光源部と、前記光源部から発せられた光を平行光に変換するコリメータレンズと、前記コリメータレンズを通過した光を被検物体に向けて集光するためのフレネルコンデンサレンズと、前記コリメータレンズと前記フレネルコンデンサレンズの間に配置されたシグマ絞りと、を備える検査用照明装置であって、前記シグマ絞りと前記フレネルコンデンサレンズの間には、アポダイジングフィルタが設置されていることを特徴とする、検査用照明装置。前記アポダイジングフィルタは、前記シグマ絞りと前記フレネルコンデンサレンズとの距離を1としたとき、前記フレネルコンデンサレンズから1/3以内の距離に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の検査用照明装置。図8は、従来使われている面光源の欠点を説明するための図である。面光源として光ファイバーを使う例では、XY断面を長手とし、XZ断面を短手としたスリット状領域に多数の光ファイバーがバンドルされて、ファイバー端面から物体面を照射する。この場合、図8に示すように、ほんの僅かな光束が結像レンズに入射して、結像に寄与するが、面光源から出射する大半の光束は無駄になるとともに、レンズ鏡筒などに当たりフレアとして画像素子のコントラストを悪くし、解像度を下げてしまう。このように、面光源は安価であるという利点はあるが、高精細化されたパネルの検査には十分に対応することが困難であった。また、大半の光束が無駄になるため、過大な仕様の光ファイバーを必要とするという問題があった。本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、ケーラー照明系を用いたより安価な検査用照明装置を提供することを目的とする。本発明の検査用照明装置は、光源部と、前記光源部から発せられた光を平行光に変換するコリメータレンズと、前記コリメータレンズを通過した光を被検物体に向けて集光するためのフレネルコンデンサレンズと、前記コリメータレンズと前記フレネルコンデンサレンズの間に配置されたシグマ絞りと、を備える検査用照明装置であって、前記シグマ絞りと前記フレネルコンデンサレンズの間には、アポダイジングフィルタが設置されていることを特徴とする。前記アポダイジングフィルタは、前記シグマ絞りと前記フレネルコンデンサレンズとの距離を1としたとき、前記フレネルコンデンサレンズから1/3以内の距離に配置されていることが好ましい。本発明によれば、ケーラー照明系を用いたより安価な検査用照明装置を提供することが可能となる。以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係る検査用照明装置10の平面図である。図2は、検査用照明装置10の側面図である。図1、2に示すように、検査用照明装置10は、光源部20と、前記光源部20から発せられた光を平行光に変換するコリメータレンズ30と、前記コリメータレンズ30を通過した光を被検物体Wに向けて集光するためのフレネルコンデンサレンズ40と、前記コリメータレンズ30と前記フレネルコンデンサレンズ40の間に配置されたシグマ絞り50と、を備えている。光源部20は、複数のLED光源22と、板状のロッドプリズム24によって構成されている。板状のロッドプリズム24は、線状の入射面24a及び出射面24bを有している。一方、複数のLED光源22は、線状の入射面24aの長手方向に沿って1列に並ぶように配置されている。したがって、複数のLED光源22から出射された光は、ロッドプリズム24の内部に入射面24aから入射した後、ロッドプリズム24の内部において多重反射を繰り返すことによって、出射面24bから均一な光となって線状に出射する。なお、複数のLED光源22は、ランプ等の他の光源によって代替することも可能である。また、ロッドプリズム24は、LED等の光源から発せられる光を均一化できるのであれば、他の光学素子によって代替することも可能である。コリメータレンズ30は、光源部20から出射された光を平行光に変換するためのレンズであり、公知のコリメータレンズを用いることが可能である。フレネルコンデンサレンズ40は、コリメータレンズ30を通過した光を被検物体Wに向けて集光するためのレンズである。