半導体ウェハーを乗せるヒーターと、CVD処理用マスクを支持するアダプターリングとを有するCVD装置と、前記ヒーターの基準位置である第1の位置が第1の画像マーカーで示されたヒーター部と、前記CVD処理用マスクが配置される第2の位置が第2の画像マーカーで示されたCVD処理用マスク部と、前記第1の位置に配置された前記第1の画像マーカーおよび前記第2の位置に配置された前記第2の画像マーカーを個別に撮影するCCDカメラと、前記第1の位置を記憶し、前記第1の位置および前記第2の位置のずれを算出する画像ティーチングユニットと、前記ずれが所定の基準から外れている場合に、前記アダプターリングの位置を、前記ずれを解消する方向に調整する調整部とを具備するティーチングシステム。請求項1に記載のティーチングシステムにおいて、前記ヒーターに対して固定されたベース部と、をさらに具備し、前記CVD処理用マスク部は、前記第2の画像マーカーが設けられ、かつ、前記アダプターリングの所定位置に着脱可能なアダプターリング調整治具と前記調整部は、前記アダプターリングを支持するアダプターリング調整ブロックと、前記ベース部および前記アダプターリング調整ブロックの間において、接続および位置関係の調整を行う調整ネジと、を具備するティーチングシステム。請求項2に記載のティーチングシステムにおいて、前記ヒーター部は、前記ヒーターと、前記第1の画像マーカーが設けられ、かつ、前記ヒーターの所定位置に着脱可能な基準治具とをさらに具備するティーチングシステム。請求項2に記載のティーチングシステムにおいて、前記ヒーター部は、前記第1の画像マーカーが設けられた前記ヒーターを具備するティーチングシステム。請求項1~4のいずれかに記載のティーチングシステムにおいて、前記画像ティーチングユニットは、前記CCDカメラが撮影する画像データを入力する入力部と、前記画像データを記憶する記憶部と、前記画像データを処理して前記ずれを算出する演算部と、前記ずれを表示する出力部とを具備するティーチングシステム。CVD装置のヒーターにおける基準点である第1の位置を、第1の画像マーカーで示すステップと、前記第1の位置に配置された前記第1の画像マーカーをCCDカメラで撮影するステップと、前記第1の位置を記憶するステップと、前記CVD装置のアダプターリングに接続されてCVD処理用マスクが配置される第2の位置を、第2の画像マーカーで示すステップと、前記第2の位置に配置された前記第2の画像マーカーを前記CCDカメラで撮影するステップと、前記第1の位置および前記第2の位置のずれを算出するステップと、前記ずれが所定の基準から外れている場合に、前記アダプターリングの位置を、前記ずれを解消する方向に調整するステップとを具備するティーチング方法。請求項6に記載のティーチング方法において、前記第1の画像マーカーを撮影するステップは、前記CVD装置を前記撮影の前に真空状態にするステップと、前記CVD装置を前記撮影の後に大気状態に戻すステップとを具備し、前記第2の位置を示すステップは、前記アダプターリングに、前記第2の画像マーカーが設けられたアダプターリング調整治具を嵌合するステップを具備し、前記ずれが前記所定の基準を満たすまで、前記第2の画像マーカーを撮影するステップ、前記ずれを算出するステップおよび調整するステップを繰り返すステップとをさらに具備するティーチング方法。請求項7に記載のティーチング方法において、前記第1の位置を示すステップは、前記第1の画像マーカーを設けた基準治具を前記ヒーターに嵌合するステップを具備し、前記第2の位置を示すステップの前に、前記基準治具を前記ヒーターから取り除くステップをさらに具備するティーチング方法。請求項7に記載のティーチング方法において、前記第1の位置を示すステップは、前記ヒーターに前記第1の画像マーカーを設けるステップを具備するティーチング方法。シャドウリング18を用いて半導体ウェハー50の最外周部をマスクするにあたって、シャドウリング18の中心および半導体ウェハー50の中心を一致させるティーチングを行う必要がある。このティーチングは、当然ながら、精度良く、かつ、効率的に実施することが好ましい。しかし、上記に説明した従来技術によるティーチング方法では、次のような問題が発生してしまう。すなわち、半導体ウェハー50の搬送位置を、ヒーター11の中心に合うようにティーチングする過程で、バックサイドプレッシャーエラーなどのエラーや、ヒーターの変形などが発生する場合がある。