振動板上に、内部電極、圧電セラミック層および表面電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータであって、前記表面電極の周縁部の下の前記圧電セラミック層に空間が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ。前記空間が、前記表面電極の外周のほぼ全体に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。前記圧電アクチュエータを平面視した場合、前記空間が、前記個別電極より外側で外部に開放されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電アクチュエータ。前記表面電極を複数備え、前記内部電極が、複数の前記表面電極と対向している請求項1~3のいずれかに記載の圧電アクチュエータが、複数の吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の加圧室が開口している流路部材に、前記表面電極と前記加圧室との位置を合わせて積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。前記圧電アクチュエータを平面視した場合、前記表面電極は、前記加圧室内に納まる個別電極本体と、該個別電極本体から前記加圧室の外まで引き出された引出電極とを含み、該引出電極と前記内部電極とに挟まれた前記圧電セラミック層は、前記引出電極と前記内部電極との間が中実である部位と、第2の空間がある部位とを含むことを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。請求項4または5に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。特許文献1に記載されているような圧電アクチュエータで、個別電極の大きさにばらつきがあると、変位素子の変位量がばらつき、加圧室に対する個別電極の位置がばらつくと変位素子の変位量がばらつくという問題があった。したがって、本発明の目的は、個別電極の形成ばらつきに対する変位量のばらつきが小さい圧電アクチュエータ、およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供することにある。本発明の圧電アクチュエータは、振動板上に、内部電極、圧電セラミック層および表面電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータであって、前記表面電極の周縁部の下の前記圧電セラミック層に空間が設けられていることを特徴とする。前記空間が、前記表面電極の外周のほぼ全体に設けられていることが好ましい。前記圧電アクチュエータを平面視した場合、前記空間が、前記個別電極より外側で外部に開放されていることが好ましい。本発明の液体吐出ヘッドは、前記圧電アクチュエータが前記表面電極を複数備えるとともに、前記内部電極が、複数の前記表面電極と対向しており、前記圧電アクチュエータが、複数の吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の加圧室が開口している流路部材に、前記表面電極と前記加圧室との位置を合わせて積層されていることを特徴とする。前記圧電アクチュエータを平面視した場合、前記表面電極は、前記加圧室内に納まる個別電極本体と、該個別電極本体から前記加圧室の外まで引き出された引出電極とを含み、該引出電極と前記内部電極とに挟まれた前記圧電セラミック層は、前記引出電極と前記内部電極との間が中実である部位と、第2の空間がある部位とを含むことが好ましい。本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする。本発明によれば、表面電極の周縁部の下の圧電セラミック層に空間が設けられていることにより、その部分の圧電セラミック層が、ほとんど圧電変形しなくなるので、表面電極の大きさや位置がずれても、変位量の変動を小さくできる。図1は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1以下、プリンタ1とするは、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端に液体吐出ヘッド本体13を有している。液体吐出ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の吐出孔8が設けられている図4および5参照。1つの液体吐出ヘッド2に設けられた吐出孔8からは、同じ色の液滴インクが吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2には図示しない外部液体タンクから液体が供給される。各液体吐出ヘッド2の吐出孔8は、吐出孔面に開口しており、一方方向印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタM、イエローY、シアンCおよびブラックKである。各液体吐出ヘッド2は、液体吐出ヘッド本体13の下面と搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成する液体吐出ヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a~122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体13について説明する。図2は、図1に示された液体吐出ヘッド本体13を示す上面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、液体吐出ヘッド本体13の一部である。図4は、図3と同じ位置の拡大透視図で、吐出孔8の位置が分かり易いように、一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ21の下方にあって破線で描くべき加圧室10加圧室群9、しぼり12および吐出孔8を実線で描いている。図5aは図3のV-V線に沿った縦断面図であり、図5bは、図5aの要部の拡大図であり、図5cは図5aに対応した部分平面図である。