一の共通液室を介して複数の個別液室にインクを供給し、前記インクを前記個別液室に連通するノズル孔から吐出するインクジェットヘッドであって、前記複数の個別液室は、前記共通液室と連通する部分に、前記共通液室から供給されるインク中の異物を除去するためのフィルタと、前記フィルタの近傍に、前記ノズル孔から供給される洗浄液を排出するための液排出口と、を有することを特徴とするインクジェットヘッド。前記液排出口は、前記共通液室が形成される際に閉塞されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。前記フィルタ及び前記液排出口は、前記個別液室に供給されたインクを加圧するための振動板に形成されることを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッド。前記振動板は、電鋳法で成形されることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッド。前記振動板は、多段電鋳で成形され、前記フィルタは、厚みが5μm以下であることを特徴とする請求項3又は4記載のインクジェットヘッド。前記フィルタの開口面積は、前記ノズル孔の開口面積よりも小さいことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。前記液排出口の開口面積は、前記ノズル孔の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。前記ノズル孔が形成されるノズル板及び前記ノズル板の下面に接合された流路板とで形成される前記個別液室を前記ノズル孔の開口中心軸と直交するように設けて、吐出される前記インクの流れ方向を前記ノズル孔の開口中心軸と直角になるように構成したサイドシューター方式であることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。記録信号に応じて駆動されるアクチュエータの発生する駆動エネルギーに応じて吐出孔からインク滴を吐出して記録媒体上に画像を記録するインクジェット記録装置であって、請求項1から8のいずれかに記載のインクジェットヘッドを少なくとも1つ備えることを特徴とするインクジェット記録装置。これまでの調査量産経験から得られた図15のグラフから明らかなように、インクジェットヘッド内に侵入した異物は、インクジェットヘッドの端部に多いことが判っている。これら端部の異物は、分析結果より個別液室の異物ではなく、個別液室より上流側の異物であることが判っている。また、流体シミュレーション結果においても、インクジェットヘッドの洗浄において、個別液室上流は、その形状3次元的に非対称性から洗浄液の淀みが発生する箇所が存在し、仮に個別液室上流での洗浄不良が発生した場合、インク吐出時の液の流れは端部から順次中央チャンネル方向に満たされることが判っており、異物は端部に集中してしまう。これらは、量産経験から得られた事実と一致している。しかしながら、上記特許文献1の発明では、液排出口を共通液室に設けているため、その構造上、インクジェットヘッド内部を淀みなく洗浄することは難しい。そこで、液排出口を共通液室ではなく、個別液室に設ける必要が出てくる。しかし、個別液室にフィルタを設置する例は多数知られているものの、それらの例はいずれも、異物を閉じこめてしまうので、歩留まりを低減させてしまうおそれがある。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、個別液室にフィルタ及び液排出口を設けることにより、歩留まりを低減させることなく、必要最小の洗浄領域を淀みなく洗浄することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを目的とする。かかる目的を達成するために、本発明のインクジェットヘッドは、一の共通液室を介して複数の個別液室にインクを供給し、インクを個別液室に連通するノズル孔から吐出するインクジェットヘッドであって、複数の個別液室は、共通液室と連通する部分に、共通液室から供給されるインク中の異物を除去するためのフィルタと、フィルタの近傍に、ノズル孔から供給される洗浄液を排出するための液排出口と、を有することを特徴とする。本発明のインクジェット記録装置は、記録信号に応じて駆動されるアクチュエータの発生する駆動エネルギーに応じて吐出孔からインク滴を吐出して記録媒体上に画像を記録するインクジェット記録装置であって、本発明のインクジェットヘッドを少なくとも1つ備えることを特徴とする。本発明によれば、歩留まりを低減させることなく、必要最小の洗浄領域を淀みなく洗浄することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することが可能となる。以下、本発明を実施するための形態実施形態について添付図面を参照して詳細に説明する。まず、図1及び図2を参照して、本実施形態のインクジェットヘッドの概略について説明する。図1は、本実施形態のインクジェットヘッドの概略を示す断面図である。図2は、本実施形態のインクジェットヘッドの概略を示す分解斜視図である。流路板1は、複数の貫通孔と、インク流路となる各個別液室51とを形成したシリコン基板などからなる。流路板1の上面には、Ni電鋳などで複数のノズル孔吐出孔11が形成されたノズル板2が接合される。また、流路板1の下面には、Ni電鋳などで形成した振動板3が接合される。振動板3の下面には、金属で形成されたベース部材4上に積層型の圧電素子5が2列設けられたアクチュエータ部が接合されている。共通液室共通インク流路10が形成されたフレーム部材6が振動板3と接合されることで、各個別液室51へインクが供給される。