上流側流路からの流体を制御して下流側流路に流出させる流体制御弁であって、弁室内に当該弁室の内面に所定の間隔を介して配置されるとともに、前記弁室内に設けられた弁座に接離可能に設けられた弁体と、前記弁体を開弁方向に付勢するアクチュエータと、前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体戻しばねと、前記弁体の開閉方向に対する傾きを解消する方向に向かって前記弁体を付勢する傾き抑制ばねとを備える流体制御弁。上流側流路からの流体を制御して下流側流路に流出させる流体制御弁であって、弁室内に当該弁室の内面に所定の間隔を介して配置されるとともに、前記弁室内に設けられた弁座に接離可能に設けられた弁体と、前記弁体を閉弁方向に付勢するアクチュエータと、前記弁体を開弁方向に付勢する弁体戻しばねと、前記弁体の開閉方向に対する傾きを解消する方向に向かって前記弁体を付勢する傾き抑制ばねとを備える流体制御弁。前記傾き抑制ばねが、前記弁体側又は前記弁室の内面側の一方に接触して設けられる環状をなす本体部と、前記本体部から延出するとともに前記弁体側又は前記弁室の内面側の他方に接触して設けられる複数の突出部とを有するものである請求項1又は2記載の流体制御弁。前記複数の突出部が、互いに同一形状をなすものであり、周方向に等間隔に形成されている請求項3記載の流体制御弁。前記弁体戻しばねが、前記弁体の中心軸寄りの中央側に付勢力を作用させるものであり、前記傾き抑制ばねが、前記弁体の中心軸に対して前記中央側よりも外側の周辺側に付勢力を作用させるものである請求項1、2、3又は4記載の流体制御弁。しかしながら、弁体と包囲面との間に間隙があることから、流体から受ける圧力影響等により、弁体が開閉動作中にその開閉方向に対して傾き、又は弁体が振動して、アクチュエータにより調整した弁開度に誤差が生じるという問題がある。また、弁体が振動することで、当該弁体と周辺部材とが接触して振動音が発生し、周辺部材との接触により弁体又は周辺部材が摩耗又は破損してしまうという問題がある。そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、流体制御弁を通過する流体のコンタミネーションを防止するとともに、弁体が移動方向に対して傾いたり振動したりすることを防止することをその主たる所期課題とするものである。すなわち、本発明に係る流体制御弁は、上流側流路からの流体を制御して下流側流路に流出させる流体制御弁であって、弁室内に当該弁室の内面に所定の間隔を介して配置されるとともに、前記弁室内に設けられた弁座に接離可能に設けられた弁体と、前記弁体を開弁方向に付勢するアクチュエータと、前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体戻しばねと、前記弁体の開閉方向に対する傾きを解消する方向に向かって前記弁体を付勢する傾き抑制ばねとを備えることを特徴とする。また、本発明に係る流量制御弁は、上流側流路からの流体を制御して下流側流路に流出させる流体制御弁であって、弁室内に当該弁室の内面に所定の間隔を介して配置されるとともに、前記弁室内に設けられた弁座に接離可能に設けられた弁体と、前記弁体を閉弁方向に付勢するアクチュエータと、前記弁体を開弁方向に付勢する弁体戻しばねと、前記弁体の開閉方向に対する傾きを解消する方向に向かって前記弁体を付勢する傾き抑制ばねとを備えることを特徴とする。このようなものであれば、傾き抑制ばねにより、弁体の開閉方向に対する傾きを解消する方向に付勢しているので、弁体の傾きを抑制することができ、流体から受ける圧力影響により生じる弁体の傾き又はこの傾きの揺り戻しにより反対側に傾くという繰り返し動作よって生じる振動を防止することができる。これにより、開閉動作中の弁体の姿勢を一定に維持することができ、アクチュエータにより調整された弁開度の誤差を低減することができる。また、弁体の振動を防止できるので、周辺部材との接触により生じる異音や弁体又は周辺部材の摩耗や破損を防ぐことができる。