"スライド弁であって、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第1開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第1開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第1開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段として前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備するものとされ、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第1開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第1可動弁部と、前記第1可動弁部を前記流路方向前記第1開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第1開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第1付勢部と、前記第1可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第2可動弁部と、前記第1付勢部の付勢力に対抗して前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第2付勢部と、前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第1可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第1可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第3付勢部と、前記回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する2以上の軸受と、前記回転軸の軸線方向におけるこれら軸受間の位置で前記回転軸周面に摺動可能に接触する流体経路リングと、を有し、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通することを特徴とするスライド弁。請求項1に記載のスライド弁であって、前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることを特徴とするスライド弁。請求項2に記載のスライド弁であって、前記経路は、前記第2周囲領域において前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との間に前記第2付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部とされることを特徴とするスライド弁。請求項3に記載のスライド弁であって、前記経路は、前記第2付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた2重シール部において2重目のシールより気体供給側に設けられ、1重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部とされることを特徴とするスライド弁。請求項4に記載のスライド弁であって、前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられてなることを特徴とするスライド弁。請求項5に記載のスライド弁であって、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることを特徴とするスライド弁。請求項6に記載のスライド弁であって、前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されてなることを特徴とするスライド弁。このようなスライド弁においては、スライド弁の全体構成をコンパクトにする等の要請から、弁体の構造を簡単にする必要があり、かつ、仕切り動作の信頼性を確保する必要がある。しかしながら、上記従来の弁においては、アクチュエータが弁板の中央部に配置されているので、実際に空間をシールする弁板の面に十分な押し付け力を伝えるためには、弁板に高い剛性が要求される。弁板の剛性が不足すると、確実に仕切りをすることができず、高い信頼性を得られないという課題があった。更に、上記従来の弁においては、2枚の弁板を連結する構造が採用されている。この連結構造とアクチュエータとは個別の構造部品であるので、弁体の構造が複雑であるという課題があった。また、大口径バルブにおいては、逆圧に耐え得るためには大きな力を発生するシリンダが必要であり、弁体が大型化してしまうという課題があった。また、上記従来の振り子型仕切弁においては、シールリングを摺動させるアクチュエータがフランジに設けられており、このアクチュエータと、環状のシリンダと、スプリングとが直列に配置されている。このため、実際に空間をシールする弁板の面は、アクチュエータの内側に位置しており、この面はアクチュエータの位置からずれており、更に、この面にはピストン,シリンダ,ボルトを介してスプリングによる押し付け力スプリングによる復元力が伝われる。このため、この押し付け力が不十分であると、確実に仕切りをすることができず、高い信頼性を得られないという課題があった。また、大口径バルブにおいて逆圧に耐え得るためには、或いは、特殊な形状の弁板、シールリング板、フランジに適用するためには、シリンダを除いたアクチュエータ部品を多数配置する必要があり、スライド弁の構成が複雑になるという課題があった。本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供することを目的とするものである。本発明のスライド弁は、スライド弁であって、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第1開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を、前記第1開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第1開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段として前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備するものとされ、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第1開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第1可動弁部と、前記第1可動弁部を前記流路方向前記第1開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第1開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第1付勢部と、前記第1可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第2可動弁部と、前記第1付勢部の付勢力に対抗して前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第2付勢部と、前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第1可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第1可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第3付勢部と、前記回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する2以上の軸受と、前記回転軸の軸線方向におけるこれら軸受間の位置で前記回転軸周面に摺動可能に接触する流体経路リングと、を有し、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通することにより上記課題を解決した。本発明の前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることができる。本発明において、前記経路は、前記第2周囲領域において前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との間に前記第2付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部とされる手段か、または、前記経路は、前記第2付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた2重シール部において2重目のシールより気体供給側に設けられ、1重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部とされる手段を選択することができる。本発明の前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられてなることができる。本発明における前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることができる。本発明の前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されてなることが可能である。さらに、本発明において、前記第2可動弁部には、前記第1付勢部の反力を前記第2開口部周囲の弁箱内面に伝達する反力伝達部が設けられることがより好ましい。本発明の前記第2付勢部は、前記第2周囲領域において前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との間に形成されたエアシリンダであることが可能である。また、本発明において、前記第2付勢部とされたエアシリンダには、摺動部分に2重シール部が設けられ、1重目のシールが破れた際に、2重目のシールより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられる手段を採用することもできる。また、前記第2付勢部とされたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路が形成され、該供給路には、前記第1可動弁部と前記中立弁部との流路方向位置が変更した際にも、前記第1可動弁部と前記中立弁部との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部が設けられることができる。本発明においては、前記接続ピン部には、摺動部分に2重シール部が設けられ、1重目のシールが破れた際に、2重目のシールより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路が設けられることが望ましい。さらに、前記切り替え手段が、前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸を含むものとされてなることが可能である。また、前記切り替え手段が、前記流路方向と交差する方向に延在し直線状に駆動される弁棒を含むものとされてなることがある。