基板を搬送する基板搬送部と、前記基板への作業を行う作業部と、前記基板搬送部および前記作業部とは独立して設けられ、前記基板を所定の搬送位置で停止させて前記基板を位置決めするストッパ部とを備え、前記ストッパ部は、前記基板搬送部に対して水平方向に移動可能に構成されている、基板作業装置。前記ストッパ部は、前記基板の大きさ、形状または状態に応じて前記基板搬送部に対して水平方向に移動することにより、前記基板を停止させる停止位置を調節可能に構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。前記ストッパ部は、前記基板に当接して前記基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、前記当接部を保持して水平方向に伸縮するアーム部とを含み、前記アーム部が伸縮することにより、前記当接部を移動させて前記停止位置を調節するように構成されている、請求項2に記載の基板作業装置。前記アーム部は、前記基板の搬送方向に沿って伸縮することにより、前記当接部を移動させて前記停止位置を調節するように構成されている、請求項3に記載の基板作業装置。前記ストッパ部は、前記基板に当接して前記基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、前記当接部を保持して、水平方向に伸縮または回動の少なくとも一方が可能なアーム部とを含み、前記アーム部の伸縮または回動の少なくとも一方により、前記当接部を移動させて前記停止位置を調節するように構成されている、請求項2に記載の基板作業装置。前記ストッパ部は、前記アーム部が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合に前記アーム部の水平方向の回動を規制するロック機構をさらに含む、請求項5に記載の基板作業装置。前記ストッパ部は、前記基板の搬送方向に応じて設置位置を変更可能に構成されている、請求項1~6のいずれか1項に記載の基板作業装置。前記ストッパ部は、前記基板搬送部および前記作業部とは独立して前記基板搬送部の上方に設置されている、請求項1~7のいずれか1項に記載の基板作業装置。基板にX線を照射するX線源と、前記基板に照射されたX線に基づいた画像を撮像するX線撮像部と、前記基板を搬送する基板搬送部と、前記X線源、前記X線撮像部および前記基板搬送部とは独立して設けられ、前記基板を所定の搬送位置で停止させて前記基板を位置決めするストッパ部とを備え、前記ストッパ部は、前記基板搬送部に対して水平方向に移動可能に構成されている、X線検査装置。しかしながら、上記特許文献1では、ストッパー装置ストッパ部がコンベア基板搬送部に対して水平方向に移動可能なので、基板を停止させる位置を変更可能であるものの、ストッパー装置が作業ツールユニット作業部に固定されているため、ストッパー装置により基板を停止させる動作と、作業ツールユニットを作業位置に移動させる動作とを並行して行うことができないという不都合がある。このため、作業時間を短縮することが困難であるという問題点がある。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、ストッパ部が基板を停止させる位置を変更可能であるとともに作業時間を短縮することが可能な基板作業装置およびX線検査装置を提供することである。この発明の第1の局面による基板作業装置は、基板を搬送する基板搬送部と、基板への作業を行う作業部と、基板搬送部および作業部とは独立して設けられ、基板を所定の搬送位置で停止させて基板を位置決めするストッパ部とを備え、ストッパ部は、基板搬送部に対して水平方向に移動可能に構成されている。この第1の局面による基板作業装置では、上記のように、ストッパ部を基板搬送部および作業部とは独立して設けることによって、ストッパ部により基板を停止させる動作と、作業部を作業位置に移動させる動作とを並行して行うことができるので、作業時間を短縮することができる。また、ストッパ部を基板搬送部に対して水平方向に移動可能に構成することによって、基板の形状などに応じて停止位置を変更することができる。これにより、ストッパ部が基板を停止させる位置を変更可能であるとともに作業時間を短縮することができる。上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、ストッパ部は、基板の大きさ、形状または状態に応じて基板搬送部に対して水平方向に移動することにより、基板を停止させる停止位置を調節可能に構成されている。このように構成すれば、基板の大きさ、形状または状態に応じた停止位置で各基板を停止させることができるので、各基板により適した位置で作業を行うことができる。