フラットパネルディスプレイやプリント配線板の製造ラインで使用されるウェット処理装置であって、少なくとも、被処理物にウェット処理液を噴出するためのスプレーノズルと前記ウェット処理液を噴出することにより推力を得て前記スプレーノズルを揺動するために、相対する位置に設けられた一対の揺動ノズルとが備えられたノズル支持体と、前記ノズル支持体を揺動するため、前記揺動ノズルの一方からウェット処理液を噴出しているときは、他方の揺動ノズルからはウェット処理液を噴出させないことによって一方の側に向う推力を得ることで前記ノズル支持体を可動に支持している支点を中心に回転させることで推力の向きに首を振らせ、ある時間が経過した後に、ウェット処理液を噴出する揺動ノズルを逆に切換えることによって前記支点を中心に逆向きの推力を得ることで逆向きに首を振らせることを交互に繰り返す揺動機構と、からなることを特徴とするウェット処理装置。請求項1に記載のウェット処理装置の揺動機構であって、少なくとも、ノズル支持体の内部に固定された固定分液板と前記固定分液板に隣接され、前記固定分液板の中心と一致した中心を持ち、その中心を回転の中心として回転可能に備えられたロータリー分液板とからなり、前記固定分液板と前記ノズル支持体の内壁が接する部位は、ウェット処理液の圧力に耐える密封構造となっており、前記ロータリー分液板と前記ノズル支持体の内壁が接する部位は、摺動可能且つウェット処理液の圧力に耐える密封構造となっており、前記固定分液板と前記ロータリー分液板が接する面は、摺動可能且つウェット処理液の圧力に耐える密封構造となっており、前記固定分液板には相対する位置に一対の貫通孔が形成されており、前記ロータリー分液板には貫通孔が1つ形成されており、前記ロータリー分液板の表面にはウェット処理液の流れから力を受ける構造が形成されており、その力により前記ロータリー分液板は前記固定分液板と平行な面内で、前記ロータリー分液板と前記固定分液板の中心を一致した中心として、それを中心に回転可能に設けられており、前記固定分液板と前記ロータリー分液板に形成された貫通孔が合致した部分がある時は、前記揺動ノズルの一方にウェット処理液が供給されることでウェット処理液が噴出し、前記ロータリー分液板が回転し、前記固定分液板の貫通孔と合致していない間は、ウェット処理液は遮断され揺動ノズルからのウェット処理液の噴出は止まり、更に前記ロータリー分液板が回転し、前記固定分液板の相対する位置に形成された貫通孔と合致した部分がある時は、相対する位置に備えられたもう一方の揺動ノズルからウェット処理液が噴出する機構であり、前記ロータリー分液板を回転するのに使用されたウェット処理液がスプレーノズルへと繋がる専用の内部構造と前記揺動ノズルへと繋がる専用の内部構造を備えていることを特徴とする揺動機構。本発明の課題は、モータ駆動力を必要としない、簡素化したウェット処理装置のスプレーノズルの揺動機構を備えたウェット処理装置を提供することである。上記課題を解決する手段として、請求項1に記載の発明は、フラットパネルディスプレイやプリント配線板の製造ラインで使用されるウェット処理装置であって、少なくとも、被処理物にウェット処理液を噴出するためのスプレーノズルと前記ウェット処理液を噴出することにより推力を得て前記スプレーノズルを揺動するために、相対する位置に設けられた一対の揺動ノズルとが備えられたノズル支持体と、前記ノズル支持体を揺動するため、前記揺動ノズルの一方からウェット処理液を噴出しているときは、他方の揺動ノズルからはウェット処理液を噴出させないことによって一方の側に向う推力を得ることで前記ノズル支持体を可動に支持している支点を中心に回転させることで推力の向きに首を振らせ、ある時間が経過した後に、ウェット処理液を噴出する揺動ノズルを逆に切換えることによって前記支点を中心に逆向きの推力を得ることで逆向きに首を振らせることを交互に繰り返す揺動機構と、からなることを特徴とするウェット処理装置である。また、請求項2の発明は、請求項1に記載のウェット処理装置の揺動機構であって、少なくとも、ノズル支持体の内部に固定された固定分液板と前記固定分液板に隣接され、前記固定分液板の中心と一致した中心を持ち、その中心を回転の中心として回転可能に備えられたロータリー分液板とからなり、前記固定分液板と前記ノズル支持体の内壁が接する部位は、ウェット処理液の圧力に耐える密封構造となっており、前記ロータリー分液板と前記ノズル支持体の内壁が接する部位は、摺動可能且つウェット処理液の圧力に耐える密封構造となっており、前記固定分液板と前記ロータリー分液板が接する面は、摺動可能且つウェット処理液の圧力に耐える密封構造となっており、前記固定分液板には相対する位置に一対の貫通孔が形成されており、前記ロータリー分液板には貫通孔が1つ形成されており、前記