"半球粒子からなる膜であって、前記半球粒子は、六方最密充填様に配列しており、前記半球粒子は、式1で表されるフラーレン誘導体ここで、Xは水素原子またはメチル基であり、Fuは任意のフラーレンであるによって形成されている、膜。前記半球粒子は、前記半球粒子の表面がフレーク状になるように組織化された二分子膜構造を有する、請求項1に記載の膜。前記半球粒子の粒径は、15μm~35μmの範囲である、請求項1に記載の膜。前記半球粒子中の前記フラーレン誘導体は、前記半球粒子の底面中心から外側に向かって密から疎となるように分布している、請求項1に記載の膜。半球粒子からなる膜を製造する方法であって、式1で表されるフラーレン誘導体ここで、Xは水素原子またはメチル基であり、Fuは任意のフラーレンであるをベンゼンに溶解させたベンゼン溶液を水面に展開するステップと、前記ベンゼン溶液中の前記ベンゼンを蒸発させるステップとを包含する、方法。前記蒸発させるステップによって得られた半球粒子からなる膜を、基材に移すステップをさらに包含する、請求項5に記載の方法。前記展開するステップは、前記ベンゼン溶液を、前記水面の面積1cm2に対して13.5μL~14.5μLの範囲展開する、請求項5に記載の方法。前記展開するステップにおいて、前記ベンゼン溶液の濃度は、1.5mM~2.5mMの範囲である、請求項5に記載の方法。前記蒸発させるステップは、前記水面に展開した前記ベンゼン溶液を室温および暗所で静置する、請求項5に記載の方法。前記蒸発させるステップは、前記水面に展開した前記ベンゼン溶液を密封した状態で静置する、請求項5に記載の方法。前記半球粒子からなる膜は、前記フラーレン誘導体によって形成された二分子膜構造からなり、前記二分子膜構造は、前記半球粒子の表面がフレーク状になるように組織化されており、前記半球粒子は、六方最密充填様に配列している、請求項5に記載の方法。請求項1~4のいずれかに記載の膜からなるフィルタ。前記膜は、半導体粒子を担持する、請求項12に記載のフィルタ。以上より、本発明の課題は、フラーレン誘導体を用いた膜、その製造方法およびその用途を提供することである。本発明による半球粒子からなる膜は、前記半球粒子が、六方最密充填様に配列しており、前記半球粒子が、式1で表されるフラーレン誘導体ここで、Xは水素原子またはメチル基であり、Fuは任意のフラーレンであるによって形成されており、これにより上記課題を達成する。前記半球粒子は、前記半球粒子の表面がフレーク状になるように組織化された二分子膜構造を有してもよい。前記半球粒子の粒径は、15μm~35μmの範囲であってもよい。前記半球粒子中の前記フラーレン誘導体は、前記半球粒子の底面中心から外側に向かって密から疎となるように分布していてもよい。本発明による半球粒子からなる膜を製造する方法は、式1で表されるフラーレン誘導体ここで、Xは水素原子またはメチル基であり、Fuは任意のフラーレンであるをベンゼンに溶解させたベンゼン溶液を水面に展開するステップと、前記ベンゼン溶液中の前記ベンゼンを蒸発させるステップとを包含し、これにより上記課題を達成する。前記蒸発させるステップによって得られた半球粒子からなる膜を、基材に移すステップをさらに包含してもよい。前記展開するステップは、前記ベンゼン溶液を、前記水面の面積1cm2に対して13.5μL~14.5μLの範囲展開してもよい。前記展開するステップにおいて、前記ベンゼン溶液の濃度は、1.5mM~2.5mMの範囲であってもよい。前記蒸発させるステップは、前記水面に展開した前記ベンゼン溶液を室温および暗所で静置してもよい。前記蒸発させるステップは、前記水面に展開した前記ベンゼン溶液を密封した状態で静置してもよい。前記半球粒子からなる膜は、前記フラーレン誘導体によって形成された二分子膜構造からなり、前記二分子膜構造は、前記半球粒子の表面がフレーク状になるように組織化されており、前記半球粒子は、六方最密充填様に配列していてもよい。本発明のフィルタは上記膜からなり、これにより上記課題を達成する。前記膜は、半導体粒子を担持してもよい。本発明による膜は、上述の半球粒子が六方最密充填様に配列し、かつ、互いに連結しているので、極めて規則的かつ安定である。本発明による膜の構造は、例えば、昆虫等の複眼生物網膜構造に類似しているので、本発明による膜を鋳型として用いれば、本発明による膜の様態を金属、ポリマー、無機物質等へ転写することによって、新規な構造を有する材料を提供できる。本発明による膜の製造方法は、特定のフラーレン誘導体が溶解したベンゼン溶液を水面に展開するステップと、溶媒であるベンゼンを蒸発させるステップとを包含する。単にベンゼン溶液を水面に展開後、ベンゼンを蒸発させればよいので、特殊かつ高価な装置を不要とし、本発明による膜を安価に提供でき、1mm2を超える大面積化も容易である。また、本発明による方法によれば、上記ステップを行う間に、特定のフラーレン誘導体が自己組織化的に半球粒子へと組織化され、さらには、それら半球粒子が六方最密充填様に配列し連結し得る。したがって、高精度な操作あるいは熟練の技能等を一切不要とし、高品質な膜を提供できる。以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。なお、同様の要素には同様の番号を付し、その説明を省略する。図1は、本発明による膜AおよびBと、フラーレン誘導体Cと、二分子膜構造Dとを模式的に示す図である。図1Aは、本発明による膜100を上方向膜100の平面と平行な方向から見た図であり、図1Bは、本発明による膜100を膜100の断面方向から見た図である。本発明による膜100は、半球粒子110からなる。本明細書において、半球粒子とは、半球状もしくは略半球状の形態を有した構造体を意図する。半球粒子110は、六方最密充填120様に配列している。