長尺シート状のワークを連続して化学処理槽に搬入して化学処理する化学処理装置において、リールに巻かれた長尺シート状のワークを連続的に供給するワーク供給装置と化学処理されたワークを連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置を、ワークの化学処理槽搬入時にワークの少なくとも上端をクランプする搬送クランプ群を有し、かつ一対の折り返しプーリーを備えてエンドレスループを構成するエンドレスベルトの片側に配置し、めっき処理における前処理槽と後処理槽とにより、前記ワーク供給装置及びワーク巻取装置の両者を挟み込む位置で、かつ同じエンドレスベルト側の位置に、前記前処理槽、ワーク供給装置、ワーク巻取装置、及び後処理槽を配置し、対向するエンドレスベルト側に化学処理槽を設けた構造を特徴とする化学処理装置。長尺シート状のワークを連続して化学処理槽に搬入して化学処理する化学処理装置において、前記ワークの化学処理槽搬入時にワークの少なくとも上端をクランプする搬送クランプ群を有する一対のエンドレスベルトを備え、前記エンドレスベルトの片側に化学処理槽を配し、対向するエンドレスベルト側に化学処理の前処理を行う前処理槽と後処理を行う後処理槽を配して、前記ワークが連続的に前処理槽に搬入される位置に配置されるワーク供給装置と、後処理槽を搬出されたワークが連続的にリールに巻き取られる位置に配置されるワーク巻取装置を有することを特徴とする化学処理装置。前記化学処理槽が、ワークを搬入してめっき処理する際に、少なくとも上端を前記搬送クランプ群により把持して鉛直状態としたワークのワーク面に化学処理を施す化学処理槽であり、前記ワーク巻取装置が、ワークを巻き取る際に、前記ワークを水平状態とした後に巻き取る巻取装置であることを特徴とする請求項1又は2記載の化学処理装置。前記折り返しプーリーに、エンドレスベルトの移動に伴い前記エンドレスベルトに備えられた搬送クランプ群のクランプが着脱自在に嵌合するクランプ脱着部位を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の化学処理装置。請求項1から4のいずれか1項に記載の化学処理装置の、前記後処理槽と前記ワーク巻取装置の間に、低張力熱処理装置を備えることを特徴とするめっき装置。ワークを化学処理槽に搬入してめっき処理する際に、少なくとも上端を端搬送クランプ群により把持してワークを鉛直状態としてワーク面にめっきを施し、後処理槽での後処理を施したワークを巻き取る前に、前記ワークに低張力熱処理を施し、低張力熱処理を施したワークを水平状態とした後にワーク巻取装置により巻き取ることを特徴とする請求項5に記載のめっき装置を用いためっき処理方法。前記低張力熱処理が、めっきを施されたワークを5N以下の低張力状態で、前記めっきが再結晶する熱処理であることを特徴とする請求項6記載のめっき処理方法。本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、小型で、生産性向上に優れた化学処理装置、めっき装置およびその装置を用いためっき処理方法を提供することを目的とする。このような課題を解決する本発明の第1の発明は、長尺シート状のワークを連続して化学処理槽に搬入して化学処理する化学処理装置において、リールに巻かれた長尺シート状のワークを連続的に供給するワーク供給装置と、化学処理されたワークを連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置を、ワークの化学処理槽搬入時にワークの少なくとも上端をクランプする上端搬送クランプ群を有する一対のエンドレスベルトの片側に配置し、化学処理における前処理槽と後処理槽を、ワーク供給装置及びワーク巻取装置の両者を挟み込む配置で、かつ同じエンドレスベルト側の位置に前処理槽、ワーク供給装置、ワーク巻取装置、及び後処理槽を配置し、対向するエンドレスベルト側に化学処理槽を設けた構造を特徴とするものである。本発明の第2の発明は、長尺シート状のワークを連続して化学処理槽に搬入して化学処理する化学処理装置において、ワークの化学処理槽搬入時にワークの少なくとも上端をクランプする上端搬送クランプ群を有する一対のエンドレスベルトを備え、そのエンドレスベルトの片側に化学処理槽を配し、対向するエンドレスベルト側に化学処理の前処理を行う前処理槽と後処理を行う後処理槽を配して、ワークが連続的に前処理槽に搬入される位置に配置されるワーク供給装置と、後処理槽を搬出されたワークが連続的にリールに巻き取られる位置に配置されるワーク巻取装置を有することを特徴とするものである。