炉壁と、該炉壁内において水平方向に対して所定角度傾斜させられた状態で回転可能に支持された円筒状の炉心管と、該炉壁内に設けられ、該炉心管の長手方向の中間部を外側から加熱する加熱ヒータとを備え、その炉心管を軸心まわりに回転させつつ加熱ヒータにより加熱することで、その炉心管内に投入された粉体状の被加熱物の熱処理及び移送を行うロータリーキルンであって、軸状をなして長手方向に往復移動可能に設けられ、前記加熱ヒータにより加熱される加熱帯に位置する前記炉心管の外周面に一端が当接可能な加振シャフトを有し、該加振シャフトを介して該炉心管の外周面に振動を加える加振装置を含み、前記炉心管は、金属材料から成る円筒状の外管とその外管の内側に挿入されたセラミック材料から成る円筒状の内管とを備えることを特徴とするロータリーキルン。前記加振シャフトは、前記炉心管の外周面と一端との間に予め定められた一定の隙間を隔てて水平に設けられ、リターンスプリングによって該炉心管から離れる方向に常時付勢されたものである請求項1のロータリーキルン。前記加振装置は、該加振シャフトの他端に打撃振動を付与する打撃振動発生器を含み、該打撃振動発生器は、前記加振シャフトの他端面に当接するようにハウジングに固定された打撃振動出力部材と、該打撃振動出力部材に隣接するように該ハウジング内に設けられた圧力室内で摺動可能に設けられ、リターンスプリングにより該打撃振動出力部材から離隔する方向に常時付勢されたピストンと、該ハウジング内に設けられた蓄圧室と、該ハウジングに設けられた給気ポートから圧縮空気が供給されると該給気ポートを該蓄圧室に接続して該蓄圧室に蓄圧し、該給気ポートが大気圧に低下させられると該蓄圧室を前記圧力室に連通させる弁体とを有し、該蓄圧室内から該圧力室内に導入された圧縮空気によって前記ピストンがリターンスプリングの付勢力に抗して駆動されて前記打撃振動出力部材に突き当てられることで前記打撃振動を発生させるものである請求項1または2のロータリーキルン。前記炉心管の内管は、軸心方向の一方の端部外周に雄ねじ部が形成されると共に他方の端部内周に雌ねじ部が形成された円筒状の部分管が、その雄ねじ部及び雌ねじ部の螺合により軸心方向に複数連結されて構成されたものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1のロータリーキルン。しかし、上記特許文献1に記載のロータリーキルンは、セラミック製の炉心管の入口において、それに固定された円形の冷却フィンに設けられた駆動突起が、ハンマーを所定角度だけ持ち上げた後にそのハンマーを炉心管の入口上に落下させることで、炉心管入口に振動を与える付着防止装置を備えている。上記特許文献2に記載のロータリキルンは、炉心管の前端部に、高圧空気を作動媒体とする打撃加振装置を備えている。上記特許文献3に記載のロータリキルンは、炉心管の入口において、旋回駆動部により上下動させられるハンマーを炉心管の入口上に落下させることで、炉心管入口に振動を与える付着防止装置を備えている。しかしながら、上記特許文献1、特許文献2、特許文献3に記載のロータリキルンでは、それに備えられた付着防止装置或いは打撃加振装置は、炉心管の出口或いは入口に加振するものであることから、焼成帯での加熱中に反応により付着性を生じる被加熱物、たとえばリチウムイオン電池の正極材料やチタン酸バリウム材料などに対しては、炉心管において被加熱物の付着位置から離れた出口或いは入口で加振するので、焼成帯で加振或いは打撃する場合に比較して加振を強くしなければならないことになり、特に、衝撃に弱いセラミックス製の炉心管では損傷が発生するおそれがあった。本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、小さな加振或いは打撃によって焼成帯における炉心管内の被加熱物の付着を防止できるロータリーキルンを提供することにある。