一般式CnF2n1abcPIで表わされるポリフルオロアルキルホスホン酸塩乳化剤の存在下で、含フッ素モノマーを乳化重合させ、得られる含フッ素ポリマー水性分散液を凝析して得た生成物をロ別、水洗および乾燥することを特徴とする含フッ素ポリマーの製造法。ポリフルオロアルキルホスホン酸塩がアンモニウム塩として用いられる請求項1記載の含フッ素ポリマーの製造法。凝析が塩析により行われる請求項1記載の含フッ素ポリマーの製造法。本発明の目的は、生体蓄積性の低い乳化剤を用い、しかも機械的安定性にすぐれた含フッ素ポリマー水性分散液を用いる含フッ素ポリマーの製造法を提供することにある。かかる本発明の目的は、一般式CnF2n1abcPIで表わされるポリフルオロアルキルホスホン酸塩乳化剤の存在下で、含フッ素モノマーを乳化重合させ、得られる含フッ素ポリマー水性分散液を凝析して得た生成物をロ別、水洗および乾燥することによって達成される。ここで、好ましくは一般式Iで表わされるポリフルオロアルキルホスホン酸アンモニウム塩が用いられる。本発明で用いられるポリフルオロアルキルホスホン酸塩乳化剤、特にアンモニウム塩乳化剤は、生体蓄積性が低いといわれる炭素数6以下のパーフルオロアルキル基を有する化合物であり、しかも乳化性能にすぐれたペンタデカフルオロオクタン酸アンモニウムに匹敵する乳化性能を有しており、この乳化剤の水溶液を用いて製造される含フッ素ポリマー水性分散液は、安定なエマルジョンを形成させることができる。その乳化安定性は、室温条件下または40°Cで1ヶ月間放置した後においても良好に維持されている。また、含フッ素ポリマーの製造に用いられる含フッ素ポリマー水性分散液は、機械的安定性にすぐれ、例えば金属製ふるいを10回通過させた後でも、分散粒子径に殆ど変化はみられない。塩を形成した上で乳化剤として用いられるポリフルオロアルキルホスホン酸は、一般式CnF2n1abcP2IIで表わされ、この化合物は、一般式CnF2n1abcP2IIIで表わされるポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルを加水分解反応させることによって製造される。この反応の原料物質として用いられるポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルIIIは、ポリフルオロアルキルアイオダイドCnF2n1abcIIVとトリアルキルホスファイトP3を反応させることにより得られる。ポリフルオロアルキルアイオダイドIVは、公知の化合物であり、特許文献8に記載されている。ポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルIII合成の出発原料となるポリフルオロアルキルアイオダイドIVは、一般式CnF2n1abIVで表わされる末端ヨウ素化化合物にエチレンを付加反応させることにより製造される。エチレンの付加反応は、上記化合物Vに過酸化物開始剤の存在下で加圧エチレンを付加反応させることにより行われ、その付加数は反応条件にもよるが、1~3、好ましくは1である。なお、反応温度は用いられる開始剤の分解温度にも関係するが、反応は一般に約80~120°Cで行われ、低温で分解する過酸化物開始剤を用いた場合には80°C以下での反応が可能である。過酸化物開始剤としては、第3ブチルパーオキサイド、ジパーオキシジカーボネート、ジセチルパーオキシジカーボネート、ジnプロピルパーオキシジカーボネート、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ第2ブチルパーオキシジカーボネート等が、反応の進捗性および制御性の点から、上記化合物IVに対して約1~5モルの割合で用いられる。なお、前記末端ヨウ素化化合物Vは、次のような一連の工程を経て合成される。一般式CnF2n1Iで表わされるパーフルオロアルキルアイオダイドを、上記の如き過酸化物開始剤の存在下でフッ化ビニリデンと反応させ、一般式CnF2n1aIVIで表わされる化合物を得る。上記一般式VIで表わされる化合物に、過酸化物開始剤の存在下でテトラフルオロエチレンを反応させることにより、前記一般式Vで表わされる末端ヨウ素化化合物が得られる。この一般式Vにおいて、bは1~3、好ましくは1~2の整数である。この反応に用いられる過酸化物開始剤としては、前記の如き有機過酸化物開始剤がと同様の割合で用いられる。フッ化ビニリデンおよびテトラフルオロエチレン付加反応の反応温度は、用いられる開始剤の分解温度にも依存するが、低温で分解する過酸化物開始剤を用いることにより、低圧条件下でも80°C以下での反応が可能である。反応は、CnF2n1Iまたは前記化合物VIをオートクレーブ内に入れ、その内温を昇温させて約10~60°C、例えば50°Cとしたら、そこにCnF2n1Iまたは化合物VIに溶解した過酸化物系開始剤を加え、内温が例えば55°Cになったら、フッ化ビニリデンまたはテトラフルオロエチレンを約01~06MPaの圧力を保ちながら分添し、所望量を分添した後、例えば約55~80°Cの間の温度で約1時間程度エージングすることにより行われる。