先端に回転ブレード用の着脱部を設けたスピンドルと、前記スピンドルをラジアルエアーベアリング及びスラストエアーベアリングを介して回転可能に支受させるスピンドルハウジングと、前記スピンドルを回転駆動させるモータ部と、前記スピンドルのロック及びロック解除機構とを備えたエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置であって、前記ロック及びロック解除機構は、前記スピンドルハウジングの外部に装設したロック装置本体と、前記ロック装置本体に嵌装したロックピン部材及び前記ロックピン部材に対する位置制御ピン部材と、前記ロックピン部材、及び/又は、位置制御ピン部材の位置検出センサとを含み、また、前記ロックピン部材を前記スピンドルの軸心方向へ進退可能に設けると共に、前記スピンドルの周面には前記ロックピン部材の先端係合部と嵌合する少なくとも一個のロック孔を設け、更に、前記位置検出センサにより、前記ロックピン部材の先端係合部と前記スピンドルのロック孔とが嵌合する前記スピンドルのロック状態の検出信号をインタロック機構側に伝えると共に、前記インタロック機構を介して、前記スピンドルのロック状態を解除した後に前記モータ部の動作を開始することが可能となるように構成したことを特徴とするエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置。先端に回転ブレード用の着脱部を設けたスピンドルと、前記スピンドルをラジアルエアーベアリング及びスラストエアーベアリングを介して回転可能に支受させるスピンドルハウジングと、前記スピンドルを回転駆動させるモータ部と、前記スピンドルのロック及びロック解除機構とを備えたエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置であって、前記ロック及びロック解除機構は、前記スピンドルハウジングの外部に装設したロック装置本体と、前記ロック装置本体に嵌装したロックピン部材と、前記ロックピン部材の位置検出センサとを含み、また、前記ロックピン部材を前記スピンドルの軸心方向へ進退可能に設けると共に、前記スピンドルの周面には前記ロックピン部材の先端係合部と嵌合する少なくとも一個のロック孔を設け、また、前記ロックピン部材を前記スピンドルの軸心方向へ進退させて前記ロックピン部材の先端係合部と前記スピンドルのロック孔とを係脱操作させる前進後退手段を備え、更に、前記位置検出センサにより、前記ロックピン部材の先端係合部と前記スピンドルのロック孔とが離脱する前記スピンドルのロック解除状態の検出信号、及び、前記ロックピン部材の先端係合部と前記スピンドルのロック孔とが嵌合する前記スピンドルのロック状態の検出信号をインタロック機構側に伝えると共に、前記インタロック機構を介して、前記スピンドルのロック状態を解除した後に前記モータ部の動作を開始することが可能となるように構成したことを特徴とするエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置。本発明は、エアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック状態又はロック解除状態の切換制御を確実に行うことができるのみならず、スピンドルのロック又はロック解除の確認作業を自動的に行うことにより、作業上の安全性と作業の効率化を図ることができるスピンドルのロック装置を提供することを目的とする。請求項1に記載の発明は、先端に回転ブレード9用の着脱部5aを設けたスピンドル5と、前記スピンドル5をラジアルエアーベアリング23及びスラストエアーベアリング4を介して回転可能に支受させるスピンドルハウジング1と、前記スピンドル5を回転駆動させるモータ部6と、前記スピンドル5のロック及びロック解除機構Bとを備えたエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置であって、前記ロック及びロック解除機構Bは、前記スピンドルハウジング1の外部に装設したロック装置本体10と、前記ロック装置本体10に嵌装したロックピン部材11及び前記ロックピン部材11に対する位置制御ピン部材12と、前記ロックピン部材11及び/又は位置制御ピン部材12の位置検出センサ13a13bとを含み、また、前記ロックピン部材11を前記スピンドル5の軸心方向へ進退可能に設けると共に、前記スピンドル5の周面には前記ロックピン部材11の先端係合部11aと嵌合する少なくとも一個のロック孔5bを設け、更に、前記位置検出センサ13bにより、前記ロックピン部材11の先端係合部11aと前記スピンドル5のロック孔5bとが嵌合する前記スピンドル5のロック状態の検出信号16をインタロック機構側に伝えると共に、前記インタロック機構を介して、前記スピンドル5のロック状態を解除した後に前記モータ部6の動作を開始することが可能となるように構成したことを特徴とする。