"磁気記録媒体に記録された情報を再生するための再生素子と、磁気記録媒体に情報を記録するための記録素子と、発熱抵抗体とを含み、前記再生素子及び前記記録素子が露出した磁気媒体対向面を有する磁気ヘッドであって、前記磁気媒体対向面を覆うように保護膜を形成し、磁気記録媒体が設けられた磁気記録再生装置の筐体の内部において、前記磁気媒体対向面を前記磁気記録媒体の表面と対向させ、前記磁気記録媒体を回転させるとともに、給電により前記発熱抵抗体を発熱させ、この発熱による熱膨張によって、前記保護膜と前記磁気記録媒体が接触するように前記磁気媒体対向面を膨出させて、前記保護膜のうち、前記再生素子と前記記録素子の少なくとも一方を覆う部位を削り取って除去することにより得られる磁気ヘッド。請求項1に記載された磁気ヘッドであって、さらに、前記保護膜に隣接した抵抗素子を含む、磁気ヘッド。請求項1に記載された磁気ヘッドであって、さらに、前記保護膜に隣接した導電膜と、前記磁気媒体対向面から見て、前記導電膜の後方に位置する抵抗素子とを含む、磁気ヘッド。請求項3に記載された磁気ヘッドであって、前記導電膜は、銅、ニッケル、及びパーマロイからなる群より選択された1種からなる、磁気ヘッド。請求項1乃至4の何れかに記載された磁気ヘッドであって、前記発熱抵抗体として、前記再生素子の前記媒体対向面側端面を膨出させる第1の発熱抵抗体と、前記記録素子の前記媒体対向面側端面を膨出させる第2の発熱抵抗体とが設けられている、磁気ヘッド。請求項5に記載された磁気ヘッドであって、前記第1の発熱抵抗体と前記第2の発熱抵抗体は、互いに独立して給電される、磁気ヘッド。請求項1に記載された磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを含むヘッドアセンブリであって、前記ヘッド支持装置は、前記磁気ヘッドにロール運動及びピッチ運動を許容するように、前記磁気ヘッドを支持する、ヘッドアセンブリ。磁気ヘッドを含むヘッドアセンブリと、磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を回転させるモータとを、不活性ガスを封入した筐体の内部に備える磁気記録再生装置であって、前記磁気ヘッドは、発熱抵抗体を含み、保護膜により覆われた磁気媒体対向面を有しており、前記発熱抵抗体は、給電されることにより発熱し、この発熱による熱膨張によって、前記磁気媒体対向面は、前記保護膜と前記磁気記録媒体が接触するように膨出する、磁気記録再生装置。請求項8に記載された磁気記録再生装置であって、前記磁気ヘッドは、前記保護膜に隣接した抵抗素子を含む、磁気記録再生装置。請求項8に記載された磁気記録再生装置であって、前記磁気ヘッドは、前記保護膜に隣接した導電膜と、前記媒体対向面から見て、前記導電膜の後方に位置する抵抗素子とを含む、磁気記録再生装置。請求項10に記載された磁気記録再生装置であって、前記導電膜は、銅、ニッケル、及びパーマロイからなる群より選択された1種からなる、磁気記録再生装置。請求項8乃至11の何れかに記載された磁気記録再生装置であって、さらに、前記発熱抵抗体の発熱量を制御する発熱制御部を含み、前記発熱制御部は、前記保護膜が前記磁気記録媒体と接触するように前記発熱量を制御する第1の制御モードと、前記磁気ヘッドに所定の浮上量を与えるように前記発熱量を制御する第2の制御モードとを有する、磁気記録再生装置。請求項9、または10に記載された磁気記録再生装置であって、さらに、前記抵抗素子と電気的に接続された検出回路を含み、前記検出回路は、前記抵抗素子に流れる電流、または前記抵抗素子に加わる電圧に基づいて、前記保護膜の除去を検出する、磁気記録再生装置。請求項8乃至13の何れかに記載された磁気記録再生装置であって、前記磁気ヘッドは、前記磁気記録媒体に記録された情報を再生するための再生素子と、前記磁気記録媒体に情報を記録するための記録素子とを含み、前記発熱抵抗体として、前記再生素子の前記媒体対向面側端面を膨出させる第1の発熱抵抗体と、前記記録素子の前記媒体対向面側端面を膨出させる第2の発熱抵抗体とが設けられている、磁気記録再生装置。磁気記録再生装置の製造方法であって、発熱抵抗体を含む磁気ヘッドの磁気媒体対向面に保護膜を形成する工程と、前記磁気ヘッドをヘッド支持装置に取り付けてヘッドアセンブリを組み立てる工程と、筐体の内部に、前記ヘッドアセンブリと磁気記録媒体とを、前記磁気媒体対向面と前記磁気記録媒体の表面が対向するように取り付ける工程と、筐体の内部に不活性ガスを封入する工程と、前記磁気記録媒体を回転させるとともに、給電により前記発熱抵抗体を発熱させ、この発熱による熱膨張によって、前記磁気媒体対向面を、前記保護膜と前記磁気記録媒体が接触するように膨出させる工程とを含む、製造方法。