1個以上の流通孔が穿設された2枚のバリア放電電極板が相対向して配置され、少なくとも一方の対向面は誘電体膜が形成され、両バリア放電電極板間に放電プラズマを生起させるバリア放電イオナイザにおいて、前記バリア放電電極板がアルミニウム板、又はアルミニウム合金板、又はアルミニウムメッキ板であって、その表面の少なくとも対向面にアルミニウム陽極酸化膜が形成されていることを特徴とするバリア放電イオナイザ。前記アルミニウム板、又はアルミニウム合金板、又はアルミニウムメッキ板の対向面に形成される陽極酸化膜の厚さが10μm乃至50μmであることを特徴とする請求項1に記載のバリア放電イオナイザ。前記バリア放電電極板の間隔が10μm乃至100μmであることを特徴とする請求項1及び2に記載のバリア放電イオナイザ。前記アルミニウム陽極酸化膜表面に、該陽極酸化膜の比誘電率より大きな比誘電率を有する誘電体被膜が積層されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のバリア放電イオナイザ。前記誘電体被膜の厚さが0.1μm乃至10μmであることを特徴とする請求項4に記載のバリア放電イオナイザ。1個以上の流通孔が穿設された2枚のバリア放電電極板が相対向して配置され、少なくとも一方の対向面は誘電体膜が形成され、両電極板間に放電プラズマを生起させるバリア放電イオナイザにおいて、前記バリア放電電極板の前記流通孔の形状及びサイズがほぼ同一であって、前記バリア放電電極板に穿設された流通孔壁面に沿うて、相対向する電極板の一部にバリア放電ギャップとなる切欠部を有することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のバリア放電イオナイザ。前記切欠部は前記流通孔の壁面に沿ってU字形又はV字形に設けられ、前記切欠部のサイズが前記バリア放電ギャップの間隔をH、流通孔壁面からの奥行きをDとするとき、HとDの比が0.5≦D/H≦3であることを特徴とする請求項6に記載のバリア放電イオナイザ。1個以上の流通孔が穿設された3枚以上のバリア放電電極板が相対向して配置され、相対向する電極板の少なくとも一方の対向面は誘電体膜が形成され、各電極板間に放電プラズマを生起させるバリア放電イオナイザであって、前記バリア放電電極板の前記流通孔の形状及びサイズがほぼ同一であり、前記バリア放電電極板に穿設された流通孔壁面に沿うて、相対向する電極板の一部にバリア放電ギャップとなる切欠部を有することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のバリア放電イオナイザ。1個以上の流通孔が穿設された2枚以上のバリア放電電極板が相対向して配置され、少なくとも一方の対向面は誘電体膜が形成され、両バリア放電電極板間に放電プラズマを生起させるバリア放電イオナイザにおいて、前記2枚以上のバリア放電電極板は相互に面着固定され、作動領域の少なくとも1点で絶縁性接着剤等で接着固定されていることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のバリア放電イオナイザ。特許文献2で開示される技術では、誘電体膜の表面は数10μmの凹凸が形成されていて対向する金属板の板面は相互に面着固設されている。従って、両金属板間に電圧を印加して放電プラズマを発生させても放電プラズマは面着固設された凹凸空間内に発生し、この空間内に閉じ込められる。従って、有効に利用できるイオンは流通孔の壁面近傍で生成される放電プラズマに限定され、放電プラズマの大部分は無効になるという課題があった。本発明が解決しようとする課題は、印加電圧が低く且つ放電プラズマの利用効率及び放熱性に優れたイオナイザを安価に提供することにある。本発明は、上記課題を解決するために成されたもので、下記のバリア放電イオナイザを提供する。請求項1に係る発明は、1個以上の流通孔が穿設された2枚のバリア放電電極板が相対向して配置され、少なくとも一方の対向面は誘電体膜が形成され、両バリア放電電極板間に放電プラズマを生起させるバリア放電イオナイザにおいて、前記バリア放電電極板がアルミニウム板、又はアルミニウム合金板、又はアルミニウムメッキ板であって、その表面の少なくとも対向面にアルミニウム陽極酸化膜が形成されていることを特徴とするバリア放電イオナイザである。請求項2に係る発明は、請求項1に記載の前記アルミニウム板、又はアルミニウム合金板、又はアルミニウムメッキ板の対向面に形成される陽極酸化膜の厚さが10μm乃至50μmであることを特徴とするバリア放電イオナイザである。請求項3に係る発明は、請求項1及び2に記載の前記バリア放電電極板の間隔が10μm乃至100μmであることを特徴とするバリア放電イオナイザである。請求項4に係る発明は、請求項1から3のいずれかに記載の前記アルミニウム陽極酸化膜表面に、該陽極酸化膜の比誘電率より大きな比誘電率を有する誘電体被膜が積層されていることを特徴とするバリア放電イオナイザである。