液体吐出ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、圧電アクチュエータ21とを有している。圧電アクチュエータ21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に平行になるように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータ21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータ21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータ21により吐出された液滴が混在して着弾することになる。流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び、細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線仮想線のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータ21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータ21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータ21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータ21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータ21に対向する領域に互いに隣接して液体吐出ヘッド本体13の長手方向に延在している。流路部材4は、複数の加圧室10がマトリクス状すなわち、2次元的かつ規則的に形成されている4つの加圧室群9を有している。加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータ21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの加圧室10によって形成された各加圧室群9は圧電アクチュエータ21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、圧電アクチュエータ21は複数の加圧室10を覆うように積層されるので、各加圧室10の開口は、圧電アクチュエータ21で閉塞されている。本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1~E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。全体では、マニホールド5から繋がる加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔8もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。つまり、流路部材4の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔8を投影すると、図3に示した仮想直線のRの範囲に、各副マニホールド5aに繋がっている4つの吐出孔8、つまり全部で16個の吐出孔8が600dpiの等間隔になっている。また、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である以下の間隔で個別流路32が形成されているということである。圧電アクチュエータ21の上面における各加圧室10に対向する位置には後述する個別電極表面電極35がそれぞれ形成されている。すなわち、個別電極35は、圧電アクチュエータ21の上面に、第1の方向および第1の方向とは異なる方向にわたって形成されている。個別電極35は、個別電極本体35aと個別電極35aから引き出された引出電極35bとを含む。個別電極本体35aは、加圧室10より一回り小さく、加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータ21の上面における加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。流路部材4の下面には多数の吐出孔8が形成されている。これらの吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータ21と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔群7は圧電アクチュエータ21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ21の変位素子50を変位させることにより吐出孔8から液滴が吐出できる。吐出孔8の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の吐出孔8は、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。液体吐出ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャしぼりプレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。液体吐出ヘッド本体13は、図5に示されているように、加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、吐出孔8は下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室10を介して副マニホールド5aと吐出孔8とが繋がる構成を有している。各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された加圧室10である。第2に、加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23詳細には加圧室10の入り口からサプライプレート25詳細には副マニホールド5aの出口までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。