電子放出源から放出された電子の照射によりX線を発生させるターゲットが、該ターゲットの内面を該電子放出源に対向させて配置され、前記電子放出源側の開口部から前記ターゲットに向かって前記電子を通過させる電子通過孔を有する遮蔽部材が配置され、前記ターゲットの内面周縁の少なくとも一部と前記遮蔽部材との重なり領域である重複部を有するX線発生装置であって、前記ターゲットの外面における前記重複部との対応領域に温度センサーが配置されていることを特徴とするX線発生装置。更に、前記ターゲット側の開口部から外方に向かって前記X線を通過させるX線通過孔を有する遮蔽部材が配置されていることを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。前記X線通過孔のターゲット側の開口部の面積が、前記電子通過孔のターゲット側の開口部の面積よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載のX線発生装置。前記電子放出源側から見たとき、前記電子通過孔のターゲット側の開口部の重心と前記X線通過孔のターゲット側の開口部の重心が一致していることを特徴とする請求項2又は3に記載のX線発生装置。前記X線通過孔が、前記ターゲット側から外方に向かって徐々に拡大していることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載のX線発生装置。前記電子放出源側から見たとき、前記電子通過孔のターゲット側の開口部の重心と前記ターゲットの重心がずれていることを特徴とする請求項1に記載のX線発生装置。前記ターゲットがアースグランドに接続されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のX線発生装置。請求項1乃至7のいずれか1項に記載のX線発生装置と、該X線発生装置から放出され被検体を透過したX線を検出するX線検出部と、を備えることを特徴とするX線撮影装置。透過型X線管において、X線管の中のターゲットの近傍に温度センサーを配置する場合、X線管の中は真空容器内であるため配線等が困難である。X線管の外側のターゲットの近傍、例えばターゲット膜とターゲット基板からなるX線取り出し窓の外面に温度センサーを配置する場合には、温度センサーにX線が直接照射されるため温度センサーが劣化し寿命が低下する。また、特許文献1の技術のようにターゲットの電子照射面に温度センサーを配置する場合でも、X線は全方向に放射されるため温度センサーにX線が直接照射されることになり温度センサーが劣化し寿命が低下する。そこで、本発明は、温度センサーの劣化を抑制して長寿命化を可能とし、温度センサーでターゲットの温度をより正確に検出し検出温度をターゲットの劣化溶融の防止に利用でき、信頼性の高いX線発生装置及びそれを用いたX線撮影装置の提供を目的とする。上記課題を解決するために、本発明は、電子放出源から放出された電子の照射によりX線を発生させるターゲットが、該ターゲットの内面を該電子放出源に対向させて配置され、前記電子放出源側の開口部から前記ターゲットに向かって前記電子を通過させる電子通過孔を有する遮蔽部材が配置され、前記ターゲットの内面周縁の少なくとも一部と前記遮蔽部材との重なり領域である重複部を有するX線発生装置であって、前記ターゲットの外面における前記重複部との対応領域に温度センサーが配置されていることを特徴とするX線発生装置を提供するものである。本発明によれば、温度センサーをターゲットの外面におけるX線が通過しない領域に配置することができる。このように配置することにより、温度センサーにX線が直接照射されないため温度センサーの劣化を抑制することができ、温度センサーの長寿命化を実現できる。また、温度センサーをターゲットに配置するためターゲットの温度をより正確に検出でき、検出した温度を用いることで高温によるターゲットの劣化溶融を防止できる。これにより、信頼性の高いX線発生装置及びそれを用いたX線撮影装置を実現できる。以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて説明する。第1の実施形態図1は本実施形態のX線発生装置の一構成例を示す模式図である。