"吸着面に形成された溝に沿って気体を流通させることによりエゼクタ効果を発現させ、シートを前記吸着面に吸着するシート吸着装置であって、前記溝における前記気体の流通経路の終端部において、前記気体を回収する気体回収部を有することを特徴とするシート吸着装置。前記気体回収部は、前記終端部と連通し、前記回収した前記気体を前記吸着面が臨む側と逆側に導く気体回収流路を有することを特徴とする請求項1に記載のシート吸着装置。前記気体回収流路は、前記溝に沿って流通する前記気体を前記逆側に導く曲面を備える曲部を有することを特徴とする請求項2に記載のシート吸着装置。前記吸着面には、第1の方向に沿って前記気体が流通する第1の溝と、前記第1の方向と逆の第2の方向に沿って前記気体が流通する第2の溝と、が形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のシート吸着装置。前記第1の溝と前記第2の溝とは、隣り合って形成されていることを特徴とする請求項4に記載のシート吸着装置。前記気体回収部は、前記回収した前記気体を一時的に溜めるバッファ部を有することを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載のシート吸着装置。しかしながら、このチャックを薄物のワークであるシートの吸着に用いると、エゼクタ効果を起こす気体が、側面の開口から大気中に放出されるため、吸着面の端部において乱流が発生してシートがバタつき、吸着が不安定になってしまうという問題がある。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シートのバタつきを抑制し、吸着の安定化を図ることができるシート吸着装置の提供を目的とする。上記の課題を解決するために、本発明は、吸着面に形成された溝に沿って気体を流通させることによりエゼクタ効果を発現させ、シートを上記吸着面に吸着するシート吸着装置であって、上記溝における上記気体の流通経路の終端部において、上記気体を回収する気体回収部を有するという構成を採用する。この構成を採用することによって、本発明では、エゼクタ効果を発現させる気体を、溝における流通経路の終端部において、大気中に放出することなく回収するため、乱流の発生を抑制でき、吸着面に吸着されたシートに対して外乱を与えないようにすることができる。また、本発明においては、上記気体回収部は、上記終端部と連通し、上記回収した上記気体を上記吸着面が臨む側と逆側に導く気体回収流路を有するという構成を採用する。この構成を採用することによって、本発明では、溝に沿って終端部まで流通した気体は、終端部と連通する気体回収流路に導入され、吸着面が臨む側と逆側に導かれることから、吸着面に吸着されるシートに対してより確実に外乱を与えないようにすることができる。また、本発明においては、上記気体回収流路は、上記溝に沿って流通する上記気体を上記逆側に導く曲面を備える曲部を有するという構成を採用する。この構成を採用することによって、本発明では、気体が吸着面が臨む側と逆側に導かれる際に、気体の流通方向が曲面によって滑らかに変換されるため、曲部における圧力溜まりを抑制することができる。また、本発明においては、上記吸着面には、第1の方向に沿って上記気体が流通する第1の溝と、上記第1の方向と逆の第2の方向に沿って上記気体が流通する第2の溝と、が形成されているという構成を採用する。この構成を採用することによって、本発明では、吸着面において、第1の溝における気体の流通方向と、第2の溝における気体の流通方向とが、互いに逆向きになるため、シートに対して作用する吸着面に沿う力が相殺され、シートの吸着の安定化を図ることができる。また、本発明においては、上記第1の溝と上記第2の溝とは、隣り合って形成されているという構成を採用する。この構成を採用することによって、本発明では、吸着面において、第1の溝と第2の溝とが隣り合っているため、距離的に近い位置で吸着面に沿う力を相殺でき、シートに対し作用するモーメントを小さく抑えることができる。また、本発明においては、上記気体回収部は、上記回収した上記気体を一時的に溜めるバッファ部を有するという構成を採用する。この構成を採用することによって、本発明では、気体回収部にバッファ部を設け、バッファ部の十分な大きさの空間で気体を一時的に溜めることで、回収した気体による圧力溜まりを抑制することができる。本発明によれば、吸着面に形成された溝に沿って気体を流通させることによりエゼクタ効果を発現させ、シートを上記吸着面に吸着するシート吸着装置であって、上記溝における上記気体の流通経路の終端部において、上記気体を回収する気体回収部を有するという構成を採用することによって、エゼクタ効果を発現させる気体を、溝における流通経路の終端部において、大気中に放出することなく回収するため、乱流の発生を抑制でき、吸着面に吸着されたシートに対して外乱を与えないようにすることができる。したがって、本発明では、シートのバタつきを抑制し、吸着の安定化を図ることができるシート吸着装置が得られる。以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態におけるシート吸着装置1を示す断面構成図である。図2は、本発明の第1実施形態におけるシート吸着装置1の吸着面2を示す図である。シート吸着装置1は、シートSを吸着する吸着面2を有する。シートSとしては、厚さが例えば数十マイクロメートル程度の正極、負極、セパレータ、または、用紙、フィルム、薄板等を含む。