"所定方向に揺動可能な変動部と、電圧の印加により変形し、互いに協働して前記変動部を揺動させる複数の駆動部とを備え、前記変動部の共振周波数fsmと、前記駆動部の共振周波数fsuとは、fsmfsuを満たすことを特徴とするマイクロスキャナ。請求項1記載のマイクロスキャナにおいて、前記変動部の共振周波数fsmと、前記駆動部の共振周波数fsuとは、1≦fsu-fsm[kHz]を満たすことを特徴とするマイクロスキャナ。請求項1または2記載のマイクロスキャナにおいて、前記変動部の共振周波数fsmと、前記駆動部の共振周波数fsuとは、fsu-fsm<15[kHz]を満たすことを特徴とするマイクロスキャナ。請求項1~3の何れか一項に記載のマイクロスキャナにおいて、前記駆動部に共振周波数fsuで電圧を印加した場合における当該駆動部の変形量A1と、前記駆動部に共振周波数fsmで電圧を印加した場合における当該駆動部の変形量A2とは、A1-A1×0.1≦A2を満たすことを特徴とするマイクロスキャナ。請求項1~4の何れか一項に記載のマイクロスキャナにおいて、前記変動部の共振周波数fsmと、前記駆動部の共振周波数fsuとは、fsu-fsu×0.3≦fsmを満たすことを特徴とするマイクロスキャナ。請求項1~5の何れか一項に記載のマイクロスキャナを搭載することを特徴とする光学機器。しかしながら、マイクロスキャナを製品として量産する場合には、図8bに示すように、組立誤差などによって1つのマイクロスキャナ内で駆動部94の特性にばらつきが生じてしまう場合がある。このような場合に、例えばミラートーションバー923を挟んで対向配置された2つの駆動部94の共振周波数がミラー部921の共振周波数を中心として高波長側,低波長側に同量だけずれてしまうと、各駆動部94の駆動位相が反転する結果、ミラー部921が動かなくなってしまう場合が生じる。そこで、本発明は以上のような事情に鑑みてなされたものであり、駆動部の共振周波数がばらついても変動部をスキャンさせることのできるマイクロスキャナ及び光学機器を提供することを目的とするものである。上記課題を解決するため、本発明の第1の側面によれば、マイクロスキャナにおいて、所定方向に揺動可能な変動部と、電圧の印加により変形し、互いに協働して前記変動部を揺動させる複数の駆動部とを備え、前記変動部の共振周波数fsmと、前記駆動部の共振周波数fsuとは、fsmfsuを満たすことを特徴とする。本発明によれば、変動部の共振周波数fsmと、駆動部の共振周波数fsuとはfsmfsuを満たすので、変動部の共振周波数fsmが駆動部の共振周波数fsuに対して低周波側に片寄った状態となる。従って、組立誤差などによってマイクロスキャナ内で駆動部の特性にばらつきが生じる場合であっても、各駆動部の駆動位相が反転して変動部が動かなくなってしまうのが防止される。よって、駆動部の共振周波数がばらついても変動部をスキャンさせることができる。以下、本発明にかかるマイクロスキャナについて図面を参照して説明する。ここでは、変動する部材変動部としてミラー部を例に挙げるとともに、このミラー部を変動させることで光を反射しスキャン動作を行うマイクロスキャナとして、2次元走査型の光スキャナを例に挙げる。なお、理解を容易にするために部分の区別を容易にするために、平面図にハッチングを付す場合もある。また、便宜上、部材符号及び又はハッチングを省略する場合もあるが、かかる場合、他の図面を参照するものとする。図1は本発明にかかるマイクロスキャナを適用した光スキャナの平面図である。この図に示すように光スキャナOSは、固定部である固定枠1と、可動部2図中の右上りハッチング部分と、主軸トーションバー3軸部と、駆動部4と、接続部5とを備えている。なお、図1に示す光スキャナOSの平面図において、左右方向をX方向とし、光スキャナOSの上下方向中央をX方向に横切る軸をX軸としている。また、上下方向をY方向とし、光スキャナOSの左右方向中央をY方向に横切る軸をY軸としている。そして、厚み方向をZ方向としている。以下の説明においても、特に断りのない限り、X方向、Y方向、Z方向、X軸及びY軸を用いて説明する。固定枠1は、可動部2、主軸トーションバー3、駆動部4及び接続部5を囲む長方形状の外枠である。さらに詳しく説明すると、変形可能なシリコン基板等で形成された長方形板状の基体にエッチングを施すことで、可動部2、主軸トーションバー3、駆動部4における後述の保持部41及び接続部5を形成する。