斯かる目的を達成するために、本発明の要旨とするところは、炉壁と、その炉壁内において水平方向に対して所定角度傾斜させられた状態で回転可能に支持された円筒状の炉心管と、その炉壁内に設けられ、その炉心管の長手方向の中間部を外側から加熱する加熱ヒータとを備え、その炉心管を軸心まわりに回転させつつ加熱ヒータにより加熱することで、その炉心管内に投入された粉体状の被加熱物の熱処理及び移送を行うロータリーキルンであって、軸状をなして長手方向に往復移動可能に設けられ、前記加熱ヒータにより加熱される加熱帯に位置する前記炉心管の外周面に一端が当接可能な加振シャフトを有し、該加振シャフトを介して該炉心管の外周面に振動を加える加振装置を含み、前記炉心管は、金属材料から成る円筒状の外管とその外管の内側に挿入されたセラミック材料から成る円筒状の内管とを備えることにある。このように構成されたロータリーキルンによれば、加振装置は、前記加熱ヒータにより加熱される加熱帯に位置する前記炉心管の外周面に、その加振シャフトの一端から振動を伝達することから、炉心管の加熱帯に直接的に振動が加えられるので、比較的小さな加振或いは打撃によって焼成帯における炉心管内の被加熱物、たとえばリチウムイオン電池の正極材料やチタン酸バリウム材料など、焼成帯での加熱中に反応により付着性を生じる被加熱物が加熱帯において炉心管の内壁面に付着することを好適に防止でき、炉心管に損傷が発生するおそれが解消される。ここで、好適には、前記加振シャフトは、前記炉心管の外周面と一端との間に予め定められた一定の隙間を隔てて水平に設けられ、リターンスプリングによって該炉心管から離れる方向に常時付勢されたものである。このようにすれば、リターンスプリングによって該炉心管から離れる方向に常時付勢されことで、加振シャフトに一端が炉心管から予め定められた一定の隙間が隔てられるので、炉心管の外周面と加振シャフトの一端との間の接触は加振時だけとなり、常時はそれらの間の摺動が防止される。また、好適には、前記加振装置は、該加振シャフトの他端に打撃振動を付与する打撃振動発生器を含み、その打撃振動発生器は、前記加振シャフトの他端面に当接するようにハウジングに固定された打撃振動出力部材と、該打撃振動出力部材に隣接するように該ハウジング内に設けられた圧力室内で摺動可能に設けられ、リターンスプリングにより該打撃振動出力部材から離隔する方向に常時付勢されたピストンと、該ハウジング内に設けられた蓄圧室と、該ハウジングに設けられた給気ポートから圧縮空気が供給されると該給気ポートを該蓄圧室に接続して該蓄圧室に蓄圧し、該給気ポートが大気圧に低下させられると該蓄圧室を前記圧力室に連通させる弁体とを有し、該蓄圧室内から該圧力室内に導入された圧縮空気によって前記ピストンがリターンスプリングの付勢力に抗して駆動されて前記打撃振動出力部材に突き当てられることで前記打撃振動を発生させるものであるので、その給気ポートに供給される圧縮空気の圧力に応じた大きさの衝撃振動を発生させて前記炉心管のうちの加熱帯に位置する部分の外周面に付与することができる。また、好適には、前記炉心管の内管は、軸心方向の一方の端部外周に雄ねじ部が形成されると共に他方の端部内周に雌ねじ部が形成された円筒状の部分管が、その雄ねじ部及び雌ねじ部の螺合により軸心方向に複数連結されて構成されたものであることから、複数の部分管を連結して内管を構成することで、例えば径寸法500mmφ×長手寸法5mといった比較的大型の炉心管を作成できることに加え、前記雄ねじ部及び雌ねじ部の螺合によりそれら複数の部分管の連結を行うことで、粉体状の被加熱物の漏れが抑制されて十分な気密性及び耐スポーリング性を保証できる。すなわち、耐スポーリング性に優れ、被加熱物と炉心管との反応を抑制して高能率な熱処理を可能とする大型の外熱式ロータリーキルンを提供することができる。また、好適には、前記部分管は、鋳込み成形された円筒状部材における軸心方向の端部に、前記雄ねじ部及び雌ねじ部が切削加工により形成されて成るものである。