液滴を吐出するノズル孔を有するノズル基板と、前記ノズル孔の各々に連通した複数の加圧液室が複数列配列された第1基板と、前記加圧液室を介して前記ノズル基板に対向して配置された振動板と、前記振動板を介して前記加圧液室の各々に対向して配置された複数の圧電素子と、前記第1基板上の前記ノズル基板側の面とは反対側の面における、前記複数の加圧液室の列間に配置され、前記複数の圧電素子を駆動する駆動素子と、内側に前記駆動素子が配置されると共に前記加圧液室の配列方向に沿って延在する駆動素子用空間、内側に前記圧電素子が配置される圧電素子用空間、及び前記複数の加圧液室の各々に連通した共通液室を有し、前記第1基板の前記ノズル基板側の面とは反対側に配置された前記第2基板と、前記第2基板の前記駆動素子用空間を前記加圧液室の配列方向に交差する交差方向に分割する隔壁部材と、を備え、前記隔壁部材は、前記駆動素子用空間における該隔壁部材によって分割された空間間を連通する連通孔を有し、該隔壁部材の厚みは、前記第2基板における該隔壁部材に連続する領域の厚みと同じ厚みである、液滴吐出ヘッド。前記隔壁部材は、前記第2基板に一体的に設けられている請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。前記連通孔は、前記駆動素子用空間における前記交差方向の中央部に設けられている請求項1または請求項2に記載の液滴吐出ヘッド。前記隔壁部材は、前記連通孔によって前記加圧液室の配列方向に分割されている請求項1~請求項3の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッド。前記第2基板は、前記駆動素子側に開口した凹形状の空間を、前記駆動素子用空間として有する、請求項1~請求項4の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッド。前記第2基板は、該第2基板における前記複数の加圧液室の列間に対向する領域を厚み方向に貫通した貫通孔を、前記駆動素子用空間として有する、請求項1~請求項4の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッド。前記第2基板は、前記圧電素子側に開口し且つ前記圧電素子の各々を個別に覆う空間を、前記圧電素子用空間として有する、請求項1~請求項6の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッド。前記第2基板の前記共通液室は、前記複数の加圧液室の各々に連通路を介して連通し、前記第2基板の前記共通液室及び前記連通路のうちの少なくとも該連通路の内壁は、前記共通液室に貯留される液体から該第2基板本体を保護するための保護膜を有する請求項1~請求項7の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッド。請求項1~請求項7の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクと、を備えたインクカートリッジ。請求項1~請求項7の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置。請求項1~請求項4の何れか1項に記載の液滴吐出ヘッドを備えたマイクロポンプ。しかしながら、特許文献1及び特許文献2の構成では、貫通孔に設けた梁部によって、貫通孔が複数の空間に完全に分断された状態となる。このため、液滴吐出ヘッドの製造工程において、このような貫通孔に設けられた基板に接着剤等を介して他の基板を接合すると、接着剤の硬化時に発生するガスの影響等によって、この分断された空間間の圧力に差が生じる。このため、これらの空間に接する領域の基板の反りや、割れ、より圧力の高い空間に対応する領域の接合強度の低下等が発生する場合があった。このため、従来の技術では、液滴吐出ヘッドの小型化を図りつつ、且つ剛性の高い液滴吐出ヘッドを提供することは困難であった。本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、液滴吐出ヘッドの小型化、及び剛性の向上を実現することができる、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、及びマイクロポンプを提供することを課題とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、液滴を吐出するノズル孔を有するノズル基板と、前記ノズル孔の各々に連通した複数の加圧液室が複数列配列された第1基板と、前記加圧液室を介して前記ノズル基板に対向して配置された振動板と、前記振動板を介して前記加圧液室の各々に対向して配置された複数の圧電素子と、前記第1基板上の前記ノズル基板側の面とは反対側の面における、前記複数の加圧液室の列間に配置され、前記複数の圧電素子を駆動する駆動素子と、内側に前記駆動素子が配置されると共に前記加圧液室の配列方向に沿って延在する駆動素子用空間、内側に前記圧電素子が配置される圧電素子用空間、及び前記複数の加圧液室の各々に連通した共通液室を有し、前記第1基板の前記ノズル基板側の面とは反対側に配置された前記第2基板と、前記第2基板の前記駆動素子用空間を前記加圧液室の配列方向に交差する交差方向に分割する隔壁部材と、を備え、前記隔壁部材は、前記駆動素子用空間における該隔壁部材によって分割された空間間を連通する連通孔を有し、該隔壁部材の厚みは、前記第2基板における該隔壁部材に連続する領域の厚みと同じ厚みである、液滴吐出ヘッドである。本発明によれば、液滴吐出ヘッドの小型化、及び剛性の向上を実現することができる、という効果を奏する。以下に添付図面を参照して、この発明にかかる液滴吐出ヘッド、及び画像形成装置の一の実施の形態を詳細に説明する。