有機金属化合物を複数のリアクター部にバルク供給するための方法であって、有機金属化合物を含有するバブラーに、キャリヤーガスをディップパイプにより導入すること、該有機金属化合物を該キャリヤーガス中に取込んで、キャリヤーガス/有機金属化合物のガス状混合物を調製すること、該ガス状混合物を貯蔵部に搬送すること、及び複数のリアクター部の1つまたはそれ以上に該ガス状混合物を選択的に供給することを含み、該ガス状混合物を凝縮させる工程を含まない、方法。前記キャリヤーガスとキャリヤーガス/有機金属化合物ガス状混合物の流量の制御が可能である請求項1に記載の方法。更に、前記有機金属化合物を取込んだ後の前記ガス状混合物に第2のキャリヤーガスを導入することを含む請求項1または2に記載の方法。蒸気濃度を飽和状態以下に保つために前記第2のキャリヤーガスの追加が監視されるものである請求項3に記載の方法。更に、前記ガス状混合物を加熱する工程を含む請求項1から4のいずれかに記載の方法。前記ガス状混合物が、貯蔵部から各リアクター部へ真空または圧力差の手段により引き出されるものである請求項1から5のいずれかに記載の方法。前記キャリヤーガスへの前記有機金属化合物の取込みが一定に保たれるものである請求項1から6のいずれかに記載の方法。0~10リットル/分の範囲の流量に対して一定した取込みが実現されるものである請求項7に記載の方法。前記キャリヤーガスが水素である請求項1から8のいずれかに記載の方法。前記バブラーが、有機金属化合物の完全な利用を助けるために、その基部または基部に近い位置に設けられた細径部を有する、請求項1に記載の方法。前記バブラーの基部にバブラーに比べて小さい容器が組み込まれている、請求項1に記載の方法。前記ディップパイプの端が前記細径部または前記小容器内の位置にある、請求項10または11に記載の方法。前記バブラーが、前記ディップパイプ102から垂直に延び、前記ディップパイプと流体連通し、それぞれに前記有機金属化合物の取込みを助けるための穴106が明けられている1本またはそれ以上の中空部材104a、104b、104cを有する、請求項1に記載の方法。前記各中空部材104a、104b、104cが前記ディップパイプの基端にある、請求項1に記載の方法。前記ディップパイプがその基端に中空の十字部材を備え、該十字部材の各部が複数の穴を有するものである、請求項1に記載の方法。前記穴が前記中空の十字部材の各部の同じ側に設けられている、請求項15に記載の方法。本発明の第1の態様は、有機金属化合物を複数のリアクター部に供給するための方法を提供する。この方法は、キャリヤーガスを有機金属化合物の容器に導入し、前記化合物をガス中に取込んでガス状混合物を調製し、前記ガス状混合物を貯蔵部に搬送し、複数のリアクター部の1つまたはそれ以上に選択的に供給する工程を含み、前記ガス状混合物を凝縮させる工程を含まない。本発明の第2の態様は、有機金属化合物を複数のリアクター部に供給するための装置を提供する。この装置は、有機金属化合物の容器にキャリヤーガスを導入するための入口と、前記化合物と前記キャリヤーガスのガス状混合物を貯蔵するための貯蔵部と、前記ガス状混合物を複数のリアクター部の1以上に選択的に供給するための出口とを含み、前記ガス状混合物を凝縮させるための凝縮器を含まない。好ましくは、装置内を通るキャリヤーガスおよびキャリヤーガス/前駆物質混合物の流量は、流量制御装置システム手段により制御される。第1の流量制御装置は、キャリヤーガスの容器への流入量を制御するために配置されることが好ましい。前駆物質を取り込んだ後のガス状混合物中には、第2のキャリヤーガスが導入されることが好ましい。この第2のキャリヤーガスの追加は、前駆物質を確実に気相のまま保つべく、蒸気の濃度を飽和状態以下に維持するために、前駆物質の取込み後に第2の流量制御装置によって監視されることが望ましい。追加的にまたはその代わりに、系システムを加熱状態としてもよく、これは、前駆物質が気相のままであることを確実にするために、蒸気の濃度を飽和状態以下に維持することの助けとなる。この第2の流量制御装置は、キャリヤーガスの2つの流れが常に互いに同じ比率になるように、第1の流量制御装置と連動させることが好ましい。このガス状混合物は、貯蔵のために貯蔵部に搬送されることが好ましいが、この貯蔵部は、複数のリアクター部に選択的に混合物を供給するための手段を備えている。