精密装置で、ターボポンプ等の振動発生を伴う装置を利用する時に必要とされる除振機構であって、2段以上のダンパを直列構成で用いる真空シール用ベローズを利用するものにおいて、前記直列構成した2つのベローズ間に動吸振器を設けたことを特徴とする除振機構。前述したように、除振器を2段にすると、1段の場合よりも振動の遮断特性が向上する。しかしながら、図11に示すような除振器の直列構成をとると、除振器の高さが2倍以上になってしまう。装置によっては、床とのクリアランスを大きくとることができない場合があり、その場合には2段構成をとることができず、振動の遮断性能が低下するという問題があった。本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、装置の高さを増やすことなく、除振性能を向上させることができる除振機構を提供することを目的としている。請求項1記載の発明は、精密装置で、ターボポンプ等の振動発生を伴う装置を利用する時に必要とされる除振機構であって、2段以上のダンパを直列構成で用いる真空シール用ベローズを利用するものにおいて、前記直列構成した2つのベローズ間に動吸振器を設けたことを特徴とする。本発明によれば、2つのベローズ間の中間部に設けた中間質量にダンパを設けることにより、折点周波数における遮断特性の悪化を抑制し、或いは折点周波数の共振ピークを低くすることができ、振動の遮断特性を向上させることができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は本発明の第1の実施の形態を示す構成図である。図8と同一のものは、同一の符号を付して示す。本発明の特徴は、図に示すようにベローズを同心上に二重に配置したことである。13は外側に配置されたベローズ、14は内側に配置されたベローズである。図2はベローズの接続部分の詳細を示す図である。外側のベローズ13と内側のベローズ14とがフランジ18で接続されている。外側のベローズ13は、その一端がフランジ17と接続され、他端がフランジ18と接続されている。一方、内側のベローズ14は、その一端がフランジ18と接続され、他端がフランジ28と接続されている。以上の説明で明らかなように、ベローズ13とベローズ14とは直列に接続されていることが分かる。1は装置側フランジである。フランジ17と、ベローズ13と、フランジ18と、ベローズ14と、フランジ28はそれぞれ溶接で接続されている。ベローズ13の外側には、その真空圧を支持するゴム15が配置されている。フランジ28には、フランジ29がボルトで接続され、該フランジ29とフランジ18との間にはゴム16が配置され、ベローズ14にかかる真空圧を支持するようになっている。TMP6は、フランジ28にクランプ30で固定される。フランジ18の外側には、粘弾性材19を介してマス27が配置されている。粘弾性材19とマス27は、フランジ18の振動に対する制振機構を形成している。この実施の形態によれば、ゴム16がTMP6の外側に配置されているので、全体を高さ方向に短くすることができる。この実施の形態は、1段の除振器を用いた場合に比べて、高さ方向は僅かしか例えば9mm伸びていない。よって、床8と装置側フランジ1とのクリアランスが小さいため、1段の除振器しか利用できなかった装置に対しても、2段の除振器を適用することが可能である。このように構成された装置の動作を以下に説明する。図3は本発明の第1の実施の形態の力学モデルを示す図である。装置側フランジ1に対して、フランジ18に相当するマスdがベローズ13とゴム15に相当するバネeと減衰項fによって支持されている。マスdの下部質量M3は、TMP6とフランジ28、フランジ29に相当するマスa質量M1に対して、ベローズ14とゴム16に相当するバネbと減衰項cで接続されている。また、マスdには、粘弾性材19に相当するバネgと、減衰項h及びマスiからなる制振機構が接続されている。この力学モデルにおける伝達関数を図4に示す。一つ目の折点周波数f1は、図10に示す折点周波数f1よりも小さい値である。なお、図7に示す特性の折点周波数f1と前記折点周波数fとは必ずしも一致しない。ここで、マスdの質量M3を図12のマスbよりも大きくしM2<M3、上下のバネ定数k1k2を図12の場合と同程度にすることにより、二つ目の折点周波数f2を図13のf2よりも低くすることができる。これによってfTにおける伝達率はより低くなり、TMP回転数の振動伝達をより抑えることができる。即ち、図4におけるfTにおける減衰量をG2として、G2>G1とすることができる。次に、f2に発生する共振ピークについては、図3中のM4k3c3による制振機構がM3の固有振動f2Hzを抑制するように調整されており、伝達関数のピークを小さくすることができる。従って、f2Hzの共振による伝達率の悪化を抑制することができる。以上説明したように、二つ目の折点周波数をより低周波側に移動し、またこの周波数における共振倍率を抑えることによって、良好な伝達関数を有する除振機構を実現することができる。図5は本発明の第2の実施の形態を示す構成図である。この実施の形態は、図1に示す実施の形態と異なり、ダンパを同心状に配置せず、縦方向に直列接続し、1段目の除振器と2段目の除振器の間にダンパを設けたものである。図において、40は1段目の除振器、41は2段目の除振器である。42は1段目の除振器40と2段目の除振器41の間に取り付けられたダンパである。ダンパ42において、53はマス、54は粘弾性材、55はフランジである。1段目の除振器40と2段目の除振器41とは、ダンパ42により結合されている。このように構成された実施の形態の動作を説明する。図6は本発明の第2の実施の形態の力学モデルを示す図である。aはマス質量M1、bはバネ、cは減衰項である。dはマス質量M3で、該マスdと装置側フランジ1間に接続されるバネと減衰項の定数は、マスaとマスd間に接続されるバネと減衰項の定数と同じである。マスdに接続されるマス質量M4iとバネgと減衰項hとで動吸振器を構成しており、この部分は図5のダンパ42の力学モデルに対応している。図7は本発明の第2の実施の形態の伝達関数特性を示す図である。第1の折点周波数f1は、図10に示す折点周波数f1よりも低周波側に移動し、第2の折点周波数f2も図13に示す折点周波数f2よりも低周波側に移動している。この結果、TMPの回転周波数fTにおける減衰量G2は十分に大きな値となり、TMPの振動を装置側フランジ1に伝えなくすることができる。この実施の形態によれば、2つのベローズ間の中間部に設けた中間質量にダンパを設けることにより、折点周波数低くすることができ、振動の遮断特性を向上させることができる。上述の実施の形態では、上下方向の振動について論じてきたが、水平方向の振動についても全く同様に考えることができる。この場合、圧縮方向のバネと減衰項ではなく、水平せん断方向のバネと減衰項によって伝達関数が決定される。この場合も、ベローズに挟まれた中間質量の水平方向振動モードが二つ目の折点周波数を決定する。この質量を大きくすることにより、上下方向の場合と同様に、二つ目の折点周波数を低くする効果がある。また、粘弾性材19図1参照とマス27は、水平方向の振動に対してもこの周波数の吸振ピークを抑制できるようになっており、同様に共振による伝達関数の悪化を防ぐことができる。よって、上下方向と同様に、水平方向の振動伝達関数の特性も良好なものとなる。以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下の効果がある。1同心に二重のベローズを配置し、TMPの外側の空間を有効利用することにより、2段の除振器でも1段のものとほとんど同じ使用高さにすることができ、高さ方向のスペースのとれない装置にも、より高い除振性能を提供することができる。2ベローズ間の中間質量を大きくすることにより、伝達関数の二つ目の折点周波数を低くし、TMP回転周波数の含まれる高周波域の除振性能を高めることができる。3前記中間質量に制振機能を設けることによって、折点周波数における共振による伝達率の悪化を防ぐことができる。このように、本発明によれば、良好な伝達関数を有し、かつ高さ方向に省スペースな除振機構を提供することができる。