"アームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第1アームと、前記第1アームの先端部上に基端部が回転可能に連結され、前記第1アームに従動する第2アームと、前記第2アームの先端部上にハンドベースを介して回転可能に連結され、所定の基板を載置可能としたハンドと、前記第1アームと前記第2アームとの間に配設され、前記ハンド上に載置される基板からの熱を上方へ反射させる反射板と、を備えることを特徴とする搬送ロボット。所定の駆動系を具備する前記第1アームと、駆動系を具備しない前記第2アームとの連結部と同軸上に支持される中間リンクと、先端部が前記中間リンクの先端部と回転可能に連結され、前記アームベース上に基端部が回転可能に連結されて、前記アームベースと前記第1アームと前記中間リンクとの間で第1平行リンク機構を構成する第1リンクと、前記中間リンクの先端部と基端部が回転可能に連結され、先端部が前記ハンドベースの基端部と回転可能に連結されて、前記第2アームと前記中間リンクと前記ハンドベースとの間で第2平行リンク機構を構成する第2リンクと、をさらに備え、前記第1アームの旋回に連動させて前記ハンドを直動可能としたことを特徴とする請求項1に記載の搬送ロボット。前記反射板は、前記第1アームと前記第2アームとを連結する連結部の移動軌跡と干渉しない位置に配設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の搬送ロボット。前記反射板は、少なくとも前記第1アームを覆うことのできる形状に形成されていることを特徴とする請求項1、2または3に記載の搬送ロボット。前記反射板は、前記アームベースを回転自在に設けたロボット本体の上面まで覆うことのできる形状に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の搬送ロボット。前記反射板は、前記第1アームの旋回領域外に位置するように前記アームベース上に立設した複数のピン体に支持されていることを特徴とする請求項1~5のいずれか1つに記載の搬送ロボット。しかしながら、上述した技術は、あくまでも、基板からの熱をアーム部が一旦受けてしまった後、その熱を逃がしているに過ぎない。つまり、上述の従来技術では、基板からの熱を受けることを未然に防ぐことはできなかった。基板から熱を受けてしまったアーム部は、アーム部自体が膨張したり、アーム部の内部に収納されている駆動系の機構までが加熱されて膨張したりするおそれがある。そして、それに起因して、ロボットの精密な制御に支障をきたすおそれがある。実施形態の一態様は、基板からの輻射熱によるアーム部の加熱を抑制することができる搬送ロボットを提供することを目的とする。実施形態の一態様に係る搬送ロボットは、アームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第1アームと、前記第1アームの先端部上に基端部が回転可能に連結され、前記第1アームに従動する第2アームとを備えている。また、搬送ロボットは、前記第2アームの先端部上にハンドベースを介して回転可能に連結され、所定の基板を載置可能としたハンドと、前記第1アームと前記第2アームとの間に配設され、前記ハンド上に載置される基板からの熱を上方へ反射させる反射板とを備えている。実施形態の一態様によれば基板からの輻射熱によるアームへの加熱を抑制することができる。以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送ロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。まず、本実施形態に係る搬送ロボットの概略構成について、図1および図2を用いて説明する。図1は本実施形態に係る搬送ロボットの側断面視による模式的説明図、図2は同搬送ロボットの平面視による説明図である。図1に示すように、本実施形態に係る搬送ロボット1は、水平方向に伸縮する2つの伸縮アームを具備するアームユニット20と、アームユニット20を支持する胴体部10を備えた水平多関節ロボットである。そして、この搬送ロボット1は、真空チャンバ30に設置されている。真空チャンバ30は、真空ポンプ等によって減圧状態に保たれている。胴体部10は、アームユニット20の下部に設けられるユニットであり、ロボット本体を構成する。胴体部10は、筒状の筐体11内に図示しない昇降装置を備えており、かかる昇降装置を用いてアームユニット20を鉛直方向に沿って昇降させることができる。