被試験デバイスから出力される電圧が測定範囲内にあるか否かを判定する判定部を備える半導体試験装置であって、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の1.5倍を前記測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせる制御を前記判定部に対して行う判定制御部と、前記判定部の判定結果に基づいて、前記電圧の波形を生成する波形生成部と、を備えたことを特徴とする半導体試験装置。前記波形生成部は、前記判定部の判定がパスとフェイルとで変化したときの前記測定範囲およびこの測定範囲を1つシフトさせたときの測定範囲の判定結果に基づいて前記電圧の波形を生成することを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。被試験デバイスから出力される電圧が測定範囲内にあるか否かを判定する判定部を備える半導体試験装置であって、前記電圧の最小値から最大値まで前記測定範囲をシフトさせるときに、前記測定範囲を均等に3分割したときの1/3をシフト前の測定範囲と重複させ、1/3をシフト後の測定範囲と重複させるようにシフトさせる制御を前記判定部に対して行う判定制御部と、前記判定部の判定結果に基づいて、前記電圧の波形を生成する波形生成部と、を備えたことを特徴とする半導体試験装置。被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示する波形表示方法であって、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の1.5倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせて電圧の値を取得し、時間を変化させたときの前記電圧の値に基づいて、前記電圧の波形を生成して表示することを特徴とする波形表示方法。被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示するための波形表示プログラムであって、コンピュータに、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の1.5倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせて電圧の値を取得する手順、時間を変化させたときの前記電圧の値に基づいて、前記電圧の波形を生成して表示する手順、を実行させるための波形表示プログラム。波形表示の精度は時間軸よび電圧軸の分解能によって決定される。分解能が高ければ高いほど波形表示は高精度になる。特許文献1にも記載されているように、時間軸および電圧軸の分割数分解能が共に10である場合には、DUTの試験を合計で121回繰り返す。つまり、分解能が高いほど必要なDUTの試験回数は増大する。近年の半導体試験装置では波形の表示精度に高精度が求められる。よって、高精度の波形表示を行うために、DUTの試験回数を多数回にする必要がある。DUTの試験には所定の時間を要するため、試験回数が多くなるほど、波形が得られるまでの時間は長くなる。つまり、波形の表示精度を高くするほど波形が生成されるまでに時間を要し、波形が生成されるまでの時間を短くするほど波形の表示精度が低くなる。そこで、本発明は、波形を生成するまでの時間を長くすることなく波形の表示精度を高精度化することを目的とする。以上の課題を解決するため、本発明の半導体試験装置は、被試験デバイスから出力される電圧が測定範囲内にあるか否かを判定する判定部を備える半導体試験装置であって、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の1.5倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせる制御を前記判定部に対して行う判定制御部と、前記判定部の判定結果に基づいて、前記電圧の波形を生成する波形生成部と、を備えたことを特徴とする。この半導体試験装置によれば、単位電圧の1.5倍の電圧を測定範囲としており、且つ単位電圧ごとに測定範囲をシフトしている。これにより、分割数はそのままで2倍の分解能を得ることができる。このため、波形を生成するまでの時間を長くすることなく、波形の表示精度を高精度にすることができる。また、前記波形生成部は、前記判定部の判定がパスとフェイルとで変化したときの前記測定範囲およびこの測定範囲を1つシフトさせたときの測定範囲の判定結果に基づいて前記電圧の波形を生成してもよい。これにより、パスとフェイルとで変化したときの測定範囲だけでなく、1つシフトさせたときの測定範囲の判定結果に基づくことで、分割数をそのままで2倍の分解能を得ることができるようになる。本発明の他の半導体試験装置は、被試験デバイスから出力される電圧が測定範囲内にあるか否かを判定する判定部を備える半導体試験装置であって、前記電圧の最小値から最大値まで前記測定範囲をシフトさせるときに、前記測定範囲を均等に3分割したときの1/3をシフト前の測定範囲と重複させ、1/3をシフト後の測定範囲と重複させるようにシフトさせる制御を前記判定部に対して行う判定制御部と、前記判定部の判定結果に基づいて、前記電圧の波形を生成する波形生成部と、を備えたことを特徴とする。