"ノズル形成面に開口した複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、該複数の圧力室のうち少なくとも1つに液体を供給する複数のリザーバー、および、各リザーバーの前記ノズル形成面とは反対側の面における少なくとも一部を膜材で区画することで形成した複数のコンプライアンス部を備えた流路ユニットと、該流路ユニットの前記ノズル形成面とは反対側の面に接合されるヘッドケースと、を備え、前記ヘッドケースには、前記流路ユニットに接合される面の一部を前記リザーバーとは反対側に窪ませて成る凹室、および、該凹室に一端が連通すると共に他端が大気に開放した大気開放通路が形成され、前記凹室は、前記複数のコンプライアンス部に亘って一連に形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。前記ヘッドケースは、前記流路ユニットとの接合面側に当該流路ユニットを補強する補強部材を備え、該補強部材の流路ユニットとの接合面側に前記凹室が形成されたことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。前記大気開放通路の一部の流路抵抗は、他の部分の流路抵抗よりも大きいことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体噴射ヘッド。請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。ノズル形成面に開口した複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、該複数の圧力室のうち少なくとも1つに液体を供給する複数のリザーバー、および、各リザーバーの前記ノズル形成面とは反対側の面における少なくとも一部を膜材で区画することで形成した複数のコンプライアンス部を複数備えた流路ユニットと、該流路ユニットの前記ノズル形成面とは反対側の面に接合され、当該流路ユニットに接合される面の一部を前記リザーバーとは反対側に前記複数のコンプライアンス部に亘って一連に窪ませて形成された凹室、および、該凹室に一端が連通すると共に他端が大気に開放した大気開放通路が形成されたヘッドケースと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ヘッドケースの前記流路ユニット接合面側の面の一部を面押し手段により前記流路ユニット接合面とは反対側へ押すことで前記凹室を形成する凹室形成工程と、前記流路ユニットと前記ヘッドケースを接合するヘッドケース接合工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。前記ヘッドケースは、前記流路ユニットとの接合面側に当該流路ユニットを補強する補強部材を備え、前記凹室形成工程では、当該補強部材の流路ユニットとの接合面側に前記凹室を形成することを特徴とする請求項5に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。ところで、上記のような記録ヘッドでは、複数のコンプライアンス部に対応した複数の逃げ凹部を形成しているため、各逃げ凹部に連通する大気開放路がヘッドケースを貫通して複数形成され、これにより、ヘッドケースの強度が低下していた。その結果、例えば、圧電振動子を振動させてノズルからインクを噴射する際に、当該振動がヘッドケースを介して他の圧電振動子に伝わり易くなり、この振動が当該他の圧電振動子の駆動に影響を及ぼす可能性があった。これにより、1つの圧電振動子を単独で駆動した場合と複数の圧電振動子を同時に駆動する場合とで液体噴射特性ノズルから噴射される液体の量や、ノズルから噴射された液体の飛翔速度が変化する問題所謂クロストークの問題が起きるおそれがあった。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヘッドケースに大気開放路を形成しても、ヘッドケースの強度の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法を提供することにある。本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル形成面に開口した複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、該複数の圧力室のうち少なくとも1つに液体を供給する複数のリザーバー、および、各リザーバーの前記ノズル形成面とは反対側の面における少なくとも一部を膜材で区画することで形成した複数のコンプライアンス部を備えた流路ユニットと、該流路ユニットの前記ノズル形成面とは反対側の面に接合されるヘッドケースと、を備え、前記ヘッドケースには、前記流路ユニットに接合される面の一部を前記リザーバーとは反対側に窪ませて成る凹室、および、該凹室に一端が連通すると共に他端が大気に開放した大気開放通路が形成され、前記凹室は、前記複数のコンプライアンス部に亘って一連に形成されたことを特徴とする。