軸線方向に延びると共に、先端部が被測定ガスに晒される検出素子と、該検出素子の先端部が自身の先端よりも突出するように当該検出素子を支持する筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に装着されると共に、前記検出素子の先端部を覆う筒状のプロテクタと、を備えるガスセンサにおいて、前記主体金具の内周面のうち前記被測定ガスに晒される先端側内周面及び前記プロテクタの内周面の少なくとも一部に油剤が付着されており、該油剤の付着量が0.7mg未満であることを特徴とするガスセンサ。請求項1記載のガスセンサにおいて、前記油剤の付着量は、前記主体金具の前記先端側内周面よりも前記プロテクタ内周面が少ないことを特徴とするガスセンサ。請求項1又は2記載のガスセンサにおいて、前記プロテクタは、前記主体金具の前記先端部に溶接されてなることを特徴とするガスセンサ。請求項1乃至3のいずれか一項に記載のガスセンサにおいて、前記主体金具の内周面と前記検出素子の外周面との間には、粉末状のシール部材が配置され、前記主体金具の後端部には、前記シール部材を気密にするように加締る加締め部を有していることを特徴とするガスセンサ。請求項1乃至4のいずれか一項に記載のガスセンサにおいて、前記油剤の付着量は、前記主体金具の前記加締め部外周面よりも前記主体金具の前記先端側内周面が少ないことを特徴とするガスセンサ。軸線方向に延びると共に、先端部が被測定ガスに晒される検出素子と、該検出素子の先端部が自身の先端よりも突出するように当該検出素子を支持する筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に装着されると共に、前記検出素子の先端部を覆う筒状のプロテクタと、を備えるガスセンサにおいて、前記主体金具の内周面のうち、前記被測定ガスに晒される先端側内周面及び前記プロテクタの内周面の少なくとも一部に油剤が付着されており、前記主体金具の先端側内周面又は前記プロテクタの内周面を顕微赤外分光法にて測定した場合に、該顕微赤外分光法にて得られる赤外吸収スペクトルにはピークが発生しており、該ピークはCHの変角振動に帰属していないことを特徴とするガスセンサ。軸線方向に延びると共に、先端部が被測定ガスに晒される検出素子と、該検出素子の先端部が自身の先端よりも突出するように当該検出素子を支持する筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に装着されると共に、前記検出素子の先端部を覆う筒状のプロテクタと、を備えるガスセンサにおいて、油剤を付着させた前記主体金具及び前記プロテクタを準備する準備工程と、前記主体金具に前記プロテクタを装着する装着工程と、前記プロテクタが装着された主体金具に、前記検出素子を支持させる組付工程と、前記主体金具の内周面のうち、被測定ガスが晒される先端側内周面及び前記プロテクタの内周面に付着した前記油剤の付着量が0.7mg未満とする除去工程とを有することを特徴とするガスセンサの製造方法。請求項7記載のガスセンサの製造方法において、前記除去工程は、前記主体金具又は/及び前記プロテクタに熱処理を行なう熱処理工程を含むことを特徴とするガスセンサの製造方法。請求項7又は請求項8に記載のガスセンサの製造方法において、前記主体金具の内周面と前記検出素子の外周面との間には、粉末状のシール部材が配置され、且つ前記主体金具の後端部には、前記シール部材を気密にする加締め部が形成されており、前記組付工程は、前記主体金具の内周面と前記検出素子の外周面との間に前記シール部材を充填する充填工程と、前記主体金具の後端部を加締める加締め工程と、を有することを特徴とするガスセンサの製造方法。請求項9記載のガスセンサの製造方法において、前記準備工程後に、前記プロテクタ及び前記主体金具を洗浄する洗浄工程と、洗浄後の前記主体金具の前記先端側内周面に付着した前記油剤の塗布量が0.7mg~2mgとなるように前記主体金具に再度油剤を付着させる付着工程を含むことを特徴とするガスセンサの製造方法。軸線方向に延びると共に、先端部が被測定ガスに晒される検出素子と、該検出素子の先端部が自身の先端よりも突出するように当該検出素子を支持する筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に装着されると共に、前記検出素子の先端部を覆う筒状のプロテクタと、前記主体金具の内周面と前記検出素子の外周面との間に配置され、前記主体金具の後端部に設けられた加締め部により気密にされてなる粉末状のシール部材と、を備えるガスセンサにおいて、油剤を付着させた前記主体金具及び前記プロテクタを準備する準備工程と、前記プロテクタ及び前記主体金具を洗浄する洗浄工程と、前記主体金具に前記プロテクタを溶接する装着工程と、前記プロテクタが装着された主体金具に、前記検出素子を挿入し、且つ前記主体金具の内周面と前記検出素子の外周面との間に前記シール部材を充填する充填工程と、前記主体金具の後端部を加締める加締め工程と、を有し、前記洗浄工程後から前記加締め工程前までに、前記主体金具の前記後端部外周面に前記油剤を付着させる第2付着工程ことを特徴とするガスセンサの製造方法。