その添加量によって、反応によって付加したフッ化ビニリデンまたはテトラフルオロエチレン骨格の数aまたはbが左右される。一般には、種々のa値およびb値の混合物として形成される。これらの反応が、低温で反応を行えるということは、エネルギーの使用量を減少させることが可能となるばかりではなく、設備内でのフッ酸等による腐食を抑制し、設備の更新頻度を減らすことができる。さらに、より廉価な材料の使用が可能となることから、更新頻度の減少と併せて、設備投資費用を廉価に抑えることができる。エチレンが付加される具体的な化合物Vとしては、次のような化合物が例示される。これらの化合物は、種々のa値およびb値を有するオリゴマーの混合物であり、特定のa値およびb値を有するオリゴマーは混合物を蒸留することにより単離することができる。なお、所定のa値およびb値を有しないオリゴマーは、それを単離してまたは混合物のまま、再度フッ化ビニリデンまたはテトラフルオロエチレンとのオリゴマー数増加反応に用いることができる。C2F5IC2F52IC2F52IC2F522IC4F9IC4F92IC4F92IC4F922IC2F53IC4F93I上記例示された如き化合物Vに、エチレンを付加反応させたポリフルオロアルキルアイオダイドIVには、トリアルキルホスファイト、例えばトリメチルホスファイト、トリエチルホスファイト、トリプロピルホスファイト、トリブチルホスファイト等の炭素数1~4のアルキル基を有するトリアルキルホスファイトP3を反応させ、脱RI化反応させることにより、原料物質たるポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルIIIを得ることができる。なお、化合物Vにエチレンを付加反応させないと、トリアルキルホスファイトとの脱RI化反応が進行しない。ポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルIIIの加水分解反応は、濃塩酸によって代表される無機酸等の酸性触媒の存在下で約90~100°Cで攪拌することにより容易に行われる。反応混合物は、減圧ロ過された後、水洗ロ過、アセトン洗浄ロ過する方法などにより、目的物たるポリフルオロアルキルホスホン酸IIを90台の好収率で得ることができる。乳化剤として用いられるポリフルオロアルキルホスホン酸塩CnF2n1abcPIは、ポリフルオロアルキルホスホン酸CnF2n1abcP2IIに、アルカリ金属水酸化物水溶液、アンモニア水溶液または有機アミンを反応させることにより得られる。アルカリ金属水酸化物としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等が好んで用いられる。有機アミンとしては、例えばモノエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジエチルアミン、ジイソプロパノールアミン、ジシクロヘキシルアミン、トリエチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリスアミン、ピリジン、モルホリンまたはこれらの誘導体等が好んで用いられる。アルカリ金属水酸化物、アンモニアまたは有機アミンは、ポリフルオロアルキルホスホン酸に対して等モル量用いられた場合にはモノ塩を形成させ、また2倍モル量用いられた場合にはジ塩を形成させる。一般には、必要理論モル数以上で用いられ、等モル量以上2倍モル量未満で用いられた場合には、モノ塩とジ塩との混合物を形成させる。ポリフルオロアルキルホスホン酸塩は、水または水溶性有機溶媒水溶液である水性媒体に溶解させた水性溶液または有機溶媒に溶解させた有機溶媒溶液として用いられる。有機溶媒としては、例えばメタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド、ジエチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Nメチル2ピロリドン等の非プロトン性極性溶媒が用いられる。ポリフルオロアルキルホスホン酸塩の乳化能力は、例えば2エチルホスホン酸アンモニウム水溶液の場合、その臨界ミセル濃度CMCは乳化剤濃度が08重量付近にみられ、乳化剤濃度が約10重量以上で一定の低い表面張力が示される。含フッ素ポリマーの製造に用いられる含フッ素ポリマー水性分散液は、好ましくは一般式Iで表わされるポリフルオロアルキルホスホン酸塩乳化剤の水溶液の存在下で、含フッ素モノマーを乳化重合させることにより得られる。使用されるフッ素化乳化剤の量は、得られる水性分散液の固形分濃度や平均粒子径などの特性に応じて変化させ得る。一般的には、フッ素化乳化剤の量は重合反応に用いられる水性媒体重量を基準として、約0001~5重量、好ましくは約0005~2重量、特に好ましくは約0005~1重量である。乳化重合反応は、かかるフッ素系乳化剤の存在下で開始され、重合反応中にさらに追加のフッ素系乳化剤を添加することもできる。また、このフッ素系乳化剤の他に、他のフッ素系乳化剤および非フッ素系乳化剤の少くとも一種を併用することもできる。