"ナノメータサイズの微小粒子を含むエアロゾルを試料ガスとして吸入する試料ガス流路2と、試料ガスの一部をエアロゾルフローとして流すエアロゾルフローキャピラリ4と、前記試料ガス流路2に設けられ、試料ガスを前記エアロゾルフローキャピラリ4に流れるガスとその残部ガスとに分離する分岐部6と、前記分岐部6の下流に配置され、流量を調節する第1流量調節部11を備えたシースガス流路8と、前記シースガス流路8からのガスを飽和蒸気状態のシースフローにして前記エアロゾルフローキャピラリ4から流出するエアロゾルフローと合流させる飽和器14と、前記エアロゾルフローキャピラリ4からのエアロゾルフローと飽和器14からのシースフローとの合流ガスを冷却してエアロゾルフロー中の微粒子をシースフローの蒸気により成長させる冷却凝縮器16と、前記冷却凝縮器16を通過したガス中の粒子数を計数する粒子計数器18と、前記粒子計数器18の下流に設けられ所定流量で排気するように駆動が制御される排気ポンプ22と、前記粒子計数器18と前記排気ポンプ22の間に配置された流量計と、を備えたエアロゾル微粒子計測装置であって、前記第1流量調節部11は、流路に対して直列に配置されて流体抵抗が固定のキャピラリ11aと、該キャピラリの流体抵抗よりも小さい流体抵抗をもつ流量可変オリフィス11bで構成されているエアロゾル微粒子計測装置。試料ガス流路2に供給される試料ガス流量に対して前記粒子計数器18に流れる流量を調整するために、前記分岐部6よりも上流側の試料ガス流路2と前記排気ポンプ22との間に開閉弁を介して第2流量調節部36,38,42,44が配置されたバイパス流路が設けられており、前記第2流量調節部36,38,42,44も流路に対して直列に配置された流体抵抗が固定のキャピラリ36,42と、該キャピラリの流体抵抗よりも小さい流体抵抗をもつ流量可変オリフィス38,44で構成されている請求項1に記載のエアロゾル微粒子計測装置。前記第1流量調節部において、キャピラリの流体抵抗がキャピラリと流量可変オリフィスとの合計の流体抵抗の90以上を占めるように設定されている請求項1に記載のエアロゾル微粒子計測装置。前記第2流量調節部において、キャピラリの流体抵抗がキャピラリと流量可変オリフィスとの合計の流体抵抗の90以上を占めるように設定されている請求項2又は3に記載のエアロゾル微粒子計測装置。前記バイパス流路は、キャピラリと流量可変オリフィスを含む2つの直列流路が並列に配置された流路を備えており、前記並列流路の1つの上流側には、試料ガス流路2に供給される試料ガス流量に対して前記排気ポンプ22の排気量を一定に保つためのメイクアップガスを吸入するためのメイクアップガス吸入口が開閉弁を介して接続されている請求項1から4のいずれか一項に記載のエアロゾル微粒子計測装置。流量Q3は流量計20のキャピラリの差圧により制御され、エアロゾルフローキャピラリ4を流れるエアロゾルフローの流量Q1もキャピラリの差圧により制御されている。しかし、シースガス流路8を流れるシースガスの流量Q2を制御する流体抵抗はオリフィスで制御されている。キャピラリとオリフィスでは、温度又は圧力が変化した場合の同一の流量体積流量を基準とした流量に対する発生差圧の特性が異なるため、試料ガスの温度又は圧力が変化するとエアロゾルフローの流量Q1とシースガスの流量Q2の流量の比率が変化するという問題がある。具体的に示すと、キャピラリでは流体の粘性抵抗で差圧が発生し、オリフィスではベルヌイの法則による運動エネルギーに比例した差圧が発生する。そのため、例えば、絶対圧が20下がった場合には、体積流量が一定であればキャピラリによる差圧は変化しないが、オリフィスによる差圧は20低下する。その結果として、流量Q1とQ2の流量の比率が変化することになる。試料ガスの温度変化についても、下記の1式から予想できるように、キャピラリの流体抵抗に寄与する粘性係数μよりもオリフィスの流体抵抗に寄与する密度ρの方が大きく影響を受ける。