記録媒体の表面に対向する支持面と流入側端面と流出側端面とを有し、前記記録媒体表面と支持面との間に生じる空気流により浮上するヘッドスライダと、前記空気流に対して前記ヘッドスライダの流出側端部内に設けられた記録素子および再生素子と、を備え、前記ヘッドスライダの支持面は、前記空気流に対して流出側端部に設けられたトレーリングステップと、前記トレーリングステップ上に設けられているとともに前記流出側端面から流入側に隙間を置いて位置する流出端を有するトレーリングパッドと、前記トレーリングステップとトレーリングパッドと境界に位置する段差部に沿って形成された第1溝と、を備えている磁気ヘッド。前記第1溝の幅は、5μm以下である請求項1に記載の磁気ヘッド。前記第1溝の深さは、4nm以上である請求項2に記載の磁気ヘッド。前記トレーリングパッドの表面粗さは、前記トレーリングステップの上面の表面粗さよりも粗い請求項1ないし3のいずれか1項に記載の磁気ヘッド。前記ヘッドスライダの支持面は、凹所により規定された負圧キャビティを有し、前記トレーリングステップは、前記負圧キャビティの底面に対して突出して設けられ、前記ヘッドスライダの支持面は、前記負圧キャビティの底面とトレーリングステップとの境界に位置する段差部に沿って形成された第2溝を備えている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の磁気ヘッド。前記第2溝の幅は、5μm以下である請求項5に記載の磁気ヘッド。前記第2溝の深さは、4nm以上である請求項6に記載の磁気ヘッド。前記トレーリングパッドの表面粗さは、前記負圧キャビティの底面の表面粗さよりも粗い請求項5ないし7のいずれか1項に記載の磁気ヘッド。前記記録素子および再生素子は、その一部が前記トレーリングパッドに露出して設けられている請求項1ないし8のいずれか1項に記載の磁気ヘッド。請求項1ないし9のいずれか1項に記載の磁気ヘッドと、ジンバルを介して前記磁気ヘッドを支持するサスペンションと、を備えるヘッドジンバルアッセンブリ。ディスク状の記録媒体と、前記記録媒体を回転する駆動部と、前記記録媒体に対し情報処理を行う請求項1ないし9のいずれか1項に記載の磁気ヘッドと、を備えるディスク装置。磁気ヘッドのスライダの支持面に移着した潤滑剤は、空気流によってヘッドスライダの空気流出側端面に移動して蓄積する。この移着潤滑剤が過剰に蓄積すると、スライダの浮上量が不安定になる。これにより、記録再生信号が不安定になる問題が生じる。また、磁気ディスク装置の停止中に磁気ヘッドがアンロードしている間に、浮上面側のR/W素子部に潤滑剤が拡散して戻ることで、磁気ディスク装置の起動時に再生信号が変動する問題が生じてしまう。本発明は、以上の点に鑑みてなされたもので、その課題は、安定した記録再生を行うことができ、信頼性の向上した磁気ヘッド、これを備えたヘッドジンバルアッセンブリ、および、磁気ディスク装置を提供することにある。実施形態によれば、磁気ヘッドは、記録媒体の表面に対向する支持面と流入側端面と流出側端面とを有し、前記記録媒体表面と支持面との間に生じる空気流により浮上するヘッドスライダと、空気流に対して前記ヘッドスライダの流出側端部内に設けられた記録素子および再生素子と、を備えている。ヘッドスライダの支持面は、空気流に対して流出側端部に設けられたトレーリングステップと、前記トレーリングステップ上に設けられているとともに前記流出側端面から流入側に隙間を置いて位置する流出端を有するトレーリングパッドと、トレーリングステップとトレーリングパッドと境界に位置する段差部に沿って形成された第1溝と、を備えている。以下、図面を参照しながら、ディスク装置をハードディスクドライブ以下、HDDと称するに適用した実施形態について詳細に説明する。図1は、筐体のトップカバーを取外して、HDDの内部構造を示し、図2は、浮上状態の磁気ヘッドを示している。図1に示すように、HDDは筐体10を備えている。