"圧電性を有し、板状の可撓部と、前記可撓部の両主面のうち少なくとも一方の前記主面に搭載された物理量検出素子と、前記可撓部に搭載された導電性を有する質量部と、前記可撓部と前記物理量検出素子と前記質量部とを収容するパッケージと、を備え、前記物理量検出素子には、検出した物理量を電気信号として取り出す配線が設けられ、前記質量部は、所望の電位に保持可能であることを特徴とする物理量検出器。請求項1に記載の物理量検出器において、前記パッケージは、前記可撓部と前記物理量検出素子と前記質量部とを搭載するパッケージベースと、前記パッケージベースに搭載されており、且つ前記物理量検出素子を覆う導電性を有する蓋体と、を備え、前記質量部は、前記蓋体と同電位に保持可能であることを特徴とする物理量検出器。請求項2に記載の物理量検出器において、前記パッケージベースは、前記蓋体と対向する内底面に導電部が設けられ、前記可撓部は、両前記主面に跨って設けられた電極を有し、前記質量部は、前記電極と電気的に接続され、且つ、前記導電部と同電位に保持可能であることを特徴とする物理量検出器。請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の物理量検出器において、前記質量部は、切り欠き部を有し、且つ、前記物理量検出素子が搭載された前記可撓部の前記主面に搭載され、平面視において、前記質量部の前記切り欠き部内に、前記物理量検出素子の一部が配置されていることを特徴とする物理量検出器。請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の物理量検出器において、前記可撓部は、ベース部と、該ベース部に継ぎ手部を介して接続された可動部と、を有し、前記可動部は、前記継ぎ手部を支点にして前記可動部の主面と交差する方向に変位可能であり、前記物理量検出素子は、前記継ぎ手部を跨いで前記ベース部と前記可動部とに掛け渡され、前記質量部は、前記可動部の前記主面に搭載されていることを特徴とする物理量検出器。請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の物理量検出器を備えたことを特徴とする電子機器。しかしながら、特許文献1の加速度センサーは、例えば、パッケージに収容される際に、小型化を図るために、金属製の重りとパッケージの金属製のリッド蓋体とが近接して配置されることから、重りとリッドとの間に静電容量が発生することがある。この静電容量は、静電容量の一般式である式1によれば、物理量としての加速度印加時の梁の撓みによる重りとリッド対向電極との距離dの変化に連動して増減する。C=ε×S/d1静電容量をC、対向電極の面積をS、対向電極間の距離をd、誘電率をεとする。上記加速度センサーは、小型化を図るために、重りと双音叉振動子とが近接して配置されていることから、重りと双音叉振動子とのカップリング結合によって、上記の増減する静電容量が双音叉振動子の発振回路に付加され、双音叉振動子の振動が不安定になる虞がある。この結果、上記加速度センサーは、加速度検出精度などの加速度検出特性が劣化する虞がある。また、上記加速度センサーは、梁に圧電材料である水晶板を用いていることから、加速度印加時に、梁の慣性力が集中する重りとの接合部分に、圧電効果に伴う電荷起電力が発生し易い。上記加速度センサーは、発生した電荷が分極により梁の表側リッド側と裏側パッケージの内底面内側の底面側とで極性が異なる静電気となり、梁の表側とパッケージのリッドとの間、または梁の裏側とパッケージの内底面側の配線などとの間に静電気力が発生する。上記加速度センサーは、この静電気力によって、梁がパッケージのリッド側に引き付けられたり、パッケージの内底面側に引き付けられたりして、梁の本来の撓み動作が阻害されることから、加速度検出感度などの加速度検出特性が劣化する虞がある。また、上記加速度センサーは、重りそのものの電位が不安定であるので、電気的な外乱の影響を重りが受け、これに伴い重りと双音叉振動子との間の寄生容量を介したカップリング状態に変化が生じ加速度検出特性に悪影響が発生する虞もある。本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例にかかる物理量検出器は、圧電性を有し、板状の可撓部と、前記可撓部の両主面のうち少なくとも一方の前記主面に搭載された物理量検出素子と、前記可撓部に搭載された導電性を有する質量部と、前記可撓部と前記物理量検出素子と前記質量部とを収容するパッケージと、を備え、前記物理量検出素子には、検出した物理量を電気信号として取り出す配線が設けられ、前記質量部は、所望の電位に保持可能であることを特徴とする。