"角速度検出素子の出力信号に基づいて角速度の大きさに応じた角速度信号を生成する角速度検出回路であって、前記角速度検出素子の出力信号に含まれる角速度成分を検波する検波部と、前記検波部の出力信号に基づいて前記角速度信号を生成する角速度信号生成部と、を含み、前記角速度信号生成部は、前記角速度検出素子の検出感度に応じて前記角速度信号の電圧範囲を調整する感度調整部と、前記感度調整部の後段に設けられ、前記角速度信号の電圧を所望の範囲に制限する電圧制限部と、を含む、角速度検出回路。請求項1において、前記電圧制限部は、反転増幅器である、角速度検出回路。請求項1又は2において、前記角速度信号生成部は、前記電圧制限部の後段に設けられたフィルター部をさらに含む、角速度検出回路。請求項1又は2において、前記角速度信号生成部は、前記検波部の後段かつ前記電圧制限部の前段に設けられたフィルター部をさらに含む、角速度検出回路。請求項1乃至4のいずれかにおいて、前記感度調整部の基準電位と前記電圧制限部の基準電位が同じである、角速度検出回路。請求項1乃至5のいずれかにおいて、前記電圧制限部のゲインの絶対値が1である、角速度検出回路。請求項1乃至6のいずれかに記載の角速度検出回路を含む、集積回路装置。請求項7に記載の集積回路装置と、角速度検出素子と、を含む、角速度検出装置。ところで、角速度データを用いるアプリケーションの種類によっては、±数百dpsdegsecの広い検出範囲を有するジャイロセンサーが要求される場合がある。一方、ジャイロセンサーの後段の装置での入力電圧の許容範囲の制約等の様々な事情から、ジャイロセンサーの出力電圧を所望の範囲に制限したい場合がある。ところが、基準電圧アナロググランド電圧や感度など各パラメーターのばらつきや電源電圧の変動を加味すると、ジャイロセンサーの出力電圧を所望の範囲に制限するためには、検出範囲を狭くして多くのマージンを確保しなければならず、有効な検出範囲を広く確保することが難しかった。本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な角速度検出回路、集積回路装置及び角速度検出装置を提供することができる。1本発明は、角速度検出素子の出力信号に基づいて角速度の大きさに応じた角速度信号を生成する角速度検出回路であって、前記角速度検出素子の出力信号に含まれる角速度成分を検波する検波部と、前記検波部の出力信号に基づいて前記角速度信号を生成する角速度信号生成部と、を含み、前記角速度信号生成部は、前記角速度検出素子の検出感度に応じて前記角速度信号の電圧範囲を調整する感度調整部と、前記感度調整部の後段に設けられ、前記角速度信号の電圧を所望の範囲に制限する電圧制限部と、を含む。本発明の角速度検出回路によれば、電圧制限部を設けることで、基準電圧や感度など各パラメーターのばらつきや電源電圧の変動を考慮した過大なマージンを確保しなくてもよいので、有効な検出範囲を不要に狭くする必要がない。また、本発明の検出回路によれば、電圧制限部を感度調整部の後段に設けているので、角速度検出素子の特性に応じて感度調整を行った後、感度調整がされた信号に対して出力電圧を所望の範囲に制限することができる。角速度検出素子の特性ばらつきによらず、所望の検出範囲内でできるだけ広い検出範囲を確保することができる。2この角速度検出回路において、前記電圧制限部は、反転増幅器であるようにしてもよい。反転増幅器の基準電位をVref、反転増幅器のゲインをGG<0、グランド電位をVgndとすると、反転増幅器の出力電圧Voの下限はVgndに制限され、上限は-G×Vref-VgndVrefに制限される。従って、電圧制限部を反転増幅器で実現することで、反転増幅器の入力電圧が規定の範囲を超えても出力電圧範囲を制限することができる。3この角速度検出回路において、前記角速度信号生成部は、前記電圧制限部の後段に設けられたフィルター部をさらに含むようにしてもよい。4この角速度検出回路において、前記角速度信号生成部は、前記検波部の後段かつ前記電圧制限部の前段に設けられたフィルター部をさらに含むようにしてもよい。5この角速度検出回路において、前記感度調整部の基準電位と前記電圧制限部の基準電位が同じであるようにしてもよい。6この角速度検出回路において、前記電圧制限部のゲインの絶対値が1であるようにしてもよい。例えば、電圧制限部が反転増幅器であれば、当該反転増幅器のゲインが-1であるようにしてもよい。反転増幅器の基準電位をVref、反転増幅器のゲインを-1、グランド電位をVgndとすると、反転増幅器の出力電圧Voの下限はVgndに制限され、上限は2×Vref-Vgndに制限される。すなわち、反転増幅器の出力電圧の上限と下限を基準電位に対して対称にすることができる。