"圧電セラミックスからなり、上面、下面及び対向し合う第1,第2の端面を有するセラミック焼結体と、前記セラミック焼結体内に形成されており、前記第1の端面に引き出された複数の第1の内部電極と、前記セラミック焼結体内に形成されており、前記第2の端面に引き出された複数の第2の内部電極と、前記セラミック焼結体内に形成されており、前記第1の内部電極及び前記第2の内部電極とともに積層されている、複数のセラミック層と、前記セラミック焼結体の第1の端面に形成された第1の外部電極と、前記セラミック焼結体の第2の端面に形成された第2の外部電極とを備え、前記第1の内部電極と前記第2の内部電極とがセラミック焼結体内において前記セラミック層を介して対向しており、前記第1の内部電極と第2の内部電極との間に挟まれているセラミック層が活性層とされており、複数の活性層を有し、前記セラミック焼結体内において、前記複数の第1,第2の内部電極の内、最上部に位置する内部電極とセラミック焼結体の上面との間のセラミック層が第1の不活性層、前記複数の第1,第2の内部電極の内、最下部に位置する内部電極とセラミック焼結体の下面との間のセラミック層が第2の不活性層とされており、前記不活性層であるセラミック層の厚みが、前記活性層であるセラミック層の厚みよりも薄くされており、かつ第1または第2の内部電極の長さを当該第1または第2の内部電極の引き出されている第1または第2の端面から当該第1または第2の内部電極の先端までの距離とした場合、前記最上部に位置する内部電極及び最下部に位置する内部電極の長さの少なくとも一方が、他の内部電極の長さよりも短くされており、前記セラミック焼結体の積層方向において平面視した際に、前記第1,第2の外部電極が、不活性層を介して、最上部及び最下部の前記内部電極のうち異なる電位に接続される内部電極と重なり合わないように形成されている、積層型圧電アクチュエータ。前記第1,第2の外部電極が、前記セラミック焼結体の第1,第2の端面上に形成されており、前記セラミック焼結体の上面及び下面に至らないように設けられている、請求項1に記載の積層型圧電アクチュエータ。前記第1,第2の外部電極が、前記セラミック焼結体の第1,第2の端面に位置している端面部と、端面部に連なっており、かつ前記セラミック焼結体の上面及び下面の少なくとも一方に至っている回り込み部とを有し、回り込み部が、前記セラミック焼結体の積層方向において平面視した際に、該回り込み部と最上部及び最下部の前記内部電極のうち異なる電位に接続される内部電極とが前記不活性層を介して重なり合わないように配置されている、請求項1に記載の積層型圧電アクチュエータ。前記回り込み部が、他の部材と接合するための表面電極である、請求項3に記載の積層型圧電アクチュエータ。前記活性層を構成しているセラミック層の厚みが等しい、請求項1~4のいずれか1項に記載の積層型圧電アクチュエータ。前記不活性層の厚みをL、前記活性層の厚みをHとしたとき、0<L≦1/2Hである、請求項1~5のいずれか1項に記載の積層型圧電アクチュエータ。振動板を備え、該振動板に請求項1~6のいずれか1項に記載の積層型圧電アクチュエータが接合されている、圧電振動装置。特許文献2に記載の積層型圧電アクチュエータ1001などでは、第1,第2の外部電極1005,1006は、導電ペーストの塗布焼き付け等により形成されることがある。この場合、図16の矢印Aで示すように、第2の外部電極1006が、セラミック焼結体1002の第2の端面から下面に至るように回り込み、回り込み部1006bが形成されることがある。回り込み部1006bの長さ第2の外部電極1006とつながっている部分である基端から回り込み部1006bの先端までの寸法が長い場合、回り込み部1006bが、積層方向において平面視した際に最下部の第1の内部電極1003と最下層のセラミック層を介して重なり合う。そのため、図16に示すように、不活性層である最下層のセラミック層の一部が活性部となることがある。不活性層である最下層のセラミック層の厚みが薄いため、上記活性部に、活性層である他のセラミック層に比べて高い電界が印加されることになる。そのため、高電界領域Xにおいてセラミック層が破壊されるおそれがある。また、図15に示されているように、第1,第2の内部電極1003,1004の長さ第1,第2の内部電極1003,1004の端面側部分である基端から第1,第2の内部電極1003,1004の先端までの寸法を短くした場合、図16に示したような回り込み部が形成されたとしても、回り込み部と、最下部の第1の内部電極1003とが、積層方向において平面視した際に最下層のセラミック層を介して重なり合わなくなる。しかしながら、この場合には、第1,第2の内部電極1003,1004が積層方向において平面視した際に重なり合っている部分である活性部の長さ、すなわちセラミック焼結体1002の第1,第2の端面間を結ぶ方向における該活性部の長さLが短くなる。そして、該活性部の上記長さ方向両側に不活性部が存在することになり、不活性部が大きくなる。従って、積層型圧電アクチュエータ1001の変位が阻害されることとなる。特に、積層型圧電アクチュエータ1001が屈曲モードを利用した圧電アクチュエータである場合には、第1,第2の端面側の不活性部が大きくなると、積層型圧電アクチュエータ1001の変位が大きく阻害されることとなる。なお、第1,第2の内部電極1003,1004の長さを長くした場合には、図16に示すように、積層方向において平面視した際に、最下部の第1の内部電極1003の先端側部分が回り込み部1006bと最下層のセラミック層を介して重なり合うおそれがある。本発明の目的は、最外層のセラミック層が不活性層とされており、該不活性層の厚みを薄くすることにより、変位量を高めたとしても、セラミック焼結体における破壊が生じ難い積層型圧電アクチュエータと、該積層型圧電アクチュエータを備える圧電振動装置とを提供することにある。