帯状のシート基板を搬送する搬送装置であって、第一方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第一方向から前記第一方向と異なる第二方向に変える第一案内部材と、前記第二方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第二方向から前記第二方向と異なる第三方向に変える第二案内部材と、前記第一案内部材及び前記第二案内部材の少なくとも一方に設けられ、前記第一案内部材の位置及び前記第二案内部材の位置の少なくとも一方を調整し、前記第二方向と交差する方向における前記シート基板の位置を調整する調整機構とを備える搬送装置。前記第一案内部材は、前記シート基板の幅方向に対して斜め方向に延びる中心軸を備えた円柱状部材を有する請求項1に記載の搬送装置。前記第一案内部材は、前記中心軸を中心に前記円柱状部材を回転させる駆動機構を備える請求項2に記載の搬送装置。前記第一案内部材は、前記シート基板の幅方向に対して平行な中心軸を備え、前記中心軸の一端部から他端部に向かうに従い外径寸法が小さくなる錘状部材を有する請求項1に記載の搬送装置。前記第一案部材は、前記中心軸を中心に前記錘状部材を回転させる駆動機構を備える請求項4に記載の搬送装置。前記第二案内部材は、前記シート基板の幅方向に対して斜め方向に延びる中心軸を備えた円柱状部材を有する請求項1に記載の搬送装置。前記第二案内部材は、前記中心軸を中心に前記円柱状部材を回転させる駆動機構を備える請求項6に記載の搬送装置。前記第二案内部材は、前記シート基板の幅方向に対して平行な中心軸を備え、前記中心軸の一端部から他端部に向かうに従い外径寸法が小さくなる錘状部材を有する請求項1に記載の搬送装置。前記第二案部材は、前記中心軸を中心に前記錘状部材を回転させる駆動機構を備える請求項8に記載の搬送装置。前記第一案内部材は、前記第二方向に搬送される前記シート基板の面と、前記第一方向から搬送される前記シート基板の面とが互いに平行になるまで、前記シート基板を曲げる案内面を有する請求項1から請求項9のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第二案内部材は、前記第三方向に搬送される前記シート基板の面と、前記第二方向から搬送される前記シート基板の面とが互いに平行になるまで、前記シート基板を曲げる案内面を有する請求項1から請求項10のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第二方向は、前記第一方向に対して交差する方向である請求項1から請求項11のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第三方向は、前記第一方向と平行なである請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記調整機構は、前記第一案内部材の位置を調整する第一調整部と、前記第二案内部材の位置を調整する第二調整部と、前記第一調整部及び前記第二調整部を制御する制御部と、を有する請求項1から請求項14のいずれか一項に記載の搬送装置。前記制御部は、前記第一案内部材及び前記第二案内部材を制御し、前記シート基板をチルトさせる請求項14に記載の搬送装置。前記シート基板に設けられるマークを検出するマーク検出部を更に備え、前記調整機構は、前記マーク検出部の検出結果に基づいて前記シート基板の位置を調整する請求項1から請求項15のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第一案内部材と前記第二案内部材との間に配置され、前記シート基板を支持すると共に、少なくとも前記シート基板を押す方向に移動可能に設けられたステージ装置を更に備える請求項1から請求項16のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記ステージ装置は、前記シート基板を支持する面に当該シート基板を吸着する吸着部を有する請求項17に記載の搬送装置。帯状のシート基板を搬送する搬送装置と、前記シート基板に対して所定の処理を行う処理装置とを備え、前記搬送装置として、請求項1から請求項18のうちいずれか一項に記載の搬送装置が用いられる基板処理装置。前記処理装置は、前記シート基板のうち前記搬送装置の前記第一案内部材と前記第二案内部材との間の領域に対して前記処理を行うように配置されている請求項19に記載の基板処理装置。帯状のシート基板を搬送する搬送装置であって、前記シート基板の裏面を支持し、第一方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第一方向から前記第一方向と異なる第二方向に変える第一案内部材と、前記シート基板の裏面を支持し、前記第二方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第二方向から前記第二方向と異なる第三方向に変える第二案内部材と、前記シート基板の裏面を支持し、前記第三方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第三方向から前記第三方向と異なる第四方向に変える第三案内部材とを備えることを特徴とする搬送装置。前記第一案内部材は、前記第一方向から搬送される前記シート基板の表面と、前記第二方向に搬送される前記シート基板の表面とが互いに平行になるまで、前記シート基板を曲げる第一案内面を有することを特徴とする請求項21に記載の搬送装置。前記第二案内部材は、前記第二方向から搬送される前記シート基板の表面と、前記第三方向に搬送される前記シート基板の表面とが互いに平行になるまで、前記シート基板を曲げる第二案内面を有することを特徴とする請求項21又は請求項22に記載の搬送装置。前記第三案内部材は、前記第三方向から搬送される前記シート基板の表面と、前記第四方向に搬送される前記シート基板の表面とが互いに平行になるまで、前記シート基板を曲げる第三案内面を有することを特徴とする請求項21から請求項23のいずれか一項に記載の搬送装置。前記第一案内部材、前記第二案内部材及び前記第三案内部材の少なくとも一つは、前記シート基板の幅方向に対して斜め方向に延びる中心軸を備えた円柱状部材を有することを特徴とする請求項21から請求項24のいずれか一項に記載の搬送装置。前記第一案内部材、前記第二案内部材及び前記第三案内部材の少なくとも一つは、前記シート基板の幅方向に対して平行な中心軸を備え、前記中心軸の一端部から他端部に向かうに従い外径寸法が小さくなる錘状部材を有することを特徴とする請求項21から請求項24のいずれか一項に記載の搬送装置。前記第二方向は、前記第一方向に対して交差する方向であることを特徴とする請求項21から請求項26のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第三方向は、前記第一方向と平行な方向であることを特徴とする請求項21から請求項27のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第四方向は、前記第二方向と平行な方向であることを特徴とする請求項21から請求項28のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第一案内部材は、前記シート基板の幅方向に対して斜め方向に延びる中心軸を備えた円柱状部材を有し、前記第二案内部材は、前記第一案内部材の中心軸に対して平行に延びる中心軸を備える円柱状部材を有することを特徴とする請求項21から請求項29のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第三案内部材は、前記第二案内部材の中心軸に対して交差する方向に延びる中心軸を備える円柱状部材を有することを特徴とする請求項30に記載の搬送装置。前記第一案内部材は、前記シート基板の幅方向に対して平行な中心軸を備え、かつ前記中心軸の一端部から他端部に向かうに従い外径寸法が小さくなる錘状部材を有し、前記第二案内部材は、前記第一案内部材の中心軸に対して平行に延びる中心軸を備え、かつ前記中心軸の一端部から他端部に向かうに従い外径寸法が小さくなる錘状部材を有することを特徴とする請求項21から請求項29のうちいずれか一項に記載の搬送装置。前記第三案内部材は、前記第二案内部材の中心軸に対して交差する方向に延びる中心軸を備え、かつ前記中心軸の一端部から他端部に向かうに従い外径寸法が小さくなる錘状部材を有することを特徴とする請求項32に記載の搬送装置。前記シート基板の裏面を支持し、前記第四方向から搬送される前記シート基板を前記シート基板の幅方向に対して斜め方向に曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第四方向から前記第四方向と異なる第五方向に変える第四案内部材を更に備えることを特徴とする請求項21から請求項33のうちいずれか一項に記載の搬送装置。帯状のシート基板を搬送する搬送装置と、前記シート基板に対して所定の処理を行う処理装置とを備え、前記搬送装置として、請求項21から請求項34のうちいずれか一項に記載の搬送装置が用いられることを特徴とする基板処理装置。