このようにすれば、鋳込み成形により前記部分管を形成することで、その表層を比較的細粒緻密質とし且つ内部を比較的粗粒に構成することができ、耐スポーリング性に優れた炉心管を実用的な態様で実現することができる。また、好適には、前記部分管は、少なくとも前記雄ねじ部及び雌ねじ部に釉薬が施されたものである。このようにすれば、切削加工により比較的粗粒な構成が露出した前記雄ねじ部及び雌ねじ部に釉薬を施すことで、気密性及び耐スポーリング性を更に向上させることができる。以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の一実施例である連続式粉体焼成炉すなわち外熱式ロータリーキルン10の構成を説明する側面図である。また、図2はそのIIII視断面図、図3はそのIIIIII断面図である。図1に示すように、本実施例の外熱式ロータリーキルン10は、床面等に設置されたフレーム12、そのフレーム12上に設けられた天板14、その天板14上に設けられた原料供給装置16、熱処理装置18、及び製品排出装置20を備えて構成されている。この外熱式ロータリーキルン10は、後述するように水平方向に対して例えば1°程度の角度で傾斜させられる円筒状の炉心管34図1では水平方向に示されているを備え、その炉心管34を軸心Cまわりに回転させつつ上記熱処理装置18により外側から加熱することで、その炉心管34内に投入された被加熱物の熱処理及び移送を行う加熱炉回転円筒釜であり、例えばリチウム電池正極材料、薄型ディスプレイパネル用蛍光体、ジルコンチタン酸鉛系の圧電体材料、及びチタン酸バリウム系の誘電体材料等の粉体材料の焼成に好適に用いられる。天板14は、例えばスチール等により長手板状に構成されたものであり、その長手方向炉心管34の軸心C方向に係る被加熱物の移送方向行先出口側に設けられた支点部22において、上記フレーム12に対してその支点部22まわりの回動可能に支持されている。また、天板14は、その長手方向に係る被加熱物の移送方向手前入口側に設けられたねじ機構或いは油圧シリンダ等による昇降部24において、上記フレーム12に対する上下方向鉛直方向の移動可能昇降可能すなわちそのフレーム12との距離が調節可能に支持されている。この昇降部24により上記天板14が上記フレーム12に対して昇降させられ、その昇降部24における上記フレーム12と天板14との距離が調節されることで、その天板14が上記支点部22まわりに回動させられ、上記天板14の水平方向に対する傾斜角度延いては後述する図4に示す炉心管34の水平方向に対する傾斜角度θfcが調節変更できるようになっている。原料供給装置16は、天板14の長手方向に係る被加熱物の移送方向手前入口側に設けられたものであり、粉体状の原料すなわち被加熱物を受け入れる供給ホッパ26と、その供給ホッパ26に供給された被加熱物を熱処理装置18へ送り込む投入フィーダ28とを、備えている。この投入フィーダ28は、モータ30と、そのモータ30により軸心Cまわりに回転駆動されるスクリュー装置32とを、備えており、そのスクリュー装置32におけるモータ30とは反対側の端部が熱処理装置18における炉心管34内に突き入れられている。そして、上記スクリュー装置32がモータ30により軸心Cまわりに回転させられることにより、上記供給ホッパ26に供給された粉体状の被加熱物が上記熱処理装置18に向けて順次連続的に移送され、その熱処理装置18に備えられた炉心管34内に投入されるようになっている。熱処理装置18は、両端部に設けられたローラ装置36a、36b以下、特に区別しない場合には単にローラ装置36というによりフレーム12に対して軸心Cまわりの回転自転可能に支持された円筒状の炉心管34と、その炉心管34の外側に設けられた炉壁37により囲まれた加熱室38と、上記炉心管34をその軸心Cまわりに回転駆動するための回転駆動装置40とを、備えている。