"Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶媒を含有し、前記Aチタンブラック粒子を含む被分散体がSi原子を含み、該被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.05以上であるウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物。前記A被分散体がシリカ粒子を含む請求項1に記載のウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物。前記A被分散体の平均粒径が10nm~45nmである請求項1または請求項2に記載のウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物。前記B分散剤が、グラフト共重合体である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物。前記グラフト共重合体が、下記式1~式4で表される構造単位から選択された1種以上の構造単位を含む請求項4に記載のウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物。式1~式4において、W1、W2、W3、及びW4はそれぞれ独立に酸素原子或いはNHを表し、X1、X2、X3、X4、及びX5はそれぞれ独立に水素原子或いは1価の有機基を表し、Y1、Y2、Y3、及びY4はそれぞれ独立に2価の連結基を表し、Z1、Z2、Z3、及びZ4はそれぞれ独立に1価の有機基を表す。R3は分岐又は直鎖のアルキレン基を表し、R4は水素原子又は1価の有機基を表す。n、m、p、及びqはそれぞれ独立に1から500の整数を表す。j及びkはそれぞれ独立に2~8の整数を表す。式3において、pが2~500のとき、グラフト共重合体中に複数存在するR3は互いに同じであっても異なっていてもよい。式4において、qが2~500のとき、グラフト共重合体中に複数存在するX5及びR4は互いに同じであっても異なっていてもよい前記グラフト共重合体が、前記式1~式4のいずれかで表される構造単位を、該グラフト共重合体の総質量に対し質量換算で、10~90の範囲で含む請求項5に記載のウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物。請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のチタンブラック分散物、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤を含有するウエハレベルレンズ用感光性樹脂組成物。前記E光重合開始剤がオキシム化合物である請求項7に記載のウエハレベルレンズ用感光性樹脂組成物。基板上に存在するレンズの周縁部に、請求項7又は請求項8に記載の感光性樹脂組成物を硬化して得られた遮光膜を有するウエハレベルレンズ。前記遮光膜がスピンコート法により形成された請求項9に記載のウエハレベルレンズ。請求項9又は請求項10に記載のウエハレベルレンズを備えた固体撮像素子。従来の遮光性組成物は、ウエハレベルレンズにおける遮光性の領域遮光膜の形成に用いた場合、遮光膜の形成時に発生した残渣物がレンズの上又はその近傍に残留してしまう傾向があった。当該残渣物は、レンズの光透過率の低下などに影響を及ぼし、問題となっていたが、未だ改善されていないのが現状である。本発明は、上記従来の状況に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明の目的は、ウエハレベルレンズが備える遮光膜の形成に用いられ、遮光膜の形成領域外における感光性組成物由来の残渣物を低減しうるウエハレベルレンズ用感光性樹脂組成物、及び該感光性樹脂組成物に用いるウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物を提供することにある。また、本発明の更なる目的は、遮光膜近傍における光の散乱又は透過率の低下を抑制しうるウエハレベルレンズ、及び該ウエハレベルレンズを備えた固体撮像素子を提供することにある。前記課題を解決するための手段は以下の通りである。<1>Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶媒を含有し、前記A被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.05以上であるウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物。<2>前記<1>に記載のチタンブラック分散物、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤を含有するウエハレベルレンズ用感光性樹脂組成物。<3>基板上に存在するレンズの周縁部に、<2>に記載の感光性樹脂組成物を硬化して得られた遮光膜を有するウエハレベルレンズ。<4>前記<3>に記載のウエハレベルレンズを備えた固体撮像素子。本発明によれば、ウエハレベルレンズが備える遮光膜の形成に用いられ、遮光膜の形成領域外における感光性組成物由来の残渣物を低減しうるウエハレベルレンズ用感光性樹脂組成物、及び該感光性樹脂組成物に用いるウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物を提供することができる。また、本発明によれば、遮光膜近傍における光の散乱又は透過率の低下を抑制しうるウエハレベルレンズ、及び該ウエハレベルレンズを備えた固体撮像素子を提供することができる。以下、本発明のウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物、それを含有する感光性樹脂組成物、及びウエハレベルレンズについて詳細に説明する。本明細書において、ウエハレベルレンズは、撮像ユニットに備えられるレンズであって、基板上に存在する個々のレンズと該レンズの周縁部に設けられた遮光膜とからなるものを意味する。また、該ウエハレベルレンズからなる群をウエハレベルレンズアレイと称する。<ウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物、及びそれを含有する感光性樹脂組成物>本発明のウエハレベルレンズ用チタンブラック分散物以下、単にチタンブラック分散物とも称する。は、Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶媒を含有し、前記被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Ti:質量比、以下同様が0.05以上である。また、本発明のウエハレベルレンズ用感光性樹脂組成物以下、単に感光性樹脂組成物とも称する。は、本発明のチタンブラック分散物、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物である。即ち、本発明の感光性樹脂組成物は、本発明のチタンブラック分散物を構成する、Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶媒を含有し、更に、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤を含有するものであって、且つ、前記Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.05以上であるものである。本発明のチタンブラック分散物及び感光性樹脂組成物は、ウエハレベルレンズにおける遮光膜の形成に用いられる。以下、本発明のチタンブラック分散物又は感光性樹脂組成物に含有される各成分について順次説明する。Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体本発明のチタンブラックを含む被分散体は、チタンブラック粒子を含有する。該チタンブラック粒子は、分散物中において被分散体として含有されるものであり、本発明においてはA被分散体はチタンブラック粒子とSi原子を含み、該被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが質量換算で0.05以上であることを要する。ここで、本発明におけるチタンブラック粒子を含む被分散体は、チタンブラック粒子が一次粒子の状態であるもの、凝集体二次粒子の状態であるものの双方を包含する。なお、本発明における被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiは、0.5を超えると被分散体を使用した顔料分散液の製造が困難になるため、その上限は0.5であることが好ましい。また、被分散体のSi/Tiが小さすぎると、本発明における被分散体を使用した遮光膜を光リソグラフィー等によりパターニングした際に、除去部に残渣が残りやすくなり、被分散体のSi/Tiは大きすぎると遮光能が低下するため、被分散体のSi/Tiは、0.05以上0.5以下であることがより好ましく、0.07以上0.4以下であることが更に好ましい。被分散体のSi/Tiを0.05以上とするためには、以下のような手段を用いることができる。被分散体のSi/Tiが0.05以上のチタンブラックは、酸化チタンとシリカ粒子とを分散機を用いて分散することにより分散物を得て、この混合物を高温例えば、850~1000°Cにて還元処理することにより、チタンブラック粒子を主成分とし、SiとTiとを含有する被分散体を得ることができる。ここで、被分散体のSi/Tiを0.05以上とするための具体的な態様について説明する。Si/Tiが0.05以上であるチタンブラックは、例えば、特開2008-266045公報の段落番号00056及び同段落番号0016~0021に記載の方法により作製することができる。また、本発明の感光性樹脂組成物は、本発明のチタンブラック分散物に由来するAチタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体を含有する。該感光性樹脂組成物及びこれを硬化して得られた硬化膜遮光膜中に含有されるAチタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体についても、その被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.05以上であり、その好ましい範囲についても、上述と同様である。本発明においては、Aチタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.05以上であることで、この被分散体を含む本発明の感光性樹脂組成物を用いて遮光膜を形成した際に、遮光膜の形成領域外における感光性組成物由来の残渣物が低減される。なお、残渣物は、チタンブラック粒子、樹脂成分等の感光性組成物に由来する成分を含むものである。残渣物が低減される理由は未だ明確ではないが、上記のような被分散体は小粒径となる傾向があり例えば、粒径が30nm以下、更に、この被分散体のSi原子が含まれる成分が増すことにより、膜全体の下地との吸着性が低減され、この被分散体を含む本発明の感光性樹脂組成物では、遮光膜の形成における未硬化の感光性樹脂組成物特に、チタンブラック粒子の現像除去性向上に寄与すると推測している。また、チタンブラック粒子は、紫外から赤外までの広範囲に亘る波長領域の光に対する遮光性に優れることから、本発明のチタンブラック分散物又は感光性樹脂組成物を用いて形成された遮光膜は優れた遮光性を発揮する。本発明のチタンブラック分散物又は感光性樹脂組成物に含有される被分散体について、その被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.05以上か否かを判断するには、下記に示す方法1-1又は方法1-2を用いる。<方法1-1>チタンブラック分散物又は感光性樹脂組成物を、酸素雰囲気中で加熱処理し、Aチタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体を取り出した。チタンブラック分散物又は感光性樹脂組成物を、20mg秤量し、ここに、HF0.1mL、HNO310aq.1mL、H2SO45aq.1mL、及びHCL3aq.1mLを添加し、マイクロウェーブ溶解を行った。この時の液温は180°Cであった。その後、この混合液に、H2Oを100mlになるまで加え、これをICP-OESAttom、商品名:SII社製に供し、元素分析を行う。得られた結果より、Si/Tiの質量比を算出する。<方法1-2>チタンブラック分散液又は感光性樹脂組成物を、小型ロータリーキルン株式会社モトヤマ製を用いて酸素雰囲気中で700°Cに加熱し、30分間保持した後に冷却し、粉体を2g得て、得られた粉体を厚さ0.2mmのタングステン板上にのせ、これを、電子線加熱機構を具備した真空チャンバ内に設置し、真空度を10-5Torr以下として電子線加熱により1000°Cで30秒加熱処理する。加熱処理した粉体について、電界放出型走査電子顕微鏡S-4800商品名、日立テクノロジーズ社製及び、エネルギー分散型蛍光X線検出器INCAEnergyPentaFETx3商品名、Oxford社製を用いて、Si原子量、Ti原子量を求め、Si/Ti比を算出する。また、本発明の感光性樹脂組成物を硬化して得られた硬化膜遮光膜に含有される被分散体について、その被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.05以上か否かを判断するには、下記に示す方法2を用いる。<方法2>遮光膜が形成された基板を割ることで、遮光膜の断面を作製し、この断面についてエネルギー分散型蛍光X線分析装置により、遮光膜表面におけるSi原子量とTi原子量を得ることができる。これらの量比を、遮光膜中のSi/Tiとして評価する。この際のエネルギー分散型蛍光X線分析としては、前記の走査型電子顕微鏡として日立ハイテクノロジー社製S-4800商品名、及び、エネルギー分散型蛍光X線検出器としてOxford社製INCAEnergyPentaFETx3商品名を同様に用いることができる。以下、A被分散体に含まれるチタンブラック粒子について、更に詳細に説明する。本発明においてチタンブラック粒子とは、チタン原子を有する黒色粒子であり、好ましくは低次酸化チタンや酸窒化チタン等の黒色粒子である。チタンブラック粒子は、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、粒子表面を修飾することが可能である。粒子表面の修飾としては、例えば、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム等で被覆処理が可能であり、また、特開2007-302836号公報に示されるような撥水性物質での処理も可能である。チタンブラック粒子の市販品の例としては、チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M-C、13R、13R-N、13M-T商品名:以上、三菱マテリアル株製、ティラックTilackD商品名:赤穂化成株製などが挙げられる。