"レーザ光を照射するレーザ光源と、前記レーザ光が照射された試料からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子、及び油浸レンズである対物レンズ、を有した顕微光学系と、前記分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、前記フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段と、を備え、前記フィルター光学素子は、前記試料からのレイリー光の一部を測定可能に前記光検出手段に導く、及び、前記試料からのレイリー光を遮断して散乱光を前記光検出手段に導く、のいずれかに選択可能に設けられ、前記光検出手段が受光した散乱光の深さ方向成分プロファイルから装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段を有することを特徴とするラマン分光測定装置。前記顕微光学系は、焦点面と共役な関係にあるピンホールを有する共焦点顕微光学系であることを特徴とする請求項1に記載のラマン分光測定装置。前記フィルター光学素子は、レイリー光と等価なレーザ光を遮断する第1のレーザ光遮断光学素子を抜き差し可能に有することを特徴とする請求項1または2に記載のラマン分光測定装置。前記フィルター光学素子は、レイリー光と等価なレーザ光を遮断する第1のレーザ光遮断光学素子と、レイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げた第2のレーザ光遮断光学素子と、を入れ替え可能に有することを特徴とする請求項1または2に記載のラマン分光測定装置。前記第1のレーザ光遮断光学素子は、ノッチフィルターおよび/またはエッジフィルターであることを特徴とする請求項3または4に記載のラマン分光測定装置。前記分離光学素子は、ダイクロイックミラーであることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載のラマン分光測定装置。前記顕微光学系が有する油浸レンズは、NAが1.2以上となる油浸レンズとエマルジョンオイルとの組み合わせであることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載のラマン分光測定装置。レーザ光を照射するレーザ光源と、前記レーザ光が照射された試料からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子、及び油浸レンズである対物レンズ、を有した顕微光学系と、前記分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、前記フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段と、前記光検出手段が受光した散乱光から装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段を有するラマン分光測定装置のラマン分光測定法であって、前記フィルター光学素子を調整して試料からのレイリー光の一部を前記光検出手段に導き、当該試料の深さ方向の膜界面におけるレイリー光の反射光強度を検出し、ラマン分光による深さ位置毎の分光データプロファイルと関連付ける工程と、得られたラマン分光による深さ位置毎の分光データファイルから抽出可能な膜の深さ方向成分プロファイルに対してディコンボリューションを行う工程と、レイリー光と膜の深さ方向成分プロファイル分析結果としての膜界面における膜成分のマイグレーションを評価する工程と、を有することを特徴とするラマン分光測定法。上記した従来公知の技術では、ラマン分光測定装置において、基体上に形成された光透過性の膜試料の解析に必須なレイリー光即ち界面情報を精度良く取り出すことが困難であり、またPSF点像拡がり関数といったボケ成分となる装置関数の重畳している深さ方向の膜界面における膜成分のマイグレーションを評価することが困難であったという問題がある。本発明は、上述した実情を考慮してなされたものであって、試料上に形成された光透過性の膜試料の深さ方向解析に必要な界面情報を付与するために微弱なラマン散乱光を検出器で測定しつつ、正確な界面反射情報を含んだレイリー光を同一の1系統の検出光学系により検出し、ラマン分光による深さ位置毎の分光データプロファイルと関連付け、膜の深さ方向成分に重畳している装置関数成分をディコンボリューション処理で取り除き、膜成分の正確な深さ方向分布を得ることで、深さ方向の膜界面における膜成分のマイグレーションを評価可能なラマン分光装置およびラマン分光測定法を提供することを目的とする。上記課題を解決するために本発明に係るラマン分光装置は、レーザ光を照射するレーザ光源と、前記レーザ光が照射された試料からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子、及び油浸レンズである対物レンズ、を有した顕微光学系と、前記分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、前記フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段と、を備え、前記フィルター光学素子は、前記試料からのレイリー光の一部を測定可能に前記光検出手段に導く、及び、前記試料からのレイリー光を遮断して散乱光を前記光検出手段に導く、のいずれかに選択可能に設けられ、前記光検出手段が受光した散乱光の深さ方向成分プロファイルから装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段を有することを特徴とする。