"電解液を含有する液体を搬送するための流路と、前記流路に設けられ、前記液体の搬送方向に沿って電界を印加するための一対の電極と、前記一対の電極の一方に接続して設けられ、前記流路内の液体に接触している導電性部材とを備えたポンプであって、前記導電性部材が前記流路内における前記液体の流れを局所的に分岐させる側壁部を有することを特徴とするポンプ。前記一対の電極が流路の底面に配置された薄膜平面電極であり、前記一対の電極の一方に接続して設けられた導電性部材が側壁部を有する柱状構造からなる厚膜柱状導電性部材からなり、前記薄膜平面電極の厚さが前記厚膜柱状導電性部材の厚さより小さいことを特徴とする請求項1に記載のポンプ。前記一対の電極の一方に接続して設けられた導電性部材が、接続していない電極の方向に対して凸型を有する多面体または柱状体からなることを特徴とする請求項1または2に記載のポンプ。前記一対の電極の一方または両方が、線状電極、網目状電極または環状電極であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかの項に記載のポンプ。前記一対の電極が流路の底面に配置された線状電極であり、前記一対の電極の一方に接続して設けられた導電性部材が多面体であることを特徴とする請求項3または4に記載のポンプ。前記一対の電極の一方に接続して複数の導電性部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかの項に記載のポンプ。電解液を含有する液体を搬送するための流路と、前記流路に設けられ、前記液体の搬送方向に沿って電界を印加するための一対の電極を複数個配置した複数電極と、前記複数電極の液体の搬送方向に面した最初の電極以外の電極に接続して設けられ、前記流路内の液体に接触している複数の導電性部材とを備えたポンプであって、前記複数の導電性部材が前記流路内における前記液体の流れを局所的に分岐させる側壁部を有することを特徴とするポンプ。前記複数電極の各々の電極に複数の導電性部材が設けていることを特徴とする請求項7に記載のポンプ。前記複数電極の奇数列の電極に接続された前記複数の導電性部材と、前記複数電極の偶数列の電極に接続された前記複数の導電性部材とが互いに千鳥状に配置しており、前記奇数列と前記偶数列の各々の一対の電極に交番電圧を印加することを特徴とする請求項7または8に記載のポンプ。特許文献1及び非特許文献から3に記載の電気浸透を利用したポンプは、今後の利用が期待されるが、ポンプの流路内の単位占有面積当たりの発生圧力が比較的小さいために、流路が長くなると十分なポンプ性能を発揮できなくなる恐れがあった。また、発生圧力を高めるためにポンプ長を長くすると、流体集積回路内のポンプ面積比率が増加し、システム全体のサイズやコストを増加させる恐れがあった。現在、一般的なポンプとしては、大型の外部圧力発生源が必要なポンプが用いられている。しかし、これに代わる外部圧力源等が不要な小型で単純な構造のポンプが実現できれば、システム全体のサイズやコストを飛躍的に下げることができ、流体集積回路の活用範囲を大きく広げられる可能性がある。また、流路が長い場合でも十分なポンプ性能を発揮できる小型で単純な構造のポンプが実現できれば、局所的な流れの制御だけでなく、μTAS等の流体装置全体の送液を含めたマクロな流れの制御を統合的に動的に実施できる流体集積回路を実現できる可能性がある。一方、特許文献1及び非特許文献1では、電極間に配置した導電ポストの誘起電荷電気浸透現象に起因する側壁流を利用した流体素子の記載はある。しかしながら、導電ポストの一方が電極に接続されていないために、流路に沿った順方向の流れと同時に逆方向の流れが発生し、ポンプ性能を低下させるおそれがあった。また、非特許文献2では、矩形電極の一部に立体段差構造を持たせたACEOを利用したポンプの記載はある。しかしながら、立体段差電極上面の流れを利用することでは従来のACEOポンプと同様であり、側壁流の利用については記載も示唆もされていない。また、非特許文献3では、一対の線状薄膜電極が互いに交差しない状態でかつ互いに垂直となるように配置されたマイクロポンプの記載はある。