複数本のボルトを使用して被固定部材を固定した後のボルトの緩み防止装置であって、複数本のボルトの各頭部にそれぞれ相対回転不可能に嵌め合わせられる複数個の嵌合部材と、複数個の嵌合部材にまたがって取り付けられて各嵌合部材に係合する係合部材とを有していることを特徴とするボルトの緩み防止装置。各嵌合部材の外周面が非円形とされ、係合部材に、各嵌合部材の非円形外周面の少なくとも一部に係合してその移動を防止する係合部が設けられていることを特徴とする請求項1のボルトの緩み防止装置。係合部材は、複数の嵌合部材の外周面に一方側から対向する第1対向壁部と、複数の嵌合部材の外周面に他方側から対向する第2対向壁部と、両対向壁部を連結する連結壁部とを有していることを特徴とする請求項2のボルトの緩み止め装置。係合部材の各係合部は、各嵌合部材の非円形外周面に対応する非円形内周面を有し連結壁部に設けられた係合孔とされていることを特徴とする請求項3のボルトの緩み止め装置。係合部材の連結壁部は、隣り合う嵌合部材の間に嵌まり合うことで第1対向壁部および第2対向壁部とともに係合部を形成する突出部を有していることを特徴とする請求項3のボルトの緩み止め装置。各ボルトは、頭部周面に平目のローレットが形成された六角孔付きボルトとされており、各六角孔付きボルトは、その頭部を被固定部材から突出させて、被固定部材を貫通しており、被固定部材から露出している各六角孔付きボルトの頭部に、外周面形状が方形でかつ内周面にローレットが形成された嵌合部材がそれぞれ嵌め合わされており、複数の嵌合部材にまたがって嵌め合わせられた係合部材が被固定部材で受け止められていることを特徴とする請求項1から5までのいずれかに記載のボルトの緩み止め装置。請求項1から6までのいずれかのボルトの緩み防止装置を取り付ける方法であって、嵌合部材の外周面を保持する保持部および嵌合部材に当接して保持部に対して移動可能な押し部を有する第1取付治具を使用して、嵌合部材を第1取付治具の保持部に保持した状態で、嵌合部材をボルトに取り付け、その後、第1取付治具の押し部を移動させることで、第1取付治具の保持部から嵌合部材を外すことを特徴とするボルトの緩み防止装置の取付方法。請求項1のボルトの緩み防止装置を取り付ける方法であって、係合部材にねじ孔を設けておき、このねじ孔にねじ合わされるおねじ部を有する第2取付治具を使用して、係合部材を第2取付治具にねじ合わせた状態で、第2取付治具を複数個の嵌合部材にまたがるように押圧することで係合部材を複数個の係合部材に取り付けることを特徴とするボルトの緩み防止装置の取付方法。請求項7のボルトの緩み防止装置の取付方法で使用される第1取付治具であって、嵌合部材の外周面を保持する保持部が先端に一体に設けられた中空軸と、中空軸の基端部に設けられた把持部と、嵌合部材に当接する押し部が先端に一体に設けられ中空軸内に軸方向移動可能に挿入されて基端部が中空軸から突出させられている内軸とを有していることを特徴とする第1取付治具。請求項8のボルトの緩み防止装置の取付方法で使用される第2取付治具であって、係合部材に設けられたねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有する軸体と、係合部材に当接する補強板とを有し、軸体は、相対回転可能に補強板に取り付けられていることを特徴とする第2取付治具。請求項8のボルトの緩み防止装置の取付方法で使用される第2取付治具であって、補強板付き軸体およびこれに着脱可能に取り付けられる補助軸体からなり、補強板付き軸体は、係合部材の一端部に設けられたねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有する主軸体と、係合部材に当接する補強板とを有し、主軸体は、相対回転可能に補強板に取り付けられており、補強板には、主軸体が挿通される貫通孔が一端部に、ねじ孔が他端部にそれぞれ設けられており、補助軸体は、補強板のねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有していることを特徴とする第2取付治具。複数の上段部材としての通路ブロックを有する流体制御機器と、複数の下段部材としてのブロック継手とを備えており、通路ブロックをボルトを使用して下段部材に固定する構成とされている流体制御装置であって、前記ボルトの緩み止めを行うためのボルトの緩み防止装置として、請求項1から6までのいずれかのボルトの緩み防止装置を備えていることを特徴とする流体制御装置。