アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、前記キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出するヘッドを有する吐出装置であって、前記ヘッドは、前記キャビティおよび前記ノズル開口の間に設けられた検出部を含み、さらに、前記ヘッドの前記検出部を介して、前記ノズル開口から吐出される前記液状体に含まれる複数の粒状体を検出する検出装置と、前記検出装置の検出結果により前記ヘッドの吐出先を変える制御装置とを有する、吐出装置。請求項1において、前記検出部は、前記ヘッドの前記キャビティから前記ノズル開口に至る流路の断面が第1の方向に延びた扁平部であって、前記複数の粒状体を前記第1の方向に分散させる扁平部を含む、吐出装置。請求項1または2において、前記検出部は透光性であり、前記検出装置は、光を介して前記複数の粒状体を画像認識する撮像部を含む、吐出装置。請求項1ないし3のいずれかにおいて、前記検出装置は、前記検出部の少なくとも一部に存在する前記粒状体の数を検出する手段を含み、前記制御装置は、前記検出する手段により検出された前記粒状体の数により、前記ヘッドの吐出先を変える機能を含む、吐出装置。請求項4において、前記吐出先を変える機能は、前記検出する手段により前記粒状体が検出されないか、または複数の前記粒状体が検出されたときに、前記液状体を捨て打ちする機能を含む、吐出装置。請求項1ないし3のいずれかにおいて、前記検出部は第1の領域と、前記第1の領域に続く第2の領域とを含み、前記検出装置は、前記検出部の前記第1の領域および前記第2の領域にそれぞれ存在する前記粒状体の数を検出する手段を含み、前記制御装置は、前記検出する手段により前記検出部の前記第1の領域に前記粒状体が検出されないか、または複数の前記粒状体が検出されたときに、前記液状体を捨て打ちする機能と、前記検出部の前記第2の領域に前記粒状体が検出されたときに、前記液状体を捨て打ちする機能とを含む、吐出装置。請求項1ないし6のいずれかにおいて、前記アクチュエータはピエゾ素子であり、前記制御装置は、前記液状体を吐出する際に前記ピエゾ素子に押し打ち方式の駆動パルスを供給する機構を含む、吐出装置。アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、前記キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出するヘッドであって、前記キャビティおよび前記ノズル開口の間で、前記ノズル開口から吐出される前記液状体に含まれる複数の粒状体が分散する検出部を有するヘッド。請求項8において、前記検出部は、前記ヘッドの前記キャビティから前記ノズル開口に至る流路の断面が第1の方向に延びた扁平部であって、前記複数の粒状体が前記第1の方向に分散する扁平部を含む、ヘッド。請求項9において、前記扁平部の内部の前記第1の方向に直交する第2の方向の最大高さhと、前記粒状体の平均粒径rとが以下の条件を満たす、ヘッド。1.2≦h/r≦100.0請求項10において、さらに、以下の条件を満たす、ヘッド。1.5≦h/r≦50.0請求項10または11において、前記最大高さhと、前記ノズル開口の内径dとが以下の条件を満たす、ヘッド。0.5≦h/d≦20.0請求項12において、さらに、以下の条件を満たす、ヘッド。0.8≦h/d≦15.0請求項8ないし13のいずれかにおいて、前記検出部は透光性である、ヘッド。請求項8ないし14のいずれかにおいて、前記検出部は、対向して配置された平坦な第1の側壁および第2の側壁を含む、ヘッド。請求項8ないし15のいずれかにおいて、前記液状体を保持し、一部が、外側に取り付けられるアクチュエータにより内圧が変動する前記キャビティとなるように成形された管状部材であって、一方の端に前記ノズル開口が設けられた管状部材を有し、前記管状部材の前記キャビティおよび前記ノズル開口の間に前記検出部が設けられている、ヘッド。請求項16において、前記検出部は、前記管状部材の一部が、外側から押し潰されるように成形された部分である、ヘッド。請求項16または17において、前記管状部材は、透光性を備えたガラス管、樹脂管およびセラミックス管のいずれかである、ヘッド。請求項8ないし18のいずれかにおいて、前記アクチュエータはピエゾ素子である、ヘッド。アクチュエータにより内圧が変動させられるキャビティと、前記キャビティの内圧変動により液状体を吐出するノズル開口と、前記キャビティおよび前記ノズル開口の間に設けられた検出部であって、流路の断面が第1の方向に延びた扁平で、前記ノズル開口から吐出される前記液状体に含まれる複数の粒状体を前記第1の方向に分散させる検出部とを有する管状部材。請求項20において、前記検出部は透光性である、管状部材。請求項20または21において、前記検出部は、当該管状部材の一部が、外側から押し潰されるように成形された部分である、管状部材。アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、前記キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出するヘッドを用いて粒状体を含む液状体をターゲットに吐出する方法であって、前記キャビティおよび前記ノズル開口の間に設けられた検出部を介して、前記粒状体を検出することと、検出された前記粒状体の数により前記ヘッドの吐出先を前記ターゲットから変えて捨て打ちすることとを含む、方法。請求項23において、前記捨て打ちすることは、前記粒状体が検出されないか、または複数の前記粒状体が検出されたときに、前記液状体を捨て打ちすることを含む、方法。請求項23において、前記検出部は第1の領域と、前記第1の領域に続く第2の領域とを含み、前記捨て打ちすることは、前記検出部の前記第1の領域に前記粒状体が検出されないか、または複数の前記粒状体が検出されたときに、前記液状体を捨て打ちすることと、前記検出部の前記第2の領域に前記粒状体が検出されたときに、前記液状体を捨て打ちすることとを含む、方法。アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、前記キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出するヘッドと、前記ヘッドの吐出先を変える制御装置とを有する吐出装置を制御する方法であって、前記キャビティおよび前記ノズル開口の間に設けられた検出部を介して、前記ノズル開口から吐出される液状体に含まれる複数の粒状体を検出することと、前記制御装置が、検出された前記粒状体の数により前記ヘッドの吐出先を前記ターゲットから変えて捨て打ちすることとを含む、方法。請求項26において、前記アクチュエータはピエゾ素子であり、前記制御装置は、前記液状体を吐出する際に前記ピエゾ素子に押し打ち方式の駆動パルスを供給することを含む、方法。請求項26または27において、前記制御装置は、1回あたり以下の条件を満たす体積qの前記液状体を前記ノズル開口から吐出することを含む、方法。0.0001≦D×q≦3.0ただし、Dは前記液状体の単位体積当たりに含まれる前記粒状体の数を表す。請求項28において、さらに、前記体積qは以下の条件を満たす、方法。0.01≦D×q≦1.0印刷装置として開発されたインクジェット技術を用い、印刷用紙およびそれに代わるものにインクおよびそれ以外のものを吐出することが検討されている。吐出の対象となる物質は、液状体液体、溶液に限らず、細胞や遺伝子などの生物生体材料を含む粒状体粒子、微粒子など、多種多様なものが検討されている。細胞などの粒状体を、インクジェットヘッドのノズルからマイクロプレートなどのターゲットに向けて、所望の条件で精度よく吐出することが要求される。本発明の態様の1つは、アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出するヘッドを有する吐出装置である。ヘッドは、キャビティおよびノズル開口の間に設けられた検出部を含み、吐出装置はさらに、ヘッドの検出部を介して、ノズル開口から吐出される液状体に含まれる複数の粒状体を検出する検出装置と、検出装置の検出結果によりヘッドの吐出先を変える制御装置とを有する。この吐出装置は、ヘッドのキャビティとノズル開口との間に設けられた検出部を介して、液状体に含まれる粒状体、たとえば細胞などを検出する検出装置を有する。このため、特許文献1に記載されているように、吐出された後の状態を確認するのではなく、吐出される前の状態を確認でき、あるいは吐出された後の状態とともに、吐出される前の状態を確認できる。さらに、この吐出装置は、検出装置の検出結果によりヘッドの吐出先を変える制御装置を有する。このため、吐出する前に液状体に含まれる粒状体を検出し、ヘッドの吐出先を変えて、ターゲットに向けて粒状体を含む液状体を注入したり、捨て打ちしたりすることができる。したがって、吐出される前の状態が条件に合致しない場合は、それを捨てる捨て打ちすることにより、吐出後の確認を省略したり、吐出後の確認に要する時間を節約できる。この吐出装置において、ヘッドの検出部は、ヘッドのキャビティからノズル開口に至る流路の断面が第1の方向に延びた扁平部であって、複数の粒状体を第1の方向に分散させる扁平部を含むことが望ましい。この検出部は、内部に扁平状で液状体に含まれる粒状体を第1の方向に分散させることにより、粒状体の数個数を検出しやすい空間を有する。このため、液状体に含まれる粒状体が比較的粒径の小さな粒状体であっても、吐出後ではなく、吐出前に液状体に含まれる粒状体の個数を確認しやすい。したがって、ターゲットに向けて、所望の条件でいっそう精度よく、かつ確実に粒状体を吐出することが可能となる。さらに、精度を向上したり、精度を維持するために要する時間を短縮できる。この吐出装置において、ヘッドの検出部は透光性であり、検出装置は、光を介して複数の粒状体を画像認識する撮像部を含むことが望ましい。可視光を用いて液状体に含まれる粒状体を観察できる。撮像部は、典型的には、CCD、CMOSなどの撮像素子と光学レンズとを備えたカメラであり、撮像部で得られた画像をプロセッサにより画像処理することにより細胞などの微小な粒子であっても容易に判別できる。特に、並列処理機構を備えた画像処理装置を用いることにより高速で検出部に存在する微小な粒子を検出できる。また、細胞などの生体材料においては、蛍光発色する物質を含有させることが可能であるため、その場合には蛍光を検知できる可視光以外の光、たとえばブラックライトを当て、これを検出できるカメラで観察しても良い。検出装置は、検出部の少なくとも一部に存在する粒状体の数を検出する手段を含み、制御装置は、検出する手段により検出された粒状体の数により、ヘッドの吐出先を変える機能を含むことが望ましい。この吐出装置によれば、粒状体の数個数が所定の条件に合致しない場合は捨て打ちできるので、所定の条件を満足するものだけをターゲットに注入でき、ターゲットに注入される粒状体の個数の精度を向上できる。また、注入後のターゲットの確認を省いたり、確認の時間を短縮できる。吐出先を変える機能は、検出する手段により粒状体が検出されないか、または複数の粒状体が検出されたときに、液状体を捨て打ちする機能を含むことが望ましい。ターゲットに向けて粒状体を1つだけ含む液状体を吐出し、他の条件の液状体を捨て打ちできる。この吐出装置において、検出部は第1の領域と、第1の領域に続く第2の領域とを含み、検出装置は、検出部の第1の領域および第2の領域にそれぞれ存在する粒状体の数を検出する手段を含み、制御装置は、検出する手段により検出部の第1の領域に粒状体が検出されないか、または複数の粒状体が検出されたときに、液状体を捨て打ちする機能と、検出部の第2の領域に粒状体が検出されたときに、液状体を捨て打ちする機能とを含むことが望ましい。検出部の第1の領域に1つの粒状体が検出され、続く第2の領域に粒状体が検出されないときにのみターゲットに液状体が吐出される。第2の領域に存在する粒状体が前の第1の領域の粒状体と同時に吐出されてしまう可能性を排除できるので、さらに、ターゲットに注入される粒状体の個数の精度を向上できる。この吐出装置において、アクチュエータはピエゾ素子であり、制御装置は、液状体を吐出する際にピエゾ素子に押し打ち方式の駆動パルスを供給する機構を含むことが望ましい。キャビティの内圧を変動させるアクチュエータは、熱によりキャビティ内に気泡を発生させるヒーターでもよい。機械的な力によりキャビティ内の圧力を変えることができるピエゾ素子は液状体およびそれに含まれる粒状体に熱的な影響を与えにくいので、アクチュエータとして好適なものである。