"溶融ガラスをガラス基板に成形する成形工程と、前記ガラス基板の表面を洗剤によって洗浄する洗浄工程と、前記洗浄工程で洗浄された前記ガラス基板の表面を液体によってすすぐすすぎ工程とを含む液晶表示装置用ガラス基板の製造方法であって、前記洗浄工程は、前記ガラス基板の表面に洗剤を吹きかける吹きかけ工程と、前記ガラス基板の表面に対して延在する噴出気流を供給して前記洗剤を除去する除去工程とを含み、前記除去工程において、前記噴出気流の風速は、延在する方向に均一に調整されていることを特徴とする液晶表示装置用ガラス基板の製造方法。前記ガラス基板は、ブラックマトリックスが塗布される請求項1に記載の液晶表示装置用ガラス基板の製造方法。前記除去工程において、前記噴出気流の風速の偏差の絶対値は、前記噴出気流の風速の平均値の15以下である請求項1または2に記載の液晶表示装置用ガラス基板の製造方法。前記すすぎ工程ですすがれた前記ガラス基板を乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥工程で乾燥された前記ガラス基板の品質を検査する検査工程と、前記検査工程で検査された前記ガラス基板の品質に応じて、前記除去工程における前記噴出気流の風速を調整する噴出気流調整工程とをさらに含む請求項1から3のいずれか1項に記載の液晶表示装置用ガラス基板の製造方法。前記検査工程において、前記ガラス基板の表面に微小な水滴を吹きかけて、前記ガラス基板の表面に付着した前記水滴の接触角を測定し、前記接触角のムラに基づいて前記ガラス基板の品質を検査する請求項4に記載の液晶表示装置用ガラス基板の製造方法。しかし、噴出気流がエアーの流れによって形成されるものであるため、洗浄に用いた洗剤などの液体を噴出気流によってガラス表面から除去しても、ウォーターマークの発生を完全に防止することはできない。本発明の課題は、噴出気流によって洗剤などの液体を除去した後にウォーターマークが生じる頻度を従来に比べて大幅に低減することができる液晶表示装置用ガラス基板の製造方法を提供することにある。本発明に係る液晶表示装置用ガラス基板の製造方法は、溶融ガラスをガラス基板に成形する成形工程と、ガラス基板の表面を洗剤によって洗浄する洗浄工程と、洗浄工程で洗浄されたガラス基板の表面を液体によってすすぐすすぎ工程とを含む液晶表示装置用ガラス基板の製造方法である。洗浄工程は、ガラス基板の表面に洗剤を吹きかける吹きかけ工程と、ガラス基板の表面に対して延在する噴出気流を供給して洗剤を除去する除去工程とを含む。除去工程において、噴出気流の風速は、延在する方向に均一に調整されている。洗浄工程で用いられた洗剤は、延在する方向の風速が均一な噴出気流によってガラス基板の表面から一様に除去されるので、ガラス基板の表面におけるウォーターマークの発生が抑制される。ここで、均一な風速とは、風速測定装置の誤差や測定誤差などの影響があるため、予め決められた値の範囲内にあることを意味する。本発明に係る液晶表示装置用ガラス基板の製造方法において、ガラス基板は、ブラックマトリックスが塗布されることが好ましい。ブラックマトリックスが塗布されたガラス基板は、液晶表示装置のカラーフィルタとして用いられる。本発明に係る液晶表示装置用ガラス基板の製造方法の除去工程において、噴出気流の風速の偏差の絶対値は、噴出気流の風速の平均値の15以下であることが好ましい。例えば、噴出気流の風速の平均値が8.0m/sである場合、噴出気流の風速は、6.8m/s~9.2m/sの範囲内であることが好ましい。本発明に係る液晶表示装置用ガラス基板の製造方法において、乾燥工程と、検査工程と、噴出気流調整工程とをさらに含むことが好ましい。乾燥工程では、すすぎ工程ですすがれたガラス基板を乾燥させる。検査工程では、乾燥工程で乾燥されたガラス基板の品質を検査する。噴出気流調整工程では、検査工程で検査されたガラス基板の品質に応じて、除去工程における噴出気流の風速を調整する。除去工程において、噴出気流によって洗剤が均一に除去されていない場合、ガラス基板の表面に現れるウォーターマークによって、ガラス基板の品質が低下する。検査工程では、ガラス基板の品質を判定し、噴出気流調整工程では、判定結果に基づいて噴出気流の風速を調整して、洗剤が均一に除去されるようにする。本発明に係る液晶表示装置用ガラス基板の製造方法において、検査工程において、ガラス基板の表面に微小な水滴を吹きかけて、ガラス基板の表面に付着した水滴の接触角を測定し、接触角のムラに基づいてガラス基板の品質を検査することが好ましい。