光源からの赤外光の光路上に配置され試料ガスが流通される試料セルと、前記試料セルを透過した前記赤外光の光路上に配置される赤外線検出器と、を備え、前記赤外線検出器は、被検出成分ガスの赤外線吸収波長と少なくとも一部が重なる赤外線吸収波長を有するガスが封入され、光路に沿って前記試料セル側から順に配置される第1の受光室および第2の受光室と、前記第1の受光室と前記第2の受光室とにおける赤外光の吸収量の差を検出するセンサと、前記第1の受光室および前記第2の受光室に封入されているガスの赤外線吸収帯の全部をそれぞれ反射し、または前記赤外線吸収帯のうち予め定めた異なる一部をそれぞれ反射する第1の光学フィルタおよび第2の光学フィルタと、を備え、前記第1の光学フィルタおよび第2の光学フィルタのそれぞれは、前記第1の受光室よりも後段側の位置に配置されていることを特徴とする赤外線ガス分析計。前記第1の受光室と前記第2の受光室のそれぞれは単一の空間からなり、前記第1の光学フィルタおよび前記第2の光学フィルタは、前記第2の受光室の後段、または前記第1の受光室と前記第2の受光室との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の赤外線ガス分析計。前記第1の光学フィルタは単一の空間からなり、前記第2の受光室は、ガスが流通できるように接続され、かつ、前記光路上に順に配置される第3の受光室と第4の受光室とからなり、前記第1の光学フィルタおよび前記第2の光学フィルタは、前記第1の受光室と前記第3の受光室との間および前記第3の受光室と前記第4の受光室との間に配置され、前記第3の受光室と前記第4の受光室との間にそれぞれ配置され、または前記第3の受光室と前記第4の受光室との間、および前記第4受光室の後段に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の赤外線ガス分析計。前記第1の光学フィルタおよび前記第2の光学フィルタは、前記光路と交差する方向に移動するように構成し、挿入量を調整するようになっていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちの何れか1項に記載の赤外線ガス分析計。特許文献3に記載の方法は、試料ガス中に2成分以上の干渉ガスがある場合に、その干渉成分の影響を低減する方法としては有効である。しかし、前後の受光室において異なる濃度のガスを封入するので、前後の受光室のガスの膨張差によるマスフローを検出する方式の検出器には適用できない。そこで、本発明は、上記の課題に着目してなされたものであり、フローセンサ方式の検出器に適用できる上に、試料ガスが低濃度の場合にも高精度の測定が可能な赤外線ガス分析計を提供することを目的とする。上記の目的を達成するために、本発明は、以下のような構成からなる。本発明は、光源からの赤外光の光路上に配置され試料ガスが流通される試料セルと、前記試料セルを透過した前記赤外光の光路上に配置される赤外線検出器と、を備え、前記赤外線検出器は、被検出成分ガスの赤外線吸収波長と少なくとも一部が重なる赤外線吸収波長を有するガスが封入され、光路に沿って前記試料セル側から順に配置される第1の受光室および第2の受光室と、前記第1の受光室と前記第2の受光室とにおける赤外光の吸収量の差を検出するセンサと、前記第1の受光室および前記第2の受光室に封入されているガスの赤外線吸収帯の全部をそれぞれ反射し、または前記赤外線吸収帯のうち予め定めた異なる一部をそれぞれ反射する第1の光学フィルタおよび第2の光学フィルタと、を備え、前記第1の光学フィルタおよび第2の光学フィルタのそれぞれは、前記第1の受光室よりも後段側の位置に配置されている。本発明では、前記第1の受光室と前記第2の受光室のそれぞれは単一の空間からなり、前記第1の光学フィルタおよび前記第2の光学フィルタは、前記第2の受光室の後段、または前記第1の受光室と前記第2の受光室との間に配置されているまた、本発明では、前記第1の光学フィルタは単一の空間からなり、前記第2の受光室は、ガスが流通できるように接続され、かつ、前記光路上に順に配置される第3の受光室と第4の受光室とからなり、前記第1の光学フィルタおよび前記第2の光学フィルタは、前記第1の受光室と前記第3の受光室との間および前記第3の受光室と前記第4の受光室との間に配置され、前記第3の受光室と前記第4の受光室との間にそれぞれ配置され、または前記第3の受光室と前記第4の受光室との間、および前記第4受光室の後段に配置されている。