ワークを取り付けるためのテーブルと、前記テーブルを第1の方向に加振可能な第1のアクチュエータと、前記テーブルを、前記第1の方向と直交する第2の方向に加振可能な第2のアクチュエータと、前記テーブルを前記第1のアクチュエータに対して第2の方向にスライド可能に連結する第1の連結手段と、前記テーブルを前記第2のアクチュエータに対して第1の方向にスライド可能に連結する第2の連結手段と、を有する、加振試験装置。前記第1及び第2のアクチュエータは、サーボモータと、前記サーボモータの回転運動を第1又は第2の方向の並進運動に変換するボールねじ機構とをそれぞれ有することを特徴とする請求項1に記載の加振試験装置。前記サーボモータの回転軸と前記ボールねじ機構のボールねじとを連結するカップリングをさらに有し、前記カップリングが、バックラッシが無く、回転軸の曲げ方向にたわみ性を有し、前記モータの駆動軸方向の振動の伝達を阻害するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の加振試験装置。前記セミリジッドカップリングは粘弾性要素を含むことを特徴とする請求項3に記載の加振試験装置。前記粘弾性要素の少なくとも一部は樹脂から形成されていることを特徴とする請求項4に記載の加振試験装置。前記粘弾性要素の少なくとも一部はゴムから形成されていることを特徴とする請求項4に記載の加振試験装置。前記セミリジッドカップリングは、前記サーボモータの駆動軸方向の振動の減衰率が該駆動軸の固有振動数において略最大になるように構成されていることを特徴とする請求項3に記載の加振試験装置。前記セミリジッドカップリングは、中心にテーパ穴が貫通形成された剛体要素である一対の外輪と、前記一対の外輪の間に配置され、中心に連結する軸を通すための円柱状の貫通穴が形成され、外周の軸方向両端に前記一対の外輪のテーパ穴の内周と夫々係合可能なテーパ面が形成されている、弾性要素または粘弾性要素からなる内輪と、を有し、前記内輪の貫通穴に前記ボールねじ及び前記サーボモータの駆動軸が差し込まれ、前記内輪のテーパ面に前記一対の外輪のテーパ穴の内周が当接し、前記一対の外輪同士がボルトで互いに固定されることにより内輪を介して軸が連結されることを特徴とする請求項3に記載の加振試験装置。前記ボールねじ機構のナットが前記ボールねじの軸方向のみに移動可能となるよう該ナットをガイドするガイド機構が、前記加振試験装置のフレームに固定される第1部と、該ナットに固定される第2部とを有し、前記第1部と第2部の一方がレールを有し、且つ他方が前記レールと係合して該レールに沿って移動可能なランナーブロックを有し、前記ランナーブロックが、前記レールを囲む凹部と、前記凹部において、前記ランナーブロックの移動方向に沿って形成された溝と、前記ランナーブロックの内部に形成され、前記溝と閉回路を形成するように前記溝の前記移動方向両端と繋がっている退避路と、前記閉回路を循環するとともに、前記溝に位置するときは前記レールと当接するようになっている複数のボールと、を有することを特徴とする請求項2に記載の加振試験装置。前記ランナーブロックには前記閉回路が4つ形成されており、前記4つの閉回路のうち2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールはガイド機構のラジアル方向に対して略±45度の接触角を有し、他の2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールは前記ガイド機構の逆ラジアル方向に対して略±45度の接触角を有することを特徴とする請求項9に記載の加振試験装置。前記第1及び第2の連結手段の夫々は、前記第1及び第2のアクチュエータと前記テーブルの間に配置された中間ステージを有し、前記第1の連結手段の中間ステージは、該第1の方向に垂直な一方向のみに前記テーブルに対してスライド可能であり、且つ、該一方向と該第1の方向の双方に垂直な方向のみに前記第1のアクチュエータに対してスライド可能であり、前記第2の連結手段の中間ステージは、該第2の方向に垂直な一方向のみに前記テーブルに対してスライド可能であり、且つ、該一方向と該第2の方向の双方に垂直な方向のみに前記第2のアクチュエータに対してスライド可能であることを特徴とする請求項1に記載の加振試験装置。前記第1の連結手段の中間ステージが前記テーブル及び前記第1のアクチュエータに対してスライド可能な二方向の一方は、該第2の方向であり、前記第2の連結手段の中間ステージが前記テーブル及び前記第2のアクチュエータに対してスライド可能な二方向の一方は、該第1の方向であることを特徴とする請求項11に記載の加振試験装置。前記テーブル及び前記中間ステージの一方には、前記中間ステージが前記テーブルに対してスライド可能な方向に伸びる少なくとも1本のレールが設けられており、前記テーブル及び前記中間ステージの他方には、前記レールに係合するランナーブロックが設けられていることを特徴とする請求項11に記載の加振試験装置。前記テーブルと前記中間ステージとは、互いに平行に配置された複数のレールと、前記複数のレールの各々に係合する複数のランナーブロックを介して、スライド可能に連結されていることを特徴とする請求項13に記載の加振試験装置。前記ランナーブロックが、前記レールを囲む凹部と、前記凹部において、前記ランナーブロックの移動方向に沿って形成された溝と、前記ランナーブロックの内部に形成され、前記溝と閉回路を形成するように前記溝の前記移動方向両端と繋がっている退避路と、前記閉回路を循環するとともに、前記溝に位置するときは前記レールと当接するようになっている複数のボールと、を有することを特徴とする請求項13に記載の加振試験装置。前記ランナーブロックには前記閉回路が4つ形成されており、前記4つの閉回路のうち2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールが、前記レールと前記ランナーブロックを備えたガイド機構のラジアル方向に対して略±45度の接触角を有し、他の2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールは前記ガイド機構の逆ラジアル方向に対して略±45度の接触角を有することを特徴とする請求項15に記載の加振試験装置。前記中間ステージ及び対応するアクチュエータの一方には、前記中間ステージが前記対応するアクチュエータに対してスライド可能な方向に伸びる少なくとも1本のレールが設けられており、前記中間ステージ及び対応するアクチュエータの他方には、前記レールに係合するランナーブロックが設けられていることを特徴とする請求項11に記載の加振試験装置。前記中間ステージと対応するアクチュエータとは、互いに平行に配置された複数のレールと、前記複数のレールの各々に係合する複数のランナーブロックを介して、スライド可能に連結されていることを特徴とする請求項17に記載の加振試験装置。