ノズルを有し粘性液体が供給されるノズル板と、このノズル板または前記粘性液体を振動させる振動子と、この振動子を間欠的に振動するための電気信号発生手段とを有する液体の霧化噴霧装置であって、前記ノズルの噴霧出口側が前記粘性液体で濡れ覆われる前に前記振動子の振動を間欠的に停止することを特徴とする霧化噴霧装置。前記粘性液体の温度を検出する検出手段と、この検出した温度に応じて電気信号の長さを決定する決定手段とを有し、前記電気信号の長さによって前記ノズルから霧化噴霧される粘性液体量を制御する請求項1に記載の霧化噴霧装置。前記粘性液体が、20°Cで10~40mPasの高粘度を有する請求項1又は請求項2に記載の霧化噴霧装置。前記粘性液体の粘度が10mPas以上で、前記振動の時間が20ms以下である請求項1~3の何れか1項に記載の霧化噴霧装置。前記粘性液体の粘度が30mPas以上で、前記振動の時間が10ms以下である請求項1~3の何れか1項に記載の霧化噴霧装置。前記ノズル板は隣接する前記ノズル同士の間の距離が150μm以上である請求項1~5の何れか1項に記載の霧化噴霧装置。しかしながら、1高粘度溶液の継続的な霧化分散が困難である、2高粘度分散液滴の受容側での吸収拡散が困難である、という課題を有していた。先ず、1霧化方法の課題として、霧化噴霧装置が発揮する噴霧性能においては、霧化液体の物性上、特に粘性による制約があり、10mPas10cpsを超える高粘度液体の霧化が難しいことが、例えば、特許文献1にて開示されている。ところが、薬剤、化粧液、アロマ液等においては、特に10mPas10cpsを超える高粘度の液体の霧化が期待されており、この期待に副えないという課題があった。2霧化液滴の吸収上の課題は、例えば小型EDLC製造における電解液のEDLC容器への電解液注入が困難な点である。超小型EDLCは、MSD面実装機能を要求され、ハンダリフロー条件260°C10秒が要求されるためEMIBF4EthyleMethyleImidazoliumtetraFuluoroBorateのようなイオン液体は、粘度高く、表面張力が大で、電解液を滴下しても電極合剤に拡散、浸透しないので、液滴環境を昇温するか、減圧加圧を行い、電解液の供給を行っているのが現状であり、このような高粘度のイオン液体も高速で、電極合剤中に浸透拡散する技術が期待されていた。しかし、高粘度液体の霧化における従来の試みである大きなせん断力による技術では、霧化噴霧装置の給液構造が複雑化や、消費電力アップ、あるいは強いせん断力による液滴サイズのばらつきが拡大するなどの課題があった。また、液体の粘度を下げて吐出しやすくする技術では、熱により液体の化学的変性や分解が起こるため医療用ネブライザー等の分野では使用できる薬液の選択範囲が狭くなるという課題があった。本発明は、上記課題に着目し、給液構造や霧化噴霧構造を簡易な構造のままで、霧化困難な高粘度溶液においても液体の変性や分解を伴わずに、低粘度はもとより特に高粘度の液体をも霧化噴霧することができる、実用上、極めて有用な霧化噴霧装置を提供することを目的とする。請求項1に記載の発明は、ノズルを有し粘性液体が供給されるノズル板と、このノズル板または粘性液体を振動させる振動子と、この振動子を間欠的に振動するための電気信号発生手段とを有する液体の霧化噴霧装置であって、ノズルの噴霧出口側が粘性液体で濡れ覆われる前に振動子の振動を間欠的に停止するようにしたものである。液体は超音波振動によりノズルから吐出され液滴となり、この液滴は振動子の振動毎に発生し多数の液滴が連続吐出されることで霧化噴霧となる。液体粘度が高くなると振動エネルギーを大きくしないと液滴としてノズル板から離脱しない。発明者らは、10mPas10cpsを超える高粘度液体では振動エネルギーを大きくしても液滴として分離する前にノズル板に引き戻されやすくなってノズル板に付着し、ノズル板に付着した液体は徐々に集まってノズルを塞ぎ、液滴の発生を阻害するという現象を確認した。この現象を解析した結果、ノズルの噴霧出口側が粘性液体で濡れ覆われることが、高粘度液体を霧化できなくなる原因であることを究明した。このため、上述したように、振動子を間欠的に振動停止するタイミングとして、振動によりノズルの噴霧出口側が粘性液体で濡れ覆われる前に振動を停止するようにしたことにより、10mPas10cpsを超える高粘度液体でも霧化噴霧できるようにしたのである。また、発明者らは、ノズルに付着した液が少量であれば、ノズルが静止状態の時に表面張力によりノズル内の液体にノズルに付着した液が吸収一体化される現象も確認した。