内側に形成された空間および前記空間に臨む固定面を有する固定部材と、前記固定部材の前記固定面側に固定された複数の電子部品と、を有し、前記複数のセンサー部品は、互いの検出軸が交差しており、前記固定部材が、前記電子部品を収容するケーシングの一部を構成することを特徴とするセンサーデバイス。前記固定部材は、本体と、前記本体の外周面に開放する凹部とを有する請求項1に記載のセンサーデバイス。前記固定面は、少なくとも、互いに交差する第1の固定面、第2の固定面および第3の固定面を有し、前記第1の固定面側、前記第2の固定面側および前記第3の固定面側には、それぞれ、前記センサー部品が固定されている請求項2に記載のセンサーデバイス。前記ケーシングは、前記固定部材と、前記固定部材の前記凹部上に載置された蓋部材とを有している請求項2または3に記載のセンサーデバイス。前記固定部材は、本体と、前記本体を貫通する貫通孔を有する請求項1に記載のセンサーデバイス。前記固定面は、互いに交差する第1の固定面および第2の固定面を有する請求項5に記載のセンサーデバイス。前記ケーシングは、前記貫通孔の一方の開口を覆う第1の蓋部材と、他方の開口を覆う第2の蓋部材とを有している請求項5または6に記載のセンサーデバイス。前記第1の蓋部材の前記貫通孔に臨む内面は、前記第1の固定面および前記第2の固定面に対して交差している請求項7に記載のセンサーデバイス。前記固定面は、窪み部を有し、前記窪み部に前記センサー部品が収容されている請求項1ないし8のいずれかに記載のセンサーデバイス。前記センサー部品は、実装基板に実装され、前記実装基板は、前記電子部品が実装された複数の基板を有し、前記複数の基板間は、折り曲げ可能である請求項1ないし9のいずれかに記載のセンサーデバイス。請求項1ないし10のいずれかに記載のセンサーデバイスを備えることを特徴とする電子機器。本発明の目的は、小型化を図りつつ、センサー部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供することにある。このような目的は、下記の本発明により達成される。本発明のセンサーデバイスは、内側に形成された空間および前記空間に臨む固定面を有する固定部材と、前記固定部材の前記固定面側に固定された複数の電子部品と、を有し、前記複数のセンサー部品は、互いの検出軸が交差しており、前記固定部材が、前記電子部品を収容するケーシングの一部を構成することを特徴とする。これにより、小型化を図りつつ、センサー部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスを提供することができる。本発明のセンサーデバイスでは、前記固定部材は、本体と、前記本体の外周面に開放する凹部とを有することが好ましい。これにより、固定部材の構成が簡単となる。本発明のセンサーデバイスでは、前記固定面は、少なくとも、互いに交差する第1の固定面、第2の固定面および第3の固定面を有し、前記第1の固定面側、前記第2の固定面側および前記第3の固定面側には、それぞれ、前記センサー部品が固定されていることが好ましい。これにより、互いに交差する3軸の各軸まわりの物理量を検出することのできるセンサーデバイスとなる。本発明のセンサーデバイスでは、前記ケーシングは、前記固定部材と、前記固定部材の前記凹部上に載置された蓋部材とを有していることが好ましい。これにより、ケーシング内への埃等の侵入を防止することができる。本発明のセンサーデバイスでは、前記固定部材は、本体と、前記本体を貫通する貫通孔を有することが好ましい。これにより、固定部材の構成が簡単となる。本発明のセンサーデバイスでは、前記固定面は、互いに交差する第1の固定面および第2の固定面を有することが好ましい。これにより、センサー部品の検出軸を直交させることができる。本発明のセンサーデバイスでは、前記ケーシングは、前記貫通孔の一方の開口を覆う第1の蓋部材と、他方の開口を覆う第2の蓋部材とを有していることが好ましい。これにより、ケーシング内への埃等の侵入を防止することができる。本発明のセンサーデバイスでは、前記第1の蓋部材の前記貫通孔に臨む内面は、前記第1の固定面および前記第2の固定面に対して交差していることが好ましい。これにより、この内面にもセンサー部品を固定することができ、センサー部品の配置の自由度が増す。本発明のセンサーデバイスでは、前記固定面は、窪み部を有し、前記窪み部に前記センサー部品が収容されていることが好ましい。これにより、固定部材のスペースを有効利用することができ、センサーデバイスの小型化を図ることができる。本発明のセンサーデバイスでは、前記センサー部品は、実装基板に実装され、前記実装基板は、前記電子部品が実装された複数の基板を有し、前記複数の基板間は、折り曲げ可能であることが好ましい。これにより、センサー部品の固定面への固定が容易となる。本発明の電子機器は、本発明のセンサーデバイスを備えることを特徴とする。