基板が流入する流入口と、基板が排出される排出口とが形成されたチャンバー本体、チャンバー本体の内部で流入口と排出口との間に設けられ、チャンバー本体の内部を流入口側の前方部と、排出口側の後方部とに分け、基板が通過可能なスリットが形成された隔壁、スリットの上側で隔壁に設けられた遮断部材、及び基板にある液体を除去するために高圧気体を噴射するエアナイフを含み、遮断部材は、隔壁に沿って流れた水が基板に落ちることを防止することを特徴とするエアナイフチャンバー。隔壁と、遮断部材と、エアナイフとは、基板の移動方向に対して傾斜して設けられたことを特徴とする請求項1に記載のエアナイフチャンバー。エアナイフは、上記高圧気体をスリットを通じて前方部側に噴射可能であるように、隔壁の後方でスリットに近接して設けられることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエアナイフチャンバー。エアナイフは、遮断部材の下側に設けられ、エアナイフから噴出された高圧気体が遮断部材の端から基板に落ちた水を流入口側に押し出すことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエアナイフチャンバー。遮断部材は、下に向けて傾斜して設けられたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエアナイフチャンバー。隔壁に沿って流れた水が遮断部材に沿って流れ、上記スリットよりも前方側に落ちることを特徴とする請求項5に記載のエアナイフチャンバー。遮断部材は、水平方向から下に向けて20度以上35度以下に傾斜したことを特徴とする請求項6に記載のエアナイフチャンバー。遮断部材は、上に向けて傾斜して設けられたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエアナイフチャンバー。隔壁に沿って流れた水が遮断部材に沿って側方向に流れてチャンバー本体の側面に流れることを特徴とする請求項8に記載のエアナイフチャンバー。遮断部材は、基板から9cm以上11cm以下の位置に設けられ、その長さLは、9cm以上13cm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエアナイフチャンバー。本発明は、隔壁に沿って流れた水洗浄液が隔壁スリットよりも前方側に落ちるようにすることで、エアナイフによって有効に除去されるようにし、これによって基板の不良率を減らすことができるエアナイフチャンバーを提供することにその目的がある。上記問題点を解決するために、本発明の望ましい実施例によるエアナイフチャンバーは、基板が流入する流入口と、基板が排出される排出口とが形成されたチャンバー本体、チャンバー本体の内部で流入口と排出口との間に設けられ、チャンバー本体の内部を流入口側の前方部と、排出口側の後方部とに分け、基板が通過可能なスリットが形成された隔壁、スリットの上側で隔壁に設けられた遮断部材、及び基板にある液体を除去するために高圧気体を噴射するエアナイフを含み、遮断部材は、隔壁に沿って流れた水が基板に落ちることを防止する。望ましくは、隔壁と、遮断部材とは、基板の移動方向に対して傾斜して設けられる。上記エアナイフは、上記高圧気体をスリットを通じて前方部側に噴射可能に隔壁の後方でスリットに近接して設けられることが望ましい。また、上記エアナイフは、遮断部材の下側に設けられ、エアナイフから噴出された高圧気体が遮断部材の端から基板に落ちた水を流入口側に押し出すようにすることもできる。さらに、遮断部材は、下に向けて傾斜して設けられたことが望ましい。この場合、隔壁に沿って流れた水が遮断部材に沿って流れ、上記スリットよりも前方側に落ちるようにできる。上記遮断部材は、水平方向から下に向けて20度以上35度以下に傾斜したことが望ましい。さらに、遮断部材は、上に向けて傾斜して設けられ得る。この場合、隔壁に沿って流れた水が遮断部材に沿って側方向に流れてチャンバー本体の側面に流れるようにすることもできる。また、遮断部材は、基板から9cm以上11cm以下の位置に設けられ、その長さLは、9cm以上13cm以下であることが望ましい。以下、添付した図面を参照しながら本発明の望ましい実施例を詳しく説明する。これに先立って、本明細書及び請求範囲に使われた用語や単語は通常的や辞書的な意味に限定して解釈されてはいけず、発明者は自らの発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に則して、本発明の技術的思想に符合する意味と概念とに解釈されなければならない。