複数の永久磁石と、前記複数の永久磁石が列を成すように前記複数の永久磁石を凹部または貫通孔からなる永久磁石保持部に保持する磁石ホルダとを有するリニアモータ用可動子において、前記磁石ホルダには、前記リニアモータ用可動子の移動方向の両端部から突出して前記リニアモータ用可動子の移動方向に延びる複数のシャフトがそれぞれ取り付けられており、前記複数のシャフトがリニアモータ用固定子の支持部に摺動自在に支持されているリニアモータ用可動子。前記複数のシャフトの前記複数の永久磁石のそれぞれの両磁極面が対向する磁極面対向方向の寸法は、前記磁石ホルダの前記寸法より大きく、前記磁石ホルダには、前記複数のシャフトが嵌合構造により取付けられている請求項1に記載のリニアモータ用可動子。複数の永久磁石と、前記複数の永久磁石が列を成すように前記複数の永久磁石を凹部または貫通孔からなる永久磁石保持部に保持する磁石ホルダとを有するリニアモータ用可動子において、前記磁石ホルダには、前記リニアモータ用可動子の移動方向の両端部から突出して前記移動方向に延びる一対のブロック部と、前記一対のブロック部の前記リニアモータ用可動子の移動方向の両端部から突出して前記移動方向にそれぞれ延びる複数のシャフトとが取り付けられており、前記複数のシャフトがリニアモータ用固定子の支持部に摺動自在に支持されているリニアモータ用可動子。前記ブロック部の前記複数の永久磁石のそれぞれの両磁極面が対向する磁極面対向方向の寸法は、前記磁石ホルダの前記寸法より大きく、前記一対のブロック部の一方のブロック部と前記一方のブロック部から突出する複数のシャフトとが一体に成形されており、前記一対のブロック部の他方のブロック部と前記他方のブロック部から突出する複数のシャフトとが一体に成形されており、前記磁石ホルダには、前記一対のブロック部が嵌合構造によりそれぞれ取付けられている請求項3に記載のリニアモータ用可動子。前記ブロック部の前記複数の永久磁石のそれぞれの両磁極面が対向する磁極面対向方向の寸法は、前記磁石ホルダの前記寸法より大きく、前記磁石ホルダと前記一対のブロック部と前記一対のブロック部からそれぞれ突出する前記複数のシャフトとが一体に成形されている請求項3に記載のリニアモータ用可動子。しかしながら、従来のリニアモータ用可動子では、ステータ側の巻線の熱で磁石ホルダが加熱されて膨張すると、磁石ホルダから一対のレールに力が加わり、更に一対のレールがリニアモータ用固定子の支持部に強く接触し、リニアモータが正確な往復運動を行えなくなるという問題があった。また、従来のリニアモータ用可動子では、磁石ホルダに取付けた一対のレールをリニアモータ用固定子側の支持部に摺動自在に支持させた場合、熱吸収クリアランスをモータの固定子または可動子に設ける必要があり、モータの構造が複雑になり、可動子の支持構造のコストが高くなるという問題があった。本発明の目的は、磁石ホルダが熱膨張しても、磁石ホルダから一対のレールに加わる力を抑制できるリニアモータ用可動子を提供することにある。本発明の他の目的は、磁石ホルダの撓みを防止でき、しかも、軽量化を図ることができるリニアモータ用可動子を提供することにある。本発明の他の目的は、リニアモータ用可動子のリニアモータ用固定子側の支持部への支持構造を簡単にして、可動子の支持構造を安価に形成できるリニアモータ用可動子を提供することにある。本願の発明が対象とするリニアモータ用可動子は、複数の永久磁石と、磁石ホルダと、一対のレールとを備えている。磁石ホルダは、複数の永久磁石が列を成すように複数の永久磁石を凹部または貫通孔からなる永久磁石保持部に保持する板状を呈している。言い換えると、磁石ホルダは、複数の永久磁石がそれぞれ嵌合される複数の凹部または貫通孔からなる永久磁石保持部が列を成すように形成されて構成されている。一対のレールは、磁石ホルダに取付けられてリニアモータ用固定子の支持部に摺動自在に支持される。言い換えると、一対のレールは、永久磁石保持部の列に沿い且つこの列が間に位置するように磁石ホルダに取り付けられている。そして一対のレールは、リニアモータ用固定子の支持部に摺動可能に支持される。