フロートガラス基板と、前記フロートガラス基板における酸化錫膜が形成された錫面と反対側のエア面上に分散配置されたアルカリ金属の炭酸塩と、前記エア面上および前記アルカリ金属の炭酸塩上に直接形成された透光性を有する透明導電膜と、を備え、前記エア面上に形成された前記透明導電膜と前記アルカリ金属の炭酸塩上に形成された前記透明導電膜との結晶配向性が異なること、を特徴とする透明導電膜付きガラス基板。前記透明導電膜の表面に凹凸構造が形成されていること、を特徴とする請求項1に記載の透明導電膜付きガラス基板。フロートガラス基板における酸化錫膜が形成された錫面と反対側のエア面と裏面電極層との間に、透光性を有する透明導電膜と光電変換を行う光電変換層とを有する薄膜太陽電池であって、前記エア面上にアルカリ金属の炭酸塩が分散配置され、前記透明導電膜が前記エア面上および前記アルカリ金属の炭酸塩上に直接形成され、前記エア面上に形成された前記透明導電膜と前記アルカリ金属の炭酸塩上に形成された前記透明導電膜との結晶配向性が異なること、を特徴とする薄膜太陽電池。前記透明導電膜の表面に凹凸構造が形成されていること、を特徴とする請求項3に記載の薄膜太陽電池。フロートガラス基板における酸化錫膜が形成された錫面と反対側のエア面上にアルカリ金属の炭酸塩を分散して形成する第1工程と、前記アルカリ金属の炭酸塩が形成された前記エア面上に透光性を有する透明導電膜を成膜して、前記エア面上と前記アルカリ金属の炭酸塩上とで結晶配向性が異なる前記透明導電膜を形成する第2工程と、を含むことを特徴とする透明導電膜付きガラス基板の製造方法。前記透明導電膜の表面に凹凸構造を形成すること、を特徴とする請求項5に記載の透明導電膜付きガラス基板の製造方法。前記第1工程では、前記エア面に水分および炭酸ガスを供給することにより、前記フロートガラス基板から溶出したアルカリ金属の炭酸塩を形成すること、を特徴とする請求項5または6に記載の透明導電膜付きガラス基板の製造方法。前記第1工程と前記第2工程との間において、前記アルカリ金属の炭酸塩を所定の高さに調整して前記エア面の凹凸形状を調整すること、を特徴とする請求項5~7のいずれか1つに記載の透明導電膜付きガラス基板の製造方法。請求項5~8のいずれか1つに記載の透明導電膜付きガラス基板の製造方法により透明導電膜付きガラス基板を形成する工程と、前記透明導電膜上に半導体膜からなり光電変換を行う光電変換層を形成する工程と、前記光電変換層上に、導電膜からなる裏面電極層を形成する工程と、を含むことを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。請求項3または4に記載の薄膜太陽電池の少なくとも2つ以上が電気的に接続されてなること、を特徴とする薄膜太陽電池モジュール。しかしながら、上記従来の薄膜太陽電池によれば、基板表面の凹凸が急峻になるにしたがって光散乱効果が大きくなるが、表面の凹凸が急峻なガラス基板上に発電層膜を形成した場合には、発電層膜に欠陥が生じて太陽光発電の発電効率が低下することが知られているたとえば、非特許文献1参照。さらに、凹凸構造を形状の制御性良く形成するためには写真製版等の高価な装置が必要であり、太陽電池の製造コストが高くなる、という問題点があった。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、テクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現可能な透明導電膜付きガラス基板およびその製造方法、薄膜太陽電池およびその製造方法、薄膜太陽電池モジュールを得ることを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる透明導電膜付きガラス基板は、フロートガラス基板と、前記フロートガラス基板における酸化錫膜が形成された錫面と反対側のエア面上に分散配置されたアルカリ金属の炭酸塩と、前記エア面上および前記アルカリ金属の炭酸塩上に直接形成された透光性を有する透明導電膜と、を備え、前記エア面上に形成された前記透明導電膜と前記アルカリ金属の炭酸塩上に形成された前記透明導電膜との結晶配向性が異なること、を特徴とする。本発明によれば、テクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現できる、という効果を奏する。以下に、本発明にかかる透明導電膜付きガラス基板およびその製造方法、薄膜太陽電池およびその製造方法、薄膜太陽電池モジュールの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面間においても同様である。