真空室の内部においてワーク搬送機構によって搬送されるワークを検出するワーク検出機構であって、前記ワークを検出するセンサ部と、前記センサ部に接続され、前記センサ部からの信号を処理するセンサアンプ部と、前記センサアンプ部に電力を供給する電池部と、前記センサアンプ部からの信号を前記真空室の外部へと無線で送信する無線送信部と、を具備し、前記センサ部、前記センサアンプ部、前記電池部及び前記無線送信部は、前記ワーク搬送機構が有する1つのエンドエフェクタに設けられるとともに、当該エンドエフェクタ以外の部材には直接接続されていない、ワーク検出機構。前記真空室の外部から非接触方式にて供給されるエネルギーを電力に変換して前記電池部に充電する充電部をさらに具備し、前記充電部は、前記1つのエンドエフェクタに設けられるとともに、当該エンドエフェクタ以外の部材には直接接続されず、非接触方式で前記真空室の外部から前記充電部にエネルギーを供給して、電力を発生させて充電する、請求項1に記載のワーク検出機構。前記ワーク検出機構のうち前記センサ部以外の部分を1つの筐体で覆うとともに、前記1つの筐体を前記真空室の内部の空間との間で断熱する、請求項1又は請求項2に記載のワーク検出機構。前記1つの筐体を、前記エンドエフェクタの基端部に配置する、請求項3に記載のワーク検出機構。本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、エンドエフェクタの運動によってワーク検出機構の配線等が損傷することがなく、当該エンドエフェクタの運動が制限されることがないワーク検出機構を提供するものである。本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。即ち、請求項1においては、真空室の内部においてワーク搬送機構によって搬送されるワークを検出するワーク検出機構であって、前記ワークを検出するセンサ部と、前記センサ部に接続され、前記センサ部からの信号を処理するセンサアンプ部と、前記センサアンプ部に電力を供給する電池部と、前記センサアンプ部からの信号を前記真空室の外部へと無線で送信する無線送信部と、を具備し、前記センサ部、前記センサアンプ部、前記電池部及び前記無線送信部は、前記ワーク搬送機構が有する1つのエンドエフェクタに設けられるとともに、当該エンドエフェクタ以外の部材には直接接続されていないものである。請求項2においては、前記真空室の外部から非接触方式にて供給されるエネルギーを電力に変換して前記電池部に充電する充電部をさらに具備し、前記充電部は、前記1つのエンドエフェクタに設けられるとともに、当該エンドエフェクタ以外の部材には直接接続されず、非接触方式で前記真空室の外部から前記充電部にエネルギーを供給して、電力を発生させて充電するものである。請求項3においては、前記ワーク検出機構のうち前記センサ部以外の部分を1つの筐体で覆うとともに、前記1つの筐体を前記真空室の内部の空間との間で断熱するものである。請求項4においては、前記1つの筐体を、前記エンドエフェクタの基端部に配置するものである。本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。請求項1においては、ワーク検出機構が、エンドエフェクタとその他の部材に亘るようにして設けられることがないため、当該エンドエフェクタの運動によってワーク検出機構の配線等が損傷することがなく、当該エンドエフェクタの運動が制限されることがない。請求項2においては、真空室の外部の機器を直接接続することなく、電池部を充電することができる。請求項3においては、真空室内の輻射熱により筐体の温度が上昇し、各部分に不具合が生じるのを防止することができる。請求項4においては、ワーク検出機構を構成する部材1つの筐体に覆われた部材を、ワークと接触し難い位置に配置することで、当該部材の損傷を防止することができる。以下の説明においては、図中に示した矢印に従って前後方向、左右方向及び上下方向を規定する。以下ではまず、本発明の一実施形態に係るワーク検出機構90を具備するワーク搬送機構3について説明する。図1及び図2に示すワーク搬送機構3は、真空チャンバ1真空室の内部でワーク5例えば、シリコンウェハや太陽電池用ガラス基板等を搬送するものである。ワーク搬送機構3は、平面視略円形に配置された複数のロードロックチャンバ22の中央部に配置される真空チャンバ1の内部に配置される。ワーク搬送機構3は、所定のプログラム等に基づいて、一のロードロックチャンバ2から他のロードロックチャンバ2へとワーク5を搬送することができる。