少なくとも1つの有機材料層13、33を含む固体試料3の元素および/または分子の化学組成を放電発光分光分析により測定する方法であって、-放電発光ランプ2に前記試料3を配置するステップと、-放電発光ランプ2に、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が、混合気の1質量~10質量であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記有機材料層を前記プラズマで照射して、酸素を含まない前記希ガスの存在下で放電発光プラズマにより発生するエッチング速度よりも早い有機層のエッチング速度を得るようにするステップと、-前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析計4により測定するステップとを含むことを特徴とする方法。前記少なくとも1つの希ガスが、アルゴン、ネオン、ヘリウム、または前記希ガスの混合気の中から選択されることを特徴とする請求項1に記載の放電発光分光分析による測定方法。無線周波数パルスタイプの電気放電を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の放電発光分光分析による測定方法。質量分析計により前記プラズマのイオン種を示す少なくとも1つの信号を測定することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の放電発光分光分析による測定方法。発光分光分析計により前記プラズマの励起種を示す少なくとも1つの信号を測定することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の放電発光分光分析による測定方法。測定すべき試料が、薄膜の積層体を含んでおり、前記プラズマで照射される積層体の薄膜に応じて、放電発光プラズマの照射中の混合気の酸素濃度を修正することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。無線周波数電界と、放電ランプの軸に対して軸方向または横方向の磁界とを同時に付与することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。前記方法が、さらに、-放電発光ランプに公知の組成の有機試料を配置し、-放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が混合気の1質量~10質量であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記公知の組成の有機試料を前記プラズマで照射し、-前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析により測定し、-前記有機試料の公知の組成に関して分光分析による測定を校正する、校正ステップを含んでいることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。少なくとも1つのポリマータイプの有機材料層を含む試料への請求項1から8のいずれか一項に記載の方法の適用。ポリエチレンテレフタラートタイプの有機ポリマー材料の少なくとも1つの層を含んでいる試料への請求項9に記載の方法の適用。本発明は、これらの不都合を解消することを目的とし、特に、少なくとも1つの有機材料層を含む固体試料の元素および/または分子の化学組成を放電発光分光分析により測定する方法に関する。本発明によれば、この方法は、-放電発光ランプに前記試料を配置するステップと、-放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が、混合気の1質量~10質量であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記有機材料層を前記プラズマで照射して、酸素を含まない前記希ガスの存在下で放電発光プラズマにより発生するエッチング速度よりも早い有機層のエッチング速度を得るようにするステップと、-前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析計により測定するステップとを含む。本発明の好適な実施形態によれば、前記少なくとも1つの希ガスが、アルゴン、ネオン、ヘリウム、または前記希ガスの混合物の中から選択される。本発明の方法の様々な特徴によれば、-無線周波数パルスタイプの電気放電を行う。-質量分析計により前記プラズマのイオン種を示す少なくとも1つの信号を測定する。-発光分光分析計により前記プラズマの励起種を示す少なくとも1つの信号を測定する。本発明の方法の特定の実施形態によれば、測定すべき試料が、薄膜の積層体を含んでおり、前記プラズマで照射される積層体の薄膜に応じて、放電発光プラズマによる照射中の混合気の酸素濃度を修正する。特定の実施形態によれば、本発明による方法は、無線周波数電界と、放電ランプの軸に対して軸方向または横方向の磁界とを同時に付与する。