チタンブラック粒子の製造方法としては、二酸化チタンと金属チタンの混合体を還元雰囲気で加熱し還元する方法特開昭49-5432号公報に記載の方法、四塩化チタンの高温加水分解で得られた超微細二酸化チタンを、水素を含む還元雰囲気中で還元する方法特開昭57-205322号公報に記載の方法、二酸化チタン又は水酸化チタンをアンモニア存在下で高温還元する方法特開昭60-65069号公報、特開昭61-201610号公報に記載の方法、二酸化チタン又は水酸化チタンにバナジウム化合物を付着させ、アンモニア存在下で高温還元する方法特開昭61-201610号公報に記載の方法などがあるが、これらに限定されるものではない。本発明に適用されるチタンブラック粒子としては、個々の粒子の一次粒径及び平均一次粒径のいずれもが小さいものであることが好ましい。具体的には、平均一次粒径で10nm~45nmの範囲のものが好ましく、より好ましくは12nm~20nmの範囲である。なお、本発明における粒径、即ち、粒子直径とは、粒子の外表面の投影面積と等しい面積をもつ円の直径である。粒子の投影面積は、電子顕微鏡写真での撮影により得られた面積を測定し、撮影倍率を補正することにより得られる。本発明のチタンブラック分散物及び感光性樹脂組成物は、チタンブラック粒子を1種のみを含有するものであってもよく、2種以上を含有してもよい。また、本発明の効果を損なわない限りにおいて、チタンブラック粒子と共に、分散性、着色性等を調整する目的で、Cu、Fe、Mn、V、Ni等の複合酸化物、酸化コバルト、酸化鉄、カーボンブラック、アニリンブラック等からなる黒色顔料を、1種又は2種以上を組み合わせて、被分散体として併用してもよい。この場合、全被分散体中の50質量以上をチタンブラック粒子からなる被分散体が占めることが好ましい。また、後述するように、遮光性の調整等を目的として、本発明の効果を損なわない限りにおいて、チタンブラック粒子と共に、他の着色剤有機顔料や染料などを所望により併用してもよい。チタンブラック分散物中のチタンブラック粒子の含有量は、分散物の全質量に対し、5質量~60質量であることが好ましく、10質量~50質量であることが更に好ましい。また、感光性樹脂組成物中のチタンブラック粒子の含有量は、組成物の全質量に対し、2.5質量~30質量であることが好ましく、5質量~20質量であることが更に好ましい。本発明においては、チタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体中のSi原子とTi原子との質量換算による含有比Si/Tiが質量換算で0.05以上であることを要する。以下、被分散体にSi原子を導入する際に用いられる材料について述べる。被分散体にSi原子を導入する際には、シリカなどのSi含有物質を用いればよい。本発明に用いうるシリカとしては、沈降シリカ、フュームドシリカ、コロイダルシリカ、合成シリカなどを挙げることができ、これらを適宜選択して使用すればよい。シリカは市販品としても入手可能であり、例えば、新日鉄マテリアルズ製、HS-101,HS-102,HS-103,HS-104,HS-105,HS-106,HS-107,HS-201,HS-202,HS-203,HS-204,HS-205,HS-301,HS-302,HS-303,HS-304,HS-305商品名;宇部日東化成製、ハイプレシカSS,ハイプレシカTS,ハイプレシカBS,ハイプレシカSP,ハイプレシカFQ商品名;キャボット製、CAB-O-SIL登録商標LM-150,CAB-O-SIL登録商標LM-150,CAB-O-SIL登録商標S-17Dなどのシリカ粒子を用いることができる。さらに、シリカ粒子の粒径が本発明による遮光膜を形成した際に膜厚と同程度の粒径であると遮光性の低下を引き起こすため、シリカ粒子として微粒子タイプのシリカを用いることが好ましい。微粒子タイプのシリカの例としては、例えば、AEROSIL登録商標90,AEROSIL登録商標130,AEROSIL登録商標150,AEROSIL登録商標200,AEROSIL登録商標300,AEROSIL登録商標380,AEROSIL登録商標OX50,AEROSIL登録商標EG50,AEROSIL登録商標TT600,AEROSIL登録商標200SP,AEROSIL登録商標300SP,AEROPERL登録商標300/30,AEROSIL登録商標R972,AEROSIL登録商標R974,AEROSIL登録商標R104,AEROSIL登録商標R106,AEROSIL登録商標R202,AEROSIL登録商標R805,AEROSIL登録商標R812,AEROSIL登録商標R812S,AEROSIL登録商標R816,AEROSIL登録商標R7200,AEROSIL登録商標R8200,AEROSIL登録商標R9200,AEROSIL登録商標MOX80,AEROSIL登録商標MOX170,AEROSIL登録商標COK84,AEROSIL登録商標RY50,AEROSIL登録商標NY50,AEROSIL登録商標RY200,AEROSIL登録商標RY200,AEROSIL登録商標RX50,AEROSIL登録商標NAX50,AEROSIL登録商標RX200,AEROSIL登録商標RX300,AEROSIL登録商標R504,AEROPERL登録商標300/30,VPAEROPERL登録商標P25/20M05;触媒化成製S6、MA1004商品名、以下同様、MA1006、MA1010、MA1013、MX030W、MX050W、MX100W、KE-E30、KE-E40、KE-E50、KE-E70、KE-E150、KE-P10、KE-P30、KE-P50、KE-P100、KE-P150、KE-P250;新日鉄マテリアルズ製HS-101商品名、以下同様、HS-102、HS-103、HS-104、HS-105、HS-106、HS-107、HS-201、HS-202、HS-203、HS-204、HS-205、HS-301、HS-302、HS-303、HS-304、及びHS-305;宇部日東化成製、ハイプレシカSS商品名、以下同様、ハイプレシカTS、ハイプレシカBS、ハイプレシカSP、及びハイプレシカFQ;キャボット製、CAB-O-SIL登録商標、以下同様LM-150、CAB-O-SILLM-150、及びCAB-O-SILS-17Dなどを用いることができるがこれらに限定されない。B分散剤本発明のチタンブラック分散物及び感光性樹脂組成物はB分散剤を含有する。本発明におけるB分散剤としては、高分子分散剤例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリメタアクリレート、メタアクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、及び顔料誘導体等を挙げることができる。本発明におけるB分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及びブロック型高分子に分類することができる。本発明におけるB分散剤は、チタンブラック粒子及び所望により併用する顔料等の被分散体の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、本発明におけるB分散剤は被分散体の表面を改質することで、分散樹脂の吸着を促進させる効果を有する。本発明に用いうるB分散剤の具体例としては、BYKChemie社製Disperbyk-101商品名、ポリアミドアミン燐酸塩、107商品名、カルボン酸エステル、110商品名、酸基を含む共重合物、130商品名、ポリアミド、161、162、163、164、165、166、170、180商品名、高分子共重合物、BYK-P104、P105商品名、高分子量不飽和ポリカルボン酸、EFKA社製EFKA4047、4050、4010、4165商品名、ポリウレタン系、EFKA4330、4340商品名、ブロック共重合体、4400、4402商品名、変性ポリアクリレート、5010ポリエステルアミド、5765商品名、高分子量ポリカルボン酸塩、6220商品名、脂肪酸ポリエステル、6745商品名、フタロシアニン誘導体、6750商品名、アゾ顔料誘導体、味の素ファインテクノ株製アジスパーPB821、PB822、共栄社化学株製フローレンTG-710ウレタンオリゴマー、ポリフローNo.50E、No.300商品名、アクリル系共重合体、楠本化成株製ディスパロンKS-860、873SN、874、2150商品名、脂肪族多価カルボン酸、7004ポリエーテルエステル、DA-703-50、DA-705、DA-725、花王株製デモールRN、N商品名、ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物、デモールMS、C、SN-B商品名、芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物、ホモゲノールL-18商品名、高分子ポリカルボン酸、エマルゲン920、930、935、985商品名、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、アセタミン86ステアリルアミンアセテート、ルーブリゾール社製ソルスパース5000フタロシアニン誘導体、22000商品名、アゾ顔料誘導体、13240ポリエステルアミン、3000、17000、27000商品名、末端部に機能部を有する高分子、24000、28000、32000、38500グラフト型高分子、日光ケミカル者製ニッコールT106ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート、MYS-IEX商品名、ポリオキシエチレンモノステアレート等が挙げられる。また、川研ファインケミカル株製ヒノアクトT-8000Eなどの両性分散剤も挙げられる。これらのB分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。B分散剤の酸価は、5.0mgKOH/g以上200mgKOH/g以下の範囲であることが好ましく、より好ましくは10mgKOH/g以上150mgKOH/g以下の範囲であり、更に好ましくは60mgKOH/g以上150mgKOH/g以下の範囲である。B分散剤の酸価が200mgKOH/g以下であれば、遮光膜を形成する際の現像時におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。また、B分散剤の酸価が5.0mgKOH/g以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、分散剤Bの酸価が60mgKOH/g以上であれば、Aチタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体の沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくすることができ、チタンブラック分散物又は感光性樹脂組成物の経時安定性をより向上できる。本発明において、B分散剤の酸価は、例えば、分散剤中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、B分散剤の構成成分である酸基を含有するモノマー単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。本発明におけるB分散剤の重量平均分子量は、遮光膜を形成する際において、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、10,000以上300,000以下であることが好ましく、15,000以上200,000以下であることがより好ましく、20,000以上100,000以下であることが更に好ましく、25,000以上50,000以下であることが特に好ましい。なお、B分散剤の重量平均分子量は、例えば、GPCによって測定することができる。グラフト共重合体本発明においては、B分散剤として、グラフト共重合体以下、特定樹脂ともいうを用いることも好ましい。B分散剤としてグラフト共重合体を用いることで、分散性及び保存安定性をより向上させることができる。グラフト共重合体としては、水素原子を除いた原子数が40~10000の範囲であるグラフト鎖を有するものが好ましい。この場合のグラフト鎖とは、共重合体の主鎖の根元から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。この特定樹脂は、チタンブラック粒子に分散性を付与しうる分散樹脂であり、優れた分散性と、グラフト鎖による溶媒との親和性を有するために、チタンブラック粒子の分散性、及び経時後の分散安定性に優れる。また、感光性樹脂組成物としたとき、グラフト鎖の存在により重合性化合物又はその他の併用可能な樹脂などとの親和性を有するので、アルカリ現像で残渣を生じにくくなる。また、この特定樹脂に、更に、カルボン酸基などのアルカリ可溶性の部分構造を導入することで、アルカリ現像によるパターン形成のために現像性を付与する樹脂としての機能をも付与することができる。従って、前記グラフト共重合体に、アルカリ可溶性の部分構造を導入することで、本発明のチタンブラック分散物は、チタンブラック粒子の分散に不可欠の分散樹脂自体がアルカリ可溶性を有することになる。このようなチタンブラック分散物を含有する感光性樹脂組成物は、露光部の遮光性に優れたものとなり、且つ、未露光部のアルカリ現像性が向上される。グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり分散性は向上するが、一方グラフト鎖が長すぎるとチタンブラックへの吸着力が低下して分散性は低下してしまう。このため、本発明で使用されるグラフト共重合体としては、グラフト鎖1本あたりの水素原子を除いた原子数が40~10000であることが好ましく、グラフト鎖1本あたりの水素原子を除いた原子数が50~2000であることがより好ましく、グラフト鎖1本あたりの水素原子を除いた原子数が60~500であることが更に好ましい。グラフト鎖のポリマー構造の例としては、ポリメタアクリル、ポリエステル、ポリウレタン、ポリウレア、ポリアミド、ポリエーテルなどが挙げられる。グラフト鎖としては、グラフト部位と溶媒との相互作用性を向上させ、それにより分散性を高めるために、ポリメタアクリル、ポリエステル、又はポリエーテルを有するグラフト鎖であることが好ましく、ポリエステル又はポリエーテルを有するグラフト鎖であることがより好ましい。このようなポリマー構造をグラフト鎖として有するマクロモノマーの構造としては、ポリマー主鎖部と反応可能な置換基を有し、且つ本発明の要件を満たしていれば、特に限定されないが、好ましくは、反応性二重結合性基を有するマクロモノマーを好適に使用することができる。特定樹脂の合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、AA-6商品名、、AA-10、AB-6、AS-6、AN-6、AW-6、AA-714、AY-707、AY-714、AK-5、AK-30、AK-32、ブレンマーPP-100商品名、日油株製、ブレンマーPP-500商品名、日油株製、ブレンマーPP-800商品名、日油株製、ブレンマーPP-1000商品名、日油株製、ブレンマー55-PET-800日油株製、ブレンマーPME-4000商品名、日油株製、ブレンマーPSE-400商品名、日油株製、ブレンマーPSE-1300商品名、日油株製、ブレンマー43PAPE-600B商品名、日油株製、などが用いられる。このなかでも、好ましくは、AA-6、AA-10、AB-6、AS-6商品名、東亜合成株、AN-6、ブレンマーPME-4000商品名、日油株製などが用いられる。