ケースと、該ケース内に配置されて駆動手段によって所定回転角で揺動するロータと、該ロータを前記ケース内で支持すると共にこの揺動力を外部に軸回転として出力させる出力シャフトと、前記ケースの内側に配置して前記ロータの運動行程を規定するストッパと、前記ケースの外側に配置して該ケースと外部の取付機器とを係合する係合手段と、から成るロータリーアクチュエータにおいて、前記ストッパと前記係合手段に一体成形した緩衝部材を一連に配置したことを特徴としたロータリーアクチュエータの防振機構。緩衝部材の配置が、前記ストッパの当接部と前記係合手段の当接部とを一連に覆う構成であることを特徴とした請求項1記載のロータリーアクチュエータの防振機構。緩衝部材の配置が、前記ストッパと前記係合手段のいずれか一方側を緩衝部材の成形体で形成すると共に、該成形体と一体に成形した緩衝部材で他方側の当接面を覆う構成であることを特徴とした請求項1記載のロータリーアクチュエータの防振機構。緩衝部材の配置が、前記ストッパと前記係合手段の両方を緩衝部材で一体成形した構成であることを特徴とした請求項1記載のロータリーアクチュエータの防振機構。これらアクチュエータは、取り付け対象となる産業機器類、例えば、ATM装置、プリンタ装置、コピー機、FAX装置、等以下、取付機器と称する。の駆動源として組み込まれるものである。一般的にこの組み込みは、取付機器のフレームへ取付手段を介して行われている。図6に示すように、出力シャフトの周囲に成形したボスa1を、取付機器のフレームfの貫通口f1に嵌合させる構成もその一例である。また、アクチュエータは、揺動時の反動によりフレームに対してアクチュエータ自体が回転することを抑えるため、緩衝部材例えば、バネやゴム等の緩衝部材を介した係合手段を設けていた。例えば、図6に示すように、フレーム側に成形した爪部f2を、アクチュエータaに配置した緩衝部材を備えた係合部a2に係止する構成がある。従来のアクチュエータは、この係合手段がケースの外側に配置する構成である一方、内部にはロータの運動工程を規定するストッパを配置する構成であるため、それぞれ独立して緩衝部材を配置する必要があった。しかし、このような別個独立した配置構成では、部品の小型化の要請において十分な衝撃吸収を確保できなくなる恐れがあった。すなわち、アクチュエータの小型化により全体の重量も低下するため、慣性力も小さくなって緩衝部材への衝撃力が小さくなると思われるが、実際は緩衝部材の配置領域がますます狭小となることに加えて、近年の高磁束密度の磁石の普及により小型でも高出力のアクチュエータが出現してきており、慣性力はむしろ大きくなる傾向にあった。そのため、小容積の緩衝部材では十分な衝撃力の吸収ができ難くなるという問題があった。また、当然にアクチュエータの小型化においても、組立性、信頼性、及び耐久性の向上は、不断の要請であった。そこで、本願発明は上記課題に着目し、アクチュエータ駆動時の振動の抑制を向上させると共に、全体構造の簡略化にも寄与するアクチュエータの防振機構の提供を目的とする。上記目的を実現するため、本願発明に係るアクチュエータの防振機構は、以下のように構成している。すなわち、ケースと、該ケース内に配置されて駆動手段によって所定回転角で揺動円心揺動するロータと、該ロータを前記ケース内で支持すると共にこの揺動力を外部に出力させる出力シャフトと、前記ケースの内側に配置して前記ロータの運動行程を規定するストッパと、前記ケースの外側に配置して該ケースと外部の取付機器とを係合する係合手段と、から成るアクチュエータにおいて、前記ストッパと前記係合手段に一体成形した緩衝部材を一連に配置したことを特徴としている。ここで、ストッパとは、ロータの行程上に配置した当接要素であり、係合手段とは、取付機器のフレームと螺合又は嵌合して能動的に揺動するロータの反動力に対抗するための要素である。例えば、取付機器のフレームに成形した凹部又は凸部に、貫入、螺合、又は嵌合させるためにアクチュエータ側に設けた突起体や開口部などの要素である。また、緩衝部材の材質は、ロータの揺動による部材に急激な当接衝突した場合に生じる押圧力を吸収又は減衰させる機能を発揮し得る部材、例えば、ゴム質材、発泡質材、ジェル質材、など公知の技術水準を基に適宜に選択又は組み合わせて用いられるものである。この衝突は揺動サイクルにしたがって繰り返し起こり、振動となって緩衝部材やケース、取付機器に伝達される。そのため、この緩衝部材は、衝撃吸収性と共に高い復元性を有する弾力性材が好適である。なお、この係合手段は、取付機器からアクチュエータ側へ及ぼす反動力の抑止にあるため取付機器への取付手段又は固定手段とは、別個に構成されるものであるが、これに限らず取付手段と係合手段を兼ねる一体構造体としても良い。