筐体10は、上面の開口した矩形箱状のベース12と、複数のねじによりベースにねじ止めされてベースの上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。筐体10内において、ベース12上に、記録媒体としての磁気ディスク16、および機構部が設けられている。機構部は、磁気ディスク16を支持および回転させるスピンドルモータ18、磁気ディスク16に対して情報の記録、再生を行なう複数、例えば、2つの磁気ヘッド40、これらの磁気ヘッド40を磁気ディスク16の表面に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリ22、キャリッジアッセンブリ22を回動および位置決めするボイスコイルモータ以下VCMと称する24を備えている。また、ベース11上には、磁気ヘッド40が磁気ディスクの最外周に移動した際、磁気ヘッドを磁気ディスクから離間した位置に保持するランプロード機構25、およびプリアンプ、ヘッドIC等の電子部品が実装された基板ユニット21等が設けられている。ベース12の底壁外面には、基板ユニット21を介してスピンドルモータ18、VCM24、および磁気ヘッド40の動作を制御する図示しない制御回路基板がねじ止めされる。図1および図2に示すように、磁気ディスク16は、例えば、直径約2.5インチの円板状に形成され非磁性体からなる基板19を有している。基板19の各表面には、磁気記録層20が積層され、その上に図示しない保護膜が形成され、更に最上層に、1nm程度の厚さで潤滑剤例えば、オイル23が塗布されている。磁気ディスク16は、スピンドルモータ18の図示しないハブの外周に嵌合されているとともに、クランプばね17によってハブ上に固定されている。これにより、磁気ディスク16は、ベース12の底壁と平行に位置した状態に支持されている。磁気ディスク16は、スピンドルモータ18により所定の速度、例えば、5400rpmあるいは7200rpmの速度で矢印B方向に回転される。キャリッジアッセンブリ22は、ベース12の底壁上に固定された軸受部26と、軸受部から延出した複数のアーム32と、を備えている。これらのアーム32は、磁気ディスク16の表面と平行に、かつ、互いに所定の間隔を置いて位置しているとともに、軸受部26から同一の方向へ延出している。キャリッジアッセンブリ22は、弾性変形可能な細長い板状のサスペンション38を備えている。サスペンション38は、板ばねにより構成され、その基端がスポット溶接あるいは接着によりアーム32の先端に固定され、アームから延出している。各サスペンション38は対応するアーム32と一体に形成されていてもよい。図2に示すように、各磁気ヘッド40は、ほぼ直方体形状のヘッドスライダ42とこのヘッドスライダに設けられた記録再生用のヘッド部44とを有し、サスペンション38の先端部に設けられたジンバル41に固定されている。サスペンション38において、ジンバル41のヘッド取付け部と対向する位置、すなわち、磁気ヘッド40の中心部と対向する位置、に、ディンプル、ここでは、磁気ヘッド側に突出するほぼ半球状の突起37が形成されている。突起37は、ジンバル41を介してヘッドスライダ42の平面のほぼ中央部に当接している。ジンバル41は、自身の弾性により、突起37に弾性的に押し付けられている。これにより、ジンバル36のヘッド取付け部および磁気ヘッド40は、突起37の回りで、ピッチ方向、ロール方向に変位し、あるいは、上下方向に変位することができる。更に、磁気ヘッド40はサスペンション34のばね力により磁気ディスク16表面に向かって所定のヘッド荷重Lが印加される。サスペンション38、ジンバル41、磁気ヘッド40、およびアーム32は、ヘッドジンバルアッセンブリを構成している。なお、ヘッドジンバルアッセンブリはアーム32を含まないものとしてもよい。図1に示すように、キャリッジアッセンブリ22は、軸受部26からアーム32と反対の方向へ延出した支持枠46を有し、この支持枠により、VCM24の一部を構成するボイスコイル47が支持されている。支持枠46は、合成樹脂によりボイスコイル47の外周に一体的に成形されている。