そのため、試料ガスの温度変化によっても流量Q1とQ2の流量の比率が変化する。そこで、本発明は試料ガスの温度又は圧力が変化した場合でも、エアロゾルフローの流量Q1とシースガスの流量Q2の流量の比率の変動を抑えて、エアロゾルフローの流量Q1を一定に維持することができるようにすることを目的とするものである。本発明はナノメータサイズの微小粒子を含むエアロゾルを試料ガスとして吸入する試料ガス流路2と、試料ガスの一部をエアロゾルフローとして流すエアロゾルフローキャピラリ4と、前記試料ガス流路2に設けられ、試料ガスを前記エアロゾルフローキャピラリ4に流れるガスとその残部ガスとに分離する分岐部6と、前記分岐部6の下流に配置され、流量を調節する第1流量調節部11を備えたシースガス流路8と、前記シースガス流路8からのガスを飽和蒸気状態のシースフローにして前記エアロゾルフローキャピラリ4から流出するエアロゾルフローと合流させる飽和器14と、前記エアロゾルフローキャピラリ4からのエアロゾルフローと飽和器14からのシースフローとの合流ガスを冷却してエアロゾルフロー中の微粒子をシースフローの蒸気により成長させる冷却凝縮器16と、前記冷却凝縮器16を通過したガス中の粒子数を計数する粒子計数器18と、前記粒子計数器18の下流に設けられ所定流量で排気するように駆動が制御される排気ポンプ22と、前記粒子計数器18と前記排気ポンプ22の間に配置された流量計と、を備えたエアロゾル微粒子計測装置である。そして、試料ガスの温度又は圧力が変化した場合でもエアロゾルフローの流量Q1とシースガスの流量Q2の流量の比率の変動を抑えることができるように、第1流量調節部11は、流路に対して直列に配置されて流体抵抗が固定のキャピラリ11aと、そのキャピラリ11aの流体抵抗よりも小さい流体抵抗をもつ流量可変オリフィス11bで構成されているようにした。第1流量調節部11において、キャピラリ11aと流量可変オリフィス11bの合計の流体抵抗に対して、キャピラリ11aの流体抵抗の割合が大きいほど第1流量調節部11全体の特性がキャピラリに近づくため、試料ガスの温度又は圧力が変化した場合でもエアロゾルフローの流量Q1とシースガスの流量Q2の流量の比率の変動を抑えるのに好都合である。しかし、キャピラリ11aの流体抵抗の割合が大きくなるほど流量可変オリフィス11bの流体抵抗の割合が減少することになるので、流量可変オリフィス11bにより調整できる流量範囲が狭くなる。そのため、流量可変オリフィス11bにより調整が必要な流量範囲を確保した上でキャピラリ11aの流体抵抗の割合を大きくする。粒子計数器18では微粒子の粒径が大きくされて測定用の光路を横切って通過するため、誤差を抑えるためには2個以上の粒子が同時に光路を通過する確率を下げる必要がある。そのため、一般には、粒子計数器18を流れる試料ガス流量は最適な値に設定される。粒子計数器18を流れる試料ガス流量のそのような設定流量よりも大きな流量で試料ガス流路2に試料ガスを供給することができるようにするために、前記分岐部6よりも上流側の試料ガス流路2と前記排気ポンプ22との間に開閉弁を介して第2流量調節部36,38,42,44が配置されたバイパス流路を設けることができる。その場合、第2流量調節部36,38,42,44も流路に対して直列に配置された流体抵抗が固定のキャピラリ36,42と、そのキャピラリ36,42の流体抵抗よりも小さい流体抵抗をもつ流量可変オリフィス38,44で構成されているようにすることが好ましい。第2流量調節部36,38,42,44においても、第2流量調節部全体の流体抵抗に対するキャピラリ36,42の流体抵抗の割合は、第1流量調節部11の場合と同様の見地から設定する。第1流量調節部においても第2流量調節部においても、キャピラリの流体抵抗がキャピラリと流量可変オリフィスとの合計の流体抵抗の約90以上を占めるように設定すれば、第1流量調節部も第2流量調節部もキャピラリに近い特性をもつようになる。