中空状本体と、本体外周に設けられた加熱手段と、本体内周に密接するように挿入された保熱材とからなり、保熱材が多数の金属球から形成されており、保熱材の両端に、金属球の通路方向の移動を阻止する多孔板が設けられていることを特徴とする配管部材。一方の多孔板が付勢部材によって他方の多孔板側に付勢されている請求項1の配管部材。本体は、チューブとその両端に設けられた継手部とからなり、継手部に、多孔板を受け止める段部が形成されている請求項1または2の配管部材。上記従来の加熱方法では、ガスの加熱温度が例えば200°C~300°C程度になると、外部からパイプ中空状本体を加熱するだけでは、必要な温度が得られないことがあり、また、ヒータの電力を上げて対応する場合には、エネルギーコストが高く付くという問題があった。また、特許文献1のものでは、保温効果には優れているものの、外部からの加熱に対しては十分なものとは言えず、さらなる改良が必要である。この発明の目的は、気体および/または液体を加熱する箇所で使用するに際して、優れた加熱効率を発揮することができる配管部材を提供することにある。この発明による配管部材は、中空状本体と、本体外周に設けられた加熱手段と、本体内周に密接するように挿入された保熱材とからなり、保熱材が、多数の金属球から形成されていることを特徴とするものである。この発明による配管部材において、中空状本体は、通常、パイプとされるが、パイプを接続する管継手や通路が形成されたブロックであってもよい。この発明による配管部材は、半導体、薬品などを製造する装置において、気体および/または液体を加熱する箇所で使用するのに適しており、特に、半導体製造用などでガスを高温に加熱することが必要な場合、薬品などの製造用で液体を気化させる必要がある場合などの用途に好適である。多数の金属球は、例えば鋼球とされるが、鋼以外のステンレス鋼、銅、チタンやその他の金属であってもよい。加熱手段は、例えば、マイクロヒータ、テープヒータなどと称されているフレキシブルなヒータが好ましく、そのほか、中空状本体の輪郭形状に適合可能な種々の加熱手段を使用することができる。保熱材の両端に、金属球の通路方向の移動を阻止する多孔板が設けられていることが好ましく、一方の多孔板が付勢部材例えばコイルばねによって他方の多孔板側に付勢されていることが好ましい。付勢部材は、コイルばねのほかに板ばねなどのばねであってもよく、また、ゴム製または合成樹脂製で弾性を有している弾性部材であってもよい。金属球の直径は、大きすぎると接触面積が低下して十分な加熱効果が得られないため、中空状本体の内径の50以下であることが好ましく、40以下であることがより好ましい。金属球の直径の下限は、特に限定されないが、小さすぎると取り扱いにくくなり、また、圧損も大きなることから、5以上が好ましく、20以上がより好ましい。このようにすると、金属球を中空状本体内に密に充填した場合に、熱伝導性に非常に優れ、しかも、ガスの通過間隙が十分確保され、効率的な加熱が可能となる。金属球は、一方の多孔板を止め板にして、中空状本体に順次充填され、密に充填された金属球は、2つの多孔板で挟まれることによって保持される。この発明の配管部材によると、中空状本体の内周に保熱材が密接して挿入されているので、この中空状本体が加熱手段によって外部から加熱されることにより、本体の熱が保熱材に伝導し、保熱材も本体とほぼ同じ温度に加熱され、被加熱流体は、この保熱材を通過する間に効率よく所定温度まで加熱される。したがって、保熱材無しのものに比べて、中空状本体の加熱長さを短くしても、同程度の加熱を行うことができる。この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。図1は、この発明の配管部材の1実施形態を示している。この配管部材は、中空状本体としてのパイプ本体と、本体外周に設けられた加熱手段としてのテープヒータと、本体内周に密接するように挿入された多数の金属球からなる保熱材とからなる。