上記加熱室38は、例えば図1及び図3に示すように、上記炉心管34の外側に、その炉心管34における両端部を除く大方の部分を囲繞するように設けられた長手直方体状の筐体内に棒状のSiCヒータ等の加熱ヒータ39が備えられたものであり、上記炉心管34は、その加熱室38に対して軸心Cまわりの相対回転自転可能とされている。また、上記回転駆動装置40は、例えば図1及び図2に示すように、モータ42と、そのモータ42の出力軸に取り付けられたスプロケット44と、上記炉心管34の外周側に同軸且つ相対回転不能に設けられたスプロケット46と、上記スプロケット44及び46の間に巻回されたチェーン48とを、備えて構成されている。そのように構成された回転駆動装置40では、上記モータ42の駆動によりそれらスプロケット44、46及びチェーン48を介して上記炉心管34がその軸心Cまわりに回転自転させられるようになっている。製品排出装置20は、天板14の長手方向に係る被加熱物の移送方向行先出口側に設けられたものであり、炉心管34における被加熱物の移送方向行先側の端部が突き入れられる開口が設けられると共に、その底部が漏斗状に構成されている。熱処理装置18において熱処理が施された被加熱物は、炉心管34の回転に伴う移送によって上記開口から製品排出装置20内に排出され、更にその底部に設けられた漏斗状の構成を介して下方に設置された製品受けタンク50内に排出されるようになっている。以上のように構成された外熱式ロータリーキルン10は、昇降部24においてフレーム12と天板14との距離が調節されることで、その天板14が例えば後述する図4に二点鎖線で示す水平方向に対して所定の傾斜角度θfc例えば1°程度傾斜させられた状態で粉体状の被加熱物を850~1000°C程度の焼成温度で熱処理を行う。すなわち、原料供給装置16の供給ホッパ26に供給された原料である被加熱物が、投入フィーダ28により熱処理装置18の炉心管34内に送り込まれ、その熱処理装置18において炉心管34が回転駆動装置40によりその軸心Cまわりに回転させられつつ加熱室38により外側から加熱されることで、その炉心管34内に投入された被加熱物の熱処理及び移送が行われる。そして、熱処理装置18において熱処理の施された製品である被加熱物が炉心管34から製品排出装置20内に排出され、更に製品受けタンク50へ排出される。以上のようにして、たとえばリチウム電池の正極材料となる粉体の焼成等の熱処理が行われる。熱処理中の被加熱物からは、CO2および水分が発生するので、被加熱物がNi系金属の水酸化物とリチウム原料との混合物である場合は95の酸素を含む気体が、被加熱物がMn系、Co系金属の水酸化物とリチウム原料との混合物である場合は大気を20l/minの流量で炉心管34の中が換気される。図4は、本実施例の外熱式ロータリーキルン10に備えられた炉心管34の構成を詳しく説明するために、その軸心Cを含む平面で切断して示す視断面図である。この図4に示すように、外熱式ロータリーキルン10に備えられた炉心管34は、円筒状の外管52と、その外管52の内側に挿入された円筒状の内管54とを、備えて構成されている。すなわち、本実施例の外熱式ロータリーキルン10に備えられた炉心管34は、上記外管52及びその内側に挿入された上記内管54の二重構造とされたものである。また、図4に示すように、内管54は、軸心C方向の一方の端部外周に雄ねじ部58が形成されると共に他方の端部内周に雌ねじ部60が形成された複数例えば14個、図4では6個のみを図示の円筒状の部分管56a、56b、56c、、56n以下、特に区別しない場合には単に部分管56というが、その内周側端面57が相互に当接するまでその雄ねじ部58及び雌ねじ部60の螺合により軸心C方向に連結されて構成されている。