ロータリー分液板の表面にはウェット処理液の流れから力を受ける構造が形成されており、その力により前記ロータリー分液板は前記固定分液板と平行な面内で、前記ロータリー分液板と前記固定分液板の中心を一致した中心として、それを中心に回転可能に設けられており、前記固定分液板と前記ロータリー分液板に形成された貫通孔が合致した部分がある時は、前記揺動ノズルの一方にウェット処理液が供給されることでウェット処理液が噴出し、前記ロータリー分液板が回転し、前記固定分液板の貫通孔と合致していない間は、ウェット処理液は遮断され揺動ノズルからのウェット処理液の噴出は止まり、更に前記ロータリー分液板が回転し、前記固定分液板の相対する位置に形成された貫通孔と合致した部分がある時は、相対する位置に備えられたもう一方の揺動ノズルからウェット処理液が噴出する機構であり、前記ロータリー分液板を回転するのに使用されたウェット処理液がスプレーノズルへと繋がる専用の内部構造と前記揺動ノズルへと繋がる専用の内部構造を備えていることを特徴とする揺動機構である。本発明により、モータ駆動力を必要としないスプレーノズルの揺動機構を備えたウェット処理装置を提供することが可能となる。本発明を、図を用いて詳しく説明する。図1は、本発明のウェット処理装置で使用するノズル部の構成例を示す概念図である。従来のウェット処理装置におけるノズル部の揺動機構は、モータの駆動力を使用したものであり、モータの回転運動を揺動に変換する機構が必要であるため、ウェット処理装置の内部にその構造物を構成しなければならなかった。本発明のウェット処理装置は、そのような構造物を一切不要としたものである。本発明のウェット処理装置のノズル部1は、揺動ノズル4とスプレーノズル5を備えたノズル支持体2が、ノズル支持体の支持点3に支持された構成となっている。ノズル支持体2の内部に構成されている構造が、ポンプで圧送されて来るウェット処理液の流体圧を使用して、ノズル支持体2がノズル支持体の支持点3に沿って揺動する方向の相対する位置に備えられた一対の揺動ノズル4から、交互にウェット処理液を噴出させることによって発生する推力によって揺動する。ノズル支持体2を揺動させるためのウェット処理液とスプレーノズル5から噴出させるウェット処理液は、独立した経路を通り、それぞれのノズルから噴出する。図2は、本発明のウェット処理装置で使用するノズル部の揺動機構の例を示す概念図である。具体的には、図1におけるノズル支持体2の内部に形成されている内部構造である。図示していないウェット処理液を圧送するポンプから、図示していない配管を通してノズル支持体に供給されるウェット処理液は、2つの独立した経路を通って、最終的に図1の揺動ノズル4とスプレーノズル5から噴出する。2つの独立した経路のうちの一方の経路は、まずロータリー分液板6のウェット処理液の流れから力を受ける構造8に供給される。このことにより、ロータリー分液板6が回転する。この構造は、固定分液板7に面していない面に形成されている。このウェット処理液の流れから力を受ける構造8は、ノズル支持体2の内壁とロータリー分液板6のウェット処理液の流れから力を受ける構造8が形成されていない領域とは、摺動可能に且つウェット処理液の圧力に耐える密封構造で隔離されており、ロータリー分液板の貫通孔9にウェット処理液が流れることはない内部構造が形成されている。この経路に流れたウェット処理液は、スプレーノズル5に繋がっており、被処理物に噴出される。ロータリー分液板6と固定分液板7が互いに面した面は摺動可能に且つウェット処理液の圧力に耐える密封構造で隔離されている。もう一方の経路は、まずロータリー分液板の貫通孔9が形成されている領域に供給される。このことにより、ロータリー分液板の貫通孔9と固定分液板の貫通孔10が合致した時に、ウェット処理液が通過することができるが、それ以外の時は、ウェット処理液は通過することができない。このような内部構造によって、この経路に供給されたウェット処理液は、断続的に、その先に繋がっている揺動ノズル4に供給され、交互に反対方向に首を振る揺動を繰り返すことになる。このように、同じポンプから圧送されたウェット処理液は、ノズル支持体2に供給されると、2つの独立し、互いにウェット処理液の圧力に耐える密封構造である内部構造によって、揺動ノズル4からの断続的なウェット処理液の噴出を実現することで、ノズル支持体2の揺動を可能とすると同時に、スプレーノズル5からのウェット処理液の噴出を可能とするものである。なお、本発明のウェット処理装置に使用される揺動機構としては、単に、揺動ノズル4とスプレーノズル5に供給するウェット処理液を、独立した配管系または独立した経路を通して供給し、2つの揺動ノズル4には、電磁弁などの切換え手段を使用することで、交互にウェット処理液を噴出させる機構でも良い。