"板状ワークと対向するように設けられて該板状ワークを着脱自在に粘着保持する粘着部材と、前記板状ワークと交差する方向へ変形して前記粘着部材の粘着面から前記板状ワークを強制的に剥離させるように設けられる可動膜と、前記可動膜の背後に設けられて該可動膜を前記板状ワークへ向け変形させる流体の通路を有する支持部材とを備え、前記可動膜は、前記支持部材の通路と対向して肉厚状に形成される剛性が高い板状部と、前記支持部材の前記通路を囲む表面部位と対向して肉薄状に形成される剛性が低い変形可能部とを有し、前記通路からの流体で前記変形可能部を変形させて前記板状部を前記板状ワークへ向けて平行移動させることを特徴とするワーク粘着チャック装置。前記可動膜の前記板状部を前記支持部材の前記表面へ向けて凸状に形成し、前記支持部材の前記表面において前記板状部と対向する部位を凹状に形成し、該凹状部に対して前記板状部を前記板状ワークと交差する方向へ嵌合させたことを特徴とする請求項1記載のワーク粘着チャック装置。前記支持部材の中央に前記通路が形成され、前記可動膜の裏面又は前記支持部材の前記表面のいずれか一方か、若しくは前記可動膜の裏面及び前記支持部材の前記表面の両方に、前記通路を中心として放射方向へ連通する拡散路を形成したことを特徴とする請求項1又は2記載のワーク粘着チャック装置。前記可動膜において前記板状ワークと対向する表面の外周に、前記粘着部材の前記粘着面と面一状に突出する突起部を形成し、該突起部よりも内側の表面部を、ワーク粘着保持時において前記粘着面よりも凹ませて配置したことを特徴とする請求項1、2又は3記載のワーク粘着チャック装置。請求項1~4のいずれか一つに記載のワーク粘着チャック装置を、対向する一対の保持板のどちらか一方か又は両方に設け、前記ワーク粘着チャック装置で前記板状ワークを粘着保持するとともに剥離して、もう一つの板状ワークに重ね合わせることを特徴とするワーク貼り合わせ機。しかし乍ら、このような従来のワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機では、支持部材の通路からの圧力によりダイヤフラムの中央部を断面円弧状に膨張変形させて基板を粘着ゴムから押し剥がすため、ダイヤフラムによる押圧力荷重が基板の一部、特に支持部材の通路と対向する直下部分にだけかかってしまう。それにより、ダイヤフラムで押圧される部分における局部的な加圧ムラによって、基板の集中荷重部位のみが潰れ変形し、例えば基板間に挟み込まれるシール材や液晶デバイスなどが元の平滑な形状に復元不能になって、局部的な加圧ムラによるダメージが残り続けるなど、弊害が生じるという問題があった。さらに、ダイヤフラムが支持部材の表面に沿って張架され、粘着ゴムによる基板の粘着保持時にはダイヤフラムが基板ヘ向け突出しないようにダイヤフラムの裏面を支持部材の表面に密接させる必要があるため、ダイヤフラムと支持部材の材質によっては、それらの対向面同士が部分的又は全体的に貼り付くおそれがある。このような場合には、基板の剥離時に、支持部材の表面からダイヤフラムの裏面の一部のみが部分的に離隔されて、ダイヤフラムが歪な形状に膨張変形し、そのために粘着ゴムの粘着面から基板を斜め方向へ押し剥がしたり、不均一な剥離状態になることがあった。特に、真空状態で基板を粘着保持するには、ダイヤフラムを支持部材側から真空吸引して両者を強く密接させる必要があるため、ダイヤフラムの裏面を支持部材の表面が更に貼り付き易くなり、内圧の上昇だけで全面的に離すことが困難であった。本発明は、このような問題に対処することを課題とするものであり、板状ワークに対する可動膜の加圧分布を均等化して板状ワークの部分的な変形を防止することが可能なワーク粘着チャック装置を提供すること、粘着保持された第1の板状ワークを第2の板状ワークと平行に剥離して貼り合わせることが可能なワーク貼り合わせ機を提供すること、などを目的とするものである。