"チャンバの壁部に設けられた貫通孔部分に取り付けられたベース部に装着することにより、前記チャンバの内部空間の雰囲気を計測可能に設けられた雰囲気計測装置であって、前記ベース部に気密にシールされた状態で、前記ベース部に対して前記チャンバの内部空間側方向と前記チャンバの外部側方向に摺動可能に設けられた筒体と、前記筒体を、前記チャンバの内部空間側と前記チャンバの外部側との間で往復動させる駆動部とを具備し、前記筒体は、前記チャンバの内部空間側における先端側の側面に開口する開口窓と、前記開口窓に対応する箇所に設けられた雰囲気計測センサと、前記チャンバの内部空間側における先端面には、外径寸法が前記筒体の外径寸法と同径寸法に形成されたキャップ部が取り付けられていて、前記駆動部は、前記チャンバの内部空間における雰囲気の計測時においては、前記開口窓を前記チャンバの内部空間に露出させるように、前記筒体が前記チャンバの内部空間に進入する方向に移動させ、前記チャンバの内部空間における雰囲気の非計測時においては、前記開口窓を前記チャンバの内部空間の外に隔離させるように、前記筒体が前記チャンバの内部空間から退避する方向に移動させ、前記キャップ部により前記貫通孔を気密にシールさせることを特徴とする雰囲気計測装置。前記開口窓には、通気性を有するフィルタ部材が取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の雰囲気計測装置。前記筒体は、前記開口窓の穿設部分における外径寸法が、前記キャップ部の外径寸法よりも小径寸法となる小径部に形成されていて、前記フィルタ部材は、前記小径部に取り付けられていることを特徴とする請求項2記載の雰囲気計測装置。前記キャップ部には前記チャンバの内部空間で発生した結露を集めるための集滴部が形成されていることを特徴とする請求項1~3のうちのいずれか一項に記載の雰囲気計測装置。前記キャップ部は、有底筒体に形成されていることを特徴とする請求項1~4のうちのいずれか一項に記載の雰囲気計測装置。前記雰囲気計測センサは、湿度計測センサであることを特徴とする請求項1~5のうちのいずれか一項に記載の雰囲気計測装置。特許文献1に開示されているような密閉空間内のガス計測装置の構成によれば、密閉空間の気密が維持された状態で密閉空間における雰囲気の計測を行うことができ、湿度センサが酸化エチレンガスと接触することにより生じる侵食を防止することができるとされている。ところで、特許文献1で開示されている構成においては、酸化エチレンガスとの接触によるセンサの侵食劣化を防ぐために、センサのロッド先端部で密閉空間内の気密を確実に維持させるべく、センサのロッド先端部は、ロッドの他の部位よりも幅広寸法に形成されている。これにより、既存の圧力容器に密閉空間内の雰囲気計測装置を取り付けようとする場合には、圧力容器チャンバの内部側からの作業が必須になるため、雰囲気計測装置の設置作業や交換作業が煩雑になるという課題や、雰囲気計測装置を追加で設置することができない場合があるといった課題の所在が明らかになっている。また、密閉空間内における雰囲気の状態を精度高く計測を行いたい場合には、密閉空間を形成するチャンバの内周面からできるだけ離れた位置にセンサのセンサ部をセットした状態で雰囲気の計測をすることが好ましいことが近年の研究により明らかになった。特許文献1に開示されている構成においては、気密を確実に維持する手段としてべローズを用いているためロッドの縦動距離に制約が生じ、センサのセンサ部のセット位置をチャンバの壁面から十分離した内側位置にセットすることができない場合がある。このような構成であると、顧客から要求されている精度での雰囲気の計測をすることが困難な場合があるという課題の所在も明らかになった。そこで本願発明は、酸化エチレンガスのような侵食作用を有するガスが注入される密閉空間内において、密閉空間内の湿度を計測する湿度センサが酸化エチレンガスと接触させることなく長期間にわたって湿度計測センサを使用することを可能にするための密閉空間内の雰囲気計測装置の提供を第1の目的としている。