前記ランナーブロックが、前記レールを囲む凹部と、前記凹部において、前記ランナーブロックの移動方向に沿って形成された溝と、前記ランナーブロックの内部に形成され、前記溝と閉回路を形成するように前記溝の前記移動方向両端と繋がっている退避路と、前記閉回路を循環するとともに、前記溝に位置するときは前記レールと当接するようになっている複数のボールと、を有することを特徴とする請求項17に記載の加振試験装置。前記ランナーブロックには前記閉回路が4つ形成されており、前記4つの閉回路のうち2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールが、前記レールと前記ランナーブロックを備えたガイド機構のラジアル方向に対して略±45度の接触角を有し、他の2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールは前記ガイド機構の逆ラジアル方向に対して略±45度の接触角を有することを特徴とする請求項19に記載の加振試験装置。該第1及び第2の方向の双方に垂直な第3の方向に前記テーブルを加振可能な第3のアクチュエータと、前記テーブルを前記第3のアクチュエータに対して第1及び第2の方向にスライド可能に連結する第3の連結手段と、を有し、前記第1及び第2の連結手段は、それぞれ前記テーブルを第1及び第2のアクチュエータに対して第3の方向にスライド可能に連結することを特徴とする請求項1に記載の加振試験装置。前記第3のアクチュエータは、サーボモータにてボールねじ機構を駆動して前記テーブルを加振することを特徴とする請求項21に記載の加振試験装置。前記第3の連結手段は、前記第3のアクチュエータと前記テーブルの間に配置された中間ステージを有し、前記第3の連結手段の中間ステージは、該第3の方向に垂直な一方向のみに前記テーブルに対してスライド可能であり、且つ、該一方向と該第3の方向の双方に垂直な方向のみに前記第1のアクチュエータに対してスライド可能であることを特徴とする請求項21に記載の加振試験装置。前記第3の連結手段の中間ステージが前記テーブル及び前記第1のアクチュエータに対してスライド可能な二方向は、該第1及び第2の方向であることを特徴とする請求項23に記載の加振試験装置。前記テーブル及び前記中間ステージの一方には、前記中間ステージが前記テーブルに対してスライド可能な方向に伸びる少なくとも1本のレールが設けられており、前記テーブル及び前記中間ステージの他方には、前記レールに係合するランナーブロックが設けられていることを特徴とする請求項23に記載の加振試験装置。前記テーブルと前記中間ステージとは、互いに平行に配置された複数のレールと、前記複数のレールの各々に係合する複数のランナーブロックを介して、スライド可能に連結されていることを特徴とする請求項25に記載の加振試験装置。前記中間ステージ及び対応するアクチュエータの一方には、前記中間ステージが前記対応するアクチュエータに対してスライド可能な方向に伸びる少なくとも1本のレールが設けられており、前記中間ステージ及び対応するアクチュエータの他方には、前記レールに係合するランナーブロックが設けられていることを特徴とする請求項23に記載の加振試験装置。前記中間ステージと対応するアクチュエータとは、互いに平行に配置された複数のレールと、前記複数のレールの各々に係合する複数のランナーブロックを介して、スライド可能に連結されていることを特徴とする請求項27に記載の加振試験装置。前記第3の方向が鉛直方向であり、前記第3のアクチュエータは、複数の中間ステージを有することを特徴とする請求項23に記載の加振試験装置。上記の第1の構成においては、下段のテーブルを加振するためのアクチュエータは、3枚のテーブルと他の2つのアクチュエータをも加振できるだけのパワーを必要とするため、加振装置が大がかりなものとなってしまうという問題があった。また、上段及び中段のテーブルを加振するためのアクチュエータは、夫々中段及び下段のテーブルに固定されてテーブルと共に振動するよう構成されている。このため、アクチュエータ自身がテーブルに対するアンバランス荷重となってしまい、このアンバランス荷重に起因する誤差成分がワークに印加される振動に含まれてしまう可能性がある。また、第2の構成においては、各アクチュエータの揺動角度範囲が数度程度を超えて大きくなると、アクチュエータ同士が干渉するようになる。そのため、テーブルの加振の振幅を大きくするためには、アクチュエータの駆動軸の長さを充分に大きくとる必要があり、装置が大型化するという問題があった。また、アクチュエータ自身が回動するため、大重量のサーボモータを使用するボールねじ機構をアクチュエータとして使うことは容易ではなく、使用可能なアクチュエータは事実上油圧アクチュエータ及び圧電アクチュエータに限定されている。加えて、あるアクチュエータを駆動してテーブルを変位させると、他のアクチュエータの駆動軸の向きが変わるすなわち、座標系の変化が発生する。従って、所望の加振状態を得るためには、座標系の変化を考慮して各アクチュエータに与えるパラメータを演算しなければならない。このため、第2の構成のような加振装置には、各アクチュエータに与えるパラメータを高速で演算するためのプロセッサを用いるなど、装置の制御系が複雑なものとなっていた。本発明は、上記の問題を解決するためになされたものである。すなわち、本発明は、装置を大型化複雑化することなく、大きい振幅でテーブルを加振することができる加振装置を提供することを目的とする。本発明の実施形態により、テーブルを、夫々互いに直交する第1及び第2の方向に加振可能な第1及び第2のアクチュエータと、テーブルを第1のアクチュエータに対して第2の方向にスライド可能とする第1の連結手段と、テーブルを第2のアクチュエータに対して第1の方向にスライド可能とする第2の連結手段とを有する加振試験装置が提供される。このように、本発明の実施形態による加振試験装置においては、各アクチュエータは、テーブルに対してそのアクチュエータの加振方向に直交する方向にスライド可能となっている。そのため、あるアクチュエータでテーブルを加振しても、テーブルが他のアクチュエータに対してスライドするので、他のアクチュエータが変位することも、他のアクチュエータの加振方向が変化することもない。従って、本発明においては、各アクチュエータはテーブル及びワークを加振できるだけのパワーがあればよい。また、本発明によれば、アクチュエータを回動させずにテーブルを加振することが可能となるため、アクチュエータの駆動軸が短くてもテーブルを大ストロークで加振することができる。加えて、あるアクチュエータが他のアクチュエータの挙動に影響を与えることがないため、アクチュエータの制御系を複雑化することなく、所望の振幅、周波数でテーブルを加振することが可能となる。