"固定部と、変位可能な可動部と、前記固定部および前記可動部の上部を連結する上ビーム部と、前記固定部および前記可動部の下部を連結する下ビーム部とを有するロードセル本体と、該ロードセル本体に取付けられて前記可動部の変位を規制するストッパとを備えるロードセルであって、前記ストッパは、前記可動部に取付けられて該可動部に連動して変位する変位部材と、前記固定部に取付けられて前記変位部材に当接してその変位を規制する規制部材とを備え、前記変位部材および前記規制部材は、互い対向する対向面をそれぞれ有し、両対向面によって、前記変位部材の変位を規制するストッパ用隙間が形成される、ことを特徴とするロードセル。前記変位部材および前記規制部材は、互いに対向する前記対向面をそれぞれ二組有し、一方の組の両対向面によって形成されるストッパ用隙間と他方の組の両対向面によって形成されるストッパ用隙間とは、規制する前記変位部材の変位方向が逆である、請求項1に記載のロードセル。前記変位部材は、前記固定部材側へ向って延びる延長部を有し、前記規制部材は、前記変位部材側へ向って延びる延長部を有し、前記各延長部の上面または下面が、互いに対向する前記対向面となる、請求項1または2に記載のロードセル。前記ストッパ用隙間が、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工によって形成される、請求項1ないし3のいずれかに記載のロードセル。固定部と、変位可能な可動部と、前記固定部および前記可動部の上部を連結する上ビーム部と、前記固定部および前記可動部の下部を連結する下ビーム部とを有するロードセル本体と、前記ロードセル本体の前記可動部に取付けられて該可動部に連動して変位する変位部材と、前記ロードセル本体の前記固定部に取付けられて前記変位部材に当接してその変位を規制する規制部材とを有するストッパとを備えるロードセルの製造方法であって、前記ロードセル本体を製造する第1工程と、前記ストッパを形成するための素材を、前記変位部材と前記規制部材とに部分的に分断して、前記変位部材と前記規制部材との間に、前記変位部材の変位を規制するストッパ用隙間を、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工によって形成する第2工程と、前記ストッパ用隙間を形成した前記素材を、前記ロードセル本体に取付ける第3工程と、前記ロードセル本体に取付けた前記素材を、前記変位部材と前記規制部材とに完全に分断して前記ストッパとする第4工程と、を含むことを特徴とするロードセルの製造方法。前記ストッパを形成するための前記素材には、該素材を、前記変位部材と前記規制部材とに部分的に分断すると共に、前記第2工程で形成される前記ストッパ用隙間に連なる、切欠きおよび貫通孔の少なくともいずれか一方が予め形成されている、請求項5に記載のロードセルの製造方法。近年、ロードセルを用いた計量装置では、計量時間の短縮の要請が高まっており、応答性の良いロードセルが求められている。ロードセルの応答性を良くするためには、ロードセルの固有振動周期を短くする必要があり、したがって、ロードセルの固有振動数fを高める必要がある。ここで、ロードセルに負荷される荷重をF、荷重Fが負荷された可動部の変位量をδ、ロードセルの質量をM、ロードセルのバネ定数をkとすると、次の関係式で表される。k=F/δ...1f=1/2π√k/M...22式に1式を代入すると、f=1/2π√F/δMとなる。ロードセルの質量Mは一定であり、荷重Fに対して、固有振動数fを高めるには、変位量δ撓み量を小さくすればよいが、撓み量を小さくすると、その撓み量を規制するための上述の過負荷防止機構における隙間も小さくする必要がある。上述の特許文献1は、過荷重防止用凸部に対するボルトの突出量を調整して隙間を設定するものであり、例えば、0.6mm~1.0mm程度の従来の撓み量の場合には、手作業によって前記隙間を調整することも可能であるが、応答性の良いロードセルに要求される撓み量、例えば、0.05mm~0.1mm程度の撓み量の場合には、手作業によって前記隙間を調整するのは、極めて困難である。また、上述の特許文献2では、ロードセルの起歪体自体に隙間を形成するのであるが、応答性の良いロードセルに要求されるような微小な隙間を形成するのは容易でなく、特に、起歪体の厚みが20mm、30mmと厚くなってくると、一層困難となる。