実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法を模式的に示す断面図である。図2は、本発明の実施の形態1にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法を示すフローチャートである。以下、本発明の実施の形態1にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法について図1および図2を参照して説明する。まず、透光性絶縁基板としてフロートガラス基板1を用意し、表面を洗浄する。フロートガラス基板1は、フロート法により、錫を融解した上に融解したガラスを薄く浮かべることで製造される。したがって、フロートガラス基板1には、その製造方法に起因して、製造時において大気に曝されていたエア面1aと錫に接していた錫面1bとの2種類の主面があり、錫面1b側には、酸化錫膜2が形成されている図1a。つぎに、フロートガラス基板1のエア面1aに、フロートガラス基板1中のアルカリ金属成分の炭酸塩3を形成するステップS10、図1b。フロートガラス基板1中のアルカリ金属成分、たとえばナトリウムイオンNa、リチウムイオンLi、カリウムイオンKなどは拡散によって表面に出てくる。ここで、Naイオンは、フロートガラス基板1の表面に大気中の水分が吸着していると、大きな水和物Na水和物を形成してフロートガラス基板1中に戻ることができなくなる。その代わりに、Hイオンがフロートガラス基板1中に入っていくことにより、電荷の平衡チャージバランスが保たれる。ここで雰囲気中に炭酸ガスCO2ガスが存在すると、Na水和物とCO2ガスが反応して炭酸塩を生成し、炭酸塩の核が形成される。炭酸塩はその潮解性により大気中の水分を凝集して大きくなるとともに大気中のCO2ガスにより中和されて結晶化して成長する。これにより、フロートガラス基板1のエア面1aに炭酸塩が析出する。なお、ここではナトリウムイオンNaを例に説明したが、リチウムイオンLiやカリウムイオンKなどのアルカリ金属についても同様である。本実施の形態では、炭酸塩の形成に必要な水分をフロートガラス基板1のエア面1aに供給し、またCO2ガスを供給するためにフロートガラス基板1を入れた高湿槽に炭酸ガスを導入して、フロートガラス基板1のエア面1a側に炭酸塩3を形成する。炭酸塩3を形成は、例えば60°C、相対湿度RHRelativeHumidity90の条件で48時間、大気中で行う。炭酸塩3を形成するためには、相対湿度はたとえば60程度以上とすることが好ましい。なお、温度を常温よりも高くするのは、上述した反応を促進させるためであり、常温でも構わない。炭酸塩3は、フロートガラス基板1のエア面1aの全面において微細な凸部形状で略均一に分散して形成される。したがって、炭酸塩3が形成されることにより、フロートガラス基板1のエア面1aには微細な凹凸形状が略均一に形成される。ここで、凹部ではフロートガラス基板1のエア面1aが露出している。なお、図1においては、理解の容易のため、炭酸塩3を誇張して示しているが、実際の炭酸塩3の大きさは高さ数nm~30nm程度、径数nm~30nm程度、ピッチ1μm~数100μm程度である。つぎに、アルカリ液等の洗浄液を用いてフロートガラス基板1のエア面1aを洗浄するとともにフロートガラス基板1のエア面1aに形成した炭酸塩3の一部を除去して炭酸塩3の高さを調整するステップS20、図1c。洗浄条件としては、たとえばフロートガラス基板1の表面の濡れ性を改善するためにUV等の照射により有機物除去を行い、2KOH薬液などのアルカリ溶液を用いたロールブラシ洗浄を行った後、水洗、乾燥を行う。これら一連の洗浄は、たとえばコンベアの上にフロートガラス基板1を載せて、2m/分の搬送速度で行われる。そして、ロールブラシ洗浄においては、炭酸塩3の凸部は全て除去せずに、ある程度の高さの炭酸塩3aを意図的に残存させて、エア面1aの凹凸形状を調整する。ここでの炭酸塩3aの高さは、たとえば数nm~10nm程度である。なお、ここでは、KOH薬液を用いたロールブラシ洗浄により炭酸塩3の一部を除去しているが、ロールブラシは炭酸塩3の除去の促進のために用いているため、ロールブラシを用いずに薬液のみで炭酸塩3の一部を除去してもよい。また、ロールブラシの代わりにアルカリ溶液を用いた超音波洗浄を行ってもよい。また、後述する透明導電膜4の表面形状に大きな凸形状として影響しない程度に炭酸塩3の凹凸が小さい場合には、炭酸塩3の一部除去を省略することも可能である。つぎに、炭酸塩3aが残存したフロートガラス基板1のエア面1a上に、透光性導電材料からなる透明導電膜として例えば酸化亜鉛からなる透明導電膜4を成膜するステップS30、図1d。透明導電膜4の表面状態は、炭酸塩3aが残存したフロートガラス基板1のエア面1aの凹凸形状に沿った形状とされる。