請求項15に記載された磁気記録再生装置の製造方法であって、前記磁気ヘッドは、前記保護膜に隣接した抵抗素子を含み、前記抵抗素子に流れる電流、または前記抵抗素子に加わる電圧に基づいて、前記保護膜の除去を検出する工程を、さらに含む、製造方法。請求項15に記載された磁気記録再生装置の製造方法であって、前記磁気ヘッドは、前記保護膜に隣接した導電膜と、前記媒体対向面から見て、前記導電膜の後方に位置する抵抗素子とを含み、前記抵抗素子に流れる電流、または前記抵抗素子に加わる電圧に基づいて、前記保護膜の除去を検出する工程を、さらに含む、製造方法。本発明の課題は、情報の記録、及び/または再生の性能を向上し得る磁気ヘッド、ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置、及びその製造方法を提供することである。1.磁気ヘッド上述した課題を解決するため、本発明に係る磁気ヘッドは、磁気記録媒体に記録された情報を再生するための再生素子と、磁気記録媒体に情報を記録するための記録素子と、発熱抵抗体とを含み、前記再生素子及び前記記録素子が露出した磁気媒体対向面を有する。そして、本発明に係る磁気ヘッドは、以下の工程から得られる。1前記磁気媒体対向面を覆うように保護膜を形成する。2磁気記録媒体が設けられた磁気記録再生装置の筐体の内部において、前記磁気媒体対向面を前記磁気記録媒体の表面と対向させる。3前記磁気記録媒体を回転させるとともに、給電により前記発熱抵抗体を発熱させ、この発熱による熱膨張によって、前記保護膜と前記磁気記録媒体が接触するように前記磁気媒体対向面を膨出させる。4前記保護膜のうち、前記再生素子と前記記録素子の少なくとも一方を覆う部位を削り取って除去する。本発明に係る磁気ヘッドは、上記1の工程により、保護膜が形成された磁気媒体対向面を有するから、上述した製造工程中の洗浄処理により腐食することがない。また、本発明に係る磁気ヘッドは、上記2の工程により、磁気記録再生装置に組み込まれた後、上記3の工程により、回転する磁気記録媒体の表面に保護膜を押し当てることができる。そして、上記4の工程により、再生素子、及び/または記録素子を装置内の雰囲気に露出させることができる。したがって、本発明に係る磁気ヘッドは、情報の記録、または再生にあたり、発熱抵抗素子の発熱により再生素子、及び/または記録素子を膨出させることによって、除去した保護膜の厚み分だけ、再生素子、及び/または記録素子を磁気記録媒体に近づけることができる。よって、本発明に係る磁気ヘッドは、磁気媒体対向面と磁気記録媒体の間の磁気的距離を減少させ、情報の記録、及び/または再生の性能を向上させ得る。2.ヘッドアセンブリ上述した課題を解決するため、本発明に係るヘッドアセンブリは、上述した磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを含む。前記ヘッド支持装置は、前記磁気ヘッドにロール運動及びピッチ運動を許容するように、前記磁気ヘッドを支持する。本発明において、ヘッドアセンブリには、磁気ヘッドをヘッド支持装置ジンバルに取り付けたHGAHeadGimbalAssembly、HGAをアームに取り付けたHAAHeadArmAssemblyが含まれる。本発明に係るヘッドアセンブリは、上述した磁気ヘッドを含むから、既に述べた作用効果を奏する。3.磁気記録再生装置上述した課題を解決するため、本発明に係る磁気記録再生装置は、磁気ヘッドを含むヘッドアセンブリと、磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を回転させるモータとを、不活性ガスを封入した筐体の内部に備える。前記磁気ヘッドは、発熱抵抗体を含み、保護膜により覆われた磁気媒体対向面を有している。前記発熱抵抗体は、給電されることにより発熱し、この発熱による熱膨張によって、前記磁気媒体対向面は、前記保護膜と前記磁気記録媒体が接触するように膨出する。磁気記録再生装置の代表例は、ハードディスクと称される磁気記録媒体を用いたハードディスク装置HDDである。本発明に係る磁気記録再生装置によると、筐体の内部に不活性ガスが封入されているから、上述した風乱及び風損を低減することができる。また、磁気ヘッドは、保護膜が形成された磁気媒体対向面を有するから、上述した製造工程中の洗浄処理により腐食することがない。さらに、発熱抵抗体は、給電されることにより発熱し、この発熱による熱膨張によって、磁気媒体対向面は、保護膜と磁気記録媒体が接触するように膨出する。