また、上記課題を解決するために本発明に係るラマン分光測定法は、レーザ光を照射するレーザ光源と、前記レーザ光が照射された試料からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子、及び油浸レンズである対物レンズ、を有した顕微光学系と、前記分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、前記フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段と、前記光検出手段が受光した散乱光から装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段を有するラマン分光測定装置のラマン分光測定法であって、前記フィルター光学素子を調整して試料からのレイリー光の一部を前記光検出手段に導き、当該試料の深さ方向の膜界面におけるレイリー光の反射光強度を検出し、ラマン分光による深さ位置毎の分光データプロファイルと関連付ける工程と、得られたラマン分光による深さ位置毎の分光データファイルから抽出可能な膜の深さ方向成分プロファイルに対してディコンボリューションを行う工程と、レイリー光と膜の深さ方向成分プロファイル分析結果としての膜界面における膜成分のマイグレーションを評価する工程と、を有することを特徴とする。本発明によれば、基体上に形成された光透過性の膜試料から高い空間分解能条件下での膜界面位置情報の取得と、推定された真の深さ方向の膜の成分分布プロファイルの取得が可能となり、膜成分の界面における膜成分のマイグレーション評価が可能なラマン分光装置およびラマン分光測定法を提供することが可能となる。本発明に係るラマン分光装置は、レーザ光を照射するレーザ光源30と、前記レーザ光が照射された試料1からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子33、及び油浸レンズである対物レンズ34、を有した顕微光学系と、前記分離光学素子33を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子37と、前記フィルター光学素子37を透過した光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段36と、を備え、前記フィルター光学素子37は、前記試料から1のレイリー光の一部を測定可能に前記光検出手段36に導く、及び、前記試料1からのレイリー光を遮断して散乱光を前記光検出手段36に導く、のいずれかに選択可能に設けられ、前記光検出手段36が受光した散乱光の深さ方向成分プロファイルから装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段38を有することを特徴とする。また、本発明に係るラマン分光測定法は、レーザ光を照射するレーザ光源30と、前記レーザ光が照射された試料1からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子33、及び油浸レンズである対物レンズ34、を有した顕微光学系と、前記分離光学素子33を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子37と、前記フィルター光学素子37を透過した光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段36と、前記光検出手段36が受光した散乱光から装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段38を有するラマン分光測定装置のラマン分光測定法であって、前記フィルター光学素子37を調整して試料からのレイリー光の一部を前記光検出手段36に導き、当該試料1の深さ方向の膜界面におけるレイリー光の反射光強度を検出し、ラマン分光による深さ位置毎の分光データプロファイルと関連付ける工程と、得られたラマン分光による深さ位置毎の分光データファイルから抽出可能な膜の深さ方向成分プロファイルに対してディコンボリューションを行う工程と、レイリー光と膜の深さ方向成分プロファイル分析結果としての膜界面における膜成分のマイグレーションを評価する工程と、を有することを特徴とする。次に、図面を参照して、本発明のラマン分光測定装置及びラマン分光測定法を実施形態により詳細に説明する。本発明で被検体となる感光体の光透過性膜の構成として、代表的な物を以下に挙げる。図2は、円筒形状基体となるアルミニウムドラム2上に、中間層3と、その上に電荷発生層4と電荷輸送層5と表面層6を順次形成した感光体ドラムの層構成を示す図であり、電荷発生層4、電荷輸送層5、表面層6により感光層をなしている。また、中間層3、電荷発生層4、電荷輸送層5、表面層6で膜試料1を形成している。図2において、中間層3は、導電性の円筒形状基体以下、単に基体と称することもある。に感光層を接着固定するバインダとしての機能をもち、帯電ムラ等の弊害を抑制するために顔料の微細粒子が含有されている。図2において、電荷発生層4は、特定の波長の光照射により正と負の電荷対を発生させる層であり、電荷輸送層5と表面層6は電荷発生層4で発生した正と負の電荷のうち、所定極性の電荷を感光層表面つまり表面層6表面へ輸送する機能を持つ層である。また表面層6は、感光体が実機内で物理的な接触摩耗により感光層が削れ、感光体特性が低下することを防ぐ機能も有している。中間層3、電荷発生層4、電荷輸送層5、表面層6の膜厚は好ましくはそれぞれ、2~6μm、1μm以下、15~35μm、3~10μm程度であり、従って、感光層としての好ましい厚さは18~46μm程度となる。