"ディスク形の弁部材により弁座が開閉される主流路とロッドを介して該弁部材を駆動する駆動部との間を、上記弁部材の周辺と上記主流路を形成するハウジングとの間において上記ロッドの回りを取り囲むように配設した成形ベローズにより区画するようにした真空弁における上記ベローズが、金属筒の軸線方向に、該金属筒の内周において内側に向く環状の谷部と、外周において外側に環状に膨出する山部との多数が連続して交互に形成されていて、ベローズ自体に上記ロッドからの外力が作用しない状態において、上記谷部の断面における曲率半径谷Rという。と、上記山部の断面における曲率半径山Rという。との比谷R/山Rが、1.15~1.70の範囲内にある、ことを特徴とする真空弁用ベローズ。上記谷Rと山Rとの比谷R/山Rが、1.20~1.55の範囲内にある、ことを特徴とする請求項1に記載の真空弁用ベローズ。上記弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズの軸方向長さがベローズの自由長であり、該弁部材が全開位置にあるときのベローズが、該ベローズの自由長から総変位量だけ圧縮された状態にある、ことを特徴とする請求項1または2に記載の真空弁用ベローズ。上記弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズが、該ベローズの自由長から弁部材を弁座に当接させるまで伸長させたものであり、該弁部材が全開位置にあるときのベローズが、該ベローズの自由長から総変位量だけ圧縮された状態にある、ことを特徴とする請求項1または2に記載の真空弁用ベローズ。上記弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズの伸長長さを、該弁部材が全開位置にあるときのベローズの圧縮長さと同等またはそれ以下にした、ことを特徴とする請求項4に記載の真空弁用ベローズ。上記ベローズを構成する金属筒が、ステンレス製の金属薄板の深絞りにより形成されたものである、ことを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の真空弁用ベローズ。上述した成形ベローズの谷部において疲労破損すると言う問題を解決すべく、本発明者は、ベローズの山数、ベローズを構成する金属筒の板厚、ベローズの端部のホルダーの板厚を変えることによる変形性の調整等の各種パラメータの変更に伴う最大応力やその分布の変化等について、実験あるいはコンピュータによるシミュレーションを行った結果、上記真空弁用ベローズの伸縮時に外側の環状の山部と内側の環状の谷部に対して作用する応力を可及的に均等化して該ベローズの長寿命化を図るためには、上記谷部と山部の各断面における曲率半径谷R及び山Rを相互に調整するのが簡単で有効な手段であることを確かめた。本発明は、かかる知見に基づくものであり、その技術的課題は、上記谷部と山部の各断面における曲率半径を適切な範囲に設定することにより、上記真空弁用ベローズの伸縮時に内側の環状の谷部と外側の環状の山部に対して作用する応力を可及的に均等化して該ベローズの長寿命化を図ることにある。また、真空弁用ベローズは本来、弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズの軸方向長さをベローズの自由長とし、あるいは、弁部材が上記位置にあるときのベローズがその自由長から弁部材を弁座に当接させるまで伸長させたものとして用いられるため、そのいずれの場合にも、ベローズの伸縮時にその谷部と山部に対して作用する応力を可及的に均等化可能にすることが望ましいが、本発明者による上述のコンピュータシミュレーションの結果について検討したところ、上記谷部と山部の各断面における曲率半径の比谷R/山Rが適切である範囲を求めるに当たり、弁部材が開閉動作を行う間の谷部と山部の応力振幅を参照するのが、以下に詳述するように、弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズの伸長の程度後述する圧縮比に拘わらず、繰り返し応力による金属疲労の程度の均等化に有効であることを確かめた。