7本発明は、上記のいずれかの角速度検出回路を含む、集積回路装置である。8本発明は、上記の集積回路装置と、角速度検出素子と、を含む、角速度検出装置である。以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。1.角速度検出装置図1は、本実施形態の角速度検出装置の機能ブロック図である。本実施形態の角速度検出装置1は、角速度検出素子4と角速度検出用IC集積回路装置2を含んで構成されている。本実施形態の角速度検出素子4は、2本のT型の駆動振動腕とともにその間に1本の検出振動腕を有するいわゆるダブルT型の水晶振動片に2つの駆動電極と2つの検出電極が形成され、不図示のパッケージに封止されている。ただし、角速度検出素子4の振動片は、ダブルT型でなくてもよく、例えば、音叉型やくし歯型であってもよいし、三角柱、四角柱、円柱状等の形状の音片型であってもよい。また、角速度検出素子4の振動片の材料としては、水晶SiO2の代わりに、例えば、タンタル酸リチウムLiTaO3、ニオブ酸リチウムLiNbO3等の圧電単結晶やジルコン酸チタン酸鉛PZT等の圧電セラミックスなどの圧電性材料を用いてもよいし、シリコン半導体を用いてもよい。また、例えば、シリコン半導体の表面の一部に、駆動電極に挟まれた酸化亜鉛ZnO、窒化アルミニウムAlN等の圧電薄膜を配置した構造であってもよい。角速度検出素子4の2本の駆動振動腕は、駆動信号として交流電圧信号が与えられると、逆圧電効果によって、互いの先端が接近と離間を繰り返す屈曲振動励振振動をする。この2本の駆動振動腕の屈曲振動の振幅が等しければ、2本の駆動振動腕は検出振動腕に対して常に線対称な関係で屈曲振動をするので、検出振動腕は振動を起こさない。この状態で、角速度検出素子4の励振振動面に垂直な軸を回転軸とする角速度が加わると、2本の駆動振動腕は、屈曲振動の方向と回転軸の両方に垂直な方向にコリオリの力を得る。その結果、2本の駆動振動腕の屈曲振動の対称性が崩れ、検出振動腕は、バランスを保つように屈曲振動をする。このコリオリ力に伴う検出振動腕の屈曲振動と駆動振動腕の屈曲振動励振振動とは位相が90°ずれている。ただし、実際には、コリオリ力が加わっていなくても2本の駆動振動腕の屈曲振動の振幅がわずかに異なるため、検出振動腕はバランスを保つようにわずかに屈曲振動をする。この屈曲振動は漏れ振動と呼ばれ、駆動信号とは同位相である。そして、圧電効果によってこれらの屈曲振動に基づく逆位相位相が180°異なるの交流電荷が2つの検出電極に発生する。コリオリ力に基づいて発生する交流電荷は、コリオリ力の大きさ言い換えれば、角速度検出素子4に加わる角速度の大きさに応じて変化するのに対して、漏れ振動に基づいて発生する交流電荷は、角速度検出素子4に加わる角速度の大きさに関係せず一定である。角速度検出素子4の2つの駆動電極は、それぞれ角速度検出用IC2のDS端子とDG端子に接続されている。また、角速度検出素子4の2つの検出電極は、それぞれ角速度検出用IC2のS1端子とS2端子に接続されている。本実施形態の角速度検出用IC2は、電源回路10、駆動回路20、検出回路角速度検出回路30、基準回路40、不揮発メモリー50、シリアルインターフェース回路60を含んで構成されている。なお、本実施形態の角速度検出用IC2は、これらの一部の構成要素を省略したり、他の構成要素を追加した構成としてもよい。電源回路10は、VDD端子,VSS端子からそれぞれ電源電圧VDD例えば3Vとグランド電圧GND0Vが供給され、角速度検出用IC2の内部の電源電圧を生成する。基準回路40は、電源回路10が生成する電源電圧から基準電位Vrefアナロググランド電圧などの定電圧や定電流を生成し、駆動回路20や検出回路30に供給する。駆動回路20は、角速度検出素子4を励振振動させるための駆動信号を生成し、DS端子を介して角速度検出素子4の一方の駆動電極に供給する。また、駆動回路20は、角速度検出素子4の励振振動により他方の駆動電極に発生する駆動電流水晶電流がDG端子を介して入力され、この駆動電流の振幅が一定に保持されるように駆動信号の振幅レベルをフィードバック制御する。また、駆動回路20は、検出回路30に含まれる同期検波回路の参照信号やスイッチトキャパシタフィルターSCFのクロック信号を生成する。検出回路30は、S1端子とS2端子を介して、角速度検出素子4の2つの検出電極の各々に発生する交流電荷検出電流がそれぞれ入力され、これらの交流電荷検出電流に含まれる角速度成分のみを検出し、角速度の大きさに応じた電圧レベルの信号角速度信号を生成し、VO端子を介して外部に出力する。この角速度信号は、例えば、VO端子に接続された不図示のマイクロコンピューターにおいてA/D変換され、角速度データとして種々の処理に用いられる。