透明導電膜と光電変換層とを備えた光電変換素子を製造する方法であって、二酸化炭素を含むガスを用いて、前記透明導電膜をプラズマ処理する工程と、前記透明導電膜上に前記光電変換層を形成する工程とを備えた光電変換素子の製造方法。前記透明導電膜をプラズマ処理する工程は、下記式1または下記式2を満たすガスを用いて行なわれる請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。式1:0.74≦二酸化炭素の体積/二酸化炭素の体積水素の体積≦1.0式2:0.05≦二酸化炭素の体積/二酸化炭素の体積不活性ガスの体積≦1.0前記透明導電膜は、酸化錫を含む請求項1または2に記載の光電変換素子の製造方法。前記光電変換層を形成する工程は、前記透明導電膜の前記プラズマ処理された表面上に前記光電変換層を形成するものである請求項1~3のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。前記光電変換層を形成する工程は、p型半導体層とi型半導体層とn型半導体層とからなる光電変換ユニットを形成するものである請求項1~4のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。前記光電変換層上に、第2の光電変換層を形成する工程を備えた請求項1~5のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。前記光電変換層上に、第2の透明導電膜を介して第2の光電変換層を形成する工程をさらに備えた請求項1~5のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。前記透明導電膜は、透光性基板上に設けられた膜である請求項1~7のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。前記透明導電膜は、非透光性基板上に設けられた膜である請求項1~7のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。光電変換素子には、光電変換効率の更なる改善が望まれている。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、光電変換効率に優れた光電変換素子の製造方法を提供することである。本発明に係る光電変換素子の製造方法は、二酸化炭素を含むガスを用いて透明導電膜をプラズマ処理する工程と、透明導電膜上に光電変換層を形成する工程とを備える。本発明に係る光電変換素子の製造方法では、光電変換効率に優れた光電変換素子を得ることができる。以下、本発明に係る光電変換素子の製造方法について図面を用いて説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表すものである。また、長さ、幅、厚さ、深さなどの寸法関係は図面の明瞭化と簡略化のために適宜変更されており、実際の寸法関係を表すものではない。<第1の実施形態><光電変換素子の製造方法>図1は、第1の実施形態に係る光電変換素子の断面図である。図2は、本実施形態に係る光電変換素子の製造方法の要部を示すフロー図である。本実施形態に係る光電変換素子の製造方法は、図1に示すように透明導電膜2上に光電変換層が形成されて構成された光電変換素子を製造する方法であって、透明導電膜2をプラズマ処理する工程S12と、透明導電膜2上に光電変換層を形成する工程S13とを備えている。本実施形態に係る光電変換素子の製造方法は、透明導電膜2の準備工程S11をさらに備えていることが好ましく、第1の導電膜6および第2の導電膜7の形成工程不図示をさらに備えていることが好ましい。なお、本実施形態における光電変換層は、透明導電膜2の第1表面2a上にp型半導体層3、i型半導体層4、およびn型半導体層5が順に積層されて構成された光電変換ユニットAである。<透明導電膜の準備>透明導電膜2の準備工程S11は特に限定されない。たとえばCVD法、スパッタ法または蒸着法などにより透明導電膜2を透光性基板1の上面上に形成しても良いし、透明導電膜2が透光性基板1の上面上に予め形成された基板を準備しても良い。ここで、透光性基板1とは、太陽光を透過可能な基板を意味し、たとえばガラス板である。よって、太陽光は透光性基板1を透過して光電変換ユニットAへ入射されることとなり、製造された光電変換素子は透光性基板1が外側入射側を向くように配置される。したがって、耐候性に優れた光電変換素子が得られる。透光性基板1の厚みは、特に限定されないが、0.7mm以上6mm以下であることが好ましい。これにより、透光性基板1を透過した光は、強度の低下をほとんど招くことなく光電変換ユニットAへ入射される。透明導電膜2は、入射光太陽光を80以上好ましくは90以上透過可能な材料からなることが好ましく、たとえば酸化錫SnO2またはZnOなどの導電性金属酸化物を含むことが好ましく、酸化錫SnO2またはZnOなどのの導電性金属酸化物からなることが好ましい。透明導電膜2の表面は、平滑面であっても良いが、凹凸を有していることが好ましい。これにより、入射光の散乱を増大させるという効果が得られる。透明導電膜2の膜厚は特に限定されないが、500nm以上2500nm以下であることが好ましい。<透明導電膜に対するプラズマ処理>二酸化炭素を含むガスを用いて透明導電膜2をプラズマ処理する。ここで、二酸化炭素を含むガスを用いて透明導電膜2をプラズマ処理するとは、高周波電圧またはマイクロ波などによる電界によって加速した電子と二酸化炭素を含むガスとの衝突電離を利用して生成されたプラズマを透明導電膜2の第1表面2aに照射することを意味する。また、透明導電膜2の第1表面2aは、透明導電膜2の表面のうち光入射側とは反対側に位置することとなる透明導電膜2の表面であり、下記<光電変換ユニットの形成>で示すように光電変換ユニットAが形成される透明導電膜2の表面である。