"ノズル部の先端吐出孔から塗工液を吐出しながら、このノズル部と対向するフィルム状の金属製の被塗工体をこのノズル部に対して搬送させることで前記フィルム状の被塗工体に塗工液を膜状に塗工するように構成した膜塗工装置に、前記塗工を終えたフィルム状の金属製の被塗工体の塗工膜を乾燥する乾燥室から成る乾燥装置を設けた膜塗工機であって、前記乾燥室よりも搬送下流側で、且つ前記乾燥室を搬送通過する前記フィルム状の金属製の被塗工体に抱き角を有して接触しこのフィルム状の金属製の被塗工体の熱が伝導してしまう密着搬送ローラよりも搬送上流側に、前記フィルム状の金属製の被塗工体を冷却する冷却装置を配設し、この冷却装置は、前記フィルム状の金属製の被塗工体に近接対向状態に配設し、この対向面部に前記フィルム状の金属製の被塗工体に向けて送風する送風孔を多数形成した構成としたことをと特徴とする膜塗工機。前記多数の送風孔を、前記フィルム状の金属製の被塗工体のフィルム幅方向に長さを有し、且つフィルム長さ方向に長さを有する範囲に一様に形成して、前記フィルム状の金属製の塗工体の所定冷却範囲に向けて送風する構成とすると共に、前記フィルム状の金属製の被塗工体をバタつかせない送風速度及び離間距離に位置させ送風して、前記フィルム状の金属製の被塗工体を前記密着搬送ローラに搬送到達する前で送風冷却しこの密着搬送ローラの温度上昇を抑制するように構成したことを特徴とする請求項1記載の膜塗工機。前記フィルム状の金属製の被塗工体を支承する支承ローラを、前記乾燥室よりも搬送下流側に複数並設状態に配設し、この支承ローラに支承されて搬送される前記フィルム状の金属製の被塗工体の上方に前記冷却装置を一若しくはこのフィルム状の金属製の被塗工体に沿って複数配設したことを特徴とする請求項1,2のいずれか1項に記載の膜塗工機。前記密着搬送ローラは、前記フィルム状の金属製の被塗工体にテンションを付与するテンションローラ、若しくは前記フィルム状の金属製の被塗工体の搬送方向に対して架設するローラ架設角度を微調整してフィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラとし、この密着搬送ローラのうち最も前記乾燥室側の密着搬送ローラよりも搬送上流側に前記冷却装置を配設したことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の膜塗工機。前記冷却装置は、送風部と、送風するエア中の塵を除去若しくはエアを整流するエアフィルタ部と、前記多数の送風孔を一様に配設した前記対向面部とから成る構成としたことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の膜塗工機。しかし、このような膜塗工機における乾燥装置の乾燥室は、高温でまたその長さも長いため、この乾燥装置を搬送通過したフィルム状の被塗工体は高温となりこの高温のまま搬送することとなる。例えば、前述のようなリチウムイオン電池形成材を作製する膜塗工機の乾燥装置では、前記フィルム状の被塗工体が金属製のために、熱風やIRヒータによって150°Cくらいまで熱せられ、この乾燥装置を搬送通過したフィルム状の金属製の被塗工体が抱き角を有する蛇行修正ローラやテンションローラなどこのフィルム状の金属製の被塗工体が密着する密着搬送ローラにこの熱を伝導することになり、この密着搬送ローラも100°C近くになってしまう。このような蛇行修正ローラやテンションローラなどが、フィルム状の金属製の被塗工体からの熱伝導によって高温になってしまうこと自体は大きな問題ではないにしても、膜塗工装置での塗工が中断された場合は、例えばフィルム切れに際して新しい供給ロールに交換し、この新しい供給ロールから引き出したフィルム状の金属製の被塗工体の先端を、先の供給ロールから引き出したフィルム状の金属製の被塗工体の後端につなぎ、搬送を継続し、再び膜塗工装置の作動を再開するような場合は、このつなぎ目の所定範囲では塗工膜はなく、塗工されていないフィルム状の金属製の被塗工体、即ち金属箔金属フィルムだけのままで搬送される部分が生じる。この場合、やはり乾燥装置を搬送通過すると150°Cくらいに加熱されるが、塗工膜がない金属フィルムだけの部分は熱容量が小さく乾燥室を通過すると急激に温度が低下し、搬送距離が多少であっても、前述の密着搬送ロールに達するまでに30°Cくらいまですぐに冷えてしまう。