蒸発燃料の吸着脱離を行う吸着材が充填されたハウジングと、前記ハウジングと燃料タンクとを連通する前記ハウジングに形成されたタンクポートと、前記ハウジングと内燃機関の吸気管とを連通する前記ハウジングに形成されたパージポートと、前記ハウジングと大気とを連通する前記ハウジングに形成された大気ポートと、前記吸着材を加熱するための複数のヒータと、を備える蒸発燃料処理装置であって、前記複数のヒータは、個別に電力供給可能であると共に、前記大気ポートから前記パージポートに至る流体の流れに沿って前記ハウジング内に配置されており、パージ時において、前記大気ポートから前記パージポートに向けて順番に前記複数のヒータへ電力が供給され、電力が供給されるのと同じ順番でヒータへの電力の供給が停止されることを特徴とする蒸発燃料処理装置。請求項1に記載の蒸発燃料処理装置であって、前記複数のヒータのうち前記パージポートに最も近い位置に配置されたヒータは、他のヒータへ印加される電力よりも小さい電力が印加されることを特徴とする蒸発燃料処理装置。請求項1または請求項2に記載の蒸発燃料処理装置であって、ヒータへの電力の供給及び遮断のタイミングは、脱離状態検出手段により検出されたハウジング内における蒸発燃料の脱離状態に基づいて決定されることを特徴とする蒸発燃料処理装置。請求項3に記載の蒸発燃料処理装置であって、前記脱離状態検出手段は、濃度センサ、又は温度センサであることを特徴とする蒸発燃料処理装置。請求項1または請求項2に記載の蒸発燃料処理装置であって、ヒータへの電力の供給及び停止のタイミングは、タイマーによって決定されることを特徴とする蒸発燃料処理装置。請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の蒸発燃料処理装置であって、同時に二つのヒータに電力が供給されないことを特徴とする蒸発燃料処理装置。しかし、特許文献1の蒸発燃料処理装置では、最初に大気ポートに最も近いヒータが作動するため、その周囲の吸着材は他の場所に配置された吸着材よりも早く脱離が完了する。しかし、大気ポート側のヒータは最後に停止されるため、蒸発燃料が既に脱離した吸着材を長時間にわたって加熱することになり、必要以上の電力を消費している。また、ヒータのオンオフ操作により蒸発燃料の脱離量が大きく変動するため、脱離した蒸発燃料が内燃機関に供給されると、内燃機関におけるA/F比が乱れる恐れがあった。本発明は、このような事情に鑑みなされたものである。本発明が解決しようとする課題は、蒸発燃料の脱離に必要な電力量を低減すると共に、内燃機関におけるA/F比の変動を抑えることにある。上記課題を解決するため本発明に係る蒸発燃料処理装置は、次の手段を採用する。本発明の第1の発明に係る蒸発燃料処理装置は、蒸発燃料の吸着脱離を行う吸着材が充填されたハウジングと、該ハウジングと燃料タンクとを連通するハウジングに形成されたタンクポートと、ハウジングと内燃機関の吸気管とを連通するハウジングに形成されたパージポートと、ハウジングと大気とを連通するハウジングに形成された大気ポートと、吸着材を加熱するための複数のヒータとを備える蒸発燃料処理装置であって、複数のヒータは、個別に電力供給可能であると共に、大気ポートからパージポートに至る流体の流れに沿ってハウジング内に配置されており、パージ時において、大気ポートからパージポートに向けて順番に複数のヒータへ電力が供給され、電力が供給されるのと同じ順番でヒータへの電力の供給が停止されることを特徴とする。通常、吸着材は高温になると蒸発燃料の吸着量が少なくなるため、吸着材を加熱することによって蒸発燃料の脱離が促進される。しかし、蒸発燃料が脱離した吸着材は再度蒸発燃料を吸着することができるため、蒸発燃料処理装置をパージする場合は、空気の流れに沿って上流から順番に蒸発燃料を脱離することが好ましい。