ところで、ガスセンサの組立工程後、プロテクタや主体金具に油剤を残留させたままガスセンサを排気管に取り付けて使用に供した場合、プロテクタの内周面や主体金具内周面の残留した油剤がガス化し、プロテクタ内にそのガスが染み出すことで、プロテクタ内の被測定ガスと混ざり合い、ガス検出精度が低下する虞があった。そこで、特許文献1には、ガスセンサの使用前に主体金具やプロテクタを加熱することで、主体金具の内周面やプロテクタの内周面に付着した油剤をガス化させて除去し、ガスセンサの使用時にガス検出精度の低下を抑制することが示されている。しかしながら、近年では、排ガス規制の強化に伴い、ガス検出精度の更なる高精度化が求められており、ガスセンサ使用前に単純に熱処理を行なうだけでは、その要求に十分に応えられるガスセンサが得られるとは言い難い。特に、近年のガスセンサは、プロテクタが小型化されつつあり、プロテクタの内周面や主体金具の内周面に少量の油剤が残留しプロテクタ内にガスの染み出す量が少量であっても、ガス検出精度が低下する傾向にある。本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたものであり、プロテクタ内周面や主体金具内周面に付着した油剤の影響によるガス検出精度が低下を抑制するガスセンサを提供するものである。そこで、本発明のガスセンサは、軸線方向に延びると共に、先端部が被測定ガスに晒される検出素子と、該検出素子の先端部を自身の先端よりも突出するように当該検出素子を支持する筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に装着されると共に、前記検出素子の先端部を覆う筒状のプロテクタと、を備えるガスセンサにおいて、前記主体金具の内周面のうち前記被測定ガスに晒される先端側内周面及び前記プロテクタの内周面の少なくとも一部に油剤が付着されており、該油剤の付着量が0.7mg未満であることを特徴とする。このように、主体金具の先端側内周面及びプロテクタの内周面の少なくとも一部に付着した油剤の付着量を0.7mg未満と制限することで、ガスセンサの使用中に、プロテクタの内周面や主体金具の先端側内周面の残留した油剤がガス化してプロテクタ内に染み出す量をガス検出精度に影響を与えない範囲内に抑えることができ、ガス検出精度が低下することを抑制できる。なお、主体金具の先端側内周面及びプロテクタの内周面の少なくとも一部に付着した油剤の付着量が0.7mg以上であると、上記効果を得ることが難しい。そして、本発明では、油剤が付着している部位として、被測定ガスに晒される先端側内周面及びプロテクタの内周面の少なくとも一部としている。主体金具の先端側内周面及びプロテクタ内周面以下、両内周面とも言うは、プロテクタ内の空間と接しており、両内周面に塗布された油剤は、センサの使用中にガス化するとプロテクタ内に染み出し、プロテクタ内の被測定ガスと混ざり合う。そこで、この両内周面の付着量を0.7mg未満に制限することで、ガスセンサ使用中のガス検出精度の低下を効果的に抑制できる。さらに、本発明のガスセンサでは、油剤の付着量が、主体金具の先端側内周面よりも前記プロテクタ内周面が少ないことが好ましい。主体金具とプロテクタとの組み付け時に潤滑のための油剤が必要となる。しかしながら、潤滑に必要な油剤は、主体金具とプロテクタのどちらか一方に付着していればよい。そこで、表面積がより大きいプロテクタの内周面の油剤の塗布量を、表面積がより小さい主体金具の先端側内周面の油剤の塗布量よりも少なくすることで、プロテクタ、主体金具両者の組み付けに影響を及ぼすことなく、両内周面の油剤の付着量を効果的に減らすことができる。特に、プロテクタの脱落防止効果を向上させるために、プロテクタを主体金具の先端部にスポット溶接や、レーザ溶接されてなるガスセンサがある。このプロテクタが主体金具の先端部に溶接されてなるガスセンサでは、潤滑や冷却のために、溶接前に主体金具やプロテクタに油剤を付着、又は残留させている。よって、油剤をそのまま付着、残留させると、主体金具の先端側内周面及びプロテクタの内周面に塗布された油剤は、センサの使用中にガス化するとプロテクタ内に染み出し、プロテクタ内の被測定ガスと混ざり合う。それに対して本発明では、この両内周面の付着量を0.7mg未満に制限しているので、プロテクタが主体金具に溶接されてなるガスセンサであっても、使用中のガス検出精度の低下を効果的に抑制できる。さらに、ガスセンサの検出精度向上のために、主体金具の内周面と検出素子の外周面との間には、粉末状のシール部材が配置され、主体金具の後端側にて、シール部材が気密となるように加締る加締め部を有するガスセンサがある。この主体金具の後端部が加締められ、加締め部が形成されてなるガスセンサでは、潤滑や冷却のために、加締め前に主体金具に油剤を付着、又は残留させている。よって、油剤をそのまま付着、残留させると、主体金具の先端側内周面に塗布された油剤は、センサの使用中にガス化するとプロテクタ内に染み出し、プロテクタ内の被測定ガスと混ざり合う。それに対して本発明では、この主体金具の先端側内周面の付着量を0.7mg未満に制限しているので、主体金具の後端部が加締められ、加締め部が形成されてなるガスセンサであっても、使用中のガス検出精度の低下を効果的に抑制できる。なお、シール部材を気密にするとは、主体金具の温度を550°Cに加熱し、主体金具の先端側から大気を0.4MPaにて加圧した際、検出素子と主体金具の間を通って主体金具の後端側へ漏れる大気の量が10cc/min以下にすることを指す。