帯状のシート基板の表面に所定の処理を実施する基板処理装置であって、前記シート基板の裏面を支持し、第一方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第一方向から前記第一方向と異なる第二方向に変える第一案内部材と、前記シート基板の裏面を支持し、前記第二方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第二方向から前記第二方向と異なる第三方向に変える第二案内部材と、前記シート基板の裏面を支持し、前記第三方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第三方向から前記第三方向と異なる第四方向に変える第三案内部材と、前記シート基板の裏面を支持し、前記第四方向から搬送される前記シート基板を斜めに曲げて、前記シート基板の搬送方向を前記第四方向から前記第四方向と異なる第五方向に変える第四案内部材と、前記第一案内部材と前記第二案内部材との間で、前記シート基板の表面に所定の処理を行う第一処理部とを備えることを特徴とする基板処理装置。前記第一案内部材は、前記第一方向から搬送される前記シート基板の表面と、前記第二方向に搬送される前記シート基板の表面とが互いに平行になるまで、前記シート基板を曲げる第一案内面を有し、前記第二案内部材は、前記第二方向から搬送される前記シート基板の表面と、前記第三方向に搬送される前記シート基板の表面とが互いに平行になるまで、前記シート基板を曲げる第二案内面を有し、前記第三案内部材は、前記第三方向から搬送される前記シート基板の表面と、前記第四方向に搬送される前記シート基板の表面とが互いに平行になるまで、前記シート基板を曲げる第三案内面を有することを特徴とする請求項36に記載の搬送処理装置。前記第一処理部は、前記第一案内部材と前記第二案内部材との間に設置される第一位置と、前記第三案内部材と前記第四案内部材との間に設置される第二位置との間で移動可能に設けられていることを特徴とする請求項36又は請求項37に記載の基板処理装置。前記第三案内部材と前記第四案内部材との間で、前記シート基板の表面に所定の処理を行う第二処理部を備えることを特徴とする請求項36又は請求項37に記載の基板処理装置。前記第一処理部と前記第二処理部とは、互いに異なる処理を行うことを特徴とする請求項39に記載の基板処理装置。しかしながら、上記の位置調整では、位置調整用ローラー間の回転速度の違いによって、基板に対して搬送方向とは異なる方向に力が作用し、基板に例えばシワなどの発生する可能性がある。また、基板の搬送時に被処理面が例えば搬送ローラーに接触し、被処理面の処理状態に影響を及ぼす可能性がある。その為、基板の被処理面に各種処理を実行する前後では、基板の被処理面に対する接触を極力少なくなるような構成が求められている。本発明に係る態様は、基板の位置決め精度が向上できる搬送装置及び基板処理装置を提供することを目的とする。本発明に係る態様の別の目的は、基板の被処理面への接触を抑えつつ基板を搬送することができる搬送装置及び基板処理装置を提供することにある。本発明の第1の態様に従えば、帯状のシート基板を搬送する搬送装置であって、第一方向から又は第一方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第一方向から当該第一方向と異なる第二方向に変える第一案内部材と、第二方向から又は第二方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第二方向から第二方向と異なる第三方向に変える第二案内部材と、第一案内部材及び第二案内部材の少なくとも一方に設けられ、第一案内部材の位置及び第二案内部材の位置の少なくとも一方を調整し、第二方向と交差する方向におけるシート基板の位置を調整する調整機構とを備える搬送装置が提供される。本発明の第2の態様に従えば、帯状のシート基板を搬送する搬送装置と、シート基板に対して所定の処理を行う処理装置とを備え、搬送装置として、上記態様の搬送装置が用いられる基板処理装置が提供される。本発明の第3の態様に従えば、帯状のシート基板を搬送する搬送装置であって、シート基板の裏面を支持し、第一方向から又は第一方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第一方向から第一方向と異なる第二方向に変える第一案内部材と、シート基板の裏面を支持し、第二方向から又は第二方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第二方向から第二方向と異なる第三方向に変える第二案内部材と、シート基板の裏面を支持し、第三方向から又は第三方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第三方向から第三方向と異なる第四方向に変える第三案内部材とを備えることを特徴とする搬送装置が提供される。本発明の第4の態様に従えば、帯状のシート基板を搬送する搬送装置と、シート基板に対して所定の処理を行う処理装置とを備え、搬送装置として、上記態様の搬送装置が用いられることを特徴とする基板処理装置が提供される。本発明の第5の態様に従えば、帯状のシート基板の表面に所定の処理を実施する基板処理装置であって、シート基板の裏面を支持し、第一方向から又は第一方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第一方向から当該第一方向と異なる第二方向に変える第一案内部材と、シート基板の裏面を支持し、第二方向から又は第二方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第二方向から当該第二方向と異なる第三方向に変える第二案内部材と、シート基板の裏面を支持し、第三方向から又は第三方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第三方向から当該第三方向と異なる第四方向に変換する第三案内部材と、シート基板の裏面を支持し、第四方向から又は第四方向に搬送されるシート基板を斜めに曲げて、シート基板の搬送方向を第四方向から当該第四方向と異なる第五方向に変える第四案内部材と、第一案内部材と第二案内部材との間で、シート基板の表面に所定の処理を行う第一処理部とを備えることを特徴とする基板処理装置が提供される。本発明の態様によれば、従来に比べて、高い位置決め精度で基板の位置を調整できる。また、本発明の態様によれば、基板の被処理面への接触を抑えつつ基板を搬送することができる。[第一実施形態]図1は、第一実施形態に係る基板処理装置FPAの構成を示す図である。図1に示すように、基板処理装置FPAは、シート基板例えば、帯状のフィルム部材FBを供給する基板供給部SU、シート基板FBの表面被処理面に対して処理を行う基板処理部PR、シート基板FBを回収する基板回収部CL、及び、これらの各部を制御する制御部CONTを有している。基板処理装置FPAは、例えば工場などに設置される。基板処理装置FPAは、基板供給部SUからシート基板FBが送り出されてから、基板回収部CLでシート基板FBを回収するまでの間に、シート基板FBの表面に各種処理を実行するロールトゥロール方式以下、単にロール方式と表記するの装置である。基板処理装置FPAは、シート基板FB上に例えば有機EL素子、液晶表示素子等の表示素子電子デバイスを形成する場合に用いることができる。勿論、処理装置FPAは、これらの素子以外の素子を形成する場合にも用いることができる。基板処理装置FPAにおいて処理対象となるシート基板FBとしては、例えば樹脂フィルムやステンレス鋼などの箔フォイルを用いることができる。例えば、樹脂フィルムは、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、エチレンビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、酢酸ビニル樹脂、などの材料を用いることができる。シート基板FBのY方向短尺方向の寸法は例えば1m~2m程度に形成されており、X方向長尺方向の寸法は例えば10m以上に形成されている。勿論、この寸法は一例に過ぎず、これに限られることは無い。例えばシート基板FBのY方向の寸法が1m以下、又は50cm以下であっても構わないし、2m以上であっても構わない。また、シート基板FBのX方向の寸法が10m以下であっても構わない。シート基板FBは、例えば可撓性を有するように形成されている。ここで可撓性とは、例えば基板に少なくとも自重程度の所定の力を加えても線断したり破断したりすることはなく、該基板を撓めることが可能な性質をいう。また、例えば上記所定の力によって屈曲する性質も可撓性に含まれる。また、上記可撓性は、該基板の材質、大きさ、厚さ、又は温度などの環境、等に応じて変わる。なお、シート基板FBとしては、1枚の帯状の基板を用いても構わないが、複数の単位基板を接続して帯状に形成される構成としても構わない。シート基板FBは、比較的高温例えば200°C程度の熱を受けても寸法が実質的に変わらない熱変形が小さいように熱膨張係数が比較的小さい方が好ましい。例えば、無機フィラーを樹脂フィルムに混合して熱膨張係数を小さくすることができる。無機フィラーの例としては、酸化チタン、酸化亜鉛、アルミナ、酸化ケイ素などが挙げられる。基板供給部SUは、例えばロール状に巻かれたシート基板FBを基板処理部PRへ送り出して供給する。基板供給部SUには、例えばシート基板FBを巻きつける軸部や当該軸部を回転させる回転駆動源などが設けられている。代替的及び/又は追加的に、基板供給部SUは、例えばロール状に巻かれた状態のシート基板FBを覆うカバー部などが設けられた構成であっても構わない。基板回収部CLは、基板処理部PRからのシート基板FBを例えばロール状に巻きとって回収する。基板回収部CLには、基板供給部SUと同様に、シート基板FBを巻きつけるための軸部や当該軸部を回転させる回転駆動源、回収したシート基板FBを覆うカバー部などが設けられている。