このような目的を達成するために本発明によるワーク粘着チャック装置は、板状ワークと対向するように設けられて該板状ワークを着脱自在に粘着保持する粘着部材と、前記板状ワークと交差する方向へ変形して前記粘着部材の粘着面から前記板状ワークを強制的に剥離させるように設けられる可動膜と、前記可動膜の背後に設けられて該可動膜を前記板状ワークへ向け変形させる流体の通路を有する支持部材とを備え、前記可動膜は、前記支持部材の通路と対向して肉厚状に形成される剛性が高い板状部と、前記支持部材の前記通路を囲む表面部位と対向して肉薄状に形成される剛性が低い変形可能部とを有し、前記通路からの流体で前記変形可能部を変形させて前記板状部を前記板状ワークへ向けて平行移動させることを特徴とする。また本発明によるワーク貼り合わせ機は、前記ワーク粘着チャック装置を、対向する一対の保持板のどちらか一方か又は両方に設け、前記ワーク粘着チャック装置で前記板状ワークを粘着保持するとともに剥離して、もう一つの板状ワークに重ね合わせることを特徴とする。前述した特徴を有する本発明によるワーク粘着チャック装置は、可動膜に、支持部材の通路と対向する肉厚な板状部と、通路を囲む表面部位と対向する肉薄な変形可能部をそれぞれ形成し、通路からの流体で変形可能部を板状ワークへ向けて変形させることにより、剛性の高い肉厚な板状部が形状保持されながら平行移動し、板状ワークに対する可動膜の押圧力が分散されて、板状ワークの一部に集中して荷重がかかることなく、粘着部材の粘着面から板状ワークが剥離されるので、板状ワークに対する可動膜の加圧分布を均等化して板状ワークの部分的な変形を防止することができる。その結果、支持部材の通路からの圧力によりダイヤフラムの中央部を断面円弧状に膨張変形させて基板を粘着ゴムから押し剥がす従来のものに比べ、可動膜の押圧による局部的な加圧ムラを防止できて、例えば基板間に挟み込まれるシール材や液晶デバイスなどの、局部的な加圧ムラによるダメージを軽減できる。さらに、可動膜の中央部に板状剛体部を板状ワークと対向して設けるものに比べ、可動膜の膨張変形に伴って粘着部材から板状ワークを押し剥がす際に、板状剛体部の板状ワークの一部に荷重が集中してかかることが無いので、板状ワークがガラス製基板であっても割れを防止することができる。また、前述した特徴を有する本発明によるワーク貼り合わせ機は、一方の保持板に設けたワーク粘着保持装置の粘着部材で粘着保持される第1の板状ワークと、他方の保持板に保持される第2の板状ワークとを互いに接近させ、ワーク粘着保持装置の可動膜で粘着部材から第1の板状ワークを剥離する場合に、可動膜による押圧力が第1の板状ワークに対して分散され、第1の板状ワークの一部に集中して荷重がかかることなく、粘着部材から第1の板状ワークが剥離されるため、剥離時において第1の板状ワークに生ずる潰れ変形が最小限に抑えられるので、粘着保持された第1の板状ワークを第2の板状ワークと平行に剥離して貼り合わせることができる。その結果、ダイヤフラムにより剥離時に発生した第1基板の潰れ変形が貼り合わせ後にも残る従来のものに比べ、可動膜の押圧による局部的な加圧ムラを防止できて、例えば基板間に挟み込まれるシール材や液晶デバイスなどの、局部的な加圧ムラによるダメージを軽減できる。さらに、第1の板状ワークの剥離時における部分的な精度不良に対する影響を少なくすることができるので、第1の板状ワークと第2の板状ワークの貼り合わせ精度が向上するとともに、生産性を高めることができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aは、図1ab及び図2に示すように、板状ワークWと対向するように設けられて板状ワークWを着脱自在に粘着保持する粘着部材1と、板状ワークWと交差直交するZ方向へ変形して粘着部材1の粘着面1aから板状ワークWを強制的に剥離させるように設けられる可動膜2と、可動膜2の背後に設けられて可動膜2を板状ワークWへ向け変形させる流体の通路3aを有する支持部材3を、主要な構成要素として備えている。