"トーションバーを介して同軸的に連結された第1及び第2の回転軸間に発生する該トーションバー軸周りの捻れトルクを検出するトルクセンサであって、前記第1の回転軸の端部に形成された第1の磁気応答部材であって、磁性体筒の部分と、該磁性体筒の外周面上に表面加工処理によって形成された非磁性導電材質の第1パターンとを含む前記第1の磁気応答部材と、前記第2の回転軸の端部に連結される第2の磁気応答部材であって、前記第1の磁気応答部材に重複するように配置された状態で該第1の磁気応答部材に対して相対的に回転可能であり、導電且つ非磁性の部分と非導電非磁性の部分とからなる第2パターンを形成してなる前記第2の磁気応答部材と、前記第1及び第2の磁気応答部材の周囲に配設される少なくとも1つのコイルと、を備え、前記第1及び第2の回転軸の相対的回転位置に応じて前記第1及び第2の磁気応答部材の前記第1及び第2パターンの重なり具合が変化し、この第1及び第2パターンの重なり具合の変化に従って前記コイルに生じるインピーダンス変化に基づき前記トルクを検出するトルクセンサ。前記第1の回転軸は磁性体からなり、前記第1の回転軸の端部寄りの部分が前記磁性体筒であり、前記非磁性導電材質の第1パターンは、前記第1の回転軸の端部寄りの部分の外周面に形成されている、請求項1に記載のトルクセンサ。前記第2の磁気応答部材は、導電且つ非磁性材質の円筒部分を含み、前記第2パターンは、該円筒部分に開けた開口窓によって形成される、請求項1又は2に記載のトルクセンサ。前記第2の磁気応答部材は、非磁性非導電性の円筒部分を含み、前記第2パターンは、該円筒部分の表面上に表面加工処理によって形成された導電且つ非磁性材質によって形成される、請求項1又は2に記載のトルクセンサ。しかし、こうした従来知られたシングルシャッタ式のトルクセンサにおいては、入力軸がギア歯加工されており丸棒のようなギア歯加工されていない入力軸に比べて剛性が劣ること、入力軸に形成される溝の深さによってS/N比が問題となるので好ましくないこと、溝凹凸が形成されることに伴い丸棒に比べて磁界が均一とはならずトルクリップルが大きくなってしまい検出精度に悪影響を与えうること、などの問題がある。この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、信頼性を向上しつつコストダウンを図った簡素な構成でありながら、検出精度に優れたシングルシャッタ式のトルクセンサを提供しようとするものである。本発明に係るトルクセンサは、トーションバーを介して同軸的に連結された第1及び第2の回転軸間に発生する該トーションバー軸周りの捻れトルクを検出するトルクセンサであって、前記第1の回転軸の端部に形成された第1の磁気応答部材であって、磁性体筒の部分と、該磁性体筒の外周面上に表面加工処理によって形成された非磁性導電材質の第1パターンとを含む前記第1の磁気応答部材と、前記第2の回転軸の端部に連結される第2の磁気応答部材であって、前記第1の磁気応答部材に重複するように配置された状態で該第1の磁気応答部材に対して相対的に回転可能であり、導電且つ非磁性の部分と非導電非磁性の部分とからなる第2パターンを形成してなる前記第2の磁気応答部材と、前記第1及び第2の磁気応答部材の周囲に配設される少なくとも1つのコイルとを備え、前記第1及び第2の回転軸の相対的回転位置に応じて前記第1及び第2の磁気応答部材の前記第1及び第2パターンの重なり具合が変化し、この第1及び第2パターンの重なり具合の変化に従って前記コイルに生じるインピーダンス変化に基づき前記トルクを検出する。本発明によれば、第1の回転軸に設けられる第1の磁気応答部材が磁性体筒の外周面上に表面加工処理によって形成された非磁性導電材質の第1パターンを含む構成となっており、第2の回転軸に設けられる第2の磁気応答部材は、前記第1の磁気応答部材に重複するように配置された状態で該第1の磁気応答部材に対して相対的に回転可能であり、導電且つ非磁性の部分と非導電非磁性の部分とからなる第2パターンを形成してなるものからなっている。これにより、シングルシャッタ構造のトルクセンサを提供することができる。第1の回転軸に設けられる第1の磁気応答部材は、磁性体筒の外周面上に表面加工処理によって形成された非磁性導電材質の第1パターンを含む構成であるから、従来のようなギア歯加工部分が存在しておらず、従来の問題点であった剛性、S/N比、リップル等の問題を解決することができる。以下、添付図面を参照してこの発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明に係るトルクセンサの一実施例を示す一部断面側面図である。この実施形態に係るトルクセンサはセンサ部10と検出回路部とで構成されてなり、自動車のステアリングシャフトのトーションバーTに負荷されるねじれトルクを検出する。検出回路部は、センサ部10側の第1回路部20と、センサ部10から適宜離れた第2回路部30とを含む。公知のように、ステアリングシャフトにおいては例えば丸棒の入力軸第1の回転軸1と出力軸第2の回転軸2の各磁性シャフト例えば鉄などの磁性部材からなるがトーションバーTを介して連結されており、これら入力軸1及び出力軸2はトーションバーTによるねじれ変形の許す限りの限られた角度範囲例えば最大でも6度~-6度程度の範囲で相対的に回転しうるようになっている。センサ部10は、第1のコイル11、第2のコイル12、入力軸第1の回転軸1の表面上に形成された第1の磁気応答部材3、出力軸第2の回転軸2に連結された第2の磁気応答部材4を含む。入力軸第1の回転軸1の端部は円筒状磁性体筒の部分となっており、この磁性体筒の部分において、該磁性体筒の外周面上に導電性かつ非磁性材質の第1パターンをメッキ等の表面加工処理によって形成してなる第1の磁気応答部材3が形成されている。一方、全体として円筒形状をなしている第2の磁気応答部材4は、出力軸第2の回転軸2の端部に連結される。図2は、入力軸1の端部の磁性体筒の表面上に形成される前記第1の磁気応答部材3の一実施例を示す概略図である。