また、上述の特許文献3は、円柱状のストッパ部材の外周面と円形孔の内周面とによって隙間を形成するのであるが、円柱状のストッパ部材および円形孔の機械加工の誤差によって、前記隙間にばらつきが生じ、また、前記隙間が均等になるように、ストッパ部材をロードセルに組み付けるのは容易でなく、応答性の良いロードセルに要求されるような微小な隙間の場合に適用するのは困難である。本発明は、上述のような実情に着目してなされたものであって、過負荷防止のための微小な隙間を有するロードセルを低いコストで提供できるようにすることを目的とする。上記目的を達成するために、本発明では次のように構成している。1本発明のロードセルは、固定部と、変位可能な可動部と、前記固定部および前記可動部の上部を連結する上ビーム部と、前記固定部および前記可動部の下部を連結する下ビーム部とを有するロードセル本体と、該ロードセル本体に取付けられて前記可動部の変位を規制するストッパとを備えるロードセルであって、前記ストッパは、前記可動部に取付けられて該可動部に連動して変位する変位部材と、前記固定部に取付けられて前記変位部材に当接してその変位を規制する規制部材とを備え、前記変位部材および前記規制部材は、互い対向する対向面をそれぞれ有し、両対向面によって、前記変位部材の変位を規制するストッパ用隙間が形成される。本発明のロードセルによると、ロードセル本体の可動部に過大な荷重が作用すると、可動部に連動するストッパの変位部材が変位して、ストッパ用隙間を構成する規制部材の対向面に当接して、その変位が規制されるので、過負荷によるロードセル本体の破損を防止することができる。また、ストッパは、ロードセル本体とは別部材であるので、ストッパに、例えば、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工などの精密機械加工によって、微小なストッパ用隙間を形成し、このストッパ用隙間を形成したストッパを、ロードセル本体に取付けることができる。したがって、厚みのあるロードセル本体に、精密機械加工によって、微小なストッパ用隙間を形成する場合に比べて、加工時間を短縮することができ、コストを低減することができる。更に、ストッパは、該ストッパを形成するための素材を、変位部材と規制部材とに部分的に分断すると共に、ストッパ用隙間を形成し、変位部材と規制部材とが完全に分断されていない半製品状態のストッパを、ロードセル本体に取付け、その後、変位部材と規制部材とに完全に分断してストッパとするといったことが可能となる。このように、ストッパ用隙間が形成され、変位部材と規制部材とが完全に分断されていない半製品状態のストッパを、ロードセル本体に取付けるので、ストッパ用隙間を、安定に保持したままロードセル本体に取付けることができ、ストッパ用隙間の調整が不要となる。2本発明のロードセルの好ましい実施態様では、前記変位部材および前記規制部材は、互いに対向する前記対向面をそれぞれ二組有し、一方の組の両対向面によって形成されるストッパ用隙間と他方の組の両対向面によって形成されるストッパ用隙間とは、規制する前記変位部材の変位方向が逆である。この実施態様によると、互いに逆方向の変位を規制する二つのストッパ用隙間を備えているので、可動部への被計量物の荷重の作用方向およびその反対方向の変位をそれぞれ規制することができる。3本発明のロードセルの別の実施態様では、前記変位部材は、前記固定部材側へ向って延びる延長部を有し、前記規制部材は、前記変位部材側へ向って延びる延長部を有し、前記各延長部の上面または下面が、互いに対向する前記対向面となる。この実施態様によると、変位部材の延長部の例えば下面と、固定部材の延長部の例えば上面とを、互いに対向する対向面とし、両対向面によってストッパ用隙間を形成することができる。4本発明のロードセルの他の実施態様では、前記ストッパ用隙間が、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工によって形成される。この実施態様によると、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工によって微小なストッパ用隙間を形成することができるので、微小な隙間が要求される、撓み量が小さく、応答性の良いロードセルとして好適である。