ウェハの上面より高い位置に配置される第1回転軸を中心に回転する第1研磨部と、前記ウェハの下面より低い位置に配置される第2回転軸を中心に回転する第2研磨部と、を含むウェハ研磨装置。前記ウェハの側方に配置される第3回転軸を中心に回転する第3研磨部を含む請求項1に記載のウェハ研磨装置。前記第1研磨部、前記第2研磨部及び前記第3研磨部は、前記ウェハのエッジ部と直接接触する請求項2に記載のウェハ研磨装置。前記ウェハのエッジ部は、前記ウェハの上面から延長されるチャンバーAと、前記ウェハの下面から延長されるチャンバーBと、前記チャンバーAと前記チャンバーBとの間に位置するトップと、を含み、前記第1研磨部は前記チャンバーAに直接接触し、前記第2研磨部は前記チャンバーBに直接接触し、前記第3研磨部は前記トップに直接接触する、請求項3に記載のウェハ研磨装置。前記第1研磨部、前記第2研磨部及び前記第3研磨部は、ローラ、ディスクまたは円柱形状を有する請求項2に記載のウェハ研磨装置。前記第3回転軸は、前記ウェハの上面と前記ウェハの下面との間に位置する請求項2に記載のウェハ研磨装置。前記第1研磨部と前記ウェハとの間の間隔を調節する第1間隔調節部を含む請求項1に記載のウェハ研磨装置。前記第2研磨部と前記ウェハとの間の間隔を調節する第2間隔調節部を含む請求項1に記載のウェハ研磨装置。前記ウェハの上面に対し直交する第4回転軸を中心に前記ウェハが回転し、前記第1回転軸は、前記第4回転軸と交差する方向に延長され、前記第2回転軸は、前記第4回転軸と交差する方向に延長される請求項1に記載のウェハ研磨装置。ウェハのエッジ部と直接接触し、第1回転軸を中心に回転する第1研磨部と、前記ウェハのエッジ部と直接接触し、第2回転軸を中心に回転する第2研磨部と、を含むウェハエッジの研磨装置。前記ウェハのエッジ部と直接接触し、第3回転軸を中心に回転する第3研磨部を含む請求項10に記載のウェハエッジの研磨装置。前記第1回転軸は、前記ウェハの上面より高い位置に位置し、前記第2回転軸は、前記ウェハの下面より低い位置に位置し、前記第3回転軸は、前記ウェハの上面と前記ウェハの下面との間に位置する請求項11に記載のウェハエッジの研磨装置。前記第1回転軸は前記ウェハの上面と平行し、前記第2回転軸は前記ウェハの下面と平行する請求項10に記載のウェハエッジの研磨装置。前記第1研磨部は前記ウェハの側面上方に配置され、前記第2研磨部は前記ウェハの側面下方に配置される請求項10に記載のウェハエッジの研磨装置。前記第3研磨部は前記ウェハの側方に配置される請求項11に記載のウェハエッジの研磨装置。前記第1研磨部は、前記第1回転軸を中心に回転する第1研磨ヘッドと、前記第1研磨ヘッドの外周面に配置される第1研磨パッドと、を含む請求項10に記載のウェハエッジの研磨装置。ウェハの一側方に配置される第1研磨部と、前記第1研磨部に連結される第1シャフトと、前記第1シャフトを介して前記第1研磨部を回転させる第1回転駆動部と、を含み、前記第1研磨部の外周面は、前記ウェハのエッジ部と直接接触するウェハ研磨装置。前記ウェハの他側方に配置される第2研磨部と、前記第2研磨部に連結される第2シャフトと、前記第2シャフトを介して前記第2研磨部を回転させる第2回転駆動部と、を含み、前記第2研磨部の外周面は、前記ウェハのエッジ部と直接接触する請求項17に記載のウェハ研磨装置。前記第1研磨部及び前記第1回転駆動部を移動させて、前記第1研磨部と前記ウェハのエッジ部との間の間隔を調節する第1間隔調節部を含む請求項17に記載のウェハ研磨装置。前記第1研磨部、前記第1回転駆動部及び前記第1間隔調節部を移動させる第2間隔調節部を含む請求項19に記載のウェハ研磨装置。本発明は、ウェハのエッジ部の形状を効率的に制御できるウェハ研磨装置を提供しようとする。本発明のウェハ研磨装置は、ウェハの上面より高い位置に配置される第1回転軸を中心に回転する第1研磨部と、前記ウェハの下面より低い位置に配置される第2回転軸を中心に回転する第2研磨部とを含む。本発明のウェハエッジの研磨装置は、ウェハのエッジ部と直接接触し、第1回転軸を中心に回転する第1研磨部と、前記ウェハのエッジ部と直接接触し、第2回転軸を中心に回転する第2研磨部とを含む。本発明のウェハ研磨装置は、ウェハの一側方に配置される第1研磨部と、前記第1研磨部に連結される第1シャフトと、前記第1シャフトを介して前記第1研磨部を回転させる第1回転駆動部とを含み、前記第1研磨部の外周面は前記ウェハのエッジ部と直接接触する。