"ガラスフィルムと、粘着層と、前記ガラスフィルムの幅よりも大きい幅のフィルムであって前記ガラスフィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムに設けられている支持フィルムと、を有し、前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって0.5mm以上1mm以下であることを特徴とするガラスフィルム積層体。前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている、請求項1に記載のガラスフィルム積層体。粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅よりも狭い幅のガラスフィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって0.5mm以上1mm以下であるように、前記粘着層を介して前記支持フィルムと前記ガラスフィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。しかしながら、特許文献3に記載のガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの上面に貼り合わされた保護シートは剥離が予定されているので、剥離して粘着層が露出し易く、また、保護シートが剥離された後には再び支持シート上に設けられている粘着層が露出し、露出した粘着層がゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすおそれがある。また、特許文献3には、ガラスフィルムの上面端部周縁を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様も提案されている。しかしながら、この保護シートを剥離せずに残したままで例えば露光工程に投入すると、保護シートの端部の段差が露光マスクに接触したり、その段差部分に現像液が溜まったりする等の問題が発生する。また、製造されたガラスフィルム積層体を搬送する際には、ガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出して搬送し、ガラスフィルム積層体の搬送直進性を確保している。そのため、特許文献3に記載のガラスフィルム積層体のように、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出している態様では、幅広の支持シートに対してガラスフィルムが曲がって貼り付いている可能性がある。こうしたガラスフィルム積層体が例えばフォトリソグラフィ工程に搬送されてガラスフィルム上に成膜された膜をパターニングする際に、ガラスフィルム積層体に対しては例えば露光マスクが正しく配置されるものの、曲がって貼り付いているガラスフィルムに対しては例えば露光マスクは斜めに配置されることになり、ガラスフィルムに対して斜めのパターンが形成されるという問題があった。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、ガラスフィルムの端部から支持シート以下、本発明では支持フィルムという。がはみ出したガラスフィルム積層体であっても、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、さらに、搬送直進性とパターン形成時等の位置精度を向上させることができる、ガラスフィルム積層体及びその製造方法を提供することにある。上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムと、粘着層と、前記ガラスフィルムの幅よりも大きい幅のフィルムであって前記ガラスフィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムに設けられている支持フィルムと、を有し、前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって0.5mm以上1mm以下であることを特徴とする。この発明によれば、ガラスフィルムとそのガラスフィルムよりも僅かに広い幅の支持フィルムとを粘着層を介して貼り合わせ、ガラスフィルムの端部から0.5mm以上1mm以下の僅かの幅だけ支持フィルムがはみ出すように構成したので、アはみ出した支持フィルムがガラスフィルムの端部を保護するように作用し、破損や傷の発生を防ぐことができる。また、イはみ出した支持フィルムに粘着層が存在していたとしても、そのはみ出し量が僅かであるので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、ウはみ出した部分が僅かであり、他のフィルムで覆う等の必要もないので、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、露光マスクがそうした段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。さらに、エガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部では、支持フィルムが僅かにはみ出しているものの、支持フィルムの端部位置とガラスフィルムの端部位置とが実質的に同位置になっているので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させない。本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている。