"単一周波数の基準光を発する基準光源と、前記基準光源からの前記基準光を信号光と参照光とに分ける第1の光分岐手段と、前記第1の光分岐手段からの前記信号光の光路を、複数の分岐信号光路に分岐する第2の光分岐手段と、前記複数の分岐信号光路のそれぞれに接続され、複数の前記信号光のそれぞれを受けて、前記分岐信号光路毎に異なる周波数で前記複数の信号光を周波数シフトする複数の光周波数変調器と、前記複数の光周波数変調器のそれぞれからの前記信号光を光増幅する複数の光増幅器と、前記第1の光分岐手段からの前記参照光と、前記複数の光増幅器からの前記複数の光信号を光学的に合成するための光合成手段と、前記光合成手段によって合成された前記参照光及び前記複数の信号光を受けてビート信号を生成する検波手段と、前記検波手段からビート信号を受けて、前記ビート信号に含まれる前記分岐信号光路毎の位相誤差に応じた複数の位相誤差信号を生成する位相誤差検出部と、前記位相誤差検出部からの前記複数の位相誤差信号に基づいて、前記複数の光周波数変調器のそれぞれに指令を送り、前記複数の光周波数変調器のそれぞれに位相誤差を補償させる位相制御部とを備え、前記位相誤差検出部は、前記検波手段から前記ビート信号を受けて、前記ビート信号を、前記複数の分岐信号光路のそれぞれに対応する周波数の複数のビート信号に分ける周波数分岐手段と、前記複数の分岐信号光路のそれぞれに対応する周波数の複数のRF信号を生成するRF信号生成手段と、前記周波数分岐手段からの前記複数のビート信号を受け、前記周波数調整手段からの前記複数のRF信号を用いて、前記複数の位相誤差信号を生成する位相誤差信号生成手段とを有することを特徴とする光周波数制御装置。単一周波数の基準光を発する基準光源と、前記基準光源からの前記基準光を信号光と参照光とに分ける第1の光分岐手段と、前記第1の光分岐手段からの前記信号光の光路を、複数の分岐信号光路に分岐する第2の光分岐手段と、前記複数の分岐信号光路のそれぞれに接続され、複数の前記信号光のそれぞれを受ける複数の第1の光周波数変調器と、前記複数の第1の光周波数変調器のそれぞれからの前記信号光を光増幅する複数の光増幅器と、前記第1の光分岐手段からの前記参照光の光路を、複数の分岐参照光路に分岐する第3の光分岐手段と、前記複数の分岐参照光路のそれぞれに接続され、前記分岐参照光路毎に異なる周波数で前記複数の参照光を周波数シフトする複数の第2の光周波数変調器と、前記複数の第2の光周波数変調器からの前記複数の参照光と、前記複数の光増幅器からの前記複数の光信号を光学的に合成するための光合成手段と、前記光合成手段によって合成された前記複数の参照光及び前記複数の信号光を受けてビート信号を生成する検波手段と、前記検波手段からビート信号を受けて、前記ビート信号に含まれる前記分岐信号光路毎の位相誤差に応じた複数の位相誤差信号を生成する位相誤差検出部と、前記位相誤差検出部からの前記複数の位相誤差信号に基づいて、前記複数の第1の光周波数変調器のそれぞれに指令を送り、前記複数の第1の光周波数変調器のそれぞれに位相誤差を補償させる位相制御部とを備え、前記位相誤差検出部は、前記検波手段から前記ビート信号を受けて、前記ビート信号を、前記複数の分岐参照光路のそれぞれに対応する周波数の複数のビート信号に分ける周波数分岐手段と、前記複数の分岐参照光路のそれぞれに対応する周波数の複数のRF信号を生成するRF信号生成手段と、前記周波数分岐手段からの前記複数のビート信号を受け、前記周波数調整手段からの前記複数のRF信号を用いて、前記複数の位相誤差信号を生成する位相誤差信号生成手段とを有することを特徴とする光周波数制御装置。前記検波手段、前記位相誤差検出部及び前記位相制御部は、それぞれ複数であり、前記第2の光分岐手段による前記複数の分岐信号光路の信号光は、複数の前記検波手段によって、前記第2の光分岐手段による分岐数であるアレイ数よりも少ないサブアレイ数で全体としてサブアレイ化されて検波されることを特徴とする請求項1記載の光周波数制御装置。