インペラと、該インペラを収納するケーシングとを具備し、該ケーシングが、吸入口と、インペラの周囲に形成される環洞流路と、該環洞流路に連通する吐出口を有し、前記吸入口の周囲に円筒状空間が形成され、該円筒状空間の下流側端部が下流溝によってインペラ収納部に連通され、前記円筒状空間の上流端部が前記吸入口に連通する遠心圧縮機であって、前記下流溝は全周1サイクルで、前記吸入口の軸心方向に所定の振幅を有する曲線であり、前記下流溝の最上流点はインペラ羽根の上流端に位置することを特徴とする遠心圧縮機。前記ケーシングは前記吸入口と環洞流路の境界に形成される舌部を有し、前記下流溝の最下流点は、インペラ回転中心と前記舌部を結ぶ基準半径に対して下流に向って-30 ゚~150 ゚の範囲に位置する請求項1の遠心圧縮機。前記下流溝の最下流点は、前記基準半径に対して±30 ゚の範囲に位置する請求項1又は請求項2の遠心圧縮機。前記吸入口の内壁部が前記ケーシングとは分離した内壁筒体により形成され、該内壁筒体と前記ケーシングとの間には前記円筒状空間が形成され、該円筒状空間の上流端は前記吸入口に連通し、前記内壁筒体に前記下流溝が刻設され、該内壁筒体は所定角度ピッチで取付け位置を変更して前記ケーシングに固定可能な請求項1又は請求項2の遠心圧縮機。インペラと、該インペラを収納するケーシングとを具備し、該ケーシングが、吸入口と、インペラの周囲に形成される環洞流路と、該環洞流路に連通する吐出口を有し、前記吸入口の周囲に円筒状空間が形成され、該円筒状空間の下流側端部が下流溝によってインペラ収納部に連通され、前記円筒状空間の上流端部が前記吸入口に連通する遠心圧縮機であって、前記吸入口の内壁部が前記ケーシングとは分離した内壁筒体により形成され、該内壁筒体と前記ケーシングとの間には前記円筒状空間が形成され、前記内壁筒体に前記下流溝が形成され、該下流溝は全周1サイクルで、前記吸入口の軸心方向に所定の振幅を有する曲線であり、前記内壁筒体を回転させ、前記下流溝の前記ケーシングに対する最適位置を求め、得られた最適位置に基づき前記ケーシングを製作することを特徴とする遠心圧縮機の製造方法。本発明は斯かる実情に鑑み、より効果的なケーシングトリートメントを行うことで、サージング抑制の効果の向上、遠心圧縮機の作動域拡大を図るものである。本発明は、インペラと、該インペラを収納するケーシングとを具備し、該ケーシングが、吸入口と、インペラの周囲に形成される環洞流路と、該環洞流路に連通する吐出口を有し、前記吸入口の周囲に円筒状空間が形成され、該円筒状空間の下流側端部が下流溝によってインペラ収納部に連通され、前記円筒状空間の上流端部が前記吸入口に連通する遠心圧縮機であって、前記下流溝は全周1サイクルで、前記吸入口の軸心方向に所定の振幅を有する曲線であり、前記下流溝の最上流点はインペラ羽根の上流端に位置する遠心圧縮機に係るものである。又本発明は、前記ケーシングは前記吸入口と環洞流路の境界に形成される舌部を有し、前記下流溝の最下流点は、インペラ回転中心と前記舌部を結ぶ基準半径に対して下流に向って-30 ゚~150 ゚の範囲に位置する遠心圧縮機に係るものである。又本発明は、前記下流溝の最下流点は、前記基準半径に対して±30 ゚の範囲に位置する遠心圧縮機に係るものである。又本発明は、前記吸入口の内壁部が前記ケーシングとは分離した内壁筒体により形成され、該内壁筒体と前記ケーシングとの間には前記円筒状空間が形成され、該円筒状空間の上流端は前記吸入口に連通し、前記内壁筒体に前記下流溝が刻設され、該内壁筒体は所定角度ピッチで取付け位置を変更して前記ケーシングに固定可能な遠心圧縮機に係るものである。