さらに、押し打ち方式の駆動パルスによれば、ノズル開口のメニスカスが検出部まで引き込まれることを抑制でき、検出部の状態を安定させやすい。このため、所定の条件に合致した粒状体を含む液状体を吐出する際に、予期しない個数の粒状体が含まれることなどにより吐出精度が低下することを抑制できる。本発明の異なる態様の1つは、アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出するヘッドであって、キャビティおよびノズル開口の間で、ノズル開口から吐出される液状体に含まれる複数の粒状体が分散する検出部を有するヘッドである。このヘッドの検出部は、ヘッドのキャビティからノズル開口に至る流路の断面が第1の方向に延びた扁平部であって、複数の粒状体が第1の方向に分散する扁平部を含むことが望ましい。粒状体のサイズに対して検出部の内部の高さが大きすぎると、検出部の内部で粒状体が重なって存在する可能性が増し、複数の粒状体を個別に識別できない可能性が高くなる。一方、粒状体のサイズに対して検出部の内部の高さが小さすぎると、検出部が粒状体の通過に対して抵抗となり、ノズル開口から粒状体がスムーズに吐出されにくくなる可能性がある。扁平部は、検出部を通過する粒状体の重なりを抑制でき、さらに、断面積は確保できるので、粒状体の通過に対して抵抗となりにくい。扁平部の内部の第1の方向に直交する第2の方向の最大高さhと、粒状体の平均粒径rとが以下の条件を満たすことが望ましい。1.2≦h/r≦100.01.0扁平部の内部の第2の方向の最大高さhと、粒状体の平均粒径rとは以下の条件を満たすことがさらに望ましい。1.5≦h/r≦50.02.0扁平部の内部の第2の方向の最大高さhと、ノズル開口の内径dとは以下の条件を満たすことが望ましい。0.5≦h/d≦20.03.0扁平部の内部の第2の方向の最大高さhと、ノズル開口の内径dとは以下の条件を満たすことがさらに望ましい。0.8≦h/d≦15.04.0このヘッドにおいて、検出部は透光性であることが望ましい。このヘッドの検出部は、典型的には、対向して配置された平坦な第1の側壁および第2の側壁を含む。検出部の流路の断面が長方形またはそれに近くなるので、検出部の全体にわたり複数の粒状体が、第1の側壁および第2の側壁に挟まれた方向に相互に重なりにくく、それぞれの粒子を独立して検出できる確率が向上する。このヘッドは、液状体を保持し、一部が、外側に取り付けられるアクチュエータにより内圧が変動するキャビティとなるように成形された管状部材であって、一方の端にノズル開口が設けられた管状部材を有し、管状部材のキャビティおよびノズル開口の間に検出部が設けられていることが望ましい。キャビティからノズル開口に至るまで1つの管状部材、たとえばガラス管によりシームレスに形成できるので、気泡などによる滞りや詰まりが発生しにくく、多種多様な粒状体および液状体を吐出するのに適したヘッドを提供できる。検出部は、管状部材の一部を、外側から押し潰すように成形することにより形成できる。管状部材の典型的なものは、透光性を備えたガラス管、樹脂管およびセラミックス管のいずれかである。アクチュエータの典型的なものは、ピエゾ素子である。本発明のさらに異なる態様の1つは、アクチュエータにより内圧が変動させられるキャビティと、キャビティの内圧変動により液状体を吐出するノズル開口と、キャビティおよびノズル開口の間に設けられた検出部であって、流路の断面が第1の方向に延びた扁平で、ノズル開口から吐出される液状体に含まれる複数の粒状体を第1の方向に分散させる検出部とを有する管状部材である。この管状部材の検出部は透光性であることが望ましい。検出部は、管状部材の一部が、外側から押し潰されるように成形された部分である。本発明のさらに異なる態様の1つは、アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出するヘッドを用いて粒状体を含む液状体をターゲットに吐出する方法である。この方法は、以下のステップを有する。1.キャビティおよびノズル開口の間に設けられた検出部を介して、粒状体を検出すること。2.検出された粒状体の数によりヘッドの吐出先をターゲットから変えて捨て打ちすること。第2のステップの捨て打ちすることは、粒状体が検出されないか、または複数の粒状体が検出されたときに、液状体を捨て打ちすることを含んでもよい。この方法において、検出部は第1の領域と、第1の領域に続く第2の領域とを含み、第2のステップの捨て打ちすることは、以下のステップを含んでいてもよい。2a.検出部の第1の領域に粒状体が検出されないか、または複数の粒状体が検出されたときに、液状体を捨て打ちすること。2b.検出部の第2の領域に粒状体が検出されたときに、液状体を捨て打ちすること。本発明のさらに異なる態様の1つは、アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出するヘッドと、ヘッドの吐出先を変える制御装置とを有する吐出装置を制御する方法であり、以下のステップを含む。11.キャビティおよびノズル開口の間に設けられた検出部を介して、ノズル開口から吐出される液状体に含まれる複数の粒状体を検出すること。12.制御装置が、検出された粒状体の数によりヘッドの吐出先をターゲットから変えて捨て打ちすること。この方法において、アクチュエータはピエゾ素子であり、制御装置は、液状体を吐出する際にピエゾ素子に押し打ち方式の駆動パルスを供給することを含むことが望ましい。1回の吐出あたりの液状体の体積に対して粒状体の濃度が高すぎると、捨て打ちされる粒状体の個数が増し、高コストになりやすい。一方、1回の吐出あたりの液状体の体積に対して粒状体の濃度が低すぎると、粒状体の個数を所定の条件に合致させるために捨て打ちする回数が増し、ターゲットに向けて吐出するのに要する時間を短縮化しにくい。この方法において制御装置は、1回あたり以下の条件を満たす体積qの液状体をノズル開口から吐出することを含むことが望ましい。0.0001≦D×q≦3.05.0ただし、Dは液状体の単位体積当たりに含まれる粒状体の数を表す。1回の吐出あたりの液状体の体積qは以下の条件を満たすことがさらに望ましい。0.01≦D×q≦1.06.0図1に本発明の第1の実施形態にかかる吐出装置の概略構成を示している。