燃焼室内の混合気に着火するためのレーザ着火装置であって、前記燃焼室内に配置されたターゲット部と、前記燃焼室外に配置され、前記ターゲット部に照射するためのレーザ光を出射するレーザ光源と、を備え、前記レーザ光源はマイクロチップレーザであることを特徴とするレーザ着火装置。前記混合気に着火するためのプラズマを前記ターゲット部に発生させることができる前記レーザ光の強度範囲、及び前記レーザ光の集光点位置を調整する光学系をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ着火装置。前記光学系は、前記強度範囲が前記ターゲット部を含み、かつ前記集光点位置が前記ターゲット部の手前に位置するように、前記強度範囲及び前記集光点位置を調整することを特徴とする請求項2に記載のレーザ着火装置。しかしながら、上記特許文献1に記載されたレーザ着火装置では、レーザ光の集光点位置を固体ターゲットに高精度に位置合わせしないとプラズマを発生させて混合気に着火することができないおそれがある。また、特許文献2に記載されたレーザ着火装置では、混合気に着火するために大きなレーザパワーが求められる。そこで、本発明は、確実にプラズマを発生させて混合気に着火することができると共に、着火に必要なレーザ光のエネルギーを低減することができるレーザ着火装置を提供することを目的とする。本発明のレーザ着火装置は、燃焼室内の混合気に着火するためのレーザ着火装置であって、燃焼室内に配置されたターゲット部と、燃焼室外に配置され、ターゲット部に照射するためのレーザ光を出射するレーザ光源と、を備え、レーザ光源はマイクロチップレーザであることを特徴とする。このレーザ着火装置では、レーザ光源にマイクロチップレーザを用いている。マイクロチップレーザから出射されるレーザ光は、単位面積当たりのエネルギーが大きいので、混合気に着火するためのプラズマをターゲット部において発生させることができるレーザ光の強度範囲を広く確保することが可能となる。したがって、レーザ光の集光点位置がターゲット部からずれたとしても、確実にプラズマを発生させて混合気に着火することができる。また、このレーザ着火装置では、燃焼室内に配置されたターゲット部と、燃焼室外に配置され、ターゲット部に照射するためのレーザ光を出射するレーザ光源とを備えている。このレーザ着火装置では、燃焼室内に配置されたターゲット部にレーザ光を照射してプラズマを発生させることにより混合気に着火する。ターゲットブレイクダウン方式によれば、ガスブレイクダウン方式よりも小さいエネルギーのレーザ光により着火できる。したがって、着火に必要なレーザ光のエネルギーを低減することができる。また、本発明のレーザ着火装置は、混合気に着火するためのプラズマをターゲット部に発生させることができるレーザ光の強度範囲、及びレーザ光の集光点位置を調整する光学系をさらに備えていることが好ましい。このような構成により、レーザ光の強度範囲及び集光点位置をターゲット部に対して所望の位置に調整することができる。また、本発明のレーザ着火装置では、強度範囲がターゲット部を含み、かつ集光点位置がターゲット部の手前に位置するように、光学系が強度範囲及び集光点位置を調整することが好ましい。このように強度範囲を調節することにより、強度範囲にターゲット部が含まれるので、プラズマを発生させて混合気に着火することができる。さらに、このように集光点位置を調節することにより、集光点位置において混合気に直接に着火することができる。したがって、ターゲットブレイクダウン及びガスブレイクダウンを発生させることができるので、より確実に混合気に着火することができる。本発明によれば、確実にプラズマを発生させて混合気に着火することができると共に、着火に必要なレーザ光のエネルギーを低減することができる。以下、添付図面を参照しながら本発明によるレーザ着火装置の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図1は本実施形態に係るレーザ着火装置1を備えるエンジン装置100の構成を説明するための図である。