以上のように構成された本実施形態のインクジェットヘッドでは、圧電素子5に駆動電圧が印加されることにより、圧電素子5の積層方向図の上下方向に変位が生じ、振動板3が各個別液室51側へ変形変位して液室の容積が減少し、液室内圧が上昇してノズル板2のノズル孔11よりインク滴が吐出される。次に、図3及び図4、図5を参照して、上述した本実施形態のインクジェットヘッドの詳細な構成について説明する。図3は、第1の構成例としてのインクジェットヘッドの断面図であり、図4は、第2の構成例としてのインクジェットヘッドの断面図であり、図5は、第3の構成例としてのインクジェットヘッドの断面図及び平面図である。図3に示す第1の構成例では、フィルタ8及び液排出口9は振動板3に形成されており、共通液室10が形成される際に、液排出口9が封止される。フィルタ8は、インクの流れ13に沿って共通液室10を流れてくるインク中の異物12例えばインクカートリッジ中に混入していた異物を、インクの流れ13の上流側共通液室10側で捕捉する。なお、フィルタ8は、振動板3と同一の部材であってもよい。図4に示す第2の構成例では、フィルタ8は流路形成プレート7に形成され、液排出口9は振動板3及び流路形成プレート7に形成されており、共通液室10が形成される際に、流路形成プレート7の液排出口9のみが封止される。フィルタ8は、インクの流れ13に沿って共通液室10を流れてくるインク中の異物12例えばインクカートリッジ中に混入していた異物を、インクの流れ13の上流側共通液室10側で捕捉する。なお、フィルタ8は、流路形成プレート7と同一の部材であってもよい。図3、図4において、液排出口9は、フィルタ8の左右に1つずつ形成されているが、どちらか1つだけであってもよい。図5に示す第3の構成例では、フィルタ8は流路形成プレート7に形成され、液排出口9は流路板1に形成され、共通液室10が形成される際に別途、接着剤52によって封止される。フィルタ8は、インクの流れ13に沿って共通液室10を流れてくるインク中の異物12例えばインクカートリッジ中に混入していた異物を、インクの流れ13の上流側共通液室10側で捕捉する。なお、フィルタ8は、流路形成プレート7と同一の部材であってもよい。また、フィルタ8は図3に示す様に振動板3に形成されていてもよく、振動板3と同一の部材であってもよい。図5において、液排出口9は、流路板1の両端に形成されているが、どちらか1つだけであってもよい。図3に示す第1の構成例では、フィルタ8がノズル孔11に対して比較的近傍にあるため、フィルタ8の流体抵抗により吐出不良が発生するおそれがある。これに対し、図4に示す第2の構成例では、フィルタ8が、インクの流れ13の上流側共通液室10側に設置されるので、上記フィルタ8の流体抵抗による吐出不良の発生を回避することが可能である。なお、第2の構成例においても、流体抵抗の高さが問題になる場合は、図7に示すように、フィルタ部分の面積を大きく取ることで、上述した吐出不良の発生を回避することができる。図6は、図3に示す第1の構成例を適用した場合における振動板3の平面図であり、図7は、図4に示す第2の構成例を適用した場合における流路形成プレート7の平面図であり、図8は、図5に示す第3の構成例を適用した場合における流路板1の平面図である。フィルタ8は、電鋳膜の第1層5μm以下。好ましくは約3μm程度であることが好ましい。フィルタ8も同様に、電鋳膜が厚くなるにつれて、流体抵抗値が上がってしまい、インク吐出の妨げになることから電鋳膜の第1層であることが好ましい。第1、第2及び第3の構成例において、フィルタ8の開口面積。フィルタ8に形成された各開口部の面積はノズル孔11の開口面積よりも小さい。このため、異物12はノズル孔11に達することはなく、インクを吐出することができる。また、フィルタ8がノズル近傍に配置されることから、インクジェットヘッド内の異物を除去する際に、洗浄領域をフィルタ8の個別液室51側に限定することが可能であり、洗浄面において有効である。また、第1、第2及び第3の構成例において、液排出口9の開口面積はノズル孔11の開口面積よりも大きい。次に、第1、第2及び第3の構成例において、インクジェットヘッドの製造時に個別液室51側に混入してしまった異物を洗浄する例について、図9、図10及び図11を参照してそれぞれ説明する。図9は、第1の構成例における洗浄例を示し、図10は、第2の構成例における洗浄例を示し、図11は、第3の構成例における洗浄例を示す。図9、図10及び図11において、アセトン、エタノール等の洗浄液は、ノズル孔11から注入され、洗浄液の流れ15図3、図4、図5に示すインクの流れ13の反対に沿って個別液室51内を流れ、液排出口9から排出される。これにより、個別液室51内の異物14例えばインクジェットヘッドの製造過程で混入した異物は、洗浄液とともに液排出口9から排出される。なお、図9、図10及び図11に示す洗浄時において、異物14が、液排出口9から排出されずにフィルタ8の個別液室側に捕捉されてしまうといった問題が生じうる。これに対しては、一度フィルタ8及び液排出口9に洗浄液を充填した状態から、洗浄液を図9、図10及び図11に示す洗浄液の流れ15とすることで、フィルタ8付近の流れの抑制が可能となり、上記問題を回避することができる。以上のように、洗浄液による洗浄を実施した後で、フレーム6又は接着剤52により液排出口9を封止することで、異物のない個別液室51を形成することができる。以上説明した本実施形態のインクジェットヘッド液滴吐出ヘッド、記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置画像形成装置は、記録液インク滴の吐出不良を生じることを防いで、安定した記録を行うことができる。また、ノズルノズル孔から吐出する記録液滴を安定して供給することができるから、ノズルから同時に多数チャンネル吐出を行って記録を高速に行うことができる。