透過型の電子顕微鏡と、光学顕微鏡と、を有し、前記電子顕微鏡は、試料に向かって電子線を放出する電子銃と、前記電子線を結像する電磁対物レンズと、前記電磁対物レンズを通過した前記電子線が入射する検出部とを有し、前記電子線の進行経路の途中には反射鏡が配置され、前記光学顕微鏡は前記進行経路から離間した位置に配置された光学対物レンズを有し、前記反射鏡の反射面は、前記試料と前記光学対物レンズに向かって傾斜し、前記反射鏡の、前記進行経路と交差する位置には、前記反射鏡を貫通する設置中心孔が形成された複合顕微鏡装置。前記設置中心孔の直径は0.1~1mmであることを特徴とする請求項1記載の複合顕微鏡装置。前記反射鏡の傾斜角度を調整する角度調整機構を有する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の複合顕微鏡装置。前記光学対物レンズを調整するレンズ調整機構を有する請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の複合顕微鏡装置。前記電磁対物レンズは、筒状のコイルと、前記コイルを覆うヨークとを有し、前記ヨークの一部に切り欠きが形成され、前記ヨークの前記切り欠きが形成された部分は、前記コイルの内側に突き出され、前記電磁対物レンズ内部に間隙が形成され、前記間隙には、前記光学対物レンズと、前記試料が配置される試料ホルダとが配置された請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の複合顕微鏡装置。前記光学顕微鏡は、光源と、ダイクロイックミラーと、光学検出部とを有し、前記ダイクロイックミラーと、前記光学対物レンズと、前記光学検出部とは、前記進行経路と交差する直線上に並べられ、前記ダイクロイックミラーの反射面は、前記光学対物レンズと、前記光源に向かって傾斜する請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の複合顕微鏡装置。前記光学対物レンズは、蛍光顕微鏡用レンズである請求項6記載の複合顕微鏡装置。前記光学顕微鏡は、前記進行経路上に配置された照明用反射鏡と、前記進行経路から離間して配置された光源とを有し、前記照明用反射鏡は、前記試料を挟んで前記反射鏡と反対側に位置し、前記照明用反射鏡の反射面は、前記試料と前記光源に向かって、前記進行経路から傾斜し、前記照明用反射鏡の、前記進行経路と交差する位置には、前記照明用反射鏡を貫通する設置中心孔が形成された請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の複合顕微鏡装置。前記進行経路上の、前記照明用反射鏡と前記試料との間の位置には、光学コンデンサレンズが配置され、前記光学コンデンサレンズの、前記進行経路と交差する位置には、前記光学コンデンサレンズを貫通する設置中心孔が形成された請求項8記載の複合顕微鏡装置。前記反射鏡の表面と、前記反射鏡の前記設置中心孔内壁面と、前記照明用反射鏡の表面と、前記照明用反射鏡の前記設置中心孔内壁面と、前記採光用反射鏡の表面と、前記採光用反射鏡の前記設置中心孔内壁面と、前記光学コンデンサレンズの表面と、前記光学コンデンサレンズの前記設置中心孔内壁面と、前記光学対物レンズの表面のうち、いずれか一箇所以上の面には、透明導電材料の膜が形成された請求項9記載の複合顕微鏡装置。前記電磁対物レンズは真空槽内部に配置され、前記真空槽の内部空間のうち、前記光源の周囲の部分には、反射防止膜が形成された請求項1乃至請求項10のいずれか1項記載の複合顕微鏡装置。上記特許文献1、非特許文献1に記載された技術では、光学顕微鏡と透過型電子顕微鏡の一体化は実現したが、電子線と、光の電子光軸とが一致せず、試料の並進、回転等の移動により、別々に観察が行われる。