液体にエネルギーを与え吐出口から液滴を吐出させ得るエネルギー発生素子が形成された基板と、前記吐出口が形成されたオリフィスプレートとが、液体が流れる領域である液体流路のパターンを形成する流路部材を介して貼り合わされた構造を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、貼り合わされる前のオリフィスプレートおよび、貼り合わされる前の前記流路部材の少なくとも一方は、前記オリフィスプレートと前記流路部材とが貼り合わされる面に、前記吐出口とは別の貫通穴、および窪みの少なくとも一方の空隙を有し、工程1:前記エネルギー発生素子が形成された基板上に流路部材形成用材料を塗布し、パターニングして流路部材を形成する工程と、工程2:前記オリフィスプレートを前記流路部材上に積層する工程と、工程3:前記流路部材を、その流路部材のガラス転移温度以上に加熱する工程と、工程4:前記流路部材の温度をガラス転移温度以上に維持した状態で、前記オリフィスプレートと、前記流路部材と、前記基板とを一括して、前記基板面に対して加圧することで、前記流路部材を圧縮し、前記オリフィスプレートと、前記流路部材とを貼り合わせる工程と、工程5:加圧を停止する工程と、をこの順に含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。前記空隙が、前記貼り合わされる前のオリフィスプレートに設けられたことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。前記貼り合わされる前のオリフィスプレートが、複数の前記空隙を有し、前記貼り合わされる面における、前記複数の空隙の各中心とその中心が一致する長方形であって、前記複数の空隙の各中心と、隣接する他の空隙の中心との間の中点を通る辺を有する、各空隙に対応する長方形において、前記貼り合わせによって前記流路部材と重なる領域で、かつ、前記複数の空隙の各空隙に対応する前記長方形を全て連結した領域によって画定される、このオリフィスプレートの部分について、前記オリフィスプレートの部分の体積に対する、前記オリフィスプレートの部分に含まれる前記複数の空隙の合計体積の割合が、8.7以上であることを特徴とする請求項2に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。前記空隙が、貼り合わされる前の前記流路部材に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。前記貼り合わされる前の流路部材が、複数の前記空隙を有し、前記貼り合わされる面における、前記複数の空隙の各中心とその中心が一致する長方形であって、前記複数の空隙の各中心と、隣接する他の空隙の中心との間の中点を通る辺を有する、各空隙に対応する長方形において、前記複数の空隙の各空隙に対応する前記長方形を全て連結した領域によって画定される、この流路部材の部分について、前記流路部材の部分の体積に対する、前記流路部材の部分に含まれる前記複数の空隙の合計体積の割合が、8.7以上であることを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。前記流路部材が、感光性を有する有機樹脂で構成されることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。前記オリフィスプレートが、無機材料で構成されることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。前記無機材料が、ニッケル、パラジウム、金、白金、鉄、タンタル、タングステン、およびステンレスからなる群から選ばれる少なくとも1つの金属であることを特徴とする請求項7記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。前記工程3において、前記流路部材を、その流路部材のガラス転移温度°Cの1.25倍以上の温度°Cに加熱することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。液体にエネルギーを与え吐出口から液滴を吐出させ得るエネルギー発生素子が形成された基板と、前記吐出口が形成されたオリフィスプレートとが、液体が流れる領域である液体流路のパターンを形成する流路部材を介して貼り合わされた液滴吐出ヘッドであって、貼り合わされる前のオリフィスプレートは、貼り合わされる面に、前記吐出口とは別の貫通穴、および窪みの少なくとも一方の空隙を有し、前記空隙近傍に比べて、その他の領域での前記流路部材の厚さが厚く、かつ、前記オリフィスプレートが、前記流路部材の表面形状に沿って貼り合されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。前記貼り合わされる前のオリフィスプレートが、複数の前記空隙を有し、前記貼り合わされる面における、前記複数の空隙の各中心とその中心が一致する長方形であって、前記複数の空隙の各中心と、隣接する他の空隙の中心との間の中点を通る辺を有する、各空隙に対応する長方形において、前記貼り合わせによって前記流路部材と重なる領域で、かつ、前記複数の空隙の各空隙に対応する前記長方形を全て連結した領域によって画定される、このオリフィスプレートの部分について、前記オリフィスプレートの部分の体積に対する、前記オリフィスプレートの部分に含まれる前記複数の空隙の合計体積の割合が、8.7以上であることを特徴とする請求項10に記載の液滴吐出ヘッド。ところがこのような製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドの一部において、流路部材とオリフィスプレートとが理想的に接合されずに、局所的にオリフィスプレートが吐出方向へ突出してしまう現象が生じる場合があった。逆にオリフィスプレートが流路部材側に突出する現象が生じる場合もあった。オリフィスプレートにこのような撓みが発生すると、液滴の吐出方向が本来吐出すべき方向から傾いてしまうことがある。また、吐出に必要な液滴のエネルギーが変わるため、吐出速度や、吐出される液滴の体積が変わってしまう場合がある。これらはプリンタの印刷パターン不良の原因となるため重要な現象である。さらに、このようなオリフィスプレートの撓みは、プリンタ以外の用途の液滴吐出ヘッドにおいても起こりうる現象である。この現象が生じた場合、例えば医療用吸入器においては、患者に吸入させるべき薬液の吐出量が変わってしまう場合がある。また、プリンタの高性能化の観点から、インクジェット記録ヘッドの消費電力低減は重要である。インクジェット記録ヘッドの消費電力を低減する為には、まずオリフィスプレート厚を薄くして、吐出口の流体抵抗を低減し、吐出に必要なエネルギーを下げることが有効である。