銅を主成分とする金属からなる第1基材部と、酸化銅を主成分とする酸化物からなり前記第1基材部の表面を被覆する第1被膜部とを有する第1被接合部の前記第1被膜部、および銅を主成分とする金属からなる第2基材部と、酸化銅を主成分とする酸化物からなり前記第2基材部の表面を被覆する第2被膜部とを有する第2被接合部の前記第2被膜部の少なくとも一方に、酸化銅を主成分とする酸化物が溶出する溶液を供給する溶液供給部と、前記第1被接合部と前記第2被接合部との間の距離を縮めるように前記第1被接合部と前記第2被接合部とを加圧する加圧部と、前記第1被接合部および前記第2被接合部を加熱する加熱部と、を備え、前記第1被接合部と前記第2被接合部とを加圧および加熱した状態で、前記溶液により露出した前記第1被接合部の銅と前記第2被接合部の銅とを接合することを特徴とする金属接合装置。前記溶液供給部は、前記第1被接合部および前記第2被接合部の少なくとも一方に前記溶液を噴霧するスプレーノズルを有する請求項1に記載の金属接合装置。前記溶液供給部は、前記第1被接合部および前記第2被接合部の少なくとも一方に前記溶液を吐出するインクジェットノズルを有する請求項1に記載の金属接合装置。前記溶液供給部は、前記第1被接合部および前記第2被接合部の少なくとも一方における溶液を供給する領域を囲う隔壁部を有する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の金属接合装置。前記溶液供給部は、前記溶液の収容部を有し、前記第1被接合部および前記第2被接合部の少なくとも一方を収容部内の溶液に接触させる請求項1に記載の金属接合装置。前記溶液供給部は、前記第1被接合部を有する第1部材および前記第2被接合部を有する第2部材のうち、前記第1被接合部あるいは前記第2被接合部と同一平面上に位置する領域の面積が小さい方を前記溶液に接触させる請求項5に記載の金属接合装置。前記溶液供給部は、前記溶液を含浸可能な多孔質体を有し、前記溶液を含浸させた前記多孔質体を前記第1被接合部および前記第2被接合部の少なくとも一方に押し付ける請求項1に記載の金属接合装置。前記溶液供給部は、前記溶液を含浸した前記多孔質体を前記第1被接合部および前記第2被接合部で挟み込む請求項7に記載の金属接合装置。前記溶液供給部は、前記溶液を加温する溶液加温部を備えている請求項1に記載の金属接合装置。前記第1被接合部および前記第2被接合部の加圧および加熱が行われるステージと、前記第1被接合部を有する第1部材を前記ステージに搬送する第1搬送部と、前記第2被接合部を有する第2部材を前記ステージに搬送する第2搬送部と、をさらに備える請求項1乃至9のいずれか1項に記載の金属接合装置。第1腕部と、一端側が前記第1腕部の一端側に回動可能に連結され、他端側が前記第1腕部の他端側に接近するよう操作可能な第2腕部と、をさらに備え、前記加圧部は、前記第1腕部の他端側および前記第2腕部の他端側の互いに対向する面に設けられた一対の台座を有し、当該一対の台座の間には前記第1被接合部および前記第2被接合部が差し込まれる空間が形成され、前記第1腕部の他端側と前記第2腕部の他端側の接近により、当該空間に差し込まれた前記第1被接合部および前記第2被接合部を加圧する請求項1に記載の金属接合装置。前記溶液供給部は、前記第1腕部に設けられた溶液タンクと、前記第1腕部の他端側に設けられ、前記溶液タンク内の溶液を前記空間に差し込まれた前記第1被接合部および前記第2被接合部の少なくとも一方に供給するノズルと、を有する請求項11に記載の金属接合装置。前記加熱部は、前記一対の台座に収容されたヒータを有する請求項11または12に記載の金属接合装置。前記溶液が銅と錯体を形成する配位子を含む請求項1乃至13のいずれか1項に記載の金属接合装置。前記錯体が加熱分解性である請求項14に記載の金属接合装置。前記溶液がアンモニア水またはカルボン酸水溶液である請求項1乃至15のいずれか1項に記載の金属接合装置。カルボン酸水溶液に含まれるカルボン酸が多座配位子である請求項16に記載の金属接合装置。前記多座配位子のうち、少なくとも2つの配位子が1つの銅イオンに対して配位している請求項17に記載の金属接合装置。はんだを介して銅同士を接合する方法において、通常使用されるSnを成分とするはんだを用いた場合、銅とはんだとの接合界面にCu-Sn合金が生じる。Cu-Sn合金は電気抵抗が比較的大きく、かつ延性が乏しいため、接合部分の電気特性や接続信頼性が低下するという課題がある。接合面を高温に加熱して加圧により接合する方法では、配線基板や半導体チップに熱や加圧によるダメージが生じる可能性がある。また、真空中で接合面を活性化させて接合する方法では、真空装置などの大がかりな設備が必要となりコストの増大が避けられない。本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、接続信頼性を確保しつつ、比較的低温で銅同士を接合することのできる技術の提供にある。本発明のある態様は、金属接合装置である。