また、貯蔵部は、容器へのキャリヤーガスの流入量を決定するために、第1の流量制御装置に接続された圧力制御装置を備えていることが好ましい。貯蔵部内の圧力は、異なる複数のリアクターへのガス状混合物の均一な供給を可能にするように制御される。リアクター部への前駆物質の供給に関しては、従来は、貯蔵は常に液相または固相で行われていたため、バルク材料を気相状態で貯蔵することは、これまでは行われていなかった。このガス状混合物は、望ましくは真空状態で、または貯蔵部と各リアクター部の圧力差によって引き出されるのが好ましい。また、各リアクターは、リアクターへのガス状混合物の流入量を決定するために、それぞれ流量制御装置を備えることが好ましい。キャリヤーガスへの前駆物質の一定した取込みは、本発明の方法と装置により実現させることが好ましい。また、更に好ましくは、一定した取込みは、毎分0~10リットルまでのような広い流量範囲にわたって実現される。前駆物質の容器は、好ましくはバブラーの形状であり、キャリヤーガスはディップパイプによりバブラー内に導入される。また、バブラーは、温度制御された油浴によって取り囲まれるようにすることが好ましく、更に、バブラー内の前駆物質のレベルを監視する手段を設けることが好ましい例えば、これはレベル警報器、重量計またはガス濃度モニター/積算流量計を設置することにより実現可能である。本発明の第3の態様は、前駆物質のための容器と、前駆物質をガス中に取り込むためにキャリヤーガスを前駆物質の中を通すためのディップパイプとを含むバブラーであって、以下の形態の1以上を含むバブラーを提供する。a前駆物質の完全な利用を助けるために、容器の基部または基部に近い位置に設けられた細径部、bディップパイプに対してほぼ垂直に延び、ディップパイプと流体連通し、各部材それぞれに前駆物質の取込みを助けるための穴が明けられている1本またはそれ以上の中空部材。バブラーの基部には細径部を設けるか、または、例えば、バブラーの底部に窪みの形で、バブラーの中に、バブラーに比べて小さい容器を配したものとしてもよい。ディップパイプの端部は、バブラー内に入っている前駆物質が殆ど完全に使われるまで、前駆物質の安定した取込みが確実に行われるようにするために、細径部または小容器内に入れられる。ディップパイプは、前駆物質の取込み量を多くするように設計されることが好ましい。また、このディップパイプには、ディップパイプの本体からほぼ垂直に延びる1本またはそれ以上の中空部材が、望ましくはその基部に取り付けられることが好ましい。これらの部材は、その1つまたはそれ以上の側面に複数の穴が開けられていることが好ましい。ディップパイプにはその基部に中空の十字形部材が設けられることが更に好ましい。十字形部材の各脚部には、好ましくは複数の穴が明けられる。さらに好ましくは、これらの穴は各脚部の同じ側に設けられる。このデザインは、小さなバブルサイズと渦流を確実にもたらすものとなり、非常に効率的な取込みを可能にする。前駆物質を取込むキャリヤーガスは、例えば水素など、適当な永久ガスであればいかなるものでもよい。本発明の装置と方法は、特にトリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウム、ジメチル亜鉛およびトリエチルガリウムのような有機金属化合物を、複数のエピタキシャルリアクターに供給するのに適するものである。本発明の内容をより理解するため、また本発明がどのように実現されるかをさらに明確に示すために、例示を目的とする添付図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施形態に係る、バルク容器1から複数のリアクター容器12、14、16、18、20に前駆物質を気相で供給するためのバルク供給装置を示すものである。一般的には水素ただし、いかなる永久ガスでも可であるキャリヤーガスの流れ2は、流量制御装置4により設定された流量で、ディップパイプ3を通して、複数のエピタキシャルリアクターに供給されるべき前駆物質の入ったバルクバブラー1内に送り込まれる。バルクバブラー1は油浴5内により温度制御されており、また充填状態を表示するレベル警報器6を備える。バルクバブラーの内部構造図2参照は、広範囲の流量0~10リットル/分において確実に一定した取込みを行うことができ、かつ、入っている化学物質を最後の2までほぼ完全に使用できるようになっている。