磁気力顕微鏡の測定に使用される磁気力顕微鏡用カンチレバーであって、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーの先端の探針に付加された磁性膜と、前記探針の周囲に付加された非磁性硬質保護膜とを備えたことを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバー。請求項1に記載の磁気力顕微鏡用カンチレバーにおいて、前記磁性膜は、前記探針の片側に付加されることを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバー。請求項1に記載の磁気力顕微鏡用カンチレバーにおいて、前記磁性膜の形状により、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーで磁界を測定する際の空間分解能を決めることを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバー。請求項1に記載の磁気力顕微鏡用カンチレバーにおいて、前記磁性膜は、Ni、NiFe、CoFeの軟磁性材料、またはCo、Al-Ni-C、Fe-Ptの硬磁性材料であることを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバー。請求項1に記載の磁気力顕微鏡用カンチレバーにおいて、前記非磁性硬質保護膜は、DLC、TiN、TiC、TiCN、CrNCN、または貴金属膜であることを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバー。磁気力顕微鏡の測定に使用される磁気力顕微鏡用カンチレバーであって、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーの先端の探針に付加された磁性膜と、前記探針の周囲に付加された軟磁性体酸化防止保護膜とを備えたことを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバー。磁気力顕微鏡の測定に使用される磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法であって、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーの先端の探針に磁性膜を成膜し、前記探針の周囲に非磁性硬質保護膜を成膜することを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。請求項7に記載の磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法において、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーの探針の周囲に前記非磁性硬質保護膜を成膜する際、前記非磁性硬質保護膜を、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーの前記探針の正面から角度15°-45°をつけて成膜し、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーの前記探針の裏面から角度15°-30°の範囲で2方向から成膜することを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。磁気力顕微鏡の測定に使用される磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法であって、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーの先端の探針は、CNF探針またはCNT探針であり、前記CNF探針または前記CNT探針に磁性膜を成膜する際、前記磁性膜の成膜ターゲットと前記CNF探針または前記CNT探針との間の距離は長くし、前記CNF探針または前記CNT探針の周囲に非磁性硬質保護膜を成膜する際、前記非磁性硬質保護膜の成膜ターゲットと前記CNF探針または前記CNT探針との間の距離は短くすることを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。請求項9に記載の磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法において、前記CNF探針または前記CNT探針の周囲に前記非磁性硬質保護膜を成膜する際、前記CNF探針または前記CNT探針の先端部分に、遮蔽物を一定時間設置することを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。請求項9に記載の磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法において、前記CNF探針または前記CNT探針の周囲に前記非磁性硬質保護膜を成膜する際、前記非磁性硬質保護膜を成膜する前に、前記CNF探針または前記CNT探針の先端部分に、その径と同程度、または若干大きい微粒子を着け、その後、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーを前記CNF探針または前記CNT探針を軸に回転させ、斜下方から前記非磁性硬質保護膜を成膜し、前記微粒子を取り除いた後、さらに底面から前記非磁性硬質保護膜を成膜することを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。磁気力顕微鏡の測定に使用される磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法であって、前記磁気力顕微鏡用カンチレバーの先端の探針に磁性膜を成膜し、前記探針の周囲に軟磁性体酸化防止保護膜を成膜することを特徴とする磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。