"アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部に連結された荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する側へ折り曲げられた一対のフランジ部とを有し、前記本体部には、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが設けられ、前記ロードビーム部は、サスペンション長手方向に関し基端部及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第1曲げ線並びにサスペンション長手方向に関し前記第1曲げ線及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第2曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。前記第1及び第2曲げ線での曲げ角度は共に3°以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッドサスペンション。前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気ヘッドサスペンション。前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行く従って第1傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と、変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第1傾斜角よりも小さい第2傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含むことを特徴とする請求項3に記載の磁気ヘッドサスペンション。前記変曲点は、サスペンション長手方向に関し前記第1曲げ線と同一位置又は前記第1曲げ線より基端側に位置されていることを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッドサスペンション。前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をL1とした場合に、前記第1曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離L3が0.53×L1≦L3≦0.67×L1を満たすように前記第1曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定されていることを特徴とする請求項1から5の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をL1とした場合に、前記第1曲げ線及び前記第2曲げ線の間のサスペンション長手方向距離L4がL4≦0.15×L1を満たすように前記第1曲げ線に対する前記第2曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定されていることを特徴とする請求項1から6の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。前記本体部における前記ディスク面とは反対側の面には、前記第1曲げ線より基端側の領域に制振材が固着されていることを特徴とする請求項1から7の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、ディスク面と対向する平板状の本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部を有するロードビーム部を備えた磁気ヘッドサスペンションであって、曲げ一次モード及び捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位を可及的に抑えることができる製造容易な磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部に連結された荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する側へ折り曲げられた一対のフランジ部とを有し、前記本体部には、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが設けられ、前記ロードビーム部は、サスペンション長手方向に関し基端部及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第1曲げ線並びにサスペンション長手方向に関し前記第1曲げ線及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第2曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている磁気ヘッドサスペンションを提供する。好ましくは、前記第1及び第2曲げ線での曲げ角度は共に3°以下とされる。好ましくは、前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜される。より好ましくは、前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行く従って第1傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第1傾斜角よりも小さい第2傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含み得る。好ましくは、前記変曲点は、サスペンション長手方向に関し前記第1曲げ線と同一位置又は前記第1曲げ線より基端側に位置される。前記種々の形態において、前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をL1とした場合に、好ましくは、前記第1曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離L3が0.53×L1≦L3≦0.67×L1を満たすように前記第1曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定される。前記種々の形態において、前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をL1とした場合に、好ましくは、前記第1曲げ線及び前記第2曲げ線の間のサスペンション長手方向距離L4がL4≦0.15×L1を満たすように前記第1曲げ線に対する前記第2曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定される。