本発明に係る積層型圧電アクチュエータは、圧電セラミックスからなり、上面、下面及び対向し合う第1,第2の端面を有するセラミック焼結体と、セラミック焼結体内に形成されており、第1の端面に引き出された複数の第1の内部電極と、セラミック焼結体内に形成されており、第2の端面に引き出された複数の第2の内部電極と、セラミック焼結体内に形成されており、第1の内部電極及び第2の内部電極とともに積層されている、複数のセラミック層と、セラミック焼結体の第1の端面に形成された第1の外部電極と、セラミック焼結体の第2の端面に形成された第2の外部電極とを備える。本発明においては、第1の内部電極と第2の内部電極とがセラミック焼結体内においてセラミック層を介して対向しており、第1の内部電極と第2の内部電極との間に挟まれているセラミック層が活性層とされており、複数の活性層を有し、セラミック焼結体内において、複数の第1,第2の内部電極の内、最上部に位置する内部電極とセラミック焼結体の上面との間のセラミック層が第1の不活性層、複数の第1,第2の内部電極の内、最下部に位置する内部電極とセラミック焼結体の下面との間のセラミック層が第2の不活性層とされている。また、不活性層であるセラミック層の厚みが、活性層であるセラミック層の厚みよりも薄くされており、かつ第1または第2の内部電極の長さを当該第1または第2の内部電極が引き出されている第1または第2の端面から当該第1または第2の内部電極の先端までの距離とした場合、最上部に位置する内部電極及び最下部に位置する内部電極の長さの少なくとも一方が、他の内部電極の長さよりも短くされている。また、セラミック焼結体の積層方向において平面視した際に、第1,第2の外部電極が、不活性層を介して、最上部及び最下部の内部電極のうち異なる電位に接続される内部電極と重なり合わないように形成されている。本発明に係る積層型圧電アクチュエータのある特定の局面では、第1,第2の外部電極が、セラミック焼結体の第1,第2の端面上に形成されており、セラミック焼結体の上面及び下面に至らないように設けられている。この場合には、セラミック焼結体の上下両面及び下面側の不活性層において、電界が加わり難い。従って、不活性層における破壊がより一層生じ難い。本発明に係る積層型圧電アクチュエータの他の特定の局面では、第1,第2の外部電極が、セラミック焼結体の第1,第2の端面に位置している端面部と、端面部に連なっており、かつセラミック焼結体の上面及び下面の少なくとも一方に至っている回り込み部とを有し、回り込み部が、セラミック焼結体の積層方向において平面視した際に、該回り込み部と最上部及び最下部の内部電極のうち異なる電位に接続される内部電極とが不活性層を介して重なり合わないように配置されている。このように第1,第2の外部電極に回り込み部が存在している場合であっても、セラミック焼結体の積層方向において平面視した際に、回り込み部と、最上部及び最下部の内部電極のうち異なる電位に接続される内部電極とが不活性層を介して重なり合わないように配置されているので、最上層又は最下層となる最外層のセラミック層である不活性層における破壊が生じ難い。本発明に係る積層型圧電アクチュエータのさらに別の特定の局面では、回り込み部が、他の部材と接合するための表面電極である。この場合には、表面電極を利用して、振動板や基板等に容易に実装することできる。本発明に係る積層型圧電アクチュエータのさらに別の特定の局面では、活性層を構成しているセラミック層の厚みが等しい。この場合には、不活性層以外のセラミック層を同一のセラミックグリーンシートを用いて容易に形成することができる。本発明に係る積層型圧電アクチュエータのさらに他の特定の局面では、不活性層の厚みをL、活性層の厚みをHとしたとき、0<L≦1/2Hである。この場合には、不活性層による変位の拘束をより確実に抑制でき、より大きな変位量を確実に得ることが可能となる。本発明に係る圧電振動装置は、振動板を備え、該振動板に本発明に係る積層型圧電アクチュエータが接合されている。この場合には、本発明に従って、屈曲モードで振動する、しかも変位量の大きな圧電振動装置を提供することが可能となる。本発明に係る積層型圧電アクチュエータでは、不活性層であるセラミック層の厚みが、活性層であるセラミック層の厚みよりも薄くされているので、不活性層であるセラミック層が活性層であるセラミック層の変位をさほど拘束せず、大きな変位量を得ることができる。しかも、最上部に位置する内部電極及び最下部に位置する内部電極の長さの少なくとも一方が、他の内部電極の長さより短くされており、かつセラミック焼結体の積層方向において平面視した際に、第1,第2の外部電極が、不活性層を介して、最上部及び最下部の内部電極のうち異なる電位に接続される内部電極と重なり合わないように形成されているので、厚みの薄い不活性層において、電界印加時の破壊が生じ難い。以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。第1の実施形態図1aは、本発明の第1の実施形態に係る積層型圧電アクチュエータ1を示す正面断面図であり、図2は、その斜視図である。積層型圧電アクチュエータ1は、圧電セラミックスからなるセラミック焼結体2を有する。本実施形態では、セラミック焼結体2は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなる。もっとも、他の圧電セラミックスによりセラミック焼結体2が形成されていてもよい。セラミック焼結体2は、直方体状の形状であり、上面2aと、下面2bと、第1の端面2cと、第2の端面2dとを有する。セラミック焼結体2内には、セラミック層2e,2f,2gを含む複数のセラミック層が配置されている。