本発明の好適な実施形態によれば、前記方法は、さらに、-放電発光ランプに公知の組成の有機試料を配置し、-放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が混合気の1質量~10質量であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記公知の組成の有機試料を前記プラズマで照射し、-前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析により測定し、-前記有機試料の公知の組成に関して分光分析による測定を校正する。本発明は、また、少なくとも1つのポリマータイプの有機材料層を含む試料に本発明による実施形態の1つを適用することに関する。特定の実施形態によれば、本発明は、ポリエチレンテレフタラートタイプの有機ポリマー材料の少なくとも1つの層を含んでいる試料に1つの実施形態による方法を適用することに関する。本発明は、また、以下の説明により明らかになる特徴に関し、これらの特徴は、別々に、あるいは、技術的に考えられるそのあらゆる組み合わせに応じて考慮しなければならない。限定的ではなく例として挙げられるこの説明により、添付図面を参照しながら、本発明をどのように実施できるかについて、いっそう理解されるであろう。図1は、プラズマ放電のキャリヤガス供給システムを備えた放電発光分光分析計1を概略的に示している。放電発光分光分析計1は、一般には、内部にプラズマが封入された管の形状を取る放電ランプ2を含んでいる。ガスのポンピングシステムは、図1では示されていない。放電発光分光分析計1は、分光分析計4を含んでいる。この分光分析計は、プラズマの励起種の発光分光分析OESに対しては発光分析計、および/または、プラズマのイオン種の分析に対しては質量分析計MSとし、あるいは飛行時間型質量分析計TOF-MSとすることができる。キャリヤガス供給線5は、1つまたは複数のガス源を放電ランプ2に接続する。図1に示された例では、ガスの供給線5が、第1のガス源6と第2のガス源7とにそれぞれ接続された2本の供給線5a、5bに分割されている。第1のガス源6は、たとえば、アルゴンと酸素との混合気O2が4までを含むボンベである。第2のガス源7は、純粋アルゴンのボンベである。第1の流量計8aにより、第1のガス源6から出ていて放電ランプ2のガス供給線5に向けて配向されている線5aにおけるガス流量を調節することができる。第2の流量計8bは、第2のガス源7から出ていて放電ランプ2のガス供給線5に向けて配向されている線5bにおけるガス流量を調節することができる。コントローラ9は、供給線5を介して放電ランプに投入される混合気の所望の濃度を得られるように、流量計8a、8bの制御を調節することができる。図2は、有機層13により被覆された多層構造の積層体23たとえば、第1の亜鉛層により不活性化処理された鋼板を含んで、この鋼板が、アルミニウムを含む有機金属タイプの第2の塗装膜により覆われ、さらに、厚さ約20~30ミクロンのワニスの第3の層により被覆されている、塗装シートメタルを含む第1の試料3を概略的に示す断面図である。図3は、図2に示されたような試料に対する放電発光の発光分光分析による測定結果を示しており、キャリヤガスは、純粋アルゴンである。図3は、プラズマの照射時間t単位:秒に応じた複数の発光強度曲線を示しており、縦座標軸は、ここでは任意の単位で示されている。各曲線は、それぞれ、アルゴンプラズマの照射時間に応じた、すなわち、試料における浸食クレータの深度に応じた化学元素に対応している。特に、C曲線-○-、O曲線-x-、N実線、Al曲線-●-、Zn1曲線-◇-、Fe破線、H曲線-■-、およびCa図3では示さずが検出される。異なる組成の複数の連続層を示す信号が存在することと、各層の間の境界とが観察される。第1の浸食層は、主に、有機元素C、O、NおよびHを含んでいる。第2の浸食層は、主に、アルミニウムと、元素C、O、NおよびHとを含んでいる。第3の層は、元素Zn1、AlおよびCaを含んでいる。さらに、最後の浸食層は、主に鉄を含んでいる。図3では、測定された信号により、試料に主に存在する元素の定量分析を行うことができる。しかし、幾つかの曲線ではSN比が大きいが、信号の強さが弱いゾーンでは、観察されるノイズを考慮するとCa等の低濃度元素の測定が難しい。図4は、図2に概略的に示したような同一の試料に対する放電発光の発光分光分析による測定結果を示しており、キャリヤガスは、アルゴンと酸素との混合気であって、酸素濃度が4であり、さらに、プラズマの他の条件は、図3の場合に使用した条件と同じである。図3と同様に、図4は、プラズマの照射時間t単位:秒に応じた複数の発光強度曲線を示しており、縦座標軸は、任意の単位で示されている。図4の各曲線は、それぞれ、プラズマの照射時間に応じた、すなわち、試料における浸食クレータの深度に応じた化学元素の測定に対応している。図3と同じ化学元素、すなわち、C曲線-○-、O曲線-x-、N実線、Al曲線-●-、Fe曲線-◇-、H破線、およびZn2-□-が検出される。しかし、図4の曲線の強度と形状は、図3の曲線の強度と形状とは異なっている。一方で、測定される信号は、図3に比べて図4の方がずっと明瞭である。主にアルミニウムを含む層と、主に元素Znを含む層との間に配置された元素Ca図4では示さずを含む境界があることが検出される。図3と4を比較すると、純粋なアルゴンプラズマに比べてアルゴンと酸素との混合気を使用したときに検出されるあらゆる種のSN比の方が大幅に改善されていることが確認される。