試料の載置面を挟んで、X線焦点を含んで構成されたX線発生器とX線検出器とが対向して配置され、前記X線焦点から放射され、前記試料を透過したX線が前記X線検出器にて検出されるように構成されたX線検査装置において、前記X線発生器のX線放射面を、前記載置面と平行に維持したまま、なおかつ前記X線放射面上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、前記X線発生器を、前記載置面と直交する軸を中心に、該軸から前記X線焦点までの長さを径として円形に移動させる発生器移動手段と、前記X線検出器のX線受光面を、前記載置面と平行に維持したまま、なおかつ前記X線受光面上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、前記X線発生器を、前記軸のまわりを該軸を中心にして円形に移動させる検出器移動手段とを備えると共に、前記発生器移動手段と前記検出器移動手段とが、駆動源からの動力を機械的に伝達する動力伝達手段を介して機械的に連結され、該動力伝達手段の駆動により、前記X線発生器と前記X線検出器との円形移動が同期して行われるように構成されていることを特徴とするX線検査装置。前記動力伝達手段が、前記発生器移動手段と機械的に連結された第1の動力伝達軸と、前記検出器移動手段と機械的に連結された第2の動力伝達軸と、前記第1の動力伝達軸と第2の動力伝達軸とを機械的に連結する第3の動力伝達軸とを含んで構成され、前記駆動源が前記第1~第3の動力伝達軸のいずれかと連結されていることを特徴とする請求項1記載のX線検査装置。前記発生器移動手段が、前記第1の動力伝達軸と連結された状態で支持部に配設された、前記軸を軸心とする駆動軸と、前記支持部に配設された、前記駆動軸と並列した並列軸と、前記駆動軸及び前記並列軸と前記X線発生器とを結合するための結合部と、前記駆動軸と前記並列軸との間に巻き掛けられた巻掛伝動手段とを含んで構成され、前記X線発生器が、前記結合部を介して、前記駆動軸及び前記並列軸それぞれの軸心から同一方向へ前記長さのずれた位置で、軸支点間距離が前記駆動軸と前記並列軸との軸心間距離と同じになるように軸支されていることを特徴とする請求項2記載のX線検査装置。前記結合部が、前記駆動軸を中心に回転するスイング軸部と、前記並列軸を中心に回転するスイング軸部と、前記駆動軸及び前記並列軸それぞれの軸心から同一方向へ前記長さのずれた位置で、これらスイング軸部により軸支された回転板とを含み、該回転板が、前記駆動軸と直交するX軸方向及びY軸方向への動きを許容する直動案内手段と接合されていることを特徴とする請求項3記載のX線検査装置。前記X線発生器が取り付けられる取付部を備え、該取付部が、前記結合部を介して、前記駆動軸及び前記並列軸それぞれの軸心から同一方向へ前記長さのずれた位置で、軸支点間距離が前記駆動軸と前記並列軸との軸心間距離と同じになるように軸支されると共に、前記取付部を前記軸方向に移動させる軸方向移動手段を備えていることを特徴とする請求項3又は請求項4記載のX線検査装置。前記検出器移動手段が、前記第2の動力伝達軸と連結された状態で支持部に配設された、前記軸を軸心とする駆動軸と、前記支持部に配設された、前記駆動軸と並列した並列軸と、前記駆動軸及び前記並列軸と前記X線検出器とを結合するための結合部と、前記駆動軸と前記並列軸との間に巻き掛けられた巻掛伝動手段とを含んで構成され、前記X線検出器が、前記結合部を介して、前記駆動軸及び前記並列軸それぞれの軸心から同一方向へ所定の長さ離れた位置で、軸支点間距離が前記駆動軸と前記並列軸との軸心間距離と同じになるように軸支されていることを特徴とする請求項2~5のいずれかの項に記載のX線検査装置。前記結合部が、前記駆動軸を中心に回転するスイング軸部と、前記並列軸を中心に回転するスイング軸部と、前記駆動軸及び前記並列軸それぞれの軸心から同一方向へ前記所定の長さ離れた位置で、これらスイング軸部により軸支された回転板とを含み、該回転板が、前記駆動軸と直交するX軸方向及びY軸方向への動きを許容する直動案内手段と接合されていることを特徴とする請求項6記載のX線検査装置。