"液滴を吐出する複数のノズルと、前記各ノズルに連通する加圧液室と、前記加圧液室内の液体を加圧する駆動手段と、複数の前記加圧液室にそれぞれ液体を供給するインク供給路と、前記インク供給路は少なくとも1つの柱状突起物を異物除去のフィルタ部として有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記柱状突起物の長さが前記加圧液室の高さよりも短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記柱状突起物をハーフエッチング加工により形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1記載の液滴吐出ヘッドにおいて、エッチングレートの差を利用して前記柱状突起物を形成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1ないし3の何れか1つに記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。しかし近年では、インクジェットヘッドにおける個別液室の高密度化及び高集積化に伴い、加圧液室の液室幅は狭くかつ高さは高くなる傾向にある。このため特許文献4、特許文献5開示の技術のように、加圧液室内に複数のフィルタ柱を異物除去のためのフィルタとして複数設けようとすると、一本一本のフィルタ柱は細く長くなってしまい機械的強度が低くなってしまう。このためアクチュエータとノズル基板を接合する際に接合時に受ける圧力によってフィルタ柱が折れてしまい、折れた破片がノズルを詰まらせてしまうという問題点がある。本発明は上述の問題点を解消し、接合信頼性の高い液滴吐出ヘッドを提供し、フィルタ柱の破損を起因としたノズルダウンの低減を目的とする。請求項1記載の発明は、液滴を吐出する複数のノズルと、前記各ノズルに連通する加圧液室と、前記加圧液室内の液体を加圧する駆動手段と、複数の前記加圧液室にそれぞれ液体を供給するインク供給路と、前記インク供給路は少なくとも1つの柱状突起物を異物除去のフィルタ部として有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記柱状突起物の長さが前記加圧液室の高さよりも短いことを特徴とする。本発明によれば、柱状突起物の長さを加圧液室の高さよりも短くすることにより柱状突起物の機械的強度が高くなる。これによって柱状突起物が駆動手段とノズル基板との接合時に受ける圧力によって壊れにくくなると共に、接合信頼性が高くフィルタ部の破損に起因するノズルダウンが生じにくい液滴吐出ヘッドを提供することができる。本発明の一実施形態であるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を図1及び図2に基づいて説明する。なお、図1はインクジェット記録装置の概略斜視図、図2はインクジェット記録装置の機構部の概略側面図である。このインクジェット記録装置は、装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ93、キャリッジ93に搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド94、記録ヘッド94へインクを供給するインクカートリッジ95等で構成される印字機構部82等を収納し、装置本体81の下方部には前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット給紙トレイでもよい84を抜き差し自在に装着することができ、また用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を起倒することができ、給紙カセット84あるいは手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。印字機構部82は図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持し、キャリッジ93にはイエロY、シアンC、マゼンタM、ブラックKの各色のインク液滴を吐出する本発明にかかるインクジェットヘッドからなるヘッド94を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク液滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ93には、ヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95を交換可能に装着している。インクカートリッジ95は、上方に大気と連通する大気口を、下方にはヘッド94へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体をそれぞれ有しており、多孔質体の毛細管現象によりヘッド94へ供給されるインクを僅かな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド94を用いているが、各色のインク液滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。キャリッジ93は、後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装され、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド92に摺動自在に載置されている。