そして、本発明では、前記第1の光学フィルタおよび前記第2の光学フィルタは、前記光路と交差する方向に移動するように構成し、挿入量を調整するようになっている。このような構成の本発明では、第1の受光室と第2の受光室において、封入されているガス中の干渉ガス成分の赤外線の吸収量を等しくすることが可能となる。このため、本発明によれば、第1の受光室と第2の受光室内における干渉ガス成分による赤外線の吸収に基づくガスの膨張量差をなくすことができ、干渉ガス成分による測定誤差の影響を低減することが可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。第1実施形態図1は、本発明の赤外線ガス分析計の第1実施形態の正面の概略断面図である。この第1実施形態に係る赤外線ガス分析計は、図1に示すように、赤外線光源1と、光チョッパ2と、試料セル3と、赤外線検出器4とを備え、試料ガスが試料セル3内を流通するようになっている。赤外線光源1は、赤外線を放射する。光チョッパ2は、赤外線光源1と試料セル3との間に配置されている。また、光チョッパ2は、モータ5により回転し、赤外線光源1からの赤外光を断続して試料セル3に導くようになっている。試料セル3は、赤外線光源1からの赤外光の光路6上に配置され、その内部を試料ガスが流通するようになっている。赤外線検出器4は、試料セル3を透過した赤外光の光路6上に配置されている。赤外線検出器4は、図1に示すように、受光室41と、受光室42と、圧力センサ43と、光学フィルタ44と、光学フィルタ45と、を備えている。受光室41と受光室42とは、光路6に沿って試料セル3側から順に配置されている。そして、受光室41、42のそれぞれは、単一の空間を形成している。また、受光室41、42のそれぞれには、被検出成分ガスの他に、試料セル3内に存在する試料ガス中の被検出成分ガスの干渉成分の影響を排除するために、その被検出成分の赤外線吸収波長と少なくとも一部が重なる赤外線吸収波長を有するガスが封入充填されている。ここで、例えば、赤外線検出器4がNOを測定する場合には、受光室41、42のそれぞれには、NOと、そのNOの赤外線吸収波長と一部が重なる赤外線吸収波長を有するガスが封入されている。圧力センサ43は、受光室41と受光室42との間に配置され、受光室41と受光室42とにおける赤外光の吸収量の差に応じた圧力差を検出し、その検出信号S2を出力するようになっている。圧力センサ43は、コンデンサマイクやフローセンサなどである。光学フィルタ44、45は、赤外線に対して異なる透過特性を有し、受光室41、42に封入されているガスの赤外線吸収帯のうち、予め定めた異なる一部の吸収帯をそれぞれ反射するようになっている。また、光学フィルタ44、45のそれぞれは、光路6と交差する方向に移動できるように構成し、受光室41、42間における挿入量を調整できるようになっている。次に、図1の光学フィルタ44、45の具体的な特性について、図2を参照して説明する。図2は、赤外線の波長が4~7μmの範囲におけるガスの赤外線の吸光度の一例を示す。このような赤外線の吸光度の下で、赤外線検出器4が試料ガス中のNOを測定する場合には、CO2、H2Oが干渉ガス干渉成分となり、その測定の誤差となる。すなわち、赤外線検出器4でNOを測定する場合には、NOの吸収波長帯がCO2やH2Oの吸収波長帯と重なる部分があるので、試料ガス中のCO2やH2Oに対して若干の感度を有し、NOの濃度測定の誤差となる。そこで、光学フィルタ44は、図2に示すように、NOの測定波長帯検出波長帯である5μm付近の赤外線赤外光を透過し、H2Oの吸収波長帯である5.5~7μm付近の赤外線を透過しないフィルタとする。また、光学フィルタ45は、図2に示すように、NOの測定波長帯検出波長帯である5μm付近の赤外線を透過し、CO2の吸収波長帯である4.3μm付近の赤外線を透過しないフィルタとする。なお、赤外線検出器4でNOを測定する場合には、H2Oの吸収波長帯をカットするフィルタ44の代わりに、製作費用が廉価なサファイヤフィルタを使用しても良い。次に、第1実施形態の動作例について、図1および図2を参照して説明する。赤外線光源1から放射される赤外光は、光チョッパ2により断続光となり試料ガスが流通する試料セル3内に入射する。試料セル3内に入射した赤外光は測定対象である試料ガスを透過し、赤外線検出器4に入射する。赤外線検出器4は、NOを測定する場合には、例えば、図2に示すような特性を有する光学フィルタ44、45を備えている。