"所定の色配列で三原色の赤R色層、緑G色層および青B色層が平面視的に配列されたカラーフィルタにおいて、該緑G色層の緑Gの分光特性がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下であるカラーフィルタ。前記緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長450nmで、0パーセントを超え20パーセント以下である請求項1に記載のカラーフィルタ。前記緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長450nmで、0パーセントを超え10パーセント以下である請求項1に記載のカラーフィルタ。前記緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長500nmで、60パーセント以上98パーセント以下である請求項1に記載のカラーフィルタ。前記緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長500nmで、60パーセント以上90パーセント以下である請求項1に記載のカラーフィルタ。前記緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長650nmで、0パーセントを超え30パーセント以下である請求項1に記載のカラーフィルタ。前記緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長650nmで、0パーセントを超え20パーセント以下である請求項1に記載のカラーフィルタ。前記緑G色層は、短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持つ緑G1色層と、黄Y1色層との2層構造になっている請求項1~7のいずれかに記載のカラーフィルタ。前記緑G1色層と前記黄Y1色層の層厚は、該緑G色層以外の前記赤R色層または前記青B色層の層厚に比べて薄くなっている請求項8に記載のカラーフィルタ。前記緑G1色層と前記黄Y1色層との2層構造の層厚は、前記緑G色層以外の前記赤R色層または前記青B色層の層厚と略同等になっている請求項9に記載のカラーフィルタ。前記緑G1色層と前記黄Y1色層との各層厚は略同等である請求項10に記載のカラーフィルタ。前記緑G色層は、該緑G色層が平面視的に2分割され、該2分割された一方領域が、短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持つ緑G2色層で構成され、該2分割された他方領域が黄Y2色層で構成されている請求項1~7のいずれかに記載のカラーフィルタ。前記緑G2色層と前記黄Y2色層との各領域面積は互いに略同等である請求項12に記載のカラーフィルタ。前記緑G2色層と前記黄Y2色層との配列順は、ベイヤ色配列の繰り返し隣接最小4画素単位毎に交互に配置されている請求項12に記載のカラーフィルタ。前記緑G色層は、透明ベース材料に対して、緑G色材料と黄Y色材料とが混合され、短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持っている請求項1~7のいずれかに記載のカラーフィルタ。前記緑G色層は、透明ベース材料に対して、緑G色材料と黄Y色材料とが混合され、短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持っており、前記緑G色層以外の前記赤R色層または前記青B色層の層厚と略同等になっている請求項1~7のいずれかに記載のカラーフィルタ。前記所定の色配列はベイヤ色配列である請求項1~7のいずれかに記載のカラーフィルタ。前記緑G色層、前記緑G1色層および前記緑G2色層のうちのいずれかは、従来の緑G色層に比べて分光特性が短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持っている請求項1~16のいずれかに記載のカラーフィルタ。前記緑Gの分光特性と前記青Bの分光特性との重なった部分の面積比は23パーセント±10パーセント、該緑Gの分光特性と前記赤Rの分光特性との重なった部分の面積比は18パーセント±5パーセントである請求項1に記載のカラーフィルタ。被写体からの入射光を光電変換して撮像する複数の受光部が2次元状に配設された固体撮像素子において、請求項1~19のいずれかに記載のカラーフィルタが各色毎に該複数の受光部のそれぞれに対応するように形成された固体撮像素子。CCD固体撮像素子またはCMOS固体撮像素子である請求項20に記載の固体撮像素子。素子側基板と対向基板間に液晶が挟持されて画素毎の該液晶の光透過率により画像表示される液晶表示装置において、請求項1~19のいずれかに記載のカラーフィルタが該対向基板側に該画素毎にそれぞれに対応するように形成されている液晶表示装置。請求項20または21に記載の固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた電子情報機器。請求項22に記載の液晶表示装置を表示部に用いた電子情報機器。上記特許文献1に開示されている従来の固体撮像素子では、そのカラーフィルタのR、G、Bの色配列がベイヤ色配列の事例を示しているだけであり、上記特許文献2~5に開示されている従来の固体撮像素子では、カラーフィルタのR、G、Bの色配列がベイヤ色配列から、各画素に対する色を増加させて色再現性の向上と高感度化を狙っている。しかしながら、上記従来の各固体撮像素子では、複数の画素の色配列をベイヤ色配列から増加すると、まず、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ配列に一から対応するように変更しなければならず、そのカラー信号処理の調整が複雑であるという問題があった。本発明は、上記従来の問題を解決するもので、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ配列に対応するように変更せず、色ノイズを減らして色再現性の向上を図ることができるカラーフィルタ、このカラーフィルタを用いて色再現性の向上と高感度化を図ることができる固体撮像素子、このカラーフィルタを用いて色再現性の向上と高感度化を図ることができる液晶表示装置、この固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いるかまたは/および、この液晶表示装置を表示部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器を提供することを目的とする。本発明のカラーフィルタは、所定の色配列で三原色の赤R色層、緑G色層および青B色層が平面視的に配列されたカラーフィルタにおいて、該緑G色層の緑G色の分光特性がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下であるものであり、そのことにより上記目的が達成される。また、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおける緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長450nmで、0パーセントを超え20パーセント以下である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおける緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長450nmで、0パーセントを超え10パーセント以下である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおける緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長500nmで、60パーセント以上98パーセント以下である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおける緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長500nmで、60パーセント以上90パーセント以下である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおける緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長650nmで、0パーセントを超え30パーセント以下である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおける緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長650nmで、0パーセントを超え20パーセント以下である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G色層の分光特性を実現するために、該緑G色層が短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持つ緑G1色層と、黄Y1色層との2層構造になっている。