図3は、出力軸3に連結される前記第2の磁気応答部材4の一実施例を示す概略図である。図2に示す第1の磁気応答部材3は、入力軸1の出力軸2側に近接する側から所定範囲具体的には、第2の磁気応答部材4が覆いかぶさる範囲において、複数の矩形パターン3a,3bを開けるようなパターン第1パターンで、良導電性かつ非磁性反磁性の材質をめっきすることによって入力軸1表面上に形成されてなるものである。この場合、矩形パターン3a,3bには、良導電性かつ非磁性の材質がめっきされておらず、入力軸1を構成する鉄磁性体が露出される。こうして、第1の磁気応答部材3は、良導電性かつ非磁性の材質のベースとして、円周方向に沿って所定ピッチ角度で複数の矩形パターン磁性体3a,3bを2列備えたパターンで形成される。他方、図3に示す第2の磁気応答部材4は、例えば円筒状を成した良導電性かつ非磁性反磁性の材質つまりは前記前記第1の磁気応答部材3と同一の材質からなり、また第1の磁気応答部材3の矩形パターン3a,3bと同様の矩形状であって、円周方向に沿って所定ピッチ角度で円筒の壁面を貫通している開口した複数の開口窓非導電性かつ非磁性の窓4a,4bを2列備えたパターン第2パターンに形成される。このように、第2の磁気応答部材4は出力軸2に連結されるシャッタに相当するが、第1の磁気応答部材3は入力軸1の端部に表面加工処理されてなるだけであり、開口窓を含まないので、本発明に係るトルクセンサはシングルシャッタ式のトルクセンサとして構成される。図1に戻って、図示のよう組み立てられた状態においては、第1及び第2の磁気応答部材3、4が重複するように配置された状態つまり、第1の磁気応答部材3を第2の磁気応答部材4に挿入した状態で、入力軸1及び出力軸2の相対的回転ねじれに従って、該第1及び第2の磁気応答部材3、4が相対的に回転ねじれ可能である。すなわち、前記入力軸1の表面上に形成された第1の磁気応答部材3を前記出力軸2に連結された第2の磁気応答部材4円筒体が覆いかぶさるように、前記入力軸1に対して第2の磁気応答部材4が重なり合わされる。そして、第1のコイル11と第2のコイル12とは、トーションバーTを介して連結された入力軸1及び出力軸2詳しくは前記第2の磁気応答部材4の外周を覆うように設置される。その結果、第1の磁気応答部材3の矩形パターン磁性体3aの列と第2の磁気応答部材4の開口窓4aの列とが重複し、その周りに第1のコイル11が配置される。また、第1の磁気応答部材3の矩形パターン磁性体3bの列と第2の磁気応答部材4の開口窓4bの列とが重複し、その周りに第2のコイル12が配置される。第1の磁気応答部材3と第2の磁気応答部材4との相対的回転位置つまりトーションバーのねじれ角に応じて、上記のようにして重複配置された各列における矩形パターン磁性体3a,3bと開口窓4a,4bの重なり具合が変化する。矩形パターン磁性体3aと開口窓4a又は3bと4bが全く重なっていない状態では、コイル11又は12の内周はすべて磁気応答部材3又は4の良導電性かつ非磁性反磁性材質で覆われ、渦電流損失が最大となることから該コイル11又は12のインダクタンスインピーダンスは最小となる。逆に、磁気応答部3aと開口窓4a又は3bと4bが完全に重なっている状態では、コイル11又は12の内周を覆う磁気応答部材3又は4の非磁性反磁性材質の面積が最小となるので渦電流損失が最小となり、かつ、矩形パターン磁性体3aに重なった第2の磁気応答部材4の開口窓4a又は4bを介して内側の入力軸1磁性体に対する磁気結合が最大となるので、該コイル11又は12のインダクタンスインピーダンスは最大となる。一方、各列における矩形パターン磁性体3a,3bと開口窓4a,4bの重なり具合の変化は互いに逆特性となるように、磁気応答部及び開口窓の配置を適切にずらして設定している。例えば、第1の磁気応答部材3においては、矩形パターン磁性体3aの列第1の列と、矩形パターン磁性体3bの列第2の列とは、矩形パターン磁性体の繰り返しサイクルに関して、丁度1/2サイクルの位相ずれを持つように磁気応答部列を形成配置する。その場合、第2の磁気応答部材4においては、開口窓4aの列第1の列と、開口窓4bの列第2の列とは、開口窓の繰り返しサイクルに関して、丁度、同相となるように開口窓列を形成配置する。また、トーションバーTのねじれ角が0の状態において、第1の列における矩形パターン磁性体3aと開口窓4aの重なり具合は丁度半分となり、第2の列における矩形パターン磁性体3bと開口窓4bの重なり具合も丁度半分となるように、各列を形成配置する図2において点線で示す。ねじれ角が0の状態から、時計方向にねじれ角が生じると、例えば、第1の列における矩形パターン磁性体3aと開口窓4aの重なり具合が増大してそれに対応する第1のコイル11のインダクタンスインピーダンスが増加するのに対して、第2の列における矩形パターン磁性体3bと開口窓4bの重なり具合が減少してそれに対応する第2のコイル12のインダクタンスインピーダンスが減少する。また、ねじれ角が0の状態から、反時計方向にねじれ角が生じると、第1の列における矩形パターン磁性体3aと開口窓4aの重なり具合が減少してそれに対応する第1のコイル11のインダクタンスインピーダンスが減少するのに対して、第2の列における矩形パターン磁性体3bと開口窓4bの重なり具合が増加してそれに対応する第2のコイル12のインダクタンスインピーダンスが増加する。このように、センサ部10においては、入出力軸第1及び第2の回転軸1,2の相対的回転位置に応答して互いに逆特性のインピーダンス変化を該第1及び第2のコイル11,12に生じさせるように、第1及び第2の磁気応答部材3,4を構成しかつ該第1及び第2のコイル11,12を配置している。図4は、本実施例に係るトルクセンサ用の検出回路部の一実施例を示す回路図である。この図4から理解できるように、本実施形態のトルクセンサ回路では、センサ部10内において第1のコイル11に直列接続された第1の温度特性補償抵抗素子例えば正温度特性抵抗器44と、第2のコイル12に直列接続された第2の温度特性補償抵抗素子例えば正温度特性抵抗器45とを具備している。