"カセット及びカセット容器を含み、薄いウェーハを保持するように構成されたウェーハシッパーであって、前記カセットは、ウェーハを保持するためのスロットを限定する一対の側壁、該側壁の間に延びる一対の端壁であって一方はHバーマシンインターフェースとして構成される端壁、及び、それぞれの前記側壁から下向きに延びる一対の細長い脚を含み、前記カセット容器は、前記カセットを内部に受け入れるための底部ベース部分、及び、該底部ベース部分に取り付け可能なトップカバーを含み、該トップカバーと前記ベース部分とは4つの壁と該4つの壁の間にまたがる共通の壁とを各々有し、前記トップカバーと前記ベース部分とは前記ベース部分に対して前記トップカバーを閉じるための接合部を各々有し、前記カセット容器は前記トップカバーに取り付け可能な上部クッション及び前記底部ベース部分内の受容部に設置される下部クッションをさらに有する、ウェーハシッパー。前記ベース部分はその床面から延びる位置決めリブを有し、前記カセットは下縁部を備えた脚を有し、前記下縁部は前記カセットが前記底部ベース部分に設置されたときに位置決めリブ上に設置されるように配置された切欠きを有し、前記下部クッションは、それらの間に延びるウェーハ係合部分を備えた一対のレールを有し、該レールは下縁部を有し、該下縁部の少なくとも一つは前記位置決めリブ上にまた設置されるように配置された、中央に位置する切欠きを有する、請求項1のウェーハシッパー。前記底部ウェーハクッションは複数のウェーハ係合部分を支持する一対のレールを含み、前記底部ウェーハクッションはさらに当該の一対のレールから横方向外方に延びる複数のパッドを含み、前記ウェーハクッションは前記複数のパッドを用いて前記ベース部分の床に設置される、請求項1のウェーハシッパー。前記パッドはそれぞれ上面を有し、前記カセットが前記ベース部分に配置されると、前記カセットの前記脚は前記パッドの上に設置され、それによって前記パッドが前記ベース部分の床と前記カセットとの間に挟まれる、請求項1のウェーハシッパー。前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは前記カセット内に設置された100mmウェーハの周縁から少なくとも5mm半径方向内側に延びる突起物を有する、請求項1のウェーハシッパー。前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは前記トップカバーに取り付けられかつ複数のウェーハ係合セグメントを支持する一対のレールを有し、前記ウェーハ係合セグメントは該ウェーハ係合セグメントと同じ材料で形成された、対応する一対のU字型スプリングを介して前記一対のレールに接続している、請求項1のウェーハシッパー。前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションはウェーハの周部を受け入れるためのV字溝を有し、該V字溝はウェーハスロットを限定し、前記上部クッションは前記V字溝によって限定されるスロットの間にそれぞれ位置する複数の突起物を有する、請求項1のウェーハシッパー。前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは複数のウェーハ係合セグメントを有し、該ウェーハ係合セグメントは最大の深さを有するV字溝を各々有し、該V字溝はウェーハの周部を受け入れ、前記上部クッションは、前記V字溝によって限定されるスロットの間にそれぞれ位置し、ウェーハが前記カセット内部に装填された状態で前記トップカバーが前記ベース部分に取り付けられるときにウェーハと出会うウェーハクッションの最初の部品となるように配置された複数の突起物を有する、請求項1のウェーハシッパー。前記突起物はそれぞれ、前記トップカバーが前記底部ベース部分上に完全に設置されたとき、ウェーハの周部から半径方向内側に延び、距離はV字溝の最大深さの2倍以上である、請求項8のウェーハシッパー。前記カセットが設置されていないときに、前記下部クッションが前記底部ベース部分内に設置され、重量によってのみ内部に固定される、請求項1のウェーハシッパー。