ボイスコイル47は、ベース12に固定された一対のヨーク49間に位置し、これらのヨーク、および一方のヨークに固定された図示しない磁石とともにVCM24を構成している。ボイスコイル47に通電することにより、軸受部26の回りでキャリッジアッセンブリ22が回動し、磁気ヘッド40は磁気ディスク16の所望のトラック上に移動および位置決めされる。ランプロード機構25は、ベース12の底壁に設けられているとともに磁気ディスク16の外側に配置されたランプ51と、各サスペンション38の先端から延出したタブ48と、を備えている。キャリッジアッセンブリ22が、磁気ディスク16の外側の退避位置まで回動する際、各タブ48は、ランプ51に形成されたランプ面と係合し、その後、ランプ面の傾斜によって引き上げられ、磁気ヘッド40のアンロード動作を行う。次に、磁気ヘッド40の構成について詳細に説明する。図3は磁気ヘッドのヘッドスライダ42を示す斜視図、図4はヘッドスライダの平面図、図5は図4の線A-Aに沿った磁気ヘッドの断面図、図6はヘッドスライダのトレーリングステップ部を拡大して示す平面図、図7は、図6の線B-Bに沿った、ヘッドスライダの断面図である。図3ないし図5に示すように、磁気ヘッド40は浮上型のヘッドとして構成され、ヘッドスライダ42を有している。ヘッドスライダ42は、例えば、アルミナとチタンカーバイドの焼結体アルチック、Al2O3-TiCで形成されたスライダ本体45と、スライダ本体45の流出側端に薄膜で形成されたヘッド部44とを有している。ヘッドスライダ42は、全体としてほぼ直方体状に形成され、磁気ディスク16の表面に対向する矩形状の支持面エアベアリングサーフェース、ABS43、支持面と直交して延びた流入側端面42a、支持面と直交して延びた流出側端面42b、およびそれぞれ支持面と直交して流入側端面42aと流出側端面42bとの間を延びた一対の側面42cを有している。支持面43の長手方向を第1方向X、これと直交する幅方向を第2方向Yとする。ヘッドスライダ42は、第1方向Xの長さLが1.25mm以下、例えば、0.85mm、第2方向Yに沿った幅Wが1.0mm以下、例えば、0.7mmに形成され、いわゆるフェムトスライダとして構成されている。ヘッドスライダ42は、磁気ディスク16の回転によってディスク表面と支持面43との間に生じる空気流C図2参照により浮上する。HDDの動作時、ヘッドスライダ42の支持面43はディスク表面に対し隙間を保って対向している。ここで、空気流Cの方向は、磁気ディスク16の回転方向Bと一致している。ヘッドスライダ42は、磁気ディスク16表面に対し、支持面43の第1方向Xが空気流Cの方向とほぼ一致するように配置されている。図3ないし図5に示すように、支持面43のほぼ中央部に、第2方向Yの全長に亘って延びる帯状の負圧発生溝50が形成されている。ヘッドスライダ42の厚さを、例えば0.23mmとした場合、負圧発生溝50の深さは800~1500nm、例えば1500nmに形成されている。負圧発生溝50を設けることにより、HDDで実現される全てのヨー角において、支持面43中心部で負圧を発生させることができる。支持面43において、流入側端部には、ほぼ矩形状のリーディングステップ52が形成されている。リーディングステップ52は、負圧発生溝50の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Cに対して負圧発生溝50の流入側に位置している。磁気ヘッド40のピッチ角を維持するため、リーディングステップ52上には、空気膜によってヘッドスライダ42を支えるリーディングパッド53が突設されている。リーディングパッド53は、流入側に向かって複数個所が開放するM字形状に形成されている。更に、リーディングステップ52の流入端から僅かに流出側にずれた位置に、負圧発生溝55が形成されている。リーディングパッド53およびリーディングステップ52は、第1圧力発生部を構成している。