なお、本実施形態の角速度検出用IC2にA/D変換器を内蔵し、角速度を表すデジタルデータを、例えばシリアルインターフェース回路60を介して外部に出力するようにしてもよい。不揮発メモリー50は、駆動回路20や検出回路30に対する各種の調整データを保持し、例えば、EEPROMElectricallyErasableProgrammableReadOnlyMemoryとして構成することができる。シリアルインターフェース回路60は、CLK端子とDATA端子を介して、それぞれクロック信号とシリアルデータ信号による2線論理で不揮発メモリー50に対する調整データの書き込みや読み出しの処理などを行う。なお、不揮発メモリー50にデータを書き込む際は、メモリー素子に保持されているデータを反転させるのに十分なエネルギーを供給するため、VPP端子を介して高電源電圧例えば15V以上が供給される。2.角速度検出回路2-1.第1実施形態図2は、第1実施形態の検出回路角速度検出回路30の構成例を示す図である。図2に示すように、第1実施形態の検出回路30は、チャージアンプQVアンプ300,302、差動アンプ310、ハイパスフィルター320、ACアンプ330、同期検波回路340、オフセット調整DAC342、ローパスフィルター350、可変ゲインアンプPGA:ProgrammableGainAmp360、電圧制限回路370、スイッチトキャパシタフィルターSCF380を含んで構成されている。なお、本実施形態の検出回路30は、これらの一部の構成要素を省略したり、他の構成要素を追加した構成としてもよい。チャージアンプ300には、S1端子を介して角速度検出素子4の一方の検出電極第1の検出電極から角速度成分と振動漏れ成分を含む交流電荷が入力される。同様に、チャージアンプ302には、S2端子を介して角速度検出素子4の他方の検出電極第2の検出電極から角速度成分と振動漏れ成分を含む交流電荷が入力される。このチャージアンプ300及び302は、それぞれ入力された交流電荷を交流電圧信号に変換する。チャージアンプ300の出力信号とチャージアンプ302の出力信号の位相は互いに逆位相である180°ずれている。差動アンプ310は、チャージアンプ300の出力信号とチャージアンプ302の出力信号を差動増幅する。差動アンプ310により、同相成分はキャンセルされ、逆相成分は加算増幅される。ハイパスフィルター320は、差動アンプ310の出力信号に含まれる直流成分をキャンセルし、ACアンプ330は、ハイパスフィルター320の出力信号をAC増幅する。同期検波回路340は、ACアンプ330の出力信号に含まれる角速度成分を、駆動回路20が生成する参照信号SDETで同期検波する。同期検波回路340は、例えば、参照信号SDETの電圧レベルがアナロググランド電圧よりも高い時はACアンプ330の出力信号をそのまま選択し、参照信号SDETの電圧レベルがアナロググランド電圧よりも低い時はACアンプ330の出力信号をアナロググランド電圧に対して反転した信号を選択するスイッチ回路として構成することができる。ACアンプ330の出力信号には角速度成分と振動漏れ成分が含まれているが、この角速度成分は参照信号SDETと同位相であるのに対して、振動漏れ成分は逆位相である。そのため、同期検波回路340により角速度成分は検波されるが、振動漏れ成分は検波されないようになっている。また、同期検波回路340では、オフセット調整DAC342の出力電圧に応じたオフセット調整0点調整が行われる。オフセット調整DAC342は、不揮発メモリー50に記憶されたオフセット調整データが入力され、オフセット調整データに応じた電圧を出力する。検査工程において、角速度検出素子4の特性に応じたオフセット調整データを求めて不揮発メモリー50に記憶させておくことで、角速度検出素子4の特性ばらつきを吸収し、0点電圧が一定電圧例えばアナロググランド電圧になるようにオフセット調整を行うことができる。ローパスフィルター350は、同期検波回路340の出力信号に含まれる高周波成分参照信号SDET及びその高調波成分などを低減させるとともに仕様で決められる周波数範囲の信号を抽出して出力する。また、ローパスフィルター350は、後段のスイッチトキャパシタフィルターSCF380に対するプリフィルターとしても機能する。可変ゲインアンプ360は、不揮発メモリー50に記憶されたゲイン調整データが入力され、ローパスフィルター350の出力信号をゲイン調整データに応じて増幅又は減衰させて出力する。検査工程において、角速度検出素子4の特性に応じたゲイン調整データを求めて不揮発メモリー50に記憶させておくことで、角速度検出素子4の特性ばらつきを吸収し、角速度の検出範囲が一定になるように感度調整を行うことができる。