"固定部材側、回転部材側のうちのいずれか一方の側に設けられた内歯歯車と、前記固定部材側、前記回転部材側のうちの他方の側に設けられ、歯数が前記内歯歯車よりも少なく、前記内歯歯車に噛合する外歯歯車と、前記内歯歯車、前記外歯歯車のうちのいずれか一方を他方の歯車の回転軸を中心に偏心運動させながら前記内歯歯車、前記外歯歯車の噛合位置を変化させることにより、前記回転部材の前記固定部材に対する傾動角を変える減速歯車機構であって、前記外歯歯車、前記内歯歯車のうちの一方の歯車に設けられ、その回転軸を中心とした円形穴と、前記外歯歯車、前記内歯歯車のうちの他方の歯車に設けられ、その回転軸を中心とし、前記円形穴に挿入される円筒と、前記円形穴の内面と円筒の外面との間の空間に設けられ、径方向に積層され、協同してカム穴を形成する少なくとも2つのカム部材と、前記カム穴に係合し、少なくとも1つの前記カム部材を前記円形穴の内面に、少なくとも1つの前記カム部材を前記円筒の外面に押接する方向に付勢する付勢部材と、前記カム部材のうちの1つのカム部材を移動させて前記カム穴形状を変化させ、前記カム部材の前記円形穴の内面,前記円筒の外面への押接力を減らすロック解除部材と、を有することを特徴とする減速歯車機構。前記カム部材は、前記円形穴の内面側に設けられた第1カム部材と、該第1カム部材より前記円筒の外面側に設けられた第2カム部材とからなり、前記第1カム部材の前記第2カム部材との対向面に、二つの傾斜面からなり、半径方向にへこんだ第1凹部が形成され、第2カム部材の前記第1カム部材との対向面に、二つの傾斜面からなり、半径方向にへこみ、前記第1凹部と協同して前記カム穴を形成する第2凹部が形成されたことを特徴とする請求項1記載の減速歯車機構。前記付勢手段は、前記第1カム部材の第1凹部の二つの傾斜面を押して、前記第1カム部材を前記円形穴の内面に押接させ、前記第2カム部材の第2凹部の二つの傾斜面を押して、前記第2カム部材を前記円筒の外面に押接させること特徴とする請求項2記載の減速歯車機構。前記ロック解除部材は、前記空間に配置され、前記第1カム部材の周方向の端部を押すカム押圧部を有することを特徴とする請求項2記載の減速歯車機構。図7に示す構成のリクライニング装置のロック状態は、楔状部材5、楔状部材7が円形穴1の内面に沿って移動することにより、楔状部材5、楔状部材7が円形穴1の内面と円筒3の外面とを押圧し、内歯歯車と外歯歯車との回転軸間の偏心量を変化させることにより得られる。このため、楔状部材5、楔状部材7の部品精度により、内歯歯車と外歯歯車との回転軸間の偏心量のばらつきが大きいという問題点がある。従って、楔状部材5、7の楔先端側の端面5a、7aの位置がばらつき、楔状部材5、7の楔先端側の端面5a、7aと、ロック解除カム11との間には大きな隙間が必要である。このため、ロック解除カム11を操作して、楔状部材5または楔状部材7を押しシートバックの傾動が可能となるまで、即ちロック解除されるまでに大きなタイムラグが発生する問題点がある。特に、シートを前傾にさせた直後に後傾させる場合は、あるいはシートを後傾させた直後に前傾させる場合は、ロック解除カムと楔状部材との隙間が更に大きくなっているので、タイムラグも更に大きくなる。次に、図7に示す構成のリクライニング装置では、一方の楔状部材が偏心環状空間から引き抜かれる方向に移動していくと、スプリング9の弾性反発力により他方の楔状部材が急に偏心環状空間に楔を打ち込む方向にスキップするので、操作フィーリングが悪い問題点がある。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、ロック解除の操作と、実際にロック解除されるタイムラグが小さく、操作フィーリングがよい減速歯車機構を提供することにある。