移動自在な装着ヘッドが備えるノズル取り付け部材に吸着ノズルを着脱自在に取り付け、ノズル取り付け部材の内部からノズル取り付け部材の外部を通って延びる圧力管路を介して吸着ノズル内に負圧と正圧を切り替え供給することで、吸着ノズルによる部品の真空吸着と基板上での部品の離脱を行って基板に部品を装着する部品実装装置のメンテナンス方法であって、吸着ノズルを装着ヘッドのノズル取り付け部材から取り外すノズル取り外し工程と、装着ヘッドのノズル取り付け部材から吸着ノズルを取り外した状態で前記圧力管路内に正圧を供給して前記圧力管路内の異物をノズル取り付け部材の外部に排出するブロー工程とを含むことを特徴とする部品実装装置のメンテナンス方法。前記ブロー工程は、吸着ノズルを取り外した状態のノズル取り付け部材が、吸着ノズルによって一旦吸着された部品が廃棄される部品廃棄部の上方に位置するように装着ヘッドを移動させた状態で行うことを特徴とする請求項1に記載の部品実装装置のメンテナンス方法。しかしながら、吸い込んだごみや埃等が圧力管路内で堆積して圧力管路内に外径の大きい異物が形成されてしまうと、上記従来のメンテナンス方法ではその異物を吸着ノズルの先端の開口部から排出することは困難であり、異物が圧力管路内に残留し続けて吸着力が低下し、吸着ミスが発生し易くなるおそれがあるという問題点があった。そこで本発明は、ノズル取り付け部材の内部からノズル取り付け部材の外部を通って延びる圧力管路内に異物が残留することを防止して吸着ミスの発生頻度を低減することができるようにした部品実装装置のメンテナンス方法を提供することを目的とする。請求項1に記載の部品実装装置のメンテナンス方法は、移動自在な装着ヘッドが備えるノズル取り付け部材に吸着ノズルを着脱自在に取り付け、ノズル取り付け部材の内部からノズル取り付け部材の外部を通って延びる圧力管路を介して吸着ノズル内に負圧と正圧を切り替え供給することで、吸着ノズルによる部品の真空吸着と基板上での部品の離脱を行って基板に部品を装着する部品実装装置のメンテナンス方法であって、吸着ノズルを装着ヘッドのノズル取り付け部材から取り外すノズル取り外し工程と、装着ヘッドのノズル取り付け部材から吸着ノズルを取り外した状態で前記圧力管路内に正圧を供給して前記圧力管路内の異物をノズル取り付け部材の外部に排出するブロー工程とを含む。請求項2に記載の部品実装装置のメンテナンス方法は、請求項1に記載の部品実装装置のメンテナンス方法であって、前記ブロー工程は、吸着ノズルを取り外した状態のノズル取り付け部材が、吸着ノズルによって一旦吸着された部品が廃棄される部品廃棄部の上方に位置するように装着ヘッドを移動させた状態で行う。本発明では、ノズル取り付け部材の内部からノズル取り付け部材の外部を通って延びる圧力管路に正圧を供給して圧力管路内の異物を外部に排出するブロー工程を、吸着ノズルを装着ヘッドのノズル取り付け部材から取り外した状態で行うようになっており、吸着ノズル内の管路の内径よりも大きい外径の異物を排出することができるので、圧力管路内に大きな異物が残留し続けることを防止でき、吸着力の低下を防いで吸着ミスの発生頻度を低減することができる。また、上記ブロー工程を、吸着ノズルを取り外した状態のノズル取り付け部材が部品廃棄部の上方に位置するように装着ヘッドを移動させた状態で行うようにすることにより、ブロー工程の際に異物が周囲に飛散してしまう事態を防止することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1に示す部品実装装置1は基板2上の電極3を部品装着対象部位として部品4を装着する動作を繰り返し実行するものであり、図示しない基台上に設けられたコンベア機構11、部品供給部としての複数のパーツフィーダ12及び直交座標型ロボットから成るヘッド移動ロボット13によってコンベア機構11の上方を移動自在に設けられた装着ヘッド14、装着ヘッド14に取り付けられた基板カメラ15、基台上のコンベア機構11とパーツフィーダ12との間に設けられた部品カメラ16、基台上に設けられたノズルチェンジャ17と部品廃棄ボックス18及び基台内に収められた制御装置19を備えて成る。図1及び図2において、装着ヘッド14には下方に延びたシャフト状の複数のノズル取り付け部材21が設けられており、各ノズル取り付け部材21の下端部には吸着ノズル22が着脱自在に取り付けられている。各ノズル取り付け部材21は装着ヘッド14内に設けられたノズル取り付け部材駆動機構23によって、装着ヘッド14に対する上下動と上下軸回りの回転とがなされる。