"機械共振周波数Fmを有する超音波モータの圧電アクチュエータを電気的に励起する方法であって、超音波アクチュエータは、励起電極と汎用電極とを備える少なくとも1つの音響定在波発生器を有しており、前記励起電極と前記汎用電極との間に、電気キャパシタンスC0が生成され、矩形励起電圧Ugを、前記少なくとも1つの音響定在波発生器の前記励起電極と前記汎用電極とに印加する工程であって、前記矩形励起電圧Ugの周波数は、前記アクチュエータの機械共振周波数Fmとは異なる、前記印加する工程と、電圧ugをフィードバック要素によって提供する工程であって、電圧ugは、前記定在波発生器を通じて流れる電流Igに比例し、電流Igは、圧電電流Ipと前記電気キャパシタンスC0の充電及び放電電流Icとの和による総合電流である、前記提供する工程と、電圧upを電圧ucからインパルスフィルタによって分離する工程であって、電圧upは、圧電電流Ipに比例し、電圧ucは、前記電気キャパシタンスC0の充電及び放電電流Icに比例する、前記分離する工程と、前記圧電電流Ipと前記矩形励起電圧Ugとの間の位相差がほぼゼロになるように、前記矩形励起電圧の周波数を変更する工程と、を備える方法。前記定在波発生器を通じて流れる前記圧電電流Ipは安定化される、請求項1に記載の方法。超音波モータの圧電アクチュエータを電気的に励起する装置であって、前記アクチュエータは、少なくとも1つの音響定在波発生器を有しており、該音響定在波発生器は、少なくとも1つのパワーアンプと、フィードバック要素と、フィルタと、制御電圧形成装置と、を備えており、前記少なくとも1つのパワーアンプは、前記アクチュエータの供給電圧に対する電圧セレクタスイッチとして実装されており、前記少なくとも1つの音響定在波発生器は、直接的に又は非直接的に前記電圧セレクタスイッチに接続されており、前記定在波発生器を通る電流と同じ電流が前記フィードバック要素を通るように、該フィードバック要素は、該音響定在波発生器に直列に接続されており、前記フィルタは、前記フィードバック要素によって生成される電圧のインパルスフィルタとして実装されており、さらに、前記フィルタの出力は、前記制御電圧形成装置の入力に接続されており、前記制御電圧形成装置は、少なくとも1つのパワーアンプの入力に接続される、装置。前記電圧セレクタスイッチは、ハーフブリッジパワーアンプと、ブリッジパワーアンプと、デュアルクロックパワーアンプとのうちのいずれか1つとして実装される、請求項3に記載の装置。前記フィードバック要素は、低い値の実効抵抗として実装されるか、又は電流に対する測定変圧器として実装される、請求項4に記載の装置。前記インパルスフィルタは、フィードバック要素によって生成される電圧に対するバンドパスフィルタとして実装されており、前記アクチュエータの機械共振周波数Fmに同調される、請求項3~5のいずれか1項に記載の装置。前記インパルスフィルタは、フィードバック要素によって生成される電圧に対するローパスフィルタ又は積分器として実装される、請求項3~5のいずれか1項に記載の装置。前記インパルスフィルタは、前記フィードバック要素によって生成される電圧に対する回路遮断器を備えており、該インパルスフィルタの制御入力は、エッジ検出器を通じて前記電圧セレクタスイッチに接続される、請求項3~5のいずれか1項に記載の装置。前記インパルスフィルタは、電圧比較器として実装される、請求項3~5のいずれか1項に記載の装置。前記装置は自動式の発生器として実装される、請求項9に記載の装置。前記制御電圧形成装置は、矩形波に対する、位相検出器及び制御式の発生器を備える、請求項3~9のいずれか1項に記載の装置。前記制御電圧形成装置は、対称なパルス幅変調式の変調器である、請求項8~11のいずれか1項に記載の装置。前記装置は、前記パワーアンプに与える電圧に対するレギュレータを有する、請求項8~12のいずれか1項に記載の装置。前記装置は、前記定在波発生器を通じて流れる圧電電流に対する安定化システムを有する、請求項3~13のいずれか1項に記載の装置。前記装置の電気コンポーネントの一部又は全部は、デジタルシグナルプロセッサ又はフィールドプログラム可能ゲートアレイのタイプのプログラム可能なデジタルプロセッサによって実現される、請求項3~14のいずれか1項に記載の装置。