して説明する。図6cは、凹凸Tを直線的に形成した例であって、上段に断面図、下段に平面図を表す。凹凸Tは、圧電素子20の縦振動方向に対してほぼ直交する方向に直線状に形成されている。この凹凸Tは、ヤスリやサンドペーパーや、硬質の転写型等を用いて形成される。凹凸Tのピッチや深さは、相手となる各電極の表面硬度によって決められる。図6dは、凹凸Tをドット状に形成した例であって、上段に断面図、下段に平面図を表す。凹凸Tは、第1支持部材30の表面30aに、図示したように整列させてもよく、ランダム配置してもよい。このような凹凸Tは、硬質の転写型等で形成される。凹凸Tの大きさ、形状、配置数や深さは、相手となる各電極の表面硬度によって決められる。なお、凹凸は、各電極に形成してもよく、第2実施例として図7を参照して説明する。第2実施例図7は、第2実施例の一部を示す模式図であり、aは押圧する前の状態を示し、bは凹凸形状の1例を示し、cは押圧した状態を示す断面図である。本実施例は、圧電素子20に形成された第1励振電極22、第2励振電極23、第3励振電極24、及び第4励振電極25と、共通電極26に凹凸を形成した構成である。第1支持部材30及び第1励振電極22と、第3支持部材32と共通電極26を例示して説明する。なお、第1実施例図6、参照と共通部分には同じ符号を付している。図7aに示すように、第1支持部材30及び第2支持部材31には凹凸Tは形成されていない。一方、第1励振電極22及び共通電極26には凹凸T2が形成されている。凹凸T2は、図7bに示すように、第1支持部材30と第1励振電極22との交差する領域、つまり支持部S1の領域に、第1励振電極22をパターニングすることで形成される。共通電極26も同様である。凹凸T2は、スクリーン印刷で容易に所望の形状に形成することが可能であって、凸部または凹部に相当する部分の幅及びピッチは、電極材料と支持部材の表面硬度によって決められる。そして、図7cに示すように、圧電素子20を挟んで第1支持部材30と第3支持部材32とで押圧力Fで押圧すると、第1励振電極22の凹凸T2が第1支持部材30の表面30aに転写されるように喰い込む。また、共通電極26の凹凸T2が第3支持部材32の表面32aに転写されるように喰い込む。このように、各電極の凹凸T2が支持部材の表面30a及び32aに喰い込むことによって接触面の摩擦力を大きくすることができる。この際、各支持部材の表面硬度≦各電極の硬度となるような材質の組み合わせとする。なお、励振電極側の凹凸T2と共通電極側の凹凸T2の形状は必ずしも同じでなくてもよい。前述した圧電モーター10は、圧電素子20の4隅方向に分離配置される第1支持部S1、第2支持部S2,第3支持部S3、第4支持部S4の各々を、上部支持部材である第1支持部材30及び第2支持部材31と、下部支持部材である第3支持部材32及び第4支持部材33とによってバランスよく挟み込むように押圧して保持する。このことによって、圧電素子20の確実な支持と、振動漏れを抑制し、被駆動体90への駆動エネルギーの伝達効率を向上させることができる。また、第1支持部S1及び第2支持部S2を、圧電素子20の二次の屈曲振動の節P2を通る節線Pr2上にかかる領域に配置し、第3支持部S3及び第4支持部S4を、圧電素子20の二次の屈曲振動の節P3を通る節線Pr3上にかかる領域に配置している。節線Pr2,Pr3上では圧電素子20の変位が他より小さいことから、この位置で圧電素子20を押圧支持すれば、振動漏れの発生をより抑制することができる。また、第1主面20a側の第1支持部S1の配置位置には第1励振電極22を配置し、第2支持部S2の配置位置には第2励振電極23を配置し、第3支持部S3の配置位置には第3励振電極24を配置し、第4支持部S4の配置位置には第4励振電極25を配置し、圧電素子20の第2主面側には共通電極26を形成している。そして、第1支持部材30、第2支持部材31、第3支持部材32、第4支持部材33が、各々第1励振電極22、第2励振電極23、第3励振電極24、第4励振電極25との各接触面に凹凸Tを形成している。そして、圧電素子20を押圧支持するときに凹凸Tが各電極の表面に転写されることによって、接触面の摩擦力が大きくなり、圧電素子20のより確実な支持が可能となり、そのことによって振動漏れをより抑制することができる。