従って、本発明によれば、装置を大型化複雑化することなく、大きい振幅でテーブルを加振することが可能となる。また、第1及び第2の方向の双方に垂直な第3の方向にテーブルを加振可能な第3のアクチュエータと、テーブルを第3のアクチュエータに対して第1及び第2の方向にスライド可能に連結する第3の連結手段とを更に有し、第1及び第2の連結手段は、それぞれ前記テーブルを第1及び第2のアクチュエータに対して第3の方向にスライド可能に連結する構成とすることによって、三軸方向に加振可能な加振試験装置が実現される。以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の実施形態による加振試験装置の上面図である。本実施形態の加振試験装置1は、加振試験の対象であるワークをテーブル100の上に固定し、第1、第2、第3アクチュエータ200、300、400を用いてテーブル100及びその上のワークを直交3軸方向に加振するようになっている。なお、以下の説明においては、第1アクチュエータ200がテーブル100を加振する方向図1における上下方向をX軸方向、第2アクチュエータ300がテーブル100を加振する方向図1における左右方向をY軸方向、第3アクチュエータ400がテーブルを加振する方向、すなわち鉛直方向図1において、紙面に垂直な方向をZ軸方向と定義する。図6は、本発明の実施形態による加振試験装置の制御システムのブロック図である。第1、第2、第3アクチュエータ200、300、400には、夫々振動センサ220、320、420が設けられている。これらの振動センサの出力に基づいて制御手段10が第1、第2、第3アクチュエータ200、300、400具体的には、サーボモータ212、312、412をフィードバック制御することによって、所望の振幅及び周波数これらのパラメータは、通常は時間の関数として設定されるでテーブル100及びその上に取り付けられたワークを加振することができる。第1、第2、第3アクチュエータ200、300、400は、夫々ベースプレート202、302、402上にモータや動力伝達部材等が取り付けられた構成となっている。このベースプレート202、302、402は、図示しないボルトによって、装置ベース2上に固定されている。また、装置ベース2上には、ベースプレート202、302、402に近接する複数の位置にアジャスタAが配置されている。アジャスタAは、装置ベース2にボルトABで固定されるめねじ部A1と、このめねじ部A1にねじ込まれているおねじ部A2とを有している。おねじ部A2は、円筒面にネジ山が形成された円柱状の部材であり、おねじ部A2をめねじ部A1に形成されたネジ穴に係合させて回動させることによって、おねじ部A2を対応するベースプレートに対して進退させることができる。おねじ部A2の一端対応するベースプレートに対して近位となる側は、略球面状に形成されており、この突出部と対応するベースプレートの側面とを当接させることによって、ベースプレートの位置の微調整を行うことができる。また、おねじ部A2の他端対応するベースプレートに対して遠位となる側には、図示しない六角レンチ用の六角穴が形成されている。また、一旦ベースプレート202、302、402を固定した後は、加振試験によってベースプレートからアジャスタAに伝達されうる振動等によっておねじ部A2が緩まないように、ナットA3がおねじ部A2に取り付けられている。ナットA3は、その一端面がめねじ部A1に当接するように取り付けられており、この状態からナットA3をねじ込んでめねじ部A1を押し込み、おねじ部A2とめねじ部A1に軸力を作用させ、この軸力によっておねじ部A2とめねじ部A1のねじ山に生じる摩擦力によって、おねじ部A2からめねじ部A1が緩まないようになっている。次に、第1アクチュエータ200の構成について説明する。図2は、本発明の実施形態による第1アクチュエータ200をY軸方向から図1の右側から左側へ向かって見た側面図である。この側面図は、内部構造を示すために一部が切り欠かれている。また、図3は、第1アクチュエータ200の上面図の一部切り欠いて内部構造を示したものである。なお、以下の説明においては、第1アクチュエータ200からテーブル100に向うX軸に沿った方向をX軸正の方向、テーブル100から第1アクチュエータに向うX軸に沿った方向をX軸負の方向と定義する。図2に示されるように、ベースプレート202の上には、互いに溶接された複数のはり222aと、天板222bからなるフレーム222が溶接によって固定されている。また、テーブル100図1を加振するための駆動機構210や駆動機構210による加振運動をテーブルに伝達させるための連結機構230を支持するための支持機構240の底板242が、フレーム222の天板222bの上に図示しないボルトを介して固定されている。駆動機構210は、サーボモータ212、カップリング260、軸受部216、ボールねじ218及びボールナット219を有している。カップリング260は、サーボモータ212の駆動軸212aとボールねじ218とを連結するものである。また、軸受部216は、支持機構240の底板242に対して垂直に溶接で固定された軸受支持プレート244によって支持されており、ボールねじ218を回転可能に支持している。ボールナット219は、その軸回りに移動しないよう軸受支持プレート244によって支持されつつ、ボールねじ218と係合する。そのため、サーボモータ212を駆動すると、ボールねじが回転して、ボールナット219がその軸方向すなわちX軸方向に進退する。このボールナット219の運動が、連結機構230を介してテーブル100に伝達されることによって、テーブル100はX軸方向に駆動される。そして、短い周期でサーボモータ212の回転方向を切り換えるようサーボモータ212を制御することによって、テーブル100を所望の振幅及び周期でX軸方向に加振することができる。支持機構240の底板242の上面には、モータ支持プレート246が底板242と垂直に溶接されている。モータ支持プレート246の一面X軸負の方向側の面には、駆動軸212aがモータ支持プレート246と垂直になるよう、サーボモータ212が片持ち支持されている。モータ支持プレート246には、開口部246aが設けられており、サーボモータ212の駆動軸212aはこの開口部246aを貫通し、モータ支持プレート246の他面側でボールねじ218と連結される。なお、サーボモータ212がモータ支持プレート246に片持ち支持されているため、モータ支持プレート246には、特に底板242との溶接部において、大きな曲げ応力が加わる。この曲げ応力を緩和するために、底板242とモータ支持プレート246との間には、リブ248が設けられている。軸受部216は、正面組合せで組み合わされた一対のアンギュラ球軸受216a、216bX軸負の方向側にあるものが216aであり、X軸正の方向側にあるものが216bであるを有している。