これにより、検査工程において、ガラス基板の表面に発生するウォーターマークを判別することができる。また、水滴の接触角のムラは、ガラス基板の表面にブラックマトリックスを塗布した際に生じるムラと外観が類似しているので、水滴の接触角のムラを低減することで、ガラス基板の表面にブラックマトリックスを塗布した際に生じるムラを低減することができる。本発明に係る液晶表示装置用ガラス基板の製造方法では、噴出気流によって洗剤などの液体が一様に除去されるので、除去後にウォーターマークが生じる頻度を従来に比べて大幅に低減することができる。また、本発明に係る液晶表示装置用ガラス基板の製造方法では、ガラス基板の表面にブラックマトリックスを塗布した際に生じるムラを低減することができる。<ガラス基板の製造工程の概要>図1には、マザーガラスの状態の液晶用ガラス基板が、原料の溶融からガラス表面に加工を施す次の工程に供給されるまでの工程の概略が示されている。図1の溶解成形工程S1では、まず、原料となるケイ砂などの種々の粉体が秤量混合されて、溶融炉に投入される。この粉体が、高温溶融炉の中で熔かされてガラス溶融液になる。その後、泡抜き攪拌などによって均質化されたガラス溶融液が板状に成形される。板状に成形されたガラスが、冷めてから規定寸法に切断されて素板になる。切断工程S2では、液晶表示装置の製造に適した大きさにするため、素板がさらに切断される。この素板から切り出されたガラス基板がマザーガラスの寸法に一致する。次の面取り工程S3では、切り出されたガラス基板が、その切り口を滑らかにするために研磨される。次の洗浄工程S4では、洗浄によって、ガラス基板のガラス表面の微細な異物や汚れが取り除かれる。そして、次の検査工程S5では、泡や傷などの微細な欠陥の有無の検査が行われ、液晶表示装置に使用できないものが不良品として取り除かれ、良品がマザーガラスとなる。検査工程S5の詳細については後述する。その後、例えば遠隔地の他の工場でマザーガラスのガラス表面に加工を施すなどの場合、マザーガラスが輸送可能な形態に梱包されて輸送される。フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の洗浄は、ガラス基板の製造工程から始まってフラットパネルディスプレイの製造工程が終了するまでの様々な場面で登場する。図1に示したガラス基板の製造工程では、洗浄工程S4で洗浄が実施されている。洗浄においては、ガラス表面に付着する様々な汚れを除去するため、種々の洗浄液が用いられる。そして、一般に、洗浄液として中性洗剤などの洗浄液で洗浄された後、最後の段階で、純水などの析出物の発生しない液体がリンス液として用いられてガラス基板のすすぎが行われる。マザーガラスやフラットパネルディスプレイ用ガラス基板など所定の形状に切断された比較的大きなガラス板を洗浄する場合、ガラス板が破損しないように、かつガラス板の全体が洗浄されるように、搬送しながら洗浄液に暴露されるのが一般的である。従って、洗浄に関していえば、基本的な取り扱いはマザーガラスやフラットパネルディスプレイ用ガラス基板などの比較的大きなガラス板において共通する。そのため、以下の説明では、マザーガラスやフラットパネルディスプレイ用ガラス基板など所定の形状に切断されたガラス板をガラス基板と呼び、共通する洗浄方法や洗浄装置の構造について説明する。<ガラス基板の洗浄の概要>一般に、ガラス基板のガラス表面を最も清浄に仕上げなければならない工程の一つである、マザーガラスの洗浄工程においては、噴出気流によるガラス表面からの洗剤やリンス液の除去が行われる。そのため、以下のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の洗浄工程の説明においては、マザーガラスの出荷前の洗浄工程を例に挙げて説明する。しかし、本発明は、マザーガラスの出荷前の洗浄工程に限定されるものではなく、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造工程から始まってフラットパネルディスプレイの製造工程が終了するまでの様々な場面の洗浄工程に適用できるものであり、以下の実施形態に限定されるものではない。上述の洗浄工程S4では、図2に示すように、洗剤槽T1において洗剤による複数回の洗浄が行われた後、この洗剤を洗い流すため純水槽T2においてリンス液による洗浄が行われる。その後、乾燥槽T3においてガラス基板3の乾燥が行なわれる。