"A無機顔料、B重合開始剤、C重合性化合物、およびDカルド樹脂を含有するウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記A無機顔料が、チタンブラックを含む請求項1に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記Dカルド樹脂が、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリウレア樹脂、及びポリイミド樹脂からなる群から選ばれ、且つ、フルオレン骨格を有する樹脂である請求項1または請求項2に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記Dカルド樹脂が有するフルオレン骨格が、下記構造である請求項3に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記Dカルド樹脂が、チオール基含有化合物由来の構成単位を含むカルド樹脂である、請求項1~請求項4のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記Dカルド樹脂におけるカルド構造が占める割合が、該Dカルド樹脂全体の質量に対し30~90質量である、請求項1~請求項5のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記Dカルド樹脂が、少なくとも1種のカルド構造含有繰り返し単位のみからなる、請求項1~請求項6のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記Dカルド樹脂が、少なくとも1種のカルド構造含有繰り返し単位と、少なくとも1種のカルド構造を含まない繰り返し単位とを含む、請求項1~請求項6のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記Dカルド樹脂の分子量が3000~20000である、請求項1~請求項8のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。前記B重合開始剤が、オキシム系開始剤を含む請求項1~請求項9のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。さらに、E有機顔料を含有する請求項1~請求項10のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。基板と、基板上に存在するレンズと、該レンズの周縁部に設けられ、且つ請求項1~請求項10のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物を用いて得られた遮光膜と、を有するウエハレベルレンズ。上記問題点を考慮してなされた本発明の課題は、遮光性に優れた硬化膜を形成することができ、パターン形成時の硬化感度に優れたウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物を提供することにある。また、本発明のさらなる課題は、本発明の黒色硬化性組成物を用いることで、遮光膜の存在により光量が適切に調整され、簡易に製造しうるウエハレベルレンズを提供することにある。本発明者は鋭意検討の結果、紫外域の透過性、可視領域から赤外領域までの遮光性に優れ、更に硬化膜の硬度を高めた遮光膜を形成しうる黒色硬化性組成物を提供することにより、上記課題を解決しうることを見出し、本発明を完成した。<1>A無機顔料、B重合開始剤、C重合性化合物、およびDカルド樹脂を含有するウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<2>前記A無機顔料が、チタンブラックを含む<1>に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<3>前記Dカルド樹脂が、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリウレア樹脂、及びポリイミド樹脂からなる群から選ばれ、且つ、フルオレン骨格を有する樹脂である<1>または<2>に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<4>前記Dカルド樹脂が有するフルオレン骨格が、下記構造である<3>に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<5>前記Dカルド樹脂が、チオール基含有化合物由来の構成単位を含むカルド樹脂である、<1>~<4>のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<6>前記Dカルド樹脂におけるカルド構造が占める割合が、該Dカルド樹脂全体の質量に対し30~90質量である、<1>~<5>のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<7>前記Dカルド樹脂が、少なくとも1種のカルド構造含有繰り返し単位のみからなる、<1>~<6>のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<8>前記Dカルド樹脂が、少なくとも1種のカルド構造含有繰り返し単位と、少なくとも1種のカルド構造を含まない繰り返し単位とを含む、<1>~<6>のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<9>前記Dカルド樹脂の分子量が3000~20000である、<1>~<8>のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<10>前記B重合開始剤が、オキシム系開始剤を含む<1>~<9>のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<11>さらに、E有機顔料を含有する<1>~<10>のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物。<12>基板と、基板上に存在するレンズと、該レンズの周縁部に設けられ、且つ<1>~<10>のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物を用いて得られた遮光膜と、を有するウエハレベルレンズ。本発明によれば、遮光性に優れた硬化膜を形成することができ、パターン形成時の硬化感度に優れたウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物を提供することができる。また、本発明の黒色硬化性組成物を用いることで、遮光膜の存在により光量が適切に調整され、簡易に製造しうるウエハレベルレンズを提供することができる。以下、本発明のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物以下、適宜黒色硬化性組成物と称する。、該黒色硬化性組成物を用いた遮光膜を備えるウエハレベルレンズについて詳細に説明する。<黒色硬化性組成物>本発明のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物は、A無機顔料、B重合開始剤、C重合性化合物、およびDカルド樹脂を含有することを特徴とする。以下、本発明のウエハレベルレンズ用黒色硬化性組成物に含まれる各成分について順次説明する。<A無機顔料>本発明に用いられるA無機顔料としては、可視光から赤外線までの遮光性を発現するべく、可視光領域から赤外線領域まで吸光度を有する顔料が好ましい。A無機顔料としては、金属単体からなる顔料、金属酸化物、金属錯塩等から選ばれる金属化合物からなる顔料などを挙げることができる。具体的には、例えば、亜鉛華、鉛白、リトポン、酸化チタン、酸化クロム、酸化鉄、沈降性硫酸バリウム、バライト粉、鉛丹、酸化鉄赤、黄鉛、亜鉛黄亜鉛黄1種、亜鉛黄2種、ウルトラマリン青、プロシア青フェロシアン化鉄カリ、ジルコングレー、プラセオジムイエロー、クロムチタンイエロー、クロムグリーン、ピーコック、ビクトリアグリーン、紺青プルシアンブルーとは無関係、バナジウムジルコニウム青、クロム錫ピンク、陶試紅、およびサーモンピンク等が挙げられる。また、黒色の無機顔料としては、Co、Cr、Cu、Mn、Ru、Fe、Ni、Sn、Ti及びAgからなる群より選ばれた1種又は2種以上の金属元素を含む金属酸化物、金属窒素物が挙げられる。これらは1種のみを用いてもよく、また、2種以上の混合物として用いることもできる。特に、可視光領域から赤外線領域までの広い波長域での遮光性を実現する目的で、単独のみならず、複数種の顔料を混合し、使用することが可能である。また、遮光性と硬化性の観点から、銀又は錫の金属顔料、チタンブラックが好ましく、可視光領域から赤外線領域までの遮光性の観点からチタンブラックが最も好ましい。本発明においてチタンブラックとは、チタン原子を有する黒色粒子である。好ましくは低次酸化チタンや酸窒化チタン等である。チタンブラック粒子は、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能であり、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウムで被覆することが可能であり、また、特開2007-302836号公報に示されるような撥水性物質での処理も可能である。また、前記チタンブラックは、分散性、着色性等を調整する目的でCu、Fe、Mn、V、Ni等の少なくとも1つを含む複合酸化物、酸化コバルト、酸化鉄、カーボンブラック、アニリンブラック等の黒色顔料を1種あるいは2種以上の組み合わせで含有してもよく、この場合、無機顔料の50質量以上がチタンブラックであることが好ましい。チタンブラックの市販品の例としては、三菱マテリアル社製チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M-C、13R、13R-N、赤穂化成株ティラックTilackDなどが挙げられる。チタンブラックの製造方法としては、二酸化チタンと金属チタンの混合体を還元雰囲気で加熱し還元する方法特開昭49-5432号公報、四塩化チタンの高温加水分解で得られた超微細二酸化チタンを水素を含む還元雰囲気中で還元する方法特開昭57-205322号公報、二酸化チタンまたは水酸化チタンをアンモニア存在下で高温還元する方法特開昭60-65069号公報、特開昭61-201610号公報、二酸化チタンまたは水酸化チタンにバナジウム化合物を付着させ、アンモニア存在下で高温還元する方法特開昭61-201610号公報などがあるが、これらに限定されるものではない。チタンブラックの粒子の平均一次粒子径は特に制限は無いが、分散性、着色性の観点から、3~2000nmであることが好ましく、更に好ましくは10~500nmである。最も好ましくは、10~100nmである。