アンギュラ球軸受216a、216bは、軸受支持プレート244の中空部の中に収納されている。アンギュラ球軸受216bの一面X軸正の方向側の面には、軸受押圧プレート216cが設けられており、この軸受押圧プレート216cをボルト216dを用いて軸受支持プレート244に固定することによって、アンギュラ球軸受216bはX軸負の方向に押し込まれる。また、ボールねじ218において、軸受部216に対してX軸負の方向側に隣接する円筒面には、ねじ部218aが形成されている。このねじ部218には、内周にめねじが形成されたカラー217が取り付けられるようになっている。カラー217をボールねじ218に対して回動させてX軸正の方向に移動させることによって、アンギュラ球軸受216aはX軸正の方向に押し込まれる。このように、アンギュラ球軸受216aと216bが、互いに近づく方向に押し込まれるようになっているので、両者が互いに密着して好適なプリロードが軸受216a、216bに付与される。次に、連結部230の構成について説明する。連結部230は、ナットガイド232、一対のY軸レール234、一対のZ軸レール235、中間ステージ231、一対のX軸レール237、一対のX軸ランナーブロック233、及びランナーブロック取付部材238を有している。ナットガイド232は、ボールナット219に固定されている。また、一対のY軸レール234は、共にY軸方向に伸びるレールであり、ナットガイド232のX軸正の方向側の端部に、上下方向に並べて固定されている。また、一対のZ軸レール235は、共にZ軸方向に伸びるレールであり、テーブル100のX軸負の方向側の端部に、Y軸方向に並べて固定されている。中間ステージ231は、このY軸レール234の各々と係合するY軸ランナーブロック231aがX軸負の方向側の面に、Z軸レール235の各々と係合するZ軸ランナーブロック231bがX軸正の方向側の面に設けられているブロックであり、Y軸レール234及びZ軸レール235の双方に対してスライド可能に構成されている。すなわち、中間ステージ231は、テーブル100に対してZ軸方向にスライド可能であり、且つ、ナットガイド232に対してY軸方向にスライド可能である。従って、テーブル100に対してナットガイド231はY軸方向及びZ軸方向にスライド可能となっている。このため、他のアクチュエータ300及び/または400によってテーブル100がY軸方向及び/またはZ軸方向に加振されたとしても、それによってナットガイド232が変位することはない。すなわち、テーブル100のY軸方向及び/またはZ軸方向の変位に起因する曲げ応力が、ボールねじ218や軸受216、カップリング260などに加わることはない。一対のX軸レール237は、共にX軸方向に伸びるレールであり、支持機構240の底板242の上に、Y軸方向に並べて固定されている。X軸ランナーブロック233は、このX軸レール237の各々と係合し、X軸レール237に沿ってスライド可能となっている。ランナーブロック取付部材238は、Y軸方向両側に向って張り出すようにナットガイド232の底面に固定された部材であり、X軸ランナーブロック233はランナーブロック取付部材238の底部に固定されている。このように、ナットガイド232は、ランナーブロック取付部材238及びX軸ランナーブロック233を介してX軸レール237にガイドされており、これによって、X軸方向のみに移動可能となっている。このように、ナットガイド232の移動方向がX軸方向のみに制限されているため、サーボモータ212を駆動してボールねじ218を回動させると、ナットガイド232及びこのナットガイド232と係合するテーブル100は、X軸方向に進退する。ランナーブロック取付部材238の、Y軸方向側の一方の側面図2においては手前側、図3においては右側238aには、位置検出手段250が配置されている。位置検出手段250は、X軸方向に一定間隔で並べられた3つの近接センサ251、ランナーブロック取付部材238の側面238aに設けられた検出用プレート252、及び近接センサ251を支持するセンサ支持プレート253を有している。近接センサ251は、各々の近接センサの前に何らかの物体が近接して例えば1ミリメートル以内にいるかどうかを検出可能な素子である。ランナーブロック取付部材238の側面238aと近接センサ251とは充分に離れているため、近接センサ251は、各々の近接センサ251の前に検出用プレート252があるかどうかを検知することができる。加振試験装置1の制御手段10は、例えば近接センサ251の検出結果を用いてサーボモータ212をフィードバック制御することができる図6。また、支持機構240の底板242の上には、X軸ランナーブロック233をX軸方向両側から挟むように配置された規制ブロック236が設けられている。この規制ブロック236は、ナットガイド232の移動範囲を制限するためのものである。すなわち、サーボモータ212を駆動させてナットガイド232をX軸正の方向に向って移動させ続けると、最終的には、X軸正の方向側に配置された規制ブロック236とランナーブロック取付部材238とが接触し、それ以上ナットガイド232はX軸正の方向に移動できなくなる。ナットガイド232をX軸負の方向に向って移動させ続ける場合も同様であり、X軸負の方向側に配置された規制ブロック236とランナーブロック取付部材238とが接触して、それ以上ナットガイド232はX軸負の方向に移動できなくなる。以上説明した第1アクチュエータ200と第2アクチュエータ300とは、設置される方向が異なるX軸とY軸が入れ代わる点を除いては同一の構造である。従って、第2アクチュエータ300については詳細な説明は省略する。次に、本発明の実施形態による第3アクチュエータ400の構成について説明する。図4は、テーブル100及び第3アクチュエータ400をX軸方向から図1の下方から上方へ向かって見た側面図である。この側面図も、内部構造を示すために一部が切り欠かれている。また、図5は、本発明の実施形態によるテーブル100及び第3アクチュエータ400をY軸方向から図1の左側から右側へ向かって見た側面図である。図5も、内部構造を示すために一部が切り欠かれている。なお、以下の説明においては、第2アクチュエータ300からテーブル100に向うY軸に沿った方向をY軸正の方向、テーブル100から第2アクチュエータ300に向うY軸に沿った方向をY軸負の方向と定義する。図4及び5に示されるように、ベースプレート402上には、鉛直方向に伸びる複数のはり422aと、この複数のはり422aを上から覆うように配置された天板422bからなるフレーム422が設けられている。各はり422aは、下端がベースプレート402の上面に、上端が天板422bの下面に、それぞれ溶接されている。また、支持機構440の軸受支持プレート442が、フレーム422の天板422bの上に図示しないボルトを介して固定されている。