請求項2に記載の発明は、先端に回転ブレード9用の着脱部5aを設けたスピンドル5と、前記スピンドル5をラジアルエアーベアリング23及びスラストエアーベアリング4を介して回転可能に支受させるスピンドルハウジング1と、前記スピンドル5を回転駆動させるモータ部6と、前記スピンドル5のロック及びロック解除機構Cとを備えたエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置であって、前記ロック及びロック解除機構Cは、前記スピンドルハウジング1の外部に装設したロック装置本体10と、前記ロック装置本体10に嵌装したロックピン部材11と、前記ロックピン部材11の位置検出センサ13cとを含み、また、前記ロックピン部材11を前記スピンドル5の軸心方向へ進退可能に設けると共に、前記スピンドル5の周面には前記ロックピン部材11の先端係合部11aと嵌合する少なくとも一個のロック孔5bを設け、また、前記ロックピン部材11を前記スピンドル5の軸心方向へ進退させて前記ロックピン部材11の先端係合部11aと前記スピンドル5のロック孔5bとを係脱操作させる前進後退手段14を備え、更に、前記位置検出センサ13cにより、前記ロックピン部材11の先端係合部11aと前記スピンドル5のロック孔5bとが離脱する前記スピンドル5のロック解除状態の検出信号17、及び、前記ロックピン部材11の先端係合部11aと前記スピンドル5のロック孔5bとが嵌合する前記スピンドル5のロック状態の検出信号18をインタロック機構側に伝えると共に、前記インタロック機構を介して、前記スピンドル5のロック状態を解除した後に前記モータ部6の動作を開始することが可能となるように構成したことを特徴とする。請求項1に記載の発明によれば、エアースピンドルユニットAにおけるスピンドル5の回転状態又は非回転状態の切換制御を確実に行うことができるのみならず、スピンドル5のロック及びロック解除の確認作業を自動的に行うことにより、作業上の安全性と作業の効率化を図ることができる。請求項2に記載の発明によれば、エアースピンドルユニットAにおけるスピンドル5の回転状態又は非回転状態の切換制御を自動的に且つ確実に行うことができるのみならず、スピンドル5のロック及びロック解除の確認作業を自動的に行うことにより、作業上の安全性と作業の効率化を、より向上させることができる。以下、図1及び図2に示す本発明の第一実施例について説明する。図1は、本発明に係るエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置を装備した半導体ウェハ等の切削加工装置を示している。このエアースピンドルユニットA切削加工装置は、スピンドルハウジング1の内部にラジアルエアーベアリング23及びスラストエアーベアリング4を介してスピンドル5を回転可能に支受している。また、スピンドル5の上端にはローター6aとステータ6bとを備えたシンクロモータ6を配設しており、これによってスピンドル5を回転駆動させるように設けている。また、スピンドル5の下端にはブレード着脱部5aを設けており、このブレード着脱部5aには一対のフランジ部材78を介してブレード9を着脱可能に装着させている。また、スピンドルハウジング1の外部には、エアースピンドルユニットAのスピンドル5に対するロック回転不能状態及びロック解除回転可能状態を行うためのロック及びロック解除機構Bを備えたロック装置を装設している。このロック及びロック解除機構Bは、スピンドルハウジング1の外部に装設したロック装置本体10と、該ロック装置本体10に嵌装したロックピン部材11、及び、ロックピン部材11に対する位置制御ピン部材12と、ロックピン部材11及び/又は位置制御ピン部材12の位置検出センサ13a13bとを備えている。また、ロックピン部材11はスピンドル5の軸心方向へ進退可能となる状態で配設すると共に、スピンドル5の周面にはロックピン部材11の先端係合部11aと嵌合する少なくとも一個以上のロック孔5bを設けている。なお、スピンドル5の周面に複数個のロック孔5bを設ける場合は、例えば、その仮想同一円周線上の等間隔位置等に配設することができる。更に、位置検出センサ13bにより、ロックピン部材11の先端係合部11aとスピンドル5のロック孔5bとが嵌合するスピンドル5のロック状態を検出したときは、このロック状態を解除した後にモータ部6の動作を開始することが可能となるインタロック機構図示なしを備えている。