タイミングチェーンの外周一部に配置されて、そのタイミングチェーンの移動方向に長く延びる側板部を有するガイドベースと、そのガイドベースの側板部に形成された軸支持部により支持されて、その側板部の長さ方向に間隔をおいて設けられた複数のローラ軸と、その複数のローラ軸のそれぞれに回転自在に支持されたチェーン案内用の複数のローラとからなるチェーンガイドにおいて、前記ローラを、タイミングチェーンの案内面となる表層部が硬化層とされ、内層部が軟質層とされるよう肉厚方向に硬度差をつけ、前記硬化層の表面硬度を、前記チェーンの表面硬度に対してロックウェル硬さで4ポイント以上硬くしたことを特徴とするチェーンガイド。前記ローラの表面硬度が、ロックウェル硬さでHRC64以下とされた請求項1に記載のチェーンガイド。前記ローラが、鋼の熱処理品からなる請求項1又は2に記載のチェーンガイド。前記熱処理が、高周波焼入れ、浸炭焼入れ、浸炭窒化焼入れのいずれか一種からなる請求項3に記載のチェーンガイド。前記ローラが、外輪およびその内側に組み込まれた複数のころを有するころ軸受からなる請求項1乃至4のいずれかの項に記載のチェーンガイド。駆動スプロケットと従動スプロケット間にタイミングチェーンを掛け渡し、そのタイミングチェーンの弛み側チェーンの一側部に、タイミングチェーンの移動を案内する揺動可能なチェーンガイドを設け、そのチェーンガイドの揺動側端部にチェーンテンショナの調整力を負荷して、その揺動側端部をタイミングチェーンに押し付けるようにしたチェーン伝動装置において、前記チェーンガイドが、請求項1乃至5のいずれかの項に記載のチェーンガイドからなることを特徴とするチェーン伝動装置。前記タイミングチェーンの張り側チェーンの一側方に、タイミングチェーンの移動を案内する固定のチェーンガイドを設け、その固定チェーンガイドが請求項1乃至5のいずれかの項に記載のチェーンガイドからなることを特徴とする請求項6に記載のチェーン伝動装置。ところで、上記特許文献1に記載されたチェーンガイドにおいては、タイミングチェーンの移動を案内するローラの表面硬さについて何も言及されていない。その表面硬さが肉厚全体にわたって均一とされてタイミングチェーンの表面硬さより低いローラが採用されると、タイミングチェーンのバタつきによる断続的な衝撃力の負荷によってローラが損傷する可能性がある。また、タイミングチェーンとの接触によって外径面が早期に摩耗する可能性がある。この発明の課題は、チェーンガイドにおけるチェーン案内用ローラの損傷を防止し、同時に、摩耗の低下を抑制して長寿命化を図ることである。上記の課題を解決するために、この発明に係るチェーンガイドにおいては、タイミングチェーンの外周一部に配置されて、そのタイミングチェーンの移動方向に長く延びる側板部を有するガイドベースと、そのガイドベースの側板部に形成された軸支持部により支持されて、その側板部の長さ方向に間隔をおいて設けられた複数のローラ軸と、その複数のローラ軸のそれぞれに回転自在に支持されたチェーン案内用の複数のローラとからなるチェーンガイドにおいて、前記ローラを、タイミングチェーンの案内面となる表層部が硬化層とされ、内層部が軟質層とされるよう肉厚方向に硬度差をつけ、前記硬化層の表面硬度を、前記チェーンの表面硬度に対してロックウェル硬さで4ポイント以上硬くした構成を採用したのである。また、この発明に係るチェーン伝動装置においては、駆動スプロケットと従動スプロケット間にタイミングチェーンを掛け渡し、そのタイミングチェーンの弛み側チェーンの一側部に、タイミングチェーンの移動を案内する揺動可能なチェーンガイドを設け、そのチェーンガイドの揺動側端部にチェーンテンショナの調整力を負荷して、その揺動側端部をタイミングチェーンに押し付けるようにしたチェーン伝動装置において、前記チェーンガイドとして、この発明に係る上記のチェーンガイドを採用したのである。