なお、胴体部10の筐体11は、真空チャンバ30の下部から突出し、真空チャンバ30を支持する支持部35内の空間に位置している。胴体部10の筐体11内に配設される昇降装置は、たとえばモータやボールねじ、ボールナット等を含んで構成され、モータの回転運動を直線運動へ変換することによってアームユニット20を昇降させる。また、筐体11の上部には、フランジ部12が形成されている。搬送ロボット1は、フランジ部12が真空チャンバ30に固定されることにより、真空チャンバ30に設置された状態となる。なお、フランジ部12は、真空チャンバ30の底部に形成された開口部31の縁部に対し、シール部材を介して固定されている。アームユニット20は、ロボット本体である胴体部10と連結されるユニットであり、アームベース21と、第1アーム22と、第2アーム23と、ハンドベース24とを備えている。そして、このハンドベース24には、ガラス基板や半導体ウェハなどの基板3以下、ワークという場合があるを保持可能なフォーク状のハンド24aがエンドエフェクタとして取り付けられている。なお、以下では、ハンド24aの進退方向をX軸方向とし、水平方向においてX軸方向と直交する方向をY軸方向とする。また、X軸方向およびY軸方向に直交する方向、すなわち、鉛直方向をZ軸方向とする。また、搬送ロボット1の各構成要素の相対的な位置関係を説明する上で、上下、左右、及び前後で方向を示す場合があるが、各方向の基準は、搬送ロボット1を水平な設置面Sに設置した場合とする。具体的には、図1および図2中、X軸の正方向および負方向をそれぞれ搬送ロボット1の前方および後方、Y軸の正方向および負方向をそれぞれ搬送ロボット1の右方および左方、Z軸の正方向および負方向を搬送ロボット1の上方および下方とする。アームベース21は、図示しない昇降フランジ部に対して回転可能に支持されているもので、実質的には、この昇降フランジが胴体部10内に設けられた昇降装置と連動連結している。また、アームベース21は、モータや減速機等からなる旋回装置を備えており、かかる旋回装置を用いて回転、すなわち自転する。具体的には、旋回装置は、出力軸が胴体部10に固定された減速機に対してモータの回転を伝達ベルト経由で入力する。これにより、アームベース21は、減速機の出力軸を旋回軸として水平方向に自転する。したがって、真空チャンバ30の周壁に設けられた複数の処理室32などに、ハンド24aを正対させることができる。アームベース21の上部には、第1アーム22の基端部が回転可能に連結される。すなわち、アームベース21上の連結軸P6と、第1アーム22の基端部に設けられた第1減速機51の入力軸510とが一体的に連結され図4を参照、第1アーム22は、第1減速機51を介してアームベース21に回転可能に連結される。また、第1アーム22の先端上部には、第2アーム23の基端部が回転可能に連結されている。すなわち、第2アーム23の基端連結軸P5と、第1アーム22の先端部に設けられた第2減速機52の入力軸520とが連結板522を介して一体的に連結され図4参照、第2アーム23は、第2減速機52を介して第1アーム22に回転可能に連結される。搬送ロボット1は、第1アーム22の基端部に設けられた第1減速機51および第1アーム22の先端部に設けられた第2減速機52を1つのモータ53を用いて同期的に動作させることで、駆動系を内蔵せず、リンクとして機能する第2アーム23の先端を直線的に移動させることができる。すなわち、搬送ロボット1は、アームベース21上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第1アーム22と、第1アーム22の先端部上に基端部が回転可能に連結され、第1アーム22に従動する第2アーム23とを備えている。つまり、第1アーム22は、モータ53、第1減速機51および第2減速機52などを駆動系として内部に備えているが、第2アーム23自体は駆動系を備えていない。そして、搬送ロボット1は、第1アーム22に対する第2アーム23の回転量がアームベース21に対する第1アーム22の回転量の2倍となるようにしている。たとえば、第1アーム22がアームベース21に対してα度回転した場合、第2アーム23は第1アーム22に対して2α度回転するように第1アーム22および第2アーム23は回転する。これにより、第2アーム23の先端部は直線的に移動することになる。なお、真空チャンバ30内の汚染防止等の観点から、第1、第2減速機51,52やモータ53といった駆動機構は、大気圧に保たれた第1アーム22の内部に収納されている。