シリカおよび硬度成分を含みかつ含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上の原水を浄化するための水処理装置であって、前記原水の供給経路と、架橋全芳香族ポリアミドを用いた負荷電性のスキン層を表面に有する、操作圧力0.7MPaおよび回収率15の条件で濃度500mg/L、pH7.0および温度25°Cの塩化ナトリウム水溶液を供給したときの水透過係数が1.3×10-11~1.7×10-11m3m-2s-1Pa-1でありかつ塩除去率が99以上の逆浸透膜を備えた、前記供給経路からの前記原水をろ過して透過水と濃縮水とに分離するための逆浸透膜装置と、前記逆浸透膜装置で得られた前記透過水を精製するための精製装置と、を備えた水処理装置。前記精製装置は、電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたイオン捕捉装置である、請求項1に記載の水処理装置。前記精製装置は、逆浸透膜を備えたろ過装置である、請求項1に記載の水処理装置。前記精製装置は、逆浸透膜を備えたろ過装置と、前記ろ過装置により精製された前記透過水をさらに精製するための、電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたイオン捕捉装置とを備えている、請求項1に記載の水処理装置。前記供給経路に設けられた、前記原水へスケール分散剤を添加するための添加装置と、前記供給経路に設けられた、前記原水のpHを調整するための第1調整手段と、前記逆浸透膜装置での前記透過水の回収率を調整するための第2調整手段と、前記濃縮水の水質を検査するための水質検査装置と、前記水質検査装置により検査された前記水質に基づいて、前記濃縮水のランゲリア指数を算出するための演算手段と、前記ランゲリア指数が0.3以下に維持されるよう、かつ、前記濃縮水のシリカ濃度が150mgSiO2/L以下に維持されるよう、前記第1調整手段と前記第2調整手段とを制御する水質制御手段と、をさらに備えた請求項1から4のいずれかに記載の水処理装置。シリカおよび硬度成分を含みかつ含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上の原水を浄化するための水処理方法であって、前記原水を逆浸透膜装置へ供給し、透過水と濃縮水とに分離する工程1と、前記透過水を精製するための工程2とを含み、前記逆浸透膜装置において、架橋全芳香族ポリアミドを用いた負荷電性のスキン層を表面に有する、操作圧力0.7MPaおよび回収率15の条件で濃度500mg/L、pH7.0および温度25°Cの塩化ナトリウム水溶液を供給したときの水透過係数が1.3×10-11~1.7×10-11m3m-2s-1Pa-1でありかつ塩除去率が99以上の逆浸透膜を用いる、水処理方法。工程2において、電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたイオン捕捉装置により前記透過水を精製する、請求項6に記載の水処理方法。工程2において、逆浸透膜を備えたろ過装置により前記透過水を精製する、請求項6に記載の水処理方法。工程2は、逆浸透膜を備えたろ過装置により前記透過水を精製する工程と、前記ろ過装置により精製された前記透過水を電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたイオン捕捉装置によりさらに精製する工程とを含む、請求項6に記載の水処理方法。前記原水に対してスケール分散剤を添加する工程をさらに含み、前記濃縮水のランゲリア指数を0.3以下に、かつ、シリカ濃度を150mgSiO2/L以下に維持する、請求項6から9のいずれかに記載の水処理方法。本発明の目的は、逆浸透膜装置を用いて原水を浄化する水処理において、煩雑な運転管理によらずに透過水の水質低下を抑えて回収率を高めることにある。本発明者らは、工業用水、水道水、地下水浅井戸水、深井戸水、湧水または伏流水等および地表水河川水または湖沼水等などの、水源の地質に由来の硬度成分カルシウムイオンおよびマグネシウムイオン、ナトリウムイオンおよびシリカなどを夾雑成分として含む一般的な原水は、海水の浸透等の影響によりナトリウムイオン濃度が非常に高い特殊なものを除き、含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が一般に1.5以上であることに着目した。そして、逆浸透膜装置によるそのようなモル比の原水の浄化を様々な観点から研究したところ、特定の性状の逆浸透膜を用いた場合において、透過水の水質低下を抑えて回収率を高めることができることを見出した。第1の観点に係る本発明は、シリカおよび硬度成分を含みかつ含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上の原水を浄化するための水処理装置に関するものである。この水処理装置は、原水の供給経路と、架橋全芳香族ポリアミドを用いた負荷電性のスキン層を表面に有する、操作圧力0.7MPaおよび回収率15の条件で濃度500mg/L、pH7.0および温度25°Cの塩化ナトリウム水溶液を供給したときの水透過係数が1.3×10-11~1.7×10-11m3m-2s-1Pa-1でありかつ塩除去率が99以上の逆浸透膜を備えた、供給経路からの原水をろ過して透過水と濃縮水とに分離するための逆浸透膜装置と、逆浸透膜装置で得られた透過水を精製するための精製装置とを備えている。精製装置は、通常、電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたイオン捕捉装置、または、逆浸透膜を備えたろ過装置である。また、精製装置は、逆浸透膜を備えたろ過装置と、ろ過装置により精製された透過水をさらに精製するための、電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたイオン捕捉装置とを備えていてもよい。この水処理装置は、供給経路に設けられた、原水へスケール分散剤を添加するための添加装置と、供給経路に設けられた、原水のpHを調整するための第1調整手段と、逆浸透膜装置での透過水の回収率を調整するための第2調整手段と、濃縮水の水質を検査するための水質検査装置と、水質検査装置により検査された水質に基づいて、濃縮水のランゲリア指数を算出するための演算手段と、濃縮水のランゲリア指数が0.3以下に維持されるよう、かつ、シリカ濃度が150mgSiO2/L以下に維持されるよう、第1調整手段と第2調整手段とを制御する水質制御手段とをさらに備えていてもよい。他の観点に係る本発明は、シリカおよび硬度成分を含みかつ含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上の原水を浄化するための水処理方法に関するものである。