"移動体と、該移動体に取り付けた可動子を有し、該可動子を1軸方向に移動させるリニアモータと、前記移動体に固定された回転型モータであって、該回転型モータの回転子の回転軸が、前記移動体と前記可動子と前記回転型モータからなる移動合体の重心を通り、且つ該重心と前記可動子の移動軌跡とを含む平面と交差するよう、前記移動体に固定された回転型モータと、前記可動子の移動によって前記移動合体に作用する回転トルクの少なくとも一部を相殺する反回転トルクを発生するよう、前記回転型モータの回転子の回転を制御する制御装置とを備えていることを特徴とする移動装置。前記リニアモータが、前記可動子を水平1軸方向または垂直1軸方向に移動させるものであり、前記回転型モータの回転軸が、水平面または垂直面に直交するものであることを特徴とする請求項1に記載の移動装置。前記回転型モータが、前記回転子にイナーシャホイールを備え、該イナーシャホイールの重心が前記回転軸上にあることを特徴とする請求項1または2に記載の移動装置。前記可動子の加速度を検出する加速度検出手段を備え、前記制御装置が、前記加速度検出手段により検出された加速度に基づいて前記回転子の角加速度を制御するものであることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の移動装置。しかしながら、移動装置が、特許文献1または2で提案されているように、移動合体を移動させるリニアモータ以外に回転トルクを相殺するリニアモータを備えると、移動装置は、移動合体の姿勢を制御するために、回転トルク相殺用のリニアモータを移動装置上で移動合体と略同等の距離を移動させる必要があり、移動装置自体が大型化する虞がある。本発明の目的は、上記事情に鑑み、装置の大型化を回避しつつ、移動合体の移動中の姿勢を制御できる移動装置を提案する。上記課題を解決するために、本発明の移動装置は、移動体と、この移動体に取り付けた可動子を有し、この可動子を1軸方向に移動させるリニアモータと、移動体に固定された回転型モータであって、この回転型モータの回転子の回転軸が、移動体と可動子と回転型モータからなる移動合体の重心を通り、且つ重心と可動子の移動軌跡とを含む平面と交差するよう、移動体に固定された回転型モータと、可動子の移動によって移動合体に作用する回転トルクの少なくとも一部を相殺する反回転トルクを発生するよう、回転型モータの回転子の回転を制御する制御装置とを備えていることを特徴とする。ここで、本発明の移動装置における移動合体の重心とは、厳密な重心位置に限定されず、厳密な重心位置の近傍をも含む意味であり、厳密な重心位置の近傍とは、たとえば、厳密な重心位置から3次元空間において100mm程度離れた範囲内を意味する。上記可動子の移動軌跡とは、可動子の力点における移動軌跡を意味する。また、移動合体に作用する回転トルクとは、移動合体の重心と可動子の移動軌跡とを含む平面に直交し、且つ移動合体の重心を通る重心軸回りの回転トルクを意味する。また、上記回転トルクの少なくとも一部とは、同じ重心軸回りであって、大きさが小さいトルクを意味するだけではなく、当該重心軸を少なくとも2つの成分に分けた各軸回りの回転トルクであってもよい。また、本発明の移動装置は、リニアモータが、可動子を水平1軸方向または垂直1軸方向に移動させるものであり、回転型モータの回転軸が、水平面または垂直面に直交するものであってもよい。また、本発明の移動装置は、回転型モータが、回転子にイナーシャホイールを備え、このイナーシャホイールの重心が回転軸上にあってもよい。また、本発明の移動装置は、可動子の加速度を検出する加速度検出手段を備え、制御装置が、加速度検出手段により検出された加速度に基づいて回転型モータの回転子の角加速度を制御するものであってもよい。本発明の移動装置によれば、回転型モータを、回転子の回転軸が移動体と可動子と回転型モータからなる移動合体の重心を通り、且つ重心と可動子の移動軌跡とを含む平面と交差するよう移動体に固定するとともに、固定された回転型モータの回転子の回転を、可動子の移動によって移動合体に作用する回転トルクの少なくとも一部を相殺する反回転トルクを発生するように制御することにより、移動合体の回転トルクの一部を回転型モータの反回転トルクで相殺している。