第3に、加圧室10の他端から吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ部分流路と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23詳細には加圧室10の出口からノズルプレート31詳細には吐出孔8までの各プレートに形成されている。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27~29に形成されている。このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口副マニホールド5aの出口から吐出孔8に至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室10の一端部に至る。さらに、加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔8へと進む。圧電アクチュエータ21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ21の圧電セラミック層21a、21bの積層体の厚さは40μm程度であり、100μm以下であることにより、変位量を大きくすることができる。圧電アクチュエータ21は、流路部材4の加圧室10の開口している平面状の面に積層されており、圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の加圧室10を跨ぐように延在している図3参照。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛PZT系のセラミックス材料からなる。圧電セラミック層21bの内部には、空間21c、21dが設けられておいる。空間21cの上はオーバーハング形状をしている張り出し部21eが設けられ、空間21dの上には橋状構造部21fが設けられている。次に説明する個別電極35の外縁部は、張り出し部21eおよび橋状構造部21fの上に位置している。形成されており、その下部はとなっている。それらの構造については後で詳述する。圧電アクチュエータ21は、Ag-Pd系などの金属材料からなる共通電極内部電極34、Au系などの金属材料からなる個別電極35、個別電極35の上に形成されているAu系などの金属材料からなる接続電極36を有している。個別電極35は上述のように圧電アクチュエータ21の上面における加圧室10と対向する位置に配置されている個別電極本体35aと、個別電極本体35aから加圧室10のない位置まで引き出されている引出電極35bとを含んでいる。引出電極35bの加圧室10のない位置には、接続電極36が形成されている。個別電極35の厚さは、0.3~1μmである。接続電極36は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが5~15μm程度で、引出電極35bの上に形成されている。また、接続電極36は、図示されていない外部配線であるFPCFlexiblePrintedCircuitに設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100からFPCを通じて駆動信号駆動電圧が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータ21に対向する領域内の全ての加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは1~2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なるグランド接続用表面電極不図示が形成されている。グランド接続用表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に、外部配線内の別の電極と接続されている。なお、以上は、圧電アクチュエータ21が2層の圧電セラミック層の場合の構造であるが、3相層以上の圧電セラミック層を積層して、個別電極35と共通電極34が交互になるように配置してもよい。図5に示されるように、共通電極34と個別電極35とは、最上層の圧電セラミック層21bを挟むように配置されている。圧電セラミック層21bにおける個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータ21においては、最上層の圧電セラミック層21bのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック21aは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータ21はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。なお、後述のように、個別電極35に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極35に対応する加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する液体吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ21における各加圧室10に対向する部分は、各加圧室10および液体吐出口8に対応する個別の変位素子50に相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層体中には、図5に示されているような構造を単位構造とする変位素子50が加圧室10毎に、加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、個別電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータ21には変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって液体吐出口8から吐出される液体の量は5~7pLピコリットル程度である。本実施形態における圧電アクチュエータ21の液体吐出時の駆動方法の一例を、個別電極35に供給される駆動電圧駆動信号に関して説明する。