下記化学式1で表わされる複合酸化亜鉛からなることを特徴とするフィラー粒子。ZnxMyO1式中、Mは、Mg、Co、Li、K、Na又はCuであり、Mの価数をnとすると、xny/2=1である。0.0001<ny/2<0.3である請求項1記載のフィラー粒子。請求項1又は2記載のフィラー粒子を含有することを特徴とする樹脂組成物。請求項1又は2記載のフィラー粒子を含有することを特徴とするグリース。請求項1又は2記載のフィラー粒子を含有することを特徴とする塗料組成物。本発明は上記に鑑み、安定した絶縁性を有するフィラー粒子、並びに、それを有する樹脂組成物、グリース及び塗料組成物を得ることを目的とするものである。本発明は、下記化学式1で表わされる複合酸化亜鉛からなることを特徴とするフィラー粒子である。ZnxMyO1式中、Mは、Mg、Co、Li、K、Na又はCuであり、Mの価数をnとすると、xny/2=1である上記フィラー粒子は、0.0001<ny/2<0.3であることが好ましい。本発明は、上記フィラー粒子を含有することを特徴とする樹脂組成物でもある。本発明は、上記フィラー粒子を含有することを特徴とするグリースでもある。本発明は、上記フィラー粒子を含有することを特徴とする塗料組成物でもある。本発明のフィラーは、酸化亜鉛が本来有する性質を維持したままで絶縁性を向上させたものであることから、特に電子機器等の高絶縁性が望まれる分野において、フィラーとして好適に使用することができる。これによって、絶縁性に優れた樹脂組成物、グリース、塗料組成物等を得ることが可能となる。以下に、本発明を詳細に説明する。本発明は、ZnxMyO式中、Mは、Mg、Co、Li、K、Na又はCu、Mの価数をnとすると、xny/2=1で表わされる複合酸化亜鉛からなることを特徴とするフィラー粒子に関する。すなわち、本発明のフィラー粒子は、Mg、Co、Li、K、Na及びCuからなる群より選択される少なくとも一つの金属を含有する複合酸化亜鉛からなるフィラー粒子である。本発明においては、Mで表わされる金属元素は一部又は全部が酸化亜鉛粒子内部に均一に存在している。すなわち、本発明はZnxMyOで表わされる複合酸化物からなるフィラー粒子である。酸化亜鉛粒子は、上述したように高い導電性を有する粒子であるため、絶縁性を要求される用途において使用することはできない。これに対して一定の割合でMg、Co、Li、K、Na及びCuからなる群より選択される少なくとも一つの金属を添加すると、添加した金属が均一に分布した固溶状態で酸化亜鉛粒子内部に含まれることになる。これによって、酸化亜鉛粒子の絶縁性が向上し、絶縁性が必要な用途に使用できることを見出すことによって本発明は完成されたものである。このように、添加金属が均一に分布した固溶状態の複合酸化亜鉛とすることは、特定の金属をMとした場合にのみ可能である。均一な固溶状態となる金属元素を含有した場合は、高い絶縁性を得ることができるが、その他の金属元素を含有した場合には絶縁性の向上効果が充分に得られない場合がある。特に、絶縁性という観点ではむしろ好ましくない金属元素であるアルミニウム等は、積極的に添加せず、実質的にアルミニウムを含有しないものとすることが好ましく、より具体的にはその含有量は、酸化亜鉛粒子の重量に対しAl3として0.0001重量以下であることが好ましい。本発明において、添加金属が均一に分布した固溶状態の複合酸化亜鉛は、以下に示すΔが60未満であることが好ましい。Δの測定方法図7に示したように、フィラー粒子の断面の画像上、直径方向に区切った10個の正方形を作成する。これらの正方形について、図7の左側から1、2、3、4、5、6、7、8、9、10と番号付けを行い、それぞれの正方形中のZn及び金属Mの定量分析値重量から、それぞれの正方形中のZnO100重量に対する金属Mの酸化物換算での定量分析値Q重量を求めた。更に、正方形1~10における金属Mの酸化物換算での定量分析値Q重量の、正方形1~10における金属Mの酸化物換算での定量分析値の平均値A重量に対するズレ:Δを次式により求めた。Δ=Q―A/A×100このとき、Q:各正方形1~10におけるZnO100重量に対する金属Mの酸化物換算での定量分析値重量A:各正方形1~10におけるZnO100重量に対する金属Mの酸化物換算での定量分析値の平均値重量このようにしてすべての正方形についてΔを測定した場合、すべての正方形においてΔが60未満であることが好ましい。先行技術として挙げた文献においても、フィラー以外の分野において他金属を酸化亜鉛中に混在させることが記載されている。しかし、実際には、得られる酸化亜鉛が一般式ZnxMyOで示される構造になるものは少なく、上述したような知見は従来全く知られていなかった。この点をより明確なものとするため、図に示した実施例のフィラー粒子の断面の画像に基づいて以下説明する。図3、4は、実施例1のフィラー粒子Mgを粒子内部に均一に存在させた酸化亜鉛粒子の断面を波長分散型X線分析によりマッピングしたZn及びMgの存在位置を示すマッピング画像である。図5、6は、それぞれ実施例1のフィラー粒子の断面において、図中央の直線上に存在するZn及びMgの強度を示した画像である。図45、46は、それぞれ比較例2のフィラー粒子Caを粒子内部に存在させた酸化亜鉛粒子の断面を波長分散型X線分析によりマッピングしたZn及びCaの存在位置を示すマッピング画像である。図47、48は、比較例2のフィラー粒子の断面において、図中央の直線上に存在するZn及びCaの強度を示した画像である。