電圧制限回路370は、VO端子を介して外部に出力される角速度信号の電圧レベルが所望の範囲を超えないように制限する。スイッチトキャパシタフィルターSCF380フィルターの一例は、駆動回路20が生成するクロック信号SCFCLKに基づいて電圧制限回路370の出力信号をローパス処理する。本実施形態では、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号が角速度信号としてVO端子から出力される。なお、本実施形態では、同期検波回路340が検波部に相当する。また、ローパスフィルター350、可変ゲインアンプPGA:ProgrammableGainAmp360、電圧制限回路370及びスイッチトキャパシタフィルターSCF380を含む回路部分が、角速度信号生成部に相当する。また、可変ゲインアンプPGA360と電圧制限回路370は、それぞれ、感度調整部と電圧制限部に相当する。図3は、可変ゲインアンプPGA360の構成例を示す図である。図3に示すように、可変ゲインアンプPGA360は、例えば、演算増幅器オペアンプ362の出力端子と基準電位Vrefの間に2つの可変抵抗364,366を直列に接続し、可変抵抗364,366の接続点と、演算増幅器オペアンプ362の非反転入力端子入力端子とを接続し、演算増幅器オペアンプ362の反転入力端子-入力端子に入力信号ローパスフィルター350の出力信号を供給することで実現することができる。そして、演算増幅器オペアンプ362の出力信号が電圧制限回路370に入力される。可変抵抗364,366は、例えば、演算増幅器オペアンプ362の出力端子と基準電位Vrefの間に複数の抵抗を直列に接続し、抵抗間の各接続点と演算増幅器オペアンプ362の非反転入力端子入力端子との間にそれぞれスイッチを接続し、ゲイン調整データに応じて各スイッチの開閉を制御することで実現することができる。図4は、電圧制限回路370の構成例を示す図である。図4に示すように、電圧制限回路370は、例えば、演算増幅器オペアンプ372の反転入力端子-入力端子と演算増幅器オペアンプ372の出力端子の間に抵抗376を接続し、演算増幅器オペアンプ372の非反転入力端子入力端子を基準電位Vrefに接続し、抵抗374を介して演算増幅器オペアンプ372の反転入力端子-入力端子に入力信号可変ゲインアンプ360の出力信号を供給することで、反転増幅器反転増幅型のDCアンプとして実現することができる。そして、演算増幅器オペアンプ372の出力信号がスイッチトキャパシタフィルターSCF380に入力される。図4の抵抗374の抵抗値をR1、抵抗376の抵抗値をR2、可変ゲインアンプ360の出力電圧をVPGAOとすると、電圧制限回路370反転増幅器の出力電圧VDCOは、次式1で表される。VPGAO≧GND0Vなので、式1より、VPGAO=GND0Vの時にVDCOが最大となり、VDCOの最大値は次式2で与えられる。一方、VPGAO≦VDDなので、VPGAO=VDDの時にVDCOが最小となり、VDCOの最小値は次式3で与えられる。ただし、VDCOはGND0Vよりも低くはなり得ないので、VDD≧R1R2/R2×Vrefの時は、VDCOの最小値はGND0Vである。以上より、VDCOは、GND0V~R2/R11×Vrefの範囲に制限される。なお、電圧制限回路370のゲインの絶対値を1反転増幅器のゲイン-R2/R1を-1とすると、VDCOの範囲はGND0V~2Vrefとなり、上限と下限を基準電位Vrefに対して対称にすることができる。スイッチトキャパシタフィルターSCF380のゲインをGSCF>0とすると、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力電圧VSCFOは、次式4で表される。VDCOはGND0V~R2/R11×Vrefの範囲であるから、式4より、VDCO=R2/R11×Vrefの時にVSCFOが最大となり、VSCFOの最大値は次式5で与えられる。一方、VDCO=GND0Vの時にVSCFOが最小となり、VSCFOの最小値は次式6で与えられる。ただし、VSCFOはGND0Vよりも低くはなり得ないので、GSCF>1の時は、VSCFOの最小値はGND0Vである。スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号が角速度信号になるので、検出回路30の出力電圧角速度信号の電圧は、GND0V~R2/R1×GSCF1×Vrefの範囲に制限される。なお、電圧制限回路370のゲインの絶対値を1反転増幅器のゲイン-R2/R1を-1、スイッチトキャパシタフィルターSCF380のゲインGSCFを1とすると、検出回路30の出力電圧角速度信号の電圧の範囲はGND0V~2Vrefとなり、上限と下限を基準電位Vrefに対して対称にすることができる。