図3及び図4に示すワーク搬送機構3は、主として、固定部10、昇降軸20、旋回軸30、ガイド部40、第一リンクアーム部50、第二リンクアーム部60、第一エンドエフェクタ70、第二エンドエフェクタ80及びワーク検出機構90を具備する。図3に示す固定部10は、ワーク搬送機構3の主たる構造体となるものである。固定部10は、軸線方向を上下方向に向けた中空状の略円柱形状に形成される。固定部10の内部には、後述する昇降軸20を上下に昇降させるための昇降機構不図示が配置される。図4に示す昇降軸20は、中空状の固定部10内に挿入され、当該固定部10に対して上下方向に摺動可能となるように構成される。昇降軸20は、前記昇降機構により上下方向に昇降駆動される。昇降軸20の内部には、後述する旋回軸30を旋回させるための旋回用モータ21及び旋回用減速機22が配置される。旋回軸30は、昇降軸20内に挿入され、当該昇降軸20に対して回動旋回可能となるように構成される。旋回軸30は、旋回用減速機22を介して伝達される旋回用モータ21の駆動力によって旋回駆動される。旋回軸30の内部には、後述する第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80を摺動させるための摺動用モータ3131及び摺動用減速機3232が配置される。図3に示すガイド部40は、後述する第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80を案内するものである。ガイド部40は、旋回軸30の上端部に支持される。ガイド部40は長手方向を前後方向に向けて配置され、当該ガイド部40にはその長手方向に沿って第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80を案内するためのレールが形成される。図3及び図4に示す第一リンクアーム部5050は、摺動用モータ3131からの駆動力を第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80に伝達するためのものである。第一リンクアーム部5050の一端部は、旋回軸30に対して回動可能に連結されると共に、それぞれ摺動用減速機3232を介して摺動用モータ3131に連結される。第二リンクアーム部6060は、摺動用モータ3131からの駆動力を第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80に伝達するためのものである。第二リンクアーム部6060の一端部は、第一リンクアーム部5050の他端部に対して回動可能に連結される。第一エンドエフェクタ70は、ワーク5を載置する等して当該ワーク5を搬送するためのものである。第一エンドエフェクタ70は、主として基端部71及び載置部72を具備する。基端部71は、複数の板材等により構成され、長手方向を左右に向けて配置される。基端部71は、一方の第二リンクアーム部60の他端部に回動可能に連結されるとともに、ガイド部40のレールに沿って摺動可能となるように当該ガイド部40に支持される。載置部72は、4つの細長い棒状の部材により構成され、長手方向を前後に向けて基端部71の前端から前方に向けて延設される。第二エンドエフェクタ80は、ワーク5を載置する等して当該ワーク5を搬送するためのものである。第二エンドエフェクタ80は、主として基端部81及び載置部82を具備する。基端部81は、板材等により構成され、長手方向を左右に向けて配置される。基端部81は、他方の第二リンクアーム部60の他端部に回動可能に連結されるとともに、ガイド部40のレールに沿って摺動可能となるように当該ガイド部40に支持される。載置部82は、4つの細長い棒状の部材により構成され、長手方向を前後に向けて基端部81の前端から前方に向けて延設される。旋回軸30と第二リンクアーム部6060、第一リンクアーム部5050と第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80は、それぞれプーリ及びベルトによって連結されており、摺動用モータ3131の駆動力によって第一リンクアーム部5050が回動すると、それに伴って第二リンクアーム部6060、第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80が回動する。ワーク検出機構90は、第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80に載置されたワーク5を検出するためのものである。ワーク検出機構90の詳細な構成については後述する。次に、以上の如く構成されたワーク搬送機構3の動作態様について説明する。ワーク搬送機構3がワーク5を搬送しない場合、当該ワーク搬送機構3は作業原点姿勢図1及び図2参照にある。