そして、エッチング後の基体のうち、これらの部材を取り囲むように残った部分が固定枠1となる。なお、図1に示すように、固定枠1、主軸トーションバー3、駆動部4の保持部41及び接続部5とは一体に形成されている。なお、エッチングを施す基体は、100μm程度の厚さのシリコン基板が用いられるが、それに限定されるものではない。このように一枚の基体基板にエッチングを施して上述の各部を形成することで、それぞれの部分の大きさや、部分同士の間隔の精度を高めることが可能である。なお、加工法としてはエッチングに限定されるものではないし、複数の部材を組み合わせて形成するものであってもよい。可動部2は、光源不図示からの光レーザ光を反射する部材である。可動部2は、主軸トーションバー3に支持されている。可動部2は、ミラー部21と、可動枠22と、ミラートーションバー23と、連結部24とを含んでいる。ミラー部21は円板形状であり、光源からの光を反射する反射部材である。ミラー部21の表面には光源からの光を反射するため、アルミニウム等の金属薄膜が反射膜として成膜されている。なお、金属薄膜は蒸着やスパッタリング等の方法で形成されているものを挙げることができる。また、ミラー部21の表面は、このような金属薄膜に限定されるものではなく、表面が滑らかで光を均一に反射できるように形成された鏡面状のものを広く採用することができる。そして、ミラー部21は中心を挟んで対向した部分をミラートーションバー23に保持されている。なお、ミラー部21のミラートーションバー23に保持されている部分は、可動部2が停止している状態のときY方向の両端部となっているが、これに限定されるものではない。また、可動部2の説明を行う限りにおいて、ミラートーションバー23の軸線をY軸として説明する。可動枠22はミラー部21を囲むように配置されており、エッチングによって形成されたひし形状の部材である。可動部2は線対称の基準となる2本の対称軸が直交している。2本の対称軸のうち、一方の対称軸ここでは、短い方の対称軸はX軸と重なっており、他方の対称軸ここでは、長い方の対称軸はX軸と直交している可動枠22が停止状態のとき、Y軸と重なる。ミラートーションバー23は一対の長尺な部材であり、Y軸上に配置されてミラー部21を保持している。各ミラートーションバー23は同じ断面形状及び同じ長さの部材である。各ミラートーションバー23のミラー部21と反対側は、可動枠22と一体的に連結されている。なお、ミラートーションバー23は弾性変形可能な部材であり、ミラートーションバー23が弾性的にねじれることで、ミラー部21がY軸周りに揺動振動される。一対のミラートーションバー23が同一の形状であるので、各ミラートーションバー23のねじれ量、速度が同じであり、ミラー部21はY軸周りに揺動できる。連結部24は長方形状の部材であり、可動枠22のX方向の両端部と一体連結されている。連結部24は各辺がX軸又はY軸と平行となっており、Y軸と平行な辺の一方が可動枠22と連結している。また、他方のY軸と平行な辺の中央部に主軸トーションバー3が連結されている。これによって、可動枠22、すなわち、ミラー部21、ミラートーションバー23を含む可動部2が、X軸周りに揺動可能となっている。次に主軸トーションバー3について説明する。主軸トーションバー3は弾性変形可能な長尺部材である。光スキャナOSでは、停止状態のとき、主軸トーションバー3の中心軸がX軸と重なるものとする。主軸トーションバー3は可動部2のX方向の両端部に配置された連結部24のそれぞれを支持している。なお、以下の説明では、便宜上、図1のY軸よりも左にある主軸トーションバー3を3AC、右にある主軸トーションバー3を3BDと表す場合がある。主軸トーションバー3は、長手方向の端部のうち、一方が固定枠1と連結し、他方が可動部2の連結部24と連結している。そして、主軸トーションバー3は可動部2の近傍で接続部5を介して、駆動部4と接続している。なお、主軸トーションバー3の一方の端部が固定枠1と連結していることで、主軸トーションバー3がねじられ、可動部2が揺動するとき、主軸トーションバー3がX軸からずれにくい。これによって、可動部2のX軸周りの揺動の精度低下を抑制することができる。