複数の電極からなる四重極マスフィルタと、特定の質量電荷比を有するイオンが前記四重極マスフィルタを選択的に通過するように所定の電圧を該四重極マスフィルタの各電極に印加する四重極電源と、測定対象であるイオンの質量電荷比に応じた目標電圧を前記四重極電源に指示する制御手段と、を具備し、前記四重極電源は、前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧を直流検波する検波手段と、該検波手段による検波出力のゲインを調整する検波出力調整手段と、周波数可変である高周波信号を生成する信号生成手段を含み、前記検波出力調整手段の出力と前記目標電圧との比較に基づく振幅を有し前記高周波信号の周波数と同一又はそれに比例する周波数を有する高周波電圧を出力する高周波電源と、前記検波出力調整手段の出力に基づいて直流電圧を出力する直流電源と、該直流電源による直流電圧と前記高周波電源による高周波電圧とを重畳する重畳手段と、を有し、前記四重極マスフィルタの電極間の浮遊容量を含んで形成されるLC共振回路により前記重畳手段により重畳された高周波電圧を増大させて前記四重極マスフィルタに印加するとともに、前記高周波信号の周波数を調整することで前記LC共振回路を同調させる四重極型質量分析装置において、前記四重極電源にあって前記検波出力調整手段は、前記高周波信号の周波数に依らない一定のゲインで電圧を増幅する増幅手段と、同調のために前記高周波信号の周波数が標準周波数から変化されたときに、前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧の振幅が一定になるように、前記増幅手段の入力段又は出力段で周波数変化の倍率に応じて電圧を補正する第1の補正手段と、を含み、さらに前記四重極電源は、同調のための前記周波数の変化時に、その周波数変化の倍率の二乗に応じて前記目標電圧を補正する第2の補正手段を備えることを特徴とする四重極型質量分析装置。複数の電極からなる四重極マスフィルタと、特定の質量電荷比を有するイオンが前記四重極マスフィルタを選択的に通過するように所定の電圧を該四重極マスフィルタの各電極に印加する四重極電源と、測定対象であるイオンの質量電荷比に応じた目標電圧を前記四重極電源に指示する制御手段と、を具備し、前記四重極電源は、前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧を直流検波する検波手段と、該検波手段による検波出力のゲインを調整する検波出力調整手段と、周波数可変である高周波信号を生成する信号生成手段を含み、前記検波出力調整手段の出力と前記目標電圧との比較に基づく振幅を有し前記高周波信号の周波数と同一又はそれに比例する周波数を有する高周波電圧を出力する高周波電源と、前記検波出力調整手段の出力に基づいて直流電圧を出力する直流電源と、該直流電源による直流電圧と前記高周波電源による高周波電圧とを重畳する重畳手段と、を有し、前記四重極マスフィルタの電極間の浮遊容量を含んで形成されるLC共振回路により前記重畳手段により重畳された高周波電圧を増大させて前記四重極マスフィルタに印加するとともに、前記高周波信号の周波数を調整することで前記LC共振回路を同調させる四重極型質量分析装置において、前記四重極電源は、a同調のために前記高周波信号の周波数が標準周波数から変化されたときに、前記高周波電源の出力が変化した分だけ前記検波調整手段から前記直流電源に与えられる出力を変化させて前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧の振幅と直流電圧との比が一定になるように、前記検波調整手段から前記直流電源に与えられる出力を周波数変化の倍率に応じて補正する第1の補正手段と、b同調のための前記周波数の変化時に、その周波数変化の倍率の三乗に応じて前記目標電圧を補正する第2の補正手段と、を備えることを特徴とする四重極型質量分析装置。複数の電極からなる四重極マスフィルタと、特定の質量電荷比を有するイオンが前記四重極マスフィルタを選択的に通過するように高周波電圧と直流電圧とを重畳した所定の電圧を該四重極マスフィルタの各電極に印加する四重極電源と、高周波電圧の振幅と直流電圧の電圧値とが一定の関係を保ちつつ測定対象であるイオンの質量電荷比に応じた電圧が前記四重極マスフィルタに印加されるように、前記四重極電源に対し高周波電圧の振幅に関する第1目標電圧と直流電圧に関する第2目標電圧とを指示する制御手段と、を具備し、前記四重極電源は、前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧を直流検波する検波手段と、該検波手段による検波出力のゲインを調整する検波出力調整手段と、周波数可変である高周波信号を生成する信号生成手段を含み、前記検波出力調整手段の出力と前記第1目標電圧との比較に基づく振幅を有し前記高周波信号の周波数と同一又はそれに比例する周波数を有する高周波電圧を出力する高周波電源と、前記第2目標電圧に応じた直流電圧を出力する直流電源と、該直流電源による直流電圧と前記高周波電源による高周波電圧とを重畳する重畳手段と、を有し、前記四重極マスフィルタの電極間の浮遊容量を含んで形成されるLC共振回路により前記重畳手段により重畳された高周波電圧を増大させて前記四重極マスフィルタに印加するとともに、前記高周波信号の周波数を調整することで前記LC共振回路を同調させる四重極型質量分析装置において、前記四重極電源は、a同調のために前記高周波信号の周波数が標準周波数から変化されたときに、周波数変化の三乗に応じて前記第1目標電圧を補正する第1の補正手段と、b同調のための前記周波数の変化時にその周波数変化の倍率の二乗に応じて前記第2目標電圧を補正する第2の補正手段と、を備えることを特徴とする四重極型質量分析装置。