被処理基板を収容する処理容器と、前記処理容器内に処理ガスを供給する処理ガス供給部を備えた基板処理装置であって、前記処理ガス供給部内に設けられた流体制御装置として、請求項12の流体制御装置を備えていることを特徴とする基板処理装置。上記の特許文献1のボルトの緩み止め部材によると、1つの部材で緩み止めを行えるという利点があるものの、部材の構造が複雑となって製造が困難となるという問題があり、また、一方のボルトに第1嵌合部を嵌め合わせた状態で、他方のボルトに第2嵌合部を嵌め合わせるという取付け作業が困難であるという問題があった。したがって、上記の特許文献2の流体制御装置に適用することは困難である。この発明の目的は、部材の構造が簡素化されており、かつ、取付け作業を容易に行うことができるボルトの緩み防止装置ならびにその取付方法および取付治具を提供することにある。この発明によるボルトの緩み防止装置は、複数本のボルトを使用して被固定部材を固定した後のボルトの緩み防止装置であって、複数本のボルトの各頭部にそれぞれ相対回転不可能に嵌め合わせられる複数個の嵌合部材と、複数個の嵌合部材にまたがって取り付けられて各嵌合部材に係合する係合部材とを有しているものである。この発明で使用されるボルトは、JISで規格されている六角ボルト、四角ボルト、六角孔付きボルトなどとすることができ、また、頭部を非円形に加工した特殊形状ボルトとすることもできる。JISで規格されている六角孔付きボルトの場合には、平目のローレット付きのものが好ましい。嵌合部材は、例えば板状とされて、内周面がボルトの外周形状に対応した形状六角ボルト用の場合には、六角形とされるとともに、外周面が適宜な非円形形状例えば六角形、方形などとされる。平目のローレット付きの六角孔付きボルトの場合には、嵌合部材の内周面がローレット状とされる。六角孔付きボルト用の嵌合部材は、六角孔に嵌め合わせられる六角柱状凸部が方形板状部材の中央部分に設けられているものであってもよい。係合部材は、例えば板状または枠状とされ、係合部材に、各嵌合部材の非円形外周面の少なくとも一部に係合してその移動を防止する係合部が設けられる。係合部は、嵌合部材の非円形外周面に対応した形状嵌合部材が六角形であれば、係合部も六角形とされる。係合部材の外形は、方形、円形などとされ、好ましくは、ボルトが取り付けられる部分の形状に応じた形状とされる。係合部材の外形は、ボルトが取り付けられる部材によって回り止めされる形状とされることがより好ましい。ここで、嵌合部材の外周面および係合部材の各係合部の非円形は、完全な円形以外の形状であって、嵌合部材に係合部材が取り付けられて、嵌合部材と係合部材とが嵌め合わされた場合、相対回転不可能になる形状を意味する。ただし、嵌合部材と係合部材との嵌め合いは、しまりばめ圧入のように最初の嵌め合わせ状態で相対回転不可能となっている必要はなく、相対回転した際に、嵌合部材の外周面の一部と係合部材の係合部の一部とが係合するものであればよい。嵌め合わせた状態で完全に回転不可能でない場合であっても、少し緩んで回転止め機能が発揮されると、それ以後は、嵌合部材は回転できないので、緩み止めが発揮されるためである。要するに、係合部材は、嵌合部材の回転移動を防止できればよく、その形状は、嵌合部材の形状に合わせて、適宜変更される。嵌合部材の非円形外周面ならびに係合部材の係合部の非円形内周面は、六角形、方形の他、円形の外周面に1または複数の突起または切欠きが設けられたものであってもよい。各嵌合部材は、合成樹脂製板状素材に貫通孔が設けられた形状とすることでき、容易に製作することができる。嵌合部材とボルト頭部との嵌め合わせは、相対回転不可能遊びが実質的にゼロとされ、嵌合部材の回転が阻止されることで、ボルトの回転緩みが阻止される。嵌合部材は、それぞれ別個にボルトに嵌め合わせればよいので、これらの嵌め合わせは容易に行うことができる。係合部材は、例えば合成樹脂製とすること弾性変形可能とすることができ、これにより、複数の嵌合部材にまたがる嵌め合わせを容易に行うことができる。なお、係合部材と嵌合部材との嵌め合わせは、相対回転不可能ではあるが、若干の遊びがあってもよい。