すると、密着搬送ローラは100°Cくらいまで熱くなっているためこれとの温度差が大きく、たとえこの温度差が小さくなるように抑えるように対応してみてもこの温度差が30°C程度以上あると、この抱き角を有して密着する抱き込んでいる密着搬送ローラとの密着部分金属フィルムだけの部分で、熱膨張の逃げ場がないためにその中央長さ方向にしわが生じてしまう問題が生じることを見い出した。即ち、この塗工膜を有さないフィルム状の金属製の被塗工体金属フィルムだけの部分にこのように所定値以上の温度差が生じると密着搬送ローラとの密着部分で縦じわが生じ、この縦じわが生じるとそこから切れたりするおそれがあり、またこれを巻取りロールに巻き取っていくと、このしわの上に積層されて行き塗工膜を傷めたり塗工膜に跡が付いたり膜性能に支障をきたすおそれがあることを見いだした。そこで、例えば前記温度差が前記所定値より低くなるように密着搬送ローラを冷却するための強力なローラ冷却装置を設けたり、冷却機能付きローラとすることも考えられるが、この場合、最初の密着搬送ローラだけではこの問題は解消できず、数本をこのような冷却機能付きローラとしなければならないため、かなりのコスト高となってしまう。本発明は、このような問題を解決したもので、密着搬送ローラの冷却に頼らず、搬送上流側でバタつかせずにフィルム状の金属製の被塗工体を効率良く冷却することで、密着搬送ローラの熱伝導による温度上昇を常に抑制して高温となることを阻止し、もしフィルム交換やその他の事情により膜塗工装置による塗工が中断し、塗工膜のないフィルム状の金属製の被塗工体金属フィルムだけの部分が搬送し、乾燥装置を搬送通過した後急激に冷却しても、予め密着搬送ローラは高温となっていない為その温度差を十分に小さく抑えることができ、前記しわの問題が生じない優れた膜塗工機を提供することを目的としている。添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。ノズル部1の先端吐出孔2から塗工液を吐出しながら、このノズル部1と対向するフィルム状の金属製の被塗工体4をこのノズル部1に対して搬送させることで前記フィルム状の被塗工体4に塗工液を膜状に塗工するように構成した膜塗工装置Aに、前記塗工を終えたフィルム状の金属製の被塗工体4の塗工膜5を乾燥する乾燥室6から成る乾燥装置Bを設けた膜塗工機であって、前記乾燥室6よりも搬送下流側で、且つ前記乾燥室6を搬送通過する前記フィルム状の金属製の被塗工体4に抱き角を有して接触しこのフィルム状の金属製の被塗工体4の熱が伝導してしまう密着搬送ローラ7よりも搬送上流側に、前記フィルム状の金属製の被塗工体4を冷却する冷却装置8を配設し、この冷却装置8は、前記フィルム状の金属製の被塗工体4に近接対向状態に配設し、この対向面部9に前記フィルム状の金属製の被塗工体4に向けて送風する送風孔10を多数形成した構成としたことをと特徴とする膜塗工機に係るものである。また、前記多数の送風孔10を、前記フィルム状の金属製の被塗工体4のフィルム幅方向に長さを有し、且つフィルム長さ方向に長さを有する範囲に一様に形成して、前記フィルム状の金属製の塗工体4の所定冷却範囲に向けて送風する構成とすると共に、前記フィルム状の金属製の被塗工体4をバタつかせない送風速度及び離間距離に位置させ送風して、前記フィルム状の金属製の被塗工体4を前記密着搬送ローラ7に搬送到達する前で送風冷却しこの密着搬送ローラ7の温度上昇を抑制するように構成したことを特徴とする請求項1記載の膜塗工機に係るものである。また、前記フィルム状の金属製の被塗工体4を支承する支承ローラ13を、前記乾燥室6よりも搬送下流側に複数並設状態に配設し、この支承ローラ13に支承されて搬送される前記フィルム状の金属製の被塗工体4の上方に前記冷却装置8を一若しくはこのフィルム状の金属製の被塗工体4に沿って複数配設したことを特徴とする請求項1,2のいずれか1項に記載の膜塗工機に係るものである。また、前記密着搬送ローラ7は、前記フィルム状の金属製の被塗工体4にテンションを付与するテンションローラ7B、若しくは前記フィルム状の金属製の被塗工体4の搬送方向に対して架設するローラ架設角度を微調整してフィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラ7Aとし、この密着搬送ローラ7のうち最も前記乾燥室6側の密着搬送ローラ7よりも搬送上流側に前記冷却装置8を配設したことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の膜塗工機に係るものである。