この構成によれば、凹室を前記複数のコンプライアンス部に亘って形成したので、この凹室に連通する大気開放通路を1本形成すればよく、複数の大気開放通路を形成する必要がない。これにより、ヘッドケースの強度の低下を抑制することができ、その結果、ヘッドケースの剛性低下に起因するクロストークを抑制することができる。また、大気開放通路が1本で足りるため、液体噴射ヘッドの設計の自由度を高めることができる。上記構成において、前記ヘッドケースは、前記流路ユニットとの接合面側に当該流路ユニットを補強する補強部材を備え、該補強部材の流路ユニットとの接合面側に前記凹室が形成された構成を採用することが望ましい。この構成によれば、他の部材の変形例えば、樹脂で形成されたヘッドケース本体が、高湿度の環境下において膨潤したような場合により発生する応力によって、流路ユニットが変形することを抑制できる。また、ヘッドケースの強度を高めることができる。上記各構成において、前記大気開放通路の一部の流路抵抗は、他の部分の流路抵抗よりも大きいことが望ましい。この構成によれば、大気開放通路の気体の拡散を抑制でき、リザーバー内にある液体の水分が膜材を浸透して大気開放通路内に蒸発することを抑制できる。その結果、流路ユニット内の液体が増粘することによる液体噴射特性の変化を抑制することができる。また、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。この構成によれば、ヘッドケースの剛性低下に起因するクロストークを抑制することができるので、液体噴射装置の信頼性を向上させることができる。さらに、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、ノズル形成面に開口した複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、該複数の圧力室のうち少なくとも1つに液体を供給する複数のリザーバー、および、各リザーバーの前記ノズル形成面とは反対側の面における少なくとも一部を膜材で区画することで形成した複数のコンプライアンス部を複数備えた流路ユニットと、該流路ユニットの前記ノズル形成面とは反対側の面に接合され、当該流路ユニットに接合される面の一部を前記リザーバーとは反対側に前記複数のコンプライアンス部に亘って一連に窪ませて形成された凹室、および、該凹室に一端が連通すると共に他端が大気に開放した大気開放通路が形成されたヘッドケースと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ヘッドケースの前記流路ユニット接合面側の面の一部を面押し手段により前記流路ユニット接合面とは反対側へ押すことで前記凹室を形成する凹室形成工程と、前記流路ユニットと前記ヘッドケースを接合するヘッドケース接合工程と、を含むことを特徴とする。この方法によれば、容易に凹室を形成した記録ヘッドを製造することができる。上記方法において、前記ヘッドケースは、前記流路ユニットとの接合面側に当該流路ユニットを補強する補強部材を備え、前記凹室形成工程では、当該補強部材の流路ユニットとの接合面側に前記凹室を形成することが望ましい。以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、液体噴射装置として、図1に示すインクジェット式記録装置1以下、単にプリンターというを例示する。プリンター1は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッドユニット2以下、単に記録ヘッドユニットというが取り付けられると共に、記録ヘッドユニット2とインクカートリッジ3とから構成されるキャリッジ4と、記録ヘッドユニット2の下方に配設されたプラテン5と、キャリッジ4を記録紙6ノズル36から噴射された液体が着弾する着弾対象の一種の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構7と、紙幅方向に直交する方向である紙送り方向に記録紙6を搬送する紙送り機構8等を備えて構成されている。ここで、紙幅方向とは、主走査方向記録ヘッドユニット2の往復移動方向であり、紙送り方向とは、副走査方向即ち、記録ヘッドユニット2の走査方向に直交する方向である。キャリッジ4は、主走査方向に架設されたガイドロッド9に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構7の作動により、ガイドロッド9に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ4の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー10によって検出され、検出信号が位置情報として制御部図示せずに送信される。これにより、制御部はこのリニアエンコーダー10からの位置情報に基づいてキャリッジ4記録ヘッドユニット2の走査位置を認識しながら、記録ヘッドユニット2による記録動作噴射動作等を制御することができる。次に記録ヘッドユニット2について説明する。図2は、記録ヘッドユニット2の分解斜視図、図3は、記録ヘッドユニット2の断面図である。