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G1色層と前記黄Y1色層の層厚は、該緑G色層以外の色層領域の層厚に比べて薄くなっている。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G1色層と前記黄Y1色層との2層構造の層厚は、前記緑G色層以外の前記赤R色層または前記青B色層の層厚と略同等になっている。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G1色層と前記黄Y1色層との各層厚は略同等である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G色層は、該緑G色層が平面視的に2分割され、該2分割された一方領域が、短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持つ緑G2色層で構成され、該2分割された他方領域が黄Y2色層で構成されている。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G2色層と前記黄Y2色層との各領域面積は互いに略同等である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G2色層と前記黄Y2色層との配列順は、ベイヤ色配列の繰り返し隣接最小4画素単位毎に交互に配置されている。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G色層は、透明ベース材料に対して、緑G色材料と黄Y色材料とが混合され、短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持っている。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G色層以外の前記赤R色層または前記青B色層の層厚と略同等になっている。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおける所定の色配列はベイヤ色配列である。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑G色層、前記緑G1色層および前記緑G2色層のうちのいずれかは、従来の緑G色層に比べて分光特性が短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持っている。さらに、好ましくは、本発明のカラーフィルタにおいて、前記緑Gの分光特性と前記青Bの分光特性との重なった部分の面積比は23パーセント±10パーセント、該緑Gの分光特性と前記赤Rの分光特性との重なった部分の面積比は18パーセント±5パーセントである。本発明の固体撮像素子は、被写体からの入射光を光電変換して撮像する複数の受光部が2次元状に配設された固体撮像素子において、本発明の上記カラーフィルタが各色毎に該複数の受光部のそれぞれに対応するように形成されたものであり、そのことにより上記目的が達成される。また、好ましくは、本発明の固体撮像素子は、CCD固体撮像素子またはCMOS固体撮像素子である。本発明の液晶表示装置は、素子側基板と対向基板間に液晶が挟持されて画素毎の該液晶の光透過率により画像表示される液晶表示装置において、本発明の上記カラーフィルタが該対向基板側に該画素毎にそれぞれに対応するように形成されており、そのことにより上記目的が達成される。本発明の電子情報機器は、本発明の上記固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。また、本発明の電子情報機器は、本発明の上記液晶表示装置を表示部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。本発明においては、所定の色配列で三原色の赤R色層、緑G色層および青B色層が平面視的に配列されたカラーフィルタにおいて、緑G色層の緑Gの分光特性がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下である。これによって、ベイヤ色配列の緑色の膜厚を薄くしてその上に膜厚の薄い黄色を新たに加えることなどにより、緑G色層の緑Gの分光特性がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下であれば、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ配列に対応するように変更せず、色ノイズを減らして色再現性の向上を図ることが可能となる。また、ベイヤ色配列の緑色の膜厚を薄くしてこれに黄色を新たに加えた分だけ、カラーフィルタの製造工程が煩雑になって製造工数が増加するが、ベイヤ色配列の緑色に黄色を加えた色を新たな緑色にしてカラーフィルタを形成すれば、カラーフィルタの製造工程を煩雑化せず、色再現性の向上を低コストで実現することが可能となる。以上により、本発明によれば、ベイヤ色配列の緑色の膜厚を薄くしてその上に膜厚の薄い黄色を新たに加えたため、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ配列に対応するように変更せず、色ノイズを減らして色再現性の向上を図ることができる。また、ベイヤ色配列の緑色に黄色を加えた色を新たな緑色にしてカラーフィルタを形成するので、カラーフィルタの製造工程を煩雑化せず、色再現性の向上を低コストで実現することができる。以下に、本発明のカラーフィルタを固体撮像素子に適用した場合の実施形態1~3および、この固体撮像素子の実施形態1~3のいずれかを画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器の実施形態4について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図における構成部材のそれぞれの厚みや長さなどは図面作成上の観点から、図示する構成に限定されるものではない。実施形態1図1は、本発明の実施形態1におけるCCD固体撮像素子の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。図1において、本実施形態1のCCD固体撮像素子1には、複数の画素部が行列方向に2次元マトリクス状に配設されている。その各画素部にはそれぞれ、半導体基板2の表面部に、受光素子として入射光を光電変換して信号電荷を生成するフォトダイオードで構成された受光部3が設けられ、この受光部3に隣接して受光部3からの信号電荷を、信号電荷読み出し部を通して読み出して電荷転送するための電荷転送部4が設けられている。この電荷転送部4および信号電荷読み出し部上にはゲート絶縁膜5を介してゲート電極6が配置されている。このゲート電極6は、信号電荷を読み出すと共に、読み出された信号電荷を電荷転送制御するための電荷転送電極として機能する。これらの受光部3および電荷転送部4からなる半導体基板2の画素部7間水平方向の間には画素分離層素子分離層としてのチャネルストップ層8が設けられている。このゲート電極6上には、入射光がゲート電極6により反射してノイズが発生するのを防ぐために遮光膜9が絶縁層10を介して形成されている。また、受光部3の上方の遮光膜9には、入射光用の窓部として開口部9aが形成されている。これらの受光部3の表面と遮光膜9との段差部分を平坦化するための層間絶縁膜11が形成されている。この層間絶縁膜11上に、受光部3への集光用の層内レンズ12が受光部3に対応するように形成されている。この各層内レンズ12上には、各層内レンズ12間の段差を埋め込んでその表面が平坦化するように層間絶縁膜13が形成されている。