図2において、各ノズル取り付け部材21の内部にはノズル取り付け部材内管路21aが設けられており、吸着ノズル22の内部にはノズル内管路22aが設けられている。吸着ノズル22がノズル取り付け部材21の下端部に取り付けられた状態では、吸着ノズル22のノズル内管路22aはノズル取り付け部材内管路21aに接続される。図2において、各ノズル取り付け部材21内に設けられたノズル取り付け部材内管路21aは、ノズル取り付け部材21に接続されてノズル取り付け部材21の外部を延び、更に装着ヘッド14内を延びて設けられたチューブ状の外部管路24に接続される。外部管路24は装着ヘッド14内で負圧供給管路24aと正圧供給管路24bに分岐しており、負圧供給管路24aは負圧源25に、正圧供給管路24bは正圧源26に繋がっている。負圧源25と正圧源26は装着ヘッド14の外部に設けられている。負圧供給管路24aには負圧コントロールバルブ27が介装され、正圧供給管路24bには正圧コントロールバルブ28が介装されている。負圧コントロールバルブ27は負圧供給管路24aの開閉及び開度の調節が可能であり、正圧コントロールバルブ28は正圧供給管路24bの開閉及び開度の調節が可能である。負圧コントロールバルブ27は正圧コントロールバルブ28によって正圧供給管路24bが閉じられた状態で負圧供給管路24aを開き、負圧源25から供給される負圧が外部管路24及びノズル取り付け部材内管路21aを経てノズル内管路22a内に供給されるようにする。このときの負圧のレベルは負圧コントロールバルブ27による負圧供給管路24aの開度によって調節される。また、正圧コントロールバルブ28は負圧コントロールバルブ27によって負圧供給管路24aが閉じられた状態で正圧供給管路24bを開き、正圧源26供給される正圧が外部管路24及びノズル取り付け部材内管路21aからノズル内管路22a内に供給されるようにする。このときの正圧のレベルは正圧コントロールバルブ28による正圧供給管路24bの開度によって調節される。このように本実施の形態において、ノズル取り付け部材内管路21aと外部管路24は、ノズル取り付け部材21の内部からノズル取り付け部材21の外部を通って延びる圧力管路30となっており図2、負圧コントロールバルブ27と正圧コントロールバルブ28は、圧力管路30を介して吸着ノズル22内に負圧及び正圧を切り替え供給する圧力切り替え手段となっている。コンベア機構11は制御装置19に制御されて基板2の搬送及び位置決め動作を行い、各パーツフィーダ12は制御装置19に制御されて所定の部品供給口12a図1に部品4を供給する。装着ヘッド14は制御装置19がヘッド移動ロボット13の作動制御を行うことによって移動され、装着ヘッド14が備える吸着ノズル22の装着ヘッド14に対する昇降及び回転動作は、制御装置19がノズル取り付け部材駆動機構23の作動制御を行うことによってなされる。また、装着ヘッド14が備える各吸着ノズル22のノズル内管路22aへの負圧又は正圧の切り替え供給は、制御装置19が負圧コントロールバルブ27と正圧コントロールバルブ28の作動制御を行うことによってなされる。図1において、基板カメラ15は撮像視野を下方に向けた状態で設けられており、部品カメラ16は撮像視野を上方に向けた状態で設けられている。基板カメラ15による撮像動作の制御と部品カメラ16による撮像動作の制御は制御装置19によってなされ、基板カメラ15の撮像動作によって得られた画像データと部品カメラ16の撮像動作によって得られた画像データは制御装置19に送信されて画像認識処理がなされる。ノズルチェンジャ17はノズル取り付け部材21に取り付けられる吸着ノズル22が載置される場所であり、使用する吸着ノズル22の種類を変えるときや、後述する圧力管路30内の異物W図2を除去するメンテナンス時においてノズル取り付け部材21から取り外した吸着ノズル22を一時的に載置する場所として使用される。部品廃棄ボックス18は、後述する装着ヘッド14による部品4の基板2への装着過程において、不良状態にあると判断された部品4が廃棄される。すなわち、この部品廃棄ボックス18は、吸着ノズル22によって一旦吸着された部品4が廃棄される部品廃棄部となっている。部品実装装置1の制御装置19は、基板2上の各電極3に部品4を装着する部品装着作業を行う場合には、先ず、上流工程側の他の装置図示せずから送られてきた基板2をコンベア機構11によって搬入し、所定の作業位置に静止させて基板2の位置決めを行う図3に示すステップST1。