"超音波振動を発生する振動発生部と前記振動発生部で発生した超音波振動を伝達するホーン部とをケース内に収納し、前記ケースから外部に突出したホーン部の先端、又はホーン部の先端に取り付けられる工具ホルダの先端を工具取付部とし、この工具取付部に形成した工具挟持用スリットに工具を挿入して取り付けてなる超音波加工装置において、前記ホーン部又は工具ホルダの内部を通過して前記工具挟持用スリットに至る冷却流体通路を設けると共に、前記工具挟持用スリット内の対向面に前記冷却流体通路側から先端面に至る冷却用溝を設け、さらに前記工具取付部の外周に取り付けられて前記工具取付部の外周先端部に当接する当接部によって前記工具を前記スリット内に締め付け固定する固定具を具備し、前記冷却流体通路を通ってきた冷却流体が前記冷却用溝を通過してその先端から噴き出すことで前記工具を冷却することを特徴とする超音波加工装置。請求項1に記載の超音波加工装置であって、前記工具ホルダにはこれを貫通するスリットを設けてその一端側を前記工具挟持用スリットとして前記冷却用溝を設け、他端側を前記冷却流体通路としたことを特徴とする超音波加工装置。請求項2に記載の超音波加工装置であって、前記工具ホルダの冷却流体通路となるスリットの中央に治具取付部を設け、この治具取付部に工具位置決め治具を取り付けることで工具位置決め治具の先端を、前記工具挟持用スリットに挿入した工具の根元部分を当接させる位置決め面としたことを特徴とする超音波加工装置。請求項1又は2又は3に記載の超音波加工装置であって、前記ケース内に収納した振動発生部とホーン部は、両者の中心部分に挿入される連結部材によって連結され、且つ連結部材の外周面と振動発生部の内周面の間に隙間からなる冷却流体通路を形成し、前記連結部材には、その一端側に設けた開口から連結部材の内部に導入した冷却流体を、前記連結部材と振動発生部の間の冷却流体通路に導入した後に再び連結部材内に戻して前記ホーン部に設けた冷却流体通路に接続する冷却流体通路が設けられていることを特徴とする超音波加工装置。しかしながらこの方法の場合、以下のような問題がある。1図9a,bは冷却用溝305を設けた工具取付部300のスリット301にカッター刃330を取り付けた状態をカッター刃330の先端側から見た図であるが、同図aに示すように前記冷却用溝305内にはこれを塞ぐようにボルト303が貫通するため、冷却空気の流れが悪くなり、冷却効率が低下してしまう。2工具取付部300にカッター刃330を強固に固定するため、図9aに示すボルト303を強く絞め付けると、図9bに示すように、冷却用溝305が少し潰れ、これによって冷却用溝305から離れた部分の工具挟持用スリット301の対向面がカッター刃330から浮き、カッター刃330を強く安定して押えることが困難になる。もしカッター刃330を強く押えることができないと、工具取付部300とカッター刃330間に超音波振動による微小なズレが生じ、その摩擦熱により発熱し、さらには、スリット301部からクラックが発生し、故障に至ることがある。さらに切断能力を上げるため、振幅を大きくしたり、周波数を高くすると余計に発熱が増大してしまう。3一般に工具取付部300へのスリット301等の加工は、ワイヤ放電加工によって行われる。ワイヤ放電加工は工具取付部300の中心軸L1方向に対して直交する方向の溝しか切ることができない。しかしながら冷却用溝305は工具取付部300の中心軸L1方向を向いているため、ワイヤ放電加工によって形成することが困難で、他の加工方法を別途用いる必要があり、加工が煩雑になり、製造コストも増大する。本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、工具の冷却が効果的に行えると同時に、強い強度で工具を固定することができる超音波加工装置を提供することにある。本発明は、超音波振動を発生する振動発生部と前記振動発生部で発生した超音波振動を伝達するホーン部とをケース内に収納し、前記ケースから外部に突出したホーン部の先端、又はホーン部の先端に取り付けられる工具ホルダの先端を工具取付部とし、この工具取付部に形成した工具挟持用スリットに工具を挿入して取り付けてなる超音波加工装置において、前記ホーン部又は工具ホルダの内部を通過して前記工具挟持用スリットに至る冷却流体通路を設けると共に、前記工具挟持用スリット内の対向面に前記冷却流体通路側から先端面に至る冷却用溝を設け、さらに前記工具取付部の外周に取り付けられて前記工具取付部の外周先端部に当接する当接部によって前記工具を前記スリット内に締め付け固定する固定具を具備し、前記冷却流体通路を通ってきた冷却流体が前記冷却用溝を通過してその先端から噴き出すことで前記工具を冷却するように構成されている。