しかしながら、薄膜電極上面の界面動電現象を利用するものであり、側壁流の利用については記載も示唆もされていない。本発明は、この様な背景技術に鑑みてなされたものであり、流路内の単位占有面積当たりの発生圧力が大きな小型で単純な構造のポンプを提供するものである。上記の課題を解決する第一のポンプは、電解液を含有する液体を搬送するための流路と、前記流路に設けられ、前記液体の搬送方向に沿って電界を印加するための一対の電極と、前記一対の電極の一方に接続して設けられ、前記流路内の液体に接触している導電性部材とを備えたポンプであって、前記導電性部材が前記流路内における前記液体の流れを局所的に分岐させる側壁部を有することを特徴とする。上記の課題を解決する第二のポンプは、電解液を含有する液体を搬送するための流路と、前記流路に設けられ、前記液体の搬送方向に沿って電界を印加するための一対の電極を複数個配置した複数電極と、前記複数電極の液体の搬送方向に面した最初の電極以外の電極に接続して設けられ、前記流路内の液体に接触している複数の導電性部材とを備えたポンプであって、前記複数の導電性部材が前記流路内における前記液体の流れを局所的に分岐させる側壁部を有することを特徴とする。本発明によれば、流路内の単位占有面積当たりの発生圧力が大きな小型で単純な構造のポンプを提供することができる。以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。本発明に係る第一のポンプは、電解液を含有する液体を搬送するための流路と、前記流路に設けられ、前記液体の搬送方向に沿って電界を印加するための一対の電極と、前記一対の電極の一方に接続して設けられ、前記流路内の液体に接触している導電性部材とを備えたポンプであって、前記導電性部材が前記流路内における前記液体の流れを局所的に分岐させる側壁部を有することを特徴とする。以下、本発明のポンプについて、図を参照して説明する。図1は本発明のポンプの一実施態様を示す模式図である。図1において、1は電解液を含有する液体を搬送するための流路、2、3は前記液体に該液体の搬送される方向に沿った成分を有する電界を印加するための一対の電極、4は一対の電極の一方の電極3に接続され、前記流路内の液体に接触している導電性部材、5は前記導電性部材4の側壁部を示し、前記液体の前記流路1内における流れを局所的に分岐させる側壁部である。6、7は流路の側壁、8,9は側壁流、10は一対の電極2、3に電圧を印加する電圧印加手段を示す。11は液体、12は液体の搬送方向、13は流路の底面を示す。図1に示す本発明のポンプは、電解液を含有する液体11を搬送するための流路1と、前記流路1に設けられ、前記液体の搬送方向12に沿って電界を印加するための一対の電極2、3と、前記一対の電極の一方の電極3に接続して設けられ、前記流路内の液体に接触している導電性部材4とを備えたポンプである。そして、前記導電性部材4が前記流路内における前記液体の流れを局所的に分岐させる側壁部4を有することを特徴とする。本発明に係るポンプは、前記一対の電極に所望の電圧を印加することにより、前記導電性部材の側壁部に界面動電現象に起因する側壁流が発生し、これにより単位占有面積当たりの発生圧力が大きく小型で単純な構造のポンプを実現することができる。図2は本発明のポンプの液体の搬送方法を説明する説明図である。図2において、Vsは電圧印加によって側壁部5で発生する電極表面のすべり速度Vsを示す。図1のポンプにおいて、一対の電極2、3に電圧V0を印加すると、流路1内に電界が生ずる。この電界によりプラス電極2側にはマイナスイオン14が集まり、マイナス電極3側にはプラスイオン15が集まり、電極2,3の近傍に所謂電気二重層が形成される。この電気二重層を形成するイオンは、電極表面に沿った電界によって、表面に滑り速度Vsを発生させる。この滑り速度は、交流電圧に対しても正味の値Vsを持ち、この正味の滑り速度Vsによって、前記流路1内における液体の流れを局所的に分岐させる側壁部5に界面動電現象に由来する側壁流8,9が生起される。