セラミック焼結体2内には、上面2a及び下面2bと平行に、複数の第1の内部電極3a~3dと、複数の第2の内部電極4a~4dとが配置されている。複数の第1の内部電極3a~3dは、セラミック焼結体2の第1の端面2cに引き出されている。複数の第2の内部電極4a~4dは、セラミック焼結体2の第1の端面2cと対向している第2の端面2dに引き出されている。セラミック焼結体2内において、複数のセラミック層と、複数の第1の内部電極3a~3dと、複数の第2の内部電極4a~4dとが積層されている。セラミック焼結体2では、積層方向すなわち、上面2aと下面2bとを結ぶ方向において、第1の内部電極3a~3dと、第2の内部電極4a~4dとが交互に配置されている。第1の端面2cには、第1の外部電極5が形成されている。第2の端面2dには、第2の外部電極6が形成されている。本実施形態では、第1の外部電極5は、第1の端面2cに位置している端面部5aと、端面部5aに連なっており、上面2aに至っている回り込み部5bと、端面部5aに連なっており、下面2bに至っている回り込み部5cとを有する。第2の外部電極6は、第2の端面2dに位置している端面部6aと、端面部6aに連なっており、上面2aに至っている回り込み部6bと、端面部6aに連なっており、下面2bに至っている回り込み部6cとを有する。第1,第2の内部電極3a~3d,4a~4dは、AgPdからなる。もっとも、第1,第2の内部電極3a~3d,4a~4dは、Ag、Au、Cu、Niまたはこれらの合金などの適宜の金属材料により形成することができる。上記第1,第2の内部電極3a~3d,4a~4dを有するセラミック焼結体2は、周知のセラミックス一体焼成技術により得ることができる積層型セラミック焼結体である。第1,第2の外部電極5,6は、導電ペーストの塗布焼き付けにより形成されている。もっとも、蒸着法もしくはスパッタリング法またはメッキ法等により形成されていてもよい。第1,第2の外部電極5,6は、本実施形態では、スパッタリング法により形成されている。第1,第2の外部電極5,6は、適宜の金属もしくは合金により形成することができる。セラミック焼結体2において、第1の内部電極3a~3dのうちいずれか1つと第2の内部電極4a~4dのうちいずれか1つとの間に挟まれている部分が、活性層として機能する。ここで、活性層とは、電界が印加されたときに、圧電効果により伸縮する部分である。セラミック焼結体2において、隣り合う活性層が積層方向において逆方向に分極処理されている。積層型圧電アクチュエータ1を駆動するに際しては、第1,第2の外部電極5,6間に電圧を印加する。その結果、第1の内部電極3a~3dと、第2の内部電極4a~4dとで挟まれた複数のセラミック層2eに電界が印加される。従って、上記電界が印加されると、積層型圧電アクチュエータ1は、第1,第2の端面2c,2dを結ぶ方向中央において、中央が上方に突出した姿態と、中央が下方に突出した姿態とをとる。すなわち、屈曲モードで変位する。なお、複数の活性層を構成している各セラミック層2eの厚みは等しくされている。従って、後述するように、各セラミック層2eの形成に必要なグリーンシートの種類を少なくすることができ、生産性を高めることができる。本実施形態では、最下層であり、第1の内部電極3dの下方に位置するセラミック層2fには、上記電界は印加されない。従って、セラミック層2fは不活性層である。同様に、最上層であり、第2の内部電極4aの上方に位置するセラミック層2gにも、上記電界は印加されない。すなわちセラミック層2gは、セラミック層2fと同様に不活性層である。不活性層とは、第1,第2の外部電極5,6から電圧を印加した際に、電界が印加されない層である。本実施形態の積層型圧電アクチュエータ1の特徴は、上記セラミック層2f,2gの厚みが、活性層であるセラミック層2eの厚みよりも薄くされていることにある。前述したように、不活性層は、活性層の変位を拘束するように作用する。本実施形態では、不活性層であるセラミック層2f,2gの厚みが薄いため、活性層であるセラミック層2eの変位をさほど拘束しない。従って、大きな変位量を得ることができる。本実施形態の積層型圧電アクチュエータ1の他の特徴は、第1,第2の内部電極3a~3d,4a~4dのうち、最下部に位置している第1の内部電極3dの長さ、及び最上部に位置している第2の内部電極4aの長さが、残りの第1,第2の内部電極3a~3c,4b~4dよりも短いことにある。ここで、内部電極の長さとは、内部電極が引き出されているセラミック焼結体の端面から内部電極の先端までの寸法、すなわち各内部電極の第1,第2の端面2c,2dを結ぶ方向の寸法をいうものとする。また、本実施形態の積層型圧電アクチュエータ1では、第2の外部電極6の回り込み部6cは、積層方向において平面視した際に、セラミック層2fを介して第1の内部電極3dと重なり合わないように設けられている。すなわち、第1の内部電極3dの長さが、積層方向において平面視した際に、セラミック層2fを介して回り込み部6cと重なり合わないように短くされており、かつ回り込み部6cの長さが短くされている。なお、回り込み部6cの長さとは、第2の端面2dから回り込み部6cの先端、すなわち第1の端面2c側の端部までの寸法をいうものとする。第2の外部電極6の回り込み部6cと、第1の内部電極3dとは、互いに異なる電位に接続される。同様に、セラミック焼結体2の上方部分においても、第1の外部電極5の回り込み部5bは、積層方向において平面視した際に、セラミック層2gを介して第2の内部電極4aと重なり合わないように設けられている。すなわち、第2の内部電極4aの長さが、積層方向において平面視した際に、セラミック層2gを介して回り込み部5bと重なり合わないように短くされており、かつ回り込み部5aの長さも短くされている。