個別電極35を共通電極34と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層21bは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層21aは、個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により個別電極35を共通電極34に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分活性部が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21bは加圧室10側へ凸となるように変形ユニモルフ変形する。本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極35を共通電極34より高い電位以下高電位と称すにしておき、吐出要求がある毎に個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位以下低電位と称すとし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、bが元の形状に戻り、加圧室10の容積が初期状態両電極の電位が異なる状態と比較して増加する。このとき、加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から加圧室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、bが加圧室10側へ凸となるように変形し、加圧室10の容積減少により加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極35に供給することになる。このパルス幅は、圧力波がしぼり12から吐出孔8まで伝播する時間長さであるALAcousticLengthが理想的である。これによると、加圧室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。以上のような液体吐出ヘッド2においては、変位素子50の変位を大きくするために個別電極35、より詳しくは、個別電極35のうち平面視した際に加圧室10と重なっている部分で、個別電極35aから引き出されている引出電極35を除いた個別電極本体35aの大きさを加圧室10より小さい所定の大きさにする。加圧室10の形状や、他の部分の流路の構造によって多少の違いが生じることもあるが、個別電極本体35aの面積を加圧室10の面積の6割程度にすることで、変位を極大化し、ひいては、液滴の吐出速度を速くしたり、液適量を多くしたりできる。その反面、圧電セラミック層21bとして、単なる平板形状のものを用いると、個別電極本体35aの形状にばらつきがあった場合、変位素子50の変位量がばらつくことになる。具体的には、個別電極本体35aの形状が、個別電極本体35aの大きさが変わったり、個別電極本体35aと加圧室10との間に位置ずれが生じると変位量がばらつく。個別電極35としては、変位量が小さくならないように、1μm以下の厚さが薄いものや、空隙30以上と多いものを用いるのが好ましいが、そのような個別電極35は、周縁部の位置がずれやすい。特に、個別電極35を焼成で形成する場合、外周の厚さの薄い部分が拡散して一部が焼失したり、空隙が多いために、形成されてはいるものの電気的に接続されていない部分ができたりすることで実質的な外周の位置が変わってしまう。そのような場合に、圧電セラミック層21bにオーバーハング形状をしている張り出し部21eや、橋状構造部21fを形成し、個別電極本体35aの周縁部の下方に空間21c、21dを設けることで、変位量のばらつきを小さくすることができる。空間21c、21dを挟んで対向している個別電極本体35aと共通電極34との間に電圧を加えても、空間21c、21dの上部あるいは下部の圧電セラミック層21bには、ほとんど電界が生じないため、ほとんど圧電変形しない。空間21c、21dの上部あるいは下部の圧電セラミック層21bは、変位素子50の変位にはほとんど寄与しないので、その上部にある個別電極本体35aの外周の位置が変わっても変位量はほとんど変わらない。さらに、張り出し部21eは周囲に接続している部分がないため、わずかに圧電変形したとして、変位素子50の変位にはほとんど寄与しない。そのため、個別電極35aの大きさや位置がずれても、空間21c、21dの上に位置す個別電極本体35aは、変位量にほとんど影響しないため、変位ばらつきを低減できる。特に個別電極本体35aの外周のほぼ全体の下に空間が形成されていることが好ましい。ここでいうほぼ全体とは、例えば、引出電極35bが形成されている部分を除いた部分であり、定量的に言えば、外周の長さの8割以上、特に9割以上であることが好ましい。空間21c、21dは少なくとも平面方向に10μm程度の長さを有することにより、その範囲で、個別電極35aの大きさや位置が変わっても変位量のばらつきを小さくできる。平面方向の長さは個別電極本体35aの外周に直交する方向の長さを指す。なお、ここでいう空間とは、圧電セラミック層21bに内在していることのある直径が1μm以下程度のボイドなどは含まない。そのようなものは存在しても、上述の効果を奏しないし、特にそのボイドが圧電セラミック層21に平均的に分布していれば、上述の効果はない。また、空間21c、21dが個別電極本体35aよりも外側では、圧電アクチュエータ21の外部に開放されている場合、すなわち、個別電極35aの周囲が圧電セラミック層21bから受ける拘束が少ない場合、変位素子50の変位量を大きくできる。空間21c、21dの外部への解放は、個別電極35aの外周のほぼ全体で行なわれているのがよい。また、この外部への開放は、圧電アクチュエータ21を平面視した際に加圧室10の内側で行なわれていると変位量はより増加する。さらに、引出電極35bの下部に橋状構造部21fが形成されて、空間21dが設けられていると、単に変位量のばらつきが低減できるだけでなく、クロストークを低減できる。これは、引出電極35bと共通電極34との間に電圧を加えた際に、その間の圧電セラミックス層21bが圧電変形して、周囲の変位素子50に与える影響が小さくなるからである。