前記第1の光分岐手段からの前記参照光の光路を、基準参照光路と、アレイ用参照光路とに分岐する参照光2分岐手段と、前記参照光2分岐手段からのアレイ用参照光路を、複数の分岐参照光路に分岐する第3の光分岐手段と、前記複数の分岐参照光路のそれぞれに接続され、前記分岐参照光路毎に異なる周波数で複数の分岐参照光を周波数シフトする複数の第2の光周波数変調器と、前記複数の第2の光周波数変調器からの前記複数の参照光と、前記基準参照光路の基準参照光とを光学的に合成するための第2の光合成手段と、前記第2の光合成手段によって合成された前記複数の参照光及び前記基準参照光を受けてビート信号を生成する第2の検波手段と、前記第2の検波手段からビート信号を受けて、前記ビート信号に含まれる前記分岐信号光路毎の位相誤差に応じた複数の位相誤差信号を生成する第2の位相誤差検出部と、前記第2の位相誤差検出部からの前記複数の位相誤差信号に基づいて、前記複数の第2の光周波数変調器のそれぞれに指令を送り、前記複数の第2の光周波数変調器のそれぞれに位相誤差を補償させる第2の位相制御部とをさらに備えることを特徴とする請求項3記載の光周波数制御装置。上記のような従来装置では、位相誤差を検出するための構成として、出力ビーム数と同数の受信器及び位相同期部が必要であり、出力ビーム数出力アレイ数が増加した場合に、部品点数が増加するとともに、サイズが大型化するという問題点がある。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、出力ビーム数が増加した場合でも、サイズの大型化を抑えることができる光周波数制御装置を得ることを目的とする。この発明の光周波数制御装置は、単一周波数の基準光を発する基準光源と、前記基準光源からの前記基準光を信号光と参照光とに分ける第1の光分岐手段と、前記第1の光分岐手段からの前記信号光の光路を、複数の分岐信号光路に分岐する第2の光分岐手段と、前記複数の分岐信号光路のそれぞれに接続され、複数の前記信号光のそれぞれを受けて、前記分岐信号光路毎に異なる周波数で前記複数の信号光を周波数シフトする複数の光周波数変調器と、前記複数の光周波数変調器のそれぞれからの前記信号光を光増幅する複数の光増幅器と、前記第1の光分岐手段からの前記参照光と、前記複数の光増幅器からの前記複数の光信号を光学的に合成するための光合成手段と、前記光合成手段によって合成された前記参照光及び前記複数の信号光を受けてビート信号を生成する検波手段と、前記検波手段からビート信号を受けて、前記ビート信号に含まれる前記分岐信号光路毎の位相誤差に応じた複数の位相誤差信号を生成する位相誤差検出部と、前記位相誤差検出部からの前記複数の位相誤差信号に基づいて、前記複数の光周波数変調器のそれぞれに指令を送り、前記複数の光周波数変調器のそれぞれに位相誤差を補償させる位相制御部とを備え、前記位相誤差検出部は、前記検波手段から前記ビート信号を受けて、前記ビート信号を、前記複数の分岐信号光路のそれぞれに対応する周波数の複数のビート信号に分ける周波数分岐手段と、前記複数の分岐信号光路のそれぞれに対応する周波数の複数のRF信号を生成するRF信号生成手段と、前記周波数分岐手段からの前記複数のビート信号を受け、前記周波数調整手段からの前記複数のRF信号を用いて、前記複数の位相誤差信号を生成する位相誤差信号生成手段とを有するものである。この発明の光周波数制御装置によれば、光周波数変調器が各分岐信号光路の信号光に周波数差を与え、位相誤差検出部の周波数分岐手段が複数の分岐信号光路のそれぞれに対応する周波数の複数のビート信号に分けて、そのビート信号に対して、検出手段がRF信号生成手段のRF信号を用いて分岐信号光路の位相誤差に応じた位相誤差信号を生成して、その位相誤差信号に基づいて位相制御部が光周波数変調器に位相誤差を補償させるので、少ない検波手段で検波を行うことができるため、出力ビーム数が増加した場合でも、サイズの大型化を抑えることができる。