吐出装置1は、管状部材であるガラス管20を備えたヘッドノズルヘッド、インクジェット方式により駆動されるノズルヘッド10と、ヘッド10から吐出する液状体50、たとえば水などのキャリアを格納した容器5と、ヘッド10から液滴71を吐出させる第1のアクチュエータ6を駆動する駆動ユニット装置2と、ヘッド10から吐出される液滴71の直前の状態を検出する検出ユニット装置7と、ヘッド10を移動する第2のアクチュエータ79と、ヘッド10が液滴71を吐出するターゲット81を支持するテーブル83と、テーブル83を移動する第3のアクチュエータ89と、ヘッド10のアクチュエータ6と、移動用のアクチュエータ79および89を制御する制御ユニット装置75とを含む。テーブル83にはヘッド10から液滴71を捨て打ちするためのディスポーザ82が設けられている。テーブル83を第3のアクチュエータ89により移動するか、ヘッド10を第2のアクチュエータ79により移動することにより、ヘッド10から液滴71をターゲット81に注入したり、ディスポーザ82に捨て打ちしたりすることができる。ターゲット81は、液滴71を受けるものであればよく、たとえば、シャーレ、分析プレート、試験管などである。ヘッド10は、ほぼ直線的に延びたガラス管管状部材20を有する。ガラス管20は、先端部分21がノズル開口11となり、先端部分21から後退した部分第1の扁平部22が、扁平状平たい形状の検出部12となり、さらに第1の扁平偏平部22から後退した部分第2の扁平部24が扁平状のキャビティ圧力室14となり、さらに、末端後端29が供給管4を介して容器5に接続されている。この扁平な部分22および24を備えた管状部材20は、全体が透光性であり、一本のガラス管から適当な方法、たとえば、型を用いて成形でき、内部には、キャビティ14から検出部12を経てノズル開口11に至るシームレスな流路が形成されている。このヘッド10は、ガラス管20のキャビティ14の平坦な壁24aの外側の面外面24bに取り付けられた平板状の圧電素子ピエゾ素子、アクチュエータ6を含み、圧電素子6によりキャビティ14の内圧を変動させ、キャビティ14に連通したノズル開口11から液状体50を液滴71として吐出する。ヘッド10のガラス管20には、キャビティ14およびノズル開口11の間に、流路の断面がガラス管20の中心軸9zに対して直交する方向第1の方向9xに延びた扁平の検出部観察室、検出室12が形成されている。扁平な内断面を含む検出部12においては、ノズル開口11から吐出される液状体50に含まれる複数の粒状体粒子51が第1の方向9xに分散させられる。このため、検出部12の透明で平らな側壁22aおよび22cを介して液状体50に含まれる粒状体51を観察できる。検出部12には、ノズル開口11から吐出される直前の液状体50が保持され、吐出直前の液状体50に複数の粒状体51が含まれていれば、それらが流れに直交する方向9xに分散し、高い確率で複数の粒状体51が独立して検出観察できる。したがって、検出部12において、吐出直前の液状体50に粒状体51が含まれていれば、その個数数だけではなく、それらの粒状体51の特徴、たとえば径大きさおよび形状などを計測できる。このため、その計測結果に基づいてピエゾ素子6を駆動させ、液状体50が吐出しない範囲で振動を与えたり、液状体50を吐出させたりすることにより、検出部12の粒状体51を適切な配置にして、指定した粒状体51のみを吐出させることが可能となる。この吐出装置1は、パーソナルコンピュータなどのホスト装置からの指示信号を駆動ユニット駆動装置、ドライバ2が受けて、ドライバ2が駆動パルスによりアクチュエータ6を駆動する。アクチュエータ6により、ガラス管20に設けられたキャビティ14の平坦な壁24aが変位し、キャビティ14の内容積が変動するのでキャビティ14の内圧が変化する。内圧の変化により、容器5から供給された液状体50が検出部12に供給され、さらに、検出部12に保持されていた液状体50はガラス管20の先端部分21に設けられたノズル開口11から液滴71として吐出される。その際、検出部12に保持されていた液状体50に粒状体51が混ざっていれば、ノズル開口11から粒状体51を含む液状体50が吐出される。吐出装置1は、ヘッド10の検出部12の粒状体51の個数などを検出できる検出ユニット7を備えており、制御ユニット75は、検出ユニット7の検出結果より、吐出直前の液状体50に含まれている粒状体51の個数などが所定の条件を満たさなければディスポーザ82へ捨て打ちし、吐出直前の液状体50に含まれている粒状体51の個数などが所定の条件を満たす場合のみターゲット81へ吐出するように制御する。このように、吐出装置1は、インクジェット方式のヘッド10により、種々の粒状体51を含む液状体50をターゲット81に吐出したり分注したりすることができ、その際、吐出直前の液状体50に含まれる粒状体51の個数などを検出できる。この明細書において、粒状体51とは、液状体50の中で独立して存在し、ガラス管20を介して、その存在を様々な方法により検出識別、認識できるものであればよい。典型的な検出方法は、光可視光、赤外光などを用いた画像処理を含むものであり、適当なレンズシステムにより拡大された画像を取得することも有効である。検出方法は、磁場、電場を利用した方法であってもよい。粒状体51の典型的なものとしては、細胞や遺伝子DNA、RNAなどの生物材料を含む粒状体粒子、微粒子を挙げることができる。粒状体51には、球状粒状だけでなく線状、その他の形状のものも含まれる。これらの粒状体51は、キャビティ14からノズル開口11に至るまでの間に詰まったり、偏在したりすることが多い。吐出装置1のヘッド10は、キャビティ14からノズル開口11に至るまで、検出部12を含めてヘッド10の主要な部分が1本のガラス管20によりシームレスに形成されている。このため、気泡などによる滞り、詰まりあるいは偏在が発生しにくく、細胞などの閉塞しやすい粒状体51であっても、液状体50に比較的一様に存在した状態でノズル開口11まで導くことができる。図2に、ヘッド10のガラス管20の構成形状を拡大して示している。図3および図4に、ガラス管20の概略構成を、長手方向中心軸9zに直交する第1の方向9x以降ではX方向と、中心軸9zおよび第1の方向9xに直交する第2の方向9y以降ではY方向とをそれぞれ含む断面により示している。このガラス管20の典型的なサイズは、外径0.5~5mm、厚み0.01~1mmである。