太陽光の照射側から、第1透光性基板、太陽電池部、樹脂封止部、および第2透光性基板がこの順で配置された太陽電池モジュールであって、前記太陽電池部と前記樹脂封止部との境界から前記第2透光性基板の外側表面までの間に形成されたマーク部を備えることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項1に記載の太陽電池モジュールであって、前記マーク部は、前記樹脂封止部に形成されていることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項2に記載の太陽電池モジュールであって、前記樹脂封止部は、黒色のアイオノマー樹脂を封止樹脂としていることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項3に記載の太陽電池モジュールであって、前記封止樹脂は、カーボンブラックを含有することを特徴とする太陽電池モジュール。請求項2に記載の太陽電池モジュールであって、前記マーク部は、前記樹脂封止部に埋設された埋設部材に形成されていることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項2から請求項5までのいずれか一つに記載の太陽電池モジュールであって、前記マーク部に形成された文字の書体は、交差部を省いた形態とされていることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項1に記載の太陽電池モジュールであって、前記マーク部は、前記第2透光性基板に形成されていることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項7に記載の太陽電池モジュールであって、前記マーク部は、前記第2透光性基板の厚さの中央よりも前記外側表面の側に配置されていることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項1から請求項8までのいずれか一つに記載の太陽電池モジュールであって、前記マーク部は、銘板としての情報を表示していることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項1から請求項9までのいずれか一つに記載の太陽電池モジュールであって、前記マーク部は、電気的特性に関する情報を表示していることを特徴とする太陽電池モジュール。請求項1から請求項10までのいずれか一つに記載の太陽電池モジュールであって、前記マーク部は、2次元コードによる表示を含むことを特徴とする太陽電池モジュール。請求項1から請求項11までのいずれか一つに記載の太陽電池モジュールであって、前記太陽電池部は、薄膜太陽電池で構成されてあり、前記薄膜太陽電池は、前記第1透光性基板の側から透明電極層、光電変換層、および裏面電極層がこの順で積層されていることを特徴とする太陽電池モジュール。太陽光の照射側から、第1透光性基板、太陽電池部、樹脂封止部、および第2透光性基板がこの順で配置された太陽電池モジュールの製造方法であって、前記第2透光性基板を通して光ビームを照射することで前記太陽電池部と前記樹脂封止部との境界から前記第2透光性基板の外側表面までの間にマーク部を形成することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。請求項13に記載の太陽電池モジュールの製造方法であって、前記樹脂封止部は、カーボンブラックを含有してあり、前記光ビームは、前記カーボンブラックを変色させて前記マーク部に情報を表示することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。請求項13または請求項14に記載の太陽電池モジュールの製造方法であって、前記光ビームは、SHGレーザによって生成されることを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。近年の太陽電池モジュールでは、発電効率を上げるために非発電領域をできるだけ小さくすることが要請されている。したがって、規格に基づく事項の全てを表示する銘板を非発電領域に形成することは困難であり、また、非発電領域にはマークを形成する領域が確保できないという課題がある。また、必要な銘板を非発電領域に形成する場合は、発電領域が影響を受けて面積当たりの発電量が低減することになり、発電効率が低下するという課題がある。また、特許文献1のように受光面側に配置された透光性基板の内部へ刻印して銘板とした場合は、受光面側の透光性基板に対する刻印の変色加工による変化が少なく、目視での認識が困難であり、またカメラなどでの自動認識では、マークを判別するための閾値設定が困難であるといった課題がある。また、表裏両面の間に配置された封止部の封止樹脂に対してマークを形成する場合は、気泡対策が必要になるという課題がある。つまり、裏面側の透光性基板に対して内側に銘板を含むマーク加工を行う場合は、レーザ加工時に封止樹脂からガスが発生し、封止部封止樹脂の内部に気泡として残留する虞がある。したがって、気泡をできるだけ発生させないマーク形成のための加工技術の開発が要請されている。本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、受光面側の第1透光性基板と裏面側の第2透光性基板との間で樹脂封止された太陽電池部を覆う樹脂封止部と第2透光性基板とを含む領域の範囲内の適宜の位置に認識率の高いマーク部を設けることによって、発電領域発電量への影響および外部からのマーク部への影響を防止することが可能で、発電量の低減を防止した状態でマーク部の機械的強度を向上させ、耐久性、耐候性、信頼性を向上させる太陽電池モジュールを提供することを目的とする。また、本発明は、本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法であって、第2透光性基板を通して光ビームを照射し、樹脂封止部と第2透光性基板とを含む領域の範囲内にマーク部を形成することによって、認識率の高いマーク部を容易に、また、高精度に形成配置することができ、耐久性、耐候性、信頼性の高い太陽電池モジュールを生産性良く製造できる太陽電池モジュールの製造方法を提供することを他の目的とする。本発明に係る太陽電池モジュールは、太陽光の照射側から、第1透光性基板、太陽電池部、樹脂封止部、および第2透光性基板がこの順で配置された太陽電池モジュールであって、前記太陽電池部と前記樹脂封止部との境界から前記第2透光性基板の外側表面までの間に形成されたマーク部を備えることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、厚さ方向では太陽電池部と樹脂封止部との境界から第2透光性基板の外側表面までの間に認識率の高いマーク部を形成配置することから、平面方向では発電領域に制限されずに形成配置できるので、発電領域発電量への影響および外部からのマーク部への影響を防止することが可能となり、発電量の低減を防止した状態でマーク部の機械的強度を向上させ、耐久性、耐候性、信頼性を向上させる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記マーク部は、前記樹脂封止部に形成されていることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、第2透光性基板にマーク部を配置した場合に比較してマーク部に表示された情報を容易に認識できるので、認識率を向上させて、耐久性、耐候性、信頼性を維持することができる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記樹脂封止部は、黒色のアイオノマー樹脂を封止樹脂としていることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、樹脂封止部を黒色のアイオノマー樹脂で形成することから、樹脂封止部でのレーザに対する吸熱性を向上させるので、アイオノマー樹脂の変色を効果的に実現して高精度に情報を表示するマーク部とすることができる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記封止樹脂は、カーボンブラックを含有することを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、樹脂封止部封止樹脂にカーボンブラックを含有することから、レーザによるカーボンブラックの変色を効果的に発生させて情報をより鮮明に表示するマーク部とすることができ、目視による認識、カメラなどを用いた自動認識のいずれにおいても認識率を向上させる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記マーク部は、前記樹脂封止部に埋設された埋設部材に形成されていることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、樹脂封止部を形成する封止樹脂の温度耐性が十分でない場合でも、樹脂封止部に埋設された埋設部材にマーク部を形成することから、生産性、信頼性を向上させることができる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記マーク部に形成された文字の書体は、交差部を省いた形態とされていることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、マーク部をレーザ加工によって形成する場合でも、交差部が存在するときに比較してレーザ加工による発熱を抑制することから、樹脂封止部での気泡の発生を防止することができる