"直流電圧を重畳させた交流電圧を、所定の直流出力抵抗で測定対象物に出力する信号源と、該測定対象物に流れる電流を検出する電流検出部と、該測定対象物の両端電圧を検出する電圧検出部と、該電流検出部及び該電圧検出部の出力を読み込んで、該測定対象物のインピーダンスを演算する演算処理部とを備えるインピーダンス測定装置であって、該直流電圧のみ、又は該直流電圧を重畳させた該交流電圧を該信号源から出力させた状態で、該電圧検出部又は該演算処理部と、該信号源とが、所定の直流バイアス電圧を該測定対象物に印加させるフィードバック関係で接続されることを特徴とするインピーダンス測定装置。前記演算処理部が、前記信号源を制御して前記直流電圧のみを前記測定対象物に出力させ、前記電流検出部及び前記電圧検出部の出力を読み込んで該測定対象物の直流抵抗を演算し、該信号源の前記直流出力抵抗と該直流抵抗とに基づいて該測定対象物に前記所定の直流バイアス電圧が印加されるように、該信号源をフィードバック制御することを特徴とする請求項1に記載のインピーダンス測定装置。前記演算処理部が、前記電圧検出部の出力を読み込んで前記所定の直流バイアス電圧が前記測定対象物に印加されるまで、前記フィードバック制御を繰り返し行うことを特徴とする請求項2に記載のインピーダンス測定装置。前記電流検出部及び前記電圧検出部の出力を、直流結合及び交流結合のいずれかで前記演算処理部が読み込むように切り換え可能なスイッチ部を有し、前記演算処理部が、該スイッチ部を直流結合に切り換えて前記フィードバック制御を行い、該スイッチ部を該交流結合に切り換えて前記測定対象物のインピーダンスの演算を行うことを特徴とする請求項2又は3に記載のインピーダンス測定装置。前記電圧検出部が、前記測定対象物の両端電圧を差動増幅する差動増幅器を有しており、前記信号源が、交流電圧源と、負の直流電圧源と、これら両電圧源の出力を加算する加算回路と、該加算回路の出力が反転入力端子に入力されると共に、該差動増幅器の出力端子が該反転入力端子にフィードバック接続され、非反転入力端子が基準電位に接続された演算増幅器とを備えることを特徴とする請求項1に記載のインピーダンス測定装置。前記加算回路の出力が入力抵抗を介して前記反転入力端子に入力され、前記差動増幅器の出力端子が前記反転入力端子に帰還抵抗を介してフィードバック接続されていることを特徴とする請求項5に記載のインピーダンス測定装置。本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、測定対象物の直流抵抗の高低によらず、所定の直流バイアス電圧を測定対象物に確実に印加しつつ測定用の交流電圧を印加してインピーダンスを測定することができるインピーダンス測定装置を提供することを目的とする。前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項1に記載されたインピーダンス測定装置は、直流電圧を重畳させた交流電圧を、所定の直流出力抵抗で測定対象物に出力する信号源と、該測定対象物に流れる電流を検出する電流検出部と、該測定対象物の両端電圧を検出する電圧検出部と、該電流検出部及び該電圧検出部の出力を読み込んで、該測定対象物のインピーダンスを演算する演算処理部とを備えるインピーダンス測定装置であって、該直流電圧のみ、又は該直流電圧を重畳させた該交流電圧を該信号源から出力させた状態で、該電圧検出部又は該演算処理部と、該信号源とが、所定の直流バイアス電圧を該測定対象物に印加させるフィードバック関係で接続されることを特徴とする。請求項2に記載のインピーダンス測定装置は、請求項1に記載のもので、前記演算処理部が、前記信号源を制御して前記直流電圧のみを前記測定対象物に出力させ、前記電流検出部及び前記電圧検出部の出力を読み込んで該測定対象物の直流抵抗を演算し、該信号源の前記直流出力抵抗と該直流抵抗とに基づいて該測定対象物に前記所定の直流バイアス電圧が印加されるように、該信号源をフィードバック制御することを特徴とする。請求項3に記載のインピーダンス測定装置は、請求項2に記載のもので、前記演算処理部が、前記電圧検出部の出力を読み込んで前記所定の直流バイアス電圧が前記測定対象物に印加されるまで、前記フィードバック制御を繰り返し行うことを特徴とする。