"金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなり直径70μm未満のピンホールを含む溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドのうち前記ローラにより支持された部分に向けて、流延ダイの流出口からポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出し、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する膜形成工程と、前記移動バンドの加熱により前記流延膜から溶剤を蒸発させる膜乾燥工程と、前記膜乾燥工程を経た前記流延膜を前記移動バンドから剥ぎ取ってフィルムとする剥取工程とを有し、前記流延エリアにおける前記ローラからの前記移動バンドの流延浮き量が0.1mm以下であることを特徴とする溶液製膜方法。金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなる溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドのうち前記ローラにより支持された部分に向けて、流延ダイの流出口からポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出し、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する膜形成工程と、前記移動バンドの加熱により前記流延膜から溶剤を蒸発させる膜乾燥工程と、前記膜乾燥工程を経た前記流延膜を前記移動バンドから剥ぎ取ってフィルムとする剥取工程とを有し、前記膜形成工程では、前記流出口よりも前記移動方向上流側に配され、前記移動バンドの表面に向かって開口する吸気口を備えた減圧チャンバを用いて、前記ドープによって前記流出口から前記移動バンドの表面にかけて形成されたビードの前記移動方向上流側を減圧し、前記移動バンドのうち前記減圧チャンバにより覆われた部分における前記ローラからの減圧浮き量が0.1mm以下であることを特徴とする溶液製膜方法。前記溶接ラインには、直径70μm未満のピンホールが含まれることを特徴とする請求項2記載の溶液製膜方法。前記膜形成工程の前に行われ、前記ローラからの前記移動バンドの浮き量を検知する浮き量検知工程を有することを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれか1項記載の溶液製膜方法。前記浮き量検知工程及び前記膜形成工程の間で行われ、前記流延浮き量が0.1mm以下となるように、前記検知した浮き量に基づいて前記流延エリアを設定する流延エリア設定工程を有することを特徴とする請求項4記載の溶液製膜方法。前記浮き量検知工程及び前記膜形成工程の間で行われ、前記減圧浮き量が0.1mm以下となるように、前記検知した浮き量に基づいて、前記移動バンドの幅方向における前記吸気口の長さを調節する減圧エリア調節工程を有することを特徴とする請求項4または5記載の溶液製膜方法。前記浮き量検知工程の後であって、前記流延エリア設定工程または前記減圧エリア調節工程の前に行われ、前記浮き量を小さくする浮き量減少工程を有することを特徴とする請求項4ないし6のうちいずれか1項記載の溶液製膜方法。前記浮き量減少工程では前記移動テンションを増大させることを特徴とする請求項7記載の溶液製膜方法。前記浮き量減少工程では、前記移動バンドのうち、前記ローラに支持された場合に前記浮き量が0より大きい部分を含み長手方向の延びるバンド部を冷却することを特徴とする請求項8記載の溶液製膜方法。前記浮き量減少工程では、前記移動バンドのうち前記流延エリアまたは前記減圧エリアを除く部分を冷却することを特徴とする請求項9記載の溶液製膜方法。前記移動バンドの冷却が行なわれる範囲は、前記流延エリアまたは前記減圧エリアよりも前記移動バンドの移動方向下流側であることを特徴とする請求項10記載の溶液製膜方法。前記流出したドープが前記移動バンドに到達する位置から前記膜乾燥工程での前記流延膜における発泡限界位置までの前記溶接ラインを冷却することを特徴とする請求項1ないし11のうちいずれか1項記載の溶液製膜方法。前記剥取工程の後であって次の前記膜形成工程の前に、前記溶接ラインを冷却することを特徴とする請求項1ないし12のうちいずれか1項記載の溶液製膜方法。金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなり直径70μm未満のピンホールを含む溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドと、前記ローラにより支持された前記移動バンドに向けてポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出する流出口を備え、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する流延ダイと、前記流延ダイよりも前記移動バンドの移動方向下流側に配され前記移動バンドを加熱して、前記流延膜から前記溶剤を蒸発させる加熱手段と、前記加熱手段よりも前記移動方向下流側に配され前記移動バンドから前記流延膜を剥ぎ取る剥取手段とを有し、前記流延エリアにおける前記ローラからの前記移動バンドの流延浮き量が0.1mm以下であることを特徴とする溶液製膜設備。金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなる溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドと、前記ローラにより支持された前記移動バンドに向けてポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出する流出口を備え、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する流延ダイと、前記流出口よりも前記移動方向上流側に配され、前記移動バンドの表面に向かって開口する吸気口を備え、前記ドープによって前記流出口から前記移動バンドの表面にかけて形成されたビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧チャンバと、前記流延ダイよりも前記移動バンドの移動方向下流側に配され前記移動バンドを加熱して、前記流延膜から前記溶剤を蒸発させる加熱手段と、前記加熱手段よりも前記移動バンドの移動方向下流側に配され前記移動バンドから前記流延膜を剥ぎ取る剥取手段とを有し、前記移動バンドのうち前記減圧チャンバにより覆われた部分における前記ローラからの減圧浮き量が0.1mm以下であることを特徴とする溶液製膜設備。前記溶接ラインには、直径70μm未満のピンホールが含まれることを特徴とする請求項15記載の溶液製膜設備。前記長手方向への移動テンションを前記移動バンドに加える移動テンション印加手段と、前記移動テンションの大きさを調節する移動テンション調節手段とを有し、前記移動テンション調節手段は、前記移動テンションの増大により、前記浮き量を小さくすることを特徴とする請求項14ないし16のうちいずれか1項記載の溶液製膜設備。前記移動テンション印加手段は、前記移動バンドを支持した前記ローラを移動可能なローラ移動手段を有することを特徴とする請求項17記載の溶液製膜設備。前記移動バンドのうち、前記ローラに支持された場合に前記浮き量が0より大きい部分を含み長手方向に延びるバンド部を冷却するバンド冷却手段を有することを特徴とする請求項14ないし18のうちいずれか1項記載の溶液製膜設備。前記バンド冷却手段は、前記流延エリアまたは前記減圧エリアよりも前記移動方向下流側に設けられたことを特徴とする請求項19記載の溶液製膜設備。前記溶接ラインを冷却する溶接ライン冷却手段を備えることを特徴とする請求項14ないし20のうちいずれか1項記載の溶液製膜設備。金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなり溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドのうち前記ローラにより支持された部分に向けて、流延ダイの流出口からポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出し、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する膜形成工程と、前記移動バンドの加熱により前記流延膜から溶剤を蒸発させる膜乾燥工程と、前記膜乾燥工程を経た前記流延膜を前記移動バンドから剥ぎ取ってフィルムとする剥取工程と、前記溶接ラインを冷却する溶接ライン冷却工程とを有することを特徴とする溶液製膜方法。ところが、特許文献1に記載のバンドを用いて溶液製膜方法を行うと、発泡故障、剥げ残り故障、フィルムの厚みムラが多発した。発明者らの鋭意検討の結果、次のことがわかった。特許文献1に記載のバンドは、長手方向に延びる溶接ラインに起因して、幅方向にて反りが起こりやすい。特に、バンドの幅方向端部、すなわち、中央部バンドから側部バンドにかけて反りが起こりやすい。幅方向端部が反ったバンドを用いて溶液製膜方法を行えば、この反りに起因して、流延膜の厚みムラが生じる。このような厚みムラが生じた流延膜を乾燥しても、厚みムラが生じたフィルムとなってしまう。更に、厚みムラが生じた流延膜を剥ぎ取る際には、剥げ残り故障が生じやすくなる。また、厚みムラが生じた流延膜を乾燥する場合には、発泡が生じやすくなる。反りによって湾曲したバンドの内側の面が駆動ローラの周面と接触するようにバンドを駆動ローラに掛け渡した場合、バンドの側部では、バンド端が局所的に駆動ローラの周面に接触することとなる。バンド端が局所的に駆動ローラの周面に接触する状態が継続されれば、バンドの側部の変形が増大するため、上述した厚みムラに起因する問題が起こりやすくなる。更に、特許文献1に記載のバンドは、ドープが流延される表面に溶接ラインが露出する。そして、溶接ラインには、他の部分に比べ直径の大きなピンホールが存在する。このため、流延膜のうち溶接ライン上に形成された部分は、ピンホールの存在に起因して剥げ残りが起こりやすい。本発明は、従来よりも幅の広いバンドを用いて、厚みムラを抑えつつ効率よくフィルムを製造することができる溶液製膜方法を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明の溶液製膜方法は、金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなり直径70μm未満のピンホールを含む溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドのうち前記ローラにより支持された部分に向けて、流延ダイの流出口からポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出し、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する膜形成工程と、前記移動バンドの加熱により前記流延膜から溶剤を蒸発させる膜乾燥工程と、前記膜乾燥工程を経た前記流延膜を前記移動バンドから剥ぎ取ってフィルムとする剥取工程とを有し、前記流延エリアにおける前記ローラからの前記移動バンドの流延浮き量が0.1mm以下であることを特徴とする。また、本発明の溶液製膜方法は、金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなる溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドのうち前記ローラにより支持された部分に向けて、流延ダイの流出口からポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出し、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する膜形成工程と、前記移動バンドの加熱により前記流延膜から溶剤を蒸発させる膜乾燥工程と、前記膜乾燥工程を経た前記流延膜を前記移動バンドから剥ぎ取ってフィルムとする剥取工程とを有し、前記膜形成工程では、前記流出口よりも前記移動方向上流側に配され、前記移動バンドの表面に向かって開口する吸気口を備えた減圧チャンバを用いて、前記ドープによって前記流出口から前記移動バンドの表面にかけて形成されたビードの前記移動方向上流側を減圧し、前記移動バンドのうち前記減圧チャンバにより覆われた部分における前記ローラからの減圧浮き量が0.1mm以下であることを特徴とする。