これにより、搬送ロボット1を、例えば真空チャンバ30などの減圧環境下に置く場合であっても、グリス等の潤滑油の乾燥を防止することができる他、発塵による真空チャンバ30の内部汚染を防止することができる。また、第2アーム23の先端部の上部には、ハンドベース24が回転可能に連結されている。このハンドベース24は、第1アーム22および第2アーム23の回転動作に伴って移動する部材であり、基板3を保持するためのハンド24aを上部に備えている。また、図1においては図示を省略したが、アームユニット20は、図2に示すように、リンク機構を構成する補助アーム部25を備えている。ここで、図2を参照しながらアームユニット20について、より具体的に説明する。リンク機構を構成する補助アーム部25は、移動中のハンド24aが常に一定の方向を向くように、第1アーム22および第2アーム23の回転動作と連動してハンドベース24の回転を規制している。すなわち、図2に示すように、補助アーム部25は、第1リンク25aと、中間リンク25bと、第2リンク25cとを備えている。第1リンク25aは、基端部がアームベース21に対し、支軸P1を介して回転可能に連結され、先端部において中間リンク25bの先端部おおび第2リンク25cの基端部と支軸P2を介して回転可能に連結される。また、中間リンク25bは、基端部が第1アーム22と第2アーム23とを連結する基端連結軸P5と同軸上に軸支され、先端部が第1リンク25aの先端部および第2リンク25cと支軸P2を介して回転可能に連結される。第2リンク25cは、基端部が中間リンク25bの先端部と支軸P2を介して回転可能に連結され、先端部がハンドベース24の基端部と支軸P3を介して回転可能に連結される。また、ハンドベース24は、先端部が第2アーム23の先端部と支軸P4を介して回転可能に連結され、基端部が第2リンク25cの先端部と支軸P3を介して回転可能に連結されている。こうして、第1リンク25aは、アームベース21、第1アーム22および中間リンク25bとともに、第1平行リンク機構P1-P6-P5-P2を形成する。すなわち、第1アーム22が連結軸P6を中心として回転すると、第1リンク25aおよび中間リンク25bが、それぞれ第1アーム22およびアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。また、第2リンク25cは、中間リンク25b、第2アーム23およびハンドベース24とともに第2平行リンク機構P2-P5-P4-P3を形成する。すなわち、第2アーム23が基端連結軸P5を中心として回転すると、第2リンク25cおよびハンドベース24が、それぞれ第2アーム23および中間リンク25bと平行な状態を保ちながら回転する。中間リンク25bは、第1平行リンク機構によってアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。このため、第2平行リンク機構のハンドベース24もアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。この結果、ハンドベース24の上部に取り付けられるハンド24aは、アームベース21と平行な状態を保ちながら直線的に移動することとなる。このように、搬送ロボット1は、第1平行リンク機構および第2平行リンク機構の2つの平行リンク機構を用いて、ハンド24aの向きを一定に保つことができる。したがって、たとえば第2アーム23の内部にプーリや伝達ベルトなどを設け、これらによりハンド24aに相当するエンドエフェクタの向きを一定方向に維持する場合と比較して、プーリや伝達ベルトに起因する発塵を抑えることができる。また、補助アーム部25によってアーム全体の剛性を高めることができるため、ハンド24aの動作時の振動を低減することができる。図3は搬送ロボット1の第1アーム22の内部構造を示す平面視による模式的説明図、図4は同第1アーム22の縦断面視による模式的説明図である。図3おおび図4に示すように、第1アーム22は、当該第1アーム22を形作るアーム筐体22aの内部が、大気圧に保たれた箱型の収納部221を形成している。かかる収納部221内に、第1減速機51、第2減速機52、モータ53、第1、第2中継プーリ54a,54b、第1伝達ベルト55および第2伝達ベルト56等を駆動系として備えている。なお、図4に示すように、第1中継プーリ54aは、プーリ支持体541の上下にそれぞれ配置されている。第1減速機51は、第1アーム22の基端部に配置され、アームベース21と第1アーム22とを連結軸P6を介して回転可能に連結する。