構造材表面のひずみを材料の応力誘起マルテンサイト変態した部分が強磁性体となることを利用して磁気的に検出するひずみ検出センサであって、磁気信号を検出するためのセンサ部および該センサ部と電気的回路を形成するための電極部を備えており、前記センサ部と前記電極部を支持するセンサ本体部の被測定面に対向する表面内において、前記センサ部周辺がセンサ本体部の他の部分よりも突出するように形成されたセンサ周辺突出部を有し、該センサ周辺突出部に前記センサ部が形成されていることを特徴とする構造材表面のひずみ検出センサ。請求項1記載の構造材表面のひずみ検出センサにおいて、前記センサ周辺突出部は、凸形状であることを特徴とする構造材表面のひずみ検出センサ。請求項2記載の構造材表面のひずみ検出センサにおいて、前記センサ周辺突出部は、突出高さ>200μm、かつ根元部の幅<200μmの錐形であることを特徴とする構造材表面のひずみ検出センサ。請求項1~3の何れか一つに記載の構造材表面のひずみ検出センサにおいて、前記センサ部は、先端部の幅が1μm以下であることを特徴とする構造材表面のひずみ検出センサ。請求項2記載の構造材表面のひずみ検出センサにおいて、前記センサ周辺突出部は、四角錐状、三角錐状、円錐状または半球状であることを特徴とする構造材表面のひずみ検出センサ。請求項1~5の何れか一つに記載の構造材表面のひずみ検出センサにおいて、前記センサ周辺突出部と前記センサ本体部の間に、弾性部材を備えていることを特徴とする構造材表面のひずみ検出センサ。請求項1~6の何れか一つに記載の構造材表面のひずみ検出センサにおいて、前記センサ部が、磁気抵抗効果素子、ホール素子、超伝導量子干渉SQUID素子、フラックスゲート素子、磁気インピーダンス素子のいずれかであることを特徴とする構造材表面のひずみ検出センサ。請求項1~7の何れか一つに記載の構造材表面のひずみ検出センサと、前記ひずみ検出センサの保持部と、前記ひずみ検出センサを構造材表面上において、指定した面積を走査させるための制御部と、入出力情報を処理するための演算処理部と、入出力情報を表示するディスプレイ部とを備えたことを特徴とする構造材表面のひずみ検出システム。請求項8記載の構造材表面のひずみ検出システムにおいて、前記ひずみ検出センサを多数個並列に配置し、構造材の広い面積の表面ひずみを、同時かつ高速に検査することを特徴とする構造材表面のひずみ検出システム。請求項1~7の何れか一つに記載の構造材表面のひずみ検出センサを自動位置決め機械に装着し、無人かつ高速に構造材の表面ひずみを検査することを特徴とする構造材表面のひずみ検出システム。請求項1~7の何れか一つに記載の構造材表面のひずみ検出センサを用いて、材料の応力誘起マルテンサイト変態した部分を検出することを特徴とする構造材表面のひずみ検出方法。請求項11記載の構造材表面のひずみ検出方法において、前記ひずみ検出センサと構造材の被測定表面の間に磁性流体を介在させて測定することを特徴とする構造材表面のひずみ検出方法。請求項11記載の構造材表面のひずみ検出方法において、構造材表面の被測定箇所に着磁処理を行うステップと、前記ひずみ検出センサを用いて磁気信号分布を測定するステップと、前記構造材表面の被測定箇所に消磁処理を行うステップとを有することを特徴とする構造材表面のひずみ検出方法。構造材のひずみを材料の応力誘起マルテンサイト変態した部分が強磁性体となることを利用して磁気的に検出するために、局所的な磁化部位を検出可能な高感度な磁気センサとして、外部磁界に対して出力の比例する薄膜型の微細デバイス磁気抵抗効果型磁気素子、ホール素子、超伝導量子干渉SQUID素子、フラックスゲート素子、磁気インピーダンス素子などを用いると、プローブ型の磁気力顕微鏡MFMが、測定対象の磁界の空間的な変化率の変化率すなわち前記測定対象の磁界の空間分布の二回微分に比例する出力を与えるのに対して、測定対象の磁界の強度を比例的に反映する、より定量性の高い検査を行うことができる。