半球粒子110を構成するフラーレン誘導体130のフラーレン部位によるπ-π相互作用ならびにアルキルオキシ鎖によるファンデルワールス力により、六方最密充填120様に配列した半球粒子110は、互いに結合している。したがって、本発明による膜は、極めて規則的かつ安定である。なお、図1AおよびBでは分かりやすさのために、半球粒子110が互いに離れて示されるが、実際には、互いに接触し、連結していることに留意されたい。半球粒子110を構成するフラーレン誘導体130は、図1Cに模式的に示されるように、フラーレン部位とフラーレン部位に結合したベンゼン環と、ベンゼン環の3,4,5位にそれぞれ結合したアルキルオキシ鎖からなり、式1で表される。ここで、Xは水素原子またはメチル基であり、Fuは任意のフラーレンであるが、例示的には、C60、C70、C76、C84等がある。中でも、C60は、極めて高いIh対象性を有し、最も安定かつ安価、ならびに、取り扱いが簡便であるので好ましい。本発明によれば、フラーレン誘導体130において、ベンゼン環の3,4,5位のアルキルオキシ鎖における炭素原子数が、それぞれ、20である。種々のフラーレン誘導体が知られているが、本願発明者は、式1に示されるフラーレン誘導体130において良質な膜が得られることを見出した。さらに、半球粒子110を構成するフラーレン誘導体130は、好ましくは、ナノ組織基礎骨格として二分子膜構造140図1Dを形成している。図1Dに模式的に示されるように、二分子膜構造140は、フラーレン誘導体130が、フラーレン部位のπ-π相互作用により互いに集合するように、かつ、ベンゼン環の3,4,5位のアルキルオキシ鎖のファンデルワールス力により互いに集合するように配列した構造を有する。二分子膜構造140における膜間距離Dは、4.5nm±0.5nmである。さらに、二分子膜構造140は、半球粒子110の表面がフレーク状になるように組織化されている。より詳細には、半球粒子110の半球面はフレーク状であり、半球粒子110の平面は、平滑である。このような構造は、後述する製造方法により自己組織化的に形成することによって得られる。また、表面がフレーク状であるか否かは、電子顕微鏡等による観察によって容易に判断できる。本明細書において、フレーク状とは、二分子膜構造140がランダムに組織化した状態を意図する。例えば、図1のAおよびBにおいて、半球粒子110全体のひだ状部分それぞれが二分子膜構造140であり、半球粒子110は、このような二分子膜構造140がランダムに組織化されていることが理解できる。半球粒子110は、単分散性に優れるが、その粒径Rは、15μm~35μmの範囲であり、より好ましくは、20μm~30μmの範囲である。この範囲であれば、半球粒子110が六方最密充填様に配列するとともに、大面積にわたって良質な膜が得られる。粒径Rは、半球粒子110の直径であり、SEM像を解析することで求めることができる。半球粒子110は、上述したようにフラーレン誘導体130によって形成された二分子膜構造140により構成されているが、二分子膜構造140、すなわちそれを構成するフラーレン誘導体130は、半球粒子110の底面中心160底面中心160とは半球粒子110の平面の中心を指すから外側に向かって密から疎となるように分布している。すなわち、半球粒子110は、底面中心160から外側に向かってポーラスとなり得る。このような構造は、後述する製造方法により、形成時の核生成メカニズムに起因する。図1では、単層の半球粒子110からなる膜100を示すが、多層の半球粒子110からなる膜であってもよい。次に、本発明の膜100を製造するプロセスを説明する。図2は、本発明の膜を製造するプロセスを示すフローチャートである。図3は、本発明の膜を製造するプロセスを示す模式図である。図4は、本発明の膜の形成メカニズムを示す模式図である。ステップS210:フラーレン誘導体をベンゼンに溶解させたベンゼン溶液310図3を水320図3の水面に展開する。ここでフラーレン誘導体は、上述した式1で示されるフラーレン誘導体である。ベンゼンは、フラーレン誘導体の良溶媒である。水面とベンゼン溶液との界面に、フラーレン誘導体からなる超薄膜410図4が形成され得る。水面に展開するベンゼン溶液の量は、水面の面積1cm2に対して、13.5μL~14.5μLの範囲が好ましい。展開するベンゼン溶液の量が13.5μL/cm2以上の場合、ベンゼン溶液中にフラーレン誘導体が十分に存在し、半球粒子形成の成長をより効果的に促進させることができる。展開するベンゼン溶液の量が14.5μL/cm2以下の場合、ベンゼン溶液中にフラーレン誘導体が過剰に存在せず、単分散性に優れた半球粒子とその組織膜とがより効果的に形成され、乱雑さをより低減した構造とすることができる。ベンゼン溶液の濃度は、1.5mM~2.5mMの範囲が好ましい。ベンゼン溶液の濃度が1.5mM以上の場合、ベンゼン溶液中にフラーレン誘導体が十分に存在し、半球粒子形成の成長をより効果的に促進させることができる。ベンゼン溶液の濃度が2.5mM以下の場合、ベンゼン溶液中にフラーレン誘導体が過剰に存在せず、単分散性に優れた半球粒子とその組織膜とがより効果的に形成され、乱雑さをより低減した構造とすることができる。ステップS220:ベンゼン溶液310中のベンゼンを蒸発させる。ベンゼンの蒸発に伴い、ステップS210で得られた超薄膜410中に粒子となる核420図4が形成される。核420は、二分子膜構造140を有し得る。ベンゼンの蒸発がさらに進むと、核420を中心に最密安定な核間隔L図4が決定される。ベンゼンの蒸発に伴いベンゼン溶液310中のフラーレン誘導体が核420に継続的に供給されるので、決定された核間隔Lで核420が成長する。