遊びがある場合、嵌合部材は、その遊び分だけ回転可能となり、これに伴い、ボルトも回転可能ということになるが、遊び以上にボルトが緩むことはないので、緩み量を所定値以下実質的にゼロにすることができる。遊びは実質的にゼロであってももちろんよいが、ある程度の遊びを設けることにより、係合部材の嵌合部材への嵌め合わせをより容易に行うことができる。複数の嵌合部材は、通常、同一形状とされるが、これに限定されるものではない。嵌合部材がすべて同一形状の場合、第1の係合部と第2の係合部とは、同一形状であってもよいが、これに限定されるものではなく、第2の係合部を大きくして、上記の遊びを第2の係合部の方で大きくとるようにしてもよい。また、第1の係合部と第2の係合部とは、仕切られることが好ましいが、仕切りをなくして、すべての嵌合部材を含むような1つの係合部にまとめられてもよい。係合部材は、複数の嵌合部材の外周面に一方側から対向する第1対向壁部と、複数の嵌合部材の外周面に他方側から対向する第2対向壁部と、両対向壁部を連結する連結壁部とを有していることが好ましい。このようにすると、複数の嵌合部材にまたがって取り付けられる係合部材の形状を簡単なものとしかつ強度を確保することが容易となる。係合部材の各係合部は、各嵌合部材の非円形外周面に対応する非円形内周面を有し連結壁部に設けられた係合孔とされていることがある。また、係合部材の連結壁部は、隣り合う嵌合部材の間に嵌まり合うことで第1対向壁部および第2対向壁部とともに係合部を形成する突出部を有していることがある。この発明のボルトの緩み防止装置が適用される締付け固定構造は、限定されるものではないが、例えば、流体制御装置の通路ブロックの固定構造に適用される。この通路ブロックには、シール部が必要であることから、ボルトが緩んだ場合に、シール性が低下することになり、ボルトの緩み止めが極めて重要となる。流体制御装置の通路ブロックの固定構造に適用するに際しては、各ボルトは、頭部周面に平目のローレットが形成された六角孔付きボルトとされており、各六角孔付きボルトは、その頭部を被固定部材通路ブロックから突出させて、被固定部材を貫通しており、被固定部材から露出している各六角孔付きボルトの頭部に、外周面形状が方形でかつ内周面にローレットが形成された嵌合部材がそれぞれ嵌め合わされており、複数の嵌合部材にまたがって嵌め合わせられた係合部材が被固定部材で受け止められているものとされることが好ましい。通路ブロックは、例えば、直方体状とされて、適宜な形状の流体通路が形成され、これに伴って、シール部が設けられる。この通路ブロックの取付けに際しては、シール部を挟むように複数本のボルトが配置されることで、そのシール性が確保されて、通路ブロックが支持部材に取り付けられる。通路ブロックは、これだけで1つの部材として扱われることがあり、また、アクチュエータに一体的に取り付けられることで、バルブの通路形成部分とされることもある。複数本のボルトの具体的な数は、例えば、1対2本とされるが、2本以上も可能であり、その際、複数のボルトが直線状に並んでいる必要は無く、ボルトの位置に合わせて係合部材を変形すればよい。上記のボルトの緩み防止装置は、適宜な取付治具嵌合部材を取り付けるための第1取付治具および係合部材を取り付けるための第2取付治具を使用して行うことが好ましい。第1の発明によるボルトの緩み防止装置の取付方法は、嵌合部材の外周面を保持する保持部および嵌合部材に当接して保持部に対して移動可能な押し部を有する第1取付治具を使用して、嵌合部材を第1取付治具の保持部に保持した状態で、嵌合部材をボルトに取り付け、その後、第1取付治具の押し部を移動させることで、第1取付治具の保持部から嵌合部材を外すことを特徴とするものである。この発明のボルトの緩み防止装置の取付方法によると、嵌合部材を取り付ける際のスペースとして、ボルトの上方にはスペースがあるが、ボルトの周辺前後および左右には十分なスペースが無い場合であっても、嵌合部材を確実にボルトに嵌め合わせることができる。また、第2の発明によるボルトの緩み防止装置の取付方法は、係合部材にねじ孔を設けておき、このねじ孔にねじ合わされるおねじ部を有する第2取付治具を使用して、係合部材を第2取付治具にねじ合わせた状態で、第2取付治具を複数個の嵌合部材にまたがるように押圧することで係合部材を複数個の係合部材に取り付けることを特徴とするものである。