"照明光源からの照明光を被検者眼角膜に向けて斜めから照射する照明光学系、角膜内皮細胞を含む前記角膜からの反射光を第1撮像素子により受光して角膜内皮細胞画像を取得する撮像光学系、を備える装置本体と、前記第1撮像素子とは異なる第2撮像素子を有し、被検者眼の前眼部像を前記第2撮像素子により撮像して前眼部像を正面から観察する前眼部観察光学系と、前記照明光源を点灯させ、前記第1撮像素子から出力される撮像画像を複数取得する制御手段と、前記制御手段による撮像画像の取得中において、前記第2撮像素子から出力される撮像画像に基づいて被検者眼に対する前記装置本体のアライメント状態を検出するアライメント検出手段と、を備えることを特徴とする角膜内皮細胞撮影装置。被検者眼に対して前記装置本体を相対移動させる駆動手段を備え、前記制御手段は、前記アライメント検出手段の検出結果がアライメント許容範囲から外れたとき、アライメント適正位置へ前記装置本体を復帰させるように前記駆動手段の駆動を制御することを特徴とする請求項1の角膜内皮細胞撮影装置。前記制御手段は、前記アライメント検出手段の検出結果がアライメント許容範囲から外れた後、アライメント適正位置へ前記装置本体が復帰させられるまで、前記第1撮像素子から出力される撮像画像の取得を中断することを特徴とする請求項1~2のいずれかの角膜内皮細胞撮影装置。前記角膜に向けてアライメント指標を投影するアライメント指標投影光学系を備え、前記前眼部観察光学系は、被検者眼の前眼部像及び前記アライメント指標を前記第2撮像素子により撮像し、前記アライメント検出手段は、前記制御手段による撮像画像の取得中において、前記第2撮像素子から出力される撮像画像の前記アライメント指標に基づいて被検者眼に対する前記装置本体のアライメント状態を検出することを特徴とする請求項1~3のいずれかの角膜内皮細胞撮影装置。前記投影光学系は、被検者眼角膜に向けて複数の指標を投影する投影光学系であって、前記アライメント検出手段は、各指標に基づいてアライメント状態を検出し、前記制御手段は、各アライメント検出結果に基づいて自動アライメントを行うことを特徴とする請求項4の内皮細胞撮影装置。前記角膜に向けて斜め方向から検出用光束を投光する投光光学系と、前記投光光学系による角膜反射光束を受光素子により受光する受光光学系と、を有し、前記受光素子の受光結果に基づいて被検者眼に対する前記装置本体の前後方向のアライメント状態を検出する検出光学系を備え、前記制御手段は、被検者眼に対する前記装置本体のアライメント状態が許容範囲から外れる前のアライメント位置情報を前記受光素子の受光結果に基づいて取得し、元のアライメント位置に前記装置本体を復帰させるように前記駆動手段の駆動を制御することを特徴とする請求項2~5のいずれかの角膜内皮細胞撮影装置。しかしながら、上記構成は、アライメント指標を受光したときの受光信号がXYで別々に取得される構成である図10A参照。このため、外乱光が入射されたとき、外乱光とアライメント指標の判別が困難である。例えば、瞼睫からの反射光が入射された場合、図9Bに示すような受光信号が出力されるため、XYのアライメント検出が困難である。また、同様に、複数の点状指標、二次元パターン像例えば、リング像などが受光されたときに、その指標像の特定、位置検出は困難である。さらに、撮像範囲が狭いため、眼が大きく動いたとき、被検者眼の位置を見失ってしまう可能性があり、眼の動きに追従してアライメントすることができなくなるおそれがあった。すなわち、従来のアライメント検出センサの場合、良好な内皮細胞を得るための情報が限定されていたため、良好な細胞像を撮影できない可能性があった。本発明は、上記問題点を鑑み、被検者眼の内皮細胞像を確実に取得できる内皮細胞撮影装置を提供することを技術課題とする。上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。照明光源からの照明光を被検者眼角膜に向けて斜めから照射する照明光学系、角膜内皮細胞を含む前記角膜からの反射光を第1撮像素子により受光して角膜内皮細胞画像を取得する撮像光学系、を備える装置本体と、前記第1撮像素子とは異なる第2撮像素子を有し、被検者眼の前眼部像を前記第2撮像素子により撮像して前眼部像を正面から観察する前眼部観察光学系と、前記照明光源を点灯させ、前記第1撮像素子から出力される撮像画像を複数取得する制御手段と、前記制御手段による撮像画像の取得中において、前記第2撮像素子から出力される撮像画像に基づいて被検者眼に対する前記装置本体のアライメント状態を検出するアライメント検出手段と、を備えることを特徴とする。