図1において、これらの温度特性補償抵抗素子44,45を含む第1回路部20がセンサ部10のケーシング内の基板収納スペース15内に収納され、合成樹脂によってモールド16されている。センサ部10と第2回路部30との間を接続する電気配線を着脱するために、センサ部10のケーシングにはコネクタ17が設けられている。このように、温度特性補償抵抗素子44,45は、コイル11,12に近接して配置されるので、コイル11,12と同じ温度環境におかれることとなり、コイル11,12の温度ドリフト特性を補償するのに都合がよいものとなっている。温度特性補償抵抗素子44,45としては、コイル11,12の温度ドリフトによるインピーダンス変化特性と同等の温度ドリフト特性を持つ抵抗素子を使用するのが望ましい。第1回路部20は、第1のコイル11に対応する回路として、前記温度特性補償抵抗素子44と、所定の直流電圧でバイアスされた励磁用交流信号を該コイル11に印加するコイル駆動回路21と、該コイル11の出力に含まれる直流電圧成分を抽出する直流弁別回路22と、励磁用交流信号のピーク振幅値に相当する直流電圧を抽出する整流回路23と、直流弁別回路22と整流回路23の出力を加算してオフセット電圧OF1を生成する加算回路24と、コイル駆動回路21から出力された励磁用交流信号の位相をコイル出力の位相に合わせた基準交流電圧成分を生成する基準信号生成回路25と、該コイル11の出力に含まれる検出出力交流電圧成分と基準信号生成回路25から出力される基準交流電圧成分との差を求め、求めた差信号を前記オフセット電圧OF1でオフセットした出力を生じる差動増幅回路26と、電源弁別回路27とを含んでいる。更に、第1回路部20は、第1のコイル11に対応する上記回路と全く同様に、第2のコイル12に対応する回路として、前記温度特性補償抵抗素子45と、所定の直流電圧でバイアスされた励磁用交流信号を該コイル12に印加するコイル駆動回路21aと、該コイル12の出力に含まれる直流電圧成分を抽出する直流弁別回路22aと、励磁用交流信号のピーク振幅値に相当する直流電圧を抽出する整流回路23aと、直流弁別回路22aと整流回路23aの出力を加算してオフセット電圧OF2を生成する加算回路24aと、コイル駆動回路21aから出力された励磁用交流信号の位相をコイル出力の位相に合わせた基準交流電圧成分を生成する基準信号生成回路25aと、該コイル12の出力に含まれる検出出力交流電圧成分と基準信号生成回路25aから出力される基準交流電圧成分との差を求め、求めた差信号を前記オフセット電圧OF2でオフセットした出力を生じる差動増幅回路26aと、電源弁別回路27aとを含んでいる。センサ部10及び第1回路部20の側と第2回路部30との間を接続する伝送線電気配線は、コイル励磁用交流信号供給ライン18a、第1のコイルの検出出力ライン18b、アースライン18c、第2のコイルの検出出力ライン18dからなる。第1のコイル11に対応する差動増幅回路26の出力が検出出力ライン18bに出力され、第2のコイル12に対応する差動増幅回路26aの出力が検出出力ライン18dに出力される。図1のコネクタ42に、これらのライン18a~18dの配線を接続する。第2回路部30は、自動車のECU電子制御装置に相当し、ECUのプリント回路基板上に搭載されたマイクロコンピュータ31と周辺回路素子とを含んでいる。マイクロコンピュータ31は、内部クロックに基づき所定の交流周波数の信号波形Aをデジタル的に発生するように構成されている。一例として、マイクロコンピュータ31が持つクロック発生機能を使用して、センサ部10のコイル11、12を励磁するための交流信号の所望周波数に等しいクロック信号例えばデューティ比50を信号波形Aとして発生し、出力ポートから出力する。交流信号生成回路32は、マイクロコンピュータ31で発生した交流周波数の信号波形Aに基づき、所定の直流電圧RefV一例としてDC6.5Vが加算されたアナログの励磁用交流信号Bを生成する。交流信号生成回路32は、例えば、矩形波を三角波に変換する簡単なアナログ回路と電圧加算回路とで構成することができる。なお、マイクロコンピュータ31で発生する交流周波数の信号波形Aは、矩形状のクロック信号に限らず、比較的正確なデジタル正弦波であってもよい。その場合、交流信号生成回路32がD-A変換回路を含んでいてもよいし、あるいはD-A変換した正弦波信号波形Aをマイクロコンピュータ31から出力するようにしてもよい。なお、マイクロコンピュータ31は、自動車におけるECU内に搭載されている既存のマイクロコンピュータを使用する形態に限らず、本発明に係るトルクセンサのために専用のものを用意してもよい。勿論、マイクロコンピュータ31に代えて、本発明を実施するために必要な制御演算性能と同等の機能を達成するように構成した専用デジタル回路クロック発生器、論理回路、計算回路、メモリ等を含むディスクリート回路若しくはICあるいはDSPなどを用いてもよい。マイクロコンピュータ及び専用デジタル回路を総称してデジタル処理装置という。交流信号生成回路32で生成した励磁用交流信号が励磁用交流信号供給ライン18aを介してセンサ部10及び第1回路部20の側に伝送され、該第1回路部20の側で受け取った励磁用交流信号Bがコイル駆動回路21及び21aに供給されると共に電源弁別回路27及び27aに供給される。電源弁別回路27及び27aは、励磁用交流信号供給ライン18aを介して供給された励磁用交流信号に含まれる前記所定の直流電圧RefVを取り出して該第1回路部20内の各回路へ、その直流電源Vcc1及びVcc2として供給する。これにより、格別の直流電源供給線が不要となり、第1回路部20と第2回路部30間の伝送線を簡素化している。コイル駆動回路21及び21aは、所定の直流電圧RefVでバイアスされている励磁用交流信号Bを、各コイル11、12に印加する。なお、これに限らず、コイル駆動回路21及び21aは、電源用の直流電圧RefVが加算された励磁用交流信号Bから直流電圧RefVを一旦除去し、別の所定の直流電圧例えば直流電圧RefVよりも低い2V程度の直流電圧でバイアスした励磁用交流信号を生成し、これを各コイル11、12に印加するようにしてもよい。