5本発明のロードセルの製造方法は、固定部と、変位可能な可動部と、前記固定部および前記可動部の上部を連結する上ビーム部と、前記固定部および前記可動部の下部を連結する下ビーム部とを有するロードセル本体と、前記ロードセル本体の前記可動部に取付けられて該可動部に連動して変位する変位部材と、前記ロードセル本体の前記固定部に取付けられて前記変位部材に当接してその変位を規制する規制部材とを有するストッパとを備えるロードセルの製造方法であって、前記ロードセル本体を製造する第1工程と、前記ストッパを形成するための素材を、前記変位部材と前記規制部材とに部分的に分断して、前記変位部材と前記規制部材との間に、前記変位部材の変位を規制するストッパ用隙間を、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工によって形成する第2工程と、前記ストッパ用隙間を形成した前記素材を、前記ロードセル本体に取付ける第3工程と、前記ロードセル本体に取付けた前記素材を、前記変位部材と前記規制部材とに完全に分断して前記ストッパとする第4工程と、を含むものである。本発明のロードセルの製造方法によると、第1工程でロードセル本体を製造し、第2工程で素材を変位部材と規制部材とに部分的に分断して、両部材間に、ストッパ用隙間を形成し、第3工程でロードセル本体に、変位部材と規制部材とが完全に分断されていない半製品状態のストッパを取付け、第4工程でロードセル本体に取付けた半製品状態のストッパを、変位部材と前記規制部材とに完全に分断してストッパとするので、ロードセル本体を製造するための加工と、ストッパを製造するための加工とを個別に並行して行うことができる。しかも、第2工程では、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工によってストッパ用隙間を形成するので、微小なストッパ用隙間を形成することができ、微小な隙間が要求される、撓み量が小さく、応答性の良いロードセルとして好適である。また、厚みのあるロードセル本体自体に、ストッパ用隙間を形成する場合に比べて、加工時間を短縮してコストを低減することができる。更に、第2工程では、ストッパを形成するための素材を、変位部材と規制部材とに部分的に分断してストッパ用隙間を形成した半製品の状態であり、変位部材と規制部材とは、完全に分断されておらず、連続しているので、第3工程では、ストッパ用隙間を安定に保持した状態で、ロードセル本体に取付けることができ、ロードセル本体に取付けた後に、ストッパ用隙間を調整する必要がない。6本発明のロードセルの製造方法の他の実施態様では、前記ストッパを形成するための前記素材には、該素材を、前記変位部材と前記規制部材とに部分的に分断すると共に、前記第2工程で形成される前記ストッパ用隙間に連なる、切欠きおよび貫通孔の少なくともいずれか一方が予め形成されている。この実施態様によると、ストッパを形成するための素材には、予め、変位部材と規制部材とに部分的に分断されているので、第2工程では、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工によってストッパ用隙間のみを形成すればよく、加工時間を短縮してコストを低減することができる。しかも、ロードセル本体に取付けた素材を、変位部材と規制部材とに完全に分断してストッパとする第4工程では、ストッパ用隙間に連なる切欠きや貫通孔に連なるように分断すればよく、分断の際の応力などが、切欠きや貫通孔で緩和され、ストッパ用隙間へ影響することがない。このように本発明のロードセルによれば、ロードセル本体の可動部に過大な荷重が作用すると、可動部に連動するストッパの変位部材が変位して、ストッパ用隙間を構成する規制部材の対向面に当接して、その変位が規制されるので、過負荷によるロードセル本体の破損を防止することができる。また、ストッパは、ロードセル本体とは別部材であるので、ストッパを形成するための素材を、変位部材と規制部材とに部分的に分断すると共に、ストッパ用隙間を形成し、変位部材と規制部材とが完全に分断されていない半製品状態のストッパを、ロードセル本体に取付け、その後、変位部材と規制部材とに完全に分断してストッパとするといったことが可能となる。ストッパ用隙間は、例えば、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工などの精密機械加工によって、微小な隙間を形成することができるので、微小な隙間が要求される、撓み量が小さく、応答性の良いロードセルとして好適である。また、厚みのあるロードセル本体自体に、精密機械加工によって、微小なストッパ用隙間を形成する場合に比べて、加工時間を短縮することができ、コストを低減することができる。