反応塔1と、前記反応塔1の頂部に直列に接続され、還流供給管6、7をそれぞれ有する少なくとも2基の上部冷却器3、5と、前記反応塔1の底部リボイラ8と、前記反応塔1の底部13に接続された蒸発タンク14とを具備するモノシラン製造装置によってモノシランを連続的に製造する方法であって:aジクロロシラン又は、水素原子の総数の塩素原子の総数に対する比H/Clが0.6~3の範囲にあるテトラクロロシランと、トリクロロシランと、ジクロロシランと、モノクロロシランとの混合物を、上部供給注入点9を介して、前記反応塔1の上部ステージ2に供給すること;好ましくはジクロロシランだけを供給することと;b触媒を、下部注入点10を介して、前記反応塔1の前記上部ステージ2に供給することと;cモノシラン、モノクロロシラン、ジクロロシラン及びトリクロロシランを含有する得られた混合物を、前記反応塔1の頂部から前記複数の上部凝縮器3、5に導入することと;d前記上部凝縮器3、5において、モノクロロシラン、ジクロロシラン及びトリクロロシランを含有する凝縮物からモノシランを分離することと;eモノシランを分離した後、前記凝縮物を、前記還流供給管6、7を通して、前記反応塔1の前記上部ステージ2にリサイクルすることと;f前記反応塔において、前記凝縮物を前記触媒と接触させることとを含み、モル基準により主成分としてモノシランを含む、モノシランリッチガスが、前記上部凝縮器の下流に接続された管27を経て製造されることを特徴とする方法。前記上部凝縮器の下流に接続された管27を経て製造される前記モノシランリッチガスが、60を超えるモノシランを含み、より好ましくは80を超えるモノシランを含む請求項1に記載の方法。前記触媒が、少なくとも1種の第三級脂肪族炭化水素置換アミン及び第三級脂肪族炭化水素置換アミン塩酸塩である請求項1又は2の一項に記載の方法。前記第三級脂肪族炭化水素置換アミン及び前記第三級脂肪族炭化水素置換アミン塩酸塩が、それぞれ以下の式A及びB、R1R2R3NA;R1R2R3NHClBによって表され、式中、R1、R2及びR3のそれぞれは脂肪族炭化水素基であり、R1、R2及びR3のそれぞれの炭素数は少なくとも2であり、R1、R2及びR3は同一であるか又は異なる請求項3に記載の方法。g前記反応塔1の前記底部13からテトラクロロシラン、トリクロロシラン及び前記触媒を含有する底部回収液を取り出し、前記底部回収液を前記蒸発タンク14に導入し、前記蒸発タンクの前記底部から回収した前記触媒を前記反応塔にリサイクルする工程を含む請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。前記上部凝縮器の数が2~5基である請求項1から5の一項に記載の方法。工程gの後に、hテトラクロロシラン/トリクロロシラン分離塔19を経て前記反応塔1に向けて供給材料としてトリクロロシランをリサイクルする工程を含む請求項5及び6の一項に記載の方法。前記反応塔1が、前記上部供給注入点9と前記下部触媒注入点10との間に混合トレイ部分12を含み、冷還流液との直接接触による液体触媒の凍結を防止する請求項1から7の一項に記載の方法。