さらに、本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ機は、図3に示すように、複数のワーク粘着チャック装置Aを、対向する一対の保持板11,11′のどちらか一方か又は両方に分散配置し、ワーク粘着チャック装置Aで板状ワークWを粘着保持するとともに剥離することにより、もう一つの板状ワークW′に重ね合わせている。粘着部材1は、板状ワークWと対向する表面に粘着面1aを有する板状粘着部材であり、少なくとも粘着面1a又は全体が、例えばフッ素ゴムやエラストマー、ブチルゴム、感光性樹脂、アクリル系やシリコン系などの粘着材料で、粘着面1aが弾性のある面状に形成されている。さらに、粘着面1aには、例えばエンボス処理や凹溝などを形成して全体的に弾性変形し易くすることにより、板状ワークWに対して容易に粘り付くように構成することが好ましい。可動膜2は、例えばゴムやエラストマー、軟質合成樹脂などの弾性変形可能な材料で、粘着部材1の粘着面1aで粘着保持される板状ワークWに対して接近又は離隔するZ方向へ変形可能な略平板状に形成されるダイヤフラムや弾性膜などからなり、後述する支持部材3の表面3bに沿って表面3bとの間に密閉空間を区画形成するように配置されている。可動膜2の製造方法としては、例えば圧縮成形コンプレッション成型や射出成形インジェクション成型などにより、後述する支持部材3の表面3b及び側面3cに沿った断面略コの字形に形成することが好ましい。さらに、可動膜2は、後述する支持部材3の通路3aと対向して肉厚状に形成される剛性が高い板状部2aと、後述する支持部材3の表面3bにおいて通路3aを囲む外周表面部位3b1と対向して肉薄状に形成される剛性が低い変形可能部2bとを有している。板状部2aは、可動膜2の中央部位に後述する支持部材3の表面3bへ向けて凸状に形成することが好ましい。変形可能部2bは、板状部2aの周囲に凹状に一体形成することが好ましい。可動膜2において変形可能部2bの外周には、変形可能部2bと連続して厚さ方向へ延びるように形成される脚部2cと、脚部2cから外側へ向け突出するように形成されるフランジ状の取付凸部2dを一体形成することが好ましい。脚部2cは、可動膜2の裏面側へ向け、後述する支持部材3の側面3cに沿って円筒状又は角筒状に一体形成される。取付凸部2dは、脚部2cの裏側外面に環状に突設されている。取付凸部2dと反対側で後述する支持部材3の側面3cと対向する内面には、環状の係合溝2eを形成することが好ましい。支持部材3は、例えば硬質合成樹脂、金属、セラミックなどの可動膜2と貼り付き難い材料で、例えば円形又は矩形などの板状に形成され、その中央部位には、可動膜2と対向する表面3bに向けて通路3aが開穿されている。通路3aは、可動膜2の変形可能部2bを弾性変形させるために例えば圧縮空気などの流体が、例えばコンプレッサなどの供給源から流体が可動膜2の表面3bに向けて供給され、更に必要に応じて逆向きに吸引される。通路3aの径は、供給源から供給される流体の流量と可動膜2の変形量との関係で設定される。可動膜2は、通路3aへの流体供給に伴って生じる可動膜2の一次側と二次側の圧力差により、変形可能部2bを支持部材3の表面3bから離れる方向へ膨張変形させて、板状部2aが略平板状に形状保持されながら平行移動するように構成している。支持部材3の表面3bには、可動膜2の板状部2aと対向する中央部位が凹状に形成され、この凹状部3b2に対して板状部2aを板状ワークWと交差直交するZ方向へ嵌合させることが好ましい。支持部材3の側面3cには、可動膜2の環状の係合溝2eと嵌り合う環状の係合凸部3dを形成することが好ましい。さらに、互いに対向する可動膜2の裏面又は支持部材3の表面3bのいずれか一方か、若しくは可動膜2の裏面及び支持部材3の表面3bの両方には、通路3aを中心として放射方向へ連通する拡散路4を形成することが好ましい。