したがって、新たな回転トルク相殺用のリニアモータを設け、移動合体と略同等な距離を移動させる必要がなく、回転型モータの回転動作で相殺ができるため、装置の大型化を回避しつつ、移動中の移動合体の姿勢を制御できる。以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は本発明の移動装置の第1の実施形態である加工装置1の側面図、図2は本発明の移動装置の第1の実施形態である加工装置1の正面図を示す。加工装置1は、後述するテーブル本体41に載置された被加工物WをZ軸ヘッド本体61の下端に取り付けた回転切削工具Cで加工する装置である。加工装置1は、ベッド2、ベッド2に立設するラム3、ベッド2上に設置されたテーブル4、ラム3上に設置されたX軸ヘッド5、X軸ヘッド5の側方に設置されたZ軸ヘッド6、X軸ヘッド5の上方に固定された回転型モータ7および制御部8から構成されている。テーブル4は、被加工物Wを載置するテーブル本体41、テーブル本体41の図中Y軸方向の移動を案内するガイド機構42、テーブル本体41を図中Y軸方向に移動させる推力を与えるY軸方向のリニアモータ43を備えている。ガイド機構42は、テーブル本体41に取り付けるスライダ42aとスライダ42aが走行するガイド42bとから構成されている。リニアモータ43は可動子43aおよび可動子43aが走行する固定子43bとから構成されている。可動子43aが一次側励磁コイル、固定子43bが走行面上に所定ピッチで配列させた複数の二次側永久磁石をそれぞれ有するものである。リニアモータ43は可動子43aの一次側励磁コイルを励磁して可動子43aに推力を供給する。図2には、可動子43aの移動軌跡Sを示す。X軸ヘッド5は、X軸ヘッド本体51、X軸ヘッド本体51のX軸方向の移動を案内するガイド機構52、X軸ヘッド本体51をX軸方向に移動させる推力Fwを与えるリニアモータ53を備えている。なお、ガイド機構52およびリニアモータ53の構造は、ガイド機構42およびリニアモータ43と同様である。リニアモータ53は、X軸ヘッド本体51に取り付けた光センサ54aと、ラム3上に取り付けた、固定子53bに平行なスケール54bとからなるリニアスケール54を備えている。光センサ54aがスケール54bを読み取ることにより、可動子53aの位置情報を出力することが可能である。なお、リニアモータ53はマグネスケールをホール素子等の磁力センサで読み取ることで位置情報を出力することも可能である。リニアモータ43および後述するZ軸方向のリニアモータ63も、リニアモータ53と同様に、リニアスケール44,54をそれぞれ備えている。Z軸ヘッド6は、Z軸ヘッド本体61、Z軸ヘッド本体61のZ軸方向の移動を案内するガイド機構62、Z軸ヘッド本体61をZ軸方向に移動させる推力を与えるリニアモータ63を備えている。なお、ガイド機構62およびリニアモータ63は、ガイド機構42、52およびリニアモータ43、53と同様の構造である。Z軸ヘッド本体61は、前述の通り、下端に回転切削工具Cを備えており、加工装置1は、リニアモータ43,53,63を駆動させることにより、被加工物Wを回転切削工具Cで3次元的に加工できる。回転型モータ7を説明する前に、リニアモータ53を駆動させた場合に、加工装置1に作用する回転トルクTについて説明する。ここで、X軸ヘッド本体51、スライダ52aおよびZ軸ヘッド6からなる移動物体を移動体Mとする。移動体Mを回転型モータ7と可動子53aと一体的に、図1の紙面奥に進むX軸方向に移動させると、可動子53aの推力Fwの作用により、移動体M、回転型モータ7および可動子53aからなる移動合体MUに、重心Gを通り、且つ移動軌跡Sと重心Gを含む平面Pに垂直な重心軸Aの回りに回転させる回転トルクTが発生する。ここで、回転トルクTを発生させる力点Fpは可動子53aの底面の中心位置とする。この回転トルクTは、Z軸方向で重心Gを通る重心軸Azの回転トルクTzとY軸方向で重心Gを通る重心軸Ayの回転トルクTyに分割できる。また、本実施形態においては、図2に示すように、力点FpのX軸方向の位置と重心GのX軸方向の位置が一致するため、移動合体MUには、X軸方向で重心Gを通る重心軸Axの回転トルクTxは作用しない。