"行及び列方向に複数配置され、各々が放射線又は光を電荷に変換する変換素子と、前記電荷に基づく電気信号を出力するスイッチ素子と、を有する複数の画素と、列方向の複数の前記スイッチ素子に接続された複数の信号配線と、前記複数の信号配線に対応する複数のサンプルホールド回路を有し、前記複数の信号配線に接続された読み出し回路と、を有する撮像装置であって、前記複数の画素は、複数の群に分割されており、前記複数のサンプルホールド回路は、前記複数の画素のうち所定行の画素から前記複数の信号配線を介して前記読み出し回路に並列に出力された電気信号のサンプルホールドを、前記複数の群毎に異なるタイミングで行うことを特徴とする撮像装置。前記撮像装置は、行方向の複数の前記スイッチ素子に接続された複数の駆動配線と、前記複数の駆動配線に接続され、前記駆動配線毎に前記スイッチ素子を導通するための電圧を供給する駆動回路と、を更に有することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。前記複数のサンプルホールド回路は、前記駆動回路から前記電圧が供給された前記複数の駆動配線のうちの所定の駆動配線に対応する前記所定行の画素から並列に出力された電気信号のサンプルホールドを、前記複数の群毎に異なるタイミングで行うことを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。前記画素は奇数列の群と偶数列の群に分割され、前記複数のサンプルホールド回路は、前記奇数列の群及び前記偶数列の群で異なるタイミングで前記所定行の画素から並列に出力された電気信号のサンプルホールドを行うことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の撮像装置。行及び列方向に複数配置され、各々が放射線又は光を電荷に変換する変換素子と、前記電荷に基づく電気信号を出力するスイッチ素子と、を有する複数の画素と、列方向の複数の前記スイッチ素子に接続された複数の信号配線と、前記複数の信号配線をリセットするリセット動作を行うための複数のリセット回路を前記複数の信号配線に対応して有し、前記複数の信号配線に接続された読み出し回路と、を有する撮像装置であって、前記複数の画素は、複数の群に分割されており、前記複数のリセット回路は、前記複数の画素のうち所定行の画素からの電気信号の出力と、前記複数の画素のうち前記所定行とは異なる他の行の画素からの電気信号の出力と、の間の期間に、前記複数の群毎に異なるタイミングで前記リセット動作を行うことを特徴とする撮像装置。前記撮像装置は、行方向の複数の前記スイッチ素子に接続された複数の駆動配線と、前記複数の駆動配線に接続され、前記駆動配線毎に前記スイッチ素子を導通するための電圧を供給する駆動回路と、を更に有することを特徴とする請求項5に記載の撮像装置。前記複数のリセット回路は、前記駆動回路が前記複数の駆動配線のうち前記所定行に対応する所定の駆動配線に前記電圧を与えてから前記複数の駆動配線のうち前記所定の駆動配線とは異なる前記他の行に対応する駆動配線に前記電圧を与えるまでの間に、前記複数の群毎に異なるタイミングで前記リセット動作を行うことを特徴とする請求項6に記載の撮像装置。前記画素は奇数列の群と偶数列の群に分割され、前記複数のリセット回路は、前記奇数列の群及び前記偶数列の群で異なるタイミングで前記リセット動作を行うことを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載の撮像装置。請求項1から8のいずれか1項に記載の撮像装置のうち、前記変換素子が放射線を電荷に変換するものである放射線撮像装置と、放射線を発生する放射線発生手段とを有することを特徴とする放射線撮像システム。医療用のX線撮像システム等に用いられる放射線撮像装置においては、システムのノイズ特性が被写体の被爆量に影響する場合があるので、民生品と比較して、より厳しいノイズ性能が求められる。これらの中でも、透視撮影=動画撮影を実施可能な撮像システムを実現するためには、静止画撮影用の装置と比較して、さらに低ノイズのシステムであることが求められるが、従来技術例においては必ずしも十分とは言えない場合があった。特にノイズの中でも、ラインノイズは、エリアセンサや読み出し回路の構成、及びリセット動作やサンプルホールド動作が行方向の複数のスイッチ素子に接続される駆動配線により一括で行われるマトリクス駆動に起因する。そのラインノイズは、構造的なエラーすなわちアーチファクトとなるため、ランダムノイズよりも、人間の視覚特性上、顕在化しやすく、画質を劣化させる、あるいは診断能を低下させる場合があった。上述の従来技術例はいずれも強度が小さく、かつ空間的に低周波のラインノイズアーチファクトを、有効画素を犠牲にすることなくリアルタイムで低減可能な放射線撮像装置の構成に関する具体的記述がない。