従って、光学顕微鏡と電子顕微鏡で、同一試料を同時に観察することは不可能であった。例えば、蛍光染色ウィルスを細胞中で探索する操作は蛍光顕微鏡で行われ、探索したウィルスを拡大して固定撮影する操作は電子顕微鏡で行われるが、従来の装置では、探索と固定を同時に行うことは不可能である。このように、従来の装置では、検知対象物を素早く検出して固定する、いわゆるハイスループット操作には不向きであった。上記特許文献2、3にも、電子顕微鏡と光学顕微鏡を組み合わせて、同一試料を観察する装置は開示されているが、これらの技術は走査型電子顕微鏡用のものであって、透過型電子顕微鏡と光学顕微鏡の組み合わせで、同一試料を同時観察可能な技術は未だ提供されていない。そこで、本発明は、特に透過型電子顕微鏡と光学顕微鏡との組合せで、同一試料を同時に観察可能な装置を提供することを主目的とする。本発明の複合顕微鏡装置は、透過型の電子顕微鏡と、光学顕微鏡とを有する。電子顕微鏡は、試料に向かって電子線を放出する電子銃と、電子線を結像する電磁対物レンズと、電磁対物レンズを通過した前記電子線が入射する検出部とを有し、電子線の進行経路の途中には反射鏡を配置し、光学顕微鏡には進行経路から離間した位置に配置された光学対物レンズを具備させる。反射鏡の反射面は、試料と光学対物レンズに向かって傾斜させる。反射鏡の、進行経路と交差する位置には、反射鏡を貫通する設置中心孔を形成する。設置中心孔の直径は0.1~1mmにすることが望ましい。反射鏡の傾斜角度を調整する角度調整機構を具備させることが望ましく、また、光学対物レンズを調整するレンズ調整機構を具備させることがより望ましい。電磁対物レンズは、筒状のコイルと、前記コイルを覆うヨークとを具備するものを用いることができる。ヨークの一部には切り欠きを形成し、ヨークの切り欠きが形成された部分は、コイルの内側に突き出す形状とし、電磁対物レンズ内部に間隙が形成することができる。その間隙には、光学対物レンズと、試料が配置される試料ホルダとを配置できる。光学顕微鏡は、光源と、ダイクロイックミラーと、光学検出部とを有するものを用いることができる。ダイクロイックミラーと、光学対物レンズと、光学検出部とは、進行経路と交差する直線上に並べることができる。ダイクロイックミラーの反射面を、光学対物レンズと、光源に向かって傾斜させることが望ましい。光学対物レンズには、蛍光顕微鏡用レンズを用いることができる。光学顕微鏡には、進行経路上に配置された照明用反射鏡と、進行経路から離間して配置された光源とを具備させることもでき、照明用反射鏡は、試料を挟んで反射鏡と反対側に位置させることが望ましい。照明用反射鏡の反射面を、試料と光源に向かって、進行経路から傾斜させ、照明用反射鏡の進行経路が交差する位置に、照明用反射鏡を貫通する設置中心孔を形成することが望ましい。進行経路上の、照明用反射鏡と試料との間の位置には、光学コンデンサレンズを配置することが望ましく、光学コンデンサレンズの進行経路が交差する位置には、光学コンデンサレンズを貫通する設置中心孔を形成することが望ましい。反射鏡の表面と、反射鏡の設置中心孔内壁面と、照明用反射鏡の表面と、照明用反射鏡の設置中心孔内壁面と、採光用反射鏡の表面と、採光用反射鏡の設置中心孔内壁面と、光学コンデンサレンズの表面と、光学コンデンサレンズの設置中心孔内壁面と、光学対物レンズの表面のうち、いずれか一箇所以上の面には、透明導電材料の膜を形成することが望ましい。電磁対物レンズを真空槽内部に配置し、真空槽の内部空間のうち、光源の周囲の部分には、反射防止膜を形成することが望ましい。本発明によれば、同一試料について、同時に、電子顕微鏡画像と光学顕微鏡画像とを観察撮影することができる。以下、本発明を実施するための形態について、詳細に説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態に限定されるものではない。