本発明によるウェハ研磨装置は、第1研磨部及び第2研磨部を用いてウェハのエッジ部を研磨することができる。特に、第1回転軸ウェハの上面より高い位置に配置されるので、第1研磨部はウェハのエッジ部のチャンバーAを主に研磨することができる。また、第2回転軸はウェハの下面より低い位置に配置されるので、第2研磨部はウェハのエッジ部のチャンバーBを主に研磨することができる。即ち、本発明によるウェハ研磨装置は、チャンバーA及びチャンバーBを同時に研磨することができる。また、本発明によるウェハ研磨装置は、ウェハのエッジ部に配置される第3回転軸を中心に回転する第3研磨部を含むことができる。この時、第3研磨部はウェハのエッジ部のトップを研磨することができる。従って、本発明によるウェハ研磨装置は、チャンバーA、チャンバーB及びトップを同時に研磨することができる。また、本発明によるウェハ研磨装置は、第1研磨部、第2研磨部及び第3研磨部を移動させる間隔調節部をさらに含むことができる。これによって、第1研磨部、第2研磨部及び第3研磨部の位置を容易に移動でき、ウェハのエッジ部の形状を容易に調節することができる。よって、本発明によるウェハ研磨装置は、所望の形状にチャンバーA、チャンバーB及びトップを同時に研磨することができる。実施例の説明において、各部、チャック、ウェハ及びパッドなどが、各部、チャック、ウェハ及びパッドなどの上または下に形成されると記載される場合、その上と下は直接または他の構成要素を介在して形成されるものを全部含むものとする。また、各構成要素の上部または下部に対する基準は、図面を基準として説明する。図面における各構成要素の大きさは、説明の便宜を図り誇張して図示される場合があるが、実際適用される大きさを意味するものではない。図1は、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置を示した図面である。図2は、ウェハのエッジ部を示した断面図である。図3はウェハが研磨される過程を示した平面図である。図4は、図3のA-C線に沿って切断した断面図である。図5は、図3のB-C線に沿って切断した断面図である。図1ないし図5に示すように、実施例に係るエッジ部13の研磨装置は、第1研磨ユニット100、第2研磨ユニット200、第3研磨ユニット300、第1間隔調節部400、第2間隔調節部500、第3間隔調節部600及び第4駆動部700を含む。図2に示すように、ウェハWのエッジ部13は、前記ウェハWの外周縁部である。前記エッジ部13は、前記ウェハWの外周面を含むことができる。前記エッジ部13は、ラウンド形状を有することができる。即ち、前記ウェハWのエッジ部13は、前記ウェハWの外周縁部のラウンド形状を有する部分である。前記エッジ部13は、チャンバーA13a、チャンバーB13b及びトップ13cを含む。前記チャンバーA13aは、前記ウェハWの上面11から延長される。即ち、前記チャンバーA13aは、前記ウェハWの上面11と直接連結される。前記チャンバーA13aは、前記エッジ部13の上部に位置する。前記チャンバーB13bは、前記ウェハWの下面12から延長される。即ち、前記チャンバーB13bは、前記ウェハWの下面12と直接連結される。前記チャンバーB13bは、前記エッジ部13の下部に位置する。前記トップ13cは、前記チャンバーA13aと前記チャンバーB13bとの間に位置する。前記トップ13cは、前記チャンバーA13a及び前記チャンバーB13bと直接連結される。前記トップ13cは、前記チャンバーA13aから下方に延長されると共に、前記チャンバーB13bから上方に延長される部分である。前記トップ13cは、前記エッジ部13の中間部分に位置する。前記トップ13cは、前記ウェハWの最外側周縁部からなることができる。図1、図3及び図4に示すように、前記第1研磨ユニット100はウェハWの横に配置される。より具体的には、前記第1研磨ユニット100は前記ウェハWの側面上方に配置される。前記第1研磨ユニット100は、前記ウェハWのエッジ部13の上側方部分を研磨することができる。即ち、前記第1研磨ユニット100はチャンバーA13aを主に研磨することができる。前記第1研磨ユニット100は、第1駆動シャフト110、第1研磨部120及び第1回転駆動部130を含む。前記第1駆動シャフト110は、前記ウェハW上に配置される。より具体的には、前記第1駆動シャフト110は、前記ウェハWの側面上方に配置される。