"撮像手段を用いてフレキシブルプリント配線板のはんだ付け部を検査する外観検査装置であって、前記フレキシブルプリント配線板を吸着保持する保持台を備え、前記保持台は、前記フレキシブルプリント配線板が載置されると共に第1の吸着孔が開口する保持面と、前記保持面に開口する開口部を有する収容穴と、上下方向に沿って摺動可能に前記収容穴に収容されている大径部と、前記開口部を通過可能である小径部と、を有する摺動体と、前記摺動体を上方に付勢する付勢手段と、前記第1の吸着孔と前記収容穴に接続され、負圧を発生させる減圧手段と、を備え、前記小径部は、前記小径部の先端で開口する第2の吸着孔を有し、前記摺動体は、前記第2の吸着孔と、前記収容穴において前記大径部よりも下方の空間と、を連通させる通路を有し、前記付勢手段が前記摺動体を付勢することで、前記小径部の先端が前記保持面よりも上方に位置しており、前記第2の吸着孔が前記フレキシブルプリント配線板で閉塞されると、前記減圧手段の負圧によって前記摺動体が引き寄せられて前記小径部が前記収容穴の中に収容されることを特徴とする外観検査装置。請求項1に記載の外観検査装置であって、前記小径部は、前記第2の吸着孔を囲むように前記小径部の先端に設けられた緩衝材を有することを特徴とする外観検査装置。フレキシブルプリント配線板には加工等の影響によって波打ちが生じている場合がある。こうしたフレキシブルプリント配線板のはんだ付け部をカメラを用いて検査する場合に、波打ちによる浮き上がり部分の高低差がカメラの被写界深度を上回っていると、カメラのピントが合わず画像がぼけてしまって検査精度が低下したり、波打ちを抑えるために時間を要するという問題がある。本発明が解決しようとする課題は、フレキシブルプリント配線板のはんだ付け部の検査精度及び検査効率の向上を図ることが可能な外観検査装置を提供することである。[1]本発明に係る外観検査装置は、撮像手段を用いてフレキシブルプリント配線板のはんだ付け部を検査する外観検査装置であって、前記フレキシブルプリント配線板を吸着保持する保持台を備え、前記保持台は、前記フレキシブルプリント配線板が載置されると共に第1の吸着孔が開口する保持面と、前記保持面に開口する開口部を有する収容穴と、上下方向に沿って摺動可能に前記収容穴に収容されている大径部と、前記開口部を通過可能である小径部と、を有する摺動体と、前記摺動体を上方に付勢する付勢手段と、前記第1の吸着孔と前記収容穴に接続され、負圧を発生させる減圧手段と、を備え、前記小径部は、前記小径部の先端で開口する第2の吸着孔を有し、前記摺動体は、前記第2の吸着孔と、前記収容穴において前記大径部よりも下方の空間と、を連通させる通路を有し、前記付勢手段が前記摺動体を付勢することで、前記小径部の先端が前記保持面よりも上方に位置しており、前記第2の吸着孔が前記フレキシブルプリント配線板で閉塞されると、前記減圧手段の負圧によって前記摺動体が引き寄せられて前記小径部が前記収容穴の中に収容されることを特徴とする。[2]上記発明において、前記小径部は、前記第2の吸着孔を囲むように前記小径部の先端に設けられた緩衝材を有してもよい。本発明によれば、摺動体の小径部の先端が保持面よりも上方に位置しているので、フレキシブルプリント配線板の浮き上がり部分に摺動体が吸い付くことができる。また、摺動体がフレキシブルプリント配線板に吸い付いて、第2の吸着孔がフレキシブルプリント配線板で閉塞されると、減圧手段の負圧によって摺動体が引き寄せられて小径部も収容穴の中に収容されるので、フレキシブルプリント配線板の浮き上がり部分を抑えて保持面に密着させることができる。このため、フレキシブルプリント配線板のはんだ付け部の検査の精度と効率を向上させることができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。本実施形態における外観検査装置は、フレキシブルプリント配線板100に実装された電子部品104のはんだ付け部106の良否を、画像処理技術を用いて検査するための装置である。先ず、検査対象であるフレキシブルプリント配線板100の構成について、図1を参照しながら説明する。図1はフレキシブルプリント配線板のはんだ付け部を示す断面図である。フレキシブルプリント配線板100は、図1に示すように、絶縁層101と、配線パターン102と、電子部品104と、を備えている。