板状部材の表裏何れか一方の面における外周部だけに接して当該板状部材を保持する保持部と、この保持部に連設されて前記板状部材に対向可能に設けられた本体部と、前記保持部と本体部と板状部材とで囲まれる保持空間を加圧又は減圧可能な圧力付与手段とを備えていることを特徴とする板状部材の支持装置。前記保持空間内の圧力を調整可能な圧力調整手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の板状部材の支持装置。前記保持部における板状部材に接する部分は、弾性体により形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の板状部材の支持装置。請求項1、2又は3記載の支持装置を用いた板状部材の支持方法であって、板状部材の表裏何れか一方の面における外周部だけに接して当該板状部材を保持部により保持する工程と、本体部と板状部材の間であって保持部で囲まれる保持空間を圧力付与手段により加圧又は減圧する工程とを備えていることを特徴とする板状部材の支持方法。請求項1、2又は3記載の支持装置を含み、板状部材の被着面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、この繰出手段により繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記支持装置と剥離用テープとを相対移動させて板状部材から接着シートを剥離可能な移動手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。請求項1、2又は3記載の支持装置を用いたシート剥離方法であって、板状部材の表裏何れか一方の面における外周部だけに接して当該板状部材を保持部により保持する工程と、本体部と板状部材の間であって保持部で囲まれる保持空間を圧力付与手段により加圧又は減圧する工程と、前記剥離用テープを繰り出す工程と、繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、前記支持装置と剥離用テープとを相対移動して板状部材から接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。前記特許文献2のような剥離装置で特許文献1のような凸部が形成されたウエハから接着シートを剥離する場合、凸部先端側が支持装置の上面に載置され、凹部の底側が支持装置の上面から離れた状態となる。この状態で接着シートを剥離すると、ウエハに悪影響を及ぼすストレスを与えてしまう、という不都合がある。この原因としては、接着シートを剥離している最中に支持されていない凹部の底側が振動してしまうことが考えられる。詳しくは、接着シートに張力を加えてウエハから剥離しようとすると、当該張力が接着シートの接着力を上回った時点で剥離が開始される。ここで、被着体が薄く研削されたウエハのように剛性が低いもののような場合、接着シートに加わる張力によってこの張力方向に弾性変形し、微視的に見て接着シートの一定領域が一度に剥離されると、ウエハは元の形状に復帰しようとする。つまり、ウエハが接着シートに引っ張られて弾性変形する動作と元の形状に戻ろうとする動作とが交互に繰り返され、所謂チャタリングやビビリ振動といった現象を引き起こすと考えられる。また、ウエハにおける凹部の底側が撓むことにより、支持装置の上面と凸部先端とが部分的に離れ、その部分から空気が漏れて吸着力が不十分になるという不都合も招来する。[発明の目的]本発明の目的は、剥離動作における板状部材の振動を低減し、板状部材へのストレスを抑制することを可能とし、かつ、板状部材を確実に支持することができる支持装置及び支持方法、並びに、シート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、板状部材の表裏何れか一方の面における外周部だけに接して当該板状部材を保持する保持部と、この保持部に連設されて前記板状部材に対向可能に設けられた本体部と、前記保持部と本体部と板状部材とで囲まれる保持空間を加圧又は減圧可能な圧力付与手段とを備える、という構成を採っている。本発明において、前記保持空間内の圧力を調整可能な圧力調整手段を備える、という構成を採ることが好ましい。また、前記保持部における板状部材に接する部分は、弾性体により形成される、という構成が好ましくは採用される。更に、本発明の支持方法は、請求項1、2又は3記載の支持装置を用いた板状部材の支持方法であって、板状部材の表裏何れか一方の面における外周部だけに接して当該板状部材を保持部により保持する工程と、本体部と板状部材の間であって保持部で囲まれる保持空間を圧力付与手段により加圧又は減圧する工程とを備える、という方法を採っている。