駆動部4は正面視長方形状であり、固定枠1と一体に形成された保持部41と、保持部41の表面に貼り付けられた圧電素子42図中のクロスハッチング部分とを備えている。保持部41はY方向に長尺となるよう配設されており、一方の短辺で主軸トーションバー3に接続され、他方の短辺で固定枠1に連結固定された片持ち梁様の構造を有している。ここで、前記一方の短辺では、固定枠1の中心側の端部X方向における主軸トーションバー3側の部分のみが主軸トーションバー3に接続されている。圧電素子42はPZTチタン酸ジルコン酸鉛を含む素子であり、図示しない駆動回路から電圧が印加されると力変位を出力する逆圧電効果を発揮する。これにより、圧電素子42は、保持部41を変形させるための力を、電圧印加に応じて生じさせる。この駆動部4は保持部41と圧電素子42を張り合わせたユニモルフ構造であり、圧電素子42に電力を供給することで、固定枠1と連結されていない側の短辺自由端側の短辺のうち、少なくとも主軸トーションバー3との接続部分が厚み方向図1において、Z方向手前又は奥方向に変位する。詳説すると、圧電素子42に電圧を印加することで、圧電素子42には圧縮方向或いは引っ張り方向の力が作用する。圧電素子42に圧縮方向の力が作用すると、圧電素子42が貼り付けられている保持部41が圧電素子42側に曲げられる。逆に圧電素子42に引っ張り方向の力が作用すると、保持部41は圧電素子42と反対側に曲げられる。このように、圧電素子42に作用する圧縮方向の力と引っ張り方向の力とをタイミングよく交互に発生させることで、駆動部4は自由端が振動する。光スキャナOSは4個の駆動部4を備えており、Y軸を挟んで対称となるように2個ずつ配置されている。同様に4個の駆動部4は、X軸を挟んで対称となるように2個ずつ配置されている。すなわち、4個の駆動部4はX軸及びY軸を基準に対称となるように配置されている。そして、これらの駆動部4が電圧の印加により変形して互いに協働することにより、後述のように可動部2が揺動することとなる。なお、説明の便宜上、図1において左上の駆動部4を駆動部4A、左下を4C、右上を4B及び右下を4Dと称して区別する場合があるが、形状及び大きさは全て同じである。また、図1に示す駆動部4では、保持部41に対して圧電素子42が小さいものが採用されているが、それに限定されるものではなく、端縁部が重なるように形成された圧電素子42を張り合わせるものであってもよく、圧電素子42が保持部41よりも大きいものを採用してもよい。ここで、以上のミラー部21及び駆動部4は、ミラー部21の共振周波数をfsmと、駆動部4の共振周波数をfsuとすると、図2aに示すように、fsmfsuを満たすようになっており、好ましくは1≦fsu-fsm<15[kHz],fsu-fsu×0.3≦fsmを満たすようになっている。このように共振周波数をfsm,fsuがfsmfsuを満たすことにより、ミラー部21の共振周波数fsmが駆動部4の共振周波数fsuに対して低周波側に片寄った状態となるため、図2bに示すように、組立誤差などによって光スキャナOS内で駆動部4の特性にばらつきが生じる場合であっても、ミラートーションバー23を挟んで対向配置された2つの圧電素子42の共振周波数fsuが可動部92の共振周波数fsmを挟んで高波長側と低波長側とにそれぞれ位置してしまう場合が生じ難くなるため、各圧電素子42の駆動位相が反転してミラー部21が動かなくなってしまうのが防止される。また、ミラー部21の共振周波数fsmの方が駆動部4の共振周波数fsuよりも小さいため、共振周波数fsmの方が駆動部4の共振周波数fsuよりも大きい場合と比較して、ミラー部21の駆動量が高感度に制御される、つまり少ない電力でミラー部21が駆動制御される。また、ミラー部21の共振周波数fsmと、駆動部4の共振周波数fsuとはfsu-fsm<15[kHz]やfsu-fsu×0.3≦fsmを満たすので、15≦fsu-fsm[kHz]の場合やfsm<fsu-fsu×0.3の場合と比較して、ミラー部21の共振周波数fsmと、駆動部4の共振周波数fsuとが離れすぎてミラー部21が動かなくなってしまうのが防止される。また、駆動部4に共振周波数fsuで電圧を印加した場合における当該駆動部4の振幅変形量A1と、駆動部4に共振周波数fsmで電圧を印加した場合における当該駆動部4の振幅変形量A2とは、A1-A1×0.1≦A2を満たすようになっている。