機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理装置であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶する記憶部と、前記期間において1又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶する制御部と、を備えた、信号処理装置。前記関連付けは、前記記憶部において、前記期間情報を含むデータファイルと、前記期間情報に関連付けられるデータを含む前記センサ別のデータファイルと、を同じデータフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を含む、請求項1に記載の信号処理装置。前記記憶領域の管理は、前記サンプリングデータに関する演算方法を定義したデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を更に含む、請求項2に記載の信号処理装置。前記記憶領域の管理は、前記演算方法での演算結果を含むデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を更に含む、請求項2又は3に記載の信号処理装置。前記制御部は、いずれかの前記データファイルを暗号化する暗号化部と、暗号化された前記データファイルを復号化する復号化部と、を備えた、請求項2~4のいずれか1項に記載の信号処理装置。前記制御部は、いずれかの前記データファイルを圧縮する圧縮部と、圧縮された前記データファイルを復元する復元部と、を備えた、請求項2~5のいずれか1項に記載の信号処理装置。前記期間情報は、前記機器である半導体製造装置による特定の製造プロセスの実施期間に相当する情報である、請求項1~6のいずれか1項に記載の信号処理装置。機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理方法であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶部に記憶する処理と、前記期間において1又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶する処理と、を含む、信号処理方法。機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理装置としてコンピュータを機能させる信号処理プログラムであって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶部に記憶させる処理と、前記期間において1又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶させる処理と、を前記コンピュータに実行させる、信号処理プログラム。機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理するコンピュータに読み出し及び書き込みされる記憶媒体であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報と、前記期間情報を読み取った前記コンピュータが前記期間において1又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングして得られた各サンプリングデータであって、前記センサ別に前記期間情報と関連付けて書き込まれるサンプリングデータと、を記憶した、記憶媒体。上記のように複数のセンサから取得した信号データを、コンピュータ等を用いた管理システムにおいて処理、記録、管理等する場合、センサの種類や数が不明であったり、センサの種類や名称、数が変更されたりすると、例えば信号データの記録保存形式等に改変の必要性が生じる等、システム設計上の影響が大きい。そこで、本発明の目的の一つは、センサの種類や数に依存しないで、センサで得られた信号データの記録、管理を柔軟に行なえるようにすることにある。なお、前記目的に限らず、後述する発明を実施するための形態に示す各構成により導かれる作用効果であって、従来の技術によっては得られない作用効果を奏することも本発明の他の目的の一つとして位置付けることができる。本発明の信号処理装置の一態様は、機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理装置であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶する記憶部と、前記期間において1又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶する制御部と、を備える。