上記外管52は、例えばインコネル等のニッケル基合金、コバルト基合金、クロム基合金等の850~1000°Cの焼成温度に耐え得る耐熱合金から成り、例えば内径寸法500mmφ程度、肉厚20mm程度、長さ寸法5m程度の円筒状管状に構成されたものである。また、上記内管54は、例えばアルミナAl2O3を84~93重量程度、シリカSiO2を0.06~8.5重量程度、酸化マグネシウムMgOを0~15重量程度含むセラミック材料から成り、例えば外径寸法500mmφ程度、肉厚20mm程度、長さ寸法5m程度の円筒状管状に構成されたものである。図5は、部分管56を軸心C方向に見た平面図である。また、図6は、部分管56を軸心Cに垂直な方向から見た正面図であり、紙面向かって右半分においてその断面形状を示している。この部分管56は、好適には、上記セラミック材料の原料が鋳込み成形された円筒状部材における軸心C方向の端部に、雄ねじ部58及び雌ねじ部60が切削加工により形成されて成るものであり、また、好適には、少なくとも上記雄ねじ部58及び雌ねじ部60に、更に好適には、それに加えて外周面62に例えば0.1mm程度の厚みの釉薬特殊コート剤が施されたものである。上記雄ねじ部58及び雌ねじ部60は、好適にはテーパねじとされたものであるが、平行ねじとされたものであってもよい。また、好適には、複数の部分管56は、図4に示すように、雄ねじ部58が被加熱物の移送方向行先出口側、雌ねじ部60が被加熱物の移送方向手前入口側となるように相互に連結される。また、雄ねじ部58及び雌ねじ部60のねじ方向は、外熱式ロータリーキルン10による熱処理に際して炉心管34が軸心Cまわりに右回転させられる場合には右ねじ、左回転させられる場合には左ねじというように、回転駆動装置40による炉心管34の回転駆動により雄ねじ部58が雌ねじ部60に対して締め込まれる方向とされることが望ましい。本実施例の外熱式ロータリーキルン10における炉心管34では、図4に示すように、相互に隣接する部分管56における雄ねじ部58及び雌ねじ部60が螺合させられることにより、軸心C方向に複数の部分管56が連結されて内管54が構成されている。そして、その内管54が外管52の内周に挿入され、その両端に環状の蓋部材64、66が嵌め付けられることで、外管52に対する内管54の軸心C方向の相対移動が阻止されている。図4では、製品排出装置20側すなわち被加熱物の移送方向行先出口側において、上記蓋部材66がピン68により内管54に固定されると共に、その外周部に設けられた爪部70により外管52に掛止させられている。また、原料供給装置16のスクリュー装置32側すなわち被加熱物の移送方向手前入口側において、上記蓋部材64が外管52にボルト72により固定されると共に、その蓋部材64と内管54との間に設けられたスプリング74によりその内管54の位置が上記蓋部材64、66の間で固定され、更に雄ねじ部58及び雌ねじ部60の螺合の緩みが抑制されるようになっている。本実施例の外熱式ロータリーキルン10において加熱処理されるリチウム電池の正極材料は、Mn系、Co系、或いはNi系金属の水酸化物とリチウム原料との混合物であるため、炉心管34内で搬送される途中の焼成過程において水分が発生して粘りが生じたり、液状化したりして炉心管34の内壁面に付着し易くなる性質が発生する。たとえば、焼成過程の前半において炉心管34の内壁面にくっつき易く、焼成過程の後半に至るとさらさらとなる。このため、本実施例の外熱式ロータリーキルン10においては、図1、図3に示されるように、炉心管34のうちの加熱室38内すなわち加熱帯内に位置する長手方向の中間部分の3箇所の外周面に一端が当接してそれを加振する加振シャフト80と、その加振シャフト80の他端に打撃振動を付与する打撃振動発生器82とから成る加振装置84が備えられている。図7に詳しく示すように、上記加熱室38を囲む炉壁37は、耐火レンガ、セラミック発泡材などの断熱材86とそれを内側に配設した金属製のケーシング88から構成されている。その炉壁37には、加熱ヒータ39と加振装置84とが炉壁37を貫通して設けられている。