流体を移送するためのチューブ本体としてベローズ管を有するフレキシブルチューブであって、前記ベローズ管内に管状の編組体が挿通され、該管状の編組体の管内部の通路が該ベローズ管内の管路となっている構成を有し、前記構成によって、前記ベローズ管内の蛇腹の凹凸が前記編組体によって隠され、該凹凸と流体の流れとに起因する振動の発生が抑制されている、振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。当該振動抑制構造付きフレキシブルチューブが、放射光施設で発生した放射光を分光すべく姿勢調節可能に設けられた分光器に付帯した冷却器に冷却液を送るためのフレキシブルチューブとして用いられる、請求項1記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。上記冷却液が、液体窒素である、請求項2記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。上記ベローズ管が、金属製のベローズ管である、請求項1~3のいずれか1項に記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。上記管状の編組体が、金属または金属酸化物からなる素線を編んだ編組体である、請求項1~4のいずれか1項に記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。上記冷却液が液体窒素であって、上記管状の編組体が、酸化アルミニウム製の繊維を用いてなる編組体、または、カーボーンファイバーを用いてなる編組体である、請求項1~4のいずれか1項に記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。本発明の課題は、上記した問題点を解決し、管の本体であるベローズ管内に流体を流しても振動が発生し難い構造が付与されたフレキシブルチューブを提供することにある。即ち、本発明は、次の特徴を有するものである。1流体を移送するためのチューブ本体としてベローズ管を有するフレキシブルチューブであって、前記ベローズ管内に管状の編組体が挿通され、該管状の編組体の管内部の通路が該ベローズ管内の管路となっている構成を有し、前記構成によって、前記ベローズ管内の蛇腹の凹凸が前記編組体によって隠され、該凹凸と流体の流れとに起因する振動の発生が抑制されている、振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。2当該振動抑制構造付きフレキシブルチューブが、放射光施設で発生した放射光を分光すべく姿勢調節可能に設けられた分光器に付帯した冷却器に冷却液を送るためのフレキシブルチューブとして用いられる、上記1記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。3上記冷却液が、液体窒素である、上記2記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。4上記ベローズ管が、金属製のベローズ管である、上記1~3のいずれかに記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。5上記管状の編組体が、金属または金属酸化物からなる素線を編んだ編組体である、上記1~4のいずれかに記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。6上記冷却液が液体窒素であって、上記管状の編組体が、酸化アルミニウム製の繊維を用いてなる編組体、または、カーボーンファイバーを用いてなる編組体である、上記1~4のいずれかに記載の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ。本発明の振動抑制構造付きフレキシブルチューブは、外界と管路とを気密液密に遮断するためのチューブ本体としてベローズ管を用いることが前提である。これによって、ベローズ管が持つ気密性液密性、可撓性、耐食性が利用できる。これに加えて、本発明では、ベローズ管内に管状の編組体を同心状にはめ込んで挿通し、該ベローズ管の内面の波状の凹凸蛇腹の凹凸を該編組体の編組面で隠し、管内壁面を平坦化している。この構成によって、編組面の非常に細かい凹凸が管内の内壁面となり、該ベローズ管内に流体を流しても、蛇腹の凹凸と流れとに起因する微振動の発生が抑制される。しかも、編組体は屈曲自在であるから、ベローズ管の可撓性が損なわれることもない。管状の編組体は、流体に対して管路を規定することはできるが、編組体であるから気密性や液密性が無いため、チューブ本体にはなり得ない。当該フレキシブルチューブ内に流体を流した場合、該流体が管状の編組体の外側に染み出て、該ベローズ管の内面と編組体の外面との間の隙間が該流体で充填されるが、この隙間は主たる流路ではないので、剥き出しの蛇腹面に流れが接触する場合のような振動が生じることはない。