本発明の目的は、従って、超音波モータのアクチュエータを励起する方法と、対応する励起装置とを提供することであって、アクチュエータが高い機械負荷にあるとき、モータの安定度を増加できるように、必要とされる励起電圧を減少できるように、必要とされる電流及び電力を減少できるように、及び温度範囲を拡張するようにできる手段のうちのいずれかの手段によって、提供される。上述される目的は、請求項1の特徴を有する超音波モータに対するアクチュエータを電気的に励起する方法と請求項3の特徴を有する超音波モータに対するアクチュエータを電気的に励起する装置とによって達成される。有利な態様は、従属する請求項から取得され得る。図面の簡単な説明図面は概略により示したものであり、正確な縮尺によるものではない。本発明の根本的な着想は、アクチュエータを通じて流れる圧電電流を、アクチュエータの容量性充電電流から分離することと、超音波アクチュエータの励起電圧の周波数を調整するために分離された圧電電流の位相シフトを用いることである。以下において、‘超音波モータに対するアクチュエータ’、‘超音波アクチュエータ’又は単に‘アクチュエータ’は、同義に用いられる。本発明によって、機械共振周波数Fmを伴う超音波モータに対するアクチュエータを電気的に励起するための方法が得られ、該方法では、超音波モータは、励起電極及び汎用電極を備える少なくとも1つの音響定在波発生器を有し、電気キャパシタンスC0は、励起電極と汎用電極との間に生成される。本発明に応じた方法において、矩形励起電圧Ugは、少なくとも1つの音響定在波発生器の励起電極及び汎用電極に印加され、矩形励起電圧Ugの周波数は、アクチュエータの機械共振周波数Fmとは異なる。次いで、フィードバック要素の手段によって、電圧ugが供給され、電圧ugは、定在波発生器を通じて流れる電流Igに比例し、電流Igは、圧電電流Ipと電気キャパシタンスC0の充電及び放電電流Icとの和によって生成される総合電流である。続いて、電圧upを電圧ucからインパルスフィルタの手段によって分離する工程が行われ、電圧upは、圧電電流Ipに比例し、電圧ucは電気キャパシタンスC0の充電及び放電電流Icに比例する。最後に、圧電電流Ipと矩形励起電圧Ugとの間の位相差がほぼゼロになるように、矩形励起電圧の周波数が変化する。超音波モータの圧電アクチュエータを電気的に励起するための本発明に応じた装置において、アクチュエータは少なくとも1つの音響定在波発生器を有しており、少なくとも1つのパワーアンプ、フィードバック要素、フィルタ、及び制御電圧形成装置を備える。少なくとも1つのパワーアンプは、アクチュエータの供給電圧のための電圧セレクタスイッチとして設計されており、電圧セレクタスイッチは、少なくとも1つの音響定在波発生器に直接的に又は非直接的に接続される。さらに、フィードバック要素は、音響定在波発生器に直列に接続されており、定在波発生器を通じて流れる電流と等しい電流がこれを通じて流れており、フィルタは、フィードバック要素によって生成された電圧に対するインパルスフィルタとして設計される。さらに、フィルタの出力は、制御電圧形成装置の入力に接続されており、制御電圧形成装置は、少なくとも1つのパワーアンプの入力に接続される。本発明に応じた方法及び/又は装置は、励起電圧の周波数を、超音波アクチュエータに対する最適値に保たれるようにする。この周波数は、アクチュエータの機械共振周波数に等しい値に一定に保たれており、超音波モータのアクチュエータに適用される負荷の周波数とは独立しており、超音波モータの動作安定度を増加させる。超音波モータは、すなわち、常に最適な動作範囲において動作する。これは、励起電圧のレベルを低減し、必要とされる電流及び電力は低減され、モータは、より少ない程度に加熱する。本発明に応じた方法の1つの有利な設計によれば、定在波発生器を通じて流れる圧電電流Ipは、さらに、安定化される。アクチュエータにおいて生成された波の振動速度、すなわち、駆動される要素の動きの速度もまた、さらに安定化されることを可能にする。本発明に応じた装置の1つの有利な設計によれば、電圧セレクタスイッチは、ハーフブリッジパワーアンプ、ブリッジパワーアンプ、又はデュアルクロックパワーアンプとして設計される。