本発明のスライド弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第1開口部を閉塞可能な可動弁部と、前記可動弁部を、前記第1開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第1開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段として前記流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、前記切り替え手段と前記可動弁部とを接続する中立弁部と、を具備するものとされ、前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第1開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第1可動弁部と、前記第1可動弁部を前記流路方向前記第1開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第1開口部周囲の弁箱内面に密着可能とされる第1付勢部と、前記第1可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第2可動弁部と、前記第1付勢部の付勢力に対抗して前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第2付勢部と、前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第1可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第1可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第3付勢部と、前記回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する2以上の軸受と、前記回転軸の軸線方向におけるこれら軸受間の位置で前記回転軸周面に摺動可能に接触する流体経路リングと、を有し、前記回転軸の一端面と前記流体経路リングの外周面とに設けられた開口どうしを連通する密閉した流体経路が設けられ、前記回転軸が回動位置に依らずに、かつ、前記弁箱中空部に露出することなく前記中立弁部内部に形成された流体経路と前記回転軸径方向外側位置となる前記弁箱外部とを連通することにより、軸受と軸受との間の距離を長く確保でき、これにより、回転軸が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを2以上の軸受で保持する場合に、この軸受が受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それにより軸受の耐久性を向上させることができる。あるいは、必要な回転軸の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸の軸線方向長さを確保することができ、バルブとしての小型化を図ることができる。また、上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を、反転させることが可能である。本発明の前記流体経路として、前記回転軸内部には軸内経路が設けられ、該軸内経路が、前記回転軸の軸線方向に延在して前記回転軸の一端側に開口する軸方向軸内経路と、該軸方向経路に接続されるとともに前記回転軸の周面に開口する径方向軸内経路とからなり、前記流体経路として、前記流体経路リング内部には、該流体経路リングの径方向に延在しその外周面及び内周面に開口する径方向リング経路が設けられ、前記流体経路リング内周面および回転軸周面の間に、周方向に設けられ前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通する周方向経路が周設されることによって、回転軸が回動しても、周設された周方向経路が前記径方向軸内経路と前記径方向リング経路とを連通した状態を維持することができる。また、周方向経路が周設されているため、経路内の流体からの作用力が軸受けにおける回転軸の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。本発明において、前記経路は、前記第2周囲領域において前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との間に前記第2付勢部として形成されたエアシリンダに駆動用気体を供給する供給路の一部とされる手段か、または、前記経路は、前記第2付勢部とされたエアシリンダの摺動部分に設けられた2重シール部において2重目のシールより気体供給側に設けられ、1重目のシールが破れた際に駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす連絡路の一部とされる手段を選択することにより、弁箱内部の中空部に露出暴露することなく、駆動用流体を回転軸内部経由で中立弁体へ供給するとともに、中間大気室への連絡路を回転軸内部経由で弁箱外部に連通させることが可能となる。本発明の前記回転軸には、前記供給路と前記連絡路となる軸方向経路がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが前記回転軸の異なる軸方向位置に設けられてなることにより、複数の経路を一本の回転軸内部を介して同時にそれぞれを別個に連通状態とすることができるので、駆動用流体の供給路とセーフティー用の中間大気用の連絡路とを一つの回転軸のみを介して配置することが可能となる。本発明における前記供給路と前記連絡路と対応する流体経路リングが、前記軸受の軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることにより、軸受に対する加重を均等に近いものとして軸受の耐久性を向上し、バルブのメンテナンス費用を低減することが可能となる。本発明の前記軸受の軸線方向中間位置には、前記回転軸を駆動する駆動系ピニオンが接続されてなることにより、軸受に対する加重を均等に近いものとして軸受の耐久性を向上し、バルブのメンテナンス費用を低減することがる。また、本発明の一態様のスライド弁においては、前記エアシリンダおよび接続ピン部は、第2シール部,第3シール部,及びワイパーを有することができ、前記ワイパーは、前記第3シール部よりも前記第2開口部に近い位置に配置されていることが好ましい。本発明の一態様のスライド弁においては、可動弁部が第1可動弁部と第2可動弁部とによって構成されている。更に、前記第1付勢部は、前記第1可動弁部を前記第1開口部に向けて移動させ、前記第1可動弁部を前記内面に接させ、前記第1可動弁部を前記内面に押圧し、前記流路を閉鎖する。更に、前記第2付勢部は、前記第1可動弁部を前記第2開口部に向けて移動させ、前記第1可動弁部を前記内面から離間させた後可動弁部を退避させることにより、前記流路を開放する。この構成によれば、2つの可動弁部と2つの付勢部とによって弁体を構成することができる。また、第1付勢部が第1、第2可動弁部を移動させて、スライド弁を直接かつ確実に閉弁することができる。また、第2付勢部が第1、第2可動弁部を移動させて、スライド弁を直接かつ確実に開弁できる。このため、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作を行うスライド弁を得ることができるという効果が得られる。本発明によれば、前記切り替え手段の機構をより小さな出力に対応したものとして、弁の小型化を図ることができるという効果を奏することができる。以下、本発明に係るスライド弁の第1実施形態を、図面に基づいて説明する。また、以下の説明に用いられる各図においては、各構成要素を図面上で認識し得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法及び比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。本発明の技術範囲は、以下に述べる実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。第1実施形態図1は、本実施形態におけるスライド弁の構成を示す平面図であり、図2は、本発明の第1実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図であり、図3は、図2の中立弁部と第1可動弁部の接続部分および第1と第2との付勢部付近を示す要部拡大図であり、図4は、本発明の第1実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が密閉閉塞位置とされている場合を示す図であり、図5は、図4の中立弁部と第1可動弁部の接続部分および第1と第2との付勢部付近を示す要部拡大図であり、図3は、本発明の第1実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。図5は、図4の中立弁部と第1可動弁部の接続部分および第1と第2との付勢部付近を示す要部拡大図である。図6は、本発明の第1実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。[振り子型スライド弁]第1実施形態のスライド弁100は、図1~図6に示すように、振り子型スライド弁である。このスライド弁100は、互いに対向した第1開口部12aと第2開口部12bとが設けられた弁箱10と、弁箱10を貫通した切り替え手段としての回転軸20と、回転軸20に固着された接続部材91と、この接続部材91を介して回転軸20に接続された中立弁部30と、回転軸20の軸線方向に移動可能として中立弁部30に接続された可動弁部40と、可動弁部40の厚さ方向寸法を拡大する方向に付勢されるメインバネ第1付勢部70と、メインバネ70の付勢方向と反対方向に伸張可能な駆動用のエアシリンダ第2付勢部80と、可動弁部40を弁箱10の中央位置側にしようとする位置規制用の補助バネ第3付勢部90と、を備えている。中立弁部30及び可動弁部40は、中立弁体5を構成している。また、可動弁部40は、第2可動弁部可動弁板部50と第1可動弁部可動弁枠部60とによって構成されている。第1開口部12aから第2開口部12bに向かって流路Hが設定されている。なお、以下の説明において、この流路Hに沿った方向を流路方向Hと称することがある。回転軸20が符号A1で示された方向流路Hの方向に交差する方向に回転すると、この回転に従って、接続部材91を介して回転軸20に固定されている中立弁部30も方向A1に沿って回動する。また、可動弁部40は中立弁部30に厚さ方向のみ摺動可能として接続されているため、可動弁部40は、中立弁部30と一体に回転する。このように中立弁部30を回転することにより、流路Hが設けられていない中空部11とされる退避位置から第1開口部12aに対応する位置とされる流路Hの弁閉位置に可動弁部40が振り子運動で移動する。そして、メインバネ70が伸張する方向に作用することで流路H方向に可動弁部40の厚さ寸法が拡大する動作により閉弁動作、後述するように、可動弁枠部60のシール部61と、可動弁板部50の反力伝達部59とが、それぞれ、弁箱10の内面15aと内面15bとを押圧することにより、可動弁部40は流路Hを閉鎖する。逆に、エアシリンダ80が作用することで、メインバネ70の付勢力にエアシリンダ80の押圧力が打ち勝って流路H方向に可動弁部40の厚さ寸法が収縮する動作により可動弁部40が表裏とも弁箱10の内面15aおよび内面15bから離間した後に解除動作、回転軸20が符号A2で示された向きに回転する退避動作と、この回転に従って中立弁部30および可動弁部40も向きA2に回動する。この解除動作と退避動作とにより、可動弁部40は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避して弁開状態とする弁開動作がおこなわれる。[弁箱10]弁箱10は、中空部11を有するフレームによって構成されている。フレームの図示上面には第1開口部12aが設けられており、フレームの図示下面には第2開口部12bが設けられている。スライド弁100は、第1開口部12aが露出されている空間第1空間と第2開口部12bが露出されている空間第2空間の間に挿入される。スライド弁100は、第1開口部12aと第2開口部12bとをつなげている流路H、即ち、第1空間と第2空間とをつなげている流路Hを仕切り閉鎖し、この仕切り状態を開放する第1空間と第2空間をつなぐ。弁箱10の中空部11には、回転軸20、中立弁部30、可動弁部40、メインバネ第1付勢部70、エアシリンダ第2付勢部80、及び補助バネ第3付勢部90が設けられている。[回転軸20、流体経路リング17,18]回転軸20は、流路Hとほぼ平行状態に延在して弁箱10を貫通するとともに回転可能に設けられている。この回転軸20には、接続部材91が固着されている。この接続部材91は、例えば略平板状の部材であり、図7に示すように、回転軸20の一端20aに対してネジ92によって固着される。図7bに示すように、接続部材91は、流路方向Hに沿った一端側が広がった略T字状の断面形状を成す突起部93が形成されている。回転軸20は、図10に示すように、弁箱10に固設されるケーシング14に、ベアリング等とされる軸受16A,16Bを介して、この弁箱10を貫通して回動可能に支持されている。軸受16A,16Bは、回転軸20の軸線LL方向に可能な限り離間して配置される。ケーシング14は、弁箱10に対して密閉状態として貫通するように固定されるとともに、回転軸20が密閉状態で回動自在に貫通するシールケーシング14Aと、このシールケーシング14Aに接続され、その内周側に設けられた軸受16A,16Bを介して回転軸20を回動自在に支持する円筒ケーシング14Bと、円筒ケーシング14Bの一端を閉塞する蓋体ケーシング14Cとからなり、これらは互いに固定接続されている。