請求項1に係る発明は、固定部材側、回転部材側のうちのいずれか一方の側に設けられた内歯歯車と、前記固定部材側、前記回転部材側のうちの他方の側に設けられ、歯数が前記内歯歯車よりも少なく、前記内歯歯車に噛合する外歯歯車と、前記内歯歯車、前記外歯歯車のうちのいずれか一方を他方の歯車の回転軸を中心に偏心運動させながら前記内歯歯車、前記外歯歯車の噛合位置を変化させることにより、前記回転部材の前記固定部材に対する傾動角を変える減速歯車機構であって、前記外歯歯車、前記内歯歯車のうちの一方の歯車に設けられ、その回転軸を中心とした円形穴と、前記外歯歯車、前記内歯歯車のうちの他方の歯車に設けられ、その回転軸を中心とし、前記円形穴に挿入される円筒と、前記円形穴の内面と円筒の外面との間の空間に設けられ、径方向に積層され、協同してカム穴を形成する少なくとも2つのカム部材と、前記カム穴に係合し、少なくとも1つの前記カム部材を前記円形穴の内面に、少なくとも1つの前記カム部材を前記円筒の外面に押接する方向に付勢する付勢部材と、前記カム部材のうちの1つのカム部材を移動させて前記カム穴形状を変化させ、前記カム部材の前記円形穴の内面,前記円筒の外面への押接力を減らすロック解除部材と、を有することを特徴とする減速歯車機構である。請求項2に係る発明は、前記カム部材は、前記円形穴の内面側に設けられた第1カム部材と、該第1カム部材より前記円筒の外面側に設けられた第2カム部材とからなり、前記第1カム部材の前記第2カム部材との対向面に、二つの傾斜面からなり、半径方向にへこんだ第1凹部が形成され、第2カム部材の前記第1カム部材との対向面に、二つの傾斜面からなり、半径方向にへこみ、前記第1凹部と協同して前記カム穴を形成する第2凹部が形成されたことを特徴とする請求項1記載の減速歯車機構である。請求項3に係る発明は、前記付勢手段は、前記第1カム部材の第1凹部の二つの傾斜面を押して、前記第1カム部材を前記円形穴の内面に押接させ、前記第2カム部材の第2凹部の二つの傾斜面を押して、前記第2カム部材を前記円筒の外面に押接させること特徴とする請求項2記載の減速歯車機構である。請求項4に係る発明は、前記ロック解除部材は、前記空間に配置され、前記第1カム部材の周方向の端部を押すカム押圧部を有することを特徴とする請求項2記載の減速歯車機構である。請求項1-請求項4に係る発明によれば、前記円形穴の内面と円筒の外面との間の空間に設けられ、径方向に積層され、協同してカム穴を形成する少なくとも2つのカム部材と、前記カム穴に係合し、少なくとも1つの前記カム部材を前記円形穴の内面に、少なくとも1つの前記カム部材を前記円筒の外面に押接する方向に付勢する付勢部材と、前記カム部材のうちの1つのカム部材を移動させて前記カム穴形状を変化させ、前記カム部材の前記円形穴の内面,前記円筒の外面への押接力を減らすロック解除部材と、を有することにより、カム部材は半径方向に移動する。よって、カム部材の移動量は少なく、カム部材の位置のばらつきが小さくなる。そして、カム部材とロック解除部材との隙間を小さくでき、ロック解除の操作と、実際にロック解除されるタイムラグが小さくなる。また、カム部材のうち少なくとも1つのカム部材は前記円形穴の内面に押接し、少なくとも1つの前記カム部材は前記円筒の外面に押接し、前記内歯歯車と前記外歯歯車との偏心状態を保持している。よって、回転部材の傾動時に、背景技術の欄で説明した楔状部材カム部材のスキップがなく、操作フィーリングがよい。次に図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。最初に、図2を用いて、実施形態のリクライニング装置が設けられたシートの説明を行う。図2は実施形態のリクライニング装置が組み付けられたシートの要部側面図である。