露光対象物を露光するためのライン状光を出射する露光用光源であって、前記露光対象物に向けて一列に並べて配設され、露光用の光を出射する複数のランプユニットで構成されたランプアレイと、前記露光対象物および前記各ランプユニットの間にそれぞれ配設された複数のレンズとを備えており、前記レンズは、対応する前記ランプユニットから出射された光の内、前記露光対象物に向かう光を、前記ランプユニットの光軸を通りかつ前記ランプユニットが並べられた方向に平行な中心線に向けて屈折させ、前記中心線を中心として前記露光対象物における照射範囲を狭めるとともに照度を高めることを特徴とする露光用光源。前記ランプアレイを複数有しており、前記各ランプアレイは、出射するライン状光が互いに重なるように、同じ方向に向けて上下方向に並べて配設されており、かつ前記各ランプアレイは、前記ランプユニットが並べられた方向に互いにずらして配設されていることを特徴とする請求項1に記載の露光用光源。前記ランプアレイの数をnとし、一つの前記ランプアレイにおける、互いに隣合う前記ランプユニットの配置間隔をdとしたとき、隣り合う前記ランプアレイ同士は、前記ランプユニットが並べられた方向にd/nずらして配設されていることを特徴とする請求項2に記載の露光用光源。請求項1から3のいずれかに記載された露光用光源を備える露光装置。しかしながら、複数のランプユニットを一列に並べたランプアレイを有するライン状光の光源には別の問題があった。すなわち、図7に示すように、個々のランプユニット1から出射された光が露光対象物Tを照らす照度は、そのランプユニット1の光軸L上で最大となり、光軸Lから離れるほど照度は小さくなる。このため、ランプアレイ2から出射されるライン状光Xの露光対象物Tにおける照度は、図8に示すように、各ランプユニット1の光軸L上で大きくなるとともに、各ランプユニット1間で小さくなり、ライン状光Xが照射される各位置の照度が不均一になっていた。露光対象物T上での照度が不均一になると、露光対象物T全体を均一に露光することができなくなり、露光対象物Tにおける照度が低い部分で露光不足が生じたり、あるいは、照度が高い部分で露光過多が生じたりするおそれがあった。本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みて開発されたものである。それゆえに本発明の主たる課題は、照射位置の各所における照度が均一なライン状光を出射することのできる露光用光源およびこれを用いた露光装置を提供することにある。請求項1に記載した発明は、露光対象物Tを露光するためのライン状光Xを出射する露光用光源12であって、前記露光対象物Tに向けて一列に並べて配設され、露光用の光を出射する複数のランプユニット18で構成されたランプアレイ24と、前記露光対象物Tおよび前記各ランプユニット18の間にそれぞれ配設された複数のレンズ20とを備えており、前記レンズ20は、対応する前記ランプユニット18から出射された光の内、前記露光対象物Tに向かう光を、前記ランプユニット18の光軸Lを通りかつ前記ランプユニット18が並べられた方向H1に平行な中心線CLに向けて屈折させ、前記中心線CLを中心として前記露光対象物Tにおける照射範囲を狭めるとともに照度を高めることを特徴とする露光用光源12である。この露光用光源12によれば、ランプアレイ24を構成する各ランプユニット18から出射される光の照射範囲は、レンズ20によって、ランプユニット18が並べられた方向H1に平行な中心線CLを中心として狭められることから、図3および図4に示すように、ランプアレイ24から出射されるライン状光Xの幅が狭まり、狭まって集約された光によって各ランプユニット18の光軸Lから離れた照射位置における照度を高めることができ、これにより、照射位置の各所における照度の均一化を促進することができる。請求項2に記載した発明は、請求項1に記載された露光用光源12の改良に関し、前記ランプアレイ24を複数有しており、前記各ランプアレイ24は、出射するライン状光Xが互いに重なるように、同じ方向に向けて上下方向に並べて配設されており、かつ前記各ランプアレイ24は、前記ランプユニット18が並べられた方向H1に互いにずらして配設されていることを特徴とする。