蓋体ケーシング14Cには回転軸20を挿抜可能な開孔を閉塞する蓋体14Dが設けられる。シールケーシング14Aには、弁箱10内部をシールするために、シール部14Aa、14Ab,14Acおよび、大気圧の空間空隙である中間大気室14Adが設けられている。円筒ケーシング14Bの内周面側には、軸線LL方向における軸受16A,16Bの間の位置に、流体経路リング17,18が、回転軸20の外周面20bに摺動可能に接触するように固定されている。回転軸20外周面20bの流体経路リング17,18の間の中心位置には、この回転軸20を駆動する駆動系ピニオン21が固着される。ピニオン21は外部から密閉可能なケーシング14Bの内部空間22hに収納され、このピニオン21には、図10において紙面垂直方向に往復動作することで回転軸20を回動する丸棒状のラック22が接続される。ラック22は、図20に示すように、回転軸20の軸線と直交方向の軸線を有し往復動作するピストン22bに接続部材22aを介して接続されている。ピストン22bは筒状のケーシング22Aに格納されて回転駆動エアシリンダ駆動手段を構成している。このエアシリンダに接続されたラック22は、ピストン22bのラック22に対して反対側の伸シリンダ22cに圧縮空気駆動用気体を供給することで伸張し、ピストン22bのラック22側の縮シリンダ22dに圧縮空気駆動用気体を供給することで収縮する。ラック22は、ラック22の径寸法よりも大きな径寸法とされて回転軸20と直行する方向にケーシング14内部に設けられた空間22g内部に収納される。この空間22g内部では、ラック22は、その軸線方向においてピニオン21と噛み合う両側位置とされる2箇所の外周を覆うように設けられた軸受22B,22Cによって往復移動可能に支承されている。軸受22B,22Cは、いずれも、ケーシング14Bと一体とされて、空間22gよりも小さな径寸法となるように縮径された外周面として形成されており、この軸受22B,22Cは、ラック22の外周面に密着している。ラック22の外周面の周方向の片側にはピニオン21と噛み合う歯21eが軸方向に隣接して多数設けられ、この歯22eとは異なる周方向位置に、ラック22の軸線方向に対して軸受22B両側位置の空間22gに連通する連通溝22fが設けられる。この連通溝22fは、軸線方向に対して軸受22C両側位置の空間22gに連通するとともに、ラック22が往復動作した場合でも、軸受22B両側位置の空間22gにおける連通状態および軸受22C両側位置の空間22gにおける連通状態を維持する長さとなるよう設定されている。伸シリンダ22cは、供給路22kを介して回転駆動エアシリンダ外部から伸張用の圧縮空気を供給する供給源に接続されている。縮シリンダ22dには回転駆動エアシリンダ外部から収縮用の圧縮空気を供給源から供給する供給源が接続されているが、その経路は、縮シリンダ22d、ラック22の収納された空間22g、縮径した軸受22Bに対応する位置の連通溝22fおよび歯22eに対応する空間22g、軸受22Bと軸受け22Cとの間で拡径した空間22g、ピニオン21の収納されるケーシング14Bの内部空間22h、この内部空間22hとケーシング14B外部とに接続された供給路22j、とされている。軸受16A,16Bによってケーシング14に対して支持された回転軸20は、回転駆動エアシリンダ駆動手段によって往復運動するラック22により駆動され、このラック22に噛み合うピニオン21とともに回転動作する。また、回転駆動エアシリンダ駆動手段の収縮動作時、および、ラック22の収縮位置を維持する間は、これら縮シリンダ22d、ラック22の収納された空間22g、縮径した軸受22Bに対応する位置の連通溝22fおよび歯22eに対応する空間22g、軸受22Bと軸受け22Cとの位置にかかわらず拡径している空間22g、ピニオン21の収納されるケーシング14Bの内部空間22h、この内部空間22hとケーシング14B外部とに接続された供給路22j、のいずれにおいても加圧状態が維持されることになる。流体経路リング17と流体経路リング18とは、回転軸20とほぼ等しい内径とされ、ピニオン21よりも弁箱10側の流体経路リング17の外径がベアリング16Aの外径より大きくかつピニオン21の外径寸法よりも小さく設定され、ピニオン21よりも蓋体14D側の流体経路リング18の外径がピニオン21の径寸法よりも大きく設定されている。ベアリング16A,16Bで支持された回転軸20が回動すると、流体経路リング17と流体経路リング18とに対して、接触位置が周方向に変化することになる。流体経路リング17には、第2周囲領域40aにおいて可動弁板部50と可動弁枠部60との間に形成されたエアシリンダ80に駆動用気体を供給する供給路41の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面17a及び内周面17bに開口する径方向リング経路17cが設けられる。この径方向リング経路17cの外周面17a側は円筒ケーシング14Bの径方向に貫通する経路14Bcに連通している。流体経路リング18には、第2周囲領域40aにおいて可動弁板部50と可動弁枠部60との間に形成されたエアシリンダ80に設けられた2重シール部において2重目のシールs1a,52aより気体供給側に設けられた中間大気室55に接続され、1重目のシール51b,52bが破れた際に駆動用気体をスライド弁1外部に向けて逃がす連絡路42の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面18a及び内周面18bに開口する径方向リング経路18cが設けられる。この径方向リング経路18cの外周面18a側は円筒ケーシング14Bの径方向に貫通する経路14Ccに連通している。流体経路リング17には、内周面17bに溝17dが周設され、回転軸20外周面20bとで囲まれることで周方向経路となっている。溝17dに対向する位置とされる回転軸20外周面20bには、径方向軸内経路27が開口し、径方向軸内経路27は、回転軸20の軸線LL方向に延在して回転軸20の一端面20aに開口する軸方向軸内経路25に連通している。流体経路リング18には、内周面18bに溝18dが周設され、回転軸20外周面20bとで囲まれることで周方向経路となっている。溝18dに対向する位置とされる回転軸20外周面20bには、径方向軸内経路28が開口し、径方向軸内経路28は、回転軸20の軸線LL方向に延在して回転軸20の一端面20aに開口する軸方向軸内経路26に連通している。これら軸方向軸内経路25と軸方向軸内経路26とは、互いに平行状態でかつ軸線LLに平行とされ、回転軸20の蓋体14D側の他端20c側は閉塞されている。軸方向軸内経路25と軸方向軸内経路26とは、いずれも、中立弁部30内部の供給路41及び、連絡路42に接続されている。流体経路リング17には、内周面17bと回転軸20外周面20bとの間において径方向軸内経路27の開口部分および溝17dを摺動可能にシールするOリング等のシール部材17h,17j,17kが周設されている。流体経路リング17には、外周面17aと円筒ケーシング14B内面との間において径方向リング経路17cの開口部分および経路14BcをシールするOリング等のシール部材17e,17f,17gが周設されている。流体経路リング18には、内周面18bと回転軸20外周面20bとの間において径方向軸内経路27の開口部分および溝18dを摺動可能にシールするOリング等のシール部材18h,18j,18kが周設されている。流体経路リング18には、外周面18aと円筒ケーシング14B内面との間において径方向リング経路18cの開口部分および経路14CcをシールするOリング等のシール部材18e,18f,18gが周設されている。流体経路リング17と流体経路リング18とは、図10、図11に示すように、周方向経路となる溝17d,18dが設けられていることで、どのような回転軸20の回動位置になっても、径方向軸内経路27と径方向軸内経路28が連通した状態を維持できるため、密閉度よく、後述するように駆動用流体の供給等をおこなうことができる。しかも、供給路41と連絡路42とを、独立してそれぞれ接続しているので、回転軸20の回動位置にかかわらず、異なる圧力状態あるいは、異なるガス状態の2系統を弁体10内部に影響を与えずに、制御することが可能となる。同時に、周方向経路となる溝17d,18dが周設されているため、溝17d、18d内の流体からの圧力が回転軸20の外周面20bに一周するように作用するため、径方向に作用する圧力を全周で均等にすることができるため、これらの流路における圧力状態にかかわらず、軸受16Aと軸受16Bにおける回転軸20の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。同時に、軸受16Aと軸受16Bとの間にこれらの流体経路リング17と流体経路リング18を位置して、回転軸を支持する軸受16Aと軸受16Bとの間の距離をできるだけ長く確保することができる。これにより、回転軸20が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを軸受16Aと軸受16Bで保持する場合、これらの軸受16Aと軸受16Bが受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それによりこれら軸受16Aと軸受16Bの耐久性を向上させることができる。または、必要な回転軸20の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸20の軸線方向長さを確保することができ、回転軸20の駆動手段を小型化し、バルブとしての小型化を図ることができる。また、軸受16Aと軸受16B、流体経路リング17、ピニオン21および流体経路リング18の外径寸法を上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を反転させて、これらをケーシング14に対して組み付けることが可能である。本実施形態においてエアシリンダ80の駆動用とされる圧縮空気を、弁箱10内部の中空部11に露出暴露することなく、回転軸20内部経由で中立弁体5へ供給するとともに、後述する中間大気室55,56への連絡路42を回転軸20内部経由で弁箱10外部に連通させることが可能となる。本発明の回転軸20には、供給路41と連絡路42となる軸方向経路25,26がそれぞれ平行に設けられてなるとともに、供給路41と連絡路42とに対応する流体経路リング17と流体経路リング18とが回転軸20の異なる軸線LL方向位置に設けられてなることにより、一本の回転軸20内部を介して複数の経路25,26を同時にそれぞれ別個に連通状態とすることができるので、エアシリンダ80の駆動用流体の供給路41とセーフティー用の中間大気用の連絡路42とを一つの回転軸20のみで他の構成を用いずに配置することが可能となる。本発明における供給路41と連絡路42と対応する流体経路リング17,18が、軸受16A,16Bの軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることにより、軸受16A,16Bに対する加重を均等に近いものとして軸受16A,16Bの耐久性を向上し、スライド弁1のメンテナンス費用を低減することができる。なお、本実施形態においては、周方向経路として、図10、図11に示すように、溝17d、18dを流体経路リング17と流体経路リング18との内面17b、18bのみに形成したが、図16に示すように、回転軸20外周面20bに溝22,溝23を形成することが可能である。あるいは、これら流体経路リング17と流体経路リング18との内面17b、18bおよび回転軸20外周面20bの両方に溝を形成することもできる。また、本実施形態においては、周方向経路として、図10a、図11bに示すように、溝17d、18dを回転軸20の全周に設けたが、図1に矢印A1,A2で示した中立弁体5の回動範囲に対応した必要部分のみ、つまり、図17に示すように、回転軸20に要求される回動範囲に対応した周方向円弧範囲A1A2に対応した部分に円弧状に溝17d、18dを形成することもできる。この例では、溝17dが径方向リング経路18cに対する径方向軸内経路27の移動範囲A1A2に円弧状に設けられ、この溝17dは中立弁体5の回動範囲に体操する中心角度範囲とほぼ等しい中心角度範囲とされる。また、溝18dが、径方向リング経路18cに対する径方向軸内経路28の移動範囲A1A2に加えて、径方向リング経路18cに対する接続部分A1A2aにも設けられている。