図に示すように、リクライニング装置51は、シートクッション側の部材であるロアアーム回転部材53と、シートバック側の部材であるシートバックフレーム固定部材55との間に設けられる。次に、図1、図3、図4を用いてリクライニング装置51の説明を行う。図1は実施形態のリクライニング装置の分解斜視図、図3は図2の切断線IIIIIIでの切断面を示す端面図、図4は図1に示すリクライニング装置のロック状態を説明する図である。図1において、内歯歯車61は、円形の底部61aと底部61aの周部に沿って形成された円筒状の立壁部61bとからなり、一方の面が開放面となった略有底円筒状となっている。立壁部61bの内周面には、周方向全域にわたって内歯61cが形成されている。また、内歯歯車61の底部61aの中央には、貫通した穴61dが形成されている。穴61dの内周面に沿って、前記開放面方向に突出する円筒状の立壁部61eが形成されている。この円筒状の立壁部61eの内部には円形穴が形成されている。内歯歯車61の底部61aの外面には、3つの円弧状の凸部61fが形成されている。また、図3、図4に示すように、ロアアーム53には、3つの円弧状の穴53aが形成されている。そして、これらの穴53aに内歯歯車61の凸部61fが嵌合し、嵌合部分が溶接やかしめ等の手法により固着され、内歯歯車61はロアアーム53に取り付けられている。再び、図1に戻って、有底円筒状の内歯歯車61の内部には、外歯歯車63が配置される。外歯歯車63の外面には、周方向全域にわたって外歯63aが形成されている。そして、外歯歯車63の外歯63aは内歯歯車61の内歯61cに噛合可能となっている。更に、外歯歯車63の外歯63aの歯数は、内歯歯車61の内歯61cの歯数より小さく設定されている。また、外歯歯車63の中央部には、貫通した穴63bが形成されている。外歯歯車63の内歯歯車61と対向する面側には、穴63bの開口の縁部に沿って、内歯歯車61方向に突出する円筒状の立壁部63cが形成されている。この円筒状の立壁部63cの外径は、内歯歯車61の円筒状の立壁部61eの内径より小さく設定され、外歯歯車63の円筒状の立壁部63cは、円形穴である内歯歯車61の円筒状の立壁部61e内に挿入される円筒として機能する。そして、図4に示すように、内歯歯車61の内歯61cに外歯歯車63の外歯63aが噛合している状態では、内歯歯車61の回転軸円筒状の立壁部61e円形穴の中心O1と、外歯歯車63の回転軸立壁部63cの中心O2とは異なり、偏心している。よって、内歯歯車61の円筒状の立壁部61e円形穴の内面と、外歯歯車63の円筒状の立壁部63c円筒の外面との間には、偏心環状空間Kが形成されている。図1、図4に示すように、この偏心環状空間Kには、径方向に積層された少なくとも2つのカム部材が設けられる。本実施形態のカム部材は、内歯歯車61の立壁部円形穴61eの内面側に設けられた円弧状の第1カム部材71と、第1カム部材71より外歯歯車63の立壁部円筒63cの外面側に設けられた円弧状の第2カム部73とからなっている。第1カム部材71の第2カム部材73との対向面には、二つの傾斜面、即ち、傾斜面71dと、傾斜面71dと逆斜面の関係にある傾斜面71eとからなり、半径方向にへこんだ第1凹部71aが形成されている。第2カム部材73の第1部材71との対向面にも、二つの傾斜面、即ち、傾斜面73dと、傾斜面73dと逆斜面の関係にある傾斜面73eからなり、半径方向にへこんだ第2凹部73aが形成されている。尚、傾斜面73d,傾斜面73eの傾斜角は、傾斜面71d,傾斜面71eの傾斜角より大きく設定されている。そして、第1凹部71aと第2凹部73aとによって、カム穴75が形成されている。このカム穴75には、縮径方向に弾性変形したスプリング付勢部材77の端部77b、端部77cが係合している。