また、本発明の剥離装置は、請求項1、2又は3記載の支持装置を含み、被着体となる板状部材の被着面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、この繰出手段により繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記支持装置と剥離用テープとを相対移動させて板状部材から接着シートを剥離可能な移動手段とを備える、という構成を採っている。更に、本発明の剥離方法は、請求項1、2又は3記載の支持装置を用いたシート剥離方法であって、板状部材の表裏何れか一方の面における外周部だけに接して当該板状部材を保持部により保持する工程と、本体部と板状部材の間であって保持部で囲まれる保持空間を圧力付与手段により加圧又は減圧する工程と、前記剥離用テープを繰り出す工程と、繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、前記支持装置と剥離用テープとを相対移動して板状部材から接着シートを剥離する工程とを備える、という方法を採っている。本発明によれば、本体部と板状部材と保持部とで囲まれる保持空間を加圧又は減圧可能としたので、当該保持空間内の気体によって板状部材を支えることが可能となる。これにより、例えば、極薄で剛性が低い板状部材であっても、当該板状部材を振動し難くして板状部材に生じるストレスを抑制でき、板状部材の品質低下を防止することが可能となる。また、保持部から板状部材が部分的に離れるような撓みが発生することを回避でき、板状部材の支持力低下を抑制することが可能となる。更に、圧力調整手段により、保持空間内の圧力を適度に保つことができ、保持空間への加圧又は減圧の超過により、板状部材が過度の変形をすることや、保持部から脱落すること等を防止し、板状部材をより安定して支えることが可能となる。また、保持部における板状部材に接する部分を弾性体により形成した場合、保持部と板状部材との密着性を高めることができ、それらの間から加圧又は減圧した気体が漏れることを防止し、設定した圧力を維持することが可能となる。更に、剥離動作中の板状部材のずれ及び板状部材の保持部からの脱落を防止することが可能となる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書において、特に明示しない限り、上、下、左、右は、図1を基準として用いる。図1及び図2において、シート剥離装置10は、被着面となる回路面上面に接着シートSが貼付された板状部材としてのウエハWを支持する支持装置11と、帯状の剥離用テープPTを繰り出す繰出手段12と、剥離用テープPTを接着シートSの外縁側に貼付する貼付手段13と、接着シートSに貼付された剥離用テープPTと支持装置11とを相対移動させる移動手段14と、支持装置11及び前記各手段12~14を制御する制御手段16とを備えて構成されている。なお、剥離用テープPTは感熱接着性の接着テープを採用している。また、本実施形態における接着シートSは、基材シートの一方の面に接着剤層を有し、この接着剤層を介してウエハWに貼付されている。前記ウエハWは、平面視略円形であって、回路面とは反対側の面下面側が研削されることで形成された平面視略円形の凹部W1と、この凹部W1の外周に連なる凸部W2とを備えている。従って、凸部W2は、ウエハWの外縁側の厚みを、それ以外の領域すなわち凹部W1形成領域の厚みより大きくすることでウエハWの外縁に沿って円形に形成される。前記支持装置11は、ウエハWを吸着保持する保持部19と、この保持部19の下側に連設されて当該保持部19を支持する本体部20と、この本体部20に設けられた圧力付与手段21を備えている。本体部20は、略円盤状に形成され、その上面が、保持部19を介して保持されたウエハWの凹部W1底面と対向可能に設けられている。前記保持部19は、ウエハW下面の外周部つまり凸部W2先端面だけに接する接触体24と、この接触体24及び本体部20を貫通して形成される通路25と、この通路25に管部材26Aを介して接続される減圧手段としての減圧ポンプ26とを備えている。保持部19は、図示しない切替弁を介して減圧ポンプ26、管部材26A及び通路25を連通させることで接触体24上面に載置されたウエハWを吸着して保持可能となっている。前記接触体24は、ウエハWの外形形状に対応する平面視閉ループ状に設けられ、本体部20上面とウエハWの凹部W1底面とで囲まれる保持空間Cを形成可能に設けられている。接触体24は、ゴム又は樹脂等の弾性体により形成されており、凸部W2先端面との密着性を良好に維持可能となっている。前記圧力付与手段21は、本体部20上面に配置されるとともに、平面視で放射方向に気体としての大気を吹き出し可能な吹き付け部材27と、本体部20に形成されて吹き付け部材27に連通する通路28と、この通路28に圧力調整手段22及び管部材29Aを介して接続される加圧手段としての加圧ポンプ29とを備えている。