絶縁層101は、例えば、ポリイミドPI、液晶ポリマLCP、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリエチレンPE等の電気絶縁性を有する材料から構成されたフレキシブルなフィルムである。配線パターン102は、例えば銅Cu等から構成されており、電子部品104が電気的に接続されるランド103を端部に有している。この配線パターン102は、例えば、絶縁層101に積層された銅箔を所定形状にエッチングすることで形成されている。電子部品104は、例えば、チップ型の抵抗器、コンデンサ、インダクタ、IC等のチップ実装部品、SOPやQFP等のリード実装部品、或いはコネクタやスイッチ等の接続部品等の表面実装型の電子部品である。この電子部品104の電極105が配線パターン102のランド103にはんだ付けされて、電極105とランド103の間にはんだ付け部106はんだフィレットが形成されることで、電子部品104が配線パターン102上に実装されている。以上に説明したフレキシブルプリント配線板100には、貫通孔、補強板、配線パターン、リフローの温度等に起因して波打ち現象が発生している場合がある。なお、ここでいう貫通孔とは、フレキシブルプリント基板100においてトリムラインコーナマークを示すための比較的大きな異形の貫通孔である。因みに、フレキシブルプリント配線板100において上記の波打ち現象によって大きく浮き上がる部分100a図4a参照を予め特定しておくことが可能であり、後述する保持台20の第2の吸着ボックス40は、この浮き上がり部分100aに対応するように配置されている。次に、本実施形態における外観検査装置1の構成について、図2及び図3を参照しながら説明する。図2は本実施形態におけるはんだ付け部の外観検査装置の構成を示す断面図、図3は図2のIII部の拡大図である。本実施形態における外観検査装置1は、図2に示すように、第1のカメラ11と、第1の照明装置12と、コンピュータ13と、保持台20と、を備えている。第1のカメラ11は、例えば、CCDやCMOS等の撮像素子を備えたカメラであり、フレキシブルプリント配線板100上のはんだ付け部106を真上から撮像する。第1の照明装置12は、第1のカメラ11によって撮像されるはんだ付け部106に対して光を照射する光源であり、例えば、LED、ハロゲンランプ、レーザ、或いは蛍光灯等から構成されている。この第1の照明装置12は、第1のカメラ11の光軸を取り囲むようなリング形状を有しており、はんだ付け部106に向かって真上から光を照射する。なお、第1の照明装置12の形状は、はんだ付け部106に向かって真上から光を照射することが可能であれば、リング状に限定されない。また、ハーフミラー等を介在させることで、第1の照明装置12を第1のカメラ11から離れた位置に配置させてもよい。本実施形態では、第1のカメラ11と第1の照明装置12とが、特に図示しない移動機構によって水平方向図2中におけるXY平面方向に移動することが可能となっている。なお、保持台20を水平方向に移動させることで、第1のカメラ11及び第1の照明装置12を保持台20に対して相対移動させてもよい。第1の照明装置12からフレキシブルプリント配線板100に照射された光は、はんだ付け部106等で反射され、真上に反射された光が第1のカメラ11によって画像データとして取り込まれる。第1のカメラ11はコンピュータ13に接続されており、第1のカメラ11によって撮像された画像データはコンピュータ13に送信される。コンピュータ13は、第1のカメラ11によって撮像された画像データに対して画像処理を行うことで、はんだ付け部106の良否の判断を行う。具体的な処理の一例としては、例えば、コンピュータ13が、画像データに対して二値化処理を行い、当該二値化画像の対象領域における所定濃度の面積を許容値と比較することで、はんだ付け部106の良否を判断する。なお、図2に示すように、フレキシブルプリント配線板100のはんだ付け部106を斜め上方から撮像する第2のカメラ14を外観検査装置1が備えてもよい。第2のカメラ14によって斜め上方からはんだ付け部106を撮像することで、平面方向のみならず高さ方向の情報も取得することができるので、はんだ付け部106の検査の精度が向上する。第1のカメラ11と同様に、このような第2のカメラ14の光軸の周囲には、リング状の第2の照明装置15が配置されており、この第2の照明装置15によって、はんだ付け部106に対して第2のカメラ14と同じ角度から光を照射することができる。保持台20は、第1のカメラ11や第2のカメラ14の撮像対象であるフレキシブルプリント配線板100を吸着保持する基台である。