圧電基板と、該圧電基板の主面に形成された櫛歯電極と、該櫛歯電極に隣接して配設された素子配線を有する配線電極と、該配線電極の外周を囲む開口部を有する外囲壁と、該外囲壁の上端面を封止して中空部を形成する天井壁と、前記圧電基板の主面から裏面を貫通して配設され、かつ、前記配線電極と前記圧電基板の裏面に配設された端子電極とを電気的に接続する貫通電極と、前記圧電基板の裏面に有色の液体の硬化層を形成し、該有色の液体の硬化層に文字、記号等の表示をしたことを特徴とする圧電デバイス。前記圧電デバイスが、SAWデバイスであることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。集合圧電基板を準備する工程と、前記集合圧電基板の裏面に有色の液体を塗布する工程と、該裏面に塗布した前記有色の液体を乾燥硬化させる工程と、前記有色の液体の硬化した前記塗布面にレーザ光を照射して、硬化した前記有色の液体を部分的に消失させて、文字、記号等の識別できる表示を形成する工程と、前記集合圧電基板の主面にパターニングのための成膜をする工程と、前記集合圧電基板の主面に形成した成膜面にパターニングして能動素子、配線電極、貫通電極及び封止部を形成する工程と、前記集合圧電基板を個片に分割して個片化した圧電デバイスを形成する工程と、からなることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。集合圧電基板を準備する工程と、前記集合圧電基板の裏面に有色の液体を塗布する工程と、該裏面に塗布した前記有色の液体を乾燥硬化させる工程と、前記集合圧電基板の主面にパターニングのための成膜をする工程と、前記集合圧電基板の主面に形成した成膜面にパターニングして能動素子、配線電極、貫通電極及び封止部を形成する工程と、前記有色の液体の硬化した前記塗布面にレーザ光を照射して、硬化した前記有色の液体を部分的に消失させて文字、記号等の識別できる表示を形成する工程と、前記集合圧電基板を個片に分割して個片化した圧電デバイスを形成する工程と、からなることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。集合圧電基板を準備する工程と、前記集合圧電基板の裏面に有色の液体を塗布する工程と、該裏面に塗布した前記有色の液体を乾燥硬化させる工程と、前記集合圧電基板の主面にパターニングのための成膜をする工程と、前記集合圧電基板の主面に形成した成膜面にパターニングして能動素子、配線電極、貫通電極及び封止部を形成する工程と、前記集合圧電基板を個片に分割して個片化する工程と、前記有色の液体の硬化した前記塗布面にレーザ光を照射して、硬化した前記有色の液体を部分的に消失させて、文字、記号等の識別できる表示を形成する工程と、からなることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。前記有色の液体が、顔料、染料、樹脂または油の混合物からなり、前記集合圧電基板の裏面と密着し、かつ、レーザ光により容易に分解あるいは変質し、さらに、色相、形状が変化する材料からなることを特徴とする請求項3から5に記載の圧電デバイスの製造方法。前記集合基板の裏面に塗布される前記有色の液体が、インクジェット、スピンコーティング、印刷、転写、噴霧等により塗布、形成されることを特徴とする請求項3から5に記載の圧電デバイスの製造方法。前記有色の液体の前記塗布面に照射するレーザがYAGレーザ、CO2レーザ、グリーンレーザまたはエキシマレーザであることを特徴とする請求項3から5に記載の圧電デバイスの製造方法。前記文字、記号等が、前記圧電デバイスの型番、ロット番号、製造工程の管理識別情報であることを特徴とする請求項3から5に記載の圧電デバイスの製造方法。前記有色の液体の色は、透明を除く、何れの色であることを特徴とする請求項3から5に記載の圧電デバイスの製造方法。