図1の符号1は本発明の複合顕微鏡装置の一例を示しており、この複合顕微鏡装置1は、電子顕微鏡2と、光学顕微鏡4とを有している。電子顕微鏡2の構造は特に限定されないが、例えば、真空槽20と、電子銃21と、収束レンズ22と、対物レンズ25と、投射レンズ31と、検出部30とを有している。真空槽20には不図示の真空ポンプが接続されており、真空槽20内部には真空雰囲気が形成される。電子銃21は電子線電子ビームの放出口が真空槽20の内部空間に向けられ、電子線は真空雰囲気が形成された真空槽20内部を進行する。図1の符号Cは電子銃21から放出される電子線の進行経路電子光軸を示している。収束レンズ22、対物レンズ25、投射レンズ31、及び検出部30は、電子銃21に近い側から記載した順番に電子光軸Cに沿って並べられている。電子線は収束レンズ22で収束され、対物レンズ25で結像され、投射レンズ31で拡大された後、検出部30に入射する。本発明に用いる電子顕微鏡2は透過型電子顕微鏡TEMであって、観察対象の試料は、電子光軸C上に配置される。以下に、試料と光学顕微鏡4の配置について、対物レンズ25の具体例と共に説明する。図2は対物レンズ25の拡大断面図である。対物レンズ25は、例えば電磁レンズ磁界レンズである。後述する光学顕微鏡4の対物レンズと区別するため、電子顕微鏡2の対物レンズ25を電磁対物レンズ25と称する。電磁対物レンズ25は、コイル24と、コイル24を被覆するヨーク23とを有している。コイル24の形状は筒状リング状であって、電磁対物レンズ25全体の形状も筒又になっている。電磁対物レンズ25は、筒の一端開口が電子銃21に向けられ、筒の中心軸線が電子線の電子光軸Cと平行になるよう配置されている。従って、筒の内側の空間が電子線の通路29となり、電子線は、筒の一端上端から電磁対物レンズ25内部に進入し、筒の他端下端から下方へ放出される。ヨーク23には切り欠き26が形成されている。切り欠き26の形状や位置は特に限定されないが、切り欠き26は、筒電磁対物レンズ25の内側、上端、もしくは下端に形成することができる。いずれの場合も、切り欠き26の形状は、電子線を取り囲むリング状にすることが好ましい。図3は、図2の符号Aで示した部分の拡大断面図である。ヨーク23の切り欠き26が形成された部分は、コイル24よりも筒の内側に突き出され、通路29の径が絞られている。ヨーク23の突き出された部分ポールピースのうち、電子銃21に近い側を上極27、電子銃21から遠い側を下極28として区別する。ヨーク23のうち、少なくとも上極27、下極28を構成する部分は、鉄コバルトFeCo等の高磁率材料で構成されている。通電したコイル24により形成される磁力線は、上極27、下極28から通路29内に漏洩し、漏洩磁界により電子線が回転、屈折する。ポールピースの形状及び/又は大きさ、コイル24の通電量等の調整で、漏洩磁界を制御し、電子線の結像位置を変更させる。切り欠き26の部分が内側に突き出されることで、電磁対物レンズ25のポールピース部分には間隙が形成されている。その間隙には、試料ホルダ11が配置されている。試料ホルダ11は、試料10が設置される部分が切り欠き26から通路29に突き出され、通路29を通る電子線は、試料10を透過して検出部30側へ向かう。電磁対物レンズ25と試料10との距離作動距離が長くなると焦点距離も長くなるため、収差が大きくなるが、図3に示すように、試料10を電磁対物レンズ25の内側通路29に配置すると収差が小さくなり、分解能が高くなる。通路29には反射鏡41が配置され、その反射鏡41には貫通孔設置中心孔42が形成されている。設置中心孔42は電子光軸C上に位置し、その直径は0.1~1mmであって、電子線のビーム径よりも大きい。従って、電子線は反射鏡41で反射されずに設置中心孔42を通過する。