前記種々の形態において、好ましくは、前記本体部における前記ディスク面とは反対側の面には、前記第1曲げ線より基端側の領域に制振材が固着される。本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ディスク面と対向する平板状の本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部を有するロードビーム部がサスペンション幅方向に沿った第1及び第2曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられているので、前記第1及び第2曲げ線での曲げ角度を大きくすることなく、曲げ一次モードの振動及び捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位を可及的に抑えることができる。さらに、前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられた前記一対のフランジ部を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記第1及び第2曲げ線の双方での曲げ方向を前記一対のフランジ部での曲げ方向と同一方向、即ち、前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向としたので、前記第1及び第2曲げ線での折り曲げ構造に起因する前記一対のフランジ部の歪みを防止又は低減できる。従って、曲げ一次モードの振動及び捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの変位を抑え得る磁気ヘッドサスペンションを容易に製造することができる。前記一対のフランジ部が、基端側から先端側へ行く従って第1傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と、変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第1傾斜角よりも小さい第2傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含むように構成すれば、前記ロードビーム部の先端側におけるサスペンション長手方向中心線回りの慣性モーメントをより効果的に低減でき、これにより、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第1曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。前記変曲点をサスペンション長手方向に関し前記第1曲げ線と同一位置又は前記第1曲げ線より基端側に位置させれば、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第1曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。前記ロードビーム部を荷重曲げ部を介して支持する支持部の先端エッジと前記ロードビーム部に形成されるディンプルとの間のサスペンション長手方向距離をL1とした場合に、前記第1曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離L3が0.53×L1≦L3≦0.67×L1を満たすように前記第1曲げ線のサスペンション長手方向位置を設定することによっても、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第1曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。前記第1曲げ線及び前記第2曲げ線の間のサスペンション長手方向距離L4がL4≦0.15×L1を満たすように前記第1曲げ線に対する前記第2曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定することによっても、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第1曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。図1及び図2に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Aの上面図ディスク面とは反対側から見た平面図及び側面図を示す。前記磁気ヘッドサスペンション1は、図1及び図2に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ図示せずによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部10と、磁気ヘッドスライダ50を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部10に連結された荷重曲げ部20と、前記荷重曲げ部20を介して前記支持部10に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ50に伝達するロードビーム部30と、前記磁気ヘッドスライダ50を支持した状態で前記ロードビーム部30及び前記支持部10に支持されるフレクシャ部40とを備えている。前記支持部10は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部20を介して前記ロードビーム部30を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。本実施の形態においては、前記支持部10は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム図示せずの先端にかしめ加工によって接合されるボス部15を備えたベースプレートとされている。前記支持部10は、例えば、厚さ0.1mm~0.8mmのステンレス板によって好適に形成される。当然ながら、前記支持部10として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。前記ロードビーム部30は、前述の通り、前記荷重曲げ部20によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ50に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。図3に、図1におけるIIIIII線に沿った断面図を示す。図1及び図3に示すように、前記ロードビーム部30は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部31と、前記本体部31のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部32とを有しており、前記フランジ部32によって剛性を確保している。