これにより、優れた信頼性を発揮することのできる電子機器が得られる。以下、本発明のセンサーデバイスおよび電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。1.センサーデバイス<第1実施形態>まず、本発明のセンサーデバイスの第1実施形態について説明する。図1は、本発明のセンサーデバイスの第1実施形態を示す斜視図、図2は、図1に示すセンサーデバイスの断面図、図3は、図1に示すセンサーデバイスが有する実装基板の展開図、図4は、図1に示すセンサーデバイスが備える角速度センサーの一例を示す平面図である。なお、以下では、説明の都合上、図1中の上側を上、下側を下として説明を行う。また、図1に示すように、互いに直交する3軸をx軸、y軸およびz軸とする。z軸は、台座4の厚さ方向と平行な軸であり、x軸は、台座の平面視にて、台座の対向する1組の辺の延在方向と平行な軸であり、y軸は、台座の対向する他の1組の辺の延在方向と平行な軸である。また、以下では、x軸と平行な方向をx軸方向とし、y軸と平行な方向をy軸方向とし、z軸と平行な方向をz軸方向とする。また、x軸とy軸とで形成される平面をxy平面とし、y軸とz軸とで形成される平面をyz平面とし、z軸とx軸とで形成される平面をxz平面とする。センサーデバイス1は、角速度センサー711、712、713を備え、互いに直交するx軸、y軸、z軸の各軸まわりの角速度を検出することのできる3軸ジャイロセンサーデバイスである。このようなセンサーデバイス1は、利便性に優れ、例えば、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、PDR歩行者位置方位計測等に好適に利用することができる。図1および図2に示すように、このようなセンサーデバイス1は、電子部品7が実装された実装基板2と、実装基板2を収容するケーシング10とを有している。以下、これら各部材について順次説明する。[実装基板2]実装基板2は、硬質で変形し難いリジッド基板基板と、軟質で変形し易い可撓性を有するフレキシブル基板とを組み合わせたリジッドフレキシブル基板であり、リジッド基板間で折り曲げ可能となっている。このような実装基板2としては、例えば、フレキシブル基板の両側にガラスエポキシ基板等の硬質層を貼り付け、この部分をリジッド基板として用いるもの等、公知のリジッドフレキシブル基板を用いることができる。図3aは、展開した状態の実装基板2を一方の面側から見た平面図であり、図3bは、展開した状態の実装基板2を他方の面側から見た平面図である。図3に示すように、実装基板2は、互いに離間して配置された第1のリジッド基板21と、第2のリジッド基板22、第3のリジッド基板23と、第4のリジッド基板24と、第5のリジッド基板25と、これらを連結するフレキシブル基板26とで構成されている。なお、以下では、説明の便宜上、各リジッド基板21~25の図3aにて図示されている面を表側実装面と言い、図3bにて図示されている面を裏側実装面と言う。フレキシブル基板26は、第1のリジッド基板21と第3のリジッド基板23とを連結する第1の連結部261と、第2のリジッド基板22と第3のリジッド基板23とを連結する第2の連結部262と、第3のリジッド基板23と第4のリジッド基板24とを連結する第3の連結部263と、第4のリジッド基板24と第5のリジッド基板25とを連結する第4の連結部264とを有している。各連結部261~264は、可撓性を有しており、面方向への曲げ変形を容易に行うことができる。実装基板2は、フレキシブル基板26の各連結部261~264を曲げることで、リジッド基板21~25同士の姿勢を変化させることができる。具体的には、各リジッド基板21~25の表側実装面211~251が内側を向くように連結部261~264を曲げることで、隣接するリジッド基板同士が直交する直方体状に変形させることができる。この状態では、例えば、第3のリジッド基板23を下面とすると、第4のリジッド基板24が上面をなし、第1、第2、第5のリジッド基板21、22、25がそれぞれ側面をなす。このように、実装基板2をリジッドフレキシブル基板で構成することにより、実装基板2を容易に変形させることができるため、実装基板2の固定部材3への固定が簡単となる。また、連結部261~264によって各リジッド基板21~25がひとまとまりに連結されているため、この点でも、実装基板2の固定部材3への固定を簡単かつ円滑に行うことができる。また、複数のリジッド基板を備えることによって、電子部品7の配置の自由度が増す。また、硬質なリジッド基板に電子部品7を実装することにより、電子部品7特に、角速度センサー711~713、加速度センサー72の不要な振動を抑制でき、センサーデバイス1の検出精度が向上する。また、実装基板2に電子部品7を実装し易い。また、電子部品7の平行度が取り易く、特に、角速度センサー711~713を簡単に所望の姿勢とし、かつその姿勢を維持することができる。