パイプ本体の両端部には、それぞれ継手部が設けられている。一方図の右側の継手部は、中間部分の外周におねじ部を有しかつ突き合わせ端部の外周に六角柱状のフランジ部を有する第1継手部材からなり、他方図の左側の継手部は、中間部分の外周に六角柱状のフランジ部を有しかつ両端部寄りの外周におねじ部を有する第2継手部材と、パイプ本体に接合されたスリーブと、第2継手部材とスリーブとを結合する袋ナットとからなる。保熱材としての金属球は、鋼球とされており、その径は、パイプ本体の内径の1/4程度とされている。第1および第2継手部材は、パイプ本体の内径よりも小さい小径通路と、パイプ本体に突き合わされる側にあってパイプ本体内径に等しい大径通路とを有し、小径通路と大径通路との間に段部が形成されている。スリーブは、パイプ本体と同じ径の本体と、パイプ本体に接合されない方の端部に設けられたフランジ部とからなり、このフランジ部に袋ナットの頂壁部分が当接するとともに、袋ナットが第2継手部材のおねじ部にねじ合わされることにより、第2継手部材に固定されている。スリーブと第2継手部材との突き合わせ面には、突き合わせ面のシール性を確保するためのガスケットが介在させられている。第1継手部材の段部には、大径通路の径と同じ外径を有しかつ金属球の径よりも小さい孔が多数形成された円形の金属製多孔板の周縁部が当てられている。この多孔板は、金属球の充填時および充填後において金属球が脱落することを防止するための止め板となっている。第2継手部材の段部には、大径通路の径と同じ外径を有する円筒状圧縮コイルばねの一端が当てられている。このコイルばねの他端には、止め板として使用されているのと同じ形状すなわち大径通路の径と同じ外径を有しかつ金属球の径よりも小さい孔が多数形成された円形の金属製多孔板が配置されている。コイルばねは、第2継手部材の段部からパイプ本体端面までの距離よりも長い自然長を有しており、多孔板を介してパイプ本体内に密に充填されている金属球を他方の多孔板側に押圧している。金属球は、パイプ本体に第1継手部材を取り付けた後、一方の多孔板を止め板にして、パイプ本体内に順次充填される。その後、スリーブ内に他方の多孔板が配置されるとともに、第2継手部材にコイルばねが配置されて、ナットによってスリーブが第2継手部材に固定される。これにより、パイプ本体内に充填された金属球は、2つの多孔板で挟まれることによって保持される。こうして、熱伝導性に非常に優れ、しかも、ガスの通過間隙が十分確保され、圧損も少ない配管部材が簡単な作業で形成される。図2に、200°Cに加熱した配管部材にガスを流したときの温度変化の測定結果を示す。図3は、この測定を行うための試験装置のフロー図を示しており、試験条件は、試験流体が窒素ガス、試験圧力の一次側が300kPa、二次側が大気開放、試験流量が5SLMであり、試験ラインを設定温度200°Cに昇温後、安定を確認して温度測定ポイントの温度を記録した。図3に示すように、試験装置は、被加熱ガスを減圧弁、フィルタ、流量調整弁およびマスフローメータを介して配管部材に導入し、流量調整弁を介して大気開放する構成とされており、配管部材の入口でのガス温度および出口でのガス温度が温度センサで測定可能とされている。配管部材は、長さ約160mmの範囲で加熱されており、加熱手段としては、マイクロヒータシース径1mm、電気容量300W、抵抗133.3Ωを使用した。図2から分かるように、保熱材無しのものでは、外部設定温度200°Cに対し、100°C程度までしか温度が上昇せず、これに対し、本発明の保熱材有りの配管部材によると、150°C程度まで温度が上昇しており、加熱効率が大幅に上昇している。なお、図2において、ガス5slmおよびガス10slmは、ガスの流量を示しており、この配管部材によると、ガスの流量が多いときに金属球鋼球ありとなしとの差がより顕著になることが分かる。