減圧コーティングライン上に熱吸収体の完成基材を配置し120、減圧コーティングライン上に配置した完成基材の上に、光を吸収するよう構成した層を、物理蒸着法によって堆積する160工程を含む、太陽熱コレクターのための熱吸収体を製造する方法100。完成基材上に層を堆積する前に、減圧コーティングラインの入口チャンバー内でのプラズマイオン洗浄によって完成基材を洗浄する140工程を更に含む、請求項1に記載した方法。減圧コーティングラインのチャンバー部のコーティングチャンバー内で、3つの層を堆積する工程を含む、請求項1又は2のいずれか一項に記載した方法であって、該3つの層は、チタン、アルミニウム、窒素、及び以下の元素:ケイ素、イットリウム、セリウム、及びクロミウムの一つを含む組成を有する、完成基材上の第1層;チタン、アルミニウム、窒素、酸素、及び以下の元素:ケイ素、イットリウム、セリウム、及びクロミウムの一つを含む組成を有する、第1層の上の第2層;並びに、チタン、アルミニウム、ケイ素、窒素、及び酸素を含む組成を有する、第2層の上の第3層;である、方法。完成基材をチャンバー部内に入れる前に、チャンバー部内部で完成基材の洗浄又は層の堆積の1つを提供した後に、及び完成基材をチャンバー部から出す際に、完成基材を減圧コーティングに沿って運搬する130、150、180工程を更に含む、請求項1~3のいずれか一項に記載した方法。請求項1~4のいずれか一項に記載した方法によって製造された、太陽熱コレクターのための熱吸収体300。請求項1~4のいずれか一項に記載した方法によって製造された熱吸収体を含む、太陽熱コレクター400。従って、本発明の一つの目的は、特に平板型太陽熱コレクターの高度な熱吸収体に使用される硬質又は半硬質の基材について、上述の欠点を取り除き、安価な、及びより速い製造方法を提供することである。本発明の目的は、請求項1に記載した方法、請求項5に記載した熱吸収体、及び請求項6に記載した太陽熱コレクターを提供することによって成し遂げられる。本発明の一実施形態によれば、熱吸収体の完成基材を減圧コーティングライン上に配置し、減圧コーティングライン上に配置した完成基材上に、光を吸収するよう構成した層を、物理蒸着法によって堆積する工程を含む、太陽熱コレクターのための熱吸収体を製造する方法。用語熱吸収体は、少なくともコーティングを含み、熱放射、例えば太陽放射を吸収するために使用される吸収要素を指す。それに加えて、吸収要素は通常、吸収要素を備えた基材を含む。用語完成基材は、本明細書において熱吸収体コーティングを備えた任意の完成した基材を指すために使用する。完成基材は、基材が被覆されたときに熱吸収体が完成すること、及び、基材は太陽熱コレクターの他の構造内に取付けができる状態であることを意味し、すなわち、特定の形状又はサイズを有する所望の熱吸収体を得るために被覆した基材を更に処理する必要はないが、必要に応じて水接続部を適用することを意味する。硬質又は柔軟な基材は、金属又は非金属の基材であることができ、例えばアルミニウム、銅、ステンレススチール、又はプラスチックを含むことができる。基材は、例えば溶接、ハンダ付け、鋲着、接着、ネジ止め、又は熱プレスによって互いに取り付けた一つの断片、又はいくつかの断片で形成することができる。それに加えて、被覆する硬質又は半硬質の基材は、例えばアルミニウム、若しくはプラスチックの押出成形、金属の圧延、及び/又は直接冷却型の吸収体を形成する他の方法によって実現した水路を含むことができる。用語物理蒸着法は、例えば従来のマグネトロンスパッタリング、高出力衝撃マグネトロンスパッタリング、原子層堆積法、パルスレーザー堆積法、又は物理強化化学蒸着法を含むことができる、物理蒸着工程に関する。本発明の一実施形態によれば、光を吸収するよう構成した基材及び層を含む、太陽熱コレクターのための熱吸収体であって、熱吸収体は、完成基材を減圧コーティングライン上に配置し、減圧コーティングライン上に配置した完成基材上に物理蒸着法によって層を堆積することによって製造された、熱吸収体。本発明の一実施形態によれば、光を吸収するよう構成した基材及び層を含む、熱吸収体を含む太陽熱コレクターであって、熱吸収体は、完成基材を減圧コーティングライン上に配置し、減圧コーティングライン上に配置した完成基材上に物理蒸着法によって層を堆積することによって製造される、太陽熱コレクター。本発明の更なる実施形態は、従属クレームにおいて定める。本発明方法の実施形態は、例えば、アルミニウム、銅、ステンレススチール、又はポリマーのような物質から圧延、押出、及び溶接のような異なる技術で生産した、異なるマルチチャネル構造に基づくダイレクトフローの原理を利用する、高度な熱吸収体の被膜を可能にする。