本実施形態のインクジェット記録装置の詳細については、図13、図14を用いて後述する。なお、上記説明では、記録ヘッドのアクチュエータ部に圧電素子5を設けて吐出エネルギーを発生する場合について説明したが、これに限定されない。例えば、発熱抵抗対により気泡を生じさせて記録液滴を加圧する方式や、記録液滴流路壁面を形成する振動板とこれに対抗する電極との間の静電力で振動板を変位させて記録液滴を加圧する方式などをも適用することもできる。また、上記説明では、振動板3による吐出エネルギーが作用した記録液滴の流れ方向をノズル孔11の開口中心軸に沿うようにしたエッジシューター方式で記録ヘッドを構成した場合について説明したが、これに限定されない。例えば、図12の部分断面図に示すように、天板16ノズル板にノズル17ノズル孔を設け、天板16と流路板18で形成される流路19個別液室を、ノズル17の開口中心軸と直交するように設けて、吐出エネルギーが作用した記録液滴の流れ方向20をノズル17の開口中心軸と直角になるように構成したサイドシューター方式を使用してもよい。サイドシューター方式を使用することにより、振動板3等の吐出エネルギー発生体で発生した吐出エネルギーを、より効率よく記録液滴滴の形成とその非行の運動エネルギーへと変換することができる。また、記録液滴の供給によってノズル17に生成するメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を有し、吐出エネルギー発生体に発熱素子を用いた場合に特に効果的である。また、サイドシューター方式であれば、エッジシューター方式において問題となる気泡が消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体を徐々に破壊する、いわゆるキャビテーション現象を回避することができる。すなわち、サイドシューター方式において気泡が成長し、その気泡がノズル17に達すれば気泡が大気に通じることになり温度低下による気泡の収縮は起こらない。そのため記録ヘッドの寿命を長くすることができるという長所を有する。また、記録液滴の流路が形成されている部分に上記本実施形態の構成を適用することで、吐出精度の高い高品質な記録ヘッドを形成することができる。次に、本実施形態のインクジェット記録装置について、図13、図14を参照して説明する。本実施形態のインクジェット記録装置は、上述した本実施形態のインクジェットヘッドを備える。本実施形態のインクジェット記録装置の構成例を、図13の斜視図及び図14の側断面図に示す。本実施形態のインクジェット記録装置21は、主走査方向に移動可能なキャリッジ29、キャリッジ29に搭載された本実施形態のインクジェットヘッド30、インクジェットヘッド30へインクを供給するインクカートリッジ31等で構成される印字機構部22等を収納している。また、インクジェット記録装置21は、前方側から多数枚の用紙記録媒体の一例23を積載可能な給紙カセット給紙トレイ24を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙23を手差しで給紙するための手差しトレイ25を開倒することができる。そして、インクジェット記録装置21は、給紙カセット24又は手差しトレイ25から給送される用紙23を取り込み、印字機構部22によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ26に排紙する。印字機構部22は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド27と従ガイドロッド28とでキャリッジ29を主走査方向図14で紙面垂直方向に摺動自在に保持する。このキャリッジ29には、イエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出するインクジェットヘッド30が装着されている。インクジェットヘッド30の複数のノズル孔は、主走査方向と交叉する方向に配列され、インク滴の吐出方向が下方に向けられている。また、キャリッジ29には、インクジェットヘッド30に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ31が交換可能に装着されている。インクカートリッジ31は、上方には大気と連通する大気口を、下方にはインクジェットヘッド30へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッド30へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、インクジェットヘッド30は、色の数だけ複数備えられてもよいし4色なら4つ備える、1つだけ備えられてもよい1つで4色分を吐出する。さらに、インクジェットヘッド30としては、上述したように、圧電素子などの電気機械変換素子で液室壁面を形成する振動板を介してインクを加圧するピエゾ型、又は、発熱抵抗体により気泡を生じさせてインクを加圧するバブル型、あるいは、インク流路の壁面を形成する振動板とこれに対向する電極との間の静電力で振動板を変位させてインクを加圧する静電型、などを使用することができる。本実施形態では、静電型のインクジェットヘッドを用いた例としている。ここで、キャリッジ29は、後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド27に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向下流側を従ガイドロッド28に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ29を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ32で回転駆動される駆動プーリ33と従動プーリ34との間にタイミングベルト49を張装し、このタイミングベルト49をキャリッジ29に固定しており、主走査モータ32の正逆回転によりキャリッジ29が往復駆動される。