特定樹脂におけるグラフト部位としては、少なくとも下記式1~式4のいずれかで表される構造単位を含むことが好ましく、少なくとも、下記式1A、下記式2A、下記式3A、下記式3B、及び下記4のいずれかで表される構造単位を含むことがより好ましい。式1~式4において、W1、W2、W3、及びW4はそれぞれ独立に酸素原子或いはNHを表す。W1、W2、W3、及びW4は酸素原子であることが好ましい。式1~式4において、X1、X2、X3、X4、及びX5は、それぞれ独立に、水素原子又は1価の有機基を表す。X1、X2、X3、X4、及びX5としては、合成上の制約の観点からは、好ましくはそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1~12のアルキル基であり、それぞれ独立に水素原子又はメチル基であることがより好ましく、メチル基が特に好ましい。式1~式4において、Y1、Y2、Y3、及びY4は、それぞれ独立に、2価の連結基を表し、該連結基は特に構造上制約されない。Y1、Y2、Y3、及びY4で表される2価の連結基として、具体的には、下記のY-1~Y-21の連結基などが例として挙げられる。下記に示した構造において、A、Bはそれぞれ、式1~式4における左末端基、右末端基との結合部位を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、又はY-13であることがより好ましい。式1~式4において、Z1、Z2、Z3、及びZ4は、それぞれ独立に1価の有機基を表す。該有機基の構造は、特に限定されないが、具体的には、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、及びアミノ基などが挙げられる。これらの中でも、Z1、Z2、Z3、及びZ4で表される有機基としては、特に分散性向上の観点から、立体反発効果を有するものが好ましく、各々独立に炭素数5から24のアルキル基が好ましく、その中でも、特に各々独立に炭素数5から24の分岐アルキル基或いは炭素数5から24の環状アルキル基が好ましい。式1~式4において、n、m、p、及びqは、それぞれ1から500の整数である。また、式1及び式2において、j及びkは、それぞれ独立に、2~8の整数を表す。式1及び式2におけるj及びkは、分散安定性、現像性の観点から、4~6の整数が好ましく、5が最も好ましい。式3中、R3は分岐若しくは直鎖のアルキレン基を表し、炭素数1~10のアルキレン基が好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基であることがより好ましい。式4中、R4は水素原子又は1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。R4として好ましくは、水素原子、アルキル基、アリール基、及びヘテロアリール基が挙げられ、更に好ましくは、水素原子、又はアルキル基である。該R4がアルキル基である場合、該アルキル基としては、炭素数1~20の直鎖状アルキル基、炭素数3~20の分岐状アルキル基、又は炭素数5~20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1~20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1~6の直鎖状アルキル基が特に好ましい。特定樹脂において、式1~式4で表される構造単位は、質量換算で、特定樹脂の総質量に対し10~90の範囲で含まれることが好ましく、30~70の範囲で含まれることがより好ましい。式1~式4で表される構造単位が、この範囲内で含まれるとチタンブラック粒子の分散性が高く、遮光膜を形成する際の現像性が良好である。また、特定樹脂においては、2種以上の構造が異なるグラフト部位を含有することができる。即ち、特定樹脂の分子中に、互いに構造の異なる式1~式4で示される構造単位を含んでいてもよく、また、式1~式4においてn、m、p、及びqがそれぞれ2以上の整数を表す場合、式1及び式2においては、側鎖中にj及びkが互いに異なる構造を含んでいてもよく、式3及び式4においては、分子内に複数存在するR3、R4及びX5は互いに同じであっても異なっていてもよい。前記式1で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式1Aで表される構造単位であることがより好ましい。また、前記式2で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式2Aで表される構造単位であることがより好ましい。式1A中、X1、Y1、Z1及びnは、前記式1におけるX1、Y1、Z1及びnと同義であり、好ましい範囲も同様である。式2A中、X2、Y2、Z2及びmは、前記式2におけるX2、Y2、Z2及びmと同義であり、好ましい範囲も同様である。また、前記式3で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式3A又は式3Bで表される構造単位であることがより好ましい。式3A又は3B中、X3、Y3、Z3及びpは、前記式3におけるX3、Y3、Z3及びpと同義であり、好ましい範囲も同様である。特定樹脂としては、前記式1Aで表される構造単位を有するものであることがより好ましい。特定樹脂には、グラフト部位以外にチタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基を導入することができる。このチタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基としては、例えば、酸基、塩基性基、配位性基、反応性を有する官能基等があげられ、特定樹脂には、酸基を有する構造単位、塩基性基を有する構造単位、配位性基を有する構造単位、反応性を有する構造単位を用いて導入される。チタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基である酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、フェノール性水酸基などがあり、特に好ましいものは、チタンブラック粒子への吸着力が良好で、且つ、その分散性が高いカルボン酸基である。特定樹脂には、これらの酸基を1種或いは2種以上有してもよい。また、このような酸基を導入することで、特定樹脂のアルカリ現像性を向上させるという利点をも有する。特定樹脂に共重合成分として導入されうる酸基を有する構造単位の好適な含有量は、0.1モル以上50モル以下であり、特に好ましくは、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、1モル以上30モル以下である。チタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基である塩基性基としては、例えば、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、N原子を含むヘテロ環、アミド基などがあり、特に好ましいものは、顔料への吸着力が良好で、且つ、その分散性が高い第3級アミノ基である。特定樹脂には、これらの塩基性基を1種或いは1種以上導入することができる。特定樹脂に共重合成分として導入される場合、塩基性基を有する構造単位の好適な含有量は、特定樹脂における全構造単位に対し、0.01モル以上50モル以下であり、特に好ましくは、現像性阻害抑制という観点から、0.01モル以上30モル以下である。チタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基である配位性基、及び反応性を有する官能基としては、例えば、アセチルアセトキシ基、トリアルコキシシリル基、イソシアネート基、酸無水物、酸塩化物などが挙げられる。特に好ましいものは、顔料への吸着力が良好で分散性が高いアセチルアセトキシ基である。特定樹脂には、これらの基を1種あるいは1種以上有してもよい。特定樹脂の共重合成分として導入されうる配位性基を有する構造単位又は反応性を有する構造単位の好適な含有量は、特定樹脂の全構造単位に対し、0.5モル以上50モル以下であり、特に好ましくは、現像性阻害抑制という観点から、1モル以上30モル以下である。本発明における特定樹脂が、グラフト部位以外に、チタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基を有する場合、上述したような、各種のチタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基を含有していればよく、これらの官能基がどのように導入されているかは特に限定はされないが、下記一般式i~一般式iiiのいずれかで表される単量体から得られる構造単位の少なくとも1種を用いて導入されていることが好ましい。一般式i~一般式iii中、R1、R2、及びR3は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等、又は炭素原子数が1~6のアルキル基例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等を表す。一般式i~一般式iii中、R1、R2、及びR3は、より好ましくは、それぞれ独立に水素原子、又は炭素原子数が1~3のアルキル基であり、最も好ましくは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基である。一般式i中、R2及びR3は、それぞれ水素原子であることが特に好ましい。一般式i中のXは、酸素原子-O-又はイミノ基-NH-を表し、酸素原子であることが好ましい。また、一般式ii中のYは、メチン基又は窒素原子を表す。また、一般式i~一般式ii中のLは、単結合又は2価の連結基を表す。該2価の連結基の例としては、2価の脂肪族基例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、及び置換アルキニレン基、2価の芳香族基例えば、アリーレン基、及び置換アリーレン基、2価の複素環基及びそれらと酸素原子-O-、硫黄原子-S-、イミノ基-NH-、置換イミノ結合-NR31-、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基又はカルボニル結合-CO-のうちの一つ以上との組合せ等が挙げられる。前記2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。前記脂肪族基の炭素原子数は、1~20が好ましく、1~15がより好ましく、1~10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。前記2価の芳香族基の炭素原子数は、6~20が好ましく、6~15が更に好ましく、6~10が最も好ましい。また、前記芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、脂肪族基、芳香族基及び複素環基を挙げられる。前記2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環または芳香族環のうち1つ以上が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基=O、チオキソ基=S、イミノ基=NH、置換イミノ基=N-R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基または複素環基、脂肪族基、芳香族基及び複素環基を挙げられる。Lは、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。また、Lはオキシアルキレン構造を2以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としてはポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、-OCH2CH2n-で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2~10の整数であることがより好ましい。一般式i~一般式iii中、Zは、グラフト部位以外にチタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基を表し、カルボン酸基、第三級アミノ基であることが好ましく、カルボン酸基であることがより好ましい。一般式iii中、R4、R5、及びR6は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子例えば、フッ素、塩素、臭素等、炭素原子数が1~6のアルキル基例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等、-Z、又は-L-Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるL及びZと同義であり、好ましい例も同様である。R4、R5、及びR6としては、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1~3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。本発明においては、一般式iで表される単量体として、R1、R2、及びR3がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。また、一般式iiで表される単量体として、R1が水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボン酸基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。更に、一般式iiiで表される単量体として、R4、R5、及びR6がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。以下に、一般式i~一般式iiiで表される単量体化合物の代表的な例を示す。該単量体の例としては、メタクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、分子内に付加重合性二重結合と水酸基を有する化合物例えば、メタクリル酸2-ヒドロキシエチルとコハク酸無水物の反応物、分子内に付加重合性二重結合と水酸基を有する化合物とフタル酸無水物の反応物、分子内に付加重合性二重結合と水酸基を有する化合物とテトラヒドロキシフタル酸無水物の反応物、分子内に付加重合性二重結合と水酸基を有する化合物と無水トリメリット酸の反応物、分子内に付加重合性二重結合と水酸基を有する化合物とピロメリット酸無水物の反応物、アクリル酸、アクリル酸ダイマー、アクリル酸オリゴマー、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、4-ビニル安息香酸、ビニルフェノール、4-ヒドロキシフェニルメタクリルアミドなどが挙げられる。特定樹脂中における酸性基を有する単量体などのチタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基の含有量は、チタンブラック粒子との相互作用、分散安定性、及び現像液への浸透性の観点から、特定樹脂に対して0.05質量~90質量が好ましく、1.0質量~80質量がより好ましく、10質量~70質量が更に好ましい。