複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイを作製する方法であり、基板上に、第1層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着し、前記ポリパラキシリレン樹脂に第1のマイクロパターンを形成し、第1のソフトマテリアル溶液を導入して、前記基板表面上に第1のマイクロアレイを形成し、前記第1のソフトマテリアルを凍結乾燥して、第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板上に、第2層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着して積層し、前記第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂を貫通させて第2のマイクロパターンを第1のマイクロパターンとは異なる場所に形成し、第2のソフトマテリアル溶液を導入して、前記基板表面上に第2のマイクロアレイを形成し、第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂を同時に引き剥がして、前記第1及び前記第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1及び前記第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板に緩衝溶液を導入して前記第1のソフトマテリアルを溶解する、ことを特徴とする複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイ作製方法。複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイを作製する方法であり、基板上に、第1層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着し、前記ポリパラキシリレン樹脂に第1のマイクロパターンを形成し、第1のソフトマテリアル溶液を導入して、前記基板表面上に第1のマイクロアレイを形成し、前記第1のマイクロアレイを形成した基板から、前記第1層目のポリパラキシリレン樹脂を引き剥がし、第1のソフトマテリアルを凍結乾燥して第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板上に、第2層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着して積層し、前記第2層目のポリパラキシリレン樹脂に、第1のマイクロパターンとは異なる場所に第2のマイクロパターンを形成し、第2のソフトマテリアル溶液を導入して、前記基板表面上に第2のマイクロアレイを形成し、前記第2層目のポリパラキシリレン樹脂を引き剥がして、前記第1及び前記第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1及び前記第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板に緩衝溶液を導入して前記第1のソフトマテリアルを溶解する、ことを特徴とする複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイ作製方法。複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイを作製する方法であり、基板上に、第1層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着し、前記ポリパラキシリレン樹脂に第1のマイクロパターンを形成し、第1のソフトマテリアル溶液を導入して、前記基板表面上に第1のマイクロアレイを形成し、前記第1のソフトマテリアルを凍結乾燥して、第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1のマイクロアレイを形成した基板から、前記第1層目のポリパラキシリレン樹脂を引き剥がし、前記第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板上に、第2層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着して積層し、前記第2層目のポリパラキシリレン樹脂に、第1のマイクロパターンとは異なる場所に第2のマイクロパターンを形成し、第2のソフトマテリアル溶液を導入して、前記基板表面上に第2のマイクロアレイを形成し、前記第2層目のポリパラキシリレン樹脂を引き剥がして、前記第1及び前記第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1及び前記第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板に緩衝溶液を導入して前記第1のソフトマテリアルを溶解する、ことを特徴とする複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイ作製方法。