このように固定具を工具取付部の外周に取り付けることで工具を工具挟持用スリット内に締め付け固定する構成なので、工具挟持用スリット内に形成される冷却用溝が固定具によって塞がれることはなく、効果的に工具を冷却することができ、同時に工具挟持用スリットと工具の面が常に密着した状態で締め付けられるので、工具を強い強度で締め付けることができる。また本発明は、前記工具ホルダにこれを貫通するスリットを設けてその一端側を前記工具挟持用スリットとして前記冷却用溝を設け、他端側を前記冷却流体通路としている。このようにホーン部とは別に工具ホルダを用意し、この工具ホルダにスリットや冷却用溝を設け、しかもスリットは工具ホルダを貫通しているので、その加工にワイヤ放電加工を用いることができ、加工が容易になり、低コスト化を図ることができる。さらに本発明は、前記工具ホルダの冷却流体通路となるスリットの中央に治具取付部を設け、この治具取付部に工具位置決め治具を取り付けることで工具位置決め治具の先端を、前記工具挟持用スリットに挿入した工具の根元部分を当接させる位置決め面としている。このように構成すれば、工具位置決め治具によって容易に工具挟持用スリット内に挿入した工具の位置決めを行うことができる。またさらに本発明は、前記ケース内に収納した振動発生部とホーン部が両者の中心部分に挿入される連結部材によって連結され且つ連結部材の外周面と振動発生部の内周面の間に隙間からなる冷却流体通路を形成し、前記連結部材にはその一端側に設けた開口から連結部材の内部に導入した冷却流体を前記連結部材と振動発生部の間の冷却流体通路に導入した後に再び連結部材内に戻して前記ホーン部に設けた冷却流体通路に接続する冷却流体通路を設けている。このように構成すれば、連結部材の一端の開口から導入された冷却流体は、振動発生部の内周面を冷却した後、ホーン部の内部を冷却し、さらに前述のように工具を効果的に冷却する。つまりこの発明によれば、超音波加工装置の工具を取り付けた部分とホーン部と振動発生部を何れもその内側から効果的に冷却することができ、同時にその外径が大きくなることもないので小型化も図れる。本発明によれば、工具の冷却が効果的に行えると同時に、強い強度で工具を固定することができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態にかかる超音波加工装置1の断面図、図2は超音波加工装置1の先端近傍部分の斜視図、図3は超音波加工装置1の先端近傍部分の分解斜視図である。図1に示すように超音波加工装置1は、バックアップリング10と超音波振動を発生する振動発生部20とホーン40とをケース50内に収納し、ケース50から外部に突出するホーン40の先端に工具ホーン60と工具ホルダ90を取り付け、さらに固定具130によって工具ホルダ90先端にカッター刃工具160を取り付けて構成されている。ホーン40と工具ホーン60を合わせてホーン部110ということとする。振動発生部20はピエゾ圧電素子層によって構成されており、その両側にバックアップリング10とホーン40を積層し、連結部材ボルト70及びナット80によって一体化し、これによっていわゆるランジュバン型振動子を構成している。バックアップリング10と振動発生部20の中心部分には、それぞれ前記連結部材70を貫通する貫通孔11,23が形成されている。両貫通孔11,23の内径寸法は連結部材70の外径寸法よりも所定寸法だけ大きく形成されている。連結部材70の両端外周にはオネジ71,73が形成されており、また連結部材70の両端面の中央に形成された開口75,77から連結部材70内部に向かって小孔からなる冷却流体通路79,81が形成されている。両冷却流体通路79,81は開口75,77から連結部材70の中心軸L上を内部に向かって直線状に形成された後、半径方向に向かい、連結部材70の外周面の開口83,85に至っている。連結部材70の一端はホーン40の一端面中央に形成したメネジからなる取付部41にねじ込まれ、他端にナット80をねじ込んで締め付けることでバックアップリング10と振動発生部20とホーン40を積層一体化している。前記バックアップリング10と振動発生部20の貫通孔11,23と連結部材70の間に形成される隙間は、連結部材70の開口83,85に連通する冷却流体通路87を構成している。