さらに、この層間絶縁膜13上には、受光部3毎に配置されたR,G,B各色の所定の色配列例えばベイヤー配列のカラーフィルタ1414R、14G14G114Y1、14Bが形成され、さらに、その上に平坦化膜15が形成され、その上に受光部3への集光用のマイクロレンズ16が更に形成されている。この場合に、カラーフィルタ14R、14Bの各膜厚は、2層からなるカラーフィルタ14G14Yの膜厚と略同等である。しかも、カラーフィルタ14Gの膜厚もカラーフィルタ14Yの膜厚と略同等である。図2aは、図1のカラーフィルタ14の色配列を繰り返しの最小単位で模式的に示した平面図、図2bは、図2aのA-A’線方向のカラーフィルタの縦断面図、図2cは、図2bのカラーフィルタ断面構成の変形例を模式的に示す縦断面図、図2dは、図2bのカラーフィルタ断面構成の更なる変形例を模式的に示す縦断面図である。図2aでは、カラーフィルタ14の三原色RGBのベイヤ色配列を繰り返しの最小単位で示している。カラーフィルタ14RのR赤色層とカラーフィルタ14BのB青色層とは平面視で斜め方向に配列されており、これとは襷がけの逆斜め方向にカラーフィルタ14GG1Y1がそれぞれ配列されている。図2bには、カラーフィルタ14RのR赤色層とカラーフィルタ14BのB青色層の縦断面構造の間に、カラーフィルタ14Gの薄い下層のG1緑色層とカラーフィルタ14Yの薄い上層のY1黄色層との上下2層構造の画素が配置されている。これらのカラーフィルタ14GのG1緑色層とカラーフィルタ14YのY1黄色層は上下逆に配置されても構わない。要するに、カラーフィルタ14Gの緑G色層は、緑G色層以外の層領域の膜厚に比べて層厚を薄くした緑G1色層と、緑G色層以外の層領域の層厚に比べて層厚の薄い黄Y1色層との2層構造になっている。これらの緑G1色層と黄Y1色層との2層構造の層厚は、緑G色層以外の赤R色層または青B色層の層厚と略同等になっている。また、これらの緑G1色層と黄Y1色層との各層厚は略同等である。なお、図2cおよび図2dのカラーフィルタの縦断面構造については詳細に後述する。図3は、図1のカラーフィルタ14Gの緑G色層の光波長に対する透過率の関係を示す分光特性図である。図3に示すように、Yellowとして太い破線で示される黄色Y1の分光特性は、カラーフィルタ14Rの分光特性とカラーフィルタ14Gの分光特性から信号処理で得た分光特性である。従来のグリーンカラーフィルタの分光特性曲線は、従来Greenとして細い破線で示されており、堀の浅い山形形状をしている。これを図2cに示すように従来のグリーンカラーフィルタG’上に薄い黄色Y1のカラーフィルタを乗せた場合に、フィルタ層厚が増加した分だけ透過率が下がって、従来のグリーンカラーフィルタG’層厚が薄い黄色Y1のカラーフィルタの分光特性従来のGreenYellowとなる。さらに、従来のグリーンカラーフィルタG’の層厚を薄くしてその上に薄い黄色Y1のカラーフィルタを乗せて新グリーンカラーフィルタG新Green;短波長側によった急峻な分光特性を持つ新グリーンとすると、矢印で示すようにダイナミックレンジが広がった太い実線の新グリーンカラーフィルタの分光特性曲線となる。これが正に図2bに示す2層構造のカラーフィルタ14Gの緑G色層緑G1色層黄Y1色層である。この緑G1色層自体が短波長側によった急峻な分光特性を持っている。この太い実線の新グリーンカラーフィルタの分光特性曲線は、従来のグリーンカラーフィルタ膜厚が薄い黄色Y1のカラーフィルタの分光特性の外側の太い実線で示されており、従来のグリーンカラーフィルタ膜厚が薄い黄色Y1のカラーフィルタに比べて堀の深い山形形状をしている。したがって、新グリーンと従来グリーンを比べると、新グリーンの方が堀が深く山形形状の段差が高くダイナミックレンジが広く色分離と受光感度を向上させることができる。要するに、図3において、従来Greenとして細い破線で示される従来のグリーンカラーフィルタの分光特性に、単に、Yellowとして太い破線で示される黄色Y1の分光特性を加えても、従来のGreenYellowとして細い実線で示される単に山形の分光特性になるだけであるが、従来Greenとしての従来のグリーンカラーフィルタG’の層厚を薄く設定して緑G1色層とすることが本発明にとって重要である。これによって、新Greenとして太い実線で示される図2bの2層構造緑G1色層黄Y1色層の分光特性は、カラーフィルタ14Gの緑G色層の分光特性として堀が深く急峻な山形形状の分光特性となり、矢印に示されるように感度向上および色分離向上が実現した分光特性となって、より鮮明な画像を得ることができる。なお、従来のGreenYellowとして細い実線で示される単に山形の分光特性は、従来のGreenとして細い破線で示される山形の分光特性に比べれば、Yellowとして太い破線で示される分光特性を重ねるだけで、光波長450nmで、0パーセントを超え10以下0.5パーセント以上10パーセント以下になっていることが分かる。この場合に、図2bに示す2層構造のカラーフィルタ14Gの緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が光波長450nmで、従来Greenとして細い破線で示される従来のカラーフィルタの緑G色層では25パーセント程度であるのに対して、0パーセントを超え10以下0.5パーセント以上10パーセント以下パーセント以下である。また、図2bに示す2層構造のカラーフィルタ14Gの緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長500nmで、従来Greenとして細い破線で示される従来のカラーフィルタの緑G色層では60パーセント程度であるのに対して、60パーセント以上90パーセント以下である。さらに、図2bに示す2層構造のカラーフィルタ14Gの緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が光波長650nmで、従来のカラーフィルタの緑Gでは24パーセント程度であるのに対して、0パーセントを超え20以下0.5パーセント以上20パーセント以下である。これらによっても、カラーフィルタ14Gの緑G色層の分光特性が、如何に堀が深く急峻な山形形状の分光特性であるかが分かる。従来のGreenフィルタを薄くしたフィルタにYellow成分の薄いフィルタを追加した新Greenフィルタを採用することにより、これらの分光特性範囲に分光特性を制御することができる。したがって、従来のGreenフィルタを薄くしたフィルタにYellow成分の薄いフィルタを追加した新Greenフィルタを採用することによって、短波長側のGreenフィルタの色ノイズを抑え、色再現性を向上させ、同時にGreen感度を向上させることができる。約10パーセントのGreen感度の向上となる。図4は、従来のカラーフィルタの三原色RGBと本実施形態1のカラーフィルタ14の三原色RGBと関係をCIE色度図上で示した図である。図4のCIE色度図に示すように、従来のカラーフィルタの三原色RGBの三点を繋いだ三角形は破線で示され、本実施形態1のカラーフィルタ14の三原色RGBの三点を繋いだ三角形は実線で示されており、本実施形態1のカラーフィルタ14のCIE色度範囲が、従来のカラーフィルタのCIE色度範囲よりも黄色Y側に広がっているのが分かる。最も外側の白実線で示した三角形は、ハイビジョンTVにおける三原色RGBの三点の位置であるが、従来のカラーフィルタでは内部信号処理によってハイビジョンTVにおける三原色RGBの三点の位置近くまで広げる急激な補正を行ってノイズが増加していたが、本実施形態1のカラーフィルタ14の三原色RGBの三点からハイビジョンTVにおける三原色RGBの三点の位置まで広げる補正は、従来に比べて急激ではないので容易かつ確実に色補正を行うことができて色ノイズも少なくなって鮮明な画像となる。要するに、従来のカラーフィルタの三原色RGBの三点から本実施形態1のカラーフィルタ14の三原色RGBの三点まではカラーフィルタ自体によってCIE色度図上で色度範囲を広げることができるため、内部信号処理による色補正の負担が軽くなると共に、より鮮明な画像を得ることができる。即ち、緑G色層の分光特性を堀の深い新しい緑G色層の分光特性としかつこれに黄Y1色層を加えることにより、赤色R側を含めて黄色Y側にCIE色度図上で色度範囲を広げることができて黄色Yが出易くなると共に、より鮮明な画像を得ることができる。この場合のカラーフィルタ14Gの緑G色層がCIE色度図上でy軸値が0.45以上である。