対象物の三次元形状を計測する三次元計測装置であって、前記対象物へ向けて計測光を射出する光射出部と、前記計測光を発光する光源を有し、前記計測光を前記光射出部に供給する光供給部と、前記光源と前記光射出部とが相対的に移動するように前記光源及び前記光射出部のうち少なくとも一方を移動させる移動部と、前記計測光が照射された前記対象物を撮像する撮像部と、前記撮像部による撮像結果及び前記移動部による移動結果に基づいて、前記対象物の三次元形状を求める演算部とを備える三次元計測装置。前記移動部は、基部及び当該基部に設置されるアーム部と、前記基部及び前記アーム部のうち少なくとも一方を駆動する駆動部と、を有し、前記光射出部は、前記アーム部に設けられる請求項1に記載の三次元計測装置。前記光射出部は、前記アーム部の先端に設けられている請求項2に記載の三次元計測装置。前記光源は、前記アーム部のうち前記光射出部が設けられた位置とは異なる位置、及び、前記基部のいずれか一方に設けられている請求項2又は請求項3に記載の三次元計測装置。前記光供給部は、前記アーム部に設けられ前記計測光を導光する導光光学系を有する請求項2から請求項4のうちいずれか一項に記載の三次元計測装置。前記アーム部は、中空部を有し、前記導光光学系は、前記中空部に設けられている請求項5に記載の三次元計測装置。前記アーム部は、関節部を介して連結された複数の節部を有し、複数の前記節部は、前記関節部を中心に回動可能に設けられている請求項2から請求項6のうちいずれか一項に記載の三次元計測装置。前記駆動部は、少なくとも1つの前記節部の回動量を検出するエンコーダを有し、前記演算部は、前記移動結果として前記回動量を用いる請求項7に記載の三次元計測装置。前記撮像部は、前記アーム部のうち前記光射出部が設けられた位置とは異なる位置、及び、前記基部のいずれか一方に設けられている請求項2から請求項8のうちいずれか一項に記載の三次元計測装置。前記光射出部は、スリット状に形成された光射出口を有する請求項1から請求項9のうちいずれか一項に記載の三次元計測装置。前記光射出部は、前記計測光の射出方向を調整する調整部を有する請求項1から請求項10のうちいずれか一項に記載の三次元計測装置。しかしながら、上記構成においては、先端部に発光部及び受光部が配置される構成であるため検出プローブ自体が一定の大きさを有することになる。この場合、例えば入り組んだ形状の計測対象物を計測する場合や、円筒体の内部を計測する場合などには、検出プローブが計測対象物の一部によって阻まれてしまう場合がある。このため、有効計測位置に検出プローブの先端部を到達させることが困難となり、十分な計測結果が得られないという問題がある。以上のような事情に鑑み、本発明は、計測精度に優れた三次元計測装置を提供することを目的とする。本発明の第一の態様に従えば、対象物の三次元形状を計測する三次元計測装置であって、対象物へ向けて計測光を射出する光射出部と、計測光を発光する光源を有し、計測光を光射出部に供給する光供給部と、光源と光射出部とが相対的に移動するように光源及び光射出部のうち少なくとも一方を移動させる移動部と、計測光が照射された対象物を撮像する撮像部と、撮像部による撮像結果及び移動部による移動結果に基づいて、対象物の三次元形状を求める演算部とを備える三次元計測装置が提供される。本発明の態様によれば、計測精度に優れた三次元計測装置を提供することができる。[第一実施形態]以下、図面を参照して、本発明の第一実施形態を説明する。図1は、本発明を適用した三次元計測装置の一実施の形態の構成例を示す図である。図1に示すように、三次元計測装置1は、計測対象物Oへ向けて計測光Lを射出する光射出部10と、計測光Lを発光する光源21を有する光供給部20と、光源21と光射出部10とが相対的に移動するように光射出部10を移動させる移動部30と、計測光Lが照射された計測対象物Oを撮像する撮像部40と、当該撮像部40による撮像結果及び移動部30による移動結果に基づいて計測対象物の三次元形状を求める演算部50を有する制御装置CONTと、を有している。移動部30は、例えば床部などに固定された基部31と、当該基部31に取り付けられたアーム部32と、当該アーム部32を駆動する駆動部33とを有している。駆動部33がアーム部32を駆動することにより、当該アーム部32が基部31に対して相対的に移動することになる。