"チャンバと、前記チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、前記基板支持体上に直線状に並べられた複数のラック磁石を有する磁気ラックと、前記磁気ラックの複数のラック磁石と磁気結合可能な複数のピニオン磁石を有し、回転軸に対して回転可能な磁気ピニオンと、を備え、前記複数のラック磁石は、前記磁気ラックの端部において、少なくとも1個以上の特定ラック磁石を含み、該特定ラック磁石と前記ピニオン磁石との間で発生する磁気結合力は、他のラック磁石と前記ピニオン磁石との間で発生する磁気結合力より弱められていることを特徴とする基板搬送装置。前記特定ラック磁石と前記ピニオン磁石との距離が、他のラック磁石と前記ピニオン磁石との間の距離より離れていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。前記特定ラック磁石と前記ピニオン磁石と対向する表面積が、他のラック磁石と前記ピニオン磁石と対向する表面積より小さくなっていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。前記ラック磁石と前記ピニオン磁石は、該ピニオン磁石の径方向で磁気結合することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。前記ラック磁石と前記ピニオン磁石は、該ピニオン磁石の回転軸方向で磁気結合することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。前記特定ラック磁石は、2個以上を有し、前記磁気ラックの端部に向かって、段階的に磁気結合力が弱められていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。しかしながら、この磁気駆動システムでは、ラックを有する基板移送シャトルがピニオン磁石上に出入りする際、モータ側にかかる負荷が増大するという問題がある。即ち、ラック磁石の中央下方部に、回転するピニオンがある場合、ピニオン磁石と最接近するラック磁石との磁力線に対して、該ピニオン磁石の両側のピニオン磁石と、該ラック磁石の両側のラック磁石は、ほぼ対称に磁気結合している特許文献1の図6B参照。しかし、例えば、基板移送シャトルの磁気ラックの先端がピニオン磁石に入る際は、磁気ラックの先端の前方には、ラック磁石が存在しないので、複数のピニオン磁石と複数のラック磁石は、ピニオン磁石と最接近するラック磁石との磁力線に対して、片側のみで非対称に磁気結合することになる。つまり、基板移送シャトルの磁気ラックの先端がピニオン磁石に入る際は、ピニオン磁石には、回転方向と逆向きのトルクが働くため、ピニオン磁石を回転駆動するモータには、その分の負荷がかかってしまう。そのため、この余分な負荷に耐えうる大型のモータを用意しなければならず、製造コストが増大するという問題を抱えていた。そこで、本発明は、従来の問題に鑑みてなされたものであり、モータへの負荷を低減し、製造コストを低減した基板搬送装置を提供することを目的とする。本発明に係る基板搬送装置は、チャンバと、前記チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、前記基板支持体上に直線状に並べられた複数のラック磁石を有する磁気ラックと、前記磁気ラックの複数のラック磁石と磁気結合可能な複数のピニオン磁石を有し、回転軸に対して回転可能な磁気ピニオンと、を備え、前記複数のラック磁石は、前記磁気ラックの端部において、少なくとも1個以上の特定ラック磁石を含み、該特定ラック磁石と前記ピニオン磁石との間で発生する磁気結合力は、他のラック磁石と前記ピニオン磁石との間で発生する磁気結合力より弱められていることを特徴とする。本発明によれば、モータへの負荷を低減し、製造コストを低減した基板搬送装置を提供することができる。以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。図1は本発明の第1実施形態に係る基板処理装置の概略側面図である。図2は、本発明の第1実施形態に係る基板処理装置の側断面図である。図1に示すように、基板処理装置は、チャンバ1Aと、該チャンバ1Aとゲートバルブ11を介して接続されたチャンバ1Bを備えている。ゲートバルブは、基板支持体4が移送可能なように、開放でき、また隣接するチャンバと隔離するよう閉鎖することができる。チャンバ1Aとしては、ロードロックチャンバ、スパッタリング成膜用チャンバ、CVD成膜用チャンバ、エッチングチャンバなどが挙げられる。チャンバ1Bとしては、アンロードロックチャンバ、スパッタリング成膜用チャンバ、CVD成膜用チャンバ、エッチングチャンバなどが挙げられる。各チャンバは、不図示の排気手段と接続されており、減圧雰囲気に排気可能な筐体である。