この乳化剤を用いての含フッ素モノマーの乳化重合反応は、従来のパーフルオロオクタン酸であるPFOA乳化剤を用いた場合と同様の方法で行われる。乳化重合反応は、無機過酸化物、アゾ化合物、有機過酸化物等の存在下、好ましくは過硫酸アンモニウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム等の水溶性無機過酸化物またはそれと亜硫酸水素ナトリウム、メタ重亜硫酸ナトリウム等の亜硫酸水素塩、チオ硫酸塩、ヒドラジン、アゾジカルボキシレート等の還元剤とのレドックス系を触媒として行われ、その際重合系内のpHを調節するために、リン酸塩またはホウ酸塩の緩衝能を有する電解質物質あるいはNaOH等を添加して用いてもよい。乳化重合反応は、生成さるべき含フッ素ポリマーに対して約001~1重量、好ましくは約005~05重量、さらに好ましくは約005~03重量の重合開始剤を用い、約0~100°C、好ましくは約5~80°Cで約1~48時間程、約01~10MPa、好ましくは約02~5MPaの加圧条件下で行われる。重合開始剤は、必要に応じて、重合反応の途中で再度追加して用いてもよい。乳化重合される含フッ素モノマーとしては、フッ化ビニリデンVdF、フッ化ビニルVFヘキサフルオロプロピレンHFP、テトラフルオロエチレンTFE、ペンタフルオロプロピレンPFP、モノクロロトリフルオロエチレンCTFE、C1~C3のアルキル基を有するパーフルオロFAVE、パーフルオロFOAVE等の少くとも1種、一般には2種または3種の共重合反応として行われ、1種のみが用いられる場合には、それの単独重合反応として行われる以外、にエチレン、プロピレン等のαオレフィンとの共重合反応としても行われる。なお、共重合反応は、得られる含フッ素ポリマー、特に含フッ素共重合体エラストマーの組成の均一性の点からは、分添法として行われることが好ましい。含フッ素モノマーの重合体としては、次のようなものが例示され、その共重合組成などによって樹脂状またはエラストマー状の含フッ素ポリマーを形成し得る。VdF単独重合体TFE単独重合体VdFTFE共重合体VdFHFP共重合体VdFTFEFMVE3元共重合体VdFTFEHFP3元共重合体VdFTFECTFE3元共重合体VdFCTFE共重合体VdFTFEP3元共重合体TFEP共重合体TFEE共重合体TFECTFE共重合体TFEHFP共重合体TFEFMVE共重合体TFEFPVE共重合体TFEFMVEFPVE3元共重合体TFEFEVEFPVE3元共重合体VdFTFEFMVE3元共重合体好ましくはVdFHFP共重合体、VdFTFEFMVE3元共重合体、VdFTFEHFP3元共重合体あるいはTFEFMVE共重合体が用いられる。注E:エチレンP:プロピレンFMVE:パーフルオロFEVE:パーフルオロFPVE:パーフルオロ共重合反応に際しては、連鎖移動剤としてマロン酸エチル、酢酸エチル等のエステル類、ジメチルエーテル、メチル第3ブチルエーテル等のエーテル類、メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、C1~C5のアルカン類、クロロホルム、四塩化炭素、ジクロロエタン等のハロゲン化炭化水素類など種々のものが用いられる。さらに、ICF2CF2I、ICF2CF2CF2CF2I等の含ヨウ素パーフルオロ化合物、ICF2CF2Br、ICF2CF2CF2CF2Br等の含ヨウ素臭素パーフルオロ化合物を連鎖移動剤として用いることができ、これらの化合物はパーオキサイド架橋における架橋部位を形成させる役割を担うこともできる。架橋部位を形成させるために用いられる含臭素または含ヨウ素単量体化合物としては、臭化ビニル、ヨウ化ビニル、1ブロモ22ジフルオロエチレン、1ヨード22ジフルオロエチレン、1ヨード122トリフルオロエチレン、パーフルオロアリルブロマイド、パーフルオロアリルアイオダイド、4ブロモ112トリフルオロブテン、4ヨード112トリフルオロブテン、4ブロモ3344テトラフルオロブテン、ブロモトリフルオロエチレン、ヨードトリフルオロエチレン等の臭素化またはヨウ素化ビニル化合物あるいは臭素化またはヨウ素化オレフィンを用いることができるが、さらに一般式CR1R2=CR3XまたはCR1R2=CR3R1R2R3:同一または互いに異なる基であり、H、F、Cl、炭素数1~10のアルキル基、フルオロアルキル基であり、これらの基はエーテル結合を含んでいてもよいR4:炭素数1~10のアルキル基、フルオロアルキル基であり、これらの基はエーテル結合を含んでいてもよいX:Br、Iで表される臭素化またはヨウ素化されたビニル化合物またはオレフィン化合物であってもよい。好ましくは次の一般式で表わされるような臭素基含有ビニルエーテルが用いられる。BrRf-O-CF=CF2BrRf:臭素基含有パーフルオロアルキル基かかる臭素基含有パーフルオロビニルエーテルとしては、例えばCF2BrCF2OCF=CF2、CF2Br2OCF=CF2、CF2Br3OCF=CF2、CF3CFBr2OCF=CF2、CF2Br4OCF=CF2等が用いられる。