これは、電圧セレクタスイッチの内部抵抗を著しく低減させることを可能にし、よって、可能な限りキャパシタの充電及び放電電流Icのパルス期間を短くする。フィードバック要素が低い実効抵抗値を有しているか、又は電流に対する測定変圧器を備えることは、有利であり得る。これは、電流Igの電圧Ugへの変換における位相誤差を著しく低減されることを可能にする。インパルスフィルタがバンドパスフィルタとして実装され、フィードバック要素によって生成された電圧に対して、アクチュエータの機械共振周波数Fmに同調されることもまた、有利であり得る。バンドパスフィルタ33とされるインパルスフィルタ23の実装は、機械共振周波数Fmにおける位相誤差が除去されることを可能にする。インパルスフィルタがフィードバック要素によって生成されるローパスフィルタ又は積分器として実装される場合、便利であることがわかる。その結果、インパルスフィルタが極めて単純に設計される。さらに、インパルスフィルタがフィードバック要素によって生成される電圧に対する回路遮断器を備え、回路遮断器の制御入力がエッジ検出器を通じて電圧セレクタスイッチに接続される場合もまた、有利であることがわかる。インパルスフィルタが電圧比較器として実装される場合もまた、有利であり得る。さらに、超音波モータの圧電アクチュエータを電気的に励起するための装置が自動式の発生器として実装される場合、有利であり得る。制御電圧形成装置が矩形電圧に対する位相検出器と制御式の発生器を備える場合、有利であり得る。制御電圧形成装置が対称なパルス幅変調PWM変調器を有する場合もまた、有利であり得る。対称なPWM変調器の使用によって、電流Ip、すなわち、駆動される要素の動きの速度を調整することができる。さらに、超音波モータの圧電アクチュエータを電気的に励起するための装置がパワーアンプに与える電圧に対するレギュレータを有する場合、有利であり得る。これは、電流Ip、すなわち、駆動される要素の動きの速度が調整されることを可能にする。超音波モータの圧電アクチュエータを電気的に励起するための装置が、定在波発生器を通じて流れる圧電電流に対する安定化システムを有する場合、便利であることがわかる。さらに、超音波モータの圧電アクチュエータを電気的に励起するための装置の電気コンポーネントが、部分的に又は完全に、DSPデジタルシグナルプロセッサ又はFPGAフィールドプログラム可能ゲートアレイのタイプのプログラム可能なデジタルプロセッサによって実装される場合、便利であり得る。これは、電気励起装置の設計を単純にすることができ、すなわち、その設計のコストを低減させるとともに、干渉に対する耐性を増加させる。図1は、超音波モータ1の超音波アクチュエータ2に対する発明に応じた励起装置を示す。この超音波波動モータ1において、超音波アクチュエータ2は、摩擦接合又は摩擦接触3によって、駆動され直線運動又は回転運動を行う要素4に接続される。アクチュエータ2は、板形状において実装される音響共振器5から成るが、ディスク形状、円柱形状、又は超音波アクチュエータ2の構成によって特定される他の形状により実装されることもできる。共振器5は、圧電セラミックの材料から成るが、金属、酸化物セラミック、金属セラミック、単結晶の材料、又は高い機械Q値を有する他の材料からも成ることができる。共振器5は、音響超音波に対する閉じた、又は開放された導波管を形成することができる。共振器5は、音響定在波のための発生器6を有する。発生器6は、共振器5の一部である。これに対して、発生器6は、共振器5に接続される圧電素子図示なしによって形成されることもできる。図1に示されるように、発生器6は、3層構造を有しており、1つの層は、励起電極7を示しており、1つの層は、汎用電極8であり、圧電セラミック9は、励起電極7と汎用電極8の層との間に配置される。図1の例10にも示されるように、圧電セラミック層の二極化ベクトルは、電極7,8に垂直に並べられる。しかしながら、圧電セラミック層の二極化ベクトルは、電極7,8に対して傾いて図1の例11又は、電極7,8に平行で図1の例12あることが考えられる。さらに、二極化ベクトルは、発生器6の異なる領域において異なる配置を有することが考えられる。