"オプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法であって、n型導電層2を用意するステップと、前記n型導電層2上にp型導電層4を設けるステップと、前記p型導電層4上に金属層列5を設けるステップと、前記金属層列5のうち前記p型導電層4とは反対の側にマスク6を配置するステップと、前記マスク6を用いて部分的に前記金属層列5を除去し、前記p型導電層4を露出させるステップと、前記マスク6を用いて前記p型導電層4の露出領域4aを前記n型導電層2にいたるまで部分的に中性化もしくは除去するステップとを含み、前記金属層列5は少なくとも1つの鏡面層51および阻止層52を含み、前記金属層列5の前記鏡面層52は前記p型導電層4に面していることを特徴とするオプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法。オプトエレクトロニクス半導体チップであって、少なくとも1つの鏡面層51および阻止層52を含む金属層列5と、p型導電層4とを含み、前記p型導電層4は前記金属層列5の前記鏡面層51に面しており、前記p型導電層4は側方で前記鏡面層51から突出しており、前記p型導電層4が側方で前記鏡面層51から突出する距離d3は最大で5μmであることを特徴とするオプトエレクトロニクス半導体チップ。n型導電層2および前記p型導電層4を貫通する開口10が形成されており、前記開口10の底面10aにおいて前記金属層列5の1つの層が露出しており、前記オプトエレクトロニクス半導体チップの電気的コンタクトのための端子面54が前記底面10aに形成されている、請求項2記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記開口10は少なくとも部分的に前記金属層列5の前記鏡面層51を通っており、少なくとも前記鏡面層51の領域内の前記開口10の側面10bはパシベーション層11によって完全に覆われている、請求項3記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記p型導電層4は前記開口10内の側方で前記鏡面層51から突出している、請求項1から4までのいずれか1項記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記鏡面層51の領域内の前記開口10の側面10bは、前記オプトエレクトロニクス半導体チップの支持体9のうち前記鏡面層51に面する表面に対して、前記p型導電層4の領域内の前記開口10の側面10bとは異なる角度をなしている、請求項5記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記パシベーション層11はALDプロセスによって形成される、請求項1から6までのいずれか1項記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。少なくとも2つの開口101,102が形成されており、一方の開口102に前記オプトエレクトロニクス半導体チップのn側コンタクトのための端子面が形成されており、他方の開口101に前記オプトエレクトロニクス半導体チップのp側コンタクトのための端子面が形成されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記金属層列5の各側面5aは、前記開口10,101,102を除いて、前記n型導電層2の半導体材料に電気的に接続された金属層8に少なくとも間接的に接している、請求項1から8までのいずれか1項記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。少なくとも1つの開口10,101,102は側方で活性ゾーン3によって完全に包囲されている、請求項1から9までのいずれか1項記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記オプトエレクトロニクス半導体チップは、前記金属層列5および前記p型導電層4およびn型導電層2の各部分を含むESD部分領域13を有しており、該ESD部分領域は前記オプトエレクトロニクス半導体チップの残りの部分に対して電気的に逆並列に接続されており、前記ESD部分領域13は前記オプトエレクトロニクス半導体チップの残りの部分に対するESD保護ダイオードを形成する、請求項1から10までのいずれか1項記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記ESD部分領域13は側方で前記活性ゾーン3によって完全に包囲されている、請求項11記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記オプトエレクトロニクス半導体チップは、電気的に直列に接続された、少なくとも2つの活性部分領域31に分割されている、請求項1から12までのいずれか1項記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記活性部分領域31間の電気的接続部32は前記オプトエレクトロニクス半導体チップの光出射面22の下方に配置されている、請求項13記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。前記オプトエレクトロニクス半導体チップの動作時には各活性部分領域31で少なくとも2Vの電圧が降下する、請求項1から14までのいずれか1項記載のオプトエレクトロニクス半導体チップまたは方法。"