これによれば、物理量検出器は、物理量検出素子双音叉振動子に相当に、検出した物理量を電気信号として取り出す配線が設けられ、可撓部梁に相当に搭載された質量部重りに相当が所望の電位に保持可能である。この結果、物理量検出器は、質量部とパッケージの一部である、例えば、蓋体とが同電位となることによって、質量部と蓋体との間の静電容量が消滅することから、質量部と物理量検出素子とのカップリングを回避して、物理量検出素子の挙動を安定させることができる。したがって、物理量検出器は、物理量検出精度などの物理量検出特性を向上させることができる。[適用例2]上記適用例にかかる物理量検出器において、前記パッケージは、前記可撓部と前記物理量検出素子と前記質量部とを搭載するパッケージベースと、前記パッケージベースに搭載されており、且つ前記物理量検出素子を覆う導電性を有する蓋体と、を備え、前記質量部は、前記蓋体と同電位に保持可能であることが好ましい。これによれば、物理量検出器は、パッケージが各構成要素を搭載するパッケージベースと、パッケージベースを覆う導電性を有する蓋体と、を備え、質量部が蓋体と同電位に保持可能であることから、質量部と蓋体との間の静電容量を消滅させることができる。この結果、物理量検出器は、質量部と物理量検出素子とのカップリングを回避して、物理量検出素子の挙動を安定させることができる。したがって、物理量検出器は、物理量検出精度などの物理量検出特性を向上させることができる。[適用例3]上記適用例にかかる物理量検出器において、前記パッケージベースは、前記蓋体と対向する内底面に導電部が設けられ、前記可撓部は、両前記主面に跨って設けられた電極を有し、前記質量部は、前記電極と電気的に接続され、且つ、前記導電部と同電位に保持可能であることが好ましい。これによれば、物理量検出器は、パッケージベースの内底面に導電部が設けられ、質量部が可撓部の電極と接続され、且つ、導電部と同電位に保持可能である。このことから、物理量検出器は、可撓部の質量部との接合部分における圧電効果に伴う両主面で極性の異なる電荷の発生が抑制され、質量部及び可撓部の電極と、パッケージベースの内底面の導電部及び蓋体とが同電位となる。この結果、物理量検出器は、可撓部と、パッケージベースの内底面及び蓋体との間の静電気力を殆ど解消できることから、静電気力による可撓部の撓み動作の阻害を抑制することができる。したがって、物理量検出器は、物理量検出感度などの物理量検出特性を向上させることができる。[適用例4]上記適用例にかかる物理量検出器において、前記質量部は、切り欠き部を有し、且つ、前記物理量検出素子が搭載された前記可撓部の前記主面に搭載され、平面視において、前記質量部の前記切り欠き部内に、前記物理量検出素子の一部が配置されていることが好ましい。これによれば、物理量検出器は、質量部が、物理量検出素子が搭載された可撓部の主面に搭載され、平面視において、質量部の切り欠き部内に、物理量検出素子の一部が配置されている。この結果、物理量検出器は、上記各適用例に準じた作用効果により物理量検出特性を向上させつつ、可撓部のスペースを効率的に活用でき、更なる小型化を図ることができる。[適用例5]上記適用例にかかる物理量検出器において、前記可撓部は、ベース部と、該ベース部に継ぎ手部を介して接続された可動部と、を有し、前記可動部は、前記継ぎ手部を支点にして前記可動部の主面と交差する方向に変位可能であり、前記物理量検出素子は、前記継ぎ手部を跨いで前記ベース部と前記可動部とに掛け渡され、前記質量部は、前記可動部の前記主面に搭載されていることが好ましい。これによれば、物理量検出器は、可撓部がベース部と、継ぎ手部と、可動部と、を有し、可動部が継ぎ手部を支点にして主面と交差する方向に変位可能であり、物理量検出素子が、継ぎ手部を跨いでベース部と可動部とに架け渡され、質量部が、可動部の主面に搭載されている。この結果、物理量検出器は、可撓部が更に撓み易い構成となっていることから、物理量検出特性の中で、特に検出感度を更に向上させることができる。[適用例6]本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の物理量検出器を備えたことを特徴とする。これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の物理量検出器を備えたことから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を奏する電子機器を提供できる。以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。