カセット、及び、カセット容器を含むウェーハシッパーであって、前記カセットは、ウェーハを保持するためのスロットを限定する一対の側壁、該側壁の間に延びる一対の端壁であって、一方はHバーマシンインターフェースとして構成される端壁、及び、それぞれの前記側壁から下向きに延びる一対の細長い脚を含み、前記カセット容器は、前記カセットを内部に受け入れるための底部ベース部分、及び、該底部ベース部分に取り付け可能なトップカバーを含み、該トップカバーと前記ベース部分とは4つの壁と該4つの壁の間にまたがる共通の壁とを各々有し、前記トップカバーと前記ベース部分とは前記ベース部分に対して前記トップカバーを閉じるための接合部を各々有し、前記カセット容器は前記トップカバーに取り付け可能な上部クッション及び前記底部ベース部分内に受容される下部クッションをさらに含み、前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは前記トップカバーに取り付けられかつ複数のウェーハ係合セグメントを支持する一対のレールを有し、前記ウェーハ係合セグメントは該ウェーハ係合セグメントと同じ材料で形成された、対応する一対のU字型スプリングを介して前記一対のレールに接続している、ウェーハシッパー。カセット、及び、カセット容器を含むウェーハシッパーであって、前記カセットは、ウェーハを保持するためのスロットを限定する一対の側壁、該側壁の間に延びる一対の端壁であって、一方はHバーマシンインターフェースとして構成される端壁、及び、それぞれの前記側壁から下向きに延びる一対の細長い脚を含み、前記カセット容器は、前記カセットを内部に受け入れるための底部ベース部分、及び、該底部ベース部分に取り付け可能なトップカバーを含み、該トップカバーと前記ベース部分とは4つの壁と該4つの壁の間にまたがる共通の壁とを各々有し、前記トップカバーと前記ベース部分とは前記ベース部分に対して前記トップカバーを閉じるための接合部を各々有し、前記カセット容器は前記トップカバーに取り付け可能な上部クッション及び前記底部ベース部分内に受容される下部クッションをさらに含み、前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは前記トップカバーに取り付けられかつ複数のウェーハ係合セグメントを支持する一対のレールを有し、前記ウェーハ係合セグメントは該ウェーハ係合セグメントと同じ材料で形成された、対応する一対のU字型スプリングを介して前記一対のレールに接続している、ウェーハシッパー。カセット、及び、カセット容器を含むウェーハシッパーであって、前記カセットは、ウェーハを保持するためのスロットを限定する一対の側壁、該側壁の間に延びる一対の端壁であって、一方はHバーマシンインターフェースとして構成される端壁、及び、それぞれの前記側壁から下向きに延びる一対の細長い脚を含み、前記カセット容器は、前記カセットを内部に受け入れるための底部ベース部分、及び、該底部ベース部分に取り付け可能なトップカバーを含み、該トップカバーと前記ベース部分とは4つの壁と該4つの壁にまたがる共通の壁とを各々有し、前記トップカバーと前記ベース部分とは前記ベース部分に対して前記トップカバーを閉じるための接合部を各々有し、前記カセット容器は前記トップカバーに取り付け可能な上部クッション及び前記底部ベース部分内に受容される下部クッションをさらに含み、前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは前記トップカバーに取り付けられかつ複数のウェーハ係合セグメントを支持する一対のレールを有し、前記ウェーハ係合セグメントはそれぞれV字溝を有し、前記上部クッションは前記レールから下向きに延びてかつ各々先端を有する、複数の先細状ガイドをさらに有し、該ガイドはウェーハの縁がV字溝に入る前にガイドの先端がウェーハの周部を通過するように各々位置している、ウェーハシッパー。