本発明者らは、鋭意検討した結果、二酸化炭素を含むガスを用いて透明導電膜2をプラズマ処理すれば光電変換効率が向上することを見出した。二酸化炭素を含むガスを用いて透明導電膜2をプラズマ処理したことにより光電変換効率が向上する理由としては、たとえば、以下の2つの理由が考えられる1つ目の理由:二酸化炭素を含むガスに由来する炭素系薄膜この薄膜は一般に低屈折率であるが透明導電膜の第1表面上に形成されるので、光透過率が向上するからである2つ目の理由:透明導電膜の表面がドライエッチングされるので、透明導電膜の第1表面上に凹凸が形成され、または透明導電膜の第1表面における凹凸構造が変化し、よって、入射光の散乱が増大するからである。本発明者らは、二酸化炭素を含むガスを用いたプラズマ処理を行なってから、飛行時間二次イオン質量分析計TimeofflightsecondaryionmassspectrometerTOFSIMSを用いて透明導電膜2の表面から深さ方向10nm程度付近の原子または分子の化学情報を測定したところ、透明導電膜2の表面上への付着物薄膜の形成は確認されなかった。このことから、二酸化炭素を含むガスを用いて透明導電膜2をプラズマ処理したことにより光電変換効率が向上する理由としては、透明導電膜2の化学組成の変化という理由ではなく、透明導電膜2の表面に凹凸が形成されるなどの透明導電膜2の形状が変化するという理由が考えられる。二酸化炭素を含むガスは、二酸化炭素のみからなっても良いし、二酸化炭素と二酸化炭素以外のガスとの混合ガスであっても良い。別の言い方をすると、下記式1または下記式2を満たしていることが好ましい0.74≦二酸化炭素の体積/二酸化炭素の体積水素の体積≦1.0:式10.05≦二酸化炭素の体積/二酸化炭素の体積不活性ガスの体積≦1.0:式2。式1において、0.74>二酸化炭素の体積/二酸化炭素の体積水素の体積であれば、水素による透明導電膜の還元が過剰となり、よって、透明導電膜層の透過率および導電率の低下を引き起こす。そのため、変換効率の低下を招くことがある。好ましくは0.85≦二酸化炭素の体積/二酸化炭素の体積水素の体積≦1.0である。式2において、0.05>二酸化炭素の体積/二酸化炭素の体積不活性ガスの体積であれば、プラズマによる表面処理効果が充分に得られないことがある。ここで、不活性ガスとは、透明導電膜とも二酸化炭素とも化学反応を起こさないガスを意味し、たとえばアルゴンガス、ヘリウム、ネオン、クリプトン、またはキセノンなどの希ガスが挙げられる。好ましくは0.3≦二酸化炭素の体積/二酸化炭素の体積不活性ガスの体積≦1.0である。透明導電膜に対するプラズマ処理の条件は特に限定されないが、以下に示す条件であることが好ましい二酸化炭素を含むガスの流量:40sccmStandardCubicCentimeterperMinutes以上1000sccm以下上記ガスのうち二酸化炭素の流量:30sccm以上300sccm以下透光性基板1の温度:50°C以上400°C以下CVD装置内の圧力:7Pa以上800Pa以下高周波電極の形状:互いに平行に配置された平板電極高周波電源の周波数:10MHz以上150MHz以下、または0.2GHz以上1000GHz以下マイクロ波レベルの周波数高周波電源のパワー密度:0.01W/cm2以上0.5W/cm2以下。透明導電膜2に対するプラズマ処理を終了するタイミングは特に限定されないが、たとえばプラズマ発光が確認されて30秒後に透明導電膜2に対するプラズマ処理を停止することが好ましい。なお、このプラズマ処理では二酸化炭素を用いるため、透明導電膜2の材料としては二酸化炭素と反応しにくい材料を選択することが好ましい。透明導電膜2の材料として上述のようにSnO2またはZnOなどの導電性金属酸化物を選択すれば、透明導電膜2と二酸化炭素との反応を抑制することができる。<光電変換ユニットの形成>続いて、透明導電膜2上に、光電変換ユニットAを形成する。具体的には、透明導電膜2の第1表面2a上に、p型半導体層3、i型半導体層4、およびn型半導体層5を順に積層する。-p型半導体層の形成-透明導電膜2の第1表面2a上にp型半導体層3を形成する。p型半導体層3の形成方法は特に限定されず、CVD法またはプラズマCVD法などであることが好ましい。p型半導体層3の材料は特に限定されない。p型半導体層3は光電変換ユニットA内に拡散電位を生じさせる役目を果たし、この拡散電位の大きさによって薄型光電変換装置の重要な特性の1つである開放端電圧Vocの値が左右される。よって、光電変換ユニットAが内蔵電位を有するようにp型半導体層3の材料を設定することが好ましい。そして、p型半導体層3の材料に応じてp型半導体層3を製造するために使用する原料ガスの材料を適宜、設定することが好ましい。たとえば、非晶質シリコンまたは微結晶シリコンからなるp型半導体層3を形成する場合には、原料ガスとしては、鎖状または環状のシラン化合物と、p型不純物の材料となる化合物とを用いることが好ましい。また、非晶質シリコン合金または微結晶シリコン合金からなるp型半導体層3を形成する場合には、原料ガスとしては、鎖状または環状のシラン化合物と、p型不純物の材料となる化合物と、炭素、酸素、窒素またはゲルマニウムを含む化合物とを用いることが好ましい。ここで、微結晶シリコンとは、nmレベルの大きさの結晶を持つ微細な結晶シリコンで構成されたものであり、非晶質シリコンを一部に含むものを意味することもあり、μc-Siと記されることもある。非晶質シリコン合金とは、炭素、酸素、窒素、およびゲルマニウムなどの元素を含む非晶質シリコンを意味し、非晶質シリコンに対する炭素、酸素、窒素、およびゲルマニウムなどの元素の含有量は、たとえば5質量以上30質量以下であることが好ましい。微結晶シリコン合金とは、炭素、酸素、窒素、およびゲルマニウムなどの元素を含む微結晶シリコンを意味し、微結晶シリコンに対する炭素、酸素、窒素、およびゲルマニウムなどの元素の含有量は、2質量以上20質量以下であることが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物の供給量は、形成されるp型半導体層3の膜厚に応じて適宜設定することが好ましい。