"少なくとも、ポンピング膜1、入口チャンバ3及び出口チャンバ5を有する、ポンピングチャンバ4、ポンピングストローク中、機械的止め具2によって規定された少なくとも1つの止め具位置に到達する該ポンピング膜1に連結された電圧制御アクチュエータ6、ポンピング膜が少なくとも1つの該機械的止め具2に到達したかどうかを決定するための、少なくとも1つのセンサ、を含む、最適駆動電圧で、ポンピングデバイスを作動させるための方法であって、該方法が、学習フェーズ及び稼働フェーズを含んでなり、ここで、学習フェーズが、少なくとも、以下の-所定の作動電圧Vactをアクチュエータ6に印加することによるポンピング膜1の作動工程で、該電圧が、過度の作動工程の該ポンピング膜1が該位置に到達するのに十分高いか、又は不十分の作動プロセスの該ポンピング膜1が該機械的止め具2位置に到達しないほどに十分低いかのいずれかである、該工程;-過度の作動工程の後の、ポンピング膜1が上記機械的止め具2位置を離れたということが決定されるまで、印加作動電圧を減少させ、そしてポンピング膜1が該機械的止め具2位置を離れる前に、最低印加電圧値を最適電圧VactOptimalとして記憶する工程;又は-不十分の作業工程において、ポンピング膜1が上記機械的止め具2位置に到達したということが決定されるまで、印加電圧を増大させ、そしてポンピング膜1が、上記機械的止め具2位置に到達したとき、最低印加電圧値を最適電圧VactOptimalとして記憶する工程;を含み、-稼働フェーズにおいて、決定された最適電圧値VactOptimalでポンピングデバイスを作動させる、上記方法。ポンピングデバイスの入口チャンバ3及び出口チャンバ5が、受動型バルブを含む、請求項1に記載の方法。請求項1又は2に記載の方法であって、ここで、過度の作動工程の後、-センサ104が、ポンピングプロセスと同時に又は同時では無く、公称ストロークに対応する公称パターンを形成する、1つ又は複数のデータ点を時間軸に沿って、記録出来るようにされる、-次に続くストロークのために、作動電圧VActを、所定のステップΔVで徐々に減少させる、-作動電圧の減少毎に、測定されたパターンを、公称パターンと比較し、これにより、ポンピング膜1が、少なくとも1つの機械的止め具2に到達したか否かを検出することが可能になる、-測定されたパターンと公称パターンとの間の差が、規定された閾値より大きいとき、ポンピング膜1は、機械的止め具2位置に、もはや、到達しないことが決定される、-最終電圧値が、正しい、精密なポンプストロークをもたらす最低電圧であるとされ、それは、VActOptimal<VActMaxとして記憶される;そして-すべての続くストロークのために、VActOptimal電圧を使用し、かくして最小電力消費量及び最適ポンピング効果が確保される、上記方法。請求項1又は2に記載の方法であって、ここで、不十分な作動工程の後、-システムの機械的安定化を確実にする一定時間Δt後、電圧の増加ΔVを印加する;-電圧増加に同時に又は同時では無く、センサ104を、1つ又は複数のデータ点を時間軸に沿って、記録可能にする;-次に、これらのデータ点を処理して、電圧増加が、アクチュエータ6の変位を引き起こしたかどうかを決定する;-変位が検知された場合、これは、アクチュエータ6が後に続く2つの連続した電圧増加を動いたので、機械的止め具2にまだ到達していなかったことを意味し、プロセスは電圧増加をもって再スタートする;-変位が一切検知されない場合、アクチュエータ6は、機械的止め具2に到達し、電圧増加は何らの効果を持たず、それ故に、最後の電圧増加は無用であり、先行の電圧値がVActOptimalに起因すると決定される;-すべての後に続くストロークのために、VActOptimalの電圧上で決定されたようなが使用され、かくして、最小電力使用量と最適ポンピングが確保される、上記の方法。センサ104が、流れに、又は流体経路内の圧力に、又はポンピング膜1の位置に、又は機械的止め具2上の、若しくはポンピング膜1上の、若しくはアクチュエータ6上の歪に対応するデータを記録する、請求項3又は4に記載の方法。電圧減少工程、又は電圧増大程が段階的に変動する、請求項1~5のいずれか一項に記載の方法。初期工程が、後続の工程より大きい、請求項6に記載の方法。