また、第2減速機52は、第1アーム22の先端部に配置され、第1アーム22と第2アーム23とを基端連結軸P5を介して回転可能に連結する。モータ53は、駆動力を発生させる駆動部であり、第1アーム22の略中央に配置される。中継プーリ54a,54bは、いずれもモータ53の出力軸530と平行に配置された軸体に回転可能に取付けられており、モータ53を挟むように並設されている。第1伝達ベルト55は、第1減速機51の入力軸510に対してモータ53の駆動力を伝達する。また、第2伝達ベルト56は、第2減速機52の入力軸520に対してモータ53の駆動力を伝達する。図示するように、第1伝達ベルト55は、第1減速機51の入力軸510に固定された第1プーリ511および第1中継プーリ54aに対して掛け渡される。また、第2伝達ベルト56は、第2減速機52の入力軸520に固定された第2プーリ521、モータ53の出力軸530に固定された駆動プーリ53a、下側の54aおよびプーリ支持体542の下側に配設された中継プーリ54bに対して掛け渡されている。これにより、第1伝達ベルト55は、第2伝達ベルト56から第1中継プーリ54aを介して伝達されるモータ53の駆動力を第1減速機51の入力軸510へ伝達することとなる。このように、搬送ロボット1は、1つのモータ53の駆動力をそれぞれ第1伝達ベルト55および第2伝達ベルト56を用いて第1減速機51および第2減速機52へ伝達することにより、第1アーム22および第2アーム23を同期的に動作させることができる。また、搬送ロボット1は、駆動機構を構成する上述の各部材を大気圧に保たれた第1アーム22内の収納部221に収納している。したがって、駆動機構におけるグリス等の潤滑油の乾燥を防止することができる他、発塵による真空チャンバ30内の汚染を防止することができる。上述してきたように、本実施形態に係る搬送ロボット1は、たとえば、第1アーム22および第2アーム23を用いてハンド24aを直線的に移動させることで、真空チャンバ30と接続される他の真空チャンバから基板3を取り出す。つづいて、搬送ロボット1は、ハンド24aを引き戻したのち、アームベース21を、旋回軸を中心に回転させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバに対してアームユニット20を正対させる。そして、搬送ロボット1は、第1アーム22および第2アーム23を用いてハンド24aを直線的に移動させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバへワークを搬入する。このようにして、搬送ロボット1は、真空チャンバ30内において基板3の搬送作業を行うことができる。上述した搬送ロボット1において、本実施形態では、第1アーム22と第2アーム23との間に、ハンド24a上に載置される基板3からの熱を上方へ反射させる反射板4を設けている。以下、反射板4について具体的に説明する。本実施形態に係る搬送ロボット1は、上述したように、真空チャンバ30内に設置されている。例えば、成膜処理後の基板3を搬送する場合、成膜処理後の基板3は高温になっている。そのため、図1および図2に示すように、搬送方向Fに対してハンド24aが最も後方図2おける左側方向に引かれた位置では、基板3の直下に第1アーム22および胴体部10が位置することになる。なお、ハンド24aが最も後方に引かれた位置をとる搬送ロボット1の姿勢は最小旋回姿勢であり、旋回軸となるアームベース21上の連結軸P6を中心とする回転半径が最小となる。このように、搬送ロボット1が最小旋回姿勢をとる場合、基板3の直下に位置する第1アーム22や胴体部10は、基板3からの輻射熱によって加熱されるおそれがある。なお、基板3は、およそ100°C~130°C程度まで高温になることが想定される。特に、第1アーム22のアーム筐体22a内には、上述したように、第1減速機51、第2減速機52、モータ53、第1、第2中継プーリ54a,54b、第1伝達ベルト55および第2伝達ベルト56等の駆動機構を収納している。これらの各構成要素は、加熱されることにより悪影響を受けるおそれがある。そこで、本実施形態では、第1アーム22の上方であって、かつ第2アーム23よりは下方の位置に反射板4を配設し、基板3からの輻射熱を上方へ反射させ、第1アーム22や胴体部10が輻射熱によって加熱されることを可及的に抑制している。反射板4は、図1および図2に示すように、第1アーム22の旋回領域Aの外方に位置するようにアームベース21上に立設した複数本実施形態では2本のピン体26,26によって支持されている。