本発明のポンプは、前記液体に液体の搬送方向に沿った成分を有する電界を印加するための一対の電極2、3に対して、所望の電圧を印加することにより、前記液体の流路1内における流れを局所的に分岐させる側壁部5に界面動電現象に由来する側壁流8、9を生起させる。これにより単位占有面積当たりの発生圧力が大きく、小型で単純な構造のポンプを実現できる。つまり、本発明は、単位占有面積当たりの発生圧力が大きい小型で単純な構造のポンプを実現できる。また、電圧印加手段10は電池、交流電源、直流電源、パルス電圧源、任意波形電圧源などを用いることができるが、電気化学反応等による泡の発生を抑えるために、30Hz以上の交流電源を用いることが好ましい。また、電気二重層に電荷をチャージするために、100kHz以下の交流電圧を用いることが望ましい。また、印加電圧V0と電極間の距離dから決まる平均電界強度E0=V0/dは、AC電気浸透ACEO流れやICEO流れを発生させるために、0.1×104V/mから100.0×104V/m、好ましくは0.5×104V/mから5×104V/mが望ましい。電極2、3を構成する材料は、電界により電荷を誘起する導電材料が用いられ、金属例えば、金、白金の他、炭素や炭素系の材料等が挙げられる。特に、搬送する液体に対して安定な金や白金、または炭素材料等で構成するのが好ましい。また、好ましくは、化学的に安定な材料金、白金、炭素等の導電材料を液体面に接触させるのが好ましいが、Ta,Ti、Cu、Ag、Cr,Ni等の金属を用いても構わない。また、流路内に設けられる一対の電極2、3の数は、効率的に渦流を発生させるために、複数対とすることも可能であり、流路の幅や導電性部材の大きさ、搬送する液体の粘性等を考慮して選択することができる。一対の電極2、3の形状は、流路に沿った流れを止めない形状であれば如何なるものでもよく、例えばスペーサーのようなバルク形状、多数の穴の空いた多孔質材料構造体、薄膜状、線状、網目状、環状であってもよい。前記一対の電極の一方または両方が、線状電極、網目状電極または環状電極であることが好ましい。すなわち、電極は流路の中で流路の流れ方向に液体の透過性を持つことを特徴とする。また、流路に沿った電極長は、長くても、短くてもかまわず、独立な一対の電極を流路に沿って複数配置してもかまわない。また、前記一対の電極の一方に接続され前記液体に接触する導電性部材は、三角柱、多角柱、楕円柱、楕円柱の一部等の任意の柱状体であっても、球体、楕円球体等を含む任意の多面体であっても構わない。一対の電極の一方に接続して設けられた導電性部材が、接続していない電極の方向に対して凸型を有する多面体または柱状体からなることが好ましい。前記一対の電極の一方に接続して複数の導電性部材が設けられていてもよい。前記一対の電極が流路の底面に配置された薄膜平面電極であり、前記一対の電極の一方に接続して設けられた導電性部材が側壁部を有する柱状構造からなる厚膜柱状導電性部材からなり、前記薄膜平面電極の厚さが前記厚膜柱状導電性部材の厚さより小さいことが好ましい。また、前記一対の電極が流路の底面に配置された線状電極であり、前記一対の電極の一方に接続して設けられた導電性部材が多面体であることが好ましい。本発明において、液体を搬送する流路は、μTAS等の分野で一般的に使用される材料で構成することができる。具体的には、搬送する液体に対して安定な材料で構成でき、そのような材料としては、SiO2やSi等の無機材料の他、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ系樹脂などの高分子樹脂等が挙げられる。流路断面幅の大きさは、バイオ関連の粒子を含む流体を混合するために、10μmから1mm程度が好ましいが、必要に応じて、1から2000μmでも構わない。また、流路の深さは、流量を大きくするという観点から流路幅よりも深い大きいことが好ましい。具体的には、深さ/流路幅は0.1以上、より好ましくは0.2以上、更に好ましくは0.5以上が望ましい。本発明において、流路内を搬送可能な液体は、基本的には、帯電成分を含有する極性分子を含むものであり、水や、各種電解質を含む溶液等が挙げられる。