振動の後の停止の間にこの吸収一体化をさせることで、次に始まる振動による液滴発生が再開できることを見出した。この吸収一体化の現象は、付着液体が同じ量でも高粘度であるほど時間を要するため、高粘度ほど休止する時間を短くしないことで霧化噴霧が可能となることも見出した。請求項2に記載の発明は、粘性液体の温度を検出する検出手段と、この検出した温度に応じて電気信号の長さを決定する決定手段とを有し、電気信号の長さによってノズルから霧化噴霧される粘性液体量を制御するようにしたものである。請求項3に記載の発明は、粘性液体が、20°Cで10~40mPasの高粘度を有するようにしたものである。請求項4に記載の発明は、粘性液体の粘度が10mPas以上で、振動の時間を20ms以下と設定したものである。請求項5に記載の発明は、粘性液体の粘度が30mPas以上で、振動の時間を10ms以下と設定したものである。請求項6に記載の発明は、隣接する前記ノズル同士の間の距離が150μm以上としたものである。本発明に係る請求項1に記載の霧化噴霧装置によれば、高粘度液体でもノズルを塞ぐのを抑え、ノズルから液滴が発生するのを妨げることなく連続して霧化噴霧をすることができ、しかも、給液構造や霧化噴霧構造を簡易な構造のままで、液体の変性や分解を伴わずに、低粘度はもとより特に高粘度の液体をも霧化噴霧することができる、という優れた効果を得ることができる。本発明に係る請求項2に記載の霧化噴霧装置によれば、振動子の振動と停止の時間を液体の粘土に応じて的確に制御でき、高粘度液体でも霧化噴霧できる、という優れた効果を得ることができる。本発明に係る請求項3に記載の霧化噴霧装置によれば、従来技術では得ることができなかった、20°Cで10~40mPasの高粘度を有する粘性液体を得ることができる、という優れた効果を得ることができる。本発明に係る請求項4、5に記載の霧化噴霧装置によれば、液体が高粘度であるほど液滴になりにくいためノズル板に付着しやすく、また付着した液体は振動毎に徐々に増加するため、高粘度ほど振動の時間を短くしたので、高粘度液体でも霧化噴霧できなくなるのを回避できる、という優れた効果を得ることができる。本発明に係る請求項6に記載の霧化噴霧装置によれば、ノズルの間の距離が短すぎると噴霧出口側のノズル同士が液膜で繋がって霧化噴霧できなくなるのを防止できる、という優れた効果を得ることができる。以下、本発明を実施するための形態を図面に基いて説明する。第一実施形態本発明の好ましい第一実施形態にかかわるノズル式霧化噴霧装置10を図1に示している。ノズル板11は、電鋳技術により製作された配置ピッチ200μmで12μmの径この径の範囲は1~100μmの多数のノズル12を有しており、圧電振動子13に接着されている。このノズル板11の一方の側に設けられた容器20には、霧化噴霧される20°Cで10~40mPas10~40cpsの高粘度を有する保湿用化粧液である粘性液体21がノズル12に接する状態で満たされている。この状態における圧電振動子13は、図2にインピーダンス特性を示すように共振周波数が約98kHzで、電気信号発生手段であるパルス発生駆動回路14に接続されている。圧電振動子13を駆動する電圧パルスは、図3Aに示す正弦波であり、周波数100kHzで電圧振幅は約40Vである。この電圧パルスは、Ton=3msの間、400パルスで連続発振した後に、1000パルス相当の時間Toff=10ms停止するというパルス印加パターンを単位としてこれを繰り返して圧電振動子13に印加される。電気信号におけるToffは、図3Bに示すように振幅電圧を圧電素子が実質振動しない程度の電圧に低下させることでも以下に述べる作用を実現する。また、図3CにおけるToffのように、Tonでの共振周波数から実質振動を起こさない周波数に変調することも、同様に以下の作用を実現することができる。圧電振動子13の電圧パルスによる振動により、図4に示すようにノズル12から液滴31が発生し、粘性液体21は霧化32を始める。400パルスの駆動パルスを印加している間、図5Aに示すように、一部のノズル11Aの表面では液滴にならずに液溜り33となってノズル12Aの噴霧出口側15を塞ぎ、以降この液溜り33はノズル振動の度に容量を増し成長する。400パルスの駆動パルスの後、圧電振動子13の駆動パルスが停止すると、図5Bに示すようにノズル12Aの噴霧出口側15に溜まった液溜り33はノズル12Aの背面の化粧液21に表面張力により吸い込まれ、図5Cに示すように振動開始前の状態に戻る。