この場合、好ましくは、ストッパ部は、基板に当接して基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、当接部を保持して水平方向に伸縮するアーム部とを含み、アーム部が伸縮することにより、当接部を移動させて停止位置を調節するように構成されている。このように構成すれば、アーム部の伸縮量を調節するだけで、基板を停止させる停止位置を容易に調節することができる。上記ストッパ部がアーム部を含む構成の場合において、好ましくは、アーム部は、基板の搬送方向に沿って伸縮することにより、当接部を移動させて停止位置を調節するように構成されている。このように構成すれば、アーム部を基板の搬送方向に沿って伸縮させることにより、基板の搬送方向における基板の停止位置を容易に調節することができる。上記停止位置を調節可能な構成の場合において、好ましくは、ストッパ部は、基板に当接して基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、当接部を保持して、水平方向に伸縮または回動の少なくとも一方が可能なアーム部とを含み、アーム部の伸縮または回動の少なくとも一方により、当接部を移動させて停止位置を調節するように構成されている。このように構成すれば、アーム部を伸縮または回動させて当接部を移動させることにより、基板の搬送方向と交差する方向に当接部を移動させることができるので、基板の形状などに応じて基板を停止させる停止位置を容易に調節することができる。この場合、好ましくは、ストッパ部は、アーム部が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合にアーム部の水平方向の回動を規制するロック機構をさらに含む。このように構成すれば、アーム部が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合に回動しないので、アーム部が不用意に回動して壁などに接触することを防止することができる。上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、ストッパ部は、基板の搬送方向に応じて設置位置を変更可能に構成されている。このように構成すれば、基板の搬送方向が変更された場合でも、ストッパ部の設置位置を変更して容易に基板を停止させることができる。上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、ストッパ部は、基板搬送部および作業部とは独立して基板搬送部の上方に設置されている。このように構成すれば、基板搬送部の上方でストッパ部に対してメンテナンスなどの作業をする際、基板搬送部に干渉されることなく容易に作業することができる。この発明の第2の局面によるX線検査装置は、基板にX線を照射するX線源と、基板に照射されたX線に基づいた画像を撮像するX線撮像部と、基板を搬送する基板搬送部と、X線源、X線撮像部および基板搬送部とは独立して設けられ、基板を所定の搬送位置で停止させて基板を位置決めするストッパ部とを備え、ストッパ部は、基板搬送部に対して水平方向に移動可能に構成されている。この第2の局面によるX線検査装置では、上記のように、ストッパ部をX線源、X線撮像部および基板搬送部とは独立して設けることによって、ストッパ部により基板を停止させる動作と、X線源およびX線撮像部を撮像位置に移動させる動作とを並行して行うことができるので、作業時間を短縮することができる。また、ストッパ部を基板搬送部に対して水平方向に移動可能に構成することによって、基板の形状などに応じて停止位置を変更することができる。これにより、ストッパ部が基板を停止させる位置を変更可能であるとともに作業時間を短縮することができる。本発明によれば、上記のように、ストッパ部が基板を停止させる位置を変更可能であるとともに作業時間を短縮することができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。まず、図1~図15を参照して、本発明の一実施形態によるX線検査装置100の構造について説明する。本発明の第1実施形態によるX線検査装置100は、電子部品が搭載された回路基板基板10を検査対象物とし、半田接合状態検査などの各種検査を行う基板検査装置である。なお、X線検査装置100は、本発明の基板作業装置の一例である。図2に示すように、X線検査装置100は、基台1と、基板搬送部2と、X線源3と、X線撮像部4と、光学撮像部5と、メインストッパ6と、X線源3を覆う遮蔽壁7とを主として備えている。