この水処理方法は、原水を逆浸透膜装置へ供給し、透過水と濃縮水とに分離する工程1と、透過水を精製するための工程2とを含み、逆浸透膜装置において、架橋全芳香族ポリアミドを用いた負荷電性のスキン層を表面に有する、操作圧力0.7MPaおよび回収率15の条件で濃度500mg/L、pH7.0および温度25°Cの塩化ナトリウム水溶液を供給したときの水透過係数が1.3×10-11~1.7×10-11m3m-2s-1Pa-1でありかつ塩除去率が99以上の逆浸透膜を用いる。この水処理方法では、工程2において、通常、電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたイオン捕捉装置により前記透過水を精製するか、または、逆浸透膜を備えたろ過装置により透過水を精製する。また、工程2は、逆浸透膜を備えたろ過装置により透過水を精製する工程と、ろ過装置により精製された透過水を電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたイオン捕捉装置によりさらに精製する工程とを含んでいてもよい。この水処理方法は、原水に対してスケール分散剤を添加する工程をさらに含んでいてもよく、この場合は、濃縮水のランゲリア指数を0.3以下に、かつ、シリカ濃度を150mgSiO2/L以下に維持する。本発明は、シリカおよび硬度成分を含みかつ含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上の原水を逆浸透膜装置を用いて浄化するに当たり、架橋全芳香族ポリアミドを用いた負荷電性のスキン層を表面に有する特定の性状の逆浸透膜を用いているため、透過水の水質低下を抑えて回収率を高めることができる。実施の形態1図1を参照して、本発明の実施の形態1に係る水処理装置を説明する。図において、水処理装置1は、原水をろ過処理することで精製水を製造するためのものであり、原水の供給経路10、供給経路10からの原水を浄化処理するための第1処理部20、第1処理部20からの浄化水をさらに精製するための第2処理部30を主に備えている。供給経路10は、原水の供給源図示せずからの原水を第1処理部20に対して供給するためのものであり、原水の供給およびその停止を制御するための給水制御弁110を有している。第1処理部20は、供給経路10からの原水をろ過処理することで浄化するためのものであり、逆浸透膜装置210、処理水路220および排水路230を主に備えている。逆浸透膜装置210は、逆浸透膜モジュール211と加圧ポンプ212とを備えている。逆浸透膜モジュール211は、単一または複数の逆浸透膜エレメント図示せずを備えたものである。逆浸透膜エレメントを形成する逆浸透膜は、架橋全芳香族ポリアミドを用いた負荷電性のスキン層、すなわち、負に帯電しやすいスキン層を表面に有するものであり、操作圧力0.7MPaおよび回収率15の条件で濃度500mg/L、pH7.0および温度25°Cの塩化ナトリウム水溶液を供給したときの水透過係数が1.3×10-11~1.7×10-11m3m-2s-1Pa-1でありかつ塩除去率が99以上の性状のものである。ここで、操作圧力とは、日本工業規格JISK3802:1995膜用語で定義される平均操作圧力をいい、ここでは、逆浸透膜モジュール211の一次側の入口圧力と一次側の出口圧力との平均値を指す。回収率とは、逆浸透膜モジュール211へ供給される水ここでは塩化ナトリウム水溶液の流量Aに対する透過水の流量Bの割合すなわち、B/A×100をいう。水透過係数は、透過水量m3/sを膜面積m2および有効圧力Paで除した値であり、逆浸透膜での水の透過性能を示す指標である。すなわち、水透過係数は、単位有効圧力を作用させたときに単位時間に膜の単位面積を透過する水の量を意味する。有効圧力は、日本工業規格JISK3802:1995膜用語で定義されており、操作圧力平均操作圧力から浸透圧差および二次側圧力を差し引いた圧力である。また、塩除去率は、膜を透過する前後の特定の塩類の濃度ここでは塩化ナトリウム濃度から計算される値であり、逆浸透膜での溶質の阻止性能を示す指標である。塩除去率は、逆浸透膜モジュール211の入口での原水における特定の塩類の濃度C1および透過水における特定の塩類の濃度C2から、1-C2/C1×100により求められる。上述のスキン層および性状を備えた逆浸透膜は、逆浸透膜エレメントとして市販されている。このような逆浸透膜エレメントとしては、例えば、東レ社製の型式名TMG20-400上記条件での水透過係数が1.7×10-11m3m-2s-1Pa-1、ウンジンケミカル社製の型式名RE8040-BLN上記条件での水透過係数が1.6×10-11m3m-2s-1Pa-1および日東電工社製ESPA1上記条件での水透過係数が1.6×10-11m3m-2s-1Pa-1等が挙げられる。加圧ポンプ212は、供給経路10からの原水を加圧して逆浸透膜モジュール211へ供給可能なものである。供給経路10からの原水は、この加圧ポンプ212により逆浸透膜での浸透圧以上に加圧された状態で逆浸透膜モジュール211へ供給されることで逆浸透膜エレメントにおいて逆浸透し、一部が逆浸透膜エレメントを透過する。これにより、原水は、逆浸透膜エレメントにおいて、夾雑成分が除去された透過水すなわち、浄化水と、夾雑成分濃度が高まった濃縮水とに分離される。処理水路220は、逆浸透膜装置210において生成した透過水を第2処理部30へ送るための経路である。排水路230は、逆浸透膜装置210において生成した濃縮水を当該装置から排出するための経路であり、逆浸透膜装置210側から循環経路231と排水制御弁232とをこの順に備えている。循環経路231は、逆浸透膜装置210からの濃縮水の一部を供給経路10へ循環させるためのものであり、排水路230から分岐し、給水制御弁110と加圧ポンプ212との間において供給経路10に連絡している。排水制御弁232は、逆浸透膜装置210からの濃縮水の廃棄量を制御するためのものである。第2処理部30は、処理水路220からの透過水をさらに精製するためのものであり、イオン捕捉装置310と浄水経路320とを備えている。イオン捕捉装置310は、透過水に残留しているイオンを捕捉して取り除くためのものであり、通常、電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたものである。電気再生式イオン交換装置は、陽イオン交換膜および陰イオン交換膜を交互に配置して形成した脱塩室および濃縮室を有し、脱塩室には、混床のイオン交換体樹脂または繊維が収容されている。この電気再生式イオン交換装置は、脱塩室において、陽イオン交換体と陰イオン交換体との両方により透過水に残留している陽イオンおよび陰イオンの両方を捕捉して除去可能なものであり、陽イオン交換体および陰イオン交換体によるイオンの捕捉と並行して、両イオン交換体が電気的に連続再生されることから、長期間に亘って透過水を安定に精製することができる。