"振動発生装置202により検査対象物101に振動を加えながら、前記振動発生装置202に固定された加速度検出器207で前記振動発生装置202の加速度を検出する検査方法。前記振動発生装置202が前記検査対象物101に振動を加えながら、前記検査対象物101の表面に沿って前記振動発生装置202を所定の方向に移動させることを特徴とする、請求項1の検査方法。前記振動の振動数が前記検査対象物101に含まれる欠陥に対応した前記検査対象物の固有振動数であることを特徴とする、請求項1又は2の検査方法。前記検査対象物が単一材料からなり、前記欠陥が前記単一材料の検査対象物の内部に含まれていることを特徴とする請求項3の検査方法。前記検査対象物が、第1の材料からなる第1層102と第2の材料からなる第2層103とを接合して構成されており、前記欠陥が前記第1の層102と前記第2の層103の剥離部105であることを特徴とする請求項3の検査方法。振動発生装置202と、前記振動発生装置202に固定された加速度検出器207を備えたことを特徴とする検査システム。前記加速度検出器207が前記振動発生装置202の可動部205に固定されていることを特徴とする請求項6の検査システム。前記振動発生装置の出力を制御する制御装置206と、前記加速度検出器の出力を表示する表示装置207を備えたことを特徴とする請求項7の検査システム。前記振動発生装置202を所定方向に案内するガイド手段201を備えたことを特徴とする請求項8の検査システム。前記ガイド手段201によって前記振動発生装置202が案内される所定方向は、前記可動部205の振動方向と直交していることを特徴とする請求項9の特性検査システム。そこで、本発明は、対象物に含まれる欠陥等、例えば異種材料を接合して構成された構造物又は成形品の接合面における接合不良又は空洞等の有無及びその大きさを確認する方法とシステムを提供することを目的とする。具体的に、本発明に係る検査方法は、振動発生装置202により検査対象物101に振動を加えながら、前記振動発生装置202に固定された加速度検出器207で前記振動発生装置202の加速度を検出することを特徴とする。また、本発明に係る検査システムは、振動発生装置202と、前記振動発生装置202に固定された加速度検出器207を備えたことを特徴とする。これらの検査方法と検査システムによれば、対象物に含まれる欠陥等、例えば異種材料を接合して構成された構造物又は成形品の接合面における接合不良又は空洞等の有無及びその大きさを非破壊で確認できる。以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。1.検査対象物:図1は、本発明に係る検査方法と検査システムを用いて検査される対象物101の一例を示す。図示する例において、対象物101は、第1の材料からなる第1の層102と第2の材料からなる第2の層103を接合して構成されている。例えば、金属鉄、ステンレス、アルミニウム等。合金も含む。、非金属セメントペースト、モルタル、コンクリート、セラミックス、ガラス等、樹脂天然樹脂、合成樹脂等の任意の異種材料の組み合わせ鉄とアルミニウム、鉄とコンクリート、鉄と樹脂、コンクリートとセラミック、天然樹脂と合成樹脂の組み合わせも含む。又は同種材料の組み合わせ同じ樹脂からなる板を貼り合わせたものである。なお、図面上は第1の層102の厚さが第2の層103の厚さよりも小さく表示されているが、第1の層102と第2の層103の厚さは同じであってもよいし、第1の層102が第2の層103よりも厚くてもよい。第1の層102と第2の層103は、それらの境界面104で接合される。接合方法の具体的手段接着剤、熱接着等は限定されないが、層を構成する材料の性質に依存する。例えば、対象物101が、第1の金属からなる板と第2の金属からなる板を接合して構成されている場合、両者は適当な接着剤を用いて接着することが好ましい。また、対象物が鉄等の金属板とコンクリートを組み合わせて構成される物例えば、高速道路の床版の場合、打設したコンクリートの上にまず接着剤を塗布し、その上に金属板を設置する。逆に、金属板を型枠として利用し、この金属板の上にコンクリートを打設してもよい。図2は、図1に示す対象物101において、第1の層102と第2の層103の境界面104に非接合部剥離部105が存在することを仮想した図である。