"ポンプにおいて、実質的に楕円形状の側壁を有するポンプ本体であって、前記側壁は、一方の端部がベース壁によって閉鎖されかつ他方の端部が一対の内部プレートによって閉鎖されて、前記ポンプ本体内に、流体を収容するための空洞を形成し、前記空洞に隣接している前記内部プレートの第1の内部プレートが中心部分および周辺部分を含む、ポンプ本体と;前記エンドプレートによって形成されたアクチュエータであって、前記内部プレートの第2の内部プレートが、前記第1の内部プレートの前記中心部分に動作可能に関連付けられて振動性変位運動を発生させ、それにより、使用時に前記アクチュエータに与えられている駆動信号に応答して、前記空洞内で前記流体の径方向圧力振動を生成するアクチュエータと;前記側壁と前記第1の内部プレートの前記周辺部分との間に柔軟に接続され、前記振動性変位運動を容易にするスカートと;前記アクチュエータを貫通して延在し、流体が前記空洞を流れることができるようにする第1のアパーチャと;前記ベース壁を貫通して延在し、流体が前記空洞を流れることができるようにする第2のアパーチャと;前記第1のアパーチャおよび第2のアパーチャの少なくとも一方に配置され、かつ前記流体が前記空洞を実質的に一方向に流れることを可能にして、流体が前記空洞を流れ始めたとき、負荷部を加圧または減圧し、それにより、前記アクチュエータを、圧力の増大と前記スカートの曲げとによって、前記ベース壁の方へ休止位置からバイアス位置まで動かすように適合されているバルブと;前記ポンプ本体に対する定位置に、前記空洞の外部に装着されるセンサであって、流体が前記空洞を流れ始めて前記負荷部を加圧または減圧すると、前記休止位置と前記バイアス位置との間のいずれかの点における前記アクチュエータの変位を測定するセンサとを含むことを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記空洞の長手方向軸から前記側壁まで延在する前記空洞の半径rと前記空洞の前記側壁の高さhとの比が、1.2以上であることを特徴とする、ポンプ。請求項2に記載のポンプにおいて、さらに、前記空洞の高さhと前記空洞の半径rとの比が、式:h2/r>4×10-10メートルによって関係付けられていることを特徴とする、ポンプ。請求項2に記載のポンプにおいて、前記アクチュエータが、それに関連付けられた前記第1の内部プレートを駆動して、周波数fの前記振動運動を生じさせることを特徴とする、ポンプ。請求項4に記載のポンプにおいて、前記アクチュエータが、前記第1の内部プレートを駆動して前記振動性変位運動を生じさせ、前記半径rが以下の式:により前記周波数fと関係付けられていることを特徴とする、ポンプ。請求項4に記載のポンプにおいて、前記径方向圧力振動の最低共振周波数が約500Hzを上回ることを特徴とする、ポンプ。請求項4に記載のポンプにおいて、前記周波数fが、前記径方向圧力振動の最低共振周波数にほぼ等しいことを特徴とする、ポンプ。請求項4に記載のポンプにおいて、前記周波数fが、前記径方向圧力振動の最低共振周波数の20以内であることを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記第1の内部プレートの前記振動性変位運動が、前記径方向圧力振動に整合したモード形であることを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記スカートが可撓性膜であることを特徴とする、ポンプ。請求項10に記載のポンプにおいて、前記可撓性膜がプラスチックから形成されることを特徴とする、ポンプ。請求項11に記載のポンプにおいて、可撓性膜の環状部の幅が約0.5~1.0mmであり、前記可撓性膜の厚さが約200ミクロン未満であることを特徴とする、ポンプ。請求項10に記載のポンプにおいて、前記可撓性膜が金属から形成されることを特徴とする、ポンプ。請求項13に記載のポンプにおいて、可撓性膜の環状部の幅が約0.5~1.0mmであり、前記可撓性膜の厚さが約20ミクロン未満であることを特徴とする、ポンプ。請求項2に記載のポンプにおいて、前記空洞内で使用中の前記流体が気体であるとき、前記比が約10~約50であることを特徴とする、ポンプ。請求項2に記載のポンプにおいて、前記空洞の体積が約10ml未満であることを特徴とする、ポンプ。請求項2に記載のポンプにおいて、前記アクチュエータの半径が0.63r以上であることを特徴とする、ポンプ。請求項17に記載のポンプにおいて、前記アクチュエータの半径が前記空洞の半径r以下であることを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記アクチュエータの前記第2の内部プレートが圧電構成部品を含むことを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記アクチュエータの前記第2の内部プレートが磁気制限部品を含むことを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記センサと通信しかつ前記アクチュエータの変位に応じて前記負荷部における圧力を計算するように構成された電子回路をさらに含むことを特徴とする、ポンプ。請求項21に記載のポンプにおいて、前記電子回路が、前記負荷部における圧力の変化率を計算するようにさらに構成されていることを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記センサが、前記アクチュエータの変位を照明および測定するように構成された光学センサであることを特徴とする、ポンプ。請求項23に記載のポンプにおいて、前記光学センサが、前記アクチュエータの前記振動性変位運動の環状の変位節を照明することを特徴とする、ポンプ。請求項23に記載のポンプにおいて、前記光学センサが光送信機および光受信機を含むことを特徴とする、ポンプ。