第1のコイル11と温度特性補償抵抗素子44の接続点の電圧が第1のコイル11の出力交流電圧として取り出され、コンデンサを介して直流分を除去した後、第1の差動増幅回路26に入力される。同様に、第2のコイル12と温度特性補償抵抗素子45の接続点の電圧が第2のコイル12の出力交流電圧として取り出され、コンデンサを介して直流分を除去した後、第2の差動増幅回路26aに入力される。各コイル11,12の出力交流電圧は、各コイル11,12のインピーダンスと温度特性補償抵抗素子44,45のインピーダンスの分圧比で表わされるので、温度ドリフトによるインピーダンス変化分が相殺除去若しくは低減され、温度ドリフト補償を行うことができる。また、第1のコイル11と温度特性補償抵抗素子44の接続点から取り出された第1のコイル11の出力交流電圧は、第1の直流弁別回路22に入力され、該コイル11の出力に含まれる直流電圧成分が抽出される。同様に、第2のコイル12と温度特性補償抵抗素子45の接続点から取り出された第2のコイル12の出力交流電圧は、第2の直流弁別回路22aに入力され、該コイル12の出力に含まれる直流電圧成分が抽出される。ここで抽出される直流電圧成分は、コイル11又は12に断線、半断線等の故障がなければ、バイアスした所定の直流電圧に対応するものとなり、変動が生じないが、断線、半断線等の故障が起きた場合は、それに応じて変動したレベルを持つものとなる。すなわち、コイル11又は12に関する断線、半断線等に関する故障情報を含んでいる。一方、整流回路23は、励磁用交流信号の交流成分のみを整流し、該励磁用交流信号のピーク振幅値に相当する直流電圧を抽出する。整流回路23aも同様である。ここで抽出される直流電圧は、励磁用交流信号に異常がなければ所定レベルを維持しているが、励磁用交流信号供給ライン18aのコネクタの外れや接触不良、断線、半断線など、なんらかの異常があれば、それに応じて変動したレベルを持つものとなる。すなわち、励磁用交流信号の供給系統に関する故障情報を含んでいる。加算回路24は、直流弁別回路22と整流回路23の出力を加算してオフセット電圧OF1を生成する。これにより、オフセット電圧OF1は、コイル11に関する断線、半断線等に関する故障情報と励磁用交流信号の供給系統に関する故障情報の両方を含むものとなる。加算回路24aも同様に、直流弁別回路22aと整流回路23aの出力を加算してオフセット電圧OF2を生成し、これにより、オフセット電圧OF2は、コイル12に関する断線、半断線等に関する故障情報と励磁用交流信号の供給系統に関する故障情報の両方を含むものとなる。これらの直流弁別回路22,22a,整流回路23,23a,加算回路24,24aは、オフセット電圧生成回路に該当する。差動増幅回路26,26aで各コイル11,12の出力交流電圧とコイル励磁用交流信号に基づく基準交流電圧との差を求めるのに先立って、基準信号生成回路25、25aにおいてコイル励磁用交流信号に基づく基準交流電圧の位相を、コイル出力交流電圧の位相に合わせるための位相シフトを行う。これは、コイル11,12のインダクタンスにより、コイル出力交流電圧には励磁用交流信号に対して所定の位相遅れが生じているため、この所定位相遅れ分だけ励磁用交流信号の位相を基準信号生成回路25、25aで遅延させ、両者の位相を合わせた上で差動増幅回路26、26aで差信号を求めるようにするためである。なお、基準信号生成回路25、25aから差動増幅回路26、26aに入力される基準交流電圧も直流分除去されたものである。第1の差動増幅回路26では、第1のコイル11の出力交流電圧とコイル励磁用交流信号に基づく基準交流電圧との差信号を求める。このように差動増幅演算を行う理由は、出力交流電圧から検出トルクに起因する成分を抽出し、トルク検出のダイナミックレンジを大きくとる感度を上げることができるようにするためである。更に、第1の差動増幅回路26では、前記オフセット電圧OF1を前記差信号に加算し、該差信号をオフセット電圧OF1によって正側にオフセットする。すなわち、第1の差動増幅回路26から出力される差信号は、オフセット電圧OF1の加算オフセットによって、正電圧の領域でのみ振動するものとなり、かつ、該オフセット電圧OF1が持つ上記故障情報を含むものとなる。これによって、1本の出力ライン18bで伝送される差信号中に、トルク検出情報と故障情報を含ませることができる。また、後段にてトルク検出値のサンプリングを行う際に、正の値でのみトルク検出値のサンプリング値が得られるようにすることを可能にする。同様に、第2の差動増幅回路26aでも、第2のコイル12の出力交流電圧とコイル励磁用交流信号に基づく基準交流電圧との差信号を求め、かつ、オフセット電圧OF2を前記差信号に加算し、1本の出力ライン18dで伝送される差信号中に、トルク検出情報と故障情報を含ませる。第1及び第2の差動増幅回路26,26aから出力された差信号は、それぞれ検出出力ライン18b,18dを介して第2回路部30に伝送される。第2回路部30の側において、検出出力ライン18b,18dからの差信号をそれぞれインターフェースするためのプルダウン抵抗33,33aが設けられている。第1のコイル11に対応する検出出力ライン18bの信号は、プルダウン抵抗33を介してノイズフィルタ34に入力され、ノイズフィルタ34の出力はマイクロコンピュータ31のA/Dポートアナログ/デジタル変換入力ポート1に入力されると共に、直流除去用のコンデンサ35を介してコンパレータ36に入力される。同様に、第2のコイル12に対応する検出出力ライン18dの信号も、プルダウン抵抗33aを介してノイズフィルタ34aに入力され、ノイズフィルタ34aの出力はマイクロコンピュータ31のA/Dポートアナログ/デジタル変換入力ポート2に入力されると共に、直流除去用のコンデンサ35aを介してコンパレータ36aに入力される。