従って、本明細書に記載された実施例は本発明の最も望ましい一実施例に過ぎず、本発明の技術的思想の全てを代弁するものではないため、本出願時点においてこれらに代替できる多様な均等物と変形例があり得ることを理解しなければならない。図2は、本発明の望ましい実施例によるエアナイフチャンバーを示す側面構成図であり、図3は、上記エアナイフチャンバーを示す平面構成図III‐III ́から見た断面図であり、図4は、図2のIV部分の拡大図である。図面を参照すれば、上記エアナイフチャンバー100は、チャンバー本体20と、チャンバー本体20の内部に設けられた隔壁30と、隔壁30に設けられた遮断部材40と、高圧空気を噴射するエアナイフ14とを含む。チャンバー本体20は、基板1が流入する流入口21と、基板1が排出される排出口22と、基板1を移動させる移送ローラー23とを備える。流入口21からチャンバー本体20の内部に供給された基板1は、移送ローラー23によって移動された後排出口22から外部に排出される。移送ローラー23は、図示しなかった駆動モーターによって回転されながら基板1を移動させる。チャンバー本体20は、内部の空気及び/または水粒子洗浄液粒子を外部に排出する排気口25をさらに備え得る。隔壁30は、チャンバー本体20の内部で流入口21と排出口22との間に設けられ、チャンバー本体20の内部を流入口21側の前方部Aと、排出口22側の後方部Bとに分ける。隔壁30には、基板1が通過できるスリット32が形成される。隔壁30は、エアナイフ14と共に、前方部Aにある水粒子洗浄液粒子及び空気が後方部Bに移動できないようにする。一方、後方部Bには、空気フィルター図示せずを経由した空気が供給される。空気フィルターを経由した空気が後方部Bに供給されれば、スリット32から前方部Aの空気及び/または水粒子などが後方部Bに流入することをさらに有効に防止できる。遮断部材40は、スリット32の上側で隔壁30に設けられる。遮断部材40は、隔壁30に沿って流れた水がスリット32側に落ちることを遮断する。すなわち、隔壁30に沿って流れた水洗浄液は、遮断部材40に沿って流れ、スリット32よりも前方側に落ちるようになる。遮断部材40は、スリット32の幅と同一の長さを持つか、スリット32の幅よりも長く形成することが望ましい。遮断部材40は、水平線と所定の角度θをなすように下に向けて傾斜して設けられ、上記角度θは、20度以上35度以下であることが望ましい。上記角度θが20度未満であれば、遮断部材40の下面に水が吸着されるので望ましくなく、35度を超えれば、遮断部材40の下側に渦流が発生してエアナイフ14の作動を妨げるので望ましくない。さらに望ましくは、上記角度θは、略27.5度である。また、遮断部材40は、基板1から約9cm以上11cm以下の位置に設けることが望ましく、その長さLは、約9cm以上13cm以下であることが望ましい。一方、上記構成を有する遮断部材40の代案として、遮断部材は、上に向けて傾斜して設けられ得る。この場合には、隔壁30に沿って流れた水が遮断部材に溜まるようになる。上記構成を有する遮断部材40の他の代案として、遮断部材は、上に向けて傾斜すると同時に、チャンバー本体20の一側面に向けて傾斜して設けられ得る。この場合には、隔壁30に沿って流れた水が遮断部材に沿って上記一側面に向けて流れるようになる。このとき、上記一側面に排水口図示せずを形成すれば、上記水を外部に排出できる。エアナイフ14は、高圧空気または高圧の不活性気体を噴射して基板1に付着されている水洗浄液を除去する。エアナイフ14は、一対が向かい合うように基板1の上側と下側とに設けられる。エアナイフ14は、スリット32に近接した位置に設けられ、図4に示すように、上記高圧空気をスリット32を通じて前方部A側に噴射できるように、後方部Bに傾斜して設けることが望ましい。図面においては、エアナイフ14がスリット32に近接して設けられているが、エアナイフ14は、除去する水洗浄液の量などを考慮して追加的に設けられ得る。例えば、スリット32に近接した位置に設けられたエアナイフ14に加えて、前方部A側にエアナイフをさらに設け得る。図3に示すように、隔壁30と、遮断部材40と、エアナイフ14とは、基板1の移動方向に対して傾斜して設けることが望ましい。