ガラス基板3は、洗浄される際に、平行に配置された複数の搬送ローラー5によって搬送されながら、洗浄装置100の3つの槽すなわち洗剤槽T1、純水槽T2及び乾燥槽T3を通過する。ガラス基板3を液体で濡らして、噴出気流で液体を除去するという作業を行なうことは、洗剤槽T1と純水槽T2において共通する。そこで、図3には、説明を簡単にするために、ガラス基板洗浄のための種々の工程のうち、洗剤槽T1におけるガラス基板3の1回の洗浄の工程と、乾燥槽T3における乾燥工程を示す。すなわち、図3には、洗剤によってガラス基板3を洗う洗剤槽T1の洗浄工程Pr1と、噴出気流によってガラス基板3上の洗剤を除去する洗剤槽T1の除去工程Pr2と、乾燥槽T3において噴出気流によってガラス基板3の表面に残った純水を乾燥させる乾燥工程Pr3とが示されており、その他の工程が省かれている。図2及び図3に示す工程に先だって、噴出気流を調整する噴出気流調整工程がある。噴出気流調整工程では、洗剤槽T1及び純水槽T2の除去工程や乾燥槽T3の乾燥工程で用いられる噴出気流が調整される。噴出気流調整工程は、均一な風速の噴出気流を調整するための風速測定と風速調節とを含む工程である。そして、噴出気流を調整するための調節が一度行われた後は、再度調節が必要になるまでの間に、洗浄工程や除去工程や乾燥工程が繰り返し行われる。この噴出気流調整工程については、後ほど詳しく述べる。また、噴出気流調整工程以外に、例えばガラス基板3を搬入したり搬出したりする工程などが図2及び図3から省かれているが、これらの省かれている周知の工程は必要に応じて噴出気流調整工程、洗浄工程、除去工程及び乾燥工程と適宜組み合わされるものである。図3に示す洗浄工程Pr1では洗浄が行われ、除去工程Pr2では洗剤の除去が行われ、乾燥工程Pr3では純水の乾燥が行われる。各工程には、複数の搬送ローラー5によってガラス基板3が搬送される。それぞれの搬送ローラー5は、中心軸の周りを同じ方向に同じ速度で回転している。また、それぞれの搬送ローラー5は、中心軸が水平な同一平面上に並ぶように配置されており、同じ径を有している。そのため、ガラス基板3は、搬送ローラー5によって、同じ速度で滑らかに水平に搬送される。ガラス基板3が搬送される速度は、例えば3m/min~15m/minの間から選択される一定の値である。まず、最初の洗浄工程Pr1には、ガラス基板3の表面に洗剤を吹きかけるためのシャワーノズル4が配置されている。シャワーノズル4は、ガラス基板3が通過する領域の幅よりも広い幅に亘って水平に設置されている。シャワーノズル4は、ガラス基板の幅方向に洗剤を吹きかける。洗浄工程Pr1においては、ガラス基板3の表面は洗剤液で濡れている。また、図示しない洗浄ブラシなどによって、洗剤液で濡れたガラス基板3上をブラッシングすることで、ガラス基板3の表面の汚れを除去する。次の除去工程Pr2では、ガラス基板3の表面に載っている洗剤を除去するためにエアー噴出装置1が用いられる。エアー噴出装置1は、ガラス基板3が通過する領域の幅よりも広い幅に亘って水平に設置されている。また、エアー噴出装置1によって形成される噴出気流は、エアー噴出装置1の長手方向に沿って直線状であり、平面視においてガラス基板3の進行方向に対して直交する方向に噴射される図2参照。さらに、噴出気流は、側面視においてガラス基板3の進行方向とのなす角が鋭角になるように斜めに噴出される図3参照。つまり、ガラス基板3が搬送されてくる方向に向かってエアーが噴射されるように、噴出気流が調整される。このときの側面から見た噴出気流の角度については、エアー噴出装置1の説明の際に述べる。そして、搬送されてくるガラス基板3が噴出気流の形成領域を通過するか否かに関わらず、常に一定の風速でエアー噴出装置1から噴出気流が噴射される。搬送ローラー5によるガラス基板3の搬送に伴ってガラス基板3が噴出気流に対して相対的に移動する。それにより、ガラス基板3の端部から順にガラス基板3の上の洗剤が噴出気流によって削ぎ落とされる。後に、ガラス基板の表面上にウォーターマークが発生しないようにするために洗浄工程Pr2において重要な点は、ガラス基板3の表面の洗剤が、均一に除去されることである。ウォーターマークは、ガラス基板3の表面に残留している洗剤の成分が、乾燥工程Pr3後のガラス基板3の表面に不均一に残留することによって発生するムラである。次の乾燥工程Pr3では、ガラス基板3を乾燥させるためにエアー噴出装置2が用いられる。純水槽T2の除去工程において、純水は除去されるが、分子レベルで完全に除去されるものではない。