本発明の他の技術的課題は、かかる知見に基づいて上記谷Rと上記山Rとの適切な比を得るようにした点にある。上記課題を解決するため、本発明によれば、ディスク形の弁部材により弁座が開閉される主流路とロッドを介して該弁部材を駆動する駆動部との間を、上記弁部材の周辺と上記主流路を形成するハウジングとの間において上記ロッドの回りを取り囲むように配設した成形ベローズにより区画するようにした真空弁における上記ベローズが、金属筒の軸線方向に、該金属筒の内周において内側に向く環状の谷部と、外周において外側に環状に膨出する山部との多数が連続して交互に形成されていて、ベローズ自体に外力が作用しない状態において、上記谷Rと上記山Rとの比谷R/山R:以下、R比率という。が、1.15~1.70の範囲内にあることを特徴とする真空弁用ベローズが提供される。上記真空弁用ベローズにおいて、上記R比率は、1.20~1.55の範囲内に設定するのがより望ましい。本発明に係る真空弁用ベローズの好ましい実施形態においては、上記弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズの軸方向長さがベローズの自由長であり、該弁部材が全開位置にあるときのベローズが、該ベローズの自由長から総変位量だけ圧縮された状態にあるものとして構成される。また、本発明に係る真空弁用ベローズの他の好ましい実施形態においては、上記弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズが、該ベローズの自由長から弁部材を弁座に当接させるまで伸長させたものであり、該弁部材が全開位置にあるときのベローズが、該ベローズの自由長から総変位量だけ圧縮された状態にあるものとして構成される。この場合に、上記弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズの伸長長さを、該弁部材が全開位置にあるときのベローズの圧縮長さと同等またはそれ以下にすることができる。更に、本発明の好ましい実施形態においては、上記ベローズを構成する金属筒が、ステンレス製の金属薄板の深絞りにより形成される。以上に詳述した本発明によれば、真空弁用ベローズの上記谷部と山部の各断面における曲率半径を相互に調整し、それらの曲率半径の比を上述した適切な範囲に設定して金属筒を液圧バルジ成形するという簡単な手段で、上記真空弁用ベローズの伸縮時に谷部と山部に対して作用する応力を可及的に均等化し、該ベローズの長寿命化を図ることができる。また、本発明によれば、上記谷部と山部の曲率半径の比谷R/山Rが適切である範囲を求めるに当たり、弁部材が開閉動作を行う間の谷部と山部の応力振幅を参照し、弁部材が弁座に当接した位置にあるときのベローズの伸長の程度圧縮比に拘わらず、繰り返し応力による金属疲労の程度を均等化したベローズを得ることができる。図1及び図2は、本発明に係る真空弁用ベローズの実施の一例を示し、図3は、そのベローズを備えた真空弁の構成を例示している。まず、図3を参照して、上記真空弁用ベローズを取り付けて使用する真空弁の構成について説明すると、この真空弁は、真空ポンプ及び真空チャンバの一方に接続される第1メインポート3と、その他方に接続される第2メインポート4と、上記両メインポート3,4を結ぶハウジング1内の主流路2中に形成された円環状の弁座5と、該弁座を開閉するディスク形の弁部材6と、この弁部材6をそれに連結したロッド7の軸線方向への駆動により開閉動作させる駆動部10とを備えるものである。上記ロッド7を介して駆動部10により駆動する弁部材6の駆動系の構成について説明すると、上記弁部材6は、その背面中央部に駆動用のロッド7の先端部が取り付けられ、該ロッド7が上記駆動部10により軸線方向に駆動されるが、上記ハウジング1により主流路2から区画される上記駆動部10と、上記弁部材6により弁座5が開閉される該弁部材6の周辺の主流路2との間を区画しておく必要があるため、上記ロッド7の回りを取り囲むようにして伸縮自在の成形ベローズ8を配設している。