レーザ装置と共に用いられる光学システムであって、少なくとも1つの焦点を有し、前記レーザ装置から出力されるレーザ光を集光する集光光学系と、前記集光光学系と該集光光学系の少なくとも1つの焦点との間に配置されるビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによって分岐されたレーザ光の光路上に配置される光センサと、を備える光学システム。前記レーザ光の光路上であって前記集光光学系より上流側に設けられ、前記レーザ光のビーム軸およびダイバージェンスの少なくとも一方を調節する集光位置調節器と、前記光センサによる検出結果に基づいて前記集光位置調節器を制御する集光制御部と、をさらに備える、請求項1記載の光学システム。前記光センサは、前記レーザ光の集光状態を検出し、前記集光制御部は、前記光センサで検出された集光状態に基づいて前記集光位置調節器を制御する、請求項2記載の光学システム。前記集光状態は、レーザ光の集光位置、ダイバージェンス、ビーム軸の位置、およびビーム軸の方向の少なくとも1つを含む、請求項3記載の光学システム。第1レーザ装置から出力された第1レーザ光の光路と、第2レーザ装置から出力された第2レーザ光の光路とを一致させる光路調整部をさらに備え、前記レーザ光は、前記第1レーザ光と前記第2レーザ光とを含み、前記ビームスプリッタは、前記第1レーザ光を透過し、前記第2レーザ光を反射し、前記光センサは、前記ビームスプリッタで反射した前記第2レーザ光の光路上に配置される、請求項1記載の光学システム。前記集光光学系は反射型光学系である、請求項1記載の光学システム。前記ビームスプリッタはダイヤモンド基板を含む、請求項1記載の光学システム。第1および第2レーザ装置と共に用いられる光学システムであって、前記第1レーザ装置から出力された第1レーザ光の光路と、前記第2レーザ装置から出力された第2レーザ光の光路とを一致させる光路調整部と、少なくとも1つの焦点を有し、前記第1レーザ装置から出力される第1レーザ光と前記第2レーザ装置から出力される第2レーザ光とを集光する集光光学系と、前記第2レーザ光の集光位置を検出する光センサと、前記第1および第2レーザ光の光路上であって前記集光光学系より上流側に設けられ、前記第1および第2レーザ光のビーム軸およびダイバージェンスの少なくとも一方を調節する集光位置調節器と、前記光センサによる検出結果に基づいて前記集光位置調節器を制御する集光制御部と、を備える光学システム。レーザ装置と共に用いられる極端紫外光生成システムであって、前記レーザ装置から出力されるレーザ光を内部に導入するための少なくとも1つの入射口を備えるチャンバと、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、前記レーザ光の少なくとも一部を前記所定の領域に集光する集光光学系と、前記集光光学系と前記所定の領域との間に配置されるビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによって分岐されたレーザ光の光路上に配置される光センサと、前記チャンバ内で前記パルスレーザ光が前記ターゲット物質に照射されることで放射する極端紫外光を集光する極端紫外光集光ミラーと、を備える極端紫外光生成システム。第1レーザ装置から出力された第1レーザ光の光路と、第2レーザ装置から出力された第2レーザ光の光路とを一致させる光路調整部をさらに備え、前記レーザ光は、前記第1レーザ光と前記第2レーザ光とを含み、前記ビームスプリッタは、前記第1レーザ光を透過し、前記第2レーザ光を反射し、前記光センサは、前記ビームスプリッタで反射した前記第2レーザ光の光路上に配置される、請求項9記載の極端紫外光生成システム。第1および第2レーザ装置と共に用いられる極端紫外光生成システムであって、第1レーザ装置から出力された第1レーザ光の光路と、第2レーザ装置から出力された第2レーザ光の光路とを一致させる光路調整部と、前記第1レーザ装置から出力される第1レーザ光および前記第2レーザ装置から出力される第2レーザ光を内部に導入するための少なくとも1つの入射口を備えるチャンバと、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、前記光路が一致された前記第1および第2レーザ光を前記所定の領域に集光するように反射する集光光学系と、前記第2レーザ光の集光位置を検出する光センサと、前記第1および第2レーザ光の前記一致する光路上であって前記集光光学系より上流側に設けられ、前記第1および第2レーザ光のビーム軸およびダイバージェンスの少なくとも一方を調節する集光位置調節器と、前記光センサによる検出結果に基づいて前記集光位置調節器を制御する集光制御部と、前記チャンバ内で前記パルスレーザ光が前記ターゲット物質に照射されることで放射する極端紫外光を集光する極端紫外光集光ミラーと、を備える極端紫外光生成システム。