本発明の第3の発明は、第1及び第2の発明における化学処理装置の化学処理槽がワークを搬入してめっき処理する際に、少なくともワーク上端を搬送クランプ群により把持して鉛直状態としたワークのワーク面に化学処理を施す化学処理槽であり、ワーク巻取装置が、ワークを巻き取る際に、化学処理されたワークを水平状態とした後に巻き取りを行う巻取装置であることを特徴とするものである。本発明の第4の発明は、第1から第3の発明おける化学処理装置の折り返しプーリーに、エンドレスベルトの移動に伴い、エンドレスベルトに備えられた搬送クランプ群のクランプが着脱自在に嵌合するクランプ脱着部位を備えることを特徴とするものである。なお、ここでの嵌合は、密接に嵌めあうことのみならず、クランプ脱着部位が大となる緩い嵌合の方が良い。本発明の第5の発明は、第1から第4の発明の化学処理装置において、後処理槽とワーク巻取装置の間に、低張力熱処理装置を備えることを特徴とするものである。本発明の第6の発明は、ワークを化学処理槽に搬入してめっき処理する際に、少なくとも上端を搬送クランプ群により把持してワークを鉛直状態としてワーク面にめっきを施し、後処理槽での後処理を施したワークを巻き取る前に、そのワークに低張力熱処理を施し、その低張力熱処理を施したワークを水平状態とした後にワーク巻取装置により巻き取ることを特徴とするめっき処理方法で、第5の発明によるめっき装置を用い行われるものである。本発明の第7の発明は、第6の発明における低張力熱処理が、めっきを施されたワークを5N以下の低張力状態で、そのめっきが再結晶する熱処理であることを特徴とするめっき処理方法である。本発明によれば、従来と同等の生産能力を有する化学処理装置を、設置効率に優れた敷設形状で、かつ生産能力の向上にも柔軟に対応可能である化学処理などに用いられる化学処理装置が提供できるため、工業上顕著な効果を奏するものである。さらに本発明によれば、水平な巻取軸でワークを巻き取ることで巻き乱れによるワーク表面不良の発生を防ぐことができ、その低張力熱処理により、巻取時におけるめっき皮膜の再結晶の進展により生じるめっき面のディンプル状凹みの発生を防ぎ、搬送中のワークの伸びとめっきの再結晶の完了によるウェーブ波目模様発生を防止する。さらに、本発明の非接触搬送構造の上下のクランプにより折り返し時に生じるワークの弛みが防止でき、ワークを弛ませずに搬送することを可能とするものである。本発明に係る化学処理装置は、図1、図2に示す構造を有している。図1は、本発明の化学処理装置の全景を表す外観斜視図で、20は化学処理装置を表し、1はワーク供給装置、2はワーク巻取装置、3は前処理槽、4は化学処理槽、5は後処理槽、6はエンドレスベルトの折り返し用プーリー、8はエンドレスベルト、8aは上下端搬送クランプ群、9はめっき剥離槽、10はワーク、11は低張力熱処理装置、12は搬送方向変更ローラー、13は水平ローラー、20は化学処理装置である。図2aは、図1に示す本発明の化学処理装置20の構造を説明するために簡素化した配置模式図である。図1のエンドレスベルト8の折り返し用プーリー6を、一対の折り返し用プーリー駆動用プーリーを兼ねる6、7で表したものである。図2bは、他の実施例における配置模式図で、ワーク供給装置1、ワーク巻取装置2をエンドレスベルト8の内側、若しくは上方に配置した場合を表すものである。図1、2に示すように、リール図示せずに巻かれた長尺シート状のワーク10を連続的に供給するワーク供給装置1と、その長尺状のワーク10を連続的にリール図示せずに巻き取るワーク巻取装置2は、ワーク10の化学処理時に、少なくともワーク10の上端をクランプ把持する上下搬送クランプ群8a図1では上端側のクランプのみで把持しているが、下端側にもクランプを設け、上下端で把持しても良いを有するエンドレスベルト8の片側図1、2aの[Aサイド]、若しくは図2bではエンドレスベルト8の内側或いは上方に集中して配置されている。さらに化学処理を行う際の前処理槽3と後処理槽5も、図1、2に見られるようにワーク供給装置1及びワーク巻取装置2の両者を挟み込む形、すなわちワーク供給装置とワーク巻取装置の両サイドに分かれて配置されている。一方、化学処理槽4は、ワーク供給装置1、前処理槽3、後処理槽5、ワーク巻取装置2が配置されるエンドレスベルト側図1、2の[Aサイド側]と対向する向きのエンドレスベルト側図1、2の[Bサイド側]に配置された構造となっている。