しかし、薄膜型の微細デバイスは、一般的に、センサ表面が平面状に形成されており、一定以上の表面粗さを有する構造材表面の磁化状態を検査するには、表面凹凸の凹部に十分にセンサを近づけることができず、正確な検査結果が得られない場合がある。そこで本発明は、一定以上の表面粗さを有する構造材表面の粗さの凹凸に追従して、微細な凹部の表面にも磁気センサを十分に近づけることのできるひずみ検出センサを提供する。たとえば、凹部形状より小さな凸部に薄膜型の微細デバイス磁気センサを形成したひずみ検出センサを提供する。上記課題を解決するために、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。本発明は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、構造材表面のひずみを材料の応力誘起マルテンサイト変態した部分が強磁性体となることを利用して磁気的に検出するひずみ検出センサであって、磁気信号を検出するためのセンサ部および該センサ部と電気的回路を形成するための電極部を備えており、前記センサ部と前記電極部を支持するセンサ本体部の被測定面に対向する表面内において、前記センサ部周辺がセンサ本体部の他の部分よりも突出するように形成されたセンサ周辺突出部を有し、該センサ周辺突出部に前記センサ部が形成されていることを特徴とするものである。また、本発明は、前記の構造材表面のひずみ検出センサと、前記ひずみ検出センサの保持部と、前記ひずみ検出センサを構造材表面上において、指定した面積を走査させるための制御部と、入出力情報を処理するための演算処理部と、入出力情報を表示するディスプレイ部とを備えた構造材表面のひずみ検出システムに関するものである。また、本発明は、前記の構造材表面のひずみ検出センサを用いて、材料の応力誘起マルテンサイト変態した部分を検出する構造材表面のひずみ検出方法に関するものである。本発明によれば、ひずみ検出センサにおいて、一定以上の表面粗さを有する構造材表面の粗さの凹凸に追従して、微細な凹部の表面にも磁気センサを十分に近づけることができる。これにより、構造材の亀裂発生以前の損傷を非破壊で検出することが可能になり、プラントの健全性維持や信頼性をより向上させ、プラントの長期安全安定運転を実現することが可能になる。以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。本実施例は、一定以上の表面粗さを有する構造材表面の粗さの凹凸に追従して、微細な凹部の表面にも十分に近づけることのできる磁気センサを実現するために、凹部形状より小さな凸部に薄膜型の微細デバイス磁気センサを形成したひずみ検出センサおよびそれを用いた検出方法の例を説明する。図1は本実施例のひずみ検出センサの構成図の例である。ひずみ検出センサ10は、センサ本体部1、センサ部2、電極3、センサ周辺突出部4を有する。センサ本体部1は、センサ部2、電極3を支持する部材である。センサ部2は、薄膜型の磁気センサ微細デバイスからなり、測定対象の磁界の強さに応じて素子の抵抗が変化することで、磁界を検出する。電極3は、センサ部2から信号を取り出すため、システム側の回路系に接続するものである。また、被測定部材はオーステナイト系ステンレス鋼などの構造材であり、切削加工などの機械加工により形成された最表面5近傍に、前記機械加工により変形を受けた加工層を有する。前記加工層は、変形の影響で材料の結晶構造が変化したひずみ誘起変態部6と、非変態部7を有している。変態部6は、機械加工が付与されることによって、非磁性であるオーステナイト相の一部の材料微細構造が応力誘起マルテンサイト変態によって変化し、強磁性を有する微結晶に変化する。図11は、本実施例の構造材であるオーステナイト系ステンレス鋼の、オーステナイト相の結晶構造fccfacecentercubicと、加工付与による応力誘起マルテンサイト変態によりオーステナイト母相の一部に生じたマルテンサイト相の微結晶の構造の例である。図12は、前記オーステナイト相の結晶構造fccの原子配置から、前記マルテンサイト相の結晶構造bctbodycentertetragonalの原子配置への変化を示す模式図である。