当該金属接合装置は、銅を主成分とする金属からなる第1基材部と、酸化銅を主成分とする酸化物からなり第1基材部の表面を被覆する第1被膜部とを有する第1被接合部の第1被膜部、および銅を主成分とする金属からなる第2基材部と、酸化銅を主成分とする酸化物からなり第2基材部の表面を被覆する第2被膜部とを有する第2被接合部の第2被膜部の少なくとも一方に、酸化銅を主成分とする酸化物が溶出する溶液を供給する溶液供給部と、第1被接合部と第2被接合部との間の距離を縮めるように第1被接合部と第2被接合部とを加圧する加圧部と、第1被接合部および第2被接合部を加熱する加熱部と、を備え、第1被接合部と第2被接合部とを加圧および加熱した状態で、溶液により露出した第1被接合部の銅と第2被接合部の銅とを接合することを特徴とする。この態様の金属接合装置によれば、比較的低温な条件下で銅同士を接合することができる。また、第1被膜部および第2被膜部が溶液中に溶出することにより、第1被接合部および第2被接合部の接合面にそれぞれ銅が露出する。言い換えると第1被接合部および第2被接合部の接合面が活性化される。第1被接合部の接合面と、第2被接合部の接合面とが活性化された後、活性化した接合面同士の接近により銅が固相拡散して接合面同士が接合される。これにより、第1被接合部の接合面と第2被接合部の接合面との間にボイドが発生したり、副生成物が介在することが抑制されるため、第1被接合部と第2被接合部との接続信頼性を高めることができる。本発明によれば、接続信頼性を確保しつつ、比較的低温で銅同士を接合することのできる技術を提供することができる。以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。実施形態1図1は、実施形態1に係る金属接合装置の概略構造を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る金属接合装置のステージ近傍の拡大模式図である。なお、図1では、金属接合装置の内部の構造を示すために、金属接合装置の蓋体の一部の図示を省略している。本実施形態に係る金属接合装置1は、筐体2と、蓋体3とで形成される収容空間内に、主な構成として溶液供給部10と、加圧部30と、加熱部50と、を備える。蓋体3には、収容空間内を観察可能な窓部3aと、溶液供給量、圧力、温度などの金属接合装置1の各種設定条件や状態を表示するためのモニタ4と、収容空間内の気体を排出するための排気管5が設けられている。筐体2には、金属接合装置1の動作の設定、動作の開始停止等の指示を行うための操作部6が設けられている。また、収容空間内には、金属接合装置1の各種制御を実行するための制御ユニット7が収容されている。また、本実施形態に係る金属接合装置1の収容空間内には、第1被接合部202を有する第1部材200が格納される第1部材供給部70と、第2被接合部212を有する第2部材210が格納される第2部材供給部80とが設けられている。第1部材200の第1被接合部202と、第2部材210の第2被接合部212とが、金属接合装置1による接合の対象となる。また、収容空間内には、第1被接合部202および第2被接合部212の加圧および加熱が行われるステージ90が設けられている。第1部材供給部70、ステージ90および第2部材供給部80は、この順に配列されており、第1部材供給部70、ステージ90および第2部材供給部80に沿って延在するようアームレール32が設けられている。アームレール32には、スライド可能に2つのアーム34が設けられている。2つのアーム34の先端には、それぞれ部材保持部36チャックが設けられている。部材保持部36は、先端部が装置下方を向いている。部材保持部36の先端部には、吸気ポンプに連結された吸着孔ともに図示せずが設けられている。部材保持部36は、保持しようとする部材を先端部に当接させた状態で吸気ポンプを駆動させることで、部材を吸着して保持することができる。また、部材保持部36には、ヒータが内蔵されており、吸着した部材を加熱することができる。したがって、本実施形態に係る金属接合装置1では、部材保持部36自体が加熱部50を構成している。なお、第1部材供給部70、第2部材供給部80およびステージ90の配列順序は特に限定されない。また、ヒータは部材保持部36の外部に別体として設けられていてもよい。アームレール32は、金属接合装置1を上方から見て平面視で、第1部材供給部70、第2部材供給部80およびステージ90と重ならない位置に配置されている。アーム34は、アームレール32から第1部材供給部70、第2部材供給部80およびステージ90が並ぶ側に向けて延在している。アーム34の先端に連結された部材保持部36は、アーム34がアームレール32の略中央に位置する状態で、平面視でステージ90と重なる位置に配置されている。アーム34がアームレール32に沿ってスライドすることで、部材保持部36はステージ90上から第1部材供給部70あるいは第2部材供給部80の上方に移動することができる。なお、2つのアーム34は、互いに独立にアームレール32に沿ってスライド可能である。