以下、本発明に係るX線検査装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、実施の形態に係るX線検査装置の要部を概略的に示したブロック図である。但し、図15に示したX線検査装置と同様の構成部分については、同一符号を付し、その説明を省略する。図中Smpは被検対象となる試料例えば、電子部品が片面又は両面に実装された基板を示しており、試料Smpは搬送機構21により、装置内部の所定の検査位置まで搬送されるようになっている。搬送機構21を挟んで、X線受光面Iを有したX線検出器11と、X線焦点S1を含んで構成されたX線発生器12とが対向して配置されている。X線発生器12のX線焦点S1からX線が放射され、試料Smpを透過したX線が、X線検出器11のX線受光面Iで検出されるようになっている。なお、図中T1はX線焦点S1から放射されるX線の光軸OAと、試料Smpの載置面T2と直交する軸L1との交点O1を含む面を示しており、面T1が断層撮影面FPとなる。X線検出器11は画像処理部22に接続されており、X線検出器11で検出されたX線に応じた画像データ映像信号が画像処理部22へ出力されるようになっている。画像処理部22は、画質を改善するなどの信号処理を行い、信号処理した画像データをディスプレイ図示せずへ出力したり、マイコン23へ出力するようになっている。円形移動機構発生器移動手段24と円形移動機構検出器移動手段25とは、モータM11からの動力回転力を伝達する動力伝達機構26を介して機械的に連結されており、動力伝達機構26からの回転力を受けて同期駆動するようになっている。動力伝達機構26は、複数の動力伝達軸、及びこれらを動力伝達可能に連結する歯車などの機械要素を含んで構成されている。すなわち、円形移動機構24は、動力伝達機構26からの回転力を受けて駆動し、X線受光面Iを搬送機構21の試料の載置面T2と平行に維持したまま、なおかつX線受光面I上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、X線検出器11を軸L1のまわりを軸L1を中心にして円形に移動させるものである。また、円形移動機構25は、円形移動機構24と同様に、動力伝達機構26からの回転力を受けて駆動し、X線放射面12aを載置面T2と平行に維持したまま、なおかつX線放射面12a上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、X線発生器12を軸L1を中心に軸L1からX線焦点S1までの距離rを径として円形に移動させるものであるすなわち、X線焦点S1を軸L1を中心に回転運動させるものである。なお、X線検出器11およびX線焦点S1の動き断層撮影可能な原理については、図16~図18を用いて説明したものと同様であるため、ここでは説明を省略する。動力伝達機構26に連結されたモータM11はマイコン23によって制御され、X線発生器12のX線焦点S1が、X線検出器11の円形移動に同期して180°の位相差を維持したまま、軸L1を中心に回転運動する。すなわち、1つのモータM11による回転力が、動力伝達機構26を介して円形移動機構24と円形移動機構25とに機械的に同期ずれが生じることなく伝達されるため、モータM11の回転力を高めて、X線検出器11とX線発生器12との円形移動を高速化した場合であっても、これら円形移動を確実に同期させることが可能となっている。鉛直移動機構27は、モータM12からの回転力を受けて駆動し、X線発生器12を軸L1方向に移動させるものである。モータM12もマイコン23によって制御されるようになっている。搬送機構21は、モータM13からの回転力を受けて駆動し、試料の搬送方向X方向に並列に配設されたベルト上に試料Smpを載せて搬送するベルト式搬送機構と、試料の搬送方向X方向に対して直交する方向Y方向に前記ベルト式搬送部を移動させる検査位置調整機構とを備え、また、ベルト式搬送機構には、並列に配設されたベルトの間隔を、試料のサイズ幅に合わせて調整するベルト間隔調整機構が装備されている。マイコン23には操作部28が接続されており、所望する検査のための各種入力設定等が行えるようになっている。