なお、反射鏡41は試料10よりも検出部30側、又は、電子銃21側のいずれに配置してもよく、試料10を透過した電子線、又は試料10を透過する前の電子線が設置中心孔42を通過する。反射鏡41は、上極27と下極28との間に位置する。電磁対物レンズ25の間隙には、試料ホルダ11の他に、光学顕微鏡4の一部又は全部が配置されている。光学顕微鏡4は対物レンズ43と、光源45と、光学検出部46を有しており、少なくとも対物レンズ43は電磁対物レンズ25の間隙に配置され、対物レンズ43が反射鏡41と対面する。以下、電磁対物レンズ25と区別するため、光学顕微鏡4の対物レンズ43を光学対物レンズと称する。光源45は例えば水銀ランプであって、光源45から放出された光は、照射レンズ47で電子光軸Cと平行な平行光にされる。平行光の進行方向の先には、分光手段が配置されている。分光手段は、例えばダイクロイックミラー52を有する。ダイクロイックミラー52の反射面は、光学対物レンズ43と光源45に向かって、電子光軸Cと平行な方向から所定角度ここでは45°傾けられている。平行光のうち、所定波長の光励起光は進行方向を光学対物レンズ43側に曲げられて、電子光軸Cと交差する方向ここでは直交方向に進行するが、励起光外の波長の光は直進する。従って、励起光が光学対物レンズ43に入射することになる。なお、ダイクロイックミラー52と照射レンズ47の間に、励起フィルター51を配置し、予め励起光を抽出することがより望ましい。ダイクロイックミラー52と、光学対物レンズ43と、反射鏡41は、上極27と下極28の間の位置で、電子光軸Cと直交する直線上、すなわち、励起光の経路上に並べられている。反射鏡41の反射面は、試料10及び光学対物レンズ43に向かって電子光軸Cから所定角度ここでは45°傾斜しており、励起光は光学対物レンズ43を通過後、反射鏡41で反射され、試料10に入射する。試料10は蛍光物質で染色されており、励起光の入射により発光する。その蛍光光は反射鏡41で反射され、光学対物レンズ43に入射する。光学検出部46は、光学対物レンズ43を挟んで反射鏡41と反対側の位置に配置されている。光学対物レンズ43と光学検出部46の間にはダイクロイックミラー52があるが、蛍光光は励起光と波長が異なるので、ダイクロイックミラー52で反射されずに通過する。光学検出部46とダイクロイックミラー52の間に、吸収フィルター53と結像レンズ54が配置してもよい。この場合、蛍光光は、吸収フィルター53で励起光や散乱光が除去され、結像レンズ54で結像されて光学検出部46に入射する。光学検出部46は、例えば、CCDカメラ等であって、コンピュータなどの処理装置に接続され、光学検出部46で捉えた蛍光光を演算処理し、出力装置に出力画像表示、印刷等する。このように、図3の光学顕微鏡4は、ダイクロイックミラー52により、励起光と蛍光光とを分離し、試料10を観察及び/又は撮影可能な、いわゆる落射型蛍光顕微鏡である。電磁対物レンズ25を通る電子線のビーム径は小さく、十分な光量の励起光及び蛍光光が反射鏡41で反射されるように設置中心孔42の径を0.1~1.0mm程度に小さくしても、設置中心孔42を通過可能である。従って、複合顕微鏡装置1は、試料10に対し、電子線照射と、光照射とを同軸上で行うことが可能であり、同一試料10に対し、透過型の電子顕微鏡2による観察、撮影と、光学顕微鏡4による観察、撮影を同時に行うことができる。本発明に用いる光学顕微鏡4は蛍光顕微鏡に限定されるものではない。以下、光学顕微鏡の他の例について説明する。図4の符号8は、明視野型の光学顕微鏡であり、図3と同じ構成の部材は同じ符号を付して以下に説明する。この光学顕微鏡8では、光学検出部46及び光学対物レンズ43を、図3の光学顕微鏡4と同じ構造、同じ配置にすることができるが、光源85の配置が異なる。光源85は、例えば、上極27の上方に配置される。