"ホルダジョイントと、前記ホルダジョイントに取付けられたスクライブライン形成用のスクライビングホイールを備えたホルダと、を具備するホルダユニットであって、前記ホルダジョイントは、一端に設けられた開口と、前記開口の内側に埋設された磁石と、前記開口を側方より貫く貫通孔と、前記貫通孔に挿入され保持されるピンと、を有するものであり、前記ホルダは、磁性体金属で構成され、前記ホルダジョイントの前記ピンに接触する傾斜面を有する取付部と、下端に回動自在に設けられたスクライビングホイールと、を有し、前記ホルダは、前記ピンと前記ホルダの取付部の傾斜面との接触により位置決めされて前記ホルダジョイントに取付けられるホルダユニットであって、前記ホルダは、円柱状部材であり、前記ホルダジョイントの開口は、前記ホルダの円柱の外径より大きい円周部分と、円柱の外径より小さい円周部分を含むものであるホルダユニット。スクライブ装置に用いられるスクライブヘッドであって、請求項1記載のホルダユニットを上下動自在に保持する昇降部を有するスクライブヘッド。脆性材料基板のスクライブに用いられるスクライブ装置であって、請求項2記載のスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドを脆性材料基板と脆性材料基板の平面方向において相対的に移動する相対移動部と、を有するスクライブ装置。従来のホルダ10は、ホルダジョイント120に取付けてホルダユニット130が構成される。ホルダユニット130をスクライブヘッド112に取付けてスクライブする場合には、スクライビングホイールを脆性材料基板に押圧しつつ移動させる。このときスクライブラインが湾曲していれば、ホルダを保持するホルダジョイント120にもねじれの力が加わる。このため一旦湾曲したスクライブラインを形成した後では、直線スクライブをする場合であってもスクライブラインの位置精度が低下するという欠点があった。またホルダがホルダジョイントの開口123の内側にくい込むため、取り外すことが難しくなる。特にロボット等の自動ツールチェンジャーを用いてホルダを交換する場合には、ホルダの取り外しが難しくなるという欠点があった。本発明はこのような問題点に着目してなされたものであって、ホルダをホルダジョイントに確実に保持でき、スクライブラインの位置精度を向上させると共に、容易に着脱できるようにしたホルダジョイント、及びこれとホルダを含むホルダユニットやスクライブヘッドを提供することを目的とする。この課題を解決するために、本発明のホルダユニットは、ホルダジョイントと、前記ホルダジョイントに取付けられたスクライブライン形成用のスクライビングホイールを備えたホルダと、を具備するホルダユニットであって、前記ホルダジョイントは、一端に設けられた開口と、前記開口の内側に埋設された磁石と、前記開口を側方より貫く貫通孔と、前記貫通孔に挿入され保持されるピンと、を有するものであり、前記ホルダは、磁性体金属で構成され、前記ホルダジョイントの前記ピンに接触する傾斜面を有する取付部と、下端に回動自在に設けられたスクライビングホイールと、を有し、前記ホルダは、前記ピンと前記ホルダの取付部の傾斜面との接触により位置決めされて前記ホルダジョイントに取付けられるホルダユニットであって、前記ホルダは、円柱状部材であり、前記ホルダジョイントの開口は、前記ホルダの円柱の外径より大きい円周部分と、円柱の外径より小さい円周部分を含むものである。本発明によるスクライブ装置に用いられるスクライブヘッドは、前記ホルダユニットを上下動自在に保持する昇降部を有するものであってもよい。本発明による脆性材料基板のスクライブに用いられるスクライブ装置は、前記スクライブヘッドと、前記スクライブヘッドを脆性材料基板と脆性材料基板の平面方向において相対的に移動する相対移動部と、を有するものであってもよい。このような特徴を有する本発明によれば、ホルダジョイントの開口はホルダの円柱の外径より大きい円周部分と、外径より小さい円柱部分を設けたので、ホルダを確実に保持することができる。又ホルダジョイントからホルダを容易に取付けたり取り外すことができる。従ってロボットや自動ツールチェンジャーを用いてホルダの着脱が自在になるという効果が得られる。図8は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドを用いたスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置において、前述した従来例と同一部分は同一符号を付している。