"低周波の入力信号を当該入力信号にキャリアで変調された変調信号を同期検波して低周波信号として出力し、当該低周波信号に重畳された高周波成分を除去する高周波成分除去装置において、前記入力信号の周波数に対して2倍より高い周波数で、且つ前記キャリアの周波数に対して整数倍又は整数分の一倍の周波数からなるサンプリング周波数で前記同期検波後の信号をサンプリングするサンプリング手段を備え、前記サンプリング手段から出力される複数のサンプリング値に基づいて低周波信号に重畳された高周波成分を除去することを特徴とする高周波成分除去装置。前記請求項1に記載の高周波成分除去装置において、前記サンプリング手段の複数のサンプリング値相互間を補間して補間曲線を出力する補間手段と、前記補間手段から出力された補間曲線に基づいて低周波信号を生成する低周波生成手段とを備えることを特徴とする高周波成分除去装置。前記請求項1又は2に記載の高調成分除去装置において、前記サンプリング手段が、前記キャリアの周波数の位相角πに相当する位相差の二つのサンプリング周波数を一対としてサンプリングし、前記低周波生成手段が、前記一対のサンプリング周波数に基づいてサンプリングされたサンプリング値の平均を求め、当該平均値に基づいて低周波を生成することを特徴とする高周波成分除去装置。前記請求項1ないし3のいずれかに記載の高周波成分除去装置において、前記サンプリング手段が、前記同期検波された検波信号をローパスフィルタにより濾波された後の低周波信号をサンプリングすることを特徴とする高周波成分除去装置。前記請求項1ないし4のいずれかに記載の高周波成分除去装置において、前記サンプリング手段から出力されるサンプリング値を変調信号に帰還して誤差を補正する誤差補正手段を備えることを特徴とする高周波成分除去装置。背景技術としてローパスフィルタを用いた信号処理装置は、復調後の平滑フィルタが十分でない場合、特に回路集積度が高くなり、若しくは回路基板自体を小さくすることにより配線間にクロストークが生じて変調信号であるキャリアが出力信号である低周波信号に重畳された場合に、このキャリアとその高周波からなる高周波成分を除去できないという課題を有する。また、前記特許文献1に記載の周期ノイズ除去装置は、入力されるアナログ信号に対してほぼ一定の周期で発生するノイズに対して、このノイズを含むその前後の一定期間でサンプリングクロックの周波数を高くし、これ以外ではサンプリングクロックの周波数を低くするようにしているので、連続的に常時生じる高周波成分のノイズに対しては何ら除去できないという課題を有する。特に、交流励磁磁界を使用する計測法を利用した渦電流非破壊検査、磁気モーションキャプチャなどにおいては、通常直流ないし低周波となる出力電圧を出す最終段に含まれる増幅回路に交流励磁磁界が直接磁気結合して、出力に不要な励磁磁界成分が現れることがある。これらは、もともと小さい信号を高い増幅率で計測したいときに、高周波成分のノイズ成分として信号情報に含まれることとなり、しばしば問題となる。つまり、波形観測によって信号を補足しようとする場合は、不要な高周波の変調キャリア、あるいは、励磁磁界が大きくて視認を不可能にするという課題がある。また、前記特許文献2に検出試合の同期検波方法は、参照信号の周波数の2倍よりも小さく、且つ、同期検波後の信号の最高周波数の2倍以上とするサンプリング周波数で、A/D変換する際のサンプリングを行うことにより、ディジタル信号処理で低周波信号の検出を低コストの同期検波によって実行することができるものの、前記サンプリング時に周期的に生じるリップル成分若しくはサージ電圧成分については何ら除去できないという課題を有する。即ち、特許文献2の同期検波方法は、同期検波後の信号に対してサンプリング定理を満足して低周波に周波数変換を可能とするが、参照信号の周波数の2倍よりも小さくされるという条件のみで何ら周波数が特定されていないことから、サンプリングによる直流化、即ち、サンプリングの信号処理で変調信号に重畳された周期的なリップル成分若しくはサージ電圧成分を除去できない。さらに、前記特許文献3には記載の同期検波方法は、CRフィルタ等のローパスフィルタを用いることなく、同期検波後の信号に含まれる高周波ノイズを一応除去できるものの、基準信号キャリア若しくは基準信号キャリアを1/m分周m;正整数した信号に同期した周期毎にアナログ移動平均処理では同期検波によって周期的に発生する不要な基準信号キャリアの高周波成分を確実に除去できないという課題を有する。特に、前記背景技術において、信号の復調において電子的に開閉するスイッチで信号処理されることから、最終的な出力信号に当該スイッチング動作に伴う周期的なリップル若しくはサージ電圧が不可避的に含まれることとなる。