また、上記とは逆に、第1励振電極22、第2励振電極23を配置し、第3励振電極24を配置し、第4励振電極25の各々に凹凸T2を形成することによって、凹凸T2が各支持部材の接触面に転写され、接触面の摩擦力を大きくするこことができる。第3実施例前述した第1実施例では、第1支持部材30、第2支持部材31、第3支持部材32、第4支持部材33に凹凸Tを形成した例を示し、第2実施例では、第1励振電極22、第2励振電極23、第3励振電極24、第4励振電極25に凹凸T2を形成した例を示したが、各支持部材と各電極の両方の接触面に凹凸を形成してもよい。図示は省略するが、例えば、第1支持部材30、第2支持部材31、第3支持部材32、第4支持部材33の圧電素子20との各接触面に上述した第1実施例図6c,d、参照に示す凹凸Tを形成する。さらに、第1励振電極22、第2励振電極23、第3励振電極24、及び第4励振電極25と、共通電極26各々の第1支持部材30、第2支持部材31、第3支持部材32、第4支持部材33との接触面に第2実施例図7b、参照に示す凹凸T2も形成する。このように、第1励振電極22、第2励振電極23、第3励振電極24、第4励振電極25及び共通電極26と、第1支持部材30、第2支持部材31、第3支持部材32、第4支持部材33との両方の接触面に凹凸Tまたは凹凸T2を形成する構成にすれば、圧電素子20のより確実な支持が可能となり、そのことによって振動漏れをより抑制することができる。なお、このような構成は、各接触面の硬度がほぼ同等な場合に効果的である。以上説明した第1実施例~第3実施例では、第1支持部材30及び第2支持部材31、第3支持部材32及び第4支持部材33の平面形状を長方形とし、支持部S1~S4の形状が四角形の場合を例示したが、これら形状は長方形に限らず様々な形状を用いることができるので、それらを変形例として図示し説明する。なお、前述した第1実施例と同じ構成部分には同じ符号を付している。変形例図8は、変形例に係る第1支持部材30及び第2支持部材31の形状を例示する平面図であり、aは変形例1、bは変形例2、cは変形例3、dは変形例4を示している。なお、第3支持部材32、第4支持部材33の形状は、第1支持部材30と同じとする。よって、第1支持部材30と第2支持部材31を例示して説明する。変形例1は、aに示すように第1支持部材30及び第2支持部材の圧電素子20との接触面が楕円形の例である。変形例2は、bに示すように第1支持部材30及び第2支持部材の圧電素子20との接触面が圧電素子20の幅方向端部側が狭くなった変形六角形である。変形例3は、cに示すように第1支持部材30及び第2支持部材の圧電素子20との接触面が菱形形状の例である。また、変形例4は、dに示すように第1支持部材30及び第2支持部材の圧電素子20との接触面がトラック形状の例を示している。以上説明した変形例を用いても、前述した第1実施例~第3実施例に示した凹凸Tまたは凹凸T2を形成することによって、同様な効果が得られる。第4実施例続いて、圧電モーター10の第4実施例について説明する。前述した実施例1~実施例3では、各支持部材及び各電極の接触面のいずれか一方または両方に凹凸Tまたは凹凸T2を形成しているが、第4実施例は、さらに上部支持部材と押え板との接触面、及び下部支持部材とケース70との接触面にも凹凸が形成されていることを特徴とする。図9は、第4実施例の一部を示す模式的に示す断面図である。なお、上部支持部材の一つである第1支持部材30及び下部支持部材の一つである第3支持部材32を例示して説明する。実施例1との共通部分には同じ符号を付している。また、図9では、図示を省略しているが、第1支持部材30と第1励振電極22との接触面のいずれか一方、または両方、及び第3支持部材32と共通電極26との接触面のいずれか一方、または両方に、図6あるいは図7に図示したような凹凸T,T2が形成されている。図9において、第1押え板40の第1支持部材30との接触面40aには、前述した第1実施例図6c,d、参照と同様な凹凸Tが形成されている。また、ケース底面71の接触面71aにも第1押え板40と同様な凹凸T3が形成されている。図9に示すように、第1押え板40とケース70とで、第1支持部材30と第3支持部材32を介して圧電素子20を押圧力Fで押圧すると、第1押え板40の凹凸Tが第1支持部材30の接触面30bに転写されるように喰い込む。