ここで、核成長430図4は、核420が水面と接する部分は水面に沿って平面状に、ならびに、核420が水面と接しない部分気体と接する部分は球状に成長する。この際、フラーレン誘導体によって形成された二分子膜構造140は、ランダムに組織化され、フレーク状の表面となり得る。一方、核420が水面と接する部分は、平滑な面となる。ベンゼンが完全に蒸発するまで核成長が続き、ベンゼンの蒸発完了に伴い、半球粒子110図1および図4が得られる。この過程は、すべて、二分子膜構造140をナノ組織基礎骨格として自己組織化的に進む。なお、核成長時にベンゼン溶液310図4中のフラーレン誘導体が供給されるので、ベンゼンの蒸発に伴って、ベンゼン溶液310図4の濃度は、希薄になる。したがって、半球粒子110におけるフラーレン誘導体の密度は、核成長の初期において、極めて密であり、核成長が進むにしたがって、疎になるよう変化することが理解できる。ベンゼンを蒸発させる具体的な手順は、好ましくは、室温本明細書では室温を15°C~30°Cとするおよび暗所にステップS210で得た水面に展開したベンゼン溶液を静置する。これにより、一定した環境にてゆっくりとベンゼンを蒸発できるので、半球粒子の単分散性に優れ、六方最密充填様に良好に配列した膜が得られる。さらに、ベンゼンを蒸発させる具体的な手順は、好ましくは、ステップS210で得た水面に展開したベンゼン溶液を密封した状態で静置する。これにより、ベンゼンの急激な蒸発が抑制されるので、半球粒子の単分散性に優れ、六方最密充填様に良好に配列した膜が得られる。なお、室温、暗所および密封した状態でベンゼンを蒸発させれば、さらに良質な膜が得られることは言うまでもない。また、ベンゼンを蒸発させる時間は、環境、水面の面積、ベンゼン溶液の量等によっても異なるが、例示的には、24時間~48時間の範囲である。ステップS210およびステップS220により、水面上に図1の半球粒子110からなる膜100が得られる。特に、本発明の方法を用いれば、加熱または再結晶等のプロセスを経ることなく、異方性形状である半球粒子110が自己組織化的に六方最密充填様に配列した膜100を得ることができるので、特殊かつ高価な装置を不要とし、本発明による膜を安価に提供でき、1mm2を超える大面積化も容易である。また、本発明による方法によれば、単にステップS210およびS220を行うだけでよいので、高精度な操作あるいは熟練の技能等を一切不要とし、高品質な膜を提供できる。ステップS230:ステップS220に続いて、ステップS220で得た半球粒子からなる膜を基材に移してもよい図示せず。基材は、シリコン基板、ガラス基板、プラスチック基板、金属板等任意の材料の基材であり得る。また、基材は、平面、球面等任意の形状の面を有してもよい。膜を基材に移す具体的な手順は、単に、基材を水面に浸漬させ、基板上へ物理吸着させる。その際、気-液界面の表面圧は変化させず、ラングミュア-ブロジェット法で用いられる水平引き上げ法や垂直浸漬法ディッピング法により基材に膜が吸着し得る。次に、本発明の半球粒子110図1からなる膜100図1の用途について詳述する。本発明の膜100は、上述したように、半球粒子110が六方最密充填様に配列した膜である。したがって、本発明の膜100は、半球粒子110が互いに接触し得ない空孔150図1を有し得る。このような空孔150を利用して、本発明の膜100をフィルタに利用してもよい。さらに、本発明の膜100に半導体粒子を担持させ、光触媒機能を付与させてもよい。例示的な半導体粒子は、二酸化チタン粒子である。また、半導体粒子に加えて、金属ナノ粒子を担持させることにより、光触媒機能をさらに向上させることができる。例示的な金属ナノ粒子は、白金、銀、鉛、パラジウム等がある。これら粒子の担持は、電界または無電解メッキ等の化学的液相成長法、あるいは、スパッタ等の物理的気相成長法によって容易に行うことができる。本発明の膜100は、異方性形状である半球粒子110からなるので、例えば、半球粒子110の球面側と、半球粒子110の平面側とに異なる金属を付与すれば、球面側および平面側で異なる触媒反応を引き起こすことができる。本発明の膜100は、特許文献1に記載のフラーレン構造体に類似のフレーク状の表面を有する半球粒子110からなる。したがって、本発明の膜100においても、特許文献1と同様に、超撥水性あるいは光導電性が期待される。本発明の膜100の構造は、半球粒子110の粒径および六方最密充填様の配列において、ハエ、蚊に代表される複眼生物の網膜構造に類似している。したがって、本発明の膜100は、複眼生物網膜構造の模倣体として利用され得る。本発明の膜100を鋳型として利用すれば、複眼生物網膜構造を金属材料、ポリマーあるいは無機物質に転写できる。例えば、特開2009-061580に記載の技術を用い、本発明の膜100にAg、Pt、Pd、Ti、Ni、Au等の金属材料を付与し、その後、これを本発明の膜100の良溶媒に浸漬させれば、複眼生物網膜構造が転写された金属材料を提供できる。構造転写された金属材料は、本発明の膜100の構造的な特徴に加えて、金属材料の金属の種類に応じて、SERS表面増強ラマン散乱活性、SEF表面増強蛍光活性、プラズモン局所加熱特性を有する。例えば、構造転写された金属材料が、上述の空孔に加えてSERS活性を有する場合、構造転写された金属材料をフィルタとして利用すれば、物質のフィルタリングに加えてSERS活性による解析を可能にする。構造転写された金属材料にアルカンチオール等の絶縁層を付与し、次いで、絶縁層上にTiO2層を付与すれば、大きな比表面積およびファセットによる触媒活性を示す材料が得られる。また、構造転写されるべき金属材料がPtまたはPdである場合、有機薄膜の被覆などの操作は必要なく、その被表面積の大きさから触媒活性が期待できる。