しかし、オリフィスプレートが薄くなるほど剛性が低下する傾向があるために、貼り合せ時にオリフィスプレート内に局所的な撓みが生じやすくなる傾向がある。特にオリフィスプレート厚が10μm以下になると、オリフィスプレートをハンドリングすることすら難しくなる場合があり、撓みや変形が生じやすくなる傾向がある。消費電力を低減する別の手段として、エネルギー発生素子と吐出口即ちオリフィスプレートとのギャップを低減することも有効である。だが、エネルギー発生素子と吐出口とのギャップが小さくなるほど、オリフィスプレートの撓みによるギャップ距離の変動は、相対的に大きな影響となる。さらに、特許文献1で指摘されているように、エネルギー発生素子と吐出口とのギャップが小さくなると、オリフィスプレートが局所的に撓んでエネルギー発生素子と接触する恐れがある。オリフィスプレートがエネルギー発生素子と接触すると、ヒータによる発泡が妨げられる場合があり、それにより、インクが吐出できなくなる場合がある。従って低消費電力化を実現する上で、オリフィスプレートを薄くする、またはエネルギー発生素子とオリフィスプレートとのギャップを小さくしようとすると、オリフィスプレートの撓みの影響はより深刻となる。以上のようなオリフィスプレートの撓みの原因として、圧着時における加圧の不均一性、流路部材表面やオリフィスプレート表面の低い平坦性、オリフィスプレート製造時に生じた変形などが挙げられる。従来は、この撓みを、圧着時にヘッド基板内に加わる圧力均一性の向上や、接着面の平坦化などによって解決してきた。また特許文献2では、オリフィスプレートと流路部材との間に接合補助部材を設けて、流路部材表面の平坦性を吸収する方法が提案されている。だが、圧着圧力均一性や接着面平坦性を改善しても限界があり、これらのみでヘッド歩留まりを上げていくことは難しい場合がある。従来技術のように、オリフィスプレートと流路部材とを単純に圧着するだけでは、オリフィスプレートに局所的に発生しうる撓みを抑止するような効果を与えることが難しい場合がある。また、特許文献2に示された、流路部材とオリフィスプレートとの間に接合補助部材を設ける方法では、接合補助部材を使用する工程分だけコスト面で不利になる。従って、上記の課題に鑑み、本発明の目的は、以下の通りである。簡便な構成で、確実にオリフィスプレートの撓みを防止でき、プレート厚を薄くしたり、エネルギー発生素子とプレートとのギャップを小さくしたりしても、オリフィスプレートの撓みの影響を低減できる液滴吐出ヘッド、及びその製造方法を提供することである。上記目的を達成するための第一の発明は以下の特徴を有する液滴吐出ヘッドの製造方法である。液体にエネルギーを与え吐出口から液滴を吐出させ得るエネルギー発生素子が形成された基板と、前記吐出口が形成されたオリフィスプレートとが、液体が流れる領域である液体流路のパターンを形成する流路部材を介して貼り合わされた構造を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、貼り合わされる前のオリフィスプレートおよび、貼り合わされる前の前記流路部材の少なくとも一方は、前記オリフィスプレートと前記流路部材とが貼り合わされる面に、前記吐出口とは別の貫通穴、および窪みの少なくとも一方の空隙を有し、工程1:前記エネルギー発生素子が形成された基板上に流路部材形成用材料を塗布し、パターニングして流路部材を形成する工程と、工程2:前記オリフィスプレートを前記流路部材上に積層する工程と、工程3:前記流路部材を、その流路部材のガラス転移温度以上に加熱する工程と、工程4:前記流路部材の温度をガラス転移温度以上に維持した状態で、前記オリフィスプレートと、前記流路部材と、前記基板とを一括して、前記基板面に対して加圧することで、前記流路部材を圧縮し、前記オリフィスプレートと、前記流路部材とを貼り合わせる工程と、工程5:加圧を停止する工程と、をこの順に含む。また第二の発明は、以下の特徴を有する液滴吐出ヘッドである。液体にエネルギーを与え吐出口から液滴を吐出させ得るエネルギー発生素子が形成された基板と、前記吐出口が形成されたオリフィスプレートとが、液体が流れる領域である液体流路のパターンを形成する流路部材を介して貼り合わされた液滴吐出ヘッドであって、貼り合わされる前のオリフィスプレートは、貼り合わされる面に、前記吐出口とは別の貫通穴、および窪みの少なくとも一方の空隙を有し、前記空隙近傍に比べて、その他の領域での前記流路部材の厚さが厚く、かつ、前記オリフィスプレートが、前記流路部材の表面形状に沿って貼り合されている。本発明によれば、以下のものが提供される。簡便な構成で、確実にオリフィスプレートの撓みを防止でき、プレート厚を薄くしたり、エネルギー発生素子とプレートとのギャップを小さくしたりしても、オリフィスプレートの撓みの影響を低減できる液滴吐出ヘッド、及びその製造方法が提供される。上述したように、従来、流路部材が形成されたヘッド基板とオリフィスプレートとをその流路部材を介して貼り合せて液体吐出ヘッドを作製する際には、オリフィスプレートに局所的な撓みや浮きが発生する場合があった。ゆえに、本発明は、オリフィスプレートと流路部材とを貼り合せて製造される液滴吐出ヘッドにおいて、オリフィスプレートの撓みや浮きを防止するための構造及びその製造方法に関するものである。より具体的には、本発明は、オリフィスプレートと流路部材とを貼り合せて液滴吐出ヘッドを製造する際に、これまでのヘッドよりも簡便な構成で、確実にオリフィスプレートの撓みを防止できる製造方法である。さらに、低消費電力化の為に、オリフィスプレート厚を薄くしたり、エネルギー発生素子とオリフィスプレートとのギャップを小さくしたりしても、オリフィスプレートの撓みの影響を低減できる液滴吐出ヘッドの製造方法である。本発明では、オリフィスプレートを流路部材に貼り合せて液滴吐出ヘッドを製造する際に、オリフィスプレートを流路部材に圧着して貼り合せた後に、流路部材が段差を持つように変形することができる。さらに、その流路部材の形状に沿って、オリフィスプレートを変形することができる。その結果、吐出口周辺のオリフィスプレート面が平面方向により引き伸ばされることで、オリフィスプレートの撓みをより低減することができる。さらに、本発明では、オリフィスプレートの撓みを防止しつつ、オリフィスプレートとエネルギー発生素子とのギャップを安定して小さくすることが可能となる。またこれらの効果を、製造工程や特別な構造を新たに増やすことなく、簡便に実現することができる。なお、本発明により製造された液滴吐出ヘッドは、プリンタ、ディスプレイ部品の製造装置、医療用吸入器などに使用することができる。実施形態1本発明の製造方法の実施形態について図面を参照して説明する。その際、液体吐出ヘッドのうちのインクジェットヘッドを例に挙げて説明する。まず、本発明の製造方法の実施形態1によって作製したインクジェット記録ヘッドチップの平面図を図1に示す。