"空間内の所望の位置に向かって屈折及び集束させるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、空間内の考え得る複数の位置のそれぞれに関して、好ましい周波数の対に関係するデータを別個に記憶するステップであって、ここで、空間内の関連した考え得る位置についての好ましい周波数の対が、前記第一の音響光学偏向器の第一の好ましい駆動周波数と、前記第二の音響光学偏向器の第二の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該好ましい周波数の対は、前記対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連した考え得る位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、空間内の前記所望の位置に基づいて好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するステップと、前記参照ステップの結果として第一及び第二の駆動周波数を決定するステップと、を含む、方法。前記記憶されたデータは、周波数変更データを含み、前記データを参照するステップは、空間内の前記所望の位置に関する基準周波数の対を決定するステップであって、当該基準周波数の対は、前記対の前記基準周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームは、空間内の前記所望の位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、周波数変更データを得るために前記記憶されたデータを参照するステップと、前記好ましい周波数の対を得るために前記周波数変更データに従って基準周波数の前記対を変更するステップとを含む、請求項1に記載の方法。前記変更するステップは、前記基準周波数の対にコモンモード成分を加算し、又は前記基準周波数の対からコモンモード成分を減算するステップを含む、請求項2に記載の方法。前記第一及び第二の駆動周波数を決定するステップは、前記第一及び第二の駆動周波数が、前記好ましい周波数の対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数にそれぞれ等しくなるように設定するステップを含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。前記データを参照するステップは、前記所望の位置に最も近い考え得る位置に関して記憶されるデータを特定するステップと、そのデータが空間内の前記所望の位置に関する前記好ましい周波数の対に関係することを決定するステップと、を含む、請求項1に記載の方法。前記第一及び第二の駆動周波数を決定するステップは、前記駆動周波数の対の駆動周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に向かって屈折するような駆動周波数の対を得るために、前記好ましい周波数の対を変更するステップを含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。前記変更するステップは、前記好ましい周波数の対に差動モード成分を加算し、又は前記好ましい周波数の対から差動モード成分を減算するステップを含む、請求項6に記載の方法。最小走査経路に沿って開始位置から終了位置まで走査するように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、空間内の考え得る複数の位置のそれぞれに関して、好ましい周波数の対に関係するデータを別個に記憶するステップであって、ここで、空間内の関連した考え得る位置についての好ましい周波数の対が、前記第一の音響光学偏向器の第一の好ましい駆動周波数と、前記第二の音響光学偏向器の第二の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該好ましい周波数の対は、前記対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連した考え得る位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、前記最小走査経路に基づいて好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するステップと、前記参照ステップの結果として第一及び第二の駆動周波数を決定するステップと、を含む、方法。前記参照するステップは、前記最小走査経路に沿って存在する基準位置を決定するステップと、前記決定された基準位置に従って好ましい駆動周波数の対を決定するステップと、を含む、請求項8に記載の方法。前記基準位置は、前記最小走査経路の中間点にある、請求項8又は9に記載の方法。前記記憶されたデータは、周波数変更データを含み、前記データを参照するステップは、空間内の前記基準位置に関する一対の基準周波数を決定するステップであって、当該一対の基準周波数は、前記対の前記基準周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記基準位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、周波数変更データを得るために前記記憶されたデータを参照するステップと、前記好ましい周波数の対を得るために前記周波数変更データに従って基準周波数の前記対を変更するステップと、を含む、請求項9又は10に記載の方法。前記変更するステップは、前記基準周波数の対にコモンモード成分を加算し、又は前記基準周波数の対からコモンモード成分を減算するステップを含む、請求項11に記載の方法。前記第一及び第二の駆動周波数を決定するステップは、前記第一及び第二の駆動周波数が、前記好ましい周波数の対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数にそれぞれ等しくなるように設定するステップを含む、請求項8から12のいずれか一項に記載の方法。前記データを参照するステップは、前記基準位置に最も近い考え得る位置に関して記憶されるデータを特定するステップと、そのデータが前記基準位置に関する前記好ましい周波数の対に関係することを決定するステップと、を含む、請求項9又は10に記載の方法。前記第一及び第二の駆動周波数を決定するステップは、前記駆動周波数の対の駆動周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準位置に向かって屈折するような駆動周波数の対を得るために、前記好ましい周波数の対を変更するステップを含む、請求項8から14のいずれか一項に記載の方法。前記変更するステップは、前記好ましい周波数の対に差動モード成分を加算し、又は前記好ましい周波数の対から差動モード成分を減算するステップを含む、請求項15に記載の方法。好ましい周波数の対に関係する前記データは、電磁放射の前記ビームが空間内の前記関連した考え得る位置に向かって最高効率で前記音響光学レンズを通過する、周波数の対の決定を可能にするデータである、請求項1から16のいずれか一項に記載の方法。前記好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するステップは、前記好ましい周波数の対を得るために前記記憶されたデータに関する計算を実行するステップを含む、請求項1から17のいずれか一項に記載の方法。少なくとも九つの空間位置のそれぞれに関する好ましい周波数の対に関係するデータが別個に記憶される、請求項1から18のいずれか一項に記載の方法。前記音響光学レンズは、第三の駆動周波数により駆動される第三の音響光学偏向器と、第四の駆動周波数により駆動される第四の音響光学偏向器とをさらに含み、空間内の前記考え得る複数の位置のそれぞれに関して、第二の好ましい周波数の対に関係するデータを記憶するステップであって、ここで、空間内の関連した考え得る位置についての第二の好ましい周波数の対が、前記第三の音響光学偏向器の第三の好ましい駆動周波数と、前記第四の音響光学偏向器の第四の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該第二の好ましい周波数の対は、前記第二の対の前記第三及び第四の好ましい駆動周波数が、同時に前記第三及び第四の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連した考え得る位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、前記所望の位置又は基準位置に基づいて第二の好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するステップと、前記参照するステップの結果として第三及び第四の駆動周波数を決定するステップと、をさらに含む、請求項1から19のいずれか一項に記載の方法。電磁放射のビームを屈折させる方法であって、請求項1から20のいずれか一項に記載の方法に従って第一及び第二の駆動周波数を決定するステップと、前記第一の音響光学偏向器に前記第一の駆動周波数を適用するステップと、それと同時に前記第二の音響光学偏向器に前記第二の駆動周波数を適用するステップと、それと同時に前記第一の音響光学偏向器の入力開口に電磁放射の前記ビームを供給するステップと、を含む、方法。空間内の所望の位置に向かって屈折及び集束させるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを制御する装置であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、空間内の考え得る複数の位置のそれぞれに関して、好ましい周波数の対に関係するデータを別個に記憶するように構成されたメモリであって、ここで、空間内の関連した考え得る位置についての好ましい周波数の対が、前記第一の音響光学偏向器の第一の好ましい駆動周波数と、前記第二の音響光学偏向器の第二の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該好ましい周波数の対は、前記対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連した考え得る位置に向かって屈折するようなものである、メモリと、空間内の前記所望の位置に基づいて好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するように構成されたコントローラであって、前記データの参照の結果として第一及び第二の駆動周波数を決定するように構成された、コントローラと、を含む、装置。前記メモリは、周波数変更データを含むデータを記憶するように構成され、前記コントローラは、空間内の前記所望の位置に関する一対の基準周波数であって、前記対の基準周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に向かって屈折するようになる、一対の基準周波数を決定し、周波数変更データを得るために前記記憶されたデータを参照し、前記好ましい周波数の対を得るために前記周波数変更データに従って基準周波数の前記対を変更するように構成される、請求項22に記載の装置。前記コントローラは、前記基準周波数の対にコモンモード成分を加算し、又は前記基準周波数の対からコモンモード成分を減算するように構成される、請求項23に記載の装置。前記コントローラは、前記第一及び第二の駆動周波数が、前記好ましい周波数の対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数にそれぞれ等しくなるように設定するように構成される、請求項22から24のいずれか一項に記載の装置。前記コントローラは、前記所望の位置に最も近い考え得る位置に関して記憶されるデータを特定し、そのデータが空間内の前記所望の位置に関する好ましい周波数の対に関係することを決定するように構成される、請求項22に記載の装置。前記コントローラは、前記駆動周波数の対の駆動周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に向かって屈折するような駆動周波数の対を得るために、前記好ましい周波数の対を変更するように構成される、請求項22から26のいずれか一項に記載の装置。前記コントローラは、前記好ましい周波数の対に差動モード成分を加算し、又は前記好ましい周波数の対から差動モード成分を減算するように構成される、請求項22から27のいずれか一項に記載の装置。最小走査経路に沿って開始位置から終了位置まで走査するように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを制御する装置であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、空間内の考え得る複数の位置のそれぞれに関して、好ましい周波数の対に関係するデータを別個に記憶するように構成されたメモリであって、ここで、空間内の関連した考え得る位置についての好ましい周波数の対が、前記第一の音響光学偏向器の第一の好ましい駆動周波数と、前記第二の音響光学偏向器の第二の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該好ましい周波数の対は、前記対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連した考え得る位置に向かって屈折するようなものである、メモリと、前記最小走査経路に基づいて好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するように構成されたコントローラと、を含む装置において、前記コントローラは、前記データの参照の結果として第一及び第二の駆動周波数を決定するように構成される、装置。