この発明のボルトの緩み防止装置の取付方法によると、係合部材を取り付ける際のスペースとして、ボルトおよび嵌合部材の上方にはスペースがあるが、ボルトおよび嵌合部材の周辺前後および左右には十分なスペースが無い場合であっても、係合部材を確実に嵌合部材に嵌め合わせることができる。この発明による第1取付治具は、嵌合部材の外周面を保持する保持部が先端に一体に設けられた中空軸と、中空軸の基端部に設けられた把持部と、嵌合部材に当接する押し部が先端に一体に設けられ中空軸内に軸方向移動可能に挿入されて基端部が中空軸から突出させられている内軸とを有していることを特徴とするものである。この発明の第1取付治具によると、嵌合部材をボルトに嵌め合わせた後、嵌合部材が第1取付治具から外れにくいという問題を解消することができる。また、第1の発明による第2取付治具は、係合部材に設けられたねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有する軸体と、係合部材に当接する補強板とを有し、軸体は、相対回転可能に補強板に取り付けられていることを特徴とするものである。第1の発明の第2取付治具によると、補強板によって係合部材の反りを矯正することができるので、係合部材を複数個の嵌合部材に取り付ける際の嵌め合わせをスムーズに行うことができる。また、第2の発明による第2取付治具は、補強板付き軸体およびこれに着脱可能に取り付けられる補助軸体からなり、補強板付き軸体は、係合部材の一端部に設けられたねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有する主軸体と、係合部材に当接する補強板とを有し、主軸体は、相対回転可能に補強板に取り付けられており、補強板には、主軸体が挿通される貫通孔が一端部に、ねじ孔が他端部にそれぞれ設けられており、補助軸体は、補強板のねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有していることを特徴とするものである。第2の発明の第2取付治具によると、被固定部材の上方に第1の発明の第2取付治具の挿入を妨げる部分が存在している場合に、この第2の発明の第2取付治具を使用することで、干渉を避けて、係合部材の取付けを行うことができる。この発明による流体制御装置は、複数の上段部材としての通路ブロックを有する流体制御機器と、複数の下段部材としてのブロック継手とを備えており、通路ブロックをボルトを使用して下段部材に固定する構成とされている流体制御装置であって、前記ボルトの緩み止めを行うためのボルトの緩み防止装置として、上記いずれかのボルトの緩み防止装置を備えていることを特徴とするものである。複数の上段部材としての通路ブロックを有する流体制御機器および複数の下段部材としてのブロック継手を備えている流体制御装置においては、シール性を維持するためにボルトの緩みを防止することが必要であるが、ボルトの周辺には十分なスペースが無いことから、狭いスペースに設置可能なボルトの緩み防止装置が課題となっており、上記のボルトの緩み防止装置を備えている流体制御装置とすることで、この課題を解決することができる。このような流体制御装置は、被処理基板を収容する処理容器と、前記処理容器内に処理ガスを供給する処理ガス供給部を備えた基板処理装置において、前記処理ガス供給部内に設けられた流体制御装置として、好適に使用される。この発明のボルトの緩み防止装置によると、複数本のボルトの各頭部にそれぞれ相対回転不可能に嵌め合わせられる複数個の嵌合部材と、複数個の嵌合部材にまたがって取り付けられて各嵌合部材に係合する係合部材とを有しているので、各ボルトに対する各嵌合部材の相対回転が不可能とされた状態で、各嵌合部材の回転が係合部材によって防止されるので、確実にボルトの緩みが防止される。ここで、嵌合部材は、内周面がボルトの外周形状に対応した形状とされるとともに、外周面が適宜な非円形形状とされ、係合部材には、複数個の嵌合部材に対応する係合部が設けられていればよいので、各嵌合部材を板状の素材に貫通孔が設けられた形状とすることができ、製作が容易なものとできる。また、嵌合部材は、それぞれ別個にボルトに嵌め合わせればよいので、これらの嵌め合わせは容易であり、係合部材を弾性変形させることで、係合部材を嵌合部材にまたがるように嵌め合わせることも容易に行える。