この気密性をもつガスセンサでは、主体金具の先端側内周面に塗布された油剤が、センサの使用中にガス化するとプロテクタ内に染み出し、プロテクタ内の被測定ガスと混ざり合いやすいため、本発明を用いることが有効である。さらに、油剤の付着量が、主体金具の加締め部外周面よりも主体金具の前記先端側内周面が少ないことが好ましい。つまり、主体金具の加締めに必要となる加締め部外周面には油剤を付着させつつ、主体金具の先端側内周面後端部の油剤の付着量を少なくするので、加締め精度向上とガス検出制度向上の2つの効果を同時にえることができる。また本発明の別の形態は、軸線方向に延びると共に、先端部が被測定ガスに晒される検出素子と、該検出素子の先端部を自身の先端よりも突出するように当該検出素子を支持する筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に装着されると共に、前記検出素子の先端部を覆う筒状のプロテクタと、を備えるガスセンサにおいて、前記主体金具の内周面のうち、前記被測定ガスに晒される先端側内周面及び前記プロテクタの内周面の少なくとも一部に油剤が付着されており、前記主体金具の先端側内周面又は前記プロテクタの内周面を顕微赤外分光法にて測定した場合に、該顕微赤外分光法にて得られる赤外吸収スペクトルには、ピークが発生しており、該ピークはCHの変角振動に帰属していないことを特徴とする。このように、先端側内周面又はプロテクタ内周面の赤外吸収スペクトルには、ピークが発生しているものの、両内周面に多量の油剤が付着していることを指すCHの変角振動が帰属していないので、両内周面の油剤の付着量が、ガスセンサの使用中に、プロテクタの内周面や主体金具の先端側内周面の残留した油剤がガス化してプロテクタ内に染み出す量をガス検出精度に影響を与えない少ない量の範囲内に抑えることができ、ガス検出精度が低下することを抑制できる。なお、CHの変角振動が帰属する場合、本効果を得ることが難しい。なお、ピークにはCHの変角振動が帰属していないということは、赤外吸収スペクトルに現れるピークについて、その官能基を特定した場合、CHの変角振動がないことを指す。つまり、CHの変角振動のピークが現れていないことを指す。さらに本発明の別の形態は、軸線方向に延びると共に、先端部が被測定ガスに晒される検出素子と、該検出素子の先端部を自身の先端よりも突出するように当該検出素子を支持する筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に装着されると共に、前記検出素子の先端部を覆う筒状のプロテクタと、を備えるガスセンサにおいて、油剤を付着させた前記主体金具及び前記プロテクタを準備する準備工程と、前記主体金具に前記プロテクタを装着する装着工程と、前記プロテクタが装着された主体金具に、前記検出素子を支持させる組付工程と、前記主体金具の内周面のうち被測定ガスが晒される先端側内周面及び前記プロテクタの内周面に付着した前記油剤の付着量が0.7mg未満とする除去工程とを有することを特徴とする。このように、主体金具の内周面のうち、被測定ガスが晒される先端側内周面及びプロテクタの内周面の少なくとも一部に付着した油剤の付着量が0.7mg未満となるように、油剤を主体金具又は/及びプロテクタから除去する除去工程とを有することで、ガスセンサの使用中に、プロテクタの内周面や主体金具の先端側内周面の残留した油剤がガス化してプロテクタ内に染み出す量をガス検出精度に影響を与えない範囲内に抑えることができ、ガス検出精度が低下することを抑制できるガスセンサを効率良く作製できる。そして、本発明では、除去工程を行なう部位として、被測定ガスが晒される先端側内周面及びプロテクタの内周面の少なくとも一部としている。主体金具の支持部から先端にかけての先端側内周面及びプロテクタ内周面以下、両内周面とも言うは、プロテクタ内の空間と接しており、両内周面に塗布された油剤は、センサの使用中にガス化するとプロテクタ内に染み出し、プロテクタ内の被測定ガスと混ざり合う。そこで、この両内周面の付着量が0.7mg未満となるように油剤を主体金具又は/及びプロテクタから除去する除去工程とを有することで、ガスセンサ使用中のガス検出精度が低下することを抑制できるガスセンサを効果的に効率良く作製できる。さらに本発明は、前記除去工程が、前記主体金具又は/及び前記プロテクタに熱処理を行なう熱処理工程を含むことが好ましい。このように熱処理工程を行なうことで、組付工程後であっても、さらに効率よく油剤を主体金具又は/及びプロテクタから除去することができる。さらに、ガスセンサの検出精度向上のために、主体金具の内周面と検出素子の外周面との間には、粉末状のシール部材を充填する充填工程と、主体金具の後端側を加締める加締め工程を有する場合がある。主体金具の後端部に加締め部が形成されてなるガスセンサでは、加締め工程の際が加締め部に予め油剤が塗布されていることが好ましい。他方で、油剤をそのまま付着、残留させると、主体金具の先端側内周面に塗布された油剤は、センサの使用中にガス化するとプロテクタ内に染み出し、プロテクタ内の被測定ガスと混ざり合う。それに対して本発明では、この主体金具の先端側内周面の付着量を0.7mg未満に制限しているので、主体金具の後端部が加締められ、加締め部が形成されてなるガスセンサであっても、使用中のガス検出精度の低下を効果的に抑制できる。