ここで、p型半導体層3の膜厚は特に限定されない。しかし、p型半導体層3は光電変換にほとんど寄与しない不活性な層であり、p型半導体層3にドープされた不純物により吸収される光は発電にほとんど寄与せず損失となる。これらのことから、p型半導体層3の膜厚は、十分な拡散電位を生じさせる範囲内で可能な限り薄いことが好ましく、たとえば6nm以上50nm以下であることが好ましい。したがって、鎖状または環状のシラン化合物の供給量はたとえば2sccm以上300sccm以下であることが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物としては、たとえばSiH4、Si2H6、SiF4、SiFH3、SiF2H2、SiF3H、Si3H8、SiD4、SiHD3、SiH2D2、SiH3D、SiFD3、SiF2D2、Si2D3H3、SiF25、SiF26、SiF24、Si2F6、Si3F8、Si2H2F4、Si2H3F3、SiCl4、SiCl25、SiBr4、SiBr25、Si2Cl6、SiHCl3、SiH2Br2、SiH2Cl2、およびSi2Cl3F3などの少なくとも1つを用いることができる。p型不純物としてホウ素を選択した場合には、p型不純物の材料となる化合物としては、B2H6、B4H10、B5H9、B5H11、B6H10、B6H12、およびB6H14などの水素化ホウ素を用いても良いし、BF3、およびBCl3などのハロゲン化ホウ素を用いても良い。中でも、B2H6またはBF3が好適である。p型不純物はホウ素に限定されず、Mgであっても良い。p型半導体層3におけるp型不純物濃度がたとえば1×1017cm3以上1×1021cm3以下となるように、p型不純物の材料となる化合物の添加量を適宜、設定することが好ましい。炭素を含む化合物としては、CH4、CD4、CnH2n2nは整数、CnH2nnは整数、C2H2、C6H6、CO2、CO、SiCH3H3、SiCH32H2、およびSiCH33Hなどの少なくとも1つを用いることができる。これにより、炭素を含む非晶質シリコン層または炭素を含む微結晶シリコン層が形成される。p型半導体層3における炭素の濃度が所定値となるように、炭素を含む化合物の添加量を適宜設定することが好ましい。このことは、酸素を含む化合物、窒素を含む化合物、およびゲルマニウムを含む化合物の各添加量についても言える。酸素を含む化合物としては、O2、CO、CO2、NO、NO2、N2O、CH3CH2OH、CH3OH、およびH2Oなどの少なくとも1つを用いることができる。これにより、酸素を含む非晶質シリコン層または酸素を含む微結晶シリコン層が形成される。窒素を含む化合物としては、N2、NH3、ND3、NO、NO2、およびN2Oなどの少なくとも1つを用いることができる。これにより、窒素を含む非晶質シリコン層または窒素を含む微結晶シリコン層が形成される。ゲルマニウムを含む化合物としては、GeH4、GeD4、GeF4、GeFH3、GeF2H2、GeF3H、GeHD3、GeH2D2、GeH3D、Ge2H6、およびGe2D6などの少なくとも1つを用いることができる。これにより、ゲルマニウムを含む非晶質シリコン層またはゲルマニウムを含む微結晶シリコン層が形成される。プラズマCVD法によりp型半導体層3を形成する場合、高周波プラズマの発生条件は特に限定されないが、次に示す条件であることが好ましい透光性基板1の温度:100°C以上300°C以下CVD装置内の圧力:30Pa以上1500Pa以下高周波電極の形状:互いに平行に配置された平板電極高周波電源の周波数:10MHz以上100MHz以下高周波電源のパワー密度:0.01W/cm2以上0.5W/cm2以下。なお、原料ガスとともに、H2、He、Ne、Ar、Xe、またはKrなどのガスをキャリアガスとしてCVD装置のチャンバー内に供給しても良い。このことは、i型半導体層4を形成する際、およびn型半導体層5を形成する際においても言える。また、H2ガスに対するSiH4ガスの体積比率を1体積以上40体積以下、CVD装置内の圧力を30Pa以上800Pa以下、高周波電源のパワー密度を0.02W/cm2以上0.3W/cm2以下、および透光性基板1の温度を100°C以上250°C以下とすれば、非晶質なp型半導体層3が形成される。一方、H2ガスに対するSiH4ガスの体積比率を30体積以上400体積以下、CVD装置内の圧力を30Pa以上1300Pa以下、高周波電源のパワー密度を0.02W/cm2以上0.3W/cm2以下、および透光性基板1の温度を100°C以上250°C以下とすれば、微結晶なp型半導体層3が形成される。-i型半導体層の形成-p型半導体層3上にi型半導体層4を形成する。i型半導体層4の形成方法は特に限定されず、CVD法またはプラズマCVD法などであることが好ましい。i型半導体層4の材料は特に限定されない。i型半導体層4は、非晶質半導体層であっても良いし、結晶質半導体層であっても良い。非晶質半導体層としては、非晶質シリコン層または非晶質シリコン合金層を用いることができるが、非晶質半導体層中に水素を5~20原子含む水素化非晶質シリコン層または水素化非晶質シリコン合金層を用いることが好ましい。水素を含まない非晶質シリコン層または非晶質シリコン合金層では、未結合手ダングリングボンドに由来する欠陥密度が1019~1020cm3と高いため、水素を含まない非晶質シリコン層または非晶質シリコン合金層を光電変換素子などの半導体デバイスに用いることは難しい。これに対して、水素化非晶質シリコン層および水素化非晶質シリコン合金層では、水素が未結合手を終端するので、欠陥密度が1015~1017cm3に低減される。よって、水素化非晶質シリコン層および水素化非晶質シリコン合金層を光電変換素子などの半導体デバイスに用いることができる。