カセット、及び、カセット容器を含むウェーハシッパーであって、前記カセットは、ウェーハを保持するためのスロットを限定する一対の側壁、該側壁の間に延びる一対の端壁であって、一方はHバーマシンインターフェースとして構成される端壁、及び、それぞれの前記側壁から下向きに延びる一対の細長い脚を含み、前記カセット容器は、前記カセットを内部に受け入れるための底部ベース部分、及び、該底部ベース部分に取り付け可能なトップカバーを含み、該トップカバーと前記ベース部分とは4つの壁と該4つの壁の間にまたがる共通の壁とを各々有し、前記トップカバーと前記ベース部分とは前記ベース部分に対して前記トップカバーを閉じるための接合部を各々有し、前記カセット容器は前記トップカバーに取り付け可能な上部クッション及び前記底部ベース部分内に受容される下部クッションをさらに含み、前記下部ウェーハクッションは複数のウェーハ係合部を支持する一対のレールを含み、前記下部クッションは前記一対のレールから外側横方向に延びる複数のパッドを含み、前記ウェーハクッションは前記複数のパッドを介して前記ベース部分の床上に設置され、各パッドは上面を有し、前記カセットが前記ベース部分内に配置されると、前記カセットの前記脚は前記パッドの上に設置され、それにより、前記パッドは前記ベース部分の床と前記カセットの間に挟まれる、ウェーハシッパー。輸送中にHバーカセット内の薄いウェーハを保護する方法であって、前記Hバーカセットは底部に堅固なエッジ部を各々有する複数のスロットを備えたものにおいて、ウェーハの上死点付近を中心とする弓形縁部に係合する、端部を懸架された上部弓形ウェーハ係合部の列と、ウェーハの下死点付近を中心とする弓形縁部に係合する、端部を懸架された下部弓形ウェーハ係合部の列との間でウェーハを懸架することで、ウェーハをカセットと接触しないよう持ち上げること、それぞれのウェーハと対応するそれぞれの堅固なエッジ部との間に所定の半径方向の隙間が存在するように、ウェーハを前記カセットから離隔させ、及び、それぞれの下部弓形係合部の各端と前記堅固なエッジ部との間に所定の周方向隙間が存在するように、前記下部クッションを位置させること、及び以下の段階の一方又は両方を行なうこと:各々が前記端部を懸架された上部弓側ウェーハ係合部の端部から隔てられた一対の列の堅固な上部弓形支持部分を設けて、該一対の列の堅固な上部弓形支持部分を前記前記堅固なエッジ部とほぼ垂直に並んで位置させること、及び、隣り合うウェーハの間に延びるように配置される一対の列の突起物を設けて、各列が対応する堅固なエッジ部の列の一つと垂直に並ぶようにすること、を有する方法。輸送中にウェーハが前記堅固な上部弓形支持部に接触せずかつ衝撃条件下以外で前記堅固なエッジ部に接触しないように、ウェーハと前記堅固な上部弓形支持部の列と間に隙間を設けることをさらに有する、請求項15の方法。輸送中にHバーカセット内の薄いウェーハを保護する方法であって、前記Hバーカセットは底部に堅固なエッジ部を各々有する複数のスロットを備えたものにおいて、ウェーハの上死点付近を中心とする弓形縁部に係合する、端部を懸架された上部弓形ウェーハ係合部の列と、ウェーハの下死点付近を中心とする弓形縁部に係合する、端部を懸架された下部弓形ウェーハ係合部の列との間でウェーハを懸架することで、ウェーハをカセットと接触しないよう持ち上げること、それぞれのウェーハと対応するそれぞれの堅固なエッジ部との間に所定の半径方向の隙間が存在するように、ウェーハを前記カセットから離隔させ、及び、それぞれの下部弓形係合部の各端と前記堅固なエッジ部との間に所定の周方向隙間が存在するように、前記下部クッションを位置させること、及び、各々が前記端部を懸架された上部弓側ウェーハ係合部の端部から隔てられた一対の列の堅固な上部弓形支持部分を設けて、該一対の列の堅固な上部弓形支持部分を前記前記堅固なエッジ部とほぼ垂直に並んで位置させること、及び、前記堅固な上部弓形支持部分の各々を、ウェーハの各々と対応する堅固なエッジ部の各々との間の前記所定の半径方向の隙間に相当する半径方向の隙間を有するように、間隔を隔てること、を含む方法。隣り合うウェーハの間に延びるように配置される一対の列の突起物を設けて、各列が対応する堅固なエッジ部の列の一つと垂直に並ぶようにし、また各突起物が内側に伸びる歯の半径方向の最大距離とほぼ等しい半径方向の最大距離まで内側に延びるようにすることをさらに有する、請求項17の方法。