前記有色の液体を含む材料を、前記集合基板の前記裏面に複数回繰り返して塗布して複数層を形成し、該塗布した複数層ごとに色を変えて、種々の情報を付与表示したことを特徴とする請求項3から5に記載の圧電デバイスの製造方法。前記有色の液体層を透明な液体で形成し、前記有色の液体層の下にレーザ光を透過しない金属膜または金属化合物膜、もしくは無機材料膜を形成したことを特徴とする請求項3から5に記載の圧電デバイスの製造方法。本発明が解決しようとする課題は、レーザによる圧電デバイスへの品名、ロット番号等のマーキング表示の際の能動素子の焼けによる損傷防止である。上記した問題を解決するため、本発明の圧電デバイス及びその製造方法では、圧電デバイスの圧電基板の裏面に有色の液体を塗布し、硬化させ、その塗布面にレーザ光を照射して文字、記号等を表示する。そのため、本発明の圧電デバイスは、圧電基板と、該圧電基板の主面に形成された櫛歯電極と、該櫛歯電極に隣接して配設された素子配線を有する配線電極と、該配線電極の外周を囲む開口部を有する外囲壁と、該外囲壁の上端面を封止して中空部を形成する天井壁と、前記圧電基板の主面から裏面を貫通して配設され、かつ、前記配線電極と前記圧電基板の裏面に配設された端子電極とを電気的に接続する貫通電極と、前記圧電基板の裏面に有色の液体の硬化層を形成し、該有色の液体の硬化層に文字、記号等の表示する。また、本発明では、前記圧電デバイスが、SAWデバイスであることを特徴とする。本発明の圧電デバイスの製造方法は、集合圧電基板を準備する工程と、前記集合圧電基板の裏面に有色の液体を塗布する工程と、該裏面に塗布した前記有色の液体を乾燥硬化させる工程と、前記有色の液体の硬化した前記塗布面にレーザ光を照射して、硬化した前記有色の液体を部分的に消失させて、文字、記号等の識別できる表示を形成する工程と、前記集合圧電基板の主面にパターニングのための成膜をする工程と、前記集合圧電基板の主面に形成した成膜面にパターニングして能動素子、配線電極、貫通電極及び封止部を形成する工程と、前記集合圧電基板を個片に分割して個片化した圧電デバイスを形成する工程と、からなることを特徴とする。また、本発明の圧電デバイスの製造方法は、集合圧電基板を準備する工程と、前記集合圧電基板の裏面に有色の液体を塗布する工程と、該裏面に塗布した前記有色の液体を乾燥硬化させる工程と、前記集合圧電基板の主面にパターニングのための成膜をする工程と、前記集合圧電基板の主面に形成した成膜面にパターニングして能動素子、配線電極、貫通電極及び封止部を形成する工程と、前記有色の液体の硬化した前記塗布面にレーザ光を照射して、硬化した前記有色の液体を部分的に消失させて文字、記号等の識別できる表示を形成する工程と、前記集合圧電基板を個片に分割して個片化した圧電デバイスを形成する工程と、からなることを特徴とする。さらに、本発明の圧電デバイスの製造方法は、集合圧電基板を準備する工程と、前記集合圧電基板の裏面に有色の液体を塗布する工程と、該裏面に塗布した前記有色の液体を乾燥硬化させる工程と、前記集合圧電基板の主面にパターニングのための成膜をする工程と、前記集合圧電基板の主面に形成した成膜面にパターニングして能動素子、配線電極、貫通電極及び封止部を形成する工程と、前記集合圧電基板を個片に分割して個片化する工程と、前記有色の液体の硬化した前記塗布面にレーザ光を照射して、硬化した前記有色の液体を部分的に消失させて、文字、記号等の識別できる表示を形成する工程と、からなることを特徴とする。本発明の製造方法では、前記有色の液体が、顔料、染料、樹脂または油の混合物からなり、前記集合圧電基板の裏面と密着し、かつ、レーザ光により容易に分解あるいは変質し、さらに、色相、形状が変化する材料からなることを特徴とする。