液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、振動可能な振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に、前記ノズル孔のそれぞれに対応して形成された吐出室を仕切る隔壁と、前記振動板を変位変形させて、前記吐出室の液体を吐出室ごとに加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドであって、前記振動板の前記隔壁が設けられた側と反対側の前記隔壁に対向する領域に、前記隔壁に沿って前記振動板の剛性を高める積層膜を備え、前記積層膜の幅は、前記隔壁の幅よりも広いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。前記積層膜は、シリコン酸化膜及びシリコン窒化膜のいずれか一方又は両方を含むことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。前記積層膜は、圧電素子を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッド。前記圧電素子に駆動電圧を印加することにより、前記振動板の剛性を調整することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。前記圧力発生手段と、前記圧電素子とに同期された異なる駆動電圧を印加することを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出ヘッド。前記圧電素子には付加すべき剛性に対応して、前記駆動電圧が印加されることを特徴とする請求項4又は5に記載の液滴吐出ヘッド。前記圧力発生手段は、前記振動板の前記吐出室が設けられた側と反対側の前記吐出室に対向する領域に沿って、下電極、圧電体層、上電極を含む圧電素子を有し、前記積層膜は、前記振動板上に形成された第1の絶縁体膜と、前記第1の絶縁体膜上に形成された第2の絶縁体膜の2層を含み、前記第1の絶縁体膜は、前記圧電素子の前記上電極上の所定領域を覆うように延設されることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。前記圧電素子の上電極に電圧を供給する個別引出電極を有し、前記個別引出電極は、前記上電極上の所定領域を覆う前記第1の絶縁体膜上に設けられ、前記第1の絶縁体膜に設けられたコンタクトホールにより、前記上電極と前記個別引出電極が接続されることを特徴とする請求項7に記載の液滴吐出ヘッド。請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクとが一体化されたことを特徴とするインクカートリッジ。請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする画像形成装置。液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、振動可能な振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に、前記ノズル孔のそれぞれに対応して形成された吐出室を仕切る隔壁と、前記振動板を変位変形させて、前記吐出室の液体を各吐出室ごとに加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記振動板の前記隔壁が設けられた側と反対側の前記隔壁に対向する領域に、前記隔壁に沿って前記振動板の剛性を高める積層膜を、前記隔壁の幅よりも広く形成する積層膜形成工程を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。しかしながら、上述した特許文献1の手法では、圧力室の振動板端部に犠牲層を除去した後の窪みが残り、この空間に気泡が溜まりやすくなる。そのため、圧力室の気泡によってインク液滴の吐出特性を低下させてしまう。また、上述した特許文献2の手法では、振動板に厚肉部と薄肉部とを形成するため、工程数が多くなり、コストが上昇してしまうことが考えられる。また、振動板の厚肉部分が剛性の高い駆動手段に接合されているため、振動板全体の剛性が振動板の固定端部分の形状によって影響されない構成である。更に、上述した特許文献3及び4の手法では、保護膜が振動板の圧電素子上及び隔壁の対向領域近傍に設けられ、振動板の圧力発生室が形成された対向領域には圧電素子及び保護膜が形成されているため、振動板の圧力発生室が形成された対向領域の厚さが振動板の隔壁に対向する領域の厚さよりも厚くなる。したがって、上述した圧力発生室の加工のバラツキは振動板の幅のバラツキに影響し、吐出特性が影響を受けることになる。本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、振動板の固定端部の剛性を上げ、吐出特性のバラツキを低減する液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。本発明は、上記目的を達成するために、液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、振動可能な振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に、前記ノズル孔のそれぞれに対応して形成された吐出室を仕切る隔壁と、前記振動板を変位変形させて、前記吐出室の液体を吐出室ごとに加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドであって、前記振動板の前記隔壁が設けられた側と反対側の前記隔壁に対向する領域に、前記隔壁に沿って前記振動板の剛性を高める積層膜を備え、前記積層膜の幅は、前記隔壁の幅よりも広いことを特徴とする。また、本発明は、上述した液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクとが一体化されたことを特徴とするインクカートリッジである。