縦モードがシングルモードであるレーザ光を出力する光源と、前記レーザ光の波長を変化させる光周波数変調手段と、長手方向に長尺で屈曲されている多モード光ファイバと、前記光源から出力される前記レーザ光を前記多モード光ファイバへ導く少なくとも1つ以上の集光レンズとを備え、前記集光レンズは、前記レーザ光の集光サイズを前記多モード光ファイバのコア径とほぼ同等に変換し、かつ前記レーザ光の開口数を前記多モード光ファイバを伝送可能な開口数とほぼ同等に変換し、前記多モード光ファイバは、光のモードが少なくとも2つ以上であり、前記多モード光ファイバ内での反射回数で増幅された伝搬時間の異なる基本モードの光から最高次モードまでの光が、出射端面において空間分布で重ね合わせられ、かつ前記多モード光ファイバの少なくとも光を出力する端面を含む一部、横断面のコア外径形状が略多角形であることを特徴とするスペックル除去光源。請求項1に記載のスペックル除去光源において、前記光源から出力されたレーザ光は、前記光周波数変調手段により波長が所定の周期にて時間的に変化し、前記所定の周期は、前記光源から出力された前記レーザ光に空間光変調を施すことで得られる画像を作る周期に比べて短く、かつ20msecより短く設定することを特徴とするスペックル除去光源。請求項2に記載のスペックル除去光源から出力されたレーザ光の光束を局所的に変調して画像を生成する空間光変調手段を備え、前記空間光変調手段は、画像を生成する周期が前記光周波数変調手段によりレーザ光の波長を変化する周期に比べて長く設定されていることを特徴とする照明装置。この発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、波長を時間的に変化させたレーザ光を用いることにより、スペックルを除去することができるスペックル除去光源を提供するものである。さらに、それらのレーザ光を空間光変調手段に照明することにより、スペックルを除去した画像を生成する照明装置を提供するものである。この発明に係るスペックル除去光源は、縦モードがシングルモードであるレーザ光を出力する光源と、レーザ光の波長を変化させる光周波数変調手段と、長手方向に長尺で屈曲されている多モード光ファイバと、光源から出力されるレーザ光を多モード光ファイバへ導く少なくとも1つ以上の集光レンズとを備え、集光レンズは、レーザ光の集光サイズを多モード光ファイバのコア径とほぼ同等に変換し、かつレーザ光の開口数を多モード光ファイバを伝送可能な開口数とほぼ同等に変換し、多モード光ファイバは、光のモードが少なくとも2つ以上であり、多モード光ファイバ内での反射回数で増幅された伝搬時間の異なる基本モードの光から最高次モードまでの光が、出射端面において空間分布で重ね合わせられ、かつ多モード光ファイバの少なくとも光を出力する端面を含む一部、横断面のコア外径形状が略多角形である。また、この発明に係る照明装置は、前記記載のスペックル除去光源から出力されたレーザ光が照明されて画像を生成する空間光変調手段を備え、前記空間光変調手段は、画像を生成する周期が前記光周波数変調手段によりレーザ光の波長を変化する周期に比べて長く設定されていることを特徴とする。この発明によれば、波長を時間的に変化させたレーザ光を用いることにより、スペックルを除去することができる。また、スペックル除去光源から出力されたレーザ光を空間光変調手段に照明することにより、スペックルを除去した画像を生成することができる。以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明の好ましい実施の形態について、図面を用いてこれを説明する。実施の形態1.図1は、この発明の実施の形態1によるスペックル除去光源および照明装置を示す構成図である。この発明の実施の形態1に係るスペックル除去光源および照明装置は、光源、光周波数変調手段、および空間光変調手段を備えるものである。スペックル除去光源は、レーザ光を出力する光源1と、光源1から出力されるレーザ光の波長を変化させる光周波数変調手段2とで構成する。また、照明装置は、スペックル除去光源と、照明された光で画像を生成する空間光変調手段3とで構成する。図1において、光源1としては、半導体レーザや固体レーザを非線形光学材料により波長変換したレーザ、あるいは半導体レーザそれ自体などを用いることができる。出力されるレーザ光は、可視である400~700nm程度の範囲の波長を有する。