ウエットエッチング処理対象物を配する内槽と、この内槽に沿ってその外方に設けられた外槽とを有するウエットエッチング処理槽において、前記内槽からオーバーフローして前記外槽へ流入する経路に溝を有することを特徴とするウエットエッチング処理槽。ウエットエッチング処理槽と、温度調節器と、薬液循環系を有するウエットエッチング装置において、前記ウエットエッチング処理槽は、ウエットエッチング処理対象物を配する内槽と、この内槽に沿ってその外方に設けられた外槽とを備え、前記内槽内でウエットエッチング対象物をエッチング液に浸漬してウエットエッチングし、前記内槽からオーバーフローして前記外槽へ流入する経路に溝を有することを特徴とする循環恒温式ウエットエッチング装置。しかしながら上記のような構成では、エッチング槽の内槽2から溢れたエッチング液が切り込み10から内槽外側壁面9を伝って外槽1に流れるが、切り込み10から流れる出るエッチング液は内槽外側壁面9を拡散して流れてしまうために、エッチング液が空気と接触する表面積が多くなってしまう。特に、エッチングレートを上げるために高温でエッチングを行う場合において、温調する際に空気と接触する表面積を小さくし外気等の影響を極力抑えないと安定したエッチングができないという問題点を有していた。また、長時間エッチングを行う場合、蒸発量が多くなってしまうと液面低下分の薬液補充などをしなければならないので、薬液コストが余計に掛かかる問題も有していた。本発明は、上記課題を鑑み、エッチング液の蒸発を抑制し温調し、均一にエッチングが出来る循環恒温式ウエットエッチング装置及びウエットエッチング処理槽を提供することを目的とする。ウエットエッチング処理対象物を配する内槽と、この内槽に沿ってその外方に設けられた外槽とを有するウエットエッチング処理槽において、前記内槽からオーバーフローして前記外槽へ流入する経路に溝を有するウエットエッチング処理槽とする。ウエットエッチング処理槽と、温度調節器と、薬液循環系を有する循環恒温式ウエットエッチング装置において、前記ウエットエッチング処理槽は、ウエットエッチング処理対象物を配する内槽と、該内槽に沿ってその外方に設けられた外槽とを備え、前記内槽内でウエットエッチング処理対象物をエッチング液に浸漬してウエットエッチングし、前記内槽からオーバーフローして前記外槽へ流入する経路に溝を有する循環恒温式ウエットエッチング装置とする。本発明によって、エッチング液の蒸発量を抑制し、エッチング液の温度を安定化させることができ、安定したエッチング処理が出来る循環恒温式ウエットエッチング装置及びウエットエッチング処理槽を提供することができる。以下、本発明を実施する為の最良の形態を図面を用いて説明する。図1は本実施例における循環恒温式ウエットエッチング装置のウエットエッチング処理槽構造を説明するための図である。循環恒温式ウエットエッチング装置の基本的な構成は、従来と同等であり、図2を用いて説明する。ウエットエッチング処理槽は2槽構造で、ウエットエッチング処理槽の外槽1、ウエットエッチング処理槽の内槽2からなる。7は測温抵抗体である。5はフィルタである。4は温調器で測温抵抗体7でウエットエッチング処理槽の内槽2内のエッチング液の温度を測定しエッチング液の温度を設定値に保つためにある。3はエッチング液を循環させる為のポンプであり、6の配管によってウエットエッチング処理槽の内槽2とウエットエッチング処理槽の外槽1に接続されている。以上のように構成された循環恒温式ウエットエッチング装置について、以下図1を用いてその動作を説明する。ウエットエッチング処理槽の内槽2、外槽1の2槽にエッチング液を、内槽2には上限まで、外槽1は循環可能な液量までの所定量満たしておく。次に循環恒温式ウエットエッチング装置の循環ポンプ3、温調器4を作動させる。このことによりウエットエッチング処理槽内のエッチング液は、おのずとフィルタ5を通り循環恒温することができる。この時、エッチング液の循環経路は、ウエットエッチング処理槽の内槽2からオーバーフローされ、切り込み10から内槽外側壁面溝8を通りウエットエッチング処理槽の外槽1へ到り循環する。従来の方式では、ウエットエッチング処理槽の内槽2よりオーバーフローによって切り込み10から内槽外側壁面9を通りウエットエッチング処理槽の外槽1へ循環するが、内槽外側壁面9を広がりながらエッチング液が流れるため、空気に触れる表面積が大きく放熱蒸発があり、エッチングレート変動が生じていた。これを解決する手段として、エッチング処理槽の内部に外槽に代わる穴を設け、内槽だけで循環する方式があるが、この場合循環する流量に応じ口径を大きくしなければならず、また加工するには不向きである。それに対して、本発明では、エッチング処理槽の内槽2よりオーバーフローされたものが選択的に内槽外側壁面溝8内を通りウエットエッチング処理槽の外槽1へ循環することで、空気に触れる面積を小さく抑えることができ、放熱蒸発量を抑制し安定したエッチング処理を行うことができる。上記構成において、処理槽に蓋を設け、密閉させてもよいこの場合、エッチング液を高温にすると内部圧力が高まってしまい処理槽破損の危険が伴うので、できるだけ外気の影響を受け難い状態が好ましい。また、オーバーフロー量と内槽外側壁面溝8を流れる量を予め考慮し、最適な溝口径を選定し設けるのが好ましい。