基部31は、床面に載置される第一ステージ31aと、当該第一ステージ31a上に設けられた第二ステージ31bとを有している。第二ステージ31bは、例えば中空に形成されている。第二ステージ31bの内部には、計測光Lを発光する光源21が設けられている。光源21は、例えばレーザーダイオードなどの発光素子と、当該発光素子を駆動する駆動基板とを有している。アーム部32は、基部31に連結された第一関節部32aを有している。以下、基部31から先端側に向けて、当該第一関節部32aの先端側に連結された第一節部32bと、当該第一節部32bに連結された第二関節部32cと、当該第二関節部32cに連結された第二節部32dと、当該第二節部32dに連結された第三関節部32eと、当該第三関節部32eに連結された先端部32fとを有している。先端部33fには、先端面32gが形成されている。このように、アーム部32は、第一関節部32a、第二関節部32c及び第三関節部32eの各関節部を介して連結された複数の節部第一節部32b、第二節部32d及び先端部32fを有する構成となっている。第一節部32b、第二節部32d及び先端部32fは、第一関節部32a、第二関節部32c及び第三関節部32eを中心に回動可能に設けられている。第一関節部32a、第二関節部32c及び第三関節部32eは、それぞれ異なる回動方向に第一節部32b、第二節部32d及び先端部32fを回動可能に形成されている。したがって、第一関節部32a、第二関節部32c及び第三関節部32eの回動角度を調整することにより、先端部32fを三次元空間の所望の位置に配置させることができるようになっている。駆動部33は、アーム部32が基部31に対して移動するように各部を個別に駆動可能である。駆動部33は、第一節部32b、第二節部32d及び先端部32fの回動量を検出するエンコーダ33aを有している。エンコーダ33aによる検出結果は、制御装置CONTに送信されるようになっている。演算部50では、エンコーダ33aによる検出結果に基づいて、駆動部33における駆動量回動量が算出される。光射出部10は、計測光Lを射出する光射出口11を有している。光射出口11は、上記先端面32gに形成されている。光供給部20は、光源21から発光された計測光Lを導光する導光光学系として、光ファイバ22を有している。光ファイバ22は、光源21と光射出口11とを接続する。光ファイバ22は、アーム部32の内部に配置されている。光ファイバ22を配置させるため、例えばアーム部32を構成する各部第一関節部32a、第二関節部32c、第三関節部32e、第一節部32b、第二節部32d及び先端部32fには、それぞれ中空部32hが形成されている。中空部32hが設けられていることにより、光ファイバ22を配置させやすくすることができるのに加えて、アーム部32が軽量化されるため、駆動部33の駆動における負担が軽減されることにもなる。本実施形態では、基部31に光源21が配置され、光源21からの計測光Lが光ファイバ22によってアーム部32の先端部32fの光射出口11まで導光されている。このように、先端部32fに発光素子や駆動基板などを配置させる必要が無いため、先端部32fの小型化が可能な構成となっている。撮像部40は、受光部41を有している。受光部41は、先端部32fの先端面32gに設けられている。受光部41は、先端面32gにおいて光射出口11に隣接して配置されている。受光部41は、計測対象物Oによって反射された反射光Rを受光して電気信号に変換する。受光部41によって変換された電気信号は、制御装置CONTに送信されるようになっている。図2は、アーム部32の先端部32fの構成を示す図である。図3は、先端面32gの構成を示す図である。図2に示すように、先端部32fには、光射出部10の構成要素として、光射出口11に加えて、第一ミラー12、回動ミラー13及びミラー駆動部14が設けられている。光射出口11は、図3に示すように、スリット状に形成されている。なお、図2は、図中左右方向が光射出口11の短手方向に一致するように記載されている。図2に示すように、第一ミラー12は、光ファイバ22によって導光される計測光Lを回動ミラー13へと反射する。回動ミラー13は、第一ミラー12からの計測光Lを光射出口11へと反射する。回動ミラー13は、軸部13aによって回動可能に支持されている。