この発明によれば、ガラスフィルム上に、透明電極膜、金属膜、半導体膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか1種又は2種以上の膜がパターニングされた態様で設けられているので、そうしたガラスフィルム積層体は、例えば有機ELディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等に応用される。本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記のように、ガラスフィルムの端部での破損や傷の発生を防ぐことができ、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがないのでパターン形成等の加工不具合を防ぐことができ且つ加工時の位置精度が低下しない、という効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体にパターニングされた膜が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体を例えば有機ELディスプレイ用素子基板等として用いて有機ELディスプレイ等を製造した場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。上記課題を解決するため本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅よりも狭い幅のガラスフィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって0.5mm以上1mm以下であるように、前記粘着層を介して前記支持フィルムと前記ガラスフィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。この発明によれば、ガラスフィルムの端部から0.5mm以上1mm以下の僅かの幅だけ支持フィルムをはみ出すように貼り合わせるので、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体と同様の作用効果、アガラスフィルムの端部での破損や傷の発生を防ぐことができ、イゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、ウ露光マスクが段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題がなく、エ例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度が低下しない。本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法によれば、ガラスフィルムの端部から支持フィルムが僅かにはみ出すように構成したので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、さらに、搬送直進性とパターン形成時等の位置精度を向上させることができる。本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法について、図面を参照して詳しく説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有すれば種々の変形が可能であり、以下に具体的に示す実施形態に限定されるものではない。[ガラスフィルム積層体]本発明に係るガラスフィルム積層体10は、図1及び図2に示すように、ガラスフィルム3と、粘着層2と、ガラスフィルム3の幅Aよりも大きい幅Bのフィルムであって前記したガラスフィルム3の両側端部3a,3bからはみ出すように、粘着層2を介してガラスフィルム3に設けられている支持フィルム1とを有している。そして、支持フィルム1の幅方向Xの各端部1a,1bからその各端部1a,1b側におけるガラスフィルム3の幅方向Xの各端部3a,3bまでの距離a,bが、支持フィルム1の幅方向Xの端部1a,1bから内方に向かって0.5mm以上1mm以下であることに特徴がある。すなわち、このガラスフィルム積層体10は、ガラスフィルム3とそのガラスフィルム3の幅Aよりも僅かに広い幅Bの支持フィルム1とを粘着層2を介して貼り合わせ、ガラスフィルム3の端部3a,3bから0.5mm以上1mm以下の僅かの幅距離a,bだけ支持フィルム1がはみ出すように構成されている。以下、各構成について詳しく説明する。支持フィルム支持フィルム1は、図1に示すように、ガラスフィルム3を支持するためのフィルムであり、粘着層2を介してガラスフィルム3に貼り合わされている。支持フィルム1としては、可撓性のある樹脂フィルムが用いられる。支持フィルム1を構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン-ビニルアルコール共重合体、エチレン-メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を挙げることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン等を好ましく挙げることができる。支持フィルム1は、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された支持フィルム1であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された支持フィルム1であってもよい。支持フィルム1の着色の有無や透光性透明、半透明、不透明等も特に限定されない。支持フィルム1の厚さは、1μm~200μmであることが好ましく、10μm~50μmであることがより好ましい。この厚さ範囲の支持フィルム1は、ガラスフィルム3を支持できるとともに、得られたガラスフィルム積層体10をロール巻きした際の不具合が生じない。