前記メモリは、周波数変更データを含むデータを記憶するように構成され、前記コントローラは、前記基準位置に関する一対の基準周波数であって、前記対の基準周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準位置に向かって屈折するようになる、一対の基準周波数を決定し、周波数変更データを得るために前記記憶されたデータを参照し、前記好ましい周波数の対を得るために前記周波数変更データに従って基準周波数の前記対を変更するように構成される、請求項29に記載の装置。前記コントローラは、前記基準周波数の対にコモンモード成分を加算し、又は前記基準周波数の対からコモンモード成分を減算するように構成される、請求項30に記載の装置。前記コントローラは、前記第一及び第二の駆動周波数が、前記好ましい周波数の対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数にそれぞれ等しくなるように設定するように構成される、請求項29から31のいずれか一項に記載の装置。前記コントローラは、前記基準位置に最も近い考え得る位置に関して記憶されるデータを特定し、そのデータが前記基準位置に関する前記好ましい周波数の対に関係することを決定するように構成される、請求項29に記載の装置。前記コントローラは、前記駆動周波数の対の駆動周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準位置に向かって屈折するような駆動周波数の対を得るために、前記好ましい周波数の対を変更するように構成される、請求項29から33のいずれか一項に記載の装置。前記コントローラは、前記好ましい周波数の対に差動モード成分を加算し、又は前記好ましい周波数の対から作動モード成分を減算するように構成される、請求項29から34のいずれか一項に記載の装置。前記音響光学レンズは、第三の駆動周波数により駆動される第三の音響光学偏向器と、第四の駆動周波数により駆動される第四の音響光学偏向器とをさらに含み、前記メモリは、空間内の前記考え得る複数の位置のそれぞれに関して、第二の好ましい周波数の対に関係するデータをさらに記憶するように構成され、ここで、空間内の関連した考え得る位置に関する第二の好ましい周波数の対が、前記第三の音響光学偏向器の第三の好ましい駆動周波数と、前記第四の音響光学偏向器の第四の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該第二の好ましい周波数の対は、前記第二の対の前記第三及び第四の好ましい駆動周波数が、同時に前記第三及び第四の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連した考え得る位置に向かって屈折するようなものであり、前記コントローラは、前記所望の位置又は基準位置に基づいて第二の好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するように構成され、前記コントローラは、前記データの参照の結果として第三及び第四の駆動周波数を決定するように構成される、請求項22から35のいずれか一項に記載の装置。空間内の所望の位置に向かって電磁放射のビームを屈折させるための顕微鏡であって、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器、及び第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器を含む音響光学レンズと、前記音響光学レンズを制御するための、請求項22から36のいずれか一項に記載の装置と、顕微鏡光学素子と、電磁放射の前記ビームを供給するためのレーザと、を含む、顕微鏡において前記コントローラは、前記第一の音響光学偏向器に前記第一の駆動周波数を適用し、それと同時に前記第二の音響光学偏向器に前記第二の駆動周波数を適用し、それと同時に前記第一の音響光学偏向器の入力開口に電磁放射の前記ビームを前記レーザに供給させるように構成される、顕微鏡。音響光学レンズを設定するのに有用であるデータを準備する方法であって、前記音響光学レンズを使用して電磁放射のビームを屈折させることができる空間内の考え得る複数の位置を選択するステップと、空間内の前記考え得る位置のそれぞれに関して、駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するステップであって、ここで、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記考え得る位置に照準を合わせるようなものである、ステップと、前記群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するステップと、駆動周波数候補の各対に関する前記決定された効率に従って前記群から駆動周波数候補の対を好ましいものとして選択するステップと、を含む、方法。前記選択するステップは、駆動周波数候補の対の前記群から、前記群内の駆動周波数候補の全ての対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする駆動周波数候補の対を選択するステップを含む、請求項38に記載の装置。空間内の所望の位置に照準を合わせるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するステップであって、個々で、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に照準を合わせるようなものである、ステップと、前記群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するステップと、駆動周波数候補の各対に関する前記決定された効率に従って前記群から駆動周波数候補の対を選択するステップと、を含む、方法。前記選択するステップは、駆動周波数候補の対の前記群から、前記群内の駆動周波数候補の全ての対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする駆動周波数候補の対を選択するステップを含む、請求項40に記載の方法。走査経路に沿って走査するように電磁放射のビームを操作するために、音響光学レンズを設定する方法であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記走査経路に沿って基準点を決定するステップと、基準点駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するステップであって、ここで、前記基準点駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の基準点駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の基準点駆動周波数候補とから構成されており、当該前記基準点駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の基準点駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準点に照準を合わせるようなものである、ステップと、前記基準点に関する前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの既知の透過効率に基づいて前記群から基準点駆動周波数候補の対を選択するステップと、を含む、方法。前記基準点は、前記走査経路の中間点にある、請求項42に記載の方法。基準点駆動周波数候補の対を選択する前記ステップは、前記群内の基準点駆動周波数候補の対から、基準点駆動周波数の全ての特定された対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数の対を選択するステップを含む、請求項42又は43に記載の方法。前記選択するステップは、前記群内の基準点駆動周波数候補の各対に関して、前記走査経路に関する走査経路駆動周波数の複数の対を決定するステップと、走査経路駆動周波数の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するステップと、走査経路駆動周波数の各対に関する前記決定された効率に従って前記群から走査経路駆動周波数の少なくとも一つの対を選択するステップと、走査経路駆動周波数の前記選択された対に基づいて前記群から基準点駆動周波数候補の対を選択するステップと、を含む、請求項42又は43に記載の方法。前記群から走査経路駆動周波数の少なくとも一つの対を選択する前記ステップは、前記走査の継続時間の間、所定の下側閾値を超える効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数候補の単一の対に関係する走査経路駆動周波数の対を選択するステップを含む、請求項45に記載の方法。前記群から走査経路駆動周波数の少なくとも一つの対を選択する前記ステップは、前記走査の継続時間の間、ある所定の閾値を超えない最高効率と最低効率との比率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数候補の単一の対に関係する走査経路駆動周波数の対を選択するステップを含む、請求項45又は46に記載の方法。前記音響光学レンズは、第三の駆動周波数により駆動される第三の音響光学偏向器と、第四の駆動周波数により駆動される第四の音響光学偏向器とをさらに含み、駆動周波数候補の複数の対を含む第二の群を決定するステップであって、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第三の音響光学偏向器の第三の駆動周波数候補と、前記第四の音響光学偏向器の第四の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第三及び第四の駆動周波数候補が、同時に前記第三及び第四の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に照準を合わせるようなものである、ステップと、前記第二の群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するステップと、駆動周波数候補の各対に関する前記決定された効率に従って前記第二の群から駆動周波数候補の対を選択するステップと、をさらに含む、請求項40から47のいずれか一項に記載の方法。空間内の所望の位置に照準を合わせるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを制御するための装置であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するように構成されたコントローラであって、ここで、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に照準を合わせるようなものである、コントローラを含み、前記コントローラは、前記群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するように構成され、前記コントローラは、駆動周波数候補の各対に関する前記決定された効率に従って前記群から駆動周波数候補の対を選択するように構成される、装置。前記コントローラは、駆動周波数候補の対の前記群から、前記群内の駆動周波数候補の全ての対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする駆動周波数候補の対を選択するように構成される、請求項35に記載の装置。走査経路に沿って走査するように電磁放射のビームを操作するために、音響光学レンズを制御するための装置であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記走査経路に沿って基準点を決定するように構成されたコントローラを含み、前記コントローラは、基準点駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するように構成され、ここで、前記基準点駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の基準点駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の基準点駆動周波数候補とから構成されており、当該基準点駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の基準点駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準点に照準を合わせるようなものであり、前記コントローラは、前記基準点に関する前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの既知の透過効率に基づいて前記群から基準点駆動周波数候補の対を選択するように構成される、装置。前記基準点は、前記走査経路の中間点にある、請求項51に記載の装置。前記コントローラは、前記群内の基準点駆動周波数候補の対から、基準点駆動周波数の全ての特定された対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数の対を選択するように構成される、請求項51又は52に記載の装置。前記コントローラは、前記群内の基準点駆動周波数候補の各対に関して、前記走査経路に関する走査経路駆動周波数の複数の対を決定し、走査経路駆動周波数の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定し、走査経路駆動周波数の各対に関する前記決定された効率に従って前記群から走査経路駆動周波数の少なくとも一つの対を選択し、走査経路駆動周波数の前記選択された対に基づいて前記群から基準点駆動周波数候補の対を選択するように構成される、請求項51又は52に記載の装置。前記コントローラは、前記走査の継続時間の間、所定の下側閾値を超える効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数候補の単一の対に関係する走査経路駆動周波数の対を選択するように構成される、請求項54に記載の装置。