"弾性的に支持された略水平な基板と、前記基板を振動させる振動発生装置と、軸線を略鉛直方向に向けた螺旋状の処理槽と、前記処理槽を前記基板に固定して支持するための支持部材とを備え、前記基板と前記支持部材を介して前記処理槽を振動させることで研磨を行う振動バレル研磨装置において、前記支持部材は、前記処理槽をそのほぼ全長に亘って下から支持する載置部を有していることを特徴とする振動バレル研磨装置。前記支持部材は、全体として軸線を略鉛直方向に向けた円筒状をなし、前記支持部材の上端縁が、螺旋状に傾斜した形態の前記載置部となっていることを特徴とする請求項1記載の振動バレル研磨装置。前記処理槽は、上面が開放された略半円弧形をなし、前記載置部に載置された状態で固定された樋状部と、前記樋状部の内周側の側縁から、前記処理槽のほぼ全長に亘って立ち上がる筒状部とを備えて構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の振動バレル研磨装置。図8の研磨装置において処理槽100の内周にウレタン層102を形成する際には、処理層100の内周面と対向するように金型図示省略を配置し、その隙間に溶融ウレタン樹脂を流し込む方法がとられる。この場合、処理槽100の容積を大きく確保するためには、ウレタン層102を薄くする必要があるが、ウレタン槽102を薄くするためには、処理槽100の内周形状及び処理槽100の内周の高さ方向の位置に関して、高い精度が求められる。しかしながら、特許文献2に記載されたような、処理槽100の長さ方向に間隔を空けた複数の平板状をなす支持部材101で支持する構造を採用した場合、処理槽100のうち支持部材101間の領域つまり、支持部材101で直接支えられていない領域では、形状や高さ方向の位置が不安定になり易い。そのため、ウレタン層を均一で且つ薄く形成することが難しい。本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、処理槽を安定して支持するようにすることを目的とする。上記の目的を達成するための手段として、請求項1の発明は、弾性的に支持された略水平な基板と、前記基板を振動させる振動発生装置と、軸線を略鉛直方向に向けた螺旋状の処理槽と、前記処理槽を前記基板に固定して支持するための支持部材とを備え、前記基板と前記支持部材を介して前記処理槽を振動させることで研磨を行う振動バレル研磨装置において、前記支持部材は、前記処理槽をそのほぼ全長に亘って下から支持する載置部を有しているところに特徴を有する。請求項2の発明は、請求項1に記載のものにおいて、前記支持部材は、全体として軸線を略鉛直方向に向けた円筒状をなし、前記支持部材の上端縁が、螺旋状に傾斜した形態の前記載置部となっているところに特徴を有する。請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載のものにおいて、前記処理槽は、上面が開放された略半円弧形をなし、前記載置部に載置された状態で固定された樋状部と、前記樋状部の内周側の側縁から、前記処理槽のほぼ全長に亘って立ち上がる筒状部とを備えて構成されているところに特徴を有する。<請求項1の発明>螺旋状の処理槽は、そのほぼ全長に亘り、支持部材の載置部に載置された状態で支持されているので、処理槽の形状と高さ方向の位置が、ほぼ全長に亘って安定する。<請求項2の発明>処理槽に付与される振動は、支持部材にも伝達するのであるが、支持部材が比較的変形を生じ易い平板状をなしている場合には、振動を受けた支持部材が共振し、その結果、処理槽の支持状態と振動状態が不安定となり、研磨処理が良好に行われなくなることが懸念される。その点、本発明は、支持部材が全体として円筒状つまり湾曲した形状であるから、強度が高く、振動発生装置からの振動を受けても共振し難い。したがって、支持部材の共振が原因となって処理槽の支持状態や振動状態が不安定になる虞もない。<請求項3の発明>処理槽は、下から支持部材で支持されているのに加え、樋状部の内周側の側縁を筒状部で補強しているので、変形や共振等が防止される。<実施形態1>以下、本発明を具体化した実施形態1を図1~図7を参照して説明する。