"被搬送物を搬送する搬送車であって、所定の方向に沿って走行可能に設けられた本体部と、前記本体部に対して上下方向の軸中心に回転可能に設けられた回転部と、前記回転部に設置され、前記被搬送物を載置すると共に、所定の伸縮方向に沿って伸縮して前記被搬送物を出し入れする移載装置と、前記移載装置に前記被搬送物が載置されたときに、前記伸縮方向における前記被搬送物の第1位置を検出する第1位置検出手段と、前記移載装置に前記被搬送物が載置されたときに、前記伸縮方向に水平面で直交する方向における前記被搬送物の第2位置を検出する第2位置検出手段と、前記移載装置により前記被搬送物を取り込んでから当該被搬送物の移送先に到達するまでに、前記第1位置検出手段及び前記第2位置検出手段により検出された前記被搬送物の前記第1及び第2位置に基づいて前記被搬送物の位置ずれの補正量を算出し、当該補正量を加味した前記本体部の移動量、前記回転部の回転量及び前記移載装置の伸張量を設定する制御部と、を備えることを特徴とする搬送車。前記移載装置は、一方向にのみ伸縮するスカラーアームを有し、前記第1位置検出手段は、前記スカラーアームの基部側で且つ前記被搬送物が載置される載置面よりも上方に設置されていることを特徴とする請求項1記載の搬送車。前記第1位置検出手段は、前記スカラーアームの前記基部に固定されていることを特徴とする請求項2記載の搬送車。前記第1位置検出手段は、前記スカラーアームの前記基部に離間して2つ設置されており、前記第2位置検出手段は、前記スカラーアームに1つ設置されていることを特徴とする請求項2又は3記載の搬送車。前記第2位置検出手段は、前記回転部に設置されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項記載の搬送車。被搬送物の位置ずれは、搬送工程において累積されてずれ量が大きくなるため、上述のように所定の位置となるように補正する必要がある。一方で、半導体や液晶等の製造工程では、時間のロスを少なく効率的に被搬送物を搬送することも要請されている。したがって、効率良く被搬送物の位置ずれを補正することが望まれている。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、被搬送物の位置ずれを効率良く補正することができる搬送車を提供することを目的とする。本発明は、被搬送物を搬送する搬送車であって、所定の方向に沿って走行可能に設けられた本体部と、本体部に対して上下方向の軸中心に回転可能に設けられた回転部と、回転部に設置され、被搬送物を載置すると共に、所定の伸縮方向に沿って伸縮して被搬送物を出し入れする移載装置と、移載装置に被搬送物が載置されたときに、伸縮方向における被搬送物の第1位置を検出する第1位置検出手段と、移載装置に被搬送物が載置されたときに、伸縮方向に水平面で直交する方向における被搬送物の第2位置を検出する第2位置検出手段と、移載装置により被搬送物を取り込んでから当該被搬送物の移送先に到達するまでに、第1位置検出手段及び第2位置検出手段により検出された被搬送物の第1及び第2位置に基づいて被搬送物の位置ずれの補正量を算出し、当該補正量を加味した本体部の移動量、回転部の回転量及び移載装置の伸張量を設定する制御部と、を備えることを特徴とする。この搬送車では、移載装置により被搬送物を取り込んでから当該被搬送物の移送先に到達するまでに、被搬送物の位置ずれの補正量を算出し、本体部の移動量、回転部の回転量及び移載装置の伸張量を設定している。そのため、被搬送物の位置ずれを補正することができる。また、被搬送物を取り込んでから移送先に到達するまでに補正量を算出して各動作量を設定するため、被搬送物を取り込むときや被搬送物を移送先の棚に収納するときに補正量を算出する場合に比べて、時間の短縮が図れる。したがって、被搬送物の位置ずれを効率良く補正することができる。移載装置は、一方向にのみ伸縮するスカラーアームを有し、第1位置検出手段は、スカラーアームの基部側で且つ被搬送物が載置される載置面よりも上方に設置することができる。この形態では、第1位置検出手段を移動させることなく、第1位置の検出を正確に行うことができる。第1位置検出手段は、スカラーアームの基部に固定することができる。