ガラス管20は、先端のノズル開口11に向かって徐々に絞られた先端部分21と、その後方図2において上方でX方向に広くY方向に狭く扁平に成形された第1の扁平部22と、その後方でほぼ円筒状の第1の円筒部23と、その後方でX方向に広くY方向に狭く扁平に成形された第2の扁平部24と、その後方でほぼ円筒状の第2の円筒部25と、その後方で第2の円筒部25より狭くなるように絞られた絞部26と、その後方でガラス管20を供給管4に接続するためのほぼ円筒状の第3の円筒部27とを含む。第1の扁平部22と、第2の扁平部24とは異なる方向に扁平であってよい。たとえば第2の扁平部24はY方向に広くX方向に狭く扁平に成形されていてもよい。各部分をさらに詳しく説明すると、まず、ガラス管20の先端部分21は、図5に拡大して示すように、ガラス管20の先端をノズル開口11として適当なサイズまで絞った形状に成形されている。ノズル開口11の典型的な内径は15~200μmである。細胞などのμmオーダーの微小な粒状体51を吐出するためには、ノズル開口11から吐出される液状体50の1回の吐出量を、たとえば、plピコリットルオーダーからflフェムトリットルオーダーまで制御できることが望ましい。先端部分21の成形方法の1つは、加熱したガラス管20を前後方向長手方向に引っ張ることであるが、公知のガラス加工の様々な手法を用いることができ、加工方法を限定するものではない。先端部分21の後方の第1の扁平部22は、ガラス管20が外側から押し潰されるように成形され、内部に、扁平した、または箱型の空間を形成し、検出部12を構成する部分である。図6にその断面を拡大して示している。第1の扁平部22の典型的なサイズは、内部のY方向の最大高さ最大内径hが0.05~1.0mm、内部のX方向の最大幅Wiが0.3~10mm程度で、内部の長手方向9zの長さが1~20mmである。内部の最大幅Wiは1~3mm程度がさらに好ましい。検出部12に存在する粒状体を観察するようにX方向に広がった第1の側壁22aおよび第2の側壁22cは、板状であり、その壁厚tは、50~500μm程度が望ましく、50~300μm程度がさらに好ましい。また、第1の扁平部22は、外部の最大幅Woが0.55~7mm程度になるように成形されている。本例においては、第1の扁平部22は、ガラス管20を外側から押し潰すように成形され、内部に、扁平したほぼ長方形状の開口を備えた検出部12が形成されている。検出部12の内部の断面積と長さとにより規定される容量は、検出部12の利用方法を考える上で重要である。すなわち、検出部12に何回分の吐出量を保持するかにより、以下で説明する粒状体51の検出アルゴリズムが変わるからである。また、検出部12のY方向の最大高さ最大内径hは、検出部12に流入する粒状体51のサイズにより適宜選択されることが望ましい。すなわち、粒状体51のサイズたとえば直径に対して検出部12の最大高さ最大内径hが大きすぎると、検出部12の内部で粒状体51が重なって存在する可能性が増し、複数の粒状体51を個別に識別できない可能性が高くなる。一方、粒状体51のサイズに対して検出部12の最大高さ最大内径hが小さすぎると、検出部12が粒状体51の通過に対して抵抗となり、ノズル開口11から粒状体51がスムーズに吐出されにくくなる可能性がある。したがって、検出部12のY方向の最大高さ最大内径hと、識別対象の粒状体51の平均粒径直径rとが以下の条件を満たすことが望ましい。1.2≦h/r≦100.01.0条件1.0の上限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。h/r≦50.01.1また、条件1.0の下限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。1.4≦h/r1.2また、条件1.0の下限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。1.5≦h/r1.3また、検出部12のY方向の最大高さ最大内径hと、ノズル開口11の内径dとは以下の条件を満たすことが望ましい。0.5≦h/d≦20.03.0条件3.0の上限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。h/d≦15.03.1また、条件3.0の下限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。0.8≦h/d3.2この第1の扁平部22の成形方法の1つは、ガラス管20を加熱した後、上下方向長手方向に直交する方向からプレスすることである。ガラス管20を1次元方向前後方向、長手方向だけでなく、2次元方向上下方向、長手方向に直交する方向に押し広げた状態にプレス成形することにより、内部に扁平な空間を備えた検出部12が形成される。それとともに、ガラス管20の第1の扁平部22の第1の側壁22aの外側に平坦な面22bが形成され、第2の側壁22cの外側に平坦な面22dが形成される。この成形方法は1例であり、射出成形のように、金型型にガラス、樹脂などの管状部材を吹き出して所定の形状のガラス管20を成形することも可能であり、金属を圧延して所定の形状の管状部材を得てもよい。第1の側壁22aおよび第2の側壁22cは、平坦であっても、湾曲していてもよい。湾曲していればレンズ効果により検出部12の粒状体51が視認しやすい。一方、第1の側壁22aおよび第2の側壁22cが平坦で、内部の検出部12の最大高さ最大内径hが一様であれば箱型の検出部12が構成され、粒状体51が検出部12のX方向に均等に分散されやすい。したがって、検出部12に複数の粒状体51が存在する場合、それぞれを視認あるいは検出しやすい。第1の扁平部22の後方の第1の円筒部23は、検出部12とキャビティ14とを連通連絡するための第1の連絡路13を構成する部分である。図7にその断面を拡大して示しているように、第1の円筒部23は筒型で強度が高く、後述するキャビティ14が圧電素子6により変形しても、その形状変化の影響が第1の扁平部22に及びにくい。なお、キャビティ14の内圧の変化を検出部12に伝達し、検出部12の液状体50をノズル開口11から吐出させるためには、第1の円筒部23の内断面積は検出部12の内断面積とほぼ同じであることが望ましい。また、第1の円筒部23の代わりに、扁平な部分でキャビティ14と検出部12とを連通させてもよい。