ワーク搬送機構3の作業原点姿勢とは、昇降軸20が最も下方に摺動し、第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80の長手方向が前後方向を向きより詳細には、基端部71及び基端部81が後方に、載置部72及び載置部82が前方に位置している状態、かつ第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80が最も後方まで摺動している状態である。ワーク搬送機構3によりワーク5を搬送する場合、図示せぬ昇降機構、旋回用モータ21及び摺動用モータ3131を駆動することで、第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80を適宜上下に昇降させ、載置部72及び載置部82を適宜の方向に向け、適宜摺動させることができ、この動作を繰り返すことによってロードロックチャンバ22内のワーク5を載置部72及び載置部82にそれぞれ載置し、他のロードロックチャンバ22へ搬送することができる。次に、ワーク検出機構90の構成について説明する。なお、ワーク検出機構90は、第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80にそれぞれ設けられるが、その構成は略同一であるため、以下では第一エンドエフェクタ70に設けられたワーク検出機構90についてのみ説明する。図5に示すワーク検出機構90は、第一エンドエフェクタ70に載置されたワーク5を検出するためのものである。ワーク検出機構90は、主としてセンサ部91、センサアンプ部92、電池部93、無線送信部94、アンテナ95、ソーラーパネル96、バッテリチャージャ97及び筐体98を具備する。図4及び図5aに示すセンサ部91は、投光部及び受光部を有し、当該投光部から照射されワーク5によって反射された光を当該受光部で受光することによって当該ワーク5を検出するものである。センサ部91は、第一エンドエフェクタ70の載置部72に配置される図4参照。図5aに示すセンサアンプ部92は、センサ部91に接続され、当該センサ部91からの信号を増幅する等の処理をするものである。センサアンプ部92は、光ファイバ等により構成される配線91aによってセンサ部91と接続される。配線91aは、第一エンドエフェクタ70の基端部71及び載置部72に沿うように又は、基端部71及び載置部72の内部に設けられる。電池部93は、センサアンプ部92に電力を供給するものである。電池部93は、センサアンプ部92と接続される。無線送信部94は、センサアンプ部92からの信号を真空チャンバ1の外部ワーク搬送機構3の制御部へと無線で送信するものである。無線送信部94は、センサアンプ部92及びアンテナ95とそれぞれ接続され、センサアンプ部92からの信号を、アンテナ95を介して無線で送信することができる。ソーラーパネル96は、光エネルギーを電力に変換するものである。ソーラーパネル96は、バッテリチャージャ97を介して電池部93と接続され、当該ソーラーパネル96で発電された電力は、バッテリチャージャ97を介して電池部93に充電される。なお、本実施形態においては、ソーラーパネル96及びバッテリチャージャ97によって本発明に係る充電部が構成されている。図4及び図5に示す筐体98は、センサアンプ部92、電池部93、無線送信部94、アンテナ95、ソーラーパネル96及びバッテリチャージャ97を覆う部材である。筐体98は、中空の略直方体形状に形成される。筐体98は、第一エンドエフェクタ70の基端部71の後端に固定される図3及び図4参照。図5aに示すように、筐体98の外壁の一部にはフィールドスルーユニット98a98aが設けられる。当該フィールドスルーユニット98a98aを介してセンサ部91とセンサアンプ部92とが配線91aで接続されると共に、無線送信部94とアンテナ95とが接続される。このようにフィールドスルーユニット98a98aを用いることで、筐体98の内部空間と真空チャンバ1内の空間真空空間とを遮断しながらも、所定の機器を接続することができる。また、筐体98の外壁の一部より詳細には、ソーラーパネル96と対向する部分には、透光部98bが設けられる。透光部98bはガラス等の光を透過することができる材料によって形成される。当該透光部98bを介して、筐体98の外部に配置された光源4からの光が筐体98の内部へと導入され、当該光はソーラーパネル96に照射される。図5bに示すように、光源4は、真空チャンバ1の外壁に配置される。当該光源4は、ワーク搬送機構3が作業原点姿勢にある場合において、筐体98より詳細には、筐体98の透光部98bと対向するように配置される。