中間層3の層厚は、上記のように、一般的に2~6μmの範囲であるが、バインダとしての十全な機能や、導電性基体に対する光遮蔽効果を良好にならしめるために、中間層3の厚さは3μm以上であることが好ましい。この内、本実施形態のラマン分光測定装置またはラマン分光測定法を、例えば光透過性の膜となる電荷輸送層5と表面層6中の成分プロファイルを見て、電荷輸送層5成分が表面層6中にマイグレーションしているかを解析するニーズがある。レイリー光深さ方向の膜界面における反射光強度として、表面層6の表面と電荷輸送層5の表面及び中間層3の表面界面の反射光を受光することが可能である。次に、本発明に係るラマン分光測定装置の構成について説明する。図3は、本発明に係るラマン分光測定装置の構成例を示す断面概略図である。図3aは、アルミドラム上に形成された膜試料1からのレイリー光の一部を散乱光とともに測定可能に検出部36に導き、その後、受光した散乱光の深さ方向成分プロファイルから装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段38を含む構成を示している。また図3bは、アルミドラム上に形成された膜試料1からのレイリー光を遮断してラマン散乱光を検出部36に導き、その後、受光した散乱光の深さ方向成分プロファイルから装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段38を含む構成を示している。図3に示すように、本発明のラマン分光測定装置は、レーザ光源レーザ光源30と、レーザ光が照射された試料アルミドラム上に形成された膜試料1からのレイリー光と散乱光を受光する分離光学素子ダイクロイックミラー33及び油浸レンズである対物レンズ対物レンズ34と、を有し、油浸レンズと試料との間にエマルジョンオイル不図示が充填されてなる顕微光学系と、前記分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子フィルター光学素子の一部であるレーザ光遮断光学素子37のみ図3bに図示と、前記フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段不図示と、前記分光された光の強度を検出する光検出手段検出部36と、受光した散乱光の深さ方向成分プロファイルから装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段38を備える。ラマン分光測定装置の顕微鏡ステージには、円筒形状試料把握治具と半径方向駆動部及びZ軸方向駆動部が付帯されても良く、この場合、Z軸方向に光透過性の膜試料の乗った顕微鏡ステージを移動させるか対物レンズを移動させながら対物レンズで入射光および検出光ラマン散乱光を集光することで空間分解能を作り出す。顕微鏡ステージには、Z軸方向駆動部としてはピエゾ素子或いはステッピングモータ移動機構が設置され光透過性の膜試料のZ方向厚み方向の走査が行われる。共焦点レーザラマン分光測定装置である場合は、顕微鏡ステージ或いは対物レンズを顕微鏡のZ方向に移動することによって、試料上に形成された光透過性の膜試料に対して光軸方向の走査を行うことが可能となる。光学系の空間分解能は、対物レンズのNANumericalApertureに大きく依存しており、高空間分解能を達成する為、測定時には油浸レンズが用いられる。図3で、レーザ光源30から出射されるレーザ光は、共焦点レーザラマン分光法で励起に用いるレーザ光であり、検出対象となる膜に吸収や蛍光が無く、ラマン活性が有る波長が選択され、数枚のNDフィルターの組み合わせを用いて一般には減光された状態である。用いるレーザ光強度は、出射口で1~100mW/cm2程度であれば良く、その後、試料となる光透過性の膜試料1上での強度が数nW/μm2~数μW/μm2の範囲程度になるように調整すれば良い。一般には、レーザ光強度が高いほど検出されるラマン散乱光強度も強くなりS/N比は向上するが、試料破壊や褪色化、強光への応答などを考慮して決める必要も有る。光透過性の膜試料毎に吸収強度や光耐性などが異なり、レーザ光強度の条件決定は最も重要な項目の一つとなる。また波長が短ければ、波長の4乗に反比例してラマン散乱強度が強くなる。有機膜を対象とした場合は、レーザ波長は対象膜の光ダメージと、ラマン測定に好ましく無い膜の蛍光発生を考えると480nm以上であることが好ましく、また前述の様にラマン散乱強度を考えると、波長は短い程好ましく、検討の結果では900nm以下で有ると好適な測定が可能となってくることが判明している。また、レーザ光源30の出射口側には、レーザ光源30より発せられたレーザ光束を集光する集光レンズ31と、この集光レンズ31による焦点上に配置される第1のピンホール32と、が設けられている。分離光学素子として用いるダイクロイックミラー33は、誘電体多層膜により、2つ以上の波長域の光に分離するミラーである。ダイクロイックミラーとしては、レーザ光源からレーザ光の波長域を透過して、試料上に形成された光透過性の膜試料からのラマン散乱光の反射光を透過する特性を有した場合、逆にラマン散乱光となるレーザ光源より長波長の波長域を透過して、レーザ光源の波長域光を反射する特性も有する場合がある。図4は、励起レーザ光として488nmの波長光を用いた場合のレーザ光源の波長域を反射する特性を有したダイクロイックミラーの特性図の例である。ラマン分光測定装置においては、波長を分光し得るダイクロイックミラー等を用いて、試料上に形成された光透過性の膜試料に照射された励起光成分レイリー光と試料上に形成された光透過性の膜試料から発生したラマン散乱光が一般に分離される。