前記コントローラは、前記走査の継続時間の間、ある所定の閾値を超えない最高効率と最低効率との比率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数候補の単一の対に関係する走査経路駆動周波数の対を選択するように構成される、請求項54又は55に記載の装置。前記音響光学レンズは、第三の駆動周波数により駆動される第三の音響光学偏向器と、第四の駆動周波数により駆動される第四の音響光学偏向器とをさらに含み、前記コントローラは、駆動周波数候補の複数の対を含む第二の群を決定し、ここで、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第三の音響光学偏向器の第三の駆動周波数候補と、前記第四の音響光学偏向器の第四の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第三及び第四の駆動周波数候補が、同時に前記第三及び第四の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に照準を合わせるようなものであり、前記第二の群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定し、駆動周波数候補の各対に関する前記決定された効率に従って前記第二の群から駆動周波数候補の対を選択するようにさらに構成される、請求項49から56のいずれか一項に記載の装置。請求項49から57のいずれか一項に記載のコントローラ装置と、前記音響光学レンズと、顕微鏡光学素子と、電磁放射の前記ビームを供給するためのレーザと、を含む、顕微鏡システム。空間内の所望の位置に向かって屈折させるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、詳細な効率データに従って第一及び第二の駆動周波数を選択するステップであって、前記選択された第一及び第二の駆動周波数が、最終画像を形成する最小走査の少なくとも50の所定の体素に関する考え得る最も効率的な駆動周波数から1MHz内となるようにするステップを含む、方法。空間内の所望の位置に向かって屈折させるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法であって、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、詳細な効率データに従って第一及び第二の駆動周波数を選択するステップであって、前記選択された第一及び第二の駆動周波数が、最終画像を形成する最小走査の少なくとも50の所定の体素において可能な最高効率から10内にある透過効率をもたらすようにするステップを含む、方法。視野又はパターン形成低減のいずれかに関して妥協を必要とすることなく、上述の問題のどちらにも同時に対処することができる方法及び装置を発明するのが極めて望ましい。本発明は、実際に、上述の問題のどちらにも同時に対処し、特にZ≠0で視野を増大させることと、パターン形成効果を低減することの両方に使用することができる方法及び装置を提供する。従って、本発明は、当技術分野の極めて大きい進歩を表す。一つの態様では、本発明は、空間内の所望の位置に向かって屈折及び集束させるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法を含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記方法は、空間内の考え得る複数の位置のそれぞれに関して、好ましい周波数の対に関係するデータを別個に記憶するステップであって、ここで、空間内の関連の考え得る位置に関する好ましい周波数の対が、前記第一の音響光学偏向器の第一の好ましい駆動周波数と、前記第二の音響光学偏向器の第二の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該好ましい周波数の対は、前記対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連の考え得る位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、空間内の前記所望の位置に基づいて好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するステップと、前記参照ステップの結果として第一及び第二の駆動周波数を決定するステップとを含む。本方法は、高効率動作の領域を迅速且つ簡単に呼び戻すことを可能にし、それにより、先行技術よりも高効率でAOLを使用することを可能にし、パターン形成を低減し、視野を増大させる。一つの方法では、前記記憶されたデータは、周波数変更データを含み、前記データを参照するステップは、空間内の前記所望の位置に関する基準周波数の対を決定するステップであって、ここで、前記基準周波数の対は、前記対の基準周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、周波数変更データを得るために記憶データを参照するステップと、前記好ましい周波数の対を得るために前記周波数変更データに従って基準周波数の前記対を変更するステップとを含む。前記変更するステップは、前記基準周波数の対にコモンモード成分を加算し、又は前記基準周波数の対からコモンモード成分を減算するステップを含むことができる。第一及び第二の駆動周波数を決定するステップは、前記第一及び第二の駆動周波数が、好ましい周波数の対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数にそれぞれ等しくなるように設定するステップを含むことができる。本方法は、参照テーブルと共に実施されるのが好ましい。所望の位置に関する最適値を近似することは、コモンモード周波数オフセット量を構築するのを可能にする。別の方法では、前記データを参照するステップは、前記所望の位置に最も近い考え得る位置に関して記憶されるデータを特定するステップと、そのデータが空間内の前記所望の位置に関する好ましい周波数の対に関係することを決定するステップとを含む。前記第一及び第二の駆動周波数を決定するステップは、前記駆動周波数の対の駆動周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に向かって屈折するような駆動周波数の対を得るために、前記好ましい周波数の対を変更するステップを含むのが好ましい。前記変更ステップは、前記好ましい周波数の対に差動モード成分を加算し、又は前記好ましい周波数の対から差動モード成分を減算するステップを含むことができる。本方法も、参照テーブルと共に実施されるのが好ましい。コモンモードオフセット量を記憶するのではなく、好ましい周波数の対を直接記憶することができる。所望の位置を近似する位置に関する最適値であることは、好ましい周波数の対を構築するのを可能にする。好ましい対は、正確な正しい位置に行くように変更することができる。これは、再び、高効率の領域で動作する。本発明によって使用することができる他の方法が利用可能である。例えば、生効率データは、実時間で記憶及び参照することができる。別の態様では、本発明は、最小走査経路に沿って開始位置から終了位置まで走査するように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法を含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記方法は、空間内の考え得る複数の位置のそれぞれに関して、好ましい周波数の対に関係するデータを別個に記憶するステップであって、ここで、空間内の関連の考え得る位置に関する好ましい周波数の対が、前記第一の音響光学偏向器の第一の好ましい駆動周波数と、前記第二の音響光学偏向器の第二の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該好ましい周波数の対は、前記対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連の考え得る位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、前記最小走査経路に基づいて好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するステップと、前記参照ステップの結果として第一及び第二の駆動周波数を決定するステップとを含む。本方法は、高効率動作領域の情報を使用して走査を実行することを可能にする。従って、パターン形成が低減され、視野が増大する。前記参照するステップは、前記最小走査経路に沿って存在する基準位置を決定するステップと、決定された基準位置に従って好ましい駆動周波数の対を決定するステップとを含むのが好ましい。基準位置は、前記最小走査経路の中間点にあるのが好ましい。一つの方法では、記憶データは、周波数変更データを含み、前記データを参照するステップは、空間内の前記基準位置に関する一対の基準周波数を決定するステップであって、ここで、当該一対の基準周波数は、前記対の基準周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記基準位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、周波数変更データを得るために記憶データを参照するステップと、前記好ましい周波数の対を得るために前記周波数変更データに従って基準周波数の前記対を変更するステップとを含む。前記変更するステップは、前記基準周波数の対にコモンモード成分を加算し、又は前記基準周波数の対からコモンモード成分を減算するステップを含むことができる。第一及び第二の駆動周波数を決定するステップは、前記第一及び第二の駆動周波数が、好ましい周波数の対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数にそれぞれ等しくなるように設定するステップを含むことができる。別の方法では、前記データを参照するステップは、前記基準位置に最も近い考え得る位置に関して記憶されるデータを特定するステップと、そのデータが前記基準位置に関する好ましい周波数の対に関係することを決定するステップとを含む。前記第一及び第二の駆動周波数を決定するステップは、前記駆動周波数の対の駆動周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準位置に向かって屈折するような駆動周波数の対を得るために、前記好ましい周波数の対を変更するステップを含むことができる。前記変更するステップは、前記好ましい周波数の対に差動モード成分を加算し、又は前記好ましい周波数の対から差動モード成分を減算するステップを含むことができる。好ましい態様では、好ましい周波数の対に関係する前記データは、電磁放射の前記ビームが空間内の前記関連の考え得る位置に向かって最高効率で前記音響光学レンズを通過する、周波数の対の決定を可能にするデータである。好ましい態様では、前記好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するステップは、好ましい周波数の対を得るために記憶データに関する計算を実行するステップを含む。通常、少なくとも九つの空間位置のそれぞれに関する好ましい周波数の対に関係する記憶データが別個に存在する。以上の方法のいずれかにおいて、前記音響光学レンズは、第三の駆動周波数により駆動される第三の音響光学偏向器と、第四の駆動周波数により駆動される第四の音響光学偏向器とをさらに含むことができ、前記方法は、空間内の前記考え得る複数の位置のそれぞれに関して、第二の好ましい周波数の対に関係するデータを記憶するステップであって、ここで、空間内の関連の考え得る位置に関する第二の好ましい周波数の対が、前記第三の音響光学偏向器の第三の好ましい駆動周波数と、前記第四の音響光学偏向器の第四の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該第二の好ましい周波数は、前記第二の対の前記第三及び第四の好ましい駆動周波数が、同時に前記第三及び第四の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連の考え得る位置に向かって屈折するようなものである、ステップと、前記所望の位置又は基準位置に基づいて第二の好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するステップと、前記参照ステップの結果として第三及び第四の駆動周波数を決定するステップとをさらに含む。第一及び第二のAODに追加した第三及び第四のAODの使用は、一座標方向当り二つのAODを使用することによりビームが、X方向及びY方向のどちらにも屈折し、さらにZ方向に焦点を合わせるように、球面レンズを提供することを可能にする。別の態様では、本発明は、電磁放射のビームを屈折させる方法を含み、前記方法は、上述の方法のいずれかに従って第一及び第二の駆動周波数を決定するステップと、前記第一の音響光学偏向器に前記第一の駆動周波数を適用するステップと、それと同時に前記第二の音響光学偏向器に前記第二の駆動周波数を適用するステップと、それと同時に前記第一の音響光学偏向器の入力開口に電磁放射の前記ビームを供給するステップとを含む。