"基準点の周りに複数の圧力センサーが配置された第1基板と、外圧によって先端部が前記複数の圧力センサーに当接した状態で弾性変形する弾性体突起が形成された第2基板と、を備え、前記弾性体突起は、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬さが硬くなるように構成されている検出装置。前記弾性体突起は、複数の層を積層して形成されており、前記複数の層の1層毎の平均硬さは、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬くなるように構成されており、前記弾性体突起の硬さは、前記複数の層の境界部において不連続に変化している請求項1に記載の検出装置。前記複数の層の各々は、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬さが変化しないように構成されている請求項2に記載の検出装置。前記複数の層の各々は、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬さが連続的に変化するように構成されている請求項2に記載の検出装置。前記弾性体突起は、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬さが連続的に変化するように構成されている請求項1に記載の検出装置。前記弾性体突起は、前記第2基板の法線と直交する面で切った断面が前記第2基板側から前記第1基板側に向けて徐々に小さくなるような形状を備えている請求項1~5のいずれか1項に記載の検出装置。前記複数の圧力センサーは、前記基準点を中心として点対称な位置に配置されている請求項1~6のいずれか1項に記載の検出装置。前記複数の圧力センサーは、互いに直交する2方向にマトリクス状に配置されている請求項7に記載の検出装置。前記弾性体突起は前記第2基板に複数形成され、前記複数の弾性体突起は互いに離間して配置されている請求項1~8のいずれか1項に記載の検出装置。前記外圧によって前記弾性体突起が弾性変形することにより複数の前記圧力センサーで検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて前記外圧のすべり方向と大きさを演算する演算装置を備えている請求項1~9のいずれか1項に記載の検出装置。請求項1~10のいずれか1項に記載の検出装置を備えている電子機器。請求項1~10のいずれか1項に記載の検出装置を備えているロボット。特許文献1の検出装置では、接触子の底面を感圧素子に押し付けた状態で接触部分を弾性変形させ、その変形量によって測定面内に圧力分布を生じさせている。そのため、外圧の検出精度を高めるためには、接触子は柔らかい材料で形成されていることが望ましい。しかし、接触子を柔らかい材料で形成すると、小さな外圧によって接触子が大きく潰れ、それ以上大きな外圧が加わっても、圧力分布がほとんど変化しなくなる。すなわち、大きな外圧に対して感度が悪くなる。一方、大きな外圧に対して感度のよい検出装置を提供しようとすると、接触子は硬い材料で形成されていることが望ましいが、この場合、小さな外圧によって接触子が変形しにくくなるので、小さな外圧に対して感度が悪くなる。本発明の目的は、測定面に加わる外圧のすべり方向を広い圧力範囲で精度よく検出することが可能な検出装置、電子機器及びロボットを提供することにある。本発明の検出装置は、基準点の周りに複数の圧力センサーが配置された第1基板と、外圧によって先端部が前記複数の圧力センサーに当接した状態で弾性変形する弾性体突起が形成された第2基板と、を備え、前記弾性体突起は、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬さが硬くなるように構成されている。この構成によれば、弾性体突起に外圧が作用すると、まず弾性体突起の柔らかい部分が潰れて第1基板の面内に圧力分布を生じさせる。外圧を大きくしていくと、弾性体突起の柔らかい部分だけでなく硬い部分も弾性変形するようになる。そのため、弾性体突起の柔らかい部分が大きく潰れ、柔らかい部分がそれ以上変形しなくなっても、弾性体突起の硬い部分が弾性変形し、第1基板の面内に大きな圧力分布を生じさせることができる。このように弾性体突起では、柔らかい部分と硬い部分が互いに検出感度の弱い部分を補い合うので、結果として、広い圧力範囲で外圧を感度よく検出することが可能となる。