支持フィルム1の厚さが1μm未満の場合には、薄すぎてガラスフィルム3を支持する効果を実質的に奏さない。一方、支持フィルム1の厚さが200μmを超えると、得られたガラスフィルム積層体10をロール巻きする際に、支持フィルム内の残留応力が大きくなり、支持フィルム1とガラスフィルム3との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム3が破壊したりすることがある。支持フィルム1の幅Bは、ガラスフィルム3の幅Aよりも大きい。こうした支持フィルム1は、その幅方向Xの両側端部1a,1bがガラスフィルム3の両側端部3a,3bからはみ出すように粘着層2を介してガラスフィルム3に設けられている。支持フィルム1は、枚葉態様の支持フィルムであってもよいが、ロール巻きできる長尺態様の支持フィルム図2参照が好ましく用いられる。枚葉態様の支持フィルム1を用いた場合には、その支持フィルム1の各辺、例えば四辺形の場合には4辺の端部が、ガラスフィルム3の端部からはみ出すように貼り合わされている。また、ロール巻き等される長尺態様の支持フィルム1を用いた場合にも、図2に示すように、支持フィルム1の幅方向Xの両端1a,1bが、同じく長尺態様のガラスフィルム3の幅方向Xの両辺の端部3a,3bからはみ出すように貼り合わされている。こうした支持フィルム1は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。粘着層粘着層2は、支持フィルム1とガラスフィルム3とを積層させるために、支持フィルム1とガラスフィルム3との間に設けられている。粘着層2は、最終的にガラスフィルム3から剥離できる層に限られず、ガラスフィルム3から剥離せずにガラスフィルム3に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。粘着層2を構成する材料としては、天然ゴムや合成ゴムに粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤等を混合したゴム系粘着剤、アクリル酸エステルと他種官能性単量体とを共重合したアクリル系粘着剤、シリコーンゴムと樹脂からなるシリコーン系粘着剤、ポリエーテルやポリウレタン系粘着剤等を挙げることができる。また、形態としては、溶剤型粘着剤、非水エマルジョン型粘着剤、水系エマルジョン型粘着剤、水溶性型粘着剤、無溶剤型粘着剤、液状硬化型粘着剤等を挙げることができる。なお、粘着層2がガラスフィルム3に永久的又は半永久的に接着する接着層として設けられる場合には、各種の熱可塑性樹脂接着剤や熱硬化性樹脂接着剤を適用してもよい。粘着層2は、上記した材料で形成された単層構造であってもよいし、多層化された層であってもよい。また、粘着層2には、必要に応じて各種の添加剤を加えた粘着剤で形成された粘着層2であってもよい。粘着層2の着色の有無や透光性透明、半透明、不透明等も特に限定されない。粘着層2の厚さは、0.5μm~100μmであることが好ましく、1μm~50μmであることがより好ましい。この厚さ範囲の粘着層2は、その粘着層2を構成する粘着剤の種類にもよるが、支持フィルム1とガラスフィルム3とをその後のハンドリングやロール巻き等する際に問題が生じないように、好ましく貼り合わせることができる。粘着層2の厚さが0.5μm未満の場合には、支持フィルム1とガラスフィルム3との間の貼り合わせが不十分となることがある。一方、粘着層2の厚さが100μmを超えると、粘着層2が層間剥離したり、貼り合わせの際に粘着層2がガラスフィルム3からはみ出し、ロールに接触したりすることがある。粘着層2の形成には、上記の材料を溶剤に溶解して粘着層用塗工液とし、この塗工液を支持フィルム1上に直接塗工する方法、又は、この塗工液を剥離性シートに一旦塗工した後に支持フィルム1上に転写する方法転写方式を用いることができる。後者の転写方式は、支持フィルム1に耐溶剤性がない場合や、支持フィルム1に溶剤乾燥時の熱に対する耐熱性がない場合等に好ましく用いられる。塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を用いることができる。なお、粘着層2は、支持フィルム1の外寸を超えない。すなわち、粘着層2は、支持フィルム1の平面視形状と同じ形状又は寸法で設けられている。したがって、支持フィルム1を超えない大きさで支持フィルム1の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで支持フィルム1の全面に設けられている。すなわち、粘着層2の幅は、支持フィルム1の幅Bと同じである。なお、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できるという本発明の作用効果を妨げないのであれば、支持フィルム1よりも若干小さい大きさで設けられていてもよく、例えば1mmだけ小さい寸法で設けられていてもよい。ガラスフィルムガラスフィルム3は、粘着層2を介して支持フィルム1に積層される薄ガラスである。ガラスフィルム3を構成するガラス材質としては、ソーダライムガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリホウ珪酸ガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用できる。ガラスフィルム3にアルカリ成分が含有されていると、表面で陽イオンの置換が発生し、いわゆるソーダ吹き現象が生じ、構造的に粗となることがある。なお、無アルカリホウ珪酸ガラスとは、アルカリ成分が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が1000ppm以下のガラスのことである。