マイコン23は、CPU、RAM、ROMを含んで構成され、ROMには、断層撮影画像に基づいて、はんだ接合部の良否判定を行うためのプログラムや各部を駆動制御するためのプログラムなどが記憶されている。また、マイコン23には、検査データなどを記憶するための記憶部図示せずが接続されている。上記した構成により実施の形態に係るX線検査装置10が構成されている。上記実施の形態に係るX線検査装置10によれば、X線検出器11は、X線受光面Iを搬送機構21の載置面T2と平行に維持したまま、なおかつX線受光面I上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸L1のまわりを軸L1を中心にして円形に移動する。他方、X線発生器12は、X線放射面12aを搬送機構21の載置面T2と平行に維持したまま、なおかつX線放射面12a上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸L1を中心に、軸L1からX線焦点S1までの距離rを径として円形に移動するので、X線焦点S1は軸L1を中心にして回転することになる。また、X線焦点S1は、X線検出器11の円形移動に同期して180°の位相差をもって、軸L1を中心に回転運動するようになっている。さらに、X線検査装置10では、X線検出器11とX線発生器12のX線焦点S1とを円形移動させるための円形移動機構24、25が、モータM11からの動力を機械的に伝達する動力伝達機構26を介して機械的に連結されており、動力伝達機構26の駆動により、円形移動機構24、25によるX線検出器11とX線焦点S1との円形移動が機械的に同期するように構成されている。そのため、モータM11のパワー回転力を高めて、X線検出器11とX線発生器12との円形移動を高速化した場合でも、円形移動機構24、25には、モータM11からの動力が動力伝達機構26を介して機械的に伝達され、X線検出器11の円形移動とX線発生器12の円形移動との同期ずれ回転ブレ等が発生しないようにすることができる。従って、前記円形移動を高速化した場合であっても、図16~図18を使って説明したものと同様の原理に基づいて、面T1上に存在する像だけすなわち、面T1の断層画像を精度よく取得することができ、搬送機構21の載置面T2に載置された試料Smpの断層画像を短時間1断層画像当り0.5~1秒程度で取得することが可能となり、外側からでは観察することの難しい、はんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少過多などの不良原因を的確かつ高速に検出することができ、電子部品の製造実装ラインへ組み込みインライン対応可能な装置を実現することができる。また、上記実施の形態に係るX線検査装置10によれば、試料Smpの断層画像だけでなく、透視画像についてももちろん取得可能である。さらに、鉛直移動機構27により、X線発生器12を軸L1方向に移動させて、X線焦点S1を軸L1方向に移動させることができる。X線焦点S1を軸L1方向に移動させると、幾何学的拡大率を変化させることなく、断層撮影面FPを変えることができる。従って、搬送機構21の載置面T2に載置された試料Smpの断層画像を異なる高さで、なおかつ同じ拡大率で高速で取得することができるので、試料Smpの3次元的な画像を高速で取得することができる。これにより、電子部品の基板への実装状態をより詳しく、しかも高速で検査することができる。また、X線発生器12は、軸L1を中心に、軸L1からX線焦点S1までの距離rを径として円形に移動するようになっている図2、図3参照。また、図3に示したように、X線発生器12の移動範囲はエリアE内であり、X線発生器12のx軸方向の長さをx12とし、y軸方向の長さをy12とした場合、X線発生器12はx軸方向にx122rの範囲内を移動し、y軸方向にy122rの範囲内を移動することが分かる。また、X線発生器12が回転運動をしないことは明らかである。従って、X線発生器12を回転運動させることなく断層画像を取得することができる。また、図3から明らかなように、X線発生器12の移動範囲を必要最小限に抑えることができ、また、X線発生器12に接続される電源ケーブル図示せずに捩れが生じないようにすることができる。