以下、本発明の振動抑制構造付きフレキシブルチューブ以下、当該フレキシブルチューブとも呼ぶの具体的な態様例を参照しながら、本発明の構成を詳細に説明する。当該フレキシブルチューブは、図1に示すように、ベローズ管1をチューブ本体として有し、その内部に管状の編組体以下、単に編組体とも呼ぶ2が挿通されて、該編組体2の内部の通路がベローズ管1の内部の管路となった状態を基本構造として有する。該編組体2は、ベローズ管内から抜け出ないように該ベローズ管内に収容されていればよい。例えば、図1に示すように、ベローズ管1に編組体2を挿通し、該編組体の外径よりも小さい内径を有する口金3をベローズ管1の端部に接合すれば、該編組体がベローズ管から抜け出ることはなく、両者の好ましい可撓性を互いに阻害し合うこともない。また、編組体の端部をベローズ管の端部の管内壁面に、溶接やロウ付けなどで直接的に固定してもよいし、間接的に固定してもよい例えば、編組体をベローズ管端部の口金に接合する態様や、編組体の端部に設けた口金をベローズ管端部の口金に固定する態様など。上記の構成によって、上記発明の効果で述べたように、ベローズ管の内面の蛇腹の凹凸は隠され、編組体の細かい編組面が管内面となっているので、管路内に流体図1中の太い矢印で示唆を流しても乱流が生じ難く、よって、該流体の流れに起因した振動が発生し難くなっている。しかも、ベローズ管の内面を覆う素材として編組体を用いているので、ベローズ管の可撓性が阻害されることがない。当該フレキシブルチューブの用途は特に限定はされないが、次のa~cの条件を同時に満たさねばならないような厳しい用途では、一般的な可撓性のホースが利用できないので、その有用性が特に顕著となる。a固定部と可動部との間の配管に使用可能であり、可動部の動作に対して屈曲自在に追従できるフレキシブルチューブであること。b管内に流体を流しても、内部に大きな乱流が生じることなく、微振動が発生し難いこと。c管内に流す流体が、高温や極低温あるいは反応性液体など特殊な状態であり、管の設置環境が放射線環境あるいは真空環境であっても、機械的強度や可撓性を保ち続けること。このような厳しい用途の典型的な一例は、上記背景技術で述べた大型放射光施設において放射光の光路上に可動的に配置された結晶分光器に冷却液を送る配管用途である。当該フレキシブルチューブの内部に流すべき流体は、水、冷却用オイル、冷却用媒体などであってよく、特に限定はされないが、一般的な高分子材料からなる可撓性のホースやチューブが利用できないような流体としては、液体窒素、液体酸素、液体ヘリウムなどが挙げられる。ベローズ管の材料は、特に限定はされないが、液体窒素などの極低温の流体を移送するような用途では、上記cの条件を満たす点からは金属が好ましく、例えば、ステンレス、チタン、炭素鋼、ハステロイ、インコネル、モネルなどの中から、耐放射線性に加えて、極低温でのじん性、耐食性等を考慮して選択すればよい。ベローズ管の切口の形状管路の中心軸に垂直に切断したときの断面形状は、長円形などであってもよいが、一般的な円形であれば製造が容易であり、無用の乱流も生じ難く、内部に挿通される編組体とのはめあい関係も隙間が少なく良好である。ベローズ管の切口の形状が円形である場合、その寸法は用途に応じて適宜決定すればよいが、図2に示す外径Dが8.5mm~16mm程度、内径dが5.5mm~12mm程度のものが汎用的である。なかでも上記した大型放射光施設のシリコン結晶体の冷却用途では、外径Dが16mm程度、内径dが12mm程度のものが適当である。ベローズ管の蛇腹の断面形状管路の中心軸線に沿って切断したときの蛇腹部分の波状の山と谷の断面形状は、U字状、V字状、概してはV字状であるが、谷底から山の頂点に向かう壁部が波打っている形状波打ちV字状などが挙げられる。ベローズ管のピッチ単位長さ当たりの山の数は、管路の内径、外径、蛇腹の山谷の振幅などに応じて適宜決定してよい。例えば、上記のような大型放射光施設のシリコン結晶体の冷却用途外径D=16、内径d=12mmでは、一般的なU字状のベローズ管であれば、長さ100mm当たりの山の数は40程度が好ましい数となる。ベローズ管の肉厚は、材料や、内径、求められる使用条件などによっても異なるが、例えば、上記した大型放射光施設のシリコン結晶体の冷却用途における外径、内径、山の数の場合であれば、該肉厚は、0.1mm~0.2mm程度が例示され、特に0.15mm程度が好ましい値として挙げられる。ベローズ管の両端部には、図1に示すような配管接続のための口金3単なる直管、フランジ部材、種々の管継手などを設けるのが好ましい態様である。該口金は、別個の部品を接合したものだけでなく、ベローズ管の壁部自体からなる直管部やフランジ状部であってよい。本発明においてベローズ管内に挿通される編組体は、ベローズ管内の内壁面の蛇腹の凹凸を覆って乱流の発生を抑制するためのものであるから、該編組体の内面はより凹凸の少ないものであることが好ましい。