アームレール32の両端部には、レール支持部38が接続されている。レール支持部38は、装置側方から見て略L字形状であり、一端がアームレール32の端部に固定され、他端がアームレール32に対して装置後方かつ下方に位置している。レール支持部38は、他端が筐体2内に収容された駆動機構図示せずに連結されており、この駆動機構によって装置上下方向に変位することができる。レール支持部38が装置上下方向に変位すると、アームレール32、アーム34および部材保持部36がレール支持部38に連動して装置上下方向に変位する。これにより、部材保持部36の先端部を第1部材供給部70、第2部材供給部80あるいはステージ90に対して接近後退させることができる。金属接合装置1は、アーム34を第1部材供給部70側にスライドさせ、レール支持部38を装置下方に変位させて部材保持部36の先端を第1部材供給部70に接近させ、第1部材供給部70に格納された第1部材200を部材保持部36で吸着保持する。そして、レール支持部38を装置上方に変位させて部材保持部36の先端を第1部材供給部70から後退させ、アーム34をステージ90側にスライドさせる。その後、金属接合装置1は、再びレール支持部38を装置下方に変位させて部材保持部36の先端をステージ90に接近させ、吸着保持していた第1部材200をステージ90上に載置する。同様に、第2部材210についても、第2部材供給部80からステージ90上に搬送することができる。したがって、本実施形態では、アームレール32、アーム34、部材保持部36およびレール支持部38が、第1被接合部202を有する第1部材200をステージ90に搬送する第1搬送部と、第2被接合部212を有する第2部材210をステージ90に搬送する第2搬送部とを構成している。また、ステージ90上に第1部材200が載置され、部材保持部36で第2部材210を保持した状態で、レール支持部38を装置下方に変位させることで、第1部材200の第1被接合部202と第2部材210の第2被接合部212との間の距離を縮めるように第1被接合部202と第2被接合部212とを加圧することができる。したがって、本実施形態では、アームレール32、アーム34、部材保持部36およびレール支持部38が、加圧部30を構成している。レール支持部38には、溶液タンク12が固定されている。溶液タンク12には、2本の溶液供給チューブ14の一端側が連結されている。2本の溶液供給チューブ14は、それぞれ他端側が部材保持部36の先端部近傍まで延在しており、その他端にノズル16が設けられている。本実施形態では、ノズル16はスポイト構造を有する。それぞれのノズル16には、筐体2内に収容された駆動機構図示せずに接続されたアーム18が連結されている。アーム18は、ノズル16を第1被接合部202と第2被接合部212との接合領域に対して接近後退させることができる。ノズル16がステージ90の第1被接合部202と第2被接合部212との接合領域に接近した状態で、溶液タンク12に貯留された溶液が溶液供給チューブ14を通ってノズル16から滴下される。これにより、第1被接合部202および第2被接合部212の少なくとも一方に、溶液が供給される。したがって、本実施形態では、溶液タンク12、溶液供給チューブ14、ノズル16およびアーム18により溶液供給部10が構成されている。続いて、本実施形態に係る金属接合装置1の動作について説明する。以下に説明する動作は、制御ユニット7によって制御される。図3A~図3C、図4Aおよび図4Bは、金属接合装置の動作を説明するための模式図である。各図におけるiは、ステージ近傍の拡大模式図であり、ii図4Aについてはii-1~ii-3は、第1被接合部および第2被接合部の状態を示す模式図である。なお、図3A~図3C、図4Aおよび図4Bでは、アームレール32、アーム34等の図示を省略している。なお、溶液タンク12にヒータを取り付けることで、溶液11を予め加温する溶液加温部を備えてもよい。そうすることで、後述の接合工程において、溶液11を短時間で蒸発させることができ、接合工程全体の短縮を図ることができる。図3Aに示すように、金属接合装置1は、第1被接合部202を有する第1部材200を第1部材供給部70から搬送してステージ90上に載置し、第2被接合部212を有する第2部材210を部材保持部36により保持して、第1部材200の上方に配置する。第1被接合部202は、銅を主成分とする金属からなる第1基材部204と、第1基材部204の接合面側の表面を被覆する第1被膜部206とを有する。また、第2被接合部212は、銅を主成分とする金属からなる第2基材部214と、第2基材部214の接合面側の表面を被覆する第2被膜部216とを有する。第1被膜部206および第2被膜部216はともに酸化銅を主成分とする酸化物で形成されている。ここで、銅を主成分とするおよび酸化銅を主成分とするという表現中、主成分とするは、銅または酸化銅の含有量が50よりも大きいことを意味する。