"電子部品の特性測定装置において、一対の端部を有し、弾性材からなる導電性線材をコイル状に巻付けることにより形成された中空部を含むコイル部と、コイル部の中空部に充填された導電性接着剤とを有するプローブと、プローブを支持する導電性部材と、基板上に載置されプローブを収納する収納孔を有する位置決めプレートと、位置決めプレート上に載置され、プローブの一部が外方へ突出する開口を有する抜け止めプレートとを備え、コイル部の一対の端部は抜け止めプレート側を向き、抜け止めプレートに当接されて抜け止めが防止されることを特徴とする電子部品の特性測定装置。導電性部材はプリントパターンを有するインピーダンスコントロール基板であることを特徴とする請求項1記載の電子部品の特性測定装置。導電性部材はインピーダンスコントロールされた同軸状部材であることを特徴とする請求項1記載の電子部品の特性測定装置。コイル部を構成する導電性線材の巻付け回数は、N0.5Nは自然数であることを特徴とする請求項1記載の電子部品の特性測定装置。コイル部は電子部品が上方にあるとき、時計の9時の位置から12時の位置を経由して3時の位置のいずれかの位置で電子部品と当接することを特徴とする請求項1記載の電子部品の特性測定装置。請求項1記載の電子部品の特性測定装置を用いた電子部品の特性測定方法において、特定測定装置の規制プレートの開口から突出するプローブの一部上に電子部品を当接させる工程と、電子部品をプローブ側へ押圧して電子部品をプローブを介して導電性部材に接触させて電子部品の特性測定を行なう工程と、を備えたことを特徴とする電子部品の特定測定方法。導電性部材はプリントパターンを有するインピーダンスコントロール基板であることを特徴とする請求項6記載の電子部品の特性測定方法。導電性部材はインピーダンスコントロールされた同軸状部材であることを特徴とする請求項6記載の電子部品の特性測定方法。コイル部を構成する導電性線材の巻付け回数は、N0.5Nは自然数であることを特徴とする請求項6記載の電子部品の特性測定方法。コイル部は電子部品が上方にあるとき、時計の9時の位置から12時の位置を経由して3時の位置のいずれかの位置で電子部品と当接することを特徴とする請求項6記載の電子部品の特性測定方法。本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、電子部品の電極に対してプローブを確実に接触させることができ、プローブ交換の頻度が小さく、かつプローブ自体の交換を容易に行なうことができる電子部品の特性測定装置および特性測定方法を提供することを目的とする。以上のように本発明によれば、プローブが線材をコイル状に巻付けることにより形成されたコイル部と、コイル部の、中空部に充填された導電性接着剤とを有するため、電子部品とプローブとが1点で当接し、その際に導電性接着剤の作用により反発力が大きくなる。このため、高周波信号で動作する電子部品について、十分な測定精度を確保できる接触荷重を発生させることができる。また、電子部品との当接によってプローブにクラックが発生した場合に、導電性接着剤の作用によりクラックが拡大することを抑制することができ、かつプローブの交換も容易に行なうことができる。本発明の実施の形態以下、図1乃至図22を用いて本発明の実施の形態について説明する。ここで図1は本発明による特性測定装置が組込まれた電子部品測定システムを示す平面図である。電子部品測定システム50は、固定されたテーブルベース1と、テーブルベース1上に回転自在に設置された搬送テーブル2とを備え、搬送テーブル2の外周部にはワークを個別に収納する複数のワーク収納孔3が、搬送テーブル2の外側に向けて開口して配置されている。搬送テーブル2は図示されない駆動機構の作用により、中心軸4の周囲に時計回り矢印Aの方向に間歇回転する。搬送テーブル2の周縁には、供給部8、測定部9、排出部10およびテーピング部11が設けられ、ワーク収納孔3の上面は、供給部8、測定部9、排出部10、テーピング部11を除いて、テーブルカバー5により覆われている。また、搬送テーブル2の外側は、上記の供給部8、測定部9、排出部10、テーピング部11を除いて、ガード壁6により覆われている。また搬送テーブル2の外側には搬送テーブル2に向けてワークWを一列で搬送するリニアフィーダ7が配置されている図1。リニアフィーダ7の終端部はワーク収納孔3の開口部に対向しており、そこにワークWをリニアフィーダ7からワーク収納孔3に個別に収納する供給部8が接続されている。また上述のように、供給部8の下流側に、搬送テーブル2の回転方向に沿って、ワーク収納孔3内のワークWの電気的特性を測定する測定部9と、測定部9における測定結果に基づいて不良と判定されたワークWをワーク収納孔3から排出する排出部10と、測定部9における測定結果に基づいて良品と判定されたワークWをワーク収納孔3から図示されないキャリアテープの凹部に個別に収納するテーピング部11とが、この順に配置されている。