これによって、ワーク搬送機構3が作業原点姿勢にある際には、光源4からの光が透光部98bを介してソーラーパネル96に照射され、当該ソーラーパネル96によって発電された電力を電池部93に充電することができる。すなわち、真空チャンバ1の外部から非接触方式にて電池部93へと電力を供給充電することができる。そして、ワーク搬送機構3が作業原点姿勢にあるときのみ、光源4を作動させればよいので消費電力も低減できる。上述の如く構成されたワーク検出機構90において、センサ部91によってワーク5が第一エンドエフェクタ70上の所定の位置に存在するか、搬送中に脱落していないか等を検出することができ、当該検出信号を、無線送信部94を介して無線で外部へと常時送信することができる。真空チャンバ1の外部で当該検出信号を受信し、もしワーク5が所定の位置にない場合や、脱落している場合等は、すぐにワーク搬送機構3の動作を停止させることができる。また、ワーク検出機構90は電池部93の電力によって動作し、当該電力はワーク搬送機構3が作業原点姿勢にある場合にソーラーパネル96及びバッテリチャージャ97によって充電される。このように、ワーク検出機構90を構成する部材は、全て、ワーク搬送機構3において最も移動量及び運動量が大きい第一エンドエフェクタ70に設けられ、当該第一エンドエフェクタ70以外の部材には配線等の有線によって直接接続されず、無線でのみワーク搬送機構3の制御部と通信できる。したがって、第一エンドエフェクタ70がどのように運動しても、ワーク検出機構90の配線が引っ張られる等して損傷することがなく、また、当該損傷を防止するために第一エンドエフェクタ70の運動例えば、第一リンクアーム部50及び第二リンクアーム部60の回動範囲、旋回軸30の旋回範囲、昇降軸20の昇降範囲等を制限する必要もない。以上の如く、本実施形態に係るワーク検出機構90は真空チャンバ1真空室の内部においてワーク搬送機構3によって搬送されるワーク5を検出するワーク検出機構90であって、ワーク5を検出するセンサ部91と、センサ部91に接続され、センサ部91からの信号を処理するセンサアンプ部92と、センサアンプ部92に電力を供給する電池部93と、センサアンプ部92からの信号を真空チャンバ1の外部へと無線で送信する無線送信部94と、を具備し、センサ部91、センサアンプ部92、電池部93及び無線送信部94は、ワーク搬送機構3が有する1つの第一エンドエフェクタ70に設けられるとともに、当該第一エンドエフェクタ70以外の部材には直接接続されていないものである。このように構成することにより、ワーク検出機構90が、第一エンドエフェクタ70とその他の部材例えば、第二リンクアーム部60等に亘るようにして設けられることがないため、当該第一エンドエフェクタ70の運動によってワーク検出機構90の配線等が損傷することがなく、当該第一エンドエフェクタ70の運動が制限されることがない。また、複数の部材例えば、第一エンドエフェクタ70と第二リンクアーム部60等に亘るようにしてワーク検出機構90特に配線を設けることが無いため、例えば、各部材の内部に設けられた配線同士を接続するために当該各部材に孔を設け、配線を外部に引き出して接続する等の加工や作業をする必要も無く、当該部材の気密性を損なうことがない。また、ワーク検出機構90が第一エンドエフェクタ70に設けられているため、ワーク搬送機構3によるワーク5の搬送経路のいかなる位置においても、当該第一エンドエフェクタ70が搬送しているワーク5を検出することができる。したがって、ワーク5が脱落する等の異常事態が発生した際には、すぐにワーク搬送機構3を停止するなど、迅速な対応をすることができる。また、ワーク検出機構90は、真空チャンバ1の外部から非接触方式にて供給されるエネルギーを電力に変換して電池部93に充電する充電部ソーラーパネル96及びバッテリチャージャ97をさらに具備し、前記充電部は、1つの第一エンドエフェクタ70に設けられるとともに、当該第一エンドエフェクタ70以外の部材には直接接続されず、非接触方式で真空チャンバ1の外部から前記充電部にエネルギーを供給して、電力を発生させて充電するものである。このように構成することにより、真空チャンバ1の外部の機器を直接接続することなく、電池部93を充電することができる。したがって、充電または電力供給のための配線を真空チャンバ1の外部から直接ワーク検出機構90に接続する必要がなく、第一エンドエフェクタ70の運動が制限されることがない。また、上記実施形態図5参照においては、ワーク検出機構90は、充電部としてソーラーパネル96とバッテリチャージャ97を具備するものとしたが図5a参照、本発明はこれに限るものではない。