この形態では、被搬送物に近接した位置で第1位置を検出することができるため、より正確に第1位置を検出することができる。第1位置検出手段は、スカラーアームの基部に離間して2つ設置されており、第2位置検出手段は、スカラーアームに1つ設置することができる。この形態では、最小数の位置検出手段により高精度に被搬送物の位置を検出することができる。第2位置検出手段は、回転部に設置されていてもよい。この形態では、被搬送物に近接した位置で第2位置を検出することができるため、より正確に第2位置を検出することができる。本発明によれば、被搬送物の位置ずれを効率良く補正することができる。以下、添付図面を参照して、好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。図1は、一実施形態に係る搬送車を示す斜視図である。図2aは、移載装置を上から見た図であり、図2bは、移載装置を横から見た図である。図3は、スカラーアームが伸張した状態を示す図である。各図に示す搬送車1は、多数の棚図示しないを配置したクリーンルーム内を移動して、各棚においてカセット被搬送物Wの出し入れを行う装置である。カセットWには、例えば液晶パネルや太陽電池パネルに用いられる複数のガラス基板図示しないが収納される。搬送車1は、クリーンルーム内を移動する走行台車本体部3と、この走行台車3に立設された2基の支柱装置5a,5bと、支柱装置5a,5bに対して上下方向に移動可能に設けられた昇降台7と、昇降台7上に設置されたターンテーブル回転部9と、ターンテーブル9上に設置された移載装置11と、第1位置検出センサ第1位置検出手段13と、第2位置検出センサ第1位置検出手段15と、第3位置検出センサ第2位置検出手段17とを含んで構成されている。また、搬送車1は、この搬送車1の動作を制御するコントローラ制御部19図5参照を備えている。走行台車3は、所定の方向に沿って走行可能に設けられている。走行台車3は、車輪3aを有しており、クリーンルーム内に敷設されたレールRに沿って直線移動する。車輪3aは、図示しないモータによって回転駆動される。この走行台車3により、搬送車1は、クリーンルーム内において移動可能に設けられている。支柱装置5a,5bは、走行台車3の走行方向において対向して一対設けられている。支柱装置5a,5bには、上下方向に沿ってガイドレール20が設けられている。このガイドレール20には、昇降台7の両側に設けられた支持フレーム22のガイド図示しないが摺動可能に設けられている。昇降台7は、図示しない昇降駆動手段により、ガイドレール20に沿って支柱装置5a,5bの上下方向に昇降する。ターンテーブル9は、走行台車3に対して上下方向の軸中心に回転可能に設けられている。ターンテーブル9は、昇降台7上に設置され、図示しないモータにより回転駆動される。移載装置11は、スカラーアーム24と、このスカラーアーム24が設置されるスライド部26とにより構成されている。スカラーアーム24は、基端側アーム28と、先端側アーム30と、移載アーム32とにより構成されている。基端側アーム28の基端側は、基台25に回動自在に設けられている。基端側アーム28と先端側アーム30とは、互いに回動自在に設けられており、フリーアーム33を構成している。また、先端側アーム30と移載アーム32とは、互いに回動自在に設けられている。移載アーム32は、基端部基部32aと、基端部32aから移載方向の前側に延伸する一対の受けアーム32b,32cとから構成されている。受けアーム32b,32cの上面は、カセットWを載置する載置面を構成している。スカラーアーム24は、基台25が基端側アーム28を基台25の中心線対称に同期回転駆動させることにより、移載アーム32が走行台車3の走行方向に直交する一方向カセットWが出し入れされる方向に直線移動する。スライド部26は、走行台車3の走行方向に直交する方向に直進移動し、スカラーアーム24をスライドさせる。スライド部26は、ターンテーブル9上に設置されている。これにより、移載装置11は、図1に示す移載アーム32の先端の向きから、180°反対の向きまで回転可能に設けられている。第1位置検出センサ13及び第2位置検出センサ15は、スカラーアーム24の伸縮方向におけるカセットWの位置を検出するレーザセンサである。