次に、具体的な波形の例を示して、角速度検出回路30の出力電圧が電源電圧に関係なく所望の範囲に制限されることを説明する。図5及び図6は、角速度を正弦関数に従って所定範囲でゆっくりと数Hz~数十Hzで変化させながら角速度検出素子4に印加した場合の、可変ゲインアンプ360、電圧制限回路370、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号波形の一例を示す図である。図5及び図6の例では、ともに、電圧制限回路370反転増幅器のゲイン=-1、スイッチトキャパシタフィルターSCF380のゲイン=1、Vref=V1/2に設定されている。図5の例では、VDDが規定の電圧値V1と一致しており、角速度検出素子4の検出信号を受けて、可変ゲインアンプ360の出力PGAOの信号波形は、振幅がV1/2の正弦波になっている。電圧制限回路370の出力DCOの信号波形は、Vrefを基準として可変ゲインアンプ360の出力信号を反転した正弦波可変ゲインアンプ360の出力信号と逆相で振幅がV1/2の正弦波となる。その結果、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力、すなわち、VO端子の信号波形角速度信号の波形は、電圧制限回路370の出力信号と同相で振幅がV1/2の正弦波となる。このように、VDDが規定の電圧値V1と一致する場合、角速度信号の電圧は必ずGND0V~V1の範囲に制限される。これに対して、図6の例では、角速度検出素子4に図5の例と同じ角速度が加わっているが、VDDが規定の電圧値V1を超えているため、可変ゲインアンプ360の出力PGAOの信号波形は、振幅がVDD-V1/2の正弦波がGND0Vでクリップした波形になっている。電圧制限回路370の出力DCOの信号波形は、可変ゲインアンプ360の出力電圧がGND0V~V1の範囲はVrefを基準として可変ゲインアンプ360の出力信号を反転した波形になり、可変ゲインアンプ360の出力電圧がV1~VDDの範囲はGND0Vにクリップされる。すなわち、電圧制限回路370の出力DCOの信号波形は、必ずGND0V~V1の範囲に制限される。従って、VDDが規定の電圧値V1を超えた場合も、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力、すなわち、VO端子の信号波形角速度信号の波形も、必ずGND0V~V1の範囲に制限される。すなわち、図5及び図6の例から明らかなように、角速度検出回路30の出力電圧は、電源電圧に関係なく、必ず所望の範囲に制限される。以上に説明したように、本実施形態の角速度検出回路によれば、電圧制限回路370として反転増幅器を設けることで、基準電圧や感度など各パラメーターのばらつきや電源電圧の変動を考慮した過大なマージンを確保しなくてもよいので、有効な検出範囲を不要に狭くする必要がない。また、本実施形態の角速度検出回路によれば、電圧制限回路370を可変ゲインアンプPGA360の後段に設けているので、角速度検出素子4の特性に応じて感度調整を行った後、感度調整がされた信号に対して出力電圧を所望の範囲に制限することができる。従って、角速度検出素子4の特性ばらつきによらず、できるだけ広い検出範囲を確保することができる。また、本実施形態によれば、電圧制限回路370を反転増幅器で実現することで、入力電圧を上限電圧及び下限電圧と比較することで出力電圧範囲を制限するリミッター回路で実現する場合と比較して、回路面積や消費電力をより小さくすることができる。また、本実施形態によれば、テストモードで電圧制限回路370反転増幅器の入力を角速度検出用IC2の外部端子に接続し、当該外部端子から所望の入力信号を入力してVO端子の出力電圧範囲を容易に検査することができる。また、例えば、角速度の検出感度検出分解能を高めたい場合、検出回路30のトータルゲインを大きくする必要があり、可変ゲインアンプPGA360のゲインを大きくする方法が考えられる。しかし、可変ゲインアンプPGA360の2つの可変抵抗364,366は、一般的には、多数の抵抗と多数のスイッチで実現されるため、可変ゲインアンプPGA360のゲインを大きくするためには各抵抗の抵抗値を大きくする必要がある。そのため、この方法では回路面積が大幅に増加してしまう。これに対して、本実施形態では、電圧制限回路370として反転増幅器を設けており、この反転増幅器のゲインをN倍抵抗376と抵抗374の抵抗比R2/R1をN倍にすることで、検出回路30のトータルゲインを大きくすることができる。これにより、可変ゲインアンプPGA360のゲインを大きくする場合と比較して、回路面積の増加を小さく抑えながら、角速度の検出感度検出分解能を高めることができる。