この場合1つの領域において、二極化ベクトルは、垂直な配置を有しており、他の区分においてもまた垂直な配置を有しているが、逆方向、すなわち、逆平行方向であることもまた考えられる。発生器6は、多層構造を有することができ、図1の例13に示されるように、電極7,8及び圧電層9が、互い違いに配置される。この場合、個々の層において、前述された二極化ベクトルの異なる方向が考えられる。さらに、定在波発生器は、ストリップ形状などの電極図示なしを有することができる。電圧を印加するように、電極7及び8は、出力14,15を有する。出力14,15は、より線の導体として実装されるが、弾性要素又は電気的に導電性ゴム要素として実装されることもできる。電気キャパシタンスC0は、発生器6の電極7及び8の間に存在する。発生器6は、共振器5において音響超音波の定在波を発生するように用いられ、共振器5は、超音波モータによってモータの動作のために用いられる。この波は、縦波、たわみ波、剪断波、ねじれ波、体積波、平面波、表面波、対称、非対称又は異なるタイプの音響波であり得る。用いられる波のタイプ及び形状は、共振器5の幾何学形状、電極7及び8の形状、圧電セラミックの二極化ベクトルの電極7及び8に対する方向、及び励起電圧Ugの周波数によって決定される。アクチュエータ2において生成される波において、機械共振周波数Fmと等しい周波数の共振器5の複数の点は、ピーク振動速度Vpを有する。機械共振周波数Fmは、超音波アクチュエータ2の動作周波数を表し、従って、超音波モータ1の動作周波数もまた表す。この周波数において、超音波モータ1は、最適な機械特性の値を有する。電気励起装置20は、パワーアンプ21、フィードバック要素22、フィードバック要素22によって供給される電圧ugに対するインパルスフィルタ23、及び制御電圧形成装置24を有する。パワーアンプ21は、電圧セレクタスイッチ25として実装される。この場合、電圧セレクタスイッチは、ハーフブリッジ若しくはブリッジパワーアンプ26又はデュアルクロックパワーアンプ27の形状を形成することができる。パワーアンプ21は、DC電圧Eを与えられ、矩形のAC電圧Ug図10の例42参照を提供する。音響波6の発生器の電極7,8の出力14,15は、パワーアンプ21に、フィードバック要素22によって接続される。インパルスフィルタ23は、電圧Ugが印加される入力31と、電圧upが印加される出力32とを有する。インパルスフィルタ23は、バンドパスフィルタ33として設計される。しかしながら、ローパスフィルタ34又は積分器35図6参照としても設計され得る。さらに、インパルスフィルタ23は、比較器又はインパルス装置図7参照であり得る。これらのフィルタは、フィードバック要素22によって提供される電圧ugに対する回路遮断器37を含んでおり、制御入力38は、電圧セレクタ21に、エッジ検出器39を通じて接続される。さらに、インパルスフィルタ23は、パッシブ又はアクティブな電気コンポーネントから成ることができ、又は、自由にプログラム可能なマイクロコントローラとともに実装されることができる。フィードバック要素22は、発生器6を通じて流れる電流Igをこの電流に比例して変化する電圧ugに変換するために用いられる。フィードバック要素22は、低い値の抵抗29として実装されるが、電流-電圧測定変圧器30図14参照として、又は異なる設計により実現されることもできる。図2の例17~19に応じて、共振器5は、電極7及び8とともに、音響波のための1つ又はそれ以上の補助発生器16を有することができる。補助発生器16は、矩形の電圧Ug又は矩形の形状ではなく異なる電圧を用いて駆動されることができる。アクチュエータ2における補助発生器16は、メインの発生器6と同一のタイプの音響超音波を生成することができるが、メインの発生器6とは異なるタイプの音響超音波もまた生成することができる。さらに、補助発生器16は、同一の機械共振周波数Fm又は異なる周波数、例えば、Fzを有することができる。さらに、補助発生器16は、発生器6のキャパシタンスC0とは異なるキャパシタンス、例えば、Czを有することができる。図2の例17に応じたアクチュエータ2は単相であり、図2の例18においては、二相である。