また、図1のA-A’断面図を図2に示す。図1において、破線は、表面から見えない部分を表す。また、斜線部は、後述する変形誘導領域20を表す。この実施形態では、変形誘導領域20がオリフィスプレートの一部に形成された例を説明する。図2に示すように、実施形態1により得られたインクジェット記録ヘッドは、エネルギー発生素子としてヒータ7を用いている。ヒータ7は、シリコン、ガラスなどの基板1上に形成される。ヒータ7としては、金属よりも一桁以上比抵抗が高い窒化タンタルなどの導電材料が好適である。またヒータ以外に、圧電体をエネルギー発生素子として用いてもよい。図示していないが、基板1の表面には、シフトレジスタなどの回路を構成するトランジスタや配線などを形成することができ、ヒータ7上には酸化シリコンや窒化シリコンなどのインクに対する保護層を形成することができる。さらに、インクが流れる領域であるインク流路9の壁に相当し、インク流路パターンを形成する流路部材3が基板1上に形成される。なお、液体流路であるインク流路9は、液体を吐出するための吐出口4に連通する。吐出口4は、オリフィスプレート2を貫通する貫通穴である。また、本発明に用いる流路部材は、ガラス転移温度を有する。そして、流路部材3の上にオリフィスプレート2が貼り合わされる。オリフィスプレート2は、ヒータ7の直上部位に吐出口4が開けられる。ヒータ7に通電し、ヒータ7上のインクを沸騰させた時の圧力によって、吐出口4からインクが吐出する。基板1には、インク供給口15が開けられており、インク供給口15は、インク流路9と連通している。基板裏面よりインク供給口15を介してインクが供給される。また、符号5は、インク供給口外周部を表す。図2に示す、実施形態1により得られるインクジェット記録ヘッドでは、同一の材料から形成される流路部材3が二段形状を持ち、インク流路9外周部の流路部材が一段低くなっている。インク流路9周辺の流路部材の上面オリフィスプレート側の面は平坦面となっているが、インク流路9より離れていくとスロープ状に流路部材3が厚くなっていき、やがて一段高い平坦面に達する。オリフィスプレート2は、上記二段形状の流路部材3の表面形状に沿って貼り合わされているので、同様に二段形状を有しており、オリフィスプレート2と基板1との距離は吐出口4近傍が最も小さくなる。図3a~eに、図1の液滴吐出ヘッドの製造工程図を示す。まず図3aに示されるように、ヘッド基板30とオリフィスプレート2を用意する。ヘッド基板30は、ヒータ7を有する基板1上に流路部材3を有する。ここで流路部材3の材料として有機樹脂が好適である。なぜなら、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、流路部材3として弾性率が小さく塑性変形し得る材料を用いることが好ましく、有機材料はそのような特性を有しているためである。さらに、工程数削減のために、有機材料は、感光性を有することが好ましく、特に感光性を有する永久レジストであることが好ましい。具体的には、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂を材料にした感光性のネガ型永久レジストが好ましい。具体的な市販のレジストとしては、TMMR商品名、東京応化工業株式会社製、SU8商品名、化薬マイクロケム株式会社製、EHPE-3150商品名、ダイセル化学工業社製などが挙げられる。流路部材3の好適な膜厚は1μm以上100μm以下である。例えば、永久レジストを用いて流路部材3は以下のように作製される。スピン塗布法やラミネート法によって基板1上に感光性を有する永久レジストを塗布する。露光、現像を行い、その永久レジスト膜をパターニングする。その後、その基板1をオーブンやホットプレートなどで熱処理して永久レジスト膜を硬化させ、適度な弾性率を発現させ、流路部材3を形成する工程1。この際の熱処理条件としては、永久レジスト膜を完全に硬化させる必要はなく、所望の弾性率に合せて時間や温度を最適化することができる。塗布する有機樹脂が感光性を持たない場合は、その有機樹脂をスピン塗布法やラミネート法によって塗布後、塗布した有機樹脂上に感光性を有するレジストを塗布し、露光、現像する。その後、レジストパターンをマスクとして有機樹脂をエッチングして、流路部材3を形成しても良い。流路部材3と基板1との間に両部材の接合性を高める、例えばポリエーテルアミドなどの薄層1~3μm程度を設けることが可能である。オリフィスプレート2には吐出口4が形成される。さらに、貼り合わされる前のオリフィスプレート2には、オリフィスプレート2と流路部材3とが貼り合わされる面、即ち、貼り合わされる前のオリフィスプレートの対向する2つの面のうちの流路部材側の面に、吐出口4とは別に変形誘導領域20が設けられる。なお、変形誘導領域は、この貼り合わされる面の液体流路であるインク流路の外周部近傍、即ち流路部材外周部8近傍、且つ、インク流路外周部よりも流路部材側に設けることができる。なお、インク流路外周部液体流路外周部とは、流路部材3とインク流路9液体流路との境界を意味する。オリフィスプレート2における貼り合わされる面の液体流路外周部近傍、且つ、液体流路外周部よりも流路部材側の部分とは、貼り合せた際に流路部材上に位置し、且つ、インク流路外周部に近いオリフィスプレートの領域を意味する。図3における変形誘導領域20は、その領域内に吐出口とは別の貫通穴および窪み有底穴の少なくとも一方の空隙emptyspaceを含む、後述するオリフィスプレートの一部分を意味する。この変形誘導領域20は貫通穴や窪みを含んでいるので、他部位よりも空間的にオリフィスプレート2の密度が疎である特徴を持つ。オリフィスプレート2に空隙を形成する際は、液体流路外周部近傍、且つ、液体流路外周部よりも流路部材側の部分として、例えば、インク流路外周部から5~500μm流路部材側に進んだ所までの領域に相当する位置に空隙を形成することができる。図1および2に示す実施形態1では、変形誘導領域20は多数複数の貫通穴21を含む。図1に示されるように、変形誘導領域20は、インク流路9外周部近傍にある幅を持って形成される。オリフィスプレート2に形成された変形誘導領域20の平面図の例を図4に示す。図4aは、変形誘導領域20が円形の貫通穴21を含む例である。貫通穴21は、それぞれ正三角形の頂点に配置されている。この構成は、変形誘導領域20内で貫通穴21を高密度で均一に配置できる利点がある。変形誘導領域20に含まれる貫通穴21の形状は、円形に限らず、図4bのように、長方形であっても良い。典型的には、オリフィスプレートおよび流路部材の少なくとも一方の、オリフィスプレートと流路部材とが貼り合わされる面に、多数の同一形状の空隙が等間隔に配置される。図4に示すように、オリフィスプレートに上記空隙が形成された場合の変形誘導領域20は以下のように定義することができる。