そして、キャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ97で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト100を巻き掛け、タイミングベルト100をキャリッジ93に固定させることによって主走査モータ97の正逆回転によりキャリッジ93が往復移動される。一方、給紙カセット84にセットした用紙83をヘッド94の下方側に搬送するため、給紙カセット84から用紙83を分離給送する給紙ローラ101及びフリクションパッド102と、用紙83を案内するガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ104と、搬送ローラ104の周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ104からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ106とを設けている。搬送ローラ104は副走査モータ107によってギヤ列を介して回転駆動される。キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して、搬送ローラ104から送り出された用紙83をヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材109を設けている。印写受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111、拍車112を設け、さらに用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ113及び拍車114と、排紙経路を形成するガイド部材115,116とを配設している。記録時にはキャリッジ93を移動させながら画像信号に応じてヘッド94を駆動することにより、停止している用紙83にインクを吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送後に次の行の記録を行う。記録終了信号または用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受け取ることにより、記録動作を終了させて用紙83を排紙する。キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置117が設けられている。回復装置117はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段とを有している。キャリッジ93は印字待機中には回復装置117側に移動されてキャッピング手段でヘッド94をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中等に記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にして安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド94の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクと共に気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやごみ等はクリーニング手段により除去されて吐出不良が回復される。また吸引されたインクは、本体下部に設置された図示しない廃インク溜まりに排出され、廃インク溜まり内部に設けられたインク吸収体に吸収保持される。ここで、本発明の特徴部である液滴吐出ヘッドについて説明する。図3、図4、図5は、本発明の第1の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドを3方向から見た断面図である。本実施形態で用いられる液滴吐出ヘッドは、インク液滴を基板の面部に設けたノズルから吐出させるサイドシュータ方式のものを示している。本実施形態で用いる液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド20は、インクを吐出するノズル孔21aを有するノズル基板21と、加圧液室22、流体抵抗部23、インク供給路である溝部24、振動板25及び圧電層26等のアクチュエータ部を形成した液室基板27と、圧電素子保護空間28を配した保護基板サブフレーム29との3枚の基板を重ね合わせた積層構造となっている。液室基板27は、シリコン基板上にシリコン酸化膜を介してシリコンが張り合わされたSOI基板を用いている。また振動板25は、SOI基板のSi層表面にパイロ酸化法を適用してシリコン酸化膜を形成し、その上に下部電極30となる白金層、圧電層PZT26、上部電極31となる白金膜の多層構成からなるアクチュエータがシリコンをエッチングすることで形成した加圧液室22に対向する領域に形成されている。さらに上部電極31と引き出し配線32との層間に配置された層間絶縁膜33、及び引き出し配線32の材料を保護するためのパッシベーション膜34がアクチュエータの上面及び側面を覆うように配置されている。ノズル基板21は厚さ30~50μmのSUS基板にプレス加工と研磨加工とによってノズル孔21aを形成しており、液室基板27の加圧液室22と連通するようにそれぞれノズル孔21aを有している。保護基板29は、共通液室としてインク流路となる溝部24と、圧電素子の保護及び変位を妨げないための空間及び流路隔壁35の剛性を高め、液室全体を支えるために柱を形成している。本発明では、図3、図4、図5に示すようにフィルタ部36として複数の柱状突起物であるフィルタ柱36aを流路内に形成しており、図4に示すように個々のフィルタ柱36aの長さhを加圧液室22の高さHよりも短く形成している。