励起レーザ光の反射光レイリー光とラマン散乱光の分離のために用いられるダイクロイックミラーは、特定の波長を境に二値的に変化する透過率特性を有していることが理想的で有るが、実際の透過率特性は比較的急峻に変化していても、その透過率は0と1とはならない。この為、ダイクロイックミラーで分離された光にも、ラマン散乱光だけでなく、レイリー光が含まれる。このことから、ダイクロイックミラー33を配置した状態でも、検出部36側にレイリー光が漏れることとなるが、検出部36の検出器を飽和させてしまう非常に強いレイリー光が検出器に入射することは防いでおり、検出部36でレイリー光を検出可能な受光を実現している。対物レンズ34は、集光レンズ31に次ぐ第2の集光レンズである。すなわち、励起レーザ光の焦点を対物レンズ34の焦点と一致させ、励起レーザ光が試料上に形成された光透過性の膜試料1上の一点になるように照射されるようになっている。また、対物レンズ34の後焦点に第2のピンホール35を置き、焦点以外のラマン散乱光を効率よくカットしている。なお、高い光学系スループットと小さな集光ビームスポットを両立させるため、対物レンズ34への照射レーザ径は、対物レンズ34の入射径と等しい直径に設定される。また、顕微光学系における空間分解能は、対物レンズ34のNAとコンフォーカルピンホール径に大きく依存しており、本発明では高空間分解能を達成するために、測定時には油浸レンズを対物レンズ34として用いる。また、対物レンズ34と基体上に形成された膜試料1の間にエマルジョンオイルが充填されており、油浸レンズエマルジョンオイルの構成となっている。図3に示すような反射型のラマン分光測定装置では、励起と検出を同一の対物レンズ34で行うことになる。焦点以外の深さからのラマン散乱光は、第2のピンホール35の位置で焦点を結ばないため、効率良く妨害光がカットされる図3に示すように、非焦点からの反射光の行路を示す破線部分のほとんどの反射光が第2のピンホールにより遮蔽される。但し、円筒形状基体上に形成された膜試料1の膜中では屈折率差による色収差や球面収差の影響でビーム径が拡がりを見せるため、前述した様にこれらを油浸レンズやエマルジョンオイルを用いて拡がりを押さえることが測定上必要となる。油浸レンズエマルジョンオイルの構成は、一般にはガラス程度の屈折率を持つ油をレンズと膜の間に満たして、空気とレンズの屈折の影響を排除する工夫がなされている。すなわち、乾燥系のレンズでは、レンズから空気、更に対象膜と二箇所で光が通る媒質が変化し屈折収差が生じる。これに対して、油浸対物レンズ油浸レンズと併せて使用するエマルジョンオイルをレンズや膜と近い屈折率となる1.5~1.6とすると、光の屈折の影響を排除できる様になる。このことは、NAの大きな対物レンズ34を用いた場合、試料上に形成された膜試料1の膜中の空間分解能を高める為に有効な手立てとなる。また、対物レンズ34のNA開口数は1.2以上となる様に油浸レンズとエマルジョンオイルの組み合わせとなっていることが好ましい。NA1.2以上でなければ、深さ方向解析時の計算上の空間分解能:1μmを確保できず、特に5μm以下の薄膜の場合は、明瞭な膜構造解析が不可能になる。深さ方向分解能はインデックス屈折率マッチング技術を用いることにより、深さ方向では一定の分解能を保つと考えられる。NAは対物レンズの性能を決める重要な値であり、焦点深度空間分解能、明るさに関係する値となる。NAが大きく成る程、空間分解能は向上する。NANumericalApertureとも呼び、以下の式で表されるものである。但し、通常、市販対物レンズであれば、単体のNAが記載されている。NA=nsinθここで、nは膜試料1における対象膜と対物レンズ34の間の媒質ここではエマルジョンオイルの屈折率、θは光軸と対物レンズ34の最も外側に入る光線とがなす角を示す。なお、前記エマルジョンオイルの屈折率に関しては、メーカー測定値を用いることも出来るし、エマルジョンオイルをスピンコーターでSiウェーハ上に超薄膜塗布して、その後に分光エリプソメータで測定したものを用いることも出来る。以上の状態で、レーザ光源30からのレーザ光の焦点位置を基体上に形成された膜試料1の膜の深さ方向に走査することによって、光透過性の膜試料1で、顕微鏡ステージ或いは対物レンズのZ方向の移動によりステップ毎の深さ方向膜試料の厚み方向で明瞭なレイリー光プロファイル及びラマン信号プロファイルが得られ、高分解能な深さ方向構造解析が可能となる。但し、ここで試料がDrum形状の場合、試料の曲率半径中心とレーザ光軸が一致していない場合は曲率の影響で、膜の界面情報である正確なレイリー光プロファイルを取得することが困難となる。本発明のラマン分光測定装置における顕微光学系は、物体上の焦点面と共役な関係にあるピンホール第1のピンホール32,第2のピンホール35を備えた共焦点顕微光学系であることが好ましい。すなわち、第1のピンホール32が集光レンズ31とダイクロイックミラー33との間に設けられ、第2のピンホール35がダイクロイックミラー33と検出部36との前に設けられて、2つのピンホールはそれぞれ焦点を有する共焦点の位置にある。これにより、共焦点顕微光学系において、合焦点以外からのラマン散乱光はピンホールによってブロックされるため、焦点以外の膜内からの不要光や光透過性の膜試料内部からのラマン散乱光をほぼ完全に取り除くことが可能となり、深さ方向に優れた空間分解能を達成することができる。本実施形態のラマン分光測定装置は、ラマン散乱光とレイリー光を同一の検出光学系で測定することが可能である。本発明において顕微光学系を構成する前記フィルター光学素子は、試料上に形成された膜試料1からのレイリー光の一部を散乱光とともに測定可能に検出部36に導くか、試料上に形成された膜試料1からのレイリー光を遮断して散乱光を検出部36に導くか、のいずれかに選択可能に設けられている。