以下、この発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。実施の形態1.図1は、この発明の実施の形態1による光周波数制御装置を示す構成図である。図1において、実施の形態1の光周波数制御装置は、単一周波数の基準光を発する基準光源1、第1の光分岐手段としての光分岐スプリッタ2、第2の光分岐手段としての光分岐スプリッタアレイ3、N個の光周波数変調器4、N個の光増幅器5、コリメータレンズ6、光合成手段としての光合波分岐素子7、受光レンズ8、検波手段としてのフォトダイオード9、位相誤差検出部10及び位相制御部11を有している。位相誤差検出部10及び位相制御部11は、位相同期部を構成している。図2は、図1の位相誤差検出部10及び位相制御部11を示すブロック図である。図2において、位相誤差検出部10は、周波数分岐手段としての周波数分岐スプリッタ12と、複数のミキサ13と、周波数NΔfのマスタ信号を生成するRF信号生成手段としてのRFマスタ信号源14と、複数の分周器15と、位相誤差信号生成手段としての複数のミキサ16と、周波数f0のマスタ信号を生成するRF信号生成手段としてのRFマスタ信号源17とを有している。位相制御部11は、複数のループフィルタ18と、複数のVCOVoltageControlOscillator19とを有している。次に、動作について説明する。はじめに、基準光源1からの光路は、光分岐スプリッタ2によって、信号光路20と、参照光路21との2本の光路に分岐される。即ち、基準光源1から発せられた基準光は、光分岐スプリッタ2によって、信号光と、参照光とに分けられる。信号光路20は、光分岐スプリッタアレイ3によって、N本の分岐信号光路アレイに分岐される。光分岐スプリッタアレイ3の後段の各分岐信号光路の信号光は、複数の光周波数変調器4のそれぞれに入力される。なお、図1では、分岐信号光路については、簡略化のため1本のみを示す。光周波数変調器4は、分岐信号光路の信号光に、それぞれf0,f0Δf,f02Δf,f04Δf,f0NΔfの周波数シフトを与える。光周波数変調器4から出力された信号光は、光増幅器5によって光増幅され、その後に、光合波分岐素子7に入射される。ここで、光周波数変調器4は、位相制御部11からの位相制御信号に基づいて、分岐信号光路の信号光の位相を調整する。これにより、光周波数変調器4は、光増幅器5等による位相変動を補償する。他方、参照光路21では、コリメータレンズ6によって、参照光のビーム径が調整される。コリメータレンズ6を通過した参照光は、光合波分岐素子7によって、N個の信号光と合波されて、受光レンズ8によって集光され、フォトダイオード9に入射される。そして、合波後のN個の信号光と参照光とは、フォトダイオード9によって、同時に検波され、ビート信号が生成される。なお、光合波分岐素子7を透過したN個の信号光は、目標物へ向けて出射される。フォトダイオード9から出力されたビート信号は、位相誤差検出部10に入力される。位相誤差検出部10では、ビート信号が、周波数分岐スプリッタ12によって、各分岐信号光路に対応する周波数毎に分けられる。そして、周波数f0のビート信号と、その他の周波数Δf,2Δf,NΔfのビート信号とが、ミキサ13によってミキシングされて、両方のビート信号の周波数の差分に応じたビート信号とされる。これにより、周波数Δf,2Δf,NΔfに対応するビート信号が生成される。なお、このビート信号には、周波数f0を基準とした各分岐信号光路の位相変動が含まれている。