また、強化ガラス、表面処理ガラス等の二次加工を施したガラスフィルム3も、得られるガラスフィルム積層体10の用途に応じて可能である。ガラスフィルム3は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることができる。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラスフィルム3の厚さを制御することができる。ガラスフィルム3の厚さは、10μm~200μmであることが好ましく、30μm~150μmであることがより好ましい。この厚さ範囲のガラスフィルム3は、ハンドリング、ロール巻き等に効果的である。ガラスフィルム3の厚さが10μm未満の場合には、そのガラスフィルム3自体のハンドリングが極めて難しくなると共に、僅かな衝撃で破損しやすくなり、長尺のガラスフィルム3の幅方向Xに断線が走ることがある。一方、ガラスフィルム3の厚さが200μmを超えると、得られたガラスフィルム積層体10をロール巻きする際に、ガラスフィルム3内の残留応力が大きくなり、ガラスフィルム3と支持フィルム1との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム3が破壊したりすることがある。ガラスフィルム3は、枚葉態様のガラスフィルムであってもよいが、ロール巻きできる長尺態様のガラスフィルムが好ましく用いられる。幅の差及び端部間の距離上記したように、支持フィルム1の幅Bはガラスフィルム3の幅Aよりも大きいB>A。そして、その差B-Aは1mm~2mmであることが好ましい。このような幅の差、すなわち支持フィルム1の幅Bがガラスフィルム3の幅Aよりも大きくすることによって、例えば枚葉態様の支持フィルム1とガラスフィルム3を用い且つ両フィルムの各辺、例えば四辺形の場合には4辺の端部を位置合わせして貼り合わせた場合、支持フィルム1の各辺の端部1a,1bを、図1に示すように、ガラスフィルム3の端部3a,3bから僅かにはみ出すように構成できる。一方、ロール巻き等される長尺態様の支持フィルム1とガラスフィルム3を用い且つ両フィルムの幅方向Xの両辺の端部を位置合わせして貼り合わせた場合も同様、支持フィルム1の端部1a,1bを、図1及び図2に示すように、ガラスフィルム3の端部3a,3bから僅かにはみ出すように構成できる。支持フィルム1とガラスフィルム3とを位置合わせして貼り合わせたガラスフィルム積層体10は、上記のように、支持フィルム1の端部1a,1bがガラスフィルム3の端部3a,3bから僅かにはみ出すように構成される。そして、支持フィルム1の幅方向Xの各端部1a,1bから、該各端部側におけるガラスフィルム3の幅方向Xの各端部3a,3bまでの距離a,bは、支持フィルム1の幅方向Xの端部1a,1bから内方に向かって、0.5mm以上1mm以下であることが望ましい。詳しくは、支持フィルム1の幅方向Xの端部1aからその端部1a側におけるガラスフィルム3の幅方向Xの端部3aまでの距離aが、支持フィルム1の幅方向Xの端部1aから内方に向かって0.5mm以上1mm以下であること、及び、支持フィルム1の幅方向Xの端部1bからその端部1b側におけるガラスフィルム3の幅方向Xの端部3bまでの距離bが、支持フィルム1の幅方向Xの端部1bから内方に向かって0.5mm以上1mm以下であることが望ましい。こうした関係を満たすためには、上記した幅の差B-Aは上記のように1mm~2mmの範囲内である必要がある。すなわち、0.5mm以上1mm以下の距離a,bを満たすためには、幅の差B-Aが1mm~2mmとなる支持フィルム1とガラスフィルム3を用いなければならないことになる。距離a,bを支持フィルム1の幅方向Xの端部1a,1bから内方に向かって0.5mm以上1mm以下とすることによって、支持フィルム1と同じ幅Bで設けられている粘着層2は、ガラスフィルム積層体10の端部周縁部と同義。で僅かに露出している。しかし、その露出の程度は実質的に露出しないと評価できる程度である。粘着層2が実質的に露出しないと評価できる程度の理由は、ガラスフィルム積層体10をロール巻きした際であっても、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くことがなく、また、ガラスフィルム積層体10をロール搬送した際であっても、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体10が貼り付いてしまうことがなかったためである。さらに、粘着層2が実質的に露出しないと評価できる程度の理由として、ガラスフィルム積層体10の搬送時にはガラスフィルム積層体10の幅方向Xの両端部を検出するが、その両端部では、ガラスフィルム3の端部3a,3bの位置と実質的に同じ位置0.5mm以上1mm以下と言えるので、例えば露光マスク等がガラスフィルム3に対し、悪影響が生じる程度に斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させなかったためである。一方、支持フィルム1の端部1a,1bは、0.5mm以上1mm以下の距離a,bでガラスフィルム3の端部3a,3bからはみ出していることも事実であり、その結果、はみ出した支持フィルム1がガラスフィルム3の端部3a,3bを保護するように作用し、破損や傷の発生を防ぐことができるという効果がある。また、はみ出してはいるが、その程度が僅かであり、他のフィルムで覆う等の必要もないので、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分を生じさせない。そのため、ガラスフィルム積層体10を例えば露光工程等に投入した場合であっても、露光マスクがそうした段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題を生じさせない。