また、本発明は、上述した液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする画像形成装置である。また、本発明は、液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、振動可能な振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に、前記ノズル孔のそれぞれに対応して形成された吐出室を仕切る隔壁と、前記振動板を変位変形させて、前記吐出室の液体を各吐出室ごとに加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記振動板の前記隔壁が設けられた側と反対側の前記隔壁に対向する領域に、前記隔壁に沿って前記振動板の剛性を高める積層膜を、前記隔壁の幅よりも広く形成する積層膜形成工程を備えることを特徴とする。本発明によれば、振動板の固定端部の剛性を上げ、吐出特性のバラツキを低減することを可能とする。以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。<第1実施形態:液滴吐出ヘッド>図1は、本発明の第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドの分解斜視図を示している。なお、液滴吐出ヘッド1の一部は、断面図で示している。また、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド1は、本発明に係るアクチュエータを用いたものであり、インク液滴を基板の面部に設けたノズル孔から吐出させるサイドシューター方式の例を示すものである。図1に示すように、液滴吐出ヘッド1は、ノズル基板10と、液室基板20と、保護基板30とからなる3枚の基板を重ねた積層構造となっている。ノズル基板10は、インク液滴を吐出する複数のノズル孔11を有している。液室基板20は、振動可能な振動板21と、ノズル孔11に対応して形成され、インク液を収容する吐出室22と、吐出室22を仕切る隔壁23と、振動板21を振動させて吐出室22のインク液に圧力を与える圧電素子を備えた圧力発生手段としてのアクチュエータ24と、吐出室22に連通する流体抵抗部25と、共通液室26とを有している。保護基板30は、アクチュエータ24を保護する保護空間31と、隔壁23を支える柱32と、インク供給孔33とを有している。次に、図2を用いて、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド1について更に具体的に説明する。図2は、図1に示す液滴吐出ヘッドをX-Xで切断した断面図を示している。なお、ここでは、便宜上2つの吐出室のみ示してある。また、図2には、インク液滴12及び記録紙13が示されている。図2に示すように、振動板21は、例えばシリコン酸化膜21-1と、ポリシリコン21-2と、シリコン酸化膜21-3とからなる3層の積層膜によって構成されている。なお、後述するように、シリコン酸化膜21-1及びポリシリコン21-2には、シリコン基板上にシリコン酸化膜21-1とポリシリコン21-2とを張り合わせたSOISilicononInsulator基板を用いている。また、シリコン酸化膜21-3の上面図2に示す保護基板30側の面には、例えば、圧電変位して振動板21を変位変形させるユニモルフ型の薄膜圧電素子となる白金膜からなる下電極40と、PZTチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電材41と、白金膜からなる上電極42とが形成されている。圧力発生手段としてのアクチュエータ24は、上述のように振動板21に形成された多層構成からなる。また、アクチュエータ24は、吐出室22に対向する領域に形成されている。また、アクチュエータ24には、図2に示す圧電材41と上電極42の側面、及び上電極42の上面図2に示す保護基板30側の面を覆うように、下電極40と上電極42と配線材料との層間に配置する層間絶縁膜43と、配線材料を保護するためのパッシベーション膜44とが形成されている。更に、振動板21に対し、隔壁23が設けられた側の反対側の隔壁23に対向する領域位置には、隔壁23に沿って、層間絶縁膜43と同一の絶縁膜である層間絶縁膜45と、パッシベーション膜44と同一のシリコン窒化膜であるパッシベーション膜46とからなる積層膜47が形成されている。ここで、積層膜47の幅は、隔壁23の幅より広い幅で形成されている。なお、層間絶縁膜45には例えばシリコン酸化膜等を用いて、パッシベーション膜46には例えばシリコン窒化膜等を用いると良い。なお、図2に示すノズル基板10は、例えばニッケル高速電鋳法等により形成されたニッケル基板であり、厚さは約30μmである。ノズル基板10の面部には、吐出室22と連通するノズル孔11が形成されている。また、保護基板30には、圧電素子を含むアクチュエータ24の保護、及び変位を妨げないための保護空間31と、隔壁23の剛性を高めるため、隔壁23を支える柱32とが形成されている。<液滴吐出ヘッド1の動作>次に、上述した図1、図2に示すように構成された液滴吐出ヘッド1の動作について説明する。インク液は、インク供給孔33から共通液室26を経由して各吐出室22内に供給される。吐出室22がインクに満たされた状態で、圧電素子の下電極40と上電極42間に所定のパルス幅のパルス電圧を印加する。これにより、横振動モードで変形する圧電素子が縮み、圧電素子と密着している振動板21全体が吐出室22側に凸形状に変形する。吐出室22内の体積は、減少して、吐出室22内の圧力が急激に上昇することにより、ノズル孔11よりインク液滴12が記録紙13に向けて吐出する。このように、吐出室22内の圧力変動周期に合せたパルス電圧を連続的に印加することにより、ノズル孔11より連続的にインク液滴12を吐出することが可能となる。<隔壁23の対向領域に設けられた積層膜47>次に、図3を用いて、振動板21の隔壁23に対向する領域に設けられた積層膜47について説明する。図3は、液滴吐出ヘッドの拡大断面図を示している。