次に電子部品測定システム50により測定されるチップ型電子部品ワークについて説明する。図12に示すように、チップ型電子部品ワークWは6面体形状をもち、その一面Waに2個の平面形状の電極W1、W2を有している。面Waの電極W1、W2以外の部分及びWa以外の面は、すべて誘電体絶縁体により覆われている。ワークWの電気的特性を測定する際には、測定器に接続された測定用のプローブを電極W1、W2に当接させる。特に、1MHz~60GHz程度の高周波帯の信号で動作するワークの電気的特性の測定においては、プローブと測定器との間の電気信号の伝送方法について、細心の注意が必要となる。その例を以下に説明する。1MHz~60GHz程度の高周波帯の信号の伝送に使用される伝送媒体として、同軸ケーブルが知られている。同軸ケーブルの斜視図を図23に示す。同軸ケーブルC2は、一対の内部導体C2iと外部導体C2oとにより略円筒形に形成された可撓性のケーブルである。内部導体C2iは銅等の導電体の線材により形成され、高周波信号を伝送する。外部導体C2oは編組線状多数の細い線材を編んだもの或いは箔状に形成した銅等の導電体を略円筒形に成形したもので、接地することにより、内部導体C2iを遮蔽して高周波信号を外部の電磁波による影響から防御する機能を有している。内部導体C2iと外部導体C2oとの間にはポリエチレン等の誘電体C2dが充填されている。1MHz~60GHz程度の高周波帯の信号においては、信号伝送に使用される伝送媒体の大きさが信号の波長に対して無視できなくなる。このような高周波の信号伝送は、エネルギー損失を最小にした場合理論的には損失をゼロとした場合に伝送媒体上の電圧と電流の比が一定値となるように伝送されることが知られている。この比を特性インピーダンスと呼び、図23に示す同軸ケーブルC2の特性インピーダンスは50Ωとなっている。同軸ケーブルC2の一端が図示されないコネクタにより測定器に接続され、同軸ケーブルC2の他端が図12のワークWの電極W1またはW2に当接されることにより、ワークWの電気的特性の測定が行われる。その際に、当接のための手段となる測定インタフェース回路を同軸ケーブルC2の他端に接続する必要が生じる。ここで、測定インタフェース回路の特性インピーダンスが同軸ケーブルC2の特性インピーダンスである50Ωと異なる値であると、接続点においてエネルギー損失が増加して正しい測定ができなくなる。このため、特性インピーダンスを50Ωにした測定インタフェース回路が考案されている。その一例であるインピーダンスコントロール基板を図24に示す。図24において、インピーダンスコントロール基板C1は、エポキシ等の誘電体からなる厚さhの基板C1xと、この基板C1xの両面に形成された銅等の導電体からなる信号パターンC1a、C1bとを有する。すなわち基板C1xの上面側には、信号パターンC1a及びC1bが短手方向幅L1の長方形状に形成され、それぞれの周囲は基板C1xが露出しており、さらにその外周に表面アースパターンC1cが形成されている。基板C1xが露出する幅は、信号パターンC1a及びC1bの長手方向両端と表面アースパターンC1cとの間がL2、短手方向両端と表面アースパターンC1cとの間がL3である。信号パターンC1a及びC1bの長手方向の一端近傍には、基板C1x内を貫通してその下面に向かうスルーホールC1ah及びC1bhが形成されている。スルーホールC1ahの付近である領域S1を、基板C1xの上面側矢印B1方向及び基板C1xの下面側矢印B2方向から見た拡大図として、それぞれ図25a、bに示す。ただし、図25a、bにおいては、図24における矢印B3の位置を下側として記載している。図25bに示すように、基板C1xの下面側には、図25aに示す上面側のスルーホールC1ahが基板C1x内を貫通して開口し、その周囲には基板C1xの上面側の信号パターンC1aと電気的に導通する円形のプリントパターンC1auが形成されている。そして、プリントパターンC1auの外周にはわずかに基板C1xが露出し、さらにその外周に裏面アースパターンC1dが形成されている。スルーホールC1bhについても同様のプリントパターンが、基板C1xの下面側に形成されている。基板C1xの厚さhと信号パターンC1a及びC1bの短手方向幅L1の比、ならびに信号パターンC1a及びC1bと表面アースパターンC1cとの距離L2、L3の比を最適に設定することにより、信号パターンC1aと表面アースパターンC1c及び裏面アースパターンC1d又は信号パターンC1bと表面アースパターンC1c及び裏面アースパターンC1dとにより形成される伝送媒体の特性インピーダンスを、いずれも50Ωとすることができる。以上のようなインピーダンスコントロール基板C1を同軸ケーブルC2の他端に接続する様子を、図26に示す。矢印Yで示されるように、図23に示す同軸ケーブルC2の内部導体C2iをスルーホールC1ahに基板C1xの下面側から挿入する。これを矢印B1方向から見た透視図として、図27に示す。内部導体C2iはスルーホールC1ah内に挿入され、外部導体C2oの端面C2osは裏面アースパターンC1dに当接している。