測定対象物に当接して変位可能な接触子と、前記接触子と接続し滑り軸受構造により変位するプローブ部材と、前記接触子及び前記プローブ部材の間に設けられた蛇腹部と、前記プローブ部材の変位に対応した出力を行う差動トランスを有する接触式変位測定ヘッドを備えた接触式変位測定器であって、前記プローブ部材の変位に伴って前記蛇腹部が伸縮する時の前記蛇腹部内の空気を逃がす通路を前記プローブ部材の内部に設けたことを特徴とする接触式変位測定器。前記通路は、前記プローブ部材下部の側壁に設けられた第1の開口部によって前記蛇腹部の内部と連通することを特徴とする請求項1に記載の接触式変位測定器。前記接触式変位測定ヘッドは完全防水仕様であり、前記接触式変位測定ヘッド内に、前記プローブ部材の変位に伴って前記蛇腹部が伸縮する時の前記蛇腹部内の空気を貯留するように前記通路と連通し容積可変に形成された空気溜まりを備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の接触式変位測定器。前記空気溜まりと前記通路とを連通するために、前記接触式変位測定ヘッドの本体を形成する外筒内の上部の隙間と前記通路とを連通するように前記通路上部に設けられた第2の開口部と、前記外筒内の上部の隙間と前記空気溜まりとを連通する第3の開口部とを備えたことを特徴とする請求項3に記載の接触式変位測定器。前記空気溜まりは、前記接触式変位測定ヘッドの本体を形成する外筒の上部に設けられた少なくとも外壁の一部が弾性部材で形成された空気貯留室であることを特徴とする請求項3又は4に記載の接触式変位測定器。前記弾性部材はゴムであることを特徴とする請求項5に記載の接触式変位測定器。しかしながら、上述したような従来の接触式変位測定器を垂直方向に設置して連続的に測定していると、リニアボールブッシュ自体の自重によってリニアボールブッシュが下方に下がり、下降端ストッパに接触して接触子が下がりきらなかったり、あるいは測定ポイントに近い位置でリニアボールブッシュの干渉があった場合には接触子の動きに影響して、測定値にバラツキが生じる虞があるという問題がある。これに対して、図4に示すようにロッド108と本体102との間のスライドガイドを滑り軸受構造とし、精度の安定化を図ることが考えられる。またここで図3や図4に示すように、一般的なペンシル型の変位測定ヘッドの先端部には蛇腹106が設けられ、接触子104の摺動部への異物侵入を防止し、接触子104の摺動部を保護している。しかし、このように蛇腹106を設けると、例えば図4に示すようにスライドガイドを滑りブッシュ方式とした場合には、接触子104が伸縮する際の蛇腹106内の空気はロッド108と本体102との間の僅かな摺動隙間120を通って移動するしかなく、接触子104の動きに影響し、測定値がバラつく要因となるという問題がある。またこの時図5に本体102の軸方向に垂直な断面を示すように、ロッド108の外周部に空気の逃げ部122を設けて、摺動抵抗を少なくすることも考えられる。このように空気の逃げ部122を設けることにより、接触子104が伸縮する際の蛇腹106内の空気が移動する際の通り道は若干大きくなり摺動抵抗を少なくすることはできるが、ロッド108及び接触子104の法線方向のガタが生じて測定精度が悪化するという問題がある。さらに、接触子104及びロッドプローブ部材108の伸縮速度が速いと、摺動隙間120からの空気の逃げが追いつかずに、防塵用の蛇腹ブーツの隙間から空気が洩れることにより、防塵及び防水性能が劣化するという問題がある。本発明はこのような問題に鑑みて成されたものであり、プローブ部材の摺動部に滑り軸受けを用いた接触式変位測定器において、プローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止するとともにプローブ部材の伸縮速度が速い場合にも蛇腹ブーツでの防塵防水性能を損なわずに高精度の測定を行うことのできる接触式変位測定器を提供することを目的とする。前記目的を達成するために、本発明の接触式変位測定器は、測定対象物に当接して変位可能な接触子と、前記接触子と接続し滑り軸受構造により変位するプローブ部材と、前記接触子及び前記プローブ部材の間に設けられた蛇腹部と、前記プローブ部材の変位に対応した出力を行う差動トランスを有する接触式変位測定ヘッドを備えた接触式変位測定器であって、前記プローブ部材の変位に伴って前記蛇腹部が伸縮する時の前記蛇腹部内の空気を逃がす通路を前記プローブ部材の内部に設けたことを特徴とする。これにより、プローブ部材の摺動部に滑り軸受けを用いた接触式変位測定器において、プローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止するとともにプローブ部材の伸縮速度が速い場合にも蛇腹ブーツでの防塵防水性能を損なわずに高精度の測定を行うことが可能となる。