所定の位置制御周期で制御対象の現在位置情報をサンプリングし、目標位置情報と現在位置情報との位置偏差に基づいて前記制御対象の位置決め用の制御量を出力する位置制御部と、この位置制御部から出力された制御量に基づいて前記制御対象を駆動する駆動部とを備えた位置決め制御装置において、前記位置制御部は、過去から現在に至る複数回のサンプリングによって得られた現在位置情報を一時記憶するバッファと、前記バッファに記憶された複数の現在位置情報から所定の統計値を算出する演算処理部とを備えたことを特徴とする位置決め制御装置。前記演算処理部は、外部の上位装置からの位置決め完了確認指令が入力されたときに、前記統計値として前記バッファに記憶された複数の現在位置情報と目標位置との位置偏差の最大振幅及び前記現在位置の標準偏差の少なくとも一方を演算し、前記上位装置に出力することを特徴とする請求項1記載の位置決め制御装置。前記演算処理部は、外部の上位装置からの現在位置確認指令が入力されたときに、前記統計値として前記バッファに記憶された複数の現在位置情報の平均値を算出し、この平均値を現在位置情報として前記上位装置に出力することを特徴とする請求項1記載の位置決め制御装置。前記位置制御部は、前記制御対象の位置に応じて出力される位置帰還情報から現在位置情報を検出する現在位置検出部を備えることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項記載の位置決め制御装置。前記バッファは、新たな現在位置情報がサンプリングされた際に、所定数保持されている前記現在位置情報のうち最も古いものを消去し、前記新たな現在位置情報を記憶することを特徴とする請求項1~4のいずれか1項記載の位置決め制御装置。しかし、上述した従来の位置決めの完了判定や現在位置の取得方式では、複数回の現在位置のサンプリングが必要となるため、処理に時間がかかるという問題があった。本発明はこのような点に鑑みなされたもので、位置決めの完了判定や現在位置の取得の高速化が可能な位置決め制御装置を提供することを目的としている。本発明に係る位置決め制御装置は、所定の位置制御周期で制御対象の現在位置情報をサンプリングし、目標位置情報と現在位置情報との位置偏差に基づいて制御対象の位置決め用の制御量を出力する位置制御部と、この位置制御部から出力された制御量に基づいて制御対象を駆動する駆動部とを備え、位置制御部は、過去から現在に至る複数回のサンプリングによって得られた現在位置情報を一時記憶するバッファと、バッファに記憶された複数の現在位置情報から所定の統計値を算出する演算処理部とを備える。又、本発明の一実施形態に係る位置決め制御装置の駆動部において、演算処理部は、外部の上位装置からの位置決め完了確認指令が入力されたときに、統計値としてバッファに記憶された複数の現在位置情報と目標位置との位置偏差の最大振幅及び現在位置の標準偏差の少なくとも一方を演算し、上位装置に出力する。又、本発明の他の実施形態に係る位置決め制御装置の位置制御部において、演算処理部は、外部の上位装置からの現在位置確認指令が入力されたときに、統計値としてバッファに記憶された複数の現在位置情報の平均値を算出し、この平均値を現在位置情報として上位装置に出力する。又、本発明の他の実施形態に係る位置決め制御装置の位置制御部において、位置制御部は、制御対象の位置に応じて出力される位置帰還情報から現在位置情報を検出する現在位置検出部を備える。又、本発明の他の実施形態に係る位置決め制御装置の位置制御部において、バッファは、新たな現在位置情報がサンプリングされた際に、所定数保持されている現在位置情報のうち最も古いものを消去し、新たな現在位置情報を記憶する。本発明によれば、位置決めの完了判定や現在位置の取得の高速化が可能な位置決め制御装置を提供する事が可能となる。[第1実施形態]次に、本発明の第1実施形態に係る位置決め制御システムの構成について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本実施形態に係る位置決め制御システムの全体図である。この位置決め制御システムは、位置決めの制御対象1と、この制御対象1にコントロール用信号を供給して制御対象の位置決め制御を行う位置決め制御装置2と、この位置決め制御装置2に移動指令、現在位置取得等のコマンド等を供給するコンピュータ3とを備えている。制御対象1は、例えば変位校正装置、三次元測定機、画像測定機、ステッパ、工作機械等において位置決めをする移動体を含む装置である。図2は、本実施形態に係る位置決め制御装置2の構成を示すブロック図である。本実施形態に係る位置決め制御装置2は、フィードバック制御により制御対象1の位置決めを行うもので、上位のコンピュータ3からの移動指令、現在位置取得指令、位置決め完了確認指令等に基づいてデジタル制御処理を実行する位置制御部21を有する。位置制御部21は所定の周期でデジタル位置制御を実行するもので、次のように構成されている。カウンタ211は、制御対象1の位置を検出する図示しないリニヤスケール、レーザー干渉計等の位置検出器から出力されるパルス状の位置帰還信号を計数して現在位置情報を出力する。このカウンタ211から出力される現在位置情報は、バッファ214に記憶される。バッファ214は、リングバッファであり、最も古い現在位置情報を消去して最新の現在位置情報を記憶することにより過去nサンプリング分の現在位置情報を記憶できるようになっている。カウンタ211から出力された現在位置情報は、演算処理部212にも入力される。演算処理部212は、CPU、メモリ及びI/Oを含み、カウンタ211から入力された現在位置情報と、上位のコンピュータ3から供給された目標位置情報とを比較して、その差分に基づいて目標速度情報を算出する。