これら以外にも、一般式ROCF=CFBrまたはROCBr=CF2で表わされる臭素基含有ビニルエーテル等を用いることもできる。また、含ヨウ素単量体化合物としては、一般式IRfOCFCF2IRf:ヨウ素基含有パーフルオロアルキル基で表わされるヨウ素基含有パーフルオロビニルエーテルが用いられ、好ましくはパーフルオロが用いられる。これらの含臭素または含ヨウ素単量体化合物は、架橋条件、これらの反応性などを考慮して単独または2種以上を組み合わせ、含フッ素モノマーの総量に対して、約0001~5モル、好ましくは約001~1モルの割合で用いられる。これ以下の使用割合では、得られる加硫物の圧縮永久歪特性が悪化し、一方これ以上の割合で使用すると、加硫物の伸びが低下するようになる。得られた含フッ素ポリマーラテックスの凝析は、好ましくは塩析によって行われ、例えば約01~5重量、好ましくは約03~3重量の濃度の塩化カルシウム水溶液が用いられる。凝析された含フッ素ポリマーには、ロ過、水洗および乾燥の各工程が適用される。これらの含フッ素ポリマーの分子量は、含フッ素樹脂にあっては、その重量平均分子量Mwが約10000~1000000、好ましくは50000~800000であり、また含フッ素エラストマーにあっては、その組成物の加工性や機械的特性などを考慮して、分子量の指標としての溶液粘度ηspcが約03~15dlg、好ましくは約04~13dlgとされる。含フッ素エラストマーの加硫は、臭素基またはヨウ素基を有する場合には有機過酸化物によって、それ以外の場合にはポリオール加硫等によって行われる。パーオキサイド加硫法に用いられる有機過酸化物としては、例えば25ジメチル25ビスヘキサン、25ジメチル25ビスヘキシン3、ベンゾイルパーオキシド、ビスパーオキシド、ジクミルパーオキシド、ジ第3ブチルパーオキシド、第3ブチルクミルパーオキシド、第3ブチルパーオキシベンゼン、11ビス355トリメチルシクロヘキサン、25ジメチルヘキサン25ジヒドロキシパーオキシド、αα ́ビスpジイソプロピルベンゼン、25ジメチル25ジヘキサン、第3ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート等が使用される。これらの有機過酸化物が用いられるパーオキサイド加硫法では、通常共架橋剤として多官能性不飽和化合物、例えばトリアリルイソシアヌレート、トリアリルシアヌレート、トリアリルトリメリテート、NN ́mフェニレンビスマレイミド、ジアリルフタレート、トリスsトリアジン、亜リン酸トリアリル、12ポリブタジエン、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート等が併用される。パーオキサイド加硫系に配合される以上の各成分は、一般に含フッ素エラストマー100重量部当り有機過酸化物が約01~10重量部、好ましくは約05~5重量部の割合で、共架橋剤が約01~10重量部、好ましくは約05~5重量部の割合でそれぞれ用いられる。また、ポリオール加硫の場合には、ポリオール系架橋剤として22ビスプロパンビスフェノールA、22ビスパーフルオロプロパンビスフェノールAF、ヒドロキノン、カテコール、レゾルシン、44′ジヒドロキシジフェニル、44′ジヒドロキシジフェニルメタン、44′ジヒドロキシジフェニルスルホン、22ビスブタン等のポリヒドロキシ芳香族化合物あるいはそれらのアルカリ金属塩またはアルカリ土類金属塩が用いられ、これらのポリオール系架橋剤は含フッ素エラストマー100重量部当り約05~10重量部、好ましくは約1~5重量部の割合で用いられる。また、ポリオール架橋反応の加硫促進剤として、4級アンモニウム塩、4級ホスホニウム塩等の4級オニウム塩が、含フッ素エラストマー100重量部当り約01~30重量部、好ましくは約02~20重量部の割合で用いられている。さらに、ポリオール系架橋剤または4級ホスホニウム塩として、あるいはこれら両者を兼ねて、ビスフェノール化合物に2モル量の4級ホスホニウムハライドを反応させた化合物、すなわち両末端に4級ホスホニウム塩基を有するビスフェノール化合物を単独であるいは他の加硫剤と併用して用いることもできる。以上の加硫系各成分は、そのまま含フッ素エラストマーに配合し、混練してもよいし、あるいはカーボンブラック、シリカ、クレー、タルク、けいそう土、硫酸バリウム等で希釈し、含フッ素エラストマーとのマスターバッチ分散物としても使用される。組成物中には、上記各成分に加えて、従来公知の充填剤または補強剤、可塑剤、滑剤、加工助剤、顔料などを適宜配合することもできる。加硫は、前記各成分をロール混合、ニーダー混合、バンバリー混合、溶液混合など一般に用いられている混合法によって混合した後、加熱することによって行われる。加硫は、一般には約100~250°Cで約1~120分間程度行われる一次加硫および約150~300°Cで0~30時間程度行われる二次加硫によって行われるが、射出成形でも可能である。次に、実施例について本発明を説明する。参考例1温度計および低沸物除去用レシーバーを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、CF332I500gおよびトリエチルホスファイトP3181gを仕込み、155°Cで攪拌した。