なお、本例では、基板搬送装置は、2つのチャンバを備えているが、3つ以上のチャンバを含んでもよい。図2は、基板搬送装置の概略断面図である。図2に示すように、縦向きに配置された基板支持体4は、進行方向と垂直な断面において、ハの字状に傾斜して向かい合った矩形の側面を有し、その側面にそれぞれ矩形の基板2を支持可能に構成されている。即ち、基板支持体4は、ハの字状に向かい合った傾斜側壁4a、4bと、該傾斜側壁4a、4bの各上端部を連結した平坦な上壁4cを有している。本例においては、基板2は、縦1700mm以上横1300mm以上の大型の矩形基板を用いたが、これに限定されず、円盤状の基板であってもよい。また、基板支持体4は、縦2000mm以上、横1700mm以上である。基板支持体4の傾斜側壁4a、4bの内側には、水平方向にわたって、係合部材以下、ガイドレール14が設けられている。なお、ガイドレール14は、曲面状の溝を有していてもよいし、摺動可能な平面を有するだけでもよい。一方、図1に示すように、チャンバ1A、1B内には、基板支持体4の移動経路に沿って、回転可能な複数の軸受以下、ガイドローラ3が離間して設けられている。ガイドローラ3は、該基板支持体4のガイドレール14の溝にはめ込まれ、基板支持体4を水平方向に移動可能に支持する支持部材として機能している。図2に示すように、基板支持体4の傾斜側壁4a、4bの下端部には、それぞれ基板の搬送方向水平方向に渡って、複数のラック磁石を有する第1磁気ラック6が設けられている。各第1磁気ラック6の下方には、第1磁気ラック6とは非接触状態で磁気結合した、複数のピニオン磁石を有する回転可能な磁気ピニオン5a、5bが設けられている。図1に示すように、基板支持体4が移動する経路にそって、基板支持体の進行方向と垂直に、複数の磁気ピニオン5本例では3つが所定の間隔を隔てて配置されている。図2に示すように、基板支持体4の一方の傾斜側壁4aの下端部に設けられた、第1磁気ラック6と磁気結合する磁気ピニオン5の回転軸は、チャンバ1Aの外部に設けられたモータ7の回転軸51と接続され、モータ7の回転により回転可能になっている。さらに、基板支持体4の他方の傾斜側壁4bの下端部に設けられた、第1磁気ラック6と磁気結合する磁気ピニオン5の回転軸も、モータ7の回転軸51と接続され、モータ7の回転により回転可能になっている。なお、本例では、磁気ピニオン5をチャンバの内部、即ちプロセス環境の内側に設けたが、これに限定されず、隔壁を介してチャンバの外側に、磁気ピニオン5を設けるようにしてもよい。また、本例では、磁気ピニオン5a、5bと磁気ラック6とが鉛直方向で磁気結合させたが、水平方向で磁気結合するように構成してもよい。磁気ピニオン5を回転することにより、基板支持体4は、図1の矢印の方向へ直線状に移動する。この磁気ピニオン5と第1磁気ラック6とにより、非接触状態で磁気ピニオン5の回転を第1磁気ラック6の直線移動への変換する磁気駆動部が構成される。なお、図1に示すように、離間して設けられた複数の磁気ピニオンを回転するために、個別にモータを設けて、各モータを同期する制御手段を設けてもよい。また、複数の磁気ピニオン5同士を、ギアで連結し、単一のモータで、各磁気ピニオンの回転を同期させるようにしてもよい。なお、本例では、磁気ピニオン5は、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bを有するが、片方のみの磁気ピニオンであってもかまわない。図1及び図2に示すように、基板支持体4の上壁4c上には、上部マグネット9が設けられている。一方、チャンバ1Aの天井には、該マグネット9と磁気結合するマグネット8が配置されている。図3は、図1の上部マグネット8,9を説明する拡大図である。図3aは上部マグネット8,9の断面図であり、図3bは上部マグネット8,9の側面図である。図3aに示すように、チャンバ側には、異なる磁極の棒状マグネット8a、8bが2列に並べられている。基板支持体側には、異なる磁極の棒状マグネット9a、9bが2列に並べられている。図3bに示すように、チャンバ側に固定された棒状マグネット8a本例ではN極と、基板支持体4側に固定された棒状マグネット9aS極が非接触状態で鉛直方向に磁気結合している。同様に、チャンバ側に固定された棒状マグネット8b本例ではS極と、基板支持体4側に固定された棒状マグネット9bN極が非接触状態で鉛直方向に磁気結合している。図4は、図1の磁気ラック6および磁気ピニオン5の拡大図である。図4に示すように、磁気ラック6は、N極磁石とS極磁石が交互に直線状に配置された複数のラック磁石6bと、該ラック磁石6bより地面からの距離が遠ざかる位置に設けられた特定ラック磁石6a、6cを含む。図4に示すように、磁気ラック6の複数のラック磁石と近接する、反対極性の磁気ピニオン磁石が互いに磁気結合している。