このように、カラーフィルタ14Gの緑色GのCIE色度図のy軸上の位置が0.45以上であれば、従来のカラーフィルタの緑GのCIE色度図のy軸上の位置0.42に比べて0.03、ハイビジョンTVの緑Gに近づけることができて、ハイビジョンTVの理想的な緑GのCIE色度図のy軸上の位置0.60により近づくことができ、色ノイズが少なく色再現性が大幅に向上する。特に、新Greenを使った本実施形態1のカラーフィルタ14のRGB色度座標は、従来のカラーフィルタの場合と比べてYellow領域が拡大されており、黄色Yの色再現性に優れている。図5は、破線で示す従来のカラーフィルタの緑Gの分光特性のピーク値を100パーセントとした場合の本実施形態1および従来で用いる各カラーフィルタの三原色RGBのデバイスの電気分光特性図である。この電気分光特性は、カラーフィルタ分光特性とデバイス白黒分光特性を掛け合わせた特性を持つ。図5に示すように、従来のカラーフィルタの三原色RGBは破線で示し、本実施形態1のカラーフィルタ14の三原色RGBは実線で示しているが、実線で示す本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gが、破線で示す従来のカラーフィルタの緑Gに比べて、波長450nm~500nmで立ち上がりが急峻で堀が深くなっている。実線で示す本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gにおいて、例えば波長450nmで、従来のカラーフィルタの緑Gでは40パーセント程度であるのに対して10パーセント程度である。また、実線で示す本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gにおいて、例えば波長500nmで、従来のカラーフィルタの緑Gでは80パーセント程度であるのに対して100パーセント程度である。さらに、実線で示す本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gにおいて、例えば波長650nmで、従来のカラーフィルタの緑Gでは30パーセント程度であるのに対して10パーセント程度である。図5の三原色RGBの互いの重なり部分を比較すると、破線で示す従来のカラーフィルタの緑Gと青Bの重なり部分の面積と、実線で示す本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gと青Bの重なり部分の面積とは、実線で示す本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gと青Bの重なり部分の面積の方が急峻で深く変化している分だけ圧倒的に狭くなっている。カラーフィルタ14の緑Gと青Bの重なった面積が多いほど、色ノイズが多くなって色が濁る。また同様に、破線で示す従来のカラーフィルタの緑Gと赤Rの重なり部分の面積と、実線で示す本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gと赤Rの重なり部分の面積とは、実線で示す本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gと赤Rの重なり部分の面積の方が急峻で深く変化している分だけ狭くなっている。カラーフィルタ14の緑Gと赤Rの重なった面積が多いほど、色ノイズが多くなって色が濁る。従来のカラーフィルタの緑Gの場合は、緑Gの分光特性に対して、緑Gと青Bの分光特性の重なった部分の面積比は、約36パーセント、緑Gと赤Rの分光特性の重なった部分の面積比は、約24パーセントである。これに対して、本実施形態1のカラーフィルタ14の緑Gの分光特性に対して、緑Gと青Bの分光特性の重なった部分の面積比は、約23パーセント、緑Gと赤Rの分光特性の重なった部分の面積比は、約18パーセントである。本実施形態1のカラーフィルタ14の場合、従来に比べて重複面積を少なくするための範囲で示すと、緑Gの分光特性と前記青Bの分光特性との重なった部分の面積比は23パーセント±10パーセント、該緑Gの分光特性と前記赤Rの分光特性との重なった部分の面積比は18パーセント±5パーセントである。したがって、YellowはGreenRedで再現されるが、新GreenRedで再現された新Yellowは、従来GreenRedで再現された従来Yellowに比べて色のダイナミックレンジが大きく、互いに色が重なった面積も少ないことから、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ配列に対応するように変更することなく、色ノイズの少ないクリアな色再現性を持ち、特に黄色Yellowをクリアに再現することができる。上記構成の本実施形態1のCCD固体撮像素子1の製造方法としては、半導体基板2または半導体層上に、入射光を光電変換して撮像する複数の受光部3を2次元状に形成する受光部形成工程と、受光部3毎に隣接して電荷転送手段としての電荷転送部4およびその上のゲート電極6をそれぞれ形成する電荷転送手段形成工程と、ゲート電極6上を覆うと共に、受光部3の上方を開口した遮光膜9を形成する遮光膜形成工程と、受光部3および遮光膜9の段差部上に層間絶縁膜11を形成する第1層間絶縁膜形成工程と、この層間絶縁膜11上に、上に凸形状の層内レンズ12を、各受光部3の位置に対応して形成する層内レンズ形成工程と、層内レンズ12間の凹凸を埋め込むように層間絶縁膜13を形成する第2層間絶縁膜形成工程と、この層間絶縁膜13上に所定の色配列例えばベイヤ色配列のカラーフィルタ14を各受光部3の位置に対応して形成するカラーフィルタ形成工程と、このカラーフィルタ14上に、平坦化膜15を介してマイクロレンズ16を、各受光部3の位置に対応して形成するマイクロレンズ形成工程とを有している。カラーフィルタ形成工程は、各受光部3の位置に対応して、感光性のある各カラーフィルタ材料に対してフォトリソ工程を繰り返して、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14G1を形成し、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Rを形成し、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Bを形成した後に、カラーフィルタ14G1上にカラーフィルタ14Y1を形成することにより、カラーフィルタ14Gとして、カラーフィルタ14G1上にカラーフィルタ14Y1が形成された2層構造とすることができる。カラーフィルタの形成する色の順は任意である。以上により、本実施形態1によれば、ベイヤ色配列の緑G色層の膜厚を薄くすると共に短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持つ緑G色層とし、その薄くした緑G1色層上に膜厚の薄い黄Y1色層を重ねて新たに加えることにより、緑G色層の緑Gの分光特性がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下より好ましくは、0.475以上0.60以下になって、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ色配列に対応するように変更する必要がなく、色ノイズを大幅に減らして色再現性の向上を図って鮮明な画像を得ることができる。なお、本実施形態1では、CCD固体撮像素子1において、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Gの緑G色層は、緑G色層以外のカラーフィルタ14Rまたは14Bの層領域の層厚に比べて層厚を薄くした緑G1色層カラーフィルタ14G1と、緑G色層以外のカラーフィルタ14Rまたは14Bの層領域の層厚に比べて層厚の薄い黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造にしたが、これに限らず、図2dに示すように、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Gの緑G色層は、緑G色層が平面視的に縦方向または横方向に2分割され、2分割された一方領域が緑G2色層で構成され、2分割された他方領域が黄Y2色層で構成されていてもよい。この場合に、左右の緑G2色層と黄Y2色層との各平面視領域面積は互いに同等である。これによっても、CCD固体撮像素子1を構成することができる。