支持面43のほぼ中央部から流出端側に渡って、凹所からなる負圧キャビティ54が形成されている。負圧キャビティ54は、負圧発生溝50の流出端側に位置し、ヘッドスライダ42の流出側端面44bに向かって開放している。負圧キャビティ54は、負圧発生溝50よりも浅く形成され、すなわち、負圧発生溝50の底面よりも高い位置に形成されている。支持面43において負圧キャビティ54を囲うようにリブ状の中間ステップ56、一対のサイドステップ58、および一対のスカート60が形成されている。中間ステップ56は、負圧発生溝50と負圧キャビティ54との間に位置し、第2方向Yに沿って支持面43の両側縁間を延びている。中間ステップ56は、負圧キャビティ54の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Cに対して負圧キャビティ54の流入側に位置している。一対のサイドステップ58は、支持面43の各側縁に沿って形成され、中間ステップ56から支持面43の流出端側に延出している。これらのサイドステップ58は負圧キャビティ54の底面に対して突出している。一対のスカート60は支持面43の各側縁に沿って形成され、それぞれ第1方向Xに沿ってサイドステップ58から支持面43の流出側端近傍まで延びている。各スカート60は、負圧キャビティ54の底面に対して突出して設けられ、かつ、サイドステップ58よりも低く形成されている。中間ステップ56、一対のサイドステップ58、および一対のスカート60は、全体として、上流側が閉塞され、下流側に向かって開放したほぼU字形状に形成されている。そして、中間ステップ56、一対のサイドステップ58、および一対のスカート60により負圧キャビティ54が規定されている。図3ないし図6に示すように、ヘッドスライダ42は、空気流Cの方向に対して、支持面43の流出側の端部に形成されたトレーリングステップ62を有している。トレーリングステップ62は、負圧キャビティ54の底面に対して突出して形成され、その突出高さは、リーディングステップ52と同一の高さに形成されている。トレーリングステップ62は、支持面43の第2方向Yほぼ中央に位置している。トレーリングステップ62の上面には、空気膜によってヘッドスライダ42を支えるトレーリングパッド63が突設されている。トレーリングパッド63は、トレーリングステップ62の流出側端面、ここでは、ヘッドスライダ42の流出側端面42bから流入側に隙間を置いて設けられている。すなわち、トレーリングパッド63の流出側端63aは、トレーリングステップ62の流出側端縁から隙間dだけ流入側にずれて位置している。トレーリングパッド63は、リーディングパッド53、センタステップ56、サイドステップ58と同一高さレベルに形成され、ヘッドスライダ42の最上面となり支持面43を構成している。トレーリングステップ62およびトレーリングパッド63は、第2圧力発生部を構成している。磁気ヘッド40のヘッド部44は、磁気ディスク16に対して情報の記録再生を行う記録素子65および再生素子66を有している。これら記録素子65および再生素子66は、空気流Cの方向に対して、ヘッドスライダ42の下流側端部内、ここでは、トレーリングステップ62内に埋め込まれている。記録素子65および再生素子66の先端部は、トレーリングパッド63の位置で支持面43に露出している。ヘッドスライダ42の支持面43は、第1方向Xに沿って、中間ステップ56からトレーリングステップ58まで延びる細長い一対のセンタレール68を有している。一対のセンタレール68は、ヘッドスライダ42の中心軸線Dの両側に位置し、第2方向Yに隙間を置いて、互いに対向している。センタレール68は、負圧キャビティ54の底面からの高さが、中間ステップ56およびトレーリングパッド63の高さと同一に形成されている。一対のセンタレール62間に、空気流をトレーリングステップ62およびトレーリングパッド63に導くガイド溝76が形成されている。このガイド溝76は、中心軸線Dに沿って形成され、負圧発生溝50を通り、更に、リーディングステップ52まで延びている。