この蒸発燃料処理装置によれば、大気ポートからパージポートに向けてヒータが順次電力を供給されて作動するため、ハウジング内の吸着材が大気ポートからパージポートに向かう空気の流れに沿って順次加熱され、蒸発燃料の脱離が促進される。そのため、一度蒸発燃料が脱離した吸着材に蒸発燃料がパージ中に再度吸着することを防止することができ、結果的に短時間で効率的に蒸発燃料の脱離を完了することができる。また、大気ポートからパージポートに向けて順次ヒータへの電力供給が停止されるため、蒸発燃料の脱離が完了した順にヒータを停止することができ、吸着材の加熱を効率的に行うことができる。これにより、パージに必要な電力量を低減することができる。本発明の第2の発明に係る蒸発燃料処理装置は、第1の発明に係る蒸発燃料処理装置であって、複数のヒータのうちパージポートに最も近い位置に配置されたヒータは、他のヒータへ印加される電力よりも小さい電力が印加されることを特徴とする。通常、パージ中に吸着材をヒータで加熱すると、吸着材から脱離した蒸発燃料の一部は大気ポートからパージポートに向かう流れにおいて下流に位置する吸着材に再度吸着する。しかし、パージポートに最も近いヒータで吸着材を加熱すると、大気ポートからパージポートに向かう流れにおいて下流に吸着材がほとんど存在しないため、他のヒータが作動する場合と比べて大量の蒸発燃料が蒸発燃料処理装置から排出される。この蒸発燃料処理装置によれば、パージポートに最も近い位置に配置されたヒータは、他のヒータへ印加される電力よりも小さい電力が印加されるため、吸着材の温度上昇もより小さくなる。上述したとおり、吸着材は高温になるほど蒸発燃料の吸着量が少なくなるため、吸着材の温度上昇を小さくすることにより、蒸発燃料の脱離量を少なくすることができる。これにより、パージポートに最も近いヒータを作動した際に脱離される蒸発燃料の量を他のヒータを作動した際に脱離される蒸発燃料の量に近づけることができる。したがって、蒸発燃料処理装置から内燃機関の吸気管に供給される蒸発燃料の量を一定に近づけることができ、内燃機関における空燃比A/F比の急激な変動を抑制することができる。本発明の第3の発明に係る蒸発燃料処理装置は、第1又は第2の発明に係る蒸発燃料処理装置であって、ヒータへの電力の供給及び遮断のタイミングは、脱離状態検出手段により検出されたハウジング内における蒸発燃料の脱離状態に基づいて決定されることを特徴とする。この蒸発燃料処理装置によれば、脱離状態検出手段によって検出された蒸発燃料の脱離状態に基づいてヒータへの電力供給及び遮断のタイミングが決定されるため、脱離が完了した場所を更にヒータで加熱することを確実に防止できる。これにより、蒸発燃料の脱離に必要な電力量を低減することができる。本発明の第4の発明に係る蒸発燃料処理装置は、第3の発明に係る蒸発燃料処理装置であって、脱離状態検出手段は、濃度センサ、又は温度センサであることを特徴とする。この蒸発燃料処理装置によれば、濃度センサによって測定されるハウジング内を流れる蒸発燃料の濃度又は温度センサによって測定される吸着材の温度に基づいて蒸発燃料の脱離完了を判断できる。蒸発燃料の濃度及び吸着材の温度はパージ時の蒸発燃料の脱離状態を判断するための確実な指標であるため、精度良く蒸発燃料の脱離完了を判断することができる。本発明の第5の発明に係る蒸発燃料処理装置は、第1又は第2の発明に係る蒸発燃料処理装置であって、ヒータへの電力の供給及び停止のタイミングは、タイマーによって決定されることを特徴とする。この蒸発燃料処理装置によれば、タイマーに基づき所定時間が経過した後にヒータへの電力の供給を開始又は停止できるため、各ヒータによる加熱に必要な時間を事前に測定しておくことによって、効率的な蒸発燃料の脱離を容易に実現できる。