そして、内部導体C2iとスルーホールC1ahすなわち信号パターンC1aとは、ハンダ付けにより電気的に接続される。また、外部導体C2oの端面C2osと裏面アースパターンC1dとは、同様にハンダ付けにより電気的に接続される。なお、図27において、ハンダは図示されていない。また、図26及び図27においてはスルーホールC1ahについて示しているが、スルーホールC1bhについても同様の接続が行われる。これらの接続を行うことにより、図24に示す信号パターンC1a及びC1bは図23に示す同軸ケーブルC2の内部導体C2iに接続され、併せて図24に示す裏面アースパターンC1dは図23に示す同軸ケーブルC2の外部導体C2oに接続される。そして、図24に示すインピーダンスコントロール基板C1と図23に示す同軸ケーブルC2とは、いずれも特性インピーダンスが50Ωであるから、図24に示す信号パターンC1a、C1bに、図12に示すワークWの電極W1、W2を直接或いはプローブ経由で当接させて、ワークWの電気的特性の測定を精度良く行うことができる。次に電子部品測定システム50の測定部に組込まれる本発明による電子部品の特性測定装置について述べる。電子部品の特性測定装置12Aは図2乃至図4、および図5乃至図9に示すように、弾性材からなる導電性線材12sをコイル状に複数回巻付けてなるとともに中空部12hを含むコイル部コンタクト部ともいう12aと、コイル部12aの中空部12hに充填された導電性接着剤12bとを有するプローブ12と、プローブ12を支持する導電性部材C1と、導電性部材C1上に載置されプローブ12を収納する収納孔13aを有する位置決めプレート13と、位置決めプレート13上に載置されプローブ12の上部が外方へ突出する開口14aを有する抜け止めプレート14とを備えている。次にプローブ12について、図2乃至図4により詳述する。図2はプローブ12の正面図であり、図3は図2の矢印E方向から見た平面図であり、図4は図2の矢印G方向から見た側面図である。図2及び図3に示すように、プローブ12は上述のように、導電体である直径dの線材12sを互いに密着させて、断面が図4に示すような直径Rの円形となるように巻付けて巻回して形成した略円筒形のコイル部コンタクト部12aと、コンタクト部12aの内側の中空部12hに充填して固化させた導電性接着剤12bとを有する。導電性接着剤12bとしては、エポキシ系の基材に銀粉や銅粉或いはカーボンファイバー等の導電性の良い材料を混合したものが市販されている。固化したときの硬度はJISの鉛筆硬度表記で示され、様々な硬度のものが存在するが、硬度4H~7H程度の導電性接着剤を使用することが好ましい。ここで、図2乃至図4に示すように、コンタクト部12aを形成する際の線材の巻回方法は、線材12sの一対の端部12s1、12s2が同一方向を向くようになっている。すなわち、プローブ12を図2のように見たとき、コンタクト部12aの下半分側は上半分側よりも巻付け回数巻回数が多い。図2においてコンタクト部12a全体の巻回数は3回半となっているが、同様の巻回方法をとった場合の一般的な巻回数は、Nを自然数としたときにN回半N0.5となる。Nが大きい程、図3に示すコンタクト部12aの円筒形の軸方向の長さUは大きくなる。また、コンタクト部12aを形成する線材12sは互いに密着して巻回されているため、コンタクト部12aの内側の中空部に充填して固化させた導電性接着剤12bはコンタクト部12aの外側に概ね漏れ出すことなく、コンタクト部12aの外周部は線材が露出した状態となっている。なお、説明上、図2乃至図4においては、導電性接着剤12bに網掛けを施して表記しているが、プローブ12を表記した他の図においては、説明上特に必要がない場合には導電性接着剤12bの表記を適宜省略している。インピーダンスコントロール基板C1の信号パターンC1a、C1b図24参照上にプローブ12を載置した様子を、図5に示す。図5に示すように、プローブ12は信号パターンC1a、C1bから取り外し自在になっている。ここで、プローブ12は、コンタクト部12aを形成する線材12sの一端である12s1と他端である12s2とが、インピーダンスコントロール基板C1と逆方向を向くように、すなわち、コンタクト部12aの巻回数が多い側がインピーダンスコントロール基板C1側となるように載置されている。図6は図5の状態からインピーダンスコントロール基板C1上に、各プローブ12の周囲を囲むように四角形の2つの収納孔13aを有する誘電体からなる位置決めプレート13を載置した状態を示す。これにより、プローブ12の位置決めが行われる。図6において、プローブ12の線材12sの両端部12s1、12s2は、いずれも位置決めプレート13の上面よりも下方に位置している。図6の領域S3を矢印H1の方向から見た様子を図10aに示す。ただし、図10aにおいては、図6における矢印H2の位置を下側として記載している。