また、ケース底面71の凹凸Tが第3支持部材32の接触面32bに転写されるように喰い込む。なお、凹凸Tは、第1支持部材30の第1押え板40との接触面30bに形成してもよく、第3支持部材32のケース底面71との接触面32bに形成してもよい。このような構成にすれば、前述した第1実施例~第3実施例で説明した凹凸Tまたは凹凸T2に加え、第1支持部材30と第1押え板40、及び第2支持部材31と第2押え板41との接触面に凹凸Tを形成し、第3支持部材32及び第4支持部材33とケース底面71との接触面に凹凸Tを形成する。従って、これらの接触面における摩擦力を高め、圧電素子20をより一層確実に支持することができ、そのことによって振動漏れをより一層抑制することができる。駆動装置第1実施例続いて、前述した圧電モーター10を用いた駆動装置100について説明する。図10は、駆動装置の第1実施例を示し、aは平面図、bはaのE-E切断面を示す断面図である。本実施例の駆動装置100は、前述した第1実施例ないし第4実施例で説明した圧電モーター10と、圧電モーター10の突起部28に当接する接触面131と、圧電モーター10の縦振動方向に直交する回転軸132を有する被駆動部材としてのローター130とを有している。ここで、圧電モーター10の縦振動方向に直交する回転軸132とは、圧電モーター10の第1主面20aまたは第2主面20bに対して直交する回転軸132と置き換えて説明できる。圧電モーター10は、機枠85に配置された状態で基台110に装着されている。ローター130は、基台110と上基台140とで回転可能に軸支されている。ケース70の長手方向の一方の側面には、切欠き部72,73が形成されている。また、機枠85には、切欠き部72,73,の各々の配置位置に支持軸86,87が植立されている。そして、弾性部材としてのコイルバネ91,92で圧電モーター10を支持軸86,87に押圧して、幅方向の位置を規制している。また、圧電モーター10は、コイルバネ93によって、ローター130に向かって付勢され、ローター130の接触面131に対して所与の押圧力が付与される。このように構成された駆動装置100は、電力が供給されると前述した圧電モーター10の駆動原理図3、参照によって、ローター130を回転軸132を回転中心として時計回りまたは半時計回りに回転させることができる。なお、ローターがリング形状リングローター150と表すの場合には、圧電モーター10をリングローター150の内周面内側に配置することができる。このような構造では、圧電モーター10の突起部28がリングローター150の内周面151接触面に相当するに当接させることで、リングローター150を回転軸152を回転中心として時計回りまたは半時計回りに回転させることができる。また、図示は省略するが、突起部28に当接する接触面と、圧電モーター10の第1主面20aに平行な回転軸132を有する被駆動体を有する駆動装置も実現できる。このような被駆動体は、回転軸を有する円盤状のローターであって、突起部28の接触面はローターの平面に当接される。よって、例えば、円盤状ディスクのようなローターの表面に突起部28を当接させて回転駆動させる場合にも適用できる。従って、本実施例の駆動装置100は、前述した振動漏れが小さい圧電モーター10を用いることによって、ローター130やリングローター150などの被駆動体への駆動エネルギーの伝達効率を高め、駆動効率が高い駆動装置100を実現できる。また、突起部28をローター130やリングローター150にコイルバネ93によって所与の押圧力で付勢することで、安定した駆動を実現できる。なお、このような駆動装置100は、一般のサーボモーターやステップモーター等を用いる駆動装置に対して軽量小型化がより求められるロボットの関節部に有効である。駆動装置第2実施例続いて、第2実施例に係る駆動装置100について説明する。本実施例の駆動装置100は、被駆動体または圧電モーター10自身を直線的に駆動させる場合の構成に特徴を有する。図11は、駆動装置100の第2実施例を示し、aは平面図、aのF-F切断面を示す断面図である。本実施例の駆動装置100は、前述した第1実施例~第4実施例で説明した圧電モーター10と、直線状のガイドレール125と、圧電モーター10に設けられる突起部28に当接する直線状の接触面121を有し、ガイドレール125に支持されつつガイドレール125沿って移動可能な被駆動体120と、を有して構成されている。