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記マーク部は、前記第2透光性基板に形成されていることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、マーク部を第2透光性基板に形成することから、温度耐性の高いマーク部とすることができる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記マーク部は、前記第2透光性基板の厚さの中央よりも前記外側表面の側に配置されていることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、マーク部を第2透光性基板の厚さの中央よりも外側表面の側に配置することから、マーク部を形成するときの樹脂封止部および太陽電池部への影響を抑制して樹脂封止部および太陽電池部での損傷の発生を防止して歩留まりを向上させることができる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記マーク部は、銘板としての情報を表示していることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、銘板としての情報例えば製造元などを示すマーク部を外部から保護する形態で内包することから、銘板を外付けせずに銘板情報を表示できるので、製品の信頼性、取り扱いの容易性を向上させる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記マーク部は、電気的特性に関する情報を表示していることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、銘板を外付けせずに、電気的特性電気的仕様に関する情報を表示できるので、製品の信頼性、取り扱いの容易性を向上させる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記マーク部は、2次元コードによる表示を含むことを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、2次元コードを読み取るコード読取器を適用した自動的な読取が可能となることから、取り扱い、保守整備などへの対応を効率化することができる。本発明に係る太陽電池モジュールでは、前記太陽電池部は、薄膜太陽電池で構成されてあり、前記薄膜太陽電池は、前記第1透光性基板の側から透明電極層、光電変換層、および裏面電極層がこの順で積層されていることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールは、太陽電池部を薄膜太陽電池で構成することから、太陽電池部に必要な材料を抑制し、生産性を向上させることができる。本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、太陽光の照射側から、第1透光性基板、太陽電池部、樹脂封止部、および第2透光性基板がこの順で配置された太陽電池モジュールの製造方法であって、前記第2透光性基板を通して光ビームを照射することで前記太陽電池部と前記樹脂封止部との境界から前記第2透光性基板の外側表面までの間にマーク部を形成することを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、太陽電池部と樹脂封止部との境界から第2透光性基板の外側表面までの間に認識率の高いマーク部を容易に、また、高精度に形成配置することができるので、耐久性、耐候性、信頼性の高い太陽電池モジュールを生産性良く製造できる。本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法では、前記樹脂封止部は、カーボンブラックを含有してあり、前記光ビームは、前記カーボンブラックを変色させて前記マーク部に情報を表示することを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、光ビームを照射してカーボンブラックを変色させることによってマーク部を形成するので、認識率の高いマーク部を形成することができる。本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法では、前記光ビームは、SHGレーザによって生成されることを特徴とする。したがって、本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、光ビームをSHGレーザによって発生させるので、発熱を抑制して気泡の発生を防止することが可能となり、品質を向上させることができる。本発明に係る太陽電池モジュールによれば、太陽電池部と樹脂封止部との境界から第2透光性基板の外側表面までの間に形成されたマーク部を備えることから、発電領域発電量への影響および外部からのマーク部への影響を防止することが可能となり、発電量の低減を防止した状態でマーク部の機械的強度を向上させ、耐久性、耐候性、信頼性を向上させるという効果を奏する。本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法によれば、第2透光性基板を通して光ビームを照射することで太陽電池部と樹脂封止部との境界から第2透光性基板の外側表面までの間にマーク部を形成することから、認識率の高いマーク部を容易に、また、高精度に形成配置することができるので、耐久性、耐候性、信頼性の高い太陽電池モジュールを生産性良く製造できるという効果を奏する。以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。<実施の形態1>図1を参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法について説明する。図1は、本発明の実施の形態1に係る太陽電池モジュール1の要部を拡大して示す拡大断面図である。本実施の形態に係る太陽電池モジュール1は、太陽光の照射側から、第1透光性基板11、太陽電池部20、樹脂封止部30、および第2透光性基板12がこの順で配置積層されている。太陽電池モジュール1は、太陽電池部20と樹脂封止部30との境界30bから第2透光性基板12の外側表面12sまでの間に形成されたマーク部40具体的には、マーク部形成領域40rの範囲内の一部領域に形成される。を備える。マーク部40の具体例は、実施の形態2~実施の形態4などで説明するので図1では想像線2点鎖線で実施の形態2に対応する一例を示す。したがって、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1は、厚さ方向では太陽電池部20と樹脂封止部30との境界30bから第2透光性基板12の外側表面12sまでの間に認識率の高いマーク部40を形成配置することから、平面方向では発電領域に制限されずに形成配置できるので、発電領域発電量への影響および外部からのマーク部40への影響を防止することが可能となり、発電量の低減を防止した状態でマーク部40の機械的強度を向上させ、耐久性、耐候性、信頼性を向上させる。すなわち、外部に露出した形態の従来のマーク例えば銘板は、周囲の部材によって擦られたり、風雨に曝されたりして外部からの影響を強く受けることから経時変化を生じやすいが、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1によれば、太陽電池モジュール1の内側第2透光性基板12の外側表面12sから境界30bまでの間で発電に影響を与えない位置にマーク部40を内包した形態とすることから、発電量を低減しないで外部からの影響を排除し、耐久性、耐候性、信頼性を向上させることができる。なお、第1透光性基板11、第2透光性基板12は、例えばガラス板で構成され、太陽電池部20は、例えば第1透光性基板11に直接的に積層されて形成された薄膜太陽電池であり、樹脂封止部30は、例えばアイオノマー樹脂で形成されている。マーク部40は、銘板としての情報を表示していることが好ましい。つまり、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1は、銘板としての情報例えば製造元などを示すマーク部40を外部から保護する形態で内包することから、銘板を外付けせずに銘板情報を表示できるので、製品の信頼性、取り扱いの容易性を向上させる。例えば銘板銘板情報の表示例として形成されたマーク部40の具体例については、実施の形態2以下で更に説明する。マーク部40は、実施の形態2ではマーク部41図2A参照、実施の形態3ではマーク部43図3A参照、実施の形態4ではマーク部44図4A参照として示す。以下では、マーク部41、マーク部43、マーク部44を特に区別する必要がないときは、単にマーク部40とすることがある。また、太陽電池部20は、薄膜太陽電池で構成されていることが好ましい。薄膜太陽電池は、第1透光性基板11の側から透明電極層21、光電変換層23、および裏面電極層25がこの順で積層されている。したがって、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1は、太陽電池部20を薄膜太陽電池で構成することから、太陽電池部20に必要な材料を抑制し、生産性を向上させることができる。図1では、1個の太陽電池素子部20cと隣接して配置直列接続された他の太陽電池素子部20cについて、模式的に図示している。太陽電池素子部20cは、第1分離溝22、第2分離溝26によって隣接する他の太陽電池素子部20cと区分される。また、コンタクトライン24を介して隣接して配置される他の太陽電池素子部20cと直列に接続される。