シート吸着装置1は、チャックベース3を有する。チャックベース3の底部は、吸着面2を構成する。チャックベース3の底部と逆側の頂部は、不図示のハンド装置と接続されている。ハンド装置としては、例えば、チャックベース3を任意の位置に搬送できる6軸関節駆動機構を有するロボットアーム等を用いることができる。吸着面2には、エゼクタ効果を発現させる空気気体の流通経路を構成する溝10が形成されている。溝10は、吸着面2に対して所定深さで形成されており、吸着面2に沿う面方向に、直線的に延在している。吸着面2において、溝10が形成された領域以外の領域には、表面処理層11が設けられている。表面処理層11は、母材であるチャックベース3よりも高い摩擦係数を有する。本実施形態の表面処理層11は、摩擦係数の高いゴム層からなる。なお、表面処理層11としては、ゴム層の貼り付けの他に、表面粗さを調整することで、あるいは、塗料等でコーティングすることで、吸着面2の摩擦係数を高める構成を採用しても良い。シート吸着装置1は、溝10に空気を投入する投入部20と、溝10から空気を回収する回収部気体回収部30とを有する。投入部20は、チャックベース3に形成された空気投入流路21を有する。空気投入流路21の一端部は、チャックベース3の頂部に開口しており、空気投入流路21の他端部は、溝10と連通している。空気投入流路21は、その一端部における流路面積よりも、その他端部における流路面積の方が小さくなっている。空気投入流路21の他端部と連通する溝10の一端部は、溝10における空気の流通経路の始端部10aを構成する。空気投入流路21は、その流通過程で流路面積を絞ることで空気を加速させ、その加速した空気を始端部10aから溝10に投入させる構成となっている。回収部30は、チャックベース3に形成された空気回収流路31を有する。空気回収流路31の一端部は、溝10と連通しており、空気回収流路31の他端部は、チャックベース3の頂部に開口している。空気回収流路31の他端部と連通する溝10の一端部は、溝10における空気の流通経路の終端部10bを構成する。空気回収流路31は、終端部10bにおいて回収した空気を、吸着面2が臨む側図1において下側と逆側図1において上側に導く構成となっている。空気回収流路31は、溝10に沿って流通する空気を当該逆側に導く曲面を備える曲部32を有する。曲部32は、その曲面により、空気の流れを滞らせることなく滑らかに、その流通方向を面方向から面直方向に変換する構成となっている。投入部20及び回収部30の少なくともいずれか一方は、空気を圧送する不図示の空気圧送手段を有する。空気圧送手段としては、ポンプ、ブロア、ファン等を用いることができる。空気圧送手段は、投入部20であれば空気投入流路21の一端部と接続され、回収部30であれば空気回収流路31の他端部と接続される。本実施形態では、空気回収の効率化のために、少なくとも回収部30に、空気回収流路31の空気を吸引するための不図示の空気圧送手段を設けている。吸着面2には、始端部10aから終端部10bに向かう第1の方向に沿って空気が流通する溝第1の溝10の他に、図2に示す溝第2の溝12が隣り合って形成されている。溝12は、投入部20及び回収部30を備える溝10と同様の構成を有しているが、溝12では、第1の方向と逆方向、すなわち、その始端部12aから終端部12bに向かう第2の方向に沿って空気が流通する構成となっている。続いて、上記構成を有するシート吸着装置1の吸着動作について説明する。先ず、不図示のロボットアームによって、チャックベース3を吸着すべきシートSに近付ける。そして、シートSに対し、吸着面2を接触させた状態とする。この状態で、不図示の空気圧送手段によって、溝10に沿って空気を流通させることによりエゼクタ効果を発現させ、シートSを吸着面2に吸着させる。具体的には、投入部20において、空気が空気投入流路21内を流通する。この空気は、空気投入流路21の流通過程で流路面積が絞られることで加速して溝10に投入され、溝10の始端部10aから終端部10bに向かって流通する。溝10内は、その内部の空気が粘性等により、始端部10aから終端部10bに向けて流通する当該空気流れに引き込まれることによるエゼクタ効果によって負圧となる。これにより、吸着面2にシートSを吸着する吸着力が作用する。また、溝12においても同様のエゼクタ効果が発現する。ここで、溝12においては、溝10と逆方向に空気が流通する。したがって、溝10における空気の流通によって、シートSに対して第1の方向に力が作用しても、溝12おける空気の流通によって、シートSに対して第2の方向に力が作用するため、当該互いに逆向きの流れにより力が相殺され、吸着面2の面方向におけるシートSの移動が抑制される。溝10と溝12とは、互いに平行に、隣り合って形成されているため、距離的に近い位置で吸着面2に沿う力を相殺でき、シートSに対し作用するモーメントを小さく抑えることができる。なお、溝10と溝12との間には、表面処理層11が設けられているため、その高摩擦力により、溝10と溝12との間における、当該モーメントによるシートSのシワやヨレの発生を抑制できる。また、表面処理層11によれば、溝10、12におけるシートSの引き込みを抑制し、吸着面2にシートSを水平に安定して吸着させることができる。溝10に沿って終端部10bまで流通した空気は、回収部30によって、当該終端部10bから大気中に放出されることなく、当該終端部10bから再びチャックベース3内に回収される。