そのため、前記真空ポンプの作動により主流路2を形成するベローズ8の外側が真空雰囲気に置かれ、これに対してベローズの内側は大気圧下に置かれることになる。また、上記弁部材6の背面を閉弁方向に付勢するコイル状の復帰ばね9が設けられている。上記ロッド7は、ハウジング1の内部をその中心軸線に沿って延び、その基端が上記駆動部10を区画形成する隔壁11を貫通して、シリンダ室12内のピストン13に連結されている。また、上記弁部材6の背面に取り付けられた上記ロッド7の回りには、先端部が上記隔壁11の中心筒部11aに当接して弁部材6の全開位置を規定し、それにより上記弁部材6のストロークを設定する筒状のストッパ17を固定している。更に、上記ピストン13は、上記隔壁11との間に圧力室14を区画形成し、この圧力室14が、シリンダボディ15の側面に開口する操作ポート16に開口しているので、外部から該操作ポート16へ圧力流体を供給することにより、上記弁部材6が弁座5を開放する方向に駆動される。上記弁部材6の背面側には、上記ロッド7及び復帰ばね9の回りを取り囲むように伸縮自在のベローズ8が設けられているが、このベローズ8は、その一端が上記弁部材6の背面に気密に取り付けられ、他端が、ハウジング1の端部と上記隔壁11との間に設けられた支持プレート8aに取り付けられている。該ベローズ8は、ステンレス製の金属薄板の深絞りにより形成された金属筒を素材として成形されたもので、金属筒の軸線方向に、該金属筒の外周において外側に環状に膨出する谷部21と、内側に向く環状の山部22との多数が連続して交互に形成されている。前述したように、従来の成形ベローズを用いた真空弁においては、該ベローズの伸縮に伴い、上記山部に比べて谷部に作用する応力が高くなる傾向があり、そのため、寿命に至る段階では谷部において疲労破損するのが通例であるが、本発明に基づく成形ベローズ8においては、上記谷Rと上記山Rとの比であるR比率を適切な範囲に設定するのが上記疲労破損の問題を解決するために有効であるとの知見に基づき、後述するような実験あるいはコンピュータシミュレーションの結果に基づいて、該R比率を適切な範囲に、つまり上記ベローズの伸縮時に内側の谷部21と外側の山部22に対して作用する応力を可及的に均等化できるようにする範囲に設定している。結論的に、上記R比率は、ベローズ8自体に対して上記ロッド7からの外力が作用しない状態自由長において、1.15~1.70の範囲内にあることが、谷部21と山部22に作用する応力を可及的に均等化するのに有効であり、更に、上記R比率は1.20~1.55の範囲内にあることがより望ましい。上記ベローズ8を真空弁のロッド7の周囲に組み付ける場合には、弁部材6が弁座5に当接した位置にあるときのベローズ8の軸方向長さを、ベローズ8自体の自由長であるように設定し、そのため、該弁部材6が全開位置にあるときのベローズ8の軸方向長さが、ベローズ8の自由長から総変位量を差し引いた長さになり、該ベローズ8は、その自由長から総変位量だけ圧縮された状態になる。次に説明するR比率等についてのデータは、上記組み付けを行った場合のものである。なお、上記弁部材6が弁座5に当接した位置にあるときのベローズ8が、該ベローズ8の自由長から弁部材6を弁座5に当接させるまで伸長させたものであり、該弁部材が全開位置にあるときのベローズが、該ベローズの自由長から総変位量だけ圧縮された状態にあるものとして設定することもできるが、これらについては更に具体的に後述する。次に、上記R比率等について、上述した数値範囲に設定するのが有効であることを、実験やコンピュータシミュレーションにより確認した結果を、それらのデータに基づいて具体的に説明する。まず、ベローズ供試体として、外径D1が120.0φmm、内径D2が94.5φmm、山高さが12.8mm、自由長Lが160mm、板厚0.22mm、山数19のものを用い、該ベローズ供試体の内側の雰囲気圧力を大気圧、外側圧力を真空とする条件下において、表1にモデル1~14として示すように、谷R及び山R、並びにそれらの曲率半径に基づいて、0.54~2.08のR比率をもたせたものを用いることとし、それらについて以下に述べる応力等を求めている。