請求項1~7のいずれか一項に記載の方法であって、ここで、変調電圧が、印加作動電圧に重ねられ、ここで、該変調電圧が、作動電圧よりも、少なくとも、半分未満の振幅を有し、ここで、該変調電圧が、作動電圧よりも、少なくとも、2倍大きい周波数を有し、そしてここで、センサ104データをモニタリングして、ポンピング膜1が機械的止め具2に到達しない場合、感度が高く、ポンピング膜1が機械的止め具2に到達した場合、感度が低いというように、変調電圧信号に対するその感度を評価する、上記方法。アクチュエータ6が圧電アクチュエータである、請求項1~8のいずれか一項に記載の方法。請求項9に記載の方法であって、ここで、圧電アクチュエータ6が、少なくとも、2つの活性層を含み、ここで、作動電圧が、第1の活性層の電極に印加され、ここで、変調が、第2の活性層の電極に印加され、ここで、該変調電圧が、作動電圧振幅よりも、少なくとも、半分未満の振幅、及び作動電圧周波数よりも、少なくとも、2倍より高い周波数を有し、そしてここで、センサ104データをモニタリングして、ポンピング膜1が、機械的止め具2に到達しなかった場合、感度が高く、ポンピング膜1が機械的止め具2に到達した場合、感度が低いというように、変調電圧信号に対するそれの感度を評価する、上記方法。方法を、ポンプのプライミング中実行するか、又は、繰り返し実行して、システムのおける変更を考慮に入れる、請求項1~10のいずれか一項に記載の方法。最適駆動電圧を備えたポンピングデバイスであって、ここで、ポンピングデバイスが、少なくとも、ポンピング膜1、入口チャンバ3、及び出口チャンバ5、を有するポンピングチャンバ4、ポンピングストローク中機械的止め具2によって規定された少なくとも1つの止め具位置に到達する、ポンピング膜1に連結されたアクチュエータ6、膜が、少なくとも1つの該機械的止め具2に到達したかどうかを決定するための、1つ又は複数のセンサ104、データを記憶し、処理する、処理手段;を含み、ここで、上記デバイスは、請求項1~11のいずれか一項に記載の方法を実行することが可能である、上記ポンピングデバイス。電圧制御アクチュエータ6が、圧電アクチュエータである、請求項12に記載のポンピングデバイス。入口チャンバ3、及び/又は出口チャンバ5が、1つ又は複数のバルブである、請求項12又は13に記載のポンピングデバイス。バルブが受動型チェックバルブである、請求項14に記載のポンピングデバイス。ポンピングチャンバ4が2つの機械的止め具2を有する、請求項12~15の一項に記載のポンピングデバイス。センサ104が、圧力センサである、請求項12~16のいずれか一項に記載のポンピングデバイス。センサ104が、ポンピングチャンバ4内部に位置する圧力センサである、請求項17に記載のポンピングデバイス。本発明の詳細説明ポンプについての記述本技術革新を明確に定義するため、図1Aを参照して、ポンプシステム通常は、例えば、本明細書に、全体として組み込まれているEP091781682に開示されているようなを構成する種々の要素を述べる。1.ポンピング膜1、これは、1つ、又は、数個の明確に規定された、おそらく、機械的止め具2又は、機械的リミッタによって機械的に規定された、位置に到達しなければならない。2.次項から作られている流体経路例えば、バルブ、又は、流量制限器を含む入口チャンバ3、ポンピングチャンバ4第1のセンサ例えば、バルブ、又は、流量制限器を含む出口チャンバ5、第2のセンサ、及び、流体制限3.サポートとして使用される基板4.アクチュエータ、例えば、圧電アクチュエータ6、これはポンピング膜1を作動させるが、それに堅く連接されている必要はない。この圧電アクチュエータ6は、ある電圧で、例えば、0からVActMaxのランプで、駆動される。ベンダカンチレバーは、以下の記述のために使用されるが、他の形式、又は、種類、又は、構造の圧電アクチュエータも同様な方法板、リング、プレートスタックstack、リングスタック、板ベンダ、リングベンダ、せん断板、モノモルフ、マルチモルフ等で、形状記憶合金SMA、及び、形状記憶ポリマSMPのスタック、電歪、又は、磁歪アクチュエータなどの、他の種類のスマートアクチュエータと同様に、使用出来る。かかる、高度に小型化された、レシプロ型膜ポンピングメカニズムは、本明細書に既に言及された先行技術による、MEMS技術を使って、シリコンで、好ましくは作成される。