共焦点顕微光学系では、レーザ光を対物レンズ34により、狭い領域に集光して基体上に形成された光透過性の膜試料1に照射するため、通常の分光測定とは比較にならないくらい高強度の励起光になる。この為、ダイクロイックミラー33から洩れたレイリー光成分でも、あるいは更に1または複数のレーザ光遮断光学素子フィルター光学素子を経たレイリー光成分でも、ラマン散乱光に匹敵する強度を持つこととなる。本発明では、ダイクロイックミラー33、またはダイクロイックミラー33及び1または複数のレーザ光遮断光学素子により、試料上に形成された膜試料1からのレイリー光成分を検出部36で検出可能な程度に弱め、ついで該レイリー光成分を検出部36で検出して基体上に形成された膜試料1の被検体である膜の深さ方向の界面情報を取得可能にしている。本発明における顕微光学系では、前記フィルター光学素子は、1または複数のレーザ光遮断光学素子から構成され、そのうちの少なくとも1つは、レイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子第1のレーザ光遮断光学素子が抜き差し可能に設けられてなることが好ましい。あるいは、前記フィルター光学素子の少なくとも1つは、レイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子第1のレーザ光遮断光学素子とレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子第2のレーザ光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなることが好ましい。また、ここでいう抜き差し可能に設けられてなるレーザ光遮断光学素子、あるいはレイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子とレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうちの、レイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子第1のレーザ光遮断光学素子は、図3bに示すレーザ光遮断光学素子37であり、ダイクロイックミラー33と第2のピンホール35の間すなわち分光手段となる分光器の手前に配置されるものである。このレーザ光遮断光学素子37としては、例えばノッチフィルターやエッジフィルターが挙げられ、ノッチフィルターおよび/またはエッジフィルターからなるものである。このうち、ノッチフィルターは、レイリー光の除去に用いられるレーザ光遮断光学素子の一つであり、誘電体多層膜を用いたフィルターである。図5に、ノッチフィルターの光学特性を示す。図5に例示したように、ノッチフィルターは特定の波長のみを透過させないようにしたものであり、誘電体多層膜を積層して膜厚を最適化すれば、設計波長を中心にして20nm程度のバンド内の光を除去することができる。しかしながら、ノッチフィルターは、図5からも判る様に、レイリー光を100除去できる訳ではない。このレイリー光のフィルターとなる波長領域における透過率を増すことによって、検出部36の検出器を飽和させてしまう励起レーザ光波長近傍の非常に強いレイリー散乱光が検出器に入射することを防ぎながら、界面反射情報取得に必要なレイリー光を取得できるようにすることが可能である。これがレイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子とレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうちの、レイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子である。なおノッチフィルターとして、2つの互いにコヒーレントなレーザビームによって出来る干渉パターンを記録して作られるホログラフィックノッチフィルターを用いることもできる。一方、エッジフィルターの特性は、例えば図6に示すようなものである。ここでは、レーザ光の波長を488nmとした場合の例を示すが、波長490nmより短波長側を完全に除去できるようになっている。例えば、エッジフィルターとして誘電体多層膜を用いたものでは、最適設計を行えば、波長分別設計位置の前後大体30nm程度の間隔を置いて、これより短波長側の光を除去し、反対にラマン散乱光を含む長波長側の光を透過させることが出来る。本実施形態によれば、エッジフィルターをノッチフィルターの代わりに挿入しても、ノッチフィルターと同様の効果をもたせることが可能となる。本発明では、抜き差し可能なレーザ光遮断光学素子37を取り外すか、或いはレイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子37とレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうちのレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子に置き換え、基体上に形成された膜試料1からの界面反射光即ちレイリー光を検出部36に測定可能に直接導くことで、後述する図7に示すように、充分な感度のレイリー散乱光を受光することが可能となり、膜の界面情報を抽出できる様になる。またその後、抜き差し可能なレーザ光遮断光学素子37を光路に戻すか、或いはレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子をレイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子37に置き換えることにより図3b、試料上に形成された膜試料1からの光のうち、ラマン散乱光測定時に妨害光となるレイリー光を完全に取り除くことが可能となり、感度の高いラマン分光法による膜構造解析が可能となる。