減圧したワークの検査空間およびマスタチャンバの空間の差圧変化から、前記ワークの検査空間の漏れを検出するリークテスト方法であって、前記ワークの検査空間を加湿する加湿工程と、前記ワークの検査空間を水蒸気飽和させた状態で、前記差圧変化を検出する検出工程と、を行う、リークテスト方法。前記加湿工程では、前記ワークに連結される加湿手段より、前記ワークの検査空間に流体を導入することで、前記ワークの検査空間を外部から加湿する、請求項1に記載のリークテスト方法。前記ワークの検査空間に導入する流体の流量を絞り弁によって調整した状態で、前記ワークの検査空間を減圧することで、前記各空間を減圧する減圧工程と前記加湿工程とを同時に行う、請求項2に記載のリークテスト方法。前記加湿工程では、前記ワークの検査空間に保水性材料を配置して、前記ワークの検査空間を減圧することで、前記保水性材料に含まれる水分を気化させて、前記ワークの検査空間を内部から加湿する、請求項1に記載のリークテスト方法。減圧したワークの検査空間およびマスタチャンバの空間の差圧変化から、前記ワークの検査空間の漏れを検出するリークテスト装置であって、前記ワークの検査空間を加湿する加湿手段と、前記ワークの検査空間を水蒸気飽和させた状態で、前記差圧変化を検出する検出手段と、を具備する、リークテスト装置。前記加湿手段は、前記ワークに連結され、前記ワークの検査空間に流体を導入することで、前記ワークの検査空間を外部から加湿する、請求項5に記載のリークテスト装置。前記ワークの検査空間に導入する流体の流量を絞り弁によって調整した状態で、前記ワークの検査空間を減圧することで、前記各空間の減圧と前記ワークの検査空間の加湿とを同時に行う、請求項6に記載のリークテスト装置。前記加湿手段は、前記ワークの検査空間に配置される保水性材料を備え、前記ワークの検査空間を減圧することで、前記保水性材料に含まれる水分を気化させて、前記ワークの検査空間を内部から加湿する、請求項5に記載のリークテスト装置。本発明は、以上の如き状況を鑑みてなされたものであり、水蒸気圧の上昇による誤検出の発生を防止できるリークテスト方法およびリークテスト装置を提供するものである。請求項1においては、減圧したワークの検査空間およびマスタチャンバの空間の差圧変化から、前記ワークの検査空間の漏れを検出するリークテスト方法であって、前記ワークの検査空間を加湿する加湿工程と、前記ワークの検査空間を水蒸気飽和させた状態で、前記差圧変化を検出する検出工程と、を行う、ものである。請求項2においては、前記加湿工程では、前記ワークに連結される加湿手段より、前記ワークの検査空間に流体を導入することで、前記ワークの検査空間を外部から加湿する、ものである。請求項3においては、前記ワークの検査空間に導入する流体の流量を絞り弁によって調整した状態で、前記ワークの検査空間を減圧することで、前記各空間を減圧する減圧工程と前記加湿工程とを同時に行う、ものである。請求項4においては、前記加湿工程では、前記ワークの検査空間に保水性材料を配置して、前記ワークの検査空間を減圧することで、前記保水性材料に含まれる水分を気化させて、前記ワークの検査空間を内部から加湿する、ものである。請求項5においては、減圧したワークの検査空間およびマスタチャンバの空間の差圧変化から、前記ワークの検査空間の漏れを検出するリークテスト装置であって、前記ワークの検査空間を加湿する加湿手段と、前記ワークの検査空間を水蒸気飽和させた状態で、前記差圧変化を検出する検出手段と、を具備する、ものである。請求項6においては、前記加湿手段は、前記ワークに連結され、前記ワークの検査空間に流体を導入することで、前記ワークの検査空間を外部から加湿する、ものである。請求項7においては、前記ワークの検査空間に導入する流体の流量を絞り弁によって調整した状態で、前記ワークの検査空間を減圧することで、前記各空間の減圧と前記ワークの検査空間の加湿とを同時に行う、ものである。