"流体供給源とバルブと差圧発生手段と与圧手段とを有する流体供給装置であって、前記バルブは、バルブ筺体と、前記バルブ筺体を第1のバルブ室と第2のバルブ室に分割し、表裏の主面に作用する流体の圧力により変位する変位部材と、前記第1のバルブ室側のバルブ筐体に設けられ、流体の流入側と接続されており、かつ、前記第1のバルブ室と前記第2のバルブ室との間に圧力差を発生させる前記差圧発生手段の吐出側に接続された第1の開口部と、前記第1のバルブ室側のバルブ筐体に設けられ、流体の流出側に接続された第2の開口部と、前記第2のバルブ室側のバルブ筐体に設けられ、前記第1の開口部から流れ込む流体と同じ流体供給源から差分された流体が流入する第3の開口部と、を備え、前記変位部材は、前記与圧手段により前記第1のバルブ室の方向へ付勢され、前記第1の開口部と前記第2の開口部との連通を遮断しており、前記第1の開口部及び前記第3の開口部を介して、流体が前記変位部材の前記第2のバルブ室側の前記主面に作用する力よりも、流体が前記変位部材の前記第1のバルブ室側の前記主面に作用する力が大きくなることにより、前記変位部材が変位し、前記第1の開口部と前記第2の開口部とが連通するように構成されていること、を特徴とする流体供給装置。前記与圧手段は、前記差圧発生手段の上流側に配置され、前記第1のバルブ室と前記第2のバルブ室のそれぞれに圧力を均等に与えること、を特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。前記与圧手段は前記第2のバルブ室内に配置されていること、を特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。前記与圧手段はばね部材であること、を特徴とする請求項1又は請求項3に記載の流体供給装置。前記第2の開口部に所定の圧力を加える流量調整手段をさらに配置したこと、を特徴とする請求項1又は請求項4に記載の流体供給装置。前記流量調整手段は与圧ポンプであること、を特徴とする請求項5に記載の流体供給装置。前記流量調整手段は、電磁コイルと、前記変位部材に固着された状態で該電磁コイルによって動作する磁性体とで構成されていること、を特徴とする請求項5に記載の流体供給装置。前記流量調整手段は前記第2の開口部の周辺で前記変位部材を支える台座部を変位させる圧電素子であること、を特徴とする請求項5に記載の流体供給装置。前記流量調整手段は浸透圧ポンプであること、を特徴とする請求項5に記載の流体供給装置。前記変位部材は前記第2の開口部と接触する部分が補強されていること、を特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の流体供給装置。前記差圧発生手段としてマイクロポンプが用いられていること、を特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の流体供給装置。そこで、本発明の目的は、周辺環境の変化に拘わらず安定した供給が可能であり、かつ、能動素子を用いることなく弁の開閉が可能で、順方向の流れがスムーズな流体供給装置を提供することにある。本発明の一形態である流体供給装置は、流体供給源とバルブと差圧発生手段と与圧手段とを有する流体供給装置であって、前記バルブは、バルブ筺体と、前記バルブ筺体を第1のバルブ室と第2のバルブ室に分割し、表裏の主面に作用する流体の圧力により変位する変位部材と、前記第1のバルブ室側のバルブ筐体に設けられ、流体の流入側と接続されており、かつ、前記第1のバルブ室と前記第2のバルブ室との間に圧力差を発生させる前記差圧発生手段の吐出側に接続された第1の開口部と、前記第1のバルブ室側のバルブ筐体に設けられ、流体の流出側に接続された第2の開口部と、前記第2のバルブ室側のバルブ筐体に設けられ、前記第1の開口部から流れ込む流体と同じ流体供給源から差分された流体が流入する第3の開口部と、を備え、前記変位部材は、前記与圧手段により前記第1のバルブ室の方向へ付勢され、前記第1の開口部と前記第2の開口部との連通を遮断しており、前記第1の開口部及び前記第3の開口部を介して、流体が前記変位部材の前記第2のバルブ室側の前記主面に作用する力よりも、流体が前記変位部材の前記第1のバルブ室側の前記主面に作用する力が大きくなることにより、前記変位部材が変位し、前記第1の開口部と前記第2の開口部とが連通するように構成されていること、を特徴とする。