電圧の印加に応じて伸縮する板状の圧電素子と、前記圧電素子が少なくとも一方の主面に固着されている板状の振動板と、前記振動板の一端を固定する支持体とを備え、前記振動板の一端は固定端、他端は自由端であり、前記圧電素子は引っ張り応力を与えられた状態で維持されていることを特徴とする圧電ファン。前記圧電素子は熱硬化性樹脂によって前記振動板の少なくとも一方の主面に固着されており、前記振動板は前記圧電素子よりも線膨張係数の小さい材料から構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電ファン。前記支持体は前記振動板よりも線膨張係数の大きい材料から構成されており、前記支持体は細長形状をしており、前記支持体は長手方向が前記振動板の短手方向の両端に至るように、前記振動板のいずれか一方の主面の一端を熱硬化性樹脂によって固定され、前記振動板は引っ張り応力を与えられた状態で維持されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電ファン。前記支持体は細長形状をしており、前記支持体は長手方向が前記振動板の短手方向の両端に至るように、前記圧電素子が一方主面に固着されている前記振動板の他方主面に固定されており、前記支持体の前記振動板との固定面は、支持体の長手方向の中央部分が前記振動板側に凸となるように円弧状に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電ファン。請求項1~4のうちいずれか1項に記載の圧電ファンと、筺体とを備え、前記圧電ファンの支持体は、両端を前記筺体に押圧して二点固定されており、前記筺体は固定面が平坦に形成され、前記圧電ファンの支持体は、長手方向の中央部分が前記圧電ファンの振動板側に凸になるように反って固定されるように、前記固定面に接触する前記圧電ファンの支持体の主面が、前記固定面に対して傾斜して形成されていることを特徴とする冷却装置。このような圧電ファンでは、発熱量の大きな電子機器に対応するためにより高い送風能力が望まれているが、従来の圧電ファンでは、印加電圧に対する振動板の屈曲変位量が小さいために振動板の振幅が小さく、送風能力が十分でないという問題があった。そこで本発明は、従来と同程度の印加電圧で今まで以上の送風能力を得ることができる圧電ファン及び冷却装置を提供することを目的とする。本発明の圧電ファンは、電圧の印加に応じて伸縮する板状の圧電素子と、前記圧電素子が少なくとも一方の主面に固着されている板状の振動板と、前記振動板の一端を固定する支持体とを備え、前記振動板の一端は固定端、他端は自由端であり、前記圧電素子は引っ張り応力を与えられた状態で維持されていることを特徴とする。この場合は、分極処理に加えて圧電素子に引っ張り応力が与えられているため、従来よりもさらに圧電素子の結晶内の分極方向が揃いやすくなる。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなる。また本発明は、前記圧電素子は熱硬化性樹脂によって前記振動板の少なくとも一方の主面に固着されており、前記振動板は前記圧電素子よりも線膨張係数の小さい材料から構成されていることが望ましい。この場合は、圧電素子と振動板との接着硬化後に常温に戻った際に、振動板の収縮量が小さいために圧電素子が十分に収縮できず、圧電素子に引っ張り応力が与えられた状態が維持される。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなる。また本発明は、前記支持体は前記振動板よりも線膨張係数の大きい材料から構成されており、前記支持体は細長形状をしており、前記支持体は長手方向が前記振動板の短手方向の両端に至るように、前記振動板のいずれか一方の主面の一端を熱硬化性樹脂によって固定され、前記振動板は引っ張り応力を与えられた状態で維持されていることが望ましい。この場合は、支持体と振動板との接着硬化後に常温に戻った際に、振動板の収縮量が小さいために支持体が振動板側に凸に反る。振動板は支持体に対して十分に厚みが薄いため、支持体の略中央から振動板、及び圧電素子にかけて引っ張り応力が与えられた状態が維持される。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなる。また本発明は、前記支持体は細長形状をしており、前記支持体は長手方向が前記振動板の短手方向の両端に至るように、前記圧電素子が一方主面に固着されている前記振動板の他方主面に固定されており、前記支持体の前記振動板との固定面は、支持体の長手方向の中央部分が前記振動板側に凸となるように円弧状に形成されていることが望ましい。この場合は、圧電素子が固着された振動板を支持体に接合した際に振動板が一方主面側に凸に反るため、圧電素子に引っ張り応力が与えられた状態が維持される。