本発明によれば、被検者眼の内皮細胞像を確実に取得できる。本発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。図1は、本実施形態に係る角膜内皮細胞撮影装置の外観側方構成図である。装置100は、いわゆる据え置き型の装置であって、基台1と、基台1に取り付けられた顔支持ユニット2と、図示なき摺動機構により基台1上で移動可能に設けられた移動台3と、移動台3に対して移動可能に設けられ、後述する撮影系及び光学系を収納する撮影部装置本体4と、を備える。撮影部4は、移動台3に設けられたXYZ駆動部6により、被検眼Eに対して左右方向X方向、上下方向Y方向及び前後方向Z方向に移動される。移動台3は、ジョイスティック5の操作により、基台1上をXZ方向に移動される。また、検者が回転ノブ5aを回転操作することにより、撮影部4はXYZ駆動部6のY駆動によりY方向に移動される。ジョイスティック5の頂部には、スタートスイッチ5bが設けられている。表示モニタ95は、撮影部4の検者側に設けられている。なお、本実施形態では、図示なき摺動機構又はXYZ駆動部6により撮影部4が眼Eに対して相対的に移動される。図2は、撮影部4に収納された光学系を上方から見たときの光学配置と,制御系の構成の一例を示す概略構成図である。図3は第1投影光学系、第2投影光学系を被検者側からみたときの図である。光学系の全体構成は、照明光源12からの照明光を角膜Ecに向けて斜めから照射する照明光学系10と、内皮細胞を含む角膜Ecからの反射光を第1撮像素子44により受光することにより内皮細胞画像を取得する撮像光学系30と、正面から角膜Ec中心部に向けてアライメント指標を投影する正面投影光学系50と、斜めから角膜Ecに向けて無限遠のアライメント指標を投影する第1投影光学系60a,60bと、複数の斜め方向から角膜Ec周辺部に向けて有限遠のアライメント指標をそれぞれ投影する第2投影光学系65a~65d図3参照、眼Eに対して内部から固視標を投影する内部固視光学系70と、前眼部像を正面から観察する前眼部観察光学系80と、眼Eに対する撮影部4のZ方向におけるアライメント状態を検出するためのZアライメント検出光学系85と、を有する。以下に、個々の具体的構成について説明する。照明光学系10は、内皮撮影用の可視光を発する照明光源例えば、可視LED、フラッシュランプ12、集光レンズ14、スリット板16、可視光反射赤外透過のダイクロイックミラー18、投光レンズ20、を有する。照明光源12から発せられた光は、集光レンズ14を介してスリット板16を照明する。そして、スリット板16を通過したスリット光は、ダイクロイックミラー18を介して投光レンズ20によって収束され、角膜に照射される。ここで、スリット板16と角膜Ecは、対物レンズ20に関して略共役な位置に配置されている。撮像光学系30は、光軸L1に関して照明光学系10と左右対称であり、対物レンズ32、可視光反射赤外透過のダイクロイックミラー34、マスク35、第1結像レンズ36、全反射ミラー38、第2結像レンズ42、内皮細胞像を取得するための専用の第1の二次元撮像素子例えば、二次元CCD、CMOS、等44を有する。マスク35は、対物レンズ32に関して角膜Ecと略共役な位置に配置されている。第1結像レンズ36、及び第2結像レンズ42は、内皮像を撮像素子44上に結像させる結像光学系を形成する。撮像素子44は、撮像光学系30のレンズ系に関して角膜Ecと略共役な位置に配置されている。照明光学系10による角膜反射光は、光軸L3方向斜め方向に向かい、対物レンズ32によって収束された後、ダイクロイックミラー34によって反射され、マスク35にて一旦結像され、内皮細胞像を取得する際にノイズとなる光が遮光される。そして、マスク35を通過した光は、第1結像レンズ36、全反射ミラー38、第2結像レンズ42を介して二次元撮像素子44に結像される。これにより、高倍率の角膜内皮細胞像が取得される。なお、撮像素子44の出力は、制御部90に接続され、取得された細胞像は、メモリ92に記憶される。また、細胞像はモニタ95に表示される。