光学スキャン機構であって、光線束3を偏向させる第1のスキャンミラー1と、偏向された該光線束3の方向に向かって配向されて、該光線束3を再び偏向させる第2のスキャンミラー2と、両方の該スキャンミラー1、2の間に配置されて、該第1のスキャンミラーを、中間結像5を経て該第2のスキャンミラー上に結像するように構成された光学手段と、スキャンミラー駆動装置に所定の励起電圧または励起電流を供給するように構成される制御ユニットであって、前記制御ユニットは、選択的に準静的または共振的な動作モードで、0度から最大限可能な偏向角までの範囲内の偏向角だけ該光線束を2軸または1軸で偏向させる、前記制御ユニットとを備え、該スキャンミラーの少なくとも一方が2軸スキャンミラーとして構成されている、光学スキャン機構。両方のスキャンミラー1、2が2軸で偏向され、前記光線束3の方向における第1の該スキャンミラー1には共振動作モードが設定され、第2の該スキャンミラー2には準静的動作モードが設定されている、請求項1に記載の光学スキャン機構。前記第1のスキャンミラー1がリサジュー図形を生成するように使用され、前記第2のスキャンミラー2が、該図形を、複数の比較的小さなスキャン範囲から構成された1つの比較的大きなスキャン範囲へと準静的に変位するように使用される、請求項2に記載の光学スキャン機構。両方のスキャンミラー1、2が2軸で偏向され、両方のスキャンミラー1、2に準静的動作モードが設定されている、請求項1に記載の光学スキャン機構。両方のスキャンミラーのスキャン範囲から生じる比較的大きなスキャン範囲の生成が予定されている、請求項4に記載の光学スキャン機構。両方のスキャンミラー1、2が2軸で偏向され、前記光線束の方向における第1の該スキャンミラー1には、第1の偏向軸に対して共振動作モードが設定され、前記第1の偏向軸に直交する偏向軸に対して準静的動作モードが設定され、第2の該スキャンミラー2には2軸での準静的動作モードが設定されている、請求項1に記載の光学スキャン機構。前記第2のスキャンミラー2が、ラスターまたは蛇行のようなスキャンパターンをスキャン範囲へと準静的に位置決めするように設けられている、請求項6に記載の光学スキャン機構。一方のスキャンミラー1が2軸で偏向され、もう一方のスキャンミラー2が1軸で偏向され、該2軸のスキャンミラー1には準静的動作モードが設定され、該1軸のスキャンミラー2には共振動作モードが設定されている、請求項1に記載の光学スキャン機構。第1の前記スキャンミラー1に共振動作モードでの1軸偏向が設定され、第2の前記スキャンミラー2に準静的動作モードでの2軸偏向が設定され、好ましくは、レーザスポットをスキャン範囲で準静的に位置決めするか、またはラスターパターンもしくは蛇行パターンを実施する、請求項8に記載の光学スキャン機構。両方のスキャンミラー1、2が2軸で偏向され、両方のスキャンミラー1、2のそれぞれで、第1の偏向軸に対して共振動作モードが設定され、第1の偏向軸に直交する偏向軸に対しては準静的動作モードが設定されている、請求項1に記載の光学スキャン機構。スキャン範囲でのレーザスポットの準静的な位置決め、またはリサジュー図形、ラスターパターン、もしくは蛇行パターンの実施、ならびにその複合が提供される、請求項10に記載の光学スキャン機構。両方の前記スキャンミラー1、2の少なくとも一方がMEMSサブアセンブリとして構成されている、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の光学スキャン機構。前記スキャンミラー1、2に接続された駆動装置が、好ましくは静電駆動装置として、可動永久磁石の構成の、または静的永久磁石を備えた回転コイルもしくはプランジャコイルの構成の電磁アクチュエータとして、あるいはさらに圧電アクチュエータとして形成されている、請求項1乃至12のいずれか1項に記載の光学スキャン機構。一方の前記スキャンミラー1をもう一方の前記スキャンミラー2に結像するように構成された前記光学手段が、屈折性光学素子により、反射性光学素子により、回折性光学素子により、屈折性、反射性、および回折性の光学素子からの組合せにより構成される、請求項1乃至13のいずれか1項に記載の光学スキャン機構。前記制御ユニットが、前記スキャンミラーを別々にもしくは共通で同期化して制御すること、それぞれの前記スキャンミラーに関して設定すべき個々の動作モードを切り替えること、偏向角を設定すること、2軸もしくは1軸で偏向することのうちの少なくとも1つを行うように構成されている、請求項1乃至14のいずれか1項に記載の光学スキャン機構。