本発明は、空間内の所望の位置に向かって屈折及び集束させるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを制御する装置をさらに含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記装置は、空間内の考え得る複数の位置のそれぞれに関して、好ましい周波数の対に関係するデータを別個に記憶するように構成されたメモリであって、ここで、空間内の関連の考え得る位置に関する好ましい周波数の対が、前記第一の音響光学偏向器の第一の好ましい駆動周波数と、前記第二の音響光学偏向器の第二の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該好ましい周波数の対は、前記対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連の考え得る位置に向かって屈折するようなものである、メモリと、空間内の前記所望の位置に基づいて好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するように構成されたコントローラであって、前記データの参照の結果として第一及び第二の駆動周波数を決定するように構成された、コントローラとを含む。前記メモリは、周波数変更データを含むデータを記憶するように構成されるのが好ましく、前記コントローラは、空間内の前記所望の位置に関する一対の基準周波数であって、前記対の基準周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に向かって屈折するようになる、一対の基準周波数を決定し、周波数変更データを得るために記憶データを参照し、前記好ましい周波数の対を得るために前記周波数変更データに従って基準周波数の前記対を変更するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記基準周波数の対にコモンモード成分を加算し、又は前記基準周波数の対からコモンモード成分を減算するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記第一及び第二の駆動周波数が、好ましい周波数の対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数にそれぞれ等しくなるように設定するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記所望の位置に最も近い考え得る位置に関して記憶されるデータを特定し、そのデータが空間内の前記所望の位置に関する好ましい周波数の対に関係することを決定するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記駆動周波数の対の駆動周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に向かって屈折するような駆動周波数の対を得るために、前記好ましい周波数の対を変更するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記好ましい周波数の対に差動モード成分を加算し、又は前記好ましい周波数の対から差動モード成分を減算するように構成される。本発明は、最小走査経路に沿って開始位置から終了位置まで走査するように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを制御するための装置をさらに含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記装置は、空間内の考え得る複数の位置のそれぞれに関して、好ましい周波数の対に関係するデータを別個に記憶するように構成されたメモリであって、ここで、空間内の関連の考え得る位置に関する好ましい周波数の対が、前記第一の音響光学偏向器の第一の好ましい駆動周波数と、前記第二の音響光学偏向器の第二の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該好ましい周波数の対は、前記対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連の考え得る位置に向かって屈折するようなものである、メモリと、前記最小走査経路に基づいて好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するように構成されたコントローラであって、前記データの参照の結果として第一及び第二の駆動周波数を決定するように構成された、コントローラとを含む。そうした装置では、前記メモリは、適宜、周波数変更データを含むデータを記憶するように構成され、前記コントローラは、前記基準位置に関する一対の基準周波数であって、前記対の基準周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準位置に向かって屈折するようになる、一対の基準周波数を決定し、周波数変更データを得るために記憶データを参照し、前記好ましい周波数の対を得るために前記周波数変更データに従って基準周波数の前記対を変更するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記基準周波数の対にコモンモード成分を加算し、又は前記基準周波数の対からコモンモード成分を減算するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記第一及び第二の駆動周波数が、好ましい周波数の対の前記第一及び第二の好ましい駆動周波数にそれぞれ等しくなるように設定するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記基準位置に最も近い考え得る位置に関して記憶されるデータを特定し、そのデータが前記基準位置に関する好ましい周波数の対に関係することを決定するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記駆動周波数の対の駆動周波数が、前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準位置に向かって屈折するような駆動周波数の対を得るために、前記好ましい周波数の対を変更するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記好ましい周波数の対に差動モード成分を加算し、又は前記好ましい周波数の対から差動モード成分を減算するように構成される。球面レンズを提供するために、前記音響光学レンズは、第三の駆動周波数により駆動される第三の音響光学偏向器と、第四の駆動周波数により駆動される第四の音響光学偏向器とをさらに含むことができ、前記メモリは、空間内の前記考え得る複数の位置のそれぞれに関して、第二の好ましい周波数の対に関係するデータをさらに記憶するように構成され、ここで、空間内の関連の考え得る位置に関する第二の好ましい周波数の対が、前記第三の音響光学偏向器の第三の好ましい駆動周波数と、前記第四の音響光学偏向器の第四の好ましい駆動周波数とから構成されており、当該第二の好ましい周波数の対は、前記第二の対の前記第三及び第四の好ましい駆動周波数が、同時に前記第三及び第四の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記関連の考え得る位置に向かって屈折するようなものであり、前記コントローラは、前記所望の位置又は基準位置に基づいて第二の好ましい周波数の対を決定するために前記データを参照するように構成され、前記コントローラは、前記データの参照の結果として第三及び第四の駆動周波数を決定するように構成される。別の態様では、本発明は、空間内の所望の位置に向かって電磁放射のビームを屈折させるための顕微鏡をさらに含み、前記顕微鏡は、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器、及び第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器を含む音響光学レンズと、前記音響光学レンズを制御するために以上又はここに説明する装置と、顕微鏡光学素子と、電磁放射の前記ビームを供給するためのレーザとを含み、前記コントローラは、前記第一の音響光学偏向器に前記第一の駆動周波数を適用し、それと同時に前記第二の音響光学偏向器に前記第二の駆動周波数を適用し、それと同時に前記第一の音響光学偏向器の入力開口に電磁放射の前記ビームを前記レーザに供給させるように構成される。別の態様では、本発明は参照テーブル又は同様のものを構築するようにする方法を含む。本発明の一つの方法では、音響光学レンズを設定するのに有用であるデータを準備する方法を提供する。本方法は、音響光学レンズを使用して電磁放射のビームを屈折させる空間内の考え得る複数の位置を選択するステップと、空間内の前記考え得る位置のそれぞれに関して、駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するステップであって、ここで、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記考え得る位置に照準を合わせるようなものである、ステップと、前記群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するステップと、駆動周波数候補の各対に関する決定された効率に従って前記群から駆動周波数候補の好ましい対として選択するステップとを含むことができる。前記選択するステップは、適宜、駆動周波数候補の対の前記群から、前記群内の駆動周波数候補の全ての対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする駆動周波数候補の対を選択するステップを含む。別の態様では、空間内の所望の位置に照準を合わせるように電磁放射のビームを操作するための音響光学レンズを設定する方法を提供する。音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含むのが好ましい。本方法は、駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するステップであって、ここで、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に照準を合わせるようなものである、ステップと、前記群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するステップと、駆動周波数候補の各対に関する決定された効率に従って前記群から駆動周波数候補の対を選択するステップとを含むことができる。前記選択するステップは、適宜、駆動周波数候補の対の前記群から、前記群内の駆動周波数候補の全ての対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする駆動周波数候補の対を選択するステップを含む。本発明は、走査経路に沿って走査するように電磁放射のビームを操作するために、音響光学レンズを設定する方法をさらに含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記方法は、前記走査経路に沿って基準点を決定するステップと、基準点駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するステップであって、ここで、前記基準点駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の基準点駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の基準点駆動周波数候補とから構成されており、当該基準点駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の基準点駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準点に照準を合わせるようなものである、ステップと、前記基準点に関する前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの既知の透過効率に基づいて前記群から基準点駆動周波数候補の対を選択するステップとを含む。前記基準点は、前記走査経路の中間点にあるのが好ましい。基準点駆動周波数候補の対を選択する前記ステップは、適宜、前記群内の基準点駆動周波数候補の対から、基準点駆動周波数の全ての特定された対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数の対を選択するステップを含む。前記選択するステップは、適宜、前記群内の基準点駆動周波数候補の各対に関して、前記走査経路に関する走査経路駆動周波数の複数の対を決定するステップと、走査経路駆動周波数の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するステップと、走査経路駆動周波数の各対に関する決定された効率に従って前記群から走査経路駆動周波数の少なくとも一つの対を選択するステップと、走査経路駆動周波数の選択された対に基づいて前記群から基準点駆動周波数候補の対を選択するステップとを含む。前記群から走査経路駆動周波数の少なくとも一つの対を選択する前記ステップは、適宜、前記走査の継続時間の間、所定の下側閾値を超える効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数候補の単一の対に関係する走査経路駆動周波数の対を選択するステップを含む。前記群から走査経路駆動周波数の少なくとも一つの対を選択する前記ステップは、適宜、前記走査の継続時間の間、ある所定の閾値を超えない最高効率と最低効率との比率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数候補の単一の対に関係する走査経路駆動周波数の対を選択するステップを含む。前記音響光学レンズは、適宜、第三の駆動周波数により駆動される第三の音響光学偏向器と、第四の駆動周波数により駆動される第四の音響光学偏向器とをさらに含み、前記方法は、駆動周波数候補の複数の対を含む第二の群を決定するステップであって、ここで、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第三の音響光学偏向器の第三の駆動周波数候補と、前記第四の音響光学偏向器の第四の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第三及び第四の駆動周波数候補が、同時に前記第三及び第四の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に照準を合わせるようなものである、ステップと、前記第二の群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するステップと、駆動周波数候補の各対に関する決定された効率に従って前記第二の群から駆動周波数候補の対を選択するステップとをさらに含む。