上記の構成からなるチェーン伝動装置において、タイミングチェーンの張り側チェーンの一側方に、タイミングチェーンの移動を案内する固定のチェーンガイドを設け、その固定チェーンガイドとして、この発明に係る上記のチェーンガイドを採用することによってタイミングチェーンのバタつきを効果的に抑制することができる。この発明に係るチェーンガイドにおいては、上記のように、ローラを肉厚方向に硬度差をつけてタイミングチェーンの案内面となる表層部を硬化層とし、内層部を軟質層とすることにより、全体を硬化させた場合に比べて靭性を高めることができる。このため、タイミングチェーンのバタつきにより、そのチェーンからローラに断続的に衝撃力が負荷されたとしても、その衝撃力によってローラが損傷するというようなことがなく、また、硬化層の表面硬度は、タイミングチェーンの表面硬度に対してロックウェル硬さで4ポイント以上硬くされているため、タイミングチェーンとの接触によってローラの外径面が早期に摩耗するというようなこともない。ここで、タイミングチェーンには、ローラチェーンやサイレントチェーンが存在する。これらのタイミングチェーンにおいては、ピンにより屈曲自在に連結されるプレートの表面硬度がロックウェル硬さでHRC50~54程度であるため、ローラの表面硬度はロックウェル硬さでHRC58以上のものを用いるのが好ましい。上記ロックウェル硬さが必要以上に高くなると、ローラの製造が困難となってコストが高くなり、また、靱性が低下して割れが生じ易くなるため、ローラの表面硬度は、ロックウェル硬さでHRC64以下とするのが好ましい。ローラに対する硬化処理に際しては、高炭素鋼への高周波焼入れ、もしくは、低炭素鋼への浸炭焼入れ、浸炭窒化焼入れを行う熱処理方法を採用することができる。ローラとして、外輪およびその内側に組み込まれた複数のころを有する針状ころ軸受や円筒ころ軸受を採用することにより、タイミングチェーンとの接触によってローラを円滑に回転させることができ、タイミングチェーンの移動抵抗を大幅に低減させることができる。針状ころ軸受をローラとして採用する場合において、外輪が絞り成形されてシェル形とされ、そのシェル形外輪を焼入れ処理して表層部に硬化層を形成する場合、その硬化層深さは、0.1~0.3mm程度が好ましい。この発明においては、上記のように、タイミングチェーンの移動を案内するローラを肉厚方向に硬度差をつけ、タイミングチェーンの案内面となる表層部を硬化層とし、内層部を軟質層としたことによって靭性を高めることができ、タイミングチェーンのバタつきにより、そのタイミングチェーンからローラに負荷される衝撃力によってローラが損傷するのを防止することができる。また、硬化層の表面硬度を、タイミングチェーンの表面硬度に対してロックウェル硬さで4ポイント以上硬くしているため、タイミングチェーンとの接触によってローラの外径面が早期に摩耗するのを防止することができ、ローラの長寿命化を図ることができる。以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、カム軸駆動用のチェーン伝動装置を示し、クランク軸1の軸端部に取付けられた駆動スプロケット2と2本のカム軸3のそれぞれ軸端部に取付けられた従動スプロケット4間にはタイミングチェーン5が掛け渡されている。タイミングチェーン5はローラチェーンであっても、サイレントチェーンであってもよい。クランク軸1は、図1の矢印で示す方向に回転する。そのクランク軸1の回転により、タイミングチェーン5が同図の矢印で示す方向に移動し、駆動スプロケット2から同図の左側に位置する一方の従動スプロケット4に至る部分が弛み側とされ、他方の従動スプロケット4から駆動スプロケット2に至る部分が張り側とされ、上記弛み側チェーン5aの一側部にチェーンガイドA1が設けられている。