そして本発明では、磁石ホルダが、磁石ホルダの熱膨張により磁石ホルダから一対のレールに加わる力を吸収する熱膨張吸収用空隙部を有している。見方を変えると、磁石ホルダには、磁石ホルダの熱膨張により磁石ホルダの内部に発生する応力が、磁石ホルダから一対のレールに加わるのを抑制するように磁石ホルダの熱膨張分を吸収する熱膨張吸収用空隙部が形成されている。本発明のように、磁石ホルダに熱膨張吸収用空隙部を設けると、磁石ホルダが加熱されて膨張しても、熱膨張分の一部は熱膨張吸収用空隙部内に膨出して吸収されることになって、結果として磁石ホルダから一対のレールに力が加わる力が熱膨張吸収用空隙部の存在により抑制される。そのため、リニアモータ用固定子の支持部に対して一対のレールが接触する力圧力が必要以上に大きくなるのを抑制することができ、リニアモータは正確な往復運動を行うことができる。熱膨張吸収用空隙部は、磁石ホルダの一対のレールと対向する対向部分において、磁石ホルダから一対のレールに向かう方向と複数の永久磁石のそれぞれの両磁極面が対向する磁極面対向方向とに開口する複数の凹部空隙形成用凹部により形成することができる。言い換えると、熱膨張吸収用空隙部は、一対のレールと直交する方向の一方側に向かって開口し且つ一対のレールと直交する方向及びレールが延びる方向の両方向と直交する方向の両側に開口する複数の空隙形成用凹部から構成することができる。これら複数の空隙形成用凹部は、レールに沿って所定の間隔をあけて形成される。そして空隙形成用凹部の両側には、レールと当接する複数の当接部が形成される。このようにすれば、磁石ホルダが加熱されると、複数の空隙形成用凹部の内側の壁部分が凹部内に向かって膨張または膨出しやすくなり、磁石ホルダと一対のレールとが接触する部分の膨張率膨張により変形する割合が減少する。そのため、磁石ホルダから一対のレールに加わる力を小さくすることができる。このような熱膨張吸収用空隙部を形成すると、磁石ホルダの一対のレールと対向する対向部分に複数の空隙形成用凹部が形成されることにより、これら複数の凹部と交互に配置されて一対のレールにそれぞれ当接する複数の当接部が形成されることになる。この場合、レールは、複数の当接部に対して固定手段により固定される。固定手段としては、種々の公知の手段を用いることができる。例えば、一対のレールに設けた複数の貫通孔からそれぞれ挿入されて、磁石ホルダの当接部に設けた複数の螺子孔に螺合される螺子により、磁石ホルダに一対のレールを取付けることができる。この場合、螺子孔は、複数の当接部に形成されることになる。このようにすれば、一対のレール部を螺子を用いて磁石ホルダにしっかりと取付けることができる。磁石ホルダは、永久磁石保持部を有するホルダ本体と、ホルダ本体に固定されて一対のレールがそれぞれ取り付けられる一対の補強部とを有するように構成することができる。この場合、ホルダ本体は、一対の補強部より比重が小さい非磁性体材料により形成し、一対の補強部は、ホルダ本体より高い剛性を有している。このようにすれば、ホルダ本体が一対の補強部より比重が小さい非磁性体材料により形成されるので、永久磁石のN極とS極との磁束短絡を防ぐことができる。また、ホルダ本体の重量を軽減することにより、磁石ホルダ全体の軽量化を図ることができる。また、一対の補強部により、磁石ホルダ自体が撓むのを抑制できる。一対の補強部を設ける場合には、熱膨張吸収用空隙部を構成する複数の凹部は、一対の補強部に形成することができる。この場合、ホルダ本体及び一対の補強部が加熱されて膨張すると、ホルダ本体から一対の補強部に加わる力と、一対の補強部が膨張して発生する力とを合わせた力が、一対のレール側に作用することになる。しかしながら本発明によれば、複数の凹部の内側の壁部分が空隙部内に向かって膨張または膨出し、磁石ホルダと一対のレールとが接触する部分の膨張率膨張により変形する割合が減少する。そのため、磁石ホルダから一対のレールに加わる力を小さくすることができる。熱膨張吸収用空隙部は、永久磁石保持部と磁石ホルダの一対のレールと対向する対向部分との間において、磁石ホルダを貫通する複数の貫通孔により形成することができる。