圧力付与手段21は、図示しない切替弁を介して加圧ポンプ29、管部材29A、圧力調整手段22及び通路28を連通させることで吹き付け部材27から気体を吹き出し、保持空間Cを加圧可能となっている。前記圧力調整手段22は、前記通路28と加圧ポンプ29との間に管部材29Aを介して配置された電空レギュレータ等で構成され、保持空間C内の圧力を所定の圧力に維持可能に設けられている。前記繰出手段12は、図示しないフレームに支持されて巻回された剥離用テープPTを繰出可能に支持する支持軸30と、駆動機器としての回転モータMを介して回転可能な駆動ローラ31と、当該駆動ローラ31との間に剥離用テープPTを挟み込むピンチローラ32と、剥離用テープPTを下方から支持するとともに、駆動機器としてのエアシリンダ34を介して左右方向に移動可能に設けられた板状のガイド部材35と、このガイド部材35とで剥離用テープPTを挟み込む回転自在なプレスローラ36と、このプレスローラ36を昇降させる駆動機器としてのエアシリンダ37とを備えて構成されている。前記貼付手段13は、駆動機器としての直動モータ39と、当該直動モータ39によって上下方向に進退可能に設けられたヒータ40Aを有する押圧ヘッド40とを備えている。この貼付手段13は、剥離用テープPTを押圧ヘッド40で押圧して加熱することで、剥離用テープPTを接着シートSに接着するようになっている。貼付手段13の左側には、テープ切断手段42が設けられている。テープ切断手段42は、カッター刃44と、このカッター刃44の下方に設けられた凹部を有するテープ受け板45と、カッター刃44を紙面直交方向及び上下方向に移動させる駆動機器としてのエアシリンダ46、47とを備えている。また、貼付手段13の近傍には、剥離された接着シートSの接着面に当接しつつ回転可能な剥離ローラ48が設けられる。この剥離ローラ48は、支持装置11の上方で図示しない駆動機器を介して左右方向に移動可能に設けられている。前記移動手段14は、支持装置11を左右方向に移動させるために本体部20の下部にスライダ51が取り付けられた駆動機器としての直動モータ50と、剥離用テープPTを把持部材52Aで把持可能な駆動機器としてのチャックシリンダ52とを備えている。チャック52は、図示しない駆動機器としての直動モータを介して左右方向に移動可能に構成されている。前記制御手段16は、シーケンサやパーソナルコンピュータ等で構成することができる。制御手段16には、操作パネル等からなる図示しない入力手段が接続され、この入力手段により前記各駆動機器や図示しない切替弁、圧力調整手段22等の作動条件やデータ等を入力可能となっている。制御手段16は、前記各駆動機器の動作方向、動作量、動作速度等の条件や、図示しない切替弁、圧力調整手段22等の動作タイミング等を決定し、これらを制御する機能を備えている。なお、制御手段16は、図示しないケーブルや、無線構造等により各駆動機器等に接続される。次に、前記シート剥離装置10による接着シートSの剥離方法について説明する。初めに、支持軸30に支持された剥離用テープPTを引き出し、駆動ローラ31及びピンチローラ32の間を通過させた後、剥離用テープPTのリード端側がガイド部材35の先端からはみ出た状態としつつ、プレスローラ36とガイド部材35とで剥離用テープPTを挟み込んだ状態とする。そして、図示しない搬送手段を介して、回路面に接着シートSが貼付されたウエハWを搬送し、凸部W2先端を接触体24の上面に載置させる。次いで、図示しない切替弁を介して、接触体24上面でウエハWを吸着保持させる。次に、図示しない切替弁を介して圧力調整手段22で調整された適度な圧力の気体を吹き付け部材27から吹き出すことにより、保持空間C内を加圧する。これにより、ウエハWの凹部W1が気体によって下方から支えられた状態で支持装置11に支持される。このときの保持空間C内部の圧力は、ウエハWの凹部W1が剥離動作の際に振動しない程度の圧力に保たれるように、予め制御手段16に設定値が入力されており、制御手段16は、当該設定値を維持するように圧力調整手段22を種鄭制御するようになっている。支持装置11でウエハWを支持した後、接着シートSの右側外縁位置が押圧ヘッド39の直下で停止するように、制御手段16が直動モータ50を介して支持装置11を移動させる。次いで、図2Aに示されるように、エアシリンダ34を介してガイド部材35を同図中右方向に進行させると同時に、回転モータMを作動して駆動ローラ31を回転させて剥離用テープPTを繰り出す。これにより、チャックシリンダ52の把持部材52A間にガイド部材35及び剥離用テープPTのリード端側が位置する。そして、プレスローラ36が上方へ退避し、ガイド部材35を後退させると、把持部材52A間に剥離用テープPTが残されてチャックシリンダ52の動作によって把持される。