本発明は、医療用のX線透視撮像システム等に好適な、十分な撮影領域、表示の即時性を有しつつラインノイズによるアーチファクトを低減した良好な撮影画像を取得可能な撮像装置及び放射線撮像システムを提供することを目的としている。特に本発明は、簡単な構成で、複雑な演算を用いることなく、ラインノイズアーチファクトを低減可能な撮像装置及び放射線撮像システムを提供することを目的としている。ラインノイズアーチファクトは、エリアセンサアレー、読み出し回路、駆動回路に供給される電源のゆらぎ電源ノイズに起因するものである。本発明の撮像装置は、行及び列方向に複数配置され、各々が放射線又は光を電荷に変換する変換素子と、前記電荷に基づく電気信号を出力するスイッチ素子と、を有する複数の画素と、列方向の複数の前記スイッチ素子に接続された複数の信号配線と、前記複数の信号配線に対応する複数のサンプルホールド回路を有し、前記複数の信号配線に接続された読み出し回路と、を有する撮像装置であって、前記複数の画素は、複数の群に分割されており、前記複数のサンプルホールド回路は、前記複数の画素のうち所定行の画素から前記複数の信号配線を介して前記読み出し回路に並列に出力された電気信号のサンプルホールドを、前記複数の群毎に異なるタイミングで行うことを特徴とする。本発明により、ラインノイズによるアーチファクトを低減した良好な撮影画像を取得することができる。また、電源のゆらぎ電源ノイズに起因するラインノイズアーチファクトを簡単な構成で、複雑な演算を用いることなく低減することができる。第1の実施形態図13は、X線撮影において被写体の読み取り動作中にラインノイズが生じた場合の画像例である。図13aは取得した画像をディスプレイ上に表示したものであり、図13bは図13aの画像のI-II間の列プロファイルである。図13bの横軸は画像の列を示し、縦軸はセンサ出力値すなわち画像濃度を示す。本図では画像に比較的強度が大きく、かつ空間周波数の高いラインノイズが生じて著しく画質を劣化させている例であるが、さらに強度が小さく空間周波数の低いラインノイズであっても画質の劣化が生じる場合がある。本発明者は、経験上、以下の式1が成り立つ場合、構造的なラインノイズが視覚的に画質を劣化させることを導いた。σpixel/10<σline1ここでσpixelはダーク状態におけるエリアセンサアレー各画素出力の標準偏差を求めたもの、すなわちランダムノイズであり、σlineはゲートライン毎の画素出力平均値に対して標準偏差を求めたもの、すなわちラインノイズである。このように画素のランダムノイズと比較して、強度的に非常に小さなラインノイズであっても、構造的なアーチファクトとなり画質を劣化させる場合があることを見出した。また、本発明者は、図14a、b、図15、図16に示すように、エリアセンサアレー、読み出し回路、駆動回路に供給される電源のゆらぎ電源ノイズ量と、ラインノイズ量の関係を、以下に記すように定量的に導いた。図14aは、読み出し回路に供給される基準電位がゆらぎ、すなわちノイズを有する場合のラインノイズ量を示す説明図である。図示されるように、電位VrefがVn1Vrmsのゆらぎを持ち、エリアセンサアレーの信号配線の寄生容量がC[F]の場合、演算増幅器のノイズゲインに従い、出力としては、次式2のゆらぎが観察される。Vn1Vrms×CfC/Cf2図15及び図16に示すように、従来例では電位Vrefは読み出し回路に共通に供給され、リセットスイッチRC及びサンプルホールド回路SHはエリアセンサアレーの各ゲートラインに対して一括で動作するため、式2で導かれる量がラインノイズとなる。さらに図14bはエリアセンサアレーの各信号配線が、センサバイアスライン寄生容量Csで結合し、かつセンサバイアス電位Vsがゆらぎを持つ場合のラインノイズを説明する図である。図示されるように、センサバイアス電位VsがVn2Vrmsのゆらぎを持つ場合、読み出し回路には電荷Cs×Vn2Vrmsが注入され、出力電圧Voutとしては、次式3のゆらぎ電圧ΔVoutが観察される。ΔVout=Vn2Vrms×Cs/Cf3前述した電位Vrefと類似して、図15及び図16に示すように、センサバイアス電位Vsはエリアセンサアレー全体に共通に供給される。そして、リセットスイッチRC及びサンプルホールド回路SHはエリアセンサアレーの各駆動配線に対して一括で動作するため、式3で導かれる量がラインノイズとなる。ラインノイズによるアーチファクト低減を目的として、上記のいくつかの文献に技術開示があり、これらはおおまかに2つに分類される。第1の手法として、遮光したマスク画素の出力を用いて補正を行うもの、あるいはマスク画像を含む画像を解析してラインノイズ量を求め補正を行うものが挙げられる特許文献2。また、第2の手法として、エリアセンサアレーや読み出し回路、駆動回路の電源のゆらぎ電源ノイズに起因するラインノイズを低減するために、各電源に低域通過フィルタを設けたものが挙げられる特許文献3。