また、本発明の製造方法では、前記集合基板の裏面に塗布される前記有色の液体が、インクジェット、スピンコーティング、印刷、転写、噴霧等により塗布、形成されることを特徴とする。本発明の圧電デバイスの製造方法では、前記有色の液体の前記塗布面に照射するレーザがYAGレーザ、CO2レーザ、グリーンレーザまたはエキシマレーザであることを特徴とするさらに、本発明の圧電デバイスの製造方法では、前記文字、記号等が、前記圧電デバイスの型番、ロット番号、製造工程の管理識別情報であることを特徴とする。本発明の圧電デバイスの製造方法では、前記有色の液体の色は、透明を除く、何れの色であることを特徴とする。また、本発明の圧電デバイスの製造方法では、前記有色の液体を含む材料を、前記集合基板の前記裏面に複数回繰り返して塗布して複数層を形成し、該塗布した複数層ごとに色を変えて、種々の情報を付与表示したことを特徴とする。さらに、本発明の圧電デバイスの製造方法では、前記有色の液体層を透明な液体で形成し、前記有色の液体層の下にレーザ光を透過しない金属膜または金属化合物膜、もしくは無機材料膜を形成したことを特徴とする。本発明によれば、レーザ光による圧電デバイスへの品名、ロット番号等のマーキングの際の能動素子のレーザ光による焼けに起因する損傷が防止できる。以下、本発明の圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法の実施例を添付した図面に基づいて説明する。圧電デバイス圧電デバイス、例えば、SAWデバイス1は、図1に示すように、水晶、タンタル酸リチウムLiTaO3あるいは、ニオブ酸リチウムLiNbO3等の無機材料からなる透明な圧電基板2と、この圧電基板2の主面に蒸着等で形成された櫛歯電極IDT電極3と、この櫛歯電極3と、この櫛歯電極3と圧電基板2の底面に配設した端子電極5とを接続する圧電基板2の主面に形成された配線電極4と、この配線電極4の外周を囲む開口部8aを有する外囲壁8と、櫛歯電極3上に中空部Sを形成するように外囲壁8の上面に積層された天井壁9とからなり、配線電極4は、圧電基板2に形成されたビアホール貫通孔に金属ペーストを封入して形成した貫通電極6を介して圧電基板2の底面に配設した端子電極7に電気的に接続されている。とくに、本発明の圧電デバイスの実施例であるSAWデバイスでは、図1に示す透明な圧電基板2の裏面2aに有色の液体例えば、黒色インクを塗布し、硬化して有色の液体硬化層7を形成し、レーザ光を有色の液体硬化層7に照射して、部分的に塗布した塗料を消失させて形成された、文字、記号等例えば、製品型式、ロット番号、製造年月日が識別できるように、表示マーキングされている。本発明の圧電デバイスでは、透明な圧電基板2の裏面2aに有色の液体の硬化層7が塗布、硬化されて形成されているので、圧電デバイス1へのレーザ光によるマーキング時に、レーザ光線が圧電基板2を透過して、圧電基板2の主面2bに形成した能動素子IDT電極3、配線電極4等を焼いて損傷させることがない。圧電デバイスの製造方法第1実施例図2に示すように、本発明の圧電デバイスの製造方法の第1実施例では、まず、水晶、LiTaO3、LiNbO3等からなる、例えば、3~4インチ径の集合圧電基板ウエハを準備するS1。まず、ウエハの裏面上に有色例えば、黒色インクの液体を所定の厚さに塗布する。これにより、後出のS4で、レーザ光を塗布面に照射して、塗布した有色の液体を部分消失させて、SAWデバイスの型式番号、ロット番号等を文字、記号等で識別できるようにするS2。有色の液体は、一般に、顔料や染料と樹脂や油の混合物からなり、比較的粗面であって親水性を有し、ウエハの裏面と密着性を有し、レーザ光により容易に分解あるいは変質し、かつ、色相や形状が変化する材料より構成される。この有色の液体インクとしては、具体例としてマーケムイマージュ社のマーケム5800等の不滅インクが好適である。