光源85は電子光軸Cに向けられ、電子光軸Cの光源85と対向する位置には照明用反射鏡81が配置されている。試料10は、図3と同様、電磁対物レンズ25内側の通路29に配置することができる。照明用反射鏡81の反射面は、試料10及び光源85に向かって、電子光軸Cから所定角度ここでは45°傾斜している。光源85と照明用反射鏡81の間には照射レンズ87が配置され、光源85からの光は、照射レンズ87で照明用反射鏡81の反射面に集光され、反射面で試料10に向かって反射される。照明用反射鏡81は上極27から離間して配置され、試料10までの距離が長い。このような場合は、照明用反射鏡81と試料10との間に光学コンデンサレンズ集光レンズ83を配置する。ここでは光学コンデンサレンズ83は上極27に取り付けられ、光は光学コンデンサレンズ83で集光されてから、試料10に入射する。試料10を挟んで、照明用反射鏡81と反対側の位置には、採光用反射鏡88が配置されている。採光用反射鏡88は、図3の反射鏡41と同様、反射面が、試料10及び光学対物レンズ43に向かって、電子光軸Cから所定角度ここでは45°傾斜している。従って、試料10を透過した透過光は、採光用反射鏡88で反射され、光学対物レンズ43に入射する。透過光の進行方向の先には、第一例図3と同様に光学検出部46が配置されており、透過光は直接、又は吸収フィルター53、結像レンズ54を通過後に光学検出部46に入射する。照明用反射鏡81と、光学コンデンサレンズ83と、採光用反射鏡88は、それぞれ電子線の電子光軸C上に並べられ、電子線の進行経路に当たる部分に貫通孔設置中心孔82、84、89がそれぞれ形成されている。図3の反射鏡41と同様に、これらの設置中心孔82、84、89の径も、電子線の通過を妨げない程度0.1~1mmにされている。従って、図4の光学顕微鏡8においても、同一試料10に対し、透過型の電子顕微鏡2による観察、撮影と、光学顕微鏡8による観察、撮影を同時に行うことができる。なお、光源85と、照明用反射鏡81は、下極28よりも下方即ち検出部30側に配置してもよい。この場合、採光用反射鏡88を試料10よりも上極27側に配置し、下方から試料10を透過した光を採光する。また、図4の装置において、光源85と照明用反射鏡81の間に分光手段ダイクロイックミラー、励起フィルター等を配置して、励起光を抽出することにより、蛍光顕微鏡として使用することもできる。この場合、試料10から採光用反射鏡88側に放出された蛍光光を検出する。本発明に用いる光学対物レンズ43は特に限定されず、市販の長作動距離タイプの対物レンズと同等品を用いることができる。試料10と光学対物レンズ43の間に反射鏡41、88を設置可能な程度の作動距離を有するものを使用することが望ましい。そのほか、光学対物レンズ43の設置場所は強磁界且つ真空中になるので、非磁性、耐真空性能が必要である。つまり、光学対物レンズ43を保持するレンズケースボディを、真鍮製から非磁性のもの例えばリン青銅に変え、ガラスレンズの空間と周囲真空部が通じるようにレンズケースボディに小さな孔を設けることが望ましい。また、電子顕微鏡2の収束レンズ22や投射レンズ31も特に限定されないが、例えば、電磁対物レンズ25と同様の構造を有する磁界レンズを用いることができる。反射鏡41、81、88の表面及び/又は設置中心孔42、82、89の内壁面、光学コンデンサレンズ83の表面及び/又はその設置中心孔84の内壁面、光学対物レンズ43の表面には、導電コーティングを施し、電子線による帯電を防止することが望ましい。導電コーティングの材料は、光透過率の高い材料、たとえば酸化インジウムスズITOと、酸化亜鉛IZOと、酸化インジウム-ガリウム-亜鉛IGZOとからなる群より選択されるいずれか1種以上の透明導電材料を使用する。