マッピング画像を示す図に白く映る点はZn、Mg、Caがそれぞれ存在することを示しており、線強度を示す図に示された波形状のスペクトルが、図中央の直線上に存在するZn、Mg、Caの強度を示している。図3、4、5、6より、実施例1で得られた本発明のフィラー粒子は、酸化亜鉛粒子内部まで均一にMgが存在することは明らかである。一方、図45、46、47、48に示した比較例2のフィラー粒子は、粒子表層にCaが偏在していることが明らかである。更に、図52、53、54、55に示した比較例3のフィラー粒子では、Niは粒子内部に存在するものの、均一には存在しておらず粒子内部に不均一に偏在している。すなわち、金属種としてMgを使用した場合、本発明のフィラー粒子は完全な複合酸化亜鉛からなる均一な固溶状態として得ることができ、金属種をCaやNiにした場合には、均一に固溶せずに粒子内部又は粒子表層において偏在する。その他、Co、Cu、NaをMとして使用した場合も同様に、Mが酸化亜鉛粒子内部に均一に存在していることが図10、11、12、13、38、39、40、41Coの場合;図19、20、21、22Naの場合;図25、26、27、28Cuの場合から明らかである。上記化学式1においては、Mの価数をnとすると、xny/2=1であり、0.0001<ny/2<0.3であることが好ましい。ny/2が0.0001以下であると、充分な絶縁性能を得ることができないおそれがある。また、ny/2が0.3以上であると、放熱性能が低下する場合がある。上記ny/2の値は、0.0001<ny/2<0.2がより好ましく、0.0001<ny/2<0.06が更に好ましい。上記Mは、Mg、Co、Li、K、Na及びCuからなる群から選択される少なくとも一つの金属元素である。なかでも、絶縁性能に優れることからMg、Coが好ましい。本発明のフィラー粒子は、上記Mとして2種以上の金属元素を含有するものであってもよい。なお、2種以上の金属をMとして使用した場合は、xΣny/2=1であり、Σny/2が上記数値範囲を満たすことが好ましい。本発明のフィラー粒子は、高純度の酸化亜鉛と比べた場合に顕著に絶縁性が高い。上記フィラー粒子は、シートにした時の絶縁性、すなわち体積固有抵抗値が1015Ωcmの樹脂に放熱材料として62.9体積充填すると、そのシートの体積固有抵抗値は1011Ωcm以上を維持することができるものであることが好ましい。本発明のフィラー粒子は、任意の形状、粒径等を有するものとすることができる。形状としては、針状、棒状、板状、球状の任意のものとすることができる。粒子径も特に限定されず、メジアン径D50がフィラーとして使用される酸化亜鉛の通常の粒子径である1~10000μmの範囲であることが好ましい。上記メジアン径D50は、レーザー回折/散乱式粒度分布測定装置LA-750堀場製作所社製によって測定した値である。上記粒子径は、1~100μmであることがより好ましい。本発明のフィラー粒子は、その製造方法について、特に限定されるものではなく、通常の酸化亜鉛の製造方法におけるいずれかの工程で金属Mの化合物を所定量添加することによって、製造することができる。公知の酸化亜鉛粒子としては、例えば、特開2009-249226号公報に開示された酸化亜鉛粒子等を挙げることができ、これらの酸化亜鉛粒子の製造方法の製造中のいずれかの工程において、金属Mの化合物を所定量添加することによって得ることができる。本発明のフィラー粒子は、なかでも、密度4.0g/cm3以上、メジアン径D50が17~10000μmであるフィラー粒子A、又は、メジアン径D50が1~20μmであり、D90/D10が4以下であるフィラー粒子Bであることが好ましい。上記フィラー粒子A及びBは、それぞれ、優れた絶縁性を有するものである。以下、これらについて詳述する。フィラー粒子A上記フィラー粒子Aは、亜鉛源粒子にMg、Co、Li、K、Na及びCuからなる群から選択される少なくとも一つの金属元素を有する金属化合物を混合して造粒する工程1、及び、上記工程1によって得られた造粒粒子を焼成する工程2を有する酸化亜鉛粒子の製造方法によって得ることができる。上記工程1は、亜鉛源粒子を水にリパルプし、Mg、Co、Li、K、Na及びCuからなる群から選択される少なくとも一つの金属元素を有する金属化合物を混合して造粒する工程である。本発明のフィラー粒子Aの製造方法においては、亜鉛源粒子を原料として使用するものである。亜鉛源粒子としては、酸化亜鉛、硝酸亜鉛、硫酸亜鉛、炭酸亜鉛、水酸化亜鉛、酢酸亜鉛等、焼成により酸化亜鉛になるものであれば特に限定されない。上記亜鉛源粒子は、酸化亜鉛が特に好ましい。上記亜鉛源粒子は、メジアン径D500.01~1.0μmであることが好ましい。上記亜鉛源粒子のメジアン径D50は、レーザー回折/散乱式粒度分布測定装置LA-750堀場製作所社製又は動的光散乱型粒度分布測定装置ELS-Z2大塚電子社製によって測定した値である。原料として使用することができる酸化亜鉛としては特に限定されず、フランス法、アメリカ法等の公知の方法によって製造された酸化亜鉛を使用することができるが、特に、フランス法によって製造された酸化亜鉛を使用することが不純物が少ない点で好ましい。上記金属化合物は、例えば、上記各金属Mの硝酸塩、硫酸塩、並びに酢酸塩、クエン酸塩、プロピオン酸塩、酪酸塩、乳酸塩、蓚酸塩、ステアリン酸塩などの有機酸塩、水酸化物等を挙げることができる。なかでも、効果的に絶縁化することができる点で、酢酸塩が好ましい。上記金属化合物は、1種類であっても、2種類以上を併用したものであってもよい。