"半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、チップ領域に対応する開口部と、この開口部の周縁部から内部に伸び且つ前記周縁部からX軸方向、Y軸方向の外部に延びる複数のカンチレバー型プローブとを有する第1のプローブカードユニット、この第1のプローブカードユニットの開口部からX軸方向、Y軸方向のそれぞれにN個Nは正の整数のチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた位置に開口部を位置するように設けられた第2のプローブカードユニット、前記第1のプローブカードユニットと前記第2のプローブカードユニットとを、両ユニットの間で斜め対角方向に延びる部材によって支持する支持部材を備えたことを特徴とするプローブカード。半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、チップ領域に対応する開口部と、この開口部の周縁部から内部に伸び且つ前記周縁部からX軸方向、Y軸方向の外部に延びる複数のカンチレバー型プローブとを有する第1のプローブカードユニット、この第1のプローブカードユニットの開口部から斜め対角方向にM個Mは正の整数でのチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた位置に開口部を位置するように設けられた第2のプローブカードユニット、前記第1のプローブカードユニットと前記第2のプローブカードユニットとを、両ユニットの間で斜め対角方向に延びる部材によって支持する支持部材を備えたことを特徴とするプローブカード。前述のプローブカードでは、1つのチップ領域だけの空間を設けただけのため、各開口部に備えられたプローブは斜め隣の開口部のプローブと近くなることから、とくに半導体ウェハ上へのチップの高集積化に伴い、プローブの全長およびプローブの固定部分針元で物理的な干渉が生じる。また、特にプローブがカンチレバー型プローブの場合は、プローブ全体の形状と長さがオーバードライブでのスクラブ動作に影響する。また、電気的検査結果の信頼性を高めるためにプローブ全体の長さの均一化に配慮しなければならないという問題があった。また、複数のチップ領域を同時に対応するためには、プローブカード全体が大型化し、複数のチップ領域の各々に対応するプローブカードユニットをどのように支持するかという問題があった。本発明は、上記事情に鑑みて、これらの問題を解決するために成したものであって、半導体ウェハ上に高密度に集積されたチップの電気的特性を検査するプローブカードにおいて、均一形状のカンチレバー型プロ-ブを採用し、かつ、複数のチップのテストを同時に行う各開口部を完全に分離し、該各開口部に具備されたプローブが相互に物理的に、電気的に干渉することなく、できるだけ全体をコンパクトにしたプローブカードを提供するものである。前記の目的を達成するために、請求項1のプローブカードの発明は、半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、チップ領域に対応する開口部と、この開口部の周縁部から内部に伸び且つ前記周縁部からX軸方向、Y軸方向の外部に延びる複数のカンチレバー型プローブとを有する第1のプローブカードユニット、この第1のプローブカードユニットの開口部からX軸方向、Y軸方向のそれぞれにN個Nは正の整数のチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた位置に開口部を位置するように設けられた第2のプローブカードユニット、前記第1のプローブカードユニットと前記第2のプローブカードユニットとを、両ユニットの間で斜め対角方向に延びる部材によって支持する支持部材を備えたことを特徴とする。この構成を採用することにより、カンチレバー型プロ-ブの針形状と針全長を略同一にしているから、測定時のオーバードライブのスクラブ動作を均一に、かつ安定させることができるので、各開口部のみならず複数の開口部でのチップ領域に対する電気的測定結果の高信頼性に繋がる。