電気化学素子用電極の製造方法であって、マンガンイオンを含み、実質的に塩化物イオンを含んでいない電解液と、標準水素電極に対する電位が-1.5Vよりも高い卑金属の電極基材と、を準備する準備工程と、前記電解液中において前記電極基材を作用電極とし、定電位電析法により、前記電極材の表面に層状マンガン酸化物の膜を形成する形成工程と、を備える製造方法。請求項1に記載の製造方法において、前記形成工程は、前記電極基材の表面に厚さが8μm以下の層状マンガン酸化物の膜を形成する工程を含む、製造方法。請求項1または請求項2に記載の製造方法において、前記準備工程は、標準水素電極に対する電位が-0.8Vよりも高い卑金属により形成された電極基材を準備する工程を含む、製造方法。請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の製造方法において、前記準備工程は、硫酸イオンよりも強い不動態化阻止能力を有する陰イオンを実質的に含んでいない電解液を準備する工程を含む、製造方法。請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の製造方法において、前記形成工程は、前記作用電極の電位が、銀/塩化銀参照電極に対して、0.9Vより大きく、1.2Vより小さくなるようにして電析をおこなう工程を含む、製造方法。電気化学素子用電極であって、標準水素電極に対する電位が-1.5Vよりも高い卑金属により形成される電極基材と、前記電極基材の表面に形成される層状マンガン酸化物の膜部と、を備え、前記膜部には、前記層状マンガン酸化物を互いに結着するためのバインダー成分が含まれていない、電気化学素子用電極。請求項6に記載の電気化学素子用電極において、前記バインダー成分とは、フッ化炭素樹脂である、電気化学素子用電極。請求項6または請求項7に記載の電気化学素子用電極において、前記電極基材の表面に形成された層状マンガン酸化物は、厚さが8μm以下である、電気化学素子用電極。しかし、従来技術によっても、電気化学素子用電極は、製造時のコスト面や、出力密度やサイクル特性などの性能面において、なお改善の余地があった。本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、電気化学素子用電極に関して、製造コストを抑制しつつ、出力密度やサイクル特性などの性能の向上を図る技術の提供を目的とする。上記課題の少なくとも一部を解決するために、本願発明は、以下の態様または適用例として実現することが可能である。[適用例1]電気化学素子用電極の製造方法であって、マンガンイオンを含み、実質的に塩化物イオンを含んでいない電解液と、標準水素電極に対する電位が-1.5Vよりも高い卑金属の電極基材と、を準備する準備工程と、前記電解液中において前記電極基材を作用電極とし、定電位電析法により、前記電極材の表面に層状マンガン酸化物の膜を形成する形成工程と、を備える製造方法。この構成によれば、電析によって、卑金属の電極基材の表面に層状マンガン酸化物を析出させるため、電気化学素子用電極の製造コストを抑制しつつ、出力密度やサイクル特性などの性能の向上を図ることができる。[適用例2]適用例1に記載の製造方法において、前記形成工程は、前記電極基材の表面に厚さが8μm以下の層状マンガン酸化物の膜を形成する工程を含む、製造方法。この構成によれば、電極基材の表面から層状マンガン酸化物の剥離の発生を抑制することができるため、電気化学素子用電極の耐久性の向上を図ることができる。[適用例3]適用例1または適用例2に記載の製造方法において、前記準備工程は、標準水素電極に対する電位が-0.8Vよりも高い卑金属により形成された電極基材を準備する工程を含む、製造方法。この構成によれば、電析時における電極基材の腐食をさらに抑制することができる。[適用例4]適用例1ないし適用例3のいずれかに記載の製造方法において、前記準備工程は、硫酸イオンよりも強い不動態化阻止能力を有する陰イオンを実質的に含んでいない電解液を準備する工程を含む、製造方法。