図1ab及び図2に示される例では、可動膜2の板状部2a及び支持部材3の凹状部3b2が通路3aの径よりも大きく形成され、可動膜2の裏面と支持部材3の表面3bとの間には隙間を形成し、支持部材3の表面3bのみに通路3aを中心として拡散路4が放射状に形成されている。また、その他の例として図示しないが、通路3aの径を図示例よりも大径にして可動膜2の板状部2aとほぼ同じ大きさにしたり、可動膜2の裏面と支持部材3の表面3bを接触させたり、可動膜2の裏面及び支持部材3の表面3bの両方に拡散路4を形成することも可能である。またさらに、拡散路4に代えて、支持部材3に多数の通路3aを開穿させ、それぞれの通路3aに同時に駆動流体を供給したり、拡散路4を形成せずに、可動膜2の裏面と支持部材3の表面3bとの間に隙間を形成するか、或いは接触させることも可能である。さらに、図1ab及び図2に示される例では、支持部材3の外周に、可動膜2に一体形成された可動膜2の脚部2c及びフランジ状の取付凸部2dを挟んで、環状の取付部材5が設けられている。環状の取付部材5は、例えば金属、硬質合成樹脂、セラミックなどにより支持部材3の厚さと略同じ厚さの板状に形成され、その中央には、支持部材3よりも大きな貫通孔が開穿され、貫通孔の内面5iには、可動膜2の取付凸部2dを挟んで支持部材3が嵌入される。さらに、取付部材5は、支持部材3の側面3cとの間に可動膜2の取付凸部2dを挟み込むように形成される係止凹部5aと、変形可能部2bの外縁と隣接して粘着部材1が取り付けられる取付面5bとを有している。係止凹部5aは、貫通孔の内面5iで裏側に可動膜2の取付凸部2dと対向して凹設され、係止凹部5aと取付凸部2dを当接させることにより、係止凹部5aに対して取付凸部2dが変形可能部2bの膨張変形方向へ移動不能に保持される。取付面5bは、取付部材5の表側に変形可能部2bの外縁と隣接して凹設され、粘着部材1の裏面を例えば接着剤などで固着することにより、粘着面1aが可動膜2の表面、詳しくは板状部2a及び変形可能部2bの表面よりも若干突出するように配置されている。このような粘着部材1、可動膜2、支持部材3及び取付部材5は、それらを順次組み付けることで一体化される。その具体例を説明する。先ず、取付部材5における貫通孔の内面5i及び係止凹部5aと、可動膜2の脚部2c及び取付凸部2dとを、接着剤などにより固着して一体化するか、貫通孔の内面5i及び係止凹部5aに沿って、可動膜2を圧縮成形や射出成形などの型形成により一体化する。この際、貫通孔の内面5i及び係止凹部5aと可動膜2の脚部2c及び取付凸部2dとの接着強度を高めるために、取付部材5及び可動膜2の対向面においてそのいずれか一方又は両方をサンドブラストなどで粗面に形成することが好ましい。その後工程で、取付部材5と一体化された可動膜2内に、支持部材3を嵌入して、その係合凸部3dが可動膜2の係合溝2eと嵌合することにより、取付部材5及び可動膜2に支持部材3が一体化される。また、取付部材5の取付面5bには、粘着部材1の裏面を接着剤などにより固着して一体化され、ワーク粘着チャック装置Aとなる。このように組み立てられたワーク粘着チャック装置Aは、例えば定盤などからなる保持板11に対し、粘着面1aで粘着保持される板状ワークWと対向するように分散して多数配置される。図1ab及び図2に示される例では、取付部材5の外周部分に開穿される取付孔5cに、例えばボルトなどの固定手段6を挿通して保持板11に固定することにより、保持板11に対し取付部材5が着脱自在に取り付けられている。また、その他の例として図示しないが、保持板11に対する取付部材5の固定手段6として、ボルトに代えて他の固着手段などを用いることも可能である。さらに、可動膜2による粘着面1aからの板状ワークWの剥離動作についてその具体例を挙げると、粘着部材1による板状ワークWの粘着保持時には、図1aに示すように、通路3aへの流体の供給が停止されるか、又は通路3aから吸引されて、可動膜2の変形可能部2bが収縮変形し、板状部2aの裏面が支持部材3の表面3bと接近又は接するように粘着面1aよりも凹んで配置される。