また、水等の電解質液に含まれる微細な気泡や油脂材料等を含む液体や、無機及び有機の微粒子やコロイド粒子を含む液体であってもかまわない。また、本発明のポンプを作成するには、流路は所謂、マイクロTAS等の微小流路を用いた流体搬送装置を一般的に作成するMEMS技術、リソグラフィー技術等を用いることができる。また、機械加工を含む、張り合わせ技術、プレス加工等で作成してもよい。本発明に係る第二のポンプは、電解液を含有する液体を搬送するための流路と、前記流路に設けられ、前記液体の搬送方向に沿って電界を印加するための一対の電極を複数個配置した複数電極と、前記複数電極の液体の搬送方向に面した最初の電極以外の電極に接続して設けられ、前記流路内の液体に接触している複数の導電性部材とを備えたポンプであって、前記複数の導電性部材が前記流路内における前記液体の流れを局所的に分岐させる側壁部を有することを特徴とする。前記複数電極の各々の電極に複数の導電性部材が設けていることが好ましい。前記複数電極の奇数列の電極に接続された前記複数の導電性部材と、前記複数電極の偶数列の電極に接続された前記複数の導電性部材とが互いに千鳥状に配置しており、前記奇数列と前記偶数列の各々の一対の電極に交番電圧を印加することが好ましい。以下、具体的な実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。尚、以降の説明では、図面中の同一の部材には同一の番号を付して重複した説明は省略する。実施例1図1に示すポンプを用いた実施例を示す。図1において、液体11に該液体の搬送される方向に沿った成分を有する電界を印加するための一対の電極2、3は、流路の底面13に配置された薄膜平面電極である。前記一対の電極の一方の電極3に接続され、前記液体に接触する導電性部材4が柱状構造を有する厚膜柱状導電性部材である。前記薄膜平面電極の厚さが該厚膜柱状導電性部材より小さく、該厚膜柱状導電性部材が実質的側壁部5を有するポンプである。ここで、前記薄膜平面電極2の厚さが該厚膜柱状導電性部材4の厚さより小さく、該厚膜柱状導電性部材が側壁部5を有することにより、流路方向の液体の流れを妨げずに効果的に一方向の側壁流を発生することができる。ここで、前記導電性部材4と対峙する薄膜の電極2の幅は該導電部材4の流れ方向の幅より狭いことが好ましく、これにより逆流の発生をより効果的に防止できる効果がある。また、薄膜の電極2の幅は電極3の幅より狭いことが好ましく、これにより同じく逆流の発生をより効果的に防止できる効果がある。図1のポンプにおいては、図2に示す様に、左電極2がプラス電位で右電極3がマイナス電位である場合のプラスイオン15のマイナス電極3付近への集積と、マイナスイオン14のプラスイオン電極2への集積及び、電界Eの電極面に沿った成分による側壁部での滑り速度Vsが発生する。同様に電圧を入れ替えても、同じ方向の滑り速度Vsが発生するため、交流に対しても、直流と同様の方向のすべり流の側壁流8、9を発生させることができる。ただし、交流電圧を利用すると電気化学反応に由来する気泡の発生などを抑制できる効果があり、交流を用いることが好ましい。また、このように電極面に発生する誘起電荷を遮蔽するように形成される電気二重層のイオンの動きに起因する流れは誘起電荷電気浸透ICEOまたはAC電気浸透ACEOとして知られている。実施例1では、前記電圧印加手段が交流電圧源であり、AC電気浸透ACEOまたは誘起電荷電気浸透ICEOによる側壁部でのすべり流を発生させるポンプであり、気泡等の発生を抑制できる効果がある。また、電極2付近では、側壁流8、9とは逆方向の滑りが発生する恐れがあるが、流路の底部で発生する逆方向すべりは界面での流速が強く抑制されるためマクロな流れに寄与しにくい。このことから、流路の中央部のすべりを含む立体の前記導電性部材4の側壁面での滑り効果に比べて無視でき、液体の搬送方向12の方向にマクロな正味流れを発生できる。ここで、前述したように、前記導電性部材4と対峙する薄膜電極2の幅は、導電性部材4の流れ方向の幅及び電極3の幅より狭ければ、より効果的に逆流の発生を防止できる。