"圧電材料からなるウェーハを格子状にカットする段階と、前記ウェーハのカットされた格子の間にポリマーを満たす段階と、前記ウェーハを研磨する段階と、前記ウェーハに電極を生成させる段階と、を含む高出力複合ウェーハの生産方法。請求項1に記載の方法で生産された高出力複合ウェーハ。請求項1に記載の方法で生産された高出力複合ウェーハを利用した複合圧電素子。請求項1に記載の方法で生産された高出力複合ウェーハを利用した複合圧電素子を含む超音波プローブ。超音波を集束または発散させる音響レンズと、前記音響レンズで発生する熱を外部に排出させるために、前記音響レンズに連結された熱排出部と、をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の超音波プローブ。圧電材料で作られた格子状の圧電ウェーハと、前記圧電ウェーハの格子の間の空間を満たすポリマーと、を含むことを特徴とする複合ウェーハ。圧電材料で作られた格子状の圧電ウェーハと、前記圧電ウェーハの格子の間の空間を満たすポリマーと、を含む複合ウェーハを利用した複合圧電素子。請求項5に記載の複合圧電素子を含む超音波プローブ。超音波を集束または発散させる音響レンズと、前記音響レンズで発生する熱を外部に排出させるために、前記音響レンズに連結された熱排出部と、をさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の超音波プローブ。本発明が解決しようとする第1の課題は、高出力を有すると共に、広帯域幅を有する高出力複合ウェーハの生産方法を提供するところにある。本発明が解決しようとする第2の課題は、高出力を有すると共に、広帯域幅を有する高出力複合ウェーハの生産方法で生産された高出力複合ウェーハを提供するところにある。本発明が解決しようとする第3の課題は、高出力を有すると共に、広帯域幅を有する複合圧電素子を提供するところにある。本発明が解決しようとする第4の課題は、高出力を有すると共に、広帯域幅を有する超音波プローブを提供するところにある。本発明は、前記第1の課題を達成するために、圧電材料からなるウェーハを格子状にカットする段階と、前記ウェーハのカットされた格子の間にポリマーを満たす段階と、前記ウェーハを研磨する段階と、前記ウェーハに電極を生成させる段階と、を含む高出力複合ウェーハの生産方法を提供する。本発明は、前記第2の課題を達成するために、前記高出力複合ウェーハの生産方法で生産された高出力複合ウェーハを提供する。本発明の他の実施例による高出力複合ウェーハは、圧電材料で作られた格子状の圧電ウェーハと、前記圧電ウェーハの格子の間の空間を満たすポリマーと、を含みうる。本発明は、前記第3の課題を達成するために、前記高出力複合ウェーハの生産方法で生産された高出力複合ウェーハを利用した複合圧電素子を提供する。本発明の他の実施例による複合圧電素子は、圧電材料で作られた格子状の圧電ウェーハと、前記圧電ウェーハの格子の間の空間を満たすポリマーと、を含む複合ウェーハを利用することができる。本発明は、前記第4の課題を達成するために、前記高出力複合ウェーハの生産方法で生産された高出力複合ウェーハを利用した複合圧電素子を含む超音波プローブを提供する。本発明の一実施例によれば、超音波を集束または発散させる音響レンズと、前記音響レンズで発生する熱を外部に排出させるために、前記音響レンズに連結された熱排出部と、をさらに含みうる。本発明の一実施例による高出力複合ウェーハの生産方法は、圧電材料からなるウェーハを格子状にカットする段階と、前記ウェーハのカットされた格子の間にポリマーを満たす段階と、前記ウェーハを研磨する段階と、前記ウェーハに電極を生成させる段階と、を含む。本発明によれば、高出力を有すると共に、広帯域幅を有する超音波プローブを提供することができる。また、本発明によれば、高出力を有する超音波プローブで発生する熱を外部に放出させることによって、患者と接触する音響レンズの温度を低めることができる。以下、望ましい実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。しかし、これら実施例は、本発明をより具体的に説明するためのものであって、本発明の範囲が、これによって制限されないということは当業者に自明である。本発明が解決しようとする課題の解決方案を明確にさせるための発明の構成を本発明の望ましい実施例に基づいて、添付図面を参照して詳しく説明するが、図面の構成要素に参照番号を付与するに当って、同じ構成要素に対しては、たとえ他の図面上にあっても、同じ参照番号を付与し、当該図面についての説明時に必要な場合、他の図面の構成要素を引用できるということをあらかじめ明らかにする。