請求項4に記載のインピーダンス測定装置は、請求項2又は3に記載のもので、前記電流検出部及び前記電圧検出部の出力を、直流結合及び交流結合のいずれかで前記演算処理部が読み込むように切り換え可能なスイッチ部を有し、前記演算処理部が、該スイッチ部を直流結合に切り換えて前記フィードバック制御を行い、該スイッチ部を該交流結合に切り換えて前記測定対象物のインピーダンスの演算を行うことを特徴とする。請求項5に記載のインピーダンス測定装置は、請求項1に記載のもので、前記電圧検出部が、前記測定対象物の両端電圧を差動増幅する差動増幅器を有しており、前記信号源が、交流電圧源と、負の直流電圧源と、これら両電圧源の出力を加算する加算回路と、該加算回路の出力が反転入力端子に入力されると共に、該差動増幅器の出力端子が該反転入力端子にフィードバック接続され、非反転入力端子が基準電位に接続された演算増幅器とを備えることを特徴とする。請求項6に記載のインピーダンス測定装置は、請求項5に記載のもので、前記加算回路の出力が入力抵抗を介して前記反転入力端子に入力され、前記差動増幅器の出力端子が前記反転入力端子に帰還抵抗を介してフィードバック接続されていることを特徴とする。本発明のインピーダンス測定装置によれば、電圧検出部又は演算処理部と、信号源とが、所定の直流バイアス電圧が測定対象物に印加されるようにフィードバック関係で接続されていることにより、測定対象物の直流抵抗の高低によらず、所定の直流バイアス電圧を測定対象物に確実に印加することができるため、所望の測定条件でインピーダンスを精度良く測定することができる。演算処理部が、最初に測定対象物の直流抵抗を測定し、信号源の直流出力抵抗と測定対象物の直流抵抗との分圧比に基づいて、測定対象物に所定の直流バイアス電圧が印加されるように信号源の出力する直流電圧をフィードバック制御する場合、測定対象物の直流抵抗を実際に測定しているため、測定対象物に所定のバイアスを確実に印加させることができる。演算処理部が、電圧検出部の出力を読み込んで所定の直流バイアス電圧が測定対象物に印加されるまで、フィードバック制御を繰り返し行う場合、測定対象物の直流抵抗に電圧依存性があったとしても、所定の直流バイアス電圧を確実に印加させることができる。演算処理部が、電流検出部及び電圧検出部の出力を、直流結合で読み込んでフィードバック制御を行い、交流結合で読み込んで測定対象物のインピーダンスの演算を行う場合、フィードバック制御時とインピーダンス測定時とで、測定のダイナミックレンジを変更することが容易になる。したがって、所定の直流バイアス電圧を重畳させつつ、測定対象物のインピーダンスを精度良く測定することができる。電圧検出部が、測定対象物の両端電圧を差動増幅する差動増幅器を有しており、信号源が、交流電圧源と、負の直流電圧源と、これら両電圧源の出力を加算する加算回路と、加算回路の出力が反転入力端子に入力されると共に、差動増幅器の出力端子が反転入力端子にフィードバック接続され、非反転入力端子が基準電位に接続された演算増幅器と、所定の直流出力抵抗として演算増幅器の出力端子に接続された出力用抵抗とを備える場合、測定対象物に所定の直流バイアス電圧が印加されるように回路が自動的にフィードバック動作する。したがって、演算処理部がフィードバック制御のための処理を行うことが不要になり、短時間で測定を行うことができる。信号源の加算回路の出力が入力抵抗を介して演算増幅器の反転入力端子に入力され、電圧検出部の差動増幅器の出力端子が反転入力端子に帰還抵抗を介してフィードバック接続されている場合、入力抵抗と帰還抵抗との比によって決まる増幅度で、信号源の両電圧源の出力電圧が増幅されて測定対象物に印加されるので、例えば、増幅度を大きくして、出力可能な最大電圧レベルの小さな両電圧源を用いるなど、設計の自由度を高くすることができる。以下、本発明の実施形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施形態に限定されるものではない。