2-2.第2実施形態図7は、第2実施形態の検出回路角速度検出回路30の構成例を示す図である。図2に示すように、第2実施形態の検出回路30は、第1実施形態と同様に、チャージアンプQVアンプ300,302、差動アンプ310、ハイパスフィルター320、ACアンプ330、同期検波回路340、オフセット調整DAC342、ローパスフィルター350、可変ゲインアンプPGA:ProgrammableGainAmp360、電圧制限回路370、スイッチトキャパシタフィルターSCF380を含んで構成されている。なお、本実施形態の検出回路30は、これらの一部の構成要素を省略したり、他の構成要素を追加した構成としてもよい。第2実施形態の検出回路30では、可変ゲインアンプ360の出力にスイッチトキャパシタフィルターSCF380が接続され、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力に電圧制限回路370が接続され、電圧制限回路370の出力信号が角速度信号となり、VO端子を介して外部に出力される。すなわち、第2実施形態の検出回路30は、電圧制限回路370とスイッチトキャパシタフィルターSCF380の接続順が第1実施形態と異なり、その他の構成は第1実施形態と同じである。第2実施形態の検出回路30では、スイッチトキャパシタフィルターSCF380のゲインをGSCF>0とすると、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力電圧VSCFOは、次式7で表される。電圧制限回路370反転増幅器の出力電圧VDCOは、次式8で表される。式7に式8を代入すると、次式9が得られる。VPGAO≧GND0Vなので、式9より、VPGAO=GND0Vの時にVDCOが最大となり、VDCOの最大値は次式10で与えられる。一方、VPGAO≦VDDなので、VPGAO=VDDの時にVDCOが最小となり、VDCOの最小値は次式11で与えられる。ただし、VDCOはGND電位0Vよりも低くはなり得ないので、VDD≧R1R2/R2×GSDF×Vrefの時は、VDCOの最小値はGND電位0Vである。本実施形態では、電圧制限回路370反転増幅器の出力信号が角速度信号になるので、検出回路30の出力電圧角速度信号の電圧は、GND0V~R2/R1×GSCF1×Vrefの範囲に制限される。なお、電圧制限回路370のゲインの絶対値を1反転増幅器のゲイン-R2/R1を-1、スイッチトキャパシタフィルターSCF380のゲインGSCFを1とすると、検出回路30の出力電圧角速度信号の電圧の範囲はGND0V~2Vrefとなり、上限と下限を基準電位Vrefに対して対称にすることができる。次に、具体的な波形の例を示して、角速度検出回路30の出力電圧が電源電圧に関係なく所望の範囲に制限されることを説明する。図8及び図9は、角速度を正弦関数に従って所定範囲でゆっくりと数Hz~数十Hzで変化させながら角速度検出素子4に印加した場合の、可変ゲインアンプ360、スイッチトキャパシタフィルターSCF380、電圧制限回路370の出力信号波形の一例を示す図である。図8及び図9の例では、ともに、スイッチトキャパシタフィルターSCF380のゲイン=1、電圧制限回路370反転増幅器のゲイン=-1、Vref=V1/2に設定されている。図8の例では、VDDが規定の電圧値V1と一致しており、角速度検出素子4の検出信号を受けて、可変ゲインアンプ360の出力PGAOの信号波形は、振幅がV1/2の正弦波になっている。スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力SCFOの信号波形は、可変ゲインアンプ360の出力信号と同相で振幅がV1/2の正弦波となる。その結果、電圧制限回路370の出力DCO、すなわち、VO端子の信号波形角速度信号の波形は、Vrefを基準としてスイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号を反転した正弦波スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号と逆相で振幅がV1/2の正弦波となる。このように、VDDが規定の電圧値V1と一致する場合、角速度信号の電圧は必ずGND0V~V1の範囲に制限される。これに対して、図9の例では、角速度検出素子4に図8の例と同じ角速度が加わっているが、VDDが規定の電圧値V1を超えているため、可変ゲインアンプ360の出力PGAOの信号波形は、振幅がVDD-V1/2の正弦波がGND0Vでクリップした波形になっている。