チタンブラックの比表面積は、とくに限定がないが、BET法にて測定した値が通常5~150m2/g程度、特に20~100m2/g程度であることが好ましい。チタンブラックに代表される本発明に係るA無機顔料の粒径は、平均一次粒子径が5nmから0.01mmであることが好ましく、分散性、遮光性、経時での沈降性の観点から平均一次粒子径が10nm~1μmであることが好ましい。本発明の黒色硬化性組成物には、A無機顔料は1種のみを用いてもよく、2種以上を併用してもよい。また、後述するように、遮光性の調整等を目的として、有機顔料や染料などを所望により併用してもよい。黒色硬化性組成物中のA無機顔料の含有量は、黒色硬化性組成物の全固形分に対し、5~70質量であることが好ましく、10~50質量であることがさらに好ましい。この範囲であると遮光性が良好で、パターンを形成した時の現像性が良好である。本発明において黒色硬化性組成物の全固形分とは、黒色硬化性組成物から有機溶剤を除いた全成分のことをいう。A無機顔料を黒色硬化性組成物に配合するに際しては、予めA無機顔料を公知の顔料分散剤等により分散してなる顔料分散物を調製し、顔料分散物として配合することが、得られる黒色硬化性組成物の均一性の観点から好ましい。顔料分散剤としては、側鎖に複素環を有する高分子化合物が好ましい。このような高分子化合物としては、特開2008-266627号公報に記載の一般式1で表される単量体、または、マレイミド、マレイミド誘導体からなる単量体に由来する重合単位を含む重合体であることが好ましい。このような顔料分散剤は、特開2008-266627号公報段落番号0020~0047に詳細に記載され、ここに記載の分散剤を本発明にも好適に使用しうる。また別の顔料分散剤としては、ポリエステル結合を有する側鎖と、カルボン酸基、スルホン酸基又はリン酸基を有する側鎖と、を有する化合物も好ましいものである。特にポリエステル結合を有する側鎖と、カルボン酸基、スルホン酸基又はリン酸基を有する側鎖と、を有する化合物を顔料分散剤として用いると顔料との吸着性に優れる結果、分散性、分散物の経時安定性が良好となる。ポリエステル結合を有する側鎖と、カルボン酸基、スルホン酸基又はリン酸基を有する側鎖と、を有する化合物の例としては、先述の特開2008-266627号のほか、特開2010-70601号、特開2010-53182号、特開2010-106268号、特開2010-169863号、特開2010-211200号各公報を挙げることができる。顔料分散剤としては、公知の化合物を任意に選択して用いることもでき、市販の分散剤、界面活性剤なども使用可能である。分散剤として用いうる市販品としては、具体的には、例えば、オルガノシロキサンポリマーKP341信越化学工業株製、メタアクリル酸系共重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95共栄社化学工業株製、W001裕商株社製等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017裕商株社製等のアニオン系界面活性剤;EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450いずれもBASFジャパン社製、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100いずれもサンノプコ社製等の高分子分散剤;ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000、32000、36000などの各種ソルスパース分散剤日本ルーブリゾール株社製;アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123株ADEKA製及びイソネットS-20三洋化成株製、Disperbyk101、103、106、108、109、111、112、116、130、140、142、162、163、164、166、167、170、171、174、176、180、182、2000、2001、2050、2150ビックケミー株社製が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーも分散剤として好適に挙げられる。分散性、現像性、沈降性の観点から、本願出願人が先に提案した特開2010-106268号公報に記載される側鎖にポリエステル鎖を有する樹脂が好ましく、特に、分散性の観点から、側鎖にポリエステル鎖を有する樹脂が好ましく、また、分散性と解像性の観点からは、さらに酸基を有する樹脂が好ましい。好ましい酸基としては、吸着性の観点から、pKaが6以下の酸基が好ましく、特にカルボン酸、スルホン酸、リン酸由来の酸基が好ましい。分散溶液への溶解性、分散性、現像性の観点から最も好ましくは、ポリエステル鎖がポリカプロラクトン側鎖であり、カルボン酸基を有する樹脂が好ましい。顔料分散物を調製する際の顔料分散剤の含有量としては、顔料分散物中の顔料無機顔料及び他の着色剤を含むの全固形分に対して、1質量~90質量が好ましく、3質量~70質量がより好ましい。<B重合開始剤>本発明の黒色硬化性組成物は、B重合開始剤を含有する。本発明の黒色硬化性組成物における重合開始剤は、光や熱により分解し、後述するC重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長300~500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。具体的には、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシム系化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィンオキシド化合物が挙げられる。より具体的には、例えば、特開2006-78749号公報の段落番号[0081]~[0100]、[0101]~[0139]等に記載される重合開始剤が挙げられる。本発明の黒色硬化性組成物に用いるB重合開始剤としては、オキシム系開始剤であるオキシム化合物が感度および溶解性の観点で好適である。好適なオキシム系化合物としては、電子部品用途等の感光性組成物の光重合開始剤として知られている公知の化合物を使用することができる。例えば、特開昭57-116047、特開昭61-24558、特開昭62-201859、特開昭62-286961、特開平7-278214、特開2000-80068、特開2001-233842、特表2004-534797、特表2002-538241、特開2004-359639、特開2005-97141、特開2005-220097、WO2005-080337A1、特表2002-519732、特開2001-235858、特開2005-227525などの各公報に記載の化合物から選択して使用することができる。一般にオキシム系化合物は、365nmや405nm等の近紫外領域での吸収が小さいため低感度であるが、増感剤により、近紫外線領域の感光性を高め、高感度化されることが知られている。またアミン類やチオール等の共増感剤との併用により、有効ラジカル発生量を増加することが知られているが実用的には更なる高感度が求められていた。本発明においては365nmや405nm等の近紫外領域の吸収が小さいオキシム系化合物でも、増感剤と併用することによって著しく高感度化され実用的な感度まで到達することができる。オキシム系化合物としては、380nm~480nmの範囲の吸収が小さく、かつ分解効率の高い化合物か、もしくは380nm~480nmの範囲の吸収が大きくても、光分解により領域に吸収が小さくなる化合物副生成物の吸収が短波長である化合物が好ましい。以下、オキシム系化合物の具体例を示す。以下に記載のオキシム系化合物I-1~I-23が、本発明においてはオキシム系開始剤として好ましい化合物である。本発明の黒色硬化性組成物におけるB重合開始剤の含有量は、黒色硬化性組成物の全固形分中、0.1~30質量であり、1~25質量がより好ましく、2~20質量が特に好ましい。<C重合性化合物>本発明の黒色硬化性組成物には、重合性化合物を含有する。C重合性化合物としては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100°C以上である化合物が好ましい。なお、本明細書ではアクリレートとメタクリレートとを総称して、メタアクリレートと記載することがある。前記少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100°C以上である化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタアクリレート、フェノキシエチルメタアクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールエタントリメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ヘキサンジオールメタアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリロイルオキシプロピルエーテル、トリアクリロイロキシエチルイソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後メタアクリレート化したもの、ペンタエリスリトール又はジペンタエリスリトールのポリメタアクリレート化したもの、特公昭48-41708号、特公昭50-6034号、特開昭51-37193号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭48-64183号、特公昭49-43191号、特公昭52-30490号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂とメタアクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No7、300~308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。また、特開平10-62986号公報において一般式1及び2としてその具体例と共に記載の、前記多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後にメタアクリレート化した化合物も用いることができる。