前記ロードビーム部30は、例えば、厚さ0.02mm~0.1mmのステンレス板によって好適に形成される。前記本体部31には、先端側に、所謂ディンプルと呼ばれる突起33が形成されている。前記突起33は、ディスク面に近接する方向に、例えば、0.05mm~0.1mm程度突出されている。この突起33は、前記フレクシャ部40における下記ヘッド搭載領域415の上面前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に接触して、この突起33を介して前記荷重を前記フレクシャ部40の前記ヘッド搭載領域415に伝達するようになっている。本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部30は、さらに、前記本体部31の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ34を一体的に有している。前記リフトタブ34は、前記磁気ヘッドスライダ50がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション1Aが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ50をz方向前記ディスク面と直交する方向、図2参照に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。さらに、本実施の形態においては、図1に示すように、前記ロードビーム部30の前記一対のフランジ部32は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線CLに近接するように傾斜されている。斯かる構成によれば、前記ロードビーム部30の先端側における前記中心線CL回りの慣性モーメントを低減でき、捩れ一次モード及び曲げ一次モードに関する共振周波数を上昇させることができると共に、前記磁気ヘッドサスペンション1Aの振動時における前記磁気ヘッドスライダ50の変位を抑えることができる。さらに、前記ロードビーム部30は、図1及び図2に示すように、第1曲げ線BL1及び第2曲げ線BL2において折り曲げられている。この第1及び第2曲げ線B1,B2における曲げ構造の詳細については後述する。前記荷重曲げ部20は、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ50を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。図1に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部20は、板面が前記ディスク面と対向する状態で前記中心線CLを挟んで互いに対して離間配置された左右一対の板バネ21を有している。好ましくは、前記一対の板バネ21は、前記磁気ヘッドサスペンション1Aが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ50が前記ディスク面に近づく方向に所定の曲げ位置で予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション1Aの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。前記荷重曲げ部20は、例えば、厚さ0.02mm~0.1mmのステンレス板によって形成される。なお、本実施の形態においては、図1に示すように、前記荷重曲げ部20は前記ロードビーム部30の前記本体部31及び前記フランジ部32と一体形成されている。即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1Aは、前記ロードビーム部30の前記本体部31及び前記フランジ部32と前記荷重曲げ部20とを一体形成するロードビーム/荷重曲げ形成体を有しており、前記ロードビーム/荷重曲げ形成体における基端側の前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部10の前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記支持部10に溶接によって接合されている。当然ながら、前記荷重曲げ部20を前記本体部31及び前記フランジ部32とは別部材によって形成し、前記荷重曲げ部20を前記本体部31に溶接等によって連結させることも可能である。前記フレクシャ部40は、前記磁気ヘッドスライダ50を支持した状態で前記ロードビーム部30及び前記支持部10に溶接等によって固着される。詳しくは、前記フレクシャ部40はフレクシャ金属プレート410を有している。前記フレクシャ金属プレート410は、図2に示すように、前記支持部10に溶接等によって固着される支持部固着領域411と、前記ロードビーム部30に溶接等によって固着されるロードビーム部固着領域412と、前記ロードビーム部固着領域412の先端部におけるサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片413図1参照と、前記一対の支持片413によって支持された前記ヘッド搭載領域415とを有している。前記ヘッド搭載領域415は、図2に示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ50を支持している。前述の通り、前記ヘッド搭載領域415の上面には前記突起33が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域415は前記突起33を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。前記フレクシャ金属プレート410は、前記ヘッド搭載領域415がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部30よりも低剛性とされる。前記フレクシャ金属プレート410は、例えば、厚さ0.01mm~0.025mm程度のステンレス板とされる。好ましくは、前記フレクシャ部40には、前記磁気ヘッドスライダ50を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体420図示せずが一体的に備えられる。詳しくは、前記配線構造体420は、前記フレクシャ金属プレート410における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。ここで、前記ロードビーム部30における前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2での曲げ構造について説明する。