反りを有する板状物をチャックテーブルで吸引保持する板状物の保持方法であって、板状物を保持する保持面と、一端が該保持面に連通し他端が吸引源に選択的に接続される吸引路とを有するチャックテーブルを準備するチャックテーブル準備ステップと、該チャックテーブルの該保持面上に反りを有する板状物を載置する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該板状物の上方から板状物の面積よりも大きい面積を有する弾性部材を板状物に押圧して板状物を平らにする押圧ステップと、該押圧ステップの実施を継続しつつ該吸引源を作動させて板状物を吸引保持する保持ステップと、を具備したことを特徴とする板状物の保持方法。前記弾性部材は、板状物の面積よりも大きい開口を有する環状フレームの該開口を覆うように粘着テープが貼着された粘着テープユニットから構成され、前記押圧ステップでは、該粘着テープユニットの該環状フレームを板状物に対して接近移動させることで該粘着テープユニットの該粘着テープで板状物を押圧して平らにすることを特徴とする請求項1記載の板状物の保持方法。請求項1又は2記載の板状物の保持方法でチャックテーブルに保持された板状物を加工する板状物の加工方法であって、前記チャックテーブルの前記保持面に対して垂直なスピンドルの先端に装着されたバイト工具を円軌道で回転させながら、該チャックテーブルを所定の加工送り速度で直線移動させて該チャックテーブルに保持された板状物の表面を該バイト工具によって旋回切削するバイト切削ステップを備えた板状物の加工方法。しかし、板状物には反りを有するものがあり、特にバンプ付きウエーハにアンダーフィル材やACFAnisotropicConductiveFilm材が被覆されたウエーハやWL-CSPWaferLevel-ChipSizePackageウエーハ等、異なる材質が積層されたウエーハで大きな反りを有するものがある。反りを有する板状物をチャックテーブルで吸引保持しようとしてもチャックテーブルの保持面に板状物が密接していない部分から負圧がリークし、板状物を吸引保持できないという問題がある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、反りを有する板状物でも確実に吸引保持することのできる板状物の保持方法を提供することである。請求項1記載の発明によると、反りを有する板状物をチャックテーブルで吸引保持する板状物の保持方法であって、板状物を保持する保持面と、一端が該保持面に連通し他端が吸引源に選択的に接続される吸引路とを有するチャックテーブルを準備するチャックテーブル準備ステップと、該チャックテーブルの該保持面上に反りを有する板状物を載置する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該板状物の上方から板状物の面積よりも大きい面積を有する弾性部材を板状物に押圧して板状物を平らにする押圧ステップと、該押圧ステップの実施を継続しつつ該吸引源を作動させて板状物を吸引保持する保持ステップと、を具備したことを特徴とする板状物の保持方法が提供される。好ましくは、前記弾性部材は、板状物の面積よりも大きい開口を有する環状フレームの該開口を覆うように粘着テープが貼着された粘着テープユニットから構成され、前記押圧ステップでは、該粘着テープユニットの該環状フレームを板状物に対して接近移動させることで該粘着テープユニットの該粘着テープで板状物を押圧して平らにする。請求項3記載の発明によると、請求項1又は2記載の板状物の保持方法でチャックテーブルに保持された板状物を加工する板状物の加工方法であって、前記チャックテーブルの前記保持面に対して垂直なスピンドルの先端に装着されたバイト工具を円軌道で回転させながら、該チャックテーブルを所定の加工送り速度で直線移動させて該チャックテーブルに保持された板状物の表面を該バイト工具によって旋回切削するバイト切削ステップを備えた板状物の加工方法が提供される。本発明の板状物の保持方法によると、チャックテーブル上に載置された板状物は、弾性部材で押圧されて平らにされた後、押圧しながらチャックテーブルに吸引保持されるため、負圧がリークすることなく板状物をチャックテーブル上に確実に吸引保持することができる。更に、本発明の板状物の保持方法によると、板状物を粘着テープを介して保持することなく、チャックテーブル上に直に吸引保持できるため、粘着テープの厚みばらつきに起因して加工精度を悪化させることがない。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明実施形態の板状物の保持方法を実施するのに適したチャックテーブル2の斜視図が示されている。図2はチャックテーブル2の縦断面図である。チャックテーブル2は多孔質セラミックス等から形成された吸引保持部4を有しており、吸引保持部4はステンレス鋼等の金属材料によって形成されたチャックテーブル本体6の嵌合凹部7図2参照中に嵌合されている。