中でも、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、及びこれらのアクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介している構造が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、特公昭48-41708号、特開昭51-37193号、特公平2-32293号、特公平2-16765号に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58-49860号、特公昭56-17654号、特公昭62-39417号、特公昭62-39418号記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63-277653号、特開昭63-260909号、特開平1-105238号に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS-10、UAB-140以上、山陽国策パルプ社製、UA-7200新中村化学社製、DPHA-40H日本化薬社製、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600以上、共栄社製などが挙げられる。また、酸基を有するエチレン性不飽和化合物類も好適であり、市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のカルボキシル基含有3官能アクリレートであるTO-756、及びカルボキシル基含有5官能アクリレートであるTO-1382などが挙げられる。本発明に用いられる重合性化合物としては、4官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。C重合性化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。例えば、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとペンタエリスリトールトリアクリレートの併用などが好ましい。重合性化合物の黒色硬化性組成物中における含有量としては、質量換算で全固形分100部に対して、3~55部が好ましく、より好ましくは10~50部である。重合性化合物の含有量が前記範囲内において、十分な硬化反応が進行する。<Dカルド樹脂>本発明の黒色硬化性組成物はDカルド樹脂を含有する。本発明においてDカルド樹脂とは、分子内に、カルド構造環状構造を構成している4級炭素原子に二つの環状構造が結合した骨格構造を有する樹脂を指す。カルド構造の好ましいものとしては、フルオレン環にベンゼン環が結合した下記の構造が挙げられる。本発明に用いられるDカルド樹脂としては、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリウレア樹脂、ポリイミド樹脂、及び、ポリアミド酸等から選択される樹脂であって、分子内に上記したフルオレン骨格に代表されるカルド構造を有する樹脂が挙げられ、更に、多官能エポキシや多官能メタアクリレート等と反応する基カルボン酸、メルカプト基、ヒドロキシ基、アミノ基等を有するカルド構造を有する化合物と多官能エポキシや多官能メタアクリレート等との反応生成物なども含まれる。これらのうち特に好ましい樹脂は、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、およびポリイミド樹脂であって、分子内に上記したフルオレン骨格に代表されるカルド構造を有する樹脂である。本発明におけるカルド樹脂は、少なくとも1種のカルド構造含有繰り返し単位を含めばよく、カルド樹脂は、少なくとも1種のカルド構造含有繰り返し単位のみから構成されていてもよいし、あるいは少なくとも1種のカルド構造含有繰り返し単位と、少なくとも1種のカルド構造を含まない繰り返し単位とを含むものであってもよい。本発明におけるカルド樹脂は、市販のカルド構造を有する化合物、およびそれらと反応可能なモノマーを有機溶媒中で加熱攪拌することで容易に合成することができる。反応後のカルド樹脂溶液はそのまま用いてもよいし、貧溶媒を添加して固体として取り出して用いてもよい。カルド構造を有する化合物としては、例えば以下のような具体例が挙げられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。前記カルド構造を有する化合物から合成されるカルド樹脂の具体的化合物の例を以下の表1に記すが、本発明のカルド樹脂はこれらに限定されない。なお、表中1-1~1-8は前述のカルド構造を有する化合物の例示構造における残基を表し、2-1~2-6は下記化合物の残基を表す。本発明におけるDカルド樹脂は、チオール基含有化合物由来の構成単位を含むカルド樹脂であることも好ましい。チオール基含有化合物としては、チオール基を分子中に2~6個含む化合物が挙げられ、例えば上記2-5の化合物以外に、12エタンジチオール、1,2プロパンジチオール、111トリスメルカプトメチルエタン、1234テトラメルカプトブタン、ビス222トリスエチルエーテルなどが好ましく、カルド樹脂中にチオール基含有化合物由来の構成単位が1~40質量含むことが好ましい。チオール含有化合物由来の構成単位を含むカルド樹脂を用いると紫外域の透過性に優れ、硬化膜の硬度が良好となる。本発明におけるDカルド樹脂は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。またDカルド樹脂の好ましい分子量は重量平均分子量で2000~50000であり、3000~20000であることがより好ましい。この範囲にあれば、現像性が良好である。また本発明においてはDカルド樹脂は、カルド構造をカルド樹脂全体に対して質量基準で30~90の範囲で含むカルド樹脂がレンズ上の透過率の減少度の観点で好ましく、より好ましくは40~70の範囲である。上記カルド構造としてはフルオレン骨格が好ましい。Dカルド樹脂の黒色硬化性組成物中における含有量としては、質量換算で黒色硬化性組成物の全固形分100部に対して、0.1~50部が好ましく、より好ましくは1~30部である。<その他の添加剤>本発明の黒色硬化性組成物には、前記A~Dの必須成分及び顔料分散剤に加え、さらに目的に応じて種々の化合物を使用することができる。以下にこれらの化合物を説明する。<バインダー>本発明の黒色硬化性組成物においては、皮膜特性向上などの目的で、必要に応じて、更にバインダーを使用することができる。バインダーとしては線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは水現像或いは弱アルカリ水現像を可能とするために、水或いは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水或いは有機溶剤等による現像に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59-44615号、特公昭54-34327号、特公昭58-12577号、特公昭54-25957号、特開昭54-92723号、特開昭59-53836号、特開昭59-71048号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独或いは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独或いは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解若しくはハーフエステル化若しくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4-カルボキシルスチレン等があげられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。また、同様に側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。また、特公平7-12004号、特公平7-120041号、特公平7-120042号、特公平8-12424号、特開昭63-287944号、特開昭63-287947号、特開平1-271741号、特願平10-116232号等に記載される酸基を含有するウレタン系ポリマーは、非常に、強度に優れるので、低露光適性の点で有利である。また、欧州特許993966、欧州特許1204000、特開2001-318463等に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系ポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。更にこの他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2-ビス-4-ヒドロキシフェニル-プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。特にこれらの中でベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー共重合体、及びアリルメタアクリレート/メタアクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー共重合体は、膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。前記その他の付加重合性ビニルモノマーとしては、3-メタクリロイロキシ-2-ヒドロキシプロピルメタアクリレートなどが好適である。黒色硬化性組成物で使用しうるバインダーの重量平均分子量としては、好ましくは5、000以上であり、更に好ましくは1万~30万の範囲であり、数平均分子量については好ましくは1、000以上であり、更に好ましくは2、000~25万の範囲である。多分散度重量平均分子量/数平均分子量は1以上が好ましく、更に好ましくは1.1~10の範囲である。これらのバインダーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等のいずれでもよい。バインダーのなかでも、側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂を含有することで、特に露光部の硬化性と未露光部のアルカリ現像性の双方を向上させることができる。本発明に使用しうる側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性バインダーポリマーは、その構造において、非画像部除去性などの諸性能を向上させるために、樹脂がアルカリ可溶となるための酸基と、少なくとも1つの不飽和二重結合を有する。このような部分構造を有するバインダー樹脂は、特開2003-262958号公報に詳細に記載され、ここに記載の化合物を本発明にも使用することができる。本発明の黒色硬化性組成物の全固形分中に対するバインダーの含有量は、0.1~30質量が好ましく、パターン剥がれ抑制と現像残渣抑制の両立の観点より、0.3~15質量がより好ましい。<有機溶剤>本発明の黒色硬化性組成物は、一般には、有機溶剤を用いて構成することができる。有機溶剤は、各成分の溶解性や重合性組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、特にバインダーポリマーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。