好ましい形態では、バイパス流路は、キャピラリと流量可変オリフィスを含む2つの直列流路が並列に配置された流路を備えているものとし、その並列流路の1つの上流側には、試料ガス流路2に供給される試料ガス流量に対して前記排気ポンプ22の排気量を一定に保つためのメイクアップガスを吸入するためのメイクアップガス吸入口が開閉弁を介して接続されているようにすることができる。本発明では、第1流量調節部11は、流路に対して直列に配置された流体抵抗が固定のキャピラリ11aと、そのキャピラリ11aの流体抵抗よりも小さい流体抵抗をもつ流量可変オリフィス11bで構成されているようにしたので、試料ガスの温度又は圧力が変化した場合でもエアロゾルフローの流量Q1とシースガスの流量Q2の流量の比率の変動を抑えることができる。図1は一実施例を表わす。試料ガス流路2は、ナノメータサイズの微小粒子を含む大気圧状態のエアロゾルを試料ガスとして吸入する。試料ガス流路2には分岐部6が設けられている。分岐部6は試料ガスをエアロゾルフローキャピラリ4に流れるガスとその残部ガスとに分離する。エアロゾルフローキャピラリ4は分岐部6により分離された試料ガスの一部をエアロゾルフローとして流すものである。分岐部6で分離された試料ガスの残部はシースガス流路8に流れる。シースガス流路8には、上流側から、10°Cに調節された除湿器9、試料ガス中の粒子を除去するHEPAフィルタなどのフィルタ10、流量調節部11、及び開閉弁13が設けられている。流量調節部11は直列接続されたキャピラリ11aと流量可変オリフィス11bを備えている。試料ガスがエアロゾルフローキャピラリ4の手前までは大きな流量で流されるのは、試料ガス中でのエアロゾルの拡散による微粒子の損失を防ぐためである。シースガス流路からのガスを飽和蒸気状態のシースフローにしてエアロゾルフローキャピラリ4から流出するエアロゾルフローと合流させるために飽和器14が設けられている。飽和器14はブチルアルコールを40°C程度に加熱して蒸気とするものであり、そのアルコール蒸気中をシースガスが流れることによってアルコール蒸気で飽和されたシースガスとなる。エアロゾルフローキャピラリ4からのエアロゾルフローと飽和器14からのシースフローとの合流ガスを冷却してエアロゾルフロー中の微粒子をシースフローの蒸気により成長させるために冷却凝縮器16が設けられている。冷却凝縮器16はペルチェ素子などの電子冷却加熱素子17aを備え、10°Cに温度調節されている。17bは電子冷却加熱素子17aの放熱用の冷却ファンである。シースガス流路8に設けられている除湿器9は冷却凝縮器16と一体として構成され、電子冷却加熱素子17aにより温度調節されている。合流ガスが冷却凝縮器16に導かれて10°C程度に冷却されることにより、エアロゾルフローの周りがアルコール蒸気で飽和されたシースガスで包み込まれた状態で冷却されてエアロゾル中の微粒子にアルコール蒸気が付着して凝縮し、粒子径が大きくなるように成長していく。冷却凝縮器16を通過したガス中の粒子数を計数するために粒子計数器18が設けられている。計数器18の一例は、エアロゾルの流れに垂直な方向からレーザービームを照射し、その散乱光を検出することにより計数器18を通過するエアロゾル中の粒子数を計数するものである。このときエアロゾル中の微粒子はアルコールが凝縮することによって成長して粒径が大きくなっており、計数の精度が高くなる。粒子計数器18の下流には所定流量で排気するように駆動が制御される排気ポンプ22が設けられている。粒子計数器18と排気ポンプ22との間には、上流側からフィルタ19、流量計20及び開閉弁21が設けられている。流量計20の一例は、キャピラリ20aの上流側と下流側の圧力差を差圧センサ20bにより検出することによって流量を測定するものである。フィルタ19とキャピラリ20aは恒温槽により39°Cに保たれている。排気ポンプ22からの排気ガス中にはブチルアルコールが含まれているため、排気ポンプ22の排出口にはブチルアルコール分解装置23が配置され、ブチルアルコール分解装置23にはブチルアルコール分解触媒として白金触媒が使用され、280±20°Cに加熱されている。