また、位相誤差検出部10では、RFマスタ信号源14発振周波数NΔfからのマスタ信号が例えば分周器15によって、それぞれ周波数Δf,2Δf,NΔfのマスタ信号とされる。この分周後のマスタ信号と、そのマスタ信号の周波数に対応するビート信号とは、ミキサ16によってミキシングされて、マスタ信号とビート信号との周波数の差分に応じた位相誤差信号23とされる。つまり、位相誤差検出部10は、RFマスタ信号源17の出力信号と、ミキシングして差分をとることによって位相誤差を検出する。位相誤差検出部10からの位相誤差信号23は、位相制御部11に入力される。位相制御部11では、位相誤差信号23がループフィルタ18に入力される。ループフィルタ18からは、各分岐信号光路の周波数に対応する位相誤差信号23をVCO19に出力し、VCO19の出力信号である位相制御信号24を対応する各分岐信号光路にフィードバックすることで、位相制御フィードバックループを閉じる。また、光周波数変調器4は、位相制御部11からの位相制御信号24に基づいて、分岐信号光路の信号光の位相を調整する。これにより、光周波数変調器4は、光増幅器5等による位相変動を補償する。つまり、位相制御部11は、指令としての位相制御信号24を光周波数変調器4に送ることによって、光周波数変調器4に位相誤差を補償させる。上記のような実施の形態1によれば、光周波数変調器4が各分岐信号光路の信号光にΔfの周波数差を与え、位相誤差検出部10の周波数分岐スプリッタ12がビート信号を各分岐信号光路に対応する周波数に分ける。そして、そのビート信号に対して、ミキサ16がRFマスタ信号源14,17のマスタ信号を用いて分岐信号光路の位相誤差に相当する信号を生成して、その信号に基づいて位相制御部11が光周波数変調器4に位相誤差を補償させる。この構成により、1つのフォトダイオード9で検波を行うことができるため、出力ビーム数が増加した場合でも、サイズの大型化を抑えることができる。実施の形態2.先の実施の形態1では、周波数f0でシフトされたビート信号を基準信号とした場合の構成について説明した。これに対して、実施の形態2では、RFマスタ信号源f017,Δf14を基準信号とした場合の構成について説明する。図3は、この発明の実施の形態2による光周波数制御装置の要部を示す構成図である。図3では、図2と同一あるいは類似の構成要素は同一の参照符号を付し、その説明を適宜省略する。図3において、実施の形態2の位相誤差検出部25における実施の形態1の位相誤差検出部10との相違点は、RFマスタ信号源17のRF信号f0を基準信号とすることにある。実施の形態2の位相誤差検出部25では、周波数分岐スプリッタ12によって、周波数毎に分けられた信号と、RFマスタ信号源17の出力信号とをミキサ13でミキシングすることによって、周波数f0、f0Δf,f0NΔfのビート信号を、DC信号あるいは周波数Δf,NΔfの信号へと変換する。そして、変換された信号と各周波数に対応するRFマスタ信号源14あるいは分周器15の出力信号とを、ミキサ16でミキシングすることによって、位相誤差信号23が生成される。位相誤差検出部25からの位相誤差信号23は、実施の形態1と同様に位相制御部11に入力され、各分岐信号光路の周波数に対応する位相制御信号24を光周波数変調器4にフィードバックすることで位相制御フィードバックループを閉じる。他の構成及び動作は、実施の形態1と同様である。上記のような実施の形態2によれば、RFマスタ信号源17のマスタ信号を基準信号として用いた場合であっても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。実施の形態3.先の実施の形態1,2では、分周器15により、RFマスタ信号源14のマスタ信号に周波数差Δf,2Δf,4Δf,NΔfを与える構成について説明した。