なお、電気再生式イオン交換装置において生成される、除去されたイオンを含む濃縮水は、廃棄されてもよいが、第1処理部20の原水側へすなわち、供給経路10へ一部または全部を返送することもできる。イオン交換樹脂混床塔は、陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂とを充填した水処理塔であり、透過水に残留している陽イオンおよび陰イオンの両方を捕捉して除去可能なものである。陽イオン交換樹脂単床塔は、陽イオン交換樹脂を充填した水処理塔であり、透過水に残留している陽イオンを捕捉して除去可能なものである。一般に、逆浸透膜のスキン層は負荷電性であるので、当該逆浸透膜で処理された透過水に含まれる残留イオンは、陰イオンの割合が少なく、陽イオンの割合が多くなっている。そのため、運転コストを抑制しやすい陽イオン交換樹脂単床塔を用いて、残留割合の多い陽イオンを選択的に除去することにより、透過水を高度に精製することができる。浄水経路320は、イオン捕捉装置310において精製された透過水、すなわち精製水を送水するための経路であり、精製水を一時的に貯水するためのタンクや、精製水を利用する各種装置例えば、半導体製造装置、医薬品製造装置および蒸気ボイラ装置等に連絡している。次に、上述の水処理装置1の動作を説明する。水処理装置1において、給水制御弁110を開放し、原水の供給源から供給経路10へ原水を供給すると、この原水は、加圧ポンプ212により逆浸透膜モジュール211での浸透圧以上に加圧されて逆浸透膜モジュール211へ供給される。逆浸透膜モジュール211へ加圧されて供給された原水は、一部が逆浸透膜を透過しすなわち、ろ過され、夾雑成分が除去された透過水として処理水路220から第2処理部30のイオン捕捉装置310へ連続的に送られる。イオン捕捉装置310へ送られた透過水は、残留するイオン、すなわち、逆浸透膜モジュール211において逆浸透膜を透過したイオンが除去され、精製水として浄水経路320を流れる。一方、逆浸透膜モジュール211において、逆浸透膜を透過しない残余の原水は、逆浸透膜により透過を阻止された夾雑成分の濃度が高まった濃縮水として排水路230へ押し流される。排水路230へ流れた濃縮水は、一部が循環経路231へ流れ、供給経路10を流れる原水に合流する。また、循環経路231へ循環しない残余の濃縮水は、排水制御弁232から廃棄される。ここで、排水路230から循環経路231へ流れる濃縮水の流量は、給水制御弁110を通じて供給する原水の流量および排水制御弁232から廃棄する濃縮水の流量のうちの少なくとも一方を制御することで調整される。原水の流量は、加圧ポンプ212の回転数を増減することにより調整することもできる。循環経路231へ流れる濃縮水の流量は、透過水の流量Bに対する逆浸透膜モジュール211から流出する濃縮水の流量Dすなわち、循環経路231へ分岐する前の流量の比率D/Bが3以上になるように調整するのが好ましく、5以上になるように調整するのがより好ましい。流量比率D/Bが3未満の場合は、逆浸透膜の一次側の膜面流速が低くなるため、原水に含まれる懸濁物質が堆積したり、スケールが沈着したりしやすくなり、膜面が閉塞して所望の水透過性能が得られなくなる可能性がある。水処理装置1を用いて浄化する原水、すなわち、供給経路10へ供給する原水は、シリカここでは、日本工業規格JISK0101:1998工業用水試験法の44.シリカSiO2において規定された全シリカを意味する。、ナトリウムイオンおよび硬度成分カルシウムイオンおよびマグネシウムイオンを夾雑成分として含むものであり、含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上のものである。一般に、工業用水、水道水、地下水浅井戸水、深井戸水、湧水または伏流水等および地表水河川水または湖沼水等等の一般的に原水として用いられる水は、水源に由来の天然成分であるシリカ、ナトリウムイオンおよび硬度成分を含んでおり、含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上である。また、工場排水についても、上述の条件を満足するものであれば、水処理装置1での処理対象の原水になり得る。これに対し、海水や汽水およびこれらが浸透した地層を水源とする地下水等は、ナトリウムイオン濃度が高いために上記モル比が1.5未満多くの場合は1未満になるため、水処理装置1での処理対象にはなりにくい。原水の含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比は、原水のナトリウムイオン濃度とカルシウムイオン濃度とを測定することで確認することができる。ナトリウムイオン濃度は、例えば、市販のイオン電極を用いることで測定することができる。また、カルシウムイオン濃度は、例えば、市販の測定試薬キット等を用いた化学分析手法により測定することができるが、市販のイオン電極を用いて測定することもできる。水処理装置1は、逆浸透膜モジュール211において上述の特定の逆浸透膜を備えた逆浸透膜エレメントを用いているため、含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上の一般的な原水をそのまま供給経路10から逆浸透膜装置210へ供給することで、逆浸透膜装置210での回収率を70~90程度の比較的高率に設定しながら高純度の透過水、特に、塩除去率が99以上の透過水を効率的に生産することができる。そして、この透過水は、イオン捕捉装置310での精製処理により残留イオンがさらに除去されるため、浄水経路320からは非常に高純度の精製水が得られる。なお、シリカおよび硬度成分を含みかつ含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上の条件を満足しない原水については、上記条件を満足するように調整することで、この実施の形態の水処理装置1による浄化が可能である。上記条件を満足するための原水の水質調整は、原水への薬剤添加によることもできるが、この場合は原水の夾雑成分濃度を高めてしまうことから電気伝導率が上昇し、透過水の水質を損なう可能性がある。したがって、原水の水質は、異なる水質の水を適宜混合することで調整するのが好ましい。この場合、原水に対して混合する水の種類は、特に限定されるものではなく、例えば、ナトリウムイオンをH型陽イオン交換樹脂でイオン交換することにより得られる改質水や、一価イオン選択性イオン交換膜を用いた電気透析装置でナトリウムイオンを除去した改質水等を用いることができる。また、水処理装置1は、逆浸透膜の一次側の膜面流速を高めることを目的とし、逆浸透膜装置210の排水路230に循環経路231を設けたクロスフロー方式を採用しているが、クロスフロー方式を採らない場合も本発明を同様に実施することができる。