図において、剥離部105は、図2iの横方向と縦方向に所定の長さを有する長方形を有するものとしてある。なお、図2iiでは、剥離部105の存在を明確にするために、剥離部105が所定の厚みを有するものとして誇張して表示されているが、実際の剥離部は非常に厚みの小さいものであること、又は厚みが実質的にゼロであることが多い。2.考察1振動数に関する理論と実験剥離部の固有振動数に関して理論と実験の両面から考察を行った。図3は考察1に用いた対象物101’を示す。対象物101’は、金属板第1の層102’とコンクリート第2の層103’を組み合わせた供試体で、すでに打設したコンクリート103’に金属板102’を貼り合わせて構成したものである。コンクリート103’に金属板102’を貼り合わせるにあたっては、剥離部105’に対応する領域以外の領域接合領域106’ではコンクリート103’の上に接着剤例えば、エポキシ系接着剤を塗布した上で金属板102’を貼り合わせる一方で、剥離部105’に対応する領域ではコンクリート103’の上に接着剤を塗布することなく金属板102’を重ねることによって剥離部105’を形成した。各部の寸法は以下の表1のとおりである。剥離部105’を覆う鉄板部分は四辺単純支持構造の平板に例えることができ、その場合、剥離部鉄板部分図3iにおいて点線で囲まれた領域の固有振動数振動数fmnは数式1、2から320.71Hz理論値と与えられる。理論値振動数を計算するにあたって仮定した四辺単純支持構造平板の境界条件が適正であったか否か実験で検証した。図3iiに示すように、検査システム200は、第1の層金属板102’の表面と所定の間隔をあけて平行に且つ図の左右方向に配置されたガイドレール201と、ガイドレール201に沿って移動する振動発生装置202で構成した。詳細な図面は省略するが、振動発生装置202は、例えば動電型振動装置で、中空筒状の筐体203と、該筐体203の中心軸204周りに固定配置された励磁コイルと、中心軸204に沿って移動可能に配置された可動部205と、該可動部205の中心軸周りに固定された可動部コイルを有し、励磁コイルに印加される交流電力の周波数に応じて可動部が振動往復動作するように構成されたもので、可動部205の振動方向を対象物101’の表面に垂直な方向図3iiのZ軸方向に向けて、また、可動部205の先端が振動中常時金属板102’に接触するように配置した。振動発生装置202の駆動時に金属板102’が振動する加振方向図3iiの上下方向の加速度を検出するために、金属板102’の表面に加速度検出器加速度センサ206を固定した。そして、振動発生装置202を振動制御部208に接続し、加速度検出器206を出力装置209に接続した。金属板102’に振動を加えるにあたって、振動発生装置202の振動数を120Hz,220Hz,320Hz,420Hz,520Hzに設定し、図3iに示すy=±0mmNo.0の線に沿って、それぞれの振動数で振動発生装置202を右側の接合領域106’から中央の剥離部105’に向けて移動し、そのときの金属板102’の加速度を加速度検出器206で計測した。結果を図4に示す。これらの図から分かるように、振動数が120Hzの場合、加速度検出器で検出された加速度に変化は見られなかった。振動数が220Hzの場合、振動発生装置可動部が接合領域と非接合領域の境界を越えて非接合領域にある程度侵入した時点から加速度の上昇が見られたが、上昇の程度は僅かであった。振動数が320Hzの場合、可動部が非接合領域にある程度入った時点から大きく加速度が上昇し、最大加速度は約50m/s2に達した。振動数が420Hzの場合、振動数が320Hzのときの加速度変化とほぼ同じような変化が見られ、最大加速度は約50m/s2に達した。また、可動部が接合領域に存在する状態で計測された加速度は振動数120,220,320Hzの場合の加速度よりも大きかった。振動数が520Hzの場合、可動部が接合領域に存在する状態で最大加速度が計測され、その後、可動部が非接合領域に侵入すると次第に加速度が低下した。以上の結果より、特に、振動数が320Hzと420Hzの結果を参照すると明らかなように、剥離部105’を覆う鉄板部分を四辺単純支持構造の平板に例えて計算した理論値320Hz及びその計算に用いた境界条件はほぼ実情を反映しているものと理解できる。