それにより、粘着面1aで粘着保持された板状ワークWに剥離力を作用させずに待機している。板状ワークWの剥離時には、図1bに示すように、通路3aに流体が供給され、それに伴って生じる可動膜2の一次側と二次側の圧力差により、変形可能部2bが支持部材3の表面3bから離れる方向へ膨張変形して、板状部2aが略平板状に形状保持されながら平行移動する。それにより、板状部2aの表面が板状ワークWに接触し押圧して粘着面1aから板状ワークWを強制的に剥離する。このような本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aによると、通路3aからの流体で変形可能部2bを板状ワークWへ向けて膨張変形させることにより、剛性の高い肉厚な板状部2aが略平板状に形状保持されながら平行移動し、板状ワークWに対する可動膜2の押圧力が分散されて、板状ワークWの一部に集中して荷重がかかることなく、粘着部材1の粘着面1aから板状ワークWが剥離される。したがって、板状ワークWに対する可動膜2の加圧分布を均等化して板状ワークWの部分的な変形を防止することができる。このような本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aが有する利点を補足するために以下のような実験を行った。図4aに示すような板状部2aと変形可能部2bを有する可動膜2が備えられた本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aと、図5aに示すようなほぼ均等な肉厚の可動膜2′を有する比較装置A′とを用意し、これら装置A,A′を同じ条件で板状ワークWの剥離試験を行って、可動膜2,2′の押圧により板状ワークWに生ずる局部的な加圧ムラを調べた。比較装置A′は、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aの可動膜2だけが異なり、それ以外の構成は本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aと同じものである。可動膜2,2′の押圧による局部的な加圧ムラを調べる方法としては、定盤B,B′上にガラス基板C,C′を介して例えば圧力測定フィルムなどの感圧紙D,D′が載置され、粘着部材1,1′の粘着面1a,1a′から板状ワークWを剥離して感圧紙Dに押し付けることにより、板状ワークWからの押圧力に応じて感圧紙D,D′が発色し、板状ワークWにかかる圧力分布が濃淡で表されるようにしている。図4aに示された本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aの可動膜2で剥離した板状ワークWによる感圧紙Dの圧力分布状態を図4bに示している。図5aに示された比較装置A′の可動膜2′で剥離した板状ワークWによる感圧紙Dの圧力分布状態を図5bに示している。また、板状ワークWとしては、液晶ガラスに使われる厚さtが0.5mmの無アルカリガラスを使用した。実験の結果として、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aの可動膜2は、図4aの二点鎖線に示されるように、通路3aからの流体で変形可能部2bが膨張変形して、剛性の高い肉厚な板状部2aが略平板状に形状保持されながら平行移動するため、図4bに示す感圧紙Dの圧力分布状態は、通路3aに対向する中央箇所D1が、通路3aよりも大きな板状部2aとほぼ同じ大きさの略円形で濃く発色し、変形可能部2bの中央側部位と対向する外側箇所D2が、板状部2aよりも大きな略円形で薄く発色している。