ここで、水素化非晶質シリコン合金層は、炭素、酸素、窒素、およびゲルマニウムなどの元素を含む水素化非晶質シリコン層を意味する。結晶質半導体層としては、微結晶シリコン層または微結晶シリコン合金層などを用いることができるが、上記理由から水素化微結晶シリコン層または水素化微結晶シリコン合金層を用いることが好ましい。水素化微結晶シリコン合金層は、炭素、酸素、窒素、およびゲルマニウムなどの元素を含む水素化微結晶シリコン層を意味する。水素化とは、上述のように、層中に水素を5~20原子含むことを意味する。また、i型半導体層4は、光電変換に寄与する半導体層であり、理想的には導電型を決定する不純物を含まない真性の半導体層である。しかし、半導体層が微量の上記不純物を含んでいても当該半導体層のフェルミ準位が禁制帯のほぼ中央にあれば、その半導体層はpin接合のi型半導体層として機能する。よって、本明細書におけるi型半導体層4には、導電型を決定する不純物を含まない真性の半導体層だけでなく、微量の不純物を含んでいるにも関わらずフェルミ準位が禁制帯のほぼ中央にある半導体層も含まれる。ここで、微量の不純物を含むとは、たとえば1×1014cm3以上1×1018cm3以下の不純物を含むことを意味する。CVD法により微量の不純物を含むi型半導体層4を形成する場合には、導電型を決定する不純物となるドーパントガスを原料ガスに添加せずにi型半導体層4を形成しても良いし、i型半導体層として機能する許容範囲で上記不純物を添加してi型半導体層4を形成しても良いし、大気または下地層に起因する不純物がフェルミ準位に与える影響を取り除くために微量のドーパントガスを意図的に添加してi型半導体層4を形成しても良い。以上を考慮してi型半導体層4の材料を設定し、設定されたi型半導体層4の材料に応じて原料ガスを適宜決めることが好ましい。たとえば、水素化非晶質シリコンまたは水素化微結晶シリコンからなるi型半導体層を形成する場合には、原料ガスとしては、鎖状または環状のシラン化合物と、水素ガスとを用いることが好ましい。水素化非晶質シリコン合金または水素化微結晶シリコン合金からなるi型半導体層4を形成する場合には、原料ガスとしては、鎖状または環状のシラン化合物と、水素ガスと、炭素、酸素、窒素およびゲルマニウムのいずれかを含む化合物とを用いることが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物の供給量は、形成されるi型半導体層4の膜厚に応じて適宜設定することが好ましく、たとえば2sccm以上200sccm以下であることが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物に対する水素ガスの添加量は、i型半導体層4における水素の含有量が5~20原子となるように適宜設定することが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物に対する炭素などを含む化合物の添加量もまた、適宜設定することが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物、炭素を含む化合物、酸素を含む化合物、窒素を含む化合物、およびゲルマニウムを含む化合物としては、上記-p型半導体層の形成-で列挙した化合物を用いることが好ましい。プラズマCVD法によりi型半導体層4を形成する場合、高周波プラズマの発生条件は特に限定されないが、上記-p型半導体層の形成-で列挙した条件であることが好ましい。非晶質なi型半導体層4と微結晶なi型半導体層4とを作り分ける条件は、上記-p型半導体層の形成-で記載したとおりである。-n型半導体層の形成-i型半導体層4上にn型半導体層5を形成する。n型半導体層5の形成方法は特に限定されず、CVD法またはプラズマCVD法などであることが好ましい。n型半導体層5の材料は特に限定されない。n型半導体層5はp型半導体層3と同じく光電変換ユニットA内に拡散電位を生じさせる役目を果たし、この拡散電位の大きさによって薄型光電変換装置の重要な特性の1つである開放端電圧Vocの値が左右される。よって、光電変換ユニットAが内蔵電位を有するようにn型半導体層5の材料を設定することが好ましい。たとえばp型半導体層3が非晶質炭化シリコンからなる場合、n型半導体層5は微結晶シリコンからなることが好ましい。そして、n型半導体層5の材料に応じて原料ガスを適宜決めることが好ましい。たとえば、非晶質シリコンまたは微結晶シリコンからなるn型半導体層5を形成する場合には、原料ガスとしては、鎖状または環状のシラン化合物と、n型不純物の材料となる化合物とを用いることが好ましい。また、非晶質シリコン合金または微結晶シリコン合金からなるn型半導体層5を形成する場合には、原料ガスとしては、鎖状または環状のシラン化合物と、n型不純物の材料となる化合物と、炭素、酸素、窒素またはゲルマニウムを含む化合物とを用いることが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物の供給量は、形成されるn型半導体層5の膜厚に応じて適宜設定することが好ましい。ここで、n型半導体層5の膜厚は特に限定されない。しかし、n型半導体層5は光電変換にほとんど寄与しない不活性な層であり、n型半導体層5にドープされた不純物により吸収される光は発電にほとんど寄与せず損失となる。これらのことから、n型半導体層5の膜厚は、十分な拡散電位を生じさせる範囲内で可能な限り薄いことが好ましく、たとえば6nm以上50nm以下であることが好ましい。したがって、鎖状または環状のシラン化合物の供給量はたとえば2sccm以上300sccm以下であることが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物に対する炭素などを含む化合物の添加量もまた、適宜設定することが好ましい。