オーステナイト相では、鉄原子16がfcc構造に配置されており、炭素原子17が、その間隙に入り込む形で配置されている。マルテンサイト相では、鉄原子16がbct構造に配置されており、炭素原子17がその間隙に入り込む形で配置されている。強磁性体となった変態部6は、外部磁界により磁化され、センサ部2は、前記変態部6が発する磁気を検知する。図13は、本実施例の構造材であるオーステナイト系SUS316ステンレス鋼の冷間加工率と、材料の磁化率の関係を示す説明図である。構造材表面の切削加工による冷間強加工によるひずみ量が増大するのにともない、材料の磁化率が増加することがわかっている。図5は本実施例のひずみ検出センサを用いたひずみ検出システムの構成図の例である。ひずみ検出システムは、センサ本体部1と、センサ保持部21、制御部22、演算処理部23、ディスプレイ24からなる。センサ保持部21には、例えば板ばね状のサスペンション図示していない等の弾性を有する部材を用い、構造材表面のうねりに追従しながら一定の面積を走査するこができる。センサ本体部1は、演算処理部23からの入力情報により、制御部22を介して構造材表面を走査する。センサ本体部1が検出した構造材表面5近傍の変態部6の磁気信号を演算処理部23でデータ処理を行い、走査範囲における磁気信号強度の分布をディスプレイ24に表示する。図6は、本実施例のひずみ検出センサおよび検出システムを用いて、構造材表面のひずみを検査するステップを示したものである。まず、S101で構造材表面の被測定箇所を決定した後、S102で該被測定箇所に対して、電磁石あるいは永久磁石を用いて0.5Tテスラ以上の外部磁界を印加し着磁処理を行なう。通常、オーステナイト系ステンレス鋼の変態部6は、前記磁界強度により30秒から1分程度の短時間で着磁がなされる。次に、S103でひずみ検出センサ部を、該被測定箇所に設置し、S104で走査面積、走査速度、サンプリングデータ数、センサ部に通電する電流量、周波数等の測定条件を入力設定し、S105で磁気信号強度の分布を測定する。測定終了後に、S106で被測定箇所の走査範囲における磁気信号強度の分布をディスプレイに出力し描画処理を行なう。測定の終了後は、S107で被測定箇所の消磁処理を実施する。消磁には市販されている非接触型の消磁器により処理を行なう。最後に、S108で再度本実施例のひずみ検出センサを被測定箇所に設置し、消磁がなされていることを確認する。図7は、本実施例の対象となる構造材の切削加工表面を、プローブ型の磁気力顕微鏡MFMを磁気検出に用いて計測した場合の磁気信号の計測データ例である。走査範囲10μm×10μmの領域に磁気信号を発する磁化部位11と、信号の少ない非磁化部位12を判別することができる。しかしながら、MFMは、測定対象の磁界の空間的な変化率の変化率すなわち、前記測定対象の磁界の空間分布の二回微分に比例する出力を与えるため、測定対象の磁界強度に対して出力の比例する磁気センサによる測定に比べ、磁化量の絶対値に対する計測の定量性の点で難がある。そこで、本実施例では、磁化量の絶対値の計測を可能にすることを目的に、測定対象の磁界強度に比例した出力を与える薄膜型の微細デバイス磁気抵抗効果型磁気素子、ホール素子、超伝導量子干渉SQUID素子、フラックスゲート素子、磁気インピーダンス素子などを磁気センサに用い計測を行う。図14は、本実施例のひずみ検出センサに用いた磁気抵抗効果型センサにおける測定対象磁界とセンサ抵抗値の関係の例である。図に示すように測定対象の磁界の強さに応じて素子の抵抗が線形に変化することで、構造材表面から発せられる磁気信号を検出することが可能である。しかし、薄膜型の微細デバイスは、一般的に、センサ表面が平面状に形成されており、一定以上の表面粗さを有する構造材表面の磁化状態を検査するには、表面凹凸の凹部に十分にセンサを近づけることができず、正確な検査結果が得られない場合がある。たとえば、図8は、本実施例において用いた構造材であるオーステナイト系ステンレス鋼SUS316Lの機械加工後の表面を、レーザー顕微鏡により測定した形状と、同部材の表面を、原子間力顕微鏡により測定した形状の例である。