第1基材部204および第2基材部214は、銅を主成分とする金属で形成されていればよく、その形態は特に制限されない。第1基材部204および第2基材部214は、たとえば、スパッタ法によりSi基板などの基板上に形成された銅からなる堆積層であってもよく、銅箔などの銅板をパターニングすることにより形成した配線層の外部端子部分であってもよい。第1被膜部206および第2被膜部216は、具体的には、Cu2O、CuOなどで形成された薄膜状の被膜であり、その厚さは、たとえば、10nmである。第1被膜部206および第2被膜部216は、意図的に形成された被膜であっても、意図せず形成された被膜であってもよい。本実施形態では、第1被膜部206および第2被膜部216は、銅が大気中で酸化することにより形成される自然酸化膜である。次に、図3Bに示すように、金属接合装置1は、ノズル16の先端が第1被接合部202と第2被接合部212の間に位置するように、アーム18によってノズル16を移動させる。そして、ノズル16から第1被膜部206の表面に溶液11を滴下する。その結果、図3Cに示すように、第1被膜部206の表面に溶液11が塗布される。これにより、第1被膜部206と第2被膜部216との間に、酸化銅を主成分とする酸化物が溶出または溶解する溶液11が供給される。金属接合装置1は、アーム18を変位させて第2部材210と第2被接合部212とで挟まれた空間からノズル16を退避させる。なお、本実施形態では、溶液11はアンモニア水である。溶液11は、第2被接合部212側に塗布してもよい。次に図4Aに示すように、金属接合装置1は、第2被接合部212の第2被膜部216が第1被接合部202の第1被膜部206上に塗布された溶液11と接触するまで、部材保持部36をステージ90に接近させる図4Aのii-1参照。溶液11との接触により、第1被膜部206および第2被膜部216を構成する酸化銅が溶液11に溶出する図4Aのii-2参照。その結果、第1被接合部202の最表面接合面側の露出面および第2被接合部212の最表面接合面側の露出面にそれぞれ第1基材部204および第2基材部214を構成する銅が露出する。また、溶液11中では、配位子となるアンモニアイオンと銅イオンとにより銅錯体が形成される。本実施形態では、銅錯体は、[CuNH34]2で表される加熱分解性のテトラアンミン銅錯イオンとして存在すると考えられる。なお、アンモニア水は銅に対して不活性であるため、第1基材部204および第2基材部214を構成する銅はアンモニア水と反応せずに残存している。金属接合装置1は、部材保持部36をステージ90にさらに接近させ、第1被接合部202と第2被接合部212との間の距離が縮むように第1被接合部202と第2被接合部212とを加圧する図4Aのii-3参照。加圧時の圧力は、たとえば、1MPaである。第1被接合部202と第2被接合部212とが加圧された状態で、金属接合装置1は、部材保持部36により200°C~300°Cの比較的低温な条件で、第2被接合部212、溶液11および第1被接合部202を加熱する。本実施形態では、加熱により水分が蒸発するとともに、テトラアンミン銅錯イオンが熱分解してアンモニア成分が蒸発する。これにより、溶液11において銅の割合が徐々に高まるとともに、加圧部30による加圧により第1被接合部202の最表面と第2被接合部212の最表面との距離が近づく。次に、図4Bに示すように、第1被接合部202の最表面と第2被接合部212の最表面との接近により、第1被接合部202の表面に露出する銅と第2被接合部212の表面に露出する銅とが固相拡散する。これにより、第1被接合部202と第2被接合部212とが接合される。接合が完了した後、金属接合装置1は、部材保持部36による加熱を停止して部材保持部36をステージ90から後退させて加圧を解除する。以上の処理により、第1被接合部202と第2被接合部212との接合が完了する。なお、加熱の開始から停止までの時間は、例えば30秒である。また、本実施形態では、第1被接合部202および第2被接合部212を加圧後に加熱しているが、加圧および加熱の順序は特に限定されず、加圧よりも先に加熱してもよいし同時であってもよい。例えば、溶液11を塗布した第1被接合部202に、予め加熱しておいた第2被接合部212を押し付けて両者を加圧してもよい。以上説明した本実施形態に係る金属接合装置1は、第1被膜部206および第2被膜部216を溶液11中に溶出させることにより、第1被接合部202および第2被接合部212の接合面にそれぞれ銅を露出させている。言い換えると第1被接合部202および第2被接合部212の接合面を活性化している。そして、第1被接合部202の接合面と、第2被接合部212の接合面とを活性化した後、露出した銅の固相拡散により接合する。これにより、比較的低温な条件下で銅同士を接合することができる。また、比較的低圧な条件下で銅同士を接合することができる。そのため、第1被接合部202および第2被接合部212にダメージが生じる可能性を低減することができる。