チェーンガイドA1は、タイミングチェーン5の移動方向に長く延び、その上端部がエンジンブロックから突設する支点軸14により支持されて、その支点軸14を中心に揺動可能とされ、下側の揺動側端部には、チェーンテンショナ15の調整力が負荷されて弛み側チェーン5aに向けて押圧されている。タイミングチェーン5における張り側チェーン5bの他側部にはチェーンガイドA2が設けられている。このチェーンガイドA2は、揺動可能なチェーンガイドA1と同様に、タイミングチェーン5の移動方向に長く延び、その両端部がエンジンブロックにねじ込まれるボルト16の締め付けにより固定されて、タイミングチェーン5の移動を案内するようになっている。ここで、揺動可能なチェーンガイドA1と固定のチェーンガイドA2とは、同一の構成とされ、揺動可能なチェーンガイドA1が一端部に軸挿入用の挿入孔が形成されているのに対し、固定のチェーンガイドA2が両端部にボルト挿入用の挿入孔が形成されている点でのみ相違している。そのため、ここでは、揺動可能なチェーンガイドA1の構成について以下に説明し、固定配置のチェーンガイドA2については同一の部分に同一の符号を付して説明を省略する。図2乃至図4に示すように、チェーンガイドA1は、タイミングチェーン5の移動方向に長く延びるガイドベース21と、そのガイドベース21の長さ方向に間隔をおいて設けられた複数のローラ軸31と、その複数のローラ軸31のそれぞれに回転自在に支持されたチェーン案内用の複数のローラ41とからなっている。ガイドベース21は、対向一対の側板部22間に複数の間隔保持板23を長さ方向に間隔をおいて形成した構成とされている。一対の側板部22は弓形状をなし、その上端部に支点軸14が挿入される挿入孔24が形成されている。また、一対の側板部22の対向内面には、ローラ軸31の軸端部を支持する複数の軸受凹部25が側板部22の長さ方向に間隔をおいて形成されている。図7に示すように、軸受凹部25は、側板部22のタイミングチェーン5と対向する外側面部から側板部22の幅方向に向き、上記外側面部での開口端が広幅とされたテーパ溝部25aと、そのテーパ溝部25aの狭小端に連通する軸支持部としての円形凹部25bとからなっている。ローラ軸31は、テーパ溝部25aから円形凹部25bに嵌合され、その円形凹部25bで支持される。ここで、テーパ溝部25aの狭小部の幅寸法をD1、円形凹部25bの内径をD2、ローラ軸31の外径をdとすると、d>D2>D1の関係が成り立つ寸法関係とされており、ローラ軸31は、テーパ溝部25aから円形凹部25bに押し込まれて、その円形凹部25bに締め代をもつ嵌め合い支持とされる。複数の軸受凹部25は、その円形凹部25bの中心を結ぶ線が凸形の円弧状線を描く円弧状の配置とされているが、曲線状の配置とされていてもよい。上記の構成からなるガイドベース21は、合成樹脂の成形品とされている。合成樹脂として耐油性、耐候性および強度的に優れた樹脂を用いるのが好ましい。そのような樹脂として、ポリアミド46PA46やポリアミド66PA66を挙げることができる。機械的強度をさらに向上させるために、それらの樹脂に強化ガラス繊維を混入するのが好ましい。なお、ガイドベース21は、アルミニウム合金やマグネシウム合金等の軽金属を用いて鋳造し、あるいは、ダイカスト成形してもよい。複数のローラ軸31は、複数の軸受凹部25のそれぞれに嵌合されている。ローラ軸31は、SUJ2、SC材を素材としている。このローラ軸31は、耐摩耗性を向上させるため、熱処理されて硬度が高められている。熱処理として、ここでは、光輝焼入れを採用しているが、高周波焼入れしてもよく、浸炭焼入れしてもよい。あるいは、浸炭窒化焼入れしてもよい。複数のローラ41は、複数のローラ軸31のそれぞれによって回転自在に支持されている。