また、この発明のボルトの緩み防止装置の取付方法によると、嵌合部材および係合部材を取り付ける際のスペースとして、ボルトの上方にはスペースがあるが、ボルトの周辺前後および左右には十分なスペースが無い場合であっても、嵌合部材および係合部材を確実に対応するボルトおよび嵌合部材に嵌め合わせることができる。また、この発明のボルトの緩み防止装置の取付治具によると、これらを使用することで、上記ボルトの緩み防止装置の取付方法をスムーズに実施することができる。この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下は図18の上下をいうものとし、また、同図の右を前、左を後といい、同図紙面表側を左、同裏側を右というものとする。図18は、この発明によるボルトの緩み防止装置が対象とする装置の1例としての集積化流体制御装置を示しており、この流体制御装置の1つのラインは、複数の上段部材および複数の下段部材からなり、上段部材として、開閉弁手動、プレッシャレギュレータ、圧力センサ、逆V字状通路ブロック、遮断開放器、マスフローコントローラ、開閉弁自動、逆V字状通路ブロックおよびフィルタが配置されるとともに、下段部材として、両端に配置された管継手付きL字状通路ブロック継手と、隣り合う上段部材同士を連通するV字状通路ブロック継手とが配置されている。そして、下段部材としての各種継手部材が1つの細長い副基板上に載せられるとともに、これらの下段部材にまたがって上段部材としての各種流体制御機器が取り付けられることで1つのラインが形成され、このラインと類似の構成とされた複数のラインが主基板上に並列に配置されるとともに、各ラインの遮断開放器同士が通路接続手段により接続されることにより、集積化流体制御装置が形成されている。上記の流体制御装置においては、マスフローコントローラの両側に通路ブロックが配置されており、これらの通路ブロックは、1対のボルトによって、下段のV字状通路ブロック継手に固定されている。また、上段部材である開閉弁手動、プレッシャレギュレータ、圧力センサ、逆V字状通路ブロック、開閉弁自動、逆V字状通路ブロックおよびフィルタは、それぞれ通路ブロックを有しており、これらの通路ブロックは、1対または2対のボルトによって、下段の通路ブロック継手に固定されている。各通路ブロックには、ボルトが挿通される貫通孔が設けられており、各ボルトは、その頭部を通路ブロックの上面から突出させて、その先端部が通路ブロック継手に設けられためねじ部にねじ合わされている。この発明によるボルトの緩み防止装置の第1実施形態は、上記の通路ブロックの固定構造などに適用されるもので、図1から図4までに示すように、通路ブロック被固定部材を支持部材に固定するための1対のボルトの緩み止めを行うのに適するもので、各ボルトの頭部に相対回転不可能に嵌め合わせられる左右1対の嵌合部材と、1対の嵌合部材にまたがって嵌め合わせられる係合部材とからなる。各ボルトは、同一形状の市販品JIS規格品で、頭部周面全周に平目のローレット複数本の軸方向と平行にのびる凸条および凹溝が形成された六角孔付きボルトとされている。嵌合部材は、板状体に貫通状の嵌合孔が形成されたもので、嵌合部材の各外周面は、正方形非円形の1例とされている。嵌合孔の内周面には、ボルトの頭部周面のローレットに対応するローレット複数本の軸方向と平行にのびる凸条および凹溝が形成されている。これにより、嵌合部材の嵌合孔は、各ボルトの頭部周面のローレットにちょうど嵌め合わされるようになされている。係合部材は、左右1対の嵌合部材の外周面に前側一方側から対向する第1対向壁部と、1対の嵌合部材の外周面に後側他方側から対向する第2対向壁部と、両対向壁部を連結する連結壁部とを有している。連結壁部には、各嵌合部材にそれぞれ嵌め合わせ可能な方形の左第1および右第2の係合孔が形成されている。左係合孔の内周面は、左方の嵌合部材の方形外周面に対応する方形とされ、右係合孔の内周面は、右方の嵌合部材の方形外周面に対応する方形とされており、これにより、各嵌合部材の非円形外周面の少なくとも一部に係合してその移動を防止する係合部としての係合孔が形成されている。左係合孔と右係合孔との間は、仕切りによって仕切られている。