請求項5に係る発明は、請求項4に記載の前記誘電体被膜の厚さが0.1μm乃至10μmであることを特徴とするバリア放電イオナイザである。請求項6に係る発明は、請求項1から5のいずれかに記載のバリア放電イオナイザにおいて、前記バリア放電電極板の前記流通孔の形状及びサイズがほぼ同一であって、前記バリア放電電極板に穿設された流通孔壁面に沿うて、相対向する電極板の一部にバリア放電ギャップとなる切欠部を有することを特徴とするバリア放電イオナイザである。請求項7に係る発明は、請求項6に記載の前記切欠部が前記流通孔の壁面に沿ってU字形又はV字形に設けられ、前記切欠部のサイズが前記バリア放電ギャップの間隔をH、流通孔壁面からの奥行きをDとするとき、HとDの比が0.5≦D/H≦3であることを特徴とするバリア放電イオナイザである。請求項8に係る発明は、1個以上の流通孔が穿設された3枚以上のバリア放電電極板が相対向して配置され、相対向する電極板の少なくとも一方の対向面は誘電体膜が形成され、各電極板間に放電プラズマを生起させるバリア放電イオナイザであって、前記バリア放電電極板の前記流通孔の形状及びサイズがほぼ同一であり、前記バリア放電電極板に穿設された流通孔壁面に沿うて、相対向する電極板の一部にバリア放電ギャップとなる切欠部を有することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のバリア放電イオナイザである。請求項9に係る発明は、請求項1から8のいずれかに記載のバリア放電イオナイザにおいて、前記2枚以上のバリア放電電極板は相互に面着固定され、作動領域の少なくとも1点で絶縁性接着剤等で接着固定されていることを特徴とするバリア放電イオナイザである。本発明に係るバリア放電イオナイザによれば、バリア放電電極板の前記流通孔の壁面に沿ってU字形又はV字形の切欠部、即ちバリア放電ギャップを形成することによって、印加電圧を低減でき且つ放電プラズマの利用効率を向上することができる。また、バリア放電電極板にアルミニウム又はアルミニウム合金を用いることによって、誘電体膜として陽極酸化膜を容易に形成することができ、放熱性に優れたイオナイザを安価に提供することできる。本発明に係るバリア放電イオナイザは、複数の流通孔を穿設した2枚のバリア放電電極板を相対向して配置し、該電極板の少なくとも一方の対向面には誘電体膜が形成されており、両バリア放電電極板間に直流又は交流電圧を印加して放電プラズマを発生させるバリア放電イオナイザであって、前記バリア放電電極板にアルミニウム又はアルミニウム合金、或いは鉄板等にアルミニウムメッキした合成基板を使用し、その表面の少なくとも対向面に前記誘電体膜としてアルミニウム陽極酸化膜を形成する。図1に本発明に係るバリア放電イオナイザの概略構成の一部を示す。バリア放電電極板であるアルミニウム基板1a、1bにはガスが流通する流通孔2が穿設されている。該流通孔2の大きさ、形状及び開孔率は特に特定されるものではないが、円形の場合の直径は数mm程度、開孔率は30乃至60が好適である。また、基板の厚さは機械的精度が維持できる必要があり、0.3mm乃至2mmであることが望ましい。アルミニウム基板1a、1bの表面は誘電体膜3としてアルミニウム基板の陽極酸化によってアルミニウム酸化膜3を形成することができる。アルミニウム陽極酸化膜3の厚さは、特に限定されるものではないが、両電極間に印加する電圧に耐える厚さが必要で、10μm乃至200μm、好ましくは20μm乃至100μmであるである。また、必要に応じて封孔処理してもよい。陽極酸化膜3は対向する電極板のいずれか一方の表面に形成すればよいが、加工上は膜厚を考慮して両基板表面に形成することが望ましい。更に、本発明によれば、前記陽極酸化膜3の表面に、前記アルミニウム陽極酸化膜の比誘電率より大きな比誘電率を有する誘電体被膜、MgO膜、TiO2膜、BaTiO3膜、ダイヤモンドライクカーボン膜以下、DLC膜とも記す、Si3N4膜などの誘電体膜を積層することができる。これらの誘電体膜を積層することによって、放電電圧の低減、安定なコロナ放電が可能になる。積層する誘電体膜の厚さは0.1μm乃至10μm、好ましくは0.3μm乃至2μmである。前記相対向するバリア放電電極板1a、1bの前記流通孔2の形状及びサイズをほぼ同一とし、前記バリア放電電極板に穿設された流通孔2の内壁面に沿うて、相対向する電極板の一部にバリア放電を発生させる放電ギャップとなる切欠部4を設ける。該切欠部4は相対向する電極板1a、1bの少なくとも一方の電極板の流通孔端部に設け、対向する電極板との間に形成される切欠部4が前記流通孔の壁面に沿ってU字形又はV字形になるように設ける。該切欠部のサイズは両電極間の間隔が10μm乃至200μm、好ましくは20μm乃至100μm、奥行きは10μm乃至200μm、好ましくは20μm乃至100μmであるである。前記バリア放電ギャップの間隔をH、流通孔壁面からの奥行きをDとするとき、HとDの比が0.5≦D/H≦3であることが好適である。