即ち、周波数可変同調方式の場合には、LC共振回路を形成するインダクタンス素子やキャパシタンス素子のパラメータ調整による同調は不要であるために安定的な動作が可能であるものの、同調のために周波数を調整する度に面倒な分解能調整やmz軸調整精度調整が必要となり、作業者には大きな負担であるとともに分析作業の効率を落とすことにもなる。本発明はこうした課題を解決するために成されたものであり、その主な目的は、周波数可変同調方式を採用した四重極電源部において同調のために周波数を変化させた場合でも、可変抵抗等の調整や自動チューニングによるマスピーク形状調整或いはmz軸調整の手間を省くことができる四重極型質量分析装置を提供することにある。上記課題を解決するために成された第1発明は、複数の電極からなる四重極マスフィルタと、特定の質量電荷比を有するイオンが前記四重極マスフィルタを選択的に通過するように所定の電圧を該四重極マスフィルタの各電極に印加する四重極電源と、測定対象であるイオンの質量電荷比に応じた目標電圧を前記四重極電源に指示する制御手段と、を具備し、前記四重極電源は、前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧を直流検波する検波手段と、該検波手段による検波出力のゲインを調整する検波出力調整手段と、周波数可変である高周波信号を生成する信号生成手段を含み、前記検波出力調整手段の出力と前記目標電圧との比較に基づく振幅を有し前記高周波信号の周波数と同一又はそれに比例する周波数を有する高周波電圧を出力する高周波電源と、前記検波出力調整手段の出力に基づいて直流電圧を出力する直流電源と、該直流電源による直流電圧と前記高周波電源による高周波電圧とを重畳する重畳手段と、を有し、前記四重極マスフィルタの電極間の浮遊容量を含んで形成されるLC共振回路により前記重畳手段により重畳された高周波電圧を増大させて前記四重極マスフィルタに印加するとともに、前記高周波信号の周波数を調整することで前記LC共振回路を同調させる四重極型質量分析装置において、前記四重極電源にあって前記検波出力調整手段は、前記高周波信号の周波数に依らない一定のゲインで電圧を増幅する増幅手段と、同調のために前記高周波信号の周波数が標準周波数から変化されたときに前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧の振幅が一定になるように、前記増幅手段の入力段又は出力段で周波数変化の倍率に応じて電圧を補正する第1の補正手段と、を含み、さらに前記四重極電源は、同調のための前記周波数の変化時に、その周波数変化の倍率の二乗に応じて前記目標電圧を補正する第2の補正手段を備えることを特徴としている。第1発明に係る四重極型質量分析装置では、LC共振回路を同調させるために高周波信号生成手段において生成される高周波信号の周波数を例えば標準周波数四重極マスフィルタの浮遊容量等が予め想定される理想状態であるときの共振周波数から高い方向に変化させると、第1の補正手段は、その周波数上昇の変化度合に応じた分だけゲインを下げる。それによって、検波出力調整手段全体のゲインも下がるため、その下がった分を補うように高周波電圧出力を上げるべくフィードバックが働き、四重極マスフィルタに印加される高周波電圧の振幅は周波数変化前のレベルに保たれる。これにより、四重極マスフィルタに印加される高周波電圧の振幅と直流電圧との関係比は一定に保たれるために、質量分解能は良好な状態に保たれる。また、第2の補正手段は同調のための周波数上昇による変化率の二乗だけ目標電圧を補正する。これにより、任意の質量電荷比に対してマシュー方程式に従ったイオン選択の最適状態が保たれるので、mz軸のずれの発生も回避できる。また上記課題を解決するために成された第2発明は、複数の電極からなる四重極マスフィルタと、特定の質量電荷比を有するイオンが前記四重極マスフィルタを選択的に通過するように所定の電圧を該四重極マスフィルタの各電極に印加する四重極電源と、測定対象であるイオンの質量電荷比に応じた目標電圧を前記四重極電源に指示する制御手段と、を具備し、前記四重極電源は、前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧を直流検波する検波手段と、該検波手段による検波出力のゲインを調整する検波出力調整手段と、周波数可変である高周波信号を生成する信号生成手段を含み、前記検波出力調整手段の出力と前記目標電圧との比較に基づく振幅を有し前記高周波信号の周波数と同一又はそれに比例する周波数