前記第1駆動シャフト110は、前記ウェハWの上面11より高い位置に配置される。即ち、前記第1駆動シャフト110は、前記ウェハWの側方に、前記ウェハWの上面11より高い位置に配置される。前記第1駆動シャフト110は第1方向に延長される。この時、前記第1方向は、前記ウェハWの上面11が延長される方向に対応する。より具体的には、前記第1方向は、前記ウェハWの上面11と相互平行する。前記第1駆動シャフト110は、前記第1回転駆動部130の回転力を前記第1研磨部120に伝達する。前記第1駆動シャフト110は、前記第1研磨部120に挿入固定され、前記第1回転駆動部130のメイン軸に固定されて回転駆動される。前記第1研磨部120は、前記第1駆動シャフト110に連結される。より具体的には、前記第1研磨部120は、前記第1駆動シャフト110の外周面を囲むことができる。前記第1研磨部120は、前記第1駆動シャフト110を通じて伝達される回転力によって回転する。前記第1研磨部120は、ローラ形状を有することができる。また、前記第1研磨部120は、円柱形状またはディスク形状を有することができる。前記第1研磨部120には、前記第1駆動シャフト110が挿入されるホールが形成される。前記第1研磨部120は、前記ウェハWのエッジ部13と直接接触する。より具体的には、前記第1研磨部120の外周面は、前記チャンバーA13aに直接接触することになる。また、前記第1研磨部120は、前記第1駆動シャフト110を通じて伝達される回転力によって、前記第1駆動シャフト110を回転軸として回転する。即ち、前記第1研磨部120は、第1回転軸A1を中心に回転する。この時、前記第1回転軸A1は、前記第1駆動シャフト110に対応する。また、前記第1回転軸A1は、前記ウェハWの上面11より高い位置に位置し、前記ウェハWの上面11に対して実質的に平行することになる。これとは違うよう、前記第1回転軸A1は前記ウェハWの上面11が延長される方向に対し交差することができる。これによって、前記第1研磨部120は、前記ウェハWのエッジ部13を研磨することができる。より具体的には、前記第1研磨部120は自己回転によって、前記ウェハWのチャンバーA13aを主に研磨することができる。前記第1研磨部120は、第1研磨ヘッド121及び第1研磨パッド122を含む。前記第1研磨ヘッド121は、前記第1駆動シャフト110に連結される。前記第1研磨ヘッド121は前記第1回転軸A1を中心に回転する。前記第1研磨ヘッド121は、前記第1駆動シャフト110と一体で形成することができる。前記第1研磨ヘッド121は円柱形状を有することができる。前記第1研磨パッド122は、前記第1研磨ヘッド121の外周面に配置される。前記第1研磨パッド122は、前記第1研磨ヘッド121を囲むことができる。前記第1研磨パッド122は、前記ウェハWのエッジ部13に直接接触される。前記第1研磨パッド122は、不織布及びポリウレタン系樹脂などを含むことができる。前記第1回転駆動部130は、前記第1駆動シャフト110を介して前記第1研磨部120に回転力を伝達する。前記第1回転駆動部130は、回転力を発生させるモータなどを含むことができる。図1、図3及び図5に示すように、前記第2研磨ユニット200は、ウェハWの横に配置される。より具体的には、前記第2研磨ユニット200は、前記ウェハWの側面下方に配置される。前記第2研磨ユニット200は、前記ウェハWのエッジ部13の下側方部分を研磨することができる。即ち、前記第2研磨ユニット200は、前記チャンバーB13bを主に研磨することができる。前記第2研磨ユニット200は、第2駆動シャフト210、第2研磨部220及び第2回転駆動部230を含む。前記第2駆動シャフト210は、前記ウェハWの下に配置される。より具体的には、前記第2駆動シャフト210は、前記ウェハWの側面下方に配置される。前記第2駆動シャフト210は、前記ウェハWの下面12より低い位置に配置される。即ち、前記第2駆動シャフト210は前記ウェハWの側方に、前記ウェハWの下面12より低い位置に配置される。前記第2駆動シャフト210は、第2方向に延長される。この時、前記第2方向は、前記ウェハWの下面12が延長される方向に対応する。より具体的には、前記第2方向は前記ウェハWの下面12と相互平行する。前記第2駆動シャフト210は、前記第2回転駆動部230の回転力を前記第2研磨部220に伝達する。前記第2駆動シャフト210は、前記第2研磨部220に挿入固定され、前記第2回転駆動部230のメイン軸に固定されて回転駆動される。