第1分離溝22は、透明電極層21に形成され、太陽電池素子部20cの基本的な領域領域区分を規定する。コンタクトライン24は、透明電極層21の両側に配置された第1分離溝22のいずれか一方の側で裏面電極層25が透明電極層21に接続するように形成され、裏面電極層25と透明電極層21との接続経路となる。第2分離溝26は、コンタクトライン24に隣接して配置され、光電変換層23および裏面電極層25を隣接する太陽電池素子部20cの光電変換層23および裏面電極層25から分離するように形成される。太陽電池素子部20cは、短冊状に形成され、相互に隣接する相互間でコンタクトライン24を介して直列に接続される。太陽電池素子部20cの直列接続によって高電圧を発生する太陽電池モジュール1が構成される。太陽電池素子部20cを直列接続して太陽電池モジュール1を構成する具体例については、実施の形態5で更に説明する。本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法は、第2透光性基板12を通して光ビーム不図示を照射することで太陽電池部20と樹脂封止部30との境界30bから第2透光性基板12の外側表面12sまでの間にマーク部40を形成する工程を有する。したがって、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法は、太陽電池部20と樹脂封止部30との境界30bから第2透光性基板12の外側表面12sまでの間に認識率の高いマーク部40を容易に、また、高精度に形成配置することができるので、耐久性、耐候性、信頼性の高い太陽電池モジュール1を生産性良く製造できる。なお、マーク部40を形成する工程は、第1透光性基板11、太陽電池部20、樹脂封止部30に対して第2透光性基板12を積層接着して太陽電池部20を内部に樹脂封止し、太陽電池モジュール1を形成した後に、外部から光ビーム例えばレーザビームを照射することによって実行される。光ビームは、焦点位置に配置された部材を加熱吸熱させることから、部材を変質変色、脱色、白濁などさせ、視認性の高いマーク部を形成することができる。なお、光ビームの焦点位置は、太陽電池モジュール1の厚さ方向で樹脂封止部30の適宜の位置に第1透光性基板11などに対して平行に規定できるので、光ビームの焦点位置樹脂封止部30に対応させて平面的なマーク部40を形成することができる。本実施の形態に係る太陽電池モジュール1、太陽電池モジュール1の製造方法は、概念として他の実施の形態を含むものであり、本実施の形態に係る具体例は他の実施の形態でそれぞれ説明される。また、太陽電池モジュール1の製造方法の詳細については、実施の形態5以下でさらに説明する。<実施の形態2>図2A、図2Bを参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法について説明する。基本的な構成は、実施の形態1と同様であるので適宜符号を援用し、主に異なる事項について説明する。なお、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法については、実施の形態6でさらに詳細を説明する。図2Aは、本発明の実施の形態2に係る太陽電池モジュール1の要部を拡大して示す拡大断面図である。図2Bは、図2Aの矢符B方向で見た太陽電池モジュール1のマーク部41マーク部40に形成された銘板の表示状態を拡大して示す平面図である。本実施の形態に係る太陽電池モジュール1では、マーク部41マーク部40は、樹脂封止部30に形成されている。したがって、太陽電池モジュール1は、第2透光性基板12にマーク部40を配置した場合実施の形態4参照に比較してマーク部41に表示された情報を容易に認識できるので、認識率視認性を向上させて、耐久性、耐候性、信頼性を維持することができる。樹脂封止部30は次の方法で形成される。すなわち、第1透光性基板11に太陽電池部20を積層状態で形成した後、カーボンブラック黒色カーボンを含有させた黒色のアイオノマー樹脂エチレンメタクリル酸共重合体の分子間を金属イオンで架橋したアイオノマー樹脂をシート状に成型した封止樹脂接着剤として太陽電池部20に重ね、更に第2透光性基板12をアイオノマー樹脂接着剤に重ねて配置する。第1透光性基板11、太陽電池部20、樹脂封止部30を形成する前の接着剤封止樹脂としてのアイオノマー樹脂、第2透光性基板12をこの順に積層した状態で真空ラミネート装置真空ラミネート工程によって例えば170°Cで加熱加圧する。真空ラミネート工程によって第1透光性基板11と第2透光性基板12との間で太陽電池部20を樹脂封止する樹脂封止部30が形成される。つまり、太陽電池モジュール1が完成状態となる。第2透光性基板12の側から樹脂封止部30に対してレーザ加工レーザ光によるマーキング加工を施すことによってマーク部41が銘板として形成される。本実施の形態では、樹脂封止部30は、黒色であるから、マーク部41銘板は、黒色の地色に対して黒色を変色して例えば灰色とした形態の情報文字、図形などで示される。樹脂封止部30は、黒色とされていることから、レーザ光の照射によって効果的に発熱し、容易にカーボンブラックを変色させることができ、認識率を向上させる。図2Bでは、図面の見やすさを考慮して、白色と黒色を反転して示している。つまり、背景を白色地色で示し、マーク部41マーク部40としての銘板の情報文字46、記号47、仕様文字48、2次元コード49を黒色で示すが、実際には、黒色の地色に情報文字46、記号47、仕様文字48、2次元コード49が黒色を変色した例えば灰色あるいは白濁色などで示される。なお、2次元コードには、バーコード、その他の平面コードが含まれる。特にバーコードは汎用性が高いこと、レーザ加工が容易であることから好ましい。なお、文字46は、例えば製造元、製品名、品番など、記号47は、例えば警告、特殊図形文字など、仕様文字48は、仕様電気的特性に関する情報などを表示させることができるが、これらに限るものではない。図2Bは、銘板の表示内容情報の例を示すだけであり、表示内容はこれらに限るものではない。上述したとおり、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1では、樹脂封止部30は、黒色のアイオノマー樹脂を封止樹脂としている。したがって、太陽電池モジュール1は、樹脂封止部30を黒色のアイオノマー樹脂で形成することから、樹脂封止部30でのレーザ光に対する吸熱性を向上させるので、レーザ光によるアイオノマー樹脂の変色を効果的に実現して高精度に情報を表示するマーク部40とすることができる。また、樹脂封止部30の形成に適用される封止樹脂アイオノマー樹脂は、カーボンブラックを含有することが好ましい。つまり、本実施の形態では、樹脂封止部30封止樹脂にカーボンブラックを含有することから、レーザ光によるカーボンブラックの変色を効果的に発生させて情報をより鮮明に表示するマーク部40とすることができ、目視による認識、カメラなどを用いた自動認識のいずれにおいても認識率を向上させる。また、マーク部41マーク部40は、銘板として形成されていることから銘板としての情報を表示している。したがって、マーク部41マーク部40は、銘板としての情報例えば製造元などを表示するマーク部41を外部から保護する形態で内包することから、銘板を外付けせずに銘板情報を表示できるので、製品の信頼性、取り扱いの容易性を向上させる。また、マーク部41マーク部40は、電気的特性に関する情報を表示している。したがって、太陽電池モジュール1は、銘板を外付けせずに、電気的特性電気的仕様に関する情報を表示できるので、製品の信頼性、取り扱いの容易性を向上させる。また、マーク部41マーク部40は、2次元コードによる表示を含む。したがって、太陽電池モジュール1は、2次元コードを読み取るコード読取器を適用した自動的な読取が可能となることから、取り扱い、保守整備などへの対応を効率化することができる。上述したとおり、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法では、樹脂封止部30は、カーボンブラックを含有してあり、光ビームレーザビームは、カーボンブラックを変色させてマーク部41に情報を表示する。したがって、太陽電池モジュール1の製造方法は、光ビームを照射してカーボンブラックを変色させることによってマーク部41を形成するので、認識率の高いマーク部41を形成することができる。<実施の形態3>図3A、図3Bを参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法について説明する。基本的な構成は、実施の形態1、実施の形態2と同様であるので適宜符号を援用し、主に異なる事項について説明する。なお、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法については、実施の形態7でさらに詳細を説明する。図3Aは、本発明の実施の形態3に係る太陽電池モジュール1の要部を拡大して示す拡大断面図である。図3Bは、図3Aの矢符B方向で見た太陽電池モジュール1のマーク部43マーク部40に形成された銘板の表示状態を拡大して示す平面図である。本実施の形態に係る太陽電池モジュール1では、マーク部43マーク部40は、樹脂封止部30に埋設された埋設部材42に形成されている。したがって、太陽電池モジュール1は、樹脂封止部30を形成する封止樹脂の温度耐性が十分でない場合でも、樹脂封止部30に埋設された埋設部材42によってマーク部43を形成することから、生産性、信頼性を向上させることができる。実施の形態2に示した樹脂封止部30へのマーク部41マーク部40の形成の場合と同様、本実施の形態でのマーク部43は、第2透光性基板12の側から埋設部材42に対してレーザ加工を施すことによって銘板として形成される。