リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFに対してNdF3又はErF3が添加されたリチウムガラスからなることを特徴とする真空紫外発光素子。リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFに対してNdF3又はErF3が添加されたリチウムガラスからなることを特徴とする中性子検出用シンチレーター。本発明は、真空紫外領域で高輝度発光し、発光寿命が短いリチウムガラスからなり、フォトリソグラフィー、半導体や液晶の基板洗浄、殺菌、次世代大容量光ディスク、及び医療眼科治療、DNA切断等に好適に使用できる新たな真空紫外発光素子を提供することを目的とする。また、爆縮プラズマからの中性子のうち、散乱中性子を選択的に高効率で検出するとともに、その高速応答性により、散乱中性子を1次中性子やX線から分離して測定することが可能な中性子検出用シンチレーターを提供することを目的とする。本発明者等は、爆縮プラズマからの中性子のうち、散乱中性子を選択的に高効率で検出でき、且つ、より短い発光寿命を有し、散乱中性子を1次中性子やX線から分離して測定することが可能な中性子検出用シンチレーター材料につき種々検討した結果、LiFの含有量が高くても容易に製造することができるガラス材料20AlPO33-80LiFに対してNdF3又はErF3を添加することによって、真空紫外領域で高輝度発光することを見出した。さらに、ガラス材料20AlPO33-80LiFに対してNdF3又はErF3を添加したリチウムガラスは発光寿命がより短く、その高速応答性により、散乱中性子を1次中性子やX線から分離して測定することが可能な中性子検出用シンチレーターとして適用できる可能性があることを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発明は、リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFに対してNdF3又はErF3が添加されたリチウムガラスからなることを特徴とする真空紫外発光素子である。更に他の発明は、該リチウムガラスからなることを特徴とする中性子検出用シンチレーターである。本発明の真空紫外発光素子は、真空紫外領域で高輝度発光し、発光寿命が短いリチウムガラスからなり、フォトリソグラフィー、半導体や液晶の基板洗浄、殺菌、次世代大容量光ディスク、及び医療眼科治療、DNA切断等に好適に使用することができる。また、爆縮プラズマからの中性子のうち、散乱中性子を選択的に高効率で検出するとともに、その高速応答性により、散乱中性子を1次中性子やX線から分離して測定することが可能な中性子検出用シンチレーターとして好適に用いることができる。以下、本発明の真空紫外発光素子及び中性子検出用シンチレーターについて説明する。本発明の真空紫外発光素子及び中性子検出用シンチレーターは、リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFに対してNdF3又はErF3が添加されたリチウムガラスからなる。本発明で用いる該リチウムガラスはリチウムガラス材料20AlPO33-80LiFにNdF3又はErF3が添加されたものである。リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFは、LiFが80±5モル、残部がAlPO33からなるガラスである。リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFとしては、AlPO33が20モル、LiFが80モルからなるリチウムガラス材料であることが好ましい。リチウムガラス材料は、真空紫外領域で高い透過率を持つことが知られているLiFを原料に用いられており、6Li同位体を高濃度に含有させることができるLiの含有量が高いので中性子検出用シンチレーターとしても有用である。LiFの含有量が多くなると、高い紫外透過能が期待できるものの、ガラス形成能と化学的安定性の低下が問題となる。そこで、高い紫外透過能を維持したまま、LiFが多くてもガラス化でき、化学的にも安定となるように、フツリン酸系のリチウムガラスの中から20AlPO33-80LiFをリチウムガラス材料として選択した。中性子検出用シンチレーターとして用いる際には、6Liの同位体比を20以上とすることが好ましい。6Liの同位体比を20以上とすることによって、中性子に対する検出効率を充分に高めることができるが、さらに検出効率を高める目的で、50以上とすることが好ましく、90以上とすることが最も好ましい。6Liの同位体比を調整する方法としては、6Li同位体が所期の6Liの同位体比まで濃縮された原料を用いる方法、或いはあらかじめ6Liが所期の6Liの同位体比以上に濃縮された原料を用意し、該濃縮された原料と天然の同位体比を有する汎用の原料を混合して調整する方法が挙げられる。本発明で用いる上記リチウムガラスはNdF3又はErF3が添加されており、それぞれ178~200nmの範囲、165~185nmの範囲の真空紫外領域で発光する。従って、このようなリチウムガラスは真空紫外発光素子として好適に用いることができる。また、通常、Er3を添加した場合は禁制遷移が優勢であるため、その発光寿命は1μs程度と遅い。しかしこのリチウムガラス材料では許容遷移が優勢となるため、発光寿命が早くなる。Nd3を用いた場合は4.5ns、Er3を用いた場合は3.9nsと更なる高速応答性を持つ。従って、このようなリチウムガラスを中性子検出用シンチレーターに用いることにより、散乱中性子を1次中性子やX線から分離して測定することが可能となる。