圧電モーター10の支持構造は駆動装置100の第2実施例図10、参照と同じであるので説明を省略する。本実施例の駆動装置100は、圧電モーター10とガイドレール125とが、基台110に対して平行になるよう装着されており、被駆動体120は、ガイドレール125に対して可動体である。このように構成される駆動装置100は、電力が供給されると前述した圧電モーター10の駆動原理図3、参照によって、被駆動体120をガイドレール125に沿って図中、矢印H0方向往復駆動させることができる。なお、図11に示す被駆動体120をガイドレール125に一体化して固定レール126とし、圧電モーター10を固定レール126に沿って移動可能な被駆動体とすれば、駆動装置100は、電力が供給されると前述した圧電モーター10の駆動原理図3、参照によって、圧電モーター10自身を固定レール126に沿って図中、矢印H1方向往復駆動させることができる。従って、駆動装置100は、前述した振動漏れが小さい圧電モーター10を用いることによって、被駆動体120への駆動エネルギーの伝達効率を高め、高効率化を実現できる。圧電モーター10を固定体とした構成の場合には、ガイドレール125に沿って被駆動体120を直線的に往復運動させることができ、例えば、XYテーブル上において、被駆動体120をX方向、またはY方向に移動させる装置に有効である。また、圧電モーター10自身を被駆動体とする構成では、固定レール126に沿って圧電モーター10を往復駆動させることができ、圧電モーター10に他の機能装置を取付ければ、XYテーブル上において、機能装置をX方向またはY方向に移動させることが可能となる。例えば、機能装置として撮像装置を用いれば検査装置として有効であり、インク吐出ヘッドやロール紙の切断カッティング装置を用いれば、プリンター等に有効である。また、突起部28を被駆動体120または固定レールに対してコイルバネ93によって所与の押圧力で付勢することで、被駆動体を直線駆動させる場合にも安定した駆動を実現できる。ロボット続いて、前述した駆動装置100を用いたロボット200について説明する。図12は、ロボット200の概略構成を示す斜視図である。ロボット200は、本体部210、アーム部220及びロボットハンド230を備えている。図示するロボット200は、いわゆる多関節型ロボットに分類される。本体部210は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定される。アーム部220は、本体部210に対して回動または屈折可能に設けられており、本体部210にはアーム部220を回転させるための動力を発生させる図示しないモーターや、モーターを制御する制御部等が内蔵されている。アーム部220は、第1フレーム221、第2フレーム222、第3フレーム223、第4フレーム224及び第5フレーム225から構成されている。第1フレーム221は、回転屈折機構を介して本体部210に回転可能または屈折可能に接続されている。第2フレーム222は、回転屈折機構を介して第1フレーム221及び第3フレーム223に接続されている。第3フレーム223は、回転屈折機構を介して第2フレーム222及び第4フレーム224に接続されている。第4フレーム224は、回転屈折機構を介して第3フレーム223及び第5フレーム225に接続されている。第5フレーム225は、回転屈折機構を介して第4フレーム224に接続されている。アーム部220は、制御部の制御によって、フレーム221~225の各々が各回転屈折機構を中心に複合的に回転または屈折し動く。アーム部220の第5フレーム225のうち第4フレーム224に接続された端部とは反対側の端部には、ロボットハンド接続部226が接続されており、ロボットハンド接続部226にロボットハンド230が取り付けられている。ロボットハンド接続部226にはロボットハンド230に回転動作を与える圧電モーター10を有する駆動装置100が内蔵され、ロボットハンド230は対象物ワークを把持することができる。なお、第1フレーム221~第5フレーム225の各々を接続する各回転屈折機構に駆動装置100を用いる構成とすることも可能であって、回転屈折機構には、図10に示した圧電モーター10と被駆動体としてのローター130を有する駆動装置100が備えられ、回転屈折軸図示せずを回転させる。