第1の円筒部23の後方の第2の扁平部24は、第1の扁平部22と同様に、内部に、扁平した箱型の空間を形成し、圧力室であるキャビティ14を構成する部分である。図8にその断面を拡大して示している。キャビティ14の平坦な壁24aの外側の面外面24bには、平板状の圧電素子ピエゾ素子、アクチュエータ6が取り付けられている。圧電素子6は、ITO、金属などの薄膜の電極6eとともにガラス管20に取り付けられ、電極6eを介して駆動パルス電圧駆動パルスを受けて伸縮し、キャビティ14の内容積を変動させる。なお、圧電素子6の典型的なものはピエゾ素子であり、ピエゾ素子6は、電極などを含めた公知の構成を備えている。第2の扁平部24の後方の第2の円筒部25は、キャビティ14と、その後方の開口面積を絞ったオリフィスとして機能する狭い流路16とを連通するための第2の連絡路15を構成する部分である。連絡路15は、キャビティ14に粒状体51を含む液状体50を供給するためのバッファとしても機能する。第2の円筒部25の後方の絞部26は、開口面積の狭い流路16を構成するための部分であり、図9に、その断面を示している。流路16の内径は、たとえば、20~200μmであり、キャビティ14の圧力変動がノズル開口11の側へ効率よく伝達され、キャビティ14の圧力変動が供給管4および容器5に伝播しにくいようになっている。絞部26の成形方法の1つは、加熱したガラス管20を前後方向長手方向に引っ張ることである。絞部26の後方の第3の円筒部27は、供給管4に連通するための第3の連絡路17を構成する部分である。これら先端部分21、第1の扁平部22、第1の円筒部23および第2の扁平部24は、1つのガラス管20を加工成形することにより形成されたものである。したがって、キャビティからノズル開口に至るまで1つのガラス管20によりシームレスに形成できるので、気泡などによる滞りや詰まりが発生しにくく、細胞などの粒状体51が付着して液状体50の流れが滞ったり、粒状体51が詰まるのを未然に防止できる。このため、底粘度から高粘度に至る多種多様な粒状体51および液状体50を吐出するのに適したヘッド10を提供できる。なお、上記ではガラス管20を用いているが、ガラス管20の代わりに透光性を備えた樹脂管およびセラミックス管を用いて同様の形態に形成することもでき、シームレスで、かつ、粒状体51の個数などを計測するのに適したヘッド10を低コストで提供できる。このように、ヘッド10は、ノズル開口11の後方に検出部12を備えているので、検出装置7によりノズル開口11から次に吐出される液状体50に含まれている粒状体51の個数を計測できる。検出装置7の一例を図4に示す。この検出装置7は、第1の扁平部22の第1の側壁22aに対峙するように配置された光源101と、光源101に対向し、第2の側壁22cに対峙するように配置された撮像部102と、撮像部102で取得された画像を処理する画像処理機構103とを備えている。光源101は、検出部12に存在する粒状体51を照明する。光源101の一例は、周期的な発光が可能ないわゆるストロボであって、たとえば、キセノンなどのハロゲンランプやLEDランプまたはブラックライト紫外線ライトなどの光源を用いることができる。光源101は、撮像部102の性能に応じて輝度の調整が可能であることが望ましい。撮像部102は、透明な第2の側壁22cを介して光源101により照明された粒状体51を画像認識する。撮像部102の一例は、撮像素子CCD、CMOSと、光学レンズとを備えたカメラである。光学レンズは、焦点距離を調整可能であるとともに、撮像倍率を変えることができ、吐出された微小な粒状体51の複数個を同時に撮像できる範囲で撮像倍率を設定できることが望ましい。画像処理機構103は、撮像部102により取得された画像を解析し、検出部12における粒状体51の有無および個数を判断する。画像処理機構103の一例は、並列演算処理機構を備えたものであり、並列演算処理機構の一例はCMOSセンサの1画素に位置演算素子を対応させることにより高速画像処理を可能にしたものである。検出部12は、扁平で、先端部分21および第1の円筒部23よりもX方向に幅広く、Y方向に狭くなるように成形されている。したがって、検出部12では、液状体50に含まれている細胞などの粒状体51が複数存在すれば、それらがX方向に分散して広がり、第1の側壁22aおよび第2の側壁22cの間に重ならない状態で存在しやすい。このため、このヘッド10においては、検出部12に複数の粒状体51が存在したときに、それらを第1の側壁22aおよび第2の側壁22cの外側から分離して検出しやすく、複数の粒状体51が存在しているか否かを識別しやすい。したがって、このヘッド10を備えた吐出装置1によれば、ノズル開口11の直上直ぐ上流の検出部12で粒状体51の有無および個数を観察することにより、ノズル開口11から液状体50を吐出分注する前に、次に吐出する液状体50液滴71に粒状体51が含まれるか否か、また、含まれる粒状体51の個数を検出装置7により識別できる。このため、所望の個数の粒状体51を含む液状体50のみをターゲット81に吐出し、その他の場合はディスポーザ82に捨て打ちすることができる。したがって、この吐出装置1によれば、ターゲット81に対し条件を満足する液滴粒状体を含む71のみを選択して吐出でき、吐出精度を向上させやすい。このため、複数のウェルを備えたマイクロプレートターゲットに対して粒状体51を含む液滴71を分注したときに、実験などの条件に合致せず無駄になるウェルの存在を大幅に低減できる。図10に、ヘッド10の異なる例を示している。このヘッド10のガラス管20は円筒状の検出部12を備えている。すなわち、ガラス管20は、先端部分21の後方であって第1の円筒部23の前方に、検出部12となる第4の円筒部28を含む。したがって、粒状体51のサイズが比較的大きく、たとえば粒状体51の粒径直径rが10μm以上の場合には、ガラス管20が外側から押し潰されるように成形された第1の扁平部22の代わりに、円筒状のままの第4の円筒部28を設けることにより、粒状体51を検出できる。ヘッド10の他の構成については上述したヘッドと共通するので説明を省略する。一方、粒状体51の粒径直径rが10μm未満の場合には、検出部12の内部で粒状体51が重なって存在する可能性が増し、複数の粒状体51を個別に識別できない可能性が高くなるため、ガラス管20が外側から押し潰されるように成形された第1の扁平部22を設けることが望ましい。