これにより、或るランプアレイ24から出射されるライン状光Xにおける照度が低い部分に、他のランプアレイ24からのライン状光Xにおける照度が高い部分を重ねることができるので、複数のランプアレイ24を有する露光用光源12全体として見たとき、ライン状光Xの各位置における照度をさらに均一化することができる。請求項3に記載した発明は、請求項2に記載された露光用光源12の改良に関し、前記ランプアレイ24の数をnとし、一つの前記ランプアレイ24における、互いに隣合う前記ランプユニット18の配置間隔をdとしたとき、隣り合う前記ランプアレイ24同士は、前記ランプユニット18が並べられた方向H1にd/nずらして配設されていることを特徴とする。このように各ランプアレイ24をずらして配設することにより、基準となるランプアレイ24を一つ決めたとき、この基準ランプアレイ24内の一つのランプユニット18から出射されるライン状光Xにおける光軸L照度大と、隣り合う別のランプユニット18の光軸Lとの間に、残りすべてのランプアレイ24のそれぞれにおける一つのランプユニット18からの光軸Lの光照度大を出射することができる。したがって、露光用光源12全体として見たとき、ライン状光Xの各位置における照度をさらに均一化することができる。請求項4は、請求項1から3のいずれかに記載された露光用光源12を備える露光装置10である。本発明によれば、照射位置の各所における照度が均一化されたライン状光を出射することのできる露光用光源およびこれを用いた露光装置を提供することができた。以下、本発明が適用された実施例について図面を用いて説明する。露光装置10は、図1に示すように、大略、露光用光源12と、点灯制御装置14と、露光対象物Tを保持する保持台16とで構成されている。もちろん、露光用光源12と保持台16との間に光学系を介在させてもよい。露光用光源12は、露光対象物Tを露光するためのライン状光Xを出射するものであり、図2に示すように、大略、複数のランプユニット18と、複数のレンズ20と、ランプホルダ22とで構成されている。複数のランプユニット18は、露光対象物Tに向けて一列に並べて配設されており、一列のランプユニット18群をランプアレイ24という。ランプユニット18に使用される光源の種類は特に限定されるものではなく、高圧放電灯、LED、有機EL、あるいは白熱灯等を使用することができ、さらに、これら光源と、当該光源から出射された光を所定の方向に反射するリフレクタとを組み合わせてランプユニット18を構成してもよい。もちろん、1つの露光用光源12に設けられるランプユニット18の数はいくつでもよく、特に限定されない。複数のレンズ20は、露光対象物Tと、各ランプユニット18との間にそれぞれ配設されており、かつ、図3に示すように、対応するランプユニット18から出射された光の内、ランプユニット18が並べられた方向H1とは直交する方向H2に向かう光を、ランプユニット18の光軸Lを通りかつランプユニット18が並べられた方向H1に平行な中心線CLに向けて屈折させるようになっている。つまり、対応するランプユニット18から出射された光の露光対象物Tにおける照射範囲を、中心線CLを中心として狭めるようになっている。このような作用を奏するレンズ20としては、シリンドリカルレンズやトロイダルレンズ等のような、レンズ作用を有する断面と、レンズ作用の無いあるいは殆ど無い断面とを備えるレンズを挙げることができる。なお、図2に示すように、レンズ20がランプユニット18の前面を覆い、ランプユニット18内の温度が過度に高くなるような場合には、レンズ20に熱気を抜くための貫通孔26を設けてもよい。ランプホルダ22は、上述した複数のランプユニット18およびレンズ20を所定の位置に保持するための部材である。このランプホルダ22には、アルミニウム等の軽量で熱伝導性の良い材料を使用するのが好適である。ランプホルダ22には、ランプユニット18およびレンズ20と同数の通孔28が一列に並べて形成されている。