従来技術によるティーチング方法でも、半導体ウェハーの搬送位置におけるズレは確かに発見出来る。しかし、位置を調整して、プロセスチャンバーを真空状態にして、位置のずれを確認して、プロセスチャンバーを大気状態に戻して、また位置を調整する、という繰り返しは、長い時間を必要とする上、気圧の変化を伴う作業は効率が悪い。さらに、顕微鏡を用いた作業者の目視による検査は、誤差が比較的大きい。以下に、発明を実施するための形態で使用される番号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための形態との対応関係を明らかにするために付加されたものである。ただし、それらの番号を、特許請求の範囲に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。本発明によるティーチングシステムは、CVD装置10と、ヒーター部11、Aと、CVD処理用マスク部17、Bと、CCDカメラ31と、画像ティーチングユニット40と、調整部13、14とを具備する。ここで、CVD装置10は、半導体ウェハー50を乗せるヒーター11と、CVD処理用マスク18を支持するアダプターリング15とを有する。ヒーター部11、Aは、ヒーター11における基準点である第1の位置が第1の画像マーカーAで示されている。CVD処理用マスク部17、Bは、CVD処理用マスク18が配置される第2の位置が第2の画像マーカーBで示されている。CCDカメラ31は、第1の位置に配置された第1の画像マーカーAおよび第2の位置に配置された第2の画像マーカーBを個別に撮影する。画像ティーチングユニット40は、第1の位置を記憶し、第1の位置および第2の位置のずれを算出する。調整部13、14は、ずれが所定の基準から外れている場合に、アダプターリング15の位置を、ずれを解消する方向に調整する。本発明によるティーチング方法は、CVD装置10のヒーター11における基準点である第1の位置を、第1の画像マーカーAで示すステップS1、S1’と、第1の位置に配置された第1の画像マーカーAをCCDカメラ31で撮影するステップS2~S4と、第1の位置を記憶するステップS3と、CVD装置10のアダプターリング15に接続されてCVD処理用マスク18が配置される第2の位置を、第2の画像マーカーBで示すステップS6と、第2の位置に配置された第2の画像マーカーBをCCDカメラ31で撮影するステップS7と、第1の位置および第2の位置のずれを算出するステップS8と、ずれが所定の基準から外れている場合に、アダプターリング15の位置を、ずれを解消する方向に調整するステップS9、S10とを具備する。本発明のティーチングシステムおよびティーチング方法では、顕微鏡の代わりにCCDカメラ31を用い、ヒーター11の基準点である第1の画像マーカーAを用い、シャドウリング18の中心位置の代わりに相当するアダプターリング調整治具17に設けられた第2の画像マーカーBを用いる。これら2つの画像マーカーAおよびBをCCDカメラ31にて測定し、アダプターリング調整治具17の位置を調整することで、従来技術の課題が解消される。添付図面を参照して、本発明によるティーチングシステムおよびティーチング方法を実施するための形態を以下に説明する。第1の実施形態図5は、本発明の第1の実施形態によるティーチングシステムの、第1の状態における構成を概略的に示す全体図である。図5のティーチングシステムは、大きく分けて、CVD装置10と、CCDカメラ部30と、画像ティーチングユニット40とを具備している。CCDカメラ部30は、CCDカメラ31と、カメラスタンド32とを具備している。画像ティーチングユニット40は、出力部としての画像表示部41および数値表示部42を具備している。画像ティーチングユニット40は、さらに、図示しない入力部、演算部および記憶部などをも具備しているものとする。図6は、本発明の第1の実施形態によるCVD装置10の、第1の状態における構成を部分的に示す平面図である。図6のCVD装置10は、ベース部としてのポンピングプレート12と、3つのアダプターリング調整ブロック13と、3つの調整ネジ14と、アダプターリング15とを具備している。CVD装置10は、さらに、図示しないヒーター11、フェイスプレート19およびプロセスチャンバー22などをも具備しているものとする。