まず、オリフィスプレートの空隙図4では、貫通穴21が形成された貼り合わされる面において、以下により定義される長方形を考える。まず、全ての空隙の各中心と、隣接する他の空隙の中心との中点を取る。続いて、上記全ての空隙の各中心とその中心が一致する長方形であって、上記中点を通る辺を有する、各空隙に対応する長方形を定義する。その際、図4に示すように、上記貼り合わされる面において各空隙は対応する長方形の領域に含まれる。また、長方形の各辺は、図1に示すヘッドチップの長辺方向Y方向または短辺方向X方向に対して平行となるようにする。なお、隣接する空隙空隙Bが1つしかない空隙空隙Aが存在する場合、空隙Aに対応する長方形は以下のように定義することができる。まず、オリフィスプレートの貼り合わされる面において、空隙Aの中心CAと、空隙Bの中心CBとの中点Mを取る。そして、長方形を構成する4つの辺の各辺と空隙Aの縁との距離が、中点Mと空隙Aの縁との距離と一致するように、長方形を定義する。その際、長方形の各辺は、上記X方向、またはY方向に対して平行とする。なお、この面における空隙Aの形状が円の場合、上記長方形は正方形となる。続いて、オリフィスプレート2と流路部材3とを貼り合わせたときに、全ての上記長方形領域を連結させた領域のうちで流路部材3と重なっている領域Rによって画定される、オリフィスプレート2の部分を、変形誘導領域20として定義することができる。即ち、変形誘導領域20は、上記領域Rを底面、オリフィスプレートの厚みを高さとする直柱体として定義することができる。図4a、bで、太線で示されるのがそれぞれの貫通穴21を中心とした前記長方形領域であり、これらの長方形領域を連結した斜線で示される領域により画定されるオリフィスプレート2の部分が、変形誘導領域20である。なお、図4a、bでは、貼り合わせの際、上記長方形領域は全て流路部材と重なる。オリフィスプレート2を構成する材料は、耐熱性が高い材料が好ましく、さらに熱によって弾性率が大きく低下しない無機材料が好ましい。オリフィスプレートの好適な例としては、電鋳法で作製したニッケル薄膜、白金薄膜、金薄膜、パラジウム薄膜、スパッタ法、化学気相成長法などによって形成したシリコン薄膜や酸化シリコン薄膜、打ち抜き加工で作製した鉄薄板、タンタル薄板、タングステン薄板、ステンレス薄板が挙げられる。また、有機樹脂を、オリフィスプレートの材料に使用する場合は、ポリイミドのようなガラス転移温度が高い材料が好適である。オリフィスプレート2の好適な膜厚は1μm以上50μm以下である。また、オリフィスプレート2とヘッド基板30とを流路部材3を介して貼り合せる場合において、流路部材3、およびオリフィスプレート2のいずれかは接着性を有していることが好ましい。両者とも接着性が低い場合は、図3aには図示されていないが、流路部材3、または、オリフィスプレート2の接着面に接着剤を転写させておいてもよい。図3bに示されるように、オリフィスプレート2を流路部材3上に積層し工程2、両者をアライメントしてオリフィスプレート2と流路部材3とが強固に固着されない程度の低い温度と低い圧力で圧着し、仮固定する。具体的な温度と圧力は、流路部材の材料に依存して必要に応じて決めることができる。その際、オリフィスプレートの変形誘導領域20は、流路部材上に配置する。仮固定後、図3cに示されるように、固定部材10をオリフィスプレート2の上に設置する。固定部材10は、圧着中にオリフィスプレート2の表面吐出方向側の面を固定するために用いる。なお、仮固定が要らない場合は、図3bの工程は不要である。固定部材10は、硬いことが望ましく、少なくともオリフィスプレート2や流路部材3よりも弾性率が高いことが好適である。なぜなら、本発明の製造方法では、高い圧力を加えて流路部材3を圧縮変形させることが好ましく、圧着によって固定部材10も圧縮してしまうと、オリフィスプレート表面の平坦性を維持しながら固定できなくなる場合がある。また同様な理由から、固定部材10の表面は平滑であることが好ましく、オリフィスプレート表面よりも平滑であることが望ましい。以上より、固定部材10に適した材料として、表面研磨されたバルクの基板を用いることが好ましい。また、固定部材10の具体的な例として単結晶シリコン基板、ガラス基板、ステンレス基板が挙げられる。また、固定部材10を予めオリフィスプレート2と接着しておき、固定部材10およびオリフィスプレート2を一緒にヘッド基板30に仮固定してもよい。仮固定後、図5に示したような熱圧着機を用いて、試料積層された、固定部材10、オリフィスプレート2、流路部材3および基板1を本格的に圧着する。図5は試料圧着部を拡大したものである。試料ステージ13を圧着温度まで加熱した後に、試料の固定部材10側を熱圧着機の試料ステージ13側にして、試料を試料ステージ13の上に置き、試料固定治具11により固定し、流路部材をそのガラス転移温度以上に加熱する工程3。この際、流路部材をそのガラス転移温度°Cの1.25倍以上の温度°Cに加熱することが好ましい。そして、流路部材の温度をガラス転移温度以上に維持した状態で、ヘッド基板30の裏面側より、熱圧着機の圧着ロッド14を近づけていき、圧着を開始する。この結果、ヘッド基板30の裏面より試料が一括して、基板面に対して垂直方向に加圧され、オリフィスプレートと流路部材とが貼り合わされる図3d、工程4。なお、流路部材などのヘッド構造体が設けられたヘッド基板面を表面とし、もう一方の面を裏面とする。このときの圧着圧力は、流路部材3を圧縮して歪ませることのできる大きさ以上であることが好ましい。より具体的には、流路部材として、エポキシ樹脂を用いた場合、ガラス転移点以上に加熱されたこの樹脂の弾性率は、約10MPa以下であるので、0.1MPa以上の圧着圧力であれば、元々の樹脂厚に対して1以上という大きな変位で歪ませることができるため、好ましい。なお、圧着圧力とは、熱圧着時に試料を加圧する圧力を意味する。また圧着温度は、流路部材3のガラス転移温度以上が好ましい。これにより、流路部材3の弾性率が大幅に減少し、その結果、熱圧着機の圧力によって流路部材3を容易に圧縮することができる。その圧着温度において、圧着圧力が十分に高くなると好適には降伏点近くまで高くなると、流路部材3は圧縮されつつ塑性変形を起こすようになる。そのような状況になると、オリフィスプレート2の変形誘導領域20の貫通穴21とインク流路9に向かって、変形誘導領域20近傍の流路部材3は塑性変形しながら膨張する。変形誘導領域20の貫通穴21内には流路部材3が侵入する。その際、流路部材は、貫通穴内全体に充填されても良いし、貫通穴内の一部分に充填されても良い。なお、圧着温度とは、熱圧着時に加熱されている試料の温度を意味する。圧着時間としては、このような流路部材3の塑性変形が容易に進行する時間が好ましく、5秒以上90分以下が好適である。なお、圧着時間とは、熱圧着時に試料を加圧する時間を意味する。