したがって、本発明に係る磁気記録再生装置は、保護膜を磁気記録媒体の表面と接触させることができ、この状態において、モータによって磁気記録媒体を回転させることにより保護膜を削り取って除去することができる。よって、本発明に係る磁気記録再生装置は、磁気媒体対向面の再生素子、及び/または記録素子を装置内の雰囲気に露出させることができ、上述した磁気ヘッドと同じ作用効果を奏することができる。4.磁気記録再生装置の製造方法上述した課題を解決するため、本発明に係る磁気記録再生装置の製造方法は次の工程を含む。1発熱抵抗体を含む磁気ヘッドの磁気媒体対向面に保護膜を形成する工程2前記磁気ヘッドをヘッド支持装置に取り付けてヘッドアセンブリを組み立てる工程3筐体の内部に、前記ヘッドアセンブリと磁気記録媒体とを取り付ける工程4筐体の内部に不活性ガスを封入する工程5前記磁気記録媒体を回転させるとともに、給電により前記発熱抵抗体を発熱させ、この発熱による熱膨張によって、磁気媒体対向面を、保護膜と磁気記録媒体が接触するように膨出させる工程本発明に係る磁気記録再生装置の製造方法によると、上述した磁気ヘッドを備えた磁気記録再生装置が得られるから、既に述べた作用効果が得られる。以上述べたように、本発明によれば、情報の記録、及び/または再生の性能を向上し得る磁気ヘッド、ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置、及びその製造方法を提供することができる。図1は、本発明に係る磁気記録再生装置の製造工程の概略を示す流れ図である。この流れ図に沿って、本発明に係る、磁気ヘッド、ヘッドアセンブリ、磁気記録再生装置、及びその製造方法について、以下に説明する。まず、ウエハ工程St1から洗浄工程st6までは、本発明に係る磁気ヘッドの主要な製造工程である。ウエハ工程St1において周知の技術によって製造された磁気ヘッドのウエハは、ダイシング工程St2によりブロック単位に分割され、さらなる段階的な分割処理を経て、所定数の磁気ヘッドが横並びに配置された棒状のロウバーRawBarを得る。この段階において、磁気ヘッドの再生素子及び記録素子が、磁気媒体対向面に露出する。そして、パターニング工程St3において、エアベアリング面ABS:AirBearingSurface、すなわち磁気媒体対向面を、フォトリソグラフィプロセスにより得たマスクを用いて、周知のエッチングプロセスにより形成する。磁気媒体対向面は、その後、DLC形成工程St4において、ダイヤモンドライクカーボンDLC:DiamondLikeCarbonからなる保護膜により覆われる。この保護膜は、プラズマCVDなどの周知の方法を用いて形成される。なお、本実施形態では、保護膜として代表的なDLCを挙げているが、これに限定されるものではなく、腐食作用を防止し得る他の素材を採用してもよい。そして、試験工程St5において、ロウバーは磁気ヘッドごとに分割され、個々の磁気ヘッドごとに特性試験、及び外観の確認が行われる。試験後、磁気ヘッドは、試験時についた端子の汚れなどを除去するため、洗浄工程St6において洗浄処理がなされる。このとき、磁気媒体対向面は、保護膜により覆われているから、界面活性剤による腐食作用から十分に保護される。図2には、このようにして得られた磁気ヘッドの外観の例が示されている。磁気ヘッドは、略直方体構造のスライダ基体Bと、浮上特性に直接関与するエアベアリング面Aを有している。このエアベアリング面Aは、磁気ディスクの回転により生じた流体流Fsの粘性から、磁気ヘッドを浮上させる圧力を発生させるための構造を有している。図3には、図2の3-3線における一部の断面が示され、図4には、正面視の磁気媒体対向面Aが示されている。これらの図を参照して、磁気ヘッドの層構成の概略を説明する。なお、図に示されたY軸方向における記録媒体対向面Aに近い側および遠い側をそれぞれ前方および後方と表記する。また、図3には、理解を容易にするために、磁気記録再生装置内に設けられる磁気記録媒体である磁気ディスクMが、併せて示されている。磁気ディスクMは、基板44と、磁性層43と、保護層42と、潤滑層41とが、この順に積層されてなる。ここで、磁気ヘッドの浮上量FLは、潤滑層41と磁気ヘッドの保護膜25の間の距離により定義され、磁気的距離L1は、磁性層43と磁気ヘッドの磁気媒体対向面Aの間の距離により定義される。磁気ヘッドは、基板1上に、絶縁膜2と、磁気抵抗効果MR:magnetoresistiveeffectを利用した再生ヘッドRと、分離膜6と、垂直記録方式の記録処理を実行する記録ヘッドWと、オーバーコート膜23とがこの順に積層されたものである。再生ヘッドRは、下部リードシールド膜3と、シールドギャップ膜4と、上部リードシールド膜5とがこの順に積層されたものである。シールドギャップ膜4には再生素子Sが埋設されている。