従って、磁気ピニオン5が回転することで、基板支持体4は、右方向へ移動する。なお、磁気ピニオン5を反対に回転する場合は、基板支持体4は、左方向に移動する。磁気ラック6の中央部に配置される複数のラック磁石は、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石も、互いに略対称にピニオン磁石と磁気結合している。さらに本例では、それぞれ3個N極、S極、N極の特定ラック磁石6a、6bを備え、基板支持体4の両端部に向かって徐々に地面からの距離が遠ざかるように構成されている。このように、特定ラック磁石6a、6cは、磁気ラックの端部に向かって徐々にピニオン磁石5との距離が遠ざかる位置に配置されることで、磁力は、磁石間の距離が離れるごとに弱くなる。つまり、特定ラック磁石6a、6cは、磁気ラックの両端部に向かって、磁気ピニオンとの間で発生する磁気結合力が弱くなるように、構成されている。つまり、磁気ラック6の端部に、磁気ピニオン5は位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック6が磁気ピニオン5に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。なお、本例では、3個の特定ラック磁石を設けたが、本発明の趣旨は、これに限定されず、他のラック磁石6bと比べて、ピニオン磁石との間での磁力が弱まった1個以上の特定ラック磁石があればよい。さらに、2個以上のラック磁石を備えた場合は、磁気ラックの端部に向かって、段階的に、ピニオン磁石との磁気結合力が弱くなるように構成したほうがよい。また、円筒形の回転可能な磁気ピニオン5は、水平方向に伸びた回転軸の周りに交互に並べられたN極磁石とS極磁石を含む。磁気ピニオン5の各ピニオン磁石は、磁気ピニオンの径方向に着磁されている。一方、磁気ラック6の各ラック磁石は、鉛直方向に着磁されている。なお、本例では、ラック磁石の各磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も扇形の同一形状で、同一間隔隙間無しで配置されている。各ピニオン磁石は、棒状角形の磁石であってもよく、所定の同一間隔を空けて設けてもよい。図5は、図4のA-A線における磁気ピニオンの側面図である。図5に示すように、磁気ラック6の真下には、シャフト51を介して回転可能に磁気ピニオン5が設けられている。図6は、図4に示す磁気ラックの底面図である。図6に示すように、特定ラック磁石6a、6cも、他のラック磁石6bも、磁気ピニオンに対向する表面積は、同じ大きさになっている。また、ラック磁石間の間隔も、同一になっている。第2実施形態図7及び図8を参照して、本発明の第2実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンを説明する。図7は、第2実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンの拡大図である。図8は、図7に示す磁気ラックの底面図である。本実施形態の基板搬送装置は、第1実施形態で示した基板搬送装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。図7に示すように、本実施形態の磁気ラック6の複数のラック磁石は、異極の磁石が互いに交互に配置され、特定ラック磁石6a、6cも含め、全て直線状に並べられている。一方、図8に示すように、特定ラック磁石6a、6cの磁気ピニオンに対向する表面積は、他のラック磁石6bより小さくなっている。さらに本例では、3個の特定ラック磁石6a、6cを有し、それらの表面積は、磁気ラックの端部に向かって、徐々に小さくなっている。つまり、特定ラック磁石6a、6cは、端部に向かって、磁気ピニオンとの間に発生する磁気結合力が弱くなるように、構成されている。つまり、磁気ラック6の端部に、磁気ピニオン5が位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック6が磁気ピニオン5に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。第3実施形態図9~11を参照して、第3実施形態に係る基板搬送装置を説明する。本実施形態の基板搬送装置は、第1実施形態で示した基板搬送装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。図9は、第3実施形態に係る基板搬送装置の概略断面図である。図10は、第3実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。