レーザ光を出力するように構成されたレーザシステムと共に用いられる極端紫外光生成装置であって、少なくともひとつの窓が設けられているチャンバと、前記少なくともひとつの窓を通して前記チャンバ内の所定領域に前記レーザ光を入射させるように構成されたレーザ光進行方向制御装置と、前記所定領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、前記チャンバ内に配置されたミラーであって、前記所定領域に対向する反射面を有し、前記所定領域において前記レーザ光を照射された前記ターゲット物質から生成されたプラズマから放出される極端紫外光を前記反射面によって反射して集光する前記ミラーと、前記チャンバに接続された排気装置と、前記チャンバに接続され、前記チャンバ内にエッチャントガスを供給するように構成されたガス供給装置と、前記ミラーの前記反射面の少なくとも一部に紫外光を照射するように構成された紫外光源と、を含む極端紫外光生成装置。前記紫外光源は、深紫外DUV光および真空紫外VUV光の少なくとも一方の光を前記反射面の少なくとも一部に照射する、請求項1に記載の極端紫外光生成装置。前記紫外光源は、紫外線レーザ光源である請求項2に記載の極端紫外光生成装置。前記紫外光源は、前記チャンバの内部に配置された紫外線ランプである、請求項2に記載の極端紫外光生成装置。前記紫外光源は、前記チャンバの外部に配置され、前記チャンバには、前記紫外光源から出力された紫外光を内部に入射させるための第2の窓が設けられた、請求項1に記載の極端紫外光生成装置。前記ガス供給装置は、前記ミラーの前記反射面に沿って前記エッチャントガスを流す、請求項1に記載の極端紫外光生成装置。前記ガス供給装置は、前記ミラーの前記反射面に向けて前記エッチャントガスを流す、請求項1に記載の極端紫外光生成装置。