また、一つの実施態様として、前記通路は、前記プローブ部材下部の側壁に設けられた第1の開口部によって前記蛇腹部の内部と連通することが好ましい。また、一つの実施態様として、前記接触式変位測定ヘッドは完全防水仕様であり、前記接触式変位測定ヘッド内に、前記プローブ部材の変位に伴って前記蛇腹部が伸縮する時の前記蛇腹部内の空気を貯留するように前記通路と連通し容積可変に形成された空気溜まりを備えたことが好ましい。これにより、接触式変位測定器が完全防水仕様の場合においても、プローブ部材が変位する時の蛇腹ブーツ内の空気をプローブ部材内部に形成された通路と連通する空気溜まりで吸収することによってプローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止することが可能となる。また、一つの実施態様として、前記空気溜まりと前記通路とを連通するために、前記接触式変位測定ヘッドの本体を形成する外筒内の上部の隙間と前記通路とを連通するように前記通路上部に設けられた第2の開口部と、前記外筒内の上部の隙間と前記空気溜まりとを連通する第3の開口部とを備えたことが好ましい。また、一つの実施態様として、前記空気溜まりは、前記接触式変位測定ヘッドの本体を形成する外筒の上部に設けられた少なくとも外壁の一部が弾性部材で形成された空気貯留室であることが好ましい。また、一つの実施態様として、前記弾性部材はゴムであることが好ましい。このように、外壁の一部がゴム等の弾性部材で形成された空気貯留室で空気溜まりを形成することにより、接触式変位測定器が完全防水仕様の場合においても、プローブ部材が変位する時の蛇腹ブーツ内の空気を空気貯留室で吸収することによりプローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止することが可能となる。以上説明したように、本発明によれば、プローブ部材の摺動部に滑り軸受けを用いた接触式変位測定器において、プローブ部材の変位に伴って蛇腹部が伸縮する時の蛇腹部内の空気を逃がす通路をプローブ部材の内部に設け、このプローブ部材内部の通路により空気を移動させたことにより、プローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止するとともにプローブ部材の伸縮速度が速い場合にも蛇腹ブーツでの防塵防水性能を損なわずに高精度の測定を行うことが可能となる。以下、添付図面を参照して、本発明に係る接触式変位測定器について詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る接触式変位測定器の接触式変位測定ヘッドの全体構成を示す断面図である。図1に示すように、本実施形態の接触式変位測定ヘッド1は、円筒状の本体を形成する外筒2の下端に上下動可能な接触子4を備え、接触子4と外筒2との間にはゴム製の蛇腹蛇腹ブーツ6が設けられている。外筒2の内部には接触子4と接続し接触子4と共に上下動するプローブ部材ロッド8が配置されている。プローブ部材8の上部にはコア軸10が取り付けられ、コア軸10はバネ圧縮バネ11によって付勢されている。これにより、プローブ部材8が付勢され、さらに接触子4が下方突出する方向に付勢されている。また、プローブ部材8と外筒2との間は、数ミクロンのクリアランス12でガイドされ、滑り軸受けを構成している。プローブ部材8に取り付けられたコア軸10の他端には差動トランスを構成するコア14が取り付けられており、コア14に対応してその周囲の外筒2’には同じく差動トランスを構成するコイルユニット16が組み込まれている。蛇腹蛇腹ブーツ6は、滑り軸受部への埃等の異物や水の侵入を防止しプローブ部材8摺動部を保護するため防塵性、防水性を有し、気密性を有している。また、本実施形態の接触式変位測定ヘッド1は、完全防水仕様であり、上部も完全にシール構造となっている。従って、接触子4及びプローブ部材8が伸縮する際、蛇腹6内の空気が蛇腹6内からスムーズに出入りできるように空気の逃げ場所を確保しておく必要がある。そこで、プローブ部材8の内部を空洞にして空気を通すための通路18が形成されるとともに、プローブ部材8の伸縮時に蛇腹6内の空気をこの通路18内に逃がすための開口部第1の開口部20が、プローブ部材8下部に設けられている。このプローブ部材8内に設けられた空気の通路18は、コア軸10に設けられた開口部第2の開口部22と繋がっている。そして、通路18を通った空気はこのコア軸10に設けられた開口部22からコア軸10と本体の外筒2の隙間を通りさらに上のコア14及びコイルユニット16の隙間を通って上へと流れて行く。