なお、図3Aは、従来の液滴吐出ヘッドの拡大断面図を示しており、図3Bは、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドの拡大断面図を示している。図3A、図3Bに示す吐出室22は、後述するように約50~100μm程度の深さでシリコン基板をエッチングする工程により形成される。この工程では、パターン幅のバラツキが非常に大きくなるため、隔壁23によって仕切られる吐出室22の幅に、バラツキが生じてしまう。例えば、図3Aに示す従来の振動板21では、吐出室22の幅が、振動板21の幅Lとなる。そのため、上述したように、吐出室22の幅にバラツキが生じた場合には、振動板21の幅Lにバラツキが生じる。また、振動板21の幅Lのバラツキは、振動板21の剛性のバラツキを生じさせる。これに対して、図3Bに示す第1実施形態では、振動板21の隔壁23が設けられた側と反対側の隔壁23に対向する領域に、隔壁23に沿って振動板21の剛性を高める積層膜47として層間絶縁膜45及びパッシベーション膜46が形成されている。また、積層膜47の幅Wsは、隔壁23の幅Wcよりも広い幅となっている。したがって、第1実施形態では、振動板21の固定端部は、積層膜47により決定規定される。すなわち、振動板21の幅Mは、振動板21の固定端部に形成された積層膜47の幅Wsによって決定規定される。また、振動板21の固定端部の剛性は、積層膜47の幅Wsによって高めることが可能となる。なお、積層膜47は、層間絶縁膜45及びパッシベーション膜46のいずれか一方又は両方を含む構成としても良い。また、第1実施形態では、吐出室22を形成する工程におけるパターン幅のバラツキよりも精度の高いバラツキが小さい積層膜47の薄膜材料のパターニングにより、振動板21の低剛性部分の幅を決定規定することが可能となる。これにより、第1実施形態では、図3Aと比べて振動板21の剛性が吐出室22の幅のバラツキの影響を受けにくくなり、インク液滴を吐出する際の吐出特性の安定化を図ることが可能となる。なお、積層膜47に用いる絶縁膜が、ヤング率の高い膜であればより薄い膜で振動板固定端の剛性を上げる効果があるため、積層膜47を例えば剛性の高いアルミナ膜、SiCやIr、Ta等の導電性の膜で成膜すればより高い効果を得ることが可能となる。<液滴吐出ヘッド1の製造方法>次に、図4を用いて、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。図4は、本発明の第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法の工程を示している。第1実施形態では、シリコン基板110に振動板材料及び圧電素子材料を成膜していくことでアクチュエータを作成する。図4Aに示すように、厚み約400μmの<100>シリコン基板110の一方の表面上に、絶縁膜であるシリコン酸化物SiO2からなるシリコン酸化膜21-1を約0.2μmと、振動板21を形成する材料となるポリシリコン21-2を約2.0μmを張り合わせたSOI基板を用いる。なお、シリコン基板110の反対側の面には、シリコン酸化膜27を形成する。次に、SOI基板の表面に、パイロWet酸化法により、シリコン酸化物SiO2からなる約0.3μmのシリコン酸化膜21-3を形成することにより、振動板21を形成する。次に、図4Bに示すように、シリコン酸化膜21-3上に、圧電素子の下電極40となる白金Pt層をスパッタ法により約0.2μm成膜し、更にスパッタ法により、チタン酸ジルコン酸鉛PZTからなる圧電材41を約2μm成膜し、その上に上電極42となる白金Pt層をスパッタ法により約0.1μm成膜する。次に、図4Cに示すように、リソエッチ法により上電極42と圧電材41をパターニングする。これにより、振動板21の吐出室22に対向する領域に圧電素子が形成される。次に、下電極40、パターニングした圧電材41、上電極42を覆うように、プラズマCVD法により層間絶縁膜43となる絶縁膜を約0.3μm成膜し、リソエッチ法により配線コンタクトを取るためのビアホールを形成する。次に、アルミ材料による配線パターンを形成後、図4Dに示すように、層間絶縁膜43となる絶縁膜上に、アルミ配線を保護するパッシベーション膜44となる例えばシリコン窒化膜をプラズマCVD法により約0.8μm成膜する。その後、パッド開口と同時にアクチュエータ24が形成される部分と、隔壁23が形成される振動板21の対向領域との間に成膜された絶縁膜及びシリコン窒化膜をリソエッチ法により除去する。これにより、アクチュエータ24が形成される部分には、圧電材41、上電極42を覆う層間絶縁膜43とパッシベーション膜44とが形成される。また、振動板21の隔壁23が形成される側と反対側の隔壁23の対向領域には、振動板21の剛性を高める層間絶縁膜45及びパッシベーション膜46を含む積層膜47が形成される。次に、図4Eに示すように、シリコン基板110の反対面にICPドライエッチングにより吐出室22、流体抵抗部25及び共通液室26となる凹部を形成する。これにより、アクチュエータ24と、積層膜47とが形成された液室基板20が完成する。なお、上述したように、シリコン基板110を約50~100μmの深さでエッチングして形成される吐出室22は、寸法のバラツキが非常に大きくなるため、吐出室22の幅が振動板21の幅となる構造では、吐出室22の幅のバラツキが、振動板21の幅のバラツキとなり、振動板21の幅のバラツキが、振動板21の剛性のバラツキを生じる。しかしながら、第1実施形態では、振動板21を挟んで隔壁23と対向する領域に層間絶縁膜45及びパッシベーション膜46を含む積層膜47が形成される。また、積層膜47の幅は、隔壁23の幅よりも幅が広くなるように形成されている。このように、振動板21の端部に寸法制御性の高い薄膜を、隔壁23の幅を越えて両側の吐出室22側にせり出すように幅広に形成することで、吐出室22の幅にバラツキが生じても、振動板21の剛性が変化し難い構造とすることが可能となる。次に、図4Fに示すように、スルファミン酸浴で高速電鋳法により作製されたノズル基板10を、液室基板20の吐出室22側に接着する。