"複数のレンズ部と、該複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイから個別のレンズ部に分離して、レンズを製造する製造方法であって、溶解した保護層用樹脂を含有する流動体を用いて前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成し、前記保護層が形成された前記レンズアレイの基板部を切断し、前記保護層を除去するレンズの製造方法。請求項1に記載のレンズの製造方法であって、前記流動体に前記レンズアレイ全体を浸漬して、前記保護層を形成するレンズの製造方法。請求項2に記載のレンズの製造方法であって、溶媒に前記保護層を溶解させて前記保護層を除去するレンズの製造方法。請求項3に記載のレンズの製造方法であって、超音波を用いながら前記溶媒で前記保護層を除去するレンズの製造方法。請求項3又は4に記載のレンズの製造方法であって、前記溶媒は、前記保護層に対して良溶媒であり、かつ、前記レンズアレイに対して貧溶媒であるレンズの製造方法。請求項3から5のいずれか一項に記載のレンズの製造方法であって、前記溶媒は、水であるレンズの製造方法。請求項1から6のいずれか一項に記載のレンズの製造方法であって、前記保護層用樹脂は、フッ素系樹脂であるレンズの製造方法。請求項1から7のいずれか一項に記載のレンズの製造方法であって、前記流動体は溶解した保護層用樹脂のみ含有するレンズの製造方法。請求項8に記載のレンズの製造方法であって、平坦型に前記流動体を満たし、前記平坦型に満たされた前記流動体に前記レンズアレイ全体を浸漬し、前記流動体を硬化させることにより、前記レンズアレイ全体を覆う前記保護層を形成し、前記保護層は、前記レンズアレイの複数のレンズ部による凹凸を平坦化するレンズの製造方法。請求項1から7のいずれか一項に記載のレンズの製造方法であって、前記流動体は、前記保護層用樹脂に対して良溶媒かつ前記レンズアレイに対して貧溶媒である溶媒と、前記溶解した保護層用樹脂を含有するレンズの製造方法。請求項10に記載のレンズの製造方法であって、ディップ塗布により前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成するレンズの製造方法。上述のように、レンズアレイの複数のレンズ部を分離するためには、レンズアレイの基板部を切断する。この基板部を切断する際に、削り粉が発生し、この削り粉がレンズ部に当たってしまい、得られるレンズのレンズ面を傷つけてしまうことがあった。そこで、特許文献1では、フォトレジストでできた保護膜をレンズアレイ上に設けた後、レンズアレイを切断している。しかし、レンズアレイの片面にのみ保護膜を設けるだけでは、レンズ面の保護から必ずしも十分でなかった。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、レンズアレイのレンズ面を適切に保護した上で切断を製造することを目的とする。複数のレンズ部と、該複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイから個別のレンズ部に分離して、レンズを製造する製造方法であって、溶解した保護層用樹脂を含有する流動体を用いて前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成し、前記保護層が形成された前記レンズアレイの基板部を切断し、前記保護層を除去するレンズの製造方法。本発明によれば、レンズアレイ全体を保護して切断するため、レンズアレイの切断時の削り粉によってレンズアレイのレンズ面が傷つくことを適切に防止することができる。図1は、本発明の実施形態を説明するための撮像ユニットの一例を示す断面図である。図1に示す撮像ユニット1は、センサモジュール2と、レンズモジュール3と、を備えている。センサモジュール2は、固体撮像素子4と、センサ基板部5とを備えている。センサ基板部5は、例えばシリコンなどの半導体材料で形成されている。