前記流体供給装置においては、変位部材が与圧手段により第1のバルブ室の方向へ付勢されているため、周辺環境の変化により、流体供給装置の吐出側圧力又は吸引側圧力が変動したとしても、与圧した圧力までは流量の変化が抑制され、安定した流体の供給が可能になる。また、前記バルブにおいては、バルブ室に流れ込む流体の圧力を変化させることにより表裏面に作用する力が変化して変位する変位部材を設けたため、電磁式あるいは圧電式などの特別な能動素子を必要とすることなく開閉することができる。さらに、非駆動時には第2の開口部が変位部材により閉じられており、差圧発生手段により、流体が変位部材の表裏面に作用する力第1のバルブ室側に作用する力及び第2のバルブ室側に作用する力に差が与えられることにより、第1の開口部と第2の開口部とが連通するように構成されているため、非駆動時には第1の開口部の流体圧力が上昇したとしても流体が第2の開口部から漏れることがなく、過剰供給が防止されることになる。また、流体の圧力を駆動源としているため、電磁コイルや圧電素子が不要であり、この種の駆動源に生じる故障はなく、信頼性が良好である。本発明によれば、周辺環境の変化に拘わらず安定した供給が可能であり、かつ、能動素子を用いることなく弁の開閉が可能で、順方向の流れがスムーズになる。以下、本発明に流体供給装置の実施例について添付図面を参照して説明する。なお、各図において共通する部材、部分には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。第1実施例、図1~図4参照第1実施例である流体供給装置1Aは、図1に示すように、概略、流体源2と、受動バルブ3Aと、差圧発生手段としてのポンプ4と、与圧ポンプ6と、から構成されている。与圧ポンプ6はポンプ4の上流側に配置され、流体をポンプ4及び受動バルブ3Aに供給する。受動バルブ3Aは、バルブ筺体10と、該バルブ筺体10内を第1のバルブ室11と第2のバルブ室12に分割するダイヤフラム20と、第2のバルブ室12に設けられた比較用流入側開口部第3の開口部17と、第1のバルブ室11に設けられた流入側開口部第1の開口部15と、出力側開口部第2の開口部16と、を備えている。比較用流入側開口部17は与圧ポンプ6の吐出側に接続されている。流入側開口部15はポンプ4図3参照の吐出口42に接続されている。ポンプ4は吸入口41及び吐出口42にそれぞれ逆止弁43,44を備えたマイクロポンプとして周知のものである。バルブ筺体10は、図2に示すように、天板21と、第2のバルブ室12及び開口部17を形成した板材22と、ダイヤフラム20と、第1のバルブ室11及び開口部15を形成した板材23と、開口部16を形成した底板24とを積層したものである。底板24には第1のバルブ室11に臨む台座部25が突設されている。この台座部25はダイヤフラム20の中央部を支え、開口部16を閉止している。また、ダイヤフラム20の中央部、即ち、開口部16を形成する台座部25と接触する部分が補強板41によって補強されている。ここで、受動バルブ3Aの動作を図4を参照して詳述する。バルブ室11,12の面積をS1、吐出側である開口部16の面積をS2とする。ダイヤフラム20は弾性体ゴム製であり、他の部材は樹脂製又は金属製である。台座部25の高さは板材スペーサ23の厚さよりも大きく、ダイヤフラム20は張力Tで張られた状態になっている。このとき、ダイヤフラム20は角度θで傾き、固定部において、ダイヤフラム20を下向きに引っ張る力の成分はF1=Tsinθである。このとき、台座部25はF2の力でダイヤフラム20を上方に押し上げている。ポンプ4,6の動作によって、バルブ室11の圧力は、バルブ室12の圧力Pinよりも圧力ΔPだけ大きくなる。ダイヤフラム20に作用する上下方向の力の釣り合いは、以下の式で示される。なお、Poutは開口部16における圧力である。