"単一のスケールに光を照射して互いに周期の異なる2つの位相信号を検出するセンサ部と、前記スケールと前記センサ部とを所定の変位量だけ相対変位させた場合における前記2つの位相信号の位相変化の累積量を揃えて2つの累積位相信号を取得し、該2つの累積位相信号の差を求めることで該所定の変位量に相当する累積位相成分が除去された誤差信号を生成する誤差信号生成部と、前記誤差信号を前記2つの位相信号の少なくとも一方の周期で平均化することにより、該2つの位相信号の少なくとも一方に含まれる内挿誤差を検出する内挿誤差検出部と、を有することを特徴とするエンコーダ。前記誤差信号生成部は、前記2つの位相信号の周期に基づく係数を該2つの位相信号の一方の位相変化の累積量に掛けることで、該2つの位相信号の位相変化の累積量を互いに等しくすることを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。前記内挿誤差検出部は、前記誤差信号を前記2つの位相信号の両方の周期で平均化することにより前記内挿誤差を検出することを特徴とする請求項1または2に記載のエンコーダ。前記内挿誤差を用いて前記位相信号を補正することにより補正位相信号を生成する内挿誤差補正部を更に有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のエンコーダ。前記補正位相信号を用いて前記スケールの絶対位置を検出する絶対位置検出部を更に有することを特徴とする請求項4に記載のエンコーダ。しかしながら、特許文献1、2のような構成では、高精度な基準エンコーダが必要となり、エンコーダの製造コストが上昇してしまう。また、被補正エンコーダ被測定検出器と基準エンコーダ基準検出器との取り付けの際に、取り付け誤差に起因する誤差の補正残差が発生する場合がある。更に、これらのエンコーダの組み込み後に、補正値の再調整のために取り外しが必要となることがある。そこで本発明は、低コストで高精度なエンコーダを提供する。本発明の一側面としてのエンコーダは、単一のスケールに光を照射して互いに周期の異なる2つの位相信号を検出するセンサ部と、前記スケールと前記センサ部とを所定の変位量だけ相対変位させた場合における前記2つの位相信号の位相変化の累積量を揃えて2つの累積位相信号を取得し、該2つの累積位相信号の差を求めることで該所定の変位量に相当する累積位相成分が除去された誤差信号を生成する誤差信号生成部と、前記誤差信号を前記2つの位相信号の少なくとも一方の周期で平均化を行うことにより、該2つの位相信号の少なくとも一方に含まれる内挿誤差を検出する内挿誤差検出部とを有する。本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。本発明によれば、低コストで高精度なエンコーダを提供することができる。以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。まず、図1を参照して、本実施例におけるエンコーダの構成について説明する。図1は、エンコーダ10位置検出装置のブロック図である。図1に示されるように、エンコーダ10は、センサ部1、誤差信号生成部2、内挿誤差検出部3、内挿誤差補正部4、および、絶対位置検出部5を備えて構成されるアブソリュート型エンコーダである。センサ部1は、トラック101、102を有するスケール100、センサ111、112、光源113、ADコンバータ121、122、および、位相検出部131、132を備えて構成される。スケール100は、回転中心103を被測定物不図示の回転軸に合わせて取り付けられ、被測定物の回転変位に連動してセンサ111、112と相対変位する。トラック101、102には、それぞれ、9度、10度の周期で反射部と非反射部が交互に形成されている。光源113から照射された光は、トラック101、102の反射部にて反射され、反射光がセンサ111、112によりそれぞれ検出される。スケール100とセンサ111、112との相対変位により、センサ111、112により検出される反射光も変化する。センサ111、112は、それぞれ、トラック101、102の相対変位9度、10度で1周期の2相正弦波信号を出力する。このため、スケール100とセンサ111、112とが互いに90度変位すると、それぞれ、10周期、9周期の2相正弦波信号が出力される。なお、トラック101、102として、光の反射部に代えて透過部が形成されたトラック、すなわち光の透過部と非透過部が交互に形成されたトラックを用いてもよい。この場合、センサ111、112はトラック101、102のそれぞれを透過した光透過光を検出する。ADコンバータ121、122は、センサ111、112から出力された2相正弦波信号アナログ信号に対してそれぞれAD変換を行い、デジタル信号を出力する。位相検出部131、132は、AD変換された2相正弦波信号デジタル信号に対して逆正接演算を行うことにより、それぞれ、位相信号θ1、θ2を出力する。このように、センサ部1は、単一のスケール100に光を照射して互いに周期の異なる2つの位相信号θ1、θ2を検出する。