"前面開放式ウエハ容器であって、前面開口部を有する容器部分と、複数のV字形のウエハ係合部を含むウエハクッションを有する前記容器部分の前面開口部に動作可能に係合するための前扉であって、各V字形のウエハ係合部が、ウエハを着座させるための、頂点において集束する溝を画定する上部脚と下部脚とを含み、前記下部脚が、様々な傾斜角を有する複数の内側に向いた表面部分を提供する、前扉と、を含む、前面開放式ウエハ容器。前記複数の内側に向いた表面部分が、前記頂点の近位の第1の表面部分と、前記頂点の遠位の第2の表面部分とを含み、前記第1の表面部分が、前記第2の表面部分よりも、水平面からより浅い傾斜の角度で配置されている、請求項1に記載の前面開放式ウエハ容器。水平面に対する前記第1の表面部分の傾斜の角度が30度以下である、請求項2に記載の前面開放式ウエハ容器。水平面に対する前記第1の表面部分の第2の傾斜の角度が50度未満である、請求項3に記載の前面開放式ウエハ容器。水平面に対する前記第1の表面部分の第2の傾斜の角度が45度~50度である、請求項3に記載の前面開放式ウエハ容器。前記ウエハ容器が450mm径ウエハを支持するための大きさに作られている、請求項2に記載の前面開放式ウエハ容器。前記下部脚が前記上部脚よりも少なくとも20長い、請求項2に記載の前面開放式ウエハ容器。前記下部脚が前記上部脚よりも少なくとも30長い、請求項2に記載の前面開放式ウエハ容器。前記下部脚が前記上部脚よりも少なくとも40長い、請求項2に記載の前面開放式ウエハ容器。前記下部脚が前記上部脚よりも少なくとも60長い、請求項2に記載の前面開放式ウエハ容器。様々な傾斜角を有する前記複数の内側に向いた表面部分が、全般的に、前記頂点を基準として遠位部と近位部とを有し、前記遠位部および前記近位部が不定の移行位置を有し、水平面に対する前記近位部の平均表面角度よりも大きな、水平面に対する前記遠位部の平均表面角度を画定する、請求項1に記載の前面開放式ウエハ容器。様々な傾斜角を有する前記複数の内側に向いた表面部分が、全般的に、前記頂点を基準として遠位部と近位部とを有し、前記遠位部および前記近位部が不定の移行位置を有し、水平面に対する、前記近位部の離れた箇所における表面角度よりも大きな、水平面に対する、前記遠位部の離れた箇所における表面角度を画定する、請求項1に記載の前面開放式ウエハ容器。ウエハ容器のためのウエハクッションであって、V字形の溝を提供する複数のウエハ係合構造であって、各V字形の溝が、互いに集束する上部脚と下部脚とによって画定される頂点を含む内部部分を有し、前記下部脚が、前記頂点を基準として、近位ウエハ係合面と、遠位ウエハ係合面とを有し、前記近位ウエハ係合面が、前記遠位ウエハ係合面の、水平面に対する第2の鋭角より小さな、水平面に対する第1の鋭角において配置されている、複数のウエハ係合構造を含む、ウエハ容器のためのウエハクッション。前記第1の鋭角が30度以下である、請求項13に記載のウエハクッション。前記第2の鋭角が50度未満である、請求項14に記載のウエハクッション。前記第2の鋭角が45度~50度である、請求項14に記載のウエハクッション。前記ウエハクッションが450mm径ウエハを支持するための大きさに作られている、請求項13に記載のウエハクッション。前記下部脚が前記上部脚よりも少なくとも20長い、請求項13に記載のウエハクッション。前記下部脚が前記上部脚よりも少なくとも30長い、請求項13に記載のウエハクッション。前記下部脚が前記上部脚よりも少なくとも40長い、請求項13に記載のウエハクッション。前記下部脚が前記上部脚よりも少なくとも60長い、請求項13に記載のウエハクッション。前記近位ウエハ係合面と前記遠位ウエハ係合面とが不定の移行部において集束する、請求項13に記載のウエハクッション。前面開放式ウエハ容器内に位置するたるんだウエハを着座させる方法であって、内部面と外部面とを有するウエハ容器扉を操作するステップであって、前記内部面が、互いに対して異なる角度で配置された近位表面と遠位表面とを含む下部脚をそれぞれが有する複数のV字形部材を含むウエハクッションを備える、ステップと、前記容器内のウエハを前記ウエハクッションの下部脚の遠位表面に接触させるために、前記容器扉を前記ウエハ容器の前面開口部内に位置合わせするステップと、前記ウエハを前記下部脚の遠位表面および前記下部脚の近位表面上から着座位置までずり上げるために前記容器扉を挿入するステップと、を含む、方法。