図4は、実施の形態に係るX線検査装置10が組み込まれた電子部品の製造システム表面実装システムを概略的に示したブロック図である。実施の形態に係る電子部品の製造システムは、クリームはんだ印刷機スクリーン印刷機とも呼ばれる200、チップマウンター表面実装機300、リフロー装置400、上記説明したX線検査装置10を含んで構築されており、これら装置間には、試料である基板を搬送するローダー自動供給機、アンローダー自動搬出機等が適宜配置されて製造工程が自動化されている。クリームはんだ印刷機200は、プリント基板のパッド上にクリームはんだはんだにフラックスを加えて、適当な粘度にしたものを塗布するための装置である。チップマウンター300は、クリームはんだ印刷機200によりはんだが塗布された後のプリント基板の決められた位置にBGAやCSPなどの電子部品を搭載マウントする、例えば、部品供給装置図示せずから供給された電子部品をノズルで吸着し、それを基板の決められた位置へ搭載するものである。リフロー装置400は、チップマウンター300により電子部品が位置決め搭載された後のプリント基板に所定の熱を加えてはんだを溶かし、電子部品をプリント基板に固定するための装置である。X線検査装置10は、リフロー装置400を通過してきた実装基板のはんだ接合部を高速1断面当り0.5~1秒以内で断層撮影して接合状態を判定し、良品と不良品とを判別して、搬出するものである。図5は、実施の形態に係るX線検査装置10におけるマイコン23が行う検査処理動作を示したフローチャートである。なお、本処理動作は、設計された製造ラインのタクトタイムに基づく所定の時間間隔で繰返し実行される。まず、ステップ1では、装置の基板搬入口側に配設されたローダーと信号のやり取りを行い、所定のタイミングで、基板搬入口を開き、リフロー装置400を通過してきた実装基板を搬送機構21の載置面ベルト上に載せて、所定の検査位置まで搬送するための制御モータM13等の駆動制御を行う。なお、搬入と略同じタイミングで、装置の基板搬出口側に配設されたアンローダーと信号のやり取りを行い、基板搬出口を開き、検査終了した実装基板を搬出するように制御してもよい。ステップ2では、搬入されてきた実装基板に対応する検査番号をカウントし、検査データとして記憶部に記憶する処理を行い、ステップ3では、実装基板の位置決め処理を行う。実装基板の位置決めは、基板端部で検出し、位置ズレや傾きをアライメント補正する処理を行うようになっている。次のステップ4では、実装基板の歪みの検出と補正処理を行う。実装基板の歪みは、予め定めた位置で歪み高さを検出し、断層撮影高さに対して自動補正を行う。次のステップ5では、実装基板のはんだ接合部の断層撮影処理を行う。モータM11を駆動して、X線検出器11とX線発生器との円形移動を高速で行い、1断面を0.5秒~1秒程度で断層撮影が行えるようになっている。基板に実装された電子部品の数や大きさ等に基づいて、接合状態の判定に必要な回数ほど断層撮影が実行される。ステップ6では、撮影された断面画像に基づいて、例えば撮影された断面画像と、予め登録された良品の断面画像とを比較して、はんだ接合部の良不良の自動判定を行う。X線検査装置10により検出されるはんだ接合部の不良状態としては、ハンダボールの浮き上がり、ハンダボールのズレ、ハンダの過少などの状態が挙げられる。ステップ7では、ステップS2で記憶した検査番号と対応付けて、検査画像、良否判定データを記憶部に保存する処理を行い、その後ステップ8では、検査終了した実装基板の搬出処理を行う。装置の基板搬出口側に配設されたアンローダーと信号のやり取りを行い、所定のタイミングで、基板搬出口を開き、検査終了後の実装基板を出口まで搬送し、アンローダーに搬送するための制御モータM13等の駆動制御を行い、その後処理を終える。上記実施の形態に係る電子部品の検査方法によれば、1回の断層撮影に要する時間を1秒程度以下に大幅短縮することが可能なX線検査装置10を用いることにより、電子部品のはんだ接合部の接合状態が、インラインで自動検査され、得られた断層撮影画像データに基づいて、電子部品の良品と不良品とが判定される。