距離a,bが1mmを超える場合とは、ガラスフィルム積層体10の両側端部での距離a及び距離bのいずれか一方又は両方が1mmを超える場合である。すなわち、支持フィルム1の端部1a,1bが1mmを超えてガラスフィルム3の外方向にはみ出している態様であり、支持フィルム1と同じ幅Bで設けられている粘着層2が、その限度でガラスフィルム積層体10の端部からはみ出す。その結果、ガラスフィルム積層体10をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くおそれがあり、また、ガラスフィルム積層体10をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体10が貼り付いてしまうおそれがある。さらに、ガラスフィルム積層体10の搬送時にはガラスフィルム積層体10の幅方向Xの両端部を検出するが、両端部のうち支持フィルム1がはみ出した側の端部では、支持フィルム1の端部1a,1bが検出される。その結果、例えば露光マスク等がガラスフィルム3に対して斜めに配置されるおそれがあり、パターン形成等の加工不具合が生じて加工時の位置精度が低下するおそれがある。距離a,bが0.5mm未満の場合とは、ガラスフィルム積層体10の両側端部での距離a及び距離bのいずれか一方又は両方が0.5mm未満の場合である。すなわち、支持フィルム1の端部1a,1bが0.5mm未満でガラスフィルム3の外方向にはみ出している態様、及び、支持フィルム1の端部1a,1bがガラスフィルム3の端部3a,3bよりも内方向に位置する態様のいずれかの態様である。こうした態様では、支持フィルム1の端部1a,1bとガラスフィルム3の端部3a,3bとがほぼ一致することになるので、支持フィルム1がガラスフィルム3の端部3a,3bを確実に保護できると言うことはできず、製造工程中やその後の工程中で他の部材等当たって、ガラスフィルム3の端部3a,3bに破損や傷が発生するおそれがある。なお、ガラスフィルム3の幅A、支持フィルム1の幅B、ガラスフィルム3の幅方向Xの各端部3a,3bと支持フィルム1の各端部1a,1bとの距離a,bは、種々の方法で測定できる。本発明及び後述する各実施例では、測定対象であるガラスフィルム3、支持フィルム1及びガラスフィルム積層体10を平面視した際の拡大画像と、基準スケールの拡大画像とを比較して測定した。その他の構成ガラスフィルム3上には、図3に示すように、膜4を設けてもよい。膜4は特に限定されないが、例えば、透明電極膜、金属膜、半導体膜、レジスト膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか1種又は2種以上の膜を挙げることができる。特にこうした膜4が、その用途に応じてパターニングされていることが好ましい。パターニング方法は、従来公知の各種の方法を適用でき、特に限定されない。例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィを適用してパターニングしてもよいし、ドライエッチングやウエットエッチングでパターニングしてもよい。ガラスフィルム3上にパターニングされた膜4を設けてなるガラスフィルム積層体10の例としては、例えば、有機ELディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を挙げることができる。有機ELディスプレイ用素子基板では、ガラスフィルム積層体10のガラスフィルム3上に、パターニングされたITO等の透明電極膜等を設けることができる。液晶ディスプレイ用素子基板では、同様のパターニングされたITO等の透明電極膜や、パターニングされた配向膜を設けることができる。カラーフィルタ用素子基板では、同様のパターニングされたITO等の透明電極膜や、着色層区画用隔壁、及び着色層等を設けることができる。また、太陽電池用素子基板では、同様のパターニングされたITO等の透明電極膜等を設けることができる。また、これらの各素子基板に各種の機能膜パターンを形成するために、ガラスフィルム3上にレジスト膜を成膜し、そのレジスト膜を例えばフォトリソグラフィでパターニングしてなる膜4であってもよい。本発明に係るガラスフィルム積層体10は、上記のように、ガラスフィルム3の端部3a,3bでの破損や傷の発生を防ぐことができ、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、例えば露光マスク等がガラスフィルム3に対して斜めに配置されることがないのでパターン形成等の加工不具合を防ぐことができ且つ加工時の位置精度が低下しない、という効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体10にパターニングされた膜4が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体10を例えば有機ELディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等として用いて有機ELディスプレイ、液晶ディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等を製造する場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。[ガラスフィルム積層体の製造方法]本発明に係るガラスフィルム積層体10の製造方法は、粘着層2が設けられた支持フィルム1を準備する工程と、支持フィルム1の幅Bよりも狭い幅Aのガラスフィルム3を準備する工程と、支持フィルム1の幅方向Xの各端部1a,1bからその各端部1a,1b側におけるガラスフィルムルム3の幅方向Xの各端部3a,3bまでの距離a,bが、支持フィルム1の幅方向Xの端部1a,1bから内方に向かって0.5mm以上1mm以下であるように、粘着層2を介して支持フィルム1とガラスフィルム3とを貼り合わせる工程と、を有する。