固体撮像素子4は、例えばCCDイメージセンサやCMOSイメージセンサなどであり、センサ基板部5に対して周知の成膜工程、フォトリソグラフィー工程、エッチング工程、不純物添加工程、等を繰り返し、センサ基板部5上に受光領域、絶縁膜、電極、配線、等を形成して構成されている。レンズモジュール3は、レンズ部6と、フランジ部7とを備えている。レンズ部6は、その表裏に所定のレンズ面6a、6bを有している。両レンズ面6a、6bは、図示の例ではいずれも凸形状の球面とされているが、用途に応じて、凸形状の球面、凹形状の球面、非球面、又は平面の種々の組み合わせを採り得る。フランジ部7は、レンズ部6の外周から鍔状に張り出して、レンズ部6の外周を取り囲んでいる。レンズ部6、及びフランジ部7は、透光性の材料で一体に形成されている。レンズモジュール3は、そのフランジ部7とセンサ基板部5との間にスペーサ9を介してセンサモジュール2に積層され、センサモジュール2に組み付けられている。スペーサ9は、レンズモジュール3のレンズ部6がセンサモジュール2の固体撮像素子4の受光面に結像するように、センサモジュール2のセンサ基板部5とレンズモジュール3のフランジ部7との間に所定の距離を置く厚みとなっている。スペーサ9と両モジュール2、3とは、例えば接着剤などを用いて接合される。スペーサ9は、センサモジュール2のセンサ基板部5とレンズモジュール3のフランジ部7との間に所定の距離を置くことができる限り、その形状は特に限定されないが、固体撮像素子4の周囲を取り囲んで両モジュール2、3の間を外より隔絶する枠状の部材であることが好ましい。これによれば、両モジュール2、3の間から塵等の異物が入り、それが固体撮像素子4の受光面に付着することを防止することができる。更に、スペーサ9を遮光性の材料で形成すれば、両モジュール2、3の間から固体撮像素子4に入射する不要な光を遮ることができる。なお、図示の例では、センサモジュール2に組み付けられるレンズモジュール3が1つとなっているが、複数のレンズモジュール3が組み付けられる場合もある。その場合に、複数のレンズモジュール3は、スペーサ9と同等のスペーサを介して順次積層され、センサモジュール2に組み付けられる。また、それらのレンズ部6のレンズ面6a、6bは、レンズモジュール3毎に異なっていてもよい。以上のように構成された撮像ユニット1は、例えば携帯端末等の回路基板にリフロー実装される。回路基板には撮像ユニット1が実装される位置に予めペースト状の半田が印刷されており、そこに撮像ユニット1が載置される。そして、撮像ユニット1を含む回路基板に赤外線の照射や熱風の吹付けといった加熱処理が施される。それにより半田が溶け、撮像ユニット1は回路基板に実装される。上述のレンズモジュール3は、複数のレンズ部6が1次元又は2次元に配列されたレンズアレイを、個々にレンズ部6を含むように切断して得られる。また、上述のセンサモジュール2も同様に、複数の固体撮像素子が1次元又は2次元に配列されたセンサアレイを、個々に固体撮像素子を含むように切断して得られる。以下に、レンズモジュール3を得るレンズアレイについて説明する。図2は、本発明の実施形態を説明するためのレンズアレイの一例を示す図である。図3は、図2のレンズアレイのIII-III線断面図である。図2及び図3に示すレンズアレイ10は、複数のレンズ部6と、これらのレンズ部6を一体に繋ぐ基板部11とを備えている。このレンズアレイ10は、全体として所定のサイズのウエハ状をなし、そこに複数のレンズ部6が配列された、ウエハレベルレンズアレイとも称され、図示の例では、複数のレンズ部6は2次元に配列されている。これらのレンズ部6、及び基板部11は、透光性の材料で一体に形成されている。上述のレンズモジュール3図1参照は、レンズアレイ10において、隣り合うレンズ部6の間で基板部11を切断して得られる。切断されて個々のレンズ部6に付属する基板部11が、レンズモジュール3のフランジ部7となる。図4は、一対の成形型を用いたレンズアレイの製造方法を示す模式的な断面図である。先ず、図4に基づいて、一対の成形型の構成を説明する。成形型は、上下一対の型20,30を備える。型20は、転写面21がレンズアレイ10の一方の面の形状を成形するものであり、型30は、レンズアレイ10の他方の面の形状を成形するものである。