この周期的なリップル若しくはサージ電圧に基づく高周波成分をアナログフィルタで除去する場合は、低次のフィルタ回路では極めて困難である。また、高次のフィルタ回路で高周波成分を除去しようとすると、広い帯域の信号情報を検出することができず、狭い帯域の信号情報に限定されるという課題を有すると共に、装置構成が複雑になるという課題を有する。本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、微弱な低周波信号を変調する際に用いられる変調のためののキャリアが復調後に高周波成分として信号情報に残存する場合に、このキャリアの高周波成分周期的なリップルやサージ電圧成分を簡易な構成で且つ広帯域に亘って確実に除去できる高周波成分除去装置を提案することを目的とする。本発明に係る高周波成分除去装置は、入力信号を当該入力信号にキャリアで変調された変調信号を高周波増幅し、当該高周波増幅された高周波信号を同期検波して低周波信号として出力し、当該低周波信号に重畳された高周波成分を除去する高周波成分除去装置において、前記入力信号の周波数に対して2倍より高い周波数で、且つ前記キャリアの周波数に対して整数倍又は整数分の一倍の周波数からなるサンプリング周波数で前記同期検波後の信号をサンプリングするサンプリング手段を備え、前記サンプリング手段から出力される複数のサンプリング値に基づいて低周波信号に重畳された高周波成分を除去することを特徴とするものである。このように本発明によれば、入力信号に対してサンプリング定理を満足する2倍より高い周波数であって、入力信号を変調するキャリアの周波数に対して整数倍又は整数分の一倍の周波数からなるサンプリング周波数とし、このサンプリング周波数で入力信号に基づく検波信号をサンプリングして情報信号を出力することから、フィルタ回路、特に高次のフィルタ回路を用いることなく、単にサンプリングのみにより情報信号に残存するキャリアの高周波からなるリップル成分およびサージ電圧成分を除去できることとなり、簡易な構成で広帯域に亘って高周波成分を除去できる効果を奏する。また、本発明に係る高周波成分除去装置は、必要に応じて、前記高周波成分除去装置において、前記サンプリング手段の複数のサンプリング値相互間を補間して補間曲線を出力する補間手段と、前記補間手段から出力された補間曲線に基づいて低周波信号を生成する低周波生成手段とを備えることを特徴とするものである。このように本発明においては、補間手段によってサンプリング値相互間を補間して補間曲線を出力し、この補間曲線に基づいて低周波生成手段が低周波信号を生成することから、エイリアス等のノイズ成分をより確実に除去して正確な低周波信号の情報信号を出力できる効果を有する。また、本発明に係る高周波成分除去装置は必要に応じて、前記の高調成分除去装置において、前記サンプリング手段が、前記キャリアの周波数の位相角πに相当する位相差の二つのサンプリング周波数を一対としてサンプリングし、前記低周波生成手段が、前記一対のサンプリング周波数に基づいてサンプリングされたサンプリング値の平均を求め、当該平均値に基づいて低周波を生成するものである。このように本発明においては、位相角πだけ異なる二つのサンプリング周波数を一対としてサンプリングし、この一対のサンプリング周波数による二つのサンプリング値を平均して低周波を生成するようにしているので、変調信号からシフト演算によるオフセットを行うことなく直接的キャリブレーションにより情報信号を正確に検出できる効果を有する。また、本発明に係る高周波成分除去装置は必要に応じて、前記の高周波成分除去装置において、前記サンプリング手段が、前記同期検波された検波信号をローパスフィルタにより濾波された後の低周波信号をサンプリングすることを特徴とするものである。このように本発明においては、ローパスフィルタにより検波信号を濾波した後の信号をサンプリングするようにしているので、サンプリング値に混入するリップル成分若しくはサージ電圧成分、さらにスパイク、エイリアス又はノイズ等の高周波成分をより正確に除去できることとなり、精密な情報信号が検出できる効果を有する。また、本発明に係る高周波成分除去装置は必要に応じて、前記の高周波成分除去装置において、前記サンプリング手段から出力されるサンプリング値を変調信号に帰還して誤差を補正する誤差補正手段を備えることを特徴とするものである。このように本発明においては、サンプリング手段からのサンプリング値を変調信号に帰還して各周期の誤差を誤差補正手段により補正していることから、キャリアの周期毎におけるスパイク、エイリアス若しくはノイズ等の高周波成分の重畳変動を補正できることとなり、より精密な情報信号を検出できる効果を有する。