さらに、プローブカードユニットを定位置に固定支持する支持部材を設けているので、複数の開口部でのチップ領域に対する電気的測定結果の高信頼性に繋がる。また、複数の開口部の内、X軸、Y軸のそれぞれ隣り合う開口部に関して、開口部の周縁部にある複数のカンチレバー型プロ-ブの針及び針元同士が重複又は接触したりするような物理的な干渉が無くなる。また、針及び針元同士の接近を極力回避できるため、電気的な信号、特に高周波信号の干渉妨害を回避することができる。請求項2のプローブカードの発明は、半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、チップ領域に対応する開口部と、この開口部の周縁部から内部に伸び且つ前記周縁部からX軸方向、Y軸方向の外部に延びる複数のカンチレバー型プローブとを有する第1のプローブカードユニット、この第1のプローブカードユニットの開口部から斜め対角方向にM個Mは正の整数でのチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた位置に開口部を位置するように設けられた第2のプローブカードユニット、前記第1のプローブカードユニットと前記第2のプローブカードユニットとを、両ユニットの間で斜め対角方向に延びる部材によって支持する支持部材を備えたことを特徴とする。この構成を採用することにより、カンチレバー型プロ-ブの針形状と針全長を略同一にしているから、測定時のオーバードライブのスクラブ動作を均一に、かつ安定させることができるので、各開口部のみならず複数の開口部でのチップ領域に対する電気的測定結果の高信頼性に繋がる。さらに、プローブカードユニットを定位置に固定支持する支持部材を設けているので、複数の開口部でのチップ領域に対する電気的測定結果の高信頼性に繋がる。また、複数の開口部の内、対角線上のそれぞれ隣り合う開口部に関して、開口部の周縁部にある複数のカンチレバー型プロ-ブの針及び針元同士が重複又は接触したりするような物理的な干渉が無くなる。また、針及び針元同士の接近を極力回避できるため、電気的な信号、特に高周波信号の干渉妨害を回避することができる。本発明による請求項1から2までの構成のプローブカードによれば、ウェハ上の多数のチップを同時に測定すること以下同測というが可能で、また、X軸若しくはY軸、又は斜めの対角軸方向に対して、チップ領域を測定するカンチレバー型プロ-ブが周縁部に配置された複数の開口部をN個数又はM個数のチップ領域を飛ばして配設できるので、カンチレバー型プロ-ブ同士の物理的干渉が少なく、また、電気的信号の授受においても干渉が無い。また、針長を最短にし、かつ、略同寸のカンチレバー型プロ-ブを採用できるので、ウェハの電気的特性の測定において、オーバードライブのスクラブ作用が安定するので、検査精度の信頼性を高めることができる。また、多数のチップ領域の同測検査が可能であるので、ウェハのチップの高集積化に対応したウェハの検査処理能力を向上することができる。また、略同寸のカンチレバー型プロ-ブが採用できるので、プローブカードの製造においても、製作が容易であり、製品品質が維持しやすく、かつ、信頼性を高めることができる。以下、本発明の実施形態を図面に基いて説明する。図1は、本発明の実施の形態であるプローブカードであって、X軸及びY軸方向に9チップ飛ばして、チップ4個を同測可能にしたプローブカードの模式的平面図である。図2は、本発明の実施の形態であるプローブカードであって、斜め対角方向に3チップ飛ばして、チップ4個を同測可能にしたプローブカードの模式的平面図である。図3は、本発明の実施の形態であるプローブカードにおいて、X軸方向の隣り合うカンチレバー型プロ-ブとチップ領域との模式的配置の説明図であって、aは平面図、bはaのA-A矢視の側面図である。図4は、本発明の実施の形態であるプローブカードにおいて、aはX軸、Y軸方向にある4個のプローブカードユニットの支持部材の模式的平面図、bはaの側面図である。また、cは斜め対角方向にある2個のプローブカードユニットの支持部材の模式的平面図、dはcの側面図である。