第1および第2のガス放電レーザを励起するための電気装置であって、第1および第2の蓄積キャパシタと、それぞれ、前記第1および第2の蓄積キャパシタを充電するように配列されている第1および第2の高電圧電源と、前記第1および第2の蓄積キャパシタを放電させ、第1および第2の電気パルスを生成し、前記第1および第2の電気パルスを、それぞれ、前記第1および第2のガス放電レーザに送達するように配列されている第1および第2のパルス形成回路と、スイッチング配列とを備え、前記スイッチング配列は、前記キャパシタの放電前に前記キャパシタの充電電圧を等化するために、前記パルス形成回路による前記キャパシタの放電に先立って、所定の時間期間の間、前記第1および第2の蓄積キャパシタを一緒に接続するように配列されている、装置。前記時間期間は、前記キャパシタが、前記蓄積キャパシタの放電前に切断されるように選択されている、請求項1に記載の装置。前記パルス形成回路は、第1および第2の放電トリガ信号に応答して、前記第1および第2の蓄積キャパシタを放電するように配列されている、請求項1に記載の装置。前記蓄積キャパシタは、前記キャパシタの充電中、一緒に接続されておらず、前記電源は、前記キャパシタを一緒に接続する前に、前記キャパシタを、それぞれの第1および第2の電圧に充電するように配列され、前記一緒に接続する期間は、前記キャパシタが前記第1および第2の電圧に充電された後に開始し、前記キャパシタの放電前に終了する、請求項1に記載の装置。前記第1の電圧は、前記第2の電圧より高い、請求項4に記載の装置。前記電源は、ある電圧調整精度を有する調整電源であり、前記第1の電圧と前記第2の電圧との間の差異は、前記キャパシタの前記一緒に接続する期間中、電流が前記第1のキャパシタから前記第2のキャパシタにのみ流動可能であるように、前記スイッチングシステムおよび前記電源の電圧調整精度と協働するように選択されている、請求項5に記載の装置。前記第1および第2の電圧は、約1500ボルトから2300ボルトであり、前記電源の電圧調整精度は、約±2.3ボルトであり、前記第1の充電電圧と前記第2の充電電圧との間の差異は、約15ボルトである、請求項6に記載の装置。前記スイッチング配列は、互に逆直列様式に接続されている第1および第2のIGBT-ダイオードモジュールを含み、前記第1および第2のIGBT-ダイオードモジュールは、それぞれ、前記第1および第2の蓄積キャパシタと接続されている、請求項1に記載の装置。前記第1および第2の蓄積キャパシタは、前記IGBT-ダイオードモジュールを閉鎖および開放されることによって、それぞれ、接続および切断される、請求項8に記載の装置。前記第1および第2のパルス形成回路は、第1および第2のパルス変成器であって、第1および第2の蓄積キャパシタは、前記第1および第2のパルス変成器を介して放電されることにより、それぞれの第1および第2の電気パルスを生成する、第1および第2のパルス変成器と、前記第1および第2の電気パルスがそれぞれの第1および第2のガス放電レーザに送達される前に、前記第1および第2の電気パルスを一時的に圧縮するための第1および第2のパルスコンプレッサとを含む、請求項1に記載の装置。第1および第2のガス放電レーザを励起するための電気装置であって、第1および第2の蓄積キャパシタと、それぞれ、前記第1および第2の蓄積キャパシタを、それぞれの第1および第2の電圧に充電するように配列されている第1および第2の高電圧電源と、前記第1および第2の蓄積キャパシタを放電させ、第1および第2の電気パルスを生成し、前記第1および第2の電気パルスを、それぞれ、前記第1および第2のガス放電レーザに送達するように配列されている第1および第2のパルス形成回路と、スイッチング配列とを備え、前記スイッチング配列は、前記第1および第2の蓄積キャパシタと協働するように配列されており、その結果、前記パルス形成回路によって、前記第1および第2の蓄積キャパシタは、各々が充電されている間、切断され、前記キャパシタの充電電圧を等化するために、充電された後、所定の時間期間の間、一緒に接続され、次いで、前記キャパシタの放電に先立って、互から切断される、装置。前記スイッチング配列は、互に逆直列様式に接続されている第1および第2のIGBT-ダイオードモジュールを含み、前記第1および第2のIGBT-ダイオードモジュールは、それぞれ、前記第1および第2の蓄積キャパシタと接続され、前記第1および第2の蓄積キャパシタは、前記IGBT-ダイオードモジュールを閉鎖および開放されることによって、それぞれ、接続および切断される、請求項11に記載の装置。