"一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を他方の面から保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、前記貼付手段は、前記接着シートの外縁に沿って所定長さを有する貼付領域を当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成して当該剥離用テープを当該接着シートに貼付可能に設けられ、前記移動手段による相対移動方向における剥離開始側位置に前記貼付領域の所定長さ方向一端部を位置させ、当該貼付領域の一端部から前記接着シートの剥離を開始させる剥離開始位置決定手段を備えることを特徴とするシート剥離装置。前記貼付領域の一端部を検出する検出手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。前記接着シートは、所定径の円形形状とされ、前記剥離用テープは、前記接着シートの径よりも小さな所定幅の帯状体とされており、前記剥離開始位置決定手段は、前記接着シートの径と前記剥離用テープの幅とに基づいて前記貼付領域の一端部の位置を算出可能に構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。前記接着シートは、所定径の円形形状とされ、前記貼付手段は、所定幅の貼付部材を備えており、前記剥離開始位置決定手段は、前記接着シートの径と前記貼付部材の幅とに基づいて前記貼付領域の一端部の位置を決定可能に構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。前記剥離開始位置決定手段は、前記被着体の一方の面内で前記保持手段と移動手段とを相対回転させる回転手段を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のシート剥離装置。一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、他方の面から前記被着体を保持して前記剥離用テープを繰出し、前記接着シートの外縁に沿って所定長さを有する貼付領域を当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成して当該剥離用テープを当該接着シートに貼付し、前記貼付領域の所定長さ方向一端部を剥離開始側に位置させてから、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて当該貼付領域の一端部から前記接着シートの剥離を開始することを特徴とするシート剥離方法。ところで、特許文献1に記載されたような従来の剥離方法では、接着シートの端部における剥離用テープの接着領域としては、ウェハの外周に沿った周方向の長さと、ウェハの中心に向かう径方向の長さ特許文献1では、距離dであり、d≦3mmとで規定され、この接着領域は、回路面が形成されることのない外周部の余剰領域を基に設定されている。また、従来の剥離装置は、ウェハを保持するテーブルを有し、このテーブルに設けた吸引口等の吸引手段によって吸引することでウェハを保持するようになっている。ここで、図7Aに示すように、感熱接着性の接着剤を有する剥離用テープTを用いて接着シート91を剥離する場合、接着領域90に接着剤を溶着すると、接着剤は経時とともに硬化する傾向がある。このように硬化した剥離用テープTを引っ張って接着シート91の剥離を行うと、図7Bに示すように、剥離用テープTで引っ張られた接着領域90が面状に同時に起き上がろうとする。その結果、接着領域90に隣り合うウェハWの境界部分W1に作用する応力が大きくなってしまい、境界部分W1でウェハWが剥離用テープTとともに起き上がってしまう。さらに、ウェハWの起き上がりが大きくなると、場合によってはウェハWが割れてしまう可能性もあった。このようなウェハWの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域90のウェハWの中心に向かう径方向の長さ距離d0を短くすれば、解消されるが、ウェハWの全面から接着シート91を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープTが接着シート91から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。本発明の目的は、ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明のシート剥離装置は、一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を他方の面から保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、前記貼付手段は、前記接着シートの外縁に沿って所定長さを有する貼付領域を当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成して当該剥離用テープを当該接着シートに貼付可能に設けられ、前記移動手段による相対移動方向における剥離開始側位置に前記貼付領域の所定長さ方向一端部を位置させ、当該貼付領域の一端部から前記接着シートの剥離を開始させる剥離開始位置決定手段を備える、という構成を採用している。