請求項8においては、前記加湿手段は、前記ワークの検査空間に配置される保水性材料を備え、前記ワークの検査空間を減圧することで、前記保水性材料に含まれる水分を気化させて、前記ワークの検査空間を内部から加湿する、ものである。本発明は、検査工程において、ワークの検査空間を加湿して水蒸気飽和させることで、ワークの検査空間に残留する水分の気化を抑制し、水蒸気圧の上昇による誤検出の発生を防止できる、という効果を奏する。以下では、本実施形態のリークテスト方法およびリークテスト装置1について説明する。図1に示すように、リークテスト方法およびリークテスト装置1は、ワークWに形成される検査空間W2の漏れリークの有無を検出するものである。本実施形態のワークWは、シリンダブロックであるものとする。検査空間W2は、シリンダブロックのボアW1等により形成される空間とする。なお、ワークWおよび検査空間W2は、本実施形態に限定されるものでない。リークテスト装置1は、本体10、マスタチャンバ20、減圧ポンプ30、加湿機構40、絞り弁50、加圧ポンプ60等を具備し、各構成部材を複数の方向制御弁第一バルブVL1から第六バルブVL6および配管等によって連結することで構成される。本体10は、ワークWとマスタチャンバ20との間に配置され、差圧センサ11にてワークWの検査空間W2とマスタチャンバ20の空間21との差圧変化を検出する。本体10の内側には、第二バルブVL2、第三バルブVL3、および第四バルブVL4が配置される。第二バルブVL2は、第一バルブVL1とワークWとマスタチャンバ20との間に配置され、オンとなったときに開かれる。第二バルブVL2が開くと、ワークWおよびマスタチャンバ20と第一バルブVL1側の配管とが連通し、第二バルブVL2が閉じると、第一バルブVL1、ワークW、およびマスタチャンバ20が互いに分断される。第三バルブVL3は、第四バルブVL4とワークWとマスタチャンバ20との間に配置され、オフとなったときに開かれる。第三バルブVL3が開くと、ワークWおよびマスタチャンバ20と第四バルブVL4側の配管とが連通し、第三バルブVL3が閉じると、第四バルブVL4、ワークW、およびマスタチャンバ20が互いに分断される。第四バルブVL4は、第三バルブVL3と大気が導入される消音器との間に配置され、オンとなったときに開かれる。第四バルブVL4が開くと、前記消音器と第三バルブVL3側の配管とが連通し、第四バルブVL4が閉じると、前記消音器と第三バルブVL3側の配管とが分断される。また、第三バルブVL3をオフにするとともに第四バルブVL4をオンにすることで、ワークWおよびマスタチャンバ20と前記消音器とが連通することとなり、ワークWの検査空間W2とマスタチャンバ20の空間21とに、大気が導入される図9参照。マスタチャンバ20は、その内側に形成される空間21から空気が漏れないように密閉された容器である。マスタチャンバ20は、第一バルブVL1および第二バルブVL2を介して加圧ポンプ60に連結されるとともに、第三バルブVL3および第五バルブVL5を介して減圧ポンプ30に連結される。第五バルブVL5は、ワークWと減圧ポンプ30との間に配置され、オンとなったときに開かれる。第五バルブVL5が開くとワークWと減圧ポンプ30とが連通し、第五バルブVL5が閉じるとワークWと減圧ポンプ30とが分断される。減圧ポンプ30は、各空間W221の空気を吸引して外部に排出し、各空間W221を減圧するものである。すなわち、リークテスト装置1は、減圧時に吸引するワークWの検査空間W2の空気が、本体10を通過しない構成である。つまり、減圧ポンプ30は、ワークWに直接的に連結される。加湿機構40は、ワークWの検査空間W2を加湿するものである。加湿機構40は、本体41、循環ポンプ42、および水槽43を備え、本体41に循環ポンプ42と水槽43とを連結することで構成される。図2および図3に示すように、加湿機構40の本体41には、複数の中空糸膜41aが収容される。