PinS1F1=PinΔPS1-S2PoutS2F2受動バルブ3Aが開いて流体が開口部16から流出するのは、F2=0となったときであるから、このときポンプ4,6の発生圧力ΔPopは圧力ΔPとみなせるため、以下の式で示される。ΔPop=Pin-PoutS2/S1-S2F1/S1-S2Pin,Poutともに、その変化がS2/S1-S2倍されてΔPopに反映されるため、ポンプ4,6の動作圧力の変動が小さくなり、流量変化を抑えることができる。ところで、F1は、ΔPopによって変化するが、PinとPoutには依存しない。これは、ダイヤフラム20の中心部に補強板41が接着されているためである。補強板41がない場合、ダイヤフラム20が開口部16に吸引されて変形するため、F1はPin,Poutに応じて変化してしまう。従って、Pin,Poutが変化したときの、ポンプ4,6の動作圧力の変動が大きくなる。なお、設計によっては、補強板41がなくても、F1の変化を許容できる大きさに抑えることは可能である。与圧ポンプ6は、圧力Pin,Poutの関係を確実にPin>Poutとするための与圧手段であって、必ずしもポンプである必要はない。なお、厳密には、受動バルブ3Aが開いて流体が開口部16へ流れるときのポンプ4,6の発生圧力をΔPopとすると、PinΔPop>Poutであればよい。吐出ポンプ4は図16に示したようなP-Q圧力-流量特性を有している。しかし、本第1実施例では、与圧ポンプ6を吐出ポンプ4の上流側に配置することによって、周辺環境の変化により、吐出ポンプ4の吐出側圧力又は吸引側圧力が変動したとしても、流量の変化を抑制し、定量吐出動作を維持することができる。また、受動バルブ3Aにあっては、流体源の圧力が高くなっても、開口部16の閉止状態が保持されて過剰供給を生じるおそれはない。即ち、能動素子を用いなくても、高い信頼性を有するバルブが得られる。また、能動素子を有するバルブに必要な駆動回路及び電力なども不要であり、システムとしても省エネルギー小型化できる。第2実施例、図5参照第2実施例である流体供給装置1Bは、図5に示すように、受動バルブ3Bを用いたものである。受動バルブ3Bは、天板21に開口部17aを形成してバルブ室12に連通させたもので、他の構成は前記受動バルブ3Aと同様である。本第2実施例では、吐出ポンプ4の上流側に与圧ポンプ6を配置し、与圧ポンプ6の吐出側を開口部17aに接続し、開口部17を吐出ポンプ4の吸入側に接続し、吐出ポンプ4の吐出側を開口部15に接続している。本第2実施例における他の構成は前記第1実施例と同様である。そして、受動バルブ3Bの動作は前記受動バルブ3Aと基本的には同様である。従って、本第2実施例でも、周辺環境の変化により、吐出ポンプ4の吐出側圧力又は吸引側圧力が変動したとしても、流量の変化を抑制し、定量吐出動作を維持することができる。受動バルブの他の例、図6~図8参照前記補強板41に代えて図7に示す補強板42を用いた受動バルブ3Cを図6に示す。受動バルブ3C自体の構成は前記受動バルブ3Aと同じである。補強板42は、ダイヤフラム20の外径と同じ外径の環状の周辺部42aと中心の押圧部42bとを、折れ曲がったばね部42cで連結したものである。この補強板42は、ダイヤフラム20の上側に重ねて設置され、周辺部42aが板材22,23にて圧着保持され、ダイヤフラム20のうち押圧部42bに対応する部分が台座部25に圧接する。このような補強板42を用いることにより、Pin>Poutの関係で、ダイヤフラム20が開口部16に吸引されてF1が変化するのを防止することができる。また、図8に示すように、前記補強板41を大きくしてバルブ室11,12の内径に近付けてもよい。これにて、ΔPによるF1の変化を抑制することができる。芳香剤揮散装置の第1例、図9参照芳香剤揮散装置の第1例は、図9に示すように、芳香剤Cを収容する容器100の天井部に前記ポンプ4,6と前記受動バルブ3Aを設置し、吐出ポンプ4又は与圧ポンプ6に吸上げ管101を接続している。また、容器100の表面であって受動バルブ3Aの吐出側には揮散部材102が配置されている。容器100内の圧力変動を抑えるためには、芳香剤Cの減少に伴って空気を容器100内に導くための微小な空気穴を容器100に形成しておくか、容器100内の圧力変動を許容して、芳香剤Cの減少に伴って容器100自身が収縮する構成などを採用できる。