第1実施形態最初に、物理量検出器の構成の一例について説明する。図1は、第1実施形態の物理量検出器の一例としての加速度検出器の概略構成を示す部分展開模式斜視図である。図2は、図1の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図2aは、平面図、図2bは、図2aのA-A線での断面図である。なお、一部の配線は省略してあり、図2aでは、リッド蓋体を省略してある。また、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。図1、図2に示すように、加速度検出器1は、平板枠状のベース部10と、ベース部10の枠の内側に配置され、一方の端部固定端が継ぎ手部11を介してベース部10に接続された矩形平板状の可動部12と、ベース部10と可動部12とに継ぎ手部11を跨いで架け渡された物理量検出素子としての加速度検出素子13と、上記各構成要素を収容するパッケージ20とを備えている。なお、加速度検出器1は、ベース部10における継ぎ手部11に隣接し加速度検出素子13の一方側が固定される部分と、継ぎ手部11と、可動部12と、が可撓部に対応している。ベース部10、継ぎ手部11、可動部12は、例えば、圧電性を有する水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて一体で略平板状に形成されている。なお、継ぎ手部11で接続された一方の端部側を除いて、可動部12とベース部10との間には、両者を分割するスリット状の貫通孔が設けられている。ベース部10、継ぎ手部11、可動部12の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。可動部12には、平板の表裏面に相当する両主面12a,12bに、スルーホール12cを介して跨るように電極12dが設けられている。電極12dの主面12b側から引き出された配線12eは、継ぎ手部11を経由してベース部10の、図2aにおける紙面左下の角部X方向側、且つ、-Y方向側の角部の、両主面10a,10bのうちの主面10b側に設けられた外部接続端子10cに接続されている。また、可動部12の主面12aには、導電性を有する慣性質量部としての質量部15が搭載されている。質量部15は、導電性を有する接合材16を介して主面12aの電極12dに接合されている。これにより、質量部15は、電極12dと電気的に接続されている。継ぎ手部11は、両主面12a,12b10a,10b側からのハーフエッチングによって、ベース部10と可動部12とを区切るように、ベース部10と可動部12とを結ぶ方向Y軸方向と直交する方向X軸方向に沿って有底の溝部11aが形成されている。溝部11aにより、継ぎ手部11のY軸方向に沿った断面形状図2bの形状は、例えば、略H字状に形成されている。この継ぎ手部11により、可動部12は、主面12a12bと交差する垂線方向Z軸方向に加わる加速度これに伴う慣性力、重力に応じて、継ぎ手部11を支点回転軸にして主面12aと交差する方向に変位回動可能となっている。換言すれば、可撓部としての可動部12は、慣性力によって撓むことが可能である。質量部15は、加速度検出器1の感度向上を図るべく平面サイズ体積、質量を極力大きくするために、可動部12における継ぎ手部11側とは反対側の自由端側から、加速度検出素子13を避けて二股状で継ぎ手部11近傍まで延び、平面視において、略U字状に形成されている。換言すれば、質量部15は、厚み方向Z軸方向に貫通する略U字状の切り欠き部15aを有し、平面視において、切り欠き部15a内に、加速度検出素子13の一部が配置されていることになる。質量部15には、例えば、Cu銅、Au金などの金属に代表される比較的比重の大きい材料が用いられている。接合材16には、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合され、弾性に優れたシリコーン系樹脂変成シリコーン樹脂などを含む導電性接着剤や、ハンダ、またはAu/Sn合金などが用いられている。なお、質量部15と可動部12電極12dとの接合範囲は、熱応力の抑制の観点から、可動部12との接合強度に必要な面積を確保しつつ、質量部15の平面積よりも小さくすることが好ましい。また、質量部15は、接合時の傾き回避の観点から、平面視において、質量部15の重心が接合範囲内に収まることが好ましい。加速度検出素子13は、ベース部10と可動部12とを結ぶ方向Y軸方向に沿って延びる2本の角柱状のX軸方向に屈曲振動をする振動梁13a,13bを有する加速度検出部13cと、加速度検出部13cの両端に接続された一対の基部13d,13eと、振動梁13a,13bから基部13eにかけて設けられ、検出した物理量としての加速度を電気信号として取り出す配線13f,13g一部を図示と、を備えている。