つまり、レーザ光の焦点を埋設部材42の位置に合わせることでレーザ加工が施される。なお、出力電気的特性などのデータは、機種毎に決定されることから、機種名と出力電気的特性などのデータ情報は、電気的特性を測定してからマーク部43へ記入される。これに対し、電気的特性とは関係の無い製造元のロゴタイプ、CEマーク、高圧注意などの予め特定されている情報に関連するマークは、事前に入れておいても良い。事前にマークしておくことによって、加工時特に、ハッチング加工が必要とされる領域への加工のタクトタイムを向上し、樹脂封止部30の内部で発生するガスが太陽電池モジュール1の内部で残留することを抑制することができる。つまり、埋設部材42に対して樹脂封止部30に埋設する前に予め特定されている一部の情報について事前にマーク部40を形成しておくことも可能である。埋設部材42としては、黒色に着色したPETポリエチレンテレフタレート、銅箔などを適用することができる。PETを黒色とすることによってレーザ加工による発熱を効果的に生じさせるので、認識率の高いマーク部40の形成を容易に効率的にすることができる。樹脂封止部30への埋設部材42の埋設は、第1透光性基板11、太陽電池部20が形成された状態に対して素子側絶縁シート32、埋設部材42、被覆絶縁シート33、第2透光性基板12を順次積層し、真空ラミネート装置真空ラミネート工程によって加熱加圧することで行われる。なお、素子側絶縁シート32、被覆絶縁シート33は、真空ラミネート工程での加熱加圧によって樹脂封止部30として一体化される。素子側絶縁シート32および被覆絶縁シート33の2層構成については、実施の形態7でさらに詳細を説明する。素子側絶縁シート32、被覆絶縁シート33は、例えばアイオノマー樹脂でシート状に成型され、透明とされている。被覆絶縁シート33は、レーザ加工による変色を防止するために薄く例えば300μm以下が好ましいことが実験的に確認できた。されている。埋設部材42の厚さは、真空ラミネート装置による真空ラミネート工程で埋設部材42の周囲の樹脂封止部30に気泡を生じないように例えば300μm以下とすることが好ましい。本実施の形態では、埋設部材42の厚さは、例えば50μmである。なお、被覆絶縁シート33は、太陽電池モジュール1の全面に対応させて配置した状態として示す図3Aが、埋設部材42の平面形状より若干大きい程度にして埋設部材42を被覆する形態実施の形態7参照とすることが、材料を削減する上では好ましい。マーク部43マーク部40の表示情報図3Bは、実施の形態2の場合と同様である。具体的には、埋設部材42を黒色としているので、埋設部材42の範囲内で実施の形態2と同様の表示状態となる。<実施の形態4>図4A、図4Bを参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法について説明する。基本的な構成は、実施の形態1ないし実施の形態3と同様であるので適宜符号を援用し、主に異なる事項について説明する。なお、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法については、実施の形態8でさらに詳細を説明する。図4Aは、本発明の実施の形態4に係る太陽電池モジュール1の要部を拡大して示す拡大断面図である。図4Bは、図4Aの矢符B方向で見た太陽電池モジュール1のマーク部44マーク部40に形成された銘板の表示状態を拡大して示す平面図である。本実施の形態に係る太陽電池モジュール1では、マーク部44マーク部40は、第2透光性基板12に形成されている。したがって、太陽電池モジュール1は、マーク部44マーク部40を第2透光性基板12に形成することから、樹脂封止部30の温度耐性に関係なくマーク部44を形成できるので、温度耐性の高いマーク部44とすることができる。なお、マーク部44は、ガラス板への加工であることから、変色ではなく、例えば白濁した状態となって視認が可能な状態となる。背景樹脂封止部30を黒色などにすることによって視認性を向上させることができる。樹脂封止部30は、レーザ加工とは無関係となることから、透明あるいは黒色のアイオノマー樹脂で形成されるが、上述したとおり、マーク部44の視認性を向上させるためには黒色その他の色を持たせた方が好ましい。背景を黒色とすることによって、第2透光性基板12にマーク部44を形成した場合に、認識率の高いマーク部44とすることができる。マーク部44は、第2透光性基板12の厚さの中央よりも外側表面12sの側に配置されている。したがって、太陽電池モジュール1は、マーク部44を第2透光性基板12の厚さの中央よりも外側表面12sの側に配置することから、マーク部44を形成するときの樹脂封止部30および太陽電池部20への影響を抑制して樹脂封止部30および太陽電池部20での損傷の発生を防止して歩留まりを向上させることができる。図4Bでマーク部44マーク部40が銘板として示す情報表示内容は、図2Bで示したマーク部41の情報、図3Bで示したマーク部43の情報に対して簡略化されている。ガラス板で構成された第2透光性基板12へのレーザ加工は、長時間が必要となることから、マーク部44銘板の表示内容を簡略化したものである。なお、マーク部44を簡略化した場合は、他の実施の形態で示したマーク部40マーク部41、マーク部43を併用することも可能である。図4Bは、銘板の表示内容情報を簡略化したときの一例を示すだけであり、表示内容はこれらに限るものではない。本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法では、第2透光性基板12の厚さの中央よりも外側に焦点位置を持たせてレーザ加工することが好ましい。焦点位置が第2透光性基板12の厚さの中央よりも樹脂封止部30の側にあると、樹脂封止部30への影響、さらには、太陽電池部20裏面電極、光電変換層への影響が生じ、太陽電池部20を破損する虞があるからである。マーク部44の第2透光性基板12の厚さ方向での位置は、第2透光性基板12の外側表面12sから、約0.5mm以上の深さの位置に焦点を持たせることが好ましい。外部からの機械的影響によって第2透光性基板12の外側表面12sが削られた場合でも、マーク部44が抹消される蓋然性を抑制するためである。したがって、第2透光性基板12の厚さを例えば約4mmとした場合は、マーク部44の位置は、外側表面12sから約0.5mmないし2mm程度とすることが好ましい。なお、第2透光性基板12に対して、第1透光性基板11、太陽電池部20、絶縁シート31図5B参照。樹脂封止部30、第2透光性基板12をこの順に積層した状態で真空ラミネート装置真空ラミネート工程によって加熱加圧する前に、あるいは、第2透光性基板12をセットする前に予めマーク部40の一部、特性検査結果による影響を受けない製造元のロゴタイプやCEマークなどの記号を形成しておくことも可能である。<実施の形態5>図5Aないし図5Dを参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法について説明する。基本的な構成は、実施の形態1ないし実施の形態4と同様であるので適宜符号を援用し、主に異なる事項について説明する。本実施の形態に係る太陽電池モジュール1は、実施の形態1ないし実施の形態4で示した太陽電池モジュール1と同様である。また、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法は、実施の形態1ないし実施の形態4で簡略化して示した太陽電池部20太陽電池素子部20cに対する樹脂封止部30、第2透光性基板12の積層方法、端子ボックス50の取り付け方法、マーク部40マーク部41、マーク部43、マーク部44の形成方法に関する。なお、本実施の形態に係る太陽電池部20は、実施の形態1で示したとおり、薄膜太陽電池で構成されていることが好ましい。図5Aは、本発明の実施の形態5に係る太陽電池モジュール1で第1透光性基板11に太陽電池部20薄膜太陽電池を形成した要部の状態を拡大して示す拡大断面図である。薄膜太陽電池太陽電池部20、太陽電池素子部20cは、第1透光性基板11の側から透明電極層21、光電変換層23、および裏面電極層25がこの順で積層されている。第1分離溝22は、透明電極層21を太陽電池素子部20c毎に分離し、第2分離溝26は、光電変換層23および裏面電極層25を太陽電池素子部20c毎に分離している。また、光電変換層23には、太陽電池素子部20cを相互に接続するコンタクトライン24が形成され、コンタクトライン24は、隣接する太陽電池素子部20cの相互間で、一方の透明電極層21に他方の裏面電極層25を接続している。太陽電池素子部20cは、第2分離溝26によって短冊状図5B参照に形成され、相互に隣接する太陽電池素子部20cが直列に接続されて太陽電池モジュール1が構成される。つまり、太陽電池素子部20cを直列接続して直列数に応じた出力電圧を発生する太陽電池モジュール1が構成される。図5Bは、本発明の実施の形態5に係る太陽電池モジュール1で樹脂封止部30を形成する絶縁シート31と絶縁シート31に積層される第2透光性基板12を分解して示す分解斜視図である。第1透光性基板11の両端に配置された太陽電池素子部20cの一方に集電電極15pプラスの集電電極が配置され、他方の太陽電池素子部20cに集電電極15mマイナスの集電電極が配置される。集電電極15p、集電電極15mには、それぞれ取り出しリード17が接続される。太陽電池素子部20cと取り出しリード17との間には、取り出しリード17を太陽電池素子部20cから絶縁する絶縁シート16が配置されている。取り出しリード17の先端は、取り出しリード17を外部へ導出するために太陽電池部20に対して垂直方向へ折り曲げられている。