さらに本発明は、準備工程後に、プロテクタ及び主体金具を洗浄する洗浄工程と、洗浄後の主体金具の先端側内周面に付着した油剤の塗布量が0.7mg~2mgとなるように主体金具に再度油剤を付着させる付着工程とを含むことが好ましい。装着工程では、プロテクタ及び主体金具のいずれか一方の装着面に油剤が必要であるが、プロテクタの内周面は主体金具の先端側内周面よりも面積が大きく、油剤がガス検出精度に与える影響が大きい。したがって、プロテクタは準備工程後に洗浄し、他方、主体金具には適量の油剤を再度塗布する。これにより、装着工程での装着性とガス検知精度向上の2つの効果を同時に得られるガスセンサを得ることができる。なお、0.7mg未満では、装着性向上の効果が乏しい。。一方、2mgを越えると、後で熱処理により除去することが困難である。そして、上記塗布量の油剤が付着された主体金具から除去工程にて油剤が除去されるのでガスセンサ使用中のガス検出精度が低下することを抑制できるガスセンサを効率良く作製できる。さらに、本発明では、軸線方向に延びると共に、先端部が被測定ガスに晒される検出素子と、該検出素子の先端部が自身の先端よりも突出するように当該検出素子を支持する筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に装着されると共に、前記検出素子の先端部を覆う筒状のプロテクタと、前記主体金具の内周面と前記検出素子の外周面との間に配置され、前記主体金具の後端部に設けられた加締め部により気密にされてなる粉末状のシール部材と、を備えるガスセンサにおいて、前記主体金具の内周面及び前記プロテクタの内周面の少なくともいずれか一方に油剤を付着させた前記主体金具及び前記プロテクタを準備する準備工程と、前記プロテクタ及び前記主体金具を洗浄する洗浄工程と、前記主体金具に前記プロテクタを溶接する装着工程と、前記プロテクタが装着された主体金具に、前記検出素子を挿入し、且つ前記主体金具の内周面と前記検出素子の外周面との間に前記シール部材を充填する充填工程と、前記主体金具の後端部を加締める加締め工程と、を有し、前記洗浄工程後から前記加締め工程前までに、前記主体金具の前記後端部外周面に前記油剤を付着させる第2付着工程ことを特徴とする。ガスセンサの検出精度向上のために、主体金具の内周面と検出素子の外周面との間には、粉末状のシール部材を充填する充填工程と、主体金具の後端側を加締める加締め工程を有する場合がある。この製造方法にて作製された主体金具の後端部に加締め部が形成されてなるガスセンサでは、潤滑や冷却のために、加締め前に主体金具に油剤を付着、又は残留させている。そこで、洗浄工程にて洗浄された主体金具の後端部外周面に油剤を付着させる第2付着工程を有することで、十分な加締め工程を行うことができる。主体金具の内周面のうち、被測定ガスが晒される先端側内周面及びプロテクタの内周面は、洗浄工程にて油剤が除去されている。洗浄工程による油剤除去は、熱処理による油剤除去よりも、残存する油剤の量が少ないため、容易にかつ確実に油剤の残量を減らすことができる。他方、加締め工程においては、加締め精度向上のために油剤が必要である。洗浄工程にて洗浄された主体金具の後端部外周面に油剤を付着させる第2付着工程を有することで、ガス検知精度を損なうことなく、十分な加締め工程を行うことができる。以下に、本発明を適用した実施形態であるガスセンサを図面と共に説明する。本実施形態第1の実施形態では、自動車の排気管に装着されて排気ガス中の酸素の濃度を検出するガスセンサ酸素センサについて説明する。図1は、本実施形態のガスセンサ1の全体構成を示す断面図である。図1に示すように、ガスセンサ1は、先端部が閉じた有底筒状をなすセンサ素子2、センサ素子2に挿入されるセラミックヒータ3と、センサ素子2を内側にて保持する主体金具4を備える。なお、図1に示すセンサ素子2の軸に沿う方向のうち、測定対象ガス排気ガスに晒される先端部に向かう側閉じている側、図中の下側を先端側とし、これと反対方向図中上側に向かう側を後端側として説明する。このセンサ素子2は、イットリアを安定化剤として固溶させた部分安定化ジルコニアを主成分とする酸素イオン伝導性を有する固体電解質体21と、その固体電解質体21の内面に、PtあるいはPt合金により形成された内部電極22と、固体電解質体21の外面に形成された外部電極23を有している。また、このセンサ素子2の軸線方向の略中間位置には、径方向外側に向かって突出するフランジ部24が設けられている。なお、本実施形態のセンサ素子2が、特許請求の範囲の検出素子に相当する。また、セラミックヒータ3は、棒状に形成されると共に、内部に発熱抵抗体を有する発熱部31を備えている。このセラミックヒータ3は、後述するヒータ用リード線190、200を介して通電されることにより発熱部31が発熱することになり、センサ素子2を活性化させるべく当該センサ素子2を加熱する機能を果たす。次に、本発明の主要部である主体金具4及びプロテクタ120について詳細に説明する。主体金具4は、SUS430製であり、ガスセンサ1を排気管に取り付けるためのネジ部41と、排気管への取り付け時に取付工具をあてがう六角部42を有している。また、六角部42の先端側には、ガスケット5が配置されている。また、主体金具4には、先端側内周に径方向内側に向かって突出した金具側段部43が設けられており、この金具側段部43の支持部45にパッキン6を介してアルミナ製の支持部材7が支持されている。