<装置全体の概要>振動バレル研磨装置は、図1,2に示すように、床面に設置された基台10と、基台10の上面にバネ11を介して略水平な姿勢に支持された基板12と、図2に示すように基板12に設けた振動モータ13本発明の構成要件である振動発生装置とを備えている。基板12上には、支持部材30と、処理槽20とが固着された状態で取り付けられている。振動モータ13を駆動させると、基板12と支持部材30と処理槽20が一体となり、バネ11の弾力により振動するようになっている。処理槽20は、鉛直方向上下方向の軸線を中心とする螺旋状をなす。処理槽20内は、最も低い上流端20Aから最も高い下流端20Bに向かう螺旋状経路となっている。図3,6に示すように、処理槽20の周方向長さ方向における形成領域は、360°に亘り、鉛直軸と平行に視た投影面上では、処理槽20の上流端と下流端とが連なるように配置されている。処理槽20を振動させるとともに、処理槽20に図示しないマスワーク、研磨材等の混合物を投入すると、マスが処理槽20内を螺旋状経路に沿って上流側から下流側へ移動することにより、研磨が行われるようになっている。図1,3に示すように、処理槽20には、処理槽20の上流端部の上方に位置するように選別網14が設けられている。図3に示すように、処理槽20には、処理槽20の下流端から上流端側へ延出した形態であって、処理槽20の下流端を支点として上下方向へ回動揺動可能なフラップ15が設けられている。研磨中は、フラップ15を、下流端から上流端に向かって下り勾配となるように傾斜した姿勢にしておく。これにより、処理槽20の下流端に到達したマスが、フラップ15を滑り落ちて上流端に戻るようになっている。研磨工程が終わると、フラップ15を処理槽20の上り勾配に沿った選別姿勢に変位させる。すると、下流端に到達したマスは、フラップ15上を上って選別網14へ移送される。選別網14においては、マスのうちワーク以外のものは選別網14の隙間から処理槽20の上流端部へ落下し、ワークは、選別網14上を移動して処理槽20の外部へ回収される。<処理槽20の構成>図2に示すように、処理槽20は、湾曲した金属板材からなる樋状部21と、湾曲した金属板材からなる筒状部25と、樋状部21及び筒状部25の内周に形成したウレタン層28とを備えて構成されている。樋状部21は、弧状部22と内周壁部23と外周壁部24とから構成されている。弧状部22は、処理槽20螺旋状経路の全長に亘って連続して延びており、その長さ方向と直角鉛直方向な横断面は、上面側が開放された半円弧形をなしている。内周壁部23は、弧状部22の内周側の側縁から、処理槽20の全長に亘って鉛直方向上向きに延出した形態である。外周壁部24は、弧状部22の外周側の側縁から、処理槽20の全長に亘って鉛直方向上向きに延出した形態である。内周壁部23の弧状部22からの立ち上がり高さは、その全長に亘って一定である。外周壁部24の弧状部22からの立ち上がり高さも、その全長に亘って一定であり、内周壁部23と外周壁部24の立ち上がり高さは互いに同じ寸法である。また、内周壁部23の外周面と外周壁部24の内周面との間の対向間隔径方向の間隔は、全周全領域に亘って一定である。筒状部25は、樋状部21の内周側の側縁内周壁部23から鉛直方向に立ち上がった形態であり、樋状部21の全長に亘って形成されている。筒状部25の外周面は内周壁部23の外周面樋状部21の内面に対して滑らかに面一状に連なっている。筒状部25の下端縁は、樋状部21の傾斜に従って螺旋状をなしているのであるが、筒状部25の上端縁は、全周に亘って同一の高さである。筒状部25は、処理槽20内のマスが処理槽20の内周側へ溢れるのを防止しているとともに、処理槽20の内周側の縁部の変形を防止するための補強手段としても機能する。また、図2,3に示すように、筒状部25の上端縁には、円環形をなすフランジ26が溶接により固着されている。図2に示すように、ウレタン層28は、処理槽20の内面の全領域に亘って形成されている。ウレタン層28の外周壁部24の上部に相当する位置は、選別網14の下方を除いて、内周側へ突出した形態の突出部27となっている。ウレタン層28の突出部27を全周に亘って形成することにより、処理槽20内に円弧状の断面を形成し、マスの動きを円滑にすることができる。