制御装置19は、基板2の位置決めを行ったら、装着ヘッド14を移動させて基板カメラ15を基板2の上方に位置させ、基板カメラ15に基板2上の一対の基板マーク2m図1を撮像させて画像認識を行う。そして、得られた一対の基板マーク2mの位置を予め設定された基準の位置と比較することによって、基板2の基準の位置からの位置ずれを求める図3に示すステップST2。制御装置19は、基板2の基準の位置からの位置ずれを求めたら、パーツフィーダ12の作動制御を行って部品供給口12aに部品4を供給させるとともに、吸着ノズル22の下端部がパーツフィーダ12の部品供給口12aの上方に位置するように装着ヘッド14を移動させたうえで、その吸着ノズル22に繋がる圧力管路30の負圧コントロールバルブ27と正圧コントロールバルブ28の作動制御を行うことによってノズル内管路22aに負圧を発生させ、吸着ノズル22に部品4を吸着させる図3に示すステップST3。制御装置19は、吸着ノズル22に部品4を吸着させたら、装着ヘッド14を移動させて部品4が部品カメラ16の上方を通過するようにし、部品カメラ16に部品4を撮像させて画像認識を行う図3に示すステップST4。そして、吸着ノズル22に対する部品4の位置ずれを算出したうえで図3に示すステップST5、装着ヘッド14を基板2の上方に位置させる。制御装置19は、装着ヘッド14を基板2の上方に位置させたら、基板2に対して吸着ノズル22をノズル取り付け部材21を下降させつつ、その吸着ノズル22に繋がる圧力管路30の負圧コントロールバルブ27と正圧コントロールバルブ28の作動制御を行うことによってノズル内管路22aに正圧を発生させ、部品4を吸着ノズル22から離間させて部品4を基板2上の電極3に装着する図3に示すステップST6。この部品4を基板2に装着する際には、制御装置19は、基板カメラ15による基板マーク2mの撮像によって得られた基板2の位置ずれと、部品カメラ16による部品4の撮像によって得られた吸着ノズル22に対する部品4の位置ずれがキャンセルされるように吸着ノズル22の位置及び回転方向の補正を行う。なお、制御装置19は、上記ステップST4で部品4の画像認識を行った結果、その部品4が不良状態にあると判断した場合には、その部品4を基板2に装着することなく、装着ヘッド14を部品廃棄ボックス18の上方に移動させたうえで、吸着ノズル22内に正圧を供給させ、部品4を部品廃棄ボックス18内に落下させて廃棄する。制御装置19は、上記ステップST6において基板2に対する部品4の装着が終了したら、基板2に装着すべき全ての部品4の装着が終了したか否かの判断を行う図3に示すステップST7。そして、その結果、基板2に装着すべき全ての部品4の装着が終了していなかったときにはステップST3に戻って吸着ノズル22による次の部品4の吸着を行い、基板2に装着すべき全ての部品4の装着が終了していたときには、コンベア機構11を作動させて基板2を部品実装装置1から搬出する図3に示すステップST8。次に、このような構成の部品実装装置1において、部品4の真空吸着時に吸着ノズル22から吸い込んだごみや埃等の異物Wを圧力管路30内から除去するメンテナンス作業の実行手順について説明する。部品実装装置1の制御装置19は、メンテナンス作業を行うときには、先ず、現在ノズル取り付け部材21に取り付けられている吸着ノズル22をノズルチェンジャ17に載置させるようにしてノズル取り付け部材21から吸着ノズル22を取り外すノズル取り外し工程。そして、その吸着ノズル22を取り外した状態のノズル取り付け部材21が部品廃棄ボックス18の上方に位置するように装着ヘッド14を移動させた後装着ヘッド移動工程、圧力管路30内に正圧を供給して圧力管路30内の異物Wをノズル取り付け部材21の外部に排出するブロー工程。図4。このブロー工程は、吸着ノズル22をノズル取り付け部材21から取り外した状態で行われることから、吸着ノズル22内の管路ノズル内管路22aの内径よりも大きい外径の異物Wを排出することができる。このため、圧力管路30内に大きな異物Wが残留し続けることを防止でき、吸着力の低下を防いで吸着ミスの発生頻度を低減することができる。また、上記ブロー工程を、吸着ノズル22を取り外した状態のノズル取り付け部材21が部品廃棄部である部品廃棄ボックス18の上方に位置するように装着ヘッド14を移動させた状態で行うようにしているので、ブロー工程の際に異物Wが周囲に飛散してしまう事態を防止することができる。