また、このような高速応答性は、前記したように爆縮プラズマからの散乱中性子の測定に用いる場合に限らず、中性子測定において一般に有効である。上記のリチウムガラスにおいて、リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFに対するNdF3又はErF3の添加量は、発光量と濃度消光の兼ね合いから0.1モル以上10モル以下であることが好ましく、0.5モル以上3モル以下であることがさらに好ましい。これにより、上記した真空紫外領域で発光し、高速応答性を有する真空紫外発光素子や中性子検出用シンチレーターを好適に実現することができる。なお、以下においては、必要に応じて、リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFを、APLF80と略記する。また、NdF3又はErF3がnモルで添加されたリチウムガラスを、それぞれAPLF80nNd、APLF80nErと略記する。リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFに対してNdF3又はErF3が添加されたリチウムガラスは、例えば、以下に示す製造例の方法によって製造することができる。まず、目的とする組成比に対応する調合比により、各原料AlPO33、LiF、NdF3又はErF3を用意する。そして、それらの原料を、ガラス状カーボンのルツボ中において、溶融温度850~13000°C、溶融時間15分~3時間、窒素雰囲気の条件下で溶融する。溶融は、揮発による組成変動の影響を極力抑制するため、より低温かつ短時間で均一に溶融できる条件とすることが好ましい。その後、ルツボを炉から取り出して、黒鉛板上に置き、ルツボとともに融体を急冷し、ガラス化させ、さらにガラス転移温度近傍でアニールを行って、目的とする組成のリチウムガラスを作成する。得られたリチウムガラスは所望の形状に加工して真空紫外発光素子及び中性子検出用シンチレーターとすることができる。本発明の真空紫外発光素子は、電子線或いはF2レーザー等の適当な励起源と組み合わせることにより、真空紫外光発生装置とすることができる。かかる真空紫外光発生装置は、フォトリソグラフィー、殺菌、次世代大容量光ディスク、及び医療眼科治療、DNA切断等の分野において、好適に使用できる。また、本発明の中性子検出用シンチレーターは、6Li同位体を高濃度に含有させることができ、中性子に感度の高いリチウムガラスを使用しているため、光電子増倍管やイメージインテンシファイアを組み合わせることにより、特許文献2と同様に核融合爆縮プラズマからの中性子検出を始め、その高速応答性より、その他様々な分野での中性子検出に用いることができる。本発明の中性子検出用シンチレーターを用いて中性子測定装置とするには、1本発明の中性子検出用シンチレーターを含む中性子検出部と、2測定対象の中性子の入射に応じて中性子検出部から発せられるシンチレーション光を検出する光検出部と、3中性子検出部からのシンチレーション光を光検出部へと導光する導光光学系とを備えた装置とすればよい。以下、本発明の実施例を挙げて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら制限されるものではない。実施例1まず、AlPO3320モル、LiF80モルに対して、NdF31モルとなるように調合した原料12gを、ガラス状カーボンのルツボ中において、溶融温度1000°C、溶融時間30分、窒素雰囲気の条件下で溶融し、その後、ルツボを炉から取り出し、黒鉛板上に置き、ルツボとともに融体を急冷し、ガラス化させ、さらにガラス転移温度近傍でアニールを行って、リチウムガラスAPLF801Ndを作成した。得られたリチウムガラスを直径22mm、厚さ8mmの円盤状に加工して下記の発光特性測定用の試料とした。真空紫外領域対応のストリークカメラと分光器を用いた、図1に示す測定装置を用いて試料の発光特性発光スペクトル、発光寿命を調べた。真空紫外光は酸素によって吸収されてしまうため、計測系はすべて真空中で行った。試料を直径22mmの面がレーザー照射面となるように試料チャンバーに設置し、励起光源として波長157nmのフッ素レーザーを試料の照射面に45度の角度で照射した。この時の試料の照射面からの、レーザーの光軸に対して90度横の方向の発光を分光器で分光し、ストリークカメラで時間分解して検出した。上記の実験の結果得られたAPLF801Ndの波長範囲170~200nmにおける発光スペクトルを図2に示す。発光スペクトルのピーク波長は187nmであった。また、187nmの発光の時間分解スペクトルを図3に示す。APLF801Ndの発光寿命は4.5nsであった。実施例2原料としてAlPO3320モル、LiF80モルに対して、ErF31モルとなるように調合した原料12gを用いた他は実施例1と同様にして、リチウムガラスAPLF801Erを作成し、発光特性を調べた。APLF801Erの波長範囲163~193nmにおける発光スペクトルを図4に示す。発光スペクトルのピーク波長は170nmであった。また、170nmの発光の時間分解スペクトルを図5に示す。APLF801Erの発光寿命は3.9nsであった。実施例に示したように、リチウムガラス材料20AlPO33-80LiFに対してNdF3又はErF3が添加されたリチウムガラスは、真空紫外領域で発光し、真空紫外発光素子として好適に使用できる。また、その発光寿命は特許文献2に記載されている19nsより短いものであり、中性子検出用シンチレーターとして用いた場合、爆縮プラズマからの中性子の測定において、時間分解能を向上させることができ、より正確に散乱中性子数を測定することができる。