"水を主成分とする導電性の加工液を貯留する加工液貯留タンクと、被加工物を内部に収容する加工槽を備え、前記加工液貯留タンクの加工液を前記加工槽に供給し、前記加工槽内の被加工物を前記加工液に浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、前記加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち該加工液を減圧する不活性ガス溶解装置を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工機。前記不活性ガス溶解装置は、加工液を加圧する加圧器と、加圧後の加工液に不活性ガスを混合させる混合器、または加工液を加圧しながら加工液に不活性ガスを混合させる加圧混合器と、混合後の加工液を元の圧力に戻す減圧器から構成されることを特徴とする請求項1に記載のワイヤ放電加工機。前記混合器または前記加圧混合器の不活性ガス注入経路に加工液が逆流することを防ぐ逆止弁を設けたことを特徴とする請求項2に記載のワイヤ放電加工機。前記混合器または前記加圧混合器内の加工液への不活性ガス注入口は多孔形状であることを特徴とする請求項2または3のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。加工液を貯留する加工液貯留タンクから、被加工物を浸漬させる加工槽に加工液を流すポンプを有し、該ポンプと加工槽の間の流路に前記不活性ガス溶解装置を備えたことを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。不活性ガス溶解専用ポンプを用いて、加工液を前記加工液貯留タンク、または前記加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流すことを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。前記不活性ガス溶解専用ポンプを用いて、加工液を前記加工液貯留タンク、または前記加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流し、処理後の加工液を、元の該加工液貯留タンク、または該加工槽に戻すことを特徴とする請求項6に記載のワイヤ放電加工機。加工液の溶存酸素を測定する溶存酸素測定装置を有し、加工液の溶存酸素量が目標値まで低下したら、前記不活性ガス溶解装置を停止させることを特徴とする請求項1~7のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。前記不活性ガス溶解装置に加え、加工液に脱酸素剤を投入する脱酸素剤投入装置を有することを特徴とする請求項1~8のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。イオン交換樹脂を有し、加工液の比抵抗値を2105Ωcm以上に維持することを特徴とする請求項1~9のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。前記加工液貯留タンクの加工液を上,下ノズルより供給する供給路を有し、非加工中に、前記上,下ノズルより加工液を流すことを特徴とする請求項1~10のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。上ガイドブロック、または下ガイドブロックに絶縁した状態で取り付けた犠牲電極を一方の極性とし、被加工物をもう他方の極性として、両極間に電圧を印加する補助電源装置を有し、被加工物に対する上,下ガイドブロック、または犠牲電極の電圧の平均値が正となるように電圧を印加することを特徴とする請求項1~11のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。不活性ガスとして窒素を用いることを特徴とする請求項1~12のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機。加工槽に水を主成分とする導電性の加工液を貯留し被加工物を浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち加工液を減圧する不活性ガス溶解装置により不活性ガスを加工液に溶解させながらワイヤ放電加工を行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法。背景技術で説明した従来技術には、効果が電極付近に限られたり、材質が鉄系材料に限定されたり、ランニングコストが掛かるなどといった問題がある。特許文献1に開示される方法の場合、防食用電極から距離が離れるほど効果が弱くなるため、防食用電極から離れた被加工物面においては効果が乏しく、ほとんど防食効果がない。また、防食用電極から溶出した金属イオンが被加工物表面に付着して、被加工物の形状精度が悪化する、被加工物に腐食や着色が生じる、防食用電極は消耗品であり、ランニングコストが掛かる、といったデメリットがある。特許文献2に開示される方法の場合、鉄系材料には防食効果があるものの、超硬材など非鉄系材料には防食効果はない。