また、図9は、本実施例において用いた構造材であるオーステナイト系ステンレス鋼SUS316Lの機械加工後の表面に、さらにフラップホイール研磨加工を施した表面を、レーザー顕微鏡により測定した形状と、同部材の表面を、原子間力顕微鏡により測定した形状の例である。また、図10は、本実施例において用いた構造材であるオーステナイト系ステンレス鋼SUS316Lの機械加工後の表面に、クリーンNストリップ研磨加工を施した表面を、レーザー顕微鏡により測定した形状と、同部材の表面を、原子間力顕微鏡により測定した形状の例である。そこで本発明は、一定以上の表面粗さを有する構造材表面の粗さの凹凸に追従して、微細な凹部の表面にも十分に近づけることのできる磁気センサを提供する。たとえば、凹部形状より小さな凸部に薄膜型の微細デバイス磁気センサを形成したひずみ検出センサを提供する。薄膜型の微細デバイス磁気センサの寸法は、たとえばトンネル型磁気抵抗効果素子を例に取ると、典型的には、100nm×100nm×30nm程度であるが、図8より、構造材表面の典型的な切削痕の101mmオーダーの巨視的な凹凸の凹部にセンサが入り込み、凹部表面5のひずみ誘起マルテンサイト変態部6から発せられる磁界を検出するためには、薄膜型の微細デバイス磁気センサは、突出高さ>200μm、根元部の幅<200μmの錐形の先端に形成されていなければならない。一方、図10より、構造材表面のマイクロラフネス表面粗さの高周波成分が大きい場合、その1μmオーダーの微視的な凹凸の凹部にセンサが入り込み、凹部表面5のひずみ誘起マルテンサイト変態部6から発せられる磁界を検出するためには、薄膜型の微細デバイス磁気センサは、先端部の幅が1μm以下でなければならない。前記のような、構造材の巨視的および微視的表面粗さ形状との関係から導かれる寸法の錐形の先端に磁気センサを形成すれば、測定対象の構造材の表面のさまざまな粗さの状態に追従して、構造材表面5近傍のマルテンサイト変態部6の磁化状態、すなわち構造材のひずみ状態を、正確に定量的に検出することができる。ただし、前記記載の具体的な粗さ形状の寸法、およびそれから導かれるセンサ周辺の突出部形状および寸法は、ある特定の実施例に固有の材料および機械加工条件を反映したものであり、センサ先端部が構造材表面5に十分に近づけることができればよく、それぞれの実施例のセンサ周辺の突出部形状および寸法は、それぞれの実施例の材料および機械加工条件に基づき算出されるべきもので、前記数値に限定されるものではない。またさらに、センサ周辺の突出部形状は、構造材表面5の粗さ形状に応じて適宜変更してもよく、図1に示すような四角錐状に限らず、三角錐状、円錐状、半球状などの形態を用いてもよい。本実施例は、一定以上の粗さを有する構造材表面の凹凸に追従して、微細な凹部の表面にも十分に近づけることができ、かつ計測中に表面の凹凸から受けるセンサへの衝撃を緩和するために、センサ根元部が柔軟に弾性変形する部位を設け、かつ突出部の先端に薄膜型の微細デバイス磁気センサを形成したひずみ検出センサおよびそれを用いた検出方法の例を説明する。図2は、センサ根元部に弾性部材を有する構成のひずみ検出センサを示したものであり、aセンサ部が構造材表面の凹部に追従している場合、センサ部が構造材表面の凸部に追従している場合を示しており、にセンサ根元部に弾性部材を形成したセンサの拡大図を示している。図2は、センサ本体部1が右矢印の方向に向かってひずみ検出を行なっている状況を示したものである。センサ本体部1に支持されるセンサ周辺突出部4の根元部に、弾性を有する部材8を用いることによって、センサ周辺突出部4が、構造材の表面5の形状に応じて伸縮し、薄膜型の微細デバイス磁気センサからなるセンサ部2の追従性を向上させ、かつひずみ計測中に表面の凹凸から受ける衝撃を緩和するひずみ検出センサの例である。前記ひずみ検出センサ20は、実施例1のひずみ検出センサ10と同様に、センサ本体部1、センサ部2、電極3、センサ周辺突出部4を有する。