これに対し、比較装置A′の可動膜2′は、図5aの二点鎖線に示されるように、通路3a′からの流体の噴出に伴って、通路3a′と対向する中央部位が最初に膨張変形し、そこから徐々に放射方向へ膨張変形するため、図5bに示す感圧紙D′の圧力分布状態は、通路3a′に対向する中央箇所D1′が、通路3a′とほぼ同じ大きさの略円形で最も濃く発色し、中央箇所D1′の外側箇所D2′が、通路3a′よりも大きな略円形で濃く発色し、最も外側の箇所D3′が、外側箇所D2′よりも大きな略円形で薄く発色している。したがって、これら感圧紙D,D1′の圧力分布状態を見れば、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aの可動膜2の方が、比較装置A′の可動膜2′に比べて、板状ワークWに対する可動膜2の加圧分布が均等化され、それにより板状ワークWの部分的な変形を防止できることが容易に理解できる。また、その他の可動膜構造として、図6abに示すように、板状ワークW′′と対向して可動膜2′′の中央部に板状剛体部2r′′を設け、可動膜2′′の背後に形成される一次側空間3f′′の圧力上昇で、可動膜2′′を板状ワークW′′へ向け膨張変形して板状剛体部2r′′を板状ワークW′′に面接触させることにより、粘着部材1′′から板状ワークW′′を押し剥がすことが考えられる。しかし、この場合には、粘着部材1′′で粘着保持された板状ワークW′′を、可動膜2′′の膨張により板状剛体部2r′′で剥離方向へ押圧すると、板状ワークW′′において板状剛体部2r′′の周縁部2s′′と対向する部位W1′′が折れ曲がって、この屈曲部位W1′′に板状剛体部2r′′の周縁部2s′′が食い込むため、可動膜2′′の膨張変形による押圧荷重が集中してかかり、特に板状ワークW′′がガラス製基板などの場合には割れるおそれがあるという問題があった。これに対し、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aは、図1bに示されるように、可動膜2の変形により板状ワークWを粘着部材1の粘着面1aから強制的に剥離する際に、可動膜2において肉薄な変形可能部2bが板状ワークWから徐々に離れるように屈曲変形するため、可動膜2の膨張変形による押圧荷重が分散して、特に板状ワークWがガラス製基板であっても割れを防止することができる。さらに、可動膜2に肉厚な板状部2a及び肉薄な変形可能部2bが一体形成可能となるため、図6abに示すものに比べて、部品点数が少なくて信頼性が高くなるとともに、部材同士を接合する必要がないから、可動膜2を変形させる流体が漏れ出るおそれもなく、気密性が保たれる。それにより、低コストで且つ作動性に優れた可動膜2を提供できる。さらに、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aが、図1ab及び図2に示されるように、可動膜2の板状部2aを支持部材3の表面3bへ向けて凸状に形成し、支持部材3の表面3bにおいて板状部2aと対向する中央部位を凹状に形成し、凹状部3b2に対して板状部2aを板状ワークWと交差するZ方向へ嵌合させた場合には、通路3aからの流体で可動膜2の変形可能部2bを変形させることにより、板状部2aが板状ワークWへ向けて平行移動し、支持部材3の表面3bの凹状部3b2に出入りして、板状ワークWに沿ったXY方向への位置ズレが抑制される。それにより、可動膜2の変形に伴う板状部2aの位置ズレを防止することができる。その結果、支持部材3に対して可動膜2が正しく位置決めされるため、板状ワークWの剥離方向の精度を高めることができる。さらにまた、可動膜2の裏面又は支持部材3の表面3bのいずれか一方か、若しくは可動膜2の裏面及び支持部材3の表面3bの両方に、支持部材3の中央に形成される通路3aを中心として放射方向へ連通する拡散路4を形成した場合には、通路3aから流体を放射状の拡散路4に供給することにより、支持部材3の表面3bに対し、可動膜2の裏面がその中央部位から外周部位へ向かい順次膨張変形して、支持部材3の表面3bから板状部2a及び変形可能部2bの裏面全体が離隔される。