ここで、前記関連付けは、前記記憶部において、前記期間情報を含むデータファイルと、前記期間情報に関連付けられるデータを含む前記センサ別のデータファイルと、を同じデータフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を含んでよい。また、前記記憶領域の管理は、前記サンプリングデータに関する演算方法を定義したデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を更に含んでよい。さらに、前記記憶領域の管理は、前記演算方法での演算結果を含むデータファイルを、前記データフォルダに格納することに相当する記憶領域の管理を更に含んでよい。また、前記制御部は、いずれかの前記データファイルを暗号化する暗号化部と、暗号化された前記データファイルを復号化する復号化部と、を備えてもよい。さらに、前記制御部は、いずれかの前記データファイルを圧縮する圧縮部と、圧縮された前記データファイルを復元する復元部と、を備えてもよい。また、前記期間情報は、前記機器である半導体製造装置による特定の製造プロセスの実施期間に相当する情報でもよい。さらに、本発明の信号処理方法の一態様は、機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理方法であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶部に記憶する処理と、前記期間において1又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶する処理と、を含む。また、本発明の信号処理プログラムの一態様は、機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理する信号処理装置としてコンピュータを機能させる信号処理プログラムであって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報を記憶部に記憶させる処理と、前記期間において1又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングし、各サンプリングデータを前記センサ別に前記期間情報と関連付けて前記記憶部に記憶させる処理と、を前記コンピュータに実行させる。さらに、本発明の記憶媒体の一態様は、機器の状態を検出する複数のセンサのそれぞれで検出された信号データを処理するコンピュータに読み出し及び書き込みされる記憶媒体であって、前記機器の状態を検出すべき期間に関する期間情報と、前記期間情報を読み取った前記コンピュータが前記期間において1又は複数の前記センサで検出された信号データを一定周期でサンプリングして得られた各サンプリングデータであって、前記センサ別に前記期間情報と関連付けて書き込まれるサンプリングデータと、を記憶する。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。ただし、以下に説明する実施形態は、あくまでも例示であり、以下に明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。即ち、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形各実施例を組み合わせる等して実施することができる。また、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付して表している。図面は模式的なものであり、必ずしも実際の寸法や比率等とは一致しない。図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることがある。1一実施形態図1は、本実施形態に係る信号処理装置の構成例を示すブロック図である。図1に示す信号処理装置3は、例示的に、1又は複数のセンサ1-1~1-NNは1以上の整数とフィールドバス等の通信ネットワーク5を介して通信可能に接続される。センサ1-ii=1~Nのいずれかは、例示的に、半導体製造装置等の機器に取り付けられ、当該機器の状態を示す信号データを検出する。機器の状態を示す信号データの一例としては、圧力、温度、流量、電圧等の物理量データが挙げられる。センサ1-iが検出した信号データは、通信ネットワーク5経由で信号処理装置3に提供することができる。信号処理装置3は、通信ネットワーク5経由で受信したセンサ信号を処理する。信号処理装置3は、通信ネットワーク5に有線あるいは無線で固定的に接続された固定端末でもよいし、通信ネットワーク5に有線あるいは無線で一時的にアクセス可能な移動端末でもよい。あるいは、信号処理装置3は、半導体製造装置等の機器に備えられた通信インターフェース図示省略に接続可能な端末であり、センサ信号を、当該通信インターフェースを介して通信ネットワーク5を介さずに受信できるようにしてもよい。