代替的及び/又は追加的に、基板処理部PRにおいてシート基板FBが例えばパネル状に切断される場合などには例えばシート基板FBを重ねた状態に回収するなど、基板回収部CLは、ロール状に巻いた状態とは異なる状態でシート基板FBを回収する構成であっても構わない。基板処理部PRは、基板供給部SUから供給されるシート基板FBを基板回収部CLへ搬送すると共に、搬送の過程でシート基板FBの被処理面Fpに対して処理を行う。基板処理部PRは、例えば処理装置10、搬送装置30及びアライメント装置50などを有している。処理装置10は、シート基板FBの被処理面Fpに対して例えば有機EL素子を形成するための各種装置を有している。このような装置としては、例えば被処理面Fp上に隔壁を形成するための隔壁形成装置、有機EL素子を駆動するための電極を形成するための電極形成装置、発光層を形成するための発光層形成装置などが挙げられる。より具体的には、液滴塗布装置例えばインクジェット型塗布装置、スピンコート型塗布装置など、蒸着装置、スパッタリング装置などの成膜装置や、露光装置、現像装置、表面改質装置、洗浄装置などが挙げられる。これらの各装置は、例えばシート基板FBの搬送経路上に適宜設けられている。例えば、2以上の処理装置を搬送方向に沿って配置できる。搬送装置30は、基板処理部PR内において例えばシート基板FBを基板回収部CLに向けて搬送するローラー装置Rと、処理装置10を挟むように当該処理装置10の上流側及び下流側に配置される案内ローラーGとを有している。ローラー装置Rは、シート基板FBの搬送経路に沿って例えば複数設けられている。複数のローラー装置Rのうち少なくとも一部のローラー装置Rには、駆動機構不図示が取り付けられている。このようなローラー装置Rが回転することにより、シート基板FBがX軸方向に搬送されるようになっている。複数のローラー装置Rのうち例えば一部のローラー装置Rが搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられた構成であっても構わない。また、本実施形態における搬送装置30は、シート基板FBの搬送方向に関して、案内ローラーGの上流側及び下流側に、シート基板FBに張力が加わらないように、シート基板FBにたるみ部不図示を作っている。図2及び図3は、処理装置10及び案内ローラーGの構成を示す概略図である。図2は、基板処理装置FPAを側方X方向から見たときの構成を示している。図3は、基板処理装置FPAを上方Z方向から見たときの構成を示している。図2及び図3に示すように、案内ローラーGは、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2を有している。第一案内ローラーG1は、例えば円柱状や円筒状などに形成されており、処理装置10に対してシート基板FBの搬送方向の上流側に配置されている。第二案内ローラーG2は、例えば円柱状や円筒状などに形成されており、処理装置10に対してシート基板FBの搬送方向の下流側に配置されている。第一案内ローラーG1は、当該第一案内ローラーG1の上流側から第一方向X方向に搬送されてくるシート基板FBの第一部分第一案内ローラーG1に案内される前の部分、すなわち、第一案内ローラーG1に対し、シート基板FBの上流側の部分F1の短手方向幅方向:ここではY方向に対して、中心軸C1が斜め方向に傾くように配置されている。第一案内ローラーG1は、ローラー表面案内面G1aにおいてシート基板FBの裏面を案内する。なお、第一案内ローラーG1の上流側から搬送されてくるシート基板FBは、図2において、シート基板FBの裏面Fqが上方を向いている状態である。第一案内ローラーG1は、シート基板FBを当該シート基板FBの短手方向に対して斜め方向に曲げると共に、第一案内ローラーG1のローラー表面に沿ってシート基板FBを折り返すことによって、シート基板FBの搬送方向を上記第一方向から第二方向-Y方向に変換する。本実施形態において、第一案内ローラG1は、シート基板FBを実質的に斜めに曲げることができる。シート基板FBは第一案内ローラG1を介してひねりtwistを伴って曲がることができる。シート基板FBには、第一案内ローラG1に案内される部分において、搬送方向第一方向に対して傾いた、部分的な周面が形成され得る。第一方向X方向の進行方向を有するシート基板FBが第一案内ローラG1に入る。第二方向-Y方向の進行方向を有するシート基板FBが第一案内ローラG1から出る。本実施形態において、当該第二方向は、例えば第一方向と直交する方向である。例えば第一案内ローラーG1によって折り返されたシート基板FBは、第二方向において、被処理面Fpが上方処理装置10側に向くことになる。また、シート基板FBは、第一案内ローラーG1の前後で、第一部分F1と第二部分第二案内ローラーG2に案内される前の部分、すなわち、第二案内ローラーG2に対し、シート基板FBの上流側の部分F2とが互いに平行なるまで第一案内ローラーG1のローラー表面G1aに支持されている。第二案内ローラーG2は、当該第二案内ローラーG2の上流側から第二方向に搬送されてくるシート基板FBの第二部分F2に対して、中心軸C2が斜め方向に傾くように配置されている。第二案内ローラーG2は、ローラー表面案内面G2aにおいてシート基板FBの裏面を案内する。なお、第二案内ローラーG2の上流側から搬送されてくるシート基板FBは、図2において、前述したように、シート基板FBの被処理面Fpが上方を向いている状態である。第二案内ローラーG2は、シート基板FBの第二部分F2を当該シート基板FBの短手方向に対して斜め方向に曲げると共に、第二案内ローラーG2のローラー表面に沿ってシート基板FBを折り返すことによって、シート基板FBの搬送方向を上記第二方向から第三方向X方向に変換する。本実施形態において、第二案内ローラG2は、シート基板FBを実質的に斜めに曲げることができる。シート基板FBは第二案内ローラG2を介してひねりtwistを伴って曲がることができる。シート基板FBには、第二案内ローラG2に案内される部分において、搬送方向第二方向に対して傾いた、部分的な周面が形成され得る。第二方向-Y方向の進行方向を有するシート基板FBが第二案内ローラG2に入る。第三方向X方向の進行方向を有するシート基板FBが第二案内ローラG2から出る。本実施形態において、当該第三方向は、例えば第一方向と平行な方向である。例えば第二案内ローラーG2によって折り返されたシート基板FBは、第三方向において、裏面Fqが上方を向き、被処理面Fpが下方を向くことになる。また、シート基板FBは、第二部分F2と第三部分第三案内ローラーG3に案内される前の部分、すなわち、第三案内ローラーG3に対し、シート基板FBの上流側の部分F3とが互いに平行になるまで、第二案内ローラーG2のローラー表面G2aに支持されている。シート基板FBの搬送方向は、当該シート基板FBのうち第一案内ローラーG1よりも搬送方向の上流側の部分第一部分F1においてはX方向第一方向であり、第一案内ローラーG1と第二案内ローラーG2の間の部分第二部分F2においては-Y方向第二方向であり、第二案内ローラーG2よりも搬送方向下流側の部分第三部分F3においては再びX方向第三方向である。このように、シート基板FBは、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2を曲がり角とするクランク状の経路を搬送されることになる。第一案内ローラーG1は、例えば軸受部材60によって支持されている。軸受部材60には、第一案内ローラーG1を駆動する駆動機構61が設けられている。駆動機構61は、第一案内ローラーG1を中心軸方向に回転させる。第二案内ローラーG2は、第一案内ローラーG1と同様に、例えば軸受部材62によって支持されている。軸受部材62には、第二案内ローラーG2を駆動する駆動機構63が設けられている。駆動機構63は、第二案内ローラーG2を中心軸方向に回転させる。また、例えば第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2には、それぞれ回転量、回転速度などを検出するエンコーダなどの不図示の検出装置が設けられている。当該検出装置による検出結果は、例えば制御部CONTに送信されるようになっている。第一案内ローラーG1と第二案内ローラーG2との間には、シート基板FBを支持するステージ装置STが配置されている。ステージ装置STは、シート基板FBの第二部分F2に対して裏面側-Z側に配置されており、シート基板FBの第二部分F2を支持する支持面Saを有している。支持面Saは、例えば平坦な面、あるいは曲率を有する面で形成されている。ステージ装置STは、支持面Saが例えば平坦な面であれば、支持面SaはXY平面に平行になるように配置されている。ステージ装置STには、ステージ駆動機構64が設けられている。ステージ駆動機構64により、ステージ装置STは、例えばX方向、Y方向及びZ方向に移動可能に設けられている。ステージ装置STは、支持面Saに吸着部40図2参照を有している。吸着部40は、支持面Saに例えば1箇所又は複数箇所配置されている。吸着部40には、例えば吸引ポンプなどの吸引機構41が接続されている。このため、ステージ装置STは、シート基板FBの第二部分F2を支持面Saに吸着しつつ支持することができるようになっている。図1に戻って、アライメント装置50は、シート基板FBに対してアライメント動作を行う。