この構成によれば、電析時における電極基材の腐食をさらに抑制することができる。[適用例5]適用例1ないし適用例4のいずれかに記載の製造方法において、前記形成工程は、前記作用電極の電位が、銀/塩化銀参照電極に対して、0.9Vより大きく、1.2Vより小さくなるようにして電析をおこなう工程を含む、製造方法。この構成によれば、電気化学素子用電極のサイクル特性などの性能の向上を図ることができる。[適用例6]電気化学素子用電極であって、標準水素電極に対する電位が-1.5Vよりも高い卑金属により形成される電極基材と、前記電極基材の表面に形成される層状マンガン酸化物の膜部と、を備え、前記膜部には、前記層状マンガン酸化物を互いに結着するためのバインダー成分が含まれていない、電気化学素子用電極。この構成によれば、電極基材が卑金属により形成されているため、電気化学素子用電極の製造コストを抑制することができる。また、膜部にはバインダー成分が含まれていないため、電気化学素子用電極の出力密度やサイクル特性などの性能の向上を図ることができる。[適用例7]適用例6に記載の電気化学素子用電極において、前記バインダー成分とは、フッ化炭素樹脂である、電気化学素子用電極。この構成によれば、膜部にはフッ化炭素樹脂が含まれていないため、電気化学素子用電極の出力密度やサイクル特性などの性能の向上を図ることができる。[適用例8]適用例6または適用例7に記載の電気化学素子用電極において、前記電極基材の表面に形成された層状マンガン酸化物は、厚さが8μm以下である、電気化学素子用電極。この構成によれば、電極基材の表面から層状マンガン酸化物の剥離の発生を抑制することができるため、電気化学素子用電極の耐久性の向上を図ることができる。本発明の一実施形態に係る電気化学素子用電極は、例えば、レドックスキャパシタなどのキャパシタや、リチウムイオン電池などの二次電池の電極主に正極として使用される。この電気化学素子用電極は、卑金属の電極基材の表面にバインダー成分を含んでいない層状マンガン酸化物の膜が形成された構成を備えていることが好ましい。この電気化学素子用電極のさらに具体的な構成は、以下の製造方法の説明の中で明示する。本発明の一実施形態としての電気化学素子用電極は、電解析出法によって電極基材の表面にマンガン酸化物を析出させて製造することができる。この電解析出法による電気化学素子用電極の製造方法は、電極基材と電解液とを準備する準備工程と、電極基材にマンガン酸化物の膜を形成する形成工程を備えている。準備工程において準備される電極基材は、標準水素電極に対する電極電位標準電極電位が-1.5Vより貴な高い卑金属の板状部材であり、使用されるキャパシタや二次電池の形状等に応じた任意の外形を有している。卑金属とは、金、白金、銀、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム以外の金属であり、鉄、ニッケル、クロムなどによって構成されるステンレスや、ニッケルなどが含まれている。なお、電極基材に使用される卑金属は、標準水素電極に対する電極電位が-0.8Vより貴な高い金属であることがより好ましい。これは、後述するように、電極基材は、電析時に作用極として用いられるため、標準電極電位が卑な低い金属を使用すると電析による腐食が増大するためである。標準電極電位が-0.8Vより貴な高い金属によって電極基材を形成することによって、電析時の腐食の発生を抑制することができる。準備工程において準備される電解液は、2価のマンガンイオンMn2を含み、実質的に塩化物イオンClを含んでいないことを特徴としている。ここでいう、実質的に塩化物イオンを含んでいない電解液とは、塩化物イオンが完全に含まれていない電解液をいうのではなく、塩化物イオンが含まれないように溶媒や電解質を工夫して作製された電解液をいう。