図2によれば、光学フィルタ44は、NOの測定波長帯付近の赤外線を透過し、H2Oの吸収波長帯付近の赤外線を透過しない。一方、光学フィルタ45は、NOの測定波長帯付近の赤外線を透過し、CO2の吸収波長帯付近の赤外線を透過しない。そして、光学フィルタ44、45は、光路6と交差する方向に移動でき、かつ、受光室41、42間における挿入量を調整できるようになっている。また、受光室41、42のそれぞれには、被検出成分ガスNOの他に、被検出成分ガスの干渉成分の影響を排除するために、その被検出成分ガスの赤外線吸収波長と少なくとも一部が重なる赤外線吸収波長を有するガスが封入されている。このため、光学フィルタ44、45の各挿入量を調整すれば、受光室41、42に封入される各ガスが吸収する、H2Oの吸収波長帯付近の赤外線とCO2の吸収波長帯付近の赤外線との各吸収量を調整することができる。したがって、受光室41と受光室42とは、光学フィルタ44、45の挿入量を調整することにより、干渉ガス成分の赤外線の吸収量を等しくすることができる。以上のように、第1実施形態の赤外線検出器4では、上記のように、受光室41、42と、光学フィルタ44、45と、を備えるようにした。このため、受光室41、42のそれぞれは、光学フィルタ44、45の各挿入量を調整することで、干渉ガス成分の赤外線の吸収量を等しくすることができる。したがって、第1実施形態によれば、受光室41、42内における干渉ガス成分による赤外線の吸収に基づくガスの膨張量差をなくすことができ、干渉ガス成分による測定誤差の影響を低減することができる。第1実施形態の変形例この変形例は、図1に示す第1実施形態の構成を基本にし、図1の赤外線検出器4を図3の赤外線検出器4aに置き換えたものである。赤外線検出器4aは、赤外線検出器4と同様に、受光室41、42と、圧力センサ43と、光学フィルタ44、45と、を備えるが、光学フィルタ44、45を受光室42の後段側に配置した点が異なる。光学フィルタ44、45のそれぞれは、受光室42の後段側において光路6と交差する方向に移動でき、かつ、受光室42の後段における挿入量を個別に調整できるようになっている。この変形例によれば、第1実施形態の場合と同様に、光学フィルタ44、45の各挿入量を調整すれば、受光室41、42に封入される各ガスが吸収する、H2Oの吸収波長帯付近の赤外線とCO2の吸収波長帯付近の赤外線との各吸収量を調整することができる。したがって、受光室41と受光室42とは、光学フィルタ44、45の挿入量を調整することにより、干渉ガス成分の赤外線の吸収量を等しくすることができる。なお、この変形例の場合には、図3の光学フィルタ44、45に代えて、光沢研磨されたアルミ板などの光反射板を使用するようにしても良い。このように光反射板に代えた場合には、全ての赤外線波長を反射することになり、検出波長帯の赤外線、および干渉成分の赤外線を反射することになる。第2実施形態図4は、本発明の赤外線ガス分析計の第2実施形態の正面の概略断面図である。この第2実施形態に係る赤外線ガス分析計は、図4に示すように、赤外線光源1と、光チョッパ2と、試料セル3と、赤外線検出器4bとを備え、試料ガスが試料セル3内を流通するようになっている。すなわち、この第2実施形態は、図1に示す第1実施形態の構成を基本にし、図1の赤外線検出器4を図4の赤外線検出器4bに置き換えたものである。このため、以下の説明では、同一の構成要素には同一符号を付し、その構成が異なる点について説明する。赤外線検出器4bは、図4に示すように、受光室41と、ガスが流通できるように接続された受光室42aおよび受光室42bと、圧力センサ43と、2つの光学フィルタ44、45と、を備える。圧力センサ43は、受光室41と受光室42a、42bとの間に配置され、受光室41と受光室42a、42bとにおける赤外光の吸収量の差に応じた圧力差を検出し、その検出信号S2を出力するようになっている。光学フィルタ44は、受光室41と受光室42aとの間に配置されている。また、光学フィルタ44は、光路6と交差する方向に移動できるように構成し、受光室41、42a間における挿入量を調整できるようになっている。光学フィルタ45は、受光室42aと受光室42bとの間に配置されている。また、光学フィルタ45は、光路6と交差する方向に移動できるように構成し、受光室42a、42b間における挿入量を調整できるようになっている。次に、第2実施形態の動作例について、図4を参照して説明する。