更に、本発明のチタンブラック分散物に含まれる特定樹脂は、画像強度などの諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、前記グラフト部位グラフト鎖を有する構造単位及びチタンブラック粒子と相互作用を形成しうる官能基を有する構造単位に加えて、更に種々の機能を有する他の構造単位、例えば、分散物に用いられる分散媒との親和性を有する官能基などを有する構造単位を共重合成分として含むことができる。特定樹脂に共重合可能な共重合成分としては、例えば、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、スチレン類、アクリロニトリル類、メタクリロニトリル類などから選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。これらを1種或いは2種以上用いることができ、特定樹脂中、これら共重合成分の好適に使用される含有量は、0モル以上90モル以下であり、特に好ましくは、0モル以上60モル以下である。含有量が前記の範囲において十分なパターン形成性が維持される。特定樹脂を合成する際に用いられる溶媒としては、例えば、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2-メトキシエチルアセテート、1-メトキシ-2-プロパノール、1-メトキシ-2-プロピルアセテート、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチルなどが挙げられる。これらの溶媒は単独で用いても2種以上混合して用いてもよい。このような特定樹脂の具体例としては、以下の例示化合物1~例示化合物55が挙げられる。なお、各構成単位主鎖部分の添数字は質量である。本発明のチタンブラック分散物におけるB分散剤の含有量としては、被分散体チタンブラック粒子からなる被分散体及び他の着色剤等からなる被分散体を含むの全固形分質量に対して、1質量~90質量が好ましく、3質量~70質量がより好ましい。また、本発明の感光性樹脂組成物におけるB分散剤の含有量としては、被分散体チタンブラック粒子からなる被分散体及び他の着色剤等からなる被分散体を含むの全固形分質量に対して、1質量~90質量が好ましく、3質量~70質量がより好ましい。C有機溶媒本発明のチタンブラック分散物及び感光性樹脂組成物は、C有機溶媒を含有する。C有機溶媒の例としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、酢酸エチル、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3-メトキシプロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3-メトキシプロピルアセテート、N,N-ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ-ブチロラクトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチルなどが挙げられるが、これらに限定されない。有機溶媒は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。有機溶媒を2種以上組みあわせて用いる場合、特に好ましくは、上記の3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、2-ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液であるチタンブラック分散物に含まれるC有機溶媒の量としては、該分散物の全量に対し、10質量~80質量であることが好ましく、20質量~70質量であることがより好ましく、30質量~65質量であることが更に好ましい。また、感光性樹脂組成物に含まれるC有機溶媒の量としては、該組成物の全量に対し、10質量~90質量であることが好ましく、20質量~80質量であることがより好ましく、25質量~75質量であることが更に好ましい。D光重合性化合物本発明の感光性樹脂組成物は、D光重合性化合物を含有する。D光重合性化合物としては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100°C以上である化合物が好ましい。少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100°C以上である化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタアクリレート、フェノキシエチルメタアクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールエタントリメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ヘキサンジオールメタアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリロイルオキシプロピルエーテル、トリアクリロイロキシエチルイソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後メタアクリレート化したもの、ペンタエリスリトール又はジペンタエリスリトールのポリメタアクリレート化したもの、特公昭48-41708号、特公昭50-6034号、特開昭51-37193号の各公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭48-64183号、特公昭49-43191号、特公昭52-30490号の各公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂とメタアクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No7、300~308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。また、特開平10-62986号公報において一般式1及び一般式2としてその具体例と共に記載の、前記多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後にメタアクリレート化した化合物も用いることができる。なかでも、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、及びこれらのアクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介してジペンタエリスリトールに連結している構造が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、特公昭48-41708号、特開昭51-37193号、特公平2-32293号、及び特公平2-16765号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58-49860号、特公昭56-17654号、特公昭62-39417号、及び特公昭62-39418号の各公報記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63-277653号、特開昭63-260909号、及び特開平1-105238号の各公報に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS-10、UAB-140商品名、日本製紙ケミカル株製、UA-7200新中村化学工業株製、DPHA-40H商品名、日本化薬株製、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600商品名、共栄社化学株製などが挙げられる。また、酸基を有するエチレン性不飽和化合物類も好適であり、市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のカルボキシル基含有3官能アクリレートであるTO-756、及びカルボキシル基含有5官能アクリレートであるTO-1382などが挙げられる。本発明に用いられる重合性化合物としては、4官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。D光重合性化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。2種以上の光重合性化合物を組み合わせて用いる場合、その組み合わせ態様は、感光性組成物に要求される物性等に応じて適宜設定することができる。光重合性化合物の好適な組み合わせ態様の一つとしては、例えば、前掲した多官能のアクリレート化合物から選択した2種以上の重合性化合物を組み合わせる態様が挙げられ、その一例としては、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及びペンタエリスリトールトリアクリレートの組み合わせが挙げられる。本発明の感光性樹脂組成物におけるD光重合性化合物の含有量としては、質量換算で、全固形分100部に対して、3部~55部が好ましく、より好ましくは10部~50部である。E光重合開始剤本発明の感光性樹脂性組成物は、E光重合開始剤を含有する。E光重合開始剤は、光や熱により分解し、前述したD光重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長300~500nmの領域の光に対して吸収を有するものであることが好ましい。E光重合開始剤の具体的な例としては、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィンオキシド化合物が挙げられる。より具体的な例としては、例えば、特開2006-78749号公報の段落番号[0081]~[0100]、[0101]~[0139]等に記載される重合開始剤が挙げられる。上記の光重合開始剤の中でも、オキシムエステル化合物がより好ましい。本発明の感光性樹脂組成物におけるE重合開始剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分中、0.1質量~30質量であることが好ましく、1質量~25質量がより好ましく、2質量~20質量が更に好ましい。Fその他の添加剤本発明の感光性樹脂組成物には、本発明のチタンブラック分散物、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤に加え、目的に応じて、種々の添加剤を使用することができる。F-1バインダーポリマー本発明の感光性樹脂組成物においては、皮膜特性向上などの目的で、必要に応じて、更にF-1バインダーポリマーを含むことができる。F-1バインダーポリマーとしては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは水現像或いは弱アルカリ水現像を可能とするために、水或いは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水、或いは有機溶剤からなる現像液現像剤に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーの例としては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59-44615号、特公昭54-34327号、特公昭58-12577号、特公昭54-25957号、特開昭54-92723号、特開昭59-53836号、特開昭59-71048号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独或いは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独或いは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解若しくはハーフエステル化若しくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーの例としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4-カルボキシルスチレン等があげられ、酸無水物を有するモノマーの例としては、無水マレイン酸等が挙げられる。また、同様に側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体も例として挙げられる。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。また、特公平7-12004号、特公平7-120041号、特公平7-120042号、特公平8-12424号、特開昭63-287944号、特開昭63-287947号、特開平1-271741号、特願平10-116232号等に記載される酸基を含有するウレタン系バインダーポリマーは、非常に、強度に優れるので、低露光適性の点で有利である。また、欧州特許第993966号、欧州特許第1204000号、特開2001-318463号等の各公報に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。更に、この他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また、硬化皮膜の強度を上げるために、アルコール可溶性ナイロンや2,2-ビス-4-ヒドロキシフェニル-プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。特に、これらの中でも、ベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー共重合体、及びアリルメタアクリレート/メタアクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー共重合体は、膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。本発明の感光性樹脂組成物に使用されるF-1バインダーポリマーの重量平均分子量は、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、1,000~300,000であることが好ましく、1,500~250,000であることがより好ましく、2,000~200,000であることが更に好ましく、2,500~100,000であることが特に好ましい。F-1バインダーポリマーの数平均分子量については、好ましくは1000以上であり、更に好ましくは1500~25万の範囲である。F-1バインダーポリマーの多分散度重量平均分子量/数平均分子量は、1以上が好ましく、更に好ましくは1.1~10の範囲である。ここで、F-1バインダーポリマーの重量平均分子量は、例えば、GPCによって測定することができる。これらのF-1バインダーポリマーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。本発明で用いうるF-1バインダーポリマーは、従来公知の方法により合成できる。