前記弾性体突起は、複数の層を積層して形成されており、前記複数の層の1層毎の平均硬さは、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬くなるように構成されており、前記弾性体突起の硬さは、前記複数の層の境界部において不連続に変化していてもよい。この構成によれば、弾性体突起が複数の層によって形成されているので、複数の層の硬さを層毎に調節することにより、弾性体突起の硬さ分布を精度よく制御することができる。硬さ分布は検出装置の感度に影響するので、硬さ分布を精度よく制御することによって、外圧の検出精度も向上する。前記複数の層の各々は、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬さが変化しないように構成されていてもよい。この構成によれば、硬さの異なる複数の層を単純に積層していけばよいので、製造が容易である。前記複数の層の各々は、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬さが連続的に変化するように構成されていてもよい。この構成によれば、外圧の変化に対して検出装置の検出値圧力値を滑らかに変化させることができる。そのため、広い圧力範囲で外圧のすべり方向の検出を精度よく行うことができる。前記弾性体突起は、前記第1基板に近い側から遠い側に向けて硬さが連続的に変化するように構成されていてもよい。この構成によれば、外圧の変化に対して検出装置の検出値圧力値を滑らかに変化させることができる。そのため、広い圧力範囲で外圧のすべり方向の検出を精度よく行うことができる。前記弾性体突起は、前記第2基板の法線と直交する面で切った断面が前記第2基板側から前記第1基板側に向けて徐々に小さくなるような形状を備えていてもよい。この構成によれば、弾性体突起と圧力センサーとの接触面における荷重分散が抑制され、外圧の検出感度が向上する。前記複数の圧力センサーは、前記基準点を中心として点対称な位置に配置されていてもよい。この構成によれば、基準点と各圧力センサーとの間の距離が互いに等しくなるので、弾性体突起の弾性変形量と各圧力センサーの検出値の関係が互いに等しくなる。例えば、複数の圧力センサーが基準点から互いに異なる距離に配置される場合、弾性体突起の弾性変形量が同じであっても、各圧力センサーの検出値は互いに異なることとなる。このため、検出値の差分を演算する際に各圧力センサーの配置位置に応じた補正係数が必要となる。しかしながら、本発明の検出装置によれば、弾性体突起の弾性変形量と各圧力センサーの検出値との関係が互いに等しくなるので、前記補正係数は不要となる。したがって、各圧力センサーの検出値から外圧のすべり方向を演算することが容易となる。前記複数の圧力センサーは、互いに直交する2方向にマトリクス状に配置されていてもよい。この構成によれば、互いに隣接する圧力センサーの検出値の差分を求めることにより、外圧のすべり方向を互いに直交する2方向のベクトルとして算出することができる。前記弾性体突起は前記第2基板に複数形成され、前記複数の弾性体突起は互いに離間して配置されていてもよい。この構成によれば、弾性体突起同士の干渉が抑制されるので、複数の弾性体突起が設置された領域全体で、精度のよい外圧の検出が可能となる。前記外圧によって前記弾性体突起が弾性変形することにより複数の前記圧力センサーで検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて前記外圧のすべり方向と大きさを演算する演算装置を備えていてもよい。本発明の電子機器又はロボットは、本発明の検出装置を備えている。この構成によれば、外圧のすべり方向を高い精度で検出可能な電子機器又はロボットを提供することができる。以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。以下の説明においては、図1中に示されたXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。XYZ直交座標系は、X軸及びY軸が第1基板10に対して平行な方向に設定され、Z軸が第1基板10に対して直交する方向に設定されている。第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態に係る検出装置1の概略構成を示す分解斜視図である。図1において、符号Pは基準点、符号Sは1つの弾性体突起22に対応して配置された複数の圧力センサー12が検出する単位検出領域を示している。符号S1,S2,S3,S4は、1つの圧力センサー12によって検出される検出領域を示している。