着座している前記ウエハが450mm径ウエハである、請求項23に記載の着座方法。前記下部脚の前記近位表面が、前記下部脚の遠位表面の水平面に対する角度よりも、水平面に対してより浅い角度を有する、請求項23に記載の着座方法。前記下部脚の近位表面が、水平面に対して30度未満の角度を有する、請求項23に記載の着座方法。前記下部脚の遠位表面が、水平面に対して50度未満の角度を有する、請求項24に記載の着座方法。前記下部脚の遠位表面が、水平面に対して45~50度の角度を有する、請求項24に記載の着座方法。本発明は上記した懸案を鑑みてなされたものである。450mmウエハに適した前面開放式ウエハ容器では、前扉に、扉のV字形のウエハクッション係合部の下部脚の内部表面に様々な傾斜角を有するウエハクッションを用いている。この構成により性能が強化される。より具体的には、本発明の一実施形態では、前面開放式ウエハ容器は、断面において、Vの下部脚の内部表面が水平面からの異なる傾斜角を有する少なくとも2つの表面部分を含む水平のV字形の溝を有する。この表面部分はウエハの縁端が着座する頂点に隣接しており、頂点からより遠位にある表面部分よりも、水平面からの浅い傾斜角を有する。これまで認識されていなかった問題は、前扉のクッションと係合するウエハの重量により、z方向における相当な力の成分を生じるおそれがあるため、扉の外側への曲げが生じるおそれがあることである。ウエハの縁端が90度回転させたV字形の溝に着座する典型的な構成では、Vの下部脚におけるウエハの係合が下部脚の傾斜角に対して垂直方向の力を提供する。そのような力は、扉を外側に押す相当な力を生じさせる、z方向に水平に延びる成分を有する。この力は、扉のたわみの問題を引き起こす可能性があるだけでなく、ラッチに過剰な荷重をかけ、掛止を困難にすると考えられている。ウエハの縁端が着座するVの下部脚の傾斜の角度を低減することによって、z方向における力の成分を低減することができる。本発明のさらなるおよび関連する利点および特徴は、ウエハが着座する下部脚の近接部の水平面からのより浅い傾斜の角度により、ウエハ縁端の捕捉が強化され、衝撃荷重または他の輸送状況下において、ウエハがウエハクッションから離れる可能性が低下することである。本発明の実施形態のさらなる特徴および利点は、V字形の溝におけるウエハ縁端の捕捉の維持ならびに頂点に着座するウエハ縁端の保持に必要な圧力が、より大きな傾斜角を有する下部脚表面を有するV字形の溝よりも小さいことである。本発明の一実施形態においては、450mmウエハ等の大径ウエハを保持するのに適した前面開放式ウエハ容器は、複数のV字形の溝を有するウエハクッションを備えた前扉を使用している。扉が容器部分の扉フレーム内に挿入されると、上にウエハの縁端が載るV字形の溝の下部脚は、少なくとも2つのウエハ縁端係合面を有しており、第1の面が、扉が挿入された際にウエハ縁端がランプにずり上がることを容易にする第1の傾斜の角度を有し、第2の面が、第1の傾斜の角度よりも小さい、V字形の溝の頂点にウエハが着座する際の第2の傾斜の角度を有する。本発明の一実施形態は、前面開口部と、容器部分の前面開口部に動作可能に係合するための前扉とを備えた容器部分を含む前面開放式ウエハ容器に関する。扉は、複数のV字形のウエハ係合部を含むウエハクッションを有する。各V字形のウエハ係合部は、ウエハを着座させるための、頂点において集束する溝を画定する上部脚と下部脚とを含む。さらに、下部脚は、様々な傾斜角を有する複数の内側に向いた表面部分を提供している。本発明の別の実施形態は、ウエハ容器用のウエハクッションに関する。ウエハ容器は、V字形の溝を提供する複数のウエハ係合構造を含む。各V字形の溝は、互いに集束する上部脚と下部脚とによって画定される頂点を含む内部部分を有する。下部脚は、頂点を基準として、近位ウエハ係合面と、遠位ウエハ係合面とを有する。さらに、近位ウエハ係合面は、遠位ウエハ係合面の、水平面に対する第2の鋭角より小さい、水平面に対する第1の鋭角において配置されている。本発明の他の実施形態は、前面開放式ウエハ容器内に位置するたるんだウエハを着座させるための方法を含む。該方法には、内部面と外部面とを有するウエハ容器扉を操作するステップを含む。内部面は、それぞれが互いに対して異なる角度で配置された近位表面と遠位表面とを含む下部脚を有する複数のV字形部材を含むウエハクッションを含む。前記方法には、また、容器内のウエハをウエハクッションの下部脚の遠位表面に接触させるために、容器扉をウエハ容器の前面開口部内に位置合わせするステップを含む。