アダプターリング15は、3つの凸部151を具備している。ヒーター11は、半導体ウェハー50を上下に動かすための4つのリフトピンと、これら4つのリフトピンが上下に動くための4つのリフトピン用穴112とを具備している。図6に示す第1の状態では、ヒーター11の上に基準治具16が設置されている。基準治具16は、これら4つのリフトピン用穴112にそれぞれ差込可能な4つの凸部161を具備している。基準治具16の中心部分には、第1の画像マーカーAが設けられている。第1の画像マーカーAは、CCDカメラ31で光学的に撮影可能であれば、その素材や形状に制限は特に無い。なお、これらの構成要素のそれぞれにおける総数は、あくまでも一例であって、本発明を限定するものではない。ただし、アダプターリング調整ブロック13、アダプターリング15の凸部151およびリフトピン用穴112の総数については、それぞれ3つ以上であることが好ましい。また、調整ネジ14の総数はアダプターリング調整ブロック13の総数に等しいことが好ましい。図7は、本発明の第1の実施形態における、ヒーター11および基準治具16の、接続方法を示す正面図である。基準治具16をヒーター11の上に乗せると、4つの凸部161が4つのリフトピン用穴112にそれぞれ嵌合することで、基準治具16のヒーター11に対する位置関係は一義的に決定するものとする。その結果、基準治具16に設けられた第1の画像マーカーAと、ヒーター11との位置関係も、一義的に決定する。さらに、CVD処理時にヒーター11の上に乗せられる半導体ウェハー50の位置が、所定の誤差範囲内であることがCVD装置の規格として保証されることで、第1の画像マーカーAおよび半導体ウェハー50の位置関係も別の誤差範囲内に収まることが保証される。このような条件に基づいて、本実施形態では、ヒーター11の基準点として第1の画像マーカーAを測定に用いる。なお、ヒーター11の基準点としては、その中心点を用いることが好ましい。第1の画像マーカーAの位置の測定は、CCDカメラ31で行う。CCDカメラ31は、カメラスタンド32に接続されており、カメラスタンド32はプロセスチャンバー20の本体部分に直接的または間接的に固定されていることが好ましい。ここで、CCDカメラ31の位置および撮影方向は調整自在であることが好ましい。ただし、第1の画像マーカーAの位置の測定を行ってから、後述する第2の画像マーカーBの位置の測定が完了するまで、CCDカメラ31の位置および撮影方向は十分な精度で固定されるものとする。また、CCDカメラ31の出力部は画像ティーチングユニット40の入力部に接続されているものとする。図8は、本発明の第1の実施形態によるティーチングシステムの、第2の状態における構成を概略的に示す全体図である。図8に示した第2の状態における構成は、図5に示した第1の状態における構成に、以下の変更を加えたものに等しい。すなわち、図5に示した基準治具16の代わりに、図8ではアダプターリング調整治具17が、CVD装置10に設置されている。図8におけるCVD装置10、CCDカメラ部30および画像ティーチングユニット40におけるその他の構成については、図5の場合と同じであるので、さらなる詳細な説明を省略する。図9は、本発明の第1の実施形態によるCVD装置10の、第2の状態における構成を部分的に示す平面図である。図9に示した第2の状態におけるCVD装置10は、図6に示した第1の状態におけるCVD装置10に、以下の変更を加えたものに等しい。すなわち、図6ではヒーター11の上に基準治具16が設置されていたが、図9ではその代わりに、アダプターリング15の上にアダプターリング調整治具17が設置されている。ここで、アダプターリング調整治具17は、3つのつば状の支持部171と、3つの穴部172とを具備している。これら3つの穴部172は、3つのつば状の支持部171にそれぞれ1つずつ設けられている。なお、つば状の支持部171の総数および穴部172の総数は、前述のアダプターリング15における凸部の総数に等しいことが好ましいが、本発明を限定するものではない。図9におけるCVD装置10におけるその他の構成については、図6の場合と同じであるので、さらなる詳細な説明を省略する。図3Bは、本発明の第1の実施形態における、アダプターリング15およびアダプターリング調整治具17の、接続方法を示す正面図である。