高エネルギー電子源;該高エネルギー電子源からの電子をビームに集中させ、サンプルの全域を走査するための電子集束カラム;該サンプルを通り抜けた異なるエネルギーの電子を分散させるための分散素子;第1電子検出器;該第1電子検出器に電子を投影するための電子光学系;及び電子を検出するための第2検出器;を含み:前記第1電子検出器は、複数の箇所で電子強度を記録することによって画像又はスペクトルを記録し;前記第2検出器は、前記電子集束カラムが前記サンプルの全域を高エネルギー電子のビームで走査するとき、一領域にわたって電子強度変化を素早く記録し;該第2検出器は、エネルギー分散面において又は該エネルギー分散面の実質的に近くに配置され;且つ該第2検出器は、電子が前記第1検出器へ入ることを妨げない;ことを特徴とする、透過型電子顕微鏡。前記第1検出器はカメラであり;且つ前記第2検出器はSTEM検出器である、請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。前記分散素子は、前記ビームを第1エネルギー範囲及び第2エネルギー範囲に分離し;前記第1検出器は、該第1エネルギー範囲内の電子を検出し;且つ前記第2検出器は、該第2エネルギー範囲内の電子を検出する;請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。前記プリズムは、前記第1検出器がコアロス電子を検出し、前記第2検出器がゼロロスピークにおける電子を検出するように調整される、請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。前記第2検出器は、電子を前記第1検出器の中へ投影するための前記分散素子と前記電子光学系との間に配置される、請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。前記第1検出器が、100eVよりも大きいエネルギー損失を有する電子を検出し、前記第2検出器は、100eV未満のエネルギー損失を有する電子を検出する、請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。エネルギー分散面において又は該エネルギー分散面の近くにエネルギー選択スリットをさらに含み、前記第2検出器が、該エネルギー選択スリットの前に配置される、又は該検出器が、該エネルギー選択スリットの一部分を含む、請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。第3電子検出器をさらに含み、前記第2検出器及び該第3検出器のうち一方が、前記スリットの一方の側を通過する電子を検出し、該第2検出器及び第3検出器のうちの他方は、該スリットの他方の側を通過する電子を検出する、請求項1に記載の透過型電子顕微鏡。サンプルを解析する方法であり:該サンプルへ向けて電子ビームを方向付けるステップ;分散素子を使用し、電子が該サンプルを通り抜けた後に、該電子を第1エネルギー範囲及び第2エネルギー範囲へと分離するステップ;電子のエネルギーを決定する第1検出器において第1エネルギー範囲にある電子を検出するステップ;を含み、前記分散素子の後に配置され、第2エネルギー範囲にある電子の数に比例した信号を生成する第2検出器において該第2エネルギー範囲にある電子を検出することを特徴とする、方法。第1エネルギー範囲における電子を検出するステップが、コアロス電子を検出するステップを含み、第2エネルギー範囲における電子を検出するステップは、ゼロロス電子を検出するステップを含む、請求項9に記載の方法。前記電子を第1エネルギー範囲及び第2エネルギー範囲へと分離するステップは、該電子をプリズムの中へ通すステップを含み;第1エネルギー範囲における電子を検出するステップは、該第1エネルギー範囲における電子をエネルギー選択スリットの中へ通すステップを含み;且つ前記第2検出器は、該エネルギー選択スリットの中を通り抜けない電子の少なくともいくつかを検出するように該スリットの一部分において又は該スリットの一部分の前に配置される、請求項9に記載の方法。本発明の目的は、走査透過型電子顕微鏡において複数の同時解析を提供することであり、その複数の解析は、エネルギー損失分光法及びSTEM結像を含む。望ましい実施形態は、プリズムの後に配置された少なくとも2つの検出器を含み、一方の検出器は、第1エネルギー範囲内のエネルギーを有する電子を検出し、他方の検出器は、第2エネルギー範囲内のエネルギーを有する電子を検出する。