合成する際に用いられる溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン等が挙げられる。これらの溶媒は単独で又は2種以上混合して用いられる。また、F-1バインダーポリマーを合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。本発明において、F-1バインダーポリマーとして、側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることで、特に露光部の硬化性と未露光部のアルカリ現像性の双方を向上させることができる。側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂は、その構造その中に、樹脂がアルカリ可溶となるための酸基と、少なくとも1つの不飽和二重結合を有することで、非画像部除去性などの諸性能を向上させる。このような構造を有する樹脂は、特開2003-262958号公報に詳細に記載され、ここに記載の樹脂を本発明におけるバインダーポリマーとして使用することができる。本発明の感光性樹脂組成物におけるバインダーポリマーの含有量は、組成物の全固形分中に対して、0.1質量~7.0質量であることが好ましく、遮光膜の剥がれ抑制と現像残渣抑制の両立の観点からは、0.3質量~6.0質量であることがより好ましく、1.0~5.0質量であることがさらに好ましい。F-2着色剤本発明の感光性樹脂組成物には、所望の遮光性を発現させるべく、公知の有機顔料や染料などの無機顔料以外のF-2着色剤を併用することが可能である。併用することができるF-2着色剤としては、有機顔料では、例えば、特開2008-224982号公報段落番号0030~0044に記載の顔料や、C.I.PigmentGreen58、C.I.PigmentBlue79のCl置換基をOHに変更したものなどが挙げられ、これらの中でも、好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明に適用しうるF-2着色剤は、これらに限定されるものではない。C.I.PigmentYellow11,24,108,109,110,138,139,150,151,154,167,180,185、C.I.PigmentOrange36,38,62,64、C.I.PigmentRed122,150,171,175,177,209,224,242,254、255、C.I.PigmentViolet19,23,29,32、C.I.PigmentBlue15:1,15:3,15:6,16,22,60,66、C.I.PigmentGreen7,36,37,58、C.I.PigmentBlack1また、F-2着色剤として使用可能な染料の例としては、特に制限はなく、公知の染料を適宜選択して使用できる。例えば、特開昭64-90403号公報、特開昭64-91102号公報、特開平1-94301号公報、特開平6-11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5-333207号公報、特開平6-35183号公報、特開平6-51115号公報、特開平6-194828号公報、特開平8-211599号公報、特開平4-249549号公報、特開平10-123316号公報、特開平11-302283号公報、特開平7-286107号公報、特開2001-4823号公報、特開平8-15522号公報、特開平8-29771号公報、特開平8-146215号公報、特開平11-343437号公報、特開平8-62416号公報、特開2002-14220号公報、特開2002-14221号公報、特開2002-14222号公報、特開2002-14223号公報、特開平8-302224号公報、特開平8-73758号公報、特開平8-179120号公報、特開平8-151531号公報等に記載の色素が挙げられる。染料が有する化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の化学構造が挙げられる。本発明の感光性樹脂組成物におけるF-2着色剤としては、該組成物が必須に含有するチタンブラック粒子と組み合わせた場合に、硬化性と遮光性を両立しうるという観点から、オレンジ顔料、赤色顔料、及び、バイオレット顔料からなる群より選択される1種以上の有機顔料が好ましく、最も好ましくは赤色顔料との組み合わせである。本発明におけるチタンブラック粒子と組み合わせて用いられるオレンジ顔料、赤色顔料、及びバイオレット顔料としては、例えば、前記で例示したC.I.PigmentOrange、C.I.PigmentRed、C.I.PigmentVioletに属する各種顔料を、目的とする遮光性に応じて適宜選択すればよい。遮光性向上の観点からは、C.I.PigmentViolet29、C.I.PigmentOrange36,38,62,64、C.I.PigmentRed177,254、255などが好ましい。F-3増感剤本発明の感光性樹脂組成物には、E光重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、F-3増感剤を含有していてもよい。F-3増感剤としては、用いられるE光重合開始剤を、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。F-3増感剤の好ましい例としては、特開2008-214395号公報の段落番号0085~0098に記載された化合物を挙げることができる。F-3増感剤の含有量は、感度と保存安定性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、0.1質量~30質量の範囲内であることが好ましく、1~20質量の範囲内であることがより好ましく、2~15質量の範囲内であることが更に好ましい。F-4重合禁止剤本発明の感光性樹脂組成物には、該組成物の製造中或いは保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために少量のF-4重合禁止剤を添加することが望ましい。F-4重合禁止剤としては、公知の熱重合防止剤を用いることができ、具体的には、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-t-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、t-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス3-メチル-6-t-ブチルフェノール、2,2’-メチレンビス4-メチル-6-t-ブチルフェノール、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。F-4熱重合防止剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、約0.01質量~約5質量が好ましい。また、必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するために、ベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で塗布膜の表面に高級脂肪酸誘導体等を偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約0.5質量~約10質量が好ましい。F-5密着向上剤本発明の感光性樹脂組成物には、支持体などの硬質表面との密着性を向上させるために、F-5密着向上剤を添加することができる。F-5密着向上剤としては、シラン系カップリング剤、チタンカップリング剤等が挙げられる。シラン系カップリング剤としては、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、が好ましく、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが好ましく挙げられる。F-5密着向上剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分中0.5質量30質量であることが好ましく、0.7質量~20質量であることがより好ましい。なお、本発明の感光性樹脂組成物を適用して遮光膜を有するウエハレベルレンズに、ガラス基板を適用する場合には、感度向上の観点から、F-5密着向上剤を添加することが好ましい。F-6界面活性剤本発明の感光性樹脂組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。特に、本発明の感光性樹脂組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性特に、流動性がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する感光性樹脂組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3質量~40質量が好適であり、より好ましくは5質量~30質量であり、特に好ましくは7質量~25質量である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感光性樹脂組成物中における溶解性も良好である。フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781以上、DIC株製、フロラードFC430、同FC431、同FC171以上、住友スリーエム株製、サーフロンS-382、同SC-101、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC1068、同SC-381、同SC-383、同S393、同KH-40以上、旭硝子株製等が挙げられる。ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステルBASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1、ソルスパース20000日本ルーブリゾール株製等が挙げられる。カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体商品名:EFKA-745、森下産業株製、オルガノシロキサンポリマーKP341信越化学工業株製、メタアクリル酸系共重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95共栄社化学株、W001裕商株製等が挙げられる。アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017裕商株社製等が挙げられる。シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レダウコーニング株トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA,トーレシリコーンSH21PA,トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400、モメンティブパフォーマンスマテリアルズ社製TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452、信越シリコーン株式会社製KP341、KF6001、KF6002、ビックケミー社製BYK307、BYK323、BYK330等が挙げられる。界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。界面活性剤の添加量は、本発明の感光性樹脂組成物の全質量に対して、0.001質量~2.0質量が好ましく、より好ましくは0.005質量~1.0質量である。F-7その他の添加剤更に、感光性樹脂組成物は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、或いは酸素による光重合性化合物の重合阻害を抑制する等の目的で共増感剤を含有してもよい。また、硬化皮膜の物性を改良するために、希釈剤、可塑剤、感脂化剤等の公知の添加剤を必要に応じて加えてもよい。チタンブラック分散物の調製本発明のチタンブラック分散物の調製態様は、特に制限されないが、例えば、Aチタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶剤を、攪拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機、湿式分散機、等を用いて分散処理を行なうことにより調製することができるが、その方法はこれらに限定されない。分散処理は、2回以上の分散処理多段分散により行ってもよい。感光性樹脂組成物の調製本発明の感光性樹脂組成物の調製態様についても特に特に制限されないが、例えば、本発明のチタンブラック分散物、D光重合性化合物、E光重合開始剤、及び、所望により併用される各種の添加剤を混合し、調製することができる。<ウエハレベルレンズ>本発明のウエハレベルレンズは、基板上に存在するレンズの周縁部に、本発明の感光性樹脂組成物を硬化して得られた遮光膜を有することを特徴とする。以下、図面を参照して、本発明のウエハレベルレンズについて説明する。図1は、複数のウエハレベルレンズを有するウエハレベルレンズアレイの構成の一例を示す平面図である。図1に示されるように、ウエハレベルレンズアレイは、基板10と、該基板10に配列されたレンズ12と、を備えている。ここで、図1では、複数のレンズ12は、基板10に対して2次元に配列されているが、1次元に配列されていてもよい。また、図2は、図1に示すA-A線断面図である。図2に示すように、ウエハレベルレンズアレイにおいて、基板10に配列された複数のレンズ12の間には、レンズ12以外の箇所からの光透過を防止する遮光膜14が設けられている。本発明のウエハレベルレンズは、基板10上に存在する1つのレンズ12とその周縁部に設けられた遮光膜14により構成される。本発明の感光性樹脂組成物は、この遮光膜14の形成に用いられる。以下、図1のように、複数のレンズ12が、基板10に対して2次元に配列されているウエハレベルレンズアレイの構成を例に説明する。レンズ12は、一般的には、基板10と同じ材料から構成され、該基板10上に一体的に成形されるか、或いは、別の構造体として成形され、基板上に固定化されたものである。ここでは、一例を挙げたが、本発明のウエハレベルレンズは、この態様に限定されず、多層構造をとるもの、ダイシングによりレンズモジュールに分離されたものなど種々の態様をとり得る。レンズ12を形成する材料の他の例としては、例えば、ガラスを挙げることができる。ガラスは種類が豊富であり、高屈折率を有するものを選択できるので、大きなパワーを持たせたいレンズの素材に好適である。また、ガラスは耐熱性に優れ、撮像ユニット等へのリフロー実装に耐えるという利点をも有する。レンズ12を形成する他の材料としては、樹脂が挙げられる。樹脂は加工性に優れており、型等を用いてレンズ面を簡易且つ安価に形成するのに適している。ウエハレベルレンズの形成には、エネルギー硬化性の樹脂を用いることが好ましい。該エネルギー硬化性の樹脂は、熱により硬化する樹脂、或いは活性エネルギー線の照射例えば、熱、紫外線、電子線照射により硬化する樹脂のいずれであってもよい。