図1のX線発生装置は、電子放出源21、電子放出源21から放出された電子の照射によりX線を発生するターゲット24、ターゲット24から放出されたX線を遮蔽する遮蔽部材16、及びターゲット24の温度を検出するための温度センサー3を備えている。電子放出源21には、タングステンフィラメントや、含浸型カソードのような熱陰極、又はカーボンナノチューブ等の冷陰極を使用できる。電子放出源21は、本実施形態のようにフィラメント22とカソード電極29からなる構成としても良いし、これ以外の構成としても良い。ターゲット24は、ターゲット24の内面を電子放出源21に対向させて配置されている。本明細書では、ターゲット24の電子放出源側の面をターゲット24の内面、ターゲット24の電子放出源と反対側の面をターゲット24の外面ということとする。ターゲット24は、本実施形態のようにターゲット膜25とターゲット基板26からなる構成としても良いし、単体の材料からなる構成としても良い。また、これら以外の構成としても良い。図2aは図1におけるターゲット24周辺部の模式図であり、図2bは図1におけるターゲット24周辺部を拡大して表した模式図である。ターゲット膜25は、ターゲット基板26の電子放出源側の面に配置されている図2。ターゲット膜25を構成する材料は、融点が高く、X線発生効率の高いものが好ましい。例えばタングステン、タンタル、モリブデン等を使用できる。発生したX線がターゲット膜25を透過する際に生じる吸収を軽減するため、ターゲット膜25の厚みは数μm~十数μm程度が適当である。ターゲット基板26は、ターゲット膜25を支持し、ターゲット膜25で発生するX線の少なくとも一部を透過させるものである。ターゲット基板26を構成する材料は、ターゲット膜25を支持できる強度を有し、ターゲット膜25で発生したX線の吸収が少なく、かつターゲット膜25で発生した熱をすばやく放熱できるよう熱伝導率の高いものが好ましい。例えばダイヤモンド、窒化シリコン、窒化アルミニウム等を使用できる。ターゲット基板26への上記要求事項を満たすため、ターゲット基板26の厚みは0.1mm~数mm程度が適当である。遮蔽部材16は、電子放出源側の開口部からターゲット24に向かって電子を通過させる電子通過孔を有している図2。電子放出源21から放出された電子は電子通過孔を通過してターゲット24に衝突し、ターゲット24で発生し内方電子照射方向と反対方向に散乱したX線は遮蔽部材16で遮蔽される。遮蔽部材16の形状としては円筒形等の筒形が好適に用いられる。遮蔽部材16を構成する材料は、X線の吸収率が高く、かつ熱伝導率の高いものが好ましい。例えばタングステン、タンタル等の金属材料を使用できる。不要なX線を遮蔽するため、遮蔽部材16の厚みは3mm以上が適当である。本実施形態のX線発生装置は、ターゲット24の内面周縁の少なくとも一部と遮蔽部材16との重なり領域である重複部を有している。遮蔽部材16を用いることによりターゲット24の電子照射領域が物理的に制限され、上記重複部を有することによりターゲット24の外面における上記重複部との対応領域図2bのaの領域にはX線が通過しない。X線が通過しない上記対応領域に温度センサー3が配置されている。上記対応領域は温度センサー3が配置できる広さであれば良いが、温度センサー3を安定させて配置する観点からすると、上記対応領域は広い方が良い。上記構成をとることにより、温度センサー3にX線が直接照射されることがないため温度センサー3の劣化を抑制することができる。また、温度センサー3をターゲット24に配置するためターゲット24の温度をより正確に検出できる。温度センサー3の配線はターゲット24の外面から放出されるX線を妨げないように、遮蔽部材16に沿って配置されている図2。ターゲット基板26としてダイヤモンドを用いた場合、ターゲット基板26が高温になるとグラファイト化が始まることが知られており、温度センサー3を配置した上記対応領域では温度が約200°C~250°Cになる。このため、温度センサー3は250°C前後の温度が検出でき、かつ上記対応領域に配置できる形状のものを選定する必要がある。Kタイプの熱電対であれば先端径250μm、シース被覆径250μmのものもあり配置が可能である。測温抵抗体等も温度センサー3として使用できる。温度センサー3として熱電対を用いた場合、熱電対の固定には二つの点に注意を要する。