そこで、純水槽T2の除去工程の直後に乾燥工程Pr3が設けられており、純水が、エアー噴出装置2によって完全に乾燥して除去される。エアー噴出装置2は、ガラス基板3が通過する領域の幅よりも広い幅に亘って水平に設置されている。また、エアー噴出装置2によって形成される噴出気流も、エアー噴出装置2の長手方向に沿って直線状であり、平面視においてガラス基板3の進行方向に対して斜めになるように配置される図2参照。さらに、噴出気流は、側面視においてガラス基板3の進行方向とのなす角が鋭角になるように斜めに形成される図3参照。すなわち、エアー噴出装置1およびエアー噴出装置2は、共に、ガラス基板3が搬送されてくる方向に向かってエアーを噴射する。なお、上述の説明では、純水槽T2のシャワーノズル4によるリンス液純水の供給及びエアー噴出装置2によるリンス液の除去については、洗剤槽T1のシャワーノズル4及びエアー噴出装置1による洗剤の供給と除去と同じであることから説明を省いている。<エアー噴出装置の説明>図4はエアー噴出装置1の正面図である。本実施形態においては、図2及び図3に示したリンス液を乾燥させるためのエアー噴出装置2は、洗剤を除去するためのエアー噴出装置1と、基本的に同じ構造をしている。ただし、エアー噴出装置2は、エアー噴出装置1とは異なる位置及び角度で洗浄装置100に設置される。このように、エアー噴出装置1,2の違いが設置の仕方のみであるため、エアー噴出装置1の構造のみを、図4を用いて説明する。図4に示すように、エアー噴出装置1は、主に、エアー供給部6とノズル組立体10とからなる。ノズル組立体10は、例えばステンレスなどの金属やプラスチックなどの錆び難くかつ高い剛性を持つ材料で構成される。ノズル組立体10にエアーを供給するエアー供給部6は、主に、コンプレッサーなどのエアー供給装置図示省略と、エアー供給装置に接続するためのコネクタ7と、コネクタ7からノズル組立体10にエアーを導くチューブ8a,8bとを備える。エアー供給装置で高圧に加圧されたエアーは、コネクタ7に接続されているチューブ8aを通って、ノズル組立体10に沿って配置されているチューブ8bに導かれる。チューブ8bは、その両端部、及び、チューブ8bを略6等分する5つの箇所において、キャビティ10fに接続される。キャビティ10fは、ノズル組立体10の長手方向に沿って、ノズル組立体10内部に形成される空間である。エアー供給部6から供給されたエアーは、チューブ8a及び8bを介してキャビティ10fに供給される。キャビティ10fに供給されたエアーは、ノズル組立体10の長手方向に沿ってノズル組立体10の先端部に設けられるスリット10gに向けて流れる。スリット10gを通過したエアーは、ノズル組立体10から噴出されるエアーである。なお、エアー供給部6から供給されるエアーは、塵埃などがフィルタによって取り除かれたクリーンエアーであり、温度が室温に保たれており、加湿されていない乾燥したエアーである。エアー供給部6に送られてくるエアーは、エアー供給装置によって例えば0.02Mpa~0.15Mpaの間で選択される一定の値に加圧されている。ノズル組立体10は、図4に示すように、ブラケット20にネジ21で固定され、かつ、ブラケット20がネジ22でエアー噴出装置1に固定される。<風速測定装置の説明>図5aは、ノズル組立体10に風速測定装置40を取りつけた状態を示す平面図であり、図5bは図5aの状態を斜めから見た斜視図である。風速測定装置40は、主に、風速を感知する風速センサー45を持つプローブ43と、プローブ43から送られてくる電気信号を処理して風速を表示する風速計本体図示せずとからなる。プローブ43は、直径約10mm、長さ約150mmの円筒形の外観を呈する。プローブ43の先には、平面視略長方形状の開口部44が形成されており、開口部44の中央先端寄りに熱線からなる風速センサー45が配置されている。この風速センサー45を測定すべき噴出気流の中に置くことで、噴出気流の風速が測定される。このプローブ43は、風速と同時に、エアーの温度を測定するための温度センサー図示せずを備えており、またエアーの温度変化による風速測定の誤差を保障するための温度補償センサー図示せずも備えている。風速の測定値は、風速によって風速センサー45熱線から奪われる熱量がプローブ43で測られ、熱量と風速との関係に基づく計算が風速計本体で行われることで求められる。風速の測定結果は、風速計本体の表示装置に表示される。このような風速測定装置としては、例えば、日本カノマックス株式会社製のアネモマスター風速計MODEL6115などを用いることができる。