したがって、X軸方向に移動中の移動合体MUには、回転トルクTyおよび回転トルクTzが作用することになり、移動合体MUがピッチング方向およびヨーイング方向に偏向することになる。第1の実施形態のように、移動合体MUの重量が大きい場合、ガイド機構52のみでピッチング方向およびヨーイング方向の偏向を抑制することは困難である。回転型モータ7について説明する。回転型モータ7は、移動合体MUのヨーイング方向の偏向を抑制して移動合体MUの姿勢を制御するものである。回転型モータ7は、前述の通り、X軸ヘッド本体51の上方に固定された回転型モータであって、回転子7aの回転軸Arが重心軸Axと一致するように固定されたものである。回転型モータ7は回転子7aにイナーシャホイール7cを備えており、このイナーシャホイール7cの重心は回転軸Ar上にある。また、回転型モータ7はサーボモータであり、エンコーダ7bを備えている。回転型モータ7は、回転子7aとイナーシャホイール7cを回転させることで回転トルクTzと大きさが同じであって、反対向きの反回転トルクHTを発生させて、回転トルクTzを相殺するものである。回転型モータ7の回転制御については後述する。制御部8について説明する。図3は、制御部8の概略構成を示すブロック図である。制御部8は、リニアモータ43,53,63および回転型モータ7を制御するものである。制御部8は、移動指示受付部81、リニアモータ制御部82、回転型モータ制御部83とから構成されている。移動指示受付部81は、操作パネルを介してユーザからの移動指示を受け付けるとともに、移動指示に基づく移動指令をリニアモータ制御部82に出力するものである。リニアモータ制御部82は、リニアモータ43,53,63を制御するものであり、駆動制御部84,85,86および駆動出力部87,88,89から構成されている。駆動制御部84,85,86は、移動指令および各リニアモータ43,53,63の位置情報に基づいてリニアモータ43,53,63への指令値を出力するものであり、目標位置演算手段84a,85a,86a、位置検出手段84b,85b,86b、速度検出手段84c,85c,86c、位置補償手段84d,85d,86dおよび速度補償手段84e,85e,86eを備えている。目標位置演算手段84a,85a,86aは、移動指令に基づいて単位時間毎の目標位置を演算して位置補償手段84d,85d,86dに出力するものである。単位時間はリニアモータ制御部82の演算処理速度に依存して決められている。位置検出手段84b,85b,86bはリニアスケール44,54,64からの情報に基づいて可動子43a,53a,63aの位置を検出するものである。速度検出手段84c,85c,86cは、位置検出手段84b,85b,86bから単位時間毎に位置情報を受け取り、可動子43a,53a,63aの速度を検出するものである。位置補償手段84d,85d,86dは、目標位置演算手段84a,85a,86aから目標位置、位置検出手段84b,85b,86bから検出位置をそれぞれ受け取り、目標位置と検出位置との偏差に所定の位置ゲインを付与した目標速度を速度補償手段84e,85e,86eに出力する。速度補償手段84e,85e,86eは、位置補償手段84d,85d,86dから目標速度、速度検出手段84d,85d,86dから検出速度をそれぞれ受け取り、目標速度と速度情報との偏差に所定の速度ゲインを付与した目標電流を駆動出力部87,88,89に出力するものである。駆動出力部87,88,89は、目標電流に基づいて各リニアモータ43,53,63に駆動電流を出力するものであり、電流補償手段87a,88a,89aおよび電流増幅手段87b,88b,89bを備えている。電流補償手段87a,88a,89aは、目標電流を受け取るとともに、電流増幅手段87b,88b,89bの駆動電流をフィードバックして電流増幅手段87b,88b,89bに電流指令を出力する。電流増幅手段87b,88b,89bは、電流補償手段87a,88a,89aから電流指令を受け取り、駆動電流を各リニアモータ43,53,63に出力する。回転型モータ制御部83は、回転型モータ7のトルクを制御するものであり、加速度検出手段83a、トルク制御手段83bおよびドライバ83cを備えている。