測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、直径値既知の基準測定物と前記検出器を前記基準測定物の母線と平行に相対的に移動して前記基準測定物の対向する2つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差を検出する手段と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、を備えたことを特徴とする真円度測定装置。前記測定物の中心とは、測定の際、前記検出器が接触する前記測定物の外周の点が形成する図形の最小二乗円の中心であることを特徴とする請求項1に記載の真円度測定装置。測定物の中心と回転の中心を一致させて測定物を検出器に対して相対的に回転させるようにして、測定物の真円度を測定する真円度測定方法において、直径値既知の基準測定物と前記検出器を前記基準測定物の母線と平行に相対的に移動して前記基準測定物の対向する2つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差を検出する工程と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する心ずれ量算出工程と、測定物の中心と回転の中心を一致させて測定物を検出器に対して相対的に回転させるようにして、任意の測定物を測定して得られた測定値を、前記算出した心ずれ量に基づいて補正する工程と、を備えたことを特徴とする真円度測定装置における心ずれ量補正方法。前記測定物の中心とは、測定の際、前記検出器が接触する前記測定物の外周の点が形成する図形の最小二乗円の中心であることを特徴とする請求項3に記載の真円度測定装置における心ずれ量補正方法。しかしながら、真円度測定装置のテーブル上に測定物を設置して検出器の測定子を測定物に当接させて検出を行う際、測定物の母線と測定子を測定物に当接させる検出点とを一致させることが非常に難しく、従来基準となる測定物の直径値と異なる直径値の測定物については、正確な直径値を測定することができないという問題があった。本発明はこのような問題に鑑みて成されたものであり、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することのできる真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法を提供することを目的とする。前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、直径値既知の基準測定物と前記検出器を前記基準測定物の母線と平行に相対的に移動して前記基準測定物の対向する2つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差を検出する手段と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、を備えたことを特徴とする真円度測定装置を提供する。これにより、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することができる。また、請求項2に示すように、前記測定物の中心とは、測定の際、前記検出器が接触する前記測定物の外周の点が形成する図形の最小二乗円の中心であることを特徴とする。これにより、測定物が真円でない場合であっても、なるべく真円に近い形で正確な測定を行うことができる。また、同様に前記目的を達成するために、請求項3に記載の発明は、測定物の中心と回転の中心を一致させて測定物を検出器に対して相対的に回転させるようにして、測定物の真円度を測定する真円度測定方法において、直径値既知の基準測定物と前記検出器を前記基準測定物の母線と平行に相対的に移動して前記基準測定物の対向する2つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差を検出する工程と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する心ずれ量算出工程と、測定物の中心と回転の中心を一致させて測定物を検出器に対して相対的に回転させるようにして、任意の測定物を測定して得られた測定値を、前記算出した心ずれ量に基づいて補正する工程と、を備えたことを特徴とする真円度測定装置における心ずれ量補正方法を提供する。これにより、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することができる。また、請求項4に示すように、前記測定物の中心とは、測定の際、前記検出器が接触する前記測定物の外周の点が形成する図形の最小二乗円の中心であることを特徴とする。これにより、測定物が真円でない場合であっても、なるべく真円に近い形で正確な測定を行うことができる。以上説明したように、本発明によれば、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することができる。