本発明の複合顕微鏡装置1は、電子線の通路内に光学観察用の光を放出するので、電子顕微鏡2のうち、光励起光、蛍光光、反射光等が放出される場所の部材、すなわち、試料10の周辺の部材の表面に反射防止処理反射防止膜を施すことが望ましい。反射防止処理は、例えば、黒色処理である。黒色処理は、例えば、試料ホルダ10、電磁対物レンズ25のポールピース部分、電子顕微鏡2の試料汚染防止冷却ファン、電子顕微鏡25の絞り装置特に電磁対物レンズ25用の先端部、電磁対物レンズ25の絞りをセットする部分、電磁対物レンズ25周囲の真空槽20等の壁面に施すことが、反射防止の観点から有効である。黒色処理に用いる材料は、低反射性の非磁性材料であれば特に限定されず、チタンブラック等種々のものを用いることができる。反射鏡41、81、88を、角度調整機構91に接続し、真空槽20の外部からの操作で、反射鏡41、81、88の傾斜角度を変更可能にすることが望ましい。この場合、試料10の種類や配置場所、蛍光物質の種類や励起光等に合わせて、反射鏡41、81、88の角度を微調整することが可能であり、多様な試料10の観察撮影を行うことができる。また、光学対物レンズ43にレンズ調整機構92に接続し、真空槽20の外部からの操作で、光学対物レンズ43から反射鏡41、88までの距離等を変更可能にすることが望ましい。この場合、試料10の種類等に合わせて、光学対物レンズ43のピントを微調整することができ、多様な試料10の観察撮影を行うことができる。次に、本発明の複合顕微鏡装置1の使用例について説明する。特定の器官や細胞を蛍光標識した生体試料を観察する場合、電子線による試料10の損傷を防ぐため、最初は電子線を試料10に照射せず、光学顕微鏡4、8のみで視野探しを行う。試料10が蛍光標識されているため、電子顕微鏡2を使用する場合と比較して効率的な視野探しが可能である。視野探しの途中は電子線を偏向コイルで試料10から外れた位置にずらしておき、高分解能で観察したい対象が発見された際は、電子線を試料10上に戻し、電子顕微鏡2による高分解能観察を行う。偏向コイルは、例えば収束レンズ22と電磁対物レンズ25の間に設置する。このように、試料10損傷低減のためには、電子線を試料に照射する時間はなるべく短くすることが重要となる。図5は本発明の複合顕微鏡装置1の一例の外感を撮影した写真であり、楕円で囲んだ部分が電磁対物レンズ25に光学顕微鏡4、8を組み込んだ部分である。図6はこの複合顕微鏡装置1で、蛍光剤である無機Qドットを光学顕微鏡4と電子顕微鏡2とで同時観察した例である。また、図7は、蛍光蛋白質融合アクチンを発現させた培養細胞を、この複合電子顕微鏡装置1の光学顕微鏡4と電子顕微鏡2とで同時観察した例である。図6、図7からも電子顕微鏡2は光学顕微鏡4よりも分解能が高いことが明らかであるが、図6の場合、Qドットの位置を同定するための視野探しは光学顕微鏡4の方が効率よく行えるので、電子顕微鏡2と光学顕微鏡4、8とを合わせ持つ本発明の複合顕微鏡装置1は、ハイスループットの電子顕微鏡観察を可能とする。従来の電子顕微鏡で生体試料を観察する場合、視野探しの際に電子線による生体試料損傷が発生したが、本発明の複合顕微鏡装置1によれば、まず蛍光顕微鏡で蛍光のある部分を特定し図7a、そこの部分を電子顕微鏡で低倍図7b、高倍図7c、図7d、図7eと拡大していけば、蛍光分子の領域のみを高分解能で観察でき、かつ視野探しの際の試料10の損傷を避けることができる。事実、図7の場合、高倍の電子顕微鏡撮影像において微小管やリボソームと共に蛍光顕微鏡で指示された蛍光蛋白質の存在領域にアクチン繊維が明確に見えている。また、既に実用化されている電子顕微鏡用の雰囲気試料室、および位相差電子顕微鏡法を組合わせれば、生きた状態の生体試料を光顕観察しながら、同一視野を特定の瞬間だけ位相差電子顕微鏡法により高分解能高コントラストで観察することができ、生体の機能と構造をリアルタイムで観察し、関連付けることが可能となる。