試料表面上の分析位置に電子線を照射する電子線源と、前記試料表面上の分析位置を含む領域に可視光を照射する落射光用光源部と、前記試料の分析位置を含む領域に偏光光を照射する透過光用光源部と、前記試料表面上の分析位置を含む領域で反射した可視光、又は、前記試料の分析位置を含む領域を透過した偏光光が検出面に入射して、前記試料表面上の分析位置を含む領域の光学像又は偏光像を取得する画像取得部と、前記落射光用光源部からの可視光を所定方向に反射するとともに、前記所定方向と逆方向からの光を透過して前記画像取得部の検出面に導くことが可能なハーフミラーとを備える電子線分析装置であって、前記ハーフミラーは、前記落射光用光源部から可視光が出射された際には、前記落射光用光源部からの可視光を前記所定方向に反射するとともに、前記所定方向と逆方向からの可視光を透過して前記画像取得部の検出面に導く第一位置に配置され、一方、前記透過光用光源部から偏光光が出射された際には、前記所定方向と逆方向からの偏光光が通過しない第二位置に配置されるように移動可能となっていることを特徴とする電子線分析装置。前記試料表面上の分析位置から放出された特性X線による信号を検出するX線検出部を備え、前記試料表面上の一次元又は二次元範囲内で分析位置を走査させることにより、前記X線検出部で信号を収集し、前記信号の強度に基づいて試料表面上の一次元又は二次元範囲における元素又は組成に関する情報を求める制御部とを備えることを特徴とする請求項1に記載の電子線分析装置。前記落射光用光源部から可視光が出射された際には、前記ハーフミラーを第一位置に自動的に配置し、一方、前記透過光用光源部から偏光光が出射された際には、前記ハーフミラーを第二位置に自動的に配置する制御部を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子線分析装置。しかしながら、上述したようなEPMA201では、正確な偏光像を取得することができないという問題点が発生した。本件発明者らは、上記課題を解決するために、EPMAで正確な偏光像を取得する偏光像取得方法について鋭意検討を行った。そこで、CCDカメラ71で検出される偏光光L’は、CCDカメラ71で検出される直前で、ハーフミラー292によって偏光されており、このハーフミラー292による偏光が、取得した偏光像に無視できない影響を及ぼしていることがわかった。よって、透過光用光源部80から偏光光L’が出射された際には、偏光光L’が通過しない位置にハーフミラー292を配置することを見出した。上記課題を解決するためになされた本発明の電子線分析装置は、試料表面上の分析位置に電子線を照射する電子線源と、前記試料表面上の分析位置を含む領域に可視光を照射する落射光用光源部と、前記試料の分析位置を含む領域に偏光光を照射する透過光用光源部と、前記試料表面上の分析位置を含む領域で反射した可視光、又は、前記試料の分析位置を含む領域を透過した偏光光が検出面に入射して、前記試料表面上の分析位置を含む領域の光学像又は偏光像を取得する画像取得部と、前記落射光用光源部からの可視光を所定方向に反射するとともに、前記所定方向と逆方向からの光を透過して前記画像取得部の検出面に導くことが可能なハーフミラーとを備える電子線分析装置であって、前記ハーフミラーは、前記落射光用光源部から可視光が出射された際には、前記落射光用光源部からの可視光を前記所定方向に反射するとともに、前記所定方向と逆方向からの可視光を透過して前記画像取得部の検出面に導く第一位置に配置され、一方、前記透過光用光源部から偏光光が出射された際には、前記所定方向と逆方向からの偏光光が通過しない第二位置に配置されるように移動可能となっているようにしている。ここで、所定方向とは、設計者等によって予め決められた任意の一方向であり、例えば、左方等となる。本発明の電子線分析装置によれば、透過光用光源部から偏光光が出射された際には、所定方向と逆方向からの光が通過しない第二位置にハーフミラーが配置されるので、ハーフミラーによって影響を受けていない光が画像取得部の検出面に導かれる。以上のように、本発明の電子線分析装置によれば、正確な偏光像を取得することができる。また、ハーフミラーを通過しない光が画像取得部の検出面に導かれるので、明るい偏光像を取得することができる。他の課題を解決するための手段及び効果また、本発明の電子線分析装置において、前記試料表面上の分析位置から放出された特性X線による信号を検出するX線検出部を備え、前記試料表面上の一次元又は二次元範囲内で分析位置を走査させることにより、前記X線検出部で信号を収集し、前記信号の強度に基づいて試料表面上の一次元又は二次元範囲における元素又は組成に関する情報を求める制御部とを備えるようにしてもよい。