プラズマ処理チャンバ内で用いられ、前記プラズマチャンバ内の部品を取り付けるために用いられたときに寄生プラズマ形成を防止する留め具アセンブリであって、前記留め具アセンブリは、軸方向に伸びる中央貫通穴と、ネジ切り外面と、前記貫通穴の最上部のツール係合ソケットとを備えた管状の本体を有するボルトであって、前記ソケットは、ネジ切り穴に前記ボルトを挿入する際に前記ボルトを回転させるために用いられるツールと係合するよう構成される、ボルトと、前記貫通穴の長さよりも長く伸びるシャフトを有するピンであって、前記貫通穴の上側部分が埋められていない下位置から、前記ピンの上面が前記ボルトの上面と同一平面になる上位置まで、移動可能であるピンと、前記上位置で前記ピンを付勢するバネと、を備える、留め具アセンブリ。請求項1に記載の留め具アセンブリであって、前記ボルトはフランジを備え、前記ボルトの前記上面は、前記フランジの外周から内向きに広がる、留め具アセンブリ。請求項1に記載の留め具アセンブリであって、前記ピンは、前記ピンが前記上位置にあるときに前記ボルトの軸端と係合するリムを備える、留め具アセンブリ。請求項1に記載の留め具アセンブリであって、前記バネは、前記ピンの下側部分を囲むらせんバネであり、前記ピンの前記下側部分の長さよりも長い長さを有し、前記ピンは、前記バネの少なくとも1つの巻きと係合する保持リングと、前記バネが圧縮されたときに前記バネの上端と係合する停止部とを備える、留め具アセンブリ。請求項1に記載の留め具アセンブリであって、前記ピンおよびボルトはアルミニウムで形成されており、前記ボルトおよびピンの前記各上面は陽極酸化された面である、留め具アセンブリ。請求項1に記載の留め具アセンブリであって、前記ボルトは、0.38インチの外径および0.08インチの長さを有する上部フランジと、0.24インチの直径および0.35インチの長さを有し前記フランジから伸びる非ネジ切り部分と、M6×1のISOネジ山および0.37インチの長さを有し前記非ネジ切り部分から伸びるネジ切り部分と、0.19インチの長さを有し前記上面から伸びる六角ソケットを含む前記ツール係合ソケットと、を備える、留め具アセンブリ。請求項1に記載の留め具アセンブリであって、前記ピンは、7つの部分を備え、前記7つの部分は、0.11インチの直径および0.21インチの長さを有し前記上面から伸びる第1の部分と、0.14インチの直径および0.56インチの長さを有し前記第1の部分から伸びる第2の部分と、0.12インチの直径および0.03インチの長さを有し前記第2の部分から伸びる第3の部分と、0.19インチの直径および0.1インチの長さを有し前記第3の部分から伸びる第4の部分と、0.13インチの直径および0.05インチの長さを有し前記第4の部分から伸びる第5の部分と、0.15インチの直径および0.025インチの長さを有し前記第5の部分から伸びる第6の部分と、0.13インチの直径および0.68インチの長さを有し前記第6の部分から伸びる第7の部分と、を含む、留め具アセンブリ。請求項1に記載の留め具アセンブリによって共に取り付けられたプラズマチャンバのボルト留めアセンブリであって、段付き穴を有する上側部品と、上側ネジ切り部分および下側非ネジ切り部分を備えた止まり穴を有する下側部品と、前記段付き穴の上側部分に収容されたフランジ、前記段付き穴の下側部分に収容された非ネジ切り部分、および、前記止まり穴のネジ切り上側部分と係合されたネジ切り部分を有する前記ボルトと、前記ピンの下側部分を囲み、前記止まり穴の前記下側部分に収容され、前記ピンの停止部に当たって圧縮され、前記ピンが前記上位置にあるときに前記ボルトの軸端に向かって前記ピンのリムを押しつける前記バネと、を備える、ボルト留めアセンブリ。請求項8に記載のボルト留めアセンブリであって、前記ソケットは六角ソケットであり、前記上側および下側部品は、基板のプラズマ処理中に前記基板を支持する下側電極アセンブリのアルミニウムプレートである、ボルト留めアセンブリ。請求項8に記載のボルト留めアセンブリであって、前記上側部品は、複数の段付き穴を有する被覆リングを含み、各段付き穴の上側部分は、前記ボルトの前記上面および前記ピンの前記上面が前記被覆リングの上面と同一平面になるように、前記ボルトのフランジを収容する、ボルト留めアセンブリ。請求項8に記載のボルト留めアセンブリの組み立て方法であって、前記ピンの下端に前記バネを配置する工程と、前記ボルトの前記貫通穴に前記ピンの上端を挿入する工程と、前記ボルトを挿入する工程であって、前記ボルトの中にはめた前記ピンと共に前記上側部品の前記段付き穴に、そして、前記ピンの前記下端の前記バネと共に前記下側部品の前記止まり穴に、前記ボルトを挿入する工程と、前記ボルトの前記ソケットと係合するツールで前記ピンを押し下げ、前記ボルトの前記上面が前記上側部品の上面と同一平面になるまで前記ボルトを回転させる工程と、前記ツールを除去し、前記バネが前記ピンを前記上位置に押して、前記ピンの前記上面が前記ボルトの前記上面と同一平面になるようにする工程と、を備える、方法。