なお、X線源3およびX線撮像部4は、本発明の作業部の一例であり、メインストッパ6は、本発明のストッパ部の一例である。図2に示すように、基台1上には、基板搬送部2と、X線源3と、X線撮像部4と、光学撮像部5と、メインストッパ6とが設置されている。また、基台1の内部には、基板搬送部2、X線源3、X線撮像部4、光学撮像部5およびメインストッパ6を含むX線検査装置100全体の制御を行う制御部12および電源供給を行う電源部13などが配置されている。基台1上には、X方向の両端に配置され、基台1のY方向の略全長に渡って延びる一対の支持台11が配置されている。この一対の支持台11上には、X線源3を支持する支持梁31が設置されている。基板搬送部2は、図2および図3に示すように、X方向に沿って延びる一対のコンベア21を含む。一対のコンベア21は、Y方向の両側から基板10を支持してX方向に搬送することが可能であるとともに、基板検査時には、図示しないクランプ機構によって、基板10を基台1の上方Z1方向の所定位置で保持固定することが可能なように構成されている。一対のコンベア21は、X方向に延びる一対のガイドレール22と、Y方向に延びる一対のガイドレール23とを介して基台1上に設置されている。一対のコンベア21は、X軸モータ24a図7参照およびX軸ボールねじ図示せずによってガイドレール22に沿ってX方向に移動可能であり、Y軸モータ24b図7参照およびY軸ボールねじ図示せずによってガイドレール23に沿ってY方向に移動可能である。これにより、基板搬送部2一対のコンベア21は、基台1上を水平方向X方向およびY方向に移動可能に構成されている。基板搬送部2は、基板10をX2方向に搬送するように構成されている。また、基板搬送部2は、図2に示すように、基板10の搬入時には、コンベア21のX1方向側の端部21aを搬入出口Aまで移動させて、外部に設けられた上流側の搬送ライン図示せずから基板10を受け継ぎ、搬出時には、コンベア21のX2方向側の端部21bを搬入出口Bまで移動させて、下流側の搬送ライン図示せずへ基板10を受け渡すことが可能なように構成されている。このように、基板搬送部2は、遮蔽壁7によって覆われた内部領域を通り、検査対象物である基板10を搬送するように構成されている。また、一対のコンベア21は、図示しないモータおよびボールねじと、ガイドレールとによって、基板10の大きさに合わせてY方向の間隔が可変となっている。また、基板搬送部2は、基板10の搬送方向を、X2方向からX1方向に変更可能に構成されている。X線源3は、図2に示すように、基板搬送部2の上方Z1方向の位置に配置され、下方Z2方向に配置された基板10に対してX線を照射するように構成されている。X線源3は、支持梁31に、図示しない駆動機構により上下方向Z方向に移動可能に取り付けられている。支持梁31は、X方向に延びるとともに両端が一対の支持台11上に固定されている。X線撮像部4は、X線源3および基板搬送部2の下方の位置に配置され、基板10を透過したX線を検出してX線画像を撮像する機能を有する。X線撮像部4は、移動機構図示せずによって、基板搬送部2の下側を水平方向図4のX方向およびY方向に移動可能に構成されている。これにより、基板搬送部2およびX線撮像部4を水平移動させてX線源3と基板10とX線撮像部4との相対位置関係を調節することにより、基板10の表面に垂直な方向真上方向以外に基板10の表面に傾斜する方向斜め方向からもX線を照射して基板10を撮像することが可能である。光学撮像部5は、図2に示すように、基板搬送部2の上方Z1方向の位置で、かつ、X線源3の下方Z2方向の位置に配置されている。また、光学撮像部5は、下方Z2方向に配置された基板10に光を照射して光学画像を撮像するように構成されている。また、光学撮像部5は、支持台11に、図示しない駆動機構によりX方向に移動可能に取り付けられている。これにより、光学撮像部5をX線源3のZ2方向側真下に移動させて、X線撮像部4によるX線画像の撮像と、光学撮像部5による光学画像の撮像とを同時に行うことが可能である。ここで、本実施形態では、メインストッパ6は、基板搬送部2の一対のコンベア21により搬送される基板10を所定の搬送位置で停止させて基板10を位置決めするために設けられている。また、メインストッパ6は、基板搬送部2、X線源3およびX線撮像部4とは独立して設けられている。また、メインストッパ6は、図2に示すように、基板搬送部2の上方Z1方向の位置に配置されている。また、メインストッパ6は、図8および図9に示すように、当接部61と、アーム部62と、ブラケット部63とを含む。また、メインストッパ6は、図7に示すように、メインストッパ駆動部64と、インライン位置検知センサ65と、オフライン位置検知センサ66と、基板検知センサ67と、下方障害物検知センサ68とを含む。