なお、図4では、型20の構成を示しているが、型30の構成についても同じであるため、図示せずに省略する。型20は、転写面21を含む。型30は、転写面31を含む。転写面21は、レンズアレイ10の一方の面を反転させた形状であり、転写面31は、レンズアレイ10の他方の面を反転させた形状である。型20の転写面21には、レンズアレイ10のレンズ部6の配列に対応してレンズ成形面22が2次元に配列されている。レンズ成形面22は、凸形状の球面であるレンズ面6aに対応して凹形状の球面に成形されている。型30の転写面31には、レンズアレイ10のレンズ部6の配列に対応してレンズ成形面32が2次元に配列されている。レンズ成形面32は、凸形状の球面であるレンズ面6aに対応して凹形状の球面に成形されている。次に、一対の成形型を用いたレンズアレイの製造方法の手順を説明する。まず、一対の型20と型30の間に樹脂Mを供給し、転写面21と転写面31とで樹脂Mを挟み込み、該材料Mに転写面21及び転写面31の形状を転写するFIG.4A。そして、樹脂Mを硬化させる。樹脂Mが硬化した後、複数のレンズ部6同士を一体に繋ぐ基板部11とからなるレンズ成形体を、型20,30から離型させる。こうして、レンズアレイ10を得ることができるFIG.4B。樹脂Mの材料は、光透過性を有するエネルギー硬化性の樹脂組成物が用いられる。エネルギー硬化性の樹脂組成物は、熱により硬化する樹脂組成物、あるいは活性エネルギー線の照射例えば紫外線、電子線照射により硬化する樹脂組成物のいずれであってもよい。次に、レンズモジュール3の製造方法を説明する。図5は、レンズアレイの保護工程を示す模式的な断面図であり、図6は、図5のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図であり、図7は、レンズの保護層の除去工程を示す模式的な断面図である。まず、図5に示すように、保護層50aを形成するためにディップ塗布を行う。詳細には、保持部材60でレンズアレイ10の外周を保持しながら、保護溶液50にレンズアレイ10全体を浸漬する。この保護溶液50は、後述する保護層50aとなる保護層用樹脂に対して良溶媒かつレンズアレイ10に対して貧溶媒である溶媒を用いて、この保護層用樹脂を溶解したものである。このとき、レンズアレイ10全体の浸漬時間はレンズアレイ10表面全体に保護溶液50が定着する時間であればよく、1分以下であれば生産性の観点からより好ましい。また保護溶液50の温度、浸漬環境の温度に限定はないが、30°C以下であることが好ましい。そして、保護溶液50から引き上げ、乾燥箱中において中空状態で乾燥処理を行い、保護層50aを形成する。このときの乾燥温度は保護層用樹脂を溶解した溶媒により適宜選択することができるが、生産性の観点から100°C以下であることが好ましい。溶媒が除去できれば乾燥時間に特に限定はなく、生産性の観点から1時間以下であることが好ましい。保護層用樹脂については、特に制限はなく、公知の樹脂を用いることができる。また表面保護かつ溶解する機能を有していれば、無機膜例えば、金属蒸着膜でも有機膜例えば単分子膜、樹脂でも良い。有機膜の具体例としては、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラールやアセチルセルロースなどセルロース誘導体などが挙げられる。レンズアレイ10の切断時のレンズアレイ10の吸水を防止する目的から例えば、吸水性の高い保護層を介してレンズアレイ10が吸水する、低表面エネルギー樹脂であることが好ましい。低表面エネルギー樹脂としては、シリコーン系樹脂、フッ素樹脂、シリコーンモノマーとフッ素樹脂を含有するモノマーとの共重合体、シリコーン樹脂やフッ素樹脂のアクリル樹脂による変性体、シリコーン樹脂やフッ素樹脂の変性体等のフッ素系樹脂を挙げることができる。これらの低表面エネルギー樹脂は単独で用いても、複数用いても良い。またこれらの樹脂は単重合体であっても共重合体であってもよく、共重合体である場合はブロック共重合体であってもランダム共重合体であってもよい。