また、すべり流の方向は、表面の状態、イオンの応答遅れ、ファラデー電流等の影響で反対方向となる場合がある。図3は、従来の3DACEOポンプと本発明のポンプとの差異を説明する説明図である。いま、幅w、高さh、長さLの流路内に最大どれだけのすべり速度活性な面積を設けることができるかを考える。このとき、図3aに示すように、従来の3DACEOポンプでは約L/2wの面積を活性にできる。また、本発明のポンプでは、導電性部材4が一つN=1の場合は、図3bに示すように約2Lhの面積をすべり活性面にでき、導電性部材4がN個の場合には約2NLhの面積をすべり活性面にできることがわかる。すなわち、L/2w<2NLhなる条件、換言すると、高さhがh>w/4Nを満たすとき、特に、大きなすべり活性面を持ち、単位占有面積当たりの発生圧力が大きく小型で単純な構造のポンプを実現できることがわかる。また、図1において、流路の平均幅をw、流路の高さをhのとき、ポンプの平均流速Upは、すべりの代表速度Uc≒εLE02/μに比べ小さいとき、Up≒R0/RβNMLh/LwεLE02/μ=R0/RβMNUch/wとなる。ここで、Nは流路幅方向の平均素子数、Mは流れ方向の素子数であり、εは流体の誘電率水の場合、ε≒80ε0であり、ε0は真空誘電率、μは流体の粘性、E0=V0/Lは平均印加電界、V0は電極2、3への印加電圧ACの場合は実効値電圧、Lは電極2、3間のギャップ距離である。また、βは1個の素子に対する性能を示すパラメータであり、電極界面、印加電圧、系の代表サイズ等で変動し、0.001から1程度の大きさを持つ。また、しばしば、ポンプの正味流れの方向は、標準的な理論と逆方向となり、βの符号は負となる。また、Rは流れ回路全体の流抵抗、R0は1個の素子対する流抵抗である。ΔPを発生圧力とするとき、Up=ΔP/Rなる関係がある。それゆえ、発生圧力ΔPはΔP≒RR0/RβNMh/wεLE02/μとなる。また、素子部の面積A=MLwであるので、単位素子面積あたりの発生圧力はΔP/MLw≒1/LwR0βNh/wεLE02/μとなる。いま、w=100μm、h=100μm、ε≒80ε0、μ=1mPas、L≒50μmとする。この時、V0=1.0,1.5,2.0,3.0Vの電圧を印加すると、E0=10,15、20、30kV/mの電界と、Up≒3.5MNh/wR0/Rβ,8MNh/wR0/Rβ,14MNh/wR0/Rβ,32MNh/wR0/Rβmm/sなる平均流速、及びΔP≒3.5MNh/wβR0,8MNh/wβR0,14MNh/wβR0,32MNh/wβR0mPaなる発生圧力を得る。より具体的に言うと、β≒1、M=N=1,h/w=1、R0≒1kPa/mの単一素子は、R0/R=1を満たす0.2mm程度の短い流路でV0=1.0,1.5,2.0,3.0Vの電圧でUp≒3.5,8,14,32mm/sなる平均流速と、ΔP≒3.5,8,14,32Paなる発生圧力を持つ。しかし、R0/R=1/100を満たす2cm程度の長い流路では、発生圧力は同じでも、平均流速Up≒0.0035,0.008,0.014,0.032mm/sのように小さくなってしまう。ここで、素子部の面積A=Lwは0.02mm2である。すなわち、単位面積あたりの発生圧力はΔP/A≒175,400,700,1600Pa/mm2となる。ここで、流れ方向の素子数をM倍にした多段素子では、平均流速Up及びΔPはM倍となり好ましい。しかし、素子部の面積AもM倍となるので、単位面積あたりの発生圧力は変化しない。同様に、従来ACEOポンプは多段化によって、発生圧力の増加を図っているが、単位面積あたりの発生圧力を増加できず、流体素子の集積化に不利である。これに対して、本発明では、一対の電極の一方の電極3に接続された導電性部材4の側壁部5の側壁流8、9を利用することによって、流路幅方向の素子数Nを増加させることにより、素子面積Aを増加させずに発生圧力及び平均流速をN倍にでき、単位面積あたりの発生圧力をN倍にできる効果がある。すなわち、大きなすべり活性面を持ち、単位占有面積当たりの発生圧力が大きく小型で単純な構造のポンプを実現できることがわかる。