この半導体試験装置によれば、測定範囲を均等に3分割して、1/3を前後の測定範囲と重複させている。これにより、分割数をそのままに2倍の分解能を得ることができるようになり、波形生成までの時間を長くすることなく表示精度を向上させることができる。本発明の波形表示方法は、被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示する波形表示方法であって、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の1.5倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせて電圧の値を取得し、時間を変化させたときの前記電圧の値に基づいて、前記電圧の波形を生成して表示することを特徴とする。本発明の波形表示プログラムは、被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示するための波形表示プログラムであって、コンピュータに、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の1.5倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせて電圧の値を取得する手順、時間を変化させたときの前記電圧の値に基づいて、前記電圧の波形を生成して表示する手順、を実行させている。本発明は、被試験デバイスから出力される電圧の最小値から最大値を所定の分割数で分割したときの単位電圧の1.5倍を測定範囲とし、この測定範囲を単位電圧ごとにシフトさせている。これにより、分割数をそのままに2倍の分解能を得ることができ、波形生成までの時間を長くすることなく高い表示精度を得ることができる。以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は半導体試験装置1を示しており、半導体試験装置1はDUTDeviceUnderTest2の試験を行う。DUT2は半導体試験装置1が試験を行う対象となる被試験デバイスである。図中では、DUT2の個数は1つになっているが、複数であってもよい。半導体試験装置1はピンエレクトロニクスカード図中ではPEカード3とテスタコントローラ図中ではTSC4とを備えて構成している。ピンエレクトロニクスカード3はDUT2の試験を行う試験部としての機能を有している。ピンエレクトロニクスカード3は電圧入力部11と判定部12とを備えている。電圧入力部11はDUT2が出力した電圧を入力する。判定部12は電圧入力部11が入力した電圧が所定範囲測定範囲MR内にあるか否かを判定する。測定範囲MRは測定下限VLと測定上限VHとの間の範囲になっており、電圧入力部11が入力した電圧をVinとしたときに、VL<Vin<VHになっているか否かを判定する。この式を満たすときには判定部12はパスと判定し、満たさないときにはフェイルと判定する。なお、パスとフェイルとは逆であってもよい。図中ではピンエレクトロニクスカード3は1枚になっているが、通常は複数枚を備えている。テスタコントローラ4は各ピンエレクトロニクスカード3を制御するコンピュータである。つまり、CPUとメモリと補助記憶装置ハードディスク等とを備えたコンピュータであり、補助記憶装置からメモリに読み出されたプログラムソフトウェアをCPUが実行することによりテスタコントローラ4の機能を果たしている。テスタコントローラ4は入力部21と設定値記憶部22と判定制御部23と電圧値生成部24と波形生成部25とを備えており、波形生成部25にはモニタ26が接続されている。入力部21はキーボードやマウス等の入力手段であり、ユーザ等が適宜の値を入力することが可能になっている。設定値記憶部22は入力部21を用いてユーザ等が入力した設定値を記憶する。入力される設定値は、DUT2から入力される電圧の最大電圧Vmax、最小電圧Vmin、電圧軸方向の分割数電圧分割数VD、時間軸方向の分割数時間分割数TDの4つになる。判定制御部23はピンエレクトロニクスカード3の判定部12を制御する。判定部12は、電圧Vinが測定範囲MRの範囲内であるか否かを判定しており、このために測定範囲MRの測定下限VLと測定上限VHとを判定部12に設定する。判定部12はこの測定下限VLと測定上限VHとに基づいて、電圧Vinが測定範囲MRの範囲内であるか否かを判定する。前述したように、判定部12はDUT2からの入力電圧Vinが測定範囲MRにあるときにはパスと判定し、それ以外の場合はフェイルと判定する。電圧値生成部24はこの判定結果を取得する。また、判定制御部23から測定下限VLと測定上限VHとを入力する。これらに基づいて、電圧値生成部24は電圧値を生成する。電圧値生成部24は所定の時刻におけるDUT2が出力する電圧Vinに基づく電圧値であり、この電圧値はモニタ26に表示を行うための電圧である。従って、この電圧値は電圧Vinと完全には一致していない。DUT2が出力する電圧Vinは時間軸方向に変化する。