水素2は、バブラー1から前駆物質を取り込み、その結果生じるガス流は更なる水素の注入によって薄められることになる。この流れは、流量制御装置4に比例して設定される流量制御装置7により設定される。この2次希釈は、主として蒸気濃度を飽和状態以下に低下させ、それによってガス流がシステム内を通過する場合に、確実に前駆物質が気相のままとするために必要とされる。また、この手段はバブラーの下流のシステムを加熱することによって代用することもでき、更には、これら2つの手段の組合せによっても達成することができる。このガス状混合物は、次に、圧力制御装置10を備えた中央貯蔵部9に送り込まれる。圧力制御装置10からの出力は、主水素流量制御装置4を設定するために利用される。貯蔵部内のガス状混合物の濃度は、濃度モニター8を使って測定される。蒸気は中央貯蔵部から圧力差によって、任意の数のエピタキシャルリアクター12、14、16、18、20に、各リアクター用の各流量制御装置12a、14a、16a、18a、20aにより設定された流量で取り出される。本発明の方法と装置は、あらゆる前駆物質を気相で複数のリアクター部へ供給するために使用することができるが、本発明は、特に半導体の製造において使用されるような有機金属化合物のバルク供給に適するものである。このような化合物としては、例えば、トリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウム、ジメチル亜鉛およびトリエチルガリウムなどが挙げられる。本発明の方法と装置は、広範囲の流量において一定した組成の蒸気を提供することができ、また前駆物質が2しか容器に残っていない場合であっても、一定した取込みを行うことができる点が重要なことである。さらに、複数のリアクターに供給される前駆物質/キャリヤーガス状混合物の組成を、ただ一つのガス濃度モニターによって監視できることも好ましいことである。本発明の装置は、前駆物質の化学物質を、中央貯蔵部から複数のリアクター部へ気相で供給することを可能にするものである。本システムにより提供される主な利点の1つは、各リアクターのためのバブラーの交換に伴う休止期間が短縮されることである。さらなる利点は、取込みの量、複雑さおよびコストを減少することができ、並びに各リアクターの各化学物質ごとに必要とされる制御装置をもまた減少させることができる。更に、自然発火性の前駆物質を蒸気状態で供給できることは、バルク液体搬送に必要とされる高濃度100に比して、これらの蒸気が低濃度の前駆物質5以下しか含まないことから、システムの安全性を向上させることができるものである。本発明の重要な形態の1つは、バルクバブラー1の内部構造である。通常では、少量の前駆物質しかバブラー容器内に残っていない場合には、取込みとバブラーからの流量を一定に保つことは非常に困難である。本発明は、バルク容器バブラー内に窪みまたは細径部を設けることによってこの問題を解決し、安定した取込みキャリヤーガス流量10リットル/分以下の場合を実現することを可能とする。例えば、20リットル容積のバブラーには、1リットル容積の窪みが設けられ、この中にディップパイプが突き出るようにする。更に、本発明で使用されるバブラーは、前駆物質の取込みを助ける新しい構造のディップパイプを備えているものである。例えば、添付図面の図2は、バブラーの中央部をほぼ垂直に下方に延びる主中空体102を有し、かつこの本体から各脚部104a、104b、104cがほぼ垂直に延び、各脚の同じ側に明けられた4つの穴106を持つ中空の十字部材104を備えたディップパイプが取り付けられたバブラー100を示すものである。このデザインは、小さなバブルサイズと渦流を確実にもたらすものであり、非常に効率的な取込みを可能にする。バブラーのこの構造は、小容積のバブラーから得られる取込み量よりも、遙かに大きな取込み量10リットル/分程度を可能にする。[1]キャリヤーガスを有機金属化合物の容器に導入し、前記化合物をガス中に取込んでガス状混合物を調製し、前記ガス状混合物を貯蔵部に搬送し、複数のリアクター部の1つまたはそれ以上に選択的に供給する工程を含むことを特徴とする有機金属化合物を複数のリアクター部に供給するための方法であって、前記ガス状混合物を凝縮させる工程を含まない方法。[2]前記キャリヤーガスとキャリヤーガス/有機金属混合物の流量の制御が可能である[1]に記載の方法。[3]更に、前記有機金属化合物を取込んだ後の前記ガス状混合物に第2のキャリヤーガスを導入することを含む[1]または[2]に記載の方法。