本実施形態の記録ヘッドユニット2は、キャリッジ4の下側記録動作時の記録紙6側の部分を構成しており、上部にはインク液体の一種を貯留したインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられている。また、記録ヘッドユニット2は、図2に示すように、インクカートリッジ3が取り付けられる架台12と、架台12の下部に備えられた回路基板13と、回路基板13を挟んで架台12の下方インクカートリッジ3とは反対側に取り付けられる記録ヘッド14と、記録ヘッド14を保護するヘッドカバー15とから構成されている。架台12は、記録ヘッドユニット2の上部を構成する部材である。本実施形態の架台12は、インクカートリッジ3からインクを導入するインク導入部材17と、インク導入部材17の下部に装着される環状のシール部材18と、シール部材18の内側に配置される接続流路部材19と、接続流路部材19の下部に装着される複数のフィルター20と、これらのフィルター20を挟んで接続流路部材19の下方に取り付けられる上流基礎部材21と、から構成されている。インク導入部材17は、上面に複数のインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられるインクカートリッジ装着部22を備えている。このインクカートリッジ装着部22の底部上面には、装着される各インクカートリッジ3に対応して複数のインク導入針23が形成されている。本実施形態では、4色のインク例えば、シアンインク、マゼンタインク、イエローインク、ブラックインクに対応して、4本のインク導入針23が列設されている図2等参照。インク導入針23の内部には流路が形成されており、当該流路はインク導入流路24の一部として機能する図3参照。そして、インク導入針23をインクカートリッジ3に挿入することで、インク導入流路24とインクカートリッジ3内部とを連通することができる。これにより、記録ヘッドユニット2内にインクを導入することができる。また、インク導入流路24の下端部は、インク導入部材17の下側に接合される接続流路部材19に形成された中間流路27後述に連通可能に形成されている。シール部材18は、内面が接続流路部材19の外周に沿うように環状に形成された、樹脂等から成る弾性部材である。このシール部材18は、インク導入部材17と上流基礎部材21の間に挟まれ、同様にインク導入部材17と上流基礎部材21の間に挟まれる接続流路部材19の周囲を密封する。接続流路部材19は、4本のインク導入針23にそれぞれ対応して形成された中間流路27を4つ有する平板状の部材である。この中間流路27は、一端がインク導入部材17のインク導入流路24に連通し、他端が上流基礎部材21のインク供給路29後述にそれぞれフィルター20を介して連通している。ここで、フィルター20は、接続流路部材19の中間流路27と上流基礎部材21のインク供給路29の間に装着され、流路内のインクに混入した気泡や異物をインクと共にインク供給路29に供給されないようにするための部材であり、4本の流路に対応して4つ備えられている。なお、フィルター20は、通過するインクの流路抵抗を減らすためにインク導入流路24や記録ヘッド14内の流路に比べて大きめに形成されており、これに合わせて中間流路27の下端部をフィルター20に向けて拡径させ、下側の開口径をフィルター20と略同じ大きさに揃えている。上流基礎部材21は、架台12の下端部分を構成する部材であり、上面には接続流路部材19が装着され、下面には回路基板13を挟んで記録ヘッド14が接合されている。また、上流基礎部材21の中央には、インク供給路29が板厚方向に貫通して形成されている。このインク供給路29は、上側でフィルター20を介して接続流路部材19の中間流路27と連通し、下側で記録ヘッド14のヘッドケース本体47に形成されたケース流路70後述と連通する。なお、インク供給路29における上側の開口径は、フィルター20と略同じ大きさに揃えられており、下側に向けて縮径している。また、インク供給路29の下端は、上流基礎部材21の下面より下側記録ヘッド14側に延出しており、後述する回路基板13の流路挿通孔34に挿通されている。これにより、インク供給路29の下端は、回路基板13を挟んでケース流路70と液密に接合することができる。そして、上流基礎部材21が、間にシール部材18、接続流路部材19およびフィルター20を挟んでインク導入部材17と接合されることで、架台12を形成している。このとき、インク導入流路24、中間流路27およびインク供給路29がそれぞれ連通し、一連の上流側インク流路が形成される。この上流側インク流路によってインクカートリッジ3内のインクが記録ヘッド14に送られることになる。さらに、上流基礎部材21には、後述する大気開放通路31の一部を構成する架台側大気開放通路30が下上方向に形成されている図3参照。架台側大気開放通路30の下端は、インク供給路29と同様に上流基礎部材21の下面より下側に延出しており、後述する回路基板13の流路挿通孔34に挿通されている。これにより、架台側大気開放通路30の下端は、回路基板13を挟んで後述するケース側大気開放通路71と液密に接合することができる。