そのため、塩化物イオンが数十ppm程度含まれていたとしても、ここでいう、塩化物イオンを実質的に含んでいない電解液に該当する。この電解液は、例えば、塩化物以外の2価のマンガン化合物と、塩化物以外の支持電解質を、水などの溶媒に溶解することによって作製することができる。塩化物以外の2価のマンガン化合物としては、例えば、硫酸マンガンMnSO4、硝酸マンガンMnNO32、炭酸マンガンMnCO3などを例示することができる。なお、使用される2価のマンガン化合物は、塩化物以外であれば上記以外の化合物であってもよい。電解液に含まれるマンガンイオンの濃度は、特に限定されないが、0.1mM~1Mとすることが好ましく、1mM~100mMとすることがさらに好ましい。稀薄な濃度では、電解液の電気抵抗が増大するためである。一方、高濃度の場合には、マンガン酸化物の析出が均一性を欠き好ましくないためである。塩化物以外の支持電解質としては、例えば、硫酸カリウムK2SO4、硝酸カリウムKNO3、過塩素酸カリウムKClO4、硫酸ナトリウムNa2SO4、硫酸リチウムLi2SO4、硫酸マグネシウムMgSO4などを例示することができる。なお、使用される支持電解質は、塩化物以外であれば上記以外の化合物であってもよい。電解液に含まれる支持電解質の濃度は、特に限定されないが、0.1mM~1Mとすることが好ましく、1mM~100mMとすることがさらに好ましい。なお、電解液には、塩化物イオンClのみではなく、硫酸イオンSO42よりも強い不動態化阻止能力をもつ陰イオンも実質的に含まれていないことがより好ましい。ここでいう陰イオンの不動態化阻止能力とは、金属を浸した電解液中において、陰イオンが金属表面の不動態皮膜に吸着して金属を溶解孔食するときの不動態皮膜に吸着する能力を表し、その強さは、塩化物イオンCl>臭化物イオンBr>ヨウ化物イオンI>フッ化物イオンF>硫酸イオンSO42の順となる。すなわち、電解液には、臭化物イオン、ヨウ化物イオン、フッ化物イオンが含まれていないことがより好ましい。不動態化阻止能力をもつ陰イオンによる電極基材の腐食をより低減することができるためである。形成工程では、用意した電解液を電析槽電析セルに収容し、電極基材を陽極作用極として、定電位電析法により、電極基材の表面に層状マンガン酸化物の膜を形成する。電極基材作用極の電位は、銀/塩化銀参照電極に対して、0.9Vより大きく、1.2Vより小さくすることが好ましく、1V付近の方がより純度が高くアモルファスを含まない、結晶性が良いバーネサイトが得られ、耐久性、容量発現に有利であるため、0.95V~1.05Vとすることがさらに好ましい。電析時間は、電極基材の表面に形成される層状マンガン酸化物の膜厚が0.1μm~8μmとなるように調整されることが好ましく、特に0.1μm~5μmとなるように調整されることがより好ましい。また、電解溶液の温度は、室温~80°Cとすることが好ましい。なお、電析方法は、電極基材の電位を一定に保つ定電位電析法に限定されず、反応速度が一定な定電流電析法によっておこなわれてもよい。使用する電析槽は、貯槽式バッチ式であってもよいし、流通式フロー式であってもよく、任意の電析槽を使用することができる。また、対極陰極は、導電性物質であれば特に限定されず、鉄、銅、ニッケル、白金などを使用することができる。電析により、電解液中のマンガンイオンが電極基材と反応し、マンガン酸化物として電極基材の表面に析出する。電極基材の表面に析出したマンガン酸化物は、負に帯電しているため、共存する支持電解質の陽イオンが層状に付着する。さらにその上にマンガン酸化物が析出する。これが繰り返されることにより、マンガン酸化物の層と陽イオンの層が複数積層されたバーネサイト型層状マンガン酸化物が形成される。電析により、電極基材の表面に層状マンガン酸化物を形成した後、必要に応じて適宜、洗浄、乾燥等をおこなうと、本発明の一実施形態に係る電気化学素子用電極が完成する。