ターボ分子ポンプユニットと電源ユニット間に配設されかつそれぞれがシールドで被覆された電力供給用芯線と信号伝達用芯線が挿通される主ケーブル端と前記電力供給用芯線を前記主ケーブルから分岐する分岐ケーブル端を電源ユニットまたはポンプユニットに取り付けられたシールド筐体の開口部に挿設させるとともに、前記主ケーブル内の電力供給用芯線のみを前記シールド筐体部位から前記分岐ケーブルに挿通させ、信号伝達用芯線は制御コネクタに接続し電力供給用芯線は電力コネクタに接続させた構造を特徴とするターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。電力供給用芯線と信号伝達用芯線を外覆するシールド被覆を備えた前記主ケーブル端において、シールド被覆の一部を半開し信号伝達用芯線を引き出すとともに、電力供給用芯線を内蔵したシールド被覆を折返し、前記分岐ケーブルの分岐シールドとして使用したことを特徴とする請求項1記載のターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。前記分岐シールドと、前記電力供給用芯線と信号伝達用芯線を外覆するシールド被覆を接触させ、かつ前記電力供給用芯線を前記主ケーブルから分岐する分岐ケーブル端から前記制御コネクタ間までを外覆する接続シールドを設けたことを特徴とする請求項1または請求項2記載のターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。前記接続シールドは可撓性を備えた材料であることを特徴とする請求項3記載のターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。前記シールド被覆を編組線使用のシールド線で構成し、前記主ケーブル端あるいは制御コネクタと信号伝達用芯線の接続部分の外方からの保護および絶縁に熱収縮チューブを用いたことを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4記載のターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。従来のターボ分子ポンプ用ケーブルの構造は以上のとおりであるが、図4に示す構造では電力ケーブル3および制御ケーブル6の複数のケーブルを使用するため製造コストが増大し、またケーブルの敷設および保守作業も複雑になる。また図5および図6の構造では、ケーブルが主ケーブル9として一本化されるので製造コストの軽減および、ケーブルの敷設ならびに保守の簡易化は達成されるが、板金加工品などの金属成型品を使用したシールド筐体12あるいは13を必要とするため製造コストが増加し、また箱状の各シールド筐体の存在のため各コネクタの締結または開放時に作業効率が低下する。さらに分岐部位のシールド効果も限定されている。すなわち図6のシールド筐体13を例に挙げると、シールド筐体13は主ケーブル端周辺を隙間なく囲繞し、シールド18、シールド19および制御コネクタ8全体を永年にわたり外力や腐食から安定に保護しまたシールドする高精度の構造設計、製作および組立作業を必要とし、製造コストが増大する。また各シールド筐体が各コネクタ直近の周囲にあるため各コネクタの締結または開放時に作業者の手指に触れ、作業が阻害され作業効率を低下させる。さらに高精度の構造設計を行なっても一定形の各シールド筐体と可撓性のある各ケーブルとは密接性に限界があり、シールド効果が限定される。また図7の構造では、電力供給用と信号伝達用で異なるコネクタ各ピンの電圧電流定格、絶縁距離を満足し、一体化したポンプユニット1側の複合コネクタ22が必要であり、このようなコネクタは市場汎用品では入手できないため専用の特注コネクタの開発を必要とし、製造コストが増大する。本発明はこれらの問題点を解決するものである。本発明が提供するターボ分子ポンプ用ケーブルは上記課題を解決するために、ターボ分子ポンプユニットと電源ユニット間に配設されかつそれぞれがシールドで被覆された電力供給用芯線と信号伝達用芯線が挿通される主ケーブル端と前記電力供給用芯線を前記主ケーブルから分岐する分岐ケーブル端を電源ユニットまたはポンプユニットに取り付けられたシールド筐体の開口部に挿設させるとともに、前記主ケーブル内の電力供給用芯線のみを前記シールド筐体部位から前記分岐ケーブルに挿通させ、信号伝達用芯線は制御コネクタに接続し電力供給用芯線は電力コネクタに接続させた構造とする。また電力供給用芯線と信号伝達用芯線を外覆するシールド被覆を備えた前記主ケーブル端において、シールド被覆の一部を半開し信号伝達用芯線を引き出すとともに、電力供給用芯線を内蔵したシールド被覆部位を折返し、前記分岐ケーブルの分岐シールドとして使用する。