酸化亜鉛からなる透明導電膜4は、フロートガラス基板1のエア面1a上と炭酸塩3a上とでは結晶成長性結晶成長の方向が異なる。このため、フロートガラス基板1のエア面1a上と炭酸塩3a上とでは、結晶配向性が異なる、異なる膜質を有する透明導電膜4が形成される。すなわち、透明導電膜4内には、結晶配向性が異なる、異なる膜質の透明導電膜が混在する。そして、フロートガラス基板1側から入射した光は、フロートガラス基板1のエア面1a上と炭酸塩3a上とに形成された異なる膜質の透明導電膜4の界面において散乱される。すなわち、フロートガラス基板1側から入射した光は、透明導電膜4内において散乱される。なお、ここでは酸化亜鉛からなる透明導電膜4を例に説明しているが、安価な酸化亜鉛系材料、例えばアルミニウムAlやガリウムGaがドープされた酸化亜鉛膜や、その他の通常薄膜太陽電池の透明導電膜に用いられる材料も使用可能である。つぎに、透明導電膜4の表面をたとえば塩酸などの薬液で少しエッチングし、透明導電膜4の表面にテクスチャ4aを形成するステップS40、図1e。ここで、従来の薄膜太陽電池の透明導電膜4では、良好な光閉じ込め効果を得るために、表面の凹凸が急峻な大きな凹凸形状を形成する必要があった。ガラス基板中のアルカリイオンは動き易いため、通常、薄膜太陽電池を形成する場合にはガラス基板からのアルカリイオンの溶出を抑えるためにガラス基板の表面にバリヤ層を形成し、その上に透明導電膜が形成される。しかしながら、バリヤ層上に形成した透明導電膜は結晶の配向性が強く、光の散乱が起こりにくい膜となる。このため、光閉じ込め効果を持たせるためには、透明導電膜の表面に凹凸を形成しなければならない。そして、高いヘイズ率を得るためには、たとえば75nm~300nm程度の深い凹凸を形成する必要があり、その上に形成される光電変換層を構成する半導体膜中に欠陥が生じる。しかしながら、本実施の形態にかかる薄膜太陽電池においては、上述したように透明導電膜4内においても入射光が散乱効果を有するため、従来のように透明導電膜4の表面の凹凸を急峻に設ける必要がなく、また高低差の大きな凹凸形状を形成する必要がない。すなわち、本実施の形態にかかる薄膜太陽電池では、フロートガラス基板1上に形成した後にエッチングにより表面に急峻な凹凸構造を形成した従来の透明導電膜よりも凹凸構造が浅くても、透明導電膜4全体として従来と同等のヘイズ率が得られる。このような透明導電膜4の表面の凹凸形状の大きさとしては、たとえば75nm~300nm程度である。そして、表面の凹凸構造の深さ高低差を浅くできるため、透明導電膜4の膜厚を薄くすることが可能であり、材料コストおよび製膜時間を低減でき、ターゲットコストを低減できる。なお、ここでの凹凸構造の深さ高低差とは、エッチング後に形成された透明導電膜の凹凸高低差により定義される。以上のような工程を実施することにより、フロートガラス基板1のエア面1a上と炭酸塩3a上とにおいて膜質の異なる膜を有し、従来よりもなだらかな凹凸構造を有するテクスチャ4aが形成された透明導電膜4が得られ、実施の形態1にかかる透明導電膜付きガラス基板が得られる。つぎに、テクスチャが形成された透明導電膜4上に、半導体膜からなり光電変換を行う光電変換層5を形成するステップS50、図1f。光電変換層5は、たとえばpin接合を有するシリコン系薄膜半導体層からなり、フロートガラス基板1の面方向に平行なp型半導体層5a、真性i型半導体層5bおよびn型半導体層5cが、テクスチャが形成された透明導電膜4上に順次積層されたpin半導体接合を含む。シリコン系薄膜半導体層は、例えばシリコン半導体、または炭素C、ゲルマニウム、酸素Oまたはその他の元素の少なくとも1つが添加された薄膜から構成することができる。この光電変換層5は、プラズマCVD法または熱CVD法等を用いて堆積形成される。ここで、上述したように透明導電膜4の表面は従来のような急峻な凹凸形状とされていないため、この上に形成された光電変換層5では、透明導電膜4の表面凹凸形状に起因した膜中欠陥が低減される。これにより、光電変換層5の膜中欠陥に起因した発電効率の低下を抑制して、高い光電変換効率を得ることができる。続いて、光電変換層5上に、裏面電極層6を形成するステップS60、図1f。裏面電極層6は、高い反射率および導電性を有する、銀Ag、アルミニウム、金Au、銅Cu、ニッケルNi、ロジウムRh、白金Pt、パラジウムPr、チタンTi、クロムCr、モリブデンMo等から選択した少なくとも1種類以上の元素または合金からなる層により構成される。なお、これらの裏面電極層6の高反射率および導電性材料としての具体的材料は特に限定されるものではなく、周知の材料から適宜選択して用いることができる。