例えば、InGaAs系化合物の半導体混晶による波長630nmの半導体レーザ、あるいはNd:YAGのレーザ媒質による固体レーザをMgO:LiNbO3の非線形光学材料により波長変換した波長532nmの波長変換レーザ、あるいはInGaAs系化合物の半導体混晶による半導体レーザをMgO:LiNbO3の非線形光学材料により波長変換した波長473nmの波長変換レーザの光源である。ここで、光源から出力するレーザ光は、縦モードがシングルモードで単一波長である。光周波数変調手段2としては、内部変調方式と外部変調方式がある。内部変調方式は、光源の構成要素、すなわちレーザ共振器内に挿入した媒体、レーザ媒質、励起電源などに外力を加えて変調する方式である。一方、外部変調方式は、光源自体は一定に動作させ、光源から出力するレーザ光に対して変調を与える方式である。例えば、内部変調方式では、図2に示すように、電気光学効果を有する変調媒体2aを光源のレーザ媒質1aとともに2つの反射鏡1b、1cからなるレーザ共振器内に設置する。変調媒体に電圧源2bから電界を印加することにより、媒体の屈折率が変化する。これにより、レーザの共振器長が変化するため、発振する光周波数を変化させることができる。ここで、電界の強度を変調することにより光周波数を時間的に変化させる。電気光学効果を有する変調媒体としては、LiNbO3やLiTaO3などを用いる。光源が半導体レーザ自体の場合、注入電流を変調することにより、半導体レーザの発振する光周波数を時間的に変化させることができる。また、外部変調方式では、図3に示すように、音響光学効果を有する変調媒体2cにレーザ光を伝搬する。変調媒体を圧電素子2dで発生した超音波が伝搬することにより、変調媒体内に圧縮伸張を引き起こし、屈折率の周期的な層による回折格子が生じる。これにより、ブラッグ条件を満たす方向に強い1次回折光が生じるとともに、ドップラーシフトでレーザ光の光周波数を変化させることができる。ここで、超音波の音響周波数を変調することにより光周波数を時間的に変化させる。音響光学効果を有する変調媒体としては、テルライトガラスやPbMoO4などを用いる。ここで、光周波数変調手段によりレーザ光の波長を変化させる周期は20msec以下に設定している。空間光変調手段3は、液晶あるいはDMDDigitalMicromirrorDeviceなどを変調媒体として用いることができる。液晶を用いた方式は、液晶材料をガラス基板などで挟んで素子とし、外部から電界を加えて液晶の分子配列の変化とともに引き起こされる素子の光学的性質の変化を利用して画像を生成する。また、DMDを用いた方式は、MEMSMicroElectroMechanicalSystems技術により製造したマイクロミラーを2次元に並べ、各ミラーを傾けることによりON/OFF駆動して画像を生成する。ここで、空間光変調手段により画像を生成させる周期は光周波数変調手段によりレーザ光の波長を変化させる周期に比べて長く設定している。次に、動作について説明する。光源1から出力されたレーザ光は、光周波数変調手段2により光周波数が時間的に連続して変化している。そのレーザ光は、空間光変調手段3を照明する。空間光変調手段3は、入力信号でデバイスの光学特性を変化させ、照明されたレーザ光の光束を局所的に変調し、画像を形成する。空間光変調手段3からの透過光あるいは反射光図1では透過光は、スクリーンなどの補助面に投影され、画像を表示することになる。このとき、スペックルは除去されている。次に、スペックルを除去する方法について説明する。任意の一点から出た光が異なる二つの経路を通り、ある一点で干渉することを考える。スペックルは、空間的および時間的にコヒーレントなレーザ光が、物体面例えばスクリーンなどの光学的に粗い面を反射あるいは透過して位相の異なる光となり、像面例えば人間の眼で異なる位相の干渉として観察される。図4に示すように、干渉する二つのレーザ光の電界E1、E2は、それぞれ式1、2のように表される。ここで、rは人間の眼像面における位置、tは観察した時間、ω1、ω2は時間tにおける各レーザ光の周波数、φ1、φ2は位置rにおける各レーザ光の初期位相である。二つのレーザ光を重ね合わせた強度Iは、式3のように与えられる。仮に、図5A~図5Cに示すように、レーザ光の波長光周波数が等しいω1=ω2場合図5A参照、式4の位相Δψは初期位相差φ1φ2で与えられる静的staticなスペックル成分のみが存在するため図5B参照、式5の干渉の強度I3は時間的に変化せず、静的となる図5C参照。一方、図6A~図6Cに示すように、レーザ光の波長光の周波数を時間的に変化させる場合を考える。