また、第1被接合部202の接合面と第2被接合部212の接合面との間にボイドが発生したり副生成物が介在することが抑制されるため、第1被接合部202と第2被接合部212との接続信頼性を高めることができる。また、第1被接合部202と第2被接合部212との接合領域に接近させたノズル16から溶液11を滴下しているため、局所的に適量の溶液11を供給することができる。これにより、加圧時に溶液11が周囲に飛散して第1部材200や第2部材210が腐食することや、溶液11の供給量の過剰が原因で接合時間が増大することを回避することができる。金属接合に用いる溶液上述した実施形態1に係る金属接合装置1では、金属接合に用いる溶液11としてアンモニア水が用いられているが、銅と錯体を形成する配位子を含む溶液であれば、これに限られず、たとえば、カルボン酸水溶液であってもよい。カルボン酸水溶液の調製に用いられるカルボン酸としては、酢酸などのモノカルボン酸、また、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、フタル酸、マレイン酸などのジカルボン酸、さらに、酒石酸、クエン酸、乳酸、サリチル酸などのオキシカルボン酸が挙げられる。このうち、カルボン酸水溶液は多座配位子となるカルボン酸を有することが好ましい。多座配位子となるカルボン酸を有するカルボン酸水溶液では、カルボン酸の少なくとも2つの配位子が1つの銅イオンに対して配位し、カルボン酸と銅がキレートを形成することにより銅錯体の安定性が非常に大きくなる。この結果、接合に必要な温度をより低温化させることができる。なお、酒石酸がキレートを形成することについては、理化学辞典第4版岩波書店の第593頁に記載されている。また、酒石酸、シュウ酸などがキレートを形成することはヘスロップジョーンズ無機化学下齋藤喜彦訳の第666頁に記載されている。ここで、キレート化とは、多座配位子によって環が形成されることによって錯体の安定度が非常に大きくなることをいう。カルボン酸水溶液を用いた接合実験金属接合に用いる溶液として、酢酸溶液酢酸濃度10wt、シュウ酸溶液シュウ酸濃度10wtを用いて金属の接合実験を行った。なお、接合時の圧力は1MPaとした。金属接合に用いる溶液として、モノカルボン酸を含む酢酸溶液を用いた場合には、接合温度が150°Cのとき、せん断応力25MPa以上の接合強度が得られたが、接合温度が125°Cでは、十分な接合強度が得られなかった。一方、金属接合に用いる溶液として、ジカルボン酸を含むシュウ酸溶液を用いた場合には、接合温度が125°Cの低温条件においても、せん断応力25MPa以上の接合強度が得られた。さらに接合温度を100°Cに下げて接合実験を行ったところ、十分な接合強度が得られなかった。上記接合実験により、銅イオンとキレートを形成するシュウ酸溶液を用いることにより、接合温度を125°C程度まで低温化することができることが確認された。このような低温条件下での金属接合の実現は従来の技術では困難であり、本金属接合技術の特徴事項と言える。今後、本金属接合技術は電子部品の接合に限られず幅広い分野での適用が期待される。上述した実施形態1に係る金属接合装置1には、以下の変形例を挙げることができる。変形例1変形例1に係る金属接合装置1では、溶液供給部10は、第1被接合部202および第2被接合部212の少なくとも一方に溶液11を噴霧するスプレーノズルを有する。すなわち、本変形例では、ノズル16がスプレーノズルである。以下、図5A~図5Cを参照しながら変形例1に係る金属接合装置1について説明する。図5A~図5Cは、変形例1に係る金属接合装置の動作を説明するための模式図である。なお、図5A~図5Cは、ステージ近傍を模式的に示しており、アームレール32、アーム34、溶液供給チューブ14等の図示を省略している。図5Aに示すように、金属接合装置1は、第1被接合部202を有する第1部材200をステージ90上に載置し、第2被接合部212を有する第2部材210を部材保持部36により保持して、第1部材200の上方に配置する。次に、図5Bに示すように、金属接合装置1は、ノズル16が第1被接合部202と第2被接合部212の間に位置するように、アーム18によってノズル16を移動させる。そして、ノズル16から第1被接合部202の表面に溶液11を噴霧する。その結果、図5Cに示すように、第1被接合部202の表面に溶液11が塗布される。金属接合装置1は、第2部材210と第2被接合部212とで挟まれた空間からノズル16を退避させる。なお、溶液11は、第2被接合部212側に塗布してもよい。以降の動作は、図4Aおよび図4Bと同様であるため説明は省略する。本変形例では、ノズル16をスプレーノズルとしているため、第1被膜部206あるいは第2被膜部216の表面に溶液11を均一に塗布することができるとともに、過剰に溶液11が塗布されることを抑制することができる。変形例2変形例2に係る金属接合装置1では、溶液供給部10は、第1被接合部202および第2被接合部212の少なくとも一方に溶液11を吐出するインクジェットノズルを有する。すなわち、本変形例では、ノズル16がインクジェットノズルである。