互いに異なる方向に面する第1面及び第2面を有する誘電体と、前記誘電体内に配置された内側電極と、前記内側電極に対して前記第1面側に配置された第1電極と、前記内側電極に対して前記第2面側に配置された第2電極と、を有し、前記内側電極は、前記第1電極に対して前記第1面に沿う第1方向に位置する第1下流域部を有し、前記第1電極との間に電圧が印加されることにより前記第1面に沿うイオン風を誘起可能であるとともに、前記第2電極に対して前記第2面に沿う第2方向に位置する第2下流域部を有し、前記第2電極との間に電圧が印加されることにより前記第2面に沿うイオン風を誘起可能であるイオン風発生体。前記第1面及び前記第2面は互いに反対方向に面する請求項1に記載のイオン風発生体。前記第1方向及び前記第2方向は同一方向である請求項2に記載のイオン風発生体。前記誘電体は、平板状の複数の絶縁層が積層されて構成された基板であり、前記第1面及び前記第2面は前記複数の絶縁層の積層方向に面する前記基板の両主面であり、前記第1電極は前記第1面に積層された層状電極であり、前記第2電極は前記第2面に積層された層状電極であり、前記内側電極は前記複数の絶縁層間のいずれかに配置された層状電極である請求項2又は3に記載のイオン風発生体。前記誘電体は、前記第1面を構成する第1部分誘電体と、前記第2面を構成する第2部分誘電体と、を有し、前記第1電極は前記第1部分誘電体に設けられ、前記第2電極は前記第2部分誘電体に設けられ、前記内側電極は、前記第1部分誘電体の、前記第1電極よりも前記第2部分誘電体側に設けられた第3電極と、前記第2部分誘電体の、前記第2電極よりも前記第1部分誘電体側に設けられた第4電極と、前記第3電極と前記第4電極とを接続する接続導体と、を有する請求項2又は3に記載のイオン風発生体。前記誘電体は、平板状の複数の絶縁層が積層されて構成された基板であり、前記第1面及び前記第2面は前記複数の絶縁層の積層方向に面する前記基板の両主面であり、前記複数の絶縁層は、前記第1面及びその背面の第3面を有する、前記第1部分誘電体としての第1絶縁層と、前記第2面及びその背面の第4面を有する、前記第2部分誘電体としての第2絶縁層と、前記第3面及び前記第4面との間に介在する第3絶縁層と、を有し、前記第1電極は前記第1面に積層された層状電極であり、前記第2電極は前記第2面に積層された層状電極であり、前記第3電極は前記第3面に積層された層状電極であり、前記第4電極は前記第4面に積層された層状電極であり、前記接続導体は前記第3絶縁層を貫通するビア導体である請求項5に記載のイオン風発生体。前記第1電極及び前記第2電極を含み、前記誘電体の外周を囲むように形成された環状電極を有する請求項1~3のいずれか1項に記載のイオン風発生体。前記誘電体は、セラミックにより構成されている請求項1~7のいずれか1項に記載のイオン風発生体。前記第1電極と前記第1下流域部との距離と、前記第2電極と前記第2下流域部との距離とが互いに同一である請求項1~8のいずれか1項に記載のイオン風発生体。前記第1電極と前記第1下流域部との距離と、前記第2電極と前記第2下流域部との距離とが互いに異なる請求項1~8のいずれか1項に記載のイオン風発生体。互いに異なる方向に面する第1面及び第2面を有する誘電体と、前記誘電体内に配置された内側電極と、前記内側電極に対して前記第1面側に配置された第1電極と、前記内側電極に対して前記第2面側に配置された第2電極と、前記内側電極と前記第1電極との間に電圧を印加するとともに、前記内側電極と前記第2電極との間に電圧を印加する電源と、を有し、前記内側電極は、前記第1電極に対して前記第1面に沿う第1方向に位置する第1下流域部を有し、前記第1電極との間に電圧が印加されることにより前記第1面に沿うイオン風を誘起可能であるとともに、前記第2電極に対して前記第2面に沿う第2方向に位置する第2下流域部を有し、前記第2電極との間に電圧が印加されることにより前記第2面に沿うイオン風を誘起可能であるイオン風発生装置。前記第1電極及び前記第2電極は、前記誘電体の外部へ露出しており、前記電源は、前記第1電極及び前記第2電極に基準電位を付与するとともに、前記内側電極に基準電位に対して変動する電位を付与する請求項11に記載のイオン風発生装置。特許文献1は、基板状の誘電体の一方主面においてイオン風を発生させることのみに着目しており、2つの電極が他方主面等の誘電体の他の面に及ぼす影響については着目していない。その結果、例えば、他方主面において、発生させることを意図していない、一方主面とは反対方向のイオン風が誘起され、一方主面におけるイオン風の風量を減じてしまい、所要の機能が発揮されないおそれがある。従って、誘電体の表面に沿うイオン風を好適に発生させることができるイオン風発生体及びイオン風発生装置が提供されることが望ましい。本発明の一態様に係るイオン風発生体は、互いに異なる方向に面する第1面及び第2面を有する誘電体と、前記誘電体内に配置された内側電極と、前記内側電極に対して前記第1面側に配置された第1電極と、前記内側電極に対して前記第2面側に配置された第2電極と、を有する。