図9に示すように、基板支持体4の傾斜側壁4a、4bの下端部には、それぞれ水平方向に渡って、複数のラック磁石を有する磁気ラック6が設けられている。各磁気ラック6の下方には、磁気ラック6とは非接触状態で磁気結合した、複数のピニオン磁石を有する回転可能な磁気ピニオン5a、5bが設けられている。図10に示すように、基板支持体4が移動する経路にそって、基板支持体の進行方向と垂直に複数の磁気ピニオン5が所定の間隔を隔てて配置されている。図9に示すように、基板支持体4の一方の傾斜側壁4aの下端部に設けられた、磁気ラック6aと磁気結合する磁気ピニオン5a、5bの回転軸は、チャンバ1Aの外部に設けられたモータ7の回転軸51と接続され、モータ7の回転により回転可能になっている。さらに、基板支持体4の他方の傾斜側壁4bの下端部に設けられた、第1磁気ラック6と磁気結合する磁気ピニオン5a、5bの回転軸も、モータ7の回転軸51と接続され、モータ7の回転により回転可能になっている。なお、本例では、磁気ピニオン5は、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bを有するが、これに限定されず、片方のみの磁気ピニオンであってもかまわない。図10に示すように、磁気ラック6の複数のラック磁石と近接する、反対極性の磁気ピニオン磁石が互いに磁気結合している。磁気ピニオン5を回転することにより、基板支持体4は、図10の矢印の方向へ直線状に移動可能である。この磁気ピニオン5と磁気ラック6とにより、非接触状態で磁気ピニオン5の回転を第1磁気ラック6の直線移動への変換する磁気駆動部が構成される。図11は、図9の磁気ラック6および磁気ピニオン5の拡大正面図である。図12は、図10の磁気ラックと磁気ピニオンの関係を説明するための拡大上面図である。図10及び図12に示すように、磁気ラック6は、N極磁石とS極磁石が交互に直線状に配置された複数のラック磁石6bと、該ラック磁石6bよりピニオン磁石5a、5bとの距離が遠ざかるように構成された特定ラック磁石6a、6cを含む。本例では、それぞれ3個の特定ラック磁石6a、6cを有し、それらは基板支持体4の両端部に向かって徐々にピニオン磁石との距離が遠ざかるように構成されている。図12に示すように、特定ラック磁石6a、6cの回転軸方向の幅は、他のラック磁石6bに比べ、短くなっている。つまり、特定ラック磁石6a、6cは、他のラック磁石6bよりピニオン磁石との間に発生する磁気結合力が小さい。さらに本例では、それぞれ3個の特定ラック磁石6a、6cを有し、それらは磁気ラック6の端部に向かって、磁気ピニオン5a、5bとの間に発生する磁気結合力が弱くなるように、構成されている。また、円筒形の回転可能な磁気ピニオン5aは、水平方向に伸びた回転軸の周りに交互に並べられたN極磁石とS極磁石を含む。なお、特定ラック磁石6a、6c以外のラック磁石の各磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も同一形状で、同一間隔で配置されている。つまり、磁気ラック6の両端部に、磁気ピニオン5が位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック6が磁気ピニオン5に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。図11に示すように、磁気ラック6を挟んで、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bが、水平方向に伸びたシャフト51を介して接続されて設けられている。水平方向に伸びたシャフト51は、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bの回転軸を示している。本例では、第1磁気ラック6と第1磁気ピニオン5aとの間に生じる磁界は、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bの回転軸方向に向いている。つまり、第1磁気ピニオン5aの各ピニオン磁石は、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bの回転軸方向に着磁されている。同様に、第1磁気ラック6と第2磁気ピニオン5bとの間に生じる磁界も、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bの回転軸方向に向いている。つまり、第2磁気ピニオン5bの各ピニオン磁石は、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bの回転軸方向に着磁されている。このように、第1磁気ラック6を挟んだ両側に、第1磁気ピニオン5aと第2磁気ピニオン5bを配置することにより、第1磁気ピニオン5aと第1磁気ラック6との磁力と、第2磁気ピニオン5bと第1磁気ラック6との磁力が相殺され、基板支持体は、水平方向での変動が少なく、安定した姿勢を維持することができる。