以下、図6A~図6Cを参照しながら変形例2に係る金属接合装置1について説明する。図6A~図6Cは、変形例2に係る金属接合装置の動作を説明するための模式図である。なお、図6A~図6Cは、ステージ近傍を模式的に示しており、アームレール32、アーム34、溶液供給チューブ14等の図示を省略している。図6Aに示すように、金属接合装置1は、第1被接合部202を有する第1部材200をステージ90上に載置し、第2被接合部212を有する第2部材210を部材保持部36により保持して、第1部材200の上方に配置する。次に、図6Bに示すように、金属接合装置1は、ノズル16が第1被接合部202と第2被接合部212の間に位置するように、アーム18によってノズル16を移動させる。そして、ノズル16から第1被接合部202の表面に溶液11を吐出する。金属接合装置1は、予め設定された領域に溶液11が塗布されるように、ノズル16を走査しながら第1被接合部202の表面に溶液11を吐出させる。溶液11を塗布する領域は、例えば操作部6から制御ユニット7に予め入力される。その結果、図6Cに示すように、第1被接合部202の表面に溶液11が塗布される。金属接合装置1は、第2部材210と第2被接合部212とで挟まれた空間からノズル16を退避させる。なお、溶液11は、第2被接合部212側に塗布してもよい。以降の動作は、図4Aおよび図4Bと同様であるため説明は省略する。本変形例では、ノズル16をインクジェットノズルとしているため、第1被接合部202あるいは第2被接合部212の形状に合わせて、様々な形状の溶液塗布領域を形成することができる。変形例3変形例3に係る金属接合装置1では、溶液供給部10は、第1被接合部202および第2被接合部212の少なくとも一方に溶液11を散布するシャワーヘッドを有する。すなわち、本変形例では、ノズル16がシャワーヘッドである。以下、図7A~図7Cを参照しながら変形例3に係る金属接合装置1について説明する。図7A~図7Cは、変形例3に係る金属接合装置の動作を説明するための模式図である。なお、図7A~図7Cは、ステージ近傍を模式的に示しており、アームレール32、アーム34、溶液供給チューブ14等の図示を省略している。図7Aに示すように、金属接合装置1は、第1被接合部202を有する第1部材200をステージ90上に載置し、第2被接合部212を有する第2部材210を部材保持部36により保持して、第1部材200の上方に配置する。次に、図7Bに示すように、金属接合装置1は、ノズル16が第1被接合部202と第2被接合部212の間に位置するように、アーム18によってノズル16を移動させる。そして、ノズル16から第1被接合部202の表面に溶液11を放出する。その結果、図7Cに示すように、第1被接合部202の表面に溶液11が塗布される。金属接合装置1は、第2部材210と第2被接合部212とで挟まれた空間からノズル16を退避させる。なお、溶液11は、第2被接合部212側に塗布してもよい。以降の動作は、図4Aおよび図4Bと同様であるため説明は省略する。本変形例では、ノズル16をシャワーヘッドとしているため、溶液11を塗布する領域が比較的広範囲である場合に、好適に採用することができる。変形例4変形例3に係る金属接合装置1では、溶液供給部10は、第1被接合部202および第2被接合部212の少なくとも一方における溶液11を供給する領域を囲う隔壁部を有し、隔壁部で覆われた領域に溶液11を供給する。以下、図8を参照しながら変形例4に係る金属接合装置1について説明する。図8は、変形例4に係る金属接合装置の動作を説明するための模式図である。なお、図8は、ノズルと第1被接合部の近傍を模式的に示している。また、図8に示すノズル16は、スプレーノズルである。図8に示すように、金属接合装置1は、ノズル16の周囲を囲う隔壁部クランパー17を有する。隔壁部17は、略筐体形状であり、上面内壁にノズル16が固定されている。また、下面にはノズル16から噴霧された溶液11が外部に送出される開口17aが設けられており、側壁には排気口17bが設けられている。開口17aは、溶液11の塗布領域の形状と同じ形状を有する。ノズル16を第1被接合部202に接近させると、ノズル16とともに隔壁部17が第1被接合部202に接近し、隔壁部17の下端部が第1被接合部202に当接する。この状態で、溶液11を供給する領域が隔壁部17によって囲われる。したがって、ノズル16から溶液11が噴霧されると、隔壁部17で覆われた領域、すなわち隔壁部17の開口17aと重なる領域のみに溶液11が塗布される。なお、ノズル16は、スプレーノズルに限らず、スポイト、シャワーヘッド等であってもよい。本変形例では、隔壁部17により溶液11を供給する領域を囲っているため、溶液11を塗布すべき領域、すなわち被接合部のみに溶液11を塗布することができ、他の領域に溶液11が飛散することを防ぐことができる。変形例5変形例5に係る金属接合装置1では、溶液供給部10は、溶液11の収容部を有し、第1被接合部202および第2被接合部212の少なくとも一方を収容部内の溶液11に接触させる。