請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法であってさらに、前記第1と第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板に、第3層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着して、第3のマイクロパターンを形成し、第3のソフトマテリアルを含む溶液を導入して、前記第3層目のポリパラキシリレン樹脂を引き剥がして、同一基板上に第1、第2及び第3のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1、第2及び第3のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板に緩衝液を導入して前記第1及第2のソフトマテリアを溶解する、ことを特徴とする複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイ作製方法。請求項1乃至4のいずれか一項に記載の複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイ作製方法であって、最後のソフトマテリアルを含む溶液を導入して、前記基板表面上に最後のマイクロアレイを形成した後、使用まで室温又は低温で保存するために、全てのマイクロアレイを形成した基板ごと凍結乾燥する、ことを特徴とする複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイ作製方法。本発明は、ポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法を用いてソフトマテリアルの小間隔のマイクロアレイを作製する方法であって、同一基板上に、複数種類のソフトマテリアルをコンタミネーションさせることなく、汎用的かつスケーラブルに、複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイを作製する方法、を提供することを課題とする。本発明者は、前記従来技術の問題点のない、複数種類のソフトマテリアルを同一基板上にマイクロアレイ化するための方法を鋭意追求した結果、例えば、ポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法により得られた基板上のソフトマテリアルを、凍結乾燥などにより変性させることなく脱水することにより、その基板に対して通常のポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法が適用でき、さらにソフトマテリアル上に堆積したポリパラキシリレン樹脂が、ソフトマテリアルの固定状態構造機能を損なうことなく、スムーズに基板から引き剥がすことができることを見出し、本発明を完成した。すなわち、本発明は、複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイを作製する方法であり、基板上に、第1層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着し、前記ポリパラキシリレン樹脂に第1のマイクロパターンを形成し、第1のソフトマテリアル溶液を導入して、前記基板表面上に第1のマイクロアレイを形成し、前記第1のソフトマテリアルを凍結乾燥して、第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板上に、第2層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着して積層し、前記第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂を貫通させて第2のマイクロパターンを第1のマイクロパターンとは異なる場所に形成し、第2のソフトマテリアル溶液を導入して、前記基板表面上に第2のマイクロアレイを形成し、第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂を同時に引き剥がして、前記第1及び前記第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板とし、前記第1及び前記第2のソフトマテリアルのマイクロアレイ化基板に緩衝溶液を導入して前記第1のソフトマテリアルを溶解する又は第2のソフトマテリアルを凍結乾燥することで、同一基板上に第1と第2のソフトマテリアルのマイクロアレイを作製する方法である。さらに、本発明の方法を繰り返すことにより、望ましい種類の異なるソフトマテリアルのマイクロアレイが製造される。