最後に、前記方法には、ウエハを下部脚の遠位表面および下部脚の近位表面上から着座位置までずり上げるために容器扉を挿入するステップを含む。図1を参照すると、前面開放式ウエハ容器20が示されており、全般的に容器部分22を含み、前面開口部24が、扉フレーム28と、開いた前面を閉じるように構成された前扉30とによって画定されている。扉は、扉ハウジング44の内部に位置する掛止機構42に通じる一対のキー穴36,38を有する。扉は、外部表面50と、周縁部54と、内部表面56とを有する。長穴60が周縁部に配置されており、扉フレームの内部表面にある凹部70に係合するとともにそこから解放するために、掛止タブ64またはチップを扉から突出させることおよび引き込むことを可能にする。扉の内部の中央に配置されているのは凹部74である。凹部に配置されているのは、容器部分22内に配置されている離間したウエハの垂直スタックとの係合のために配置された複数のウエハ係合部76である。扉は、扉フレームに係合して密封するシールまたはガスケット80を有する。ウエハ係合部76は、扉が容器部分上に掛止されるとウエハを支持するとともにクッションで支えるウエハクッション78を含む。図3を参照すると、ウエハ係合部76の種々の断面ならびに450mmウエハ110が示されている。ウエハ係合部76は90度回転したV字形を有し、内方に面した下部脚表面84を有する下部脚82と、内方に面した上部脚表面88を有する上部脚86とを有する。下部脚は、頂点90と、頂点を基準とした遠位部92とを有し、遠位部は内方に面した遠位部表面93を有する。下部脚は、さらに、内方に面した近位部表面96を有する近位部94を有する。近位部表面は水平面から角度101で配置されており、遠位部表面は水平面から角度103で配置されている。近位部表面によって形成される角度は遠位部表面によって形成される角度よりも小さい。換言すると、近位部である。扉が扉フレーム内に配置されたときにウエハ110が扉に係合すると、ウエハ周辺縁112、特に、下部角114が下部脚の遠位部の内方に面した表面93に係合し、下部脚が近位部までずり上がる。容器内におけるウエハのこの動作および拘束について記載している、参照によって組み込まれる米国特許第6267245号明細書を参照されたい。この場合、近位部は、衝撃状況下においてウエハ縁端をその中に保持するのに、例えば、下部脚の遠位部により設けられる通常の傾斜面において必要とされうるものほど大きな内方への力なしでウエハの縁端を支持することができる、棚に近似した特徴を提供する。図4を参照すると、上部脚よりも、例えば、少なくとも20長い、または、いくつかの実施形態では少なくとも30長い、または、いくつかの実施形態では40長い、あるいは、いくつかの実施形態では60長い下部脚を有する異なる構成である。図5を参照すると、遠位部と近位部との間の移行が前述の実施形態ほど明確でないさらなる一実施形態が示される。依然、水平面に対する遠位部の表面の平均角度または遠位部の離れた箇所における水平面に対する角度のいずれかの角度が、近位部における水平面に対する平均角度または近位部の離れた箇所における水平面に対する角度よりも大きい。図6aおよび図6bは、450mmウエハ110の、下部脚82の別部分との係合を示す。具体的には、図6aは、クッション78の下部脚の遠位部92と接触しているウエハ110を示し、図6bは、クッション78の下部脚の近位部94と接触しているウエハ110を示す。したがって、大きな、場合によっては、たるんだウエハをウエハクッションに着座させるための動作を以下の説明および参照される図からより良く理解することができる。たるみを直すための、前面開放式ウエハ容器内に装填されたウエハの最終的な着座にはいくつかのステップを含む。これらには、内部面と外部面とを有するウエハ容器扉を操作するステップを含む。本出願の全体にわたり実施形態に記載されるように、内部面は複数のV字形部材を備えたウエハクッションを含む。具体的には、V字形部材のそれぞれは、互いに対して異なる角度で配置された近位表面96と遠位表面93とを含む下部脚82を有する。動作には、容器内のウエハ110を、ウエハクッション78の下部脚82の遠位表面93に接触させるために、容器扉30をウエハ容器20の前面開口部24内に位置合わせするステップを必要とする。この時点で、ウエハは図6aに見られるものと類似の構成にあるべきである。