また、前記冷却装置8は、送風部11と、送風するエア中の塵を除去若しくはエアを整流するエアフィルタ部12と、前記多数の送風孔10を一様に配設した前記対向面部9とから成る構成としたことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の膜塗工機に係るものである。本発明は上述のように構成したから、密着搬送ローラの冷却に頼らず、搬送上流側でバタつかせずにフィルム状の金属製の被塗工体を効率良く冷却することで、密着搬送ローラの熱伝導により温度上昇を常に抑制して高温となることを阻止し、もしフィルム交換やその他の事情による膜塗工装置による塗工が中断し、塗工膜のないフィルム状の金属製の被塗工体金属フィルムだけの部分が搬送し、乾燥装置を搬送通過した後急激に冷却しても、予め密着搬送ローラは高温となっていない為その温度差を十分に小さく抑えることができ、前記しわの問題が生じない優れた膜塗工機となる。また、請求項2~4記載の発明においては、一層簡易な構成で前記作用効果が良好に発揮される一層実用性に優れた膜塗工機となる。また、請求項5記載の発明においては、冷却装置は、簡易な構成で容易に実現できる構成、あるいは既存の装置により構成可能入手容易な構成で、設定も容易でしかも予めエア中の塵の除去や整流により塗工膜に与える影響も一層少なく、極めて実用性に優れた膜塗工機となる。好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。膜塗工装置Aにより塗工を終えたフィルム状の金属製の被塗工体4は、乾燥室6から成る乾燥装置Bで乾燥される。この乾燥室6を搬送通過したフィルム状の金属製の被塗工体4は、単に下側から支承する支承ローラ13や、架設角度を回動微調整することでフィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラ7A又は可動調整することでフィルムにテンションを調整付与するテンションローラ7Bなどフィルム状の金属製の被塗工体4が抱き角を持って接触密着する密着搬送ローラ7などを介して搬送され、巻取りロール14に巻き取られる。この際、このフィルム状の金属製の被塗工体4は、アルミや銅などの箔フィルムであるため、支承ローラ13への熱伝導は小さいが、抱き角を持って抱き込んで接触密着する前記蛇行修正ローラ7Aやテンションローラ7Bなどの密着搬送ローラ7への熱伝導は大きい。従って、例えば乾燥装置Bの乾燥室6での熱風乾燥やIRヒータなどによりこれを搬送通過するフィルム状の金属製の被塗工体4が150°Cくらいまで熱せられ、乾燥装置B通過後も塗工膜を有しているため熱容量が大きいためにすぐに冷えることなく100°Cくらいまでにしか下がらずに前記密着搬送ローラ7に達してしまう。そのため、前記密着搬送ローラ7は熱伝導により常時100°C近くの高温となってしまっていた。この点本発明は、この最初の密着搬送ローラ7に達するまでに、この乾燥装置B乾燥室6通過後のフィルム状の金属製の被塗工体4を冷却する冷却装置8を設け、密着搬送ローラ7の温度上昇を抑制している。即ち、乾燥装置Bの乾燥室6の搬送下流側であって、最初の密着搬送ローラ7の搬送上流側に冷却装置8を配設し、密着搬送ローラ7が高温となることを防止している。具体的には、例えば前述したリチウムイオン電池形成材の作製の場合、このフィルム状の金属製の被塗工体4と密着搬送ローラ7との温度差が、実験値で20°C~30°C以上の差となってしまうと前記しわの問題が生じてしまうため、この温度差が20°C~30°C以下となるように、即ち、密着搬送ローラ7がそのような温度差となる程の高温とならないように、この冷却装置8により密着搬送ローラ7より搬送上流側の所定冷却範囲を常時冷却する。具体的には、フィルム状の金属製の被塗工体4をバタ付かせて塗工膜に支障をきたすことないような送風状態でそのような温度以下となるように広範囲を送風冷却する。即ち、フィルム状の金属製の被塗工体4に冷却装置8その対向する対向面部9を近接させ、この対向面部9に一様に広範囲に設けた多数の送風孔10から広範囲に一様にエアを送風し、例えば弱い送風速度で、近接させた小孔群やスリット群から成る多数の送風孔10から広く一様にエアを当てることで、バタ付かせないようにして塗工膜に支障をきたさずに効率良く送風冷却し、前記問題となるしわが密着搬送ローラ7で生じない程度以下の温度にまで常時冷却する。