計数器18を通過できるエアロゾルの流量は限られているため、試料ガス流路2から吸引する流量を計数器18のエアロゾルの流量より大きくする場合に、余剰の試料ガスを排出するために、試料ガス流路2には分岐部6よりも上流側の分岐部30と排気ポンプ22の間には、フィルタ32を経て並列に接続された2つのバイパス流路が配置されている。第1のバイパス流路は上流側から開閉弁34、キャピラリ36及び流量可変オリフィス38を含んでおり、第2のバイパス流路は上流側から開閉弁39、三方弁40、キャピラリ42及び流量可変オリフィス44を含んでいる。試料ガス流路2に供給される試料ガス流量が排気ポンプ22の排気量よりも少ない場合には、空気をメイクアップガスとして吸引するために、第2のバイパス流路の三方弁40の1つのポートにフィルタ46を経て空気を吸入するためのメイクアップガス吸入口が設けられている。開閉弁34を開くと第1のバイパス流路が試料ガス流路2に接続され、開閉弁34を閉じると第1のバイパス流路と試料ガス流路2との接続が遮断される。開閉弁39及び三方弁40により第2のバイパス流路と試料ガス流路2との間の接続を断続することができる。第1のバイパス流路と第2のバイパス流路は、いずれか一方を導通状態にすることも、両方を導通状態にすることも、又はいずれも遮断状態にすることもできる。開閉弁39を閉じ、三方弁40によりメイクアップガス吸入口を第2のバイパス流路に接続すると、メイクアップガス吸入口からメイクアップガスとして空気を吸入することができるようになる。エアロゾルフローキャピラリ4による圧力損失を検出するためにエアロゾルフローキャピラリ4の上流側と下流側の間に差圧センサ24が設けられている。流量調節部11において、キャピラリ11aの流体抵抗は、キャピラリ11aと流量可変オリフィス11bの合計流体抵抗の90を占めるように設定されている。キャピラリとオリフィスの流体抵抗の設定は次のように行う。キャピラリに関する体積流量と差圧の関係式により、目標とする抵抗値及び直線性が得られるようにキャピラリの内径と長さを決定する。このとき抵抗値はバルブや流路の抵抗に比べ十分に大きく、かつ発生する差圧がポンプの駆動能力の範囲内にあるように決める。オリフィスは、穴径と流量の関係から、キャピラリ抵抗のおおよそ10程度となるように、穴径の可変範囲の最大値と大小値を決める。また、第1のバイパス流路においては、キャピラリ36の流体抵抗は、キャピラリ36と流量可変オリフィス38の合計流体抵抗の90を占めるように設定されている。第2のバイパス流路においても、キャピラリ42の流体抵抗は、キャピラリ42と流量可変オリフィス44の合計流体抵抗の90を占めるように設定されている。この実施例において、動作の一例を示すと、流量制御は流量計20におけるキャピラリ20aで発生する差圧を測定する差圧センサ20bの値が流量Q3に相当する一定値となるように排気ポンプ22を駆動することにより行われる。その流量Q3を基準として、エアロゾルフローキャピラリ4に流れるガスの流量Q1と流量調節部11流れるガスの流量Q2との比率が、エアロゾルフローキャピラリ4の流体抵抗と流量調節部11の流体抵抗で決定される。流量調節部11の流体抵抗ΔPは次式で表わされる。ΔP=αμQβρQ21ここで、右辺第1項はキャピラリ11aの流体抵抗を表わし、Qは体積流量、μは粘性係数、αは寸法により決まる比例定数である。右辺第2項はオリフィス11bの流体抵抗を表わし、Qは体積流量、ρは密度、βは寸法により決まる比例定数である。一実施例では、上記の式の右辺第1項のキャピラリ11aの流体抵抗が流量調節部11の流体抵抗ΔPの約90を占めるように設定されているので、流量調節部11全体がほぼキャピラリとしての特性をもつようになる。