実施の形態2図2を参照して、本発明の実施の形態2に係る水処理装置2を説明する。図において、水処理装置2は、実施の形態1と同様の原水から精製水を製造するためのものであり、実施の形態1において、第2処理部30を別の第2処理部40に変更したものである。この実施の形態において用いられる第2処理部40は、ろ過装置410と薬剤添加装置420とを主に備えている。ろ過装置410は逆浸透膜装置411、浄水経路412および排出経路413を備えたものであり、逆浸透膜装置411は、逆浸透膜エレメント図示せずを備えた逆浸透膜モジュール414と、処理水路220からの透過水を加圧して逆浸透膜モジュール414へ供給可能な加圧ポンプ415とを備えている。処理水路220からの透過水は、加圧ポンプ415により逆浸透膜での浸透圧以上に加圧された状態で逆浸透膜モジュール414へ供給されることで逆浸透膜エレメントにおいて逆浸透し、一部が逆浸透膜エレメントを透過する。これにより、透過水は、逆浸透膜エレメントにおいて、残留イオン等の残留夾雑成分が除去された透過水すなわち、精製水と、残留イオン等の残留夾雑成分の濃度が高まった濃縮水とに分離される。逆浸透膜モジュール414において用いられる逆浸透膜は、処理水路220からの透過水に含まれる微量の残留イオン等の残留夾雑成分の透過を阻止可能な膜であり、ナノ濾過膜NF膜であってもよい。また、この逆浸透膜は、第1処理部20の逆浸透膜モジュール211において用いられるものと同様のものであってもよい。浄水経路412は、逆浸透膜装置411からの精製水を送るための経路であり、精製水を一時的に貯水するためのタンクや、精製水を利用する各種装置例えば、半導体製造装置、医薬品製造装置および蒸気ボイラ装置などに連絡している。排出経路413は、逆浸透膜装置411において生成した濃縮水を当該装置から排出するための経路であり、逆浸透膜装置411側から分岐経路416および流量制御弁417をこの順に備え、末端が供給経路10において、循環経路231の上流側給水制御弁110側に連絡している。分岐経路416は、排出経路413から分岐し、処理水路220において薬剤添加装置420の下流側逆浸透膜装置411側に連絡しており、処理水路220から逆浸透膜装置411へ送られる透過水に対して逆浸透膜装置411からの濃縮水の一部を循環するためのものである。流量制御弁417は、排出経路413から供給経路10へ返送する濃縮水の流量と、排出経路413から分岐経路416を通じて処理水路220へ循環する濃縮水の流量とを制御するためのものである。薬剤添加装置420は、処理水路220を流れる透過水に対して薬剤を添加するためのものである。ここで添加する薬剤は、透過水に含まれる遊離炭酸溶存炭酸ガスをイオン化するためのものであり、透過水のpHを高めることができるもの、例えば、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどの水溶液が用いられる。次に、上述の水処理装置2の動作を説明する。水処理装置2において、給水制御弁110を開放し、原水の供給源から供給経路10へ原水を供給すると、この原水は、第1処理部20の逆浸透膜装置210へ供給される。逆浸透膜装置210において、供給経路10からの原水は、加圧ポンプ212により逆浸透膜モジュール211での浸透圧以上に加圧されて逆浸透膜モジュール211へ供給される。逆浸透膜モジュール211へ加圧されて供給された原水は、一部が逆浸透膜を透過しすなわち、ろ過され、夾雑成分が除去された透過水として処理水路220から第2処理部40の逆浸透膜装置411へ連続的に送られる。この際、透過水は、薬剤添加装置420からの薬剤が連続的または一定時間毎に添加され、溶存している炭酸ガスがイオン化される。透過水に対する薬剤の添加量は、遊離炭酸溶存炭酸ガスのイオン化を促進するために、透過水のpHを8以上に調整可能なように設定するのが好ましい。逆浸透膜装置411へ送られた透過水は、加圧ポンプ415により逆浸透膜モジュール414での浸透圧以上に加圧されて逆浸透膜モジュール414へ供給される。そして、逆浸透膜モジュール414へ加圧されて供給された透過水は、一部が逆浸透膜を透過しすなわち、ろ過され、逆浸透膜モジュール211を透過した残留イオン等の残留夾雑成分、薬剤添加装置420からの薬剤の添加により生成した遊離炭酸由来のイオンおよび添加された薬剤自体に由来のイオンが除去された精製水として浄水経路412へ流れる。一方、逆浸透膜モジュール411において、逆浸透膜を透過しない残余の透過水は、逆浸透膜により透過を阻止された残留イオン等の濃度が高まった濃縮水として排出経路413へ押し流される。排出経路413へ流れた濃縮水は、一部が分岐経路416へ流れ、処理水路220を流れる逆浸透膜装置211からの透過水に合流する。分岐経路416へ流れない残余の濃縮水は、排出経路413から供給経路10へ流れ、給水制御弁110からの原水に合流する。水処理装置2は、実施の形態1と同じく、含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上の一般的な原水をそのまま供給経路10から逆浸透膜装置210へ供給することで、逆浸透膜装置210での回収率を70~90程度の比較的高率に設定しながら高純度の透過水、特に、塩除去率が99以上の透過水を効率的に生産することができる。そして、この透過水は、第2部位50の逆浸透膜装置411での精製処理により残留イオンおよび遊離炭酸等の残留夾雑成分がさらに除去されるため、浄水経路412からは非常に高純度の精製水が得られる。実施の形態3図3を参照して、本発明の実施の形態3に係る水処理装置3を説明する。図において、水処理装置3は、実施の形態2の水処理装置2に対し、第3処理部50をさらに追加したものである。第3処理部50は、浄水経路412を流れる精製水をさらに精製するためのものであり、イオン捕捉装置510と浄水経路520とを備えている。イオン捕捉装置510は、浄水経路412からの精製水に残留しているイオンを捕捉して取り除くためのものであり、通常、実施の形態1の第2処理部30において用いられるものと同様の電気再生式イオン交換装置、イオン交換樹脂混床塔および陽イオン交換樹脂単床塔のうちから選択されたものである。浄水経路520は、イオン捕捉装置510において精製された精製水を送るための経路であり、精製水を一時的に貯水するためのタンクや、精製水を利用する各種装置例えば、半導体製造装置、医薬品製造装置および蒸気ボイラ装置などに連絡している。この水処理装置3では、浄水経路412からの精製水に残留しているイオンをイオン捕捉装置510においてさらに除去することができるため、さらに高純度の精製水を得ることができる。実施の形態4実施の形態1の水処理装置1、実施の形態2の水処理装置2および実施の形態3の水処理装置3は、第1処理部20において用いられる逆浸透膜装置210の逆浸透膜モジュール211でのスケールの生成を抑制するための制御機構を設けることができる。