アダプターリング調整治具17をアダプターリング15の上に乗せると、3つの凸部151が3つの穴部172にそれぞれ嵌合することで、アダプターリング調整治具17のアダプターリング15に対する位置関係は一義的に決定するものとする。その結果、アダプターリング調整治具17に設けられた第2の画像マーカーBと、アダプターリング15との位置関係も、一義的に決定する。なお、アダプターリング調整治具17におけるつば状の支持部171および穴部172は、それぞれ、CVD処理時にマスクとして用いられるシャドウリング18におけるつば状の支持部181および穴部182と、同様の形状に形成されている。したがって、第2の状態における第2の画像マーカーBおよびCVD処理時におけるシャドウリング18の位置関係も、一義的に決定する。このような条件に基づいて、本実施形態では、シャドウリング18の代わりに第2の画像マーカーBを測定に用いる。本実施形態によるティーチングシステムの動作、すなわち本実施形態によるティーチング方法について説明する。図10Aは、本発明の第1の実施形態によるティーチング方法の各ステップを示すフローチャートの前半部分である。図10Bは、本発明の第1の実施形態によるティーチング方法の各ステップを示すフローチャートの後半部分である。図10Aおよび図10Bのフローチャートは、A点において接続されており、第1~第10のステップS1~S10を具備している。まず、第1のステップS1を実行する。第1のステップS1では、基準治具16をヒーター50に設置する。ここで、基準治具16には予め第1の画像マーカーAが設けられている。なお、図5、図6および図7で示した第1の状態は、第1のステップS1、および、後述する第2~第4のステップS2~S4に対応している。第1のステップS1の次に、第2のステップS2を実行する。第2のステップS2では、プロセスチャンバー22を真空状態にする。このとき、ヒーター11の傾きが変動する場合がある。したがって、CVD処理中におけるヒーター11における基準位置の測定精度を上げるために、プロセスチャンバー22を真空状態にするステップは省略することは好ましくない。第2のステップS2の次に、第3のステップS3を実行する。第3のステップS3では、第1の画像マーカーAをCCDカメラ31で撮影する。このとき、CCDカメラ31の、カメラスタンド32に対する位置および撮影する方向は、前述のとおり、第2の画像マーカーBの測定が完了するまで、すなわち本実施形態によるティーチング方法が終了するまで、変更してはならない。撮影した結果は、画像ティーチングユニット40の記憶部などに記憶される。第3のステップS3の次に、第4のステップS4を実行する。第4のステップS4では、プロセスチャンバー22を大気状態に戻す。第4のステップS4の次に、第5のステップS5を実行する。第5のステップS5では、基準治具16をヒーター11から取り除く。第5のステップS5の次に、第6のステップS6を実行する。第6のステップS6では、アダプターリング調整治具17をアダプターリング15に設置する。この設置は、アダプターリング調整治具17に設けられたつば状の支持部171における穴部172が、アダプターリング15に設けられた凸部151にそれぞれ嵌合することで行われる。また、アダプターリング調整治具17には、第2の画像マーカーBが設けられている。図8および9に示した第2の状態は、第6のステップS6、および、後述する第7~第10のステップS7~S10に対応する。第6のステップS6の次に、第7のステップS7を実行する。第7のステップS7では、第2の画像マーカーBをCCDカメラ31で撮影する。このとき、前出したとおり、CCDカメラ31の、カメラスタンド32に対する位置および撮影の方向は、第3のステップS3と同じ条件で保全されているものとする。撮影して得られる画像データは、画像ティーチングユニット40の記憶部に記憶される。第7のステップS7の次に、第8のステップS8を実行する。第8のステップS8では、画像ティーチングユニット40の演算部が画像データを処理するなどして、第1および第2の画像マーカーAおよびBの位置のずれを算出する。このずれの算出について、以下、詳細に説明する。図11は、本発明の第1の実施形態による画像表示部41の表示例を示すイメージ図である。