例えば、図示は省略するが、係合を螺合して結合することによってアクチュエータ自体を保持する構成としても良い。次に、請求項2で特定する上記緩衝部材の配置は、前記ストッパの当接部と前記係合手段の当接部とを一体成形体で一連に覆う構成である。すなわち、これはストッパと係合手段とはそれぞれ別個に形成するが、それらの当接部に配置する緩衝部材を一体成形体としたものである。ここでストッパの当接部とは、ロータと接触するストッパの部位を意味する。また、係合部手段の当接部とは、上記構成の係合手段が取付機器と係わり合って接触する部位を意味するものである。また、請求項3で特定する上記緩衝部材の配置は、前記ストッパと前記係合手段のいずれか一方を緩衝部材の成形体で形成すると共に、該成形体と一体に成形した緩衝部材で他方側の当接面を覆うことを特徴とした構成である。ここで、当接部を覆うとは、ストッパ又は係合手段の全体表面を覆う構成はもちろんのこと、これに限らずストッパ又は係合手段の一部の表面である当接部の部位のみを覆う構成としても良いことを意味する。すなわち、緩衝部材で覆うのは、ストッパ及び係合部の少なくとも当接部であること意味する。また、請求項4で特定する上記緩衝部材の配置は、前記ストッパと前記係合手段の両方を緩衝部材で一体成形した構成である。すなわち、上記請求項2、及び請求項3で特定した構成のように当接部を緩衝部材で覆うのではなく、ストッパ機能と係合手段機能とを兼ね備えるように構成した機素自体を緩衝部材で成形したものである。なお、一般的にアクチュエータの駆動手段の動力源には、電磁力、油圧、空圧、等があり、これらの各方式を用いたアクチュエータにおいても本願の発明を適用することができることはもちろんであるが、特に、本願発明は、電磁力による回転揺動において好適である。電磁力によってロータを回転揺動させるための基本的構成は、ロータ側に配置した永久磁石による固定磁界と、対向配置した電磁コイルからの磁力と磁界の繰り返しの変更によって電磁相互作用を利用して揺動させる構成である。本願発明にかかるアクチュエータの防振機構は、以上のように構成しているため、次のような効果を奏する。すなわち、請求項1の構成によれば、緩衝部材を一連一体なものとして形成しているため、ストッパの当接により発生する衝撃波と係合手段の当接への反動によって発生する衝撃波とが同一体の緩衝部材内を伝播することになり、その互いの衝撃波が干渉して減衰又は相殺させる効果が期待できる。敷衍すると、能動的に揺動するアクチュエータからの衝撃の発生時点は、往復行程の折り返し点、すなわちロータのストッパへの衝突時である。そして、この衝突によるストッパからの反作用力が、ロータからケースを介して係合手段へ伝播して行き、係合手段から緩衝部材へ急速な押圧力となって作用することとなる。これが繰り返し起きることにより、特定振幅の振動となる。別言すると、ストッパへの衝突時の急速な撓みによる衝撃波の発生時と、上記反作用力の係合手段への伝達による衝撃波の発生時は、略同時伝達距離が短いために起きると見ることができる。そして、この撓みが同一体内の離隔2点間で同時に生じることによって、それぞれの点から発生した2個の衝撃波が打ち消し合ったり干渉したりして、相殺又は減衰させるものと想定できる。かかる想定のもと、本願発明にかかる緩衝部材は、従来構成に比べて、はるかに防振性、吸振性、又は消振性を発揮する効果を有するものである。また、従来は別個に配置していたストッパの緩衝部材と係合手段の緩衝部材を一体成形体としたため、従来との比較で緩衝部材の容積を大きくすることができ、それだけ効果的な振動の減衰緩和が期待できる。さらに、部品小型化の要請においても、緩衝部材のアクチュエータ全体に占める割合を大きくすることができ、より振動の減衰性と吸収性を高めることができる。別言すると、アクチュエータの小型化により質量や慣性力も小さくなる中、緩衝部材の占める割合が大きくなり、それだけ振動の吸収効率が高まるという効果が期待できる。さらにまた、一体成形体とすることは、緩衝部材を外側から内側に臨むように進入させてストッパの当接部を構成することができるため、精度を要するロータとケースとの組み付け後に、ケースの外側から緩衝部材を配置することができる効果がある。このことは、組み付け精度を高めることに役立つと共に、緩衝部材の交換や材質交換が容易となり、アクチュエータの耐久性や保守管理性を高めることができる。もちろん、一体成形体とすることは、部品点数の低減に繋がり、迅速な組み付けによる製造サイクルの短縮が図れることとなり、部品コストや生産コストの低減にも寄与するものである。