本発明によれば、ポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法により、同一基板上に、複数種類のソフトマテリアルを、コンタミネーションさせることなく、汎用的かつスケーラブルに、スポッターを用いることなく、小さな間隔のマイクロアレイを作製することができる。また、本発明によるマイクロアレイ作製手順を繰り返すことで、2種類のソフトマテリアルに限らず、2種類以上のソフトマテリアルのマイクロアレイを作製することができる。さらに、凍結乾燥させたソフトマテリアルを固定化したマイクロアレイ基板は、室温または低温で長期保存配送することができ、使用者が当該基板を使用する際に緩衝溶液を導入するだけで容易に使用することができる。以下、図面を参照して、本発明の良好な実施の形態を説明するが、本発明はこれらの実施態様に制限されるものではない。図1は、本発明方法を概念的に示す図である。本発明に係る、複数種類のソフトマテリアルのマイクロアレイを作製する方法は、いわゆる従来のポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法を利用するものであり、これまで知られているポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法又はその種々の応用方法を含む。本発明の方法は、通常のポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法の条件、材料、装置、反応条件等について特に限定されることはない。図1に示される通り、本発明の方法はまず、基板上に第1層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着し、第1層目のポリパラキシリレン樹脂に第1のマイクロパターンを形成し、第1のソフトマテリアルを含む溶液を導入して、第1のマイクロアレイが形成された固定化された基板を得る工程を含む。係る工程は、従来のポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法を適用する工程であり、得られる基板は、その上に第1のマイクロアレイが形成された固定化されたものである。ここで本発明においては、パターン化された個々のマイクロアレイの形状、個々のソフトマテリアルの大きさ、及び個々のソフトマテリアル間の距離等以下形状等とするについては、特に制限はなく、従来のポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法により設計可能な形状等にすることができる。通常、マイクロメータサイズ、又はナノメータサイズに設計することが容易である。前記導入された第1のソフトマテリアルは通常、水溶液又は適当な溶液の形で基板上に固定されている。また、導入方法には特に制限はなく、第1のソフトマテリアルの水溶液又は適当な溶媒の溶液を基板の上に一部又は全体に導入して基板表面にソフトマテリアルを固定する。その後、固定されなかった余分のソフトマテリアルの水溶液等を洗い流すことができる。基板表面には特にソフトマテリアルとの結合を促進する修飾は必要ないが、場合により、ソフトマテリアルとの結合を強くする処理がなされていてもよい。本発明の方法は続いて、前記得られた第1のソフトマテリアルを凍結乾燥して、凍結乾燥した第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化された基板を得る工程を有するものである。本発明においては、基板に固定された第1のソフトマテリアルを凍結乾燥するものであるが、本発明においては凍結乾燥には広く基板上のソフトマテリアルから、当該ソフトマテリアルの構造や機能が非可逆的に変性しないように水分を除去して乾燥することを意味する。従って、冷却の有無、スクロースやトレハロースなどの凍結緩衝剤の有無、真空操作の有無等、凍結乾燥される基板上のソフトマテリアルにより適宜選択することができる。また凍結乾燥は、基板上のソフトマテリアルの全部又は一部、又は基板ごと行うことも可能である。本発明の方法は続いて、前記得られた、第1のソフトマテリアルのマイクロアレイ化された基板を用いて、再び当該基板上に第2層目のポリパラキシリレン樹脂を蒸着し、第2層目のポリパラキシリレン樹脂に第2のマイクロパターンを形成する。ここで第2層目のポリパラキシリレン樹脂蒸着は、基板上に固定され凍結乾燥された、第1のソフトマテリアルの表面も含めて蒸着させる。係る蒸着は、ポリパラキシリレン樹脂蒸着の通常の条件で可能であり、以下説明するが、しかも蒸着によっても第1のソフトマテリアルの表面のみならず内部についても変性等の損傷が見られない。これは基板上に固定された第1のソフトマテリアルが十分乾燥されていることによると考えられる。さらに、第2層目のポリパラキシリレン樹脂に第2のマイクロパターンを形成することも既に上で説明した通常のポリパラキシリレン樹脂リフトオフ法の条件がそのまま適用することができる。