正面投影光学系50は、赤外光源51、投光レンズ53、ハーフミラー55、を有し、XYアライメント検出用の赤外光を観察光軸L1方向から角膜Ecに投影する。光源51から発せられた赤外光は、投光レンズ53により平行光束に変換された後、ハーフミラー55により反射され、角膜Ecの中心部に投影され、指標i10が形成される図4参照。第1投影光学系60a,60bは、光軸L1に対して所定の角度でそれぞれ傾斜して配置されている。第1投影光学系60a,60bは、赤外光源61a、61bと、コリメータレンズ63a、63bと、をそれぞれ有し、光軸L1を挟んで左右対称に配置され、眼Eに対して無限遠の指標を投影する図2参照。なお、第1投影光学系60a,60bは、光軸L1を通る水平方向と略同一経線上に配置されている図3参照。光源61a、61bから出射された光は、コリメータレンズ63a、63bによりそれぞれコリメートされた後、角膜Ecに投影され、指標i20、i30が形成される図4参照。第2投影光学系65a~65dは、光軸L1に対しそれぞれ傾斜して配置されている。第2投影光学系65a~65dは、赤外光源66a~66dをそれぞれ有し、光軸L1を挟んで左右対称に配置され、眼Eに対して有限遠の指標を投影する。なお、第2投影光学系65a、65bは、光軸L1に対して上方に配置され、Y方向に関して互いに同じ高さに配置されている。また、第2投影光学系65c、65dは、光軸L1に対して下方に配置され、Y方向に関して互いに同じ高さに配置されている。また、第2投影光学系65a、65bと、第2投影光学系65c、65dは、光軸L1を挟んで上下対称な関係で配置されている。ここで、光源66a、66bからの光は角膜Ecの上部に向けて斜め上方向から照射され、光源66a、66bの虚像である指標i40、i50が形成される。また、光源66c、66dからの光は角膜Ecの下部に向けて斜め下方向から照射され、光源66c、66dの虚像である指標i60、i70が形成される図4参照。上記のような指標投影光学系によれば、指標i10は、眼Eの角膜頂点に形成される図4参照。また、第1投影光学系60a、60bによる指標i20、i30は、指標i10と同じ水平位置において、指標i10に関し左右対称に形成される。さらに、第2投影光学系65a、65bによる指標i40、i50は、指標i10より上方において、指標i10に関し左右対称に形成される。第2投影光学系65c、65dによる指標i60、i70は、指標i10より下方において、指標i10に関し左右対称に形成される。内部固視光学系70は、可視光源固視灯71、投光レンズ73、可視反射赤外透過のダイクロイックミラー74、を有し、眼Eを正面方向に固視させるための光を眼Eに投影する。光源71から発せられた可視光は、投光レンズ73により平行光束に変換された後、ダイクロイックミラー75により反射され、眼Eの眼底に投影される。また、図示無き外部固視光学系が前述の第1投影光学系及び第2投影光学系の近傍に配置される。図2に戻る。前眼部観察光学系80は、対物レンズ82、前眼部正面像を取得するための二次元撮像素子84、を有し、第1の撮像素子44とは異なる第2の撮像素子84を有し、前眼部像及びアライメント指標を第2撮像素子84により撮像する。二次元撮像素子84としては、例えば、2次元CCDイメージセンサChargecoupleddeviceimagesensor、二次元CMOSComplementaryMetalOxideSemiconductorImageSensorが用いられる。図示なき前眼部照明光源により照明された前眼部は、ダイクロイックミラー75、ハーフミラー55、対物レンズ82を介して二次元撮像素子84に撮像される。また、同様に、正面投影光学系50、第1投影光学系60a,60bと、第2投影光学系65a~65d、による角膜反射像は二次元撮像素子84に受光される。撮像素子84の出力は制御部90に接続され、図4に示すように、モニタ95には、撮像素子84によって撮像された前眼部像が表示される。なお、モニタ95上に電子的に表示されるレチクルLTは、XYアライメントの基準を示している。なお、観察光学系80は、眼Eに対する撮影部4のアライメント状態アライメントのずれ方向/偏位量を検出するための検出光学系を兼用する。