さらに、弁体戻しばねと傾き抑制ばねとを別体として設けているので、各ばねの固有の機能を十分に発揮できるように、弁体戻しばねのばね定数及び傾き抑制ばねのばね定数を個別に設計することができる。その上、弁体戻しばね及び傾き抑制ばねを用いることで固有振動数を大きくすることができるので、弁体の共振を防ぐことができる。また、弁体が弁室を形成する内面から所定の間隔を介して配置されていることから、弁体と弁室との摺動により生じる摩耗粉や潤滑油による流体へのコンタミネーションの心配もない。傾き抑制ばねの具体的な実施の態様としては、前記傾き抑制ばねが、前記弁体側又は前記弁室の内面側の一方に接触して設けられる環状をなす本体部と、前記本体部から延出するとともに前記弁体側又は前記弁室の内面側の他方に接触して設けられる複数の突出部とを有するものであることが望ましい。これならば、傾き抑制ばねが複数の突出部を有することから、各突出部を弾性変形し易くしてばね定数を小さくすることができる。また、弁体が開閉方向に対してどの方向に傾いたとしても、いずれかの突出部が弁体に対して付勢力を作用させることができ、弁体の傾きを抑制することができる。さらに、環状の本体部及び複数の突出部が一体とされており、部品点数を削減できるだけでなく、組み立て工数を削減することもできる。ここで前記複数の突出部が、互いに同一形状をなすものであり、周方向に等間隔に形成されていることが望ましい。これならば、弁体が開閉方向に対して傾斜していない状態において、各突出部から弁体に与える付勢力を均一にすることができる。つまり弁体が傾いた場合に、その傾き方向にある突出部がその他の突出部よりも大きく弾性変形して、弁体には、傾きを解消する方向により大きな付勢力が作用することになり、傾きが解消される。弁体戻しばねにより弁体をアクチュエータにより移動される前の状態に確実に戻し易くするとともに、傾き抑制ばねにより弁体に作用するモーメントを大きくして弁体の傾きを効率良く解消するためには、前記弁体戻しばねが、前記弁体の中心軸寄りの中央側に付勢力を作用させるものであり、前記傾き抑制ばねが、前記弁体の中心軸に対して前記中央側よりも外側の周辺側に付勢力を作用させるものであることが望ましい。ここで傾き抑制ばねにより弁体に作用するモーメントを可及的に大きくするためには、前記傾き抑制ばねが、前記弁体の最大外径を有する部分の外周部又はその近傍に付勢力を作用させるものであることが望ましい。このように構成した本発明によれば、流体制御弁を通過する流体のコンタミネーションを防止するとともに、流体制御弁の弁開度を精度よく調節できるだけでなく、弁体の振動等により生じる異音や弁体と周辺部材との接触により生じる弁体等の破損を防止することができる。以下に、本発明に係る流体制御弁の一実施形態について、図面を参照して説明する。<第1実施形態>以下に、本発明に係る流体制御弁を組み込んだマスフローコントローラ100の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態のマスフローコントローラ100は、半導体製造装置に用いられるものであって、図1に示すように、測定対象となる例えば半導体プロセスに用いられるガス等の流体が流れる流路51を形成したボディ5と、このボディ5の流路51を流れる流体の流量をセンシングする流量検知機構2と、前記流路51を流れる流体の流量を制御する流体制御弁3と、前記流量検知機構2の出力する測定流量を予め定めた設定流量に近づけるべく流体制御弁3の弁開度を制御する制御部図示しないとを具備する。以下に各部を詳述する。前記ボディ5は、前述した流路51が貫通するブロック状をなすものであり、当該流路51の上流端が、上流側ポート5Aとして外部流入配管図示しないに接続されるとともに、下流端が下流側ポート5Bとして外部流出配管図示しないに接続されている。流量検知機構2としては、熱式、コリオリ式や超音波式など種々考えられるが、ここでは、いわゆる熱式流量検知機構を採用している。