樹脂封止部30を形成する封止樹脂として作用する絶縁シート31には、取り出しリード17の先端を外部へ導く開口部31hが形成されている。また、透明電極層21にも取り出しリード17を外部へ導くリード接続穴12hが形成されている。したがって、取り出しリード17の先端は、開口部31hおよびリード接続穴12hを介して外部へ導出される図5C参照。絶縁シート31の具体的な形態は、実施の形態2ないし実施の形態4でそれぞれ異なる構成とされる。実施の形態2の場合は、絶縁シート31は、例えば黒色のアイオノマー樹脂をシート状に成型した封止樹脂接着剤とされる。実施の形態3の場合は、絶縁シート31は、素子側絶縁シート32および被覆絶縁シート33の2層で構成され、間に黒色の埋設部材42を挟んで積層される。つまり、埋設部材42が黒色で形成されレーザ加工によって埋設部材42にマーク部41が形成されることから、絶縁シート31素子側絶縁シート32、被覆絶縁シート33は、例えば透明なアイオノマー樹脂とされる。素子側絶縁シート32および被覆絶縁シート33の詳細については、実施の形態7で更に説明する。実施の形態4の場合は、絶縁シート31は、レーザ加工とは無関係となることから、例えばアイオノマー樹脂であれば、透明あるいは黒色のいずれでも良い。図5Cは、本発明の実施の形態5に係る太陽電池モジュール1で第1透光性基板11および第2透光性基板12を積層して樹脂封止部30を形成した状態を示す斜視図である。真空ラミネート工程によって、第1透光性基板11および第2透光性基板12は、太陽電池部20および樹脂封止部30を挟んで積層接着された状態となる。また、リード接続穴12hから取り出しリード17の先端が導出されている。図5Dは、本発明の実施の形態5に係る太陽電池モジュール1で端子ボックス50およびマーク部40を形成した後での第2透光性基板12の側の外観を示す平面図である。第1透光性基板11および第2透光性基板12を積層して接着した後、取り出しリード17の先端にモジュールリード51を接続し、取り出しリード17とモジュールリード51との接続部を第2透光性基板12に装着した端子ボックス50で被覆し、保護する。端子ボックス50からは、モジュールリード51が取り出され、他の太陽電池モジュール1との接続などに適用される。端子ボックス50を第2透光性基板12に接着実装した後、太陽電池モジュール1に対してマーク部40を形成する。マーク部40の具体的な構成は、実施の形態2ないし実施の形態4で示したとおりである。<実施の形態6>図6Aないし図17Cを参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法について説明する。本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法は、実施の形態1ないし実施の形態5で示した太陽電池モジュール1の更に具体的な構造および製造方法に関する特に実施の形態2、図2A、図2Bに対する詳細な実施の形態に相当する。ので、適宜符号を援用し、主に異なる事項について説明する。なお、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の太陽電池部20は、薄膜太陽電池として形成され、他の実施の形態にもそのまま適用される。また、以下では、完成前の状態を含めて太陽電池モジュール1とする。図6Aは、本発明の実施の形態6に係る太陽電池モジュール1の第1透光性基板11の側での概略状態を示す概略平面図である。図6Bは、本発明の実施の形態6に係る太陽電池モジュール1の第2透光性基板12の側での概略状態を示す概略平面図である。太陽電池モジュール1の太陽電池部20は、薄膜太陽電池とされている。したがって、第1透光性基板11の側では、第1透光性基板11を介して短冊状の太陽電池素子部20cが直列に配置されている状態が示される。なお、太陽電池素子部20cの間には、第1分離溝22が配置されている。第1透光性基板11をガラス板で形成していることから、太陽電池素子部20c太陽電池部20は、視認可能な状態であるが、図では、第1透光性基板11の裏側に位置することを考慮して破線で示している。また、第2透光性基板12の側では、樹脂封止部30が例えば黒色のアイオノマー樹脂で構成されていることから、黒色状態を示し、マーク部40を外部から視認することができる状態とされている。なお、マーク部40は、種々の状態で形成される実施の形態1ないし実施の形態4でのマーク部41、マーク部43、マーク部44を参照。ことから、図6Bでは破線で示す。第1透光性基板11、第2透光性基板12は、幅1000mm×長さ1400mm×厚さ4mm程度のガラス板からなる。太陽電池部20太陽電池素子部20cの周囲第1透光性基板11、第2透光性基板12の周辺端部には、太陽電池素子部20cを周囲から絶縁分離する絶縁分離領域28が形成されている。図7Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で第1透光性基板11に透明電極層21を積層したときの断面を示す断面図である。なお、図面の見やすさを考慮して断面でのハッチングを一部省略することがある以下の実施の形態において同様である。。図7Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で第1透光性基板11に透明電極層21を積層したときの断面を示す断面図である。透明電極層21は、第1透光性基板11の太陽電池部20が形成される側となる表面に熱CVD気相成長法によってSnO2を積層することによって形成される。図8Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で透明電極層21を第1分離溝22で分離したときの断面を示す断面図である。図8Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で透明電極層21を第1分離溝22で分離したときの断面を示す断面図である。YAGYttriumAluminumGarnetレーザ光の基本波波長1064nmの照射によって太陽電池素子部20cの長手方向以下、第1透光性基板11の長手方向という。に形成された第1分離溝22によって透明電極層21は、分離される。つまり、透明電極層21に形成された第1分離溝22によって太陽電池素子部20cに対応する領域が画定される。YAGレーザ光の基本波を第1透光性基板11の長手方向に移動させながら第1透光性基板11の側から透明電極層21へ照射することにより、YAGレーザ光の基本波が照射された部分の透明電極層21を除去して、透明電極層21を短冊状に分離する帯状の第1分離溝22が形成される。第1分離溝22を形成する光ビームとして、YVO4YttriumOrthovanadateレーザ光の基本波波長1064nmやファイバーレーザ光の基本波波長1064nmを用いても構わない。次に、第1分離溝22を形成した第1透光性基板11を純水で超音波洗浄した。図9Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で光電変換層23を形成したときの断面を示す断面図である。図9Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で光電変換層23を形成したときの断面を示す断面図である。第1分離溝22が形成された透明電極層21を覆うようにして、光電変換層23を形成した。光電変換層23は、先ず、p型の水素化アモルファスシリコン膜からなるp層、i型の水素化アモルファスシリコン膜からなるi層、およびn型の水素化アモルファスシリコン膜からなるn層をこの順序で積層してトップセルpin構造のアモルファスシリコン膜発電素子を形成し、次に、トップセルのn層上に、p型の微結晶シリコン膜からなるp層、i型の微結晶シリコン膜からなるi層、およびn型の微結晶シリコン膜からなるn層をこの順序で積層してボトムセルpin構造の微結晶シリコン膜発電素子を形成することにより形成した。つまり、光電変換層23として半導体光電変換層を用いることができ、例えば、第1透光性基板11の側から、アモルファスシリコン薄膜からなるp層、i層、およびn層をこの順に積層したトップセル第1光電変換層と、トップセルの上に、微結晶シリコン薄膜からなるp層、i層、およびn層をこの順に積層したボトムセル第2光電変換層とを積層して構成することができる。なお、アモルファスシリコン薄膜第1光電変換層、微結晶シリコン薄膜第2光電変換層は、例えばプラズマCVD法により形成することができる。また、光電変換層23としては、例えば、第1透光性基板11の側から、アモルファスシリコン薄膜からなるp層、i層、およびn層をこの順に積層したトップセル第1光電変換層と、トップセルの上に、アモルファスシリコン薄膜からなるp層、i層、およびn層をこの順に積層したミドルセル第2光電変換層と、ミドルセルの上に、微結晶シリコン薄膜からなるp層、i層、およびn層をこの順に積層したボトムセル第3光電変換層とを積層して構成することができる。なお、アモルファスシリコン薄膜第1光電変換層、第2光電変換層、微結晶シリコン薄膜第3光電変換層は、例えばプラズマCVD法により形成することができる。また、3層を越えた光電変換層を形成することもできる。また、第1光電変換層から第3光電変換層までの各光電変換層は、全て同種例えばp層としてのアモルファスシリコン薄膜に対するi層、n層としてのアモルファスシリコン薄膜のシリコン系半導体で形成されても良く、互いに異なる種類例えばp層としてのアモルファスシリコン薄膜に対するi層、n層としての微結晶シリコン薄膜のシリコン系半導体で形成されても良い。例えば、p型半導体層とi型半導体層を非晶質シリコンで形成し、n型半導体層を微結晶シリコンで形成しても良い。