図6Aは時間に応じてω0±Δωの範囲で周波数を変える例を示している。図6Aの例では、単純に三角波で周期を変えているため、ある時刻の周波数をω1、それからΔt1後の周波数をω2とすると、ω2t=ω1t-Δt1が成り立つ。図4のように、任意の一点から出た光が異なる二つの経路を通り、ある一点で干渉することを考える。この場合、二つのレーザ光の経路が異なることから、伝搬時間または光路長が異なる。ある任意の時間の周波数ω1の光と、伝搬時間差Δt1後の周波数ω2の光は、任意の一点から異なる時刻に出発するが、異なる経路を通ることから伝搬時間差Δt1または光路長差cΔt1が発生し、当時にある一点に到達し干渉する。式4の位相Δψは、初期位相差φ1φ2で与えられる静的なスペックル成分の他に、光周波数差ω1ω2と時間tとの積で変化するビート周波数成分が生じる。この新たな後者の成分により、式5の干渉の強度I3は時間的に変化することになる。人間が安定な画像として認識することができるのは、視覚の光刺激に対する感覚が一定期間残っていて、その期間内に別の刺激が視野内の別の場所に到来すると同時に光っているような感覚を生じる。もし、ここで、後続の光刺激が同じ場所に到来するならば、感覚の強度が足し合わされる積分されることになる。時間的に短い間隔をおいて2つの光刺激を提示し、光刺激の強度を調節し光刺激が知覚される閾値を調べる方法により、時間間隔20ms程度までは2つの刺激が完全に足し合わされて1つの光刺激と同等になることが分かっている。したがって、この時間的足し合わせ効果時間積分効果により時間的にスペックルパターンが平均化され、スペックルを除去することができる。像面全体のスペックルパターンが時間変化する周期は、図6Bの例では光源の光周波数の変化する周期2Δt2となっている。空間光変調手段3により生成される一枚の画像において、スペックルパターンが十分に平均化されていれば、スペックルを認識することなく良好な画像を観測することができる。ゆえに、一つの画像を表示する時間内において位相Δψを2π以上変化させればよい。これらにより、光周波数変調手段2がレーザ光の波長を変化させる周期は、空間光変調手段の画像を生成する周期以下であるとともに、20ms以下と設定する。像面全体のスペックルパターンにおいて、時間間隔20ms以下で干渉の強度が大きく変化することが望ましい。干渉強度の時間変化は、位相Δψの時間変化、つまりビート周波数ω1ω2が大きいほど変化が大きい。ビート周波数ω1ω2を大きくするには、ω2t=ω1t-Δt1と時間Δt1の原点シフトと考えると、ω1t-ω2t=ω1t-Δt1-ω1t=ω1t∂ω∂tΔt1-ω1t=∂ω∂tΔt1と展開できることから、周波数の時間変化率一階微分、傾きを大きくするか、時間Δt1を大きくすればよい。以上より、光周波数変調手段2の波長の時間変化の変化率が大きいほど、また伝搬時間差Δt1光路長差cΔt1が大きいほど、効率良くスペックルを除去することができる。光源1を出力するレーザ光は、縦モードがマルチモードの場合、光周波数変調手段2によるレーザ光の波長の変化により、例えば、あるモードω1tと別のモードω2tがω1t=ω2tと一致することがある。この場合、同一波長となるため時間で変化するビート周波数成分が無くなり、静的なスペックル成分のみの干渉強度となる不具合が発生する。以上の理由のため、スペックルを時間的に変化させ、時間で平均化することで除去するためには、縦モードがシングルモードである、もしくはマルチモードの周波数変化が別のモードと重ならないことが望ましい。また、一般にスペックルというと、図7に示すような異なる場所の強度ムラを連想する。これは、初期位相差φ1rφ2rで与えられる静的なスペックル成分で、像面上の点r毎に異なる値をもつため、静的な強度ムラとして観測される。ここで、すでに上記で示したようにビート周波数成分を発生させることでスペックルパターンを時間変化させ、ある任意の一点rで時間的に平均化することができれば、別の位置r’でも同様にスペックルが時間的に平均化される。以上より、像面上の任意の位置でスペックルが平均化されるので、像面上で均一な像を得ることができる。光周波数変調手段2は、レーザ光の強度をほぼ一定に保ったまま波長を変化させる。これにより、レーザ光の波長に対する強度が均一のため、任意のレーザ光の波長による干渉で大きな強度ムラを生じることなく、スペックルを除去することができる。光周波数変調手段2は、レーザ光の波長を三角波で変化させているが、正弦波で変化させても良く、同様に干渉の強度は時間的に連続して変化することになり、スペックルを除去することができる。