加速度検出手段83aは、速度検出手段84cから単位時間毎に検出速度を受け取り、可動子53aの加速度βを検出するものである。トルク制御手段83bは、加速度検出手段83aから加速度βを受け取り、回転子7aの目標角加速度αを算出してドライバ83cに出力するものである。目標角加速度αの算出方法について説明する。ここで、可動子53aの質量をmとすると、リニアモータ53の推力Fwは下記の式1となる。Fw=m×β式1推力Fwのうち、移動合体を重心軸Az回りの回転に寄与する係数をKz、リニアモータ53の力点Fpと重心GのY軸方向の距離をLyとすると、移動合体MUの重心軸Az回りの回転トルクTzは下記の式2となる。なお、係数Kzは具体的に0.2~0.5程度である。Tz=Kz×Fw×Ly=Kz×m×β×Ly式2回転子7aおよびイナーシャホイール7cの慣性モーメントをそれぞれIa,Ibとすると、回転型モータ7が発生させる反回転トルクHTは下記の式3となる。HT=IaIb×α式3反回転トルクHTがトルクTzを相殺するためには、下記の式4を満たすことになり、IaIb×α=Kz×m×β×L式4目標角加速度αは下記の式5となる。α=Kz×m×β×L/IaIb式5なお、目標角加速度αの向きは、回転トルクTzの向きと反対であることは言うまでもない。ドライバ83cは、トルク制御手段83bから目標角加速度α、エンコーダ7bから回転子7aの角度情報をそれぞれ受け取り、回転型モータ7の回転子7aの角加速度を制御するものである。次にリニアモータ53のみを駆動させた場合の加工装置1の作用について説明する。移動指示受付部81がユーザよりX方向の移動指示を受け付け、駆動制御部84にX方向の移動指示を出力する。駆動制御部84が目標位置を演算してリニアスケール54からの位置情報に基づいて目標速度を出力する。駆動出力部87が目標速度を受け取り、駆動電流を出力する。リニアモータ53の可動子53aがX軸方向の推力Fwを発生させる。移動合体MUがガイド機構52に案内されてX軸方向に移動するとともに、重心軸Az回りの回転トルクTzが発生してヨーイング方向に偏向する。回転型モータ制御部83が可動子53aの加速度βを検出し、検出した加速度βに基づいて目標角加速度αを算出して回転子7aの角加速度を制御する。回転型モータ7が反回転トルクHTを発生させて移動合体MUのヨーイング方向の偏向を抑制して姿勢を制御する。第1の実施形態によれば、回転型モータ7を、回転軸Arが重心軸Azと一致するようにX軸ヘッド本体41に固定するとともに、回転トルクTzを相殺する反回転トルクHTを発生させるように回転子7aの角加速度を制御することにより、移動合体MUのヨーイング方向の偏向を阻止できる。したがって、第1の実施形態は、回転トルクTzを相殺するために、X軸方向に新たなリニアモータを設ける必要がなく、加工装置1の大型化を回避しつつ、移動合体MUの姿勢を制御できる。第1の実施形態において、回転軸が重心軸Ayと一致するようにX軸ヘッド本体41に固定した回転型モータをさらに設けて回転トルクTyを相殺する反回転トルクを発生させて移動合体MUのピッチング方向の偏向を抑制させてもよい。また、回転軸が重心軸Aと一致するようにX軸ヘッド本体41に固定した1台の回転型モータのみで回転トルクTを相殺する反回転トルクを発生させて移動合体MUのヨーイング方向およびピッチング方向の両方の偏向を抑制させてもよい。また、重心軸Aは、垂直面と直交するAyおよび水平面と直交するAzに分けることに限定されず、平面Pと交差する重心軸であればよい。次に本発明の移動装置の第2の実施形態について説明する。図4は第2の実施形態である静圧可動ステージ1の構成を示す図である。第2の実施形態は、X軸方向にのみ可動するものであること、ガイド機構に静圧軸受を用いていること、リニアモータが2台のコアレス型のリニアモータであること、および回転型モータを2台備えている点において第1の実施形態と相違する。静圧可動ステージ1は、ステージ本体101に載置された搬送物WをX軸方向に移動させて精密位置決めする装置である。