図4に、図2におけるIV部拡大図を示す。図1,図2及び図4に示すように、前記ロードビーム部30は、サスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部30の基端部及び前記ディンプル33の間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った前記第1曲げ線BL1において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられており、さらに、サスペンション長手方向に関し前記第1曲げ線BL1及び前記ディンプル33の間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った前記第2曲げ線BL2において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている。即ち、本実施の形態においては、前記ロードビーム部30は、前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2の2カ所において同一方向前記ディスク面に近接する方向へ凸状となるように折り曲げられている。なお、図1は、前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2において折り曲げられる前の状態を示している。このように、本実施の形態においては、前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2の双方の折り曲げ方向を前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向としており、これにより、前記一対のフランジ部32に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、サスペンション幅方向に沿った第1及び第2曲げ線BL1,BL2での前記ロードビーム部30の折り曲げを可能としている。即ち、前記一対のフランジ部32を有するロードビーム部30は、前記本体部31を形成する本体部形成領域及び前記一対のフランジ部32を形成するフランジ部形成領域を有する平板状の基板を、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線が前記ディスク面に面する方向へ凸状となるように曲げ加工することで形成される。このような前記一対のフランジ部32付きのロードビーム部30に対して、サスペンション幅方向に沿った曲げ線において前記ディスク面とは離間する方向へ凸状となるような曲げ加工を行うと、前記一対のフランジ部32に歪みが生じ易い。これに対し、本実施の形態においては、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線での曲げも前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2での曲げも前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向へ行われている。即ち、前記一対のフランジ部32は、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線が前記ディスク面に面する方向へ凸状となるように前記フランジ部形成領域が前記本体部形成領域に対して曲げ加工されることで形成されている。そして、前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2においても前記ディスク面に面する方向へ凸状となる曲げられている。このように、本実施の形態においては、前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2での曲げ方向が前記一対のフランジ部の曲げ方向と同一とされており、これにより、前記一対のフランジ部32に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、サスペンション幅方向に沿った前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2での曲げ構造を得ている。以下、前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2において前記ディスク面に近接する方向へ凸状となるように折り曲げられた構成を備えた磁気ヘッドサスペンション1Aの実施例1に対して行った解析結果について説明する。前記実施例1は以下の寸法を有している。前記ロードビーム部30の板厚:t図3参照=0.025mm前記一対のフランジ部32の高さ:h図3参照=0.26mm前記一対のフランジ部32の前記本体部31に対する曲げ角度:θ3図3参照=70°前記一対のフランジ部32のサスペンション長手方向中心線CLに対する傾斜角度:α図1参照=10°前記第2曲げ線BL2での折り曲げ角度:θ2図4参照=3°さらに、前記実施例1は、前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2において前記ロードビーム部30を曲げる前の図1に示す状態を基準にして、以下の寸法を有している。前記ボス部15の中心と前記ディンプル33との間のサスペンション長手方向距離:D=11mm前記支持部10の先端エッジと前記ディンプル33との間のサスペンション長手方向距離:L1=6.2mm前記支持部10の先端エッジと前記第2曲げ線BL2との間のサスペンション長手方向距離:L2=0.91×L1=5.64mm前記支持部10の先端エッジと前記第1曲げ線BL1との間のサスペンション長手方向距離:L3=0.55×L1=3.41mm前記構成の前記実施例1に対して、有限要素法を用いて、捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション幅方向変位の大きさに関する解析以下、捩れ一次モード解析という及び曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション長手方向変位の大きさに関する解析以下、曲げ一次モード解析というを行った。まず、前記捩れ一次モード解析の解析条件について説明する。前記第1曲げ線BL1での折り曲げ角度θ1図4参照を3°とした状態の前記実施例1以下、実施例1-1と言うに対して、前記支持部10の基準部位前記ボス部15を前記ディスク面と直交するz方向図2参照及び前記サスペンション長手方向に沿ったx方向図1及び図2参照に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ50のディスク対向面図2及び図4参照を前記z方向に関し拘束した状態で、前記支持部10の基準部位に対して前記サスペンション幅方向に沿ったy方向に強制振動を与えて前記ロードビーム部30を捩れ一次モードで振動させ、その際の前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション幅方向変位を求めた。