撮像素子から撮像対照物に至る撮像光軸上に、少なくとも物体側の主光線が前記光軸と平行なテレセントリック光学系を成す後群レンズ、絞り及び前群レンズが配されると共に、撮像対象物に対して前記主光線と重なる平行照明光束を照射する明視野照明ユニットと、撮像対象物に対して斜光照明光束を照射する暗視野照明ユニットとを備えた撮像装置において、前記撮像素子及びテレセントリック光学系が、正面及び背面を扁平面とする扁平形状に形成されたケーシング内に収納され、当該ケーシングの正面側に、前記前群レンズを配したアパーチャが形成され、前記撮像素子は、前記ケーシングの背面側に向けて取り付けられ、前記撮像光軸は、当該撮像素子からケーシングの背面側に向って進行し、ケーシング内で直角に屈曲されて当該背面に沿って前記絞りを透過した後、前記アパーチャの中心軸に沿ってケーシングの背面側から正面側に向かって直角に屈曲されてなり、前記暗視野照明ユニットは、前記アパーチャの周囲に環状に配された発光素子を備え、前記明視野照明ユニットは、その照明光軸が、撮像光軸上に配された前記絞りとアパーチャ側の屈曲点の間で前記背面に沿って撮像光軸から分岐され、当該照明光軸上で前記絞りと対応する位置から、前群レンズの前記絞りにおける開口角と等しいかそれより大きな角度で照明光を拡散させる光源装置を備えたことを特徴とする撮像装置。前記撮像光軸の二つの屈曲点に直角プリズムが配され、前記テレセントリック光学系の後群レンズが、撮像素子側の直角プリズムと前記絞りの間に配された請求項1記載の撮像装置。前記テレセントリック光学系は、前群レンズからアパーチャ側直角プリズムまでの光路長が、当該直角プリズムから後群レンズまでの光路長よりも短く設計された請求項2記載の撮像装置。前記暗視野照明ユニットは、発光素子となる複数のLEDを、環状一列に配すると共に、ケーシングには、前記LEDが正面から突出しないように配設する凹部が形成された請求項1~3いずれか記載の撮像装置。そこで本発明は、テレセントリック光学系と、その主光線に一致する同軸の明視野照明と、主光線から離れて撮像光軸と平行あるいは斜めの照明光軸を有する暗視野照明を備え、しかも、低重心で小型化された撮像装置を提供することを技術的課題としている。この課題を達成するため、本発明は、撮像素子から撮像対照物に至る撮像光軸上に、少なくとも物体側の主光線が前記光軸と平行なテレセントリック光学系を成す後群レンズ、絞り及び前群レンズが配されると共に、撮像対象物に対して前記主光線と重なる平行照明光束を照射する明視野照明ユニットと、撮像対象物に対して斜光照明光束を照射する暗視野照明ユニットとを備えた撮像装置において、前記撮像素子及びテレセントリック光学系が、正面及び背面を扁平面とする扁平形状に形成されたケーシング内に収納され、当該ケーシングの正面側に、前記前群レンズを配したアパーチャが形成され、前記撮像素子は、前記ケーシングの背面側に向けて取り付けられ、前記撮像光軸は、当該撮像素子からケーシングの背面側に向って進行し、ケーシング内で直角に屈曲されて当該背面に沿って前記絞りを透過した後、前記アパーチャの中心軸に沿ってケーシングの背面側から正面側に向かって直角に屈曲されてなり、前記暗視野照明ユニットは、前記アパーチャの周囲に環状に配された発光素子を備え、前記明視野照明ユニットは、その照明光軸が、撮像光軸上に配された前記絞りとアパーチャ側の屈曲点の間で前記背面に沿って撮像光軸から分岐され、当該照明光軸上で前記絞りと対応する位置から、前群レンズの前記絞りにおける開口角と等しいかそれより大きな角度で照明光を拡散させる光源装置を備えたことを特徴としている。本発明にかかる撮像装置のケーシングは、正面及び背面を扁平面とする扁平形状に形成されており、撮像光軸が、背面側を向いて取り付けられた撮像素子からケーシングで屈曲され、背面に沿って前記テレセントリック光学系の絞りを透過した後、再び屈曲されて正面側に形成されたアパーチャを透過して撮像対象物に向かって進行するように形成されているので、当該撮像光軸に沿ってテレセントリック光学系を成す後群レンズ、絞り及び前群レンズを配することにより、ケーシングを扁平形状に形成しても、その内部に撮像素子及びテレセントリック光学系を収納することができる。また、暗視野照明ユニットは、アパーチャの周囲に環状に配された発光素子により、ケーシングと一体に形成されている。特に、アパーチャの周囲に発光素子取付用の凹部を形成すれば、暗視野照明ユニットをケーシングの正面側に突出させることなく取り付けることができる。さらに、明視野照明ユニットは、背面に沿って撮像光軸から分岐された照明光軸上に配されているので、その照明光学系がケーシングの正面側又は背面側に突出することがなく、やはり扁平形状のケーシング内に収めることができる。