最後に、図4Gに示すように、別途シリコン基板110を用いてリソエッチ法で凹形状の保護空間31を形成した保護基板30を、液室基板20の圧電素子が形成されている側の面に接着する。また、圧電素子の上電極42及び下電極40と接続されたアルミ配線部を駆動回路に接続する。これにより、第1実施形態に係る液滴吐出ヘッド1が完成する。なお、保護基板30は、<110>シリコン基板110をTMAH、KOH等のアルカリエッチング液を用いたウェットエッチングにより加工したものでも良く、ガラス基板にブラスト加工で溝を形成した基板でも良い。また、保護基板30は、樹脂モールドやメタルインジェクションモールド等の成型部品でも良い。また、駆動回路をアクチュエータ24が形成された液室基板20上に一体形成する際、上述したパイロ酸化法で形成したシリコン酸化膜をLOCOS酸化法で形成し、シリコン酸化膜の形成領域を選択することで、駆動回路を同一基板上に形成することもできる。上述したように、第1実施形態によれば、振動板の固定端部の剛性を上げ、吐出特性のバラツキを低減することが可能となる。<第2実施形態:液滴吐出ヘッド>次に、図5を用いて、本発明の第2実施形態に係る液滴吐出ヘッドについて説明する。図5は、本発明の第2実施形態に係る液滴吐出ヘッドの断面図を示している。なお、第2実施形態は、第1実施形態において振動板21の隔壁23の対向領域に積層された積層膜47の構成が異なる。第2実施形態では、積層膜47に更に圧電素子が含まれる。なお、その他の部分については、同一の符号を用いて、説明を省略する。図5に示すように、振動板21に対し、隔壁23が設けられた側の反対側の隔壁23に対向する領域には、下電極40上に圧電材48と、上電極49とが積層され、圧電素子が形成されている。また、下電極40上に積層された圧電材48と上電極49とを覆うように層間絶縁膜45とパッシベーション膜46とが積層されている。なお、圧電材48と上電極49は、第1実施形態における圧電材41と上電極42と同一の材料等により形成されたものである。このように、第2実施形態では、振動板21の隔壁23に対向する領域には、下電極40上に、圧電材48と、上電極49と、層間絶縁膜45と、パッシベーション膜46とからなる積層膜50が形成されている。また、図5に示すように、積層膜50の幅は、隔壁23の幅より広い幅で形成されている。<液滴吐出ヘッドの製造方法>次に、図6を用いて、第2実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。図6は、本発明の第2実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法の工程を示している。図6に示すように、第2実施形態では、第1実施形態と同様の工程を経て構成材料を積層していく。図6Bに示すように、シリコン基板110に形成した振動板21上に、圧電素子となる下電極40と、圧電材41と、上電極42を成膜により形成した後、図6Cに示すように、リソエッチ法により圧電材41と上電極42をパターニングする。ここで、第2実施形態では、第1実施形態とは異なり、吐出室22に対向する領域だけでなく、振動板21の隔壁23に対向する領域に対しても、圧電材41、上電極42が残るようにパターニングする。これにより、振動板21の吐出室22に対向する領域には、パターニングされた圧電材41と上電極42が形成され、振動板21の隔壁23に対向する領域には、パターニングされた圧電材41からなる圧電材48と、上電極42からなる上電極49とが形成される。次に、第1実施形態と同様に、層間絶縁膜43となる絶縁膜を成膜する。次に、上述した図6Dに示すように、第1実施形態と同様に、ビアホールを形成し、配線パターニングを経て、パッシベーション膜44となる例えばシリコン窒化膜等を成膜し、成膜された絶縁膜とシリコン窒化膜等をパターニングする。これにより、振動板21の吐出室22に対向する領域のアクチュエータ24となる部分には、層間絶縁膜43とパッシベーション膜44が形成される。また、振動板21の隔壁23に対向する領域には、層間絶縁膜45とパッシベーション膜46により圧電材48と上電極49とが覆われた積層膜50が形成される。次に、図6Eに示すように、第1実施形態と同様に、シリコン基板110の反対面にICPドライエッチングにより吐出室22、流体抵抗部25及び共通液室26となる凹部を形成する。これにより、アクチュエータ24と、積層膜50とが形成された液室基板20が完成する。なお、上述したように、下電極40上に形成された圧電材は、振動板21の吐出室22に対向する領域に形成された圧電材41と、振動板21の隔壁23に対向する領域に形成された圧電材48とに分離して形成されている。また、圧電材48の幅は、隔壁23の幅よりも幅が広く形成されている。したがって、第2実施形態では、第1実施形態と同様に、吐出室22の寸法のバラツキが非常に大きく、振動板21の幅のバラツキに影響を与える構造であっても、振動板21の固定端部には、寸法制御性が高く、剛性が高い圧電材48が形成されている。これにより、吐出室22の幅にバラツキが生じても、振動板21の剛性が変化し難い構造とすることが可能となる。また、圧電材48に加え、その他の積層膜も形成することで、その効果を更に高めることが可能となる。なお、図6Fに示すように、第1実施形態と同様に、スルファミン酸浴で高速電鋳法により作製されたノズル基板10を、液室基板20の吐出室22側に接着する。最後に、図6Gに示すように、第1実施形態と同様に、別途シリコン基板110を用いてリソエッチ法で凹形状の保護空間31を形成した保護基板30を、液室基板20の圧電素子が形成されている側の面に接着する。また、圧電素子の上電極42、下電極40、上電極49等と接続されたアルミ配線部を駆動回路に接続する。これにより、第2実施形態に係る液滴吐出ヘッドが完成する。<第3実施形態:液滴吐出ヘッド>次に、図7を用いて、本発明の第3実施形態に係る液滴吐出ヘッドについて説明する。図7は、本発明の第3実施形態に係る液滴吐出ヘッドを説明するための図である。なお、第3実施形態では、図5に示すアクチュエータ24の圧電材41と、圧電材48とに同期された異なる駆動電圧を印加して、振動板21の剛性を調整する。