一つは接着剤であり、300°C以上の高温に適用可能なロウ付けや、セラミック接着剤等を用いることができる。もう一つは、取り付け箇所の絶縁処理である。ターゲット24はアノード電極であり導体であることから、熱電対の先端部が絶縁コート処理されたものを取り付ける方法が良い。その他には、取り付け箇所の表面に絶縁コート処理を施す方法やカプトンテープのような絶縁テープ、絶縁シートを貼り付ける方法でも良い。電子放出源21、ターゲット24及び遮蔽部材16は、図1のようにX線管20に備えられている。X線管20は、その他には、外囲器19、グリッド電極27、レンズ電極28等を備えている。外囲器19は、X線管20の内部を真空に保つためのものであり、ガラスやセラミクス材料等が用いられる。外囲器19内の真空度は104~108Pa程度であれば良い。また、本実施形態のように排気管23を設けても良い。排気管23を設けた場合、例えば排気管23を通じて外囲器19内を真空に排気した後、排気管23の一部を封止することで外囲器19が形成される。外囲器19の内部には真空度を保つために、不図示のゲッターを配置しても良い。グリッド電極27は、電子放出源21で発生した電子を引き出すためのものであり、レンズ電極28は、ターゲット24の内面側における電子の焦点径を制御するためのものである。本実施形態のようにグリッド電極27とレンズ電極28を配置した場合、グリッド電極27によって形成される電界により電子放出源21から放出された電子は、レンズ電極28で集束され、ターゲット24に入射しX線が発生する。このとき、電子放出源21とターゲット24の間に印加される管電圧は、X線の使用用途によって異なるものの、概ね40kV~120kV程度である。また、図1のX線発生装置は、X線管20の各電極に電圧信号を印加するX線電源駆動部15、及びX線管20やX線電源駆動部15等を収納する収納容器1を備えている。X線電源駆動部15は、配線4、5、6、7、8を介してX線管20の各電極に接続され、配線9を介して温度センサー3に接続されている。収納容器1は、容器としての十分な強度を有していれば良く、金属やプラスチックス材料等から構成される。収納容器1にはガラス、アルミニウム、ベリリウム等からなるX線透過窓2が形成されており、X線管20のターゲット24の外面から放出されたX線はX線透過窓2を通して外部に取り出される。収納容器1の内部にX線管20を収納した余空間には電気絶縁油を充填しても良い。電気絶縁油は、絶縁媒体及びX線管20の冷却媒体としての役割を有しており、鉱油、シリコーン油等が用いられる。電気絶縁油を充填した場合、熱電対の配線は電気絶縁油内を引き回すことになるため、その被覆は電気絶縁油による変質のないテフロン登録商標製等を使用することが望ましい。次に、図3を用いて本実施形態のX線発生装置の電気回路構成について説明する。図3は、本実施形態のX線発生装置の一構成例を示すブロック図である。図3に示すように、本実施形態のX線発生装置はX線電源駆動部15及びX線管20を備えている。X線電源駆動部15は、DC電源部41、制御回路部42、高電圧発生部43、レンズ電極駆動部44、グリッド電極駆動部47、電子源フィラメント駆動部45及びターゲット温度検出回路部40を備えている。DC電源部41は、外部の直流電源又は交流電源から電力を受給し、制御回路部42、高電圧発生部43、レンズ電極駆動部44、グリッド電極駆動部47及び電子源フィラメント駆動部45に所定の直流電圧を供給する。制御回路部42は、制御部図3に不図示からの指示に従って高電圧発生部43、レンズ電極駆動部44、グリッド電極駆動部47及び電子源フィラメント駆動部45の動作を制御する。また、ターゲット温度検出回路部40からの信号を受けて、温度センサー3によるターゲット24の温度の正常/異常を判断し、制御部及び各駆動部に伝達する。本実施形態では、ターゲット24を接地電位アースグランドに接続する陽極接地方式を採用することができる。陽極接地方式を採用すると、中点接地方式等と比べて温度センサー3の電気的な配置が容易になる点でより好ましい。以下、陽極接地方式を採用した場合で説明する。高電圧発生部43は、インバータ回路46、不図示のトランス回路及び管電圧昇圧回路48を備え、カソード電極29に供給する、電子放出源21の電位を基準電位とする直流電圧約-100kVを生成する。