以上説明した、本実施形態の電気化学素子用電極によれば、電極基材が卑金属によって形成されているため、白金などの貴金属により形成された電極基材を備える電気化学素子用電極に比べて製造コストを抑制することができる。従来から、電析によって、白金により形成された電極基材に層状マンガン酸化物の膜を形成する方法が知られている例えば、特開2006-76865号公報。この従来例のように、電極基材に白金などの貴金属が使用されるのは、入手が容易等の理由により、電析に用いられる電解液に、塩化マンガンMnCl2や塩化ナトリウムNaCl等の塩化物を溶解したものが広く用いられるためである。このように、電析法によって製造される電気化学素子用電極の電極基材は、耐腐食性に優れる白金などの貴金属を使用することが一般的であった。しかし、本願発明者は、塩化物イオンが実質的に含まれていない電解液であれば、電極基板を卑金属とした場合であっても、電析時の腐食が少なく、電気化学素子用電極として十分利用可能であることを見出した。電極基板を卑金属にすることにより、電気化学素子用電極の製造コストの低減を図ることができる。また、本実施形態の電気化学素子用電極は、電極基材の表面にマンガン酸化物がバインダーレスで形成されているため、電気化学素子用電極の導電性能の向上を図ることができる。ここでのバインダーとは、マンガン酸化物などの活物質を結着するための結着剤であり、フッ化炭素樹脂やゴム材料などが一般的に用いられる。具体的には、PTFEポリテトラフルオロエチレン、PVDFポリフッ化ビニリデン、SBRスチレンブタジエンゴムなどがあげられる。バインダーレスの電極とは、これらの結着剤成分を含んでいない電極のことである。バインダー成分の有無は、例えば、フーリエ変換赤外分光光度計FT-IRや核磁気共鳴装置NMRによる構造解析で、多重結合や官能基、炭素骨格などを同定することによって確認することができる。ところで、従来から、電極基板にマンガン酸化物などの活物質を結着させるために、電解液中にバインダーを混入する方法が広く知られている例えば、特開2009-260289号公報。しかし、電解液にバインダーを混入した場合、基板上に形成される活物質の層にはバインダー成分が含まれるため、電極の導電性が低下して出力密度が低下するなどの問題があった。しかし、本実施形態の電気化学素子用電極は、電極基材の表面にマンガン酸化物がバインダーレスで形成されているため、電気化学素子用電極の導電性能の向上を図ることができる。1第1実施例:図1は、サンプルS01~S11の構成を説明するための説明図である。ここでは、以下に説明するように、サンプルS01~S11の電極板電気化学素子用電極を使用して、電極板のサイクル耐久性や出力密度の評価等をおこなった。<サンプルS01>25mMの硫酸カリウムK2SO4と2mMの硫酸マンガンMnSO4とを溶解した水溶液をビーカ電析セル50mLに入れて電解液とした。電解液は窒素ガスをバブリングすることによって、窒素雰囲気とした。また、電解液の温度は25°Cであった。電極基板としてのニッケルNi板10mm×10mm×1mmを作用電極とし、銀/塩化銀参照電極の電位に対して1.0Vの電圧を印加した。電析時間は30分であった。なお、対極には、白金Pt板を用いた。この電析条件によって、ニッケル板の表面には、マンガン酸化物を含んだ茶色の薄膜が形成された。茶色の薄膜によって被覆されたニッケル板を電解液から取り出し、蒸留水で洗浄した後に真空乾燥して電極板とした。<サンプルS02~S06>サンプルS01の電析条件において、25mMの硫酸カリウムK2SO4の替わりに、以下の1~5を使用して得られる電極板をサンプルS02~S06とした。150mMの硝酸カリウムKNO3サンプルS02250mMの過塩素酸カリウムKClO4サンプルS03325mMの硫酸ナトリウムNa2SO4サンプルS04425mMの硫酸リチウムLi2SO4サンプルS05550mMの硫酸マグネシウムMgSO4サンプルS06サンプルS02~S06の電極板は、ニッケル板の表面がマンガン酸化物を含んだ茶色の薄膜で被覆されていた。