下部リードシールド膜3および上部リードシールド膜5は、いずれも再生素子Sを周辺から磁気的に分離するものであり、記録媒体対向面Aから後方に向かって延びている。上部リードシールド膜5と下部リードシールド膜3は、ニッケル鉄合金NiFeなどの磁性材料により構成されている。また、シールドギャップ膜4は、再生素子Sを周辺から電気的に分離するものであり、アルミナなどの非磁性絶縁材料により構成されている。再生素子Sは、巨大磁気抵抗効果GMR:giantmagnetoresistiveeffectまたはトンネル磁気抵抗効果TMR:tunnelingmagnetoresistiveeffectなどを有する素子であり、典型的にはTMR素子が採用され得る。図4に示されるように、再生素子Sは、端面が磁気媒体対向面Aに露出し、両側部には、絶縁膜を介して隣接するように、2つのバイアス磁界印加膜24が備えられている。分離膜6は、再生ヘッドRと記録ヘッドWを電気的かつ磁気的に分離するものであり、その内部にはヒータHが設けられている。ヒータHは、発熱抵抗体であって、外部からの給電により発熱する。この発熱による熱膨張によって、磁気媒体対向面Aは膨出し、併せて、これを覆うDLC保護膜25の表面f1も膨出する。符号f2は、膨出した保護膜25の表面を表している。ヒータHは、後述するDLC除去工程St12と、通常行われる情報の記録動作、及び再生動作とにおいて、それぞれ使用される。また、記録ヘッドWは、磁性膜7、絶縁膜8~12,18~20、コイル21a,21b、第1のギャップ膜14、第2のギャップ膜16、主磁極膜P、第1の非磁性膜15、第2の非磁性膜27、シールド膜17、ヨーク膜22を有している。コイル21a,21bは、スパイラル形状を有し、磁気記録媒体Mに記録する情報に応じた記録磁界を発生する。第1コイル21aは、絶縁膜19により巻線間を充填されるとともに周囲を覆われており、一方、第2コイル21bの巻線間には絶縁膜12が充填され、さらに、その周辺を絶縁膜10が覆っている。この絶縁層10は、アルミナなどによって形成され、また、絶縁膜12,19は、フォトレジストなどによって形成されている。さらに、第2コイル21bのトレーリング側にも、アルミナ等の絶縁材料によって形成された絶縁層11が設けられている。絶縁層11には、保護膜25に隣接するように抵抗素子Rsが埋設されている。抵抗素子Rsは、図4に示されるように、両側でリード線26a,26bと接続され、後述するDLC除去工程St12において、DLC保護膜25の除去を外部から検出するためのセンサの機能を果たす。主磁極膜Pは、垂直磁気記録方式の記録素子であり、コイル21a,21bから発生した記録磁界の磁束を通過させて情報を磁気ディスクMに記録する。主磁極膜Pは、磁気媒体対向面Aから後方に延びる磁性材料の多層膜であって、図4に示されるように、両側部が第2の非磁性膜27に隣接するように設けられている。主磁極膜Pの端面は、記録媒体対向面Aに露出し、トレーリング側に位置する長辺およびリーディング側に位置する短辺をそれぞれ上底および下底とする逆台形形状をなす。この逆台形形状の上辺が、主磁極膜Pの実質的な記録箇所であり、その幅により記録トラック幅が規定される。記録トラック幅は、一般的に約0.2μm以下である。第1の非磁性膜15は、主磁極膜Pを周囲から電気的および磁気的に分離し、アルミナ、SiO2等の無機絶縁材料、またはRu、Ti等の金属材料よりなる。また、図4に示された第2の非磁性膜27は、X軸方向において主磁極膜Pと隣接し、主磁極膜Pを周囲から電気的および磁気的に分離するためのもので、例えば、アルミナなどの非磁性絶縁材料により構成されている。第1のギャップ膜14と第2のギャップ膜16は、非磁性材料からなり、記録媒体対向面Aにおいて端面を有し、それぞれ、アルミナなどからなる絶縁膜11と主磁極膜Pとの間と、シールド膜17と主磁極膜Pとの間に配置されている。シールド膜17は、磁性材料からなり、磁束の循環機能を担うものであって、記録媒体対向面Aにおいて主磁極膜Pの端面に対してトレーリング側に配置された端面を有している。シールド膜17は、第2のギャップ膜16に隣接するように配置された第1層17aと、第1層17aのトレーリング側に接続された第2層17bとを有している。この第2層17bは、アルミナ等の絶縁材料からなる絶縁膜18を介して、第1層17aの後方に設けられたヨーク膜22に接続されている。つまり、シールド膜17は、記録媒体対向面Aから離れた位置で、ヨーク膜22を介して主磁極膜Pに接続されており、主磁極膜P、シールド膜17およびヨーク膜22は、コイル21a,21bが発生する磁界に対応した磁束を循環させる磁路を形成している。