第1の外部電極5の回り込み部5bと、第2の内部電極4aとは、互いに異なる電位に接続される。図16に示したように、従来の積層型圧電アクチュエータ1001Aでは、最下部の第1の内部電極1003と該内部電極と異なる電位に接続される第2の外部電極1006の回り込み部1006bとの間に電界が印加され、高電界領域Xが形成されるおそれがある。そのため、最外層の薄いセラミック層において破壊が生じるおそれがあった。これに対して、本実施形態では、このような高電界領域がセラミック層2f,2gにおいて形成されない。そのため、相対的に厚みの薄いセラミック層2f,2gを最外層に設け、変位量を拡大したとしても、該セラミック層2f,2gにおける破壊が生じ難い。図1bは、第1の実施形態の変形例に係る積層型圧電アクチュエータ11を示す正面断面図である。本変形例では、第1,第2の外部電極5,6が、端面部5a,6aのみを有する。すなわち、第1の実施形態における回り込み部5b,5c,6b,6cが設けられていない。このような第1,第2の外部電極5,6は、導電ペーストの塗布焼き付け、蒸着法またはメッキ法もしくはスパッタリング法等の適宜の方法により形成することができる。本変形例では、回り込み部5b,5c,6b,6cが設けられていないので、セラミック層2f,2gにおいて、高電界がより一層印加され難い。すなわち、第1の内部電極3dと、該第1の内部電極3dと異なる電位に接続される第2の外部電極6とが、積層方向において平面視した際に、セラミック層2fを介して重なり得ないため、また第1の内部電極3dの先端と、第2の外部電極6との間の距離が第1の実施形態よりも遠いため、セラミック層2fに高電界がより一層印加され難い。同様に、第2の内部電極4aの先端と、第1の外部電極5との間の距離も第1の実施形態の場合よりも大きくされており、セラミック層2gに高電界がより一層印加され難い。従って、本変形例によれば、絶縁破壊がより一層生じ難い。このように、本発明においては、回り込み部5b,5c,6b,6cは設けられずともよい。図3は、本発明の第2の実施形態に係る積層型圧電アクチュエータ21を示す正面断面図である。第2の実施形態では、セラミック焼結体2の下面2bにおいて、第1の外部電極5の回り込み部5cの面積が第1の実施形態の場合よりも大きくされており、すなわち回り込み部5cが、表面電極を構成している。同様に、第2の外部電極6の回り込み部6cの面積が第1の実施形態の場合よりも大きくされており、回り込み部6cも表面電極を構成している。ここで、表面電極とは、積層型圧電アクチュエータ21を他の部材、例えば後述の実施例のように振動板に接続する際に接合部分として機能する。このような接合部分として機能する表面電極は、第1の実施形態の回り込み部5c,6cに比べ大きな面積を有する必要があり、それによって、接合の信頼性を高めることができる。第2の実施形態では、上記表面電極として機能する回り込み部5c,6cが形成されている。そのため、最下部の第1の内部電極3dの長さが、第1の実施形態の場合よりもより一層短くされている。すなわち、本実施形態の積層型圧電アクチュエータ21では、第1の内部電極3dと、第1の内部電極3dと異なる電位に接続される第2の外部電極6の回り込み部6cとが、積層方向において平面視した際に、不活性層であるセラミック層2fを介して重なり合わないように配置されている。この場合、表面電極として機能する回り込み部6cの面積が大きく、第1,第2の端面2c,2dを結ぶ方向の長さが長くされているので、その分だけ、第1の内部電極3dの長さが短くされている。それによって、セラミック層2fに高電界が印加され難くされている。このように、本発明では、回り込み部5c,6cの面積を大きくして、振動板に接続する際の接合の信頼性を高めてもよく、その場合においても、最下部の第1の内部電極3dと、第1の内部電極3dと異なる電位に接続される第2の外部電極6の回り込み部6cとが、積層方向において平面視した際に、不活性層であるセラミック層2fを介して重なり合わないように配置すればよい。次に、上記第1の実施形態の積層型圧電アクチュエータ1を振動板に貼り合わせてなる圧電振動装置であり、屈曲モードで変形する屈曲型圧電アクチュエータについての具体的な実施例を比較例と共に説明する。実施例1として、図4に示す屈曲型圧電アクチュエータ31を作製した。屈曲型圧電アクチュエータ31では、振動板32上に接着剤層33を介して、前述した第1の実施形態の積層型圧電アクチュエータ1と同様の構造を有する積層型圧電アクチュエータ34が接合されている。振動板32は、積層型圧電アクチュエータ34の変位を受けて受動的に変位する。その結果、屈曲型圧電アクチュエータ31全体が屈曲モードで変位する。実施例1では、振動板32として、厚み08mmのガラスエポキシ板を用いた。また、上記接着剤層33として、エポキシ系接着剤を用いた。振動板32を用いて屈曲型圧電アクチュエータ31を形成するに際し、上記振動板32の材料は、上記ガラスエポキシ板に限定されるものではない。すなわち、振動板32は、合成樹脂や金属などの適宜の材料により構成することができる。もっとも、振動板32の熱膨張係数及びヤング率は、セラミック焼結体2の熱膨張係数及びヤング率と近いものが望ましい。従って、圧電セラミックスの熱膨張係数及びヤング率を考慮すると、振動板32は、42ニッケルや低膨張ガラスエポキシからなることが望ましい。セラミック焼結体2の製造に際しては、周知のセラミックス一体焼成技術を用いた。すなわち、圧電セラミック材料を主体とするセラミックグリーンシートを用意し、該セラミックグリーンシートの上面にAgPdペーストをマザーの内部電極パターンを形成するように印刷した。