前記溶接ラインには、直径70μm未満のピンホールが含まれていてもよい。前記膜形成工程の前に行われ、前記ローラからの前記移動バンドの浮き量を検知する浮き量検知工程を有することが好ましい。また、前記浮き量検知工程及び前記膜形成工程の間で行われ、前記流延浮き量が0.1mm以下となるように、前記検知した浮き量に基づいて前記流延エリアを設定する流延エリア設定工程を有することが好ましい。前記浮き量検知工程及び前記膜形成工程の間で行われ、前記減圧浮き量が0.1mm以下となるように、前記検知した浮き量に基づいて、前記移動バンドの幅方向における前記吸気口の長さを調節する減圧エリア調節工程を有することが好ましい。前記浮き量検知工程の後であって、前記流延エリア設定工程または前記減圧エリア調節工程の前に行われ、前記浮き量を小さくする浮き量減少工程を有することが好ましい。前記浮き量減少工程では前記移動テンションを増大させることが好ましい。前記浮き量減少工程では、前記移動バンドのうち、前記ローラに支持された場合に前記浮き量が0より大きい部分を含み長手方向の延びるバンド部を冷却することが好ましい。前記浮き量減少工程では、前記移動バンドのうち前記流延エリアまたは前記減圧エリアを除く部分を冷却することが好ましい。前記移動バンドの冷却が行なわれる範囲は、前記流延エリアまたは前記減圧エリアよりも前記移動バンドの移動方向下流側であることが好ましい。前記流出したドープが前記移動バンドに到達する位置から前記膜乾燥工程での前記流延膜における発泡限界位置までの前記溶接ラインを冷却することが好ましい。前記剥取工程の後であって次の前記膜形成工程の前に、前記溶接ラインを冷却することが好ましい。本発明の溶液製膜設備は、金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなり直径70μm未満のピンホールを含む溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドと、前記ローラにより支持された前記移動バンドに向けてポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出する流出口を備え、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する流延ダイと、前記流延ダイよりも前記移動バンドの移動方向下流側に配され前記移動バンドを加熱して、前記流延膜から前記溶剤を蒸発させる加熱手段と、前記加熱手段よりも前記移動方向下流側に配され前記移動バンドから前記流延膜を剥ぎ取る剥取手段とを有し、前記流延エリアにおける前記ローラからの前記移動バンドの流延浮き量が0.1mm以下であることを特徴とする。また、本発明の溶液製膜設備は、金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなる溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドと、前記ローラにより支持された前記移動バンドに向けてポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出する流出口を備え、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する流延ダイと、前記流出口よりも前記移動方向上流側に配され、前記移動バンドの表面に向かって開口する吸気口を備え、前記ドープによって前記流出口から前記移動バンドの表面にかけて形成されたビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧チャンバと、前記流延ダイよりも前記移動バンドの移動方向下流側に配され前記移動バンドを加熱して、前記流延膜から前記溶剤を蒸発させる加熱手段と、前記加熱手段よりも前記移動バンドの移動方向下流側に配され前記移動バンドから前記流延膜を剥ぎ取る剥取手段とを有し、前記移動バンドのうち前記減圧チャンバにより覆われた部分における前記ローラからの減圧浮き量が0.1mm以下であることを特徴とする。前記溶接ラインには、直径70μm未満のピンホールが含まれていてもよい。前記長手方向への移動テンションを前記移動バンドに加える移動テンション印加手段と、前記移動テンションの大きさを調節する移動テンション調節手段とを有し、前記移動テンション調節手段は、前記移動テンションの増大により、前記浮き量を小さくすることが好ましい。また、前記移動テンション印加手段は、前記移動バンドを支持した前記ローラを移動可能なローラ移動手段を有することが好ましい。前記移動バンドのうち、前記ローラに支持された場合に前記浮き量が0より大きい部分を含み長手方向に延びるバンド部を冷却するバンド冷却手段を有することが好ましい。また、前記バンド冷却手段は、前記流延エリアまたは前記減圧エリアよりも前記移動方向下流側に設けられたことが好ましい。前記溶接ラインを冷却する溶接ライン冷却手段を備えることが好ましい。本発明の溶液製膜方法は、金属製の中央ウェブ及びこの中央ウェブの幅方向両側に溶接された金属製の側ウェブからなり溶接ラインが表面に露出しローラに掛け渡されながら長手方向に移動する移動バンドのうち前記ローラにより支持された部分に向けて、流延ダイの流出口からポリマー及び溶剤を含むドープを連続して流出し、前記表面に設定され前記溶接ラインを含む流延エリア上に前記ドープからなる流延膜を形成する膜形成工程と、前記移動バンドの加熱により前記流延膜から溶剤を蒸発させる膜乾燥工程と、前記膜乾燥工程を経た前記流延膜を前記移動バンドから剥ぎ取ってフィルムとする剥取工程と、前記溶接ラインを冷却する溶接ライン冷却工程とを有することを特徴とする。本発明によれば、厚みムラを抑えつつ、従来よりも幅が広い長尺のフィルムを効率よく製造することができる。従来の移動バンド幅が2m以下のものにも溶接ラインが存在していたが、この溶接ラインは幅方向に延びるものである。このような移動バンドを用いて得られたフィルムにおいて、溶接ラインに起因する厚みムラ等の悪影響が及んだ部分は、溶接ラインと同様に幅方向に延びる。したがって、得られた帯状のフィルムを幅方向で裁断することで、悪影響が及んだ部分を製品フィルムから取り除くことが容易であった。一方、長手方向に延びる溶接ラインを有する移動バンドを用いる場合には、従来の移動バンドと異なり、溶接ラインに起因して悪影響が及んだ部分を取り除くことが容易ではない。本発明によれば、流延膜のうち溶接ライン上に形成された部分を、製品用のフィルムに含めることができる。図1及び図2に示すバンド製造設備10は、長尺の中央部材12と、中央部材12の幅方向両側に設けられる側部材11とからなる長尺のバンド部材13をつくるものである。側部材11と中央部材12とは、それぞれ金属製のシート材である。側部材11は相対的に幅が狭い幅狭のシート材である。側部材11と中央部材12とは、互いに同じ素材から形成されることが好ましく、互いに同一の原料及び形成工程を経て形成されることがより好ましい。例えば、側部材11及び中央部材12として、ステンレス鋼から形成されたもの用いることが好ましい。中央部材12としては、従来の流延支持体として用いられてきたバンドを用いてよい。中央部材12は、側部材11よりも幅が広く、本実施形態における中央部材12の幅は1500mm以上2100mm以下の範囲で一定であり、側部材11の幅は50mm以上500mm以下の範囲で一定である。バンド製造設備10は、送出部16と、突き合わせ部17と、溶接ユニット18と、加熱部19と、巻取装置20とを備える。送出部送出部16は、側部材11を送り出す第1送出装置23と、中央部材12を送り出す第2送出装置24とを有し、側部材11と中央部材12とをそれぞれ独立して突き合わせ部17に送る。第1送出装置23には、ロール状に巻かれた側部材11がセットされ、側部材11を巻き出して突き合わせ部17に送る。第2送出装置24には、ロール状に巻かれた中央部材12がセットされ、中央部材12を巻き出して突き合わせ部17に送る。突き合わせ部17は、側部材11の側縁11eと中央部材12の側縁12eとが互いに接するように、独立して案内されてくる側部材11と中央部材12とを突き合わせる。突き合わせ部17は、中央部材12の搬送路に上流側から順に配される第1ローラ26と第2ローラ27、側部材11の搬送路に配される第3ローラ28、側部材11と中央部材12との両方を支持するように搬送路に配される第4ローラ29を有することが好ましい。第4ローラ29は、側部材11の一方の側縁と中央部材12の一方の側縁とが接触を開始する突き合わせ位置Phにおいて、送られてきた側部材11と中央部材12とを支持する突き合わせ支持ローラである。第2ローラ27と第3ローラ28とは、第4ローラ29の周面で中央部材12と側部材11とが接触するように中央部材12の搬送経路と側部材11の搬送経路とをそれぞれ調整する。第2ローラ27は、中央部材12の搬送経路を調整して、側部材11と溶接されるべき側縁12eの通過経路を、突き合わせ位置Phに向けて制御する。第2ローラ27は、中央部材12の幅方向Yに移動自在となっている。シフト機構32は、第2ローラ27を幅方向Yへ移動する。第2ローラ27と第4ローラ29との間には、中央部材12の各側縁12eのうちの一方の通過位置を検出し、検出した通過位置の信号をコントローラ33に送る位置検出手段34が配される。コントローラ33は、送られてきた通過位置の信号に基づき、幅方向Yにおける第2ローラ27の変位量を求め、変位量の信号をシフト機構32に送る。シフト機構32は、送られてきた変位量の信号に基づき第2ローラ27の傾きや中央部材12の幅方向Yにおける第2ローラ27の位置を変える。このように第2ローラ27の傾きや位置を変えることにより、中央部材12が幅方向Yに変位する。第1ローラ26には、シフト機構37が設けられていることが好ましい。このシフト機構37により、第1ローラ26は、第2ローラ27に向かう中央部材12を一方の部材面から押す。この第1ローラ26の変位量に応じて、第1ローラ26の中央部材12に対する押し圧が変わり、押し圧を調整することにより、第2ローラ27に巻き掛ける中央部材12の巻き掛け中心角を制御することができる。この巻き掛け中心角の制御により、第2ローラ27による中央部材12の幅方向Yでの変位量をより精緻に制御することができる。第3ローラ28は、側部材11の搬送経路を調整して、中央部材12と溶接されるべき一方の側縁11eの通過経路を突き合わせ位置Phに向けて調整する。第3ローラ28には、長手方向の向きを制御するコントローラ38が備えられる。このコントローラ38は、例えば、側部材11と接触している間の接触領域における周方向と中央部材12の搬送方向Xとのなす角θ1が変化するように、第3ローラ28の長手方向を側部材11の部材面に沿って変化させる。以上のように第1ローラ26~第3ローラ28を用いて、突き合わせ位置Phが第4ローラ29上になるように制御することが好ましい。第1ローラ26~第3ローラ28は、いずれも周方向に回転する駆動ローラであることが好ましい。周方向に回転することにより、第1ローラ26及び第2ローラ27は、中央部材12の搬送手段としても作用し、第3ローラ28は、側部材11の搬送手段としても作用する。第1ローラ26~第3ローラ28を駆動ローラとすることにより、側部材11と中央部材12との搬送路の制御がより確実になるとともに、側部材11と中央部材12との第1ローラ26~第3ローラ28上でのスリップを防止して部材面に傷がつくことが防止される。溶接ユニット溶接ユニット18は、互いの側縁11e,12eが接触した状態で突き合わせ部17から供給される側部材11と中央部材12とを溶接する。突き合わせ部17から連続的に供給されることにより、側部材11と中央部材12とを長手方向で溶接する長手溶接工程を行うことができる。溶接ユニット18は、溶接装置42を備える。溶接装置42としては、例えば、レーザ溶接装置が挙げられる。レーザ溶接装置としては、例えば、CO2レーザ溶接装置や、YAGレーザ溶接装置を用いることができる。本実施態様では、CO2レーザ溶接装置を溶接装置42として用いた場合を説明する。