流体経路リング17の内周面17bにおいて、シール部材17hとシール部材17jとの間には、径方向リング経路17cに連通する溝17dが設けられ、シール部材17jとシール部材17kとの間には、溝17pが周設されている。この溝17pと対向する回転軸20の外周面20bとは、大気圧の空間空隙である第2中間大気室を形成するとともに第2連通路42Aによって、ケーシング外部に接続されている。これらシール部材17jとシール部材17kとは、駆動用気体の存在する供給路41となる溝17dに対する2重シール部として機能しており、エアシリンダ80の加圧中に、回転軸20における1重目のシールであるシール部材17jが破れた場合でも、圧縮空気駆動用気体を溝17pおよび第2連通路42Aを介してケーシング14外部に逃がして、ケーシング14B内において流体経路リング17の溝17d側からピニオン21側の内部空間22hに圧縮空気が放出されてしまう等、溝17dと内部空間22hとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。同時に、シール部材17kとシール部材17jとは、回転軸20の回転駆動エアシリンダ駆動手段において加圧空間となる内部空間22hに対する2重シール部として機能しており、回転駆動エアシリンダの収縮中に、回転軸20における1重目のシールであるシール部材17kが破れた場合でも、圧縮空気駆動用気体を溝17pおよび第2連通路42Aを介してケーシング14外部に逃がして、ケーシング14B内において内部空間22h側から供給路41となる溝17dに圧縮空気が放出されてしまう等、溝17dと内部空間22hとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。これらの溝17d、内部空間22hは、いずれも加圧空間であるが、所定の動作に対応する圧力状態が、シール部の破れによって変化した場合、中立弁体5の厚さがいきなり膨張する、中立弁体5が回動動作するといった予期せぬ動作を起こしてしまうことを防止するものである。つまり、シール部材17k、シール部材17j、溝17pおよび第2連通路42Aにより、スライド弁1がシール破れによって破損する等を防止することができる。流体経路リング18の内周面18bにおいて、シール部材18kとシール部材18jとの間には、径方向リング経路18cに連通する溝18dが設けられ、シール部材18jとシール部材18hとの間には、溝18pが周設されている。この溝18pと対向する回転軸20の外周面20bとは、大気圧の空間空隙である第2中間大気室を形成するとともに第2連通路42Aによって、ケーシング外部に接続されている。これらシール部材18jとシール部材18hとは、回転軸20の回転駆動エアシリンダ駆動手段において加圧空間となる内部空間22hに対する2重シール部として機能しており、回転駆動エアシリンダの収縮中に、回転軸20における1重目のシールであるシール部材18hが破れた場合でも、圧縮空気駆動用気体を溝18pおよび第2連通路42Aを介してケーシング14外部に逃がして、ケーシング14B内において内部空間22h側から連通路42となる溝18dに圧縮空気が放出されてしまう等、溝18dと内部空間22hとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。これにより、内部空間22hは加圧空間であり、所定の動作に対応する圧力状態が、シール部の破れによって変化した場合、中立弁体5が回動動作するといった予期せぬ動作を起こしてしまうことを防止するものである。つまり、シール部材18h、シール部材18j、溝18pおよび第2連通路42Aにより、スライド弁1がシール破れによって破損する等を防止することができる。なお、ピニオン21の収納される内部空間22hが、加圧空間とはならない場合には、図18に示すように、溝17p、溝18p、および、第2連通路42Aを設けない構成も可能である。この場合、さらに、シール部材17j、18jを設けないこともできる。また、溝17dおよび溝18dには、図15に示すように、その回転軸20の外周面20b側開口位置に、テーパ面17m、テーパ面18mが設けられて、拡径されている。このテーパ面17m,18mは、流体経路リング17,18の径方向に奥行き寸法Tt1を有し、この奥行き寸法Tt1は、シール部材17h,17j,17k,18h,18j,18kがOリングとされた場合に、シール時における潰し代ではなく、回転軸20が流体経路リング17,18と接触しない状態で、このO-リングが回転軸20の外周面20bかた突出した高さ寸法Tt2よりも大きくなるように設定される。また、テーパ面17m,18mは、流体経路リング17,18内周面の径方向の法線となす角度θが45°以上、好ましくは30°以上となるように設定される。これにより、回転軸20のケーシング14への組み付け時に、O-リングが溝17d,18dの開口部分に引っかかって破損するなどの不具合を防止することができる。なお、テーパ面17m,18mは、O-リングの破損が可能であれば、この形状に限定されるものではない。さらに、溝17dおよび溝18dの回転軸20の外周面20b側開口位置には、テーパ面17m,18mの代わりに、図19に示すように、角を丸めた曲面17n,18nを形成することもできる。この曲面17n,18nの奥行き寸法Tt1は、同様に、O-リングが回転軸20の外周面20bかた突出した高さ寸法Tt2よりも大きくなるように設定されることができる。円筒ケーシング14Bのシールケーシング14A側には、径方向に延在するリーク流路14Heが設けられる。このリーク流路14Heは、図10bに示すように、軸受16Aよりもシールケーシング14A側となるとともに回転軸20の表面20bと接するリーク空間22Heに連通している。リーク空間22Heと接する回短軸20の内部には、軸方向リーク流路27Heが設けられ、この軸方向リーク流路27Heは、その一端が、図10aおよび図11bに示すように、リーク空間22Heに開口するとともに、軸方向リーク流路27Heの他端は、後述するように、図10bおよび図12に示すように、回転軸20の中心に軸線方向に貫通し接続部材91を介して回転軸20と中立弁部30とを締結するための雄ネジ締結具21を貫通させる貫通穴21Aに向けて開口している。貫通穴21Aは、接続部材91の開口98および中立弁部30に設けられ、雄ネジ21を螺合する雌ネジ締結具31のある空間31Heに連通している。後述するように雄ネジ21は、図12に示すように、締結されている雌ネジ31のある空間31Heまでネジ溝のない開口98を貫通している。この空間31Heは溝95B側が、図示しない閉塞部材によって閉塞されている。中立弁部30の空気溜まり空間31Heは、その先の溝95B側における図示しないOリング等による封止が破れているかを調べるヘリウムリークテストをおこなうことが必要である。このため、空気溜まり空間31Heは、開口98、貫通穴21A、軸方向リーク流路27He、リーク空間22He、リーク流路14Heを介してリーク空間22He側に連通され、ここから、空気溜まり空間31He、開口98、貫通穴21Aに対する密閉状態を検査するヘリウムリークテストのためにヘリウムの供給が可能となっている。このように、軸方向リーク流路27Heおよびリーク流路14Heを設けることで、空気溜まり空間31He、開口98、貫通穴21Aに対するヘリウムリークテストが可能となる。同時に、リーク流路14Heから、回転軸20の表面20bに沿ったシール手段としてのシール部14Aa、14Ab,14Acおよび、大気圧の空間空隙である中間大気室14Adに対して、中空部11へのシールテストをおこなうことが可能となる。つまり、として、リーク流路14Heから、リーク空間22He側にヘリウムを供給し中空部11に対するリークを調べることで、ヘリウムリークテストをおこなうことが可能となる。さらに、リーク流路14Heは、シール部材17h,17j,17k、シール部材17e,17f,17gなどによる封止が破綻して、加圧空間である内部空間22hおよび径方向リング経路17c、溝17dなどから、圧縮空気がリーク空間22Heに漏れだした場合に、この圧縮空気を外部に逃がすことができる。これにより、シール部14Aa、14Ab,14Acに圧力が加わることを防止して、漏れた圧縮空気が中空部11へ流入してしまうことが防止できる。[中立弁部30、接続部材91]中立弁部30は、回転軸20の軸線に対して直行する方向に延在し、この方向に平行な面を有している。図1に示すように、中立弁部30は、可動弁部40に重なる円形部30aと、回転軸20の回転に伴って円形部を回転させる回転部30bとを有する。回転部30bは、回転軸20と円形部30aとの間に位置しており、回転部30bの幅は回転軸20から円形部30aに向けて徐々に増加している。これら回転軸20、中立弁部30は、弁箱10に対して回動はするが、流路H方向には位置変動しないように設けられている。中立弁部30の一端には、図12に示すように、接続部材91の突起部93と嵌合する凹部95が形成されている。この凹部95は、その断面形状が接続部材91の断面形状と合致する略T字状を成す。こうした凹部95は、中立弁部30の流路方向Hにおける一面側30Aと他面側30Bの両側に、それぞれ凹部95A,95Bとして形成されている。これによって、回転軸20は、中立弁部30に対して流路方向Hに沿った上側と下側のいずれにも選択的に接続することができる。あるいは、回転軸20に対して、中立弁体5全体を両面どちらにも取り付けることができる。即ち、接続部材91の凹部95Aの側に中立弁体5を取り付ければ、スライド弁1の閉弁時において、可動弁部40が第1開口部12aを塞ぐ向きとなる。逆に、接続部材91の凹部95Bの側に中立弁体5を取り付ければ、可動弁部40が第2開口部12abを塞ぐ向きにとなる。図12に示すように、接続部材91に形成された突起部93と、中立弁部30に形成された凹部95とは互いに嵌合される。図12aに示すように、接続部材91と中立弁部30とは、係合状態において、流路方向Hに沿って互いに平行に広がり第一間隔t1で離間した一組の第一平行面96a,96bと、流路方向Hに沿って互いに平行に広がり第一間隔t1よりも広い第二間隔t2で離間した一組の第二平行面97a,97bとで互いに接触している。こうした一組の第一平行面96a,96b、および一組の第二平行面97a,97bは、それぞれ、流路方向Hに直角に延びる一軸Lを挟んで対称に配される。また、第一平行面96a,96bと第二平行面97a,97bとは、この一軸Lに沿って互いに重ならない位置に配される。接続部材91の突起部93には、図12に示すように、この一組の第一平行面96a,96bを構成する第一接触面93a,93bと、第二平行面97a,97bを構成する第二接触面93c,93dとが形成されている。そして、これら第一接触面93a,93bと第二接触面93c,93dのそれぞれを繋ぐ第一傾斜面93e,93fとともに、突起部93は全体として2段階の幅を持つ突起形状を成している。中立弁部30の一端に形成された凹部95は、図12に示すように、一組の第一平行面96a,96bを構成する第三接触面95a,95bと、第二平行面97a,97bを構成する第四接触面95c,95dとが形成されている。そして、これら第三接触面95a,95bと第四接触面95c,95dのそれぞれを繋ぐ第二傾斜面95e,95fとともに、凹部95は全体として2段階の幅を持つ溝形状を成している。回転軸20の中心には、図12に示すように、接続部材91を介して回転軸20と中立弁部30とを締結するための雄ネジ締結具21を貫通させる貫通穴21Aが形成されている。また、中立弁部30の一端に形成された凹部95には、雄ネジ締結具21と螺合する雌ネジ31が形成されている。更に、接続部材91には、雄ネジ締結具21を貫通させるネジ溝のない開口98が形成されている。以上の構成によって、接続部材91に形成された突起部93と、中立弁部30に形成された凹部95とを嵌合させ、更に、回転軸20の上端側から、雄ネジ21を貫通穴21Aおよび開口98に貫通させ、雄ネジ21の先端部分を、中立弁部30の雌ネジ31にネジ止めすることにより、回転軸20と中立弁部30とは、接続部材91を介して締結固定される。中立弁部30のメンテナンス、例えば、繰り返し開閉による中立弁部30の交換等で、中立弁部30を回転軸20に固着された接続部材91に取り付ける際には、中立弁部30の一端に形成された凹部95を接続部材91に形成された突起部93に対向させる。次に、中立弁部30の凹部95を突起部93に差し込むと、凹部95の第三接触面95a,95bが、それぞれ突起部93の第一接触面93a,93bに接触する。また、凹部95の第四接触面95c,95dが、それぞれ突起部93の第二接触面93c,93dに接触する。