また、例えば、p型半導体層とn型半導体層をシリコンカーバイド又はシリコンゲルマニウムで形成し、i型半導体層をシリコンで形成してもよい。p型、i型、およびn型の各半導体層は、1層構造または複数層構造のいずれであっても良い。複数層構造の場合の各層は、互いに異なる種類のシリコン系半導体で形成されても良い。なお、アモルファスシリコン薄膜の概念には、シリコンの未結合手ダングリングボンドが水素で終端された水素化アモルファスシリコン系半導体a-Si:Hからなる薄膜が含まれる。微結晶シリコン薄膜の概念には、シリコンの未結合手ダングリングボンドが水素で終端された水素化微結晶シリコン系半導体μc-Si:Hからなる薄膜が含まれる。光電変換層23の厚みは、特には限定されず、例えば200nm以上5μm以下とすることができる。また、光電変換層23の形成方法は、プラズマCVD法に限定されるものではない。図10Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程でコンタクトライン24を形成したときの断面を示す断面図である。図10Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程でコンタクトライン24を形成したときの断面を示す断面図である。YAGレーザ光の第2高調波波長532nmを第1透光性基板11の長手方向に移動させながら第1透光性基板11の側から光電変換層23へ照射することにより、光電変換層23を短冊状に分離する帯状のコンタクトライン24を形成した。コンタクトライン24を形成する光ビームとしてYVO4レーザ光の第2高調波波長532nmを用いても構わない。図11Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で裏面電極層25を形成したときの断面を示す断面図である。図11Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で裏面電極層25を形成したときの断面を示す断面図である。コンタクトライン24が形成された光電変換層23を覆うようにして、裏面電極層25を形成した。裏面電極層25は、マグネトロンスパッタ法により、厚さ50nmのZnO酸化亜鉛膜を形成した後、厚さ125nmのAg銀膜を積層して形成した。図12Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で第2分離溝26を形成したときの断面を示す断面図である。図12Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で第2分離溝26を形成したときの断面を示す断面図である。YAGレーザ光の第2高調波を第1透光性基板11の長手方向に移動させながら第1透光性基板11の側から光電変換層23および裏面電極層25へ照射することにより、光電変換層23および裏面電極層25を短冊状に分離する帯状の第2分離溝26を形成した。第2分離溝26を形成する光ビームとしてYVO4レーザ光の第2高調波を用いても構わない。第2分離溝26の形成によって、第1透光性基板11の長手方向に直交する方向図12Aの図面では、左右方向に複数の太陽電池素子部20cが形成され、各太陽電池素子部20cは、隣接する他の太陽電池素子部20cに対して直列に接続された状態となる。つまり、電気的に直列に接続された複数の太陽電池素子部20cによって太陽電池部20太陽電池ストリングが形成された。図13Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で周縁溝27を形成したときの断面を示す断面図である。図13Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で周縁溝27を形成したときの断面を示す断面図である。YAGレーザ光の第2高調波を照射して第1透光性基板11の長手方向に直交する方向に周縁溝27を形成した。周縁溝27は、裏面電極層25、光電変換層23を削除して形成される。図14Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で絶縁分離領域28を形成したときの断面を示す断面図である。図14Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で絶縁分離領域28を形成したときの断面を示す断面図である。太陽電池ストリング太陽電池素子部20cが直列接続されて形成された太陽電池部20の周囲を取り囲むようにしてYAGレーザ光の基本波を移動させながら照射レーザ光の照射幅:650μmすることにより、透明電極層21、光電変換層23、裏面電極層25をそれぞれ除去して絶縁分離領域28を形成した。絶縁分離領域28は、第1透光性基板11の端から透明電極層21、光電変換層23、裏面電極層25を幅12mm程度削除して形成される。なお、絶縁分離領域28を形成する光ビームとしてYVO4レーザ光の基本波を用いても構わない。図15Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で集電電極15p、集電電極15mを形成したときの断面を示す断面図である。図15Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で集電電極15p、集電電極15mを形成したときの断面を示す断面図である。太陽電池ストリング太陽電池部20の両端に位置する太陽電池素子部20cの一方に集電電極15p、他方に集電電極15mを形成した。集電電極15p、集電電極15mは、銀ペーストからなる金属ペースト14を介して太陽電池素子部20cの裏面電極層25に接続されている。また、集電電極15p、集電電極15mは、太陽電池素子部20cの長手方向に伸長させて配置されている図5B参照。図16Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で樹脂封止部30、第2透光性基板12を積層し、接着したときの断面を示す断面図である。図16Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程で樹脂封止部30、第2透光性基板12を積層し、接着したときの断面を示す断面図である。第1透光性基板11、太陽電池部20の積層体に対して、樹脂封止部30、第2透光性基板12を重ねて太陽電池部20を樹脂封止し、太陽電池モジュール1を形成する。エチレンメタクリル酸共重合体の分子間を金属イオンで架橋したアイオノマー樹脂に黒色カーボンを含有させて黒色とし、シート状に成型した封止樹脂としての絶縁シート31図5B参照を太陽電池部20に重ねて配置し、次に厚さ3.2mmの強化バックガラス第2透光性基板12を絶縁シート31に重ねた後、真空ラミネート装置真空ラミネート工程によって、太陽電池部20に樹脂封止部30、第2透光性基板12を積層し、接着した。図17Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程でマーク部41マーク部40を形成したときの断面を示す断面図である。図17Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程でマーク部41マーク部40を形成したときの断面を示す断面図である。図17Cは、図17Aでマーク部41マーク部40の形成条件を変更したときに発生した気泡の状態を示す平面図である。太陽電池モジュール1の第2透光性基板12に端子ボックス50図5D参照を装着し、端子ボックス内をシリコーン樹脂図示せずで充填し、最終出力検査を行う。なお、シリコーン樹脂を充填する前に出力検査を実施しても良い。その後、マーク部41マーク部40をレーザ加工によって形成する。本実施の形態では、マーク部40は、樹脂封止部30に形成されることから、マーク部41として示す。マーク部41は、黒色の樹脂封止部30に形成されることから視認性を向上させて高い認識率を実現することができる。樹脂封止部30に第2透光性基板12の側からレーザ加工を施し、マーク部41を形成する。マーク部41の厚さ方向での位置は、第2透光性基板12に近い側にレーザ光の焦点を合わすことが好ましい。レーザ光の熱の影響を太陽電池部20に与えないためである。なお、マーク部41は、銘板として形成されている。銘板の表示態様は、例えば実施の形態2の図2Bに示したとおりである。使用するレーザ光として、YVO4レーザの第二高調波波長532nmを用いた。YAGレーザの第二高調波波長532nmでも構わない。つまり、SHGSecondHarmonicGenerationレーザを適用することができる。なお、SHGレーザとは、基本波長例えば、YVO4レーザの基本波長1064nmに対して第2高調波の波長1064nmに対して第二高調波波長532nmを発生する第2高調波発生レーザである。本願発明者は、各レーザの基本波波長1064nmと同じ赤外領域にあるレーザ光で加工を行うと、レーザ光による熱の影響を受けて樹脂封止部30で発生するガス量が増加し、レーザ加工を行った領域にガス溜まりが発生しやすい傾向があることを新たに知見した。ガス溜まりは、外部から気泡41b図17Cとして視認され、外観不良、視認性低下認識率低下を生じる虞がある。したがって、700nm以下の波長帯のレーザ光で加工を行うことによって加工マージン幅をとりやすい。例えば、YVO4レーザの第三高調波波長355nmなどでも加工を行うことが可能である。マーク部41を形成するときの加工条件として、加工点パワーが1.5W、繰り返し周波数30KHz、加工速度1000mm/sとした。加工点のエネルギー密度J/mm2としては、0.015J/mm2~0.07J/mm2の間が好ましい。0.015J/mm2未満だと加工のマージンが減少し、また、変色性発色性に乏しく、文字の認識性が乏しくなる。