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなる。また本発明の冷却装置は、前記したような圧電ファンと、筺体とを備え、前記圧電ファンの支持体は、両端をねじ止めにより前記筺体に押圧して二点固定されており、前記筺体は固定面が平坦に形成され、前記圧電ファンの支持体は、長手方向の中央部分が前記圧電ファンの振動板側に凸になるように反って固定されるように、前記固定面に接触する前記圧電ファンの支持体の主面が、前記固定面に対して傾斜して形成されていることを特徴とする。この場合は、支持体を振動板側に凸になるように反らせて固定しているので、支持体の略中央から振動板、及び圧電素子にかけて引っ張り応力が与えられた状態が維持される。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなる。本発明によれば、分極処理に加えて圧電素子に引っ張り応力が与えられているため、従来よりもさらに圧電素子の結晶内の分極方向が揃いやすくなる。このため、圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなる。以下に、本発明の実施形態に係る圧電ファン及び冷却装置について説明する。実施形態1以下、実施形態1について、図1と図2を参照しながら説明を行う。本実施形態1の圧電ファン10は図1に示すように、所定周波数の駆動交流電圧の印加に応じて伸縮する圧電素子11と、振動板12と、支持体13とから構成されている。圧電素子11は、振動板12の両主面に固着されている。振動板12は、一方主面の一端が支持体13に支持されている。振動板12の一端は固定端14、他端を自由端15とする。固定端14は振動の節となる固定端のことを指す。振動板12は、幅46mm×長さ50mm×厚み50μmの薄い板状に形成されている。振動板12は長さ方向の中央に曲げ部16が設けられており、曲げ部16にて支持体13を設けた側に約90度に折り曲げてL字型に形成されている。固定端14から曲げ部16までの長さは25mm、自由端15から曲げ部16までの長さは25mmである。振動板12の幅は曲げ部16を境に変化しており、曲げ部16よりも自由端15側の振動板12の幅は46mm、曲げ部16よりも固定端14側の振動板12の幅は35mmに加工されて形成されている。振動板12の曲げ部16よりも自由端15側では、振動板12が7枚の分割板12aに分割されて熊手型に形成されており、各分割板12aは等間隔に形成されている。各分割板12aの幅はそれぞれ4.5mmである。振動板12は、例えば42Niから構成されている。42Niの線膨張係数は4.4×106/°Cである。圧電素子11は、幅33.4mm×長さ15.8mm×厚み55μmの板状であり、両主面に電極図示せずが形成されている。圧電素子11は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成されている。圧電素子の線膨張係数は8.3×106/°Cである。圧電素子11は、振動板12の曲げ部16よりも固定端14側に固着されている。支持体13は、幅48mm×長さ5mm×厚み3mmの直方体形状であり、例えばガラスエポキシ樹脂から構成されている。支持体13は、両端の2箇所でねじ止めされることで筺体図示せずに支持されるものである。図2に示すように、圧電ファン10は、圧電素子11に形成されている一方の電極図示せずと導体からなる振動板12とに、駆動交流電源17から電圧を印加して駆動させる。圧電素子11が圧電素子11の長さ方向に伸縮を行うと、振動板12は一端が固定されているために、曲げ部16が圧電素子11の厚み方向に振動する。その結果、自由端15が圧電素子11の長さ方向にうちわ状に屈曲振動を行い、圧電ファンとして駆動する。本実施形態では、圧電素子は引っ張り応力を与えられた状態で維持されている。このように形成しているので、分極処理に加えて圧電素子に引っ張り応力が与えられているため、従来よりもさらに圧電素子の結晶内の分極方向が揃いやすくなる。これより圧電素子の変位量が大きくなるので、圧電ファンの送風能力が増加する。以下にその根拠となる実験結果を記述する。実験例1と比較例1実験例1として図1に示す圧電ファン10を用い、比較例1として実験例1と一部異ならせた圧電ファンを用いて実験を行った。実験例1と比較例1との異なる点は振動板の線膨張係数である。実験例1として振動板に42Niを用い、比較例1として振動板にSUSを用いた。42Niの線膨張係数は圧電素子の線膨張係数よりも小さく、4.4×106/°Cである。SUSの線膨張係数は圧電素子の線膨張係数よりも大きく、17.3×106/°Cである。詳しい条件については表1に示す。