一般に、ビームを一方向に屈折させるための開示する方法及び装置の全ては、円筒レンズを球面レンズに変換するために直角方向に関して反復させることができる。本発明は、空間内の所望の位置に照準を合わせるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを制御するための装置を含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記装置は、駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するように構成されたコントローラを含み、ここで、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に照準を合わせるようなものであり、前記コントローラは、前記群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定するように構成され、前記コントローラは、駆動周波数候補の各対に関する決定された効率に従って前記群から駆動周波数候補の対を選択するように構成される。前記コントローラは、適宜、駆動周波数候補の対の前記群から、前記群内の駆動周波数候補の全ての対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする駆動周波数候補の対を選択するように構成される。本発明は、走査経路に沿って走査するように電磁放射のビームを操作するために、音響光学レンズを制御するための装置をさらに含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記装置は、前記走査経路に沿って基準点を決定するように構成されたコントローラを含み、前記コントローラは、基準点駆動周波数候補の複数の対を含む群を決定するように構成され、ここで、前記基準点駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第一の音響光学偏向器の第一の基準点駆動周波数候補と、前記第二の音響光学偏向器の第二の基準点駆動周波数候補とから構成されており、当該基準点駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第一及び第二の基準点駆動周波数候補が、同時に前記第一及び第二の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、前記基準点に照準を合わせるようなものであり、前記コントローラは、前記基準点に関する前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの既知の透過効率に基づいて前記群から基準点駆動周波数候補の対を選択するように構成される。前記基準点は、前記走査経路の中間点にあるのが好ましい。前記コントローラは、適宜、前記群内の基準点駆動周波数候補の対から、基準点駆動周波数の全ての特定された対の最高効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数の対を選択するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記群内の基準点駆動周波数候補の各対に関して、前記走査経路に関する走査経路駆動周波数の複数の対を決定し、走査経路駆動周波数の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定し、走査経路駆動周波数の各対に関する決定された効率に従って前記群から走査経路駆動周波数の少なくとも一つの対を選択し、走査経路駆動周波数の選択された対に基づいて前記群から基準点駆動周波数候補の対を選択するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記走査の継続時間の間、所定の下側閾値を超える効率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数候補の単一の対に関係する走査経路駆動周波数の対を選択するように構成される。前記コントローラは、適宜、前記走査の継続時間の間、ある所定の閾値を超えない最高効率と最低効率との比率で、電磁放射の前記ビームが前記音響光学レンズを通過するようにする基準点駆動周波数候補の単一の対に関係する走査経路駆動周波数の対を選択するように構成される。前記音響光学レンズは、適宜、第三の駆動周波数により駆動される第三の音響光学偏向器と、第四の駆動周波数により駆動される第四の音響光学偏向器とをさらに含み、前記コントローラは、駆動周波数候補の複数の対を含む第二の群を決定し、ここで、前記駆動周波数候補の複数の対のそれぞれが、前記第三の音響光学偏向器の第三の駆動周波数候補と、前記第四の音響光学偏向器の第四の駆動周波数候補とから構成されており、当該駆動周波数候補の複数の対は、前記対の前記第三及び第四の駆動周波数候補が、同時に前記第三及び第四の音響光学偏向器の各々に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが、空間内の前記所望の位置に照準を合わせるようなものであり、前記第二の群内の駆動周波数候補の各対に関して、前記音響光学レンズを通る電磁放射の前記ビームの透過効率を決定し、駆動周波数候補の各対に関する決定された効率に従って前記第二の群から駆動周波数候補の対を選択するようにさらに構成される。本発明は、コントローラ装置、前記音響光学レンズ、顕微鏡光学素子、及び電磁放射の前記ビームを供給するためのレーザを含む顕微鏡システムをさらに含む。前記コントローラ装置は、以上及びここに説明する装置のいずれかとすることができる。本発明は、空間内の所望の位置に向かって屈折させるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法をさらに含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記方法は、詳細な効率データに従って第一及び第二の駆動周波数を選択するステップであって、前記選択された第一及び第二の駆動周波数が、最終画像を形成する最小走査の少なくとも50の所定の体素に関する考え得る最も効率的な駆動周波数から1MHz内となるようにするステップを含む。本発明は、空間内の所望の位置に向かって屈折させるように電磁放射のビームを操作するために音響光学レンズを設定する方法をさらに含み、前記音響光学レンズは、少なくとも、第一の駆動周波数により駆動される第一の音響光学偏向器と、第二の駆動周波数により駆動される第二の音響光学偏向器とを含み、前記方法は、詳細な効率データに従って第一及び第二の駆動周波数を選択するステップであって、前記選択された第一及び第二の駆動周波数が、最終画像を形成する最小走査の少なくとも50の所定の体素において可能な最高効率から10内にある透過効率をもたらすようにするステップを含む。前記詳細な効率データは、少なくとも九つの異なるビーム位置に関する透過効率のデータとすることができる。前記詳細な効率データは、処理及び変換することができ、周波数データ、オフセット量データ、又は生透過効率データとして表すことができる。最終画像を形成するのに使用される走査の50は、本方法を使用して設定されるのが好ましい。しかし、走査の70、90、又は100でも同様に設定することができる。本発明のコントローラは、汎用コンピュータ上で実行されるソフトウェアにより、又は特注の配線電子回路若しくは他の制御チップとして具体化されることを含めて、任意の適当な形態をとることができる。コントローラの目的は、通常、ビームが適当に屈折することを確実にするために、AODに補正信号を提供することである。コントローラは、画像データを処理することもできるが、これは、不可欠なものではない。ここで、添付の概略図面を参照して、非限定的な例のみにより、本発明をさらに説明する。本発明は、特許文献1に記載された装置及び方法の改良型であり、限定されないが、AODの小型構成部任意の半波長板及び偏光板を含む、色収差補正用の手段、並びに様々な上流及び下流のAOD構造TeO2結晶を含むを含めて、特許文献1に記載された手段のいずれかと共に実施することができる。特許文献1に記載された、必要な駆動周波数を計算するための式は、本発明にも適用できる。特許文献1の全開示内容は、参照により本明細書に組み込まれている。特許文献1の技術用語は、本明細書に採用されている。例えば、a1は、第一のAODに適用される駆動信号の周波数ランプ速度を表す。本発明は、小型のAOD構成部及びその対応する駆動用の式driveequationを参照して説明するが、本発明は、AODを互いに結合するのにテレセントリックリレーtelecentricrelayを使用する構成などの他のAOD構成に同様に適用できる。そうしたテレセントリックに結合された構成部を駆動するための一般式は、小型構成部のものよりも単純であり、当業者に知られている。本発明は、任意の電磁放射線を操作するために実施することができるが、レーザビームで実施するのが好ましい。WO2008/032062などでは、700~1000nmの典型的なレーザ波長が使用されるが、これは、本発明を限定しない。レーザの中心周波数は、200~2000nm、好ましくは400~1200nm、より好ましくは700~1000nmの範囲でもよく、さらに好ましくは約850nmである。レーザは、2ps以下、好ましくは500fs以下、より好ましくは100fs以下の長さを有するパルスでパルス化される。図1は、顕微鏡法、好ましくは二光子顕微鏡法を実行するために使用することができる装置全体の概略図を示す。本発明は、具体的には、画像品質の点で改善された結果をもたらすために二つ又は四つのAODを駆動する方法に関する。本発明は、AODの構成に適した式に基づいてAOL11を駆動するコンピュータ制御システム図に示さずを含むのが好ましい。プリチャーパprechirper2を除いて、図1に示す二光子顕微鏡全体の他の要素は、一般に、標準的な二光子顕微鏡の要素と同様であるが、AOD及び画像再構成用の駆動電子回路は、検流計と同等のものよりも多少複雑である。レーザ1は、Tiサファイヤレーザであることが好ましいが、実施する実験に応じて、いかなるレーザも使用することができる。レーザは、特許文献1に記載されるように、例えば100fs程度の極めて狭いパルスの放射線を放出する。他の面では、そのうちにレーザパルスを拡大し、二光子放出効果を大幅に低減する、TeO2の高色分散の影響を補償するために、プリチャーパ2を含むのが好ましいレディケルハーReddy,Kelleherら2008年。全レーザ強度にわたる制御を提供するために、適宜、ポッケルスセル3を使用し、AOL11を通る前にビーム直径を拡大するために、ビーム拡大器4を使用することができる。図1のAOLでは、四つのAODを示すが、一方向例えばX方向のみの屈折が望まれるとき、二つだけを使用することができる。電磁放射ビームは、リレー5を通ってAOLを出ることができ、任意の検流計ミラー6によって屈折させることができ、その後、ビームは、顕微鏡対物レンズ9に到達する前に別のリレー7この例では、視野レンズ及びチューブレンズを含むを通ることができる。対物レンズ9は、通常、ビームを所望の位置に集束させ、反射光又は散乱光なら何でも、対物レンズ9を通って戻るのが好ましく、反射光又は散乱光は、任意のダイクロイックミラー8により、ここでは光電子増倍管の形態であるセンサ10に導かれる。光電子増倍管からのデータ取得は、通常、AODの駆動と正確に同期し、その結果、各データ収集タイムスロット通常1~4μsの長さにおいて、コンピュータは、その間にAOLが指示を合わせる体素の3D座標における測定光強度を、コンピュータメモリに挿入することができる。図4は、AOLを形成する四つのAODの配列及び向きを示す。第一のAOD30は、X方向の屈折をもたらすように、第二のAOD40と共に機能する。第一及び第二のAODは、それぞれにおける音波が反対方向図4に矢印で示すに進むように配置されるのが好ましい。第三のAOD50は、Y方向の屈折をもたらすように、第四のAOD60と共に機能する。第三及び第四のAODは、それぞれにおける音波が反対方向に進むように配置されるのが好ましい。さらに、第三及び第四のAODの音波はそれぞれ、第一及び第二のAODの音波と直角であるのが好ましい。図示する小型構成部では、AODは、ビーム方向に関して上流から下流に向かって第一、第三、第二、第四の順である。特許文献1に記載されるように、これは、半波長板及び/又は偏光板を用いて、最小の補正/フィルタリングが要求される、AOD間の偏光を合わせる点で、有利な構成である。図4は、半波長板H及び偏光板Pを示さないが、これらは、図1に示し、特許文献1により詳細に説明されている。或いは、AODは、WO2010/076579に開示されるように、第一、第三、第四、第二の順に配置することができる。本発明は、X方向の屈折をもたらすために、第一のAOD及び第二のAODのみを有するシステムなどの、二つのAODのみを有するシステムに同様に適用することができる。そうした構成は、第一のAODの回折偏光出力を第二のAODの要求偏光入力と合わせる半波長板と、第一のAODからの非回折光を抑える偏光板と共に、第一のAOD及びそれに続く第二のAODを有する。当然、そうしたシステムは、X方向にのみ屈折させることができ、収差を回避するために、YZ平面上に焦点を合わせるのと同様にZ平面上に焦点を合わせることだけができる。図4は、四つのAODシステムの二つの直交図を示す。