なお、ローター130と回転屈折軸との間に減速機構を備える構造としてもよい。本実施形態のロボット200は、前述した振動漏れがなく、駆動力の伝達効率のよい駆動装置100を用いることによって、アーム部220を高効率で駆動させることができる。なお、ロボットハンド230は軽量小型の駆動装置が求められるため、前述した駆動装置100を用いることが有効である。図13は、ロボットハンド230を簡略的に示す外観図である。ロボットハンド230は、基部231に接続された小型のアームとしての指部240を備えている。基部231と指部240との接続部と、各指部を接続する関節部232には、駆動装置100が組み込まれている。駆動装置100は、図10に示した圧電モーター10と被駆動体としてのローター130とが備えられ、指部240の各々を独立して回動させ、あたかも人間の指のように所望の形態に駆動させることができる。このように、ロボットハンド230の関節部232に、駆動装置100を用いれば、高効率駆動と、ロボットハンド230の軽量化を実現できる。なお、駆動装置100は、前述した多関節型ロボットの他に直交型ロボットにも適合できる、そこで、直交型ロボットの応用例として電子部品搬送装置、電子部品検査装置について説明する。電子部品搬送装置まず、電子部品搬送装置について説明する。なお、図示は省略する。電子部品搬送装置は、電子部品を把持する把持部と、X軸方向に把持部を移動させるX軸駆動装置と、X軸方向に直交するY軸方向に把持部を移動させるY軸駆動装置と、を備えている。X軸駆動装置、及びY軸駆動装置には、図11に示した駆動装置100が用いられ、圧電モーター10と、突起部28に当接する面が直線状に延在される固定レール126と、を有し、突起部28の楕円運動によって、圧電モーター10が固定レール126に沿って移動可能である。なお、X軸駆動装置は、固定レール126がY軸方向に延在されており、X軸駆動装置では固定レール126がX軸方向に延在されている。把持部は、図12,13に示したロボット200のロボットハンド230に相当し、指部240と関節部232とを有する構造を採用できる。また、関節部232には駆動装置100を採用することができる。このような電子部品搬送装置は、振動漏れがなく駆動力の伝達効率がよい駆動装置を用いることによって、把持部を高効率で移動させることができる。つまり、電子部品を高効率で搬送させることができる。電子部品検査装置図14は、電子部品検査装置の1例を示す斜視図である。電子部品検査装置300は、直方体状の装置基台301を備えている。ここで、装置基台301の長手方向をY方向とし、水平面においてY方向と直交する方向をX方向とする。そして、XY平面に直交する方向高さ方向をZ方向とする。装置基台301上において、図中左側には給材装置310が配置されている。給材装置310の上面には、Y方向に延びる一対のガイドレール311が給材装置310のY方向全幅にわたり配設されている。一対のガイドレール311の上側には直動機構を備えたステージ312が取付けられている。ステージ312の直動機構は、例えばガイドレール311に沿ってY方向に移動可能なリニアモーターを備える。そして、所与のステップ数に相対する駆動信号がリニアモーターに入力されると、リニアモーターが前進または後退して、ステージ312が同ステップ数に相当する分だけ、Y方向に沿って往動または復動する。ステージ312には電子部品Wが載置される。装置基台301において、給材装置310のY方向側には第2撮像部381が配置されている。第2撮像部381は、受光する光を電気信号に変換するCCDChargeCoupledDevices素子等を搭載した電気回路基板、ズーム機構を備えた対物レンズ、落射照明装置、自動焦点合わせ機構を備えている。第2撮像部381と対向する場所に電子部品Wが位置したとき、第2撮像部381は電子部品Wを撮影することができる。そして、第2撮像部381は電子部品Wに光を照射してピント合わせをした後に撮影することにより、焦点の合った画像を撮影することができる。装置基台301において、第2撮像部381のY方向側には検査台302が配置されている。検査台302は電子部品Wを検査するときに電気信号を送受信するための治具である。装置基台301上において、検査台302のY方向側には除材装置320が配置されている。除材装置320の上面にはY方向に延びる一対のガイドレール321が配置されている。