また前記分岐シールドと、前記電力供給用芯線と信号伝達用芯線を外覆するシールド被覆を接触させ、かつ前記電力供給用芯線を前記主ケーブルから分岐する分岐ケーブル端から前記制御コネクタ間までを外覆する接続シールドを設ける。また前記接続シールドは可撓性を備えた材料とする。また前記シールド被覆部位を編組線使用のシールド線で構成し、前記主ケーブル端あるいは制御コネクタと信号伝達用芯線の接続部分の外方からの保護および絶縁に熱収縮チューブを用いる。本発明によれば、従来主ケーブルの分岐部を、外力や腐食から安定に保護しまたシールドするために、板金加工などで作製されコネクタ直近に配設されていた一定形のシールド筐体が不要になり、ケーブル組立品の製造コストが低減され、可撓性の構造によりケーブルの取り扱いおよびコネクタの締結開放作業も簡易化される。また主ケーブル端周辺が相互に密接した可撓性シールドのみで被覆されシールドの不連続が避けられる。また外部からの電磁ノイズ耐性の向上、外部への電磁界放射の低下などが実現され、シールド効果が改善される。以下図示例にしたがって説明する。図1は本発明の一実施例で、制御コネクタ8近傍にある主ケーブル端周辺の断面図である。主ケーブル9Nは主ケーブル端でジャケット16図6参照が切開され、シールド18が露出される。さらにシールド18の一部は半開され信号伝達用芯線14が引き出され、制御コネクタ8に接続される。シールド18、シールド19Nに密接したシールド32の右方端部は制御コネクタ8に接続される。主ケーブル端周辺はジャケット31で被覆される。シールド18は電力供給用芯線15を内蔵した状態で折返され、分岐ケーブル11N側のシールド19Nを形成する。シールド19Nはさらにジャケット17Nで被覆され、分岐ケーブル11Nを形成する。電力供給用芯線15は分岐ケーブル11Nを介して電力コネクタ5に接続される。またシールド19Nの端部は電力コネクタ5の外周に接続される。なお、各ケーブルの端部および各コネクタと各ジャケットの端部を外力や腐食から安定に保護するため、たとえば保護部分の最外周をさらに熱収縮チューブで被覆し、組立の最終段階で収縮が必要な箇所を熱処理すればよい。図2は図1の構造の主ケーブル端部位を備えたポンプユニット1と電源ユニット2の接続の構成を示している。電力コネクタ4、制御コネクタ7および分岐ケーブル10N部分の構造および作動は図1の電力コネクタ5、制御コネクタ8および分岐ケーブル11N部分に類似である。図3はY型ジャケット33を使用した実施例を示している。すなわちY型ジャケット33で主ケーブル端周辺を被覆し、その一端を主ケーブル9N側に、別の一端を制御コネクタ8側に、別の一端を電力コネクタ5側に使用する。本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、さらに種々の変形実施例を挙げることができる。たとえば図1の実施例では主ケーブル9Nが主ケーブル端を介して制御コネクタ8に接続され、一部の電力供給用芯線15が分岐ケーブル11Nを介して副コネクタである電力コネクタ5に副次的に接続された例であるが、主ケーブル9Nを電力コネクタ5に、分岐ケーブル11Nを制御コネクタ8に接続可能である。親コネクタと副コネクタは目的に応じて自由に変更できる。また必要に応じて分岐ケーブル11Nの端部にさらに本発明の主ケーブル端相当部位を設けてさらにケーブルを分岐でき、本発明のコネクタ数は2個に限定されない。また図1においてシールド18の半開部分を制御コネクタ8に近設し、シールド18を分岐ケーブル11N側に折返さず、信号伝達用芯線14を内蔵したままで制御コネクタ8を直接外覆し固着する構造も考えられる。この場合は上記半開部分で電力供給用芯線15を引き出し、別途準備した分岐ケーブル11N側の電力供給用芯線、すなわち図6の電力供給用芯線21と類似の芯線に接続し、電力コネクタ5に導く。この構造ではシールド32はシールド18で大旨代替が可能で、シールド32を省略できる。また主ケーブル端周辺の外力や腐食からの保護には前記のとおり熱収縮チューブを用いることができるが、ジャケット31、ジャケット17NあるいはY型ジャケット33自体に熱収縮チューブを使用しても良い。この場合各ジャケット自体で主ケーブル端周辺の保護が行われるため構造が簡易化されコストダウン効果が増加する。さらに主ケーブル端周辺の保護として他の方法、たとえば弾力性材料、接着剤などを採用でき、本発明は端部の保護の手法および使用材料には限定されない。図1は主ケーブル端周辺を模式的に示しているが、シールド32の内方に空間を残す必要はないので、前記のとおりジャケット31に熱収縮チューブを使用し、ジャケット31全体を熱処理して収縮させ、不要な空間を可能な限り除去し取り扱いに便ならしめてもよい。可撓性のシールド材料として編組線以外にも銅箔テープなどをシールド相互の接続部などの適切な箇所に使用することも考えられ、シールド材料は編組線には限定されない。本発明はこれらをすべて包含する。