回動ミラー13を回動させることにより、当該回動ミラー13によって反射される計測光Lの射出方向を調整できるようになっている。このように、回動ミラー13及びミラー駆動部14は、計測光Lの射出方向を調整する調整部18として構成されている。ミラー駆動部14は、回動ミラー13を駆動させる。制御装置CONTは、ミラー駆動部14による駆動回動角度及び回動速度、回動のタイミングなどを制御可能である。受光部41としては、不図示の撮像光学系とCCDなどの光電変換素子などが用いられている。受光部41は、先端面32gに受光面41aを露出するように配置されている。図3に示すように、受光部41は、光射出口11と同様に、スリット状に形成されている。受光部41の短手方向の寸法は、光射出口11の短手方向の寸法に比べて、大きくなっている。受光部41は、配線部41bを介して制御装置CONTに接続されている。配線部41bは、例えばアーム部32の中空部32hに配置される構成とすることができる。次に、上記のように構成された三次元計測装置1の動作を説明する。まず、計測対象物Oを所定位置に配置させる。当該所定位置は、アーム部32の先端部32fが到達可能な位置に設定されている。計測対象物Oを所定位置に配置させた後、制御装置CONTは、駆動部33を用いてアーム部32の先端部32fを計測対象物Oの計測位置に近接させる。本実施形態では、先端部32fが小型化されているため、例えば計測対象物Oの計測位置が入り組んだ形状であったり、円筒内部であったりする場合でも、先端部32fを無理なく配置させることができる。制御装置CONTは、先端面32gを計測対象物Oの計測位置に対向させた状態とし、光源21から計測光Lを射出させる。計測光Lは、光ファイバ22によって導光される。光ファイバ22によって導光された計測光Lは、先端部32fに到達した後、第一ミラー12によって反射され、回動ミラー13に入射する。回動ミラー13に入射した計測光Lは、回動ミラー13によって反射され、光射出口11から計測対象物Oへ向けて射出される。このとき、制御装置CONTは、ミラー駆動部14によって回動ミラー13を回動させる。この動作により、図2に示すように、計測対象物Oに対して光射出口11の図中右側端部を通過する第一射出方向L1から、光射出口11の図中左側端部を通過する第二射出方向L2までの範囲で、計測光Lが射出されることになる。このように、回動ミラー13及びミラー駆動部14によって計測光の射出方向を調整することにより、計測対象物Oの表面でスリット状の計測光Lが一定の範囲で走査される。また、第三関節部32eなどを駆動することで、スリット状の計測光Lを2次元に走査することができる。計測対象物Oの表面で反射した計測光Lは、反射光Rとして受光部41に入射する。受光部41では、反射光Rが電気信号に光電変換され、当該電気信号が制御装置CONTに送信される。制御装置CONTの演算部50では、当該電気信号の強度と、先端部32fの位置情報とに基づいて、計測対象物Oの三次元形状が算出される。このときの先端部32fの位置情報としては、例えば第一関節部32a、第二関節部32c及び第三関節部32eに設けられた各エンコーダ33aの検出結果から算出された値を用いることができる。この値を用いることにより、例えば先端部32fの三次元の位置座標を求めることができる。以上のように、本実施形態によれば、計測対象物Oへ向けて計測光Lを射出する光射出部10と、計測光Lを発光する光源21を有する光供給部20と、光源21と光射出部10とが相対的に移動するように光射出部10を移動させる移動部30と、計測光Lが照射された計測対象物Oを撮像する撮像部40と、当該撮像部40による撮像結果及び移動部30による移動結果に基づいて計測対象物の三次元形状を求める演算部50を有する制御装置CONTとを有しており、光射出部10と光源21とが別の位置に設けられているため、光射出部10の構成を簡素化することができる。したがって、光射出部10を小型化することができるため、有効計測位置に光射出部10を問題なく配置させることができる。これにより、計測精度に優れた三次元計測装置1を提供することができる。[第二実施形態]次に、本発明の第二実施形態を説明する。本実施形態では、アーム部32の先端部32fの構成が第一実施形態とは異なっているため、当該相違点を中心に説明する。