検出装置1は、基準点に加えられた外圧の方向と大きさを検出する圧力センサー方式のタッチパッドであり、例えばノートパソコン等の電子機器においてマウスの代わりのポインティングデバイスとして用いられるものである。なお、基準点とは、弾性体突起の中心が位置決めされるポイント、すなわち、単位検出領域の中心点である。また、圧力センサーの方式については特に限定されることなく、例えば静電容量方式やフォトセンサー方式等を用いることができる。図1に示すように、検出装置1は、基準点Pの回りに複数配置された圧力センサー12、を有する第1基板10と、外圧によって先端部が第1基板10に当接した状態で弾性変形する弾性体突起22、が形成された第2基板20と、を備えている。検出装置1は、外圧によって弾性体突起22が弾性変形することにより複数の圧力センサー12で検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサー12で検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向と大きさを演算する演算装置30を備えている。第1基板10は、例えばガラス、石英及びプラスチック等の材料で構成された矩形板状の第1基板本体11と、第1基板本体11に配置された複数の圧力センサー12と、を具備して構成されている。例えば、第1基板本体11の大きさ平面視のサイズは、縦56mm×横56mm程度になっている。複数の圧力センサー12は、基準点Pに対して点対称に配置されている。例えば、複数の圧力センサー12は、互いに直交する2方向X方向及びY方向にマトリクス状に配置されている。これにより、基準点Pと各圧力センサー12との間の距離が互いに等しくなるので、弾性体突起22の変形と各圧力センサー12で検出される圧力値との関係が互いに等しくなる。よって、各圧力センサー12の圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサー12で検出された圧力値の差分を演算することが容易となる。また、圧力センサーが互いに直交する2方向にマトリクス状に配置されている場合には、外圧のすべり方向を互いに直交する2方向のベクトルとして算出することができるので、演算が容易になる。なお、圧力値の差分の演算方法については後述する。隣り合う圧力センサー12の間隔は、0.1mm程度になっている。このため、外乱や静電気等の影響により隣り合う位置の圧力センサー12で検出される圧力値にノイズがのらないようになっている。複数の圧力センサー12は、単位検出領域S当たり縦2行横2列に計4つ配置されている。4つの圧力センサー12の中心単位検出領域Sの中心が基準点Pとなっている。例えば、単位検出領域Sの大きさ平面視のサイズは、縦2.8mm×横2.8mm程度になっている。また、4つの圧力センサー12の各面積がほぼ等しくなっている。圧力センサー12としては、例えばダイアフラムゲージ等の公知の感圧素子を用いることができる。圧力センサー12は、例えば、接触面に外圧が作用したときにダイアフラムに加わる圧力を電気信号に変換する。第2基板20は、矩形板状の第2基板本体21と、第2基板本体21に配置された複数の弾性体突起22と、を具備して構成されている。第2基板本体21は、外圧を直接受ける部分である。第2基板本体21は、例えばガラス、石英及びプラスチック等の材料で構成することもできるし、発泡ウレタン樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂材料で構成することもできる。複数の弾性体突起22は、第2基板本体21上においてX方向及びY方向にマトリクス状に配置されている。弾性体突起22は、第1基板10に近い側-Z側から遠い側Z側に向けて硬さが硬くなるように構成されている。図1の例では、弾性体突起22は、複数の層第1層22a、第2層22bを積層して形成されており、前記複数の層の1層毎の平均硬さは、第1基板10に近い側から遠い側に向けて硬くなるように構成されており、弾性体突起22の硬さは、複数の層22a,22bの境界部において不連続に変化している。例えば、複数の層22a,22bの各々は、第1基板10に近い側から遠い側に向けて硬さが変化しないように構成されており、基端部に配置された第1層22aの平均硬さは50であり、先端部に配置された第2層22bの平均硬さは30である。なお、硬さとは、デュロメータ硬さタイプA、ISO7619準拠のデュロメータによる硬さ測定値をいい、層の平均硬さとは、当該層の微小領域の硬さを層全体で体積積分した値を計算し、その積分値を当該層の体積で除算したものをいう。