"液滴吐出面側に開口した第1ノズル孔と、前記第1ノズル孔に連通し前記液滴吐出面側と反対側に開口した前記第1ノズル孔より断面積が大きい第2ノズル孔と、が連続したノズル孔と、前記液滴吐出面と反対側のチップ外周側面が、前記液滴吐出面の前記チップ外周側面より内側となるチップ外周側面と、前記チップ外周側面に形成された液滴保護膜と、を有することを特徴とするノズル基板。請求項1記載のノズル基板において、前記液滴吐出面と反対側の前記チップ外周側面の深さaと、前記液滴吐出面と反対側に開口した第2ノズル孔深さbとが、a>b、となることを特徴とするノズル基板。請求項1記載のノズル基板において、前記液滴吐出面と反対側の前記チップ外周側面が、前記液滴吐出面側の前記チップ外周側面より内側となり段差部が形成され、前記段差部の幅が前記液滴保護膜の厚みよりも大きいことを特徴とするノズル基板。請求項1乃至3のいずれか一項に記載のノズル基板を液滴吐出部に備えた液滴吐出ヘッド。請求項4記載の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置。しかしながら、二段のノズル孔とチップ分離の溝部を同時に形成する特許文献1に記載のノズル基板では、チップ外周側面に段差が無いか、または、意図しない段差が形成され、分割されたチップを取り扱う際に、チップ外周側面の液滴保護膜が剥がれ易い。このため、剥がれた膜がチップ表面に付着した場合にはチップ接着の妨げになり、また、ノズル孔部に付着した場合には液滴吐出の妨げになるという課題があった。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例に係るノズル基板は、液滴吐出面側に開口した第1ノズル孔と、前記第1ノズル孔に連通し前記液滴吐出面側と反対側に開口した前記第1ノズル孔より断面積が大きい第2ノズル孔と、が連続したノズル孔と、前記液滴吐出面と反対側のチップ外周側面が、前記液滴吐出面の前記チップ外周側面より内側となるチップ外周側面と、前記チップ外周側面に形成された液滴保護膜と、を有することを特徴とする。本適用例によれば、液滴吐出面側から液滴保護膜を形成する際、チップ外周側面の段差によってできる影部が大きくなるため、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面の液滴保護膜面積と厚さを低減することとなり、これによって、チップ表面及びノズル孔部に付着して接着、液滴吐出の妨げになる液滴保護膜の剥がれを低減することができる。また、ノズル基板や液滴吐出ヘッドの製造歩留まりが向上するという効果を得ることができる。[適用例2]上記適用例に記載のノズル基板は、前記液滴吐出面と反対側の前記チップ外周面の深さaと、前記液滴吐出面と反対側に開口した前記第2ノズル孔深さbとが、a>b、となることが好ましい。本適用例によれば、液滴吐出面側から液滴保護膜を形成する際、チップ外周側面の段差による影部が液滴吐出面に近づくことにより、液滴吐出面と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄くする効果がある。このため、分割されたチップを取り扱う際に、チップ外周側面の液滴保護膜が剥がれ難くなり、これによって、チップ表面及びノズル孔部に付着して接着、液滴吐出の妨げになる液滴保護膜剥がれを低減することができる。また、ノズル基板や液滴吐出ヘッドの製造歩留まりが向上するという効果を得ることができる。[適用例3]上記適用例に記載のノズル基板は、前記液滴吐出面と反対側の前記チップ外周側面が、前記液滴吐出面側の前記チップ外周側面より内側となり段差部が形成され、前記段差部の幅が前記液滴保護膜の厚みよりも大きいことが好ましい。本適用例によれば、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面が、液滴吐出面側のチップ外周側面より内側となり、その段差幅を液滴保護膜厚さよりも大きいことにより、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄くする効果があるため、分割されたチップを取り扱う際に、チップ外周側面の液滴保護膜が剥がれ難くなり、これによって、チップ表面及びノズル孔部に付着して接着、液滴吐出の妨げになる液滴保護膜剥がれを低減することができる。また、ノズル基板や液滴吐出ヘッドの製造歩留まりが向上するという効果を得ることができる。[適用例4]本適用例の液滴吐出ヘッドは、上記適用例のノズル基板を液滴吐出部に備えたことを特徴とする。本適用例によれば、液滴吐出ヘッドに液滴保護膜の剥がれを低減するノズル基板を備えており、安定した液滴吐出のできる液滴吐出ヘッドを提供できる。[適用例5]本適用例の液滴吐出装置は、上記適用例の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする。本適用例によれば、液滴吐出装置に安定した液滴吐出のできる液滴吐出ヘッドを備えており、印字品質の安定した液滴吐出装置を提供できる。