信号処理装置3は、例示的に、CPUCentralProcessingUnit31、RAMRandomAccessMemory32、ROMReadOnlyMemory33、ハードディスク等の記憶装置34、1又は複数のインターフェースI/F35A~35D、ディスプレイ36、キーボード37、マウス等のポインティングデバイス38を備える。キーボード37及びポインティングデバイス38は、半導体製造装置等の機器の管理者が信号処理装置3に情報を入力するために用いられる入力デバイスの一例である。ディスプレイ36は、液晶ディスプレイ、PDPプラズマディスプレイパネル、HMDヘッドマウントディスプレイ等の表示装置であり、例えばCPU31による表示制御の下、RAM32やROM33、記憶装置34に記憶されているデータ既述のセンサ信号も含まれるを表示する。なお、ディスプレイ36は、タッチパネル等の情報入力が可能なデバイスを備えていてもよい。インターフェース35A~35Cは、それぞれディスプレイ36、キーボード37及びポインティングデバイス38等の周辺機器ペリフェラルを接続するために用いられるインターフェースである。当該インターフェースには、例示的に、USB、IEEE1394、シリアル、パラレル、赤外線、無線等のインターフェースを用いることができる。インターフェース35Dは、信号処理装置3を通信ネットワーク5に接続する通信インターフェースである。記憶装置34は、例えばセンサ信号を処理する信号処理プログラムを記憶する。信号処理プログラムは、コンピュータ読取可能な記録媒体に記録された形態で提供することができる。記録媒体には、例えば、ハードディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク、CD-ROMCompactDiskReadOnlyMemory、DVDDigitalVersatileDisk、BDBluerayDisk、ROMカートリッジ、バッテリバックアップ付きRAMカートリッジ、フラッシュメモリカートリッジ、不揮発性RAMカートリッジ等が含まれる。コンピュータの一例である信号処理装置3は当該記録媒体から信号処理プログラムを読み取って記憶装置34やRAM32に転送し格納して用いる。また、信号処理プログラムは、例えば通信ネットワーク5を介して信号処理装置3に提供することもできる。なお、コンピュータとは、例示的に、ハードウェアとオペレーティングシステムOSとを含む概念であり、OSの制御の下で動作するハードウェアを意味することがある。また、OSが不要でプログラム単独でハードウェアを動作させることが可能な場合には、そのハードウェアがコンピュータに相当すると位置付けることができる。ハードウェアは、CPU等の演算装置と、記録媒体に記録されたプログラムを読み取り可能な読み取り装置とを含むことができる。信号処理プログラムは、上述のようなコンピュータに、信号処理装置3としての機能を実現させるプログラムコードを含んでいる。その機能の一部はプログラムではなくOSによって実現されてもよい。ROM33は、不揮発性記憶媒体の一例であり、例えば、信号処理装置3が起動する際に、CPU31にマイクロコードを設定したり、各部を初期化したり、記憶装置34からOS等を起動し、プログラムが実行されるような指示を行なったりするためのプログラムやデータを記憶する。RAM32は、揮発性記憶媒体の一例であり、CPU31の作業領域ワークメモリを提供する。CPU31は、演算処理能力を備えたプロセッサの一例である。CPU31は、ROM33や記憶装置34に記憶されたプログラムやデータ、インターフェース35A~35Cを通じて与えられる各種入力情報を作業領域であるRAM32に展開し、展開したプログラム等に従って動作することにより、コンピュータを信号処理装置3として機能させる。なお、CPU31の代わりに、MPUMicroProcessingUnitや、DSPDigitalSignalProcessor、ASICApplicationSpecificProcessorを用いてもよい。次に、図2に信号処理装置3の機能ブロック図を示す。図2に示す信号処理装置3は、上述したようにCPU31がRAM32、ROM33及び記憶装置34と協働して信号処理プログラムを実行することよって、例示的に、制御部310としての機能を有する。制御部310は、更にサンプリング処理部311及び記憶制御部312としての機能を具備してよい。なお、図2において点線でそれぞれ示す暗号化/復号化部313及び圧縮/復元部314としての機能はオプション機能であり、詳細については後述する。サンプリング処理部311は、受信したセンサ信号をサンプリングする。サンプリングの期間及び周期は、例えば記憶制御部312から与えられる。