以上のように、本実施形態のラマン分光測定装置によれば、ラマン散乱光とレイリー光を同一の検出光学系で測定することが可能である。なお、レーザ光遮断光学素子の透過率については、例えば分光反射率測定装置により透過率を求めることが出来る。検出部36は、分光手段と光検出手段とから構成される。このうち、前記分光手段としては、回折格子によりラマン散乱光を分光する分光器が挙げられる。分光器に入る直前光路上に焦点面と共役な点エリアがある場合には、その部分のX-Y平面内に2つの直行するスリットクロススリットを置くことで、スリットの組に共焦点光学系でいう共焦点ピンホール第2のピンホール35の役割を担わせることが可能であり、これにより、Z軸方向の空間分解能が生じる。またこのクロススリットは、ラマンスペクトル取得時の波長分解能にも寄与する。また、光検出手段としては、マルチチャネル検出器たとえば、CCD:ChargeCoupledDevice、シングルチャネル検出器たとえば、APD:AvalanchePhotodiodeが挙げられる。第2のピンホール35を透過した光は、検出部36に構成された分光器に入射し分散された後、この光検出手段で検出されるようになる。ディコンボリューション処理可能な演算手段38は、光検出手段、例えばマルチチャネル検出器で取得された膜界面情報0cm1:レイリー光プロファイルと膜の成分プロファイルラマン散乱光をデータ処理し表示するPCパーソナルコンピューター内に設けられており、最大エントロピ法MEM法、RichardsonLucyR-L法などのアルゴリズムソフトウェアとしてPC内の波形データ処理ユニットとして内包されている。一般に膜中の分子種の成分濃度が急峻に変化する場合に深さ方向成分プロファイルに装置関数が重畳していると、濃度立上がり部で濃度の滲みボケが生じ成分濃度のプロファイルが実際の成分濃度のプロファイルと異なってしまうことになる。この為、膜成分のマイグレーション判断の為には、深さ方向分布をアバウトな分布から正確な分布に戻してから解析を行わないと間違った結果が得られることになる。これを改善するために前述の演算手段として深さ方向の装置関数を取り除くディコンボリューション処理を行う。装置関数は一般に未知であるが、分散型分光器の場合にはスリット関数が主な原因となる場合が多く、出力される観察波形を劣化させてしまう。この時、装置関数が求められれば劣化した観察波形から真の信号原歪を受けない真の波形が推定できる。即ち、測定された深さ方向分布をIz、深さ方向の装置関数をgz、真の深さ方向分布をXzとすると、これら三者の関数は以下の様な式で表される。Iz=gzXzここで、はコンボリューション積分を示す。ディコンボリューションは、この深さ方向装置関数を考慮してIzから真の深さ方向分布Xzを推定する方法である。また、本発明のラマン分光測定装置の顕微光学系顕微鏡部には、顕微鏡ステージが付帯されており、顕微鏡ステージには試料の半径方向に移動可能な半径方向駆動部とその上に試料を水平に把持する試料受け部把持治具が設置されても良く、Z軸膜深さ方向に試料上に形成された光透過性の膜試料1の載った把持治具或いは対物レンズを移動させながら対物レンズ34で入射光および検出光ラマン散乱光を集光することで深さ方向プロファイルを作り出す。顕微鏡ステージには、ピエゾ素子或いはステッピングモータ移動機構が設置され光透過性の膜試料1のZ方向厚み方向、光軸方向の走査を行えるようになっている。以上の構成の本発明のラマン分光測定装置による基体上に形成された膜試料1における対象膜の電荷輸送層の表面層に対するマイグレーション測定は、次のように行われる。1膜の界面情報抽出ラマン分光測定装置を図3aの構成とし、レーザ光源30より出射され、集光レンズ31、第1のピンホール32を経た拡散するレーザ光束を、ダイクロイックミラー33を介して油浸レンズ対物レンズ34に導き、この油浸レンズにより、光束をエマルジョンオイルを透過させて基体上に形成された光透過性の膜試料1上に集光させる。次いで、基体上に形成された膜試料1上に集光された光束は、基体上に形成された膜試料1からラマン散乱光を含んだ光として反射され、エマルジョンオイル、油浸対物レンズ対物レンズ34を経て、集束しつつダイクロイックミラー33に戻る。ダイクロイックミラー33に戻った光は、ダイクロイックミラーの特性により、レイリー光の一部及びラマン散乱光以下、まとめて光が検出部36側に向かうようになる。更に、この光は検出部36に導かれる前に一旦集光され、抜き差し可能なレーザ光遮断光学素子37が取り外された構成か、或いはレイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子37とレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうちのレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子に置き換えられた構成のフィルター光学素子を、検出部36で測定可能な程度に弱められたレイリー光の一部がラマン散乱光とともに透過し、さらに集光位置に配置された第2のピンホール35を透過して、検出部36に導かれ、次いで検出部36に構成された分光器に入射し分散された後、検出器でレイリー光の強度が検出されるようになる。このような状態で、基体上に形成された光透過性の膜試料1を載せた顕微鏡ステージ或いは対物レンズを必要に応じてZ軸方向にピエゾ駆動或いはステッピングモータ移動機構により走査させて、基体上に形成された膜試料1の対象膜のZ軸方向の所定位置での検出を行う。