動詞含むcompriseは、本明細書において、詳述しない特徴の存在を除外も要求もしない、開いた限定として使用する。動詞含むinclude、及び有するは、含むものとして定義する。本明細書において使用する用語、原文中a及びan、並びに少なくとも一つは1以上と定義し、また原文中複数のは2以上と定義する。本明細書において使用する用語他のは、少なくとも第2以上のものとして定義する。別途文脈上明確に指示されない限り、用語又はは、及び/又はを含む意味において一般に使用する。上記に定義した動詞、及び用語について、異なる定義が請求項に、又はこの明細書のどこかに与えられない限り、これらの定義が適用されるものとする。最後に、従属項において詳述する特徴は、明確に記述しない限り、相互に自由に結合可能である。図1は、減圧コーティングラインによって行われる熱吸収体の製造方法100を開示するフローチャートを例示する。工程110の方法開始の間、減圧コーティングラインを起動して、減圧コーティングラインが本来の働きをするよう準備するために必要な措置例えば確認、及び点検操作を行い、並びに被覆する基材を準備例えば、硬質若しくは半硬質の基材が所望の最終形状及びサイズを有するよう、金属若しくは非金属の基材物質の断片を互いに取り付け、又は基材をパッケージから拾い上げ、問題ないことを確認する。この工程において、コーティングプロセスが完了したあとダイレクトフロー吸収体を得るために、基材本体の内部に水路を有する基材すなわちダイレクトフローストライプ、又は平板に、例えばハンダ付け、ろう付け、又は溶接により末端管を装着することもできる。更に、工程110の間、熱吸収体コーティングを完成基材上に堆積することができるように、用意した基材を機械的及び/又は化学的に前洗浄する。次に、工程120において、前洗浄した基材を、入口チャンバー、3つのコーティングチャンバー、及び出口チャンバーを含む減圧コーティングラインのチャンバー部内部へと基材を工程130において移動する、減圧コーティングラインのコンベア上に持ち上げる。基材はまずポンプで減圧された入口チャンバーに到着し、工程140の間、基材をプラズマイオン洗浄によって更に洗浄する。本発明の一実施形態によれば、前述の実施形態のいずれかにおいて開示される方法は、完成基材上に層を堆積する前に、減圧コーティングラインの入口チャンバーにおけるプラズマイオン洗浄によって、完成基材を洗浄する工程を含む。次に、工程150において、入口チャンバーをチャンバー部の他の部分から分離しているハッチを開き、更なる洗浄をした基材を、入口チャンバーから、工程160の間第1のコーティング層を堆積する第1のコーティングチャンバー内へと運搬する。層厚が10nm~600nmである層は、チタン、アルミニウム、ケイ素、及び窒素TixAlySizNaを含み、層は、例えば堆積する層の組成に類似する組成を有する基材からのマグネトロンスパッタリングによって、又は窒素を含む反応性雰囲気における3つの純元素ターゲットからの同時スパッタリングによって、減圧下で堆積する。代替として、ケイ素の代わりにイットリウム、セリウム、又はクロミウムを用いることができる。添字x、y、z、及びa、並びに後述の添字bもまた、コーティング層の化学量論的、又は非化学量論的組成を示す。第1層のx、y、z、及びaの値はそれぞれ、例えば0.4、0.5、0.1、及び1.0である。典型的に、xの値は0.3~0.5、yの値は0.3~0.6、zの値は0.03~0.2、及びaの値は0.9~1.1である。工程170において堆積すべき更なる層がある場合、手順は、第1のコーティング層を有する基材を、工程160において第2層すなわち中間層を堆積する第2のコーティングチャンバー内に運搬する工程150へと戻る。10nm~150nmの層厚を有する中間層は、チタン、アルミニウム、ケイ素、窒素、及び酸素TixAlySizNaObを含む。層は、例えば、堆積する中間層の組成と類似する組成を有するターゲットからのマグネトロンスパッタリングによって、又は窒素、及び酸素を含む反応性雰囲気における2つ、又は3つの金属合金ターゲットからの同時スパッタリングによって堆積する。x、y、z、a、及びbの値はそれぞれ、例えば0.4、0.5、0.1、0.8、及び0.3であることができる。典型的に、xの値は0.3~0.5、yの値は0.3~0.6、zの値は0.03~0.2、aの値は0.2~0.8、及びbの値は0.2~0.8である。工程170において堆積すべき更なる層がある場合、手順は再び工程150に戻り、2つのコーティング層を有する基材を、工程160において第3のコーティング層すなわち上層を堆積する第3のコーティングチャンバーに運搬する。