"露光装置に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置であって、前記基板を載置するための基板保持部と、前記基板保持部を所定の方向及び該所定の方向と直交する方向に駆動するとともに、これらの方向と直交する軸まわりに回転駆動する基板駆動機構と、前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構と、前記基板保持部に載置された基板の異物を検出する異物検出機構と、を有し、前記異物検出機構は、前記基板保持部の上方に配置され、前記所定の方向に並んで配置される複数のカメラと、前記複数のカメラの少なくとも前記直交方向一方側にそれぞれ配置され、該カメラが撮像する基板の位置に光を照射する複数の光源と、前記複数のカメラ及び前記複数の光源を前記直交方向に搬送する搬送機構と、を備え前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とするプリアライメント装置。前記複数の光源は、前記複数のカメラの前記直交方向両側にそれぞれ配置され、前記複数のカメラの前記直交方向一方側又は他方側に配置された前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とする請求項1に記載のプリアライメント装置。前記複数の光源は、前記複数のカメラの前記直交方向両側にそれぞれ配置され、前記複数のカメラの前記直交方向両側に配置された前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とする請求項1に記載のプリアライメント装置。前記複数のカメラは、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載のプリアライメント装置。基板を載置するための基板保持部と、前記基板保持部を所定の方向及び該所定の方向と直交する方向に駆動可能、並びにこれらの方向と直交する軸まわりに回転駆動可能な基板駆動機構と、前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構と、前記基板保持部に載置された基板の異物を検出する異物検出機構と、を有するプリアライメント装置のプリアライメント方法であって、前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する工程と、前記温調が行われている基板にプリアライメントを行う工程と、前記温調が行われている基板の異物を検出する工程と、を有し、前記異物検出機構は、前記基板保持部の上方に配置され、前記所定の方向に並んで配置される複数のカメラと、前記複数のカメラの少なくとも前記直交方向一方側にそれぞれ配置され、該カメラが撮像する基板の位置に光を照射する複数の光源と、前記複数のカメラ及び前記複数の光源を前記直交方向に搬送する搬送機構と、を備え前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とするプリアライメント方法。ところで、図7に示すようなユニットでは、精密温調装置105、異物検査機107、及びプリアライメント装置108が個々に配置されていたため、基板の温調、異物検査、プリアライメントを順に行わなければならず、タクトロスが発生し、また、複数の搬送用ロボット104,106,109も必要となり、ユニット全体が大型化してしまう。また、特許文献1に記載のような露光装置では、一方のステージ装置の露光時間と他方のステージ装置の温調時間に差が生じてしまうと、タクトロスが発生するという課題がある。さらに、特許文献2に記載のプリアライメント装置は、回転駆動によってウェハをプリアライメントする際に温度を調整するものであり、フラットパネルディスクプレイを製造する際に使用されるマザーガラスのような基板をプリアライメントする装置と異なるものである。また、特許文献3に記載の異物検査装置においては、複数のレーザ光照射部及び複数のCCDカメラの具体的な位置関係が記載されておらず、これらが適切に配置されていない場合、照度不足になることや、基板上において照度が一定にならないことで、異物を取り逃す虞があった。本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、露光ユニット全体を小型化することができ、タクトタイムの短縮ができ、且つ高精度に異物を検出することが可能なプリアライメント装置及びプリアライメント方法を提供することにある。本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。1露光装置に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置であって、前記基板を載置するための基板保持部と、前記基板保持部を所定の方向及び該所定の方向と直交する方向に駆動するとともに、これらの方向と直交する軸まわりに回転駆動する基板駆動機構と、前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構と、前記基板保持部に載置された基板の異物を検出する異物検出機構と、を有し、前記異物検出機構は、前記基板保持部の上方に配置され、前記所定の方向に並んで配置される複数のカメラと、前記複数のカメラの少なくとも前記直交方向一方側にそれぞれ配置され、該カメラが撮像する基板の位置に光を照射する複数の光源と、前記複数のカメラ及び前記複数の光源を前記直交方向に搬送する搬送機構と、を備え前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とするプリアライメント装置。