輸送中に薄いウェーハを保護する方法であって、ウェーハを、上部弓形ウェーハ係合部と底部弓形ウェーハ係合部との間に懸架すること、ここで前記上部弓形ウェーハ係合部と前記底部弓形ウェーハ係合部との各々は、それぞれのウェーハの上死部において円弧で広がり、前記底部弓形ウェーハ係合部の列はそれぞれのウェーハの下死部において円弧で広がり、また前記上部及び底部弓形ウェーハ係合部は一対の端部を各々有している、及びより堅固な弓形支持部を、前記上部弓形ウェーハ係合部の各端部から離れており、また前記底部弓形ウェーハ係合部の各端から離れた複数対の堅固な支持部に設けること、ここで弓形ウェーハクッションの各端、前記より堅固な支持部は衝撃条件のとき以外は輸送中にウェーハと係合しない、を有する方法。それぞれの部品はポリプロピレンで形成される、先の請求項のいずれか。Hバーウェーハカセットの開口上部に配置するためのウェーハクッションであって、各々がV字溝を有する、別個でかつ端部を支持された複数の弓形ウェーハ係合セグメントを有し、各ウェーハ係合セグメントの端部から延びるU字型スプリングを有し、該U字スプリングはレール部に接続しており、該レール部はそれぞれの弓形ウェーハ係合セグメントから半径方向外側に離れている堅固な弓形ウェーハ係合面を備えており、各レール部はさらにウェーハ係合セグメントによって固定されたウェーハの間に位置するために半径方向内側に延びる複数の突起物を有する、ウェーハクッション。互いに反対側の側壁備えたカセットを有するウェーハシッパーであって、前記側壁は互いに反対側の端壁により接続されており、各側壁は垂直な上部と収束する下部とを有し、前記側壁の内面は軸方向に並んだウェーハを保持するため相互間にスロットを備えた複数の歯を限定しており、Hバーウェーハカセットの開口上部に配置するためのクッションを有し、該クッションはV字溝を各々有する複数の弓形ウェーハ係合セグメントを備えており、前記クッションはさらに前記ウェーハ係合セグメントの端部に近接配置された複数のガイドを有し、該ガイドは前記カセットの歯に対して垂直に並んで配置されるように半径方向内側に延びる、ウェーハシッパー。前記ガイドは内部に保持されたウェーハの縁から半径方向最大距離で内側に延び、前記歯は内部に保持されたウェーハの縁から内側に、前記ガイドがウェーハの縁から内側に延びる半径方向最大距離とほぼ等しい、半径方向最大距離で延びる、請求項22のウェーハシッパー。内部に保持されたウェーハの端から内側に前記ガイドが延びる半径方向最大距離は、前記歯がウェーハの端から内側に延びる半径方向最大距離の20以内である、請求項23のウェーハシッパー。前記歯の各々は、最も低い部分を有し、前記ガイドは前記歯の最も低い部分と垂直に並んでいる。図1と2を参照すると、本発明の実施形態によるウェーハシッパー20が例示されており、概略的には、ベース部分24、トップカバー部分28、カセット30、下部クッション34、及び、上部クッション38を有する容器部分22を含んでいる。本発明は、ウェーハ容器部分22のカバー部分28及びベース部分24内に取り付けられる基板クッションアセンブリを備えている。これらのクッションアセンブリは、衝撃、振動、及び、回転によるウェーハの損傷を、二次包装を追加することなく最小限にするために、運搬の間にウェーハWに対する付加的な支持を与えるものである。容器のトップカバーが取り付けられると、これらの付加的なウェーハクッションアセンブリはまた、ウェーハをカセット内の最適な着座位置へ誘導でき、装填操作及び運搬の間におけるウェーハのクロススロッティングのリスクを減らす。隣り合うウェーハ同士が触れ合わないように、ウェーハの上側周部と下側周部は、上部クッションセグメント50のV字溝49と下部クッションセグメントのV字溝40の、それぞれの中心線に接触しており、それによりウェーハの接触を低減し、ウェーハ表面の汚染を最小限にしている。さらに、ウェーハの上側周部がクッションに接触すると、クッションアセンブリの弾性復元によってウェーハの正確な位置決めが確実となり、該弾性クッションはウェーハ周部がV字溝49、40の中心線内に動くようにするため弓形に曲げられている。