前記内側電極は、前記第1電極に対して前記第1面に沿う第1方向に位置する第1下流域部を有し、前記第1電極との間に電圧が印加されることにより前記第1面に沿うイオン風を誘起可能であるとともに、前記第2電極に対して前記第2面に沿う第2方向に位置する第2下流域部を有し、前記第2電極との間に電圧が印加されることにより前記第2面に沿うイオン風を誘起可能である。本発明の一態様に係るイオン風発生装置は、互いに異なる方向に面する第1面及び第2面を有する誘電体と、前記誘電体内に配置された内側電極と、前記内側電極に対して前記第1面側に配置された第1電極と、前記内側電極に対して前記第2面側に配置された第2電極と、前記内側電極と前記第1電極との間に電圧を印加するとともに、前記内側電極と前記第2電極との間に電圧を印加する電源と、を有する。前記内側電極は、前記第1電極に対して前記第1面に沿う第1方向に位置する第1下流域部を有し、前記第1電極との間に電圧が印加されることにより前記第1面に沿うイオン風を誘起可能であるとともに、前記第2電極に対して前記第2面に沿う第2方向に位置する第2下流域部を有し、前記第2電極との間に電圧が印加されることにより前記第2面に沿うイオン風を誘起可能である。上記の構成によれば、誘電体の表面に沿うイオン風を好適に発生させることができる。以下、本発明の複数の実施形態に係るイオン風発生体及びイオン風発生装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。また、第2の実施形態以降において、既に説明された実施形態と共通又は類似する構成について、既に説明された実施形態と共通の符号を用い、また、図示や説明を省略することがある。<第1の実施形態>図1aは本発明の第1の実施形態に係るイオン風発生装置1を模式的に示す斜視図であり、図1bは図1aのIb-Ib線における断面図である。イオン風発生装置1は、矢印y1及びy2図1bで示される方向に流れるイオン風を発生させる装置として構成されている。なお、本実施形態では、イオン風が流れる方向をx方向、イオン風の幅方向をy方向、イオン風の高さ方向をz方向として参照することがある。イオン風発生装置1は、イオン風を発生させるイオン風発生体3と、イオン風発生体3の駆動及び制御を行う駆動部5図1aとを有している。イオン風発生体3は、誘電体7と、誘電体7に設けられた第1電極9A、第2電極9B及び内側電極11とを有している。なお、以下では、第1電極9A及び第2電極9Bを外側電極9といい、両者を区別しないことがある。イオン風発生体3は、誘電体7に隔てられた外側電極9と内側電極11との間に電圧が印加されることにより、誘電体バリア放電を生じ、イオン風を発生させる。誘電体7は、例えば、厚さが一定の平板状基板状に形成されており、第1主面7aと、その背面の第2主面7bとを有している。なお、イオン風は、矢印y1で示すように第1主面7a上を第1主面7aに沿って流れるとともに、矢印y2で示すように第2主面7b上を第2主面7bに沿って流れる。また、第1主面7a上を流れるイオン風と第2主面7b上を流れるイオン風とは互いに同一方向x方向に流れる。誘電体7の平面形状は適宜な形状とされてよいが、図1ではx方向及びy方向に平行な辺を有する矩形とされた場合を例示している。誘電体7は、例えば、第1絶縁層13A及び第2絶縁層13B以下、単に絶縁層13といい、両者を区別しないことがある。が積層されることにより構成されている。なお、図1では、説明の便宜上、第1絶縁層13Aと第2絶縁層13Bとの境界線を明示しているが、実際の製品においては、第1絶縁層13A及び第2絶縁層13Bは一体化され、その境界線が観察できなくてもよい。なお、境界線は、観察が不可能であっても、後述の説明から理解されるように、内側電極11の位置からその位置を特定可能である。絶縁層13は、例えば、厚さが一定の平板状に形成されている。第1絶縁層13Aは、第1主面7a及びその背面の第3主面13c図1bを有している。第2絶縁層13Bは、第2主面7b及びその背面の第4主面13d図1bを有している。2つの絶縁層13の厚さは、本実施形態では互いに同一とされている。また、2つの絶縁層13の平面形状は、例えば、互いに同一とされている。なお、絶縁層13それぞれも、複数の絶縁層から形成されていてもよい。誘電体7絶縁層13は、無機絶縁物により形成されてもよいし、有機絶縁物により形成されてもよい。無機絶縁物としては、例えば、セラミック、ガラスが挙げられる。セラミックとしては、例えば、酸化アルミニウム質焼結体アルミナセラミックス、ガラスセラミック焼結体ガラスセラミックス、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、コーディライト焼結体、炭化珪素質焼結体が挙げられる。有機絶縁物としては、例えば、ポリイミド、エポキシ、ゴムが挙げられる。第1電極9Aは、第1主面7aに積層され、第2電極9Bは、第2主面7bに積層され、内側電極11は、2つの絶縁層13の間に配置されている。換言すれば、内側電極11は、誘電体7内に配置され、第1電極9Aは、内側電極11に対して第1主面7a側に配置され、第2電極9Bは、内側電極11に対して第2主面7b側に配置されている。これにより、これらの電極は、誘電体7により隔てられている。