<風速測定冶具の説明>次に、風速測定冶具について説明する。図5a及び図5bに示す風速測定冶具30は、直方体の金属が、上述の風速測定装置40のプローブ43をエアー噴出装置1,2に固定するための形状に加工されてなるものである。風速測定冶具30は、左側壁31及び右側壁32を備えている。そして、左側壁31及び右側壁32が、前方ビーム33と後方ビーム34とで結合される。そのため、風速測定冶具30の上部から下部に向けて開口部30aが形成される。これら左側壁31、右側壁32、前方ビーム33及び後方ビーム34の高さは同じで上面30dが面一になっている。円筒状のプローブ43が挿入されるため、左側壁31及び右側壁32の内面が削られるとともに前方ビーム33及び後方ビーム34の下方が削られて嵌合部30cが形成されている。円筒状のプローブ43が差し込まれた状態で安定に固定するため、雌ネジが切られたネジ穴が、嵌合部30cに通じるように左側壁31及び右側壁32に形成されている。エアー噴出装置1,2のノズル組立体10のスリット10g近傍に風速測定冶具30があてがわれたとき、風速測定冶具30がノズル組立体10に接触している状態を安定的に保持でき、余分なエアーの通り道ができないように、左側壁31及び右側壁32の縁部31a,32aに台形状の凹みが形成されている。<噴出気流調整工程の説明>噴出気流調整工程においては、噴出気流の風速の測定と、その測定値に基づいて風速を修正するためのエアー噴出装置1,2のスリット10gの間隔の調節が繰り返される。調整する際、最初に測定した全ての測定点の風速の値の平均値を基準とする。そして、工具でスリット10gの隙間を調整し、基準値に近づけるようにする。このような操作により、エアー噴出装置1,2のスリット10gの間隔は0.1mm~1mmの間で調節され、噴出気流の風速は所望の値に調節される。つまり、所望の風速よりも測定値が小さいときには、スリット10gの幅を広げることにより、チューブ8a及び8bの配管抵抗を低下させて、風速を大きくする。逆に、所望の風速よりも測定値が大きいときには、スリット10gの幅を狭めることにより、チューブ8a及び8bの配管抵抗を増加させて、風速を小さくする。なお、スリット10gの間隔は、ノズル組立体10の長手方向すなわち、ガラス基板3の幅方向に沿って、均一であるとは限らない。なぜなら、スリット10gに供給されるエアーの圧力は、チューブ8bとキャビティ10fとの接続部に近いポイントでは高く、キャビティ10fの両端部などの当該接続部から遠いポイントでは低いからである。すなわち、スリット10gの間隔を、ノズル組立体10の長手方向の各ポイントで均一にしても、スリット10gから噴射される噴出気流の風速は、ノズル組立体10の長手方向の各ポイントで均一にはならない。そのため、本実施形態では、噴出気流の風速を均一にするために、スリット10gの間隔は、ノズル組立体10の長手方向に沿って微調整されている。具体的には、図4に示すように、スリット10gはノズル組立体10の長手方向に沿って長く延びているため、風速測定装置40をスリット10gの長手方向に沿って移動させながら、スリット10gの間隔の調節が繰り返される。風速を測定するときには、図5aに示すように、ノズル組立体10のスリット10gの延長上には、風速測定装置40の風速センサー45が配置される。このとき、プローブ43は、風速測定冶具30にネジ38で固定されている。プローブ43が円筒形をしていることから、その中心軸を中心に嵌合部30cに対して回転する。そのためネジ38で固定する際には、プローブ43の開口部44が風速測定冶具30の上面30dに平行な面に対向する状態を基準に取り付けられる。そして、風速センサー45とスリット10gの位置関係が正確に再現されるように、ノズル組立体10とプローブ43とは、風速測定冶具30によって正確に位置決めされる。上述のようなノズル組立体10とプローブ43との正確な位置決めができるのは、図5bに示すように、風速測定冶具30の左側壁31の縁部31aが、スリット10g近傍のノズル組立体10の外形に合致する外形を有するからである。図には表れていないが、右側壁32の縁部32aも左側壁31の縁部31aと同様に、スリット10g近傍のノズル組立体10の外形に合致する外形を有する。このような風速測定冶具30を用いて測定することで、プローブ43のみを噴出気流のエアーの流れの中において測定する場合に比べて、風速測定の精度及び確度が向上する。