この熱式流量検知機構2は、前記流路51を流れる流体のうちの所定割合の流体が導かれるように当該流路51と並列接続した細管21と、この細管21に設けたヒータ24及びその前後に設けた一対の温度センサ22、23とを具備したものである。そして、前記細管21に流体が流れると、二つの温度センサ22、23の間にその質量流量に対応した温度差が生じることから、この温度差に基づいて流量を測定するように構成してある。この実施形態では、前記細管21、ヒータ24、温度センサ22、23及びその周辺の電気回路を収容する長尺状の筐体25を設ける一方、ボディ5の流路51から一対の分岐流路2a、2bを設け、この筐体25を前記ボディ5に取り付けることによって、前記細管21の導入口が上流側の分岐流路2aに接続され、該細管21の導出口が下流側の分岐流路2bに接続されるように構成してある。なお、流量センサはこの方式に限定されるものではない。流体制御弁3は、前記流路51上に設けられたノーマルクローズタイプのもので、前記ボディ5内に収容された一対の弁部材たる弁座部材4及び弁体部材6と、前記弁体部材6を駆動して弁開度、すなわち弁座部材4と弁体部材6との離間距離を設定するアクチュエータ7とを備えたものである。弁座部材4は、弁座となるものであり、図2に示すように、その下面を弁座面4aとするとともに、下面側を小径、上面側を大径にした2段円柱形状をなすものであり、その内部には、一端が弁座面4aに開口し、他端が側周面に開口する複数の内部流路41が形成されている。これら複数の内部流路41の弁座面4aにおける開口は同心円状に形成されている。この弁座部材4は、ボディ5に設けた円柱状の凹部52に嵌め入れてある。この凹部52は、ボディ5の流路51を分断するように配置してあり、この凹部52によって分断された流路51のうち、上流側の流路以下、上流側流路とも言う51Aが、例えば当該凹部52の底面に開口し、この凹部52より下流側の流路以下、下流側流路とも言う52Bが、例えばこの凹部52の側面に開口するように構成してある。なお、この凹部52が、弁座となる弁座部材4及び後述する弁体となる弁体部材6が配置される弁室を形成する。そして、弁座部材4を凹部52に嵌め入れた状態では、当該弁座部材4の大径部分が凹部52の内側周面に略隙間なく嵌合する一方、弁座部材4の小径部分は凹部52の内側周面との間に隙間が形成され、ボディ5の下流側流路51Bが前記内部流路41に凹部52の側周面を介して連通することとなる。弁体部材6は、弁体となるものであり、ボディ5の凹部52において前記弁座部材4に対向配置されるとともに、凹部52の内側周面に接触することなく当該内側周面から所定の間隔を介して配置され、その上面が着座面6aとされた概略円板状をなすものである。そして、弁体部材6の内部には、一端が下面に開口し、他端が着座面6aに開口する複数の内部流路61が形成されている。これら複数の内部流路61の着座面6aにおける開口は同心円状に形成されるとともに、前述した複数の内部流路41の弁座面4aにおける開口とは互いに重ならないように形成されている。そして、この弁体部材6は、アクチュエータ駆動部7により駆動力を受けて付勢されて、弁座部材4に接触して上流側流路51A及び下流側流路51Bを遮断する閉状態から、弁座部材4から離間して上流側流路51A及び下流側流路51Bを連通させる開状態に移動する。このように閉状態から開状態に向かう方向、つまり、弁体部材6に対するアクチュエータ7の駆動力の作用方向が開弁方向である。一方、開状態から閉状態に向かう方向、つまり、弁体部材6に対するアクチュエータ7の駆動力の作用方向とは反対方向が閉弁方向である。アクチュエータ7は、例えば、ピエゾ素子を複数枚積層して形成されるピエゾスタック71と、当該ピエゾスタックの伸長により変位する作動体72とを備えたものである。このピエゾスタック71は、前記ケーシング部材73内に収容されており、その先端部が中間接続部材74を介して作動体72に接続してある。