このとき、副生成物であるヨウ化エチルを反応系から除去するために、細管を使用して反応液中に窒素ガスをバブリングした。反応液を微量分取してガスクロマトグラフィー分析を行い、トリエチルホスファイトの残量を確認した後、さらにトリエチルホスファイトを1回に91g宛4回分添し、合計18時間攪拌した。反応終了後、反応混合物を内圧02kPa、内温160~170°C、塔頂温度150~155°Cの条件下で減圧単蒸留を行い、蒸留留分を水洗して、精製反応生成物412gを得た。得られた精製反応生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる化合物であることが確認された。CF332P2温度計およびコンデンサを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、得られたポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルCF332P2300gおよび約35濃塩酸300gを仕込み、100°Cで12時間攪拌した。冷却後、減圧ロ過して、固形分276gを回収した。この固形分を水洗して再びロ過し、さらにアセトンで洗浄してロ過し、目的物242gを得た。得られた生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる目的化合物であることが確認された。CF332P2IIa参考例2温度計および低沸物除去用レシーバーを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、CF33I500gおよびトリエチルホスファイトP3213gを仕込み、155°Cで攪拌した。このとき、副生成物であるヨウ化エチルを反応系から除去するために、細管を使用して反応液中に窒素ガスをバブリングした。反応液を微量分取してガスクロマトグラフィー分析を行い、トリエチルホスファイトの残量を確認した後、さらにトリエチルホスファイトを1回に107g宛4回分添し、合計18時間攪拌した。反応終了後、反応混合物を内圧02kPa、内温145~155°C、塔頂温度138~142°Cの条件下で減圧単蒸留を行い、蒸留留分を水洗して、精製反応生成物407gを得た。得られた精製反応生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる化合物であることが確認された。CF33P2温度計およびコンデンサを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、得られたポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルCF33P2300gおよび約35濃塩酸300gを仕込み、100°Cで12時間攪拌した。冷却後、減圧ロ過して、固形分287gを回収した。この固形分を水洗して再びロ過し、さらにアセトンで洗浄してロ過し、目的物240gを得た。得られた生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる目的化合物であることが確認された。CF33P2IIb参考例3温度計および低沸物除去用レシーバーを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、CF33I500gおよびトリエチルホスファイトP3176gを仕込み、155°Cで攪拌した。このとき、副生成物であるヨウ化エチルを反応系から除去するために、細管を使用して反応液中に窒素ガスをバブリングした。反応液を微量分取してガスクロマトグラフィー分析を行い、トリエチルホスファイトの残量を確認した後、さらにトリエチルホスファイトを1回に88g宛4回分添し、合計18時間攪拌した。反応終了後、反応混合物を内圧02kPa、内温160~170°C、塔頂温度150~155°Cの条件下で減圧単蒸留を行い、蒸留留分を水洗して、精製反応生成物395gを得た。得られた精製反応生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる化合物であることが確認された。CF33P2温度計およびコンデンサを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、得られたポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルCF33P2300gおよび約35濃塩酸300gを仕込み、100°Cで12時間攪拌した。冷却後、減圧ロ過して、固形分276gを回収した。この固形分を水洗して再びロ過し、さらにアセトンで洗浄してロ過し、目的物237gを得た。得られた生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる目的化合物であることが確認された。