上層の厚みは50nm~250nmであり、チタン、アルミニウム、ケイ素、窒素、及び酸素TixAlySizNaObを含み、典型的にxの値は0~0.2、yの値は0~0.2、zの値は0~1、aの値は0~2、及びbの値は0~2である。上層は、例えば堆積する上層の組成と類似する組成を有する基材からのマグネトロンスパッタリングによって、又は窒素、及び酸素を含む反応性雰囲気におけるいくつかの純元素ターゲットからの同時スパッタリングによって堆積する。本発明の一実施形態によれば、前述の実施形態のいずれかにおいて開示される方法は、減圧コーティングラインのチャンバー部のコーティングチャンバー内で3つの層、すなわちチタン、アルミニウム、窒素、及び以下の元素ケイ素、イットリウム、セリウム、及びクロミウムの一つを含む組成を有する、完成基材に直接乗った第1層;チタン、アルミニウム、窒素、酸素、及び以下の元素ケイ素、イットリウム、セリウム、及びクロミウムの一つを含む組成を有する、第1層の上の第2層;並びに、チタン、アルミニウム、ケイ素、窒素、及び酸素を含む組成を有する、第2層の上の第3層;である3つの層を堆積する工程を含む。当然に、他の層の組成及び層厚を用いて、及びこの例において示すものとは異なる数の層を堆積することによって、完全に選択的にPVD及び/又はPECVDコーティングした吸収体を製造することができる。上層が仕上がり、堆積する層がない場合、第3のコーティングチャンバーと出口チャンバーとの間のハッチを開き、被覆した基材を出口チャンバーに運搬する。出口チャンバーをコーティングチャンバーから分離するためにハッチを閉じ、被覆した基材をチャンバー部の外側へ工程180において運搬する前に、出口チャンバーを周囲空気圧力にする。本発明の一実施形態によれば、前述の実施形態のいずれかにおいて開示される方法は、完成基材がチャンバー部の中に入る前、チャンバー部内部で完成基材の洗浄及び/又は層の堆積の1つが提供された後、並びに完成基材がチャンバー部を出る際に、完成基材を減圧コーティングに沿って運搬する工程を含む。最後に、減圧コーティングラインでの堆積工程が終了したときに、被覆した基材、すなわち用意された完全な吸収体を減圧コーティングラインから取り除き、方法100は工程190で終了する。代替として、完全に被覆した吸収体を作成するために、全ての方法の工程が1つのチャンバー内で起こる、いわゆるバッチ塗工機を減圧コーティングラインとして使用することもできる。したがって、手順が工程170にあり、堆積する一つ以上の層がまだある場合、手順は、同じ一つのチャンバー内で次の層を基材上に堆積する工程160へと戻る。したがって、バッチ塗工機の場合、運搬工程130、150を行う必要はなく、また、工程120、180は、被覆する基材を、それぞれバッチ塗工機の内部へ、及びバッチ塗工機の外側へ配置することに関する。図2において、コンベア部210a、210b、及びチャンバー部220は、減圧コーティングライン200を通して完成基材を移動するのに適するコンベア230、すなわちローラーコンベアを含む、減圧コーティングライン200を例示する。コンベア230はコンベアベルトであることもでき、どちらの場合も、いくつかの基材がコンベア230上、及びチャンバー部220内部に並ぶことができるよう、減圧コーティングライン200の全体を設計する。並べてセットすることができる基材の数は、基材のサイズに依存する。チャンバー部220は、ハッチ242、244を有する、ポンプで減圧され、プラズマイオン洗浄によって基材を洗浄する入口チャンバー240、マグネトロンスパッタリングを実行するよう構成した第1の導電管を有する第1のコーティングチャンバー250、他のマグネトロンスパッタリングを実行するよう構成した第2の導電管を有する第2のコーティングチャンバー260、及び化学蒸着工程を実行するよう構成した第3のコーティングチャンバー270を含む。コーティングチャンバー250、260、270の間にハッチはないが、コーティングチャンバー250、260、270を更なるハッチによって各々から分離することもまた可能である。チャンバー部220の終わりに、ハッチ282、284を含む、基材を周囲空気圧力に戻す出口チャンバー280を置く。減圧コーティングラインが稼働している場合、コーティングチャンバー250、260、270の内部は連続的に減圧であるが、基材を入口チャンバー240から最初のコーティングチャンバー250へと運搬するとき、ハッチ242、244は閉じ、被覆する新しい基材を受け入れるために入口チャンバー240を周囲空気圧力に戻す。