これにより、A2<A1-A1×0.1の場合と比較して、ミラー部21の共振周波数fsmと、駆動部4の共振周波数fsuとが離れすぎてミラー部21が動かなくなってしまうのが防止される。接続部5は、主軸トーションバー3と、保持部41とを接続している。図1及び図3に示すように、接続部5は、複数個の片持ち梁様のレバー部51と、隣り合うレバー部51の端部を接続する折り返し部52とを備えており、接続部5は平面視蛇行状に形成されている。隣り合うレバー部51の間には、スリットSTが形成されている。図1及び図3に示しているように、接続部5においては、左辺から切れ込んだスリットSTと右辺から切れ込んだスリットSTとがレバー部51を挟んでY方向に交互に並んでいる。なお、接続部5において、スリットSTは左右から2個ずつ形成されているが、それに限定されるものではない。また、以下の説明において、それぞれの接続部を区別するために、駆動部4Aと接続する接続部5を接続部5A、駆動部4Cと接続する接続部5を接続部5C、駆動部4Bと接続する接続部5を接続部5B、駆動部4Dと接続する接続部5を接続部5Dと示す場合もある。そして、接続部5A及び接続部5Cは左側の主軸トーションバー3ACと、接続部5B及び接続部5Dは右側の主軸トーションバー3BDとそれぞれ接続している。接続部5はレバー部51とスリットSTとが交互に並んだ形状であるので、接続部5の両端部にZ方向のせん断力が作用すると、レバー部51がねじれつつ曲げられる。よって、接続部5は平面視で同じ大きさの平板に比べてY軸に沿った平面曲げY軸に沿った方向の曲げが容易な柔軟性が高い構成となっている。例えば、図1において、駆動部4Aが紙面手前側、駆動部4Cが紙面奥側に変形した場合後述の図6の状態、接続部5A及び接続部5Cは駆動部4A、駆動部4Cの先端にあわせて移動する。このとき、接続部5A及び接続部5CがY軸に沿ってZ方向に曲げ変形されるので、駆動部4Aと主軸トーションバー3AC及び駆動部4Cと主軸トーションバー3ACとの角度の変化をある程度許容することができる。これにより、駆動部4A及び駆動部4Cの先端のZ方向の変位が、柔軟性の低い接続部を使う場合に比べて大きくなる。そして、接続部5A及び接続部5Cは主軸トーションバー3ACをねじることができる弾力を備えている。これにより、接続部5A及び接続部5Cは駆動部4A及び駆動部4Cの先端部の変位にあわせ、主軸トーションバー3ACの接続部分をZ方向に引っ張る。駆動部4A及び駆動部4Cの先端部の変位量が大きいので、主軸トーションバー3ACの接続部が引っ張られる量も大きくなり、ねじれも大きくなる。なお、接続部5B、5Dで接続される駆動部4B、4D及び主軸トーションバー3BDも同様である。なお、本発明の光スキャナOSに用いられる接続部として、図3等に示すように蛇行状に形成されている接続部5を用いているが、これに限定されるものではない。図4に示すような、貫通孔形状のスリットST1と、左右両側から形成された凹形状のスリットST2とを交互に配置した形状の接続部7を利用しても、同様に主軸トーションバー3のせん断ひずみを大きくすることが可能である。なお、以下の説明では、主に接続部として図3に示す接続部5として説明するが、接続部7を用いても同様である。以上に示したように、接続部5及び7は、駆動部4の変位を妨げにくく、且つ、主軸トーションバー3をねじる方向に引っ張ることができる程度の柔軟性を有するものである。次に、光スキャナOSで光を走査二次元走査するときの駆動について詳しく説明する。まず、可動部2のX軸周りの揺動について説明する。可動部2は、主軸トーションバー33AC、3BDのねじれによって、X軸周りに揺動振動される。主軸トーションバー3のねじれ変形を説明するため、左側の主軸トーションバー3ACのねじれ変形について説明する。なお、主軸トーションバー3BDのねじれ変形もY軸に対して対称となっているだけで、実質上同じ動きであり、詳細は省略する。主軸トーションバー3ACは、駆動部4A及び駆動部4Cが変位することでX軸周りにねじられる。例えば、図1,図5において、駆動部4AをZ方向手前側、駆動部4CをZ方向奥側に変位させるとする。この場合、接続部5Aは駆動部4Aの自由端側の辺に引っ張られZ方向手前側に移動し、逆に接続部5Cは駆動部4Cの自由端側の辺に引っ張られZ方向奥側に移動する図6参照。