したがって、これまで実現できなかった、製造実装ラインにおける、断層撮影画像データに基づいた、電子部品の良否判定の高速自動検査を実現することができ、要求されるタクトタイムで十分に自動検査を実行することができ、電子部品の生産効率を飛躍的に高めることができる。また、実施の形態に係る電子部品の製造システムによれば、X線検査装置10が、電子部品のはんだ接合部のインライン検査装置として、電子部品の製造実装ラインに組み込まれているので、該製造ラインにおいて、断層撮影画像データに基づいた、電子部品の良否判定の高速自動検査を実現することができ、電子部品の生産効率を飛躍的に高めることができる。図6は、実施例1に係るX線検査装置の要部を示した部分透過正面図である。図7は、実施例1に係るX線検査装置の要部を示した部分透過側面図である。図8は、図7におけるX線検査装置の上側の要部を示した部分透過側面図、図9は、図6におけるIX-IX線部分的断面図を示している。図10は、図7におけるX線検査装置の下側の要部を示した部分透過側面図、図11は、図6におけるXI-XI線部分的断面図を示している。図12は、搬送機構周辺を示した部分透過平面図である。図中21は、試料Smpが載置され、試料Smpを装置内外X方向に搬送する搬送機構であり、搬送機構21を上下に挟んで、X線検出器11とX線発生器12とが対向して配置され、X線発生器12からX線が放射され、試料を透過したX線が、X線検出器11で検出されるようになっている。X線検出器11の上方には円形移動機構24が結合され、X線発生器12の下方には鉛直移動機構27と円形移動機構25とが結合されており、円形移動機構24と円形移動機構25とが、モータM11からの動力を機械的に伝達する動力伝達機構26図7参照を介して連結されている。動力伝達機構26は、モータM11に一端側が連結され、水平方向に横設された第1動力伝達軸26aと、下端側が第1動力伝達軸26aの他端側と傘歯車29a、29bを介して連結され、鉛直方向に立設された第3動力伝達軸26cと、第3動力伝達軸26cの上端側と傘歯車29c、29dを介して連結され、水平方向に横設された第2動力伝達軸26bとを含んで構成されている。第1動力伝達軸26aは、傘歯車29e、29fを介して円形移動機構25の駆動軸81に連結され、第2動力伝達軸26bは、傘歯車29g、29hを介して円形移動機構24の駆動軸41に連結されている。第1動力伝達軸26aは、ベアリングホルダ30a、30b等を介して、円形移動機構25の支持台85に回動可能な状態で支持され、第2、第3動力伝達軸26b、26cは、ベアリングホルダ30c~30i等を介して、装置筐体31内に固定された支持枠体32に回動可能な状態で支持されている。なお、傘歯車29a~29hについては、互いに噛合する歯車間におけるバックラッシュ隙間がなくなるように取り付け状態が調整されている。次に円形移動機構24の構成について説明する。図中41は、軸L1を軸心とする駆動軸であり、駆動軸41の上端は、傘歯車ベベルギア29h、29gを介して、第2動力伝達軸26bに連結されており、駆動軸41は、第2動力伝達軸26bからの回転力を受けて回転駆動するようになっている。駆動軸41はベアリング42、43、保持部44及び保持板45によって保持され、固定具46を介して支持枠体32に支持されている。また、駆動軸41の下端には回転ボス47が締結されており、回転ボス47もまた第2動力伝達軸26bの回転に基づいて、軸L1を中心にして回転するようになっている。回転ボス47には軸L2を軸心とするスイング軸48が接合されており、スイング軸48もまた動力伝達機構26の回転に基づいて、軸L1を中心にして回転するようになっている。また、スイング軸48は、駆動軸41の軸心軸L1から距離R離れた位置軸L2で、ベアリング49を介して回転板50に回動可能に軸支されている。また、駆動軸41と並列した軸L3を軸心とする並列軸51がベアリング52、53、及び保持部54によって保持板45に支持され、保持板45は固定具46を介して支持枠体32に支持されている。並列軸51の下端には回転ボス55が締結され、回転ボス55には軸L4を軸心とするスイング軸56が接合されている。