また、既存の圧力容器において、チャンバの外側からの作業のみで、圧力容器に雰囲気計測装置を簡単に取り付け交換することが可能であると共に、密閉空間を形成するチャンバの壁面から十分に離した位置にセンサのセンサ部をセットして雰囲気を計測することが可能な雰囲気計測装置の提供を第2の目的としている。以上の目的を達成するため本願発明は以下の構成を有する。すなわち、チャンバの壁部に設けられた貫通孔部分に取り付けられたベース部に装着することにより、前記チャンバの内部空間の雰囲気を計測可能に設けられた雰囲気計測装置であって、前記ベース部に気密にシールされた状態で、前記ベース部に対して前記チャンバの内部空間側方向と前記チャンバの外部側方向に摺動可能に設けられた筒体と、前記筒体を、前記チャンバの内部空間側と前記チャンバの外部側との間で往復動させる駆動部とを具備し、前記筒体は、前記チャンバの内部空間側における先端側の側面に開口する開口窓と、前記開口窓に対応する箇所に設けられた雰囲気計測センサと、前記チャンバの内部空間側における先端面には、外径寸法が前記筒体の外径寸法と同径寸法に形成されたキャップ部が取り付けられていて、前記駆動部は、前記チャンバの内部空間における雰囲気の計測時においては、前記開口窓を前記チャンバの内部空間に露出させるように、前記筒体が前記チャンバの内部空間に進入する方向に移動させ、前記チャンバの内部空間における雰囲気の非計測時においては、前記開口窓を前記チャンバの内部空間の外に隔離させるように、前記筒体が前記チャンバの内部空間から退避する方向に移動させ、前記キャップ部により前記貫通孔を気密にシールさせることを特徴とする雰囲気計測装置である。また、前記開口窓には、通気性を有するフィルタ部材が取り付けられていることが好ましい。さらに前記筒体は、前記開口窓の穿設部分における外径寸法が、前記キャップ部の外径寸法よりも小径寸法となる小径部に形成されていて、前記フィルタ部材は、前記小径部に取り付けられていることが好ましい。これらにより、雰囲気計測センサがチャンバの内部空間における雰囲気に暴露されることによる損傷を軽減することができる。また、チャンバの内部空間における雰囲気によりフィルタ部材が腐食する等の破損が生じた場合には、フィルタ部材のみを交換することができるため、雰囲気計測センサの機能回復が一部の部品交換のみにより可能になる。したがって、雰囲気計測センサのメンテナンスコストが大幅に低下し、ひいては圧力容器を用いた滅菌処理装置のランニングコストの低減に大きく貢献する。また、前記キャップ部には前記チャンバの内部空間で発生した結露を集めるための集滴部が形成されていることを特徴とする。これにより、キャップ部で結露した液体を雰囲気計測センサよりもチャンバの内部空間側であるキャップ部分で落下させることができるため、雰囲気の状態を正確に計測することができる。また、前記キャップ部は、有底筒体に形成されていることを特徴とする。これによりセンサ部の軽量化ができ、操作性が向上すると共に、キャップ部に蓄積される熱量を小さくすることができ、キャップ部における結露発生の防止にも貢献する。また、前記雰囲気計測センサは、湿度計測センサであることを特徴とする。これによりとくに酸化エチレンを用いた圧力容器内での滅菌処理時において、酸化エチレンガス内における湿度管理を好適に行うことができる。本発明にかかる雰囲気計測装置によれば、雰囲気計測センサよりも先端部側に設けられたキャップ部によって確実にチャンバ内空間に対して栓を行うことができるため、雰囲気を計測しない状態においては雰囲気検出センサをチャンバ内雰囲気から確実に隔離することで雰囲気計測センサが侵食性を有するガスに接触することはなく、雰囲気検出センサの寿命を大幅に延ばすことができる。また、キャップ部の外径寸法が筒体の外径寸法と等しい径寸法に形成されているので、既存の圧力容器における雰囲気計測装置をチャンバ外空間側から簡単かつ確実に取り付けおよび交換することが可能になる。さらには、筒体とチャンバとの気密を維持するためにべローズを用いていないため、チャンバの内部空間への筒体の進入量に制約がなく、雰囲気計測センサをチャンバの壁面から十分に離した位置にセットして正確な雰囲気の計測を行うことが可能になる。