こうした挿入工程での凹部95と突起部93との接触面は、第一平行面96a,96b、および第二平行面97a,97bに限られ、突起部93の第一傾斜面93e,93fと、凹部95の第二傾斜面95e,95fとは接触しない。つまり、矢印B1で示す方向である接続方向において、回転軸20の軸線を挟んだ両側位置となる部分で周方向の取り付け位置を規制することができるので、取り付け位置、特に、回転軸20の軸線周りの中立弁部30の取り付け方向の正確性を容易に向上することができる。同時に、例えば、凹部95と突起部93との接触面第一平行面96a,96b、第二平行面97a,97bのクリアランス隙間を極めて小さく設定しても、凹部95を突起部93に押し込む際の摩擦力が軽減され、スムーズに凹部95と突起部93とを嵌合させることができる。また、互いに幅の異なる第一平行面96a,96b、および第二平行面97a,97bで凹部95と突起部93とを接触させることによって、凹部95を突起部93に押し込む際の取付精度を向上させると共に、取付時に摩擦力の軽減によって、容易にその取付位置、即ち突起部93に対する凹部95の押し込み量を調整することができる。即ち、凹部95と突起部93との係合時には、凹部95に形成されためねじ31のネジ穴位置を、接続部材91の突起部93に形成された開口98と合致させる必要がある。本実施形態のように、第一平行面96a,96b、および第二平行面97a,97bだけで凹部95と突起部93とを接触させることで、雌ネジ31のネジ穴位置と突起部93に形成された開口98とを容易に微調整しつつ合致させることができる。これによって、回転軸20の貫通穴21Aから開口98を介して雄ネジ締結具21を容易に雌ネジ31に締結することができる。また、端面93mと端面95mとを接触させることで、図12において矢印B1で示す方向である接続方向における互いの位置決めをおこなうことも可能である。なお、この実施形態においては、接続部材91に突起部93を、また中立弁部30の一端に凹部95を設けているが、凹凸が逆の構造とすることもできる。つまり、回転軸20に固着される接続部材に凹部を形成して、この凹部と嵌合する突起部を中立弁部の一端に形成する構造である。[可動弁部40、第2可動弁部可動弁板部50、第1可動弁部可動弁枠部60]可動弁部40は略円板状とされ、円形部30aと略同心円状に形成された可動弁板部50と、この可動弁板部50の周囲を囲むように配置された略円環状の第2可動弁部60とを有する。第2可動弁部60は、中立弁部30に流路H方向に摺動可能として接続されている。また、可動弁板部50は、第2可動弁部60に摺動可能として嵌合されている。可動弁板部50と第2可動弁部60とは、メインバネ70及びエアシリンダ80によって符号B1,B2で示された方向往復方向に摺動しながら移動可能である。ここで、符号B1,B2で示された方向とは、可動弁板部50および第2可動弁部60の面に垂直な方向であり、回転軸20の軸方向に平行な流路H方向である。また、可動弁板部50の外周付近における全領域には、内周クランク部50cが形成されている。また、可動弁枠部60の内周付近における全領域には、外周クランク部60cが形成されている。第1実施形態においては、外周クランク部60cと内周クランク部50cとが、流路H方向と平行な摺動面50b、60bどうしで摺動可能に嵌合している。弁箱10の内面に対向当接する可動弁枠部60の表面には、第1開口部12aの形状に対応して円環状に形成された、例えば、Oリング等からなる第1シール部61主シール部が設けられている。この第1シール部61は、閉弁時に可動弁部40が第1開口部12aを覆っている状態で、第1開口部12aの周縁となる弁箱10の内面15aに接触し、可動弁枠部60及び弁箱10の内面によって押圧される。これによって、第1空間は第2空間から確実に隔離される仕切り状態が確保される。[メインバネ第1付勢部70]メインバネ第1付勢部70は、可動弁部40の最外周となる第1周囲領域40aに隣接した第1周囲領域40bに配置されている。メインバネ70においては、可動弁枠部60を第1開口部12aに向けてB1方向に押圧するように、同時に、可動弁板部50を第2開口部12bに向けてB2方向に押圧するように復元力が生じている。これにより可動弁部40による弁閉状態において、メインバネ70は、可動弁板部50に力を加え付勢し、第2開口部12bの周囲に位置する弁箱10の内面15bに向けて可動弁板部50を押圧して内面15bと可動弁板部50の反力伝達部59とを当接させているとともに、同時に、可動弁枠部60に力を加え付勢し、第1開口部12aの周囲に位置する弁箱10の内面15aに向けて可動弁枠部60を押圧して内面15aと可動弁枠部60の第1シール部61とを当接させている。第1実施形態においては、メインバネ70は、可動弁板部50に第2開口部12b側を向いて開口するよう設けられた凹部50aとこの凹部50aの対向位置に可動弁枠部60に第1開口部12a側を向いて開口するよう設けられた凹部60aとに嵌め込まれて設けられた弾性部材例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなどである。メインバネ70は、第一端と第二端とを有する。第一端は、可動弁板部50の凹部50aの底面に当接している。第二端は、可動弁枠部60の凹部60aの天井面に当接している。また、図1に示すように、円環状の可動弁枠部60において、複数の第1付勢部70が周方向に沿って等間隔に設けられている。メインバネ70を構成する弾性部材の自然長は、可動弁枠部60のシール部61と、可動弁板部50の反力伝達部59とが、それぞれ、弁箱10の内面15aと内面15bとを押圧する可動弁部40の最大厚さ寸法となった状態における可動弁板部50の凹部50aの底面と可動弁枠部60の凹部60aの天井面との間の距離よりも大きい。このため、可動弁板部50の凹部50aの底面と可動弁枠部60の凹部60aの天井面とによって圧縮されつつ凹部50aおよび凹部60aの内部に配置されているメインバネ70においては、弾性復元力延伸力,付勢力が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁枠部60がB1方向に、同時に、可動弁板部50がB2方向に摺動しながら、第1シール部61および反力伝達部59が弁箱10の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。また、メインバネ70は、第1シール部61に対する押圧力を効率よく伝達してスライド弁100の閉塞を確実にするために、第1シール部61に近接した第2周囲領域40bに配置される。具体的には、第1シール部61直下のすぐ外周位置には後述する反力伝達部59となる突条が位置するのに対し、可動弁板部50の径方向位置として、この第1シール部61を挟んだ突条反力伝達部59の反対側位置にメインバネ70は位置される。これにより、メインバネ70の付勢力は効率よく可動弁枠部60のシール部61と可動弁板部50の反力伝達部59とに伝達され、第1シール部61の変形による弁の密閉の確実性を向上することができる。また、メインバネ70は、第1シール部61を直接押圧できるようにするために、第1シール部61の直下付近とされる第2周囲領域40bに配置されることもできる。この場合、スライド弁においては、第1付勢部70を可動弁枠部60に設けられているので、第1付勢部70を第1シール部61の直下に位置させることが可能である。このように、スライド弁100においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ70と、開弁動作を行う第2付勢部80後述とが近接して設けられている。この構成において、メインバネ70及び第2付勢部80は、第1シール部61に近い可動弁部40の周囲領域第1周囲領域40a及び第2周囲領域40bにおいて、互いに近接するように径方向に隣接して配置されている。また、メインバネ70は、第1シール部61の直下付近に位置している。つまり、スライド弁100の構造は、第1シール部61、反力伝達部59、メインバネ70の位置関係が、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造として効率よくシールをおこなうことができるように構成される。さらに、メインバネ70の付勢力が可動弁板部50と可動弁枠部60とを拡げる方向、つまり、可動弁部40の厚さを増大して、可動弁枠部60のシール部61と可動弁板部50の反力伝達部59とを弁箱10の内面15a,15bに押圧する方向に設定されているので、停電等によってユーティリティ設備からスライド弁100を備える装置への電力供給エネルギー供給が停止した場合であっても、メインバネ70において生じる機械的な力のみで確実にスライド弁100を閉じることができる。このため、フェイルセーフなスライド弁を確実に実現できる。一方、スライド弁40の厚さを減じる付勢がおこなわれているもの、あるいは、ユーティリティ設備から供給される電力等のエネルギーによって閉弁動作が行われている構造を有するスライド弁においては、ユーティリティ設備から装置へのエネルギー供給が停止した場合に閉弁動作を行うことができない場合がある。このため、このような構造においては、フェイルセーフなスライド弁を実現できない。[エアシリンダ第2付勢部80]エアシリンダ80は、可動弁部40の最外周となる第1周囲領域40aに配置されている。エアシリンダ80においては、エアシリンダ80に駆動流体として圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部60を第2開口部12bに向けてB2方向移動させる力付勢力、圧縮空気に起因する力が生じる。同時に、可動弁板部50を第1開口部12aに向けてB1方向に移動させる力付勢力、圧縮空気に起因する力が生じる。これによって、メインバネ70の付勢力に打ち勝って、第1開口部12aの周囲に位置する弁箱10の内面15aから可動弁枠部60を離間させるのと同時に、第2開口部12bの周囲に位置する弁箱10の内面15bから可動弁板部50を離間させる。これにより、後述する補助バネ第3付勢部90の付勢力により体40は流路H方向において弁箱10の厚さ中央位置となりの弁箱10内で回動可能な状態となる。なお、可動弁部40において、第1周囲領域40aは、円環状である可動弁枠部60のシール部61と可動弁板部50の反力伝達部59との内側に位置する。同時に、可動弁部40において、第2周囲領域40bは、第1周囲領域40aの内側に位置する。即ち、可動弁部40の径方向において、メインバネ70は、エアシリンダ80の内側に配置されている。言い換えれば、エアシリンダ80は、可動弁板部50と可動弁枠部60とが摺動する方向流路H方向に交差する方向においてメインバネ70に隣接している。つまり、エアシリンダ80は、可動弁部40の径方向において、シール部61および反力伝達部59、と、メインバネ70との間に位置する。第1実施形態においては、エアシリンダ80は、可動弁板部50と可動弁枠部60との間に設けられた1つのエアシリンダ空隙である。具体的に、このエアシリンダ80は、可動弁枠部60の第1開口部12aに向けて開口した凹部60dと可動弁板部50の第2開口部12bに向けて突出した凸部50dとが勘合した状態で形成され、これら環状の凹部60dと環状の凸部50dとが摺動するように形成されている。また、このエアシリンダ80は、可動弁枠部60の周縁部に形成された円環状の空間、および、可動弁板部50の最外周に形成された突条環状凸部からなり、1つの円環シリンダ円環空隙として機能する。また、言い換えると、円環シリンダは、流路Hを囲むように形成されている。エアシリンダ80に駆動用流体である圧縮空気が供給されると、第2付勢部80の体積を膨張させる膨張力付勢力がB1,B2方向に生じる。膨張力の大きさがメインバネ70に生じる復元力よりも大きい場合、この膨張力がメインバネ70の付勢力に打ち勝ってメインバネ70が圧縮され、可動弁板部50がB1方向に可動弁枠部60がB2方向に摺動して弁体40の厚さ方向寸法が縮小して、第1シール部61が弁箱10の内面15aから離間し、同時に、反力伝達部59が弁箱10の内面15bから離間して、開弁動作が行われる。この際、円環状の凹部60dと凸部50dとが摺動することで、可動弁板部50と可動弁枠部60との移動する方向が流路方向のみに規制されるとともに、可動弁板部50と可動弁枠部60とが、シール部61および反力伝達部59が弁箱10内面15a、15bに当接した状態から平行移動するように位置規制される。つまり、このエアシリンダ80は可動弁板部50と可動弁枠部60との相対移動方向とその姿勢を規制することができる。[補助バネ第3付勢部90]補助バネ90は、中立弁部30と可動弁枠部60との間に設けられ、弁箱10の流路方向ほぼ中央に位置する中立弁部30に対して、弁体40の厚さ寸法が縮小した際に、弁体40を弁箱10の中央よりに付勢するものである。