流路部材3には面直方向基板面に対して垂直方向からの圧縮応力が加わり、流路部材3は歪んでいる。変形誘導領域20近傍の流路部材3では、前記のような塑性変形が生じているため、圧縮応力が緩和している。その結果、流路部材3中に圧縮応力の分布が生じる。具体的には、流路部材3の変形誘導領域20近傍では圧縮応力が低く、それ以外の部分では圧縮応力が高い。それらの境界部では、場所が遷移するに従って応力の大きさは滑らかに変化する。また、図3dの工程において、流路部材3が圧縮されると同時にオリフィスプレート2と流路部材3は接着される。続いて、加圧を停止するために、図5に示す圧着ロッド14を試料から離していくと、圧縮応力に比例した復元力が働いて歪みは解消され、流路部材3の膜厚は元の厚さに戻ろうとする工程5。しかし、空隙に近い空隙近傍、より具体的には変形誘導領域20近傍の流路部材は他の部位と比較して圧縮応力が小さく、復元力も小さいため、加圧停止後における変形誘導領域に接合された流路部材の膜厚は他の部位よりも薄くなる。例えば、オリフィスプレート内の変形誘導領域および変形誘導領域より約100μm以内の近傍領域に接合している流路部材に比べて、その他の領域での流路部材の厚さを厚くすることができる。その結果、流路部材3は滑らかな段差を持つように変形して、図3eに示すインクジェット記録ヘッドが完成する。なお、加圧停止工程5の際の温度は、復元力の観点から加圧時と同じ温度であることが好ましいが、本発明の効果を得られる範囲で適宜設定することができる。なお、流路部材3の変形に伴い、その上に密着しているオリフィスプレート2も、流路部材3の表面形状に沿うように変形する。即ち、変形誘導領域20及びインク流路9近傍のオリフィスプレート領域が下に窪む。このオリフィスプレート2の変形に伴い、図6に示されるような力がオリフィスプレート内に発生し、インク流路9上のオリフィスプレートがその力の方向へ引き伸ばされ、撓みが解消される。特に、吐出口4近傍の撓みは、インク流路9外周の全方向へ引っ張られるため、より効果的に解消される。オリフィスプレート2及び、流路部材3の変形は、圧着ロッド14で、ある程度の圧力が加えられた状態で行うことが好ましい。これにより、流路部材内の圧力均一性が容易に維持され、その結果、これらの段差平坦部の平坦性も容易に維持される。本発明の製造方法では、流路部材をそのガラス転移温度以上に加熱し、流路部材のガラス転移温度以上の温度のまま、圧着する。オリフィスプレート2の材料は無機材料が好ましく、無機材料であれば、ガラス転移温度以上の温度で圧着した際も、オリフィスプレート2が、適度な剛性を容易に保つことができ、撓みを容易に防ぐことができる。なぜなら、殆どの無機材料は、有機樹脂のガラス転移温度程度に加熱されても、弾性率は殆ど変化しない為である。さらにオリフィスプレート2が金属であることが好ましい。なぜなら金属は延性に優れるため、オリフィスプレート2が二段に塑性変形しても、脆性破壊がより起こりにくいためである。特にインクに対する安定性と、材料としての脆性破壊耐性とを考慮すると、無機材料のうち、ニッケル、パラジウム、金、白金、鉄、タンタル、タングステンおよびステンレスからなる群から選ばれる少なくとも1つの金属または合金が好適である。本発明の製造方法の圧着温度は、流路部材3のガラス転移温度以上であることが好ましいが、流路部材3のガラス転移温度°Cの1.25倍以上の温度°Cであることがより好ましい。その理由は次のように説明される。流路部材3を加圧して適度な段差を容易に発生させる為には、流路部材3を大幅に歪ませることが好ましい。後述する実施例に示されるように、大概の有機樹脂では、そのガラス転移温度°Cの1.25倍以上の温度°Cに加熱すると、その弾性率は室温での値に対して103倍近くまで低下し、流路部材3は容易に軟化する。例えば、室温における有機樹脂の圧縮弾性率を10GPaとすると、ガラス転移温度°Cの1.25倍以上の温度°Cに加熱した場合、その弾性率は10MPaまで減少する。そのとき、通常の圧着機で印加しうる圧力約1MPa以下を加えた場合は、有機樹脂の圧縮歪圧縮により生じた膜厚変化量を元の膜厚で割った比率は10となる。圧縮歪が10以上の大きな歪み領域では即ち降伏点近傍では、有機樹脂は容易に塑性変形を起こしうる。その結果、前述のようなメカニズムによって流路部材3に適度な圧縮応力の分布を容易に発生させることが可能となり、流路部材3とオリフィスプレート2に良好な段差を容易に形成することができる。例えば、流路部材3にエポキシ樹脂ガラス転移温度:約180°Cを使用する場合、圧着温度は225°C以上で行うことが好適である。流路部材3にポリイミド樹脂ガラス転移温度:約250°Cを使用する場合は、圧着温度は313°C以上で行うことが好適である。なお、圧着時の温度は、流路部材3の流動点未満であることが好ましい。加熱温度が、流動点未満であると、流路部材3の液状化が顕著になることを容易に防ぎ、流路部材3が広範囲に流動し、エネルギー発生素子やコンタクトパッド6などの部位にまで広がることを容易に防ぐことができる。従って、圧着温度は、流路部材3のガラス転移温度以上、流路部材3の流動点未満であることが好ましい。図8に示す従来の製造方法、および図3に示す本発明の製造方法は、両者とも熱圧着工程が一度で済み、液滴吐出ヘッドに使用される部材の数も同じである。従って、製造条件を最適化すれば、本発明の製造方法は、従来の製造方法と同等のスループットを達成可能であり、コスト的にも同等とすることができる。図1、図2に示された実施形態1により得られる液滴吐出ヘッドの構造は、オリフィスプレート2に二段の段差構造が形成される。このような段差構造は、ヘッド表面をワイピングする際に、吐出口4を傷つけない利点がある。本発明では、このような段差構造が、従来の製造方法よりも少ない工程で実現できる。例えば特許文献1では、2段の流路部材を形成するためには、少なくとも流路部材のパターニングが2回必要となる。これに対して、本発明の製造方法では、流路部材3のパターニングが1回で済む。従来、このような段差構造を持つオリフィスプレートは、流路部材3のうちの窪んでいる部位がオリフィスプレート圧着時に十分に加圧し難い傾向があり、その部位でのオリフィスプレートと流路部材3との密着性が低い場合があった。そのために、一部でオリフィスプレート最下面流路部材側の面が流路部材3上面プレート側の面の高さよりも浮いてしまう場合があるなど、局所的な撓みが発生しやすい場合があった。ところが、本発明により作製されるヘッドでは、圧着時には、オリフィスプレート2の全ての面に十分な圧力を加えることができ、なおかつ変形誘導領域20の貫通穴21に流路部材3を充填し、硬化することができる。このことにより、インク流路9外周部のオリフィスプレート2と流路部材3との密着性がより向上し、かつ、オリフィスプレート2が強固に固定され、局所的な撓みの発生を特に抑制することができる。