いずれもラインノイズ低減に対して、ある程度の効果を有するが、それぞれ以下の観点で十分とは言えない場合があった。また効果の定量性においても、十分とは言えない場合があった。たとえば、第1の手法は高い空間周波数を有しパルス的かつ比較的強度の大きなラインノイズの除去には効果的である。しかしながら画素のランダムノイズの1/10程度の精度でラインノイズを補正除去するためには、ラインノイズ検出や演算のアルゴリズムが複雑となり、透視撮影のように表示の即時性を要するシステムへの適用が困難な場合があった。また統計の教えより、画素のランダムノイズの1/10程度のラインノイズを精度よく求めるためには十分多数のマスク画素を必要するため、有効画素領域が減少する場合があった。あるいは十分な数のマスク画素を配置できない場合はかえって演算により誤差を増す場合があった。一方、第2の手法はエリアセンサアレー、読み出し回路、駆動回路の電源のゆらぎに由来する特に高周波のラインノイズを低減するためには効果的である。しかしながらノイズ低減の効果を増すために低域通過フィルタの帯域を下げると、電源の応答性が悪くなる、あるいは電源の1/fノイズ等空間的に非常に低周波のラインノイズになり得るものに対しては効果が乏しい場合があった。ここで留意すべきは、上述の従来技術例はいずれも強度が小さく、かつ空間的に低周波のラインノイズアーチファクトを、有効画素を犠牲にすることなくリアルタイムで低減可能な放射線撮像装置の構成に関する具体的記述がない点である。以下で本発明の第1の実施形態について図を用いて詳しく説明する。図1は、本発明の第1の実施形態の放射線撮像装置の模式的回路図である。101はセンサアレー、102は光電変換素子であるPIN型フォトダイオード、103はスイッチ素子である薄膜トランジスタTFT103である。TFT103は、ゲート、ソース及びドレイン電極を有する。104は、行方向の複数のTFT103のゲート電極に共通に接続された駆動配線に電圧を供給する駆動回路である。105は、列方向の複数のTFT103のソース電極に接続された信号配線110に接続された読み出し回路読み出し手段である。読み出し回路105は、演算増幅器106、サンプルホールド回路107、マルチプレクサ108、出力用アンプ109、電荷蓄積用容量Cf、リセットスイッチRC等を有する。図1を用いて、本実施形態の放射線撮像装置の構成について説明する。信号配線110に接続される読み出し回路105が、偶数奇数の2系統群に分割されており、各系統群の演算増幅器106に対して基本的に相関のない個別の基準電位Vref1、Vref2を供給可能な構成であることを特徴としている。演算増幅器106の分割の方法は偶数奇数に限ったものではないが、視覚特性を考慮すると偶数奇数が好ましい。センサアレー101は、行及び列方向に複数配置されたアモルファスシリコン等の非単結晶半導体のPIN型フォトダイオード光電変換素子102とTFTスイッチ素子103からなる画素が二次元に複数配列され、マトリクス駆動される。各画素のPIN型フォトダイオード102の共通電極側本図ではダイオードのカソード側には、バイアス配線を介してバイアス電圧Vsが印加されている。また各画素のTFT103のゲート電極は行方向で共通に駆動配線に接続されており、駆動配線はシフトレジスタ等で構成される駆動回路104に接続される。信号配線110は、列方向の複数のTFT103のソース電極又はドレイン電極の一方に接続される。複数の演算増幅器106は、複数の信号配線110に対応して設けられる。奇数列の演算増幅器106の入力端子は、信号配線110及び基準電圧Vref1の電源に接続される。偶数列の演算増幅器106の入力端子は、信号配線110及び基準電圧Vref2の電源に接続される。基準電圧Vref1及びVref2は、同一の電圧値であり、それぞれ相関のない独立の電源により生成される。演算増幅器106は、信号配線110が接続された入力端子に、電荷蓄積用容量Cfを接続した電荷読み出しアンプを構成している。基準電圧Vref1及びVref2の電源は、読み出し回路105内の演算増幅器106の基準電源である。出力用アンプ109の出力は、A/Dコンバータでデジタル化され、図示しないメモリ、プロセッサ等で構成される画像処理手段で処理され、図示しないモニタ等の表示装置に出力される、あるいはハードディスク等の記録装置に保管される。放射線照射手段から被写体情報を含む光がエリアセンサアレー101に入射する。フォトダイオード102は、光電変換により、光を電気信号に変換する。さらにリセット信号により、演算増幅器106に設けられたリセットスイッチRCがオンして、演算増幅器106の電荷蓄積用容量Cf及び各信号配線110がリセットされる。続いて、第1行目の駆動配線に転送パルスが印加され、第1行目の駆動配線に接続されたTFT103がオンする。