加速度検出素子13は、圧電材料を用いて2本の振動梁13a,13bと一対の基部13d,13eとで二組の音叉を構成することから、双音叉型圧電振動素子双音叉素子、双音叉振動子とも呼ばれている。加速度検出素子13は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、加速度検出部13cと基部13d,13eとが一体で略平板状に形成されている。また、加速度検出素子13の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。加速度検出素子13は、一方の基部13dが可動部12の主面12a側に、例えば、低融点ガラス、共晶接合可能なAu/Sn合金などの接合部材17を介して固定され、他方の基部13eがベース部10の主面10a側可動部12の主面12aと同じ側に接合部材17を介して固定されている。なお、加速度検出素子13と、ベース部10の主面10a及び可動部12の主面12aとの間には、可動部12の変位時に加速度検出素子13とベース部10及び可動部12とが互いに接触しないように、所定の隙間が設けられている。この隙間は、本実施形態では、接合部材17の厚さで管理されている。具体的には、例えば、ベース部10及び可動部12と加速度検出素子13との間に、所定の隙間に相当する厚さに形成されたスペーサーを挟んだ状態で、ベース部10及び可動部12と加速度検出素子13とを接合部材17によって固定することで、隙間を所定の範囲内に管理することができる。加速度検出素子13は、振動梁13a,13bの配線13f,13g励振電極の機能を有するから基部13eに引き出された引き出し電極13h,13iが、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤例えば、シリコーン系導電性接着剤18によって、ベース部10の主面10aに設けられた接続端子10d,10eと接続されている。詳述すると、引き出し電極13hは、接続端子10dと接続され、引き出し電極13iは、接続端子10eと接続されている。ベース部10の接続端子10d,10eは、図示しない配線によって、ベース部10のY方向側の2箇所の角部の主面10bに設けられた外部接続端子10f,10gと接続されている。詳述すると、接続端子10dは、-X方向側の外部接続端子10fと接続され、接続端子10eは、X方向側の外部接続端子10gと接続されている。なお、可動部12の電極12d、配線12e、加速度検出素子13の配線13f,13g、引き出し電極13h,13i、ベース部10の接続端子10d,10e、外部接続端子10c,10f,10gは、例えば、Crを下地層とし、その上にAuが積層された構成となっている。パッケージ20は、平面形状が略矩形で凹部を有したパッケージベース21と、パッケージベース21の凹部を覆う平面形状が略矩形で平板状の蓋体としてのリッド22と、を有し、略直方体形状に形成されている。パッケージベース21には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどが用いられている。リッド22には、導電性を有するコバール、42アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。パッケージベース21には、内底面凹部の内側の底面23の外周部分から凹部の内壁に沿って対向して突出した2箇所の段差部23aに、内部端子24a,24b,25a,25bが設けられている。内部端子24a,24b,25a,25bは、各段差部23aの長手方向の両端にもうけられている。そして、内部端子24a,24b,25bは、ベース部10の外部接続端子10c,10f,10gと対向する位置平面視において重なる位置に設けられている。なお、内部端子25aは、ベース部10がパッケージベース21に固定される際に、内部端子25a側へ傾斜しないようにバランスを取るために設けられている。パッケージベース21の、リッド22に対向する内底面23には、金属膜である導電部23bが、可動部12に対向する位置に略矩形状に設けられている。パッケージベース21の外底面内底面23の反対側の面、外側の底面26には、電子機器などの外部部材例えば、プリント配線基板に実装される際に用いられる外部端子27a,27b,28a,28bが形成されている。外部端子27a,27b,28a,28bは、図示しない内部配線によって内部端子24a,24b,25a,25bと接続されている。