エンジン装置100は、燃焼部50とレーザ着火装置1とを備えている。レーザ着火装置1について説明する。レーザ着火装置1は、レーザ光源11、コリメータ12、ミラー13、レンズ14、レンズ駆動部16、ターゲット部20、及びレーザ光制御部15を備えている。レーザ光源11は燃焼部50外に配置されている。レーザ光源11は、ターゲット部20に照射するためのレーザ光Lを出射する機能を有する。レーザ光源11には、マイクロチップレーザが用いられる。マイクロチップレーザは、励起光源に半導体レーザLDを用いた固体レーザである。レーザ光源11は、励起光源11a、レーザ共振器11b、及びパルス化手段11cを備えている。励起光源11aには、例えば半導体レーザが用いられる。レーザ共振器11bには、例えばNd:YAGが用いられる。このレーザ共振器11bは、長さが20mm以下である。パルス化手段11cは、例えば外部から強制的に変調する外部変調器、又は素子自体の特性により変調する可飽和吸収体のいずれか一方が用いられる。外部変調器には、例えば電気光学変調器EOM、音響光学変調器AOM等を用いることができる。可飽和吸収体には、例えばCr:YAG、SESAM等を用いることができる。コリメータ12は、レーザ光Lの光路上に設けられている。コリメータ12は、平行光線であるレーザ光Lを形成するために用いられる。ミラー13は、レーザ光Lの光路上に設けられている。レーザ光Lの光路を制御して、レーザ光導入部84を介してターゲット部20にレーザ光Lを導光する機能を有する。レンズ14は、レーザ光Lの光路上に設けられている。レンズ14は、レーザ光Lの強度範囲、及びレーザ光Lの集光点位置Pの位置を調整する光学系である。レーザ光Lの強度範囲とは、混合気に着火するためのプラズマをターゲット部20に発生させることができる範囲をいう。レンズ14には、焦点距離の長いレンズを用いることが好ましい。レンズ14には、例えば焦点距離が100mmのレンズ又は焦点距離が150mmのレンズを用いることができる。ターゲット部20は、副燃焼室85内に設けられている。本実施形態では、レーザ光導入部84が設けられている壁面と反対側の壁面にターゲット部20が設けられている。ターゲット部20は、レーザ光Lが照射されることによりプラズマを発生させる機能を有する。レーザ光制御部15は、レンズ14の位置を制御するレンズ駆動部16に接続されている。レーザ光制御部15は、レンズ駆動部16を制御してレンズ14をレーザ光Lの光路に沿った方向に移動させることにより、レーザ光Lの強度範囲及び集光点位置Pを調整する。レーザ光Lの集光点位置Pは、副燃焼室85内に調整される。集光点位置Pは副燃焼室85内においてターゲット部20の表面上に調整されてもよいし、ターゲット部20の手前に調整されてもよいし、又はレーザ光Lの光路上における所望の箇所に調整されてもよい。また、レーザ光Lの強度範囲は、強度範囲がターゲット部20を含むように調整される。さらに、レーザ光制御部15は、レーザ光源11に接続されている。レーザ光制御部15は、レーザ光源11から照射されるレーザ光Lの、例えば繰り返し周波数、エネルギー、パルス幅、及び波長を制御する。次に、燃焼部50について説明する。燃焼部50は、主燃焼部60、副燃焼部80及び圧力制御部91、及びガス導入制御部92を備えている。主燃焼部60は燃焼室本体61、ピストン62、蓋部63、主圧力調整部64、主圧力計65、及び主ガス導入部66を備えている。燃焼室本体61は円柱状の主燃焼室67を有する。燃焼室本体61の一方の端部61aには蓋部63が固定され、他方の端部61b側からピストン62が挿入されている。ピストン62は主燃焼室67の中心軸61cに沿った方向に移動可能に構成されている。このピストン62が中心軸61cに沿った方向に移動することにより、主燃焼室67内の混合気を圧縮又は膨張させる。