なお、センサ素子2のフランジ部24が支持部材7上にパッキン8を介して支持される。また、支持部材7の後端側における主体金具4の内面とセンサ素子2の外面との間には、充填部材9が配設され、さらにこの充填部材9の後端側にスリーブ100および環状リング110が順次内挿されている。また、センサ素子2の先端側を覆うようにして、主体金具5の先端部46に挿入されたSUS310製のプロテクタ120がスポット溶接されている。このプロテクタ120は、外側プロテクタ122及び内側プロテクタ123の二重構造であり、それぞれの周方向には、複数のガス取入れ孔121を有している。この主体金具及びプロテクタは、後述するように金属材料から複数の機械加工を経て作成されており、その機械加工の際には、潤滑や冷却のための油剤第1油剤250が塗布されており、その後の主体金具4の加締め工程に使用される油剤第2油剤251が塗布されている。それに対して、図2に示すように、ガスセンサ1の主体金具4の支持部45から主体金具4の先端47にかけての被測定ガスに晒される先端側内周面48と、プロテクタ120の内周面124外側プロテクタ122の内周面及び内側プロテクタ123の内周面の少なくとも一部にはその油剤250、251が付着しており、その油剤250、251の付着量が0.7mg未満に制限されている。このように、主体金具4の先端側内周面48及びプロテクタ120の内周面124の少なくとも一部に付着した油剤250、251の付着量を0.7mg未満と制限することで、ガスセンサ1の使用中に、プロテクタ120の内周面124や主体金具4の先端側内周面48の残留した油剤250、251がガス化してプロテクタ120内に染み出す量をガス検出精度に影響を与えない範囲内に抑えることができ、ガス検出精度が低下することを抑制できる。この油剤250は、主体金具4及びプロテクタ120の作製する際、複数の機械工程において潤滑や冷却として利用できるものであり、具体的には、鉱油である。一方、油剤251は主体金具4を加締める際に使用されるものであり、250と同様にガス検出精度の低下に影響を及ぼしやすい油剤である。しかし、主体金具4の先端側内周面48及びプロテクタ120の内周面124に塗布された油剤250は洗浄により除去され、さらに、主体金具4に塗布された油剤251は、熱処理により付着量が0.7mg未満となるまで除去されている。特に、プロテクタ120の脱落防止効果を向上させるために、プロテクタ120を主体金具4にスポット溶接してなる本実施例のガスセンサ1では、装着性向上のために、溶接前に主体金具4に油剤251が塗布されているが、プロテクタ120の油剤250は洗浄により除去されている。比較的表面積の大きいプロテクタ120の油剤250が予め洗浄により除去されているので、後の熱処理工程により除去すべき油剤の量を少なくできる。また、主体金具4に油剤251が塗布されているので、プロテクタ120を主体金具4に容易に装着できる。さらにこのプロテクタ120の内周面124や主体金具4の先端側内周面48を、顕微赤外分光法を用いて分析すると、図3に示すような赤外吸収スペクトルを得ることができる。この顕微赤外分光法は、顕微赤外分光分析装置IRμsSPECTRA-TECH社製を用い、以下の測定条件に基づいて分析を行ったものである。光源:グローバー、検出器:NarrowMCTHgCdTe、パージ:窒素ガス、分解能:8cm-1、積算回数:2048回以下、測定モード:透過法、測定波数範囲:4000~650cm-1図3によると、赤外吸収スペクトルには、ピークが発生しており、OHの伸縮振動や、CHの伸縮振動、カルボン酸塩等のピークが現れている。しかし、ピークにはCHの変角振動が現れていない。このように、先端側内周面48又はプロテクタ120の内周面124の赤外吸収スペクトルには、ピークが発生しているものの、油剤が多量に付着していることを指すCHの変角振動が帰属していないので、先端側内周面48及びプロテクタ120の内周面124の油剤の付着量が、ガスセンサ1の使用中に、プロテクタ120の内周面124や主体金具4の先端側内周面48の残留した油剤250、251がガス化してプロテクタ120内に染み出す量をガス検出精度に影響を与えない少ない量の範囲内に抑えることができ、ガス検出精度が低下することを抑制できる。図1に戻り、主体金具4の後端側内側には内筒部材130の先端側が挿入されている。この内筒部材130は、先端側の拡径した開口端部先端開口端部132を環状リング110に当接させた状態で、主体金具4の後端部44を内側先端方向に加締めることで、主体金具4に固定されている。なお、主体金具4の後端部44を加締めることで、充填部材9がスリーブ100を介して圧縮充填される構造になっており、これによりセンサ素子2が筒状の主体金具4の内側に気密状に保持されている。なお、本実施例のように、主体金具4の内周面48とセンサ素子2の外周面との間には、粉末状の充填部材9が配置され、主体金具4の後端側44にて、充填部材9が気密となるように加締められたガスセンサ1では、ガス化した油剤250、251が後端側へ排出されにくい。よって、ガス化した油剤250、251は、先端側、すなわち、プロテクタ120内に染み出し、プロテクタ120内の被測定ガスと混ざり合う。