本実施の形態によるスクライブ装置1は、移動台101が一対の案内レール102a、102bに沿って、y軸方向に移動自在に保持されている。ボ-ルネジ103は移動台101と螺合している。ボールネジ103はモータ104の駆動により回転し、移動台101を案内レール102a,102bに沿ってy軸方向に移動させる。移動台101の上面にはモータ105が設けられている。モータ105はテーブル106をxy平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板107はこのテーブル106上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置1の上部には、脆性材料基板107のアライメントマークを撮像する2台のCCDカメラ108が設けられている。スクライブ装置1には、移動台101とその上部のテーブル106をまたぐようにブリッジ110がx軸方向に沿って支柱111a,111bにより架設されている。スクライブヘッド112はブリッジ110に設けられたガイド113に沿ってx軸方向に移動可能となっている。モータ114はスクライブヘッド112をx軸方向に沿って移動させるものである。スクライブヘッド112の先端部には、後述するホルダ10がホルダジョイント20を介して取付けられている。ここでモータ104と案内レール102a,102b、ボールネジ103はテーブルをy軸方向に移動させる移動部であり、ブリッジ110、支柱111a,111b、ガイド113はスクライブヘッドをx軸方向に移動させる移動部であり、モータ105はテーブルを回転させる回転部であって、これらが相対移動部を構成している。次にスクライブヘッドに取付けられるホルダユニットの構成について説明する。ホルダユニット30はホルダジョイント20とホルダ10によって構成されるが、ホルダ10自体の構成は前述した従来例と同様であり、詳細な説明を省略する。ホルダ10は図2,図3に示すように略円柱形の部材であって、その下端にはスクライビングホイール14を回転自在に保持しており、他端には位置決め用の取付部16が設けられている。次に本実施の形態のホルダジョイント20について説明する。図9は本実施の形態のホルダジョイント20を示す図である。図9に示すように、ホルダジョイント20は上部にベアリング21a,21bを有しており、下方がホルダを保持する保持部22となっている。ホルダジョイント20の保持部22には、図示のように下方より円形の開口23が形成されており、その内側に磁石24が埋設されている。ホルダジョイント20の保持部22には、円形の開口23を貫通する貫通孔22aが設けられている。又保持部22には、貫通孔22aと中心軸をそろえて左右に浅い円形の窪み22b,22cが夫々設けられる。一方の窪み22bの内部には、図9に示すように小さい円形の窪み22dが設けられている。この窪み22dは小さい鋼球等の球体を保持するためのものである。又この開口23の内部には中心軸から隔てた位置に中心軸と垂直なピン25が設けられる。ピン25はホルダ10の傾斜部16aに接してホルダ10を位置決めするものである。さて本実施の形態のホルダジョイントのピン25について更に詳細に説明する。ピン25は例えば図10に斜視図を示すように、略円柱形の部材であり、長手方向にピン25の軸に沿って切り欠かれた第1の平面部25aを有している。又ピン25の一端に切欠き25bが形成され、平面部25aに垂直な第2の平面部25cが設けられる。ピン25の平面部25aと25cとは、必ずしも直角である必要はない。次に開口23の形状とホルダ10の径について説明する。開口23の径はホルダ10の外径と同一ではなく、わずかに大きくすると共に、2つの同一径部分を設けた形状とする。即ち図11Aに示すように、開口23の外周のうち領域L1はホルダ10の外周よりやや大きい径とし、更にL2,L3はホルダ10の外周と同径、領域L2,L3の間の領域L4はホルダ10より小さい径とする。こうすればホルダ10と開口23との間に寸法上の誤差があっても、少なくとも図中で2点L4の両端で接することとなる。これは実際にはホルダ10が紙面に沿って垂直な2本の線上で開口23の内壁と接することとなり、保持を確実にすると共に、交換を容易にすることができる。尚、領域L1とL4のみとすることもできる。もし着脱の容易さだけを考慮するとした場合、図11Bに示すようにホルダの外形よりわずかに大きい外形としておくだけでもよい。ホルダジョイント20の組立時には、図12に示すようにあらかじめピン25を一方の窪み22bより貫通孔22aに挿入する。