具体的には、設定高さH図2参照を異ならせた複数の実施例1-1を用意し、それぞれに対して、前記基準部位に周波数を所定の範囲内例えば100Hz~40000Hzの範囲において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション幅方向変位を前記複数の実施例1-1毎に解析した。そして、前記複数の実施例1-1の中で捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション幅方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さHを、磁気ヘッドスライダ50の変位量を最小とさせる設定高さとした。その結果を実施例1-1Tとして図5に示す。前記第1曲げ線BL1での折り曲げ角度θ1図4参照を2°とした状態の前記実施例1以下、実施例1-2と言うに対して同様の解析を行った。即ち、前記設定高さHをそれぞれ異ならせた複数の実施例1-2を用意し、それぞれに対して、周波数を前記所定範囲内において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション幅方向変位を解析した。そして、前記複数の実施例1-2の中で前記サスペンション幅方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さを、磁気ヘッドスライダ50の変位量を最小とさせる設定高さとした。その結果を実施例1-2Tとして図5に示す。そして、前記実施例1-1T及び前記実施例1-2Tを結んで、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1と捩れ一次モードの振動を生じさせる周波数の強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせる設定高さHとの関係を表す直線T実施例1を得た。前記直線T実施例1について詳しく説明する。前記磁気ヘッドサスペンション1Aの捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせ得る最適の設定高さHが前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1毎に存在する。前記直線T実施例1は、この前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1及び最適な設定高さHの関係を表しており、この直線の関係を満たすように前記曲げ角度θ1及び前記設定高さHを設定することで、前記磁気ヘッドサスペンション1Aに捩れ一次モードの振動が生じたとしても、その際の前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせることができる。前記曲げ一次モード解析は以下の条件で行った。前記実施例1-1に対して、前記支持部10の前記基準部位を完全拘束x、y及びz方向に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ50のディスク対向面を前記z方向に関し拘束した状態で、前記ロードビーム部30のサスペンション長手方向略中央の所定位置において前記中央長手線を基準にしてサスペンション幅方向一方側のみにz方向に沿った強制振動を与えて、前記ロードビーム部30を曲げ一次モードで振動させ、その際の磁気ヘッドスライダ50のサスペンション長手方向変位を求めた。具体的には、前記設定高さHを異ならせた複数の実施例1-1及び複数の実施例1-2を用意して、それぞれに対して、前記所定位置に周波数を所定の範囲内例えば100Hz~40000Hzの範囲において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせ、曲げ一次モードの振動が生じた際の磁気ヘッドスライダ50のサスペンション長手方向変位を前記複数の実施例1-1及び前記複数の実施例1-2毎に解析した。そして、前記複数の実施例1-1の中で曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション長手方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さHを、磁気ヘッドスライダ50の変位量を最小とさせる設定高さとした。その結果を実施例1-1Bとして図5に示す。同様に、前記複数の実施例1-2の中で曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション長手方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さHを、磁気ヘッドスライダ50の変位量を最小とさせる設定高さとした。その結果を実施例1-2Bとして、図5に示す。そして、前記実施例1-1B及び前記実施例1-2Bを結んで、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1と曲げ一次モードの振動を生じさせる周波数の強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせる前記設定高さHとの関係を表す直線B実施例1を得た。この直線B実施例1について詳しく説明する。前記磁気ヘッドサスペンション1Aの曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせ得る最適の設定高さHが前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1毎に存在する。前記直線B実施例1は、この前記第1曲げ線BL1での曲げ角度及び最適な設定高さHの関係を表しており、この直線の関係を満たすように前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1及び前記設定高さHを設定することで、前記磁気ヘッドサスペンション1Aに曲げ一次モードの振動が生じたとしても、その際の前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせることができる。ここで、前記直線T実施例1と前記直線B実施例1とは交点実施例1において交差しており、この交点実施例1は前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小にし得る点を意味する。