また、電子部品7を高密度実装することもできる。ここで、本実施形態では、第3のリジッド基板23は、その縁外周に開放する欠損部23c、欠損部23d、欠損部23eを有している。欠損部23cは、第3のリジッド基板23の図3a中上側の辺に対して段差を付けて形成されており、この欠損部23cから第1の連結部261が延出している。また、欠損部23dは、第1のリジッド基板23の図3a中左側の辺に対して段差を付けて形成されており、この欠損部23dから第2の連結部262が延出している。また、欠損部23eは、第3のリジッド基板23の図3a中右側の辺に対して段差を付けて形成されており、この欠損部23eから第3の連結部263が延出している。第3のリジッド基板23に欠損部23cを形成することにより、第1の連結部261を、第3のリジッド基板23との接続部付近より第3のリジッド基板23側にて簡単に曲げ変形させることができ、また、曲げ変形させたときの曲率半径を比較的大きく保つことができる。また、第1の連結部261の過度な突出が抑制され、センサーデバイス1の小型化を図ることができる。欠損部23d、23eについても同様の効果が得られる。また、本実施形態では、第4のリジッド基板24は、その縁外周に開放する欠損部24cおよび欠損部24dを有している。欠損部24cは、第4のリジッド基板24の図3a中左側の辺に対して段差を付けて形成されており、この欠損部24cから第3の連結部263が延出している。同様に、欠損部24dは、第4のリジッド基板24の図3a中下側の辺に対して段差を付けて形成されており、この欠損部24dから第4の連結部264が延出している。第4のリジッド基板24に欠損部24cを形成することにより、第3の連結部263を、第4のリジッド基板24との接続部付近より第4のリジッド基板24側にて簡単に曲げ変形させることができ、また、曲げ変形させたときの曲率半径を比較的大きく保つことができる。また、折り曲がった部分の、第4のリジッド基板24の外周からの過度な突出が抑制され、センサーデバイス1の小型化を図ることができる。欠損部24dについても同様の効果が得られる。以上、実装基板2について説明した。なお、実装基板2の各リジッド基板21~25およびフレキシブル基板26には、図示しない導体パターンが形成されており、この導体パターンを介して複数の電子部品7が適切に電気接続されている。また、実装基板2には、図示しないグランド層が形成されており、このグランド層が外部磁場を遮断する機能を発揮する。そのため、ケーシング10に固定された状態にて、実装基板2より内側にある電子部品7すなわち、表側実装面211~251に実装されている電子部品7については、センサーデバイス1の外部からの外部磁場外来ノイズによる影響を排除することができる。[電子部品7]図3a、bに示すように、実装基板2には複数の電子部品7が実装されている。実装基板2には、電子部品7として、1軸検出型の3つの角速度センサーセンサー部品711~713と、3軸検出型の加速度センサーセンサー部品72と、各種電子部品を駆動するための電源回路73と、センサー部品711~713、72からの出力信号を増幅する増幅回路74と、増幅回路74で増幅されたアナログ信号をデジタル信号に変換するアナログ/デジタル変換回路75と、所望の制御を行うマイクロコントローラー76と、EEPROM等の不揮発性メモリー77と、方位を検出する方位センサー磁気センサー78と、信号を出力するためのコネクターインターフェースコネクター79とが実装されている。なお、実装する電子部品7としては、これに限定されず、その目的に応じたものを適宜実装すればよい。以下、これら電子部品7の配置について詳細に説明する。第1のリジッド基板21第1のリジッド基板21の表側実装面211には、角速度センサー711が実装されている。第2のリジッド基板22第2のリジッド基板22の表側実装面221には、角速度センサー712が実装されている。第3のリジッド基板23第3のリジッド基板23の表側実装面231には、電源回路73、増幅回路74およびアナログ/デジタル変換回路75が実装されており、裏側実装面232には、角速度センサー713および加速度センサー72が実装されている。アナログ/デジタル変換回路75は、表側実装面231に実装されている他の電子部品7電源回路73および増幅回路74に対してサイズが大きい。そのため、アナログ/デジタル変換回路75を表側実装面231の中央部に配置するのが好ましい。これにより、アナログ/デジタル変換回路75を第3のリジッド基板23の強度を補強する補強部材として効果的に用いることができる。そのため、第3のリジッド基板23の撓み変形に起因する不本意な振動が抑えられ、角速度センサー711~713に不要な振動が伝わらず、角速度センサー711~713特に第3のリジッド基板23に実装されている角速度センサー713による角速度の検出精度が高まる。また、角速度センサー713および加速度センサー72は、表側実装面231の縁部付近に配置するのが好ましい。