プルダウン抵抗33,33aは、検出出力ライン18b,18dの経路でコネクタ接触不良等の不具合が生じた場合に、それによって生じる抵抗変化に基づく直流電圧成分を該差信号中に含ませるためのものである。これにより、検出信号伝送線に係る故障情報も上記差信号中に含ませるようにすることができる。ノイズフィルタ34,34aは、検出出力ライン18b,18dの伝送過程で差信号に混入したノイズ成分を除去するものである。コンパレータ36,36aは、各差動増幅回路26,26aから出力された差信号を波形整形し、各コイル11、12の検出出力交流電圧の位相を示す矩形波信号を生成する。各コンパレータ36,36aの出力は、マイクロコンピュータ31のタイマーキャプチャー入力1,2に入力される。コンパレータ36,36aは、検出信号中の交流位相成分に含まれる故障情報に基づき故障診断を行うためのものである。なお、検出信号中の交流位相成分に含まれる故障情報に基づき故障診断を行わない場合は省略できる。図5はトルク検出処理及び故障診断処理の動作例を説明するためのタイムチャートであり、横軸が時間軸である。図5において、Aはマイクロコンピュータ31が発生する所定の交流周波数の信号波形クロック信号Aを示し、Bは該信号波形Aに応じて交流信号生成回路32が発生する励磁用交流信号Bを示し、一例として三角波からなり、所定の直流電圧RefVが加算されている。CKsは、マイクロコンピュータ31内で発生されるサンプリングクロックを示し、クロック信号Aと同一周期であって、クロック信号Aの立ち上がり時から時間Ts経過した時に発生される。図中、時間Tgは、励磁用交流信号Bの三角波における最小値から最大値までの時間を示し、通常、クロック信号Aの半周期の時間である。また、サンプリングクロックCKmは、クロック信号Aと同一周期であって、サンプリングクロックCKsの発生タイミングから時間Tg後に発生される。すなわち、サンプリングクロックCKsとCKmは、半周期の位相ずれを持つ2相クロックである。図5において、Cは、第1の差動増幅回路26から検出出力ライン18bを経てマイクロコンピュータ31のA/Dポート1に入力される差信号Cの一例又は第2の差動増幅回路26aから検出出力ライン18dを経てマイクロコンピュータ31のA/Dポート2に入力される差信号Dの一例を示す。なお、サンプリングクロックCKsは、クロック信号Aと同一周期に限らず、クロック信号Aの2倍周期等であってもよく、要するに整数倍の周期であればよい。概して、検出したトルクに対応するコイル11,12のインピーダンスを検出するためには、その出力交流電圧のピーク値のレベルを検出する。一方、特定の位相タイミングでサンプリングを行う場合は、必ずしも、ピーク値のタイミングでサンプリングを行わなくてもインピーダンス検出は可能であり、要は、常に同じ位相タイミングでサンプリングを行えばよい。例えば、サンプリングクロックCKsは、コイル11,12の出力交流電圧のピーク値の近傍に対応して前記差信号をサンプリングするように、サンプリングタイミングを設定している。すなわち、時間Tsは、クロック信号Aの立ち上がり時から励磁用交流信号Bのピークに達するまでの時間Tgに、励磁用交流信号Bに対する検出出力交流電圧C,Dの位相遅れを考慮した時間Tdを加算した時間に設定される。サンプリングクロックCKsは、検出出力交流電圧C,Dの正のピークの近傍で発生し、該検出出力交流電圧C,Dの正上のピークの近傍の値をサンプリングするために使用される。サンプリングクロックCKmは、前記検出出力交流電圧C,Dの負のピークの近傍で発生し、該検出出力交流電圧C,Dの負下のピークの近傍の値をサンプリングするために使用される。図6は、マイクロコンピュータ31が実行するトルク検出処理の一例を示す。ステップS1では、上サンプリングクロックCKsの発生タイミングかを判定する。上サンプリングクロックCKsのタイミングであれば、ステップS2では、A/Dポート1,2からの前記差信号C,Dのデジタルデータをサンプリングし、サンプリングした各データを上ピークのホールド値U1,U2として所定のレジスタ内にホールドする。次に、ステップS3では、下サンプリングクロックCKmの発生タイミングかを判定する。下サンプリングクロックCKmのタイミングであれば、ステップS4では、A/Dポート1,2からの前記差信号C,Dのデジタルデータをサンプリングし、サンプリングした各データを下ピークのホールド値D1,D2として所定のレジスタ内にホールドする。ステップS5では、それぞれ、第1のコイル11に関する上ピークのホールド値U1と下ピークのホールド値D1の差U1-D1と、第2のコイル12に関する上ピークのホールド値U2と下ピークのホールド値D2の差U2-D2を演算し、第1のコイル11に関するトルク検出データTDD1と第2のコイル12に関するトルク検出データTDD2を得る。次のステップS6では、第1メインのトルク検出データTDD1を正常時のトルク検出データとして出力する。第2サブのトルク検出データTDD2は、冗長性のために用意されるものであり、後述の故障診断に際して利用されるほか、第1のコイル11の検出系統に異常が検出された場合に、代替的なトルク検出データとして利用することが可能である。なお、差信号C又はDには、故障情報としてのオフセット電圧OF1又はOF2が含まれているが、上述のように、上ピークと下ピークの差を演算することによりトルク検出データTDD1又はTDD2を得ているので、オフセット電圧OF1又はOF2が自動的に相殺される。例えば、図5に示されたCの例では、サンプリングクロックCKsの発生タイミングにおける差信号Cのデジタル値がL1であり、この値L1が上ピークのホールド値U1としてレジスタ内にホールドされ。また、サンプリングクロックCKmの発生タイミングにおける差信号Cのデジタル値がL2であり、この値L2が下ピークのホールド値D1としてレジスタ内にホールドされる。そして、上ピークのホールド値U1と下ピークのホールド値D1の差U1-D1は、L1-L2であり、これが第1のトルク検出データTDD1としてホールドされ、出力される。