利得ディスク媒質11およびカー媒質12を有するレーザ共振器10を含む、レーザパルスを生成するよう構成されたレーザ装置であって、前記レーザ共振器10は、-前記利得ディスク媒質11中に結合された循環電界を整形するよう適合化された第1のモード整形部13と、-前記第1のモード整形部13における前記循環電界の整形と関係なく、前記カー媒質12中に結合された前記循環電界を整形するよう適合化された第2のモード整形部14と、を含むものである、レーザ装置100。前記第1および第2のモード整形部13、14は、前記レーザ共振器10中の光路に沿って隣接して配置され、または前記第1のモード整形部13は、前記第2のモード整形部14内に配置されるものである、請求項1に記載のレーザ装置。前記第1のモード整形部13は、望遠鏡的幾何学的配置、凹凸面の幾何学的配置、またはその重ね合わせを有するものである、請求項1または2に記載のレーザ装置。-前記第2のモード整形部14は、少なくとも1つの凸面共振器ミラーと少なくとも1つの凹面共振器ミラーの組合せを含む2つの湾曲した共振器ミラーを有する望遠鏡的構造を含む、または-前記第2のモード整形部14は、2つの凹面共振器ミラーを含むものである、請求項1乃至3のいずれかに記載のレーザ装置。前記第2のモード整形部14は、2つの湾曲した共振器ミラーを有するニュートン式またはガリレオ式の望遠鏡的構造を含むものである、請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザ装置。前記カー媒質12は前記第2のモード整形部14に配置される、または前記カー媒質12は、前記第1のモード整形部13に対して反対の関係で、前記第2のモード整形部14の外側に配置されるものである、請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザ装置。前記カー媒質12は、カーレンズ光学プレートまたはカーレンズミラーを含み、前記カー媒質12は、CaF2、溶融シリカ、サファイアまたはガラスで形成されており、および/または前記カー媒質12は、6mm未満、特に1mm未満の光路長を有するものである、請求項1乃至6のいずれかに記載のレーザ装置。前記レーザ共振器10は、さらに、半導体可飽和吸収ミラー17を含むものである、請求項1乃至7のいずれかに記載のレーザ装置。前記半導体可飽和吸収ミラー17は、前記第1のモード整形部13に対して反対の関係で、前記第2のモード整形部14の外側に配置されるものである、請求項8に記載のレーザ装置。前記レーザ共振器10は、さらに、硬い開孔部、前記カー媒質におけるモード同期用の開孔部として作用する線形受動傾斜ミラー、および/または前記レーザ装置の自己始動動作を形成するよう適合化された自己始動装置を含むものである、請求項1乃至9のいずれかに記載のレーザ装置。前記レーザ共振器10は、前記レーザ共振器10内を循環する前記電界の最大利得波長をシフトし、前記レーザ共振器10内を循環する前記電界の利得スペクトルを平坦化するよう配置された、スペクトル濾波または整形ユニットを含むものである、請求項1乃至10のいずれかに記載のレーザ装置。前記カー媒質12は、前記レーザ共振器10内を循環する前記電界において新しいスペクトル成分を生成するよう配置されたものである、請求項1乃至11のいずれかに記載のレーザ装置。前記レーザ共振器10の一部の少なくとも温度を調節するよう適合化された温度調節装置22を含む、請求項1乃至12のいずれかに記載のレーザ装置。前記レーザ共振器10内を循環する前記電界において新しいスペクトル成分を生成する非線形要素として作用するキャビティ内媒質16、および/または前記レーザ共振器10において生成される新しいスペクトル成分用の出力結合器として作用するキャビティ内プレート17をさらに含む、請求項1乃至13のいずれかに記載のレーザ装置。