主圧力計65は、主燃焼室67の内壁面に設けられている。主圧力調整部64及び主ガス導入部66は燃焼室本体61の外側面に設けられている。主圧力調整部64は、燃焼室本体61の外壁面から主燃焼室67に貫通する貫通孔64aを介して主燃焼室67と接続されている。主ガス導入部66は、燃焼室本体61の外壁面から主燃焼室67に貫通する貫通孔66aを介して主燃焼室67と接続されている。副燃焼部80は、燃焼室本体61の外側の側面に設けられている。副燃焼部80は副燃焼室本体81、副圧力調整部82、副ガス導入部83、及びレーザ光導入部84を備えている。副燃焼室本体81は直方体状の副燃焼室85を有する。副燃焼室本体81は、貫通孔86を有している。貫通孔86の一方の端部は副燃焼室85の壁面に設けられ、他方の端部は主燃焼室67の壁面に設けられている。貫通孔86が設けられた壁面と互いに向かい合う別の壁面には、レーザ光導入部84が設けられている。レーザ光導入部84は例えば石英ガラスからなる。レーザ光導入部84と互いに直交する一の壁面には、副ガス導入部83が設けられ、他の壁面には副圧力調整部82が設けられている。圧力制御部91は、主圧力調整部64に接続されている。圧力制御部91は主圧力調整部64が備える弁を調整することにより、主燃焼室67の内部圧力を制御する。また、圧力制御部91は、副圧力調整部82に接続されている。圧力制御部91は副圧力調整部82が備える弁を調整することにより、副燃焼室85の内部圧力を制御する。ガス導入制御部92は、主ガス導入部66に接続されている。ガス導入制御部92は、主ガス導入部66を介して所望の混合気を主燃焼室67内に導入する。また、ガス導入制御部92は、副ガス導入部83に接続されている。ガス導入制御部92は、副ガス導入部83を介して所望の混合気を副燃焼室85内に導入する。以上のようにして構成されたレーザ着火装置1を備えたエンジン装置100においては、まず、レーザ光源11からレーザ光Lが出射される。レーザ光源11から出射されたレーザ光Lは、コリメータ12を通過してミラー13に到達する。ミラー13に到達したレーザ光Lは、ミラー13によりターゲット部20に照射されるように光路の方向が転換される。光路の方向が転換されたレーザ光Lは、レンズ14に到達する。レーザ光Lは、レンズ14を通過するときに集光点位置Pに集光するように屈折される。レンズ14を通過したレーザ光Lは、レーザ光導入部84を通過して、例えばターゲット部20の表面に集光される。このとき、主燃焼室67内及び副燃焼室85内には、所望の混合比を有する混合気がガス導入制御部92により導入されている。また、主燃焼室67内及び副燃焼室85内は、圧力制御部91により所望の圧力に調整されている。レーザ光Lが集光されたターゲット部の20の表面ではプラズマが発生する。このプラズマにより、副燃焼室85に導入された混合気が着火され、燃焼ガスが生成される。燃焼ガスは、貫通孔86を介して主燃焼室67へ噴出される。この噴出された燃焼ガスにより、主燃焼室67内に導入された希薄予混合気が着火され、急速に燃焼する。図2は、本実施形態に係るレーザ着火装置1の作用を説明するための図であり、主燃焼室67及び副燃焼室85の内部圧力の経時変化を示している。主燃焼室67の内部圧力は主圧力計65により測定され、副燃焼室85の内部圧力は圧力計87により測定される。図2においてグラフG1は主燃焼室67の内部圧力の経時変化を示し、グラフG2は副燃焼室85の内部圧力の経時変化を示す。レーザ光Lは時間T1において照射される。グラフG1を参照すると、時間T1の後に急激に内部圧力が高まっており、主燃焼室67内の混合気に着火されていることがわかる。また、主燃焼室67の内部圧力と副燃焼室85の内部圧力との圧力差ΔPが大きいほど燃焼しやすく、燃焼効率が高いことが予想される。以上説明したように、本実施形態に係るレーザ着火装置1では、レーザ光源11にマイクロチップレーザを用いている。図3を参照して、マイクロチップレーザが奏する作用効果を説明する。