係合部材は、嵌合部材に嵌め合わせられた状態で、その上面が嵌合部材の上面よりも若干上方にある。上記のボルトの緩み防止装置によると、各ボルトに対する各嵌合部材の相対回転が不可能とされた状態で、各嵌合部材の回転が係合部材によって防止されるので、確実にボルトの緩みが防止される。嵌合部材は、内周面がボルトの外周形状に対応した形状とされるとともに、外周面が適宜な非円形形状とされ、係合部材には、各嵌合部材に対応する係合孔が設けられていればよいので、各嵌合部材を合成樹脂製の板状体に貫通孔が設けられた形状とすることができ、製作が容易なものとできる。嵌合部材は、それぞれ別個にボルトに嵌め合わせればよいので、これらの嵌め合わせは容易である。また、係合部材は、例えば合成樹脂製の板状体とされることで、弾性変形可能とすることができ、嵌合部材への嵌め合わせが容易なものとなる。なお、図4において、各嵌合部材と各係合孔とは、遊びがほぼ0として示されているが、各嵌合部材と各係合孔との間に若干の遊びがあっても、各嵌合部材の回転が係合部材によって防止される効果が低下することは実質的にないので、ボルトの緩み防止の効果が低下することはない。したがって、遊びを大きめに取ることによって、係合部材を嵌合部材に嵌め合わせる作業をより容易なものとすることもできる。また、各嵌合部材と各係合孔係合部とは、係合部が方形の孔とされることで、周面の4面全てで当接するようになっている4面ともが係合面の機能を有しているが、少なくとも1面が係合面の機能を有していればよいので、係合部は方形の孔に限定されるものではない。図5から図7までには、嵌合部材が上記のものと同一形状である場合の係合部材の異なる実施形態が示されている。同図において、係合部材は、左右1対の嵌合部材の外周面に前側一方側から対向する第1対向壁部と、1対の嵌合部材の外周面に後側他方側から対向する第2対向壁部と、両対向壁部を連結する連結壁部とを有している。連結壁部は、その下面が各嵌合部材の上面で受けられており、連結壁部には、また、ボルトの状態を確認するための窓が設けられている。連結壁部の下面内面のうちの嵌合部材の上面で受けられない中間部分には、図7bに示すように、両嵌合部材の間に嵌まり合う四角柱状の下方突出部が形成されている。これにより、この実施形態では、両対向壁部の左部同士および下方突出部の左面とによって、左方の嵌合部材の非円形外周面の少なくとも一部に係合してその移動を防止する第1係合部が形成され、両対向壁部の右部同士および下方突出部の右面とによって、右方の嵌合部材の非円形外周面の少なくとも一部に係合してその移動を防止する第2係合部が形成されている。この実施形態の係合部材によると、係合部が方形の孔とされている係合部材に比べて、嵌合部材の嵌め合わせが容易なものとなっており、また、連結壁部の厚みが厚くされていることで、強度が向上して、反りなどが生じにくいものとなっている。ところで、この発明によるボルトの緩み防止装置が対象とする装置の1例としての集積化流体制御装置図18において、例えば、マスフローコントローラの両側に配置された通路ブロックを1対のボルトによって下段のV字状通路ブロック継手に固定する場合、通路ブロックの前後および左右には、作業スペースがほとんどなく、したがって、上方からの作業によって、上記の嵌合部材を取り付けることが必要である。ここで、通路ブロックの前後および左右には手を挿入できる程のスペースが無いことから、各嵌合部材の取付けに際しては、図8および図19に示す第1取付治具ならびに図10および図11に示す第1実施形態の第2取付治具または図14から図16までに示す第2実施形態の第2取付治具からなる2種類の治具を使用して行うことが好ましい。上記第2取付治具の使用を可能とするため、係合部材には、図5から図7までに示されているように、中央部および両端部にそれぞれねじ孔が設けられている。第1実施形態の第1取付治具は、図8および図9に示すように、嵌合部材の外周面を保持する保持部が先端に一体に設けられた中空軸と、中空軸の基端部に一体に設けられた把持部と、嵌合部材の上面に当接する押し部が先端に一体に設けられ中空軸内に軸方向移動可能に挿入されて基端部が中空軸から突出させられている内軸とを有している。保持部は、図9に拡大して示すように、前後壁および頂壁によって略コの字状に形成されており、摩擦力によって嵌合部材を前後壁間に保持するものとされている。