図1に示すインピーダンス測定装置1は、信号源2、電流検出部3、電圧検出部4、A/D変換器25,26、及び演算処理部5を備え、所定の直流バイアス電圧を測定用の交流電圧交流測定電圧に重畳させて測定対象物DUT90に印加して、4端子法でDUT90のインピーダンスを測定可能なものである。このインピーダンス測定装置1は、所定の直流バイアス電圧をDUT90に印加させるように、演算処理部5と信号源2とがフィードバック関係で接続されており、演算処理部5がデジタル的に演算処理を行って信号源2をフィードバック制御している。以下、具体的に説明する。信号源2は、直流電圧を重畳させた交流電圧を、所定の直流出力抵抗でDUT90に出力するものである。具体的には、信号源2は、交流電圧源11、直流電圧源12、スイッチSW1,SW2、加算回路13、出力用抵抗R0、及び電流供給端子Hcを備えている。交流電圧源11は、例えば1kHz、100kHz、1MHzなどのような測定に使用する所定の周波数の交流電圧を出力するものである。交流電圧源11は、出力する交流周波数及び交流電圧を演算処理部5によって制御される。交流電圧源11は、スイッチSW1を介して加算回路13の一の入力端子に接続されている。スイッチSW1は、加算回路13の一の入力端子に、交流電圧源11を接続するか、基準電位グランド電位を接続するかを切換え可能に接続された1回路2接点スイッチであり、演算処理部5によって切り換えを制御される。直流電圧源12は、基準電位に対して正の直流電圧を出力するものであり、出力する直流電圧を演算処理部5によって制御される。直流電圧源12は、スイッチSW2を介して加算回路13の他の入力端子に接続されている。スイッチSW2は、加算回路13の他の入力端子に、直流電圧源12を接続するか、基準電位を接続するかを切換え可能に接続された1回路2接点スイッチであり、演算処理部5によって切り換えを制御される。なお、スイッチSW2は無くてもよく、交流電圧源11を加算回路13の他の入力端子に直接接続してもよい。このスイッチSW2は、インピーダンス測定装置1に汎用性を持たせるために設けられたものであり、例えば直流バイアス電圧をDUT90に印加せずにインピーダンスを測定するような場合に使用される。加算回路13は、スイッチSW1,SW2を介して一及び他の入力端子に入力された電圧を加算して出力する。加算回路13としては、公知の種々の加算回路を用いることができる。加算回路13の出力端子には、出力用抵抗R0を介して、電流供給端子Hcが接続されている。電流供給端子Hcは、DUT90の一端に接触させて使用される。出力用抵抗R0は、信号源2の出力抵抗出力インピーダンスを規定するものである。この場合、交流電圧及び直流電圧が共通の出力用抵抗R0を介して出力されるので、信号源2の交流出力抵抗及び直流出力抵抗は、出力用抵抗R0となる。この出力用抵抗R0は、例えば50Ωや100Ωなどの所定の既知の値である。電流測定部3は、電流検出端子Lc、演算増幅器21、差動増幅器22、電流検出抵抗R1、スイッチSW3、コンデンサC1、及び抵抗R2を備え、DUT90に流れる電流を電流-電圧変換検出して出力するものである。電流検出端子Lcは、DUT90の他端に接触させて使用される。この電流検出端子Lcは、演算増幅器21の反転入力端子に接続されている。演算増幅器21は、非反転入力端子が基準電位に接続されると共に、出力端子と反転入力端子とが電流検出抵抗R1で接続されている。したがって、演算増幅器21の反転入力端子は、基準電位に仮想接地されている。差動増幅器22によって電流検出抵抗R1の両端電圧が差動増幅されるようになっている。差動増幅器22の出力端子は、スイッチSW3の共通端子に接続されている。スイッチSW3は、差動増幅器22の出力を直流結合で出力するか、交流結合で出力するかを切換えるための1回路2接点スイッチである。スイッチSW3の一の切換接点図中、上側接点は、直流結合の出力に用いられ、A/D変換器25に接続されている。スイッチSW3の他の切換接点図中、下側接点は、交流結合の出力に用いられ、交流結合用のコンデンサC1を介してA/D変換器25に接続されている。コンデンサC1の出力側A/D変換器25側には、基準電位間に抵抗R2が接続されている。この抵抗R2は、コンデンサC1と共にハイパスフィルタを構成しており、このハイパスフィルタは交流電圧源11の出力する周波数を通過可能になっている。