このように、扁平に形成されたケーシングに、撮像素子、テレセントリック光学系及び明視野照明ユニットが収納されると共に、当該ケーシングに暗視野照明ユニットが一体的に形成されるので、ケーシングの正面側から背面側に至る厚さをきわめて小さく抑えることができ、低重心化を図ることができる。また、背面側を電子部品実装装置の実装ヘッドに取り付け、高速で移動/停止を繰り返した場合に、重心が低いことから慣性により生ずるモーメントは小さく、したがって、実装ヘッドの駆動/支持機構も軽量小型化を図ることができ、結果として、実装速度の高速化の要請にも資するという効果がある。本例では、撮像素子と、テレセントリック光学系と、明視野照明ユニットと、暗視野照明ユニットを備えた撮像装置の低重心化小型化を達成するため、扁平形状に形成されたケーシング内に、撮像素子、テレセントリック光学系、明視野照明ユニットを収納配設し、当該ケーシングの正面に暗視野照明ユニットの光源を配した。より具体的には、撮像素子及びテレセントリック光学系を、正面及び背面を扁平面とする扁平形状に形成されたケーシング内に収納し、ケーシングの正面側に、前記前群レンズを配したアパーチャを形成し、撮像素子はケーシングの背面側に向けて取り付けた。また、撮像光軸は、撮像素子からケーシングの背面側に向って進行し、ケーシング内で直角に屈曲されて当該背面に沿って前記絞りを透過した後、アパーチャの中心軸に沿ってケーシングの背面側から正面側に向かって直角に屈曲させた。暗視野照明ユニットは、アパーチャの周囲に環状に配された発光素子を備え、明視野照明ユニットは、その照明光軸が、撮像光軸上に配された絞りとアパーチャ側の屈曲点の間で背面に沿って撮像光軸から分岐され、当該照明光軸上で前記絞りと対応する位置から、前群レンズの前記絞りにおける開口角と等しいかそれより大きな角度で照明光を拡散させる光源装置を備えた。図1~3に示されるように、本発明に係る撮像装置1は、撮像素子2から撮像対照物Wに至る撮像光軸XC上に、少なくとも物体側の主光線Pが前記光軸XCと平行なテレセントリック光学系3を成す後群レンズ4、絞り5及び前群レンズ6が配されると共に、撮像対象物Wに対して前記主光線Pと重なる平行照明光束を照射する明視野照明ユニット7と、撮像対象物Wに対して斜光照明光束を照射する暗視野照明ユニットとを備えている。テレセントリック光学系3として、本例では、物体側及び像側の主光線P及びQが光軸XCと平行な両側テレセントリック光学系を用いているが、物体側の主光線Pのみが光軸XCと平行な物体側テレセントリック光学系を用いることもできる。撮像素子1及びテレセントリック光学系3は、正面11及び背面12を扁平面とする扁平形状に形成されたケーシング13内に収納され、当該ケーシング13の正面側に、前記前群レンズ6を配したアパーチャ14が形成されている。撮像素子1は、ケーシング13内に背面12に向けて取り付けられている。その撮像光軸XCは、撮像素子1からケーシング13の背面側に向って進行し、ケーシング13内で直角に屈曲され、当該背面12に沿って前記絞り5を透過した後、前記アパーチャ14の中心軸に沿ってケーシング13の背面側から正面側に向かって直角に屈曲されている。本例では、撮像光軸XCの二つの屈曲点R1、R2に直角プリズム15及び16が配され、テレセントリック光学系3の後群レンズ4が、撮像素子2側の直角プリズム15と絞り5の間に配されている。また、テレセントリック光学系3は、前群レンズ6からアパーチャ14側の直角プリズム16までの光路長が、当該直角プリズム16から後群レンズ4までの光路長よりも短く設計されている。ケーシング13の正面11側には、アパーチャ14を囲むように環状凹溝凹部17が形成され、当該凹溝17内には、暗視野照明ユニット8の光源となる8個の高輝度LED発光素子18がその正面11から突出しないように等角度間隔で一列に取り付けられている。各LED18の照明光軸XDは、撮像光軸XCと平行で、且つ、主光線Pから離れた位置に配されており、これにより、各LED18より拡散照射された光が、測定対象物に対して斜めに照射される斜光照明光束となって照射される。なお、各LED18の照明光軸XDは、撮像光軸XCと平行に限らず、撮像光軸XCに対して所定の角度に傾斜して配される場合であってもよい。明視野照明ユニット7は、ケーシング13内に配された光源装置21から照射された拡散光が前群レンズ6で平行光速にされて測定対象物に照射される。