第1の実施の形態図1~図3に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10は、ノズル基板12上に、個別液室基板14第1基板、共通液室基板16第2基板、及びフレーム基板19を順に積層した構成である。なお、図1は、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10を模式的に示した平面図である。図2は、図1に示す液滴吐出ヘッド10のY-Y’断面図である。図3は、図1に示す液滴吐出ヘッド10のX-X’断面図である。ノズル基板12は、インク滴を吐出する複数のノズル孔12Aを有している。ノズル孔12Aは、ノズル基板12の厚み方向に貫通した貫通孔であり、ノズル基板12の面方向に沿って複数配列されている。本実施の形態では、ノズル孔12Aは、ノズル基板12における所定方向図1中、矢印A方向に沿って複数配列されている。また、本実施の形態では、この複数のノズル孔12Aによる列は、該矢印A方向に交差する方向図1中、矢印B方向に2列並列に配列されている。個別液室基板14は、ノズル孔12Aの各々に連通する複数の加圧液室14Aを備えている。本実施の形態では、上述のように、図1中矢印A方向に配列された複数のノズル孔12Aによる列が、図1中矢印B方向に2列並列に配列されている場合を説明する。このため、このノズル孔12Aの各々に連通する加圧液室14Aもまた、図1中矢印A方向に複数配列され、この矢印A方向に配列された加圧液室14Aの液室列が、図1中矢印B方向に2列並列に配列されているものとして説明する。なお、個別液室基板14に加圧液室14Aが設けられることによって、各加圧液室14Aは隔壁部15によって隔てられた状態となる図3参照。各加圧液室14Aは、加圧液室14Aの配列方向図1中、矢印A方向に交差する方向図1中、矢印B方向に延在する略直方体の形状である。加圧液室14Aは、例えば、各加圧液室14Aに連通するノズル孔12Aからインク滴を吐出したときに、該加圧液室14Aの配列方向図1中、矢印A方向に300dpiの解像度で画像形成する密度となるように配置されている。また、2列並列に配列された複数の加圧液室14Aの、列間の領域の外側には、貫通孔14Bが設けられている。この貫通孔14Bは、加圧液室14Aの配列方向に沿って延在する略直方体であり、各加圧液室14Aに流体抵抗部17図1参照を介して連通している。加圧液室14Aのノズル基板12とは反対側には、振動板23が設けられている。また、振動板23は、個別液室基板14の隔壁部15図3参照の端面に接合されている。このため、振動板23は、個別液室基板14における加圧液室14Aの壁面の一部として機能する。振動板23の、加圧液室14Aとは反対側の面には、共通電極20Aが設けられている。この共通電極20A上の、加圧液室14Aに対向する領域の各々には、圧電体20B及び個別電極20Cが、この順に積層されている。この共通電極20A、圧電体20B、及び個別電極20Cの積層領域が、圧電素子20アクチュエータともいうを構成している。本実施の形態では、上述のように、加圧液室14Aが2列並列に配列されている。このため、加圧液室14Aの各々に対向して配置された圧電素子20についても、加圧液室14Aの配列方向と同じ方向に2列並列に配列されている。なお、本実施の形態では、図1に示すように、各列間の圧電素子20が互いに向かい合うように配列されている場合を説明するが、このような形態に限られない。例えば、各列間の圧電素子20が互いにずれて配置された、所謂、千鳥状に配列されていてもよい図示省略。この個別液室基板14上の、上述のように2列に配列された加圧液室14Aの列間に対応する領域には、駆動素子18が設けられている。駆動素子18の個別液室基板14に対向する側の面には、各圧電素子20に対応する位置にパンプ22が設けられている。個別液室基板14上に設けられた複数の圧電素子20の個別電極20Cの各々には、駆動素子18の配置された方向に向かって延びる引出配線図示省略が設けられている。そして、各圧電素子20は、個別電極20C、引出配線、及び各圧電素子20に対応して設けられたパンプ22を介して、駆動素子18に電気的に接続されている。共通液室基板16は、個別液室基板14を介してノズル基板12に対向して配置されている。図1~図3、及び図4に示すように、共通液室基板16には、圧電素子用空間16D、共通液室16A、貫通孔16B、及び駆動素子用空間16Cが設けられている。圧電素子用空間16Dは、個別液室基板14上に設けられた圧電素子20を覆い、圧電素子20を保護するための空間である。このため、個別液室基板14上に設けられた圧電素子20は、圧電素子用空間16D内に位置される。この圧電素子用空間16Dは、共通液室基板16における各圧電素子20の各々に対応する領域に設けられており、圧電素子20側に開口した凹部状の空間である。なお、この圧電素子用空間16Dは、各圧電素子20の駆動を阻害しない程度の大きさの空間であればよい。なお、本実施の形態では、圧電素子用空間16Dは、各圧電素子20毎に設けられている場合を説明する。共通液室16Aは、個別液室基板14に設けられた加圧液室14Aの列毎に対応して設けられており、各列の加圧液室14Aに連通している。本実施の形態では、共通液室16Aは、加圧液室14Aの配列方向に延在する略直方体形状とされている。また、本実施の形態では、上述のように、加圧液室14Aは、2列配列されていることから、共通液室16Aは、2列に配列された加圧液室14Aの列間に領域の外側の各々に設けられている場合を説明する。この共通液室16Aの、ノズル基板12側には、該共通液室16Aと、個別液室基板14に設けられた各貫通孔14Bと、を連通する貫通孔16Bが設けられている。このため、共通液室16Aは、貫通孔16B、貫通孔14B、及び流体抵抗部17を介して、各加圧液室14Aに連通されている。