前記第2研磨部220は、前記第2駆動シャフト210に連結される。より具体的には、前記第2研磨部220は、前記第2駆動シャフト210の外周面を囲むことができる。前記第2研磨部220は、前記第2駆動シャフト210を通じて伝達される回転力によって回転する。即ち、前記第2研磨部220は第2回転軸A2を中心に回転する。この時、前記第2回転軸A2は前記第2駆動シャフト210に対応する。また、前記第2回転軸A2は前記ウェハWの下面12より低い位置に位置し、前記ウェハWの下面12と実質的に平行することになる。これとは違うように、前記第2回転軸A2は前記ウェハWの下面12が延長される方向と交差することができる。前記第2研磨部220は、ローラ形状を有することができる。また、前記第2研磨部220は、円柱形状またはディスク形状を有することができる。前記第2研磨部220には、前記第2駆動シャフト210が挿入されるホールが形成される。前記第2研磨部220は、前記ウェハWのエッジ部13と直接接触する。より具体的には、前記第2研磨部220の外周面は、前記チャンバーB13bに直接接触する。また、前記第2研磨部220は、前記第2駆動シャフト210を通じて伝達される回転力によって、前記第2駆動シャフト210を回転軸として回転する。即ち、前記第2研磨部220は第2回転軸A2を中心に回転する。この時、前記第2回転軸A2は前記第2駆動シャフト210に対応する。また、前記第2回転軸A2は前記ウェハWの下面12より低い位置に位置し、前記ウェハWの下面12に対し実質的に平行することになる。これとは違うように、前記第2回転軸A2は前記ウェハWの下面12が延長される方向に対し交差することができる。前記第1研磨部120と前記第2研磨部220は、相互同じ方向またはそれぞれ異なる方向に回転することができる。また、前記第1研磨部120と前記第2研磨部220は、時計回り方向または反時計回り方向に回転することができる。これによって、前記第2研磨部220は、前記ウェハWのエッジ部13を研磨することができる。より具体的には、前記第2研磨部220は自己回転によって、前記ウェハWのチャンバーB13bを主に研磨することができる。前記第2研磨部220は、第2研磨ヘッド221及び第2研磨パッド222を含む。前記第2研磨ヘッド221は前記第2駆動シャフト210に連結される。前記第2研磨ヘッド221は前記第2回転軸A2を中心に回転する。前記第2研磨ヘッド221は前記第2駆動シャフト210と一体で形成することができる。前記第2研磨ヘッド221は円柱形状を有することができる。前記第2研磨パッド222は前記第2研磨ヘッド221の外周面に配置される。前記第2研磨パッド222は前記第2研磨ヘッド221を囲むことができる。前記第2研磨パッド122は前記ウェハWのエッジ部13に直接接触される。前記第2研磨パッド122は、不織布及びポリウレタン系樹脂などを含むことができる。前記第2回転駆動部230は、前記第2駆動シャフト210を介して前記第2研磨部220に回転力を伝達する。前記第2回転駆動部2300は回転力を生成するためのモータを含むことができる。図1及び図3~図5に示すように、前記第3研磨ユニット300はウェハWの横に配置される。より具体的には、前記第3研磨ユニット300は、前記ウェハWの側方に配置される。前記第3研磨ユニット300は、前記ウェハWのエッジ部13の中央部分を研磨することができる。即ち、前記第3研磨ユニット300は、前記トップ13cを主に研磨することができる。前記第3研磨ユニット300は、第3駆動シャフト310、第3研磨部320及び第3回転駆動部330を含む。前記第3駆動シャフト310は、前記ウェハWの横に配置される。より具体的には、前記第3駆動シャフト310は、前記ウェハWの側方に配置される。例えば、前記第3駆動シャフト310は、前記ウェハWの上面11と下面との間の位置に配置される。即ち、前記第3駆動シャフト310は、前記ウェハWの側方に、前記ウェハWと同じ位置に配置される。例えば、前記第3駆動シャフト310の回転軸は、前記ウェハWの上面11と下面12との間の位置される。前記第3駆動シャフト310は、第3方向に延長される。この時、前記第3方向は、前記ウェハWの上面11及び下面12が延長される方向に対応する。より具体的には、前記第3方向は、前記ウェハWの上面11及び下面12と相互平行する。前記第3駆動シャフト310は、前記第3回転駆動部330の回転力を前記第3研磨部320に伝達する。