下部脚82は、輸送および貯蔵時における保持のため、その所望の高さから下方に曲がったまたはたるんだウエハ110に容易に係合するほど十分に遠くまで延びるように設計されている。脚の遠位表面93の急な角度は扉に対するその薄い寸法の点において有利であり、曲がったウエハに対する細長い接触面積を可能にする。いくつかの実施形態では、水平面からの、遠位表面の角度は50度未満の鋭角である。いくつかの実施形態では、この角度は約45~50度である。ウエハを着座させる次のステップには、ウエハ110を、下部脚の遠位表面93および下部脚の近位表面96上から着座位置までずり上げるために容器扉30を挿入するステップを必要とする。ウエハが下部脚82の近位表面および近位部に達すると、保持および貯蔵のため、ウエハはさらにV字形の溝の頂点に押し動かされる。結果として形成されるウエハ構成を図6bに示す。水平面に対する近位表面96の角度101は水平面に対する遠位表面の角度103より小さい。いくつかの実施形態では、この鋭角101は30度未満である。いくつかの実施形態では、この角度101は約30度である。この角度と頂点の着座配置は有利である。それは、この配置により、衝撃保護およびウエハ保持の強化ならびに衝撃荷重および輸送下における曲げおよびたわみに対する抵抗がもたらされるからである。本発明の実施形態により提供される複数面配置multi-surfacearrangementの有利な性質をさらに示すために、図6aおよび図6bに力のベクトルを付加した。複数角度の設計の理由の1つは、前扉のクッションと係合するウエハの、特に、新規の、大きく、より重量のある450mm径の設計に関する、かなりの重量によるものである。この重量が扉30に大きな力をかける原因となり、扉30が外側に曲がることにつながるおそれがある。静力学の観点では、ウエハ110の縁端がV字形の係合構造の下部脚82に係合すると、図6aに示すように、力Fが下部脚の傾斜角に対して垂直方向に作用する。この力は、扉に対してz方向に延びる水平成分を有するため相当な力が扉にかかることとなり、扉を外側に押す場合がある。この外側への力が扉のたわみに起因する種々の問題につながる可能性がある。さらに、そのような荷重が部分的にラッチ64に伝達されるおそれがあり、さらなるラッチ関連の問題を引き起こす場合がある。ウエハ110の縁端が着座する、下部脚82の近位部の傾斜の角度を低減することによって、z方向における力の成分が減少する。さらに、傾斜の角度を低減すると摩擦がより良好に利用され、動きが防止される。したがって、下部脚82の近位部94におけるこの載置位置は、衝撃の際の保持shockretentionに対するより良好な配置を提供するとともに、荷重状況下における曲げおよびたわみに対する抵抗が増加する。図7および図8は、自身の下面に単一の表面角度を有する種々のクッション断面が、クッションのウエハ係合部の下部脚の2つの表面配置の利点をいかに提供しないかを説明するために示したものである。図7は、単一の表面傾斜角を有する下部脚を示す。水平面に対するこの傾斜角は相対的に小さい。この場合、下部脚は、最初にウエハに係合する広い垂直接触面積を提供することができない。このような状況下においては、接触を容易に行うことができないほど十分なたわみを有しうるウエハもある。脚をこの角度でさらに延ばすことは、扉壁からの大きなおよび望ましくない長さの突起を生じることになる。自動化の理由ならびに構造的な理由から、そのような突出した突起は望ましくない。図8は、水平面に対する傾斜角が相対的に大きい単一の表面傾斜角を有する別の下部脚を示す。このような場合では、下部脚は、ウエハを係合および保持するために相当な力を必要とし、上述のように、相当な力が扉にかかってしまう場合がある。図7および図8とは逆に、本発明の実施形態では、ここに記載した問題となる欠点なく両角度を有する利点を提供する複数の角度を提供する。図9は、ウエハクッション係合部の断面図を示す。示されるウエハクッション78は、高傾斜表面120と、隣接する低傾斜表面122との両方を備えた下部脚82を含む。高傾斜表面120は、上部脚部と下部脚部とが接触する溝頂点90から全般的に遠位にある。低傾斜表面122は頂点90の近位にある。表面120および表面122は両方とも相対的に平坦かつ均一である。これら表面は、高傾斜表面120と低傾斜表面122とが接する位置にある下部脚頂点124において互いに結合する。