後述するように、第3のリジッド基板23は、その縁部が接着剤を介して台座4に固定される。そのため、第3のリジッド基板23の縁部は、変形し難く、不要な振動が発生し難い。よって、このような場所に角速度センサー713および加速度センサー72を配置することにより、より高精度に角速度および加速度を検出することができる。また、角速度センサー713および加速度センサー72を裏側実装面232に実装することにより、実装基板2がケーシング10に固定された状態にて、マイクロコントローラー76との距離をより離間させることができる。また、角速度センサー713および加速度センサー72とマイクロコントローラー76との間に、第3のリジッド基板23が有する前記グランド層を位置させることができる。そのため、マイクロコントローラー76から発生する放射ノイズが、角速度センサー713および加速度センサー72に悪影響を及ぼすのを防止でき、角速度センサー713および加速度センサー72の検出精度を向上させることができる。第4のリジッド基板24第4のリジッド基板24の表側実装面241には、マイクロコントローラー76が実装され、裏側実装面242には、不揮発性メモリー77および方位センサー78が実装されている。マイクロコントローラー76は、第4のリジッド基板24に実装された他の電子部品7不揮発性メモリー77および方位センサー78に対してサイズが大きい。そのため、マイクロコントローラー76を表側実装面241の中央部に配置するのが好ましい。これにより、マイクロコントローラー76を第4のリジッド基板24の強度を補強する補強部材として効果的に用いることができる。そのため、第4のリジッド基板24の撓み変形による不要な振動が抑えられ、角速度センサー711~713に不要な振動が伝わらず、角速度センサー711~713による角速度の検出精度が高まる。また、方位センサー78をマイクロコントローラー76と反対の実装面に実装することにより、マイクロコントローラー76から発生する放射ノイズを第4のリジッド基板24の前記グランド層によって遮断することができるため、放射ノイズ磁場が方位センサー78に悪影響を及ぼすことを効果的に防止することができる。そのため、方位センサー78の検出精度を向上させることができる。第5のリジッド基板25第5のリジッド基板25の裏側実装面252には、コネクター79が実装されている。以上、電子部品7の配置について詳細に説明した。実装基板2では、第1のリジッド基板21に電源回路73、増幅回路74、アナログ/デジタル変換回路75などからなるアナログ回路を形成し、第4のリジッド基板24にマイクロコントローラー76および不揮発性メモリー77などからなるデジタル回路が形成されている。このように、アナログ回路とデジタル回路とを別のリジッド基板上に形成することにより、ノイズの発生および伝達を効果的に抑制することができ、センサーデバイス1の検出精度がより高くなる。角速度センサー711~713としては、角速度を検出することができれば、特に限定されず、公知の1軸検出型の角速度センサーを用いることができる。このような角速度センサー711~713としては、例えば、図4に示すような振動片5を有するセンサーを用いることができる。振動片5は、水晶圧電材料で構成されている。また、振動片5は、基部51と、基部51の両側から紙面縦方向へ延出する一対の検出用振動腕52、53と、基部51の両側から紙面横方向へ延出する一対の連結腕54、55と、各連結腕54、55の先端部の両側から紙面縦方向へ延出する各一対の駆動用振動腕56、57、58、59とを有している。また、各検出用振動腕52、53の表面には検出用電極図示せずが形成されており、駆動用振動腕56、57、58、59の表面には駆動用電極図示せずが形成されている。このような振動片5では、駆動用電極に電圧を印加することにより、駆動用振動腕56、58および駆動用振動腕57、59を、互いに接近離間を繰り返すように振動させた状態にて、振動片5の法線A検出軸Aまわりの角速度ωが加わると、振動片5にコリオリ力が加わり、検出用振動腕52、53の振動が励起される。そして、検出用振動腕52、53の振動により発生した検出用振動腕52、53の歪みを検出用電極で検出することにより、振動片5に加わった角速度を求めることができる。以上のような構成の角速度センサー711~713は、それぞれ、リジッド基板の厚さ方向を検出軸とするように第1~第3のリジッド基板21~23に実装される。[ケーシング]図2に示すように、ケーシング10は、固定部材3と、台座第1の蓋部材4と、蓋部材第2の蓋部材8とを有している。すなわち、固定部材3は、ケーシング10の一部を構成している。このように、固定部材3をケーシング10の一部として用いることによりセンサーデバイス1の部品手数を削減することができるため、センサーデバイス1の小型化を図ることができる。