溶接装置42は、集光したレーザ光を射出して、照射対象としての側部材11及び中央部材12にレーザ光を照射することにより、側部材11と中央部材12とを溶融して接合する。溶接装置42は、レーザ発振器43と、このレーザ発振器43から案内されてきたレーザ光を集光して射出する溶接装置本体46と、レーザ光を照射するにあたりCO2ガスを供給するガス供給部図示無しとを備える。CO2ガスは、側部材11と中央部材12との酸化を防止する。なお、図2においては、図の煩雑化を避けるためにレーザ発振器43の図示は略してある。レーザ溶接装置に代えてTIG溶接TungstenInertGaswelding装置を用いてもよい。TIG溶接とは、周知のように、アークを熱源とする溶接アーク溶接のひとつであり、シールドガスとしてイナートガス不活性ガスを用い、電極にはタングステンあるいはタングステン合金を用いるイナートガスアーク溶接の一種である。TIG溶接よりもレーザ溶接の方がより好ましい。また、TIG溶接とレーザ溶接とを組み合わせたハイブリッド溶接としてもよい。溶接装置本体46のレーザ光の射出口に対向するように、側部材11と中央部材12との搬送路には側部材11と中央部材12とを周面で支持する溶接支持ローラ41が備えてある。溶接支持ローラ41の回転軸は、側部材11及び中央部材12の幅方向Yと平行である。溶接支持ローラ41の周面で支持されている間の側部材11と中央部材12とにレーザ光が照射されるように、溶接支持ローラ41による側部材11と中央部材12との支持位置を設定することが好ましい。すなわち、溶接支持ローラ41上で、溶接をすることが好ましい。これにより、互いに側縁11e,12eが接した状態で側部材11と中央部材12とが安定し、照射すべき箇所にレーザ光を確実に照射することができる。溶接装置本体46には、幅方向Yに変位するためのシフト機構50が備えられることが好ましい。溶接装置42の上流側には、側部材11の側縁11eと中央部材12の側縁12eとが接している接触位置Ps図5参照を検出し、検出した接触位置Ps図5参照の信号をコントローラ51に送る位置検出手段47が設けてある。位置検出手段47は、突き合わせ位置Phから溶接装置42例えば、溶接位置Pwに至る搬送路近傍に配されてあればよい。コントローラ51は、送られてきた接触位置Ps図5参照の信号に基づき、幅方向Yにおける溶接装置本体46の変位量を求め、変位量の信号をシフト機構50に送る。コントローラ51は、側部材11と中央部材12との搬送速度の信号が入力されると、溶接装置本体46を変位させるべき変位量の信号とともに変位させるタイミングの信号とをシフト機構50に送る。シフト機構50は、送られてきた変位量及び変位のタイミングの信号に基づき、溶接装置本体46の位置を所定のタイミングで変える。このように溶接装置本体46の位置を幅方向Yで変えることにより、レーザ光の照射位置をより精緻に制御して、より確実に、側部材11と中央部材12とが溶接される。なお、本実施形態における溶接装置42への側部材11と中央部材12との搬送速度は0.15m/分以上20m/分以下の範囲としてある。溶接ユニット18には、図1に示すように、溶接装置本体46と溶接支持ローラ41とを外部空間と仕切るチャンバ52と、気体を清浄化する清浄装置55とを設けることがより好ましい。なお、図2においては、図の煩雑化を避けるためにチャンバ52と清浄装置55との図示は略してある。チャンバ52には、内部気体を外部に出す第1開口図示無しと、清浄装置55で清浄化された気体を内部に案内する第2開口図示無しとが設けられる。第1開口と第2開口とは、それぞれ清浄装置55に接続する。チャンバ52の内部気体は、第1開口から清浄装置55に案内され、清浄装置55はチャンバ52から案内されてきた気体を清浄化して第2開口を介してチャンバ52に送る。このように、チャンバ52の内部気体は、清浄装置55との間で循環される。チャンバ52の内部気体を清浄化しておくことにより、溶接位置Pw及びその周辺が清浄化され、溶接部13wに異物等が混入されてしまうことが防止される。なお、チャンバ52の内部の圧力が、外部空間の圧力よりも高く保持することにより、チャンバ52の内部を清浄化した状態により確実に保持することができる。また、溶接位置Pwを、送出部16、突き合わせ部17、加熱部19、巻取装置20に対して相対的に高い位置にすることにより、これらから異物が案内されることをより防止することができる。チャンバ52の内部の清浄度は、例えば、米国連邦規格FED-STD-209Dでのクラス1000以下とすることが好ましく、クラス100以下にすることがより好ましい。加熱部加熱部19は、溶接ユニット18よりも下流側に設けられることが好ましい。加熱部19は、溶接により得られたバンド部材13の溶接部13wを一定の温度範囲になるように加熱するものであれば特に限定されない。溶接部13w及びその周辺には、溶接により生じたひずみに起因する応力が内部に残っていることがある。このような溶接部13wやその周辺を加熱部19により加熱することにより応力を除去することができる。この応力の除去により、長時間連続して溶液製膜方法を行う場合であっても、溶接部13wの変形を抑えることができる。加熱部19の加熱による溶接部13wの温度は、応力が除去される温度であれば特に限定されないが、例えばバンド部材13がステンレス鋼からなる場合には、溶接部13wの温度は、100°C以上200°C以下であることが好ましく、120°C以上180°C以下であることがより好ましい。加熱部19としては、例えば、送風手段がある。加熱部19としての送風手段は、図1に示すように、一定の温度の気体を吹き出すダクト56と、気体の温度を制御した上でこの気体をダクト56に送り込む送風機57とがある。なお、図2においては、図の煩雑化を避けるためにダクト56と送風機57との図示は略してある。加熱部19は、バンド部材13の搬送路に関し、図1のように溶接支持ローラ41とは反対側に設けてもよいし、溶接支持ローラ41と同じ側に設けてもよい。応力を除去されたバンド部材13は、加熱部19の下流の巻取装置20に送られ、ロール状に巻き取られる。巻取装置20には、バンド部材13を巻き取る巻き芯がセットされ、この巻き芯を周方向に回転させる駆動手段が設けられている。巻取装置20は、溶接位置Pwにおけるバンド部材13と側部材11及び中央部材12との張力を制御する溶接張力制御手段としても作用する。そこで、溶接位置Pwにおけるバンド部材13と側部材11及び中央部材12との張力が一定に保持されるように、巻取装置20のトルクを制御することが好ましい。これにより、溶接部13wを長手方向において一定の状態にすることができる。溶接を開始する場合には、例えば、巻取装置20を用いて以下のようにすると好ましい。まず、送出部16から巻取装置20に至る搬送路に側部材11と中央部材12とをセットし、側部材11と中央部材12との各先端を巻取装置20の巻き芯に巻き掛ける。側部材11と中央部材12との巻取を開始する。巻取を開始して、側部材11と中央部材12との搬送の経路を制御して突き合わせ位置Phを所定位置に保持する。側部材11と中央部材12との突き合わせ位置Phが一定に保持されるようになった後に、溶接装置42により溶接を開始する。ずれ防止溶接は、側部材11と中央部材12とバンド部材13との位置ずれを抑止しながら実施することが好ましい。例えば、溶接ユニット18に代えて、押圧装置を備える図3及び図4に示すような溶接ユニット61を用いてもよい。溶接ユニット61は、図1及び図2に示す溶接ユニット18に、押圧装置62をさらに備えたものであり、シフト機構50、コントローラ51、チャンバ52、清浄装置55を溶接ユニット18と同様に備えるが、図示の煩雑化を避けるため図3及ぶ図4ではこれらの図示を略してある。また、図1及び図2と同じ装置、部材については図1及び図2と同じ符号を付し、説明を略す。なお、溶接ユニット61では、チャンバ52は、押圧装置62と溶接支持ローラ41とを外部空間と仕切るように囲む。押圧装置62は、溶接位置Pwにおける側部材11と中央部材12とバンド部材13との位置ずれを抑止するものであり、第1ベルト63及び第2ベルト64とからなる1対のベルトにより、溶接支持ローラ41上の側部材11と中央部材12とバンド部材13とを押さえる。第1ベルト63と第2ベルト64とは、環状に形成された無端のベルトである。第1ベルト63と第2ベルト64とは、第5ローラ67~第7ローラ69の周面に、第5ローラ67~第7ローラ69の各長手方向に並ぶように巻き掛けられる。第5ローラ67~第7ローラ69のうち少なくともいずれかひとつのローラは、周方向に回転する駆動ローラとされる。この駆動ローラの回転によって、第1ベルト63と第2ベルト64とは、互いに平行な搬送路を保持しながら、搬送される。第5ローラ67~第7ローラ69は、回転軸が溶接支持ローラ41の回転軸と平行となるように配される。第5ローラ67~第7ローラ69は、側部材11と中央部材12との搬送路に関し、第4ローラ29と溶接支持ローラ41とが配されてある側とは反対側の領域に配される。第5ローラ67は、第4ローラ29から溶接支持ローラ41へ向かう側部材11と中央部材12との搬送路に対向するように設けられる。第6ローラ68は、溶接支持ローラ41から加熱部19に向かう側部材11と中央部材12との搬送路に対向するように設けられる。第7ローラ69は、第6ローラ68から第5ローラ67へ向かう第1ベルト63と第2ベルト64との搬送路を決定するように、適宜配される。第5ローラ67と第6ローラ68とは、第5ローラ67から第6ローラ68に向かう第1ベルト63と第2ベルト64とが、溶接支持ローラ41上の側部材11と中央部材12とバンド部材13とを押圧するように搬送されるように配される。例えば、溶接支持ローラ41上の側部材11と中央部材12とを上方から溶接する場合には、第5ローラ67と第6ローラ68とは、これらの各下端が、溶接支持ローラ41の上端よりも低い位置となるように配される。第5ローラ67と第6ローラ68とは、第1ベルト63の搬送路が側部材11と側部材11から形成されるバンド部材13の側部13sとの搬送路と対向するように、また、第2ベルト64の搬送路が中央部材12と中央部材12から形成されるバンド部材13の中央部13cとの搬送路に対向するように、設けられる。これにより、第1ベルト63は側部材11と側部13sとを、第2ベルト64は中央部材12と中央部13cとを、それぞれ溶接支持ローラ41に押圧する。以上のように、第1ベルト63と第2ベルト64とは、それぞれ溶接支持ローラ41にそれぞれ対向して設けられ、溶接位置Pwにおける側部材11と中央部材12との高さが等しくなるように押圧する。側部材11と中央部材12との高さとは、各部材11,12の表面の高さである。このように高さが等しくなるように側部材11と中央部材12とを押さえ、この状態で溶接を実施することにより、溶接部13wの態様が長手方向でより均一になるとともに、溶接をより確実に行うことができる。図5及び図6を参照しながら、長手溶接工程についてさらに詳細に説明する。第1ベルト63と第2ベルト64とは、互いに離れた状態で搬送される。第1ベルト63と第2ベルト64とは、溶接位置Pwが第1ベルト63と第2ベルト64との隙間を通過するように搬送路が設定される。これにより、側部材11の側縁11eと中央部材12の側縁12eとが接している接触位置Psは、図5に示すように第1ベルト63と第2ベルト64との隙間を通過し、第1ベルト63と第2ベルト64との間で溶接される。なお、図5においては溶接装置本体46の図示を略してある。第1ベルト63と第2ベルト64との間隔D1は、6mm以上12mm以下の範囲とすることが好ましい。側部材11と中央部材12との幅方向Yにおける断面において、接触位置Psと第1ベルト63との距離D2、及び、接触位置Psと第2ベルト64との距離D3は、それぞれ3mm以上6mm未満の範囲とすることが好ましい。押圧装置62に代えて、溶接支持ローラ41の回転軸と平行な回転軸を有するローラ図示無しを溶接装置本体46の上流と下流とにそれぞれ配してもよい。この場合には、上流の一方のローラで側部材11と中央部材12と押さえ、下流の他方でバンド部材13を押さえることにより、溶接位置Pwにおける側部材11と中央部材12とを押圧することができる。図6に示すように、接触位置Ps及びこの周辺には溶接装置42の熱により溶解されて溶接ビード72が形成される。