"3種類以上の材料を積層して境界面に2つ以上の回折格子を形成し、使用波長の整数倍の位相差を付加することで、特定次数の回折光の回折効率を高めた回折光学素子において、該回折格子の少なくとも1つの回折格子は屈折率が近い2種類の材質の境界に設け、該2種類の材料は使用波長範囲のある波長において等しい屈折率を有し、回折光学素子に入射または射出する光の光路中に所定の波長の光の透過率を下げた色フィルターを配置したことを特徴とする回折光学素子。前記回折格子を形成した境界面に対して垂直でかつ回折格子の頂線に垂直な面における断面において、該回折格子は格子頂点と谷部との間の面で光の位相が飛んでいる格子壁面と格子の稜線部分を有し、格子の間隔をピッチPとした時、該色フィルターは、の回折格子を形成した境界面に対して垂直方向から見た時に回折格子の格子壁面延長線に対して±110P以内に配置したことを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。前記回折光学素子は撮像光学系の絞りより前側に配置し、回折格子を形成した境界面に対して垂直でかつ回折格子の頂線に垂直な面における断面形状において、光線入射方向を正としてX軸としたとき、光線入射側から第1の材料と第2の材料の境界に形成した回折格子を第1の回折格子、第2の材料と第3の材料の境界に形成した回折格子を第2の回折格子とし、第1の回折格子と第2の回折格子の稜線は上記の断面において同じ符号の傾きを有した回折光学素子であり、使用波長において長波長側の光の透過率を下げた色フィルターを配置したことを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。前記回折光学素子は撮像光学系の絞りより前側に配置し、回折格子を形成した境界面に対して垂直でかつ回折格子の頂線に垂直な面における断面形状において、光線入射方向を正としてX軸としたとき、光線入射側から第1の材料と第2の材料の境界に形成した回折格子を第1の回折格子、第2の材料と第3の材料の境界に形成した回折格子を第2の回折格子とし、第1の回折格子と第2の回折格子の稜線は上記の断面において異なる符号の傾きを有した回折光学素子であり、使用波長において短波長側の光の透過率を下げた色フィルターを配置したことを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。前記色フィルターは染料または顔料をベースとしたカラーレジストをガラス上に塗布して硬化させることに作製したことを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。前記色フィルターは染料または顔料をベースとしたカラーレジストを樹脂上に塗布して硬化させることに作製したことを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。前記色フィルターは誘電体膜により構成したことを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。前記色フィルターは真空蒸着、ホトリソグラフィ工程、染料または顔料タイプのインクを格子付近に塗布することにより製造したことを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。しかしながら特許文献4の対策である壁面の角度をより鈍角方向に傾けること手法については、像面に到達するフレア光の到達の有無は光学系の構成にもより、この手法は適用できる光学系が限られる。また、特許文献5の回折光学素子の格子壁面付近に遮光手段を設ける方法については、壁面付近に遮光部材を設けると本来結像に使用される次数の回折光を遮り、回折効率が低下してしまう。この結果、高輝度光源のまわりに不要フレアが発生するといった問題があった。本発明は上記課題に対して、材料を積層して境界面に2つ以上の回折格子を形成し、使用波長の整数倍の位相差を付加することで、特定次数の回折光の回折効率を高めた回折光学素子において、該回折格子の少なくとも1つの回折格子は屈折率が近い2種類の材質の境界に設け、該2種類の材料は使用波長範囲のある波長において等しい屈折率を有し、回折光学素子に入射または射出する光の光路中に所定の波長の光の透過率を下げた色フィルターを配置する。本発明によれば、遮光構造による回折効率の劣化を最小限に抑え、使用波長全域において回折格子の壁面の全反射に起因するフレアの発生を抑制することが可能である。[第1実施例]図1は、本発明の第1実施例の回折光学素子の断面図であり、図2は上記回折光学素子の正面図である。