請求項25に記載のポンプにおいて、前記光送信機が、光ビームによって前記アクチュエータを照明する発光ダイオードを含み、および前記光受信機が画素素子の光センサアレイを含み、その画素素子の光センサアレイは、前記光ビームの反射を、前記アクチュエータが前記休止位置から前記バイアス位置へ動くときに前記アクチュエータの変位に対応して、その反射が画素素子の前記アレイに沿って動く時点で感知することを特徴とする、ポンプ。請求項25に記載のポンプにおいて、前記光受信機と通信しかつ前記アクチュエータの変位に応じて前記負荷部における圧力を計算するように構成された電子回路をさらに含むことを特徴とする、ポンプ。請求項23に記載のポンプにおいて、前記光学センサが、多周波数スペクトルを有する光ビームをもたらす照明光源と、前記アクチュエータ上に配置されて、前記光ビームを、多周波数スペクトル内の異なる波長の複数の反射ビームとして反射させる回折格子と、前記反射ビームを受光する光受信機であって、それら反射ビームの各々が、前記アクチュエータが前記休止位置から前記バイアス位置へ動くときに前記アクチュエータの異なる変位に対応している、光受信機とを含むことを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記センサが磁気センサであることを特徴とする、ポンプ。請求項1に記載のポンプにおいて、前記センサがRFセンサであることを特徴とする、ポンプ。アクチュエータが、ポンプの空洞を通る空気の流れを生成するように振動でき、かつ前記アクチュエータが、負荷部の圧力を高めて変位できるように、前記ポンプ内の可撓性スカート上に装着された前記アクチュエータを有する前記ポンプによって前記負荷部に生成された圧力の測定方法において、前記アクチュエータを駆動して、前記アクチュエータの振動性変位運動が、前記空洞内に流体の径方向圧力振動を生成するようにするステップと;流体が前記空洞を通って流れ始めて、前記負荷部における圧力の増大と前記スカートの曲げとによって、前記アクチュエータを休止位置からバイアス位置へ動かしたとき、前記アクチュエータの変位を測定するステップと;前記アクチュエータの変位に基づいて前記負荷部の圧力を計算するステップとを含むことを特徴とする、方法。ディスクポンプにおいて、可撓性スカートによってポンプ本体に装着されたアクチュエータであって、振動性変位運動において振動して負荷部における圧力を高めることによって、前記ポンプ本体を通る空気の流れを生成するように構成されているアクチュエータと、前記負荷部内で圧力が高まって、前記圧力を確認できると、前記アクチュエータの位置を感知するように構成されたセンサとを含むことを特徴とする、ディスクポンプ。請求項32に記載のディスクポンプにおいて、前記ポンプ本体が側壁を有し、この側壁は、一方の端部においてベース壁によってかつ他方の端部において一対の内部プレートによって閉鎖され、前記ポンプ本体内に、流体を収容するための空洞を形成し、前記空洞に隣接した前記内部プレートの第1の内部プレートが中心部分および周辺部分を含み;前記アクチュエータが前記エンドプレートによって形成され、前記内部プレートの第2の内部プレートが、前記第1の内部プレートの前記中心部分に動作可能に関連付けられて、使用時に前記アクチュエータに与えられている駆動信号に応答して振動性変位運動を生じ;前記スカートが、前記側壁と前記第1の内部プレートの前記周辺部分との間に接続されて前記振動性変位運動を容易にし;第1のアパーチャが前記アクチュエータを貫通して延在し、流体が前記空洞を通って流れることができるようにし;第2のアパーチャが前記ベース壁を貫通して延在し、流体が前記空洞を通って流れることができるようにし;前記ディスクポンプがバルブをさらに含み、そのバルブは、前記第1のアパーチャおよび第2のアパーチャの少なくとも一方に配置され、かつ流体が前記空洞を通って実質的に一方向に流れることを可能にして、流体が前記空洞を流れ始めたとき、前記負荷部を加圧または減圧し、それにより、圧力の増大と前記スカートの曲げとによって、前記アクチュエータを前記ベース壁の方へ休止位置からバイアス位置へ動かすように適合されており;および、前記センサが、前記ポンプ本体に対する定位置において、前記空洞の外側に装着されていることを特徴とする、ディスクポンプ。請求項32または33に記載のポンプにおいて、前記センサが、前記アクチュエータの位置を照明および測定するように構成された光学センサであることを特徴とする、ポンプ。請求項32乃至34の何れか1項に記載のポンプにおいて、前記光学センサが前記アクチュエータの前記振動性変位運動の環状の変位節を照明することを特徴とする、ポンプ。請求項34または35に記載のポンプにおいて、前記光学センサが光送信機および光受信機を含むことを特徴とする、ポンプ。請求項34乃至36の何れか1項に記載のポンプにおいて、前記光送信機が、光ビームによって前記アクチュエータを照明する発光ダイオードを含み、および前記光受信機が、前記光ビームの反射を、前記アクチュエータが前記休止位置から前記バイアス位置へ動くときに前記アクチュエータの変位に対応して、その反射が画素素子の前記アレイに沿って移動する時点で感知する画素素子の光センサアレイを含むことを特徴とする、ポンプ。請求項36または37に記載のポンプにおいて、前記光受信機と通信しかつ前記アクチュエータの位置に応じて前記負荷部における圧力を計算するように構成された電子回路をさらに含むことを特徴とする、ポンプ。請求項34乃至38の何れか1項に記載のポンプにおいて、前記光学センサが、多周波数スペクトルを有する光ビームをもたらす照明光源と、前記アクチュエータに配置されて、前記光ビームを、前記多周波数スペクトル内の異なる波長での複数の反射ビームとして反射する回折格子と、前記反射ビームを受光する光受信機であって、それら反射ビームの各々が、前記アクチュエータの異なる位置に対応している、光受信機とを含むことを特徴とする、ポンプ。請求項32または33に記載のポンプにおいて、前記センサが磁気センサであることを特徴とする、ポンプ。