ここで第2層目のポリパラキシリレン樹脂に形成する第2のマイクロパターンは、基板の同一面に第1と第2のソフトマテリアルのマイクロアレイを設けるものであるから、第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂を貫通させて第2のマイクロパターンを第1のマイクロパターンとは異なる場所の基板上に形成される。本発明の方法はさらに、得られた第2層目のポリパラキシリレン樹脂の第2のマイクロパターンに第2のソフトマテリアルを含む溶液を導入して、基板上に第2のマイクロアレイを形成する固定化する。この工程は上の第1のソフトマテリアルを含む溶液の導入と同じ方法でよい。ここで、第1及び第2の2種類の異なるソフトマテリアルによるマイクロアレイの製造を意図する場合、前記得られた第2のマイクロアレイが形成された固定化された基板から、ポリパラキシリレン樹脂を引き剥がすことにより、基板の同一面上に、第1と第2のソフトマテリアルのマイクロアレイが製造できる。ここで、第1のソフトマテリアルは乾燥した状態であり、第2のソフトマテリアルは溶液濡れたの状態である。必要に応じて、全体を再度凍結乾燥して第1及び第2のソフトマテリアルを乾燥した状態にするか、又は緩衝溶液等を注入して第1及び第2のソフトマテリアルを濡れた状態とすることができる。全体を凍結乾燥させることで、室温または低温で保存を行うことが可能となる。図1には連続した矢印で示されているが、本発明は、上で説明した第1及び第2のソフトマテリアルによるマイクロアレイだけでなく、必要ならば、さらにこれを繰り返すこととで、3種類以上の異なるソフトマテリアルが同一基板表面に設けられたマイクロアレイが製造可能である。また上で、第2層目のポリパラキシリレン樹脂蒸着の対象となるものとして、第1のソフトマテリアルが固定され凍結乾燥された基板で第1のポリパラキシリレン層を保持するものであると説明したが、本発明においてはこれに限定されない。第1のソフトマテリアルを導入して基板に固定した後、第1のポリパラキシリレン層を引き剥がしたものを凍結乾燥したもの、及び第1のソフトマテリアルを導入して基板に固定した後、凍結乾燥し、その後第1のポリパラキシリレン層を引き剥がしたものも対象となる。以下本発明を実施例に基づきさらに詳しく説明する。マイクロアレイの作製方法図2は実施例で行った作製方法の手順を詳細に示したものである。図2を参照しながら説明する。まず、基板上に第1層目のポリパラキシリレン樹脂を真空蒸着する図2a。ここで、基板はソフトマテリアルを固定可能とし、かつポリパラキシリレン蒸着条件に耐える材質であればよい。例えばガラス、シリコンやプラスチックなどが挙げられる。マイクロアレイを使用する際、測定等の目的で光透過性であることが好ましい場合、光透過性であるガラスが好ましい。また、基板の表面にソフトマテリアルを固定する方法は特に制限されないが、必要な場合、より強い固定を得るため、基板表面に、固定化を促進する処理を施すことも可能である。また、蒸着するポリパラキシリレン樹脂の種類も特に限定されるものではないが、ここではパリレンC日本パリレン合同会社を例として説明を進める。他の種類のパリレンNやパリレンD、パリレンHTも又は必要に応じて適宜選択することができる。いずれも日本パリレン合同会社にて入手可能。ポリパラキシリレン樹脂の蒸着厚さは特に限定されず、後の工程でソフトマテリアルが十分導入される構造を有するパターンが形成される厚さであればよい。具体的には、2μm以下であれば望ましい。ここでは、1μmの厚さで蒸着することを例にして説明を進める。次に、蒸着したポリパラキシリレン樹脂上に、フォトレジストを積層する図2b。フォトレジストとして、ここではS1818ShipleyFarEastLtdを例として説明を進めるが、特にこれに限定されない。また積層方法についても特に限定はなく通常の例えばスピンコートによる方法が好ましい。続いて、第1のマイクロパターンを描画したガラスフォトマスクを介して紫外線照射によるフォトリソグラフィを行い図2c、さらにフォトレジストの現像を行う図2d。現像液は、使用したフォトレジストとの組み合わせで選択することができ、例えばS1818をフォトレジストとした場合は、NMD-3東京応化工業株式会社から入手可能を現像液として利用できる。その後、酸素プラズマによるドライエッチングを行い、ポリパラキシリレン樹脂に第1のマイクロパターンを描画する図2e。ここでは、紫外線照射によるフォトリソグラフィや酸素プラズマによるドライエッチングを例として説明したが、これに限定されず、例えば電子線ビームによるリソグラフィであっても良い。続いて、アセトンとイソプロピルアルコールを使って残存するフォトレジストを洗い流してガラス基板上に第1のマイクロパターンを形成させる図2f。続いて、第1のソフトマテリアルを導入するために、マイクロパターン化された第1層目のポリパラキシリレン樹脂上にフローセルを作製する図2g。ここではフローセルは、例えばシリコンゴムシートをスペーサとして用い、カバーガラスで挟んで作製する。マイクロアレイを作製したい第1のソフトマテリアルを含む溶液をフローセル内に注入し、露出させたガラス基板表面上に第1のマイクロアレイを導入形成する。