よって、拡径方向に弾性復帰しようとするスプリング77の端部77b、端部77cが、第1カム部材71の第1凹部71aの二つの傾斜面を71d、71eを押し、第1カム部材71は内歯歯車61の円筒状の立壁部61e円形穴内面に押接している。また、拡径方向に弾性復帰しようとするスプリング77の端部77b、端部77cが、第2カム部材73の第2凹部73aの二つの傾斜面を73d、73eを押し、第2カム部材73は外歯歯車63の立壁部63cの外面に押接している。そして、図4に示すように、第1カム部材71と第2カム部材73の円弧角は、第1カム部材71の方が第2カム部材73より若干大きく設定されている。再び、図1、図4に戻って、ロック解除部材79は、本体部79dと、本体部79dと連接され、外歯歯車63の立壁部63cの内部に嵌合する円筒部79eと、円筒部79eの外面と隙間を介して設けられ、偏心環状空間Kに配置されるカム部79aとからなっている。ロック解除部材79には、回転軸O2と同軸の穴79fを有している。尚、本実施形態では、穴79fの内面には、セレーションが施され、図示しない駆動軸が嵌合し、駆動軸とロック解除部材79とは一体となって回転するようになっている。カム部79aは、第1カム部材71、第2カム部材73の周方向の一方の端面である第1端面71b、第1端面73bと対向する第1カム押圧部79bを有している。また、カム部79aは、第1カム部材71、第2カム部材73の周方向の他方の端面である第2端面71c、第2端面73cと対向する第2カム押圧部79cを有している。図1に示すように、内歯歯車61、外歯歯車63とは、連結リング81で軸方向に相対移動できないように挟まれている。次に、上記構成の作動を説明する。図1、図4、図5を用いて、説明する。図5は図1に示すリクライニング装置のロック解除状態を説明する図である。ロック時図4に示すように、拡径方向に弾性復帰しようとするスプリング77の端部77b、端部77cは、カム穴75の第1カム部材71の第1凹部71aの斜面と、第2カム部材73の第2凹部73aの斜面とに押圧している。第1カム部材71の第1凹部71aの斜面が押圧されることにより、第1カム部材71は半径方向に移動し、外歯歯車63の立壁部63cの外面に押接している。また、第2カム部材73の第2凹部73aの斜面が押圧されることにより、第2カム部材73は半径方向に移動し、内歯歯車61の円筒状の立壁部61e円形穴内面に押接している。即ち、内歯歯車61と外歯歯車63とが両者の回転軸間の偏心量を増やす方向に付勢され、内歯歯車61と外歯歯車63の噛合部位では、内歯61cと外歯63aとが圧接し、外歯歯車63と内歯歯車61の相対運動が禁止され、シートバックの傾動が禁止されるロック状態となっている。ロック解除状態ロック状態において、操作ボタン、または操作ハンドルを操作して、図示しない駆動軸を右方向または左方向に回転駆動すると、ロック解除部材79が右方向または左方向に回転する。一例として、図1において矢印C方向から見たとき、ロック解除部材79が反時計方向に回転したとき、カム部79aの第1カム押圧部79bが第1カム部材71の第1端面71bを最初に押し、第1カム部材71のみが反時計方向に回転する。第1カム部材71のみが回転移動することで、図5に示すようにカム穴75の形状が変化する。このカム穴75の形状変化により、スプリング77の端部77b、端部77cは矢印D方向にずれ、第1カム部材71の第1凹部71aの斜面との当接位置が変わる。よって、第1カム部材71の外歯歯車63の立壁部63cの外面を押接する力と、第2カム部材73の内歯歯車61の円筒状の立壁部61e円形穴内面を押接する力とが減少し、内歯歯車61と外歯歯車63とが両者の回転軸間の偏心量が減る。よって、内歯歯車61と外歯歯車63の噛合部位での内歯61cと外歯63aとの圧接が低減され、外歯歯車63と内歯歯車61の相対運動が可能となる。