図1に示したように、回折光学素子1は、第1の素子部2と第2の素子部3とを、それぞれの素子部に形成された第1の回折格子8と第2の回折格子9とが第3の材料層10を挟んで互いに密着するように重ね合わせた構成となっている。また、第1の素子部2は、第1の透明基板4と、格子ベース部6およびこの格子ベース部6に一体形成された第1の回折格子8からなる第1格子形成層からなる。第1の回折格子8における、第3の材料層10との境界部には格子面8aが形成されている。一方、第2の素子部3も第1の素子部2と同様に、第2の透明基板5と、この第2の透明基板5上に設けられた格子ベース部7およびこの格子ベース部7に一体形成された第2の回折格子9からなる第2格子形成層とを有しており、第2の回折格子9における第3の材料層10との境界部には格子面9aが形成されている。なお、第3の材料層10は、両回折格子8,9の格子面8a,9aと格子側面とがなすエッジ間において厚さがDとなるように設定されている。これら第1,第2の素子部2,3、及び第3の材料層10の全体で1つの回折光学素子として作用するものである。この時、回折光学素子の壁面に入射する光を11に示し、色フィルターを12で示した。第1および第2の回折格子8,9は同心円状の格子形状からなり、図2に示したように径方向における格子ピッチが変化することで、レンズ作用を有する。本実施形態において、回折光学素子1に入射させる光の波長領域、すなわち使用波長領域は可視領域であり、第1および第2の回折格子8,9、及び第3の材料層10を構成する材料および格子厚さは、可視領域全体で1次の回折光の回折効率を高くするよう選択される。次に、本実施形態の回折光学素子1を構成する材料の選択と、回折効率の関係について説明する。従来の構成である、図21に示すような、2種類の異なる材料からなる回折格子を密着配置したDOEにおいて、ある波長λの場合に、ある次数の回折光の回折効率が最大となる条件を考える。光束が回折格子のベース面図3に点線で示す面に対して垂直に入射する場合は、回折格子の山と谷の光学光路長差つまりは、山と谷のそれぞれを通過する光線間における光路長差が光束の波長の整数倍になることであり、これを式で表わすと、n2-n1d0=m×λ5となる。ここで、n1と、n2はそれぞれ、第1の回折格子、第2の回折格子の材料の波長λ0の光に対する屈折率で、n1<n2とする。また、d0>0は格子厚、mは回折次数である。図21中の0次回折光から下向きに回折する光の回折次数を正の回折次数、0次回折光から上向きに回折する光の回折次数を負の回折次数とすると、上記5式での格子厚の符号は、図中上から下に格子厚が増加する格子形状を持つ回折格子の場合、正となる。また、任意の波長λでの回折効率ηλは、ηλ=sinc^2π{M-n2λ-n1λd/λ}6で表すことができる。上記6式において、Mは評価すべき回折光の次数、n1λ、n2λは波長λの光に対する各回折格子の材料の屈折率である。また、sinc^2xは、{sinx/x}^2で表わされる関数である。上記5式は波長の項を含むため、広い波長域で高い回折効率を得るためには、回折光学素子が使用される各波長における屈折率が、5式をなるべく満たすような材料を用いる必要がある。たとえば、可視域の広い波長範囲で高い回折効率を得るためには、d線だけでなく、F線やC線等の波長においても、5式を満たす必要がある。すなわち、d線の波長において高い回折効率を得ることができる格子厚をd0としたとき、n2d-n1dd0=m×λd7an2F-n1Fd0=m×λF7bn2C-n1Cd0=m×λC7cの条件をなるべく満たす材料の組合せを用いる必要がある。ここで、n1d、n1F、n1Cはそれぞれ第1格子の材料の、d線、F線、C線の波長における屈折率で、n2d、n2F、n2Cはそれぞれ第2格子の材料の、d線、F線、C線の波長における屈折率である。設計回折次数mを1とし、7b式から7c式を辺々引いて整理すると、n2F-n2C-n1F-n1C=λF-λC/d07dとなる。ここで、7dのd0に、7a式を変形して代入し、整理すると、n2F-n2C-n1F-n1C=λF-λC/λd×n2d-n1d7eとなる。さらに整理すると、n2d-n1d/{n2F-n2C-n1F-n1C}=λd/λF-λC=-3.457fとなる。Δn=n2d-n1d7gΔnFC={n2F-n2C-n1F-n1C}7hとすると、7f式は、Δn/ΔnFC=-3.457iとなり、2つの材料の屈折率差と、分散の差が一定の値をとることが分かる。さらに、7i式の値が負であることから、回折格子を形成する材料は、高屈折率低分散材料と、低屈折率高分散材料の組合せとなることも分かる。