風速測定の精度及び確度が向上する理由を、図6a及び図6bを用いて簡単に説明する。図6a及び図6bにおいては、エアーの流れを矢印で概念的に示している。図6aは、プローブ43のみをエアーの流れの中においた場合を示している。この場合には、プローブ43がエアーを乱すため、測定しようとする領域50の両側の領域51,52を流れるエアーの影響で、精度及び確度の高い風速測定が妨げられる。噴出気流のエアーの流れは速くかつエアーの層流の厚さが薄いため、プローブ43の形状によって乱される影響が大きくなる。一方、図6bに示すように、左側壁31及び右側壁32によって、測定しようする領域50に、両側の領域51,52のエアーの流れの影響が及ばないようにすると、プローブ43の内部に導かれるエアーの流れが整い、精度及び確度の高い風速の測定が行える。<ウォーターマークの検査>液晶表示装置のマザーガラスとして使用されるガラス基板3は、例えば、カラーフィルタの製造に用いられる。カラーフィルタの製造工程では、最初に、ガラス基板3上にブラックマトリックスを塗布し、次に、ブラックマトリックス膜上に着色材を微細パターンで塗布して着色画素を形成する。ブラックマトリックスは遮光性を有し、黒色表示時における光漏れ、および、隣り合う着色画素同士の混色を防ぐ。着色画素は、赤色、緑色、青色の光を透過させるフィルタとして機能する。除去工程Pr2において、ガラス基板3の表面の洗剤が均一に除去されない場合、乾燥工程Pr3後のガラス基板3の表面にウォーターマークが発生する。本願の発明者は、ウォーターマークが発生しているガラス基板3にブラックマトリックスを塗布すると、ガラス基板3の表面にブラックマトリックスのムラ以下、BMムラと呼ぶ。が発生することを見出した。BMムラは目視で判別できるので、このガラス基板3を用いて液晶表示装置を製造した場合に、その液晶表示装置は、外観に現れる欠陥を有する。従って、ガラス基板3上にブラックマトリックスを塗布する前にBMムラが発生するガラス基板3をあらかじめ選別して取り除くために、ウォーターマークが発生しているガラス基板3を判別することが好ましい。本実施形態では、検査工程S5において湯気検査を行うことで、ウォーターマークが発生しているガラス基板3を効率的に判別することができる。湯気検査では、ガラス基板3の表面に湯気を吹きかけて微小な水滴を付着させ、ガラス基板3の表面全体を曇らせる。そして、ガラス基板3の表面の曇りの程度にムラがあるか否かを検査する。ウォーターマークが発生しているガラス基板3に湯気を吹きかけると、ガラス基板3の表面に水滴が不均一に付着することによる曇りのムラが現れる。検査工程S5における湯気検査は、洗剤が均一に除去されていないためウォーターマークが発生しているガラス基板3の表面に対する水の接触角が、ガラス基板3の表面のポイントに応じて異なることに基づいている。すなわち、ガラス基板3の表面の洗剤が均一に除去されていない場合、洗剤が完全に除去されたガラス基板3の表面上の領域と、洗剤がわずかに残留しているガラス基板3の表面上の領域とでは、ガラス基板3の表面に対する水の接触角が異なっている。水の接触角が小さい領域では、ガラス基板3の表面に付着した水滴の高さが小さいので、水滴は目視では透明に近い状態になる。一方、水に対する接触角が大きい領域では、ガラス基板3の表面に付着した水滴の高さが大きいので、水滴は目視では曇った白濁した状態になる。すなわち、ガラス基板3の表面の洗剤が均一に除去されていない場合、ガラス基板3の表面に対する水の接触角がガラス基板3の表面のポイントに応じて異なっているので、ガラス基板3の表面に曇りのムラが発生する。従って、検査工程S5の湯気検査では、湯気を吹きかけたガラス基板3の表面を目視することによって、ガラス基板3の表面に生じた曇りのムラ、すなわち、ガラス基板3の表面に現れているウォーターマークを確認することができ、これにより、BMムラが発生するガラス基板3をあらかじめ選別することができる。<噴出気流の風速の測定データ>除去工程Pr2においてガラス基板3の表面に載っている洗剤を除去するエアー噴出装置1の噴出気流の風速の測定値と、湯気検査においてガラス基板3の表面に発生する曇りのムラの有無との関係を図7に示す。図7において、噴出気流の風速の偏差は、スリット10gの長手方向に沿った複数のポイントそれぞれにおける噴出気流の風速と、噴出気流の風速の平均値との差であり、風速のバラツキを表す指標である。図7には、実施例1、実施例2、および、比較例のそれぞれについての噴出気流の風速の平均値および偏差が示されている。