この溶接ビード72から両側に熱が伝わり、側部材11と中央部材12とのそれぞれに溶接での熱の影響を受ける熱影響領域73が生じる。この熱影響領域73は、熱影響をうけない他の領域とは異なる性状をただちに示したり、経時的に示すようになったりすることがある。例えば、このように熱影響が幅広く生じたものを流延支持体として用いると、溶液製膜方法を長時間連続して行う場合に、溶接部13wが変形する、あるいは、流延膜が発泡するなどの弊害が生じる。そこで、図5に示すように、溶接支持ローラ41の周面のうち、接触位置Psが通過する通過領域には、側部材11及び中央部材12よりも熱伝導率が高い素材からなる高熱伝導部71が形成されていることが好ましい。これにより、溶接装置42図3、図4参照からの熱をよりはやく拡散させることができる。熱をよりはやく溶接支持ローラ41側で拡散させるために、側部材11と中央部材12との熱影響領域73の幅をより小さくしたり熱影響領域73の深さも浅くすることができる。高熱伝導部71とされる通過領域の幅D4は26mm以上32mm以下の範囲であることが好ましい。さらに、第1ベルト63及び第2ベルト64の両面にも、側部材11及び中央部材12よりも熱伝導率が高い素材からなる高熱伝導部が形成されていることがより好ましい。これにより、熱影響領域73の大きさを、幅方向または厚み方向において小さくすることができる。側部材11の側縁11eと中央部材12の側縁12eとは、溶接位置Pwにおいて隙間が0ゼロになるように密着した状態であることが好ましい。そこで、側部材11と中央部材12とは、各側縁11e及び12eを突き合わせたときに隙間が生じないような形状に予め形成されてあることが好ましい。これにより、溶接部に空隙がないバンド部材をより確実に製造することができる。上記の長手溶接工程は、側部材11と中央部材12との長手方向に連続して溶接を実施する連続溶接工程のみであってもよいし、これに加えて、断続的に溶接を実施する断続溶接工程を実施してもよい。断続的に溶接すると、溶接装置42に連続的に送られてくる側部材11と中央部材12とは、間欠的に溶接される。このような断続溶接工程は、連続溶接工程の前に行うことが好ましい。この場合には、断続溶接工程で、まず、側部材11と中央部材12とを仮接合し、その後、連続溶接工程で長手方向全域に亘り接合するとよい。断続溶接工程で仮接合し、その後連続溶接工程で接合を行う場合には、突き合わせ部17図1,図2参照から溶接ユニット18に側部材11と中央部材12とを案内して断続的に溶接する。なお、側部材11と中央部材12とに、後の流延支持体として用いる際の流延面に対応する表面と、非流延面に対応する裏面とを設定してある場合には、断続溶接工程での溶接は、裏面に対して行うことが好ましい。そこで、裏面が溶接装置本体46図1参照に対向して通過するように、側部材11と中央部材12とを搬送する。断続溶接工程を行った後に、巻取装置20に案内して巻き取る。なお、巻取前に溶接部に対して加熱部19により加熱してもよい。断続溶接工程を経て巻き取られた側部材11と中央部材12とからなる仮接合部材図示無しを、送出装置図示無しにより巻きだして溶接ユニット18に再び送る。この送り出しは、仮溶接部材の表面が溶接装置本体46図1参照に対向して通過するように行う。溶接ユニット18では連続溶接を行い、バンド部材13を得る。なお、この方法に代えて、ふたつの溶接ユニット18を相対的に上流と下流とに並べて配し、上流の一方の溶接ユニット18で断続溶接を実施し、下流の他方の溶接ユニット18で連続溶接を実施してもよい。溶接を行うと溶接ビード72が側部材11と中央部材12とよりも盛り上がって形成される場合がある。そこで、以上のように一方の面を長手方向で溶接する第1工程と他方の面を長手方向で溶接する第2工程とを実施する場合において用いる溶接支持ローラ41には、図5に示すように、溶接支持ローラ41の周面のうち接触位置Psが通過する通過領域に、溝76が形成されてあることが好ましい。第1工程で盛り上がった溶接ビート72から形成された溶接部が、この溝76を通過するように、側部材11と中央部材12とを搬送して第2工程を実施するとよい。これにより、より平滑で、残留応力がより少ないバンド部材13を得ることができる。したがって、溶液製膜で用いても流延支持体としてのバンドに変形や、性状の変化がより少なく、流延膜が発泡せず、厚みのむらがないフィルムをより確実に製造することができる。溝76の幅D5は、6mm以上12mm以下の範囲であることが好ましく、溝の深さD6は、1mm程度でよい。以上の実施形態では突き合わせ部17における側部材11の搬送経路を調整する手段として第3ローラ28を用いるが、第3ローラ28に代えて、図7に示すようなテーパローラ81を用いてもよい。テーパローラ81は、一端から他端に向けて径dが連続的に漸減するように形成された断面円形のローラである。径dは、一端から他端に向けて一定の割合で連続的に漸減する。径dの大きい一端が中央部材12の搬送路に向き、径dの小さい他端が中央部材12とは反対側側部材11の搬送路側に向くように、テーパローラ81を配する。搬送されている側部材11は、このテーパローラ81に接触することにより、搬送の経路を中央部材12に向かう矢線Aの方向に変え、中央部材12に寄るようになる。これにより、突き合わせ位置Ph図1、図2参照に向けて側部材11は確実に搬送される。テーパローラ81には、周方向に回転する駆動手段82が備えられていることが好ましい。回転軸は、一端面の中央と他端面の中央とを挿通して形成されてある。駆動手段82で回転するテーパローラ81により側部材11を搬送することにより、側部材はより効果的に中央部材12に寄るようになる。第3ローラ28に代えて、図8に示すような把持手段としてのクリップ85を用いてもよい。クリップ85は、コの字状に開いたクリップ本体86と、クリップ本体86の各先端部に設けられた1対の狭持ピン87とを備え、側部材11を狭持して把持する。狭持ピン87は、側部材11を狭持する狭持位置と、狭持位置から退避する退避位置との間で移動自在に設けられる。クリップ85は、移動機構88を備え、把持を開始する把持開始位置と、把持を解除する把持解除位置との間で移動自在とされる。また、クリップ85は、幅方向Yにも移動自在とされる。クリップ85は、把持開始位置で狭持ピン87が狭持位置に移動することにより側部材11を把持する。クリップ85は、側部材11を把持した状態で中央部材12に向かう方向Aに寄せつつ、下流へと搬送する。テーパローラ81とクリップ85とは、側部材11を中央部材12へ寄せるために用いる他に、中央部材12を側部材11に寄せるために用いてもよい。この場合には、テーパローラ81、クリップ85で中央部材12を支持あるいは搬送するとよい。上記の実施形態では、中央部材12に両側部材11を同時に溶接しているが、一方の側部材11を中央部材12に溶接した後に、他方の側部材11を中央部材12に溶接してもよい。バンド図9に示すように、流延支持体として用いるバンド91は、環状にされた無端のバンドである。バンド91は、バンド部材13の長手方向における一端と他端とを溶接してなる。なお、バンド91をつくるためのバンド部材13は、所定の長さにカットしても良いし、あらかじめ所定の長さにカットされた側部材11と中央部材12とからバンド部材13を作った場合は、カットせずにそのまま、バンド91をつくってもよい。当該溶接部におけるピンホールの直径は40μm未満であることが好ましい。バンド部材13は、幅方向Yと交差する方向でカットすることが好ましい。カットの方向は、幅方向Yとなす角が概ね5°以上15°以下の範囲となるようにカットすることがより好ましい。このようにカットしたバンド部材13の長手方向における先端と先端とを溶接した溶接部91vと、幅方向Yとのなす角θ2は、概ね5°以上15°以下の範囲となる。このように長尺のバンド部材13を環状にする環状溶接工程では、長手溶接工程で用いた溶接装置42を用いてもよいし、公知の他の溶接装置を用いてもよい。溶接により製造されたバンド91は、側部材11図1~図8参照から形成された側部91sと、中央部材12図1~図8参照から形成された中央部91cとからなり、側部91s及び中央部91cの溶接部91wは表面91aや裏面91bに露出する。溶接部91wは、溶接部13wに相当する部分である。線状の溶接部91wは、バンド91の長手方向と平行となるように設けられることが好ましい。このように得られるバンド91の幅は、2000mm以上3000mm以下の範囲である。得られたバンド91は、表面を研磨して鏡面にした後、溶液製膜設備に用いられる。次に、溶液製膜設備において、フィルムを製造する方法について以下に説明する。ポリマーの種類は特に限定されず、溶液製膜でフィルムにすることができる公知のポリマーを用いてよい。以下の実施形態では、ポリマーとしてセルロースアシレートを用いた場合を例にして説明する。溶液製膜設備図10及び図11に示すように、溶液製膜設備110は、セルロースアシレート111が溶剤112に溶解したドープ113からフィルム116を形成するフィルム形成装置117と、フィルム116の各側部を保持手段119で保持しながら乾燥をすすめる第1テンタ120と、フィルム116を複数のローラ122で支持しながら乾燥するローラ乾燥装置124と、フィルム116の各側部を保持手段で保持し、幅方向への張力をフィルム116に付与する第2テンタ125と、第2テンタ125の保持手段により保持された各耳部を切除するスリッタ126と、耳部を切除されたフィルム116を巻き芯に巻いてロール状にする巻取装置127とを上流側から順に備える。フィルム形成装置フィルム形成装置117は、周方向に回転する1対のローラ131、132を備える。1対のローラ131、132は、水平面上において互いに平行となるように並べられ、ローラ131とローラ132との周面には、バンド91が巻き掛けられる。ローラ131はドライブローラであり、ローラ132はフリーローラである。ローラ131,132には、周面温度を所定の温度に制御する第1コントローラ図示せず及び第2コントローラ図示せずがそれぞれ備えられる。フィルム形成装置117には、バンド91の移動方向上流側から下流側に向かって、ドープ113を流出する流延ダイ133と、膜乾燥装置と、剥取ローラ135とが順次設けられる。流延ダイ流延ダイ133は、ローラ131に支持されたバンド91の表面91aに対しドープ113を流出するものであり、ドープ113を流出する流出口133aを先端に備える。流延ダイ133は、流出口133aがバンド91の表面91aと対向するように配される。図示するように、流延ダイ133を、ローラ131の真上となるように、バンド91の上方に設けることが好ましい。流出口133aから流出したドープ113は、バンド91の表面上にて流れ延ばされる。この結果、流出口133aから流出したドープ113からなる流延膜136がバンド91の表面上に形成する。なお、流延ダイ133の詳細は後述する。膜乾燥装置は、第1ダクト141~第3ダクト143を有する。流延膜136に向けて乾燥風を送り出す第1ダクト141~第3ダクト143は、バンド91の移動路に沿って上流側から順に配される。第1ダクト141は、ローラ131からローラ132へ向かって移動するバンド91の表面91a側及び裏面側に設けられる。第2ダクト143は、ローラ131に支持されたバンド91の表面91a側に設けられる。第3ダクト143は、ローラ132からローラ131へ向かって移動するバンド91の表面91a側及び裏面側に設けられる。第1ダクト~第3ダクト141~143は、それぞれ送風機図示せずに接続する。送風機には、第1ダクト~第3ダクト141~143のそれぞれへ供給する気体の温度、湿度、流量を独立して制御する送風コントローラ図示せずが接続する。第1ダクト~第3ダクト141~143には、送風機から供給された気体を乾燥風として送り出す送出口が設けられる。第1~第3ダクト141~143に設けられた送出口は、表面91a及び裏面と対向するように形成される。第1ダクト141~第3ダクト143に設けられた送出口は、スリット状に形成され、一方の側部91sから他方の側部91sにかけて延設される。バンド91の幅方向における各送出口の長さは、流延膜136全体またはバンド91全体に乾燥風があたるようなものとなっていればよい。乾燥風の温度は、バンド91の移動路の上流側から下流側に向かうに従って低くなることが好ましい。第1ダクト141からの乾燥風の温度は、50°C以上140°C以下であることが好ましく、第2ダクト142からの乾燥風の温度は、50°C以上140°C以下であることが好ましく、第3ダクト143からの乾燥風の温度は、40°C以上100°C以下であることが好ましい。