そして、ケース側大気開放通路71の上端は、上流基礎部材21の表面に形成された蛇行流路図示せずに連通している。この蛇行流路は、同じく大気開放通路31の一部を構成しており、他の大気開放通路31を構成する通路よりも流路抵抗を大きくするために他の大気開放通路31よりも細い通路に形成されている。また、蛇行流路は、上流基礎部材21の表面を上流基礎部材21の一側端部に至るまで複数回屈曲蛇行し、当該端部において大気に開放されている。なお、このような蛇行流路は、例えば、細い溝を上流基礎部材21の表面に形成し、この溝の上面を、樹脂等を用いてシールすることにより、形成することができる。回路基板13は、表面にIC、抵抗等の電装部品が実装されると共に一側の端部にコネクター32が形成されており、上記した架台12と記録ヘッド14の間に装着されている。この回路基板13は、後述する記録ヘッド14の振動子ユニット45を構成するフレキシブルケーブル33が接合されている。また、コネクター32には、一端をプリンター1の制御部に接続した信号ケーブル図示せずの他端が接続される。そのため、信号ケーブルを通じてプリンター1の制御部から送られてくる駆動信号等を、回路基板13およびフレキシブルケーブル33を介して振動子ユニット45に供給することができる。これにより、記録ヘッド14のインクの噴射動作を制御している。また、インク供給路29に対応する箇所には、板厚方向に貫通した流路挿通孔34が形成されている。この流路挿通孔34にインク供給路29の下端を挿通して、回路基板13より下方でインク供給路29とヘッドケース本体47のケース流路70を接続している。次に記録ヘッド14の構成について詳しく説明する。図4、図5は記録ヘッド14の断面図であり、図4は、図3における領域Aの拡大図、図5は、記録ヘッド14の構成をより簡略化して要部を拡大した断面図である。本実施形態における記録ヘッド14は、ノズルプレート49に開口した複数のノズル36にそれぞれ連通する複数の圧力発生室38本発明の圧力室に相当、該複数の圧力発生室38のうち少なくとも1つに液体を供給する複数のリザーバー共通液室又はマニホールドとも言う52、および、各リザーバー52のノズルプレート49とは反対側の面における少なくとも一部を膜材で区画することで形成した複数のコンプライアンス部59を備えた流路ユニット39と、該流路ユニット39のノズルプレート49とは反対側の面に接合されるヘッドケース41と、このヘッドケース41に一部が収容される振動子ユニット45と、を備えて構成される。まず、流路ユニット39について説明する。流路ユニット39は、ノズルプレート49、流路形成基板50、及び振動板51から構成され、ノズルプレート49を流路形成基板50の一方の表面に、振動板51をノズルプレート49とは反対側となる流路形成基板50の他方の表面にそれぞれ配置して積層し、接着等により一体化することで形成される。ノズルプレート49は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル36を列状に開設したステンレス鋼製の薄いプレートである。本実施形態では、例えば、180個のノズル36を列状に開設し、これらのノズル36によってノズル列37を構成している。したがって、ノズルプレート49の下面流路形成基板50とは反対側の面が本発明のノズル形成面35となる。また、本実施形態のノズルプレート49は、ノズル列37を左右対称に2列、主走査方向に横並びに設けている。流路形成基板50は、リザーバー52、インク供給口53、及び圧力発生室38からなる一連のインク流路を形成する板状部材である。本実施形態の流路形成基板50は、シリコンウェハーをエッチング処理することで作製されている。上記の圧力発生室38は、ノズル36の列設方向ノズル列37方向に対して直交する方向に細長い室であり、隔壁で区画された状態で各ノズル36に対応して複数列状に形成されている。そして、この圧力発生室38の列が、流路形成基板50においてノズル列37に直交する方向記録動作時の主走査方向に並べて2列形成されている。インク供給口53は、圧力発生室38とリザーバー52との間を連通する流路幅の狭い狭窄部として形成されている。また、リザーバー52は、複数の圧力発生室38に共通なインクが導入される空部である。このリザーバー52の一部は、中央ノズル36の列設方向と直交する方向において2列のノズル列37の間に向けて延在しており、振動板51の中央部に開設された後述するインク導入口56と連通している。このため、リザーバー52は、振動板51のインク導入口56、ヘッドケース本体47のケース流路70後述、補強部材48の貫通流路61後述、および、架台12の上流側インク流路を介してインクカートリッジ3と連通すると共に、インク供給口53を介して対応する各圧力発生室38に連通する。その結果、リザーバー52はインクカートリッジ3に貯留されたインクを各圧力発生室38に供給することができる。なお、本実施形態では、4色のインクカートリッジ3に対応して、2列のリザーバー52のうちの一方図6b中右側のリザーバー52を隔壁で区画して3つに分割することで、合計4つのリザーバー52を形成し、分割していないリザーバー52図6b中左側を使用頻度の高い色例えば、ブラックインクに割り当てている。