加熱ヒータ39は、図示しない電力供給線に接続するための接続端子39aを両端部に備え、その長手方向の中央部が炉心管34の上および下に位置するように、ケーシング88に溶接或いはボルトの締着などによって固定されたヒータホルダ90により支持されている。なお、図7の炉心管34の内管54に示された破線は、炉心管34の他の実施例に設けられる凸出部を示している。加振シャフト80および打撃振動発生器82を支持するためのブラケット92が、側方へ突き出した状態で水平に溶接或いはボルトの締着などによって炉壁37のケーシング88に固定されている。ブラケット92は、円筒状のシャフト案内部材94を備えており、加振装置84の加振シャフト80はそのシャフト案内部材94によって長手方向に移動可能に支持されている。加振シャフト80は、たとえばSUS310Sのような耐熱金属製の丸棒であって、炉心管34の軸心Cと直交する方向で水平となるように、炉壁37を貫通し且つその一端の端面が炉心管34の外周面に対して一定の隙間Kを隔てて位置させられている。加振シャフト80の他端面には、加振シャフト80よりも大径のばね受板96が固定されるとともに、そのばね受板96とシャフト案内部材94との間には、加振シャフト80と同心でそれより大径の円に沿って螺旋状に巻かれた圧縮コイルスプリング98が介挿されており、加振シャフト80は、その一端が炉心管34から離れる方向に圧縮コイルスプリング98によって常時付勢され、打撃振動発生器82の打撃振動出力部材100に当接させられている。圧縮コイルスプリング98は加振シャフト80のリターンスプリングとして機能している。加振装置84の打撃振動発生器82は、加振シャフト80と同心となるようにブラケット92に固定されている。図8に詳しく示すように、打撃振動発生器82は、ハウジング102と、加振シャフト80の他端面が面接触状態で当接するようにハウジング102に固定された円柱状の打撃振動出力部材100と、打撃振動出力部材100に隣接するようにハウジング102内に設けられた圧力室104と、圧力室104内で摺動可能に設けられ、リターンスプリング106により打撃振動出力部材100から離隔する方向に常時付勢された段付円柱状のピストン108と、ハウジング102内に設けられた蓄圧室110と、ハウジング102に打撃振動出力部材100とは反対側に設けられた給気ポート112と、ハウジング102内において給気ポート112と圧力室104との間に移動可能に設けられ、給気ポート112から圧縮空気が供給されると圧力室104を閉じ且つ給気ポート112を蓄圧室110に接続してその蓄圧室110内に蓄圧する位置に移動し、その給気ポート112が大気圧に低下させられると給気ポート112側に移動して蓄圧室110を圧力室104に連通させる位置に移動させられるたとえば比較的軟質のゴムのような弾性体製の円盤状の弁体114とを有している。これにより、打撃振動発生器82は、給気ポート112が大気圧に低下させられて弁体114が図8に示す位置に移動させられると、蓄圧室110が圧力室104に連通させられ、蓄圧室110内から圧力室114内に導入された圧縮空気によってピストン108がリターンスプリング106の付勢力に抗して駆動されて打撃振動出力部材100に突き当てられることで打撃振動を発生させられ、その打撃振動が加振シャフト80に伝達される。次いで、この打撃振動が伝達された加振シャフト80は、圧縮コイルスプリング98に付勢力に抗して炉心管34側へ駆動され、その一端が炉心管34の外周面に当接して炉心管34に振動が付与される。ハウジング102の給気ポート112には、空気ポンプなどの空気源116から減圧弁118を介して圧送された圧縮空気が、ハウジング102の給気ポート112に切換制御弁120を介して供給されるようになっている。