ワークピースの位置を選択的に維持する静電クランプであって、第1の熱膨張係数を有し、前記静電クランプに構造的支持および剛性を与えるバッキングプレートと、第2の熱膨張係数を有し、前記ワークピースに接触するように構成されたクランピング面を有するクランピングプレートと、を備え、前記第1の熱膨張係数および前記第2の熱膨張係数は、最小化されており、極大差は、前記静電クランプの形状によって決定されることを特徴とする、静電クランプ。前記バッキングプレートは、金属を含み、金属製バッキングプレートとして定め、前記クランピングプレートは、セラミック材料を含み、セラミックのクランピングプレートとして定めることを特徴とする、請求項1に記載の静電クランプ。前記金属製バッキングプレートは、チタンで構成され、前記セラミックのクランピングプレートは、窒化アルミニウムで構成されることを特徴とする、請求項2に記載の静電クランプ。前記金属製バッキングプレートは、チタンから構成され、前記セラミックのクランピングプレートは、酸化アルミニウムから構成されることを特徴とする、請求項2に記載の静電クランプ。前記バッキングプレートは、炭化ケイ素から構成され、前記セラミックのクランピングプレートは、窒化ケイ素から構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電クランプ。前記バッキングプレートは、冷却液を循環させるように構成された1以上の冷却チャネルを含み、前記静電クランプの温度を制御することを特徴とする、請求項1に記載の静電クランプ。静電クランプを製造する方法であって、第1の熱膨張係数を有する金属製のバッキングプレートの材質を選択するステップと、第2の熱膨張係数を有するセラミックのクランピングプレートの材質を選択するステップと、を含み、前記第1の熱膨張係数および前記第2の熱膨張係数は、最小化され、極大差が前記静電クランプの形状によって決定され、前記バッキングプレート上に、前記セラミックのクランピングプレートを接着、はり付け、または、成長されるステップを含むことを特徴とする、方法。前記金属製のバッキングプレートの材質および前記セラミックのクランピングプレートの材質は、前記静電クランプが動作するように構成される所定の温度範囲に基づいて決定されることを特徴とする、請求項7に記載の方法。前記第1の熱膨張係数および前記第2の熱膨張係数は、3つの要因だけによって変化することを特徴とする、請求項7に記載の方法。ワークピースの位置を選択的に維持するための静電クランプであって、第1の熱膨張係数を有し、前記静電クランプに構造的支持および剛性を与えるバッキングプレートと、前記ワークピースに選択的に接触するために、クランピング面を提供するためのクランピングプレートと、を備え、前記クランピングプレートは、第2の熱膨張係数を有し、前記バッキングプレートに接着、はり付け、または、成長され、前記第1の熱膨張係数と前記第2の熱膨張係数との差が、最小化されており、極大差は、前記静電クランプの形状によって決定されることを特徴とする、静電クランプ。ワークピースの位置を選択的に維持するための静電クランプであって、前記静電クランプに構造的支持および剛性を与え、第1の熱膨張係数を有する金属製のバッキングプレートと、前記ワークピースに接触するように構成されたクランピング面を有するセラミックのクランピングプレートと、を備え、前記クランピングプレートは、第2の熱膨張係数を有し、前記バッキングプレートに接着され、前記第1の熱膨張係数および前記第2の熱膨張係数は、3つの要因だけによって変化することを特徴とする、静電クランプ。前記金属製のバッキングプレートは、チタンで構成され、前記セラミックのクランピングプレートは、窒化アルミニウムで構成されることを特徴とする、請求項11に記載の静電クランプ。前記金属製のバッキングプレートは、炭化ケイ素から構成され、前記セラミックのクランピングプレートは、窒化アルミニウムで構成されることを特徴とする、請求項11に記載の静電クランプ。前記金属製のバッキングプレートは、チタンで構成され、前記セラミックのクランピングプレートは、酸化アルミニウムで構成されることを特徴とする、請求項11に記載の静電クランプ。静電クランプを製造する方法であって、第1の熱膨張係数を有するバッキングプレートの金属製の材質を選択するステップと、第2の熱膨張係数を有するクランピングプレートのセラミックの材質を選択するステップと、を含み、前記第1の熱膨張係数および前記第2の熱膨張係数は、3つの要因だけによって変化し、前記バッキングプレート上に、前記セラミックのクランピングプレートを接着、はり付け、または、成長させるステップを含むことを特徴とする、方法。前記バッキングプレートの金属製材質および前記クランピングプレートのセラミックの材質の選択は、所定の温度範囲に基づいていることを特徴とする、請求項15に記載の方法。