図4図1のA部に相当する図を参照して、実施の形態1の水処理装置1において上記制御機構を設けた場合の例を説明する。制御機構は、供給経路10において、循環経路231の合流点の上流側給水制御弁110側で原水に対して薬剤を添加するための第1添加装置610および第2添加装置620を備え、また、排水路230において水質検査装置630を備えている。また、制御機構は、制御装置640を備えている。第1添加装置610第1調整手段の一例は、逆浸透膜装置210へ供給する原水に対してpH調整剤を注入するためのものであり、第1部位611と第2部位612とを備えている。第1部位611は、原水に対し、原水のpHを低下させる酸性薬剤を注入するための部位である。ここで用いられる酸性薬剤は、特に限定されるものではなく、例えば、塩酸、硫酸または硝酸などの無機酸であり、通常、水溶液として用いられる。一方、第2部位612は、原水に対し、原水のpHを高めるアルカリ性薬剤を注入するための部位である。ここで用いられるアルカリ性薬剤は、例えば、ナトリウムやカリウムなどのアルカリ金属の水酸化物や炭酸塩などであり、通常、水溶液として用いられる。第1部位611および第2部位612は、それぞれ、pH調整剤の貯蔵部と、pH調整剤を貯蔵部から原水へ注入するための注入部とを有しており、注入部は、pH調整剤の注入量を調節するための制御弁を有している。第2添加装置620は、第1添加装置610の下流側に配置された、逆浸透膜装置210へ供給する原水に対してスケール分散剤を添加するためのものであり、スケール分散剤の貯蔵部と、スケール分散剤を貯蔵部から原水へ添加するための添加部とを有している。添加部は、スケール分散剤の添加量を調節するための制御弁を有している。ここで用いられるスケール分散剤は、水溶性のものであれば特に限定されるものではないが、例えば、アクリル酸系ポリマー、メタクリル酸系ポリマーおよびマレイン酸系ポリマーなどのポリカルボン酸、ポリスルホン酸並びにホスホン酸などを挙げることができる。これらのスケール分散剤は、二種以上のものが併用されてもよい。また、スケール分散剤は、通常、水溶液として用いられる。スケール分散剤としては、逆浸透膜装置210の逆浸透膜モジュール211において、逆浸透膜の膜面に炭酸カルシウム系スケールが付着するのを効果的に抑制可能なことから、ポリカルボン酸とホスホン酸とを含むものが好ましい。このようなスケール分散剤の例として、ポリカルボン酸とホスホン酸とを含む、濃度が33~37重量の水溶液であるBWAWATERADDITIVES社の商品名フロコン260を挙げることができる。水質検査装置630は、排水路230を流れる濃縮水の水質を測定するためのものであり、排水路230から分岐する、濃縮水の一部を水質検査用の試料として採取するためのサンプリング経路631を有している。サンプリング経路631は複数に分岐しており、各分岐路は、それぞれ、濃縮水のpH値を測定するためのpHセンサ632、濃縮水の温度を測定するための温度センサ633、濃縮水の電気伝導率を測定するための電気伝導率センサ634、濃縮水のカルシウム硬度を測定するための硬度センサ635および濃縮水の総アルカリ度を測定するための総アルカリ度センサ636を有している。pHセンサ632、温度センサ633および電気伝導率センサ634としては、水質検査用において用いられる各種のものを使用することができる。硬度センサ635としては、一般的な比色式のものが用いられる。比色式のセンサは、採取された濃縮水の試料に発色試薬例えば、2-ヒドロキシ-1-2’-ヒドロキシ-4’-スルホ-1’-ナフチルアゾ-3-ナフトエ酸を添加したときの試料の発色を特定の吸収波長の吸光度の変化として検出し、当該吸光度に基づいてカルシウム硬度を判定するものである。総アルカリ度センサ636により測定される総アルカリ度は、炭酸水素塩、炭酸塩および水酸化物等として濃縮水に含まれるアルカリ成分の量を炭酸カルシウムCaCO3の量に換算して表したものであり、各種の水質分析に関わるJIS規格等において酸消費量pH4.8と称されているものである。一般的な総アルカリ度センサ636は、比色式のものであり、これは、採取された濃縮水の試料に発色試薬例えば、メチルオレンジを添加したときの試料の発色を特定の吸収波長の吸光度の変化として検出し、当該吸光度に基づいて総アルカリ度を判定するものである。制御装置640は、水処理装置1の動作を制御するためのものであり、動作を統括する中央制御装置、水処理装置1の動作プログラムや各種のデータを記憶する記憶装置および情報の入出力装置いずれも図示せずを備えた電子情報処理組織である。入出力装置の入力部は、水質検査装置630が連絡しており、pHセンサ632、温度センサ633、電気伝導率センサ634、硬度センサ635および総アルカリ度センサ636の各センサでの測定データを受信可能である。また、入力部には、水処理装置1の動作において必要な各種のデータや指令等を手動で入力するための操作盤641などが連絡している。一方、入出力装置の出力側は、給水制御弁110、第1添加装置610、第2添加装置620、加圧ポンプ212、排水制御弁232および水質検査装置630での測定データやその他の情報を表示したり、所要の情報の手動入力を案内したりするための表示装置642が連絡しており、これらの各部に対して所要の動作信号を発信可能である。記憶装置に記憶された動作プログラムは、濃縮水のランゲリア指数を算出するための演算プログラムと、濃縮水の水質制御プログラムとを含んでいる。ランゲリア指数は、水系におけるスケール発生傾向を評価するための一般的な指標であり、正の値で絶対値が大きいほど炭酸カルシウムが析出しやすいことを示し、また、負の値で絶対値が大きいほど炭酸カルシウムが析出しにくいことを示す。また、ランゲリア指数が0のときは、炭酸カルシウムが析出も溶解もしない平衡状態にある。このことから、濃縮水のランゲリア指数が0未満の場合は、逆浸透膜モジュール211の膜面において炭酸カルシウムによるスケールが生成しにくい状態にあり、逆に、0を超える場合は、逆浸透膜モジュール211の膜面において炭酸カルシウムによるスケールが生成しやすいことになる。濃縮水のランゲリア指数LSIは、通常、次の式1により求められる。LSI=pH-pHs1式1において、pHは濃縮水のpH値である。また、pHsは、濃縮水において炭酸カルシウムが溶解も析出もしない平衡状態にあるときの理論上のpH値であり、次の式2により求められる。pHs=9.3A値B値-C値-D値2式2において、A値は、蒸発残留物濃度により定まる補正値である。蒸発残留物濃度は、電気伝導率と相関があるため、所定の換算式を用いて電気伝導率から蒸発残留物濃度を求めることができる。B値は、水温により定まる補正値である。C値は、カルシウム硬度により定まる補正値である。D値は、総アルカリ度により定まる補正値である。