図5ないし図7に示すように、ヘッドスライダ42において、記録素子65および再生素子66の端が露出している支持面43を有するトレーリングパッド63とトレーリングステップ62の上面との境界である第1段差部71に沿って、第1溝70が形成されている。すなわち、第1溝70は、トレーリングパッド63を囲むように連続して設けられ、トレーリングステップ62の流出側端面42bとトレーリングパッド63の流出側端63aとの間をヘッドスライダ42の幅方向、つまり、Y方向に延びる部分、および、トレーリングパッド63の流出側端63aから流入端側に向かって延びる部分を有している。また、トレーリングステップ62およびセンタレール68と負圧キャビティ54の底面との境界である第2段差部72に沿って、第2溝74が形成されている。第2溝74は、トレーリングステップ62およびセンタレール68を囲むように、これらの両側に連続して設けられている。第1溝70および第2溝74は、例えば、イオンミリング等の半導体加工技術により形成可能である。本実施形態において、記録素子65および再生素子66の先端が露出しているトレーリングパッド63の表面を含む支持面ABS43は、算術表面粗さが、ヘッドスライダ42の他の部分の表面粗さ、ここでは、トレーリングステップ62の上面の表面粗さ、および、負圧キャビティ54の底面の表面粗さ、よりも粗くなるように形成されている。以上のように構成されたHDDによれば、磁気ヘッド40は、磁気ディスク16の回転によって磁気ディスク表面と支持面43との間に生じる空気流Cにより浮上する。これにより、HDDの動作時、ヘッドスライダ42の支持面43は磁気ディスク表面に対し常に隙間を保って対向している。磁気ヘッド40は、ヘッド部44の記録素子、再生素子部が最も磁気ディスク16表面に接近した傾斜姿勢をとって浮上する。この浮上状態において、ヘッドスライダ42のセンタパッド76は、記録素子、再生素子部よりも磁気ディスク表面から距離だけ離間して位置する。一般的に、磁気ヘッド40が磁気ディスク16上を走行している時は、ヘッドスライダ42の支持面43上には強い空気の流れが生じるため、液状物磁気ディスク潤滑剤等が付着しても流れて堆積しにくい。しかし、トレーリングステップ62の上面や負圧キャビティ54の底面は比較的空気の流れが弱く、液状物が堆積しやすい。トレーリングステップ62の上面や負圧キャビティ54の底面に堆積した液状付着物が、磁気ヘッド40のアンロード時磁気ヘッドが磁気ディスク16上から退避した状態に支持面43に拡散し、膜を形成すると、ロード装置起動時、形成された膜の膜厚分だけ磁気ヘッド40の浮上量が増加し、リードライト特性の劣化を生じる。そこで、上述した本実施形態のように、トレーリングパッド63の周囲に第1溝70を設け、更に、トレーリングステップ62の周囲に第2溝74を設けることで、毛細管現象により第1および第2溝70、74への液状物の拡散を促し、トレーリングステップ62の上面や負圧キャビティ54の底面に付着した液状物が、支持面43に拡散することを防ぐことができる。また、第1溝70は、ヘッドスライダ42の流出側端面42bとトレーリングパッド63との間に設けられているため、流出側端面42bに溜まった液状付着物がトレーリングパッド63の表面に拡散するのを防ぐことができる。実施例1ヘッドスライダ42の第1段差部71に第1溝70を形成し、第2段差部72に第2溝74を形成した。第1溝70および第2溝74は、幅を5μm、深さを100nmとした。各溝による毛細管現象を促進するためには、ラプラス圧を高くすれば良く、溝の深さ方向の曲率半径は小さい方が望ましい。そのためには、各溝の幅は5μm以下、深さは4nm以上が望ましい。磁気ディスク16表面の潤滑剤が磁気ヘッド40に付着した場合、単分子層膜の膜厚が約2nm程となる。そのため、支持面43への拡散抑制効果を得るには、第1溝70および第2溝74の深さは、単分子層膜の膜厚の倍の4nm以上であることが望ましい。第1溝70および第2溝74の幅の下限は、加工技術の制約を無視すると、100nm以上であることが望ましい。