7a式より、格子厚d0を低くし、かつ広い波長範囲で高い回折効率を得るためには、屈折率差を大きくする必要があることが分かり、かつ同時に、7i式より、分散の差も大きくとらなければならないことが分かる。ここで、回折格子の格子厚を、d0よりも低い格子厚d1とする場合を考える。その際には2つの材料の分散の差も大きくとらなければいけないが、仮に分散の差を小さく設定した場合を考える。前述したように、分散の差が小さい材料の組合せを用いることで、材料の選択が容易となる。特に回折光学素子の格子厚を数μm程度まで低くする場合、2つ材料の分散の差は非常に大きくなり、現状の材料では困難を極める場合もあるため、分散の差を小さくすることで、材料選択の自由度が大幅に増え、好ましい。d線の波長において7a式を満たす材料の組合せを用いた時、各波長における光路長差の式は、n2d-n1dd1=m×λd7aan2F-n1Fd1=m×λFαF7bbn2C-n1Cd1=m×λC-αC7ccとなり、F線及びC線の波長において回折効率の劣化を生じてしまう。ここで、αF、αCは、それぞれF線及びC線における光路長差のずれ分である。そこで、第2の材料組合せを用いた回折格子を、さらに設けた場合について考える。第3、第4の材料の、d線、F線、C線の波長における屈折率を、それぞれn3d、n3F、n3C、n4d、n4F、n4Cとし、格子厚d2>0となる回折格子を用いるとすると、各波長において、光路長差を満足するための条件式は、それぞれ、n2d-n1dd1n4d-n3dd2=m×λd8an2F-n1Fd1n4F-n3Fd2=m×λF8bn2C-n1Cd1n4C-n3Cd2=m×λC8cで与えられる。このとき、F線、C線波長における光路長差のずれ分αF、αC、のみを補正するように、第3、及び第4の材料の屈折率を選択すると、広い波長域で高い回折効率を持つ回折光学素子が得られる。d線、F線、C線の波長において、光路長差が所望の値を得られる条件は、7aa式~7cc式と、8a式~8c式の辺々を引くことによって得られ、n4d-n3d=09an4F-n3Fd2=-αF9bn4C-n3Cd2=αC9cとなる。このとき、第3の材料と第4の材料の屈折率はd線の波長において等しくなっているので、F線やC線の波長においても、その屈折率差は非常に小さい値となる。そのため、第3の材料と第4の材料からなる回折格子の格子側面に、撮像に寄与しない光が壁面に入射した場合も、不要光による影響が非常に小さいものとなる。以上のような構成とすることで、屈折率差が大きい第1の材料と第2の材料からなる格子においては、格子厚を低くすることができ、かつ、広い波長域において所望の光路長差を得られる。よって、広い波長域において高い回折効率を持ち、かつ、格子側面による不要光の発生が抑制されている回折光学素子が得られる。次に、本実施形態の具体的な構成について説明する。図1に示した、本実施形態1における回折光学素子1において、設計波長がλ0の場合に、回折次数mの回折光の回折効率が最大となる条件は、n03-n01d1n02-n03d2=mλ010となる。ここで、上記10式において、n01は第1の素子部2において第1の回折格子8を形成する材料の波長λ0の光に対する屈折率であり、n02は第2の素子部3において第2の回折格子9を形成する材料の波長λ0の光に対する屈折率である。n03は第3の材料層10を形成する材料の波長λ0の光に対する屈折率である。また、d1は第1の回折格子8a、d2は第2の回折格子9aの格子厚である。図1中の0次回折光から下向きに回折する光の回折次数を正の回折次数、0次回折光から上向きに回折する光の回折次数を負の回折次数とすると、上記10式での格子厚d1、及びd2の加減の符号は、図中上から下に格子厚が増加する格子形状を持つ回折格子の場合、正となる。図1に示した回折光学素子1において、第1の回折格子8に、フッ素系樹脂にITO微粒子を混合させた樹脂Nd=1.480、νd=21.7を用いた。また、第2の材料層9には、大日本インキ化学工業株製の紫外線硬化樹脂にITO微粒子を混合させた樹脂Nd=1.564、νd=20.8を用いた。一方第3の回折格子10には、アクリル系樹脂にZrO2微粒子を混合させた樹脂Nd=1.569、νd=47.9を用いた。この時の屈折率の値を波長を横軸に取って示したのが図4である。図において、41がフッ素系樹脂にITO微粒子を混合させた樹脂の屈折率、42が大日本インキ化学工業株製の紫外線硬化樹脂にITO微粒子を混合させた樹脂の屈折率、43がアクリル系樹脂にZrO2微粒子を混合させた樹脂の屈折率を示している。図に示したように樹脂42と43はd線付近の波長において同一の値をとり、屈折率を示したグラフの線がクロスしている。