また、コア14及びコイルユニット16で構成される差動トランスの検出信号は、コイルユニット16の上部に配設されたケーブル26を通じて図示を省略した外部のコントローラに送られる。この差動トランスの上部に配置されたケーブル接続部28は、本実施形態の接触式変位測定器のように完全防水仕様の場合には、シール構造となっており、蛇腹6が収縮して蛇腹6内の空気が開口部20、及び22を介して上部に流れてきた場合に、このままでは行き場所がなくなってしまう。そこで、本実施形態では、ケーブル接続部28に蛇腹6より流入してくる空気を貯留するバッファエリアとしての空気貯留室空気溜まり30を備えている。空気貯留室30は、接触式変位測定ヘッド1の本体を形成する外筒2’内に設けられ、ケーブル接続部28の内部に開口部第3の開口部34が形成されて、ケーブル26との隙間32を通りこの開口部34から空気貯留室30に空気が出入りするようになっている。また、空気貯留室30の外壁はゴム等の弾性部材で形成された伸縮自在な弾性壁36となっている。空気貯留室30内に空気を貯留する場合には、この弾性壁36が空気の圧力で伸び、空気貯留室30の容積が増大することによって、空気を空気貯留室30内に吸収するようになっている。空気貯留室30は、ケーブル接続部28の周囲に複数例えば2つ形成されるが、設置する個数は特に限定されず、例えば全周にわたって一続きの部屋として形成してもよい。また、空気貯留室30を設置する場所も特にケーブル接続部28に限定されず、他の場所に設置してもよい。なお、図1は、プローブ部材8が伸張している状態を示しており、この状態においては、蛇腹6も伸びており蛇腹6内に空気が溜まっていて、空気貯留室30の弾性壁36も平らな状態となっている。図2に、プローブ部材8が収縮した状態を示す。図2に示すように、接触子4を被測定物図示省略に押圧することにより接触子4が上方に押され、プローブ部材8も上方に移動し、蛇腹6が収縮する。これにより、蛇腹6内の空気が開口部20を通って、プローブ部材8の内部に形成された通路18を介して上方に流れて行く。プローブ部材8内の通路18を流れた空気はその上部に設けられた開口部22から外筒2内に流入し、差動トランス部のコア14、コイルユニット16の隙間をさらに上に流れ、開口部34から空気貯留室30に流入する。空気貯留室30内に空気が流入すると、その圧力によって弾性壁36が押されて外側に伸びて膨らみ、空気貯留室30の容積が増大し、空気を吸収する。これにより、蛇腹6が収縮して流出した空気は、プローブ部材8の内部に形成された通路18を移動して空気貯留室30に貯留される。従って、蛇腹6から流出した空気はスムーズに移動することができ、プローブ部材8の摺動部の動きに影響を与えて測定精度を悪化させるようなことはない。変位測定器は、主に機械加工中あるいは機械加工後の部品の寸法検査に用いられることが多く、高精度で高速に測定することが要求される。ここで非接触式の変位測定器は作業環境に敏感であることから、比較的劣悪な作業環境においては接触式変位測定器が用いられる。このように測定環境の悪い中で用いられる接触式変位測定器は、防塵、防水が必須となっている。本実施形態によれば、このような完全防水仕様の接触式変位測定器において、蛇腹の収縮に伴う空気の逃げ場所を確保することにより、滑り軸受滑りブッシュ方式で防水対応が可能で、高精度な測定を行うことが可能となる。すなわち、プローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気がプローブ部材内に形成された通路及び外筒内に形成された複数の開口部を通って空気貯留室に抵抗なく行き来できるため、プローブ部材の動きもスムーズとなり、測定精度のバラツキを抑制するとともに、蛇腹ブーツ部における防塵、防水性能の劣化を防止することができる。なお、今まで説明してきた例は、完全防水仕様の接触式変位測定器であったが、このような完全防水仕様でない場合には、接触式変位測定ヘッドの上部が開いているため、特に空気貯留室30を設けることなく、蛇腹6から流出した空気を、開口部20、プローブ部材8内の通路18及び開口部22等を介して上方に流して、そのまま上部の開口から接触式変位測定ヘッド外に逃がしてやればよい。このように、プローブ部材伸縮時に蛇腹内の空気を開口部を介してプローブ部材の内部に設けられた空気の通路に流し、この通路から接触式変位測定ヘッド上部の開口を通じて外部に空気を逃がすようにすることによって、完全防水仕様でない場合においても、プローブ部材摺動部の動きをスムーズにし、測定精度の悪化を防ぐことができる。以上、本発明の接触式変位測定器について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。