振動板51は、ステンレス鋼等の金属製の支持板54上にPPSポリフェニレンサルファイド等の樹脂フィルム55本発明における膜材に相当をラミネート加工した二重構造の複合板材であり、補強部材48の貫通流路61と対応するリザーバー52とを繋げるインク導入口56を上下方向に貫通させている。本実施形態では、4つのリザーバー52に対応して4つのインク導入口56を中央ノズル36の列設方向と直交する方向において2列のノズル列37の間に列設させている図6b参照。また、振動板51は、圧力発生室38の一方の開口面ノズルプレート49とは反対側の面を封止して、この圧力発生室38の容積を変動させるためのダイヤフラム部58を形成すると共に、リザーバー52の一方の開口面ノズルプレート49とは反対側の面を封止するコンプライアンス部59を形成している。詳しくは、ダイヤフラム部58は、図5に示すように、圧力発生室38に対応した部分の支持板54にエッチング加工を施し、当該部分を環状に除去して圧電振動子44後述の自由端部の先端を接合するための島部60を複数形成することで構成されている。この島部60は、圧力発生室38の平面形状と同様に、ノズル36の列設方向と直交する方向に細長いブロック状であり、この島部60の周りの樹脂フィルム55が弾性体膜として機能する。また、コンプライアンス部59として機能する部分、すなわちリザーバー52に対応する部分は、このリザーバー52の開口形状に倣って支持板54がエッチング加工で除去されて樹脂フィルム55のみとなっている。次にヘッドケース41について説明する。本実施形態のヘッドケース41は、架台12の下面に回路基板13を挟んで接合されるヘッドケース本体47と、該ヘッドケース本体47の下側流路ユニット39との接合面側に固定され、流路ユニット39を補強する補強部材48とから構成されている。ヘッドケース本体47は、例えば、エポキシ系樹脂などの樹脂により作製され、中空箱体状のケース部47aと、該ケース部47aの上端において当該ケース部47aから側方に延出した板状部47aとから構成されている。このケース部47aの下面架台12とは反対側の面には、補強部材48が接着固定されている。また、ケース部47aの内部には、補強部材48の挿通口40と連通される収容空部46が形成され、この収容空部46内に振動子ユニット45の一部が収容されている。本実施形態では、2列の挿通口40に対応して収容空部46が2列形成されており、各収容空部46は、固定板42、圧電振動子群43の上部、および、フレキシブルケーブル33の下部を収容している。また、収容空部46は、内壁が振動子ユニット45に当接しないように、平面視における振動子ユニット45の面積或いは挿通口40の開口面積よりも十分に大きい開口面積で開口している。特に、固定板42が収容空部46の内壁に接合しないように、固定板42と対向する側の内壁は、挿通口40の縁に対応する位置から固定板42とは反対側に向けて後退した位置に形成されている。これにより、図5に示すように、固定板42の背面圧電振動子群43が接合されている面とは反対側の面と収容空部46の内壁との間には、間隙Sが設けられている。また、ヘッドケース本体47と補強部材48とを接合した状態で、挿通口40の内壁と収容空部46の内壁との間には段差が生じ、これにより、挿通口40の縁部には、後述する固定板42の端面が接合される面が形成されている。さらに、2列の収容空部46の間には、ヘッドケース本体47の高さ方向に貫通したケース流路70が4本並べて形成されている。このケース流路70は、上端が架台12の上流側インク流路上流基礎部材21のインク供給路29に連通し、下端が補強部材48の貫通流路61に連通している。そして、ヘッドケース本体47において、列設した各ケース流路70を結んだ仮想直線上には、大気開放通路31の一部を構成するケース側大気開放通路71が、ヘッドケース本体47の高さ方向に貫通して形成されている。ケース側大気開放通路71は、上端が架台12の架台側大気開放通路30に連通し、下端が後述する補強部材側大気開放通路66に連通している。なお、ケース部47aの下面において、補強部材48の基準穴63後述と対向する箇所には、当該基準穴63に挿入する位置決め突起部75が下方に向けて突設されている図2参照。この位置決め突起部75が補強部材48および流路ユニット39の基準穴63に挿通されることにより、各部材の相対位置が規定されるようになっている。また、板状部47aの下面には、ヘッドケース本体47のケース部47aを挟んで両側に2個ずつヘッドカバー位置決め部76が突設されている図3参照。このヘッドカバー位置決め部76が後述するヘッドカバー基準穴81に挿入されることで、ヘッドケース本体47に対してヘッドカバー15が位置決めされる。さらに、ケース部47aの下面において、ケース流路70の周囲、ケース側大気開放通路71の周囲、および当該ケース部47aの周囲には、補強部材48とは反対側に窪んだシール材接着部73が形成されており、ここにシール材74が導入されてヘッドケース本体47と補強部材48が接着固定されている図5参照。