前記第1の電圧は、前記第2の電圧より高い、請求項12に記載の装置。前記電源は、ある電圧調整精度を有する調整電源であり、前記IGBT-ダイオードモジュールは、磁束電圧を有し、前記第1の電圧と前記第2の電圧との間の差異は、前記キャパシタの前記一緒に接続する期間中、電流が、前記第1のキャパシタから前記第2のキャパシタにのみ流動可能であるように、前記磁束電圧および前記電源の電圧調整精度の合計を超えるように選択されている、請求項13に記載の装置。前記第1および第2の電圧は、約1500ボルトから2300ボルトであり、前記電源の電圧調整精度は、約±2.3ボルトであり、前記第1の充電電圧と前記第2の充電電圧との間の差異は、約15ボルトである、請求項14に記載の装置。第1および第2のパルス状ガス放電レーザを動作させる方法であって、前記第1および第2のレーザは、それぞれ、第1および第2の蓄積キャパシタと、それぞれ、前記第1および第2の蓄積キャパシタを充電するための第1および第2の高電圧電源と、第1および第2のパルス形成回路とを含み、前記第1および第2のパルス形成回路は、それぞれ、第1および第2のパルス変成器を含み、前記第1および第2のキャパシタは、それぞれ、前記第1および第2のパルス変成器を介して放電されることが可能であることにより、それぞれの第1および第2の電気パルスを生成し、前記第1および第2の電気パルスを、それぞれ、前記第1および第2のガス放電レーザに送達し、前記方法は、前記第1および第2のキャパシタを互に切断されている状態において、前記第1および第2のキャパシタを、それぞれの第1および第2の電圧に充電するステップと、前記充電するステップの後、所定の時間期間の間、前記第1および第2のキャパシタを一緒に接続するステップと、前記所定の時間期間の終了時に、前記第1および第2のキャパシタを互から切断するステップと、次いで、前記第1および第2のキャパシタを前記第1および第2のパルス変成器を介して放電させ、前記第1および第2の電気パルスを提供するステップとを含む、方法。前記第1の電圧は、前記第2の電圧より高い、請求項16に記載の方法。前記第1および第2の電源は、ある電圧調整精度を有する調整電源であり、前記第1および第2のキャパシタは、半導体スイッチ配列によって一緒に接続されており、前記スイッチ配列は、電流が前記スイッチ配列を通過する場合に、磁束電圧を有し、前記第1の電圧と前記第2の電圧との間の差異は、前記電圧精度と前記磁束電圧との合計を上回るように選択され、それによって、前記接続するステップ中、電流は、前記第1の蓄積キャパシタから前記第2の蓄積キャパシタにのみ流動する、請求項17に記載の方法。前記第1および第2の電圧は、約1500ボルトから2300ボルトであり、前記電源の電圧調整精度は、約±2.3ボルトであり、前記第1の充電電圧と前記第2の充電電圧との間の差異は、約15ボルトである、請求項18に記載の方法。本発明は、第1および第2のガス放電レーザを励起するための電気装置を対象とする。一側面では、装置は、第1および第2の蓄積キャパシタと、それぞれ、第1および第2の蓄積キャパシタを充電するように配列されている第1および第2の高電圧電源とを含む。第1および第2のパルス形成回路は、それぞれ、第1および第2の蓄積キャパシタを放電するように配列される。キャパシタの放電は、それぞれ、第1および第2のガス放電レーザに送達される、それぞれの第1および第2の電気パルスを発生する。スイッチング配列は、パルス形成回路によるキャパシタの放電に先立って、キャパシタが、所定の時間期間の間、充電された後、第1および第2の蓄積キャパシタを一緒に接続するように提供および配列される。次に、引き続き図面を参照すると同一特徴は、同一参照番号によって指定される、図2は、2つのエキシマレーザを同期動作させるための本発明による装置の好ましい実施形態10を図式的に例証する、電気回路図である写実的に描写せず。レーザは、図2では、レーザAおよびレーザBと称される。レーザAおよびBは、各々が図1の前述の従来技術パルシング配列10に類似する、それぞれ、レーザパルシング配列10Aおよび10Bによって個々に励起される。