<サンプルS07>サンプルS01の電析条件において、ニッケル板の替わりにステンレスSUS316板を使用して得られた電極板をサンプルS07とした。<サンプルS08>サンプルS01の電析条件において、25mMの硫酸カリウムK2SO4の替わりに、50mMの塩化カリウムKClを使用して得られる電極板をサンプルS08とした。なお、ここでは、電解液中に塩化物イオンClが含まれているため、電析時にニッケル板の局部腐食が発生し、対極から激しい気泡が確認された。得られた電極板の表面には電析物は確認されなかった。<サンプルS09>サンプルS01の電析条件において、ニッケル板の替わりにアルミニウムAl板を使用して得られた電極板をサンプルS09とした。なお、ここでは、電解液中に塩化物イオンClが含まれていないにもかかわらず、電析時に局部腐食が発生し、表面に電析物は確認されなかった。この理由は、アルミニウムは、標準電極電位が-1.67V程度と低いためであると推定される。<サンプルS10>サンプルS01の電析条件において、ニッケル板への印加電圧を銀/塩化銀参照電極の電位に対して0.9Vとし、得られた電極板をサンプルS10とした。<サンプルS11>層状マンガン酸化物の粉末バーネサイト粉末をPTFEバインダーと混錬してニッケル板上に結着させて得られた電極板をサンプルS11とした。図2は、サンプルS01~S07およびサンプルS10~S11の電極板の表面に形成された薄膜のX線回析XRDパターンを示した説明図である。図1に示すように、サンプルS01~S07およびサンプルS11のXRDパターンでは、2θ=12.1°、24.2°付近に層状マンガン酸化物バーネサイト特有な解析ピークが観察された。このことからサンプルS01~S07およびサンプルS11の各電極板の表面に形成された薄膜は、マンガン酸化物結晶体が多層に積層された層状体であることがわかる。一方、サンプルS10のXRDパターンでは、層状マンガン酸化物特有の解析ピークが観察されなかった。このことから、サンプルS10の電極板の表面に形成された薄膜は、マンガンのアモルファス酸化物であることがわかる。図3は、サンプルS01とサンプルS10の電極板のサイクル耐久性の評価結果を示した説明図である。サンプルS01とサンプルS10のレドックスキャパシタ電極としての性能サイクル特性を評価するため、各電極板について、サイクリックボルタンメトリの実施前後における比容量の変化率を算出した。サイクリックボルタンメトリは、0V~0.8Vの間でおこない、掃引速度を20mV/sとした。図3には、サイクリックボルタンメトリ実施前の電極板の比容量を100としたときの各サイクル実施後の容量維持率がそれぞれ示されている。サンプルS01の電極板は、基材の表面に形成された薄膜がマンガン酸化物結晶体の層状体バーネサイト膜であるため、図3に示すように、1000サイクル後の容量維持率が99.9とサイクル耐久性が高いことがわかる。一方、サンプルS10の電極板は、薄膜がマンガンのアモルファス酸化物アモルファス膜であるため、1000サイクル後の容量維持率が57とサイクル耐久性が低いことがわかる。図4は、サンプルS01とサンプルS11の電極板の出力密度の評価結果を示した説明図である。サンプルS01とサンプルS11のレドックスキャパシタ電極としての性能出力密度を評価するため、各電極板について、サイクリックボルタンメトリの掃引速度を変化させたときの比容量の変化率を算出した。サイクリックボルタンメトリは、0V~0.8Vの間でおこない、掃引速度を2mV/s~200mV/sの範囲で変化させた。図4には、掃引速度が2mV/sのときの電極板の比容量を100としたときの各掃引速度における容量維持率が示されている。図4に示すように、掃引速度が200mV/sのとき、サンプルS01の電極板の容量維持率は約20であるのに対して、サンプルS11の電極板の容量維持率は約3と低いことがわかる。