また、回折格子8の格子厚d1は6.2μm、回折格子9の格子厚d2は13.7μm、第3の材料層10における、両回折格子8,9の格子側面の間隔Dは1.5μm、回折ピッチPは100μmである。回折格子8、及び回折格子9の格子側面の、格子先端を連ねた包絡面の法線に対する傾きは0°とした。次に、本実施形態の回折格子に対し、撮像に使用する光束が入射した場合の光の振る舞いについて述べる。本実施例の回折光学素子においては、撮像に使用される光束が、回折格子の格子先端部を連ねた包絡面の法線に対し±2°の範囲で入射する光学系中に配置されたものと想定している。格子高さd1、及びd2は、最大の入射角度2°と、最小の入射角度-2°の平均である、0°を重心光線角度として、0°で入射した状態において最適な回折特性を得るように設計している。さらに、回折格子8、及び回折格子9の格子側面の、格子先端を連ねた包絡面の法線に対する傾きを、格子厚と同様に重心光線角度に合わせるように、0°としている。この場合、回折格子を1次の回折角を持って、入射角度±2°からわずかに偏向した出射した光束が像面評価面に到達する。すなわち、回折角0°付近を基準として、格子先端部を連ねた包絡面の法線に対し、回折角が約±2°の範囲の光束が撮像面に到達する。図4は、実施例4の回折光学素子1に、格子先端を連ねた包絡面の法線に対して垂直に光線が入射した時の、設計次数である1次での回折効率特性を示している。これらの特性図からも分かるように、回折光学素子1では可視域全域において、非常に高い回折効率を得ている。次に、撮像に使用される光束の入射角度から、ずれた角度を持って光束が入射した場合について述べる。回折光学素子を光学系中に用いた場合、撮像に使用される光束以外の光が回折光学素子に入射してしまう場合がある。例えば、回折光学素子に格子先端部を連ねた包絡面の法線に対し10°の光束が入射した場合について考える。この時、10°で入射した光束の1次回折光は、それぞれ格子先端部を連ねた包絡面の法線に対し約10°で出射し、像面評価面には到達しにくい。ただし、格子側面からの射出光束は、ある広がり幅を持って射出するため、スネルの法則で計算した光束の出射方向が、像面評価面に到達しない構成であっても、実際にはわずかな光が像面評価面に到達する。撮像に使用される光束以外の光の強度が大きい場合には、格子側面を起因とした不要光が問題となる場合がある。特に、光束が格子側面が成す角度からずれて入射した場合、格子側面に入射する光束の割合が多くなり、格子側面に入射した光が偏向されて、不要光として像面評価面に到達する可能性が高くなる。また、格子側面に光束が入射する際に、高屈折率の材料から低屈折率の材料側へと入射する場合、格子側面の法線方向に対して臨界角以上で入射すると全反射光及びその回折光によりフレアの原因となる不要光が生じる。図5は10°で波長450nmの光が図1において色フィルターを配置しない状態の回折格子に入射した時の回折効率を縦軸に回折効率、横軸に回折角を取って示したグラフである。同様に図6は550nmの波長の光の場合、図7は650nmの光の波長の場合を示している。また、各グラフにおいて、51,61,71は図22に示した密着タイプの回折光学素子の回折効率を示し、52,62,72は本発明の密着3層タイプの回折効率を示している。図1の回折格子凹凸タイプで正のパワーを有した回折格子を撮像光学系の絞りより前に配置した場合の回折光学素子の上側に入射した光を示しており、不要光の発生が多い側である。図5~図7に示したように、450nmと550nmの不要光の発生は抑制されて良好であるが、650nmの光に対する不要光は大きく問題である。この発生のメカニズムについて解析を行ったところ、図4に示した屈折率の変化により説明が付くことが判明した。すなわち、図1の光線11に示したようにフレアの発生の主原因は回折格子9の壁面部分において反射する光が回折して発生しており、低波長側においては図4に示したように43の屈折率から42の屈折率の樹脂に入射する界面の反射である。この時、屈折率については低屈折率材料から高屈折率材料への光の入射である。したがって、回折格子の壁面で発生する反射はフレネル反射となり、屈折率が近いために殆どの光は透過光となり像面には到達しない。一方、長波長側の光に対しては、逆に高屈折率材料と低屈折率材料の界面への光の入射であり、入射角度が大きいことから全反射となる。このため強い光が像面に到達する。図8は本発明の色フィルターの分光透過率を示したグラフである。図に示したように長波長側の光において透過率が低くなるフィルターとなっている。