この製造方法は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体10を製造するための一態様である。上記した本発明に係るガラスフィルム積層体10は他の方法で製造したものであってもよい。なお、ガラスフィルム積層体10を製造し、さらに図3に示すように、パターニングされた膜4等を設けて、有機ELディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を製造した後又は製造途中で、粘着層2付きの支持フィルム1を剥離してもよい。図4は、この製造方法を実施することができるガラスフィルム積層体10の製造装置20の一例を示す模式図である。図4に示すように、ロール巻き状の支持フィルムロール23は支持フィルム供給部22に装着され、ロール巻き状のガラスフィルムロール25はガラスフィルム供給部24に装着されている。支持フィルムロール23は、粘着層2が片面に設けられた支持フィルム1がカバーシートを介してロール巻きされており、そのカバーシートを剥離しながら支持フィルムロール23から繰り出された支持フィルム1と、ガラスフィルムロール25から繰り出されたガラスフィルム3とが貼り合わせ部26で貼り合わされる。なお、支持フィルム1とガラスフィルム3とは、必要に応じて配置されたガイドローラ28で貼り合わせ部26まで案内される。貼り合わせ部26では、ニップローラ30によって、支持フィルム1とガラスフィルム3とを粘着層2を介して貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体10は、搬送路32を通って巻取部34に送られ、ロール巻き状のガラスフィルム積層体ロール36となる。この製造方法で製造されたガラスフィルム積層体10は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体10と同様、ガラスフィルム3の端部3a,3bから0.5mm以上1mm以下の僅かの幅距離a,bだけ支持フィルム1をはみ出すように貼り合わせるので、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体と同様の作用効果、アガラスフィルム3の端部3a,3bでの破損や傷の発生を防ぐことができ、イゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、ウ露光マスクが段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題がなく、エ例えば露光マスク等がガラスフィルム3に対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度が低下しない、という作用効果を奏する。以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例の内容のみには限定されない。以下の実施例では、ガラスフィルム積層体10を製造し、さらにフォトリソグラフィ工程に供してガラスフィルム積層体10上に設けた膜4をパターニングした場合に、その一連の工程で、ロール巻き時の貼り付き、パターンの位置精度、端部の割れについて評価した。[実施例1]支持フィルム1として、厚さ59μm、幅302mm、長さ10mの粘着層付きPETフィルム日東電工株式会社製、RP207が3インチのコアに巻かれた支持フィルムロール23を準備した。この支持フィルム1に設けられた粘着層2上には、カバーシートが剥離自在に貼り付けられている。ガラスフィルム3として、厚さ70μm、幅300mm、長さ10mの薄板ガラス日本電気硝子株式会社製、OA-10Gが6インチのコアに巻かれたガラスフィルムロール25を準備した。続いて、図4に示したラミネート装置を用い、支持フィルム供給部22に支持フィルムロール23を設置し、ガラスフィルム供給部24にガラスフィルムロール25を設置した。続いて、支持フィルムロール23から繰り出した支持フィルム1と、ガラスフィルムロール25から繰り出したガラスフィルム3とを、各々のフィルムの中心合わせ制御を行って、貼り合わせ部26のニップローラ30でラミネートした。その後、搬送路32を搬送させて、直径が6インチのコアに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール36を作製した。次に、ガラスフィルム積層体ロール36を塗工装置図示しないの巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体10を繰り出した。続いて、繰り出されたガラスフィルム積層体10のガラスフィルム3上に、マイクログラビア印刷によってフォトレジストを塗布し、その後に巻き取った。続いて、フォトレジストを形成した後のガラスフィルム積層体ロールを露光装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体ロールを繰り出した。なお、露光装置への繰り出しはガラスフィルム積層体10の端部1a,1bを超音波センサで検出し、ガラスフィルム積層体10の端部1a,1bが一定の位置となるようにして露光ステージに搬送し、5回の露光動作を実施した。続いて、現像装置を用いて現像を行い、5箇所にパターンが形成されたパターン付ガラスフィルム積層体10を得た。得られたガラスフィルム積層体10において、支持フィルム1の端部1aからガラスフィルム3の端部3aまでの距離aは1mmであり、支持フィルム1の端部1bからガラスフィルム3の端部3bまでの距離bも1mmであった。