またさらに、共通電極34は、平面視した際に複数の個別電極35を収める形状であり、圧アクチュエータ21のほぼ全面に形成されており、共通電極34の上には圧電セラミック層21bが形成されているので、個別電極35とのショートが生じ難い。共通電極34として個別電極35と位置の合わせるようなパターンを形成してもよいが、その場合、共通電極34の形成精度が変位特性に影響を与えるようになるので、共通電極34は全面に形成するのがよい。またその際、共通電極34が大きく露出する構造では、ショートが生じやすいので、外部に接続するために一部を除いて、共通電極34の上のほぼ全面に、圧電セラミック層21bが形成されているのがよい。さらにまた、空間21c、21dの共通電極34に対向する面は、共通電極34とほぼ平行か、個別電極本体35aの面積中心から離れるほど、圧電セラミック層21bが厚くなるようになっていると、その部分の圧電駆動が変位量に与える影響を小さくできる。同様に、空間21c、21dの個別電極35に対向する面は、個別電極35とほぼ平行か、個別電極本体35aの面積中心から離れるほど、圧電セラミック層21bが厚くなるようになっていると、その部分の圧電駆動が変位量に与える影響を小さくできる。またさらに、引出電極35bと共通電極34とに挟まれた圧電セラミック層21bは、引出電極35bと共通電極34との間が中実である部位と、空間21dがある部位とを含んでいる。外部との接続は、中実である部位の上で行なわれるので、接続の確実性を高くできる。空間21bがあるので、個別電極本体35aの外側の、変位量に寄与しない個別電極35の下の圧電セラミック層21bが、圧電電変形することにより生じる、周囲の変位素子50とのクロストークを低減できる。続いて、本発明の他の液体吐出ヘッドの実施形態を図6および7を用いて説明する。図6a、b、図7a、bに示す液体吐出ヘッドは、基本構造は図1~5で示したものと同じであるが、圧電アクチュエータの構造が異なっている。図6の圧電アクチュエータでは、空間は引出電極35bの下には形成されておらず、空間221cは、個別電本体35aの引出電極35bが引き出されている部分を除く外周全体に形成されている。このよう構造であっても個別電極本体35aの外周のほとんど全体に空間221cが形成されているので、個別電極35の形成ばらつきが変位特性に与える影響を小さくできる。図7の圧電アクチュエータでは、空間321c、321dは、圧電セラミック層321bの内部に形成されている。この場合も、圧電セラミック層321bは、空間321c、321dが設けられていることにより、変形し易くなっているので、変位量は大きくなる。なお、変位量の増加量は、空間が外部に開放されている図5、6に示した圧電アクチュエータの方がより大きい。空間321c、321dは、図5に示した圧電アクチュエータと同様に、個別電極本体35aの形成ばらつきが変位特性に与える影響を小さくできる。以上のような圧電アクチュエータは、例えば、工程順に示した図8a~eのような工程により作製することができる。まず、圧電セラミック層に用いる圧電材料をチタン酸ジルコン酸鉛PZTとし、PZT粉末とバインダと溶剤とを混合してスラリーを作成し、このスラリーから、成形方法としてロールコーター法を採用して、グリーンシートを作製する。図8aは、焼成後にセラミック振動板21aとなるグリーンシート221a以下一部のものについて、同じ符号であってもの焼成前後で異なる名称で記載することがあるに共通電極34となる導体層34を導体ペートとして塗布し、乾燥したものと、焼成後に圧電セラミック層21bの一部となるグリーンシート21b-1に図示しないビアホールとなる貫通孔を金型により打ち抜きなどで形成したものである。グリーンシート21b-1の層は前述のスラリーを塗布して形成してもよい。図8bは、焼成時に焼失する焼失層70-1をスクリーン印刷などで形成し、乾燥させたものである。印刷時の焼失層70-1は、有機バインダと溶剤と構成されており、保形性がよくなるように樹脂のフィラーを入れてもよい。図8cは、焼失層70-2をスクリーン印刷などで形成し、乾燥させたものである。図8dは、上述のスラリーをスクリーン印刷し、乾燥させたて、焼成前の圧電セラミック層21b-2を形成したものである。図8eは、これを例えば1020°Cの温度で焼成し、個別電極35を形成したものである。焼失層70-1、70-2は1020°Cまで昇温する過程で、分解し焼失する。焼失層70-1、70-2が焼失しやすいように昇温過程で、昇温を一時止めたり、昇温を緩やかにしてもよい。個別電極35は、スクリーン印刷により、Auを主成分とする導体ペーストを塗布し、800°Cの熱処理によって形成できる。シミュレーションにより個別電極の形成精度が変位特性に与える影響を低減できることを確認した。シミュレーションでは、次に示す2次元のアクチュエータ、別の言い方をすれば、無限に長い形状の圧電アクチュエータの変位量を調べた。比較例として圧電セラミック層21bに空間が形成されていないもの図7a、bから空間321c、321dを除いたもの、本発明のものとして図5a、b、cのように空間21c、21dが形成されたものを比較した。加圧室10の幅:760μm個別電極本体35aの幅:560μm張り出し部21eの形成されている部分の圧電セラミック層21bの幅:680μm空間21cの形成されている部分の圧電セラミック層21bの幅:540μm圧電セラミック層21bの厚さ:20μm張り出し部21eの厚さ:5μm空間21cの厚さ:5μm振動版21aの厚さ:10μm個別電極本体35aの幅を560μmを580μmにすると、比較例では、変位量は259.43nmから245.29nmに変動したが、本発明のものでは、いずれの場合も変位量は765.36nmで、ばらつきは生じなかった。個別電極本体35aの位置を加圧室10の中心から20μmずらすと、比較例では、変位量は259.43nmから256.91nmに変動したが、本発明のものでは、いずれの場合も変位量は765.36nmで、ばらつきは生じなかった。以上のように、個別電極35の周縁部の下の圧電セラミック層21bに空間が設けられれていることにより、個別電極35に形成ばらつきが生じた場合の変位素子50の変位量のばらつきが小さくなった。また、本発明のものは、空間21cが、個別電極本体35aより外側で外部に開放されているため、変位量が大きくなっている。