このようなケーシング10は、第1のリジッド基板21を固定する固定面第1の固定面101と、第2のリジッド基板22を固定する固定面102第2の固定面と、第3のリジッド基板23を固定する固定面第3の固定面103と、第4のリジッド基板24を固定する固定面第4の固定面104と、第5のリジッド基板25を固定する固定面第5の固定面105とを有している。以下、固定部材3、台座4および蓋部材8について、順次詳細に説明する。固定部材図2に示すように、固定部材3は、本体31と、本体31の上面および下面に開放する貫通孔32とを有している。貫通孔32内の空間は、電子部品7を収納する収納空間として機能する。本実施形態では、xy平面視での本体31の外形形状は、矩形である。また、上面および下面は、ともにxy平面に平行な平面である。また、貫通孔32は、z軸方向に延在し略矩形の横断面形状を有している。貫通孔32に臨む内面33は、yz平面と平行な一対の面331、333と、xz平面と平行な一対の面332、334とで構成されている。これら4つの面331~334のうち、面331が固定面101を構成し、面332が固定面102を構成し、面333が固定面105を構成する。図2に示すように、固定面101には、第1のリジッド基板21が裏側実装面212を固定面101側にして固定されている。これにより、角速度センサー711が第1のリジッド基板21を介して固定面101に間接的に固定される。前述のように固定面101はyz平面と平行な面であるため、固定面101に第1のリジッド基板21が固定された状態では、角速度センサー711の検出軸がx軸と平行となる。このように、固定面101に第1のリジッド基板21を固定するだけで、簡単に、ケーシング10に対する角速度センサー711の位置決めを行うことができる。また、角速度センサー711を第1のリジッド基板21よりも内側に位置させることにより、第1のリジッド基板21が有する前記グランド層によって外部磁場を遮断することができるため、外部磁場の影響が緩和され、角速度センサー711の検出精度が向上する。固定面101へ第1のリジッド基板21を固定する方法は、特に限定されないが、接着剤による固定とネジ止めとを併用するのが好ましい。これにより、固定面101への第1のリジッド基板21の固定を確実に行うことができる。また、固定部材3と第1のリジッド基板21との間に接着剤の層が介在するため、固定部材3からの振動を接着剤が吸収、緩和し、第1のリジッド基板21の不要な振動が抑制される。その結果、センサーデバイス1の検出精度がより向上する。図2に示すように、固定面102には、第2のリジッド基板22が裏側実装面222を固定面102側にして固定されている。これにより、角速度センサー712が第2のリジッド基板22を介して固定面102に間接的に固定される。前述のように固定面102はxz平面と平行な面であるため、固定面102に第2のリジッド基板22が固定された状態では、角速度センサー712の検出軸がy軸と平行となる。このように、固定面102に第2のリジッド基板22を固定するだけで、簡単に、ケーシング10に対する角速度センサー712の位置決めを行うことができる。また、角速度センサー712を第2のリジッド基板22よりも内側に位置させることにより、第2のリジッド基板22が有する前記グランド層によって外部磁場を遮断することができるため、外部磁場の影響が緩和され、角速度センサー712の検出精度が向上する。固定面102へ第2のリジッド基板22を固定する方法は、特に限定されないが、接着剤による固定とネジ止めとを併用するのが好ましい。これにより、固定面102への第2のリジッド基板22の固定を確実に行うことができる。また、固定部材3と第2のリジッド基板22との間に接着剤の層が介在するため、固定部材3からの振動を接着剤が吸収、緩和し、第2のリジッド基板22の不要な振動が抑制される。その結果、センサーデバイス1の検出精度がより向上する。図2に示すように、固定面105には、第5のリジッド基板25が裏側実装面252を固定面105側にして固定されている。また、固定部材3には、固定面105と外周面とを貫通する貫通孔35が形成されており、第5のリジッド基板25は、コネクター79を貫通孔35内に挿入した状態で固定面105に固定されている。これにより、コネクター79が貫通孔35を介してセンサーデバイス1の外部へ露出し、センサーデバイス1からの信号の出力を簡単に行うことができる。なお、第5のリジッド基板25は、貫通孔35の開口を覆うように固定面105に固定されているのが好ましい。これにより、ケーシング10内への埃等の浸入を防止することができ、センサーデバイス1の信頼性を維持することができる。固定面105へ第5のリジッド基板25を固定する方法は、特に限定されないが、接着剤による固定とネジ止めとを併用するのが好ましい。これにより、固定面105への第5のリジッド基板25の固定を確実に行うことができる。