減圧または真空状態で前記レーザ共振器10を収容する真空引きされたボックス21、外部ファイバ伸張または圧縮段、および/または外部キャリア包絡線位相安定化のために適合化された音響光学変調器をさらに含む、請求項1乃至14のいずれかに記載のレーザ装置。前記レーザ共振器10は、受動的増強キャビティに、または白色光生成用のキャビティ外非線形結晶に結合されるものである、請求項1乃至15のいずれかに記載のレーザ装置。利得ディスク媒質11およびカー媒質12を有するレーザ共振器10を用いてレーザパルスを生成する方法であって、第1のモード整形部13において、前記利得ディスク媒質11中に結合された循環電界を整形するステップと、前記第1のモード整形部13における前記循環電界の整形と関係なく、第2のモード整形部14において、前記カー媒質12中に結合された前記循環電界を整形するステップと、を含む方法。前記第2のモード整形部14における前記循環電界の整形は、少なくとも1つの凸面共振器ミラーと少なくとも1つの凹面共振器ミラーの組合せを含む2つの湾曲した共振器ミラーを有する望遠鏡的構造、または2つの凹面共振器ミラーを用いて行われるものである、請求項17に記載の方法。前記第1のモード整形部13における前記循環電界の整形は、少なくとも1つの凸面共振器ミラーと少なくとも1つの凹面共振器ミラーの組合せを含む2つの湾曲した共振器ミラーを有する望遠鏡的構造、凹凸面の幾何学的配置を有する複数の共振器ミラー、または前記望遠鏡的構造と前記凹凸面の幾何学的配置の重ね合わせを用いて行われるものである、請求項17または18に記載の方法。前記第2のモード整形部14における前記循環電界の整形は、2つの湾曲した共振器ミラーを有するニュートン式またはガリレオ式の望遠鏡的構造を用いて行われるものである、請求項17乃至19のいずれかに記載の方法。前記カー媒質12は前記第2のモード整形部14に配置される、または前記カー媒質12は、前記第1のモード整形部13に対して反対の関係で、前記第2のモード整形部14の外側に配置されるものである、請求項17乃至20のいずれかに記載の方法。前記レーザ共振器10における前記循環電界のモード同期は、前記レーザ共振器10に含まれている半導体可飽和吸収ミラー17によって始動されるものである、請求項17乃至21のいずれかに記載の方法。前記半導体可飽和吸収ミラー17は、前記第1のモード整形部13に対して反対の関係で、前記第2のモード整形部14の外側に配置されるものである、請求項22に記載の方法。前記レーザ共振器10は、さらに、硬い開孔部、前記カー媒質におけるモード同期用の開孔部として作用する線形受動傾斜ミラー、および/または前記レーザ装置の自己始動動作を形成するよう適合化された自己始動装置を含むものである、請求項17乃至23のいずれかに記載の方法。さらに、最大利得波長をシフトし利得スペクトルを平坦化するよう前記循環電界をスペクトル濾波することを含む、請求項17乃至24のいずれかに記載の方法。前記カー媒質12またはキャビティ内媒質16を用いて、前記レーザ共振器10内を循環する前記電界において新しいスペクトル成分を生成することを含む、請求項17乃至25のいずれかに記載の方法。さらに、前記カー媒質12またはキャビティ内プレート15を用いて、前記レーザ共振器10から新しいスペクトル成分を出力結合することを含む、請求項17乃至26のいずれかに記載の方法。前記レーザ共振器10の一部の少なくとも温度を調節することを含む、請求項17乃至27のいずれかに記載の方法。減圧または真空状態で真空引きされたボックス21に前記レーザ共振器10を配置すること、前記レーザ共振器10を外部ファイバ伸張または圧縮段に結合すること、および/または音響光学変調器を用いて外部キャリア包絡線位相安定化を行うことを含む、請求項17乃至28のいずれかに記載の方法。さらに、減圧または真空状態で真空引きされたボックス21に前記レーザ共振器10を配置すること、前記レーザ共振器10内で形成されたレーザパルスを、外部ファイバ伸張または圧縮させること、および/または前記レーザ共振器10内で形成されたレーザパルスを、音響光学変調器を用いて外部キャリア包絡線位相安定化させることを含む、請求項17乃至29のいずれかに記載の方法。