弾性体突起22は、第2基板の法線と直交する面で切った断面が第2基板20側から第1基板10側に向けて徐々に小さくなるような形状を備えている。弾性体突起22の先端部が先細るように形成されていることにより、弾性体突起22と圧力センサー12との接触面における荷重分散が抑制され、外圧の検出感度が向上する。図1の例では、弾性体突起22の先端部は、球面の錘状となっているが、弾性体突起22の形状はこれに限定されない。弾性体突起22は、先端部が第1基板10第1基板本体11上の複数の圧力センサー12に当接している。弾性体突起22の重心は、初期的に基準点Pと重なる位置に配置されている。また、複数の弾性体突起22は、互いに離間して配置されている。このため、弾性体突起22が弾性変形したときの第2基板本体21の面内に平行な方向の変形量を許容することができる。弾性体突起22のサイズは任意に設定することができる。ここでは、弾性体突起22の基部の径弾性体突起22が第1基板10に接する部分の直径は1.8mm程度になっている。弾性体突起22の高さ弾性体突起22のZ方向の距離は2mm程度になっている。隣り合う弾性体突起22の離間間隔は1mm程度になっている。図2及び図3は、基準点Pに作用する外圧の方向と大きさを検出する方法の説明図である。図2a~cは、第1実施形態に係る圧力センサーによる圧力値の変化を示す断面図である。図3a~cは、図2a~cに対応した、第1実施形態に係る圧力センサーによる圧力値の変化を示す平面図である。なお、図2a及び図3aは第2基板20の表面に外圧が付加される前の状態外圧の作用がないときを示している。図2b及び図3bは第2基板20の表面に垂直方向すべり力がない状態の外圧が付加された状態を示している。図2c及び図3cは第2基板20の表面に斜め方向すべり力がある状態の外圧が付加された状態を示している。また、図3a~cにおいて、符号Gは弾性体突起22の重心圧力中心を示している。図2a及び図3aに示すように、第2基板20の表面に外圧が付加される前においては、弾性体突起22は変形しない。これにより、第1基板10と第2基板20との間の距離は一定に保たれる。このとき、弾性体突起22の重心Gは基準点Pと重なる位置に配置されている。このときの各圧力センサー12の圧力値は図示略のメモリに記憶されている。メモリに記憶された各圧力センサー12の圧力値を基準として外圧の作用する方向や大きさが求められる。図2b及び図3bに示すように、第2基板20の表面に垂直方向の外圧が付加されたときには、弾性体突起22は先端部が第1基板10の表面に配置された複数の圧力センサー12に当接した状態でZ方向に圧縮変形する。これにより、第2基板20が-Z方向に撓み、第1基板10と第2基板20との間の距離が外圧の作用がないときに比べて小さくなる。このときの圧力センサーの圧力値は、外圧の作用がないときに比べて大きくなる。また、その変化量は各圧力センサーとも略同じ値となる。図2c及び図3cに示すように、第2基板20の表面に斜め方向の外圧が付加されたときには、弾性体突起22は先端部が第1基板10の表面に配置された複数の圧力センサー12に当接した状態で斜めに傾いて圧縮変形する。これにより、第2基板20が-Z方向に撓み、第1基板10と第2基板20との間の距離が外圧の作用がないときに比べて小さくなる。このとき、弾性体突起22の重心Gは基準点PからX方向及びY方向にずれる。この場合、弾性体突起22の先端部と4つの圧力センサー12との重なる面積は互いに異なる。具体的には、弾性体突起22の先端部と4つの圧力センサー12との重なる面積は、4つの圧力センサー12のうち-X方向及び-Y方向に配置された部分と重なる面積よりもX方向及びY方向に配置された部分と重なる面積のほうが大きくなる。弾性体突起22は、斜め方向の外圧により変形に偏りが生じる。すなわち、弾性体突起22の重心は基準点Pからずれてすべり方向X方向及びY方向に移動する。すると、各圧力センサーで異なる値の圧力値が検出される。具体的には、弾性体突起22の重心と重なる位置の圧力センサーでは相対的に大きい圧力値が検出され、弾性体突起22の重心と重ならない位置の圧力センサーでは相対的に小さい圧力値が検出されることとなる。そして、後述する差分の演算方法に基づいて外圧が加えられた方向と大きさが求められる。図4は、検出装置1の出力特性を示す図である。横軸は、第2基板20に加えられる外圧の大きさであり、縦軸は、検出装置1で検出される圧力値である。前述のように、弾性体突起22は、硬さの異なる複数の層第1層22a、第2層22bが第2基板本体21側から順次積層されて形成されており、弾性体突起22は、第1基板10に近い側から遠い側に向けて硬さが硬くなるように構成されている。