"流体管路の中途部又は/及び末端部に接続して使用に供するフィルターであって、流体の導入口と同導出口と上記流体管路への接続手段とを備える筒状筐体内に該筒状筐体の軸線方向に沿って上記導入口から上記導出口に通じる管状流路を形成し、該管状流路内に磁性繊維を多数絡めて成形した繊維塊状体と該繊維塊状体に磁力を生起させる永久磁石とを介在配置し、上記繊維塊状体に生起した磁力で流体中の磁性粉塵を吸着し保持することを特徴とする磁力吸着フィルター。上記管状流路内に濾紙筒体を上記管状流路内面と間隔を置いて同心配置し、該濾紙筒体の上記導入口側の開口を上記導入口と一致させて連通し、同濾紙筒体の上記導出口側の開口を隔壁にて閉鎖すると共に該隔壁に上記濾紙筒体を上記導出口から間隔を置いて支持する支持アームを形成し、上記濾紙筒体内に上記繊維塊状体と上記永久磁石とを配置したことを特徴とする請求項1記載の磁力吸着フィルター。上記繊維塊状体の上記導入口側又は上記導入口側と上記導出口側の双方に上記磁性繊維の小片の流出を阻止するメッシュシートを配置したことを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の磁力吸着フィルター。上記筒状筐体を大筒状筐体と小筒状筐体とから成る入れ子構造とし、該大筒状筐体に上記流体管路への接続手段を設けると共に上記小筒状筐体内に上記管状流路を形成したことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の磁力吸着フィルター。上記磁性繊維の材料としてオーステナイトフェライト系又はフェライト系又はマルテンサイト系のステンレス鋼を用いることを特徴とする請求項1乃至請求項4記載の磁力吸着フィルター。然し乍ら、上記従来のメッシュ体を配設するフィルターにあっては、上記メッシュ体の高密度に編まれた繊維により流体を遮ることとなるため、筐体の内部圧力が高くなってしまい、この内部圧力が高まることに起因して筐体に高度な気密構造を施さねばならず、自ずとフィルター全体が複雑化、大型化し、ひいては高コストとなってしまう問題点を有している。又上記従来のフィルターにあっては、既述したように、筐体に気密構造が施され複雑化しているため、該筐体内に配設されたメッシュ体を交換する保守作業が煩雑となる問題点を有している。更に上記従来のフィルターにあっては、筐体の内部圧力が高まることに加え、ブロワーからの乾燥用空気の脈動によりフィルターエレメントが劣化し破損し易い問題点をも有している。本発明は上記従来のフィルターが抱える問題点を有効に解決し、小型且つ簡易構造で流体中の磁性粉塵を効果的に除去し保持する磁力吸着フィルターを提供する。請求項1記載の発明は、流体管路の中途部又は/及び末端部に接続して使用に供するフィルターであって、流体の導入口と同導出口と上記流体管路への接続手段とを備える筒状筐体内に該筒状筐体の軸線方向に沿って上記導入口から上記導出口に通じる管状流路を形成し、該管状流路内に磁性繊維を多数絡めて成形した繊維塊状体と該繊維塊状体に磁力を生起させる永久磁石とを介在配置し、上記繊維塊状体に生起した磁力で流体中の磁性粉塵を吸着し保持することを特徴とする。請求項2記載の発明は、請求項1を前提として、上記管状流路内に濾紙筒体を上記管状流路内面と間隔を置いて同心配置し、該濾紙筒体の上記導入口側の開口を上記導入口と一致させて連通し、同濾紙筒体の上記導出口側の開口を隔壁にて閉鎖すると共に該隔壁に上記濾紙筒体を上記導出口から間隔を置いて支持する支持アームを形成し、上記濾紙筒体内に上記繊維塊状体と上記永久磁石とを配置したことを特徴とする。請求項3記載の発明は、請求項1又は請求項2を前提として、上記繊維塊状体の上記導入口側又は上記導入口側と上記導出口側の双方に上記磁性繊維の小片の流出を阻止するメッシュシートを配置したことを特徴とする。請求項4記載の発明は、請求項1乃至請求項3を前提として、上記筒状筐体を大筒状筐体と小筒状筐体とから成る入れ子構造とし、該大筒状筐体に上記流体管路への接続手段を設けると共に上記小筒状筐体内に上記管状流路を形成したことを特徴とする。請求項5記載の発明は、請求項1乃至請求項4を前提として、上記磁性繊維の材料としてオーステナイトフェライト系又はフェライト系又はマルテンサイト系のステンレス鋼を用いることを特徴とする。請求項1記載の発明にあっては、筒状筐体内部の管状流路内に磁性繊維から成る繊維塊状体と該繊維塊状体に磁力を生起させる永久磁石とを介在配置することにより、上記管状流路を流れる流体を必要以上に遮ることなく、上記繊維塊状体に生起した磁力で流体中の磁性粉塵を確実に吸着して除去し、且つ該繊維塊状体に生起した磁力で磁性粉塵を保持することができる。