なお、上記内部電極パターンの印刷に際しては、前述した最上部の第2の内部電極4a及び最下部の内部電極3dが形成される部分においては、最終的に内部電極の長さが短くなるように、マザーの内部電極パターンを印刷した。このようにして、マザーの内部電極パターンのペーストが印刷されたマザーの複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、さらに上下に他のセラミックグリーンシートよりも薄いセラミックグリーンシートを積層し、積層方向に圧着し、マザーのセラミック成形体を得た。なお、上記実施例1では、活性層を構成するセラミックグリーンシートに比べて、不活性層を構成するセラミックグリーンシートの厚みを薄くしていた。他の方法として、活性層を構成するセラミックグリーンシートの枚数を不活性層を構成するセラミックグリーンシートの枚数よりも多くしてもよい。上記のようにして得たマザーのセラミック成形体を個々の積層型圧電アクチュエータ単位のセラミック成形体に切断した。個片化されたセラミック成形体を焼成し、セラミック焼結体2を得た。このセラミック焼結体2の第1,第2の端面2c,2dに第1,第2の外部電極5,6をスパッタリング法により作製した。しかる後、第1,第2の外部電極5,6間に直流電圧を印加し、積層方向において、隣り合う活性層を積層方向において逆方向に分極軸が揃うように分極処理した。上記のようにして積層型圧電アクチュエータ34を得、該積層型圧電アクチュエータ34を前述した振動板32に接着剤層33を介して貼り合わせた。このようにして、実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31を得た。比較のために、図5に示した比較例1の屈曲型圧電アクチュエータ1051を用意した。屈曲型圧電アクチュエータ1051は、上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31における積層型圧電アクチュエータ34に代えて、積層型圧電アクチュエータ1052を用いたことを除いては、上記実施例1と同様である。この積層型圧電アクチュエータ1052は、セラミック焼結体1053を有する。セラミック焼結体1053は、上面と、下面と、第1の端面1053cと、第2の端面1053dとを有する。セラミック焼結体1053内では、上面及び下面と平行に、複数の第1の内部電極1054a~1054dと、複数の第2の内部電極1055a~1055dとが配置されている。複数の第1の内部電極1054a~1054dは、セラミック焼結体1053の第1の端面1053cに引き出されている。複数の第2の内部電極1055a~1055dは、セラミック焼結体1053の第1の端面1053cと対向している第2の端面1053dに引き出されている。セラミック焼結体1053では、積層方向において、第1の内部電極1054a~1054dと、第2の内部電極1055a~1055dとが交互に配置されている。また、隣り合うセラミック層は積層方向において逆方向に分極処理されている。第1の内部電極1054a~1054dと、第2の内部電極1055a~1055dとで挟まれているセラミック層すなわち活性層の厚みは全て等しくされている。さらに、第1の端面1053cには、第1の外部電極1056が形成されている。第2の端面1053dには、第2の外部電極1057が形成されている。ここでは、第1の外部電極1056は、第1の端面1053cに位置している端面部1056aと、端面部1056aに連なっており、セラミック焼結体1053の上面に至っているとともに、積層方向において平面視した際に、最上部の第2の内部電極1055aと重なり合うように設けられた回り込み部1056bと、端面部1056aに連なっており、セラミック焼結体1053の下面に至っている回り込み部1056cとを有する。従って、最上層のセラミック層は、活性層として作用する。同様に、第2の外部電極1057は、第2の端面1053dに位置している端面部1057aと、端面部1057aに連なっており、セラミック焼結体1053の上面に至っている回り込み部1057bと、端面部1057aに連なっており、セラミック焼結体1053の下面に至っている回り込み部1057cとを有する。回り込み部1057cが、第1の端面1053c側に延ばされており、積層方向において平面視した際に、最下部の第1の内部電極1054dとセラミック層を介して重なり合っている。よって、最下層のセラミック層も活性層として機能する。積層型圧電アクチュエータ1052では、上記最外層のセラミック層が、活性層として機能しており、最外層のセラミック層は他のセラミック層と同じ厚みとされている。上記実施例1及び比較例1の屈曲型圧電アクチュエータ31,1051を、60°Cの温度及び相対湿度93の雰囲気中で±12Vの電圧を印加し、駆動し、故障するまでの時間B10を測定した。結果を下記の表1に示す。表1から明らかなように、比較例1に比べて、実施例1によれば、故障に至るまでの時間B10を約4倍程度と長くし得ることがわかる。比較例1で比較的短い時間で故障が発生しているのは、高温高湿下において、空気中の水分が内部の活性層に到達し、内部電極におけるAgのマイグレーションが生じたことによると考えられる。実施例1では、上記第1の実施形態の積層型圧電アクチュエータ1と同様の構造を有する積層型圧電アクチュエータ34を有し、最外層のセラミック層が不活性層である。そのため、積層型圧電アクチュエータ内部の活性層に空気中の水分が到達し難く、活性層であるセラミック層においてはクラックが生じ難い。従って、積層型圧電アクチュエータ34の寿命が長くなったとものと考えられる。次に、上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31と、図6に示す比較例2の屈曲型圧電アクチュエータ1061とを用意した。