中空糸膜41aは、長手方向両端部が開口するとともに各開口した部分が連続して繋がったストローに形成される膜である。中空糸膜41aは、加湿する方向図2における紙面右側から左側へ向かう方向に沿って束ねられるとともに、その長手方向両端部が樹脂41bで固定される。図1および図2に示すように、加湿機構40は、水槽43の水43aを循環ポンプ42によって本体41と水槽43との間で循環させる。図2の本体41の上側に示す矢印参照。これにより、加湿機構40は、図2および図3に示すように、水蒸気のみを中空糸膜41aの内側に選択的に透過させ、中空糸膜41aの内側を通過する空気を水蒸気飽和させる図2の本体41の左右両側に示す矢印、および図3に示す水蒸気参照。このような加湿機構40は、図1に示すように、第六バルブVL6を介してワークWに連結される。第六バルブVL6は、ワークWと加湿機構40との間に配置され、オンとなったときに開かれる。第六バルブVL6が開くとワークWと加湿機構40とが連通し、第六バルブVL6が閉じるとワークWと加湿機構40とが分断される。すなわち、第六バルブVL6をオンにして、加湿機構40からワークWの検査空間W2に水蒸気飽和状態の空気を導入することで、加湿機構40は、ワークWの検査空間W2を加湿する図5参照。絞り弁50には、消音器より大気が導入される。絞り弁50は、その開度を調整することで、大気の流量を調整して加湿機構40に導入する。加圧ポンプ60は、各空間W221に圧縮エアを充填して、各空間W221を加圧するものである。加圧ポンプ60は、第一バルブVL1および第二バルブVL2を介してワークWおよびマスタチャンバ20に連結される。第一バルブVL1は、加圧ポンプ60と第二バルブVL2との間に配置され、オンとなったときに開かれる。第一バルブVL1が開くと加圧ポンプ60と第二バルブVL2側の配管とが連通し、第一バルブVL1が閉じると加圧ポンプ60と第二バルブVL2側の配管とが分断される。すなわち、各空間W221を加圧するとき、第一バルブVL1と第二バルブVL2とはオンとなる。各バルブVL1~VL6は、図示せぬコントローラから所定の信号を受信することで、所定のバルブシーケンス制御例えば、図4に示すようなバルブシーケンス制御を行う。ワークWは、第二バルブVL2および第三バルブVL3を介してマスタチャンバ20に連結される。差圧センサ11は、各バルブVL1~VL6を全て閉じた状態で、各空間W221の差圧変化を検出する図7参照。検査空間W2の漏れの検出に際して、ワークWには、検査空間W2を密閉する治具W10が取り付けられる。本実施形態のようにワークWがシリンダブロックである場合、治具W10の下側には、ワークWをシールする一つの紐ゴムW11が取り付けられる。ワークWの上側には、エンジンの冷却水を循環させるウォータージャケットW3が形成される。このため、治具W10の上側には、ボアW1とウォータージャケットW3とを分離させてワークWをシールする二つの紐ゴムW11が取り付けられる。このような治具W10には、ワークWの検査空間W2の容積を減らすための中子W12が設けられる。治具W10に中子W12を設けることで、リークテスト装置1は、漏れによるワークWの検査空間W2の圧力変動を相対的に大きくし、差圧センサ11の測定値をより大きくしている。次に、リークテスト装置1を用いて行うリークテスト方法の動作について説明する。図4に示すように、まず、リークテスト方法では、減圧工程および加湿工程を行う。なお、図4においては、各バルブVL1~VL6の切換え状態を各シーケンスとして表している。より詳細には、図4に示すバルブシーケンスでは、各シーケンスが上側に位置したときに、各バルブVL1~VL6がオンとなり、各シーケンスが下側に位置したときに、各バルブVL1~VL6がオフとなることを示している。減圧工程および加湿工程では、図1および図4に示すように、所定の時間が経過するまで各バルブVL1~VL6をオフにする。