本発明の第1の実施形態以下、本発明の第1の実施形態に係る高周波成分除去装置を図1、図2及び図3に基づいて説明する。この図1は本実施形態に係る高周波成分除去装置のブロック回路構成図、図2及び図3は図1に記載の高周波成分除去装置に係る動作動作時に各々出力される各波形図を示す。前記各図において本実施形態に高周波成分除去装置は、アナログ値の入力信号S01を変調するキャリアS0を出力するキャリア出力部1と、被測定対象からの物理的変動状態が入力され、この入力状態をアナログ値を入力信号S01として検出して、この入力信号S01を変調するキャリアS0に基づき変調して変調信号S1を出力するセンサ部2と、このキャリアS0により変調された変調信号S1が入力され、この変調信号S1を高周波増幅する高周波増幅回路3と、前記キャリア出力部1から出力されるキャリアS0の位相をシフトされる移送回路4と、この位相がシフトされたキャリアS0の位相を検出して同期検波制御信号S2を出力する位相検出回路5と、この同期検波制御信号S2に基づいて高周波増幅された変調信号S1を同期検波して同期検波信号S5を出力する同期検波回路6と、前記同期検波制御信号S2に基づいてサンプリング信号S4を生成するサンプリング生成回路7と、このサンプリング信号S4に基づいて同期検波信号S5をサンプリングして各サンプリング値S61を出力するサンプリング回路8と、このサンプリング値S61に基づいて低周波信号S6を生成する低周波信号生成回路9とを備える構成である。この同期検波回路6は、スイッチング回路及び一次のローパスフィルタを備え、このスイッチング回路によりキャリアに同期してスイッチされて、変調信号S1と同期検波制御信号S2との積算で得られる変調波の検波信号S51を生成し、この検波信号S51を一次のローパスフィルタにより同期検波信号S5を生成して出力する。前記サンプリング信号S4を生成するサンプリング生成回路7と、サンプリング値S61を出力するサンプリング回路8と、低周波信号S6を生成する低周波信号生成回路9とでサンプリング手段を構成し、このサンプリング信号S4を生成するサンプリング生成回路7は、前記周期検波回路6から出力される同期検波信号S5に含まれる入力信号S01の周波数に対して2倍より高い周波数で、且つ前記変調信号S5の周波数に対して整数倍又は整数分の一倍の周波数からなるサンプリング信号S4で前記同期検波信号S5をサンプリングしS61生を成するものである。また、このサンプリング信号S4は、前記同期検波制御信号S2の位相に対して位相角がほぼ90°ずれるタイミングで生成することができる。次に、前記構成に基づく本実施形態に係る高周波成分除去装置の高周波成分を除去する動作について説明する。まず、アナログ信号のアナログ値の入力信号S01がセンサ部2で検出されると、このアナログ値の入力信号S01に対してキャリア出力部1が出力されるキャリアS0で変調されて変調信号S1が高周波増幅回路3に入力される。前記キャリア出力部1から出力されるキャリアS0の基づき、このキャリアS0における四分の一周期以下の位相角α<2π1/4だけ移相回路4で移相させ、この移相されたタイミングにより位相検出回路5が同期検波制御信号S2を生成して同期検波回路6及びサンプリング信号生成回路7に入力する。この高周波増幅回路3に入力された変調信号S1が高周波増幅されて、この増幅された高周波の変調信号S1が同期検波回路6に入力される。この同期検波回路6は、入力された高周波の変調信号S1及び同期検波制御信号S2に基づきスイッチング回路で検波信号S51を生成し、この検波信号S51を一次のローパスフィルタで同期検波信号S5を生成してサンプリング信号生成回路7及びサンプリング回路8へ入力する。このサンプリング信号生成回路7は、前記位相検出回路5からの位相検出信号S2及び同期検波回路6からの同期検波信号S5に基づきサンプリング信号S4を生成してサンプリング回路8へ出力する。前記サンプリング回路8は、同期検波信号S5をサンプリング信号S4に基づきサンプリングしてサンプリング値S61を出力する。このサンプリング値S61に基づき低周波信号回路9は、低周波信号S6を出力する。このようにサンプリング信号S4が出力信号S01の2倍より高い周波数でサンプリング定理を満足すると共に、出力信号S01を変調するキャリアS0の周波数に対して整数倍又は整数分の一倍の周波数であることから、サンプリング回路8は出力信号S01に重畳されるノイズ成分及び信号処理回路信号処理動作中に生じるスパイク、エイリアス若しくはノイズ成分を除去する。