そのため、流量計20を流れるガスの流量Q3が一定であれば、試料ガス流路2に供給される試料ガスの絶対圧が変動してもエアロゾルフローキャピラリ4に流れるガスの流量Q1と流量調節部11流れるガスの流量Q2との比率の変動が抑えられる。また、第1、第2のバイパス流路においても、キャピラリの流体抵抗は、キャピラリと流量可変オリフィスの合計流体抵抗の90を占めるように設定されているので、バイパス流路を使用しているときに試料ガスの絶対圧が変動してもバイパス流路を流れる流量の変動を抑えることができる。ここで、図1の従来の装置と図2の実施例の装置において、試料ガス流路2に供給される試料ガスの絶対圧が変動したときの流量変動の比較を示す。この実験では試料ガスとして空気を使用した。図1の従来の装置において、オリフィス34及び開閉弁41を閉じ、試料ガス流路2に供給される試料ガスがエアロゾルフローキャピラリ4を流量Q1で流れ、シースガス流路8を流量Q2で流れるように設定し、その合計流量Q3を0.3L/分とした。合計流量Q3の試料ガスを供給するために、試料ガス流路2に石鹸膜流量計を接続して流量がQ2になるように空気を試料ガス流路2に供給した。その条件で試料ガス流路2に供給される試料ガスの絶対圧が変動したときの流量Q3の変化の測定結果を図3に示す。装置内部の絶対圧を変える方法として、装置の入口と出口を接続し、また一部をポンプで吸い出すことにより、装置内部石鹸膜流量計の内部を含むを低圧にした。図3で、横軸は試料ガスの絶対圧を表わし、101kPaは大気圧である。縦軸は流量Q3の変化率を大気圧時の平均測定値との比率として示したものである。図3の結果によれば、試料ガスの絶対圧が101kPaから70kPaに減少すると流量Q3は6増加している。図1の従来の装置において、開閉弁41を閉じ、オリフィス34を開いてその開度を調節し、バイパス流路を流量Q41.2L/分の試料ガスが流れるようにした。また、エアロゾルフローキャピラリ4を流量Q1で流れ、シースガス流路8を流量Q2で流れるように設定し、その合計流量Q3を0.3L/分とした。このとき、試料ガス流路2に供給される試料ガス流量はQ3Q4であり、1.5L/分とした。このときの流量の調整及び圧力の調整は図3の測定と同じように行った。その条件で試料ガス流路2に供給される試料ガスの絶対圧が変動したときの流量Q3Q4の変化の測定結果を図4に示す。横軸は試料ガスの絶対圧を表わし、縦軸は流量Q3Q4の変化率を大気圧時の平均測定値との比率として示したものである。流量は流路に石鹸膜流量計等を接続して測定する。装置内部の絶対圧を変える場合、装置全体を低圧条件にする設備がないため、実際には装置の入口と出口を接続し、また一部をポンプで吸い出すことで装置内部石鹸膜流量計の内部を含むを低圧にして測定する。図4の結果によれば、試料ガスの絶対圧が101kPaから70kPaに減少すると流量Q3Q4は12増加している。図3、図4の結果は、シースガス流路8の流量Q2、又はさらにバイパス流路の流量Q4の調整をオリフィスのみによって行っている結果である。それに対し、図1の実施例において、シースガス流路8の流量Q2及びバイパス流路の流量Q4の調整をキャピラリとオリフィスの組合せにより行い、キャピラリとオリフィスによる合計流体抵抗に対するキャピラリの流体抵抗の割合を90に設定し、図3、図4の結果を得た場合と同じ条件で測定を行った結果を図5に示す。図5中のAはバイパス流路を閉じて試料ガス流路2に供給する試料ガス流量Q3を0.3L/分としたときのもの、Bはバイパス流路を開けて試料ガス流路2に供給する試料ガス流量Q3Q4を1.5L/分としたときのものである。この実施例による図5の結果によれば、試料ガスの絶対圧が101kPaから70kPaに減少した場合の流量Q3の増加率を1.6に抑えることができ、流量Q3Q4の増加率を37に抑えることができることがわかった。実施例と従来例での効果の比較では、試料ガスの絶対圧が変化した場合を示しているが、温度が変化した場合でも本発明は流量Q1とQ2の比率の変動を抑える効果を達成することができる。"