鎖状または環状のシラン化合物、炭素を含む化合物、酸素を含む化合物、窒素を含む化合物、およびゲルマニウムを含む化合物としては、上記-p型半導体層の形成-で列挙した化合物を用いることが好ましい。n型不純物として燐を選択した場合には、n型不純物の材料となる化合物としては、PH3、またはP2H4などの水素化燐を用いても良いし、PH4I、PF3、PF5、PCl3、PCl5、PBr3、PBr5、またはPI3などのハロゲン化燐を用いても良い。中でも、PH3またはPF3が好適である。n型不純物はPに限定されず、Si、AsまたはSbであっても良い。n型半導体層5におけるn型不純物濃度がたとえば1×1017cm3以上1×1021cm3以下となるように、n型不純物の材料となる化合物の添加量を適宜、設定することが好ましい。プラズマCVD法によりn型半導体層5を形成する場合、高周波プラズマの発生条件は特に限定されないが、上記-p型半導体層の形成-で列挙した条件であることが好ましい。非晶質なn型半導体層5と微結晶なn型半導体層5とを作り分ける条件は、上記-p型半導体層の形成-で記載したとおりである。<第1の導電膜および第2の導電膜の形成>たとえばスパッタ法または蒸着法などにより、n型半導体層5上に第1の導電膜6および第2の導電膜7を作製することが好ましい。第1の導電膜6は、太陽光に対して透過可能な材料からなることが好ましく、ITOIndiumTinOxide、SnO2またはZnOなどの導電性酸化物からなることが好ましい。第1の導電膜6の膜厚は、特に限定されず、20nm以上150nm以下であることが好ましい。第2の導電膜7は、導電性材料からなることが好ましく、Al、Ag、Au、Cu、Pt、Cr、Ti、Zn、およびMoのうちの少なくとも1つの材料からなることが好ましい。第2の導電膜7の膜厚は、特に限定されず、50nm以上であることが好ましい。このようにして得られた光電変換素子は、図1に示すように、透光性基板1上に、透明導電膜2、光電変換ユニットA、第1の導電膜6、および第2の導電膜7が順に積層されて構成されている。光電変換ユニットAは、透明導電膜2の第1表面2a上に設けられており、p型半導体層3、i型半導体層4、およびn型半導体層5が順に第1表面2a上に積層されて構成されている。<第2の実施形態>第2の実施形態に係る光電変換素子の製造方法では、2つの光電変換ユニットを備えた光電変換素子を製造する。以下では、上記第1の実施形態とは異なる点を主に記す。図3は、本実施形態に係る光電変換素子の概略断面図である。図4は、本実施形態に係る光電変換素子の製造方法の要部を示すフロー図である。本実施形態に係る光電変換素子の製造方法は、図3に示すように透明導電膜2上に光電変換ユニットAおよび第2の光電変換ユニットBが順に形成されて構成された光電変換素子を製造する方法であって、透明導電膜2をプラズマ処理する工程S12と、透明導電膜2上に光電変換層を形成する工程S13と、光電変換層上に第2の光電変換層を形成する工程S24とを備えている。本実施形態に係る光電変換素子の製造方法は、透明導電膜2の準備工程S11をさらに備えていることが好ましく、第1の導電膜6および第2の導電膜7の形成工程不図示をさらに備えていることが好ましい。なお、本実施形態における光電変換層は上記第1の実施形態における光電変換ユニットAであり、本実施形態における第2の光電変換層は光電変換ユニットA上にp型半導体層9、i型半導体層10、およびn型半導体層11が順に積層されて構成された光電変換ユニットBである。以下では、光電変換ユニットAを前方側光電変換ユニットAと記すことがあり、光電変換ユニットBを後方側光電変換ユニットBと記すことがある。本実施形態に係る光電変換素子の製造方法では、上記第1の実施形態で示したように透明導電膜2の準備工程S11、透明導電膜2をプラズマ処理する工程S12と、および光電変換ユニットAの形成工程S13を実施してから、第2の光電変換ユニットBの形成工程S24を実施し、それから第1の導電膜6および第2の導電膜7の形成工程を実施する。このように本実施形態に係る光電変換素子の製造方法においても透明導電膜2をプラズマ処理する工程S12を実施するため、光電変換効率に優れた光電変換素子を提供することができる。<第2の光電変換ユニットの形成>第2の光電変換ユニットの形成工程S24では、上記第1の実施形態における<光電変換ユニットの形成>を実施することが好ましい。ここで、p型半導体層9は、p型半導体層3と略同一の材料で構成されていても良いし、p型半導体層3とは異なる材料で構成されていても良い。たとえば、p型半導体層9は、ボロンなどのp型不純物が0.01原子以上ドープされたp型微結晶シリコン層であることが好ましい。i型半導体層10は、i型半導体層4と略同一の材料で構成されていても良いし、i型半導体層4とは異なる材料で構成されていても良い。しかし、i型半導体層4の光学的禁制帯幅がi型半導体層10の光学的禁制帯幅よりも大きくなるようにi型半導体層4およびi型半導体層10の各組成を決めることが好ましい。これにより、前方側光電変換ユニットAでは、後方側光電変換ユニットBよりも光電変換層の光学的禁制帯幅が大きくなるので、入射光の波長範囲の広範囲に亘って光電変換が可能となる。よって、入射光を有効利用することができるので、上記第1の実施形態に比べて光電変換素子の変換効率が向上する。具体的には、i型半導体層4がアモルファスシリコンからなる場合には、i型半導体層10を微結晶シリコンで構成することが好ましい。また、i型半導体層4における光電変換可能な光の波長範囲がi型半導体層10における光電変換可能な光の波長範囲よりも広くなるようにi型半導体層4およびi型半導体層10の各組成を決めることが好ましい。これにより、前方側光電変換ユニットAでは、後方側光電変換ユニットBに比べて、広範囲の波長範囲にわたって光電変換が可能となる。よって、入射光を有効利用することができるので、上記第1の実施形態に比べて光電変換素子の変換効率が向上する。