また、図2に示すように、ロックピン部材11はスピンドル5の軸心方向へ進退可能に設けると共に、弾性部材11bの弾性を受けてその先端係合部11aがスピンドル5のロック孔5bと嵌合する方向スピンドル5の軸心方向へ弾性移動するように設定している。また、ロックピン部材11の略中央部には位置制御ピン部材12との係合周溝11cを設けている。また、ロックピン部材11に対する位置制御ピン部材12は該ロックピン部材11の軸方向と直交する方向へ嵌装している。更に、この位置制御ピン部材12の先端係合部12aは弾性部材12bの弾性を受けて、その先端係合部12aがロックピン部材11と係合する方向へ弾性移動するように設定している。なお、後述するように、位置制御ピン部材12の先端係合部12aとロックピン部材11の係合周溝11cとの嵌合時は、ロックピン部材11の先端係合部11aがスピンドル5の周面と接触したり、或は、そのロック孔5bと嵌合しない位置にまで移動した状態にあり、また、この位置において位置制御ピン部材12がロックピン部材11の移動を確実に停止させることができるように設定している図2参照。また、図2に示すように、ロックピン部材11を、弾性部材11bの弾性に抗して、その先端係合部11aをスピンドル5のロック孔5bから完全に離脱する位置まで移動したとき、位置制御ピン部材12の先端係合部12aは弾性部材12bの弾性押圧力にてロックピン部材11と係合する方向へ弾性移動すると共に、該先端係合部12aはロックピン部材11の係合周溝11c内に嵌合するように設定している。このロックピン部材11の移動は、ロックピン部材11の基端右端部11dを把持して引き出すと云った手動人為的手段にて行うことができる。また、このとき、ロックピン部材11の基端部11dはロック装置本体10の外部に突出すると共に、位置検出センサ13aによってロックピン部材11の位置を検出することができる。そして、位置検出センサ13aによるロックピン部材11の位置検出はスピンドル5のロック解除状態を検出したことになる。更に、この位置検出信号15をインタロック機構図示なし側へ伝えるように構成している。なお、このとき、位置制御ピン部材12はロックピン部材11側へ移動しているため位置検出センサ13bによる位置制御ピン部材12の位置検出はできないが、この場合は、位置制御ピン部材12がロックピン部材11の係合周溝11cと嵌合していることを意味している。従って、この情報は、位置検出センサ13aによるロックピン部材11の位置検出の場合と同様に、スピンドル5のロック解除状態を検出した信号として利用することができる。また、図2に示すように、弾性部材12bの弾性に抗して、位置制御ピン部材12の基端下端部12cを把持し手動にて引き下げることにより、その先端係合部12aをロックピン部材11の係合周溝11c内から引き出すと、該位置制御ピン部材12とロックピン部材11との嵌合状態を解くことができる。この両者の嵌合状態を解くことにより、ロックピン部材11は弾性部材11bの弾性押動力を受けてスピンドル5の軸心側へ移動し且つそのロック孔5bと嵌合する。従って、位置制御ピン部材12の基端部12cを引き下げると、ロックピン部材11と位置制御ピン部材12との嵌合状態を解くことができると共に、ロックピン部材11とスピンドル5とを嵌合させてスピンドル5が回転しないようにロックすることができる。なお、スピンドル5のロック孔5bとロックピン部材11の先端係合部11aとの位置が合致していない場合は、スピンドル5を手動にて回転させることにより両者の位置合わせを行うことができるので、該両者の嵌合操作を簡単且つ確実に行うことができる。また、このとき、位置制御ピン部材12の基端部12cはロック装置本体10の外部に突出すると共に、位置検出センサ13bによって該位置制御ピン部材12の位置を検出することができる。そして、位置検出センサ13bによる位置制御ピン部材12の位置検出はスピンドル5のロック状態を検出したことになる。更に、この位置検出信号16をインタロック機構図示なし側へ伝えるように構成している。なお、このとき、ロックピン部材11はスピンドル5側左方向へ移動しているため位置検出センサ13aによるロックピン部材11の位置検出はできないが、この場合は、ロックピン部材11がスピンドル5のロック孔5bと嵌合していることを意味している。従って、この情報は、位置検出センサ13bによる位置制御ピン部材12の位置検出の場合と同様に、スピンドル5のロック状態を検出した信号として利用することができる。また、図2に示すスピンドル5のロック状態から、図2に示すスピンドル5のロック解除状態に移行する場合は、図2に示すロックピン部材11を手動にて引き出せばよい。