第三のAOD50及び第四のAOD60は、図示するように、第一のAOD30及び第二のAOD40と交互配置され、第三のAOD50と第四のAOD60との間の距離はd3であり、第四のAOD60から焦点までの距離は、d4’である。特許文献1に開示されるように、視野のいかなる所望の点にも光を集束させるのに、この構成部を駆動するための駆動信号に適用する周波数ランプ速度を計算することができる。第一及び第二のAOD30、40は、選択されたXZ平面に焦点を合わせるが、第三及び第四のAOD50、60は、YZ平面に焦点を合わせる。距離d2’及びd4’は、最終的な焦点が両平面で確実に同じになるようになるのが好ましい。一般に、任意の誤差が収差をもたらす。そうした場合に、焦点の収差を微調整するために、Xランプ速度とYランプ速度との比率に細かい補正を加えることができる。これは、d2’とd4’との比率を調整することと等しく、その結果、XZ平面及びXY平面における焦点位置のZの値が同じになる。これらの微調整補正は、焦点のZ位置の関数とすることができ、各走査の前にAODのランプ速度を計算するアルゴリズムに容易に組み込むことができる。しかし、そうした微調整は、不可欠なものではない。特許文献1に開示されるように、d1、d2、d3、d2’、及びd4’を決定する際、AOD間の実際の距離及び任意の介在する要素の光学的厚さ、並びにAOD自体を考慮に入れる必要がある。さらに、半波長板及び偏光板などの光学要素をAOD間に挿置するとき、そうした付加的要素の屈折率を考慮に入れることにより、見かけの光学距離間隔を計算することができる。さらに、AOD自体の屈折率が考慮される。これは、見かけの光学距離d1が、AOD間の空隙距離と、AOD1の厚さの半分をその屈折率で割った商と、AOD2の厚さの半分をその屈折率で割った商との和に等しくなるように、音波がAODの厚さの中間点でAODを出入りすると仮定することにより行うことができる。二つのAODが等しいとき、値d1は、空隙距離と、AODの厚さをその屈折率で割った商との和に等しい。理論的には、視野内のZの任意の選択値における定常焦点を実現するために、AOLの小型構成部を使用することができる。本発明は、照準モードpointingmode光を定常点に集束させるに適用できるのと同様に、一般に、固定されたZ平面でX及びY平面走査速度の正確な制御を必要とする走査モードにも適用できる。AODが限定された動作周波数範囲を有し、Z集束の周波数ランプ速度が高いことは、駆動周波数を動作周波数範囲の反対側にリセットすることがしばしば必要であることを意味する。最小走査を実現するために、これを行う方法は、特許文献1に開示されている。第一及び第二のAOD30、40によるXZ屈折及び集束の場合には、平均駆動周波数fav2及びfav1は、図5に示すように、グラフのX軸及びY軸上にプロットすることができる。これらのf平均記号は、検討される特定の時間におけるAODの中心の周波数を表す。ランプ速度a1及びa2が、時間及び空間のどちらにおいても線形であるとき、中心の周波数は、その時点でのAOD開口の周波数の空間平均であり、次に、AODの平均屈折角度を決定する。再び図5を参照すれば、平均周波数の任意の対は、fav2、fav1平面の点として、このプロット図上に表すことができる。駆動中心周波数の対の漸進的変化又はステップ変化は、平面内にあるベクトルで表すことができる。ベクトルの方向は、焦点位置に起こっていることを決定する。fav2及びfav1が、コモンモード駆動勾配Rcommとして表示された微分勾配と共に変化するとき、その点の位置変化はない。コモンモード駆動周波数変化は、周波数変化の比率が、である変化として定義される。周波数変化のこの比率は、ちょうど、最後のAODからの距離d2’における定常焦点をもたらす、ランプ速度の比率であることに留意されたい。この比率は、任意の特定の選択Z焦点面に関して一定値を有する。定常焦点に関して、二つのAODの中心の二つの周波数が時間と共に変化するとき、これらの周波数をプロットすれば、これらの周波数は、図示したベクトルに平行な線に沿って動くであろう。この結果は、コモンモード屈折線上にある周波数の任意の対に関して、焦点が空間的に同じ位置にあることを示す。その逆は、により定義される、このプロット図上の差動モード線に適用される。この方向の変化は、コモンモード周波数差の変化を伴わない、焦点のX位置の変化をもたらす。その勾配は、定義によれば-1とコモンモード勾配との積である。図5及び6を参照すれば、fav2、fav1周波数空間において、ベクトルRcomm=[1,Rcomm]及びRdiff=[1,Rdiff]ここでベクトルはボールドで示し、スカラは普通の書体で使用するは、2Dベースの単位ベクトルとして使用することができる。従って、この平面内の任意の一般ベクトルは、そのコモンモード及び差動モードベースのベクトル成分に関して分析することができる。図6の点Pは、特定のfav2、fav1座標を表す。これは、ベクトル式[fav1,fav2]=[fc,fc]AxRcommBxRdiffにより同様に十分に表すことができる。ここで、fcはAOD駆動範囲の中心周波数であり、A及びBは、図上の矢印13、14で示すRcomm及びRdiff方向に照準を合わせる単位ベクトルのスカラ乗数である。勾配Rcommスカラを有する点Pを通る点線12は、同様に十分に同じ物理的位置に照準を合わせる他の全ての点のコモンモード線である。Z≠0の平面に関して、一つのランプ速度をAODに適用しなければならず、周波数が時間と共に一定で増加又は減少しなければならないことを意味する。従って、固定された物理的位置に焦点を合わせるとき、周波数空間の点Pは、コモンモード線Rcommに沿って動く。このプロット図を使用するとき、点Pが照準を合わせるものと同じ3D空間内の位置に反復して照準を合わせる場合、駆動周波数がAODの高効率領域の外側に行かなければ、ランプ昇降は、反復して、青い点線の左下端部で定義された周波数の対で開始し、右上端部で止まらなければならないことがわかる。始点に急に戻るとき、AODが照準を合わせる位置の変化は生じない。図6は、[fav2,fav1]座標の時系列を表す線15も示す。これらを分析し、線16及び17で示す、そのAxRcommBxRdiffの対にすることもできる。この場合には、線15は、点がX方向に徐々に動くことを意味する、小さい微分成分を有する焦点ビームをもたらす駆動である。時間内のコモンモード走査速度は、線16及び17で示すように、Z焦点面及び、このプロット図上のRcomm及びRdiffの単位ベクトルの正確な方向を決定する。全体的には、図6は、周波数の任意の対又は周波数ベクトルの対の差を分析して、コモンモード成分及び差動モード成分にすることができる方法を示す。ボールド文字はベクトルを示し、普通文字はスカラを示す。点線は、ビームを点Pに向けるAOD駆動制限周波数間の周波数の全ての対を表す。反復してAODにこの線を上らせ、低位置に急に戻すことは、Pにおける静止周波数の対が照準を合わせるものと同じ横方向オフセット量Xの単一の点に焦点を合わせるのに必要な周波数の鋸歯sawtoothに対応する。線に沿った変化速度は、焦点Z、及びこのコモンモード線の正確な方向を決定する。図6の15で表すベクトルは、大きいコモンモード16を小さい差動モード17と組み合わせ、この線15に沿った安定移動は、固定されたZ集束、及び焦点の比較的緩やかなX方向移動をもたらす。半透明のサンプル脳組織などの三次元画像を構築するために、サンプルを通る所定の経路に沿って焦点のラスタ走査を行うことを可能にするのが効果的である。最も一般に使用されるラスタ走査は、Y及びZの値を一定に保ちながら、焦点をX方向に動かし、次に、Y位置を少量だけ増加させ、二次元格子の走査を達成するまで、X方向などの走査をさらに行うことである。次に、Z方向に増加させ、三次元体積を構築するまで、さらに二次元格子を走査する。このタイプのラスタ走査は、全ての点に順次対処する照準モードを使用して画像を構築するよりもはるかに速い。照準モードは、各点からのデータを取得するのに、一AOD充填時間及び一データ収集時間滞留時間掛かる。25μsのAOD充填時間及び典型的な4μsの滞留時間があれば、このプロセスは、照準モードでは、対象システムが解像することができる780万体素に関して約4分掛かる。ラスタ走査を用いれば、連続する体素にわたって一体素当り一滞留時間の速度で焦点を動かすことにより、各AOD充填時間に、多くのデータ点が集められる。ラスタ走査の長さが増加するにつれて、合計走査時間は、一体素当り一滞留時間の限界に向かって漸近的に減少し、4μsの滞留時間に対して約30秒で3D体積全体を走査する。そうしたラスタ走査の式は、特許文献1で導出され、これらを参照する。第一のAOD30は、第一の駆動信号により駆動され、第二のAOD40は、第二の駆動信号により駆動される。これらの駆動信号は、同じ周波数の音波をAOD開口に加える。図7は、第一及び第二の駆動信号周波数と、X方向に屈折し、固定されたYの値におけるラスタの一つの線を横切る固定されたZ平面に焦点を当てる、最小走査のシーケンスの一部分に関する時間との対比を上部に示す。図7の下部は、時間の関数としてX方向の屈折を示す。Z方向に必要な集束をもたらすために、図7に示す両AODのランプ速度は、比較的高い。周波数範囲が制限されるので、考え得る最大X走査範囲を完全に横切って単一の走査を行うことはできない。従って、走査プロセスを最小走査のシーケンスに分割しなければならない。これらの最小走査周波数軌跡の二つが図7にプロットされ、それら二つの間の遷移を示す。AODの最大及び最小の駆動周波数は、この場合には、効率がピーク効率のあるパーセンテージ例えば50未満まで降下する場所の観測の結果として、任意に定義される。最大及び最小の周波数は、それぞれ、第一及び第二のAODのどちらにおいても同じと見なされる。音波がAOD開口を充填するのに、一AOD充填時間掛かり、その結果、データ記録を開始することができ、特定の周波数がAODの中間点に達する時間は、その周波数が変換器により伝送された後、AOD充填時間の半分となる。従って、AOD全体からのデータの記録は、周波数ランプの始点又は終点のいずれかよりAOD充填時間の半分を超える時間で、変換器により送られる周波数に関してのみ可能である。これは、図7に挿入されたボールド点線で示す利用可能周波数範囲をさらに減少させる。従って、ある最小走査のデータ収集の終点から次の最小走査のデータ収集の始点までの合計時間は、AOD充填時間と、駆動周波数を電子的にリセットする任意の帰線flyback時間との和である。各最小走査の正確な開始周波数及び停止周波数を計算する際、新規の最小走査の第一の体素の開始時における焦点の位置は、前の最小走査の最後の体素の経路端部であったものと正確に同じ位置になるように配置される。これは、図7の下部に示す。周波数オフセット量Δf1及びΔf2は、通常、この条件を満たすために、小型構成部に関して正確な比率Rcommとならなければならない。線48は、ある最小走査の終点におけるX屈折が、次の最小走査の始点におけるX屈折と同じになることを示す。あるデータ収集シーケンスの終点と次のシーケンスの始点との間の帰線時間中、この時間中はデータを収集しないことを表すために、線を点線で示す。図8は、一つのX走査全体を形成する最小走査のシーケンス全体を、fav2-fav1平面に示す。矢印44は、図7における、時間に対する図示されたAODの中心の駆動周波数32、42の対に対応する。ベクトル44は、小さい差動モード成分を有するとき、特定のZ平面を走査し、それに焦点を合わせる。これは、差動モード線46により示される。データをAOD全体から収集することだけができるので、データ収集のための周波数限界を効率限界に組み込まなければならない。破線で示すコモンモード帰線45は、次の最小走査でデータ収集が再び開始されるとき、確実に同じ位置からそれを開始するようにする。最小走査の開始周波数及び停止周波数は、図8に示すように、ランプ昇降44を駆動周波数限界まで延ばすことにより定義される。照準モードと同様に、コモンモード単位ベクトル45及び差動モード単位ベクトル46の正確な方向は、選択された焦点Z平面に依存する。X走査速度δθ/δtは、一つの体素を走査するのに一滞留時間掛かる速度に設定される。これは、各体素を走査するとき、AODの半走査角度s、通常100~500の走査時の体素の数Nvox、及び焦点の滞留時間を定義することにより行われる。特許文献1の式は、XZ平面に焦点を合わせるための二つのAODが存在する場所、又は、図4に示すように、四つのAODが存在する時間に適用される。この場合、走査角速度δθ/δtは、第二のAOD40の周りで測定されるものである。第四のAOD60の周りで測定される見かけの速度は、この走査速度にd2’/d4’を乗算することにより得ることができる。上側周波数及び下側周波数fmax及びfminに関する一定値に基づいて、これらの走査を行い、特許文献1の式を使用するアルゴリズムは、AOD効率を高く保つために、各AODがAOD用に設定された絶対周波数限界内に常に留まらなければならないという仮定に基づいているので、絶対周波数限界AFLアルゴリズムと呼ばれる。驚いたことに、固定された周波数限界を放棄し、その代わりに各点又は各最小走査線に関して独立に周波数限界を最適化することにより、高効率でより大きい体積を走査することができることがわかった。本発明の発明者は、特許文献1に示すように、個々のAOD効率と、AOD構成部の駆動周波数との対比に関する多くの測定を行った。これらの測定は、少なくとも30~40MHzの駆動周波数にわたる高効率が、固定された入力角度では6.5mradの半走査屈折角度に対応することを示した。これは、fminが30MHzに設定され、fmaxが40MHzに設定される絶対周波数限界の概念につながる。他のAOD構成部は、様々な周波数が特定されることにつながる可能性がある。しかし、入力角度が、実際にシステムの主な限界である、各対における第二のAODの入力許容角度であることがわかったので、これらのプロット図は、AOL総合性能をモデル化するには十分でない。入力ビームの正確な微細な屈折を起こすために、AODの前に別のAODを使用することなく、AODの入力許容角度の正確な高速測定を行うことは、実際には難しい。