更に、ロック解除部材79が反時計方向に回転すると、カム部79aの第1カム押圧部79bが第2カム部材73の第1端面73bと、第1カム部材71の第1端面71bとを押すようになり、外歯歯車63は、内歯歯車61の回転軸O1を中心に偏心運動しながら内歯歯車61、外歯歯車63の噛合位置が変化し、シートバックのシートクッションに対する傾動角が変わる。このような構成によれば、以下のような効果がある。スプリング77の付勢力により第1カム部材71、第2カム部材73は半径方向に移動する。よって、第1カム部材71、第2カム部材73の移動量は少なく、カム部材の位置のばらつきが小さくなる。よって、第1カム部材71、第2カム部材73とロック解除部材79のカム部79aとの隙間を小さくでき、ロック解除の操作と、実際にロック解除されるタイムラグが小さくなる。第1カム部材71は、内歯歯車61の円筒状の立壁部61e円形穴内面に押接し、第2カム部材73は、外歯歯車63の立壁部63cの外面に押接し、内歯歯車61と外歯歯車63との偏心状態を保持している。よって、シートバックの傾動時に、背景技術の欄で説明した楔状部材カム部材のスキップがなく、操作フィーリングがよい。本実施形態では、外側の第1カム部材71の円弧角を大きくして、ロック解除時にロック解除部材79は最初に第1カム部材71を押すようにしたことにより、スプリング77の端部77b、端部77cは矢印D方向にずれ、第1カム部材71の外歯歯車63の立壁部63cの外面を押接する力と、第2カム部材73の内歯歯車61の円筒状の立壁部61e円形穴内面を押接する力とが減少すると共に、内歯歯車61と外歯歯車63とが両者の回転軸間の偏心量が減り、ロック解除が容易に得られる。一方、内側の第2カム部材73の円弧角を大きくして、ロック解除時にロック解除部材79は最初に第2カム部材73を押すようにした場合、スプリング77の端部77cは矢印E方向にずれるが、スプリング77の端部77bは傾斜角の大きな第2カム部材73の斜面73dで押されるので、矢印F方向スプリング押し込み方向に押され、ずれにくい。よって、第1カム部材71の外歯歯車63の立壁部63cの外面を押接する力と、第2カム部材73の内歯歯車61の円筒状の立壁部61e円形穴内面を押接する力とが減少しにくく、内歯歯車61と外歯歯車63とが両者の回転軸間の偏心量も減りにくく、ロック解除しづらい。尚、本発明は上記実施形態に限定するものではない。上記実施形態ではリクライニング装置に適用した例で説明したが、他に、リンク機構を用いてシートクッションを昇降させるシートリフタ機構やチルト機構のリンクを回転させる部分に適用可能である。また、パワーウインド、パワーシート、パワースライドドア、パワーバックドア、パワーラッゲージ等に用いられるモータと減速機とが一体となったギヤードモータの減速機部分にも適用可能である。更に、上記実施形態では、第1カム71と第2カム73との対向面に、半径方向にへこんだ第1凹部71a、第2凹部73aを形成し、縮径方向に弾性変形したスプリング77の弾性復帰力により、第1カム71と第2カム73とをロック方向に付勢したが、これに限定するものではない。例えば、第1カムの第2カムとの対向面に、第1傾斜面と、第1傾斜面と逆斜面の関係にある第2傾斜面とからなり、半径方向に突出した第1凸部を形成し、第2カムの第1カムとの対向面に、第3傾斜面と、第3傾斜面と逆斜面の関係にある第4傾斜面とからなり、半径方向に突出し、第1凸部と協同してカム穴を形成する第2凸部を形成し、拡径方向に弾性変形したスプリングの一方の端部を第1凸部の第1傾斜面、第2凸部の第3傾斜面に係合させ、他方の端部を第1凸部の第2傾斜面、第2凸部の第4傾斜面に係合させるようにしてもよい。"