これにより、ヘッドケース本体47と補強部材48の間で連通するケース流路70と貫通流路61、ケース側大気開放通路71と補強部材側大気開放通路66、および収容空部46と挿通口40のそれぞれの接合箇所の周囲が密封されている。次に補強部材48について説明する。図6aは、補強部材48の底面図、図6bは、この補強部材48に装着される流路ユニット39の平面図である。また、図7、図8は補強部材48に流路ユニット39を固定した状態図であり、図7aは、平面図、図7bは、図7aにおけるB-B線の断面図、図8aは、正面図、図8bは、底面図、図8cは、側面図である。さらに、図9aは、図8aにおけるC-C線の断面図、図9bは、図8bにおけるD-D線の断面図である。なお、図7aには、補強部材48の表面にシール材74を塗布した状態を図示している。補強部材48は、流路ユニット39の振動板51に接合されるヘッドケース本体47よりも剛性が高い板状の部材である。例えば、樹脂製のヘッドケース本体47の線膨張率は、流路ユニット39を構成する基板の線膨張率と比較して大きいため、温度や湿度が変化したときの変形量も大きくなる。このようなヘッドケース本体47の変形が、流路ユニット39や振動子ユニット45に悪影響を及ぼさないように、ヘッドケース本体47と流路ユニット39との間に補強部材48を介在させて補強している。このため、補強部材48は流路ユニット39よりも剛性が高いことが望ましく、本実施形態では、流路ユニット39よりも厚みのあるステンレス鋼板で形成されている。また、図6aに示すように、補強部材48は複数並べた圧力発生室38又はダイヤフラム部58と対向する箇所に、板厚方向に貫通した挿通口40を、各圧力発生室38の列に対応して2列開口している。この挿通口40には、後述する振動子ユニット45の圧電振動子群43の先端部が挿通される。また、挿通口40のヘッドケース本体47側の開口縁部には、振動子ユニット45の固定板42の端面圧電振動子44の自由端部が突出している側の端面が接合される。さらに、補強部材48の流路ユニット39とは反対側の面には、ヘッドケース本体47が、後述する収容空部46と挿通口40が連通する状態で接合される。そして、補強部材48の2列の挿通口40の間には、一端がヘッドケース本体47のケース流路70と連通し、他端が振動板51のインク導入口56と連通する貫通流路61が、合計4つ並べて形成されている図6等参照。これにより、インクカートリッジ3からのインクを上流側インク流路、ケース流路70、貫通流路61、インク導入口56を介して各リザーバー52に供給することができる。なお、列設した各貫通流路61を結んだ仮想直線L上における補強部材48の両端部には、基準穴63が開口している図6a参照。この基準穴63は、流路ユニット39側に形成された流路ユニット基準穴64と位置が揃えられている。これらの基準穴63、64にヘッドケース本体47の位置決め突起部75を挿通することで、流路ユニット39、補強部材48、及びヘッドケース本体47の相対位置が規定される。また、補強部材48の流路ユニット39に接合される側の面の一部には、図6a、図9bに示すように、当該流路ユニット39リザーバー52とは反対側に僅かに例えば、流路ユニット接合面67から20μm窪ませて成る凹室65が形成されている。本実施形態の凹室65は、2列の挿通口40および2つの基準穴63に囲まれた略長方形状の領域であって、貫通流路61の開口周縁部を除いた領域に、複数のコンプライアンス部59に亘って、つまり、流路ユニット39との接合状態で、平面視において全てのコンプライアンス部59が凹部65の形成領域内に位置する状態となる大きさで一連に形成されている。また、凹室65の周囲および貫通流路61の開口周縁部は、流路ユニット接合面67と高さを揃えて形成されている。これにより、凹室65の周囲を密閉すると共に、挿通口40と収容空部46および貫通流路61とインク導入口56をそれぞれ液密に接続することができる。そして、補強部材48には、この凹室65に一端が連通し、大気開放通路31の一部を構成する補強部材側大気開放通路66が、板厚方向に貫通して形成されている。本実施形態の補強部材側大気開放通路66は、凹室65の内側において列設した各貫通流路61を結んだ仮想直線L上であって、一側図6aにおける上側端部に位置する貫通流路61と、これの隣に位置する貫通流路61との間に1本形成されている。また、この補強部材側大気開放通路66の他端は、ヘッドケース本体47に形成されたケース側大気開放通路71に連通されている。そのため、凹室65から、補強部材側大気開放通路66、ケース側大気開放通路71、架台側大気開放通路30、蛇行流路を介して記録ヘッドユニット2の外部の大気に至る一連の大気開放通路31が形成される。これにより、補強部材48と流路ユニット39を接合することによって凹室65が密封されることを防止している。なお、本実施形態の補強部材48は、流路ユニット39に接合される側の面の外周流路ユニット接合面67の外周を凹室65と同様に流路ユニット39とは反対側に僅かに窪ませている。次に、振動子ユニット45について説明する。