しかし、いずれの対策を講じても、芳香剤Cの減少に伴って液位が低下するため、芳香剤Cの吸引に必要な圧力は変化する。吐出ポンプ4に与圧ポンプ6を組み合わせることで、ポンプ4の負荷変動が小さくなり、常時、一定量の芳香剤Cを揮散部材102に供給し続けることができる。芳香剤揮散装置の第2例、図10参照芳香剤揮散装置の第2例は、図10に示すように、基本的には図9に示した第1例と同様の構成からなり、揮散部材102をカバー103で覆い、揮散部材102の直上に矢印a方向に風を流すためのブロア104を設置したものである。芳香剤Cをより確実に揮散させることができる。芳香剤揮散装置の第3例、図11参照芳香剤揮散装置の第3例は、図11に示すように、基本的には図9に示した第1例と同様の構成からなり、揮散部材102をカバー103で覆い、該カバー103の窓部103aをリニアアクチュエータ105などの駆動部材で駆動されるシャッタ106を取り付けたものである。芳香剤Cの揮散量を調整、安定化することができる。流量調整手段図4を参照して説明したように、受動バルブ3Aの動作点は、バルブ室11の圧力がバルブ室12の圧力PinよりもΔPopだけ大きくなったときである。バルブ室12の圧力をバルブ室11と独立して調整すれば、動作点での圧力ΔPopの値を変更することができる。これによると、流量が変化するから、与圧ΔPopを調整することによって流量を調整できることになる。以下に、このような流量を調整する手段を設けた流体供給装置について説明する。第3実施例、図12参照第3実施例である流体供給装置1Cは、図12に示すように、前記受動バルブ3Aを用いるとともに、流量調整手段として第2の与圧ポンプ7を配置したものである。第2の与圧ポンプ7は、第1の与圧ポンプ6と受動バルブ3Aの開口部17との間に配置される。第2の与圧ポンプ7の発生圧力Prが第1の与圧ポンプ6の圧力Pinに加わることで第2バルブ室12に作用する圧力、即ち、吐出口である開口部16に作用する圧力が変化し、開口部16からの流量が調整される。第2の与圧ポンプ7は、流量は必要ではなく、圧力だけを付与できればよい。従って、流体が液体の場合、電気浸透流ポンプなどが適している。圧電マイクロポンプを用いてもよい。なお、第1の与圧ポンプ6は省略してもよい。第4実施例、図13参照第4実施例である流体供給装置1Dは、図13に示すように、前記受動バルブ3Aを用いるとともに、流量調整手段として電磁コイル81を用いたものである。天板21上であって開口部16と対向する位置に電磁コイル81を設け、補強板41を磁性体とした。電磁コイル81に電流を供給することにより、磁性体からなる補強板41が吸引され、与圧ΔPopが減少するので受動バルブ3Aの流量が調整される。第5実施例、図14参照第5実施例である流体供給装置1Eは、図14に示すように、前記受動バルブ3Aを用いるとともに、流量調整手段として圧電素子85を用いたものである。底板24の裏面にユニモルフとして動作するリング状の圧電素子85を接着固定した。圧電素子85に電圧を印加することにより、台座部25が上方又は下方に変位し、与圧ΔPopが変化する。これにて、受動バルブ3Aの流量が調整される。第6実施例、図15参照第6実施例である流体供給装置1Fは、図15に示すように、前記受動バルブ3Aを用いるとともに、流量調整手段として浸透圧ポンプ90を用いたものである。浸透圧ポンプ90は浸透膜91を内蔵し、室92,93に分離されている。室92は与圧ポンプ6の吐出側に接続されているとともに、吐出ポンプ4の吸入側に接続されている。室93は受動バルブ3Aの開口部17に接続されている。さらに、与圧ポンプ6の吸入側には、濃度調整薬液槽95が接続され、濃度調整された薬液Dが供給される。濃度調整薬液槽95は純水槽97から純水が供給され、この純水に溶出源96から濃度調整物質が溶出し、濃度調整薬液Dが生成される。以上の構成において、薬液Dの濃度が高くなると、バルブ室12の液体が浸透膜91を通じてバルブ室12から流出しようとするため、バルブ室12の圧力が減少する。これにて、受動バルブ3Aの動作点である圧力ΔPopが小さくなり、流量が増加することになる。