アライメント装置50は、シート基板FBの位置状態を検出するアライメントカメラ51と、当該アライメントカメラ51の検出結果に基づいてシート基板FBをX方向、Y方向、Z方向、θX方向、θY方向、θZ方向に微調整する第一調整機構第一調整部52及び第二調整機構第二調整部53とを有している。図3に示すように、シート基板FBの表面被処理面Fp側の面には、アライメントマークAMが形成されている。アライメントマークAMは、シート基板FBの表面のうち例えばシート基板FBの短手方向の両端部にそれぞれ形成されている。図3では、アライメントマークAMを一対のみ示したが、実際にはシート基板FBのそれぞれの端部に沿って例えば複数配置されている。そして、本実施形態におけるアライメントカメラ51は、シート基板FBの短手方向の端部にそれぞれ対向して配置される。本実施形態では、シート基板FBのそして、アライメントカメラ51は、シート基板FBの両端部のアライメントマークAMをそれぞれ別々に検出している。各アライメントカメラ51による検出領域CAは、例えばアライメントマークAMを含む領域に設定されている。第一調整機構52は、例えば、第一案内ローラーG1の両端部を支持する。そして、第一調整機構52は、第一案内ローラーG1を第一案内ローラーG1の中心軸と平行な方向、例えば、第一案内ローラーG1をXY平面内、XY平面に直交又は交差する面内で移動させる。さらに、第一調整機構52は、第一案内ローラーG1をθX方向、θY方向、θZ方向周りに回転させる。なお、第一調整機構52は、各回転方向の回転中心を、第一案内ローラーG1の両端部のうち一方の端部に設定したり、第一案内ローラーG1の中心軸方向における中央部分に設定することができる。第二調整機構53は、例えば、第二案内ローラーG2の両端部を支持する。そして、第二調整機構53は、第二案内ローラーG2を第二案内ローラーG2の中心軸と平行な方向、例えば、第二案内ローラーG2をXY平面内、XY平面に直交又は交差する面内で移動させる。さらに、第二調整機構53は、第二案内ローラーG2をθX方向、θY方向、θZ方向周りに回転させる。なお、第二調整機構53は、各回転方向の回転中心を、例えば、第二案内ローラーG2の両端部のうち一方の端部に設定したり、第二案内ローラーG2の中心軸方向における中央部分に設定することができる。アライメントカメラ51は、当該アライメントマークAMを検出し、検出結果を制御部CONTに送信する。制御部CONTは、当該検出結果に基づいて第一案内ローラーG1の位置を調整するための調整信号を調整機構52に送信すると共に、第二案内ローラーG2の位置を調整するための調整信号を調整機構53に送信する。調整機構52は、当該制御部CONTからの調整信号に基づいて第一案内ローラーG1の位置を調整する。調整機構53は、当該制御部CONTからの調整信号に基づいて第二案内ローラーG2の位置を調整する。なお、制御部CONTは、アライメントカメラ51による検出結果を用いずに調整信号を生成し、調整機構52及び53に対して当該生成した調整信号を送信することもできるようになっている。上記のように構成された基板処理装置FPAは、制御部CONTの制御により、ロール方式によって有機EL素子、液晶表示素子などの表示素子電子デバイスを製造する。以下、上記構成の基板処理装置FPAを用いて表示素子を製造する工程を説明する。まず、ローラーに巻き付けられた帯状のシート基板FBを基板供給部SUに取り付ける。制御部CONTは、この状態から基板供給部SUから当該シート基板FBが送り出されるように、ローラーを回転させる。そして、基板処理部PRを通過した当該シート基板FBを基板回収部CLのローラーで巻き取らせる。この基板供給部SU及び基板回収部CLを制御することによって、シート基板FBの被処理面Fpを基板処理部PRに対して連続的に搬送することができる。制御部CONTは、シート基板FBが基板供給部SUから送り出されてから基板回収部CLで巻き取られるまでの間に、基板処理部PRの搬送装置30によってシート基板FBを当該基板処理部PR内で適宜搬送させつつ、処理装置10によって表示素子の構成要素をシート基板FB上に順次形成させる。処理装置10による処理を行わせる際、制御部CONTは、アライメント装置50を用いてシート基板FBの位置合わせを行わせる。例えばアライメントカメラ51によってシート基板FBのアライメントマークAMを検出し、検出結果に基づいて例えば搬送装置30のローラー装置Rの駆動量や、案内ローラーG第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2の位置及び姿勢、回転量、回転速度などを調整する。次に、案内ローラーG第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2の位置及び姿勢を調整する場合を説明する。図4は、図3に示す状態から、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2をそれぞれの中心軸に対して平行な方向図4の場合、-X方向に等しい移動量ずつ移動させた状態を示している。この場合、シート基板FBは、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2によって折り返された状態で張力が加えられている。したがって、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2を上記のように移動させた場合、それぞれの折り返し位置が-X方向に等しい距離ずつ移動し、これに伴ってシート基板FBの第二部分F2が-X方向に移動する。このように、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2を移動させても、シート基板FBに対して作用する力の方向は変化しないため、シート基板FBの搬送方向とは異なる方向に作用する力を抑制あるいは無くすことができる。このため、例えばシート基板FBに対してシワなどが発生すること無く、シート基板FBの第二部分F2を搬送方向と直交する方向に移動させることができる。案内ローラーGの移動後、制御部CONTは、例えばシート基板FBの第二部分F2の位置に合わせてステージ装置STをX方向及びY方向に移動させる。なお、シート基板FBの搬送方向に関して、第一案内ローラーG1の上流側及び第二案内ローラーG2の下流側に、シート基板FBのたるみ部が設けられているので、第一案内ローラーG1の位置及び第二案内ローラーG2の位置を調整しても、シート基板FBに作用する力を抑制あるいは無くすことができる。ステージ装置STのX方向及びY方向の位置を調整させた後、制御部CONTはステージ装置STをZ方向に移動させ、支持面Saにシート基板FBの裏面を当接させる。この動作により、ステージ装置STの支持面Saにシート基板FBの裏面が支持されることになる。このとき、制御部CONTは、例えばステージ装置STの吸着部40にシート基板FBを吸着させても構わない。また、ステージ装置STの支持面Saにシート基板FBの裏面を当接させる前に、第一案内ローラーG1と第二案内ローラーG2との間の間隔を互いに近づけ、シート基板FBをたるませてもよい。シート基板FBをたるませることによって、シート基板FBに張力がない状態で、ステージ装置STの支持面Saに当接及び吸着することができる。また、制御部CONTは、シート基板FBを支持した状態でステージ装置STを例えばZ側に移動させることで、シート基板FBのZ方向の位置を調整する。この場合、制御部CONTは、ステージ装置STのZ方向への移動量に応じて第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2をZ方向へ移動させる。シート基板FBのZ方向の位置合わせが行われた後、制御部CONTは、処理装置10を用いてシート基板FBのうち第二部分F2の被処理面Fpに対して所定の処理を行わせる。当該シート基板FBの第二部分F2を搬送させつつ処理を行わせる場合には、制御部CONTは、処理装置10による処理のタイミングとシート基板FBの搬送のタイミングとを調整しつつ上記処理を行わせる。シート基板FBがステージ装置STに吸着されている場合、制御部CONTは、例えばシート基板FBの移動に合わせてステージ装置STを基板の搬送方向例えば-Y方向に移動させる。上記の一連の処理をシート基板FBに繰り返し行うことにより、シート基板FBの被処理面Fpには表示素子の構成要素が形成されることになる。以上のように、本実施形態によれば、第一方向X方向に搬送されるシート基板FBを当該シート基板FBの幅方向Y方向に対して斜め方向に曲げて、シート基板FBの搬送方向を第一方向から当該第一方向と異なる第二方向-Y方向に変換する第一案内ローラーG1と、第二方向から搬送されるシート基板第二方向に搬送されるシート基板FBを当該シート基板FBの幅方向X方向に対して斜め方向に曲げて、シート基板FBの搬送方向を第二方向から第二方向と異なる第三方向X方向に変換する第二案内ローラーG2と、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2に設けられ、第一案内ローラーG1の位置及び第二案内ローラーG2の位置をそれぞれ調整し、第二方向と交差する方向におけるシート基板FBの位置を調整する調整機構とを備えるため、シート基板FBに対して搬送方向とは異なる方向に力が作用するのを抑えることができる。これにより、シート基板FBにシワなどの欠陥が形成されるのを抑えつつ高い搬送精度で当該シート基板FBを搬送することができる。また、本実施形態によれば、シート基板FBのうち第一案内ローラーG1と第二案内ローラーG2との間の第二部分F2に対して処理が行われることになるため、シート基板FBのうち当該処理の行われる部分を効率的に移動させることができる。