そして、所定時の時間経過後に、減圧工程および加湿工程では、図4および図5に示すように、第二バルブVL2、第五バルブVL5、および第六バルブVL6をオンにする。すなわち、減圧工程および加湿工程では、第二バルブVL2、第三バルブVL3、第五バルブVL5、および第六バルブVL6が開かれる。このとき、減圧ポンプ30および加湿機構40は、その動作を開始する。すなわち、リークテスト装置1は、減圧ポンプ30によって各空間W221の空気を吸引し、外部に排出する図5に示す矢印R1参照。このように、リークテスト方法では、各空間W221を減圧する減圧工程を行う。各空間W221を減圧するとき、加湿機構40の空気も減圧ポンプ30によって吸引されるため、ワークWの検査空間W2には、加湿機構40から前記水蒸気飽和状態の空気が導入される図5に示す矢印R2参照。これにより、図6に示すように、ワークWの検査空間W2は、徐々に加湿される。このように、リークテスト方法では、ワークWの検査空間W2を加湿する加湿工程を行う。また、加湿機構40は、ワークWの検査空間W2を加湿する加湿手段として機能する。図5に示すように、ワークWの検査空間W2を加湿するとき、加湿機構40には、絞り弁50を介して大気が導入される。つまり、加湿機構40からワークWに導入される水蒸気飽和状態の空気の流量は、減圧ポンプ30により排出される空気の流量よりも少ない。従って、減圧ポンプ30は、その減圧度合いが加湿機構40からの空気によってやや低下するものの、ワークWの検査空間W2を徐々に減圧する。すなわち、リークテスト装置1では、加湿機構40による影響を考慮して、減圧ポンプ30による減圧度合いが設定されるとともに、絞り弁50の開度が調整される。リークテスト方法では、図6に示すように、時間Tだけ経過したときに、減圧工程および加湿工程を終了する。このとき、ワークWの検査空間W2は、漏れの検出において設定される所定の圧力まで減圧されるとともに、水蒸気飽和される図8に示す減圧工程、加湿工程時のワークWの検査空間W2参照。このように、リークテスト方法は、ワークWの検査空間W2に導入する水蒸気飽和状態の空気の流量を絞り弁50によって調整した状態で、ワークWの検査空間W2を減圧することで、減圧工程と加湿工程とを同時に行う。また、リーク検査装置は、ワークWの検査空間W2に導入する水蒸気飽和状態の空気の流量を絞り弁50によって調整した状態で、ワークWの検査空間W2を減圧することで、各空間W221の減圧とワークWの検査空間W2の加湿とを同時に行う。これによれば、リークテスト装置1およびリークテスト方法は、単に第二バルブVL2、第三バルブVL3、第五バルブVL5、および第六バルブVL6を開くだけで、ワークWの検査空間W2の減圧および加湿を行うことができる。つまり、リークテスト装置1およびリークテスト方法は、減圧工程および加湿工程におけるバルブシーケンス制御を単純化できる。なお、絞り弁50の配置位置は、水蒸気飽和状態の空気の流量を調整可能な位置であればよく、本実施形態に限定されるものでない。減圧に伴って、各空間W221の温度は低下する。そして、各空間W221の温度は、所定の時間が経過するまで上昇し、その後安定する。このような温度上昇は、漏れの検出結果に影響を与える。このため、減圧工程および加湿工程が終了した後で、リークテスト方法では、図1および図4に示すように、各バルブVL1~VL6をオフにして、一定時間待機する等圧工程を行う。これにより、リークテスト方法では、各空間W221の温度を安定させている。等圧工程を行った後で、リークテスト方法では、図4および図7に示すように、第三バルブVL3だけをオンにして、一定時間待機する平衡工程を行う。つまり、平衡工程では、第三バルブVL3を閉じて、各バルブVL1~VL6を全て閉じた状態にする。これにより、リークテスト方法では、第三バルブVL3を閉じたときに発生する圧力変動が、漏れの検出結果に影響を与えることを防止している。