各供試体については、中心軸線方向に40mmの圧縮変位を与えた状態、及び該ベローズ供試体を自由長の状態に置いて内外の圧力差のみを作用させた状態における、上記谷部21の中心側部位a及び外周側部位bと、山部22の中心側部位c及び外周側部位dとに作用する応力値シミュレーション値を求め、更に、各R比率の供試体について、上記圧縮変位を与えた場合と上記自由長の状態に置いた場合とにおけるa~dの各部位毎の応力、及びその変動幅、つまり、弁部材6が弁座5の開閉動作を行う間の上記各部位の応力振幅を求め、それらを表1に示している。なお、表中では、圧縮応力をマイナスで示している。上記応力振幅は、弁部材6の開閉動作時におけるa~dの各部位における応力の変動幅を示すものであるが、この変動幅がいずれの部位においても大きくなることは、差が大きい応力が繰り返し作用して金属疲労の原因になるので好ましいことではなく、しかしながら、該変動幅が小さくても、応力値自体が一定の限度以上になることは許容できることではなく、そのため、上記応力の変動幅が比較的小さく、しかも、最大応力値自体が一定の上限値を超えないR比率を採用することが望ましい。図4は、上記表1におけるa~dの各部位毎の応力振幅を、R比率との関連においてグラフ化したものである。同図においては、a~dのいずれの部位における応力振幅もR比率が1.15~1.70の範囲において比較的小さい値を示し、しかも、上記R比率の範囲の下限値においては、従来のベローズにおいて金属疲労による破損が生じているaの部位の応力振幅が、比較的破損が生じないcの部位の応力振幅とほぼ同等になり、更に、上記aの部位に次いで金属疲労が生じる可能性が高いdの部位の応力振幅は十分に小さくなっているので、繰り返し応力による金属疲労を避けるという観点から、上記範囲の下限値は望ましいものと言える。一方、上記R比率の範囲の上限値においては、上記a及びdの部位における応力振幅がほぼ同じになり、しかも、両応力振幅自体の値も小さくなっていて、その上限値を超えるとdの部位における応力振幅が増大するので、繰り返し応力による金属疲労を避けるという観点から上記上限値も望ましいものと言える。また、上記R比率が1.15~1.70の範囲における上記a~dの各部位の最大応力について考察すると、表1におけるモデル7の例は、谷R及び山Rがいずれも2.0mmという既知のベローズに相当するものであり、該モデル7における最も破損しやすいaの部位の最大応力値が599であり、これに対して、表1中のR比率が1.15~1.70の範囲に属するモデル9~12の例では、いずれもaの部位の最大応力が上記モデル7の例よりも十分に低く、特に、R比率の下限値である1.15の場合における最大応力が、モデル8とモデル9との間で比例的に変動すると仮定してそれを求めると、578になって、モデル7の例より十分に低く、更に、他のb~dの部位についての最大応力は更に小さいものであり、結果的に上記R比率が1.15~1.70の範囲内にあることが、谷部21と山部22に作用する応力を可及的に均等化するのに有効であると言える。上述の図4を参照して更に望ましいR比率の範囲について考察すると、上記R比率の範囲の下限としては、破損の可能性が高いaの部位における応力振幅がcの部位における応力振幅よりも小さくなり、結果的に、aの部位が他の部位に比して最も大きい応力振幅を持たなくなるところのR比率である1.20を採用し、また、R比率の上限としては、R比率が増大するに従って応力振幅が最も小さくなっていくbの部位については度外視し、その他のa,c及びdの部位における応力振幅が相互に近似した値になり、結果的に繰り返し応力による金属疲労の程度が均等化されるところの1.55を採用し、それにより上記R比率の範囲を1.20~1.55とするのがより望ましいといえる。上述した真空弁用ベローズ8は、それを真空弁のロッド7の周囲に組み付ける場合に、弁部材6が弁座5に当接した位置にあるときのベローズ8の軸方向長さを、ベローズ8自体の自由長であるように設定している。