あるいは、構造転写された金属材料の金属の種類によっては、上述の空孔を利用した導電性フィルタとなり得、高効率電気分解用の電極として期待できる。図5は、本発明による膜を用いたフィルタを示す模式図である。フィルタ500は、本発明の膜100に半導体粒子として二酸化チタン粒子図示せずおよび金属ナノ粒子として銀粒子図示せずが付与されている。このようなフィルタ500に光510が照射されると、フィルタ500が担持する二酸化チタン粒子は、活性酸素を発生させる。活性酸素は、有害物質等の特定物質520に作用し、特定物質520は分解された後、フィルタ500に吸着する。一方、活性酸素が作用しなかった物質530は、フィルタ500を透過する。このようにして、フィルタ500は、光触媒フィルタとして機能する。なお、分離された特定物質520は、SERSによる分析、あるいは、プラズモン加熱により処理することができる。本発明による膜100によれば、半球粒子110の表面がフレーク状になるよう組織化されているので、大きな表面積を有する。そのため、光触媒フィルタとして、特定物質520を効果的に分解吸着できるので、有利である。次に、具体的な実施例を用いて本発明を詳述する。実施例1では、フラーレン誘導体として式1においてXがメチル基であり、FuがC60である3,4,5C20-C60をベンゼンに溶解したベンゼン溶液を下水相液として水水面に展開することによって、本発明の膜を得た。水面の有効面積展開面積が4.9cm2である円柱状のガラス製容器容量:10mLを用いた。なお、実験は、大気中、22±1°C、30~35の相対湿度下で行った。3,4,5C20-C60は、特開2007-137809号公報に基づいて合成した。合成した3,4,5C20-C60をベンゼンに溶解させ、2mMのベンゼン溶液を得た。マイクロピペットを用いて、2mMのベンゼン溶液70μLを水面展開面積4.9cm2に展開した図2のステップS210。展開直後、水>18MΩの比抵抗を有する脱イオン水とベンゼン溶液との界面がはっきり確認された。次いで、容器を蓋で密封し、室温22±1°C、暗所に静置することにより、ベンゼン溶液中のベンゼンを蒸発させた図2のステップS220。展開面積1cm2あたりのベンゼン溶液の展開量は、14.3μLであった。静置時間は36時間であった。36時間後、水とベンゼン溶液との界面はなくなり、ベンゼンの蒸発が確認できた。さらに、水面には黒色の膜が見られた。黒色の膜の特性を調べるため、ガラス製容器に洗浄済みのSi基板およびガラス基板を浸漬させ、膜をSi基板およびガラス基板上に移し取ったステップS230。Si基板およびガラス基板の大きさは、1×1cm2であった。得られた膜が六方最密充填様に配列した半球粒子からなることを確認するため、Si基板上に移した膜を走査型電子顕微鏡SEMにより観察した。SEMは、XL30電子顕微鏡Phillips製を用い、加速電圧は3kVであった。SEM用の試料には、Si基板上の膜の上に、MTM-20膜厚コントローラを備えた自動スパッタコータJFC-1300、日本電子株式会社製でAuをスパッタリングした試料を用いた。結果を図6および図8に示す。比較のために、蚊および蟻の複眼構造の観察結果を図7に示す。Si基板上の膜を3D測定レーザ顕微鏡OLS4000、株式会社島津製作所製により観察した。観察結果を図9に示す。Si基板上に移した膜の一部を導電性テープに貼り付け、収束イオンビーム試料作製装置JEM-9310FIB、日本電子株式会社製により観察した。膜の断面の構造を確認するため、集束イオンビームFIBにより断面を切断した。加速電圧は20kVであった。断面の観察には、JSM-6700FJEOL製のSEMを使用した。加速電圧は20kVであった。結果を図10に示す。得られた膜が二分子膜構造をナノ組織基礎骨格とするフラーレン構造体であること確認するため、Si基板上の膜を粉末X線回折XRDによる同定、および、膜の一部を高解像度透過型電子顕微鏡HR-cryo-TEMによる観察をした。XRDは、モノクロメータで単色化したCuKα線λ=0.15405nmを用いたX線回折計NanostarSAXSシステム、BrukerAXS製により行った。結果を図11に示す。HR-cryo-TEMによる観察は、透過型電子顕微鏡JEM-2100FG5、日本電子株式会社製により加速電圧400kVで行った。HR-TEM用の試料は、以下のように調製した。粉砕粉末化した膜をアルコールに分散させた溶液を、カーボングリッド上に滴下し、グリッド上の過剰な溶液を濾紙で除去した。観察結果を図12に示す。実施例2では、実施例1で得た膜の形成過程を調べるため、実施例1の3,4,5C20-C60をベンゼンに溶解した種々の濃度および種々の量のベンゼン溶液を、下水相液である水水面上に展開させた。なお、実施例2では、形成過程を調べるため、ベンゼン溶液の濃度および量は、上述の好適な範囲を満たさない場合も意図的に含む。水面展開面積4.9cm2に展開されたベンゼン溶液の濃度および量は、それぞれ、以下のとおりであった。1mM、25μL1mM、45μL1mM、55μL2mM、25μL2mM、45μL2mM、60μL2mM、70μLその他の条件は実施例1と同様であった。このようにして得られた各膜を、実施例1と同様にSi基板上に移し、SEM観察を行った。結果を図13に示す。また、展開されたベンゼン溶液の濃度および量が、2mMおよび70μLで得た膜について、実施例1と同様にSIM観察を行った。結果を図14に示す。実施例3では、下水相上に展開されるフラーレン誘導体を含有する溶液の量の依存性を調べた。展開量を、70μLから20μL、40μLおよび100μLに変更した以外は、実施例1と同様であった。このようにして得られた各膜を、実施例1と同様にSi基板上に移し、SEM観察を行った。結果を図15に示す。