上記金属化合物は、製造工程における添加量が化学式1中のny/2の値に反映されるものであるから、目的とするny/2の値に応じた添加量とすることが好ましい。上記工程1における造粒は、その方法を特に限定するものではないが、例えば、上記亜鉛源粒子と金属化合物を水に分散してスラリーとして、噴霧乾燥を行う方法等を挙げることができる。また、上記亜鉛源粒子に金属化合物の水溶液を添加し、スパルタンリューザー、スパルタンミキサー、ヘンシェルミキサー、マルメライザー等を用いて混合し造粒する方法等を挙げることができる。上記工程1において、スラリーとする場合は、上記金属Mの化合物に加え、焼結促進成分を添加しても良い。焼結促進成分は、例えば酢酸が挙げられるが、酢酸を焼結促進成分として添加することで、金属Mの化合物のみを添加した場合よりも、上記工程2においてより緻密に焼結した酸化亜鉛粒子を得ることができる。上記工程1において、スラリーとする場合は、分散剤を使用してもよい。分散剤として好適に使用することができるものとしては、特に限定されず、例えば、ポリカルボン酸アンモニウム塩花王社製ポイズ532A等を挙げることができる。有機酸塩として脂肪酸塩を使用した場合には、有機酸塩自体が分散剤としての機能を有することから、容易にスラリーを得ることができる点で好ましい。スラリーの調製方法は特に限定されず、例えば、上記成分を水に添加し、18~30°Cで10~30分間、分散させることによって、亜鉛源粒子の濃度100~1500g/lの均一なスラリーとすることができる。上記噴霧乾燥の方法としては特に限定されず、例えば、上記スラリーを好ましくは150~300°C程度の気流中に、2流体ノズル又は回転ディスク等により噴霧し、20~100μm程度の造粒粒子を作る方法が挙げられる。この際、スラリーの粘度が50~3500cpsとなるようにスラリーの濃度を制御することが好ましい。スラリーの粘度はB型粘度計東京計器社製で60rpmのシェアで測定した値である。この気流中にて乾燥された造粒粒子をサブミクロンオーダーのフィルターバグフィルターにて捕集する。スラリーの粘度、乾燥温度、気流速度が望ましい範囲にないと、造粒粒子は中空もしくはくぼんだ形状になってしまう。このようにして得られた粒子を焼成することによって、上記フィラー粒子Aを得ることができる。焼成条件は、特に限定されるものではないが、焼成温度が700~1500°C、焼成時間1~3時間行い、焼成は静置焼成によって行うことが好ましい。上記静置焼成は、ムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢中で行うことができる。上記焼成は、1000~1200°Cで行うことがより好ましい。上述した方法によって焼成を行うと、粒子同士の融着がほとんど無く、粒子内部まで緻密に焼結したフィラー粒子を得ることができる。700°C未満での焼成であると、粒子内部まで十分に焼結しないおそれがある点で好ましくない。1500°Cを超えると、粒子同士の融着が進む点で好ましくない。このようにして得られたフィラー粒子Aは、メジアン径D50が17~10000μmであることが好ましい。上記メジアン径の下限は、20μmであることがより好ましい。また、上限は、1000μmであることがより好ましく、100μmであることが更に好ましい。フィラー粒子の粒子サイズは、大きい方が樹脂組成物中での伝熱経路が増え、他のフィラーと組合わせることで最密充填効果による高熱伝導化が期待できる点で好ましい。このため、メジアン径D50が上記範囲内であることによって、放熱性フィラーとして使用した場合により優れた性能を有する。なお、本明細書においてメジアン径D50はレーザー回折/散乱式粒度分布測定装置LA-750堀場製作所社製によって測定された値、もしくは目視観察による統計的手法によるものである。目視観察は走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製、あるいはJSM-7000F日本電子社製によって行うことができる。フィラー粒子B上記フィラー粒子Bは、メジアン径D50が1~20μmであり、D90/D10が4以下である。つまり、従来の酸化亜鉛粒子に比べて粒子径が大きく、かつ、D90とD10との比が小さいすなわち、粒子径が極端に大きい粗大粒子の数が少ないことを特徴とするものである。このようなフィラー粒子は、大粒子でありながら50μm以上の粗大粒子の混入がほとんどなく、粒度分布がシャープなため、優れた放熱性を得ることができる。上記フィラー粒子Bの粒子径の分布は、レーザー回折/散乱式粒度分布測定装置LA-750堀場製作所社製によって測定された値である。上記メジアン径D50の下限は1.0μmであるが、1.5μmであることがより好ましい。上記メジアン径D50の上限は、20μmであるが、17μmであることがより好ましい。上記フィラー粒子Bは、50μm以上の粗大粒子の割合が0.05重量以下であることが好ましい。50μm以上の粗大粒子の割合はJISK1410酸化亜鉛ふるい残分試験に従って測定することができる。上記フィラー粒子Bは、例えば、亜鉛源粒子を臭化アンモニウムや塩化アンモニウムなどのハロゲン化物、並びに、Mg、Co、Li、K、Na及びCuからなる群から選択される少なくとも一つの金属元素を有する金属化合物の存在下で焼成することによって製造することができる。以下、上記フィラー粒子Bの製造方法を詳述する。上記フィラー粒子Bの製造方法においては、亜鉛源粒子を原料として使用するものである。