また、インクジェット記録装置21は、給紙カセット24にセットされた用紙23をインクジェットヘッド30の下方側に搬送するために、給紙カセット24から用紙23を分離給装する給紙ローラ35及びフリクションパッド36と、用紙23を案内するガイド部材37と、給紙された用紙23を反転させて搬送する搬送ローラ38と、この搬送ローラ38の周面に押し付けられる搬送コロ39及び搬送ローラ38からの用紙23の送り出し角度を規定する先端コロ40と、を設けている。搬送ローラ38は、副走査モータ41によってギヤ列を介して回転駆動される。また、インクジェット記録装置21には、キャリッジ29の主走査方向の移動範囲に対応して、搬送ローラ38から送り出された用紙23をインクジェットヘッド30の下方側で案内するための用紙ガイド部材として、印写受け部材50が設けられている。この印写受け部材50の用紙搬送方向の下流側には、用紙23を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ42、拍車43が設けられ、さらに、用紙23を排紙トレイ26に送り出す排紙ローラ44及び拍車45と、排紙経路を形成するガイド部材46、47とが配設されている。インクジェット記録装置21は、画像の記録時には、キャリッジ29を移動させながら画像信号に応じてインクジェットヘッド30を駆動することにより、停止している用紙23にインクを吐出して1行分を記録し、用紙23を所定量搬送した後、次の行の記録を行う。そして、インクジェット記録装置21は、記録終了信号又は用紙23の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙23を排紙する。また、インクジェット記録装置21において、キャリッジ29の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、インクジェットヘッド30の吐出不良を回復するための回復装置48が配置されている。この回復装置48は、キャッピング手段キャップ手段、吸引手段、クリーニング手段を有している。キャリッジ29は、印字待機中にこの回復装置48側に移動させられ、キャッピング手段でインクジェットヘッド30をキャッピングされる。こにより、ノズル孔吐出口を湿潤状態に保つことができ、インクの乾燥による吐出不良を防止できる。また、回復装置48は、記録途中などにおいて、記録と関係しないインクを吐出することにより、全てのノズル孔のインクの粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、回復装置48において、キャッピング手段でインクジェットヘッド30のノズル孔が密封され、チューブを通して吸引手段でノズル孔からインクとともに気泡等が吸い出され、ノズル孔面に付着したインクやゴミ等がクリーニング手段により除去されることにより、吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、インクジェット記録装置21の下部に設置された図示しない廃記録液滴溜に排出され、その廃記録液滴溜内部のインク吸収体に吸収、保持される。以上説明したように、本実施形態によれば、歩留まりを低減させることなく、必要最小の洗浄領域を淀みなく洗浄することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、第1、第2の構成例においては共通液室を形成する際に液排出口を封止閉塞することで、新規部材を使う必要がないため、インクジェットヘッドの製造コストを押さえることが可能となる。また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、フィルタと振動板とが同一の部材であることから、安価にインク流路を形成することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、フィルタを具備する振動板が電鋳法で形成されることから、精度の高いフィルタ孔を形成でき、また、流体抵抗値を狙い通りに確保することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、フィルタ部分が振動板の第1層の厚み約5μm以内であることから、流体抵抗値を下げることが可能である。また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、フィルタの開口面積がノズル孔の開口面積よりも小さいので、フィルタは、インクの流れの上流側において異物を確実に捕捉でき、インクを正常に吐出することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、液排出口の開口面積がノズルの開口面積よりも大きいことから、製造上で混入してしまった異物を洗浄することで排除することが可能となり、インクを正常に吐出することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、サイドシューター方式であることから、フィルタがノズル近傍に配置された状態においてもインクの吐出圧を十分に確保することができる。また、本実施形態のインクジェット記録装置によれば、洗浄性に優れた上記本実施形態のインクジェットヘッドを搭載しているので、吐出不良が無く印刷品質記録品質を向上することができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。