スペックル除去光源は、光源1、および光周波数変調手段2の構成により、装置のサイズを小さく、装置のコストを安くすることができる。このように構成すれば、レーザ光をスクリーンなどの補助面に投影しても、スペックルパターンが時間的に変化するため、効率良くスペックルを除去することができるスペックル除去光源および照明装置が得られる。実施の形態2.この発明の実施の形態2に係るスペックル除去光源および照明装置は、光源、光周波数変調手段、多モード光ファイバおよび空間光変調手段を備えるものである。図8は、この発明の実施の形態2に係るスペックル除去光源および照明装置を示す構成図である。スペックル除去光源は、レーザ光を出力する光源1と、レーザ光の波長を変化させる光周波数変調手段2と、内部のコアで光を伝搬し、光のモードが二つ以上となる多モード光ファイバ4で構成する。また、照明装置は、スペックル除去光源と、照明された光で画像を生成する空間光変調手段3とで構成する。図1のスペックル除去光源および照明装置と同様の構成を示しており、特に明記しない限り、図1のスペックル除去光源および照明装置と同様の機能を有する。多モード光ファイバ4は、図9に示すように、横断面の中心に光を伝搬させるコア4aがあり、コア直径は、数十~数百μm程度を有する。コアの外周には、光を全反射させるためのクラッド4bがあり、コアよりも屈折率が低くなっている。次に、動作について説明する。光源1から出力されたレーザ光は、光周波数変調手段2により周波数が時間的に連続して変化している。そのレーザ光は、レンズ5により集光し、多モード光ファイバ4に入射される。多モード光ファイバ4に入射するレーザ光のNAは光ファイバを伝搬可能なNAと同等かもしくはそれ以下、ビームサイズは光ファイバのコアサイズと同等かもしくはそれ以下となっている。この条件となれば、光源1から出力されたレーザ光が直接多モード光ファイバ4に入射し、レンズ5を用いなくても良い。多モード光ファイバ4に入射したレーザ光は、多モード光ファイバ4のコア4a内を伝搬して出射される。ここで、光を全反射しているため、高い輸送効率でレーザ光を伝搬させることができる。多モード光ファイバ4には、光を伝搬可能なモードが多数存在する。最高次モードの伝搬角は全反射角にほぼ等しく、モードの伝搬角が0から全反射角の間の範囲にほぼ連続的に分布すると見なしてよい程度で、モード数は数百~数千以上である。ここで、多モード光ファイバ4は長手方向に長尺で屈曲されているため、反射回数は十分で入射したレーザ光が複数のモードに展開されて多モード光ファイバ4を伝搬する。多モード光ファイバ4に存在する最低次モード基本モードは伝搬角が非常に小さく、光ファイバの光軸にほぼ平行に伝搬するので最も早く出射端に到達する。一方、高次モードの伝搬角はほぼ全反射角θcに等しく、図9に示すように等価的に基本モードよりも1cosθc倍だけ長い距離を伝搬することになる。そのため、距離Lを伝搬したときの基本モードと最高次モードの伝搬時間差Δtは、式6となる。ここで、n1はコアの屈折率、cは光速である。したがって、レーザ光は多モード光ファイバ4を伝搬させると、異なるモードにより伝搬時間差Δtが生じ、これはファイバ長Lで比例して拡大される。物体面で近接した二点からのレーザ光では、像面までの光路長差は小さいため、伝搬時間差Δt1が小さく、レーザ光の波長光周波数が時間的に変化した場合でも、レーザ光の光周波数差ω1ω2が小さくなる。そのため、ビート周波数成分による位相Δψの時間変化は小さく、像面における干渉の強度の変化は小さくなる。他方、多モード光ファイバ4を出力したレーザ光は、異なるモードの伝搬時間差Δtが長さLのファイバにより拡大して生成される。これにより、物体面で近接した二点からのレーザ光は、ファイバの長さLに比例して伝搬時間差Δtが大きく拡大されるため、像面における干渉の強度の変化は大きくなる。そのため、干渉の強度は時間的に大きく変化することになり、効率良くスペックルを除去することができる。多モード光ファイバ4は、長手方向に長尺で屈曲されているため、反射回数は十分で入射したレーザ光が複数のモードに展開されて多モード光ファイバ4を伝搬する。そのため、多モード光ファイバ4に入射する端面において、レーザ光の強度の空間分布はガウス分布であるのに対し、多モード光ファイバを出射する端面において、各モードの強度の空間分布が重ね合わされ、出射したレーザ光は空間的に平均化される。