図7Aに示すように、圧電材41には、インク液滴を吐出する動作期間の間、インク液滴を吐出するタイミングに合わせて駆動パルスが印加される。また、図7Bに示すように、圧電材48には、インク液滴を吐出する動作開始時に圧電材41に印加する駆動パルスと同期させたDCバイアスが印加される。これにより、圧電材41が動作する際、圧電材48をDCバイアスで伸縮させて、振動板21の張力を調整することが可能となる。なお、インク液滴を吐出する吐出特性は、振動板21の僅かな剛性のバラツキによって変化する。したがって、圧電材48に印加するDCバイアスの大小により振動板21の張力を調整して、液滴吐出ヘッド特性を揃えることが可能となる。このように、圧電材48には付加すべき剛性に対応して、駆動電圧を印加する。具体的には、液滴吐出ヘッドの完成後の検査工程において、圧電材48に印加するDCバイアスを調整することで、液滴吐出ヘッドの吐出特性のバラツキを小さくすることが可能となる。なお、圧電材48へのDCバイアスは常に印加した方が、制御系が簡素化できるためコストメリットが大きい。一方、DCバイアスによる圧電材48の絶縁破壊を防ぐため、圧電材41において画像データに従った駆動パルスが供給された場合にのみ、印加しても良い。上述したように、第3実施形態によれば、振動板21の固定端部の剛性を上げ、吐出特性のバラツキを低減することが可能となる。また、振動板21の固定端部の剛性を調整することにより、吐出特性のバラツキを低減することが可能となる。<第4実施形態:液滴吐出ヘッド>次に、図8及び図9を用いて、本発明の第4実施形態に係る液滴吐出ヘッドについて説明する。図8は、本発明の第4実施形態の液室基板を保護基板側から見た場合の模式図を示している。また、図9は、図8をA-A′に沿って切断した断面図を示している。なお、第4実施形態は、上述した第1実施形態と比較して、振動板21の隔壁23の対向領域に積層された積層膜47の形状構造が異なっている。すなわち、図9に示すように、振動板21の隔壁23の対向領域には、第1実施形態と同様に、下電極40上に第1の絶縁体膜としての層間絶縁膜45-1と第2の絶縁体膜としてのパッシベーション膜46-1を含む積層膜51を形成している。一方、圧電素子を形成する上電極42上上電極42の圧電体41と対向する側、すなわち図9の保護基板30側の面には、第1実施形態で用いられた層間絶縁膜43とパッシベーション膜44が除去されている。また、層間絶縁膜45-1は、圧電材41と上電極42の側面、及び上電極42の上面図9に示す保護基板30側の面の所定領域を覆うように延設伸されている。ここで、所定領域とは、例えば、上電極42の上面上の周囲面周辺部を示しており、上電極42の上面には層間絶縁膜45-1の開口部45-2が設けられている。また、パッシベーション膜46-1は、第1実施形態と同様に、振動板21の低剛性領域の幅を規定する機能を持った構成となっている。なお、パッシベーション膜46-1は、第1実施形態と同様に、剛性の高い膜を用いることが好ましく、例えば金属窒化物、金属酸化物、金属炭化物等が例として挙げられ、これらから高剛性の材料として、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム、シリコンカーバイド、炭化チタン、炭化タンタル等を用いることが可能である。また、パッシベーション膜46-1の膜厚は、振動板21の低剛性領域の幅を規定するためには厚い方が好ましいが、パッシベーション膜46-1に上述した高剛性材料を用いて厚膜にした場合、内部応力によりクラック等が発生する場合がある。そこで、上述した振動板21の低剛性領域を規定することが可能であり、クラックが発生しない膜厚として、約0.5~4μmの範囲とすることが好ましい。なお、例えば高剛性の材料を用いたパッシベーション膜46-1を、振動板21の隔壁23に対向する領域のみでなく、圧電素子を覆うように積層した場合、振動板21の剛性とパッシベーション膜46-1の剛性が近くなるため、例えば圧電素子に電圧を印加しても、上記図3Aに示すような振動板21の変位を阻害してしまう場合がある。そこで、第4実施形態では、例えば図9等に示すように、第1実施形態における圧電素子上面を覆う高剛性の材料を用いたパッシベーション膜を除去した構成することで、振動板21の変位を阻害することなく、高い変位量を得ることが可能となる。これにより、第4実施形態では、低電圧で高い吐出能力の高効率ヘッドを得ることが可能となる。また、層間絶縁膜45-1は、後述するように個別引出電極と圧電素子間に設けられる膜であり、高い剛性は必要とされない。そのため、層間絶縁膜45-1は、任意の絶縁体材料を用いることが可能であり、例えば酸化物、窒化物、炭化物等が用いられ、酸化シリコン膜又は窒化シリコン膜が絶縁性成膜の容易さから一般的に用いられる。また、上述したように、第4実施形態では、層間絶縁膜45-1は、パッシベーション膜46-1と同様に上電極42上の一部を除去する構成とし、上電極42の上面の所定領域を被覆する構成となっている。これにより、第4実施形態では、圧電体41の側面、及び、圧電体41、上電極42、下電極40のそれぞれの界面端を絶縁膜で保護することとなる。また、第4実施形態では、電極端部を介する上電極42と下電極40間の異常放電を防止するとともに、界面への水分の浸透を防止することが可能となる、アクチュエータの信頼性を高めることが可能となる。また、層間絶縁膜45-1の膜厚は、絶縁性が確保できる範囲で薄くすることが好ましいが、薄すぎる場合は、絶縁性が確保できず電極間ショートの要因となり、厚すぎる場合はアクチュエータの振動を阻害する要因となるため、膜厚は例えば約200nm~2μm程度の範囲とすることが好ましい。なお、上電極42の上面の一部分図9に示す保護基板30側の面における層間絶縁膜45-1の開口部45-2は、層間絶縁膜45-1及びパッシベーション膜46-1に覆われていない状態となる。そこで、例えば上電極42の材料には、透湿性が低く、耐湿性の高い材料を選択することで、信頼性を高めることができる。例えば、上電極42の材料としては、Au、Pt、Pd、Ir等の化学的安定性の高い貴金属材料や、酸化物導電材料等を用いることが好ましい。