すなわち、レーザ励起光と同一波長の光強度プロファイルを検出部36の検出器で測定して膜における深さ方向の界面情報を取り出す。これにより、界面反射位置情報となるレイリー光0cm1の光量変化を確認し、その光量がピークとなる位置から光軸方向の膜の界面の位置を特定することができる。例えば、図7に示すような被検体である膜の界面情報を取得することができるが、ここでは、3つの反射強度のピークが見られ、それぞれのピーク位置を対象膜の表面層表面エマルジョンオイルとの界面と、表面層/電荷輸送層界面と、その下層との界面中間層表面とに特定することができる。但し、このプロファイルも計測機器の動的特性、即ち装置関数の影響によって歪みを受ける。この際、界面反射であるレイリー光を膜界面から取得できるようにする為には、膜と媒体例えば油浸レンズを用いる場合はエマルジョンオイルとの屈折率差が重要となり、特に膜表面でのレイリー光を確保する為には、次式1より、界面での反射率:Rが0.1以上必要であることが見出されている。反射率R=N-N12κ2/NN12κ21N:測定対象膜の屈折率N1:媒体の屈折率κ:測定対象膜の消光係数一般に、屈折率差が大きくなれば界面反射を確保しやすくなるが、その場合は、レンズ-媒体-膜間の屈折率差による収差の影響で、空間分解能とエネルギー密度の低下を誘発することとなる。この為、測定の為には対象となる膜の屈折率から決まる、-0.2~-0.1の屈折率差を有するエマルジョンオイルを用いることが好適となる。2膜の構造解析次いで、ラマン分光測定装置を図3bの構成とし、レーザ光源30より出射され、集光レンズ31、第1のピンホール32を経た拡散するレーザ光束を、ダイクロイックミラー33を介して油浸レンズ対物レンズ34に導き、この油浸レンズ対物レンズ34により、光束をエマルジョンオイルを透過させて基体上に形成された光透過性の膜試料1上に集光させる。次いで、膜試料1上に集光された光束は、膜試料1からラマン散乱光を含んだ光として反射され、エマルジョンオイル、油浸レンズ対物レンズ34を経て、集束しつつダイクロイックミラー33に戻る。ダイクロイックミラー33に戻った光は、ダイクロイックミラーの特性により、レイリー光の一部及びラマン散乱光以下、まとめて光が検出部36側に向かうようになる。更に、この光は検出部36に導かれる前に一旦集光され、抜き差し可能なレーザ光遮断光学素子37が光路に戻された構成か、或いはレイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子37とレイリー光と等価なレーザ光の波長に対する透過率を上げたレーザ光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうちのレイリー光と等価なレーザ光を遮断するレーザ光遮断光学素子37に置き換えられた構成のフィルター光学素子を、レイリー光が完全除外され検出対象のラマン散乱光に合った波長帯域の光のみが選択に透過し、さらに集光位置に配置された第2のピンホール35を透過して、検出部36に導かれ、次いで検出部36に構成された分光器に入射し分散された後、検出器で所定の波長帯域のラマン散乱光の強度が検出されるようになる。このような状態で、基体上に形成された光透過性の膜試料1を載せた顕微鏡ステージ或いは対物レンズを必要に応じてZ軸方向にピエゾ駆動或いはステッピングモータ移動機構により走査させて、膜試料1の対象膜のZ軸方向のラマンスペクトルの検出を行う。最後に、検出されたラマンスペクトルと、先だって抽出された膜の界面情報とを用いて、任意の膜成分のラマンバンドのピーク値を深さ方向の位置ごとにプロットして、ラマン分光による深さ方向の位置毎の膜成分の分光データプロファイルを得る。以上の処理により、基体上に形成された光透過性の膜試料から高い空間分解能条件下での膜界面位置情報と膜の成分分布プロファイルの取得が可能となる。3ディコンボリューション処理得られた観察波形、この場合、ラマン分光による深さ位置毎の膜成分の分光データプロファイルから、この測定系の装置関数をディコンボリューション処理して取り除く為に、ここでラマン分光測定装置におけるPSFを先ず取得する。電荷輸送層と同成分の薄膜試料を、希望する分解能以下の厚み1μm以下で作製し、それを顕微鏡ステージで把持し、この薄膜試料を載せた顕微鏡ステージ或いは対物レンズを必要に応じてZ軸方向にピエゾ駆動により走査させて、PSF取得用試料の深さ方向の位置毎のラマン散乱光の分光データプロファイルを油侵レンズエマルジョンオイルの構成で得る。図9これがラマン分光による深さ方向毎の膜の成分プロファイルのPSF装置関数となる。この場合、膜の界面情報となるレイリー光プロファイルにも装置関数は重畳しているが、こちらに関しては反射強度のピーク位置で界面座標を正確に特定出来るため、特にディコンボリューション処理は行わなくても良い。その後、得られた観察波形となるラマン分光による深さ位置毎の膜の成分プロファイルと装置関数となるPSFによりディコンボリューション処理を行い、ラマン分光による深さ位置毎の膜の真の成分プロファイルを推定する。前述したディコンボリューション解析処理は、一般にフーリエ空間で計算が行われるため、深さ方向分布を構成するデータ点間の距離が等間隔でかつデータ点数が二のべき乗であることが望ましい。4マイグレーション評価得られたラマン分光による深さ位置毎の膜の真の成分プロファイルと膜界面位置情報を対比させ、装置関数が除去された状態の膜成分の立ち上がり位置から膜成分、例えば電荷輸送層の表面層に対するマイグレーションを判断する。以下、本発明の実施例を説明する。実施例1以下の条件で、円筒形状基体上に形成された膜試料1サンプルの電荷発生層の表面層に対するマイグレーション評価を行った。