この第一実施形態において、連続発振パルス数が5000パルス以上Ton=50msでは図5Aに示すように液溜り33が大きくなりすぎて隣接する多数のノズル12を覆いノズル板11の広い面積を塞いでしまい、全く液滴が発生せず数単位のパルス印加パターンで霧化噴霧は停止した。また、300パルスの駆動パルスに続く停止時間Toffを300パルス相当分の3ms未満にした場合は、図5Bに破線で示すように液溜り33の吸い込みが不完全なまま次の駆動パルス印加が起こり、液溜り33が成長してやはり数単位のパルス印加パターンで霧化噴霧は停止した。図6は、上述の粘性液体21でのパルス印加パターンに関しTon、Toffの水準組み合わせを行った実験結果を示したものである。図6において、A領域は霧化噴霧不能、C領域は連続霧化噴霧可能、Bは霧化噴霧不安定な領域を示す。本実施形態では、Tonは最大でも20ms2000パルス以下でその時間範囲においてTonが長いほどToffも長くすることが必要である。第二実施形態図7は第二実施形態を示したもので、ノズル11を有するノズル板12は圧電振動子14とは別体に対面する如く配置され、このノズル板12と圧電振動子14の端面との間の数十μmから数百μmの隙間に粘性液体21が供給され、圧電振動子14の端面の振動を受け化粧液21が振動する装置である。この装置においても、化粧液21とノズル11が相対的に振動するメカニズムは上述した第一実施形態と同様であり、作用は同じである。第三実施形態上述した第一実施形態におけるノズル11の噴霧出口側15表面にフッ素系撥水撥油処理を施した装置において、第一実施形態と同様の実験を行った。なお、第一実施形態の撥水未処理の場合の粘性液体21の接触角は約80度であったのに対し、この第三実施形態におけるノズル11の噴霧出口側15表面における粘性液体21の接触角は約100度である。この第三実施形態におけるTon、Toffの水準組み合わせを行った実験結果を第一実施形態と同様に図示したのが、図8である。第一実施形態と比べると安定霧化噴霧可能なC領域のTonはより長く、且つToffはより短くなっている。このように撥水処理を施すことにより、連続パルス数を多くでき、停止をより短くできるパルス印加パターンを可能にしている。Tonは最大50msまで延びたことから、よりTonとToffで構成するパルス印加パターンの間欠駆動と撥水処理を組み合わせることで更に高粘度の液体を霧化噴霧することができることが判明した。第四実施形態上述した第一実施形態におけるノズル12の配置ピッチ200μmを100μmから300μmの間で水準を振った各装置において、第一実施形態と同様の実験を行った。この第四実施形態におけるTon、Toffの水準組み合わせを第一実施形態と併記して図示したのが、表1である。表1に示す結果からは、ノズル12の配置ピッチが長ければTon時間を延ばすことができるが、Tonが短い分にはノズル12の配置ピッチは影響しない。このことは、図5Aに示す液溜り33がノズル12の配置ピッチが短ければ隣接するノズル12同士の間で繋がりやすく、繋がってしまうと図5Bに示すような液溜り33がノズル12A内の液体に吸収一体化されにくくノズル12Aが塞がれたままになるものと分析された。このことから、従来困難であった10mPas10cps以上の高粘度液体であれば、安定した霧化噴霧には最低150μmのノズル配置ピッチが望ましく、Ton50ms未満、望ましくはTon=20ms以下が必要であることが判明した。第四実施形態上述した第一実施形態においては、粘性液体21の粘度が40mPas40cspであったため、異なる粘度の液体における霧化噴霧の可能なパルス印加パターンを調べる実験を行った。従来より霧化可能と言われる5mPas5cps、困難と言われる粘度10mPas10cpsとそれを超える40mPas40cspまでの粘度に対する結果は表2に示すとおりであった。表2に示すように、10mPas10cpsでは、Toffのない連続パルスでは連続霧化が困難だが、Ton=50ms以下では連続霧化が可能となった。表2より、パルス印加パターンは粘度に大きな依存があり、連続噴霧の困難な10mPas10cps以上でのTon/TonToffのデューティ比は、Tonが短いほど高い結果を得た。即ち、連続噴霧の困難な高粘度であればあるほど、短いTonのパターンでパルス印加することが噴霧レートを高め効率が良くなる。