このような状態でのベローズ8の組み付けは、真空弁に対する組み付けを非圧縮状態で行うことができる点で有利なものであるが、該弁部材6が弁座5に当接した位置にあるときのベローズ8を、該ベローズ8の自由長より大きいものとして設定する場合に比して、弁部材6が全開位置にあるときのベローズ8の圧縮変形量が大きくなり、それだけベローズ8に作用する最大応力が大きくなる点では不利である。しかしながら、上述したように、R比率を1.15~1.70に設定するだけで従来例に比して作用する応力の変動幅を小さくし、しかも、最大応力値自体をも低下させることができる点で、ベローズ8の破損の防止に有効な手段であると言うことができる。また、上述したように、弁部材6が弁座5に当接した位置にあるときのベローズ8の軸方向長さをベローズ8自体の自由長とするのではなく、上記弁部材6が弁座5に当接した位置にあるときのベローズ8が、該ベローズの自由長から弁部材6を弁座5に当接させるまで伸長させたものとし、該弁部材6が全開位置にあるときのベローズ8が、該ベローズの自由長から総変位量だけ圧縮された状態にあるものとすることができる。この場合において、例えば、上記弁部材6が全開位置にあるときのベローズ8の軸方向長さが、該ベローズ8の最大変位長弁部材6の最大ストロークに対して75圧縮した長さであり、該弁部材6が弁座5に当接した位置にあるときのベローズ8が、ベローズ8の上記最大変位長に対して25伸長した長さである場合について、ここでは、該ベローズ8の圧縮側の75という数値を用い、圧縮比が75と表現することにする。この表現によれば、表1及び図4を参照して説明した上述の例は、ベローズ8の圧縮比が100ということになる。次に、表2及び表3と、それらに対応する図5及び図6を参照し、弁部材6が全開位置にあるときのベローズ8の軸方向長さを、該ベローズの変位長弁部材6の最大ストロークに対して75及び50に圧縮した長さに設定している圧縮比75及び50の場合について、有効なR比率等について説明する。なお、表2及び表3におけるベローズ供試体としては、先に表1のデータに関連して説明したところと全く同じであるが、そのモデルは、表1にモデル1~14として示したものの一部に対応するものをサンプリングしたものであり、該表2及び表3には、各モデルについて、表1の場合と同様に、a~dの各部位毎の応力、及び応力振幅を示している。表2及び表3は圧縮比75及び50の場合についてのデータであり、つまり、表1~表3の場合、いずれも弁部材6の変位が40mmであり、弁部材6の全開時におけるベローズ8の変位をそれぞれ40,30,20mmとしているので、表1~表3の場合の圧縮比は、それぞれ100,75,50になっている。図5及び図6は、表1及び図4を参照して説明した上述の圧縮比が100の場合と同様に、表2及び表3におけるa~dの各部位毎の応力振幅を、R比率との関連においてグラフ化したものである。これを図4と対比すると、a~dの各部位における応力振幅の変動の傾向は、いずれの場合においても明らかに同じ傾向を示し、従って、ベローズ8の上記R比率は、圧縮比に拘わらず、1.15~1.70の範囲内にあることが、谷部21と山部22に作用する応力を可及的に均等化するのに有効であると言うことができる。上記R比率が更に望ましくは1.20~1.55の範囲にあることについても同様である。また、表2及び表3のように、圧縮比を75,50とした場合、最大応力が表1の圧縮率100の場合に比して小さくなることは、表1~表3からも明らかであるが、圧縮比が100,75及び50の場合の最大応力を、R比率の変化に対応させて併記した図7の内容からも明らかである。なお、図7において注目すべきは、圧縮比が50の場合に、R比率が1.0~5.0付近において最大応力が低い値を示しており、この範囲はベローズの破損防止に非常に有利な範囲と言うことができる。また、上述した上述した圧縮比に関するデータを参照すると、上記弁部材6が弁座5に当接した位置にあるときのベローズ8の伸長長さを、該弁部材6が全開位置にあるときのベローズ8の圧縮長さと同等圧縮比50またはそれ以下圧縮比50以上にして、破損防止に有効なベローズを得ることができるのは明らかである。"