有機溶剤としては、エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸-n-ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸アルキル例:オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等、3-オキシプロピオン酸アルキルエステル類例:3-オキシプロピオン酸メチル、3-オキシプロピオン酸エチル等例えば、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル等、2-オキシプロピオン酸アルキルエステル類例:2-オキシプロピオン酸メチル、2-オキシプロピオン酸エチル、2-オキシプロピオン酸プロピル等例えば、2-メトキシプロピオン酸メチル、2-メトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシプロピオン酸プロピル、2-エトキシプロピオン酸メチル、2-エトキシプロピオン酸エチル、2-オキシ-2-メチルプロピオン酸メチル及び2-オキシ-2-メチルプロピオン酸エチル例えば、2-メトキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-エトキシ-2-メチルプロピオン酸エチル等、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2-オキソブタン酸メチル、2-オキソブタン酸エチル等、並びに、エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等、並びに、ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン等、並びに、芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。これらの有機溶剤は、バインダーポリマーの溶解性、塗布面状の改良などの観点から、2種以上を混合することも好ましい。この場合、特に好ましくは、上記の3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、2-ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液である。本発明の黒色硬化性組成物中における有機溶剤の含有量は、塗布性の観点から、黒色硬化性組成物の全固形分濃度が5~80質量になる量とすることが好ましく、5~60質量が更に好ましく、10~50質量が特に好ましい。<着色剤>本発明では、所望の遮光性を発現させるべく、公知の有機顔料や染料などの無機顔料以外の着色剤を併用することが可能である。併用することができる着色剤としては、E有機顔料では、例えば、特開2008-224982号公報段落番号0030~0044に記載の顔料や、C.I.PigmentGreen58、C.I.PigmentBlue79のCl置換基をOHに変更したものなどが挙げられ、これらのなかでも、好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。C.I.PigmentYellow11、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185、C.I.PigmentOrange36、C.I.PigmentRed122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、C.I.PigmentViolet19、23、29、32、C.I.PigmentBlue15:1、15:3、15:6、16、22、60、66、C.I.PigmentGreen7、36、37、58、C.I.PigmentBlack1、着色剤として使用可能な染料としては、特に制限はなく、公知の染料をてきぎ選択して使用できる。例えば、特開昭64-90403号公報、特開昭64-91102号公報、特開平1-94301号公報、特開平6-11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5-333207号公報、特開平6-35183号公報、特開平6-51115号公報、特開平6-194828号公報、特開平8-211599号公報、特開平4-249549号公報、特開平10-123316号公報、特開平11-302283号公報、特開平7-286107号公報、特開2001-4823号公報、特開平8-15522号公報、特開平8-29771号公報、特開平8-146215号公報、特開平11-343437号公報、特開平8-62416号公報、特開2002-14220号公報、特開2002-14221号公報、特開2002-14222号公報、特開2002-14223号公報、特開平8-302224号公報、特開平8-73758号公報、特開平8-179120号公報、特開平8-151531号公報等に記載の色素である。化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系、ジピロメテン系等の染料が使用できる。本発明では、無機顔料との組み合わせにおいて、硬化性と遮光性を両立する組み合わせとして、チタンブラック顔料とオレンジ顔料及びまたは赤顔料及びまたはバイオレット顔料を組み合わせることが好ましく、最も好ましくはチタンブラック顔料と赤顔料の組み合わせである。<増感剤>黒色硬化性組成物には、B重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、B重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。増感剤の好ましい例としては、特開2008-214395号公報の段落番号0085~0098に記載された化合物を挙げることができる。増感剤の含有量は、感度と保存安定性の観点から、黒色硬化性組成物の全固形分の質量に対し、0.1~30質量の範囲が好ましく、1~20質量の範囲がより好ましく、2~15質量の範囲が更に好ましい。<重合禁止剤>黒色硬化性組成物には、該組成物の製造中或いは保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。重合禁止剤としては、公知の熱重合防止剤を用いることができ、具体的には、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-t-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、t-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス3-メチル-6-t-ブチルフェノール、2,2’-メチレンビス4-メチル-6-t-ブチルフェノール、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。熱重合防止剤の添加量は、黒色硬化性組成物の全固形分に対し約0.01~約5質量が好ましい。また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で塗布膜の表面に偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約0.5~約10質量が好ましい。<密着向上剤>黒色硬化性組成物には、支持体などの硬質表面との密着性を向上させるために、密着向上剤を添加することができる。密着向上剤としては、シラン系カップリング剤、チタンカップリング剤等が挙げられる。シラン系カップリング剤としては、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、が好ましく、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが好ましく挙げられる。密着向上剤の添加量は、黒色硬化性組成物の全固形分中0.5~30質量が好ましく、0.7~20質量がより好ましい。特に本発明のレジストがガラス基板のレンズを作成する場合には、感度向上の観点から密着向上剤を添加することが好ましい。<界面活性剤>本発明の黒色硬化性組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。特に、本発明の黒色硬化性組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性特に、流動性がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する黒色硬化性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3質量~40質量が好適であり、より好ましくは5質量~30質量であり、特に好ましくは7質量~25質量である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、黒色硬化性組成物中における溶解性も良好である。フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F479、同F482、同F780、同F781以上、DIC株製、フロラードFC430、同FC431、同FC171以上、住友スリーエム株製、サーフロンS-382、同SC-101、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC1068、同SC-381、同SC-383、同S393、同KH-40以上、旭硝子株製等が挙げられる。ノニオン系界面活性剤として具体的には、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステルBASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1、ソルスパース20000日本ルーブリゾール株製等が挙げられる。カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体商品名:EFKA-745、森下産業株製、オルガノシロキサンポリマーKP341信越化学工業株製、メタアクリル酸系共重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95共栄社化学株製、W001裕商株製等が挙げられる。アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017裕商株社製等が挙げられる。シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーン株式会社製トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA,トーレシリコーンSH21PA,トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400、モメンティブパフォーマンスマテリアルズ社製TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-44445676、TSF-4460、TSF-4452、信越シリコーン株式会社製KP341、ビッグケミー社製BYK323、BYK330等が挙げられる。