図3は、本実施形態に係るレーザ着火装置1の作用効果を説明するための図である。図3のa部は従来のレーザ光源から出射されるレーザ光LHが有する強度範囲I1を示している。図3のb部は本実施形態に係るレーザ光源11から出射されるレーザ光Lが有する強度範囲I2を示している。レーザ光LHが有するエネルギーは、レーザ光Lが有するエネルギーと同じであるとする。図3のa部と図3のb部とを参照すると、レーザ光LHと同じエネルギーを有するレーザ光Lであっても、レーザ光Lはレーザ品質を示すM2値を1.2以下にできるので、レーザ光Lの光径を例えば数mmに設定できる。そのため、レーザ光Lの単位面積当たりのエネルギー量を高めることができる。このため、混合気に着火するためのプラズマをターゲット部20に発生させることができるレーザ光Lの強度範囲I2を広く確保することが可能となる。したがって、レーザ光の集光点位置Pがターゲット部20からずれたとしても、確実にプラズマを発生させて混合気に着火することができる。また、レーザ光Lの強度範囲I2を広く確保することが可能となるので、中心軸61cに沿った方向に移動するピストン62の上面62aにターゲット部20を配置したときでも、上面62aの移動範囲がレーザ光Lの強度範囲I2に含まれていれば、確実にプラズマを発生させて混合気に着火することができる。また、複数の集光点位置Pにおいて同時に着火させる方法と同等の効果を有する。また、マイクロチップレーザは、レーザ媒質を半導体レーザと同等の寸法にすることができるので、レーザ光源11を容易に小型にすることができる。また、本実施形態に係るレーザ着火装置1では、副燃焼室85内に配置されたターゲット部20と、副燃焼室85外に配置され、ターゲット部20に照射するためのレーザ光Lを出射するレーザ光源11とを備えている。レーザ着火装置1では、副燃焼室85内に配置されたターゲット部20にレーザ光Lを照射してプラズマを発生させることにより、混合気に着火する。このようなターゲットブレイクダウン方式による着火方式では、混合気を直接に着火するガスブレイクダウン方式よりも着火に必要なレーザ光Lのエネルギーが小さい。したがって、着火に必要なレーザ光のエネルギーを低減することができる。さらに、レーザ光導入部84を透過するレーザ光Lのエネルギーを低減することができるので、レーザ光導入部84が損傷する可能性を低減することが可能となる。また、ターゲット部20に照射されるレーザ光Lのエネルギーを低減することができるので、プラズマが発生することにより減少するターゲット部20の減少量を低減することができる。したがって、レーザ光導入部84及びターゲット部20を交換する回数を低減することが可能となるので、レーザ着火装置1の寿命を長くすることができる。そして、レーザ光Lのエネルギーが小さいので、レーザ光Lを制御するレーザ光制御部15を容易に小型にすることができる。また、レーザ着火装置1の製造コストを低減することができる。また、ターゲット部20の損耗により集光点位置Pとターゲット部20の位置とに徐々にずれが生じる。そのため、従来のターゲットブレイクダウン方式を用いた着火装置では、レーザ光の集光点位置の調整、又はターゲット部の交換が必要である。一方、本実施形態に係るレーザ着火装置1では、レーザ光Lの強度範囲I2を広く確保することができるので、集光点位置Pを頻繁に調整したり、ターゲット部20を交換することなく、確実にプラズマを発生させて混合気に着火することができる。また、従来のプラグを用いた着火装置では、燃焼室内の圧力が高くなると放電電圧が高まるので、プラグの寿命が短くなる。一方、本実施形態に係るレーザ着火装置1は、レーザ光Lをターゲット部20に照射して発生させたプラズマにより混合気に着火するので、プラグを用いる必要がない。したがって、プラグを用いた着火装置よりもレーザ着火装置1の寿命を長くすることができる。