"可動方向に間隔を開けて配置される複数の歯を有し、その可動方向の断面が櫛歯形状を有するコアと、前記コアの歯それぞれに巻装されるコイルと、前記コアの両端に設けられる補助歯と、を有する可動子と、前記可動子の可動方向に配置される複数の磁石を有し、前記可動子と間隔を開けて対向配置される固定子と、を備え、前記可動子の進行方向に対し最後端のコイルが巻装される歯は、その磁気的状態が、その他の歯の磁気的状態と異なるように構成されることを特徴とするリニアモータ。前記最後端のコイルが巻装される歯は、磁気飽和が発生しにくくなるように構成されることを特徴とするリニアモータ。前記最後端のコイルが巻装される歯と前記磁石の間隙の長さが、その他の歯と前記磁石の間隙の長さより長く構成されることを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。前記最後端のコイルが巻装される歯の材料が、その他の歯の材料と異なっていることを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。前記最後端のコイルが巻装される歯が、その他の歯の材料よりも飽和磁束密度が高い材料で構成されることを特徴とする請求項4に記載のリニアモータ。可動方向に間隔を開けて配置される複数の歯を有し、その断面が櫛歯形状を有するコアと、前記コアの歯それぞれに巻装されるコイルと、前記コアの両端に設けられる補助歯と、を有する可動子と、前記可動子の可動方向に配置される複数の磁石を有し、前記可動子と間隔を開けて対向配置される固定子と、を備え、前記可動子の進行方向に対し最後端のコイルが巻装される歯と前記磁石の間隙の長さが、その他の歯と前記磁石の間隙の長さより長く構成されることを特徴とするリニアモータ。可動方向に間隔を開けて配置される複数の歯を有し、その断面が櫛歯形状を有するコアと、前記コアの歯それぞれに巻装されるコイルと、前記コアの両端に設けられる補助歯と、を有する可動子と、前記可動子の可動方向に配置される複数の磁石を有し、前記可動子と間隔を開けて対向配置される固定子と、を備え、前記可動子の進行方向に対し最後端のコイルが巻装される歯が、その他の歯の材料よりも飽和磁束密度が高い材料で構成されることを特徴とするリニアモータ。可動方向に間隔を開けて配置される複数の歯を有し、その可動方向の断面が櫛歯形状を有するコアと、前記コアの歯それぞれに巻装されるコイルと、前記コアの両端に設けられる補助歯と、を有する可動子と、前記可動子の可動方向に配置される複数の磁石を有し、前記可動子と間隔を開けて対向配置される固定子と、を備え、前記可動子の進行方向に対し最後端のコイルが巻装される歯を、その他の歯より飽和磁束密度を高くするか、又は磁気抵抗を高くすることにより、最後端における磁束密度が飽和状態になることを抑制するよう構成されることを特徴とするリニアモータ。図1のリニアモータ2では、可動子20の位置に応じて推力が変動する推力リプルが発生する。図2は、推力変動を示す図である。推力リプルが存在すると、リニアモータ2の制御指令と、可動子の実際の位置に乖離が生ずるため好ましくない。本発明は係る課題に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、リニアモータの推力リプルの低減にある。本発明のある態様は、リニアモータに関する。このリニアモータは、可動方向に間隔を開けて配置される複数の歯を有し、その可動方向の断面が櫛歯形状を有するコアと、コアの歯それぞれに巻装されるコイルと、コアの両端に設けられる補助歯と、を有する可動子と、可動子の可動方向に配置される複数の磁石を有し、可動子と間隔を開けて対向配置される固定子と、を備える。可動子の進行方向に対し最後端のコイルが巻装される歯は、その磁気的状態が、その他の歯の磁気的状態と異なるように構成される。最後端のコイルが巻装される歯は、磁気飽和が発生しにくくなるように構成されてもよい。進行方向に対して最後端の歯コアには、局所的な磁気飽和が発生し、これにより起磁力高調波が発生する傾向が強い。この態様によると、コアの最後端部において磁気飽和が発生しないようにコアを設計することにより、起磁力高調波を抑制することができ、ひいては推力リプルを低減することができる。ある態様において、最後端のコイルが巻装される歯と磁石の間隙の長さが、その他の歯と磁石の間隙の長さより長くてもよい。これにより、コアの最後端部における磁気飽和を抑制でき、推力リプルを低減できる。最後端のコイルが巻装される歯の材料が、その他の歯の材料と異なっていてもよい。最後端のコイルが巻装される歯が、その他の歯の材料よりも飽和磁束密度が高い材料で構成されてもよい。これにより、コアの最後端部における磁気飽和を抑制でき、推力リプルを低減できる。本発明の別の態様もまた、リニアモータである。このリニアモータは、可動方向に間隔を開けて配置される複数の歯を有し、その断面が櫛歯形状を有するように形成されるコアと、コアの歯それぞれに巻装されるコイルと、コアの両端に設けられる補助歯と、を有する可動子と、可動子の可動方向に配置される複数の磁石を有し、可動子と間隔を開けて対向配置される固定子と、を備える。