言い換えると、熱膨張吸収用空隙部は、一対のレールと直交する方向及びレールが延びる方向の両方向と直交する方向の両側に向かって開口する複数の空隙形成用貫通孔から構成することができる。この場合、複数の空隙形成用貫通孔は、レールに沿って所定の間隔をあけて形成される。このような構成でも、磁石ホルダが加熱されると、複数の貫通孔の内側の壁部分が貫通孔内に向かって膨張しやすくなり、磁石ホルダの一対のレールと接触する部分の膨張率が減少する膨張による変形が小さくなる。そのため、磁石ホルダから一対のレールに加わる力が抑制される。ホルダ本体は、アルミまたは合成樹脂から形成し、一対の補強部は、鉄または鉄合金から形成することができる。このような材料を用いれば、安価で容易に磁石ホルダを形成できる。また磁石ホルダと一対のレール部との間には、それぞれ弾性体を配置してもよい。このような弾性体を配置すると、熱膨張により、磁石ホルダから一対のレールに加わる力を、弾性体で吸収することができるので、さらに一対のレールに加わる力を抑制することができる。本願の他の発明が改良の対象とするリニアモータ用可動子は、複数の永久磁石と、該複数の永久磁石が列を成すように複数の永久磁石を凹部または貫通孔からなる永久磁石保持部に保持する磁石ホルダとを有している。本発明では、磁石ホルダにリニアモータ可動子の移動方向の両端部から突出してリニアモータ用可動子の移動方向に延びる複数のシャフトをそれぞれ取り付ける。そして、複数のシャフトをリニアモータ用固定子の支持部に摺動自在に支持する。このようにすれば、複数のシャフトをリニアモータ用固定子側の支持部に摺動自在に支持させることができるので、リニアモータ用可動子のリニアモータ用固定子側の支持部への支持構造を簡単にして、可動子の支持構造を安価に形成できる。また、複数のシャフトを固定子側に支持させるため、磁石ホルダの側面に位置検出用のセンサスケールを取付けることができる。複数のシャフトの複数の永久磁石のそれぞれの両磁極面が対向する磁極面対向方向の寸法は、磁石ホルダの寸法より大きくするのが好ましい。このようにすれば、磁石ホルダを最大限に軽量化できる上、複数のシャフトをリニアモータ用固定子の支持部にしっかりと支持することができる。この場合、磁石ホルダには、複数のシャフトを嵌合構造により取付けることができる。このようにすれば、既存の磁石ホルダに複数のシャフトを容易に取付けることができる。また、磁石ホルダに、リニアモータ用可動子の移動方向の両端部から突出して移動方向に延びる一対のブロック部と、一対のブロック部のリニアモータ用可動子の移動方向の両端部から突出して移動方向にそれぞれ延びる複数のシャフトとを取り付けることもできる。このようにすれば、一対のブロック部を介して、磁石ホルダに複数のシャフトを取付けるので、一対のブロック部の磁石ホルダへの取り付けを強固にすることで、磁石ホルダに複数のシャフトをしっかりと取付けることができる。この場合、ブロック部の複数の永久磁石のそれぞれの両磁極面が対向する磁極面対向方向の寸法を磁石ホルダの前述の寸法より大きくする。そして、一対のブロック部の一方のブロック部と一方のブロック部から突出する複数のシャフトとを一体に成形し、一対のブロック部の他方のブロック部と該他方のブロック部から突出する複数のシャフトとを一体に成形することができる。この場合、磁石ホルダには一対のブロック部を嵌合構造によりそれぞれ取付ければよい。このようにすれば、磁石ホルダに複数のシャフトを容易に且つしっかりと取付けることができる。ブロック部の複数の永久磁石のそれぞれの両磁極面が対向する磁極面対向方向の寸法を磁石ホルダの寸法より大きくし、磁石ホルダと一対のブロック部と一対のブロック部からそれぞれ突出する複数のシャフトとを一体に成形することもできる。このようにすれば、部品点数を減らして、可動子全体の強度を高くすることができる。本発明によれば、磁石ホルダが熱膨張吸収用空隙部を有しているので、磁石ホルダが加熱されて膨張しても、膨張分は熱膨張吸収用空隙部内に膨出することになり、磁石ホルダから一対のレールに加わる力が、熱膨張吸収用空隙部の存在により抑制される。そのため、リニアモータが正確な往復運動を行うことができる。