この場合、図6に示すように、カラーフィルタ14のベイヤ色配列を繰り返しの隣接最小4画素単位で示すことができるが、カラーフィルタ14Rを中心とした場合に、上下左右にカラーフィルタ14Gが存在するが、カラーフィルタ14Rの上側のカラーフィルタ14Gでは、縦方向に上からカラーフィルタ14G2、カラーフィルタ14Y2の順に配置されている。カラーフィルタ14Rの下側のカラーフィルタ14Gでは、縦方向に上からカラーフィルタ14Y2、カラーフィルタ14G2の順に配置されている。このように、カラーフィルタ14Gにおけるカラーフィルタ14G2とカラーフィルタ14Y2の配置は、ベイヤ色配列の繰り返し隣接最小4画素単位毎に、カラーフィルタ14Y2、カラーフィルタ14G2の配置順が交互に配置されるようになっている。また、カラーフィルタ14Rを中心とした場合に、上下左右にカラーフィルタ14Gが存在するが、カラーフィルタ14Rの左側のカラーフィルタ14Gでは、左から右の横方向にカラーフィルタ14Y2、カラーフィルタ14G2の順に配置されている。カラーフィルタ14Rの右側のカラーフィルタ14Gでは、左から右の横方向にカラーフィルタ14G2、カラーフィルタ14Y2の順に配置されている。このように、カラーフィルタ14Gにおけるカラーフィルタ14Y2とカラーフィルタ14G2の配置も、ベイヤ色配列の繰り返し隣接最小4画素単位毎に、カラーフィルタ14Y2、カラーフィルタ14G2の配置順が交互に配置されるようになっている。これによって、平面視で縦方向および横方向に、緑G色層が平面視的に縦方向または横方向に2分割された境界がずれたとしても、緑色G2および黄色Y2のいずれかの色に偏ることがなくなる。なお、さらに説明すると、本実施形態1では、緑G色層G1Y1および緑G1色層はそれぞれ、従来の緑G色層に比べて分光特性が短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持っている。また、さらに説明すると、緑G色層G2Y2および緑G2色層もそれぞれ、従来の緑G色層に比べて分光特性が短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持っている。なお、本実施形態1では、CCD固体撮像素子1において、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Gの緑G色層として、緑G色層以外のカラーフィルタ14Rまたは14Bの層領域の層厚に比べて層厚を薄くした緑G1色層カラーフィルタ14G1と、緑G色層以外のカラーフィルタ14Rまたは14Bの層領域の層厚に比べて層厚の薄い黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造にしたり、または、その変形例として、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Gの緑G色層は、緑G色層が平面視的に縦方向または横方向に2分割され、2分割された一方領域が緑G2色層で構成され、2分割された他方領域が黄Y2色層で構成されるように構成しているが、これらの本発明の構成は、CCD固体撮像素子1に限らず、CMOS固体撮像素子に適用することもできる。実施形態2上記実施形態1では、CCD固体撮像素子1において、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Gの緑G色層を、層厚方向に2分割するかまたは、平面視領域において2分割して、緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造にしたり、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成にしたりしたが、本実施形態2では、CMOS固体撮像素子において、これらの緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造や、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成を、一つの緑G色層として色素混合して合体した場合について詳細に説明する。したがって、図3~図5の緑G色層の分光特性については全く同一であるので、ここではその詳細説明については省略する。図7は、本発明の実施形態2におけるCMOS固体撮像素子の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。図7において、本実施形態2のCMOS固体撮像素子1Aには、複数の画素部が行列方向にマトリクス状に配設されている。その各画素部にはそれぞれ、半導体基板21の表面部に、受光素子として入射光を光電変換して信号電荷を生成するフォトダイオードで構成された受光部22が設けられ、この受光部22に隣接して受光部22からの信号電荷を、電荷転送トランジスタの電荷転送部23を通して電荷電圧変換部としてのフローティングディヒュージョンFDに電荷転送するための転送ゲート24がゲート絶縁膜25を介して設けられている。これらの電荷転送部23、ゲート絶縁膜25および転送ゲート24により、受光部22からフローティングディヒュージョンFDに撮像信号を転送する電荷転送手段としての電荷転送トランジスタが構成されている。さらに、この受光部22毎に、フローティングディヒュージョンFDに電荷転送された信号電荷が電圧変換され、この変換電圧に応じて増幅トランジスタ図示せずで増幅されて画素部毎の撮像信号として読み出すための読出回路を有している。これらの転送ゲート24、フローティングディヒュージョン部FDおよびロジックトランジスタ領域26の上方には、この読出回路の回路配線部や、転送ゲート24およびフローティングディヒュージョン部FDに接続される回路配線部が設けられている。ゲート絶縁膜25および転送ゲート24上には、微細化した配線間の埋め込み性が良好な層間絶縁膜28が形成され、その上に第1配線層29が形成され、その上に、微細化した配線間の埋め込み性が良好な層間絶縁膜30が形成されて、その上に第2配線層31が形成されることにより、上記した回路配線部が構成されている。また、これらの配線層29と転送ゲート24間、配線層29とフローティングディヒュージョン部FD間、配線層29とロジックトランジスタ領域26のソースS/ドレインDおよびゲートG間にそれぞれ、導電性材料例えばタングステンからなるコンタクトプラグ32がそれぞれ形成され、また、各配線層29とその上の各配線層31間にそれぞれ各コンタクトプラグ33がそれぞれ形成されて、アルミニウムや銅などからなる配線層29、31と転送ゲート24、フローティングディヒュージョン部FDおよびロジックトランジスタ領域26のソースS/ドレインDおよびゲートGとの間が電気的にそれぞれ接続されている。これらの層間絶縁膜30および各配線層31上には、段差を埋め込むための層間絶縁膜34が形成されている。この層間絶縁膜34上には、受光部22毎に配置されたR,G,B各色の所定の色配列例えばベイヤー配列のカラーフィルタ35が形成され、さらに、その上に平坦化膜36が形成され、その上に受光部22への集光用のマイクロレンズ37が更に形成されている。この場合に、カラーフィルタ35は、上記実施形態1のカラーフィルタ14の場合と同様に、所定の色配列、例えばベイヤ色配列で三原色の赤R色層、緑G色層および青B色層がそれぞれ、各受光部22にそれぞれ対応するように、平面視的に配列されている。本実施形態2では、CMOS固体撮像素子1Aにおいて、上記実施形態1において、緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造にしたり、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成としたのを、一つの緑G色層として色素混合したことが、上記実施形態1とは異なる点である。本実施形態2のカラーフィルタ35においても、上記実施形態1のカラーフィルタ14の場合と同様に、図4に示すように、1層化した緑G色層の緑Gの分光特性がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下である。また、図3に示すように、カラーフィルタ35の1層化した緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長450nmで、0パーセントを超え10以下0.5パーセント以上10パーセント以下である。また、1層化した緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長500nmで、60パーセント以上90パーセント以下である。