処理装置間で基板の受け渡し、受け取りを行う基板搬送装置であって、基板受け渡し装置と、基板受け取り装置と、基板受け取り装置に基板を受け渡す基板搬送ロボットと、を備え、基板受け渡し装置は、第一の基板を上昇させる第一の基板上昇手段と、第二の基板を上昇させる第二の基板上昇手段と、を有し、基板搬送ロボットは、第一の基板上昇手段で持ち上げられた第一の基板の下方に挿入して基板を保持する第一のロボットハンドと、第二の基板上昇手段で持ち上げられた第二の基板の下方に挿入して基板を保持する第二のロボットハンドと、を有し、基板受け取り装置は、第一のロボットハンドに保持された第一の基板を受け取り、基板を下降させる第一の基板下降手段と、第二のロボットハンドに保持された第二の基板を受け取り、基板を下降させる第二の基板下降手段と、を有することを特徴とする基板搬送装置。前記第一のロボットハンドと第二のロボットハンドは同期して動作することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。処理装置間で基板の受け渡し、受け取りを行う基板搬送装置を備えたカラーフィルタ製造装置であって、基板搬送装置は、基板受け渡し装置と、基板受け取り装置と、基板受け取り装置に基板を受け渡す基板搬送ロボットと、を備え、基板受け渡し装置は、第一の基板を上昇させる第一の基板上昇手段と、第二の基板を上昇させる第二の基板上昇手段と、を有し、基板搬送ロボットは、第一の基板上昇手段で持ち上げられた第一の基板の下方に挿入して基板を保持する第一のロボットハンドと、第二の基板上昇手段で持ち上げられた第二の基板の下方に挿入して基板を保持する第二のロボットハンドと、を有し、基板受け取り装置は、第一のロボットハンドに保持された第一の基板を受け取り、基板を下降させる第一の基板下降手段と、第二のロボットハンドに保持された第二の基板を受け取り、基板を下降させる第二の基板下降手段と、を有することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。上記従来のシングルタイプのロボットハンドの場合には、ロボットハンドの挿入引き出し動作や旋回動作は、基板の保持が困難になることや、基板の傷つき、破損の発生の観点から、一定速度以上の速度で動作させることが出来ない。図6は、基板受け渡し装置の動作タイミングを示す図a1と、受け渡す基板を受け取り装置に搬送する搬送ロボットの動作タイミングを示す図bである。符号62は基板が基板受け渡し装置に載置された後、基板受け渡し装置の基板受けピンで基板を上昇させ、ロボットハンドが侵入するスペースを確保するまでのタイミングを示す。符号63はロボットハンドが基板受け渡し装置内の基板の下方に挿入し、更にロボットハンドが上昇して基板を保持し、保持した状態で基板受け渡し装置の外に基板を引き出すまでのタイミングを示す。尚、符号64はロボットハンドが基板を保持した状態で旋回し次の基板受け取り装置に基板を引き渡した後、再度旋回して基板受け渡し装置に挿入される直前までの時間を示す。この場合、図6aに示す基板受け渡し装置が1枚の基板を処理する時間T基板受け渡し装置の基板処理動作時間と呼ぶよりも、図6bに示す基板搬送ロボットが1枚の基板を基板受け渡し装置から基板受け取り装置へ受け渡す時間T ́基板搬送ロボットの基板処理動作時間と呼ぶが長いT<T ́場合、基板搬送ロボットの基板処理動作時間が律速となり、その結果、基板受け渡し装置の基板処理動作は基板受け渡し装置の本来の処理動作タイミングから、図6a2に示す矢印65-1~65-5に示すような動作タイミングになってしまい、基板受け渡し装置の動作を一時待機させざるを得なくなり、その結果、基板受け渡し装置の基板処理動作時間が長くなり、生産効率が低下してしまうといった問題が発生してしまう。また、上記ダブルハンドタイプの場合でも、2つのハンドの上昇動作は同時に行われているが、挿入と引き出し動作は独立して行っているため、従来の基板搬送ロボットの基板処理動作時間が上流の基板受け渡し装置の処理時間に間に合わず、基板搬送ロボットの処理が律速となって、生産効率が低下してしまうといった問題があった。