可動ステージ100は、ベッド100a、搬送物Wを載置するステージ本体101、ステージ本体101のX軸方向の移動を案内するガイド機構102、ステージ本体101をX軸方向に移動させるリニアモータ103,104、ステージ本体101の位置を検出するリニアスケール105、ステージ本体101の左右の側方に固定された回転型モータ106,107および制御部108から構成されている。ガイド機構102は、第1の実施形態のガイド機構52と同様に、ステージ本体101のX軸方向の移動を案内するものである。第2の実施形態では、精密位置決めのために、ガイド機構102に静圧軸受を用いている。静圧軸受は、ガイド面の摩擦抵抗を著しく低下できるとともに、ガイド面の僅かな起伏による位置決め精度への影響を回避できるため、精密位置決めの用途に有効である。ガイド機構102は、ステージ本体101に取り付けられたガイドブロック102a,103a、ガイドブロック102a,103aの走行経路を規定するガイドレール102b,103bおよびガイドブロック102a,103aとガイドレール102b,103bとの間に介在する流体軸受102c,103cとから構成されている。流体軸受102c,103cは加圧流体を用いる公知の静圧軸受である。ガイドブロック102a,103aおよびガイドレール102b,103bは、ステージ本体101を安定してX軸方向に案内できるように複数設けている。リニアモータ103,104は、第1の実施形態と同様に、ステージ本体101をX軸方向に移動させるものである。第2の実施形態では、リニアモータにコアレス型のリニアモータ103,104を採用している。リニアモータ103,104は、一次側励磁コイルである可動子103a,104aと、二次側永久磁石である固定子103b,104bとから構成される。可動子103a,104aは、ベッド100aに取り付けられた固定子103b,104bに所定間隙を持って挿入されるようにステージ本体101に取り付けられている。リニアスケール105の構造は第1の実施形態と同様である。次にX軸方向のリニアモータ103,104を駆動させた場合に、可動ステージ100に作用する回転トルクTL,TRについて説明する。ここで、ステージ本体101およびガイドブロック102aからなる移動物体を移動体Mとする。移動体Mを回転型モータ106,107と可動子103a,104aと一体的にX軸方向に移動させると、移動体M、回転型モータ106,107および可動子103a,104aからなる移動合体MUには、当該移動合体MUの重心Gを通り、且つ可動子103aの力点FpLの移動軌跡と重心Gとを含む平面PLに垂直な重心軸ALの回りに、回転トルクTLが発生する。さらに、移動合体MUには、当該移動合体MUの重心Gを通り、且つ可動子104aの力点FpRの移動軌跡と重心Gとを含む平面PRに垂直な重心軸ARの回りに、回転トルクTRが発生する。この各回転トルクTL,TRは、Z軸方向で重心Gを通る重心軸Azの回転トルクTzL,TzRとY軸方向で重心Gを通る重心軸Ayの回転トルクTyL,TyRに分割できる。また、第2の実施形態では、力点FpL,FpRのX軸方向の位置と重心GのX軸方向の位置は一致しており、移動合体MUには、X軸方向で重心軸Axの回転トルクTxL,TxRは作用しない。また、リニアモータ102,103は同一の推力Fwを発生させるものであり、回転トルクTzL,TzRは互いに相殺される。すなわち移動合体MUには、回転トルクTyL,TyRが発生し、移動合体MUがピッチング方向に偏向する。ガイド機構102は、前述の通り、静圧軸受構造であるため、剛性が低く、ガイド機構102のみでピッチング方向の偏向を抑制することは困難である。回転型モータ106,107は、移動合体MUのピッチング方向の偏向を抑制して移動合体MUの姿勢を制御するものである。回転型モータ106,107は、回転子106a,107aの回転軸ArL,ArRが重心軸Ayと一致するようにステージ本体101に固定されている。回転型モータ106,107の構造は、第1の実施形態の回転型モータ7と同様である。制御部108について説明する。図4は、制御部108の概略構成を示すブロック図である。制御部108は、2台のリニアモータ103,104および2台の回転型モータ106,107を制御する点で第1の実施形態と相違するが、制御部108内の構成は、第1の実施形態における制御部108と略同様である。