接続部5A、接続部5Cの柔軟性が高い変形しやすいので、上述したように、駆動部4A及び駆動部4Bの自由端側の辺の変位が大きくなる。これにより、接続部5A及び接続部5Cを介して駆動部4A及び駆動部4Cと接続されている主軸トーションバー3ACのせん断ひずみねじり方向のひずみが大きくなる。そして駆動部4A及び駆動部4Cが、Z方向手前側とZ方向奥側にタイミングを合わせて振動することで、主軸トーションバー3ACがX軸周りのねじれを繰り返すように振動する。上述したように、駆動部4B及び4Dの変位が接続部5B及び5Dで伝達されることで、主軸トーションバー3BDも振動する。そして、駆動部4Aと駆動部4Bを一組、駆動部4C及び駆動部4Dを一組とし、それぞれの組の駆動部がZ方向に同じ方向、異なる組の駆動部がZ方向に逆方向となるよう振動させることで、主軸トーションバー3ACと主軸トーションバー3BDの振動を同期させることができる。なお、各駆動部44A、4B、4C、4Dが同期していることはいうまでもないことである。主軸トーションバー3AC及び主軸トーションバー3BDは、ともにX軸上に配置されているとともに、可動枠22のX方向の端部に一体連結された連結部24と連結されている。主軸トーションバー3AC及び主軸トーションバー3BDがねじれ方向に振動することで、連結部24で主軸トーションバー3AC、3BDと連結された可動枠22、すなわち、ミラー部21及びミラートーションバー23を含む可動部2がX軸周りに揺動振動される。主軸トーションバー3AC及び主軸トーションバー3BDは、ともにX軸上に配置されているとともに、可動枠22のX方向の端部に一体連結された連結部24と連結されている。主軸トーションバー3AC及び主軸トーションバー3BDがねじれ方向に振動することで、連結部24で主軸トーションバー3AC、3BDと連結された可動枠22、すなわち、ミラー部21及びミラートーションバー23を含む可動部2がX軸周りに揺動振動される。なお、可動部2の主軸トーションバー3AC、3BDによる揺動、すなわち、X軸周りの揺動は数十Hz例えば、60Hz程度の低周波である。なお、ミラー部21はミラートーションバー23に揺動可能に保持されているが、ミラートーションバー23は、可動部2の揺動の中心であるX軸と直交しているので、可動部2の揺動によってねじれ方向の力が作用することはない。すなわち、可動部2のX軸を中心とする揺動はミラー部21のミラートーションバー23による揺動にほとんど影響しない。次に、ミラー部21のX軸と直交する軸Y軸周りの揺動について説明する。ミラー部21はミラートーションバー23に保持されており、ミラートーションバー23のねじれによって揺動される。ミラートーションバー23は駆動部44A、4B、4C、4Dがミラートーションバー23の共振周波数で振動することで、共振し、揺動する。さらに詳しく説明すると、以下のとおりである。駆動部4A及び駆動部4Cを組とし、駆動部4B及び駆動部4Dを組として、同じ組の駆動部はZ方向の同方向に、異なる組の駆動部はZ方向の異なる方向に振動させる。まず、図1において、駆動部4A及び4CをZ方向手前側、駆動部4B及び駆動部4DをZ方向奥側に変位させた場合を例に説明する。駆動部4A及び駆動部4CがZ方向手前側に変位すると、接続部5A及び5CがともにZ方向手前側に変位する。そして、主軸トーションバー3ACは接続部5A及び接続部5Cに引っ張られ、可動部2側がZ方向手前側となるように曲げられる。主軸トーションバー3ACの曲げ変形によって、可動部2の連結部24が持ち上げられる。なお、接続部5A及び接続部5Cが蛇行状に形成されているので、ねじれ方向にも変形しやすく、主軸トーションバー3ACの変位を大きくすることができる。主軸トーションバー3BDも主軸トーションバー3ACと同様に、駆動部4B及び駆動部4D、接続部5B及び接続部5Dによって曲げられる。なお、主軸トーションバー3BDの曲げ方向は主軸トーションバー3ACと反対のZ方向奥側である。主軸トーションバー3AC及び主軸トーションバー3BDの曲げ変形によって、可動部2がY軸周りにねじられる。そして、駆動部4A及び駆動部4Cの組、駆動部4B及び駆動部4Dの組を交互に変位させることで、可動部2がミラートーションバー23の主軸周りに揺動振動する。