この難しさを解決するために、発明者は、AOLの総合性能を測定し、各AODの性能を推定するために、この情報を使用した。この方法の難しさは、そこに大面積の検出器を配置する十分なスペースがないので、AOD間の光出力レベルを測定するのは実用的でないことである。四つのAOD構成部で行われる測定に関して、AOL総合効率の得られた測定値は、四つ全てのAODの効率を順次掛けた積である。これは、特定の任意の挙動の根本原因に関する不確かさを招く可能性がある。しかし、システムの視点から見れば、これは、理解するのが最も重要である性能である。最も効果的であることがわかった測定は、ビーム透過効率と、第三及び第四のAOD駆動周波数を一定にした状態の第一及び第二のAODに必要な駆動周波数及びその逆との対比をプロットすることである。図9及び10は、この作業の結果を図式的に示す。図9は、第一及び第二のAOD30、40に対する駆動周波数の関数として、音響光学レンズAOL総合効率を輪郭線プロットしたものであるが、第三及び第四のAOD50、60は、35MHzの一定周波数で駆動される。輪郭線は、蛍光プラスチックスライドクローマテクノロジーコープChromaTechnologyCorpにわたって焦点を走査することにより測定された規格化された二光子効率である。ピーク規格化強度は、最も明るい中心の輪郭の中心では1であり、各輪郭線は0.1のステップである。最も外側の輪郭線は、0.1規格化強度を表す。新規の最適化周波数限界OFLアルゴリズムが、各最小走査の効率を改善し、最適化し、又は最大化するために行うことができる一つの計算を図示するために、線図をプロット図上に重ね合せる。対角線91は、Z=0の平面内で同じX屈折をもたらすコモンモード駆動周波数を含む。十字形92は、透過が最高の効率である各コモンモード線91上の点を表す。これらの十字形92は、問題のコモンモード線91の最も高い輪郭線上にある。一つの走査方法では、駆動周波数のこの対を最小走査の体素の一つ例えば中心体素に関して選択することができる。図10は、第三及び第四のAOD50、60に対する駆動周波数の関数として音響光学レンズAOL総合効率を輪郭線プロットしたものであるが、第一及び第二のAOD30、40は、35MHzの一定周波数で駆動される。輪郭線は、蛍光プラスチックスライドクローマテクノロジーコープChromaTechnologyCorpにわたって焦点を走査することにより測定された規格化された二光子効率である。ピーク規格化強度は、最も内側の輪郭線の中心では1であり、各輪郭線は0.1のステップである。新規のOFL最小走査アルゴリズムが、各最小走査の効率を最大化するために行うことができる一つの計算を図示するために、線図をプロット図上に重ね合せる。ここで、直角走査の各線に関して一つ、100個の独立した考え得る屈折が計算され、特定のY走査全体を形成する各最小走査に関して反復して使用される。対角線は、同じY屈折をもたらすコモンモード駆動周波数である。十字形は、透過が最高の効率である各コモンモード線上の点を表す。一つの走査方法では、駆動周波数のこの対をこのY走査の一つの体素例えば中心体素に関して選択することができる。図10は、第一及び第二のAODを固定された周波数に維持した状態での第三及び第四のAOD50、60の二光子効率の同じタイプのプロット図を示す。これは、第四のAOD周波数範囲の下端部であまり高効率でない以外は同様の結果を示す。これは、最適でない第四のAODの配置により生じる可能性がある。これらの輪郭線プロット点は、全プロット範囲にわたる第二の駆動信号周波数を走査し、その範囲を4μs/ピクセルの100ピクセルに分割し、各線の後に第一の駆動周波数をその全範囲の百分の一ずつステップすることにより、高速で測定される。AODの中心の周波数が、AOD充填時間の半分と第二のAODランプ速度との積だけ変換器の周波数より遅れることを可能にするために、その駆動周波数データ点に対して第二の駆動信号周波数をプロットするとき、小さい補正がある。11mradの半走査角度に対応する、27から44MHzまで変化する第二のAOD駆動周波数に関して、有用な二光子効率0.2規格化二光子効率輪郭線までを得ることができるが、第一のAODの周波数範囲は、4.5mradの半走査角度に対応する、約31~38MHzであることを、この輪郭線プロット図が示すことに留意されたい。第一のAODの高効率屈折角度が、4.5mradの半走査角度よりもはるかに大きいことがわかるので、第一のAODの高効率周波数の限定された範囲の原因は、第二のAODの限定された許容角度であることを推定することができるこのプロット図からわからないが。これら両プロット図では、第一のAODよりもはるかに広い周波数範囲にわたり各対の第二のAODを駆動し、高効率をもたらす駆動周波数の組合せをさらに見出すことができるのは明らかである。後の結果に示すように、これにより、走査体積は、これまで説明した八面体形状から、その体積の三倍を超える直方体に変化することができる。いかにして固定された駆動周波数限界の制限を克服することができ、視野及びパターン形成挙動の驚くべき改善につながるかを示すために、以上から導かれたコモンモード及び差動モード周波数駆動を理解すると共に、これらの測定値を使用する。上述した絶対周波数限界AFLアルゴリズムは、四つのAODのいずれも駆動することが許容される最大及び最小駆動周波数を最初に簡単に特定することにより動作する。それと対照的に、新規の最適化周波数限界OFLアルゴリズムは、性能を改善し、最適化し、又は最大化するために使用する周波数を選択することができる。一つの実施形態では、このアルゴリズムは、各最小走査の総合回折効率を改善するために、ピーク探索アルゴリズムを使用して、図9及び10の効率プロット図から最小走査駆動周波数を選択するのと等しい計算を実行する。本発明は、以下のように、照準合せ又は走査のためのいくつかの方法を含む。A.照準モード、Z=0での所望の位置における考え得る最高効率考え得る走査体積空間内の所望の位置に関して、一般に、ビームを所望の位置に屈折させるのに使用することができる全ての周波数候補の対を定義する、X屈折の一つのコモンモード線が存在する。コモンモード線の傾きは、所望の位置のZの値に依存する。この方法によれば、最高効率を有するコモンモード線に沿った点は、図9図9では、最高効率を有する各コモンモード線91に沿った点は、十字形92で示すから特定することができ、この点における周波数は、ビームを屈折させるために使用することができる。一例をZ=0の平面に関して説明する。ビームを固定点に屈折させ、AOD周波数をリセットするのを必要とすることなく、ビームをそこに合わせたままにすることができるのは、この平面内だけであるので、この平面は、特別な場合である。この理由は、Z=0で、AODにランプ昇降を適用する必要がなく、固定された変化しない周波数が、X及び/又はY方向の必要な屈折をもたらすにすぎないからである。簡単にするために、X=k、Y=0、及びZ=0の点を選択する。これは、X屈折をもたらすために、第一及び第二のAODのみを使用する必要があることを意味する。Yが非ゼロであれば、図9の代わりに図10の効率プロット図を使用して、Y屈折をもたらすために、第三及び第四のAODを駆動するための周波数を導くために同じ原理を使用することができる。X屈折の値kは、第一及び第二の駆動周波数間に必要なオフセット量を決定する。次に、これは、図11図9と同じプロット図であるの適当なコモンモード線の特定につながる。X=kの屈折が、図11の線70に沿って存在する周波数のいずれでも実現可能であると仮定されたい。効率を最大化するために、使用すべき正確な周波数の対は、線70上にある全ての対の最高効率を有する、線70に沿って存在する周波数の対を選択することにより、選択することができる。これは、線70に沿って存在する周波数の対の効率がプロットされた図12に示される。最良の周波数の対を得るために、図12のプロット図の最高点は、ここで示すように、点72と特定される。対応する点を図11にさらに示す。この点が特定されると、図11から周波数の値をf1kb及びf2kbと決定するのは簡単である。例えば、f1kb及びf2kbは、各それぞれ、約33MHzである。この方法によれば、空間k,0,0の位置は、第一のAOD駆動周波数f1kb及び第二のAOD駆動周波数f2kbを使用して、照準を合わせられる。理論的には、線70に沿って存在する他の周波数の対73のいずれかを使用することにより、同じ位置を得ることができたであろう。しかし、点72に対応する対は、最高効率の透過につながるので、それが使用された。実際には、この方法は、駆動周波数候補72、73の複数の対を含む群を最初に特定することにより、実時間で実施することができる。これらの周波数の対の候補72、73は、所望のX屈折をもたらし、従って、興味のある領域のコモンモード線70に沿って存在する周波数の対となるものである。対の候補は、図11の点73で示す。対の候補73を含む群を決定すると、対の周波数をAODで使用するならば、この群の各対が提供するであろう透過効率を決定するために、図11のデータを使用することができる。これらの効率を図12に番号72及び73で図式的に示す。次に、決定された効率に基づいて、使用すべき一対の周波数を選択することができる。この例では、最高効率を特定し、最高効率を有する群の対72をAODに使用する。この群は、例えば、2対から100対の間、好ましくは5対から50対の間、より好ましくは5対から20対の間の好都合な任意の数の周波数の対を含むことができる。より少ない数の対を使用する場合、使用すべき正確な周波数を決定する際、内挿法を使用することができる。方法1の参照テーブル実時間処理能力要求は、参照テーブルのいくつかのコモンモード線の最良の周波数の対に関するデータを事前記憶することにより低減することができる。例えば、Zの値の範囲例えば30個の値のそれぞれに関して、30個程度のコモンモード線に関する最良の周波数の対を記憶することができる。これは、20x30=600の好ましい周波数の対、又はXに関する20x30x2=1200のデータ位置及びYに関する別の1200のデータ位置に対応する。そうした場合には、使用すべきAOD駆動周波数を決定するのに、以下の方法を使用することができる。点X=k、Y=0、Z=0では、参照テーブルの適当なセクションを参照することができ、真のコモンモード線正しいX屈折を正確に与えるの最も近くにあるデータを記憶するコモンモード線を特定することができる。好ましくは周波数の対を参照することができる。テーブルが、興味のある正確なコモンモード線に関するデータをたまたま含んでいれば、AOD駆動周波数として、好ましい周波数の対を単純に使用することができる。テーブルが、興味のあるコモンモード線に関するデータを含んでいなければ、最も近いコモンモード線に関する好ましい周波数の対が得られ、次に、その周波数の対は、ビームを正確な正しい位置に合わせるように変更される。そうした補正は、周波数を正しいコモンモード線にシフトさせる差動モード成分を加減することにより、実現することができる。或いは、第一及び第二の駆動周波数のいずれかを、正しいコモンモード線上の点に達するまでシフトさせることができる。方法2の参照テーブル好ましい周波数の対自体を記憶するのではなく、代わりに、コモンモードオフセット量データなどの、好ましい周波数の対に関係するデータを記憶するのが有利である可能性がある。これらのオフセット量を、図13のベクトル76として図示する。ここで、点35MHz、35MHzを通る差動モード線69は、座標系の原点と見なされる。コモンモードオフセット量76は、それぞれのコモンモード線に沿って測定され、図13の最高効率の点に達するのに必要な周波数シフトの量を与える。例えば、コモンモードオフセット量76aでは、コモンモード線77の傾きの値と共に、量foffsetが記憶される。従って、参照テーブル内のデータは、Zの特定の値に対応し、複数のコモンモード線のそれぞれに関する最良の周波数の対に対する特定のオフセット量を提供する。テーブルを以下のように使用する。最初に、入力として空間内の所望の位置を取得する、既知の式特許文献1参照が使用され、これらの式は、出力として適当なコモンモード線上の点を提供する。例えば、位置k,0,0では、式は、図13に示すように、基準周波数の対77を提供する。次に、参照テーブルを参照し、点77に最も近い周波数に関して記憶されたコモンモード周波数オフセット量データを得る。次に、このオフセット量データ76bは、AODに関する駆動周波数として使用することができる好ましい周波数の対78を得るように、基準周波数の対77を変更するために適用される。後に明らかになるように、参照テーブルの使用は、必要な実時間処理量を低減することができる一方で、最良の周波数を選択する際に、わずかな量の誤差を導くが、それは、記憶された好ましい周波数の多少の変更が必要であり、又は、最も近いコモンモードオフセット量を選択する際の多少の妥協が必要であるからである。B.照準モード、Z≠0での所望の位置における考え得る最高効率照準モードは、物理的位置が全く動かないが、Z≠0であるので、周波数をリセットするために最小走査線を使用する必要がある場合も含む。このモードは、実際に、概念的には、後に説明する走査モードに極めて似ている。本説明で、走査及び最小走査は、周波数を昇降させる必要があり、従って、Z≠0での照準モードを含む、任意の場合を指す。この場合には、本方法は、上述したものと同様であるが、最小走査経路に沿って存在する基準位置は、最高効率の点と一致するように特定及び形成される。最小走査線の中心の点が選択されるのが好ましいが、実際には、いかなる点も使用することができる。k及びmが走査体積内の位置である場合に、位置X=k、Y=0、Z=mに30μs間、照準を合わせることが必要であると仮定されたい。Z≠0のとき、正しいX屈折をもたらすために、第一の駆動周波数と第二の駆動周波数との間の必要なオフセット量を維持しながら、周波数を昇降させる必要がある。実際には、これは、図14に示すように、ある長さZ位置及び30μsの滞留時間に関するを有するベクトル13に従う必要があることを意味する。図14からわかるように、コモンモード線70に沿ったベクトル74を配置する場所に関して、選択する。