2つの外側電極9は、例えば、厚み方向z方向の位置以外は、形状及び位置が同一に設定されている。すなわち、2つの外側電極9は、互いに同一の形状に形成され、流れ方向x方向及び幅方向y方向の位置は互いに同一である。これは、第1主面7a側と第2主面7b側とで風量等を同一にするためである。内側電極11は、第1電極9Aに対して流れ方向の下流側x方向の正側、第1主面7aに沿う第1方向に位置する第1下流域部本実施形態では内側電極11の全体を含んでいる。これにより、第1電極9A側を上流側とするイオン風の誘起が可能となる。同様に、内側電極11は、第2電極9Bに対して流れ方向の下流側x方向の正側、第2主面7bに沿う第2方向に位置する第2下流域部本実施形態では内側電極11の全体を含んでいる。これにより、第2電極9B側を上流側とするイオン風の誘起が可能となる。言い換えれば、内側電極11は、外側電極9に対して流れ方向x方向の正側に位置がずれて配置されている。このずれにより、外側電極9側を上流側、内側電極11側を下流側とするイオン風の誘起が可能となっている。本実施形態では、第1主面7a又は第2主面7bを平面視したときに、x方向において、内側電極11は外側電極9に隙間なく隣接している。ただし、内側電極11は、第1主面7a又は第2主面7bを平面視したときに、x方向において、上流側の一部が外側電極9の全部若しくは下流側の一部に重複していてもよいし下流域部は内側電極11の一部であってもよいし、外側電極9と所定の隙間で離間していてもよい。言い換えれば、外側電極9と内側電極11とは、第1主面7a又は第2主面7bを平面視したときに、x方向において、外側電極9の一部に内側電極11が重複するようにずれていてもよいし、外側電極9の全部に内側電極11が重複するようにずれていてもよい。また、外側電極9と内側電極11とは、第1主面7a又は第2主面7bを平面視したときに、x方向において、隙間なく隣接し合うようにずれていてもよいし、完全にずれて所定の隙間で離間していてもよい。上述のように、2つの絶縁層13の厚さは互いに同一であるから、厚み方向z方向における、第1電極9Aと内側電極11との距離と、第2電極9Bと内側電極11との距離とは同一である。また、2つの外側電極9の流れ方向x方向における位置は互いに同一であるから、流れ方向x方向における、第1電極9Aと内側電極11との距離と、第2電極9Bと内側電極11との距離とは同一である。また、これらのことから、xz平面における、第1電極9Aと内側電極11第1下流域部との距離と、第2電極9Bと内側電極11第2下流域部との距離とは同一である。外側電極9及び内側電極11は、例えば、厚さが一定の層状平板状含むに形成されている。これらの電極の平面形状は適宜な形状とされてよいが、図1ではx方向及びy方向に平行な辺を有する矩形とされた場合を例示している。なお、外側電極9及び内側電極11のy方向の長さは、例えば、互いに同一に設定される。外側電極9及び内側電極11は、金属等の導電性材料により形成されている。金属としては、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀、金、パラジウム、白金、ニッケル、コバルトまたはこれらを主成分とする合金が挙げられる。駆動部5図1aは、外側電極9と内側電極11との間に交流電圧を印加する電源装置15と、電源装置15を制御する制御装置19とを有している。2つの外側電極9は、誘電体7に設けられた配線若しくはその他の配線により並列に接続されている。従って、電源装置15は、第1電極9Aと内側電極11との間、及び、第2電極9Bと内側電極11との間に、電圧値、周波数及び位相が互いに同一の電圧を印加する。電源装置15により印加される交流電圧は、正弦波等により表わされる、電位が連続的に変化するものであってもよいし、パルス状の、電位の変化が不連続なものであってもよい。また、交流電圧は、外側電極9及び内側電極11の双方において基準電位に対して電位が変動するものであってもよいし、外側電極9及び内側電極11の一方が基準電位に接続され、他方においてのみ電位が基準電位に対して変動するものであってもよい。電位の変動は、基準電位に対して正及び負の双方に変動するものであってもよいし、基準電位に対して正及び負の一方のみに変動するものであってもよい。図1aでは、外側電極9に基準電位が付与され、内側電極11の電位が変動するように交流電圧が印加される場合を例示している。なお、図1aに示す例においては、基準電位は、大地の電位と同じ狭義の基準電位であることが好ましい。制御装置19は、例えば、所定のシーケンスに従って、若しくは、ユーザの操作に従って、電源装置15による電圧の印加のオンオフ、若しくは、印加される電圧の大きさなどを制御する。なお、誘電体7、外側電極9及び内側電極11の寸法、並びに、交流電圧の大きさ及び周波数は、イオン風発生装置1が適用される技術、又は、要求されるイオン風の性質等の種々の事情に応じて適宜に設定されてよい。図2は、イオン風発生体3の製造方法を説明する模式的な断面図である。誘電体7は、図2に示すように、第1電極9Aが設けられた第1絶縁層13Aと、第2電極9B及び内側電極11が設けられた第2絶縁層13Bとが積層されることにより製造される。