フッ素系樹脂の具体例としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重合体、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができるが、これらは発明を制限するものではない。この中でも、表面自由エネルギー及び塗工性の観点から、フッ素系樹脂がポリヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重合体、ポリテトラフルオロエチレンであることが好ましく、ポリヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重合体であることがより好ましく、ポリヘキサフルオロプロピレンであることが特に好ましい。保護層50aは、上述のような低表面エネルギー樹脂や公知の保護層のほかに、更にその他の成分を含んでいてもよい。例えば、その他の成分としては、本発明の趣旨に反しない限り制限はないが、低分子添加剤などを挙げることができる。保護層50aは、塗工性を増すための低分子添加剤を含むことがより好ましい。次に、図6に示すように、ダイシングブレード40によって、保護層50aが全体に形成されたレンズアレイ10の基板部11を図中点線で示される切断ラインに沿って切断する。これにより、レンズアレイ10は、個別のレンズ部6ごとに分離される。分離されたレンズ部6には、切断された基板部11の一部が付属する。この付属した基板部11の一部がフランジ部7に対応する。なお、レンズのフランジ部7は、ダイシングブレード40による切断で形成された平坦な切断面を有する。次に、保護層50aを溶媒洗浄により除去する。こうして、レンズ部6と、レンズ部6の外周を取り囲んで一体に形成されたフランジ部7と、を備えるレンズモジュール3を得ることができる。なお、レンズウェハを溶解しない限り、他の除去方法を用いることができる。例えば、テープ剥離などの物理的な剥離方法を用いてもよい。ただし、レンズモジュール3の生産性を向上させる観点から、保護層50aを溶媒洗浄により除去するのが好ましい。溶媒洗浄に用いる溶媒としては、分離されたレンズ部6を溶解せず、かつ保護層50aに対して良溶媒かつ分離されたレンズ部6に対して貧溶媒であれば特に限定されることはない。このような溶媒としては、水、メタノール、エタノールが好ましく、水がより好ましい。また、溶媒の温度を上げて溶媒洗浄を行ってもよく、超音波を用いながら溶媒洗浄を行ってもよい。これらにより、洗浄時間が短縮され、レンズモジュール3の生産性が向上する。なお、溶媒洗浄の中でも、超音波を用いて溶媒洗浄を行う方法が好ましい。以上のように、レンズアレイ10全体を保護した上でレンズアレイ10を切断している。これにより、レンズアレイ10の切断によって発生する削り粉がレンズ部6のレンズ面6aとレンズ面6bに当たり、各レンズ面6a,6bを傷つけてしまうことを防ぐことができる。そして、レンズアレイ10全体を浸漬するようにしたため、レンズ部6のレンズ面6aとレンズ面6bのそれぞれに対して、別工程によって保護層を設ける必要がないため、レンズモジュール3の生産性が向上している。なお、スピナー法やスプレー法などを用いた溶液塗布によってレンズアレイ10全体を保護するようにしてもよい。図8は、レンズアレイの保護工程の変形例を示す模式的な断面図であり、図9は、図7のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図である。本変形例では、あらかじめ平坦型80で保護層70aとなる保護層用樹脂70を加熱し、溶解する。したがって、平坦型80には上述した保護層用樹脂のみで満たされる。そして、図8に示すように、この溶解された保護層用樹脂70にレンズアレイ10を浸漬する。レンズアレイ10全体を浸漬させた後、平坦型80の加熱を停止すると、保護層用樹脂70を冷却されて硬化するため、保護層70aが形成される。このとき、保護層用樹脂70の溶融温度は使用する保護層用樹脂70に応じて適宜選択することができるが、生産性の観点とレンズアレイ10への影響を考慮すると、100°C以下が好ましい。