前記第3駆動シャフト310は、前記第3研磨部320に挿入固定され、前記第3回転駆動部330のメイン軸に固定されて回転駆動される。前記第3研磨部320は、前記第3駆動シャフト310に連結される。より具体的には、前記第3研磨部320は、前記第3駆動シャフト310の外周面を囲むことができる。前記第3研磨部320は、前記第3駆動シャフト310を通じて伝達される回転力によって回転する。この時、前記第3研磨部320の回転軸は、前記ウェハWの上面11と前記ウェハWの下面12との間に位置する。前記第3研磨部320は、ローラ形状を有することができる。また、前記第3研磨部320は、円柱形状またはディスク形状を有することができる。前記第3研磨部320には、前記第3駆動シャフト310が挿入されるホールが形成される。前記第3研磨部320は、前記ウェハWのエッジ部13と直接接触する。より具体的には、前記第3研磨部320の外周面は前記トップ13cに直接接触する。また、前記第3研磨部320は、前記第3駆動シャフト310を通じて伝達される回転力によって、前記第3駆動シャフト310を回転軸として回転する。即ち、前記第3研磨部320は第3回転軸A3を中心に回転する。この時、前記第3回転軸A3は前記第3駆動シャフト310に対応する。また、前記第3回転軸A3は前記ウェハWの上面11及び下面12との間に位置する。また、前記第3回転軸A3は前記ウェハWの上面11及び下面12に実質的に平行することになる。これとは違うように、前記第3回転軸A3は前記ウェハWの上面11または下面12が延長される方向に対し交差することができる。これによって、前記第3研磨部320は、前記ウェハWのエッジ部13を研磨することができる。より具体的には、前記第3研磨部320は自己回転によって、前記ウェハWのトップ13cを主に研磨することができる。前記第3研磨部320は、第3研磨ヘッド321及び第3研磨パッド322を含む。前記第3研磨ヘッド321は前記第3駆動シャフト310に連結される。前記第3研磨ヘッド321は前記第3回転軸A3を中心に回転する。前記第3研磨ヘッド321は前記第3駆動シャフト310と一体で形成することができる。前記第3研磨ヘッド321は円柱形状を有することができる。前記第3研磨パッド322は前記第3研磨ヘッド321の外周面に配置される。前記第3研磨パッド322は前記第3研磨ヘッド321を囲むことができる。前記第3研磨パッド322は前記ウェハWのエッジ部13に直接接触される。前記第3研磨パッド322は、不織布及びポリウレタン系樹脂などを含むことができる。前記第3回転駆動部330は、前記第3駆動シャフト310を通じて前記第3研磨部320に回転力を伝達する。前記第3回転駆動部330は回転力を生成するモータなどを含む。前記第1間隔調節部400は、前記第1研磨ユニット100を上下に移送する。即ち、前記第1間隔調節部400は、前記第1研磨ユニット100の位置を上下方向に変化させることができる。前記第1間隔調節部400は、支持プレート800に固定される。前記第1間隔調節部400は、第4回転駆動部410及び第1スクリュー420を含む。前記第4回転駆動部410は前記支持プレート800に固定されて、前記第1スクリュー420を回転させる。前記第4回転駆動部410は、前記第1スクリュー420の回転を微細に制御するステッピングモータからなることができる。前記第1スクリュー420は、前記第4回転駆動部410の回転力を利用して、前記第1研磨ユニット100を上下方向に移動させる。例えば、前記第1スクリュー420は、前記第1回転駆動部130に連結されるナット401に挿入され、前記第4回転駆動部410の回転力によって前記第1研磨ユニット100を上下方向に移送する。また、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記第1間隔調節部400によって前記第1研磨ユニット100が上下方向に移送される時、前記第1研磨ユニット100をガイドするためのガイドロードまたはガイドレールなどのような第1ガイド部402をさらに含むことができる。前記第1ガイド部402は前記支持プレート800に固定される。前記第2間隔調節部500は、前記第2研磨ユニット200を上下に移送する。即ち、前記第2間隔調節部500は、前記第2研磨ユニット200の位置を上下方向に変化させることができる。前記第2間隔調節部500は、前記支持プレート800に固定される。