以下、本発明にかかる雰囲気計測装置の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、本実施形態においては、圧力容器のチャンバにおいて酸化エチレンガスを用いた滅菌処理を行う際の湿度計測装置に本願発明を適用した構成に基づいて説明を行っている。図1は、圧力容器において酸化エチレンガスを用いた滅菌処理を行う際の湿度計測装置をチャンバに取り付けた状態を示す要部断面図である。本実施形態における圧力容器10は、密閉空間を形成するチャンバ20と、チャンバ20の外周面との間に熱媒体用流路30を形成するジャケット40と、ジャケット40と熱媒体用流路30およびチャンバ20を貫通し、チャンバ20内の密閉空間内の湿度を計測する湿度計測装置50と、図示しない吸排気手段とを有している。熱媒体用流路30には熱媒体としての温水が循環可能に充てんされていて、チャンバ20の内部空間である密閉空間の加熱および冷却と保温が可能に構成されている。熱媒体流路30を流通する温水としては、45~80°C程度の温水が好適である。ジャケット40の外表面には断熱材41が取り付けられている。フランジ部51は、チャンバ20とジャケット40に穿設された貫通孔22,42内に挿通され、フランジ部51の外周面と貫通孔22,42との境界部分を全周にわたって溶接することにより気密が保たれている。フランジ部51の両端面は、室外側空間とチャンバ20の内部空間にそれぞれ開口している。湿度計測装置50は、ジャケット40およびチャンバ20との間を橋渡しするベース部であるフランジ部51と、フランジ部51に貫通させた筒体に形成されたスペーサ53と、スペーサ53の内部空間内を往復動自在に挿通され、チャンバ20側の先端部に雰囲気計測センサである湿度計測センサ54が設けられた筒体55とを具備している。湿度計測センサ54は、筒体55のチャンバ20側の先端側部分に穿設された開口窓56の位置に位置合わせして筒体55の内部空間に収容されている。また、筒体55の先端面には筒体55の長手方向の中心軸に対して中心軸が同軸であるキャップ部57が取り付けられ、さらに筒体55は、チャンバ20の内部空間と外部空間との間で往復動させるための駆動部58に連結されている。図1にも示されているように、フランジ部51とスペーサ53との間と、スペーサ53と筒体55との間は、シール部材60により気密が維持されている。シール部材60としてはチャンバ20の内壁面に設けられたシールホルダ62や、スペーサ53の中途位置には公知のO―リングが配設されている。また、シールホルダ62に隣接する部分に配設され、キャップ部57との気密と、スペーサ53の外側端部に設けられ、スペーサ53と筒体55との気密を維持するためのリップ型シール部材としては、リップ型シール部材63やスプリング弾性利用のリップ型シール部材が好適に用いられる。このようなリップ型シール部材63としては、例えば、日本トレルボルグシーリングソリューションズ株式会社の製品名ターコン登録商標ロトバリシール登録商標を用いることができる。ここで、リップ型シール部材63の機能について説明する。チャンバ20の内周壁とスペーサ53との境界部分に配設されたリップ型シール部材63は、図2、図3に示すように、チャンバ20側が開口する断面コの字状をなしている。チャンバ20の内部空間の雰囲気がチャンバ20の外部空間に漏えいしようとすると、リップ型シール部材63のコの字状部分の開口部分が外方に押し広げられることになり、チャンバ20と筒体55との当接部のシール性を破壊しようとする力に比例してシール性がさらに高められるセルフシール機能を有している。また、筒体55とスペーサ53との外部空間側境界部分に配設されたリップ型シール部材63は、図1に示すように外部空間側に開口する断面コの字状をなしている。すなわち、チャンバ20の内部空間に外部空間からの気体の侵入に対しても、先述と同様のセルフシール機能を有している。