具体的には、誘電体7がセラミック焼結体により構成される場合を例にとると、以下のとおりである。まず、絶縁層13となるセラミックグリーンシートを用意する。セラミックグリーンシートは、原料粉末に適当な有機溶剤及び溶媒を添加混合して作製したスラリーをドクターブレード法やカレンダーロール法等の成形方法でシート状に成形することによって形成される。原料粉末は、アルミナセラミックを例にとると、アルミナAl2O3、シリカSiO2、カルシアCaO及びマグネシアMgO等である。次に、セラミックグリーンシート第1絶縁層13Aの第1主面7aとなる面に第1電極9Aとなる導電ペーストを設ける。また、セラミックグリーンシート第2絶縁層13Bの第2主面7bとなる面に第2電極9Bとなる導電ペーストを、第4主面13dとなる面に内側電極11となる導電ペーストを設ける。導電ペーストは、例えば、タングステン、モリブデン、銅または銀等の金属粉末に有機溶剤及び有機バインダを添加し混合することによって作製される。導電ペーストは、必要に応じて分散剤や可塑剤などが添加されていてもよい。混合は、例えば、ボールミル、三本ロールミル、またはプラネタリーミキサー等の混練手段により行われる。また、導電ペーストは、例えば、スクリーン印刷法等の印刷手段を用いてセラミックグリーンシートに印刷塗布される。そして、第1絶縁層13Aとなるセラミックグリーンシートと、第2絶縁層13Bとなるセラミックグリーンシートとを積層し、導電ペースト及びセラミックグリーンシートを同時焼成する。これにより、外側電極9及び内側電極11が配置された誘電体7、すなわち、イオン風発生体3が形成される。なお、導電ペーストは、セラミックグリーンシートと同時焼成される場合には、セラミックグリーンシートの焼結挙動に合わせたり、残留応力の緩和によって焼結後の誘電体との接合強度を高めたりするために、ガラスやセラミックスの粉末が添加されてもよい。次に、イオン風発生装置1の作用について説明する。イオン風発生体3は、大気中に置かれ、イオン風発生体3の周囲には空気が存在している。なお、イオン風発生体3は、特定の種類の気体雰囲気下例えば窒素雰囲気下に置かれて使用されてもよい。電源装置15により外側電極9と内側電極11との間に電圧が印加され、これらの電極間の電位差が一定の閾値を超えると、誘電体バリア放電が生じる。そして、放電に伴ってプラズマが生成される。プラズマ中の電子又はイオンは、外側電極9及び内側電極11により形成された電界により移動する。また、中性分子も電子又はイオンに随伴して移動する。このようにしてイオン風が誘起される。より具体的には、イオン風は、矢印y1及びy2で示すように、外側電極9側から内側電極11側へ移動する電子又はイオンにより、第1主面7a及び第2主面7b上の内側電極11と重なる領域を中心として誘起され、外側電極9側から内側電極11側へ流れる。各主面におけるイオン風の風速風量は、各主面に設けられた外側電極9及び内側電極11に印加される電圧が大きいほど、また、各主面に設けられた外側電極9と内側電極11との距離が小さくなるほど、大きくなる。本実施形態では、第1電極9A及び第2電極9Bは、z方向の位置を除いては、互いに同一の条件で設けられ、また、互いに同一の電圧が印加されているから、第1主面7a側と、第2主面7b側とでは、互いに同一の風向、風速及び風量のイオン風が発生する。以上のとおり、本実施形態では、イオン風発生体3は、第1主面7a及びその背面の第2主面7bを有する誘電体7と、誘電体7内に配置された内側電極11と、内側電極11に対して第1主面7a側に配置された第1電極9Aと、内側電極11に対して第2主面7b側に配置された第2電極9Bとを有する。内側電極11は、第1電極9Aに対して第1主面7aに沿う第1方向x方向の正側に位置する第1下流域部を有するとともに、第2電極9Bに対して第2主面7bに沿う第2方向x方向の正側に位置する第2下流域部を有する。従って、内側電極11と第1電極9Aとの間に電圧を印加することにより、第1主面7aに沿うイオン風を発生させるとともに、内側電極11と第2電極9Bとの間に電圧を印加することにより、第2主面7bに沿うイオン風を発生させることができる。その結果、例えば、内側電極11と第1電極9Aとの位置関係の調整と、内側電極11と第2電極9Bとの位置関係の調整とを個別に行うことにより、第1主面7a及び第2主面7bそれぞれにおいて任意の風向及び風量のイオン風を発生させることができる。すなわち、誘電体7の両面において好適にイオン風を発生させることができる。しかも、内側電極11は、第1主面7aにおけるイオン風の発生と、第2主面7bにおけるイオン風の発生とに共用されていることから、構成の簡素化及び小型化も図られる。第1電極9A及び第2電極9Bは、内側電極11に対して第1主面7a及び第2主面7bに沿う同一の方向にずれている上記の第1方向及び第2方向は同一方向である。。従って、第1主面7aにおいて発生するイオン風と、第2主面7bにおいて発生するイオン風とは、図1において矢印y1及びy2により示すように、同一方向に流れる。