内部に細長い空間を備える長尺のボックスと、出風口を備え、前記出風口から前記空間に冷却媒体を供給可能なように、ボックスに接続されたダクトと、前記空間の長手方向に沿うように配置された光照射源と、を具備し、前記ボックスは、前記空間の長手方向に沿って設けられた第1、第2の分岐ダクトと、前記第1の分岐ダクトにおける前記空間の高さH1を、前記第2の分岐ダクトにおける前記空間の高さH2よりも低くする傾斜面と、をさらに備えているとともに、前記ダクトの前記出風口は、前記傾斜面に向かって前記冷却媒体を送風するように、前記空間の長手方向の端部に配置されていることを特徴とする光照射装置。前記ダクトは、前記空間の長手方向に対して略平行な指向性を有する前記冷却風を前記空間に送風可能なように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。前記出風口は、前記傾斜面の高さHの間に含まれるように配置され、第1、第2の分岐ダクトは、前記傾斜面の長さLの間に含まれるように配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光照射装置。ここで、個々の紫外線照射源に搭載されたマグネトロンや紫外線ランプは、それぞれ同じ温度で使用されるのが望まれる。そのためには、それぞれの紫外線照射源に冷却媒体を均一に送風する必要があるが、上記した特許文献1では送風ムラが生じることがわかった。本発明が解決しようとする課題は、それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供することである。実施形態の光照射装置は、内部に細長い空間を備える長尺のボックスと、出風口を備え、前記出風口から前記空間に冷却媒体を供給可能なように、ボックスに接続されたダクトと、前記空間の長手方向に沿うように配置された光照射源と、を具備し、前記ボックスは、前記空間の長手方向に沿って設けられた第1、第2の分岐ダクトと、前記第1の分岐ダクトにおける前記空間の高さH1を、前記第2の分岐ダクトにおける前記空間の高さH2よりも低くする傾斜面と、をさらに備えているとともに、前記ダクトの前記出風口は、前記傾斜面に向かって前記冷却媒体を送風するように、前記空間の長手方向の端部に配置されていることを特徴とする。第1の実施の形態以下に、本発明の光照射装置の一例である紫外線照射装置について、図面を参照して説明する。図1は、紫外線照射装置に関する一実施形態について説明するための図、図2は、XZ平面によるボックスの断面について説明するための図である。なお、以下では便宜上、X方向、Y方向、Z方向を設定して説明する。図1は、例えば液晶パネルなどの大面積の被照射体を照射可能な広範囲照射型紫外線照射装置である。この装置は、被照射体を内部に配置して照射するための照射ボックス1に紫外線照射装置11を複数、ここでは7セットを並列的に配列してなるものである。これら紫外線照射装置11は、光照射装置として構成されたものであり、それぞれ平板12の上に配置されている。平板12は照射ボックス1に対してスライド可能に構成されているため、装置自体やその構成部品の着脱やメンテナンスを容易に行える。紫外線照射装置11は、ステンレス等の金属からなる長尺の給気側ボックス2を備えている。給気側ボックス2は、図2からわかるように、その長手方向以下、X方向に沿うように、細長い空間21を内部に備えている。給気側ボックス2の近傍には、ブロア3が配置されている。ブロア3は、空気などの冷却媒体を送風する機能を備えた装置であり、給気ダクト4を介して、給気側ボックス2と連結されている。給気ダクト4は、両端に入風口41と出風口42を備えた中空の導管であり、入風口41側はブロア3と接続されている。出風口42側は給気側ボックス2のX方向の端部に形成された穴22に、出風口42がX方向に対して直交の関係になるように挿入接続されている。また、給気側ボックス2の近傍には、その長手方向に沿って光照射源であるUV照射モジュール51~57が配置されている。これらUV照射モジュール51~57は全て同一の構造である。UV照射モジュール51を例にとり、図3を参照して構造を説明する。図3は、UV照射モジュールの断面図であり、aはXZ平面、bはYZ平面の断面を示す図である。