この軸受支持プレート442は、テーブル100図1を上下方向に加振するための駆動機構410や、駆動機構410による加振運動をテーブルに伝達させるための連結機構430を支持するための部材である。駆動機構410は、サーボモータ412、カップリング460、軸受部416、ボールねじ418、及びボールナット419を有している。カップリング460は、サーボモータ412の駆動軸412aとボールねじ418とを連結するものである。また、軸受部416は、前述の軸受支持プレート442に固定されており、ボールねじ418を回転可能に支持するようになっている。ボールナット419は、その軸回りに移動しないよう軸受支持プレート442によって支持されつつ、ボールねじ418と係合する。そのため、サーボモータ412を駆動すると、ボールねじが回転して、ボールナット419がその軸方向すなわちZ軸方向に進退する。このボールナット419の運動が、連結機構430を介してテーブル100に伝達されることによって、テーブル100はZ軸方向に駆動される。そして、短い周期でサーボモータ412の回転方向を切り換えるようサーボモータ412を制御することによって、テーブル100を所望の振幅及び周期でZ軸方向上下方向に加振することができる。支持機構440の軸受支持プレート442の下面から、2枚の連結プレート443を介して、水平方向XY平面に広がるモータ支持プレート446が固定されている。モータ支持プレート446の下面には、サーボモータ412が吊り下げられ、固定されている。モータ支持プレート446には、開口部446aが設けられており、サーボモータ212の駆動軸412aはこの開口部446aを貫通し、モータ支持プレート446の上面側でボールねじ418と連結される。なお、本実施形態においては、フレーム422の高さよりもサーボモータ412の軸方向上下方向、Z軸方向の寸法が大きいため、サーボモータ412の大部分は、ベースプレート402よりも低い位置に配置される。このため、装置ベース2には、サーボモータ412を収納するための空洞部2aが設けられている。また、ベースプレート402には、サーボモータ412を通すための開口402aが設けられている。軸受部416は、軸受支持プレート442を貫通するように設けられている。なお、軸受部416の構造は、第1アクチュエータ200における軸受部216図2、図3と同様であるので、詳細な説明は省略する。次に、連結部430の構成について説明する。連結部430は、可動フレーム432、一対のX軸レール434、一対のY軸レール435、複数の中間ステージ431、二対のZ軸レール437、及び二対のZ軸ランナーブロック433を有している。可動フレーム432は、ボールナット419に固定された枠部432aと、枠部432aの上端に固定された天板432bと、天板432bのX軸方向両縁から下方に伸びるよう固定された側壁432cを有している。一対のY軸レール435は、共にY軸方向に伸びるレールであり、可動フレーム432の天板432bの上面に、X軸方向に並べて固定されている。また、一対のX軸レール434は、共にX軸方向に伸びるレールであり、テーブル100の下面に、Y軸方向に並べて固定されている。中間ステージ431は、X軸レール434と係合するX軸ランナーブロック431aが上部に、Y軸レール435の各々と係合するY軸ランナーブロック431bが下部に設けられているブロックであり、X軸レール434及びY軸レール435の双方に対してスライド可能に構成されている。なお、中間ステージ431は、X軸レール434とY軸レール435とが交差する位置毎に一つずつ設けられている。X軸レール434とY軸レール435は、夫々2つずつ設けられているので、X軸レール434とY軸レール435とは4箇所で交差する。従って、本実施形態においては、4つの中間ステージ431が使用される。このように、中間ステージ431の各々は、テーブル100に対してX軸方向にスライド可能であり、且つ、可動フレーム432に対してY軸方向にスライド可能である。すなわち、テーブル100に対して可動フレーム432はX軸方向及びY軸方向にスライド可能となっている。このため、他のアクチュエータ200及び/または300によってテーブル100がX軸方向及び/またはY軸方向に加振されたとしても、それによって可動フレーム432が変位することはない。すなわち、テーブル100のX軸方向及び/またはY軸方向の変位に起因する曲げ応力がボールねじ418や軸受416、カップリング460などに加わることはない。また、本実施形態においては、可動フレーム432には比較的大重量のテーブル100及びワークを支えるため、X軸レール434及びY軸レール435の間隔を、第1アクチュエータ200のY軸レール234及びZ軸レール235と比べて広くとっている。このため、第1アクチュエータ200と同様に一つの中間ステージのみによってテーブル100と可動フレーム432とを連結させる構成とすると、中間ステージが大型化し、可動フレーム432に加わる荷重が増大してしまう。このため、本実施形態においては、X軸レール434とY軸レール435とが交差する部分ごとに小型の中間ステージ431を配置する構成として、可動フレーム432に加わる荷重の大きさを必要最低限に抑えている。二対のZ軸レール437は、Z軸方向に伸びるレールであり、可動フレーム432の側壁432cの夫々に、Y軸方向に並べて一対ずつ固定されている。Z軸ランナーブロック433は、このZ軸レール437の各々と係合し、Z軸レール437に沿ってスライド可能となっている。Z軸ランナーブロック433は、ランナーブロック取付部材438を介してフレーム422の天板422bの上面に固定されるようになっている。ランナーブロック取付部材438は、可動フレーム432の側壁432cと略平行に配置された側板438aと、この側板438aの下端に固定された底板438bとを有しており、全体としてはL字断面形状となっている。また、本実施形態においては、特に重心の高く且つ大重量のワークをテーブル100の上に固定すると、X軸回り及び/またはY軸回りの大きなモーメントが可動フレーム432に加わりやすくなっている。そのため、ランナーブロック取付部材438は、この回転モーメントに耐えられるよう、リブによって補強されている。具体的には、ランナーブロック取付部材438のY軸方向両端における側板438aと底板438bとが成すコーナーに、一対の第1リブ438cが設けられ、さらに、この一対の第1リブ438cの間に渡された第2リブ438dが設けられている。このように、Z軸ランナーブロック433がフレーム422に固定されており、且つZ軸レール437に対してスライド可能となっている。従って、可動フレーム432は、上下方向にスライド可能であるとともに、可動フレーム432の上下方向以外の移動は規制される。