[第二実施形態]次に、本発明の第二実施形態を説明する。本実施形態では、第一実施形態の基板処理装置FPAと同一構成の基板処理装置を用いて説明する。以下、基板処理装置の各構成要素を表記する場合には、第一実施形態で用いた符号と同一の符号を用いるものとする。本実施形態では、例えば第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2をθZ方向に回転させることでシート基板FBを搬送方向に対してチルトさせる動作を説明する。図5は、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2をθZ方向に回転させた場合のシート基板FBの搬送状態を示す図である。図5では、シート基板FBの第一部分F1及び第三部分F3についてはそれぞれ搬送方向を維持しつつ、シート基板FBの第二部分における張力を維持したまま第一案内ローラーG1を回転させた状態を示している。例えば、第一部分F1の搬送方向を維持したまま第一案内ローラーG1のみを回転させる場合においては、第三部分F3の搬送方向を変化させないようにするため、制御部CONTは、第一案内ローラーG1と第二案内ローラーG2とを同期してθZ方向周りに回転させると共に、第二案内ローラーG2を-X方向に移動させる。このとき、第一案内ローラーG1の回転中心に対して、第二案内ローラーG2の回転中心がずれていても良い。このとき、制御部CONTは、第一案内ローラーG1と第二案内ローラーG2との間で、回転開始のタイミング、回転方向、回転角度及び回転速度が揃うように、当該第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2を回転させる。また、制御部CONTは、第一案内ローラーG1の回転によってシート基板FBがずれる量に応じて、第二案内ローラーG2を-X方向に移動させる。本実施形態によれば、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2をθZ方向に回転させることにより、シート基板FBの第二部分F2を、当該第二部分F2の搬送方向-Y方向に対してチルトさせることができる。しかも、シート基板FBの第一部分F1~第三部分F3において、それぞれの搬送方向とは異なる方向に力が作用するのを防ぐことができるため、シート基板FBにシワなどの欠陥が生じるのを防ぐことができる。これにより、シート基板FBの搬送状態を保持しつつ、より高度な搬送を行うことができる。なお、本実施形態では、第一案内ローラーG1のX方向の位置を変化させず、第二案内ローラーG2のX方向の位置を移動させる場合を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2の両方をX方向に移動させても構わない。また、第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2の回転方向は、図5に示す方向に限られることは無く、例えば図5に示す方向とは反対方向に回転させるようにしても構わない。[第三実施形態]次に、本発明の第三実施形態を説明する。本実施形態では、基板処理装置に設けられる第一案内部材及び第二案内部材として、例えば錘状部材を用いた構成を説明する。本実施形態に係る基板処理装置は、第一案内部材及び第二案内部材以外の構成要素については上記各実施形態と同一構成となっているため、同一の符号を付して説明する。図6は、基板処理装置FPAを上方Z方向から見たときの構成を示している。図6に示すように、搬送装置30は、第一案内部材として第一錘状部材G3が用いられており、第二案内部材として第二錘状部材G4が用いられている。勿論、第一案内部材及び第二案内部材のうち一方のみに第一錘状部材G3又は第二錘状部材G4を適用させる構成であっても構わない。第一錘状部材G3及び第二錘状部材G4は、例えば円錐形に形成されている。具体的には、第一錘状部材G3及び第二錘状部材G4は、それぞれ円形の底面一端部80a及び80bを有すると共に、当該底面80a及び80bから頂点他端部81a及び81bに向かうに従い徐々に外径寸法が小さくなるように形成された側面案内面を有する。第一錘状部材G3は、底面80aの中心点と頂点81aとを通る中心軸C3を有している。第一錘状部材G3は、中心軸C3がシート基板FBの第一部分F1の幅方向Y方向に対して平行になるように配置されている。第一錘状部材G3には、中心軸C3を中心に当該錘状部材G3を回転させる駆動機構61が設けられている。この駆動機構61は、第一錘状部材G3をX方向、Y方向及びθZ方向にも駆動するようになっている。第一錘状部材G3は、側面案内面G3aにおいてシート基板を案内する。シート基板FBは、第一部分F1と第二部分F2とで被処理面Fpが平行になるまで、第一錘状部材G3の側面G3aに支持されている。第二錘状部材G4は、底面80bの中心点と頂点81bとを通る中心軸C4を有している。第二錘状部材G4は、中心軸C4がシート基板FBの第二部分F2の幅方向X方向に対して平行になるように配置されている。第二錘状部材G4には、中心軸C4を中心に当該錘状部材G4を回転させる駆動機構63が設けられている。この駆動機構61は、第二錘状部材G4をX方向、Y方向及びθZ方向にも駆動するようになっている。第二錘状部材G4は、側面案内面G4aにおいてシート基板を案内する。シート基板FBは、第二部分F2と第三部分F3とで被処理面Fpが平行になるまで、第二錘状部材G4の側面G4aに支持されている。このように構成された基板処理装置FPAにおいて、シート基板FBの例えば第二部分F2を-X方向に移動する場合、制御部CONTは、第一錘状部材G3及び第二錘状部材G4を-X方向に例えば等しい移動量ずつ移動させる。第一錘状部材G3及び第二錘状部材G4の移動によってシート基板FBが巻かれる位置が-X方向にそれぞれ移動し、これに伴ってシート基板FBの第二部分F2が-X方向に移動する。以上のように、本実施形態によれば、第一錘状部材G3及び第二錘状部材G4を移動させても、シート基板FBに対して搬送方向とは異なる方向に力が作用するのを抑えることができるため、例えばシート基板FBに対してシワなどが発生すること無く、シート基板FBの第二部分F2を移動させることができる。なお、第一錘状部材G3及び第二錘状部材G4を用いる場合、例えば図8に示すように、第二錘状部材G4の中心軸C4が第一錘状部材G3の中心軸C4と平行になるように第二錘状部材G4を配置する構成としても構わない。この場合においても、図6に示す構成と同様の効果を奏することとなる。しかも、図6に示す構成に比べて、ステージ装置STの移動可能な範囲が広がることになるため、好ましい構成であるといえる。また、図8に示す構成は、中心軸C3及び中心軸C4がY方向に平行となるように配置された構成であるが、これに限られることは無い。例えば中心軸C3及び中心軸C4がX方向に平行となるように配置された構成にできる。また、第一錘状部材G3及び第二錘状部材G4の形状としては、例えば図6から図8に示されるように円錐状に形成された構成に限られることは無い。例えば、他の錘状楕円錐状、多角錘状に形成された構成を適用できる。また、例えば円柱状部材の一部にテーパー部を形成し、当該テーパー部を用いてシート基板FBを曲げる構成を適用できる。なお、上記各実施形態では、第一案内部材及び第二案内部材を回転させる構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、基板処理装置FPA内に固定された円柱状部材や円筒状部材、錘状部材を用いても構わない。このような円柱状部材や円筒状部材、錘状部材を用いる場合、案内ローラーGのような回転動作が無い点以外は、案内ローラーGと同様の動作でシート基板FBの位置調整を行うことができる。また、このように、固定された円柱状部材、円筒状部材や錘状部材を用いる場合には、シート基板FBの裏面を支持する案内面のみを残し、案内面以外の部分を取り除いてもよい。また、上記各実施形態では、第一案内部材及び第二案内部材として、円柱状部材、円筒状部材、錘状部材を用いる場合、シート基板FBをこれらの第一案内部材及び第二案内部材に接触させる構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、シート基板FBと案内部材とを非接触の状態にする構成であっても構わない。このような構成としては、例えば、第一案内部材及び第二案内部材の表面に気体層を形成し、当該気体層を介してシート基板FBを保持する構成などが挙げられる。また、上記実施形態では、シート基板FBのうち第一案内ローラーG1と第二案内ローラーG2との間の部分にアライメントカメラ51を配置し、アライメントカメラ51の検出結果を用いて第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2を駆動する構成を例に挙げて説明した。これに加えて、例えば第一案内ローラーG1よりも搬送方向上流側及び第二案内ローラーG2よりも搬送方向下流側のうち少なくとも一方に、別のアライメントカメラを配置する構成としても構わない。この場合、別途配置したアライメントカメラの検出結果に基づいてシート基板FBの位置を調整する調整機構を別途設ける構成とすることができる。また、このような調整機構として、例えばローラー装置Rを用いても構わないし、他の構成であっても構わない。