図4は、本実施形態に係るアーム部32の先端部32fの構成を示す図である。図4に示すように、先端部32fには、第一ミラー12と回動ミラー13との間にシリンドリカルレンズ100が設けられている。シリンドリカルレンズ100は、第一ミラー12によって反射された計測光Lをシート光SLに変換して回動ミラー13へ向けて射出する。回動ミラー13は、シート光SLが光射出口11の短手方向に走査されるように回動可能に設けられている。このような構成において、光ファイバ22によって導光された計測光Lは、先端部32fに到達した後、第一ミラー12によって反射され、シリンドリカルレンズ100によってシート光SLに変換されて回動ミラー13に入射する。回動ミラー13に入射したシート光SLは、回動ミラー13によって反射され、光射出口11から計測対象物Oへ向けて射出される。制御装置CONTは、ミラー駆動部14によって回動ミラー13を回動させる。この動作により、図4に示すように、計測対象物Oに対して光射出口11の短手方向の一端辺を通過する第一射出方向SL1から、光射出口11の短手方向の他端辺を通過する第二射出方向SL2までの範囲で、シート光SLが射出されることになる。計測対象物Oの表面で反射したシート光SLは、反射シート光SRとして受光部41に入射する。受光部41では、反射シート光SRが電気信号に光電変換され、当該電気信号が制御装置CONTに送信される。制御装置CONTの演算部50では、当該電気信号の強度と、先端部32fの位置情報とに基づいて、計測対象物Oの三次元形状が算出される。このように、回動ミラー13及びミラー駆動部14によってシート光SLの射出方向を調整することにより、計測対象物Oの表面でシートSLを二次元に走査することができる。アームに比べて軽量な回動ミラー13を駆動することで二次元走査が可能となるため、アームを駆動する場合に比べて高速な計測を実現することが可能となる。本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。例えば、上記実施形態では、移動部30の構成として、基部31を固定させ、駆動部33が基部31に対してアーム部32が移動するように駆動する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、基部31とアーム部32とが両方移動可能となるように、基部31及びアーム部32を駆動させる構成であっても構わない。また、上記実施形態では、光源21が基部31に設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えばアーム部32に設けられた構成であっても構わない。ただし、この場合、光源21は、光射出部10が設けられた位置すなわち、アーム部32の先端部32fとは異なる位置に設けられることになる。具体的には、第一関節部32aから第三関節部32eまでの間に配置されることになる。また、上記実施形態においては、撮像部40の受光部41がアーム部32の先端面32gに設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、基部31の第一ステージ31aや第二ステージ31bなど、先端面32gとは異なる位置に受光部41を配置させておく構成であっても構わない。更に、例えば先端面32gに光通過口を形成しておき、当該光通過口から光ファイバによって所望の位置に反射光Rを導光する構成であっても構わない。また、上記実施形態では、調整部18の構成として、回動ミラー13及びミラー駆動部14が設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図5に示すように、調整部18がシリンドリカルレンズ15と、当該シリンドリカルレンズ15を回動させるレンズ駆動部16とを有する構成であっても構わない。この構成であっても、上記実施形態に記載の場合と同様に、計測光Lの射出方向を調整することができる。また、上記実施形態では、光供給部20の構成として、光ファイバ22を用いて計測光Lを光源21から光射出部10へと導光する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えばレンズやミラーなどを用いて、光ファイバ22を用いて計測光Lを光源21から光射出部10へと導光する構成としても構わない。