なお、展開面積1cm2あたりのベンゼン溶液20μL,40μLおよび100μLの展開量は、それぞれ、4.1μL、8.2μLおよび20.4μLであった。比較例1では、下水相の種類の依存性を調べた。下水相を、水単体からメタノールと水との混合溶液、エタノールと水との混合溶液、および、プロパノールと水との混合溶液に変更した以外は、実施例1と同様であった。なお、各アルコールと水との混合比は、いずれも、1:4体積比であった。このようにして得られた各膜を、実施例1と同様に、Si基板上に移し、SEM観察を行った。結果を図16に示す。比較例2では、フラーレン誘導体を含有する溶媒の種類の依存性を調べた。溶媒を、ベンゼンからトルエン、ジクロロメタンCH2Cl2、クロロホルムCHCl3およびm-キシレンに変更した以外は、実施例1と同様であった。このようにして得られた各膜を、実施例1と同様にSi基板上に移し、SEM観察を行った。結果を図17に示す。比較例3では、展開されるべき溶液中の溶質の種類の依存性を調べた。溶質を、3,4,5C20-C60からC60、3,4C20-C60および3,4,5C16C60に変更した以外は、実施例1と同様であった。C60純度99.9は、Aldrich社より購入した。3,4C20-C60および3,4,5C16C60は、それぞれ、特開2007-137809号公報に基づいて合成した。このようにして得られた各膜を、実施例1と同様にSi基板上に移し、SEM観察を行った。結果を図18に示す。実施例4では、本発明の膜を製造する蒸発条件および初期段階の様子を確認した。実施例4は、実施例1と同じフラーレン誘導体を用い、ベンゼン溶液の濃度および展開量を1mMおよび20~30μLとし、容器有効面積176cm2の円形のPTFEラングミュアトラフを密封することなく開放し、30分間静置した。バリア速度5cm2/分で圧縮し、膜を得た。その他の条件は実施例1と同様であった。なお、初期段階の様子を確認するため、実施例4のベンゼン溶液の濃度1mMおよび展開量0.11μL/cm2~0.17μL/cm2を、上述の好適な範囲1.5mM~2.5mMおよび13.5μL/cm2~14.5μL/cm2より極端に少なく設定するとともに、静置時間も好適な静置時間24時間~48時間より極端に短く設定していることに留意されたい。このようにして得た膜を、ブリュースター角顕微鏡BAMI-Elli2000、Accurion製によりその場観察した。光源には、波長532nmのNd:YAGダイオードレーザを使用し、レーザ出力50mWで観察した。BAMの横方向の解像度は2μmであった。観察結果を図19に示す。その後、実施例1と同様にSi基板上に移し、SEM観察を行った。結果を図20に示す。また、表面圧-分子面積等温曲線を測定した。表面圧は、濾紙プレートを用いたウィルヘルミ天秤により測定された。結果を図21に示す。ベンゼンを蒸発させた後の気-液界面に形成された薄膜において紫外可視分光法UV-Visを行った。UV-Vis反射スペクトルの測定は、NanofilmSurfaceAnalysis分光光度計Ref-SPEC2、Accurion製を用いて、ベンゼン溶液を展開後の種々の時間に行った。UV-vis反射スペクトルは、垂直入射光に対する、水面上の膜と、膜のない水面との間の屈折率差ΔRから求めた。結果を図22に示す。種々の表面圧で得られた膜について赤外反射吸収分光IRRASを行った。IRRASスペクトルの測定は、液体窒素冷却MCT水銀カドミウムテルビウム検出器を備えたFTIR分光光度計IFS66、Bruker製により気-液界面におけるその場測定にて行った。膜および下水相である水に法線ベクトルに対して40°となるように赤外線の焦点を合わせた。得られた信号を下水相である水の信号に対して正規化し、水蒸気信号を除去した。なお、IRスペクトルは、s-偏光光に対して200スキャンを用い、p-偏光光に対して400スキャンを用い8cm-1の解像度で収集した。結果を図24に示す。比較例4では、溶媒を、ベンゼンからトルエン、ジクロロメタンCH2Cl2、クロロホルムCHCl3、m-キシレンおよびp-キシレンに変更した以外は、実施例4と同様であった。このようにして得られた各膜を、実施例4と同様に、ブリュースター角顕微鏡による観察、SEM観察、UV-Vis測定およびFT-IR測定を行った。結果を図19~図21、図23および図25に示す。以上の実施例および比較例の条件を簡単のため、表1に示し、結果を詳述する。図6は、実施例1による膜のSEM像および粒径分布を示す図である。図6A~Cは、種々の倍率で撮影した実施例1の膜のSEM像である。図6Dは、粒径分布を示すヒストグラムである。粒度分布はSEM像を解析することによって求めている。具体的には、1000個以上の粒子の直径を測定し、その平均値を求めている。図6Aによれば、実施例1による膜は、粒子が配列した巨視的ミリメートルサイズの膜であることが分かった。図6Bによれば、実施例1による膜は、粒子が規則的に配列した膜であることが分かった。図6Bの挿入図は、フーリエ変換FFTパターンであり、粒子の単分散性に優れていることを示す。さらに、図6Cによれば、実施例1による膜は、粒子が、六方最密充填様610に配列し、結合した膜であることが分かった。さらに、粒子と粒子との接触し得ない領域には空孔620が確認された。また、粒子の表面製造時に水面と接触しなかった部分は、フレーク状であることが分かった。また、図6Dによれば、粒子の粒径は、15μm~35μmの範囲に分布しており、中でも、25μmを中心に20μm~30μmの範囲に集中していることが確認された。粒径の平均値は、25.5±2.4μmであった。このことから、本発明による膜の粒子の粒径が、20μm~30μmの範囲であれば、粒子が六方最密充填様に良好に配列した膜が得られることが分かった。図7は、蚊および蟻の複眼のSEM像を示す図である。