かかる好ましい実施態様において、図1Bに示されているマイクロポンプ101は、MEMSMicroElectroMechanicalSystemと呼ばれる技術を使用して、シリコン、又は、ガラス、又は、双方から作成される。それは、入口制御メンバ、本明細書では入口バルブ102、ポンピング膜103、システム内の種々の故障を検出することが可能な、機能的センサ104、及び、出口バルブ105を含む。かかるマイクロポンプの原理は、先行技術、例えば、US5,759,014から、公知である。図1Bは、ベースプレート108として、第1のシリコン層、ベースプレート108に固定された、第2プレート109として第2のシリコン層、及び、シリコンプレート109に固定された、最上部プレートとしての第3のシリコン層のスタックを有し、これらにより、容積を有するポンピングチャンバ111を画成する、ポンプ101を示す。メサ106に連接されたアクチュエータ本明細書には示されていないは、ポンピング膜103の制御された変位を可能にする。ポンピング膜103の変位は、上向き方向には、図1Aの機械的止め具2に対応するプレート110によって制約され、下向き方向には、図1Aには示されていない第2の機械的止め具に対応するプレート108によって、制約される。チャネル107も、出口制御メンバ、出口バルブ105を、ポンプの反対側に置かれた出口ポートに連結するために存在する。第2の機能的センサ本明細書には示されていないは、出口制御メンバ下流の流体経路に置かれている。ポンピングメカニズムの入口3,102は、フィルタを含むべき液体リザーバに連結され、一方、出口5,105は、バルブ、又は、流量制限器、圧力センサ、エアーセンサ、流量計、フィルタ、ベント、隔膜、皮膚用パッチ剤、針、及び、その他のアクササリを含むべき流体経路を経て、患者に連結される。センサ104は、ポンプストロークの、規定された特性を測定する。これらの特性は、公知のポンプ設計公報WO2010/046728参照に統合されたような、システムの1つの、又は、複数のポイントでの圧力であってよいが、例えば、次項であってもよい:1.流体経路に置かれた圧力センサ2.膜位置を検出するための近接スイッチ、これは、容量型、抵抗型、磁性、誘導型、又は、光学式であってよい。3.次の場所に置かれたストレインゲージ機械的止め具2の上ポンピング膜1の上圧電アクチュエータ6の上一つの実施態様において、センサ104は、好ましくは、ポンピングチャンバキャビティ111の内部、入口チャンバ102と入口チャンバ105の間に置かれた、圧力センサである。これらの入口102と出口105は、好ましくは、受動型バルブ、又は、流量制限器であってよい。MEMSマイクロポンプのためには、圧力センサ10は、シリコンの大きな圧電感受効果を利用している、ホイートストンブリッジ構成の、一連の歪感受性抵抗器を含んでなる、シリコン可撓性膜で作成されてよい。圧力変化は、膜のねじれを引き起こし、それゆえ、ブリッジは、もはや、平衡状態ではない。センサ104は、マイクロポンプ101の通常の圧力範囲内では、圧力とリニアな信号を作るように設計される。センサ裏側を、差圧測定のためベントされてもよく、又は、絶対圧力測定のため、真空に密封されてもよい。センサ104の膜は、好ましくは、円形、又は、正方形である。マイクロポンプ構造次第であるが、ストレインゲージ、及び、配線用リード線が、ポンプで送られる液体と接触するように意図されているセンサ表面上に埋めこまれてもよい。センサ104の良好な電気絶縁を確保するため、保護、及び、絶縁層が使用されてよい。代わりに、リード線と圧電抵抗器のそれと反対側の極性の、別のセンサ表面ドーピングを、漏電電流を防止するため、使用することが出来る。小さなポンピングキャビティ容積数百ナノリットル111に繋がれた、シリコンマイクロポンプ101の大変低い圧縮率、及び、高い圧縮比2又はそれ以上までが、ポンピングキャビティ111内部に置かれた、圧力センサを、1mbarの小さい、圧力変化をも十分感知可能にする。このセンサ104は、以降に記述されているような、作動段階の間、ポンピング膜103位置の極めて小さい変化ミクロン未満の検出に適切である。統合されている圧力センサ104の性能についての、より詳細が、文献WO2010046728に示されている。より高いレベルでは、ポンプの制御システムは、図2に表されているように、以下のエレメントから成っている:1.