Zアライメント検出光学系85は、角膜Ecに向けて斜め方向から検出用光束を投光する投光光学系85aと、投光光学系85aによる角膜反射光束を受光する受光光学系85bと、を有する。そして、投光光学系85aの光軸L2と受光光学系85bの光軸L3は、観察光軸L1に関して左右対称な位置に配置される。投光光学系85aは、例えば、赤外光を発する照明光源86、集光レンズ87、ピンホール板88、レンズ20からなる。ここで、ピンホール板88と角膜Ecは、レンズ20に関して略共役な位置に配置される。受光光学系85bは、例えば、レンズ32、一次元受光素子ラインセンサ89からなる。ここで、一次元受光素子89と角膜Ecは、レンズ32に関して略共役な位置に配置される。光源86から出射された赤外光は、集光レンズ87を介してピンホール板88を照明する。そして、ピンホール板88の開口を通過した光は、レンズ20を介して角膜Ecに投光される。そして、その角膜反射光は、レンズ32、ダイクロイックミラー34を介して受光素子89にて受光される。受光素子89の出力は制御部90に接続され、眼Eに対するZアライメント検出に利用される。ここで、受光素子89上に受光されるアライメント光束は、Z方向における撮影部4と眼Eとの位置関係によって受光位置が変化される。例えば、制御部90は、受光素子89からの検出信号において角膜反射光の位置を検出し、Z方向のアライメント状態を検出する。なお、受光素子89を用いたアライメント検出は、眼Eに対する精密なアライメントのために利用される。制御部90は、装置全体の制御を行う。そして、制御部90には、回転ノブ5a、スタートスイッチ5b、XYZ駆動部6、二次元撮像素子44、84、各光源、記憶手段としてのメモリ92、モニタ95、が接続されている。例えば、制御部90は、モニタ95の表示を制御する。また、制御部90は、アライメント指標の受光結果に基づいてXYZ方向における眼Eに対する撮影部4のアライメント状態を検出する。そして、制御部90は、その検出結果に基づいて撮影部4の移動を指令する信号を出力する。また、制御部90は、受光素子89の受光結果に基づいて眼Eに対する撮影部4のZ方向のアライメント状態を検出する。以上のような構成を備える装置において、その動作について説明する。装置100では、XYZアライメントを行った後、撮像部4を前進させながら内皮細胞を連続的に複数枚撮影する。以下、各動作について詳細に説明する。<XYZアライメント>図4A,Bは角膜中心部の内皮を撮影する場合の前眼部観察画面の一例を示す図であり、図4Aはアライメントずれがある場合の表示例であり、図4Bはアライメントが適正な状態における表示例である。この場合、光源71が点灯され、眼Eの固視方向が正面に誘導される。まず、検者は、被検者に固視標を注視させる。また、モニタ95に表示された前眼部像を観察しながら、眼Eに対する撮影部4のアライメントを行う。上記のようにしてラフなアライメント指標i40、i50、i60、i70がモニタ95に表示されるまでの検者による手動のアライメントが行われると、図4Aに示すように、拡散光による角膜指標像が撮像素子64の受光面に検出される。制御部90は、画像の左上の座標位置から、画面の右下に向かって輝点を探索する。そして、指標i40、i50、i60、i70が検出されるようになると、制御部90は、検出された輝点の位置を検出する。そして、制御部90は、指標i40、i50、i60、i70からなる矩形の中心位置を略角膜頂点として検出し、XY方向における眼Eに対する撮影部4のアライメントずれ方向/偏位量を検出する。そして、制御部90は、駆動部6の駆動を制御し、アライメントずれが所定のアライメント許容範囲例えば、指標i10が検出される範囲に入るように撮影部4をXY方向に移動させる。これにより、広範囲での自動アライメントが可能となる。以上のようにして撮影部4が移動され、指標i10が検出されると、制御部90は、上記指標i40~i70によるアライメントを終了し、指標i10を用いたアライメントを行う。ここで、制御部90は、指標i10と、指標i40~i70とをその位置関係から判別する。そして、制御部90は、指標i10の座標位置を略角膜頂点として検出し、XY方向における眼Eに対する撮影部4のアライメントずれ方向/偏位量を検出する。そして、制御部90は、駆動部6の駆動を制御し、アライメントずれが所定のアライメント許容範囲内に入る例えば、指標i10がレチクルLT内に位置するように撮影部4をXY方向に移動させる。