又上記のように、筒状筐体内部の管状流路内に繊維塊状体と永久磁石とを介在配置する簡易構造とし内部圧力が高まることもないため、容易に小型化を図ることができると共に、流体中の磁性粉塵を除去するフィルターを存しない既存設備の流体管路に対しても簡単に接続することができる。請求項2記載の発明にあっては、上記繊維塊状体と上記永久磁石とを内包する濾紙筒体を備えることにより、上記繊維塊状体と上記永久磁石で磁性粉塵を除去しつつ、濾紙筒で磁気を帯びにくい粉塵や磁気を帯びない粉塵等の非磁性粉塵を除去することができる。請求項3記載の発明にあっては、上記繊維塊状体の上記導入口側又は上記導入口側と上記導出口側の双方にメッシュシートを配置することにより、流体の圧力損失を抑えつつ上記磁性繊維の小片の流出を阻止することができる。請求項4記載の発明にあっては、上記筒状筐体を大筒状筐体と小筒状筐体とから成る入れ子構造とし、該大筒状筐体に上記流体管路への接続手段を設けると共に上記小筒状筐体内に上記管状流路を形成して、上記小筒状筐体をカートリッジとすることができ、保守作業の際には上記大筒状筐体を導管に接続したまま、上記小筒状筐体を交換すればよいので、保守作業が頗る容易となる。請求項5記載の発明にあっては、上記磁性繊維の材料としてオーステナイトフェライト系又はフェライト系又はマルテンサイト系のステンレス鋼を用いることにより、効率良く磁力を生起し磁性粉塵の確実な吸着と保持を図ることができる。以下本発明を実施するための最良の形態を図1乃至図5に基づき説明する。本発明に係る磁力吸着フィルターは、図1,図2に示すように、基本的構成として、流体の導入口4と同導出口5と流体管路への接続手段12とを備える円筒形状の筒状筐体1内に該筒状筐体1の軸線方向に沿って上記導入口4から上記導出口5に通じる管状流路6を形成し、該管状流路6内に磁性繊維7aを多数絡めて成形した繊維塊状体7と該繊維塊状体7に磁力を生起させるリング形状の永久磁石8とを介在配置する構成となっており、上記管状流路6を流れる流体を必要以上に遮ることなく、上記繊維塊状体7に生起した磁力で流体中の磁性粉塵を確実に吸着して除去し、且つ保持することができる。上記筒状筐体1は上記接続手段12を備える大筒状筐体22A,2Bと上記管状流路6を形成する小筒状筐体33A,3Bとから成る入れ子構造とし、上記大筒状筐体2を上記導入口4側、即ち該導入口4を形成する開口4a側の2Aと、上記導出口5側、即ち該導出口5を形成する開口5a側の2Bとに分割して形成し、両者2A,2Bに着脱手段13を設けることにより、上記大筒状筐体2を流体管路、即ち導管と接続したままで上記小筒状筐体3を取り替えることが可能となり、保守作業が頗る容易となる。上記小筒状筐体3は上記大筒状筐体2の開口4aと共に上記導入口4を形成する開口4bと、上記大筒状筐体2の開口5aと共に上記導出口5を形成する開口5bとを備え、該開口4bから開口5bに通じる管状流路6を形成し、上記大筒状筐体2と同様に上記導入口4側、即ち該導入口4を形成する開口4b側の3Aと、上記導出口5側、即ち該導出口5を形成する開口5b側の3Bとに分割して形成し、上記管状流路6内に後記する具体的構成要素を配設した後、両者3A,3Bを接着剤や特殊テープ等による接着又は溶接等して一体化する。又上記大筒状筐体2の開口4aと上記小筒状筐体2の開口4b間にシールリング14を介在配置して流体の漏れを防止する。同様に上記大筒状筐体2の開口5aと上記小筒状筐体2の開口5b間にシールリング14を介在配置して流体の漏れを防止する。尚本発明にあっては、上記筒状筐体1を大筒状筐体2のみで構成し該大筒状筐体2の内部空間を管状流路6とすることを排除しない。又筒状筐体1を円筒形状とせず、多角筒形状とすることも実施に応じ任意である。又上記流体管路への接続手段12は太径の筒体12aと細径の筒体12bとから成り、異なる径の導管に対応することができる。次に上記管状流路6内の具体的構成について詳述すると、上記管状流路6内には周壁9aを濾紙で形成した濾紙筒体9を上記管状流路6内面と間隔を置いて同心配置し、該濾紙筒体9の上記導入口4側の開口縁にシールフランジ9bを設けて該開口を上記導入口4と一致させて連通し、同濾紙筒体9の上記導出口5側の開口を隔壁9cにて閉鎖すると共に該隔壁9cに上記濾紙筒体9を上記導出口5から間隔を置いて支持する支持アーム10を形成し、上記濾紙筒体9内に上記繊維塊状体7と上記永久磁石8とを配置する。