前記第2間隔調節部500は、第5回転駆動部510及び第2スクリュー520を含む。前記第5回転駆動部510は前記支持プレート800に固定され、前記第2スクリュー520を回転させる。前記第5回転駆動部510は、前記第2スクリュー520の回転を微細に制御するステッピングモータからなることができる。前記第2スクリュー520は、前記第5回転駆動部510の回転力を利用して、前記第2研磨ユニット200を上下方向に移動させる。例えば、前記第2スクリュー520は、前記第2回転駆動部230に連結されるナット501に挿入され、前記第5回転駆動部510の回転力によって前記第2研磨ユニット200を上下方向に移送する。また、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記第2間隔調節部500によって前記第2研磨ユニット200が上下方向に移送される時、前記第2研磨ユニット200をガイドするためのガイドロードまたはガイドレールなどのような第2ガイド部502をさらに含むことができる。前記第2ガイド部502は、前記支持プレート800に固定される。前記第3間隔調節部600は、前記第3研磨ユニット300を水平方向に移送する。即ち、前記第3間隔調節部600は、前記第3研磨ユニット300の位置を水平方向に変化させることができる。即ち、前記第3間隔調節部600は、前記第3研磨ユニット300と前記ウェハWとの間の水平距離を調節することができる。前記第3間隔調節部600は、第6回転駆動部610及び第3スクリュー620を含む。前記第6回転駆動部610は、前記第3スクリュー620を回転させる。前記第6回転駆動部610は、前記第3スクリュー620の回転を微細に制御するステッピングモータからなることができる。前記第3スクリュー620は、前記第6回転駆動部610の回転力を利用して、前記第3研磨ユニット300を水平方向に移動させる。例えば、前記第3スクリュー620は、前記第3回転駆動部330と連結されるナット601に挿入され、前記第6回転駆動部610の回転力によって前記第3研磨ユニット300を水平方向に移送する。また、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記第3間隔調節部600によって前記第3研磨ユニット300が水平方向に移送される時、前記第3研磨ユニット300をガイドするためのガイドロードまたはガイドレールなどのような第3ガイド部602をさらに含むことができる。また、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記第3間隔調節部600を支持、固定するためのフレームなどを含むことができる。前記第4駆動部700は、前記支持プレート800を水平方向に移送する。即ち、前記第4駆動部700は、前記支持プレート800の位置を水平方向に変化させることができる。結局、前記第1研磨ユニット100及び前記第2研磨ユニット200は、前記第4駆動部700によって水平方向に移送される。即ち、前記第4駆動部700は、前記第1研磨ユニット100と前記ウェハWとの間の水平距離、及び前記第2研磨ユニット200と前記ウェハWとの間の水平距離を調節することができる。前記第4駆動部700は、第7回転駆動部710及び第4スクリュー720を含む。前記第7回転駆動部710は、前記第4スクリュー720を回転させる。前記第7回転駆動部710は、前記第4スクリュー720の回転を微細に制御するステッピングモータからなることができる。前記第4スクリュー720は、前記第7回転駆動部710の回転力を利用して、前記支持プレート800を水平方向に移動させる。例えば、前記第4スクリュー720は、前記支持プレート800に連結されるナットに挿入され、前記第7回転駆動部710の回転力によって前記支持プレート800を水平方向に移送する。また、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記第4駆動部700によって前記支持プレート800が水平方向に移送される時、前記支持プレート800をガイドするための第4ガイド部をさらに含むことができる。また、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記第4駆動部700を支持、固定するためのフレーム等を含むことができる。また、実施例に係るウェハエッジ部研磨装置は、前記ウェハWを支持して前記ウェハWを回転させるためのウェハ回動部等をさらに含むことができる。