図7AおよびBは、それぞれ、蚊および蟻の複眼である。図6と図7とを比較すると、粒子の粒径および六方最密充填様の配列において、極めて類似していることが分かった。このことから、実施例1による膜は、蚊および蟻に代表される複眼生物の網膜構造を有することが分かった。図8は、実施例1による膜の別のSEM像を示す図である。図8Aは、実施例1による膜を側面から観察した図であり、図8Bは、実施例1による膜を裏側から観察した図である。裏側観察の際には、水面に形成された膜をシリコン基板上へ水平付着法にて固定化した。図8AおよびBによれば、図6で見られた粒子は、半球粒子であることが分かった。図8Bによれば、半球粒子の下面製造時に水面と接触する部分は、半球粒子の半球面例えば、図6Cの製造時に水面と接触しない部分に比べて、滑らかであることが分かった。このことから、本発明の膜は、膜の上面半球粒子の半球面側および下面半球粒子の下面側において、異なるモルフォロジを有しており、用途に応じて、膜の面を使い分けすることができる。例えば、膜の上面は、フレーク状であることから、比表面積が大きく、フィルタ面として使用することが好ましい。図9は、実施例1による膜の3D測定レーザ顕微鏡像を示す図である。図9において、明るく示される部分ほど半球粒子の高さがより高く、暗く示される部分ほど半球粒子の高さがより低いことを示す。図9によれば、実施例1による膜を構成する半球粒子910の粒径および高さは、それぞれ、16.2μmおよび10.4μmであった。なお、図9で得られた粒径は、図6を参照して説明した粒径分布内であるものの、平均粒径の値と異なる。これは、測定した場所半球粒子に依存することに留意されたい。図10は、実施例1による膜のSIM像を示す図である。図10Aは、実施例1による膜の基板側から見た図であり、図10Bは、図10Aの領域1010をFIBにより切断した断面を見た図である。図10Bによれば、半球粒子の内部は、空洞ではなく、密になっていることが分かった。より詳細には、半球粒子の中心ほどより密であり、半球粒子の外側に向かって疎になっていた。半球粒子が、フラーレン誘導体3,4,5C20-C60によって形成されていることから、フラーレン誘導体は、底面中心から外側に向かって密から疎になるように分布していることを確認した。図11は、実施例1による膜のX線回折パターンを示す図である。図11によれば、実施例1による膜は、001、002、003および004の回折反射を示した。このことは、長距離にわたって規則的な多層構造であることを示す。図11から得られる層間距離は4.4~4.5nmであった。層間距離は、図1Dの距離D式1のアルキル鎖が互いに嵌合interdigitateした状態の長さに相当する。図12は、実施例1による膜のTEM像Aおよびフーリエ変換FFTパターンBを示す図である。図12Aよれば、実施例1による膜は、多層二分子膜構造マルチラメラ構造であり、その層間距離Dは、4.5nmであることが分かった。この結果は、図11より求めた層間距離に良好に一致した。図12Bによれば、FFTに第三次スポットの輝点が現れたことからも、多層構造は極めて高い規則性を有していることが分かる。図11および図12より、フラーレン誘導体3,4,5C20-C60の分子長約3.6nmを考慮すれば、半球粒子が二分子膜構造140図1Dを有していることが示唆される。以上、図6~図12により、本発明による膜は、図1AおよびBに模式的に示すように、六方最密充填様に配列した半球粒子からなり、半球粒子は、式1で表されるフラーレン誘導体が形成する二分子膜構造をナノ組織基礎骨格とすることが確認された。また、半球粒子の表面がフレーク状になるように組織化されていることが確認された。また、図2に示す本発明による方法が、上述の膜を製造するに好ましいことが示された。図13は、実施例2による膜のSEM像を示す図である。図13A~Fは、それぞれ、水面に展開されたベンゼン溶液の量および濃度1mM25μL、1mM45μL、1mM55μL、2mM25μL、2mM45μLおよび2mM60μLによる膜のSEM像である。図13A~Fによれば、ベンゼン溶液中のフラーレン誘導体3,4,5C20-C60の物質量が増えるにつれすなわち、ベンゼン溶液の濃度あるいは添加量が増えるにつれ、半球粒子の成長が確認された。詳細には、図13Aの膜は、核420図4を伴った超薄膜410図4であった。その後、図13BおよびCの膜は、核420が水面と接する部分は水面に沿って平面状に、ならびに、核420が水面と接しない部分は球状に核成長430図4している様子を示す。図13D~Fは、決定された最密安定な核間隔L1図4のLに相当し、最終的に粒径となるを維持して、粒成長している様子を示す。実施例2では、L1は18μmであり、図6を参照して説明した粒径分布の範囲内であることが分かった。また、図13B~Fによれば、粒成長に伴い半球粒子が形成されている様子が示されるが、半球粒子の外側は、半球粒子の底面中心よりも疎であることが分かる。この結果は、実施例1の図10の結果に良好に一致する。なお、図13には示さないが、実施例2による2mM70μLによる膜のSEM像は、図6実施例1と同様であることを確認した。図14は、実施例2の膜のSIM像を示す図である。図14AおよびBは、水面に展開されたベンゼン溶液の量および濃度が、2mM70μLの膜をFIBにより切断したSIM像である。図14Bは、図14Aの領域1410を拡大して示す。実施例1の図10と同様に、半球粒子の内部は、空洞ではなく、密になっていることを確認した。以上、図13および図14により、本発明の製造方法を用いた場合の本発明の膜の形成メカニズムは、図4を参照して例示的に説明した形成メカニズムに合致することが確認された。図15は、実施例3による膜のSEM像を示す図である。