電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するための光導波路を有し、当該光導波路は親マッハツェンダ光導波路の分岐光導波路上に子マッハツェンダ光導波路をそれぞれ有するネスト型構造を成し、前記子マッハツェンダ光導波路を成す2本の光導波路の上方にバイアスを印加するための中心導体の役割を成す2つの電極を各々有し、該2つの電極に同相のバイアス電圧を印加することにより、前記親マッハツェンダ光導波路としてのバイアスを設定する光変調器であって、前記子マッハツェンダ光導波路を成す前記2本の光導波路と当該2本の光導波路の上方に形成された前記2つの電極の位置が前記光の導波方向と交わる方向にずれた状態であっても当該2本の光導波路において発生する屈折率変化が互いに等しくなるように、接地導体の役割をなす3つの電極を、前記光の導波方向と交わる方向における前記2つの電極の各電極の両側にして当該2つの電極の間は共通で設けたことを特徴とする光変調器。接地導体の役割をなす前記3つの電極の幅を互いに略等しく設定したことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。以上のように、従来技術では親MZ光導波路用バイアス電極に電圧を印加すると、親MZ光導波路用バイアス電極と光導波路との位置ずれのために、親MZ光導波路のネスト内にある各子MZ光導波路を構成する光導波路の屈折率変化が互いに等しくはならなくなっていた。そのため、トランスポンダの構成部品として動作させた際に、電気回路が親MZ光導波路用バイアス電極に電圧を印加すると、子MZ光導波路としてのバイアス状態が最適条件からずれてしまい、オートバイアスコントロールABCがバイアス状態を収束できなくなるという問題があった。上記課題を解決するために、本発明の請求項1に記載の光変調器は、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するための光導波路を有し、当該光導波路は親マッハツェンダ光導波路の分岐光導波路上に子マッハツェンダ光導波路をそれぞれ有するネスト型構造を成し、前記子マッハツェンダ光導波路を成す2本の光導波路の上方にバイアスを印加するための中心導体の役割を成す2つの電極を各々有し、該2つの電極に同相のバイアス電圧を印加することにより、前記親マッハツェンダ光導波路としてのバイアスを設定する光変調器であって、前記子マッハツェンダ光導波路を成す前記2本の光導波路と当該2本の光導波路の上方に形成された前記2つの電極の位置が前記光の導波方向と交わる方向にずれた状態であっても当該2本の光導波路において発生する屈折率変化が互いに等しくなるように、接地導体の役割をなす3つの電極を、前記光の導波方向と交わる方向における前記2つの電極の各電極の両側にして当該2つの電極の間は共通で設けたことを特徴としている。上記課題を解決するために、本発明の請求項2に記載の光変調器は、請求項1記載の光変調器において、接地導体の役割をなす前記3つの電極の幅を互いに略等しく設定したことを特徴としている。本発明を適用することにより、親MZ光導波路用バイアス電極にバイアス電圧を印加した場合において、親MZ光導波路のネスト内にある各子MZ光導波路を構成する2本の光導波路の屈折率変化を互いに等しくすることができる。そのため親MZ光導波路用バイアス電極にバイアス電圧を印加した際における子MZ光導波路としてのバイアス状態が最適条件からずれることがなくなるという極めて重要な効果がある。以下、本発明の実施形態について説明するが、図6から図9に示した従来技術と同一番号は同一機能部に対応しているため、ここでは同一番号を持つ機能部の説明を省略する。実施形態図1に本発明における第1の実施形態の概略上面図を示す。子MZ光導波路3abと子MZ光導波路3cdを伝搬する光の位相がπずれるように、親MZ光導波路用バイアス電極IIが形成されている。ここで電極9aと9bは各々光導波路3a ́と3b ́の上に、また電極11a、11b及び新たに設けられた11cが電極9aと9bの接地導体の役割をしている。一方、給電電極12により電極11a、11b及び11cに接続された電極11dと11eは、各々光導波路3c ́と3d ́の上に形成され、給電電極10により電極9aと9bと接続された電極9c、9d、及び9eが電極11dと11eの接地導体の役割をしている。図6に示した従来技術と同じく、電極9aと9bは互いに同電位であるため、光導波路3a ́と3b ́に同じ大きさの屈折率変化を与える。また、電極11dと11eは互いに同電位であるため、光導波路3cと3dに同じ大きさの屈折率変化を与える。本発明と図6と図7に示した従来技術との差異を説明するために、図2に図1のB-B ́における断面図を示す。ここで給電電極10に正のバイアス電圧を、給電電極12に負のバイアス電圧を印加したとする。