請求項32または33に記載のポンプにおいて、前記センサがRFセンサであることを特徴とする、ポンプ。請求項32または33に記載のポンプにおいて、前記センサが超音波センサであることを特徴とする、ポンプ。請求項38に記載のポンプにおいて、前記負荷部が、前記アクチュエータの被感知部分の平均位置に応じて計算されることを特徴とする、ポンプ。図1Aおよび図1Bは、説明に役立つ実施形態による例示的なディスクポンプ100の断面図を示す。図示の通り、ディスクポンプ100は、実質的に楕円形状を有するポンプハウジング102を含み、ポンプハウジングは楕円形壁101を含み、楕円形壁は、一方の端部がベース壁103によって閉鎖され、かつ回路基板108に、またはポンプハウジング102を支持する他の基材に取り付けられた脚部105によって他方の端部において装着され得る。楕円形壁101、脚部105、およびベース壁103は共に、ポンプハウジング102を形成する。ポンプ100は、ポンプ本体の楕円形壁101に取り付けられたリング状のスカート130によってポンプ100内に支持された一対のディスク状の内部プレート114、115をさらに含む。楕円形壁101、ベース壁103、内部プレート114、およびリング状のスカート130の内部面は、ポンプ100内に空洞116を形成する。空洞116の内部面は側壁118を含み、側壁は、一方の端部において端壁120によって閉鎖されている楕円形壁101の内面の第1の部分であり、端壁120はエンドプレート103の内部面であり、および端壁122は、内部プレート114の内部面とスカート130の第1の側面とを含む。それゆえ、端壁122は、内部プレート114の内面に対応する中心部分と、リング状のスカート130の内面に対応する周辺部分とを含む。ポンプ100およびその構成要素の形状は実質的に楕円形であるが、本明細書で説明する特定の実施形態は、円形、楕円形形状である。図1Aおよび図1Bに示す実施形態では、端壁120は、円錐台frusto-conical面であるとして示すが、全体的に平面的で端壁122に平行しているともし得る。ポンプ本体のベース壁103および楕円形壁101は、限定されるものではないが、金属、セラミック、ガラス、または限定されるものではないが射出成形プラスチックを含むプラスチックを含む、任意の好適な剛体材料から形成し得る。ポンプ100の内部プレート114、115は共に、空洞116の内部面の1つである端壁122の中心部分と動作可能に関連付けられているアクチュエータ140を形成する。内部プレート114、115の一方は圧電材料から形成される必要があり、圧電材料は、与えられた電気信号に応答して歪む任意の電気的に活性の材料、例えば、電歪材または磁歪材などを含み得る。好ましい一実施形態では、例えば、内部プレート115は、与えられた電気信号に応答して歪む圧電材料から形成される、すなわち、活性すなわち能動内部プレートである。内部プレート114、115の他方は、好ましくは、活性の内部プレートと似た曲げ剛性を有し、かつ圧電材料または電気的に非活性の材料、例えば金属またはセラミックなどから形成され得る。この好ましい実施形態では、内部プレート114は、活性の内部プレート115に似た曲げ剛性を有し、かつ電気的に非活性の材料、例えば金属またはセラミックなどから形成される、すなわち、不活性の内部プレートである。活性の内部プレート115が電流によって励起されると、活性の内部プレート115は、空洞116の長手方向軸に対して径方向に伸び縮みし、内部プレート114、115を曲げ、それにより、それらそれぞれの端壁122の軸方向の撓みを、端壁122に対し実質的に垂直な方向において誘発する図2A参照。図示しない他の実施形態では、スカート130は、ポンプ100の特定の設計および向きに依存して、上面または底面から、内部プレートが活性または不活性であるかにかかわらず内部プレート114、115のいずれか一方を支持し得る。別の実施形態では、アクチュエータ140は、内部プレート114、115の一方とのみ力を伝達する関係にある装置、例えば、機械、磁気または静電気装置などによって置き換えてもよく、内部プレートは、上述したものと同じようにそのような装置図示せずによって振動するように追い込まれる材料の、電気的に非活性すなわち受動層として形成され得る。ポンプ100は、空洞116からポンプ100の外部に延在する少なくとも2つのアパーチャをさらに含み、アパーチャの少なくとも一方がバルブを含んで、アパーチャを通る流体の流れを制御する。アパーチャを、空洞116内の、下記で詳細に説明するようにアクチュエータ140が圧力差を生じるいずれかの位置に配置し得るが、ポンプ100の好ましい一実施形態は、ほぼ中心に位置してベース壁103を貫通して延在するアパーチャ126を含む。アパーチャ126は、少なくとも一方の端部バルブを含む。好ましい一実施形態では、アパーチャ126は、矢印で示すように流体の流れを一方向に制限するバルブ128を含む。それゆえ、この実施形態に関して、バルブ128は、ポンプの入口弁として機能する。ポンプ100は、空洞116からアクチュエータ140を通る少なくとも1つのアパーチャをさらに含み、アパーチャの少なくとも一方がバルブを含んで、アパーチャを通る流体の流れを制御する。これらのアパーチャを、空洞116からアクチュエータ140上の、下記で詳細に説明するようにアクチュエータ140が圧力差を生じるいずれかの位置に配置し得るが、ポンプ100の一実施形態は、ほぼ中心に位置して内部プレート114、115を通って延在する単一のアパーチャ131を含む。アパーチャ131は、矢印で示すように空洞116からの流体の流れを一方向に制限するアクチュエータバルブ132を含み、そのためアクチュエータバルブ132は、空洞116からの出口弁として機能する。アクチュエータバルブ132は、下記で詳細に説明するように入口弁128の動作を補うことによってポンプ100の出力を増強する。