その後、図示しない駆動機器によってチャックシリンダ52を移動させて剥離用テープPTを引き出し、押圧ヘッド40の下方で接着シートSに対向するように剥離用テープPTを位置させる。次に、図2Bに示されるように押圧ヘッド40を直動モータ39によって下方へ移動させると、剥離用テープPTが押し下げられて接着シートSに当接し、剥離用テープPTがヒータ40Aによって加熱されて接着シートSに接着する。その後、プレスローラ36とガイド部材35とで剥離用テープPTを挟み込み、エアシリンダ46、47を作動させてテープ受け板45上でカッター刃44により剥離用テープPTを切断する。その後、図2Cに示されるように、剥離用テープPT切断後、図示しない駆動機器によってチャックシリンダ52を同図中左方向に移動させ、ウエハW上の接着シートSに剥離用テープPTが対向するように折り返す。次いで、図示しない駆動機器を介してその折り返し位置の上方に剥離ローラ48が位置するように移動させる。その後、接着シートSをウエハWから剥離する剥離方向に支持装置11とチャックシリンダ52とを相対移動させる。具体的には、制御手段16が直動モータ50等を介して、支持装置11を右方向へ、チャックシリンダ52を左方向へ相対移動させる。これにより、剥離された接着シートSと、未剥離の接着シートSとが対向するように折り返され、当該接着シートSがウエハWから剥離される。なお、接着シートSの剥離動作中、剥離ローラ48が接着シートSの折り返し位置の上方に位置した状態が維持される。接着シートSの剥離を終えると、図示しない搬送手段によりウエハWが次工程に搬送され、接着シートSとそれに貼付された剥離用テープPTは図示しない回収手段によって回収させる。そして、支持装置11、剥離ローラ48及びチャックシリンダ52が初期位置に復帰した後、上記同様の動作が繰り返されることとなる。従って、このような実施形態によれば、接着シートSを剥離するときに、ウエハWの凹部W1底側が保持空間Cの気体により下方から支えられるようになる。これにより、ウエハWから接着シートSを剥離するときに、ウエハWが接着シートSに引っ張られて弾性変形することを防止でき、微視的に見て接着シートSの一定領域が一度に剥離されたとしても、ウエハWが元の形状に戻ろうとする動作を抑制することができ、所謂チャタリングやビビリ振動といった現象を低減することができ、当該振動に起因する凹部W1底側でのストレスの発生を抑制することが可能となる。また、凹部W1底側の撓み変形によって凸部W2先端面が接触体24から部分的に離れることを防止でき、保持部19による吸着保持力を安定して発揮可能となる他、保持空間Cの意図しない圧力低下を回避することが可能となる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、接着シートSを剥離するときの動作は、前記実施形態と同様に剥離を行える限りにおいて、チャックシリンダ52の移動を停止させ、支持装置11を移動させてもよいし、支持装置11の移動を停止させ、チャックシリンダ52を移動させるように制御手段16で制御してもよい。また、本発明における板状部材としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、又は、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。更に、前記凹部W1及び凸部W2が形成されていない板状部材を対象としてもよく、これによっても、板状部材、接触体24及び本体部20で保持空間Cを形成し、当該保持空間Cを圧力付与手段21により加圧してもよい。また、剥離用テープPTは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。更に、前記実施形態では、加圧手段として大気を噴き出す加圧ポンプを例示したが、加圧ポンプが噴き出す気体としては、大気以外に窒素ガス、ネオンガス、又は、それら及び他の混合気であってよい。なお、加圧手段が水や液体フロン等の液体を噴き出す構成としてもよい。更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。実施形態では、保持空間C内を加圧する場合を例示したが、保持空間C内を減圧するように構成してもよい。特に、図1を上下反転させた構成のシート剥離装置のような場合、凹部W1が自重によって本体部20から離れる方向に変形する。このような場合、圧力付与手段21として、保持空間C内を減圧可能な減圧ポンプやエジェクター等を採用し、保持空間C内を減圧させてウエハWの凹部W1底側を支えるように構成してもよい。また、保持部19として、吸着保持以外にウエハWの外周部を上下から挟み込んで支持したり、接着剤で接着して支持したりする構成としてもよい。