それにより、フォトダイオード102で発生した電荷に基づく信号が、TFT103及び信号配線110を介して、読み出し回路105へ転送される。転送された信号は、信号配線110に接続された読み出し回路105の演算増幅器106で電圧へ変換される。次に、サンプルホールド回路107は、サンプルホールド信号を入力し、演算増幅器106からの電圧出力をサンプリングする。この後、サンプルホールド回路107の容量にサンプリングされた電圧が保持され、その電圧がマルチプレクサ108でシリアル変換される。出力用アンプ109は、マルチプレクサ108の出力信号を増幅する。続いて、再びスイッチRCにより演算増幅器106の電荷蓄積用容量Cf及び各信号配線110がリセットされた後、第2行目の駆動配線に転送パルスが印加され、第2行目のフォトダイオード102の電荷がTFT103及び信号配線110を介して読み出し回路に読み出される。同様の動作が3ライン目以降のゲート線に対して繰り返され、センサアレー101全体の電荷すなわち画像出力データが読み出される。奇数列の演算増幅器106には、基準電圧Vref1が入力される。奇数列のリセットスイッチRCがオンすると、奇数列の演算増幅器106及び信号配線110が短絡され、奇数列の信号配線110は電圧Vref1/2にリセットされる。信号配線110のリセット電圧Vref1/2は、TFT103を介してフォトダイオード102のアノードに供給される。基準電圧Vref1の電源は、信号配線110及びTFT103を介してフォトダイオード102にリセット電圧を供給するための電源である。また、偶数列の演算増幅器106には、基準電圧Vref2が入力される。偶数列のリセットスイッチRCがオンすると、偶数列の演算増幅器106及び信号配線110が短絡され、偶数列の信号配線110は電圧Vref2/2にリセットされる。信号配線110のリセット電圧Vref2/2は、TFT103を介してフォトダイオード102のアノードに供給される。基準電圧Vref2の電源は、信号配線110及びTFT103を介してフォトダイオード102にリセット電圧を供給するための電源である。センサーアレー101内の複数の画素は、複数の系統群に分割され、例えば奇数列及び偶数列の系統群に分割される。基準電圧Vref1及びVref2の2個の電源は、複数の系統群毎に独立して設けられる。基準電圧Vref1の電源は、奇数列の系統群のフォトダイオード102にリセット電圧を供給する。基準電圧Vref2の電源は、偶数列の系統群のフォトダイオード102にリセット電圧を供給する。図2は、本実施形態の放射線撮像装置に用いられ、読み出し回路105に基準電位Vref1及びVref2を供給する具体的な電源回路例を示す。基準電位Vref1を生成するための電源回路は、電圧源201a、抵抗202a、容量203a及び演算増幅器204aを有する。基準電位Vref1は、奇数列の演算増幅器106に入力される。基準電位Vref2を生成するための電源回路は、電圧源201b、抵抗202b、容量203b及び演算増幅器204bを有する。基準電位Vref2は、偶数列の演算増幅器106に入力される。本図では各基準電位Vref1及びVref2をそれぞれバンドギャップリファレンス電圧源201a,201bに低域通過フィルタ202a,203a,202b,203bを接続し、さらに十分低ノイズの演算増幅器204a,204bを接続する。本構成の回路によれば、読み出し回路105の偶数奇数それぞれに対して、相関のない電位Vref1及びVref2を与えるため、上記のラインノイズ値σlineを低減することができる。エリアセンサアレー101及び読み出し回路105では、行方向の複数のTFT103に共通に接続された駆動配線により行単位で信号の転送が行われ、列方向の複数のTFT103に共通に接続された信号配線110及び読み出し回路105により列単位で読み出し処理が行われる。図15のように、全列の演算増幅器に同一の基準電位Vrefを供給すると、基準電位Vrefの電源のゆらぎが全列の演算増幅器のノイズとして現れる。その結果、1行内のすべての画素信号に同じタイミングの基準電源Vrefからのノイズが生じ、ラインノイズとなる。ラインノイズは、視覚的に画質劣化を感じやすい。本実施形態では、基準電位Vref1及びVref2の電源が独立しているので、仮に基準電位Vref1の電源のゆらぎが生じても、基準電位Vref2の電源のゆらぎが生じない。逆に、仮に基準電位Vref2の電源のゆらぎが生じても、基準電位Vref1の電源のゆらぎが生じない。その結果、1行内のすべての画素信号に同じタイミングの基準電源からのノイズが生じることがなく、ノイズが分散され、ラインノイズを防止することができる。基準電位Vref1又はVref2のゆらぎが生じたとしてもゆらぎが異なるため、ランダムノイズに近いものとなり、視覚的にノイズが目立たなく、画質を向上させることができる。