ここで、上述した図8を用いて、層間絶縁膜45-1、パッシベーション膜46-1の振動板21に対する配置の仕方について説明する。図8に示すように、隔壁23で区画される吐出室22に対向する振動板21の領域には、層間絶縁膜45-1の開口部45-2と、パッシベーション膜46-1の開口部46-2とが配置されている。ここで、上電極42の上面部の幅をWu、層間絶縁膜45-1の開口部45-2の幅をWi、パッシベーション膜46-1の開口部46-2の幅をWpとすると、本実施形態では、Wi<Wu<Wpとなるように構成される。例えば、パッシベーション膜46-1の開口部幅Wpは、吐出室22の幅より小さくする必要があり、更に吐出室22の加工のバラツキにより、その開口部端が隔壁23の対向領域部に重ならない位置に配置する必要がある。また、層間絶縁膜45-1の開口部幅Wiは、上電極42の上面部幅Wuに対して、上電極42を保護できるように狭くする必要があるが、狭すぎる場合には、上述したように振動板21の変位を阻害することになるため好ましくない。そこで、例えば層間絶縁膜45-1の開口部幅Wi、上電極40の上面部幅Wuの加工ばらつき等を考慮し、Wi-Wu上電極40の上面部幅Wuから層間絶縁膜45-1の開口部幅Wiを引いた値は、例えば約4~20μm程度の範囲とすることが好ましい。これにより、第4実施形態では、振動板21における低剛性領域の幅を高精度に規定することが可能となると同時に、吐出性能が高く、異常放電電極間リークの少ない液滴吐出ヘッドを得ることが可能となる。<第4実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法>次に、図10を用いて、第4実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。図10は、本発明の第4実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法の工程を示している。なお、第4実施形態では、第1実施形態と同様の製造工程を経て構成材料を積層していく。図10Aに示すように、図4Bと同様の工程により形成された振動板21に下電極40と、圧電材41と、上電極42とが積層されている。次に、図10Bに示すように、例えば一般的なフォトリソグラフィ及びエッチング法等を用いて、圧電材41と、上電極42をパターニングすることで圧電素子を形成し、振動板21上の下電極40及び圧電素子を覆うように、層間絶縁膜45-1となる絶縁膜を形成する。次に、図10Cに示すように、上述したフォトリソグラフィ等を用いて、圧電素子の上電極40上を覆っている層間絶縁膜45-1に開口部45-2を形成すると、上電極42の上面が露出した状態となる。次に、図10Dに示すように、層間絶縁膜45-1上に同様の方法を用いてパッシベーション膜46-1となる絶縁膜を積層し、パターニングすることで、振動板21の隔壁23が形成される側と反対側の隔壁23が形成される領域の対向領域に、パッシベーション46-1が形成される。次に、図10Eに示すように、吐出室22を形成し、第4実施形態の機能を有する構成を得ることができる。このように、第1実施形態と同等の工程数で吐出性能を向上させることが可能となる。上述したように、第4実施形態によれば、振動板21の隔壁23に対向する領域に形成される加工精度の高い薄膜材料パターンにより振動板21の低剛性領域の幅を規定し、吐出特性の安定化を図ることが可能となる。また、圧電素子上の積層膜が除去されるため振動板21の振動特性を向上させることが可能となる。また、工程数を増加することなく、低コストかつ安定した品質の液滴吐出ヘッドを得ることが可能となる。<第5実施形態:液滴吐出ヘッド>次に、図11及び図12を用いて、本発明の第5実施形態に係る液滴吐出ヘッドについて説明する。図11は、図8をB-B′に沿って切断した断面図を示している。また、図12は、図8をC-C′に沿って切断した断面図を示している。第5実施形態は、第4実施形態の構成において圧電素子の上電極に電圧を供給する個別引出電極を配置している。また、個別引出電極は、圧電素子の上電極上の所定領域を覆う層間絶縁膜45-1上に設けられ、層間絶縁体45-1に設けられたコンタクトホールにより、上電極42と個別引出電極とが接続される。上述した図8を用いて第5実施形態を説明すると、液室基板20には、個別引出電極52が配置されている。また、吐出室22の長手方向端部付近の上電極42上に積層された層間絶縁膜45-1にはコンタクトホール45-3が形成されている。個別引出電極52は、層間絶縁膜45-1に形成されたコンタクトホール45-3により、上電極42と接続され、電気的に導通する。層間絶縁膜45-1に設けられるコンタクトホール45-3は、上述した層間絶縁膜45-1の開口部45-2とは別途形成される。コンタクトホール45-3の大きさは、個別引出電極52と上電極42とのコンタクト抵抗が十分に小さくできる範囲で小さくすることが好ましい。個別引出電極52の材料には、例えば任意の金属、合金、導電性化合物等を用いることができる。個別引出電極52は、例えば、電気抵抗の小さい金属合金を用いることで、個別引出電極52の厚みを薄くし、振動板21の変位量を阻害しない構成となるため好ましい。なお、このような金属合金材料としては、一般的な材料を使用して、例えばAg、Al、Au、Cu等や、これらを含む合金材料等を例示することができる。また、一般的な配線材料としては、Al、Al-Si合金等が安価であり、好ましい。また、図11には、コンタクトホール45-3部分の短手方向の断面図が示されており、図12には、コンタクトホール45-3部分の長手方向の断面図が示されている。図11及び図12に示すように、パッシベーション膜46-1は、コンタクトホール45-3上に形成された個別引出電極52を覆うように形成される。第5実施形態におけるパッシベーション層46-1は、第4実施形態で説明したように、振動板21の低剛性領域の幅を規定する機能を有すると共に、コンタクトホール45-3上部の電極材料を保護する機能を有する。