また従来技術では、オリフィスプレート2が軟化しないと、このような段差のある流路部材3に沿って、オリフィスプレート2を貼り合せることは難しい。これに対して本発明では、流路部材3に段差がない状態で、オリフィスプレート2と流路部材3とを貼り合せた後に、流路部材3とオリフィスプレート2に段差を形成する。従って、金属のような軟化しないオリフィスプレートであっても、段差を持った流路部材3表面に沿って、オリフィスプレート2をきれいに貼り合せることができる。実施形態2本発明の製造方法の実施形態2として、流路部材3側に変形誘導領域20が設けられる例を説明する。図7に、実施形態2の液滴吐出ヘッドの製造工程を示す。図7aでは、チップ基板上の流路部材3において、オリフィスプレートと流路部材とが貼り合わされる面、即ち、貼り合わされる前の流路部材の対向する2つの面のうちのオリフィスプレート側の面に貫通穴、即ち溝22が設けられており、変形誘導領域20は、溝22を含む。なお、変形誘導領域20は、この貼り合わされる面のインク流路9外周部近傍、即ち流路部材外周部8近傍、且つ、インク流路外周部よりも流路部材側に設けることができる。流路部材3における貼り合わされる面の液体流路の外周部近傍、且つ、液体流路外周部よりも流路部材側の部分とは、貼り合せた際にインク流路外周部に近い流路部材3の領域を意味する。流路部材3に空隙を形成する際は、液体流路外周部近傍、且つ、液体流路外周部よりも流路部材側の部分として、例えば、インク流路外周部から5~500μm流路部材側に進んだ所までの領域に相当する位置に空隙を形成することができる。流路部材3側に空隙が形成された場合の変形誘導領域20は、実施形態1と同様に、次のように定義することができる。まず、流路部材の空隙図7では、溝22が形成された貼り合わされる面において、実施の形態1のときと同様に、各空隙に対応する長方形を定義する。そして、流路部材3の中で、全ての前記長方形領域を連結させた領域により画定される部分を、変形誘導領域20として定義することができる。この実施形態では、溝22は、流路部材3中に、図4bのように、不連続に形成された溝である。オリフィスプレート2には、吐出口4のみが設けられており、その材料は実施形態1と同様である。また、実施形態2で製造された液滴吐出ヘッドの平面図は図1と同等である。図7bで、実施の形態1と同様に、熱圧着によってオリフィスプレート2をヘッド基板30に対してアライメントして仮固定する。その後、固定部材10をオリフィスプレート2の上に設置する。圧着機の試料ステージ13に、試料積層された、固定部材10、オリフィスプレート2、流路部材3、および基板1をセットする図7c。この試料を流路部材3のガラス転移温度以上に加熱する。ついで、ヘッド基板30の裏面に圧着ロッド14を当てて、圧着を開始する。その際に、流路部材3の弾性率に対して、流路部材を十分に歪ませ好適には圧縮歪みが10以上、降伏点付近まで歪ませられることができる圧力で圧着を行うと、溝22近傍の流路部材は圧縮されつつ塑性変形を起こし、溝22を埋めるように平面方向に膨張する。溝22近傍の流路部材は塑性変形を起こしているため圧縮応力が緩和している。その結果、溝22近傍の流路部材はその他の部位と比較して圧縮応力が低くなり、流路部材3中に圧縮応力の分布が生じる。この状態で、圧着ロッド14を試料から離して圧着を停止すると、流路部材3中で圧縮応力が弱い部位での復元力は、他部位のそれよりも小さいため、その高さが他よりも低くなるような段差が形成される。流路部材3の段差にあわせてオリフィスプレート2のインク流路9近傍が窪むように変形するため、オリフィスプレート2の撓みが解消される。最終的に図7eに示すような液滴吐出ヘッドが完成する。以上に示した実施の形態では、オリフィスプレート2または流路部材3に設けられた変形誘導領域20は、流路部材3を貫通した空間、即ち貫通穴21または溝22を含んでいた。しかし、変形誘導領域20は、図9abに示すように、部材を貫通していない窪み、即ちオリフィスプレートの窪み23および流路部材の窪み24の少なくとも一方を含んでいてもよい。さらに、変形誘導領域20は、貫通穴および窪みを両者とも含んでいても良い。本発明の製造方法では、オリフィスプレート2、および、流路部材3の少なくとも一方に設けられた変形誘導領域20の大きさと位置、変形誘導領域の疎である部分貫通穴内部および窪み内部の体積によって、圧縮応力の空間分布を容易に制御できる。そして、最終的に出来上がる流路部材3とオリフィスプレート2内の段差の大きさや、窪ませるべき領域の大きさを容易に制御することができる。疎である部位の体積が大きいほどより高い段差を形成することができる。実施の形態1または実施の形態2に示されたように、変形誘導領域20がオリフィスプレート2、および、流路部材3の少なくとも一方に空隙を含む場合に、オリフィスプレート内に段差を発生させるために必要な空隙の体積について説明する。変形誘導領域の全体積に対する、変形誘導領域の疎である部分貫通穴および窪み内部空隙内部の合計体積の比率空孔率をnとする。nが大きいほど、変形誘導領域の流路部材は、より空隙を充填するため塑性変形を起こしやすくなる。その結果、圧縮応力が緩和し変形誘導領域とそうでない部分との復元力の差が大きくなり、発生する段差が高くなる。例えば、後述の発明者らの実験実施例では、変形誘導領域が図4aに示されたような円形の貫通穴の集合から構成されている。この時、貫通穴の直径は5μmで、一辺15μmの正三角形の頂点の位置にそれぞれ配置されている。このときnは0.087であり、百分率で表せば8.7である。発明者らの実験によれば、このnが0.087の条件で、実際にオリフィスプレートが容易に変形し、撓みが容易に解消される効果が確認されているので、少なくともnが0.087以上、百分率で8.7以上であれば、このような効果を容易に得て、段差を発生しやすくなることが期待できる。熱圧着時の温度、圧力、時間によっても段差の高さを制御できる。圧着時の温度が高いほど、また、圧力が高いほど、段差が高くなる。また、圧着時の時間が長いほど、流路部材3の塑性変形が促進されていくため、同様に段差が高くなる。実施の形態1、実施の形態2では、貼り合せる前のオリフィスプレート2に吐出口4が形成されていたが、貼り合せる前に吐出口4を形成せずに、張り合わせた後に吐出口4を形成しても良い。その場合、図3e、または、図7eの工程の後に、オリフィスプレートにフォトリソグラフィとエッチングによって吐出口4を形成してもよく、レーザ加工によって吐出口4を形成してもよい。なお、本発明を実施するに当って、以上に示した実施の形態のいずれかを複数組み合わせても良い。また、インクジェット記録ヘッドの例を説明したが、本発明は、同様に液体を吐出させ得る液滴吐出ヘッドについて使用可能であり、他分野に用いられる液滴吐出ヘッドにも適用可能である。