圧電アクチュエータを駆動するための、高電圧ドライバ。2.1つ又は複数のセンサから送られる信号を処理するための増幅器。3.高電圧ドライバを制御し、1つ又は複数のセンサの1つ又は複数の信号を受信するマイクロコントローラ。4.マイクロコントローラが、データ、及び、設定値印加電圧、センサデータ、設定数値などを記憶することが出来る、記憶装置、例えば、不揮発性EEPROM、又は、内部マイクロコントローラフラッシュ、又は、RAM記憶装置。最適電圧VActOptimalの定義本発明の目的は、ポンピング膜1が、1つ又は複数の機械的止め具2に確実に到達するため、圧電アクチュエータに印加される、最適作動電圧を決定することである。接触後、1つ又は複数の機械的止め具2は、理想的には、ゼロに等しい力で、又は、膜1にかけられた圧力に耐えるだけの大きさの、最小の力で押される。この後、この最小電圧は、最適電圧と呼ばれ、VActOptimalと表示される。図3に示された、この動きは、デバイスの種々の状態を、左欄には、本発明によるデバイス、右欄には、圧電アクチュエータ6の自由変位を、説明と図示の為だけに示す。より具体的には、第1列の2つの図左、及び、右の欄は、印加電圧がゼロV=0に等しい、アイドル状態を示す。圧電アクチュエータ6は動かず、膜1は変位しない。流体経路は、それゆえ、開である。第2列の、図示の動きは、最適作動電圧が使用された場合、即ち、圧電アクチュエータの変位dは、膜1が、必要な、機械的止め具2に到達するのに必要な距離に、即ち、距離dに、正確に対応する場合のものである。これは、本発明において、得ようとする動きである。右の欄に示すように、アクチュエータの自由変位も、同様に、距離dに対応する。第3列で、過度の作動の動き及び、電圧が示されている。この設定において、使用された電圧は、アクチュエータ6の変位が、距離dを超えるように右欄の図に示されるように、最適電圧より高い。この場合、システムが、アクチュエータの動きを阻止する、機械的止め具を有し、膜1が、より低い電圧、例えば、最適作動電圧を使用して、この機械的止め具に到達するであろうという理由から、エネルギが失われる。それゆえ、図3の第2列に示されたように、デバイスが適正に機能し、第3列の動き過度な作動を回避するに必要な、最適作動電圧を決定できることが目標である。VActOptimalを使用する目的本発明には、主として、3つの目的があり、これらが、以降に詳述される:1.電力消費量の減少2.圧電作動信頼性の決定3.ポンピング膜オフセットの計算本発明により、必要な最小電圧を印加することにより、圧電アクチュエータを使用するシステムにおいて、電力消費量の減少が可能になる。圧電アクチュエータの作動のために必要なエネルギは、容量等価法を使用して計算することが出来る:ここで、Cは、圧電アクチュエータ容量であり、Vは、印加される電圧である。この式は、50の電圧減少により、4倍のエネルギが減り、29.3の電圧減少が、2倍の減をもたらす。本発明は、ポンピングの間の、アクチュエータの信頼性の決定のためにも、効果を発揮する。例えば、圧電アクチュエータ6のアセンブリは、基板、ポンプ、アクチュエータ、及び、ポンピング膜1と、このアクチュエータ6との間の可撓性リンクから作られている、機械的ループを含む出願書EP091781682参照。これらの種々のエレメントは、通常一緒に接着される。ポンプを正常に使用している間、これらの接着剤は、この機械的ループの、及び、従って、ポンプ自体の故障を引き起こすことがある、高い応力を受ける。代表的な故障は、圧電アクチュエータ6の層間剥離である。この層間剥離は進行性であり、全面的な故障の前に気付くのは、多くの場合、大変困難である:圧電アクチュエータ6の過度の駆動は、少なくとも、アクチュエータ6の層間剥離の始めに補正される。携帯型薬物輸液システムのため、故障の初めを特定するのに役立ち得る、方法が望ましい。以下に記述される、一つの実施態様において、学習段階は、最大電圧での圧力センサの公称値の最初の記録を含む。次に、電圧は減らされ、信号は、検出器信号において、機械的止め具2に到達していないことを示す、著しい変化に至るまでモニタリングされる。当初、われわれは、機械的ループは、ポンプの最初のスタート前に機能していると仮定する。ポンプのプライミングの間、学習プロセスを実現させることが出来る。