また、当該フレキシブルチューブに求められる上記a~cの条件を満たす材料や編組構造であることが好ましい。該編組体の材料は、特に限定はされないが、液体窒素などの極低温の流体を移送するような用途では、上記cの条件を満たす点からは金属製の編組体、即ち、金属製の素線を編んでなる編組体が好ましい。そのような編組体としては、次のものが例示される。従来、断熱材やフィルタなどに用いられていた、酸化アルミニウムアルミナや、ガラスファイバ、カーボーンファイバーなどの繊維を管状に編組したもの。従来よりベローズ管の外側の被覆として用いられていた、ステンレス鋼、チタンなどからなる金属線を管状に編組したブレードbraidとも呼ばれる管状編組体。これらのなかでも、酸化アルミニウムからなる繊維を管状に編組したものは、低温において可堯性を損なわず液体窒素などの極低温の流体の移送には好ましい部材である。また、耐放射線性を有し、脆化を起こさず可堯性を保持できる部材である.編組体の編組構造は、特に限定はされないが、図3に示すように、複数の素線を並列配置して1束とし1束中の素線の数を持数と呼ぶ、その束を複数本用い用いた束の本数を打数と呼ぶ、交角θにて管状に編んだ構造であれば、編み目が密に詰まっており、乱流の発生が抑制されるので好ましい。編組体の素線が金属または金属酸化物である場合、素線の径は、5ミクロン~10ミクロンが可撓性の点から好ましい値として挙げられる。編組パターン持数、打数、交角は、特に限定はされないが、一例を挙げると、素線径が約6ミクロンの場合には、持数80本~120本、打数24本または32本、交角θは70度~110度、好ましくは85度~95度である。編組技術については、従来公知の編組体の製造技術を参照してよい。編組体をストレス無きように管状に保ち、ベローズ管内に挿通したときの該管状編組体の外面とベローズ管の内面との間の隙間の距離ベローズの内径-編組体の外径÷2は、ベローズ管の内径によっても異なるが、0.5mm~1mm程度が好ましい。編組体の全長は、ベローズ管の内壁面の凹凸を覆うという目的から、ベローズ管の長さとほぼ同じ長さであればよい。後述のように、ベローズ管内に好ましく収容する点や、ベローズ端部に口金を溶接する際の高温に晒されないようにする点からは、ベローズ管の長さよりも0mm~3mm程度短くする態様が好ましい。編組体は、例えば心棒を通すなどして円管状に整形しただけのものであってもよいが、取扱い時の変形を抑制し、また、端部の編組のホツレを抑制すべく、接着剤や樹脂などを編組構造中に含浸させてもよい。接着剤や樹脂の含浸は、編組体の全長にわたってもよいが、端部だけであっても十分に取扱い性が向上し、また、編組のホツレを抑制することができる。含浸用の接着剤や樹脂は、使用条件に耐え得るものであればよく、例えば、液体窒素を送る場合には、低温用接着剤等、好ましいものを選択すればよい。大型放射光施設の結晶分光器の冷却配管用チューブとして、当該フレキシブルチューブを実際に用い、振動の様子を観察した。当該フレキシブルチューブの各部の仕様は次のとおりである。ベローズ管内径d:12mm、外径D:16mm、材料:SUS316L、山谷の断面形状:U字形、単位長100mm当たりの山の数:40、肉厚平均:0.15mm編組体基本形状:筒状、素線の材料:酸化アルミニウム、素線径:0.7μm、持数:100、打数:24、交角θ:90度、層数:1、円管状に保ったときの外径:約12mm、円管状に保ったときの内径:約11mmベローズ管の両端の各口金材料:SUS316L図1の例のように、それぞれの口金3は、ベローズ管との接合側の端部がフランジとなっており、外部配管と連結するための端部がVCR継手のメスアダプター図示せずとなっている。ベローズ管が接合される側のフランジの外周胴体面には、全周にわたって溝を設け図示せず、それによってフランジの外周胴体面の端面側に、ベローズ管をTIG溶接するための相対的な突起部を設けた。ベローズ管が接合されるフランジ端面に開口した管路の口径は10mmであって、管状の編組体を円管状に保ったときの上記外径約12mmよりも小さく設定しているので、編組体がベローズ管内に保持されるようになっている。組立て図1に示すように、管状の編組体2を円管状に整形し、ベローズ管1の内部に挿通し、該ベローズ管1の両端に口金3をTIG溶接にて接合し、該ベローズ管1内から編組体2が出ないようにし、本発明の振動抑制構造付きフレキシブルチューブを得た。尚、ベローズ管の内径が12mmであるのに対して、管状の編組体の外径も12mmであるが、管状の編組体を長手方向に少し引っ張りながら挿通すれば、該編組体の外径が収縮するので挿通が容易になり、挿通が終了して引っ張るのを止めると外径はもとに戻り、ベローズ管内に好ましくフィットする。評価当該フレキシブルチューブを、図4bに示すように、液体窒素を送るための配管用チューブとして用い、実際に液体窒素を流して冷却を行ないながらシリコン結晶体による分光を行ったところ、強度変動のレベルを約5分の1以下に抑制することができ、ビームの位置安定性が向上した。