撮像ユニットのリフロー実装を考慮すると、軟化点が例えば200°C以上といった、軟化点の比較的高い樹脂が好ましく、軟化点が250°C以上の樹脂がより好ましい。以下、レンズ材料として好適な樹脂について説明する。紫外線硬化性樹脂の例としては、紫外線硬化性シリコン樹脂、紫外線硬化性エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を例示することができる。エポキシ樹脂は、線膨張係数が40~80[10-6/K]で、屈折率が1.50~1.70、好ましくは1.50~1.65のエポキシ樹脂であってもよい。熱硬化性樹脂の例としては、熱硬化性シリコン樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性アクリル樹脂等を例示できる。例えば、シリコン樹脂は、線膨張係数が30~160[10-6/K]で、屈折率が1.40~1.55のシリコン樹脂であってもよい。エポキシ樹脂は線膨張係数が40~80[10-6/K]で、屈折率が1.50~1.70、好ましくは1.50~1.65のエポキシ樹脂であってもよい。フェノール樹脂は、線膨張係数が30~70[10-6/K]で、屈折率が1.50~1.70のフェノール樹脂であってもよい。アクリル樹脂は、線膨張係数が20~60[10-6/K]で、屈折率が1.40~1.60、好ましくは1.50~1.60のアクリル樹脂であってもよい。これらの熱硬化性樹脂としては、市販品を用いることができ、具体的には、例えば、富士高分子工業株式会社製SMX-7852SMX-7877商品名、株式会社東芝製IVSM-4500商品名、東レダウコーニング社製SR-7010商品名、等を例示することができる。熱可塑性樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、ポリサルフォン樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂等を例示することができる。ポリカーボネートとしては、線膨張係数が60~70[10-6/K]で、屈折率が1.40~1.70、好ましくは1.50~1.65のものを用いることができる。ポリサルフォン樹脂としては、線膨張係数が15~60[10-6/K]で、屈折率が1.63のものを用いることができる。ポリエーテルサルフォン樹脂としては、線膨張係数が20~60[10-6/K]で、屈折率が1.65のものを用いることができる。なお、一般に、光学ガラスの線膨張係数は20°Cで4.9~14.3[10-6/K]であり、屈折率は波長589.3nmで1.4~2.1である。また、石英ガラスの線膨張係数は0.1~0.5[10-6/K]であり、屈折率は約1.45である。レンズの形成に適用される硬化性の樹脂組成物は、モールド形状の転写適性等、成形性の観点から、硬化前には適度な流動性を有していることが好ましい。具体的には、常温で液体であり、粘度が1000~50000mPas程度の硬化性樹脂組成物が好ましい。一方、レンズの形成に適用される硬化性の樹脂組成物は、硬化後にはリフロー工程を通しても熱変形しない程度の耐熱性を有していることが好ましい。かかる観点から、硬化物のガラス転移温度は200°C以上であることが好ましく、250°C以上であることがより好ましく、300°C以上であることが特に好ましい。樹脂組成物にこのような高い耐熱性を付与するためには、分子レベルで運動性を束縛することが必要であり、有効な手段の例としては、1単位体積あたりの架橋密度を上げる手段、2剛直な環構造を有する樹脂を利用する手段例えばシクロヘキサン、ノルボルナン、テトラシクロドデカン等の脂環構造、ベンゼン、ナフタレン等の芳香環構造、9,9’-ビフェニルフルオレン等のカルド構造、スピロビインダン等のスピロ構造を有する樹脂、具体的には例えば、特開平9-137043号公報、同10-67970号公報、特開2003-55316号公報、同2007-334018号公報、同2007-238883号公報等に記載の樹脂、3無機微粒子など高Tg高ガラス転移温度の物質を均一に分散させる手段例えば特開平5-209027号公報、同10-298265号公報等に記載等が挙げられる。これらの手段は複数併用してもよく、流動性、収縮率、屈折率特性など他の特性を損なわない範囲で耐熱性を調整することが好ましい。形状転写精度の観点からは、硬化反応による体積収縮率が小さい、硬化性の樹脂組成物を用いることが好ましい。樹脂組成物の硬化収縮率としては、10以下であることが好ましく、5以下であることがより好ましく、3以下であることが特に好ましい。硬化収縮率の低い樹脂組成物の例としては、例えば、1高分子量の硬化剤プレポリマ-などを含む樹脂組成物例えば特開2001-19740号公報、同2004-302293号公報、同2007-211247号公報等に記載、高分子量硬化剤の数平均分子量は200~100,000の範囲であることが好ましく、より好ましくは500~50,000の範囲であり、特に好ましくは1,000~20,000の場合である。また該硬化剤の数平均分子量/硬化反応性基の数で計算される値が、50~10,000の範囲にあることが好ましく、100~5,000の範囲にあることがより好ましく、200~3,000の範囲にあることが特に好ましい。、2非反応性物質有機/無機微粒子,非反応性樹脂等を含む樹脂組成物例えば特開平6-298883号公報、同2001-247793号公報、同2006-225434号公報等に記載、3低収縮架橋反応性基を含む樹脂組成物例えば、開環重合性基例えばエポキシ基例えば、特開2004-210932号公報等に記載、オキセタニル基例えば、特開平8-134405号公報等に記載、エピスルフィド基例えば、特開2002-105110号公報等に記載、環状カーボネート基例えば、特開平7-62065号公報等に記載等、エン/チオール硬化基例えば、特開2003-20334号公報等に記載、ヒドロシリル化硬化基例えば、特開2005-15666号公報等に記載等、4剛直骨格樹脂フルオレン、アダマンタン、イソホロン等を含む樹脂組成物例えば、特開平9-137043号公報等に記載、5重合性基の異なる2種類のモノマーを含み相互貫入網目構造いわゆるIPN構造が形成される樹脂組成物例えば、特開2006-131868号公報等に記載、6膨張性物質を含む樹脂組成物例えば、特開2004-2719号公報、特開2008-238417号公報等に記載等を挙げることができ、本発明において好適に利用することができる。また上記した複数の硬化収縮低減手段を併用すること例えば、開環重合性基を含有するプレポリマーと微粒子を含む樹脂組成物などが物性最適化の観点からは好ましい。本発明のウエハレベルレンズの形成には、高-低2種類以上のアッベ数の異なる樹脂組成物の使用が望ましい。高アッベ数側の樹脂は、アッベ数νdが50以上であることが好ましく、より好ましくは55以上であり特に好ましくは60以上である。屈折率ndは1.52以上であることが好ましく、より好ましくは1.55以上であり、特に好ましくは1.57以上である。このような樹脂組成物に含有される樹脂としては、脂肪族の樹脂が好ましく、特に、脂環構造を有する樹脂例えば、シクロヘキサン、ノルボルナン、アダマンタン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等の環構造を有する樹脂、具体的には例えば、特開平10-152551号公報、特開2002-212500号公報、同2003-20334号公報、同2004-210932号公報、同2006-199790号公報、同2007-2144号公報、同2007-284650号公報、同2008-105999号公報等に記載の樹脂が好ましい。低アッベ数側の樹脂は、アッベ数νdが30以下であることが好ましく、より好ましくは25以下であり特に好ましくは20以下である。屈折率ndは1.60以上であることが好ましく、より好ましくは1.63以上であり、特に好ましくは1.65以上である。このような樹脂としては芳香族構造を有する樹脂が好ましく、例えば、9,9’‐ジアリールフルオレン、ナフタレン、ベンゾチアゾール、ベンゾトリアゾール等の構造を含む樹脂具体的には例えば、特開昭60-38411号公報、特開平10-67977号公報、特開2002-47335号公報、同2003-238884号公報、同2004-83855号公報、同2005-325331号公報、同2007-238883号公報、国際公開2006/095610号公報、特許第2537540号公報等に記載の樹脂等が好ましい。また、ウエハレベルレンズの形成に使用される樹脂として、屈折率を高める目的やアッベ数を調整する目的のために、無機微粒子をマトリックス中に分散させてなる有機無機複合材料を含有することも好ましい態様である。無機微粒子の例としては、酸化物微粒子、硫化物微粒子、セレン化物微粒子、テルル化物微粒子が挙げられる。より具体的な例としては、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、硫化亜鉛等の微粒子を挙げることができる。より具体的には、例えば、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化ニオブ、酸化セリウム、酸化アルミニウム、酸化ランタン、酸化イットリウム、硫化亜鉛等の微粒子を挙げることができる。特に上記のごとき高アッべ数の樹脂中には、酸化ランタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましく、低アッベ数の樹脂中には、酸化チタン、酸化スズ、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましい。無機微粒子は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。また、複数の成分による複合物であってもよい。また、無機微粒子には、光触媒活性低減、吸水率低減などの種々の目的から、異種金属をドープしたり、表面をシリカやアルミナ等異種金属酸化物で被覆したり、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤、有機酸カルボン酸類、スルホン酸類、リン酸類、ホスホン酸類等、または有機酸基を持つ分散剤などで無機微粒子の表面を修飾してもよい。無機微粒子の数平均粒子サイズは、小さすぎると物質の特性が変化する場合がある。また、樹脂マトリックスと無機微粒子の屈折率差が大きい場合には、無機微粒子の数平均粒子サイズが大きすぎるとレイリー散乱の影響が顕著となる。このため、無機微粒子の数平均一次粒子サイズは通常1nm~1000nm程度とすればよいが、小さすぎると物質の特性が変化する場合があり、大きすぎるとレイリー散乱の影響が顕著となるため、1nm~15nmが好ましく、2nm~10nmが更に好ましく、3nm~7nmが特に好ましい。また、無機微粒子の粒子サイズ分布は狭いほど望ましい。このような単分散粒子の定義の仕方はさまざまであるが、例えば、特開2006-160992号公報に記載されるような数値規定範囲が好ましい粒径分布範囲に当てはまる。ここで上述の数平均1次粒子サイズとは、例えば、XRDX線回折、X線小角散乱SmallangleX-rayscatteringSAXS、X線散漫散乱X-raydiffusescatteringXDS、斜入射X線散乱GrazingincidencesmallangleX-rayscatteringGI-SAXS、走査型電子顕微鏡SEM、或いは、透過型電子顕微鏡TEMなどで測定することができる。無機微粒子の屈折率としては、22°C、589.3nmの波長において、1.90~3.00であることが好ましく、1.90~2.70であることが更に好ましく、2.00~2.70であることが特に好ましい。有機無機複合材料において、無機微粒子のマトリックスである樹脂に対する含有量は、透明性と高屈折率化の観点から、5質量以上であることが好ましく、10質量~70質量が更に好ましく、30質量~60質量が特に好ましい。有機無機複合材料に用いられる、マトリックスとなる樹脂としては、ウエハレベルレンズの材料として前記した、紫外線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、高アッベ数の樹脂、低アッベ数の樹脂のいずれもが使用できる。また、特開2007-93893号に記載された屈折率1.60より大きい樹脂、特開2007-211164号に記載された疎水性セグメント及び親水性セグメントで構成されるブロック共重合体、特開2007-238929号、特願2008-12645号、同2008-208427号、同2008-229629号、同2008-219952号に記載された高分子末端又は側鎖に無機微粒子と任意の化学結合を形成しうる官能基を有する樹脂、特願2008-197054号、同2008-198878号に記載された熱可塑性樹脂等を挙げることができる。なお、有機無機複合材料には、必要に応じて、可塑剤、分散剤等の添加剤を加えることができる。ここで、マトリックスである樹脂と無機微粒子との好ましい組み合わせとしては以下のようなものがある。即ち、上記のごとき高アッベ数の樹脂をマトリックスとした場合には、無機微粒子として、酸化ランタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましく、低アッベ数の樹脂をマトリックスとした場合には、無機微粒子として、酸化チタン、酸化スズ、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましい。なお、無機微粒子を均一に分散させるためには、例えば、マトリックスを形成する樹脂のモノマーとの反応性を有する官能基を含む分散剤例えば、特開2007-238884号公報実施例等に記載、疎水性セグメント及び親水性セグメントで構成されるブロック共重合体例えば、特開2007-211164号公報に記載、或いは高分子末端又は側鎖に無機微粒子と任意の化学結合を形成しうる官能基を有する樹脂例えば、特開2007-238929号公報、特開2007-238930号公報等に記載等を適宜用いることが望ましい。また、ウエハレベルレンズの形成に用いられる樹脂組成物には、シリコン系、フッ素系、長鎖アルキル基含有化合物等の公知の離型剤やヒンダードフェノール等の酸化防止剤等の添加剤を適宜含有してもよい。更に、ウエハレベルレンズの形成に用いられる樹脂組成物には、必要に応じて、硬化触媒又は開始剤を配合することができる。具体的には、例えば、特開2005-92099号公報段落番号0065~0066等に記載の熱又は活性エネルギー線の作用により硬化反応ラジカル重合或いはイオン重合を促進する化合物を挙げることができる。これらの硬化反応促進剤の添加量は、触媒や開始剤の種類、或いは硬化反応性部位の違いなどによって異なり一概に規定することはできないが、一般的には樹脂組成物の全固形分に対して0.1~15質量程度であることが好ましく、0.5~5質量程度であることがより好ましい。本発明のウエハレベルレンズの作製に用いる樹脂組成物は、上記成分を適宜配合して製造することができる。この際、液状の低分子モノマー反応性希釈剤等に他の成分を溶解することができる場合には、別途溶剤を添加する必要はないが、このケースに当てはまらない場合には溶剤を用いて各構成成分を溶解することにより樹脂組成物を製造することができる。