図10aに示すように、位置決めプレート13には、コンタクト部12aの外形よりもやや大きい収納孔13aを有し、収納孔13aによりプローブ12の位置決めが行われている。図7は図6の状態から位置決めプレート13上に、2個のプローブ12のコンタクト部12aの上端近傍が上方に突出するように四角形の2つの開口14aを有する誘電体からなる抜け止めプレート14を載置した状態を示す。図7において、プローブ12の線材の一端12s1と他端12s2とは、いずれも抜け止めプレート14により覆われている。図7の領域S4を矢印H1の方向から見た透視図を図10bに示す。ただし、図10bにおいては、図7における矢印H2の位置を下側として記載している。また、図7の領域S4を矢印H2の方向から見た透視図を図9に、矢印H3の方向から見た透視図を図8に示す。図8、図9、図10bに示すように、抜け止めプレート14にはコンタクト部12aにおける線材の巻回数が少ない上側の外形よりもやや大きい開口14aが形成されている。このため、図7における矢印H1の方向から見ると、コンタクト部12aにおける線材12sの巻回数が多い下側に位置する線材12sの一端部12s1と他端部12s2とは、いずれも抜け止めプレート14の下側に隠れている。これにより、コンタクト部12aに上向きの力が印加された場合には、抜け止めプレート14の下面14sに線材12sの一端部12s1と他端部12s2とが当接して、コンタクト部12aが抜け止めプレート14よりも上に抜け出さないようになっている。なお、インピーダンスコントロール基板C1、位置決めプレート13、抜け止めプレート14は、図示されないねじ止め機構により相互に連結されている。このように、位置決めプレート13及び抜け止めプレート14はプローブ12の規制プレートとして機能し、インピーダンスコントロール基板C1、プローブ12、位置決めプレート13、抜け止めプレート14が一体となって、本発明による電子部品の特性測定装置12Aを構成し、この特性測定装置12Aは、図1に示す測定部9に対応するテーブルベース1内に設置されている。次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。まず図1に示す電子部品測定システム50において、図示されないパーツフィーダからリニアフィーダ7に図12の形状を有するワークWが供給され、リニアフィーダ7の作用により、搬送テーブル2に向けて一列で搬送される。リニアフィーダ7の終端部は搬送テーブル2の外周部に設けられたワーク収納孔3の開口部に対向しており、そこに設置された供給部8の作用により、ワークWはリニアフィーダ7からワーク収納孔3に個別に収納される。そして、搬送テーブル2が時計回り矢印Aの方向に間歇回転し、ワーク収納孔3に収納されたワークWは測定部9に搬送され、測定部9においてワーク収納孔3内のワークWの電気的特性を測定する。次に再び搬送テーブル2が間歇回転して、ワークWは排出部10に搬送され、測定部9における測定結果に基づいて不良と判定されたワークWを、図示されない排出機構によりワーク収納孔3から排出する。再び搬送テーブル2が間歇回転して、ワークWはテーピング部11に搬送され、測定部9における測定結果に基づいて良品と判定されたワークWをワーク収納孔3から図示されないキャリアテープの凹部に個別に収納する。テーピング部11を通過したワーク収納孔3は空になり、搬送テーブル2の間歇回転により供給部8へ到達した空のワーク収納孔3には、再びリニアフィーダ7により搬送されたワークWが収納される。なお、ワーク収納孔3の上面及び下面は解放されているが、供給部8、測定部9、排出部10、テーピング部11等の間を搬送テーブル2の間歇回転によりワークWを搬送する際には、ワーク収納孔3の上面はテーブルカバー5により覆われ、ワーク収納孔3の下面はテーブルベース1に接している。さらに、搬送テーブル2の外側に向けたワーク収納孔3の開口部の外側はガード壁6により覆われている。このため、搬送テーブル2の間歇回転に伴う振動や遠心力によってワークWがワーク収納孔3から飛び出すことはない。この間、電子部品測定システム50の測定部9において、ワークWに対して特性測定が行なわれる。測定部9の作用を図1におけるX-X ́方向断面図として示した図18乃至図21を用いて説明する。図1に示すように、測定部9において測定部ブロック91が搬送テーブル2の上側及び外側を覆っている。図18は、搬送テーブル2のワーク収納孔3に収納されたワークWが測定部9に到達して、搬送テーブル2が停止したときの様子である。測定部9において、搬送テーブル2の上側は、ワーク収納孔3の上側も含めて測定部ブロック91により覆われており、測定部ブロック91内のワーク収納孔3直上にはワークWを吸引保持する機能を有する吸着ノズル92が設置されている。吸着ノズル92の下面はワーク収納孔3の上面と略同一平面となっている。吸着ノズル92の内部には図示されない真空源に連通する真空吸引孔92aが形成され、常時矢印Jの方向に真空吸引が行われている。