また、図8に示す従来の振動バレル研磨装置では、処理槽100の外周縁が内側へ回り込んでいて、処理槽100の上面の開口領域が処理槽100の最大外径部よりも内側に位置しているため、処理槽100へのマスの投入が行い難い。これに対し、本実施形態では、外周壁部24が鉛直方向に立ち上がっているので、処理槽20の上面の開口領域が処理槽20の最大外径部まで拡がっている。したがって、処理槽20に対するマスの投入を容易に行うことができる。<処理槽20の支持構造>次に、処理槽20を支持する構造を説明する。図2に示すように、処理槽20は、主として支持部材30により基板12上に固定して支持されている。また、図4~7に示すように、処理槽20を支持する手段として、支持部材30の他に仕切板33が用いられている。図4~6に示すように、支持部材30は、円筒形をなす金属製の板材からなり、支持部材30の軸線は、鉛直方向を向き、処理槽20の螺旋の軸と合致している。支持部材30の下端縁は、溶接により基板12上に固着されている。支持部材30の上端縁は、処理槽20の螺旋経路に沿うように螺旋状に傾斜しており、この螺旋状の上端縁は、その全長に亘り、処理槽20を下支えするための載置部31となっている。載置部31は、螺旋状をなしているため、その最も低い端部最低位端部31Aと最も高い端部最高位端部31Bとの境界は、段差状をなしている。そして、支持部材30には、最低位端部31Aと最高位端部31Bとの境界部を、鉛直方向に切欠した形態のスリット32が形成されている。仕切板33は、平板状をなす金属材からなる。仕切板33は、その板面を鉛直方向に向けて、基板12の上面から立ち上がるように起立姿勢で配され、支持部材30のスリット32に嵌合されている。仕切板33と支持部材30とは溶接により固着され、仕切板33と基板12も溶接により固着されている。仕切板33を支持部材30に固着した状態では、仕切板33のうち径方向内側の領域が、支持部材30の内周面から径方向内側へ突出し、仕切板33のうち径方向外側の領域が、支持部材30の外周面から径方向外側へ突出している。図5~7に示すように、仕切板33には、その上端縁から下方へ切欠した形態の切欠部34が形成されている。切欠部34の下端部は半円弧形部35となっており、半円弧形部35の最下端は、最高位端部31Bと同じ高さとなっている。仕切板33のうち切欠部34よりも下方の領域は、隔壁部36となっている。切欠部34のうち半円弧形部35よりも上方の領域では、径方向の幅寸法が、上端から下端に至る全領域で一定寸法となっている。仕切板33のうち切欠部34の内側の縁部に沿った部分は、上方へ立ち上がる細長い内側支持部37となっており、仕切部のうち切欠部34の外側の縁部に沿った部分は、上方へ立ち上がる細長い外側支持部38となっている。基板12に対する処理槽20の取り付けは、次の手順で行われる。まず、図4に示すように、基板12の上面に支持部材30を溶接により固着する。このとき、基板12の上面にレーザーケガキ図示省略を施すことによって、支持部材30とスリット32を位置決めする。次に、図5に示すように、仕切板33を、支持部材30のスリット32に嵌合するように組み付けて、溶接により支持部材30と基板12に固着する。この後、図6に示すように、処理槽20のうち樋状部21弧状部22と内周壁部23と外周壁部24を支持部材30に組み付ける。このとき、樋状部21にはウレタン層28は形成されていない。樋状部21は、その弧状部22の最も低い底面部即ち、径方向において樋状部21の略中央部分を、樋状部21処理槽20の全長に亘って載置部31に載置する。また、樋状部21の上流端最も低い端部の端面を、仕切板33の隔壁部36に突き当てるとともに、樋状部21の下流端最も高い端部の端面を、仕切板33に突き当てることにより、樋状部21を支持部材30に対して周方向に位置決めする。このとき、樋状部21の下流端の端面は、切欠部34の開口縁半円弧形部35と内側支持部37と外側支持部38に沿うように配置される。位置決めされた状態で載置部31に載置された樋状部21は、溶接により、載置部31と仕切板33に固着される。樋状部21を固着した状態では、樋状部21の上流端部が、隔壁部36により、閉塞される。また、樋状部21の下流端は、切欠部34を介すことにより、上流端部よりも高い位置において上流端部と連通する。