また、上記のようにして指標i10が検出されるようになると、同様に、無限遠の指標i20、i30が検出される。そこで、制御部90は、前述のように検出される無限遠の指標i20、i30の間隔と有限遠の指標i60、i70の間隔とを比較することによりZ方向のアライメントずれ方向/偏位量を求める第1のアライメント検出。そして、制御部90は、Z方向の眼Eに対する撮影部4のアライメントずれが所定のアライメント許容範囲例えば、無限遠の指標i20、i30の中心輝点と有限遠の指標i60、i70の中心輝点との差がプラスマイナス1ピクセル内寸法として±0.1mm程度に入るように撮影部4をZ方向に移動させる第1自動アライメント。この場合、制御部90は、測定部3が作動距離方向にずれた場合に、前述の無限遠指標i20、i30の間隔がほとんど変化しないのに対して、有限遠の指標像i60、i70の像間隔が変化するという特性を利用して、Z方向のアライメントずれを求める詳しくは、特開平6-46999号参照。なお、指標像i60、i70の代わりに、指標像i40、i50が利用されてもよい。また、光軸L1からの指標の距離指標高さに基づいてZアライメントが検出されてもよい。そして、制御部90は、第1のZアライメント検出においてアライメント状態が適正と判定されると、第1自動アライメントの作動を停止し、検出光学系85を用いた第2のZアライメント検出及びその検出結果に基づく第2の自動アライメントを作動させる。制御部90は、光源86を点灯させアライメント光束を角膜Ecに投光する光源86を予め点灯させていてもよいと共に、その角膜反射光束を受光素子89にて検出する。そして、制御部90は、受光素子89からの受光結果に基づいて駆動部6の駆動を制御し、撮影部4をZ方向に移動させる。例えば、制御部90は、受光素子89から出力される受光信号に基づいて角膜上皮からの反射光束に対応するピークPを検出し、受光素子89上における上皮ピークの位置Pzを検出する図5参照。そして、制御部90は、上皮からの反射光束による受光信号のピークが受光素子89上の所定位置例えば、中心位置にくるように駆動部6を駆動させる。前述したアライメント動作によって、XYZ方向のアライメント状態がアライメント完了の条件を満たしたら、制御部90は、XYZ方向のアライメントが合致したと判定し、トリガ信号を発する。<内皮細胞の撮影>制御部90は、トリガ信号が発せられると、照明光源12を連続的に点灯させ、可視照明光による角膜内皮細胞像を二次元撮像素子44にて取得する。このとき、制御部90は、上皮反射光が検出され、内皮反射光が検出されない程度の光量にて光源12を発光させるのが好ましい。その後、制御部90は、光源12を点灯させると共に、駆動部6の駆動を制御して、撮影部4を眼Eに向かって前進させていく。この撮影部4のZ方向への移動中において、制御部90は、XY方向における自動アライメントの作動撮像素子84を用いた追尾制御を継続する。制御部90は、撮像素子44からの出力画像を検出し、検出結果に基づいて光源12及び駆動部6を制御する。図6は撮像素子44からの出力画像に基づいて角膜画像の受光状態を判定する際の一例を示す図である。図6において、中央の白い矩形領域は、撮像素子44より前方に配置されたマスク35の開口部に対応し、左右の黒いハッチングは、マスク35の遮光部に対応する。例えば、制御部90は、角膜画像の受光状態を検出するため、角膜の厚み方向図6のZ方向に対して直交方向に延びる第1検出領域Lc1と、第2検出領域Lc2を設定する。第1検出領域Lc1は上皮反射光の受光状態を検出するために設定され、第2検出領域Lc2は内皮反射光の受光状態を検出するために設定されている。制御部90は、第1検出領域Lc1内の各画素の輝度の合計値SLC1を算出する。また、第2検出領域Lc2内の各画素の輝度の合計値SLC2を算出する。図7A~Cは、撮撮部4が前進されるときの角膜反射光の受光状態の変化を示す図であり、図8A,Bは、撮影部4が前進されるときの合計値SLC1とSLC2の変化を時系列で表すグラフである。図8Aは合計値SLC1、図8Bは合計値SLC2に対応する。図7Aは、XYZ方向のアライメントが完了されたときの図である。このとき、第1領域Lc1上に上皮反射光Epが受光された状態となる。