例えば、第1のトルク検出データTDD1のとりうる最小値は、上ピークのホールド値U1のとりうる最小値例えば略OF1と下ピークのホールド値D1のとりうる最大値例えば略OF1との差であるから略0であり例えばU1-D1=略OF1-略OF1=0、一方、トルク検出データTDD1のとりうる最大値は、U1のとりうる最大値とD1のとりうる最小値との差であるから、差Dのとりうる所定の最大値に近いものとなる。従って、ダイナミックレンジが拡大されていることが理解できる。第2のトルク検出データTDD2についても同様である。従って、高感度でトルク検出を行うことができる。図7は、第1メイン及び第2サブのトルク検出データTDD1,TDD2の値と検出トルク相対回転位置との間の相関関係の一例を示すグラフである。このように、第1メインのトルク検出データTDD1の関数と第2サブのトルク検出データTDD2の関数とは、検出トルク相対回転位置に関して逆特性を示し、正常であれば、両者を加算した値TCは常に略一定値となる。なお、横軸において、0の位置はトルク0の位置を示し、その右側ので記した領域は例えば時計方向のねじれに応じた領域を示し、左側の-で記した領域は例えば反時計方向のねじれに応じた領域を示す。図6では、トルク検出データTDD1,TDD2の値と検出トルク相対回転位置との間の相関関係は、リニア特性を示しているが、これに限らず、非リニア特性であってもよい。図4の回路で実現可能な故障判定処理についての詳細な説明は、本発明の要旨に関係しないため、省略する。なお、図4において、温度補償用抵抗44,45を設けずに、第1及び第2のコイル11、12を差動接続することによりコイルの温度特性補償を行ってよい。その場合、図4において、温度補償用抵抗44の位置に第2のコイル12を配置し、第2のコイル12用の検出回路参照符号にサフィックスaの付された回路の系列を全て削除すればよい。また、温度補償用抵抗44を設ける場合は、センサ部10のコイルアセンブリCA内のコイルは、第1のコイル11のみとしてもよい。その場合、図1、図3において、第2のコイル12を削除すると共に、第2のコイル12用の検出回路参照符号にサフィックスaの付された回路の系列を全て削除すればよい。また、その場合は、第1及び第2の磁気応答部材3,4において、第1のコイル11に対応する開口窓3a,4aのみを設ければよい。また、上記実施例では、第1及び第2のコイル11、12に対応する開口窓3a,4a及び3b,4bによるインピーダンス変化特性が逆特性であったが、同特性であってもよい。本発明に係るトルクセンサにおいて適用する検出方式検出回路の構成は、図4~図7に示したような方式構成に限らず、他のどのような検出方式検出回路構成からなるものであってもよい。例えば、出力交流信号を整流して直流電圧レベルのデータとしてトルク検出信号を生成する方式を採用してもよい。あるいは、レゾルバタイプの2種類の検出信号サイン関数特性のトルク検出信号sinθsinωtとコサイン関数特性のトルク検出信号cosθsinωtをセンサ部10から出力し、これに基づき位相検出演算によってθ分を示すトルク検出信号を生成する方式を採用してもよい。以上、図面に基づいて実施形態の一例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、様々な実施形態が可能であることは言うまでもない。例えば、第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4の具体的構成は図示の例に限らず、検出すべきトルクねじれ角に対して逆特性あるいは同特性であってもよいの2つの出力を生じさせることのできる他の構成であってもよい。一例を図8及び図9に示す。図8及び図9においては、便宜上、第1の磁気応答部材3と第2の磁気応答部材4とを分離して図示している。図8Aに示す第1の磁気応答部材3は、図2に示した例とは反対に複数の矩形パターン3a,3b自体を、良導電性かつ非磁性反磁性の材質例えばアルミニウムあるいは銅など、以下同じで金属めっきすることにより、入力軸1表面上に円周方向に沿って所定ピッチ角度で形成したものである。すなわち、前記複数の矩形パターン3a,3bが形成された箇所では、入力軸1本体つまりは磁性体が露出していない状態となる。他方、第2の磁気応答部材4は、開口窓に代えて、例えば合成樹脂製非磁性非導電性の円筒体の表面上に良導電性かつ非磁性反磁性の材質を所定のパターンで金属めっきすることにより形成されてなるものであって、図3と同様にして円周方向に沿って所定ピッチ角度で複数の矩形パターン4a,4bを2列備えるように所定のパターンでメッキが施され、金属めっきのない部分窓が矩形パターン非導電性かつ非磁性4a,4bとして形成される。すなわち、この例では複数の矩形パターン4a,4bから樹脂製の円筒体本体が露出した状態となるように、前記非磁性導電部材の金属めっきパターンが決定される。なお、この明細書において第2の磁気応答部材4に形成される開口していない窓をパターン窓と呼んで開口している開口窓図3参照と区別する。図8Aに示す第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4においても、入出力軸第1及び第2の回転軸1,2の相対的回転位置に応答して互いに逆特性のインピーダンス変化を第1及び第2のコイル11,12に生じさせるように、矩形パターン良導電性かつ非磁性3a,3bとパターン窓4a,4bの配置を適切にずらして設定される。ただし、この場合には、図2及び図3に示した構成とは反対に、矩形パターン良導電性かつ非磁性3aとパターン窓4a又は3b,4bの重なり具合が増大すればそれに対応するコイル11又はコイル12のインダクタンスインピーダンスは減少し、矩形パターン良導電性かつ非磁性3aとパターン窓4a又は3b,4bの重なり具合が減少すればそれに対応するコイル11又はコイル12のインダクタンスインピーダンスは増大する。