以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。実施形態1図1は、実施形態1に係るノズル基板1を液滴吐出面側から見た上面図である。図1に示すように、ノズル基板1の表面には複数のノズル孔10が直線状に配置されている。13は液滴吐出ヘッド組立時のピンアライメント孔、14はチップ外周部である。図2は、図1のノズル基板A-A部分の断面図である。図2に示すように、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aが、液滴吐出面側のチップ外周側面14bより内側となる段差構造となっている。そして、チップ外周側面14a,14bには液滴保護膜11が形成されている。ここで、液滴保護膜11はノズル基板の外周部に形成された酸化膜と、その表面に形成された撥水膜を含めた膜を言う。ノズル基板1は、液滴吐出面と反対側のチップ外周側面の深さaと、液滴吐出面と反対側に開口した第2ノズル孔の深さbとが、a>b、となるように形成されている。このような構造から、液滴吐出面側から液滴保護膜を形成する際、チップ外周側面の段差による影部が液滴吐出面に近づくことにより、液滴吐出面と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄くする効果がある。このため、分割されたチップを取り扱う際に、チップ外周側面の液滴保護膜が剥がれ難くなり、これによって、チップ表面及びノズル孔部に付着して接着、液滴吐出の妨げになる液滴保護膜剥がれを低減することができる。また、ノズル基板1は、液滴吐出面と反対側のチップ外周側面が、液滴吐出面側のチップ外周側面より内側となり段差部が形成され、段差部の幅Wが液滴保護膜の厚みよりも数十倍大きく形成されている。図3~図5はノズル基板の製造方法を示す工程図である。これに基づき、ノズル基板の製造方法を説明する。図3Aに示すように、最初に単結晶シリコン基板以下ノズル基板1を準備し、このノズル基板1の両面に熱酸化膜15を厚さ0.5μm程度形成する。図3Bに示すように、第2ノズル孔10b、チップ外周側面14bとなる部分の熱酸化膜15を除去するパターニングを行う。図3Cに示すように、ノズル基板1の接着面側に厚さ2.0μmのレジスト膜16を形成し、第1ノズル孔10a、チップ外周側面14aとなる部分のレジスト膜16を除去するパターニングを行う。ここで、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aが、液滴吐出面側のチップ外周側面14bより数μm内側となるようにパターニングする。液滴保護膜厚さの数十倍である数μmとすることにより、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄く、かつ、面積が小さくなる。よって、チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減することができる。図3Dに示すように、異方性ドライエッチングで、第1ノズル孔10a、チップ外周側面14aとなる部分を所定の深さまでエッチングし、レジスト膜16を除去する。図4Eに示すように、熱酸化膜15のパターンをマスクにして、異方性ドライエッチングで第2ノズル孔10b、チップ外周側面14bとなる部分を所定の深さまでエッチングする。ここで、エッチング開口面積差を利用し、チップ外周側面14aの深さaが第2ノズル孔10bの深さbより深くなる構造ができる。これにより、液滴吐出面側から液滴保護膜を形成する際に、影部がより膜形成側となり、チップ外周側面14aに形成される液滴保護膜厚さを薄く、かつ、面積が小さくなる。よって、チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減することができる。図4Fに示すように、熱酸化膜15を剥離し、厚さ0.1μmの液滴保護膜としての酸化膜11aを熱酸化で形成する。図4Gに示すように、ノズル基板1に支持基板17を、支持テープ17aを用いて貼り合せ、所定の板厚になるまで、研削、研磨し、ノズル孔10、チップ外周部14を貫通させる。図4Hに示すように、液滴吐出面側からプラズマCVDにより酸化膜を形成した後、シランカップリング剤をディップコートし、液滴吐出面に液滴保護膜としての撥水膜11bを形成する。図5Iに示すように、液滴吐出面に撥水性保護テープ18cを介して支持テープ18aと支持基板18を貼り、接着面側の支持基板17を剥離した後、接着面から酸素、または、アルゴンプラズマ処理により、ノズル孔内の撥水膜を親水化する。図5Jに示すように、最後に、支持基板18を剥離して、ノズル基板1が完成する。以上述べたように、本実施形態に係るノズル基板1によれば、以下の効果を得ることができる。