第1及び第2位置検出センサ13,15は、スカラーアーム24において移載アーム32の基端部32aにこの基端部32aを挟んで離間して設置されている。図4に示すように、第1位置検出センサ13は、移載アーム32の基端部32aの長手方向の一端側に設置されており、第2位置検出センサ15は、移載アーム32の基端部32aの長手方向の他端側に設置されている。第1及び第2位置検出センサ13,15は、受けアーム32b,32cの上面載置面よりも上方に設置されている。第1及び第2位置検出センサ13,15は、レーザ光を投受光する投受光部図示しないを有しており、図4に示すように、スカラーアーム24の先端側に向けて投光した光が、カセットWの下部のフレームFにて反射して受光されるまでの時間に基づいて距離を測定する。第1及び第2位置検出センサ13,15は、移載アーム32の受けアーム32b,32cにカセットWが載置されたときに、位置の検出を行う。第1及び第2位置検出センサ13,15は、検出したカセットWの位置を示す第1位置情報及び第2位置情報をコントローラ19に出力する。第3位置検出センサ17は、走行台車3の走行方向、すなわちスカラーアーム24の伸縮方向に水平面で直交する方向におけるカセットWの位置を検出するレーザセンサである。第3位置検出センサ17は、スカラーアーム24において移載アーム32の一方の受けアーム32bに設置されている。第3位置検出センサ17は、レーザ光を投受光する投受光部図示しないを有しており、図4に示すように、スカラーアーム24の伸縮方向に直交する方向に向けて投光した光が、カセットWの下部のフレームFにて反射して受光されるまでの時間に基づいて距離を測定する。第3位置検出センサ17は、移載アーム32の受けアーム32b,32cにカセットWが載置されたときに、位置の検出を行う。第3位置検出センサ17は、検出したカセットWの位置を示す第3位置情報をコントローラ19に出力する。図5は、コントローラの機能的な構成を示すブロック図である。図5に示すように、コントローラ19には、第1位置検出センサ13、第2位置検出センサ15及び第3位置検出センサ17が接続されている。コントローラ19は、CPUCentralProcessingUnit、ROMReadOnlyMemory、RAMRandomAccessMemoryなどから構成されており、プログラムにより各種の制御が実行される。コントローラ19は、第1補正量算出部190と、第2補正量算出部191と、第3補正量算出部192とを備えている。第1補正量算出部190は、スカラーアーム24の伸縮方向図4中Y方向におけるカセットWの位置ずれの補正量を算出し、スカラーアーム24の伸張量を設定する。第1補正量算出部190は、第1及び第2位置検出センサ13,15から出力された第1及び第2位置情報を受け取ると、カセットWの移送先に到達するまでに、第1及び第2位置情報に基づいてカセットWのY方向の位置ずれの補正量を算出し、この補正量に基づいてスカラーアーム24の伸張量を設定する。第1補正量算出部190は、設定した伸張量を示す伸張量情報をアクチュエータ34に出力する。第2補正量算出部191は、走行台車3の走行方向、つまりY方向に直交する方向図4中X方向におけるカセットWの位置ずれの補正量を算出し、走行台車3の移動量を設定する。第2補正量算出部191は、第1~第3位置検出センサ13,15,17から出力された第1~第3位置情報を受け取ると、カセットWの移送先に到達するまでに、第1~第3位置情報に基づいてカセットWのX方向の補正量を算出し、この補正量に基づいて走行台車3の移動量搬送車1の停止位置を設定する。第2補正量算出部191は、設定した移動量を示す移動量情報をアクチュエータ34に出力する。第3補正量算出部192は、カセットWの回転方向における位置ずれの補正量を算出し、ターンテーブル9の回転量を設定する。第3補正量算出部192は、第1及び第2位置検出センサ13,15からそれぞれ出力された第1及び第2位置情報を受け取ると、カセットWの移送先に到達するまでに、第1及び第2位置情報に基づいてカセットWの回転角θを算出して位置ずれの補正量を算出し、補正量に基づいてターンテーブル9の回転量を設定する。第3補正量算出部192は、設定した回転量を示す回転量情報をアクチュエータ34に出力する。