ホーン40の前記振動発生部20を取り付けた反対側の面にはフランジ部43が形成されており、このフランジ部43をケース50の一方の端面53の内側面に取り付けている。フランジ部43の中央にはケース50から外部に突出する突出部45が設けられ、その先端には連結ボルト47によって工具ホーン60が取り付けられている。ホーン40の中心軸L上と連結ボルト47の中心軸L上には小孔からなる冷却流体通路49が形成されている。ケース50は略円筒形状であり、バックアップリング10と振動発生部20とホーン40フランジ部43を除くの外径寸法よりも内径寸法を所定寸法だけ大きく形成することでこれら各部材との間に冷却流体通路51を形成して構成されている。ケース50の一方の端面53には前述のようにホーン40のフランジ部43が取り付けられており、端面53の中央にはホーン40の突出部45を貫通する開口45が設けられている。ケース50の他方の端面47には冷却流体導入口47が設けられている。図1及び図2,図3に示すように工具ホーン60は略棒状であり、その中心軸L上には小孔からなる冷却流体通路61が貫通して形成されている。工具ホーン60の一端面には前述のように連結ボルト47によってホーン40が連結されており、もう一方の端面中央には凹部63が設けられ、その内周面にはメネジ65が形成されている。図4aは超音波加工装置1の先端部分に取り付けられる工具ホルダ90と工具位置決め治具120と固定具130とカッター刃160とを示す断面拡大図、図4bはその分解断面拡大図である。また図5aは工具ホルダ90の左側面図、図5bは正面図、図5cは平面図である。図4,図5に示すように工具ホルダ90は、六角ナット形状の基部93の一方の側工具ホーン60側に工具ホーン取付部95を突出して設け、もう一方の側カッター刃160側に工具取付部91を突出して設けて構成されている。工具ホルダ90の中心には、これを中心軸L方向に貫通するスリットを設けてその工具取付部91側を工具挟持用スリット97とし、工具ホーン取付部95側を冷却流体通路99としている。工具挟持用スリット97は、下記するカッター刃160の固定部163を略ぴったり挿入する隙間の工具挿入部98を有し、その両端部分は隙間寸法を小さくして工具取付部91の外周面まで切り欠いている。工具挟持用スリット97の工具挿入部98の一部中心軸L部分には、中心軸L方向に向かって工具挟持用スリット97の全長にわたる冷却用溝101が設けられている。冷却用溝101は工具挟持用スリット97内の対向する両面に横断面略円弧状で直線状に形成されている。一方工具ホーン取付部95の中央中心軸L部分には、中心軸L方向に向かって工具ホーン取付部95の全長にわたるメネジからなる治具取付部103が形成されている。工具取付部91の外周にはオネジ105が設けられ、工具ホーン取付部95の外周にもオネジ107が設けられている。工具取付部91の外周先端部辺は傾斜面からなる被当接部109となっている。工具取付部91の外周面の工具挟持用スリット97の根元部分には、工具取付部91を半径方向に貫通する貫通孔111が設けられている。貫通孔111は工具挟持用スリット97で分割された工具取付部91の2つの部分の変形撓みを容易にする。工具位置決め治具120は、前記工具ホルダ90の治具取付部103にねじ込まれるボルトによって構成され、その先端を位置決め面121としている。固定具130は略6角ナットの形状であって内部に前記工具ホルダ90のオネジ105を螺合するメネジ131を形成し、一方の側工具側の孔の内径を小さくすることでその内周側の面をテーパ面状の当接部133とし、同時にこの内径を小さくした孔を工具挿入孔135としている。カッター刃160は、ワークを加工する処理刃先161と、処理刃先161の根元側の平面状の固定部163とを具備して構成されている。そしてこれらを組み立てるには、まず図4に示す工具位置決め治具120を工具ホルダ90の治具取付部103にねじ込んで固定する。次に固定具130を工具ホルダ90の工具取付部91外周のオネジ105に軽くねじ込み、次にカッター刃160の固定部163を固定具130の工具挿入孔135に挿入し、さらに工具ホルダ90の工具挟持用スリット97の工具挿入部98に挿入する。そして固定部163の先端面を工具位置決め治具120の位置決め面121に当接する。これによってカッター刃160の奥行き方向の正確な位置決めが図られる。