また、0.07J/mm2を超えると気泡が発生しやすくなる。ただし、このときの加工条件は第二高調波532nmのレーザ光を黒色のアイオノマー樹脂に適用した場合の条件である。光学走査系としては、ガルバノスキャナ方式がタクト的に有利である。上述したとおり、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法では、光ビーム加工レーザ加工によってマーク部40を形成するとき、光ビームは、SHGレーザによって生成されることが好ましい。つまり、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の製造方法は、光ビームをSHGレーザによって発生させるので、発熱を抑制して気泡の発生を防止することが可能となり、品質、認識率を向上させることができる。<実施の形態7>図18A、図18Bを参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法について説明する。本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法は、実施の形態1ないし実施の形態6で示した太陽電池モジュール1の更に具体的な構造および製造方法に関する特に実施の形態3、図3A、図3Bに対する詳細な実施の形態に相当する。ので、適宜符号を援用し、主に異なる事項について説明する。なお、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の太陽電池部20は、薄膜太陽電池として形成されている。なお、以下では、完成前の状態を含めて太陽電池モジュール1とする。図18Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程でマーク部43マーク部40を形成したときの断面を示す断面図である。図18Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程でマーク部43マーク部40を形成したときの断面を示す断面図である。本実施の形態では、樹脂封止部30に対するレーザ加工によって直接マーク部41マーク部40を形成する実施の形態2、実施の形態6のではなく、樹脂封止部30素子側絶縁シート32、被覆絶縁シート33に埋設部材42を埋め込んで、埋設部材42に対してレーザ加工を施してマーク部43マーク部40を形成した。埋設部材42は、100mm角で厚さ50μmの黒色PET実施の形態3参照である。埋設部材42を黒色とすることで、マーク部43の視認性を向上させて高い認識率を実現することができる。素子側絶縁シート32の上に埋設部材42を配置し、埋設部材42を覆う形態で被覆絶縁シート33を配置し、更に第2透光性基板12を重ねた状態で太陽電池モジュール1を真空ラミネート装置真空ラミネート工程によって加熱加圧処理を施す。真空ラミネート工程によって、埋設部材42は、樹脂封止部30素子側絶縁シート32、被覆絶縁シート33に埋め込まれる。なお、素子側絶縁シート32および被覆絶縁シート33は、真空ラミネート工程で一体化され樹脂封止部30を構成する。被覆絶縁シート33は、埋設部材42を完全に被覆するため埋設部材42より大きい平面形状であり、具体的には125mm角である。また、被覆絶縁シート33は、エチレンメタクリル酸共重合体の分子間を金属イオンで架橋したアイオノマー樹脂を透明なシート状に成型し、厚さ100μmとした。YVO4レーザの第二高調波532nmをレーザ光として用い、マーク部43を形成するときの加工条件として、加工点パワー0.4W、繰り返し周波数30KHz、加工速度1000mm/sとした。なお、埋設部材42の上に被覆絶縁シート33が無い場合、埋設部材42は、第2透光性基板12ガラス板との接着性が無いことから第2透光性基板12と分離した状態を維持する。したがって、外観も明瞭とならず、また、レーザ加工を施したときに発生したガス気泡がさらに視認性を悪くする。したがって、埋設部材42を被覆する被覆絶縁シート33を用いることが好ましい。また、埋設部材42の厚さは、300μm以下が好ましい。300μmを超えると埋設部材42の周辺に真空ラミネート工程で気泡が発生する原因となるからである。また、被覆絶縁シート33の厚さは、300μmを超えると透明な被覆絶縁シート33にもレーザ光によりわずかな変色が生じる虞があるから、300μm以下が好ましい。被覆絶縁シート33は、使用するレーザ光の波長帯に対して、吸収が少ない材料を選定することが好ましい。また、上述したとおり、本実施の形態に係る被覆絶縁シート33は、埋設部材42より、少し大きめのサイズとしている。第1透光性基板11、第2透光性基板12、樹脂封止部30絶縁シート31の全体1000mm×1400mmを被覆する形態とすることも可能であるが、材料コストを考慮すると部分的に配置する方が好ましい。埋設部材42としては、PET以外に銅箔などが適用可能である。つまり、レーザ加工によってマーキング加工が可能な材料であれば良い。なお、マーク部43は、銘板として形成されている。銘板の表示形態は、例えば実施の形態3の図3Bに示したとおりである。<実施の形態8>図19A、図19Bを参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法について説明する。本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法は、実施の形態1ないし実施の形態7で示した太陽電池モジュール1の更に具体的な構造および製造方法に関する特に実施の形態4、図4A、図4Bに対する詳細な実施の形態に相当する。ので、適宜符号を援用し、主に異なる事項について説明する。なお、本実施の形態に係る太陽電池モジュール1の太陽電池部20は、薄膜太陽電池として形成されている。なお、以下では、完成前の状態を含めて太陽電池モジュール1とする。図19Aは、図6Aの矢符A-A方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程でマーク部44マーク部40を形成したときの断面を示す断面図である。図19Bは、図6Aの矢符B-B方向で見た太陽電池モジュール1の製造工程でマーク部44マーク部40を形成したときの断面を示す断面図である。本実施の形態では、樹脂封止部30に対するレーザ加工によって直接マーク部41マーク部40を形成する実施の形態2、実施の形態6のではなく、ガラス板で形成された第2透光性基板12の内部にレーザ加工を施してマーク部44マーク部40を形成した。ガラス板へのレーザ加工であることから、白濁した状態として視認することが可能な状態となる。樹脂封止部30を黒色とすること、あるいは適宜の色彩を持たせることによって第2透光性基板12にマーク部40マーク部44を形成した場合でも、マーク部44の視認性を向上させて高い認識率を実現することができる。YVO4レーザの第二高調波532nmをレーザ光として用い、マーク部43を形成するときの加工条件として、加工点パワー2.5W、繰り返し周波数20KHz、加工速度250mm/sとした。なお、レーザ加工を行う焦点位置は、ガラス板の厚さの中央中央面12cより外側、つまり、樹脂封止部30から離れた側に焦点位置を合わせることが好ましい。理由は、本実施の形態での加工点のエネルギー密度は、0.410J/mm2と高いことから、焦点位置が樹脂封止部30の側にあると樹脂封止部30も熱の影響を与える虞があるからである。また、樹脂封止部30が透明な場合、レーザ光が透過して裏面電極層25に形成された銀電極を損傷し、損傷した部分から光電変換層23および裏面電極層25が剥離する虞があるからである。レーザ光が太陽電池部20裏面電極層25に影響を及ぼすことへの対策という観点からは、樹脂封止部30は、黒色とすることが好ましい。ガラス板へ直接レーザ加工する場合に必要となる加工時間は、他の実施の形態に比較して長くなる。したがって、マーク部44をできるだけ簡略化して小型化することが好ましい、例えば、社名、型番および2次元コードのみをマーク部44としてレーザ加工を施し、その他の情報文字情報、仕様文字情報などは、樹脂封止部30へのレーザ加工によってマーク部41として形成するなど、他の実施の形態でのマーク部40の形態と組み合わせても良い。他の実施の形態でのマーク部40に対するレーザ加工を併用する場合は、波長が同一のレーザ加工とし、加工条件を変更することで対応できるようにすることが、設備コストなどの観点から好ましい。なお、マーク部44は、銘板として形成された。銘板の表示形態は、例えば実施の形態4の図4Bに示したとおりである。<実施の形態9>図20Aないし図20D、図21Aないし図21C、図22Aないし図22Cを参照して、本実施の形態に係る太陽電池モジュール、太陽電池モジュールの製造方法レーザ光の走査方法について説明する。本実施の形態に係る太陽電池モジュール、および太陽電池モジュールの製造方法は、実施の形態1ないし実施の形態8で示した太陽電池モジュール1に対して施すレーザ加工でのレーザ光の制御方法レーザ光の走査方法に関するので、適宜符号を援用し、主に異なる事項について説明する。なお、以下では、主に文字46を例示して説明するが、図形に対しても同様に適用することができる。図20Aないし図20Dは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成されるレーザ光加工部60の状態を説明する模式図である。図20Aは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成された文字Aについてのレーザ光加工部60を示す模式図である。