これを解決するためには、基板搬送ロボットを並列配置したり、製造装置の設計の見直しを行う必要が有る。その場合には、基板搬送ロボットの設置面積を広くする必要があり、またそれに伴う設備費用の増大といった問題が発生していた。そこで本発明は上記問題に鑑みて、基板の受け取り時間を短縮して、上流の基板受け渡し装置の処理時間と律速とならない基板搬送装置、及び該基板搬送装置を有するカラーフィルタ製造装置を提供することを目的とする。そこで本発明の請求項1に係る発明は、処理装置間で基板の受け渡し、受け取りを行う基板搬送装置であって、基板受け渡し装置と、基板受け取り装置と、基板受け取り装置に基板を受け渡す基板搬送ロボットと、を備え、基板受け渡し装置は、第一の基板を上昇させる第一の基板上昇手段と、第二の基板を上昇させる第二の基板上昇手段と、を有し、基板搬送ロボットは、第一の基板上昇手段で持ち上げられた第一の基板の下方に挿入して基板を保持する第一のロボットハンドと、第二の基板上昇手段で持ち上げられた第二の基板の下方に挿入して基板を保持する第二のロボットハンドと、を有し、基板受け取り装置は、第一のロボットハンドに保持された第一の基板を受け取り、基板を下降させる第一の基板下降手段と、第二のロボットハンドに保持された第二の基板を受け取り、基板を下降させる第二の基板下降手段と、を有することを特徴とする基板搬送装置である。本発明の請求項2に係る発明は、前記第一のロボットハンドと第二のロボットハンドは同期して動作することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置である。本発明の請求項3に係る発明は、処理装置間で基板の受け渡し、受け取りを行う基板搬送装置を備えたカラーフィルタ製造装置であって、基板搬送装置は、基板受け渡し装置と、基板受け取り装置と、基板受け取り装置に基板を受け渡す基板搬送ロボットと、を備え、基板受け渡し装置は、第一の基板を上昇させる第一の基板上昇手段と、第二の基板を上昇させる第二の基板上昇手段と、を有し、基板搬送ロボットは、第一の基板上昇手段で持ち上げられた第一の基板の下方に挿入して基板を保持する第一のロボットハンドと、第二の基板上昇手段で持ち上げられた第二の基板の下方に挿入して基板を保持する第二のロボットハンドと、を有し、基板受け取り装置は、第一のロボットハンドに保持された第一の基板を受け取り、基板を下降させる第一の基板下降手段と、第二のロボットハンドに保持された第二の基板を受け取り、基板を下降させる第二の基板下降手段と、を有することを特徴とするカラーフィルタ製造装置である。本発明の基板搬送装置、及びカラーフィルタ製造装置によれば、基板を上流装置から下流装置へ受け渡しと受け取りを行う場合に、基板搬送ロボットの処理時間が上流の基板受け渡し装置の処理時間に対して遅れることを防ぐことが可能となり、その結果、カラーフィルタ製造装置の生産効率の低下を防ぐことが出来る。以下、図面を参照して本発明に係る基板搬送装置を実施するための形態を説明する。図7は本発明に係る基板搬送装置の概略構成を示す図である。基板搬送装置70は処理工程の上流に位置する基板受け渡し装置71と、基板を基板受け渡し装置71から受け取る基板受け取り装置73と、基板受け渡し装置71と基板受け取り装置73の間で基板を搬送する基板搬送ロボット73で構成される。図8は基板受け渡し装置71の一例を示す概略図である。図8aは基板受け渡し装置71を側面から見た図で、図8bは受け渡し装置71を正面から見た図である。受け渡し装置71は上流の基板処理装置から搬送された第一の基板80aを上昇させる第一の基板上昇手段である複数の第一の上昇ピン71-1aと、上流の基板処理装置から上記第一の基板80aの次に搬送された第二の基板80bを上昇させる第二の上昇手段である複数の第二の上昇ピン71-1bと、を有している。上昇ピン71-1aと上昇ピン71-1bはベース台71-3a及びベース台71-3bにその一部が埋め込まれている。