このとき平面部25aをホルダジョイントの開口23の向きに約45°程度に保持し、更に第2の平面部25cを窪み22dに対向させる。そして鋼球26を窪み22dと切欠き25bで形成される空間内に収納する。更にピン25が貫通孔22aから脱落しないように、一対の円板形の蓋27a,27bを窪み22b,22cに被せて接着する。こうすれば鋼球26は、ピン25の切欠き25bと小径の窪み22d及び蓋27aで形成される空間に閉じ込められ、鋼球26が移動する範囲内で、ピン25を一定角度で回動させることができる。ここで鋼球26と窪み22d、蓋27aとは、ピン25の回動範囲を規制する規制手段を構成している。ピン25の回動角度の範囲内には、第1の平面部25aとホルダ10の取付部の傾斜面16aとが平行になる角度を含むようにしておく。このようにホルダジョイント20を構成した後、前述したホルダ10をホルダジョイント20に取付ける。取付時には、図13Aに示すようにホルダジョイント20の開口23にホルダ10をその取付部16から矢印に示すように挿入する。挿入していくと取付部16の傾斜部16aがピン25の平面部25aと接し、図13Bに示すようにわずかにピン25が回動するため、容易に平面部25aを取付部16の傾斜部16aに面接触させることができ、磁石24によってホルダ10を固定することができる。ホルダ10は磁石24によって吸引されているだけであるため、取付けが極めて容易であり、所定の位置に固定される。図14は、スクライブヘッド112の斜視図である。スクライブヘッド112のサーボモータ41は、回転軸を下側に突出させた倒立状態で載置板42を介して取付板43に取り付けられている。サーボモータ41の回転軸には、円筒カム44が回転軸と一体的に回転するように取り付けられている。円筒カム44の下面は、水平状態に対して傾斜状態になったカム面44aになっている。また、スクライブヘッド112は、下部にリニアベアリング45を有しており、このリニアベアリング45に、ホルダ部材46が、上下方向にスライド可能に保持されている。リニアベアリング45には、円筒カム44のカム面44aに当接するカムフォロア47が、ホルダ部材46と一体的に設けられている。カムフォロア47は、回転可能になったローラ形状になっている。ホルダ部材46と取付板43との間には、ホルダ部材46を取付板43に対して上方に向かって付勢する弾性体、例えばコイルスプリング48が設けられている。コイルスプリング48はホルダ部材46を上方に付勢することによって、カムフォロワ47をカム面44aに圧接している。ここでサーボモータ41、円筒カム44、リニアベアリング45、ホルダ部材46、カムフォロア47、コイルスプリング48はホルダユニット30を昇降させる昇降部を構成している。このように構成されたスクライブ装置1において、昇降部によりスクライビングホイール14を脆性材料基板の表面上を適切な荷重にて圧接し転動していき、スクライブラインを形成する。本実施の形態では、前述したホルダジョイント20のピン25の平面部25aがホルダ10の傾斜部16aと面で接しているため保持位置を保つことができ、湾曲したスクライブラインを形成しても取付位置が動くことはない。さて所定時間スクライブした後は、ホルダ10を交換する必要がある。このときロボットアーム等でホルダ10を図13Cに示すように下向きに引き出す。このときピン25は回動自在であるため、横向きの力がスクライブ時に加わっていたとしても容易にホルダ10を取り外すことができる。このためホルダ10の交換は容易であり、支障なくオートチェンジャー等を用いることができる。尚本実施の形態では、ピン25は円柱状で長手方向に一部を切り欠いて平面部25aを形成しているが、多角柱、例えば四角柱の部材を用いて構成することもできる。この場合には少なくとも両端部の4隅は円形に加工し、貫通孔22a内で回動自在としておく。又両端部のみを円柱形として回動自在となるようにしてもよい。本実施の形態ではピン25に第2の平面部25cを設け、鋼球26によってピンの回動範囲を規制するようにしているが、これは一例であり、ピンの回動範囲を規制することができる他の方法を用いてもよい。例えばピン25の一端に突起を設け、この突起が窪み22d内で動ける範囲をピン25の回動範囲として回動範囲を規制するようにしてもよい。又本実施の形態ではピン25に第2の平面部25cを設けているが、第1の平面部25aに接するように鋼球26を保持しておくようにすれば回動範囲が規制されるため、必ずしも切欠き25bや平面部25cを設ける必要はない。又本実施の形態では鋼球26を用いているが、任意の材料の球体を用いてもよい。"