又本発明は、インペラと、該インペラを収納するケーシングとを具備し、該ケーシングが、吸入口と、インペラの周囲に形成される環洞流路と、該環洞流路に連通する吐出口を有し、前記吸入口の周囲に円筒状空間が形成され、該円筒状空間の下流側端部が下流溝によってインペラ収納部に連通され、前記円筒状空間の上流端部が前記吸入口に連通する遠心圧縮機であって、前記吸入口の内壁部が前記ケーシングとは分離した内壁筒体により形成され、該内壁筒体と前記ケーシングとの間には前記円筒状空間が形成され、前記内壁筒体に前記下流溝が形成され、該下流溝は全周1サイクルで、前記吸入口の軸心方向に所定の振幅を有する曲線であり、前記内壁筒体を回転させ、前記下流溝の前記ケーシングに対する最適位置を求め、得られた最適位置に基づき前記ケーシングを製作する遠心圧縮機の製造方法に係るものである。本発明によれば、インペラと、該インペラを収納するケーシングとを具備し、該ケーシングが、吸入口と、インペラの周囲に形成される環洞流路と、該環洞流路に連通する吐出口を有し、前記吸入口の周囲に円筒状空間が形成され、該円筒状空間の下流側端部が下流溝によってインペラ収納部に連通され、前記円筒状空間の上流端部が前記吸入口に連通する遠心圧縮機であって、前記下流溝は全周1サイクルで、前記吸入口の軸心方向に所定の振幅を有する曲線であり、前記下流溝の最上流点はインペラ羽根の上流端に位置するので、サージング抑制の効果の向上、遠心圧縮機の作動域拡大が図れる。又本発明によれば、インペラと、該インペラを収納するケーシングとを具備し、該ケーシングが、吸入口と、インペラの周囲に形成される環洞流路と、該環洞流路に連通する吐出口を有し、前記吸入口の周囲に円筒状空間が形成され、該円筒状空間の下流側端部が下流溝によってインペラ収納部に連通され、前記円筒状空間の上流端部が前記吸入口に連通する遠心圧縮機であって、前記吸入口の内壁部が前記ケーシングとは分離した内壁筒体により形成され、該内壁筒体と前記ケーシングとの間には前記円筒状空間が形成され、前記内壁筒体に前記下流溝が形成され、該下流溝は全周1サイクルで、前記吸入口の軸心方向に所定の振幅を有する曲線であり、前記内壁筒体を回転させ、前記下流溝の前記ケーシングに対する最適位置を求め、得られた最適位置に基づき前記ケーシングを製作するので、ケーシングの最適位置を簡単に、又簡便に求めることができるという優れた効果を発揮する。以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。先ず、図1に於いて本発明が実施される遠心圧縮機について概略を説明する。図1中、1は遠心圧縮機、2はケーシング、3は該ケーシング2に収納されるインペラを示している。軸受ハウジング図示せずに回転自在に支持された回転軸4の一端部に前記インペラ3が固着されている。尚、前記回転軸4の他端部には例えばタービン図示せずが連結されている。前記ケーシング2は前記インペラ3の周囲に環洞流路5を形成し、該環洞流路5の所要位置には昇圧された圧縮性流体、例えば圧縮空気を吐出する吐出口9が連通されている。前記ケーシング2の中央には前記インペラ3に臨み該インペラ3と同心の吸入口6が形成されている。前記インペラ3の周囲には前記環洞流路5に連通するディフューザ部7が形成されている。該ディフューザ部7は前記ケーシング2の前記インペラ3を収納する部屋と前記環洞流路5とを連通するリング状の空間であり、前記環洞流路5と前記ディフューザ部7との間には境界壁部8が形成されている。エンジン図示せずからの排気ガスによりタービンが回転され、前記回転軸4を介して前記インペラ3が回転され、タービンと同軸に設けられた、前記インペラ3が回転され、前記吸入口6より燃焼用空気が吸入され、吸入された燃焼用空気は前記インペラ3の回転及び前記ディフューザ部7を通過することで圧縮され、前記環洞流路5に流入する。圧縮された空気は該環洞流路5から前記吐出口9を経て吐出される。次に、ケーシングトリートメントについて説明する。