低濃度元素を測定すると、図3に比べてSN比が著しく改善されている。そのため、アルゴンと酸素との混合気の存在下で行われるプラズマによる放電発光分光分析測定は、より正確な分析を可能にし、少なくとも1つの有機層を含む試料において異なる組成からなる連続層の深度解像がいっそう適切に行われる。金属またはガラスタイプの試料で現在まで観察されてきた状況に比べると、アルゴンと酸素との混合気の存在下で、RFプラズマは、有機層のエッチング速度を加速し、この速度は、純粋なアルゴン下でのエッチング速度が約20nm/分に制限されている一方で、幾つかの有機材料に対しては数ミクロン/分に達することができる。その理由は、おそらく、プラズマに面する材料表面の化学的な解離プロセスが物理的な浸食プロセスと結びつくことによると思われる。図5は、厚さ50ミクロンのポリエチレンテレフタラートPETタイプのポリマー層33を含み、基板上に堆積された厚さ1ミクロン未満の金属薄膜43がポリマー層33の下に隠れている多層構造の第2の試料を概略的に示す断面図である。純粋なアルゴンプラズマを用いた従来の無線周波数型の放電発光分光分析では、図5に示されたような試料の深度分析を行うことは実際には不可能である。なぜなら、PETにおけるアルゴンプラズマの浸食速度は非常に遅く、毎分約10nmであるので、厚みのあるPET層33の下に隠れている層43に到達することができないからである。図6は、図5に示したような試料に対して放電発光の発光分光分析による測定結果を示しており、キャリヤガスはアルゴンと酸素との混合気であって、酸素濃度は約4である。より詳しくは、図6は、プラズマの照射時間t単位:秒に応じた複数の発光強度曲線を示しており、縦座標軸は、任意の単位で示されている。図6の各曲線は、それぞれ、プラズマの照射時間に応じた、すなわち、試料における浸食クレータの深度に応じた化学元素の測定に対応している。以下の化学元素、すなわち、In/100曲線-x-、O曲線-●-、C曲線-~-、H曲線-△-、およびAl曲線-■-が検出される。最初に、プラズマの最初の20秒間は元素C、O、Hが検出され、次いで20~40秒の間にアルミニウムに対応する発光ピークがある。約40秒から190秒の間は、主に元素C、O、Hが検出される。190秒から230秒の間は、アルミニウムの検出に対応するピークが現れる。約230秒のとき、金属元素Au/10図6では示さず、In/100およびSn/10図6では示さずに対応する非常に強いピークが現れる。約240秒を経過すると、C、O、およびHが再び多くなる。図6の測定から、単に数分図6では約230秒すなわち約12.5ミクロン/分のエッチング速度で、埋もれた金属層43に到達するので、厚みのあるPET層33のエッチング速度は非常に速いことが分かる。さらに、測定された信号により、埋もれた層43をすぐれた深度解像で検知することができる。埋もれた層43の存在と組成は、エネルギー分散型分光分析EDSによる試料の断面分析により確認される。本発明による方法は、容量体、あるいは薄膜もしくは薄膜の積層体の形態をとる、ポリマータイプ、ポリマー層タイプ、または有機堆積物タイプの試料の深度解像分析を行うための新たな用途を可能にし、深度1μm以上および/または肉厚の厚み数十ミクロンに関して良好な解像をもたらすものである。本発明による方法は、直流型の放電発光分光分析DC-SDLではなく無線周波数型の放電発光分光分析RF-SDLでありさえすれば、従来の放電発光分光分析装置にも適合する。純粋な希ガスボンベの代わりに、使用準備のできた混合気ボンベ6を使用してもよい。また、その代わりに、放電発光分光分析装置の内部または外部でガス希ガスと酸素を混合してもよい。しかし、気体酸素は、使用条件によっては危険なガスであるので、一方では純粋な希ガスを供給し、他方では希ガスと低濃度の酸素からなる混合気を供給するガス管を接続して使用することが好ましい。混合ガス中の酸素濃度は、好適には1~10の間で修正可能である。こうした修正は、マニュアルまたは電子制御式の制御バルブにより実施することができる。図3、4、6に示した測定例は、発光分光分析による測定である。しかし、この方法は、また、プラズマのイオン種を検出するための質量分析による測定にも関与する。好適な実施形態によれば、2個のガス供給線5a、5bで質量流量計と圧力調節計とを用いることにより、気体混合物の酸素濃度を調節することができる。従って、この方法を様々に最適化することを検討可能である。試験手順によって、所定の1つのタイプの試料に対して混合気中の最適な酸素濃度を決定することができる。また、特に多層構造の積層体における各層の組成に応じて、多層構造の試料のエッチングの最中に気体混合物中の酸素濃度をリアルタイムで調節することもできる。1つの境界が検知されたときに気体混合物の組成を安定化することができるように、場合によっては放電を遮断することもできる。本発明では多数の変形実施形態を検討可能である。第1の変形実施形態は、最も脆弱な試料の加熱を回避するように、パルスタイプの無線周波数型の電気放電を使用することを含んでいる。別の変形実施形態は、特にエッチングの均質性を改善するために、RFプラズマのパルス式または非パルス式の放電中、放電ランプの軸に対して軸方向または横方向の磁界を同時に付与することからなる。