制御命令が、前記制御ユニットにより、命令の手入力、調節回路に応じて、または画像評価の結果に応じて生成される、請求項15に記載の光学スキャン機構。これを前提に、本発明の課題は、冒頭に挙げた種類のスキャン機構を、両方ともの動作モードが、十分に大きな偏向角、十分に高い位置決め精度、および十分に高い位置決め速度で可能であり、これにより非常に高い要求に対して最適な結像品質を達成するようにさらに発展させることである。この課題は本発明により、光線束を偏向させる第1のスキャンミラーと、偏向された光線束の方向に向かって配向されて、光線束を再び偏向させる第2のスキャンミラーと、両方のスキャンミラーの間に配置され、第1のスキャンミラーを、中間結像を経て第2のスキャンミラー上に結像するように構成された光学手段と、選択的に準静的または共振的な動作モードで、0度から最大限可能な偏向角までの範囲内の偏向角だけ光線束を2軸または1軸で偏向させるために、スキャンミラー駆動装置に所定の励起電圧または励起電流を供給するように構成された制御ユニットとを含み、スキャンミラーの少なくとも一方が2軸スキャンミラーとして構成されている光学スキャン機構によって解決される。第1のスキャンミラーを第2のスキャンミラー上に結像するので、スキャンミラーの順序は交換可能であり、したがって以下に説明する本発明の実施形態は、スキャンミラーが逆の順番であっても機能する。好ましい一実施形態では、両方のスキャンミラーが2軸で偏向され、光線束の方向における第1のスキャンミラーには共振動作モードが設定され、その次の第2のスキャンミラーには準静的動作モードが設定されている。この場合、第1のスキャンミラーはリサジュー図形を生成するように使用することができ、第2のスキャンミラーは、この図形を、複数の比較的小さなスキャン範囲から構成された1つの比較的大きなスキャン範囲へと準静的に変位するように使用することができる。さらなる一実施形態では、両方のスキャンミラーが2軸で偏向され、両方のスキャンミラーに準静的動作モードが設定されている。こうすることで、両方のスキャンミラーのスキャン範囲から生じる比較的大きなスキャン範囲が生成される。これはとりわけ、両方のスキャンミラーの一方が、大きなスキャン範囲を扱えるが遅い場合に有利である。もう一方のスキャンミラーはより小さなスキャン範囲を扱うが、より速い。続く実施形態では、両方のスキャンミラーが2軸で偏向され、光線束の方向における第1のスキャンミラーには、第1の偏向軸に対して共振動作モードが、第1の偏向軸に直交する偏向軸に対しては準静的動作モードが設定され、その一方で第2のスキャンミラーには2軸での準静的動作モードが設定されている。これにより第2のスキャンミラーは、ラスターまたは蛇行のようなスキャンパターンをスキャン範囲へと準静的に位置決めするように利用することができる。さらなる一実施形態では、一方のスキャンミラーが2軸で偏向され、もう一方のスキャンミラーが1軸で偏向され、2軸のスキャンミラーには準静的動作モードが設定され、1軸のスキャンミラーには共振動作モードが設定されている。この場合、光線束の方向における第1のスキャンミラーに共振動作モードでの1軸偏向を設定することができ、第2のスキャンミラーに準静的動作モードでの2軸偏向を設定することができる。好ましくはこの実施形態は、レーザスポットをスキャン範囲で準静的に位置決めするように、またはラスターパターンもしくは蛇行パターンを実施するように利用することができる。続く実施形態では、両方のスキャンミラーが2軸で偏向され、それぞれのスキャンミラーで、第1の偏向軸に対して共振動作モードが、第1の偏向軸に直交する偏向軸に対しては準静的動作モードが設定されている。この場合、スキャンミラーは、第1のスキャンミラーの共振軸が第2のスキャンミラーの準静的軸上に結像され、第1のスキャンミラーの準静的軸が第2のスキャンミラーの共振軸上に結像されるように配置されている。こうすることで、結果として生じる、スキャン範囲の軸に関しては、それぞれ1つの準静的軸と1つの共振軸が生じる。これにより有利には、スキャン範囲でのレーザスポットの準静的な位置決め、またはリサジュー図形、ラスターパターン、もしくは蛇行パターンの実施、ならびにその複合が可能である。前述のすべての実施形態では、両方のスキャンミラーの少なくとも一方がMEMSサブアセンブリまたはMEMSスキャンミラーとして形成されることが有利である。スキャンミラーに接続された駆動装置は、静電駆動装置として形成されることが好ましい。これに代わる駆動コンセプトは、可動永久磁石の構成の、または静的永久磁石を備えた回転コイルもしくはプランジャコイルの構成の電磁アクチュエータ、あるいは圧電アクチュエータであることも可能である。