このように、可動フレーム432の移動方向が上下方向のみに制限されているため、サーボモータ412を駆動してボールねじ418を回動させると、可動フレーム432及びこの可動フレーム432と係合するテーブル100は、上下方向に進退する。また、第1アクチュエータ200の位置検出手段250図2、3と同様の位置検出手段不図示が第3アクチュエータ400にも設けられている。加振試験装置1制御手段10は、この位置検出手段の検出結果に基づいて、可動フレーム432の高さが所定の範囲内となるように制御することができる図6。以上説明したように、本実施形態においては、駆動軸が互いに直交する各アクチュエータとテーブル100との間に、二対のレールとこのレールに対してスライド可能に構成された中間ステージが設けられている。これによって、各アクチュエータに対して、テーブル100はそのアクチュエータの駆動方向に垂直な面上の任意の方向にスライド可能となっている。このため、あるアクチュエータによってテーブル100が変位したとしても、この変位に起因する荷重やモーメントが他のアクチュエータに加わることは無く、且つ他のアクチュエータとテーブル100とが中間ステージを介して係合する状態が維持される。すなわち、テーブルが任意の位置に変位したとしても、各アクチュエータがテーブルを変位させることが可能な状態が維持される。このため、本実施形態においては、3つのアクチュエータ200、300、400を同時に駆動させてテーブル100及びその上に固定されるワークを3軸方向に加振可能である。次に、カップリング260、360及び460の構造について説明する。カップリング260及び360はカップリング460と同一の構造であるため、以下の説明においては、カップリング460についての説明のみを行い、カップリング260及び360についての説明は省略する。図7は、カップリング460及び、このカップリング460を介して互いに連結されるACサーボモータ412の駆動軸412aとボールねじ418の軸部を示す拡大断面図である。図7に示されているように、カップリング460は、ナイロン製の内輪461と、一対のジュラルミン製の外輪462と463、及びこれらを締結する複数本実施形態では6つのボルト464から構成されるセミリジッドカップリングである。内輪461の中央には、内部で相互に連絡する丸穴461a、461bが同軸上に設けられている。丸穴461aの内径はACサーボモータ412の駆動軸412aが隙間なく挿入できる大きさであり、丸穴461bの内径はボールねじ418の軸部が隙間なく挿入できる大きさとなっている。なお、本実施形態においては、ボールねじ418の軸部はACサーボモータ412の駆動軸412aよりも小径であるため、丸穴461bの外径は丸穴461aの外径よりも小径となっている。内輪461の軸方向中央部の外周にはフランジ部461cが形成されている。フランジ部461cの両面内側からは、軸方向に伸びるテーパ部がそれぞれ形成されている。各テーパ部の外側面461d、461eは、軸方向先端に近づくほど外径が小さくなる円錐状のテーパ面となっている。また、内輪461を挟む一対の外輪462、463の内側には、テーパ形状の内側面462a、463aをもつ貫通穴がそれぞれ形成されている。外輪462と463は、それぞれ内側面462a、463aのテーパ面が開く方向を内輪側に向けて配置されている。外輪462、463のテーパ形状の内側面462a、463aは、それぞれ内輪461の外側面461d、461eと同じテーパ角を有している。そして、外輪462の内側面462aと内輪461の外側面461d、外輪463の内側面463aと内輪461の外側面461eとが重なるように、外輪462、463の貫通穴に内輪461の両端に形成されたテーパ部が差し込まれている。また、外輪463の貫通穴の周囲には、ボルト464の先端部に形成されたおねじと係合するめねじ463bが、貫通穴の軸を中心とする円周上に等間隔に形成されている。また、外輪462と内輪461のフランジ部461cには、外輪463のめねじ463bに対応する位置に、ボルト穴丸穴462b、461fがそれぞれ形成されている。6本のボルト464図7には2本のみ図示が外輪462のボルト穴462b及び内輪461のボルト穴461fを通して外輪340のめねじ464bと係合している。内輪461の丸穴461aに下方からACサーボモータ412の駆動軸412aの先端aを、丸穴461bに上方からボールねじ418の軸部の先端を差し込んだ後、ボルト464をボルト穴462b、461fに差し込み、さらにめねじ464bにねじ込むと、内輪461は両側から外輪462と外輪463によって強く挟まれ、外輪462、4623の貫通穴に内輪461の2つのテーパ部がそれぞれ深く嵌入される。このため、くさびの原理によって、内輪461の丸穴461a、461bからACサーボモータ412の駆動軸412a及びボールねじ418の軸部にそれぞれ強い側圧が加えられる。従って、丸穴461a、461bと駆動軸412a、ボールねじ418との間にそれぞれ強力な摩擦力が発生し、駆動軸412aとボールねじ418とが内輪461を介して一体に連結される。図7に示されているように、外輪452と463との間は、粘弾性体であるナイロン樹脂で形成された内輪461のみで支持されている。また、図7に示されるように、カップリング460において、ACサーボモータ412の駆動軸412aの先端と、ボールねじ418の軸部の先端とは、わずかな例えば、約1ミリメートルの間隔を離して連結されている。従って、モータから軸を圧縮する方向の力が加わった場合には、内輪が弾性変形して、この駆動軸412aとボールねじ418との間隔が狭まることにより、カップリング460内で軸方向の力を吸収して、ボールねじ側に伝わる軸方向の力を大幅に減衰させることができる。本実施形態においては、内輪461の振動減衰率は、加振試験における計測周波数領域内で比較した場合、駆動軸412aの固有振動数において略最大となっている。これにより、駆動軸412aの軸方向、又は、軸の半径方向の振動を効果的に減衰させることができる。なお、駆動軸412aの固有振動数における内輪461の振動減衰率は、必ずしも計測周波数領域において略最大である必要はないが、少なくとも計測周波数領域における周波数平均よりも大きいことが望ましい。一方、上述のように、ACサーボモータ412の駆動軸412aの先端と、ボールねじ418の軸部の先端との間隔は1ミリメートル程度と短く、また、各軸の先端は全周が内輪と一体化されている。このため、捩り方向には十分にリジッドに連結されており、バックラッシが無く、ACサーボモータ412の駆動軸412aの回転駆動を正確にボールねじ418に伝達することができる。本実施形態においては、前述のように、アクチュエータ200、300、400とテーブル100の間には、レールとランナーブロックを組み合わせたガイド機構を備えた連結部が設けられている。