これに対して、実施の形態3では、ミキサ16による和周波を用いることで周波数差Δf,2Δf,3Δf,4Δf,NΔfをマスタ信号に与える場合の構成について説明する。図4は、この発明の実施の形態3による光周波数制御装置の要部を示す構成図である。図4では、図2と同一あるいは類似の構成要素は、同一の参照符号を付し、その説明を適宜省略する。図4において、実施の形態3の位相誤差検出部35における実施の形態2の位相誤差検出部25と相違する点は、ミキサ16の和周波を基準信号とすることである。位相誤差検出部35では、RFマスタ信号源17のマスタ信号とRFマスタ信号源14のマスタ信号とをミキサ16でミキシングすることで、f0,f0Δf,f02Δf,f03Δf,f0NΔf周波数の信号を出力する。ミキサ16から出力された信号と、この信号と対応するビート信号とをミキサ13でミキシングすることによって、位相誤差信号23が生成される。位相誤差検出部35からの位相誤差信号23は、先の実施の形態1,2と同様に位相制御部11に入力され、各分岐信号光路の周波数に対応する位相制御信号を光周波数変調器4にフィードバックすることで位相制御フィードバックループを閉じる。他の構成及び動作は、実施の形態1,2と同様である。上記のような実施の形態3によれば、RFマスタ信号源17のマスタ信号とRFマスタ信号源14のマスタ信号との和周波を用いる場合であっても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。実施の形態4.先の実施の形態1~3では、光周波数変調器4が各分岐信号光路の信号光に異なる周波数を与える場合の構成について説明した。これに対して、実施の形態4では、参照光路を複数N本の分岐参照光路に分岐し、各分岐参照光路の参照光に異なる周波数差f0,f0Δf,f02Δf,f03Δf,NΔfを与えるとともに、各分岐信号光路の信号光に同一周波数-f0を与える場合の構成について説明する。図5は、この発明の実施の形態4による光周波数制御装置を示す構成図である。図6は、図5の位相誤差検出部44及び位相制御部45を示すブロック図である。図5,6において、実施の形態4の実施の形態1~3と同一あるいは類似の要素については、同一の参照符号を付し、その説明を適宜省略する。なお、実施の形態4では、光周波数変調器4を、第1の光周波数変調器4として説明する。実施の形態4の光周波数制御装置は、実施の形態1の構成に加えて、第3の光分岐手段としての光分岐スプリッタアレイ40と、複数N個の第2の光周波数変調器41と、周波数f0,f0Δf,f02Δf,f0NΔfの信号を発生する複数N個のRF信号源42と、レンズアレイ43とをさらに有している。また、実施の形態4の光周波数制御装置は、実施の形態1の位相誤差検出部10及び位相制御部11に代えて、位相誤差検出部44及び位相制御部45を有している。さらに、実施の形態4の参照光路21は、光分岐スプリッタアレイ40によってN本の分岐参照光路に分岐される。各分岐参照光路の参照光は、それぞれRF信号源42の周波数f0,f0Δf,f02Δf,f0NΔfに対応する周波数、即ち分岐参照光路毎に異なる周波数で第2の光周波数変調器41によって変調される。この変調後の参照光は、レンズアレイ43を通して空間出力される。この後、参照光は、光合波分岐素子7によって各分岐信号光路を経た信号光と合波される。また、第1の光周波数変調器4は、各分岐信号光路の信号光の変調周波数を-f0と全て同じにする。分岐信号光路で-f0と変調された信号光と、分岐参照光路でf0,f0Δf,f02Δf,f0NΔfと変調された参照光とは、フォトダイオード9によって検波される。そして、フォトダイオード9からのビート信号は、位相誤差検出部44の周波数分岐スプリッタ12で2f0,2f0Δf,2f02Δf,2f0NΔf周波数のビート信号に分けられる。