この後、図7に示すように、筒状部25を組み付ける。このとき、筒状部25は、樋状部21の内周壁部23の上端縁に載置することにより高さ方向に位置決めされるとともに、仕切板33の内側支持部37に当接させることにより周方向に位置決めされる。そして、位置決めされた筒状部25は、溶接により、内周壁部23と仕切板33に固着される。この後、筒状部25の上端縁に、フランジ26を溶接により固着する。上述のように、本実施形態の振動バレル研磨装置は、弾性的に支持された略水平な基板12と、基板12に振動を付与する振動モータ13と、軸線を略鉛直方向に向けた螺旋状の処理槽20と、処理槽20を基板12に固定して支持するための支持部材30とを備えたものであって、処理槽20を安定して支持するために、支持部材30を、単一部材とし、支持部材30には、処理槽20を載置することで処理槽20をそのほぼ全長に亘って下から支持する載置部31を形成した。この構成によれば、螺旋状の処理槽20は、そのほぼ全長に亘り、支持部材30の載置部31に載置された状態で支持されているので、処理槽20の形状と高さ方向の位置が、ほぼ全長に亘って安定する。また、振動モータ13から処理槽20に付与される振動は、支持部材30にも伝達するのであるが、図8,9に示すように、支持部材101が比較的変形を生じ易い平板状をなしている場合には、振動を受けた支持部材101が共振し、その結果、処理槽100の支持状態と振動状態が不安定となり、研磨処理が良好に行われなくなることが懸念される。この点に鑑み、本実施形態では、支持部材30を、全体として軸線が略鉛直方向を向く円筒状とし、支持部材30の上端縁を、螺旋状に傾斜した形態の載置部31とした。この構成によれば、支持部材30が全体として円筒状つまり湾曲した形状であるから、強度が高く、振動発生装置からの振動を受けても共振し難い。したがって、支持部材30の共振が原因となって処理槽20の支持状態や振動状態が不安定になる虞もない。また、処理槽20は、上面が開放された略半円弧形をなし、載置部31に載置された状態で固定された樋状部21と、樋状部21の内周側の側縁から、処理槽20のほぼ全長に亘って立ち上がる筒状部25とを備えて構成されている。この構成によれば、処理槽20が、下から支持部材30で支持されるのに加え、樋状部21の内周側の側縁が筒状部25で補強されるので、変形や共振等が防止される。また、処理槽20の内周にウレタン層28を形成する際には、処理層20の内周面と対向するように金型図示省略を配置し、その隙間に溶融ウレタン樹脂を流し込む方法がとられる。この場合、処理槽20内の空間の容積を大きく確保するためには、ウレタン層28を薄くする必要があるが、ウレタン槽28を薄くするためには、処理槽20の内周形状及び処理槽20の内周の高さ方向の位置に関して、高い精度が求められる。本実施形態1では、上述のように、処理槽20が、そのほぼ全長に亘り、支持部材30の載置部31に載置された状態で支持されているので、処理槽20の形状と高さ方向の位置が、ほぼ全長に亘って安定して、精度の高いものとなる。したがって、ウレタン層28を金型成形する際には、ウレタン層28の厚さを均一で且つ薄くすることができる。これにより、処理槽20の容積を大きく確保することができた。<他の実施形態>本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。1上記実施形態では、支持部材を、円筒状に湾曲した板状としたが、支持部材は、円柱形のブロック状であってもよい。2上記実施形態では、処理槽の内周縁を筒状部で支持したが、処理槽は、筒状部で支持しない形態としてもよい。3上記実施形態では、外周壁部の立ち上がり高さを全周全長に亘って一定としたが、外周壁部の立ち上がり高さは、全周全長に亘り、筒状部の高さと同じ高さに揃えても良い。この場合、ウレタン層の突出部は、図2と同じ高さに設けても良く、またウレタン層の突出部を設けなくても良い。4上記実施形態では、支持部材を単一部材としたが、支持部材は、周方向に分割された複数の湾曲した板材を溶接等によって一体化結合させた形態であってもよく、周方向に分割した複数の湾曲した板材を、互いに非結合状態で並べた形態であってもよい。"