それにより、支持部材3から可動膜2の板状部2a及び変形可能部2bをそれらの材質と関係なく全面的に離して対称形状に膨張変形させることができる。その結果、ダイヤフラムと支持部材の材質によってそれらの対向面同士が部分的又は全体的に貼り付くおそれがある従来のものに比べ、板状部2a及び変形可能部2bの裏面全体に駆動流体を行き渡らせることができて、可動膜2の全体に亘って剥離の圧力が伝達されるため、変形可能部2bの膨張変形に伴う板状部2aの移動によって、粘着部材1の粘着面1aから板状ワークWを垂直に押し剥がすことができる。それにより、剥離された板状ワークWの姿勢を均一化できる。また、拡散路4に代えて、支持部材3に多数の通路3aを開穿させ、それぞれの通路3aに同時に駆動流体を供給した場合にも、拡散路4を設けた場合と同様の効果が得られる。そして、本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ機の具体例としては、図3に示されるように、一方上方の保持板11にワーク粘着保持装置Aが設けられ、その粘着部材1で第1の板状ワークWを粘着保持し、他方下方の保持板11′にシール材Sを介して第1の板状ワークWと平行に対向するように第2の板状ワークW′が保持されている。さらに必要に応じて、一対の保持板11,11′のどちらか一方か又は両方には、ワーク粘着保持装置Aを囲むように吸引吸着手段12が複数設けられ、これら吸引吸着手段12によって板状ワークW,W′を着脱自在に吸引吸着することも可能である。このような本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ機によると、ワーク粘着保持装置Aの可動膜2による押圧力が第1の板状ワークWに対して分散され、第1の板状ワークWの一部に集中して荷重がかかることなく、粘着部材1から第1の板状ワークWが剥離されるため、剥離時において第1の板状ワークWに生ずる潰れ変形が最小限に抑えられる。それにより、粘着保持された第1の板状ワークWを第2の板状ワークW′と平行に剥離して貼り合わせることができる。その結果、可動膜2の押圧による局部的な加圧ムラを防止できて、例えば基板間に挟み込まれるシール材や液晶デバイスなどの、局部的な加圧ムラによるダメージを軽減できる。次に、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。この実施例は、図1ab~図3に示すように、可動膜2において板状ワークWと対向する表面の外周に、粘着部材1の粘着面1aと隣接して面一状に突出する突起部2fを一体形成し、突起部2fよりも内側の表面部2gを、ワーク粘着保持時において粘着面1aよりも凹ませて配置したである。図1ab~図3に示される例では、変形可能部2bの外周に突起部2fが環状に形成され、突起部2fよりも内側の表面部2gとして、板状部2a及び変形可能部2bの表面全体が平面状に凹んで形成されている。また、その他の例として図示しないが、断続的に複数の突起部2fを配置することも可能である。このような本発明の実施例に係るワーク粘着チャック装置A及びワーク貼り合わせ機によると、粘着部材1の粘着面1aに対して板状ワークWを、例えば真空吸引手段や押し付け手段などで貼り付けても、板状ワークWの対向面が粘着面1aに当接する時点で可動膜2の表面外周の突起部2fに突き当たることにより、それ以上の可動膜2側への変形が抑制される。したがって、ワーク粘着保持時における可動膜2側への板状ワークWの極端な変形を防止することができる。その結果、板状ワークWの局部的な凹み変形による弊害を防止できる。特に、突起部2fを可動膜2と同じ弾性変形可能な材料で一体形成した場合には、例えば真空吸引手段や押し付け手段などで板状ワークWを貼り付ける際に突起部2fが弾性変形するため、粘着面1aに対して板状ワークWが貼り付け易くなり、粘着不良による落下事故を防止できるという利点がある。