界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。<その他>更に、黒色硬化性組成物に対しては、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による光重合性化合物の重合阻害を抑制する等の目的で共増感剤を含有してもよい。また、硬化皮膜の物性を改良するために界面活性剤、希釈剤、可塑剤、感脂化剤等の公知の添加剤を必要に応じて加えてもよい。本発明の黒色硬化性組成物は、既述のA無機顔料、B重合開始剤、C重合性化合物、Dカルド樹脂および、所望により併用される各種添加剤を、溶剤と共に含有させて調製することができる。本発明の黒色硬化性組成物は、上記構成としたことから、高感度で硬化し、遮光性に優れた遮光膜を形成することができ、ウエハレベルレンズ用の遮光膜の形成に有用である。また、アルカリ可溶性のバインダーを併用することでさらに高精細な遮光性パターンが形成される。<ウエハレベルレンズ>本発明のウエハレベルレンズは、基板上に存在するレンズの周縁部に、本発明の黒色硬化性組成物を硬化して得られた遮光膜を有することを特徴とする。以下、図面を参照して、本発明のウエハレベルレンズについて説明する。図1は、複数のウエハレベルレンズを有するウエハレベルレンズアレイの構成の一例を示す平面図である。図1に示されるように、ウエハレベルレンズアレイは、基板10と、該基板10に配列されたレンズ12と、を備えている。ここで、図1では、複数のレンズ12は、基板10に対して2次元に配列されているが、1次元に配列されていてもよい。また、図2は、図1に示すA-A線断面図である。図2に示すように、ウエハレベルレンズアレイにおいて、基板10に配列された複数のレンズ12の間には、レンズ12以外の箇所からの光透過を防止する遮光膜14が設けられている。本発明のウエハレベルレンズは、基板10上に存在する1つのレンズ12とその周縁部に設けられた遮光膜14により構成される。本発明の黒色硬化性組成物は、この遮光膜14の形成に用いられる。以下、図1のように、複数のレンズ12が、基板10に対して2次元に配列されているウエハレベルレンズアレイの構成を例に説明する。レンズ12は、一般的には、基板10と同じ材料から構成され、該基板10上に一体的に成形されるか、或いは、別の構造体として成形され、基板上に固定化されたものである。ここでは、一例を挙げたが、本発明のウエハレベルレンズは、この態様に限定されず、多層構造をとるもの、ダイシングによりレンズモジュールに分離されたものなど種々の態様をとり得る。レンズ12を形成する材料としては、例えば、ガラスを挙げることができる。ガラスは種類が豊富であり、高屈折率を有するものを選択できるので、大きなパワーを持たせたいレンズの素材に好適である。また、ガラスは耐熱性に優れ、撮像ユニット等へのリフロー実装に耐えるという利点をも有する。レンズ12を形成する他の材料としては、樹脂が挙げられる。樹脂は加工性に優れており、型等でレンズ面を簡易且つ安価に形成するのに適している。ウエハレベルレンズの形成には、エネルギー硬化性の樹脂を用いることが好ましい。該エネルギー硬化性の樹脂は、熱により硬化する樹脂、或いは活性エネルギー線の照射例えば、熱、紫外線、電子線照射により硬化する樹脂のいずれであってもよい。撮像ユニットのリフロー実装を考慮すると、軟化点が例えば200°C以上といった、軟化点の比較的高い樹脂が好ましく、軟化点が250°C以上の樹脂がより好ましい。以下、レンズ材料として好適な樹脂について説明する。紫外線硬化性樹脂としては、紫外線硬化性シリコン樹脂、紫外線硬化性エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を例示することができる。エポキシ樹脂としては、線膨張係数が40~80[10-6/K]で、屈折率が1.50~1.70、好ましくは1.50~1.65のものを用いることができる。熱硬化性樹脂としては、熱硬化性シリコン樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性アクリル樹脂等を例示できる。例えば、シリコン樹脂としては、線膨張係数が30~160[10-6/K]で、屈折率が1.40~1.55のものを用いることができる。エポキシ樹脂としては、線膨張係数が40~80[10-6/K]で、屈折率が1.50~1.70、好ましくは1.50~1.65のものを用いることができる。フェノール樹脂としては、線膨張係数が30~70[10-6/K]で、屈折率が1.50~1.70のものを用いることができる。アクリル樹脂としては、線膨張係数が20~60[10-6/K]で、屈折率が1.40~1.60、好ましくは1.50~1.60のものを用いることができる。これらの熱硬化性樹脂としては、市販品を用いることができ、具体的には、例えば、富士高分子工業株式会社製SMX-7852SMX-7877、株式会社東芝製IVSM-4500、東レダウコーニング社製SR-7010、等を例示することができる。熱可塑性樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、ポリサルフォン樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂等を例示することができる。ポリカーボネートとしては、線膨張係数が60~70[10-6/K]で、屈折率が1.40~1.70、好ましくは1.50~1.65のものを用いることができる。ポリサルフォン樹脂としては、線膨張係数が15~60[10-6/K]で、屈折率が1.63のものを用いることができる。ポリエーテルサルフォン樹脂としては、線膨張係数が20~60[10-6/K]で、屈折率が1.65のものを用いることができる。なお、一般に、光学ガラスの線膨張係数は20°Cで4.9~14.3[10-6/K]であり、屈折率は波長589.3nmで1.4~2.1である。また、石英ガラスの線膨張係数は0.1~0.5[10-6/K]であり、屈折率は約1.45である。レンズの形成に適用しうる硬化性の樹脂組成物としては、モールド形状の転写適性等、成形性の観点から、硬化前には適度な流動性を有していることが好ましい。具体的には、常温で液体であり、粘度が1000mPas~50000mPas程度のものが好ましい。一方、レンズの形成に適用しうる硬化性の樹脂組成物は、硬化後にはリフロー工程を通しても熱変形しない程度の耐熱性を有していることが好ましい。かかる観点から、硬化物のガラス転移温度は200°C以上であることが好ましく、250°C以上であることがより好ましく、300°C以上であることが特に好ましい。樹脂組成物にこのような高い耐熱性を付与するためには、分子レベルで運動性を束縛することが必要であり、有効な手段としては、1単位体積あたりの架橋密度を上げる手段、2剛直な環構造を有する樹脂を利用する手段例えば、シクロヘキサン、ノルボルナン、テトラシクロドデカン等の脂環構造、ベンゼン、ナフタレン等の芳香環構造、9,9’-ビフェニルフルオレン等のカルド構造、スピロビインダン等のスピロ構造を有する樹脂、具体的には例えば、特開平9-137043号公報、同10-67970号公報、特開2003-55316号公報、同2007-334018号公報、同2007-238883号公報等に記載の樹脂、3無機微粒子など高Tgの物質を均一に分散させる手段例えば、特開平5-209027号公報、同10-298265号公報等に記載等が挙げられる。これらの手段は複数併用してもよく、流動性、収縮率、屈折率特性など他の特性を損なわない範囲で調整することが好ましい。形状転写精度の観点からは、硬化反応による体積収縮率が小さい、硬化性の樹脂組成物を用いることが好ましい。樹脂組成物の硬化収縮率としては、10以下であることが好ましく、5以下であることがより好ましく、3以下であることが特に好ましい。硬化収縮率の低い樹脂組成物としては、例えば、1高分子量の硬化剤プレポリマーなどを含む樹脂組成物例えば、特開2001-19740号公報、同2004-302293号公報、同2007-211247号公報等に記載、高分子量硬化剤の数平均分子量は200~100,000の範囲であることが好ましく、より好ましくは500~50,000の範囲であり、特に好ましくは1,000~20,000の場合である。また該硬化剤の数平均分子量/硬化反応性基の数で計算される値が、50~10,000の範囲にあることが好ましく、100~5,000の範囲にあることがより好ましく、200~3,000の範囲にあることが特に好ましい。、2非反応性物質有機/無機微粒子,非反応性樹脂等を含む樹脂組成物例えば、特開平6-298883号公報、同2001-247793号公報、同2006-225434号公報等に記載、3低収縮架橋反応性基を含む樹脂組成物例えば、開環重合性基;例えば、エポキシ基例えば、特開2004-210932号公報等に記載、オキセタニル基例えば、特開平8-134405号公報等に記載、エピスルフィド基例えば、特開2002-105110号公報等に記載、環状カーボネート基例えば、特開平7-62065号公報等に記載等、エン/チオール硬化基例えば、特開2003-20334号公報等に記載、ヒドロシリル化硬化基例えば、特開2005-15666号公報等に記載等、4剛直骨格樹脂フルオレン、アダマンタン、イソホロン等を含む樹脂組成物例えば、特開平9-137043号公報等に記載、5重合性基の異なる2種類のモノマーを含み相互貫入網目構造いわゆるIPN構造が形成される樹脂組成物例えば、特開2006-131868号公報等に記載、6膨張性物質を含む樹脂組成物例えば、特開2004-2719号公報、特開2008-238417号公報等に記載等を挙げることができ、本発明において好適に利用することができる。また上記した複数の硬化収縮低減手段を併用すること例えば、開環重合性基を含有するプレポリマーと微粒子を含む樹脂組成物などが物性最適化の観点からは好ましい。本発明のウエハレベルレンズの形成には、高-低2種類以上のアッベ数の異なる樹脂組成物の使用が望ましい。高アッベ数側の樹脂は、アッベ数νdが50以上であることが好ましく、より好ましくは55以上であり特に好ましくは60以上である。屈折率ndは1.52以上であることが好ましく、より好ましくは1.55以上であり、特に好ましくは1.57以上である。このような樹脂組成物に含有される樹脂としては、脂肪族の樹脂が好ましく、特に、脂環構造を有する樹脂例えば、シクロヘキサン、ノルボルナン、アダマンタン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等の環構造を有する樹脂、具体的には例えば、特開平10-152551号公報、特開2002-212500号公報、同2003-20334号公報、同2004-210932号公報、同2006-199790号公報、同2007-2144号公報、同2007-284650号公報、同2008-105999号公報等に記載の樹脂が好ましい。