さらに、前記レーザ共振器10を、受動的な増強キャビティに、または白色光の生成のためのキャビティ外非線形結晶に結合させることを含む、請求項17乃至30のいずれかに記載の方法。発明の好ましい実施形態発明の好ましい実施形態を、レーザ共振器の設計、特に第1および第2のモード整形部modeshapingsectionsの設計を特に参照して説明する。レーザ共振器の光学的コンポーネント要素の詳細、特に反射鏡、利得ディスク媒質gaindiscmedium、カー媒質Kerrmedium、硬い開孔部hardaperture、および任意選択的なSESAMの設計は、通常の技術で実装できるものである限り、説明しない。特に、利得ディスク媒質をポンピングまたは励起する技術は、従来技術例えば文献[1]参照で知られているので、説明しない。本発明の実装は、例示された共振器の幾何学的配置に限定されることなく、少なくとも1つの利得ディスク媒質を含む任意のその他のタイプのレーザ共振器で実現することが可能である。図1は、複数の共振器ミラーM1~M5およびM7~M9を含むレーザ共振器10を有する本発明によるレーザ装置100の第1の実施形態を示している。ここで、共振器ミラーM2は利得ディスク媒質11である。それらの共振器ミラーは、平坦なまたは湾曲したミラーを含み、その少なくとも1つのミラーでは、この技術分野で知られているように、正または負の群遅延分散が与えられる。さらに、レーザ共振器10は、モード同期カー媒質12を含んでいる。レーザ共振器10は、破線で強調して示されているように、第1のモード整形部13および第2のモード整形部14を含んでいる。通常の硬い開孔部図示せず、例えば内部に開口を有する金属板の形態の硬い開口部は、レーザ共振器10において、特に第1または第2のビーム整形部13、14のうちの一方に実装することができる。第1のモード整形部13は、レーザ共振器10の出力結合供給器である平坦なミラーM1、利得ディスク媒質11、湾曲したミラーM3およびM4、および或る群遅延分散を有する平坦なミラーM5を含む、ミラーM1とM5の間の空間にわたって配置されまたは広がっている。第1のモード整形部13において、利得ディスク媒質11におけるレーザビームサイズは、通常のフェムト秒発振器で知られているように、ミラーM3およびM4の結像特性imagingproperties、および第2のビーム整形部13における各ミラー間の各距離によって調節される。平坦なミラーM6点線で示されているは、実際には設けられない。それミラーM6は、通常の共振器の端部ミラーを表している。通常の共振器とは違って、第2のモード整形部14は、ミラーM6での背面反射の代わりに、第1のモード整形部13に結合される。利得ディスク媒質11は、従来技術例えば[1]参照で知られている形態で構造化または構成することができる外部ポンプユニット図示せずで励起ポンピングされる。利得ディスク媒質は、冷却指状部フィンガ11.1に取り付けられ、従来技術[1]で知られている方法で冷却される。利得ディスク媒質11は、例えば、厚さ50~250μmを有するYb:YAG、Yb:Lu2O3、Yb:KYWで形成される。第2のモード整形部14は、2つの凹面共振器ミラーM7およびM8、および平坦な端部ミラーM9を含んでいる。共振器ミラーM7およびM8は、異なるまたは同じ曲率半径を有する凹面鏡であって、ビーム経路に沿って循環する電界がカー媒質12において集束集中、集光するようになっている。カー媒質12は、共振器ミラーM7とM8の間の幾何学的な中心に配置されることが好ましい。しかし、これは必須構成ではなく、変位された配置を用いて同様に実現することもできる。カー媒質12は、6mm未満の厚さを有する溶融シリカfusedsilica、CaF2またはSF57で形成された独立のfreestandingプレートである。平坦な端部ミラーM9は、標準的な反射鏡、または代替実施形態ではSESAMである。