請求項8に記載のボルト留めアセンブリの分解方法であって、前記ボルトの前記ソケットと係合するツールで前記ピンを押し下げ、前記ボルトのねじ山が前記止まり穴のねじ山から外れるまで前記ツールで前記ボルトを回転させる工程を備える、方法。図1は、典型的なプラズマベベルエッチング装置の概略断面図である。下側電極11は、電極支持体20に固定されている。高周波RF源15が、下側電極11に電気的に接続されている。下側プラズマ排除区域PEZリング17が、下側電極11を囲んでいる。下側延長電極19下側RF戻り電極が、下側PEZリング17を囲んでいる。基板13は、下側電極11上に支持される。上側PEZリング16が、上側誘電体板12を囲んでいる。上側延長電極18上側RF戻り電極が、上側PEZリング16を囲んでいる。上側延長電極18および上側PEZリング16の間のギャップ14は、ガス源図示せずに流体連通しており、基板13のベベルエッジの近くに処理ガスを供給するよう構成されている。ベベルエッチング処理の際、上側誘電体板12、上側PEZリング16、および、上側延長電極18は、上側誘電体板12と基板13との間にプラズマが形成されることを防止するのに十分にそれらが近づくまで下げられる。処理ガスは、基板13のベベルエッジの近くにギャップ14を通して供給される。下側電極11のRF電力が延長電極18および19に結合され、プラズマがそれらの電極の間に生成されて、基板13のベベルエッジをエッチングする。基板13のベベルエッジのみがエッチングされる必要があるため、プラズマは、基板13上方の中央領域では望ましくない。しかしながら、下側電極11は、通例、六角ソケットネジ21によって電極支持体20に固定されている。寄生プラズマが、これらのネジ21の六角ソケットの空間内で形成されて、基板13に悪影響を及ぼす場合がある。本明細書には、ツール係合ソケットを備えたボルト100と、バネ付勢ピン200とを含む留め具アセンブリが記載されている。留め具アセンブリのソケットは、基本的に、プラズマ処理中にはバネ付勢ピン200によって塞がれる。この留め具アセンブリは、電極支持体20に下側電極11を固定するため、または、プラズマ反応チャンバ10内のその他の適切な構成要素下側電極11の被覆リングなどを固定するために利用可能である。図2~図5は、ボルト100の一実施形態を示す。ボルト100は、中央貫通穴110および側壁120を備える。側壁120は、上側部分122および下側部分124を備える。上側部分122は、円筒体122bから外側に放射状に広がる上部フランジ122aを備える。上側部分122は、非ネジ切り外面を備えてよい。下側部分124は、ネジ切り外面を備えてよい。穴110は、上側部分110aおよび下側部分110bを備える。上側部分110aは、嵌合ツール六角レンチ、トルクスドライバなどのネジ回しを嵌めるためのソケットとして用いられる非円筒形の空間である。下側部分110bは、円筒形の空間であってよい。例示的な実施形態では、電極支持体20に下側電極11を固定するために複数のボルト100が用いられ、上部フランジ122aは、約0.38インチ本明細書では約とは±10を意味するの外径および約0.08インチの長さを有してよく、円筒体122bは、約0.24インチの外径および約0.35インチの長さを有してよい。上部フランジ122aの縁部は、約0.02インチの半径に丸められてよい。下側部分124は、約0.37インチの長さを有してよく、下側部分124の外面は、M6×1のメートル法ISOネジ山を形成されてよい。穴110の上側部分110aは、約0.19インチの長さを有する六角柱の空間であってよい。六角柱の空間の底面は、約0.14インチの直径1つの頂点から向かいの頂点までの対角線の幅を有する正六角形であってよい。上側部分110aは、嵌合六角レンチを嵌めるためのソケットとして用いられる。下側部分110bは、約0.6インチの長さおよび約0.14インチの直径を有する円筒形の空間であってよい。穴110は、側壁120と同心である。好ましい実施形態において、ボルト100は、アルミニウムから形成されてよい。穴110の底部から上方に約0.57インチ伸びる内面114b、ボルト100の底面100b、側壁120の下側部分124の外面、円筒体122bの外面、および、上部フランジ122aの底面は、陽極酸化されていない裸アルミニウム。ボルト100のすべての他の面は、約0.002インチの厚さに陽極酸化されてよい。図6~図8は、ピン200の一実施形態を示す。ピンがボルト100に取り付けられ、ボルトが或る部品を別の部品に取り付けるために用いられるとき、ピン200は、基本的に上側部分110aを埋める。ピン200は、ツールが上側部分110aに挿入されたときにピン200が引っ込む押し下げられるようにバネ付勢されてよい。好ましい実施形態において、ピン200は、7つの同心円筒部分210、220、230、240、250、260、および、270を備え、210は最上部であり270は最下部である。第1の部分210は、約0.21インチの長さ、約0.11インチの直径を有してよく、その上縁部に約0.01インチ幅の45°の面取り面を備える。