フレネルコンデンサレンズ40は、1枚もしくは2枚以上のフレネルレンズによって構成されている。このフレネルコンデンサレンズ40の詳細については、後述する。シグマ絞り50は、虹彩絞りとも呼ばれるものであり、コリメータレンズ30の後側被検物体W側に配置されている。シグマ絞り50は、後述する結像レンズ60内の絞りと光学的に共役の位置に配置されている。被検物体Wは、検査の対象となる物体であり、例えば、液晶パネルや有機ELパネルである。本実施形態では、被検物体Wとして光透過性のパネルを例示しているが、光を反射するパネルであってもよい。光源部20から出射された光は、コリメータレンズ30によって平行光に変換された後、後述するアポダイジングフィルタ70を通過する。アポダイジングフィルタ70を通過した光は、フレネルコンデンサレンズ40によって被検物体Wの表面に均一かつ線状に照射される。これにより、被検物体Wの表面には、照度が均一でかつ線状の光の照射面が形成される。被検物体Wの後側光源部20と反対側には、さらに、結像レンズ60及びラインCCD80が配置されている。被検物体Wの表面に照射された光は、結像レンズ60により撮像素子であるラインCCD80の受光面に結像する。これにより、被検物体Wの表面に形成された光の照射面の像は、ラインCCD80の受光面に転写される。図1、図2に示す検査用照明装置10において、ロッドプリズム24の出射面24bと、被検物体Wの表面は、光学的に共役となっている。また、被検物体Wの表面と、ラインCCD80の受光面は、光学的に共役となっている。さらに、シグマ絞り50と結像レンズ60内の絞りが、光学的に共役となっている。被検物体Wの表面に欠陥がある場合、ラインCCD80の受光面にはその欠陥の画像が転写される。その転写された画像をソフトウエア処理することにより、被検物体Wの欠陥検査を行うことが可能である。本発明の検査用照明装置10では、従来使われていた面光源拡散照明ではなく、ケーラー照明系を用いている。ケーラー照明ではシグマ絞り=虹彩絞りをコントロールして、結像レンズの照明条件を変えることにより、結像レンズの分解能を高くすることが可能であるとともに、結像レンズの焦点深度を深くすることが可能である。したがって、例えばトランジスタの大きさが1~3μmの高精細パネルの検査にも対応することが可能である光の鉛筆第4巻鶴田匡夫著、新技術コミュニケーションズ出版、p281290。また、本発明の検査用照明装置10は、球面レンズからなるコンデンサレンズではなく、フレネルコンデンサレンズ40を用いてケーラー照明系を実現している。球面レンズからなるコンデンサレンズを用いた場合、コンデンサレンズが大型化してしまう。また、複数枚のコンデンサレンズが必要である。さらに、撮像素子としてラインCCDを用いることを前提とした場合、コンデンサレンズは矩形であればよいにもかかわらず、球面レンズからなるコンデンサレンズは円形であるため、コンデンサレンズの大部分が無駄になってしまう。これに対して、フレネルコンデンサレンズ40を用いた場合、レンズの非球面化が容易である。このため、球面レンズを用いた場合のようにレンズの大部分を無駄にすることがなく、また、フレネルコンデンサレンズ40は1枚でもケーラー照明系を実現できるため、ケーラー照明系を低コストで実現することができる。図3は、フレネルコンデンサレンズ40の拡大図である。図3に示すように、フレネルコンデンサレンズ40は、光軸からレンズの周縁に向かうにつれてノコギリ状の山が高くなり、図中のグレー色で示す光束が焦点に向かわず、レンズの周縁を通る有効光束が減少してしまうという欠点がある。液晶プロジェクタ、オーバーヘッドプロジェクタ、あるいは背面投射型テレビでは、照明系にフレネルレンズを使っているものがある。人間の眼の感度はLogに比例するために、画像の周縁部が数10暗くてもあまり問題は生じないと言われている。しかし、高精細表示パネルの検査装置では、パネルの周縁部にまで均一の照度で光を照射することが要求される。このため、フレネルレンズを使う利点が多くあるにもかかわらず、フレネルレンズを検査装置の照明系に用いることは実際には困難であるというのが常識であった。