本明細書で説明する空洞116の寸法は、好ましくは、空洞116の高さhと、空洞116の長手方向軸から側壁118までの距離である半径rとの間の関係に関してある種の不等式を満たす必要がある。これらの式は以下の通りである:r/h>1.2;およびh2/r>4×10-10メートル。本発明の一実施形態では、空洞116内の流体が気体であるとき、空洞の半径対空洞の高さの比r/hは、約10~約50である。この例では、空洞116の体積は約10ml未満とし得る。さらに、h2/rの比は、作動流体が液体ではなく気体であるとき、好ましくは約10-6~約10-7メートルの範囲内である。加えて、本明細書で説明する空洞116は、好ましくは、空洞の半径rと、アクチュエータ140が振動して端壁122の軸方向変位を生じる周波数である動作周波数fとに関する以下の不等式を満たす必要がある。不等式は以下の通りである:式中、空洞116内の作動流体中の音速cは、上述の式で表すような約115m/秒の低速cs~約1,970m/秒に等しい高速度cfの範囲としてもよく、およびk0は定数であるk0=3.83。アクチュエータ140の振動運動の周波数は、好ましくは、空洞116の径方向圧力振動の最低共振周波数にほぼ等しいが、その値の20以内とし得る。空洞116内の径方向圧力振動の最低共振周波数は、好ましくは約500Hz超である。本明細書で説明する空洞116は、上記で示した不等式を個々に満たす必要があることが好ましいが、空洞116の相対寸法は、同じ高さおよび半径を有する空洞に限定すべきではない。例えば、空洞116は、異なる半径または高さを必要とするわずかに異なる形状を有して異なる周波数応答を生じ、空洞116が、ポンプ100からの出力を最適にするために所望の様式で共振するようにしてもよい。動作中、ポンプ100は、出口弁132に隣接した正圧源として機能して、負荷部図示せずを加圧してもよいし、または、矢印で示すように、入口弁128に隣接した負圧または減圧源として機能して、負荷部150を減圧してもよい。図示のように、ポンプ100の入口は負荷部150と流体連通して、ポンプ100が、入口弁128に隣接した負圧または減圧源として機能するようにする。負荷部150は、治療のために負圧を用いる組織治療システムとし得る。本明細書では、用語減圧は、一般的に、ポンプ100が置かれている周囲圧力に満たない圧力を指す。用語真空および負圧を使用して減圧を説明してもよいが、実際の減圧は、完全な真空に通常関連付けられる減圧には遠く及ばないとし得る。圧力は、ゲージ圧という意味では負である、すなわち、圧力は、周囲大気圧未満に減少される。他に指定のない限り、本明細書で挙げられた圧力の値は、ゲージ圧である。減圧の上昇は、一般に絶対圧の減少を指す一方、減圧の減少は、一般に絶対圧の増加を指す。図2Aは、空洞116の被駆動端壁122の軸方向振動を示す、考えられる1つの変位プロファイルを示す。実線の曲線および矢印は、ある時点での被駆動端壁122の変位を表し、および破線の曲線は、半サイクル遅い被駆動端壁122の変位を表す。この図および他の図に示すように、変位は誇張されている。アクチュエータ140はその周囲において堅固には装着されておらず、むしろリング状のスカート130によって吊り下げられているため、アクチュエータ140は、その基本モードにおいてその質量中心の周りを自由に振動できる。この基本モードでは、アクチュエータ140の変位振動の振幅は、被駆動端壁122の中心と側壁118との間に位置する環状の変位節42において実質的にゼロである。端壁122の他の点での変位振動の振幅は、垂直矢印で表すようにゼロよりも大きい。中心の変位腹43がアクチュエータ140の中心付近にあり、かつ周辺の変位腹43’がアクチュエータ140の周囲付近にある。半サイクル後の中心の変位腹43は、破線曲線によって表す。図2Bは、図2Aに示す軸方向変位振動に起因する空洞116内の圧力振動を示す、考えられる1つの圧力振動プロファイルを示す。実線の曲線および矢印は、あるときの圧力を表す。このモードおよびより高次のモードでは、圧力振動の振幅は、空洞116の中心付近に正の中心の圧力腹45と、空洞116の側壁118付近に周辺の圧力腹45’とを有する。圧力振動の振幅は、中心の圧力腹45と周辺の圧力腹45’との間の環状の圧力節44において実質的にゼロである。同時に、破線で表すような圧力振動の振幅は、空洞116の中心付近に負の中心の圧力腹47を有し、周辺の圧力腹47’および同じ環状の圧力節44を備える。楕円形空洞に関して、空洞116における圧力振動の振幅の径方向依存性は、第1種ベッセル関数によって概算し得る。上述の圧力振動は、空洞116における流体の径方向運動に起因するため、アクチュエータ140の軸方向変位振動と区別されるように、空洞116内の流体の径方向圧力振動と称する。さらに図2Aおよび図2Bを参照すると、アクチュエータ140の軸方向変位振動の振幅の径方向依存性アクチュエータ140のモード形は、第1種ベッセル関数に近似して、空洞116における所望の圧力振動の振幅の径方向依存性圧力振動のモード形により厳密に整合するようにすることが分かる。また、他の対称関数および非対称関数を使用して空洞116内の圧力振動を生じてもよい。いずれにしても、アクチュエータ140をその周囲において堅固に装着せず、アクチュエータがその質量中心の周りでより自由に振動できるようにすることによって、変位振動のモード形は、空洞116内の圧力振動のモード形に実質的に整合するため、モード形整合、またはより単純には、モード整合を達成する。モード整合は、この点において常に完璧である必要はなく、アクチュエータ140の軸方向変位振動および空洞116における対応する圧力振動は、アクチュエータ140の表面全体にわたって実質的に同じ相対位相を有し、空洞116における圧力振動の環状の圧力節44の径方向位置、およびアクチュエータ140の軸方向変位振動の環状の変位節42の径方向位置は、実質的に合致する。