この可動部2の揺動の振動数をミラートーションバー23及びミラー部21の共振周波数とすることで、ミラートーションバー23は励振されてねじれ方向の振動が発生する。これにより、ミラートーションバー23に保持されているミラー部21がY軸回りに揺動される。そして、駆動部4A及び駆動部4Cの組、駆動部4B及び駆動部4Dの組を交互に変位させることで、可動部2がミラートーションバー23の主軸周りに揺動振動する。この可動部2の揺動の振動数をミラートーションバー23及びミラー部21の共振周波数とすることで、ミラートーションバー23は励振されてねじれ方向の振動が発生する。これにより、ミラートーションバー23に保持されているミラー部21が揺動される。なお、ミラー部21のミラートーションバー23のねじれによる揺動振動の周波数は、数十kHz例えば、30kHzの高周波である。そして、駆動部44A、4B、4C、4Dを以上のように振動させることで、可動部2がX軸周りに揺動されるとともに、可動枠22と独立してミラー部21がY軸周りに揺動される。ミラー部21で光を反射しつつ可動部2を低周波で、ミラー部21を高周波で揺動させることで、光スキャナOSは光を2次元走査する。なお、以上の光スキャナOSは、その小型、軽量であるという特徴から、携帯電話、デジタルカメラ等の携帯用の電子機器に搭載されることが想定されている。以上のように、本実施形態によれば、ミラー部21の共振周波数fsmと、駆動部4の共振周波数fsuとはfsmfsuを満たすので、ミラー部21の共振周波数fsmが駆動部4の共振周波数fsuに対して低周波側に片寄った状態となる。従って、組立誤差などによって光スキャナOS内で駆動部4の特性にばらつきが生じる場合であっても、ミラートーションバー23を挟んで対向配置された2つの圧電素子42の共振周波数fsuが可動部92の共振周波数fsmを挟んで高波長側と低波長側とにそれぞれ位置してしまう場合が生じ難くなるため、各圧電素子42の駆動位相が反転してミラー部21が動かなくなってしまうのが防止される。よって、駆動部4の共振周波数がばらついてもミラー部21をスキャンさせることができる。また、ミラー部21の共振周波数fsmの方が駆動部4の共振周波数fsuよりも小さいため、共振周波数fsmの方が駆動部4の共振周波数fsuよりも大きい場合と比較して、ミラー部21の駆動量を高感度に制御する、つまり少ない電力でミラー部21を駆動制御することができる。また、ミラー部21の共振周波数fsmと、駆動部4の共振周波数fsuとはfsu-fsm<15[kHz]やfsu-fsu×0.3≦fsmを満たすので、15≦fsu-fsm[kHz]の場合やfsm<fsu-fsu×0.3の場合と比較して、ミラー部21の共振周波数fsmと、駆動部4の共振周波数fsuとが離れすぎてミラー部21が動かなくなってしまうのを防止することができる。同様に、駆動部4に共振周波数fsuで電圧を印加した場合における当該駆動部4の変形量A1と、駆動部4に共振周波数fsmで電圧を印加した場合における当該駆動部4の変形量A2とは、A1-A1×0.1≦A2を満たすので、A2<A1-A1×0.1の場合と比較して、ミラー部21の共振周波数fsmと、駆動部4の共振周波数fsuとが離れすぎてミラー部21が動かなくなってしまうのを防止することができる。なお、本発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記の実施形態においては、本発明のマイクロスキャナの例として、光を2次元走査する光スキャナを挙げているが、光を直線上に走査する1次元走査の光スキャナに用いることも可能である。この場合、可動部の全体或いは一部がミラー部に形成されているとともに、ミラー部が可動枠に固定されているミラートーションバーに揺動可能に支持されていないものを挙げることができる。また、上記各実施例において、マイクロスキャナとして、ミラー部で光を反射する光スキャナを例に説明しているが、それに限定されるものではなく、ミラー部に替わる光学素子としてレンズを用いるものやLED、レーザダイオード等の自発光素子を用いるものであってもよい。さらに、可動部の動力源アクチュエータとして片持ち梁状の保持部に圧電素子を貼り付けたユニモルフ構造の駆動部を採用しているが、それに限定されるものではなく、片持ち梁形状であるとともに、コイル、永久磁石等を用い、電磁気力で変位する駆動部を採用してもよい。"