本構成は、基準電位Vref1及びVref2の電源電圧作成に用いる増幅器204a,204bの1/fノイズが大きな場合等に特に効果的である。また本図ではバンドギャップリファレンス電圧源201a,201b、低域通過フィルタ202a,203a,202b,203b、演算増幅器204a,204bのすべてを偶数列及び奇数列で独立して設けているが、これに限定されない。演算増幅器204a,204bのみを偶数列及び奇数列で独立の構成にしてもよい。基準電位Vref1及びVref2の電源は、少なくとも異なる演算増幅器204a及び204bを有する。図3は、本実施形態のラインノイズ低減の効果を説明するための図であり、読み出し回路105を分割する系統群数すなわち基準電位Vrefの電源分割数と、上記のラインノイズ値σline相対値の関係を示す。本図より、偶数列及び奇数列に分割して基準電位Vref1及びVref2を演算増幅器106に供給した場合、基準電位Vref1又はVref2のゆらぎに起因するラインノイズσlineが分割しない場合と比較して原理的に1/√2に低減される。また、4系統群に分割してそれぞれ相関のない電源を供給した場合に1/2に低減される。図4は、本実施形態の放射線撮像装置に用いられるエリアセンサアレー101の画素断面図である。ガラスなどの絶縁基板301上には、光電変換素子であるフォトダイオード310、スイッチ素子であるTFT311及び配線部312が設けられる。フォトダイオード310は、上電極層306、n型の不純物半導体層307、真性半導体層309、p型の不純物半導体層308及び下電極層305を有する。TFT311は、ゲート電極302、ドレイン電極303及びソース電極304を有する。それぞれの半導体層はアモルファスシリコンなどの非単結晶半導体により絶縁基板301上に形成される。保護層313は、フォトダイオード310、TFT311及び配線部312を覆う。接着層314は、保護層313の上に設けられる。蛍光体層315は、接着層314の上に設けられる。X線などの放射線316は、蛍光体層315の上方から入射する。ここで、接着層314は必ずしも必要ではなく、保護層313上に直接蛍光体層315を蒸着などにより設けてもよい。各画素のPIN型フォトダイオード310は、絶縁基板301上に、下電極層305、p型の不純物半導体層308、真性半導体層309、n型の不純物半導体層307、上電極層306が積層された構成である。TFT311は、ゲート電極層下電極302、ゲート絶縁層アモルファスシリコン窒化膜、真性半導体層、n型の不純物半導体層、ソース電極層上電極304及びドレイン電極層上電極303が積層された構成である。配線部312は、信号配線110を示し、各画素でTFT311のソース電極304に接続されている。絶縁基板301上に形成されているフォトダイオード310、TFT311、及び配線部312上には、放射線316に対して透過率の高いアモルファスシリコン窒化膜等の保護層313が設けられ、全体を覆っている。蛍光体層315は、X線などの放射線316を光電変換素子が感知可能な波長帯域の光に変換する。フォトダイオード310は、その光を電気信号電荷に変換する。蛍光体層315及びフォトダイオード310は、X線放射線316を電気信号に変換する変換素子である。本実施形態は、透視等の医療用X線撮像システムに適用するために、保護層313の上部に接着層314を介してX線316等の放射線を可視光に変換する蛍光体層波長変換体315を有している。蛍光体層315は、Gd2O2S:TbやGd2O3:Tb等のガドリニウム系、あるいはヨウ化セシウムCsI等を主材料として用いることができる。またセンサアレー101の光電変換素子102は、アモルファスシリコンのPIN型フォトダイオードに限定されず、ポリシリコン又は有機材料を主材料とするものでもよい。また、光電変換素子102と蛍光体315によって構成される変換素子は、アモルファスセレン、ガリウム砒素、ガリウムリン、ヨウ化鉛、ヨウ化水銀、CdTe、CdZnTe等、X線等の放射線を直接電荷に変換する直接型の変換素子でもよい。さらにTFT103の材料は、絶縁基板上に形成されたアモルファスシリコンに限定されず、ポリシリコンや有機材料を主材料とするTFTスイッチ素子であってもよい。本実施形態の構成は、大判で信号配線110の寄生容量が大きなエリアセンサアレー101を用いた放射線撮像装置において、特に有効である。第2の実施形態図5は、本発明の第2の実施形態の放射線撮像装置の模式的回路図である。本実施形態は第1の実施形態と類似しているが、以下の点で基本的に異なる。すなわち、本実施形態は、図1とは異なり、読み出し回路105の基準電圧Vrefは共通の1つの電源から供給されている。一方で、エリアセンサアレー101のバイアス配線は偶数列及び奇数列の2系統群に分割され、かつ相関のない独立した電源Vs1及びVs2から供給されている。