このため、第1の合計値SLC1は、上皮反射に対応する高い値が算出される図8A参照。そして、撮影部4が前進されると、上皮反射光Epは、図7A~Cの紙面の右方向へと移動される。そして、上皮反射光Epが検出領域Lc1を過ぎると、合計値SLC1が大きく減少する図7B、図8Aの傾斜A参照。そして、制御部90は、所定の閾値S1より合計値SLC1が下回ったとき、撮像素子44からの出力画像において内皮画像が現出される程度まで光源12の光量を増加させる。これにより、内皮反射光Enが撮像素子44によって検出可能となる。光源12の光量増加後、制御部90は、撮影部4の前進動作を継続させ、撮像素子44から連続的に出力される画像を随時メモリ92に記憶させていく。二次元撮像素子44は、そのフレームレートに合わせて撮像信号を随時制御部90に出力する。これにより、内皮の撮像画像が1~2秒間に複数例えば、30~40枚程度取得される。そして、制御部90は、出力画像の内、ある条件例えば、内皮細胞像が適正に取得されているを満たす画像を静止画としてメモリ92に記憶させる。これにより、内皮細胞像が撮影される。この場合、制御部90は、予め設定された所定枚数をメモリ92に記憶するようにしてもよい。そして、制御部90は、メモリ92に記憶された撮影画像をモニタ95に出力する。撮影部4が前進されると、内皮反射光Enは、画像中の右方向へと移動される図7A~C参照。そして、内皮反射光Enが第2検出領域Lc2に達すると、合計値SLC2が上昇する図8Bの傾斜B参照。そして、第2検出領域Lc2上で内皮反射光Enが受光されている間は、高い値が位置される。さらに、撮影部4が前進され、内皮反射光Enが検出領域Lc2を過ぎると、合計値SLC2は、大きく減少する図7C、図8Bの傾斜C参照。制御部90は、所定の閾値S2より合計値が下回ったとき、光源12を減光消灯を含むすると共に、駆動部6の駆動を停止させ、撮影部4の前進動作を停止させる。なお、光源12を連続的に発光させる手法としては、光源12を常時点灯させる手法の他、光源12を連続的に点滅させる手法が含まれる。光源12を連続的に点滅させる場合、例えば、制御部90は、撮影部4の移動中に複数枚の内皮画像を取得できるように点滅される。また、光源12は、二次元撮像素子44のフレームレートに同期して連続的に点滅されてもよい。例えば、一枚の撮像時間が30msの場合、画像の取得開始から数msの間、光源12が点灯され、その後、消灯される。そして、次の画像の取得が開始されると、光源12が点灯される。すなわち、このような点滅動作が繰り返される。なお、これらに限定されず、制御部90は、撮像素子44によって複数の内皮画像が得られるように、光源12を複数回発光させる制御もちろん連続的発光も含むであればよい。<撮影中における前眼部観察用の二次元撮像素子を用いた追尾制御>上記のように内皮細胞像を連続的に取得する場合、その途中で眼Eが動いてしまい、適正な細胞像が得られない場合がある。そこで、制御部90は、撮像画像の取得中においてにおいて、撮像素子84から出力される撮像画像に基づいて眼Eに対する撮影部4のアライメント状態を検出する。制御部90は、アライメント検出結果がアライメント許容範囲から外れたとき例えば、X方向に0.25mm以上、Y方向に0.5mm以上ずれた場合、アライメント適正位置へ撮影部4を復帰させるように駆動部6の駆動を制御する。すなわち、制御部90は、前眼部観察用の撮像素子84を用いた自動アライメントを行う。例えば、制御部90は、光源12の点灯後においても、撮像画像中の指標i10を検出し、XY方向におけるアライメントずれを検出する。そして、制御部90は、その検出結果が所定のアライメント許容範囲から外れたとき、駆動部6の駆動を制御し、アライメントずれが所定のアライメント許容範囲内に入るように撮影部4をXY方向に移動させる。これにより、眼Eがアライメント適正位置からずれてしまっても、撮影部4と眼Eは適正な位置関係にスムーズに復帰される。すなわち、細胞像の連続取得中における自動追尾制御が可能となる。また、指標i10は正面方向からの平行光束によって形成されるため、アライメントが大きくずれると、撮像素子84に受光されなくなる。そこで、制御部90は、撮像画像中の指標i40、i50、i60、i70を検出し、XY方向におけるアライメントずれを検出する。