また、メインストッパ6は、図4、図5、図9および図10に示すように、アーム部62が水平方向に伸縮可能に構成されている。また、本実施形態では、メインストッパ6は、図5、図6、図10および図11に示すように、ブラケット部63に対してアーム部62が水平方向に回動可能に構成されている。また、メインストッパ6は、X線検査装置100が基板生産のライン内で使用される際のインライン位置と、X線検査装置100が基板生産のラインとは独立して使用される際のオフライン位置とに切替可能に構成されている。なお、X線検査装置100は、インラインで使用する場合、基板搬送部2の一対のコンベア21により基板10を搬送して、メインストッパ6により基板10を所定の搬送位置で停止させるように構成されている。また、X線検査装置100は、オフラインで使用する場合、基板搬送部2の所定の位置にユーザが基板10を直接載置することが可能なように構成されている。当接部61は、基板10を位置決めする際に基板10に当接して所定の搬送位置で停止させるように構成されている。具体的には、当接部61は、図8に示すように、アーム部62のX2方向側の先端に保持されている。また、当接部61は、シリンダ61aおよびバネ61bにより鉛直方向に回動して、基板10を停止させる下降位置と、基板10の基板搬送部2による移動に干渉しない第1退避位置退避位置とに移動可能に構成されている。なお、下降位置は、当接部61の先端が回動し下降した状態図8参照の位置であり、第1退避位置退避位置は、当接部61の先端が回動し上昇した状態図9参照の位置である。つまり、第1退避位置は、基板搬送部2による基板10の搬送の障害にならないようにメインストッパ6当接部61が退避する退避位置である。また、当接部61は、基板10を停止させた後、基板10の搬送方向X2方向に回動して第1退避位置退避位置に移動するように構成されている。すなわち、当接部61は、第1退避位置に移動する際に、基板10から離間する方向に移動するように構成されている。これにより、当接部61が基板10から離れて第1退避位置に移動する際に基板10に振動が伝わることを抑制することが可能である。また、当接部61は、図8に示すように、基板10の大きさ、形状または状態に応じてアーム部62が伸縮することにより停止位置を調節可能に構成されている。つまり、当接部61は、大きさ、形状または状態の異なる基板10を各基板10に適した搬送位置で停止させて位置決めするように構成されている。たとえば、図8に示すように、X方向にL1の長さを有する基板10の場合、当接部61を、X1方向側に移動させることにより、基板10を所定の搬送位置で停止させる。また、X方向にL1より大きいL2の長さを有する基板10の場合、当接部61を、L1の長さの基板10の時よりX2方向側に移動させることにより、基板10を所定の搬送位置で停止させる。また、X方向にL2より大きいL3の長さを有する基板10の場合、当接部61を、L2の長さの基板10の時よりさらにX2方向側に移動させることにより、基板10を所定の搬送位置で停止させる。なお、基板10の形状は、図15に示すように、当接部61に当接する端面の凹凸を含む。また、基板10の状態は、部品の搭載位置などの状態を含む。また、当接部61は、基板10の大きさ、形状または状態に応じてアーム部62が回動することにより停止位置を調節可能に構成されている。つまり、当接部61は、大きさ、形状または状態の異なる基板10を各基板10に適した搬送位置で停止させて位置決めするように構成されている。具体的には、図15に示すように、当接部61は、アーム部62を回動させて基板10の搬送方向と直交する方向Y方向に移動可能に構成されている。また、当接部61は、図15に示すように、アーム部62を伸縮および回動させることにより、基板10のX2方向側の端部のうち、対応する基板10により適した位置に当接させて基板10を位置決め可能に構成されている。これにより、たとえば、極力衝撃を与えたくない部品の近傍を避けて当接部61を基板10に当接させるなど、基板10に応じて当接位置を変更することが可能である。また、当接部61は、基板10に当接する側の面は曲面形状に形成されている。これにより、アーム部62の回動に伴い当接部61の姿勢が変化した場合でも、基板10に当接部61の角が当接することを防止することが可能である。アーム部62は、水平方向に伸縮可能に構成されている。また、アーム部62は、ブラケット部63に水平方向XY方向に回動可能に取り付けられている。また、アーム部62は、図9に示すように、支持部621と、ガイドレール622と、スライダ623と、接続板624と、スライド部625と、ロック板626図8参照とを含む。