それに対して本実施例では、この主体金具4の先端側内周面48の付着量を0.7mg未満に制限しているので、主体金具4の後端部44が加締められてなるガスセンサ1であっても、使用中のガス検出精度の低下を効果的に抑制できる。内筒部材130は、軸線方向における略中間位置に段付き部133が形成されており、段付き部133よりも先端側に配置される先端部134と後端側に配置される後端部135とに分けられる。そして、後端部135は、先端部134よりも内径、外径がともに小さく形成され、その内径は後述するセパレータ160の外径よりも若干大きく形成されている。また、後端部135には、周方向に沿って所定の間隔で複数の大気導入孔131が形成されている。外筒部材150は筒状に成形されており、段付き部152よりも先端側に配置され内筒部材130と重なりあう先端部154と、段付き部152よりも後端側に配置され後述するシール部材240を気密状に固定する後端部153とを有している。また、先端部154には、周方向に沿って所定の間隔で複数の大気導入孔151が形成されている。そして、内筒部材130の大気導入孔131と、外筒部材150の大気導入孔151との間には、外部から水が侵入するの防止するための筒状のフィルタ140が配置されている。なお、フィルタ140は、例えばポリテトラフルオロエチレンの多孔質繊維構造体商品名:ゴアテックスジャパンコアテックス株のように、水を主体とする液体の透過は阻止する一方、空気などの気体の透過は許容する撥水性フィルタとして構成される。なお、フィルタ140は、外筒部材150の先端部154のうちで大気導入孔151の先端側及び後端側を加締めることにより固定されている。さらに、フィルタ140よりも先端側にて、外筒部材150と内筒部材130とを直接加締めており、それにより、外筒部材150と内筒部材130とが固定される。これにより、基準ガスとしての大気は、大気導入孔151、フィルタ140および大気導入孔131、内筒部材130の内部に導入され、センサ素子2の内部に導入される。一方、水滴はフィルタ140を通過することができないため、内筒部材130の内側への侵入が阻止される。また、内筒部材14の内側にはセパレータ160が配置されている。このセパレータ160は、素子用リード線170、180と、ヒータ用リード線190、200とを挿通するためのセパレータリード線挿通孔161が先端側から後端側にかけて貫通するように形成されている。また、セパレータ160には、先端面に開口する有底状の保持孔162が軸線方向に形成されている。この保持孔162内には、セラミックヒータ3の後端部が挿入され、セラミックヒータ3の後端面が保持孔162の底面に当接することでセパレータ160に対するセラミックヒータ3の軸線方向の位置決めがなされる。また、各リード線170、180、190、200は、詳細は図示しないが、導線を樹脂からなる絶縁皮膜にて被覆した構造を有しており、導線の後端側がコネクタに設けられるコネクタ端子に接続される。そして、素子用リード線170の導線の先端側は、センサ素子2の外面に対して外嵌される端子金具210の後端部と加締められ、素子用リード線180の導線の先端側は、センサ素子2の内面に対して圧入される端子金具220の後端部と加締められる。これにより、素子用リード線170は、センサ素子2の外部電極23と電気的に接続され、素子用リード線180は、内部電極22と電気的に接続される。他方、ヒータ用リード線190、200の導線の先端部は、セラミックヒータ3の発熱抵抗体と接合された一対のヒータ用端子金具230と各々接続される。そして、セパレータ160の後端側には、耐熱性に優れるフッ素ゴム等からなるシール材240が、外筒部材150を加締めることにより固定されている。このシール部材240には、軸線方向に貫くように4つのリード線挿通孔241が形成されている。次に、本実施形態のガスセンサ1の製造方法について詳細に説明する。まず、SUS430の鋼材に対して、潤滑や冷却のための油剤250を使用して、複数の機械加工塑性加工及び切削加工を施し、六角部42、ネジ部41、金具側段部43、先端部46等を有する筒状の主体金具4を作製する。なお、以上の主体金具4を得る工程が特許請求の範囲の準備工程に相当する。成形後の主体金具4の表面には、油剤250が残留している。そこで、まずこの油剤250が付着した主体金具4を脱脂液にて浸漬し、脱脂液から出して水洗し、主体金具4に付着した油剤250を除去する。なお、以上の主体金具4を洗浄する工程が特許請求の範囲の洗浄工程に相当する。ついで、この水洗した主体金具4を油剤液に浸漬し、新たに新規の油剤251を付着させた主体金具4を得る。この油剤251は、温水に水溶液油剤と活性剤とを混合して溶解している。水溶液油剤は、油分が約30水溶液にアルキルアミンオキサイド等が含有されたものであり、その混合割合は、50~60ml/lである。また、活性剤は、非イオン界面活性剤であり、その混合割合は、13~20ml/lである。温水の温度域としては、50~60°Cである。なお、以上の主体金具に油剤251を付着する工程が付着工程に相当する。また、同様にSUS310の鋼材に対して、複数の機械加工塑性加工及び打抜加工を施し、ガス取入れ孔121が複数形成された内側プロテクタ123及び外側プロテクタ122が作製される。なお、上述した複数の機械加工塑性加工、切削加工時にも、潤滑や冷却のための油剤250が使用されており、成形後の外側プロテクタ122や内側プロテクタ123の表面にも、油剤250が残留している。