このように、湿度計測装置50におけるチャンバ20の内部空間と外部空間との間における気密信頼性は、外部空間に対するチャンバ20の内部空間の圧力状態にかかわらず、常にリップ型シール部材63によりセルフシール機能が発揮され、公知のO―リングからなるシール部材60の気密信頼性に比較して大幅に向上する。なお、スプリング弾性利用のリップ型シール部材を採用すればこのセルフシール機能はさらに強力になるため、チャンバ20の内部空間と外部空間との圧力差が大きい場合であっても確実に気密状態を維持することができる点で好都合である。フランジ部51に設けられたスペーサ53の内部空間には所要間隔をあけて配設されたO―リングからなるシール部材60により気密が維持された状態で筒体55が往復動可能摺動可能に保持されている。本実施形態の筒体55は、内筒体55aと外筒体55bを有する二重構造に形成されている。図1にも示されているように、内筒体55aと外筒体55bとによる二重管構造部分は筒体55のうちの所要範囲のみとなっており、筒体55の両端部分は内筒体55aのみによって形成されている。外筒体55bは、外筒体55bの内周面に配設されたシール部材60により気密が維持された状態で内筒体55aの中途位置の所要範囲にわたる外周面を覆うようにして装着されている。内筒体55aの先端部には内筒体55aの内外を連通させるための開口窓56が穿設されている。この開口窓56は内筒体55aを径方向に貫通するようにして形成されている。内筒体55aには開口窓56の開口位置に湿度計測センサ54の計測部分が配置されている。湿度計測センサ54の検出データは、電気配線等の公知の手段によって図示しないパーソナルコンピュータ等に代表される外部装置に出力可能になっている。開口窓56には、図2、図3に示すようにパンチグメタルや金属メッシュシート等の通気可能なフィルタ部材70を取り付けしてもよい。フィルタ部材70は開口窓56に対して着脱可能に装着されているとさらに好都合である。このようなフィルタ部材70を開口窓56に着脱自在に装着することにより、酸化エチレンガスによる湿度計測センサ54の損傷を防ぐことができ、湿度計測センサ54のメンテナンス頻度を低下させることができる。また酸化エチレンガスによりフィルタ部材70に目詰まりが生じたり、フィルタ部材70が酸化エチレンガスとの接触を繰り返すことにより損傷した際には、フィルタ部材70のみを交換すればよいため、滅菌処理を行う際におけるランニングコストを大幅に削減することができる点において好都合である。筒体55のチャンバ20側の先端面にはキャップ部57が溶接等の公知の方法により取り付けられている。キャップ部57は有底筒状体に形成され、キャップ部57の底面が筒体55の先端面に固定されている。キャップ部57の外径寸法φ1は、外筒体55bの外径寸法φ2と等しい径寸法に形成されている。このような有底筒状体に形成されたキャップ部57を用いることにより、柱状体のキャップ部に比較してキャップ部57の質量を大幅に軽減させることができる。これにより、筒体55をチャンバ20の内部空間と外部空間との間で進退方向に移動させる際の駆動部58の出力を可及的に小さくすること駆動部58の小型化ができ、かつ、操作性が向上すると共に、キャップ部57の熱量を少なくすることによりキャップ部57における結露を防止することができる。このように形成された筒体55は、フランジ部51に取り付けられた駆動部58からの動力により、湿度計測センサ54が配設されている開口窓56の部分がチャンバ20の内部空間と外部空間との間を内筒体55aと外筒体55bとが一体になって往復移動することができるように設けられている。駆動部58は、フランジ部51にネジ等により固定された台座58aと、台座58aに取り付けられた駆動モータ58bと、一端部が台座58aに回転可能に保持され、他端部が駆動モータ58bの出力軸に連結されたボールネジ58cと、ボールネジ58cの回転動作に伴って、ボールネジ58c上をスライド移動するスライダ58dとを有する直動動作部に形成されている。駆動部58は直動動作部であればよいため、具体的な構成に限定されるものではない。ボールネジ58cはボールネジ58cの中心軸をフランジ部51に挿通されている筒体55の中心軸と平行となる配置に配設されているので、ボールネジ58cの上をスライドするスライダ58dもまた、筒体55の中心軸と平行に移動することになる。