亜鉛源粒子としては、酸化亜鉛、硝酸亜鉛、硫酸亜鉛、炭酸亜鉛、水酸化亜鉛、酢酸亜鉛、塩化亜鉛等、焼成により酸化亜鉛になるものであれば特に限定されない。上記亜鉛源粒子は、酸化亜鉛が特に好ましい。上記亜鉛源粒子は、メジアン径D500.01~1.0μmであることが好ましい。上記亜鉛源粒子のメジアン径D50は、レーザー回折/散乱式粒度分布測定装置LA-750堀場製作所社製又は動的光散乱型粒度分布測定装置ELS-Z2大塚電子社製によって測定した値である。原料として使用することができる酸化亜鉛としては特に限定されず、フランス法、アメリカ法等の公知の方法によって製造された酸化亜鉛を使用することができるが、特に、フランス法によって製造された酸化亜鉛を使用することが不純物が少ないという点で好ましい。上記フィラー粒子Bの製造方法は、臭化アンモニウムや塩化アンモニウムなどのハロゲン化物、並びに、Mg、Co、Li、K、Na及びCuからなる群から選択される少なくとも一つの金属元素を有する金属化合物の存在下で焼成することを特徴とする。上記金属化合物としては特に限定されず、上記フィラー粒子Aの製造方法で挙げた化合物や、塩化物、臭化物等のハロゲンを含有する金属化合物を使用することができるが、なかでも、臭化マグネシウム等の臭化物であることが好ましい。無機粒子の製造においては、粒子径を大きくするためにフラックス存在下で焼成することが行われる場合がある。このような焼成時のフラックスとして金属Mの臭化物を使用すると、その他の化合物をフラックスとして使用した場合に比べて、得られたフィラー粒子Bの粒子径の分布がシャープである。また、金属化合物として塩化物、臭化物等のハロゲンを含有する金属化合物を使用する場合、臭化アンモニウムや塩化アンモニウムなどのハロゲン化物は必ずしも使用しなくてもよいが、焼結促進成分として臭化アンモニウムや塩化アンモニウムなどのハロゲン化物を使用してもよい。上記フィラー粒子Bは、上記亜鉛源粒子と、臭化アンモニウムや塩化アンモニウムなどのハロゲン化物、及び上記金属化合物とを公知の方法で混合し、得られた混合物を焼成することによって、製造することができる。上記焼成は工業的には例えば、トンネルキルンやシャトルキルンによる静置焼成が好ましい。静置焼成とすることによって、粒子同士が融着して、効率よく粒子成長が起こり、効率よく粒子径の大きい酸化亜鉛粒子を得ることができる点で好ましい。上記焼成は600~1200°Cで行うことが好ましい。600°C未満での焼成であると、充分に粒子径が大きくならないおそれがある点で好ましくない。1200°Cを超えると、粗大粒子の発生が多くなり、収率が低下するおそれがある点で好ましくない。上記方法によって製造されたフィラー粒子Bは、その粒径分布においてシャープなものとなるが、更にシャープなものを得る必要がある場合や、低い割合で含まれている粗大粒子を除去するために、粉砕篩による分級を行うものであってもよい。粉砕方法は特に限定されず、例えば、アトマイザー等を挙げることができる。また篩による分級方法としては、湿式分級、乾式分級を挙げることができる。本発明のフィラー粒子は、用途を特に限定するものではないが、放熱性のフィラーとして特に好適に使用することができる。すなわち、酸化亜鉛粒子は、熱伝導性が高いため、放熱性フィラーとして好適に使用することができる。本発明のフィラー粒子は、このような放熱性能を維持したままで、導電性が抑制されたものであるから、電子機器等の用途において使用される放熱性フィラーとして好適に使用することができる。本発明のフィラー粒子を放熱性フィラーとして使用する場合は、密度が4.0g/cm3以上であることが好ましく、4.5g/cm3以上であることがより好ましい。上記範囲で示されるような高密度のフィラー粒子は、粒子内部に中空部が少ない緻密な粒子であることから、熱伝導が生じやすく、放熱性フィラーとして特に優れた性能を有する。密度が4.0g/cm3未満であると、充分な放熱性能を得ることができないおそれがある。放熱性フィラーとして使用する場合、本発明のフィラー粒子は、球状粒子であることが好ましい。球状粒子であると、最密充填することができるため、放熱性フィラーの割合を高くすることができる。これによって、より高い放熱性能を付与することができる点で好ましい。粒子の形状は走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製、あるいはJSM-7000F日本電子社製によって観察することができる。上記フィラー粒子は、アスペクト比が1.0~1.5であることが好ましい。放熱性フィラーに使用する場合、アスペクト比は1.0に近い程、フィラーの配向性が無くなりどの方向から加圧成型してもフィラーが均一に充填された樹脂成型体を得ることができる。上記アスペクト比の上限は、1.10であることがより好ましい。本発明のフィラー粒子は、JISK5101-12-1顔料試験方法-見掛け密度又は見掛け比容静置法に従って行った見掛け密度が2.50g/ml以上であることが好ましい。このような見掛け密度は、粒子が緻密化しており、高密度であり、かつ形状が整っていて均一であることの指標となる値である。このような見掛け密度が高いフィラー粒子は、粒子自体が高密度であることから放熱性能に優れており、更に樹脂への充填率を高くすることができる、という利点を有する。本発明のフィラー粒子は、JISR1639-2に従い測定を行ったタップかさ密度が3.10g/cm3以上であることが好ましい。