このフィルターを図1の12のように壁面による反射を遮光する位置に配置する。図9は本発明のフィルターを配置した場合の650nmの光が回折光学素子に入射した時の回折効率を示したグラフである。図に示したように不要光の発生は十分に抑制された状態となる。また、他の波長については透過率がほぼ100であるため、大きな変化は無いため、回折光学素子としては課題であった長波長のフレアが改善されたことで、フレアの少なく良好な回折効率を有した回折光学素子となっている。すなわち、通常の遮光部材を回折格子の入射または出射側に配置すると遮光部材の幅によっては回折効率が劣化して問題となる。本発明で使用した色フィルターは長波長のみの光を遮光するため、影響が小さく問題とならない。更に回折格子のピッチの110以下の幅にしておけば、回折効率の劣化も少なくより望ましい。[第2実施例]図10は本発明の第2の実施例の説明図である。本実施例においては、第1実施例と同様、第1の回折格子8と第2の回折格子9の間に、第3の材料層10を設けた構成となっている。但し、第1の回折格子8の格子面8aが図中下から上に格子厚が増加する構成であるのに対し、第2の回折格子9の格子面9aは、図中下から上に格子厚が減少する構成となっている。なお、第3の材料層10は、両回折格子8,9の格子面8a,9aと格子側面とがなすエッジ間において厚さがDとなるように設定されている。図10に示した回折光学素子1において、第1の回折格子8に、フッ素系樹脂にITO微粒子を混合させた樹脂Nd=1.480、νd=21.7を用いた。また、第2の回折格子10には、アクリル系樹脂にZrO2微粒子を混合させた樹脂Nd=1.569、νd=47.9を用いた。一方、第3の材料層9には、大日本インキ化学工業株製の紫外線硬化樹脂にITO微粒子を混合させた樹脂Nd=1.564、νd=20.8を用いた。また、本実施例においても、第2の回折格子9と第3の材料層の間で、屈折率差が小さく分散の差が大きい材料の組合せを用いているため、第1の回折格子の格子厚を低くすることができる。第1実施例と比較すると、第2の材料と第3の格子材料を交換した構成となっている。この構成は広い波長範囲について、回折効率の高い回折光学素子とするためには必須の構成である。このときの回折効率を図11に示す、広い波長範囲に渡って高い回折効率を確保している。この構成においては、第2の材料から第3の材料に入射する境界における反射光が像面に到達する。したがって、短波長側において高屈折率材料から低屈折率材料に光が入射することになり、全反射が発生する。この反射光に対しては短波長がの波長の光を吸収するフィルターが有効であり、本実施例においてはフィルターの透過率特性を短波長側が低くなる構成としている。本発明の回折光学素子はフレアが抑制された素子であるため、撮像装置の絞りより前に配置しても良好な性能が確保できる。以下に撮像装置について説明する。図22において210は一眼レフカメラ本体、211は本発明の撮像装置に用いられる交換レンズである。212は交換レンズ211を通して得られる被写体像を記録するフィルムや撮像素子等の感光面である。213は交換レンズ211からの被写体像を観察するファインダー光学系である。214は交換レンズ211からの光を感光面212方向とファインダー光学系213方向に切り替えて伝送するための回動するクイックリターンミラーである。ファインダーで被写体像を観察する場合は、クイックリターンミラー214を介してピント板215に結像した被写体像をペンタプリズム216で正立像とした後、接眼光学系217で拡大して観察する。撮影時にはクイックリターンミラー214が矢印方向に回動して被写体像は記録手段212に結像して記録される。218はサブミラー、219は焦点検出装置である。このように本発明では、前述した撮像光学系を用いることにより、高い光学性能を有した撮像装置を実現している。尚、本発明はクイックリターンミラーのないSLRSingleLensReflexカメラにも同様に適用することができる。色フィルターの作製方法については種々の方法が考えられる。たとえば、色フィルターは染料または顔料をベースとしたカラーレジストを回折光学素子を成形する基盤ガラス上に塗布して硬化させることに作製することが出来る。また、色フィルターは染料または顔料をベースとしたカラーレジストを回折格子の格子を形成する樹脂上に塗布して硬化させることによっても作製することが出来る。更に色フィルターは誘電体膜により構成し、真空蒸着等の薄膜技術により作製することも可能である。また、作製プロセスとしては真空蒸着、ホトリソグラフィ工程、染料または顔料タイプのインクを格子付近に塗布等の手法が考えられる。"