内側に開口部を有する弾性変形可能な第1被着体に当該開口部をまたいで接着シートを貼付する貼付装置であって、前記第1被着体を保持する保持手段と、接着シートを繰り出すシート供給手段と、当該接着シートに押圧力を付与して接着シートを第1被着体に当接させる押圧手段と、前記押圧手段と保持手段とを相対移動させて接着シートを第1被着体に貼付する移動手段とを備え、前記保持手段は、前記第1被着体に変形力を付与する変形力付与手段を更に含むことを特徴とするシート貼付装置。前記保持手段は、前記第1被着体の開口部に第2被着体を保持可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。前記変形力付与手段は、前記保持手段の相対移動方向に直交する両側から前記第1被着体の開口部の内側に向けて圧縮力を付与することを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。前記変形力付与手段は、前記保持手段の相対移動方向に沿う両側から前記第1被着体の開口部の外側に向けて引張力を付与することを特徴とする請求項1ないし3記載のシート貼付装置。前記変形力付与手段は、前記第1被着体の移動方向に沿う両側を保持手段側に固定し、移動方向に直交する両側に対して接着シートの貼付面に直交する方向への力を付与することを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。内側に開口部を有する第1被着体に接着シート貼付するシート貼付方法において、前記被着体を保持手段で保持する工程と、前記保持手段で保持した状態の当該第1被着体に変形力を付与して変形させる工程と、前記接着シートを繰り出して当該接着シートを変形した第1被着体に押圧手段で当接させ押圧力を付与する工程と、前記被着体を保持する保持手段と接着シートに押圧力を付与する押圧手段とを相対移動させて前記接着シートを被着体に貼付する工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。しかしながら、特許文献1に記載されたシート貼付装置にあっては、貼付方向への張力は、接着シートを貼付する際に接着シートの繰出し速度とテーブルの移動速度との速度差によって当該接着シートを引っ張ることで補うことができるものの、貼付方向に直交する方向に関しては引っ張ることができないため、張力を付与することができない。まして、貼付方向への張力が増している分、接着シートの貼付状態がアンバランスとなる。従って、接着シートをリングフレーム及びその内側に位置するウエハに貼付したときに、リングフレームとウエハとの間における接着シートに皺や弛みが生じてしまい、例えば、リングフレーム及びウエハをダイシング装置等のテーブルに支持したときに、正確な位置にウエハを保持できなくなり、適切なダイシングができなくなってしまう、という不都合を招来する。[発明の目的]本発明の目的は、開口部を有する第1被着体の開口部をまたぐ位置に接着シートを貼付した際に、当該接着シートの面内に皺や弛みを発生することなく接着シートを被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明に係るシート貼付装置は、内側に開口部を有する弾性変形可能な第1被着体に当該開口部をまたいで接着シートを貼付する貼付装置であって、前記第1被着体を保持する保持手段と、接着シートを繰り出すシート供給手段と、当該接着シートに押圧力を付与して接着シートを第1被着体に当接させる押圧手段と、前記押圧手段と保持手段とを相対移動させて接着シートを第1被着体に貼付する移動手段とを備え、前記保持手段は、前記第1被着体に変形力を付与する変形力付与手段を更に含む、という構成を採っている。前記シート貼付装置において、前記保持手段は、前記第1被着体の開口部に第2被着体を保持可能に設けられる構成を採ることができる。また、前記変形力付与手段は、前記保持手段の相対移動方向に直交する両側から前記第1被着体の開口部の内側に向けて圧縮力を付与するように設けられる。更に、前記変形力付与手段は、前記保持手段の相対移動方向に沿う両側から前記第1被着体の開口部の外側に向けて引張力を付与するように設けることもできる。また、前記変形力付与手段は、前記第1被着体の移動方向に沿う両側を保持手段側に固定し、移動方向に直交する両側に対して接着シートの貼付面に直交する方向への力を付与する、という構成を採ってもよい。更に、本発明は、内側に開口部を有する第1被着体に接着シート貼付するシート貼付方法において、前記被着体を保持手段で保持する工程と、前記保持手段で保持した状態の当該第1被着体に変形力を付与して変形させる工程と、前記接着シートを繰り出して当該接着シートを変形した第1被着体に押圧手段で当接させ押圧力を付与する工程と、前記被着体を保持する保持手段と接着シートに押圧力を付与する押圧手段とを相対移動させて前記接着シートを被着体に貼付する工程とを含む、という手法を採っている。本発明に係るシート貼付装置は、変形力付与手段によって第1被着体を一時的に弾性変形させておき、接着シートを貼付した後に変形力を解除して元の形状に復帰させることになる。これにより、接着シートの貼付状態がアンバランスとなって第1被着体の開口部における接着シート部分に皺や弛みが発生することを回避できる。また、第1被着体の開口部に第2被着体を配置してこれらを一体化させる構成においては、前述したように皺や弛みの発生を回避できる結果、各被着体の相対位置が常に一定の位置になる。