図1を用いて、本発明の実施の形態である4個のチップ10を同測同時測定可能にしたプローブカード1について説明すると、プローブカード1はX軸、Y軸方向にN個チップ分本図では9チップ10X、10Y分飛ばした4個のプローブカードユニット1-1,1-2,1-3,1-4が四角形の頂点に位置するように基板9上に配設した構成をとる。各プローブカードユニット1-1,1-2,1-3,1-4は被測定チップ10の電極図示しないに接触して電気的測定を行う複数のカンチレバー型プロ-ブ2を開口部3の周縁部から被測定チップ10の電極に求心的に配設し、該カンチレバー型プロ-ブ2は針元部5で固定されると共に、中間支持部4で支持される構造を有する。図3を用いて、隣り合うX軸方向のプローブカードユニット1-1,1-2の部分的な平面配置とA-A矢視の側面図を説明すると、カンチレバー型プロ-ブ2は先端部のみが約97度以上の角度に曲げられ、他は直線状であって、基板9から約7度の傾斜角αをもって針元部5を固定点として中間支持部4で支持される。そして、平面的に見た場合、複数のカンチレバー型プロ-ブ2は先端部から中間支持部4までは平行に並んで配置され、中間支持部4から針元部5までは屈曲して、それぞれの針元の間隔を拡大するようにし、プローブと基板ターミナルとの配線をし易くしている。また、カンチレバー型プロ-ブ2の全長L先端から針元までのX軸方向の長さは傾斜角αと被測定チップ10までの深さdによって決まり、L=d/tanαとなる。したがって、複数の測定するチップ領域10,10XをX軸方向に配列する場合、2つの被測定チップ10の間にチップ領域10XがN個正の整数在るとすると、カンチレバー型プロ-ブ2群中の最大長さをLとし、チップ領域10XのX軸方向の長さをCとすれば、N≧2L/Cで表される。また、Y軸方向についても、X軸方向と同様に、N≧2L/Cで表される。具体的に数値を入れて計算すると、例えばC=6.3mm、d=8.0mm、α=7°とすると、L=8/tan7=65mmとなる。このカンチレバー型プロ-ブ2の長さの最大値が65mmとなる場合には、N≧2L/C=2×65/6.3=20.6となり、被測定チップ10からX軸方向に21のチップ領域10Xを飛ばして、即ち跨いで、次の被測定チップ10が配置されることになる。この飛ばしチップ領域10X数を減少するために、カンチレバー型プロ-ブ2の全長を縮小化することが求められ、カンチレバー型プロ-ブ2の中間支持部4から針元部5までを基板9側に屈曲させることでカンチレバー型プロ-ブ2の全長の短縮が行われ、L=26mmのものが採用されている。この場合には、N≧2L/C=2×26/6.3=8.25となり、Nは9となって、被測定チップ10間のチップ領域の数は9となる。よって、被測定チップ領域10からX軸方向に9個のチップ領域10Xを飛ばして、次の被測定チップ領域10を配設することになる。また、Y軸方向についても同様で、被測定チップ領域10からY軸方向に9個のチップ領域10Yを飛ばして、次の被測定チップ領域10を配設することになる。したがって、図1のプローブカード1は、X軸、Y軸方向に9チップ10X、10Y分飛ばした4個のプローブカードユニット1-1,1-2,1-3,1-4が四角形の頂点に位置するように基板9上に配設した状態を表している。また、図2は被測定チップ領域10を斜めの対角方向に配列したプローブカード1であって、プローブカード1は斜め対角方向にM個チップ分本図では3チップ10XY分飛ばした4個のプローブカードユニット1-1,1-2,1-3,1-4が対角線上に位置するように基板9上に配設した構成をとる。各プローブカードユニット1-1,1-2,1-3,1-4は被測定チップ10の電極図示しないに接触して電気的測定を行う複数のカンチレバー型プロ-ブ2を開口部3の周縁部から被測定チップ10の電極に求心的に配設し、該カンチレバー型プロ-ブ2は針元部5で固定されると共に、中間支持部4で支持される構造を有する。前述の斜めに隣り合うプローブカードユニット1-1,1-2は対角方向に接する配置となる。各プローブカードユニットの平面的に見たカンチレバー型プロ-ブ2の全長Lによって関係する領域は、概略的に被測定チップ10の周縁部から略半径Lの領域として表すことができる。