この保持台20は、図2に示すように、第1の吸着ボックス30と、第2の吸着ボックス40と、連結ボックス80と、真空ポンプ90と、を備えている。この保持台20は、フレキシブルプリント配線板100を吸着保持する保持面21を有している。この保持面21は、第1の吸着ボックス30の上面31と、第2の吸着ボックス40の上面51と、から構成されており、フレキシブルプリント配線板100よりも大きなサイズを有している。この保持面21は、第1の吸着ボックス30と第2の吸着ボックス40とが隣接すると共に、これらの上面31,51が同一平面状に位置していることで形成されている。本実施形態では、上述のように第2の吸着ボックス40が、フレキシブルプリント配線板100の浮き上がり部分100aに対応するように配置されている。これに対し、第1の吸着ボックス30は、それ以外の部分浮き上がりが比較的小さな部分や平坦な部分に対応するように配置されている。なお、図2に示す例では、第2の吸着ボックス40が一つしか図示されていないが、第2の吸着ボックス40の数や配置は、特にこれに限定されず、フレキシブルプリント配線板100の浮き上がり部分100aに応じて適宜設定される。また、本例では、フレキシブルプリント配線板100を保持面21上に直接的に載置するように説明したが、特にこれに限定されない。例えば、製造工程間でフレキシブルプリント配線板100を搬送するためのキャリアを介して、フレキシブルプリント配線板100を保持面21上に間接的に載置してもよい。第1の吸着ボックス30は、フレキシブルプリント配線板100が載置される上面31と、連結ボックス80を介して真空ポンプ90に接続された内部空間32と、を有している。内部空間32は、複数の第1の吸着孔33で上面31に開口している。第2の吸着ボックス40は、収容部材50と、スライド部材60と、バネ70と、を備えている。収容部材50は、図3に示すように、フレキシブルプリント配線板100が載置される上面51と、連結ボックス80を介して真空ポンプ90に接続された収容穴52と、を備えている。収容部材50の収容穴52は、上面51で開口している開口部53と、開口部53の内径よりも大きな内径を有する収容部54と、を有している。スライド部材60は、収容穴52の開口部53を通過可能な外径つまり開口部53よりも小さな外径を有する小径部61と、開口部53よりも大きく且つ収容部54内に収容された大径部65と、を備えている。大径部65は、収容部54の内径よりも若干小さな外径を有しており、上下方向に沿って収容部54内を摺動することが可能となっている。収容穴52において大径部65よりも下方の空間55には、バネ70が圧縮された状態で収容されている。本実施形態では、このバネ70は、例えばコイルスプリングであり、スライド部材60を上方に付勢している。なお、バネ70をコイルスプリング以外のバネで構成したり、バネ70の代わりにゴムやスポンジ等の弾性部材を用いてもよい。スライド部材60の小径部61の先端には、第2の吸着孔62が開口している。また、スライド部材60には、当該スライド部材60を上下方向に貫通する通路66が形成されており、この通路66を介して、先端の第2の吸着孔62と、収容穴52において大径部65よりも下方の空間55とが連通している。また、この小径部61は、第2の吸着孔62を囲むように小径部61の先端に設けられた緩衝材63を有している。緩衝材63の具体例としては、例えばシリコーンゴムやウレタンゴム等のゴムラバーを例示することができる。こうした緩衝材63が小径部61の先端に取り付けられていることで、スライド部材60がフレキシブルプリント配線板100に当接する際に、フレキシブルプリント配線板100を傷付けてしまうのを防止することができる。図2に示すように、連結ボックス80は、第1及び第2の吸着ボックス30,40の下方に配置されている。この連結ボックス80は内部空間81を有しており、この内部空間81は、第1の連通孔34を介して第1の吸着ボックス30の内部空間32に連通していると共に、第2の連通孔56を介して第2の吸着ボックス40の収容穴52に連通している。さらに、この内部空間81には、接続口82に接続された配管91を介して真空ポンプ90が接続されており、この真空ポンプ90は負圧を発生させることが可能となっている。なお、本実施形態では、連結ボックス80を介して2つの吸着ボックス30,40を共通の真空ポンプ90に接続したが、2つの吸着ボックス30,40に別々の真空ポンプを接続してもよい。