補助バネ90は、中立弁部30の外周位置図2,図4では右側位置に設けられた開口30aを貫通して可動弁枠部60に接続された棒状の位置規制部65に設けられている。補助バネ90もメインバネ70と同様に弾性部材例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなどである。補助バネ90は、中立弁部30開口30aの第1開口部12a側に設けられたフランジ部30bと、位置規制部65の先端65aとに係止されて、可動弁枠部60を第2開口部12b側に移動するB2に向かう向きに付勢されている。補助バネ90は、この中立弁部30より第1開口部12a側に位置する可動弁枠部60を第2開口部12bに向けて付勢して、第1開口部12aの周囲に位置する弁箱10の内面15aに可動弁枠部60のシール部61が当接している場合であって、エアシリンダ80に駆動用流体である圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部60が第1開口部12aの周囲に位置する弁箱10の内面15aから離間するように付勢している。これにより、エアシリンダ80に圧縮空気が供給された際に、弁体40が弁箱10の流路方向ほぼ中央に向かって移動し、最終的に、弁体40が弁箱10の流路方向ほぼ中央に位置するように姿勢制御される。また、補助バネ90の付勢力は、メインバネ70の付勢力とエアシリンダ80の付勢力の差よりも遙かに小さいものとされる。つまり、弁閉状態を実現するための能動的バネあるいは、アクチュエータとしてのメインバネ70やエアシリンダ80に比べて、弁体の厚さ寸法を変化させるものであるから極めて小さなものでよい。このように、スライド弁100においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、弁体40厚さを増大する動作を行うメインバネ70と、弁体40厚さを縮小する動作を行うエアシリンダ80と、弁体40を流路方向において弁箱10中央位置側にする姿勢制御をおこなう補助バネ90と、が設けられている。この構成において、メインバネ70及びエアシリンダ80は、第1シール部61に近い可動弁部40の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。エアシリンダ80は、可動弁板部50と可動弁枠部60との間に設けられた1つの円環シリンダを構成している。この構成によれば、一方向に圧縮空気第2付勢部80に供給する供給路41が1つ設けられていれば、圧縮空気を円環状のエアシリンダ80に沿ってこの円環シリンダの内部に供給することができ、弁体40の厚さ寸法の伸縮開弁動作及び閉弁動作を行うことができるとともに、この動作中において補助バネ90により弁体40の伸縮に伴う弁体40の流路方向位置を弁箱10中央付近に容易に維持することができる。このため、簡易かつコンパクトな構成を有するアクチュエータを実現することができる。また、エアシリンダ80は、開弁動作を行うために用いられるので、第2付勢部80において発生する力の大きさ出力として、第1付勢部70を圧縮することができる大きさ出力があれば十分である。第1実施形態においては、可動弁板部50と可動弁枠部60とによって1つの厚さ方向寸法を可変な可動弁部40が構成されているので、2枚の可動弁部を設ける必要がなく、簡単かつコンパクトな構造を有する可動弁部を実現することができる。また、中立弁部30にはアクチュエータの力、特に弁閉状態を維持するように弁体40を密閉する際にかかる力が作用しない。このため、中立弁部30には振り子弁として弁体を揺動するに足る強度があれば充分である。また、回転軸20にもアクチュエータの力、特に弁閉状態を維持するように弁体40を密閉する際にかかる力が作用しない。このため、回転軸20振り子弁として弁体を揺動するに足る強度があれば充分である。同時に、回転軸20に弁密閉するためのモーメントが必要なものに比べて、弁体40の揺動機構の出力を抑えることができるので、この回転軸20の回動機構を小型化することができる。この構造においては、剛性として、上記中立弁部30の強度に加えて、退避位置と弁開閉位置の間で可動弁部40を回動させる際にその自重を支える強度があれば十分である。図2は、可動弁板部50と可動弁枠部60とが互いに嵌合されている部分および中立弁部30と可動弁板部50とが互いに嵌合されている部分を示す拡大縦断面図であり、第1付勢部70及びガイドピン62が設けられた部位を示している。[第2シール部2重シール部51a,51b及び第3シール部2重シール部52a,52b]可動弁板部50の環状凸部突条50dの外周面には、可動弁枠部60の環状凹部60dの内周面に当接し、可動弁板部50と可動弁枠部60との間をシールする2重シール部として、Oリング等の円環状の第2シール部51a,51b及び第3シール部52a,52bが設けられている。具体的には、可動弁板部50の環状凸部突条50dの径方向外側に位置する第1外周面50fに第2シール部51a,51bが設けられている。また、径方向において第1外周面50fの内側である第2内周面50gに、第3シール部52a,52bが設けられている。第2シール部51a,51bは、可動弁枠部60の第1内周面60fに当接し、第3シール部52a,52bは、可動弁枠部60の第2外周面60gに当接する。第2シール部51a,51bは、圧力が高い空間であるエアシリンダ80と、圧力が低い空間等であって第1開口部12aに近い中空部11とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第3シール部52a,52bは、圧力が高い空間であるエアシリンダ80と、圧力が低い空間等であって第2開口部12bに中空部11とを仕切り、仕切り状態を確保する。第2シール部51a,51bは、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間であるエアシリンダ80と、例えば圧力が低い空間である第1開口部12aに連通する第1空間側とを遮断するものであり、この仕切り状態を確保することができる。同様に、第3シール部52a,52bは、圧力が高い空間であるエアシリンダ80と、圧力が低い空間であって第2開口部12bに近い第2空間側とを仕切り、仕切り状態を確保することができる。[ガイドピン62]ガイドピン62は、可動弁枠部60に固設されて流路方向に立設された太さ寸法均一の棒状体とされ、エアシリンダ80内を貫通し、可動弁板部50の環状凸部突条50dに形成された孔部50hに嵌合している。このガイドピン62は、可動弁板部50と可動弁枠部60とが摺動する方向が符号B1,B2に示された方向からずれないように、かつ、可動弁板部50と可動弁枠部60とが摺動した際にもその姿勢が変化せずに平行移動をおこなうように、これらの位置規制を確実に誘導する。これによって、可動弁板部50と可動弁枠部60とが、符号B1,B2に対して斜め方向に移動することを防止している。同時に、可動弁枠部60は、弁閉状態としてシール部61と反力伝達部59とがそれぞれ弁箱10の内面15a,15bに当接した状態に対して、可動弁板部50と可動弁枠部60との流路方向位置が変化した場合でも、これらが平行状態を維持して平行移動し、可動弁板部50と可動弁枠部60とが傾いてしまうことを防止している。この構造においては、可動弁板部50と可動弁枠部60とが互いに位置決めされつつ、符号B1及びB2で示された方向に平行状態を維持したまま相対的に移動し、閉弁動作及び開弁動作を行うことができる。これによって、開弁動作においては、可動弁枠部60に設けられた第1シール部61に均一に押圧力を生じさせ、リークが抑制されたシール構造を実現できる。また、このようにガイドピン62を備えた構造においては、スライド弁100が真空装置に取り付けられる姿勢が決められていない場合、即ち、スライド弁100が取り付け方向が自由である場合に、弁体40の重量の負荷が第2シール部51a,51b及び第3シール部52a,52bに局所的に加わることを防止することができる。例えば、可動弁板部50と可動弁枠部60とが摺動する方向に対して直角に重力が作用するようにスライド弁100が取り付けられている場合、摺動する部材である可動弁板部50と可動弁枠部60との重量がガイドピン62に加わる。このため、第2シール部51a,51b及び第3シール部52a,52bO-ringに可動弁板部50と可動弁枠部60との重量が直接的に加わることを防止される。これにより、スライド弁100が取り付けられる姿勢がいかなる姿勢であっても、シール部の寿命が短くならず、リークを防止する効果を確保維持することができる。ガイドピン62と孔部50hとの摺動面の面積を低減するため、また、スライド弁100の外部である第1空間及び第2空間からガイドピン62を隔離するために、ガイドピン62は、エアシリンダ80内を貫通するように配置されている。また、このように、エアシリンダ80内にガイドピン62を配置することにより、可動弁板部50と可動弁枠部60とを互いに滑らかに摺動させることができる。なお、ガイドピンの強度が十分に得られていれば、大口径を有するスライド弁においても、可動弁部60が摺動する方向がずれることが防止される。また、ガイドピン62は、特殊な形状を有する可動弁部においても流路と直行する面内配置を設定して荷重を適宜分散することでより一層開閉動作の良好なスライド弁として適用可能である。ガイドピン62には、図14に示すように、その先端と可動弁枠部60側に形成された内部空間62aに連通する開口を有し、ガイドピン62内部を貫通する軸方向経路62bが設けられその基部側が、連絡路42に接続されている。また、円筒状の内部空間62aは、中立弁部5の径方向内側および外側に向かう経路42aを介してガイドピン62中心側に位置する中間大気室55,56にそれぞれ連通されている。ガイドピン62の可動弁板部50側となる先端側には、Oリング等とされるシール部材62cが設けられて孔部50hとの摺動面をシールしている。[ワイパー53,54]可動弁板部50の環状凸部突条50dの径方向外側に位置する第1外周面50fには、可動弁部60の内周面に当接する円環状のワイパー53が設けられている。同様に、可動弁板部50の環状凸部突条50dの径方向において第1外周面50fの内側である第2内周面50gには、可動弁部60の外周面に当接する円環状のワイパー54が設けられている。ワイパー53は、第2シール部51a,51bと同様にして、可動弁枠部60の第1内周面60fに当接し、ワイパー54は、第3シール部52a,52bと同様にして、可動弁枠部60の第1外周面60gに当接する。ワイパー53,54、第2シール部51a,51b、第3シール部52a,52bは、いずれも、可動弁板部50の環状凸部突条50dに配置されている。第2シール部51aは、第1開口部12a第1空間に近い位置に配置されている。第3シール部52aは、第2開口部12b第2空間に近い位置に配置されている。これらのワイパー53,54は、開弁動作及び閉弁動作によって環状の凹部60dと環状の凸部50dとが摺動するエアシリンダ80において、その可動弁枠部60の凹部60dの内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ80から発生するダストを第1空間及び第2空間に放出させない機能を有する。また、ワイパー53,54を構成する部材材料として、例えば、スポンジ状のポーラスな弾性体を選択すれば、その部材の内部に潤滑油を浸透保持させておくことができる。これにより、第2シール部51a,51b及び第3シール部52a,52bによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー53,54は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。[中間大気室55,56]第2シール部51a,51bによって仕切られたエアシリンダ80の表面には、大気圧の空間空隙である中間大気室55が設けられている。同様に、第3シール部52a,52bによって仕切られたエアシリンダ80の表面には、大気圧の空間空隙である中間大気室56が設けられている。具体的には、可動弁板部50の環状凸部突条50dの外周面50fで第2シール部51a,51bによって仕切られた部分に中間大気室55が設けられている。また、可動弁板部50の環状凸部突条50dの内周面50gで第3シール部52a,52bによって仕切られた部分に中間大気室56が設けられている。中間大気室55は、可動弁枠部60の第1内周面60fと可動弁板部50の外周面50fに設けられた溝とで形成された空間であり、中間大気室56は、可動弁枠部60の第1外周面60gと可動弁板部50の第2内周面50gに設けられた溝とで形成された空間である。