このように設けられたスライダ58dには、筒体55を把持するための把持部58eが設けられている。先にも説明したように、筒体55は内筒体55aと外筒体55bを有しているので、複数の把持部58eが設けられている。把持部58eは、図4に示すように筒体55の外径形状に沿って当接可能な形状を有する上下の当接部材58ea,58ebをネジ留めにより固定してなる枷型形状に構成されている。このような枷型形状に形成された把持部58eは内筒体55aおよび外筒体55bの径寸法に合わせて形成されている。内筒体55aおよび外筒体55bの把持部58eはそれぞれ同一のスライダ58dに固定されているので、内筒体55aと外筒体55bは常時一体となってスライド移動することになる。筒体55のスライド移動距離は、ボールネジ58cの長さおよび駆動モータ58bの出力を調整することにより任意の移動距離に設定することができる。このような駆動モータ58bとしては、ステッピングモータやサーボモータを採用することが好ましい。ステッピングモータやサーボモータの採用により、スライダ58dの移動距離を正確に設定することができる点において好都合である。チャンバ20と筒体55との気密の維持には、リップ型シール部材63またはスプリング弾性利用のリップ型シール部材を採用しているので、従来技術におけるべローズのようにチャンバ20に対する筒体55の気密状態を維持しながらの移動量が制約されることはない。すなわち、図2に示したようにチャンバ20の内部空間である密閉空間内の湿度を計測する際には、湿度計測センサ54が収容されている開口窓56の位置をチャンバ20の内周面から離れた位置にセットすることができる。具体的には、開口窓56の位置がチャンバ20の内周面から60mm以上チャンバ20の内部空間側に離れた進入した位置となるように設定されている。これにより、チャンバ20の内部空間における湿度計測をより精密に行うことが可能になる。これに対して、チャンバ20の内部空間の湿度を計測する必要がない場合には、図3に示したように開口窓56がチャンバ20の内部空間内で開口しないよう、キャップ部57によりチャンバ20の壁体位置で気密を維持しつつ栓をした状態で開口窓56をチャンバ20の壁厚内またはチャンバ20の壁体よりも外部空間側の位置にセットしている。このように湿度計測センサ54は酸化エチレンガスとは接触しない構造であるから、酸化エチレンガスとの接触による湿度計測センサ54の劣化はなく、湿度計測センサ54を長期間にわたってコンディションよく使用することができる。また、本実施形態にかかる湿度計測装置50は、図2、図3に示すように、チャンバ20の内部空間に進入および退避する方向に移動可能な筒体55およびキャップ部57の最大外径寸法が同径寸法に形成されているため、湿度計測装置50を既存の圧力容器10に後付けする際や既存の圧力容器10の湿度計測装置50を交換する際においては、チャンバ20の外側からの作業のみで作業が完結する。これにより、圧力容器10のチャンバ20大きさにかかわらず、容易に湿度計測装置50を圧力容器10チャンバ20に取り付けおよび交換をすることができる点においても好都合である。以上に実施形態に基づいて本願発明を詳細に説明してきたが、本願発明の技術的範囲は以上の実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、密閉空間内の雰囲気計測装置の一例として、圧力容器10に酸化エチレンガスを充填させることにより滅菌処理を行う場合のチャンバ20の内部空間における湿度計測装置50について説明を行っているが、この実施形態に限定されるものではない。本願発明は、検出すべき雰囲気に応じて雰囲気検出体を適宜選択することにより多様な雰囲気計測装置の実施形態の実現が可能である。また、筒体55に穿設する開口窓56は、筒体55の壁厚方向に貫通する小孔やスリットを所要間隔に穿設することによって形成してもよい。