この際、本発明のシート剥離装置では、前記貼付領域の一端部を検出する検出手段を備えることが好ましい。また、本発明のシート剥離装置では、前記接着シートは、所定径の円形形状とされ、前記剥離用テープは、前記接着シートの径よりも小さな所定幅の帯状体とされており、前記剥離開始位置決定手段は、前記接着シートの径と前記剥離用テープの幅とに基づいて前記貼付領域の一端部の位置を算出可能に構成されていることが好ましい。さらに、前記接着シートは、所定径の円形形状とされ、前記貼付手段は、所定幅の貼付部材を備えており、前記剥離開始位置決定手段は、前記接着シートの径と前記貼付部材の幅とに基づいて前記貼付領域の一端部の位置を決定可能に構成されていてもよい。また、前記剥離開始位置決定手段は、前記被着体の一方の面内で前記保持手段と移動手段とを相対回転させる回転手段を備えることが好ましい。一方、本発明のシート剥離方法は、一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、他方の面から前記被着体を保持して前記剥離用テープを繰出し、前記接着シートの外縁に沿って所定長さを有する貼付領域を当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成して当該剥離用テープを当該接着シートに貼付し、前記貼付領域の所定長さ方向一端部を剥離開始側に位置させてから、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて当該貼付領域の一端部から前記接着シートの剥離を開始することを特徴とする。以上のような本発明によれば、貼付領域の長さ方向一端部を剥離の始点として接着シートの剥離を開始することで、貼付領域の全体面積と比較して相対的に小さな面積となる貼付領域の一端部角や点を剥離の切っ掛けとし、この切っ掛け部分における接着シートを被着体から確実に剥離することができる。その後、貼付領域の一端部から中央側に向かって剥離を継続する、つまり貼付領域の長さ方向に沿うかまたは長さ方向に傾斜した方向に剥離することで、貼付領域が面として接着シートを引っ張ってしまうことによる被着体端部の起き上がりを抑制することができ、被着体の起き上がりや割れを防止しつつ、接着シートを被着体から確実かつ円滑に剥離することができる。さらに、検出手段によって貼付領域の一端部を検出するか、接着シートの径と剥離用テープの幅とに基づいて貼付領域の一端部の位置を算出するか、または接着シートの径と貼付部材の幅に基づいて貼付領域の一端部の位置を算出することによって、正確に剥離開始位置を設定することができる。また、回転手段を有することで、繰出手段や貼付手段などの各部に複雑な機構を設けなくても、貼付領域の一端部を剥離開始側に確実に位置させることができ、装置の複雑化や大型化を防止しつつ迅速かつ確実に接着シートを剥離することができる。以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を基準としている。図1において、シート剥離装置1は、被着体としてのウェハWの表面に貼付された接着シートSを剥離用テープTを用いて剥離する装置であって、ウェハWを保持する保持手段であるテーブル2と、剥離用テープTを繰出す繰出手段3と、繰出された剥離用テープTを接着シートSに貼付する貼付手段4と、ウェハWと剥離用テープTとを相対移動させる移動手段5とを備えて構成されている。ここで、ウェハWは、例えば、内周部が薄く研削されるとともに、その一方の面上面に回路が形成された半導体ウェハであり、ウェハWの外周部にリング状の凸部WAが形成されている。テーブル2は、図示しない吸引口を介してウェハWの凸部WAを他方の面下面から吸着保持する平板状のテーブル本体21と、このテーブル本体21の下側に設けられる支持部22とを備えて構成されている。繰出手段3は、図示しない離脱装置に支持されて上下方向に移動可能に設けられたフレーム31と、このフレーム31に設けられた支持ローラ32およびガイドローラ33,34と、フレーム31下部に設けられて剥離用テープTを下方から支持するテープ支持部35と、剥離用テープTを把持する一対の把持爪36を含むチャック部材37と、テープ支持部35の上方に設けられて繰り出された剥離用テープTを切断するテープ切断部38とを備えて構成されている。剥離用テープTは、感熱接着性の接着テープであり、ロール状に巻取られた状態で支持ローラ32に支持されている。テープ支持部35は、フレーム31に固定されるブッシュ351と、このブッシュ351に進退自在に支持されるロッド352と、このロッド352の先端に固定されるとともにカッター溝353を有するテープ受け板354と、テープ受け板354をブッシュ351から突出する方向に付勢するコイルばね355とを有して構成されている。