このように,高次のローパスフィルタを用いることなくノイズ成分及び信号処理回路信号処理動作中に生じるスパイク、エイリアス若しくはノイズ成分を除去できるのでセンサの検出周波数帯域を著しく低下させることなく情報信号を検出することができることとなる。本発明の第2の実施形態本発明の第2の実施形態に係る高周波成分除去装置を図3及び図4に基づいて説明する。この図3は本実施形態に係る高周波成分除去装置のブロック回路構成図、図4は図3に記載の高周波成分除去装置に係る動作タイミングチャートを示す。前記各図において本実施形態に係る高周波成分除去装置は、前記第1の実施形態と同様に、キャリア出力部1、センサ部2、高周波増幅回路3、移相回路4、位相検出回路5、同期検波回路6、サンプリング信号生成回路7、サンプリング回路8、低周波信号生成回路9及び低周波増幅回路11を備え、この構成に加えローパスフィルタ回路61、補間回路10及び低周波増幅回路11を備える構成である。前記ローパスフィルタ回路61は、出力される同期検波信号S5の低周波成分のみを通過させて高周波成分を濾波以下同じ濾波し、この濾波した同期検波信号S5を濾波検波信号S51としてサンプリング回路8へ出力する構成である。また、このローパスフィルタ回路61は、比較的低次の信号成分を除去する、例えば一次フィルタ回路で構成することもできる。また、前記補間回路10は、前記サンプリング回路8でサンプリングされた複数のサンプリング値S61における相互間を導関数の連続性を仮定して、近似的に演算し、この演算結果により滑らかな曲線となるように補間し、この演算結果を低周波信号生成回路9で生成された低周波信号S6を増幅して出力信号S11として出力する構成である。次に、前記構成に基づく本実施形態に係る高周波成分除去装置の高周波成分を除去する動作について説明する。本実施形態に係る高周波成分除去装置は、前記第1の実施形態の図2に記載するタイミングチャートと同様にキャリアS0、入力信号S01、変調信号S1、同期検波制御信号S2及びサンプリング信号S4が順次生成される。まず、図4Aにおいて実線で示す高周波の変調信号S1をサンプリング信号S4によりサンプリングし、その複数のサンプリング値S61を黒ドットで示す。この複数のサンプリング値S61に基づいて補間回路10が補完し、図4Bに破線で示す低周波信号の曲線から実線で示す低周波信号の曲線となるように補完する。前記低周波信号生成回路9は、図4Cに示すように補完された低周波信号図中破線で示す。がオフセットされて実線で示す低周波信号S6を生成し、この低周波信号S6を低周波増幅回路11が増幅して出力信号S11として出力する。このように本実施形態は、サンプリング回路8でサンプリングする前提としてローパスフィルタ回路61で高周波成分を濾波し、さらに、補間回路10でサンプリング値S61を補間するようにしているので、低周波信号をより精密な情報信号として広帯域に検出できることとなる。本発明の第3の実施形態本発明の第3の実施形態に係る高周波成分除去装置を図5ないし図7に基づいて説明する。この図5は本実施形態に係る高周波成分除去装置のブロック回路構成図、図6は図5に記載のサンプリング信号生成回路及びサンプリング回路の詳細ブロック構成図、図7は図5及び図6に記載の高周波成分除去装置に係る動作タイミングチャートを示す。前記各図において本実施形態に係る高周波成分除去装置は、前記第2の実施形態と同様に、キャリア出力部1、センサ部2、高周波増幅回路3、移相回路4、位相検出回路5,同期検波回路6、サンプリング信号生成回路70図3の7に相当、サンプリング回路80図3の8に相当、低周波信号回路9、ローパスフィルタ回路61、補間回路10及び低周波増幅回路11を備え、この構成に加え、誤差補正回路12を備えると共に、前記サンプリング信号生成回路70及びサンプリング回路80の構成内容を異にする構成である。前記サンプリング信号生成回路70は、移相回路4及び位相検出回路5からの同期検波制御信号S2及び同期検波信号S5に基づいてサンプリング信号S4を生成する第1のサンプリング信号生成回路71と、このサンプリング信号生成回路71が生成したサンプリング信号S4に基づき、このサンプリング信号S4の周波数の位相角πに相当する位相差を有する新たなサンプリング周波数S41を生成する第2のサンプリング信号生成回路72とを備える構成である。