クッションアセンブリの弾性復元は、ウェーハ容器を運搬する間にウェーハに加わる振動及び機械的な衝撃に対して減衰効果を示し、そこに格納されたウェーハを損傷から保護できる。既存のクッション技術では、38インチの自由落下において25gの力でウェーハが損傷を示し、本発明のクッションアセンブリの試験では38インチの自由落下において46gから51gの力でウェーハが損傷を示す。図3~10を参照すると、容器部分22の底部ベース部分24とウェーハクッションの詳細が例示されている。容器は、容器内に置かれたカセットに格納されたウェーハの軸と一致する軸方向を持っている。本実施形態において、ウェーハクッションは一つのパネルとして構成されており、つまり、個々のウェーハ係合部分又はセグメント56の間は分離されていない。クッションは、弓形のウェーハ係合部分56に構造的支持を与える1対のレール58を有する。レールの下縁部58からは脚部分63を備えたタブあるいはパッド62が延びている。パッドは、ベース部分24の底床面68の設置面66と接触する底面64を有する。ベース部分の底床面は、軸方向に延びる溝71として構成される、クッション、特にクッションのレールと合致するクッション受け部70を持っている。つまり、凹部72は、原則的にクッションが定位置に落とされて適正に設置されることを可能にする。レールは、ベース部分の凹部の位置決めリブ76とさらに協働する切欠き74も有する。該レールはさらに、クッションを非常に簡単に設置するのに役立つ。とりわけ、ボトムクッションを取り付けるにあたっての操作は、クッションを定位置に落下させるのみである。また、底部は筐体を限定する2つの端壁84と2つの側壁とを備えた4つの壁82を有する。傾斜面88を備えた角度がついた又は斜めになった2つの壁部分86は、さらにボトムクッションを適正な設置位置へ誘導するのに役立つ。ベース部分はまた、カセット30を受け入れ、カセット30に対して適合する形状を有している。カセットは、端壁93と94とに接続している一組の側壁92を有する。これらの側壁は、スロット100を限定する、垂直上部95、収束下部96、及び、リブ又は歯98を有する。収束壁部の下縁102からは、エッジ部分108とエッジ面110とを備えた1組の脚106が下向きに延びている。これらの脚は位置決め切欠き112を有する。開口上部が上向きのとき、カセットはこれらの脚の上に載る。該カセットは開口上部113と開口底部114とを有する。ロボットによりこのようなカセットを搬入しかつ搬出するため、多くの場合、ウェーハが水平に搬入及び搬出されるようにカセットは前方向に90度回転されて従来型のHバー116上に載せられる。凹部70と傾斜面88とはさらに、カセット30の脚がベース部分内に下ろされるときに案内を行なう。下部クッション34がベース部分内に置かれた後、カセットがベース部分内に置かれる。その脚は、クッションレールの横方向外側にある、溝71内のカセット受け部116へと導かれる。特定の実施形態において、底面エッジは床の表面に載せられるのではなく、図10に最も良く示されているように下部クッションのパッド62の上に載せられる。パッドはカセットとベース部分の間に挟まれて、安定性をもたらし、また、ポリマーの付加的な層と厚さとによってカセットにさらなる衝撃吸収をもたらす。さらには、前述のクッションと同様に、カセットもベース部分床面上の位置決めリブ76を利用して、カセットが前後方向つまり軸方向に適正に位置決めされ、固定される。従来では、これらのリブはウェーハカセットを装置上や容器内に配置し安定させるために利用されているが、クッションの位置決めには利用されていない。クッション及びカセットの位置決めのためにリブを利用することで、特に下部クッションがベース部分に固定され或いは取り付けられていない特定の実施形態において、ウェーハのずれ、又は、クロススロッティング及び、それに関連する損傷を防ぐための適正な協働と位置揃えとが確実となる。図3及び11~16を参照すると、上部クッション38とトップカバー部分28の詳細が示されている。