また、レーザ光照射時に、レーザ光線が有色インク層により遮蔽されて圧電基板の主面に形成した能動素子例えば、配線電極を焼いて損傷させることがない。また、ウエハの裏面に塗布する有色の液体は、インクジェット、スピンコーティング、印刷、転写、噴霧等の従来の方法によって塗布形成される。ウエハ上に塗布した有色の液体インクを乾燥硬化させるS3。次いで、レーザ光をウエハの有色の液体インクの塗布面に照射して、有色の液体を部分的に消失させて、文字、記号等を識別できるように表示マーキングするS4、レーザ捺印。ここで、レーザとして、YAGレーザ、CO2レーザ、グリーンレーザ、エキシマレーザが用いられる。レーザ捺印をウエハ単位でする場合には、最終製品SAWデバイスの寸法と配列に合せて表示する。また、表示する内容は、前述したように文字、記号等からなり、表示内容は、圧電デバイスの型番、ロット番号等のほかに、製造工程中の管理情報、識別管理情報であってもよく、また、製造工程中、何回もウエハに表示してもよい。この表示内容は、一度塗布した有色の液体の上に、再度有色の液体を塗布して、前の表示内容を消失させて表示してもよい。また、有色の液体の色は、透明を除く、何れの色であってもよい。さらに、有色の液体を含む材料をウエハの裏面上に複数回繰り返して塗布して複数層を形成し、塗布した複数層ごとに色を変えて、種々の情報を付与して表示してもよい。レーザ光による表示マーキングの際には、ウエハの能動面主面の形成した能動素子を損傷させないようにするため、レーザ出力を適宜調節する。さらに、有色の液体層を透明な液体で形成する場合には、有色の液体層の下にレーザ光を透過しない金属膜あるいは金属化合物、無機材料からなる膜を形成し、レーザ光照射時にウエハ主面上に形成した能動素子を損傷しないようにする。また、ウエハの裏面にレーザ光を透過しない材料例えば、セラミックからなる板状体を張り合せ、主面能動素子を形成した後、裏面に有色の液体黒インクを塗布し、必要な情報を有色の液体を塗布した面に表示してもよい。ウエハの主面能動面にパターニングのための成膜をするS5。さらに、ウエハの主面の成膜面にパターニングして従来の製造方法と同様に、能動素子、配線電極、貫通電極、外囲壁、天井壁等を形成するS6。ウエハの主面にパターニングする際には、最終製品の配列に合せてする。最後に、圧電ウエハをウエハ面に表示したマーキングラインに沿ってダイシングソー等により個片に切断分割してS7、圧電デバイスSAWデバイスを得るようにする。第2実施例図3に示すように、本発明の圧電デバイスの製造方法の第2実施例では、前出の第1実施例と同様の手段により、SAWデバイスを製造するウエハを準備しS1、ウエハの裏面に有色の液体黒インクを塗布しS2、塗布した有色の液体を乾燥硬化させるS3。次いで、ウエハの主面に成膜しS4、この成膜面にパターニングして能動素子、配線電極、貫通電極、及び外囲壁、と天井壁からなる封止部を形成するS5。そして、ウエハの裏面に形成し、硬化した有色の液体の表面に前出の第1実施例と同様の手段により、必要な情報を表示レーザ捺印するS6。最後に、ダイシングソー等によりウエハを個片に分割してS7、個片化した圧電デバイスSAWデバイスを得る。第3実施例図4に示すように、本発明の圧電デバイスの製造方法の第3実施例では、前出の第1実施例と同様の手段により、SAWデバイスを製造するウエハを準備しS1、ウエハの主面能動面に成膜しS2、この成膜面にパターニングして能動素子、配線電極、貫通電極、外囲壁、天井壁等を形成するS3。そして、ウエハを反転して、その裏面に前出第1実施例と同様の手段により、有色の液体インクを塗布しS4、塗布した有色の液体を乾燥硬化させるS5。次いで、ダイシングソー等によりウエハを個片に分割してS6、個片の裏面圧電基板の裏面図1に示す2aに前出第1実施例と同様の手段により、必要な情報を表示レーザ捺印してS7、個片化した圧電デバイスを得る。