本実験では、これら2つの圧電ファンを用いて、基本波で駆動させた時の振動板の振幅を測定して送風能力の比較を行った。なお、本明細書での振幅は両振幅のことである。送風能力は、周波数×振幅によって決定される。振幅の測定にはレーザー変位計を用い、振動板の自由端の圧電素子の長さ方向への振幅を測定した。各圧電ファン共に印加する電圧は20Vppとした。実験結果を表1に示す。実験例1と比較例1との送風能力を比較すると、実験例1の送風能力は596.3Hzmmであり、比較例1の送風能力は512.9Hzmmであった。これより、振動板が圧電素子よりも線膨張係数の小さい材料から構成されていると、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなり、より望ましいといえる。これは、圧電素子と振動板とが接着硬化後に常温に戻った際に、振動板の収縮量が小さいために圧電素子が十分に収縮できず、圧電素子に引っ張り応力が与えられた状態が維持されるためである。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加する。実験例1と実験例2実験例1として図1に示す圧電ファン10を用いて実験を行い、実験例2として実験例1と一部異ならせた圧電ファンを用いて実験を行った。実験例1と実験例2との異なる点は支持体13の線膨張係数である。実験例1として振動板よりも線膨張係数の低い熱硬化性樹脂を用い、実験例2として振動板よりも線膨張係数の高い熱硬化性樹脂を用いた。詳しい条件については表1に示す。本実験では、これら2つの圧電ファンを用いて、基本波で駆動させた時の振動板の振幅を測定して送風能力の比較を行った。本実験では、各圧電ファン共に印加する電圧は20Vppとした。実験結果を表1に示す。実験例1と実験例2との送風能力を比較すると、実験例1の送風能力は596.3Hzmmであり、実験例2の送風能力は701.3Hzmmであった。また、表1の条件下での振動板の位置による変位量を図3に示す。振動板の一端からの距離とは、図1に示す振動板12の幅方向の一端と支持体13との幅方向の一方の固着点Xを始点として、他方の固着点X’を終点とする直線状の距離を示す。反り量とは、振動板12の主面上の一方の点Xと他方の点X’との直線ラインを基準としたときの、基準点からの距離を示す。実験例1と実験例2とを比較すると、実験例1では、振動板の位置が初期値から19mmの時に最小値-11.6μmを示し、振動板の中央部ほど変位量が大きく、グラフが下に凸となる傾向があった。これに対して実験例2では、振動板の位置が初期値から24mmの時に最大値36.1μmを示し、振動板の中央部ほど変位量が大きく、グラフが上に凸となる傾向があった。これより、支持体は振動板よりも線膨張係数の大きい材料から構成されており、支持体は直方体形状をしており、支持体は幅方向が振動板の幅方向の両端に至るように、振動板のいずれか一方の主面の一端を熱硬化性樹脂によって固定され、振動板は引っ張り応力を与えられた状態で維持されていると、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなり、より望ましいといえる。これは、支持体と振動板とが接着硬化後に常温に戻った際に、振動板の収縮量が小さいために支持体が振動板側に凸に反る。振動板は支持体に対して十分に厚みが薄いため、支持体の厚み方向の略中央から振動板、及び圧電素子にかけて引っ張り応力が与えられた状態が維持されるためである。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するのでより送風能力が高くなる。上記実施形態では、振動板は42Niから形成されているが、これに限るものではない。例えば線膨張係数が圧電素子より小さいものであればどのような材料を用いてもよい。上記実施形態では、圧電素子は両主面に固着されているが、これに限るものではない。圧電素子は少なくとも一方の主面に固着されていればよい。実施形態2図4は本発明の実施形態2に係る圧電ファンを示し、同図Aは斜視図、同図Bは正面図である。なお、本明細書において、正面図は理解しやすくするために概略的に示している。本実施形態の圧電ファン20は、図4Aに示すように、圧電素子21と、圧電素子21が貼付されている振動板22と、振動板22の一端を固定する支持体23とを備える。振動板22は長さ方向の中央に曲げ部26が設けられており、曲げ部26にて支持体23を設けた側に約90度に折り曲げてL字型に折り曲げ加工がなされている。振動板22の自由端25側の領域は複数の分割板22aに分割されて形成されている。本実施形態における実施形態1との異なる箇所は、支持体23の形状である。具体的には、支持体23の前記振動板22との固定面は、支持体23の長さ方向の中央部分が前記振動板22側に凸となるように円弧状に形成されている。