さらに、本発明の電子線分析装置において、前記落射光用光源部から可視光が出射された際には、前記ハーフミラーを第一位置に自動的に配置し、一方、前記透過光用光源部から偏光光が出射された際には、前記ハーフミラーを第二位置に自動的に配置する制御部を備えるようにしてもよい。以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。<第一実施形態>図1は、本発明の実施形態に係るEPMAの要部の構成を示す構成図である。なお、上述したEPMA201と同様のものについては、同じ符号を付している。EPMA1は、試料Sが載置される試料ステージ110と、電子線Eを試料S表面上の分析位置に照射する電子線源20と、試料S表面上の分析位置から放出された特性X線Pによる信号を検出するX線検出部30と、試料S表面上の分析位置を含む領域に可視光Lを照射する落射光用光源部60と、試料Sの分析位置を含む領域に偏光光L’を照射する透過光用光源部80と、可視光Lや偏光光L’を検出する検出面を有する画像取得装置170と、EPMA1全体の制御を行うコンピュータ50とを備える。画像取得装置170は、可視光Lや偏光光L’を検出する検出面を有するCCDカメラ71と、CCDカメラ71の検出面の前方に配置されたリレーレンズ72と、所定の偏光光のみを透過させる検光子73と、検光子73を回転駆動X方向を回転軸とするさせる検光子回転駆動機構図示せずと、検光子73及び検光子回転駆動機構を移動させる検光子移動機構図示せずと、ハーフミラー駆動機構図示せずとを備える。ハーフミラー92は、コンピュータ50の画像取得制御部51bによってハーフミラー駆動機構へ必要な駆動信号が出力されることにより、第一位置か、第一位置より下方に位置する第二位置かのいずれかの位置に配置されるようになっている。具体的には、ハーフミラー92は、落射光用光源部60から可視光Lが出射された際透過光用光源部80から偏光光L’が出射されない際には、落射光用光源部60からの可視光Lを所定方向X方向に反射するとともに、所定方向と逆方向-X方向からの光を透過してCCDカメラ71の検出面に導く第一位置に配置されるようになっている。一方、透過光用光源部80から偏光光L’が出射された際落射光用光源部60から可視光Lが出射されない際には、所定方向と逆方向-X方向からの光が通過しない第二位置に配置されるようになっている。コンピュータ50においては、CPU制御部51を備え、さらにモニタ表示装置53と操作部入力装置54とが連結されている。また、CPU51が処理する機能をブロック化して説明すると、試料ステージ110を制御する試料ステージ制御部51aと、CCDカメラ71から光学像や偏光像を取得してモニタ53に表示する画像取得制御部51bと、X線検出部30から試料S表面上の分析位置のX線画像元素又は組成に関する情報を取得する分析制御部51cとを有する。次に、EPMA1を用いて光学像を取得する光学像取得方法について説明する。まず、分析者は、試料ステージ110の上面に試料Sを載置する。次に、分析者は、検光子移動機構を操作部54を用いて操作して検光子73を所定方向と逆方向-X方向からCCDカメラ71の検出面に向かう光が通過しない位置に退避させた後、落射光用光源部60の電源を入れる。これにより、落射光用光源部60からZ方向に出射された可視光Lが、第一位置に配置されたハーフミラー92によって進行方向をX方向に変える。そして、X方向に進行する可視光Lが、有孔平面ミラー91によって進行方向を変え、試料S表面上の分析位置を含む領域にZ方向から照射される。そして、試料S表面上の分析位置を含む領域で-Z方向に反射した可視光Lが有孔平面ミラー91によって進行方向を所定方向と逆方向-X方向に変える。-X方向に進行する可視光Lがハーフミラー92を透過し、CCDカメラ71の検出面にリレーレンズ72を介して導かれる。その結果、画像取得制御部51bは、CCDカメラ71で検出された可視光Lに基づいて、試料Sの分析位置を含む領域の光学像をモニタ53に表示する。次に、EPMA1を用いて偏光像を取得する偏光像取得方法について説明する。まず、分析者は、試料ステージ110の上面に試料Sを載置する。次に、分析者は、検光子移動機構を操作部54を用いて操作して検光子73を所定方向と逆方向-X方向からCCDカメラ71の検出面に向かう光が通過する光軸上に導入した後、透過光用光源部80の電源を入れる。そして、透過光用光源部80の電源を入れた際には、分析者は、ハーフミラー駆動機構を操作部54を用いて操作して所定方向と逆方向-X方向からの光が通過しない第二位置にハーフミラー92を配置する。これにより、透過光用光源部80からX方向に出射された偏光光L’が、反射鏡83によって進行方向を-Z方向に変える。そして、-Z方向に進行する偏光光L’が、試料S表面上の分析位置を含む領域に-Z方向から照射される。