その2つの検出器のうち1つは、望ましくは、検出された電子のエネルギー損失を決定する。例えば、望ましい実施形態は、コアロス電子に対するエネルギー損失スペクトルを決定する一方で、ローロス電子からサンプルに関する追加の情報を同時に提供することが可能である。上記は、以下に続く本発明の詳細な記載がよりよく理解されるように、本発明の特徴及び技術的利点をむしろ幅広く概説している。本発明のさらなる特徴及び利点は、以下に記載される。開示される概念及び特定の実施形態は、改良及び本発明の同じ目的を実施するための他の構造を設計するための基盤として容易に使用されてもよいことは、当業者に理解されるべきである。また、そのような均等な構造物は、添付の請求項において説明されるように、本発明の要旨及び範囲から離れないことも、当業者は実感するべきである。本発明及びその利点のより深い理解のために、付属の図と共に取り入れられる以下の記載に関してここで述べる。本発明の実施形態は、サンプルの中を通り抜けた電子を検出する複数の検出器を提供する。それらの検出器は、電子がプリズム又は多数のプリズムを通り抜けた後に、それらの電子を検出するのが望ましく、そのプリズム又は多数のプリズムは、電子のエネルギーに従ってそれらを分離する。異なるエネルギー範囲における電子は、次に、異なる検出器によって検出され、それらの検出器のうち少なくとも1つは、それらの電子がサンプルを通り抜けるときにそれらによって失われるエネルギーを測定するのが望ましい。いくつかの実施形態は、明視野電子に関して、明視野低エネルギーロス電子をサロゲートsurrogateとして検出することから、明視野STEM情報がEELSと同時に提供されることを可能にする。そのような実施形態は、サンプルに関する情報を収集するのに必要な時間を低減し、線量、つまり、そのサンプルに衝突し、場合によってはそのサンプルに損傷を与える電子の合計数を低減する。例えば、ユーザーは、明視野STEMモードを使用して標本を素早く走査し、暗視野STEMでは通常、何かの原子要素の存在を確認するためにEELSスペクトルを同時に観測する間にアクセス可能ではない歪みに関する情報、より一般的には、結晶の情報を得ることができる。STEM検出器は、エネルギー分散面において又はその近くに配置されるのが望ましい。顕微鏡がエネルギー選択スリットを含む場合、そのエネルギー選択スリットもまた、通常は、そのエネルギー分散面に又はその近くに配置され、STEM検出器は、そのエネルギー選択スリットの前に配置されるのが望ましい。そのスリット自体は、いくつかの実施形態において検出器として使用されてもよい。プリズムは、スペクトルのどの部分が結像光学系に入るか及びスペクトルのどの部分が結像光学系の前のSTEM検出器に衝突するかを決定するように調整される。例えば、そのプリズムは、ローロス領域における電子が、コアロス領域における電子がSTEM検出器に衝突する間に、光軸からずれて結像光学系の前に配置されたSTEM検出器に衝突するように、調整されてもよい。この実施形態において、STEM検出器は、結像光学系の前に配置され、そのスペクトルのローロス領域における電子を検出するのに使用されるSTEM検出器よりも、光軸の反対側にオフセットされる。この調整は、コアロス明視野STEMデータ及びローロスEELSデータを同時に提供することができる。プリズムをその軸に沿って出る電子のエネルギーは、例えば、磁気プリズムにおける電流又は静電気プリズムにおける電圧を変えることによって、そのプリズムの励起を変えることによって容易に調整可能である。STEM検出器は、望まれるエネルギー範囲を検出するためにそのエネルギー分散の方向において十分に長く作成することができ、望まれるエネルギーの値を検出するように配置することができる。図3は、望ましい透過型電子顕微鏡300が、電子源302及びその電子源302からの電子を小さいスポットに集める集束カラム304を含み、薄いサンプル306の全域でそのスポットを走査することを示す。それらの電子は、通常、50keVと1000keVとの間のエネルギーに加速される。サンプル306を通り抜けるほとんどの電子は、投影電子光学系308へと入る。投影電子光学系308は、そのサンプルの電子画像を拡大する。本発明の望ましい実施形態において、投影電子光学系308は、暗視野電子312が、任意的な暗視野検出器318に方向付けられ、明視野電子310が分散電子光学系、すなわちプリズム322へと入るように、調整される。このプリズムは、明視野電子を、検出器334によって記録されるコアロス明視野電子350及び検出器340によって記録されるローロス明視野電子352へと分離する。