更に具体的に説明すれば、フィルム交換やその他の事情により膜塗工装置Aによる塗工が中断され、金属フィルムだけの部分が搬送されてくる場合、この場合にも冷却装置8を止めずにいたとしても、このときの金属フィルムだけの部分の温度例えば20°Cと、常時熱伝導により高温となる密着搬送ローラ7との接触時の温度差が例えば20°C~30°C以下となるようにするために、密着搬送ローラ7を常時例えば50°C以下程度となるように、密着搬送ローラ7の搬送手前までにこのフィルム状の金属製の被塗工体4の区画範囲冷却範囲を冷却できるように冷却装置8を構成する。これにより、常に密着搬送ローラ7の温度を前述のように例えば50°C以下に保つことができ、前記金属フィルムだけの部分が搬送されてきてもこれとの温度差を20°C~30°C以下にできているから前記しわの問題を防止できることとなる。本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。本実施例は、供給ロール15から引き出したフィルム状の被塗工体4を塗工用のノズル部1と対向する支持ロール16を介して引き出し搬送し、このノズル部1の先端吐出孔2から塗工液を吐出させて、この支持ロール16で支承されている被塗工体4の片面に塗工するように構成した膜塗工装置Aの搬送下流側に、前記塗工を終えたフィルム状の被塗工体4の塗工膜5を乾燥する乾燥室6から成る乾燥装置Bを設けた膜塗工機に本発明を適用したものである。即ち、本実施例は、膜塗工装置Aにより塗工を終えたフィルム状の金属製の被塗工体4の塗工膜5を乾燥する乾燥装置Bの乾燥室6よりも搬送下流側で、且つこの乾燥室6を搬送通過する前記フィルム状の金属製の被塗工体4に抱き角を有して接触しこのフィルム状の金属製の被塗工体4の熱が伝導してしまう密着搬送ローラ7よりも搬送上流側に、冷却装置8を配設している。この冷却装置8は、前記フィルム状の金属製の被塗工体4の所定冷却範囲に近接対向状態に配設し、この対向面部9に前記所定冷却範囲に向けて送風する送風孔10を多数形成した構成としている。この多数の送風孔10はスリット孔としても良いが、本実施例では小孔状とした多数の送風孔10を、前記フィルム状の金属製の被塗工体4のフィルム幅と略合致する幅フィルム幅より少し幅広い幅あるいは少し幅狭い幅であって、フィルム長さ方向にある程度の長さを有する広範囲に一様に形成し、この小孔状の送風孔10から噴出送風して広範囲冷却範囲を一様に押さえ付けることとなる弱いエアを当てて、前記フィルム状の金属製の被塗工体4をバタつかせないようにしながらも冷却効率冷却能力を上げている。具体的には、フィルム幅全面でフィルム長さ方向に長さを有する区画範囲冷却範囲を、前記これよりもやや幅広い範囲あるいはやや幅狭い範囲に一様に多数の送風孔10を形成した対向面部9を近接するように冷却装置8を配設し、この各送風孔10から弱い送風速度例えば05m/secでまたこれを近接させて例えば離間距離25mmの位置から送風しバタ付きを抑えながら効率良く冷却する構成としている。言い換えると、送風装置の底部となりフィルム状の金属製の被塗工体4に近接させて広範囲を覆う対向面部9に前述のように多数の送風孔10を一様に形成し、例えば乾燥室6通過直後の水平方向に並設した支承ローラ13に支承されながら搬送されるフィルム状の金属製の被塗工体4上に前記対向面部9を近接させて配設し、この対向面部9の広範囲に形成した送風孔10からエアを噴出させ、しかもこれを弱い送風量で、広範囲から一様に送風し、またしかも近接送風させることで、バタ付きをできるだけ抑えて十分に広範囲を一挙に簡易な送風手段で効率良く冷却する構成を実現している。更に説明すると、本実施例は、前記フィルム状の金属製の被塗工体4を最初の前記密着搬送ローラ7に搬送到達する前で送風冷却しこの密着搬送ローラ7の温度上昇を抑制するように構成している。即ち、前述のように支承ローラ13を前記乾燥室6よりも搬送下流側に複数並設状態に配設し、この支承ローラ13に支承されて搬送される前記フィルム状の金属製の被塗工体4の上方に前記冷却装置8をこのフィルム状の金属製の被塗工体4に沿って複数配設している。また、前述のように送風速度を小さく設定して小孔状の送風孔10を近接させて送風するため、端部ではフィルムに沿って横方向へ送風される横風が遠くまで届くため、長さの短い冷却装置8送風装置に構成しても、あるいはそのような装置が容易に入手できる場合に、これを間隔を置いて複数並設することで広範囲を一層効率良く冷却できることとなる。