第4実施形態図13及び図14を参照して、第4実施形態に係る基板搬送装置を説明する。本実施形態の基板搬送装置は、第3実施形態で示した基板搬送装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。図13は、第4実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。図14は、第4実施形態に係る磁気ラックと磁気ピニオンの関係を説明するための拡大上面図である。図13に示すように、磁気ラック6は、N極磁石とS極磁石が交互に直線状に配置された複数のラック磁石6bと、ラック磁石6bより地面との距離が遠ざかるように構成された特定ラック磁石6a、6cを含む。本例では、それぞれ3個の特定ラック磁石6a、6cを有し、それらは、基板支持体4の端部に向かって徐々に地面との距離が遠ざかるように構成されている。図14に示すように、上面から見た特定ラック磁石6a、6cの幅は、他のラック磁石6bと同じになるように設定されている。つまり、本実施形態の磁気ラックは、図4で示した第1実施形態の磁気ラックと同一の構成である。一方、円筒形の回転可能な磁気ピニオン5a、5bは、水平方向に伸びた回転軸の周りに交互に並べられたN極磁石とS極磁石を含む。つまり、本実施形態の磁気ピニオンは、第3実施形態の磁気ピニオンと同一の構成である。このように構成することで、水平方向において、特定ラック磁石6a、6cは、磁気ピニオン5a、5bと対向する表面積が、他の磁気ラック6bよりも小さくなっている。磁石の磁力は、表面積が大きくなるにつれ、強くなる。つまり、特定ラック磁石6a、6cは、磁気ラックの端部に向かって、磁気ピニオンとの磁気結合力が弱くなるように、構成されている。つまり、磁気ラック6の端部に、磁気ピニオン5が位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック6が磁気ピニオン5に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。なお、特定ラック磁石6a、6cおよび他のラック磁石の各磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も同一形状で、同一間隔で配置されている。第5実施形態図15を参照して、第5実施形態に係る基板搬送装置を説明する。本実施形態の基板搬送装置は、第4実施形態で示した基板搬送装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。図15は、第5実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。なお、本実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの上面図は、図14と同じであるので、省略する。図15に示すように、磁気ラック6は、N極磁石とS極磁石が交互に直線状に配置された複数のラック磁石6bと、該ラック磁石6bより地面との距離が遠ざかるように体積が小さく構成された特定ラック磁石6a、6cを含む。本例では、それぞれ3個の特定ラック磁石6a、6cを有し、それらは、基板支持体4の端部に向かって徐々に地面との距離が遠ざかるように体積が小さくなっている。一方、円筒形の回転可能な磁気ピニオン5a、5bは、水平方向に伸びた回転軸の周りに交互に並べられたN極磁石とS極磁石を含む。つまり、本実施形態の磁気ピニオンは、第3実施形態の磁気ピニオンと同一の構成である。このように構成することで、水平方向において、特定ラック磁石6a、6cは、磁気ピニオン5a、5bと対向する表面積が、他の磁気ラック6bよりも小さくなっている。磁石の磁力は、表面積が小さくなるにつれ、弱くなる。つまり、特定ラック磁石6a、6cは、磁気ラックの端部に向かって、他のラック磁石6bより、磁気ピニオンとの磁気結合力が弱くなるように、構成されている。つまり、磁気ラック6の端部に、磁気ピニオン5が位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック6が磁気ピニオン5に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。以上のように、特定ラック磁石6a、6cを、磁気ラックの端部に向かって、他のラック磁石6bより、磁気ピニオンとの磁気結合力が弱くなるように、構成することで、磁気ラックがピニオン磁石上に出入りする際に生じるトルクを軽減することができる。結果的に、モータへの最大負荷を軽減でき、製造コストを低減することができる。"