アクチュエータ34は、走行台車3の車輪3aを駆動するモータ、ターンテーブル9を回転させるモータ、移載装置11を駆動するモータ等である。アクチュエータ34は、コントローラ19から出力された伸張量情報、移動量情報及び回転量情報を受け取ると、これら補正量が加味された各情報に応じて各機器を動作させる。続いて、搬送車1の動作について説明する。図6は、カセットのずれを補正する手順を説明するための図である。図6aに示すように、搬送車1は、まずカセットWが収納された棚の前に移動する。次に、図6bに示すように、搬送車1は、移載装置11のスカラーアーム24の移載アーム32を伸ばし、棚に収納されているカセットWの下部にスカラーアーム24を挿入して持ち上げる。続いて、図6cに示すように、移載アーム32を縮めてカセットWを搬送車1に取り込む。このとき、第1~第3位置検出センサ13,15,17によって移載アーム32に対するカセットWの位置を検出する。そして、移送先の棚にカセットWを移送する。コントローラ19は、この移動中にカセットWのずれを補正するための位置ずれの補正量を算出して伸張量、移動量及び回転量を設定する。続いて、搬送車1は、上記補正量が加味された移動量に基づいて走行台車3が制御され、棚の前まで移動する。そして、搬送車1は、図6dに示すように、移載装置11のスカラーアーム24を伸ばし、カセットWを棚に収納する。このとき、スカラーアーム24の伸張量、ターンテーブル9の回転量に基づいて、移載装置11及びターンテーブル9が制御される。これにより、カセットWは、図6eに示すように、棚に対してずれが補正されて収納される。本実施形態では、移載装置11がカセットWを取り込んでからカセットWの移送先に到達するまでに、コントローラ19が第1~第3位置検出センサ13,15,17により検出されたカセットWの位置に基づいてカセットWの位置ずれの補正量を算出し、この補正量が加味された走行台車3の移動量、ターンテーブル9の回転量及びスカラーアーム24の伸張量を設定している。そのため、カセットWの位置ずれを良好に補正することができる。また、カセットWを取り込んでから移送先に到達するまでに位置ずれの補正量を算出して各動作量を設定するため、カセットWを取り込むときやカセットWを移送先の棚に収納するときに補正量を算出する場合に比べて、時間の短縮が図れる。したがって、カセットWの位置ずれを効率良く補正することができる。ここで、従来では、カセットWを取り込むときにスカラーアームを一旦停止してカセットの位置を検出して補正量を算出していたため、移載装置の動作が約1~2秒程度停止していた。これに対して、本実施形態では、カセットWの移送中に補正量を算出して、この補正量が加味された伸縮量、移動量及び回転量を設定するため、以下のような動作が可能となる。すなわち、搬送車1では、カセットWを取り込む際に移載装置11の動作を停止させる必要がないため、移載装置11におけるスカラーアーム24の伸縮動作と昇降台7の昇降動作とをオーバーラップさせることができる。したがって、移載時間の短縮を図ることができる。これにより、位置ずれを補正しつつ、効率的なカセットWの搬送移載が可能となる。また、本実施形態では、第1及び第2位置検出センサ13,15を移載アーム32の基端部32aに固定している。したがって、カセットWの位置を近接して検出できる。これにより、カセットWの位置を精度良く検出できる。本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、第3位置検出センサ17をスカラーアーム24の受けアーム32bに取り付けているが、第3位置検出センサ17の取り付け位置はこれに限定されない。第3位置検出センサ17は、図7に示すように、ターンテーブル9に設置されてもよい。図7に示すように、搬送車1Aにおいて、第3位置検出センサ17Aは、支持部Sによりターンテーブル9に取り付けられている。このような構成により、第3位置検出センサ17Aは、カセットWが搬送車1に取り込まれたときに、カセットWの外側からフレームFの位置を検出する。また、上記実施形態では、第1~第3位置検出センサ13,15,17としてレーザセンサを例示しているが、第1~第3位置検出センサ13,15,17は、光学式測距センサや、超音波、磁波を用いたものであってもよい。"