平衡工程を行った後で、リークテスト方法では、検出工程を行う。検出工程では、各バルブVL1~VL6を閉じた状態で、差圧センサ11によって各空間W221の差圧変化を検出する。差圧センサ11の測定値が所定の閾値を超えた場合、リークテスト方法では、ワークWの検査空間W2に漏れがあると判断する。これにより、リークテスト方法およびリークテスト装置1は、減圧した各空間W221の差圧変化から、ワークWの検査空間W2の漏れを検出する。図8に示すように、検出工程において、ワークWの検査空間W2は、所定の圧力まで減圧された状態であるとともに、水蒸気飽和された状態である図8に示す減圧工程、加湿工程時のワークWの検査空間W2参照。従って、リークテスト方法は、ワークWの検査空間W2に水分W4が残留している場合でも、検査工程において、残留水分W4の気化を抑制できる図8に示す検査工程時のワークWの検査空間W2参照。つまり、リークテスト方法は、従来技術にあるような、残留水分W4の気化による差圧変化を抑制できる。このため、リークテスト方法では、差圧センサ11によってワークWの検査空間W2に漏れがある場合だけ、差圧変化を検出できる図17b参照。これによれば、リークテスト方法およびリークテスト装置1は、検査空間W2に漏れがないワークWを、検査空間W2に漏れがあるワークWとして検出してしまうことを防止できる。つまり、リークテスト方法およびリークテスト装置1は、水蒸気圧の上昇による誤検出の発生を防止できる。このように、リークテスト方法は、ワークWの検査空間W2を水蒸気飽和させた状態で、差圧変化を検出する検出工程を行う。また、差圧センサ11は、ワークWの検査空間W2を水蒸気飽和させた状態で、差圧変化を検出する検出手段として機能する。検出工程を行った後で、リークテスト方法では、図4および図9に示すように、第三バルブVL3をオフにするとともに第四バルブVL4をオンにして、負圧破壊を行う。すなわち、第三バルブVL3と第四バルブVL4とを開いて、各空間W221に大気を導入し、各空間W221を大気圧の状態にする。これにより、検査空間W2の漏れの検出以下、リークテストと表記するは終了する。負圧破壊を行った後で、リークテスト方法では、図1および図4に示すように、各バルブVL1~VL6をオフにして、リークテスト装置1を待機状態にする。待機状態において、リークテストが終了したワークWを、別の検査対象のワークWと取り替える。本実施形態のリークテスト方法およびリークテスト装置1によれば、ワークWの検査空間W2に水分W4が残留していることが想定される環境例えば、ワークWに機械加工を行う量産環境においても、水蒸気圧の上昇による誤検出が発生することなくリークテストを行うことができる。なお、加湿工程では、リークテストの結果に影響がない範囲まで、ワークWの検査空間W2を加湿すればよく、必ずしもワークWの検査空間W2を完全に水蒸気飽和させる必要はない。次に、リークテスト方法に関する実験結果について説明する。実験では、検査空間W2にリークが発生していないワークWに対して、本実施形態のリークテスト方法を用いたリークテストと、リークテスト方法を用いない加湿工程を行わないリークテストとを繰り返し行った。そして、差圧センサ11の測定値に基づいて換算される漏れ量の平均値を算出した。図10は、このような実験結果を示す図である。図10の左端に示す棒グラフは、ワークWの検査空間W2に所定量の水分W4を残留させ、本実施形態のリークテスト方法を用いずにリークテストを行った結果である。このようなリークテストの結果としては、リークテスト装置1の測定誤差として設定される規定値nを大きく超える漏れが検出された。この棒グラフより、ワークWの検査空間W2に水分W4が残留している状態で、本実施形態のリークテスト方法を用いずにリークテストを行った場合、リークテストの結果は、残留水分W4の気化による差圧変化の影響を受けてしまうことがわかる。