本実施形態の振動子ユニット45は、フレキシブルケーブル33、圧電振動子群43および固定板42から構成されている。圧電振動子群43を構成する圧電振動子44圧力発生素子の一種は、基材である圧電振動板を数十μm程度の極めて細い幅に切り分けることで、縦方向に細長い櫛歯状に形成されている。この圧電振動子44は縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子44として構成されている。また、各圧電振動子44は、固定端部を固定板42上に接合することにより、自由端部を固定板42の先端縁端面よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態で固定されている。そして、各圧電振動子44における自由端部の先端は、補強部材48の挿通口40に挿通されて、それぞれ流路ユニット39におけるダイヤフラム部58を構成する島部60に接合される。一方、各圧電振動子44の固定端部側には、固定板42とは反対側にフレキシブルケーブル33が電気的に接続されている。このフレキシブルケーブル33の表面には、各圧電振動子44の駆動等を制御するための制御用IC等が実装されている。フレキシブルケーブル33の圧電振動子44とは反対側の端部は、回路基板13に電気的に接続されている。また、各圧電振動子44を支持する固定板42は、圧電振動子44からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板材によって構成されており、本実施形態では、厚さが1mm程度のステンレス鋼板によって作製されている。この固定板42の補強部材側の端面の一部は、補強部材48の挿通口40の縁部に接着固定されている。本実施形態では、固定板42の補強部材48と対向する端面において、圧電振動子44とは反対側の角部が面取りされた面取り部77が形成されており、この面取り部77に接合剤の一種であるUV硬化樹脂78を塗布して補強部材48と接続した後、UV照射によりUV硬化樹脂78を硬化させることで、固定板42を補強部材48に固定している。このように構成された記録ヘッド14では、島部60に圧電振動子44の先端面が接合されているので、この圧電振動子44の自由端部を伸縮させることで圧力発生室38の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力発生室38内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド14は、この圧力変動を利用してノズル36からインク滴を噴射吐出させる。ヘッドカバー15は、ヘッドケース本体47に接続され、流路ユニット39やヘッドケース41を保護する金属製の部材である。このヘッドカバー15は、薄板部材によって作製され、ヘッドケース41の側面を囲繞すると共に、下端がノズルプレート49側に略90度屈曲してノズル形成面35に当接している。このヘッドカバー15のノズル形成面35に当接する面は、ノズル36を露出するように枠状に形成されている。また、ヘッドカバー15の上端は、側方に向けてフランジ部80が突設され、このフランジ部80にヘッドカバー基準穴81が開設されている図2参照。このヘッドカバー基準穴81はヘッドケース41のヘッドカバー位置決め部76に挿通して、ヘッドカバー15を位置決めしている図3参照。本実施形態では、ヘッドケース本体47のケース部47aを挟んで両側に2個ずつヘッドカバー基準穴81を設けている。次に上記のような記録ヘッド14の製造方法について説明する。この記録ヘッド14の製造方法は、補強部材48の流路ユニット接合面67側の面の一部をプレス金型本発明の面押し手段に相当により流路ユニット接合面67とは反対側へ押すことで凹室65を形成する凹室形成工程と、流路ユニット39と補強部材48を接合する第1ヘッドケース接合工程と、振動子ユニット45と補強部材48を接合する振動子ユニット固定工程と、ヘッドケース本体47と補強部材48を接合する第2ヘッドケース接合工程と、を経る。なお、第1ヘッドケース接合工程と第2ヘッドケース接合工程が本発明のヘッドケース接合工程に相当する。詳しく説明すると、まず、図示しない補強部材形成装置に補強部材48の基となるステンレス鋼板をセットする。この状態で、パンチ等図示せずを用いて、所定の位置に基準穴63、挿通口40、貫通流路61、大気開放通路31を板厚方向に貫通して形成する。次に、補強部材48の外周および凹室65に対応する部分において、平坦面から該凹室65の窪み深さに対応する高さの凸部を形成したプレス金型図示せずを用いて、流路ユニット接合面67側から該流路ユニット接合面67とは反対側へ面押しプレス加工を実施する凹室形成工程。これにより、凹室65を形成すると共に、貫通流路61の開口周縁部と流路ユニット接合面67との平坦性を確保した補強部材48を形成する。具体的には、この凹室65の流路ユニット接合面67からの後退量を20μm以上30μm以下の範囲内とすることで、流路ユニット接合面67の必要な平面度例えば、5μm以下を確保しつつ、コンプライアンス部の変位時の逃げとしての空間および接着剤の逃げとしての空間を確保することができる。