ガイドレール321には直動機構を備えたステージ322が取付けられている。ステージ322の直動機構は、ステージ312の直動機構と同様の機構を用いることができる。そして、ステージ322はガイドレール321に沿って往動または復動する。ステージ322には電子部品Wが載置される。装置基台301のX-方向には略直方体状の支持台303が配置されている。装置基台301に比べて支持台303はZ方向に高い形状となっている。支持台303において、X方向を向く面にはY方向に延びる一対のガイドレール331が配置され、ガイドレール331に沿って移動する直動機構を備えたYステージ370が取付けられている。ガイドレール371は、前述した駆動装置100における固定レール126図11、参照に相当し、Yステージ370を可動支持する。Yステージ370は、前述した圧電モーター10を含む駆動装置100を有している。ガイドレール371のYステージ370に向かい合う平面が、圧電モーター10の突起部28が当接する接触面121である図11、参照。そして、圧電モーター10を振動させることにより、Yステージ370はガイドレール371に沿ってY方向に往動または復動する。Yステージ370において、X方向を向く面には腕部330がX方向に延在されている。腕部330においてY-方向を向く面にはX方向に延びる一対のガイドレール331が配置されている。そして、ガイドレール331に沿って移動する直動機構を備えるXステージ340が取付けられている。ガイドレール331は、前述した駆動装置100における固定レール126図11参照に相当し、Xステージ340を可動支持する。Xステージ340は、前述した圧電モーター10を含む駆動装置100を有している。ガイドレール331の一部平面が、圧電モーター10の突起部28が当接する接触面121図11参照である。そして、圧電モーター10を振動させることにより、Xステージ340はガイドレール331に沿ってX方向に往動または復動する。Xステージ340には撮像部としての第1撮像部380およびZ移動装置350が配置されている。第1撮像部380は第2撮像部381と同様な構造と機能を備えている。Z移動装置350は内部に直動機構を備え、直動機構はZステージ図示せずを昇降させる。そして、Zステージには回転装置360が配設されている。そして、Z移動装置350は回転装置360をZ方向に昇降させることができる。Z移動装置350の直動機構は、ガイドレール371に沿って駆動されるYステージ370、及びガイドレール331に沿って駆動されるXステージ340と同様に前述した駆動装置100を備えることができる。装置基台301には制御部としての制御装置390が設置されている。制御装置390は電子部品検査装置300の動作全体を制御する機能を備えている。さらに、制御装置390は電子部品Wを検査する機能を備えている。また、図示は省略するが、制御装置390は入力装置、出力装置を備えている。入力装置はキーボートや入力コネクター等であり、信号やデータの他に操作者の指示を入力する装置である。出力装置は表示装置や外部装置に出力する出力コネクター等であり、信号やデータを他装置へ出力する。上述の構成において、検査部305では、検査対象となる電子部品Wの除給材、画像処理、電気的特性計測などを行う。また、ガイドレール371とYステージ370、ガイドレール331とXステージ340、Z移動装置350、回転装置360などにより、電子部品Wを給材装置310から検査台302、そして除材装置320まで搬送する。電子部品検査装置300によって検査される電子部品Wは、一般的にクリーン環境、すなわち防塵環境下に設置される。また、電子部品Wの位置は、検査台302に載置される前に、第1撮像部380、第2撮像部381によって得られる電子部品Wの画像より、画像処理されて検査台302の所定位置に対して正確に規制される。電子部品Wは、小型で精密且つ多機能である場合が多いことから、いわゆる全数検査が一般的となっている。従って、検査すべき電子部品Wの数量が極めて大量であることから、電子部品Wの一連の検査時間はより短時間の検査処理を可能とすることが求められている。特に検査時間に占める電子部品Wの搬送時間の短縮が求められている。