赤外線光源1から放射される赤外光は、光チョッパ2により断続光となり試料ガスが流通する試料セル3内に入射する。試料セル3内に入射した赤外光は測定対象である試料ガスを透過し、赤外線検出器4bに入射する。赤外線検出器4bは、NOを測定する場合には、例えば、図2に示すような特性を有する光学フィルタ44、45を備えている。図2によれば、光学フィルタ44は、NOの測定波長帯付近の赤外線を透過し、H2Oの吸収波長帯付近の赤外線を透過しない。一方、光学フィルタ45は、NOの測定波長帯付近の赤外線を透過し、CO2の吸収波長帯付近の赤外線を透過しない。光学フィルタ44は、光路6と交差する方向に移動でき、かつ、受光室41、42a間における挿入量を調整できるようになっている。また、光学フィルタ45は、光路6と交差する方向に移動でき、かつ、受光室42a、42b間における挿入量を調整できるようになっている。さらに、受光室41、42a、42bのそれぞれには、被検出成分ガスNOの他に、被検出成分ガスの干渉成分の影響を排除するために、その被検出成分ガスの赤外線吸収波長と少なくとも一部が重なる赤外線吸収波長を有するガスが封入されている。このため、光学フィルタ44、45の各挿入量を調整すれば、受光室41、42a、42bに封入される各ガスが吸収する、H2Oの吸収波長帯付近の赤外線とCO2の吸収波長帯付近の赤外線との各吸収量を調整することができる。したがって、受光室41と受光室42a、42bとは、光学フィルタ44、45の挿入量を調整することにより、干渉ガス成分の赤外線の吸収量を等しくすることができる。以上のように、第1実施形態の赤外線検出器4では、上記のように、受光室41、42a、42bと、光学フィルタ44、45と、を備えるようにした。このため、受光室41と受光室42a、42bとは、光学フィルタ44、45の挿入量を別個に調整することで、干渉ガス成分の赤外線の吸収量を等しくすることができる。したがって、第2実施形態によれば、受光室41内と受光室42a、42b内における干渉ガス成分による赤外線の吸収に基づくガスの膨張量差をなくすことができ、干渉ガス成分による測定誤差の影響を低減することができる。第2実施形態の変形例1第1変形例この第1変形例は、図4に示す第2実施形態の構成を基本にし、図4の赤外線検出器4bを図5Aの赤外線検出器4cに置き換えたものである。赤外線検出器4cは、赤外線検出器4bと同様に、受光室41と、受光室42a、42bと、圧力センサ43と、光学フィルタ44、45と、を備えるが、光学フィルタ44、45を受光室42aと受光室42bの間に配置した点が異なる。光学フィルタ44、45のそれぞれは、光路6と交差する方向に移動でき、かつ、受光室42aと受光室42bとの間における挿入量を個別に調整できるようになっている。この第1変形例によれば、第2実施形態の場合と同様に、光学フィルタ44、45の各挿入量を調整すれば、受光室41、42a、42bに封入される各ガスが吸収する、H2Oの吸収波長帯付近の赤外線とCO2の吸収波長帯付近の赤外線との各吸収量を調整することができる。したがって、受光室41と受光室42a、42bとは、光学フィルタ44、45の挿入量を調整することにより、干渉ガス成分の赤外線の吸収量を等しくすることができる。2第2変形例この第2変形例は、図4に示す第2実施形態の構成を基本にし、図4の赤外線検出器4bを図5Bの赤外線検出器4dに置き換えたものである。赤外線検出器4dは、赤外線検出器4bと同様に、受光室41と、受光室42a、42bと、圧力センサ43と、光学フィルタ44、45と、を備える。しかし、光学フィルタ45を受光室42aと受光室42bとの間に配置し、光学フィルタ44を受光室42bの後段側に配置した点が異なる。光学フィルタ45は、光路6と交差する方向に移動でき、かつ、受光室42aと受光室42bとの間における挿入量を調整できるようになっている。また、光学フィルタ44は、受光室42bの後段側において光路6と交差する方向に移動でき、かつ、受光室42bの後段における挿入量を調整できるようになっている。この第2変形例によれば、第2実施形態の場合と同様に、光学フィルタ44、45の各挿入量を調整すれば、受光室41、42a、42bに封入される各ガスが吸収する、H2Oの吸収波長帯付近の赤外線とCO2の吸収波長帯付近の赤外線との各吸収量を調整することができる。したがって、受光室41と受光室42a、42bとは、光学フィルタ44、45の挿入量を調整することにより、干渉ガス成分の赤外線の吸収量を等しくすることができる。