上述したように、コンタクトホール45-3の上部側図11及び図12に示す保護基板30側に形成される個別引出配線52は、パッシベーション膜46-1で保護される。また、パッシベーション膜46-1は、コンタクトホール45-3の周辺部分の個別引出電極52の端部を含むように保護する。これにより、層間絶縁膜45-1と個別引出電極52の界面、また上電極42と個別引出電極52の界面における接続信頼性を確保することが可能となる。<第5実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法>次に、図13を用いて、第5実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。図13は、本発明の第5実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法の工程を示している。なお、第5実施形態は、第4実施形態と同等の工程数で形成することが可能である。図13A、図13Bは、図10A、図10Bに示す第4実施形態の工程と同様の工程となる。次に、図13Cに示すように、図10Cに示す層間絶縁膜45-1の開口部45-2を形成する際に、上電極40上の層間絶縁膜45-1に、コンタクトホール45-3を形成する。また、コンタクトホール45-3が形成された層間絶縁膜45-1上に、個別引出電極52を例えばスパッタ法等を用いて形成する。次に、図13Dに示すように、パッシベーション膜46-1となる絶縁膜を、コンタクトホール45-3に形成された個別引出電極52及び層間絶縁膜45-1を覆うように積層する。次に、図13Eに示すように、吐出室22を形成し、第5実施形態の機能を有する構成を得ることができる。上述したように、第5実施形態では、加工精度の高い積層膜を用いて振動板21の低剛性領域を規定することができるため、吐出室の加工のバラツキによらず安定した吐出性能を得ることが可能となる。また、振動板21の変位を阻害しない構成で、個別引出電極52を保護することにより、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを得ることが可能となる。また、振動板21の低剛性領域を規定する積層膜を上電極端部を保護する保護層と個別引出電極52を保護する保護層と兼ねる構成とすることで、工程数を増加させることなく、安定した吐出品質と高い信頼性の液滴吐出ヘッドを得ることが可能となる。<第6実施形態:インクカートリッジ>次に、図14を用いて、上述した本発明の液滴吐出ヘッドが適用可能な第6実施形態に係るインクカートリッジについて説明する。図14は、本発明の第6実施形態に係るヘッド一体型インクカートリッジの斜視図を示している。第6実施形態は、上述した各実施形態のいずれかの液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したものである。具体的には、図14に示すように、インクカートリッジ60は、ノズル基板10等を有する上述した各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド61と、インクジェットヘッド61にインクを供給するインクタンク62とを一体化したものである。このように、インクカートリッジ60に上述した各実施形態による液滴吐出ヘッドを用いることで、ヘッドの信頼性向上、低コスト化を図ることが可能となるため、インクカートリッジの歩留まりや信頼性を向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図ることが可能となる。<第7実施形態:インクジェット記録装置>次に、図15及び図16を用いて、上述した本発明の液滴吐出ヘッドが適用可能な第7実施形態に係るインクジェット記録装置の一例について説明する。図15は、本発明の第7実施形態に係るインクジェット記録装置の斜視図を示している。また、図16は、本発明の第7実施形態に係るインクジェット記録装置の側面図を示している。第7実施形態は、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを画像形成装置であるインクジェット記録装置に搭載したものである。図15に示すように、インクジェット記録装置70は、記録装置本体71の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部72等を収納する。また、装置本体71の下方部には、前方側から多数枚の用紙73を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイでもよい。74を抜き差し自在に装着することができる。また、インクジェット記録装置70は、用紙73を手差しで給紙するための手差しトレイ75を開倒して、給紙カセット74或いは手差しトレイ75から給送される用紙73を取り込み、印字機構部72によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ76に排紙する。印字機構部72は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド81と従ガイドロッド82とでキャリッジ83を主走査方向に摺動自在に保持する。また、キャリッジ83には、イエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク液滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなる記録ヘッド84を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ83には、記録ヘッド84に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ85を交換可能に装着している。インクカートリッジ85は、上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとして、ここでは各色の記録ヘッド84を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。