支持部621は、回動軸62aを介してブラケット部63に保持されている。また支持部621は、アーム部62全体を吊り下げるように支持している。ガイドレール622は、水平方向に延びるように設けられている。ガイドレール622には、スライダ623が嵌り込み、接続板624を介してスライダ623に固定されたスライド部625を水平方向にスライドさせるように構成されている。スライド部625のX2方向側の先端には、当接部61が鉛直方向に回動可能に保持されている。また、アーム部62は、縮む当接部61がX1方向にスライドすることにより第2退避位置退避位置図5および図13参照に移動するように構成されている。なお、第2退避位置は、メインストッパ6が基板10の撮像の障害にならないようにメインストッパ6アーム部62が退避する退避位置である。また、ロック板626は、本発明のロック機構の一例である。ロック板626は、アーム部62の水平方向の回動を規制するために設けられている。具体的には、ロック板626は、図12および図13に示すように、回動中心626aを中心に鉛直方向に回動可能に固定されている。また、ロック板626は、アーム部62が伸びている場合、バネ626cの付勢力により垂直方向Z方向に直立してブラケット部63の下側Z2方向側の凹部626bに上部が入り込み、アーム部62の水平方向の回動を規制するように構成されている。また、図13に示すように、アーム部62が縮んで接続板624がX1方向にスライドして所定の長さ未満の伸縮位置に位置することにより、ロック板626は、接続板624に押されることによりバネ626cの付勢力に抗して回動されて傾斜する。これにより、ロック板626の上部がブラケット部63の凹部626bからはずれる。その結果、ロック板626によるロックが解除されて、アーム部62は、水平方向に回動可能となる。また、アーム部62が伸びる接続板624がX2方向にスライドすると、ロック板626と接続板624とが離間して、ロック板626は、バネ626cの付勢力により垂直方向Z方向に立ちあがる。つまり、アーム部62が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合には、アーム部62の水平方向の回動は規制される。また、アーム部62は、図9に示すように、ピン62bと、レバー62cと、ハンドル62dとをさらに含む。ピン62bは、図9~図11に示すように、支持部621に設けられており、ブラケット部63の穴63aに嵌合して、ブラケット部63に対するアーム部62の位置決めを行うように構成されている。レバー62cは、ブラケット部63の上面にねじ込まれて取り付けられており、締め付けることにより、アーム部62をブラケット部63に対して回動しないように固定するように構成されている。ハンドル62dは、支持部621の上方X1方向に突出するように設けられており、ユーザが手動でアーム部62を回動軸62aを中心に水平方向に回動させる際に持ち手として用いられる。また、アーム部62は、先端が手前方向Y1方向になるスライド部625がY方向に延びる位置に配置されるように回動されることにより、第3退避位置退避位置図6および図11参照に移動するように構成されている。また、アーム部62メインストッパ6が第3退避位置退避位置に位置するとき、メインストッパ6は、X線検査装置100のオフライン使用時のオフライン位置図6参照に位置する。また、スライド部625がX方向に延びるように配置されることにより、アーム部62の先端がX2方向側になるように位置するとき、メインストッパ6は、X線検査装置100のインライン使用時のインライン位置図4および図5参照に位置する。つまり、第3退避位置は、X線検査装置100のオフライン使用時に、基板搬送部2の所定の位置にユーザが基板10を直接載置する際の障害にならないようにメインストッパ6が退避する退避位置である。ブラケット部63は、図14に示すように、一対の支持台11にそれぞれ1つずつ取り付けられている。これにより、アーム部62を一方のブラケット部63から取り外し、他方のブラケット部63に取り付けることが可能である。その結果、メインストッパ6は、基板10の搬送方向に応じて設置位置を変更することが可能である。具体的には、基板10の搬送方向がX2方向X1方向の場合、メインストッパ6は、上流側のX1方向X2方向側の支持台11に設置される。メインストッパ駆動部64図7参照は、アーム部62を水平方向に伸縮する水平駆動機構と、当接部61を鉛直方向に回動させる回動機構とを含む。水平駆動機構は、スライド部625をガイドレール622に対してスライド移動させるように構成されている。