仮に、従来技術と同様に、第1主面7aにおいて矢印y1のイオン風を発生させることのみに着目し、第2電極9Bが設けられないとすると、第2主面7bにおいては、第1電極9Aと内側電極11とに印加される電圧により、矢印y2とは反対方向のイオン風が発生する。その結果、矢印y1で示すイオン風は風速及び風量が減じられてしまう。しかし、本実施形態では、そのような不都合が解消される。誘電体7は、平板状の複数本実施形態では2つの絶縁層13が積層されて構成された基板である。第1主面7a及び第2主面7bは複数の絶縁層13の積層方向に面する基板の両表面である。第1電極9Aは第1主面7aに積層された層状電極である。第2電極9Bは第2主面7bに積層された層状電極である。内側電極11は複数の絶縁層13間のいずれかに配置された層状電極である。従って、イオン風発生体3は、多層配線基板と同様の構成であり、多層配線基板に係る技術を種々利用することができる。その結果、例えば、力学的強度、熱的強度及び電気的特性に優れたイオン風発生体3を実現することが容易であるとともに、製造方法の好適化及びコスト削減も容易である。誘電体7は、セラミックにより構成されている。従って、力学的強度、熱的強度及び電気的特性に優れたイオン風発生体3を実現することができる。また、図2を参照して説明したように、導電ペーストとセラミックグリーンシートとの同時焼成により、誘電体7に埋設された内側電極11を形成することができ、イオン風発生体3の製造が容易である。第1電極9A及び第2電極9Bは、内側電極11との距離が互いに同一である第1電極9Aと第1下流域部との距離最短距離と、第2電極9Bと第2下流域部との距離最短距離とが互いに同一である。。従って、第1主面7aと第2主面7bとで同等の風速のイオン風を発生させることが容易である。その結果、例えば、第1主面7aにおけるイオン風と第2主面7bにおけるイオン風との合流点において、意図していないイオン風の偏向が生じることなどが抑制される。イオン風発生装置1において、第1電極9A及び第2電極9Bは、誘電体7の外部へ露出しており、電源装置15は、第1電極9A及び第2電極9Bに基準電位を付与するとともに、内側電極11に基準電位に対して変動する電位を付与する。従って、イオン風発生体3の露出部分においては電位の変動が抑制され、安全性が向上する。換言すれば、イオン風発生装置1の取扱性が向上する。なお、以上の第1の実施形態において、第1主面7a及び第2主面7bは本発明の第1面及び第2面の一例であり、x方向の正側は、第1方向及び第2方向の一例であり、内側電極11の全体は内側電極の第1下流域部及び第2下流域部の一例であり、電源装置15は本発明の電源の一例である。<第2の実施形態>図3は、本発明の第2の実施形態に係るイオン風発生装置101の要部を模式的に示す断面図である。イオン風発生装置101は、イオン風発生体103における、誘電体107の構成、及び、内側電極111の構成が第1の実施形態の構成と異なっている。具体的には、以下のとおりである。誘電体107は、第1絶縁層13A、第2絶縁層13B、及び、これらの間に介在する第3絶縁層13Cが積層されて構成されている。第1絶縁層13A及び第2絶縁層13Bは、第1の実施形態の第1絶縁層13A及び第2絶縁層13Bと同様の構成でよい。第3絶縁層13Cも、第1絶縁層13A及び第2絶縁層13Bと概ね同様の構成である。ただし、第3絶縁層13Cの厚さは、適宜に設定されてよく、図3では、第3絶縁層13Cが第1絶縁層13A及び第2絶縁層13Bよりも薄く形成されている場合を例示している。内側電極111は、第3電極10Cと、第4電極10Dと、ビア導体12とを有している。第3電極10C、第4電極10D及びビア導体12は、互いに接続されており、これら全体で内側電極111として機能する。第3電極10C及び第4電極10Dは、それぞれ、第1の実施形態の内側電極11と同様の構成でよい。ただし、第3電極10Cは、第1絶縁層13Aと第3絶縁層13Cとの間に配置され、第4電極10Dは、第2絶縁層13Bと第3絶縁層13Cとの間に配置されている。ビア導体12は、第3絶縁層13Cを貫通して、第3電極10Cと第4電極10Dとを接続している。ビア導体12の数、配置位置、平面形状、断面形状及び寸法は適宜に設定されてよい。ビア導体12の材料は、例えば、層状電極9A、9B、10C及び10Dの材料と同様である。図4は、イオン風発生体103の製造方法を説明する模式的な断面図である。イオン風発生体103は、第1の実施形態のイオン風発生体3と同様に、各種電極が配置された絶縁層13が積層されることにより製造される。その具体的方法として、導電ペーストが塗布されたセラミックグリーンシートを積層して焼成する方法が適用されてよいことも、第1の実施形態と同様である。ただし、第3電極10Cとなる導電ペーストは、第1絶縁層13Aとなるセラミックグリーンシートの第3主面13cに塗布される。すなわち、第3電極10Cとなる導電ペーストは、第1電極9Aとなる導電ペーストが塗布されるセラミックグリーンシートに塗布される。また、第4電極10Dとなる導電ペーストは、第2絶縁層13Bとなるセラミックグリーンシートの第4主面13dに塗布される。すなわち、第4電極10Dとなる導電ペーストは、第2電極9Bとなる導電ペーストが塗布されるセラミックグリーンシートに塗布される。