すなわち、エゼクタ効果を発生させる流路が、シートS側以外では、閉じた形となる。したがって、空気を終端部10bから大気中に放出することによる乱流による外乱によって、吸着面2に吸着されたシートSがバタつき、吸着が不安定になるといったことを抑制することができる。具体的に、溝10に沿って終端部10bまで流通した空気は、終端部10bと連通する空気回収流路31に導入され、回収される。回収された空気は、空気回収流路31によって、吸着面2が臨む側と逆側に導かれる。そして、この空気は、吸着面2が形成された底部側と逆側のチャックベース3の頂部側にまで導かれた後、不図示の空気圧送手段を介して、大気中に放出される。このため、空気を大気中に放出することによる外乱の影響を、吸着面2に吸着されるシートSに対して与えないようにすることができる。空気回収流路31に導入された空気は、その流通方向が曲部32の曲面によって滑らかに変換され、吸着面2が臨む側と逆側に導かれる。このため、例えば、曲部32を直角にした場合と比べて、回収した空気が、曲部32において滞り難くなるため、曲部32における圧力溜まりの発生を抑制することができる。したがって、当該圧力溜まり圧力の高まりによる終端部10bにおけるシートSの剥がれを防止し、吸着の安定化に寄与できる。また、空気回収流路31の他端部に設けた不図示の空気圧送手段により、回収した空気を吸引することで、より確実に圧力溜まりの発生を抑制することができる。吸着面2へのシートSの吸着が終了したら、不図示のロボットアームは、チャックベース3を上方に持ち上げ、所定の位置に搬送する。チャックを外すときは、空気の圧送を停止するか、流速を十分に落として、投入部20と回収部30との両方から空気を供給する。さらには、図示しない、シートSに垂直な流路を有する第2の投入部から空気を供給して引き剥がしを促進しても良い。したがって、上述の本実施形態によれば、吸着面2に形成された溝10に沿って空気を流通させることによりエゼクタ効果を発現させ、シートSを吸着面2に吸着するシート吸着装置1であって、溝10における上記空気の流通経路の終端部10bにおいて、上記空気を回収する回収部30を有するという構成を採用することによって、エゼクタ効果を発現させる空気を、溝10における流通経路の終端部10bにおいて、大気中に放出することなく回収するため、乱流の発生を抑制でき、吸着面2に吸着されたシートSに対して外乱を与えないようにすることができる。したがって、本実施形態では、シートSのバタつきを抑制し、吸着の安定化を図ることができるシート吸着装置1が得られる。第2実施形態次に、本発明の第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図3は、本発明の第2実施形態におけるシート吸着装置1を示す斜視図である。図4は、図3における矢視A-A断面図である。第2実施形態のシート吸着装置1は、円形状の底部を備えるチャックベース3を有する。チャックベース3の底部を形成する円形状の吸着面2には、当該円形状の中心から放射状に複数の溝10が形成されている。投入部20の空気投入流路21は、チャックベース3の頂部側中央を通って、底部側中央に至り、そこから各溝10に分岐している。回収部30は、溝10における空気の流通経路の終端部10bにおいて回収した空気を一時的に溜めるバッファ部33を有する。バッファ部33は、吸着面2を環状に囲って設けられている。バッファ部33は、投入部20による空気投入量に対して十分に大きい収容空間を有する。バッファ部33の頂部には、所定間隔をあけて空気回収流路31が接続されている。空気回収流路31は、不図示の空気圧送手段を有し、バッファ部33内の空気を吸引し、チャックベース3の頂部側から抜き出す構成となっている。上記構成によれば、投入部20によって投入された空気は、溝10に沿って放射状に流通し、エゼクタ効果を発現させた後、バッファ部33に導入される。バッファ部33は、十分な大きさの空間を有するため、終端部10bにおいて回収された空気が導入されても、圧力の変動は殆どない。また、バッファ部33は、吸着面2を環状に囲って設けられており、一つで各溝10と連通できるため、溝10毎に回収部30の空気回収流路31を設ける必要がなく、製造コストを低減できる。このように、第2実施形態においては、回収部30にバッファ部33を設け、バッファ部33の十分な大きさの空間で回収した空気を一時的に溜めることで、回収した空気による圧力溜まりを抑制することができる。また、第2実施形態においては、製造コストを低減できる。以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。例えば、吸着面2に形成される溝10,12の構成は、図5に示すような構成であっても良い。図5aは、吸着面2が円形状の場合であって、当該円形状の中心に対して点対称に、溝10と溝12とが複数形成されている。図5bは、吸着面2が矩形状の場合であって、溝10と溝12とが交互に並列で複数形成されている。図5cは、吸着面2が円形状の場合であって、当該円形状の中心として、溝10と溝12とが二重反転螺旋状に形成されている。より詳しくは、図5cでは、溝10において、空気が始端部10aから終端部10bに向かうにつれて中心から外周に螺旋状に向かうのに対し、溝12においては、空気が始端部12aから終端部12bに向かうにつれて外周から中心に螺旋状に向かう構成となっている。図5a~図5cに示すような溝形状であったとしても、上記実施形態と同様の作用効果が得られる。"