各パルシング配列は、磁気絶縁体14を介して、蓄積キャパシタC0COAおよびCOBを充電する高電圧電源32を含む。電気パルスは、IBGT-1に、そのゲートに印加されるトリガ電圧を介して、パルス変成器L5を通してキャパシタC0を放電するように前述のように命令することによって発生される。磁気パルスコンプレッサ18は、パルスを一時的に圧縮し、圧縮されたパルスをレーザ放電電極に送達する。配列10Aおよび10Bの共通特徴は、対応する参照番号に適用される添字AおよびBによって識別される。装置30は、以下に参照される全制御信号を提供する、PCまたは同等物図示せず内のソフトウェアによって制御される。装置30では、パルス間充電電圧差の変動は、前述のように、パルスが、Trigger-AまたはTrigger-Bのいずれかによってトリガされる前の短い期間の間、キャパシタが充電された後に、キャパシタCOAおよびCOBを一緒に接続することによって、最小限にされる。接続は、スイッチング配列40によって確立され、スイッチング配列40は、ドライバ44Aおよび44Bによって駆動される、それぞれ、IGBTモジュール42Aおよび42Bを含む。IGBT保護および制御回路46は、装置を制御するソフトウェアからのデジタル接続信号に応答して、ドライバのためのデジタル信号を発生する。回路46はまた、キャパシタの電圧を監視し、キャパシタ間の電圧差が、所定のレベル、例えば、100Vを超える場合、IGBT42Aおよび42Bをオンにするのを防止するように配列される。これは、HSVPの一方が、故障し、対応するキャパシタが、充電されない、または十分に充電されない場合、IGBTを保護する役割を果たす。回路40は、均衡スイッチまたはEQUI-Switchと称され得る。IGBT42Aおよび42Bは、図2に描写されるように、逆直列様式に接続される。これは、IGBTが、キャパシタ間の電圧差の正および負両方の極性を切替可能であることをもたらす。これはまた、レーザAおよびBが、互いに別個に動作させられ、電源HVPS-AおよびHVPS-Bの相対的調節から独立可能であることをもたらす。電源は、キャパシタの一方、例えば、キャパシタCOAが、最初に、他方COBより高い電圧に充電されるように調整される。一般論として、電圧差は、最悪の条件下、差異が、依然として、一方のIGBTスイッチの磁束電圧と、他方の逆直列IGBTの内部還流ダイオードの磁束電圧と残留電圧差との合計より高くなるように、十分に高くなければならならず、その場合、該残留電圧差において、より低い電圧を伴うHVPSが上方変動を利用し、より高い電圧を伴う電源ユニットが下方変動を利用し、すなわち、該残留電圧差は、電源の電圧調整精度である。前述のように、これは、検討中の実施例では、約4.6V±2.3Vである。この条件下でのみ、常時、電荷等化が存在し、等化電流が、常時、同一方向に流動するであろう。しかしながら、電圧差は、高過ぎるべきではなく、そうでなければ、等化は、実用的であるこの実施例では、>100μsより長くかかり得るか、または等化電流が、高くなり過ぎ得る。約15Vを超える電圧は、検討中の実施例では、適度であると判定される。COAとCOBとの間の接続のインピーダンスRは、以下の条件を満たすように選択される必要に応じて、追加の抵抗をIGBT42Aおよび42Bと直列に置くことによって。R≧2L/C0.52式中、Lは、主に、ケーブルインダクタンスである。C=C0AC0B/C0AC0B3結果として生じる数十アンペアの等化電流は、キャパシタCOAおよびCOBの電圧が、非周期的に、約50マイクロ秒μs以内に、順方向電流方向に操作されるIGBTおよび他方の個別のIGBTの内部還流ダイオードの磁束電圧まで調節することを確実にする。前述のように、残留電圧は、常時、2つの充電キャパシタ電圧の差異として残留するが、再現可能であり、時間的ジッタに寄与しない。このため、COAおよびCOBの充電電圧は、依然として、無条件に、約±2.3V分、変動するが、互に対しては、200mV未満である。これは、ガスが、放電し、その結果、レーザAおよびBの光パルスが、各々の放電トリガ信号に対してジッタを生じさせるが、レーザが、互に対してナノ秒の範囲内で時間的安定性を達成することを意味する。実現可能な値は、ピーク間で約2nsから5nsである。故に、2つの空間的かつ時間的に重複した光パルスの時間形状は、概して、個々のパルスの時間形状に対応する。