例示的に、サンプリング期間は、半導体製造装置等の機器の状態使用状況を検出測定すべき期間であり、例えば当該機器が特定の処理を実施する期間に相当する。特定の処理の一例としては、機器が半導体製造装置であれば、ウエハーの製造工程における露光処理等の各種製造プロセスが挙げられる。サンプリング周期は、当該サンプリング期間においてセンサ信号をサンプリングする時間間隔を規定する。本実施形態において当該サンプリング周期は複数のセンサ1-iについて共通とすることができる。すなわち、サンプリング処理部311は、センサ1-iの種類の異同に関わらず、いずれか2以上のセンサ1-iのセンサ信号を或るサンプリング期間において同じサンプリング周期でサンプリングすることができる。記憶制御部312は、記憶装置34の記憶領域を管理し、例えば、サンプリング処理部311でサンプリングされた信号データ以下サンプリングデータともいう。の記憶装置34に対するデータの書き込み及び読み出しを制御する。当該制御には、例示的に、記憶装置34において、データフォルダやデータファイルを生成、更新、及び/又は削除する処理が含まれる。当該制御は、例えばOSの一機能として備えられるファイルシステムFSを利用して実現することができる。FSは、例示的に、フォルダ制御部312aとファイル制御部312bとを有する。データファイルは、ファイル制御部312bによってセンサ1-iの別に生成することができ、それぞれに対応するサンプリングデータが含められる。なお、サンプリングデータのデータファイルを以下サンプリングデータファイルと称する。データフォルダは、フォルダ制御部312aによって、既述のサンプリング期間例えば、特定の製造プロセスの実施期間の別に生成することができる。データフォルダには、当該期間において同じサンプリング周期でサンプリングされたセンサ信号についての1又は複数のサンプリングデータファイルを格納することができる。このような記憶装置34におけるデータ記録形式の一例を図3及び図4に示す。図3には、記憶装置34に、1又は複数のデータフォルダ340-1~340-nnは1以上の整数が記録、保存される様子を例示している。そして、1つのデータフォルダ340-jj=1~nのいずれかには、例示的に、コンテキストデータファイル401と、1又は複数のサンプリングデータファイル402-iを格納することができる。コンテキストデータファイル401は、例示的に、コンテキストデータセット400図4参照を成すコンテキストデータ群の1つが記録されたデータファイルである。コンテキストデータは、例えば半導体製造装置等の機器の使用状況を表わすデータである。コンテキストデータによって、どの機器でどのようなプロセスがどの期間にわたって実施されるかを識別することができる。コンテキストデータは、例えば当該機器の制御装置図示省略から取得することができる。例示的に、図3及び図4に示すコンテキストデータは、半導体製造プロセスで用いられるデータ例であり、機器名EquipmentName、レシピ名RecipeName、チャンバー名ChamberName、開始時刻StartTime及び終了時刻EndTime等に関する情報を含む。機器名には、半導体製造装置の名称を表わすデータがセットされ、レシピ名には、半導体製造装置に対する命令、設定及びパラメータ等を含むデータセットの名称を表わすデータがセットされ、チャンバー名には、当該半導体製造プロセスで用いられるチャンバー反応処理等を実施する処理槽の名称を表わすデータがセットされる。開始時刻及び終了時刻には、例えば機器名、レシピ名及びチャンバー名の各データで特定される半導体製造プロセスの開始時刻及び終了時刻を表わすデータがそれぞれセットされる。したがって、コンテキストデータは、機器名、レシピ名及びチャンバー名で特定される製造プロセスが開始時刻及び終了時刻で特定される期間にわたって実施されることを示す。本実施形態では、当該期間が、機器の状態を検出あるいは測定すべきサンプリング期間以下測定期間ともいう。の一例に相当する。なお、同じ機器名、レシピ名及びチャンバー名を含むコンテキストデータであっても、測定期間が異なれば、それらは異なるコンテキストデータとして扱ってよい。別言すると、測定期間毎にコンテキストデータが生成されてよい。ここで、コンテキストデータには、図3及び図4中に例示するように、機器に取り付けられているセンサ1-iに関する情報以下センサ情報と称する。410と、測定期間におけるサンプリング周期を指定する情報以下サンプリング周期情報と称する。411と、を含めることができる。センサ情報410の一例としては、センサ1-iの種類や名称、数等の情報が挙げられる。既述のサンプリング処理部311図2参照は、当該コンテキストデータを参照することで、測定期間においてサンプリング周期情報411が示す一定周期で、センサ情報410によって識別される1又は複数のセンサ1-iについてのセンサ信号のサンプリングを実施することができる。