共通液室16Aに吐出対象の液体としてのインクが供給されると、共通液室16Aに供給されたインクは、貫通孔16B、貫通孔14B、及び流体抵抗部17を介して、各加圧液室14Aに供給される。駆動素子用空間16Cは、内側に駆動素子18を配置し、該駆動素子18を保護するための空間である。駆動素子用空間16Cは、共通液室基板16における、加圧液室14Aの列間に対応する領域に設けられており、加圧液室14Aの配列方向に沿って延在する形状とされている。本実施の形態では、加圧液室14Aの配列方向図1、図4中、矢印A方向に延在する略直方体状の空間である。駆動素子18は、この駆動素子用空間16Cを介して個別液室基板14上に実装される。なお、この駆動素子用空間16Cは、内側に配置される駆動素子18を保護する程度の大きさの空間であればよい。本実施の形態では、駆動素子用空間16Cは、加圧液室14Aの配列方向に延在する略直方体状とされている場合を説明する。なお、駆動素子用空間16Cの形状は、内側に駆動素子18を配置することができ、且つ加圧液室14Aの配列方向に沿って延在する形状であればよく、略直方体状に限られない。なお、本実施の形態では、駆動素子用空間16Cは、共通液室基板16を厚み方向に貫通した空間である場合を説明する図4B参照。本実施の形態では、共通液室基板16には、隔壁部材34が設けられている図1及び図4A、図4C、図10A参照。隔壁部材34は、加圧液室14Aの配列方向図1、図4中、矢印A方向に延在する駆動素子用空間16Cを、加圧液室14Aの該配列方向に交差する方向図1、図4中、矢印B方向に分割する位置に設けられている。本実施の形態では、隔壁部材34は、駆動素子用空間16Cを2分割する位置に設けられている場合を説明する。なお、本実施の形態では、図1に示すように、加圧液室14Aの配列方向と、該配列方向に交差する交差方向と図1中、矢印A方向と矢印B方向は、互いに直交する関係にある方向である場合を説明するが、これらの方向が交差すればよく、直交する方向に限られない。また、本実施の形態では、隔壁部材34は、共通液室基板16本体と一体的に設けられている場合を説明する。しかし、隔壁部材34は、共通液室基板16本体とは別体として設けられていてもよい。隔壁部材34が共通液室基板16本体とは別体として設けられている場合には、共通液室基板16の駆動素子用空間16Cを構成する壁面に隔壁部材34を設ければよい。隔壁部材34は、その厚み図4C中、厚みC1参照が、共通液室基板16における該隔壁部材34に連続する領域の厚み図4C中、厚みC2参照と同じ厚みである。なお、同じ厚みである、とは、一方の厚みに対する他方の厚みが、±5以下の範囲内であることを示す。また、隔壁部材34の厚みとは、液滴吐出ヘッド10を構成する各基板ノズル基板12、個別液室基板14、共通液室基板16の積層方向図2、図4中、矢印C方向参照の長さを示す。なお、隔壁部材34における、加圧液室14Aの配列方向図1中、矢印A方向の長さについては、目的とする液滴吐出ヘッド10の剛性を実現できる長さであればよく、液滴吐出ヘッド10の構成によって適宜調整すればよい。隔壁部材34には、駆動素子用空間16Cにおける、隔壁部材34によって分割された各空間図4中、駆動素子用空間16C1、駆動素子用空間16C2参照間を連通する連通孔32が設けられている。この連通孔32は、駆動素子用空間16Cにおける、隔壁部材34によって分割された空間間を貫通する孔であればよく、その形状、位置は、限定されない。なお、本実施の形態では、図4A、図4C、及び図10Aに示すように、連通孔32は、隔壁部材34を加圧液室14Aの配列方向矢印A方向に分断するように設けられている場合を説明する。このため、本実施の形態では、隔壁部材34は、連通孔32によって分割された一対の隔壁部材34Aと隔壁部材34Bとから構成されている場合を説明する。このように、連通孔32が、隔壁部材34を上記配列方向に分割するように設けられている場合には、隔壁部材34は、駆動素子用空間16Cの上記交差方向に対向する一対の壁面の一方から他方に向かって突出した隔壁部材34Aと、該他方から一方に向かって突出した隔壁部材34Bと、から構成された状態となる。この連通孔32の大きさは、後述する液滴吐出ヘッド10の製造時に、隔壁部材34によって分割された空間間駆動素子用空間16C1、駆動素子用空間16C2の空間間を空気が流れる大きさであればよい。なお、駆動素子18は、駆動素子用空間16C内の、隔壁部材34によって分断された各空間内駆動素子用空間16C1、駆動素子用空間16C2の各々内に設けられる。なお、本実施の形態では、駆動素子用空間16Cにおける、加圧液室14Aの配列方向矢印A方向に交差する方向矢印B方向の壁面の面方向は、該配列方向に直交する方向と同じである場合を説明する。また、本実施の形態では、連通孔32は、隔壁部材34を加圧液室14Aの配列方向に貫通する孔である場合を説明する。上述のように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、駆動素子用空間16Cには、隔壁部材34が設けられている。このため、図1に示す液滴吐出ヘッド10のY-Y’切断面を、該切断面から隔壁部材34側に向かって視認した場合には、図5に示すように、駆動素子用空間16C1図5中の駆動素子用空間16C参照に設けられた駆動素子18より奥側に隔壁部材34を確認することが出来、隔壁部材34の連通孔32を介して更に奥側に駆動素子用空間16C2図5中では図示省略を確認することができる。次に、上述のように構成された液滴吐出ヘッド10の製造方法を説明する。本実施の形態の液滴吐出ヘッド10は、例えば、図6、図7、及び図8に示す工程を経ることによって製造することができる。なお、図6、図7、及び図8は、図1に示す液滴吐出ヘッド10のX-X’断面に相当する。まず、シリコン基板13を用意し、このシリコン基板13上に、圧電素子20の構成膜を順に成膜していくことで、圧電素子20を形成する。