比較例2の屈曲型圧電アクチュエータ1061では、上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31における積層型圧電アクチュエータ34に代えて、積層型圧電アクチュエータ1062を用いたことを除いては、上記実施例1と同様である。そして、積層型圧電アクチュエータ1062は、比較例1の積層型圧電アクチュエータ1052と同様に、セラミック焼結体1053と、複数の第1の内部電極1054a~1054dと、複数の第2の内部電極1055a~1055dと、第1の外部電極1056と、第2の外部電極1057とを有する。積層型圧電アクチュエータ1062は、前述した特許文献1に記載の圧電ブザーに用いられている積層型圧電体と同様の構造を有する。比較例1では、セラミック焼結体1053の上面及び下面において、第1の外部電極1056の回り込み部1056b及び第2の外部電極1057の回り込み部1057cが、積層方向において平面視した際に、異なる電位に接続される第2の内部電極1055aまたは第1の内部電極1054dに重なるように形成されている。従って、最外層のセラミック層が活性層とされている。これに対して、比較例2の屈曲型圧電アクチュエータ1061では、回り込み部1056b及び回り込み部1057cは、回り込み部1056c,1057bと同様に、端面部1056a,1057aに連なっており、セラミック焼結体1053の上面または下面に至っているように形成されている。従って、最外層のセラミック層はほぼ不活性層とされている。その他の点については、比較例1と同様である。なお、実施例1では、不活性層である最外層のセラミック層の厚さは、活性層のセラミック層の厚さの1/2とされている。不活性層である最外層のセラミック層と活性層のセラミック層を同一厚みのセラミック層を用いて積層型圧電アクチュエータを製造する場合、活性層を2層のセラミック層とし不活性層を1層のセラミック層とするL=1/2Hとしたときが、活性層を3層のセラミック層とし不活性層を2層のセラミック層とするなど別の条件に比べて積層工程の数が最小となるため、製造が容易となり好ましい。さらに、セラミック層の厚みと材料を同一にすれば、セラミック層を同一の工程準備できるため、さらに製造が容易となりより好ましい。上記実施例1及び比較例2の屈曲型圧電アクチュエータ31,1061の変位量を、±12Vの電圧を印加して、第1,第2の端面を結ぶ方向を長さ方向としたときに、屈曲型圧電アクチュエータ31,1061の長さ方向中央における変位量を求めた。その結果、比較例2では、変位量は79μmであった。これに対して、実施例1では、変位量は87μmであった。従って、不活性層の厚みが薄くされることにより、実施例1によれば、変位量を拡大し得ることがわかる。なお、比較例2では、回り込み部1056bと、最上部の第2の内部電極1055aとが、積層方向において平面視した際に、最上層のセラミック層の一部を介して重なり合っている部分が存在する。同様に、回り込み部1057cと、最下部の第1の内部電極1054dとが、積層方向において平面視した際に、最下層のセラミック層の一部を介して重なり合っている部分が存在する。従って、最外層は不活性層であるが、不活性層の一部が活性部となる。よって、前述したように、この活性部となる部分に高い電界が印加されると、最外層のセラミック層において圧電効果により印加される電界に応じて発生する応力及び圧電アクチュエータの変位による応力によって、セラミックス層に破壊が生じるおそれがある。特に、内部電極に挟まれる活性層より厚みが薄く、破壊耐力が小さくなる最外層のセラミックス層に活性部と非活性部とが混在すれば、高電界が印加される活性部と非活性部との境界で発生する応力差と圧電アクチュエータの変位による応力とが重なり合うため、相対的に厚みが薄い最外層のセラミックス層に破壊が生じやすい。次に、上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31と、図7に示す比較例3の屈曲型圧電アクチュエータ1071とを用意した。比較例3の屈曲型圧電アクチュエータ1071では、上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31における積層型圧電アクチュエータ34に代えて、積層型圧電アクチュエータ1072を用いたことを除いては、上記実施例1と同様である。積層型圧電アクチュエータ1072は、最外層のセラミック層の厚みが他のセラミック層の厚みの1/2とされていることを除いては、比較例2の屈曲型圧電アクチュエータ1061の積層型圧電アクチュエータ1062と同様の構造を有する。この構造は、前述した特許文献2に記載の積層型圧電アクチュエータと同様の構造である。上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31及び比較例3の屈曲型圧電アクチュエータ1071に、抗電界の2倍の直流電圧を印加し、セラミック焼結体を分極した。すなわち、第1,第2の外部電極間に抗電界の2倍の電圧を印加し、活性層として機能するセラミック層を積層方向に分極した。その結果、比較例3の屈曲型圧電アクチュエータ1071に用いた積層型圧電アクチュエータ1072では、10個のサンプルにおいて、10個とも故障し、実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31に用いた積層型圧電アクチュエータ34では、10個のサンプル中故障した数は0であった。なお、故障とは、分極処理に際し、隣り合う電極間に短絡が生じた数をいうものとする。上記のように、比較例3の屈曲型圧電アクチュエータ1071に用いた積層型圧電アクチュエータ1072において、故障が生じたのは、以下の理由によると考えられる。