一方、図6、図7に示す従来のインクジェットヘッド20Aでは、フィルタ部36Aにおけるフィルタ柱36bの長さは加圧液室22の高さと等しくなっている。この構成より、本発明では各フィルタ柱36aの長さを従来のフィルタ柱36bよりも短くすることにより各フィルタ柱の機械的強度が高くなり、これによって各フィルタ柱36aがアクチュエータとノズル基板21との接合時に受ける圧力によって壊れにくくなり、接合信頼性が高くフィルタ部36の破損に起因するノズルダウンが生じにくい液滴吐出ヘッドを提供することができる。なお本実施形態では、加圧液室22の高さHを70μm、フィルタ柱36aの長さhを50μmとしているが、数値はこれ等には限定されない。次に、上述したインクジェットヘッド20の作製方法を図8~図18を用いて説明する。本実施形態では、シリコン基板に振動板材料及び圧電素子材料を成膜していくことでアクチュエータを作成していく。先ず、厚み400μmのシリコン基板の表面にシリコン酸化膜を0.2μm及びシリコンを2.0μm貼り合わせたSOI基板を用い、この表面にパイロWet酸化法によりシリコン酸化膜を0.3μm形成しこれを振動板層とする図8参照。その後、圧電素子の下電極となる白金Pt層をスパッタ法により0.2μm成膜してパターニングする図9参照。さらにゾルゲル法により圧電層を2μm成膜し、さらに上電極となる白金Pt層を0.1μm成膜する。その後、リソエッチ法により上電極及び圧電層をパターニングする図10参照。次に、プラズマCVD法により層間絶縁膜を0.3μm成膜し、リソエッチ法により配線コンタクトを取るためのビアホールを形成する。層間絶縁膜は、次に形成する引き出し配線と上電極との導通部、バイパス配線への導通部、及びインク供給孔となる貫通部をパターニングしている図11参照。さらにアルミ材料により引き出し電極を形成する図12参照。引き出し電極は圧電体の駆動による振動板の振動に起因する応力を受けるので、振動により断線しないように軟らかいアルミ材料を用い、1μm程度厚く積んでいる。次に、アルミ配線保護のためのパッシベーション膜としてプラズマCVDChemicalVaporDeposition法によるシリコン窒化膜を2μm成膜してパターニングする図13参照。その後、振動板のインク供給口となる部分を事前にエッチングする図14参照。さらに、金をメッキ法により積層して個別電極のパッド部とバイパス配線とを同時に形成する図15参照。パッド部を金で形成することで、図示しないドライバICとの電気的接続を低温のワイヤボンディングで接続している。また金は抵抗値が低く、バイパス配線として共通電極抵抗値を下げる効果が大きい。なお、パッド部と形成工程を分けて、バイパス配線材料として銅、アルミニウム等を使用することもできる。その場合は、バイパス配線を腐食から保護する保護層が必要となる場合もある。その後、別途ガラス基板にブラスト加工で柱を形成した保護基板を液室基板に接合し図16参照、液室基板の保護基板接合面とは反対側の面を所望の厚さまで研磨する。保護基板はシリコン基板にリソエッチ法で凹部を加工したものでもよいし、シリコン基板をTMAH、KOH等のアルカリエッチング液を用いたウェットエッチングにより加工したものでもよく、また樹脂モールドやメタルインジェクションモールド等の成型部品でもよい。また、ドライバ回路をアクチュエータ基板上に一体形成する際に、パイロ酸化法で形成した酸化膜をLOCOSLOCalOxidationofSilicon酸化法で形成し、酸化膜の形成領域を選択することで駆動回路を同一基板上に形成することも可能である。本発明ではその後、シリコン基板の反対側の面にICPInductivelyCoupledPlasmaドライエッチングにより加圧液室、流体抵抗部及び供給部となる凹部をハーフエッチング加工し図17参照、その後マスクを変更して再度エッチングを行うことでフィルタ部を形成すると共に、加圧液室、流体抵抗部及び供給部を所望の深さまで形成する図18参照。このような方法を用いることにより、フィルタ柱の長さは従来のものよりも短くなり、これによって従来のものよりも機械的強度の高いフィルタ部をヘッド内部に備えることができ、接合信頼性の高い液滴吐出ヘッドを提供することができる。また、上述のようなハーフエッチング加工を行わず、エッチングレートの差を利用して1度のエッチングでフィルタ部を作成する工程としてもよい。通常、エッチングにより凹部を形成する際に、凹部の幅が狭いものと広いものとを同時に形成すると、凹部の幅が狭いものの方が相対的にエッチングレートは遅くなり、広いものの方が早くなる図19参照。このため、形成する柱状突起物同士の間隔を狭くすることで加圧液室部とフィルタ部のエッチングレートに差がつき、柱状突起物の長さを加圧液室の高さよりも短くすることができる。この方法によってフィルタ部を形成することにより、プロセスを増やすことなくコストアップすることなく上述のようなフィルタ部を形成することができる。そして、最後に厚さ30~50μmのステンレス基板にプレス加工と研磨加工とによりノズル孔を形成したノズル基板を液室基板の流路隔壁形成面に別途接着し、圧電素子の上電極及び下電極と接続されたアルミ配線部を駆動回路に接続することで、図3に示す液滴吐出ヘッドが完成する。本実施形態では、振動板に薄膜圧電層を形成したいわゆる薄膜圧電ヘッドを説明したが、本発明の本質は流路内に形成したフィルタ柱の長さを加圧液室の高さよりも低くしたことで従来のものよりも機械的強度の高いフィルタ部を形成したことにあるため、駆動手段としては薄膜圧電ヘッドには限定されない。また、圧電素子に代表される電気機械変換素子にも限定されない。本発明が適用可能な画像形成装置はプリンタには限られず、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これ等の複合機にも本発明は適用可能である。"