前記サンプリング回路80は、前記サンプリング信号生成回路71が生成したサンプリング信号S4に基づき移相回路4からローパスフィルタ回路61を演算する第1のサンプリング回路81と、前記誤差補正回路82が生成したサンプリング周波数S41に基づき移相回路4からローパスフィルタ回路61を介して出力される濾波検波信号S51をサンプリングしてサンプリング値S62を演算する第2のサンプリング回路82とを備える構成である。また、サンプリング回路81及び第2のサンプリング回路82後段には平均値演算回路90が配設され、この平均値演算回路90は、第1のサンプリング回路81及び第2のサンプリング回路と82から各々出力されるサンプリング値S61及びサンプリング値S62を各々πの位相差で対応付けて平均値を演算して平均サンプリング値S63として出力する構成である。さらに、前記誤差補正回路12は、サンプリング回路8の第1及び第2のサンプリング回路81及び82から出力されるサンプリング値S61及びサンプリング値S62を変調信号S1に帰還して入力信号及び変調信号S1の誤差を補正する構成である。次に、前記構成に基づく本実施形態に係る高周波成分除去装置の高周波成分を除去する動作について説明する。本実施形態に係る高周波成分除去装置は、前記第1の実施形態の図2に記載するタイミングチャートと同様にキャリアS0、入力信号S01、変調信号S1、同期検波制御信号S2及びサンプリング信号S4が順次生成される。まず、図7Aにおいて実線で示す高周波の同期検波信号S5をサンプリング信号S4によりサンプリング回路81がサンプリングし、その複数のサンプリング値S61を黒丸のドットで示す。同様に、図7Aにおいて同期検波信号S5をサンプリング周波数S41により第2のサンプリング回路82がサンプリングし、その複数のサンプリング値S62を前記サンプリング信号生成回路71のサンプリング値S61に対して位相差πで出力され、このサンプリング値S62を白丸のドットで示す。次に、平均値演算回路90は、前記サンプリング値S61及びS62の各位相差πで対応付けられた各値の平均値を演算して平均サンプリング値S63を演算する。この演算された平均サンプリング値S63を図7Bに黒丸のドットで示す。前記平均サンプリング値S63は前記第2の実施形態の場合と同様に補間回路10、低周波信号回路9及び低周波増幅回路11により補間後のサンプリング値S10、低周波信号S6を介して出力信号S11として出力されることとなる。このように本実施形態に係る高周波成分除去装置は、位相差πの二つの系列のサンプリング周波数S4、S41で同期検波信号S5をサンプリングして各々のサンプリング値S61、S62を検出し、この各々のサンプリング値S61、S62から平均値演算回路90が平均サンプリング値S63を演算して低周波信号を出力するようにしているので、オフセット動作と高周波の除去処理とを同時に行えることとなり、精密且つ正確な情報信号の検出が可能となる。本発明の他の実施形態本発明の他の実施形態に係る高周波成分除去装置は、センサ部2で検出されたアナログ信号の入力信号をアナログ/デジタル変換し、この変換されたデジタル信号の入力信号を前記キャリア出力部1、高周波増幅回路3、移相回路4、位相検出回路5、同期検波回路6、サンプリング信号生成回路7、サンプリング回路8及び低周波信号回路9と同等の演算を実行する演算処理手段でデジタル処理する構成とすることもできる。さらにまた、本発明の他の実施形態に係る高周波成分除去装置は、センサ部2が高感度のフラックスゲート磁気センサで構成し、このフラックスゲート磁気センサの励磁周波数用交流電源から印加される交流励磁磁界がキャリアとして外部の検出磁界の低周波を変調して変調信号とする構成とすることもできる。この高感度のフラックスゲート磁気センサをセンサ部2として構成した実験例を以下に示す。一般に高感度のフラックスゲート磁気センサは、微弱な信号を高い増幅率で増幅し、且つ緩やかに変動する信号を捉えることができる。このフラックスゲート磁気センサで地中に埋設された強磁性体の埋設位置を特定したり、一定速度で通過する物品中に含まれる強磁性ターゲットを検出する場合等を例として、フラックスゲート磁気センサの出力波形をオシロスコープで緩やかに変動する信号を観測することができる。また、フラックスゲート磁気センサの交流励磁磁界が検出磁界に直接磁気結合して変調波となり、この変調波が十分に低減されず、この変調波の周波数は100kHzとなる。前記オシロスコープの観測時間を10秒とすると、100kHzの変調波がエイリアスとならないようにするためには、1/200kHz=5μsより早いサンプリングで且つ、サンプリング定理を満足することを前提とする。波形を取り込むものとする。この波形を10秒間観測するためには、10/510-6=2106個のサンプリング値が必要となる。"