以下、図9A~図9Cを参照しながら変形例4に係る金属接合装置1について説明する。図9A~図9Cは、変形例5に係る金属接合装置の動作を説明するための模式図である。なお、図9A~図9Cでは、アーム18、アームレール32、アーム34等の図示を省略している。図9Aに示すように、金属接合装置1は、溶液11の収容部19を有する。本変形例では、収容部19に溶液供給チューブ14図1参照が接続されて溶液タンク12図1参照内の溶液11が溶液供給チューブ14を介して収容部19に供給される。収容部19としては、例えば容器バットを挙げることができる。あるいは、溶液11を含浸させた、スポンジ等の多孔質体であってもよい。金属接合装置1は、第1被接合部202を有する第1部材200をステージ90上に載置する。また、部材保持部36を第2部材供給部80の上方に移動させて、第2被接合部212を有する第2部材210を吸着保持する。次に、図9Bに示すように、金属接合装置1は、部材保持部36を収容部19上に移動させ、部材保持部36を装置下方に変位させて、先端に保持している第2部材210の第2被接合部212を収容部19内に浸漬して、第2被接合部212に溶液11を塗布する。次に、図9Cに示すように、金属接合装置1は、部材保持部36をステージ90上に移動させる。そして、第2被接合部212に塗布された溶液11が第1被接合部202と接触するまで部材保持部36をステージ90に接近させる。以降の動作は、以降の動作は、図4Aおよび図4Bと同様であるため説明は省略する。なお、溶液11は、第1被接合部202側に塗布してもよいが、第1被接合部202を有する第1部材200および第2被接合部212を有する第2部材210のうち、第1被接合部202あるいは第2被接合部212と同一平面上に位置する領域の面積が小さい方を溶液11に接触させることが好ましい。これにより、溶液11が被接合部以外の領域に付着することを回避することができる。本変形例では、溶液11の入った容器に第1被接合部202あるいは第2被接合部212を浸漬して溶液11を塗布しているため、溶液供給部10の構造を簡略化することができる。変形例6変形例6に係る金属接合装置1では、溶液供給部10は、溶液11を含浸可能な軟質の多孔質体を有し、溶液11を含浸させた多孔質体を第1被接合部202および第2被接合部212の少なくとも一方に押し付ける。以下、図10A~図10Dを参照しながら変形例6に係る金属接合装置1について説明する。図10A~図10Dは、変形例6に係る金属接合装置の動作を説明するための模式図である。なお、図10A~図10Dは、ステージ近傍を模式的に示しており、アームレール32、アーム34等の図示を省略している。図10Aに示すように、金属接合装置1は、溶液11を含浸可能な軟質の多孔質体20を有する。多孔質体20としては、例えばスポンジを挙げることができる。多孔質体20には、アーム18が連結されている。また、金属接合装置1は、溶液11の収容部19を有する。本変形例では、収容部19に溶液供給チューブ14図1参照が接続されて溶液タンク12図1参照内の溶液11が溶液供給チューブ14を介して収容部19に供給される。収容部19としては、例えば容器バットを挙げることができる。金属接合装置1は、多孔質体20を収容部19に浸漬して、収容部19内の溶液11を多孔質体20に含浸させる。また、金属接合装置1は、第1被接合部202を有する第1部材200をステージ90上に載置し、第2被接合部212を有する第2部材210を部材保持部36により保持して、第1部材200の上方に配置する。次に、図10Bに示すように、金属接合装置1は、多孔質体20が第1被接合部202と第2被接合部212の間に位置するように、アーム18によって多孔質体20を移動させる。そして、図10Cに示すように、部材保持部36をステージ90に接近させて、溶液11を含浸した多孔質体20を第1被接合部202および第2被接合部212で挟み込む。これにより、第1被接合部202および第2被接合部212に溶液11が塗布される。次に、図10Dに示すように、金属接合装置1は、部材保持部36をステージ90から後退させ、多孔質体20を収容部19に戻す。以降の動作は、図4Aおよび図4Bと同様であるため説明は省略する。なお、多孔質体20を第1被接合部202または第2被接合部212に押し付けて、第1被接合部202側あるいは第2被接合部212側のみに溶液11を塗布してもよい。本変形例では、溶液11を含浸させた多孔質体20を第1被接合部202および第2被接合部212で挟み込んで溶液11を塗布しているため、溶液供給部10の構造を簡略化することができる。実施形態2実施形態2に係る金属接合装置は、ハンディタイプの装置である。以下、図11を参照しながら実施形態2に係る金属接合装置1について説明する。図11は、実施形態2に係る金属接合装置の概略構造を示す斜視図である。本実施形態に係る金属接合装置1は、第1腕部100と、第2腕部110とを有する。