切換制御弁120は、給気ポート112に圧縮空気を供給する位置すなわち図8の破線で示す切換位置と、給気ポート112を大気に開放する位置すなわち図8の実線に示す切換位置との2位置の間で切り換える機能を有し、加振制御装置122により制御される。加振制御装置122は、たとえば炉心管34の回転に同期した頻度たとえば1回転当たり3回乃至4回以上の頻度となるように、時間制御により切換制御弁120を予め設定された時間間隔で切り換えて炉心管34に振動を付与する。熱処理する被加熱物の性質に応じて減圧弁118を設定変更することで給気ポート112に供給される空気圧を高く或いは低くすると、打撃振動発生器82が発生する打撃振動の強度を高く或いは低くすることができる。本実施例の外熱式ロータリーキルン10では、加熱室38を覆う炉壁37には、3つの加振装置84が設けられており、加振制御装置122は、その3つの加振装置84を炉心管34の1回転当たり3回乃至4回以上の頻度となるように、等時間間隔で順次作動させてもよい。上述のように本実施例の外熱式ロータリーキルン10によれば、加振装置84は、加熱室38内において加熱ヒータ39により加熱される加熱帯に位置する炉心管34の外周面に、その加振シャフト80の一端から振動を伝達することから、炉心管34の加熱帯に直接的に振動が加えられることから、比較的小さな加振或いは打撃によって焼成帯における炉心管34内の被加熱物、たとえばリチウムイオン電池の正極材料やチタン酸バリウム材料など、焼成帯での加熱中に反応により付着性を生じる被加熱物が加熱帯において炉心管34の内壁面に付着することを好適に防止できるので、炉心管34に損傷が発生するおそれが解消される。また、本実施例において、加振シャフト80は、その一端と炉心管34の外周面との間に予め定められた一定の隙間Kを隔てて水平に設けられ、圧縮コイルスプリング98によって炉心管34から離れる方向に常時付勢されている。このため、加振シャフト80の一端が炉心管から予め定められた一定の隙間Kが隔てられているので、炉心管34の外周面と加振シャフト80の一端との間の接触は加振時だけとなり、常時はそれらの間の摺動が防止される。また、本実施例において、加振装置84は、加振シャフト80の他端に打撃振動を付与する打撃振動発生器82を含み、その打撃振動発生器82は、加振シャフト80の他端面に当接するようにハウジング102に固定された打撃振動出力部材100と、その打撃振動出力部材100に隣接するようにハウジング102内に設けられた圧力室104内で摺動可能に設けられ、リターンスプリング106により打撃振動出力部材100から離隔する方向に常時付勢されたピストン108と、ハウジング102内に設けられた蓄圧室110と、ハウジング102に設けられた給気ポート112から圧縮空気が供給されるとその給気ポート112を蓄圧室110に接続して蓄圧室110に蓄圧し、給気ポート112が大気圧に低下させられると蓄圧室110を圧力室104に連通させる弁体114とを有し、蓄圧室110内から圧力室104内に導入された圧縮空気によってピストン108がリターンスプリング106の付勢力に抗して駆動されて打撃振動出力部材100に突き当てられることで打撃振動を発生させるものであるので、その給気ポート112に供給される圧縮空気の圧力に応じた大きさの衝撃振動を発生させて、炉心管34のうちの加熱帯に位置する部分の外周面に付与することができる。また、本実施例では、加振装置84は、加熱室38内において加熱ヒータ39により加熱される炉心管34の側面に、炉心管34の1回転当たり3或いは4回以上の振動を与えるので、被加熱物の収率が高く得られる。すなわち、炉心管34の上部に炉心管34の1回転当たり2回以下の振動を与える場合は、炉心管34の内壁面に張りついていた粉体が上部から落下するので、落下中の細かな粉体が炉心管34内を換気する気体に混ざって飛散し、高価な被加熱物の収率が十分に得られない場合があった。