そして、これらの中間大気室55,56は、後述する供給路41と同様の構成とされた図示しない連絡路によってスライド弁100の外部に連通され、エアシリンダ80の加圧中に1重目のシールが破れた場合でも、圧縮空気駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がして、圧縮空気が弁箱10内部に放出されてしまうことを防止するようになっている。つまり、加圧状態にあるエアシリンダ80に対して、1重目のシールである第2シール部51bが破れた際に、2重目のシールである第2シール部51aより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす中間大気室55および連絡路が設けられている。また、加圧状態にあるエアシリンダ80に対して、1重目のシールである第3シール部52bが破れた際に、2重目のシールである第3シール部52aより気体供給側に、駆動用気体をスライド弁外部に向けて逃がす中間大気室56および連絡路が設けられている。これにより、圧縮空気が弁体10内部に噴出して、スライド弁100内部、および、第1空間、第2空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。同時にまた、これらの中間大気室55,56の圧力は、連絡路によりモニタ可能である。即ち、圧力計が中間大気室55,56の圧力を測定するようにスライド弁100外部に設けられるとともに連絡路によって接続されており、ユーザによってその圧力が監視される。例えば、第1開口部12aに近い第1空間が減圧空間であり、第2シール部51aが破損している場合においては、中間大気室55の圧力は、大気圧よりも低くなる。また、圧縮空気が供給されているエアシリンダ80内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第2シール部51bが破損している場合には、中間大気室55の圧力は、大気圧よりも高くなる。同様に、第2開口部12bに近い第2空間が減圧空間であり、第3シール部52aが破損している場合においては、中間大気室56の圧力は、大気圧よりも低くなる。また、圧縮空気が供給されているエアシリンダ80内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第3シール部52bが破損している場合には、中間大気室56の圧力は、大気圧よりも高くなる。このようにスライド弁100は、中間大気室55,56の圧力をモニタする構造を有することができるので、例えば、中間大気室55,56の圧力値が大気圧よりも低い圧力であって閾値の圧力よりも低い場合、あるいは大気圧よりも高い圧力であって閾値の圧力よりも高い場合に、第2シール部51a,51b及び第3シール部52a,52bの異常を検知することができる。例えば、と中間大気室55,56中あるいは連絡路にアラーム装置が設けられた構造、或いは、スライド弁100に接続された制御装置にアラーム装置が設けられた構造が採用されていれば、第2シール部51a,51b及び第3シール部52a,52bの異常をアラームによって報知することができる。従って、第2シール部51a,51b及び第3シール部52a,52bが破損し、内部リークがスライド弁100に発生し、メンテナンスが必要であることをすぐに認識することができる。これにより、真空装置等の外部から検知することができない、スライド弁において発生した内部リーク等の不具合を確実に判断することができる。[接続ピン部69、供給路41]スライド弁100には、図に二点差線で示すように、エアシリンダ80に駆動用気体を供給する供給路41が形成され、この供給路41は、可動弁枠部60の躯体内部、および、中立弁部30の躯体内部、回転軸10内部を経由して、スライド弁100の外部に設けられた図示しない駆動用気体供給手段に連通するよう設けられている。この供給路41には、可動弁枠部60と中立弁部30との流路方向位置が変化した際にも、可動弁枠部60と中立弁部30との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部69が設けられる。接続ピン部69は、中立弁部30に流路方向と平行に穿孔された円形断面の孔部38と、この孔部38に回動可能に勘合された棒状の接続ピン68とからなっている。孔部38の内面38aは、開口側の内面38aに比べて底部側の内面38bが縮径され、これに対応して、接続ピン68の径寸法も基部68aに対して先端68bが縮径している。そして、この径寸法が変化する部分にそれぞれ段差38c、段差68cが形成されている。接続ピン部69は、図に二点差線で示すように、その中心軸線付近に供給路41が形成されて管状となっており、可動弁枠部60内部の供給路41が連通されている。また、接続ピン68の先端面68daには供給路41が開口しており、この先端面68dと孔部38の底部38d付近とで形成される加圧空間69aには、中立弁部30躯体内に形成された供給路41が連通されている。駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部30内部の供給路41を介して空間69aに噴出し、接続ピン部69内部の供給路41および可動弁枠部60内部の供給路41を介してエアシリンダ80に供給される。接続ピン部69においては、接続ピン68の外周面68aには孔部38の内周面38aが当接するとともに、接続ピン68の外周面68bには孔部38の内周面38bが当接している。接続ピン68には、孔部38内で接続ピン68が軸線方向流路方向に移動した場合でも、加圧面となる先端面68dと底面38dとの間ではなく、摺動方向となる面に、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間である加圧空間69aと、例えば圧力が低い空間である第2開口部1bに連通する第2空間側とを遮断する2重シール部が設けられる。シール部は、加圧空間69aと中空部11との仕切り状態を確保できるものとされる。具体的には、接続ピン68には、接続ピン68と孔部38との間をシールする2重シール部として、Oリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の太シール部68fが設けられるとともに、Oリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の小シール部68gが外周面68bに設けられている。同時に、段差68cおよび段差38cで形成された円環状の中間大気室69cが、この2重シールの間にあり、図示しない連絡路42に連通されることで、圧縮空気が弁箱10内部に噴出して、スライド弁100内部、および、第1空間、第2空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。特に、加圧面となるとともにその距離が変化する先端面68dと底面38dとの間でシールするのではなく、直接的に加圧面とはならずかつ摺動面であり距離が変化しない外周面68aと内周面38aおよび外周面68bと内周面38bとの間でシールをおこなうので、より確実な密閉状態を維持することが可能となる。このようなシール部68f、68gの構成によれば、上述したエアシリンダ80における第2シール部2重シール部51a,51b及び第3シール部2重シール部52a,52bおよびガイドピン62の構成と同様の作用効果を奏することが可能となる。孔部38内で接続ピン68が軸線方向流路方向に移動中あるいは移動して流路方向の相対位置が変化した場合でも、駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部30内部の供給路41を介して空間69aに噴出し、この体積の変化した空間69aを介して、接続ピン部69内部の供給路41および可動弁枠部60内部の供給路41を介してエアシリンダ80に安定的に供給される。以上のように、第1実施形態においては、流路方向に互いに離間接近可能な可動弁板部50と可動弁枠部60とによって構成された可動弁部40が設けられ、可動弁部40には、可動弁板部50と可動弁枠部60とを流路方向外側に向けて付勢するメインバネ70が設けられ、可動弁部40には、可動弁板部50と可動弁枠部60とを中空部11の流路方向中央位置側に向けて移動させるエアシリンダ80が設けられ、可動弁枠部60を中立弁部30に接近する方向に付勢する補助バネ90が設けられることによって、可動弁板部50と可動弁枠部60とを弁箱の内面15a、15bに押圧して、シール部61及び反力伝達部59とで確実に弁閉塞をおこなうことができる。また、可動弁板部50と可動弁枠部60とを中空部11の流路方向中央位置側に向けて移動させることで、弁箱10に弁体40が接触しないようにして回動させ、回動以外の動作が必要な機構に比べて小型で出力の小さい駆動機構によって退避位置まで弁体40を移動することができる。この構成においては、1つの可動弁部40と3つの付勢部70,80,90とによって弁体を形成することができる。また、可動弁部40の周囲領域に配置されたメインバネ70の復元力によって可動弁板部50と可動弁枠部60とを弁箱10の内面に直接押し付けて、確実に閉弁できる。同様に、可動弁部40の周囲領域に配置されたエアシリンダ80に供給された圧縮空気の作用によって可動弁板部50と可動弁枠部60とを弁箱10の内面から離間させて、確実に回動可能状態として開弁できる。従って、第1実施形態においては、簡単な構造を有し、高い信頼性で仕切り動作を行うことができるスライド弁を実現することができる。第2実施形態図7は、本発明の第2実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、固定弁部と可動弁部とが嵌合されているシリンダ付近の要部拡大図である。図7において、図1ないし図6に示した第1実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。第1実施形態においては、可動弁板部50の外周にU字形状のU字部が形成されており、可動弁枠部60の内周に逆U字形状の逆U字部が形成されている。また、可動弁板部50のU字部と可動弁枠部60の逆U字部とが互いに嵌合するように、可動弁板部50及び可動弁枠部60が設けられている。一方、第2実施形態の可動弁部40の構造においては、図7に示すように可動弁板部50の外周に形成された外周クランク部と可動弁枠部60の内周に形成された内周クランク部とが嵌合されている。メインバネ70を構成する弾性部材の自然長は、凹部60aの深さよりも大きい。このため、凹部60aの天井面と可動弁板部50とによって圧縮されつつ凹部60a内に配置されている第1付勢部70においては、弾性復元力延伸力,付勢力が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁部60がB1方向に摺動しながら、第1シール部61が弁箱10の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。メインバネ70は、第1シール部61を直接押圧できるようにするために、第1シール部61の直下に配置されることが望ましい。本実施形態においては、メインバネ70が可動弁枠部60に設けられているので、メインバネ70を第1シール部61の直下に位置させることが可能である。このような第2実施形態においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ70と、開弁動作を行うエアシリンダ80とが設けられている。この構成において、メインバネ70及びエアシリンダ80は、第1シール部61に近い可動弁部40の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。具体的には、可動弁部40の最外周である第1周囲領域40aにメインバネ70が設けられ、第1周囲領域40aに隣接した第2周囲領域40bにはエアシリンダ80が配置される。また、メインバネ70は、第1シール部61の直下に位置している。この構造においては、メインバネ70は第1シール部61を直接押圧することができ、第1シール部61にほぼ垂直方向に荷重を直接加えることができる。つまり、スライド弁100の構造は、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造ではない。このため、梃子に相当する部分の構造部材強度は必要なく、アクチュエータの構造を簡易化することができる。また、可動弁部60に要求される剛性として、可動弁部60の自重を支えることができる強度があれば十分である。