フィルム形成装置117と第1テンタ120との間の搬送路には、送風装置図示無しを配してもよい。この送風装置からの送風により、フィルム116の乾燥をすすめることができる。第1テンタ第1テンタ120は、保持手段119を用いてフィルム116の両側縁部を保持して長手方向に搬送しながら、幅方向への張力を付与し、フィルム116の幅を拡げる。第1テンタ120には、後述するフィルム116の搬送路には、上流側から順に、予熱エリア、延伸エリア、及び緩和エリアが形成される。なお、緩和エリアは省略してもよい。第1テンタ120は、1対のレール図示無し及びチェーン図示無しを備える。レールはフィルム116の搬送路の両側に設置され1対のレールは所定の間隔で離間して配される。このレール間隔は、予熱エリアでは一定であり、延伸エリアでは下流に向かうに従って次第に広くなり、緩和エリアでは一定である。なお、緩和エリアのレール間隔は、下流に向かうに従って次第に狭くなるようにしてもよい。チェーンは、原動スプロケット及び従動スプロケット図示無しに掛け渡され、レールに沿って移動自在に取り付けられている。複数の保持手段119は、チェーンに所定の間隔で取り付けられている。原動スプロケットの回転により、保持手段119はレールに沿って循環移動する。保持手段119は、第1テンタ120の入口近傍で、案内されてきたフィルム116の保持を開始し、出口に向かって移動して、出口近傍で保持を解除する。保持を解除した保持手段119は再び入口近傍に移動して、新たに案内されてきたフィルム116を保持する。ダクト155はフィルム116の搬送路の上方に設けられる。ダクト155は、乾燥風を送り出すスリットを有し、送風機図示無しから供給される。送風機は、所定の温度や湿度に調整した乾燥風をダクト155に送る。スリットがフィルム116の搬送路と対向するようにダクト155は配される。各スリットはフィルム116の幅方向に長く伸びた形状であり、搬送方向で互いに所定の間隔をもって形成されている。なお、同様の構造を有するダクトを、フィルム116の搬送路の下方に設けてもよいし、フィルム116の搬送路の上方と下方との両方に設けてもよい。この第1テンタ120で、フィルムは搬送されながら、ダクト155からの乾燥風により乾燥をすすめられるとともに、保持手段119により幅を所定のタイミングで変えられる。延伸エリアにおけるフィルム116の溶剤含有率は、2質量DB以上250質量DBであることが好ましく、2質量DB以上100質量DB以下であることがより好ましい。延伸処理における延伸率ER1={延伸後の幅/延伸前の幅}×100は、100より大きく140以下であることが好ましい。延伸処理におけるフィルム116の温度は、95°C以上150°C以下であることが好ましい。なお、本明細書においては、溶剤含有率単位;質量DBは乾量基準の値であり、具体的には、溶剤の質量をx、流延膜136又はフィルム116の質量をyとするときに、{x/y-x}×100で求める値である。ローラ乾燥装置ローラ乾燥装置124の内部の雰囲気は、温度や湿度などが図示しない空調機により調節されている。ローラ乾燥装置124には、多数のローラ122が設けられており、これらにフィルム116が巻き掛けられて搬送される。ローラ乾燥装置124において、フィルム116から溶剤が蒸発する。ローラ乾燥装置124では、溶剤含有率が5質量DB以下となるまで、乾燥工程を行うことが好ましい。なお、ローラ乾燥装置124から出たフィルム116がカールしている場合には、ローラ乾燥装置124と第2テンタ125との間に、カールを矯正してフィルム116を平らにするカール矯正装置図示無しを設けてもよい。第2テンタ第2テンタ125は、フィルム116を延伸する。この延伸により、所望の光学特性を有するフィルム116となる。得られるフィルム116は位相差フィルムとして利用することができる。第2テンタ125は、第1テンタ120と同様の構造を有する。なお、第2テンタ125に設けられるダクト157は、スリット図示せずから、所定の温度に加熱された乾燥風を流出し、フィルム116に向かって流れる。第2テンタ125での延伸における延伸率ER2={延伸後の幅/延伸前の幅}×100は、105より大きく200以下であることが好ましく、110以上160以下であることがより好ましい。延伸開始時におけるフィルム116の溶剤含有率は、5質量DB以下であることが好ましく、3質量DB以下であることがより好ましい。延伸におけるフィルム116の温度は、100°C以上200°C以下であることが好ましい。第2テンタ125とスリッタ126との間に冷却装置図示無しを設けて、第2テンタ125からのフィルム116を冷却して降温させてもよい。製造目的とするフィルム116の光学特性によっては、第2テンタ125を省略しても良い。次に、流延ダイ133の詳細について説明する。図12及び図13に示すように、流延ダイ133は、1対の側板161と、1対のリップ板162とを有する。1対のリップ板162は、流路163をなす流路形成部162aが設けられた流路形成面162bをそれぞれ有する。1対のリップ板162は、バンド91図11参照の幅方向に延設され、流路形成面162b同士が密接するようにバンド91の移動方向へ並べられる。流路形成面162b同士が密接した状態の1対のリップ板162において、幅方向の両端面には流路形成面162bによりなる隙間が開口する。1対の側板161は、内面161aをそれぞれ有し、内面161a同士が向き合うように、バンド91図11参照の幅方向に離隔して並べられる。1対の側板161は、流路形成面162bによりなる隙間を塞ぐように配される。こうして、1対の側板161と1対のリップ板162とからダイ本体が形成され、ダイ本体を貫通するドープ113の流路163は、1対の側板161と1対のリップ板162とによって囲まれてなる図14参照。図15に示すように、流路163の出口となる流出口133aは、スリット状に形成される。流出口133a内に、所定の寸法のインナーディッケル板165を設けることにより、バンド91の幅方向における流出口133aの長さL0を適宜調節することができる。図16及び図17に示すように、ローラ131は、バンド91の裏面91bを周面で支持するローラ本体131aと、ローラ本体131aを軸支する回転軸131bとからなる。ローラ132は、バンド91の裏面91bを周面で支持するローラ本体132aと、ローラ本体132aを軸支する回転軸132bとからなる。回転軸131bは、モータ171と駆動部172と接続する。モータ171により、ローラ本体131aは回転軸131bを中心に回転する。ローラ本体131aの回転によりバンド91は、循環移動する。また、回転軸131bは、ローラ131、132に掛け渡されたバンド91に所定のテンションが印加されるテンション印加位置Pwと、ローラ131、132に掛け渡されたバンド91が弛む弛み位置Puとの間で移動自在となっている。駆動部172は、制御部198の制御の下、テンション印加位置Pwと弛み位置Puとの間で、回転軸131bを変移可能である。駆動部172は、回転軸131bと水平な状態を維持しながら回転軸132bを変移させることが好ましい。また、回転軸131bには、ロードセル173が取り付けられる。ロードセル173は、回転軸131bが受ける外力を検知する。図10及び図17に示すように、フィルム形成装置117には、測距センサ180が設けられる。測距センサ180は、バンド91に設定された測定ラインL1図16参照において、バンド91の表面91aからの間隔Cxを測定する。測定ラインL1は、バンド91の幅方向において一端から他端まで延びるものであり、流延ダイ133から流出したドープ113が着地する位置P1から剥取ローラ135により流延膜136が剥ぎ取られる位置P2にかけて適宜設定される。間隔Cxとは、図18に示すように、測定ラインL1上の任意の位置における間隔Cx0、Cx1、Cx2、Cxn-1、Cxnを指す。測距センサ180は、剥取ローラ135よりも移動方向下流側、かつ流延ダイ133よりも移動方向上流側にて、ローラ131の上方に間隔Cyだけ離れた位置に配される。測距センサ180としては、渦電流式変位センサなど、公知のものを用いることができる。図19に示すように、スリッタ126は、フィルム116の耳部116aを切り離す一対のカッタ190を備える。一対のカッタ190は、それぞれ、フィルム116の幅方向に移動自在となっている。シフト部194は、一対のカッタ190を個別に所定の位置へ移動する。カッタ190は、フィルム116の搬送路の上方に位置する上丸刃と、フィルム116の搬送路の下方に位置する下丸刃とからなり、これら上丸刃と下丸刃との間にフィルム116を送り込むことによって、耳部116aを切り離す。耳部116aが切り離されたフィルム116は巻取装置127に送られる。また、耳部116aは風送装置192に送られる。制御部図16~図19に示すように、制御部198は、モータ171と、駆動部172と、ロードセル173と、測距センサ180と、シフト部194と接続する。図16及び図17に示すように、制御部198は、モータ171を介して、ローラ131、132に巻き掛けられたバンド91を循環移動させる。また、制御部198は、駆動部172を介して、ローラ131の回転軸131bに外力F1をかける。そして、制御部198は、回転軸131bにかかる外力をロードセル173からよみとる。制御部198は、外力F1を値BSで除し、商を搬送テンションとする。ここで、値BSは、バンド91の平均断面積Savに2を乗じたものであり、制御部198の内蔵メモリに格納される。そして、算出された搬送テンションが目標値よりも大きい場合には、制御部198は、外力F1が減少するように駆動部172を制御する。また、算出された搬送テンションが目標値よりも小さい場合には、制御部198は、外力F1が増大するように駆動部172を制御する。こうして、制御部198は、駆動部172及びロードセル173を介して、バンド91にかかる搬送テンションの大きさを所定のものに調節することができる。次に、本発明の作用を説明する。浮き量検知工程図16に示すように、制御部198の制御の下、ローラ131が回転する。ローラ131の回転によりバンド91は長手方向へ循環移動する。バンド91の移動速度は、例えば、20m/分以上100m/分以下である。図18に示すように、測距センサ180は、測定ラインL1図16参照において間隔Cxを計測する。制御部198は、測距センサ180から間隔Cxを読み取る。その後、制御部198は、ローラ131及びセンサ150の間隔Cyから、読み取った間隔Cxとバンド91の厚みとの和を減じることにより、幅方向におけるローラ131からのバンド91の浮き量CLを算出する。浮き量CLの代表例として、図には、間隔Cx0から算出した浮き量CL0及び間隔Cx1から算出した浮き量CL1を示す。なお、バンド91の厚みや間隔CLyは、予め測定しておき、制御部198の内蔵メモリなどに格納しておくことが好ましい。流延エリア設定工程次に、制御部198は、浮き量CLに基づいて、幅方向における流延エリアA1の臨界位置Prを決める。すなわち、制御部198は、所定の移動テンションが印加されたバンド91において、流延エリアA1全体における浮き量CLが基準浮き量CLj以下となるように、流延エリアA1の臨界位置Prを決める。基準浮き量CLjは、例えば、バンド91の移動テンションが60N/mm2であるときに0.1mm以下であることが好ましい。なお、基準浮き量CLjの上限値を0.1mmとしたが、基準浮き量CLjの上限値は、製造目的とする品質レベルに応じて決定すればよい。また、浮き量CLが基準浮き量CLjの上限値を超えているか否かの判断は、バンド91にかかる移動テンションを所定の値に設定した条件下で行われる。当該判断の際、バンド91にかかる移動テンションは、実際の製造時のバンド91にかかる移動テンション等、適宜設定すればよい。流延エリアA1の臨界位置Prに基づいて、所定の寸法のインナーディッケル板165に交換する。インナーディッケル板165の交換により、幅方向における流出口131aの長さL0図15参照を調節する。膜形成工程図11に示すように、流延ダイ133図10参照は、バンド91の表面91aへドープ113を連続的に流出する。ドープ113はバンド91上に流延される。この結果、バンド91上の流延エリアA1内には、表面91aに露出する溶接部91wを覆うようにして、流延膜136が形成する。