吐出させる液体としてインク、薬液などのタンパク質溶液、精製水、銀やはんだなどの配線材料溶液などが挙げられる。実施例1フォトリソグラフィ工程により、6インチシリコン基板上にアルミの配線、酸化シリコン薄膜の層間絶縁膜、窒化タンタルのヒータ薄膜パターン、外部の制御部と導通させるコンタクトパッド6を形成した。これらを作製したシリコン基板上に、流路部材形成用材料として、ネガ型の感光性を有する液状のエポキシ樹脂溶液をスピン塗布法によって塗布し、露光および現像を行った。塗布したエポキシ樹脂膜流路部材3の膜厚は5.5μmであり、エポキシ樹脂溶液の具体的組成を以下に示す。EHPE-3150商品名、ダイセル化学工業社製100質量部HFAB商品名、セントラル硝子社製20質量部A-187商品名、日本ユニカー社製5質量部SP170商品名、旭電化工業社製2質量部キシレン80質量部エポキシ樹脂膜をパターニング後、200°Cで熱処理し、流路部材3を形成した。この熱処理によりエポキシ樹脂膜は熱硬化して高い弾性率を発現し、同時に下地との密着性が向上した。なお、この流路部材の材料であるエポキシ樹脂の一般的なガラス転移温度は180°Cであることが文献よりわかっている。従ってこの流路部材のガラス転移温度は180°Cであると推測される。前記シリコン基板上に流路部材3を形成後、流路部材3を保護する保護膜を基板表面に塗布し、シリコン基板裏面にインク供給口15のレジスト膜を形成した。その後、アルカリ系のエッチング溶液であるテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの水溶液からなるエッチング液によって、加温しながらウエットエッチングを行って、基板裏面から表面まで貫通するインク供給口15を形成した。その後、基板表面の保護膜を洗浄液により除去し、ウエハをダイシングし、ヘッドごとのチップに切り出した。オリフィスプレート2は電鋳法によって作製した。詳しくは、基板上に吐出口4及び変形誘導領域20の貫通穴21に対応するレジスト膜を形成した後、メッキ装置によって基板上にニッケル薄膜をメッキ成長させた。その後、そのレジスト膜を除去し、ニッケル薄膜を基板より剥離し、そのニッケル薄膜を、オリフィスプレート2のサイズに切断し、オリフィスプレート2を作製した。オリフィスプレート2の膜厚は3μmであった。オリフィスプレート2の変形誘導領域20の貫通穴21は、図4aに示す形状にて作製した。即ち、各貫通穴の平面形状は円であり、互いに正三角形の頂点に配置された多数の貫通穴パターンを作製した。このとき、貫通穴を結んで形成される正三角形の一辺は15μmであり、貫通穴21の直径は全て5μmであった。変形誘導領域20の空孔率nは0.087であり、変形誘導領域20は、インク流路9最外周から200μm流路部材側まで形成された。オリフィスプレート2の形状は図1とほぼ同じである。固定部材10として、チップと同一形状に切り出されたシリコン基板鏡面研磨処理ありを用意した。熱圧着機の試料ステージ13及び圧着ロッド14の部材内部にはヒータと熱電対12が備えつけてあり、試料ステージ13と圧着ロッド14の温度は、予め圧着温度に維持された。図3aのように、作製した、流路部材3が形成されたヘッド基板30と、オリフィスプレート2とを用意し、図3cに示すように、試料ステージ13上に、固定部材10、オリフィスプレート2、ヘッド基板30の順番で積層させた。その際、熱圧着機のアライメント機構によって、熱圧着機上で、これらの相対位置がアライメントされつつ積層された。試料固定部材10、オリフィスプレート2およびヘッド基板30と、熱圧着機との配置は、図5に示されるとおりである。その後、図3dに示されるように、圧着ロッド14によってヘッド基板30裏面から加圧を行った。圧着圧力は0.2MPa、圧着温度は200°C、圧着時間は60minであった。この段階において、流路部材3はガラス転移温度180°C以上に加熱され、かつ、圧着圧力が高いため、図3dのように流路部材3は圧縮され、且つ、変形誘導領域20の貫通穴21と接触している部位の流路部材3が、貫通穴形状に沿って突起状に変形していた。なお圧着温度は圧着ロッド14と基板ステージ13に設置された熱電対によって測定した。加圧を行った後に、図3eに示されるように、圧着ロッド14をヘッド基板30から離して、圧着を終了し、液滴吐出ヘッドを作製した。以降、この製造方法で作製した液滴吐出ヘッドを、ヘッドA-1と称する。実施例2~5圧着温度を、225°C、238°C、250°Cおよび300°Cに変更した以外は、実施例1とそれぞれ同様にして実施例2~5の液滴吐出ヘッドを作製した。以降、実施例2~5で作製したヘッドを、それぞれヘッドA-2~A-5と称する。なお、これらの実施例において、流路部材3はガラス転移温度180°C以上に加熱され、かつ、圧着圧力が高いため、図3dのように流路部材3は圧縮され、且つ、変形誘導領域20の貫通穴21に流路部材3が充填された。比較例1比較例として、図8に示される従来プロセスにより、液滴吐出ヘッドを作製したヘッドB-1。ヘッドB-1は、図5と同様な熱圧着機によって貼り合わされた。180°Cまで加熱された試料ステージ13上に、固定部材10としてシリコン基板、吐出口4のみが形成されたオリフィスプレート2、ならびにヘッドA-1を作製するのに用いたものと同様のヘッド基板30が積層された。なお、比較例1では、オリフィスプレート2および流路部材3いずれにも変形誘導領域は形成されていない。その際、熱圧着機のアライメント機構によって、固定部材10、オリフィスプレート2およびヘッド基板30はアライメントされた図8a。その後、図5に示す圧着ロッド14でこれらを加圧して圧着した。圧着圧力は0.015MPa、圧着温度は180°C、圧着時間は10minであった。しかし、上述したようにオリフィスプレートおよび流路部材には、貫通穴および窪みが形成されていないため、この圧着条件において、流路部材3に塑性変形は生じなかった。また、圧着後に流路部材3には何の変形も見られなかった。比較例2ヘッドB-1を作製する際に用いたものと同様のオリフィスプレート2を使用した以外は、実施例1と同様な方法で液滴吐出ヘッドを作製したヘッドB-2。なお、比較例1と同様に、比較例2では、オリフィスプレート2および流路部材3いずれにも、変形誘導領域は形成されていない。ヘッドB-2は、実施例1と同様に圧着圧力は0.2MPa、圧着温度は200°C、圧着時間は60minで圧着させ作製しているが、上述したようにオリフィスプレート2および流路部材3には変形誘導領域が形成されていない。このため、ヘッドB-2の流路部材3には変形が見られなかった。評価図10は、実施例のヘッドA-1~A-5および比較例のヘッドB-1の吐出口4近傍における流路高さと、圧着温度との関係を示したものである。なお、流路高さとは、図3に示すように、オリフィスプレート2下面流路部材側の面と基板1表面との距離を意味する。