前記切欠部4は、図2aに示すように、相対向する電極板1a、1bの一方の流通孔端部に切欠部4を設け、対向する電極板と固着したときにU字形の放電ギャップを形成する構造、同図bは相対向する電極板1a、1bの両方の流通孔端部に切欠部4を設けてU字形の放電ギャップを形成する構造、また同図cはV字形の放電ギャップを形成する構造を示している。前記放電ギャップの形状はこれらに限定されるものではない。本発明によれば、形状及びサイズがほぼ同一の流通孔が穿設された3枚以上の前記バリア放電電極板を相対向して積層配置し、各積層電極間に前記バリア放電ギャップを形成し、奇数番目の電極板と偶数番目の電極板をそれぞれ電気的に接続して両電極板間にバリア放電電圧を印加する。このような構成にすることによって、各電極板間でバリア放電を発生させることができ、前記流通孔内のイオン発生量を大きくすることができる。更に、本発明によれば、少なくとも2枚の前記バリア放電電極板は相互に面着固定して前記バリア放電ギャップの間隔を所定間隔10μm乃至200μmに精度よく保持する必要がある。バリア放電によって電極板の温度が上昇すると、電極板にそりが発生して前記放電ギャップが変化する。作動領域の大きさにもよるが、作動領域の少なくとも1点で絶縁性の接着剤等で接着固定することによって、前記バリア放電ギャップの変化を抑制することができる。特に、3枚以上のバリア放電電極板を積層する場合は、放電電流によって加熱されて電極板の温度が上昇すると前記放電ギャップの間隔が変化して安定なコロナ放電が維持できなくなる。また、バリア放電電極板と同形状、ほぼ同サイズの流通孔を有する熱伝導率に優れた金属板、例えば、アルミニウム板や銅板で前記バリア放電電極板をサンドイッチ状に挟むことによって放熱することができ、前記バリア放電電極板の変形を抑制することができる。本発明に係る第1実施例に用いたバリア放電イオナイザの要部断面図を図1に示す。本実施例で用いたバリア放電イオナイザはバリア放電電極板1a、1bとしてアルミニウム合金板を用いた。電極基板1a及び1bには直径5mmの流通孔2を10mm間隔に配列し、有効作動領域を4cm2とした。電極基板1aの前記流通孔の周囲に沿うて、前記バリア放電ギャップの間隔Hが30μm、流通孔壁面からの奥行きDが100μmとなるように切欠部4を設けた。電極基板1bには切欠部は設けなかった。前記バリア放電電極板1a、1bの給電端子部分以外の表面はホウ酸溶液中で陽極酸化して厚さ20μmの酸化アルミニウム被膜3を形成した。該酸化アルミニウム被膜を95°Cの熱水中で24時間封孔処理を行った。封孔処理後、120°Cの大気中で3時間乾燥し、その表面に厚さ1μmのダイヤモンドライクカーボンDLC被膜図示せずを積層した。本発明によれば、前記積層誘電体被膜は800V以上の耐電圧特性を示した。前記バリア放電電極板1aと1bの流通孔を位置合わせして圧接し、作動領域の中央部の一部と周辺部を耐熱性接着剤オーデック社製セラマボンド571で固着した。作動領域の中央部と周辺部を接着剤で固着することによって、前記放電ギャップを30~35μmに保持することができた。前記バリア放電電極板1aと1bの間に33kHz、300V乃至1200Vの交流電圧を印加してコロナ放電を発生させた。印加電圧と放電電流の関係を図4に示す。バリア放電は前記切欠部及びその近傍で発生し、図4に破線で示すように放電開始電圧は580±15Vで、放電電流は印加電圧の増加に対して単調増加した。本発明に係る第2の実施例では、バリア放電電極1a、1bには実施例1と同じ形状及び寸法のものを使用し、給電端子部分以外の表面はホウ酸溶液中で陽極酸化して厚さ20μmの酸化アルミニウム被膜3を形成した。該酸化アルミニウム被膜を95°Cの熱水中で24時間封孔処理を行った。封孔処理後、120°Cの大気中で3時間乾燥し、その表面に厚さ1μmの酸化チタニウムTiO2被膜図示せずを積層した。前記バリア放電電極板1aと1bの流通孔を位置合わせして圧接し、作動領域の中央部の一部と周辺部を耐熱性接着剤で固着した。前記バリア放電電極板1aと1bの間に33kHz、300V~1200Vの交流電圧を印加してコロナ放電を発生させた。図4に実線で示すように放電開始電圧は530±15Vで、放電電流は印加電圧の増加に対して単調増加した。放電開始電圧は前記誘電体被膜に依存し、二次電子放出係数の大きい酸化マグネシウムMgOや比誘電率の大きいBaTiO3被膜やSrTiO3被膜を積層することによって放電開始電圧を低減することができる。他の実施形態上記実施形態では、基板材質としてアルミニウム合金材料を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば熱膨張係数の小さい鉄系基板にアルミニウムメッキした基板を用いることによって、使用中の温度上昇による放電特性の変動を回避することができる。また、他の実施形態として、前記バリア放電電極板を3枚以上積層し、各対向するバリア放電電極板間に前記バリア放電ギャップを形成することによって、流通ガスのイオン濃度を増加することができる。