また、粒状体51の粒径直径rが5μm以下の場合には、第1の扁平部22を設けることがさらに望ましい。図11に、ヘッド10を備えた吐出装置1により、所定の条件の粒状体51を含む液滴71をターゲット81に吐出する方法をフローチャートにより示している。図11では、粒状体51を1つのみ含む液滴71をターゲット81に吐出する際に、吐出装置1の制御ユニット75が検出装置7、駆動装置2を用いてピエゾ素子6および移動用の第2のアクチュエータ79および/または第3のアクチュエータ89を制御するアルゴリズムの一例を示している。図12に検出部12の状態を示している。この例では、図12に示すように、検出部12は、3回の吐出量を保持する容量を備えており、検出部12の内部は、次にノズル開口11から吐出される部分第1の領域31と、その次すなわち2回目に吐出される部分第2の領域32と、さらにその次すなわち3回目に吐出される部分第3の領域33とに形式的に分割されている。これらの領域31~33は、図12に、ヘッド10の検出部12を先端のノズル開口11から後端29に向かって、明確に分離されているように記載されているが、これらは画像解析のために設定された領域であり、仮想的なものである。ステップ60において吐出指示がホスト装置から出力されると、制御ユニット75は、ステップ61および63において、検出装置7により検出部12を介して粒状体51を検出する。まず、ステップ61において、検出部12のもっともノズル開口11の側の第1の領域31で粒状体51が検出されないか0個検出または2個以上検出されると、ステップ62において、制御ユニット75は、アクチュエータ79および/または89を用いてノズル開口11をディスポーザ82に向け、駆動装置2を用いて捨て打ちする。図12aに、第1の領域31に粒状体51が0個、すなわち、検出されない場合を示している。また、図12bに、第1の領域31に粒状体51が2個存在する様子を示している。第1の領域31は、次にノズル開口11から吐出される液状体50が保持されている領域であり、第1の領域31に粒状体51が0個または2個以上存在する場合に、捨て打ちすることにより、ターゲット81に粒状体51が入らない、または2個以上供給されることを防止できる。ステップ61と同時に、あるいは前後して、ステップ63において、第1の領域31に続いて次に吐出される第2の領域32に粒状体51が1つ以上計測されると、ステップ62において、制御ユニット75は、アクチュエータ79および/または89を用いてノズル開口11をディスポーザ82に向け、駆動装置2を用いて捨て打ちする。図12cに、第1の領域31に粒状体51が1個存在し、第2の領域32にも粒状体51が1個存在する様子を示している。第1の領域31に隣接した第2の領域32に粒状体51が存在すると、次の吐出で第1の領域31の粒状体51とともに第2の領域32の粒状体51が吐出され、2つの粒状体51を含む液滴71がターゲット81に吐出される可能性がある。したがって、第2の領域32をバッファ緩衝領域として利用し、第2の領域32に粒状体51が含まれる場合は、第1の領域31の液状体50を捨て打ちし、吐出精度をさらに向上させている。ステップ61および63の捨て打ちの条件が成立しない場合は、制御ユニット75は、ステップ64において、アクチュエータ79および/または89を用いてノズル開口11をターゲット81に向け、駆動装置2を用いて、第1の領域31の液状体50をターゲット81に吐出する。ステップ61および63の捨て打ちの条件が成立しない場合とは、第1の領域31に粒状体51が1つだけ検出され、かつ、第2の領域32に粒状体51が全く検出されない場合である。図12dに、その状態を示している。バッファ領域である第2の領域32を含めて粒状体51が1つだけ存在するので、ステップ64において、粒状体51が1つだけ含まれている液滴71をターゲット81に向けて吐出できる可能性が高い。粒状体51を吐出した後に、ステップ65において、制御ユニット75は、さらに、検出装置7を用いて、粒状体51が第1の領域31で検出されるか否かを判断する。第1の領域31で粒状体51が検出されなければ、制御ユニット75は、ターゲット81に対し、所定の条件、すなわち、1つの粒状体51を含む液滴71が吐出されたと判断して、ステップ67において、他に粒状体51を吐出するターゲット81があるか否かを判断する。他にターゲットがあれば、ステップ68において、他のターゲットに変更してステップ60に戻る。ステップ67において他にターゲットがなければ、終了する。一方、ステップ65において、第1の領域31で粒状体51が検出されれば、制御ユニット75は、ターゲット81に対し、粒状体51を含む液滴71が吐出されなかったと判断する。ターゲット81に対して液状体50の吐出を重ねてもよい場合は、ステップ66において、ターゲットを変えずにステップ60に戻り、ステップ61および63の検出部12の条件を再確認してから、ステップ64において再吐出する。液状体50の吐出を重ねてもよい場合、第1の領域31の容積Q1は、ノズル開口11から吐出される液滴71の体積qに対し、以下の条件Aを満たすことが望ましい。1≦Q1/q≦1000Aまた、第2の領域32の容積Q2は、以下の条件Bを満たすことが望ましい。0≦Q2/q≦1000B液状体50の中の粒状体51の濃度が低い場合や、第1の領域31の容積Q1が液滴71の体積qに対して大きい場合などのケースでは、第2の領域32を設けなくてもよい。上記Aの条件の場合、第1の領域31に存在する粒状体51は、Q1/q回の吐出により捨て打ちされ、あるいはターゲット81に吐出される。したがって、ステップ62および64において、一度吐出する毎にステップ60に戻って検出部12の状態を確認してもよく、最大Q1/q回の吐出を行った後、ステップ60に戻ってもよい。また、ステップ62において捨て打ちする代わりに、駆動装置2により圧電素子6をノズル開口11から液滴71が吐出されない程度に動かしてキャビティ14の内圧を変動させ、検出部12の状態を変化させてもよい。駆動装置2から圧電素子ピエゾ素子6に印加する駆動電圧を制御することによりキャビティ14の内圧変化を制御し、吐出しない程度の圧力で検出部12の状態を変化させ、検出部12の粒状体51の分布や位置を変えることができる。