また、本実施形態に係るレーザ着火装置1は、混合気に着火するためのプラズマをターゲット部20に発生させることができるレーザ光Lの強度範囲I2、及びレーザ光Lの集光点位置Pを調整する光学系であるレンズ14をさらに備えていることが好ましい。このような構成により、レーザ光Lの強度範囲I2及び集光点位置Pをターゲット部20に対して所望の位置に調整することができる。また、本実施形態に係るレーザ着火装置1では、光学系であるレンズ14により、強度範囲I2がターゲット部20を含み、かつ集光点位置Pがターゲット部20の手前に位置するように、強度範囲I2及び集光点位置Pを調整することが好ましい。このようにレーザ光Lの強度範囲I2を調整することにより、レーザ光Lの強度範囲I2にターゲット部20が含まれるので、確実にプラズマを発生させて混合気に着火することができる。さらに、レーザ光Lの集光点位置Pをターゲット部20の手前に調節する、すなわち副燃焼室85内における混合気に集光点位置Pを調節することにより、集光点位置Pにおいて混合気に直接に着火することができる。したがって、ターゲットブレイクダウン及びガスブレイクダウンを共に発生させることができるので、より確実に混合気に着火することができる。さらに、希薄な予混合気や低発熱量の燃料を燃焼させるときには、ターゲット部20への熱損失が問題となる。一方、本実施形態に係るレーザ着火装置1は、ターゲットブレイクダウンとガスブレイクダウンを同時に発生させることができるので、上述した問題を解決することができる。特に、燃焼速度の遅いバイオガス等の利用時に有用である。<実施例1>本実施形態に係るレーザ着火装置1を備えるエンジン装置100を用いて、本実施形態に係るレーザ着火装置1の効果を確認した。マイクロチップレーザであるレーザ光源11から出射されるレーザ光Lは、1パルスの繰り返し周波数を数Hz以上、2エネルギーを1パルスあたり0.15mJ以上、3パルス幅を1nsec以下、4ビーム品質を1.2以下、5レーザ波長を混合気の吸収波長領域である532nmに設定した。また、主燃焼室67及び副燃焼室85は、1副燃焼室容積を2.45cm3、2燃焼時の主燃焼室容積を75.60cm3、3圧縮比を7.29、4圧縮前温度を80°Cに設定した。燃料にはメタンを用いた。メタンと空気の混合比を示す等量比は、主燃焼室67では0.6に設定し、副燃焼室85では1.25に設定した。また充填圧は、主燃焼室67では0.348MPaに設定し、副燃焼室85では0.348MPaに設定した。図4及び図5は本実施形態に係るレーザ着火装置1の効果を説明するための図であり、主燃焼室67及び副燃焼室85の内部圧力の経時変化を示している。図4は、エネルギーを1パルスあたり0.94mJに設定したレーザ光Lをターゲット部20に照射して、主燃焼室67内の混合気を燃焼させたときの内部圧力の経時変化を示している。さらに、図4のグラフG3は主燃焼室67の内部圧力の経時変化を示し、グラフG4は副燃焼室85の内部圧力の経時変化を示す。グラフG3を確認すると、区間Z1において内部圧力が急激に高まっているので、この区間Z1において主燃焼室67内の混合気の燃焼が発生したことがわかる。図5は、エネルギーを1パルスあたり0.21mJに設定したレーザ光Lをターゲット部20に照射して、主燃焼室67内の混合気を燃焼させたときの内部圧力の経時変化を示している。さらに、図5のグラフG5は主燃焼室67の内部圧力の経時変化を示し、グラフG6は副燃焼室85の内部圧力の経時変化を示す。グラフG5を確認すると、区間Z2において内部圧力が急激に高まっているので、この区間Z2において主燃焼室67内における混合気の燃焼が発生したことがわかる。<実施例2>次に、着火可能なレーザ光Lのエネルギーについて確認した。ここでは、レーザ光Lの集光点位置Pを所望の位置に調節し、レーザ光Lのエネルギーを変化させて主燃焼室67の混合気に着火できるか否かを確認した。レーザ光源11から出射されたレーザ光Lをコリメータ12によりコリメートし、レンズ14により集光してターゲット部20に照射した。