参照番号21は、レーザ共振器10を収容する真空引きされたボックスを概略的に示している。そのボックスは、任意の圧力的に気密なまたは機密なtight材料、例えばプラスチック類であり、レーザパルスを出力結合または出力供給するための複数の窓を含んでいる。図1に示されているように、ボックスは、以下で説明するその他の実施形態で、特に図8の実施形態で設けることができる。さらに、参照番号22は、レーザ共振器またはその部品の温度調節を可能にする温度調節装置を概略的に示している。図1の実施形態を用いると、レーザパルスは、利得ディスク媒質11を共振的に励起ポンピングすることによって生成されて、レージングレーザ光照射野がレーザ共振器10内を循環するようになっている。利得ディスク媒質11中に結合供給されたその循環する光照射野は、第1のモード整形部13において排他的に独立してサイズ調整され、一方、カー媒質12中に結合されたその循環する電界は、第2のモード整形部14において排他的に独立してサイズ調整される。カーレンズモード同期を始動させるために、第2のモード整形部14は、安定領域の端縁においてレーザ共振器10を動作させるように調節される。安定領域の端縁において、レーザ共振器10は、カー集束効果に対して特に敏感である反応する。カーレンズモード同期が始動すると、レーザ共振器10は、安定中心付近に戻って安定に動作する。カー媒質12のモード同期カー効果によって、レーザパルスが生成され、ミラーM1を通ってレーザ共振器10の外部へと結合供給される。カー媒質12の位置は、第2のモード整形部1314の両湾曲ミラー間の位置にある必要はない。カー媒質12は、図2に概略的に示されているように、第2のモード整形部1314の両ミラーの外側に配置することができる。この実施形態では、本発明によるレーザ装置100は、上述のように、共振器ミラーM1~M5およびM7~M9を有するレーザ共振器10を含んでいる。第2のモード整形部14は、凹面反射ミラーM7および凸面反射ミラーM8を含んでいる。カー媒質12は、反射ミラーM8と端部ミラーM9の間に配置されている。ミラーM7およびM8は、カー媒質12におけるビームサイズを調節する。図2の実施形態は、カー媒質12を位置合わせし調節するための空間的な要求に関する利点を有し得る。図3は、共振器ミラーM1~M8を有するレーザ共振器10を含む、本発明によるレーザ装置100の別の実施形態を示している。第2のモード整形部14は、第1のモード整形部13に含まれている。換言すれば、カー媒質12においてビームを調節するためのビームウエストスケーリング配置は、主要なキャビティ内に実装される。主要なキャビティにおける影響を回避するために、第2のモード整形部1314は、ニュートン式またはガリレオ式の望遠鏡的構造を含み、無限遠点に集束または集光することができる4f型伸展望遠鏡4fextensiontelescope。図3の実施形態では、平坦なミラーM1は出力結合器供給器を表している。ミラーM2は利得ディスク媒質11である。凹面および凸面共振器ミラーM3およびM4は、利得ディスク媒質11におけるビームサイズを調節する第1のモード整形部13に属する。共振器ミラーM5は、或る分散をレーザ共振器10中に導入する平坦なミラーであり、共振器ミラーM6は平坦な端部ミラーまたはSESAMである。第2のモード整形部14は、第1の曲率半径R1を有する凹面反射ミラー鏡M7および第2の曲率半径R2を有する第2の凹面共振器ミラー鏡M8によって形成される。カー媒質12は、ミラーM7とM8の間のビーム経路中に配置されている。図4は、図1の実施形態に類似するレーザ装置100の別の実施形態を示している。この実施形態では、レーザ共振器10は共振器ミラーM1~M9を含んでいる。共振器ミラーM1~M6およびM9は第1のモード整形部13を形成し、共振器ミラーM7およびM8は第2のモード整形部14を形成する。平坦な共振器ミラーM1は出力結合器供給器である。