即ち、前記実施例1においては、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1を約2.3°且つ前記設定高さH=約0.65mmとすることで、捩れ一次モードの振動及び曲げ一次モードの振動の双方において前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とすることができる。前記第2曲げ線BL2で折り曲げを行わない点のみにおいて前記実施例1と相違した比較例1であって、前記第1曲げ線BL1での折り曲げ角度θ1が5°及び2°とされた比較例1以下、それぞれ、比較例1-1及び1-2というに対して同様の解析を行った。即ち、設定高さHが異なる複数の前記比較例1-1及び設定高さHが異なる複数の前記比較例1-2を用意し、それぞれに対して前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせて、その際の前記磁気ヘッドスライダ50の変位量を求めた。そして、前記複数の比較例1-1の中で捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位量が最小となる一の比較例1-1の設定高さH及び前記複数の比較例1-2の中で捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位量が最小となる一の比較例1-2の設定高さHを求め、直線T比較例1を得た図5参照。同様に、前記複数の比較例1-1及び前記複数の比較例1-2のそれぞれに対して前記強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせて、その際の前記磁気ヘッドスライダ50の変位量を求めた。そして、前記複数の比較例1-1の中で曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位量が最小となる一の比較例1-1の設定高さH及び前記複数の比較例1-2の中で曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位量が最小となる一の比較例1-2の設定高さHを求め、直線B比較例1を得た図5参照。図5から、前記比較例1においては、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小にし得る前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1は約3.8°且つ前記設定高さH=約0.74mmであることが分かる交点比較例1。これは、前記実施例1において前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小にし得る前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1=約2.3°よりも大きい。つまり、前記第2曲げ線BL2において折り曲げを行った構成前記実施例1は、前記第2曲げ線BL2において折り曲げを行わない構成前記比較例1に比して、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度をより小さくした状態で、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小にすることができる。なお、前記板バネ21の前記曲げ位置を変更することで、直線T実施例1及び直線B実施例1を図5において縦軸方向に沿って平行移動させることができる。即ち、前記板バネ21の前記曲げ位置を変更することで、前記交点実施例1における曲げ角度θ1の値をほぼ維持したままで設定高さHの値のみを変化させることができる。従って、前記捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ50の変位及び前記曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ50の変位を同時に最小とする設定高さH例えば、交点実施例1の値を仕様又は所望に応じて所定値に設定する必要がある場合には、前記板バネ21の前記曲げ位置の変更によって対応可能である。前記一対のフランジ部32を有する磁気ヘッドサスペンションにおいては、サスペンション幅方向に沿った曲げ線に沿った折り曲げ角度は小さいほど好ましく、3.0°を越えると前記一対のフランジ部32に歪みが生じることが経験上、判明している。従って、前記実施例1によれば、前記一対のフランジ部32に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小にすることができる。前記傾斜角度αが11.7°に変更された点においてのみ前記実施例1と相違する実施例2に対して同様の解析を行った。即ち、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1と捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせる前記設定高さHとの関係を表す直線T実施例2、並びに、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1と曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせる前記設定高さHとの関係を表す直線B実施例2を得た。これらを図6に示す。さらに、前記傾斜角度αが11.7°に変更された点においてのみ前記比較例1と相違する比較例2に対しても同様の解析を行った。即ち、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1と捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせる前記設定高さHとの関係を表す直線T比較例2、並びに、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1と曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせる前記設定高さHとの関係を表す直線B比較例2を得た。これらを図6に併せて示す。図6から、前記実施例2においては前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小にさせる前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1は約3.1°交点実施例2であり、前記比較例2においては前記曲げ角度θ1は約4.3°交点比較例2であった。このことからも、前記第2曲げ線BL2において折り曲げを行った構成前記実施例2が前記第2曲げ線BL2において折り曲げを行わない構成前記比較例2に比して、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度をより小さくした状態で、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小にさせ得ることが理解される。