そして、制御部90は、駆動部6の駆動を制御し、アライメントずれが所定のアライメント許容範囲に入るように撮影部4をXY方向に移動させる。これにより、眼Eがアライメント適正位置から大きく外れて、従来のようにポジションセンサを用いて自動アライメントを行う場合には復帰不可能となるような場合であっても、撮影部4と眼Eは適正な位置関係にスムーズに復帰される。すなわち、細胞像の連続取得中における広範囲での自動追尾制御が可能となる。このように、前眼部観察用の二次元撮像素子84を用いてXYアライメントを行う場合、広範囲での自動追尾制御が可能となるが、復帰時間がポジションセンサを用いた場合に比べ遅くなる。そのため、所定時間例えば1~2秒程度内に所定枚数例えば、30~40枚程度の内皮細胞を撮影することができないおそれがある。そこで、アライメント適正位置までの復帰時間を調べた。具体的には、指標i40,i50,i60,i70の中心輝点が適正位置から3.2mmポジションセンサーの検出限界範囲ずらし、適正位置に復帰するまでの時間を計測した。その結果を図9に示す。図9から明らかなように、復帰時間は平均で0.62秒であり、眼Eがアライメント適正位置から大きく外れて場合であっても、所定時間例えば1~2秒程度内に所定枚数例えば、30~40枚程度の内皮細胞を十分に撮影することができることが確認された。これにより、眼Eがアライメント適正位置から大きく外れてしまい、従来では撮影をやり直す必要があり内皮細胞の撮影に長い時間を要していたような場合でも、撮影をやり直す必要がなく短時間で撮影が終了するため、被検者への負担を軽減することができる。なお、上記の自動追尾制御が実施されると、制御部90は、撮影部4の前進動作を一旦停止し、適正位置まで復帰した後に撮影部4の前進動作を再開して、撮像素子44上の内皮画像の位置が所定の撮影終了位置に達するまで撮像素子44を用いて細胞像を連続取得する。つまり、XY方向に関するアライメント復帰制御が実施される間アライメント適正位置へ装置本体が復帰させられるまで、撮像素子44から出力される細胞像の取得は中断される。これにより、良好な内皮細胞像のみを取得することができる。また、制御部90は、角膜上部に形成される指標i40、指標i50を用いて瞼睫による光束のケラレを検知し、その検知結果に基づいて開瞼状態を判定するようにしてもよい。例えば、制御部90は、指標i40、指標i50の少なくともいずれかが撮像素子84から消える、又は指標i40、指標i50の一部に欠けが検出されたとき、角膜内皮取得用の照明光及び反射光が瞼睫によって遮断される可能性があると判断し、開瞼状態が不十分と判定する。これにより、細胞像の連続取得中において眼Eの開瞼状態が適正か否かが判定される。この判定結果は、随時取得される細胞画像と対応付けられ、例えば、細胞画像の取捨選択に利用される。上記復帰制御において、前眼部観察光学系80の場合、眼Eの角膜中心と光軸L1が一致されたときに少なくとも眼Eの瞳孔、虹彩、強膜好ましくは、瞼、睫が撮像範囲に含まれるような広い撮像範囲例えば、縦11mm×横15mmを持っている。いいかえれば、従来のアライメント検出センサとして用いられたポジションセンサーの撮像範囲例えば、縦6.4mm×横6.4mmと比較して撮像範囲が大きい。したがって、専用の撮像素子を用いた内皮画像の連続取得と同時に、観察光学系80の撮像素子84を用いてアライメントを検出することにより、ポジションセンサーの検出範囲を超える程、アライメントが大きく外れても自動アライメントが作動される。このため、固視が安定しない眼であっても、内皮細胞像を確実に取得できる。二次元撮像素子84によって得られた撮像画像に基づいてアライメント指標を検出することにより、二次元画像データとしてアライメント指標が取得される。したがって、図3のように点状指標が複数投影される場合、又はリング状指標、ライン上指標などの二次元パターン像が眼Eに投影される場合であっても、画像処理によって各指標像の特定、各指標像を用いたアライメント検出が容易に行われる。例えば、複数の指標の位置関係、指標パターンの形状、などから指標像が判別される。また、開瞼状態の検知が可能である。また、アライメント輝点と外乱光との判別が容易である。<撮影中における受光素子89を用いたZ方向に関する自動追尾制御>上記細胞像の連続取得中において、XY方向に関してアライメントが大きくずれた場合、Z方向に関するアライメントも大きくずれてしまう可能性がある。