そして、内側プロテクタ123を外側プロテクタ122の内部に挿入し、互いをスポット溶接して固着し、プロテクタ120を得る。なお、以上のプロテクタ120を得る工程が特許請求の範囲の準備工程に相当する。成形後のプロテクタ120の表面には、油剤250が残留している。そこで、まずこの油剤250が付着したプロテクタ120を脱脂液にて浸漬し、脱脂液から出して水洗し、プロテクタ120に付着した油剤250を除去する。なお、除去後の油剤量は、0.2mmg以下にすることが好ましい。なお、以上のプロテクタ120を洗浄する工程が特許請求の範囲の洗浄工程に相当する。なお、このときの主体金具4の内周面先端側内周面48が予定される部位及びプロテクタ120の内周面124には、塗布量が0.7mg~2mgとなる油剤が塗布されている。このように、塗布工程にて、0.7mg~2mgとなる油剤250が塗布されていることで、金属材料から複数の機械加工を経てプロテクタ120や主体金具4を効率よく作製することができるついで、主体金具4の先端部46外周にプロテクタ120の後端側を挿入して重なり部を設け、その重なり部をスポット溶接することで、プロテクタ120と主体金具4とを固定する。なお、この工程が特許請求の範囲の装着工程に相当する。このように、プロテクタ120においては、準備工程後に洗浄する洗浄工程を有し、その後、装着工程にて主体金具4に溶接している。準備工程で金属材料から機械加工を行ってプロテクタ120を作製する際には、潤滑や冷却のための油剤250が必要であるが、その後の溶接工程では、主体金具4の付着した油剤251で潤滑に十分であるため、プロテクタ120の油剤250は必要がない。そこで、準備工程に必要であったプロテクタ120の油剤251を、洗浄工程にて洗浄を行うことで、プロテクタ120の油剤250を殆ど除去できる。これにより、ガスセンサ1使用中のガス検出精度が低下することを抑制できるガスセンサ1を効率良く作製できる。一方、ジルコニアに、イットリアを5mol添加して造粒した後、図1に示すような先端部が閉じた有底筒状に成形し、電気炉にて1400~1600°Cの温度で焼成し、固体電解質体21を得た。次いで、この固体電解質体21の外周面に蒸着や化学メッキ等を用いて、白金よりなる外部電極23を設ける。一方、固体電解質体21の内側面にも同様に、蒸着や化学メッキ等を用いて、内部電極22を設け、センサ素子2を得た。そして、プロテクタ120が固定された主体金具4の内部にパッキン6、支持部材7、パッキン8、センサ素子2、充填部材9、スリーブ100、環状リング110を順に挿入する。なお、パッキン6は主体金具4の金具側段部43に支持され、主体金具4には支持部45が形成される。そして、内筒部材130の先端開口端部132を環状リング110に当接させた状態で、主体金具4の後端部44を内側先端方向に加締め、下部組立体が作製される。なお、この主体金具4にセンサ素子2を組み付ける工程が特許請求の範囲の組立工程に相当し、充填部材9を挿入する工程が特許請求の範囲の充填工程に相当し、主体金具4の後端部44を加締める工程が特許請求項の範囲の加締め工程に相当する。次に、この下部組立体を熱処理炉内に配置して熱処理を行い、油剤251を除去する。なお、この工程が特許請求の範囲の除去工程に相当する。具体的には、加熱させて昇温させていき、430°Cに到達した時点で60分間保持し、その後、自然冷却させる。なお、洗浄工程にて除去できなかったプロテクタ120及び主体金具4に付着している油剤250においても、この熱処理の際にて除去できる。すると、主体金具4の先端側内周面48及びプロテクタ120の内周面124に付着した油剤250、251の付着量を0.7mg未満に制限することができる。このように、主体金具4の先端側内周面48及びプロテクタ120の内周面124に付着した油剤250、251の付着量が0.7mg未満となるように、油剤250を主体金具4及びプロテクタ120から除去する除去工程とを有することで、ガスセンサ1の使用中に、プロテクタ120の内周面124や主体金具4の先端側内周面48の残留した油剤250、251がガス化してプロテクタ120内に染み出す量をガス検出精度に影響を与えない範囲内に抑えることができ、ガス検出精度が低下することを抑制できるガスセンサ1を効率良く作製できる。他方、端子金具210、220にそれぞれ素子用リード線170、180を接合し、セラミックヒータ3のヒータ用端子金具230にヒータ用リード線190、200を接合する。そして、端子金具220の内側にセラミックヒータ3を位置させた状態で、各リード線170、180、200、210をセパレータ160の各セパレータリード線挿通孔161に挿通する。ついで、各リード線170、180、190、200をシール部材240のリード線挿通孔241に挿通させた状態で、このシール部材240の先端面がセパレータ160の後端面に当接するまで移動させる。このようにして、上部組立体を作製する。そして、上部組立体のセパレータ160を、下部組立体の内筒部材130の内後端部135内に位置させる。これにより、セラミックヒータ3とともに端子金具220がセンサ素子2内部に挿入され、内側電極22と導通する。また、端子金具210がセンサ素子2の外面に外嵌され、外側電極23と導通する。