すなわち、最外層のセラミック層の厚みが薄くされているため、回り込み部1056bと最上部の第2の内部電極1055aとが積層方向において平面視した際に最上層のセラミック層の一部を介して重なり合っている部分B及び回り込み部1057cと最下部の第1の内部電極1054dとが積層方向において平面視した際に最下層のセラミック層の一部を介して重なり合っている部分Dにおいて高電界が印加される。従って、短絡が生じたと考えられる。これに対して、実施例1では、上記のように、最上部の第2の内部電極4aと、回り込み部5bとが、積層方向において平面視した際に、最上層のセラミック層を介して重なり合っておらず、かつ最下部の第1の内部電極3dと、回り込み部6cとが、積層方向において平面視した際に、最下層のセラミック層を介して重なり合っていない。従って、高電界が最外層のセラミック層すなわち不活性層に加わらない。よって、分極に際しての故障が生じていないと考えられる。次に、上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31と図8に示す比較例4の屈曲型圧電アクチュエータ1081とを用意し、変位量を対比した。比較例4の屈曲型圧電アクチュエータ1081では、上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31における積層型圧電アクチュエータ34とは異なる構造の積層型圧電アクチュエータを用いたことを除いては、上記実施例1と同様である。比較例4の屈曲型圧電アクチュエータ1081の積層型圧電アクチュエータは、セラミック焼結体1082を有する。セラミック焼結体1082は、上面と、下面と、第1の端面1082cと、第2の端面1082dとを有する。セラミック焼結体1082内において、上面及び下面と平行に、複数の第1の内部電極1083a~1083cと、複数の第2の内部電極1084a~1084cとが配置されている。複数の第1の内部電極1083a~1083cは、セラミック焼結体1082の第1の端面1082cに引き出されている。複数の第2の内部電極1084a~1084cは、セラミック焼結体1082の第1の端面1082cと対向している第2の端面1082dに引き出されている。セラミック焼結体1082では、積層方向において、第1の内部電極1083a~1083cと、第2の内部電極1084a~1084cとが交互に配置されているとともに、積層方向において平面視した際に、セラミック層を介して重なり合っている。また、隣り合うセラミック層は積層方向において逆方向に分極処理されている。さらに、第1,第2の内部電極1083a~1083c,1084a~1084cが積層されている部分の上方において、第1,第2のダミー電極1085,1086が配置されている。第1,第2のダミー電極1085,1086は、それぞれ、第1の端面1082c及び第2の端面1082dに引き出されている。第1,第2のダミー電極1085,1086は、セラミック焼結体1082の長さ方向中央において対向されている。同様に、第1,第2の内部電極1083a~1083c,1084a~1084cが積層されている部分の下方においても、第1,第2のダミー電極1087,1088が第1,第2のダミー電極1085,1086と同様に構成されている。ここでは、第1の内部電極1083a~1083c及び第2の内部電極1084a~1084cが積層方向において平面視した際にセラミック層を介して重なり合っている部分が活性部である。そして、第2のダミー電極1086と、最上部の第1の内部電極1083aとが積層方向において平面視した際にセラミック層を介して積層方向において平面視した際に重なり合っている部分も活性層として機能する。同様に、第1のダミー電極1087と、最下部の第2の内部電極1084cとが積層方向において平面視した際に重なり合っている部分も活性層として機能する。なお、第1,第2の外部電極1089,1090は、実施例1の第1,第2の外部電極5,6と同様に構成されている。上記実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31及び比較例4の屈曲型圧電アクチュエータ1081に、±12Vの電圧を印加した際の変位量を求めたところ、比較例4では、81μmであったのに対し、実施例1によれば、前述した比較例2との対比の場合と同様に87μmであった。従って、比較例4では、変位量が小さいのに対し、実施例1によれば、変位量を効果的に高め得ることがわかる。これは、比較例4では、ダミー電極1085の下方部分のセラミック層及びダミー電極1088の上方部分のセラミック層も不活性層として機能し、それによって変位が拘束されるためと考えられる。第2の実施形態図9は、本発明の第2の実施形態に係る屈曲型圧電アクチュエータ51を示す正面断面図である。第2の実施形態に係る屈曲型圧電アクチュエータ51では、振動板52上に、積層型圧電アクチュエータ53が接着剤層54を介して接合されている。振動板52は、絶縁性基板52aの表面に電極膜52b,52cが形成されている構造を有する。この電極膜52b,52c上に、接着剤層54を介して、積層型圧電アクチュエータ53が接合されている。ここでは、図1bに示した積層型圧電アクチュエータ11と同様に、第1,第2の外部電極5,6の回り込み部5c,6cが、回り込み部5b,6bに比べて大きな面積を有し、表面電極として機能するように形成されている。この回り込み部5c,6cが、それぞれ、電極膜52b,52cに接合されている。その他の構造は、第2の実施形態に係る屈曲型圧電アクチュエータ51は実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31と同様である。