これは、それによって、処理される材料と重複したパルスとの相互作用が、2倍のエネルギーを有する、個々のパルスのうちの任意の1つの場合と同様に生じることをもたらす。次に、前述のような信号動作装置0の相対的タイミングの説明が、図3のタイミング図を参照して、かつ引き続き図2を参照して、記載される。前述のように、これらの信号は、装置30のための制御ソフトウェアによって、発生またはトリガされる。図3では、接続信号を除き、全信号または値は、ここでは、レーザAとして任意に選択される、レーザの一方に特定的である。他方のレーザのための信号および値は、同様に、時間的に進展するであろう。図3の図の時間進展は、ここでは、600Hz以下のパルス繰り返し周波数を表す、約1.67ミリ秒msを上回ると仮定される、1つのパルス繰り返し周期を若干上回る。制御ソフトウェアは、時間t0において、周期トリガ信号を発生し、それによって、その他すべての同期が取られる。時間t0では、磁気絶縁体14Aに印加される抑止信号抑止Aは、低から高となり、絶縁体を低インピーダンス状態にし、充電を促進する。この時、また、信号HVAは、電源HVPS-Aに、キャパシタCOAをそのキャパシタのための所定の電圧に充電するよう命令する。キャパシタは、公称上、時間t1において充電されるが、充電は、時間t2に継続し、可能性として考えられる充電時間におけるパルス間差を考慮する。検討中の実施例と一致する、周期t0からt1およびt1からt2の間の値は、それぞれ、約1040マイクロ秒μsおよび100μs以下である。時間t2では、抑止信号は、高から低となり、磁気絶縁体を高インピーダンス状態にし、キャパシタCOAを電源HVPS-Aから効果的に絶縁する。時間t2の比較的直後、例えば、約10μs後、接続信号は、低から高となり、キャパシタCOAとCOBとの間の前述の電圧等化が生じ得るように、IGBT42Aおよび42BEQUI-Switchを閉鎖する。時間t3ここでは、再び、約10μsの比較的直前において、接続信号は、高から低となり、キャパシタが、独立して、放電され得るように、EQUI-Switchを開放し、キャパシタを互から絶縁する。時間t3では、トリガ信号は、キャパシタCOAを放電するために十分に長い期間の間、IGBT-1Aを閉鎖し、電気パルス図示せずが、発生および圧縮され、対応する光出力パルスが、数マイクロ秒後、レーザから送達される。時間t3とt4との間の回復周期中に、IGBT-1Aが再開放された後、キャパシタCOAの電圧は、完全ではないインピーダンス整合のため、放電から反射されたエネルギーによる充電によって、若干上昇し、次いで、新しい一連の信号がトリガされる時間t5までに、ほぼ元の充電されていない値へと徐々に戻る。ここでは、600HzのPRFの場合、t4とt5との間の時間期間は、比較的に短くなるであろうことに留意されたい。しかしながら、再充電は、実際には、時間t4において開始し得る。時間t2直後にEQUI-Switchを閉鎖し、時間t3直前にEQUI-Switchを開放する理由は、EQUI-Switchが、両レーザに共通であるからである。EQUI-Switch閉鎖時間約100μsと周期t3-t2との間の差異は、レーザの相対的トリガ時間が変動されることを可能にすることにより、パルス圧縮回路18Aおよび18Bを通したパルス伝搬時間における任意の前述の相対的ドリフトを補償し、それによって、対応する光パルスの時間的重複を最適化する。ここでは、前述の本発明の実施形態ならびに使用される回路および値は、単に、一実施例であり、本発明を限定するものとして解釈されるべきではないことを強調されたい。電気技術分野における当業者は、前述の本発明の説明から、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、本発明の電圧等化機能を提供するための他の回路を考案してもよい。さらに、本発明は、独立パルシング配列を伴う、2つのレーザの出力を同期する観点で説明されたが、本発明は、独立パルシング配列を伴う、3つ以上のレーザの同期に拡張され得る。実施例として、独立パルシング配列を伴う、3つのレーザは、本明細書に説明されるEQUI-Switch配列のうちの2つを使用して、同期され得る。要約すれば、本発明は、好ましい実施形態の観点から前述された。しかしながら、本発明は、本明細書に説明される実施形態に限定されない。むしろ、本発明は、本明細書に添付の請求項によってのみ限定される。