低アッベ数側の樹脂は、アッベ数νdが30以下であることが好ましく、より好ましくは25以下であり特に好ましくは20以下である。屈折率ndは1.60以上であることが好ましく、より好ましくは1.63以上であり、特に好ましくは1.65以上である。このような樹脂としては芳香族構造を有する樹脂が好ましく、例えば、9,9’‐ジアリールフルオレン、ナフタレン、ベンゾチアゾール、ベンゾトリアゾール等の構造を含む樹脂具体的には例えば、特開昭60-38411号公報、特開平10-67977号公報、特開2002-47335号公報、同2003-238884号公報、同2004-83855号公報、同2005-325331号公報、同2007-238883号公報、国際公開2006/095610号公報、特許第2537540号公報等に記載の樹脂等が好ましい。また、ウエハレベルレンズの形成に使用される樹脂組成物には、屈折率を高める目的やアッベ数を調整する目的のために、無機微粒子をマトリックス中に分散させてなる有機無機複合材料を使用することも好ましい態様である。有機無機複合材料中の無機微粒子としては、例えば、酸化物微粒子、硫化物微粒子、セレン化物微粒子、テルル化物微粒子が挙げられる。より具体的には、例えば、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化ニオブ、酸化セリウム、酸化アルミニウム、酸化ランタン、酸化イットリウム、硫化亜鉛等の微粒子を挙げることができる。無機微粒子は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。また、複数の成分による複合物であってもよい。また、無機微粒子には、光触媒活性低減、吸水率低減などの種々の目的から、異種金属をドープしたり、表面をシリカやアルミナ等異種金属酸化物で被覆したり、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤、有機酸カルボン酸類、スルホン酸類、リン酸類、ホスホン酸類等、又は有機酸基を持つ分散剤などで表面修飾してもよい。無機微粒子の数平均1次粒子サイズは通常1nm~1000nm程度とすればよいが、小さすぎると物質の特性が変化する場合があり、大きすぎるとレイリー散乱の影響が顕著となるため、1nm~15nmが好ましく、2nm~10nmが更に好ましく、3nm~7nmが特に好ましい。また、無機微粒子の粒子サイズ分布は狭いほど望ましい。このような単分散粒子の定義の仕方はさまざまであるが、例えば、特開2006-160992号公報に記載されるような数値規定範囲が好ましい粒径分布範囲に当てはまる。ここで上述の数平均1次粒子サイズとは、例えば、XRDX線回折、X線小角散乱SmallangleX-rayscatteringSAXS、X線散漫散乱X-raydiffusescatteringXDS、斜入射X線散乱GrazingincidencesmallangleX-rayscatteringGI-SAXS、走査型電子顕微鏡SEMあるいは透過型電子顕微鏡TEMなどで測定することができる。無機微粒子の屈折率としては、22°C、589.3nmの波長において、1.90~3.00であることが好ましく、1.90~2.70であることが更に好ましく、2.00~2.70であることが特に好ましい。有機無機複合材料において、無機微粒子のマトリックスである樹脂に対する含有量は、透明性と高屈折率化の観点から、5質量以上であることが好ましく、10質量~70質量が更に好ましく、30質量~60質量が特に好ましい。有機無機複合材料に用いられる、マトリックスとなる樹脂としては、ウエハレベルレンズの材料として前記した、紫外線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、高アッベ数の樹脂、低アッベ数の樹脂のいずれもが使用できる。また、特開2007-93893号に記載された屈折率1.60より大きい樹脂、特開2007-211164号に記載された疎水性セグメント及び親水性セグメントで構成されるブロック共重合体、特開2007-238929号、特開2010-43191号、同2010-65063号、同2010-54817号に記載された高分子末端又は側鎖に無機微粒子と任意の化学結合を形成しうる官能基を有する樹脂、特願2008-197054号、同2008-198878号に記載された熱可塑性樹脂等を挙げることができる。なお、有機無機複合材料には、必要に応じて、可塑剤、分散剤等の添加剤を加えることができる。ここで、マトリックスである樹脂と無機微粒子との好ましい組み合わせとしては以下のようなものがある。即ち、上記のごとき高アッベ数の樹脂をマトリックスとした場合には、無機微粒子として、酸化ランタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましく、低アッベ数の樹脂をマトリックスとした場合には、無機微粒子として、酸化チタン、酸化スズ、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましい。なお、無機微粒子を均一に分散させるためには、例えば、マトリックスを形成する樹脂のモノマーとの反応性を有する官能基を含む分散剤例えば、特開2007-238884号公報実施例等に記載、疎水性セグメント及び親水性セグメントで構成されるブロック共重合体例えば、特開2007-211164号公報に記載、或いは高分子末端又は側鎖に無機微粒子と任意の化学結合を形成しうる官能基を有する樹脂例えば、特開2007-238929号公報、特開2007-238930号公報等に記載等を適宜用いることが望ましい。また、ウエハレベルレンズの形成に用いられる樹脂組成物には、シリコン系、フッ素系、長鎖アルキル基含有化合物等の公知の離型剤やヒンダードフェノール等の酸化防止剤等の添加剤が適宜配合されていてもよい。更に、ウエハレベルレンズの形成に用いられる樹脂組成物には、必要に応じて、硬化触媒又は開始剤を配合することができる。具体的には、例えば、特開2005-92099号公報段落番号0065~0066等に記載の熱又は活性エネルギー線の作用により硬化反応ラジカル重合或いはイオン重合を促進する化合物を挙げることができる。これらの硬化反応促進剤の添加量は、触媒や開始剤の種類、或いは硬化反応性部位の違いなどによって異なり一概に規定することはできないが、一般的には樹脂組成物の全固形分に対して0.1質量~15質量程度が好ましく、0.5質量~5質量程度がより好ましい。本発明のウエハレベルレンズの作製に用いる樹脂組成物は、上記成分を適宜配合して製造することができる。この際、液状の低分子モノマー反応性希釈剤等に他の成分を溶解することができる場合には、別途溶剤を添加する必要はないが、このケースに当てはまらない場合には溶剤を用いて各構成成分を溶解することにより樹脂組成物を製造することができる。該樹脂組成物に使用できる溶剤としては、組成物が沈殿することなく、均一に溶解又は分散されるものであれば特に制限はなく適宜選択することができ、具体的には、例えば、ケトン類例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等、エステル類例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル等、エーテル類例えば、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン等アルコール類例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、エチレングリコール等、芳香族炭化水素類例えば、トルエン、キシレン等、水等を挙げることができる。樹脂組成物が溶剤を含む場合には該組成物を基板及び/又は型の上にキャストし溶剤を乾燥させた後にモールド形状転写操作を行うことが好ましい。基板10は、レンズ12の成形材料と同じものを用いることができる。また、基板10が可視光に対して透明なガラスなどの材料からなるものであれば、レンズ12の成形材料とは異なる材料により形成されていてもよい。この場合には、基板10を形成する材料としては、レンズ12を形成する材料と線膨張係数が同じか極めて近い材料であることが好ましい。レンズ12を形成する材料と基板10を形成する材料との線膨張係数が互いに同じか近似する場合には、撮像ユニットへのウエハレベルレンズのリフロー実装において、線膨張率が異なることで生じる加熱時のレンズ12の歪みや割れを抑制しうる。なお、図1及び図2中に図示してはいないが、基板10の光入射側の面には、赤外線フィルタIRフィルタが形成されていてもよい。以下、図3~図8を参照して、ウエハレベルレンズの形態及び作製について、ウエハレベルレンズアレイの作製方法の例にとり、具体的に説明する。ウエハレベルレンズの形態及び作製1-レンズの形成-まず、図3及び図4A~Cを参照して、基板10上にレンズ12を形成する方法について説明する。ここで、図3は、基板10に、レンズ形成用の樹脂組成物である成形材料図3中にMと記載を供給している状態を示す図である。また、図4A~Cは、基板10にレンズ12を型60で成形する手順を示す図である。図3に示すように、基板10のレンズ12を成形する部位にディスペンサ50を用いて成形材料Mを滴下する。ここでは、供給する1つの部位には、1つのレンズ12に相当する量の成形材料Mが供給される。基板10に成形材料Mを供給した後、基板10の成形材料Mを供給された面側に、図4Aに示すように、レンズ12を成形するための型60を配置する。ここで、型60には、レンズ12の形状を転写するための凹部62が、所望のレンズ12の数に応じて設けられている。図4Bに示すように、型60を基板10上の成形材料Mに押し付け、成形材料Mを凹部62の形状に倣って変形させる。そして、型60を成形材料Mに押し付けた状態で、成形材料Mが熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂の場合には、型60の外側から熱又は紫外線を照射して、成形材料Mを硬化させる。成形材料Mを硬化させた後、図4Cに示すように、型60から基板10及びレンズ12を離型する。-遮光膜の形成-次に、図5A~Cを参照して、レンズ12の周縁部に遮光膜14を形成する方法について説明する。ここで、図5A~Cは、レンズ12が成形された基板10に遮光膜14を設ける工程を示す概略断面図である。遮光膜14の形成方法は、基板10上に、本発明の黒色硬化性組成物を塗布して遮光性塗布層14Aを形成する遮光性塗布層形成工程図5A参照。と、該遮光性塗布層14Aを、マスク70を介してパターン露光する露光工程図5B参照。と、露光後の遮光性塗布層14Aを現像して未硬化部を除去し、パターン状の遮光膜14を形成する現像工程図5C参照。と、を含む。