ここでは、例として、4mg/mLのビオチン化BSAウシ血清アルブミン、1mg/mLのストレプトアビジン、5μMのビオチン化一本鎖DNA23塩基長、蛍光色素FITCフルオレセインイソチオシアネート修飾を第1のソフトマテリアルとして順に積層するものとする。第1のソフトマテリアル導入後、フローセル内の溶液を塩を含まない溶液、例えば超純水や蒸留水に置換する。これによりフローセルに残存する、又は基板上に固定されない遊離の第1のソフトマテリアルが完全に洗い流される。その後、フローセルを含む基板を丸ごとそのまま凍結乾燥装置を用いて凍結乾燥を行う図2h。さらに、第1のソフトマテリアルを含む溶液を完全に乾燥させた後、フローセルを解体する図2h。ここで、フローセルを解体してからフローセルを含まない基板丸ごと凍結乾燥を行っても良い。続いて、凍結乾燥を行った基板上に、第2層目のポリパラキシリレン樹脂を第1層と同様の条件手順で、例えば1μmの厚さで真空蒸着、積層し図2i、次いでS1818などのフォトレジストをスピンコートして積層する図2j。ここで、フォトレジストのベイク条件は、凍結乾燥した第1のソフトマテリアルの性質例えば熱感受性等を考慮して、高温で短時間例えば100°Cで1分間としても良いし、低温で長時間例えば35°Cで3時間又はそれらを組み合わせる条件を選択できる。その後、第2のマイクロパターンを描画したガラスフォトマスクを介して紫外線照射によるフォトリソグラフィを行い図2k、NMD-3を使ってフォトレジストの現像を行う図2l。その後、酸素プラズマによるドライエッチングを行い、第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂を貫通させて第2のマイクロパターンを第1のマイクロパターンとは異なる場所に描画する図2m。第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂を貫通させるドライエッチング条件は特に限定はなく、第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂の厚さに応じて、例えばエッチング時間を調節することで容易に選択することができる。アセトンとイソプロピルアルコールを使って残存するフォトレジストを洗い流すことで、ガラス基板表面に第2のマイクロパターンが形成される図2n。次に第1層目と同様の条件で、マイクロパターン化された第2層目のポリパラキシリレン樹脂上にフローセルを作製する図2o。そして、マイクロアレイを作製したい第2のソフトマテリアルを含む溶液をフローセル内に注入し、露出させたガラス基板表面上に第2のマイクロアレイを形成する。ここでは、例として、4mg/mLのビオチン化BSA、1mg/mLのストレプトアビジン、5μMのビオチン化一本鎖DNA23塩基長、蛍光色素TMRテトラメチルローダミン修飾を第2のソフトマテリアルとして順に積層するものとする。ここで、第1のソフトマテリアルのパターニングを行った場所は、第2層目のポリパラキシリレン樹脂によって覆われているため、第1のソフトマテリアルと第2のソフトマテリアルとのコンタミネーションは完全に阻止される。その後、フローセルを解体する図2o。さらに、第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂を同時に引き剥がす図2p。第1層目と第2層目のポリパラキシリレン樹脂は、例えばピンセット等で一部分を引き剥がすことで同時に容易に引き剥がされる。最後に基板上にフローセルを作製し図2q、緩衝溶液を注入することで凍結乾燥された第1のソフトマテリアルが再溶解し、同一基板上に第1と第2のソフトマテリアルのマイクロアレイが作製される。作製したマイクロアレイの評価図3は、上記手順にて作製されたマイクロアレイの蛍光顕微鏡観察結果の例を示す。図3から次のことが明らかである。iまず、ガラス基板上に2種類の異なるソフトマテリアルが、以下の種々の処理に対しても十分な程度に固定されていること。さらに、2種類の異なるソフトマテリアルそれぞれ複数のタンパク質の機能を組み合わせて構築された標識化タンパク質が変性を受けずに機能を発揮すること。iii2種類の異なるソフトマテリアルのコンタミネーションがないこと。すなわち、第1のソフトマテリアルとしてのFITC修飾一本鎖DNAと、第2のソフトマテリアルとしてのTMR修飾一本鎖DNAとが、コンタミネーションすることなく同一基板上にマイクロアレイ化されていることが分かる。ivアレイ化がマイクロスケールであり、かつアレイを形成するスポット間の間隔が十分明確に分離されている。ただし今回の図3の例では、マイクロメートルスケールでのアレイ化の条件装置を用いてマイクロメートルスケールでのアレイ化を目的としたものを示したが、必要ならば通常のナノメートルスケールでのアレイ化を目的とする条件装置、例えば電子線ビームによるリソグラフィなどを行えば、ナノメートルスケールでのアレイ化も可能である。図4は、本発明によるマイクロアレイ化された一本鎖DNAソフトマテリアルが、二本鎖形成能を保持しているかを検証する実験を行った結果を示す蛍光顕微鏡観察像である。