波形生成部25は設定値記憶部22に設定して記憶されている時間分割数TDに基づいて、電圧値生成部24が生成する電圧値を取得する。そして、時間軸方向に電圧値を連続させることにより、DUT2が出力する電圧Vinの波形を生成する。モニタ26は波形生成部25が生成する波形を表示するディスプレイ等の表示部になる。モニタ26に表示される波形に基づいて、ユーザはDUT2の波形を認識することができる。なお、モニタ26には波形以外の種々の情報例えば、波形の値を表示するようにしてもよい。次に、図2のフローチャートを用いて、動作について説明する。まず、ユーザ等は入力部21を用いて、設定値を入力するステップS1。この設定値は、最大電圧Vmax、最小電圧Vmin、電圧分割数VD、時間分割数TDの4つになる。ユーザ等はこれらの値を適宜設定して、設定した値が設定値記憶部22に記憶される。最大電圧Vmaxは入力する波形の電圧Vinの最大電圧であり、最小電圧Vmaxは波形Vinの最小電圧になる。ユーザ等が指定する最小電圧Vmaxと最大電圧Vminとの間の範囲が波形を表示する範囲となる。この範囲Vmax-Vminを電圧分割数VDで除算した値が単位電圧VUとなる。この単位電圧VUは波形表示を行うための分解能を示しており、単位電圧VUが小さいほど分解能が高く、大きいほど分解能が低い。ここでは、最小電圧Vminを0ボルト、最大電圧Vmaxを10ボルト、電圧分割数VDを10とする。よって、単位電圧VUは1ボルトになる。つまり、1ボルトの分解能で波形表示を行うことが可能になる。勿論、最小電圧Vmin、最大電圧Vmax、電圧分割数VDは任意に設定してもよい。判定制御部23は設定された値に基づいて単位電圧VUを算出し、この単位電圧VUの1.5倍を測定範囲MRとするステップS2。ここでは、単位電圧VUは1ボルトであるため、測定範囲MRは1.5ボルトの範囲となる。この1.5ボルトの測定範囲MRを単位電圧VUごとに最小電圧Vminから最大電圧Vmaxまでシフト上昇させていく。設定値記憶部22には時間分割数TDが記憶されている。時間分割数TDは波形の1周期の間の分解能であり、時間分割数TDが大きいほど波形の表示精度が高くなり、小さいほど波形の表示精度が低くなる。判定制御部23は1周期の最初の時刻t0において判定部12に対して判定動作を行うように制御する。このときに、測定範囲MRを最小電圧Vminに設定するように制御するステップS3。よって、判定部12が測定する測定範囲MRの測定下限VLは最小電圧Vmin=0ボルトとなる。また、測定上限VHは1.5ボルトになる。そして、判定部12は電圧入力部11が入力した電圧Vinが0ボルトから1.5ボルトの範囲内にあるか否かを判定する。この判定はパスフェイル判定により行うステップS4。つまり、判定部12は電圧Vinが前記の範囲内にあるときにはパスと判定し、それ以外の場合はフェイルと判定する。判定制御部23は判定部12から判定結果を取得し、パスとフェイルとで変化をしたか否かを認識するステップS5。つまり、フェイルからパスに変化しているかを認識する。パスに変化しているときには、このパスフェイル判定の結果に基づいて、電圧生成部24は電圧値を決定して生成するステップS6。一方、パスに変化していないのであれば、測定範囲MRを電圧軸方向に単位電圧VUの分だけシフトさせるステップS7。つまり、1ボルトだけ電圧軸方向にシフトさせるため、測定範囲MRは1ボルトから2.5ボルトの範囲となる。この点について、図3および図4を用いて詳細に説明する。図3の時刻t0において、測定範囲MRを電圧軸方向にシフトさせたものを示している。電圧分割数VD最小電圧Vminから最大電圧Vmaxまでの間の電圧を分割する分割数は10になっており、その電圧の範囲単位電圧VUの範囲は1ボルトになっている。そして、測定範囲MRは1.5倍の1.5ボルトになっている。同図の1から10は測定範囲MRを示しており、それぞれ単位電圧VUごとにシフトさせている。測定範囲MRをシフトさせることで、最小電圧Vminから最大電圧Vmaxまでをサーチすることができる。そして、測定範囲MRをシフトさせることで、電圧の波形が範囲内に含まれるようになる。図4はその詳細を示している。1は最初のときの測定範囲MRになる。つまり、0ボルトから1.5ボルトまでの測定範囲MRになっている。同図において、波形の値は1.9ボルトであるものとする。この場合には、判定部12は最初の1の測定範囲MRMR-1の範囲内にあると判定しない。よって、判定部12の判定結果はフェイルになり、電圧値生成部24は電圧値の生成を行わない。そして、ステップS5においてパスからフェイルに変化していないと判定され、ステップS7の測定範囲をシフトさせる。従って、次の2の測定範囲MRMR-2にシフトされる。この測定範囲MR-2は1ボルト単位電圧VUだけシフトしたものであり、測定範囲MR-2は1ボルトから2.5ボルトが範囲となる。そして、電圧方向の測定範囲を全て測定したかを判定するステップS8。全て測定しなければ、再びパスフェイル判定を行う。波形の値は1.9ボルトであることから、測定範囲MR-2の範囲内にあると判定される。つまり、パスであると判定される。よって、ステップS5において、パスとフェイルとで変化をしたと判定される。