同時に、本発明と関連した公知機能あるいは構成についての具体的な説明、そして、それ以外の諸般の事項が本発明の要旨を不明にする恐れがあると判断される場合、その詳細な説明を省略する。図1は、低出力の超音波を発生させて超音波映像を得る超音波プローブの構造を示す図である。図1を参照すると、超音波プローブは、レンズ120、音響整合層acousticmatchinglayer130、圧電素子piezo-material140、及び背面層150で構成される。レンズ120は、超音波を集束させるために、超音波進行に時間差があるようにする。音響整合層130は、圧電素子140の前面に位置しながら、圧電素子140と物体との間に超音波をよく伝達させる層であって、音響インピーダンスを物体に整合させる。圧電素子140は、超音波を発生させて受信する能動素子であって、普通圧電物質を能動素子として使う。超音波センサーの感度と解像度は、圧電素子の電気的、機械的特性と密接な関連がある。圧電物質は、電気-機械結合係数が大きいPZTPlumbum-Zironate-Titanate系の圧電セラミックスが使われるが、これに限定されるものではない。しかし、圧電セラミックスは、音響インピーダンスが大き過ぎてインピーダンス不整合mismatchingによる難しさがある。このような音響インピーダンス不整合は、圧電素子140と物体との間に音響整合層130を使って解消する。背面層150は、圧電素子140の背面に位置しながら、後方に放射された超音波を吸収することによって、超音波パルスの長さを減らす。背面層150の音響インピーダンスは、圧電素子の音響インピーダンスに近づくほど、その境界面で反射が少なくてパルスの持続時間が少なくなるので、軸方向の解像度が良くなり、理想的な場合、短い両極性の超音波パルスが得られる。しかし、背面層150による吸音損失が大きくなることによって、超音波センサーの感度が低下するので、パルス長との妥協が必要である。背面層150としては、エポキシにタングステン粉末を混合して浄化させた材料を使うことができる。図1に示された超音波プローブは、鮮明な映像を得るために、広帯域幅を有しなければならず、そのために、電気機械結合係数electro-mechanicalcouplingfactorが高い圧電体を使う。このように、電気機械結合係数が高い圧電体は、一般的にQ値が小さくて高出力を出すことができなくなる。一般的に、超音波プローブは、高い音響出力を有すると共に、映像診断が可能なプローブとして使用が難しい。一般的な超音波プローブは、映像診断に適した低いQ値を有する圧電素子を使うために、印加することができる電圧に制限があって、高パワーを印加して高い音響出力を出すことができないためである。図2は、高出力の超音波を発生させて超音波映像を得る超音波プローブの構造を示す図である。図2に示された超音波プローブは、圧電素子140を除いて、図1に示された超音波プローブと同様に構成することができる。図1に示された圧電素子140は、低いQ値を有する圧電物質を使う一方、図2に示された圧電素子145は、高いQ値を有する圧電物質を使う。所望の高出力を出すために、高いQ値の圧電物質を使うが、このような場合、高い音響出力を出すことはできるが、所望の品質の映像が得られない。これは、高いQ値の圧電物質を使う場合、音響出力は高めることができるが、広帯域幅の信号を得にくいためである。図3は、本発明の望ましい一実施例による高出力超音波プローブの構造を示す図である。図3を参照すると、本実施例による高出力超音波プローブは、音響レンズ320、音響整合層330、圧電素子340、及び背面層350で構成される。図3に示された音響レンズ320、音響整合層330、及び背面層350は、図1に示されたレンズ120、音響整合層130、及び背面層150と同様にされうる。図3に示された圧電素子340と、図1及び図2に示された圧電素子140,145との差異点を以下で説明する。本発明の実施例による圧電素子340は、高いQ値を有する圧電物質を使用し、ポリマーpolymerと複合材料の形態で生産する。高いQ値を有する圧電物質を使って高電圧を印加できるようになり、ポリマーとの複合材料によって変換効率も大きくなる。したがって、本発明の実施例による圧電素子340は、高い音響出力を出すと共に、広帯域幅の信号が得られる。図4は、一般的に使うウェーハと本発明の実施例による高いQ値を有する複合ウェーハとの音響シミュレーション結果を示す。