図10に示すように、第1ダクト141は、流延膜136及びバンド91の裏面91b図17参照に向けて乾燥風を送り出す。第1ダクト141からの乾燥風が流延膜136にあたると、流延膜136から溶剤が蒸発する。また、乾燥風の接触によりバンド91の裏面91b図17参照が加熱される結果、流延膜136における溶剤が促進する。第2ダクト142は、流延膜136に向けて乾燥風を送り出す。第2ダクト142からの乾燥風が流延膜136にあたると、流延膜136から溶剤が蒸発する。また、第2コントローラにより、ローラ132の周面の温度は、流延膜136の温度よりも高温となるように調節されている。ローラ132との接触によりバンド91が裏面91b図17参照側から加熱される結果、ローラ132からの熱が流延膜136に伝わる。こうして、流延膜136における溶剤が促進する。第3ダクト143は、流延膜136及びバンド91の裏面91bに向けて乾燥風を送り出す。第3ダクト143からの乾燥風が流延膜136にあたると、流延膜136から溶剤が蒸発する。また、乾燥風の接触によりバンド91は裏面91b図17参照側から加熱される結果、流延膜136における溶剤が促進する。溶剤の蒸発により、第1テンタ120への搬送が可能な程度になった流延膜136を、溶剤を含む状態でバンド91から剥がす。剥ぎ取りの際には、フィルム116を剥ぎ取り用のローラ以下、剥取ローラと称する137で支持し、流延膜136がバンド91から剥がれる剥取位置P2を一定に保つ。なお、剥取ローラ135は、駆動手段を備え周方向に回転する駆動ローラであってもよい。流延膜136が剥ぎ取られたバンド91は、膜乾燥装置により、流延ダイ133から流出するドープ113よりも高温となっている。このようなバンド91に対し、そのままドープ113を流出すると、ドープ113の発泡が起こってしまう。そこで、第1コントローラを用いて、ローラ131の周面の温度を、流延ダイ133から流出するドープ113よりも低温となるように調節する。これにより、ローラ131に支持されたバンド91は、流延ダイ133から流出するドープ113よりも低温となるため、ドープ113の発泡を防止することができる。剥ぎ取られた流延膜136、すなわちフィルム116は、第1テンタ120、ローラ乾燥装置124、第2テンタ125へと順次案内される。スリッタ図18に示すように、制御部198は、所定の位置へカッタ190を変位する。カッタ190により、フィルム116の耳部116aは切除される。耳部116aが切除されたフィルム116は、巻取装置127によって、ロール状となる。本発明によれば、流延膜136が形成される流延エリアA1における、ローラ131からのバンド91の浮き量が小さいため、流延膜136の厚みムラを抑えることができる。したがって、本発明によれば、流延膜136の厚みムラに起因する問題フィルムの厚みムラ、剥げ残り故障、及び発泡を防止することができる。更に、直径70μm未満のピンホールが含まれる溶接部91w上では、他の部分に比べてドープ113の乾燥が進みにくいため、流延膜136のうち溶接部91w上の部分では、剥げ残り故障が生じやすい。本発明では、流延エリアA1におけるバンド91の浮き量が小さいため、流延膜136のうち溶接部91w上の部分における乾燥を確実に行うことができる。したがって、本発明によれば、溶接部91wに起因する剥げ残り故障を防止することができる。溶接部91wには、ピンホールが含まれないことが最も好ましいが、製造の過程で止む無く発生する場合、ピンホールの直径が70μm未満に抑えられていることが好ましい。溶接部91wに含まれる直径70μm未満のピンホールが5個/m以下であることが好ましく、更に、直径70μm未満のピンホールが1個/mm以下であることが好ましい。ここで、個/mは、バンド91の長手方向に1mの範囲にて溶接部91w中に含まれるピンホールの数であり、個/mmは、バンド91の長手方向に1mmの範囲にて溶接部91w中に含まれるピンホールの数である。なお、図20に示すように、ビードの背面側バンド91の移動方向上流側を減圧する減圧ユニットを、流延ダイ133の移動方向上流側に設けても良い。ここで、ビードは、流延ダイ133から流出したドープによって、流出口133a図15参照からバンド91の表面91aにかけて形成されるものである。減圧ユニットにより、バンド91の移動に伴って表面91a近傍に発生し、バンド91の移動方向へ流れる同伴風に起因するビードの振動を抑え、ひいては、流延膜やフィルムの厚みムラ等を防止することができる。同伴風に起因するビードの振動が問題となるのは、バンド91の移動速度が30m/分を超える場合である。したがって、バンド91の移動速度が30m/分を超える場合には、減圧ユニット205を設けることが好ましい。減圧ユニットは、減圧チャンバ207と、減圧チャンバ207内の気体を吸引するための減圧ファン図示しないと、減圧ファン及び減圧チャンバ207とを接続する吸引管図示しないとを有する。減圧チャンバ減圧チャンバ207は、バンド91の移動方向において流延ダイ133よりも上流側に、表面91aの法線方向において、表面91aに近接するように配される。減圧チャンバ207と表面91aとの間隔は、例えば、0.7mm以下である。減圧チャンバ207は、箱状のチャンバ本体と、チャンバ本体210内のシーリング性を高めるためのシール部材と、減圧チャンバ207内における気体の流れが所定の向きとなるように整えるための整流部材とからなる。チャンバ本体は、ビードの背面側を囲うためのものであり、上流側遮風板213と、1対の側方遮風板214と、天板215と、前面板とを有する。上流側遮風板213は、流出口133a図15参照よりもバンド91の移動方向上流側にて、表面91aに対して起立した姿勢で、表面91aの法線方向において表面91aと近接するように設けられる。上流側遮風板213は、バンド91の一方の側部91sから他方の側部91sにかけて延設され、上流側遮風板213の両端部は、それぞれ、側部91sと正対する。1対の側方遮風板214は、それぞれ、側部91sの表面に対して起立した姿勢で、上流側遮風板213の両端部からバンド91の移動方向下流側に向かって延設される。1対の側方遮風板214には、天板215と、前面板とが掛け渡される。減圧チャンバ207は、上流側遮風板213と1対の側方遮風板214と天板215と前面板とによって囲まれてなり、表面91aに向かって開口する吸引口図示しないを有する。減圧ファン図示しないにより、減圧チャンバ207は、ビードの上流側にある気体を吸引口から吸引する。ビードの上流側にある気体の吸引の結果、ビードの上流側の気圧が下がり、ビードの上流側及び下流側の圧力差ΔPを生じさせることができる。この圧力差ΔPにより、バンド91の移動に伴って表面91a近傍に発生し、バンド91の移動方向へ流れる同伴風に起因するビードの振動を抑え、ひいては、流延膜やフィルムの厚みムラ等を防止することができる。図21に示すように、バンド91の表面91a上には、減圧エリアA2が形成される。減圧エリアA2は、表面91aのうち減圧チャンバ207によって覆われる部分である。浮き量検知工程測距センサ180は、測定ラインL1図16参照において間隔Cxを計測する。図17に示すように、制御部198は、測距センサ180から間隔Cxを読み取る。その後、制御部198は、ローラ131及びセンサ150の間隔Cyから、読み取った間隔Cxとバンド91の厚みとの和を減じることにより、幅方向におけるローラ131からのバンド91の浮き量CLを算出する。減圧エリア調節工程制御部198は、浮き量CLに基づいて、幅方向における減圧エリアA2の臨界位置を決める。減圧エリアA2の臨界位置は、所定の搬送テンションが印加されたバンド91において、減圧エリアA2全体における浮き量CLが基準浮き量CLj以下となるように決める。このようにして減圧エリアA2が設定される。こうして得られた減圧エリアA2のみを覆うような寸法の減圧チャンバ207を設けることにより、バンド91の幅方向において、減圧チャンバ207とバンド91の表面91aとの間隔のばらつきを抑えることができる。この結果、圧力差ΔPをバンド91の幅方向において均一にすることができる。したがって、本発明によれば、圧力差ΔPのばらつきに起因する流延膜136の厚みムラを防止することができる。また、バンド91の幅方向において、減圧エリアA2は、流延エリアA1を含む。このため、減圧エリアA2全体における浮き量CLを基準浮き量CLj以下とすることにより、流延エリアA1における浮き量CLが基準浮き量CLj以下となる。減圧エリア調節工程を行なう場合には、流延エリア設定工程は省略しても良い。なお、制御部198は、流延エリアA1のうち、浮き量CLが基準浮き量CLk以下となるように、切断位置Pcを決めてもよい。基準浮き量CLkは、例えば、バンド91の移動テンションが60N/mm2であるときに0.02mm以下であることが好ましい。この場合には、カッタ190を切断位置Pcへ変位すればよい図19参照。なお、基準浮き量CLkの上限値を0.02mmとしたが、基準浮き量CLkの上限値は、製造目的とする品質レベルに応じて決定すればよい。また、浮き量CLが基準浮き量CLkの上限値を超えているか否かの判断は、バンド91にかかる移動テンションを所定の値に設定した条件下で行われる。当該判断の際、バンド91にかかる移動テンションは、実際の製造時のバンド91にかかる移動テンション等、適宜設定すればよい。浮き量CLが基準浮き量CLjの上限値を超えているか否かの判断や、浮き量CLが基準浮き量CLkの上限値を超えているか否かの判断を行なう際、バンド91にかかる移動テンションは、例えば、50N/mm2~70N/mm2である。切断位置Pcにおける浮き量CLをCLPcとし、接触臨界位置Ptと切断位置Pcとの距離をLPt-Pcとするときに、{CLPc/LPt-Pc}の値が、10-5以下であることが好ましい。なお、接触臨界位置Ptは、バンド91がローラ131から浮いている部分、すなわち、浮き量CLが0より大きい部分のうち、最も幅方向中央側にある位置をいう。上記実施形態では、切断位置Pcを側部91s上に設定したが、本発明はこれに限られず、図22に示すように、切断位置Pcを中央部91c上に設定してもよい。上記実施形態では、反ったバンド91の外側の面をローラ131で支持したが、本発明はこれに限られず、図23に示すように、反ったバンド91の内側の面をローラ131で支持してもよい。ここで、測定された浮き量CLのうち最大値、すなわち、溶接部91wにおける浮き量CLwが、基準浮き量CLj以下である場合には、図示するように、臨界位置Prを側部91s側に設定することができる。一方、溶接部91wにおける浮き量CLwが、基準浮き量CLjを超える場合には、臨界位置Prは、中央部91c側であって、浮き量CLが基準浮き量CLj以下となる位置に設定すればよい。上記実施形態では、バンド91に移動テンションをかけるために、ローラ132の回転軸132bを固定させて、駆動部172を用いてローラ131の回転軸131bをテンション印加位置Pwと弛み位置Puとの間で変移させたが、本発明はこれに限られない。例えば、ローラ131の回転軸131bを固定させて、駆動部172を用いてローラ132の回転軸132bをテンション印加位置Pwと弛み位置Puとの間で変移させてもよい。また、回転軸131a、131bをそれぞれ変移させてもよい。また、図24及び図25に示すように、ローラ131、132の間に、バンド91を支持するサポートローラ225を設けても良い。この場合には、駆動部172を用いて、サポートローラ225をテンション印加位置Pwと弛み位置Puとの間で変移させることにより、所望の移動テンションをバンド91に印加することができる。上記実施形態では、中央部材12の幅を側部材11の幅よりも広くしたが、本発明はこれに限られず、中央部材12の幅は、側部材11の幅と等しい、又は、側部材11の幅よりも狭くてもよい。また、バンド91を構成する構成部材中央部材や側部材の数は、3つに限られず、2つまたは4つ以上でも良い。上記実施形態では、ローラ131をドライブローラとし、ローラ132をフリーローラとしたが、本発明はこれに限られず、ローラ131をフリーローラとし、ローラ132をドライブローラとしてもよい。上記実施形態では、流延ダイ133を一方のローラ131の真上に配したが、本発明はこれに限られず、図26に示すように、一方のローラ131と他方のローラ132との間に配してもよい。