CF33P2IIc参考例4温度計および低沸物除去用レシーバーを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、CF32I500gおよびトリエチルホスファイトP3208gを仕込み、155°Cで攪拌した。このとき、副生成物であるヨウ化エチルを反応系から除去するために、細管を使用して反応液中に窒素ガスをバブリングした。反応液を微量分取してガスクロマトグラフィー分析を行い、トリエチルホスファイトの残量を確認した後、さらにトリエチルホスファイトを1回に104g宛4回分添し、合計18時間攪拌した。反応終了後、反応混合物を内圧02kPa、内温145~155°C、塔頂温度138~141°Cの条件下で減圧単蒸留を行い、蒸留留分を水洗して、精製反応生成物397gを得た。得られた精製反応生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる化合物であることが確認された。CF32P2温度計およびコンデンサを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、得られたポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルCF32P2300gおよび約35濃塩酸300gを仕込み、100°Cで12時間攪拌した。冷却後、減圧ロ過して、固形分271gを回収した。この固形分を水洗して再びロ過し、さらにアセトンで洗浄してロ過し、目的物235gを得た。得られた生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる目的化合物であることが確認された。CF32P2IId参考例5温度計および低沸物除去用レシーバーを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、CF322I500gおよびトリエチルホスファイトP3204gを仕込み、155°Cで攪拌した。このとき、副生成物であるヨウ化エチルを反応系から除去するために、細管を使用して反応液中に窒素ガスをバブリングした。反応液を微量分取してガスクロマトグラフィー分析を行い、トリエチルホスファイトの残量を確認した後、さらにトリエチルホスファイトを1回に104g宛4回分添し、合計18時間攪拌した。反応終了後、反応混合物を内圧02kPa、内温145~155°C、塔頂温度140~142°Cの条件下で減圧単蒸留を行い、蒸留留分を水洗して、精製反応生成物410gを得た。得られた精製反応生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる化合物であることが確認された。CF322P2温度計およびコンデンサを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、得られたポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルCF322P2300gおよび約35濃塩酸300gを仕込み、100°Cで12時間攪拌した。冷却後、減圧ロ過して、固形分269gを回収した。この固形分を水洗して再びロ過し、さらにアセトンで洗浄してロ過し、目的物240gを得た。得られた生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる目的化合物であることが確認された。CF322P2IIe参考例6温度計および低沸物除去用レシーバーを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、CF3I500gおよびトリエチルホスファイトP3259gを仕込み、155°Cで攪拌した。このとき、副生成物であるヨウ化エチルを反応系から除去するために、細管を使用して反応液中に窒素ガスをバブリングした。反応液を微量分取してガスクロマトグラフィー分析を行い、トリエチルホスファイトの残量を確認した後、さらにトリエチルホスファイトを1回に130g宛4回分添し、合計18時間攪拌した。反応終了後、反応混合物を内圧02kPa、内温130~140°C、塔頂温度128~131°Cの条件下で減圧単蒸留を行い、蒸留留分を水洗して、精製反応生成物405gを得た。得られた精製反応生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる化合物であることが確認された。CF3P2温度計およびコンデンサを備えた容量1Lの四口フラスコ中に、得られたポリフルオロアルキルホスホン酸ジエステルCF3P2300gおよび約35濃塩酸300gを仕込み、100°Cで12時間攪拌した。冷却後、減圧ロ過して、固形分262gを回収した。この固形分を水洗して再びロ過し、さらにアセトンで洗浄してロ過し、目的物229gを得た。得られた生成物は、1HNMRおよび19FNMRの結果から、次式で表わされる目的化合物であることが確認された。CF3P2IIf参考例7攪拌装置および滴下装置を備えた容量200mlに反応装置内に、40°Cに加熱された水532gを保温しながら仕込み、参考例1で得られたポリフルオロアルキルホスホン酸IIa5gを加えた後、濃度14重量のアンモニア水溶液154gを加え、1時間攪拌を続けて中和反応を行った。