対応する三相の設計は、図2の例19において示される。もちろん、三相よりも多くを用いて装置を制御することも考えられる。発生器6及び16が併せて励起される場合、2,3又はそれ以上の定在波はアクチュエータ2において互いに独立して伝搬する。アクチュエータ2において伝搬している定在波は、純粋な伝送波又は伝送波と定在波の組み合わせであることができる。図4及び図5に応じて、定在波発生器6の電極7,8の出力14,15は、整合変圧器28を通じてパワーアンプ21に接続される。図8は、機械共振周波数Fmの領域における超音波モータ1に対する定在波発生器6の電気機械パラメータを図示するように、等価回路を示す。この回路における記号は、次の意味を有する。C0=電気キャパシタンスであって、電極7と電極8との間に生成される;Lm=電気インダクタンスであって、アクチュエータ2の質量に比例する;Cm=電気キャパシタンスであって、アクチュエータ2の弾性コンプライアンスに比例する;Rm=電気抵抗であって、アクチュエータ2における機械損失に比例する;R1=電気抵抗であって、アクチュエータ2の負荷の機械抵抗に比例する。回路はその回路に印加される電圧Ugを有しており、電圧Ugは、回路を通じて流れる電流Igを引き起こす。この電流は、出力14,15及び定在波発生器6の電極7,8を通じて流れる。電流Igは、次の2つの成分から生成される総合電流である。Ic=発生器6の電気キャパシタンスC0の充電及び放電電流と、Ip=圧電電流であって、発生器6の圧電セラミック層9の領域の回転角度によって形成され、発生器6の振動速度Vp又は振動振幅を反映する。本発明の着想に反して、電圧Ugが正弦電圧である場合、電流Ig,Ic及びIpVpもまた正弦波を有する。この場合、電流Igの振幅と電流IpVpの振幅とは、図9の例40に示される関係を有する。図9の表示41は、周波数における電圧Ugと電流Igとの位相シフトの依存性を示す。図9の例40と例41とにおいて、特定の複数の周波数が認められる。これらの周波数のうち、Fgは電流Igの共振周波数である。この周波数において、電流Igは、その最大値Igmを有しており、位相シフト角度φgは、φgmと等しい。Fmは、電流IpVpの機械共振周波数である。この周波数において、電流IpVpは、その最大値Ipmを有しており、位相シフト角度φgは、φpmと等しい。F0は、電流Igに対する位相シフトがゼロに等しい周波数である。Faは、電流Igの反共振周波数である。周波数F0とFaにおいて、位相シフト角度φgは、ゼロに等しい。特許文献4に応じた超音波モータのアクチュエータを励起するための方法の原理は、本発明に応じた方法に反して、正確には、前述したように、正弦電気電圧Ugがアクチュエータに印加され、この電圧の周波数調整は、この電圧とアクチュエータを通じて流れる電流Igとの間の位相シフトφpmの安定化によって影響される。周波数Fmにおいて、インダクタンスLmは、容量Cmによって補償されるため、位相シフト角度φpmは、容量C0及び抵抗の和RmRlによって決定される。抵抗Rmは、抵抗Rlよりも大幅に小さい。この理由のため、負荷の抵抗RIにおける変化は、周波数Fmにおける角度φpmの変化を引き起こす。その結果、特許文献4に応じた手法において、超音波モータのアクチュエータにかかる負荷Rlの変化は、励起電圧Ugの周波数の不安定化をもたらす。この周波数は、従って、機械共振周波数Fmとは異なる。より大きな負荷がアクチュエータにかかる場合、不安定化は、超音波モータの動作に不利益な著しい振幅の状態を起こす。一方、本発明に応じた手法において、電気矩形電圧Ugは、アクチュエータ2の発生器6に印加され、その波形の形状は、図10の例42に示される。この電圧パルスの立ち上がり及び立ち下がりエッジのそれぞれは、キャパシタンスC0の速やかな充電と放電を引き起こす。キャパシタンスC0の充電及び放電は、非常に短い時間Tcにおいて実行され、これは励起電圧Ugの周期Tgの数倍小さい。この時間は、アンプ26の伝導性トランジスタの低抵抗とキャパシタンスC0の大きさとによって決定される。従って、電流Icは、図10の例43から見られるように、短いパルスの列を表す。電流パルスIcは、矩形電圧Ugのパルスのエッジと一致する。