アクチュエータ140がその質量中心の周りで振動するため、環状の変位節42の径方向位置は、図2Aに示すようにアクチュエータ140がその基本の曲げモードで振動するとき、必然的に、アクチュエータ140の半径の内側にある。それゆえ、環状の変位節42が環状の圧力節44と確実に合致するために、アクチュエータの半径ractは、モード整合を最適にするために、好ましくは環状の圧力節44の半径よりも大きい必要がある。再度、空洞116の圧力振動が第1種ベッセル関数に近似すると仮定すると、環状の圧力節44の半径は、端壁122の中心から側壁118までの半径、すなわち、空洞116の半径rの約0.63となる。それゆえ、アクチュエータ140の半径ractは、好ましくは以下の不等式を満たす:ract≧0.63r。リング状のスカート130は可撓性膜としてもよく、それにより、周辺の変位腹43’における変位で示すようなアクチュエータ140の振動に応答した曲げおよび伸張によって、上述のように、アクチュエータ140の縁部がより自由に動くことができるようにする。可撓性膜は、アクチュエータ140とポンプ100の楕円形壁101との間に低機械インピーダンス支持をもたらすことによって、アクチュエータ140に対する側壁118の潜在的な減衰の影響を取り除き、それにより、アクチュエータ140の周辺の変位腹43’における軸方向振動の減衰を減少させる。基本的に、可撓性膜は、可撓性膜の外周縁部は実質的に静止したままで、アクチュエータ140から側壁118へ伝達されているエネルギーを最小限にする。その結果、環状の変位節42は、ポンプ100のモード整合条件を維持するために環状の圧力節44と実質的に整列したままである。それゆえ、被駆動端壁122の軸方向変位振動は、図2Bに示すような中心の圧力腹45、47から側壁118における周辺の圧力腹45’、47’への空洞116内の圧力の振動を効率的に生成し続ける。アクチュエータ140は駆動信号に応答して振動するため、負荷部150に生じた圧力は高まる一方で、空気の流れは、自由な流れ状態から失速状態へと減少する。ディスクポンプ100によって負荷部150に高まっている圧力は、その圧力がアクチュエータ140を休止位置から離れるように押し進めるとき、アクチュエータ140によってスカート130が側壁101におけるその定位置からバイアス位置138の方へと曲がるため、図1Aに示すような自由な流れ状態における休止位置136から図1Bに示すような失速状態におけるバイアス位置138へのアクチュエータ140の変位δyに応じて、センサによって測定し得る。アクチュエータ140は、ディスクポンプ100の空洞116内に径方向圧力波を発生させるため、そのようなセンサは、好ましくはディスクポンプ100の空洞116の外側に位置決めされ、ディスクポンプ100の動作に干渉しないようにする。図3は、アクチュエータ140に対面しかつディスクポンプ100のアクチュエータ140の変位を測定するために回路基板108に実装されたセンサ331の拡大図である。センサ331は、アクチュエータ140の変位130を測定するために使用する光送信機332および光受信機334を含む。光送信機332は、可視または非可視スペクトルの光波とし得る光信号335を通信する。光信号335は、アクチュエータ140の内部プレート115の面で反射するので、図4に示すようなアクチュエータ140の変位δyにかかわらず反射信号が光受信機334によって受信される。アクチュエータ140が休止位置136にあるとき、第1の反射信号340が、図3および図4の双方の位置において光受信機334に入射する。アクチュエータ140が休止位置136からバイアス位置138に変位すると、第1の反射信号340は、それに対応して、アクチュエータ140の変位δyに依存する第2の反射信号342としての対応する反射変位δxによって変位される。基本的に、光受信機334に入射する反射信号の像は、図4に示すような休止位置136から十分なバイアス位置138までの経路に従う。反射変位δxは、上述の通りディスクポンプ100によってもたらされた圧力に応じるアクチュエータ140の変位δyに比例する。一実施形態では、光送信機332は、レーザ、発光ダイオードLED、垂直キャビティ面発光レーザVCSEL、または発光素子とし得る。光送信機332は、回路基板108に位置決めされ、かつ光学センサ334によって第1の反射信号340および第2の反射信号342が受信されかつ測定される限り、アクチュエータ140の内部プレート115のいずれかの点で光信号335を反射するような向きにされ得る。しかしながら、アクチュエータ140が基本モードで振動して、上述のおよび図2Aに示すような空気の流れを生成するとき、アクチュエータ140の変位振動の振幅は、生成された任意の環状の変位節42において実質的にゼロとし得る。それに応じて、アクチュエータ140に沿った他の点での変位振動の振幅は、同様に上述の通りゼロ超である。それゆえ、光信号335が環状の変位節42に近い位置から反射されて、アクチュエータ140の高周波数の振動の影響を最小限にし、かつ休止位置136からバイアス位置138までより緩慢に移動するときのアクチュエータ140の変位δyをより正確に測定するように、光送信機332を位置決めおよび向き決定する必要がある。一実施形態では、光学センサ334は、センサアレイを形成する複数の画素を含んでもよい。光学センサ334は、1つ以上の波長における1つ以上の反射ビームの位置を感知するように構成し得る。その結果、光受信機334は、第1の反射信号340と第2の反射信号342との間の反射変位δx144を感知するように構成し得る。光受信機334は、光受信機334によって感知された反射信号340および342を、光受信機334の各画素によって電気信号に変換するように構成し得る。反射変位δxは、リアルタイムで測定または計算されてもよいし、または特定のサンプリング周波数を用いて、ポンプハウジング102に対するアクチュエータ140の位置を決定してもよい。一実施形態では、アクチュエータ140の位置は、所与の時間枠にわたる平均または中央位置としてコンピュータで計算される。