したがって、反射板4は、同じくアームベース21に連結された第1アーム22とともに旋回することになり、第1アーム22との相対的な位置関係は一定となる。ここで、第1アーム22の旋回領域Aについて説明する。搬送ロボット1が、ハンド24aを図2における姿勢から前方X方向に直進させる際に、第1アーム22は連結軸P6を中心として時計回りに旋回し、図2における姿勢と線対称の位置図2中、二点鎖線で示すに移動する。第1アーム22は、平面視で所定の幅を有するため、本実施形態における第1アーム22の旋回領域Aとしては、当該第1アーム22の後方側外側縁の初期位置A1から当該第1アーム22の前方側外側縁の移動位置A2の間の領域となる。したがって、第1アーム22の旋回領域Aの内側にはピン体26を配設することはできない。逆に、第1アーム22の旋回領域Aの外側であれば、ピン体26の設置数は適宜設定することができる。また、ピン体26は、図1に示すように、第1アーム22の厚みよりも丈が高く規定されており、反射板4を第1アーム22と第2アーム23との間で保持している。本実施形態では、ピン体26を反射板4に形成した連結孔に嵌合させて反射板4を保持しているが、連結構造などは特に限定されるものではない。また、当然ではあるが、ピン体26の上端は第2アーム23と干渉することのない高さに規定される。反射板4は、図2に示すように、少なくとも駆動機構が内蔵されている第1アーム22を覆うことのできる形状に形成される。本実施形態では、反射板4を、第1アーム22を回転可能に連結するアームベース21を備える胴体部10の上面まで覆うことのできる形状としている。これは、胴体部10の内部に第1アーム22や第2アーム23を含むアームユニット20を昇降させるための昇降機構などが配設されているためである。また、仮に第1アーム22などが加熱されても、胴体部10へ熱を逃がすことができるように、胴体部10についてもできるだけ温度上昇することがないようにしているためである。反射板4の具体的な形状としては、単純な矩形形状、円形形状でも構わないが、反射板4の軽量化を図るために、適宜不要と考えられる箇所については適宜切除した形状とするとよい。例えば、本実施形態では、図示するように、矩形形状とした反射板4の右側図2におけるY軸正方向の前後の隅部を切除した形状としている。また、反射板4は、第1アーム22と第2アーム23とを連結する連結部の移動軌跡、具体的には連結部内側の移動軌跡Lと干渉しないように配置されている。すなわち、第1アーム22と第2アーム23とを連結する連結部をなす基端連結軸P5図4を参照は、搬送ロボット1の前方図2におけるX軸の正方向に、連結軸P6を中心に旋回しながら移動する。したがって、反射板4における搬送ロボット1の右方に向いた縁図2における上側縁4aは、連結部内側、すなわち、基端連結軸P5の左側周面の移動軌跡Lと干渉しない位置となるように規定される。一方、反射板4における搬送ロボット1の左方に向いた縁図2における下側縁4bは、胴体部10の左側周面と略重なる位置となるように規定される。これにより、反射板4の横幅図2におけるY方向の幅が規定されることになる。また、胴体部10の上面を略全体的に覆うためには、反射板4の前後方向図2におけるX方向の長さは、胴体部10の直径と略等しく規定される。胴体部10の直径と略等しいというのは、胴体部10の筐体11の上部に形成されたフランジ部12の直径と等しい場合も含む。本実施形態に係る反射板4は、上述のようにしてその形状および配置が規定される。しかし、第1アーム22と第2アーム23とを連結する連結部の移動軌跡Lと干渉せず、かつ、少なくとも第1アーム22を覆うことのできる形状であれば、適宜に設定しても構わない。上述したように、反射板4を設けて、ハンド24a上の基板3からの輻射熱を上方へ反射させて、第1アーム22への輻射熱の影響を可及的に抑制している。しかし、どうしても第1アーム22が加熱されて温度上昇することも考えられる。そこで、本実施形態では、図3および図4に示すように、第1アーム22を構成するアーム筐体22aの内部、すなわち大気圧に保たれた箱型の収納部221に、複数の噴気口61a~61cと単一の排気口62とを設けた構成としている。そして、複数の噴気口61a~61cからそれぞれ噴出された圧縮空気が、アーム筐体22aの内壁面に沿った気流として排気口62から排出されるようにしている。本実施形態では、アーム筐体22aの一端側に配設された第1減速機51の第1入力軸510を中空軸とし、この中空軸を排出口62としている。