また、陰イオン交換樹脂は消耗品であり、ランニングコストが掛かる。特許文献3に開示される方法の場合、ワイヤ放電加工機の加工液のように、放電加工によって生じた重金属イオンを多量に含む液体の場合、pHセンサが重金属イオンの影響を受けてしまい、pH値を正しく測定することが困難であることが、一般的に知られている。pH値を正しく測定出来ないと、加工液のpHが強塩基性または強酸性まで偏る可能性があり、オペレータがそのような加工液に触れてしまうと、皮膚や視力に障害を生じる可能性がある。また、H型とOH-型イオン交換樹脂は消耗品であり、ランニングコストが掛かるといった、デメリットがある。特許文献4に開示される方法の場合、平均電圧を偏らせることによる防食効果は、ガイドから距離が離れるほど効果が弱くなるため、ガイドから離れた被加工物面においては効果が乏しく、ほとんど防食効果がない。また、アデニンは溶出した金属イオンの付着を防止するものと説明されているが、この場合、加工液中の溶存酸素による酸化作用の影響が強い超硬材のコバルトの防食に対しては、大きな効果は得られない。また、アデニンは消耗品であるので、ランニングコストが掛かるといったデメリットがある。特許文献5,特許文献6に開示されるいずれの技術も、加工液から溶存酸素を分離するため、真空膜脱気装置を用いている。真空膜脱気装置は、本発明で用いる不活性ガス溶解法に比べて装置が大掛かりであり、設備費用が高い。また、一般的に中空糸膜モジュールは消耗品であり、定期交換が前提であるが、ワイヤ放電加工に使用した加工液のように重金属イオンを多量に含んだ液体を中空糸膜モジュールに流した場合、劣化が非常に早まることが分かっており、頻繁に中空糸膜モジュールを交換する必要があり、交換の手間が多く、ランニングコストが非常に掛かる為、実用的ではない。そこで、本発明は、ワイヤ放電加工機の加工液に不活性ガスを溶解させることで溶存酸素を除去し、安定した被加工物の腐食を防止することが可能でランニングコストがかからない不活性ガスを加工液に溶解させるワイヤ放電加工機及びワイヤ放電加工方法を提供することを課題とする。本願の請求項1に係る発明は、水を主成分とする導電性の加工液を貯留する加工液貯留タンクと、被加工物を内部に収容する加工槽を備え、前記加工液貯留タンクの加工液を前記加工槽に供給し、前記加工槽内の被加工物を前記加工液に浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、前記加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち該加工液を減圧する不活性ガス溶解装置を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工機である。請求項2に係る発明は、前記不活性ガス溶解装置は、加工液を加圧する加圧器と、加圧後の加工液に不活性ガスを混合させる混合器、または加工液を加圧しながら加工液に不活性ガスを混合させる加圧混合器と、混合後の加工液を元の圧力に戻す減圧器から構成されることを特徴とする請求項1に記載のワイヤ放電加工機である。請求項3に係る発明は、前記混合器または前記加圧混合器の不活性ガス注入経路に加工液が逆流することを防ぐ逆止弁を設けたことを特徴とする請求項2に記載のワイヤ放電加工機である。請求項4に係る発明は、前記混合器または前記加圧混合器内の加工液への不活性ガス注入口は多孔形状であることを特徴とする請求項2または3のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項5に係る発明は、加工液を貯留する加工液貯留タンクから、被加工物を浸漬させる加工槽に加工液を流すポンプを有し、該ポンプと加工槽の間の流路に前記不活性ガス溶解装置を備えたことを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項6に係る発明は、不活性ガス溶解専用ポンプを用いて、加工液を前記加工液貯留タンク、または前記加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流すことを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項7に係る発明は、前記不活性ガス溶解専用ポンプを用いて、加工液を前記加工液貯留タンク、または前記加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流し、処理後の加工液を、元の該加工液貯留タンク、または該加工槽に戻すことを特徴とする請求項6に記載のワイヤ放電加工機である。