前記ケーシング2の内部に、前記吸入口6と同心に円筒状空間11が形成され、該円筒状空間11は前記吸入口6の軸心と平行に延在し、上流端図1中右端は前記吸入口6の前記インペラ3上流端より更に上流側に位置し、下流端は前記インペラ3の上流端より更に下流側に位置している。前記円筒状空間11の上流部は、上流溝12によって前記吸入口6と連通しており、前記円筒状空間11の下流部は下流溝13によって前記インペラ3の上端部に臨接する壁面に開口している。又、前記上流溝12、前記下流溝13は連続したリング状の溝で所定間隔でリブが設けられたものであってもよく、或は円周方向に長い長孔が所定間隔で穿設されたものでもよく、或は円孔が所定ピッチで穿設されたものであってもよい。又、前記下流溝13は、周方向に展開した場合、軸心方向に所定の振幅で1周、1周期で変位する曲線となっている。変位曲線は、例えばサインカーブであるが、サインカーブに限定されるものではない。前記上流溝12、前記円筒状空間11、下流溝13を介して、前記インペラ3の上端部と前記吸入口6とが連通しているので、低流量時にインペラ3内部に局部的に発生した高圧部から前記円筒状空間11を通してインペラ3の上流側に流体が逆流し、上流溝12より流出する部分的な再循環流が発生し、サージングの発生が抑制される。次に、前記ケーシング2の特に、前記環洞流路5の形状は、非軸対称となっている。従って、前記環洞流路5の全周で圧力は一定ではなく、周方向に圧力分布を持っている。更に、前記インペラ3の周縁も同様に圧力分布を有し、前記環洞流路5の圧力分布は、前記ディフューザ部7を通して前記インペラ3の内部にも伝播している。この為、前記インペラ3内部で局部的に発生する高圧部も、軸心方向で同位置とは限らず、前記環洞流路5の圧力分布に対応して変位していると考えられる。前記下流溝13の変位曲線は、前記インペラ3内部で局部的に発生する高圧部の変位を反映させ、より効果的に前記インペラ3内部で局部的に発生した高圧部の流体を再循環させ、サージングの発生を抑制している。更に、前記下流溝13について詳述する。図2は、該下流溝13の展開図であり、以下に説明する実施例では、該下流溝13の変位曲線をサインカーブとして説明する。又、図2では、上側を上流側、下側を下流側として示し、曲線は下流溝13の中心を示している。本実施例では前記インペラ3の最大径がφDmmここではD=144.2、前記下流溝13の溝幅dは3mmd/D=0.02としている。又、図2中、点Aは、下流溝13の最上流点を示し、点Bは下流溝13の最下流点、Wは振幅を示している。図3は、インペラ3と下流溝13との関係を示しており、尚、図3中、溝幅は3mmと例示している。図3中、ラインAは、該ラインA上に下流溝13の最上流点Aが存在することを示し、ラインBは、該ラインB上に下流溝13の最下流点Bが存在することを示している。即ち、図3中、前記下流溝13は全周1サイクルで且つ前記ラインAとラインBとの間で振幅する。又、前記ラインAは、前記インペラ3のインペラ羽根3aの上流端を中心に上流下流方向に±d/2ここでdは下流溝13の溝幅:図示ではd/2=1.5mmに位置する。即ち、下流溝13の最上流点が前記インペラ羽根3aの上流端を通るラインを含む範囲で、上流、下流に変位した位置に設定される。尚、前記ラインAの±d/2の範囲での最適な位置は、前記ケーシング2の形状、前記インペラ3の特性等で変化するので、計算、実験等により設定する。次に、ラインBの位置は、図示の様にインペラ3が小羽根3bを有しているものは、該小羽根3bの上流端hを下流下限とし、小羽根3bを有していないインペラ3ではインペラ羽根3aの高さHの1/2程度とする。尚、下流溝13の最下流点Bの下流下限位置を、小羽根3bの上流端又はインペラ羽根3aの高さHの1/2程度としたのは、それ以上下流に設定しても、サージング抑制効果は改善されず、一方圧縮効率が低下し、実用上意味がないからである。