スイング軸56は、並列軸51の軸心軸L3から距離R離れた位置軸L4で、軸支点間距離が駆動軸41と並列軸51との軸心間距離と同じになるように、ベアリング57を介して回転板50に回動可能に軸支されている。また、駆動軸41と並列軸51とには、それぞれタイミングプーリ以下プーリと記す58、59が取り付けられ、これらプーリ58、59間に、タイミングベルト以下ベルトと記す60が張架されており、駆動軸41の回転力が、プーリ58、59とベルト60を介して並列軸51に伝達されるようになっている。回転板50には固定具61を介して、X線検出器11が固着されている。なお、X線検出器11には画像データを送信するためのケーブル図示せずが接続されている。また、回転板50と保持板45との間には、直動案内機構70が配設されている。図9に示したようになお、図9では、説明を容易にするために、駆動軸41及び並列軸51部分の記載を省略している、略矩形形状をした回転板50の上面4隅には、Y方向リニアガイド案内軸62a、62bが挿通されるリニアブッシュ軸受け筒部材63が接合されている。これらリニアブッシュ63に挿通されたY方向リニアガイド62a、62bの両端面には、それぞれ連結板64a、64bが接合され、これら連結板64a、64bの両端には、X方向リニアガイド65a、65bが挿通されるリニアブッシュ66が接合されている。リニアブッシュ66に挿通されたX方向リニアガイド65a、65bの両端面には、連結板67a、67bが接合され、連結板67a、67bは、支持具68を介して保持板45に結合されている。これらY方向リニアガイド62a、62b、リニアブッシュ63、X方向リニアガイド65a、65b、リニアブッシュ66等を含んで直動案内機構70が構成されている。図13は、モータM1からの動力を受けて駆動する動力伝達機構26の回転に基づく、スイング軸48、56の軸心L2、L4、及び回転板50の動きを示した摸式的平面図である。図13a~cに示したように、モータM1の回転に基づいて、駆動軸41の軸心軸L1を中心に、距離Rを径として、回転板50は円形に移動する。X線検出器11は、固定具61を介して、回転板50に取り付けられているので、回転板50と連動して、回転板50と同様の移動を行う。すなわち、X線検出器11は、動力伝達機構26の回転に基づいて、軸L1を中心に、距離Rを径として円形に移動する。従って、X線検出器11は、X線受光面Iを軸L1と直交する載置面と平行に維持したまま、なおかつX線受光面I上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸L1のまわりを軸L1を中心に円形に移動する。次に、円形移動機構25の構成について説明する。図中81図10参照は、軸L1を軸心とする駆動軸であり、駆動軸81の下端は、傘歯車ベベルギア29f、29eを介して、第1動力伝達軸26aに連結されており、駆動軸81は、第1動力伝達軸26aからの回転力を受けて回転駆動するようになっている。駆動軸81は、ベアリング82、83及び保持部84によって支持台85に支持されている。また、駆動軸81の上端には回転ボス86が結合されており、回転ボス86もまた第1動力伝達軸26aの回転に基づいて、軸L1を中心にして回転するようになっている。回転ボス86には軸L5を軸心とするスイング軸87が接合されており、スイング軸87もまた第1動力伝達軸26aの回転に基づいて、軸L1を中心にして回転するようになっている。また、スイング軸87は、駆動軸81の軸心軸L1から距離r軸L1からX線発生器12のX線焦点S1までの長さ離れた位置軸L5で、ベアリング88を介して回転板89に回転可能に軸支されている。また、駆動軸81と並列した軸L6を軸心とする並列軸91がベアリング92、93及び保持部94によって支持台85に支持されている。並列軸91の上端には回転ボス95が接合され、回転ボス95には軸L7を軸心とするスイング軸96が接合されている。スイング軸96は、並列軸91の軸心軸L6から距離r離れた位置軸L7で、軸支点間距離が駆動軸81と並列軸91との軸心間距離と同じになるように、ベアリング97を介して回転板89に回転可能に軸支されている。