なお、機器が備えるセンサ1-iの種類や名称、数に変更があった場合、当該機器は、例えば既述の制御装置へ変更後のセンサ1-iに関する情報を与えることができる。これにより、当該変更以後のコンテキストデータには、制御装置において、最新のセンサ情報410をセットすることが可能となる。また、サンプリング周期情報411は、必ずしもコンテキストデータの情報要素でなくても構わない。サンプリング処理部311がセンサ信号のサンプリングにあたって参照可能な形態で記憶装置34等に記憶されていれば足りる。また、例えばセンサ1-iの異同やコンテキストデータの異同に関わらず同じサンプリング周期をサンプリング処理部311に設定して構わない場合には、サンプリング周期情報411の設定、管理を不要にすることもできる。データフォルダ340-jは、上述したようなコンテキストデータ毎に生成され、当該コンテキストデータをコンテキストデータファイル401の形態で格納する。そして、当該コンテキストデータが示す測定期間においてサンプリング周期情報411が示す一定周期でサンプリングされたセンサ1-i別のサンプリングデータファイル402-iが、当該コンテキストデータファイル401の格納フォルダと同じデータフォルダ340-jに格納される。別言すると、記憶制御部312は、複数のセンサ1-i別のサンプリングデータファイル402-iをコンテキストデータファイル401と関連付けて論理的にリンクして記憶装置34に記憶する。当該関連付けは、記憶装置34において、コンテキストデータファイル401と、当該ファイル401に関連付けられるセンサ1-i別のサンプリングデータファイル402-iと、を同じデータフォルダ340-jに格納することに相当する記憶領域の管理を記憶制御部312が実施することで実現できる。なお、図4には、いずれの測定期間においてもセンサ1-iの数に変化がなく、各データフォルダ340-jに格納されるサンプリングデータファイル402-iの数も同じである様子を例示している。或る測定期間の開始時刻の時点でコンテキストデータのセンサ情報410が更新されていれば、当該コンテキストデータに対応して生成されたデータフォルダ340-j内には更新後のセンサ情報410に基づいてセンサ1-i別のサンプリングデータファイル402-iが格納生成されることになる。記憶装置34の残り容量が或る閾値未満になった場合、記憶制御部312は、例えば測定期間が古いコンテキストデータに対応するデータフォルダ340-jから順に自動削除あるいは後述する圧縮/復元部314を利用してデータ圧縮することができる。その際、別の記憶装置等に削除対象フォルダ340-jのバックアップをとるようにしてもよい。以上のような記憶装置34に対する記憶制御管理によって、本実施形態の信号処理装置3では、センサ1-iの名称や、種類、数等の変更があっても、その変更に応じてデータフォルダ340-jにおけるサンプリングデータファイル402-iが増減する。したがって、センサ信号のサンプリングデータの記録形式を改変等しなくても、柔軟な対応が可能である。また、センサ1-iによる測定対象の機器毎に測定すべき項目が異なるこれはコンテキストデータの相違につながる場合についても、コンテキストデータ毎にデータフォルダ340-jを生成できるので、柔軟に対応することができる。別言すると、本実施形態の信号処理装置3では、機器の測定期間毎にセンサ信号についてのサンプリング周期を一定とし、実時間情報をインデックスとしてサンプリングデータを記憶、管理しない。したがって、センサ1-iの種類や数の変化、測定項目の変化等に柔軟に対応することができる。結果として、センサ1-iによって取得される機器の使用状況に関する情報量が非常に膨大で、また、機器毎に測定項目が異なるような場合でも、データ記録形式を改変する等のデータベース設計に大きなインパクトを与えることがない。よって、センサ信号の保存、管理の低コスト化を図ることができる。同等のセンサ信号の保存、管理を、既存のリレーショナルデータベース以下RDBと略称することがある。を利用して実現しようとすると、コスト面等で非常に困難を伴う。また、RDBを用いたシステムでは、センサ1-iの数の変化に柔軟に対応できない場合がある。比較例例えば図6に例示するように、行方向インデックスを実時間とし、かつ、列方向インデックスを異なるセンサ1~3とする表形式フォーマットで各センサ1~3の値を記録すると、センサの種類や名称、数の変更に応じてフォーマットの改変が必要になる。仮に、図7及び図8に例示するように、列方向インデックスをセンサ名及び値に改変すれば、センサ数の増減に対応することが可能となるが、例えばセンサ毎のトレンドグラフ等を得るためにデータ集計等の処理を実施しようとすると、インデックス検索等に時間を要し、性能の低下につながるおそれがある。