従って、例えば、第1被着体がリングフレームで第2被着体がウエハであって、当該ウエハをダイシングするような場合、ダイシングラインからずれてダイシングされ適切なダイシングができなくなるような不都合は生じない。更に、前記相対移動方向に直交する方向から第1被着体に圧縮力を付与することで、前記直交方向におけるリングフレームの開口部の寸法が一時的に小さくできるため、変形力付与手段による変形力の付与を解除してリングフレームが元の寸法に復帰したときに、皺や弛みを吸収するように作用する。つまり、張力が付与された接着シートを貼付した際に生じる皺の発生を予め見込んで被着体側を変形させておき、その変形を解除することで相殺させることができる。この関係は、変形力付与手段が、前記保持手段の相対移動方向に沿う両側から前記第1被着体の開口部の外側に向けて引張力を付与したり、前記第1被着体の移動方向に沿う両側を保持手段側に固定し、移動方向に直交する両側に対して接着シートの貼付面に直交する方向への力を付与したりした場合も同様の効果を得る。以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書の方向若しくは位置を示す用語は、特に明示しない限り、図1を基準とし、前とは同図中手前側を示す一方、後とは、同奥行き側について用いられ、左、右、上、下も同様に図1を基準とする。図1に示されるように、シート貼付装置10は、第1被着体としてのリングフレームFRと、このリングフレームFRの開口部FRaに配置される第2被着体としてのウエハWFとを保持する保持手段12と、接着シートASを繰り出すシート供給手段14と、接着シートASに押圧力を付与して当該接着シートASをリングフレームFRに当接させる押圧手段16と、押圧手段16と保持手段12とを相対移動させて接着シートASをリングフレームFR及びウエハWFに貼付する移動手段18と、リングフレームFRに変形力を付与する変形力付与手段20とを備えて構成されている。本発明に係るリングフレームFRは、例えば、樹脂製のリングフレームが採用されており、外力が付与されたときに変形するが、当該外力が解除されたときに元の形状に戻ることのできる弾性を備えたものが用いられている。実施形態におけるリングフレームFRは、図2に示されるように、内縁が円形で、外周4箇所に直線縁部FRbを備えた形状を備えたものが採用されている。前記保持手段12は、テーブル21により構成されている。このテーブル21は、上面がウエハWFの載置面とされており、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によりウエハWFを吸着保持可能となっている。前記シート供給手段14は、原反RSを支持する支持ローラ25と、剥離シートRLを折り返して接着シートASを剥離シートRLから剥離する剥離部材26と、駆動機器としての回動モータ27により駆動される駆動ローラ28と、当該駆動ローラ28との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ29と、図示しない駆動機器によって駆動され剥離シートRLを巻き取る巻取ローラ30と、複数のガイドローラ31~33とを備えて構成されている。これら各部材は、板状フレームに支持されて単一のユニットとして構成することができる。前記押圧手段16は、ローラ34を備えて構成されている。当該ローラ34は、前記シート供給手段14の各部材を支持する板状フレームに回転可能に支持されている。前記移動手段18は、左右方向に延びる駆動機器としての直動モータ40により構成され、当該直動モータ40のスライダ41の上面にテーブル21が支持されており、当該テーブル21が貼付方向である移動方向DRへ移動可能となっている。前記変形力付与手段20は、テーブル21に設けられ、当該テーブル21の移動方向DRに対して直交する方向以下、直交方向DSという。の両側に相対する位置、すなわち、リングフレームFRの前後両側の直線縁部FRbからリングフレームFRに当接する一対の当接部材51と、これら当接部材51を移動させる駆動機器としての直動モータ53とにより構成されている。当接部材51は、直動モータ53の出力軸54に支持されており、リングフレームFRに対し直交方向DS方向に変形力圧縮力の付与が可能に設けられている。次に、本実施形態におけるシート貼付方法について説明する。図示しない移載手段を介してリングフレームFRの開口部FRaの内側にウエハWFが配置されるようにテーブル21上に移載される。この際、リングフレームFRは、一対の直線縁FRbがテーブル21の移動方向DRと平行となる向きで配置される。配置された状態ではリングフレームFRに変形力が付与されていないため、リングフレームFRの開口部FRaの内径は、図2Aに示すように、変形前内径DW1となる。次いで、直動モータ53が一対の当接部材51をそれぞれ接近する方向に駆動させ、リングフレームFRに対して直交方向DS内側への変形力を付与することとなる。これにより、リングフレームFRは、図3Bに示されるように、移動方向DRに直交する方向に沿う開口部FRaの内径寸法が変形前内径DW1より小さい変形後内径DW2となるように変形する。シート供給手段14において、接着シートASは、リード端が剥離板26の左端部に位置した状態で待機しており、テーブル21が図1中二点鎖線で示される位置から移動方向DRに沿って移動を開始して所定位置に到達したことが図示しないセンサで検出されると、回動モータ27が駆動して原反RSを繰り出し、接着シートASのリード端がリングフレームFRの上面に繰り出される。そして、押圧手段16により接着シートASをリングフレームFRに押圧して当接させる。