式1から明らかなように、濃縮水のランゲリア指数は、濃縮水のpHの低下とともに小さくなり、pHの上昇とともに大きくなる。したがって、濃縮水のランゲリア指数は、濃縮水のpHを調整することで制御可能である。ランゲリア指数の演算プログラムは、水質検査装置630の各センサでの測定データから、所定の関係式を用いて算出することで、または、所定の数値テーブルを参照することで、A~D値を求める。そして、求めたA~D値から式2によりpHsを求め、このpHsとpHセンサ632での実測pHとから式1によりランゲリア指数を算出する。なお、ランゲリア指数を算出するために必要な各種の数値テーブルは、記憶装置に記憶しておくことができる。一方、水質制御プログラムは、後記するプロセスにより第1添加装置610、加圧ポンプ212および排水制御弁232を制御することで濃縮水のランゲリア指数およびシリカ濃度を制御するためのものである。次に、上述の制御機構を備えた水処理装置1の基本動作を説明する。水処理装置1において、給水制御弁110を開放し、原水の供給源から供給経路10へ原水を供給すると、この原水は、第2添加装置620からスケール分散剤が連続的または一定時間毎に添加され、また、加圧ポンプ212により逆浸透膜モジュール211での浸透圧以上に加圧されて逆浸透膜モジュール211へ供給される。逆浸透膜モジュール211へ加圧されて供給された原水は、一部が逆浸透膜を透過しすなわち、ろ過され、夾雑成分が除去された透過水として処理水路220から第2処理部30のイオン捕捉装置310へ流れてさらに精製される。一方、残余の原水は、逆浸透膜により透過を阻止された夾雑成分の濃度が高まった濃縮水として排水路230へ押し流される。排水路230へ流れた濃縮水は、一部が循環経路231へ流れ、供給経路10を流れる原水に合流する。また、循環経路231へ循環しない残余の濃縮水は、排水制御弁232から廃棄される。ここで供給する原水は、実施の形態1において説明した、シリカ、ナトリウムイオンおよび硬度成分を含むものであり、含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上のものである。このような水処理装置1の動作では、逆浸透膜モジュール211へ供給する原水の流量F1、透過水の流量F2および排水制御弁232から廃棄される濃縮水の流量F3を制御することで、回収率を調節することができる。ここでの回収率は、逆浸透膜モジュール211へ供給される原水の流量F1に対する透過水の流量F2の割合すなわち、F2/F1×100である。本実施の形態において、F1は、給水制御弁110から供給される原水の流量である。次に、図4に示す動作フローチャートを参照して、制御機構を備えた水処理装置1の動作をより具体的に説明する。ここでは、先ず、原水の試料を採取し、原水のシリカ濃度mgSiO2/Lを分析する。原水のシリカ濃度は、市販の測定試薬キット等を用いた化学分析手法により測定することができるが、市販の自動測定装置を用いて測定することもできる。操作者が水処理装置1を始動すると、動作プログラムは、ステップS1において、制御装置640の表示装置642に情報入力案内を表示し、ステップS2において操作者が原水のシリカ濃度を入力するのを待つ。操作者が予め調べた原水のシリカ濃度を操作盤641から入力すると、動作プログラムはステップS2からステップS3へ移行し、逆浸透膜装置210において設定すべき回収率を算出する。より具体的には、入力された原水のシリカ濃度に基づいて、濃縮水のシリカ濃度が150mgSiO2/L以下に維持され得る回収率を算出する。ここで、回収率は、高く設定することで原水の濃縮倍率が高くなりすなわち、濃縮水における夾雑成分濃度が高くなり、低く設定することで原水の濃縮倍率が低くなるすなわち、濃縮水における夾雑成分濃度が低くなる。このため、原水のシリカ濃度が判明している場合、回収率の調節により原水の濃縮倍率を制御すれば、結果的に濃縮水のシリカ濃度を制御することができる。例えば、回収率を90に設定したとき、原水の濃縮倍率は10倍程度になる。この場合、原水のシリカ濃度が例えば10mgSiO2/Lであれば、濃縮水のシリカ濃度は原水での濃度の10倍、すなわち、100mgSiO2/L程度に維持されるから、90の回収率は濃縮水のシリカ濃度を150mgSiO2/L以下に維持する上で適切な回収率である。これに対し、原水のシリカ濃度が例えば20mgSiO2/Lであれば、濃縮水のシリカ濃度は10倍の200mgSiO2/L程度に維持されるから、90の回収率は濃縮水のシリカ濃度を150mgSiO2/L以下に維持する上で不適切な回収率である。原水の濃縮倍率に基づいて算出される回収率は、濃縮水のシリカ濃度を150mgSiO2/L以下に維持可能な上限値である。このような上限値の回収率は、原水において一時的にシリカ濃度が上昇する事態が生じたとき、濃縮水のシリカ濃度を150mgSiO2/L以下に維持することができない可能性がある。また、回収率は、逆浸透膜モジュール211の膜面でのファウリングによる原水の処理効率の低下を回避する観点から、通常、90以下に設定するのが好ましい。したがって、これらの事情を考慮し、ステップS3において算出する回収率は、通常、上述の上限値を補正し、当該上限値よりも小さく設定するのが好ましい。なお、ファウリングとは、原水中の懸濁物質や有機物等が逆浸透膜の膜面に沈着または吸着する現象をいい、これは逆浸透膜での透過水量を低下させる原因となり得る。なお、濃縮水のシリカ濃度が150mgSiO2/Lを超える場合、逆浸透膜モジュール211の膜面においてシリカ系スケールが生成しやすくなることから、比較的短時間のうちに透過水量が減少し、原水の処理効率が低下する。次に、動作プログラムはステップS4へ移行する。このステップでは、表示装置642が初期準備の完了を表示し、操作者が水処理装置1の運転開始指令を入力するのを待つ。そして、操作者が操作盤641を通じて運転開始指令を入力すると、動作プログラムはステップS5へ移行し、水処理装置1の運転を開始する。ステップS5において、動作プログラムは、先ず、給水制御弁110を開放し、原水の供給源から供給経路10へ原水を供給する。これにより、水処理装置1は、既述の基本動作を開始する。また、このステップでは、ステップS3で算出された回収率が達成されるよう、供給源からの原水の流量Fx、逆浸透膜モジュール211での透過水の流量F2および廃棄する濃縮水の流量F3をそれぞれ加圧ポンプ212の回転数および排水制御弁232の開度の制御により調節する。これにより、濃縮水のシリカ濃度は、150mgSiO2/L以下に維持される。また、このステップでは、循環経路231へ流れる濃縮水の流量を調整することで、透過水の流量Bに対する逆浸透膜モジュール211から流出する濃縮水の流量Dすなわち、循環経路231へ分岐する前の流量の比率D/Bが3以上になるように制御するのが好ましく、5以上になるように制御するのがより好ましい。