ここでは、回り込み部5c,6cが大きな面積を有するため、電極膜52b,52cに対して確実に接合することができる。本実施形態においても、その他の構造は実施例1と同様であるため、大きな変位量を得ることができ、かつAg等のマイグレーションを効果的に抑制することができる。第3の実施形態図10は、本発明の第3の実施形態に係る屈曲型圧電アクチュエータ61を示す正面断面図である。屈曲型圧電アクチュエータ61は、第2の実施形態とは逆に、セラミック焼結体2の上面側における回り込み部5b,6bの面積が相対的に大きくされて、表面電極として機能するように構成されている。他方、下面側の回り込み部5c,6cは、その面積が相対的に小さく、通常の回り込み部とされている。その他の点については、実施例1の屈曲型圧電アクチュエータ31と同様である。第3の実施形態では、セラミック焼結体2の上面側において、比較的大きな面積を有し、表面電極として機能する回り込み部5b,6bが設けられているので、セラミック焼結体2の上面側において外部との電気的接続を容易に行うことができる。この場合においても、回り込み部5bと、互いに電気的に絶縁され異なる電位に接続される最上部の第2の内部電極4aとは、積層方向において平面視した際に、最上層のセラミック層を介して重なり合っていない。従って、上記実施例1と同様に、大きな変位量を得ることができ、かつ不活性層のセラミック層の破壊も生じ難い。変形例図11は、本発明の圧電アクチュエータのさらに他の変形例を説明するための正面断面図であり、図12は、その内部構造を模式的に示す斜視図である。本変形例の圧電アクチュエータ71は、振動板72上に接着剤層75を介して接合されている積層型圧電アクチュエータを有する。該積層型圧電アクチュエータは、セラミック焼結体2Aを有する。セラミック焼結体2A内に、第1の内部電極3a,3bと第2の内部電極4a,4bとがセラミック層を介して交互に積層されている。図12に示すように、第1の内部電極3a,3bは、セラミック焼結体2Aの長さ方向一端側の端面に延ばされた電極引き出し部を有する。電極引き出し部は、第1の内部電極3a,3bの他の部分よりも幅が狭くされている。また、第2の内部電極4a,4bも、セラミック焼結体2Aの長さ方向一端側の端面に延ばされた電極引き出し部を有する。この電極引き出し部も、第2の内部電極4a,4bの他の部分よりも幅が狭くされている。そして、図12に示すように、セラミック焼結体2Aの上記一端側の端面に、第1の端面電極73及び第2の端面電極74が形成されている。第1の端面電極73は、第1の内部電極3a,3bの電極引き出し部に電気的に接続されるように設けられている。同様に、第2の端面電極74は、第2の内部電極4a,4bの電極引き出し部に電気的に接続されるように設けられている。本変形例では、上記のように、第1の内部電極3a,3b及び第2の内部電極4a,4bがセラミック焼結体2Aの長さ方向一端側の端面に引き出されている。そして、該端面において、第1の内部電極3a,3bが第1の端面電極73に、第2の内部電極4a,4bが第2の端面電極74に電気的に接続されている。よって、セラミック焼結体2Aの長さ方向一端側において外部との電気的接続を図ることができる。本変形例においても、セラミック焼結体2Aの不活性層である最外層のセラミック層を活性層である他のセラミック層よりも薄くし、かつ第1,第2の内部電極3a,3b,4a,4bのうち、最上部に位置している第2の内部電極4aの長さ、及び最下部に位置している第1の内部電極3bの長さが、他の内部電極よりも短くすることで、第1の端面電極73の回り込み部が積層方向において平面視した際に最上層のセラミック層を介して第2の内部電極4aと重なり合わないように設けられ、第2の端面電極74の回り込み部が積層方向において平面視した際に最下層のセラミック層を介して第1の内部電極3bと重なり合わないように設けられていることにより、実施例1~3と同様の効果を得ることができる。図13は、本発明の圧電アクチュエータのさらに他の変形例を示す正面断面図である。本変形例の圧電アクチュエータ81は、振動板82上に、接着剤層83を介して接合されている。積層型圧電アクチュエータを有する。本変形例では、圧電アクチュエータ71と同様に、セラミック焼結体2A内に、第1の内部電極3a,3b及び第2の内部電極4a,4bとがセラミック層を介して交互に積層されている。セラミック焼結体2A内に、第1の内部電極3a,3bと第2の内部電極4a,4bとがセラミック層を介して交互に積層されている。積層方向において平面視した際に、内部電極同士がセラミック層を介して重なり合っている部分が活性層を構成している。また、本変形例では、セラミック焼結体2Aの最下層のセラミック層である不活性層2hの厚みが他のセラミック層の厚みよりも薄くさている。また、不活性層2hと隣接している最下部の第1の内部電極3bの長さが、第1の内部電極3aよりも短くされていることで、第2の端面電極6の回り込み部が積層方向において平面視した際に不活性層2hを介して第1の内部電極3bと重なり合わないように設けられており、最上層のセラミック層と隣接している最上部の第2の内部電極4aの長さが、第2の内部電極4bよりも短くされていることで、第1の端面電極5の回り込み部が積層方向において平面視した際に最上層のセラミック層を介して第2の内部電極4aと重なり合わないように設けられている。従って、本実施形態においても、実施例1~3と同様の効果を得ることができる。もっとも、前述した第1の実施形態のように、上下に厚みの薄い不活性層が設けられることが望ましい。図13では、セラミック焼結体2Aの最下層に、不活性層2hが設けられていたが、図14に示す変形例の圧電アクチュエータ91のように、最上層に厚みが相対的に薄い不活性層2iが設けられてもよい。"