本発明の第6の発明に係る蒸発燃料処理装置は、第1から第5のいずれかの発明に係る蒸発燃料処理装置であって、同時に二つのヒータに電力が供給されないことを特徴とする。この蒸発燃料処理装置によれば、同時に二つのヒータに電力が供給されないため、電力を一つのヒータに集中することができる。そのため、同じ電力を複数のヒータに分散した場合と比べて、吸着材をより高い温度まで加熱することができる。本発明の蒸発燃料処理装置によれば、蒸発燃料の脱離をより効率的に行うことができるため、少ない消費電力で蒸発燃料の脱離が可能になる。また、大気ポートからパージポートに向けて順次吸着材が加熱されて蒸発燃料の脱離が促進されるため、パージ開始から脱離完了までの蒸発燃料の脱離量が一定に近くなり、内燃機関におけるA/F比の急激な変動を抑制することができる。以下、本発明を実施するための実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下において説明する蒸発燃料処理装置は、自動車等に設置される蒸発燃料処理装置であり、燃料タンク内にて発生した蒸発燃料ガソリンベーパ等を吸着及び脱離するものである。実施例1図1に示すように、蒸発燃料処理装置10は、中空容器状に形成されたハウジング12と、燃料タンクとハウジング12とを連通するタンクポート14と、内燃機関エンジンの吸気管図示しないとハウジング12とを連通するパージポート16と、大気とハウジング12とを連通する大気ポート18とを有する。タンクポート14、パージポート16、及び大気ポート18はハウジング12の一側面上に一列に形成されている。ハウジング12の内部は隔壁20によって主室22と副室24とに区分けされており、主室22及び副室24にはそれぞれ吸着材Cが充填されている。吸着材Cとしては、空気は通すが蒸発燃料を吸着脱離可能な多孔質体であれば良く、吸着材Cの材質および形状等は自由に選択可能である。本実施例では吸着材Cとして活性炭を使用している。主室22と副室24にそれぞれ充填される吸着材Cは、同じであっても良いし、互いに異なっていても良い。大気ポート18は副室24側に形成されており、ハウジング12内、すなわち副室24と大気とを連通している。また、タンクポート14及びパージポート16は主室22側に形成されており、ハウジング12内、すなわち主室22と燃料タンク及び内燃機関の吸気管とをそれぞれ連通している。主室22及び副室24はハウジング12内でU字状に連通しており、大気ポート18からタンクポート14及びパージポート16に至る通路を形成している。そのため、燃料タンクで生じた蒸発燃料を含む蒸発燃料含有ガスがタンクポート14を介してハウジング12内に導入されると、蒸発燃料はハウジング12内の吸着材Cに吸着され、主に空気からなる残りのガスは主室22及び副室24を順に通過し、大気ポート18から大気中へと放出される。一方、蒸発燃料処理装置10がパージされる際には、大気空気が大気ポート18からハウジング12内に導入され、副室24及び主室22を順に通過する。空気が副室24及び主室22を通過する際に、吸着材Cに吸着していた蒸発燃料が吸着材Cから脱離するため、蒸発燃料は空気と共にパージポート16を介して内燃機関の吸気管に供給される。ここで、吸着材Cは、温度が低いほど特定成分本発明では蒸発燃料の吸着量が多くなり、温度が高いほど特定成分の吸着量が少なくなる特性を有する。そのため、蒸発燃料処理装置10をパージする際は、吸着材Cの温度が高いほど脱離量が多くなるため、吸着材Cをできる限り高温に保つことが好ましい。しかし、蒸発燃料の脱離は吸熱反応であるため、蒸発燃料の脱離が進むにつれて吸着材Cの温度は低下し、脱離効率も低下してしまう。そのため、ハウジング12内には吸着材Cを加熱するためのヒータ26、28、30、32が設置されている。