本発明のロードセルの製造方法によると、第1工程で製造したロードセル本体に、第2工程で変位部材と規制部材とに部分的に分断して、両部材間に、ストッパ用隙間を形成した半製品状態のストッパを、第3工程で取付け、第4工程でロードセル本体に取付けた半製品状態のストッパを、変位部材と前記規制部材とに完全に分断してストッパとするので、ロードセル本体を製造するための加工と、ストッパを製造するための加工とを個別に並行して行うことができ、しかも、第2工程では、ワイヤーカット放電加工またはレーザ加工によってストッパ用隙間を形成するので、微小なストッパ用隙間を形成することができ、微小な隙間が要求される、撓み量が小さく、応答性の良いロードセルとして好適である。更に、厚みのあるロードセル本体自体にストッパ用隙間を形成する場合に比べて、加工時間を短縮してコストを低減することができる。また、第2工程では、ストッパを形成するための素材を、変位部材と規制部材とに部分的に分断してストッパ用隙間を形成した状態であって、変位部材と規制部材とは、完全に分断されておらず、連続しているので、ストッパ用隙間を安定に保持した状態で、ロードセル本体に取付けることができ、ロードセル本体に取付けた後に、ストッパ用隙間を調整する必要がない。以下、図面によって本発明の実施形態について詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態に係るロードセルの斜視図であり、図2は、その正面図であり、図3は、図2のA部分の拡大図である。この実施形態のロードセル1は、ロバーバル型のロードセル本体2と、このロードセル本体2の過負荷による破損を防止するためのストッパ3とを備えている。ロードセル本体2は、アルミニウムや鉄などの金属体から成り、計量装置の基台等のベースに固定される固定部4と、被計量物の荷重を受けて変位する可動部5と、前記両部4,5の上部および下部をそれぞれ連結する上ビーム部6および下ビーム部7と、各ビーム部6,7の左右方向図2の左右方向の二箇所にそれぞれ貼り付けられた歪検出素子としてのストレインゲージ8とを備えている。このロードセル本体2は、中空の直方体状に形成されると共に、ストッパ3を取付けるための取付け溝9が、前記ストッパ3の厚みに対応した深さで、左右方向に沿って形成されている。上下のビーム部6,7は、平行に等しい長さに形成され、その両端部には、上下方向の厚さが薄い左右一対の起歪部歪発生部10が所定の距離をもってそれぞれくびれ形成されており、撓み量を少なくして応答性を良くするために、一対の起歪部歪発生部10間の距離は、比較的短く設定されている。ストッパ3は、アルミニウムや鉄などの金属板、好ましくは、ロードセル本体2と同じ材質の金属板から成り、このストッパ3は、ロードセル本体2の可動部5側に取付けられて該可動部5に連動して変位する変位部材11と、固定部4側に取付けられて変位部材11に当接してその変位を規制する規制部材12とを備えている。変位部材11は、上部が規制部材12側へ向って延びる延長部11aを有しており、規制部材12は、下部が変位部材11側へ向って延びる延長部12aをそれぞれ有している。変位部材11の延長部11aの下面と規制部材12の延長部12aの上面とは、互いに対向して左右方向に延びており、その間には、図3の拡大図に示すように、変位部材11の下方への変位を規制する微小なストッパ用隙間Gが形成される。このストッパ用隙間Gは、後述のように、ワイヤーカット放電加工によって形成される。このストッパ用隙間Gの固定部4側の端部は、上下方向に延びて規制部材12と変位部材11の延長部11aとを分離する分離用隙間13に連なっている。ストッパ用隙間Gの可動部5側の端部は、規制部材12の延長部12aと変位部材11とを分離する分離用切欠き14に連なっている。次に、この実施形態のロードセル1の製造方法について説明する。この実施形態では、ロードセル本体2の製造とストッパ3の半製品の製造とを個別に行う。ロードセル本体2の製造は、基本的に従来と同様であって、直方体状の金属ブロック素材の中央部を、大きく切り抜き切削して中空部を形成し、上述の固定部4、可動部5、上下のビーム部6,7および薄肉の起歪部歪発生部10部をそれぞれ形成する。更に、図4の正面図aおよび側面図bに示すように、ストッパ3を取付けるための浅い矩形断面の取付け溝9を形成すると共に、可動部5及び固定部4にストッパ3の各部材11,12を取付けるための取付け孔15,16を左右に二つずつ形成する。一方、ストッパ3は、図5に示すように、矩形板状の素材17に、固定部4側に取付けるための二つの取付け孔18と、可動部5側に取付けるための二つの取付け孔19を形成し、更に、後述のようにストッパ用隙間Gの一端が連なると共に、分離用切欠き14の一部を構成する矩形の貫通孔20を形成する。