そのため、外圧の大きさを変化させると、弾性体突起22の各層22a,22bの弾性特性に応じた複数の出力特性a1,a2が現れ、それらを合成した出力特性が検出装置1の出力特性a3となる。例えば、外圧の小さい低圧領域では、弾性体突起22の第2層22bが出力特性a1に従って弾性変形し、第1基板10の面内に圧力分布を生じさせる。第2層22bは柔らかい材料で形成されているので、小さな外圧でも大きく変形し、第1基板10の面内に大きな圧力分布を生じさせる。一方、外圧の大きい高圧領域では、第2層22bは完全に潰れ、それ以上の弾性変形は生じにくくなる。しかし、第2層22bよりも硬い第1層22aが出力特性a2に従って弾性変形するので、第1基板10の面内に大きな圧力分布を生じさせることができる。弾性体突起22を柔らかい材料のみ又は硬い材料のみで形成した場合には、高圧領域又は低圧領域で外圧を感度よく検出することができない。しかし、弾性体突起22の一部を柔らかい材料で形成し、一部を硬い材料で形成すると、柔らかい部分と硬い部分が互いに検出感度の弱い部分を補い合うので、結果として、広い圧力範囲で外圧を感度よく検出することが可能となる。図5は、第1実施形態に係るセンシング領域の座標系を示す図である。図6は、第1実施形態に係る圧力センサーによる垂直方向の圧力分布を示す図である。図7は、第1実施形態に係る圧力センサーによるすべり方向の計算例を示す図である。なお、以下の説明では、検出領域S1,S2,S3,S4に含まれる圧力センサーを単に圧力センサーS1,S2,S3,S4と記載する。図5に示すように、複数の圧力センサーS1~S4は、単位検出領域S当たり縦2行横2列に計4つ配置されている。ここで、各圧力センサーS1~S4が検出する圧力値検出値をそれぞれPS1,PS2,PS3,PS4とすると、外力のX方向成分Fx外力の面内方向成分のうちX方向に作用する分力の割合は以下の式1で表される。また、外力のY方向成分Fy外力の面内方向成分のうちY方向に作用する分力の割合は以下の式2で表される。また、外力のZ方向成分Fz外力の垂直方向成分は以下の式3で表される。本実施形態では、外圧によって弾性体突起が弾性変形することにより4つの圧力センサーS1~S4で検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向が演算される。式1に示すように、外圧のX方向成分Fxにおいては、4つの圧力センサーS1~S4で検出された圧力値のうちX方向に配置された圧力センサーS2及びS4で検出された値が組み合わされるとともに、-X方向に配置された圧力センサーS1及びS3で検出された値が組み合わされる。このように、X方向に配置された圧力センサーS2及びS4の組み合わせによる圧力値と-X方向に配置された圧力センサーS1及びS3の組み合わせによる圧力値との差分に基づいて外圧のX方向成分が求められる。式2に示すように、外圧のY方向成分Fyにおいては、4つの圧力センサーS1~S4で検出された圧力値のうちY方向に配置された圧力センサーS1及びS2で検出された値が組み合わされるとともに、-Y方向に配置された圧力センサーS3及びS4で検出された値が組み合わされる。このように、Y方向に配置された圧力センサーS1及びS2の組み合わせによる圧力値と-Y方向に配置された圧力センサーS3及びS4の組み合わせによる圧力値との差分に基づいて外圧のY方向成分が求められる。式3に示すように、外圧のZ方向成分Fzにおいては、4つの圧力センサーS1~S4の圧力値を足し合わせた合力で求められる。ただし、外圧のZ方向成分Fzは、外圧のX方向成分Fx及び外圧のY方向成分Fy分力に比べて検出値が大きく検出される傾向がある。このため、外圧のZ方向成分Fzの検出値を、外圧のX方向成分Fx及び外圧のY方向成分Fyの検出値と揃えるには、弾性体突起22の材質や形状によって決定される補正係数で検出値を適宜補正する必要がある。図6に示すように、タッチパッドの検出面の中央部より左上寄りの位置を指で斜めに押した場合を考える。このとき、外圧の垂直方向の圧力は、外圧が作用した部分の中心部が最も大きくなっている圧力センサーの出力電圧90~120mV程度。また、外圧の垂直方向の圧力は、中心部に次いでその周辺部60~90mV程度、最外周部30~60mV程度の順に小さくなっている。また、指で押されていない領域は、圧力センサーの出力電圧が0~30mV程度となっている。なお、タッチパッドには単位検出領域圧力センサーS1~S4が縦2行横2列に計4つ配置された領域がマトリクス状例えば縦15行×横15列に計225個に配置されているとする。