また、ビア導体12となる導電ペーストは、第3絶縁層13Cとなるセラミックグリーンシートに形成されたビア13vに充填される。なお、ビア13vの形成方法及び導電ペーストの充填方法は、公知の技術が用いられてよい。そして、3つのセラミックグリーンシートを積層して焼成することにより、第3電極10C、第4電極10D及びビア導体12からなる内側電極11が形成される。以上の第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の作用及び効果を得られる。すなわち、内側電極11と第1電極9Aとの間に電圧を印加することにより、図3において矢印y1で示すように、第1主面7aに沿うイオン風を発生させることができ、内側電極11と第2電極9Bとの間に電圧を印加することにより、図3において矢印y2で示すように、第2主面7bに沿うイオン風を発生させることができる。その結果、誘電体7の両面において好適にイオン風を発生させることができ、且つ、内側電極11の共用による構成の簡素化及び小型化が図られる。また、誘電体107は、第1主面7aを構成する第1絶縁層13Aと、第2主面7bを構成する第2絶縁層13Bとを有する。第1電極9Aは第1絶縁層13Aに設けられ、第2電極9Bは第2絶縁層13Bに設けられている。内側電極11は、第1絶縁層13Aの、第1電極9Aよりも第2絶縁層13B側に設けられた第3電極10Cと、第2絶縁層13Bの、第2電極9Bよりも第1絶縁層13A側に設けられた第4電極10Dと、第3電極10Cと第4電極10Dとを接続するビア導体12とを有する。従って、第1電極9Aと内側電極11第1下流域部との距離は、第1電極9Aと第3電極10Cとの距離により規定される。同様に、第2電極9Bと内側電極11第2下流域部との距離は、第2電極9Bと第4電極10Dとの距離により規定される。換言すれば、2つの外側電極9は、内側電極11との距離の基準となる内側電極11の部位が異なる。その結果、例えば、イオン風の風速を第1主面7a側と第2主面7b側とで個別に調整することが容易化される。また、第1の実施形態のイオン風発生体3では、イオン風の風速を大きくするために各外側電極9と内側電極11との距離を小さくすると、すなわち、2つの絶縁層13を薄くすると、誘電体7全体としての厚みも小さくなり、イオン風発生体3の力学的強度が低下する。しかし、本実施形態のイオン風発生体103では、第1絶縁層13A及び第2絶縁層13Bを薄くしても、誘電体107全体としての厚みを確保することなどができる。また、第1の実施形態では、図2に示すように、第1絶縁層13Aと第2絶縁層13Bとを重ね合わせるときに位置ずれが生じ、ひいては、第1電極9Aと内側電極11との間に位置誤差が生じるおそれがある。その結果、例えば、第1電極9Aと内側電極11との距離と、第2電極9Bと内側電極11との距離との間に差が生じるおそれがある。しかし、本実施形態では、3つの絶縁層13を重ね合わせるときの位置ずれは、第1電極9Aと内側電極11との距離、及び、第2電極9Bと内側電極11との距離に影響しない。すなわち、積層工程における誤差がイオン風の風速に及ぼす影響を抑制できる。誘電体107は、平板状の複数本実施形態では3つの絶縁層13が積層されて構成された基板であり、第1主面7a及び第2主面7bは複数の絶縁層13の積層方向に面する基板の両表面である。複数の絶縁層13は、第1主面7a及びその背面の第3主面13cを有する第1絶縁層13Aと、第2主面7b及びその背面の第4主面13dを有する第2絶縁層13Bと、第3主面13c及び第4主面13dとの間に介在する第3絶縁層13Cとを有する。第1電極9Aは第1主面7aに積層された層状電極であり、第2電極9Bは第2主面7bに積層された層状電極であり、第3電極10Cは第3主面13cに積層された層状電極であり、第4電極10Dは第4主面13dに積層された層状電極である。また、第3電極10Cと第4電極10Dとを接続するビア導体12は、第3絶縁層13Cを貫通する導体である。従って、第1の実施形態と同様に、イオン風発生体103は、多層配線基板と同様の構成であり、多層配線基板に係る技術を種々利用することができる。特に、誘電体7がセラミックにより構成されていることにより、セラミック多層基板の技術を利用して、力学的強度、熱的強度及び電気的特性に優れたイオン風発生体103を実現することができる。第1電極9A及び第2電極9Bは、内側電極11との距離が互いに同一である第1電極9Aと第1下流域部との距離と、第2電極9Bと第2下流域部との距離とが互いに同一である。。この場合、上述した、積層時の位置ずれによる誤差抑制の効果が有効に作用する。第1主面7aと第2主面7bとで互いに同一の風速とするときは、互いに異なる風速とするときに比較して、意図しない流体現象の発生を抑制するために、高い精度を要求されることが多いと考えられることからである。なお、以上の第2の実施形態において、第1絶縁層13A及び第2絶縁層13Bは本発明の第1部分誘電体及び第2部分誘電体の一例であり、ビア導体12は本発明の接続導体の一例である。