所定温度では、それの信号の積分は、流量に対して比例するので、チャンバ出口の後に位置する第2の圧力センサを、流量計として、使用出来ることを知ることは重要である。それゆえ、最大電圧Vmaxでの、第2検出器の公称信号は、ポンプの公称行程容積を、即ち、2つの機械的止め具が、作動中に、ポンピング膜によって、到達された時を、代表すると、われわれは仮定する。少しずつ作動電圧を減らすことにより、及び、圧力センサ104の信号をモニタリングすることにより、公称行程容積に到達するのに必要な、最小及び、従って、最適な電圧VActOptimalを検出することが可能である。このVActOptimalは、機械的ループの信頼性次第であることは明らかであり、いかなる層間剥離も、VActOptimalの値を増やすであろう。圧電アクチュエータ6の過度の駆動は無視されるので、また、安全性と信頼性に関して、より関連性が高い値である、行程容積に直接のアクセスを有するので、この方法は、大変精度が高く、信頼性がある。実際には、機能的信頼性テストは、VActOptimalをより、僅かに大きい作動電圧を使用することにより、圧力信号振幅のチェックから成る。ポンピングチャンバ4,111内部に位置する第1の圧力センサ104は、同様に、このプロセスのためにも用いられるべきである。膜の安静位置圧電アクチュエータ電極に電圧がかかっていないは、上の、及び、下の機械的止め具の間のいずれかに、位置されてよいということを知ることも重要である。最も一般的な場合、安静位置から、機械的止め具へのストロークの振幅は、対称的ではない。この非対称性は、設計それ自身、機械加工、及び、組立公差、及び、芯ずれによることがある。もし、非対称のストロークが、設計からは予期されないならば、電力消費量を減らすために、両方向において、機械的止め具2に到達するのに必要な最小電圧を推定することは、妥当である。アクチュエータ6は、好都合には、大きな、両方向曲がりと大きな力を可能にする、バイモルフ、又は、マルチモルフ圧電アクチュエータから作られてよい。その構成において、アセンブリは機械的ループのため、通常は、接着剤を使用することにより、非対称を引き起こす可能性がある。それゆえ、アクチュエータの消費電力を最適化するため、安静位置での膜1の位置において、オフセットを決定することは有用である。2つのストローク、VActmaxとVActmaxのための最大電圧は、開始時点で、絶対値において、VActnaxに等しい。実際には、テストは、VActOptimalを決定するため、まずVActのみを減らすことにより、圧力信号振幅をチェックすることから成り、次に、VActが、再びVActmaxに設定され、今度は、VActが、VActOptimalを決定するために、変えられる。膜1の動いていない位置、及び、機械的止め具2に到達するのに必要な最小の力は、機械的アセンブリ、又は、機械加工公差に依存するばかりでなく、環境条件にも依存することを知ることは重要である。ポンピングアクチュエータの普通の過剰駆動は、通常、これらの効果により、輸液不足を防止するが、エネルギ消費の点からは効率的でない。圧力変動の通常の範囲は、予見される応用次第である。医学的応用に関して、例えば、輸液ラインを有するインスリンポンプを考慮すると、輸液ライン内の液体の水頭高さは、ポンピングチャンバの出口での圧力に大きな影響を有する。ポンピングメカニズムは、正しい輸液容積を確かにするため、この追加の圧力に打ち勝たねばならない。長い輸液ラインを有するかかるデバイスにおいて、過度な駆動電圧は、通常状態において、機械的止め具2に到達するのに必要な最小電圧の2倍の大きさであってよい。現在の方法の好ましい実施態様ポンピングチャンバ111内部、及び、チャンバ入口102とチャンバ出口105の間に、好ましくは、2つのバルブの間に、より具体的には、図1Bに示されたように、2つのチェックバルブの間に位置する、統合されたシリコンセンサ104を使用することは、ポンピングサイクルの前、又は、間、又は、後の、圧力測定自体によって、水頭の効果、又は、いかなる外部の圧力変化を予測することが可能であるので、アクチュエータ6の電力消費量を制約するのに、効果を発揮する。チャンバ出口105下流に位置する別の圧力センサも、同様に、そのために使用することが出来る。