なお、この場合には、バンド91を介して流延ダイ133と対向する位置にサポートローラ225を配し、サポートローラ225によりバンド91を支持してもよい。この場合には、各ローラ131、132,225のうち少なくとも1つをテンション印加位置Pwと弛み位置Puとの間で変移させることにより所望の移動テンションをバンド91に印加することができる。浮き量減少工程浮き量CLは、ローラに巻き掛けられたバンドにはたらく垂直応力Nが大きくなるに従い、小さくなる。この性質を利用して、垂直応力Nが大きくして浮き量CLを減少させる浮き量減少工程を行なってもよい。浮き量減少工程は、浮き量検知工程と膜形成工程との間に行なうことが好ましい。なお、浮き量検知工程、浮き量減少工程と順次行なった後であって膜形成工程の前に、再び浮き量検知工程を行なってもよい。更に、再度の浮き量検知工程の後であって膜形成工程の前に、再度の浮き量減少工程を行なってもよい。ここで、Drをローラの直径とし、T1をバンドの移動テンションとし、THbをバンドの厚みとすると、ローラに巻き掛けられたバンドにはたらく垂直応力Nは、次式で表される。N=THb×T1/0.5Drしたがって、移動テンションT1を増大することにより、浮き量CLを減少させることができる。なお、ローラ131,132の直径Drが2000mm、バンドの厚みTHbが1.6mmのとき、バンド91にかかる移動テンションは、例えば、50N/mm2~70N/mm2である。図27に示すように、フィルム形成装置117に冷却ローラ装置230や空冷装置231を設けても良い。冷却ローラ装置230は、バンド91の移動方向において、剥取ローラ135と流延ダイ33との間に設けられる。なお、減圧チャンバ207図20参照が設けられる場合、冷却ローラ装置230は、バンド91の移動方向において、剥取ローラ135と減圧チャンバ207との間に設ければよい。冷却ローラ装置230は、バンド91の表面91aと接触した状態で、バンド91の移動に従って回転する冷却ローラ230aと、冷却ローラ230aの温度を調節するローラ温調器230bと、冷却ローラ230aを取り付ける取り付け部材230cとを備える。冷却ローラ230aは、図28に示すように、冷却ローラ本体230aaと、冷却ローラ本体230aaを軸支する回転軸230abとからなる。回転軸230abは、冷却ローラ本体230aaの周面が、バンド91の表面91aのうち浮き量CLが0より大きい浮き部分91fと接触するように配される。取り付け部材230cは、冷却ローラ230aを介してバンド91と対向するように配されるベース部材230cbと、ベース部材230cb及び回転軸230abを連結し、回転軸230abをバンド91側へ付勢する付勢部材230csとからなる。付勢部材230csとしては、例えば、バネを用いることができる。付勢部材230csにより、バンド91に過度な負荷が印加されることを防ぐことができる。ローラ温調器230bは、冷却ローラ230aの温度を、例えば、-10°C以上10°C以下の範囲内に調節する。図27及び図29に示すように、空冷装置231は、バンド91の移動方向において、流延ダイ33と第1ダクト141との間に設けられる。空冷装置231は、バンド91の裏面91bに冷却ガスを吹き付けるノズル231aを備えたダクト231bと、ダクト231bに冷却ガスを送る送風機231cと、ダクト231bに送る冷却ガスの温度を調節するガス温調器231dとを備える。送風機231c及びガス温調器231dによりダクト231bへ送られた冷却ガスは、ノズル231aからバンド91の裏面91bに向かって吹き付けられる。冷却ローラ装置230や空冷装置231を用いて、バンド91の一部を冷却することにより、浮き量減少工程を行なうことができる。冷却ローラ装置230や空冷装置231を用いたバンド91の冷却により、バンド91には高温部分91Hと低温部分91Lとができる。このような温度分布を持つバンド91を、幅方向に分けてなる、低温部分91Lを含む低温バンド部91LBと、高温部分91Hのみからなる高温バンド部91HBとに分けて表すことができる図30参照。このような温度分布を有するバンド91に長手方向の移動テンションを幅方向において一様に印加した場合、低温部分91Lを含む低温バンド部91LB全体における応力は、高温部分91Hからなる高温バンド部91HB全体における応力よりも大きい。この結果、低温バンド部91LBにかかる移動テンションは、高温バンド部91HBにかかる移動テンションよりも大きくなる。本発明では、冷却ローラ装置230や空冷装置231を用いて浮き部分91fを低温部分91Lにする。このため、浮き部分91fを含む低温バンド部91LBにかかる移動テンションは、他の部分に比べて大きくなる。したがって、本発明によれば、浮き部分91fに対し浮き量減少工程を選択的に行なうことができる。浮き量減少工程においてバンド91の冷却を行なう範囲は、次のように決めることが好ましい。移動テンションと直交方向、すなわちバンド91の幅方向においては、流延エリア又は減圧エリアとなる浮き部分91fに冷却範囲を設定すればよい。なお、浮き部分91fのうち、浮き量CLが最大となる位置を冷却することが好ましい。移動テンションと水平方向、すなわちバンド91の長手方向においては、単に浮き量CLを減少させる場合にはいずれの部分に冷却範囲を設定してもよい。しかしながら、低温バンド部91LB全体を冷却してしまうと、流延エリアA1又は減圧エリアA2、そして、各エリアA1,A2の移動方向上流側ではバンド91の弾性率が増大し、結果として、流延エリアA1又は減圧エリアA2等における浮き量CLの矯正能力が低下してしまう。そこで、低温バンド部91LBのうち、流延エリアA1又は減圧エリアA2よりも移動方向下流側の部分において冷却を行なうことが好ましい。これにより、低温バンド部91LB全体にかかる応力を向上させつつ、流延エリアA1又は減圧エリアA2等における浮き量CLの矯正能力を維持することができる。なお、上記実施形態では、バンド91の移動方向において、剥取ローラ135と流延ダイ33との間に冷却ローラ装置230を設けたが、これに代えて、剥取ローラ135と流延ダイ33との間に空冷装置231を設けてもよい。また、バンド91の移動方向において、流延ダイ33と第1ダクト141との間に空冷装置231を設けたが、これに代えて、流延ダイ33と第1ダクト141との間に冷却ローラ装置230を設けてもよい。なお、冷却ローラ230aに代えて、バンド91の表面91aと接触した状態で、バンド91の移動に従って回転する冷却球を用いても良い。なお、浮き量検知工程や浮き量減少工程は、溶液製膜方法を開始する際に行なってもよいし、溶液製膜方法中に行なってもよい。このような浮き量検知工程や浮き量減少工程により、未使用時のバンド91に生じた反りや、溶液製膜方法の使用によって生じた反りを矯正することができる。発泡防止工程なお、溶接部91wを冷却する発泡防止工程を行なうことが好ましい。溶接部91wを冷却する方法としては、前述の冷却ローラ装置230や空冷装置231を用いればよい。冷却ローラ装置230や空冷装置231を用いて溶接部91wを冷却することにより、溶接部91wにおける発泡を抑えることができる。発泡防止工程は、ドープがバンド91の表面に到達する到達位置から、発泡限界位置まで行なうことが好ましい。発泡限界位置は、流延膜136の溶剤含有率と、流延膜136の温度とによって決定されるものであり、流延膜136の乾燥条件に応じて決定することが可能である。なお、発泡防止工程は、上述した浮き量検知工程、流延エリア設定工程、減圧エリア調節工程、浮き量減少工程と独立して行なうことができる。特に、長手方向に延びる溶接部91wを備えたバンド91を用いて溶液製膜方法を行なう際、発砲防止を主眼とする場合には、発泡防止工程のみを行なってもよい。バンド91を冷却するために空冷装置230を用いたが、空冷装置230に代えて、バンド91の裏面91bに溶剤を塗布する溶剤塗布装置を用いても良い。溶剤塗布装置により、塗布された溶剤の気化熱を利用して、バンド91の所定部分を冷却することができる。本発明により得られるフィルム13は、特に、位相差フィルムや偏光板保護フィルムに用いることができる。フィルム116の幅は、600mm以上3000mm以下であることが好ましく、2000mm以上3000mm以下であることが好ましい。また、フィルム116の幅は、3000mmを超える場合にも本発明を適用することができる。フィルム116の膜厚は、30μm以上120μm以下であることが好ましい。ポリマー本発明に用いることのできるポリマーは、熱可塑性樹脂であれば特に限定されず、例えば、セルロースアシレート、ラクトン環含有重合体、環状オレフィン、ポリカーボネイト等が挙げられる。中でも好ましいのがセルロースアシレート、環状オレフィンであり、中でも好ましいのがアセテート基、プロピオネート基を含むセルロースアシレート、付加重合によって得られた環状オレフィンである。セルロースアシレートセルロースアシレートとしては、セルロースの水酸基へのアシル基の置換度が下記式I~IIIを満たすものであることが好ましい。下記式I~IIIにおいて、A及びBは、セルロースの水酸基中の水素原子に対するアシル基の置換度を表し、Aはアセチル基の置換度、Bは炭素原子数が3~22のアシル基の置換度である。セルロースアシレートの90質量以上が0.1~4mmの粒子であることが好ましい。中でも、本発明は、セルロースアシレートとしてセルロースジアセテートDACを用いた場合に特に大きな効果がある。I2.0≦AB≦3.0II0≦A≦3.0III0≦B≦2.9セルロースを構成するβ-1,4結合しているグルコース単位は、2位、3位および6位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数2以上のアシル基によりエステル化した重合体ポリマーである。アシル置換度は、2位、3位及び6位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合100のエステル化の場合を置換度1とするを意味する。全アシル化置換度、すなわち、DS2DS3DS6の値は、2.00~3.00が好ましく、より好ましくは2.22~2.90であり、特に好ましくは2.40~2.88である。また、DS6/DS2DS3DS6の値は、0.28が好ましく、より好ましくは0.30以上であり、特に好ましくは0.31~0.34である。ここで、DS2は、グルコース単位における2位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合以下2位のアシル置換度とするであり、DS3は、グルコース単位における3位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合以下3位のアシル置換度というであり、DS6は、グルコース単位において、6位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合以下6位のアシル置換度というである。本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は1種類だけでもよいし、あるいは2種類以上のアシル基が用いられてもよい。2種類以上のアシル基を用いるときには、その1つがアセチル基であることが好ましい。2位、3位及び6位の水酸基がアセチル基により置換されている度合いの総和をDSAとし、2位、3位及び6位の水酸基がアセチル基以外のアシル基によって置換されている度合いの総和をDSBとすると、DSADSBの値は、2.22~2.90であることが好ましく、特に好ましくは2.40~2.88である。また、DSBは0.30以上であることが好ましく、特に好ましくは0.7以上である。さらにDSBは、その20以上が6位の水酸基の置換基であることが好ましく、より好ましくは25以上であり、30以上がさらに好ましく、特には33以上であることが好ましい。さらに、セルロースアシレートの6位におけるDSADSBの値が0.75以上であり、さらに好ましくは0.80以上であり、特には0.85以上であるセルロースアシレートも好ましく、これらのセルロースアシレートを用いることで、より溶解性に優れたドープを作製することができる。特に、非塩素系有機溶剤を使用すると、優れた溶解性を示し、低粘度で濾過性に優れるドープを作製することができる。セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター、パルプのいずれかから得られたものでもよい。