これは、サンプルS01の電極板の薄膜には、バインダー成分が含まれていないが、サンプルS11の電極板の薄膜には、バインダー成分PTFEが含まれているためである。すなわち、サンプルS11の電極板は、薄膜に含まれるバインダー成分によって導電率が低下するため、サンプルS01の電極板よりも出力密度が低下する。以上説明したように、サンプルS01~サンプルS07の電極板は、基材の表面に形成された薄膜がマンガン酸化物結晶体の層状体バーネサイト膜であるため、従来のマンガンのアモルファス酸化物アモルファス膜の薄膜が形成された電極板例えば、特開2005-252217号公報、特開2010-103051号公報よりもさらにサイクル耐久性を高めることができる。なお、サンプルS10のように、アモルファス膜が形成された電極板は、バーネサイト膜が形成されている電極板と比較すると、サイクル耐久性に劣るものの、電極としての機能は十分に備えている。また、サンプルS01~サンプルS07の電極板は、基材の表面に形成された薄膜にバインダー成分が含まれていないため、従来のバインダー成分を含んだ薄膜を備える電極板例えば、特開2009-260289号公報よりも出力密度を高めることができる。2第2実施例:第2実施例では、サンプルS21~S26の電極板を使用して、電極板の表面に形成されているマンガン酸化物結晶体の層状体の薄膜バーネサイト膜の剥離性の評価をおこなった。サンプルS21は、サンプルS01と同じものであり、バーネサイト膜の膜厚は膜厚0.5μmであった。<サンプルS22~S25>サンプルS01サンプルS21の電析条件において、電析時間を変更して、基材の表面に析出したバーネサイト膜の膜厚を変えた電極板をそれぞれサンプルS22~S25とした。1膜厚0.1μmサンプルS222膜厚1μmサンプルS233膜厚5μmサンプルS244膜厚8μmサンプルS255膜厚10μmサンプルS26本実施例において、バーネサイト膜の膜厚は、電析時の電気量電流の積分値、マンガン酸化物の分子量、マンガンの価数、から電析量gを算出し、電析量を基材の表面積で除することにより算出した。ここでは、電析時の電気量は全てバーネサイト膜の生成に使用されたものとした。例えば、サンプルS21の薄膜の膜厚は、まず、電析時に流れた電流密度と時間の関係から、総電気量=0.57Cを算出した。マンガン酸化物の電析量は、電析量=電気量/ファラデー定数/Mnの価数×MnO2の分子量、から算出して、0.57/96500/2×86.94=0.26mgとなった。この電析量をマンガン酸化物の密度5.03g/cm3と電極基材の表面積1.0cm2で除すると、バーネサイト膜の膜厚=0.5μmが算出される。図5は、サンプルS21~S26の電極板の表面に形成されたバーネサイト膜の剥離性の評価結果を示した説明図である。バーネサイト膜の基材からの剥離のしにくさを評価するため、各電極板について、0V~0.8Vの間のサイクリックボルタンメトリを所定の掃引速度で所定のサイクル数実施した後の剥離の有無について目視で確認した。図5aは、掃引速度20mV/sで1000サイクル実施した後のバーネサイト膜の剥離の程度が示されている。図5bは、掃引速度200mV/sで10サイクル実施した後のバーネサイト膜の剥離の程度が示されている。サンプルS21~S26から、表面にバーネサイト膜が形成されている電極板は、バーネサイト膜の厚みが厚くなるほど、使用や経年によってバーネサイト膜の剥離が生じやすくなることがわかる。また、バーネサイト膜の剥離の発生を抑制するためには、膜厚を8μm以下とすることが好ましく、5μm以下とすることがさらに好ましいことがわかる。バーネサイト膜の膜厚をこのようにすることによって、種々の環境下においても、バーネサイト膜の剥離の発生を抑制することができる。なお、膜厚が8μmより大きいバーネサイト膜が形成されている電極板は、膜厚が8μm以下のバーネサイト膜が形成されている電極板と比較すると、耐久性に劣るものの、電極としての機能は十分に備えている。