第1のヒータ26及び第2のヒータ28は副室24内に配置されており、第3のヒータ30及び第4のヒータ32は主室22内に配置されている。これら第1から第4のヒータ26、28、30、32は、パージ時における空気の流れに沿って、すなわち、大気ポート18からパージポート16に向けて順番にハウジング12内に配置されている。また、これら第1から第4のヒータ26、28、30、32は制御装置34によってそれぞれ制御されており、個別に電力供給可能に形成されている。また、ハウジング12内を流れる蒸発燃料の濃度を測定するための濃度センサ36、38、40、42がハウジング12内に設置されており、第1の濃度センサ36及び第2の濃度センサ38は副室24内に配置されており、第3の濃度センサ40及び第4の濃度センサ42は主室22内に配置されている。これら第1から第4の濃度センサ36、38、40、42は、第1から第4のヒータ26、28、30、32と同様に、パージ時の空気の流れに沿って順番にハウジング12内に配置されている。また、第1の濃度センサ36は、第1のヒータ26の付近であって、パージ時の空気の流れにおいて第1のヒータ26の下流に配置されている。第2から第4の濃度センサ38、40、42も、第1の濃度センサ36と同様にそれぞれ対応する第2から第4のヒータ28、30、32の付近であり且つ下流に配置されている。これらの濃度センサ36、38、40、42はそれぞれ検出した蒸発燃料の濃度を制御装置34に入力するよう形成されている。なお、第1から第4の濃度センサ36、38、40、42は本明細書における脱離状態検出手段に相当する。制御装置34は、中央処理装置CPU、読み出し専用メモリROM、ランダムアクセスメモリRAMなどを有する。ROMには所定の制御プログラムが予め記憶されており、CPUが、当該制御プログラムに基づいて、蒸発燃料処理装置10の各構成要素を制御操作する。次に蒸発燃料処理装置の作用について説明する。内燃機関の停止中は、第1から第4のヒータ26、28、30、32は停止されており、燃料タンク内で生じた蒸発燃料を含む蒸発燃料含有ガスがタンクポート14からハウジング12内に流入する。すると、蒸発燃料はハウジング12内において吸着材Cに吸着され、主に空気からなる残りの気体は主室22及び副室24を通って大気ポート18から大気中へ放出される。内燃機関が運転されると、吸気管負圧によって蒸発燃料処理装置10の内部に大気ポート18からパージポート16に至る気流が作られる。これにより、大気ポート18からハウジング12内に導入された空気は、副室24及び主室22を順次通過し、その際に吸着材Cに吸着していた蒸発燃料が脱離する。そして脱離した蒸発燃料は空気と共にパージポート16から流出し、内燃機関の吸気管に流入する。パージの開始後に、第1のヒータ26に電力が供給されると、第1のヒータ26は付近の吸着材Cを加熱する。ヒータへの電力供給は、蒸発燃料の脱離の進行に伴い、第1から第4のヒータ26、28、30、32へと順次切り替えられる。ヒータへの電力供給の切り替えタイミングは、第1から第4の濃度センサ36、38、40、42によって測定されたハウジング12内を流れる蒸発燃料の量に基づいて決定される。すなわち、第1のヒータ26に電力が供給されると、第1のヒータ26の下流に位置する第1の濃度センサ36がハウジング12内を流れる蒸発燃料の濃度、つまり、第1の濃度センサ36より上流に位置する吸着材Cから脱離している蒸発燃料の量を測定し、測定値を制御装置34に入力する。第1の濃度センサ36によって測定される蒸発燃料の濃度が所定値好ましくは0に到達すると、制御装置34は第1のヒータ26への電力供給を停止させ、第2のヒータ28への電力供給を開始する。