例えば、図6aに示すように、ソーラーパネル96に替えて誘導コイル196を具備するものとしても良い。この場合、筐体98の外部に配置された磁場発生装置104に当該筐体98より詳細には、誘導コイル196を接近させることで電磁誘導によって発電し、当該発電された電力を電池部93に充電することができる。また、図6bに示すように、充電部としてのソーラーパネル96及びバッテリチャージャ97を設けない構成とすることもできる。この場合、電池部93は二次電池の替わりに一次電池とし、電力が無くなったら残量アラーム通知を行い、メンテナンスにて当該電池部93を別の新しいもの充電されたものと交換することで、引き続きワーク検出機構90を利用することができる。また、上記実施形態図5及び図6参照においては、センサアンプ部92や電池部93等は単に筐体98に覆われているものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、当該筐体98を真空チャンバ1の内部の空間との間で断熱する構成とすることも可能である。例えば、図7aに示すように、筐体98の外部をリフレクタ6で覆う構成とすることも可能である。これによって、真空チャンバ1内の輻射熱によって筐体98の内部の温度が上昇するのを防止することができ、ひいてはワーク検出機構90に温度上昇による不具合が生じるのを防止することができる。また、図7bに示すように、筐体98の外部又は、外周面に断熱材7を設ける構成とし、これによって筐体98の内部の温度が上昇するのを防止することもできる。また、図7cに示すように、筐体98の外部又は、外周面に断熱材7を設けると共に、さらにその外周からリフレクタ6で覆う構成とすることも可能である。これによって、筐体98の内部の温度が上昇するのをより効果的に防止することができる。以上の如く、本実施形態に係るワーク検出機構90は、ワーク検出機構90のうちセンサ部91以外の部分を1つの筐体98で覆うとともに、1つの筐体98を真空チャンバ1の内部の空間との間で断熱するものである。このように構成することにより、真空チャンバ1内の輻射熱により筐体98の温度が上昇し、各部分例えば、センサアンプ部92や電池部93等に不具合が生じるのを防止することができる。また、図8に示すように、筐体98の内部の温度が上昇するのを防止するために、冷却装置8を用いる構成とすることも可能である。この場合、冷却装置8としては熱吸収プレート等を用いることができる。当該冷却装置8は、ワーク搬送機構3が作業原点姿勢にある場合に、筐体98と近接するような位置に配置され、ワーク搬送機構3が作業原点姿勢にある場合には筐体98からの熱を吸収し、当該筐体98の内部の温度が上昇するのを防止することができる。なお、冷却装置8としては、熱吸収プレートの他に、熱吸収性の高い色黒色等の部材を用いることも可能である。また、上記実施形態においては、筐体98は、第一エンドエフェクタ70の基端部71の後端に固定される図3参照ものとしたが、本発明はこれに限るものではない。例えば、筐体98は、図9aに示すように第一エンドエフェクタ70の基端部71の側面側端に固定することや、図9bに示すように第一エンドエフェクタ70の基端部71の内側面に固定すること等が可能である。また、図示しないが、筐体98を第一エンドエフェクタ70の基端部71の上面に固定することも可能である。以上の如く、本実施形態に係るワーク検出機構90は、1つの筐体98を、第一エンドエフェクタ70の基端部71に配置するものである。このように構成することにより、ワーク検出機構90を構成する部材1つの筐体98に覆われた部材を、ワーク5と接触し難い位置に配置することで、当該部材の損傷を防止することができる。また、上記実施形態においては、ワーク搬送機構3の第一リンクアーム部50及び第二リンクアーム部60は、所定の回動範囲内でしか回動することができないが、本発明に係るワーク検出機構はこのようなワーク搬送機構3以外にも適用することができる。以下では、その一例として、ワーク搬送機構203について簡単に説明する。図10に示すワーク搬送機構203は、主として昇降軸220、旋回軸230、ガイド部40、第一リンクアーム部250250、第二リンクアーム部260260、第一エンドエフェクタ70、第二エンドエフェクタ80及びワーク検出機構90を具備する。昇降軸220は、中空状の略円柱形状に形成され、昇降機構不図示によって上下に昇降可能に構成される。昇降軸220の内部には、後述する旋回軸230を旋回させるための旋回用モータ221や旋回用減速機226が配置される。旋回軸230は、中空状の略箱状に形成され、昇降軸220に対して回動旋回可能となるように構成される。