光受信機334の画素は、アクチュエータ140の比較的小さな変位δyを検出する追加的な感度をもたらすようなサイズとし、ディスクポンプ100によってもたらされた圧力を、リアルタイムで制御できるように、より良好に監視し得る。本発明の原理に従ってアクチュエータ140の変位をコンピュータ計算する代替的な方法を用いてもよい。アクチュエータ140の変位を決定することは、ポンプハウジング102にある任意の他の定位置の要素に対して成し遂げられ得ることを理解されたい。反射変位δxは、一般的に実質的に比例するものの、スケール係数を乗じられたアクチュエータ140の変位δyに等しくてもよく、スケール係数は、ディスクポンプ100のポンプハウジング102の構成または他のアライメントファクタに基づいて予め定められた値とし得る。その結果、負荷部にもたらされた圧力を直接測定するが、例えば減圧システムにおいてディスクポンプ100によってもたらされた圧力を測定するには嵩張りすぎて高価すぎる圧力センサを必要とせずに、ディスクポンプ100の空洞116内の減圧を、アクチュエータ140の変位δyを感知することによって決定し得る。説明に役立つ実施形態は、ディスクポンプ100の空洞116内に生成されている圧力振動に干渉せずに、ポンプハウジング102内の空間利用を最適にする。図5は、別の説明に役立つ実施形態による、アクチュエータ140の変位を測定するための別のセンサの仮想図を含む、バイアス位置138の状態にあるアクチュエータ140を示すディスクポンプ100の別の概略的な断面図である。センサは超音波送受信機546であり、超音波548を送信して、アクチュエータ140によって反射されかつ超音波送受信機546によって受信された超音波548に基づいてアクチュエータ140の位置を決定する。簡単にするために、超音波送受信機546にエコーバックする超音波は図示していない。超音波送受信機546は、アクチュエータ140の変位δyに関する生の測定値または処理済みデータを、例えばプロセッサを含む1つ以上の電子デバイスに送信し、このポンプ100および他の機能特性によって生成された減圧を決定してもよい。図6に関しては、ディスクポンプ100におけるアクチュエータ140の変位δyを測定する回折格子602を示す。回折格子602は、アクチュエータ140に取り付けられていてもまたはそれと一体でもよい。例えば、回折格子602は、ディスクポンプの製造中、接着剤または他の締結手段を用いてアクチュエータ140に取り付けられた反射光学素子とし得る。図示の通り、送信機607がマルチスペクトルの光信号608を回折格子602上に送信する。回折格子602はマルチスペクトルの光信号608を、異なる波長λ1、λ2、λ3、およびλ4を有するいくつかのビームに回折する。ビームの波長λ1、λ2、λ3、およびλ4は、センサアレイ610によって検出される。一実施形態では、センサアレイ610は、複数の画素612、614、616、および618を含み得る。センサアレイ610の画素612、614、616、および618はまた、画素アレイと称してもよい。あるいは、センサアレイ610は単一のセンサまたは画素素子、例えば画素614としてもよい。送信機607およびセンサアレイ610は、回路基板108、またはポンプハウジング102の任意の他の定位置素子に接続されて、動作中確実に安定化させ得る。動作中、送信機607は、マルチスペクトルの光信号の形態のマルチスペクトルの光信号608を回折格子上に送信する光発生回路または素子とし得る。回折格子602は、規則的なパターンを有する光学部品としてもよく、図6に示すように、マルチスペクトルの光信号608の光をいくつかのビームλ1、λ2、λ3、およびλ4に回折させ、かつそれらビームを異なる方向に反射させる。当業界で公知のように、回折格子602は、回折格子の格子内に、アクチュエータ140の通常動作および変位中にセンサアレイ610にわたってλ1、λ2、λ3、およびλ4を拡散させるように構成された溝または刻線を含み得る。センサアレイ610は、画素612、614、616、および618の1つ以上によって受光された1つ以上の波長に基づいてアクチュエータ140の変位を決定する。例えば、図6に示すように、画素612、614、616、および618上での波長λ1、λ2、λ3、およびλ4の分散は、アクチュエータ140と回路基板108との間の最大変位に対応し得る。アクチュエータ140がハウジング本体の方へすなわち空洞に動くと、画素612~618は、波長λ1、λ2、λ3、およびλ4の1つ以上を検出する。一実施形態では、センサアレイ610からの測定値は、アクチュエータ140の変位を示し得る。例えば、λ3およびλ4の双方が画素618によって検出される場合、変位は、減圧供給システムの空洞に所望の圧力を生じるために最適な変位を示す2mmとし得る。画素612、614、616、および618の各々によって検出された波長λ1、λ2、λ3、およびλ4は、正確な変位を示してもよいし、または変位を計算するために用いられるデータを提供してもよい。代替的な実施形態では、センサは、マルチスペクトルの光信号608において光学波長を感知するように構成された単一の画素としてもよく、アクチュエータ140が動くと、センサによって感知された波長が、ハウジングに対するアクチュエータの位置を示すようにする。さらに別の実施形態では、公知の寸法を有する単一セルを備える光学センサは、光学センサによって感知される、ある光スペクトルすなわちいくらかの光の最適な位置に位置決めされてもよく、かつ、感知される場合、ポンプが、ある許容差範囲において圧力を生成しているという決定がなされ得る。図7に関して、ディスクポンプ100におけるアクチュエータ140の変位δyを測定する磁気センサ702を示す。ホール効果センサまたは類似のセンサとし得る磁気センサ702は、回路基板108またはポンプハウジング102に装着される。アクチュエータ140には導体706が装着され得る。