そして、第2のヒータ28への電力供給が始まると、第2のヒータ28の下流に位置する第2の濃度センサ38が蒸発燃料の濃度の測定を開始する。このように、蒸発燃料の脱離が進行するにつれて、第1から第4のヒータ26、28、30、32へと電力の供給が順次切り替わっていく。蒸発燃料の濃度は脱離の完了を判断するための確実な指標であるため、濃度センサを用いることによって精度良く蒸発燃料の脱離完了を判断することができる。次に、図2を参照しながら、作動するヒータを切り替えることによる蒸発燃料の脱離量の変化について検討する。最初に、蒸発燃料ガソリンベーパをタンクポート14からハウジング12内に導入し、ハウジング12内の吸着材C活性炭:ミードウエストベーコ社製BAX-1500に蒸発燃料を吸着させた。そして、一定量の空気を大気ポート18からハウジング12内に導入パージする度に蒸発燃料処理装置10の重量を測定した。この試験を、第1から第4のヒータ26、28、30、32にそれぞれ15Wの電力を同時に供給した場合比較実験例と、上述したように第1から第4のヒータ26、28、30、32へ順次60Wの電力を供給した場合実験例1とでそれぞれ行い、その結果を図2に示す。なお、図2における脱離完了値は蒸発燃料を導入する前の蒸発燃料処理装置10の重量、すなわち、脱離可能な蒸発燃料が全て脱離した状態における蒸発燃料処理装置10の重量である。また、図2下部の各ヒータの切り替えタイミングは、実験例1におけるヒータの切り替えタイミングを示している。上記実験の結果、比較実験例及び実験例1のいずれにおいても合計で60Wの電力が印加されていたにもかかわらず、図2に示されるように、実験例1の方が速く脱離が完了した。60Wの電力を印加されたヒータは15Wの電力を印加されたヒータよりも周辺の吸着材Cをより高い温度に加熱することができるため、当該ヒータ周辺における蒸発燃料の脱離がより促進される。そのため、同じ電力を印加する場合、全ての吸着材Cを低い温度に加熱するよりも、一部の吸着材Cをより高い温度に加熱し、加熱場所における蒸発燃料の脱離が終わり次第、大気ポート側からパージポート側へと順次加熱場所を変更する方が脱離効率が高くなる。また、加熱場所を順次変更することによって、脱離に必要な時間を短縮できると共に、脱離が終了した場所を加熱することによる電力の浪費も防止することが可能になるため、脱離に必要な電力を低減することができる。実施例2次に、実施例2に係る蒸発燃料処理装置について説明する。なお、実施例2はヒータへの電力の印加方法に関してのみ実施例1と異なるため、実施例2の蒸発燃料処理装置の構造に関する説明は省略する。実施例1では、第1から第4のヒータ26、28、30、32にへの電力供給を大気ポート18からパージポート16へと順次切り替える構成であり、その電力供給量は一定であった。しかし、図2に示されるように、第1から第4のヒータ26、28、30、32に順次同量の電力を供給すると、第4のヒータ32に電力を供給した際に、第1から第3のヒータ26、28、30に電力を供給した場合と比べて大量の蒸発燃料が脱離排出される。これは、第1から第3のヒータ26、28、30の周辺に位置する吸着材Cから蒸発燃料が脱離しても、脱離した蒸発燃料の一部はより下流パージポート16側に位置する吸着材Cに再度吸着されるのに対し、第4のヒータ32の周辺に位置する吸着材Cから脱離した蒸発燃料は全てが蒸発燃料処理装置10から排出されるためである。蒸発燃料処理装置10からパージされた蒸発燃料は内燃機関の吸気管へと流入するため、図2の実験例1のように脱離する蒸発燃料の量が急増すると、内燃機関における急激な空燃比A/F比の変動を引き起こす。A/F比は内燃機関の駆動効率や排気ガス中の汚染物質の量に影響を与えるため、好適な比率に維持されることが望ましい。