次に、ワイヤーカット放電加工によって、図6に示すように、上下方向に延びる分離用隙間13を形成し、更に、分離用隙間13に連続して左右方向に延びるストッパ用隙間Gを、前記貫通孔20に連なるようにL字状に形成し、変位部材11と規制部材12とに完全に分離されていないストッパ3の半製品状態とする。ワイヤーカット放電加工は、ワイヤーと加工物との間に放電を生じさせて、その放電により加工を行うものであって、微小な間隔の隙間を容易に形成することができる精密加工である。このストッパ用隙間Gは、応答性の良いロードセルに要求される撓み量、例えば、0.05mm~0.1mm程度に対応した微小な隙間となっている。次に、半製品状態のストッパ3、すなわち、変位部材11と規制部材12とに分断されていない状態の素材17を、図7及び図8に示すように、ロードセル本体2の取付け溝9に嵌め込み、固定部4および可動部5にボルト21,22によって取付ける。次に、素材17を取付けた図8に示すロードセル本体を、図示しない治具に固定し、素材17の貫通孔20から素材17の下面に亘る図2に示される分離用切欠き14を、エンドミル等を用いた機械加工によって形成し、変位部材11と規制部材12とを完全に分断してストッパ3とする。その後、ストレインゲージ8をロードセル本体2に貼着して図1および図2のロードセル1を得る。この実施形態のロードセル1では、可動部5に被計量物の荷重が作用すると、可動部5が荷重に応じて撓んでストレインゲージ8に歪みが発生する。4つのストレインゲージ8がホイートストンブリッジ回路を構成するように結線することで、当該ロードセル1を備える計量装置では、前記回路から得られる荷重に応じた電圧信号に基づいて、被計量物の重量値を算出することができる。ロードセル1の可動部5に大きな荷重が作用すると、可動部5の変位量が大きくなり、この可動部5に取付けられているストッパ3の変位部材11の変位量も大きくなる。この変位部材11の下方への変位が、ストッパ用隙間G以上になると、変位部材11の延長部11aの下面が、規制部材12の延長部12aの上面に当接し、変位部材11の変位量、したがって、可動部5の変位量が、ストッパ用隙間G以下に制限され、過負荷によるロードセル1の破損を防止することができる。しかも、ストッパ3のストッパ用隙間Gは、ワイヤーカット放電加工によって形成されるので、微小な隙間とすることができ、ロードセル1は、撓み量が小さく、固有振動数の高い応答性の良いものとすることができる。これによって、ロードセル1を備える計量装置では、高速計量が可能となる。また、厚さの薄いストッパ3に、ストッパ用隙間Gを形成してロードセル本体2に取付けるようにしているので、例えば、厚さが厚いロードセル本体自体にワイヤーカット放電加工によってストッパ用隙間を形成するのに比べて、加工時間が短縮され、コストを低減することができる。さらに、ロードセル本体2とストッパ3の半製品とを並行して製作できるので、ロードセル1を得るための加工時間を一層短縮することができる。ストッパ用隙間Gが形成されたストッパ3の半製品は、図6に示すように、規制部材12と変位部材11とを分離する分離用切欠き14が形成されていない状態であるので、ストッパ用隙間Gを安定に保持したままロードセル本体2に取付けることができる。しかも、ロードセル本体2に取付けたストッパ3の半製品を、規制部材12と変位部材11に完全に分離してストッパ3を完成させるための分離用切欠き14は、半製品に既に形成されている貫通孔20に連続するように形成すればよく、ストッパ用隙間Gに直接連続するように形成する必要がないので、分離用切欠き14の形成が、ストッパ用隙間Gに影響を与えることがない。したがって、ロードセル1のストッパ用隙間Gを調整する必要がなく、隙間調整に要する時間が不要となり、コストの低減に有効である。実施形態2図9は、本発明の他の実施形態のロードセルの斜視図であり、図10は、その正面図である。上述の実施形態では、可動部5の下方への変位を規制したけれども、この実施形態では、下方および上方の変位を規制するものである。この実施形態のロードセル11は、上述の実施形態と同様のロードセル本体2と、該ロードセル本体2に取付けられて過負荷による破損を防止するためのストッパ31とを備えている。この実施形態のストッパ31は、ロードセル本体2の可動部5側に取付けられて該可動部5に連動して変位する変位部材111と、固定部4側に取付けられて変位部材111に当接してその変位を規制する規制部材121とを備えている。