オーバーコート膜23は、磁気ヘッドを保護するものであり、例えば、アルミナなどの非磁性絶縁材料により構成されている。このような構成を有する磁気ヘッドは、次に、ヘッドアセンブリ工程St7においてヘッドアセンブリに組み立てられる。ヘッドアセンブリは、上述した磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを含む。ヘッド支持装置は、磁気ヘッドにロール運動及びピッチ運動を許容するように、磁気ヘッドを支持する。本発明において、ヘッドアセンブリには、磁気ヘッドをヘッド支持装置ジンバルに取り付けたHGAHeadGimbalAssembly、HGAをアームに取り付けたHAAHeadArmAssemblyが含まれる。図5はヘッドアセンブリの正面図、図6は、図5に図示されたヘッドアセンブリの底面図である。図示されたヘッドアセンブリは、HGAであり、サスペンション203と、上述した磁気ヘッドHDとを含む。サスペンション203は、ロードビーム221と、フレクシャ202とを含む。ロードビーム221は、中央を通る長手方向軸線の自由端近傍に、荷重用ディンプル227を有する。フレクシャ202は薄いバネ板材で構成され、一方の面がロードビーム221の荷重用ディンプル227を有する側の面に取り付けられ、荷重用ディンプル227から押圧荷重を受けている。フレクシャ202の他方の面には、磁気ヘッドHDが取り付けられている。フレクシャ202は、ロードビーム221の荷重用ディンプル227を有する側に結合されている。フレクシャ202は、中央に舌状部222を有する。舌状部222は、一端がフレクシャ202の横枠部223に結合されている。フレクシャ202の横枠部223は両端が外枠部225、226に連なっている。外枠部225、226と舌状部222との間には、舌状部222の周りに、溝224が形成されている。舌状部222の一面には磁気ヘッドHDが接着などの手段によって取り付けられ、荷重用ディンプル227の先端がバネ接触している。磁気ヘッドHDは、スライダのエアベアリング面Aとは反対側の一面がサスペンション203の舌状部222に取り付けられている。磁気ヘッドHDには、図示しない可撓性リード線などが接続される。図7はHAAの正面図である。HAAは、サスペンション203と、磁気ヘッドHDが設けられたフレクシャ202と、アーム204とを含む。アーム204は、適当な非磁性金属材料、例えば、アルミ合金等を用いて一体成形されている。アーム204には、取り付け孔が備えられている。取り付け孔は、磁気ディスク装置に含まれる位置決め装置に取り付けるために用いられる。サスペンション203は、一端がアーム204に、例えばボール接続構造等によって固定されている。得られたヘッドアセンブリは、試験工程St8において、特性試験、及び外観の確認が行われる。試験後、ヘッドアセンブリは、試験時についた端子の汚れなどを除去するため、洗浄工程St9において洗浄処理がなされる。このとき、磁気媒体対向面Aは、DLC保護膜25により覆われているから、界面活性剤による腐食作用から十分に保護される。次に、ヘッドアセンブリは、組立工程St10において、複数のHAAをスタックしたHSAHeadStackAssemblyに組み立てられ、さらに、磁気ディスクMなどとともに、磁気記録再生装置の筐体内に取り付けられる。図8は磁気記録再生装置の内部の斜視図である。図8では、装置の内部構造を見やすくするために、筐体200を部分的に切り欠いて示している。この磁気記録再生装置は、上述したヘッドアセンブリを搭載したものであり、本実施形態ではハードディスクドライブを例として挙げる。磁気記録再生装置は、筐体200の内部に、情報が磁気的に記録される複数の磁気ディスクつまり、ハードディスクMと、磁気ディスクMを回転させるスピンドルモータ205と、各磁気ディスクMに対応して配設され、磁気ディスクMと磁気媒体対向面Aが対向するように磁気ヘッドHDを一端部において支持する複数のサスペンション203と、このサスペンション203の他端部を支持する複数のアーム204と、を備えている。この機構の動作は、情報の記録及び再生を含めて、信号処理部209によって電気的に制御される。磁気ヘッドHDは、情報の記録動作時または再生動作時において磁気ディスクMが回転すると、その磁気ディスクMの記録面磁気ヘッドと対向する面とエアベアリング面Aとの間に生じる流体流を利用して、磁気ディスクMの記録面から浮上する。磁気ディスクMは、筐体200に固定されたスピンドルモータ205を中心として回転可能になっている。アーム204は、動力源としての駆動部206に接続されており、筐体200に固定された固定軸207を中心として、ベアリング208を介して旋回可能になっている。