可動子の進行方向に対し最後端のコイルが巻装される歯と磁石の間隙の長さは、その他の歯と磁石の間隙の長さより長く構成される。本発明のさらに別の態様もまた、リニアモータである。このリニアモータは、可動方向に間隔を開けて配置される複数の歯を有し、その断面が櫛歯形状を有するように形成されるコアと、コアの歯それぞれに巻装されるコイルと、コアの両端に設けられる補助歯と、を有する可動子と、可動子の可動方向に配置される複数の磁石を有し、可動子と間隔を開けて対向配置される固定子と、を備える。可動子の進行方向に対し最後端のコイルが巻装される歯が、その他の歯の材料よりも飽和磁束密度が高い材料で構成される。本発明によれば、リニアモータの推力リプルを低減できる。以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。第1の実施の形態図3は、第1の実施の形態に係るリニアモータ2aの断面を示す図である。リニアモータ2aは、所定の間隙にて対向配置される固定子ステータ10と可動子ムーバ20aを備える。固定子10は、図中矢印で示す可動子20aの可動方向に延設される2次側継鉄12と、2次側継鉄12上に交互に配置される極性の異なる磁石14N,Sを備える。可動子20aは、その可動方向の断面が繰り返しの凹凸形状、言い換えれば櫛歯形状を有する1次鉄心コア22aと、1次鉄心22aの複数の凸型部分歯24_1~24_9に巻装されるコイル26_1~26_9と、を備える。1次鉄心22aの両端部には、コギングを抑制するための補助歯28が取付けられている。可動子20aの進行方向図中矢印方向に対して最後端のコイル26_1が巻装される歯24_1は、その磁気的状態が、その他の歯24_2~24_9の磁気的状態と異なるように構成される。より具体的に言えば、可動子20aが移動中に、最後端の歯24_1が、磁石およびコイル26_1が発生する磁束により磁気飽和しないように構成される。第1の実施の形態では、最後端の磁気的状態を、その他の位置の磁気的状態と異ならしめるアプローチとして、歯24の材料に着目している。具体的には、最後端を除く歯24_2~24_9は、同じ材料で構成され、最後端の歯24_1は、それとは異なる材料で構成される。より具体的には、最後端の歯24_1の鋼材は、その他の鋼材よりも、飽和磁束密度が高い材料で構成される。以上がリニアモータ2aの構成である。リニアモータ2aの動作を説明する前に、本発明において、最後端の磁気的状態に着目した理由を説明する。図1のリニアモータ2において、最後端から最先端の順に、歯24とコイル26のペアで構成される電磁石を、第1極P1~第9極P9と称する。図4は、図1のリニアモータ2の第1極P1~第3極P3をU相で、第4極P4~第6極P6をV相で、第7極P7~第9極P9をW相で駆動したときの各極の磁束密度を示す波形図である。進行方向に対して最後端の第1極P1においては、電機子反作用および補助歯28の影響によって、局所的な磁気飽和が発生する。磁気飽和が存在しなければ、コイルに正弦波の駆動電流を供給すると、それにより発生する磁束密度の波形も正弦波となる。ところが磁気飽和が存在すると、正弦波のピークがつぶれ、これにより高調波が発生する。正弦波のピークがつぶれると、その波形は矩形波に近づくことから、主として奇数次の高調波成分が発生することになる。θを電気角として、U相のコイル26_1~26_3に、駆動電流IUsinθを、V相のコイル26_4~26_6に、駆動電流IVsinθ-120を、W相のコイル26_7~26_9に、駆動電流IWsinθ-240を、供給し、U相にのみ磁気飽和が発生する状況を考察する。磁気飽和による高調波の発生は3次高調波が支配的であると仮定すると、U相、V相、W相における電気角θに対する磁束量は、それぞれ、U相:φUsinθφU3rdsin3θV相:φVsinθ-120W相:φWsinθ-240で与えられる。このとき、リニアモータ2の起磁力Fは、各コイルの巻き数nを用いて、式1で与えられる。F=nφUIUsin2θnφVIVsin2θ-120°nφWIWsin2θ-240°nφU3rdIUsinθsin3θ...1簡略化のため、IU=IV=IW=I、かつφU=φV=φW=φを仮定すると、起磁力Fは、式2となる。F=3nφI/2nφU3rdIcos2θ-cos4θ/2...2つまりU相にのみ磁気飽和が発生すると、その高調波成分がV相、W相の起磁力によってキャンセルできなくなり、基本波の2倍と4倍の周波数の推力リップルが発生することになる。図3に戻る。図3のリニアモータ2aでは、磁気飽和が発生しやすい最後端の極の歯24_1の材料として、飽和磁束密度が高い材料を用いることにより、磁気飽和が抑制される。図5aは、歯24_1の鋼版グレードを、50A230、50A600、50A1300と変化させたときの、電気角に対する発生推力を、図5bは、推力の周波数特性を示す図である。1次鉄心22aの最後端を除く部分としては、鋼材50A600を用いている。飽和磁束密度は、50A230、50A600、50A1300の順で高くなっていく。