なお、図6や図7に示した従来技術と比較して、電極9aと9bに対して接地導体の役割をする電極11cを新たに設けたので、電極9a、9bの中心線間の距離光導波路3a ́、3b ́の中心線間の距離S ́は図7のSに比べて広くするのが好適である。図2に示すように、本発明では電極9aから発せられた後に接地導体の役割をする電極11aに向かう電気力線8a ́と11cに向かう電気力線8a ́ ́は電極9aの中心線に対してほぼ左右対称に分布し、光導波路3a ́に対して印加される。電極9bから発せられた後に接地導体の役割をする電極11bと電極11cに向かう電気力線8b ́と8b ́ ́は電極9bの中心線に対してほぼ左右対称に分布し、光導波路3b ́に対して印加される。そして、図7と同様に図2においても光導波路3a ́と3b ́に対して同じ方向図2において下向きに印加されている。なお、図1からわかるように、光導波路3c ́と3d ́においては図2と逆向きの不図示の電気力線が光導波路3c ́と3d ́に印加されることになる。図2において説明したように、本発明では電極9aから発せられた電気力線8a ́と8a ́ ́が電極9aの中心線に対してほぼ左右対称に分布し、電極9bから発せられた電気力線8b ́と8b ́ ́も電極9bの中心線に対してほぼ左右対称に分布する。従って、図3のように中心導体の役割をする電極9aと9b、及び接地導体の役割をする11a、11b、11cと光導波路3a ́、3b ́がパターンずれしても、光導波路3a ́へ印加される電気力線8a ́、8a ́ ́と、光導波路3b ́に印加される電気力線8b ́、8b ́ ́の本数はほぼ等しいので、親MZ光導波路に印加されたバイアス電圧による光導波路3a ́と3b ́の屈折率変化もほぼ等しくなる。この様子を図4に示す。図4の横軸は光導波路3a ́、3b ́と電極9a、9b、11a、11b、11cとのパターンずれ量Δxであり、縦軸は電界効果による光導波路3a ́と3b ́の屈折率変化の効率である。光導波路3a ́と3b ́について屈折率変化の効率がほぼ等しいので、図4では1本の線のように描かれている。なお、図1において光導波路3c ́、3d ́についても同じことが成り立つ。このように、本発明はパターンずれしても親MZ光導波路を構成する子MZ光導波路の2本の光導波路に発生する屈折率変化がほぼ等しいので、本発明を適用することにより、光変調器の製作の歩留まりを極めて高くすることが可能となった。ここで、図5を用いて本発明における電極の幅や電極間のギャップについて説明する。この図5も図2と同位置における断面である。電極9aの幅をSa、電極9bの幅をSb、電極11aの幅をWa、電極11cの幅をWb、電極11cの幅をWcとしている。また、電極9aと電極11a及び11cとの間のギャップを各々GaとGb、電極9bと電極11c及び11bとの間のギャップを各々GcとGdとすると、図4の結果はSa=Sb、Ga=Gb=Gc=Gd、Wa=Wb=Wcとした場合の結果である。なお、Sa=Sb=Wa=Wb=Wcとしても良いが、Sa=Sb<Wa=Wb=Wc、特にWa=Wb=WcをSa=Sbの3倍以上とすると屈折率変化の効率を大幅に改善できることを確認している。各電極やギャップを図5のように設定することにより本発明の効果を完全に発揮できるが、光導波路3a ́と3b ́との間にあり、接地導体の役割をする電極11cの幅WcがギャップGbやGcに比べて3倍以上広い場合には、電極11cの幅Wcは無限に広い場合とほぼ同じと見なせることを確認している。そのため、同じく接地導体の役割をする電極11aや11bの幅もギャップGbやGcに比べて3倍以上広ければ、Wa、Wb、及びWcの値は等しくなくても良いことは言うまでもない。但し、電極9aの幅Saと9bの幅Sbは等しいことが望ましい。各実施形態について以上の実施形態ではプレーナ構造を用いて説明してきたが、リッジ構造でも良いことはいうまでもない。また、進行波電極としては具体的な構造について説明しなかったが、CPW電極でも良いし、非対称コプレーナストリップACPSや対称コプレーナストリップCPSなどの各種進行波電極、あるいは集中定数型の電極でも良いことは言うまでもない。また、基板の一部に分極反転を含むか含まないかは親MZ光導波路のバイアスについて本質的に関連しないので、分極反転を含んでいても良いことはいうまでもない。基板はz-カットLN基板のみでなく、xカットLN基板でも良いし、リチウムタンタレートや半導体などその他の基板でも良い。さらに、ネスト構造のMZ光導波路が全てLN光導波路で構成されているLNモノリシック光変調器として説明してきたが、屈折率変化を生じさせる部分にはLN光導波路を用い、Y分岐などには石英光導波路を用いる、いわゆるPLC―LNハイブリッド光変調器にも適用可能であることは言うまでもない。