なお、9のめっき剥離槽は、エンドレスベルト8や上下搬送クランプ群8aに付着しためっきを取り除くものである。図1、2により説明したように、化学処理装置の各構成要素を、エンドレスベルト8の折り返し用プーリー6間図2では、折り返し用プーリー6と7間に配置することによって、本発明では、化学処理装置の全長を短縮することを可能とし、敷設形状装置の設置スペースの縦横比以下、アスペクト比と称すを1.0に近づけることができ、めっき装置の敷設に際する敷地面積の効率を高めるものである。すなわち、従来の装置では、アスペクト比が大きく、敷設形状設置スペースは長辺が大きな長方形敷地を必要としたために、設置場所の選定に制約を受けていたが、本発明ではアスペクト比が1.0に近くなるため、その設置スペースは正方形に近い長方形となり、従来の装置に比べて設置場所の制約を受けにくく、その自由度が大きいと言える。次に、本発明で使用する前処理槽3、化学処理槽4、後処理槽5は、ワーク10を搬入して化学処理する際に、少なくとも上端を上下搬送クランプ群8aにより把持して鉛直状態としたワーク10のワーク面に化学処理を施す処理槽であり、各処理槽によって化学処理されたワーク10は、後処理槽5を搬出された後に、ワーク巻取装置2で巻き取られるが、その巻取の際に、搬送方向変更ローラー12によって搬送の向きを変更され、その後水平ローラー13を経由して、水平方向、すなわち水平方向にワーク10を巻き取るリール図示せずの巻取軸を設定したワーク巻取装置2に巻き取られる。このように、水平な巻取軸でワークを巻き取ることで、その巻き取る量が多くなっても、すなわち巻径が大きく、ワークのコイル自重が増大しても巻き乱れによるワーク表面不良の発生を防ぐことができる。さらにワーク巻取装置2にワーク10を巻き取る前に、低張力下で、めっきが再結晶する条件における熱処理以下、低張力熱処理と称すを図1の低張力熱処理装置11により行う。この低張力熱処理は、巻取時におけるめっき皮膜の再結晶の進展により生じるめっき面のディンプル状凹みの発生を防ぎ、搬送中のワークの伸びとめっきの再結晶の完了によるウェーブ波目模様発生を防止するために行うもので、張力5N以下で、めっきが再結晶する条件で行う。用いる低張力熱処理装置としては、図3に示すような構造の低張力熱処理装置を用いると良い。この低張力熱処理装置11を用いて低張力熱処理を説明すると、後処理槽図1、符号5などの最終処理槽を搬出されたワーク10は、低張力熱処理装置11の吸着ロール14に吸着されながら導入され、熱風加熱装置16により、めっき表面の再結晶を目指して加熱されると同時に、エアーフローターン部15に導かれてエアーフローにより非接触状態となり、その張力を5N以下に制御される。張力が5N以下の状態でさらに熱風加熱装置16によってめっき面の再結晶化が行われることで、健全な平滑性を有するワークが装置外に導出されて処理が終了する。なお、図1の低張力熱処理装置11では、水平ローラー13が吸着ロールを兼ねているものを示している。その張力が5Nより大きい場合には、この熱処理時においてワークにウェーブが発生しやすくなり、品質低下の原因となってしまう。さらに本発明では、折り返し用プーリー6に、エンドレスベルトの移動に伴いエンドレスベルトに備えられた上下搬送クランプ群8aの上端クランプ8b、下端クランプ8cが着脱自在に嵌合するクランプ脱着部位6bを備えている図4a、b参照。そしてクランプ脱着部位6bの間は円弧状を形成し、その円弧状部分に、ワークの上端面および下端面が接した状態で搬送される。このような機構により、折り返し時に上下のクランプ8b、8cがクランプ脱着部位6bに、はめ込まれことで折り返し時に生じるワークの弛みが防止でき、ワークを弛ませずに搬送することを可能とする。なお、クランプ脱着部位6bの一例は、図4aに見られるように上下の折り返しプーリー6間にクランプリード円板6aを設け、その全周に設ける形態としても良く、クランプ8b、8c間に連続した円柱状部材の上下端にクランプ脱着部位を設けても良い。そして、上下の折り返しプーリー6間にそれぞれクランプリード円板6aを設けることにより、ワーク10と円弧状部分の接触面積が減少するので、ワークに傷や汚れの付着が防止できるためより好ましい。以下に、実施例を用いて本発明を説明する。設計製造能力を90km/月とし、装置全周に処理工程を設けることで基板搬送が2回Uターンする図2aに示す本発明に係る全周型の化学処理装置を作製した。表1に、装置の敷設形状、性能などを纏めて示す。