また、同様のガイド機構が、アクチュエータ200、300、400に設けられており、このガイド機構は各アクチュエータのボールねじ機構のナットをガイドするために使用される。これらのガイド機構の構成について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下の説明は、第3アクチュエータ400のZ軸ランナーブロック433及びZ軸レール437から構成されるガイド機構図5についてのものであるが、他のガイド機構も同一の構成である。図8は、ランナーブロック433及びレール437を、レール437の長軸方向に垂直な一面で切断した断面図であり、図9は図8のI-I断面図である。図8及び図9に示されるように、ランナーブロック433にはレール437を囲むように凹部が形成されており、この凹部にはレール435の軸方向に延びる4本の溝433a、433a’が形成されている。この溝433a、433a’には、多数のステンレス鋼製のボール433bが収納されている。レール437には、ランナーブロック433の溝433a、433a’と対向する位置にそれぞれ溝437a、437a’が設けられており、ボール433bが溝433aと溝437a、又は溝433a’と溝437a’との間に挟まれるようになっている。溝433a、433a’、437a、437a’の断面形状は円弧状であり、その曲率半径はボール433bの半径と略等しい。このため、ボール433bは、あそびのほとんど無い状態で溝433a、433a’、437a、437a’に密着する。ランナーブロック433の内部には、溝433aの夫々と略平行なボール退避路433cが4本設けられている。図8に示されるように、溝433aと退避路433cとは、夫々の両端でU字路433dを介して接続されており、溝433a、溝437a、退避路433c、U字路433dは、ボール433bを循環させるための循環路を形成する。退避路433c及び溝433a’及び437a’についても、同様の循環路が形成されている。このため、ランナーブロック433がレール437に対して移動すると、多数のボール433bが溝433a、433a’、437a、437a’を転がりながら循環路を循環する。このため、レール軸方向以外の方向に大荷重が加わっていたとしても、多数のボールでランナーブロックを支持可能であると共にボール433bが転がることによりレール軸方向の抵抗が小さく保たれるので、ランナーブロック433をレール437に対してスムーズに移動させることができる。なお、退避路433c及びU字路433dの内径は、ボール433bの径よりやや大きくなっており、退避路433c及びU字路433dとボール433bとの間に発生する摩擦力はごくわずかであるため、ボール433bの循環が妨げられることはない。図8に示されているように、溝433aと437aに挟まれた二列のボール433bの列は、接触角が略45°となる、正面組合せ型のアンギュラ玉軸受を形成する。この場合の接触角は、溝433a及び437aがボール433bと接触する接触点同士を結んだ線と、リニアガイドのラジアル方向ランナーブロックからレールに向かう方向とがなす角度である。このように形成されたアンギュラ玉軸受は、逆ラジアル方向レールからランナーブロックに向かう方向及び横方向ラジアル方向及びランナーブロックの進退方向の双方に直交する方向。図中左右方向の荷重を支持することができる。同様に、溝433a’と437a’に挟まれた二列のボール433bの列は、接触角溝433a’及び437a’がボール433bと接触する接触点同士を結んだ線と、リニアガイドの逆ラジアル方向との角度が45°となる、正面組合せ型のアンギュラ玉軸受を形成する。このアンギュラ玉軸受は、ラジアル方向及び横方向の荷重を支持することができる。また、溝433aと437aの一方図中左側と、溝433a’と437a’の一方図中左側にそれぞれ挟まれた二列のボール433bの列もまた、正面組み合わせ型のアンギュラ玉軸受を形成する。同様に溝433aと437aの他方図中左側と、溝433a’と437a’の他方図中左側にそれぞれ挟まれた二列のボール433bの列もまた、正面組合せ型のアンギュラ玉軸受を形成する。このように、本実施形態のガイド機構においては、ラジアル方向、逆ラジアル方向、横方向のそれぞれに働く荷重に対して、正面組合せ型のアンギュラ玉軸受が支持することになり、レール軸方向以外の方向に加わる大荷重を十分支持できるようになっている。以上説明したように、本実施形態の加振試験装置は、テーブルを、夫々互いに直交する第1及び第2の方向X軸及びY軸方向に加振可能な第1及び第2のアクチュエータと、テーブルを第1のアクチュエータに対して第2の方向にスライド可能とする第1の連結手段と、テーブルを第2のアクチュエータに対して第1の方向にスライド可能とする第2の連結手段と、を有する。上記の加振試験装置においては、各アクチュエータは、テーブルに対してそのアクチュエータの加振方向に直交する方向にスライド可能となっている。そのため、あるアクチュエータでテーブルを加振しても、テーブルが他のアクチュエータに対してスライドするので、他のアクチュエータが変位することも、他のアクチュエータの加振方向が変化することもない。従って、本発明においては、各アクチュエータはテーブル及びワークを加振できるだけのパワーがあればよい。また、本発明によれば、アクチュエータを回動させずにテーブルを加振することが可能となるため、アクチュエータの駆動軸が短くてもテーブルを大ストロークで加振することができる。加えて、あるアクチュエータが他のアクチュエータの挙動に影響を与えることがないため、アクチュエータの制御系を複雑化することなく、所望の振幅、周波数でテーブルを加振することが可能となる。従って、本発明によれば、装置を大型化複雑化することなく、大きい振幅でテーブルを加振することが可能となる。また、本実施形態の構成においては、前述のように、アクチュエータが変位することも回動することもないため、サーボモータで駆動されるボールねじ機構をアクチュエータに採用することが容易である。ボールねじ機構は、油圧アクチュエータにおいて問題となるオイル漏れは無く、また、圧電アクチュエータよりもはるかに大きなストロークでテーブルを加振することができる。サーボモータの回転軸と前記ボールねじ機構のボールねじを連結するカップリングが、バックラッシが無く曲げ方向にたわみ性を有しモータの駆動軸の延長方向の振動の伝達を阻害するように構成されているセミリジッドカップリングである構成とすることがさらに好ましい。この構成により、高い応答性をもって送りねじを駆動させつつ、多少の軸ずれがあっても極端に大きな内部ひずみを発生することなくスムーズな駆動を可能にし、尚且つモータ駆動軸方向の振動を遮断することができる。セミリジッドカップリングは樹脂やゴムから作られる粘弾性要素を備えていることが好ましい。