目標速度情報は、D/A変換器213でD/A変換される。位置制御部21から出力された目標速度情報は、速度制御部22に入力されている。速度制御部22は、目標速度情報と後述する速度帰還情報とに基づいて目標電流情報を算出し、電流制御部23に出力する。電流制御部23は、目標電流情報と後述する電流帰還情報とに基づいて電流制御情報を算出し、駆動部24に出力する。駆動部24は、電流制御情報に基づいて制御対象1の移動体を駆動すると共に、速度帰還情報と電流帰還情報とを出力する。駆動部24は、信号増幅回路241と、信号増幅回路241の出力電流を検出し、検出値を電流帰還情報として電流制御部23へフィードバックする電流検出回路242と、信号増幅回路241の出力によって駆動されるモータ243と、モータ243によって駆動されるボールねじ等の送り機構244と、モータ243の回転軸に接続されてモータ243の回転数を検出するタコジェネレータ、ロータリーエンコーダ等の速度検出部245とを備えている。速度検出部245の出力は、速度帰還情報として速度制御部22にフィードバックされている。また、送り機構244は、制御対象1の移動体を駆動する。次に、このように構成された本実施形態に係る位置決め制御装置における位置決め制御方法について説明する。図3は、位置決め制御方法を示すフローチャートである。位置決め制御はタイマ割込み等により所定の位置制御周期で実行される。まず、カウンタ211の出力である現在位置情報をサンプリングするS1。サンプリングされた現在位置情報は、バッファ214にバッファリングされるS2。演算処理部212は、サンプリングされた現在位置情報を入力し、[目標位置情報-現在位置情報]である位置偏差を求めS3、この位置偏差から目標速度情報を算出しS4、D/A変換器213を通じてアナログ信号に変換された目標速度情報を速度制御部22に出力するS5。そして、制御周期毎にステップS1からステップS5までの動作を繰りかえす。図4は、上位のコンピュータ3から位置決め完了確認指令が入力された場合に起動される位置決め完了確認処理のフローチャートである。上位のコンピュータ3から位置決め完了確認指令が入力されたら、演算処理部212は、バッファ214に格納されているnサンプル分の現在位置情報から、目標位置情報との位置偏差情報をそれぞれ算出し、これらn個の位置偏差情報から所定の統計量を算出するS11。この統計量としては、例えば位置偏差の最大値と最小値の差、すなわち位置偏差の最大振幅、及び現在位置の標準偏差のいずれか、又は双方を求める。位置決め完了判定時に、このような統計量を求める理由は、次の通りである。すなわち、位置決め制御に際しては、目標位置と最終的な移動位置現在位置とが一致することが理想であるが、実際には、機械系の剛性不足等の影響で、制御対象が目標位置にぴったりと静止しないでバラつきを生じることがある。位置決め精度が高いほど、このような現象は顕著に表れる。図5は、位置制御周期が1[ms]の時の位置偏差の時間的変化の一例を示している。図5において、縦軸は目標位置と制御対象1の現在位置との誤差位置偏差を示しており、横軸は時間を表している。この図から位置偏差がサブマイクロメートルオーダーで発生していることが分かる。この図から明らかなように、位置決め完了判定には、ある程度の数のサンプルを統計処理して収束判定を行う必要がある。いま、位置制御周期サンプリング周期を1ms、終了判定に必要な取得サンプル数を20とすると、もし、バッファ214が存在しない場合、位置決め完了確認指令が出力されてから、完了確認に必要な情報の取得に20msの時間を要することになる。この点、本実施形態に係る位置決め制御装置2によれば、バッファ214に常に20nサンプル分のデータを予め保持しておくようにしているので、位置決め完了指令が出力されてから、直ちに完了確認に必要な情報を上位のコンピュータ3に返送することができる。これにより、位置決めの完了判定を高速で行うことが可能となる。[第2実施形態]次に、本発明の第2実施形態に係る位置決め制御装置ついて説明する。本発明の第1実施形態に係る位置決め制御装置では、バッファ214に保存されたnサンプル分の現在位置情報を位置決め完了確認に使用したが、本実施形態では、上位のコンピュータ3に現在位置情報として出力する際の計算に使用する。図6は、現在位置確認処理を示すフローチャートである。上位のコンピュータ3から現在位置確認指令が発せられると、演算処理部212は、バッファ214に保存されたnサンプル分の現在位置情報の平均値を算出するS21。そして、この平均値を上位のコンピュータ3に出力するS22。本実施形態によれば、上位のコンピュータ3に対して、n個のサンプル値の平均を求めることで、位置決め時のバラつきによる誤差の少ない現在位置情報を出力することができ、しかも速やかに平均値を演算して外部に出力することが可能になる。なお、以上のような統計値のほか、複数のサンプル値を演算処理に利用する他の用途にも本願発明は適用可能である。[その他の実施形態]図2に示す位置決め制御装置2では、位置制御部21から制御量として目標速度情報が出力され、この目標速度情報と速度帰還情報とに基づいて目標電流情報を出力する速度制御部22と、目標電流情報と電流帰還情報とに基づいて駆動部24に電流制御情報を出力する電流制御部23とを備え、駆動部24は、電流制御情報に基づいて制御対象1を駆動すると共に、速度帰還情報と電流帰還情報とを出力するように構成した。しかし、位置決め制御装置としては、全てをディジタルコントローラで構成したり、電流制御や速度制御のフィードバック制御を使用しない位置制御手段等、他の構成に対しても、本発明を同様に適用可能であることは言うまでもない。