具体的には、図6Aに示すように、まず、シリコン基板13を用意する。シリコン基板13としては、例えば、厚み400μmの面方位<100>のシリコン基板を用いる。そして、本実施の形態では、さらに、このシリコン基板上に、シリコン酸化膜を0.5μm、及びシリコン膜2.0μmを順に成膜したSOI基板を、シリコン基板13として用いる。そして、このシリコン基板13上に、パイロ酸化法等を用いてシリコン酸化膜を0.6μmの厚みに成膜する。これによって、シリコン基板13上に振動板23を設けた構成とする。なお、例えば、SOI基板上の最表面のシリコン膜、及びSOI基板上に成膜したシリコン酸化膜が、振動板23として機能する。次に、図6Bに示すように、共通電極20AとなるPt層を、スパッタ法を用いて0.1μmの厚みに成膜し、図6Cに示すように、リソエッチ法によりパターニングを行なう。次に、この共通電極20A上の、後工程で加圧液室14Aの設けられる位置に対応する領域に、圧電体20Bの構成膜、個別電極20Cの構成膜を、各々1.0μm、0.1μmの厚みに成膜した後に図示省略、リソエッチ法によりこれらの膜をパターニングする図6C参照。これによって、複数の圧電素子20が形成された状態となる。次に、図6Dに示すように、シリコン基板13上の、後工程で形成する加圧液室14Aの液室列間に相当する領域に、駆動素子18を設置する。そして、図1に示す駆動素子18のパンプ22を、各圧電素子20の個別電極20Cに接続された引出配線に接合することによって、各圧電素子20と駆動素子18とを導通させる。次に、図4に示す、共通液室16A、貫通孔16B、駆動素子用空間16C、圧電素子用空間16D、隔壁部材34、連通孔32の設けられた共通液室基板16を、別途作製する。そして、作製した共通液室基板16を、上記圧電素子20及び駆動素子18の設けられた上記シリコン基板13上に接合接着する。なお、共通液室基板16は、例えば、面方位<110>のシリコン基板を用意し、このシリコン基板にTMAH水酸化テトラメチルアンモニウムや、KOH水酸化カリウム等のアルカリエッチング液を用いたウェットエッチングによる加工を行うことによって上記各空間共通液室16A、貫通孔16B、駆動素子用空間16C、圧電素子用空間16D、及び連通孔32を形成することによって作製すればよい。なお、共通液室基板16の作製方法は、このような方法に限られない。例えば、樹脂モールドやメタルインジェクションモールドなどの成型部品を用いて、図4に示す形状の各空間共通液室16A、貫通孔16B、駆動素子用空間16C、圧電素子用空間16D、及び連通孔32を有する共通液室基板16を作製してもよい。なお、低コストである点、及び加工品質が良い点等から、シリコン単結晶基板を用意し、この基板に上記各空間を形成する加工を施すことで、共通液室基板16を作製することが好ましい。なお、液滴吐出ヘッド10の駆動時には、この共通液室基板16の共通液室16A及び貫通孔16B内には、液滴吐出ヘッド10で吐出するインク滴のインクを供給する。また、共通液室基板16の駆動素子用空間16C内には、この空間内に配置される駆動素子18を冷却するための冷却媒体を充填する場合がある。このため、これらの共通液室16A、貫通孔16B、駆動素子用空間16C、圧電素子用空間16D、及び連通孔32の壁面には、これらの液体から共通液室基板16本体を保護するための保護膜を設けることが好ましい。特に、少なくとも貫通孔16Bには、この保護膜を設けることが好ましい。このような保護膜を少なくとも貫通孔16Bに設けることによって、共通液室基板16本体の液体による浸食を抑制することができ、液滴吐出ヘッド10の信頼性の向上や製品寿命を長くすることができる。この保護膜の構成成分としては、共通液室16A及び貫通孔16Bについては、液滴吐出ヘッド10で吐出する液滴の液体から共通液室基板16本体を保護する材料を用いればよい。また、駆動素子用空間16C、圧電素子用空間16D、及び連通孔32の壁面については、この保護膜の保護成分としては、上記冷却媒体から共通液室基板16本体を保護する材料を用いればよい。この保護膜の構成成分としては、具体的には、水分透過性の低い酸化シリコンSiO2や、酸化アルミニウムAl2O3、酸窒化シリコンSiON、窒化シリコンSiN、ポリパラキシリレン等を挙げることができる。次に、上記シリコン基板13における、圧電素子20の設けられた側とは反対側の面を、研磨してシリコン基板13Aとする図7A参照。このシリコン基板13の研磨の度合を調整することによって、個別液室基板14の厚みを調整することができる。例えば、シリコン基板13を50μmの厚みにまで研磨して、シリコン基板13Aとする。このシリコン基板13の研磨は図6D、及び図7A参照、図8に示すように共通液室基板16の振動板23とは反対側の面に研磨保護テープ40を設けた状態で行う。ここで、共通液室基板16に研磨保護テープ40を設けた状態で、シリコン基板13の研磨を行うと、共通液室基板16への研磨保護テープ40の接着度合のばらつきから、隔壁部材34によって分割された各空間駆動素子用空間16C1及び駆動素子用空間16C2間に圧力差が生じる場合がある。また、シリコン基板13の研磨時には、上記各種空間の設けられた共通液室基板16がシリコン基板13に接合されていることから、研摩による圧力によって、共通液室基板16に設けられた各空間内の角部等にクラックヒビが入る場合や、個別液室基板14となるシリコン基板13Aに反りが発生する場合があった。これは、シリコン基板13の研磨時には、研磨時に用いるブレードと共通液室基板16との間に、研摩によって薄くなったシリコン基板13Aが挟まれた状態となるため、シリコン基板13Aが拠れてしまう現象のためである。