請求項8に係る発明は、加工液の溶存酸素を測定する溶存酸素測定装置を有し、加工液の溶存酸素量が目標値まで低下したら、前記不活性ガス溶解装置を停止させることを特徴とする請求項1~7のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項9に係る発明は、前記不活性ガス溶解装置に加え、加工液に脱酸素剤を投入する脱酸素剤投入装置を有することを特徴とする請求項1~8のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項10に係る発明は、イオン交換樹脂を有し、加工液の比抵抗値を2105Ωcm以上に維持することを特徴とする請求項1~9のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項11に係る発明は、前記加工液貯留タンクの加工液を上,下ノズルより供給する供給路を有し、非加工中に、前記上,下ノズルより加工液を流すことを特徴とする請求項1~10のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項12に係る発明は、上ガイドブロック、または下ガイドブロックに絶縁した状態で取り付けた犠牲電極を一方の極性とし、被加工物をもう他方の極性として、両極間に電圧を印加する補助電源装置を有し、被加工物に対する上,下ガイドブロック、または犠牲電極の電圧の平均値が正となるように電圧を印加することを特徴とする請求項1~11のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項13に係る発明は、不活性ガスとして窒素を用いることを特徴とする請求項1~12のいずれか1つに記載のワイヤ放電加工機である。請求項14に係る発明は、加工槽に水を主成分とする導電性の加工液を貯留し被加工物を浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち加工液を減圧する不活性ガス溶解装置により不活性ガスを加工液に溶解させながらワイヤ放電加工を行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法である。本発明により、ワイヤ放電加工機の加工液に不活性ガスを溶解させることで溶存酸素を除去し、安定した被加工物の腐食を防止することが可能でランニングコストがかからない不活性ガスを加工液に溶解させるワイヤ放電加工機及びワイヤ放電加工方法を提供できる。以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。図1は、加工液を貯留する加工液貯留タンクから被加工物を浸漬させる加工槽に加工液を流すポンプを有し該ポンプと加工槽の間の流路に不活性ガス溶解装置を備えた実施形態を説明する図である。ワイヤ放電加工機は、通常、非加工中の液面を保つために、常に加工槽に循環液を流している。この循環液用のポンプを利用して、不活性ガス溶解装置に加工液を送り込むことで、専用のポンプを設けることなく、不活性ガス溶解装置を構成することが出来る。ワイヤ放電加工機は、加工槽8を備え、加工槽8の内部には被加工物図示せずを載せるテーブルが配置されている。加工槽8には水を主成分とする導電性の加工液が貯留され、被加工物を加工液中に浸漬して加工する加工領域が設けられている。上ガイドブロック1と下ガイドブロック2との間に図示しないワイヤ電極線を張架し、ワイヤ電極線に放電加工用の高周波パルスを印加することにより、ワイヤ電極線と被加工物との間に放電を発生させ、被加工物を加工する。上ガイドブロック1には上ノズル3が、下ガイドブロック2には下ノズル4が取り付けられている。加工槽8には加工液が供給され貯留されている。この加工槽8内の加工液には放電加工によって生じた加工屑が混ざり合っており、この加工液は排水ダクト6から汚水槽9に流出するように構成されている。汚水槽9に回収貯留された加工屑が混じった加工液は、図示しないフィルタなどから構成される加工屑除去手段によって加工屑が取り除かれ、清水槽10に供給される。なお、本明細書において、汚水槽9と清水槽10とを合わせて加工液貯留タンク11と称する。循環ポンプ5は清水槽に貯留された加工液を汲み上げ、循環水配管7を介して汚水層9に供給される。循環水配管7の途中には不活性ガス熔解装置12が取り付けられている。図2は、不活性ガス溶解専用ポンプを用いて加工液を前記加工液貯留タンク、または加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流し、処理後の加工液を元の該加工液貯留タンク、または該加工槽に戻す実施形態を説明する図である。不活性ガス専用ポンプ13を用い清水槽10から加工液を汲み上げる。汲み上げられた加工液は不活性ガス熔解装置給水配管14を経由して不活性ガス熔解装置12を送られ、不活性ガスが加工液に熔解された後、不活性ガス熔解装置排水配管15を経由して清水槽10に戻る。図1に示す構成において不活性ガス溶解装置12に加工液を送ることで、循環液の流路抵抗が増えて加工液の流量が不足する場合や、清水槽10内の加工液だけを不活性ガス溶解装置12に循環させた方が、より溶存酸素を低減出来る場合には、このような方式が適している。なお、不活性ガス溶解装置12に、加工スラッジを含んだ加工液を流しても目詰まりしないのであれば、清水槽10ではなく、加工槽8や汚水槽9に直接不活性ガス溶解装置12を取り付けてもよい。図2の構成により、ワイヤ放電加工機に不活性ガス溶解装置12を取り付け、実際に水中加工液中の溶存酸素を除去したところ、通常、25°Cの水の飽和溶存酸素が8mg/lなのに対し、加工槽8の溶存酸素を約0.9mg/lまで低減させることが出来た。