A/D変換器25は、電流検出部3から出力されたアナログ電圧を、デジタル変換して演算処理部5に出力する。電圧検出部4は、電圧検出端子Hp,Lp、差動増幅器23、スイッチSW4、コンデンサC2、及び抵抗R3を備え、DUT90の両端電圧を検出して出力するものである。電圧検出端子Hpは、DUT90の一端に接触させて使用され、電圧検出端子Lpは、DUT90の他端に接触させて使用される。電圧検出端子Hpは差動増幅器23の一の入力端子に接続され、電圧検出端子Lpは差動増幅器23の他の入力端子に接続されている。差動増幅器23は、両端子Hp,Lpを介して入力される電圧を差動増幅する。差動増幅器23の出力端子は、スイッチSW4の共通端子に接続されている。スイッチSW4は、差動増幅器23の出力を直流結合で出力するか、交流結合で出力するかを切換えるための1回路2接点スイッチである。スイッチSW4の一の切換接点図中、上側接点は、直流結合の出力に用いられ、A/D変換器26に接続されている。スイッチSW4の他の切換接点図中、下側接点は、交流結合の出力に用いられ、交流結合用のコンデンサC2を介してA/D変換器26に接続されている。コンデンサC2の出力側A/D変換器26側には、基準電位間に抵抗R3が接続されている。この抵抗R3は、コンデンサC2と共にハイパスフィルタを構成しており、このハイパスフィルタは、交流電圧源11の出力する周波数を通過可能になっている。A/D変換器26は、電圧検出部4から出力されたアナログ電圧を、デジタル変換して演算処理部5に出力する。なお、スイッチSW3,SW4が本発明におけるスイッチ部に相当する。演算処理部5は、CPU、メモリや各部とのインタフェース回路いずれも不図示などを備えて、メモリに記憶されたプログラムにしたがって動作する。この演算処理部5は、信号源2及びスイッチSW1~SW4の制御を行い、電流検出部3及び電圧検出部4の出力を読み込んで、DUT90のインピーダンスを演算する。又、後述するように、インピーダンスの演算を行う前に、直流電圧のみを信号源2から出力させて、DUT90に所定の直流バイアス電圧が印加されるように直流電圧源12の出力する直流電圧をフィードバック制御する。さらに、演算処理部5は、インピーダンスの演算を行う前に、DUT90に所定の交流測定電圧が印加されるように、交流電圧源11の出力する交流電圧をフィードバック制御する。図1のブロック図及び図2のフローチャートを参照しつつ、インピーダンス測定装置1の動作について具体的に説明する。測定を行うために測定者は、図1に示すように、DUT90の一端に電流供給端子Hc及び電圧測定端子Hpを接触させると共に、他端に電流検出端子Lc及び電圧測定端子Lpを接触させる。又、測定者は、インピーダンスを測定する交流周波数、DUT90に印加すべき所定の交流測定電圧例えば交流1Vrms、及びDUT90に印加すべき所定の直流バイアス電圧例えば直流10Vを、図示しない操作部を操作して設定し、演算処理部5に予め記憶させておく。インピーダンス測定装置1の動作を開始させると、図2のステップS1に示すように、演算処理部5は、スイッチSW1を基準電位側、スイッチSW2を直流電圧源12側、スイッチSW3を直流結合側、スイッチSW4を直流結合側に切り換える。次に、演算処理部5は、直流電圧源12に直流電圧を出力させるステップS2。これにより、信号源2から直流電圧のみが出力される。この場合、演算処理部5は、所定の直流バイアス電圧と同じ直流電圧を直流電圧源12に出力させることが好ましい。例えば、測定時に10Vの直流バイアス電圧をDUT90に印加すべき場合、先ず直流電圧源12に10Vの直流電圧を出力させる。このように、直流電圧源12が出力を開始する直流電圧を所定の直流バイアス電圧と同じにすることで、DUT90に所定の直流バイアス電圧を超える過大な電圧が印加されないため、DUT90の破損や性能劣化を防止することができる。続いて、演算処理部5は、A/D変換器25から電流検出部3の検出した電流を読み込むと共に、A/D変換器26から電圧検出部4の検出した電圧を読み込んで、電圧を電流で除算して、DUT90の直流抵抗Rdutを演算するステップS3。