以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態を説明する。図1は、本発明の第1の実施の形態のリニアモータ用可動子を用いたリニアモータの断面図であり、図2は、図1のIIII線断面図である。両図に示すように、このリニアモータは、ケース1と、リニアモータ用固定子3と、リニアモータ用可動子5とを有している。ケース1は、非磁性材料例えばアルミニューム製の一対のエンドブラケット7及び9を備えている。エンドブラケット7及び9は、後述する固定子3の固定子コア11の両端に固定されている。固定子3は、シリンダ型の固定子コア11と3つの励磁巻線13とを有している。本例のリニアモータ用可動子5は、図1~図4に示すように、磁石ホルダ15と、7個の永久磁石17と、一対のレール19とを有している。なお、図3及び図4は、可動子5の組立て前の平面図及び側面図である。磁石ホルダ15は、板形状を有しており、ホルダ本体21と、ホルダ本体21に固定された一対の補強部23とを有している。ホルダ本体21は、輪郭が矩形状に近い板形状を有しており、鉄等からなる一対の補強部23よりも比重が小さく、一対のレール19の線膨張係数よりも大きい線膨張係数を有するアルミの非磁性体材料により形成されている。一対の補強部23は、レールに沿って細長く延びる形状を有しており、ホルダ本体21の長手方向と直交する直交方向幅方向の両端部にインサート成形により固定されている。この一対の補強部23は、ホルダ本体21より高い剛性を有する鉄または鉄合金により形成されている。一対の補強部23は、ホルダ本体21側に向かって開口する凹部23aをそれぞれ有している。一対の凹部23aの横断面形状は、それぞれ台形形状を有している。この凹部23aの横断面形状の台形形状は、上底よりも寸法が大きい下底が対応するレール側に位置している。本例では、一対の補強部23をインサートとして、金型にアルミまたは合成樹脂の非磁性体材料を鋳込んで硬化させることにより、一対の補強部23が固定されるホルダ本体21を形成している。磁石ホルダ15は、ホルダ本体21の中央部に、永久磁石保持部25を有している。永久磁石保持部25は、磁石ホルダ15の長手方向に並ぶ7つの貫通孔27により構成されている。貫通孔27は、磁石ホルダ15の長手方向レールが延びる方向と該長手方向と直交する幅方向レールが延びる方向と直交し一対のレールに向かう方向にそれぞれ延び、厚み方向長手方向と幅方向の両方と直交する方向にホルダ本体21を貫通する角柱形状を有している。7つの貫通孔27には、7個の永久磁石17がそれぞれ嵌合されて保持されている。7個の永久磁石17は、隣接する2つの永久磁石17の外側表面に現れる極性が異なるように、7つの貫通孔27内にそれぞれ嵌合されている。これにより、7個の永久磁石17は、列を成すように磁石ホルダ15に保持されることになる。磁石ホルダ15は、一対の補強部23の一対のレール19と対向する対向部分に3つの空隙形成用凹部29をそれぞれ有している。これらの凹部29は、磁石ホルダ15からレール19に向かう方向と永久磁石17の両磁極面が対向する磁極面対向方向とに開口している。言い換えると、凹部29は、一対のレールと直交する方向幅方向の一方側に向かって開口し且つ一対のレールと直交する方向幅方向及びレールが延びる方向長手方向の両方向と直交する方向厚み方向の両側に開口している。1つの補強部23には、3つの凹部29が形成されることにより、3つの凹部29と交互に配置されてレール19にそれぞれ当接する4つの当接部21aが形成されている。本例では、3つの凹部29により、磁石ホルダ15の熱膨張分を吸収することにより、磁石ホルダ15から一対のレール19に加わる力を吸収する熱膨張吸収用空隙部が構成されている。一対のレール19は、ステンレスから形成されており、磁石ホルダ15より長さ寸法の大きい細長い形状を有している。この一対のレール19は、長手方向の中央領域が磁石ホルダ15の一対の補強部23にそれぞれ取付けられている。