図18の状態における吸着ノズル92の位置を初期位置と呼ぶ。吸着ノズル92は図示されない駆動機構の作用により、搬送テーブル2に対して垂直方向、すなわち図18における上下方向に進退自在である。この上下方向の進退における最上位置が初期位置である。また、測定部9において、搬送テーブル2の外側は測定部ブロック91により覆われており、そのテーブルベース1に近い側には図示されない真空源に連通する真空吸引孔91aが設けられ、矢印Kの方向に常時真空吸引が行われている。さらに、測定部9において、テーブルベース1内には本発明による電子部品の特性測定装置12Aが設置されている。特性測定装置12Aの設置位置は、プローブ12のコンタクト部12aの最上部が、測定部9において搬送テーブル2が停止したときのワーク収納孔3の直下になるように、かつ図7における矢印H3の方向が搬送テーブル2の半径方向に一致するようになっている。図18において搬送テーブル2が停止すると、ワーク収納孔3の下面は解放されてワーク収納孔3は特性測定装置12Aの直上位置にくる。このときワーク収納孔3内のワークWは、真空吸引孔91a、92aからの真空吸引の作用により、吸着ノズル92の下面及び搬送テーブル2の外側の測定部ブロック91に吸着固定される。次に図19に示すように、図示されない駆動機構の作用により、吸着ノズル92はワークWを吸着した状態で、初期位置から矢印Pの方向に下降する。そして、図20に示すように、ワークWの電極W1、W2がコンタクト部12aの最上部に当接すると、吸着ノズル92はその位置で停止するが、停止後も矢印Fdで示す押圧力をコンタクト部12aの最上部に対して印加し続ける。図20に示す状態で、ワークWの電極W1、W2はコンタクト部12a及び信号パターンC1a、C1b、あるいは同軸ケーブル図26参照を経由して、図示されない測定器に接続されて、ワークWの電気的特性の測定が行われる。測定が終了すると、図21に示すように、図示されない駆動機構の作用により、吸着ノズル92はワークWを吸着した状態で、初期位置に向けて矢印Qの方向に上昇する。このとき、図20の矢印Fdで示す押圧力が原因で、ワークWの電極W1、W2とコンタクト部12aとが貼着した状態となっているため、吸着ノズル92の上昇に伴って、コンタクト部12aも上昇する。しかし、上述のように、コンタクト部12aが上昇しても、抜け止めプレート14の下面14sに線材12sの一端部12s1と他端部12s2とが当接して、コンタクト部12aは抜け止めプレート14よりも上に抜け出すことなく、ワークWの電極W1、W2から離間して信号パターンC1a、C1b上に戻る。そして、吸着ノズル92は図18に示す初期位置に戻って停止し、この位置においてワークWは、真空吸引孔91a、92aからの真空吸引の作用により、吸着ノズル92の下面及び搬送テーブル2の外側の測定部ブロック91に吸着固定される。次に、搬送テーブル2が間歇回転を開始し、このように吸着固定されていたワーク収納孔3内のワークWは、搬送テーブル2の回転力によって測定部9における吸着固定から強制的に解放され、排出部10に向けて搬送される。プローブ12は、図2乃至図4に示すように、コンタクト部12aの内側の中空部に導電性接着剤12bを充填して固化させている。この固化した導電性接着剤12bの硬さにより、ワークの電極をコンタクト部12aに当接させたときにコンタクト部12aが変形することを抑制し、かつ反発力が増加するので、当接の際の接触荷重が大きくなる。これにより、高周波帯の信号を用いた測定における測定精度を確保することができる十分な圧力を得ることができる。ここで、ワークの電極との当接を繰り返すことが原因となって、図11に示すようにコンタクト部12aの一部にクラック12dが生じることがある。そのような場合に、コンタクト部12aの内側の中空部において固化した導電性接着剤12bの接着力により、クラック12dがそれ以上に拡大することを防止することができる。このため、クラック12dが発生しても線材12sの整列状態が固定され、接触荷重の変化が抑制される。また、導電性接着剤12bの導電性によって電気的経路の変化が抑えられる。すなわち、クラック12dが発生しても、測定精度が維持されやすく、プローブ12の交換頻度を小さくすることができる。また、図7に示すように特性測定装置12Aのインピーダンスコントロール基板C1と、位置決めプレート13と、抜け止めプレート14はねじ止め機構により相互に連結されている。従って、当該ねじ止め機構の接続を解除すれば、図5のようにプローブ12が信号パターンC1a、C1bを有するインピーダンスコントロール基板C1上に載置された状態となり、プローブ12を容易に交換することができる。ところで図7の状態で、コンタクト部12aの上端に図12に示すワークWの電極W1、W2を当接させて、ワークWの電気的特性の測定が行われるが、この状態を図7の矢印H2の方向から見た様子を図13に、また矢印H1の方向から見た透視図を図14に示す。