そのため、実施例2の蒸発燃料処理装置10では、パージポート16に最も近い位置に配置された第4のヒータ32に対して、第1から第3のヒータ26、28、30に供給される電力よりも、小さい電力が印加される。これにより、第4のヒータ32に電力が印加されたときに蒸発燃料処理装置10から脱離される蒸発燃料の量を低減し、他のヒータに電力が印加されたときに脱離される蒸発燃料の量に近づけることができる。そのため、蒸発燃料処理装置から内燃機関の吸気管に供給される蒸発燃料の量を一定に近づけることができ、内燃機関におけるA/F比の急激な変動を抑制することができるため、蒸発燃料処理装置10をパージしつつ、内燃機関を効率的に運転することが容易になる。次に、図3を参照しながら、第4のヒータ32に対して第1から第3のヒータ26、38、30より小さい電力を印加した場合の脱離について検討する。図3の実験例1は図2と同一のものである。また、実験例2は、第4のヒータ32に15Wの電力を印加した点でのみ実験例1と異なっており、他の条件は実験例1と同一である。図3に示されるように、第4のヒータ32へ供給される電力量を15Wに減らしたことにより、第4のヒータ32が作動している間における蒸発燃料処理装置10の重量の低下量、すなわち、蒸発燃料の脱離量が低減した。そして、第1から第3のヒータ26、28、30が作動している間の蒸発燃料の脱離量と、第4のヒータ32が作動している間の蒸発燃料の脱離量との差が小さくなったため、パージ中に蒸発燃料処理装置10から排出される蒸発燃料の濃度がより一定に近づいた。したがって、パージポート16に最も近い位置に配置された第4のヒータ32に対してより小さな電力を印加することによって、脱離される蒸発燃料の量を一定に近づけることができ、結果的に内燃機関におけるA/F比の急激な変動を抑制することができる。変形例上記実施例1及び2においては、脱離状態検出手段として濃度センサが用いられていたが、蒸発燃料の脱離状態を検出できる手段であれば、他の手段を用いることができる。例えば、吸着材Cからの蒸発燃料の脱離は気化を伴うため吸熱反応である。そのため、脱離が起きている場所ではヒータで加熱しても温度上昇が抑制され、蒸発燃料の脱離が完了した場所ではそのような温度上昇の抑制は起こらない。このことを利用して、ヒータにより加熱される吸着材Cの温度を測定するための温度センサを設置し、吸着材Cの温度変化を測定することによって蒸発燃料の脱離の完了を検出することができる。吸着材Cの温度変化は、蒸発燃料の脱離を判断する上での明確な指標になるため、温度センサを用いることによって精度良く脱離の完了を判断できる。上記実施例1及び2においては、脱離状態検出手段を用いて蒸発燃料の脱離状態を判断し、ヒータへの電力の供給及び遮断のタイミングを決定しているが、脱離状態検出手段の代わりに当該タイミングを決定するタイマーを設けても良い。タイマーを用いる場合、各ヒータによる最適な加熱時間を事前に測定しておき、それぞれのヒータに対して測定された最適な加熱時間だけ順次電力が供給されるように制御されることが好ましい。脱離状態検出手段の代わりにタイマーを用いることによって、蒸発燃料処理装置10の構造をより簡素化することができ、製造コストの削減を図ることができる。上記実施例1及び2においては、4個のヒータが用いられているが、設置されるヒータは複数であれば良く、4個に限定されない。また、上記実施例1及び2においては、各ヒータへの電力供給は、一つのヒータへの電力供給が遮断された後に次のヒータへの電力供給が開始されたが、複数のヒータへ同時に電力を供給するよう制御されても良い。例えば、第1のヒータ26へ電力が供給されており、第1の濃度センサ36の測定値に基づき脱離完了が判断された場合に、第2のヒータ28への電力供給を開始した後に、第1のヒータ26への電力供給を遮断する構成としても良い。