複数のガス供給ゾーンへガス分配を制御するための装置であって、所望の総ガス流を供給するためのマスフローコントローラと、第1入口と、第1出口と、それらの間で選択可能に結合される複数の第1オリフィスを含み、第1入口はマスフローコントローラに結合されている第1フローコントロールマニホールドと、第2入口と、第2出口と、それらの間で選択可能に結合される複数の第2オリフィスを含み、第2入口はマスフローコントローラに結合されている第2フローコントロールマニホールドを含み、1以上の複数の第1オリフィス及び1以上の複数の第2オリフィスを通して流体を選択可能に流すことによって、第1出口と第2出口の間で所望の流量比が提供され、マスフローコントローラと第1及び第2フローコントロールマニホールドのそれぞれの入口との間に提供されるコンジットのコンダクタンスは、装置を通ってガスが流れるとき、チョーク流れの状態を提供するのに十分である装置。第1出口は第1処理チャンバの第1ガス供給ゾーンに結合され、第2出口は第1処理チャンバの第2ガス供給ゾーンに結合される請求項1記載の装置。第1出口は第2処理チャンバの第1ガス供給ゾーンに更に結合され、第2出口は第2処理チャンバの第2ガス供給ゾーンに更に結合される請求項2記載の装置。第1出口は第1処理チャンバのガス供給ゾーンに結合され、第2出口は第2処理チャンバのガス供給ゾーンに結合される請求項1記載の装置。第1及び第2フローコントロールマニホールドは、第1及び第2フローコントロールマニホールドの上流側の制限された圧力を維持するのに十分な圧力降下を提供する請求項1~4のいずれか1項記載の装置。制限された上流側圧力は、約155トール未満、低常気圧ガスの凝縮を防ぐのに十分低い、又はシステムの応答時間を最適化するように制御される、のうちの少なくとも1つである請求項5記載の装置。第1ガス供給ゾーンと第2ガス供給ゾーンの間で所望のガスの所望の流量比を選択する工程と、所望の流量比を提供することができる、第1ガス供給ゾーンに選択的に結合された複数の第1オリフィスからの第1選択セット及び第2ガス供給ゾーンに選択的に結合された複数の第2オリフィスからの第2選択セットを決定する工程と、オリフィスの第1及び第2選択セットを通して、所望のガスを第1及び第2ガス供給ゾーンに流す工程を含む、複数のガス供給ゾーンへガス分配を制御するための方法。第1選択セット及び第2選択セットを決定する工程は、所望のガスの所望の総流量に対応する総窒素相当流を決定する工程と、最小選択オリフィスを通る最小窒素相当流に基づいて可能なオリフィスの組み合わせを決定する工程を更に含む請求項7記載の方法。第1選択セット及び第2選択セットを決定する工程は、複数の第1オリフィスから第1小型オリフィスを決定する工程と、複数の第2オリフィスから対応する第1大型オリフィスを選択する工程と、第1大型オリフィスの利用可能性を判定する工程、又は複数の第1オリフィスから第1大型オリフィスを決定する工程と、複数の第2オリフィスから対応する第1小型オリフィスを選択する工程と、第1小型オリフィスの利用可能性を判定する工程、のいずれか一方の工程を更に含む請求項7記載の方法。複数の第1オリフィスから第1小型オリフィスを決定する工程は、第1小型オリフィスと同じサイズを有するオリフィスを通過する所定の許容される最大及び最小窒素相当ガス流に基づいており、第1大型オリフィスの利用可能性を判定する工程は、第1大型オリフィスと同じサイズを有するオリフィスを通過する所定の許容される最大及び最小窒素相当ガス流に基づいている、又は複数の第1オリフィスから第1小型オリフィスを決定する工程は、第1大型オリフィスと同じサイズを有するオリフィスを通過する所定の許容される最大及び最小窒素相当ガス流に基づいており、第1大型オリフィスの利用可能性を判定する工程は、第1小型オリフィスと同じサイズを有するオリフィスを通過する所定の許容される最大及び最小窒素相当ガス流に基づいている請求項9記載の方法。各オリフィスを通過する許容される最大及び最小窒素相当ガス流は、下流側圧力の2倍以上である上流側圧力を提供するように予め決められており、上流側圧力は、所望のガスを提供するマスフローコントローラと第1及び第2オリフィスとの間で測定され、下流側圧力は、第1及び第2オリフィスと第1及び第2ガス供給ゾーンとの間で測定される請求項10記載の方法。第1大型オリフィスの利用不可能性が判定されたとき、第1小型オリフィスよりも小さい第2小型オリフィスを選択する工程と、所望の流量比を提供するために対応する第2大型オリフィスを選択する工程と、第2大型オリフィスの利用可能性を判定する工程を更に含む請求項9記載の方法。第2大型オリフィスの利用不可能性が判定されたとき、小型オリフィスと大型オリフィスの両方が利用可能となるか、又は利用可能な小型オリフィスと対応する大型オリフィスが無いと決定されるまで、請求項12の制約が順次小型オリフィス及び対応する大型オリフィスに適用されるように繰り返す工程と、オプションで、利用可能な小型オリフィスと対応する大型オリフィスが無いことが決定されたとき、所望の総流量及び所望の流量比が提供できないことを示す工程を更に含む請求項12記載の方法。選択されたオリフィスを通して所望の流量比を提供するために、オリフィスの第1及び第2選択セットに対応するコントロールバルブを開く工程を更に含む請求項7記載の方法。第1ガス供給ゾーンは、第1処理チャンバ内の第1ゾーンであり、第2ガス供給ゾーンは、第1処理チャンバ内の第2ゾーンである、又は第1ガス供給ゾーンは、第1処理チャンバ内の第1ゾーンであり、第2ガス供給ゾーンは、第2処理チャンバ内の第1ゾーンであり、オプションで、第1ガス供給ゾーンは、第2処理チャンバ内の第2ゾーンを更に含み、第2ガス供給ゾーンは、第1処理チャンバ内の第2ゾーンを更に含む請求項7記載の方法。