このような複数の小孔またはスリットこれらを混在させてもよいからなる開口窓56を採用した場合、小孔またはスリットが十分に小径または幅狭であれば、開口窓56を覆うフィルタ部材70の配設を省略することができる点で好都合である。また、図5に示すように、筒体55の先端面とキャップ部57との取り付け部分には、チャンバ20の内部空間である密閉空間内で筒体55およびキャップ部57に結露が生じた際に結露を集めるための集滴部59が形成された形態を採用することもできる。この集滴部59は、筒体55とキャップ部57の取り付け部分の外周に沿った溝部として周設されている。これによりキャップ部57周辺に結露が発生した場合には、集滴部59に結露が集められて水滴となり、水滴の自重によるキャップ部57筒体55からの落下を促進させることができる。湿度計測センサ54はキャップ部57に隣接した位置に配設されているが、湿度計測センサ54よりも結露が発生する側に集滴部59を設けていることにより、湿度計測センサ54の計測値が実際の湿度よりも高い湿度を計測してしまうといった不具合の発生を防止することができる点において好都合である。このとき集滴部59の位置をチャンバ20の内周面位置となるようにセットすれば、チャンバ20の内表面に結露が発生した場合であっても集滴部59からの結露の落下が促進され、湿度計測センサ54に対する結露の影響をなくすことができる。また、本実施形態においては、キャップ部57を有底筒状体に形成することによりキャップ部57の軽量化および熱量削減を行い、温度計測装置50の操作性の向上と、結露の防止を実現しているが、キャップ部57の素材が軽量かつ熱容量が小さい場合には、必ずしも有底筒状体に形成する必要はない。具体的には柱状体に形成されたキャップ部57を採用することもできる。キャップ部57は、湿度センサ54の計測部が配置されている開口窓56をチャンバ20の内部空間から確実に隔離することができ、筒体55の外径寸法と同径寸法にさえ形成されていれば特に形状が限定されるものではない。さらに本実施形態においては、雰囲気計測センサとしての湿度計測センサ54を酸化エチレンガスから保護するために開口窓56にパンチングメタルからなるフィルタ部材70を用いているが、他の通気性を有する材料たとえば金属メッシュによるシート材でフィルタ部材70を構成することもできる。要は、チャンバ20の内部空間のような密閉空間内の雰囲気から雰囲気計測センサを適宜保護することができればフィルタ部材70の材質は特に限定されるものではない。また、本実施形態においては、筒体55を湿度センサが54を収容する内筒体55aと内筒体55aの延長方向における中途部所要範囲の外周面に装着された外筒体55bを有する構成について説明しているが、この形態に限定されるものではない。例えば、図6aに示すように、フランジ部51のスペーサ53に配設されたシール部材60との摺動を円滑にすることができる程度の寸法精および表面粗度と十分な肉厚を有していれば、スペーサ53の内周面を往復動可能な単層構造の筒体55を採用することもできる。このとき、図6bおよび図6cに示すように湿度計測センサ54を収容する開口窓56の穿設部分の外周面を開口窓56の範囲よりもわずかに広い範囲に切削加工すること等によって予め小径部を形成しておけば、図6dに示すように開口窓56にフィルタ部材70を装着しても、この部分における外径寸法が筒体55の他の部分よりも大径になることを防止することができる。キャップ部材57は先の実施形態と同様にして取り付けすることができる。図6dからも明らかなように、このような筒体55であれば、キャップ部57の外径寸法φ1と筒体55の外径寸法φ2を同径寸法にすることができるので、チャンバ20の内部空間における雰囲気の計測時には、筒体55の外周面においてチャンバ20の気密が確保され、チャンバ20の内部空間における雰囲気の計測を行わない際には、キャップ部57の外周面によりチャンバ20の気密を確保することが先の実施形態と同程度に行うことができる。また、このような単層構造の筒体55は製造コストの低減や構造の単純化を促進することができる点においても好都合である。スペーサ53は使用する筒体55の外径寸法に応じて適宜交換することは可能である。"