UV照射モジュール51はランプハウス511を備えている。ランプハウス511は、ステンレスなどのマイクロ波を遮断可能な金属からなる中空の箱である。その内部にはマイクロ波を発生させるマグネトロン512が配置されている。本例では、マグネトロン512を一対配置してある。このマグネトロン512には、マイクロ波を送信するアンテナ513が設けられている。アンテナ513はマグネトロン512から下方に突き出すように形成されていて、その周囲は導波管514に覆われている。導波管514は、マイクロ波を導く部材であり、その端部に形成された開口がランプハウス511の下方を向くように配置されている。導波管514の開口付近には、リフレクタ515が配置されている。リフレクタ515は、表面にコーティングを施したガラスなど、紫外線は反射し、マイクロ波は透過させる材料からなるものである。本例では、リフレクタ515は一対の平板をハの字に配置することで構成している。この一対の平板によって形成される空間には、無電極ランプ516が配置されている。無電極ランプ516は、紫外線光を透過させる石英ガラスからなる円筒形状のバルブである。外径は17mm程度、長さは240mm程度である。その内部には、マイクロ波によって紫外線を発生させる媒体として、不活性ガス、水銀および鉄が封入されている。バルブの両端には支持部が一体形成されており、この支持部によってランプハウス511に取り付けられる。ランプハウス511の下方には、電磁シールド517が配置されている。この電磁シールド517は、金属線を編み込んだメッシュ、パンチング加工した金属板などにより構成されている。そのため、紫外線や冷却風は透過させつつ、マイクロ波はランプハウス511の外部に漏れることを防止する。また、ランプハウス511の下方には、排気ケース518が配置されている。排気ケース518は、ランプハウス511と同様の材料からなる中空の箱であり、その電磁シールド517と対面する面には、照射面519が設けられている。この照射面519は、紫外線透過性に優れる石英ガラスなどからなるものである。これらUV照射モジュール51~57は、分岐ダクト61~67によってそれぞれ給気側ボックス2と接続されている。分岐ダクト61~67は、中空の導管であり、給気側ボックス2の長手方向に対して直交する方向以下、Z方向に沿うように形成されている。本例では、分岐ダクト61~67は、UV照射モジュール51~57と同じ7つ設けられており、全て同じ大きさである。また、分岐ダクト61~67は、X方向に沿って等間隔になるように、給気側ボックス2に一体形成されている。このように、給気側ボックス2とUV照射モジュール51~57を分岐ダクト61~67によって繋ぐようにすることで、給気側ボックス2とUV照射モジュール51~57の着脱が簡単になるので、モジュール本体、ランプ交換等を容易に行うことができる。UV照射モジュール51~57の排気ケース517には、給気側ボックス2と並ぶように排気側ボックス7が配置されている。排気側ボックス7は、内部にX方向に沿う細長い空間71を備えた長尺で中空の箱であり、UV照射モジュール51~57の排気ケース517のそれぞれと繋がっている。この排気側ボックス7には、中空の導管である排気ダクト8が接続されている。この紫外線照射装置11の動作について説明すると、まずマグネトロン512は、電源図示なしから電力を受けて、例えば2.45GHzのマイクロ波を発生させる。マグネトロン512で発生したマイクロ波は、アンテナ513から送信され、導波管513によって導かれる。そして、マイクロ波は、無電極ランプ516に到達し、バルブ中に封入された媒体を励起して、無電極ランプ516から紫外線を発生させる。この紫外線は、直接またはリフレクタ515で反射して、電磁シールド517および照射面519を通過し、照射面519に対面配置される被照射体図示なしに照射される。ここで、マグネトロン512や無電極ランプ516は、動作中に高温となるため、冷却する必要がある。その冷却には、冷却媒体が用いられる。冷却媒体は、ブロア3により冷却風として、給気ダクト4、給気側ボックス2、分岐ダクト61~67を通って、UV照射モジュール51~57中に供給され、マグネトロン512や無電極ランプ516などを冷却する。