図6に示すように、ローラ41として、ここでは、針状ころ軸受が採用されている。針状ころ軸受41は、外輪42と、その内側に組み込まれた複数のころ43と、そのころ43を保持する保持器44とからなる。外輪42は、SPCやSCM等の炭素鋼を素材とし、絞り成形により形成されてシェル形とされ、熱処理により肉厚方向に硬度差がつけられてチェーン案内面となる表層部が硬化層とされ、内層部が軟質層とされている。硬化層の深さは、0.1~0.3mm程度とされ、表面硬度がHRC58~64程度とされている。熱処理として、高周波焼入れ、浸炭焼入れ、浸炭窒化焼入れを採用することができる。外輪42は、チェーン伝動装置に採用されるタイミングチェーン5の硬度に応じてその表面硬度がロックウェル硬さで4ポイント以上のものが採用される。なお、針状ころ軸受の外輪42は削り出しによって形成されたものであってもよい。このような針状ころ軸受に代えて円筒ころ軸受を採用するようにしてもよい。また、針状ころ軸受や円筒ころ軸受は、保持器のない総ころタイプのものであってもよい。実施の形態で示すチェーン伝動装置は上記の構造からなり、駆動スプロケット2と従動スプロケット4間に掛け渡されたタイミングチェーン5の移動によってクランク軸1の回転をカム軸3に伝達するトルク伝達状態において、負荷の変動によりタイミングチェーン5の張力が変化すると、チェーンテンショナ15が作動して、その張力変化を吸収する。このため、タイミングチェーン5は常に所定の張力状態に保持される。クランク軸1の回転をカム軸3に伝達するトルク伝達時、揺動可能なチェーンガイドA1および固定のチェーンガイドA2のそれぞれのころ軸受からなるローラ41は高速移動するタイミングチェーン5との接触により回転し、タイミングチェーン5は転がり案内される。このように、タイミングチェーン5はローラ41の転がりによって案内されるため、その案内部での摩耗は小さい。また、タイミングチェーン5の移動抵抗も小さく、タイミングチェーン5はスムーズに移動し、ロスなくトルク伝達されることになる。カム軸3への回転トルクの伝達時、高速移動するタイミングチェーン5にバタつきが生じると、そのタイミングチェーン5からローラ41に断続的に衝撃力が負荷される。このとき、ローラ41が肉厚全体にわたって同一の硬さとされ、その硬さがタイミングチェーン5より低い場合は、タイミングチェーン5からの衝撃力の負荷によって外輪42が損傷する可能性がある。また、タイミングチェーン5との接触によってローラ41の外径面が早期に摩耗する可能性がある。実施の形態では、ローラ41を形成する針状ころ軸受の外輪42が、肉厚方向に硬度差がつけられてタイミングチェーン5の案内面となる表層部が硬化層とされ、内層部が軟質層とされて靱性が高められているため、タイミングチェーン5のバタつきによって、そのタイミングチェーン5からローラ41に断続して衝撃力が負荷されたとしても、その衝撃力によって外輪42が損傷するようなことはない。また、硬化層の表面硬度が、タイミングチェーン5の表面硬度に対してロックウェル硬さで4ポイント以上硬くされているため、タイミングチェーン5との接触によって外輪42の外径面が早期に摩耗するという不都合の発生はなく、ローラ41の外径面の摩耗を抑制し、長寿命化を図ることができる。図8は、ローラ41の他の例を示している。この例においては、針状ころ軸受のシェル形外輪42の外径面に別体の外筒体50を圧入し、その外筒体50でタイミングチェーン5の移動を案内するようにしている。この場合、外筒体50をSPCやSCM等の炭素鋼で形成し、熱処理により硬化処理して、表層部が内層部より硬くなるよう肉厚方向の硬度差を付け、その表層の硬化層の表面硬度をHRC58~64程度とし、タイミングチェーン5の硬度に応じてその表面硬度がロックウェル硬さで4ポイント以上のものを採用するようにする。