図7に示されるように、比較例における噴出気流の風速の偏差は、実施例1および実施例2における噴出気流の風速の偏差よりも大きい。そして、噴出気流の風速の偏差が大きい比較例では、湯気検査における曇りのムラが発生したので、ガラス基板3にウォーターマークが発生していると判定される。一方、実施例1および実施例2では、上述したように、湯気検査における曇りのムラが発生しなかったので、ガラス基板3にウォーターマークが発生しないと判定される。<接触角の測定データ>参考として、ガラス基板3の表面に対する水の接触角の測定データについて説明する。水の接触角の測定は、乾燥槽T3における乾燥工程完了時から24時間経過した後に、図8に示されるように、ガラス基板3の幅方向に沿って略等間隔に位置する9箇所のポイントP1~P9において行われた。具体的には、ガラス基板3の表面に微小な水滴を付着させて、10秒経過した後に、水の接触角の測定を開始した。水の接触角は、測定開始時から4秒間で10回測定された。図9および図10に、それぞれ、上述した図7の実施例1および実施例2における、ガラス基板3に対する水の接触角の測定結果を示す。図9および図10の表には、それぞれ、ポイントP1~P9における水の接触角の10回の測定値、および、その10回の測定値の平均値が示されている。図9から、実施例1における水の接触角の10回測定平均値は、ポイントP7において最小値28.6を示し、ポイントP1において最大値34.4を示した。図10から、実施例2における水の接触角の10回測定平均値は、ポイントP7において最小値25.2を示し、ポイントP2において最大値33.1を示した。上述した噴出気流の風速および水の接触角の測定データより、エアー噴出装置1の噴出気流の風速は、スリット10gに沿ってできるだけ均一であることが好ましく、図7から、噴出気流の風速の偏差の絶対値は、噴出気流の風速の平均値の15以下であることがより好ましい。例えば、噴出気流の風速が8.0m/sの場合、噴出気流の風速のバラツキの範囲は、8.0m/s±1.2m/sすなわち、6.8m/s~9.2m/sであることが好ましい。なお、本実施形態では、検査工程S5の湯気検査において、ガラス基板3の表面の洗剤が均一に除去されていないと判定された場合に、噴出気流調整工程において、エアー噴出装置1の噴出気流の風速が均一になるように調整される。例えば、噴出気流の風速の偏差の絶対値が、噴出気流の風速の平均値の15以下になるように、スリット10gの間隔が調整される。エアー噴出装置1の噴出気流の風速を調整することによって、ガラス基板3の表面から洗剤が均一に除去され、結果的に、湯気検査においてガラス基板3の表面に現れる曇りのムラの発生が低減される。すなわち、湯気検査において発生する曇りのムラが低減されるように、エアー噴出装置1の噴出気流の風速を調整することによって、ガラス基板3の表面から洗剤を均一に除去することができる。<特徴>a洗浄工程Pr1では、均一な風速でエアー噴出装置1から噴射されるエアー噴出気流によってガラス基板3の表面から洗剤が除去されるので、ガラス基板3の表面から洗剤が均一に除去される。そのため、洗剤の除去のムラが生じ難く、ガラス基板3の表面上に現れるウォーターマークの発生を大幅に低減することができる。洗剤を一様に除去するためには、噴出気流の風圧を一定にする必要があるのであるが、風圧が風速の2乗に比例することから、風速を一定にすることによって洗剤のムラのない除去が行えるのである。なお、上記実施形態では、洗剤の除去について説明しているが、噴出気流で除去される液体は、他の洗浄液や剥離液であってもかまわない。また、洗浄工程Pr1においては、シャワーノズル4によって洗剤がガラス基板3の表面に吹きかけられたが、他の機器によってガラス基板3の表面が濡らされてもよい。エアー噴出装置1のスリット10gの測定領域50から噴射するエアーの風速が均一になるようにスリット10gの間隔が調節されるから、スリットの間隔は必ずしも均一にはならないが、エアーの風速がスリット10gのいずれの箇所でも同じになる。このような風速が均一な噴出気流を用いることで、ウォーターマークの発生を極めて有効に低減することができる。また、エアー噴出装置1によってガラス基板3から除去される洗剤は、再利用することができ、洗剤のロスを減少させることができる。b除去工程Pr2において洗剤が噴出気流で除去されるまで、ガラス基板3の幅方向について、ガラス基板3の表面が洗剤で一様に濡らされている。