前記ウェハ回動部は、前記ウェハWを真空圧などによって吸着して、第4回転軸を中心に前記ウェハWを回転させることができる。この時、前記第1回転軸A1は前記第4回転軸と交差する。より具体的には、前記第1回転軸A1は、前記第4回転軸と実質的に垂直で交差することができる。また、前記第2回転軸A2は前記第4回転軸と交差する。より具体的には、前記第2回転軸A2は、前記第4回転軸と実質的に垂直で交差することができる。また、前記第3回転軸A3は前記第4回転軸と交差する。より具体的には、前記第3回転軸A3は前記第4回転軸と実質的に垂直で交差することができる。また、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記ウェハWにスラリーなどのような研磨液を噴射するスラリー噴射部をさらに含むことができる。この時、前記スラリー噴射部は、前記ウェハWの上面11にスラリーを噴射することができる。これとは違うように、前記スラリー噴射部は、前記第1研磨部120と前記ウェハWのエッジ部13が接触する部分、前記第2研磨部220と前記ウェハWのエッジ部13が接触する部分、及び前記第3研磨部320と前記ウェハWのエッジ部13が接触する部分に、直接スラリーを噴射することができる。前記ウェハWは自己回転し、前記第1研磨部120、前記第2研磨部220及び前記第3研磨部320も、前記ウェハWのエッジ部13に直接接触しながら自己回転する。これによって、前記ウェハWのエッジ部13は、前記第1研磨ユニット100、前記第2研磨ユニット200及び前記第3研磨ユニット300によって研磨される。より具体的には、前記チャンバーA13aは前記第1研磨部120によって、前記チャンバーB13bは前記第2研磨部220によって、前記トップ13cは前記第3研磨部320によって、同時に研磨される。従って、実施例係るウェハエッジ部の研磨装置は、一度の工程で前記チャンバーA13a、前記チャンバーB13b及び前記トップ13cを同時に研磨することができる。よって、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、効率的に前記ウェハWのエッジ部13を研磨でき、工程時間及び工程費用などを減少させることができる。また、前記第1研磨ユニット100は、前記第1間隔調節部400、前記第4駆動部700によって上下方向及び水平方向に自在に移送される。これによって、前記第1研磨ユニット100は、前記ウェハWのチャンバーA13aを所望の形状に研磨することができる。同様に、前記第2研磨ユニット200は、前記第2間隔調節部500、前記第4駆動部700によって上下方向及び水平方向に自在に移送される。これによって、前記第2研磨ユニット200は、前記ウェハWのチャンバーB13bを所望の形状に研磨することができる。また、前記第3研磨ユニット300は、前記第3間隔調節部600によって水平方向に自在に移送される。これによって、前記第3研磨ユニット300は、前記ウェハWのトップ13cを所望の形状に研磨することができる。よって、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記ウェハWのエッジ部13の形状を所望の形状に制御することができる。以上のように、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、前記ウェハWのエッジ部13を効率的に研磨できると共に、前記ウェハWのエッジ部13の形状を制御することができる。よって、実施例に係るウェハエッジ部の研磨装置は、工程時間及び工程費用を減少できると共に、高品質のウェハを提供することができる。以上の実施例で説明された特徴、構造、効果などは、一つの実施例に限定されるものではなく、他の実施例に対して組合または変形して実施可能なことは、当業者にとって自明である。また、このような組合と変形に係る内容も本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、これは単なる例示であり、本発明は以上の実施例に限定されるものではなく、本発明の本質的な特性の範囲内で多様な変形と応用が可能であることは、当業者にとって自明である。また、このような変形と応用に係る差異点も、本発明の請求の範囲で規定する実施例の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。