又、図4により、前記下流溝13の円周方向の位置即ち、最上流点の位置又は最下流点の位置について説明する。尚、図4では、インペラ3の回転中心を座標中心とし、前記吐出口9の中心軸心と平行で前記インペラ3の回転中心を通過する軸をX軸とし、前記インペラ3の回転中心を通り、前記X軸に直交する軸をY軸とし、図4中右側に延出するX軸を0°としている。又、図4中、15は吐出口9と前記環洞流路5の境界部を形成する舌部を示している。図示の例では、該舌部15は60°の位置にあり、該舌部15より30°上流の位置から、上流側180°の範囲図示では右半分の90°~-90°の範囲に前記下流溝13の最下流点Bが位置すると、サージング抑制効果が得られる。尚、後述する様に、実験の結果では、最下流点Bが前記舌部15の位置にある場合が、最もサージング抑制効果が得られた。尚、前記最下流点Bは、前記インペラ3の周縁の圧力分布に対応して決定されるものであり、圧力分布はインペラ3の形状、インペラ3の特性等に変化するものであり、必ずしも適正な最下流点Bが60°の位置、或は舌部15の位置とは限らない。然し乍ら、前記舌部15の近傍で、例えば舌部15を中心として±30 ゚の範囲内で、前記最下流点Bの最適な位置が得られる。従って、最下流点Bの位置は、前記舌部15と前記インペラ3とを結ぶ直線基準半径を中心として、30 ゚~-150 ゚好ましくは、±30 ゚の範囲で設定される。図5は、ケーシングトリートメントと遠心圧縮機の作動特性の関係を示すグラフであり、横軸は流量比Q/Qd:Qは吐出流量、Qdは設計流量を示し、縦軸は圧力比Po/Pi:Poは流体出口圧力、Piは流体入口圧力を示している。図5に於いて、各曲線の左側がサージングを起して作動不能となることを示している。即ち、各曲線がサージング限界値を示している。又、図5中、○のプロットはケーシングトリートメントがされていないもの、即ち円筒状空間11、上流溝12、下流溝13がないもの図1参照であり、□のプロットは従来の下流溝13が曲線となってなく、上流溝12がインペラ3の上流端より更に上流側に位置するもの、即ち展開すると直線となる溝であり、◆のプロットは本実施例の下流溝13が実施されたもの、即ち展開するとサインカーブとなるもの以下サインカーブトリートメントと称すであり、且つ下流溝13の最下流端Bが舌部15に位置するもの図2、図4参照であり、△のプロットは本実施例の下流溝13が実施されたもので、且つ下流溝13の最下流端Bが-120 ゚に位置するもの即ち、舌部15の真反対、図2、図4参照である。図5より、ケーシングトリートメントを実施した、3例のいずれも、ケーシングトリートメントをしていない遠心圧縮機より、サージング抑制効果が得られている。又、従来のケーシングトリートメントに対し、サインカーブトリートメントを施した場合、サージング抑制効果が増大する場合と、減少する場合とが現れ、下流溝13の最下流端Bが舌部15に位置する場合にサージング抑制効果が増大し、下流溝13の最下流端Bが舌部15の真反対に位置する場合にサージング抑制効果が減少している。而して、下流溝13を1回転1周期で変位させた曲線とした場合、サージング抑制効果を増大させる下流溝13の最下流端Bの最適な位置が存在することが分る。従来のケーシングトリートメントに対し、サージング抑制効果を増大させる下流溝13の最下流端Bの位置は、舌部15の位置を中心として、30 ゚~-150 ゚であり、更に好ましくは、±30 ゚の範囲である。下流溝13の最下流端Bの位置を、舌部15の位置を中心として±30 ゚の範囲に設定することで、従来のケーシングトリートメントに対し、サージング抑制効果の増大を得るが、前記±30 ゚の範囲で更に最適な位置を設定するには、ケーシングの形状、前記インペラ3の特性、遠心圧縮機の容量等を考慮し、計算により求めるのが好ましい。