また、固定部材3と第5のリジッド基板25との間に接着剤の層が介在するため、固定部材3からの振動を接着剤が吸収、緩和し、第5のリジッド基板25の不要な振動が抑制される。その結果、センサーデバイス1の検出精度がより向上する。このような固定部材3の構成材料としては、特に限定されないが、制振特性を有する材料であるのが好ましい。これにより、固定部材3の不要な振動が抑えられ、角速度センサー711~713等の検出精度が向上する。このような材料としては、例えば、マグネシウム合金、鉄系合金、銅合金、マンガン合金、Ni-Ti系合金などの各種制振合金が挙げられる。台座4台座4は、固定部材3の下側開口を塞ぐように、固定部材3に固定されている。固定部材3へ台座4を固定方法は、特に限定されず、例えば、接着剤を用いた固定方法を用いることができる。このような台座4は、z軸方向を厚さ方向とする板状をなし、xy平面と平行な下面および上面41を有している。また、上面41は、第3のリジッド基板23を固定するための固定面103を構成する。図4に示すように、固定面103には、第3のリジッド基板23が裏側実装面232を固定面103側にして固定されている。これにより、角速度センサー713が第3のリジッド基板23を介して固定面103に間接的に固定される。前述のように固定面103は、xy平面と平行な面であるため、固定面103に第3のリジッド基板23が固定された状態では、角速度センサー713の検出軸がz軸と平行となる。このように、固定面103に第3のリジッド基板23を固定するだけで、簡単に、ケーシング10に対する角速度センサー713の位置決めを行うことができる。また、台座4は、固定面103に開放する凹部42を有している。凹部42は、固定面103の縁部を除く中央部に開放しており、台座4の側面には開放していない。すなわち、凹部42は、周囲が側壁により囲まれた槽状をなしている。固定面103に第3のリジッド基板23を固定した状態では、第3のリジッド基板23の裏側実装面232に実装された角速度センサー713および加速度センサー72が凹部42内に位置している。すなわち、凹部42は、台座4と角速度センサー713および加速度センサー72との接触を防止するための逃げ部を構成する。このような凹部42を形成することによって、台座4のスペースを有効活用でき、センサーデバイス1の小型化薄型化、低背化を図ることができる。また、凹部42には、充填剤9が充填されており、この充填剤9によって、台座4と第3のリジッド基板23との隙間が埋められている。これにより、第3のリジッド基板23角速度センサー713、加速度センサー72や、第3のリジッド基板23から延出する連結部261、262、263が固定され、第3のリジッド基板23に不要な振動が発生するのを効果的に防止することができる。そのため、センサーデバイス1の検出精度が向上する。充填剤9の構成材料としては、絶縁性を有するものが好ましい。このような材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン-プロピレン共重合体等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリ-4-メチルペンテン-1、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合体ABS樹脂、アクリロニトリル-スチレン共重合体AS樹脂、ブタジエン-スチレン共重合体、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリブチレンテレフタレートPBT等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトンPEK、ポリエーテルエーテルケトンPEEK、ポリエーテルイミド、ポリアセタールPOM、ポリフェニレンオキシド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル液晶ポリマー、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。このような台座4の構成材料としては、特に限定されず、例えば、固定部材3と同様の材料が挙げられる。蓋部材8蓋部材8は、固定部材3の上側開口を塞ぐように、固定部材3に固定されている。固定部材3へ蓋部材8を固定する方法は、特に限定されず、例えば、接着剤を用いた固定方法を用いることができる。このような蓋部材8は、z軸方向を厚さ方向とする板状をなし、xy平面と平行な下面81を有している。下面81は、第4のリジッド基板24を固定するための固定面104を構成する。図4に示すように、固定面104には、第4のリジッド基板24が裏側実装面242を固定面104側にして固定されている。前述のように固定面104は、xy平面と平行な面であるため、固定面104に固定された第4のリジッド基板24は、第3のリジッド基板23とz軸方向に対向するとともに、第3のリジッド基板23と平行に配置される。