従来技術において、サンプル306に存在する信号の主な割合を構成するローロス明視野電子352は、EELSの間に検出されなかった。当該システムの集束角、つまりサンプルによって散乱した電子がいまだに検出される最大の角度は、プリズム322の入口開口のサイズ及び位置によって決定され、投影光学系308のレンズの設定によって決定される。任意的なエネルギー選択スリット328は、エネルギー分散面329において配置された上方ナイフエッジ328U及び下方ナイフエッジ328Lを含む。そのナイフエッジの間の間隙は、異なった範囲の電子エネルギーを通すように調整可能である。それらのナイフエッジは、また、ビームを全くブロックしないように、引っ込めることも出来る。エネルギー選択ユニット328を通り抜ける電子330は、電子光学系332を、フィルム、蛍光スクリーン、CCD検出器、又はスペクトルを記録するアクティブピクセルセンサーなどの検出器334において結像することによって、投影される。STEM検出器340は、エネルギー選択スリット328の前に配置され、増幅器342に接続される。検出器340の上方端部は、完全に開いた位置にある下方ナイフエッジ328Lの上部のすぐ下で配置される。その下方ナイフエッジ328Lの上部の下の正確な距離は、重大ではなく、実際の製造の考慮において決定される。例えば、約04mm下に配置された検出器を有するシステムは、かなりの努力をすることなく確実に製造されることができる。検出器340は、望ましくは、5mmと10mmとの間の垂直距離を有する。いくつかの実施形態において、検出器340の位置は調整可能であり、つまり、異なるエネルギーの電子によって衝突されるように、上下に動かすことができる。それは、例えば、下方ナイフエッジ328Lの位置が調整されると、動かしてよい。検出器340が配置されているその下方ナイフエッジの下の距離及び検出器340の長さは、検出器340が収集できる電子のエネルギーを決定する。その寸法は、検出器がプリズムによって屈折させられる電子を収集するように配置されている限り重大ではなく、その検出器は、望まれるエネルギー範囲内のエネルギーを有する電子を収集するように十分に長い。1つの望ましい実施形態において、プリズム322は、300keVに対するエネルギー分散面329において約4μmeVの分散を起こすように調整され、約550eVのエネルギー損失を有する電子340が、そのプリズムをその軸に沿って出るようにする。ゼロロス及びローロス電子352は、次に、分光器の軸の下、約22mmと18mmの間に配置され、そのスリット開口の全体の幅が28mmである場合、下方ナイフエッジ328Lの下、約04mmと08mmの間に配置され、検出器340によって収集される。グラフ354は、プリズム322の出口で異なる垂直位置でプリズム322を出る電子のエネルギー損失を示す。破線は、それらの電子軌道をグラフ354につなげている。寸法は、本文献において例を提供するように記載されており、本発明を限定するようには記載されない;異なる実装は、異なる寸法を使用するであろう。上記に記載されたように、分光器は、2つのモードにおいて使用することができる。分光モードでは、比較的幅広いエネルギー範囲に及ぶ電子は、スリット328の中を通ることが許可され、結像電子光学系322は、検出器334の平面でスリットの平面の画像を形成し、スペクトルを生成する。エネルギーがフィルタリングされた結像モードでは、そのエネルギー選択スリットは、10eV又は20eVの幅の小さい範囲の電子エネルギーを選択し、結像電子光学系332は、その狭いエネルギー範囲内の電子を使用して、検出器平面において、プリズムの入口平面の画像を形成する。その分光器の入口平面における画像、及び、従って検出器における画像は、投影光学系308の設定によっては、サンプルの画像又は回折パターンであり得る。1つの分光モード実施形態において、エネルギー選択スリット328は、約100eVと約1000eVの間のエネルギー損失を有する電子を通す幅に調整される。それらの電子は、結像電子光学系332によって検出器334に投影される。約1000eVよりも大きいエネルギー損失を有する電子356は、上方ナイフエッジ328Uに衝突し、検出されない。従って、検出器334は、約100eVと1000eVの間のエネルギー損失を有するコアロス電子のエネルギー損失を測定し、一方、検出器340は、ゼロロスにおける電子の数及び他のローロス電子の数を検出する。