図8Bに示す第1の磁気応答部材3は、良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきにより、入力軸1の出力軸2側に近接する側から所定範囲具体的には第2の磁気応答部材4が覆いかぶさる範囲全体にわたる軸方向を長手とする長方形状の複数の矩形パターン良導電性かつ非磁性3aを、円周方向に沿って所定ピッチ角度で入力軸1表面上に形成したものである。他方、第2の磁気応答部材4は、良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきにより例えば樹脂製の円筒体の表面上に所定のパターンで形成されてなるものであって、前記円筒体の軸方向を長手とする長方形状の複数のパターン窓非導電性かつ非磁性4aを備えたパターンに形成される。この場合、矩形パターン良導電性かつ非磁性aとパターン窓非導電性かつ非磁性4aの重なり具合が増大すればそれに対応するコイル11,12のインダクタンスインピーダンスは減少し、矩形パターン良導電性かつ非磁性3aとパターン窓4aの重なり具合が減少すればそれに対応するコイル11,12のインダクタンスインピーダンスは増大する。このような図8Bに示した第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4においては、入出力軸第1及び第2の回転軸1,2の相対的回転位置に応答して互いに同特性のインピーダンス変化を第1及び第2のコイル11,12に生じさせるようになっている。したがって、この場合には例えばいずれか一方のコイル11又は12からの出力信号を逆特性に反転する等の適宜の処理を施してから、上記検出回路部によるトルク検出を行うなどの適宜の処理が必要となるが、そうした処理は公知であることからここでの説明を省略する。なお、上記した第1の磁気応答部材3と第2の磁気応答部材4とは、適宜に組み合わせて用いてよい。例えば、図2に示した第1の磁気応答部材3に対して図8に示した各第2の磁気応答部材4を組み合わせて用いてもよいし、あるいは図2に示した第2の磁気応答部材4を図8に示した各第1の磁気応答部材3に対して組み合わして用いてもよい。さらには、図8Aに示した第2の磁気応答部材4を図8Bに示した第1の磁気応答部材3に対して組み合わして用いてもよい。その場合、必要に応じて、入出力軸第1及び第2の回転軸1,2の相対的回転位置に応答して互いに逆特性あるいは同特性のインピーダンス変化を第1及び第2のコイル11,12に生じさせるように、組み合わせる各磁気応答部材3,4における磁気応答部とパターン窓の配置を適切にずらして設定すればよい。また、第1の磁気応答部材3の磁気応答部及び第2の磁気応答部材4の金属めっきパターンの形状は、上述したような矩形形状に限らない。例えば、図9に示すようなものであってもよい。図9Aに示す第1の磁気応答部材3は、入力軸1周囲に良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきを所定の間隔を空けて斜めに施すことにより、円周方向に沿って斜行する所定幅の磁性体の螺旋ベルト3aを形成したものである。この例では、入力軸1の出力軸2側に近接する図中右側の入力軸1上において手前下方から上方さらに奥下方に向かって幅が漸増するように金属めっきを施す一方で、図中左側の入力軸1上において手前下方から上方さらに奥下方に向かって幅が漸減するように金属めっきを施すことで、入力軸1表面を軸方向に沿って螺旋状に回転しながら1周する磁性体の螺旋ベルト3aが形成されている。この磁性体の螺旋ベルト3aが形成された箇所では、入力軸1本体つまりは磁性体が露出した状態となる。他方、第2の磁気応答部材4は、例えば樹脂製の円筒体の表面上に良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきを円周方向に沿って前記所定間隔よりも僅かに小さな幅をもつ螺旋状に施すことにより、磁性体の螺旋ベルト3aと同様に軸方向に沿って螺旋状に回転しながら1周する良導電性かつ非磁性反磁性の螺旋ベルト4aを形成したものである。図9Aに示す第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4においては、入出力軸第1及び第2の回転軸1,2の相対的回転位置に応答して互いに逆特性のインピーダンス変化を第1及び第2のコイル11,12に生じさせるように、磁性体の螺旋ベルト3aと良導電性かつ非磁性反磁性の螺旋ベルト4aの幅や配置位置が設定される。例えば、トーションバーTのねじれ角が0の状態において、磁性体の螺旋ベルト3aと良導電性かつ非磁性反磁性の螺旋ベルト4aが完全に重なり合った状態に配置される。ただし、磁性体の螺旋ベルト3aと良導電性かつ非磁性反磁性の螺旋ベルト4aの幅は異なることから、完全に重なり合った状態であってもパターン窓4aの軸方向図の左右における両端側において入力軸1本体の一部が露出した状態とされる。この状態では、各コイル11,12のインダクタンスインピーダンスが同一となるように、磁性体の螺旋ベルト3aと良導電性かつ非磁性反磁性の螺旋ベルト4aの形状が設定される。そして、ねじれ角が0の状態から時計方向にねじれ角が生じると、図の左側における入力軸1本体の一部の露出が減少してそれに対応する第1のコイル11のインダクタンスインピーダンスが減少するのに対して、図の右側における入力軸1本体の一部の露出が増大してそれに対応する第2のコイル12のインダクタンスインピーダンスが増大する。他方、ねじれ角が0の状態から、反時計方向にねじれ角が生じると、図の左側における入力軸1本体の一部の露出が増大してそれに対応する第1のコイル11のインダクタンスインピーダンスが増大するのに対して、図の右側における入力軸1本体の一部の露出が減少してそれに対応する第2のコイル12のインダクタンスインピーダンスが減少する。図9Bに示す第1の磁気応答部材3は、入力軸1表面上に良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきを施すことにより、めっきされていない部分として、入力軸1の1周にわたって円周方向に沿う三角形状の2つ2列の三角形磁性体3a,3bを形成したものである。