具体的には、図3の磁石ホルダ15の左上において破線で示すように、一対のレール19を貫通する貫通孔19aを貫通して、一対の補強部23の当接部21aに形成された螺子孔23aに螺合される螺子31により、一対のレール19は、磁石ホルダ15の一対の補強部23にそれぞれ取付けられている。一対のレール19は、長手方向に延びる一対の溝部19bをそれぞれ有している。一対のレール19の一対の溝部19bは、エンドブラケット7及び9に設けられた支持部7a及び9aにそれぞれ摺動自在に支持されている図1及び図2参照。これにより、リニアモータ用可動子は、固定子3に対して往復運動を行う。本例のリニアモータ用固定子3では、図5に示すように、固定子の巻線からの熱で、ホルダ本体21及び一対の補強部23が加熱されると、ホルダ本体21から一対の補強部23に加わる力と、一対の補強部23が膨張して発生する力とを合わせた力が一対のレール19に加わることになる。このような合せた力が一対のレール1側に作用すると、凹部29の内側の壁部分が凹部29内に向かって膨張または膨出しやすくなり矢印F1、磁石ホルダ15と一対のレール19とが接触する当接部の部分の膨張率膨張により変形する割合が減少する矢印F2。そのため、磁石ホルダ15から一対のレール19に加わる力を小さくすることができる。特に本例では、ホルダ本体21は、一対のレール19の線膨張係数よりも大きい線膨張係数を有しているので、一対の補強部23に加わる力が大きい上、一対の補強部23も熱膨張するが、これらの熱膨張によって発生する内部応力の多くは、凹部29内に向かうことになる。また、本例では、熱膨張吸収用空隙部凹部29は、磁石ホルダ15の外側に開口しているので形成が容易である。また、本例のリニアモータ用固定子3では、ホルダ本体21の重量を軽減することにより、磁石ホルダ1全体の軽量化を図ることができる。また、一対の補強部23により、磁石ホルダ15が撓むのを抑制できる。なお、磁石ホルダ15と一対のレール部19との間には弾性体を配置することができる。このような弾性体を配置すると、熱膨張により、磁石ホルダ15から一対のレール19に加わる力を、弾性体で吸収することができるので、さらに一対のレール19に加わる力を抑制することができる。図6は、本発明の第2の実施の形態のリニアモータ用可動子の組立て前の平面図である。本例のリニアモータ用可動子は、熱膨張吸収用空隙部以外は、第1の実施の形態のリニアモータ用可動子と同じ構造を有している。本例のリニアモータ用可動子の熱膨張吸収用空隙部は、磁石ホルダ115を貫通する複数の空隙形成用貫通孔129により構成されている。貫通孔129は、永久磁石保持部125と一対の補強部123一対のレール119と対向する対向部分との間の領域に、レールに沿って8つずつ形成されている。本例では、貫通孔129は、ホルダ本体121の一対の補強部123と隣接する部分に、ホルダ本体121を厚み方向に貫通するように形成されている。図7は、本発明の第3の実施の形態のリニアモータ用可動子の永久磁石を除いた状態の斜視図である。本例のリニアモータ用可動子は、磁石ホルダ215と4本のシャフト219とを有している。磁石ホルダ215は、矩形の板形状を有しており、アルミにより形成されている。磁石ホルダ215は、中央部に、永久磁石保持部225を有している。永久磁石保持部225は、磁石ホルダ215の長手方向に並ぶ7つの貫通孔227により構成されている。貫通孔227は、磁石ホルダ215の長手方向と直交方向に延びる矩形状を有している。7つの貫通孔227には、図示しない7個の永久磁石がそれぞれ嵌合されて保持されている。7個の永久磁石は、隣接する2つの永久磁石の外側表面に現れる極性が異なるように、7つの貫通孔227内にそれぞれ嵌合されている。これにより、7個の永久磁石は、列を成すように磁石ホルダ215に保持されることになる。また、磁石ホルダの側面には、位置検出用のセンサスケール216が取付けられている。4つのシャフト219は、ステンレスからなり、円柱形状を有している。シャフト219は、磁石ホルダ215の厚み方向永久磁石の両磁極面が対向する方向の寸法より大きな径寸法を有している。このシャフト219の一方の端部には、シャフトの径方向に延びる溝状の嵌合凹部219aが形成されている。