1膜試料1:図2において、φ40mmの円筒形状基体となるアルミニウムドラム2上に、中間層3として結着樹脂中に粒子微細粒子を分散した構成の厚さ3.5μmの膜を塗布し、更に電荷発生層4として特定の波長の光照射により正と負の電荷対を発生させる層となるバインダー樹脂と電荷発生物質を主成分とする層を形成した上に、光透過性の膜として任意の種類の成分を分散させて膜厚22μmの電荷輸送層5と膜厚2.5μmの表面層6を形成したもの。2ラマン分光測定装置:図3に示す構成<装置の構成詳細>レーザ光源30:レーザ光波長=488nm対物レンズ34:油浸対物レンズOLYMPUSMPlanApo100×NA1.4屈折率1.516のエマルジョンオイルを対象膜と対物レンズ34の間に充填することにより、屈折率1.525エマルジョンオイル:屈折率1.516レーザ光遮断光学素子37;図5の特性488nmの波長をカットする機能を有するノッチフィルターなお、対象膜の屈折率は、Siウェーハ上に対象膜を超薄膜塗布し、分光エリプソメータJAWoolam社製、WVASE32で複素屈折率屈折率、消光係数を測定し求めた。また、エマルジョンオイルの屈折率は、メーカー測定値製品にデータ添付をそのまま用いた。また、ノッチフィルターの透過率は、分光透過率測定装置松下テクノトレーディングF20装置にて透過率値を測定して確認した。3測定手順まず、円筒形状基体上に電荷輸送層5と表面層6が形成された膜試料を図3aに図示していない試料把持治具上に静置する。その後、試料の曲率中心とレーザ光軸を一致させる。次に図3aに示すように、前記ノッチフィルターを取り外した構成とし、レーザ励起光の光束を対物レンズ34で集光して円筒形状基体となるφ40mmアルミニウムドラム上に形成された光透過性の膜試料1の1点に照射し、円筒形状基体となるφ40mmアルミニウムドラム上に形成された膜試料1からのレイリー光の一部を検出部36の検出器に導いて深さ方向に走査することによりレイリー光洩れ光プロファイル界面反射強度分布図を取得した。図7次に、図3bに示すように、前記ノッチフィルターを取りつけた構成とし、レーザ励起光の光束を対物レンズ34で集光して円筒形状基体となるφ40mmアルミニウムドラム上に形成された光透過性の膜試料1の1点に照射し、円筒形状基体となるφ40mmアルミニウムドラム上に形成された膜試料1からの光からレイリー光を取り除いた所定波長帯域のラマン散乱光を検出部36の検出器に導いて、深さ方向に走査することにより深さ方向のラマンスペクトルを取得し、電荷輸送層5の任意の膜成分の特徴的なラマンバンドのピークを追いかけることによって、電荷輸送層5の膜中濃度プロファイルを取得した。次いで、前記レイリー光洩れ光プロファイル界面反射強度分布図と深さ位置毎の膜の成分プロファイルとを合わせて、電荷輸送層5の任意の膜成分のラマンバンドのピーク値を深さ方向の位置ごとにプロットして、深さ方向の位置毎の二のべき乗のデータ数の分光データプロファイルとした。図8に、以上の測定手順で得られた実施例1の測定結果を示す。図8は、円筒形状基体となるφ40mmアルミニウムドラム上に形成された光透過性の膜試料1における膜界面情報レイリー光プロファイルを付与した、データ点数二のべき乗の電荷輸送層5のラマン分光による深さ位置毎の分光データプロファイルから抽出可能な膜の深さ方向成分プロファイル観察波形:膜中濃度プロファイルであり、電荷輸送層5中に任意の一種類の成分を分散させたものである。この後PC内で、取得したラマン分光による深さ位置毎の分光データプロファイルから抽出可能な膜の深さ方向成分プロファイル観察波形に対して、事前に高周波雑音成分を軽減させるスムージング処理を行う。その後、電荷輸送層5と同成分の厚さ1μmの薄膜から深さ方向の位置毎の分光データプロファイルを取得し、PSFを取得した図9。更に、ディコンボリューション処理可能な演算手段となるPC内にプログラミングされたディコンボリューションアルゴリズムR-L法によってディコンボリューション処理を実施した。表面層6と電荷輸送層5の界面から、電荷輸送層5成分が表面層6側にマイグレーションしている結果を得た。図10はディコンボリューション結果を示す。電荷輸送層5成分プロファイル図10に示す膜成分プロファイルからPSFを用いたボケ成分を軽減できるディコンボリューション処理図10ディコンボリューション結果を行うことにより、界面で極めて急峻な傾きを持つ電荷輸送層5成分であっても、推定された真の深さ方向の膜の成分分布を解析することができる様になり、界面反射情報レイリー光プロファイルから電荷輸送層5成分のマイグレーション判断が可能になるため、電子写真感光体開発の効率を上げることができる。比較例1比較例1として、図3a及びbの装置構成で油浸レンズエマルジョンオイル使用条件下で取得した界面反射光レイリー光洩れ光プロファイル界面反射強度分布とラマン散乱光取得による深さ位置毎の膜の成分プロファイルに対して、装置関数を取り除くディコンボリューション処理手段を施さなかった場合の結果を図8に示す。図8に示す様に、ディコンボリューション処理しない場合は、膜成分が急峻に立ち上がる表面層/電荷輸送層界面位置に装置関数ボケが重畳し、膜成分の裾の拡がりが発生する為、電荷輸送層膜成分の表面層/電荷輸送層界面における表面層側への膜成分のマイグレーションを正しく評価することが難しい。なお、これまで本発明を図面に示した実施形態をもって説明してきたが、本発明は図面に示した実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、変更、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。"