好ましくは、図1に示すように、前記本体部31における前記ディスク面とは反対側の面には前記第1曲げ線BL1より基端側の領域に制振材60が固着される。斯かる構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンション1Aの振動時における前記磁気ヘッドスライダ50の変位を減衰させることができる。図7及び図8に、それぞれ、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション1Aの第1及び第2変形例1B,1Cの上面図を示す。なお、図中、本実施の形態1におけると同一部材には同一符合を付している。前記第1及び第2変形例1B,1Cは、前記磁気ヘッドサスペンション1Aにおいて、前記ロードビーム部30の代わりに、それぞれ、ロードビーム部30B,30Cを備えている。前記ロードビーム部30B,30Cは何れも、一対のフランジ部32B,32Cが基端側から先端側へ行く従って第1傾斜角αで前記中心線CLに近接する基端領域321と変曲点Pを挟んで前記基端領域321から先端側へ延びる先端領域322であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第1傾斜角αよりも小さい第2傾斜角βで前記中心線CLに近接する先端領域322とを含むように構成されている。前記第1変形例1B及び前記第2変形例1Cによれば、前記ロードビーム部30B,30Cの先端側における前記中心線CL回りの慣性モーメントをより効果的に低減でき、これにより、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダ50の変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダ50の変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1をより小さくできる。なお、前記第1変形例1Bにおいては、図7に示すように、前記変曲点Pは、サスペンション長手方向に関し前記第1曲げ線BL1と略同一位置に位置されている。一方、前記第2実施例1Cにおいては、図8に示すように、前記変曲点Pは、サスペンション長手方向に関し前記第1曲げ線BL2より基端側に位置されている。以下、前記変曲点Pを有する前記第1変形例1B及び前記第2変形例1Cに関する実施例3及び比較例3に対して行った解析結果について説明する。図9Aに前記比較例3の平面図を、図9B~図9Fに前記実施例3の平面図を示す。なお、図9A~図9Fにおいては、前記フレクシャ部40の図示を省略している。前記実施例3及び前記比較例3は以下の寸法を有している。前記ロードビーム部30、30B、30Cの板厚:t=0.025mm前記一対のフランジ部32B、32Cの高さ:h=0.26mm前記一対のフランジ部32B、32Cの前記本体部31に対する曲げ角度:70°前記第2曲げ線BL2での折り曲げ角度図4におけるθ2に相当する角度:3°さらに、前記実施例3及び前記比較例3は、前記第1及び第2曲げ線BL1,BL2において前記ロードビーム部30を曲げる前の状態を基準にして、以下の寸法を有している図9A~図9F参照。前記ボス部15の中心と前記ディンプル33との間のサスペンション長手方向距離:D=11mm前記支持部10の先端エッジと前記ディンプル33との間のサスペンション長手方向距離:L1=6.2mm前記支持部10の先端エッジと前記第2曲げ線BL2との間のサスペンション長手方向距離:L2=4.9mm前記支持部10の先端エッジと前記第1曲げ線BL1との間のサスペンション長手方向距離:L3=3.4mm前記構成を備えつつ、前記変曲点を有さないサスペンション図9A参照、前記比較例3、前記変曲点Pと前記支持部10の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離L5が1.65×L3=5.6mmとなるように前記変曲点Pの位置が設定されているサスペンション図9B参照、以下、実施例3-1という、前記サスペンション長手方向距離L5が1.29×L3=4.4mmとなるように前記変曲点Pの位置が設定されているサスペンション図9C参照、以下、実施例3-2という、前記サスペンション長手方向距離L5が1.0×L3=3.4mmとなるように前記変曲点Pの位置が設定されているサスペンション図9D参照、以下、実施例3-3という、前記サスペンション長手方向距離L5が0.72×L3=2.4mmとなるように前記変曲点Pの位置が設定されているサスペンション図9E参照、以下、実施例3-4という、及び前記サスペンション長手方向距離L5が0.41×L3=1.4mmとなるように前記変曲点Pの位置が設定されているサスペンション図9F参照、以下、実施例3-5というを用意した。なお、前記比較例3においては、前記ロードビーム部30は基端側の幅Wが3.52mmとされ且つ前記フランジ部32は基端側から先端側へ行くに従って傾斜角12°で前記サスペンション長手方向中心線CLに近接している。一方、前記実施例3-1~3-5においては、前記ロードビーム部30B30Cの基端側の幅が前記比較例における前記ロードビーム部の基端側幅Wと同一とされ且つ前記ロードビーム部30B30Cにおける前記先端領域322の前記サスペンション長手方向中心線CLに対する傾斜角αが9°に固定されている。そして、前記実施例3-1~3-5においては、前記変曲点Pの位置が前述のように変更された結果、前記ロードビーム部30B30Cにおける前記基端領域321の前記サスペンション長手方向中心線CLに対する傾斜角βは、それぞれ、13°、14°、15°、18°及び26°となっている。前記比較例3及び実施例3-1~3-5に対して、有限要素法を用いて、前記捩れ一次モード解析及び前記曲げ一次モード解析を行った。まず、前記捩れ一次モード解析について説明する。前記比較例3及び実施例3-1~3-5の各々に対して、前記第1曲げ線BL1での折り曲げ角度θ1図4参照を3°に固定した状態で前記設定高さH図2参照を異ならせた複数のサスペンションを用意し、複数のサスペンションのそれぞれに対して、前記基準部位に強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション幅方向変位を解析し、前記異なる設定高さHのうち前記幅方向変位を最小とさせる設定高さHを求めた。前記第1前線BL1での折り曲げ角度θ1を2°に固定した状態で同様の解析を行った。即ち、θ1が2°に固定された前記比較例3及び実施例3-1~3-5の各々に対して、前記設定高さHを異ならせた複数のサスペンションを用意し、それぞれに対して、同様の解析を行った。