さらに、図1ab~図3に示される例では、保持板11の表面に形成される凹状部11aに対し、ワーク粘着チャック装置Aの取付部材5が嵌入され、ボルトなどの固定手段6で保持板11にワーク粘着チャック装置Aを取り付け、保持板11に開穿される通気孔11bから圧縮空気などの流体を支持部材3の通路3aへ供給することにより、可動膜2の変形可能部2bが膨張変形して、板状部2aを略平板状に形状保持されながら平行移動させ、粘着面1aで粘着保持された板状ワークWを強制的に押し剥がしている。通路3aの外側には、通路3aから取付部材5に繋がる流路を遮断する環状シール部2hが、支持部材3の外周を囲むように形成されている。図1ab~図3に示される例では、可動膜2の取付凸部2dに環状シール部2hが、保持板11の凹状部11aの内底面に向けて突出するように一体成形され、環状シール部2hの先端を凹状部11aの内底面に突き当てることにより、保持板11の通気孔11bから供給される流体が凹状部11aの内底面に沿って取付部材5へ向け流出することを防止している。また、その他の例として図示しないが、支持部材3の裏面に通路3aを囲むように環状の凹溝を形成し、この凹溝に環状シール部2hとしてOリングなどを保持板11の凹状部11aの内底面に向け突出するように設けて、凹状部11aの内底面に突き当てることも可能である。したがって、真空又は真空に近い雰囲気において、粘着部材1の粘着面1aに粘着保持された板状ワークWを剥離させるために、支持部材3の通路3aを経て流体が可動膜2へ向けて供給される際に、環状シール部2hで通路3aから取付部材5へ向け流体が流出することを堰き止めるため、真空又は真空に近い雰囲気中に流体が流れ出ることがなく、高真空状態が保たれる。それにより、可動膜2を変形させる駆動流体が漏れ出すのを防止することができる。その結果、真空中で例えば液晶ディスプレーなどを製造する際に、可動膜2を変形させるための流体が液晶デバイスの中に混入することがなく、気泡などの問題が起こらないという利点がある。また、支持部材3の側面3cと取付部材5の係止凹部5aとの間に、可動膜2の取付凸部2dが変形可能部2bの膨張変形方向へ移動不能に挟み込まれるとともに、取付部材5の取付面5bに、変形可能部2bの外縁と隣接して粘着部材1が取り付けられる。それにより、取付部材5を介して可動膜2及び支持部材3と粘着部材1が一体的に組み付けられる。ところで、可動膜2と粘着面1aの距離は、接近して配置した方が遠く離れて配置されるものに比べて、粘着面1aに粘着保持された板状ワークWを、変形可能部2bの膨張変形で板状部2aにより剥離する際に、大きな剥離力が得られる。それにより、剥離時において板状ワークWに生ずる撓み歪みも、可動膜2と粘着面1aを接近して配置した方が、遠く離れて配置されるものに比べて、小さくすることができる。この点に関し、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aによると、可動膜2と粘着面1aが互いに隣り合って限りなく接近して配置されるため、剥離時において板状ワークWに生ずる撓みを最小限に抑えることができる。したがって、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Aは、粘着部材1と可動膜2のユニット化を構成し易くしながら剥離性能を向上させることができる。さらに、取付部材5の係止凹部5aと可動膜2の取付凸部2dとの当接部分を接着剤で固着しても、接着剤が弾性変形する変形可能部2bまではみ出して付着するおそれがないので、変形可能部2bの変形に伴う繰り返し応力によって接着剤が付着した箇所の端部から亀裂が生ずることがなく、繰り返し耐久性、信頼性が高いダイヤフラム構造を提供できるという利点もある。なお、図3に示される例では、一方上方の保持板11だけに、ワーク粘着チャック装置Aと吸引吸着手段12を設けたが、これに限定されず、他方下方の保持板11′にもワーク粘着チャック装置Aを設けたり、更に加えて吸引吸着手段12を設けても良い。"