また、駆動軸81と並列軸91とには、それぞれプーリ98、99が結合され、これらプーリ98、99間に、ベルト100が張架されており、駆動軸81の回転力が、プーリ98、99とベルト100を介して並列軸91に伝達されるようになっている。また、回転板89には、鉛直移動機構27が配設されている。回転板89の両側にはベアリング101を介して駆動軸102が回動可能に挿着されている。駆動軸102の下端には傘歯車103が接合され、傘歯車103は、モータM12図6からの回転力によって駆動する駆動軸104に接合された傘歯車105図6と噛み合っており、駆動軸102は、モータM12により駆動される駆動軸104の回転力によって回転駆動するようになっている。また、回転板89の上面には、駆動軸102と並列に案内軸106、107が立設されており、案内軸106、107には、軸上を摺動する軸受部材108、109が挿通されている。ネジ形状をした駆動軸102には、筒状の取付部110が螺合されており、取付部110と軸受部材108、109とが、X線発生器12が設置される設置板111に結合され、設置板111にX線発生器12が固定具等によって固着されている。取付部110はモータM12の回転に基づいて駆動軸102の軸方向に移動するようになっている。すなわち、設置板111に取り付けられたX線発生器12がモータM12の回転駆動に基づいて、駆動軸102の軸方向鉛直方向に移動するようになっている。なお、X線発生器12には電源ケーブル図示せずが接続されている。また、回転板89と支持台85との間には、直動案内機構120が設けられている。図11に示したようになお、図11では、説明を容易にするため、直動案内機構120の要部を示している、略矩形形状をした回転板89の上面4隅には、Y方向リニアガイド案内軸121a、121bが挿通されるリニアブッシュ軸受け筒部材122が結合されている。これらリニアブッシュ122に挿通されたY方向リニアガイド121a、121bの両端面には、それぞれ連結板123a、123bが結合され、これら連結板123a、123bの両端には、X方向リニアガイド124a、124bが挿通されるリニアブッシュ125が結合されている。リニアブッシュ125に挿通されたX方向リニアガイド124a、124bの両端面には、連結板126a、126bが結合され、連結板126a、126bは、支持具127を介して支持台85に結合されている。これらY方向リニアガイド121a、121b、リニアブッシュ122、X方向リニアガイド124a、124b、リニアブッシュ125等を含んで案内機構120が構成されている。図14は、モータM1からの動力を受けて駆動する動力伝達機構26の回転に基づく、スイング軸87、96の軸心L5、L7、及び回転板89の動きを示した摸式的平面図である。図14a~cに示したように、モータM1の回転に基づいて、駆動軸81の軸心軸L1を中心に、距離rを径として、回転板89は円形に移動する。X線発生器12は、設置板111及び駆動軸102を介して、回転板89に取り付けられているので、回転板89と連動して、回転板89と同様の移動を行う。すなわち、モータM1の回転に基づいて、軸L1を中心に、距離rを径として円形に移動する。従って、X線焦点S1は軸L1を中心に回転することになる。次に、搬送機構21の構成について説明する。図12は、搬送機構21周辺を示した部分透過平面図である。搬送機構21は、モータM13からの回転力を受けて駆動し、試料の搬送方向X軸方向に試料Smpを搬送するベルト式搬送機構130と、試料の搬送方向X軸方向に対して直交する方向Y軸方向にベルト式搬送機構130を移動させる検査位置調整機構131図7参照とを備えている。また、ベルト式搬送機構130には、並列に配設されたベルトの間隔を、試料のサイズ幅に合わせて調整するベルト間隔調整機構132が装備されている。図7に示した検査位置調整機構131は、ブラケット支持手段140上に配設されており、マイコン23により駆動制御されるモータM14、モータM14に連結された駆動軸141、駆動軸141を回動自在に保持するベアリングホルダ142、143、螺子山が形成された駆動軸141に沿って螺進可能に挿着されたシフタ筒状部材144を含んで構成されている。