ここで、キャリッジ83は、後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド81に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド82に摺動自在に載置している。キャリッジ83を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ87で回転駆動される駆動プーリ88と従動プーリ89との間にタイミングベルト90を張装し、タイミングベルト90をキャリッジ83に固定して、主走査モータ87の正逆回転によりキャリッジ83が往復駆動される。一方、給紙カセット74にセットした用紙73を記録ヘッド84の下方側に搬送するために、給紙カセット74から用紙73を分離給装する給紙ローラ91及びフリクションパッド92と、用紙73を案内するガイド部材93と、給紙された用紙73を反転させて搬送する搬送ローラ94と、搬送ローラ94の周面に押し付けられる搬送コロ95及び搬送ローラ94からの用紙73の送り出し角度を規定する先端コロ96とを設けている。搬送ローラ94は副走査モータ97によってギヤ列を介して回転駆動される。キャリッジ83の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ94から送り出された用紙73を記録ヘッド84の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材99を設けている。印写受け部材99の用紙搬送方向下流側には、用紙73を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ101、拍車102を設け、更に用紙73を排紙トレイ76に送り出す排紙ローラ103、拍車104と、排紙経路を形成するガイド部材105、106とを配設している。記録時には、キャリッジ83を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド84を駆動することにより、停止している用紙73にインクを吐出して1行分を記録し、用紙73を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号、又は、用紙73の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙73を排紙する。また、キャリッジ83の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド84の吐出不良を回復するための回復装置107を配置している。回復装置107はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ83は、印字待機中には回復装置107側に移動して、キャッピング手段で記録ヘッド84をキャッピングし、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中等に記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド84の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクと共に気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等は、クリーニング手段により除去して、吐出不良を回復する。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜図示せずに排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。上述したように、インクジェット記録装置70の記録ヘッド84に、上述した各実施形態のいずれかの液滴吐出ヘッドを適用することで、振動板の駆動不良によるインク液滴の吐出不良を防ぎ、安定したインク液滴の吐出特性が得られ、画像品質を向上することが可能となる。なお、上述した実施例中に記載した膜厚等の数値や材料はこれに限ったものではない。上述したように、振動板の隔壁に対向する領域に、振動板材料とは異なるアクチュエータの構成材料によって積層膜を形成し、積層膜の幅を隔壁の幅よりも広くすることで、振動板の固定端部の剛性を上げ、振動板の剛性のバラツキによる吐出特性のバラツキを低減することが可能となる。また、加工幅のバラツキが少ない薄膜材料のパターンにより、振動板の低剛性部分の幅を決定規定するため、吐出室の加工幅のバラツキによる影響が低減され、吐出特性の安定化を図ることが可能となる。また、従来の工法と比べて工程数を増やすことなく、振動板の剛性のバラツキを低減し、低コストで、安定した品質の振動板を形成して、低コストと信頼性が両立する液滴吐出ヘッドを製作することが可能となる。また、振動板の隔壁に対向する領域に圧電材を設け、圧電材の幅を隔壁の幅よりも広くすることで、振動板の固定端部の剛性を上げ、振動板の剛性のバラツキによる吐出特性のバラツキを低減することが可能となる。また、加工幅のバラツキの少ない圧電材により、振動板の低剛性部分の幅を決定規定するため、吐出室の加工幅のバラツキによる影響が低減され、吐出特性の安定化を図ることが可能となる。また、振動板の隔壁に対向する領域に設けられた第1の圧電材と、振動板の吐出室に対向する領域に設けられた第2の圧電材に異なる駆動パルス電圧を印加し、例えば、第1の圧電材に画像データに従ったパルス電圧を印加する際に、第2の圧電材に電圧を印加して収縮させる。これにより、振動板のテンション張力を変化させ、吐出性能を制御することが可能となる。また、第2の圧電材にDCバイアスを印加し収縮させ、吐出室の振動板の張力に複雑な制御系を設けずに一定に制御することで、振動板が動作する際の振動板の剛性のバラツキによる吐出特性のバラツキを低減することが可能となる。これにより、低コストと信頼性が両立する液滴吐出ヘッドを製作することが可能となる。以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。