このようなタップかさ密度が高いフィラー粒子は、粒子自体が高密度であることから放熱性能に優れており、更に樹脂への充填率を高くすることができる、という利点を有する。本発明のフィラー粒子は、粒子中の90以上の粒子がアスペクト比1.10以下であることが好ましい。すなわち、アスペクト比が高く、球形度が低い粒子が混在していると、フィラーとして使用した際の充填率が低くなりやすい。したがって、真球形状の粒子が高い割合で存在していることが好ましい。なお、粒子中の90以上の粒子がアスペクト比1.10以下であるとは、電子顕微鏡写真において視野中に存在しているすべての粒子のアスペクト比を測定し、このような操作によって合計250個の粒子についてアスペクト比を測定した場合に、90以上の粒子がアスペクト比1.10以下となることをいう。本発明のフィラー粒子は、樹脂組成物、グリース、塗料組成物中のフィラー成分として使用することができる。樹脂組成物中のフィラーとして使用する場合、使用する樹脂は、熱可塑性樹脂であっても熱硬化性樹脂であっても良く、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンサルファイドPPS樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、フッ素樹脂、ポリメタクリル酸メチル、エチレンアクリル酸エチル共重合体EEA樹脂、ポリカーボネート、ポリウレタン、ポリアセタール、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルイミド、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合体ABS樹脂、エポキシ、フェノール、液晶樹脂LCP、シリコン樹脂、アクリル樹脂等の樹脂を挙げることができる。本発明の樹脂組成物は、1熱可塑性樹脂と上記フィラー粒子とを溶融状態で混練することによって得られた熱成型用の樹脂組成物、2熱硬化性樹脂と上記フィラー粒子とを混練後、加熱硬化させることによって得られた樹脂組成物、3樹脂溶液又は分散液中に上記フィラー粒子を分散させた塗料用の樹脂組成物であっても良い。本発明の樹脂組成物中の上記フィラー粒子の配合量は、放熱性能や樹脂組成物の硬度等、樹脂組成物の性能に合わせて任意に決定することができる。上記フィラー粒子の放熱性能を十分に発現させるためには、樹脂組成物中の固形分全量に対して60体積以上、より好ましくは68体積以上のフィラー粒子を含有することが好ましい。本発明の樹脂組成物が熱成型用の樹脂組成物である場合、用途によって樹脂成分を自由に選択することができる。例えば、熱源と放熱板に接着し密着させる場合には、シリコン樹脂やアクリル樹脂のような接着性が高く硬度の低い樹脂を選択すれば良い。本発明の樹脂組成物が塗料用の樹脂組成物である場合、樹脂は硬化性を有するものであっても、硬化性を有さないものであっても良い。塗料は、有機溶媒を含有する溶剤系のものであっても、水中に樹脂が溶解又は分散した水系のものであっても良い。本発明のフィラー粒子は、鉱油又は合成油を含有する基油と混合してグリース中のフィラー粒子として使用することもできる。このようなグリースとして使用する場合は、合成油としてα-オレフィン、ジエステル、ポリオールエステル、トリメリット酸エステル、ポリフェニルエーテル、アルキルフェニルエーテル等が使用できる。また、シリコーンオイルと混合した放熱性グリースとして使用することもできる。本発明のフィラー粒子は、放熱性フィラーとして使用する場合、その他の成分を併用して使用することもできる。併用して使用することができるその他の成分としては、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化アルミニウム等の金属酸化物、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化チタン、金属シリコン、ダイヤモンド等の酸化亜鉛以外の放熱性フィラー、樹脂、界面活性剤等を挙げることができる。本発明のフィラー粒子は、絶縁性能において優れることから、電子機器分野において使用される放熱性フィラーに特に好適に使用することができる。さらに、塗料インキ用顔料等の分野においても使用することが出来る。以下に、実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。実施例1微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、分散剤花王社製ポイズ532A21.0g微細酸化亜鉛の重量に対し3.50重量を混合し、金属Mの化合物である酢酸マグネシウム四水和物161.4g微細酸化亜鉛の重量に対し26.9重量を混合して濃度が590g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1200°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が29.0μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図1に示す。