さらに、制御ユニット75は、ステップ62において捨て打ちしたり、ステップ64においてターゲット81に液滴71を吐出させる際に、駆動装置2により圧電素子6を引き打ち方式の駆動パルスではなく、押し打ち方式の駆動パルスで駆動することが望ましい。引き打ち方式とは、たとえば定常状態で圧電素子6に電圧を印加してキャビティ14の体積が減少する状態に保ち、吐出直前に一旦印加電圧を低下させてキャビティ14の体積が増加する状態にし、再度電圧を印加してキャビティ14の体積を減少させるようにして液滴71を吐出させる方式である。一方、押し打ち方式とは、定常状態では圧電素子6に電圧が印加されておらず、液滴71の吐出時に電圧を印加して圧電素子6を変形させ、キャビティ14を加圧して液滴71を吐出させる方式である。したがって、引き打ち方式であると、いったん、ノズル開口11のメニスカスを引き込むので、検出部12の内部までメニスカスが引き込まれる可能性があり、検出部12の内部状態が大きく変動する。このため、ステップ61および63において確認した検出部12の状態が変化し、吐出される液滴71に予期しない個数の粒状体51が含まれる可能性が高くなる。一方、押し打ち方式であれば、ノズル開口11のメニスカスはほとんど引き込まれないので、検出部12の状態の変動は少なく、予定した個数の粒状体51を含む液滴71を吐出できる確率が高くなる。駆動装置2は、さらに、押し打ち方式の駆動パルスを圧電素子6に供給した直後に、メニスカスの動きをキャンセルするパルスを圧電素子6に供給することが望ましい。メニスカスの動きを最小限に抑えることにより、検出部12の内部の状態を早期に安定させることができ、粒状体51が第1の領域31、第2の領域32および第3の領域33を超えて拡散することを抑制できる。さらに、1回の吐出あたりの液状体50の体積に対して粒状体51の濃度が高すぎると、捨て打ちされる粒状体51の個数が増し、高コストになりやすい。一方、1回の吐出あたりの液状体50の体積に対して粒状体51の濃度が低すぎると、粒状体51の個数を所定の条件に合致させるために捨て打ちする回数が増し、ターゲット81に向けて吐出するのに要する時間を短縮化しにくい。したがって、1回あたり以下の条件を満たす体積qの液滴71をノズル開口11から吐出することが望ましい。0.0001≦D×q≦3.05.0ただし、Dは液状体50の単位体積当たりに含まれる粒状体51の個数を表す。条件5.0の上限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。D×q≦2.05.1また、条件5.0の上限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。D×q≦1.05.2また、条件5.0の下限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。0.001≦D×q5.3また、条件5.0の下限は以下の条件を満たすことがさらに望ましい。0.01≦D×q5.4図13に、ヘッド10のさらに異なる例を示している。このヘッド10のガラス管20は円筒状のキャビティ14を備えている。すなわち、ガラス管20は、第1の円筒部23の後方であって第2の円筒部25の前方に、キャビティ14となる第5の円筒部34を含む。キャビティ14の筒状の壁34aの外側の面外面34bには、電極6eを介して円筒状の圧電素子6が取り付けられている。したがって、ガラス管20と円筒状の圧電素子6とを組み合わせたいわゆるグールドタイプのヘッド10においても、キャビティ14とノズル開口11との間に、粒状体51を検出するための検出部12を設けることができる。ヘッド10の他の構成については上述したヘッドと共通するので説明を省略する。このように、キャビティ14の構造にかかわらず、キャビティ14とノズル開口11との間に検出部12を設けることにより、粒状体51を所定の条件で含む液滴71を選択的にターゲット81に吐出できる。また、ヘッド10のガラス管20には、圧電素子6の代わりにヒーターを取り付け、キャビティ14の内圧を気泡により変動させるサーマルタイプのインクジェット方式を採用することも可能である。また、上記では、粒状体51を1つ含む液滴71を吐出する例に基づき制御ユニット75の制御アルゴリズムの例を説明したが、粒状体51をn個nは任意の整数だけ含む液滴71を吐出するようなアルゴリズムであってもよい。図14に、ヘッド10のさらに異なる例を断面図により示している。このヘッド10のキャビティ14は、両側の壁が狭められた状態に成形されており、ピエゾ素子6が取り付けられた平坦な外面24bの第1の壁24aに対向した反対側の位置に、反対側の平坦な外面24dを備えた第2の壁24cを備えている。このヘッド10においては、第2の壁24cの外側の面24dに第1の壁24aに取り付けられたピエゾ素子第1のピエゾ素子6とは独立して駆動される第2のピエゾ素子8が、第1のピエゾ素子6とY方向に対峙しないように位置をずらして取り付けられている。第1のピエゾ素子6と、第2のピエゾ素子8とには、駆動装置2からタイミング、パルス幅、パルス高さなどが異なる駆動パルス2p1および2p2をそれぞれ供給することが可能である。たとえば、タイミングの異なる駆動パルス2p1および2p2を供給したり、駆動パルス2p1および2p2によりピエゾ素子6および8が変形変位する時間を変更したりすることにより、ヘッド10の内部に保持される液状体50を媒体媒質としてキャビティ14からノズル開口11に向かって伝播する進行波を作ることができる。したがって、この進行波により、図15に示すように、第2の領域32に存在する粒状体51を第1の領域31、さらにはノズル開口11に向けて移動させることができる。なお、第1のピエゾ素子6と第2のピエゾ素子8とは、第1の壁24aと第2の壁24cとに分けてY方向に対峙するように取り付けても良く、第1の壁24aまたは第2の壁24cのいずれか一方に長手方向9zの位置をずらして取り付けても良い。なお、粒状体51および液状体50を吐出するターゲットとしては、たとえば、マイクロプレートウェルマイクロプレート、ガラス基板、試験管、シャーレなどの公知の実験検査器具や、多数のDNA断片をプラスチックやガラスなどの基板上に高密度に配置したDNAマイクロアレイDNAチップなどの分析器具も本発明の範囲に含まれる。