そこで、本発明の検査用照明装置10では、アポダイジングフィルタ70をシグマ絞り50とフレネルコンデンサレンズ40の間に配置することによって、フレネルレンズを使用することによる照度ムラの問題を解決している。図4は、アポダイジングフィルタについて説明するための図である。図4の上段は、中央部の透過率を50としたアポダイジングフィルタの例を示している。図4の下段は、中央部の透過率を80としたアポダイジングフィルタの例を示している。本実施形態では、中央部では透過率が低く、中央部から離れるにつれて透過率が次第に高くなる矩形状のアポダイジングフィルタ70を用いている。なお、本実施形態の検査用照明装置10では、結像レンズ60の仕様の変更に合わせて、異なる仕様のフレネルコンデンサレンズ40を用いる必要がある。異なる仕様のフレネルコンデンサレンズ40を用いた場合、フレネルコンデンサレンズ40の透過率カーブ特性も変わってくる。このため、アポダイジングフィルタ70の仕様を、フレネルコンデンサレンズ40の透過率カーブの特性に合わせて変更する必要がある。アポダイジングフィルタ70は、シグマ絞り50とフレネルコンデンサレンズ40との距離を1としたとき、フレネルコンデンサレンズ40から1/3以内の距離に配置されることが好ましい。より具体的には、アポダイジングフィルタ70は、シグマ絞り50とフレネルコンデンサレンズ40の表面光源部20側の表面との光軸方向における距離を1としたとき、フレネルコンデンサレンズ40の表面から1/3以内の距離に配置されることが好ましい。アポダイジングフィルタ70を上記の範囲よりもシグマ絞り50の近傍に配置した場合、光軸近傍を進む光束と照明域の周縁に向かう光束とが重複するために、照明域全面の透過率が下がるおそれがある。また、被検物体Wに照射する光の照度の均一化を図ることが困難になるおそれがある。他方、アポダイジングフィルタ70をフレネルコンデンサレンズ40と被検物体Wの間に配置した場合には、アポダイジングフィルタ70を通過する光の各光束が細くなってしまう。この場合、被検物体Wに照射される光が、アポダイジングフィルタ70のパターンムラ等の影響を大きく受けてしまう。本発明者らは、アポダイジングフィルタ70の位置を変えて実験を繰り返すことによって、アポダイジングフィルタ70の最適な配置を見出した。すなわち、アポダイジングフィルタ70は、シグマ絞り50とフレネルコンデンサレンズ40との距離を1としたとき、フレネルコンデンサレンズ40から1/3以内の距離に配置されることが好ましいことを見出した。より好ましい距離は、1/4以内である。なお、フレネルコンデンサレンズ40が2枚のフレネルレンズによって構成されている場合、アポダイジングフィルタ70を2枚のフレネルレンズの間に配置してもよい。[照度の均一化確認実験]本発明の検査用照明装置10によって、被検物体Wに照射される光の照度の均一化を図ることができることを確認するための実験を行った。なお、照度の均一化を確認することが目的の実験であるため、被検物体Wにはパターンのない素ガラスを用いた。この実験では、結像レンズ60として1倍のレンズを用いた。また、ラインCCD80として、12000画素×5μm=60mmのライン型CCDを用いた。アポダイジングフィルタ70は、中央部の透過率が50のものを用いた。アポダイジングフィルタ70は、シグマ絞り50とフレネルコンデンサレンズ40の中間の位置フレネルコンデンサレンズ40から1/2に配置した。図5は、実験結果を示すグラフである。図5のグラフでは、ラインCCDの照度出力をY軸にとっており、ラインCCDの座標を画素数を単位としてX軸にとっている。図5の上段は、アポダイジングフィルタ70を配置する前の実験データを示している。図5の下段は、アポダイジングフィルタ70を配置した後の実験データを示している。図5の上段に示すように、アポダイジングフィルタ70を配置しない場合には、照度の最大値が約180、照度の最小値が約105であり、MaxMinで計算される照度ムラは約26であった。