図11のイメージ図では、第3のステップS3で第1の画像マーカーAを撮影した第1の写真と、第3のステップS3と同じ条件を用いて第7のステップS7で第2の画像マーカーBを撮影した第2の写真とが、重ね合わされて表示されている。ここで、第1の画像マーカーAは円形で、第2の画像マーカーBは長方形および中央部分の十字の組み合わせであるが、これらはあくまでも一例であって、本発明を限定するものではない。また、第1および第2の写真のそれぞれは、重ね合わせ処理の前に、かつ個別に、例えば2値化されている、すなわち、白黒1ビットの画像などに変換されていることが好ましい。ただし、これもあくまでも一例であって、異なる色を用いても構わないし、本発明を限定するものではない。本実施形態による画像ティーチングユニット42の演算部は、第1および第2の写真を重ね合わせて得られる画像に基づいて演算処理を行い、自動的に、第1および第2の画像マーカーAおよびBの位置のずれを算出する。この演算処理では、例えば、十字部分の延長線上における、第2の画像マーカーBにおける長方形の左側の辺から、第1の画像マーカーAにおける円周までの距離を、第1の値X1と置く。同様に、第2の画像マーカーBにおける長方形の右側の辺から、第1の画像マーカーAにおける円周までの距離を、第2の値X2と置く。さらに、第2の画像マーカーBにおける長方形の下側の辺から、第1の画像マーカーAにおける円周までの距離を、第3の値Y1と置く。最後に、第2の画像マーカーBにおける長方形の上側の辺から、第1の画像マーカーAにおける円周までの距離を、第4の値Y2と置く。このような場合に、第1および第2の距離の差分ΔX=X1-X2として、第1および第2の画像マーカーAおよびBの、横方向のずれを算出することが出来る。同様に、第3および第4の距離の差分ΔY=Y1-Y2として、第1および第2の画像マーカーAおよびBの、縦方向のずれを算出することが出来る。これら横方向および縦方向のずれΔXおよびΔYが両方ともゼロであれば、第1および第2の画像マーカーAおよびBの位置が一致していると考えることが出来る。この一致はすなわち、ヒーター11およびシャドウリング18の位置関係が理想的であることを意味する。なお、ずれに係るこれらの情報は、後述するように、調整するステップにおいて直接的に用いることの出来る数値群に、画像ティーチングユニット40の演算部を用いるなどして変換することが好ましい。第8のステップS8の次に、第9のステップS9を実行する。第9のステップS9では、画像ティーチングユニット40の演算部を用いるなどして、算出されたずれが許容範囲内であるかどうかを判定する。ずれが許容範囲外である場合NOは、第10のステップS10を実行する。ずれが許容範囲内である場合YESは、第11のステップS11を実行する。第10のステップS10では、算出されたずれを解消する方向に、アダプターリング15の位置を調整する。この調整は、アダプターリング調整ブロック13の位置を適宜移動することで行う。そしてこの移動は、それぞれのアダプターリング調整ブロック13に接続された調整ネジ14を緩め、または締めることで行う。このとき、どの調整ネジ14をどの方向にどれだけ緩めるか、または締めるか、に係る情報は、第8のステップS8において自動的に算出されて、かつ一義的な数値群として決定されていることが好ましい。このような数値群は、調整ネジ14のそれぞれにおける回転角度および回転軸方向の移動距離の関係式、ならびに、回転軸の方向が既知であれば、画像ティーチングユニット40の演算部が簡単なプログラムを実行することで算出可能である。画像ティーチングユニット40は、このように算出した数値群を、数値表示部42に表示するものとする。もしくは、CVD装置10が画像ティーチングユニット40からこのような数値群を受け取り、調整ネジ14による調整を自動的に行うことの出来る構成を用いても良い。第10のステップS10の次に、第7のステップS7に戻る。第7~第10のステップS7~S10は、第1および第2の画像マーカーAおよびBの位置ずれが許容範囲に収まるまで繰り返される。第11のステップS11では、アダプターリング調整治具17をアダプターリング15から取り外す。第11のステップS11が終了することで、本実施形態によるティーチング方法は完了する。この後、ヒーター11の上に半導体ウェハーを設置し、さらにアダプターリング15の上にシャドウリングなどのマスクを設置することで、CVD装置10は、タングステン膜51の成膜などのCVD処理を行うことが出来る。