以下に、本願発明にかかる防振機構を配置したアクチュエータの実施例1及び2について、それぞれ図面に基づき詳細に説明する。まず、実施例1にかかるアクチュエータ1Aについて説明する。アクチュエータ1Aは、取付機器のフレームfと係合する係合手段としての突起体23を備えたケース2と、該ケース2の内部側に配置して駆動手段の構成要素となる電磁コイル3と、該電磁コイル3と所定ギャップをもって対面させた永久磁石52を内包したロータ5と、該ロータ5を片持ち状に支点支持とすると共にロータ5の揺動力を外部に軸出力させる出力シャフト4と、前記ロータ5の運動工程を規定するストッパ61と、及び該ストッパと前記係合手段とに一体として配置した緩衝部材6、とから構成している。図示するケース2は、上方開放紙面上方向の有底筒状の本体21と、該本体21の上方開放の開口と適合する蓋板22とから成り、この蓋体22の閉塞により内部空洞を有する封止した箱状に構成している。該蓋体22には、前記出力シャフト4が貫通する貫通口25と、前記突起体23の周囲の一部を溝状に切り欠いて貫通させたスリット24を形成している。また、貫通口25の縁部周囲を環状に盛り上げて、取付機器のフレームfの貫通口f3と嵌合するボス22aを成形している。前記出力シャフト4の貫通位置と対向したケース2の本体21の側壁21aには、2個の矩形柱状の突起体23、23を所定間隔もって対向させて立設配置している。この突起体23は、取付機器のフレームfとの係合手段となるものであり、その側周囲を緩衝部材6で覆っている。この突起体23の基部の周囲には、蓋板22及び側壁21aに形成した切欠き溝26と、これと連なり貫通してケース内に通じるスリット24を成形している。ケース本体21の底面21bに内側には、その上面の中央付近に所定高さの円柱状の電磁コイル3を配置しており、この電磁コイル3と干渉しない位置には、出力シャフト4を立設状に配置している。該出力シャフト4は、アクチュエータ1Aの出力軸となるものであり、蓋板22とは回動自在に構成している。なお、本実施例では、出力シャフト4をケース外部に延出させた凸部としているが、これを延出させずに凹部状の嵌入部図示省略。としても良い。この場合、この嵌入部には取付機器の入力軸を嵌入して駆動力の継手としている。さらに、出力シャフト4には、厚肉盤状のロータ5を片持ち状にして取り付けている。このロータ5には、図3に示すように正面視において略六角形の形状を成し、その形状の1角部に取り付けた出力シャフト4の位置から対向した位置にケース側壁21aの方向に突出させた当接体51を一体形として形成している。また、このロータ5には、前記電磁コイル3との対面側に永久磁石52を内包させ、かつその背面側にバックヨーク53を配置している。かかる構成により、ロータ5は、電磁コイル3と永久磁石52との電磁相互作用により所定回転角で能動的に揺動し、この揺動力が出力シャフト4から出力として外部へ供給される。次に、本願発明の主眼となる緩衝部材6について説明する。緩衝部材6は、対向した2個の矩形筒状の当接部62、62と、これら当接部62どうしを連結する帯状の連結部63と、及び各当接部62の下部外側からそれぞれ垂下状に延びかつ前記連結部63の延長方向と直角でかつ反対方向出力シャフト4の配置方向に延設させた板状のストッパ61との各部位から構成し、かつそれらの部位を一体形として形成している。本実施例においては、この緩衝部材6は、振動や衝撃を緩和又は吸収する機能のあるゴム質の部材以下、防振ゴムと略称する。で形成している。このように形成した緩衝部材6の配置は、本体21を蓋板22で閉じた状態で、筒状の当接部62を、突起体23に上方から環装するようにして装着する。この時、連結部63は、ケース本体21の側壁21bの出力シャフト4の反対方向に形成した平面壁21cと略密着すると共に切欠き溝26に適合して適切に保持されるこことなる。また、この装着によりストッパ61は、スリット24の間隙からケース2内に挿入して所定位置で保持される。これにより、スリット24にストッパ61が適合してケース2は封止される。図示する突起体23は、アクチュエータの取付機器への取り付けにおいて、フレームfの係合口f3に適合嵌入する。これにより、ロータ5の回転運動の反動力によって、アクチュエータ1Aがフレームfに対して相対回転することを阻止している。係合手段としての突起体23は、上記のようにして緩衝部材6を取り付けることにより、突起体23の当接部23aが緩衝部材6で覆われることになる。