特に約30mPas30cps以上ではTon=10ms以下、実用的にはデューティ30以上を得られる領域であるTon=5ms以下が望ましい。また、化粧液21の粘度が20mPas20cpsでは、Ton=20ms以下で霧化噴霧が可能であり、特にTon=10ms以下ではデューティ比を50程度以上に高めることができることが判明した。第五実施形態図9は、霧化噴霧装置の第五実施形態を示したものである。この装置は、薬液注入装置であって、第一実施形態の霧化噴霧装置をベースとして霧化噴霧する粘性液体41は医療向け薬液で、ノズル板42は中心に1個のノズル44を有し、振動子43に接着されている。この振動子は電気信号発生手段である駆動回路52によって第一実施形態と同様に間欠的に振動と停止を繰り返す。ノズル44の下方向には、医薬用カプセル50が配置され、ノズル44から吐出する薬液の液滴46が5マイクロリットルμLの容量のカプセル50に注入される。液滴46はノズル板42が振動している間、連なるようにあたかも液柱の如く吐出され、振動が停止している間液滴の連なりは途切れる。医薬分野ではカプセル1個の薬液量の精度が±10程度に抑えるよう求められるが、薬液温度により粘度が変化し時間当たりの吐出量の変化を伴う。この第五実施形態は、ノズル板42近傍に粘性液体の温度検出手段である抵抗温度センサー45を配置し、この温度センサー抵抗をマイコン51のAD変換入力端子から読み込み、マイコン51が参照するROM53内に格納した薬液温度に応じた吐出レートの変換テーブルを参照して演算を行い、吐出時間を逐次決定する決定手段からなる構成となっており、この決定された吐出時間を電気信号の長さとして駆動回路52電気信号発生手段によって振動子を振動させ、その結果、粘性液体41の霧化噴霧量を制御するものである。この第六実施形態の装置では、図10Aに示すように室温または稼動初期の薬液温度から、装置の稼動圧電振動子43の駆動時間と共に圧電振動子43の近傍温度が15分後には約35°C近くに上昇して飽和する。第五実施形態で示したように、上記薬液の粘度に応じた吐出可能なまたは吐出安定な最大Ton最大パルス数、最小Toffの領域があり、粘度変化がある場合は、駆動すべき最高粘度で安定した吐出を基にしたパルス印加パターン設計が工業的には望ましい。即ち、薬液の相対的に粘度の高い最低温度での安定パルス印加パターンを選択し、このパルス印加パターンでの温度に応じた薬液注入時間を決定することが単純な装置実現を可能とする。ここで薬液注入時間とは、図11に示す電気信号の時間T1をいい、時間T1に含まれる電気信号は、前述の第一実施形態において第3図に示したTonとToffの繰り返しで構成されている。従って、図11Bに示す上記薬液の温度に対する粘度曲線における室温の粘度35cpsに基づいての表2を参照すれば、Ton=5ms程度、Toff=10ms程度としたパルス印加パターンを選択し、このパターンを薬液温度に応じた時間繰り返し印加するよう即ち温度に応じた時間T1の前記変換テーブルを作成して、圧電振動子43に選択したパターンの電圧パルスを印加する装置とすることが装置の単純化コストパフォーマンス上最適である。このパルス印加パターンで温度範囲25~40°Cに相当する25~35mPas25~35cpsのときの吐出速度を図10Cに示す。5μLの吐出時間を各温度でテーブル化することで吐出時間薬液注入時間制御が決定される。これにより、薬液注入時間T1は、カプセル1個あたり最長170msで行うことができ、注入のタクトタイムT2が220msで連続カプセル注入が可能となる。尚、ノズル板42を第三実施形態と同様に、撥水処理を行えば更に短時間での薬液注入作業が可能となる。この第六実施形態の装置は、発明が解決しようとする課題で記述した小型EDLCへの電解液注入への応用が可能である。この応用では、カプセル50は小型EDLC容器となって内部に400~700μmの肉厚の電極合剤が収められている。電解液EMIBF4は粘度30~35mPas30~35cpsの粘性液体であるため、本発明の霧化噴霧装置によりノズルから吐出される。図9において、41は粘性液体である電解液で、ノズル44より液滴46となった電解液が、EDLC容器50内の合剤に着弾する。電解液は間隔をあけた粒径数十μmから100μmの液滴であり、従来容易でなかった合剤への吸収が進む。更に、ノズル数を増やし液滴粒径を小さくし時間間隔を長くすれば、より効率的に合剤への吸収進行が可能である。