液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aが、液滴吐出面側のチップ外周側面14bより内側となる段差構造により、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面14aに形成される液滴保護膜11の厚さは薄く、面積小となる。これによって、分割されたチップを取り扱う際に、チップ外周側面から液滴保護膜が剥がれ難く、剥がれ量も少なくなり、歩留まりが向上する。実施形態2図6は、実施形態1で説明したノズル基板を備えた、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面図である。液滴吐出ヘッド100は、ノズル基板1、流路形成基板50、弾性膜60、保護基板70が接合されることにより構成されている。また、弾性膜60の上には絶縁体膜65を介して圧電素子80が配置されている。流路形成基板50は、本実施形態では板厚方向の結晶面方位が110のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には弾性膜60が形成されている。この流路形成基板50には、複数の隔壁によって区画された複数の圧力発生室52が並設されている。また、流路形成基板50の圧力発生室52の端部側には、インク供給路54と連通路55とが隔壁によって区画されている。また、連通路55の一端には、各圧力発生室52の共通のインク室液体室となるリザーバー90の一部を構成する連通部53が形成されている。すなわち、流路形成基板50には、圧力発生室52、連通部53、インク供給路54及び連通路55からなる液体流路が設けられている。また、流路形成基板50の開口面側には、各圧力発生室52のインク供給路54とは反対側の端部近傍に連通するノズル孔10が穿設されたノズル基板1が接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。一方、流路形成基板50の開口面とは反対側には、弾性膜60が形成され、この弾性膜60上には絶縁体膜65が積層形成されている。また、絶縁体膜65上には、下電極膜81と、圧電体層82と、上電極膜83とが積層形成されて圧電素子80が形成されている。そして、圧電素子80の個別電極である各上電極膜83には、インク供給路54側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜65上にまで延設される、リード電極85が接続されている。さらに、圧電素子80が形成された流路形成基板50上には、圧電素子80に対向する領域に、圧電素子80の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部72を有する保護基板70が、接着剤75によって接合されている。また、保護基板70には、連通部53に対向する領域にリザーバー部71が設けられており、このリザーバー部71は、流路形成基板50の連通部53と連通されて各圧力発生室52の共通のインク室となるリザーバー90を構成している。また、保護基板70の圧電素子保持部72とリザーバー部71との間の領域には、保護基板70を厚さ方向に貫通する貫通孔73が設けられ、この貫通孔73内に下電極膜81の一部及びリード電極85の先端部が露出されている。また、保護基板70上には、圧電素子80を駆動するための図示しない駆動回路が固定されており、駆動回路とリード電極85とは接続配線を介して電気的に接続されている。保護基板70上には、封止膜96及び固定板97とからなるコンプライアンス基板95が接合されている。ここで、封止膜96は、この封止膜96によってリザーバー部71の一方面が封止されている。また、固定板97は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板97のリザーバー90に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部98となっているため、リザーバー90の一方面は可撓性を有する封止膜96のみで封止されている。このような本実施形態の液滴吐出ヘッド100では、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバー90からノズル孔10に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室52に対応するそれぞれの下電極膜81と上電極膜83との間に電圧を印加する。これに伴い、弾性膜60、絶縁体膜65、下電極膜81及び圧電体層82が撓んで変形し、各圧力発生室52内の圧力が高まりノズル基板1のノズル孔10からインク滴が吐出する。このように、本実施形態の液滴吐出ヘッド100は、実施形態1で説明したノズル基板1を備えており、安定した液滴吐出のできる液滴吐出ヘッドを提供できる。実施形態3図7は本実施形態の液滴吐出装置を示す図である。例えば、液滴吐出装置としてインクジェット記録装置300を例示することができる。このインクジェット記録装置300は、実施形態1で説明したノズル基板を備えており、印字品質の安定した液滴吐出装置を提供できる。"