これに対して、本実施例では、炉心管34の内壁面に張りついていた粉体が上部へ到達する前に振動を受けて内壁面に沿って滑り落ちるので、排気に混ざって飛散することが好適に抑制される。また、本実施例では、炉心管34は、金属材料から成る円筒状の外管52と、その外管52の内側に挿入されたセラミック材料から成る円筒状の内管54とを、備え、その内管54は、軸心方向の一方の端部外周に雄ねじ部58が形成されると共に他方の端部内周に雌ねじ部60が形成された円筒状の部分管56が、その雄ねじ部58及び雌ねじ部60の螺合により軸心方向に複数連結されて構成されたものであることから、複数の部分管56を連結して内管54を構成することで、例えば径寸法500mmφ×長手寸法5mといった比較的大型の炉心管34を作成できることに加え、雄ねじ部58及び雌ねじ部60の螺合によりそれら複数の部分管56の連結を行うことで、粉体状の被加熱物の漏れが抑制されて十分な気密性及び耐スポーリング性を保証できる。すなわち、耐スポーリング性に優れ、被加熱物と炉心管34との反応を抑制して高能率な熱処理を可能とする大型の外熱式ロータリーキルン10を提供することができる。また、本実施例では、部分管56は、鋳込み成形された円筒状部材における軸心方向の端部に、雄ねじ部58及び雌ねじ部60が切削加工により形成されて成るものであるため、鋳込み成形により部分管56を形成することで、その表層を比較的細粒緻密質とし且つ内部を比較的粗粒に構成することができ、耐スポーリング性及び被加熱物との耐反応性に優れた炉心管34を実用的な態様で実現することができる。また、本実施例では、部分管56は、少なくとも雄ねじ部58及び雌ねじ部60に釉薬が施されたものであるため、切削加工により比較的粗粒な構成が露出した雄ねじ部58及び雌ねじ部60に釉薬を施すことで、気密性、被加熱物との耐反応性、及び耐スポーリング性を更に向上させることができる。以上、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、更に別の態様においても実施される。例えば、前述の実施例の加振装置84において、加振源として、図8に示す打撃振動発生器82が用いられていたが、他の形式の振動発生器、たとえば電磁コイルのコアを往復させて単発的或いは周期的な衝撃振動或いは連続的な振動を発生させる電磁式振動発生器、重心が偏心した回転体を電動モータで回転駆動する機械式振動発生器などが用いられてもよい。また、前述の実施例では、加熱室38は、棒状SiCヒータ等の加熱ヒータ39により被加熱物に対する熱処理を行うものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばアーク炉、抵抗炉、或いは誘導炉等の電気炉や、加熱室38内の炉心管34の外周で可燃ガス或いは可燃流体を燃焼させることで加熱するガス炉であってもよい。要するに、被加熱物に対する熱処理に十分な加熱を行い得る加熱室であればその熱源や熱エネルギ発生構造の態様は問わない。また、前述の実施例では、例えばリチウム電池の正極材料の熱処理に用いられる外熱式ロータリーキルン10について説明したが、チタン酸バリウム材料であってもよく、また、被加熱物の粒子の大きさは特に限定されるものではなく、比較的粗い粒体塊状の材料に対する熱処理に本発明のロータリーキルンが用いられるものであってもよい。また、前述の炉心管34は、金属材料から成る円筒状の外管52と、その外管52の内側に挿入されて螺合により相互に連結されたセラミック材料から成る複数個の円筒状の内管54とを備えることで構成されているが、それら内管54のうちの全部がセラミック材料製でなくともよく、被加熱材料との反応がない温度帯或いは被加熱材料に不純物が混入しない温度帯であれば、他の材料製の部分管56が用いられてもよい。その他、一々例示はしないが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が加えられて実施されるものである。