さらに、1層化した緑G色層の緑Gの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長650nmで、0パーセントを超え20パーセント以下0.5パーセント以上20パーセント以下である。図8aは、図7のカラーフィルタの色配列を繰り返しの最小単位で模式的に示した平面図、図8bは、図8aのB-B’線方向のカラーフィルタの縦断面図である。図8aでは、カラーフィルタ35の三原色RGBのベイヤ色配列を繰り返しの隣接最小4画素単位で示している。カラーフィルタ36のベイヤ色配列の赤R色層と青B色層とは平面視で斜め方向に配列され、これとは襷がけの逆斜め方向にカラーフィルタ35のベイヤ色配列の緑GY色層がそれぞれ配列されている。図8bには、カラーフィルタ35の赤R色層と青B色層の縦断面構造の間に、カラーフィルタ35の緑GY色層が配置されている。要するに、カラーフィルタ35の緑G色層は、1層化した緑GY色層であって、図3~図4に示される分光特性が得られるように1層化されて、透明アクリルなどのベース材料に各種顔料などの各色素が混合されている。したがって、カラーフィルタ35の1層化した緑GY色層の分光特性は、上記実施形態1で、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Gの緑G色層を、層厚方向に2分割するかまたは、平面視領域において2分割して、緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造にしたり、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成にした場合と同様の分光特性を有している。上記構成の本実施形態2のCMOS固体撮像素子1Aの製造方法としては、半導体基板21または半導体層上に、入射光を光電変換して撮像する複数の受光部22を形成する受光部形成工程と、この受光部22毎に隣接して、電荷転送手段としての電荷転送部23および転送ゲート24を形成する電荷転送手段形成工程と、受光部22および転送ゲート24上に層間絶縁膜28を形成する第1層間絶縁膜形成工程と、層間絶縁膜28内に、転送ゲート24および電荷転送先の電荷電圧変換領域フローティングディヒュージョン部FDにそれぞれ接続する各コンタクトプラグ32をそれぞれ形成する第1コンタクトプラグ形成工程と、各コンタクトプラグ32にそれぞれ接続するように各第1配線層29をそれぞれ層間絶縁膜28上に形成する第1配線部形成工程と、層間絶縁膜28および各第1配線層29上に層間絶縁膜30を形成する第2層間絶縁膜形成工程と、層間絶縁膜30内に、各第1配線部29にそれぞれ接続する各第2コンタクトプラグ33をそれぞれ形成する第2コンタクトプラグ形成工程と、各第2コンタクトプラグ33にそれぞれ接続するように各第2配線層31をそれぞれ形成する第2配線部形成工程と、層間絶縁膜30および各第2配線層31上に層間絶縁膜34を形成する第3層間絶縁膜形成工程と、この層間絶縁膜34上に所定の色配列、例えばベイヤ色配列のカラーフィルタ35R、GY、Bを各受光部22の位置に対応して形成するカラーフィルタ形成工程と、このカラーフィルタ35上に、平坦化膜36を介してマイクロレンズ37を各受光部22の位置に対応して形成するマイクロレンズ形成工程とを有している。カラーフィルタ形成工程は、各受光部22の位置に対応して、感光性のある各カラーフィルタ材料に対してフォトリソ工程を繰り返して、ベイヤ色配列のカラーフィルタ35GYを形成し、ベイヤ色配列のカラーフィルタ35Rを形成し、ベイヤ色配列のカラーフィルタ35Bを順次形成する。カラーフィルタの形成する色の形成順はどの色のカラーフィルタから形成してもよく、形成順は任意である。カラーフィルタ35GYの材質については、上記実施形態1において前述したが、緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造や、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成を、一つの緑G色層として、アクリル材料などをベース樹脂材料に色顔料を分散したものを用い、顔料の量的には調整してカラーフィルタ35GYを作る。結果的に、図1のカラーフィルタ14Gの緑G色層の分光特性は、図3および図5に示すように、従来の緑G色層に比べて短波長側に寄った急峻な分光特性になっている。このような分光特性を持つ緑G色層は分光特性を仕様として容易に調製することができる。具体的には、カラーインデックスC.I.:TheSocietyofDyersandColurists社発行において、ピグメントPigmentに分類されている化合物、すなわち、下記に示すような、カラーインデックスC.I.番号が付されているものから2種類以上の顔料を選択、混合、分散し、光重合開始剤や界面活性剤を必要量添加することによって、所望の分光特性を有する感光性カラーフィルタ形成用材料カラーレジストを得ることができる。例えば、緑色系の顔料としては、C.I.ピグメントグリーン7、や36、等、黄色系の顔料としては、C.I.ピグメントイエロー12、83、150、等がある。また、必要に応じて青系や赤系の顔料を加えてもよい。以上により、本実施形態2によれば、上記実施形態1では、ベイヤ色配列の緑色の膜厚を薄くしてこれに黄色を新たに加えた分だけ、カラーフィルタ14の製造工程が煩雑になって製造工数が増加したが、短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持つベイヤ色配列の緑色に黄色を加えた色を新たな緑色にしてカラーフィルタを1層化して形成したため、カラーフィルタ35の製造工程を煩雑化せず、色再現性の向上を低コストで実現することができる。しかも、緑G色層の緑Gの分光特性がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下であるため、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ色配列に対応するように変更する必要もなく、色ノイズを大幅に減らして色再現性の向上を図って鮮明な画像を得ることができる。実施形態3上記実施形態1では、CCD固体撮像素子1において、ベイヤ色配列のカラーフィルタ14Gの緑G色層を、層厚方向に2分割するかまたは、平面視領域において2分割して、緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造層厚方向に色配列順が逆であってもよいにしたり、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成左右または上下で逆あってもよいにしたりしたが、本実施形態3では、CCD固体撮像素子において、図1に示すように、これらの緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造や、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成を、一つの緑色層として色素混合して合体した場合について詳細に説明する。この場合に、色素混合した緑色層カラーフィルタの光波長に対する透過率の関係を実際に別途測定した図16の分光特性を用いて説明する。図15は、本発明の実施形態3におけるCCD固体撮像素子の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。なお、図1のCCD固体撮像素子1の構成部材と同様の作用効果を奏する部材には同一の符号を付してその説明を省略する。図15において、本実施形態3のCCD固体撮像素子1Bと上記実施形態1のCCD固体撮像素子1との相違点は、層間絶縁膜13上に形成されるカラーフィルタ17R、17G、17Bである。カラーフィルタ17R、17G、17Bは、受光部3毎に配置されたR,G,B各色の所定の色配列例えばベイヤー配列のカラーフィルタが形成されている。この場合、カラーフィルタ17Gは、図1の緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造や、図1の緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成を、一つの緑色層として色素混合して一体化している。図16は、図15のカラーフィルタ17Gの緑G色層の光波長に対する透過率の関係を示す分光特性図である。