一方のスキャンミラーをもう一方のスキャンミラー上に結像するための光学手段は、屈折性光学素子から、反射性光学素子から、回折性光学素子から、または屈折性、反射性、および回折性の光学素子の組合せから成る。色収差を避けるためには、反射性光学素子を設けることが好ましい。制御ユニットは、特に、スキャンミラーを別々にもしくは共通で同期化して制御すること、それぞれのスキャンミラーに関して設定すべき個々の動作モードを切り替えること、偏向角を設定すること、2軸もしくは1軸で偏向することのうちの少なくとも1つを行うように構成されている。対応する制御命令は、制御ユニットにおいて、命令の手入力、調節回路に応じて、または電子的な画像評価の結果に応じて生成される。図1では、2軸偏向可能な2つのMEMSスキャンミラー1および2を備えた本発明による光学スキャン機構の原理が示されている。この場合、光線束3、例えばレーザビームが、選択的に1軸または2軸で、共振的または準静的に偏向される第1のMEMSスキャンミラー1に当たる。その際、MEMSスキャンミラー1によって生成されたパターンは、レンズ4、中間結像5、およびレンズ6を経て第2のMEMSスキャンミラー2上に結像される。一方のMEMSスキャンミラー1の、もう一方のMEMSスキャンミラー2上への結像は、例えば図示するように4fシステムによって行われる。図示されていない制御ユニットが存在している。制御ユニットは、光線束3の偏向を変化させるため、および両方のMEMSスキャンミラー1、2の準静的または共振的な動作モードを設定するように構成されている。本発明によるスキャン機構は、好ましくは、試料の画像を取得するための光学システムの一部であることができ、例えば走査型レーザ顕微鏡のサブアセンブリとして具体化される。図2に示した光学スキャン機構の原理は、図1に基づく原理に対応しており、反射性光学素子7、8を使用して、中間結像5を生成している。図3に示した例により、この図から明らかなように、その共振周波数および相対的な位相位置に応じたリサジュー図形の2軸スキャンが可能である。図4に基づく実施形態および制御は、ここに例として示したように、レーザスポットを2軸で準静的に位置決めすることを可能にする。図5aおよび図5bは、1軸の準静的スキャンミラーおよび1軸の共振スキャンミラーを使用した場合の、ラスターパターンまたは蛇行パターンのスキャンの可能性を例示的に示している。図6に示した例からは、第1のMEMSスキャンミラー1を、リサジュー図形を生成するために利用する方法を認識し、その一方で第2のMEMSスキャンミラー2が、この図形を、複数の比較的小さなスキャン範囲から構成された1つの比較的大きなスキャン範囲へと準静的に変位するために利用されることを認識することができる。図7に基づく例では、第1のスキャンミラー1は、スキャンミラー1のスキャン範囲内でレーザスポットを位置決めするように使用することができ、第2のスキャンミラー2は、スキャンミラー1のスキャン範囲を準静的に位置決めするため、したがって両方のMEMSスキャンミラー1、2のスキャン範囲から生じる比較的大きなスキャン範囲へと拡大するように使用することができる。図8aおよび図8bでは、第2のスキャンミラー2が、共振軸と準静的軸を備えたスキャンミラー1によって生成されたラスターパターンまたは蛇行パターンを準静的に位置決めするように利用される例が示されている。図9a~図9cに示した例は、好ましくは、スキャン範囲でのレーザスポットの準静的な位置決めに、またはラスターパターンもしくは蛇行パターンの実施に適している。この場合、光線束3の方向に見て第1のMEMSスキャンミラー1に共振動作モードでの1軸偏向が設定され、第2のMEMSスキャンミラー2に準静的動作モードでの2軸偏向が設定されている。図10a~図10gは、リサジュー図形、スキャン範囲へのスキャンパターンの準静的な位置決め、またはラスターパターンもしくは蛇行パターンの実施が設定された例を示している。この場合、両方のMEMSスキャンミラーが2軸で偏向され、かつ両方のMEMSスキャンミラーのそれぞれで、第1の偏向軸に対して共振動作モードが、それに直交する偏向軸に対しては準静的動作モードが設定されている。この場合、スキャンミラーは、第1のスキャナーの共振軸が第2のスキャナーの準静的軸上に結像され、第1のスキャナーの準静的軸が第2のスキャナーの共振軸上に結像されるように配置されている。こうすることで、結果として生じる、スキャン範囲の軸に関しては、それぞれ1つの準静的軸と1つの共振軸を生じさせる。