このことは突起体23と取付機器のフレームfとの直接接触がなくなって、緩衝部材6が介在物となってロータ5からの反動力ロータの回転方向とは逆方向の回転力の伝達を和らげることになる。また、ケース2の内部に進出して所定位置に配置したストッパ61は、前記ロータ5の当接体51と衝突してロータ5の運動工程を規制する。それと共に緩衝部材6で形成しているため、衝突時の衝撃を緩和又は吸収することとなる。なお、ストッパとして機能する緩衝部材6を構成するストッパ61は、その配置仕様については、所望するロータ5の回転揺動角と、ロータ5に対する当接体51の配置構成1点配置か、2点配置かにより適宜に設定されるものである。さらに、ケース2の出力シャフト周囲に形成したボス22aは、図4に示すように、突起体23及び当接体62と同様に取付機器のフレームfと係合する形態である。このボス22aがアクチュエータ1Aの全体の取付け保持及び位置決めを行っている。一方、係合手段を構成する突起体23及び緩衝部材6は、上述のようにアクチュエータ1Aへの反動による相対的回転を防止すると共に防振手段として機能している。本願発明にかかるアクチュエータ1Aは、上記の緩衝部材6を配置することにより、従来はストッパ61の緩衝部材とは別途に設ける必要があった突起体23の緩衝部材を、一体成形して用いることができるだけでなく、剛性材となるストッパ自体を省略可能としている。ここで、上記構成のアクチュエータ1Aの駆動手段の基本的な構成について説明する。このアクチュエータ1Aの駆動手段は、一般的な技術であり、上記本出願人が既に開示している特許文献1によってもその詳細を明らかにしているため、詳細は省略する。本実施例で用いる構成の概略は、以下の通りである。アクチュエータ1Aは、無通電状態の場合には、ロータ5が一方側の永久磁石52と電磁コイル3のコア図示省略との磁気吸引作用、及びストッパ61による規制とが相俟って停止状態を維持している。次に、この電磁コイル3に通電すると、電磁コイル3が励磁して磁気力を発生して、コアに吸引していた永久磁石52の磁気力を越えた段階で反発力となってロータ5は反対方向に移動する。この電磁コイル3への通電の継断が、ロータ5の往復運動を促し、揺動となって出力シャフト4から回転揺動力として出力される。次に、実施例2であるアクチュエータ1Bについて説明する。なお、実施例1のアクチュエータ1Aと同機能を有する構成要素については、同一符号を用いてその詳細な説明は省略する。図5として示すアクチュエータ1Bは、実施例1のアクチュエータ1Aの変形例であり、ケース2b、ロータ5b、及び緩衝部材6bを異なる構成としている。アクチュエータ1Bで用いる緩衝部材6bは、上記のストッパとしての機能と係合手段としての機能を兼ね備えた仕様でブロック状に一体成形体として成形したものである。該ブロック状の緩衝部材以下、ブロック体と称する。6bは、矩形体を成し、ケース2の側壁21aの出力シャフト4の対向位置であって、かつ後述する当接体51bの移動軌跡と干渉する位置に配置している。該ブロック体6bの略中央部には、出力シャフト4の軸方向と略平行な嵌入穴64を、所定深さをもって開設している。なお、この嵌入穴64の形態は、貫通口でも良く又は有底穴であっても良い。さらに図示は省略するが、取付機器への取付仕様よっては、雌ネジ状やワンウェイの嵌合受け状に構成しても良い。またブロック体6bには、その図面上正面視において嵌入穴64の両側の肩部65を形成している。また、ケース2び内部には、実施例1と同様に出力シャフト4によって片持ち支持されたロータ5bを配置している。このロータ5bには出力シャフト4を中心とする放射方向又はケース2の側壁21a方向に延びる当接体51bを所定の離隔間隔をもって2個を突出させた状態で一体成形している。このように構成した実施例2のブロック体6bは、その嵌入穴64が取付機器のフレームfから折り曲げ突出させた爪部f2を受け入れ係合し、揺動の反動によるアクチュエータ1Bの相対的回転揺動を阻止すると共に、その両肩部65、65がロータ5bに離隔配置した2個の当接体51b、51bと交互に当接してストッパとして機能する。これによりロータ5bの揺動時の回転角、すなわち揺動時の往復行程が規定される。この結果、ブロック体6bは緩衝部材で形成しているため、当接体51bの当接時の衝撃力及びその反動により爪部f2から衝撃力を減衰又は緩和させることができる。上記構成によりブロック体6bは、一体成形体でストッパと係合手段を備えることができ、小型であっても効果的な緩衝部材の十分な緩衝領域を確保することができる。また部品点数も低減されて組立性、耐久性、信頼性が向上することに加え、部品コストや生産コストの低減等の経済的効果も期待できるものである。