以上の工程を実施することにより、実施の形態1にかかる薄膜太陽電池が得られる。以上のような実施の形態1にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法によれば、フロートガラス基板1のエア面1aに炭酸塩3aを形成し、その上に透明導電膜4を成膜することにより、エア面1a上と炭酸塩3a上とにおいて結晶配向性が異なる、異なる膜質の透明導電膜が混在した透明導電膜4を形成する。これにより、透明導電膜4内の結晶配向性が異なる透明導電膜間の界面において入射光の散乱が生じ、光閉じ込め効果が得られる。そして、透明導電膜4内において光閉じ込め効果が得られるため、透明導電膜4の表面光電変換層5側のテクスチャ構造を従来に比べて浅くなだらかな形状として、透明導電膜4の表面凹凸形状に起因した膜中欠陥を低減することができる。透明導電膜4の表面のテクスチャ構造急峻で深い形状の場合と比べて、透明導電膜4の表面のテクスチャ構造による光閉じ込め効果は小さくなるが、透明導電膜4内において光閉じ込め効果が得られるため、透明導電膜4全体としては従来と同等のヘイズ率が得られる。また、上述したように透明導電膜4の表面の凹凸構造の深さ高低差を浅くできるため、透明導電膜4自体の膜厚を薄くすることが可能であり、材料コストおよび製膜時間を低減でき、コストを低減できる。さらに、フロートガラス基板1中のアルカリ金属の溶出を抑えるためのバリヤ層の形成が不要となるため、工程およびコストを削除できる。なお、高湿槽と二酸化炭素が必要となるが、高価な装置でなく、簡略な構成で実現可能であり、総合的に太陽電池の製造コストを低減できる。したがって、実施の形態1によれば、テクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現可能である。実施の形態2.実施の形態1では、高湿槽にフロートガラス基板1を入れ、炭酸ガスを導入して炭酸塩3を形成する例を示したが、実施の形態2では、炭酸塩3の他の形成方法について説明する。通常、フロートガラス基板1は、ガラス工場から出荷される際には図3に示されるようにフロートガラス基板1間の仕切である合紙11に挟まれて出荷される。図3は、フロートガラス基板1の合紙11に挟まれた出荷状態を模式的に示す断面図である。そこで、この合紙11に水分を含ませて、大気中に放置することによって、フロートガラス基板1の表面に炭酸塩3を形成できる。すなわち、合紙11に水分を含ませることにより、合紙11に挟まれたフロートガラス基板1のエア面1a近傍は高湿度状態とされ、フロートガラス基板1のエア面1aにも水滴が付着する。フロートガラス基板1のエア面1a側に溶出したNaイオンは、合紙11に含まれる水分によって大きな水和物Na水和物を形成してフロートガラス基板1中に戻ることができなくなる。そして、Na水和物は、大気中のCO2ガスと反応して炭酸塩を生成し、炭酸塩の核が形成される。炭酸塩はその潮解性により大気中の水分を凝集して大きくなるとともに大気中のCO2ガスにより中和されて結晶化して成長する。これにより、フロートガラス基板1のエア面1aに炭酸塩3が形成される。そして、これ以降の炭酸塩3の形成以外は実施の形態1の場合と同様にして薄膜太陽電池を形成する。上述した方法においても、実施の形態1の場合と同様にフロートガラス基板1のエア面1a側に、結晶配構成が異なり膜質の異なる透明導電膜が混在した透明導電膜4を形成することができる。これにより、透明導電膜4の表面光電変換層5側のテクスチャ構造を従来に比べて浅くなだらかな形状として、透明導電膜4の表面凹凸形状に起因した膜中欠陥を低減することができる。そして、透明導電膜4内において光閉じ込め効果が得られるため、透明導電膜4全体としては従来と同等のヘイズ率が得られる。また、実施の形態1の場合と同様に透明導電膜4の表面の凹凸構造の深さを浅くできるため、透明導電膜4自体の膜厚を薄くすることが可能であり、材料コストおよび製膜時間を低減でき、コストを低減できる。さらに、フロートガラス基板1中のアルカリ金属の溶出を抑えるためのバリヤ層の形成が不要となるため、工程およびコストを削除できる。したがって、実施の形態2によれば、実施の形態1の場合と同様にテクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現可能である。また、上記の実施の形態で説明した構成を有する薄膜太陽電池セルをフロートガラス基板1のエア面1a上に複数形成し、隣接する薄膜太陽電池セル同士を電気的に接続することにより、良好な光閉じ込め効果を有し、光電変換効率に優れた薄膜太陽電池モジュールが実現できる。この場合は、隣接する薄膜太陽電池セルの一方の透明導電膜4と他方の裏面電極層6とを電気的に接続すればよい。