駆動部206は、例えば、ボイスコイル膜モータなどの駆動源を含んで構成されている。このような構成の磁気記録再生装置の筐体200は、上述したような公知技術に基づく適当な気密構造を備え、次のガス注入工程St11において、ヘリウムなどの希ガスが内部に封入される。これにより、上述した風乱及び風損が低減される。本発明の最も特徴的な部分は、その後に行われるDLC除去工程St12にある。本発明に係る磁気ヘッドは、この工程を経て得られる。DLC除去工程St12では、スピンドルモータ205により磁気ディスクMを回転させるとともに、給電により磁気ヘッドHDのヒータHを発熱させ、この発熱による熱膨張によって、磁気媒体対向面Aを、保護膜25と磁気ディスクMが接触するように膨出させる。これにより、回転する磁気ディスクMの表面に保護膜25を押し当て、保護膜25のうち、再生素子Sと記録素子Pを覆う部位を削り取って除去することができる。この様子は、図3を参照して理解される。すなわち、保護膜25の表面f1は、ヒータHの発熱によって膨出し、これにより、膨出した表面f2は磁気ディスクMの表面と接触する。このとき、磁気媒体対向面Aにおいて、再生素子Sの端面と主磁極Pの端面とが同程度にまで膨出すれば、再生素子Sの端面を覆う保護膜25の部位と主磁極Pの端面を覆う保護膜25の部位とが同じ比率で削れるため、処理効率がよい。また、保護膜25の除去の効率は、保護膜25と磁気ディスクMの表面のそれぞれの表面粗さRaによっても影響される。したがって、予め、これらの表面を、周知の加工手段を用いて加工し、最適な表面粗さRaを得るとよい。保護膜25の表面については、例えば、上述したDLC形成工程St4の後、周知の研磨手法によって所定の表面粗さRaを得るとよい。一方、磁気ディスクMについては、表面全体を一様に加工した場合、情報の再生及び記録にあたり、ディスクMの回転により発生する流体流に影響を与え、これに伴い、磁気ヘッドHDの浮上の安定性に影響を与え得る。しかも、磁気ディスクMの表面は、通常、潤滑層41として、パーフルオロポリエーテルPFPEなどの、潤滑性は高いが硬度は低い物質により形成されているから、保護膜25の除去の効率はあまり高くない。したがって、潤滑層41の下に形成された保護層42を表面に露出させた特定の領域を設けて、その表面粗さRaを調整した上で保護膜25の除去の用途に割り当てると望ましい。保護層42は、通常、磁気ヘッドHDの保護膜25と同じDLCからなるため、硬度の点から高い除去効率が得られる。そのような領域を設けるトラックとして、例えば、コンタクトスタートストップ方式の装置においては、磁気ヘッドHDの退避領域である内周部に隣接するトラックが、一方、ロード/アンロード方式の装置においては、磁気ヘッドHDの退避領域であるランプ部に最も近い最外周トラックが考えられる。これによれば、保護膜25の除去が完了すると、磁気ヘッドHDを、磁気ディスクMの記録領域を横断させることなく、即時に退避領域に退避させることができるから、除去により生ずる多くの削りカスを磁気ディスクMの記録領域の上にばら撒くことを回避することができる。削りカスの多くは、磁気ディスクMの回転により生ずる遠心力によって磁気ディスクMの外側へと飛ばされるが、削りカスは微細であるため、これにより装置の動作が影響を受けることはない。ただし、振動などの外的要因によって、削りカスが磁気ディスクMの記録領域の上に落下するのは好ましくない。そこで、例えば、DLC形成工程St4に先立って、筐体200の内壁面に粘着性の物質を塗布しておき、飛散した削りカスを吸着すると望ましい。図9には、DLC除去工程St12により得られた磁気ヘッドの図3相当の断面図が示されている。ここで、保護膜25が除去された部位は、図4の一点鎖線により囲まれた領域gに対応している。これらの図から理解されるように、領域gは、磁気媒体対向面Aにおいて、再生素子Sの端面と主磁極Pの端面を含む略楕円形状となる。これにより、再生素子Sの端面と主磁極Pの端面を装置内の雰囲気に露出させることができる。このとき、装置の筐体200の内部には不活性ガスが封入されているので、再生素子Sの端面と主磁極Pの端面は、望ましくない化学反応から保護される。もっとも、保護膜25のうち、再生素子S、または主磁極Pのいずれか一方を覆う部位のみを除去してもよい。情報の再生及び記録にあたっては、図9に示されるように、ヒータHの発熱によって磁気媒体対向面Aを、符号A’により示される一点鎖線の位置にまで膨出させる。これにより、実質的に浮上量FLを変えることなく、膨出時の磁気媒体対向面A’と磁気ディスクMの保護層42の間の磁気的距離は、保護膜25の厚さdの分だけ減少する。