本実施形態の作動体72は、ダイアフラム部材721と、当該ダイアフラム部材721の中心に設けられて、前記弁座部材4の中心を貫通して弁体部材6に当接する接続棒722とを有する。そして、一定電圧が印加されることによってピエゾスタック71が伸長することで作動体72が弁体部材6を開弁方向に付勢して、弁座面4aが着座面6aから離間して開状態となる。また、一定電圧を下回る電圧であれば、その電圧値に応じた距離だけ弁座面4aと着座面6aとが離間する。そして、この隙間を通じて上流側流路51Aと下流側流路Bとが連通する。また、弁体部材6には、当該弁体部材6を閉弁方向に付勢する弁体戻しばね8が接触して設けられている。この弁体戻しばね8により、アクチュエータ7に電圧を印加しないノーマル状態においては、弁体部材6が閉状態となる。この弁体戻しばね8は、ボディ5の凹部52内に収容されたばねガイド部材10に支持される板ばねであり、図3に示すように、ばねガイド部材10に接触して設けられる外環部81と、弁体部材6に接触して設けられる内環部82と、前記外環部81及び前記内環部82を連結する複数のばね要素部83とを有する。これら複数のばね要素部83は、周方向において等間隔に配置されるとともに、ばね要素部83の長さを可及的に大きくとるために、各ばね要素部83の外環側接続部分と内管側接続部分とが周方向において異なる位置となるように径方向に湾曲した構成としている。なお、弁体戻しばね8は、弁体部材6を付勢するものであれば板ばね以外の弾性体を用いても良い。弾性体は弁体部材6を直接的又は間接的に付勢しても良い。ばねガイド部材10は、前記凹部52内にばね8を支持するための、断面凹形の概略回転体形状をなすものであり、その底壁には、凹部52の底面に開口する上流側流路51Aに連通する開口部10xが形成されるとともに、その側周壁の上端部が弁座部材4の周縁部に接触する。そして、その内側周面に前記弁体戻しばね8が設けられている。このように本実施形態では、弁座部材4及びばねガイド部材10により形成される空間内に弁体部材6が収容される構成としている。また、弁体部材6は、ばねガイド部材10の内側周面から所定の間隔を介して配置されており、弁体部材6の外側周面は、当該外側周面に対向するばねガイド部材10の内側周面から離間している。さらに本実施形態の流体制御弁3は、弁体部材6の開閉方向に対する傾きを解消する方向に向かって弁体部材6を付勢して、弁体部材6の傾きを抑制する傾き抑制ばね9を備えている。この傾き抑制ばね9は、前記ばねガイド部材10に支持される板ばねであり、図4に示すように、ばねガイド部材10に接触して設けられる円環板状をなす本体部91と、当該本体部91の内面から径方向内側に延出して弁体部材6の外周部分に接触して弾性変形する複数図4においては4つの突出部92とを有する。この複数の突出部92は、互いに同一形状をなすものであり、周方向に等間隔に形成されている。また各突出部92は周方向において同一の突出長径方向長さを有する。そしてこの傾き抑制ばね9は、弁体部材6が閉状態から開状態に移動する際に、弁体部材6に対して閉弁方向に付勢する。つまり、弁体部材6は、閉状態から開状態に移動する際に、弁体戻しばね8及び傾き抑制ばね9の両方から閉弁方向に付勢される。なお、傾き抑制ばね9は、弁体部材6を付勢するものであれば板ばね以外の弾性体を用いても良い。弾性体は弁体部材6を直接的又は間接的に付勢しても良い。ここで、図2に示すように、弁体戻しばね8が、弁体部材6の中心軸寄りの中央側下面に付勢力を作用させて、傾き抑制ばね9が、弁体部材6の中心軸に対して弁体戻しばね8が作用する中央側よりも外側の周辺側下面に付勢力を作用させるように構成している。つまり、弁体部材6において、弁体戻しばね8の内環部82の接触位置は内径側であり、傾き抑制ばね9の突出部92の接触位置は外径側である。より詳細には、弁体部材6の下面側に形成された小径の弁体戻しばね用段部62に弁体戻しばね8が接触し、弁体部材6において前記弁体戻しばね用段部62よりも上面側に形成された大径の傾き抑制ばね用段部63に傾き抑制ばね9が接触する。