原反RSの繰り出しに同期してテーブル21が更に移動方向DRに移動することで、接着シートASがリングフレームFR及びウエハWFの表面全体に貼付される。このとき、接着シートASの剥離速度すなわち原反RSの繰出速度に対して、テーブル21の移動速度を相対的に速くすることで接着シートASに張力を付与することができる。次いで、一対の当接部材51を相互に離間する方向に駆動させ、変形力付与手段20による変形力の付与を解除することで、リングフレームFRは、その弾性によって元の形状に戻り、リングフレームFRの開口部FRaの内径は、変形前内径DW1に復帰する。これにより、直交方向DSに張力が付与されなかった接着シートに対し、当該直交方向DSに張力が付与されることになる。従って、接着シートASの繰出し速度とテーブルの移動速度との速度差によって接着シートASに張力を付与した状態で貼付しても、リングフレームFRとウエハWFとの間の開口部FRaにおいて、接着シートASに皺や弛みが発生することを回避することができる。次いで、接着シートASを介してリングフレームFRに一体化されたウエハWFは図示しない搬送手段によって次工程に搬送され、テーブル21が図1中二点鎖線で示す位置に戻り、以降上記同様の動作が繰り返されることになる。従って、本実施形態によれば、リングフレームFRにウエハWFをマウントするときに、リングフレームFRとウエハWFとの間の接着シートAS部分に皺等を発生させることがないため、例えば、マウント完了後にウエハWFをダイシングするような場合、ダイシングラインからずれてダイシングされ適切なダイシングができなくなる不具合を生じさせない、という効果を得る。本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、変形力付与手段20を図4に示されるように、リングフレームFRにおける移動方向DRの両側をテーブル21側に固定するクランパ50と、リングフレームFRにおける直交方向DSの両側を上方に移動させるリフト手段51とで構成してもよい。前記クランパ50は、駆動機器としての直動モータ52の出力軸53に爪部材54を備えて構成されており、リフト手段51は、駆動機器としての直動モータ55の出力軸56先端に自在継手構造を備えた押上板58を備えた構成が例示できる。このような変形例によれば、リングフレームFRは、図4A、Bに示されるように、直交方向DSに沿う内径DW1より小さい内径DW3となるように変形する。そして、上述と同様にリングフレームRFに接着シートASを貼付した後、変形力の付与を解除して変形前内径DW1に戻したときに、これに相殺されて皺の発生が回避可能となる。また、前記実施形態では、リングフレームFRの開口部FRaにウエハWFを配置して接着シートASを貼付する場合を示したが、ウエハWFを配置することなくリングフレームFRのみに接着シートASを貼付することでもよい。また、前記実施形態では、押圧手段16を移動させることなく保持手段12を移動させて接着シートASを貼付する構成としたが、保持手段12側を移動させることなく押圧手段16を移動させてもよく、更に、保持手段12と押圧手段16の双方を移動させてもよい。更に、図5に示すように、接着シートASの繰出方向の両側からリングフレームFRを引っ張って開口部FRaの内径寸法が変形前内径DL1より大きい変形後内径DL2となるように変形させる構成としてもよい。また、前記実施形態では、予めリングフレームFRの形状に合わせて打ち抜かれた枚葉の接着シートASの貼付を例示したが、接着シートASは帯状のものを採用し、貼付動作を行った後にリングフレームFRの形状に合わせて接着シートASを切断する切断手段を更に備えた構成としてもよい。更に、リングフレームFRは、樹脂製のものに限らず、弾性変形可能なものであればよく、ゴム製のものや、金属製のもの等を採用することもできる。また、リングフレームFRは、直線縁部FRbをリングフレームFRの周方向に所定角度回転させてテーブル21に載置した状態で処理してもよい。また、本発明における被着体および接着シートASの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着シートASは、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有するもの等3層以上のものでもよいし、接着剤層のみで構成された一層のものでもよい。また、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等が例示でき、このような半導体ウエハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、第2被着体が光ディスクの基板であって、接着シートSが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、第2被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。また、変形力付与手段20は、リングフレームFRにおける直交方向DSの一方を固定し、他方から圧縮力を付与するようにしてもよいし、リングフレームFRにおける移動方向DRの一方を固定し、他方から引張力を付与するようにしてもよい。更に、リングフレームFRにおける直交方向DSの両側から変形力を付与しつつ、移動方向DRの両側から引張力を付与する構成としてもよい。また、移動方向DRの両側から引張力を付与しつつ、リフト手段51によりリングフレームFRに変形力を付与する構成としてもよい。