なお、距離a,bのは、図1に示すように、支持フィルム1の端部1a,1bから内方向にガラスフィルム3の端部3a,3bが存在している場合であり、-は、支持フィルム1の端部1a,1bから外方向にガラスフィルム3の端部3a,3bがはみ出している場合である。[実施例2]実施例1において、粘着層付きPETフィルム日東電工株式会社製、RP207の幅を301mmとし、貼り合わせ部26でのガラスフィルム3と支持フィルム1との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム1の端部1aからガラスフィルム3の端部3aまでの距離aを0.5mmとし、支持フィルム1の端部1bからガラスフィルム3の端部3bまでの距離bも0.5mmとした。それ以外は、実施例1と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。[比較例1]実施例1において、粘着層付きPETフィルム日東電工株式会社製、RP207の幅を298mmとし、貼り合わせ部26での支持フィルム1とガラスフィルム3との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルムの端部1aからガラスフィルム3の端部3aまでの距離aを-1mmとし、支持フィルム1の端部1bからガラスフィルム3の端部3bまでの距離bも-1mmとした。それ以外、実施例1と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。[比較例2]実施例1において、粘着層付きPETフィルム日東電工株式会社製、RP207の幅を299mmとし、貼り合わせ部26での支持フィルム1とガラスフィルム3との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルムの端部1aからガラスフィルム3の端部3aまでの距離aを-0.5mmとし、支持フィルム1の端部1bからガラスフィルム3の端部3bまでの距離bも-0.5mmとした。それ以外、実施例1と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。[比較例3]実施例2において、貼り合わせ部26での支持フィルム1とガラスフィルム3との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム1の端部1aからガラスフィルム3の端部3aまでの距離aを1mmとし、支持フィルムの端部1bからガラスフィルム3の端部3bまでの距離bを±0mmとした。それ以外は、実施例2と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。[比較例4]実施例1において、貼り合わせ部26での支持フィルム1とガラスフィルム3との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム1の端部1aからガラスフィルム3の端部3aまでの距離aを1.5mmとし、支持フィルムの端部1bからガラスフィルム3の端部3bまでの距離bを0.5mmとした。それ以外は、実施例1と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。[測定と結果]実施例1,2及び比較例1~4により得られたパターン付ガラスフィルム積層体について、上記したように、支持フィルム1の幅Bとガラスフィルム3の幅Aとの差B-A、及び、支持フィルム1の端部1a,1bとガラスフィルム3の端部3a,3bとの距離a,bを表1示した。表1中の搬送テストの評価項目であるロール巻き時の貼り付き、パターンの位置精度及び端部の割れは、作製したガラスフィルム積層体10を用いてフォトリソグラフィ工程を経た後に評価したものである。ここで、ロール巻き時の貼り付きとは、作製したガラスフィルム積層体10をロール巻きした場合に、ガラスフィルム積層体10同士が貼り付くか否かを評価した結果であり、1は全く貼り付かなかった場合とし、2は僅かに貼り付きがあったと思われる程度に良好な場合とし、3は貼り付きが生じていた場合とした。また、パターン位置精度とは、5つのパターン各々において、ガラスフィルム積層体10に形成された膜パターン4図3参照が、ガラスフィルム積層体10を構成するガラスフィルム3の端部3a,3bに対する形成位置として所定の位置に形成されているか否かを評価した結果であり、1は膜パターンの形成位置が良好な場合とし、2は膜パターンの形成位置が厳密には僅かにずれているがあまり問題にならない場合とし、3は支持フィルムの端部1a,1bに対しては精度よく設けられていたが、ガラスフィルム3の端部3a,3bに対する精度としてはやや不十分な場合とした。また、端部の割れとは、ガラスフィルム積層体10の製造工程後及び膜パターンの形成工程後に、作製したガラスフィルム積層体10を構成するガラスフィルム3の端部3a,3bに割れや傷が生じていたか否かの評価であり、1は割れや傷が全く生じていなかった場合とし、2は僅かに傷があったが実用上あまり問題ない場合とし、3は傷又は割れが生じていた場合とした。なお、総合評価として、○は使用可能なもので、△は3の評価が少なくとも1つあるもの又は全部が2であるもので、使用にはやや問題があるものとした。表1の結果から分かるように、ガラスフィルム3の幅Aよりも大きい幅Bの支持フィルム1を、ガラスフィルム3の両側端部3a,3bからはみ出すように粘着層2を介してガラスフィルム3に貼り合わせ、且つ支持フィルム1の幅方向Xの各端部1a,1bからその各端部1a,1b側におけるガラスフィルム3の幅方向Xの各端部3a,3bまでの距離a,bが、支持フィルム1の幅方向Xの端部1a,1bから内方に向かって0.5mm以上1mm以下の条件を満たした実施例1,2は、良好な結果が得られた。こうした条件を満たさない比較例1~4の場合は、十分な結果が得られなかった。"