共振器ミラーM2は利得ディスク媒質11である。凹面および凸面共振器ミラーM3およびM4は、利得ディスク媒質11におけるビームサイズを調節するために設けられた望遠鏡的配置である。共振器ミラーM5は或る分散を有する平坦なミラーであり、共振器ミラーM6は、平坦なミラーまたは高い反射率の反射器またはSESAMである。第2のモード整形部14は、それぞれ曲率半径R1、R2を有する凹面ミラーM7およびM8によって形成される。本発明の変形例によれば、利得ディスク媒質11は、図1~4に示された平坦な幾何学的配置と比較して、修正することができる。第1に、利得ディスク媒質は、平坦な表面を必ずしも有せず、凸面または凹面を設けることができ、従って、第1のモード整形部における複数の湾曲した共振器ミラーの中の1つとして用いられ、特に凸面-凹面を含むキャビティで、または望遠的構造の設計において用いられる。さらに、図2の実施形態に類似する実施形態を表す図5に示されているように、複数の薄ディスクヘッド11.1、11.22つまたは3つ以上をレーザ共振器に内に設けることができる。図6は、複数経路の幾何学的配置を実装することによる、本発明によるレーザ装置100のパワースケーリング増減機能または能力を概略的に示している。この場合、レーザ共振器10は共振器ミラーM1~M11を含み、共振器ミラーM1~M9は第1のモード整形部13にわたって配置され、共振器ミラーM10~M12は第2のモード整形部14にわたって配置される。第1のモード整形部13において、共振器ミラーM1は出力結合器供給器であり、共振器ミラーM4は利得ディスク媒質11である。共振器ミラーM3、M5およびM8は湾曲したミラーであり、一方、共振器ミラーM2、M6およびM9は或る分散を有する平坦なミラーである。ミラーM2、M3およびM5~M8を用いて、複数経路の幾何学的配置が形成される。図6の図は概略的な例示を表しているに過ぎないことに、留意すべきである。本発明によれば、他の複数経路の幾何学的配置が実現できる。図6において、第2のモード整形部14は、図1に示されているように設けられる。第2のモード整形部14は、望遠鏡的配置のミラーM10およびM11および平坦なミラー、高反射率の反射器またはSESAM12を含んでいる。カー媒質12は、湾曲した共振器ミラーM10とM11の間に配置されている。図7は、独立な単独のカープレートの代わりに本発明によるレーザ装置で用いることができる、カーレンズミラー12を概略的に示している。カーレンズミラー12は、第1の高反射性HR被覆12.2を支持する基板12.1、カーレンズ媒質12.3、および第2の反射防止AR被覆12.4を含んでいる。カーレンズ媒質12.3の基板12.1との接触によって、カーレンズ媒質12.3における熱効果を回避することができる。また、例えばサファイアまたはダイアモンドのようなより高い熱伝導性を有する材料も、潜在的な候補として見なすことができる。利点として、基板12.1に接触された1μm未満の厚さを有する非常に薄いプレートを用いることができる。カーレンズミラー12は、反射において作用する。カーレンズミラー12は、カー効果に対して必要な感度を有するレーザ共振器内の任意の位置に実装することができる。図8は、フェムト秒発振器キャビティ内でXUV極紫外線を発生するように適合化された、本発明のよるレーザ装置100の別の実施形態を示している。1および第2のモード整形部13、14に関して、レーザ共振器は、図1を参照して上述したように構成されている。さらに、ガス噴射を含むキャビティ内媒質16を含む第3のモード整形部15が設けられる。キャビティ内媒質16は、第3のモード整形部15の湾曲したミラーM10とM11の間の焦点にまたは集束位置に配置される。XUV放射は、循環するレーザパルスの、キャビティ内媒質16との相互作用の結果として生成される。XUV放射は、レーザ共振器10における光路に対して或る角度で配置されたブルースターBrewster板または凝視入射板grazingincidenceplate17を用いて、レーザ共振器10の外部へと結合供給される[18]参照。