旋回軸230は、旋回用減速機226及びプーリ225224223222を介して伝達される旋回用モータ221の駆動力によって旋回駆動される。旋回軸230の内部及び下部には、後述する第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80を摺動させるための摺動用モータ231231が配置される。旋回軸230の昇降軸220に対する旋回可能な範囲角度は制限されることがなく、一方向に無限に旋回することが可能となっている。図10に示すガイド部40は、後述する第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80を案内するものである。ガイド部40は、旋回軸230の上端部に支持される。ガイド部40は長手方向を前後方向に向けて配置され、当該ガイド部40にはその長手方向に沿って第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80を案内するためのレールが形成される。図10に示す第一リンクアーム部250250は、摺動用モータ231231からの駆動力を第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80に伝達するためのものである。第一リンクアーム部250250の一端部は、摺動用減速機236236を介して旋回軸230に対して回動旋回可能に連結されると共に、当該摺動用減速機236及びプーリ235234233232を介して摺動用モータ231231に連結される。第二リンクアーム部260260は、摺動用モータ231231からの駆動力を第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80に伝達するためのものである。第二リンクアーム部260260の一端部は、第一リンクアーム部250250の他端部に対して回動可能に連結される。第一エンドエフェクタ70は、ワーク5を載置する等して当該ワーク5を搬送するためのものである。第一エンドエフェクタ70は、主として基端部71及び載置部72を具備する。基端部71は、複数の板材等により構成され、長手方向を左右に向けて配置される。基端部71は、一方の第二リンクアーム部260の他端部に回動可能に連結されるとともに、ガイド部40のレールに沿って摺動可能となるように当該ガイド部40に支持される。載置部72は、4つの細長い棒状の部材により構成され、長手方向を前後に向けて基端部71の前端から前方に向けて延設される。第二エンドエフェクタ80は、ワーク5を載置する等して当該ワーク5を搬送するためのものである。第二エンドエフェクタ80は、主として基端部81及び載置部82を具備する。基端部81は、板材等により構成され、長手方向を左右に向けて配置される。基端部81は、他方の第二リンクアーム部260の他端部に回動可能に連結されるとともに、ガイド部40のレールに沿って摺動可能となるように当該ガイド部40に支持される。載置部82は、4つの細長い棒状の部材により構成され、長手方向を前後に向けて基端部81の前端から前方に向けて延設される。このように構成されたワーク搬送機構203において、図示せぬ昇降機構によって昇降軸220が上下に昇降され、旋回用モータ221の駆動力によって旋回軸230が旋回し、摺動用モータ231の駆動力によって第一リンクアーム部250250が駆動する。また、このワーク搬送機構203においては、旋回軸230の旋回可能な範囲角度は制限されることがないため、一方向に無限に旋回するような動作も可能である。このように、一方向に無限に旋回する機構を有するワーク搬送機構203であっても、ワーク検出機構90は第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80に設けられ、当該第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80以外の部材には直接接続されていないため、当該第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80の運動によって当該ワーク検出機構90の配線等が損傷することがない。なお、センサ部91は、投光部及び受光部を有するものではなく、投光部及び受光部をそれぞれ別に設けることも可能である。また、センサ部91としては、光センサだけでなく、接触式のセンサ等、様々なセンサを用いることができる。また、筐体98の形状は直方体状に限るものではなく、様々な形状で構成することも可能である。また、ワーク搬送機構3及びワーク搬送機構203は一例であり、ワーク検出機構90は様々なワーク搬送機構に適用することが可能である。