図4のaは、FFTスペクトルの結果を示したものであり、図4のbは、パルス-エコーウェーブを示す図である。一般的な圧電ウェーハを使ってプローブを作る場合と、高いQ値を有する複合ウェーハhighQ-compositeウェーハを使ってプローブを作った場合とをシミュレーションすれば、複合ウェーハが既存の帯域幅は保持しながら高感度またはパワーを有することが分かる。図4と表1とを参照すると、帯域幅は大きく差がないが、信号の大きさsensitivityは、約4dB以上の複合ウェーハで製作したプローブが、既存の製品に比べて高いことが分かる。また高いQ値を有する材料を使ったために、既存の製品に比べて高電圧を印加することができ、その音響出力効果は、さらに大きくなるように見える。図5は、本発明の一実施例による高いQ値を有する複合ウェーハを製造する方法のフローチャートであり、図6は、高いQ値を有する複合ウェーハを製造する方法の各段階でのウェーハを示す図である。以下、図5と図6とを参照して詳しく説明する。500段階で圧電ウェーハを格子状にカットする。図6のaと図6のbとを参照すると、元の圧電ウェーハ図6のaが格子状にカットされた状態のウェーハ図6のbに変化したことが分かる。510段階でカットされた格子の間にポリマーを満たす。図6のcを参照すると、カットされた格子の間にポリマーが満たされていることが分かる。ポリマーは、エポキシepoxyが使われる。520段階で研磨lappingして平らにする。平坦度が良い定盤にウェーハを押した後、研磨剤を加えながらウェーハと定盤とを相対運動させてウェーハの破片を除去する。研磨剤としては、Al2O3とグリセリンglycerineとを混ぜて使うことができる。530段階でウェーハの一面に電極を生成させて、複合ウェーハを生成させる。図6のdを参照すると、電極が生成された複合ウェーハが示されている。断面を見ると、圧電材料piezomaterialとポリマーpolymerとが交互に位置していることが分かる。図7は、本発明の他の実施例によって製造された複合ウェーハを利用した超音波プローブを示す図である。図7を参照すると、本実施例による超音波プローブは、音響レンズ710、音響整合層720、複合圧電素子730、熱排出部740、及び背面層750で構成される。音響レンズ710は、超音波進行に時間差があるようにして、超音波を集束または発散させる。音響整合層720は、複合圧電素子730の前面に位置し、複合圧電素子730と物体との間に超音波をよく伝達させる層であって、音響インピーダンスを物体に整合させる。複合圧電素子730は、圧電材料とポリマーとが図5に示された方法で交差するように構成されたものであって、高いQ値を有しながらも、高い音響出力を有する。熱排出部740は、音響レンズ710の熱を外部に排出する排出通路である。本実施例による超音波プローブは、高い音響出力を有するので、振動する複合圧電素子730によって熱が多く発生し、この熱は、患者に害を与える可能性があるので、患者と接触する音響レンズ710部分の温度を制限する必要がある。ところが、高い音響出力を使用できるにも拘らず、音響レンズ710の表面温度の制限で高い音響出力が使用できなくなれば問題になる。これにより、複合圧電素子730で発生する熱を外部によく排出させることが重要となる。熱排出部740は、音響レンズ710に連結されて音響レンズ710の熱を外部に排出することが望ましいが、複合圧電素子730または音響整合層720に連結されて熱を外部に排出することも可能である。背面層750は、複合圧電素子730の背面に位置しながら、後方に放射された超音波を吸収することによって、超音波パルスの長さを短くする。背面層750の音響インピーダンスは、複合圧電素子730の音響インピーダンスに近づくほど、その境界面で反射が少なく、パルスの持続時間が短くなるので、軸方向の解像度が良くなり、理想的な場合、短い両極性の超音波パルスが得られる。しかし、背面層750による吸音損失が大きくなることによって、超音波センサーの感度が低下するので、パルス長との妥協が必要である。背面層750としては、エポキシにタングステン粉末を混合して浄化させた材料を使うことができる。以上、本発明についてその望ましい実施例を中心に説明した。当業者ならば、本発明が、本発明の本質的な特性から外れない範囲で変形された形態として具現可能であるということを理解できるであろう。したがって、開示された実施例は、限定的な観点ではなく、説明的な観点で考慮されなければならない。本発明の範囲は、特許請求の範囲に示されており、それと同等な範囲内にあるあらゆる差異点は、本発明に含まれたものと解析しなければならない。"