次に、演算処理部5は、信号源2の出力用抵抗R0直流出力抵抗と、DUT90の直流抵抗Rdutとの分圧比に基づいて、DUT90に所定の直流バイアス電圧が印加される直流電圧を直流電圧源12に出力させるステップS4。具体的には、直流電圧源12の出力する直流電圧をVdc、DUT90の両端電圧をVdutとすると、Vdut=Vdc×Rdut/R0Rdutの関係が成り立つ。所定の直流バイアス電圧をVdcpとして、1式のVdutに代入して変形し、直流電圧源12に出力させる直流電圧Vdcを求めると、Vdc=Vdcp×R0Rdut/Rdutとなる。ステップS4では、演算処理部5が、2式で演算して求めた直流電圧Vdcを直流電圧源12に出力させる。次に、演算処理部5は、電圧検出部4の検出した電圧を読み込んで、DUT90に所定の直流バイアス電圧が実際に印加されているか否かを確認するステップS5。例えばダイオードなどの半導体が付加されたDUT90のように、DUT90の種類によっては、印加される直流バイアス電圧に依存して直流抵抗が変化する場合がある。このような場合には、所定のバイアス電圧からずれた電圧がDUT90に印加されてしまうため、ステップS5で確認を行っている。なお、DUT90の直流抵抗に電圧依存性がない場合には、このステップS5を省略してもよい。ステップS5で、DUT90に所定のバイアス電圧が印加されていない場合には、演算処理部5は、再度ステップS3~S5を繰り返す。ステップS5で、DUT90に所定の直流バイアス電圧が印加されていた場合には、演算処理部5は、ステップS6に進む。ステップS6では、演算処理部5は、DUT90に所定の直流バイアス電圧を印加したまま、つまり直流電圧源12に2式の直流電圧を出力させたままの状態で、スイッチSW1を交流電圧源11側、スイッチSW2を直流電圧源12側そのままの状態、スイッチSW3を交流結合側、スイッチSW4を交流結合側に切り換える。次に、演算処理部5は、交流電圧源11に交流電圧を出力させつつ、電圧検出部5の出力を読み込んで、電圧検出部5から所定の交流測定電圧が検出されるように、交流電圧源11の交流電圧をフィードバック制御するステップS7。この場合、過大な交流電圧がDUT90に印加されないように、演算処理部5は、最初に所定の交流測定電圧を交流電圧源11に出力させてからフィードバック制御することが好ましい。ステップS7により、DUT90に所定の交流測定電圧が印加される。したがって、DUT90に、所定の直流バイアス電圧を重畳させた所定の交流測定電圧が、印加された状態になる。続いて、演算処理部5は、電流検出部3及び電圧検出部4の出力をA/D変換器25,26から読み込んで、DUT90のインピーダンスを演算するステップS8。以上で、DUT90のインピーダンス測定が終了する。なお、ステップS7,S8では、電流検出部3及び電圧検出部4の出力を精度良く読み込むために、A/D変換器25,26の入力ダイナミックレンジを有効に使用することが好ましい。つまり、電流検出部3,電圧検出部4の出力レベルと、A/D変換器25,26の入力ダイナミックレンジとが懸け離れないようにすることが好ましい。そのため、例えば、A/D変換器25,26の各々の前段に不図示の可変増幅器を配置して、演算処理部5がダイナミックレンジに対応させて可変増幅器の増幅度を宜可調整してもよい。この場合、ステップS3~S5のように直流電圧を測定するときには、この可変増幅器の増幅度を1に設定するか、可変増幅器を迂回して測定する。又は、A/D変換器25,26のリファレンス電圧を各々可変可能にしておいて、演算処理部5がダイナミックレンジに対応させてリファレンス電圧を適宜調整してもよい。ここで、リファレンス電圧とは、A/D変換器がデジタル変換可能な入力電圧範囲ダイナミックレンジを規定する電圧である。一例として、A/D変換器25,26が、グラウンド電位からリファレンス電圧までの入力電圧を16ビットの分解能でA/D変換する場合、A/D変換器25,26ごとに、リファレンス電圧を1V~10Vのように可変させることで、ダイナミックレンジを1V~10Vに設定することができる。