そこで、前述した圧電モーター10を用いた駆動装置100を備えるYステージ370やXステージ340、さらにはZ移動装置350は、所定の移動速度までの加速時間、さらには停止までの減速時間を、より短く制御することが可能となり、検査時間の短い電子部品検査装置300を実現できる。なお、電子部品Wの代表的なものとしては、半導体や、CLDやOLEDなどの表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイスなどが挙げられる。なお、前述した圧電モーター10を備える駆動装置100は、電子部品検査装置300に限らず、機能要素を直線的に移動させる、または回転駆動させる機能を有する装置に応用可能である。そこで、それら装置の1例としてプリンターを例示し説明する。プリンター図15は、プリンター400の概略構成を示す斜視図である。プリンター400は、シート状の記録媒体が搬送される搬送テーブル401と、搬送テーブル401の一方の端部に設けられ、搬送テーブル401の幅方向X方向に延在されたガイドレール410と、ガイドレール410に沿って往復移動可能で液滴を吐出する吐出ヘッド420と、カッティング装置430と、プリンター全体の制御を行う制御装置450と、を備えている。本実施例のプリンター400では、記録媒体はロール紙500であって、ロール紙500をY方向に往復移動可能な搬送装置図示せずを備えている。また、液滴としては、インクや金属微粉とを含む液体等である。従って、本実施例では、吐出ヘッド420をインク吐出ヘッド420とし、ロール紙500の搬送方向Y方向に対して直交する方向X方向に往復移動可能である。なお、インク吐出ヘッド420は、各種の公知技術を用いたものが採用可能であることから説明を省略する。カッティング装置430は、ガイドレール410に沿って、往復移動を可能にする駆動装置100とロール紙500を所定の位置で切断するカッターを備えている。そこで、カッティング装置430について説明する。図16は、カッティング装置430の1例を示す断面図である。カッティング装置430は、駆動装置100と、駆動装置100に取付けられたカーター440とを備えている。駆動装置100は、図11に示した構造を用いており、ガイドレール410が固定体である固定レール126に相当し、圧電モーター10を備える被駆動体である。圧電モーター10は、下機枠431と上機枠432によって形成される空間内に配置されると共に、下機枠431に固定されている。そして、カッター枠441に固定されたカッター440が下機枠431に装着されている。カッター440の刃先は、ロール紙500を切断可能な位置まで突出している。カッティング装置430は、ガイドレール410の図示上下方向に設けられたガイド部411,412に、下機枠431と上機枠432の各々に形成された溝部を勘合させることで、ガイドレール410に支持される。そして、圧電モーター10の突起部28がガイドレール410の接触面413に当接され、突起部28の楕円駆動によってガイドレール410に沿って圧電モーター10自身が往復移動する。この際、カッター440によってロール紙500を切断する。なお、カッター440は、インク吐出ヘッド420がインク吐出をしているときには、ロール紙500の幅方向から外れた位置にあって、インク吐出が終了したとき、またはインク吐出をしないときにX方向に移動し、ロール紙500を所定の位置で切断する。搬送テーブル401のロール紙500と接触する上面のカッター440の移動軌跡範囲には、溝402が形成されるか、カッター440よりも硬度が低い材質例えば、樹脂等を配置しておくことで、カッター寿命を長くすることが可能となる。なお、カッター440をZ方向に往復移動可能なZ駆動機構に装着し、このZ動駆動機構として駆動装置100を用いる構造を採用することができる。また、インク吐出ヘッド420の駆動に、にカッティング装置430に用いた駆動装置100を用いることが可能である。また、本実施例のプリンター400では、インク吐出ヘッド420とカッティング装置430とが共通のガイドレール410によって支持されているが、各々専用のガイドレールとしてもよい。このように、プリンター400は、カッティング装置430を備えており、カッティング装置430には図11にて説明した構造の駆動装置100を備えている。この駆動装置100は、前述したような高効率駆動が可能な圧電モーター10を備えているため、小型化軽量化が可能であり、駆動負荷が小さいプリンター400を実現できる。"