観測されるスペクトルの部分によっては、そのプリズムは、通常、対象のエネルギー領域の中心がそのプリズムをプリズム軸に沿って出るようにするように調整される。結像電子光学系332の倍率は、検出器334における限られたエネルギー範囲の高解像度の画像を供給するように、又はより幅広いエネルギー範囲にわたる低解像度を供給するように調整することができる。例えば、そのプリズムは、500eVのエネルギー損失を有する電子がその軸に沿って出るように調節されてもよく、そのエネルギー選択スリットは、495eVと505eVの間のエネルギーを有する電子を通してもよい。その画像は、次に、その限られた範囲内の高分解能のスペクトルを供給するように光学系332によって拡大される。代替として、そのエネルギー選択スリットは、100eVと1000eVの間のエネルギー損失を有する電子を通すように開かれてもよく、その画像は、次に、光学系332によって拡大され、その幅広い範囲内における低分解能のスペクトルを供給する。そのプリズムが調整されると、そのゼロロスピークの位置が変化する。検出器340は、望ましくは、そのゼロロスピークを、プリズム調整の幅広い範囲、つまり、その出口でプリズム軸に沿って整列したエネルギーの幅広い範囲及び幅広い分散の全域にわたって検出するように十分に長い。例えば、そのプリズムが、エネルギー選択スリット328の平面において4μmeVの分散を与えるように調整されるとき、10mmの長さを有する検出器340は、2500eVのエネルギー範囲内において電子を検出することができ、そのプリズム軸におけるビームエネルギーが大きい範囲にわたって調整されることを可能にし、一方で、検出器340におけるゼロロスピークをまだ検出する。その検出器の位置もまた、望まれるエネルギー範囲内の電子を妨害するように調整されてもよい。従って、透過型電子顕微鏡300は、任意の検出器318からの暗視野STEM情報、検出器340からの明視野STEM情報、及び検出器334からのEELS情報を同時に収集することができる。検出器349からのローロス領域における電子からのデータは、明視野STEMから入手可能なデータに似ており、似た方法で解釈することができる。例えば、そのローロスピーク信号は、歪み情報などの結晶の情報を得るために標本を素早く走査するために使用することもできる一方、特定の要素の存在を決定するために、コアロス電子のEELSスペクトルを同時に観測する。図4は、インカラム分光器を使用する走査透過型顕微鏡400の代替の実施形態を示す。走査透過型顕微鏡400は、電子源302及びその電子源302によって供給された電子をサンプル306に集め走査する集束カラム304を含む。投影電子光学系308は、望ましくは、サンプル306から暗視野電子312を任意の暗視野検出器318に方向付け、明視野電子310を、断片412A、412B、412C、及び412Dを含むオメガフィルターを有するプリズム412の中へ方向付ける。プリズム412は、サンプル306からの電子を、断片412Dと結像光学系424との間に配置されたエネルギー分散面414において分散させる。プリズム412は、ローロス電子が、プリズム断片412Dを軸から出て、そのエネルギー分散面414に又はその近くに配置されている明視野STEM検出器420によって検出できるように調整される。コアロス電子は、任意のエネルギー選択スリット418を通り抜け、検出器426において、エネルギー分散面414の画像又はプリズム入口面の画像のいずれか一方の画像を形成する結像光学系424へ入る。プリズム412の調整は、図3におけるポストカラムフィルターに関して上記に記載された調整に似ている。プリズム412の、その軸上に存在する電子のエネルギー及びその電子の分散を制御する励起は、明視野STEM検出器420に衝突する電子のエネルギー範囲及び結像光学系424の中を通って続く電子エネルギーの範囲を決定するように調整することができ、EELSに対して使用することができる。図5は、検出器502がエネルギー選択スリット528の下方ナイフエッジ528Lに付着されている走査透過型電子顕微鏡500の代替の実施形態を示す。他の観点において、走査透過型電子顕微鏡500は、図3の走査透過型電子顕微鏡に似ている。図6は、エネルギー選択スリット628の下方ナイフエッジ628Lが第2検出器として使用され、増幅器に接続されている走査透過型電子顕微鏡600の代替の実施形態を示す。そのナイフエッジを検出のための金属電極として使用することは、多くの応用に対して十分に速くデータを提供しないかもしれない。