全ストローク完了の、非連続モニタリングのために、温度計、又は、圧力センサのような、専用センサを用いてモニタリングされない環境条件の変化による、輸液エラーを防止するために、最適電圧のための安全マージンを与える必要がある。最後に、本発明によって、圧電アクチュエータ6特性、及び、1つ、又は、数個の機械的止め具2に到達するのに必要な電圧を知ることにより、ポンピング膜オフセットの計算が可能となる。シリコンマイクロポンプ内の統合圧力センサ104を用いて、膜オフセットに、サブミクロンの決定をすることは、光学センサ、又は、近接センサのような、他の測定手段に対しての、賢明な、正確な、効率的な、小型の、及び、低コストの代替手段である。VActOptimalを決定する方法さらなる記述において、単独の機械的止め具2に対して、原理が説明される。しかし、同一の原理が、2つの機械的止め具図4参照又は、多数の機械的止め具を有するシステムにも、拡大適用することが出来る。各機械的止め具iに対して、最適電圧VActOptimaliを、同一のやり方を使用して、決定することが出来る。製造プロセスの間に最適電圧値を測定し、デバイスの記憶装置内に、例えば、EEPROM、又は、図2に記述されているような他の同等のデバイス内に、それらを記憶することが可能である。システムの最適作動電圧を決定するため、以下のパラグラフにおける例のように、種々の方法が提案されている。方法1:複数ストロークトップダウンの学習方法第1の方法は、以下のように実施される図5及び6参照:1.新しいポンプの、最初の、1つ又は複数のストロークのため、ポンプ膜1に、機械的止め具2がに到達することを、設計により寸法設計により保証する、最大作動電圧VActMaxが、圧電アクチュエータ6に印加され、従って、ポンピングプロセスが、精密さに関して、最適である。2.検知デバイス例えば、104によって、同時に、又は、ポンピングプロセスを除いて、時間軸に沿って、1つ又は複数のデータポイントを、例えば、液体の圧力、又は、容積に対応して、記録できる。これらのデータは、公称ストロークに対応する公称パターンを形成する。3.続くストロークのため、作動電圧VActは、所定の工程ΔVで徐々に減らされる。時間毎に、測定されたパターンは、公称パターンと比較され、これにより、膜が機械的止め具2に到達したかどうかの検出が可能である。4.測定されたものと公称パターンとの間の差異が、規定された閾値より大きいとき、膜は、機械的止め具2位置に、もはや、到達していないことが、明確に実証される。従って、最終電圧値は、正しい、精密なポンプストロークをもたらす、最低電圧であると言われ、それは、VActOptimal<VActMaxとして記憶される。5.すべての、続くストロークのため、VActOptimal電圧既に決定されたようにが使用され、従って、最小電力使用量、及び、最適ポンピングを保証する。ポイント1~4は、必要な最適エネルギ即ち、作動電圧を正確に決定するために使用される、学習段階を形成する。この学習段階は、ポンプのプライミングの間に、実行することが出来る。また、システムの物理的変化疲労、機械的変形、環境条件の変更...を考慮に入れること、又は、変化する環境に適応することさえも、定期的に繰り返すことが出来る。方法2:単独ストロークボトムアップの学習方法ボトムアップの方法は、以下のように実施される図7及び8参照:1.新しいポンプの最初のストロークのため、膜1が、機械的止め具2に到達しないことを保証する、最小作動電圧VActMinが、圧電アクチュエータ6に印加される。2.確実に、システムを機械的に安定させる、ある期間Δt後、電圧の増加ΔVが印加される。3.同時に、又は、電圧増加を除いて、検知デバイスが、時間軸に沿って、1つ又は複数のデータポイントを記録できるようにする。4.これらのデータは、次に、電圧増加が、圧電アクチュエータ6の変位を引き起こしたかどうかを決定するために処理される。もしも、イエスであるならば、これは、圧電アクチュエータは、2つの連続した電圧増加に従って動いたので、機械的止め具2はまだ到達されてなかったことを意味し、プロセスはポイント2にて、再スタートする。5.もしも変位が一切検知されなければ、圧電アクチュエータ6は、機械的止め具2に到達し、電圧増加は何らの効果を持たないと結論される。それ故に、最後の電圧増加は無用であり、先行の電圧値は、VActOptimalに起因すると考えられる。