このように、隔壁30と、遮断部材40と、エアナイフ14とが基板1の移動方向に対して傾斜して設けられれば、基板1にさらに多くの高圧空気が噴射されるため、基板1に付着された水洗浄液などの不純物が除去される可能性がさらに高くなる。なお、図3では、理解及び図示の便宜を図るために、移送ローラー23と基板1との図示を省略した。一方、図5に示すように、エアナイフ14は、遮断部材40の下側に設けられ得、望ましくは、遮断部材40の端の後方に設けられる。これによって、エアナイフ14から噴出された高圧気体が、遮断部材40の端から基板1に落ちた水を流入口21側に押し出すことができるようになる。図6は、遮断部材40の設置位置によって危険地域図4のDに付着された水の量を比べたグラフである。すなわち、図6は、図2ないし図4の構成を有するエアナイフチャンバー100において、遮断部材40の設置位置基板からの距離によって危険地域D、流入口21側の隔壁の中で遮断部材の下側部分に付着された水の量を比べたグラフである。遮断部材40の設置角度θは27.5度であり、遮断部材40の長さLは11cmである。図面に示すように、遮断部材40が設けられていない場合に比べて、遮断部材40の設置位置が9cm~11cmである場合に危険地域Dに付着された水の量が減少した。特に、遮断部材40の設置位置が10cmである場合、危険地域Dに付着された水の量が最も少ないか水が付着されなかった。図7は、図2ないし図4の構成を有するエアナイフチャンバー100において、遮断部材40の設置角度θによって危険地域Dに付着された水の量を比べたグラフである。遮断部材40の設置位置は10cmであり、遮断部材40の長さLは11cmである。図面に示すように、遮断部材40の設置角度θが20度~35度である場合には、遮断部材40が設けられていない場合に比べて危険地域Dに付着された水の量が減少した。特に、遮断部材40の設置角度θが27.5度である場合、危険地域Dに付着された水の量が最も少なかった。図8は、図2ないし図4の構成を有するエアナイフチャンバー100において、遮断部材40の長さLによって危険地域Dに付着された水の量を比べたグラフである。遮断部材40の設置位置は10cmであり、遮断部材40の設置角度θは27.5度である。図面に示すように、遮断部材40の長さLが9cm~13cmである場合には、遮断部材40が設けられていない場合に比べて危険地域Dに付着された水の量が減少した。特に、遮断部材40の長さLが11cmである場合、危険地域Dに付着された水の量がないか最も少なかった。以下、本発明によるエアナイフチャンバー100の作動過程を説明する。まず、洗浄工程を終えた基板1が流入口21からチャンバー本体20の内部に流入する。基板1は、移送ローラー23によって移動される。基板1には、洗浄工程で使われた水洗浄液が付着されている。基板1に付着されている水洗浄液は、スリット32を通過する間にエアナイフ14から噴射された高圧空気によって飛ばされて除去され、飛ばされて除去された水粒子洗浄液粒子は前方部Aの気流に乗って移動しながら一部は排気口25から外部に排出され、残りの一部は隔壁30などに付着される。隔壁30に付着された水洗浄液は、隔壁30と遮断部材40とに沿って流れて基板1に落ちる。このとき、遮断部材40は、下に向けて傾斜した角度θを有することから、水洗浄液はスリット32よりも前方側の基板1に落ち、基板1に落ちた水洗浄液はエアナイフ14によって除去できる。もし、遮断部材40がなければ、隔壁30に沿って流れた水洗浄液はスリット32に落ち、スリット32に落ちた水洗浄液の一部は、エアナイフ14から噴射された高圧空気よりも後方に位置することから除去できないという問題点が発生する。本発明によるエアナイフチャンバー100は、遮断部材40を用いて水洗浄液がスリット32よりも前方側に落ちるようにすることで、上記問題点を解決した。一方、エアナイフ14から噴射された高圧空気によって飛ばされて除去された水洗浄液の一部が、遮断部材40の下面及び遮断部材40下側の隔壁30に付着され得る。遮断部材40の下面及び遮断部材40下側の隔壁30に付着された水洗浄液は、遮断部材40の下面及び隔壁30に沿って流れた後基板1に再び落ちる恐れがあるが、このように基板1に再び落ちた水洗浄液は、エアナイフ14によって除去できるだけでなく、遮断部材40の下面及び遮断部材40下側の隔壁30に付着される水洗浄液の量は、遮断部材40上側の隔壁30に付着された水洗浄液の量よりも相対的に遥かに少ないことから、基板1を汚染させる可能性が遥かに低い。