インバータ回路46は、制御回路部42の制御により、例えばDC電源部41から供給される直流電圧を、周波数が数k~数十kHzでありピーク電圧が200V程度の交流電圧に変換する。管電圧昇圧回路48は、インバータ回路46から出力された交流電圧を昇圧し、約-100kVの直流電圧に変換する。管電圧昇圧回路48から出力された直流電圧はカソード電極29に供給される。レンズ電極駆動部44は、インバータ回路49、不図示のトランス回路及びレンズ電極駆動回路51を備え、レンズ電極28に供給する、電子放出源21の電位を基準電位とする直流電圧第1の電圧及び第2の電圧を生成する。レンズ電極28に供給する第1の電圧は、例えば電子放出源21と同電位に設定する。インバータ回路49は、制御回路部42の制御により、例えばDC電源部41から供給される直流電圧を、周波数が数k~数十kHzでありピーク電圧が100V程度の交流電圧パルス列に変換する。レンズ電極駆動回路51は、インバータ回路49から出力された交流電圧を約1kVの直流電圧に変換し、この直流電圧を第2の電圧としてレンズ電極28に供給する。グリッド電極駆動部47は、インバータ回路50、不図示のトランス回路及びグリッド電極駆動回路52を備え、グリッド電極27に供給する、電子放出源21の電位を基準電位とする直流電圧第1の電圧及び第2の電圧を生成する。インバータ回路50は、制御回路部42の制御により、例えばDC電源部41から供給される直流電圧を、周波数が数k~数十kHzでありピーク電圧が100V程度の交流電圧パルス列に変換する。グリッド電極駆動回路52は、インバータ回路50から出力された交流電圧を約100Vの直流電圧に変換し、この直流電圧を第2の電圧としてグリッド電極27に供給する。また、第1の電圧として、グリッド電極駆動部47内にある不図示の回路により、約-70Vの直流電圧に変換され、グリッド電極駆動回路52の出力電圧に加算される。電子源フィラメント駆動部45は、インバータ回路53、不図示のトランス回路及び電子源フィラメント駆動回路54を備え、電子放出源21のフィラメントに供給する約10Vの直流電圧を生成する。インバータ回路53は、制御回路部42の制御により、例えばDC電源部41から供給される直流電圧を、周波数が数k~数十kHzでありピーク電圧が100V程度の交流電圧に変換する。電子源フィラメント駆動回路54は、インバータ回路53から出力された交流電圧を約10Vの直流電圧に変換し、この直流電圧をフィラメント22に供給する。ターゲット温度検出回路部40は、温度センサー3に接続され、ターゲット24の温度を検出する。例えば温度センサー3として熱電対を用いた場合には、0°C基準による計測方法と比べて端子温度計測方法で計測する方が実装上容易であるため、ターゲット温度検出回路部40の中に0°C基準の代わりとなる補正回路が組込まれている。ターゲット温度検出回路部40で温度補正が行われた温度検出電気信号は、制御回路部42に入力される。制御回路部42では、入力された温度検出電気信号をAD変換し常時モニタする。高電圧発生部43からカソード電極29に高電圧が印加されているときに、制御回路部42でターゲット基板26がグラファイト化する温度を検出した場合の制御方法としては例えば次の方法がある。その方法とは、高電圧発生部43のインバータ回路46の稼動を停止し、カソード電極29への高電圧の印加を停止する方法である。例えば200°C~250°Cの温度を検出して停止する。この動作と並行して、制御回路部42は、X線発生装置の表示部図3に不図示にターゲットの温度異常を表示する。後述の図6のようにX線撮影装置10内にX線発生装置11が配置されている場合には、制御部13を経て表示部14にターゲット24の温度異常が表示される。制御回路部42でターゲット24の温度異常を検出した場合の制御方法は、上述した高電圧発生部43によるカソード電極29への高電圧の印加を停止する方法に限定されるわけではない。例えばグリッド電極駆動部47によるグリッド電極27への第2の電圧の印加を停止する方法でも良いし、高電圧発生部43とグリッド電極駆動部47の両方の動作を停止する方法でも良い。その他には、次の方法がある。ターゲット温度検出回路部40内に正常温度の上限値と比較できる比較器を構成し、その比較器による温度異常信号を制御回路部42に出力する。