なお、浸透圧ポンプ90に濃度調整薬液Dを供給する構成は任意である。また、浸透圧ポンプ90に代えて、電気浸透流ポンプを用いることも可能である。第7実施例、図16参照第7実施例である流体供給装置1Gは、図16に示すように、受動バルブ3D及びポンプ4Aを用いたものであり、前記第1実施例などで示した与圧ポンプ6を省略し、かつ、それに代えてばね部材コイルばね45を例示するを用いている。受動バルブ3Dの構成は、第1の開口部15、第2の開口部16及び第3の開口部17がそれぞれ第1実施例とは異なる位置に設けられているが、その作用は第1実施例で説明したのと同様である。コイルばね45は、第2のバルブ室12に配置され、所定のばね圧でダイヤフラム20を台座部25に対して押圧している。従って、本第7実施例においても、周辺環境の変化により、流体供給装置1Gの吐出側圧力又は吸引側圧力が変動したとしても、流量の変化を抑制し、定量吐出動作を維持することができる。この作用効果については、以下の図19~図22を参照して詳細に説明する。なお、ポンプ4Aは、図3に示したポンプ4とは逆止弁43,44の配置が異なるだけで、同様の動作を行う。また、ばね部材としては、金属製のコイルばね円筒形状、円錐形状などや板ばねなどを用いることができる。バルブ3Dの低背化やばね定数の安定性ばね定数の個体差が小さいことのためには、円錐形状のコイルばねを用いることが好ましい。第8実施例、図17参照第8実施例である流体供給装置1Hは、図17に示すように、受動バルブ3Eにおいて、ダイヤフラム20に台座部25を一体的に形成したものであり、他の構成は前記第7実施例と同様である。また、その作用効果も第7実施例と同様である。第9実施例、図18参照第9実施例である流体供給装置1Iは、図18に示すように、受動バルブ3Fにおいて、バルブ筺体10を構成する底板24に台座部25を一体的に形成したものであり、他の構成は前記第7実施例と同様である。また、その作用効果も第7実施例と同様である。第7実施例の作用効果、図19~図22参照前記第7実施例第8及び第9実施例でも同じでは、与圧手段としてばね部材コイルばね45を用いることにより、バルブ3Dが開放されてしまうことを防止できる。それゆえ、流体供給装置1Gの吐出側圧力と吸引側圧力との差がバルブ3Dの与圧未満の条件となる場合であれば、流体供給装置1Gからの吐出量が定量となる。図19にポンプ4Aの入力側の圧力に対するバルブ3Dの流量変化率を示し、図20にポンプ4Aの出力側の圧力に対するバルブ3Dの流量変化率を示す。折線Aは図16に記載のポンプを単体で用いた場合、折線Bは図16に記載の与圧手段を設けていない場合、折線Cは図16に記載の構成であって、与圧手段による与圧を12kPaとして用いた場合である。この結果から、与圧手段による与圧を与えると、より流量の変化を抑制することができるといえる。次に、図16に記載の構成において、与圧手段による与圧を複数の値に変化させて流量の変化を測定した。その結果を図21及び図22に示す。図21はポンプ4Aの入力側の圧力に対するバルブ3Dの流量を示し、曲線Dは与圧10kPaの場合、曲線Eは与圧20kPaの場合、曲線Fは与圧40kPaの場合、曲線Gは与圧60kPaの場合を示す。図22はポンプ4Aの出力側の圧力に対するバルブ3Dの流量を示し、曲線Dは与圧10kPaの場合、曲線Eは与圧20kPaの場合、曲線Fは与圧40kPaの場合、曲線Gは与圧60kPaの場合を示す。これらの結果から、少なくともポンプの出力側の圧力が、与圧手段による与圧以下である場合において、流量の変化を抑制することができるといえる。以上の結果から、図16のような構成であっても、周辺環境の変化に拘わらず流体を安定して供給することが可能であり、かつ、能動素子を用いることなく弁の開閉が可能で、順方向の流れがスムーズになる流体供給装置を実現することができる。他の実施例なお、本発明に係る流体供給装置は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。例えば、変位部材はダイヤフラム以外の部材であってもよく、前記台座部に代えてOリングを用いていてもよい。また、流体としては前記芳香剤や発電セルに供給する液体燃料のみならず、気体であってもよい。"