集光点位置Pは、ターゲット部20のレーザ光Lの照射面から2mm手前に調節された。図6は、ターゲット部20に照射されたレーザ光Lの1パルスあたりのエネルギーと着火の成否との関係を示す。点D1から点D8の各点は、着火が成功したことを示す。点D1から点D7の各点はレンズ14が有する焦点距離が100mmである場合の結果を示す。点D8はレンズ14が有する焦点距離が150mmである場合の結果を示す。図6の点D1から点D7を確認すると、焦点距離が100mmのレンズ14を用いた場合には、1パルスあたりのエネルギーが0.21mJから0.94mJの範囲において着火が成功していることがわかる。さらに、図6の点D8を確認すると、焦点距離が150mmのレンズ14を用いた場合には、1パルスあたりのエネルギーが0.15mJの場合でも着火が成功していることがわかる。これは、レーザ光源11にマイクロチップレーザを用いており、且つ長い焦点距離を有するレンズ14を備えているので、レーザ光Lのエネルギーを例えば1パルスあたり0.15mJまで低減しても着火が可能であることを示している。<第3実施例>次に、レーザ光Lの強度範囲I2の長さを確認した。ここでは、レーザ光Lの1パルスあたりのエネルギーを所望の量に設定し、集光点位置Pを変化させて主燃焼室67内の混合気に着火できるか否かを確認した。本実施例では、レーザ光Lの1パルスあたりのエネルギーを0.7mJに設定した。また、本実施例では、集光点位置Pについて、ターゲット部20の手前側を正の方向とし、手前側と逆の方向を負の方向と設定した。そして、集光点位置Pを2mmから-10mmの間で段階的に調整した。図7は、集光点位置Pと着火の成否との関係を示す。点M1から点M11は、着火が成功したことを示す。図7を参照すると、ターゲット部20に対して2mmから-10mmの間に集光点位置Pを調整したときには、主燃焼室67内の混合気に着火できることがわかる。したがって、本実施形態に係るレーザ着火装置1を上述した条件において動作させた場合には、長さが12mmの強度範囲I2を確保できていることを確認した。<第4実施例>次に、ガスブレイクダウンによる着火の成否を確認した。本実施例では、1副燃焼室容積を9.6cm3、2燃焼時の主燃焼室容積を168cm3、3圧縮比を6.28、4圧縮前温度を100°Cに設定した。さらに、メタンと空気の混合比を示す等量比は、主燃焼室67では0.6に設定し、副燃焼室85では1.25に設定した。また充填圧は、主燃焼室67では0.250MPaに設定し、副燃焼室85では0.250MPaに設定した。レーザ光Lの集光点位置Pの位置は、ターゲット部20の手前10mmの位置に調整した。この集光点位置Pは、副燃焼室85の上下壁の中央である。レーザ光Lの波長は532nmに設定した。レーザ光Lの1パルスあたりのエネルギーを1.02mJに設定した。レンズ14は、焦点距離が150mmのレンズを用いた。上述した設定は、副燃焼室85内における混合気に集光するガスブレイクダウンを発生させることを狙ったものである。図8は、主燃焼室67及び副燃焼室85の内部圧力の経時変化を示す。グラフG7は副燃焼室85の内部圧力の経時変化を示し、グラフG8は主燃焼室67の内部圧力の経時変化を示す。図8のグラフG7を参照すると、区間Z3において、副燃焼室85の内部圧力が急激に高まっていることがわかる。本実施形態に係るレーザ着火装置1を上述したような条件で動作させることにより、ガスブレイクダウンによる着火が可能であることが確認された。<変形例>以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明に係るレーザ着火装置1は、自動車用エンジンだけでなく、コージェネレーションシステムに用いられるガスエンジンに適用することもできる。本発明に係るレーザ着火装置1を適用することにより、コージェネレーションシステムの熱効率を向上させることができる。また、プラグよりも寿命を長くできるので、メンテナンス費用を削減できる。