この状態でφ0.2mmのワイヤ電極線として真鍮ワイヤで超硬材にワイヤ放電加工を行い、加工液中に約60時間浸漬させ、分析走査電子顕微鏡を用いて超硬材の加工面を元素分析したところ、結合材であるコバルトの腐食が、ほとんど発生していないことが確認できた。図3は、不活性ガス溶解装置の構成例を説明する図である。この例では、不活性ガスである窒素ガスを発生させる窒素発生装置として中空糸膜式窒素分離装置21を用いているが、窒素ボンベを使用しても良い。中空糸膜式窒素分離装置21に塵油分水分が入り込むと、中空糸膜式窒素分離装置21の窒素分離能力が劣化するため、エアフィルタ16、エアミストフィルタ17、エアドライヤ18を通した圧縮空気を用いる。一般的に、適切な空気を流していれば、中空糸膜式窒素分離装置21の性能が劣化することはないが、エアフィルタ16、エアミストフィルタ17、エアドライヤ18で塵油分水分が取りきれない場合には、性能が劣化していく可能性がある。このため、溶存酸素が充分に低下した場合には、エア電磁弁20により空気流入を遮断出来るようにすることで、エアフィルタ16、エアミストフィルタ17、エアドライヤ18、中空糸膜式窒素分離装置21の製品寿命を延ばすことが出来る。また、エア圧力調整弁19により、中空糸膜式窒素分離装置21に流す圧縮空気圧力を調整することで、圧縮空気内の窒素分圧を最適値に調整できる。一方、加工液は、加工液加圧器22により一旦加圧された状態になり、加圧されたまま窒素混合器23内で窒素を混合し溶解させる。窒素や酸素の場合、溶解度は成分気体の分圧に比例するという物理法則に従うので、加圧して大量の窒素を溶解させた後、加工液を加工液減圧器24を用いて減圧することで、加工液中に溶解していた酸素を除去する。不活性ガス混合器である窒素混合器23または加工液を加圧しながら加工液に不活性ガスを混合させる加圧混合器図示せずにおいて、不活性ガス注入経路である窒素注入経路に図示しない逆止弁図示せずを設けることで、加工液が中空糸膜式窒素分離装置21へ逆流することを防ぐことができる。不活性ガス混合器である窒素混合器23または加圧混合器図示せずにおいて、加工液への不活性ガス注入口である窒素注入口を多孔形状とすることで、加工液に注入する窒素を微細な気泡とする。その結果、窒素の気泡の表面積が大きくなり、加工液に窒素が溶解し易くすることができる。図4は、溶存酸素測定器を加工槽に実装した例を説明する図である。被加工物を配置する加工槽8に溶存酸素測定装置25を取り付けて、加工槽8の溶存酸素量が目標値まで低下したら、不活性ガス溶解装置12用の不活性ガス専用ポンプ13図2の構成の場合を停止させ、不活性ガス溶解装置12内のエア電磁弁20を閉じる。これにより、不活性ガス溶解装置12の不活性ガス専用ポンプ13、エアフィルタ16、エアミストフィルタ17、エアドライヤ18、中空糸膜式窒素分離装置21の製品寿命を延ばすことが出来て、かつ、省エネにもなる。ところで、3日間以上被加工物を加工液中に浸漬する場合など、不活性ガス溶解装置12を用いただけでは、防錆効果が足りない場合の追加手段について説明する。そこで、図1の加工槽8、汚水槽9、および清水槽10の少なくとも1つの中に、ヒドラジンや亜硫酸ナトリウムといった、脱酸素剤防錆剤を添加することで、防錆効果を高めることができる。脱酸素剤防錆剤は適量ずつ加工槽8、汚水槽9、清水槽10の少なくとも一つの槽に脱断素剤投入装置図示せずにより投入される。脱酸素剤投入装置は薬剤を適量投入できる公知の装置を使用するとよい。また、イオン交換樹脂を用いて、加工液の比抵抗値を、加工に用いる一般的な比抵抗値7104Ωcm~10104Ωcmよりも高めに維持するように調整することで、加工液中のイオン濃度を低下させて、腐食電流を抑制することで、防錆効果を高めるものである。また、通常加工中しか流さないワイヤ冷却用の加工液を、被加工物浸漬中も、図1の上,下ノズル3、4から流し続けることで、被加工物表面の加工液が滞留せずに流れるようにすることで、防錆効果を高めることができる。図5は、犠牲電極と補助電源装置とを実装した例を説明する図である。上ガイドブロック1、または下ガイドブロック2に絶縁した状態で取り付けた犠牲電極27を一方の極性とし、加工槽8の内部に収容された被加工物30をもう一方の極性として、両極間に電圧を印加する補助電源装置29を備える。被加工物30に対する上,下ガイドブロック1,2、または犠牲電極27の電圧の平均値が正となるように電圧を印加することで、テーブル28に載置された被加工物30の防錆効果を高めるものである。なお、補助電源装置29より印加される電圧波形は、被加工物30に対する、上,下ガイドブロック1,2または犠牲電極27の電圧の平均値が正であれば、どのような波形でも良い。上述した不活性ガス溶解装置12を備えたワイヤ放電加工機を用い、加工槽に水を主成分とする導電性の加工液を貯留し被加工物を浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち加工液を減圧する不活性ガス溶解装置により不活性ガスを加工液に溶解させながらワイヤ放電加工を行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法を実現できる。"