図13及び図14に示すように、ワークWの下面に設けられた電極W1、W2は、それぞれ線材の巻回数が少ない側に相当するコンタクト部12aの略最上部、すなわち時計の略12時の位置に当接している。ワークの電極の配置の他の例を図15に示す。ワークWmは、一面Wmaの対向する2辺近傍からWmaに隣接する面を経由してWmaに対向する面までコの字形の電極W11、W12、W13、W14及びW21、W22、W23、W24が形成されている。このようなワークWmの測定時における電極とプローブとの当接の様子を、図7の矢印H2の方向から見た様子を図16に、また矢印H1の方向から見た透視図を図17に示す。図16及び図17に示すように、ワークWmの各電極が形成されている2辺と、プローブ12xのコンタクト部12xaの線材の巻回数が少ない側に相当する上側における時計の略2時及び略10時の位置とが当接している。このように、コンタクト部12xaが円筒形に形成されているため、ワークの電極との当接位置を、時計の略9時の位置から12時の位置を経由して略3時の位置までの範囲で自在に設定することが可能であるという効果を有する。また、図17に示すように、コンタクト部12xaの線材の巻回数は1回半である。この巻回数は、コンタクト部12xaを円筒形に形成するための最小値であるが、このように巻回数を少なくすることにより、コンタクト部12xaの円筒形の軸方向の長さ図3におけるUを短くすることができ、隣接する電極の間隔が小さいワークにも確実に当接させることが可能となる。本発明におけるプローブ12は、図13及び図16に示すように、コンタクト部12aの外周上の1点においてワークWの電極W1、W2、W11、W21等に当接している。このため、コンタクト部12aとワークWの電極W1、W2、W11、W21等との間に働く反発力がこの1点に集中して大きくなり、当接の際に発生する接触荷重が大きくなる。これにより、高周波帯の信号を用いた測定における測定精度を確保することができる十分な接触荷重を得ることができる。また、プローブ12aは、図3においてUで示した円筒形の軸方向の長さが線材12sの巻回数によって決定され、さらに図4においてRで示した円筒形の直径が図2に示す線材12sの直径dによって決定される。これは、小型のプローブが容易に製作可能であることを意味する。プローブ12を小さくすることにより、図24に示すインピーダンスコントロール基板C1の信号パターンC1a、C1bとワークの電極との間をプローブで接続したときに、接続点においてエネルギー損失が増加して50Ωの特性インピーダンスが確保できなくなるといった問題が生じなくなる。また、上述のように、図15に示す形状の、多数の電極W11、W12、W13、W14及びW21、W22、W23、W24が並んで形成されたワークWmの測定を行う場合には、図17に示すような巻回数が1回半のプローブ12xを使用すればよい。この場合、プローブ12xの内側の中空部には図2乃至図4に示す導電性接着剤12bが充填されているため、巻回数が少なくても十分な硬さを有している。このため、ワークの電極W11、W12、W13、W14及びW21、W22、W23、W24と当接する際にプローブ12xの変形を抑制するとともに、十分な接触荷重を確保できる反発力を得ることが可能である。また、図2乃至図4に示すようなプローブ12を製作する際には、互いに密着させて巻回した線材の中空部に導電性接着剤12bを充填する作業が行われるが、導電性接着剤12bはわずかな粘性を有する流動体であるため、この作業は容易に行うことができる。以上の説明においては、図23に示す特性インピーダンス50Ωの同軸ケーブルC2をワークWの電極W1、W2に接続するための測定インタフェース回路として、図24に示すインピーダンスコントロール基板C1を使用するものとした。他の測定インタフェース回路の例を図22に示す。図22は、図24に示すインピーダンスコントロール基板C1と同様に、特性インピーダンス50Ωとなるようにインピーダンスコントロールされた同軸状部材C2mにプローブ12を載置した様子を示した図である。同軸状部材C2mは、プローブ12を載置するために上面を平面状に形成した銅等の導電体からなる内部コンタクトパターンC2m1及び外部コンタクトパターンC2m3を最上面に有する。これらは、図23に示す同軸ケーブルC2における内部導体C2i及び外部導体C2oに対応する。内部コンタクトパターンC2m1と外部コンタクトパターンC2m3との間はわずかな隙間を有し、それぞれの上に2個のプローブ12が近接して載置されている。内部コンタクトパターンC2m1及び外部コンタクトパターンC2m3の下側は、それぞれ銅等の導電体からなる内部導体パターンC2m2及び外部導体パターンC2m4に接続されている。内部導体パターンC2m2の直径は内部コンタクトパターンC2m1よりもやや小さく、内部導体パターンC2m2と外部導体パターンC2m4との間にはポリエチレン等の誘電体C2mdが充填されている。そして、内部導体パターンC2m2の最下部から内部導体パターンC2m2の直径よりもやや細い、銅等の導電体からなる接続プラグC2mpが突出している。