本実施形態の構造においては、可動弁枠部60の第1シール部61の直下にメインバネ70が配置され、可動弁板部50と可動弁枠部60との間に設けられた1つの円環シリンダによって第2付勢部エアシリンダ80が形成されている。この構造においては、アクチュエータの構成も簡単にすることにでき、閉弁動作及び開弁動作の信頼性を向上させることができる。また、このように可動弁部40の周囲領域にアクチュエータが配置された構成が大口径を有するスライド弁に適用された場合であっても、上述した同様の構造によって確実に閉弁動作及び開弁動作を行うことができ、逆圧が作用した場合においても同様の動作ができる。この第2実施形態においては、第3シール部52b,中間大気室56,第3シール部52a,及びワイパー54の位置が、第1実施形態とは異なっている。具体的に、第1実施形態においては、第1外周面50fとは反対の面である内側面50gに第3シール部52b,中間大気室56,第3シール部52a,及びワイパー54が設けられているが、第2実施形態においては、第2外周面50jに第3シール部52b,中間大気室56,第3シール部52a,及びワイパー54が設けられている。可動弁板部50の外周クランク部において、径方向外側に位置する第1外周面50fに第2シール部51a,51b、ワイパー53が設けられている。また、径方向において第1外周面50fの内側であって第2シール部51a,51bの下方に位置する第2外周面50jに、第3シール部52a,52b、ワイパー54が設けられている。第2シール部51a,51bは、可動弁枠部60の第1内周面60jに当接し、第3シール部52a,52bは、可動弁部60の第1内周面60jの下方に位置する第2内周面60kに当接する。第2シール部51a,51b、ワイパー53、中間大気室55は、圧力が高い空間であるエアシリンダ80と、圧力が低い空間等であって第1開口部12aに近い第1空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第3シール部52a,52b、ワイパー54、中間大気室56は、圧力が高い空間であるエアシリンダ80と、圧力が低い空間等であって第2開口部12bに近い第2空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。これらのワイパー53,54は、開弁動作及び閉弁動作によって摺動する可動弁枠部60の内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ80から発生するダストを第1空間及び第2空間に放出させない機能を有する。また、ワイパー53,54の内部に潤滑油を浸透保持させておくことができる。これにより、第2シール部51a,51b及び第3シール部52a,52bによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー53,54は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。以上のように、第2実施形態によれば、上記第1実施形態と同様の効果が得られる。更に、第2実施形態においては、閉弁動作を行うメインバネ70と、開弁動作を行うエアシリンダ80とを、第1シール部61に近い可動弁部40の周囲領域に配置しているので、弁箱10にアクチュエータを設ける必要がなく、簡単な構成を有するスライド弁を実現できる。第3実施形態図8は、本発明の第3実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図であり、中立弁部と可動弁部可動弁枠部とが接続されている接続ピン部付近の要部拡大図である。図8において、図1ないし図6に示した第1実施形態と同一の部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。第1実施形態においては、接続ピン部69として、可動弁枠部60と一体とされた接続ピン68が形成されていたが、本実施形態の接続ピン部69としては、可動弁枠部60に接続されたフローティングピン接続ピン68Aが貫通孔67に勘合されている。フローティングピン68Aは、図8に示すように、孔部38に回動可能かつ軸方向に摺動可能として勘合されている図示下部側が、上述した第1実施形態と略同等の構成とされている。[接続ピン部69、フローティングピン68A、供給路41]本実施形態の接続ピン部69は、供給路41として設けられたもので、図8に示すように、可動弁枠部60に流路方向と平行に穿孔された円形断面の貫通孔67を有し、この貫通孔67にフランジ部68Aaを有する棒状のフローティングピン68Aが回動可能かつ半径方向に微動可能で、かつ傾斜は最小限になる様に勘合されている。貫通孔67の内面67aは、フランジ部68Aaの径寸法に対応して可動弁枠部60に対向した孔部38よりも拡径したフランジ内面67aを有し、この開口側のフランジ内面67aに比べて図示上となる貫通側のガス接続位置内面38bが縮径され、このガス接続位置内面67bに比べて図示上となる貫通側の支持位置内面67cが縮径され、この支持位置内面67cに比べて図示上となる貫通側の外側内面67dが拡径されている。フローティングピン68Aは、その径寸法がこの貫通孔67の径寸法に対応して、フランジ部68Aaに対して縮径したガス接続部68Abが縮径し、ガス接続部68Abに対して固定端68Acが縮径している。固定端68Acには、固定溝68Adが周設されて、この固定溝68Adに勘合されたワッシャ等の固定部材68Aeが、貫通孔67の外側面67eに当接することでフローティングピン68Aの軸方向流路方向における内側方向図示下方向の移動を規制し位置を固定している。フランジ部68Aaの上側となるシール面68Afと、ガス接続部68Abの上側となるシール面68Agは、対向する段差面67fおよび段差面67gとの間に、Oリング等とされるシール部材67h、67jが設けられている。フローティングピン68Aの外径寸法として、固定端68Acは支持位置内面67cの内径寸法とほぼ等しく設定されているが、フランジ部68Aaおよびガス接続部68Abは、それぞれ、フランジ内面67aおよびガス接続位置内面38bに対して、微少寸法小さく設定されて、フローティングピン68Aが可動弁枠部60に対して径方向に僅かに遊びがある状態とされている。傾斜すると、シール部材67hの潰し代が変化してしまう為、傾斜は最低限に抑え、径方向に微小変位するというのが技術的特徴である。フローティングピン68Aは、固定端68Acの固定部材68Aeと、シール面68Afおよびシール面68Agのシール部材67h、67jで対向する方向に可動弁枠部60を挟持するように固定されている。これにより、フローティングピン68Aは、図示上側に押圧された状態で、軸線方向貫通孔67の長さ方向には移動しないように可動弁枠部60に固定されている。同時に、フローティングピン68Aは、シール部材67hがシール面68Afと段差面67fとに押圧されて変形するとともに、シール部材67jがシール面68Agと段差面67gとに押圧されて変形するようになっている。このように、フローティングピン68AのOリング等とされるシール部材67h、67jが段差面67fおよび段差面67gに押圧されて変形することで、ガス接続部68Ab、および、接続位置内面67b部分がシールされる。孔部38の底部38d付近には、供給路41となるフローティングピン68Aの内部には、その先端面68dに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面67bに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部68Abの表面に開口する供給路41が設けられて、加圧空間69aとエアシリンダ80とを接続可能となっている。[接続ピン部69、フローティングピン68B、連絡路42]本実施形態の接続ピン部69としては、連絡路42として設けられたフローティングピン68Bが、図13に示すように、可動弁枠部60側は図8に示すフローティングピン68Aと略同様の構成とされるため、対応する構成には同一の符号を付すか、68Aとの符号を68Bと読み替えてその説明を省略する。フローティングピン68Bは、中立弁部30側が短くなっている。このため、中間大気室となる空間69Baは加圧されておらず、開口した連絡路42は、段差68cに対応する位置で端面68Bdとなっている。また、加圧状態でないため、2重シールも採用されていない。連絡路42の一部であるフローティングピン68Bと、供給路41の一部であるフローティングピン68Aとは、図1に示すように、中立弁体5の面内で異なる位置にそれぞれ設けられている。このように、連絡路42と供給路41とは、回転軸20内部において平行位置とされたように、並行して中立弁部30内部、可動弁枠部60内部に設けられている。フローティングピン68Bの内部には、その先端面68Bdに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面67bに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部68Bbの表面に開口する連絡路42が設けられて、中間大気空間69Baと中間大気室55,56とを接続可能となっている。本実施形態においては、フローティングピン68Aは、摺動面と同じ方向となる内面67aとフランジ部68Aa外周、ガス接続位置内面67bとガス接続部68Abではなく、加圧面となる先端面68dと平行な方向、つまり、摺動方向と直行する面であるシール面68Afと段差面67fとの間、および、シール部材67jがシール面68Agと段差面67gとの間に、シール部材67h、シール部材67jが設けられることで、フローティングピン68Aが傾斜した場合や、フローティングピン68Aが僅かに径方向に移動した場合であっても、Oリング等とされるシール部材67h、67jの潰し代は変化しない。したがって、このようにフローティングピン68Aが移動した場合、つまり、中立弁部30と可動弁枠部60とが、流路方向以外の相対位置変動した場合であっても、加圧されたガス接続部68Ab付近の供給路41に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。フローティングピン68Bも同様に連絡路42に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。同時に、本実施形態においては、太シール部68fおよび小シール部68gにおいて、製作公差等によってフローティングピン68Aに対して半径方向の位置ズレなどがある場合においても、フローティングピン68Aと可動弁枠部60に流路と直交する方向フローティングピン68A径方向の遊びがあるため、太シール部68fおよび小シール部68gの摺動Oリングには偏芯が生じない。したがって、摺動時にも接続ピン68と孔部38との間のシールを維持し、密閉が破れることがない。同時に、フローティングピン68Aの位置変動時においても、太シール部68fおよび小シール部68gに変形が集中することがないので、変形破損の可能性を低減することができ、密閉維持をより確実におこなうことができる。なお、上記本発明の実施形態においては、第1付勢部70としてスプリングが用いられた構造について説明したが、他の弾性体を用いてもよい。また、第2付勢部80の構造として、円環状の1つのエアシリンダが採用された構造について説明したが、油圧シリンダ等とされる他の駆動流体を使用する構成を採用してもよい。この場合にも、1つの円環状のシリンダが駆動することによって弁箱1010a,10bの内面から可動弁板部50と可動弁枠部60との厚さ寸法を収縮させる駆動装置が第2付勢部として用いられる。また、上記本発明の実施形態においては、図10aに示すような円形に形成された開口部及び可動弁部、或いは図10bに示すような角部に丸みを有する略正方形に形成された開口部及び可動弁部について説明した。本発明のスライド弁はこれらの形状に限定されない。本発明のスライド弁は、可動弁部の周囲領域にアクチュエータが設けられた構造を有するので、例えば、図10cに示すような角部に丸みを有する略三角形に形成された開口部及び弁板可動弁部が採用されてもよい。また、図10dに示すような角部に丸みを有する略長方形に形成された開口部及び弁板が採用されてもよい。また、図10eに示すような角部に丸みを有する略六角形に形成された開口部及び弁板が採用されてもよい。また、図10fに示すような角部に丸みを有する略U字形に形成された開口部及び弁板に適用することも可能である。更には、楕円形に形成された開口部及び弁板、あるいは角部に丸みを有する略八角形に形成された開口部及び弁板等、あらゆる形状に形成された開口部及び弁板を本発明に適用可能である。"