従って、上記繊維塊状体7と上記永久磁石8とを内包する濾紙筒体9を備えることにより、上記繊維塊状体7と上記永久磁石8で磁性粉塵を除去しつつ、濾紙筒体9で磁気を帯びにくい粉塵や磁気を帯びない粉塵等の非磁性粉塵を除去することができる。但し本発明にあっては、上記濾紙筒体9を配置せず、上記繊維塊状体7と上記永久磁石8のみを上記管状流路6内に介在配置することを排除しない。又上記繊維塊状体7の上記導入口4側にステンレス線材から成る編成構造のメッシュシート11を配置する。該メッシュシート11により流体の圧力損失を抑えつつ上記繊維塊状体7を形成する磁性繊維7aの小片の流出を阻止することができる。上記メッシュシート11は一重構造とするか、又は図示するように、網目の細かいメッシュシート11Aと、該メッシュシート11Aの上記導入口4側に同メッシュシート11Aよりも網目の粗いメッシュシート11Bとを配置する二重構造とし、該メッシュシート11Bで上記メッシュシート11Aの変形を防止する。又本発明にあっては、上記メッシュシート11は、既述した上記繊維塊状体7の上記導入口4側のみでなく、上記導入口4側と上記導出口5側の双方に配置することも実施に応じ任意である。この場合には、より確実に上記磁性繊維7aの小片の流出を阻止することができる。上記繊維塊状体7は、図2にも示すように、磁性繊維7aを多数絡め、該磁性繊維7a間に多数の空隙7bを画成しつつ上記管状流路6の内部形状に相似する塊状にして成形する。上記空隙7bは大きさ,位置共に流体の圧力損失を抑えるよう考慮され、ランダムに形成される。上記磁性繊維7aの材料としては、例えばオーステナイトフェライト系JIS規格:SUS329等又はフェライト系JIS規格:SUS405,SUS430,SUS434等又はマルテンサイト系JIS規格:SUS420,SUS630等のステンレス鋼を用いることができ、これらのステンレス鋼を磁性繊維7aの材料として用いることにより、効率良く磁力を生起し磁性粉塵の確実な吸着と保持とを図ることができる。上記永久磁石8は、図2にも示すように、リング形状として上記繊維塊状体7の上記導出口5側に配置する。これにより、上記繊維塊状体7に上記導入口5に近づくにつれて強い磁力を生起させ、該磁力を生起した繊維塊状体7で効率良く磁性粉塵を吸着し保持する。又は他例として、図3に示すように、上記リング形状の永久磁石8を上記繊維塊状体7の上記導入口4側と上記導出口5側の双方に配置し、上記繊維塊状体7に均等に強い磁力を生起させて、磁性粉塵の吸着と保持とを図ることも実施に応じ任意である。更に他例として、図4に示すように、上記永久磁石8を丸棒形状とし、該丸棒形状の永久磁石8の周面外方に上記繊維塊状体7を配置し、該繊維塊状体7に磁力を生起させて、磁性粉塵の吸着と保持とを図ることも実施に応じ任意である。以上の構成による本発明に係る磁力吸着フィルターにあっては、流体は図2に白抜き矢印で示すように流れることとなる。換言すると、流体が上記筒状筐体1の導入口4から導入され、上記永久磁石8で磁力を生起された上記繊維塊状体7を通過する際に磁性粉塵を除去されつつ、上記濾紙筒体9の周壁9aを通過する際に非磁性粉塵を除去されて、最後に管状流路6内に流れ、上記筒状筐体1の導出口5から導出されて電子部品やその材料の製造に使用されることとなる。次に本発明に係る磁力吸着フィルターの実際の使用状態について詳述すると、本発明に係る磁力吸着フィルターは、図5に示すように、例えば半導体やプリント基板等の電子部品の乾燥工程で使用する乾燥設備18に乾燥用空気を送る流体管路19の中途部又は末端部、又は同中途部と末端部の双方に接続して使用に供する。既述したように、流体管路19の先端部に取り付けた吸気フィルター15にて乾燥用空気中の異物微粒子を除去しても、鉄粉等の磁性粉塵は流体管路19の中途部に介在するブロア16やヒーター17から発生することが多いため、流体管路19において上記ブロア16やヒーター17以降の中途部又は末端部に設けるか、同中途部と末端部の双方に接続して使用に供することが望ましい。又本発明に係る磁力吸着フィルターは、上記筒状筐体1内部の管状流路6内に上記繊維塊状体7と上記永久磁石8とを介在配置する簡易構造とし内部圧力が高まることもないため、容易に小型化を図ることができると共に、流体中の磁性粉塵を除去するフィルターを存しない既存設備における流体管路19にも簡単に接続することができる。"