多モード光ファイバ4を出射したレーザ光は、空間光変調手段3を照明する。ここで、出射したレーザ光の均一な強度の空間分布により、空間光変調手段3の被照面にムラなくレーザ光を照射することができる。空間光変調手段3は、入力信号でデバイスの光学特性を変化させ、照明されたレーザ光の光束を局所的に変調し、画像を形成する。空間光変調手段3からの透過光あるいは反射光図8では透過光をスクリーンなどの補助面に投影すると、スペックルパターンは時間的に変化するため、スペックルの除去された画像を表示することができる。また、空間光変調手段3の被照面にムラなく照射しているため、均一な画像を表示することができる。このように構成すれば、レーザ光をスクリーンなどの補助面に投影しても、スペックルパターンが時間的に変化するため、効率良くスペックルを除去することができる光源が得られる。実施の形態3.この発明の実施の形態3に係るスペックル除去光源および照明装置は、光源、光周波数変調手段、コア横断面の外径形状が方形の多モード光ファイバ、および空間光変調手段を備えるものである。図8のスペックル除去光源および照明装置と同様の構成を示しており、特に明記しない限り、図8のスペックル除去光源および照明装置と同様の機能を有する。図10は、多モード光ファイバ4の横断面構造を図示している。多モード光ファイバ4の横断面の中心には、光を伝搬させるコア4aがあり、外径形状は方形である。コア方形の一辺長は、数十~数百μm程度を有する。コア4aの外周には、光を全反射させるためのクラッド4bがあり、コア4aよりも屈折率が低くなっている。この多モード光ファイバ4の製造方法について説明する。まず、MCVD法、OVD法、VAD法等の公知の光ファイバ用プリフォームの製造方法と同様にして、石英製の円柱ロッド材を形成する。次いで、図11に示すように、円柱ロッド材4cの側面を研磨することにより、その横断面を円形からその円周に沿って弓形を除去した略方形に形成し、コア形成部のプリフォーム4dを作製する。作製したプリフォーム4dを線引き機にセットし、そのプリフォーム4dを加熱延伸して細径化する線引き加工を施す。ここで、線引き加工の加熱温度を、横断面における外径形状が実質的に維持されたままコア形成部が線引き加工で光ファイバのコアになるように設定する。次いで、線引きされたものの表面にラジカル発生剤を添加したアクリル樹脂液を付着させ、それに紫外線を照射することにより硬化させ、コア表面を被覆保護するクラッドを形成する。以上のように、光ファイバの中心にあるコア4aと、コア4aを被覆するように設けられたクラッド4bとからなる多モード光ファイバ4が製造される。次に、動作について説明する。実施の形態2と同様に、光源1から出力されたレーザ光は、光周波数変調手段2により周波数が時間的に連続して変化している。そのレーザ光は、レンズ5により集光し、多モード光ファイバ4に入射される。多モード光ファイバ4に入射したレーザ光は、多モード光ファイバ4のコア4a内を伝搬して出射される。多モード光ファイバ4の横断面のコア外径形状は方形である。そのため、光ファイバの円周方向を周回するスキュー成分が低減し、スペックルパターンは空間的に均一化することにより、より効果的にスペックルを除去することができる。また、多モード光ファイバ4に入射する端面において、レーザ光のビーム形状は略円形であるのに対し、多モード光ファイバ4を出射する端面において、レーザ光のビーム形状は略方形が得られる。多モード光ファイバ4を出射したレーザ光は、空間光変調手段3を照明する。ここで、出射したレーザ光の均一な強度の空間分布により、空間光変調手段3の被照面にムラなくレーザ光を照射することができる。また、空間光変調手段3の被照面は方形である。出射したレーザ光の略方形のビーム形状により、高い光利用効率でレーザ光を空間光変調手段3に照射することができる。空間光変調手段3は、入力信号でデバイスの光学特性を変化させ、照明されたレーザ光の光束を局所的に変調し、画像を形成する。空間光変調手段3からの透過光あるいは反射光図8では透過光をスクリーンなどの補助面に投影すると、スペックルパターンは時間的に変化するため、スペックルの除去された画像を表示することができる。空間光変調手段3の被照面にムラなく照射している、および高い光利用効率でレーザ光を空間光変調手段3に照射しているため、明るく均一な画像を表示することができる。このように構成すれば、レーザ光をスクリーンなどの補助面に投影しても、スペックルパターンが時間的に変化するため、効率良くスペックルを除去することができる光源が得られる。