このため、ステップS6で電圧値の決定を行って、この電圧値を記録し、ステップS7の測定範囲MRを1つシフトさせる。つまり、次の3の測定範囲MRMR-3にシフトされる。この測定範囲MR-3は2ボルトから3.5ボルトが範囲となる。電圧の値は1.9ボルトであるため、測定範囲MR-3の範囲内にはない。よって、測定範囲MR-2の範囲内にはあるが、測定範囲MR-3の範囲内にはないことが認識される。図4に示すように、測定範囲MR-2の領域は均等に3分割される。測定範囲MR-2は図中で示すB、CおよびDの3つの領域に分割される。Bは測定範囲MR-1と重複した領域であり、Dは測定範囲MR-2と重複した領域でありCは何れの測定範囲MRとも重複していない領域になる。測定範囲MR-1ではフェイルと判定され、測定範囲MR-2はパスと判定されている。よって、Bの領域は測定範囲MR-1と重複しているため、当該範囲に電圧の値はないことが認識される。残余のCおよびDについては、測定範囲MR-3の判定結果と合わせて電圧の値が何れの範囲であるかが認識される。測定範囲MR-3でフェイルと判定したとき前述のように電圧の値が1.9ボルトのようなときには、Cの領域に電圧の値があることが認識される。一方、測定範囲MR-3でパスと判定したとき例えば、電圧の値が2.1ボルトのような場合には、Dの領域に電圧の値があることが認識される。従って、1.5ボルトの測定範囲MRを単位電圧VUの分だけシフトさせることにより、測定範囲MRはシフト前の測定範囲MRと重複している0.5ボルトの領域、前後の測定範囲MRと重複していない0.5ボルトの領域、シフト後の測定範囲MRと重複している0.5ボルトの領域の3つの領域に均等に分割されることになる。測定範囲MRをシフトさせるのは、シフト前の測定範囲MRではフェイルと判定された場合である。よって、シフト前の測定範囲MRと重複している領域測定範囲MR-2におけるBの領域には波形の電圧が入っていないことが認識される。よって、この領域は除外される。従って、重複していない領域測定範囲MR-2におけるCの領域またはシフト後の測定範囲MRと重複している領域測定範囲MR-2におけるDの領域の何れかに波形の電圧が入っていることになる。重複していない領域における判定部12の判定結果がパスであり、シフト後の測定範囲MRと重複している領域の判定結果がフェイルであれば、重複していない領域に電圧の値があることが検出される。一方、両方ともパスになれば、シフト後の測定範囲MRと重複している領域に電圧の値があることが検出される。重複していない領域およびシフト後の測定範囲MRと重複している領域の何れも0.5ボルトの分解能を有している。つまり、単位電圧VUの分解能である1ボルトの2倍の分解能を有していることになる。以上により、電圧の値が決定されて生成される。そして、電圧方向の測定範囲を全て測定するまでステップS4からステップS7までの処理を繰り返す。ここでは、電圧の値が領域Cにあることが認識されて記録された。電圧値の生成はある時刻最初の場合は時刻t0における値になる。よって、時間分割数TDの分だけ時間軸方向に時刻をシフトさせるステップS9。そして、波形の1周期が終了したか否かを波形生成部25は判定するステップS10。波形の1周期が終了していなければ再びステップS3に戻る。そして、1周期の全ての時間分割数TDについて電圧の値を取得することで、波形を生成することができるステップS11。この生成した1周期分の波形をモニタ26に表示することで、ユーザ等が波形を認識することができる。なお、生成する波形は1周期ではなく、任意の周期であってもよい。従って、最小電圧Vminと最大電圧Vmaxとの間の電圧を設定した電圧分割数VDで除算した単位電圧VUを1.5倍した測定範囲MRを用い、且つ測定範囲MRを単位電圧VUごとにシフトさせて判定部12がパスフェイル判定を行っている。換言すれば、測定範囲MRは均等に3つの領域に分割され、各領域のうち1/3の領域例えば、Bの領域をシフト前の領域と重複させ、1/3の領域例えば、Dの領域をシフト後の測定範囲MRと重複させるようにしている。これにより、パスとフェイルとの変化後の測定範囲MRにおいて、シフト前後の測定範囲MRと重複していない領域とシフト後の測定範囲MRと重複している領域との何れであるかが検出される。2つの領域は単位電圧VUの2倍の分解能を有しており、2倍の精度で波形表示を行うことが可能になる。通常は2倍の分解能で波形表示を行うとすると、パスフェイルの判定箇所を2倍にしなければならないが、測定範囲MRを単位電圧VUの1.5倍の範囲とし、且つ単位電圧VUごとに測定範囲MRをシフトさせているため、電圧分割数VDに変更はない。つまり、電圧分割数VDをそのままに、2倍の分解能を得ることができる。これにより、波形生成の時間を長くすることなく、波形の表示精度を向上させることができるようになる。また、波形表示の分解能をそのままにする場合には、電圧分割数VDを半分にすることができる。このため、波形表示の精度はそのままに波形を生成するまでの時間を大幅に短縮化することができるようになる。以上では、時間的に連続した波形を表示する場合について説明したが、固定された時刻における波形の値を取得するシュムー測定を行う場合にも本実施形態を適用することができる。