以下、添付図面を参照して、本発明に係る真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法について詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る真円度測定装置の外観を示す斜視図である。この真円度測定装置は、測定機本体と演算処理装置とから構成されており、図1には、真円度測定装置10の測定機本体11を示す。測定機本体11は、ベース基台14上に測定物ここでは図示省略を載置する載物台XY/傾斜テーブル12が設けられている。載物台XY/傾斜テーブル12は、X方向微動つまみ22及びY方向微動つまみ24を備えている。X方向微動つまみ22及びY方向微動つまみ24はそれぞれ載物台移動軸に連結しており、これらの微動つまみ22、24によって載物台12をX方向及びY方向に微動送りすることができ、載物台12の水平位置を微調整することができるようになっている。また、載物台12には、X方向傾斜つまみ25及びY方向傾斜つまみ23が設けられておりX方向及びY方向に傾斜調整がされるようになっている。また、載物台12の下部には回転機構15が設けられている。回転機構15は、載物台12を回転駆動することにより載物台12の上に載置された測定物を回転させるものである。またベース14上には上方に略垂直に延びるコラム支柱27が立設されており、コラム27にはスライダ28が上下動可能に装着されている。スライダ28には水平アーム径方向移動軸29が水平方向に駆動可能に装着されている。水平アーム29の先端には、検出器30が設けられ、検出器30は測定子31を備えている。真円度測定装置10は、この測定子31を載物台12上に載置された測定物に接触させて測定物を測定し、測定で得られる検出信号を検出器30を介して演算処理装置に送り演算処理装置で処理するようになっている。なお、水平アーム29の先端には心ずれ調整機構32が設置されている。図2に、真円度測定装置10の構成を表すブロック図を示す。図2に示すように、真円度測定装置10は、測定機本体11と演算処理装置13で構成される。測定機本体11については、図1の説明と重複する点もあるが再度説明することとする。測定機本体11は、ベース14上に回転機構15によって回転する載物台12が設けられている。載物台12には、水平方向の微調整及び垂直方向に対する傾斜調整を行うための、X方向微動つまみ22、Y方向微動つまみ24及びX方向傾斜つまみ25、Y方向傾斜つまみ23が設けられている。載物台12は、軸受16、エンコーダ18、モータ20等を備えた回転機構15によって回転される。載物台12は、軸受16を介してモータ20によって回転可能に支持されている。モータ20の回転軸にはエンコーダ18が取り付けられ、回転角が高精度に読み込まれるようになっている。軸受16は、例えば、超高精度の静圧エアーベアリングが用いられ、載物台12は非常に高い回転精度例えば、0.005μmで回転される。またベース14上に立設されたコラム支柱27にはスライダ28が上下動可能に装着され、スライダ28には水平アーム径方向移動軸29が水平方向に駆動可能に装着されている。そして、水平アーム29の先端には、検出器30が設けられ、検出器30には測定子31が設置されている。また、検出器30には差動変圧器を用いた電気マイクロメータが使用されており、測定物26に接触する測定子31の変位量を検出するようになっている。測定時には、測定物26を載物台12上に載せ、測定子31を測定物に接触させて測定を行う。測定で得られる検出信号は、検出器30を介して演算処理装置13に送られる。演算処理装置13は、増幅器33、A/D変換器34、演算/処理手段36及びこれらの制御を行うためにメモリに記憶されたプログラム38からなり、さらに処理結果を表示する表示手段を備えている。測定子31を測定物26に接触させて得られた検出信号は検出器30を介して演算処理装置13に送られる。演算処理装置13では、まず増幅器33で増幅された後、A/D変換器34によってデジタル信号に変換されて、演算/処理手段36に入力される。この真円度測定装置10で測定物26の真円度等を測定する場合には、測定物26を載物台12上に載置した後、最初に載物台12の回転中心と測定物26の中心との偏心補正と、載物台12の回転軸に対する測定物26の傾斜補正を行う。これにより、載物台12の回転中心と測定物26の中心とは一致しているものとする。次に、検出器30の測定子31を測定物26の側面に接触させた状態で、載物台12がモータ20によって1回転され、測定物26の側面1周分のデータがアナログ電圧値として採取される。アナログ電圧値として得られた検出信号は、上述したように増幅器33で増幅され、A/D変換器34でデジタル信号に変換されて、演算/処理手段36に入力される。演算/処理手段36は、エンコーダ18から入力される回転角度データと、検出器30で検出された変位データとから測定物26の真円度を演算し、演算結果を表示手段40に表示する。なお、以上説明してきた真円度測定装置10は、測定物26を載せた載物台12が回転し、測定子31は前後方向水平アーム29の移動方向及び上下方向スライダ28の移動方向に移動するだけで、測定子31は回転しない、載物台回転形の真円度測定装置であったが、本発明は、このような載物台回転形真円度測定装置に限定されるものではない。