該樹脂組成物に使用できる溶剤としては、組成物が沈殿することなく、均一に溶解又は分散されるものであれば特に制限はなく適宜選択することができ、具体的には、例えば、ケトン類例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等、エステル類例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル等、エーテル類例えば、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン等アルコール類例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、エチレングリコール等、芳香族炭化水素類例えば、トルエン、キシレン等、水等を挙げることができる。樹脂組成物が溶剤を含む場合には該組成物を基板及び/又は型の上にキャストし溶剤を乾燥させた後にモールド形状転写操作を行うことが好ましい。基板10は、レンズ12の成形材料と同じものを用いることができる。また、基板10が可視光に対して透明なガラスなどの材料からなるものであれば、レンズ12の成形材料とは異なる材料により形成されていてもよい。この場合には、基板10を形成する材料としては、レンズ12を形成する材料と線膨張係数が同じか極めて近い材料であることが好ましい。レンズ12を形成する材料と基板10を形成する材料との線膨張係数が互いに同じか近似する場合には、撮像ユニットへのウエハレベルレンズのリフロー実装において、線膨張率が異なることで生じる加熱時のレンズ12の歪みや割れを抑制しうる。なお、図1及び図2中に図示してはいないが、基板10の光入射側の面には、赤外線フィルタIRフィルタが形成されていてもよい。以下、図3~図8を参照して、ウエハレベルレンズの形態及び作製について、ウエハレベルレンズアレイの作製方法の例にとり、具体的に説明する。ウエハレベルレンズの形態及び作製1-レンズの形成-まず、図3及び図4A~Cを参照して、基板10上にレンズ12を形成する方法について説明する。ここで、図3は、基板10に、レンズ形成用の樹脂組成物である成形材料図3中にMと記載を供給している状態を示す図である。また、図4A~Cは、基板10にレンズ12を型60で成形する手順を示す図である。図3に示すように、基板10のレンズ12を成形する部位にディスペンサ50を用いて成形材料Mを滴下する。ここでは、供給する1つの部位には、1つのレンズ12に相当する量の成形材料Mが供給される。基板10に成形材料Mを供給した後、基板10の成形材料Mを供給された面側に、図4Aに示すように、レンズ12を成形するための型60を配置する。ここで、型60には、レンズ12の形状を転写するための凹部62が、所望のレンズ12の数に応じて設けられている。図4Bに示すように、型60を基板10上の成形材料Mに押し付け、成形材料Mを凹部62の形状に倣って変形させる。そして、型60を成形材料Mに押し付けた状態で、成形材料Mが熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂の場合には、型60の外側から熱又は紫外線を照射して、成形材料Mを硬化させる。成形材料Mを硬化させた後、図4Cに示すように、型60から基板10及びレンズ12を離型する。-遮光膜の形成-次に、図5A~Cを参照して、レンズ12の周縁部に遮光膜14を形成する方法について説明する。ここで、図5A~Cは、レンズ12が成形された基板10に遮光膜14を設ける工程を示す概略断面図である。遮光膜14の形成方法は、基板10上に、本発明の感光性樹脂組成物を塗布して遮光性塗布層14Aを形成する遮光性塗布層形成工程図5A参照。と、該遮光性塗布層14Aを、マスク70を介してパターン露光する露光工程図5B参照。と、露光後の遮光性塗布層14Aを現像して未硬化部を除去し、パターン状の遮光膜14を形成する現像工程図5C参照。と、を含む。なお、遮光膜14の形成は、レンズ12を作製する前でも、レンズ12を作製した後でも任意に行うことができるが、ここでは、レンズ12を作製した後の方法について詳述する。以下、遮光膜14の形成方法における各工程について説明する。<遮光性塗布層形成工程>遮光性塗布層形成工程では、図5Aに示すように、基板10上に、感光性樹脂組成物を塗布して該感光性樹脂組成物からなる光反射率の低い遮光性塗布層14Aを形成する。このとき、遮光性塗布層14Aは、基板10の表面、及び、レンズ12のレンズ面12aとレンズ縁部12bの表面を全て覆うように形成される。本工程に用いうる基板10としては、特に制限はない。例えば、ソーダガラス、無アルカリガラス、パイレックス登録商標ガラス、石英ガラス、及び透明樹脂等が挙げられる。なお、ここで言う基板10とは、レンズ12と基板10を一体形成する態様においては、レンズ12と基板10の両方を含む形態を言う。また、これらの基板10上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止、或いは基板10表面の平坦化のために、下塗り層を設けてもよい。基板10及びレンズ12上に感光性樹脂組成物を塗布する方法としては、スリット塗布、スプレー塗布法、インクジェット法、回転塗布スピンコート、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。感光性樹脂組成物の塗布直後の膜厚としては、塗布膜の膜厚均一性、塗布溶剤の乾燥のし易さの観点から、0.1μm~10μmであることが好ましく、0.2μm~5μmであることがより好ましく、0.2μm~3μmであることがさらに好ましい。基板10上に塗布された遮光性塗布層14Aの乾燥プリベークは、ホットプレート、オーブン等を用い、50°C~140°Cの温度で10秒~300秒で行うことができる。感光性樹脂組成物の乾燥後の塗布膜厚以下、適宜、乾燥膜厚と称するは、所望の遮光性などの性能から任意に選択することができ、概ね0.1μm以上50μm未満の範囲である。<露光工程>露光工程では、遮光性塗布層形成工程において形成された遮光性塗布層14Aをパターン状に露光する。パターン露光は走査露光でもよいが、図5Bに示すように、所定のマスクパターンを有するマスク70を介して露光する態様が好ましい。本工程における露光においては、遮光性塗布層14Aのパターン露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、この露光により遮光性塗布層14Aのうち光照射された部分だけを硬化する。ここでは、レンズ縁部12bの表面とレンズ12間の基板10の表面に光を照射するマスクパターンを用いる。こうすることで、レンズ面12aを除く領域の遮光性塗布層14Aのみが光照射によって硬化し、この硬化領域が遮光膜14を形成することとなる。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。この放射線は単一波長の光源であってもよいし、高圧水銀灯のように全ての波長を含んだ光源を用いてもよい。<現像工程>次いで、アルカリ現像処理現像工程を行うことにより、露光における光未照射部分、即ち、遮光性塗布層14Aの未硬化領域をアルカリ水溶液に溶出させ、光照射により硬化した領域だけを残す。具体的には、図5Bに示すように露光された遮光性塗布層14Aは、現像されることにより、図5Cに示すように、レンズ面12aに形成された遮光性塗布層14Aのみが除去され、それ以外の領域に硬化された遮光膜14が形成される。現像工程で用いられる現像液アルカリ性水溶液に含まれるアルカリ剤としては、有機又は無機のアルカリ剤、及びそれらの組み合わせのいずれも用いることができる。本発明における遮光膜形成においては周囲の回路などに損傷を与えがたいという観点からは有機アルカリ剤を用いることが望ましい。現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-[5、4、0]-7-ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物有機アルカリ剤、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の無機化合物無機アルカリ剤等が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が0.001質量~10質量、好ましくは0.01質量~1質量となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。現像温度としては、通常20°C~30°Cであり、現像時間は20秒~90秒の範囲で行なわれる。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像液により塗布膜の未露光部を除去した後、純水で洗浄リンスする。即ち、現像処理後には、余剰の現像液を純水により十分に洗浄することで除去し、さらに、乾燥工程を行う。なお、上述した、遮光性塗布層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要に応じて、形成された遮光膜遮光パターンを、加熱ポストベーク及び/又は露光により硬化する硬化工程を行ってもよい。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100°C~250°Cの熱硬化処理である。ポストベークの温度、及び時間などの条件は、基板又はレンズの素材により、適宜設定することが出来る。例えば基板がガラスである場合は上記温度範囲の中でも180°C~240°Cが好ましく用いられる。このポストベーク処理は、現像後に形成された遮光膜14を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン熱風循環式乾燥機、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で熱硬化させることで行うことができる。なお、以上の手順では、レンズ12の形状が凹状である場合を例に説明したが、レンズの形状は特に限定されず、凸状や非球面の形状であってもよい。また、上記手順では、基板1の一方の面に複数のレンズ12が成形されたウエハレベルレンズを例に説明したが、両方の面に複数のレンズ12が成形された構成としてもよく、その場合には、両方の面に、レンズ面を除く領域にパターン状の遮光膜14が形成される。ウエハレベルレンズの形態及び作製2図6は、ウエハレベルレンズアレイの他の構成例を示す図である。図6に示すウエハレベルレンズは、基板10とレンズ12とを同一の成形材料で同時に成形した構成モノリシックタイプである。このようなウエハレベルレンズを作成する際には、成形材料としては上述したものと同じものを用いることができる。また、この例では、基板10の一方の面図中の上側の面には、凹状のレンズ12が複数形成され、他方の面図中の下側の面には、凸状のレンズ20が複数形成されている。また、基板10のレンズ面12aを除く領域、つまり、基板10の表面及びレンズ縁部12bの表面にパターン状の遮光膜14が形成されている。遮光膜14を形成する際のパターニング方法としては、上述した手順を適用することができる。ウエハレベルレンズの形態及び作製3次に、図7A~C及び図8A~Cを参照して、ウエハレベルレンズアレイの更なる他の構成例と、それを作製する手順について説明する。ここで、図7A~Cは、パターン状の遮光膜14を形成する他の工程を示す概略図である。また、図8A~Cは、まず、パターン状の遮光膜14を形成した後、レンズ12を成形する工程を示す概略図である。図3~図6に示すウエハレベルレンズアレイの例では、レンズ12が設けられた基板10にパターン状の遮光膜14を形成するものであったが、以下に説明する手順では、まず、基板10にパターン状の遮光膜14を形成した後、基板10にレンズ12を成形する手順である。-遮光膜の形成-先ず、図7Aに示すように、基板10上に感光性樹脂組成物を塗布して遮光性塗布層14Aを形成する遮光性塗布層形成工程を行う。その後、基板10上に塗布された遮光性塗布層14Aの乾燥をホットプレート、オーブン等で50°C~140°Cの温度で10秒~300秒で行う。感光性樹脂組成物の乾燥膜厚は、所望の遮光性などの性能から任意に選択することができ、概ね0.1μm以上50μm未満の範囲である。次に、図7Bに示すように、遮光性塗布層形成工程において形成された遮光性塗布層14Aを、マスク70を介してパターン状に露光する露光工程を行う。マスク70は、所定のマスクパターンを有する。本工程における露光においては、遮光性塗布層14をパターン露光することで、遮光性塗布層14Aのうち光照射された部分だけを硬化する。ここでは、後工程でレンズ12を成形した際にレンズ12のレンズ開口14aとなる部位を除く領域の遮光性塗布層14Aにのみ光を照射するマスクパターンを用いる。この方法によりレンズ12のレンズ開口14aとなる部位を除く領域の遮光性塗布層14Aのみが光照射によって硬化する。なお、露光に際して用いることができる放射線としては、先に説明した手順と同様に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。次いで、アルカリ現像処理現像工程を行うことにより、上記パターン露光における遮光性塗布層14Aの未硬化領域であるレンズ12のレンズ開口14aに相当する領域の遮光性塗布層14Aのみがアルカリ水溶液に溶出される。この際、図7Cに示すように、レンズ12のレンズ開口14aの領域を除く領域の光硬化した遮光性塗布層14Aが基板10上に残存して、遮光膜14を形成する。ここで、現像液であるアルカリ水溶液中のアルカリ剤としては、先に説明した手順と同じものを用いることができる。現像処理後は、その後、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施す。本実施形態においても、上述した、遮光性塗布層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された遮光膜を上述のポストベーク及び/又は露光により硬化する硬化工程を施してもよい。-レンズの形成-次に、遮光膜14を形成後に、レンズ12を形成する工程について説明する。図8Aに示すように、パターン状の遮光膜14が形成された基板10の上に、レンズ12を構成する成形材料Mがディスペンサ50により滴下される。成形材料Mは、レンズ12のレンズ開口14aに相当する領域を覆うように、該開口に隣接する遮光膜14の端部を一部含むように供給される。基板10に成形材料Mを供給した後、基板10の成形材料Mを供給された面側に、図8Bに示すように、レンズを成形するための型80を配置する。型80には、レンズ12の形状を転写するための凹部82が、所望のレンズ12の数に応じて設けられている。型80を基板10上の成形材料Mに押し付け、成形材料Mを凹部の形状に倣って変形させる。そして、型80を成形材料Mに押し付けた状態で、成形材料Mが熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂の場合には型の外側から熱又は紫外線を照射することで、成形材料Mを硬化させる。成形材料Mを硬化させた後、型80から基板10及びレンズ12を離型し、図8Cに示すように、基板10にパターン状の遮光膜14を備えるウエハレベルレンズを得る。上述のように、ウエハレベルレンズに備えられるパターン状の遮光膜14は、図5に示すようにレンズ12のレンズ面12aを除く領域に設けた構成だけでなく、図8Cに示すように、遮光膜14をレンズ12のレンズ開口14aを除く領域に設けた構成としてもよい。