ここで、位相誤差検出部44では、RFマスタ信号源17から出力される信号周波数を2f0とすることで、その後の信号処理は、これまでの実施の形態1~3と同じになる。また、位相制御部45が、位相誤差検出部44から出力された位相誤差信号23に基づいて、同一周波数-f0の位相制御信号46を第1の光周波数変調器4にフィードバックして、位相制御フィードバックループを閉じる。他の動作は、実施の形態1~3と同様である。上記のような実施の形態4によれば、参照光路21を複数の分岐参照光路に分岐して、各分岐参照光路の参照光を周波数シフトする構成であっても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。これに加えて、複数の第1の光周波数変調器4の変調周波数が同一周波数であるため、位相制御部45における複数のループフィルタ18に全て同じものを用いることができる。実施の形態5.先の実施の形態1~3では、出力アレイ数に応じて変調周波数が変化し、受信機系が変化し、位相誤差検出部10及び位相制御部11からなる位相同期部が拡大するという問題点がある。そこで、実施の形態5では、上記のような問題点に対して、出力アレイ数が増加した場合でも、位相同期部の拡大を抑えることができる光周波数制御装置を得ることを目的とする。図7は、この発明の実施の形態5による光周波数制御装置を示す構成図である。図7において、実施の形態5では、信号光路がN本に分岐され、位相制御フィードバック系がn個にサブアレイ化グループ化されている。なお、サブアレイ数nは、アレイ数Nよりも小さく、位相制御フィードバック系における信号数は、N/nである。また、実施の形態5の光周波数制御装置の位相制御フィードバック系は、n個の受光レンズからなる受光レンズアレイ50と、n個のフォトダイオードからなるフォトダイオードアレイ51と、n個の位相誤差検出部53と、n個の位相制御部55とを有している。位相誤差検出部53及び位相制御部55は、位相同期部をなしている。ここで、受光レンズアレイ50の個々の受光レンズの構成は実施の形態1の受光レンズ8の構成と同様であり、フォトダイオードアレイ51の個々のフォトダイオードの構成は実施の形態1のフォトダイオード9の構成と同様であり、n個の位相誤差検出部53の個々の構成は実施の形態1の位相誤差検出部10の構成と同様であり、n個の位相制御部55の個々の構成は、実施の形態1の位相制御部11の構成と同様である。実施の形態5の光周波数変調器4は、分岐信号光路の信号光に、それぞれf0,f0Δf,f02Δf,f03Δf,f0N/nΔfの周波数シフトを与える。光合波分岐素子7によって参照光と合波されたN個の信号光は、受光レンズアレイ50によって集光され、フォトダイオードアレイ51に入射される。そして、合波後のN/n個の信号光と参照光とは、フォトダイオードアレイ51によって、サブアレイ単位で同時に検波され、n個の受信信号52が生成されて、n個の受信信号52がn個の位相誤差検出部53に入力される。n個の位相誤差検出部53は、実施の形態1の位相誤差検出部10と同様に、n個の受信信号52のそれぞれの位相誤差を検出し、n個の位相誤差信号54を、それぞれn個の位相制御部55に出力する。n個の位相制御部55は、対応するサブアレイの各信号に光周波数変調器4を介してフィードバックすることで、位相制御フィードバックループを閉じる。なお、サブアレイ間の変調周波数は同一でも問題は無いため、サブアレイ内における各信号の変調周波数は、f0,f0Δf,f02Δf,f03Δf,f0N/nΔfとされている。他の構成及び信号処理は、実施の形態1~3と同様である。上記のような実施の形態5によれば、受光レンズアレイ50と、フォトダイオードアレイ51と、n個の位相誤差検出部53と、n個の位相制御部55とによって、位相制御フィードバック系がサブアレイ化されている。