図7に示すように、タッチパッドの検出面の中央部より左上寄りの位置を指で斜めに押した場合の外圧の面内方向成分すべり方向の算出方法を考える。このとき、指の押圧力外力は、縦15行×横15列に配置されたものうち縦3行×横3列に配置された部分に作用しているとする。ここで、外圧の垂直方向の圧力は、図6と同様に外圧が作用した部分の中心部がもっとも大きくなっている110mV。縦3行×横3列に配置された各単位検出領域は、それぞれ4つの圧力センサーS1~S4を有しており、各圧力センサーS1~S4で検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向が演算される。つまり、各単位検出領域では、上述した式1及び式2に基づいて外圧のX方向成分Fx及び外圧のY方向成分Fyが算出される。ここでは、X方向を基準として左回りに約123°の方向に外圧が作用していることが分かる。なお、外圧の作用する方向の算出にあっては、9つの算出結果の平均値で求める方法、あるいは9つの算出結果のうちの最大値例えば所定のしきい値よりも大きい検出値により求める方法を用いることができる。図8は、弾性体突起22の製造方法の一例を示す説明図である。弾性体突起22を製造する場合には、まず、図8aに示すように、第2層22bに対応した開口部40aが設けられた第1の型40を用意し、図8bに示すように、第1の型40の開口部40aにシリコーンゴムなどの弾性材料を充填して第2層22bを形成する。第2層22bはデュロメータ硬さが30程度の柔らかい材料で形成される。このような材料としては、信越シリコーン社製のシリコーンRTVゴムKE-14商品名が好適である。次に、図8cに示すように、第1層22aに対応した開口部41aが設けられた第2の型41を第1の型40の上に積層し、図8dに示すように、第2の型41の開口部41aに露出した第2層22b上にシリコーンゴムなどの弾性材料を充填して第1層22aを形成する。第1層22aはデュロメータ硬さが50程度の硬い材料で形成される。このような材料としては、信越シリコーン社製のシリコーンRTVゴムKE-17商品名が好適である。以上の方法により製造された弾性体突起22は、図1に示した第2基板本体21に溶着又は接着され、第2基板本体21と一体化される。そして、弾性体突起22から第1の型40及び第2の型41が取り外され、第2基板20が完成する。この方法では、第1の型40と第2の型41の開口部に順次弾性材料を充填していくので、第1層22aと第2層22bの硬さは、それぞれ厚み方向において変化しない。そのため、弾性体突起22の硬さは、第1層22aと第2層22bとの境界部において不連続となり、検出装置の出力特性においても、低圧側から高圧側にかけて不連続的に変化する部分図4の符号Aで示した部分が生じる。しかし、上記の方法は、硬さの異なる複数の層を単純に積層していけばよいので、製造が容易であり、コストも低減できる。本実施形態の検出装置1によれば、弾性体突起22の硬さが、第1基板10に近い側から遠い側に向けて硬くなるように形成されているため、外圧の小さい低圧領域から外圧の大きい高圧領域まで広い圧力範囲で感度よく外圧を検出することができる。また、弾性体突起22は、硬さの異なる複数の層22a,22bを積層して形成されているので、複数の層22a,22bの硬さを層毎に調節することにより、弾性体突起22の硬さ分布を精度よく制御することができる。硬さ分布は検出装置1の感度に影響するので、硬さ分布を精度よく制御することにより、外圧の検出精度も向上する。本実施形態では、弾性体突起22を2層で形成したが、弾性体突起22を3層以上で形成することもできる。層数が増えるほど、検出装置1の出力特性に不連続的に変化する部分図4の符号Aで示した部分が生じにくくなり、外圧の変化に対して検出装置1の検出値圧力値を滑らかに変化させることができる。そのため、広い圧力範囲で外圧のすべり方向の検出を精度よく行うことができる。第2実施形態図9は、第2実施形態の検出装置2の概略構成を示す断面図である。検出装置2において第1実施形態の検出装置1と共通する構成要素については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。検出装置2において第1実施形態の検出装置1と異なる点は、弾性体突起23の硬さが第1基板10に近い側から遠い側に向けて硬くなるように、弾性体突起23の硬さが連続的に変化している点である。弾性体突起23の硬さは、例えば、弾性体突起23を硬化する際の硬化度合いを弾性体突起23の厚み方向Z方向に変化させることにより制御されている。