例えば、外部端子27aは、内部端子24aと接続され、外部端子27bは、内部端子24bと接続され、外部端子28aは、内部端子25aと接続され、外部端子28bは、内部端子25b及び導電部23bと接続されている。なお、外部端子28aは、電気的な機能を必要とせずに、外部部材に実装される際の固定力確保のための端子として利用されるのであれば、内部端子25aと接続されていなくてもよい。内部端子24a,24b,25a,25b、外部端子27a,27b,28a,28b、導電部23bは、W、Moなどのメタライズ層にNi、Auなどの各被膜をメッキなどの方法により積層した金属膜からなる。パッケージベース21には、凹部の底部にパッケージ20の内部を封止する封止部29が設けられている。封止部29は、パッケージベース21に形成された、外底面26側の孔径が内底面23側の孔径より大きい段付きの貫通孔29aに、Au/Ge合金、ハンダなどからなる封止材29bを投入し、加熱溶融後、固化させることでパッケージ20の内部を気密に封止する構成となっている。加速度検出器1は、ベース部10の外部接続端子10c,10f,10gを含む部分4箇所の角部が、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤例えば、シリコーン系導電性接着剤30を介して、パッケージベース21の段差部23aの内部端子24a,24b,25a,25bに固定されている。これにより、外部接続端子10c,10f,10gは、内部端子24a,24b,25bと導通をとることができる電気的に接続される。なお、ベース部10と内部端子25aとの固定には、電気的に接続される必要がないことから非導電性接着剤を用いてもよい。ここで、質量部15、可動部12の電極12d、配線12eと電気的に接続されている外部接続端子10cは、内部端子25bを介して導電部23b及びパッケージベース21の外部端子28bと電気的に接続されていることとなる。加速度検出器1は、ベース部10がパッケージベース21の内部端子24a,24b,25a,25bに固定された状態で、パッケージベース21の凹部がリッド22により覆われ、パッケージベース21とリッド22とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材22aで接合される。この際、リッド22は、図示しない内部配線によって外部端子28bと電気的に接続される。加速度検出器1は、リッド22の接合後、パッケージ20の内部が減圧された状態真空度の高い状態で、封止部29の貫通孔29aに封止材29bが投入され、加熱溶融後、固化されることにより、パッケージ20の内部が気密に封止される。なお、パッケージ20の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。なお、パッケージは、パッケージベース及びリッドの両方に凹部を有していてもよい。加速度検出器1は、外部端子27a,27b、外部接続端子10f,10gなどを経由して加速度検出素子13の配線13f,13g励振電極に印加される駆動信号によって、加速度検出素子13の振動梁13a,13bが所定の周波数で発振共振する。そして、加速度検出器1は、加わる加速度に応じて変化する加速度検出素子13の共振周波数を出力信号電気信号として出力する。また、加速度検出器1は、外部端子28bが外部部材の接地GND端子に実装されることによって、質量部15と、可動部12の電極12dと、パッケージ20の導電部23bと、パッケージ20のリッド22とが、所望の電位としての接地電位同電位となる。ここで、加速度検出器1の動作について説明する。図3は、加速度検出器の動作について説明する模式断面図である。図3aは、可動部が紙面下方-Z方向に変位した状態を示す模式断面図であり、図3bは、可動部が紙面上方Z方向に変位した状態を示す模式断面図である。図3aに示すように、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度αに応じた慣性力によって、可動部12が、継ぎ手部11を支点にして-Z方向に変位した撓んだ場合、加速度検出素子13には、Y軸方向に基部13dと基部13eとが互いに離れる方向の引っ張り力が加わり、加速度検出部13cの振動梁13a,13bに引っ張り応力が生じる。これにより、加速度検出器1は、例えば、巻き上げられた弦楽器の弦のように、加速度検出部13cの振動梁13a,13bの振動周波数以下、共振周波数ともいうが高くなる方に変化する。