少なくとも第3のモード整形部15は、減圧環境に、例えば図1に示されたボックス21内に配置される。図9には、本発明によるレーザ装置100の別の実施形態が、より詳細に示されている。レーザ共振器10は、共振器ミラーM1~M11を含む第1のモード整形部13と、共振器ミラーM13~M15を含む第2のモード整形部1314とを含んでいる。第1のモード整形部13は、通常のレーザ装置における端部ミラーM12またはSESAMで閉鎖され得る定在波standingwave薄ディスクキャビティである点線で示されている。本発明によるレーザ装置では、端部ミラーM12は設けられず、ミラーM15が端部ミラーとして作用する。共振器ミラーM1は出力結合器供給器であり、共振器ミラーM2~M5およびM8、M9およびM11は、平坦な高反射率のチャープミラーである。これらのミラーによって導入される負の群遅延分散は約-22000fs2である。第2のモード整形部14はニュートン式望遠鏡的構造であり、このニュートン式望遠鏡的構造は、僅かな非対称性L1=R/2=150mmおよびL2=200mm、ミラーM14とM15の間の距離Dを有し、距離Dは近似的にD=Rに等しい。非対称のニュートン式望遠鏡的構造でも、第1のモード整形部13におけるキャビティ配置には有意なまたは相当な影響は与えない。各ミラー間の距離mmは、M1-M2間:265、M2-M3間:85、M3-M4間:150、M4-M5間:185、M5-M6間:425、M6-M7間:640、M7-M8間:250、M8-M9間:220、M9-M10間:280、M10-M11間:205、M11-M13間:380、M13-M14間:310、M14-M15間:200である。利得ディスク媒質11は共振器ミラーM6によって形成される。利得ディスク媒質11は、Ybドープ添加濃度7を有する厚さ220μmのV字状のYb:YAGディスクを含んでいる。ポンプ励起モジュール図示せず、製造業者:DausingerGiesenGmbH、ドイツが、利得ディスク媒質11およびポンプスポット直径3.2mmを通って24回通過するように整列させられている。Yb:YAG薄ディスクは、第1のモード整形部14における折り畳みfoldingミラーM6の中の1つとして用いられて、波長940mmに中心合わせされた中心波長を有するファイバに結合されたダイオードによって励起される。上述の幾何学的配置で、第1のモード整形部13は、全体的に大きい各モードサイズの薄ディスクキャビティを表す。利得ディスク媒質11におけるビームウエスト半径は1.3mmであり、一方、M12またはSESAMにおけるビームウエストは約1mmである。キャビティにおける平均のビームウエストは約2.6mmである。第2のモード整形部14は、カー媒質12において所要のビームサイズを形成するように実装される。ニュートン式望遠鏡的構造4f型伸展では、距離Dは近似的にR=300mmと等しい例えば、安定端縁付近で動作するためには、D=305mm。カー媒質12は、4f型伸展4fextension内のブリュースター角度で厚さ1mmの溶融シリカ板である。レーザ装置100は、ミラーM13とM14の間の増大された距離Dに対応する安定端縁において動作している。この安定端縁は、柔らかいソフトな利得開孔モード同期および硬い開孔モード同期を形成するように、選択される。図10および11は、図9のレーザ装置100で得られた実験結果を示している。図10は、出力パワー15Wおよびポンプパワー150Wおよび出力結合器供給器透過率5.5で測定されたスペクトルを示している。さらに、図11は、測定されたパルス持続時間約190fsが得られた自己相関測定値autocorrelationmeasurementを示している。以上の説明、図面および特許請求の範囲に開示された発明の各特徴は、個々にもおよびその組合せた形でも、本発明をその相異なる実施形態で実現するために、等しく重要であり得る。