そして、弁体戻しばね8及び傾き抑制ばね9が同心状に配置されるとともに、弁体戻しばね8が下側、傾き抑制ばね9が上側となるようにばねガイド部材10に固定されている。このように弁体戻しばね8及び傾き抑制ばね9をばねガイド部材10に取り付け、当該ばねガイド部材10をボディ5の凹部52内に収容するだけで、それらのばね8、9を配置することができ、組み立て作業が容易となる。なお、弁体戻しばね8及び傾き抑制ばね9を弁体部材6に取り付けて、それらのばね8、9が取り付けられた弁体部材6を凹部52内に収容しても良い。そして、傾き抑制ばね9は、弁体部材6が開閉方向に対して傾いた場合に、その傾き方向にある突出部例えば図4において92aが他の突出部92例えば図4において92b~92dよりも大きく変形することで、その突出部92aの弾性復帰力が他の突出部92b~92dの弾性復帰力よりも大きくなり、弁体部材6全体として、その傾きを解消する方向に付勢力傾き方向とは逆方向の回転モーメントが作用して、弁体部材6の傾きが解消される。また、傾き抑制ばね9の板厚は、弁体戻しばね8の板厚よりも薄く構成している。傾き抑制ばね9は、弁体部材6の傾きを解消することを意図しており、弁体部材6の中心軸からできるだけ離れた部位周縁部に付勢力を作用させる必要があり、突出部92の径方向長さを短くする必要がある。そうすると突出部92を弾性変形し易くするために薄くする必要がある。一方、弁体戻しばね8は、弁体部材6を閉弁方向に戻すことを意図しており、機械的強度を大きくするとともに、弁体部材6を確実に閉弁方向に付勢するために厚くする必要がある。また、弁体戻しばね8は板厚を厚くしても、弁体部材6を付勢する部位が特に限定されないので、ばね要素部83の長さを大きくとり弾性変形を所定の大きさにすることができ、アクチュエータ7による弁体部材6の動作に支障をきたさない。なお、弁体戻しばね8は、機械的強度及びばね定数を大きくするためにばね要素部83を長くする必要があることから、内環部82を弁体部材6の中央寄りに設ける必要がある。このように構成した本実施形態のマスフローコントローラ100によれば、弁体部材6の傾きを解消する方向に向かって弁体部材6を付勢しているので、弁体部材6の傾きを抑制することができるので、流体から受ける圧力影響により生じる弁体部材6の傾き又は振動を防止することができる。これにより、開閉動作中の弁体部材6の姿勢を一定に維持することができ、アクチュエータ7による弁開度の調整を精度よく行うことができ、流体の流量制御を精度よく行うことができる。また、弁体部材6の振動を防止できるので、周辺部材と接触して振動音が発生したり、周辺部材との接触により弁体部材6又は周辺部材が摩耗や破損したりすることを防ぐことができる。さらに、弁体戻しばね8と傾き抑制ばね9とを別体として設けているので、各ばね8、9の機能を十分に発揮できるように、弁体戻しばね8のばね定数及び傾き抑制ばね9のばね定数を個別に設計することができる。さらに、弁体戻しばね8及び傾き抑制ばね9を用いていることで固有振動数を大きくすることができ、弁体部材6の共振を防ぐことができる。その上、弁体部材6が弁室を形成する内面から所定の間隔を介して配置されていることから、弁体部材6と弁室との摺動により生じる摩耗粉や潤滑油による流体へのコンタミネーションの心配もない。また、弁座面4aには内部流路41の開口が複数形成されており、また着座面6aには内部流路61の開口が複数形成されていることから、各開口に流入する流体流量の差異又は各開口から流出する流体流量の差異により、着座面4a又は弁座面6aにかかる流体圧力が不均一となる。これにより、弁体部材6の傾き又は振動が誘発されることが考えられるが、傾き抑制ばね9を設けていることから、これを好適に解消することができる。<第2実施形態>この第2実施形態に係る流体制御弁3は、ノーマルオープンタイプのものであり、前記第1実施形態とは異なり、弁座部材4と弁体部材6の配置が逆になっている。