これにより、pH8のポリフルオロアルキルホスホン酸アンモニウム塩の水溶液が得られた乳化剤水溶液I。この乳化剤水溶液Iを水中に少量ずつ添加し、その水溶液の表面張力を測定するとそれの臨界ミセル濃度CMCは08重量で、濃度20重量での表面張力は17mNmであった。表面張力の測定は、SITA製動的表面張力計を用い、20°Cで、最大気泡法で測定した。比較例1参考例7において、ポリフルオロアルキルホスホン酸IIaに、アンモニア水溶液を加えることなく1時間攪拌した場合には、添加したポリフルオロアルキルホスホン酸IIaは水に溶解せずに分離し、水溶液は得られなかった。参考例8~12参考例7において、水量および濃度14重量アンモニア水溶液量をそれぞれ所定量に変更し、またポリフルオロアルキルホスホン酸IIaの代りに同量の参考例2~6で得られたポリフルオロアルキルホスホン酸IIb~IIfをそれぞれ用い、それらの水溶液を得た乳化剤水溶液II~VI。これらの乳化剤水溶液II~VIについて、同様に表面張力を測定した。得られた結果は、乳化剤水溶液の組成と共に、次の表1に示される。なお、参考例7についての結果も、併記されている。表1参考例7参考例8参考例9参考例10参考例11参考例12乳化剤水溶液記号IIIIIIIVVVIホスホン酸記号IIaIIbIIcIIdIIeIIfg数555555ミリモル数841028410296171アンモニア水溶液g数154185154138157232ミリモル数127152127152144257水g数532505532552533476表面張力CMC0808081009122濃度時170168169182185190参考例13参考例7において、水量を664gに変更し、またポリフルオロアルキルホスホン酸IIaおよびアンモニア水溶液の代りに、ペンタデカフルオロオクタン酸アンモニウム塩C7F15COONH45gを用い、それの水溶液を得た乳化剤水溶液VII。実施例1攪拌機を備えた内容積10Lのステンレス鋼製圧力反応器に、水2911g乳化剤水溶液I472gNaOH13gマロン酸エチル120gを仕込み、内部空間を窒素ガスで置換した後、フッ素ビニリデンVdF435gテトラフルオロエチレンTFE45gヘキサフルオロプロピレンHFP135gの混合組成を有する混合ガスを初期仕込みガスとして仕込み、反応器の内温を80°Cに昇温させると、内圧は約24MPaGとなった。その後、過硫酸アンモニウム25gを水150gに溶解させた重合開始剤水溶液を反応器内に圧入し、重合反応を開始させた。重合反応開始後は、内圧が235~245MPaGとなるように、VdFTFEHFP混合ガスを2500g追加分添し、反応器内の圧力を維持した。分添終了後、圧力反応器の内圧が05MPaGになるまでエージングを行い、室温まで冷却して重合反応を完結させ、エマルジョンA6420gを得た。また、エマルジョンAの平均粒子径を日機装製マイクロドラック粒度分布計UPA150を用い、動的光散乱法によって測定すると、115nmであった。このエマルジョンAを、それぞれ室温条件下および40°Cに1ヶ月放置した後の平均粒子径を測定すると、118nmおよび120nmという結果が得られ、安定なエマルジョンが形成されていることが確認された。さらに、水性分散液の機械的安定性として、水性分散液を325メッシュの金属製ふるいを10回通過させた後の水性分散液について、その平均粒子径を測定すると125nmという値が得られ、安定なエマルジョンであることが確認された。なお、平均粒子径増加率は、平均粒子径について次の式から算出される。増加率=/初期×100得られたエマルジョンAを、05重量塩化カルシウム水溶液中に攪拌しながら滴下し、凝析した生成物をロ別し、イオン交換水で十分に攪拌洗し、ロ過、乾燥させると、白色粉末状の含フッ素共重合体が1995g得られた。この含フッ素共重合体の共重合組成を19FNMRから求めると、VdFTFEHFP=8866であった。また、この含フッ素共重合体の1重量容量メチルエチルケトン溶液を調製し、35°Cでの溶液粘度ηspcを測定すると、その値は12gdlであった。実施例2~6、比較例2実施例1において、乳化剤水溶液Iの代りに、それぞれ同量の乳化剤水溶液II~VIIが用いられた。得られたエマルジョンB~Fおよびaについて、回収量、回収率、固形分濃度および各種平均粒子径、その増加時の測定を、実施例1と同様に行った。得られた結果は、次の表2に示される。なお、実施例1についての結果も、併記されている。