次に、図示しないアライメント装置のワークセット台に流路ユニット39をセットする。このとき、流路ユニット39は、流路ユニット基準穴64にワークセット台に突設した位置決めピン図示せずが挿通されて位置が規定されている。また、上記のように形成した補強部材48をアライメント装置の把持機構図示せずにより把持し、流路ユニット39を補強部材48の上部に移動させる。この状態で、補強部材48または流路ユニット39に接着剤を塗布する。その後、把持機構を垂直方向ノズル形成面35に垂直な方向に移動させ、ワークセット台の位置決めピンを補強部材48の基準穴63に挿通させると共に、流路ユニット39と補強部材48を接合する第1ヘッドケース接合工程。なお、把持機構は、接着剤が硬化するまでの間に亘って補強部材48を流路ユニット39に接続した状態で支持しており、その後、接着剤が硬化すれば、把持機構による補強部材48の把持を解除する。次に、把持機構によって振動子ユニット45固定板42を把持し、ワークセット台に載置されている補強部材48が接合された流路ユニット39の上部に振動子ユニット45を移動させる。このとき、アライメント装置に備えたカメラ等を用いて、振動子ユニット45および流路ユニット39の相対位置を確認し、把持機構またはワークセット台を移動させて、振動子ユニット45の流路ユニット39に対する位置決めを行う。この状態で、各圧電振動子44の先端部に接着剤を塗布すると共に、固定板42の面取り部77にUV硬化樹脂78を塗布する。その後、各把持機構によって各振動子ユニット45をノズル形成面35に垂直な方向に移動させ、補強部材48の挿通口40に各圧電振動子44の先端部を挿通して島部60に当接させると共に、固定板42を補強部材48の挿通口40の縁部に当接させる。この状態で、各固定板42に塗布したUV硬化樹脂78にUVを照射し、UV硬化樹脂78を硬化させて、固定板42を補強部材48に固定し、把持機構による固定板42の把持を解除する。そして、ある程度の時間が経つと島部60と圧電振動子44の先端部との間の接着剤が硬化し、両者が固定される振動子ユニット固定工程。その後、把持機構によってヘッドケース本体47を把持し、補強部材48および振動子ユニット45が接合された流路ユニット39の上部にヘッドケース本体47を移動させる。この状態で、補強部材48のヘッドケース本体47のシール材接着部73に対向する位置図7a参照にシール材74を塗布する。その後、ヘッドケース本体47を補強部材48に向けて垂直方向に移動させ、収容空部46内に振動子ユニット45の一部を収容すると共に、補強部材48の基準穴63および流路ユニット39の基準穴63にヘッドケース本体47の位置決め突起部75を挿通し、ヘッドケース本体47と補強部材48を接合する第2ヘッドケース接合工程。そして、流路ユニット39および振動子ユニット45が接続されたヘッドケース41をアライメント装置から取り外した後、ヘッドカバー15を流路ユニット39側から近づけて、ヘッドケース本体47に位置決め固定する。このようにして、本実施形態の記録ヘッド14を作成することができる。このように、本実施形態の記録ヘッド14では、凹室65を複数のコンプライアンス部59に亘って形成したので、この凹室65に連通する大気開放通路31を1本形成すれば、各コンプライアンス部59に対する大気開放が可能となり、複数の大気開放通路31を形成する必要がない。これにより、ヘッドケース41の強度の低下を抑制することができ、圧電振動子44の駆動時の振動がヘッドケース41を介して他の圧電振動子44に伝わることが抑制される。その結果、クロストークを抑制することができる。また、大気開放通路31を1本形成すれば足りるため、記録ヘッドの設計の自由度を高めることができる。また、本実施形態のヘッドケース41は、流路ユニット39との接合面側に当該流路ユニット39を補強する補強部材48を備えたので、ヘッドケース41の変形例えば、樹脂で形成されたヘッドケース本体47が、高湿度の環境下において膨潤したような場合により発生する応力によって、流路ユニット39が変形することを抑制できる。さらに、ヘッドケース41の強度を高めることができる。また、大気開放通路31の一部蛇行流路の流路抵抗を他の部分の流路抵抗よりも大きい構成にしたので、大気開放通路31の気体の拡散を抑制でき、リザーバー52内にある液体の水分が樹脂フィルム55を浸透して大気開放通路31内に蒸発することを抑制できる。その結果、流路ユニット39内の液体が増粘することによる液体噴射特性の変化を抑制することができる。そして、補強部材48の流路ユニット接合面67側の面の一部をプレス金型により流路ユニット接合面67とは反対側へ押して凹室65を形成したので、容易に凹室65を形成した記録ヘッドを製造することができる。そして、本発明は、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置,有機ELElectroLuminescenceディスプレイやFED面発光ディスプレイ等の電極を形成する電極製造装置,バイオチップ生物化学素子を製造するチップ製造装置,ごく少量の試料溶液を正確な量供給するマイクロピペット等の製造方法にも適用することができる。"