次に、以上に説明した外観検査装置1の保持台20によるフレキシブルプリント配線板100の吸着保持動作について、図4a及び図4bを参照しながら説明する。図4a及び図4bは本実施形態における保持台によるフレキシブルプリント配線板の吸着保持動作を説明するための図である。フレキシブルプリント配線板100が保持台20に載置される前は、バネ70の弾性力によってスライド部材60が上方に押し上げられている。このため、当該スライド部材60の小径部61の先端が、収容穴52の開口部53を介して突出して保持面21よりも上方に位置している。なお、この状態において、スライド部材60の大径部65は開口部53の内径よりも大きな外径を有しているので、大径部65の上面が収容穴52の収容部54の上端面に当接することで、バネ70によるスライド部材60の押し上げが制限されている。そして、図4aに示すように、フレキシブルプリント配線板100が保持台20の保持面21上に載置されると、真空ポンプ90が第1の吸着孔33を介してフレキシブルプリント配線板100を吸い寄せて、第1の吸着ボックス30の上面31上にフレキシブルプリント配線板100を吸着保持する。この際、スライド部材60の小径部61の先端がフレキシブルプリント配線板100の浮き上がり部分100aに接触或いは近接しているため、真空ポンプ90が当該浮き上がり部分100aを第2の吸着孔62を介して吸い寄せて、スライド部材60がフレキシブルプリント配線板100に吸い付き、第2の吸着孔62がフレキシブルプリント配線板100で閉塞される。ここで、スライド部材60の大径部65と収容穴52の収容部54との間には、数十μm程度のクリアランスしか設定されていないため、フレキシブルプリント配線板100によって第2の吸着孔62が閉塞されると、収容穴52の空間55が実質的に密閉される。このため、図4bに示すように、スライド部材60がフレキシブルプリント配線板100に吸い付いたままの状態で、真空ポンプ90が発生させた負圧によって、スライド部材60がバネ70の弾性力を抗して下方に引き寄せられる。そして、緩衝材63を含む小径部61が収容穴52の開口部53内に収容されると、フレキシブルプリント配線板100の浮き上がり部分100aも第2の吸着ボックス40の上面51に密着するので、フレキシブルプリント配線板100の波打ちが抑えられる。上記の要領でフレキシブルプリント配線板100が保持台20の保持面21に吸着保持されたら、カメラ11がフレキシブルプリント配線板100のはんだ付け部106を撮像し、コンピュータ13が画像処理技術を用いてはんだ付け部106の良否を判定することで、はんだ付け部の検査を実行する。以上のように、本実施形態では、スライド部材60の小径部61の先端が保持面21よりも上方に位置しているので、フレキシブルプリント配線板100の浮き上がり部分100aにスライド部材60が吸い付くことができる。これに対し、第2の吸着ボックス40を備えていない従来の保持台では、波打ちによる浮き上がりが大き過ぎると、当該フレキシブルプリント配線板を吸着保持することができない場合すらある。また、本実施形態では、スライド部材60がフレキシブルプリント配線板100に吸い付いて、第2の吸着孔62がフレキシブルプリント配線板100で閉塞されると、真空ポンプ90の負圧によってスライド部材60が下方に引き寄せられて小径部61も収容穴42の中に収容されるので、フレキシブルプリント配線板100の浮き上がり部分100aを抑えて当該フレキシブルプリント配線板100全体を保持面21に密着させることができる。このため、本実施形態では、フレキシブルプリント配線板100のはんだ付け部の検査の精度と効率を向上させることができる。特に、上述の第2のカメラ14のように、フレキシブルプリント配線板100を斜め上方から撮像する場合には、真上から撮像する場合と比較して被写界深度が実質的に狭くなるため、その効果は顕著である。本実施形態における第1のカメラ11や第2のカメラ13が本発明における撮像手段の一例に相当し、本実施形態におけるスライド部材60が本発明における摺動体の一例に相当し、本実施形態におけるバネ70が本発明における付勢手段の一例に相当し、本実施形態における真空ポンプ90が本発明における減圧手段の一例に相当する。なお、以上に説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。"