図16に示すように、Yellowとして破線で示される黄色Y1の分光特性は、カラーフィルタ17Rの分光特性とカラーフィルタ17Gの分光特性から信号処理で得た分光特性である。従来のグリーンカラーフィルタの分光特性曲線は、従来Greenとして細い破線で示されており、堀の浅い山形形状をしている。これを図2cに示すように従来のグリーンカラーフィルタG’上に薄い黄色Y1のカラーフィルタを乗せた場合に、フィルタ層厚が増加した分だけ透過率が下がって、従来のグリーンカラーフィルタG’層厚が薄い黄色Y1のカラーフィルタの分光特性従来のGreenYellowとなる。さらに、従来のグリーンカラーフィルタG’の層厚を薄くしてその上に薄い黄色Y1のカラーフィルタを乗せて新グリーンカラーフィルタG新Green;短波長側によった急峻な分光特性を持つ新グリーンとすると、矢印で示すようにダイナミックレンジが広がった実線の新グリーンカラーフィルタの分光特性曲線となる。これが正に図2bに示す2層構造のカラーフィルタ14Gの緑G色層緑G1色層黄Y1色層を、図8bのように一つの緑GY色層のカラーフィルタ17Gとして色素混合して一体化している。この緑G1色層自体が短波長側によった急峻な分光特性を持っている。この実線の新グリーンカラーフィルタの分光特性曲線は、従来のグリーンカラーフィルタ膜厚が薄い黄色Y1のカラーフィルタの分光特性の外側の実線で示されており、従来のグリーンカラーフィルタ膜厚が薄い黄色Y1のカラーフィルタに比べて堀の深い山形形状をしている。したがって、新グリーンと従来グリーンを比べると、新グリーンの方が堀が深く山形形状の段差が高くダイナミックレンジが広く色分離と受光感度を向上させることができる。要するに、図3において、従来Greenとして細い破線で示される従来のグリーンカラーフィルタの分光特性に、単に、Yellowとして太い破線で示される黄色Y1の分光特性を加えても、従来のGreenYellowとして細い実線で示される単に山形の分光特性になるだけであるが、従来Greenとしての従来のグリーンカラーフィルタG’の層厚を薄く設定して緑G1色層とすることが本発明にとって重要である。これによって、新Greenとして太い実線で示される図2bの2層構造緑G1色層黄Y1色層の分光特性は、カラーフィルタ14Gの緑G色層の分光特性として堀が深く急峻な山形形状の分光特性となり、矢印に示されるように感度向上および色分離向上が実現した分光特性となって、より鮮明な画像を得ることができる。なお、従来のGreenYellowとして細い実線で示される単に山形の分光特性は、従来のGreenとして細い破線で示される山形の分光特性に比べれば、Yellowとして太い破線で示される分光特性を重ねるだけで、光波長450nmで、0パーセント以上20パーセント以下になっていることが分かる。この場合に、図15に示す1層構造のカラーフィルタ17Gの緑GY色層の緑GYの分光特性における光波長に対する透過率が光波長450nmで、従来Greenとして細い破線で示される従来のカラーフィルタの緑G色層では26パーセント程度であるのに対して、0パーセントを超え0.5パーセント以上20パーセント以下である。また、図15に示す1層構造のカラーフィルタ17Gの緑GY色層の緑GYの分光特性における光波長に対する透過率が該光波長500nmで、従来Greenとして細い破線で示される従来のカラーフィルタの緑G色層では60パーセント程度であるのに対して、60パーセント以上98パーセント以下である。さらに、図15に示す1層構造のカラーフィルタ17Gの緑GY色層の緑GYの分光特性における光波長に対する透過率が光波長650nmで、従来のカラーフィルタの緑Gでは30パーセント程度であるのに対して、0パーセントを超え0.5パーセント以上30パーセント以下である。これらによっても、カラーフィルタ17Gの緑GY色層の分光特性が、如何に堀が深く急峻な山形形状の分光特性であるかが分かる。従来のGreenフィルタを薄くしたフィルタにYellow成分の薄いフィルタを追加した新Greenフィルタと同等の新Greenフィルタとして、色素混合して1層構成としたことにより、これらの分光特性範囲に分光特性を制御することができる。したがって、従来のGreenフィルタを薄くしたフィルタにYellow成分の薄いフィルタを追加した新Greenフィルタを採用することによって、短波長側のGreenフィルタの色ノイズを抑え、色再現性を向上させ、同時にGreen感度を向上させることができる。約10パーセントのGreen感度の向上となる。図4のCIE色度図に示すように、カラーフィルタ17Gの緑G色層がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下より好ましくは0.475以上0.60以下である。このように、カラーフィルタ17Gの緑色GYのCIE色度図のy軸上の位置が0.45以上であれば、従来のカラーフィルタの緑GのCIE色度図のy軸上の位置0.42に比べて0.03、ハイビジョンTVの緑Gに近づけることができて、ハイビジョンTVの理想的な緑GのCIE色度図のy軸上の位置0.60により近づくことができ、色ノイズが少なく色再現性が大幅に向上する。特に、新Greenを使った本実施形態3のカラーフィルタ17のRGB色度座標は、従来のカラーフィルタの場合と比べてYellow領域が拡大されており、黄色Yの色再現性に優れている。図17は、破線で示す従来のカラーフィルタの緑Gの分光特性のピーク値を100パーセントとした場合の本実施形態3および従来で用いる各カラーフィルタの三原色RGBのデバイスの電気分光特性図である。この電気分光特性は、カラーフィルタ分光特性とデバイス白黒分光特性を掛け合わせた特性を持つ。図17に示すように、従来のカラーフィルタの三原色RGBは破線で示し、本実施形態3のカラーフィルタ17R、17G、17Bの三原色RGBは実線で示しているが、実線で示す本実施形態3のカラーフィルタ17R、17G、17Bのうちのカラーフィルタ17Gの緑GYが、破線で示す従来のカラーフィルタの緑Gに比べて、波長450nm~500nmで立ち上がりが急峻で堀が深くなっている。実線で示す本実施形態3のカラーフィルタ17R、17G、17Bのうちのカラーフィルタ17Gの緑GYにおいて、例えば波長450nmで、従来のカラーフィルタの緑Gでは40パーセント程度であるのに対して10パーセント程度である。また、実線で示す本実施形態3のカラーフィルタ17R、17G、17Bのうちのカラーフィルタ17Gの緑GYにおいて、例えば波長500nmで、従来のカラーフィルタの緑Gでは80パーセント程度であるのに対して100パーセント程度または100パーセント以上である。さらに、実線で示す本実施形態3のカラーフィルタ17R、17G、17Bのうちのカラーフィルタ17Gの緑GYにおいて、例えば波長650nmで、従来のカラーフィルタの緑Gでは30パーセント程度であるのに対して10パーセント程度である。図17の三原色RGBの互いの重なり部分を比較すると、破線で示す従来のカラーフィルタの緑Gと青Bの重なり部分の面積と、実線で示す本実施形態3のカラーフィルタ17Gの緑GYとカラーフィルタ17Bの青Bの重なり部分の面積とは、実線で示す本実施形態3のカラーフィルタ17Gの緑GYとカラーフィルタ17Bの青Bの重なり部分の面積の方が急峻で深く変化している分だけ圧倒的に狭くなっている。カラーフィルタ17Gの緑GYとカラーフィルタ17Bの青Bの重なった面積が多いほど、色ノイズが多くなって色が濁る。また同様に、破線で示す従来のカラーフィルタの緑Gと赤Rの重なり部分の面積と、実線で示す本実施形態3のカラーフィルタ17Gの緑GYとカラーフィルタ17Rの赤Rの重なり部分の面積とは、実線で示す本実施形態3のカラーフィルタ17Rの緑GYとカラーフィルタ17Rの赤Rの重なり部分の面積の方が急峻で深く変化している分だけ狭くなっている。カラーフィルタ17Gの緑Gとカラーフィルタ17Rの赤Rの重なった面積が多いほど、色ノイズが多くなって色が濁る。従来のカラーフィルタの緑Gの場合は、緑Gの分光特性に対して、緑Gと青Bの分光特性の重なった部分の面積比は、約36パーセント、緑Gと赤Rの分光特性の重なった部分の面積比は、約24パーセントである。これに対して、本実施形態3のカラーフィルタ17Gの緑GYの分光特性に対して、緑GYと青Bの分光特性の重なった部分の面積比は、約23パーセント、緑GYと赤Rの分光特性の重なった部分の面積比は、約18パーセントである。