ウエハレベルレンズは、基板10の少なくとも一方の表面にパターン状に形成された、光反射率が低い遮光膜14によって、レンズ12のレンズ面12a又はレンズ開口14a以外の領域で遮光を十分にしつつ、反射光の発生を抑制できる。このため、固体撮像素子を備えた撮像モジュールに適用した場合に、撮像時に反射光に伴うゴーストやフレアといった不具合の発生を防止できる。また、遮光膜14は基板の表面に設けられるため、ウエハレベルレンズに別の遮光部材などを取り付ける必要がなく、製造コストの増加を抑えることができる。なお、前述した特許文献2に示される構成のように、レンズの周囲に表面が凹凸の構造物を設ける構成の場合には、該構造物に入射した光が反射又は発散することで、ゴースト等の不具合が生じやすいことが懸念される。そこで、図5Cに示すようにレンズ12のレンズ面12aを除く領域にパターニングされた遮光膜14を設けた構成とすれば、レンズ面10a以外では光を遮光することができ、光学性能を改善できる。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、部は質量基準である。また、室温は25°Cを指す。合成例:分散剤1の合成500mL三口フラスコに、ε-カプロラクトン600.0g、及び2-エチル-1-ヘキサノール22.8gを導入し、窒素を吹き込みながら、攪拌溶解した。前記フラスコにモノブチル錫オキシド0.1gを加え、フラスコの内容物を100°Cに加熱した。8時間後、ガスクロマトグラフィーにて原料が消失したのを確認し、その後フラスコの内容物を80°Cまで冷却した。2,6-ジ-t-ブチル-4-メチルフェノール0.1gを添加した後、2-メタクリロイロキシエチルイソシアネート27.2gを添加した。5時間後、1H-NMRにて原料が消失したのを確認後、室温まで冷却し、固体状の前駆体M1下記構造を200g得た。得られた物質がM1であることは、1H-NMR、IR、質量分析により確認した。前記前駆体M1を30.0gと、NKエステルCB-1を70.0gと、ドデシルメルカプタン2.3gと、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMEA233.3gとを、窒素置換した三口フラスコに導入し、攪拌機新東科学株:スリーワンモータにて攪拌し、窒素をフラスコ内に流しながら加熱して75°Cまで昇温した。これに、2,2-アゾビス2-メチルプロピオン酸ジメチル和光純薬株製のV-6010.2gを加え、75°Cにて2時間加熱攪拌を行なった。2時間後、さらにV-601を0.2g加えて、3時間加熱攪拌し、下記分散剤1の30溶液を得た。分散剤1の組成比、酸価、及び重量平均分子量Mwは、以下の通りである。なお、重量平均分子量は、ゲル透過クロマトグラフGPCにより測定し、ポリスチレン換算で算出した値である。GPCによる測定は、HLC-8020GPC東ソー株製を用い、カラムとしてTSKgelSuperHZM-H、TSKgelSuperHZ4000、TSKgelSuperHZ200東ソー株製を用いて行った。組成比:x=35質量、y=65質量酸価:80mgKOH/gMw:30,000[実施例1-1、比較例1-1]-チタンブラックA-1の作製-平均粒径15nmの酸化チタンMT-150A商品名:テイカ株製を100g、BET表面積300m2/gのシリカ粒子AEROPERL登録商標300/30エボニック製を25g、及び、分散剤Disperbyk190商品名:ビックケミー社製を100g秤量し、イオン電気交換水71gを加えてKURABO製MAZERSTARKK-400Wを使用して、公転回転数1360rpm、自転回転数1047rpmにて20分間処理することにより均一な混合物水溶液を得た。この水溶液を石英容器に充填し、小型ロータリーキルン株式会社モトヤマ製を用いて酸素雰囲気中で920°Cに加熱した後、窒素で雰囲気を置換し、同温度でアンモニアガスを100mL/minで5時間流すことにより窒化還元処理を実施した。終了後回収した粉末を乳鉢で粉砕し、Si原子を含み、粉末状の比表面積73m2/gのチタンブラックA-1Aチタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体を得た。なお、チタンブラックの平均粒径は、透過型電子顕微鏡TEM株日立ハイテクノロジーズ製により、各分散物中に含まれるチタンブラック粒子被分散体の形態観察写真を撮影し、得られた写真から、粒子400個について外表面の投影面積を求め、この面積に相当する円の直径を算出し、その平均値を求めることにより得た。<チタンブラック分散物A-1及びBの調製>下記組成1に示す成分を、攪拌機IKA社製EUROSTARを使用して、15分間混合し、分散物aを得た。組成1上記のようにして得られたチタンブラックA-125部上記合成例により得られた分散剤1の30溶液25部プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMEA溶剤50部得られた分散物aに対し、寿工業株製のウルトラアペックスミルUAM015を使用して下記条件にて分散処理を行い、実施例1-1のチタンブラック分散物A-1を得た。<分散条件>ビーズ径:φ0.05mmビーズ充填率:75体積ミル周速:8m/sec分散処理する混合液量:500g循環流量ポンプ供給量:13kg/hour処理液温度:25~30°C冷却水:水道水ビーズミル環状通路内容積:0.15Lパス回数:90パスまた、実施例1-1の分散物調製に用いたチタンブラックを、三菱マテリアル株製13M-Tに変更した以外は、実施例1-1における分散液aと同じ組成の分散物bを用意し、実施例1-1と同じ分散処理を施すことにより、比較例1-1のチタンブラック分散液Bを得た。[実施例1-2、実施例1-3]上記でチタンブラックA-1の調製に使用したシリカ粒子の添加量を、30g、及び、125gに変えた以外は同様にして、それぞれSi原子を含む被分散体であるチタンブラックA-2、及び、A-3を得た。さらに、チタンブラックA-1を、得られたチタンブラックA-2、及び、A-3に代えた他は、実施例1-1と同様にして、それぞれチタンブラック分散液A-2実施例1-2、及び、A-3実施例1-3を得た。[比較例1-2、比較例1-3]上記でチタンブラックA-1の調製に使用したシリカ粒子の添加量を、10g、及び、0g添加せずに変えた以外は同様にして、それぞれチタンブラックA-4、及び、A-5を得た。さらに、チタンブラックA-1を、得られたチタンブラックA-4、及びA-5に代えた他は、実施例1-1と同様にして、それぞれチタンブラック分散液A-4比較例1-2、及びA-5比較例1-3を得た。<チタンブラック分散物の評価>得られたチタンブラック分散液A-1~A-5及びBの各々を、小型ロータリーキルン株式会社モトヤマ製を用いて酸素雰囲気中で700°Cに加熱し、30分間保持した後に冷却し、粉体を2g得た。得られた粉体を厚さ0.2mmのタングステン板上にのせ、これを、電子線加熱機構を具備した真空チャンバ内に設置し、真空度を10-5Torr以下として電子線加熱により1000°Cで30秒加熱処理した。加熱処理した粉体について、エネルギー分散型蛍光X線分析装置を具備した電界放出型走査電子顕微鏡S-4800商品名、日立テクノロジーズ社製及び、SiLi検出器INCAEnergyPentaFETx3商品名、Oxford社製を用いて、Si原子量、Ti原子量を求め、Si/Ti比を算出した。その結果、チタンブラック分散物A-1、A-2、A-3、A-4、A-5、及び、B中の被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Ti比は、それぞれ、0.07、0.4、0.05、0.048、0、及び、0であった。これらの結果を下記表1~表2に示した。[実施例2-1、比較例2-1]1A.黒色硬化性組成物感光性樹脂組成物の調製下記組成2の成分を攪拌機で混合して、実施例2-1の黒色硬化性組成物A-1を調製した。組成2ベンジルメタクリレート/メチルメタクリレート/ヒドロキシエチルメタクリレート/アクリル酸共重合体50/15/5/30モル比バインダーポリマー1.6部ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート重合性化合物2.0部ペンタエリスリトールトリアクリレート重合性化合物1.0部下記構造の重合開始剤光重合開始剤0.3部チタンブラック分散物A-124部プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMEA10部エチル-3-エトキシプロピオネートEEP8部また、上記組成2の成分のうち、チタンブラック分散物A-1を、チタンブラック分散物Bに変更した以外は、黒色硬化性組成物A-1と同様にして、比較例2-1の黒色硬化性組成物Bを調製した。[実施例2-2、2-3]実施例2-1において用いたチタンブラック分散物A-1を、チタンブラック分散物A-2及びA-3に変更した以外は、黒色硬化性組成物A-1と同様にして、黒色硬化性組成物A-2実施例2-2及び、黒色硬化性組成物A-3実施例2-3を得た。比較例2-2、2-3実施例2-1において用いたチタンブラック分散物A-1を、チタンブラック分散物A-4及びA-5に変更した以外は、黒色硬化性組成物A-1と同様にして、黒色硬化性組成物A-4比較例2-2及び、黒色硬化性組成物A-5比較例2-3を得た。<黒色硬化性組成物の評価>得られたチタンブラック分散液A-1~A-5及びBの各々を、小型ロータリーキルン株式会社モトヤマ製を用いて酸素雰囲気中で700°Cに加熱し、30分間保持した後に冷却し、粉体を2g得た。得られた粉体を厚さ0.2mmのタングステン板上にのせ、これを、電子線加熱機構を具備した真空チャンバ内に設置し、真空度を10-5Torr以下として電子線加熱により1000°Cで30秒加熱処理した。加熱処理した粉体について、S-4800日立テクノロジーズ社製および、INCAEnergyPentaFETx3Oxford社製を用いて、Si原子量、Ti原子量を求め、Si/Ti比を算出した。その結果、各黒色硬化性組成物中の被分散体のSi/Ti比として、各分散液中の被分散体のSi/Ti比表1及び表2に記載の値と同じ結果が得られた。2A.ウエハレベルレンズ用遮光膜の形成上記で得られた黒色硬化性組成物A-1~A-5、及び、Bを、基板であるガラスウエハCorning1737、Corning社製にスピンコート法で塗布し、その後、ホットプレートにて120°Cで2分加熱して、黒色硬化性組成物塗布層を得た。次いで、得られた塗布層を、i線ステッパーを用い、50μmのホールパターンを有するフォトマスクを介して、露光量100mJ/cm2から100mJ/cm2ずつ変更させて、露光した。露光後の塗布層に対し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド0.3水溶液を用い、23°C60秒間パドル現像を行った。その後、現像後の塗布層に対して、スピンシャワーにてリンスを行い更に純水にて水洗し、実施例2-1~実施例2-3及び比較例2-1~比較例2-3の黒色硬化性組成物により形成されたパターン状の遮光膜を得た。[実施例3-1、比較例3-1]実施例2-1及び比較例2-1において、基板として用いたガラスウエハに代えて、熱硬化性樹脂である東レダウコーニング社製SR-7010商品名に、210°C、1時間の熱処理を行って硬化させることで得られた厚さ1mmの平板を基板として用いた以外は、実施例2-1及び比較例2-1同様にして、パターン状の遮光膜を形成した。なお、本実施例にて用いた熱硬化性樹脂は、レンズ形成用材料としても用いることができる。[実施例3-2、3-3]実施例3-1において用いたチタンブラック分散物A-1を、チタンブラック分散物A-2及びA-3に変更した以外は、実施例3-1と同様にして、実施例3-2及び実施例3-3のパターン状の遮光膜を形成した。[比較例3-2、3-3]実施例3-1において用いたチタンブラック分散物A-1を、チタンブラック分散物A-4及びA-5に変更した以外は、実施例3-1と同様にして、比較例3-2及び比較例3-3のパターン状の遮光膜を形成した。また、実施例2-1~実施例3-3、及び比較例2-1~比較例3-3にて得られたパターン状の各遮光膜硬化膜中における被分散体の被表面積を、以下のように測定した。遮光膜が形成されている基板を割り、遮光膜の断面を作製し、この断面についてエネルギー分散型蛍光X線分析装置を具備した電界放出型走査電子顕微鏡として日立ハイテクノロジー社製S-4800商品名、及び、SiLi検出器としてOxford社製INCAEnergyPentaFETx3商品名を用いることによってSi原子量、Ti原子量を得て、これらの比を算出した。その結果、各遮光膜中の被分散体のSi/Ti比として、各分散液中の被分散体のSi/Ti比表1及び表2に記載の値と同じ結果が得られた。また、実施例2-1~3-3、及び比較例2-1~3-3にて得られたパターン状の各遮光膜露光量を表1及び2に記載するの現像部について、走査型電子顕微鏡日立ハイテクノロジー社製S-4800により観察し、基板上における現像残渣の有無を評価した。基板上に10nm以上の残渣物が観察されないことが、ウエハレベルレンズ用遮光膜として良好であることを示す。以上の結果を、表1及び表2に示す。表1及び表2に示されるように、実施例の黒色硬化性組成物A-1~A-3は、比較例の黒色硬化性組成物B、A-4、及び、A-5との対比において、いずれの露光量においても実用上十分な硬化性を示し、且つ、これを用いた遮光膜の形成においては、ガラス基板及び樹脂基板のいずれを用いた場合についても現像部遮光膜の形成領域外において現像残渣が観察されなかった。[実施例4]実施例3-1と同様にしてパターン状の遮光膜を形成した基板の上に、下記組成3の硬化性樹脂組成物を用いて硬化性樹脂層を形成し、レンズ形状を持つ石英モールドで形状を転写して高圧水銀ランプにより400mJcm2の露光量で硬化させることにより、ウエハレベルレンズを複数有するウエハレベルレンズアレイを作製した。組成3N-ビニルピロリドン35部エポキシアクリレートエポキシエステル80MF、共栄社化学株製40部ペンタエリスリトールテトラアクリレート20部イルガキュア907BASFジャパン製5部作製されたウエハレベルレンズアレイを切断し、これにレンズモジュールを作製した後に、撮像素子及びセンサ基板を取り付け、撮像ユニットを作製した。実施例4で得られたウエハレベルレンズは、レンズ開口部に残渣物が無く良好な透過性を有し、且つ遮光層の部分の塗布面の均一性が高く、遮光性が高いものであった。また、このウエハレベルレンズを備えた撮像ユニットを用いて画像を得たところ、その画質は良好であった。[実施例5-1~実施例5-3]実施例2-1~実施例2-3で調製した黒色硬化性組成物A-1、A-2,及びA-3を用い、これを、レンズを設けたシリコンウエハ上に塗布した以外は、実施例2と同様にしてパターン状の遮光層を形成して、遮光層が設けられたウエハレベルレンズアレイを作製した。作製されたウエハレベルレンズアレイを切断し、これにレンズモジュールを作製した後に撮像素子及びセンサ基板を取り付け、撮像ユニットを作製した。実施例5-1~実施例5-3で得られたウエハレベルレンズは、いずれも、レンズ開口部に残渣物が無く良好な透過性を有し、且つ遮光層の部分の塗布面の均一性が高く、遮光性が高いものであった。また、このウエハレベルレンズを備えた撮像ユニットを用いて画像を得たところ、いずれも、画質は良好であった。"