上部クッションは複数の細長いウェーハ係合セグメント50を有し、これらはウェーハの周部に倣った弓形に形成され、セグメント端部130には支持レール140に接合するU字ポリマースプリングとして構成されたスプリング134を有している。レールは、タブ148に取り付けられる内側に凹んだ凹部144を有する。特定の実施形態において、上部クッションは、トップカバー部分に取り付けるために矢印160で示される方向に圧縮される必要がある。側部のレール164は、便宜的にハンドルとして機能し、また射出成形工程の際に金型から部品を取り出すためのエジェクタピンに対するエジェクタパッドとしても機能する。支持レール140から下方に延びているのは、突起物170として構成されるウェーハガイドである。これらの突起物は細長く、先細になっていて、トップカバー部分がベース部分に設置されたカセット上にまで下げられたときに、ウェーハと最初に出会うるトップカバーの部分である。突起物は、半径方向の長さ11を有し、これは関連するウェーハセグメント50のV字溝49の深さの2倍以上である。突起物は、ウェーハセグメントの長手方向に平行な方向に幅寸法を有し、この幅寸法はウェーハセグメントの長手方向に対して横方向に直角な方向における突起物の幅の少なくとも2倍であり、この突起物の幅は少なくとも2の乗数である。他の実施形態では、乗数は1.5以上で、その他の実施形態では2.5以上である。突起物は、ウェーハカセットの歯によって限定されまたクッションのV字溝によっても限定されるスロットの各々の中間に位置する。使用に当たって、カセットは一般に開口上部を前方に回転した状態で装填される。次にカセットは開口上部を上側にするために後方に回転される。下部クッションがすでにベース部分の中に設置された状態で、カセットがベース部分内に下ろされる。ベース部分が装填済カセットを受け入れると、ウェーハの下側周縁174が、下部クッション上の弓形のウェーハ係合部分56に係合する。次に、カセットがベース部分に設置されているときに下縁部176とウェーハWの間に隙間179が生じるように、ウェーハを下縁部176からわずかに離れるように持ち上げるよう、クッションを設定する。ある実施形態においては、隙間は何千分の1インチになり得る。例えば、0.005インチから0.020インチ。あるいは、0.002インチから0.50インチである。隙間は、下端部の上側のスロットにおいてほぼ大きくなり、下縁部からの距離が大きくなるほど、隙間は大きくなる。次に、トップカバー部分28が、カセット上に下ろされ、トップカバー部分が下げられるにつれてガイド170がウェーハの間に入り込む。トップカバーが底部カバーと完全に係合すると、上部クッションはウェーハの上側周縁183と弓形のウェーハ係合セグメントにて係合する。弓形のウェーハ係合セグメントはウェーハがガイドから空間を隔てて位置させ、さらに、スロットの下縁部分とウェーハとの隙間とほぼ同じ隙間を、クッションの外側のばね付勢されていない部分又はセグメント185において生じさせる。特定の実施形態においては、隙間は何千分の1インチになり得る。例えば、0.005インチから0.020インチ。あるいは、0.002インチから0.50インチである。ばね付勢されていないセグメント185はトップカバーの内部の取付機構と係合する上部クッションの部分にある。図17を参照すると、完全に装填され閉じられた状態で、ウェーハは、ウェーハの上死点に位置する上部クッションの弓形部と、ウェーハの下死点に位置する底部クッションの弓形部との間に周部で支持され、懸架される。弓形の係合部分は矢印221で示される圧縮力をもたらし、一実施形態において、各々約55度の円弧210にわたってウェーハの周囲に延びかつ係合する。ある実施形態においては、弓形の係合部分は50度から60度の円弧210にわたってウェーハの周囲に延びかつ係合する。または、約49度から約61度である。衝撃条件においては、弓形部から距離を置いた位置において、さらに周辺に、より堅固な周部支持部216が備えられる。ウェーハの下側周部において、このより堅固な支持部はクッションの端部から約5度の間隔220を有し、溝の下縁部分によって与えられている。