実施例2微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、金属Mの化合物である酢酸コバルト四水和物61.8g微細酸化亜鉛の重量に対し10.3重量を混合し、焼結促進成分である酢酸3.66g微細酸化亜鉛の重量に対し0.61重量を混合して濃度が340g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1200°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が31.7μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図8に示す。実施例3微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、分散剤花王社製ポイズ532A21.0g微細酸化亜鉛の重量に対し3.50重量を混合し、金属Mの化合物である酢酸リチウム3.0g微細酸化亜鉛の重量に対し0.5重量を混合し、焼結促進成分である酢酸3.66g微細酸化亜鉛の重量に対し0.61重量を混合して濃度が500g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1000°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が31.9μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図15に示す。実施例4微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、分散剤花王社製ポイズ532A21.0g微細酸化亜鉛の重量に対し3.50重量を混合し、金属Mの化合物である酢酸カリウム6.0g微細酸化亜鉛の重量に対し1.0重量を混合して濃度が1470g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1000°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が34.4μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図16に示す。実施例5微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、分散剤花王社製ポイズ532A21.0g微細酸化亜鉛の重量に対し3.50重量を混合し、金属Mの化合物である酢酸ナトリウム20.3g微細酸化亜鉛の重量に対し3.38重量を混合して濃度が690g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1100°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が33.4μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図17に示す。実施例6微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、分散剤花王社製ポイズ532A21.0g微細酸化亜鉛の重量に対し3.50重量を混合し、金属Mの化合物である酢酸銅I35.04g微細酸化亜鉛の重量に対し5.84重量を混合し、焼結促進成分である酢酸3.0g微細酸化亜鉛の重量に対し0.50重量を混合して濃度が240g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1150°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が28.7μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図23に示す。実施例7微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gと、金属Mの化合物である塩化マグネシウム六水和物156g微細酸化亜鉛の重量に対し26.0重量と、焼結促進成分である臭化アンモニウム12g微細酸化亜鉛の重量に対し1.0重量とをビニール袋に入れて30秒間乾式混合し、混合粉をムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ、1000°Cで3時間焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、メジアン径D50が9.1μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図29に示す。実施例8微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gと、金属Mの化合物である臭化コバルト六水和物133.5g微細酸化亜鉛の重量に対し22.25重量とをビニール袋に入れて30秒間乾式混合し、混合粉をムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ、800°Cで3時間焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、メジアン径D50が8.2μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図36に示す。