また、上記実施形態では、シート基板FBに形成されたアライメントマークAMを用いてシート基板FBの位置合わせを行う構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、シート基板FBにアライメントマークが形成されていない場合であっても、アライメントカメラ51によってシート基板FBのうち搬送方向に平行な両辺を検出し、当該検出結果を用いてシート基板FBの位置合わせを行う構成としても構わない。また、上記実施形態では、ステージ装置STのうちシート基板FBを支持する支持面Saが平坦面に形成された場合を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば支持面Saが凹状又は凸状に形成された曲面であっても、本発明の適用は可能である。また、ステージ装置STにローラーを配置し、支持面Saとして当該ローラーの表面の一部を用いても構わない。また、上記実施形態では、シート基板FBの位置合わせの後に当該シート基板FBをステージ装置STに吸着させる例を挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えばシート基板FBの位置合わせの前に、例えばステージ装置STの吸着部40にシート基板FBを吸着させるようにしても構わない。この場合、シート基板FBの位置合わせを行う際には、例えばステージ装置STの駆動と第一案内ローラーG1及び第二案内ローラーG2の駆動とを同期させ、シート基板FBに対して作用する力の向きを維持しつつ当該シート基板FBの位置を調整する。上記実施形態に記載した第一案内部材及び第二案内部材は、例えば処理装置10を挟む位置に限られず、基板処理装置FPAのうちシート基板FBの搬送経路に適宜配置することができる。また、上記実施形態において、第一案内部材と第二案内部材との間に配置される処理装置10は単数であっても複数であっても構わない。また、第一案内ローラーG1と、第一案内ローラーG1の上流側のローラー装置Rとの間に不図示のたるみ部をつくり、第二案内ローラーG2と、第二案内ローラーG2の下流側のローラー装置Rとの間にたるみ部をつくってもよい。さらに上流側のローラー装置R及び下流側のローラー装置Rをシート基板FBの表面及び裏面に接触するとともに、シート基板FBを挟みこむように構成にしてもよい。[第四実施形態]次に、本発明の第四実施形態を説明する。図9は、本発明の第四実施形態に係る基板処理装置FPAの構成を示す図である。以下の説明において、上述の実施形態と同一または同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。本実施形態において、図9に示すように、基板処理部PRは、基板供給部SUから供給されるシート基板FBを基板回収部CLへ搬送すると共に、搬送の過程でシート基板FBの被処理面Fpに対して処理を行う。基板処理部PRは、例えば処理装置10、搬送装置30及びアライメント装置不図示などを有している。処理装置10は、シート基板FBの被処理面Fpに対して例えば有機EL素子を形成するための各種処理部例えば、処理部10A及び処理部10Bなどを有している。このような処理部としては、例えば被処理面Fp上に隔壁を形成するための隔壁形成装置、有機EL素子を駆動するための電極を形成するための電極形成装置、発光層を形成するための発光層形成装置などが設けられる。より具体的には、液滴塗布装置例えばインクジェット型塗布装置、スピンコート型塗布装置など、蒸着装置、スパッタリング装置などの成膜装置や、露光装置、現像装置、表面改質装置、洗浄装置などが挙げられる。これらの各装置は、例えばシート基板FBの搬送経路上に適宜設けられている。搬送装置30は、基板処理部PR内において例えばシート基板FBを基板回収部CL側へ搬送するローラー装置Rと、処理装置10を挟むように当該処理装置10の上流側及び下流側に配置される案内ローラーGとを有している。ローラー装置Rは、シート基板FBの搬送経路に沿って例えば複数設けられている。複数のローラー装置Rのうち少なくとも一部のローラー装置Rには、駆動機構不図示が取り付けられている。このようなローラー装置Rが回転することにより、シート基板FBがX軸方向に搬送されるようになっている。複数のローラー装置Rのうち例えば一部のローラー装置Rが搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられた構成であっても構わない。なお、基板処理部PR全体ではシート基板FBはX方向に搬送されることになる。図10は、処理装置10及び案内ローラーGの構成を示す概略図である。なお、図10は、基板処理装置FPAを上方Z方向から見たときの構成を示している。図10に示すように、案内ローラーGは、第一案内ローラーG21、第二案内ローラーG22、第三案内ローラーG23及び第四案内ローラーG24を有している。第一案内ローラーG21~第四案内ローラーG24は、シート基板FBの搬送経路の上流側から下流側に向かって順に配置されている。第一案内ローラーG21~第四案内ローラーG24は、それぞれ例えば円柱状や円筒状などに形成されている。第一案内ローラーG21は、当該第一案内ローラーG21の上流側から第一方向X方向に搬送されてくるシート基板FBの第一部分第一案内ローラーG21に案内される前の部分、すなわち、第一案内ローラーG21に対し、シート基板FBの上流側の部分F1の短手方向幅方向:ここではY方向に対して、中心軸C1が斜め方向に傾くように配置されている。第一案内ローラーG21は、ローラー表面案内面G21aにおいてシート基板FBの裏面を案内する。なお、第一案内ローラーG21の上流側から搬送されてくるシート基板FBは、図10において、シート基板FBの裏面Fqが上方を向いている状態である。第一案内ローラーG21は、シート基板FBの第一部分F1を当該シート基板FBの短手方向に対して斜め方向に曲げると共に、第一案内ローラーG21のローラー表面に沿ってシート基板FBを折り返すことによって、シート基板FBの搬送方向を上記第一方向から第二方向-Y方向に変換する。本実施形態において、第一案内ローラG21は、シート基板FBを実質的に斜めに曲げることができる。シート基板FBは第一案内ローラG21を介してひねりtwistを伴って曲がることができる。シート基板FBには、第一案内ローラG21に案内される部分において、搬送方向第一方向に対して傾いた、部分的な周面が形成され得る。第一方向X方向の進行方向を有するシート基板FBが第一案内ローラG21に入る。第二方向-Y方向の進行方向を有するシート基板FBが第一案内ローラG21から出る。本実施形態において、当該第二方向は、例えば第一方向と直交する方向である。第一案内ローラーG21は、シート基板FBの裏面Fqを支持しつつ当該シート基板FBを折り返す。例えば、第一案内ローラーG21によって折り返されたシート基板FBは、第二方向において、被処理面Fpが上方処理装置10側を向くことになる。また、シート基板FBは、第一案内ローラーG21の前後で、第一部分F1と後述する第二部分F2とが互いに平行なるまで、当該第一案内ローラーG21のローラー表面G21aに支持されている。第二案内ローラーG22は、当該第二案内ローラーG22の上流側から第二方向に搬送されてくるシート基板FBの第二部分第二案内ローラーG22に案内される前の部分、すなわち、第二案内ローラーG22に対し、シート基板FBの上流側の部分F2に対して、中心軸C2が斜め方向に傾くように配置されている。第二案内ローラーG22は、ローラー表面案内面G22aにおいてシート基板FBの裏面を案内する。なお、第二案内ローラーG22の上流側から搬送されてくるシート基板FBは、図10において、前述したように、シート基板FBの被処理面Fpが上方を向いている状態である。第二案内ローラーG22は、シート基板FBの第二部分F2を当該シート基板FBの短手方向に対して斜め方向に曲げると共に、第二案内ローラーG22のローラー表面に沿ってシート基板FBを折り返すことによって、シート基板FBの搬送方向を上記第二方向から第三方向X方向に変換する。本実施形態において、第二案内ローラG22は、シート基板FBを実質的に斜めに曲げることができる。シート基板FBは第二案内ローラG22を介してひねりtwistを伴って曲がることができる。シート基板FBには、第二案内ローラG22に案内される部分において、搬送方向第二方向に対して傾いた、部分的な周面が形成され得る。第二方向-Y方向の進行方向を有するシート基板FBが第二案内ローラG22に入る。第三方向X方向の進行方向を有するシート基板FBが第二案内ローラG22から出る。本実施形態において、当該第三方向は、例えば第一方向と平行な方向である。第二案内ローラーG22は、シート基板FBの裏面Fqを支持しつつ当該シート基板FBを折り返す。例えば、第二案内ローラーG22によって折り返されたシート基板FBは、第三方向において、裏面Fqが上方を向き、被処理面Fpが下方を向くことになる。また、シート基板FBは、第二案内ローラーG22の前後で、第二部分F2と後述する第三部分F3とが互いに平行になるまで、当該第二案内ローラーG22のローラー表面G22aに支持されている。第三案内ローラーG23は、当該第三案内ローラーG23の上流側から第三方向X方向に搬送されてくるシート基板FBの第三部分第三案内ローラーG23に案内される前の部分、すなわち、第三案内ローラーG23に対し、シート基板FBの上流側の部分F3の短手方向幅方向:ここではY方向に対して、中心軸C3が斜め方向に傾くように配置されている。第三案内ローラーG23は、ローラー表面案内面G23aにおいてシート基板FBの裏面を案内する。なお、第三案内ローラーG23の上流側から搬送されてくるシート基板FBは、図10において、前述したようにシート基板FBの裏面Fqが上方を向いている状態である。