なお、遮光膜14の形成は、レンズ12を作製する前でも、レンズ12を作製した後でも任意に行うことができるが、ここでは、レンズ12を作製した後の方法について詳述する。以下、遮光膜14の形成方法における各工程について説明する。<遮光性塗布層形成工程>遮光性塗布層形成工程では、図5Aに示すように、基板10上に、黒色硬化性組成物を塗布して該黒色硬化性組成物からなる光反射率の低い遮光性塗布層14Aを形成する。このとき、遮光性塗布層14Aは、基板10のレンズ側の表面、及び、レンズ12のレンズ面12aとレンズ縁部12bの表面を全て覆うように形成される。本工程に用いうる基板10としては、特に制限はない。例えば、ソーダガラス、無アルカリガラス、パイレックス登録商標ガラス、石英ガラス、及び透明樹脂等が挙げられる。なお、ここで言う基板10とは、レンズ12と基板10を一体形成する態様においては、レンズ12と基板10の両方を含む形態を言う。また、これらの基板10上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止、或いは基板10表面の平坦化のために、下塗り層を設けてもよい。基板10及びレンズ12上に黒色硬化性組成物を塗布する方法としては、スリット塗布、スプレー塗布法、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。黒色硬化性組成物の塗布直後の膜厚としては、塗布膜の膜厚均一性、塗布溶剤の乾燥のし易さの観点から、0.1μm~10μmが好ましく、0.2μm~5μmがより好ましく、0.2μm~3μmが更に好ましい。基板10上に塗布された遮光性塗布層14Aの乾燥プリベークは、ホットプレート、オーブン等を用い、50°C~140°Cの温度で10秒~300秒で行うことができる。黒色硬化性組成物の乾燥後の塗布膜厚以下、適宜、乾燥膜厚と称するは、所望の遮光性などの性能から任意に選択することができ、概ね0.1μm以上50μm未満の範囲である。<露光工程>露光工程では、遮光性塗布層形成工程において形成された遮光性塗布層14Aをパターン状に露光する。パターン露光は走査露光でもよいが、図5Bに示すように、所定のマスクパターンを有するマスク70を介して露光する態様が好ましい。本工程における露光においては、遮光性塗布層14Aのパターン露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、この露光により遮光性塗布層14Aのうち光照射された部分だけを硬化する。ここでは、レンズ縁部12bの表面とレンズ12間の基板10の表面に光を照射するマスクパターンを用いる。こうすることで、レンズ面12aを除く領域の遮光性塗布層14Aのみが光照射によって硬化し、この硬化領域が遮光膜14を形成することとなる。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。この放射線は単一波長の光源であってもよいし、高圧水銀灯のように全ての波長を含んだ光源を用いてもよい。<現像工程>次いで、アルカリ現像処理現像工程を行うことにより、露光における光未照射部分、即ち、遮光性塗布層14Aの未硬化領域をアルカリ水溶液に溶出させ、光照射により硬化した領域だけを残す。具体的には、図5Bに示すように露光された遮光性塗布層14Aは、現像されることにより、図5Cに示すように、レンズ面12aに形成された遮光性塗布層14Aのみが除去され、それ以外の領域に硬化された遮光膜14が形成される。現像工程で用いられる現像液アルカリ性水溶液に含まれるアルカリ剤としては、有機又は無機のアルカリ剤、及びそれらの組み合わせのいずれも用いることができる。本発明における遮光膜形成においては周囲の回路などに損傷を与えがたいという観点からは有機アルカリ剤を用いることが望ましい。現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-[5、4、0]-7-ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物有機アルカリ剤、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の無機化合物無機アルカリ剤等が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が0.001質量~10質量、好ましくは0.01質量~1質量となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。現像温度としては、通常20°C~30°Cであり、現像時間は20秒~90秒の範囲で行なわれる。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像液により塗布膜の未露光部を除去した後、純水で洗浄リンスする。即ち、現像処理後には、余剰の現像液を純水により十分に洗浄、除去し、更に、乾燥工程に付す。なお、上述した、遮光性塗布層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要に応じて、形成された遮光膜遮光パターンを、加熱ポストベーク及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100°C~250°Cの熱硬化処理を行う。ポストベークの温度、及び時間などの条件は、基板10又はレンズ12の素材により、適宜設定することができる。例えば、基板12がガラスである場合は上記温度範囲の中でも180°C~240°Cが好ましく用いられる。このポストベーク処理は、現像後に形成された遮光膜14を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン熱風循環式乾燥機、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式或いはバッチ式で行うことができる。なお、以上の手順では、レンズ12の形状が凹状である場合を例に説明したが、形状は特に限定されず、凸状や非球面の形状であってもよい。また、上記手順では、基板10の一方の面に複数のレンズ12が成形されたウエハレベルレンズを例に説明したが、基板10の両方の面に複数のレンズ12が成形された構成としてもよく、その場合には、両方の面に、レンズ面を除く領域にパターン状の遮光膜14が形成される。ウエハレベルレンズの形態及び作製2図6は、ウエハレベルレンズアレイの他の構成例を示す図である。図6に示すウエハレベルレンズは、基板10とレンズ12とを同一の成形材料で同時に成形した構成モノリシックタイプである。このようなウエハレベルレンズを作成する際には、成形材料としては上述したものと同じものを用いることができる。また、この例では、基板10の一方の面図中の上側の面には、凹状のレンズ12が複数形成され、他方の面図中の下側の面には、凸状のレンズ20が複数形成されている。また、基板10のレンズ面12aを除く領域、つまり、基板10の表面及びレンズ縁部12bの表面にパターン状の遮光膜14が形成されている。遮光膜14を形成する際のパターニング方法としては、上述した手順を適用することができる。ウエハレベルレンズの形態及び作製3次に、図7A~C及び図8A~Cを参照して、ウエハレベルレンズアレイの更なる他の構成例と、それを作製する手順について説明する。ここで、図7A~Cは、パターン状の遮光膜14を形成する他の工程を示す概略図である。また、図8A~Cは、まず、パターン状の遮光膜14を形成した後、レンズ12を成形する工程を示す概略図である。図3~図6に示すウエハレベルレンズアレイの例では、レンズ12が設けられた基板10にパターン状の遮光膜14を形成するものであったが、以下に説明する手順では、まず、基板10にパターン状の遮光膜14を形成した後、基板10にレンズ12を成形する手順である。-遮光膜の形成-先ず、図7Aに示すように、基板10上に黒色硬化性組成物を塗布して遮光性塗布層14Aを形成する遮光性塗布層形成工程を行う。その後、基板10上に塗布された遮光性塗布層14Aの乾燥をホットプレート、オーブン等で50°C~140°Cの温度で10秒~300秒で行う。黒色硬化性組成物の乾燥膜厚は、所望の遮光性などの性能から任意に選択することができ、概ね0.1μm以上50μm未満の範囲である。次に、図7Bに示すように、遮光性塗布層形成工程において形成された遮光性塗布層14Aを、マスク70を介してパターン状に露光する露光工程を行う。マスク70は、所定のマスクパターンを有する。本工程における露光においては、遮光性塗布層14をパターン露光することで、遮光性塗布層14Aのうち光照射された部分だけを硬化する。ここでは、後工程でレンズ12を成形した際にレンズ12のレンズ開口14aとなる部位を除く領域の遮光性塗布層14Aにのみ光を照射するマスクパターンを用いる。この方法によりレンズ12のレンズ開口14aとなる部位を除く領域の遮光性塗布層14Aのみが光照射によって硬化する。なお、露光に際して用いることができる放射線としては、先に説明した手順と同様に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。次いで、アルカリ現像処理現像工程を行うことにより、上記パターン露光における遮光性塗布層14Aの未硬化領域であるレンズ12のレンズ開口14aに相当する領域の遮光性塗布層14Aのみがアルカリ水溶液に溶出される。この際、図7Cに示すように、レンズ12のレンズ開口14aの領域を除く領域の光硬化した遮光性塗布層14Aが基板10上に残存して、遮光膜14を形成する。ここで、現像液であるアルカリ水溶液中のアルカリ剤としては、先に説明した手順と同じものを用いることができる。現像処理後は、その後、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施す。本実施形態においても、上述した、遮光性塗布層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された遮光膜を上述のポストベーク及び/又は露光により硬化する硬化工程を施してもよい。-レンズの形成-次に、遮光膜14を形成後に、レンズ12を形成する工程について説明する。図8Aに示すように、パターン状の遮光膜14が形成された基板10の上に、レンズ12を構成する成形材料Mがディスペンサ50により滴下される。成形材料Mは、レンズ12のレンズ開口14aに相当する領域を覆うように、該開口に隣接する遮光膜14の端部を一部含むように供給される。基板10に成形材料Mを供給した後、基板10の成形材料Mを供給された面側に、図8Bに示すように、レンズを成形するための型80を配置する。型80には、レンズ12の形状を転写するための凹部82が、所望のレンズ12の数に応じて設けられている。型80を基板10上の成形材料Mに押し付け、成形材料Mを凹部の形状に倣って変形させる。そして、型80を成形材料Mに押し付けた状態で、成形材料Mが熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂の場合には型の外側から熱又は紫外線を照射することで、成形材料Mを硬化させる。