ウェーハの上側周部において、このより堅固な支持部はクッションの端部から約5度の間隔222を有し、クッションの支持レール隣接する、上部クッションのバネ付勢されていないセグメントによって与えられている。ウェーハの上側周部におけるこれらのより堅固な支持部の両者は、ウェーハに沿って4度から10度、あるいはそれ以上の円弧226をなしている。ここでの周部支持部は、例えば、V字溝によって与えられる支持のような、ウェーハの外周面に対する、及び/又は、ウェーハの互いに反対側の平面間にある角部の周部に対する支持部を意味する。軸方向の衝撃条件において有効になりうる、ウェーハの表面上に延びて直接ウェーハに介入する支持は、通常、破線で概略を図示した部分によって示されるウェーハ歯230によって与えられるが、ここではほぼ垂直に並んでいて破線で示されたガイドつまり突起物232によっても与えられる。そして衝撃条件において、ウェーハは懸架された弓形のウェーハ係合部分によって与えられた懸架装置内で動き得る。このような動作の間、ウェーハスロットの下側縁部176は上部クッションの185の外側のバネ付勢されていない部分と係合し得る。さらに、ウェーハの間に、ほぼ正確にウェーハの間に、延びるガイド170によってさらなる支持がもたらされる。ガイドは、カセットの歯によってもたらされる衝撃に対する表面支持とほぼ対称または類似した、衝撃に対する表面支持を与える。衝撃条件においてウェーハがさらに係合することによって、脆いウェーハの曲げ量が制限される。この対称な表面支持が生じて、従来のシッパーにおいて与えられる荷重よりも、より大きな荷重の下で薄いウェーハに対してさらなる保護をもたらす。ここでの表面支持とは、ウェーハの周部において、ウェーハの表面と35度以下の角度を形成する表面によってもたらされる支持を意味する。従って、衝撃がない条件では、ウェーハは、ウェーハの上部と底部において約55度で延びる円弧で支えられる。さらに、衝撃条件におけるより堅固な支持が周部でもたらされる。特に図3を参照すると、衝撃がない条件においては、ウェーハが下部クッション34の弓形ウェーハ係合部56によって支持されるような、新しい懸架が与えられる。ここでの部品は、通常は射出成形によって製造される。適切な材料はポリプロピレンである。他のポリマーもまた適切である。図、特に図3を参照すると、ベース部分の水平に延びかつ連続する上側縁部190は、ウェーハカセット高さの25以上の距離と同じ高さまで上向きに延びていることが好ましい。同様に、トップカバー部分の連続する水平な下側縁部192は、カセット高さの25以上の距離で、カセットの上面から下方の高さまで下方に延びる。上側縁部はトップカバーの協働する水平な下側縁部192と係合し、掛止される。縁部は互いに合わさって、掛止操作のための凹部195を備えた容器部分の外面に連続する表面を形成する。底部ベース部分に対するトップカバーの接合部196は、ウェーハカセットの中央部197の周囲全体に延びている。同様の容器の構造や特徴は、米国特許第4,949,848号、第4,966,284号、第4,793,488号、及び、第5,273,159号に例示されており、このような構造や特徴は本発明とともに使用するのに適している。これらの特許は本発明の所有者に所有されており、参照によりここに導入される。とりわけ、ここに示される容器部分は水平面に設置するのに適した面は一つしか持っていない。つまり、該容器部分は、Hバーカセットや、特に300mm以上の大きな直径のウェーハのために一般的に利用されるFOSBs前面開口輸送ボックスとして知られる特定の容器のような、隣接する側における設置特性を備えていない。本発明の実施形態において、トップカバーとベース部分はそれぞれ高さを持っており、それぞれの高さは他方の高さの25以内である。ここで寸法や距離について使われるほぼとは、寸法と比較して比較対象の寸法の15以内を意味する。上述の実施例は説明を意図するものであり、限定するものではない。追加の実施例は請求項の範囲内にある。本発明は特定の実施例を参照して説明したが、当業者は本発明の精神と範囲から逸脱することなく形態と内容についての変更がなされることを認識するであろう。"