そして前記固定具130をさらにねじ込んでその当接部133を工具取付部91の被当接部109に当接して押し付け、これによって工具挟持用スリット97で2つに分離された工具取付部91間を接近するように締め付け、カッター刃160の固定部163の両面を工具挟持用スリット97内に締め付け固定する。そして工具ホルダ90の工具ホーン取付部95を工具ホーン60の凹部63内に挿入してねじ込み固定する。なお上記組立手順はその一例であり、他の各種異なる組立手順を用いて組み立てても良いことはいうまでもない。以上のように構成されている超音波加工装置1において、振動発生部20を駆動して超音波振動を発生させれば、その超音波振動がホーン部110等に伝達され、超音波加工装置1全体が中心軸L方向に超音波振動し、カッター刃160によるワークの加工が行えるようになる。超音波加工装置1を冷却するには、ケース50の冷却流体導入口47から冷却流体として空気を導入する。ケース50内に導入された冷却流体は、まず冷却流体通路51に導入されてバックアップリング10と振動発生部20とホーン40の外周面を冷却する。次に前記冷却流体は、連結部材70の開口75から冷却流体通路79内に導入された後、開口83から冷却流体通路87に導入され、バックアップリング10と振動発生部20をその内側から冷却する。次に前記冷却流体は、開口85から連結部材70の冷却流体通路81に流入し、ホーン40の冷却流体通路49と工具ホーン60の冷却流体通路61内を流れ、これによってホーン40と工具ホーン60をそれらの内側から冷却した後、凹部63に至る。凹部63に至った冷却流体は、工具ホルダ90の冷却流体通路99を通った後、冷却用溝101を通ってカッター刃160の先端側に向けて噴き出す。冷却流体が冷却用溝101を通過する際、カッター刃160の固定部163は冷却流体によって冷却され、またカッター刃160の先端側に噴き出した冷却流体によって処理刃先161の表面も冷却される。以上のように、連結部材70の一端の開口75から導入された冷却流体は、バックアップリング10と振動発生部20の内周面を冷却した後、ホーン部110の内部を冷却し、さらにカッター刃160を効果的に冷却する。つまりこの発明によれば、超音波加工装置1のカッター刃160を取り付けた部分とホーン部110と振動発生部20とバックアップリング10とを何れもその内側から効果的に冷却することができ、同時にその外径が大きくなることもないので小型化も図れる。また上記超音波加工装置1によれば、固定具130を工具ホルダ90の工具取付部91の外周に取り付けることでカッター刃160を工具挟持用スリット97内に締め付け固定する構成なので、工具挟持用スリット97内に形成される冷却用溝101が固定具130によって塞がれることはなく、効果的にカッター刃160を冷却することができ、同時に工具挟持用スリット97とカッター刃160の面が常に密着した状態で締め付けられるので、カッター刃160を強い強度で締め付けることができる。またこの超音波加工装置1は、ホーン部110とは別に工具ホルダ90を用意し、この工具ホルダ90にスリット工具挟持用スリット97と冷却流体通路99や冷却用溝101を設け、しかもスリットは工具ホルダ90を貫通しているので、その加工にワイヤ放電加工を用いることができ、加工が容易に行え、低コスト化を図ることができる。またボルトからなる工具位置決め治具120によって容易にカッター刃160の工具ホルダ90に対する位置決めを行うことが可能になる。図6aは本発明の他の実施形態にかかる工具ホルダ90-2と固定具130-2とカッター刃160-2とを示す断面拡大図、図6bはその分解断面拡大図である。なおその他の部材は前記超音波加工装置1において用いた部材と同一である。また前記図1~図5に示す超音波加工装置1の工具ホルダ90、固定具130、カッター刃160と同一又は相当部分には同一符号但し添え字-2を付すを付し、その詳細な説明は省略する。なお以下で説明する事項以外の事項については、前記図1~図5に示す超音波加工装置1と同じである。この例においては前記超音波加工装置1で用いた工具位置決め治具120を用いていない。従って工具ホルダ90-2には治具取付部103が形成されていない。その代りに図6bに示すように、カッター刃160-2の固定部163-2の両側辺に、係止段部165-2を設けている。