また前記密着搬送ローラ7は、前記フィルム状の金属製の被塗工体4にテンションを付与するテンションローラ7Bや前記フィルム状の金属製の被塗工体4の搬送方向に対して架設するローラ架設角度を微調整してフィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラ7Aなどであるが、本実施例では、最も乾燥室6側の乾燥室6に近い密着搬送ローラ7は蛇行修正ローラ7Aである構成であるから最初の密着搬送ローラ7はこの蛇行修正ローラ7Aであるから、この蛇行修正ローラ7Aよりも搬送上流側に前記冷却装置8を配設した構成としている。また本実施例の前記冷却装置8は、送風部11と、送風するエア中の塵を除去及び同時にエアを整流するエアフィルタ部12と、前記多数の送風孔10を一様に配設した前記対向面部9とから成る構成としている。具体的には、送風導入部を有する構成としても良いが本実施例では送風ファンから成る送風部11と、例えば除塵機能や整流作用を果たすエアフィルタから成るエアフィルタ部12とを内装したボックスの対向面部9となる底面部に前記エアフィルタ部12を通過したエアが送出する前記多数の送風孔10を一様にして広範囲に形成したFFUファンフィルタユニットを採用している。そのため、本実施例は、入手が容易で設置も容易となる前記FFUを前記冷却装置8として採用し、これを一若しくは複数前記密着搬送ローラ7の搬送上流側に近接状態に設置することで前述のようにフィルムをバタ付かせずに広範囲を容易に効率良く冷却できることになり、コスト高とならずに前記しわの問題を確実に防止できる極めて実用性に優れた膜塗工機となる。尚、本実施例の乾燥装置Bの前記乾燥室6は、例えば、乾燥室内水平方向に支承ローラを並設し、この支承ローラに支承させてこの乾燥室6内を水平搬送する前記フィルム状の被塗工体4の塗工膜5を熱風乾燥させる熱風を送出する熱風送風部と、この熱風を排出する熱風排出部とを設けて、この熱風送風部から送り込まれた熱風で塗工膜5の表面を加熱乾燥し、この熱風乾燥する熱風をこの塗工膜5から生じる気化ガスと共に熱風排出部から乾燥室6外へ排出されるように構成している。そして例えばこの熱風乾燥と併用させて、輻射熱で塗工膜5の内部を加熱乾燥させ、弱風による熱風乾燥でも乾燥能力を高めることができる乾燥用ヒータ部IRヒータをフィルム状の被塗工体4に対向状態に近接配設している。また、更に具体的に説明すると、本実施例では、例えば、厚さ15μm~30μm程度のアルミ製又は銅製などの金属製フィルムを被塗工体4とし、この表面にコバルト酸リチウムなどの正極活性物質又はグラファイトなどの負極活性物質にバインダーとNMPなどの溶媒などを混合しこれを塗工液として、100μmオーダーの薄膜ドライ膜厚を塗工形成するリチウムイオン電池形成材を作製する膜塗工装置Aで、この片面毎塗工する各膜塗工装置Aの搬送下流側に夫々前記乾燥装置Bを設けて、夫々の搬送下流側で且つ前記密着搬送ローラ7の搬送上流側に前記冷却装置8を配設している。また本実施例では、前記乾燥室6から成る前記乾燥装置Bを上下複数段設け、この上側乾燥装置と下側乾燥装置の一方の乾燥装置例えば下側乾燥装置を、片側に設けた前記膜塗工装置Aにより前記フィルム状の被塗工体4の片面に塗工した塗工膜5を乾燥する片面乾燥装置とし、他方の乾燥装置例えば上側乾燥装置を、この乾燥を終えた前記フィルム状の被塗工体4の反対面に更に反対側に設けた前記膜塗工装置Aにより塗工し、この塗工を終えた前記フィルム状の被塗工体4の反対面の塗工膜5を乾燥する反対面乾燥装置として、この上下二段の前記上側乾燥装置と前記下側乾燥装置とにより前記フィルム状の被塗工体4の両面の塗工膜5を順次乾燥するように構成している。本実施例では、このような乾燥室6から成る乾燥装置B本実施例では上下二段の乾燥装置の夫々の搬送下流側に前記冷却装置8を配設している。またこの乾燥装置B本実施例では上下二段の乾燥装置を複数ブロックに分けて夫々を横方向に連設した構成とし、各ブロックの乾燥室毎各ブロックの上下の乾燥装置の乾燥室6に熱風送風部と、熱風排出部とを設けた構成とし、この各ブロックの乾燥室内を搬送通過するように構成している。尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。"