比較例のヘッドB-1を三角のシンボル、実施例のヘッドA-1~A-5のデータを円のシンボルで図中にプロットした。ここで流路高さは以下のようにして測定した。図11は、ヘッド基板30の平面図であり、流路高さを測定した箇所を示したものである。作製したヘッドは、図11に示すように、長細い長方形のインク供給口15が平行に2列開口されている。符号41~52で表される箇所の流路高さを顕微鏡によって測定し、平均値を算出した。なおインク供給口15の短手方向の両側には、ヒータ列不図示が設けられている。図10より、実施例で作製したヘッドは、圧着温度が高いほど流路高さが低くなっている。圧着温度が200°CのヘッドA-1では、流路高さは5.1μmであり、流路部材3の膜厚5.5μmに対して、若干低くなっており、流路部材に変形が生じている。圧着温度が225°C以上で作製したヘッドA-2~A-5は、流路高さが5μm以下になり、ヘッドを上部から顕微鏡で観察したときに、インク流路9上のオリフィスプレート領域が陥没していることが明確に確認された。これらの圧着温度に対する流路高さの挙動は次のように説明される。なお、ガラス転移温度が180°Cである標準的なエポキシ樹脂の弾性率のデータを元に説明する。室温から160°C未満の温度では、エポキシ樹脂は硬く、その弾性率は1GPa以上である。このため、0.2MPaで圧着すると、流路部材3の圧縮歪み量は0.001μmであり、殆ど歪まない。なお、圧縮前の流路部材3の厚みは、5.5μmである。しかし、エポキシ樹脂は、160°C以上から大幅な弾性率の減少が始まり、ガラス転移温度180°C付近になると、弾性率は1~2桁下がり、弾性率は0.1GPaまで減少する。本発明では、オリフィスプレートおよび流路部材の少なくとも一方に変形誘導領域を有するため、流路部材をガラス転移温度以上に加熱して、弾性率を減少させた状態で圧縮することにより、上記領域に流路部材を入り込ませ塑性変形させることができる。その結果、図3eに示すような段差を流路部材に形成することができる。また、ガラス転移温度180°Cの1.25倍の温度225°Cにおける弾性率は0.7MPaであり、0.2MPaの圧着圧力を加えたときには、流路部材3の圧縮歪み量は1.5μmとより大きくなる。この場合、流路部材膜厚に対する歪み量の割合は27となる。このように流路部材3がより大きく歪む結果、流路部材3は容易に塑性変形を起こし、変形誘導領域20の貫通穴21へ流路部材3が容易に充填される。そして、流路部材3の圧縮応力が緩和し、流路部材3に2段の段差が容易に形成される。従って、圧着温度を225°C以上にすること、即ちガラス転移温度°Cの1.25倍以上の温度°Cにすることは、流路部材3に段差を形成するためにより有効であると考えられる。次に、比較例のヘッドB-1と、圧着温度250°Cで作製したヘッドA-4の流路高さの再現性を調べた。このヘッドA-4の流路高さは2.4μmであり、流路部材3の最も厚い部位の厚さは5.5μmであった。結果として流路部材3中に3.1μmの段差が形成された。図12は、上述した製造方法実施例4および比較例1により作製したヘッドA-4およびB-1のヘッド番号と、平均値で規格化された流路高さとの関係をプロットしたものである。従来方法によるヘッドB-1は、合計65個製造し、その65個のヘッドの流路高さの平均が6μm、そのばらつき標準偏差/平均値が22であった。この65個のヘッドB-1を、ヘッド番号1~65ヘッドB-1-1~B-1-65で表し、三角のシンボルで図中にプロットした。ヘッドB-1は、流路高さが流路部材の厚さよりも2μm程度高くなるヘッドが作製されることがあった。そのような不良ヘッドの一つとして、図12中に示すヘッド番号10番ヘッドB-1-10、流路高さ7.4μmのヘッドのチップ内各点における流路高さを調べたところ、図11の符号48と49の部位が他の場所に比べて2μm以上浮いており、局所的な撓みが発生していることがわかった。この原因として、3μmと非常に薄いオリフィスプレートを圧着させていることから、製造時における変形、静電気による撓み、圧着均一性の不備などが考えられる。一方、本発明のヘッドA-4は、合計で22個製造し、その22個のヘッドの流路高さの平均値が2.4μm、そのばらつきが7であった。この22個のヘッドA-4を、ヘッド番号1~22ヘッドA-4-1~A-4-22で表し、円のシンボルで図中にプロットした。ヘッドA-4では、流路高さが低いにも関わらず局所的にオリフィスプレートが浮いてしまうようなヘッドは見られず、流路高さのばらつきも小さかった。この結果は、本発明の製造方法によって、薄いオリフィスプレート内に発生する局所的な撓みを効果的に抑制していることを示しているものと考えられる。続いて、ヘッドB-1と、ヘッドA-4を用いて精製水を吐出させ、吐出に必要な最小のヒータ電力を調べた。電圧パルスのパルス幅を1.2μsecとしたときの最小ヒータ電力は、ヘッドB-1に比べてヘッドA-4は0.75倍であった。これは、ヘッドA-4の吐出口4とヒータとの距離が、ヘッドB-1のそれに対して約半分になり、発泡のエネルギーが吐出口4側へより伝わるようになった為である。このように、本発明のヘッドは流路高さを安定的に低減できるため、低消費電力化に対しても有利である。また、流路高さが3μm程度の変動でも、吐出に必要なエネルギーが0.75倍も変化することは、吐出するインク滴の速度や体積も大きく変動していることを意味する。図12のヘッドB-1のデータに示されたような、最大で10μm以上の流路高さの差すなわち流路高さの変動は、吐出するインク滴の速度や体積のチップ内における大きなばらつきを引き起こしていることを意味していると思われる。さらに、このように撓んでいるオリフィスプレート領域近くの吐出口から吐出される液滴の方向が捩れてしまっていた。以上の結果より本発明による製造方法は、オリフィスプレートが3μmと非常に薄くなっても、オリフィスプレートの撓みの発生を防止し、かつ、吐出口とエネルギー発生素子とのギャップ距離を安定に低減できることが示された。本発明の製造方法の好ましい形態をまとめると、以下の通りである。まず、液体流路外周部近傍、且つ、液体流路外周部よりも流路部材側の流路部材、および、その流路部材上に位置するオリフィスプレートの少なくとも一方に、貫通穴および窪みの少なくとも一方を含む変形誘導領域を設ける。流路部材のガラス転移温度以上の特定の温度に加熱して、オリフィスプレートと流路部材とを圧着することにより前記貫通穴および窪みの少なくとも一方に流路部材を充填する。その際に流路部材の液体流路外周部近傍の圧縮応力が緩和する。加圧を停止することで復元力により流路部材が膨張し、貫通穴および窪み近傍の流路部材とオリフィスプレートが二段に変形する。その結果、オリフィスプレート面内により引き伸ばされることにより、オリフィスプレートの撓みが容易に解消される。