この接続プラグC2mpと外部導体パターンC2m4の下面とに、図23の同軸ケーブルC2の一端を接続した図示されないコネクタが矢印Zの方向から嵌合する。同軸ケーブルC2の他端は図示されない測定器に接続される。これにより、プローブ12から測定器までが、特性インピーダンス50Ωで接続される。なお、実際にはプローブ12の周囲に図7に示す本発明による特性測定装置12Aが設けられているが、図22においては省略してある。以上の説明においては、搬送テーブル2の回転方向に沿って、供給部8、測定部9、排出部10、テーピング部11が配置されているとしたが、排出部10及びテーピング部11の代わりに、測定部9の測定結果に対応してワークWの特性を等級別に分類して各等級毎に個別の排出箱に排出する分類排出部を配置しても良い。また、測定部9の数は1個に限定されるものではない。また、以上の説明においては搬送テーブル2が水平に設置されているものとしたが、本発明は搬送テーブル2が垂直に設置されている場合、或いは傾斜して設置されている場合においても、適用することができる。比較例次に本発明の比較例について図28乃至図33により説明する。図28は図24においてインピーダンスコントロール基板C1の信号パターンC1a、C1bに図12に示すワークWの電極W1、W2を直接当接させた様子を、図24の矢印B3a方向から見た断面図として示したものである。図28において、ワークWの上側には吸着ノズル92が位置し、内部に形成された真空吸引孔92aが図示されない真空源に連通して、矢印Jの方向に真空吸引を行い、ワークWを吸着している。そして、この吸着ノズル92は、ワークWを吸着した状態で、ワークWの電極W1、W2に矢印Faで示す向きに押圧力を印加している。この押圧力によって、ワークWの電極W1は信号パターンC1aに当接し、電極W2は信号パターンC1bに当接している。このように、ワークWの電極W1、W2を信号パターンC1a、C1bに直接当接させた場合には、以下のような問題を生じる。ワークWの電極W1と信号パターンC1aとの間に働く押圧力と、ワークWの電極W2と信号パターンC1bとの間に働く押圧力は、図28においては同一の矢印Faで示されているが、実際にはワークWの電極W1、W2や信号パターンC1a、C1bの寸法の偏差により、異なる大きさになる場合が多い。そうすると、各押圧力のバラツキにより、いずれかの電極と信号パターンとの接触が不安定になり、測定精度に影響することがある。特に、図15に示すような、一面Wmaの対向する長手方向の2辺近傍からWmaに隣接する面を経由してWmaに対向する面までコの字形の電極W11、W12、W13、W14及びW21、W22、W23、W24が形成されているワークWmを測定する場合には、ワークWmの電極の数が8個であることに対応して、インピーダンスコントロール基板に形成される信号パターン数も8個となるので、上記の各押圧力のバラツキの度合いはさらに大きくなる。このような押圧力のバラツキに起因する電極と信号パターンとの接触の不安定を防止するためには、押圧力をできるだけ大きくすることになり、ワークにダメージを与える可能性が大きくなる。また、押圧力を大きくすると信号パターンC1a、C1bの摩耗が激しくなり、インピーダンスコントロール基板C1を頻繁に交換する必要が生じる。これは、装置のコストアップにつながるとともに、交換時に装置を停止させることによる稼働率の低下を招く。上記のように、ワークの電極を信号パターンに直接当接させる方法において生じる問題を解決するために、ワークの電極と信号パターンとの間に弾性を有するプローブを挿入して、各押圧力のバラツキを吸収して均一化をはかることが考えられている。ただし、プローブの条件として、寸法ができるだけ小さいことが望まれる。その理由は、寸法が大きいプローブをインピーダンスコントロール基板に接続すると、接続点においてエネルギー損失が増加して50Ωの特性インピーダンスが確保できなくなるためである。そのような条件を満足する小型のプローブの一例を図29及び図30を用いて説明する。図29は、図24に示すインピーダンスコントロール基板C1の信号パターンC1a、C1bに板バネ式プローブ100を取り付けたものである。板バネ式プローブ100は、弾性を有する銅等の導電体を用いて、基部100aと当接部100bとによりL字形に形成されている。基部100aの下端は信号パターンC1a、C1bにハンダ付けにより固定されている。当接部100bは基部100aの上端から略直角に水平方向に張り出しており、そこに図12に示すワークWの電極W1、W2が当接する。その様子を、図29の矢印B方向から見た断面図として、図30に示す。図30において、ワークWの上側には図28と同様に吸着ノズル92が位置し、ワークWを吸着した状態で、ワークWの電極W1、W2に矢印Fbで示す向きに押圧力を印加している。この押圧力によって、ワークWの電極W1、W2は当接部100bの上面かつ先端付近に当接している。