次に、図6に於いて、計算によらず、簡単に下流溝13の最下流端Bの最適位置が得られる遠心圧縮機及びその製造方法について説明する。図6Aは本実施例に使用されるケーシング2を示し、図6Bは該ケーシング2に取付けられる内壁筒体17を示している。吸入口6の内壁部が内壁筒体17により形成され、該内壁筒体17と前記ケーシング2との間には円筒状空間11が形成される。該円筒状空間11の上流端は開口しており、該円筒状空間11は、入口リング29と前記内壁筒体17の上流端によって形成される上流端開口11aを介して前記吸入口6と連通している。本実施例では、前記上流端開口11aが前記上流溝12に相当する。前記内壁筒体17の下流端部は、インペラ収納部図1参照の上流端部を画成している。前記内壁筒体17の下流端部には下流溝13が刻設されており、該下流溝13は前記内壁筒体17を半径方向に貫通し、前記円筒状空間11と前記インペラ収納部とを連通している。又、前記下流溝13は円周方向所定間隔でリブ18が設けられている。該下流溝13は、上記した様に、周方向に展開した状態で全周1サイクルのサインカーブとなっている。前記内壁筒体17の下流端にはフランジ部19が形成され、下流端面には嵌合凹部21が凹設されている。又、前記ケーシング2の内縁部には内フランジ部22が形成され、該内フランジ部22の内縁部は上流側に突出する嵌合凸部23となっており、該嵌合凸部23の周囲にはリング状凹部24が形成される。前記嵌合凸部23は前記嵌合凹部21と嵌合し、前記フランジ部19は前記リング状凹部24に遊嵌し、前記内壁筒体17は前記ケーシング2にインロー方式で嵌脱可能となっている。前記リング状凹部24には円周所定等分例えば12等分した位置に貫通していない螺子穴が穿設されている。一方、前記フランジ部19には円周所定等分例えば12等分した任意の位置、少なくとも3箇所に、ボルト用通孔26を穿設する。尚、前記内壁筒体17のバランスを考慮すると、円周3等分、又は円周4等分した位置に前記ボルト用通孔26が穿設されるのが好ましい。前記内壁筒体17は前記嵌合凹部21と前記嵌合凸部23とが嵌合した状態で、前記ボルト用通孔26と前記螺子穴とを位置合せし、ボルト27を固着する。前記リング状凹部24には、12等分、即ち30 ゚ピッチで螺子穴が穿設され、前記ボルト用通孔26は円周12等分した任意の位置に設けられているので、前記内壁筒体17は、前記ケーシング2に対して30 ゚ピッチで回転方向に位置が変更可能である。而して、前記内壁筒体17を回転させることで、前記下流溝13の最下流点Bの位置が30°ピッチで変更可能であり、前記内壁筒体17の取付け位置を変更し、取付け位置に対応して性能チェックを行うことで、前記下流溝13の最下流点Bの最適な位置を探すことができる。尚、前記内壁筒体17の基本位置は、前記下流溝13の最下流点Bの位置が前記舌部15に一致する点とする。又、前記内壁筒体17に前記ボルト用通孔26とはピッチ角度の1/2角度例えば15 ゚ずらせた位置に副ボルト用通孔26′図示せずを穿設し、該副ボルト用通孔26′を利用して前記内壁筒体17を前記ケーシング2に取付けることで、15 ゚ピッチで前記内壁筒体17の位置を変更させることができる。上記した様に、簡単な構成で、簡便に前記下流溝13の最下流点Bの適正位置を求めることができる。少量生産の場合は、前記内壁筒体17の最適位置を求めて、該内壁筒体17を前記ケーシング2に固定し、固定したものを製品としてもよく、或は量産する場合は、求められたデータに基づき前記ケーシング2と前記内壁筒体17とを一体成形してもよい。尚、前記下流溝13が描く曲線は、サインカーブとして説明したが、全周を1サイクルとし、吸入口6の軸心方向に所定の振幅で変位するカーブであればよい。