なお、前記第1実施形態に対応する部材には同一の符号を付している。すなわち、図5に示すように、アクチュエータ7側に当該アクチュエータ7により移動する弁体部材6が設けられており、この弁体部材6の反アクチュエータ7側、すなわちボディ5側に弁座部材4設けられている。また、これら弁座部材4及び弁体部材6は、ボディ5に設けた凹部52に嵌め込まれている。この凹部52は前記第1実施形態同様、ボディ5の流路51を分断するように配置してある。そして、アクチュエータ7に電圧を印加しないノーマル状態では、弁体部材6が周囲の弾性体ここでは板バネによって付勢され、弁座部材4から離間した開状態であり、アクチュエータ7に電圧を印加してこれを伸長させると、弁体部材6が閉弁方向に移動し、弁体部材6が弁座部材4に密着して閉状態となる。このように構成した本実施形態の流体制御弁3によれば、前記実施形態の効果に加えて、アクチュエータ7の作動体72であるダイアフラム部材721を小径化しながらも、当該ダイアフラム部材721の変位を弁体部材6に伝えることができ、従来のようにダイアフラム部材721を弁体部材として使用しているノーマルオープンタイプの流量制御弁の問題点を解決し、弁座部材4を大径化することができるので、大流量化が可能となる。また、前記第1及び第2実施形態の弁座部材4の弁座面4aに、図6に示すように、同心円状に複数重図6では4重の円環状有底溝4Mが形成されている。当該凹溝4Mを仕切る凸条の上面が弁体部材6と接触する。そして、凹溝4Mの底面に内部流路41の開口が形成されている。弁座面401に形成された凸条の上面が着座面6aと接触するので、弁座面4aと着座面6aとの接触面積を小さくすることができ、アクチュエータ7の押圧力が小さくても閉止性を向上させることができる。また、接触面積が小さいことにより圧力損失を低減することができる。このように、同心円状に形成した凹溝4M毎に内部流路の開口を形成しているので、実質的に凹溝4Mの外径と同様の径を有する開口から流体が流入すると同視することができ、圧力損失を低減するとともに、大流量の流体を流すことができる。なお、着座面6aにも同様に、同心円状に複数重の円環状有底溝を形成しても良い。なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、前記各実施形態では流量制御弁であったが、ON/OFF開閉弁にも本発明を適用できる。また、アクチュエータはピエゾ式に限らず、電磁コイル等を用いてもよい。さらに、流体制御弁を組み込んだマスフローコントローラに限られず、流体制御弁単体で構成しても良い。その他、流体制御弁として、流体の圧力を制御する圧力制御弁としても良い。また、前記実施形態の傾き抑制ばねは、弁体部材に対して、弁体戻しばねと同様に、アクチュエータの駆動力とは反対側開弁方向又は閉弁方向に付勢力を作用するものであったが、弁体部材の側周面に接触して弁体部材の開閉方向に直交する方向から付勢力を作用するものであっても良い。この場合、軸方向の上下2か所に傾き抑制ばねを配置することが望ましい。さらに、前記実施形態の傾き抑制ばねは、本体部が弁室側具体的にはばねガイド部材に接触して設けられ、突出部が弁体部材に接触して設けられているが、逆であっても良い。また複数の傾き抑制ばねを周方向に配置するものであっても良い。その上、ばねガイド部材を用いずに、ボディに形成された凹部に弁体戻しばね又は傾き抑制ばねを接触して設けても良い。その上、弁体部材の開閉方向に対する傾きを解消する観点に着目すれば、弁体戻しばねを有さないものであっても良い。この場合、傾き抑制ばねが、弁体部材の最大外径を有する部分の外周部又はその近傍に付勢力を作用させるものとすることが望ましい。これならば、弁体部材に作用するモーメントを可及的に大きくすることができ、弁体部材の開閉方向に対する傾きを好適に解消することができる。その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。