第2腕部110は、その一端110a側が第1腕部100の一端100a側に回動可能に連結されている。本実施形態では、第1腕部100の一端100a側と第2腕部110の一端110a側とがヒンジ等の可動部102により相対回動可能に連結されている。したがって、第1腕部100および第2腕部110は、第1腕部100の他端100b側と第2腕部110の他端110b側が相対的に接近離間するよう操作可能である。第1腕部100の他端100b側および第2腕部110の他端110b側の互いに対向する面には、一対の台座120が設けられている。一対の台座120は、第1腕部100に設けられた第1台座122と、第2腕部110に設けられた第2台座124とを含む。第1腕部100および第2腕部110が操作されていない状態で、一対の台座120の間には第1被接合部202および第2被接合部212が差し込まれる空間が形成される。第1腕部100および第2腕部110を、可動部102を軸にして相対的に回動させることで、第1腕部100の他端100b側と第2腕部110の他端110b側とを接近させ、これにより、第1台座122と第2台座124との間の空間に差し込まれた第1被接合部202および第2被接合部212を加圧することができる。したがって、本実施形態に係る金属接合装置1では、第1腕部100、第2腕部110、一対の台座120が加圧部30に含まれる。一対の台座120の第1台座122および第2台座124には、それぞれヒータが収容されており、第1台座122および第2台座124によって、差し込まれた第1被接合部202および第2被接合部212を加熱することができる。したがって、本実施形態に係る金属接合装置1では、一対の台座120が加熱部50を構成している。第1腕部100の第2腕部110と反対側の面には、一端100a側に溶液タンク12が設けられている。溶液タンク12には、溶液11をタンク内に充填するための溶液注入口12aが設けられている。また、第1腕部100の他端100b側には、ノズル16が設けられている。ノズル16は、第1台座122と第2台座124の間の空間に差し込まれた第1被接合部202および第2被接合部212の少なくとも一方に溶液タンク12内の溶液11を供給する。溶液タンク12とノズル16とは、第1腕部100の内部に敷設された溶液供給チューブ14により連結されている。また、第1腕部100の第2腕部110と反対側の面には、溶液タンク12に隣接して制御ユニット7が設けられている。制御ユニット7の上面には、操作部6と溶液供給ボタン8とが設けられている。操作部6は、設定温度や溶液残量等の表示機能を備えていてもよい。すなわちモニタ4が組み込まれていてもよい。溶液供給ボタン8は、押下することで、溶液タンク12内の溶液11をノズル16から送出することができる。本実施形態に係る金属接合装置1の操作方法は、例えば次の通りである。まず、使用者は、金属接合装置1を把持して、第1台座122と第2台座124との間に第1被接合部202図2参照を挿入する。そして、溶液供給ボタン8を押下して、第1被接合部202に溶液11を供給する。続いて、第1被接合部202と第1台座122との間に第2被接合部212図2参照を挿入し、第1腕部100および第2腕部110を可動部102を軸に回動するよう操作する。これにより、第1被接合部202に供給された溶液11と第2被接合部212とが接触する状態となる。そして、さらなる押し込み操作により第1被接合部202と第2被接合部212とが加圧される。そして、第1被接合部202と第2被接合部212とが加圧された状態で、一対の台座120により第1被接合部202および第2被接合部212が加圧される。以上の操作により、第1被接合部202と第2被接合部212とを接合することができる。本実施形態に係る金属接合装置1の加圧操作は、ステープラーの操作に準じている。すなわち、使用者は、グリップ動作により第1腕部100および第2腕部110を可動部102を軸に接近させて、加圧処理を施すことができる。あるいは、例えば第2腕部110を机上等に固定し、第1腕部100を可動部102を軸として押し下げることで加圧処理を施すことができる。以上説明した実施形態2に係る金属接合装置1によれば、実施形態1と同様の効果が得られる。本発明は、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施の形態も本発明の範囲に含まれうるものである。上述の各実施の形態では、第1被接合部および第2被接合部がともに銅であるが、第1被接合部および第2被接合部の一方または両方を銅以外の金属とすることもできる。たとえば、第1被接合部を銅とし、第2被接合部をアルミニウムとしてもよい。また、第1被接合部を鉄とし、第2被接合部をアルミニウムとしてもよい。上述の各実施の形態では、第1被接合部と第2被接合部とを金属接合させる際に、加熱および加圧を行っているが、加熱および加圧に換えて超音波を印加しても良く、また加熱および加圧のうちいずれかを超音波印加に換えても良く、また加熱および加圧に加えて超音波を印加してもよい。