テープ切断部38は、剥離用テープTを切断するカッター刃381と、剥離用テープTを切断する際にカッター刃381を上下方向に駆動させて当該カッター刃381をカッター溝353内に案内する駆動機器である上下用シリンダ382と、カッター刃381を図1中紙面直交方向に駆動して剥離用テープTを切断する駆動機器である切断用シリンダ383とを有して構成されている。貼付手段4は、図示しないフレームに支持されて繰出手段3の左側に設けられている。この貼付手段4は、図示しない駆動機器である押圧用モータの出力軸41の下端部に設けられる押圧ヘッド42と、この押圧ヘッド42下端の押圧面部43を加熱するヒータ44とを備えて構成されている。押圧ヘッド42は、図2,に示すように、押圧面部43がウェハWの外周縁に沿って剥離用テープTを接着シートSの端部に押圧して貼付し、このように貼付された剥離用テープTと接着シートSとの間には、接着シートSの外縁に沿った所定の長さLaを有する貼付領域Rが形成されるようになっている。移動手段5は、繰出手段3の紙面奥側に設けられた駆動機器である単軸ロボット51、およびそのスライダ52と、テーブル2の下方に設けられた駆動機器である単軸ロボット53、およびそのスライダ54とから構成されている。単軸ロボット51は、図示しない駆動機器に支持されて上下方向に移動可能とされている。スライダ52には、駆動機器としてのチャック部材37が取り付けられ、このスライダ52は、左右方向に移動可能とされるとともに、スライダ54には、テーブル2の支持部22が固定され、このスライダ54は、左右方向に移動可能とされる。これにより、チャック部材37が接着シートSに貼付された剥離用テープTを把持してウェハWとの相対移動を可能とし、この相対移動方向が接着シートSの剥離方向Aとなる。また、テーブル2のテーブル本体21と支持部22との間には、駆動機器としての回動モータ等の回転手段6が設けられ、この回転手段6は、ウェハWの表面と同一面内でテーブル本体21を回転移動可能に支持するものである。なお、回転手段6の回転軸とウェハWの中心とが合致するようにウェハWは保持されている。また、貼付手段4の近傍には、図示しないフレームに支持されたカメラや光学センサ等の検出手段としての位置センサ7が設けられている。この位置センサ7は、図2に示すように、ウェハWの中心Cを通る剥離方向Aに平行な直線CL上に設けられ、貼付領域Rの長さ方向一端部である接着シートSの外縁に沿った角部Pの位置が直線CL上に位置したことを検出可能に設けられている。制御手段8は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等で構成され、シート剥離装置1の全体的な動作を制御可能に設けられており、この制御手段8によって、剥離開始位置決定手段が構成されている。次に、本実施形態における接着シートSの剥離方法として、シート剥離装置1の動作を図2~図4も参照して説明する。ウェハWから接着シートSを剥離する手順としては、先ず、図1に示すように、ウェハWをテーブル2の所定位置に保持するとともに、シート剥離装置1の各部を初期位置設定した状態において、テープ切断部38および貼付手段4が上方に移動して退避してから、単軸ロボット51を介してチャック部材37が繰出手段3に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪36がテープ受け板354に当接すると、テープ受け板354をブッシュ351方向に押し込み、剥離用テープTの先端を上下の把持爪36間に受け入れる。そして、チャック部材37は、把持爪36を閉じて剥離用テープTの先端を把持するとともに、剥離用テープTを把持したまま繰出手段3から離れる方向に移動し、剥離用テープTを所定長さ引き出して停止することで、繰出手段3から剥離用テープTを繰出す。次に、図2,に示すように、貼付手段4は、押圧用モータを作動させて押圧ヘッド42を押し下げ、押圧ヘッド42の押圧面部43で剥離用テープTの中間部を接着シートSに押圧する。この際、押圧面部43は、ヒータ44により加熱され、剥離用テープTの貼付領域Rを接着シートSに貼付する。この際、接着される貼付領域Rは、接着シートSの外周端縁に沿った押圧面部43の幅Laと同一の所定長さを有して形成され、剥離方向右側へ向かう方向に沿った貼付幅は、接着シートSの外端から約1mmに設定されている。剥離用テープTを接着シートSに貼付したら、テープ切断部38が上下用シリンダ382によってカッター刃381をカッター溝353内に下降させ、切断用シリンダ383を駆動してカッター刃381によって剥離用テープTを切断してから、貼付手段4は、押圧用モータを作動させて押圧ヘッド42を上昇させる。次に、制御手段8は、回転手段6に指令を出力してテーブル本体21を回転させ、位置センサ7で貼付領域Rの一端側図2の上側で接着シートSの外縁側の角部Pを検出したところでテーブル本体21の回転を停止させ、図3に示すように、角部Pを左側端の剥離開始位置に移動させる。