奇数列のフォトダイオード102のカソードには、バイアス電圧Vs1が供給される。偶数列のフォトダイオード102のカソードには、バイアス電圧Vs2が供給される。バイアス電圧Vs1及びVs2は、同じ電圧値である。バイアス電圧Vs1及びVs2の電源は、相関のない独立した電源回路である。バイアス電圧Vs1及びVs2の電源は、フォトダイオード102のバイアス電源である。また、全列の演算増幅器106には、同一電源の基準電圧Vrefが入力される。バイアス電圧Vs1及びVs2の各電源の具体的な構成方法は、図2の基準電圧Vref1及びVref2と同様、少なくとも異なる演算増幅器で供給することが望ましい。また、本実施形態の効果についても、図3の第1の実施形態と同様である。本構成により、バイアス線電位のゆらぎにより生じるラインノイズ成分が原理的に1/√2となる。フォトダイオード102のカソードに接続されるバイアス配線を複数の系統群に分割した構成については、前述の特許文献1の図23でも記されている。しかしながら、特許文献1の図23は分割された複数系統群のバイアス線をスイッチで切換えているが、最終的に接続されているのは同一の電源である。したがって、特許文献1は、本実施形態とは構成が異なり、また特許文献1の図23ではラインノイズ低減の効果も得られない。第3の実施形態図6は、本発明の第3の実施形態の放射線撮像装置の模式的回路図である。本実施形態の特徴は、以下の2点である。すなわち、読み出し回路105が4系統群に分割され、4分割された各演算増幅器106の基準電位端子に電圧値は同じであるが、それぞれ相関がなく独立した電源の電圧Vref1、Vref2、Vref3、Vref4が入力されている。また、エリアセンサアレー101がバイアス配線において4系統群に分割されており、各系統群のバイアス配線に対して、電圧値は同じであるが、相関がなく独立した電源の電圧Vs1、Vs2、Vs3、Vs4が供給されている。第1列及び第5列等の演算増幅器106には、基準電圧Vref1が入力される。第2列及び第6列等の演算増幅器106には、基準電圧Vref2が入力される。第3列及び第7列等の演算増幅器106には、基準電圧Vref3が入力される。第4列及び第8列等の演算増幅器106には、基準電圧Vref4が入力される。第1列及び第5列等のフォトダイオード102のカソードに接続されるバイアス配線には、バイアス電圧Vs1が供給される。第2列及び第6列等のフォトダイオード102のカソードに接続されるバイアス配線には、バイアス電圧Vs2が供給される。第3列及び第7列等のフォトダイオード102のカソードに接続されるバイアス配線には、バイアス電圧Vs3が供給される。第4列及び第8列等のフォトダイオード102のカソードに接続されるバイアス配線には、バイアス電圧Vs4が供給される。本構成によれば、読み出し回路105の基準電源電圧Vref1~Vref4に起因するラインノイズ成分が1/2になり、またセンサバイアス電源電圧Vs1~Vs4のゆらぎに起因するラインノイズ成分も1/2になる。本実施形態の構成は、大判で信号配線110の寄生容量が大きなエリアセンサアレー101を用いた放射線撮像装置において、第1の実施形態及び第2の実施形態と比較して、さらに有効である。第4の実施形態図7及び図8は、本発明の第4の実施形態の放射線撮像装置の模式的回路図、及びタイミング図である。基本的な構成は第3の実施形態と類似しているが、下記の点が異なる。すなわち、本実施形態は、2系統群に分割された読み出し回路105に、基準電位Vref1及びVref2を供給することに加えて、リセット信号RC1,RC2、サンプルホールド信号SH1,SH2を2系統群に分割して供給可能な構成である。奇数列第1列及び第3列等の演算増幅器106には、基準電圧Vref1が入力される。偶数列第2列及び第4列等の演算増幅器106には、基準電圧Vref2が入力される。基準電圧Vref1及びVref2は、電圧値が同じであるが、相互に相関がなく独立した電源の電圧である。奇数列第1列及び第3列等のフォトダイオード102のカソードに接続されるバイアス配線には、バイアス電圧Vs1が供給される。偶数列第2列及び第4列等のフォトダイオード102のカソードに接続されるバイアス配線には、バイアス電圧Vs2が供給される。バイアス電圧Vs1及びVs2は、電圧値が同じであるが、相互に相関がなく独立した電源の電圧である。複数のリセットスイッチリセット回路RCは、複数の信号配線110に対応して設けられる。奇数列第1列及び第3列等のスイッチRCの制御端子には、リセット信号RC1が入力される。偶数列第2列及び第4列等のスイッチRCの制御端子には、リセット信号RC2が入力される。リセット信号RC1及びRC2は、ハイレベルになるタイミングが異なる。