したがって、複数のチップ領域10XYを被測定チップ10間において斜め対角方向に配列する場合、模式的には対角線長さが略2Lの四角形の対角線上に、一辺Cのチップ領域10XYが幾つ配置できるかということになる。よって、図2に示すように、四角形が正方形として、対角線が2Lであれば一辺の長さは√2Lとなる。複数の測定するチップ領域10,10XYを対角方向に配列する場合、2つの被測定チップ10の間にチップ領域10XYがM個正の整数在るとすると、カンチレバー型プロ-ブ2群中の最大長さをLとし、チップ領域10XYのX軸方向の長さをCとすれば、M≧√2L/Cで表される。具体的に数値を入れて計算すると、カンチレバー型プロ-ブ2の長さの最大値が65mmとなる場合には、M≧√2L/C=1.4×65/6.3=14.4となり、被測定チップ10から対角方向に15のチップ領域10XYを飛ばして、即ち跨いで、次の被測定チップ10が配置されることになる。また。実際に採用されているカンチレバー型プロ-ブ2の全長L=26mmのものを当てはめると、M≧√2L/C=1.4×26/6.3=5.7となり、Mは6となって、被測定チップ10間のチップ領域の数は6となる。よって、被測定チップ領域10から対角方向に6個のチップ領域10XYを飛ばして、次の被測定チップ領域10を配設することになる。図2の場合には、カンチレバー型プロ-ブ2の針元部5の配設を、それぞれ隣り合うプローブカードユニットに対してカンチレバー型プロ-ブ2の針元部5が物理的に干渉しないよう改善することで、Mが3の飛ばしチップ領域10XYを達成している。また、図4は、本発明のプローブカード1のおいて、各プローブカードユニットを一体的に定位置に固定支持する支持部材11であって、図4aはX軸、Y軸方向にある4個のプローブカードユニット1-1,1-2,1-3,1-4の支持部材11の模式的平面図であり、図4cは斜め対角方向にある2個のプローブカードユニット1-1,1-2の支持部材11の模式的平面図である。前記支持部材11は、複数枚の金属製の薄板12を積層したもので、この積層板は四方に延びた形状又は斜め対角方向に延びた形状を呈する。また、支持部材11の四方に延びた又は斜め対角方向に延びた各先端部13は、プローブカードユニットを支持するよう構成され、プローブカードユニットの開口部3に対応する開口部15を有し、さらに、支持されるプローブカードユニットの変形を防止するために補強板14が設けられる。本発明の実施形態のプローブカード1の使用を概略説明すると、図1のプローブカード1においては、半導体ウェハ上にある複数のチップ領域のうち、4箇のプローブカードユニット1-1,1-2,1-3,1-4に対向する被測定チップ10に対して、各プローブカードユニットの開口部3から延在する複数のカンチレバー型プロ-ブ2の先端部が対向するチップ領域の電極部にスクラブ動作を伴って接触して電気的特性の検査を行う。検査終了後、プローブカード1とウェハは相対的にX軸又はY軸方向にチップ一個分移動し、再び4個のチップ領域の電気的測定を行う。こうしてN個の飛ばしチップ領域分図1では9チップ領域分を順次移動して測定した後、前記N個の飛ばしチップ領域分を一度にX軸又はY軸方向に移動することにより、再度測定を繰り返して、最終的にウェハ上の全部のチップを走査して電気的特性の検査を終了することになる。図2のプローブカード1の場合には、前述の図1のプローブカード1の場合と違った所だけを説明すると、半導体ウェハ上にある複数のチップ領域のうち、4箇のプローブカードユニット1-1,1-2,1-3,1-4に対向する被測定チップ10に対して電気的特性の検査を行った後、プローブカード1とウェハは相対的に対角方向にチップ一個分移動し、再び4個のチップ領域の電気的測定を行う。こうしてN個の飛ばしチップ領域分図2では3チップ領域分を順次移動して測定した後、前記N個の飛ばしチップ領域分を一度に対角軸方向又は対角軸に直交する方向に移動することにより、再度測定を繰り返して、最終的にウェハ上の全部のチップを走査して電気的特性の検査を終了することになる。"