マグネトロン512や無電極ランプ516などを空冷した冷却風は、排気ケース518、排気側ボックス7、排気ダクト8を通って、紫外線照射装置11の外部に排気される。外部に排気された風は、当初より温度が上昇したり、不純物を含むものであるため、冷却処理や不純物除去処理などがされて、再度、ブロア3により空間21に送風される。この冷却に際しては、UV照射モジュール51~57に搭載された全てのマグネトロン512や無電極ランプ516がほぼ同じ温度になるようになされるのが望ましい。マグネトロン512や無電極ランプ516は温度によって、マイクロ波や紫外線の発生量が変化し、その結果、光学特性にばらつきが生じるためである。全てのマグネトロン512や無電極ランプ516の温度を一定にするには、UV照射モジュール51~57に略均一に冷却風を供給すればよい。しかし、冷却風を給気側ボックス2に送ってから、分配する方式ではUV照射モジュール51~57に略均一に冷却風を供給するのは困難である。例えば、特許文献1の装置では、取り込み口に近い喚起口に冷却風が集中するため、各喚起口に供給される冷却風の風量は不均一になる。そこで、本実施の形態では、給気側ボックス2の構造を改良している。具体的には、図2に示すように、給気側ボックス2に分岐ダクト62部分の空間21の高さH2よりも、分岐ダクト61部分の空間21の高さH1を低くするように、傾斜面23を形成している。本例では、分岐ダクト67から分岐ダクト61に向かって漸次傾斜するものであり、高さHは330mm、長さLは2000mm、角度αは約9.6°である。また、給気ダクト4の出風口42を、傾斜面23に向かって冷却風を送風するように、空間21のX方向の端部に配置している。なお、排気側ボックス7にも傾斜面を形成している。この傾斜面は、給気側ボックス2の傾斜面23とは逆の傾斜、すなわち、分岐ダクト61から分岐ダクト67に向かって漸次傾斜しており、これによって排気ダクト8から効率よく冷却風を排気できるようにしている。図4に示すようなボックスについて、給気ダクト4の出風口42から70m3/minの風を空間21に送風したときの各ダクトNo.61~67における冷却風の流量を測定した。その結果を、図5に示す。結果からわかるように、aに示す第1の実施の形態と同様のボックス以下、実施例の方が、bに示すボックス以下、比較例よりも、各ダクトにおける流量の変化が少ない。具体的には、実施例ではダクトにおける最大流量差は、2.5m3/min、平均流量に対して-9~16であるのに対し、比較例では最大流量差は5.9m3/min、平均流量に対して-34~24であるから、実施例の方が送風の均一性が高いことは明らかである。この種の装置では、平均流量との差を±20以内に維持すれば光学特性のばらつきを抑制できるため、実施例では照射ムラが少ない紫外線照射装置を実現することができることになる。比較例では、冷却風9はZ方向に沿う指向性の風を含んでいたために、全体的に傾斜面による風の制御が効かなかったこと、給気ダクト4に近いために、Z方向に沿う指向性の風を多く含む分岐ダクト67に冷却風が多く流れ込んだことが、流量が大きくなった原因と考えられる。一方、実施例では、冷却風9はX方向に沿う指向性の風であったため、傾斜面による風の制御の効果により風量が均一化されたと考えられる。なお、図5aのようなボックスにおいて、分岐ダクトの数を5個としたボックスの場合では、図6に示すとおり、ダクトにおける最大流量差は0.8m3/min、平均流量に対して-3.6~4.6であり、風量が均一化されていることが確認された。このことから、本実施形態の効果は、分岐ダクトを少なくとも2つ第1、第2の分岐ダクト備えていれば得ることができる。次に、傾斜面23の高さHmmを変化させたときの各ダクトNo.61~67における冷却風の流量を測定した。その結果を図7に示す。この試験は、詳しくは図8のように、給気側ボックス2の高さAは330mm、傾斜面23の長さLは2000mm、給気ダクト4の出風口41の直径Rは200mmに固定し、空間21の上端部からの傾斜面の高さHを変化させた給気側ボックス2に出風口42から70m3/minの風を送風したものである。結果からわかるように、傾斜面23の高さHが大きい角度αが大きいほど各分岐ダクトにおける流量の変化が少なくなる。