誤差信号生成部2は、位相信号θ1、θ2に対して、所定の変位量に相当する位相の累積変化量を揃えてこれらの差をとることにより、変位量に相当する累積位相成分を除去した誤差信号Eを生成する。内挿誤差検出部3は、誤差信号Eを位相信号θ1、θ2のそれぞれの周期で平均化することにより、位相信号θ1、θ2のそれぞれに含まれる内挿誤差E1、E2を検出する。内挿誤差補正部4は、位相信号θ1、θ2のそれぞれについて内挿誤差E1、E2を減算することにより、内挿誤差を補正した補正位相信号θC1、θC2を生成する。絶対位置検出部5は、補正位相信号θC1、θC2を用いて被測定物の絶対位置を検出する。次に、図1および図2を参照して、エンコーダ10による内挿誤差検出方法、補正方法、および、絶対位置検出方法について説明する。図2は、エンコーダ10の信号を示す図である。まず、誤差信号生成部2における処理について説明する。位相信号θ1の位相は、スケール100とセンサ111との間の相対変位9度に対して2πだけ変化する。一方、位相信号θ2の位相は、スケール100とセンサ112との間の相対変位10度に対して2πだけ変化する。このため、位相信号θ1を9/10倍することにより、ともに相対変位9度に対して2πの位相変位となる。したがって、これらの信号の差を取ることで、変位成分を除去した誤差信号Eが得られる。位相信号θ1、θ2は、図2a、bに示されるように、1周期内の値、すなわち位相0から2πまでの値しか取らない。このため、2πから0への折り返しが発生すると、位相信号θ1、θ2の変位成分の初期位相がずれる。そこで、図2cにおいてθA1、θA2で示されるように、位相信号θ1、θ2のそれぞれについて位相2πから0への折り返しをカウントし、2π×折り返し回数を位相信号θ1、θ2に加えて得られた位相信号θA1、θA2累積量を算出する。ここで、位相信号θ1、θ2に含まれる内挿誤差をそれぞれE1x、E2xとすると、位相信号θA1、θA2はそれぞれ以下の式1、2で表される。したがって、以下の式3に示されるように、位相信号θA1、θA2から誤差信号Eを求めることができる。ただし、以下の式中のxは、スケール100とセンサ111、112それぞれの相対変位角度である。θA1=2π/9xE1x...1θA2=2π/10xE2x...2E=θA1×9/10-θA2=E1x×9/10-E2x...3このように、誤差信号生成部2は、スケール100とセンサ部1とを所定の変位量例えば、90度だけ相対変位させた場合における2つの位相信号θ1、θ2の位相変化の累積量位相信号θA1、θA2を揃えて2つの累積位相信号を取得する。このとき誤差信号生成部2は、2つの位相信号θ1、θ2の周期に基づく係数例えば、9/10を2つの位相信号の一方例えば、位相信号θ1の位相変化の累積量例えば、20πに掛ける。これにより、2つの位相信号θ1、θ2の位相変化の累積量は互いに等しくなる。そして、式3で表されるように2つの累積位相信号例えば、θA1×9/10とθA2の差を求めることで、所定の変位量に相当する累積位相成分例えば、18πが除去された誤差信号Eを生成する。次に、内挿誤差検出部3における処理について説明する。内挿誤差検出部3は、誤差信号Eを位相信号θ1、θ2の両方の周期で平均化することにより、位相信号θ1、θ2のそれぞれに含まれる内挿誤差E1x、E2xを検出する。ここで、内挿誤差E1x、E2xの主因は、2相正弦波信号にオフセット誤差、振幅誤差、および、位相誤差が含まれていることである。これらの誤差に起因する内挿誤差成分は、トラックの1ピッチに対して1周期または2周期の誤差となる。したがって、内挿誤差E1x、E2xは、それぞれ、トラック101、102の周期と等しい周期関数とみなせるため、任意のxについて以下の式4、5が成立する。ただし、mは任意の整数である。E1x=E1x9m...4E2x=E2x10m...5また、内挿誤差E1x、E2xのそれぞれを位相信号θ1の周期、すなわち9度周期で平均化すると、式4、5を用いて、内挿誤差E1x、E2xはそれぞれ以下の式6、7のように表される。ただし、nは平均化するサンプル数である。ここで、式7は、10度周期の周期関数である内挿誤差E2xを9度周期で平均化することが、内挿誤差E2xを1度毎位相をずらしながら平均化することと等しいということを示している。上述のように、内挿誤差E2xは、1周期または2周期の誤差が主因である。このため、サンプル数nが十分に大きい場合、この値は以下の式8で表されるように0に収束する。式6、7、8より、内挿誤差E1x、E2xの混在する誤差信号Eについて、位相信号θ1の周期すなわち9度周期で平均化すると、内挿誤差E2xの成分が0に収束し、E1x×9/10の値が得られる。このため、この値を10/9倍することにより、内挿誤差E1xを算出することができる。同様に、誤差信号Eを位相信号θ2の周期すなわち10度周期で平均化すると、内挿誤差E1xの成分が0に収束するため、-E2xの値が得られる。このため、内挿誤差E2xを算出することができる。また、この平均化処理に関して、正確に9度周期でサンプルを取得することが難しい場合、必要な分解能に応じて位相を所定の領域に分けて平均化することが好ましい。例えば、1度毎の内挿誤差を算出する場合、まず9度の範囲を1度毎に領域0から領域8まで9つに分割する。