変位部材111は、上部および下部が規制部材12側へ向ってそれぞれ延びる上部延長部111aおよび下部延長部111bを有しており、規制部材121は、上下方向の中間部が変位部材111側へ向って延びる延長部121aを有している。変位部材111の上部延長部111aの下面と規制部材121の延長部121aの上面とは、互いに対向して左右方向に延びており、その間には、上述の実施形態と同様に、変位部材111の下方への変位を規制する微小な第1ストッパ用隙間G1が形成される。また、変位部材111の下部延長部111bの上面と規制部材121の延長部121aの下面とは、互いに対向して左右方向に延びており、その間には、変位部材111の上方への変位を規制する微小な第2ストッパ用隙間G2が形成される。これらストッパ用隙間G1,G2は、ワイヤーカット放電加工によって形成される。第1ストッパ用隙間G1の固定部4側の端部は、上下方向に延びて規制部材121と変位部材111の上部延長部111aとを分離する第1分離用隙間131に連なっている。第1ストッパ用隙間G1の可動部5側の端部と第2ストッパ用隙間G2の可動部5側の端部とは、上下方向に延びて規制部材121の延長部121aと変位部材111とを分離する第2分離用隙間132に連なっている。第2ストッパ用隙間G2の固定部4側の端部は、変位部材111の下部延長部111bと規制部材121とを分離する分離用切欠き141に連なっている。次に、この実施形態のロードセル11の製造方法について説明する。この実施形態では、上述の実施形態と同様に、ロードセル本体2の製造とストッパ31の半製品の製造とを個別に行う。ロードセル本体2の製造は、上述の実施形態と同様である。一方、ストッパ31は、図11に示すように、矩形板状の素材171に、固定部4側に取付けるための二つの取付け孔18と、可動部5側に取付けるための二つの取付け孔19を形成し、更に、後述のように第2ストッパ用隙間G2の一端が連なると共に、分離用切欠き141の一部を構成する矩形の貫通孔201を形成する。次に、ワイヤーカット放電加工によって、図12に示すように、上下方向に延びる第1分離用隙間131を形成し、更に、第1分離用隙間131に連続して左右方向に延びる第1ストッパ用隙間G1を形成する。更に、第1ストッパ用隙間G1に連続して上下方向に延びる第2分離用隙間132を形成し、更に、第2分離用隙間132に連続して左右方向に延びる第2ストッパ用隙間G2を前記貫通孔201に連なるように形成し、変位部材111と規制部材121とに完全に分離されていないストッパ3の半製品状態とする。次に、この半製品状態のストッパ31、すなわち、変位部材111と規制部材121とが分離されていない状態の素材171を、図13及び図14に示すように、ロードセル本体2の取付け溝9に嵌め込み、ボルト21,22によって取付ける。次に、素材171を取付けた図14に示されるロードセル本体2を、図示しない治具に固定し、素材171の貫通孔201から素材171の下面に亘る図10に示される分離用切欠き141を、エンドミル等を用いた機械加工によって形成し、変位部材111と規制部材121とを完全に分断してストッパ3とする。その後、ストレインゲージ8をロードセル本体2に貼着して図9および図10のロードセル11を得る。この実施形態のロードセル11では、可動部5に下向きの大きな荷重が作用したときには、上述の実施形態と同様に、変位部材111の下向きの変位が、上部延長部111aの下面と規制部材121の延長部121aの上面とによって形成される第1ストッパ用隙間G1によって規制される一方、可動部5に上向きの大きな荷重が作用したときには、変位部材111の上向きの変位が、下部延長部111bの上面と規制部材121の延長部121aの下面とによって形成される第2ストッパ用隙間G2によって規制され、過負荷によるロードセル1の破損を防止することができる。実施形態3図15は、本発明の更に他の実施形態のロードセルの斜視図であり、図16は、その正面図である。この実施形態のロードセル12は、ロードセル本体21と、該ロードセル本体21に取付けられて過負荷による破損を防止するためのストッパ32とを備えている。この実施形態のロードセル本体21は、ストッパ32の厚みに応じて取付け用溝91が深く形成されている以外は、上述の各実施形態と同様である。この実施形態のストッパ32は、ロードセル本体21の可動部5側に取付けられて該可動部5に連動して変位する変位部材112と、固定部4側に取付けられて変位部材112に当接してその変位を規制する規制部材122とを備えている。