また、アーム筐体22aの他端側に配設された第2減速機52の第2入力軸520を中空軸とし、複数の噴気口61a~61cのうちの1つ、例えば、第1噴気口61aを中空軸である第2入力軸520の基端開口523に臨設している。第1噴気口61aから第2入力軸520内に向かって噴気された圧縮空気は、上昇して連結板522に衝突して跳ね返り、基端開口523から収納部221内の四方に流出する。そして、中空軸からなる第1入力軸510に形成された排出口62から系外へ流出するまでの間、第1噴気口61aから供給された圧縮空気はアーム筐体22aの内壁面に接しながら流れ、アーム筐体22aから熱を奪っていく。一方、他の複数の噴気口61b,61cは、圧縮空気をアーム筐体22aの側面に沿って水平方向に噴出できるように配設されている。例えば、図3に示すように、第2噴気口61bは、第2減速機52と、アーム筐体22aの長手側の側面との間に配設されており、アーム筐体22aの他端側に向けて圧縮空気を噴出可能としている。この第2噴気口61bから噴出された圧縮空気は、収納部221の内部を大きく迂回して排出口62に向かう。その間に、アーム筐体22aの内壁面に接しながら流れ、アーム筐体22aから熱を奪っていく。また、第3噴気口61cは、第1減速機51とモータ53との間で、アーム筐体22aの長手側の側面に近接して配設され、アーム筐体22aの一端側に向けて圧縮空気を噴出可能としている。このように、複数の噴気口61a,61b,61cから噴出された圧縮空気の気流は、収納部221内、すなわちアーム筐体22aの内部をランダムな方向に進み、排出口62から系外に排出される間に、アーム筐体22aの略全体に亘る広い領域から熱を奪って冷却することができる。このように、本実施形態に係る搬送ロボット1では、第1アーム22のアーム筐体22aは、所定の駆動系を内部に備える一方、前記第2アームは、駆動系を備えず、前記第1アームに従動するリンクの一部として機能している。そして、第1アーム22のアーム筐体22a内に配設した複数の噴気口61a,61b,61cから圧縮空気を噴出させることにより、アーム筐体22aの内壁面を冷却することができる。こうして、本実施形態に係る搬送ロボット1では、アーム筐体22aを広域に冷却することができる。そのため、仮にハンド24aに保持されている高温の基板3からの輻射熱などによって第1アーム22が加熱されたとしても、第1アーム22の内部から広域に冷却しているため、熱の蓄積を効率的に抑制することが可能となる。また、アーム筐体22aの内部には、当該アーム筐体22aと連接されたフィン223を圧縮空気に曝されるように配設している。すなわち、アーム筐体22aの熱を、フィン223を介して効率的に奪っていけるようにしている。本実施形態では、図3に示すように、フィン223を、モータ53と対向して位置させるとともに、基端をアーム筐体22aの長手側の側面に連接させ、モータ53側に向けて斜めに延在させている。かかる位置においては、フィン223は、圧縮空気の流路、すなわち、アーム筐体22aの長手側の側面に沿って流れる気流を斜めに横切るように配設される。したがって、圧縮空気による気流の大きな抵抗とはならず、かつ、フィン223の全面に亘って圧縮空気に触れさせることができ、熱交換率を向上させることが可能となっている。なお、複数の噴気口61a~61cの配置は、適宜設定することができ、上述した実施形態に限定されるものではない。また、フィン223の形状や配置についても、熱交換率などを勘案して、適宜設計することが可能である。ところで、上述してきた実施形態では、搬送ロボット1を1つのアームユニット20を備えた片腕のロボットとして説明した。しかし、搬送ロボット1は、双腕であるなど、複数のアームユニット20を備えたものでもよい。要は、内部に所定の駆動系を具備する第1アーム22と、駆動系を具備しておらず、第1アーム22に回転可能に連結された第2アーム23と、第1アーム22と第2アーム23との間に配設され、ハンド24a上に載置される基板3からの熱を反射させる反射板4とを備える構成であればよい。また、上述してきた実施形態では、搬送対象となるワークをガラス基板や半導体ウェハなどの基板3として説明したが、比較的高温になるワークであれば、搬送対象が基板3でなくても構わない。また、上述してきた実施形態では、搬送ロボット1が、真空チャンバ30内に設置される場合の例について説明してきたが、搬送ロボット1は、必ずしも真空チャンバ30内に配設されるものに限るものでもない。さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。"