そして、内筒部材130の大気導入孔131の外周にフィルタ140を配置し、その後、外筒部材150を自身の内側に各リード線170、180、190、200を通した状態でシール部材240の後端側から移動させ、内筒部材130の先端部134の外側に重なるまで移動させる。ついで、外筒部材150、グロメット240をそれぞれ加締め、ガスセンサ1を完成させる。以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は実施形態に限定されることはなく、この発明の目的を達成することのできる範囲で、様々に設計変更することができる。たとえば、本発明の別の実施形態としては、油剤の付着量が0.7mg~2mgと比較的多くする一方、主体金具と検出素子との間の気密性を相対的に低くしたものが挙げられる。気密性を低くする手法としては、充填部材9の軸方向長さ厚さを小さくしたり、充填部材9に用いるセラミック粉末の粒径を調整する方法が挙げられる。このように、主体金具と検出素子との間の気密性が相対的に低い場合には、すなわち、主体金具の温度を550°Cに加熱し、主体金具の先端側から大気を0.4MPaにて加圧した際、検出素子と主体金具の間を通って主体金具の後端側へ漏れる大気の量が10cc/min~50cc/minである場合には、油剤の付着量が0.7mg~2mgであっても、ガス化した油剤の多くが容易に主体金具と検出素子の間を通って、後端側へ排出されるため、検出精度への悪影響が抑えられる。さらに、本発明の別の実施形態第2の実施形態について図1を参照しつつ説明する。なお、第2の実施形態の製造方法は、第1の実施形態の製造方法と一部のみが異なる。したがって、その相違部分を中心に説明し、その他の部分は簡略、または省略する。第2の実施形態では、成形後、油剤250が付着した主体金具4、プロテクタ120を脱脂液にて浸漬し、脱脂液から出して水洗し、油剤250を除去する。なお、除去後の油剤量は、0.2mg以下が好ましい。なお、以上の主体金具4、プロテクタ120を洗浄する工程が特許請求の範囲の洗浄工程に相当する。ついで、第1の実施形態では、主体金具4に油剤251を別途塗布したのち、プロテクタ120を装着したが、第2の実施形態では主体金具4に油剤251を塗布せずにプロテクタ120を装着する。即ち、主体金具4の先端部46外周にプロテクタ120の後端側を挿入して重なり部を設け、その重なり部をスポット溶接することで、プロテクタ120と主体金具4とを固定する。なお、この工程が特許請求の範囲の装着工程に相当する。次に、主体金具4の後端部44に油剤液を塗布し、新たに新規の油剤251を付着させる。この油剤251は、温水に水溶液油剤と活性剤とを混合して溶解している。水溶液油剤は、油分が約30水溶液にアルキルアミンオキサイド等が含有されたものであり、その混合割合は、50~60ml/lである。また、活性剤は、非イオン界面活性剤であり、その混合割合は、13~20ml/lである。温水の温度域としては、50~60°Cである。なお、以上の工程が、特許請求範囲の第2付着工程に相当する。加締め工程での精度を上げるために、加締め前に主体金具に油剤251を付着している。他方、主体金具4の先端側内周面48及びプロテクタ120の内周面124には、洗浄工程にて油剤を除去することで、熱処理よりも容易にかつ効率良く油剤を除去できる。そして、プロテクタ120が固定された主体金具4の内部にパッキン6、支持部材7、パッキン8、センサ素子2、充填部材9、スリーブ100、環状リング110を順に挿入する。なお、パッキン6は主体金具4の金具側段部43に支持され、主体金具4には支持部45が形成される。そして、内筒部材130の先端開口端部132を環状リング110に当接させた状態で、主体金具4の後端部44を内側先端方向に加締め、下部組立体が作製される。なお、主体金具4とセンサ素子2との間に充填部材9を挿入する工程が特許請求の範囲の充填工程に相当し、主体金具4の後端部44を加締める工程が特許請求項の範囲の加締め工程に相当する。第2の実施形態では、主体金具4およびプロテクタ120の成形時に使用された油剤250は、組付工程前に洗浄により除去されている。また、油剤251は加締め部にのみ塗布されているので、ガスセンサの検知精度に悪影響を与えないため、熱処理等により除去する必要がない。ただし、洗浄工程後に残存する油剤250をさらに除去する必要があれば、別途熱処理を行うことは妨げない。かかる場合においても、洗浄工程で油剤の量は大幅に減らされているため、熱処理での油剤除去の負担を大幅に小さくできる。上記実施形態では、主体金具4の金具側段部43にパッキン6、支持部材7、パッキン8を介してセンサ素子2を支持させたが、これに限らず、主体金具4の段付き部43に直接センサ素子2を支持させても良い。この場合、センサ素子2が段付き部43に当接する部位が支持部45となる。また、上記実施形態では、プロテクタ120として外側プロテクタ122及び内側プロテクタ123の2重プロテクタを用いたが、これに限らす、1重のプロテクタ120であってもよい。また、上記実施形態では、有底筒状のセンサ素子2を用いたが、これに限らず板状のセンサ素子を用いても良い。さらに、上記実施形態では、主体金具4とプロテクタ120のいずれについても油剤250を塗布するが、これに限らず、主体金具4又はプロテクタ120の一方に油剤を塗布しているものであっても良い。