第2基板24は、弾性体突起23を第2基板本体21に溶着又は接着することにより形成されている。図10は、検出装置2の出力特性を示す図である。横軸は、第2基板24に加えられる外圧の大きさであり、縦軸は、検出装置2で検出される圧力値である。前述のように、弾性体突起23の硬さは、第1基板10に近い側から遠い側に向けて連続的に変化している。弾性体突起23は、硬さの異なる多数の層を第2基板本体21側から順次積層したのと同等の構成となる。そのため、弾性体突起23の各層の弾性特性に応じた多数の出力特性b1,b2,b3,b4,...が現れ、それらを合成した出力特性が検出装置2の出力特性b5となる。例えば、外圧の小さい低圧領域では、弾性体突起23の最も柔らかい部分が出力特性b1に従って弾性変形し、第1基板10の面内に圧力分布を生じさせる。外圧を大きくしていくと、柔らかい部分はそれ以上弾性変形しなくなるが、それよりも硬い部分が出力特性b2,b3,b4...に従って順次弾性変形するため、第1基板10の面内に大きな圧力分布を生じさせることができる。その結果、広い圧力範囲で外圧を感度よく検出することが可能となる。図11は、弾性体突起23の製造方法の一例を示す説明図である。弾性体突起23を製造する場合には、まず、図11aに示すように、弾性体突起23に対応した開口部42aを有する型42を用意し、型42の開口部42aの底部に硬化阻害物質43を配置する。硬化阻害物質43としては、硫黄、リン、窒素化合物、水、有機金属塩などを含む物質で、例えば松ヤニなどのワックス類が挙げられる。次に、図11bに示すように、型42の開口部42aにシリコーンゴムなどの弾性材料44を充填する。そして、図11cに示すように、弾性材料44を硬化して弾性体突起23を形成する。弾性材料44としては、例えば、信越シリコーン社製の付加反応型のシリコーンRTVゴムKE-17商品名が用いられる。弾性材料44として付加反応型のRTVゴムを用いると、硬化阻害物質43により、硬化阻害物質に近い部分の弾性材料44の硬化が阻害され、硬化不良となる。硬化阻害物質43から遠い部分の弾性材料44は、硬化阻害物質43の影響が少なくなるため、硬化不良とはならない。その結果、弾性体突起23の先端部は弾性が大きく柔らかく、弾性体突起23の基端部では弾性が小さい硬い構造となる。以上の方法により製造された弾性体突起23は、図9に示した第2基板本体21に溶着又は接着され、第2基板本体21と一体化される。そして、弾性体突起23から型42が取り外され、第2基板24が完成する。本実施形態の検出装置2では、硬化阻害物質43に近い側から遠い側に向けて弾性体突起23の硬さが連続的に変化する。弾性体突起23の内部には、硬さが不連続的に変化する領域例えば、図4の符号Aで示した部分が形成されないので、外圧の変化に対して検出装置2の検出値圧力値を滑らかに変化させることができる。そのため、広い圧力範囲で外圧のすべり方向の検出を精度よく行うことができる。第3実施形態図12は、第3実施形態の検出装置3の概略構成を示す断面図である。検出装置3において第1実施形態の検出装置1と共通する構成要素については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。検出装置3において第1実施形態の検出装置1と異なる点は、弾性体突起27が、複数の層第1層25、第2層26を積層して形成されており、複数の層25,26の各々が、第1基板10に近い側から遠い側に向けて硬さが連続的に変化するように構成されている点である。各層25,26の硬さは、例えば、各層25,26を硬化する際の硬化度合いを層厚方向Z方向に変化させることにより制御されている。複数の層25,26の1層毎の平均硬さは、第1基板10に近い側から遠い側に向けて硬くなるように構成されており第1層25の平均硬さ>第2層26の平均硬さ、弾性体突起27の硬さは、複数の層25,26の境界部において不連続に変化している。第1層25及び第2層26は、図8に示したものと同様の方法で作製することができる。図8では、第1層と第2層を層厚方向全体で均一に硬化させたが、本実施形態では、第1層25と第2層26の内部に厚み方向の硬さ分布を持たせるために、図11に示したような硬化阻害物質を用い、第1層25と第2層26の硬化度合いを厚み方向で不均一にする。そうすることによって、第2層26の第1層25側の部分を硬くし、第2層26と第1層25との境界部に大きな硬さの変化が生じないようにしている。図13は、検出装置3の出力特性を示す図である。横軸は、第2基板28に加えられる外圧の大きさであり、縦軸は、検出装置3で検出される圧力値である。