また、基板受け渡し装置71には搬送ローラ71-2a及び搬送ローラ71-2bが備えられており、該搬送ローラによって上昇ピン71-1aと上昇ピン71-1bが設けられた位置まで基板80a及び基板80bは搬送される。複数の上昇ピン71-1aと複数の上昇ピン71-1bは、上昇した際に上記搬送ローラ71-2a及び搬送ローラ71-2bローラと干渉しないように設けられている。基板80a及び基板80bを受け渡す際には、上昇ピン71-1aと上昇ピン71-1bが矢印74a及び矢印74bで示す方向に上昇し、基板80a、基板80bを上昇させる。上昇ピン71-1aと上昇ピン71-1bを上昇させるには、例えば図示しないエアシリンダーを用いることが出来る。上昇ピン71-1aと上昇ピン71-1bで上昇された基板80a及び基板80bの下方には後で述べる搬送ロボットのロボットハンドが挿入される。尚、基板受け渡し装置71は基板を処理する処理装置内、もしくは処理装置外に設けても良い。図9は基板搬送ロボット72の一例を示す概略図である。図9aは基板搬送ロボット72を側面から見た図で、図9bは上面から見た図である。基板搬送ロボット72は基板受け渡し装置71と基板受け取り装置73の間で基板を搬送するもので、ロボットベース台72-3上に支えられたロボット本体72-4の上部に設けられ、上記図8に示される第一の上昇ピン71-1aで持ち上げられた第一の基板80aの下方に挿入して基板を保持する第一のロボットハンド72-1と、上記第二の上昇ピン71-1bで持ち上げられた第二の基板80bの下方に挿入して基板を保持する第二のロボットハンド72-2と、を有している。第一のロボットハンド72-1と、第二のロボットハンド72-2の上面には、基板を保持しやすくするために複数の基板支持体72-4a及び72-4bが設けられている。更に第一のロボットハンド72-1と、第二のロボットハンド72-2は、矢印72-5aに示す方向と矢印72-5bに示す方向に駆動され、ロボットハンドは挿入引き出しと旋回を行うことが出来る。図10は基板受け取り装置73の一例を示す概略図である。図10aは基板受け取り装置73を側面から見た図で、図10bは正面から見た図である。基板受け取り装置73は第一のロボットハンド72-1に保持された第一の基板80aを受け取った後、第一の基板80aを矢印75aで示す方向に下降させる第一の基板下降手段である複数の第一の下降ピン73-1aと、第二のロボットハンド72-2に保持された第二の基板80bを受け取った後、第二の基板80bを下降させる第二の基板下降手段である複数の第二の下降ピン73-1bと、を有している。下降ピン73-1aと下降ピン73-1bは、下降した際にはベース台73-3a及びベース台73-3bにその一部が沈み込んだ状態となる。下降ピン73-1aと下降ピン73-1bに載置された第一の基板80a及び第二の基板80bは下降ピン73-1aと下降ピン73-1bが下降することによって、搬送ローラ73-2a及び搬送ローラ73-2b上に載せ替えられた後に、該搬送ローラによって次の処理装置基板受け取り装置73の下流に位置する処理装置に搬送される。複数の下降ピン73-1aと複数の下降ピン73-1bは、上記搬送ローラ73-2a及び搬送ローラ73-2bと干渉しないように設けられている。下降ピン73-1aと下降ピン73-1bを下降させるには、例えば図示しないエアシリンダーを用いることが出来る。尚、基板受け取り装置73は基板を処理する処理装置内、もしくは処理装置外に設けても良い。図11は本発明による基板搬送装置によって、基板の受け渡し、受け取りを行う場合の動作フローを示す図である。図11の動作フロー図と、基板受け渡し装置71を示す図8と、基板搬送ロボット72を示す図9と、基板受け取り装置73を示す図10と、を用いて基板の受け渡し、受け取りの動作フローを説明する。先ず、基板受け渡し装置内の搬送ローラ71-2a、71-2bに載置された基板80a、80bを上昇ピン71-1a、上昇71-1bで上昇S1させた後、基板搬送ロボット72の2本のロボットハンド72-1a、ロボットハンド72-1bを同時に基板80a、80bの下方に挿入するS2。