図15A、BおよびDは、それぞれ、ベンゼン溶液の添加量が20μL4.1μL/cm2、40μL8.2μL/cm2および100μL20.4μL/cm2による膜のSEM像である。図15Cは、実施例1の図6B70μL14.3μL/cm2と同一である。図15Aによれば、超薄膜410図4の形成が確認された。図15Bによれば、核成長による半球粒子が確認されるが、その配列は、幾分ランダムであった。図15Dによれば、核成長による半球粒子が確認されるが、粒子の単分散性に乏しく、形状および配列ともに幾分ランダムであった。以上より、半球粒子が六方最密充填様に配列した本発明の膜を確実に得るには、水面に展開されるベンゼン溶液の展開量は、14μL±0.5μL/cm2の範囲有効展開面積が4.9cm2の場合、ベンゼン溶液の展開量は、66μL~71μLの範囲が好ましいことが確認された。図16は、比較例1による膜のSEM像を示す図である。図16A~Cは、それぞれ、下水相がメタノールと水との混合溶液、エタノールと水との混合溶液、および、プロパノールと水との混合溶液による膜のSEM像である。図16Dは、実施例1の図6B下水相が水と同一である。図16Aによれば、下水相がメタノールと水との混合溶液である場合、核成長による半球粒子が確認されるが、その配列は、ランダムであった。一方、図16BおよびCによれば、下水相がエタノールと水との混合溶液およびプロパノールと水との混合溶液である場合、いずれも、明確な半球粒子が得られず、単分散性および規則性のない凝集体からなる膜が得られた。ここで、表面張力に着目する。拡張係数Sは、S=γa-γo/w-γoここで、γaは水と気体との間の表面張力であり、γo/wは油と水との間の表面張力であり、γoは油と気体との間の表面張力であるで表される。拡張係数Sが正である場合、溶媒は広がりやすいことを意味する。水、水とメタノールとの混合溶液、水とエタノールとの混合溶液、および、水とプロパノールとの混合溶液の表面張力は、それぞれ、72.75mN/m、44.28mN/m、36.09mN/m、および、28.88mN/mである。表面張力を用いて各下水相について拡張係数Sを算出すると、水とベンゼンとの拡張係数Sは正であるが、他のアルコールと水との混合溶液とベンゼンとの拡張係数Sは負となった。このことは、アルコールと水との混合溶液上では、ベンゼンは広がりにくいことを示し、図16の結果に良好に一致する。以上より、本発明の方法において、下水相は、水単体が好ましいことが確認された。図17は、比較例2による膜のSEM像を示す図である。図17A~Dは、それぞれ、フラーレン誘導体3,4,5C20-C60の溶媒が、トルエン、m-キシレン、CHCl3クロロホルムおよびCH2Cl2ジクロロメタンによる膜のSEM像である。図17Aによれば、溶媒がトルエンである場合、核成長による半球粒子が確認されるが、単分散性に乏しく、その配列はランダムであった。図17B~Dによれば、溶媒がm-キシレン、クロロホルムおよびジクロロメタンである場合、いずれも明確な半球粒子は得られなかった。次に、溶媒の蒸発速度に着目した。酢酸ブチルの蒸発速度を1とした場合、ベンゼン、トルエン、m-キシレン、クロロホルムおよびジクロロメタンの蒸発速度は、それぞれ、5.1、2.2、0.6、11.6および27.5である。これらの数値と、図17とを比較すると、ベンゼンを境に、ベンゼンよりも早く蒸発する溶媒トルエン、m-キシレン、ならびに、ベンゼンよりもゆっくり蒸発する溶媒クロロホルム、ジクロロメタンともに、単分散性に優れた半球粒子が成長せず、六方最密充填様に配列した膜は得られないことが分かった。以上より、本発明の方法において、式1で表されるフラーレン誘導体の溶媒は、ベンゼンが好ましいことが確認された。図18は、比較例3による膜のSEM像を示す図である。図18A~Cは、それぞれ、展開されるべき溶液の溶質が、C60、3,4C20-C60および3,4,5C16-C60による膜のSEM像である。いずれも、明確な半球粒子が得られず、本発明による半球粒子が六方最密充填様に配列した膜は得られなかった。図18Aによれば、C60の相互作用は、3,4,5C20-C60のそれより強いため、凝集しやすいことが示される。一方、3,4C20-C60および3,4,5C16-C60の構造は、3,4,5C20-C60に極めて類似するものの、それらの分子間力は、3,4,5C20-C60のそれとわずかに異なる。このため、本発明の製造方法を適用できず、改良が必要であることが示される。以上より、本発明の方法において、展開されるべき溶液の溶質は、式1で表されるフラーレン誘導体が好ましいことが確認された。図19は、実施例4および比較例4による膜のBAM像を示す図である。図19A~Fは、それぞれ、溶媒がベンゼン、トルエン、クロロホルム、ジクロロメタン、m-キシレンおよびp-キシレンによる膜のBAM像を示す。図19Aによれば、得られた膜が、極めて均質であることが分かった。図19Dによれば、得られた膜が、比較的均質であるものの、一部凝集した膜であった。一方、図19B、C、EおよびFは、いずれも、全体に凝集した膜であった。図20は、実施例4および比較例4による膜のSEM像を示す図である。図20A~Eは、それぞれ、溶媒がベンゼン、トルエン、クロロホルム、ジクロロメタンおよびm-キシレンによる膜のSEM像を示す。図20Aによれば、全体に半球粒子が見られ、それら半球粒子が六方最密充填様に配列していることが分かった。しかしながら、図20Aと図6とを比較すると、図20Aの膜は、図6のそれよりもわずかに品質が劣ることが分かった。実施例4のベンゼン溶液の濃度および展開量が、初期状態の様子を調べるため、実施例1のそれら例えば、好適な展開量である13.5μL/cm2~14.5μL/cm2に比べて少ないことを考慮しても、本発明の方法において、図2のステップS220におけるベンゼンの蒸発は、容器を密封した状態で行うことがより好ましいことが示唆される。