被覆した基材を出口チャンバー280からチャンバー部220の外側へ運搬するとき、ハッチ282、284は閉じ、次の被覆した基材を受け入れるために出口チャンバー280をポンプで減圧するように、出口チャンバー280に関しても同様である。制御ユニット図示せずは、減圧コーティングライン200内に取り付けたセンサ、制御ユニットの少なくとも一つの処理装置によって動作するコンピュータプログラム、及び/又は減圧コーティングライン200のユーザインタフェース図示せずを通じて作業者が提供する指示によって提供される情報によって、減圧コーティングライン200の作業を管理する。制御ユニットは、例えば少なくともローラーコンベア230、入口チャンバー240、コーティングチャンバー250、260、270、及び出口チャンバー280の作業を制御する。減圧コーティングライン200の効率を最大化するために、制御ユニットは、同時に、1つの基材、又は基材の列が入口チャンバー240内部にあり、1つの基材、又は基材の列がコーティングチャンバー250、260、270の1つの内部にあり、及び1つの基材、又は基材の列が出口チャンバー280の内部にあるように、ローラーコンベア230、及びチャンバー部220を制御することができる。図3は、減圧コーティングラインによって製造した、完成基材320上に熱吸収体コーティング310を有する熱吸収体300の断面図を例示する。完成基材320は内部に用意した水路を含むことができる。多層光学コーティング構造310は、光を吸収し、並びに基材320からコーティング310への、及び環境から基材320への元素の拡散を妨げるために基材320の表面上に直接第1に堆積した層330を含む。中間層340は、部分的に入射光を吸収し、及び選択した波長における干渉を強化するため、層330上に堆積する。コーティング310における上層350は、コーティング310を部分的に環境気体から分離し、反射防止層として機能させるため、中間層340の上に提供する。層320が基材の腐食を防止するように、熱吸収体300を設計することができ、又は代替的に、上層350が基材の腐食の防止を提供するように、熱吸収体300を設計することができる。本発明の一実施形態によれば、前述の実施形態のいずれかにおいて開示される熱吸収体は、減圧コーティングラインのチャンバー部のコーティングチャンバー内で堆積した3つの層、すなわちチタン、アルミニウム、窒素、及び以下の元素ケイ素、イットリウム、セリウム、及びクロミウムの1つを有する組成を含む、完成基材上に直接堆積した第1層;チタン、アルミニウム、窒素、酸素、及び以下の元素ケイ素、イットリウム、セリウム、及びクロミウムの一つを含む組成を有する、第1層の上に堆積した第2層;並びに、チタン、アルミニウム、ケイ素、窒素、及び酸素を含む組成を有する、第2層の上に堆積した第3層;という3つの層を含む。図4は、減圧コーティングラインにおいて提供された熱吸収体410を含む、太陽放射を吸収することができる太陽熱コレクター400の断面を示す。平板型コレクター400は、太陽放射が吸収要素410へと通過し、吸収要素410からの熱損失を減らすこと可能にする透明カバー420例えばガラス、又はポリカーボネートカバーを有する。それに加えて、平板型コレクター400は、カバー420と合わせて、吸収要素410、及び吸収した熱が吸収要素410から除去されるよう熱搬送流体例えば空気、水、又は不凍液が流れる、吸収要素410に接続している管440を保護する、コレクターフレーム430を含む。水が管440内を流れている場合、熱搬送流体は、得られた熱を例えば水槽へ直接輸送する管440を通って循環する。平板型コレクター400の底管440の下はまた、断熱体450である。本発明の一実施形態によれば、前述の実施形態のいずれかにおいて開示される太陽熱コレクターは、減圧コーティングラインのチャンバー部のコーティングチャンバー内で堆積した3つの層、すなわちチタン、アルミニウム、窒素、及び以下の元素ケイ素、イットリウム、セリウム、及びクロミウムの1つを有する組成を含む、完成基材上に直接堆積した第1層;チタン、アルミニウム、窒素、酸素、及び以下の元素ケイ素、イットリウム、セリウム、及びクロミウムの一つを含む組成を有する、第1層の上に堆積した第2層;並びに、チタン、アルミニウム、ケイ素、窒素、及び酸素を含む組成を有する、第2層の上に堆積した第3層;である3つの層を含む熱吸収体を含む。ここで、本発明は上述した実施形態によって説明され、本発明のいくつかの利点が実証された。本発明はこれらの実施形態に制限されず、また、本発明の思案、及び添付した特許請求の範囲の精神、及び範囲内の全ての可能な実施形態も含むことは明白である。