即ち、前述したように、図2に示すロックピン部材11の基端部11dを把持して引き出すと、その先端係合部11aはスピンドル5のロック孔5bから完全に離脱すると共に、その係合周溝11cと位置制御ピン部材12の先端係合部12aとを嵌合させることができる。このため、スピンドル5のロック状態を解除すると共に、このロック解除状態を維持させることができる。なお、この実施例では、ロックピン部材11と位置制御ピン部材12、及び、該両部材の位置検出センサ13a13bを設ける場合を示すと共に、ロックピン部材11と位置検出センサ13aとの組み合わせと、位置制御ピン部材12と位置検出センサ13bとの組み合わせについて説明している。しかしながら、この組み合わせのいずれか一方のみを採用する構成であっても差し支えない。第一実施例の構成によれば、ロックピン部材11と位置制御ピン部材12とを把持して引き出すと云った簡易な手動操作によって、スピンドル5のロック状態又はロック解除状態の切換制御を確実に行うことができるのみならず、その切換制御状態を確実に維持させることができる。更に、スピンドル5のロック又はロック解除の確認作業を自動的に行うことにより、作業上の安全性と作業の効率化を図ることができる。次に、本発明に係る第二実施例の形態を、図3に基づいて説明する。第二実施例は、図3に示すように、ロック及びロック解除機構Cにおけるロックピン部材11の駆動源として、電磁ソレノイド或はロータリーソレノイド等の電磁機構14及びモータ等の前進後退手段を備えることにより、ロックピン部材11の先端係合部11aとスピンドル5のロック孔5bとの係脱操作を自動的に行うように構成したものである。また、その他の構成については前実施例について説明した事項と同様である。即ち、このロック及びロック解除機構Cは、スピンドルハウジング1の外部に装設したロック装置本体10と、ロック装置本体10に嵌装したロックピン部材11と、ロックピン部材11の位置検出センサ13cとを含む。また、ロックピン部材11をスピンドル5の軸心方向へ進退可能に設けると共に、スピンドル5の周面にはロックピン部材11の先端係合部11aと嵌合する少なくとも一個のロック孔5bを設ける。また、ロックピン部材11をスピンドル5の軸心方向へ進退させてロックピン部材11の先端係合部11aとスピンドル5のロック孔5bとを係脱操作させる電磁機構14前進後退手段を備えている。第二実施例の構成においては、電磁機構14を介して、ロックピン部材11の先端係合部11aをスピンドル5のロック孔5bから完全に離脱する位置まで移動させることにより、ロックピン部材11によるスピンドル5のロックを解除できる図3参照。また、このとき、ロックピン部材11の基端部11dはロック装置本体10の外部に突出すると共に、位置検出センサ13cによってロックピン部材11の位置を検出することができる。そして、位置検出センサ13cによるロックピン部材11の位置検出はスピンドル5のロック解除状態を検出したことになる。更に、この位置検出信号17をインタロック機構図示なし側へ伝えるように構成している。また、図3に示すように、電磁機構14を介して、ロックピン部材11の先端係合部11aをスピンドル5のロック孔5bに嵌合させる位置まで移動させて、スピンドル5が回転しないようにロックすることができる。また、このとき、ロックピン部材11はスピンドル5側左方向へ移動しているため位置検出センサ13cによるロックピン部材11の位置検出はできないが、この場合は、ロックピン部材11がスピンドル5のロック孔5bと嵌合していることを意味している。従って、この情報をスピンドル5のロック状態を検出した信号18としてインタロック機構図示なし側へ伝えるように構成している。なお、第二実施例では、ロックピン部材11の駆動源としてロータリーソレノイド等の電磁機構14を用いる場合を示しているが、ロータリーソレノイドを用いる場合は、その回転軸の回転角度に対応した位置に制御状態の表示、例えば、ロックとロック解除等のような適正な信号表示を行うことが可能である。このように、スピンドル5の制御状態に対応して、作業者がその制御状態を目視においても同時に確認できるようにすれば、より作業上の安全性を図ることができる。第二実施例の構成によれば、ロックピン部材11の駆動源として電磁機構14を備えることにより、ロックピン部材11の先端係合部11aとスピンドル5のロック孔5bとの係脱操作を自動的に行うように構成したものであるから、スピンドル5のロック状態又はロック解除状態の切換制御をより確実に行うことができるのみならず、その切換制御状態を確実に維持させることができる。更に、スピンドル5のロック又はロック解除の確認作業を自動的に行うことにより、作業上の安全性と作業の効率化を図ることができる。