このように構成しているので、振動板を支持体に接合した際に振動板が一方主面側に凸に反るため、圧電素子に引っ張り応力が与えられて圧電素子の変位量が大きくなる。このため圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなり、より望ましいといえる。上記実施形態では、支持体を一体成型して円弧状に形成しているが、これに限るものではない。例えば、別体を用いることで円弧状に形成してもよい。実施形態3図5は本実施形態3に係る冷却装置50の正面図である。なお、本明細書において、正面図は理解しやすくするために概略的に示している。本実施形態の冷却装置50は、圧電ファン30とヒートシンク40とから構成されている。圧電ファン30は圧電素子と、圧電素子が貼付されている振動板32と、振動板32の一端を固定する支持体33とを備える。振動板32の一端は固定端、他端は自由端である。振動板32の自由端側の領域は複数の分割板32aに分割されて形成されている。本実施形態では、圧電ファン30の支持体33は、両端をねじ止めによりヒートシンク40に押圧して二点固定されており、ヒートシンク40における支持体33との固定面41は凹凸のない平坦な主面に形成されている。支持体33は、固定面41と接触する主面34が固定面41に対して長さ方向の中央に向かって傾斜して形成されている。このように形成しているので、支持体33はヒートシンク40に押圧して固定された際に長さ方向の中央部分が振動板32側に凸になるように反って固定されるため、支持体の厚さ方向の略中央から振動板、及び圧電素子にかけて引っ張り応力が与えられた状態が維持される。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなり、より望ましいといえる。実験例3と比較例2実験例3として図5に示す冷却装置50を用いて実験を行い、比較例2として実験例3と一部異ならせた冷却装置を用いて実験を行った。実験例3と比較例2との異なる箇所は、支持体の主面34の形状である。実験例3として支持体の長さ方向の中央部分が前記圧電ファンの振動板側に凸になるように反って固定されるように、固定面と接触する支持体の主面が固定面に対して長さ方向の中央に向かって傾斜して形成されている冷却装置を用い、比較例2として固定面と接触する支持体の主面が固定面に対して平行に形成されている冷却装置を用いた。詳しい条件については表2に示す。本実験では、これら2つの冷却装置を用いて、冷却装置内の圧電ファンを基本波で駆動させた時の振動板の振幅を測定して送風能力の比較を行った。本実験では、各圧電ファン共に印加する電圧は20Vppとした。実験結果を表2に示す。実験例3と比較例2との送風能力を比較すると、実験例3の送風能力は602.5Hzmmであり、比較例2の送風能力は553.0Hzmmであった。この結果から、支持体の両端を押圧すると支持体が振動板側に凸になるように支持体は、固定面と接触する主面が固定面に対して長さ方向の中央に向かって傾斜して形成されていると、圧電ファンの送風能力が増加するので、より望ましいといえる。これは、支持体を振動板側に凸になるように反らせて固定しているので、支持体の略中央から振動板、及び圧電素子にかけて引っ張り応力が与えられた状態が維持されるためである。このため圧電素子の変位量が大きくなり、圧電ファンの振幅が増加するので送風能力が高くなる。なお、本発明に係る圧電ファン及び冷却装置は、最終的に必ずしも引張り応力がかけられているわけではない。製造上などの理由でやむをえず圧縮応力がかかる場合等に、引っ張り応力を与えて構造により圧縮応力を緩和する状態も含んでいる。なお、本発明に係る圧電ファン及び冷却装置は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。前記実施形態では、圧電素子はチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成しているが、これに限るものではない。例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスの圧電材料などから構成してもよい。前記実施形態では、振動板の中央部に設けられた曲げ部にてL字型に折り曲げているが、これに限るものではない。例えば、U字型やV字型に折り曲げてもよいし、折れや曲げがない振動板であってもよい。前記実施形態では、振動板の曲げ部よりも自由端側に分割板を設けているが、これに限るものではない。例えば、自由端が分割されていなくてもよい。前記実施形態では、振動板を両面から挟むように圧電素子をそれぞれ固着して、バイモルフ型振動子を構成したが、振動板の一方主面のみに圧電素子を接合したユニモルフ型振動子を構成してもよい。