また、分岐ダクト61に注目するとわかるように、H=180mm以下では流量が多く、全体として最大流量差が大きくなっている。これは、傾斜面23の高さHと給気ダクト4の出風口42の直径Rとの関係によっては、傾斜面23による風の制御の効果が低下することを意味している。つまり、この結果から、H=230mm以上の場合のように、直径がRである給気ダクト4の出風口42が、傾斜面23の高さHmmの間に含まれるように配置することで、出風口42から空間21に供給されたX方向に沿った指向性を有する冷却風を傾斜面23によって有効に制御するのが望ましいといえる。また、同様の理由から、全ての分岐ダクトを、傾斜面23の長さLmmの間に含まれるように配置するのが望ましい。上記のような構成に加えて、出風口42からX方向に沿って最も遠くに位置する空間21に、尻尾部24を形成する、すなわち、出風口42から最も遠くに位置する分岐ダクト61よりも奥側にさらに空間を形成するのが望ましい。この構造であると、最も奥側に位置するために傾斜面23に沿って冷却風が流れ込みやすい分岐ダクト61の流量を低減することが可能となり、各ダクトへの冷却風の均一性を増すことができる。この実施形態では、給気側ボックス21に、分岐ダクト61~67を空間21の長手方向に沿うように設け、傾斜面23を分岐ダクト61における空間21の高さH1を、分岐ダクト62における空間21の高さH2よりも低くするように設け、給気ダクト4の出風口41を、傾斜面23に向かって冷却風を送風するように、X方向の端部に給気ダクト4の出風口42を配置したことで、給気ダクト4の出風口42から送風される冷却風の指向性がX方向に対して略平行なものになり、冷却風が傾斜面23によって効果的に制御されるため、分岐ダクト61~67において風量を均一化することができる。したがって、UV照射モジュール51~57内に設けられたマグネトロンや無電極ランプを均一に冷やすことで点灯中の温度を均一化でき、光学特性のばらつきを抑制することができる。第2の実施の形態図9は、本発明の第2の実施の形態の紫外線照射装置について説明するための図である。この第2の実施の形態の各部について、第1の実施の形態の紫外線照射装置の各部と同一部分は同一符号で示し、その説明を省略する。この実施形態では、給気側ボックス2の上部に穴22を形成し、その穴22に給気ダクト4をZ方向に沿うように挿入したのち、その出風口42側をX方向に沿うように90度曲げている。この構成では、出風口42から冷却風が出風するまでに、冷却風の指向性がX方向に対して略平行になるため、第1の実施の形態と同様に、分岐ダクト61~67において風量を均一化することができる。つまり、給気ダクト4は必ずしも給気側ボックス2のX方向の端部である側面に接続されている必要はなく、傾斜面23までに冷却風の指向性をX方向に対して略平行なものにすることができる構造であれば良い。この発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。例えば、給気側ボックス2の傾斜面23は、同じ角度で傾斜する面でなくてもよく、傾斜角が段階的に変化する面、湾曲する面、一部のみが傾斜するような面であってもよい。また、傾斜面23は、給気側ボックス2の内部に、平板を傾斜させて配置することで形成しても良い。なお、実施形態では、高さH1、H2の設定箇所となる第1、第2の分岐ダクトを、給気ダクト4から遠い位置にある2つの分岐ダクトに設定しているが、これに限らず、例えば、給気ダクト4から近い位置にある2つの分岐ダクトについて高さH1、H2を設定してもよい。給気ダクト4や分岐ダクト61~67は、給気側ボックス2と一体構成であってもよい。光照射源は、光発生源を内部に備えた装置に限らず、光発生源単体、光発生源を基板上に実装したものなどであってもよい。また、光照射源が発生させる光は、紫外線に限らず、可視光や赤外光であってもよい。つまり、光照射源としては、所定の波長の光を発生させるように設計された、メタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、誘電体バリア放電ランプ、ハロゲンランプ、LEDおよびそれらを搭載、実装した装置などでもよい。