<第3の実施形態>図5aは、本発明の第3の実施形態に係るイオン風発生装置201の要部を模式的に示す斜視図である。図5bはイオン風発生装置201のイオン風発生体203をx軸方向に見た正面図である。イオン風発生装置201は、イオン風発生体203の構成が第1の実施形態と異なっている。具体的には、以下のとおりである。誘電体207は、概ね円柱状に形成されている。また、内側電極211は、誘電体207の中心線に沿って延びる軸状に形成されている。外側電極209は、誘電体207の外周面を囲む筒状に形成されている。内側電極211は、外側電極209に対して誘電体207の軸方向の一方側に位置する下流域部本実施形態では内側電極211の全体を含んでいる。イオン風発生体203をxz平面に平行に切断した断面図は、誘電体207が2つの絶縁層13により構成されていない点を除いては、図1bと同様である。このことから理解されるように、外側電極209及び内側電極211に電圧を印加すると、誘電体バリア放電が生じ、誘電体207の外周面においては、軸方向に流れるイオン風が発生する。なお、図4bに示すように、誘電体207は、互いに異なる方向に面する複数の曲面207a~207dを有していると捉えることができる。すなわち、誘電体207は、曲面207a及びその背面の曲面207bを有するとともに、これらの曲面の側方に面する曲面207c及び曲面207dを有している。また、外側電極209は、曲面207a~曲面207dそれぞれに設けられた部分電極209a~209dを有していると捉えることができる。なお、誘電体207は、互いに反対方向に面する2つの曲面半円筒面を有していると捉えることもできる。外側電極209は、その2つの曲面にそれぞれ設けられた2つの部分電極を有していると捉えることもできる。以上の第3の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の作用及び効果を得られる。すなわち、内側電極211と外側電極209との間に電圧を印加することにより、図5aにおいて矢印y1及びy2で示すように、互いに異なる方向に面する曲面207a~207dにおいて好適にイオン風を発生させることができ、且つ、内側電極11の共用による構成の簡素化及び小型化が図られる。また、イオン風発生体203は、部分電極209a~209dを含み、誘電体207の外周を囲むように形成された環状の外側電極209を有する。従って、イオン風発生体203は、誘電体207の所定の軸回りの全周に亘ってイオン風を発生させることができる。その結果、例えば、大風量のイオン風が小型な構成で実現されることが期待される。なお、第3の実施形態において、曲面207a~207dのいずれか2つは本発明の第1面及び第2面の一例であり、部分電極209a~209dのいずれか2つは本発明の第1電極及び第2電極の一例である。<第4の実施形態>図6は、本発明の第4の実施形態に係るイオン風発生装置301の要部を模式的に示す断面図である。第1の実施形態では、第1電極9Aと内側電極11との距離と、第2電極9Bと内側電極11との距離が等しくなるようにイオン風発生体3が構成された。これに対し、第4の実施形態においては、第1電極309Aと内側電極11第1下流域部との距離と、第2電極309Bと内側電極11第2下流域部との距離が互いに異なるようにイオン風発生体303が構成されている。例えば、当該距離の相違は、厚さ方向zの距離の相違により実現される。より具体的には、例えば、第1電極309Aと内側電極11との間に介在する絶縁層13の数と、第2電極309Bと内側電極11との間に介在する絶縁層13の数とを互いに異ならせることにより実現される。なお、複数の絶縁層13の厚さは、例えば、互いに同一である。もちろん、厚さ方向の距離の相違は、第1の実施形態のように2つの絶縁層13により誘電体が構成される場合において、絶縁層13の厚さを異ならせることによっても実現可能である。また、例えば、当該距離の相違は、流れ方向x方向の距離の相違により実現される。より具体的には、例えば、2つの外側電極309の位置を所定の距離dで互いに異ならせることにより、実現される。なお、図6では、2つの外側電極309のx方向における大きさが互いに異なっているが、当該大きさは互いに同一であってもよい。このように、第1電極309Aと内側電極11との距離と、第2電極309Bと内側電極11との距離を互いに異ならせることにより、第1主面7a及び第2主面7bのそれぞれにおいて発生するイオン風を異ならせることが容易化される。例えば、2つの外側電極を並列接続していても、第1主面7a及び第2主面7bのそれぞれの風速を任意の風速とすることができる。<第5の実施形態>図7は、本発明の第5の実施形態に係るイオン風発生装置401の要部を模式的に示す断面図である。第1の実施形態では、第1電極9A及び第2電極9Bは、内側電極11に対して第1主面7a及び第2主面7bに沿う同一の方向にずれた第1電極9Aに対して内側電極の第1下流域部が位置する方向第1方向と第2電極9Bに対して内側電極の第2下流域部が位置する方向第2方向とが同一方向であった。。これに対して、本実施形態では、第1電極9A及び第2電極9Bは、内側電極11に対して第1主面7a及び第2主面7bに沿う互いに異なる方向にずれている第1方向と第2方向とが互いに異なる方向である。。