2前記複数の光源は、前記複数のカメラの前記直交方向両側にそれぞれ配置され、前記複数のカメラの前記直交方向一方側又は他方側に配置された前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とする1に記載のプリアライメント装置。3前記複数の光源は、前記複数のカメラの前記直交方向両側にそれぞれ配置され、前記複数のカメラの前記直交方向両側に配置された前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とする1に記載のプリアライメント装置。4前記複数のカメラは、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とする1~3の何れか1項に記載のプリアライメント装置。5基板を載置するための基板保持部と、前記基板保持部を所定の方向及び該所定の方向と直交する方向に駆動可能、並びにこれらの方向と直交する軸まわりに回転駆動可能な基板駆動機構と、前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構と、前記基板保持部に載置された基板の異物を検出する異物検出機構と、を有するプリアライメント装置のプリアライメント方法であって、前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する工程と、前記温調が行われている基板にプリアライメントを行う工程と、前記温調が行われている基板の異物を検出する工程と、を有し、前記異物検出機構は、前記基板保持部の上方に配置され、前記所定の方向に並んで配置される複数のカメラと、前記複数のカメラの少なくとも前記直交方向一方側にそれぞれ配置され、該カメラが撮像する基板の位置に光を照射する複数の光源と、前記複数のカメラ及び前記複数の光源を前記直交方向に搬送する搬送機構と、を備え前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置されることを特徴とするプリアライメント方法。本発明のプリアライメント装置及びプリアライメント方法によれば、基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構、及び基板の異物を検出する異物検出機構を有することで、プリアライメント装置と基板温調機構と異物検出機構が単一の装置となり、露光ユニット全体を小型化することができる。また、温度の調整が行われている基板にプリアライメント及び異物検出を行うことで、タクトタイムの短縮を図ることができる。さらに、異物検出機構の複数のカメラの少なくとも片側にはそれぞれ光源が設けられ、これらの複数の光源は、隣接する光源同士の両端部をオーバーラップさせた状態で、カメラが並ぶ方向に沿って千鳥状に配置されるので、基板上における照度が一定となり、照度不足とならず、精度良く異物を検出することが可能となる。以下、本発明のプリアライメント装置及びプリアライメント方法が適用される一実施形態の露光ユニットについて図面を参照して詳細に説明する。図1に示す一実施形態の露光ユニット10は、コーター11、ホットプレート12、及びコールドプレート13を備えた処理ユニット14と、プリアライメント装置20と、露光装置本体15と、搬出装置としてのコンベア16と、処理ユニット14とプリアライメント装置20との間で基板の受け渡しを行う第1の搬送用ロボット17と、プリアライメント装置20と露光装置本体15とコンベア16との間で基板の受け渡しを行う第2の搬送用ロボット18と、を有する。なお、処理ユニット14、露光装置本体15、コンベア16、第1及び第2の搬送用ロボット17,18は、図5に示したものと同様、公知のものが適用される。また、コーター11は、ホットプレート12及びコールドプレート13と別々に設けられてもよく、その場合、図示しない他の搬送用ロボットによって基板の受け渡しを行う。本発明のプリアライメント装置20は、図2及び図3に示すように、基台21と、基板Wを保持する基板保持部である精密温調プレートPCP22と、精密温調プレート22を支持する支持部材23を、基台21に対してX方向、X方向と直交するY方向、及びX、Y方向に垂直な軸周りのθ方向に回転駆動する基板駆動機構24と、支持部材23に対して、複数のピン25を上下方向Z方向に駆動して、精密温調プレート22に形成された複数のピン孔22aから進退させるピン駆動機構26と、基台21に取り付けられ、X方向とY方向の一方に2箇所、他方に1箇所設けられた複数のアライメントカメラエッジセンサ27と、を備える。また、精密温調プレート22は、基板Wの温度を調整する基板温調機構をなしており、ピン孔22aを迂回するように形成された内部の冷却配管を通過する冷却媒体によって基板Wの熱を放熱して基板Wを冷却する。さらに、プリアライメント装置20には、精密温調プレート22の上方に配置され、X方向に直線状に配置される複数のカメラ30と、カメラ30のY方向両側にそれぞれ配置され、カメラ30が撮像する基板Wの位置に光を照射する複数の光源31と、複数のカメラ30及び複数の光源31が取り付けられた可動部材32をY方向に搬送する搬送機構33と、を備えた異物検出機構34が設けられている。