同様に、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力SCFOの信号波形も、振幅がVDD-V1/2の正弦波がGND0Vでクリップした波形になっている。電圧制限回路370の出力DCO、すなわち、VO端子の信号波形角速度信号の波形は、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力電圧がGND0V~V1の範囲はVrefを基準としてスイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号を反転した波形になり、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力電圧がV1~VDDの範囲はGND0Vにクリップされる。従って、VDDが規定の電圧値V1を超えた場合も、電圧制限回路370の出力DCO、すなわち、VO端子の信号波形角速度信号の波形は、必ずGND0V~V1の範囲に制限される。図10及び図11は、角速度を正弦関数に従って所定範囲でゆっくりと数Hz~数十Hzで変化させながら角速度検出素子4に印加した場合の、可変ゲインアンプ360、スイッチトキャパシタフィルターSCF380、電圧制限回路370の出力信号波形の他の一例を示す図である。図10及び図11の例では、ともに、電圧制限回路370反転増幅器のゲイン=-1、スイッチトキャパシタフィルターSCF380のゲイン=2、Vref=V1/2に設定されている。図10の例では、VDDが規定の電圧値V1と一致しており、角速度検出素子4の検出信号を受けて、可変ゲインアンプ360の出力PGAOの信号波形は、振幅がV1/4の正弦波になっている。スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力SCFOの信号波形は、可変ゲインアンプ360の出力信号と同相で振幅がV1/2の正弦波となる。その結果、電圧制限回路370の出力DCO、すなわち、VO端子の信号波形角速度信号の波形は、Vrefを基準としてスイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号を反転した正弦波スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号と逆相で振幅がV1/2の正弦波となる。このように、VDDが規定の電圧値V1と一致する場合、角速度信号の電圧は必ずGND0V~V1の範囲に制限される。これに対して、図11の例では、角速度検出素子4に図10の例と同じ角速度が加わっているが、電源電圧VDDが規定の電圧値V1を超えているため、可変ゲインアンプ360の出力PGAOの信号波形は、振幅がV1/4よりも大きい正弦波になっている。そのため、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力SCFOの信号波形は、正弦波がVDDとGNDでクリップした波形になっている。電圧制限回路370の出力DCO、すなわち、VO端子の信号波形角速度信号の波形は、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力電圧がGND0V~V1の範囲はVrefを基準としてスイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力信号を反転した波形になり、スイッチトキャパシタフィルターSCF380の出力電圧がV1~VDDの範囲はGND0Vにクリップされる。従って、VDDが規定の電圧値V1を超えた場合も、電圧制限回路370の出力DCO、すなわち、VO端子の信号波形角速度信号の波形は、必ずGND0V~V1の範囲に制限される。すなわち、図8及び図9の例、あるいは、図10及び図11の例から明らかなように、角速度検出回路30の出力電圧は、電源電圧やスイッチトキャパシタフィルターSCF380のゲインに関係なく、必ず所望の範囲に制限される。第2実施形態の角速度検出回路も、第1実施形態の角速度検出回路と同様の効果を奏する。本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、以下のような変形例が考えられる。例えば、角速度検出素子4は、圧電効果を利用して角速度を検出するものだけでなく、それ以外にも、例えば、静電容量の変化を利用して角速度を検出するものシリコンMEMSMicroElectroMechanicalSystems等であってもよく、角速度検出素子4の動作原理に合わせて角速度検出用ICの構成を適宜変更してもよい。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。"