本発明におけるセルロースアシレートの炭素数2以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でもよく、特には限定されない。例えば、セルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステル、芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどが挙げられ、それぞれ、さらに置換された基を有していてもよい。これらの好ましい例としては、プロピオニル基、ブタノイル基、ペンタノイル基、ヘキサノイル基、オクタノイル基、デカノイル基、ドデカノイル基、トリデカノイル基、テトラデカノイル基、ヘキサデカノイル基、オクタデカノイル基、iso-ブタノイル基、t-ブタノイル基、シクロヘキサンカルボニル基、オレノイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などが挙げられる。これらの中でも、プロピオニル基、ブタノイル基、ドデカノイル基、オクタデカノイル基、t-ブタノイル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などがより好ましく、特に好ましくは、プロピオニル基、ブタノイル基である。溶剤ドープを調製する溶剤としては、芳香族炭化水素例えば、ベンゼン、トルエンなど、ハロゲン化炭化水素例えば、ジクロロメタン、クロロベンゼンなど、アルコール例えば、メタノール、エタノール、n-プロパノール、n-ブタノール、ジエチレングリコールなど、ケトン例えば、アセトン、メチルエチルケトンなど、エステル例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピルなど及びエーテル例えば、テトラヒドロフラン、メチルセロソルブなどなどが挙げられる。上記のハロゲン化炭化水素の中でも、炭素原子数1~7のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。セルロースアシレートの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フィルムの機械的強度及び光学特性など物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数1~5のアルコールを1種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶剤全体に対して2~25質量が好ましく、より好ましくは5~20質量である。アルコールとしては、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、n-ブタノールなどが挙げられるが、メタノール、エタノール、n-ブタノール、あるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない溶剤組成も検討されている。この場合には、炭素原子数が4~12のエーテル、炭素原子数が3~12のケトン、炭素原子数が3~12のエステル、炭素原子数1~12のアルコールが好ましく、これらを適宜混合して用いる場合もある。例えば、酢酸メチル、アセトン、エタノール、n-ブタノールの混合溶剤が挙げられる。これらのエーテル、ケトン、エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン、エステル及びアルコールの官能基すなわち、-O-、-CO-、-COO-および-OHのいずれかを2つ以上有する化合物も溶剤として用いることができる。以下に本発明の効果を確認するために、実験1~8を行った。各実験の詳細は実験1にて説明し、実験2~8については、実験1と異なる条件のみを示す。実験1図1に示すバンド製造設備10において、SUS316製の側部材11とSUS316製の中央部材12とから、バンドAを製造した。バンドAは、図17に示すタイプであり、側部材の幅は150mm、中央部材の幅は2000mmであった。電子顕微鏡により観察した結果、溶接部91wに存在するピンホールの最大直径φは、表1のとおりであった。電子顕微鏡による観察範囲は、溶接部91wの長手方向においては100m、幅方向においては全域とした。移動テンションが60N/mm2のときにバンド91の浮き量CLを測定し、1対の臨界位置Pr及び1対の切断位置Pcを設定した。搬送テンションが60N/mm2のとき、流延エリアA1における浮き量CLの最大値CLA1は、表1に示すとおりであった。1対の臨界位置Prの間の長さW1、すなわち流延エリアA1の幅は2200mmであり、1対の切断位置Pcの間の長さW2は1700mmであった。溶液製膜設備110図10参照において、セルロースジアセテートDAC及び溶剤を含むドープ113からフィルム116を製造した。バンドAをバンド91として用いた。バンド91の移動速度は40m/分であった。流延ダイ133は、移動状態のバンド91へドープ113を連続的に流出した。バンド91の表面91a上には、ドープ113からなる流延膜136が形成された。各ダクト141~143からの乾燥風を用いて、バンド91上の流延膜136から溶剤を蒸発させた。剥取ローラ135が、流延膜136をバンド91から剥ぎ取って、フィルム116とした。フィルム116は、第1テンタ120、ローラ乾燥装置124、第2テンタ125、スリッタ126へと順次送られた。実験2バンドAに代えてバンド製造設備10により得られたバンドBを用いたこと以外は、実験1と同様にしてフィルム116を製造した。但し、バンドBについての溶接部91wに存在するピンホールの最大直径φ、及び流延エリアA1における浮き量CLの最大値CLA1は、表1に示すとおりであった。実験3バンドAに代えてバンド製造設備10により得られたバンドCを用いたこと以外は、実験1と同様にしてフィルム116を製造した。但し、バンドCについての溶接部91wに存在するピンホールの最大直径φ、及び流延エリアA1における浮き量CLの最大値CLA1は、表1に示すとおりであった。実験4実験4では、流延エリアA1における浮き量CLの最大値CLA1を表1に示すものとしたこと以外は、実験1と同様にしてフィルム116を製造した。実験5~8実験5~8では、減圧チャンバ207図19参照を設けたこと以外は、実験1と同様にしてフィルム116を製造した。但し、実験6では、バンドAに代えてバンド製造設備10により得られたバンドBを用いた。実験5~8で用いたバンドについて、溶接部91wに存在するピンホールの最大直径φ、流延エリアA1における浮き量CLの最大値CLA1、及び減圧エリアA2における浮き量CLの最大値CLA2は、表1に示すとおりであった。実験1~実験8で得られたフィルムについて、以下の評価を行った。1.剥げ残り評価バンドにおける流延膜の剥げ残りの有無について調べた。○:バンドにおける流延膜の剥げ残りが起こらなかった。×:バンドにおける流延膜の剥げ残りが起こった。2.流延点の評価ドープがバンドに着地する位置P1について調べた。◎:ドープがバンドに着地する位置P1が一定であった。○:ドープがバンドに着地する位置P1がほとんど一定であった。△:ドープがバンドに着地する位置P1が間欠的に変動した。×:ドープがバンドに着地する位置P1が常に変動した。3.剥ぎ取り位置の評価バンドから流延膜が剥ぎ取られる位置P2について調べた。◎:バンドから流延膜が剥ぎ取られる位置P2が、バンド幅方向において一定であった。○:バンドから流延膜が剥ぎ取られる位置P2が、バンド幅方向においてほとんど一定であった。△:流延膜端部の剥ぎ取り位置P2が流延膜中央部の剥ぎ取り位置P2よりもバンドの移動方向下流側となる故障が、間欠的に起こった。×:流延膜端部の剥ぎ取り位置P2が流延膜中央部の剥ぎ取り位置P2よりもバンドの移動方向下流側となる故障が、常に起こった。4.厚みムラの有無の評価以下の手順で、流延膜の厚みムラの有無を評価した。巻き取り部127にて、巻き芯に巻き取られる前のフィルムから、サンプルフィルムを切り出した。サンプルフィルムに光を透過させた際、サンプルフィルムの表面に現れる陰影を目視で観察した。サンプルフィルムにて観察された陰影の強弱が、位相差フィルムや偏光板保護フィルムとしての厚みムラの評価試験をパスした製品フィルムのものよりも大きい場合には、当該厚みムラが許容できない×と判断した。また、サンプルフィルムにて観察された陰影の規模が、位相差フィルムや偏光板保護フィルムとしての性能試験をパスした製品フィルムのものと同程度、それよりも小さい場合には、当該厚みムラが許容できる○と判断した。実験1~8の評価結果について、表1に示す。なお、表1において、評価結果に付した番号は、上記評価項目に付した番号を表す。次に、本発明の効果を確認するために、実験11~26を行った。各実験の詳細は実験1と異なる条件のみを示す。実験11~14バンドAに代えて表2に示すバンドを用いたこと、及び表2に示す各パラメータを表2に示す値としたこと以外は、実験1と同様にしてフィルム116を製造した。表2に示すパラメータのうち、φ、CLA1、CLA2は、表1に示すものと同一である。溶剤含有率は、バンド91から剥ぎ取られる際の流延膜136における溶剤含有率である。T1は、バンド91にかかる移動テンションである。Tbは、流延点P1図10参照における溶接部91wの温度である。ΔTcは、流延点P1における溶接部91w上の流延膜136についての発泡限界温度TRから、流延点P1における溶接部91w上の流延膜136の温度Tfを減じたものである。発泡限界温度TRは、発泡限界温度TRと溶剤含有率と温度Tfとが関連付けられたテーブルに照らし、測定された流延膜136の溶剤含有率と温度Tfとに基づいて求めた。流延膜136の温度Tfは赤外線センサで求めた。流延膜136の溶剤含有率は、流出前のドープ114におけるポリマーの濃度に基づいて算出した。バンドについての各温度Tb,温度T91c、温度TCL-MAXは、実験において溶液製膜設備10の運転を急停止した直後の測定値である。なお、バンドについての各温度Tb,温度T91c、温度TCL-MAXの測定には、接触式温度計を用いた。実験15~24実験15~24では、減圧チャンバ207図19参照を設けたこと、バンドAに代えて表2に示すバンドを用いたこと、及び表2に示す各パラメータを表2に示す値としたこと以外は、実験1と同様にしてフィルム116を製造した。実験25実験24において、移動テンションT1を、55N/mm2から70N/mm2へ増大させた。移動テンションT1の増大により、値CLA1は、0.11mmから0.09に減少し、値CLA2は、0.11mmから0.09に減少した。その後、実験1と同様にして、フィルム116を製造した。実験26実験24において、図27に示す空冷装置231を、流延ダイ33と第1ダクト141との間に設けた。そして、空冷装置231を用いて裏面91bに冷却ガスを吹き付けた。実験24の場合すなわち、空冷装置231を設ける前のΔThは3.0°Cであり、空冷装置231を用いて冷却ガスを吹き付けた後のΔThは-3.0°Cであった。ΔThの変化により、値CLA1は、0.11mmから0.08に減少し、値CLA2は、0.11mmから0.08に減少した。その後、実験1と同様にして、フィルム116を製造した。ここで、ΔThは、流延ダイ33と第1ダクト141との間において、浮き量CLが最大の部分の温度TCL-MAXからバンド91の中央部91cの温度T91cを減じたものである。実験11~実験26で得られたフィルムについて、前述した剥げ残り評価、流延点の評価、剥ぎ取り位置の評価、厚みムラの有無の評価に加えて、次の評価を行なった。5.発泡の有無の評価流延膜136において発泡が発生したか否かを調べた。◎:発泡が確認できなかった。○:発泡が若干確認されたものの、フィルムの搬送をする上では問題とならず、光学特性の品質レターデーション、遅相軸の向き、ヘイズの均一性にも影響がなかった。△:発泡が確認されたものの、フィルムの搬送をする上では問題とならなかった。また、光学特性の品質レターデーション、遅相軸の向き、ヘイズの均一性への影響がわずかに認められたが製品として問題のないレベルであった。×:大規模な発泡が起こり、剥取工程や第1テンタ120や第2テンタ125にて発泡を基点にフィルムが破断する故障が多発した。実験11~26の評価結果について、表2に示す。なお、表2において、評価結果に付した番号は、上記評価項目に付した番号を表す。"