モータM14により駆動軸を回転させることで、シフタ144をY軸方向に往復移動させることが可能になっている。シフタ144は、ベルト式搬送機構130が配設される搬送テーブル145に接合されている。搬送テーブル145上に配設されたベルト式搬送機構130は、ベルト駆動用のモータM13、モータM13に連結されたベルト駆動軸146、ベルト従動軸147、ベルト駆動軸146及びベルト従動軸147の先端部にそれぞれ取り付けられたプーリ148、149、これらプーリ間に張架された搬送ベルト150図7参照、ベルト駆動軸146及びベルト従動軸147を回動自在に保持するベアリングホルダ151~154を備え、これらベアリングホルダが搬送テーブル145に接合されている。また、ベルト式搬送機構130は、ベルト駆動軸146及びベルト従動軸147それぞれに摺動可能に挿着された円筒軸受部材スプラインナット、ベアリングホルダ等を含む155、156、これら円筒軸受部材に設けられたプーリ157、158、これらプーリ間に張架された所定幅の搬送ベルト159図7参照、これら円筒軸受部材間に接合されたシフト板160を備えている。また、プーリ148、149間搬送ベルト150の中途部には、搬送ベルト150の戻り側を上方に押し上げて付勢するアイドルプーリ161、162が配設され、アイドルプーリ161、162は、軸受具163、164を介して搬送テーブル145に結合されている。また、プーリ157、158間搬送ベルト159の中途部における、アイドルプーリ161、162と対面する位置にもアイドルプーリ165、166が設けられ、アイドルプーリ165、166の軸部167、168がシフト板160に接合されている。ベルト間隔調整機構132は、ベルト間隔調整用のモータM15、モータM15に連結された駆動軸169、駆動軸169を回動自在に保持するベアリングホルダ170、171、螺子山が形成された駆動軸169に沿って螺進可能に挿着されたシフタ筒状部材172を含んで構成され、シフタ172が、シフト板160に接合されている。また、ベルト駆動軸146とベルト従動軸147との間には、シフト板160に接合された円筒部材173、174が摺動可能に挿通された補助軸シャフト175、176が配設されている。したがって、モータM15により駆動軸169を回転させることで、シフタ172に接合されたシフト板160を搬送ベルト159と共にY方向に往復移動させることが可能となっており、試料のサイズに合わせて、搬送ベルト150、159の間隔を適宜調整することが可能となっている。上記実施例1に係るX線検査装置では、X線検出器11とX線焦点S1とを円形移動させるための円形移動機構24、25が、モータM11からの動力を機械的に伝達する動力伝達機構26第1~第3動力伝達軸26a~26cを介して機械的に連結されており、モータM11からの動力を円形移動機構24、25に機械的に伝達する機構を安価かつ省スペースで実現することができ、動力伝達機構26の駆動により、円形移動機構24、25によるX線検出器11とX線焦点S1との円形移動が機械的に同期するように構成されている。そのため、モータM11のパワー回転力を高めて、X線検出器11とX線発生器12との円形移動を高速化した場合でも、円形移動機構24、25には、モータM11からの動力が動力伝達機構26を介して機械的に伝達され、X線検出器11の円形移動とX線発生器12の円形移動との同期ずれ回転角度差のずれ、回転ブレ等が発生しないようにすることができる。従って、前記円形移動を高速化した場合であっても、面T1上に存在する像だけすなわち、面T1の断層画像を精度よく取得することができ、搬送機構21の載置面T2に載置された試料Smpの断層画像を短時間1断層画像当り0.5~1秒程度で取得することができ、外側からでは観察することの難しい、はんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少過多などの不良原因を的確かつ高速に検出することができ、電子部品の製造実装ラインへ組み込みインライン対応可能な装置を実現することができる。