また、共通液室基板16とシリコン基板13との貼り合せに用いた接着剤の硬化時に発生するガスや、研磨保護テープ40を共通液室基板16に貼りつけるときに生じる駆動素子用空間16C1及び駆動素子用空間16C2間に加わる圧力のバラツキによって、研摩終了前には、研摩によって薄くなったシリコン基板13Aが共通液室基板16の各空間を押し上げる現象のためと推測できる。しかしながら、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、駆動素子用空間16Cに設けられた隔壁部材34には、連通孔32が設けられている。このため、駆動素子用空間16C1及び駆動素子用空間16C2間に圧力差が生じることが抑制され、上記クラックの発生や反りの発生を抑制することができる。このため、液滴吐出ヘッド10の剛性の向上を図ることができる。また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、液滴吐出不良の生じる液滴吐出ヘッド10の製造を抑制することができるので、液滴吐出ヘッド10の生産性の向上を図ることができる。次に、研摩によって得られたシリコン基板13Aの、圧電素子20とは反対側の面を加工することによって、加圧液室14A、貫通孔14B、流体抵抗部17を形成する図1も参照。これによって、複数の隔壁部15によって区切られた複数の加圧液室14Aを有する個別液室基板14を形成することができる。なお、このシリコン基板13Aの加工方法としては、例えば、シリコン基板13Aの圧電素子20とは反対側の面にレジストマスクを設け、このレジストマスクを介してICPドライエッチングによりエッチングする方法を挙げることができる。次に、図7Cに示すように、例えば、スルファミン酸浴で高速電鋳法により製作した、ノズル孔12Aの設けられたノズル基板12を、個別液室基板14の圧電素子20とは反対側の面に接着する。そして、更に、図7Dに示すように、液滴吐出ヘッド10で吐出する液体を共通液室16Aに供給するための供給口19Aの設けられたフレーム基板19図5も参照を、共通液室基板16上に接合することによって、液滴吐出ヘッド10を作製することができる。上述のように構成された液滴吐出ヘッド10では、各圧電素子20を駆動させるための駆動信号が、図示を省略する外部装置から入力配線36を介して駆動素子18に入力される。そして、この駆動信号が入力されると、駆動素子18は、入力された駆動信号に応じた電圧値及びパルス幅の波形を示す駆動電圧信号を、インク吐出対象の圧電素子20に選択的に出力する。駆動電圧信号が入力された圧電素子20は、入力された駆動電圧信号に応じて駆動する。詳細には、入力された駆動電圧信号に応じた電圧が、インク吐出対象の圧電素子20の個別電極20Cと共通電極20Aとの間に印可されて、これらの電極間の圧電体20Bに歪みが生じる。これによって、駆動した圧電素子20に対応する加圧液室14A内のインクをノズル孔12Aからインク滴として吐出することができる。以上説明したように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、上述のように、駆動素子用空間16Cに隔壁部材34が設けられており、この隔壁部材34には、連通孔32が設けられている。このため、液滴吐出ヘッド10の製造時に、各駆動素子用空間16Cが密閉状態となり、隔壁部材34によって分割された各空間駆動素子用空間16C1、駆動素子用空間16C2間に圧力差が生じることを抑制することができる。また、この隔壁部材34は、共通液室基板16における該隔壁部材34に連続する領域の厚みと同じ厚みであることから、加圧液室14Aの配列方向に沿って延在する形状とされた駆動素子用空間16Cが設けられていても、液滴吐出ヘッド10の剛性の低下を抑制することができる。さらに、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、駆動素子18が各加圧液室14Aの液室列間に対応する領域に設けられており、上記駆動素子用空間16Cもこの液室列間に設けられていることから、該構成としない場合に比べて、液滴吐出ヘッド10の小型化を図ることができる。従って、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、液滴吐出ヘッド10の小型化、及び剛性の向上を実現することができる。また、液滴吐出ヘッド10の小型化と高画質化を図るためには、加圧液室14Aや圧電素子20を更に高密度に配列させる必要があり、加圧液室14Aの配列方向の長さがより長くなることが考えられる。しかし、加圧液室14Aの配列方向の長さが長くなることに伴って、駆動素子用空間16Cの該配列方向の長さがより長くなった場合であっても、本実施の形態の隔壁部材34を備えた構成とすることによって、高い剛性を実現しつつ、且つ液滴吐出ヘッド10の小型化を図ることができる。なお、本実施の形態では、隔壁部材34は、駆動素子用空間16Cを加圧液室14Aの配列方向に交差する交差方向に2分割する位置に設けられている場合を説明した。しかし、隔壁部材34は、駆動素子用空間16Cを該交差方向に分割する位置に設けられていればよく、2分割に限られない。例えば、駆動素子用空間16Cを該方向に3分割以上に分割する位置の各々に設けられていてもよい。また、本実施の形態では、圧電素子用空間16Dは、個別液室基板14上に設けられた各圧電素子20の各々に対応する領域に設けられており、圧電素子20側に開口した凹部状の空間である場合を説明した。しかし、圧電素子用空間16Dは、複数の圧電素子20毎に、これらの複数の圧電素子20を覆うように設けられた空間であってもよい。しかしながら、圧電素子用空間16Dを、各圧電素子20の各々に対応する領域に設けた構成である方が好ましい。これは、各圧電素子用空間16Dが、各圧電素子20毎に設けられることから、振動板23が、各圧電素子20に対応する領域毎に、共通液室基板16によって封止された状態となるためである。