流量比率D/Bが3未満の場合は、逆浸透膜の一次側の膜面流速が低くなるため、原水に含まれる懸濁物質が堆積したり、スケールが沈着したりしやすくなり、膜面が閉塞して所望の水透過性能が得られなくなる可能性がある。また、ステップS5において、動作プログラムは、第2添加装置620によるスケール分散剤の添加を開始する。ここで、動作プログラムは、給水制御弁110から供給経路10へ供給する原水の流量F1を参照し、当該原水におけるスケール分散剤の濃度を制御する。スケール分散剤は、逆浸透膜モジュール211の膜面でのスケールの生成が抑制されるように原水での濃度を設定する必要があり、当該濃度を高めに設定するのが一般的であるが、この実施の形態では、濃縮水のシリカ濃度が150mgSiO2/L以下に維持され、また、濃縮水のランゲリア指数が後記するように0.3以下の範囲に維持されるため、1~5mg/L程度の微量に設定するだけで効果的に機能し得る。この結果、排水制御弁232から廃棄される濃縮水は、スケール分散剤による化学的酸素要求量CODの上昇が抑えられ、環境負荷を与えにくい。さらに、ステップS5において、動作プログラムは、水質検査装置630を作動させ、サンプリング経路631を通じて排水路230から常時採取される濃縮水の試料の水質検査を開始する。次のステップS6において、動作プログラムは、操作者が操作盤641から水処理装置1の停止指令を入力したか否かを判断する。操作者が停止指令を入力したとき、動作プログラムはステップS7へ移行し、給水制御弁110を閉鎖することで原水の供給を停止するとともに、その他の装置を停止する。これにより、逆浸透膜装置210への原水の供給が停止し、水処理装置1は動作を終了する。一方、水処理装置1の運転中、動作プログラムは、ステップS8において濃縮水のランゲリア指数LSIを算出する。ここでは、水質検査装置630のpHセンサ632、温度センサ633、電気伝導率センサ634、硬度センサ635および総アルカリ度センサ636によりそれぞれ測定されたpH、温度、電気伝導率、硬度および総アルカリ度の各データから所定の数値テーブルを参照することで既述のA~D値を求め、既述の式2および1からランゲリア指数を算出する。ステップS8において算出されたランゲリア指数は、次のステップS9において0以上0.3以下の範囲にあるか否かが判断される。ランゲリア指数が上記範囲から外れるものと判断されたとき、動作プログラムはステップS10へ移行し、濃縮水のランゲリア指数の制御動作を実行する。ここで、ランゲリア指数が0.3を超える場合、動作プログラムは、第1添加装置610において第1部位611の制御弁を作動させ、供給経路10を流れる原水に対して酸性薬剤を注入する。これにより、濃縮水は、pHが低下し、ランゲリア指数が小さくなる。一方、ランゲリア指数が0未満の場合、動作プログラムは、第1添加装置610において第2部位612の制御弁を作動させ、供給経路10を流れる原水に対してアルカリ性薬剤を注入する。これにより、濃縮水は、pHが上昇し、ランゲリア指数が大きくなる。このように、第1添加装置610は、酸性薬剤を添加するための第1部位611と、アルカリ性薬剤を添加するための第2部位612との両方を備えているため、濃縮水のランゲリア指数を上述の狭い範囲に迅速にかつ安定に制御することができる。なお、ランゲリア指数の調整のために必要なアルカリ性薬剤は、微量であるため、原水における含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比を変動させにくく、原水での当該モル比を維持することができる。動作プログラムは、水処理装置1の運転中、すなわち、操作者が操作盤641から停止指令を入力しない限り、ステップS8およびステップS9を繰返し、必要なときはステップS10を実行することで濃縮水のランゲリア指数が0以上0.3以下の範囲になるよう制御する。以上のような動作プログラムにより、水処理装置1では、運転中において、濃縮水のランゲリア指数が0以上0.3以下に維持され、かつ、濃縮水のシリカ濃度が150mgSiO2/L以下に維持される。このため、逆浸透膜モジュール211は、逆浸透膜において炭酸カルシウム系スケールおよびシリカ系スケールの生成が抑制され、透過水の流量を長期間に亘って安定に維持することができるため、逆浸透膜装置210での回収率を上述の比較的高い範囲に安定に維持することができる。また、このような透過水の流量の維持は、濃縮水のpHを単純に低下させるよう調整することで達成されるのではなく、濃縮水のランゲリア指数を0以上の狭い範囲で精密に制御することで達成されるものであるから、原水に対するpH調整剤、特に、酸性薬剤の注入量を抑制しながら達成することができる。その結果、原水に含まれる炭酸水素イオンや炭酸イオンが遊離炭酸溶存炭酸ガスに変化することを抑制し、逆浸透膜を透過する遊離炭酸の量を減らして透過水の水質低下を抑えることができる。この実施の形態については、例えば次のような変更が可能である。1原水のシリカ濃度は、原水の種類によっては水源の地質的事情により安定していることがある。この場合、季節変化等、原水のシリカ濃度が変動する事情がない限り、水処理装置1は、作動の毎に原水のシリカ濃度を測定し、その測定値を入力する必要性は低い。このような場合、最初の始動時に操作者が入力した原水のシリカ濃度を制御装置640で記憶し、以後の始動時には動作プログラムのステップS1からステップS3を省略して動作させることもできる。2上述の動作説明では、予め原水のシリカ濃度を測定し、その測定値に基づいて逆浸透膜装置210での濃縮水のシリカ濃度が150mgSiO2/L以下に維持されるよう回収率を調整しているが、水質検査装置630に濃縮水のシリカ濃度を測定するためのセンサをさらに設け、このセンサでのシリカ濃度の測定値が150mgSiO2/L以下に維持されるよう回収率を調整することもできる。3上述の動作説明では、逆浸透膜装置210での濃縮水のランゲリア指数が0以上0.3以下の範囲になるよう制御しているが、ランゲリア指数の下限を設けないようにすることもできる。但し、そのようにすると、逆浸透膜装置210での濃縮水において所要のランゲリア指数を達成するために原水に対して比較的多量のpH調整剤酸性薬剤を添加することになり、結果的に逆浸透膜を透過する遊離炭酸の量が増加して透過水の水質が低下する。したがって、ランゲリア指数は、好ましくは0以上に設定するのが好ましく、仮にマイナス値に設定するとしても-0.2~0の程度にとどめるのが好ましい。なお、供給源からの原水は、特別な場合を除き、その一般的な水質から酸性薬剤の添加によるpH調整で濃縮水のランゲリア指数を0.3以下に制御することができる。このため、供給経路10では、通常、酸性薬剤を添加するための第1部位611のみからなる第1添加装置610を用いることもできる。