次に、図9に示すように、ダイシングブレード40によって、保護層70aが形成されたレンズアレイ10の基板部11を、図中点線で示される切断ラインに沿って切断する。そして、保護層70aを上述のように溶媒洗浄によって除去し、レンズ部6と、レンズ部6の外周を取り囲んで一体に形成されたフランジ部7と、を備えるレンズモジュール3を得る。以上のように、本変形例では、レンズ部6に起因する凹凸を保護層70aにより平坦化することができる。これにより、レンズアレイ10の表面に凹凸があるときは、レンズアレイ10を真空吸着等により、ダイサーに固定することは設備上困難であるものの、保護層70aによりレンズアレイ10の表面を平坦化することによって、ダイサーへの直接吸着が可能となる。ひいては、高価な吸着台、仮固定治具や消耗品の作製が不要となる。図10は、図2のレンズアレイの他の構成例を示す図である。同図に示すように、レンズアレイ100は、基板部11のレンズ部6を成形する部位を除く領域に、他の部材と重ね合わせるときのスペーサ12が設けられているFIG.10A。他の部材としては、例えば、他のレンズアレイや半導体基板である。スペーサ12は、各レンズ部6の一方の面のレンズ面6bの全周を囲むように矩形状や円環状に形成されている。なお、レンズアレイ100は、一対の成形型を用いてレンズアレイ10と同様に製造することができる図4参照。また、レンズアレイ群120を製造してもよいFIG.10B。同図では、2枚のレンズアレイ100を積層したレンズアレイ群120を示している。レンズアレイ群120は、各基板部11の一方の面にスペーサ12が成形されている複数のレンズアレイ100を積層することで得られる。具体的には、重ね合わせるレンズアレイ100の基板部11同士の位置合わせを行い、下方に配置するレンズアレイ100の基板部11の上面に、上方に配置するレンズアレイ100の基板部11の下面を、スペーサ12を介して接合する。レンズアレイ100同士を接合した状態で、各スペーサ12が、後述する切断位置で一致しているとよい。レンズアレイ100の接合に用いる接着剤としては、特に制限はなく、公知の接着剤を用いることができる。レンズアレイ100同士を接着する機能を有していれば良い。例えば、エポキシ樹脂系接着剤やアクリル樹脂系接着剤を挙げることができる。また、接着剤は生産性の観点から、熱により硬化する樹脂組成物、あるいは活性エネルギー線の照射例えば紫外線、電子線により硬化する樹脂組成物であることが好ましい。また、レンズアレイ100との接着性の観点から、接着剤を構成する組成物は、レンズアレイ100を構成する組成物に含まれる化合物と同等又は類似の構造を有する化合物を含有することが好ましい。また、レンズアレイ100と接着剤との線膨張係数の違いを調整するために、接着剤中に任意の分量で無機物を含有することもできる。これにより、リフロー工程などの高温環境下においてもレンズアレイ100同士の剥離を防止することができる。また接着剤は溶媒洗浄に用いる溶媒に対して、貧溶媒であることが好ましい。なお、2枚のレンズアレイ100を積層したレンズアレイ群120を示したFIG.10Bが、光学用途に応じて3枚以上のレンズアレイ100を積層したレンズアレイ群を製造してもよい。また、複数のレンズが積層されたレンズモジュールの製造において、基板部11やレンズ部6とは異なる他の材料からなるスペーサを別途取り付けて、レンズアレイ10を積層するようにしてもよい。図11は、図10のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図であり、図12は、図10のレンズアレイの切断工程の変形例を示す模式的な断面図である。図5に示したのと同様に、まずレンズアレイ100に保護層50aを形成するためのディップ塗布を行う。そして、保護層50aによって全体が保護されているレンズアレイ100を、ダイシングブレード40でスペーサ12を含めて切断するFIG.11A。若しくは、図8に示したのと同様に、まずレンズアレイ100を保護層用樹脂70に浸漬した後、保護層用樹脂70を冷却し硬化させることで保護層70aを形成する。