載物台は回転せず、測定子が前後方向及び上下方向に移動するとともに、測定子が測定物の回りを回転して測定する、検出器回転形の真円度測定装置にも適用可能である。図3は、検出器回転形真円度測定装置の測定機本体の外観を示す斜視図である。図3に示すように、この真円度測定装置100の測定機本体111は、ベース114上に測定物を載せる載物台112が設けられている。載物台112は、X方向微動つまみ122及びY方向微動つまみ124を有している。なお、ここでは省略したが、前の例と同様にX方向傾斜つまみ及びY方向傾斜つまみを備えていてもよい。またベース114上には上方に略垂直に延びるコラム支柱127が立設されており、コラム127にはスライダ128が上下動可能に装着されている。スライダ128は、コラム127に設けられた送り装置150によって上下に移動されるようになっている。またスライダ128の下側には水平アーム径方向移動軸129が取り付けられており、水平アーム129には検出器130及び測定子131が設置されている。真円度測定装置100は、測定子131を載物台112上に載置された測定物に接触させながら、測定子131を測定物の回りに回転させて測定物を測定する。測定で得られる検出信号は、検出器130を介して図示を省略した演算処理装置に送られ、演算処理装置で処理されるようになっている。なお、水平アーム129と検出器130との間には心ずれ調整機構132が設置されている。以下、本実施形態の真円度測定装置10あるいは100による心ずれ量の算出とこれを用いた心ずれ量補正方法について説明する。真円度測定時には、図4に示すように、測定子31の先端球31aを載物台12ここでは図示省略上に載せた測定物26に接触させる。そして、載物台回転形の真円度測定装置10の場合には、図4に矢印Aで示すように載物台12を回転することによって測定物26を回転する。また、検出器回転形の真円度測定装置100の場合には、図4に矢印Bで示すように測定子31先端球31aを測定物26の外周に沿って回転させる。なお、測定物26の中心と載物台12の回転中心とは一致しているものと仮定する。また、ここで測定物26の中心とは、測定物26の外周を形成する図形正確に言うと、先端球31aを接触させて測定する点検出点を含み載物台12の表面に平行な断面の外周の図形の最小二乗円の中心であるとする。このとき、いずれの場合も測定子31の先端球31aが測定物26と接触しているようにする。例えば、載物台回転形の真円度測定装置10の場合には、図4に矢印Dで示すように、先端球31aを測定物26の外表面に常に押し当てながら、測定物26を矢印A方向に回転する。このとき、測定物26が真円でなく、測定物26の回転につれて半径が変化すると、先端球31aは回転中心側に寄って行ったりあるいは離れたり、矢印D方向内でその位置が変化する。この先端球31aの位置の変化を検出器30を介して検出し、演算処理装置13で処理することにより測定物26の真円度が検出される。図4に示すように、測定子31の先端球31aを、矢印Dが示す検出方向に移動して測定物26と接触させて測定を行う検出点Pが、測定物26の中心を通る母線Mと一致している場合には、正確に測定物26の真円度を測定することができる。しかし、実際の測定においては、測定子31の先端球31aの測定物26に対する検出点Pが測定物26の母線Mと一致しているとは限らない。装置によっては、例えば図5に示すように、測定子31の先端球31aが測定物26と接触する検出点Qが、測定物26の母線Mと一致しない場合がある。この場合には、測定物26の母線Mと一致する検出点Pと、実際の測定での検出点Qとにおける、先端球31aの検出方向Dに関する先端球31aの中心間の距離εだけ測定誤差が生じる。また、検出点Pと検出点Qにおける、検出方向Dと垂直な方向に関する先端球31aの中心間の距離Yが、このときの検出点Qの母線Mからのずれを表しており、この値Yが心ずれ量である。次にこの心ずれ量Yを求める方法について説明する。以下述べる方法は、直径値が既知の基準測定物の測定子31の検出方向に対向する2点を測定し、その測定誤差から心ずれ量を算出して、補正を行うようにするものである。図6に示すように、既知の直径値の基準測定物26-1に対して、図に矢印Dで示す検出方向と平行な方向に、右側及び左側からそれぞれ真円度測定装置10の測定子31の先端球31aを接触させて測定する。また、基準測定物26-1の直径値をD0、先端球31aの直径をdとする。ここで、測定子31の先端球31aが、心ずれがなく、基準測定物26-1と正しく接触したと仮定した場合の右側検出点をP1、左側検出点をP2とする。すなわち検出点P1及び検出点P2は基準測定物26-1の母線Mと一致しているとする。また、このときの右側検出点をP1における検出値をR1、左側検出点をP2における検出値をR2とする。ここで、図より検出値R1と検出値R2の差R1-R2は、基準測定物26-1の直径値D0、と先端球31aの直径dとの和となる。すなわち、R1-R2=D0dである。