一方、図3bに示すように、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度-αに応じた慣性力によって、可動部12が、継ぎ手部11を支点にしてZ方向に変位した場合、加速度検出素子13には、Y軸方向に基部13dと基部13eとが互いに近づく方向の圧縮力が加わり、加速度検出部13cの振動梁13a,13bに圧縮応力が生じる。これにより、加速度検出器1は、例えば、巻き戻された弦楽器の弦のように、加速度検出部13cの振動梁13a,13bの共振周波数が低くなる方に変化する。加速度検出器1は、この共振周波数の変化を検出可能な構成となっている。Z軸方向に加わる加速度α、-αは、この検出された共振周波数の変化の割合に応じて、ルックアップテーブルなどによって定められた数値に変換することで導出される。ここで、図3に示すように、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度α、-αによって、質量部15とパッケージ20のリッド22との距離dが変化する。加速度検出器1は、仮に、質量部15とリッド22とが同電位となっていない場合には、質量部15とリッド22との間に静電容量が発生し、前述した式1によれば、この静電容量が距離dの変化に連動して増減する可変容量となる。そして、質量部15と加速度検出素子13とのカップリング結合によって、上記の増減する静電容量が加速度検出素子13の発振回路に付加され、加速度検出素子13の振動が不安定になる虞がある。加速度検出器1は、上述したように、外部端子28bによって質量部15とパッケージ20のリッド22とを同電位に保持可能であり、外部端子28bを接地電位などの所望の電位に設定された回路配線に接続することで、質量部15とパッケージ20のリッド22、導電部23bとが同電位に保持される。これにより、加速度検出器1は、質量部15とリッド22との間に電位差がないことから、質量部15とリッド22との間の静電容量が消滅する発生しないこととなる。この結果、加速度検出器1は、上記静電容量が加速度検出素子13の発振回路に付加されないことから、加速度検出素子13の振動を安定状態で維持することができる。上記について、図を用いて詳述する。図4は、加速度検出素子を含む発振回路の回路図である。図4aは、リッド22が接地電位であり、質量部とリッドとが同電位でない場合を示す回路図であり、図4bは、リッド22または導電部23bの少なくともいずれか一方と質量部とが同電位である場合を示す回路図である。図4に示すように、発振回路50A,50Bは、双音叉型圧電振動素子の一般的な発振回路であって、それぞれ加速度検出素子13と、インバーターIvと、帰還抵抗Rfと、ドレイン抵抗Rdと、ゲート容量Cgと、ドレイン容量Cdと、を備えている。この構成により、加速度検出素子13は、加速度が印加されていない状態において、所定の共振周波数例えば、約32kHzで発振している。図4aに示すように、質量部15とリッド22とが同電位でない場合従来の場合には、配線13fと質量部15などとの間、及び配線13gと質量部15などとの間に生じる寄生容量浮遊容量、空間容量C2,C3と共に、質量部15とリッド22との間で可動部12の振動に伴い増減する静電容量C1が、発振回路50Aに付加され、加速度検出素子13の振動が不安定になる共振周波数が増減する虞がある。一方、図4bに示すように、質量部15を所望の電位に保持した場合、すなわち質量部15とリッド22とが同電位接地電位である場合本実施形態の場合には、寄生容量C2のラインと寄生容量C3のラインと、さらに静電容量C1とが所定の電位に固定されることになり、寄生容量C2、C3を介してノイズが発振回路50Bへ伝達される虞や、静電容量C1が発振回路50Bに付加されことがなくなる実質的に静電容量C1が消滅する。この結果、加速度検出器1は、加速度検出素子13の振動を安定状態で維持することができる。なお、寄生容量C2,C3分は、ゲート容量Cg及びドレイン容量Cdの変更により補正される。なお、加速度検出器1は、リッド22と導電部23bと質量部15とを同電位にするか否かに係わらず、質量部15を所望の電位好ましくは接地電位に保持すれば、電界などの電気的外乱の影響が質量部15を介して加速度検出素子13の電気信号として取り出す配線に到達するのを所望の電位回路配線へとバイパスして、加速度検出器1の電気的特性に与える影響を小さくする効果が期待できる。上述したように、第1実施形態の加速度検出器1は、加速度検出素子13に、検出した加速度を電気信号として取り出す配線13f,13gが設けられ、可動部12に搭載された質量部15が所望の電位に保持される。