第2の部分220は、約0.56インチの長さ、約0.14インチの直径を有してよく、その上縁部に約0.01インチ幅の45°の面取り面を備える。第3の部分230は、約0.03インチの長さおよび約0.12インチの直径を有してよい。第4の部分240は、約0.1インチの長さおよび約0.19インチの直径を有してよく、ボルト100の底面100bと係合するリムを形成する。第5の部分250は、約0.05インチの長さおよび約0.13インチの直径を有してよい。第6の部分260は、部分270を囲むバネの上側の巻きを保持するための保持リングであり、約0.025インチの長さおよび約0.15インチの直径を有してよい。部分260の上縁部および下縁部は両方とも、約0.014インチ幅の45°の面取り面を有してよい。第7の部分270は、約0.68インチの長さ、約0.13インチの直径を有してよく、その下縁部に約0.02インチ幅の45°の面取り面を備える。部分240、250、260、および、270の表面は、裸アルミニウム陽極酸化していないであってよい。第1および第2の部分210および220の表面など、ピン200のすべてのその他の表面は、約0.002インチの厚さに陽極酸化されてよい。図9は、第1の部材810下側電極11または被覆リングなどを第2の部材820電極支持体20などに固定するよう構成された留め具アセンブリの好ましい実施形態を示す。第1の部材810は、フランジ122aとボルト100の上側部分122の少なくとも一部とを収容するために段付きの貫通穴815を有する。段の高さは、基本的に、上部フランジ122aの厚さに等しい。穴815の上側部分の外径は、上部フランジ122aの直径よりも若干大きい例えば、約0.001から0.002インチ大きい。ベース820は、止まり穴830を有する。止まり穴830は、下側部分124のネジ切り外面と係合するようにネジ切りされた上側部分830aを有する。止まり穴830の長さおよび貫通穴815の長さの合計は、ピン200の全長よりも長く、それにより、ピン200が穴830内に引っ込められる余地が確保される。止まり穴830の長さおよび貫通穴815の長さの合計は、1.8インチよりも長いことが好ましい。穴815の段の水平面810aが導電性である場合、ボルト100は、少なくとも上部フランジ122aの底面および部材810の対向面の間の接触を通して第1の部材810と電気的に接続されることができる;ピン200は、少なくともピンの部分240の対向面に接触するボルト100の環状の底面100bを通してボルト100と電気的に接続される。ボルトが穴830に螺入されると、ピン200は、穴110を実質的に塞ぐ。留め具アセンブリの取り付けは、2つの工程を含む:aバネ400約1.25インチの自由長、約0.18インチの外径、部分260の直径よりも若干小さい少なくとも約0.13インチの内径ロッド径、および、約5.8ポンド/インチのバネ定数を有することが好ましいが、部分250、260、および、270上に以下のように配置される。ピン200の部分250、260、および、270がバネ400の中央開口部内に同心的に収容され、ピン200の部分240がバネ400の上端の停止部として機能し、ピンが穴830から除去されるときにピン200上にバネ400が残るようにバネ400の上側の巻きが部分260に弾性的にはめ合わされる。bピン200が、六角レンチなどのツールによって押し下げられ、ボルト100が、ツールと共に回転されて、ピン200を押し下げ、下側部分124のねじ山を止まり穴830のねじ山と係合させる。ボルト100が穴815に完全に螺入されると、ボルト100の上面100aは、第1の部材810の上面810bと同一平面になり、六角レンチの除去後、ピンの面210aは、上面100aと同一平面になる。ボルトを取り除く際には、ツールが穴部分110aに挿入され、それにより、ピン200が下方に押され、バネ400が圧縮される。ツールがソケット110aから除去されると、バネ400がピン200を押し上げるため、ピン200の部分240の上面によって形成されたリムは、ボルト100の下面100bとの接触を保ち、ピン200の上面210aは、ボルト100の上面100aと同一平面になる。上側部分110aは六角形またはその他の非円形の断面を有してよく、ピンは円筒形断面を有してよいが、上側部分110aおよびピン200の対向面の間の公差は、ボルト100の穴110の上側部分ソケット110aがピン200の部分210によって実質的に満たされるような公差である。したがって、基板のプラズマ処理中、穴110の上側部分110a内での寄生プラズマの形成が防止される。留め具アセンブリ、ならびに、ボルトおよびピンを含むその構成要素について、本発明の具体的な実施形態を参照しつつ詳細に説明したが、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく、様々な変更および変形を行い、等価物を用いることが可能であることは、当業者にとって明らかである。