比較例1装置片側のみに処理工程を設けることで基板搬送のUターンがなく直線のみである図5に示す直線型の化学処理装置を作製した。設計製造能力は、実施例1の化学処理装置と同様に90km月とした。表1に、その敷設形状、性能などを実施例1と併せて示す。表1から明らかなように、装置コスト以下のメンテナンス性、操作性、搬送機構の難易度などに優劣は見られないが、装置1台の設置面積に関しては、実施例1全周型:図2a参照も比較例1直線型:図5参照も大差ないが、全長で2/3、また装置の敷設形状のアスペクト比は直線型と比べて1/2以下であり、単位面積当たりの設置密度表1の50×50m敷地における設置台数に優れていることがわかる。ポリイミドフィルム上に導電性金属が形成された、幅524mm、厚み75μm、長さ1500mの材料をワーク10として図2aに示すワーク供給装置1に取り付け、本発明に係る全周型の化学処理装置を用いてワークの上下端部を把持し、搬送張力を50N、搬送速度でワークを搬送しながら、化学処理槽4にて電流密度3Acm2でめっき処理を行い、後処理槽5にて洗浄処理後にワークの搬送方向を搬送方向変更ローラー12図1に表示によって搬送方向を変更し、水平ローラーを通してワーク巻き取り装置2で巻取りを行った結果、ワークの巻き乱れによるしわの発生も無く長尺ワークのめっき処理を行う事が出来た。比較例2ワークを垂直で巻取るワーク巻取装置を備えた図5に示す直線型の化学処理装置を用いた以外は、実施例2と同じ条件でワークにめっきを施した。ワークの処理長が300mを越えると巻き乱れが発生しはじめたため、その後、ワークの搬送張力を100Nに上げ1500mのめっき処理を行った。ポリイミドフィルム上に導電性金属層を形成した幅524mm、長さ300m、その厚みが125μm、100μm、75μm、50μm、38μm、25μm、12.5μmの7種類のワーク10を、図2に示すワーク供給装置1に取り付け、本発明に係る化学処理装置を用いてワークの上下端部を把持し、搬送張力を50N、搬送速度0.5m/minでワークを搬送しながら、化学処理槽4にて電流密度3Acm2でめっき処理を行った。使用したクランプリード円板6aは、図4に見られるような直径70cm、板厚12mmの円盤状部材に、クランプ脱着部位6bを形成したもので、ワークの鉛直面両端の幅10mmを支持するように調整した。またクランプは、ワーク鉛直面両端の幅15mmを把持するように調整した。その結果めっき後のワークにしわも無く良好なめっき処理を行う事ができた。使用したクランプリード円板として、直径70cm、高さ550mmの円柱状部材の上下端にクランプ位置規制凹部を形成したものを用いた以外は、実施例1と同じ条件でめっき処理を行った。その結果めっき後のワークにしわは生じなかったが、所々、めっき表面に傷状の不良が発生したが、不良部分を取り除くことで製品として用いる事ができた。比較例3図6に記載した従来の化学処理装置を用いた以外は、実施例1と同じ条件でめっき処理を行った。その結果、ワークの厚みが薄くなるほど、めっき後のワークにしわが生じており、ワーク厚みが50μm以下では、しわがワーク全体に多数発生しており、製品として供する事ができなかった。ポリイミドフィルム上に導電性金属層を形成した幅524mm、長さ300m、その厚みが25μmのワーク10を、図1に示すワーク供給装置1に取り付け、本発明に係るめっき処理装置を用いて、搬送張力を50N、搬送速度0.5m/minでワークを搬送しながら、化学処理槽4にて電流密度6Acm2でめっき処理を行った。両面に8μmのCuめっきを形成した後に、熱処理時間を36秒に固定し、熱処理温度を、25°C、50°C、75°C、100°C、120°C、140°C、150°Cとして熱処理を施してめっき部材を作成し、作成後のディンプル状凹みを観察した。その結果、熱処理温度が50°Cを越えるところからディンプル状凹みが減少し、140°C以上では、めっき部材にディンプル状凹みは観察できず、平滑性に優れためっき部材を得る事が出来た。めっき処理後の熱処理温度150°C、36秒と固定し、図3に示す低張力熱処理装置11を用いて、熱処理加熱中のワーク10の搬送張力を0N、5N、10N、15N、20N、25N、50Nとして熱処理を施した以外は、実施例1と同一条件にてめっき部材を作成し、作成後のディンプル状凹みとワークのウェーブを観察した。その結果、いずれの搬送張力においても、ディンプル状凹みの個数に変化は無かったが、搬送張力が5Nを超えるとワーク10が顕著にウェーブ状になることが判った。