この結果、加速度検出器1は、質量部15とパッケージ20の一部である、リッド22とが同電位となることによって、質量部15とリッド22との間の静電容量C1が消滅することから、質量部15と加速度検出素子13とのカップリングを回避して、加速度検出素子13の振動を安定状態で維持することができる。したがって、加速度検出器1は、加速度検出精度などの加速度検出特性を向上させることができる。また、加速度検出器1は、質量部15と、可動部12の両主面12a,12bにスルーホール12cを介して跨って設けられた電極12dと、パッケージ20の一部である、リッド22及びパッケージベース21の導電部23bとが、互いに電気的に接続されていることから同電位となる。この結果、加速度検出器1は、可動部12の、質量部15との接合部分における圧電効果に伴う両主面12a,12bで極性の異なる電荷の発生が抑制され、可動部12電極12dと、リッド22及びパッケージベース21の導電部23bとの間の静電気力を殆ど解消できることから、静電気力による可動部12の撓み動作変位の阻害を抑制することができる。この結果、加速度検出器1は、加速度検出感度などの加速度検出特性を向上させることができる。また、加速度検出器1は、質量部15が厚み方向Z軸方向に貫通する略U字状の切り欠き部15aを有し、且つ、加速度検出素子13が搭載された可動部12の主面12aに搭載され、平面視において、質量部15の切り欠き部15a内に、加速度検出素子13の一部が配置されている。この結果、加速度検出器1は、上述した作用効果により加速度検出特性を向上させつつ、可動部12のスペースを効率的に活用でき、更なる小型化を図ることができる。また、加速度検出器1は、可撓部がベース部10と、ベース部10に継ぎ手部11を介して接続された可動部12と、を有してなり、可動部12が、慣性力によって継ぎ手部11を支点にして可動部12の主面12a12bと交差する方向Z軸方向に変位可能である。そして、加速度検出器1は、加速度検出素子13が、継ぎ手部11を跨いでベース部10の主面10aと可動部12の主面12aとに掛け渡され、質量部15が、可動部12の主面12aに搭載されている。これらにより、加速度検出器1は、例えば、継ぎ手部11がない構成よりも、可撓部可動部12が更に撓み易くなっていることから、加速度検出特性の中で、特に検出感度を更に向上させることができる。なお、加速度検出器1は、質量部15が、可動部12の主面12a側に代えて、主面12b側に搭載された場合でも、質量部15、可動部12の電極12d、パッケージ20のリッド22、パッケージ20の導電部23bが、互いに同電位に保持されることから、上記と同様の効果を奏することができる。なお、加速度検出器1は、加速度検出素子13以外の要素で発振回路50Bを構成するための回路として、例えば、集積回路部品をパッケージ20に収容した構成にしても構わない。第2実施形態次に、上記第1実施形態で述べた物理量検出器としての加速度検出器を備えた電子機器としての傾斜計について説明する。図5は、第2実施形態の傾斜計を示す模式斜視図である。図6は、傾斜計の内部に収容された傾斜センサーモジュールの概略構成を示す部分展開模式斜視図である。図5、図6に示すように、傾斜計4は、上記第1実施形態で述べた加速度検出器1を、傾斜センサーモジュール5の傾斜センサーとして備えている。図6に示すように、傾斜センサーモジュール5は、ベース基板201と、断熱基板202と、基台203と、加速度検出器1と、発振器204と、キャップ205と、を備え、傾斜計4の内部に収容されている。矩形平板状のベース基板201には、例えば、FR-4ガラス布入りエポキシ樹脂基板が用いられ、搭載された回路素子201aによって、加速度検出器1や発振器204に関わる周辺回路が構成されている。また、ベース基板201には、外部傾斜計本体との入出力のための端子201bや、傾斜計本体への取り付け孔201cが形成されている。矩形平板状の断熱基板202は、PBTポリブチレンテレフタレート、LCP液晶ポリマーなどの低熱伝導率で耐熱性、電気特性、寸法安定性などに優れた樹脂が用いられ、厚み方向に貫通して固定されている細いピン状棒状の複数の接続ピン202aによって、ベース基板201に隙間を有して接続されている。基台203は、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金などの金属を用いて、削り出しまたは板金加工により略直方体形状に形成され、断熱基板202に、例えば、接着剤などで固定されている。なお、基台203には、上記の樹脂や酸化アルミニウム質焼結体セラミック類などを用いてもよい。加速度検出器1及び発振器204は、基台203の側面断熱基板202に対して直立する面に、例えば、導電性接着剤などによって固定されている。