このとき、基部100aと当接部100bとがL字形に形成されていることに基づく当接部100bの弾性によって、押圧力Fbに対する反発力が生じる。この反発力によって、電極W1、W2と当接部100bとの間に接触荷重が発生して両者間の接触が確保され、かつ押圧力間のバラツキが吸収されて均一化される。しかし、板バネ式プローブ100の基部100aはハンダ付けによって信号パターンC1a、C1bに固定されているため、当接部100bの摩耗により板バネ式プローブ100を交換する必要がある場合には、インピーダンスコントロール基板C1全体を交換しなくてはならず、交換の容易性の点で問題がある。このような交換時の問題点を解決するために、テコ形コンタクトプローブと呼ばれるプローブ単体の交換が可能な小型のプローブが市販されている。図31乃至図33を用いてテコ形コンタクトプローブについて説明する。図24に示すインピーダンスコントロール基板C1の信号パターンC1a、C1b上にテコ形コンタクトプローブ101を載置した様子を、図31に示す。図31に示すように、テコ形コンタクトプローブ101は信号パターンC1a、C1bから取り外し自在になっている。テコ形コンタクトプローブ101は、弾性を有する銅等の導電体を一端の上面が他端よりも高い位置にあるJ形に形成したコンタクト部101aと、弾性を有するゴム等の誘電体を円筒形に形成したエラストマ101bとからなる。エラストマ101bはコンタクト部101aの窪み部分に長手方向を沿わせて置かれている。図32は図31の状態からインピーダンスコントロール基板C1上に、各テコ形コンタクトプローブ101の周囲を囲むように四角形の穴を2個設けた誘電体からなる規制プレートとしての位置決めプレート102を載置し、かつ各テコ形コンタクトプローブ101の間にストッパ103を設置した状態を示す。図32において、ストッパ103により、テコ形コンタクトプローブ101の位置決めが行われる。この状態でコンタクト部101aの一端の上面に、図12に示すワークWの電極W1、W2を当接させて、ワークWの電気的特性の測定を行う。この様子を図32の矢印B方向から見た透視図として、図33に示す。図33において、ワークWの上側には図28と同様に吸着ノズル92が位置し、ワークWを吸着した状態で、ワークWの電極W1、W2に矢印Fcで示す向きに押圧力を印加している。この押圧力によって、ワークWの電極W1、W2はコンタクト部101aの一端の上面に当接している。このとき、コンタクト部101aの他端は位置決めプレート102の第1の壁面102s1に当接し、エラストマ101bは位置決めプレート102の天井102s2及び第2の壁面102s3に当接する。そして、コンタクト部101aとエラストマ101bが弾性を有するため、これらの弾性によって押圧力Fcに対する反発力が生じる。この反発力によって、電極W1、W2と当接部100bとの間に接触荷重が発生して両者間の接触が確保され、かつ押圧力間のバラツキが吸収されて均一化される。なお、ストッパ103は、押圧力Fcが過大になった際に、上記位置決めプレート102の第1の壁面102s1、天井102s2、第2の壁面102s3等に当接する力が過大になって位置決めプレート102が損傷することを防止するために、コンタクト部101aが一定長さ以上下方に移動しないように規制する機能を有する。ここで、インピーダンスコントロール基板C1と位置決めプレート102とは、図示されないねじ止め機構により互いに接続されている。この接続を解除すれば、図31のようにテコ形コンタクトプローブ101が信号パターンC1a、C1b上に載置された状態となっているので、プローブ単体での交換を容易に行うことができる。ここで、エラストマ101bはゴム等の弾性を有する誘電体であることから、エラストマ101bが当接用プレート103の天井103sに当接する際の反発力は、上述の板バネ式プローブ100における当接部100b銅等の導電体により構成されているの反発力に比べて小さい。従って、テコ形コンタクトプローブ101のコンタクト部101aがワークWの電極W1、W2に当接する際の接触荷重を大きくすることが困難になる。ここで、電極W1、W2とコンタクト部101aとが当接すると、ワークWの電極W1、W2を覆っているハンダや電極W1、W2周辺部の誘電体が剥離して、細かい粉状になってコンタクト部101aの上面に付着することがある。その場合、電極W1、W2とコンタクト部101aとの当接における接触荷重を大きくして十分な接触を確保しないと、コンタクト部101aの上面に付着した粉状のハンダや誘電体の影響によって、高周波帯の信号を用いた測定において測定精度の低下を招きやすい。このため、テコ形コンタクトプローブ101の場合は、上述の板バネ式プローブ100に比べて、プローブ交換の頻度が大きくなる。これに対して本発明によれば、上述のようにワークWの電極W1,W2に対してプローブ12を確実に接触させることができ、かつプローブ12自体を容易かつ簡単に交換することができる。"