このように、第3、第4のリジッド基板23、24をz軸方向に重ねて配置することにより、センサーデバイス1のxy平面視における小型化を図ることができる。加えて、第3、第4のリジッド基板23、24を平行とすることにより、センサーデバイス1のz軸方向の長さ高さを短くすることができ、この点でも、センサーデバイス1の小型化を図ることができる。また、蓋部材8は、固定面104に開放する凹部82を有している。凹部82は、固定面104の縁部を除く中央部に開放しており、蓋部材8の側面には開放していない。すなわち、凹部82は、周囲が側壁により囲まれた槽状をなしている。固定面104に第4のリジッド基板24を固定した状態では、第4のリジッド基板24の裏側実装面242に実装された不揮発性メモリー77および方位センサー78が凹部82内に位置している。すなわち、凹部82は、蓋部材8と不揮発性メモリー77および方位センサー78との接触を防止するための逃げ部を構成する。このような凹部82を形成することによって、蓋部材8のスペースを有効活用でき、センサーデバイス1の小型化薄型化、低背化を図ることができる。なお、このような凹部82には、前述した凹部42のように充填剤9が充填されていてもよい。このような蓋部材8の構成材料としては、特に限定されず、例えば、固定部材3と同様の材料が挙げられる。以上、センサーデバイス1について詳細に説明した。このようなセンサーデバイス1によれば、ケーシング10に直接、実装基板2を固定するため、部品点数が少なく、その分、小型化を図ることができる。また、各リジッド基板21~25の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるため、優れた検出能力および信頼性を発揮することができる。なお、センサーデバイス1をマザーボード等の回路基板に実装する場合には、台座4の直交する2つの側面4a、4bを基準とすることで、角速度センサー711、712の検出軸を簡単に所望の方向に向けることができる。具体的には、側面4aは、角速度センサー711の検出軸と平行な面であり、側面4bは、角速度センサー712の検出軸と平行な面である。そのため、これら側面4a、4bを基準に回路基板に対する位置決めを行うことにより、簡単かつ確実に、角速度センサー711、712の検出軸を所望の方向に向けることができる。<第2実施形態>次いで、本発明のセンサーデバイスの第2実施形態について説明する。図5は、本発明のセンサーデバイスの第2実施形態を示す断面図である。以下、第2実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。本実施形態にかかるセンサーデバイスは、ケーシングの構成が異なる以外は、第1実施形態のセンサーデバイスと同様である。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。図5に示すように、本実施形態のセンサーデバイス1が有するケーシング10Aは、固定部材3Aと、蓋部材8とを有している。すなわち、本実施形態では、前述した第1実施形態の台座4を固定部材3と一体的に形成している。固定部材3Aは、本体31Aと、本体31の上面に開放する凹部32Aとを有している。凹部32A内の空間は、電子部品7を収納する収納空間として機能する。凹部32Aの横断面形状は、矩形である。凹部32Aに臨む内面33Aは、yz平面と平行な一対の面331A、333Aと、xz平面と平行な一対の面332A、334Aと、xy平面と平行な面335Aとで構成されている。これら5つの面331A~335Aのうち、面331Aが固定面101を構成し、面332Aが固定面102を構成し、面333Aが固定面105を構成し、面335Aが固定面103を構成する。固定面101には、第1のリジッド基板21が裏側実装面212を固定面101側にして固定されている。これにより、角速度センサー711の検出軸がx軸と平行となる。固定面102には、第2のリジッド基板22が裏側実装面222を固定面102側にして固定されている。これにより、角速度センサー712の検出軸がy軸と平行となる。固定面103には、第1のリジッド基板21が裏側実装面212を固定面103側にして固定されている。これにより、角速度センサー713の検出軸がz軸と平行となる。また、固定部材3Aは、固定面103に開放する凹部39Aを有している。凹部39Aは、固定面103の縁部を除く中央部に開放しており、固定面103に第3のリジッド基板23を固定した状態では、角速度センサー713および加速度センサー72が凹部39A内に位置している。また、凹部39Aには、充填剤9が充填されている。固定面105には、第5のリジッド基板25が裏側実装面252を固定面105側にして固定されている。また、固定部材3Aは、固定面105と外周面とを貫通する貫通孔35を有し、第5のリジッド基板25は、コネクター79を貫通孔35内に挿入した状態で、固定面105に固定されている。このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。<第3実施形態>次いで、本発明のセンサーデバイスの第3実施形態について説明する。図6は、本発明のセンサーデバイスの第3実施形態の断面図、図7は、図6に示すセンサーデバイスが有する実装基板の展開図、図8は、図6に示すセンサーデバイスの変形例を示す断面図である。以下、第3実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。本実施形態のセンサーデバイスは、実装基板2に対する角速度センサーの実装位置が異なる以外は、第1実施形態のセンサーデバイスと同様である。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。図7に示すように、本実施形態の実装基板2では、角速度センサーが第1のリジッド基板21の裏側実装面212に実装され、角速度センサー712が第2のリジッド基板22の裏側実装面222に実装されている。そして、図6に示すように、第1の実装基板21は、角速度センサー711を固定面101側にし、角速度センサー711と固定面101とを接着剤等によって直接固定することにより固定面101に固定されている。同様に、第2の実装基板22は、角速度センサー712を固定面102側にし、角速度センサー712と固定面102とを接着剤等によって直接固定することにより固定面102に固定されている。なお、本実施形態の変形例として、図8に示すように、固定面101は、角速度センサー711に対応する位置に凹部101aを有しており、凹部101a内に角速度センサー711の一部を収容するようにしてもよい。凹部101aの深さは、第1の実装基板21と固定面101との接触を防止するために、角速度センサー711の厚さよりも若干浅く設定されている。同様に、固定面102は、角速度センサー712に対応する位置に凹部102aを有しており、凹部102a内に角速度センサー712の一部を収容するようにしてもよい。凹部102aの深さは、第2の実装基板22と固定面102との接触を防止するために、角速度センサー712の厚さよりも若干浅く設定されている。このように、固定面101、102に凹部101a、102aを形成することで、固定部材3のスペースを有効利用することができる、センサーデバイス1の小型化を図ることができる。このような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。2.電子機器以上のようなセンサーデバイス1は、各種電子機器に組み込むことができる。以下、センサーデバイス1を搭載した本発明の電子機器について説明する。図9は、センサーデバイス1を搭載した電子機器500の構成の一例を示す図である。電子機器500としては、特に限定されず、例えば、デジタルカメラ、ビデオカメラ、カーナビゲーションシステム、携帯電話、モバイルPC、ロボット、ゲーム機、ゲームコントローラーなどが挙げられる。図9に示す電子機器500は、センサーデバイス1を含むセンサーモジュール510と、処理部520と、メモリー530と、操作部540と、表示部550とを有している。これらは、バス560にて接続されている。処理部CPU、MPU等520は、センサーモジュール510等の制御や電子機器500の全体制御を行う。また処理部520は、センサーモジュール510により検出された角速度情報に基づいて処理を行う。例えば、角速度情報に基づいて、手ぶれ補正、姿勢制御、GPS自律航法などのための処理を行う。メモリー530は、制御プログラムや各種データを記憶し、また、ワーク領域やデータ格納領域として機能する。操作部540は、ユーザーが電子機器500を操作するためのものである。表示部550は、種々の情報をユーザーに表示するものである。以上、本発明のセンサーデバイスおよび電子機器について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、前述した実施形態では、実装基板に3つの角速度センサーが実装された構成について説明したが、角速度センサーの数は、これに限定されず、1つでもよいし、2つでもよい。また、角速度センサーの数に応じて、リジッド基板の数も変更してもよい。また、前述した実施形態では、実装基板がリジッドフレキシブル基板で構成されていたが、実装基板の構成は、これに限定されず、例えば、互いに連結していない複数のリジッド基板で構成されていてもよい。この場合には、各リジッド基板を台座に固定した後、コネクター等を用いてリジッド基板同士を電気的に接続することができる。また、前述した実施形態では、実装基板に実装された電子部品がケーシングに固定されている構成について説明した、これに限定されず、実装基板を省略し、各電子部品をケーシングに直接固定してもよい。この場合には、電子部品同士を電気的に接続するワイヤー等を別途形成すればよい。