回動機構は、当接部61をスライド部625に対して回動させるシリンダ61aと、バネ61bとを有している。インライン位置検知センサ65図10および図11参照は、メインストッパ6がインライン位置にあることを検知するように構成されている。つまり、図9および図10に示すように、メインストッパ6がインライン状態のとき、一組のインライン位置検知センサ65により、メインストッパ6は、インライン位置にあることを検知される。オフライン位置検知センサ66図10および図11参照は、メインストッパ6がオフライン位置にあることを検知するように構成されている。つまり、図11に示すように、メインストッパ6がオフライン状態のとき、一組のオフライン位置検知センサ66により、メインストッパ6は、オフライン位置にあることを検知される。基板検知センサ67図7参照は、基板搬送部2の一対のコンベア21により搬送される基板10がメインストッパ6の下側Z2方向側に搬送されたことを検知するために設けられている。下方障害物検知センサ68は、メインストッパ6の下側Z2方向側に障害物があるか否かを検知するために設けられている。遮蔽壁7は、図1に示すように、箱状形状を有し、X線検査装置100の外装を覆うように構成されている。また、遮蔽壁7は、X線源3から照射されたX線の外部への漏洩を防止するため、X線源3の周囲を覆ってX線を遮蔽するように構成されている。また、図1に示すように、X線検査装置100の前面Y1方向側面および後面Y2方向側面には、それぞれスライド式の開閉扉8が設けられており、装置内部を開放および閉鎖することが可能である。開閉扉8は、X線を遮蔽するように構成されている。また、図2に示すように、X線検査装置100の左右側面X方向側面には、それぞれ、搬入出口Aおよび搬入出口Bを開閉するためのシャッター部9が設けられている。シャッター部9の開口を介して基板搬送部2一対のコンベア21による基板10の搬入出が可能となっている。シャッター部9は、X線を遮蔽するように構成されている。制御部12は、X線検査装置100全体の制御を行うように構成されている。また、制御部12には、図7に示すように、X線源3、X線撮像部4、光学撮像部5、X軸モータ24a、Y軸モータ24b、メインストッパ駆動部64、インライン位置検知センサ65、オフライン位置検知センサ66、基板検知センサ67、下方障害物検知センサ68およびインターフェイス14が接続されている。また、制御部12は、基板検査プログラム、基板データおよび検査データなどを記憶するメモリ12aを含む。また、制御部12は、X線源3、X線撮像部4、光学撮像部5、X軸モータ24aおよびY軸モータ24bを制御して、基板10の撮像を行い、撮像した画像に基づいて基板10の検査を行うように構成されている。また、制御部12は、メインストッパ駆動部64を介してメインストッパ6の駆動を制御するように構成されている。具体的には、制御部12は、メインストッパ6の当接部61を回動させて昇降移動させるように構成されている。また、制御部12は、メインストッパ6のアーム部62を伸縮移動させるように構成されている。また、制御部12は、インターフェイス14に接続されたキーボード14aおよびマウス14bを介してユーザによる操作を受付けて、ユーザの操作に基いてX線検査装置100の制御を行うように構成されている。次に、図16を参照して、X線検査装置100の制御部12による基板停止処理について説明する。ユーザによる基板検査開始の操作が行われると、ステップS1において、制御部12は、基板データおよび検査データをメモリ12aから読み込む。ステップS2において、制御部12は、読み込んだ検査データに基づいて、X線検査装置100がインラインで使用されているか否かを判断する。X線検査装置100がインラインで使用されていれば、ステップS3に進む。X線検査装置100がオフラインで使用されていれば、ステップS14に進む。ステップS3において、制御部12は、インライン位置検知センサ65の検知結果に基づいて、メインストッパ6がインライン位置に位置するか否かを判断する。メインストッパ6がインライン位置に位置していなければ、ステップS1に戻る。なお、この際、ユーザにメインストッパ6がインライン位置に位置しないことを通知するようにしてもよい。メインストッパ6がインライン位置に位置していれば、ステップS4において、制御部12は、X線検査装置100をインライン使用時の仕様に切り替える。具体的には、制御部12は、X線検査装置100を、基板搬送部2の一対のコンベア21により基板10を搬送して、メインストッパ6により基板10を所定の搬送位置で停止させる仕様に切り替える。ステップS5において、制御部12は、メインストッパ6を所定の位置に移動させる。