導体706は、金属性としても、磁気としてもよく、またはそうでなければ、磁気センサ702による磁気感知をもたらすことができるとし得る。磁気センサ702は、磁気センサ702と導体706との間の磁場710を測定する。磁気センサ702は、磁場710をもたらす電場の変化を測定して、磁気センサ702と導体706との間の変位を決定するように校正または構成され得る。図8を参照すると、上述のディスクポンプ100などのディスクポンプと、ディスクポンプ100によって生成された圧力を測定および制御するセンサ、例えば、光送信機332および光受信機334を含む光学センサ331とを含む例示的なディスクポンプシステム800のブロック図を示す。上述のような他のセンサもまた、ディスクポンプシステム800の一部として用いてもよいことを理解されたい。ディスクポンプシステム800はまた、ディスクポンプシステム800に電力供給するために用いられるバッテリー802を含む。ディスクポンプシステム800の要素は相互に接続されて、ワイヤ、経路、トレース、導線、および他の導電素子を通して通信する。ディスクポンプシステム800はまた、プロセッサ804およびドライバ808を含んでもよく、プロセッサ804は、制御信号806をドライバ808に通信することを含め、ドライバ808と通信するように適合されている。ドライバ808は、上述のようなアクチュエータ140などのディスクポンプ100のアクチュエータを励振させる駆動信号810を生成する。アクチュエータ140は、励振されるとディスクポンプ100の空洞内に流体の径方向圧力振動を生成する圧電構成部品を含み、空洞を通る流体の流れを生じ、上述の通り負荷部を加圧または減圧し得る。プロセッサ804は光送信機332へ照明信号812を提供して、光ビーム335などの光ビームによってアクチュエータ140を照明し、この光ビームは、反射信号340、342として示すように、アクチュエータ140によって光受信機334へ反射されるように構成されてもよく、これも同様に上述している。反射信号340、342が光受信機334に入射すると、光受信機334は、プロセッサ804に、アクチュエータ140の変位δyに対応する変位信号814を提供する。プロセッサ804は、変位信号814で表されるアクチュエータ140の変位δyに応じて、負荷部においてポンプ100によって生成された圧力を計算するように構成される。一実施形態では、プロセッサ804は、複数の反射信号340、342を平均して、時間が経つにつれたアクチュエータ130の平均変位を決定するように構成され得る。さらに別の実施形態では、プロセッサ804は、フィードバックとして変位信号814を用いて、負荷部における圧力を制限するために制御信号806および対応する駆動信号810を調整してもよい。ディスクポンプシステム800のプロセッサ804、ドライバ808、および他の制御回路を電子回路と称してもよい。プロセッサ804は、ディスクポンプ100の機能性を制御することをイネーブルする回路または論理とし得る。プロセッサ804は、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、特定用途向け集積回路ASIC、中央処理装置、デジタル論理、または、1つ以上のハードウェアエレメントおよびソフトウェアエレメントを含む電子デバイスの制御に好適な他の装置として機能してもよいし、またはそれらを含んでもよく、ソフトウェア、命令、プログラム、およびアプリケーションを実行し、信号および情報を変換および処理し、および他の関連のタスクを実行する。プロセッサ804は、単一チップとしてもよいし、または他のコンピューティング素子または通信素子と一体としてもよい。一実施形態では、プロセッサ804は、メモリを含んでもまたはメモリと通信してもよい。メモリは、後で検索またはアクセスするためにデータを記憶するように構成されたハードウェアエレメント、装置、または記録媒体とし得る。メモリは、ランダムアクセスメモリ、キャッシュ、またはデータ、命令、および情報の記憶に好適な他の小型記憶媒体の形態のスタティックまたはダイナミックメモリとし得る。代替的な実施形態では、電子回路は、圧力を測定しかつ上述の通りディスクポンプ100の空洞におけるアクチュエータ140の変位を制御するために同じまたは類似の機能を実行するように構成されたアナログ回路とし得る。ディスクポンプシステム800はまたRF送受信機820を含んで、RF送受信機820に対して送受信される無線信号822および824を介して、例えば、現在の圧力測定値、アクチュエータ140の実際の変位δy、およびバッテリー802の現在の耐用年数を含むディスクポンプシステム800の性能に関する情報およびデータを通信し得る。RF送受信機820は、無線、赤外線、または他の有線または無線信号を用いて1つ以上の外部装置と通信する通信インターフェースとし得る。RF送受信機820は、Bluetooth、WiFi、WiMAX、または他の通信規格またはプロプライエタリproprietary通信システムを用いてもよい。より特定的な用途に関して、RF送受信機820は、医療専門家によって参照される圧力読取値のデータベースを記憶するコンピュータデバイスに信号822を送信し得る。コンピュータデバイスは、ローカルで処理を実行し得るまたは情報およびデータの処理のために中央もしくはリモートコンピュータに情報をさらに通信し得るコンピュータ、モバイル機器、または医療機器装置とし得る。同様に、RF送受信機820は、アクチュエータ140の動きに基づいて負荷部においてディスクポンプ100によって生成された圧力を外部から規制するために信号824を受信し得る。ドライバ808は、アクチュエータ140を励振および制御する電気回路である。例えば、ドライバ808は、駆動信号810の一部として特定の波形を生成する高出力のトランジスタ、増幅器、ブリッジ回路、および/またはフィルタとし得る。