図20Dによれば、溶媒がジクロロメタンによる膜は、核成長した半球粒子ただし半球粒子中に大きな空胞が多数存在するが見られたが、その配列がランダムな膜であることが分かった。この結果は、図19Dの結果に一致する。また、図20Bによれば、溶媒がトルエンによる膜において、粒状物質が確認されたが、粒状物質は半球粒子ではなかった。ここで溶媒の蒸発速度を考慮すれば、トルエンの蒸発速度は、ベンゼンのそれに比較的近いので、溶媒としてトルエンを用いた場合の半球粒子の形成メカニズムは、ベンゼンのそれと同様に比較的マイルドに行われると予想される。しかしながら、溶媒としてベンゼンを用いた場合のフラーレン誘導体の集合力と、溶媒としてトルエンを用いた場合のそれとが異なるために、半球粒子が六方最密充填様に配列した膜を得ることができないと予想される。図20CおよびEによれば、溶媒がクロロホルムおよびm-キシレンによる膜は、いずれも凝集状態の様子を示した。この結果は、図19CおよびEに一致する。図21は、実施例4および比較例4による膜の表面圧-分子面積等温線を示す図である。図21によれば、フラーレン誘導体3,4,5C20-C60のいずれの溶媒を用いても、Langmuir膜が形成され得ることが分かった。この分子1分子の占有面積約1.0nm2/分子から判断すると、いずれの溶媒系も多層膜形成が確認できる。しかしながら、ベンゼンおよびジクロロメタンによる膜の挙動は、p-キシレン、m-キシレンおよびクロロホルムによる膜の挙動に比べて、より大きな表面圧を要することが分かった。このことは、溶媒がベンゼンおよびジクロロメタンである場合、フラーレン誘導体が分散された状態で粒成長結晶化が生じるので、良質な膜が得られやすいことを示唆する。一方、溶媒がp-キシレン、m-キシレンおよびクロロホルムである場合、フラーレン誘導体が三次元的に凝集しやすいので、ランダムに生成することが示唆される。これらの結果は図19および図20によく整合する。図22は、実施例4による膜のUV-Visスペクトルを示す図である。図23は、比較例4による膜のUV-Visスペクトルを示す図である。図22によれば、実施例4による膜は、ベンゼン溶液を展開後、30秒、45秒、60秒、75秒、90秒および105秒のいずれも同一のUV-vis反射スペクトルを示し、時間依存性を示さなかった。また、いずれのUV-vis反射スペクトルも波長275nmおよび波長335nmにピークを有した。図23A~Dは、それぞれ、溶媒が、ジクロロメタン、トルエン、クロロホルムおよびm-キシレンによる膜のUV-Visスペクトルを示す。図23Aは、図22同様に、ジクロロメタン溶液を展開後、30秒、45秒、60秒、75秒、90秒および105秒のいずれも同一のUV-vis反射スペクトルを示し、時間依存性を示さなかった。また、これらのUV-vis反射スペクトルは、波長273nmおよび波長334nmにピークを有した。一方、図23B~Dは、同様の波長にピークトルエンのピーク波長:274nmおよび336nm、クロロホルムのピーク波長:277nmおよび334nmを有するものの、ピーク強度は時間により変化した。このピーク強度の時間依存性は、表面圧圧縮を施していないため、気-液界面における薄膜にムラが生じていることを示す。ここで、フラーレン誘導体3,4,5C20-C60をジクロロメタンに均一に分散した溶液ジクロロメタン分散溶液の吸収スペクトルは、256nmおよび317nmにピークを示すことが分かっている。一方、図23Aを参照すれば、溶媒がジクロロメタンである膜のピーク波長273nmおよび334nmは、ジクロロメタン分散溶液のピーク波長256nmおよび317nmに比べて、それぞれ、17~19nmおよび17~18nmだけ短波長側にシフトすることが分かった。このことは、膜中においてC60部位は、π-π電子相互作用に起因した集合状態にあることを意味している。以上の図22および図23より、ピーク位置が溶媒によって変化しないことから、得られた膜は、いずれも、同一の成分であることが確認された。また、ピーク強度の時間依存性を示すことから、溶媒としてトルエン、クロロホルムおよびm-キシレンを用いた場合、凝集した不均一な膜となるため、信号のばらつきが生じたと予想される。これは、これらの溶媒が3,4,5C20-C60を三次元的に凝集させやすいことを示す図21の結果に良好に一致する。図24は、実施例4による膜のFT-IRスペクトルを示す図である。図25は、比較例4による膜のFT-IRスペクトルを示す図である。図24および図25における反射吸光度‐logR/R0における、Rは、実施例4および比較例4による膜の反射率であり、R0は、下水相である水の反射率である。図24によれば、実施例4による膜は、波数2918cm-1にメチレン基の非対称伸縮モードνasCH2、および、波数2850cm-1にメチレン基の対称伸縮モードνsCH2を示した。このことは、膜において、半球粒子を構成するフラーレン誘導体3,4,5C20-C60のアルキルオキシ鎖は、全トランス型立体配座を伴う結晶状態にあることを示す。図25A~Dは、それぞれ、溶媒が、ジクロロメタン、トルエン、クロロホルムおよびm-キシレンによる膜のFT-IRスペクトルを示す。図25においても、図24と同様の波数にピークが見られた。この結果は、図22および図23に良好に一致し、得られた膜は、いずれも、同一の成分であることが確認された。また表面圧を変化させても、各モードの波数に依存性は見られなかった。このことから、表面圧は、フラーレン誘導体3,4,5C20-C60のアルキルオキシ鎖の結晶性には何ら影響がないことが確認された。"