この方法によれば、ベクトル74の中心は、基準点として選択され、線70の最高効率点と一致するように形成される。これにより、図14に示すように、効率的であることがわかる、動作領域内の最小走査ベクトルが配置される。二つの参照テーブル方法は、所望の位置の代わりに基準位置を使用して、上述したように、同様に使用することができる。C.走査モード、最小走査線に沿った点における考え得る最高効率走査モードは、位置の範囲にわたってビームを走査するために、X又はYが、時間と共に系統的に増加又は減少する場合を含む。Z≠0での照準モードと同様に、最小走査線は、プロット図上のベクトルであるように見える。しかし、照準モード最小走査線とは対照的に、ベクトルは、走査モードでは差動モード成分を含み、従って、正確にコモンモード線に沿っては存在しない。それでも、同じ原理が適用される。所望の最小走査線通常は最小走査線の中心点である、通常は最小走査線に沿って存在する基準位置、並びに、走査を行う走査速度及びZの値により定義された最小走査線勾配に関するが定義されると、基準点に関してコモンモード線を特定することができる。通常、これは、既知の式を使用して実現される。照準モードに関して図11及び12に示すように最高効率のこのコモンモード線に沿った点を特定することができ、この周波数の対を任意の最小走査の基準点例えば中心点として使用することができる。使用すべき開始及び終了の周波数の対は、特定された基準点を通って、正しい勾配の線を描くことにより、最小走査線勾配の情報から導くことができる。例えば、X1,Z1の点AからX2,Z1の点Bまで最小走査を行うのが望まれると仮定されたい。値X1は、この場合は線51として特定された線である、図15のコモンモード線の一つに対応する。値X2は、図15の線52に対応する。値Z1及び所望の走査角速度は、図15に示すように、経路線53の傾きを固定する。従って、最小走査を開始する周波数に関して選択する。一般には、線51に沿って存在する周波数のいかなる対も、開始周波数として選択することができる。走査を改善するためのこの方法は、走査の中心で使用される周波数が、考え得る最高効率の利用可能な選択肢を有することを要求する。これを計算するために、図15ではここに線54で示すように、正確に線51と線52との間にあるコモンモード線を特定する。次に、この線に沿った最高効率の点を特定し、その点を図15の55で示す。次に、最小走査線53は、その中心にこの点55を確実に有するように、これらの制約に合わせられることが可能である。従って、これは、開始周波数の対として使用する周波数の対56、及び終了周波数の対として使用する対57を構築する。この方法は、最小走査線53に沿った点55、好ましくは最小走査線の中心で、考え得る最高効率を与える周波数の対を最小走査が確実に使用するようにする。図15の効率マップが、効率が上下する一連の山及び谷を有するとき、この方法は、山ピークを特定し、それを最小走査線の中心に置く。これは、考え得る最も明るい画像を得ることを意味する。この方法は、各最小走査内で体素ごとの効率の変化を最小化するのも助ける。この方法は、周波数の高効率群を特定し、それを最小走査に使用することを確実にする傾向がある。二つの参照テーブル方法は、所望の照準位置の代わりに基準位置55最小走査線に沿ったある点、好ましくは中心の空間位置を使用して、上述したように同様に使用することができる。D.最小走査線の最小閾値最小走査線の第二の方法は、最小走査線全体に関して、ある閾値を超える連続した効率をもたらす正しい勾配で、始点から描くことができる最も長い最小走査線を特定することである。これは、最小走査線長を最大化することを助け従って、必要に応じてリセットされるAODの量を低減し、それにより、AOD充填に関わる休止時間を回避する、さらに、生じる可能性がある効率変化を低減することにより、パターン形成を低減するように機能する。これは、図16において説明される。X1始点コモンモード線を定義する及びZ1図16の走査線勾配を定義するの情報があれば、効率が最小閾値を超える、図16の領域にわたってのみその経路を描くことができる最も長い線を計算することができる。例えば、30の閾値を設定することができる。走査開始位置は、走査が図16のコモンモード線192から開始されなければならないことを意味するものと仮定されたい。Z平面及び走査速度は、図16のベクトル193で示す勾配を与える。効率が30以上である領域にわたって描くことができる、最も長い連続線は、図16の線193として示す。線193全体は、ここでは30である、ある最小閾値を効率が超える、図16の領域にわたって存在する。最小閾値は、任意の適当な値、通常は10~90、適宜20~80、又は30~70、又は40~60、又は50の範囲とすることができる。この方法では、走査経路の基準点は、走査開始位置となるように選択されるのが好ましい。これは、図16で開始位置に関するコモンモード線を構築する。開始位置の駆動周波数は、図16の点194に示すように、コモンモード線が効率=30の輪郭線と交差する場所に注目することにより得ることができる。次に、線193は、効率が30未満に落ち始める、図16の領域に達するまで延びる。これは、図16で195の符号がついた終点駆動周波数をもたらす。実際に、効率=30の輪郭線とコモンモード線192との交点は、コモンモード線に沿ったいくつかの駆動周波数の対の候補を特定し、30を超える関連の効率を有するが、30に最も近い効率を有する対でもある、周波数の対を選択することにより得ることができる。別の方法は、駆動周波数候補のそれぞれに関する走査経路線を描き、効率が30以下まで低減する際に線を終了させ、次に、最も長い線を選択するために各線を比較することである。E.走査長にわたる効率の限界変化第三の方法は、走査経路にわたって、効率がどれくらい変化する可能性があるかにより制限する。これは、パターン形成を大幅に低減するのを助けるが、それは、最終画像で利用可能な輝度の範囲を効果的に制限するからである。一例を図17に関して説明する。図17に示すように、コモンモード線80からコモンモード線82まで走査する必要があると仮定されたい。考え得る最高効率の点を通る走査を線84として示す。しかし、効率が、線に沿って、始点の約25から、中心近傍の100を通り、次に終点の42まで大幅に変化することがここでは特徴的である。従って、得られた画像は、深刻なパターン形成を有し、それは、輝度が走査にわたって25から100の間で変化するためである。その代わりに、アルゴリズムは、必要な始点コモンモード線80から開始し、必要な終点コモンモード線82で終了し、Z集束及び走査速度制約により要求される勾配を有し、例えば30の最大閾値を超えない、その長さに沿った効率の変化を有する、図17の線を見出すことができる。そうした線は、50効率を有する周波数の対で開始し、効率が最小走査線に沿う途中で約65となるように上昇しながら、50効率を有する点で終了する、線86として示される。従って、線に沿った変化は、15だけになり、最終画像のパターン形成を低減する。この方法は、走査継続時間の間、所定の閾値を超えない最高効率と最低効率との比率を有する、対の最長の連続した組に関する周波数の対の群に沿って探索するアルゴリズムの使用により実施することができる。以上の例では、最高効率は65で、最低効率は50であるので、最高効率と最低効率との比率は、65/50=1.3である。従って、この走査は、2を超えない最高効率と最低効率との比率の要求を満たす。多くの最小走査の駆動周波数の最適な対を計算するために実行される反復計算の数を最小化するのに、ここで説明した方法とほぼ同じ結果をもたらす、よく知られた方法及び近似式を使用することができることに留意されたい。例えば、最小走査は、互いに十分に近接するタイルなどの領域に分類することができ、図18に示すように、最適なコモンモードオフセット周波数の小さい誤差のみが、タイルの中心に位置する中間体素に関して単一の最適化計算を使用することから生じる。ここで、16個のタイル122に分割されたXY視野全体120を示す一つのZ平面を図示する。各タイルは、中心位置124を有し、好ましい周波数の対又はコモンモードオフセット量のデータは、各タイルのX及びYの両方に関して記憶される。図18の例では、これは、ある好ましい対又は四つの考え得るX屈折のそれぞれに関するオフセット量、及び別の好ましい対又は四つの考え得るY屈折のそれぞれに関するオフセット量を記憶し、従って、トータルで八つの記憶イベントを要求することを意味する。それに加えて、全タイル又はさらに全最小走査に関して一度だけ実行される最適化コモンモードオフセット量計算の結果は、上述のように、データの後続の再使用のために座標ベースの参照テーブル内に記憶することができる。これは、特定の最小走査線又は近接した最小走査線の群に関する駆動周波数を計算する必要がある毎に、より複雑な最適化及びピーク効率発見アルゴリズムの反復を回避する。本発明は、音響光学レンズを設定する際に使用することができる参照テーブルを編集するための方法及び装置も含む。この態様によれば、音響光学レンズを設定するのに有用なデータが取得され、好ましくはコンピュータ読取可能形式で記憶される。最初に、音響光学レンズを使用して電磁放射ビームを屈折することができる、空間内の考え得る複数の位置が定義される。通常、これは、考え得る走査体積に広がる位置のマトリクスになる。次に、空間内の考え得る位置のそれぞれに関して、駆動周波数の候補の複数の対を含む群が特定される。この群を上述の実時間モードと同様の方法で得ることができ、例えば、20個程度の駆動周波数の対の候補を特定することができる。上述のように、駆動周波数候補の各対は、前記第一の音響光学偏向器に関する第一の駆動周波数候補、及び前記第二の音響光学偏向器に関する第二の駆動周波数候補から構成され、それらの対は、対の前記第一及び第二の駆動周波数候補が同時にそれぞれの第一及び第二の音響光学偏向器に適用されるとき、電磁放射の前記ビームが空間内の前記考え得る位置に照準を合わせるようにする。従って、これまで、データは、空間内のいくつかの位置のそれぞれに関して、その位置にビームを合わせるために使用することができる考え得る周波数の対の群を含む。次に、各群の特定された周波数の対の候補のそれぞれに関して、AOLの透過効率を評価する。これは、周波数候補の各対を有するAOLを実際に駆動し、空間内の関連の点の透過効率を測定することにより行うのが好ましい。しかし、その代わりに、これは、図9及び他の図に示すデータなどの詳細なデータを参照し、必要に応じて内挿することにより、行うことができる。最後に、駆動周波数候補の対は、各群から選択される。そうした選択は、駆動周波数候補の各対に関する決定された効率に合わせるのが好ましい。通常、群内の最高効率を有する対の候補が選択される。次に、この選択された対の候補は、空間内の特定の考え得る位置に関する好ましい駆動周波数として記憶することができる。或いは、上述のように中心からどれくらい離れているかを表す値であるコモンモード周波数オフセット値を決定することができ、差動モード線から好ましい周波数の対が決定される。従って、このオフセット量データは、好ましい周波数の対に関するデータである。異なる座標系又は原点に基づくオフセット量データなどの、好ましい周波数の対に関する他のデータを保存することができる。その結果、AOLシステムの効率を効果的な方法で表す一連のデータ表形式が好ましいが存在するが、それは、極めて大きい処理能力を得ることなく、使用効率を最適化するように、AOLデバイスを高速で設定することを可能にするためである。以上のものの代わりに、AOLコントローラには、図9及び10に示すデータなどの詳細な効率データを提供することができ、点又は走査のために使用する駆動周波数に関する決定を行うとき、このデータを実時間で参照することができる。パターン形成問題を低減し、視野を大幅に増大させるようにする進歩を図19及び20に示す。図19及び20は、s=6mradのAFL絶対周波数限界走査アルゴリズム図19、及び6mradの半走査角度をプログラムされたOFL最適化周波数限界走査アルゴリズム図20を使用して40X、NA=0.8の対物レンズの下の視野の比較を提供する。各画像のXY視野は、約180μmである電子顕微鏡グリッドは42μmピッチである。図19は、AFLアルゴリズムを使用してNA=0.8、40Xの対物レンズの下の視野を増大させるために、半走査角度sを6mradまで増加させるとき、何が起こるかを示す。AODがその周波数限界を超えるのを回避するために、大きいZ変位の極めて小さい走査領域により、独特のプログラムされた八面体形状を見ることができる。この画像のパターン形成は、s=4.3mradよりもむしろ6mradで各最小走査線におけるAODが、より大きい周波数範囲を走査することが可能になるので、図3よりもはるかに明瞭であることに留意されたい。Z=37.5μm及び-42.5μmの各最小走査線の両端で、二光子画像の強度は、大幅に降下する。同じXY走査範囲に関して設定された新規のOFL最適化周波数限界アルゴリズムの結果を図20に示す。OFL走査アルゴリズムが、ほぼ一定の走査面積、及び約160μmの軸方向範囲にわたるEMグリッドの明瞭な画像を示していることに留意されたい。視野の端部での強度の減衰は、これらの大きいXY屈折における深刻な色収差、及びAOL効率の低減により生じるものと推定される。しかし、視野を拡張する際も、パターン形成を低減する際も、十分に進歩したのは明らかである。図20の画像上のわずかな格子模様は、アルゴリズムが、ある高効率最大値から別の値に急に移る際に生じる効率の変化に対する駆動強度補償又はポッケルスセル補償を使用しなかったことにより生じる。同様に、各最小走査のピーク効率の変化により生じる、視野にわたる効率の変化を補償する試みを行わなかった。そうした微調整は、後に加えることができる。図19及び20を比較することにより示すように、Z=0での同じ走査寸法に関して、AFLアルゴリズムに対するOFLアルゴリズムの視野は、八面体ではなく直方体であり、従って、例えば分解能の損失により生じるZ走査の限界に正確に依存して、約三倍の大きさの走査体積を有する。より大きいこの直方体の視野及びパターン形成の低減は、極めて大きい進歩であることは明らかである。"