これに対し、本実施形態の信号処理装置3では、CPU31がデータフォルダ340-jにセンサ1-i別に生成されたサンプリングデータファイル402-iを単純に読み込むだけで、センサ1-i毎のトレンドグラフ等を容易に、また、高速に生成することができる。別言すると、サンプリングデータの可視化を高速に行なえる。また、データフォルダ340-j、データファイル401及び402-iによる記憶、管理のため、CPU31は、ファイル単位あるいはフォルダ単位での暗号化/復号化や圧縮/復元も容易に実施することができる。すなわち、図2において、暗号化/復号化部313は、ファイルあるいはフォルダ単位でデータの暗号化及び/又は復号化を行なう。当該暗号化/復号化部313によって、データフォルダ340-j内のデータファイル401及び402-iのいずれかを個別に暗号化し、当該暗号化されたファイルを個別に復号化することができる。また、データフォルダ340-j自体を暗号化及び/又は復号化することもできる。したがって、ファイルあるいはフォルダ単位でデータセキュリティの向上を図ることができる。なお、暗号化/復号化アルゴリズムには、共通鍵方式、公開鍵方式等の公知のアルゴリズムを適用してよい。ファイルやフォルダにパスワードを設定することも暗号化の一種である。圧縮/復元部314は、ファイルあるいはフォルダ単位でデータの圧縮及び/又は復元を行なう。当該圧縮/復元部314によって、データフォルダ340-j内のデータファイル401及び402-iのいずれかを個別に圧縮し、当該圧縮されたファイルを個別に復元することができる。また、データフォルダ340-j自体を圧縮及び/又は復元することもできる。したがって、記憶装置34の記憶容量の有効利用を図ることができる。当該圧縮/復元は、記憶装置34の残り容量に応じて自動的に実施してもよい。なお、圧縮/復元アルゴリズムには、ZIPやLZH、RAR等の公知のアルゴリズムを適用してよい。また、1つのデータファイルあるいはデータフォルダに対して暗号化と圧縮復号化と復元との双方を適用してもよい。さらに、暗号化/復号化部313及び圧縮/復元部314の一方又は双方は備えないこととしてもよい。変形例図5に例示するように、データフォルダ340-jには、上述したデータファイル401及び402-iに加えて、当該データフォルダ340-j内のサンプリングデータファイル402-iに適用する演算方法を定義したデータファイル以下演算方法定義ファイルと称する。403を格納してもよい。別言すると、信号処理装置3の例えばFSは、演算方法定義ファイル403をコンテキストデータファイル401と関連付けて記憶装置34に記憶することで、記憶装置34において演算方法定義ファイル403をデータフォルダ340-jに格納することに相当する記憶領域の管理を実施してもよい。演算の一例としては、サンプリングデータの特徴量、代表値、平均値、最大値、最小値、平均値、及び標準偏差等の演算が挙げられる。これにより、CPU31は、いずれかのデータフォルダ340-jを参照するだけで、演算方法定義ファイル403で定義された演算を同じフォルダ340-j内のサンプリングデータに適用することができる。したがって、サンプリングデータについての所望の演算結果を容易に、また、迅速に生成することができる。その結果、演算結果のチャート化等の可視化も高速に行なうことが可能となる。なお、当該演算結果も、例えばデータファイル以下演算結果ファイルと称する。404の形態で同じデータフォルダ340-j内に格納してよい。別言すると、信号処理装置3の例えばFSは、演算結果ファイル404をコンテキストデータファイル401と関連付けて記憶装置34に記憶することで、記憶装置34において演算結果ファイル404をデータフォルダ340-jに格納することに相当する記憶領域の管理を実施してもよい。これにより、CPU31は、任意のタイミングで演算結果ファイル404を読み出すだけで、上記チャート化等の可視化を高速に行なうことができる。また、演算結果あるいは可視化結果を基にコンテキストデータを逆引きすることも容易になるので、データ解析の易化を図ることもできる。適用例半導体製造プロセスでは歩留まりの改善と装置稼働率の向上が大きな課題となっている。諸問題の解決手段としてEESEquipmentEngineeringSystem:装置エンジニアリングシステムが存在する。EESにより装置の稼働率改善につながる装置特性が可視化される。このEESシステムの中核のデータ管理方法に、本実施形態の信号処理装置3を適用できる。また、化学工場等のバッチプラントにおける複雑なバッチ処理工程の組み合わせにより、製造ラインが構築される生産プロセスにおいて膨大なプロセスデータを管理分析を行ない、品質改善を目的とする品質管理システムのデータ管理方法に、本実施形態の信号処理装置3を適用することも可能である。