表2実-1実-2実-3実-4実-5実-6比-2乳化剤水溶液記号IIIIIIIVVVIVIIエマルジョン記号ABCDEFa回収量6420641564226415641364206425固形分濃度452451450455456449455回収率963963964963962963964平均粒子径初期115110107125120130115室温、1ヶ月118112110130122135120同増加率323424440°C、1ヶ月120115113135126140125同増加率4568589ふるい通過後125117115139130145132同増加率9671181215実施例7攪拌機を有する内容積10Lのステンレス鋼製圧力反応器に、イオン交換水4500g乳化剤水溶液I250gNa2HPO412H2O15gマロン酸エチル18gを仕込み、内部空間を窒素ガスで置換した後、フッ素ビニリデンVdF180gテトラフルオロエチレンTFE126gの混合組成を有する混合ガスを初期仕込みガスとして仕込み、反応器の内温を80°Cに昇温させると、内圧は約21MPaGとなった。その後、過硫酸アンモニウム30gを水150gに溶解させた重合開始剤水溶液を反応器内に圧入し、重合反応を開始させた。重合反応開始後は、内圧が20~21MPaGとなるように、VdFTFE=混合ガスを1230g追加分添し、反応器内の圧力を維持した。分添終了後、圧力反応器の内圧が05MPaGになるまでエージングを行い、室温まで冷却して重合反応を完結させ、エマルジョンG6200gを得た。このエマルジョンGについて、各種平均粒子径、その増加率の測定を、実施例1と同様に行った。得られたエマルジョンGからの共重合体の分離を実施例1と同様に行い、白色粉末状の含フッ素共重合体1330gを得た。この含フッ素共重合体の共重合組成を19FNMRおよびFTIRから求めると、VdFTFE=7030であった。また、重量平均分子量Mwは460000、融点は140°Cであった。実施例8攪拌機を有する内容積10Lのステンレス鋼製圧力反応器に、イオン交換水4950g乳化剤水溶液I720gNa2HPO412H2O34gメタノール5gを仕込み、内部空間を窒素ガスで置換した後、テトラフルオロエチレンTFE130gパーフルオロFEVE260gの混合組成を有する混合ガスを初期仕込みガスとして仕込み、反応器の内温を80°Cに昇温させると、内圧は約21MPaGとなった。その後、過硫酸アンモニウム34gおよびをNaHSO305gを水150gに溶解させた重合開始剤水溶液を反応器内に圧入し、重合反応を開始させた。重合反応開始後は、内圧が078~085MPaGとなるように、TFEFEVE=混合ガスを1620g追加分添し、反応器内の圧力を維持した。分添終了後、圧力反応器の内圧が05MPaGになるまでエージングを行い、室温まで冷却して重合反応を完結させ、エマルジョンH7250gを得た。このエマルジョンHについて、各種平均粒子径、その増加率の測定を、実施例1と同様に行った。得られたエマルジョンHからの共重合体の分離を実施例1と同様に行い、白色粉末状の含フッ素共重合体1320gを得た。この含フッ素共重合体の共重合組成を19FNMRおよびFTIRから求めると、TFEFEVE=8218であった。実施例9攪拌機を有する内容積10Lのステンレス鋼製圧力反応器に、イオン交換水4835g乳化剤水溶液I285gNa2HPO412H2O20gマロン酸エチル26g14ジヨードパーフルオロブタンI4I20gを仕込み、内部空間を窒素ガスで置換した後、フッ素ビニリデンVdF183gテトラフルオロエチレンTFE105gヘキサフルオロプロピレンHFP750gの混合組成を有する混合ガスを初期仕込みガスとして仕込み、反応器の内温を70°Cに昇温させると、内圧は約31MPaGとなった。その後、過硫酸アンモニウム05gを水100gに溶解させた重合開始剤水溶液を反応器内に圧入し、重合反応を開始させた。重合反応開始後は、内圧が29~30MPaGとなるように、VdFTFEHFP=混合ガスを1872g追加分添し、反応器内の圧力を維持した。分添終了後、圧力反応器の内圧が17MPaGになるまでエージングを行い、室温まで冷却して重合反応を完結させ、エマルジョンI7800gを得た。このエマルジョンIについて、各種平均粒子径、その増加率の測定を、実施例1と同様に行った。得られたエマルジョンIからの共重合体の分離を実施例1と同様に行い、白色粉末状の含フッ素共重合体2440gを得た。この含フッ素共重合体の共重合組成を19FNMRおよびFTIRから求めると、VdFTFEHFP=671617であった。また、ηspcの値は、12dlgであった。以上の実施例7~9で得られたエマルジョンの各種平均粒子径およびその増加率は、次の表3に示される。表3平均粒子径実施例7実施例8実施例9初期120109125室温、1ヶ月122110125同増加率21040°C、1ヶ月125110126同増加率411ふるい通過後130120133同増加率8106参考例14実施例9で得られた3元共重合体100重量部MTカーボンブラック20〃ZnO5〃トリアリルイソシアヌレート5〃有機過酸化物35〃以上の各成分を8インチオープンロールを用いて混練し、混練物を180°Cで10分間プレス加硫し、次いで230°Cで22時間オーブン加硫した。加硫物について、諸特性を測定し、次のような値を得た。なお、圧縮永久歪は、ASTMMethodBに準拠し、P24Oリングについて測定された。100モジュラス43MPa破断時伸び220破断時強度182MPa圧縮永久歪150°C、70時間9200°C、70時間23230°C、70時間40