前述のように、第1層25及び第2層26の各々の硬さは、第1基板10に近い側から遠い側に向けて連続的に変化している。第1層25は、硬さの異なる多数の層を第2基板本体21側から順次積層したのと同等の構成となり、第2層26は、硬さの異なる多数の層を第2基板本体21側から順次積層したものと同等の構成となる。そのため、外圧の小さい低圧領域では、第2層26を構成する各層の弾性特性に応じた多数の出力特性が現れ、それらを合成した出力特性c1が検出装置3の低圧領域の出力特性となる。外圧の大きい高圧領域では、第1層25を構成する各層の弾性特性に応じた多数の出力特性が現れ、それらを合成した出力特性c2が検出装置3の高圧領域の出力特性となる。そして、低圧領域の出力特性c1と高圧領域の出力特性c2とを合成したものが、検出装置3の出力特性c3となる。第1層25及び第2層26は、それぞれ第1基板10に近い側から遠い側に向けて硬さが硬くなるような硬さ分布備えているので、第1層25と第2層26との境界部における硬さの変化は小さい。そのため、低圧領域の出力特性c1と高圧領域の出力特性c2とが滑らかに接続され、全体としての出力特性c3も滑らかとなる。そのため、低圧領域と高圧領域との境界部において、図4の符号Aで示したような大きな不連続性は生じにくくなり、結果として、広い圧力範囲で外圧を感度よく検出することが可能となる。電子機器図14は、上記実施形態に係る検出装置を適用した携帯電話機1000の概略構成を示す模式図である。携帯電話機1000は、複数の操作ボタン1003及びスクロールボタン1002、並びに表示部としての液晶パネル1001を備えている。液晶パネル1001には、上記実施形態に係る検出装置が内蔵されている。スクロールボタン1002を操作することによって、液晶パネル1001に表示される画面がスクロールされる。液晶パネル1001にはメニューボタン図示略が表示される。例えば、メニューボタンを指で触れると電話帳が表示されたり、携帯電話機の電話番号が表示されたりする。図15は、上記実施形態に係る検出装置を適用した携帯情報端末PDA:PersonalDigitalAssistants2000の概略構成を示す模式図である。携帯情報端末2000は、複数の操作ボタン2002及び電源スイッチ2003、並びに表示部としての液晶パネル2001を備えている。液晶パネル2001には、上記実施形態に係る検出装置が内蔵されている。電源スイッチ2003を操作すると、液晶パネル2001にはメニューボタンが表示される。例えば、メニューボタン図示略を指で触れると住所録が表示されたり、スケジュール帳が表示されたりする。このような電子機器によれば、上述した検出装置を備えているので、外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能な電子機器を提供することができる。なお、電子機器としては、この他にも、例えばパーソナルコンピューター、ビデオカメラのモニター、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、デジタルスチルカメラ、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。これらの電子機器に対しても、本発明に係る検出装置を適用させることができる。ロボット図16は、上記実施形態に係る検出装置を適用したロボット3000の概略構成を示す模式図である。図16aに示すように、ロボット3000は、本体部3003及び一対のアーム部3002、並びに検出装置を適用した把持部3001を備えたロボットハンドを有する。例えば、リモコン等の制御装置によりアーム部3002に駆動信号を送信すると、一対のアーム部3002が開閉動作する。図16bに示すように、ロボット3000でコップ等の対象物3010を把持する場合を考える。このとき、対象物3010に作用する力は把持部3001で圧力として検出される。ロボット3000は、把持部3001として上述した検出装置を備えているので、対象物3010の表面接触面に垂直な方向の力と併せて重力Mgですべる方向の力すべり力の成分を検出することが可能である。例えば、柔らかい物体を変形させたりすべりやすい物体を落としたりしないよう、対象物3010の質感に応じて力を加減しながら持つことができる。このロボット3000によれば、上述した検出装置を備えているので、外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能なロボットを提供することができる。"