第三案内ローラーG23は、シート基板FBの第三部分F3を当該シート基板FBの短手方向に対して斜め方向に曲げると共に、第三案内ローラーG23のローラー表面に沿ってシート基板FBを折り返すことによって、シート基板FBの搬送方向を上記第三方向から第四方向Y方向に変換する。本実施形態において、第三案内ローラG23は、シート基板FBを実質的に斜めに曲げることができる。シート基板FBは第三案内ローラG23を介してひねりtwistを伴って曲がることができる。シート基板FBには、第三案内ローラG23に案内される部分において、搬送方向第三方向に対して傾いた、部分的な周面が形成され得る。第三方向X方向の進行方向を有するシート基板FBが第三案内ローラG23に入る。第四方向Y方向の進行方向を有するシート基板FBが第三案内ローラG23から出る。本実施形態において、当該第四方向は、例えば第一方向及び第三方向と直交する方向であり、第二方向とは反対の方向である。第三案内ローラーG23は、シート基板FBの裏面Fqを支持しつつ当該シート基板FBを折り返す。例えば、第三案内ローラーG23によって折り返されたシート基板FBは、第四方向において、被処理面Fpが上方を向き、処理装置10で被処理面の処理が可能になる。また、シート基板FBは、第三案内ローラーG23の前後で、第三部分と後述する第四部分とが互いに平行になるまで、当該第三案内ローラーG23のローラー表面G23aに支持されている。第四案内ローラーG24は、当該第四案内ローラーG24の上流側から第四方向Y方向に搬送されてくるシート基板FBの第四部分第四案内ローラーG24に案内される前の部分、すなわち、第四案内ローラーG24に対し、シート基板FBの上流側の部分F4に対して、中心軸C4が斜め方向に傾くように配置されている。第四案内ローラーG24は、ローラー表面案内面G24aにおいてシート基板FBの裏面を案内する。なお、第四案内ローラーG24の上流側から搬送されてくるシート基板FBは、図10において、前述したようにシート基板FBの被処理面Fpが上方を向いている状態である。第四案内ローラーG24は、シート基板FBの第四部分F4を当該シート基板FBの短手方向に対して斜め方向に曲げると共に、第四案内ローラーG24のローラー表面に沿ってシート基板FBを折り返すことによって、シート基板FBの搬送方向を上記第四方向から第五方向X方向に変換する。本実施形態において、第四案内ローラG24は、シート基板FBを実質的に斜めに曲げることができる。シート基板FBは第四案内ローラG24を介してひねりtwistを伴って曲がることができる。シート基板FBには、第四案内ローラG24に案内される部分において、搬送方向第四方向に対して傾いた、部分的な周面が形成され得る。第四方向Y方向の進行方向を有するシート基板FBが第四案内ローラG24に入る。第五方向X方向の進行方向を有するシート基板FBが第四案内ローラG24から出る。本実施形態において、当該第五方向は、例えば第一方向及び第三方向と平行な方向である。第四案内ローラーG24は、シート基板FBの裏面Fqを支持しつつ当該シート基板FBを折り返す。例えば第四案内ローラーG24によって折り返されたシート基板FBは、第五方向において、裏面Fqが上方を向き、被処理面Fpが下方を向くことになる。また、シート基板FBは、第四案内ローラーG24の前後で、第四部分F4と第五部分F5第四案内ローラーG24に案内された後の部分、すなわち、第四案内ローラーG24に対し、シート基板FBの下流側の部分とが互いに平行になるまで、当該第四案内ローラーG24のローラー表面G24aに支持されている。上記の4つの案内ローラーG21~G24によって搬送されるシート基板FBの搬送方向は、第一部分F1においてはX方向第一方向であり、第二部分F2においては-Y方向第二方向であり、第三部分F3においては再びX方向第三方向であり、第四部分F4においてはY方向第四方向であり、第五部分F5においてはX方向第五方向である。その際、シート基板FBは、第一方向、第三方向及び第五方向において、シート基板FBの裏面Fqが上方を向いており、第二方向及び第三方向において、シート基板FBの被処理面Fpが上方を向いている。したがって、処理装置10処理部10A、処理部10Bによって、シート基板FBの被処理面Fpを処理するまでは、被処理面Fpが下を向いているため、被処理面Fpに対するゴミなどの付着を低減することができる。このように、シート基板FBは、第一案内ローラーG21、第二案内ローラーG22、第三案内ローラーG23及び第四案内ローラーG24をそれぞれ曲がり角とするクランク状の経路を搬送されることになる。また、第四案内ローラーG24によって折り曲げられたシート基板FBは、第五方向、すなわち、基板処理部PRの全体としてのシート基板FBの搬送方向に搬送されることになる。また、図10に示すように、処理装置10は、処理部10A及び処理部10Bを有している。処理部10Aは、例えばY方向において第一案内ローラーG21と第二案内ローラーG22との間の位置に設けられており、シート基板FBの第二部分F2の被処理面Fpに対向して配置されている。処理部10Bは、例えばY方向において第三案内ローラーG23と第四案内ローラーG24との間の位置に配置されており、シート基板FBの第四部分F4の被処理面Fpに対向して配置されている。本実施形態では、処理部10A及び処理部10Bは、例えば互いに異なる処理を行うようになっている。処理部10Aは、例えば駆動機構11に接続されており、例えばX方向及びY方向に移動可能に設けられている。例えば、処理部10Aは、第二部分F2上の第一位置A1と第四部分F4上の第二位置A2との間を移動できるようになっているX方向の移動。また、処理部10Aは、第二部分F2上及び第四部分F4上を移動できるようになっているY方向の移動。処理部10Bは、例えば駆動機構12に接続されており、例えばX方向及びY方向に移動可能に設けられている。例えば、処理部10Bは、第四部分F4上の第一位置B1と第二部分F2上の第二位置B2との間を移動できるようになっているX方向の移動。また、処理部10Bは、第二部分F2上及び第四部分F4上を移動できるようになっているY方向の移動。第一案内ローラーG21~第四案内ローラーG24は、例えば不図示の軸受部材などによって支持されている。各軸受部材には、第一案内ローラーG21~第四案内ローラーG24を回転させる駆動機構不図示が設けられている。駆動機構は、第一案内ローラーG21~第四案内ローラーG24を、それぞれ中心軸C1~C4を中心として回転させる。また、シート基板FBのうち第二部分F2及び第四部分F4の-Z側にステージ装置を配置させる構成としても構わない。当該ステージ装置は、処理部10A及び処理部10Bによって処理される部分を支持する。ステージ装置のうち第二部分F2及び第四部分F4を支持する支持面は、平坦面であっても構わないし、曲面であっても構わない。不図示のアライメント装置は、シート基板FBに対してアライメント動作を行う。このアライメント装置は、シート基板FBの位置状態を検出するアライメントカメラ不図示と、当該アライメントカメラの検出結果に基づいてシート基板FBをX方向、Y方向、Z方向、θX方向、θY方向、θZ方向に微調整する調整機構不図示を有している。なお、シート基板FBの被処理面Fpには、例えば不図示のアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、被処理面Fpのうち例えばシート基板FBの短手方向の両端部に形成されている。上記のように構成された基板処理装置FPAは、制御部CONTの制御により、ロール方式によって有機EL素子、液晶表示素子などの表示素子電子デバイスを製造する。以下、上記構成の基板処理装置FPAを用いて表示素子を製造する工程を説明する。まず、ローラーに巻き付けられた帯状のシート基板FBを基板供給部SUに取り付ける。制御部CONTは、この状態から基板供給部SUから当該シート基板FBが送り出されるように、ローラーを回転させる。そして、基板処理部PRを通過した当該シート基板FBを基板回収部CLのローラーで巻き取らせる。この基板供給部SU及び基板回収部CLを制御することによって、シート基板FBの被処理面Fpを基板処理部PRに対して連続的に搬送することができる。制御部CONTは、シート基板FBが基板供給部SUから送り出されてから基板回収部CLで巻き取られるまでの間に、基板処理部PRの搬送装置30によってシート基板FBを当該基板処理部PR内で適宜搬送させつつ、処理装置10処理部10A及び処理部10Bを含む各処理部によって表示素子の構成要素をシート基板FB上に順次形成させる。この場合、図10に示すように、シート基板FBは、第一案内ローラーG21、第二案内ローラーG22、第三案内ローラーG23及び第四案内ローラーG24によって、裏面Fqを支持した状態で折り返されることになる。このため、処理部10A及び処理部10Bの前後において、シート基板FBは、被処理面Fpが上記4つの案内ローラーG21~G24に接触することなく搬送されることになる。また、シート基板FBは、処理部10A及び処理部10Bに対応した第二部分F2及び第四部分F4のそれぞれの被処理面Fpが当該処理部10A及び処理部10B側に向けられるように搬送されることになる。この場合、例えば第二部分F2と第四部分F4とがX方向に並んだ状態となる。このため、第二部分F2の被処理面Fpを処理する処理部10Aが第四部分F4の被処理面Fpを処理することが可能となり、逆に、第四部分F4の被処理面Fpを処理する処理部10Bが第二部分F2の被処理面Fpを処理することも可能になる。