リセット信号RC1及びRC2のスイッチRCは、奇数列及び偶数列の系統群毎に異なるハイレベルのタイミングでオンする。複数のサンプルホールド回路107は、複数の信号配線110に対応して設けられる。奇数列第1列及び第3列等のサンプルホールド回路107の制御端子には、サンプルホールド信号SH1が入力される。偶数列第2列及び第4列等のサンプルホールド回路107の制御端子には、サンプルホールド信号SH2が入力される。サンプルホールド信号SH1及びSH2は、ハイレベルになるタイミングが異なる。サンプルホールド信号SH1及びSH2のサンプルホールド回路107は、奇数列及び偶数列の系統群毎に異なるハイレベルのタイミングでサンプルホールドし、電圧を保持する。X線源などの放射線照射手段から信号XRAYのハイレベルタイミングでX線が放射線撮像装置に入射する。X線は、蛍光体層315図4によりフォトダイオード310が感知可能な波長帯域の光可視光に変換される。フォトダイオード310は、その光を電気信号電荷に変換する。次に、リセット信号RC1のパルスにより、奇数列のスイッチRCがオンして、奇数列の演算増幅器106の電荷蓄積用容量Cf及び信号配線110が電位Vref1にリセットされる。次に、リセット信号RC2のパルスにより、偶数列のスイッチRCがオンして、偶数列の演算増幅器106の電荷蓄積用容量Cf及び信号配線110が電位Vref2にリセットされる。続いて、駆動配線Vg1に転送パルスが印加され、駆動配線Vg1に共通に接続されたTFT103がオンし、第1行のフォトダイオード102で発生した電荷に基づく信号が、TFT103及び信号配線110を介して、読み出し回路105の演算増幅器106へ転送される。演算増幅器106は、信号配線110の電荷を電圧に変換する。次に、サンプルホールド信号SH1のパルスが印加され、奇数列のサンプルホールド回路107は、奇数列の演算増幅器106の出力電圧をサンプリングして保持する。次に、サンプルホールド信号SH2のパルスが印加され、偶数列のサンプルホールド回路107は、偶数列の演算増幅器106の出力電圧をサンプリングして保持する。マルチプレクサ108は、全列のサンプルホール回路107の出力電圧をシリアル信号に変換する。出力用アンプ109は、マルチプレクサ108の出力電圧を増幅して出力する。続いて、再びリセット信号RC1及びRC2により、奇数列及び偶数列の演算増幅器106の電荷蓄積用容量Cf及び信号配線110が電位Vref1及びVref2にリセットされる。その後、駆動配線Vg2に転送パルスが印加され、第2行のフォトダイオード102の電荷に基づく信号がTFT103及び信号配線110を介して読み出し回路105に読み出される。同様の動作が駆動配線Vg3以降に対して繰り返され、センサアレー101全体の電荷が読み出される。図8のタイミング図で示されるように、信号RC1、RC2及び信号SH1、SH2はタイミングをずらして入力されている。また、本構成によれば、各駆動配線Vg1~Vg4上の信号についてサンプリングのタイミングをずらしている。そのため、放射線撮像装置に供給される電源のゆらぎに起因するラインノイズの低減に加えて、空間や、筐体、ACラインを介して伝播する外来ノイズに起因するラインノイズをも低減することが可能となる。本実施形態はバイアス電源電圧Vs1,Vs2、読み出し回路105の基準電源電圧Vref1,Vref2、リセット信号RC1,RC2及びサンプルホールド信号SH1,SH2のタイミングを偶数列及び奇数列の2系統群としている。ただし、さらに多系統群として、相対的な位相を変えることにより、ラインノイズ低減の効果が増すことは明白であり、より望ましい。第5の実施形態図9及び図10は、本発明の第5の実施形態の放射線撮像装置の説明図である。図9は模式的回路図であり、図10はエリアセンサアレー101の画素断面図である。基本的な動作はそれぞれ第4の実施形態の図7と類似しているが、本実施形態は以下の点が異なる。すなわち、本実施形態ではエリアセンサアレー101の光電変換素子は、アモルファスシリコンのMIS型光電変換素子MIS型センサ901である点に留意すべきである。すなわち、MIS型光電変換素子901は、図7のPIN型フォトダイオード102の代わりに設けられる。図10の断面図を用いて、第5の実施形態の放射線撮像装置に用いられるエリアセンサアレー101についてさらに詳細に説明する。MIS型センサ1001の層構成は、ガラス等の絶縁基板301から順に、下電極メタル層1002、シリコン窒化膜等の絶縁層1003、真性半導体層1004、n型の不純物半導体層1005、上電極メタル層1006、シリコン窒化膜等の保護層313を積層した構造である。各半導体層は、絶縁基板301上にアモルファスシリコンなどの非単結晶半導体によって設けられている。本実施形態は、X線撮像装置の例を示しているため、保護層313の上には接着層314を介して蛍光体層315が設けられている。