成形材料Mを硬化させた後、型80から基板10及びレンズ12を離型し、図8Cに示すように、基板10にパターン状の遮光膜14を備えるウエハレベルレンズを得る。上述のように、ウエハレベルレンズに備えられるパターン状の遮光膜14は、図5に示すようにレンズ12のレンズ面12aを除く領域に設けた構成だけでなく、図8Cに示すように、遮光膜14をレンズ12のレンズ開口14aを除く領域に設けた構成としてもよい。ウエハレベルレンズは、基板10の少なくとも一方の表面にパターン上に形成された、光反射率が低い遮光膜14によって、レンズ12のレンズ面12a又はレンズ開口14a以外の領域で遮光を十分にしつつ、反射光の発生を抑制できる。このため、固体撮像素子を備えた撮像モジュールに適用した場合に、撮像時に反射光に伴うゴーストやフレアといった不具合の発生を防止できる。また、遮光膜14は基板の表面に設けられるため、ウエハレベルレンズに別の遮光部材などを取り付ける必要がなく、製造コストの増加を抑えることができる。なお、前述した特許文献2に示される構成のように、レンズの周囲に表面が凹凸の構造物を設ける構成の場合には、該構造物に入射した光が反射又は発散することで、ゴースト等の不具合が生じやすいことが懸念される。そこで、図5に示すようにレンズ12のレンズ面12aを除く領域にパターニングされた遮光膜14を設けた構成とすれば、レンズ面12a以外では光を遮光することができ、光学性能を改善できる。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、部、は質量基準である。また、室温は25°Cを指す。カルド樹脂の合成例示化合物D-11の合成9,9’-ビス4-アクリロイルオキシプロピルオキシフェニルフルオレン下記化合物1-810g、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート下記化合物2-61g、およびテトラメルカプトメチルメタン下記化合物2-52.3gをプロピレングリコールメチルエーテルアセテート以下、PGMEAと称する。133gに溶解し、85°Cで4時間攪拌し、これらが反応した例示化合物D-11固形分は50を得た。得られた化合物が例示化合物D-11のカルド樹脂であることは1H-NMRで確認し、重量平均分子量はゲル浸透クロマトグラフィーGPCで測定した。例示化合物D-1~D-10およびD-12~D-15の合成例示化合物D-11と同様の方法によって、例示化合物D-1~D-10、および、D-12~D-15を合成し、得られた化合物を1H-NMRで確認し、重量平均分子量はゲル浸透クロマトグラフィーGPCで測定した。<黒色硬化性組成物B-1~B-19、B-22~B-24、およびB-26の調製>分散液の調整下記組成Iに示す成分を二本ロールにて高粘度分散処理を施し分散物を得た。組成Iチタンブラック三菱マテリアルズ株製13M-C、平均一次粒子径75nm40部分散剤B-1下記構造、PGMEAの30溶液5部得られた分散物に、下記組成IIに示す成分を添加し、3,000rpmの条件でホモジナイザーを用いて3時間攪拌した。得られた混合溶液を、粒径0.3mmのジルコニアビーズを用いて分散機商品名:ディスパーマットGETZMANN社製にて4時間微分散処理を施して、チタンブラック分散液以下、TB分散液1と表記する。を得た。組成II分散剤B-1のPGMEA30溶液20部溶剤:PGMEA150部黒色硬化性組成物B-1~B-19、B-22~B-24、およびB-26の調製下記の成分を攪拌機で混合して黒色硬化性組成物B-1~B-19、B-22~B-24、およびB-26を調製した。分散液:表2に記載の分散液TB分散液124部カルド樹脂:表2に記載の例示化合物5.0部バインダー:表2に記載のバインダーPGMEA30溶液10部重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート2.0部重合性化合物:ペンタエリスリトールトリアクリレート1.0部重合開始剤:表2に記載の化合物0.3部溶剤:PGMEA10部溶剤:エチル-3-エトキシプロピオネート8部<黒色硬化性組成物B-20の調整>銀錫組成物の調製60°Cに保温した純水200mlに錫コロイド平均粒子系:20nm、固形分:20、住友大阪セメント社製15gと、銀コロイド平均粒子系:7nm、固形分:20、住友大阪セメント社製60gとポリビニルピロリドン0.75gを水100mlに溶解した溶液を加え、コロイド溶液とした。次いで、このコロイド溶液を60°Cに保持した状態で60分間攪拌し、その後、超音波を5分間照射した。次いでこのコロイド溶液を遠心分離により濃縮し、固形分が25のA液を得た。A液をフリーズドライ方法により乾燥し、粉末試料得た。チタンブラックの代わりにこの粉末試料を用い、分散剤B-1を用いて、黒色硬化性組成物B-11のチタンブラック分散液の調製と同様にして銀錫分散液を調製した。さらに黒色硬化性組成物B-11の黒色硬化性組成物の調製におけるチタンブラック分散液の代わりに、銀錫分散液を用いて、銀錫組成物を用いた黒色硬化性組成物を調製した。<黒色硬化性組成物B-21の調整>赤色顔料分散液の調製下記の成分からなる組成物を0.3mmジルコニアビーズを用いた、分散機商品名:ディスパーマットGETZMANN社製にて4時間微分散処理を施して赤色顔料分散液を調製した。着色剤:C.I.ピグメントレッド25430部バインダー:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体mol比:80/10/10、Mw:10000、溶剤:PGMEA、固形分濃度:4010部溶剤:PGMEA200部分散剤B-1:PGMEAの30溶液30部黒色硬化性組成物B-21の調製分散液として、TB分散液120部と赤色顔料分散液4部とを用いて、他は黒色硬化性組成物B-11の調整と同様にして、黒色硬化性組成物B-21を調製した。<黒色硬化性組成物B-25の調整>カーボンブラック分散液K-042884-2、東洋インキ製造株製:カーボンブラック19.4質量、分散剤8.9質量、シクロへキサノン16.1質量、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート55.6質量を含有53.4部を実施例1の黒色硬化性組成物の調製におけるチタンブラック分散液24部の代わりに用いて、他は黒色硬化性組成物B-11の調整と同様にして、黒色硬化性組成物B-25を調製した。黒色硬化性組成物B-1~25に用いた各成分を表2にまとめた。なおここで用いたバインダーの樹脂E-1、E-2、および重合開始剤A~Fは下記に示す化合物である。レンズ膜上の現像性残渣の評価ウエハレベルレンズ用遮光膜の作成及び評価以下の操作により、レンズ膜用硬化性組成物を用いた樹脂膜を形成した。この樹脂膜を用いて、黒色硬化性組成物とレンズとの密着性の模擬評価に供した。レンズ膜用熱硬化性樹脂膜の形成表3に示す成分2の化合物を成分2の欄に示した量だけ成分1に対して添加し、レンズ膜用硬化性組成物1~6を調製した。成分2が空欄のレンズ膜用硬化性組成物は成分1だけを用いた。表3に示す硬化性組成物1~42mLを5cm×5cmのガラス基板厚さ1mm、Schott社製、BK7に塗布し、200°Cで1分間加熱して硬化させ、レンズ上の残渣評価できる膜膜1~4を形成した。レンズ膜用光硬化性樹脂膜の形成表3に示す硬化性組成物5及び62mLを5cm×5cmのガラス基板に塗布し、メタルハライドランプで3000mJ/cm2の光を照射して硬化させ、レンズ上の残渣評価できる膜膜5、6を形成した。<実施例1~28、比較例1~8>レンズ膜上の黒色硬化性組成物層の形成前記表2に記載の黒色硬化性組成物を、上記レンズ膜用硬化性樹脂膜を備えたガラス基板にスピンコート法で塗布し、その後ホットプレート上で120°Cで2分間加熱して黒色硬化性組成物層を形成した。テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド0.3水溶液を用い、23°Cで60秒間パドル現像を行った。その後スピンシャワーにてリンスを行いさらに純水にて水洗し、乾燥させた。このときに用いた黒色硬化性組成物とレンズ膜用硬化性樹脂膜との組合せを表4のようにして実施例1~28、比較例1~8を行った。レンズ膜上の残渣の評価黒色硬化性組成物層を設ける前の900nmにおけるレンズ膜の透過率をT1とし、黒色硬化性組成物層を設けた後に現像、水洗、乾燥を施したときの900nmにおけるレンズ膜の透過率をT2とし、下記計算式に従い、透過率の減少度を調べた。透過率の減少度が大きいほど、レンズ膜上に黒色硬化性組成物が残存していることを意味する。レンズ膜の透過率の減少度=T2-T1基本的に、レンズフィルムの透過率の減少は、レンズフィルム上の残留黒色硬化性組成物層によるものである。<実施例29~51、比較例9~11>ガラス基板上での遮光膜形成及び評価各黒色硬化性組成物をガラス基板厚さ1mm、Schott社製、BK7に直接スピンコート法で塗布し、その後ホットプレート上で120°Cで2分間加熱して黒色硬化性組成物層を形成した。次いで、得られた組成物層を、高圧水銀灯を用い、50μmのホールパターンを有するフォトマスクを介して露光量100mJ/cm2から1000mJ/cm2まで、50mJ/cm2ずつ変更し露光した。前記露光後の組成物層に対し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド0.3水溶液を用い、23°C60秒間パドル現像を行った。その後スピンシャワーにてリンスを行いさらに純水にて水洗し、パターン状の遮光膜を得た。得られた遮光膜について、光学顕微鏡を用いて剥れを発生しなくなる露光量の下限値を求めて、感度とした。感度が小さい程、密着性が有効であることを示す。<ガラス基板上における残渣評価>残渣評価は、遮光膜の形成前のガラス基板が示す900nmにおける透過率T3と、未露光の黒色硬化性組成物層が現像除去後された部分のガラス基板が示す900nmにおける透過率T4とをそれぞれ測定し、ガラス基板の透過率減少度を、下記式2により算出することにより行った。ガラス基板の透過率減少度=T3-T4式2透過率の測定は、レンズ形成用樹脂膜の透過率の測定と同様にして測定した。透過率減少度が大きいほど、黒色硬化性組成物が、よりガラス基板上に残存していることを意味する。基本的に、ガラス基板の透過率の減少はレンズフィルム上の残留黒色硬化性組成物層によるものである。<遮光膜の透過率測定>露光領域に形成された遮光膜が示す透過率を波長900nmにおいて測定した。なお、実施例中において透過率は、分光光度計島津製作所製UV-3600型番により測定した。表4及び表5の結果より、本発明の黒色硬化性組成物は、種々のレンズ膜上又はガラス基板上においても残渣が少ないことがわかる。また、実施例29~47と実施例48および比較例11との対比より、無機顔料としてチタンブラックを含有するものは、特に硬化感度に優れ、さらに実施例49よりチタンブラックと赤色有機顔料とを併用することで遮光性が、さらに向上することがわかる。"