具体的には、i型半導体層4が微結晶シリコンからなる場合には、i型半導体層10を非晶質シリコンで構成することが好ましい。n型半導体層11は、n型半導体層5と略同一の材料で構成されていても良いし、n型半導体層5とは異なる材料で構成されていても良い。たとえば、n型半導体層11は、リンなどのn型不純物が0.01原子以上ドープされたn型微結晶シリコン層であることが好ましい。このようにして得られた光電変換素子は、図3に示すように、透光性基板1上に、透明導電膜2、光電変換ユニットA、第2の光電変換ユニットB、第1の導電膜6、および第2の導電膜7が順に積層されて構成されている。光電変換ユニットAは、透明導電膜2の第1表面2a上に、p型半導体層3、i型半導体層4およびn型半導体層5が順に積層されて構成されている。第2の光電変換ユニットBは、光電変換ユニットA上に、p型半導体層9、i型半導体層10およびn型半導体層11が順に積層されて構成されている。なお、本実施形態では、第2の光電変換ユニットBは、第2の透明導電膜を介して光電変換ユニットAの上に設けられていても良い。<その他の実施形態>光電変換層の一例として、上記第1の実施形態では光電変換ユニットAを例に挙げ、上記第2の実施形態では光電変換ユニットAと光電変換ユニットBとを例に挙げたが、光電変換層の構成は光電変換ユニットAおよび光電変換ユニットBに限定されない。たとえば、光電変換ユニットAの代わりに、透明導電膜2上に、n型半導体層5、i型半導体層4、およびp型半導体層3が順に形成されて構成された光電変換ユニットを用いても良い。また、光電変換ユニットBの代わりに、光電変換ユニットA上に、n型半導体層11、i型半導体層10、およびp型半導体層9が順に形成されて構成された光電変換ユニットを用いても良い。光電変換素子は3つ以上の光電変換ユニットを備えていても良い。この場合、光電変換可能な光の波長範囲が後方側入射光に対して後方側、以下同様から前方側入射光に対して前方側、以下同様へ向かって段階的に広くなるように各光電変換ユニットのi型半導体層の組成を調整すれば、光電変換素子の変換効率がさらに向上する。また、光学的禁制帯幅が後方側から前方側へ向かって段階的に大きくなるように各光電変換ユニットのi型半導体層の組成を調整すれば、光電変換素子の変換効率がさらに向上する。透光性基板1の代わりに、非透光性基板を用いても良いサブストレートタイプの光電変換素子。非透光性基板を用いた光電変換素子を製造する方法としては、非透光性基板の上に透明導電膜および光電変換ユニットを順に形成する方法であっても良いし、透明導電膜が予め形成された非透光性基板を準備し、その透明導電膜上に光電変換ユニットを形成する方法であっても良い。非透光性基板を用いた場合、光は非透光性基板とは反対側から入射されるため、非透光性基板が内側入射側とは反対側を向く。よって、入射側に透明なバリア膜またはカバーガラスが必要となる。しかし、基板の材料の選択性および基板のフレキシブル性に富むという点で有利である。また、非透光性基板に導電性を持たせることができるため、透明導電膜は不要である。ここで、非透光性基板とは、太陽光を透過させにくい基板であり、たとえば金属板である。光入射側から見て光電変換ユニットの後方にi型半導体層よりも屈折率の小さな反射層を設けることが好ましい。これにより、特定の波長の光が反射層で有効に反射するため、光閉じ込め効果の向上を図ることができる。よって、光電変換素子の変換効率のさらなる向上を図ることができる。さらに、上記反射層を設けることにより光電変換ユニットAの厚さをできる限り薄くすることができるため、光電変換素子の生産性の向上、つまり光電変換素子の低コスト化を図ることができる。ここで、光入射側から見て光電変換ユニットの後方に反射層を設けるとは、反射層が光電変換ユニットに接している場合だけでなく、反射層が他の層を介して光電変換ユニットの後方側に配置されている場合も含む。以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はその趣旨を超えない限り以下の実施例に限定されない。以下の実施例1~4および比較例1~3では、光電変換ユニットを1つ含む光電変換素子を作製し、その出力特性を測定した。<実施例1>実施例1では、図1に示す光電変換素子を作製した。まず、透明導電膜2付の透光性基板1である旭硝子社製AsahiU基板を準備した。次に、製膜チャンバーを3室備えるプラズマCVD装置を用いて、以下に示す条件で上記旭硝子社製AsahiU基板における透明導電膜2の第1表面2aに対してプラズマ処理を行なったガス種:CO2チャンバー内の圧力:212Paプラズマパワー:150mW/cm2。透明導電膜2の第1表面2a上に、上記プラズマCVD装置を用いて非晶質な光電変換ユニットAを表1に示す条件で作製した。CVD装置の製膜チャンバーは、p型半導体層を形成するチャンバーP1室と、i型半導体層を形成するチャンバーI1室と、n型半導体層を形成するチャンバー室N1室とを備えている。まず、p型半導体層3をP1室にて表1の条件で形成し、i型半導体層4をI1室にて表1の条件で形成し、その後、n型半導体層5をN1室にて表1の条件で形成した。その後、スパッタ法にて厚さ60nmのZnO膜からなる第1の導電膜6を形成してから、スパッタ法にて厚さ120nmのAg膜からなる第2の導電膜7を形成した。これにより、実施例1における光電変換素子が得られた。得られた光電変換素子に対してAM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して、その出力特性を室温で測定した。表1では、パワーとは高周波電源のパワーであり、基板温度とは透光性基板1の温度であり、圧力はCVD装置内の圧力である。下記表3においても同様である。