その出力と同時に、ソフトウェアを介さずに管電圧昇圧回路48やグリッド電極27のインバータ回路50の出力をON/OFFできる不図示の開閉回路へ出力し、カソード電極29への高電圧の印加やグリッド電極27への第2の電圧の印加を停止する方法である。また、制御回路部42において、ターゲット24の温度異常のみを検出するのではなく、X線照射時にターゲット24の温度を常時モニタし、ターゲット24の温度が異常値まで上昇しないように制御する方法もある。連続稼働を強いられるX線撮影装置においては、簡単に稼働を停止しないような制御方法が必要となる。その制御方法としては、例えばX線照射時のターゲット24に集中する電力を下げることによりターゲット24の温度上昇を抑える方法がある。そのためには、X線照射エネルギーとしての必要最低限のエネルギーになるまで段階的に管電圧を下げ、ターゲット24の温度上昇を常時モニタし制御する方法等が考えられる。その他には、冷却装置で冷却することによりターゲット24の温度上昇を抑える方法等がある。以上より、本実施形態のX線発生装置によれば、上記構成をとるため温度センサー3にターゲット24の外面から放出されたX線が直接照射されることがない。これにより、温度センサー3の劣化を抑制することができ、温度センサー3の長寿命化を実現できる。また、温度センサー3でターゲット24の温度をより正確に検出でき、検出した温度を用いることで高温によるターゲット24の劣化溶融を防止できる。第2の実施形態図4は本実施形態のX線発生装置のターゲット24周辺部の模式図である。本実施形態のX線発生装置は、ターゲット24を透過したX線を遮蔽する遮蔽部材17が配置されていること以外は第1の実施形態と同じである。図4において、図2と同一部分は同一符号を記している。本実施形態のX線発生装置の一構成例を示す模式図、X線発生装置の一構成例を示すブロック図については、図1及び図3と同じであるため説明を省略する。温度センサー3は、第1の実施形態と同様に、ターゲット24の外面における、ターゲット24の内面周縁の少なくとも一部と遮蔽部材16との重なり領域である重複部との対応領域に配置されている。遮蔽部材17は、ターゲット側の開口部から外方X線取り出し方向に向かってX線を通過させるX線通過孔を有している図4。ターゲット24を透過したX線はX線通過孔を通過して取り出され、不要なX線は遮蔽部材17で遮蔽される。遮蔽部材17の形状としては円筒形等の筒形が好適に用いられる。遮蔽部材17を構成する材料は、X線の吸収率が高く、かつ熱伝導率の高いものが好ましい。例えばタングステン、タンタル等の金属材料を使用できる。不要なX線を遮蔽するため、遮蔽部材17の厚みは3mm以上が適当である。なお、遮蔽部材16と遮蔽部材17は一つの遮蔽部材で一体的に構成しても良い。X線通過孔のターゲット側の開口部の面積は、必要なX線を取り出せる大きさであれば良いが、X線をより多く取り出す観点からすると、電子通過孔のターゲット側の開口部の面積よりも大きい構成とするのが良い。図4では、X線通過孔のターゲット側の開口部の面積が、電子通過孔のターゲット側の開口部の面積よりも大きい構成としている。温度センサー3の配線はターゲット24の外面から放出されるX線を妨げないように、遮蔽部材17の内壁に沿ってX線通過孔の外方の開口部まで引き回して配置している図4。温度センサー3の配線の配置方法はこれ以外の方法でも良い。例えば温度センサー3の配線用に遮蔽部材17の内壁に沿って溝を施し、その溝に埋め込んでX線通過孔の外方の開口部まで引き回し、引き続いてX線電源駆動部15まで引き回す方法でも良い。その他には、遮蔽部材17とターゲット24の間に配線が通る隙間を設け、その隙間に配線を通して引き回す方法でも良いし、遮蔽部材17に遮蔽部材17の内壁と外壁を貫通する貫通孔を開け、その貫通孔に配線を通して引き回す方法でも良い。以上より、本実施形態のX線発生装置によれば、上記構成をとるため第1の実施形態と同様の効果が得られると共に、遮蔽部材17を追加した構成をとるためターゲット24を透過し放出されたX線の中で不要なX線を遮蔽することができる。電子放出源側から見たとき、電子通過孔のターゲット側の開口部の重心とX線通過孔のターゲット側の開口部の重心が一致している構成とすると、X線をより確実に取り出せる点でより好ましい。