センサ本体部1は、センサ部2、電極3を支持する部材である。ここで、実施例2では、センサ部2を支持するセンサ周辺突出部4の根元部に、弾性を有する部材8を有する。センサ部2は、薄膜型の磁気センサ微細デバイスからなり、測定対象の磁界の強さに応じて素子の抵抗が変化することで、磁界を検出する。電極3は、センサ部2から信号を取り出すため、システム側の回路系に接続するものである。前記のように、センサ部2を支持するセンサ周辺突出部4の根元部に、弾性を有する部材8を配置することで、センサ周辺突出部4が、構造材の表面5の凹凸形状に応じて伸縮し、薄膜型の微細デバイス磁気センサからなるセンサ部2の追従性を向上させることができ、かつ構造材表面のひずみ検出中におけるセンサへの衝撃緩衝効果を高め、ひずみ検出の安定性を確保することが可能となる。前記センサ根元部に形成する弾性部材は、薄膜形成可能な材料であれば種類を問わない。本実施例は、一定以上の表面粗さを有する構造材表面5の微細な凹部表面近傍のマルテンサイト変態部6から生じる磁束を効率的にセンサ部に導き入れるように、センサと構造材の被測定表面の間に磁性流体を介在させる構造材表面ひずみ検出方法の例を説明する。図3は、実施例1と同様のひずみ検出センサ10と、被測定部材であるオーステナイト系ステンレス鋼等の構造材表面5との間に数ナノメートルから数十ナノメートルの磁性粒子を含む磁性流体9を介在させることにより、構造材表面に存在するマルテンサイト変態部6の磁気検出効率の向上を可能にする例である。磁性流体9は、磁性粒子図示していないと溶媒からなり、溶媒には構造材の材質に応じて適宜、潤滑性を付与した溶媒を用いることができる。前記のように、センサと構造材の被測定表面の間に磁性流体9を介在させることで、マルテンサイト変態部6から生じる磁束が、磁性流体9中の磁性粒子を通って、センサ本体部1に支持されるセンサ周辺突出部4の先端に形成されたセンサ部2に導き入れられ、構造材表面に存在するマルテンサイト変態部6から生じる磁界の検出効率の向上を可能にすることができる。本実施例は、実施例1から3に記載の構造材ひずみ検出センサおよびひずみ検出方法を用いて、前記ひずみ検出センサを多数個並列に配置し、構造材表面の広い面積の表面ひずみを、同時に高速に検査する構造材表面ひずみ検出システムの例を説明する。図4は、本実施例のひずみ検出センサを、アレイ状に多数個並列に配置した検出部の例である。例えばセンサ本体部1を、PETポリエチレンテレフタレートなどのフレキシブルシート18に多数個並列に配置し、構造材表面の広い面積を同時に、かつ高速に検査することができる。PETに組み込まれた配線と、センサ本体部1の電極3を結線し磁気検出を可能とする。前記のように、ひずみ検出センサを多数個並列に配置することで、構造材表面の広い面積の表面ひずみを、同時に高速に検査することができる。本実施例は、実施例1から3に記載の構造材ひずみ検出センサおよびひずみ検出方法を用いて、前記ひずみ検出センサを自動位置決め機械に装着し、無人かつ高速に構造材の表面ひずみを検査する構造材表面ひずみ検出システムの例を説明する。図15に低炭素オーステナイト系ステンレス鋼を用いて製造された炉心シュラウドの構造材表面5を、自動位置決め機械31に装着された構造材表面ひずみ検出センサ32を用いて、ひずみの検出を行っている状態を示す。自動位置決め機械31は、左右方向の矢印に沿って動作可能な構造を有しており、また、ひずみ検出センサ32が装着されている走査アーム33には上下方向に動作可能な構造を持つ。このような構造により、炉心シュラウドの構造材表面5を高速かつ広範囲に検査することが可能となる。また、本発明が対象のひとつとしている原子炉構造材は、水中に設置されていたり、放射線環境下にあったりする場合が多く、前記自動位置決め機械に装着された遠隔カメラを介した目視検査や、超音波探傷などの検査がしばしば行われる。本実施例においても同様に、前記ひずみ検出センサおよびシステムを、同様の自動位置決め機械に搭載することで、水中や、放射線環境下においても、無人かつ高速に構造材表面ひずみを検査することが可能となる。