変位部材112は、上部および下部が規制部材12側へ向ってそれぞれ延びる上部延長部112aおよび下部延長部112bを有しており、規制部材122は、上下方向の中間部が変位部材112側へ向って延びる延長部122aを有している。変位部材112の上部延長部112aの下面と規制部材122の延長部122aの上面とは、互いに対向して左右方向に延びており、その間には、上述の実施形態と同様に、変位部材112の下方への変位を規制する微小な第1ストッパ用隙間G1が形成される。また、変位部材112の下部延長部112bの上面と規制部材122の延長部122aの下面とは、互いに対向して左右方向に延びており、その間には、変位部材112の上方への変位を規制する微小な第2ストッパ用隙間G2が形成される。これらストッパ用隙間G1,G2は、ワイヤーカット放電加工によって形成される。第1ストッパ用隙間G1の固定部4側の端部は、上下方向に切り欠かれて規制部材122と変位部材112の上部延長部112aとを分離する第1分離用切欠き23に連なっている。第2ストッパ用隙間G2の固定部4側の端部は、変位部材112の下部延長部112bと規制部材122とを分離する第2分離用切欠き24に連なっている。第1ストッパ用隙間G1の可動部5側の端部と第2ストッパ用隙間G2の可動部5側の端部とは、上下方向に延びて規制部材122の延長部122aと変位部材112とを分離する分離用貫通孔25に連なっている。この分離用貫通孔25は、中央の円形の貫通部分と、この貫通部分の上下からそれぞれ延びる縦長の各貫通部分とを有しており、上下の各貫通部分に、第1,第2ストッパ用隙間G1,G2の可動部5側の各端部が連なっている。次に、この実施形態のロードセル1の製造方法について説明する。この実施形態では、上述の実施形態と同様に、ロードセル本体21の製造とストッパ32の半製品の製造とを個別に行う。ロードセル本体21の製造は、図17の正面図aおよび側面図bに示すように、ストッパ32の取付け溝91を深く形成する以外は、上述の各実施形態と同様である。一方、ストッパ32は、図18の正面図aおよび側面図bに示すように、直方体状の素材172に、固定部4側に取付けるための二つの取付け孔181と、可動部5側に取付けるための二つの取付け孔191を形成する。また、後述のように各ストッパ用隙間G1,G2の各一端がそれぞれ連なる縦長の第1,第2分離用切欠き23,24を形成し、更に、各ストッパ用隙間G1,G2の各一端がそれぞれ連なると共に、分離用貫通孔25の一部をそれぞれ構成する縦長の長円形の第1,第2貫通孔26,27をそれぞれ形成する。次に、ワイヤーカット放電加工によって、図19に示すように、第1分離用切欠き23と第1貫通孔26とを繋ぐ第1ストッパ用隙間G1を左右方向に形成し、第2分離用切欠き24と第2貫通孔27とを繋ぐ第2ストッパ用隙間G2を左右方向に形成する。次に、ストッパ32の半製品、すなわち、変位部材112と規制部材122とが分離されていない状態の素材172を、図20に示すように、ロードセル本体2の取付け溝91に嵌め込み、ボルト21,22によって取付ける。次に、素材172を取付けた図20に示されるロードセル本体21を、図示しない治具に固定し、素材172の第1,第2貫通孔26,27に連なるように分離用貫通孔25を、エンドミル等を用いた機械加工によって形成し、変位部材112と規制部材122とを完全に分断してストッパ32とする。その後、ストレインゲージ8をロードセル本体21に貼着して図15および図16のロードセル12を得る。この実施形態では、第1,第2ストッパ用隙間G1,G2の部分のみをワイヤーカット放電加工によって形成するので、分離用隙間もワイヤーカット放電加工によって形成する実施形態に比べて加工コストを更に低減することができる。その他の実施形態上述の実施形態では、ボルトによってストッパをロードセル本体に固定的に取付けたけれども、本発明の他の実施形態として、溶接やカシメ等によってストッパをロードセル本体に固定的に取付けるようにしてもよい。上述の実施形態では、ロードセル本体2,21には、ストッパ3,31,33の厚みに応じた取付け溝9,91を形成したけれども、ストッパの厚みが比較的薄い場合には、取付け溝を形成することなく、ロードセル本体に取付けるようにしてもよい。上述の各実施形態では、ワイヤーカット放電加工によってストッパ用隙間G,G1,G2を形成したけれども、ワイヤーカット放電加工に代えて、レーザ加工によってストッパ用隙間を形成してもよい。また、分離用の切欠きや貫通孔の形状は、上述の実施形態に限らず、任意に選択することができる。"