比較例1微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、分散剤花王社製ポイズ532A21.0g微細酸化亜鉛の重量に対し3.50重量を混合し、焼結促進成分である酢酸3.66g微細酸化亜鉛の重量に対し0.61重量を混合して濃度が600g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1200°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、1.0リットルの水に分散後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させ、通過したスラリーをろ過、乾燥することにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が28.5μmのフィラー粒子を得た。比較例2微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、金属Mの化合物である酢酸カルシウム一水和物96.0g微細酸化亜鉛の重量に対し16.0重量を混合し、焼結促進成分である酢酸3.66g微細酸化亜鉛の重量に対し0.61重量を混合して濃度が320g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1200°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させることにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が28.7μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図43に示す。比較例3微細酸化亜鉛堺化学工業社製メジアン径D500.2μm600gを水にリパルプし、金属Mの化合物である酢酸ニッケル四水和物102g微細酸化亜鉛の重量に対し17.0重量を混合し、焼結促進成分である酢酸3.66g微細酸化亜鉛の重量に対し0.61重量を混合して濃度が330g/lとなるスラリーを調製する。次に、このスラリーをラボスプレードライヤーDCR型坂本技研社製で噴霧乾燥することにより造粒粒子を得る。これをムライト製、ムライトコージライト製等の匣鉢に入れ1200°Cで3時間静置焼成した。これを冷却後、200メッシュ目開き75μmの篩を通過させることにより、粒子同士の融着が殆ど無く、粒子内部まで緻密に焼結した球状かつメジアン径D50が33.3μmのフィラー粒子を得た。得られたフィラー粒子のサイズ形態を走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で観察した。得られた電子顕微鏡写真を図50に示す。実施例及び比較例の各フィラー粒子について、以下の基準に基づいて評価を行い、結果を表1、2に示した。メジアン径D50、D10、D90フィラー粒子1.0gを秤量し、0.025重量ヘキサメタりん酸ナトリウム水溶液100mlに分散させ、その分散液をレーザー回折/散乱式粒度分布測定装置LA-750堀場製作所社製の0.025重量ヘキサメタりん酸ナトリウム水溶液で満たした試料バスに投入し、循環速度:15、超音波強度:7、超音波時間:3分の設定条件下で測定を行った。室温下における酸化亜鉛の屈折率が1.9~2.0、水の屈折率が1.3であることから、相対屈折率は1.5に設定してメジアン径D50、D10、D90を求めた。アスペクト比走査型電子顕微鏡JSM-5400日本電子社製で撮影した電子顕微鏡写真の100個の粒子について、粒子の中心を通る長径と短径の長さを定規で計測し、長径/短径の比を求め、その平均値をアスペクト比とした。更に、250個の粒子について、アスペクト比を測定し、アスペクト比が1.10以下のものの個数の割合を算出した。密度洗浄し、乾燥した容量:100mlのゲーリュサック比重瓶の重量agを0.1mgの桁まで量り、蒸留水を標線まで加えてその重量bgを0.1mgの桁まで量る。次に、そのゲーリュサック比重瓶を乾燥した後、試料5gを入れて重量を量り、試料の重量cgを算出する。蒸留水を試料が覆われるまで加えて、真空デシケーター中で蒸留水中の空気を除去する。標線まで蒸留水を加え、その重量dgを0.1mgの桁まで量り、次式により密度を算出した。密度g/cm3=c/b-ac-d-a見掛け密度JISK5101-12-1顔料試験方法-見掛け密度又は見掛け比容静置法に従って見掛け密度を測定した。タップかさ密度JISR1639-2に従ってタップかさ密度の測定を行った。フィラーの充填率iEEA樹脂日本ポリエチレン社製レクスパールA1150及び実施例1~8のフィラー粒子、iiEEA樹脂及び比較例1~3のフィラー粒子を表1、2に従って配合した。フィラーの充填率体積は、EEA樹脂の比重を0.945、酸化亜鉛粒子の比重を5.55と仮定して求めたものである。フィラーの重量をag、フィラーの比重をA、EEA樹脂の重量をbg、EEA樹脂の比重をBとしたとき、次式によりフィラーの充填率体積を算出した。フィラーの充填率体積=a/A/a/Ab/B×100樹脂組成物のシートの作成表1、2に示すフィラーの充填率体積の割合でiEEA樹脂及び実施例1~8のフィラー粒子、iiEEA樹脂及び比較例1~3のフィラー粒子をLABOPLASTMILL東洋精機製作所社製でミキサーの回転数40rpm、150°Cで10分間加熱混練した。フィラーと樹脂の混練物を取り出し、厚み2mmのステンレス製鋳型版150mm×200mmの中央に置き、上下よりステンレス製板200mm×300mmで挟み、ミニテストプレス-10東洋精機製作所社製の試料台に設置し、150°Cで加熱しながら0.5MPaで5分間加圧し、更に圧を25MPaに上げ150°Cで加熱しながら3分間加圧した。