そして、該封止された状態とすることによって、振動板23における各圧電素子20に対応する領域の弾力性やたわみ強度を、振動板23における各圧電素子20に対応する領域毎に確保することができる。このため、圧電素子用空間16Dを、各圧電素子20の各々に対応する領域に設けた構成とすると、隣接する加圧液室14Aでクロストークが発生することを抑制することができる。なお、本実施の形態では、駆動素子用空間16Cは、共通液室基板16を厚み方向に貫通した空間である場合を説明した。しかし、上述のように、駆動素子用空間16Cは、駆動素子18を保護する空間であればよく、共通液室基板16を厚み方向に貫通した空間である場合に限られない。例えば、駆動素子用空間16Cは、駆動素子18の位置される側に開口した凹形状の空間であってもよい。この場合には、具体的には、図9A及び図9Bに示すように、駆動素子18の位置される側に開口した凹形状の空間である駆動素子用空間16Cを備えた共通液室基板160を、液滴吐出ヘッド10を構成する上記共通液室基板16に変えて用いればよい。また、本実施の形態では、隔壁部材34に設けられた連通孔32は、隔壁部材34を加圧液室14Aの配列方向矢印A方向に分断するように設けられている場合を説明した。しかし、連通孔32は、駆動素子用空間16Cにおける、隔壁部材34によって分割された空間間を貫通する孔であればよく、その形状、位置は、限定されない。例えば、加圧液室14Aの配列方向に分断する連通孔32を有する隔壁部材34に変えて、図9A、図9C、及び図11Cに示すように、駆動素子18側に開口した凹形状の連通孔33を有する隔壁部材35を備えた構成の共通液室基板160としてもよい。そして、上記液滴吐出ヘッド10における共通液室基板16に変えて、共通液室基板160を備えた液滴吐出ヘッド図示省略としてもよい。なお、この場合についても、隔壁部材35は、隔壁部材34と同様に、その厚み図9C中、厚みC1参照が、共通液室基板160における該隔壁部材35に連続する領域の厚み図9C中、厚みC2参照と同じ厚みであればよい。また、上記実施の形態では、共通液室基板16に設けられた駆動素子用空間16C及び隔壁部材34または隔壁部材35における、上記加圧液室14Aの配列方向矢印A方向に交差する方向矢印B方向の壁面の面方向は、該配列方向に直交する方向である場合を説明した図4、図9等参照。しかし、該壁面の面方向は、該配列方向に直交する方向に限られない。例えば、隔壁部材34の該配列方向に交差する方向の壁面、及び駆動素子用空間16Cにおける該配列方向に交差する方向の壁面が、共通液室基板16を構成するシリコン基板の面方位に平行な方向となるように、加工面を調整してもよい。具体的には、上記共通液室基板16に変えて、共通液室基板161を用いてもよい図10B参照。そして、上記液滴吐出ヘッド10における共通液室基板16に変えて、共通液室基板161を備えた液滴吐出ヘッド図示省略としてもよい。図10Bに示すように、共通液室基板161は、面方位<110>のシリコン基板を加工することによって得られた基板であり、駆動素子用空間16C及び隔壁部材34における該配列方向に交差する方向の壁面が、面方位<110>と同じ方向図10B中、矢印R方向となるように加工を行った基板である。ここで、上述のように、共通液室基板16を構成するシリコン基板への各種空間駆動素子用空間16C、共通液室16A、貫通孔16B、圧電素子用空間16D等の加工には、エッチングを用いる。このため、共通液室基板161のように、駆動素子用空間16C及び隔壁部材34における壁面の面方向の少なくとも一部を、これらの駆動素子用空間16Cや隔壁部材34の加工を行うシリコン基板の面方位と同じ方向とすると、該同じ方向としない場合に比べて、面方位<110>面の加工時のエッチングレートをより小さくすることができる。このため、駆動素子用空間16C及び隔壁部材34における壁面の面方向の少なくとも一部を、これらの駆動素子用空間16Cや隔壁部材34の加工を行うシリコン基板の面方位と同じ方向とすることによって、ドライエッチングのみではなく、ウェットエッチングによる加工をも選択的に用いることができる。なお、上記実施の形態では、隔壁部材34隔壁部材35に設けられた連通孔32連通孔33は、隔壁部材34隔壁部材35によって分割された空間間駆動素子用空間16C1と駆動素子用空間16C2との空間間を、加圧液室14Aの配列方向に略平行な方向に直線状に貫通する孔である場合を説明した図1、図4、図9等参照。しかしながら、連通孔32連通孔33は、駆動素子用空間16Cにおける隔壁部材34隔壁部材35によって分割された空間間を貫通する孔であればよく、加圧液室14Aの配列方向に直線状に貫通する孔に限られない。例えば、連通孔32連通孔33は、駆動素子用空間16Cにおける隔壁部材34隔壁部材35によって分割された空間間を、階段状に貫通する孔であってもよいし、加圧液室14Aの配列方向に交差する方向に貫通する孔であってもよい。具体的には、隔壁部材34の設けられた共通液室基板16に変えて、隔壁部材40を有する共通液室基板162を用いてもよい。そして、上記液滴吐出ヘッド10における共通液室基板16に変えて、共通液室基板162を備えた液滴吐出ヘッド図示省略としてもよい。図11Aに示すように、共通液室基板162は、駆動素子用空間16C1と駆動素子用空間16C2との空間間を階段状に貫通した連通孔41を備えた隔壁部材40を有する。また、図11Aに示す例では、連通孔41は、隔壁部材40を分断するように設けられている。このため、図11Aに示す例では、隔壁部材40は、連通孔41によって分割された隔壁部材40Aと隔壁部材40Bとから構成されている。また、具体的には、隔壁部材34の設けられた共通液室基板16に変えて、隔壁部材42を有する共通液室基板163を用いてもよい。そして、上記液滴吐出ヘッド10における共通液室基板16に変えて、共通液室基板163を備えた液滴吐出ヘッド図示省略としてもよい。