具体的には、制御部12は、メインストッパ6のアーム部62を伸縮移動させて、基板10の大きさ、形状または状態に応じた所定の搬送位置で基板10を停止可能な位置に当接部61を移動させる。ステップS6において、制御部12は、下方障害物検知センサ68の検知結果に基づいて、当接部61が回動して下降する位置に障害物があるか否かを判断する。障害物があれば、ステップS5に戻る。障害物が無ければ、ステップS7に進む。ステップS7において、制御部12は、当接部61を回動させて下降位置に下降させる。ステップS8において、制御部12は、基板搬送部2の一対のコンベア21により基板10をX2方向に搬送する。ステップS9において、制御部12は、基板検知センサ67の検知結果に基づいて、搬送されてくる基板10をメインストッパ6の下側Z2方向側に検出したか否かを判断する。基板10を検出しなければ、ステップS8に戻る。基板10を検出すれば、ステップS10に進む。ステップS10において、制御部12は、基板10の大きさ、形状または状態に応じた所定の搬送位置で基板10を停止させて位置決めをする。具体的には、制御部12は、基板10がメインストッパ6の当接部61に当接して位置決めされた後、基板搬送部2の一対のコンベア21の駆動を停止する。ステップS11において、制御部12は、基板搬送部2のクランプ機構により位置決めされた基板10をクランプして基板搬送部2に対して固定する。ステップS12において、制御部12は、当接部61を回動させて第1退避位置退避位置に上昇させる。ステップS13において、制御部12は、メインストッパ6を移動させる。具体的には、制御部12は、メインストッパ6のアーム部62を伸縮移動させて、アーム部62を第2退避位置退避位置に移動させる。その後、制御部12は、基板停止処理を終了する。ステップS2において、X線検査装置100がオフラインで使用されていると判断されると、ステップS14において、制御部12は、オフライン位置検知センサ66の検知結果に基づいて、メインストッパ6がオフライン位置第3退避位置に位置するか否かを判断する。メインストッパ6がオフライン位置に位置していなければ、ステップS1に戻る。なお、この際、ユーザにメインストッパ6がオフライン位置第3退避位置に位置しないことを通知するようにしてもよい。メインストッパ6がオフライン位置に位置していれば、ステップS15において、制御部12は、X線検査装置100をオフライン使用時の仕様に切り替える。具体的には、制御部12は、X線検査装置100を、基板搬送部2の所定の位置にユーザが基板10を直接載置することが可能な仕様に切り替える。その後、制御部12は、基板停止処理を終了する。次に、図5、図10、および図15を参照して、X線検査装置100のメインストッパ6を水平方向XY方向に回動させる際のユーザの手順について説明する。図5および図10に示すように、アーム部62が縮む接続板624がX1方向にスライドすることにより、ロック板626によるロックが解除された後、ユーザは、レバー62cを回転させて、ブラケット部63に対するアーム部62の締め付けを緩める。そして、ユーザは、ピン62bを持ち上げて、ブラケット部63に対するアーム部62の位置決めを解除する。そして、ハンドル62dを持って押すまたは引くことにより、アーム部62をブラケット部63に対して回動させる。図15に示すように、メインストッパ6アーム部62を所定の回動位置に移動させた後、ユーザは、ピン62bを下ろして、ブラケット部63に対してアーム部62を位置決めする。これにより、ユーザによりメインストッパ6が回動移動される。本実施形態では、上記のように、メインストッパ6を基板搬送部2、X線源3およびX線撮像部4とは独立して設けることによって、メインストッパ6により基板10を停止させる動作と、X線源3およびX線撮像部4を撮像位置に移動させる動作とを並行して行うことができるので、作業時間を短縮することができる。また、メインストッパ6を基板搬送部2に対して水平方向XY方向に移動可能に構成することによって、基板10の形状などに応じて停止位置を変更することができる。これにより、メインストッパ6が基板10を停止させる位置を変更可能であるとともに作業時間を短縮することができる。また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ6を、基板10の大きさ、形状または状態に応じて基板搬送部2に対して水平方向XY方向に移動することにより、基板10を停止させる停止位置を調節可能に構成することによって、基板10の大きさ、形状または状態に応じた停止位置で各基板10を停止させることができるので、各基板10により適した位置で作業を行うことができる。