4つのシャフト219の内、2つのシャフト219の嵌合凹部219aは、磁石ホルダ215のリニアモータ用可動子の移動方向の一方の端部に嵌合され、別の2つのシャフト219の嵌合凹部219aは、磁石ホルダ215のリニアモータ用可動子の移動方向の他方の端部に嵌合されている。これにより、4つのシャフト219は、リニアモータ用可動子の移動方向における磁石ホルダ215の両端部から2本ずつ突出して、リニアモータ用可動子の移動方向に延びている。そして、4つのシャフト219は、リニアモータ用固定子の支持部に摺動自在に支持されている。また、磁石ホルダ215の貫通孔227の内面には、磁石ホルダ215内の貫通孔を貫通してシャフト219内の螺子孔に螺合する螺子231が取り付けられている。本例では、前述の嵌合構造と、螺子231とにより、磁石ホルダ215に4つのシャフト219が取付けられている。本例のリニアモータ用可動子によれば、シャフト219をリニアモータ用固定子側の支持部に摺動自在に支持させることができるので、リニアモータ用可動子のリニアモータ用固定子側の支持部への支持構造を簡単にでき、可動子の支持構造を安価に形成できる。また、シャフト219を固定子側に支持させるため、磁石ホルダの側面に位置検出用のセンサスケール216を取付けることができる。図8は、本発明の第4の実施の形態のリニアモータ用可動子の永久磁石を除いた状態の斜視図である。本例のリニアモータ用可動子は、磁石ホルダ315と一対のブロック部318と4つのシャフト319とを有している。磁石ホルダ315は、アルミからなり、中央部320と一対の嵌合突部322とを一体に有している。中央部320は、基本的に図7に示す磁石ホルダ215と同じ構造を有している。一対の嵌合突部322は、中央部320のリニアモータ用可動子の移動方向の両端部に位置している。一対の嵌合突部322は、互いに離れる方向に向かうにしたがって、磁石ホルダ315の厚み方向永久磁石の両磁極面が対向する方向の寸法が大きくなる形状を有している。一対のブロック部318と4つのシャフト319とは、ステンレスからなり、一対のブロック部の一方のブロック部318と4つのシャフト319の内の2つのシャフトとが一体に成形され、一対のブロック部の他方のブロック部318と4つのシャフト319の内の別の2つのシャフトとが一体に成形されている。一対のブロック部318は、ほぼ直方体の輪郭形状を有しており、磁石ホルダ315の厚み方向永久磁石の両磁極面が対向する方向におけるブロック部の寸法は、磁石ホルダ315より大きくなっている。一対のブロック部318には、長手方向に延びる溝状の嵌合凹部318aがそれぞれ形成されている。一対のブロック部318のそれぞれに一体成形された2つのシャフト319は、一対のブロック部318の嵌合凹部318aが形成された面と反対側の面にそれぞれ結合している。そして、磁石ホルダ315の一対の嵌合突部322と一対のブロック部318の嵌合凹部318aとがそれぞれ嵌合されて、磁石ホルダ315に一対のブロック部318と4つのシャフト319とが取り付けられている。これにより、一対のブロック部318は、リニアモータ用可動子の移動方向における磁石ホルダ315の両端部から突出してリニアモータ用可動子の移動方向に延びている。また、4つのシャフト319は、リニアモータ用可動子の移動方向における一対のブロック部318の両端部から2つずつ突出してリニアモータ用可動子の移動方向に延びている。また、磁石ホルダ315の側面と一対のブロック部の一方のブロック部318の側面とに亘る部分には、位置検出用のセンサスケール316が取付けられている。本例のリニアモータ用可動子によれば、一対のブロック部318を介して、磁石ホルダ315にシャフト319を取付けるので、一対のブロック部318の磁石ホルダ315への取り付けを強固にすることで、磁石ホルダ315にシャフト319をしっかりと取付けることができる。図9は、本発明の第5の実施の形態のリニアモータ用可動子の永久磁石を除いた状態の斜視図である。本例のリニアモータ用可動子は、磁石ホルダ415と一対のブロック部418と一対のブロック部418からそれぞれ2つずつ突出するシャフト419とがアルミ等の鋳込みにより一体に成形されており、その他の基本的な構造は、図8に示すリニアモータ用可動子と同じ構造を有している。