を有する高周波電圧を出力する高周波電源と、前記検波出力調整手段の出力に基づいて直流電圧を出力する直流電源と、該直流電源による直流電圧と前記高周波電源による高周波電圧とを重畳する重畳手段と、を有し、前記四重極マスフィルタの電極間の浮遊容量を含んで形成されるLC共振回路により前記重畳手段により重畳された高周波電圧を増大させて前記四重極マスフィルタに印加するとともに、前記高周波信号の周波数を調整することで前記LC共振回路を同調させる四重極型質量分析装置において、前記四重極電源は、a同調のために前記高周波信号の周波数が標準周波数から変化されたときに、前記高周波電源の出力が変化した分だけ前記検波調整手段から前記直流電源に与えられる出力を変化させて前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧の振幅と直流電圧との比が一定になるように、前記検波調整手段から前記直流電源に与えられる出力を周波数変化の倍率に応じて補正する第1の補正手段と、b同調のための前記周波数の変化時に、その周波数変化の倍率の三乗に応じて前記目標電圧を補正する第2の補正手段と、を備えることを特徴としている。第2発明に係る四重極型質量分析装置では、LC共振回路を同調させるために高周波信号生成手段において生成される高周波信号の周波数を例えば標準周波数から高い方向に変化させると、第1の補正手段はその周波数上昇に伴って高周波電圧出力が下がる分だけ直流電源からの出力も下げるように、検波調整手段から直流電源に与えられる電圧を補正する。これにより、四重極マスフィルタに印加される高周波電圧の振幅と直流電圧との関係比は周波数変化前と同じに保たれ、質量分解能は良好な状態に保たれる。また、第2の補正手段は同調のための周波数上昇による変化率の三乗だけ目標電圧を補正する。これにより、任意の質量電荷比に対してマシュー方程式に従ったイオン選択の最適状態が保たれるので、mz軸のずれの発生も回避できる。上記第1及び第2発明はいずれも、制御手段から四重極電源に対し高周波電圧の目標となるべき目標電圧が与えられ、直流電源はフィードバックされる検波出力に基づいて直流電圧を生成する。これに対し、制御手段が高周波電圧と直流電圧とでそれぞれ別々に両電圧の関係が一定になるような目標電圧を生成して高周波電源及び直流電源に与える構成も採り得る。上記課題を解決するために成された第3発明は、複数の電極からなる四重極マスフィルタと、特定の質量電荷比を有するイオンが前記四重極マスフィルタを選択的に通過するように高周波電圧と直流電圧とを重畳した所定の電圧を該四重極マスフィルタの各電極に印加する四重極電源と、高周波電圧の振幅と直流電圧の電圧値とが一定の関係を保ちつつ測定対象であるイオンの質量電荷比に応じた電圧が前記四重極マスフィルタに印加されるように、前記四重極電源に対し高周波電圧の振幅に関する第1目標電圧と直流電圧に関する第2目標電圧とを指示する制御手段と、を具備し、前記四重極電源は、前記四重極マスフィルタに印加される高周波電圧を直流検波する検波手段と、該検波手段による検波出力のゲインを調整する検波出力調整手段と、周波数可変である高周波信号を生成する信号生成手段を含み、前記検波出力調整手段の出力と前記第1目標電圧との比較に基づく振幅を有し前記高周波信号の周波数と同一又はそれに比例する周波数を有する高周波電圧を出力する高周波電源と、前記第2目標電圧に応じた直流電圧を出力する直流電源と、該直流電源による直流電圧と前記高周波電源による高周波電圧とを重畳する重畳手段と、を有し、前記四重極マスフィルタの電極間の浮遊容量を含んで形成されるLC共振回路により前記重畳手段により重畳された高周波電圧を増大させて前記四重極マスフィルタに印加するとともに、前記高周波信号の周波数を調整することで前記LC共振回路を同調させる四重極型質量分析装置において、前記四重極電源は、a同調のために前記高周波信号の周波数が標準周波数から変化されたときに、周波数変化の三乗に応じて前記第1目標電圧を補正する第1の補正手段と、b同調のための前記周波数の変化時にその周波数変化の倍率の二乗に応じて前記第2目標電圧を補正する第2の補正手段と、を備えることを特徴としている。この第3発明に係る四重極型質量分析装置における第1及び第2の補正手段は、実質的に第1又は第2発明に係る四重極型質量分析装置における第1及び第2の補正手段と同様の作用を有し、高周波電圧の振幅と直流電圧との関係比を周波数変化前と同じに保ち、質量分解能を維持する。また、任意の質量電荷比に対してマシュー方程式に従ったイオン選択の最適状態を保つことにより、mz軸のずれの発生を回避する。第1乃至第3発明に係る四重極型質量分析装置によればいずれも、周波数可変同調方式を採用した四重極電源部においてLC共振回路を同調させるために高周波電圧の周波数を変化させた場合でも、その周波数の変化量に応じて、質量分解能が維持され且つmz軸ずれも生じないないように自動的に補正が行われる。それにより、同調のための周波数調整を行った場合でも、可変抵抗のマニュアル調整や自動チューニングによるマスピーク形状調整やmz軸調整が不要となるので、作業者の負担が軽減されるとともに分析作業の効率アップを図ることができる。