つまり、本実施形態のリークテスト方法を用いずにリークテストを行った場合には、水蒸気圧の上昇による誤検出が発生してしまうことがわかる図17a参照。図10の左右中央に示す棒グラフは、ワークWの検査空間W2に所定量の水分W4を残留させ、本実施形態のリークテスト方法を用いてリークテストを行った結果である。このようなリークテストの結果としては、前記規定値nよりも小さな漏れが検出された。この棒グラフより、ワークWの検査空間W2に水分W4が残留している状態で、本実施形態のリークテスト方法を用いてリークテストを行った場合には、残留水分W4の気化を抑制できるため、正しい検出結果が得られることがわかる。つまり、本実施形態のリークテスト方法を用いてリークテストを行った場合には、リークテスト方法を用いない場合にあるような水蒸気圧の上昇による誤検出の発生を防止できることがわかる。図10の右端に示す棒グラフは、ワークWの検査空間W2に水分W4を残留させずに、本実施形態のリークテスト方法を用いてリークテストを行った結果である。このようなリークテストの結果としては、前記規定値nよりも小さな漏れが検出された。以上より、ワークWの検査空間W2に残留する水分W4の有無に関わらず、本実施形態のリークテスト方法を用いてリークテストを行った場合には、正しい検出結果が得られることがわかる。図1に示すように、リークテスト装置1は、加圧ポンプ60によって各空間W221を加圧して、差圧センサ11によって差圧変動を検出するようなリークテストを実施可能に構成される。この場合、リークテスト装置1は、図4に示す減圧工程および加湿工程に代えて、加圧工程を行う。加圧工程では、第一バルブVL1および第二バルブVL2をオンにするとともに、第三バルブVL3から第六バルブVL6をオフにして、各空間W221に、加圧ポンプ60より圧縮エアを充填して加圧する。加圧工程以降は、前述したようなリークテストの場合と同様である。各空間W221を減圧するリークテストでは、ワークWの検査空間W2を真空にしたときの圧力までしか、ワークWに圧力をかけることができない。ここで、リークテストでは、ワークWに前記真空にしたときの圧力よりも高い圧力をかけて、リークテストを行うことが好ましい場合がある。このような場合としては、ワークWを所定の用途に用いたときに高い圧力がかかる部位例えば、ウォータージャケットW3等に対してリークテストを行う場合等がある。すなわち、減圧ポンプ30および加圧ポンプ60によって各空間W221を減圧および加圧可能に構成することで、リークテスト方法およびリークテスト装置1は、ワークWの部位に応じて最適なリークテストを行うことができる。図5に示すように、減圧ポンプ30は、ワークWに直接的に連結される構成である。これによれば、リークテスト装置1は、ワークWの検査空間W2の空気に含まれる水蒸気等を直接排出できる。仮に、図15に示すように、図5に示す加圧ポンプ60の位置に減圧ポンプ30を配置した場合、各空間W221を減圧するときに、前記水蒸気等は、リークテスト装置1の本体10を通過する図15に示す矢印R11参照。この場合、差圧センサ11等には、前記水蒸気が付着してしまう。従って、差圧センサ11等は、破損してしまう可能性がある。つまり、減圧ポンプ30をワークWに直接的に連結することで、差圧センサ11等が破損することを防止できる。なお、加湿機構40の構成は、本実施形態に限定されるものでなく、例えば、以下に示す変形例のような構成であっても構わない。図11に示すように、第一変形例のリークテスト装置101の加湿機構140は、水蒸気源141とバッファタンク142とを備え、水蒸気源141およびバッファタンク142はワークWに連結される。第一変形例の加湿機構40は、水蒸気源141にて水蒸気や水のミストを発生させ、前記水蒸気や水のミストをバッファタンク142に貯溜する。