次に、測定子31の先端球31aが、心ずれしている場合、すなわと測定子31と基準測定物26-1とが図の基準測定物26-1の母線Mと直交する方向に相対的に移動しているとする。このとき、基準測定物26-1に対して、図に矢印Dで示す検出方向と平行な方向に、右側及び左側からそれぞれ真円度測定装置10の測定子31の先端球31aを接触させて測定する。このとき、基準測定物26-1に対して右側から先端球31aが接触する右側検出点をQ1とし、そのときの検出値をR1’とする。また、基準測定物26-1に対して左側から先端球31aが接触する左側検出点をQ2とし、そのときの検出値をR2’とする。すると、測定子31と基準測定物26-1とを母線Mと直交する方向にずれている距離である心ずれ量をYとすると、基準測定物26-1の右側及び左側を測定して得られる測定値R1’-R2’は、次の式1で表される。R1’-R2’=2√[{D0/2d/2}2-Y2]...1ただし、ここで√[]は、の平方根を表す。従って、R1’-R2’を測定すれば、D0及びdは既知であるので、上記式1を解けば心ずれ量Yは、次の式2のように求めることができる。Y=√[{D0/2d/2}2-R1’-R2’2/4]...2次に、測定した直径の値等を、算出した心ずれ量Yを用いて補正する方法について説明する。図7において、測定物の外径を測定する場合先端球31aが円形測定物の外形の円C1に外接する場合、及び測定物の内径を測定する場合先端球31aが円筒測定物の内側の円C2に内接する場合について説明する。すなわち、図7において、先端球31aは、円C1に外接するとともに円C2に内接するとする。また、先端球31aが、円C1の直径に関して対向する位置E及びFに位置する場合に、各位置における先端球31aの中心間の距離をδとする。また、円C1の直径をD1とし、先端球31aの直径をdとする。このとき、円C1に対して位置Eで右側から先端球31aを接触させて測定するとともに、円C1に関して母線Mと平行な方向で位置Eと対向する位置Gで円C1に対して左側から先端球31aを接触させて測定する。位置Eにおいて円C1に右側から先端球31aを接触させて測定した検出値をR1とし、位置Gにおいて円C1に左側から先端球31aを接触させて測定した検出値をR2とする。すると、位置Eにおける先端球31aの母線Mからの距離である心ずれ量Yは、前述したようにして求めることができる。前述した2つの位置E及びFにおける先端球31aの中心間の距離δは、図からわかるように、この心ずれ量Yを用いて、次の式3で表すことができる。δ=√[R1-R222Y2]...3従って、測定直径R1-R2を心ずれ量Yで補正することにより、先端球31aを外接させて測定する円C1の直径D1は、次の式4で求めることができる。D1=√[R1-R222Y2]-d...4また、同様に、先端球31aを内接させて測定する円C2の直径D2は、次の式5で求めることができる。D2=√[R1-R222Y2]d...5このように、本実施形態によれば、直径値が既知の基準測定物をその母線Mに平行な方向で対向する左右2つの位置から測定することにより、心ずれ量Yを算出することができる。また、任意の測定物を測定して得られた直径値を、この算出した心ずれ量Yを用いて補正することにより任意の測定物の真の直径値を算出することができる。また、本実施形態の応用として、図8に示すように、直径値が既知の2つの基準測定物、円C3及び円C4を測定することにより、心ずれ量Yを算出するとともに、先端球31aの直径値を算出することができる。これによれば、先端球31aが摩耗してその直径値が当初の値とは異なっている場合でも、摩耗した先端球31aの真の直径値を求めることができる。図8において、円C3の直径値をD3とし、円C4の直径値をD4とするとともに、先端球31aの直径値をdとする。このとき上の例と同様に、心ずれがない場合に円C3を左右2方向から測定したときの測定直径値R3-R4は、次の式6のようになる。R3-R4=D3d...6また同様に心ずれがない場合に円C4を左右2方向から測定したときの測定直径値R5-R6は、次の式7のようになる。R5-R6=D4d...7また、心ずれ心ずれ量Yがある場合に円C3を左右2方向から測定したときの測定直径値R3’-R4’は、次の式8のようになる。R3’-R4’=2√[{D3/2d/2}2-Y2]...8同様に、心ずれが心ずれ量Yある場合に円C4を左右2方向から測定したときの測定直径値R5’-R6’は、次の式9のようになる。R5’-R6’=2√[{D4/2d/2}2-Y2]...9従って、直径値D3及びD4がそれぞれ既知の2つの円C3及びC4を測定することにより、測定直径値R3’-R4’及びR5’-R6’を得れば、上記2つの式8及び9から、心ずれ量Y及び先端球31aの直径値dを算出することができる。以上説明したように、本実施形態によれば、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することができる。以上、本発明の真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。