本明細書において、開口部の重心とは、開口部と同一の大きさ形状、均一の厚さを想定した場合の重心をいう。また、ターゲット24を透過したX線は放射状の広がりを持っているため、X線通過孔がターゲット側から外方に向かって徐々に拡大している構成とすると、X線をより多く取り出せる点でより好ましい。第3の実施形態図5aは本実施形態のX線発生装置のターゲット24周辺部の模式図であり、図5bは図5aにおけるターゲット24周辺部を拡大して表した模式図である。本実施形態のX線発生装置は、電子放出源側から見たとき、電子通過孔のターゲット側の開口部の重心とターゲット24の重心がずれて配置されていること以外は第1の実施形態と同じである。図5において、図2と同一部分は同一符号を記している。本実施形態のX線発生装置の一構成例を示す模式図、X線発生装置の一構成例を示すブロック図については、図1及び図3と同じであるため説明を省略する。本実施形態のX線発生装置は、ターゲット24の内面周縁の少なくとも一部と遮蔽部材16との重なり領域である重複部を有している。遮蔽部材16を用いることによりターゲット24の電子照射領域が物理的に制限され、上記重複部を有することによりターゲット24の外面における上記重複部との対応領域図5bのbの領域にはX線が通過しない。X線が通過しない上記対応領域に温度センサー3が配置されている。上記対応領域は温度センサー3が配置できる広さであれば良いが、温度センサー3を安定させて配置する観点からすると、上記対応領域は広い方が良い。上記構成をとることにより、第1の実施形態と同様に温度センサー3の劣化を抑制することができると共に、ターゲット24の温度をより正確に検出できる。また、第1の実施形態と比べて上記重複部が少ないため第1の実施形態よりも図2bのaの領域だけターゲット24の形状を小さくすることができる。例えば遮蔽部材16の形状は円筒形が一般的であるが、ターゲット24の形状は角形等も可能となる。温度センサー3の配線はターゲット24の外面から放出されるX線を妨げないように、遮蔽部材16に沿って配置されている図5。以上より、本実施形態のX線発生装置によれば、上記構成をとるため第1の実施形態と同様の効果が得られると共に、ターゲット24の形状をより小さくすることができるため製作費用を軽減することができる。第4の実施形態図6を用いて本発明のX線発生装置を含むX線撮影装置について説明する。図6は本実施形態のX線撮影装置の一構成例を示すブロック図である。図6に示すように、X線撮影装置10はX線発生部であるX線発生装置11、X線検出部12、制御部13及び表示部14を備えている。X線発生装置11は、X線管20及びX線電源駆動部15を備えており、制御部13の指示に従ってX線を発生し、被検体例えば人体にX線を照射する。X線管20は、例えば電子放出源から放出された電子をターゲットに衝突させ、ターゲットからX線を発生させる電子管である。X線電源駆動部15は、制御部13の指示に従ってX線管20のフィラメント又はヒータ、グリッド電極、レンズ電極、ターゲット等にそれぞれ所要の電力を供給する。X線発生装置11としては、例えば第1~3の実施形態のX線発生装置が好適に用いられる。X線検出部12は、X線発生装置11から放出され被検体を透過したX線を検出する。これにより被検体のX線画像を撮影できる。表示部14は、X線検出部12で検出された被検体のX線画像を表示する。X線検出部12や表示部14は、X線撮影装置10内に備える必要はなく、それぞれ独立した装置であっても良い。制御部13は、X線発生装置11、X線検出部12及び表示部14の動作を制御する。例えばX線発生装置11とX線検出部12による被検体のX線撮影を制御し、X線検出部12で検出された被検体のX線画像を表示部14に表示させる。これらの制御は、例えば1台又は複数台のコンピュータで実現できる。コンピュータは、CPU等の主制御手段、及びROMReadOnlyMemoryやRAMRandomAccessMemory等の記憶手段を備えていれば良い。コンピュータが記憶手段に格納されたプログラムに従って主制御手段により所定の処理を実行することで上述した制御部13としての機能を実現できる。コンピュータには、ネットワークカード等の通信手段や、キーボード、ディスプレイ、タッチパネル等の入出力手段等を備えていても良い。