図12に示すように、第二変形例のリークテスト装置201の加湿機構240は、水蒸気発生タンクによって構成され、ワークWに連結される。第二変形例の加湿機構240は、温水241を貯溜するとともに、残りの空間温水241と水蒸気発生タンク内部との間に形成される空間に水蒸気飽和状態に近い状態まで加湿された空気を発生させる図12に黒塗り三角で示す水蒸気参照。加湿機構240は、図示せぬ温度調整機構によって、貯溜する温水241を所定の温度で維持する。第一変形例および第二変形例の加湿機構140240を用いて加湿工程を行う場合には、図4に示す加湿工程時のバルブシーケンスに基づいて各バルブVL1~VL6を制御して、減圧ポンプ30によって各空間W221を減圧する。ワークWの検査空間W2を減圧することで、第一変形例および第二変形例の加湿機構140240は、水蒸気や水のミストや加湿された空気をワークWの検査空間W2に導入する。これにより、第一変形例および第二変形例の加湿機構140240は、ワークWの検査空間W2を外部から加湿する。第二変形例の加湿機構240の温水241は、加湿工程時のワークWの検査空間W2の温度よりも高い温度が設定されている。従って、加湿機構240から導入する加湿された空気は、ワークWの検査空間W2において、飽和水蒸気量を超える水蒸気が含まれることとなる。これにより、第二変形例の加湿機構240は、加湿工程にてワークWの検査空間W2を水蒸気飽和させる。このように、加湿工程では、ワークWに連結される加湿機構40140240より、ワークWの検査空間W2に流体水蒸気飽和状態の空気や水蒸気や水のミストや加湿された空気等を導入することで、ワークWの検査空間W2を外部から加湿する。また、加湿機構40140240は、ワークWに連結され、ワークWの検査空間W2に流体を導入することで、ワークWの検査空間W2を外部から加湿する加湿手段として機能する。これによれば、リークテスト方法およびリークテスト装置1101201は、リークテストが終了したワークWを交換するだけで、リークテストを連続して行うことができる。つまり、図4に示す待機状態での手順を簡略化できる。また、ワークWの検査空間W2を外部から加湿する場合、本実施形態のような中空糸膜41aを用いた加湿機構40を用いることで、加湿機構40をより小型化できる。図13に示すように、第三変形例のリークテスト装置301の加湿機構340は、保水性材料を備える。保水性材料は、含水された状態で中子W112に取り付けられる。すなわち、第三変形例のリークテスト装置301では、加湿機構340がワークWに連結されず、本実施形態にあるような第六バルブVL6や絞り弁50等が設けられない図1参照。保水性材料は、減圧時に含水させた水分が気化しやすい素材、例えば、多孔質で含水する表面積が大きくなるような素材で構成される。第三変形例の加湿機構340を用いて加湿工程を行う場合には、図4に示す加湿工程時のバルブシーケンスに基づいて第一バルブVL1から第五バルブVL5までを制御して、減圧ポンプ30によってワークWの検査空間W2を減圧する。図14に示すように、ワークWの検査空間W2を減圧することで、保水性材料に含水させた水分の気化が促進される図14に示す水蒸気参照。これにより、第三変形例の加湿機構340は、ワークWの検査空間W2を内部から加湿する。このように、加湿工程では、ワークWの検査空間W2に保水性材料を配置して、ワークWの検査空間W2を減圧することで、保水性材料に含まれる水分を気化させて、ワークWの検査空間W2を内部から加湿する。また、第三変形例の加湿機構340は、ワークWの検査空間W2を減圧することで、保水性材料に含まれる水分を気化させて、ワークWの検査空間W2を内部から加湿する、加湿手段として機能する。これによれば、リークテスト方法およびリークテスト装置301は、第六バルブVL6や絞り弁50等を設ける必要がなくなるため、バルブシーケンスを単純化できる。また、リークテスト装置301の構成を簡素化できるとともに、コストを低減できる。