図示の例では、三角形磁性体3aは手前下方から上方さらには奥下方に向かって漸増する三角形状を成しており、三角形磁性体3bは手前上方から下方さらには奥上方に向かって漸増する三角形状を成している。他方、第2の磁気応答部材4は、良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきにより例えば樹脂製の円筒体の表面上に三角形状の2列の良導電性かつ非磁性反磁性の三角形パターン4a,4bが形成される。図9Bに示す第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4においては、トーションバーTのねじれ角が所定状態において、三角形磁性体3aと良導電性かつ非磁性反磁性の三角形パターン4aの対が、及び、三角形磁性体3bと三角形パターン4bの対が、それぞれ完全に重なり合った状態に配置される。ねじれ角が所定状態から時計方向にねじれると、例えば一方の三角形磁性体3aと三角形パターン4aの重なり具合が変化してそれに対応する第1のコイル11のインダクタンスインピーダンスが変化し、もう一方の三角形磁性体3bと三角形パターン4bの重なり具合も変化してそれに対応する第2のコイル12のインダクタンスインピーダンスが変化する。また、ねじれ角が所定状態から反時計方向にねじれると、一方の三角形磁性体3aと三角形パターン4aの重なり具合が変化してそれに対応する第1のコイル11のインダクタンスインピーダンスが変化し、もう一方の三角形磁性体3bと三角形パターン4bの重なり具合が変化してそれに対応する第2のコイル12のインダクタンスインピーダンスが変化する。上述したセンサ部10としては、2つのコイル11,12によって検出すべきトルクねじれ角に対して逆特性あるいは同特性であってもよいの2つの出力を生じさせる2信号方式のものに限らず、1つのコイルのみによって検出すべきトルクねじれ角に対して1つの出力を生じさせる1信号方式のものであってもよい。その場合における第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4の具体的構成を、図10に例示する。図10は、1信号方式における第1の磁気応答部材及び第2の磁気応答部材の一実施例を示す概略図である。本実施形態にかかる第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4は、図2及び図8さらには図9に示した2信号方式における第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4と比較して、入出力軸第1及び第2の回転軸1,2の相対的回転位置に対応したインピーダンス変化を外周に配置された1つのコイル11に生じさせるように、各磁気応答部材3,4を形成したものとなっている。図10A,図10B,図10Dに示す第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4は、それぞれが図2,図8A,図9Bにおいて2列に設けられた各要素3a,3b、4a,4bのうちいずれか一方の列の要素3a、4a又は3b,4bのみが形成されたものとなっている。また、図10Cに示す第1の磁気応答部材3は、入力軸1の出力軸2側に近接する側から所定範囲第2の磁気応答部材4が覆いかぶさる範囲全体にわたる軸方向に長い複数の矩形パターン良導電性かつ非磁性3aを、良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきにより、円周方向に沿って所定ピッチ角度で入力軸1表面上に形成したものである。ただし、1個のコイル11でカバーできる程度に、前記所定範囲は図8Bに示した2信号方式のものよりも軸方向に短い範囲となっている。なお、図10A~図10Cそれぞれに示された第1の磁気応答部材3と第2の磁気応答部材4とは、各々を適宜に組み合わせて用いることができる。図10Eに示す第1の磁気応答部材3は良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきを、入力軸1の出力軸2側に近接する側の入力軸1上において手前下方から上方さらに奥下方に向かって幅が漸増するテーパー状に施すことによって良導電性かつ非磁性の傾斜パターン3aを形成したものである。他方、第2の磁気応答部材4は良導電性かつ非磁性反磁性の材質からなる金属めっきを、出力軸2の入力軸1側に近接する側の例えば樹脂製の円筒体上において手前下方から上方さらに奥下方に向かって幅が漸増するテーパー状に施すことによって良導電性かつ非磁性の傾斜パターン4aを形成したものである。上記した図10に示す第1の磁気応答部材3及び第2の磁気応答部材4においては、入出力軸第1及び第2の回転軸1,2の相対的回転位置に対応したインピーダンス変化をコイル11に生じさせるように、各要素3a、4aの幅や配置位置などが設定される。なお、上述した1信号方式のセンサ部10からの信号に従ってねじれトルクを検出する検出回路部の構成は公知のどのようなものであってもよいことから、ここでの説明を省略する。このような1信号方式における第1の磁気応答部材及び第2の磁気応答部材においては、パターン窓の形成が非常に容易であるので有利である。さらに、トルク検出のためのコイルは1個でよいため、構成が簡単である。したがって、超小型、微小変位の検出に適している。上記各実施例において、第1の磁気応答部材3は、磁性体からなる入力軸1の端部の表面に直接形成するようにしたが、これに限らず、磁性体筒に導電性物質を所望パターンで表面加工形成することで、第1の磁気応答部材3を形成し、この磁性体筒を入力軸1の端部に結合する取り付けるようにしてもよい。また、上記各実施例とは逆に、第1の磁気応答部材3を出力軸2に設け、第2の磁気応答部材4を入力軸1に設けてもよい。導電性物質を所望パターンで表面加工形成する手法は、めっきに限らず、吹き付け、溶着等その他適宜の表面加工処理手法を用いてよい。"