そして、前記比較例3及び実施例3-1~3-5の各々に対して、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1と捩れ一次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせる設定高さHとの関係を表す直線以下、捩れ一次モード直線というを得た。次に、前記曲げ一次モード解析について説明する。前記比較例3及び実施例3-1~3-5の各々に対して、前記第1曲げ線BL1での折り曲げ角度θ1図4参照を3°に固定した状態で前記設定高さH図2参照を異ならせた複数のサスペンションを用意し、複数のサスペンションのそれぞれに対して、前記基準部位を完全拘束x、y及びz方向に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ50のディスク対向面を前記z方向に関し拘束した状態で、前記ロードビーム部30のサスペンション長手方向略中央の所定位置において前記中央長手線を基準にしてサスペンション幅方向一方側のみにz方向に沿った強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせ、曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ50のサスペンション長手方向変位を解析し、前記異なる設定高さHのうち前記長手方向変位を最小とさせる設定高さHを求めた。前記第1前線BL1での折り曲げ角度θ1を2°に設定した状態で同様の解析を行った。即ち、θ1が2°に設定された前記比較例3及び実施例3-1~3-5の各々に対して、前記設定高さHを異ならせた複数のサスペンションを用意し、それぞれに対して、同様の解析を行った。そして、前記比較例3及び実施例3-1~3-5の各々に対して、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1と曲げ一次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせる設定高さHとの関係を表す直線以下、曲げ一次モード直線というを得た。前記比較例3及び実施例3-1~3-5の各々において、前記捩れ一次モード直線と前記曲げ一次モード直線との交点を求めて、その交点における曲げ角度θ1を得た。この曲げ角度θ1は、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる曲げ角度である。即ち、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1をθ1に設定することで、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダ50の変位を最小とさせることができる。図10に、前記θ1と前記変曲点Pの位置との関係を表すグラフを示す。図10から、前記変曲点Pと前記支持部10の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離L5が1.0×L3より大きい場合、即ち、前記変曲点Pが前記第1曲げ線BL1よりサスペンション長手方向先端側に位置する場合には、前記変曲点Pの位置に拘わらずθ1は約2.2°の一定値となった。これに対し、前記距離L5が1.0×L3以下の場合、即ち、前記変曲点Pが前記第1曲げ線BL1よりサスペンション長手方向基端側に位置する場合には、前記変曲点Pをサスペンション長手方向基端側へ位置させるに従ってθ1が前記一定値から徐々に小さくなった。このことから、L5≦1.0×L3となるように前記変曲点Pのサスペンション長手方向位置を設定することにより、前記第1曲げ線BL1での曲げ角度θ1を小さくしつつ、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダ50の変位を小さくすることができると解される。次に、前記第1変形例1B及び前記第2変形例1Cに関する他の実施例4に対して行った解析結果について説明する。図11に、前記実施例4の平面図を示す。なお、図11においては、前記フレクシャ部40の図示を省略している。前記実施例4として、前記第1曲げ線BL1と前記支持部10の先端エッジとの間の距離L3を0.55×L1=3.41mmに固定し且つ前記変曲点Pと前記支持部10の先端エッジとの間の距離L5を0.23×L1=1.4mmに固定した状態で、前記第1曲げ線L1から前記第2曲げ線L2までのサスペンション長手方向距離L4を異ならせた複数のサスペンション実施例4-1~4-4を用意した。前記実施例4-1~4-4においては、前記距離L4を、それぞれ、0.05×L1=0.31mm、0.12×L1=0.74mm、0.24×L1=1.5mm及び0.36×L1=2.2mmとした。なお、前記実施例4-1~4-4におけるその他の寸法は前記実施例3と同一である。前記実施例4-1~4-4に対して前記実施例3におけると同様の解析を行った。その結果を図12に示す。図12から、前記距離L4前記第2曲げ線BL2と前記第1曲げ線BL1との間の距離が0.15×L1を越えると前記距離L4が長くなるに従って前記θ1が大きくなるが、前記距離L4が0.15×L1以下の場合には前記θ1が小さくなった。このことから、L4≦が0.15×L1となるように前記第1曲げ線BL1に対する前記第2曲げ線BL2の位置を設定することにより、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせ得ることができると解される。次に、前記第1変形例1B及び前記第2変形例1Cに関するさらに他の実施例5に対して行った解析結果について説明する。図13に、前記実施例5の平面図を示す。なお、図13においては、前記フレクシャ部40の図示を省略している。前記実施例5として、前記第2曲げ線BL2と前記支持部10の先端エッジとの間の距離L2を0.79×L1=4.9mmに固定し且つ前記変曲点Pと前記支持部10の先端エッジとの間の距離L5を0.23×L1=1.4mmに固定した状態で、前記第1曲げ線L1と前記支持部10の先端エッジとの間の距離L3を異ならせた複数のサスペンション実施例5-1~5-4を用意した。前記実施例5-1~5-4においては、前記距離L3を、それぞれ、0.73×L1=4.5mm、0.67×L1=4.2mm、0.55×L1=3.4mm及び0.43×L1=2.7mmとした。なお、前記実施例5-1~5-4におけるその他の寸法は前記実施例3と同一である。前記実施例5-1~5-4に対して前記実施例3におけると同様の解析を行った。その結果を図14に示す。図14から、0.53×L1≦L3≦0.67×L1の範囲では、前記θ1を小さくすることができる。このことから、好ましくは、前記第1曲げ線BL1は、0.53×L1≦L3≦0.67×L1を満たすように位置設定される。"