そして、保護層70aによって全体が保護されているレンズアレイ100を、ダイシングブレード40でスペーサ12を含めて切断するFIG.12A。このように、スペーサ12を基板部11やレンズ部6と一体に形成し、スペーサ12を切断することで各レンズ部6に対応するスペーサを得るようにしたため、他のレンズアレイや半導体基板に重ね合わせるためのスペーサを別途設ける工程を省略することができる。また、図5に示したのと同様に、まずレンズアレイ群120に保護層50aを形成するためのディップ塗布を行う。そして、保護層50aによって全体が保護されているレンズアレイ群120を、ダイシングブレード40でスペーサ12を含めて切断するFIG.11B。このため、図中点線で示されるように各スペーサ12は、レンズアレイ100の積層方向に対する垂直方向における切断位置で一致していることが好ましい。若しくは、図8に示したのと同様に、まずレンズアレイ群120を保護層用樹脂70に浸漬した後、保護層用樹脂70を冷却し硬化させることで保護層70aを形成する。そして、保護層70aによって全体が保護されているレンズアレイ群120を、ダイシングブレード40でスペーサ12を含めて切断するFIG.12B。このため、図中点線で示されるように各スペーサ12は、レンズアレイ100の積層方向に対する垂直方向における切断位置で一致していることが好ましい。このように、レンズアレイ群120を製造することによって、分離されたレンズモジュールを個別に重ね合わせる場合に比べて、保護層50aや保護層70aの形成する回数を減らすことができる。これにより、効率よく複数のレンズが積層されたレンズモジュールを量産することができる。以上、本発明のレンズモジュールの製造方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。以上、説明したように、本明細書には、以下の事項が開示されている。1複数のレンズ部と、該複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイから個別のレンズ部に分離して、レンズを製造する製造方法であって、溶解した保護層用樹脂を含有する流動体を用いて前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成し、前記保護層が形成された前記レンズアレイの基板部を切断し、前記保護層を除去するレンズの製造方法。21に記載のレンズの製造方法であって、前記流動体に前記レンズアレイ全体を浸漬して、前記保護層を形成するレンズの製造方法。32に記載のレンズの製造方法であって、溶媒に前記保護層を溶解させて前記保護層を除去するレンズの製造方法。43に記載のレンズの製造方法であって、超音波を用いながら前記溶媒で前記保護層を除去するレンズの製造方法。53又は4に記載のレンズの製造方法であって、前記溶媒は、前記保護層に対して良溶媒であり、かつ、前記レンズアレイに対して貧溶媒であるレンズの製造方法。63から5のいずれか一つに記載のレンズの製造方法であって、前記溶媒は、水であるレンズの製造方法。71から6のいずれか一つに記載のレンズの製造方法であって、前記保護層用樹脂は、フッ素系樹脂であるレンズの製造方法。81から7のいずれか一つに記載のレンズの製造方法であって、前記流動体は溶解した保護層用樹脂のみ含有するレンズの製造方法。98に記載のレンズの製造方法であって、平坦型に前記流動体を満たし、前記平坦型に満たされた前記流動体に前記レンズアレイ全体を浸漬し、前記流動体を硬化させることにより、前記レンズアレイ全体を覆う前記保護層を形成し、前記保護層は、前記レンズアレイの複数のレンズ部による凹凸を平坦化するレンズの製造方法。101から7のいずれか一つに記載のレンズの製造方法であって、前記流動体は、前記保護層用樹脂に対して良溶媒かつ前記レンズアレイに対して貧溶媒である溶媒と、前記溶解した保護層用樹脂を含有するレンズの製造方法。1110に記載のレンズの製造方法であって、ディップ塗布により前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成するレンズの製造方法。"