図20Bは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成された文字Bについてのレーザ光加工部60を示す模式図である。図20Cは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成された文字Cについてのレーザ光加工部60を示す模式図である。図20Dは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成された文字Tについてのレーザ光加工部60を示す模式図である。文字46についてレーザ加工を施した状態をレーザ光加工部60として示す。例えば文字46としてのABTなどは、文字を表す線の中に相互に交差する部分交差部60cが存在するが、例えば文字46としてのCなどは、文字を表す線の中に相互に交差する部分交差部60cが存在しない。文字46をレーザ加工でマーク部40に形成記載、刻印するとき、交差部60cでは、本来の文字の線と同様にレーザ光が交差することになる。本願発明者は、交差部60cでは、レーザ光の熱による影響が大きくなり、例えば気泡の発生をもたらす虞があることを新たに知見した。そこで、文字46を表す線が互いに交差する場合は、交差部60cでのレーザ光の交差が生じないようにレーザ光の走査制御を行う。すなわち、交差部60cでレーザ光加工部60が交差しないように交差点回避走査をレーザ光に施す。具体的には、文字46が有する交差部60cの部分領域に対しては、レーザ光の照射レーザ加工を停止すれば良い。つまり、本実施の形態では、マーク部40に形成された文字46の書体は、交差部60cを省いた形態とされている。したがって、太陽電池モジュール1は、マーク部40をレーザ加工によって形成する場合でも、交差部60cにレーザ加工を施す場合に比較してレーザ加工による発熱を抑制することから、樹脂封止部30での気泡の発生を防止することができ、視認性を向上させて高い認識率のマーク部40を実現することができる。すなわち、交差部60cに対するレーザ光の照射を施さないレーザ加工交差点回避加工によって、熱の影響を抑えることが好ましい。また、文字46を太くする必要があるときは、例えば第1走査線61、第2走査線62、第3走査線63として示すとおり、レーザ光を複数回平行に隣接走査させて文字46を加工記載することによって太い文字46の形成が可能となる。なお、図20Aないし図20Dでは、3本の走査線で文字46A、B、C、Tを加工した場合を示しているが、幅広とする場合の走査線は、3本の走査線に限るものではなく、必要に応じた本数の走査線を適用することが可能である。なお、第1走査線61、第2走査線62、第3走査線63は、単に複数の走査線によってレーザ加工が施されることを示すものであり、複数の走査線を相互に区別するための記載に過ぎない。交差部60cが存在する文字46に対して、交差点回避加工ではなく、レーザ光の加工条件である加工点パワーを交差部60cで抑制して加工することによっても、レーザ光の熱の影響を抑制することができ、交差部60cを構成しない場合と同様の効果が得られる。図21Aないし図21Cは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成されるレーザ光加工部60の状態を説明する模式図である。図21Aは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成される幅広の文字Hを往復走査線64で加工したときのレーザ光加工部60を示す模式図である。図21Bは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成される幅広の文字Hを並行走査線65で加工したときのレーザ光加工部60を示す模式図である。図21Cは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成される幅広の文字Aの文字輪郭46fを省略して加工したときのレーザ光加工部60を示す模式図である。なお、図21Aないし図21Cの図において、線に重ねた矢印の方向がレーザ光の走査方向加工方向である。例えば、製造元を示すために大きく幅広で表記されたロゴタイプ、注意を引くために大きく幅広で表記された高圧注意の記号など、レーザ光の照射幅に比較して例えば数倍程度大きい広い面積を含むロゴタイプ、文字、記号などに対しては、輪郭に対する内側の塗りつぶし加工が必要となる場合が生じる。塗りつぶし加工について種々検討した結果、本願発明者は、往復走査線64図21Aで示すような連続的な走査による折り返し加工往復連続加工ではなく、走査線の始点始点領域と終点終点領域とを領域的に区分して同方向で並行に走査を繰り返す並行走査線65図21Bによる並行走査加工を施す方が、レーザ光による熱の影響を受けにくいことを新たに知見した。なお、並行走査線65は、幅広領域の長さ方向に始点領域、終点領域を配置することが熱の影響を抑制できることから好ましい。また、並行走査は、必ずしも平行である必要はなく、始点は分離しているが終点は一致するように適宜傾斜させた走査方向であっても良い。説明の便宜上、幅広の文字を例示したが、図形などのパターンについても同様に適用できる。つまり、本実施の形態に係るレーザ光による被処理物例えばマーク部40となる前の素材に対する塗りつぶし加工は、被処理物の幅広領域の長さ方向で始点位置と終点位置とを分離して配置し、始点側から終点側へレーザ光を並行に走査させてレーザ加工を施すことが好ましい。また、本願発明者は、幅広文字の周辺部である文字輪郭46fに対しては、レーザ加工を施さず図21Cにおいて、破線で模式的に示す。、文字輪郭46fの内側に対してのみレーザ加工を施す方が、レーザ光による熱の影響を受けにくいことを新たに知見した。説明の便宜上、幅広の文字を例示したが、図形などのパターンについても同様に適用できる。つまり、本実施の形態に係るレーザ光による被処理物例えばマーク部40となる前の素材に対する塗りつぶし加工は、塗りつぶし領域の輪郭線を除いた内側領域に対してレーザ光を照射するレーザ加工を施すことが好ましい。この構成によって、樹脂封止部30での気泡の発生を防止することができ、視認性を向上させて高い認識率のマーク部40を実現することができる。図22Aないし図22Cは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40に形成されるレーザ光加工部60の状態を説明する模式図である。図22Aは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40を形成する場合に、複数のレーザ光を並行に走査させてレーザ加工するときの第1走査線61と第2走査線62との関係を模式的に示す模式図である。図22Bは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40を形成する場合に、レーザ光の第1走査線61ないし第3走査線63を相互に密接させて文字Tをレーザ加工したときのレーザ光加工部60を模式的に示す模式図である。図22Cは、本発明の実施の形態9に係る太陽電池モジュール1のマーク部40を形成する場合に、レーザ光の第1走査線61ないし第3走査線63を相互に分離させて文字Tをレーザ加工したときのレーザ光加工部60を模式的に示す模式図である。レーザ光加工部60は、レーザ光のビーム幅Wbに対応して形成される。2回走査させると第1走査線61、第2走査線62のように平行線を加工マークすることができる。第1走査線61および第2走査線62の間のピッチ走査間隔、つまり、レーザ光のビームピッチWpは、レーザ加工装置を制御することによって適宜調整できる。また、ビーム幅Wb、ビームピッチWpに応じてレーザ光のビーム間隙間Wsが画定される。したがって、ビームピッチWpを調整することによってレーザ加工状態例えばマーキング状態は異なってくる。本願発明者は、レーザ加工でのマーキングの視認性認識率を種々検討する中で、ビーム間隙間Wsが視認性に対して大きく影響することを新たに知見した。すなわち、ビームピッチWpを大きくしてビーム間隙間Wsを広げるより、ビームピッチWpを小さくしてビーム間隙間Wsが存在しないようにレーザ光を走査させて加工した方が視認性に優れていることを知見した。例えば、文字Tを幅広に加工するとき、第1走査線61ないし第3走査線63を相互に接触させて重なり合うようにレーザ加工する図22B方が、第1走査線61ないし第3走査線63を相互に分離させてレーザ加工する図22Cよりも視認性を向上させることができる。つまり、本実施の形態に係るレーザ光の走査方法は、加工領域に対してレーザ光を複数回隣接させて走査することによってレーザ加工を施すとき、レーザ光によるレーザ光加工部60の境界が相互に重なるようにすることが好ましい。換言すれば、後に走査するレーザ光の走査線は、先に走査したレーザ光の走査線形成済みのレーザ光加工部60に接触するようにし、隙間ビーム間隙間Wsが生じないようにレーザ光を走査させることが好ましい。すなわち、先の走査線に対する後の走査線例えば、第1走査線61に対する第2走査線62、第2走査線62に対する第3走査線63を走査させるとき、走査線の間のビーム間隙間Wsに他の素材例えばマーク部41を形成するときの樹脂封止部30の封止樹脂が存在しないように加工することが好ましい。換言すれば、隣接して走査させるレーザ光例えば第1走査線61と第2走査線62相互に境界が重なる程度に重ねてあるいは近接させて走査することが好ましい。この構成によって、樹脂封止部30での気泡の発生を防止することができ、視認性を向上させて高い認識率のマーク部40を実現することができる。なお、本実施の形態に係るレーザ加工におけるレーザの走査方法は、他の実施の形態に対して適宜適用することができる。また、各実施の形態は、相互に矛盾しない範囲で互いに適用することが可能である。