また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ6を、アーム部62が伸縮することにより、当接部61を移動させて停止位置を調節するように構成することによって、アーム部62の伸縮量を調節するだけで、基板10を停止させる停止位置を容易に調節することができる。また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ6を、基板10の搬送方向X方向に沿って伸縮することにより、当接部61を移動させて停止位置を調節するように構成することによって、アーム部62を基板10の搬送方向に沿って伸縮させることにより、基板10の搬送方向X方向における基板10の停止位置を容易に調節することができる。また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ6を、アーム部62を水平方向XY方向に伸縮および回動させることにより、当接部61を移動させて停止位置を調節するように構成することによって、アーム部62を伸縮および回動させて当接部61を移動させることにより、基板10の搬送方向と交差する方向Y方向に当接部61を移動させることができるので、基板10の形状などに応じて基板10を停止させる停止位置を容易に調節することができる。また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ6に、アーム部62が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合にアーム部62の水平方向XY方向の回動を規制するロック板626を設けることによって、アーム部62が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合に回動しないので、アーム部62が不用意に回動して遮蔽壁7などに接触することを防止することができる。また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ6を、基板10の搬送方向に応じて設置位置を変更可能に構成することによって、基板10の搬送方向が変更された場合でも、メインストッパ6の設置位置を変更して容易に基板10を停止させることができる。また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ6を、基板搬送部2、X線源3およびX線撮像部4とは独立して基板搬送部2の上方Z1方向に設置することによって、基板搬送部2の上方Z1方向でメインストッパ6に対してメンテナンスなどの作業をする際、基板搬送部2に干渉されることなく容易に作業することができる。なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。たとえば、上記実施形態では、基板作業装置の一例としてX線検査装置に本発明を適用する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板に対して半田などを印刷する印刷装置や、基板に対して部品実装作業を行う表面実装装置や、X線を用いないで基板を検査する基板検査装置などに、本発明を適用してもよい。また、これらの印刷、実装および検査などの機能を複合的に有するハイブリッド装置に本発明を適用してもよい。また、上記実施形態では、ブラケット部に対してアーム部を水平方向に回動させる際に、ユーザが手動で移動させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ブラケット部に対してアーム部を水平方向に回動させる駆動部を設けて、自動またはユーザの操作により駆動部を駆動させてアーム部を回動させるように構成してもよい。また、上記実施形態では、アーム部は、水平方向に伸縮および回動の両方が可能な構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、アーム部は、水平方向に伸縮または回動の少なくとも一方が可能な構成であってもよい。また、上記実施形態では、X線検査装置が、X線源およびX線撮像部と、光学撮像部とを備える例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、X線検査装置は、光学撮像部を備えていなくてもよい。また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型イベントドリブン型の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。