<実施例2>実施例2では、旭硝子社製AsahiU基板における透明導電膜2の第1表面2aに対するプラズマ処理を以下に示す条件で行なったことを除いては、上記実施例1に記載する方法で光電変換素子を製造し、得られた光電変換素子を評価したガス種:CO2とAr流量比:CO2/CO2Ar=0.27チャンバー内の圧力:212Paプラズマパワー:150mW/cm2。<実施例3>実施例3では、旭硝子社製AsahiU基板における透明導電膜2の第1表面2aに対するプラズマ処理を以下に示す条件で行なったことを除いては、上記実施例1に記載する方法で光電変換素子を製造し、得られた光電変換素子を評価したガス種:CO2とAr流量比:CO2/CO2Ar=0.05チャンバー内の圧力:212Paプラズマパワー:150mW/cm2。<実施例4>実施例4では、旭硝子社製AsahiU基板における透明導電膜2の第1表面2aに対するプラズマ処理を以下に示す条件で行なったことを除いては、上記実施例1に記載する方法で光電変換素子を製造し、得られた光電変換素子を評価したガス種:CO2とH2流量比:CO2/CO2H2=0.76チャンバー内の圧力:212Paプラズマパワー:150mW/cm2。<比較例1>比較例1では、透明導電膜2の第1表面2aに対してプラズマ処理を行なうことなく光電変換素子を作製したことを除いては上記実施例1と同様の方法にしたがって、比較例1の光電変換素子を作製した。詳細には、製膜チャンバーを3室備えるプラズマCVD装置を用いて、透明導電膜2付の透光性基板1である旭硝子社製AsahiU基板上に非晶質な光電変換ユニットAを作製した。比較例1では、プラズマCVD装置としては、汎用的な連続分離形成方式のCVD装置を用いることができ、この製膜チャンバーは、p型半導体層を形成するチャンバーP1室と、i型半導体層を形成するチャンバーI1室と、n型半導体層を形成するチャンバー室N1室とで構成されている。p型半導体層3はP1室にて形成され、i型半導体層4はI1室にて形成され、n型半導体層5はN1室にて形成された。それぞれの製膜条件を表1に示す。その後、スパッタ法にて厚さ60nmのZnO膜からなる第1の導電膜6を形成してから、スパッタ法にて厚さ120nmのAg膜からなる第2の導電膜7を形成した。このようにして比較例1における光電変換素子が得られた。そして、上記実施例1と同様の方法にしたがって、得られた光電変換素子の出力特性を測定した。<比較例2>比較例2では、旭硝子社製AsahiU基板における透明導電膜2の第1表面2aに対するプラズマ処理を以下に示す条件で行なったことを除いては、上記実施例1に記載する方法で光電変換素子を製造し、得られた光電変換素子を評価したガス種:CO2とH2流量比:CO2/CO2H2=0.5チャンバー内の圧力:212Paプラズマパワー:150mW/cm2。<比較例3>比較例3では、旭硝子社製AsahiU基板における透明導電膜2の第1表面2aに対するプラズマ処理を以下に示す条件で行なったことを除いては、上記実施例1に記載する方法で光電変換素子を製造し、得られた光電変換素子を評価したガス種:CO2とH2流量比:CO2/CO2H2=0.25チャンバー内の圧力:212Paプラズマパワー:150mW/cm2。<結果と考察>結果を表2に示す。実施例1の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが0.85Vであり、短絡電流密度Jscが13.75mA/cm2であり、曲線因子FFが0.727であり、変換効率Effが8.50であった。実施例2の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが0.85Vであり、短絡電流密度Jscが13.97mA/cm2であり、曲線因子FFが0.702であり、変換効率Effが8.34であった。実施例3の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが0.85Vであり、短絡電流密度Jscが13.90mA/cm2であり、曲線因子FFが0.697であり、変換効率Effが8.24であった。実施例4の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが0.84Vであり、短絡電流密度Jscが13.77mA/cm2であり、曲線因子FFが0.698であり、変換効率Effが8.09であった。比較例1の光電変換装置の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが0.84Vであり、短絡電流密度Jscが13.72mA/cm2であり、曲線因子FFが0.701であり、変換効率Effが8.08であった。比較例2の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが0.84Vであり、短絡電流密度Jscが13.46mA/cm2であり、曲線因子FFが0.688であり、変換効率Effが7.78であった。比較例3の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが0.80Vであり、短絡電流密度Jscが13.72mA/cm2であり、曲線因子FFが0.669であり、変換効率Effが7.34であった。実施例1~4のそれぞれでは、比較例1に比べて、短絡電流密度Jscおよび曲線因子FFの少なくとも一方が向上しており、結果的に変換効率Effが向上した。その理由としては、上記第1の実施形態で示した通りである。つまり、透明導電膜2に対するプラズマ処理を行なえば光電変換効率が向上する理由としては、推測の域を出ないが、透明導電膜の表面におけるテクスチャ構造凹凸構造の変化などの透明導電膜の表面の形状変化などが影響していると考えられる。一方、比較例2~3では、比較例1に比べて、全体的な特性低下がみられ、結果的に変換効率Effが低下した。この理由としては、過剰に存在する水素原子によって透明導電膜の還元劣化が起こり、よって、光透過率の低下および導電率の低下が引き起こされたからであると考えられる。