図5の下段に示すように、アポダイジングフィルタ70を配置した場合には、照度の最大値が約112、照度の最小値が約105であり、MaxMinで計算される照度ムラは約3.2であった。上記の実験結果より、アポダイジングフィルタ70をシグマ絞り50とフレネルコンデンサレンズ40の間に配置することによって、被検物体Wに照射する光の照度の均一化が図れることを確認できた。[分解能と焦点深度の測定実験]本発明の検査用照明装置10を用いることによって、結像レンズ60の分解能と焦点深度を測定した。測定について説明する前に、まず、本実施形態の検査用照明装置10における瞳絞りの共役関係、結像レンズ60の分解能、及び焦点深度について説明する。図6に示すように、シグマ絞り50と結像レンズ60は共役となっている。このため、シグマ絞り50を小さくすれば、照明光の光束は結像レンズ60の絞りのより中央部を透過する。図6では、シグマ絞り50の径を50まで小さくした例を示した例を示しており、このような状態をσ=0.5と呼ぶ。σ=0.5の場合、共役関係にある結像レンズ60にも、絞り開口に対して50しか直接光束は入射しないことになる。しかし、被検物体Wに細かいパターンが形成されている場合、この細かいパターンによって回折光が生じる。そして、その回折光が結像レンズ60内の絞りの開口部=外側の薄いグレー色の部分を通るため、この回折光が分解能の改善に寄与することとなる。なお、図6では、0次光を実線で示しており、被検物体Wに形成された微細パターンから生じる回折光を破線で示している。焦点深度については、強い0次光の光束のNAが小さくなるために、波長/NA×NAから求められる焦点深度が深くなる。図7は、結像レンズ60の分解能の測定データを示す。図7の右側の列のグラフは、従来の面光源拡散照明を用いて被検物体Wに光を照射したときの分解能の測定結果を示している。図7の左側の列のグラフは、本実施形態の検査用照明装置10ケーラー照明系を用いて被検物体Wに光を照射したときの分解能の測定結果を示している。また、図7には、上下方向に5つのグラフが並んでいるが、これらは、上から順番に、-100μm、-50μm、ベストフォーカス、50μm、100μmの各フォーカス位置での測定データを示している。分解能は、MTFModulationTransferFunctionで測定している。測定では、結像レンズ60として、2.4倍の結像レンズを用いた。被検物体Wとして、白黒各7ミクロンの微細パターンが形成されている25mm長さのレチクルを用いた。ラインCCD80として、12000画素×5μm=60mmのライン型CCDを用いた。なお、CCDの1素子は、被検物体Wの2.08μmに相当する。シグマ絞り50の絞りの大きさは、σ=0.7とした。分解能の測定結果図7を見れば分かる通り、ベストフォーカス位置での拡散照明のMTFが38であったのに対し、本実施形態の検査用光照明装置10ケーラー照明系のMTFは73であり、分解能がおよそ2倍に改善されることを確認できた。焦点深度の評価画像データの処理において、MTF30以上がソフトウエア処理出来る目安であると言われている。そこで、MTF30以上を基準として、焦点深度の評価を行った。図7を左列のグラフを見れば分かる通り、本実施形態の検査用照明装置10ケーラー照明系を用いた場合には、ベストフォーカス位置で73、-50μmの位置で61、50μmの位置で56のMTF値が測定された。この結果より、±75μm程度の焦点深度が確保されていることを確認できた。この程度の焦点深度が確保されていれば、数10ミクロンのうねりのあるガラスパネルを検査する場合でも、画像データのソフトウエア処理が可能であるといえる。図7の右列のグラフを見れば分かる通り、従来の拡散照明を用いた場合には、ベストフォーカス位置で38、-50μmの位置で21、50μmの位置で19のMTF値が測定された。この結果より、±50μmの焦点深度が確保できていないことを確認できた。ケーラー照明系を使う種々の測定データから、σ絞りが0.5から0.7程度でMTF値が高くなり、焦点深度も深くなることが確認されている。本発明の検査用光照明装置を用いて、適切なσ絞りを選択する事により、高精細パネルの検査を安価に実現することが可能となった。