例えば、第1電極9A及び第2電極9Bは、内側電極11に対してx方向の互いに反対方向にずれている第1方向と第2方向とが反対方向である。。従って、イオン風発生体403においては、矢印y1及びy3で示すように、第1主面7aと第2主面7bとで互いに異なる方向本実施形態では反対方向にイオン風が流れる。このように、複数の外側電極9の内側電極11に対するずれ方向の調整により、イオン風発生装置の用途に応じて、互いに異なる面に沿うイオン風の流れ方向を適宜に設定することができる。<利用例>図8は、本発明の第1の実施形態に係るイオン風発生装置1の利用例の要部を模式的に示す断面図である。図8では、イオン風発生装置1が排気ガス等の流体の改質を行う反応装置に利用された場合を例示している。改質対象の流体の流路内には、複数のイオン風発生体3が流路の幅方向に所定の間隔で離間して配列されている。各イオン風発生体3は、イオン風の流れ方向が流路に沿うように配置されている。そして、外側電極9及び内側電極11に電圧が印加されると、複数のイオン風発生体3は、第1主面7a及び第2主面7bの双方において流体の改質を行うとともに、イオン風を発生させ、改質後の流体を送出する。本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。本発明のイオン風発生装置及びイオン風発生体は、種々の分野において利用可能である。例えば、本発明は、翼における境界層の剥離抑制に利用されてもよいし、微小空間における流れの形成例えば小型電子機器の冷却風の形成に利用されてもよい。第3の実施形態図5から理解されるように、誘電体の、互いに異なる方向に面する第1面及び第2面は、互いに反対方向に面する平面に限定されない。第1面及び第2面は、互いに直交する方向に面する面であってもよいし、互いに傾いた方向に面する面であってもよい。誘電体の形状も、薄型直方体若しくは円柱状に限定されず、適宜な形状とされてよい。誘電体は、絶縁層の積層により形成されたものに限定されない。例えば、誘電体は、電極となる金属を配置した金型内に誘電体となる材料が充填され、成形されたものであってもよい。また、誘電体が絶縁層の積層により形成される場合において、誘電体はセラミックグリーンシートを積層して焼成したものに限定されない。例えば、誘電体は、セラミックの溶射により絶縁層が積層されたものでもよいし、未硬化の熱硬化性樹脂が積層されて加熱加圧されたものでもよい。第1電極及び第2電極外側電極並びに内側電極の形状及び数は適宜に設定されてよい。例えば、第1の実施形態において、外側電極及び内側電極の一方は、3角形状若しくは波状形状とされ、イオン風の幅方向の位置によってx方向における外側電極と内側電極との距離が変化してもよい。また、例えば、第1の実施形態において、外側電極及び内側電極の一方は、イオン風の幅方向において複数に分割され、その分割された電極毎に電圧が制御されてもよい。第2及び第3の実施形態図3及び図5から理解されるように、内側電極は、層状電極に限定されず、また、第1電極及び第2電極外側電極も、層状電極に限定されない。例えば、第1の実施形態において、第1電極及び第2電極は、y方向に延びる軸状電極であってもよい。第1電極及び第2電極外側電極は、内側電極に対して誘電体の表面側に配置されていればよく、誘電体の表面に露出している必要はない。また、外側電極が誘電体の表面に露出する場合、外側電極は、誘電体の表面に配置されるものに限定されない。例えば、外側電極は、誘電体に形成された凹部に嵌合し、一部のみが誘電体から露出されてもよい。また、第1電極及び第2電極外側電極は、誘電体とは別個の部材に固定されて誘電体から離間していてもよい。第1電極及び第2電極の内側電極に対するずれ方向別の観点では第1方向及び第2方向は、同一方向及び逆方向に限定されず、互いに直交する方向若しくは互いに傾斜する方向であってもよい。既に述べたように、第1下流域部若しくは第2下流域部は、内側電極の全体に限定されず、内側電極の一部であってもよい。この場合において、第1下流域部及び第2下流域部は、内側電極のうち、互いに重複しない範囲であってもよいし、一部が重複する互いに異なる範囲であってもよい。第1電極及び第2電極は、並列に接続されるものに限定されない。例えば、第1電極及び第2電極は、直列に接続されてもよい。また、例えば、内側電極に基準電位を付与し、第1電極及び第2電極に周波数及び/又は振幅の異なる変動電位を付与することなどにより、第1電極及び第2電極は個別に電圧が制御されてもよい。第2の実施形態図3に例示した、第1及び第2部分誘電体実施形態では13A及び13Bを有する誘電体は、平板状の絶縁層からなるものに限定されない。また、第1部分誘電体及び第2部分誘電体は、適宜なスペーサを介して対向した状態で、半田などの適宜な固定部材により互いに固定されてもよい。また、これらの第1及び第2部分誘電体に設けられる第3及び第4電極を接続する接続導体実施形態ではビア導体12は、ビア導体に限定されない。例えば、第2の実施形態において、第3絶縁層13Cの側方に導体が配置されて接続導体が構成されてもよい。