また、各通孔28の一方側周縁には、各レンズ20が嵌め込まれるレンズ取付凹所30が形成されており、他方側周縁には、各ランプユニット18が嵌め込まれるランプ取付凹所32が形成されている。なお、ランプホルダ22へのランプユニット18およびレンズ20の取り付けは、接着剤を用いて接着してもよいし、図示するような押さえ部材36等を用いて機械的に固定してもよい。また、図面では、板状のランプホルダ22が描かれているが、ランプホルダ22の形状はこれに限られるものではなく、ランプユニット18を収容する箱状であってもよい。点灯制御装置14図1は、各ランプユニット18に対し、給電線34を介して点灯用電力を給電する装置である。点灯制御装置14は、全てのランプユニット18に同時に給電してもよいし、露光に必要な照度を得られるのであれば幾つかのランプユニット18に給電せず、意図的に消灯させるようにしてもよい。保持台16は、露光対象物Tを所定の位置に保持するとともに、露光用光源12からの光の照射を一定時間受ける度に、露光対象物Tをライン状光Xの幅の長さだけずらすことにより、露光用光源12を移動させることなく露光対象物Tの全面を露光させることができるようになっている。このような露光装置10を起動させ、点灯制御装置14からランプユニット18への給電を開始すると、ランプユニット18の光源が点灯して露光用の光が出射される。光源から出射された光は、必要に応じて設けられたリフレクタ等で反射した後、ランプユニット18から出射される。ランプユニット18から出射された光は、レンズ20を通過した後、露光対象物Tを照射する。本実施例の露光用光源12では、複数のランプユニット18が一列に並べられているので、露光用光源12全体から出射された光は、露光対象物Tの露光面をライン状に照射する。このとき、個々のランプユニット18から出射された光は、レンズ20を通過することにより、この光の内、ランプユニット18が並べられた方向H1とは直交する方向H2に向かう光が、ランプユニット18の光軸Lを通りかつランプユニット18が並べられた方向に平行な中心線CLに向けて屈折される図3参照。これにより、露光用光源12のランプアレイ24から出射されるライン状光Xの幅が狭まり、狭まって集約された光によって各ランプユニット18の光軸Lから離れた照射位置における照度を高めることができるので、図4に示すように、照射位置の各所における照度の均一化を促進することができる。上記実施例では、露光用光源12に備えられたランプアレイ24の数が一つの場合について説明したが、ランプアレイ24の数は複数であってもよい。以下、複数のランプアレイ24を有する露光用光源12について図5を用いて説明する。なお、以下の説明では、上記実施例と相違する部分を中心に説明し、共通する部分については上記実施例における説明を援用する。本実施例の露光用光源12は、ランプアレイ24を複数有しており、各ランプアレイ24は、出射するライン状光Xが互いに重なるように、同じ方向に向けて上下方向に並べて配設されており、かつ、各ランプアレイ24は、ランプユニット18が並べられた方向H1に互いにずらして配設されている。これにより、或るランプアレイ24から出射されるライン状光Xにおける照度が低い部分に、他のランプアレイ24からのライン状光Xにおける照度が高い部分を重ねることができるので、複数のランプアレイ24を有する露光用光源12全体として見たとき、ライン状光Xの各位置における照度をさらに均一化することができる。さらに、図6に示すように、ランプアレイ24の数をnとし、一つのランプアレイ24における、互いに隣り合うランプユニット18の配置間隔をdとしたとき、隣り合うランプアレイ24同士を、ランプユニット18が並べられた方向にd/nずらして配設することが好適である。このように各ランプアレイ24をずらして配設することにより、基準となるランプアレイ24を一つ決めたとき、この基準ランプアレイ24から出射されるライン状光Xにおける光軸L照度大と隣り合う別のランプユニット18の光軸Lとの間に、残りすべてのランプアレイ24からの光軸Lの光を出射することができる。したがって、露光用光源12全体として見たとき、ライン状光Xの各位置における照度をさらに均一化することができる。