これに対し、供給源からの原水そのもののpHが酸性範囲にあるような特別な場合、例えば、原水が工場排水であってpHが5~6程度の場合、逆浸透膜装置210での濃縮水のランゲリア指数は原水のpHを調整しなくても0.3以下、特にマイナス値になることが多い。このような場合、透過水の水質を高めるために、アルカリ性薬剤を添加するための第2部位612のみからなる第1添加装置610を用い、原水にアルカリ性薬剤を適宜添加しながら濃縮水のランゲリア指数を0.3付近まで高めるようにするのが好ましい。4供給経路10は、第1添加装置610にアルカリ性薬剤を添加するための第2部位612を設け、そこから原水へアルカリ性薬剤を添加することで原水のpHを高めているが、原水の水質において適当な場合は、原水のpHを高めるための手段としてエアレーション方式空気と原水との気液接触を利用した遊離炭酸の除去方法を採用することもできる。本実施の形態において説明した制御機構は、実施の形態2の水処理装置2および実施の形態3の水処理装置3に対しても同様に適用し、動作させることができる。この場合、第2処理部40の排出経路413は、図4に一点鎖線で示すように、供給経路10において第1添加装置610の上流側給水制御弁110側に末端を連絡するのが好ましい。<実験例>実験例1、2および比較実験例1、2カルシウムイオンCa2、マグネシウムイオンMg2、ナトリウムイオンNaおよびシリカを表1に示す濃度で含む水質の試験水を調製し、この試験水をタンクに貯留した。逆浸透膜エレメント東レ社製の型式名TMG20-4001本を装填した逆浸透膜モジュールに対し、運転圧力0.49MPa、回収率75および温度25°Cの条件でタンクから試験水を連続的に供給し、試験水を浄化した。このときの逆浸透膜エレメントにおける透過水流量は、実験例1、2および比較実験例1、2のいずれにおいても1000L/hであった。なお、逆浸透膜モジュールへの通水はクロスフロー方式とし、透過水流量に対して系内の循環流量が5倍となるように、濃縮水を逆浸透膜モジュールの1次側入口へ循環させた。実験例1、2および比較実験例1、2の評価試験水の供給開始から24時間経過時点での透過水および濃縮水の電気伝導率ECを測定し、下記の式に基づいて逆浸透膜モジュールでの塩除去率を測定した。結果を表1に示す。塩除去率=濃縮水EC-透過水EC/濃縮水EC×100表1によると、試験水において含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比が1.5以上である場合、塩除去率が99を超える。各実験例および各比較実験例において透過水流量は同じであり、また、回収率は同一に設定されているため、試験水の上記モル比が1.5以上の場合には、逆浸透膜モジュールでの水透過性能や回収率を犠牲にせずに高い塩除去率を達成可能なことがわかる。実験例3~5電気伝導率159mS/m、硬度414mgCaCO3/L、シリカ濃度44mgSiO2/L、総アルカリ度90mgCaCO3/LおよびpH7.6の水質に調整された試験用の供給水を調製し、この供給水をタンクに貯留した。この供給水において、含有ナトリウムイオンに対する含有カルシウムイオンのモル比は、9.1であった。そして、タンクから延びる供給経路を通じ、この供給水を逆浸透膜エレメント東レ社製の型式名TMG20-400を1本装填した逆浸透膜モジュールへ加圧ポンプにより加圧しながら連続的に供給し、透過水流量1000L/h、回収率75および温度25°Cの条件で運転した。透過水流量は、加圧ポンプの回転数の調節により制御した。逆浸透膜モジュールへの通水はクロスフロー方式とし、透過水流量に対して系内の循環流量が5倍となるように、濃縮水の一部を供給経路へ循環させた。このような供給水の処理運転中において、濃縮水の一部を定期的にサンプルとして採取し、濃縮水のシリカ濃度が概ね135~150mgSiO2/Lに、また、濃縮水の電気伝導率が概ね510~530mS/mに維持されていることを確認した。上述の運転において、逆浸透膜モジュールへ流れる供給水のpHを硫酸の添加により6~6.6に調整することで濃縮水のpHを8~9程度に調整し、実験例3ではランゲリア指数LSIを-0.2に、実験例4では同指数を0.1に、実験例5では同指数を0.3にそれぞれ制御した。また、供給水に対し、スケール分散剤としてBWAWATERADDITIVES社の商品名フロコン260を原液のまま濃度が2.5mg/Lになるよう添加した。比較実験例3供給水への硫酸添加により濃縮水のランゲリア指数を0.5に制御した点を除き、実験例3~5と同様の条件で供給水を処理した。比較実験例4供給水への硫酸添加による濃縮水のランゲリア指数の制御をしなかった点を除き、実験例3~5と同様の条件で供給水を処理した。比較実験例5供給水への硫酸添加により濃縮水のランゲリア指数を0.2に制御し、かつ回収率を増加させて濃縮水のシリカ濃度を170mgSiO2/L程度にまで高めた点を除き、実験例3~5と同様の条件で供給水を処理した。比較実験例6供給水へのスケール分散剤を添加しなかった点を除き、ランゲリア指数を0.3に制御した実験例5と同様の条件で供給水を処理した。比較実験例7供給水への硫酸添加によるランゲリア指数の制御、及び、供給水へのスケール分散剤の添加をしなかった点を除き、実験例3~5と同様の条件で供給水を処理した。実験例3~5および比較実験例3~7の評価実験例3~5および比較実験例3~7のそれぞれにおいて、水処理運転中の逆浸透膜エレメントの有効圧力の変化を経時的に測定した。そして、有効圧力の測定値、透過水流量の設定値および逆浸透膜エレメントの有効膜面積から透過水の水透過係数を所定時間経過時に算出した。なお、初期状態の水透過係数は、逆浸透膜エレメントの個体差により多少のばらつきがあるため、水処理運転の開始から1時間経過時点の数値を初期値とした。また、水処理運転の開始から24時間経過時点での透過水の電気伝導率を測定した。電気伝導率は、透過水の水質を示す指標であり、数値が低いほど透過水にイオン成分夾雑成分が少ないこと、すなわち、水質が良好なことを表している。結果を表2に示す。なお、比較実験例7は、120時間経過時点の水透過係数が初期値の15未満まで低下したため、この時点で水処理運転を中止した。表2には、濃縮水のランゲリア指数、シリカ濃度および電気伝導率を表示しているが、表示の数値は水処理運転中での平均値である。表2によると、実験例3~5では、150時間経過時の水透過係数が初期値の96~97に維持されており、比較実験例3~7に比べて逆浸透膜エレメントのスケール付着による閉塞が顕著に抑制されていることがわかる。また、実験例3~5は、比較実験例3~7に比べて透過水の電気伝導率が同程度の数値となっており、水質の良好な透過水が得られていることがわかる。さらに、実験例3~5によると、濃縮水のランゲリア指数が0未満の場合に透過水の電気伝導率が若干高くなる傾向が見られるため、濃縮水のランゲリア指数は0以上に維持するのが好ましいこともわかる。