図7は、検出器702がエネルギー選択スリット728の上方ナイフエッジ728Uに付着している走査透過型電子顕微鏡700の代替の実施形態を示す。プリズム322は、ゼロロスピークにおける電子710が、下方ナイフエッジ728Lのすぐ上を通過し、結像光学系332へ入るように、調整される。ローロス領域の中心の近くのエネルギーを有する電子712は、プリズム332の軸に沿って出る。従って、ゼロロス及びローロス電子は、結像電子光学系332によって検出器334に投影される。より高いエネルギー損失を有する電子は、スリット開口の上で検出器702に衝突し、ゼロロス又はローロスSTEM信号に似たコアロス電子STEM信号を供給する。例えば、100eV未満のエネルギー損失を有する電子は、エネルギー選択スリット728を撮り抜けてもよく、一方で、100eVよりも大きいエネルギー損失を有する電子は、そのスリットの上を通過し、検出器702によって検出される。検出器702もまた、図3において示される検出器340のように、ナイフエッジの前に配置されてもよい。検出器702もまた、除去することができる;そのナイフエッジ728Uは、検出器として使用することができ、増幅器220に接続される。任意の検出器402は、図4に関して上記に記載されたようにプリズム322がコアロス電子においてEELSを実施するように及びローロス電子に対してSTEM検出を実施するために調整することができるように、下方ナイフエッジ728Lに付着させることができる。明視野STEM及びEELSの同時使用は、より短い時間において、ユーザーにサンプル解析結果を提供する。解析を組み合わせることによって、同じ情報が、そのサンプルの高エネルギー電子ビームへのより少ない露出で得ることができる。上記の実施形態において記載された様々な検出器によって検出される電子エネルギーの範囲は模範的であり、その応用及び収集されるべき情報によって変化し得る。上記の実施形態において使用されたSTEM検出器も、また、位置感度検出器であり得る。そのプリズムの後の電子の位置が、それらの電子のエネルギーに依存することから、例えば、複数の断片、ストライプ、又はピクセルに分割されることによって、位置の情報を提供する検出器は、結像光学系332の後に配置された検出器から供給される分光情報以外に、分光情報を供給することができる。いくつかの実施形態において、そのSTEM検出器の位置は、調整可能であり、スペクトルの如何なる部分も検出するように、如何なる望ましい位置にも動かすことができる。1つの望ましい実施形態は、高エネルギー電子の源;その高エネルギー電子源からの電子をビームに集中させ、サンプルの全域で走査するための電子集束カラム;そのサンプルを通り抜けた異なるエネルギーの電子を分散させるための分散素子;第1電子検出器;その第1検出器にスリットを通り抜けた電子を投影するための電子光学系;電子を検出するための第2検出器を含み、第1電子検出器は、複数の箇所において電子強度を記録することによって画像又はスペクトルを記録し;第2検出器は、その電子集束カラムがサンプルの全域を高エネルギー電子のビームで走査すると、ある領域における電子強度変化を素早く記録し;その第2検出器は、エネルギー分散面において配置され;且つ、その第2検出器は、第1検出器へ入る電子を妨害しない。本発明のいくつかの実施形態に従って、第1検出器は、CCDカメラ又はアクティブピクセルセンサーカメラなどのカメラであり;第2検出器は、STEM検出器である。本発明のいくつかの実施形態に従って、分散素子は、そのビームを第1エネルギー範囲及び第2エネルギー範囲へと分離し;第1検出器は、その第1エネルギー範囲における電子を検出し、第2検出器は、その第2エネルギー範囲における電子を検出する。本発明及びその利点が、詳しく記載されてきたが、当然のことながら、本文献で記載された実施形態に対して、様々な変更、代替及び修正を、添付の請求項によって定義される本発明の要旨及び範囲から離れずに作成することができる。さらに、本出願の範囲は、明細書において記載されたプロセス、機械、製造、事項の複合、手段、方法、及びステップの特定の実施形態に限定することを目的としていない。当業者が、本発明の開示から容易に理解するように、既存の又は後に開発される、実質的に同じ機能を実施するか、あるいはここで記載された対応する実施形態と実質的に同じ結果を達成するプロセス、機械、製造、事項の複合、手段、方法、又はステップは、本発明に従って使用されてもよい。それに応じて、添付の請求項は、それらの範囲内において、そのようなプロセス、機械、製造、事項の複合、手段、方法、又はステップを含むことを目的とする。