図5bから分かるように、最後端の歯24の飽和磁束密度を高くするにしたがい、2次高調波成分の推力リプルが小さくなることが分かる。このように、第1の実施の形態に係るリニアモータ2aによれば、最後端の歯24_1の鋼材を最適化することにより、それにおいて生ずる磁気飽和を抑制することができる。その結果、歯24_1における磁石およびコイル26_1起因の磁束量変化が正弦波波形に近づくことになり、推力リプルを低減することができる。第2の実施の形態第1の実施の形態では、最後端の歯24_1の材料の最適化により、磁気飽和を抑制するアプローチを説明した。第2の実施の形態では、別のアプローチとして、最後端の歯24_1において発生する磁束の大きさを低減することにより、磁気飽和を抑制するアプローチを説明する。図6は、第2の実施の形態に係るリニアモータ2bの断面を示す図である。リニアモータ2bにおいて、最後端を除く歯24_2~24_9と、固定子10側の磁石14のギャップ長d2~d9は、均一化されている。そして最後端の歯24_1との磁石14のギャップ長d1は、その他のギャップ長d2~d9に比べて長く構成される。言い換えれば、最後端の歯24_1は、その他の歯24_2~24_9に比べて短くなっている。以上がリニアモータ2bの構成である。図7aは、歯24_1の長さを変化させたときの、電気角に対する発生推力を、図7bは、推力の周波数特性を示す図である。Defaultは、歯24_1の長さが、その他の歯24_2~24_9の長さと等しい場合を、Cut02mmは、歯24_1の長さが、その他の歯24_2~24_9より0.2mm短い場合を、Cut04mmは、歯24_1の長さが、その他の歯24_2~24_9より0.4mm短い場合を示す。3相の起磁力FU~FWは、以下で示すように、コイル電流の駆動周波数の2倍波となる基本波成分F1と、その基本波成分の整数倍の高調波成分F2、F3、...を有する。FU=F1cos2θF2cos4θF3cos6θFV=F1cos2θ-120F2cos4θ-120F3cos6θ-120FW=F1cos2θ-240F2cos4θ-240F3cos6θ-240ここで、2倍高調波は、3相交流の120°等配の位相差により打ち消されることになるが、3倍高調波は打ち消されない。これが原因で推力には、駆動周波数の6倍の周波数の推力リプルが発生する。最後端の歯24のギャップ長を長くすることにより、ギャップにおける磁気抵抗が高まるため、U相の磁束量が低下し、それにより磁気飽和を緩和される。図7bから明らかなように、ギャップ長を最適化することにより、主として上述の6倍波の推力リプルを低減できる。なお推力リプルの振幅は、Default、02mm、04mmそれぞれの場合で、39.9Np-p、35.2Np-p、56.5Np-pとなり、ギャップ長を長くしすぎると、U相の起磁力がV相、W相に比べて小さくなるため、起磁力不平衡が起こり、リプル振幅は増大する。言い換えれば、最後端の歯24_1のギャップ長の長さを最適化するとともに、その他の歯24_2~24_9のギャップ長をあわせて最適化することにより、主として6倍波の推力リプルを低減できるとともに、推力リプルの振幅自体も低減することができる。以上、本発明について、実施の形態をもとに説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下、こうした変形例について説明する。実施の形態では、リニアモータ2が一方向にのみ移動するものとして説明したが、本発明はこれに限定されない。多くの用途において、リニアモータ2は双方向に可動となっており、往復運動を行う。この場合、いずれの方向に運動する際にも、推力リプルは低減されることが望ましい。往復運動を行うリニアモータ2においては、可動子20が第1方向に移動する際には最先端であった歯24_9が、第2方向に移動する際には最後端となる。したがって、往復運動をするリニアモータ2においては、両端の歯24_1、24_9の磁気的状態を、両端以外の歯24_2~24_8と異なるように構成すればよい。具体的には、第1の実施の形態においては、両端の歯24_1、24_9の材料を、両端以外の歯24_2~24_8の材料とは異なる材料を用いて構成すればよく、より具体的には、両端の歯24_1、24_9の材料を、両端以外の歯24_2~24_8の材料よりも飽和磁束密度が高い材料で構成すればよい。第2の実施の形態においては、両端の歯24_1、24_9のギャップ長を、両端以外の歯24_2~24_8のギャップ長よりも短く構成すればよい。このような変形例も、請求の範囲で規定される本発明の範囲に当然に包含される。実施の形態では、各相が3極で構成される場合を説明したが、本発明はこれには限定されず、相ごとの極数は特に限定されるものではない。第2の実施の形態では、ギャップ長の変更により磁気抵抗を変化させる場合を説明したが、ギャップ長の他、厚み、形状、密度等を、あるいはそれらの任意の組み合わせを変更することによっても、磁気抵抗を変化させることが可能であり、こうした態様も本発明の範囲に含まれる。以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。"