図11Bに示すように、共通液室基板163は、駆動素子用空間16C1と駆動素子用空間16C2との空間間を加圧液室14Aの配列方向矢印A方向に対して傾いた方向に貫通した連通孔43を備えた隔壁部材42有する。また、図11Bに示す例では、連通孔43は、隔壁部材42を分断するように設けられている。このため、図11Bに示す例では、隔壁部材42は、連通孔43によって分割された隔壁部材42Aと隔壁部材42Bとから構成されている。なお、上記共通液室基板160、共通液室基板161、共通液室基板162、共通液室基板163を備えた液滴吐出ヘッドは、上記に説明した共通液室基板16を備えた液滴吐出ヘッド10における共通液室基板16に変えて、共通液室基板160、共通液室基板161、共通液室基板162、共通液室基板163の各々を設けた以外は、液滴吐出ヘッド10と同じ構成であるため、説明を省略する。なお、本実施の形態では、液滴吐出ヘッド10は、ノズル基板12に設けたノズル孔12Aからインク滴を吐出するサイドシューター方式のヘッドである場合を説明した。しかし、本実施の形態における液滴吐出ヘッド10は、このようなサイドシューター方式に限られない。また、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド10が、液滴としてインク滴を吐出する場合を説明したが、本実施の形態における液滴吐出ヘッド10は、このようなインク滴を吐出する形態に限られない。例えば、液滴吐出ヘッド10は、液滴として、液体レジストや、DNA等の試料を吐出してもよい。第2の実施の形態第1の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド10は、液滴吐出装置等の画像形成装置に対して着脱可能に構成されたインクカートリッジに適用することができる。以下、インクカートリッジの一の形態を説明する。本実施の形態では、図12に示すように、インクカートリッジ70は、ノズル孔12Aの設けられた上記第1の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド10と、インクタンク72と、を備えている。インクタンク72は、インクを貯留すると共に、貯留したインクを液滴吐出ヘッド10へ供給する。液滴吐出ヘッド10は、インクタンク72から供給されたインクのインク滴をノズル孔12Aから吐出する。このように、インクカートリッジ70は、液滴吐出ヘッド10とインクタンク72とが一体的に構成されている。このため、液滴吐出ヘッド10を備えたインクカートリッジ70は、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10を備えない場合に比べて、インクカートリッジ70の小型化、及び剛性の向上を実現することができる。第3の実施の形態第1の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド10は、液滴吐出装置等の画像形成装置に適用することができる。以下、画像形成装置の一例としての、液滴吐出装置の一の形態を説明する。図13及び図14には、該液滴吐出ヘッド10を適用可能な液滴吐出装置50の一例を示した。図13及び図14に示すように、液滴吐出装置50は、記録装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ93、キャリッジ93に搭載し、第1の実施の形態で説明した製造方法によって作製されたシリコンチップ24A図13及び図14では図示省略を備えた液滴吐出ヘッド10、液滴吐出ヘッド10へインクを供給するインクタンク72等で構成される印字機構部89等を収納する。記録装置本体81の下方部には前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット85或いは給紙トレイでもよいを抜き差し自在に装着することができる、また、記録装置本体81の下方部には、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ図示省略を搭載することができる。液滴吐出装置50では、給紙カセット85或いは手差しトレイ図示省略から給送される用紙83を取り込み、印字機構部89によって所要の画像を該用紙83に記録した後、後面側に装着された排紙トレイ87に該用紙83を排紙する。印字機構部89は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ93にはイエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出する液滴吐出ヘッド10を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ93には液滴吐出ヘッド10に各色のインクを供給するための各インクタンク72を交換可能に装着している。なお、インクタンク72と液滴吐出ヘッド10とを一体的に構成してインクカートリッジ70とし、液滴吐出装置50本体に対して着脱可能に構成してもよい。インクタンク72は上方に大気と連通する大気口、下方には液滴吐出ヘッド10へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液滴吐出ヘッド10へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、液滴吐出ヘッド10としてここでは各色のヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。