第2の実施形態において、リニアモータ制御部112は、同一方向の2台のリニアモータ103,104を制御するため、2つの駆動出力部113を備えている。また、回転型モータ制御部111も2台の回転型モータ106,107を制御するため、2つのトルク制御手段111b、111dおよび2つのドライバ111c,111eを備えている。トルク制御手段111b、111dによる目標角加速度αL,αRの算出について説明する。ここで、可動子103a,104aの質量をともにmとすると、リニアモータ103,104の同一の推力Fwは第1の実施形態と同様に下記の式6となる。Fw=m×β式6移動合体MUに作用する回転トルクTL,TRも下記の式7となる。TL=TR=Ky×Fw×Lz=Ky×m×β×Lz式7Kyは移動合体を重心軸Ay回りの回転に寄与する係数であり、具体的に0.2~0.5程度である。また、Lzは、図4に示すようにリニアモータ103,104の力点FpL,FpRと重心GとのZ軸方向の距離を示すものである。回転子106a,107aの慣性モーメントがともにIa、イナーシャホイール106c,107cの慣性モーメントがともにIbとすると、回転型モータ106,107が発生させる反回転トルクHTL,HTRは下記の式8,9となる。HTL=IaIb×αL式8HTR=IaIb×αR式9したがって、トルクTyL,TyRを相殺する反回転トルクHTL,HTRは、下記の式10,11を満たすことになる。IaIb×αL=Ky×m×β×Lz式10IaIb×αR=Ky×m×β×Lz式11これにより、目標角加速度αL,αRは下記の式12,13となる。αL=Ky×m×β×Lz/IaIb式12αR=Ky×m×β×Lz/IaIb式13なお、目標角加速度αL,αRの向きは、回転トルクTyR,TyLの向きと反対である。次に可動ステージ100の作用について説明する。第1の実施形態と同様に、移動指示受付部109がユーザからの移動指示を受け付け、駆動制御部112に移動指示を出力する。駆動制御部112が目標位置を演算し、リニアスケール54からの位置情報に基づいて目標速度を駆動出力部113,114に出力する。駆動出力部113,114が目標速度をそれぞれ受け取ってリニアモータ103,104に駆動電流を出力する。リニアモータ103,104がX軸方向に推力FwL,FwRを発生させる。移動合体MUがガイド機構102に案内されてX軸方向に移動するとともに、重心軸Ay回りの回転トルクTyL,TyRが発生してピッチング方向に偏向する。回転型モータ制御部111aが移動合体MUの加速度βを検出し、検出した加速度βに基づいて目標角加速度αL,αRを算出して回転子106a,107aの角加速度を制御する。回転型モータ106,107が反回転トルクHTL,HTRを発生させて移動合体MUのピッチング方向の偏向を抑制する。第2の実施形態によれば、回転型モータ106、107bを、回転軸ArL,ArRを重心軸Ayと一致するように移動体Mに固定するとともに、回転トルクTyL,TyRを相殺する反回転トルクHTL,HTRを発生するように制御することにより、移動合体MUのピッチング方向の偏向を抑制して姿勢を制御できる。したがって、第2の実施形態も、回転トルクTyL,TyRを相殺するために、X軸方向に新たなリニアモータを設ける必要がなく、可動静圧ステージ100の大型化を回避しつつ、移動合体MUの姿勢を制御できる。また、第1および第2の実施形態では、移動体Mが水平1軸方向に移動する場合について説明したが、特に限定されるものではない。回転型モータを、回転軸が移動合体MUの重心を通り、且つ重心と可動子の移動軌跡とを含む平面と交差するよう移動体に固定し、移動合体MUに発生する回転トルクTの少なくとも一部を相殺するように、回転子の回転を制御する限り、垂直1軸方向は勿論、3次元空間内の任意の1軸方向に移動体Mにも適用することができる。また、第1および第2の実施形態では、回転型モータがイナーシャホイールを備えているものとしたが、特に限定されるものではなく、回転子の慣性モーメントが大きい場合は回転子のみでもよい。また、回転型モータの台数も特に限定されるものではなく、3台以上であってもよい。"