蛍光体層315は、ガドリニウム系及びヨウ化セシウム等が用いられる。ここで、蛍光体315は必ずしも接着層314を介して設けられなくてもよく、保護層313上に直接蒸着などにより設けられても良い。第6の実施形態図11は、本発明の第6の実施形態の放射線撮像装置の模式的回路図である。本実施形態は基本的に図5の第2の実施形態と類似しているが、以下の点が異なる。すなわち、本実施形態において、エリアセンサアレー101の画素は、PIN型フォトダイオード1101、リセット用TFT1104、ソースフォロアTFT1102、転送TFT1003で構成されている。各画素の転送用TFT1003のソース電極が信号配線110に接続されている。奇数列のフォトダイオード1101のカソードには、バイアス電圧Vs1が接続される。偶数列のフォトダイオード1101のカソードには、バイアス電圧Vs2が接続される。リセット用ゲートドライバ104aは、リセット用駆動配線を介してリセットTFT1104のゲートに電圧を供給する。リセットTFT1104は、リセット電源電圧1105に接続される。ソースフォロアTFT1102は、ソースフォロア電源電圧1106に接続される。転送用ゲートドライバ104bは、転送用駆動配線を介して転送TFT1103のゲートに電圧を供給する。信号配線110には、ソースフォロアTFT1102をソースフォロア動作させる定電流源1107が接続される。ゲートドライバ104aの制御によりリセットTFT1104がオンすると、フォトダイオード1101の電荷はリセットされる。フォトダイオード1101は、光電変換により、電荷を生成して蓄積する。ソースフォロアTFT1102は、フォトダイオード1101に蓄積された電荷量に応じた電圧を出力する。転送TFT1103は、ゲートドライバ104bの制御に応じてオンし、ソースフォロアTFT1102の出力電圧を信号配線110に転送する。画素にソースフォロアTFT1102を有するエリアセンサアレー101は出力電荷量が大きいので、本実施形態の構成はより望ましい。このような画素構成においても、ラインノイズ低減のために複数系統群のセンサバイアス電圧Vs1,Vs2を設けて、相関のない独立の電源を接続することは望ましい。また、第4の実施形態のように、読み出し回路105の複数系統群の基準電源電圧Vref1,Vref2を入力可能な構成とし、相関のない独立の電源を接続することが望ましい。さらにはリセット電源1105およびソースフォロア電源1106についても、偶数系統、奇数系統などの複数系統に分けて相関のない独立の電源を接続することは、これらの電源に起因するラインノイズを低減することになり、より望ましい。第7の実施形態図12は、本発明の第7の実施形態によるX線放射線撮像システムのシステム図である。本実施形態は、第1~第6の実施形態の放射線撮像装置をX線撮像システムに応用したものである。本X線撮像システムの特徴は、以下の点である。すなわち、エリアセンサアレー101、ゲートドライバ104,104a,104b、読み出し回路105等で構成されたフラットパネル型放射線撮像装置が、イメージセンサ6040内部に設けられている。イメージプロセッサ6070は、X線チューブX線発生装置6050、イメージセンサ6040、表示装置6080、及び通信手段6090を制御している。X線ルームでは、X線チューブ放射線発生手段6050は、X線放射線6060を発生し、被撮影者6062を介してイメージセンサ6040にX線放射線6060を照射する。イメージセンサ6040は、被撮影者6062の画像情報を生成する。コントロールルームでは、イメージプロセッサ6070は、その画像情報をディスプレイ6080に表示したり、通信手段6090を介してフィルムプロセッサ6100に送信することができる。ドクタールームでは、フィルムプロセッサ6100は、その画像情報をディスプレイ6081に表示したり、その画像情報をレーザープリンタによりフィルム6110に印刷させることができる。第1~第7の実施形態の放射線撮像装置を適用することにより、十分な撮影領域、表示の即時性を有しつつラインノイズによるアーチファクトを低減した良好な撮影画像を取得可能な透視撮像システムを実現できる。上記実施形態は、放射線撮像装置は、構造や駆動に起因するラインノイズ特性に優れた放射線撮像装置を実現することができる。医療用のX線透視撮像システム等に好適な、十分な撮影領域、表示の即時性を有しつつラインノイズによるアーチファクトを低減した良好な撮影画像を取得可能な放射線撮像装置を実現できる。特に、エリアセンサアレー、読み出し回路、駆動回路に供給される電源のゆらぎ電源ノイズに起因するラインノイズのアーチファクトを簡単な構成で、複雑な演算を用いることなく低減可能な放射線撮像装置を実現できる。なお、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。"