電流Icと同様に、圧電電流Ipもまた発生器6を通じて流れており、振動速度Vpに比例する。発生器6は、共振器5の一部であるため、電流Ipは、正弦波図10の例44参照を有する。総合的な電流Igは、電流Ic及び電流Ipから成り、発生器6の電極7,8を通じて流れる図10の例45参照。機械共振周波数Fmにおいて、インダクタンスLmは、キャパシタンスCmによって補償されるため、この周波数において、電流Ip矩形励起電圧Ugに対する有効電流、又は実効電流、すなわち、電流の位相シフトは、ゼロである。上述の通り、発生器6が本発明に応じて周波数Fmの矩形電圧Ugによって励起されるとき、負荷抵抗Rlの変化は、電流Igの位相変化をもたらさず、すなわち、位相差はゼロに等しいままである。励起電圧Ugの周波数がFmからFcに減少される場合、電圧Ugの電流Ipcは、角度φpcだけ先に進む。すなわち、圧電電流は、容量性の特性を帯びる。励起電圧の周波数がFmからFiに増加される場合、電圧Ugの電流Iplは、角度φplだけ後退し始める。すなわち、圧電電流は誘導性の特性を帯びる図11,図12も参照。図11の例47から明らかなように、全範囲に渡る周波数Fにおける圧電電流IpVpの位相シフトの相関関係は、滑らかな一価関数である。その構造の観点からすれば、本発明の電気励起装置20は、励起電圧Ugの周波数を調整するシステムを形成し、つまり、矩形励起電圧Ugと圧電電流Ipとの間の位相シフト角度の安定化を用いる。周波数調整に対して、個々の異なる原理が考えられる。例えば、励起装置20は、ポジティブフィードバックを備える自動式の発生器であることができ、周波数Fmにおいて、フィードバックループの位相シフト角度はゼロに等しく、利得係数は1よりも大きい。この場合、制御電圧形成装置24はリミットアンプ48として実装される図13参照。励起装置20は、ネガティブフィードバックを備えた周波数調整のための位相同期ループPLLシステムであることもできる。この場合、制御電圧形成装置24は、参照入力50及び測定入力51を備える位相検出器49と、制御式の発生器52とから成る図14参照。周波数調整のために適用される原理に関わらず、電気励起装置20は制御入力54を伴う対称なPWM変調器53を備えており、励起電圧Ugは、幅変調された矩形電圧を表す。図15に示される電気励起装置20は、電源電圧Eに対するレギュレータ55を含み、レギュレータ55は、パワーアンプ21に対する電源を表し、制御入力56を備える。このレギュレータ55は、例えば、DC-DC変換器として、実装されてもよく、PWM変調器として動作する。図16に示される電気励起装置20の変形は、定在波発生器6を通じて流れる圧電電流Ipに対する安定化システム57を示す。つまり、安定化システム57は、インパルスフィルタ23の出力32に接続された測定入力58を有する。図17に示される電気励起装置20において、電気コンポーネントインパルスフィルタ23、制御電圧形成装置24、バンドパスフィルタ33、ローパスフィルタ34、積分器35、インパルス装置36、位相検出器49、制御式の発生器52、及び安定化システム57の機能は、部分的に又は完全に、DSP又はFPGAのタイプの適切にプログラムされたデジタルプロセッサによって、実装される。デジタルプロセッサ59は、インタフェースポート60を有することができる。駆動される超音波モータ1の要素4を位置エンコーダ61とともに備えることができ、位置エンコーダ61の出力62は、デジタルプロセッサ59に接続される。機能の説明超音波モータ1のアクチュエータ2を電気的に励起するための本発明に応じた方法は、電気矩形励起電圧Ugがアクチュエータ2の音響超音波定在波のためのメイン発生器6の励起電極7及び汎用電極8に印加され、その周波数Fは、初期において、アクチュエータ2の機械共振周波数Fmから僅かに異なる、という事実に基づく。次いで、フィードバック要素22は、アクチュエータ2の発生器6を通じて流れる電流Igに比例する電圧ugを分岐タップオフさせる。この後、インパルスフィルタ23によって、圧電電流Ipに比例する電圧upは、キャパシタンスC0の充電及び放電電流Icに比例する電圧ucから分離される。