搬送機構33は、ボールねじのような駆動装置とガイド装置とを組合せた公知の機構によって構成されており、可動部材32を基台21のX方向両側で支持して、可動部材32が精密温調プレート22上を跨ぐように駆動する。光源31は、それぞれ棒状のLED照明から構成されており、図3において、カメラ30のY方向一方側図3中、上側に配置された光源以下、第1の光源と呼ぶ。が符号31Aで示され、カメラ30のY方向他方側に配置された光源以下、第2の光源と呼ぶ。が符号31Bで示されている。第2の光源31Bは、互いにX方向に対向するように配置されている。一方、第1の光源31Aは、隣接する第1の光源31A同士の両端部をY方向から見てオーバーラップさせた状態で、X方向に沿って千鳥状に配置されている。より具体的には、図4aに示すように、第1の光源31Aは、その幅方向X方向両端部において互いに距離Lだけオーバーラップするように設けられており、距離Lは、図4bに示すように、複数の第1の光源31Aを重ね合わせたときの照度が、重ね合わせた第1の光源31Aの幅方向X方向両端部除いて、略一定となるように設定される。このように構成された本実施形態の露光ユニット10では、洗浄されたガラス基板Wは、コーター11によってレジストが塗布され、ホットプレート12によって温めてレジストを乾燥させた後、コールドプレート13によって荒熱を取り除く。その後、基板Wは、第1の搬送用ロボット17によって複数のピン25が上昇した状態のプリアライメント装置20に受け渡される。ピン25が下降して基板Wを精密温調プレート22に接触させ吸着保持する。これにより、精密温調プレート22によって基板Wは冷却される。そして、基板Wを冷却している間、基板Wの端面をエッジセンサ27によって位置検出し、精密温調プレート22をX,Y、θ方向に駆動して基板Wのプリアライメントを行う。そして、プリアライメントが完了した基板Wに対して、光源31から光を照射し、搬送機構33によって可動部材32を移動しながらカメラ30によって異物検出を行う。具体的に、異物が存在した場合には、カメラ30が異物によって拡散した光を撮像することで異物検出を行う。そして、異物検査及び温度の調整が完了すると、ピン25を上昇させて、第2の搬送用ロボット18によって基板Wを露光装置本体15へと搬送し、マスクMのパターンが露光転写される。露光後の基板Wは、第2の搬送用ロボット18によって下流のコンベア16に渡されて、次工程へと送られる。以上説明したように、本実施形態のプリアライメント装置20及びプリアライメント方法によれば、プリアライメントする際に基板を保持する基板保持部を基板の温度を調整する精密温調プレート22としたことで、プリアライメント装置20と基板温調機構とが単一の装置となり、搬送用ロボットの数も削減でき、露光ユニット全体を小型化することができる。また、温度の調整が行われている基板にプリアライメントを行うことで、タクトタイムの短縮を図ることができる。さらに、プリアライメント装置20によれば、基板の異物を検出する異物検出機構34を有するので、プリアライメント装置と異物検出機構とが単一の装置となり、露光ユニット全体を小型化することができる。また、本実施形態のように、温度の調整が行われている基板Wに異物検出を行うことで、タクトタイムの短縮を図ることができる。なお、異物検出工程は、本実施形態のように、プリアライメント工程後に行うことで、基板Wの傾きによってカメラ30が撮像できない領域が生じる可能性がなくなり、異物検出の精度を向上することができる。さらに、複数のカメラ30のY方向一方側に配置された複数の第1の光源31Aは、隣接する第1の光源31A同士の両端部をY方向から見てオーバーラップさせた状態で、X方向に沿って千鳥状に配置されるので、基板W上における照度が一定となり、照度不足とならず、精度良く異物を検出することが可能となる。また、カメラ30のY方向両側にそれぞれ光源31が配置されるので、照度不足となることを防止することができる。さらに、幅の長い1つの光源ではなく、比較的幅の短い複数の光源31によって基板Wに光を照射するようにしたので、基板Wが大型化した場合であっても、光源31の製造が困難となることがなく、光源31が撓むことを防止することができる。尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が可能である。例えば、図5に示すように、第1及び第2の光源31A、31Bが、隣接する第1の光源31A同士及び第2の光源31B同士の両端部をY方向から見てオーバーラップさせた状態で、X方向に沿って千鳥状に配置されるように構成してもよい。このようにすることで、第2の光源31Bにおいても、照度が一定となるので、異物検査の精度を向上させることが可能となる。また、図6に示すように、第1及び第2の光源31A、31Bに加えて、カメラ30をX方向に沿って千鳥状に配置することで、異物検出精度の向上を図っても良い。また、上記実施形態においては、複数の光源31が、カメラ30のY方向両側にそれぞれ設けられているが、隣接する光源31同士の両端部をY方向から見てオーバーラップさせた状態で、X方向に沿って千鳥状に配置される限り、カメラ30のY方向片側のみに設けられるように構成しても良い。"