前壁は、後壁にちょうど対向して嵌合部材の外周面を挟持する対向部と、対向部の下方に連なる下方突出部とからなる。下方突出部は、外面が対向部と面一とされ、下方突出部の内面は、嵌合部材を保持した第1取付治具を装着位置嵌合部材を各ボルトに装着する位置まで移動させる際に、被固定部材である連結ブロックの前面に案内されるように、対向部の内面よりも凹となるように形成されている。押し部は、図9bに拡大して示すように、板状の方形部と、その下面に設けられた板状の円形部とからなる。円形部は、嵌合部材の内周面内に緩く嵌まり合う大きさとされている。方形部は、その外周縁部が嵌合部材の外周縁部に沿う形状とされている。押し部は、内軸と一体とされていることから、内軸を中空軸に対して移動させることで、移動可能とされている。押し部は、図9aに示すように、嵌合部材が保持部の前後壁間に挟持されて保持部の頂壁に当接する位置と、図9bに示すように、保持部の頂壁から離れて下方前壁と後壁との開口部側に移動することで嵌合部材を保持部から離脱させる位置とに移動させられる。第2取付治具は、図10および図11に示すように、係合部材の中央部に設けられたねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有する軸体と、係合部材の上面に当接する補強板とを有している。軸体の上端部基端部には、把持部が一体に設けられており、軸体の下端部先端部におけるおねじ部よりも上方の部分には、おねじ部を補強するフランジ部が設けられている。補強板の下面中央部には、凹所が設けられており、軸体は、おねじ部を補強板の凹所底面から突出させて、相対回転可能なようにEリングによって補強板に取り付けられている。おねじ部の先端は、係合部材の取付け前および完了時点では、補強板の下面よりは突出しない位置に位置させられる。係合部材を第2取付治具に保持させる図11bには、図11aに示すように、係合部材を第2取付治具に対向させ、係合部材の上面を補強板の下面に押し当てて、この状態で、軸体を回転させ、おねじ部を係合部材のねじ孔にねじ合わせればよい。第1取付治具を使用した嵌合部材のボルトへの取付けは、図12に示すように行われる。まず、保持部の前後壁間に嵌合部材が挟持された第1取付治具の把持部を持って連結ブロック上方の空間に挿入して、保持部の前壁の下方突出部を連結ブロックの前面に沿わせるようにして、嵌合部材をボルトに押し当てる図12a。そして、ボルトの頭部と嵌合部材とが嵌まり合うように微調整しながら、第1取付治具を下方に押し込む図12b。次いで、内軸を下方に押すことで相対的に中空軸を上方に移動させる図12c。これで、嵌合部材は、押し部に押されて保持部から離れ、ボルトに取り付けられる。次いで、第1取付治具を上方に移動させることで、この取付けが完了する図12d。右方のボルトに対する嵌合部材の取付けについても、第1取付治具を使用し同様に行われる。嵌合部材のボルトへの取付けを第1取付治具を使用して上記のようにすることで、嵌合部材を取り付ける際のスペースとして、ボルトの上方にはスペースがあるが、ボルトの周辺前後および左右には十分なスペースが無い場合であっても、嵌合部材を確実にボルトに嵌め合わせることができる。また、嵌合部材が押し部に押されて保持部から離れるようになされていることで、嵌合部材をボルトに嵌め合わせた後、嵌合部材が第1取付治具から外れにくいという問題が防止される。第2取付治具を使用した係合部材の嵌合部材への取付けは、図13に示すように行われる。係合部材を第2取付治具にねじ合わせて、把持部を持って連結ブロック上方の空間に挿入して、下方に移動させる図13a。次いで、係合部材と1対の嵌合部材とが嵌まり合うように微調整しながら、第2取付治具を下方に押し込む図13b。次いで、軸体をねじ合わせが解除される方向に回転させて、ねじ合わせを外し図13c、これによって、第2取付治具と係合部材とが分離するので、第2取付治具だけを上方に移動させることで、この取付けが完了する。係合部材の嵌合部材への取付けを第2取付治具を使用して上記のようにすることで、係合部材を取り付ける際のスペースとして、ボルトおよび嵌合部材の上方にはスペースがあるが、ボルトおよび嵌合部材の周辺前後および左右には十分なスペースが無い場合であっても、係合部材を確実に嵌合部材に嵌め合わせることができる。