そして、複数のサンプルを取得し、各サンプルの位相信号θ1の値から以下の式9を用いて、各サンプルが含まれる領域を求める。ただし、iは領域の添字である。そして、各サンプルを領域ごとに振り分け、領域ごとに平均化することにより、前述と同等の効果が得られる。i≦θ1×9/2π<i1...9内挿誤差E1x、E2xは、スケール100とセンサ111、112との相対的な位置関係に応じて変化し、理想位置からずれると内挿誤差も大きくなる。例えば、本実施例のようにロータリ型エンコーダにおいて径方向の位置ずれが発生すると、センサ111、112の検出位置におけるトラック101、102のピッチが変化する。それに伴い、センサ111、112から出力される2相正弦波信号の位相差も変化する。仮に、センサ111の検出位置におけるトラック101のピッチが9度から9φ度に変化すると、2相正弦波信号の位相差は90度から90φ/10度と変化する。このため、ピッチ変化に起因する内挿誤差eは、以下の式10で表される。ただし、atan2Y,Xは、4象限内における逆正接値、θはピッチ内の位相である。e=atan2sinθ-φ/20,cosθφ/20-θ=φ/10、cos2θ-φ/20...10したがって、トラック101の1ピッチ毎に2周期発生する内挿誤差eの振幅を求めることで、センサ111の検出位置におけるピッチが算出される。トラック101のピッチが算出されると、トラック101とセンサ111との間の相対位置を推定することができるため、センサ111の位置ずれが許容範囲内に収まっているか否かの判定が可能となる。なお本実施例では、誤差信号Eを2つの位相信号θ1、θ2の両方の周期で平均化することで内挿誤差E1x、E2xを検出しているが、これに限定されるものではない。十分な精度が得られる場合には、誤差信号Eを2つの位相信号の少なくとも一方の周期で平均化することにより、少なくとも一方の位相信号に含まれる内挿誤差を検出すればよい。次に、内挿誤差補正部4における処理について説明する。内挿誤差補正部4は、内挿誤差を用いて2つの位相信号θ1、θ2の少なくとも一方を補正することにより補正位相信号を生成する。本実施例において、内挿誤差補正部4は、内挿誤差検出部3で検出された内挿誤差E1x、E2xを位相信号θ1、θ2から減じることにより、補正位相信号θC1、θC2を生成する。ただし、補正位相信号θC1、θC2が0未満または2π以上になる場合、補正位相信号θC1、θC2が0≦θC1<2π、0≦θC2<2πを満たすように2πを加算または減算する。この補正処理により得られた位相信号を用いることで、内挿誤差の影響の少ない高精度な位置検出を行うことができる。次に、絶対位置検出部5における処理について説明する。絶対位置検出部5は、内挿誤差補正部4で補正した補正位相信号θC1、θC2を用いて、センサ111、112を基準としたスケール100被測定物の絶対位置を検出する。まず、補正位相信号θC1、θC2の位相差信号Vを求める。補正位相信号θC1、θC2は、位相信号θ1、θ2と同様に、0から2πまでの値しかとらない。そこで、補正位相信号の差θC1-θC2を算出し、θC1-θC2<0を満たす範囲において2πを加算することにより、位相差信号Vを求める。図2dに、位相差信号Vと変位量との関係を示す。本実施例では、スケール100とセンサ111、112が90度相対変位すると、1周期の位相差信号Vが発生する。このため、位相差信号Vは、90度の範囲内における被測定物の絶対位置を表すことになる。ただし、位相差信号Vは、補正位相信号θC1、θC2と比較して誤差が大きく、位相差量に対する変位分解能が低い。そこで、位相差信号Vの値から補正位相信号θC1が何周期目であるかを求め、1周期内での絶対位置を補正位相信号θC1により算出する。これにより、より高精度な絶対位置を検出することができる。補正位相信号θC1がT周期目であって絶対位置がPである場合、T、Pは、それぞれ以下の式11、12により求められる。ただし、ROUNDrはrに最も近い整数、Tは0以上の整数である。図2eに、周期Tと変位量との関係を示す。また図2fに、絶対位置Pと変位量との関係を示す。T=ROUNDV×10-θC1/2π...11P=T×9θC1/2π×9[deg.]...12以上の構成により、被測定物の絶対位置を求めることができる。なお、本実施例はロータリ型エンコーダについて説明しているが、これに限定されるものではなく、例えばリニア型エンコーダにも適用可能である。また、本実施例のエンコーダは、製品の検査を行うために内挿誤差を求めるエンコーダとしても適用可能である。この場合、内挿誤差補正部4および絶対位置検出部5を設ける必要はない。本実施例によれば、基準エンコーダを用いることなく内挿誤差を検出することができるため、エンコーダの製造コストの削減が可能である。また、基準エンコーダの取り付け誤差に起因する補正残差も発生しない。また、エンコーダを組み込んだ状態で補正値を再調整することができるため、エンコーダの高精度化が可能である。このため本実施例によれば、低コストで高精度なエンコーダを提供することができる。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。"