次に、蒸気プレスゴンノ油圧機製作所社製の試料台に設置し、蒸気を通気して加熱した状態で圧を25MPaまで上げた後、冷却水を通水して25MPaで5分間冷却することにより樹脂組成物のシートを得た。体積固有抵抗値得られたシートを30°Cに調整した高温槽内に入れ30分間以上放置後、高温槽内にてシートを70mmφの真鍮製の負電極板と、100mmφの真鍮製の正電極板で挟み、直流500Vの電圧を印加し、1分間充電後の体積抵抗を測定した。測定はデジタル超高抵抗/微小電流計株式会社エーディーシー社製で行った。体積固有抵抗値σΩcmは、次式により求めた。σ=πd2/4t×Rut:試験片シートの厚みcmd:最も内側の電極の直径Ru:体積抵抗Ω熱伝導率次に、シートをポンチで55mmφの形状に切り抜き55mmφ、厚み2.0mmの成型体とし、AUTOΛHC-110英弘精機社製熱流計法の試料台に設置し熱伝導率の測定を行った。AUTOΛHC-110は、測定前に厚み6.45mmのPyrex標準板で較正する。高温ヒーターの温度を35°C、低温ヒーターの温度を15°Cに設定して測定することにより、25°Cで熱平衡状態に達した時の熱伝導率W/mKを求めた。結果を表1、2に示す。実施例及び比較例の結果から、本発明のフィラー粒子は、金属Mが粒子内部に均一に存在するものであり、熱伝導性に優れ、かつ、良好な絶縁性能を示すことが分かった。このように粒子内部に金属Mが均一に分布した固溶体を形成しているフィラー粒子は特に絶縁性能において優れており、固溶体を形成せず粒子内部に金属Mが均一に分布していないフィラー粒子よりも優れた絶縁性能を有する。樹脂組成物のシートの切断樹脂組成物のシートの切断は、クロスセクションポリッシャー日本電子製により行った。上記において作成したフィラー粒子を配合した樹脂組成物のシートを1mm以下の厚みにスライスし、その薄膜にArイオンビームを垂直に照射してエッチングすることにより、シートの切断を行った。得られたフィラー粒子の断面について走査型電子顕微鏡JSM-7000F日本電子製による観察、以下に詳述する測定方法による波長分散型X線分析によるマッピング及び線分析、エネルギー分散型X線分析による定量分析を行った。マッピング及び線強度分析の結果の画像を図3~6実施例1;図10~13実施例2;図19~22実施例5;図25~28実施例6;図31~34実施例7;図38~41実施例8;図45~48比較例2;図52~55比較例3に示す。更に、エネルギー分散型X線分析による定量分析の結果を表3に示した。Zn及び金属Mのマッピングフィラー粒子の断面のZn及び金属Mのマッピングは、走査型電子顕微鏡JSM-7000F日本電子社製の波長分散型X線分析モードにより行い、画像解析は解析ソフトINCAOxfordInstruments社製により行った。Zn及び金属Mの線強度分析フィラー粒子の断面のZn及び金属Mの線強度分析は、走査型電子顕微鏡JSM-7000F日本電子社製の波長分散型X線分析モードによりマッピングした結果、マッピング画像中央の直線上に検出されたZn及び金属Mの強度を、解析ソフトINCAOxfordInstruments社製により画像解析して表示したものである。Zn及び金属Mの定量分析、Δの測定方法フィラー粒子の断面のZn及び金属Mの定量分析は、走査型電子顕微鏡JSM-7000F日本電子社製のエネルギー分散型X線分析モードによりフィラー粒子の断面のマッピングを行い、画像上に作成した各正方形における定量分析値の表示を、解析ソフトINCAOxfordInstruments社製により行った。図7実施例1、図14実施例2、図35実施例7、図42実施例8、図49比較例2、図56比較例3のフィラー粒子の断面の画像上、直径方向に区切った10個の正方形について、各図の左側から1、2、3、4、5、6、7、8、9、10と番号付けを行い、それぞれの正方形中に検出されたZn及び金属Mの強度から、Zn及び金属Mの含有量を数値化することで定量分析値重量とした。続いて、それぞれの正方形中のZn及び金属Mの定量分析値重量から、それぞれの正方形中のZnO100重量に対する金属Mの酸化物換算での定量分析値Q重量を求めた。更に、正方形1~10における金属Mの酸化物換算での定量分析値Q重量の、正方形1~10における金属Mの酸化物換算での定量分析値の平均値A重量に対するズレ:Δを次式により求めた。Δ=Q―A/A×100このとき、Q:各正方形1~10におけるZnO100重量に対する金属Mの酸化物換算での定量分析値重量A:各正方形1~10におけるZnO100重量に対する金属Mの酸化物換算での定量分析値の平均値重量結果を表3に示した。表3の結果から、Mg、Coを添加した実施例1、2、7、8のフィラー粒子では、1から10のそれぞれの正方形中の金属Mの平均値に対するズレ:Δが60未満となり、金属Mが酸化亜鉛粒子内部まで均一に分布し、固溶状態となっていることが明らかである。一方、Ca、Niを添加した比較例2、3のフィラー粒子では、1から10のそれぞれの正方形中の金属Mの平均値に対するズレ:Δが60以上となり、金属Mが酸化亜鉛粒子表層又は内部に偏在し、均一な固溶状態となっていないことが明らかである。更に、各図の結果からも、本発明のフィラー粒子は、金属Mが酸化亜鉛粒子内部まで均一に分布し、固溶状態となっているのに対し、比較例のフィラー粒子は、金属Mが酸化亜鉛粒子表層又は内部に偏在し、均一な固溶状態になっていないことが明らかである。