また、セミリジッドカップリングは、サーボモータの駆動軸の振動の減衰率が駆動軸の固有振動数で最大になるように構成されている。このような構成とすることにより、モータから駆動軸を介して伝わる軸方向または軸の半径方向の振動を、セミリジッドカップリング内の粘弾性要素によって効果的に減衰させることが可能となり、このような振動をほとんど出力側に伝達させないようにすることができる。また、好ましくは、セミリジッドカップリングは、剛体要素である一対の外輪と、この一対の外輪の間に配置された、弾性要素または粘弾性要素を含む内輪とを有している。外輪の中心にはテーパ穴が、内輪の中心には連結する軸を通すための円柱状の貫通穴が夫々形成されている。また、内輪の外周の軸方向の両端には、一対の外輪のテーパ穴の内周と夫々係合可能なテーパ面が形成されている。内輪の貫通穴に送りねじ及びサーボモータの駆動軸を差し込み、内輪のテーパ面に一対の外輪のテーパ穴の内周を当接させ、この一対の外輪同士をボルトで互いに固定することによって内輪を介して軸が連結される。このような構成とすることにより、軸出力を高い応答性を以て伝達しつつ、軸方向の振動を吸収するセミリジッドカップリングを極めて簡単な構成で実現することができる。また、ボールねじ機構のナットがボールねじの軸方向のみに移動可能となるようにナットをガイドするガイド機構が、加振試験装置のフレームに固定される第1部と、ナットに固定される第2部とを有し、第1部と第2部の一方がレールを有し且つ他方がレールと係合して該レールに沿って移動可能なランナーブロックを有し、ランナーブロックが、レールを囲む凹部と、凹部において、ランナーブロックの移動方向に沿って形成された溝と、ランナーブロックの内部に形成され溝と閉回路を形成するように溝の移動方向両端と繋がっている退避路と、閉回路を循環するとともに溝に位置するときはレールと当接するようになっている複数のボールとを有する構成とすることが好ましい。更に、ランナーブロックには上記の閉回路が4つ形成されており、この4つの閉回路のうち2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールはリニアガイドのラジアル方向に対して略±45度の接触角を有し、他の2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールはガイド機構の逆ラジアル方向に対して略±45度の接触角を有する構成とすることが望ましい。このような構成のガイド機構は、そのラジアル方向、逆ラジアル方向及び横方向に第荷重が加わったとしても、ランナーブロックをレールに沿ってスムーズに移動させることかできる。そして、このようなガイド機構によってナットがガイドされるので、加振装置のテーブル大重量のワークを取り付けて加振する場合であっても、送りねじ機構のナットはがたつくことなく、スムーズにレールに沿って動くことができる。また、好ましくは、第1及び第2の連結手段の夫々はテーブルと対応するアクチュエータの間に配置された中間ステージを有し、第1の連結手段の中間ステージは第1の方向に垂直な一方向のみにテーブルに対してスライド可能であるとともに、この一方向と第1の方向の双方に垂直な方向のみに第1のアクチュエータに対してスライド可能であり、第2の連結手段の中間ステージは、第2の方向に垂直な一方向のみにテーブルに対してスライド可能であるとともに、この一方向と第2の方向の双方に垂直な方向のみに前記第2のアクチュエータに対してスライド可能である。ここで、例えば、第1の連結手段の中間ステージが前記テーブル及び第1のアクチュエータに対してスライド可能な二方向の一方は第2の方向であり、第2の連結手段の中間ステージがテーブル及び第2のアクチュエータに対してスライド可能な二方向の一方は、第1の方向である。また、好ましくは、テーブルに対して中間ステージをスライド可能とするために、例えば、テーブル及び中間ステージの一方には、中間ステージがテーブルに対してスライド可能な方向に伸びる少なくとも1本のレールが設けられており、且つ、テーブル及び中間ステージの他方にはレールに係合するランナーブロックが設けられている。また、好ましくは、アクチュエータに対して中間ステージをスライド可能とするために、例えば、中間ステージ及び対応するアクチュエータの一方には、中間ステージが対応するアクチュエータに対してスライド可能な方向に伸びる少なくとも1本のレールが設けられており、且つ、中間ステージ及び対応するアクチュエータの他方にはレールに係合するランナーブロックが設けられている。また、テーブルと中間ステージ、及び/または中間ステージとアクチュエータが、夫々互いに平行に配置された複数のレールとランナーブロックによって連結される構成としてもよい。このような構成とすると、アクチュエータがテーブルを加振する際、テーブルと中間ステージとの間、及び中間ステージとアクチュエータとの間に加振方向回りの回転モーメントがほとんど発生しなくなる。この結果、所望の加振状態が容易に得られる。また、ランナーブロックが、レールを囲む凹部と、凹部においてランナーブロックの移動方向に沿って形成された溝と、ランナーブロックの内部に形成され、溝と閉回路を形成するように溝の移動方向両端と繋がっている退避路と、閉回路を循環するとともに、溝に位置するときはレールと当接するようになっている複数のボールと、を有する構成としてもよい。また、ランナーブロックにはこの閉回路が4つ形成されており、4つの閉回路のうち2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールが、レールとランナーブロックを備えたガイド機構のラジアル方向に対して略±45度の接触角を有し、他の2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールがガイド機構の逆ラジアル方向に対して略±45度の接触角を有する構成とすることがより好ましい。このような構成のガイド機構は、そのラジアル方向、逆ラジアル方向及び横方向に第荷重が加わったとしても、ランナーブロックをレールに沿ってスムーズに移動させることかできる。そして、このようなガイド機構によって中間ステージがガイドされるので、加振装置のテーブル大重量のワークを取り付けて加振する場合であっても、中間ステージはがたつくことなく、スムーズにレールに沿って動くことができる。また、本実施形態の加振試験装置は、第1及び第2の方向の双方に垂直な第3の方向Z軸方向にテーブルを加振可能な第3のアクチュエータと、テーブルを第3のアクチュエータに対して第1及び第2の方向にスライド可能に連結する第3の連結手段と、を有し、第1及び第2の連結手段は、それぞれ前記テーブルを第1及び第2のアクチュエータに対して第3の方向にスライド可能に連結する構成となっている。この構成によれば、三軸方向に加振可能な加振試験装置が実現される。