筒状の真空容器であって、該真空容器は底壁部、側壁部及び天井壁部から構成され、該天井壁部がドーム状板からなることを特徴とする真空容器。前記天井壁部のドーム状板の中央部の肉厚が薄く、該天井壁部と前記側壁部が真空シールされる部分に至るにしたがって、順次肉厚が厚くなることを特徴とする請求項1に記載の真空容器。前記した問題に鑑み、本発明は、真空容器の天井部が大気圧の応力に強く、歪の発生が少ない、しかも、大型の真空容器でも軽くて、製作し易い真空容器を提供することを課題とする。前記課題を解決するため、本発明は、筒状の真空容器であって、該真空容器は底壁部、側壁部及び天井壁部から構成され、該天井壁部がドーム状板からなることを特徴としている。また、前記天井壁部のドーム状板の中央部の肉厚が薄く、該天井壁部と前記側壁部が真空シールされる部分に至るにしたがって、順次肉厚が厚くなることをも特徴としている。低壁部及び側壁部は一体型でもよく、分離されて真空シールされてもよい。被処理物品あるいは内部のメンテナンスのため、天井壁部と側壁部は分離されている。以上の構成にすることにより、天井壁部に大気圧による曲げ応力が発生しない真空容器を提供することができる。本発明によると、真空容器の天井壁部が大気圧の応力に強く、歪の発生が少ない、しかも、直径2000mm以上の大型の真空容器でも軽くて、製作し易い真空容器を提供することができる。図1は本発明に係る真空容器一実施形態を示す。真空容器1は円筒状であり、底壁部2、側壁部3、天井壁部4から構成され、底壁部2には図示しない真空ポンプによってガスを排気するための排気口7が設けられている。なお、底壁部2と側壁部3及び側壁部3と天井壁部4は図示しないOリングによって真空シールされている。天井壁部4は側壁部3と真空シールされる部分にフランジ部6を持つドーム状板5からなり、その肉厚はフランジ部6以外では略均一としている。このような構成の天井壁部4に負荷される大気圧による応力の状態を模式的に図2に示すが、フランジ部6以外のドーム状板5には圧縮応力が生じ、図1に示したような曲げ応力は極めて小さくなる。したがって、大気圧による応力によって、ドーム状板5が歪むことはない。また、図1に示した天板平板8に較べて、厚さを薄くすることができる。図3は本発明の他の実施形態を示すが、本実施形態では、天井壁部4が天井壁部4をなすドーム状板5の厚さがドーム状板5中央部で薄く、天井壁部4と側壁部3とが真空シールされるフランジ部6に至るにしたがって、順次厚くなる形状としている。以上のようにすると、図1で示した略均一肉厚の場合と同様な効果があるとともに、さらに天井壁部4をさらに軽量化できる。なお、前記ドーム状板の形状は、前記フランジ部6から天井壁部4中央部との高さをLmm、真空容器1の径をDmmとすると、L/Dが1/10程度が好ましい。また、図1、図3に示した実施形態では天井壁部4中央部が丸みを帯びたドーム状板5であるが、ドーム状板5頂点中央部を円錐形状にしてもよい。さらに、これらの実施形態では、円筒状の場合で、底壁部2、側壁部3、天井壁部4を別体の真空容器としたが、真空容器1は断面多角形の角筒状であってもよく、底壁部2と側壁部3を一体にしたカップ状のものにしてもよい。真空容器の用途により、必要に応じて所定の機器等を取り付けるため、天井壁部、側壁部、底壁部の一部に開口部等を設けてもよいことは勿論のことである。