すなわち、図3に示された磁気的距離L1と、図9に示された磁気的距離L2との差分は、おおまかに厚さdとなる。図10は、磁気的距離に対する磁気ヘッドの信号出力比を、ウォレスWallaceの近似式に従って見積もったグラフである。例えば、厚さdを2nm、磁気的距離L1を10nmとすると、保護膜25の除去後の磁気的距離L2は8nmとなるから、出力比は、上記のグラフによると0.182から0.119となり、結果的におよそ50の増加が見込まれる。なお、同じように磁気的距離を2nmだけ減少させる場合であって、磁気的距離が8nmから6nmとなるときは、より大きな改善が見込まれることは容易に理解されよう。DLC除去工程St12の後、磁気記録再生装置は、試験工程St13を経て完成する。この試験工程St13では、主に、磁気ディスクMに対する情報の記録及び再生の性能評価が実施され、保護膜25の除去が正常に行われたことを担保する。もっとも、保護膜25の除去は、DLC除去工程St12において、抵抗素子Rsに流れる電流、または抵抗素子Rsに加わる電圧に基づいて検出することができる。その手法について以下に説明する。図11は、図4の11-11線における断面図である。抵抗素子Rsの両側には、リード線26a,26bが、磁気媒体対向面Aに沿って延在し、フレキシブル基板などからなる配線部を介して、装置内の信号処理回路209と電気的に接続されている。リード線26a,26bは、図4に示されるように、磁気媒体対向面Aに露出し、その抵抗値を小さくするため、抵抗素子Rsと比較すると幅が広く形成されている。また、符号aにより示される一点鎖線は、DLC除去工程St12の後の磁気媒体対向面Aを表している。この状態では、抵抗素子Rsは少し削られて、リード線26a,26bの電流方向、つまりX軸方向において幅が狭くなっている。図12には、磁気ヘッドHDと信号処理回路209の概略の電気的構成が示されている。信号処理回路209は、発熱制御部30と検出回路31とを含んでおり、磁気ヘッドHDの側面にある端子Tを介して、抵抗素子Rsは検出回路31に、ヒータHは発熱制御部30にそれぞれ接続されている。発熱制御部30は、ヒータHの発熱量が所定値となるように、ヒータHに電流を流す回路である。また、検出回路31は、比較器を有しており、抵抗素子Rsに流れる電流、または抵抗素子Rsに加わる電圧が所定値となったことを検出して、その通知信号Nを発熱制御部30に出力する。つまり、DLC除去工程St12において、図11の磁気媒体対向面Aが一点鎖線aに至るまで後退すると、抵抗素子Rsは、上述したように幅が狭くなり、その抵抗値が増加するので、検出回路31は、このときの抵抗素子Rsの電流値、または電圧値に基づいて、保護膜25の除去を検出するのである。発熱制御部30は、通知信号Nを受けると、抵抗素子Rsに電流を流すことを停止する。これによって、DLC除去工程St12において、保護膜25を好適に削ることができる。もっとも、発熱制御部30は、保護膜25の除去時の発熱制御のみを行うものである必要はない。発熱制御部30は、通常行われる情報の再生時及び記録時にもヒータHの発熱制御を行って、磁気媒体対向面Aを図9の符号A’により示される位置にまで膨出させ、これにより、磁気ヘッドHDに所定の浮上量FLを与えることができる。つまり、発熱制御部30は、異なる2つの制御モードを有するように構成され得る。制御モードの切り替えは、予め信号処理回路209に組み込まれたソフトウェアによって行ってもよいし、外部からの信号処理回路209を介した操作によって行ってもよい。また、図13と図14には、それぞれ、他の実施形態に係る、図11相当の断面図と、図12相当の電気的構成図が示されている。この実施形態では、保護膜25に隣接し、磁気媒体対向面Aに沿って延在する導電膜27が、先の実施形態に追加して設けられている。導電膜27は、導電率の高い物質が好ましく、例えば、銅、ニッケル、及びパーマロイからなる群より選択された1種からなる。導電膜27は、CVDなどの公知の手法によって形成される。抵抗素子Rsは、媒体対向面Aから見て、導電膜27の後方に位置し、抵抗素子Rsと導電膜27の間には必要に応じて間隔がおかれる。したがって、抵抗素子Rsと導電膜27は、図13に示されるように、その両側のリード線26a,26bに対して並列接続された関係を有する。この実施形態では、DLC除去工程St12において、図13の磁気媒体対向面Aが一点鎖線aに至るまで後退すると、導電膜27が完全に除去されて、リード線26a,26bは、抵抗素子Rsのみによって短絡された状態になる。検出回路31は、このときの抵抗素子Rsの電流値、または電圧値に基づいて、保護膜25の除去を検出する。