又は、電流検出部3に異なる抵抗値の複数の電流検出抵抗を切り換え可能に配置して、A/D変換器25のダイナミックレンジに対応するように、演算処理部5が電流検出抵抗を適宜切り換えるようにしてもよい。又は、電圧検出部4の差動増幅器23の増幅度を切り換え可能にして、A/D変換器26のダイナミックレンジに対応するように、演算処理部5が増幅度を適宜切り換えるようにしてもよい。なお、A/D変換器25,26がステップS3~S5で直流電圧を読み込むときのダイナミックレンジと、ステップS7,S8で交流電圧を読み込むときのダイナミックレンジが共通で良い場合、スイッチSW3,SW4を配さずに、電流検出部3,電圧検出部4の出力を、A/D変換器25,26に直流結合で接続してもよい。又、演算処理部5が、最初に直流電圧のみを信号源2から出力させた状態で、フィードバック制御により所定の直流バイアス電圧をDUT90に印加させておいてから、信号源2に交流電圧を出力させる例について説明したが、演算処理部5が、直流電圧を重畳させた交流電圧を信号源2から出力させた状態で、直流結合で電流検出部3及び電圧検出部4の出力を読み込んで、デジタル的なフィルタリング処理で交流信号を除去して直流電圧のみを抽出して、DUT90の直流抵抗を演算し、この直流抵抗による分圧比に基づいて、所定の直流バイアス電圧がDUT90に印加されるように、信号源2をフィードバック制御するようにしてもよい。次に、本発明を適用する別の実施形態であるインピーダンス測定装置30について、図3、4を参照して説明する。なお、既に説明した構成と同様の構成については同じ符号を付して詳細な説明を省略する。インピーダンス測定装置30は、信号源7、電流検出部3、電圧検出部4、A/D変換器25,26、及び演算処理部8を備え、所定の直流バイアス電圧を測定用の交流電圧に重畳させてDUT90に印加して、4端子法でDUT90のインピーダンスを測定可能なものである。このインピーダンス測定装置30は、所定の直流バイアス電圧、及び所定の交流測定電圧をDUT90に印加させるように、電圧検出部4と信号源2とが、アナログ回路的にフィードバック関係で接続されている。以下、具体的に説明する。信号源7は、直流電圧を重畳させた交流電圧を、所定の直流出力抵抗でDUT90に印加するものである。この信号源7は、交流電圧源11、負の直流電圧源15、スイッチSW1,SW2、加算回路13、入力抵抗R11、演算増幅器16、出力用抵抗R0、帰還抵抗R12、及び電流供給端子Hcを備えている。交流電圧源11は、図1のインピーダンス測定装置1と同様にスイッチSW1を介して加算回路13の一の入力端子に接続されている。交流電圧源11は、出力する交流電圧を演算処理部8によって制御される。直流電圧源15は、基準電位に対して負の直流電圧を出力するものであり、出力する直流電圧を演算処理部8によって制御される。直流電圧源15は、スイッチSW2を介して加算回路13の他の入力端子に接続されている。スイッチSW2は、加算回路13の他の入力端子に、直流電圧源12を接続するか、基準電位を接続するかを切換え可能になっており、演算処理部5によって切り換えを制御される。なお、スイッチSW1,SW2は無くてもよく、交流電圧源11及び直流電圧源15を加算回路13に直接接続してもよい。このスイッチSW1,SW2は、インピーダンス測定装置30に汎用性を持たせるために設けられたものであり、例えば直流バイアス電圧のみ、又は交流電圧のみをDUT90に印加してインピーダンスを測定するような場合に使用される。加算回路13の出力端子は、一例として、入力抵抗R11を介して、演算増幅器16の反転入力端子に接続されている。又、この反転入力端子には、帰還抵抗R12を介して、電圧検出部4の差動増幅器23の出力端子が接続されており、演算増幅器16及び差動増幅器23がネガティブフィードバックになっている。演算増幅器16の非反転入力端子は、基準電位に接続されている。このため、演算増幅器16の反転入力端子は仮想接地されている。演算増幅器16の出力端子は、出力用抵抗R0を介して、電流供給端子Hcに接続されている。この出力用抵抗R0は演算増幅器16の出力電流を制限し演算増幅器16を保護するためのものであり、信号源7の直流出力抵抗及び交流出力抵抗となる。