導電性ペーストを半導体基板に複数回スクリーン印刷することにより、バスバー電極及び該バスバー電極から櫛歯状に伸びるフィンガー電極を形成する太陽電池の製造方法において、前記フィンガー電極と、前記バスバー電極の一部を形成するターゲットマークと、をスクリーン印刷する第1工程と、前記フィンガー電極と、前記ターゲットマークの部分を除く前記バスバー電極と、をスクリーン印刷する第2工程と、を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。請求項1において、前記ターゲットマークは、円形であることを特徴とする太陽電池の製造方法。請求項1において、前記ターゲットマークは、中空円形であることを特徴とする太陽電池の製造方法。しかし、上記従来の特許文献1に記載された太陽電池の製造方法では、フィンガー電極の一部をターゲットマークの一部として使用しているため、電極以外の部分もターゲットマークとして使用され、その部分により受光面の遮光面積が増加し太陽電池の光電変換効率が低下してしまう。本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなされたものであり、受光面の遮光面積を減少させ、太陽電池の光電変換効率を向上させることができる太陽電池の製造方法を提供するものである。上記の課題を解決するために、請求項1に係る太陽電池の製造方法の特徴は、導電性ペーストを半導体基板に複数回スクリーン印刷することにより、バスバー電極及び該バスバー電極から櫛歯状に伸びるフィンガー電極を形成する太陽電池の製造方法において、前記フィンガー電極と、前記バスバー電極の一部を形成するターゲットマークと、をスクリーン印刷する第1工程と、前記フィンガー電極と、前記ターゲットマークの部分を除く前記バスバー電極と、をスクリーン印刷する第2工程と、を有することである。請求項2に係る太陽電池の製造方法の特徴は、請求項1において、前記ターゲットマークは、円形であることである。請求項3に係る太陽電池の製造方法の特徴は、請求項1において、前記ターゲットマークは、中空円形であることである。請求項1に係る太陽電池の製造方法においては、第1工程及び第2工程において、フィンガー電極を印刷しているため、フィンガー電極がより細く、かつ、より厚く形成される。また、バスバー電極の一部をターゲットマークの全部として使用しているため、フィンガー電極以外の受光面をターゲットマークとすることがない。したがって、この太陽電池の製造方法によれは、受光面の遮光面積を減少させ、太陽電池の光電変換効率を向上させることができる。なお、バスバー電極は第2工程のみで印刷されているが、これはバスバー電極が幅広であり導電性ペーストがのり易いためである。また、バスバー電極を2回印刷したのでは、バスバー電極とフィンガー電極との接合部分がにじみ易く、不安定となるためである。請求項2に係る太陽電池の製造方法においては、ターゲットマークを円形にしているため、印刷時に導電性ペーストがにじみ難くなる。なお、本明細書における円には、真円だけでなく、真円に近い楕円も含まれる。請求項3に係る太陽電池の製造方法においては、ターゲットマークを中空円形にしている。発明者の実験により、この形状においても印刷時に導電性ペーストがにじみ難くなることが判明した。なお、本明細書における中空円の外周及び内周の円には、真円だけでなく、真円に近い楕円も含まれる。本発明に係る太陽電池の製造方法を具体化した実施形態を図面に基づいて以下に説明する。図1は、この太陽電池の製造方法により得られたスクリーン印刷済みの半導体基板の概要図であり、半導体基板1の受光面側にバスバー電極3及びバスバー電極3から櫛歯状に伸びるフィンガー電極2がスクリーン印刷されている。半導体基板1は、結晶シリコンのpn接合を含む基板である。また、フィンガー電極2は、数十μm幅の導電性ペーストで形成され、個々の太陽電池セルで発電された電気を集めるものである。さらに、バスバー電極3は、数mm幅の導電性ペーストで形成され、各フィンガー電極2を接続するものである。また、バスバー電極3には、ターゲットマーク4が含まれている。太陽電池の製造方法では、第1工程において、図2に示す導電性ペーストの印刷パターンがスクリーン印刷される。この印刷パターンは、フィンガー電極2と、バスバー電極3の一部を形成するターゲットマーク4とからなっている。ターゲットマーク4は円形をなし、次の第2工程における重ね合わせ印刷の位置合わせに用いられる。ここで、本実施形態においては、円形のターゲットマーク4を採用しているが、図3に示すように、中空円形のターゲットマーク5を使用してもよい。次に、第2工程において、図4に示す導電性ペーストの印刷パターンの重ね合わせ印刷が行われる。この印刷パターンは、フィンガー電極2と、ターゲットマーク4の部分を除くバスバー電極3とからなっている。この際、第1工程においてカメラにより認識されたターゲットマーク4が重ね合わせ印刷の位置合わせとして用いられる。第2工程が終了すると、図1のスクリーン印刷済みの半導体基板1を得ることができる。第1工程において、図3に示す中空円形のターゲットマーク5を使用した場合、第2工程では図5に示す導電性ペーストの印刷パターンの重ね合わせ印刷が行われる。この印刷パターンは、フィンガー電極2と、ターゲットマーク5の部分を除くバスバー電極3とからなっている。この際、第1工程においてカメラにより認識されたターゲットマーク5が重ね合わせ印刷の位置合わせとして用いられる。第2工程が終了すると、図1のスクリーン印刷済みの半導体基板1を得ることができる。実施形態に係る太陽電池の製造方法においては、第1工程及び第2工程において、フィンガー電極2を印刷しているため、フィンガー電極2がより細く、かつ、より厚く形成される。また、バスバー電極3の一部をターゲットマーク4の全部として使用しているため、フィンガー電極2以外の受光面をターゲットマーク4とすることがない。したがって、この太陽電池の製造方法によれは、受光面の遮光面積を減少させ、太陽電池の光電変換効率を向上させることができる。なお、バスバー電極3は第2工程のみで印刷されているが、これはバスバー電極3が幅広であり導電性ペーストがのり易いためである。また、バスバー電極3を2回印刷したのでは、バスバー電極3とフィンガー電極2との接合部分がにじみ易く、不安定となるためである。また、この太陽電池の製造方法においては、ターゲットマーク4を円形にしているため、印刷時に導電性ペーストがにじみ難くなる。さらに、中空円形のターゲットマーク5を使用した場合であっても、印刷時に導電性ペーストがにじみ難くなる。以上、本発明の太陽電池の製造方法を実施形態に即して説明したが、本発明はこれらに制限されるものではなく、本発明の技術的思想に反しない限り、適宜変更して適用できることはいうまでもない。