本実施形態のティーチングシステムおよびティーチング方法によれば、以下の効果が得られる。すなわち、シャドウリング18の中心およびヒーター11の中心を、精度良く、かつ、効率良く、一致させることが出来る。この理由としては、まず、ヒーター11の基準点としての第1の画像マーカーAをヒーター11上に基準治具16を介して設けることが挙げられる。また、シャドウリング18の代わりに第2の画像マーカーBをアダプターリング15上にアダプターリング調整治具17を介して設けることが挙げられる。さらに、これら2つの画像マーカーAおよびBの座標を機械的に測定して各座標の差分を算出し、この差分をゼロに追い込む構成および手法が挙げられる。最後に、プロセスチャンバー22を真空状態にして行う測定が1度だけで済み、残りの測定はプロセスチャンバー22を大気状態にして行うことが出来ることが挙げられる。なお、CVD処理を行うためには、上記に説明したティーチング方法に加えて、ヒーター11および半導体ウェハー50の位置合わせを別途行う必要がある。この位置合わせについては、従来技術を用いることが出来るので、さらなる詳細な説明を省略する。第2の実施形態図12は、本発明の第2の実施形態によるティーチングシステムの、第1の状態における構成を概略的に示す全体図である。図13は、本発明の第2の実施形態によるCVD装置10の、第1の状態における構成を部分的に示す平面図である。図12および図13のティーチングシステムは、それぞれ図5および図6に示した本発明の第1の実施形態によるティーチングシステムおよびCVD装置10に、以下の変更を加えたものに等しい。すなわち、図5のティーチングシステムから基準治具16を取り除き、第1の画像マーカーAをヒーター11に設けることで、図12のティーチングシステムおよび図13のCVD装置が得られる。図12のティーチングシステムにおけるその他の構成は、図5に示した本発明の第1の実施形態の場合と同じであるので、さらなる詳細な説明を省略する。同様に、図13のCVD装置10におけるその他の構成は、図6に示した本発明の第1の実施形態の場合と同じであるので、さらなる詳細な説明を省略する。また、本実施形態によるティーチングシステムの、第2の状態における構成は、図8に示した本発明の第1の実施形態の場合と同じであるので、さらなる詳細な説明を省略する。同様に、本実施形態によるCVD装置10の、第2の状態における構成は、図9に示した本発明の第1の実施形態の場合と同じであるので、さらなる詳細な説明を省略する。本実施形態によるティーチングシステムの動作、すなわち本実施形態によるティーチング方法について説明する。図14Aは、本発明の第2の実施形態によるティーチング方法の各ステップを示すフローチャートの前半部分である。図14Bは、本発明の第2の実施形態によるティーチング方法の各ステップを示すフローチャートの後半部分である。図14Aおよび図14Bのフローチャートは、B点で接続されており、図10Aおよび図10Bに示した本発明の第1の実施形態によるティーチング方法のフローチャートに、以下の変更を加えたものに等しい。すなわち、まず、図10Aにおける第1のステップS1を、図14Aにおける第1のステップS1’に置き換える。次に、図10Aにおける第5のステップS5を省略する。本実施形態による第1のステップS1’では、第1の画像マーカーAを、基準治具16ではなくヒーター11に設ける。なお、ヒーター11に設けた第1の画像マーカーAは、取り外しが不要であるものとする。図10Aに示した本発明の第1の実施形態による第5のステップS5が省略されるのはこのためである。その他の、図14Aにおける第2~第4のステップS2~S4および第5~第10のステップS6~S11は、図10Aにおける第2~第4のステップS2~S4および第6~第11のステップS6~S11にそれぞれ対応するので、さらなる詳細な説明を省略する。ただし、本実施形態では本発明の第1の実施形態における第5のステップS5が省略されているので、図14Aにおける第4のステップS4の次には、第5のステップS6を実行する点が異なる。本実施形態のティーチングシステムおよびティーチング方法によれば、本発明の第1の実施形態で得られた各種効果に加えて、さらなる効果が得られる。すなわち、基準治具16を設置したり取り外したりする手間が不要となる。