また、図4vの実験結果から明らかなように、振動発生装置の出力振動数が剥離部の固有振動数よりも大きい場合、剥離部の存在が検出できないことがわかった。3.考察2加速度の計測図5に示すように、考察1で使用した供試体を使用し、振動発生装置202の可動部205と金属板102’にそれぞれ加速検出器207,206を固定し、振動発生装置202の振動数を320Hzに設定し、両加速度検出器206,207の出力を記録した。なお、実験では、X方向ガイドレールをy方向に移動し、y=±0mmNo.0、y=40mmNo.1、y=110mmNo.2の各位置において、加振方向z軸方向の加速度を計測した。その他の条件は実験1と同じである。実験2の結果を図6に示す。図示するように、供試体に固定した加速度検出器206では、No.0y=±0mm、No.2y=110mmの計測において、可動部が非接合領域にある程度侵入した時点から加速度検出値が上昇する傾向が見られた。これに対し、振動発生装置の可動部に固定した加速度検出器では、いずれの計測においても、可動部が非接合領域にある程度侵入した時点から計測値が大幅に上昇し、上昇の程度は前者の約2~3倍であった。以上より、加速度検出器は、計測の対象物に固定するよりも振動発生装置の可動部に固定する方が、より正確に非接合部の存在及びその位置を検出できることが確認された。4.実施例図7は、本発明に係る検査システム200を示す。既に説明したように、検査システム200は、検査対象物100の表面と所定の間隔をあけてこれに平行に配置されるガイドレール201と、ガイドレール201に沿って移動する振動発生装置202を有する。振動発生装置202には、市販されている種々の振動発生装置が使用できる。例えば、有限会社旭製作所からBigWaveの商品名で提供されている小型振動試験機最大振幅15mmpp、本体重量15kg、最大出力200VA、加振力200N、周波数範囲DC~5000Hz、最大加速度285ms2が好適に利用できる。そして、振動発生装置202は、可動部205の振動方向軸方向204を対象物101の表面に垂直な方向に向けて、また、可動部205の先端が振動中常時対象物100に接触するように配置される。加速度検出器加速度センサ207は、振動発生装置202の可動部205に固定される。例えば、株式会社東陽テクニカからICP加速度計の商品名で提供されている加速度センサ感度1mV、周波数範囲05Hz~6kHz、測定レンジ±5000ms2、重さ105グラムが好適に利用できる。そして、振動発生装置202は振動制御部208に接続され、加速度検出器206は出力装置209に接続される。振動発生装置202が発生する振動の振動数は、対象物における剥離部の大きさによって決まる。しかし、通常、剥離部の対象物表面からの深さや面状の大きさ広がりを外観から推定することは難しい。そこで、対象物100を図示する状態に設置し、複数の振動数で振動発生装置202を駆動するとともに、各振動数において振動発生装置202をガイドレール201に沿って移動し、加速度検出器で検出される加速度の時間的変化を記録する。そして、複数の測定結果から、剥離部の有無と大きさを確認する。このような剥離部の確認は、連続的に振動数を変化させる掃引加振によっても行える。例えば、図4、6に示すように、剥離部が存在すれば、加速度検出器で検出される加速度が大きく変化する。したがって、加速度検出器の出力を観察することによって剥離部の有無が確認できるとともに、複数の周波数について測定された加速度検出結果から、剥離部の固有振動数が推定でき、剥離部の対象物表面からの深さや面状の大きさについても推定できる。また、可動部が非剥離部から剥離部に移動すると加速度検出器の出力が大きく変化することを確認することによって、剥離部と非剥離部の境界付近を推定できる。なお、本発明の方法とシステムが対象とする検査対象物100は、複数の部材例えば、第1の層と第2の層を組み合わせて構成されたもの組み合わせ部材であってもよいし、単一材料からなる単一部材であってもよい。また、検査対象物100に含まれる欠陥には、組み合わせ部材では接合不良剥離部、境界面又は各部材に含まれる空洞又は密度が他の領域の密度と異なる部分密度異常部が含まれ、単一部材では当該単一部材の内部に含まれる空洞又は密度異常部が含まれる。"