そして、試料S表面上の分析位置を含む領域で-Z方向に透過した偏光光L’が有孔平面ミラー91によって進行方向を所定方向と逆方向-X方向に変える。-X方向に進行する偏光光L’がハーフミラー92を透過せずに、検光子73を透過し、CCDカメラ71の検出面にリレーレンズ72を介して導かれる。その結果、画像取得制御部51bは、CCDカメラ71で検出された偏光光L’に基づいて、試料Sの分析位置を含む領域の偏光像をモニタ53に表示する。以上のように、本発明のEPMA1によれば、透過光用光源部80から偏光光L’が出射された際には、所定方向と逆方向-X方向からの光が通過しない第二位置にハーフミラー92が配置されるので、ハーフミラー92によって影響を受けていない偏光光L’がCCDカメラ71の検出面に導かれるので、正確な偏光像を取得することができる。また、ハーフミラー92を通過しない光がCCDカメラ71の検出面に導かれるので、明るい偏光像を取得することができる。<第二実施形態>上述したEPMA1では、ハーフミラー92が、第一位置か、第一位置より下方に位置する第二位置かのいずれかの位置に直線的な移動により配置されるような構成としたが、平板形状のハーフミラー192が、任意の軸を中心として回転させることによって、第一位置か、第二位置かのいずれかの位置に配置されるような構成としてもよい。図2は、第二実施形態に係るEPMA101の要部の構成を示す構成図であって、平板形状のハーフミラー192が、第一位置か、Y方向を軸として回転させてX方向と平行となる位置である第二位置かのいずれかの位置に配置されるような構成となっている。なお、上述したEPMA1と同様のものについては、同符号を付すことにより説明を省略する。コンピュータ150においては、CPU制御部151を備え、さらにモニタ表示装置53と操作部入力装置54とが連結されている。また、CPU151が処理する機能をブロック化して説明すると、試料ステージ110を制御する試料ステージ制御部51aと、CCDカメラ71から光学像や偏光像を取得してモニタ53に表示する画像取得制御部151bと、X線検出部30から試料S表面上の分析位置のX線画像元素又は組成に関する情報を取得する分析制御部51cとを有する。画像取得制御部151bは、落射光用光源部60や透過光用光源部80への電源投入を検知することにより、ハーフミラー192を移動させるとともに、CCDカメラ71から光学像や偏光像を取得してモニタ53に表示する制御を行う。具体的には、画像取得制御部151bは、落射光用光源部60の電源が入れられたことを検知したときには、落射光用光源部60からの可視光Lを所定方向X方向に反射するとともに、所定方向と逆方向-X方向からの光を透過してCCDカメラ71の検出面に導く第一位置にハーフミラー192を回転移動する。そして、CCDカメラ71から光学像を取得してモニタ53に表示する。一方、画像取得制御部151bは、透過光用光源部80の電源が入れられたことを検知したときには、所定方向と逆方向-X方向からの光が通過しない第二位置にハーフミラー192を回転移動する。そして、CCDカメラ71から偏光像を取得してモニタ53に表示する。ここで、EPMA101を用いて偏光像を取得する偏光像取得方法について説明する。まず、分析者は、試料ステージ110の上面に試料Sを載置する。次に、分析者は、検光子移動機構を操作部54を用いて操作して検光子73を所定方向と逆方向-X方向からCCDカメラ71の検出面に向かう光が通過する光軸上に導入した後、透過光用光源部80の電源を入れる。そして、透過光用光源部80の電源が入れられた際には、画像取得制御部151bは、所定方向と逆方向-X方向からの光が通過しない第二位置にハーフミラー92を自動的に配置する。これにより、透過光用光源部80からX方向に出射された偏光光L’が、反射鏡83によって進行方向を-Z方向に変える。そして、-Z方向に進行する偏光光L’が、試料S表面上の分析位置を含む領域に-Z方向から照射される。そして、試料S表面上の分析位置を含む領域で-Z方向に透過した偏光光L’が有孔平面ミラー91によって進行方向を所定方向と逆方向-X方向に変える。-X方向に進行する偏光光L’がハーフミラー92を透過せずに、検光子73を透過し、CCDカメラ71の検出面にリレーレンズ72を介して導かれる。その結果、画像取得制御部151bは、CCDカメラ71で検出された偏光光L’に基づいて、試料Sの分析位置を含む領域の偏光像をモニタ53に表示する。以上のように、本発明のEPMA101によれば、透過光用光源部80から偏光光L’が出射された際には、所定方向と逆方向-X方向からの光が通過しない第二位置にハーフミラー192が配置されるので、ハーフミラー192によって影響を受けていない偏光光L’がCCDカメラ71の検出面に導かれるので、正確な偏光像を取得することができる。