この実験では、4mg/mLのビオチン化BSA、1mg/mLのストレプトアビジン、5μMのビオチン化一本鎖DNA23塩基長、蛍光色素FITC修飾、塩基配列Aを第1のソフトマテリアルとして順に積層しており、4mg/mLのビオチン化BSA、1mg/mLのストレプトアビジン、5μMのビオチン化一本鎖DNA23塩基長、蛍光色素FITC修飾、塩基配列Bを第2のソフトマテリアルとして順に積層している。そのマイクロアレイ作製結果はFITCの蛍光フィルタを通じて観察され図4a、TMRの蛍光フィルタを通じては観察されないことを確認した図4b。図4から、凍結乾燥の過程を経る本発明の方法によるマイクロアレイ化された一本鎖DNAは、その二本鎖形成能が保持されていることを確認され、変性等を受けていないことが分かる。すなわち、凍結乾燥の過程を経た塩基配列Aの一本鎖DNAの相補鎖5μMのコレステロール修飾一本鎖DNA、23塩基長、蛍光色素TMR修飾、塩基配列を注入すると、塩基配列Aの一本鎖DNAが固定化されているスポットにのみ特異的に相補鎖が結合し図4c、凍結乾燥の過程を経た一本鎖DNAの二本鎖形成能が保持されていることを確認した。図5は、本発明によるマイクロアレイ化されたタンパク質が、その機能性を保持しているか検証実験を行った結果を示す蛍光顕微鏡観察像である。ここでは、機能性タンパク質の例として、モータータンパク質であるキネシンを用いた。すなわち、4mg/mLのビオチン化BSA、5mg/mLのカゼイン、蛍光色素TMRを標識した1mg/mLのストレプトアビジン、100μgmLのビオチン化キネシンを第1および第2のソフトマテリアルとして順に積層し、ポリパラキシリレン樹脂を引き剥がすことでキネシンのマイクロアレイを作製した。そして、キネシンのスポット外のガラス基板表面は、5mg/mLのカゼインでコーティングを行い、非特異的な吸着を抑制した。ここで、蛍光色素TMRを標識した微小管を投入すると、キネシンが固定化されているスポットにおいてのみ特異的に微小管が着地し、微小管のマイクロアレイが形成された図5a。続いて、ATPアデノシン三リン酸を含む緩衝溶液を注入すると、キネシン上に着地した微小管の滑走運動が開始され、微小管がスポット外まで滑走すると、キネシンとの結合が無くなり、溶液中に浮遊して顕微鏡の焦点から外れて観察されなくなる現象が確認された図5b。図5から、本発明の製造工程で凍結乾燥処理を行って得られるソフトマテリアルキネシンは、微小管と結合する能力を保持し、しかもガラス基板上で微小管を滑走運動させる活性を有することを示している。以上説明したように、本発明によるマイクロアレイ作製方法は、DNAやタンパク質に適用可能であることが分かる。ただし、本発明はDNAやタンパク質に限定されず、RNAリボ核酸や脂質、マイクロビーズなど、マイクロアレイ化が可能であれば、どんなソフトマテリアルであっても良い。さらに、本発明の製造方法では、ソフトマテリアルを凍結乾燥する工程を有するが、これは本発明が凍結乾燥されにくいソフトマテリアルへの適用を除外するものではない。例えば脂質二分子膜カプセルであるリポソームや細胞など、ソフトマテリアルの中には、凍結乾燥に適さないものもあるが、これらの表面を一本鎖DNAやビオチン、抗体などで化学修飾することで、マイクロアレイを作製することも可能である。リポソームや細胞表面をDNA修飾する方法は例えば以下参考文献1、2に、ビオチン化修飾する方法は参考文献3に、抗体修飾する方法は参考文献4に各々開示されている。つまり、本発明によるマイクロアレイ作製方法にて、一本鎖DNAやタンパク質のマイクロアレイを予め形成しておけば、DNAの二本鎖形成反応、ビオチン-アビジン結合、抗原抗体結合などを利用して、ポリパラキシリレン樹脂を引き剥がした後でもリポソームや細胞を特異的にマイクロアレイ化することができる。参考文献:1SHiyamaetalBiomolecularmotorbasedautonomousdeliveryoflipidvesiclesasnanoormicroscalereactorsonachipLabonaChipvol10pp2741274820102SCHsiaoetalDirectcellsurfacemodificationwithDNAforthecaptureofprimarycellsandtheinvestigationofmyotubeformationondefinedpatternsLangmuirvol25pp6985699120093DStamouetalSelfassembledmicroarraysofattolitermolecularvesselsAngewandteChemieInternationalEditionvol42pp5580558320034AItoetalMagnetitenanoparticleloadedantiHER2immunoliposomesforcombinationofantibodytherapywithhyperthermiaCancerLettersvol212pp1671752004