また、本実施形態によれば、基板処理装置FPAが、上記の第一案内ローラーG21~第四案内ローラーG24を有することとしたので、シート基板FBが当該基板処理装置FPA全体としての搬送方向例えばX方向に搬送されるように、当該シート基板FBの搬送方向を規定することができる。また、シート基板FBのうち第二部分F2と第四部分F4とが被処理面Fpを処理部10A及び10Bの方向に向けて並んだ状態となるため、処理部10A及び10Bが第二部分F2と第四部分F4との間を移動しやすくなる。これにより、多様な処理動作が可能となる。なお、本実施形態では、処理部10Aが第二部分F2の被処理面Fpを処理し、処理部10Bが第四部分F4の被処理面Fpを処理する構成について説明したが、この構成に限定されるものではない。例えば、処理部10Bを省略した場合には、第四案内ローラーG24を省略し、シート基板FBを第一案内ローラーG21、第二案内ローラーG22、第三案内ローラーG23で搬送することも可能である。以上のように、本実施形態によれば、搬送装置30が、上記の第一案内ローラーG21、第二案内ローラーG22、第三案内ローラーG23の少なくとも3つを備えることとしたので、シート基板FBの裏面Fqのみを支持しつつシート基板FBを搬送することができる。これにより、シート基板FBの被処理面Fpに対する外部からの接触を防ぎつつ当該シート基板FBを搬送することができる。[第五実施形態]次に、本発明の第五実施形態を説明する。本実施形態では、基板処理装置に設けられる第一案内部材~第四案内部材として、例えば錘状部材を用いた構成を説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一または同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図11は、基板処理装置FPAを上方Z方向から見たときの構成を示している。図11に示すように、搬送装置30は、第一案内部材として第一錘状部材G25が用いられており、第二案内部材として第二錘状部材G26が用いられている。また、第三案内部材として第三錘状部材G27が用いられており、第四案内部材として第四錘状部材G28が用いられている。勿論、第一案内部材~第四案内部材のうち一部のみに錘状部材を用いた構成としても構わない。図12は、第一錘状部材G25の構成を例に挙げて示す図である。図11及び図12に示すように、第一錘状部材G25~第四錘状部材G28は、それぞれ円錐形に形成されている。具体的には、第一錘状部材G25~第四錘状部材G28は、それぞれ円形の底面一端部80及び頂点他端部81を有すると共に、当該底面80から頂点81に向かうに従い外径寸法が徐々に小さくなるように形成された側面案内面を有する。第一錘状部材G25~第四錘状部材G28は、それぞれ底面80の中心点と頂点81とを通る中心軸C5~C8を有している。第一錘状部材G25は、中心軸C5がシート基板FBの第一部分F1の幅方向Y方向に対して平行になるように配置されている。第一錘状部材G25には、中心軸C5を中心に当該第一錘状部材G25を回転させる駆動機構不図示が設けられている。第一錘状部材G25は、側面案内面G25aにおいてシート基板を案内する。シート基板FBは、第一部分F1と第二部分F2とで被処理面Fpが平行になるまで、第一錘状部材G25の側面G25aに支持されている。第二錘状部材G26は、中心軸C6がシート基板FBの第二部分F2の幅方向X方向に対して平行になるように配置されている。第二錘状部材G26には、中心軸C6を中心に当該第二錘状部材G26を回転させる駆動機構不図示が設けられている。第二錘状部材G26は、側面案内面G26aにおいてシート基板を案内する。シート基板FBは、第二部分F2と第三部分F3とで被処理面Fpが平行になるまで、第二錘状部材G26の側面G26aに支持されている。第三錘状部材G27は、中心軸C7がシート基板FBの第三部分F3の幅方向Y方向に対して平行になるように配置されている。第三錘状部材G27には、中心軸C7を中心に当該第三錘状部材G27を回転させる駆動機構不図示が設けられている。第三錘状部材G27は、側面案内面G27aにおいてシート基板を案内する。シート基板FBは、第三部分F3と第四部分F4とで被処理面Fpが平行になるまで、第三錘状部材G27の側面G27aに支持されている。第四錘状部材G28は、中心軸C8がシート基板FBの第四部分F4の幅方向X方向に対して平行になるように配置されている。第四錘状部材G28には、中心軸C8を中心に当該第四錘状部材G28を回転させる駆動機構不図示が設けられている。第四錘状部材G28は、側面案内面G28aにおいてシート基板を案内する。シート基板FBは、第四部分F4と第五部分F5とで被処理面Fpが平行になるまで、第四錘状部材G28の側面G28aに支持されている。以上のように、本実施形態によれば、第一錘状部材G25~第四錘状部材G28によってシート基板FBを折り返すこととしたので、この場合においても、シート基板FBの裏面Fqを支持してシート基板FBを搬送することができる。これにより、シート基板FBの被処理面Fpに対する外部からの接触を防ぎつつ当該シート基板FBを搬送することができる。なお、第一錘状部材G25~第四錘状部材G28を用いる場合、例えば図13に示すように、第一錘状部材G25の中心軸C5が第四錘状部材G28の中心軸C8と平行になると共に、第二錘状部材G26の中心軸C6が第三錘状部材G27の中心軸C7と平行になるように、第一錘状部材G25~第四錘状部材G28を配置する構成としても構わない。この構成では、図11に示す構成と同様の効果を奏することとなる。しかも、図11に示す構成に比べて、シート基板FBの第二部分F2と第四部分F4との距離が近くなっている。このため、処理部10A及び10Bが当該第二部分F2と第四部分F4との間を移動しやすくなり、好ましい構成であるといえる。なお、第一錘状部材G25~第四錘状部材G28の形状としては、例えば図11~図13に示されるように円錐状に形成された構成が好ましいが、他の錘状楕円錐状、多角錘状に形成された構成であっても構わない。また、例えば円柱状部材の一部にテーパー部を形成し、当該テーパー部を用いてシート基板FBを曲げる構成であっても構わない。なお、上記各実施形態では、第一案内部材~第四案内部材を回転させる構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、基板処理装置FPA内に固定された円柱状部材、円筒状部材や錘状部材を用いても構わない。このような円柱状部材や円筒状部材、錘状部材を用いる場合、案内ローラーGのような回転動作が無い点以外は、案内ローラーGと同様の動作でシート基板FBの位置調整を行うことができる。また、このように、固定された円柱状部材、円筒状部材や錘状部材を用いる場合には、シート基板FBの裏面を支持する案内面のみを残し、案内面以外の部分を取り除いてもよい。また、上記各実施形態では、第一案内部材~第四案内部材として、案内ローラーGや円柱状部材、円筒状部材、錘状部材を用いる場合、シート基板FBをこれらの第一案内部材~第四案内部材に接触させる構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、シート基板FBと各案内部材との間を非接触の状態にする構成であっても構わない。このような構成としては、例えば、第一案内部材~第四案内部材の表面に気体層を形成し、当該気体層を介してシート基板FBを保持する構成などが挙げられる。上記実施形態に記載した第一案内部材~第四案内部材は、例えばシート基板FBの搬送経路において処理装置10の近傍の位置に限られず、他の位置に適宜配置することができる。また、上記実施形態の第一案内部材~第四案内部材までの構成を、例えばX方向に繰り返し設ける構成としても構わない。また、上記実施形態では、処理部10Aと処理部10Bとの間では異なる処理が行われる場合を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば処理部10Aと処理部10Bとの間で同一の処理が行われる場合であっても、本発明の適用は可能である。また、上記実施形態例えば、図11参照では、シート基板FBの第二部分F2と第四部分F4とがX方向に隣接して並ぶように第三案内部材でシート基板FBをY方向に折り返す構成としたが、これに限られることは無く、例えば第三案内部材によってシート基板FBを第二部分F2とは反対方向例えば、図10では-Y方向に折り返す構成としても構わない。また、上記実施形態では、第一部分F1と第二部分F2とが互いに平行になるまで、第一案内部材で折り返したが、第一部分F1に対して第二部分F2が上方又は下方にずれるように折り返してもよい。第二部分F2と第三部分F3、第三部分F3と第四部分F4、第四部分F4と第五部分F5との関係も平行に限定されるものではない。また、上記実施形態では、第一方向と第三方向、及び第二方向と第四方向の関係を互いに平行な方向として説明したが、平行に限定されず、平行以外の方向であってもよい。また、第一案内ローラーG21の上流側のローラー装置Rは、シート基板FBの被処理面に処理を実行する前の搬送ローラーとして機能するため、このローラー装置Rをシート基板FBの表面及び裏面に接触するとともに、シート基板FBを挟みこむように構成にしてもよい。また、シート基板FBの被処理面に全ての処理を実行した後は、第四案内ローラーG24の下流側に、シート基板FBの裏面及び表面に接触するとともに、シート基板FBを挟みこむようにローラー装置Rを配置してもよい。本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。