6.すべての、その後のストロークのために、VActOptimal電圧既に決定されたようなが使用され、従って、最小電力使用量と最適ポンピングが確保される。方法3:単独ストロークトップダウンの学習方法図9に示された、この方法は、最初のランプが、すべての場合に、最適電圧より高い電圧に到達するという点を別として、前のものと同様である。電圧は、いくつかの工程の間、減らされ、センサの信号は、例えば、圧力は、同時にモニタリングされる。膜1が、機械的止め具2と接触している限り、有意なセンサ信号はモニタリングされないであろう。ある閾値より大きなセンサ信号がモニタリングされるとすぐに、膜1は、もはや、機械的止め具2と接触していないと考えられ、前の電圧値は、VActOptimalであると言える。他の収束方法上に示された、3つの方法は、電圧値を最適にし、VActOptimalに収束するために、センサデータを使用する収束方法である。しかし、VActOptimalに収束するための方法は、数多くあり、これらの3つに限られることはない。また、大きな値で開始し、漸進的に減らす、電圧工程ΔVを、次の、例えば、等比級数を使用することにより、短時間の内に、最適電圧を見つけることを可能にするアルゴリズムを使用することが出来る。方法4:変調学習方法図11に示された、この変調学習方法は、標準作動ランプを変調、又は、標準作動ランプに重ね合わせる、高速AC電圧信号を使用する工程を含む。センサ信号は、次に、高速AC電圧信号に対する、それの感度を評価するため、モニタリングされる。感度は、もしも、膜1が、機械的止め具2に到達していないならば、高く、もしも、機械的止め具2が、到達していたならば、低いであろう。それ故に、閾値は、機械的止め具2に到達したといえる場合から規定することが出来る。この時点でのベースランプの電圧は、次に、VActOptimalとして使用される。この方法の、1つの、明らかに有効な点は、ベース作動信号の電圧変化の方向から無関係であり、ヒステリシスに対する、ロバスト性である。AC電圧信号の、この規定は、図11に表された、方形信号に限られたものではなく、種々の振幅、負荷サイクル、及び、周波数を有する、種々の形状三角形、正弦波状、,...であってよい。センサ信号の復調は、通常、バンドパスフィルタによって、実現することが出来る。バイモルフ、又は、マルチモルフ圧電ベンダを使用するとき、作動されている、電極にAC電圧信号を印加しないだけでなく、図12に表されているように、他の、1つ又は複数の電極に印加しないことも可能である。圧電ベンダの分極は、印加電場に平行、又は、逆平行であるために、通常、電極表面に対して、垂直方向に向けられる。負電荷定数d31の圧電バイモルフベンダのため、分極は、高電場適用では、通常、電場に平行である。後の活性層は、次に、電場に垂直な、それのXY平面内で縮められる。その他の、1つ又は複数の層には、通常、電力が供給されないので、ベンダの他の端が、何らかの手段で、クランプされる、又は、接着される、又は、貼り付けられるとき、ベンダ先端の持ち上げが生じる。ベンダ先端の変位を増進し、ブロッキング力を増やすため、その他の、1つ又は複数の層に、小さな、逆平行電場を印加することが可能である。その他の、1つ又は複数の層への電場は、それゆえ、最初の、1つ又は複数の層への最適電圧の探索を実施するために、AC電圧信号を使用して、変調されてよい:主な変位は、それの分極作動電圧に平行な、大きな電場に提出される、1つ又は複数の、最初の圧電層を使用して、得られ、一方、ポンピング膜位置の小さな変調は、その他の、1つ又は複数の、圧電層上の、AC信号変調電圧を使用することにより、得られる。ここでの利点は、電力使用量の著しい減少と、作動部分とパルス、又は、変調部分への、電子機器の完全な分離である。この方法は、その他の分極方位、圧電材料PZT...、種類ベンダ...と形状円形、長方形...に、いかなる電極構造にも、及び、マルチモルフ圧電アクチュエータにもあてはめることが出来る。本発明は、限定的方法として理解されるべきでない、例として挙げられた、上述の実施態様に限定されるものではない。変異が、等価な手段で、及び、本発明の範囲内で、可能である。例えば、本発明の方法、及び、デバイスは、上述のような、圧電アクチュエータ以外の他のアクチュエータを用いても使用可能である。"