電流検出部3及び電圧検出部4は、インピーダンス測定装置1と同様のものである。なお、スイッチSW3,SW4は無くてもよく、電流検出部3,電圧検出部4を、A/D変換器25,26に交流結合で接続してもよい。このスイッチSW3,SW4は、インピーダンス測定装置30に汎用性を持たせるために設けられたものであり、例えば直流バイアス電圧のみ、又は交流電圧のみをDUT90に印加してインピーダンスを測定するような場合に使用される。演算処理部8は、信号源7及びスイッチSW1~SW4の制御を行い、電流検出部3及び電圧検出部4の出力を読み込んで、DUT90のインピーダンスを演算する。次に、図3のブロック図及び図4のフローチャートを参照しつつ、インピーダンス測定装置30の動作について具体的に説明する。測定を行うために、測定者は、図3に示すようにDUT90をセットすると共に、インピーダンスを測定する交流周波数、DUT90に印加すべき所定の交流測定電圧、及びDUT90に印加すべき所定の直流バイアス電圧を、演算処理部5に予め記憶させておく。インピーダンス測定装置30の動作を開始させると、図4のステップS11に示すように、演算処理部8は、スイッチSW1を交流電圧源11側、スイッチSW2を直流電圧源12側、スイッチSW3を交流結合側、スイッチSW4を交流結合側に切り換える。次に、演算処理部8は、交流電圧源11及び直流電圧源15に電圧の出力を開始させるステップS12。ここで、負帰還接続されている演算増幅器16及び差動増幅器23は、全体的に反転増幅回路を構成しているので、加算回路13から入力抵抗R11への入力電圧をVin、差動増幅器23の出力電圧をVoutとすると、Vout=-Vin×R12/R113の関係が成り立つ。なお、式中のR11は入力抵抗R11の抵抗値、R12は帰還抵抗R12の抵抗値を表している。DUT90の両端電圧Vdut=Voutの関係が成り立つので、3式に代入すると次の4式になる。Vdut=-Vin×R12/R114入力電圧Vinは、交流電圧源11の出力電圧Vacと、負の直流電圧源15の出力電圧-Vdcとを加算した電圧であるので、Vin=Vac-Vdc5となる。この5式を4式に代入して変形すると、Vdut=-Vac×R12/R11Vdc×R12/R116の関係が成り立つ。6式の第1項目がDUT90に印加される交流電圧であり、第2項目がDUT90に印加される直流電圧である。なお、第1項目の負の符号は、交流電圧の位相が180度回転したことを表すものであり、ここでは大きさだけを考える。DUT90に、所定の直流バイアス電圧Vdcp、及び所定の交流測定電圧Vacpを印加させるためには、6式の第1項目及び第2項目を変形して、Vac=Vacp×R11/R127Vdc=Vdcp×R11/R128の関係が成り立つ。入力抵抗R11及び帰還抵抗R12の値は既知であるので、演算処理部8は、ステップS12で、7式を満たす交流電圧Vacを交流電圧源11から出力させると共に、8式を満たす直流電圧-Vdcを直流電圧源15から出力させる。例えば、R12=R11とした場合、交流電圧源11から所定の交流測定電圧Vacpと大きさが等しい交流電圧Vacを出力させ、直流電圧源15から所定の直流バイアス電圧Vdcpと大きさが等しく負の直流電圧-Vdcを出力させる。又、例えば、R12=2×R11とした場合、交流電圧源11に所定の交流測定電圧Vacpの1/2の大きさの交流電圧Vacを出力させ、直流電圧源15に所定の直流バイアス電圧Vdcpの1/2の大きさの負の直流電圧-Vdcを出力させる。このような電圧を交流電圧源11及び直流電圧源15に出力させると、インピーダンス測定装置30は、アナログ回路的に負帰還動作して、出力用抵抗R0の値によらず、DUT90に、所定の直流バイアス電圧が重畳された所定の交流測定電圧が印加された状態になる。続いて、演算処理部8は、電流検出部3及び電圧検出部4の出力をA/D変換器25,26から読み込んで、DUT90のインピーダンスを演算するステップS13。以上で、DUT90のインピーダンス測定が終了する。なお、電流検出部3、電圧検出部4の出力を直流結合でも精度良くA/D変換器25,26が変換可能であれば、スイッチSW3,SW4を無くして、直流結合で接続するようにしてもよい。"