このようにすれば、部品点数を減らして、可動子全体の強度を高くすることができる。以下、本願明細書に記載した発明の態様を列挙する。1複数の永久磁石と、前記複数の永久磁石がそれぞれ嵌合される複数の凹部または貫通孔からなる永久磁石保持部が列を成すように形成されてなる磁石ホルダと、前記永久磁石保持部の前記列に沿い且つ前記列が間に位置するように前記磁石ホルダに取り付けられた一対のレールとを備え、前記一対のレールがリニアモータ用固定子の支持部に摺動可能に支持され、前記磁石ホルダが、前記レールの線膨張係数よりも大きい線膨張係数を有する材料で形成されているリニアモータ用可動子であって、前記磁石ホルダには、前記磁石ホルダの熱膨張により前記磁石ホルダの内部に発生する応力が前記磁石ホルダから前記一対のレールに加わるのを抑制するように前記磁石ホルダの熱膨張分を吸収する熱膨張吸収用空隙部が形成されていることを特徴とするリニアモータ用可動子。2前記熱膨張吸収用空隙部は、前記一対のレールと直交する方向の一方側に向かって開口し且つ前記一対のレールと直交する方向及び前記レールが延びる方向の両方向と直交する方向の両側に開口する複数の空隙形成用凹部からなり、前記複数の空隙形成用凹部は前記レールに沿って所定の間隔をあけて形成され、前記空隙形成用凹部の両側に前記レールと当接する複数の当接部が形成されている上記1に記載のリニアモータ用可動子。3前記レールは、前記複数の当接部に対して固定手段により固定されている上記2に記載のリニアモータ用可動子。4前記熱膨張吸収用空隙部は、前記一対のレールと直交する方向及び前記レールが延びる方向の両方向と直交する方向の両側に向かって開口する複数の空隙形成用貫通孔からなり、前記複数の空隙形成用貫通孔は、前記レールに沿って所定の間隔をあけて形成されている上記1に記載のリニアモータ用可動子。5前記磁石ホルダは、前記永久磁石保持部を有するホルダ本体と、前記ホルダ本体に固定されて前記一対のレールがそれぞれ取り付けられる一対の補強部とを有しており、前記ホルダ本体は、前記一対の補強部より比重が小さい非磁性体材料により形成されており、前記一対の補強部は、前記ホルダ本体より高い剛性を有している上記1に記載のリニアモータ用可動子。6前記ホルダ本体は、アルミまたは合成樹脂からなり、前記一対の補強部は、鉄または鉄合金からなる上記5に記載のリニアモータ用可動子。7前記磁石ホルダと前記一対のレール部との間には、それぞれ弾性体が配置されている上記1に記載のリニアモータ用可動子。8複数の永久磁石と、前記複数の永久磁石がそれぞれ嵌合される複数の凹部または貫通孔からなる永久磁石保持部が列を成すように形成された磁石ホルダとを備えてなるリニアモータ用可動子であって、前記磁石ホルダの移動方向の両端部にそれぞれ2本ずつ設けられて、前記移動方向に延び、リニアモータ用固定子の支持部に摺動自在に支持される円柱状の4本のシャフトとを備えてなるリニアモータ。9前記4本のシャフトの直径寸法は、前記磁石ホルダの前記移動方向と直交する厚み方向の寸法よりも大きく、前記磁石ホルダの前記端部に設けられる2本のシャフトは、前記移動方向及び前記厚み方向と直交する前記磁石ホルダの幅方向に間隔をあけた状態で、前記磁石ホルダの前記端部に設けられており、前記シャフトの前記磁石ホルダ側の端部には、前記磁石ホルダの前記端部が嵌合される嵌合溝が形成されており、前記嵌合溝に前記磁石ホルダの前記端部が嵌合された状態で、前記磁石ホルダに前記4本のシャフトが設けられている上記8に記載のリニアモータ用可動子。10複数の永久磁石と、前記複数の永久磁石がそれぞれ嵌合される複数の凹部または貫通孔からなる永久磁石保持部が列を成すように形成された磁石ホルダとを備えてなるリニアモータ用可動子であって、前記磁石ホルダには、前記リニアモータ用可動子の移動方向の両端部に設けられて前記移動方向に延びる一対のブロック部と、前記一対のブロック部にそれぞれ2本ずつ設けられて前記移動方向にそれぞれ延びる4本のシャフトとが取り付けられているリニアモータ用可動子。