また、第2取付治具に補強板が設けられているので、補強板を係合部材に当接させることによって、係合部材の反りを矯正することができ、係合部材を1対の係合部材に取り付ける際の嵌め合わせをスムーズに行うことができる。上記の図13においては、連結ブロック上方の空間に第2取付治具の挿入を阻害する部分が存在していないが、例えば、図18において符号で示すマスフローコントローラの前後面に、通信ケーブル接続用のコネクタが設けられていて、図10および図11に示した第2取付治具を挿入できない場合がある。図14から図16までに示す第2実施形態の第2取付治具は、連結ブロックの左右の中央部の上方に干渉する部分が存在する場合に有用なもので、補強板付き軸体および補強板付き軸体に着脱可能に取り付けられる補助軸体からなる。補強板付き軸体は、図10および図11に示した第1実施形態の第2取付治具に類似の形状で、係合部材に設けられたねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有する主軸体と、係合部材の上面に当接する補強板とを有している。ここで、補強板付き軸体が第1実施形態の第2取付治具と相違している点として、補強板の端部に主軸体が取り付けられており、補強板には、主軸体を挿通するための貫通孔が設けられた凹所が中央部でなく一端部に設けられており、他端部にねじ孔が設けられている。これにより、補強板付き軸体は、全体として略T字状をなす第1実施形態の第2取付治具に対して、全体として略L字状をなすように形成されている。補助軸体は、補強板のねじ孔にねじ合わされるおねじ部を先端に有している。上記以外は、補強板付き軸体は、第1実施形態の第2取付治具と同様に形成されており、図14および図15に示すように、主軸体の基端部上端部には、把持部が一体に設けられている。また、図16に示すように、軸体の先端部下端部におけるおねじ部よりも上方の部分には、おねじ部を補強するフランジ部が設けられており、主軸体は、おねじ部を補強板の凹所底面から突出させて、相対回転可能なようにEリングによって補強板に取り付けられている。おねじ部の先端は、係合部材の取付け前および完了時点では、補強板の下面よりは突出しない位置に位置させられる。係合部材を補強板付き軸体に保持させる図16bには、図16aに示すように、係合部材を補強板付き軸体に対向させ、係合部材の上面を補強板の下面に押し当てて、この状態で、主軸体を回転させ、おねじ部を係合部材のねじ孔にねじ合わせればよい。第2実施形態の第2取付治具を使用した係合部材の嵌合部材への取付けは、図17に示すように行われる。係合部材を補強板付き軸体にねじ合わせて、把持部を持って連結ブロック上方の空間に挿入して、下方に移動させる図17a。この際、補強板が水平のままでは、マスフローコントローラの通信ケーブル接続用コネクタと干渉するので、補強板を傾斜させて、コネクタとの干渉を避けてから、補強板を水平にする。次いで、補助軸体を補強板にねじ合わせることで、補強板付き軸体に補助軸体を一体化する図17b。次いで、係合部材と1対の嵌合部材とが嵌まり合うように微調整しながら、補強板付き軸体および補助軸体からなる第2取付治具を下方に押し込む。この後、先に、補助軸体を補強板付き軸体から外し図17c、次いで、主軸体を補強板に対して回転させて、主軸体と係合部材とのねじ合わせを外す図17d。これによって、補強板付き軸体と係合部材とが分離するので、補強板付き軸体だけを上方に移動させることで、この取付けが完了する。係合部材の嵌合部材への取付けを第2実施形態の第2取付治具を使用して上記のようにすることで、連結ブロックの上方に第1実施形態の第2取付治具の挿入を妨げる部分が存在している場合であっても、干渉を避けて、係合部材の取付けを行うことができる。なお、図18に示したラインと類似の構成とされた複数のラインが主基板上に並列に配置されるとともに、各ラインの遮断開放器同士が通路接続手段により接続されることにより形成された集積化流体制御装置は、複数種類のガスを制御して供給することができ、このような集積化流体制御装置は、被処理基板を収容する処理容器と、前記処理容器内に処理ガスを供給する処理ガス供給部を備えた基板処理装置において、前記処理ガス供給部内に設けられた流体制御装置として、好適に使用される。