係止段部165-2は固定部163-2の根元側から処理刃先161-2に向かってその幅を広げるような段部となっており、固定部163-2の係止段部165-2よりも根元側の部分の幅寸法は、工具ホルダ90-2の工具挿入部98-2の幅寸法と略同一寸法であり、係止段部165-2の処理刃先161-2側の幅寸法は、工具挿入部98-2の両側の隙間寸法が小さくなっている工具挟持用スリット97―2の部分の上にその両端が位置する寸法になっている。固定具130-2については前記固定具130と同一の構成である。そしてこれらを組み立てるには、まず固定具130-2を工具ホルダ90-2の工具取付部91-2の外周のオネジ105-2に軽くねじ込み、次にカッター刃160-2の固定部163-2を固定具130-2の工具挿入孔135-2に挿入し、さらに工具ホルダ90-2の工具挟持用スリット97-2の工具挿入部98-2に挿入する。そして固定部163-2の係止段部165-2を工具挿入部98-2の両側の工具挟持用スリット97-2の隙間寸法が小さくなっている部分の上に当接して位置決めする。そして前記固定具130-2をさらにねじ込んでその当接部133-2を工具取付部91-2の被当接部109-2に当接して押し付け、これによって工具挟持用スリット97-2で2つに分離された工具取付部91-2間を接近するように締め付け、カッター刃160-2の固定部163-2の両面を工具挟持用スリット97-2内に締め付け固定する。これによってこれら各部材の組み立てが終了する。以上のように構成しても、工具ホルダ90-2の冷却流体通路99-2を通った冷却流体は、冷却用溝101-2を通ってカッター刃160-2の先端側に向けて噴き出し、前記超音波加工装置1と同様の効果的なカッター刃160-2周辺の冷却が図れる。この例の場合も、固定具130-2を工具ホルダ90-2の工具取付部91-2の外周に取り付けることでカッター刃160-2を工具挟持用スリット97-2内に締め付け固定する構成なので、工具挟持用スリット97-2内に形成される冷却用溝101-2が固定具130-2によって塞がれることはなく、効果的にカッター刃160-2を冷却することができ、同時に工具挟持用スリット97-2とカッター刃160-2の面が常に密着した状態で締め付けられるので、カッター刃160-2を強い強度で締め付けることができる等、上記超音波加工装置1の場合と同様の効果を有する。図7は本発明のさらに他の実施形態にかかる工具ホルダ90-3の左側面図図5aに相当する図である。この工具ホルダ90-3において、前記図5に示す工具ホルダ90と同一又は相当部分には同一符号但し添え字-3を付すを付し、その詳細な説明は省略する。なお以下で説明する事項以外の事項については、前記図1~図5に示す工具ホルダ90と同じである。この工具ホルダ90-3において前記工具ホルダ90と相違する点は、冷却用溝101-3の数を2か所4本とし、これらを工具挟持用スリット97-3工具挿入部98-2の一部中心軸Lから等距離離れた位置に設けた点のみである。このように冷却用溝101~101-3は工具挟持用スリット97~97-3工具挿入部98~98-3の一部に設けるものであれば、どの位置に何か所設けても良いし、工具挟持用スリット97~97-3内の対向面の一方の面のみに設けても良い。以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本願発明の作用効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。例えば、上記例ではホーン部110とは別に工具ホルダ90を用意し、この工具ホルダ90の先端を工具取付部91としたが、場合によっては工具ホルダ90を省略し、ホーン部110の先端に直接工具取付部を設けても良い。この場合、ホーン部110の先端に直接工具挟持用スリット97等を形成し、固定具を用いて直接カッター刃を取り付けることになる。また上記例ではホーン部110をホーン40と工具ホーン60とによって構成したが、工具ホーン60を省略してホーン40のみでホーン部を構成しても良い。また上記例では取り付ける工具としてカッター刃160を用いたが、他の各種工具であっても良い。また冷却流体は空気以外の各種気体例えば不活性ガスでもよく、さらには液体例えば水であっても良い。また上記例では工具挟持用スリット97~97-3の一部として、工具によるワーク加工時のズレを防止するための工具挿入部98~98-3を設けたが、そのような必要性が小さい場合は工具挟持用スリット97~97-3の隙間寸法全体を工具の厚み寸法と略同一寸法に形成しても良い。"