吸引保持部4の保持面4aはチャックテーブル本体6の上面と面一に形成されている。図2に示すように、チャックテーブル2のチャックテーブル本体6は、一端が吸引保持部4に連通し他端が負圧吸引源10に図示しない切替弁を介して選択的に接続される吸引路8を有している。吸引保持部4は特許文献2に開示されたようなピンチャックから構成されてもよい。本発明実施形態の板状物の保持方法では、上述したような構成を有するチャックテーブル2を準備する。図3を参照すると、弾性部材としての粘着テープ粘着シートユニット5の斜視図が示されている。粘着テープユニット5は、粘着テープ粘着シートTの外周部を環状フレームFに貼着して構成される。図4を参照すると、反りを有するウエーハ等の板状物11をチャックテーブル2の保持面4a上に載置する載置ステップを示す縦断面図が示されている。このように板状物11をチャックテーブル2の保持面4a上に載置した後、図5に示すように、板状物11の上方から板状物11の面積よりも大きい面積を有する粘着テープユニット5で板状物11を押圧して板状物11を平らにする押圧ステップを実施する。図5に示した本実施形態では、押圧ステップを実施するのに板状物11の面積よりも大きい面積を有する粘着テープユニット5を使用しているが、本発明の押圧ステップでは粘着テープユニット5に限定されるものではなく、板状物11の面積より大きい面積を有する樹脂等の他の弾性部材で板状物11を押圧するようにしてもよい。粘着テープユニット5で板状物11を押圧する押圧ステップの実施を継続しつつ、図6に示すように、図示しない切替弁を切り替えて吸引路8を吸引源10に接続することにより、吸引路8を介して吸引保持部4に負圧を作用させ、板状物11をチャックテーブル2で吸引保持する保持ステップを実施する。このように反りを有する板状物11を粘着テープユニット5で押圧してチャックテーブル2で吸引保持した後、粘着テープユニット5を板状物11上から除去しても板状物11はチャックテーブルに吸引保持されたままとなる。板状物11をチャックテーブル2で吸引保持した後、例えば図7に示すようなバイト切削装置12で板状物11を旋削加工する。図7において、14はバイト切削装置12のベースであり、ベース14の後方にはコラム16が立設されている。コラム16には、上下方向に伸びる一対のガイドレール一本のみ図示18が固定されている。この一対のガイドレール18に沿ってバイト切削ユニット20が上下方向に移動可能に装着されている。バイト切削ユニット20は、そのハウジング30が一対のガイドレール18に沿って上下方向に移動する移動基台22に取り付けられている。バイト切削ユニット20は、ハウジング30と、ハウジング30中に回転可能に収容されたスピンドル32図8参照と、スピンドル32の先端に固定されたマウント34と、マウント34に着脱可能に装着されたバイトホイール35とを含んでいる。バイトホイール35にはバイト工具36が着脱可能に取り付けられている。バイト切削ユニット20は、バイト切削ユニット20を一対の案内レール18に沿って上下方向に移動するボールねじ24とパルスモータ26とから構成されるバイト切削ユニット送り機構28を備えている。パルスモータ26をパルス駆動すると、ボールねじ24が回転し、移動基台22が上下方向に移動される。ベース14の中間部分にはチャックテーブル2を有するチャックテーブル機構38が配設されており、チャックテーブル2は図示しないチャックテーブル移動機構によりY軸方向に移動される。43は蛇腹であり、チャックテーブル機構38をカバーする。スピンドル32はチャックテーブル2の保持面4aに対して垂直な軸心を有している。ベース14の前側部分には、第1のウエーハカセット42と、第2のウエーハカセット44と、ウエーハ搬送用ロボット46と、複数の位置決めピン50を有する位置決め機構48と、ウエーハ搬入機構ローディングアーム52と、ウエーハ搬出機構アンローディングアーム54と、スピンナ洗浄ユニット56が配設されている。また、ベース14の概略中央部には、チャックテーブル2を洗浄する洗浄水噴射ノズル58が設けられている。この洗浄水噴射ノズル58は、チャックテーブル2が装置手前側のウエーハ搬入搬出領域に位置づけられた状態において、チャックテーブル2に向かって洗浄水を噴射する。バイト切削装置12のチャックテーブル2で、図8に示すように、板状物11を吸引保持し、スピンドル32を回転してバイト工具36を円軌道で回転させながら、チャックテーブル2に保持された板状物11の表面に所定深さ切り込み、チャックテーブル2を矢印Y方向に所定の加工送り速度で直線的に加工送りして、チャックテーブル2に保持された板状物11の表面をバイト工具36によって旋削するバイト切削ステップを実施して、板状物11の表面を平坦に加工する。上述した実施形態の板状物の保持方法によると、反りを有する板状物11でもチャックテーブル2で吸引保持できるため、例えば反りを有するバンプ付きウエーハのアンダーフィル材やWL-CSPウエーハ等をバイト工具36によりバイト切削加工することができる。