次に、圧電電流Ipと矩形励起電圧Ugとの位相差φpがゼロの値に近づくように、又はゼロと等しくなるように、矩形励起電圧Ugの周波数Fが変更される。アクチュエータ2の音響定在波のための発生器6を通じて流れる圧電電流Ipは、従って、安定化される。本発明による超音波モータ1のアクチュエータ2の電気励起装置20は、次のように機能する。供給電圧Eが印加されるとき、パワーアンプ2125,26,27は、電気矩形励起電圧Ugを供給し、その周波数Fは、アクチュエータ2の機械共振周波数Fmから僅かに異なる。この電圧は、発生器6の電極7,8の出力14,15に印加される。この電圧の結果として、電流Igは、発生器6とフィードバック要素2229,30とを通って流れ始める。フィードバック要素2229,30において、電流Igに比例する電圧ugが存在する。インパルスフィルタ2333,34,35,36の結果、電圧upは、電圧ugから分離され、upは圧電電流Ipに比例して動作し、ucは、キャパシタンスC0の充電及び放電電流Icに比例する。電圧upは、正弦電圧を表しており、機械共振周波数Fmにおける位相は、矩形励起電圧Ugの位相に整合する又は180度シフトされる。矩形励起電圧ugに対する電圧upの周波数-位相特性は、滑らかな一価関数によって表される。電気励起装置が自動式の発生器20として実装される場合、供給電圧Eがオンに切り替えられると、パルス電流が発生器6を通じて流れ、その結果、電気励起装置20は、機械共振周波数Fmにおける発振を引き起こす。機械共振周波数Fmにおいてフィードバック要素22に対する位相シフト角度がゼロであり、この角度がアクチュエータの負荷に依存しないため、アクチュエータ2の負荷が何であるかに関わらず、電気励起装置20は機械共振周波数Fmにおいて振動する。電気励起装置20がネガティブフィードバックを有する周波数調整のためのPLLシステムである場合、このシステムは電気矩形電圧ugと電圧すなわち、圧電電流Ipであって、upがゼロに等しくなる電圧との間の位相シフト角度φpを安定化する。電気励起装置20は、次いで、電圧Ugを提供し、その周波数は、常にアクチュエータ2のいかなる負荷における機械共振周波数Fmに等しい。安定化システム57を用いる圧電電流Ipの更なる安定化は、振動速度Vpが安定化されることを可能にし、従って、駆動される要素4の動きの速度もまた安定化されることを可能とする。ハーフブリッジ若しくはブリッジアンプ26又はデュアルクロックパワーアンプ27の使用によって、セレクタ25の内部抵抗を最も低減することができ、すなわち、容量性電流Icのパルス期間tcを最も低減することができる。フィードバック要素22とされる、低い値の抵抗29又は測定変圧器30の使用によって、電流Igの電圧ugへの変換における位相誤差を最も低減することができる。バンドパスフィルタ33としてのインパルスフィルタ23の実装は、機械共振周波数Fmにおける位相誤差が除去されることを可能にし、一方、ローパスフィルタ34又は積分器35とされるインパルスフィルタ23の設計は、これらのフィルタが極めて単純に設計されることを可能にする。インパルス装置36とされるインパルスフィルタ23の設計によって、励起装置20の動作周波数範囲全体における位相誤差を除去できるようになる。電気励起装置20における電気供給電圧のための対称なPWM変調器53又はレギュレータを用いることによって、電流IpVp、すなわち、駆動される要素4の動きの速度を調整することが可能である。デジタルプロセッサ59としての電気コンポーネントの実装は、コストを低減させ、干渉の耐性を増加するように、電気励起装置20及びその構造を単純化することができる。本発明に応じた方法及び本発明に応じた装置は、励起電圧の周波数を、超音波アクチュエータに対する最適値に保持されるようにする。この周波数は、アクチュエータの機械共振周波数に等しい値において一定に保たれており、超音波モータのアクチュエータに適用される負荷とは独立している。これは、超音波モータの動作安定度を増加する。超音波モータは常に最適な動作範囲において動作しているため、超音波モータの動作に必要とされる励起電圧及び電流の大きさ又は電力は低減される。モータは、より少ない程度にしか加熱されず、よって、動作温度範囲を延長する。"