この構成により、信号数が増加した場合でも、少ない部品数、調整箇所での複数信号位相同期が可能となる。また、信号数が増えた場合でも、サブアレイ間の変調周波数を変化させる必要が無いため、同一の回路構成で複数信号位相同期が可能となる。実施の形態6.先の実施の形態4では、参照光をアレイ化することにより、複数の参照光間の位相変動が無視できなくなるという問題点があった。そこで、実施の形態6では、上記のような複数の参照光間の位相変動に関する問題点を解決するため、参照光をアレイ化した場合における複数の参照光間の位相変動を補償する機能を付加することで、複数の参照光間の位相変動を抑えてスケーラブルな拡張が可能な光周波数制御装置を得ることを目的とする。図8は、この発明の実施の形態6による光周波数制御装置を示すブロック図である。図8において、実施の形態6の光周波数制御装置は、2分岐の光分岐スプリッタ参照光2分岐手段60と、コリメータレンズ61と、n分岐の光分岐スプリッタ第3の光分岐手段62、n個の光周波数変調器第2の光周波数変調器63と、コリメータレンズレンズアレイ64と、光合波分岐素子第2の光合成手段,ビームスプリッタ65と、受光レンズ66と、フォトダイオード第2の検波手段67と、位相誤差検出部第2の位相誤差検出部68と、n個の位相制御部第2の位相制御部69とを有している。位相誤差検出部68及びn個の位相制御部69は、位相同期部をなしている。実施の形態6の参照光路21は、光分岐スプリッタ60によって、基準参照光路と、アレイ用参照光路とに2分岐されている。光分岐スプリッタ60からの基準参照光路の基準参照光は、コリメータレンズ61を通して、光合波分岐素子65に入射される。光分岐スプリッタ60からのアレイ用参照光路は、光分岐スプリッタ62によって、n個の分岐参照光路に分岐されるアレイ化される。ここで、アレイ用参照光路のアレイ数は、位相制御フィードバック系のサブアレイ数と同数である。各分岐参照光路の参照光は、光周波数変調器63によって、それぞれf1,f1δf,f12δf,f1nδfで周波数シフトされる。なお、δ≠Δである。周波数変調後の各参照光は、コリメータレンズ64を通して、光合波分岐素子65へ入射される。これらの参照光は、光合波分岐素子65によって基準参照光と合波されて受光レンズ66によって集光され、フォトダイオード67によって同時に検波され、ビート信号が生成される。フォトダイオード67によって生成されたビート信号は、位相誤差検出部68に送られ、位相誤差検出部68によって、周波数毎f1,f1δf,f12δf,f1nδfに分離され、各信号の位相誤差が検出され、各信号にそれぞれ対応するn個の位相誤差検出信号が生成される。また、n個の位相制御部69は、それぞれ位相誤差検出部68からのn個の位相誤差信号に基づいて、n個の位相制御信号を生成する。そのn個の位相制御信号は、n個の光周波数変調器63に送られて、フィードバックされることで、参照光間の位相制御フィードバックループが閉じられる。また、光増幅後の信号光は、光合波分岐素子7によって、参照光間の位相制御がなされたn個の参照光と合波され、受光レンズアレイ50及びフォトダイオードアレイ51によって、信号光間の位相誤差信号を含むビート信号が生成される。他の信号光側の構成及び信号処理は、実施の形態5と同様である。上記のような実施の形態6によれば、光分岐スプリッタ60、コリメータレンズ61、光分岐スプリッタ62、光周波数変調器63、コリメータレンズ64、光合波分岐素子65、受光レンズ66、フォトダイオード67、位相誤差検出部68及び位相制御部69によって参照光側の位相制御フィードバック系が構成されている。これにより、参照光をアレイ化することにより生じる参照光間の位相誤差を補償することによって、参照光の位相変動を受けない信号光の位相同期が可能となる。また、スケーラブルな位相同期系の拡張が可能となる。"