そのような波形は、プロセッサ804およびドライバ806によって、上記で詳細に説明したように、アクチュエータ140を周波数fの振動運動で振動させる駆動信号810を提供するように、構成し得る。アクチュエータ140の振動性変位の動きによって、負荷部において圧力を生成する駆動信号810に応答して、ポンプ100の空洞内での流体の径方向圧力振動が生成される。別の実施形態では、ディスクポンプシステム800は、ユーザに情報を表示するためのユーザインターフェースを含んでもよい。ユーザインターフェースは、ユーザに情報、データ、または信号を提供するためにディスプレイ、音声インターフェース、または触覚インターフェースを含んでもよい。例えば、小型のLEDスクリーンが、ディスクポンプ100によって加えられている圧力を表示してもよい。ユーザインターフェースはまた、ディスクポンプの性能、特に、生成される減圧を調整するために、ボタン、ダイアル、ノブ、または他の電気的または機械的インターフェースを含み得る。例えば、圧力は、ユーザインターフェースの一部であるノブまたは他の制御要素を調整することによって増減し得る。ポンプによって負荷部に生成された圧力の測定方法も開示されている。ポンプは、ポンプ内において、ポンプ内に空洞を形成する可撓性スカートに装着されたアクチュエータを含む。可撓性スカートがあることによって、ポンプの空洞を通る空気の流れを生成するためにアクチュエータは振動でき、かつアクチュエータは、負荷部への圧力を高めながら変位できる。この方法は、アクチュエータを電気的に駆動して、ポンプ内のアクチュエータの振動性変位運動が空洞内に流体の径方向圧力振動を生成させるようにすることを含む。この方法は、流体が空洞を流れ始めて、スカートの可撓性によって適合されるように、負荷部における圧力を高めながらアクチュエータを休止位置からバイアス位置へ移動させるとき、アクチュエータの変位を測定することをさらに含む。この方法はまた、アクチュエータの変位に基づいて負荷部における圧力を計算することを含む。より具体的には図9を参照すると、ディスクポンプによって生成された圧力を測定および制御する例示的なプロセス900のフロー図を示す。プロセス900は、ディスクポンプのハウジング内にあるアクチュエータが駆動信号によって駆動されるステップ902で開始する。アクチュエータは、圧電アクチュエータまたは装置によって駆動し得る。アクチュエータは駆動されて、組織部位に適用される減圧を生成し得る。例えば、ディスクポンプは、当業界で理解されているように、ドレープによって覆われた組織部位と直接または間接的に連通し得る。ステップ904では、負荷部内での圧力が高まる結果アクチュエータが休止位置からバイアス位置へ動くと、アクチュエータの変位が感知され得る。一実施形態では、休止位置は、ディスクポンプが動作停止しているまたは電力供給されていないunpoweredときに発生し、および負荷部内の圧力が最大値であるときにバイアス位置に達する。アクチュエータの変位および負荷部の対応する圧力は、これら2つの位置間で変動する。駆動信号は、アクチュエータの動作および負荷部に加えられる対応する圧力を制御するために、ディスクポンプのプロセッサ、ドライバ、または制御論理によって構成され、付形され、またはそうでなければ生成され得る。ステップ906では、ディスクポンプによって生成されている圧力は、アクチュエータの被感知変位に応じて決定され得る。一実施形態では、変位は、ディスクポンプのハウジングとアクチュエータとの間の光信号の反射または屈折によって決定され得る。同様に、超音波、無線周波数、磁気、または他の光学式の、センサまたは送信機および受信機の組み合わせを用いて、アクチュエータの変位を決定し得る。アクチュエータの変位は、負荷部用にディスクポンプによって生成されている圧力を示し得る。デジタルおよび/またはアナログエレクトロニクスを用いて、ディスクポンプを構成要素として含む組織治療システムなどの負荷部の公知のディファレンシャルdifferential、係数、損失、および他の特性に基づいて、組織部位に加えられている圧力を決定し得る。エレクトロニクスは、任意の数の静的または動的アルゴリズム、機能、またはセンサ測定値を用いて、圧力を決定してもよい。ステップ908では、駆動信号は、ディスクポンプによって供給されている圧力を決定したことに応答して、アクチュエータの変位を制御するように調整される。駆動信号は、アクチュエータの変位を測定する1つ以上のセンサから受信されたフィードバック信号の測定値に応答して生成され得る。一実施形態では、駆動信号の振幅は、ディスクポンプによって生成された減圧を上昇させかつ対応して組織部位に伝えるように、増大し得る。同様に、駆動信号の振幅または形状は、負荷部における圧力を減少させるまたは維持するために、ディスクポンプのアクチュエータを駆動するように変調し得る。説明に役立つ実施形態は、アクチュエータが休止位置からバイアス位置へ動くときに、ディスクポンプ内の定位置の構成要素に対するアクチュエータの変位を測定するディスクポンプ内のセンサによって提供されたデータを解釈することによって、ディスクポンプによって生成された圧力を間接的に監視するための低コストのシステムを提供する。センサ、または光学センサの光送信機などのその任意の構成要素は、ポンプハウジングからまたはディスクポンプ上の任意の他の定位置から光信号を反射させることによって変位を測定するために、アクチュエータに直接接続され得ることを理解されたい。説明に役立つ実施形態は、ディスクポンプによって生成されている圧力を監視するための機器、空間、およびコストを、負荷部においてポンプによって生成された圧力を直接感知する伝統的な圧力センサおよびモニタを用いることで得られるものよりも、削減する。先の詳細な説明は、本発明を実施するための少数の実施形態の1つであり、範囲を限定するものではない。当業者は、詳細に説明したもの以外の領域において、本発明を実施するために使用される方法および変形例を予想するであろう。以下の特許請求の範囲は、開示の本発明のいくつもの実施形態をかなり詳細に設定する。"