磁気ヘッドに付着する液状付着物の液滴径が大きいもので100nm程度のものが考えられ、溝の幅が狭すぎると、溝を超えて支持面43へ拡散するためである。実施例2ヘッドスライダ42の第1段差部71にのみ第1溝70を形成した。第1溝70は、幅5μm、深さ100nmとした。磁気ヘッド40の浮上量に影響をあたえるのはヘッドスライダ42の支持面43であるため、少なくとも第1段差部71に第1溝70を設ける。第2段差部72への第2溝形成は、コスト低減の観点からは省略可能である。実施例3実施例1と同様に第1溝70を形成し、支持面43トレーリングパッド63の表面の表面粗さを、トレーリングステップ62の上面および負圧キャビティ54の底面の表面粗さよりも低くした。電子間力顕微鏡AFMで粗さを測定では、支持面43の平均算術粗さRaは0.5nm5μm□で、トレーリングステップ62の上面や負圧キャビティ54の底面の平均算術粗さRaは2nm5μm□とした。表面粗さは、例えば、ヘッドスライダ42の支持面加工の最後でスメア除去するためのエッチングの条件を変更することで制御可能である。液状付着物の拡散は表面エネルギーの高い方に進むため、支持面43の表面エネルギーを相対的に低くすることが望ましい。支持面43の表面粗さを相対的に低くすることが効果的である。実施例4実施例1と同様に第1段差部71と第2段差部72の両方の第1溝70、第2溝74を形成し、各溝の幅を10nm、深さを100nmとした。比較例1第1および第2溝を持たない磁気ヘッドを用意した。上記実施例1~4、比較例1の磁気ヘッドについて、浮上量変動を検査した。実施例1~4、比較例1の磁気ヘッドをそれぞれ磁気ディスク装置に搭載し、その磁気ディスク装置を高温60°C環境下で150時間稼働させた後、常温20°Cにし、磁気ヘッドを磁気ディスクから退避した状態アンロードにして磁気ディスク装置を10時間放置した。その後、磁気ディスク装置を起動し、磁気ヘッドを磁気ディスクの外周上を走行させてロード、起動直後から約2時間の間の浮上量変化を測定した。その結果の例を図8および図9に示す。起動直後の磁気ヘッド40の浮上量を0基準とすると、最初、浮上量は低下し、1、2時間後、浮上量変化がなくなり安定する。言い換えると、起動直後の磁気ヘッドの浮上量は、磁気ヘッド通常走行時よりも高くなっている。これはアンロード時に液状付着物がヘッドスライダの支持面に拡散して膜を形成し、起動直後は、この膜の膜厚分だけ、磁気ヘッドの浮上量が増加する。しかし、液状付着膜は、時間の経過とともに空気流により支持面43から流され、磁気ヘッドの浮上量は、なにも付着していない時の浮上量に戻る。このような磁気ディスク装置の起動直後から磁気ヘッドの浮上量が安定するまでの浮上変化量ΔFHを実施例および比較例ごとに評価した。図8および図9に示すように、実施例1、2、3、4のいずれも、比較例1より浮上変化量ΔFHが小さいことが分かる。溝を第1段差部71と第2段差部72との両方に形成し、支持面43の表面粗さを低くした実施例3で、磁気ヘッドどの浮上変化量ΔFHが最小であった。また、第1および第2溝の幅を10nmと広くし形成した実施例4では、浮上量変動ΔFHが増加したが、比較例1よりは小さく、溝形成の効果が見られる。以上のように、本実施形態によれば、潤滑剤等の液状付着物がヘッドに移着しても、浮上量変化が発生しにくく、安定した記録再生を行うことができ、信頼性の向上した磁気ヘッド、ヘッドジンバルアッセンブリ、及び磁気ディスク装置が得られる。本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。例えば、ヘッドスライダは、フェムトスライダに限らず、ピコスライダ、ペムトスライダ、あるいは、より寸法の大きなスライダにも適用可能である。ヘッドスライダにおける、トレーリングステップ、トレーリングパッド、その他の部分の形状、寸法等は、必要に応じて変更可能である。ディスク装置において、磁気ディスクの枚数は1枚に限らず、増加可能である。