ここで、キャリッジ93は後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド92に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ97で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト100を張装し、このタイミングベルト100をキャリッジ93に固定しており、主走査モータ97の正逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。一方、給紙カセット85にセットした用紙83を液滴吐出ヘッド10の下方側に搬送するために、給紙カセット85から用紙83を分離給装する給紙ローラ101及びフリクションパッド102と、用紙83を案内するガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ104と、この搬送ローラ104の周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ104からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ106とを設けている。搬送ローラ104は副走査モータ107によってギヤ列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ104から送り出された用紙83を液滴吐出ヘッド10の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材109を設けている。この印写受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111、拍車112を設け、さらに用紙83を排紙トレイ87に送り出す排紙ローラ113及び114と、排紙経路を形成するガイド部材115とを配設している。記録時には、キャリッジ93を移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ヘッド10を駆動することにより、停止している用紙83にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙83を排紙する。また、キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液滴吐出ヘッド10の吐出不良を回復するための回復装置117を配置している。回復装置117はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ93は印字待機中にはこの回復装置117側に移動されてキャッピング手段で液滴吐出ヘッド10をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で液滴吐出ヘッド10の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜図示しないに排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。上述のように、本実施の形態の液滴吐出装置50は、第1の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド10を備えている。このため、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10を備えない場合に比べて、液滴吐出装置50の小型化、及び剛性の向上を実現することができる。なお、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド10を搭載した画像形成装置の一例として、液滴吐出装置50を説明したが、液滴吐出ヘッド10を搭載可能な画像形成装置は、液滴吐出装置50に限られない。例えば、液滴吐出ヘッド10を搭載可能な画像形成装置としては、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の装置を挙げることができる。第4の実施の形態第1の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド10は、マイクロポンプ等のマイクロデバイスに適用することができる。以下、マイクロポンプの一の形態を説明する。図15には、液滴吐出ヘッド10を適用可能なマイクロポンプ60の一例を示した。マイクロポンプ60は、個別液室基板14と、共通液室基板16と、基板64と、基板62と、の積層体である。なお、個別液室基板14と共通液室基板16とが、液滴吐出ヘッド10における個別液室基板14と共通液室基板16とに相当する。そして、共通液室基板16の各圧電素子用空間16D内には、圧電素子20が配置されている。共通液室基板16は、圧電素子20の設けられた振動板23が長手方向に連続して複数配列された構成である。このため、マイクロポンプ60では、この振動板23と基板62との間の流路14F中を流体が流れる構造となっている。なお、図示は省略するが、振動板23は、複数の絶縁膜による積層構造である。なお、本実施の形態では、振動板23は、連続して複数配列された構成である場合を説明するが、マイクロポンプ60毎に1枚の振動板23から構成してもよい。また、流路14F中には、流路14F中を流れる流体の輸送効率を上げるために、弁等を設けてもよい。この共通液室基板16には、図15では図示は省略するが、駆動素子用空間16C及び隔壁部材34が設けられている。このため、マイクロポンプ60の小型化、及び剛性の向上を実現することができる。なお、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド10を適用可能なマイクロデバイスとして、マイクロポンプ60を一例として挙げて説明したが、マイクロポンプ60に限られない。液滴吐出ヘッド10は、マイクロ光アレイ、マイクロスイッチマイクロリレー、マルチ光学レンズのアクチュエータ光スイッチ、マイクロ流量計、圧力センサ等のマイクロデバイスにも適用することができる。