もし、ガラス基板3の表面が洗剤で一様に濡らされていないときには、濡らされているところと濡らされていないところで、噴出気流の当たり方に差が生じることになる。そして、噴出気流の当たり方の差によって、洗剤の除去のされ方が乱れる原因ともなる。洗剤でガラス表面が一様に濡れることによって、前述のような不具合を避けて洗剤がムラなく除去され、ウォーターマークの発生がさらに低減され、ウォーターマークの発生低減の効果が大きくなる。c風速測定冶具30が左側壁31及び右側壁32仕切部材を有し、スリット10gから噴射されるエアーの風速を測定する際に、測定領域50の左右両側の領域51,52から噴射されるエアーの影響を受けないように構成されている。そのため、測定領域50の風速の測定値が、その左右両側の領域51,52の影響で変化させられるのを避けることができ、左右両側の領域51,52の影響を受ける状態での調節に比べて、スリットから噴射される風速を均一に調整することが容易になる。また、左側壁31及び右側壁32がエアー噴出装置のスリット周辺の形状に合致する縁部31a,32aを有する。それにより左側壁31及び右側壁32の縁部31a,32aがエアー噴出装置1のスリット10g周辺の形状に合致するため、縁部31a,32aとスリット10g周辺の形状との間に隙間が生じてエアーの乱れが発生するのを防止することができる。そのため、測定領域50の左右両側の領域51,52から噴射されるエアーの影響を受けない状況を作り出すことができるから、噴出気流の風速が多数の測定点で高い確度で測定でき、均一な風速の噴出気流の形成が容易になる。風速測定時には、風速測定冶具30をエアー噴出装置1のノズル組立体10に当てるだけのため、風速の測定が迅速に行え、噴出気流調整工程に要する時間を短縮することができる。また、風速測定冶具30を用いることで、測定者に起因して生じる計測誤差を低減することができてエアーの風速調節の確度を高めることができ、ウォーターマークの発生を抑制し易くなる。前方ビーム33及び後方ビーム34は、左側壁31と右側壁32とを一定長さ隔てて結合させる。これら左側壁31、右側壁32、前方ビーム33及び後方ビーム34は、風速測定装置40のプローブ43が嵌め込まれる嵌合部30cを有する。そして、左側壁31と右側壁32は、プローブ43が嵌合部30cに嵌合された状態で、プローブ43の側面に隙間なく当たるように配置されている。そのため、プローブ43と左側壁31及び右側壁32の間に隙間ができないため、プローブ43の側面でエアーが乱されることによる影響を排除することができて高い精度で風速の比較測定を行うことができるから、均一な風速の噴出気流の形成が容易になる。前方ビーム33、後方ビーム34、左側壁31および右側壁32は、同じ高さで測定開口部44の四方を取り囲むように配置される。左側壁31及び右側壁32と同じ高さの前方ビーム33と後方ビーム34とによって、エアーが前方や後方から測定領域に回り込むのを防いで風速の比較測定の誤差を小さくすることができるので、均一な風速の噴出気流の形成が容易になる。d検査工程S5における湯気検査においてガラス基板3の表面に現れる曇りのムラが低減されるように、噴出気流調整工程において、噴出気流の風速のバラツキを抑えて噴出気流の風速を均一にするために、エアー噴出装置1のスリット10gの間隔が調整される。これにより、ガラス基板3の表面に現れるウォーターマークが低減されるので、ガラス基板3の表面に現れるBMムラも低減される。従って、BMムラが発生するガラス基板3の生産量が低下するので、液晶表示装置のマザーガラスとして使用されるガラス基板3の製品としての信頼性を向上させることができる。<変形例>1上記実施形態では、ガラス基板3の表面の洗剤やリンス液を除去するために、エアー噴出装置1を1つだけ用いたが、2以上のエアー噴出装置1を並列にして用いてもよい。2上記実施形態では、風速測定冶具30を用いて、測定しようとする領域50以外の領域51,52を流れるエアーによる測定誤差を除いているが、他の方法によって測定誤差を小さくするようにしてもよい。3上記実施形態では、特定の風速測定装置40で風速を測定する場合について説明したが、風速の測定は上記実施の形態で説明した方法に限られるものではない。4上記実施形態では、エアー噴出装置1およびエアー噴出装置2は、共に、ガラス基板3が搬送されてくる方向に向かってエアーを噴射するが、エアー噴出装置1およびエアー噴出装置2のいずれか一方または両方は、ガラス基板3が搬送されてくる方向とは逆の方向に向かってエアーを噴射してもよい。"