光源装置21は、撮像光軸XC上に配された絞り5とアパーチャ14側の屈曲点R2の間に配されたハーフミラー22によりケーシング13の背面12に沿って撮像光軸XCから分岐された照明光軸XB上に配されており、当該照明光軸XB上で前記絞り5と対応する位置から、前群レンズ6の前記絞り5における開口角と等しいかそれより大きな角度で照明光を拡散照射させる。これにより、光源装置21から照射された拡散光は、絞り5と対応する位置から前群レンズ6の開口角と略等しい角度で拡がりながら照射されるので、ハーフミラー22で反射されて撮像光軸XCと同軸的に、前群レンズ6に向い、前群レンズ6で平行化されて撮像対象物Wに照射される。したがって、テレセントリック光学系3の物体側の主光線Pと重なる平行照明光束が撮像対象物Wに照射されることとなり、観察された像に照明光の影が映り込むことがない。なお、本例では、ケーシング13の縦×横×高さ=85mm×35mm×15mm程度であり、前群レンズ6から屈曲点R2までの距離L1=10mm、屈曲点R2から絞り5までの距離L2=40mm、後群レンズ4の絞り側焦点距離L3=10mm、前群レンズ6のワーキングディスタンスWD=37mmに設計されている。以上が本発明の一構成例であって、次にその作用を、電子部品実装装置の実装ヘッドに搭載する場合を例にとって説明する。図4は、本発明に係る撮像装置1を、電子部品実装装置31の実装ヘッド32に装着した状態を示す説明図である。実装ヘッド32は、基板搬送用コンベア33とパーツパレット34間に配されたXYZ移動装置35に装着され、その底面に電子部品Dを吸着する吸着ノズル36...を備えると共に撮像装置1が取り付けられている。XYZ移動装置35は、X方向レール37Xにより基板搬送用コンベア33に直交する方向に往復移動するスライダ38Xと、当該スライダ38Xに支持されたY方向レール37Yにより基板搬送用コンベア33の搬送方向に往復移動するスライダ38Yと、当該スライダ38Yに支持されたリニアモータ37Zにより基板搬送用コンベア33上の基板Bに対して昇降するロッド38Zを備えており、そのロッド38Zの下端に実装ヘッド32が取り付けられている。なお、撮像装置1の被写界深度内に基板Bが位置する高さに、リニアモータ37Zの中立位置が設定されると共に、吸着ノズル36の長さは、当該中立位置において、その先端が基板B上に載置された電子部品に接触しないように選定されている。基板搬送用コンベア33で搬送されてきた基板B上に電子部品Dを実装する場合、実装ヘッド32は、XYZ移動装置35によりパーツパレット34上の所定位置に位置決めされ、吸着ノズル36の先端を所定高さまで降下させた状態で電子部品Dを真空吸引した後、基板搬送用コンベア33で搬送されてきた基板B上の所定位置に位置決めされると、リニアモータ37Zにより電子部品Dが基板Bに接する位置までロッド38Zが伸張され、真空吸引を停止し電子部品を基板B上に置く。次いで、リニアモータ37Zを瞬時に中立位置に戻して、電子部品Dを置いた部分が撮像装置1の視野に入る位置まで実装ヘッド32を高速移動させ、載置された電子部品Dの状態を撮像する。そして、撮像された画像を画像処理することにより、電子部品Dが正常に載置されたか否かの判断を行う。なお、撮像する際には、明視野照明ユニット7及び暗視野照明ユニット8を、予め設定した任意の光量比で点灯する。明視野照明ユニット7から照射される光は、テレセントリック光学系3の物体側の主光線Pと一致する平行光束であるため画像に影ができないというメリットがあるが、撮像対象物に対して入射角0度で照射されるため、撮像対象物の種類によっては、直接反射光が光って撮像されることがある。一方、暗視野照明ユニット8から照射される光は、撮像対象物に対して所定の角度をもって照射されるため、直接反射光が映り込むことはないが、基板B上に置かれた電子部品Dの影が撮像されるというデメリットがある。これら明視野照明ユニット7及び暗視野照明ユニット8の光量比を変えることにより見え方が異なり、撮像対象物の種類によって、なるべく影ができず直接反射光が映りこまない画像が得られる光量比が設定されている。また、撮像装置1は、その重心位置が低い扁平形状のケーシング13内に各部品が搭載されてオールインワンに形成されているので、これを装着した実装ヘッド32を高速移動させたときでも、大きな慣性モーメントが発生することがない。したがって、実装ヘッド32の駆動/支持機構も軽量小型化を図ることができ、結果として、実装速度の高速化の要請にも資するという効果がある。したがって、実装ヘッドの駆動/支持機構も軽量小型化を図ることができ、結果として、実装速度の高速化の要請にも資するという効果がある。電子部品Dの装着から実装検査に要する時間を短縮させることができる。