高傾斜表面120は、その主な目的が上部傾斜表面122へのランプ127として機能することであるため、一般に、持上面126とみなされる。上部傾斜表面122は、また、着座面128とも呼ぶことができる。これは、より低い勾配を有するこの表面が、完全に閉じたウエハ容器内においてウエハ110が配置されることになる位置であることが理由である。また、低傾斜表面122と上部脚86とが溝を形成する領域全体は、一般に、着座部130と呼ばれる。低傾斜表面122の縁は、溝頂点90と下部脚頂点124とによって画定される。高傾斜表面120の縁は、頂点124と下部脚82の端部131とによって画定される。端部131は下部脚82の縁131とも呼ばれる。図10は、着座傾斜部および持上傾斜部を示すウエハクッション係合部の断面図である。一般に、ウエハ110aは持上傾斜部132上において示され、ウエハ110bは着座傾斜部134上において示される。一般に、着座傾斜部134は着座面128に相当し、持上傾斜部132は持上面126に相当する。着座部と持上部とは頂点124によって分割されている。下部脚82上の頂点124は溝頂点90とVの下部脚の縁との中間にあり、頂点124は、扉から離れる方に、密閉部の内部に向かって内側に面している。図11は、ロボット手段による扉の挿入を示すウエハクッション係合部の断面図である。扉が装填ポートを通り扉フレーム内に水平に挿入されると、対応するウエハ容器内に水平に積み重ねられたウエハ110が全般的に着座位置に引き上げられ、そこでウエハのたるみが減少する。これは、ウエハクッション78と、扉に固定されたウエハ係合部の使用により達成される。扉が容器の扉フレーム内に最初に挿入されたとき、ウエハ配置130に示されるように、ウエハはまずクッションの持上面120に接触する。扉とウエハとの係合部76がさらに挿入されると、ウエハは、ウエハ配置132における着座面122に到達するまで持上面120をずり上がる。ウエハ110がこの箇所に到達すると、たるみはほとんど低減されており、ウエハは固定位置に保持されている。そのため、容器をすぐに操作することも貯蔵することもできる。図12a~bは、同様に、このウエハ装填の概念を示す。これら図はそれぞれ、図12aが扉挿入前のたるんだウエハ110cの断面図であり、図12bが、扉挿入時に配置され、ウエハがクッション78によって引き上げられた、直されたウエハ110dの断面図である。特に輸送に使用するための前面開放式容器の多くでは、扉フレーム内への前扉の挿入において前扉のウエハクッション内のV字形の溝にあるランプが利用され、扉が閉じられ密閉される際にウエハを棚から運び上げるために容器の後部のV字形の溝にあるランプが利用される。これは450mmの領域において採用される傾向にある。このタイプの配置については米国特許第6267245号明細書に詳述されており、参照により本明細書に組み込まれる。記載した種々の構成は、同様に、クッションであってもなくてもよい密閉部の後部におけるウエハ係合部に使用されうることに留意されたい。例えば、これら構造は棚の一部である剛体の高分子製着座部であってもよい。また、1つまたは複数の例示的な実施形態は単に例であり、本発明の範囲、適用性または構成をいかようにも限定することを意図するものではないことを理解すべきである。むしろ、前述の詳細な説明は1つまたは複数の例示的な実施形態を実施するための可能な開示を当業者に提供するものである。添付の特許請求の範囲およびその法的均等物において説明する本発明の範囲から逸脱することなく要素の機能および配置に種々の変更を施すことができることを理解すべきである。上記実施形態は例証的なものであり、限定的なものではない。追加の実施形態は特許請求の範囲内に含まれる。本発明は特定の実施形態を参照して記載されているが、当業者であれば、本発明の精神および範囲から逸脱することなく形態および細部に変更を施してもよいことを理解するであろう。当業者がこの開示を読むと本発明に対する種々の変更が明らかとなろう。例えば、関連技術において通常の技量を有する者であれば、本発明の異なる実施形態において記載した種々の特徴を、本発明の精神内において、他の特徴と、単独で、または種々の組み合わせにおいて、適切に組み合わせることも、組み合わせないことも、再び組み合わせることもできることは理解されよう。同様に、上記の種々の特徴はすべて、本発明の範囲または精神を限定するというよりもむしろ、実施形態例とみなされるべきである。したがって、上記は本発明の範囲を限定するものと企図されるものではない。"