これらの2つの実施形態のうち、前者は、センサ機能を果たす抵抗素子Rs自体が削られるために高い検出感度が得られるが、抵抗素子Rsを磁気媒体対向面Aに沿って形成するので、製造時の抵抗素子Rsの位置のばらつきが大きくなり得る。一方、後者は、抵抗値が低い導電膜27を使用するので、あまり高い検出感度は得られないが、抵抗素子Rsの位置が導電膜27の後方であるため、位置のばらつきは少ない。何れの実施形態を採るかは、設計に応じて適宜に決定すべきである。これまで説明した磁気ヘッドHDは、単一のヒータHを備えるものであったが、本発明は、これに限定されることはない。図15には、再生素子Sと主磁極PのそれぞれにヒータH1,H2を設けた磁気ヘッドの使用例が表されている。この磁気ヘッドHDにおいて、ヒータH1は、再生素子Sの媒体対向面A側端面を膨出させる第1の発熱抵抗体であり、ヒータH2は、主磁極Pの媒体対向面A側端面を膨出させる第2の発熱抵抗体である。ヒータH1は、媒体対向面Aから見て、再生素子Sの後方に位置し、ヒータH2は、媒体対向面Aから見て、主磁極Pの後方に位置している。このようなデュアルヒータH1,H2を設けることによって得られる利点は、DLC除去工程St12において、再生素子Sと主磁極Pの各々の膨出の程度を制御し得ることである。ハードディスク装置内で、通常、磁気ヘッドHDは、磁気媒体対向面Aが磁気ディスクMの表面に対して傾斜した状態に保持されるため、再生素子Sの磁気的距離と主磁極Pの磁気的距離には微小な差が存在する。したがって、その差を補償すべく、再生素子Sと主磁極Pの各々の膨出の程度を制御すれば、保護膜25のうち、再生素子Sと主磁極Pの両方を覆う部位を、ほぼ一様な比率で削り取ることができる。具体的には、膨出した磁気媒体対向面A’が磁気ディスクMの表面に対して略平行になるように、ヒータH1の発熱量とヒータH2の発熱量とを調整するとよい。図16には、ヒータH1,H2を含む磁気ヘッドHDの概略の電気的構成が示されている。ヒータH1,H2は、それぞれ、上述した発熱制御部30と接続され、各端子Tを介して、互いに独立して発熱制御部30から給電される。そして、発熱制御部30は、ヒータH1,H2のそれぞれの発熱量を独立して制御することによって、磁気媒体対向面A、あるいは保護膜25の表面を、磁気ディスクMの表面に対して略平行となるように膨出させるのである。これまで述べたように、本発明に係る磁気ヘッドは、DLC形成工程St4により、保護膜25が形成された磁気媒体対向面Aを有するから、上述した製造工程中の洗浄処理により腐食することがない。また、本発明に係る磁気ヘッドは、組立工程St10により、磁気記録再生装置に組み込まれた後、DLC除去工程St12により、回転する磁気記録媒体Mの表面に保護膜25を押し当てることができ、そして、再生素子S、及び/または記録素子Pを装置内の雰囲気に露出させることができる。したがって、本発明に係る磁気ヘッドは、情報の記録、または再生にあたり、発熱抵抗素子Hの発熱により再生素子S、及び/または記録素子Pを膨出させることによって、除去した保護膜25の厚み分だけ、再生素子S、及び/または記録素子Pを磁気記録媒体Mに近づけることができる。よって、本発明に係る磁気ヘッドは、磁気媒体対向面Aと磁気記録媒体Mの間の磁気的距離を減少させ、情報の記録、及び/または再生の性能を向上させ得る。本発明に係るヘッドアセンブリは、上述した磁気ヘッドを含むから、既に述べた作用効果を奏する。次に、本発明に係る磁気記録再生装置によると、筐体200の内部に不活性ガスが封入されているから、上述した風乱及び風損を低減することができる。また、磁気ヘッドHDは、保護膜25が形成された磁気媒体対向面Aを有するから、上述した製造工程中の洗浄処理により腐食することがない。さらに、発熱抵抗体Hは、給電されることにより発熱し、この発熱による熱膨張によって、磁気媒体対向面Aは、保護膜25と磁気記録媒体Mが接触するように膨出する。したがって、本発明に係る磁気記録再生装置は、保護膜25を磁気記録媒体Mの表面と接触させることができ、この状態において、モータ205によって磁気記録媒体Mを回転させることにより保護膜25を削り取って除去することができる。よって、本発明に係る磁気記録再生装置は、磁気媒体対向面Aの再生素子S、及び/または記録素子Pを装置内の雰囲気に露出させることができ、上述した磁気ヘッドと同じ作用効果を奏することができる。さらに、本発明に係る磁気記録再生装置の製造方法によると、上述した磁気ヘッドHDを備えた磁気記録再生装置が得られるから、既に述べた作用効果が得られる。以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。"