図4は、本発明のポンプの他の実施態様を示す模式図である。図4は、流路を上方から見たときの模式図であり、一対の電極2,3の一方の電極3に接続された導電性部材4は,図4a,4b,4cに示すように、三角柱、半楕円柱、円柱など任意の多面体柱を用いることができる。また、一対の電極の一方の電極3に対する導電性部材4の接続構造は、導電性部材が短冊状平面薄膜電極3の上に積層された構造でも、図4d21に示した短冊状平面薄膜電極にT字状に接続された接続用短冊状平面薄膜電極を介して導電性部材4に接続された構造でもかまわない。また、図4eに示すように、導電性部材4とギャップを介して対峙する電極2の構造も、T字状の平面薄膜電極等任意の構造でかまわない。また、図4aからeは、前記一対の電極の一方の電極3に接続され、前記液体に接触する導電性部材4が他方の電極2に対して凸型を有する多面体であり、このことによって、側壁部に効果的にすべり速度を発生できる効果がある。また、図4fに示すように、導電性部材4である柱状構造体は、4fのように、薄壁状高厚導電構造体でもよく、このように流路方向の幅を狭くした柱状導電構造体は、すでに述べた導電性部材4の数N数を増加させるのに好ましく、単位体積あたりの発生圧力を増加できる効果がある。実施例2図5は、本発明の実施例2のポンプを示す模式図である。本実施例のポンプは、前記液体に該液体の搬送される方向に沿った成分を有する電界を印加するための複数電極22と、該電極に接続され前記液体に接触する複数の導電性部材44とを有し、前記複数電極の奇数列に接続された前記複数の導電性部材と前記複数電極の偶数列に接続された前記複数の導電性部材とが互いに千鳥配置位置となり、前記複数列と前記偶数列の電極間に交番電圧を印加することを特徴とする。図5において、前記複数電極の奇数列に接続された前記複数の導電性部材と前記複数電極の偶数列に接続された前記複数の導電性部材とが互いに千鳥配置位置となり、前記複数列と前記偶数列の電極間に交番電圧を印加することによって、集積化率を上げ、単位面積あたりの発生圧力増加できる効果がある。実施例3図6は、本発明の実施例3のポンプを示す模式図である。本実施例のポンプは、前記液体に該液体の搬送される方向に沿った成分を有する電界を印加するための一対の電極の一方または両方が線状電極[図6a,図6bの2a、2b]または網目状電極[図6cの2c]または環状電極[図6dの2d]であることを特徴とする。図6において、電界を印加するための一対の電極の一方または両方が線状電極、網目状電極または環状電極であることによって、流体を流れ方向に透過させることができる。すなわち、素子の流抵抗R0を大きく増加させることなく流れ方向の電界を効果的に印加できる効果がある。また、AC電圧の印加によって、実施例1、2と同様の効果を有する。実施例4図7は、本発明の実施例4のポンプを示す模式図である。本実施例4のポンプは、一対の電極2、3に接続される導電構造体が球体、楕円球等を含む任意の導電多面体であることを特徴とする。すなわち、実施例4は、流路の液体に該液体の搬送される方向に沿った成分を有する電界を印加するための一対の電極が、流路の底面と上面の間の中間部分に配置された線状電極であり、該電極に接続され前記液体に接触する導電性部材が導電多面体であることを特徴とする。導電性部材の導電多面体の側壁流を用いることにより、すべり活性化面積を一層増加できる効果を持ち、AC電圧の印加によって、実施例1から3と同様の効果を有する。また、一対の電極2、3に導電多面体を基本ユニットとする実施例4の素子を、図示したように2次元方向に繰り返し配置できるだけなく3次元的に高さ方向にも積層することができ、単位面積あたりのすべり活性化面積を飛躍的増大できる利点を有する。実施例5図8は、本発明の実施例5のポンプを示す模式図である。本実施例5のポンプは、一対の電極2、3が互いに面積の異なる非対称平面電極であり、該非対称電極の幅広電極3c側に実質的な側壁流を有する柱状導電性部材4cを配置したことを特徴とする。すなわち、本実施例は本発明の側壁流によるポンプ作用に加えて、従来の非対称面の活性面に由来するポンプ作用が得られる効果を有する。"