次いで、繰出手段3および貼付手段4を上方に退避させた後、単軸ロボット51は、剥離用テープTの先端を把持した状態のチャック部材37を剥離方向Aの右方向に移動させ、図3に示すように、角部Pを始点とした剥離を可能とするように剥離用テープTを折り返す。次に、図3および図4に示すように、単軸ロボット51、53が同期して、ウェハWと剥離用テープTとを同時に同速度で反対方向、つまり、テーブル2を左方向に、チャック部材37を右方向に移動させることで、接着シートSを順次ウェハWから剥離していき、接着シートS全体を剥離する。この後、剥離した接着シートSが接着された剥離用テープTをチャック部材37から離脱させて回収するとともに、接着シートSを剥離したウェハWを適宜な搬送装置でテーブル2から搬出し、シート剥離装置1の各部を初期位置に復帰させて接着シートSの剥離手順が完了する。以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。すなわち、角部Pを始点として貼付領域Rを引っ張って接着シートSの端部をウェハWから剥離することで、剥離用テープTとともにウェハWが起き上がることを抑制することができ、接着シートSの端部をウェハWから確実に剥離することができる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は前記記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され且つ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状などの詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は本発明に含まれるものである。例えば、前記実施形態では、位置センサ7によって貼付領域Rの角部Pを検出する場合を説明したが、接着シートSの径半径rと押圧ヘッド42の幅とに基づいて貼付領域Rの一端部の位置を算出し、算出した一端部の位置に応じて回転手段6のテーブル本体21を回転させる角度θが算出されてもよい。具体的には、制御手段8は、既知の接着シートSの半径rと、接着シートSの外縁に沿った押圧面部43の幅Laとに基づき、以下の式1によって角度θを算出し、この角度θだけ回転手段6によってテーブル本体21を回転させればよい。θ=sin1La/2r...1また、押圧ヘッド42の幅が剥離用テープTの幅以上の場合には、図5および図6に示すように、接着シートSの半径rと剥離用テープT1,T2,T3の幅L1,L2,L3とに基づいて貼付領域R1,R2,R3の一端部P1,P2,P3の位置を算出し、角度θ1,θ2,θ3を算出してもよい。具体的には、制御手段8は、剥離用テープT1,T2,T3ごとに、その幅LiL1,L2,L3に基づき、以下の式2によって角度θiθ1,θ2,θ3を算出し、算出した角度θiだけ回転手段6によってテーブル本体21を回転させればよい。すなわち、例えば、図6に示すように、剥離用テープT2であれば、その幅L2と接着シートSの半径rとに基づいて算出した角度θ2だけテーブル本体21を回転させる。なお、テーブル本体21の回転角度θを算出させる場合でも、位置センサ7を併用し、角部Pを確実に剥離開始位置に移動させるようにしてもよい。θi=sin1Li/2r...2また、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハである場合を示したが、被着体は半導体ウェハWに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示でき、この被着体に貼付された接着シートシート、フィルム、テープ等を剥離する剥離装置や剥離方法にも本発明を適用することができる。また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の剥離用テープTを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートSを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。さらに、繰出手段として、帯状の剥離用テープTを供給するように図示、説明したが、剥離用テープTは帯状のものに限らず、例えば、剥離用テープTを適宜な長さにカットした枚葉のテープを採用してもよい。また、前記実施形態では、ウェハWと剥離用テープTとの両方を移動させて相対移動させる移動手段5を構成したが、これに限らず、ウェハWと剥離用テープTとのいずれか一方のみを移動させるように構成してもよい。さらに、テーブル本体21を固定しておいて移動手段5をウェハWの表面と同一面内で回転移動させてもよいし、それら両方を回転移動させてもよい。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。"