本実施形態3のカラーフィルタ17R、17G、17Bの場合、範囲で示すと、緑GYの分光特性と前記青Bの分光特性との重なった部分の面積比は23パーセント±10パーセント、該緑GYの分光特性と前記赤Rの分光特性との重なった部分の面積比は18パーセント±5パーセントである。したがって、YellowはGreenRedで再現されるが、新GreenRedで再現された新Yellowは、従来GreenRedで再現された従来Yellowに比べて色のダイナミックレンジが大きく、互いに色が重なった面積も少ないことから、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ配列に対応するように変更することなく、色ノイズの少ないクリアな色再現性を持ち、特に黄色Yellowをクリアに再現することができる。上記構成の本実施形態3のCCD固体撮像素子1Bの製造方法としては、半導体基板2または半導体層上に、入射光を光電変換して撮像する複数の受光部3を2次元状に形成する受光部形成工程と、受光部3毎に隣接して電荷転送手段としての電荷転送部4およびその上のゲート電極6をそれぞれ形成する電荷転送手段形成工程と、ゲート電極6上を覆うと共に、受光部3の上方を開口した遮光膜9を形成する遮光膜形成工程と、受光部3および遮光膜9の段差部上に層間絶縁膜11を形成する第1層間絶縁膜形成工程と、この層間絶縁膜11上に、上に凸形状の層内レンズ12を、各受光部3の位置に対応して形成する層内レンズ形成工程と、層内レンズ12間の凹凸を埋め込むように層間絶縁膜13を形成する第2層間絶縁膜形成工程と、この層間絶縁膜13上に所定の色配列例えばベイヤ色配列のカラーフィルタ17R、17G、17Bを各受光部3の位置に対応して形成するカラーフィルタ形成工程と、この所定色配列のカラーフィルタ17R、17G、17B上に、平坦化膜15を介してマイクロレンズ16を、各受光部3の位置に対応して形成するマイクロレンズ形成工程とを有している。カラーフィルタ形成工程は、各受光部3の位置に対応して、感光性のある各カラーフィルタ材料に対してフォトリソ工程を繰り返して、ベイヤ色配列のカラーフィルタ17Gを形成し、ベイヤ色配列のカラーフィルタ17Rを形成し、さらに、ベイヤ色配列のカラーフィルタ17Bを形成する。カラーフィルタの形成する色の順は任意である。以上により、本実施形態3によれば、上記実施形態1では、ベイヤ色配列の緑色の膜厚を薄くしてこれに黄色を新たに加えた分だけ、カラーフィルタ14の製造工程が煩雑になって製造工数が増加したが、短波長側に広がって急峻で堀が深い分光特性を持つベイヤ色配列の緑色に黄色を加えた色を互いに色素混合して新たな緑GY色にしてカラーフィルタを1層化して形成したため、カラーフィルタ17Gの製造工程を煩雑化せず、色再現性の向上を低コストで実現することができる。しかも、緑G色層の緑Gの分光特性がCIE色度図上でy軸値が0.45以上0.60以下好ましくは0.475以上0.60以下であるため、デバイスのカラー信号処理を新たなカラーフィルタ色配列に対応するように変更する必要もなく、色ノイズを大幅に減らして色再現性の向上を図って鮮明な画像を得ることができる。なお、本実施形態3では、図1の緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造や、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成を、一つの緑色層の1層行性として色素混合して合体した場合について説明したが、これに限らず、図1の緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造や、図6の緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成として、緑G1色層と黄Y1を分けて配置することももちろんできる。カラーフィルタ17Gの緑GY色の材質については、上記実施形態1において前述したが、緑G1色層カラーフィルタ14G1と黄Y1色層カラーフィルタ14Y1との2層構造や、緑G2色層と黄Y2色層との平面視隣接構成を、一つの緑G色層として、アクリル材料などをベース樹脂材料に色顔料を分散したものを用い、顔料を量的に調整してカラーフィルタ17Gの緑GY色を作る。結果的に、図15のカラーフィルタ17Gの緑GY色層の分光特性は、図16および図17に示すように、従来の緑G色層に比べて短波長側に寄った急峻な分光特性になっている。このような分光特性を持つ緑GY色層は分光特性を仕様として容易に調製することができる。具体的には、カラーインデックスC.I.:TheSocietyofDyersandColurists社発行において、ピグメントPigmentに分類されている化合物、すなわち、下記に示すような、カラーインデックスC.I.番号が付されているものから2種類以上の顔料を選択、混合、分散し、光重合開始剤や界面活性剤を必要量添加することによって、所望の分光特性を有する感光性カラーフィルタ形成用材料カラーレジストを得ることができる。例えば、緑色系の顔料としては、C.I.ピグメントグリーン7、や36、等、黄色系の顔料としては、C.I.ピグメントイエロー12、83、150、等がある。また、必要に応じて青系や赤系の顔料を加えてもよい。実施形態4図9は、本発明の実施形態4として、本発明の実施形態1~3の固体撮像素子1、1Aまたは1Bを撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。図9において、本実施形態3の電子情報機器90は、本発明のカラーフィルタが用いられた上記実施形態1~3の固体撮像素子1、1Aまたは1Bからの撮像信号を所定の信号処理を行ってカラー画像信号を得る固体撮像装置91と、この固体撮像装置91からのカラー画像信号を記録用に所定の信号処理した後にデータ記録可能とする記録メディアなどのメモリ部92と、この固体撮像装置91からのカラー画像信号を表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示可能とする液晶表示装置などの表示部93と、この固体撮像装置91からのカラー画像信号を通信用に所定の信号処理をした後に通信処理可能とする送受信装置などの通信部94と、この固体撮像装置91からのカラー画像信号を印刷用に所定の印刷信号処理をした後に印刷処理可能とするプリンタなどの画像出力部95とを有している。この表示部93が液晶表示装置で構成される場合に、液晶表示装置のカラーフィルタに本発明のカラーフィルタが用いられていてもよい。なお、この電子情報機器90として、これに限らず、固体撮像装置91の他に、メモリ部92と、表示部93と、通信部94と、プリンタなどの画像出力部95とのうちの少なくともいずれかを有していてもよい。この電子情報機器90としては、前述したように例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラ、ドアホンカメラ、車載用後方監視カメラなどの車載用カメラおよびテレビジョン電話用カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、カメラ付き携帯電話装置および携帯端末装置PDAなどの画像入力デバイスを有した電子機器が考えられる。したがって、本実施形態4によれば、この固体撮像装置91からのカラー画像信号に基づいて、これを表示画面上に良好に表示したり、これを紙面にて画像出力部95により良好にプリントアウト印刷したり、これを通信データとして有線または無線にて良好に通信したり、これをメモリ部92に所定のデータ圧縮処理を行って良好に記憶したり、各種データ処理を良好に行うことができる。なお、本実施形態1~3では、本発明のカラーフィルタを固体撮像素子1、1A、1Bに適用した場合として説明したが、これに限らず、本発明のカラーフィルタを液晶表示装置のカラーフィルタとしても容易に用いることができる。この液晶表示装置としては、素子側基板と対向基板間に液晶が挟持されて画素毎の液晶の光透過率に応じて画像表示が為される。本発明のカラーフィルタは、この対向基板側に各画素毎にそれぞれに対応するように形成されている。以上のように、本発明の好ましい実施形態1~4を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態1~4に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態1~4の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。"