[4]蒸気濃度を飽和状態以下に保つために前記第2のキャリヤーガスの追加が監視されるものである[3]に記載の方法。[5]更に、前記ガス状混合物を加熱する工程を含む[1]から[4]のいずれかに記載の方法。[6]前記ガス状混合物が、貯蔵部から各リアクター部へ真空または圧力差の手段により引き出されるものである[1]から[5]のいずれかに記載の方法。[7]前記キャリヤーガスへの前記有機金属化合物の取込みが一定に保たれるものである[1]から[6]のいずれかに記載の方法。[8]0~10リットル/分の範囲の流量に対して一定した前記有機金属化合物の取込みが実現されるものである[7]に記載の方法。[9]前記キャリヤーガスが水素である[1]から[8]のいずれかに記載の方法。[10]有機金属化合物の容器1にキャリヤーガス2を導入するための入口と、前記化合物と前記キャリヤーガスのガス状混合物を貯蔵するための貯蔵部と、前記ガス状混合物を複数のリアクター部12、14、16、18、20の1以上に選択的に供給するための出口とを含むことを特徴とする有機金属化合物を複数のリアクター部に供給するための装置であって、前記ガス状混合物を凝縮させるための凝縮器を含まない装置。[11]前記装置内での前記キャリヤーガスと前記キャリヤーガス状混合物の流量を制御するために1以上の流量制御装置4を備えるものである[10]に記載の装置。[12]前記容器1への前記キャリヤーガスの流量を制御するために、第1の流量制御装置4が設置される[11]に記載の装置。[13]更に、前記有機金属化合物の取込み後に前記ガス状混合物に第2のキャリヤーガスを導入するための手段を含むものである[10]、[11]または[12]に記載の装置。[14]第2の流量制御装置7が前記第2のキャリヤーガスの追加を監視するために設置されている[13]に記載の装置。[15]前記第2の流量制御装置7が前記第1の流量制御装置4に連動するものである[14]に記載の装置。[16]前記貯蔵部9が圧力制御装置8を備えるものである[10]から[15]のいずれかに記載の装置。[17]真空または圧力差によって、前記ガス状混合物が前記貯蔵部9から各リアクター部12、14、16、18、20に引き出されることを可能にする手段を備えるものである[10]から[16]のいずれかに記載の装置。[18]前記各リアクター部12、14、16、18、20が、そのリアクターへの前記ガス状混合物の流入量を決めるためにそれぞれの流量制御装置12a、14a、16a、18a、20aを備えるものである[10]から[17]のいずれかに記載の装置。[19]前記有機金属化合物の容器1がバブラーであり、キャリヤーガスがディップパイプ3により前記バブラーに導入されるものである[10]から[18]のいずれかに記載の装置。[20]前記バブラーが温度制御された油浴5に取り囲まれている[19]に記載の装置。[21]前記バブラーがその中の前記有機金属化合物のレベルを監視するための手段6を備えることを特徴とする[19]または[20]に記載の装置。[22]前記バブラーが、有機金属化合物の完全な利用を助けるために、その基部または基部に近い位置に細径部を有する、[19]から[21]のいずれかに記載の装置。[23]前記バブラーの基部に細径部が設けられている、[22]に記載の装置。[24]前記バブラーが、前記ディップパイプ102から垂直に延び、前記ディップパイプと流体連通し、それぞれに前記有機金属化合物の取込みを助けるための穴106が明けられている1本またはそれ以上の中空部材104a、104b、104cを有する、[19]から[21]のいずれかに記載の装置。[25]前記バブラーの基部にバブラーに比べて小さい容器が組み込まれている[24]に記載の装置。[26]前記ディップパイプの端が前記細径部または前記小容器内の位置にある[23]または[25]に記載の装置。[27]前記各中空部材104a、104b、104cが前記ディップパイプの基端にある[24]に記載の装置。[28]前記各部材が、その1以上の側面に複数の穴106を備えるものである[24]または[27]に記載の装置。[29]前記ディップパイプがその基端に中空の十字部材を備えるものである[24]、[27]または[28]に記載の装置。[30]前記十字部材の各部が複数の穴を有するものである[29]に記載の装置。[31]前記穴が各部の同じ側に設けられている[30]に記載の装置。