次に、2本のロボットハンド72-1a、72-1bを同時に上昇S3させた後、2本のロボットハンド72-1a、72-1bに基板を保持した状態で基板板受け渡し装置71の外に同時に引き出すS4。基板を保持した2本のロボットハンド72-1a、72-1bを同時に旋回しS5、その後基板を保持した2本のロボットハンド72-1a、72-1bを基板受け取り装置73に同時に挿入するS6。次に、2本のロボットハンド72-1a、72-1bに載置された基板80a、80bを基板受け取り装置73の下降ピン73-1aと下降ピン73-1bに載せ替えS7、基板受け取り装置73の下降ピン73-1aと下降ピン73-1bを下降して基板を搬送ローラ73-2a、73-2bに載せるS8。更に搬送ローラ73-2a、73-2bに載置された基板を下流の処理装置に搬送してS9、基板の受け渡しを終了するS10。図12は、基板受け渡し装置71の動作タイミングaと基板搬送ロボット72の動作タイミングbを示す図である。図12aに示されるA1、A2、A3は基板受け渡し装置71の上昇ピン71-1a図8参照に基板80aを載置した後、ピンで基板を上昇させ、ロボットハンド72-1a図9参照が侵入するスペースを確保するまでのタイミングを示す。同様に図12aに示されるB1、B2、B3は基板受け渡し装置71の上昇ピン71-1b図8参照に基板80bを載置した後、ピンで基板を上昇させ、ロボットハンド72-1b図9参照が侵入するスペースを確保するまでのタイミングを示す。また、図12bに示されるC1、C2、C3は搬送ロボット72のロボットハンド72-1a、及びロボットハンド72-1b図9参照が基板受け渡し装置71内で上昇ピン71-1aに載置された基板80aと、上昇ピン71-1bに載置された基板80bの下方に挿入し、更にロボットハンド72-1a、及びロボットハンド72-1bが上昇して基板を保持し、保持した状態で基板受け渡し装置71の外に引き出すまでのタイミングを示す。即ち、基板受け渡し装置71内のA1とB1における2枚の基板は、基板搬送ロボット72のC1のタイミングで基板受け渡し装置71の外に引き出される。同様に、基板受け渡し装置71内のA2とB2における2枚の基板は、基板搬送ロボット72のC2のタイミングで基板受け渡し装置71の外に引き出される。基板受け渡し装置71内のA3とB3における2枚の基板は、搬送ロボット72のC3のタイミングで基板受け渡し装置71の外に引き出される。図12bに示すこの場合の基板搬送ロボット72の基板処理動作時間T ́ ́は本来の基板搬送ロボット72の基板処理動作時間T ́よりも長く取ることが出来る。言い換えれば、基板搬送ロボット72の基板処理動作時間T ́ ́は基板受け渡し装置71の基板処理動作時間2Tの時間内に収まるため、律速となることはなく、生産効率の低下を防ぐことが出来る。このように本発明の基板搬送装置は、基板受け渡し装置及び基板受け取り装置には第一の基板と、第二の基板を上昇及び下降する手段を設け、基板搬送ロボットにはダブルのロボットハンドを用いるといった単純な装置構成であるため、設置面積の抑制と、設備費用の増大を抑制する効果がある。図13は、上記本発明による基板搬送装置を適用したカラーフィルタ製造装置の一例を示す図である。基板搬送装置は、例えば搬送ローラー等で基板搬送する装置搬送装置1121~搬送装置6126、図示しない基板を一時的に保管する図示しないバッファ装置、感光性樹脂液が塗布された基板を検査する検査装置127や他の検査装置128や検査装置129、修正装置130等への基板の受け渡しを行う場合等各処理装置間で広く用いることが出来、その結果、カラーフィルタ製造装置全体の生産効率の低下を抑制することが出来る。以上のように本発明による基板搬送装置及びカラーフィルタ製造装置によれば、基板を上流装置から受け渡し下流装置が受け取る場合に、基板搬送ロボットの基板処理時間は上流の基板引渡し装置の基板処理時間内に収めることが出来、律速となることを防ぐことが可能となり、その結果、設置面積をの増大や、設備費用の増大を抑制することが出来る。