2つの加速度検出器1は、基台203における隣り合う直角に接続された側面にそれぞれ固定されている。これにより、傾斜センサーモジュール5は、互いに直交する2軸に対する傾斜を検出することができる。発振器204は、基台203における一方の加速度検出器1が固定された側面と対向する側面換言すれば、他方の加速度検出器1が固定された側面と隣り合う側面に固定されている。加速度検出器1及び発振器204は、リード線206によって断熱基板202の接続ピン202aに接続され、接続ピン202aを経由してベース基板201に接続されている。なお、一方の加速度検出器1の近傍には、周辺の温度を検知するサーミスター207温度センサーが備えられている。サーミスター207は、周辺の温度を検知して、加速度検出器1及び発振器204の周波数特性の温度補償温度補正をする際の、温度検知手段として備えられている。サーミスター207は、上記加速度検出器1及び発振器204と同様に、リード線206によって断熱基板202の接続ピン202aに接続され、接続ピン202aを経由してベース基板201に接続されている。発振器204は、加速度検出時における加速度検出器1の共振周波数と比較する比較回路の基準周波数基準共振周波数発振源として備えられている。ベース基板201側に開口部を備えた箱状のキャップ205には、断熱基板202と同様に低熱伝導率の樹脂PBT、ABS、PCなどが用いられ、ベース基板201上の断熱基板202、基台203、加速度検出器1、サーミスター207、発振器204、回路素子201aなどを覆うようにベース基板201に固定されている。これらの構成により、傾斜センサーモジュール5は、周囲の温度変化の加速度検出器1への到達を遅延させることができる。詳述すると、ベース基板201からの接触による熱伝導は、細いピン状の接続ピン202aや低熱伝導率の樹脂が用いられた断熱基板202により遅延され、加速度検出器1の周辺の大気の対流や、外部部材の放射熱輻射熱による熱伝導は、低熱伝導率の樹脂が用いられたキャップ205による外気及び放射熱源からの遮断によって遅延される。このように、傾斜センサーモジュール5は、周囲の温度変化の加速度検出器1への到達を遅延させることで、加速度検出器1の温度変化をなだらかにすることが可能となることから、加速度検出器1の、例えば、加速度検出精度などの加速度検出特性を良好な状態に維持することができる。図5に戻って、傾斜計4は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計4は、外部からケーブル40を介して電源が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって傾斜センサーモジュール5加速度検出器1に駆動信号が送られている。そして、傾斜計4は、図示しない検出回路によって、傾斜センサーモジュール5加速度検出器1に加わる重力加速度に応じて変化する各共振周波数の周波数差から、傾斜計4の姿勢の変化傾斜計4に対する重力加速度が加わる方向の変化を検出し、それを角度に換算して、例えば、無線またはケーブル40などで基地局にデータ転送する。これにより、傾斜計4は、日常の管理や異常の早期発見に貢献することができる。上述した加速度検出器1は、上記傾斜計に限らず、地震計、ナビゲーション装置、姿勢制御装置、ゲームコントローラー、携帯電話などの加速度センサー、傾斜センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態で説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。なお、上記実施形態において、ベース部10、継ぎ手部11、可動部12の材料は、水晶に限定するものではなく、ガラス、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。また、加速度検出素子13の基材は、水晶に限定するものではなく、タンタル酸リチウムLiTaO3、四ホウ酸リチウムLi2B4O7、ニオブ酸リチウムLiNbO3、チタン酸ジルコン酸鉛PZT、酸化亜鉛ZnO、窒化アルミニウムAlNなどの圧電材料、または酸化亜鉛ZnO、窒化アルミニウムAlNなどの圧電材料を被膜として備えたシリコンなどの半導体材料であってもよい。以上、物理量検出器として加速度検出器を例に挙げて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されず、加速度検出結果から力、速度、距離などを検出する物理量検出器にも適用できる。"