そこで、制御部90は、XY自動アライメントと共に、Z方向に関するアライメント復帰制御を行うようにしてもよい。この場合には、Z方向に関するアライメント復帰制御が実施される間アライメント適正位置へ装置本体が復帰させられるまで、撮像素子44から出力される細胞像の取得は中断される。これにより、良好な内皮細胞像のみを取得することができる。制御部90は、例えば、眼Eに対する撮影部4のアライメント状態が許容範囲から外れる前のアライメント位置情報を受光素子89の受光結果に基づいて取得し、元のアライメント位置に撮影部4を復帰させるように駆動部6の駆動を制御する。ここで、制御部90は、XY方向のアライメントずれが許容範囲から外れる前のZ方向のアライメント位置をメモリ92に記憶しておく、また、駆動部6による前進動作を一旦停止する。そして、制御部90は、XY自動アライメントと同時、又はXYアライメント完了後において、メモリ92に記憶された位置情報に基づいて駆動部6を駆動させ、アライメントが外れる前のアライメント位置に向けて撮影部4をZ方向に移動させる。例えば、制御部90は、細胞像取得中において撮像素子84から出力される撮像信号に基づいてアライメント指標の位置を検出すると共に、受光素子89上における上皮ピークの位置を検出する。このとき、上皮ピークは、撮影部4の前進動作に合わせて受光素子89上で移動する。ここで、眼Eが動いて、撮像素子84にて検出されるXYアライメントずれが許容範囲から外れたとき、制御部90は、許容範囲から外れる前好ましくは直前の上皮ピークの位置をメモリ92に記憶しておく。この場合、ピークが検出された画素位置であっても良いし、受光素子89上の所定位置とピーク検出位置とのずれ量であってもよい。そして、復帰動作を行う場合、制御部90は、上記のようにXYアライメントずれが許容範囲内になるように駆動部6を制御して撮影部4をXY移動させると共に、受光素子89上における上皮ピークがメモリ92に記憶された位置又はその近傍にて検出されるように撮影部4をZ移動させる。そして、上記復帰動作が完了すると、制御部90は、撮影部4の前進動作を再開し、受光素子89上の上皮ピークの位置が所定の撮影終了位置に達するまで撮像素子44を用いて細胞像を連続取得する。なお、制御部90は、アライメントずれが許容範囲から外れたとき、光源12を一旦消灯し、アライメントずれが許容範囲に達したことが検知されたとき、光源12を再点灯するようにしてもよい。このようにすれば、可視光源による被検者眼の負担が軽減される。なお、上記説明においては、撮像素子84を用いてアライメントずれのタイミングを検知したが、これに限るものではない。眼Eが動いたとき、受光素子89上におけるピーク位置の変化が前述の撮影部4の前進とは異なる。そこで、制御部90は、例えば、単位時間当たりのピーク位置の変化量を随時検出し、その変化量が所定範囲から外れたとき、XY方向のアライメントずれが生じたと判定するようにしてもよい。そして、制御部90は、ずれが生じる前の受光素子89上のピーク位置に基づいて眼Eに対する撮影部4の復帰制御を行うようにしてもよい。なお、受光素子89によるアライメント検出について、内皮反射に対応するピークを検出するようにしてもよい。また、細胞像を連続取得するとき、撮影部4を前進させる構成としたが、もちろん撮影部4を後退しながら像を取得してもよい。また、制御部90は、上記受光素子89を用いた復帰制御に加えて、Zアライメントが大きく外れたときに撮像素子84を用いたZ方向の自動アライメントを作動させるようにしてもよい。なお、上記構成においては、アライメント指標を用いてアライメント状態を検出する構成としたが、撮像素子から出力される撮像信号に基づいてアライメントが検出されればよい。例えば、制御部90は、前眼部画像中の特徴部位例えば、瞳孔、虹彩を画像処理により抽出し、抽出された特徴部位を用いて位置ずれを検出するようにしてもよい。なお、上記構成は、前眼部観察及びアライメント検出のために同一の二次元撮像素子を用いた。ただし、これに限るものでなく、前眼部観察、アライメント検出のための二次元撮像素子を別に設けてもよい。例えば、レンズ82と撮像素子84との間に光分割部材例えば、ハーフミラーが配置され、アライメントを検出するための二次元撮像素子が光分割部材の反射方向に配置される。"