以下の実施例5~8および比較例4~6では、非晶質な光電変換ユニットと微結晶な光電変換ユニットとを含む光電変換素子を作製し、その出力特性を測定した。<実施例5>実施例5では、図3に示す光電変換素子を作製した。上記実施例1における非晶質光電変換ユニットAを作製後、微結晶p型半導体μc-p層9をP1室にて形成し、微結晶i型半導体μc-i層10をI1室にて形成し、微結晶n型半導体μc-n層11をN1室にて形成し、光電変換ユニットBを作製した。それぞれの製膜条件を表3に示す。その後、スパッタ法にて厚さ60nmのZnO膜からなる第1の導電膜6を形成してから、スパッタ法にて厚さ120nmのAg膜からなる第2の導電膜7を形成した。このようにして実施例5における光電変換素子が得られた。上記実施例1に記載の方法にしたがって、得られた光電変換素子を評価した。<実施例6>実施例6では、上記実施例2に記載の方法にしたがって非晶質な光電変換ユニットを作製してから、上記実施例5に記載の方法にしたがって微結晶な光電変換ユニットを作製した。上記実施例1に記載の方法にしたがって、得られた光電変換素子を評価した。<実施例7>実施例7では、上記実施例3に記載の方法にしたがって非晶質な光電変換ユニットを作製してから、上記実施例5に記載の方法にしたがって微結晶な光電変換ユニットを作製した。上記実施例1に記載の方法にしたがって、得られた光電変換素子を評価した。<実施例8>実施例8では、上記実施例4に記載の方法にしたがって非晶質な光電変換ユニットを作製してから、上記実施例5に記載の方法にしたがって微結晶な光電変換ユニットを作製した。上記実施例1に記載の方法にしたがって、得られた光電変換素子を評価した。<比較例4>比較例4では、上記比較例1における非晶質光電変換ユニットを作製後、微結晶p型半導体層9をP1室にて形成し、微結晶i型半導体層10をI1室にて形成し、微結晶n型半導体層11をN1室にて形成し、光電変換ユニットBを作製した。それぞれの製膜条件を表3に示す。その後、スパッタ法にて厚さ60nmのZnO膜からなる第1の導電膜6を形成してから、スパッタ法にて厚さ120nmのAg膜からなる第2の導電膜7を形成した。このようにして比較例4における光電変換素子が得られた。上記実施例1に記載の方法にしたがって、得られた光電変換素子を評価した。<比較例5>比較例5では、上記比較例2に記載の方法にしたがって非晶質な光電変換ユニットを作製してから、上記実施例5に記載の方法にしたがって微結晶な光電変換ユニットを作製した。上記実施例1に記載の方法にしたがって、得られた光電変換素子を評価した。<比較例6>比較例6では、上記比較例3に記載の方法にしたがって非晶質な光電変換ユニットを作製してから、上記実施例5に記載の方法にしたがって微結晶な光電変換ユニットを作製した。上記実施例1に記載の方法にしたがって、得られた光電変換素子を評価した。<結果と考察>結果を表4に示す。実施例5の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが1.35Vであり、短絡電流密度Jscが11.62mA/cm2であり、曲線因子FFが0.752であり、変換効率Effが11.80であった。実施例6の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが1.37Vであり、短絡電流密度Jscが11.55mA/cm2であり、曲線因子FFが0.740であり、変換効率Effが11.71であった。実施例7の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが1.35Vであり、短絡電流密度Jscが11.50mA/cm2であり、曲線因子FFが0.740であり、変換効率Effが11.49であった。実施例8の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが1.36Vであり、短絡電流密度Jscが11.44mA/cm2であり、曲線因子FFが0.733であり、変換効率Effが11.40であった。比較例4の光電変換装置の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが1.35Vであり、短絡電流密度Jscが11.50mA/cm2であり、曲線因子FFが0.735であり、変換効率Effが11.41であった。比較例5の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが1.35Vであり、短絡電流密度Jscが11.10mA/cm2であり、曲線因子FFが0.700であり、変換効率Effが10.49であった。比較例6の光電変換素子の出力特性を測定したところ、開放端電圧Vocが1.31Vであり、短絡電流密度Jscが11.05mA/cm2であり、曲線因子FFが0.685であり、変換効率Effが9.92であった。比較例4と実施例5~8とを比較すると、アモルファスシリコンシングルセル上記実施例1と同様に、実施例5~8では比較例4に比べて短絡電流密度Jscおよび曲線因子FFが向上した。よって、タンデムセル実施例5~8でもアモルファスシリコンシングルセル上記実施例1~4と同様な現象が起こっていることが考えられる。したがって、透明導電膜層へのプラズマ処理は変換効率の向上を図るための実用的な手段となり得る方法であると考えられる。なお、本発明者らは、旭硝子社製AsahiU基板の代わりに非透光性基板を用いた場合サブストレートタイプの光電変換素子であっても同様の効果が期待できると考えている。一方、比較例5~6では、比較例4に比べて、全体的な特性低下がみられ、結果的に変換効率Effが低下した。この理由としては、過剰に存在する水素原子によって透明導電膜の還元劣化が起こり、よって、光透過率の低下および導電率の低下が引き起こされたからであると考えられる。今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。