現行多数の磁気力顕微鏡MFMは被測定物の表面で、各測定ラインにおいて、まずAFMモードで高さ情報を収集してから、カンチレバー1は被測定物の上方の一定の高さにリフトアップし、MFMモードでスキャンを行う。この場合、AFMモードのスキャンを行うため、測定時間を短縮するのが難しい。高速MFMを実現するために、被測定物の表面は均一な高さを持つことを前提として、測定最初の1ラインか数ラインの高さ情報をAFMモードで測定するだけで、その後ずっとMFMモードで高速スキャンを行うこととなる。この際、高さ情報未入手のエリアに異物が存在すれば、高速スキャン中のカンチレバー先端の探針は異物と衝突し、探針は破損する可能性が極めて高い。探針が異物と衝突する際、探針破損の確率を最小限にするのは課題となっている。また、磁気力顕微鏡用のカンチレバー1の先端の探針に付加する磁性膜が一般的に酸化しやすい材料であるため、時間が経つと、探針の磁性材料が酸化することにより、探針の体積と磁気特性が変化することも課題となる。例えば特許文献1では、わざわざ細く製作された探針に保護膜を追加することは報告されていないため、この探針の磁性材料が酸化する恐れがある。また、磁気力顕微鏡用のカンチレバー1を製作するとき、磁性膜と保護膜の付け方によって、磁気力顕微鏡用のカンチレバー1の性能が随分変わる。例えば、磁性膜の厚さと膜が存在する場所は測定の空間分解能に影響する。また、保護膜は探針の先端部と先端部でない所の膜厚も区別がないとカンチレバー1は磁気力顕微鏡用として働かない可能性も高い。つまり先端部の保護膜が厚すぎると、探針に付く磁性体と被測定磁界の距離が遠くなり、磁界を感受できなくなる。従って、磁気力顕微鏡用のカンチレバー1の製作方法も課題である。本発明の目的は、この2点の問題を解決するために、磁気力顕微鏡用カンチレバー1の空間分解能が磁気力顕微鏡用カンチレバー1の探針の先端に付加された磁性体の形状のみ依存することを利用し、磁性膜が付加された探針の外にさらに保護膜を成膜することにより高耐久性の磁気力顕微鏡用カンチレバーを製造することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。すなわち、代表的なものの概要は、磁気力顕微鏡用カンチレバーの先端の探針に磁性膜を成膜した後、磁気力顕微鏡用カンチレバーの探針の周囲に非磁性硬質膜を付加するものである。本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。すなわち、代表的なものによって得られる効果は、磁気力顕微鏡用のカンチレバーの空間分解能を保証する上で、先端の探針の高剛性、耐衝突、耐磨耗化を実現でき、酸化しやすい磁性膜の保護も可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。実施の形態1図1により、本発明の実施の形態1に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの構成について説明する。図1は本発明の実施の形態1に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの構成を示す構成図である。図1において、磁気力顕微鏡用カンチレバー1は、四面体構造をしている探針401を持つカンチレバー1と、探針401の前面に付加されている磁性膜2と、磁性膜2が付加された探針401の正面と裏面に付加されている非磁性硬質保護膜3とを備え、高耐久性の磁気力顕微鏡用カンチレバー1を構成している。本実施の形態における磁気力顕微鏡用カンチレバー1の各部分の役割は以下の通りである。磁気力顕微鏡用カンチレバー1は、カンチレバーの構成としては一般的な原子間力顕微鏡におけるものと同様であるが、磁気力顕微鏡用カンチレバー1の先端の探針401に付着する磁性膜2が磁気力顕微鏡用カンチレバー1の空間分解能を決め、磁気力顕微鏡の測定時に被測定物の磁場を感受する。非磁性硬質保護膜3は硬質かつ厚く数10nm~300nm程度成膜しているため、探針401の剛性を向上することが、高速スキャン時の探針が異物に衝突する際の破損確率を抑えている。また磁性膜2が一般的に酸化しやすい材料であるため、磁性材料が酸化を防止することも可能である。次に、図2により、本発明の実施の形態1に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法について説明する。図2は本発明の実施の形態1に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法を示す図である。まず、四面体構造をしている探針401を持つ磁気力顕微鏡用カンチレバー1の真正面から、磁性膜2をコーティングする図2a。磁性膜の成膜量は実際測定対象の磁界強度とサイズにより決めるが、一般的に5nm~40nmである。磁性体の材料は測定目的によって、Ni、NiFe、CoFe等の軟磁性材料を選べるし、Co、Al-Ni-Co、Fe-Pt等の硬磁性材料も選べる。さらに、磁気力顕微鏡用カンチレバー1の先端突起部に非磁性硬質保護膜3を付加する。非磁性硬質保護膜3は先に磁気力顕微鏡用カンチレバー1の正面から付加するが、探針の先端の回りこみ量を最大限に抑えるために、角度15°-45°をつけて、成膜する図2b。続けて、突起部の裏面に成膜するが、磁気力顕微鏡用カンチレバー1のレバー部が存在するため、正面と同じく成膜するのは不可能である。そのため、図2cのように、斜後方の2方向から、角度15°-30°をつけて、成膜することとなる。非磁性硬質保護膜の最大膜厚は300nm程度である。但し、探針の先端部の非磁性硬質保護膜の厚さは2~3nmに抑える必要がある。材料はDLC、TiN、TiC、TiCN、CrNCN等または貴金属のような硬質非磁性材料である。但し、磁性膜の酸化を防止するため、Niのような磁性金属材料を使用することもある。このように磁気力顕微鏡用カンチレバー1を製造することにより、非磁性硬質保護膜3が付加された磁気力顕微鏡用カンチレバー1を容易に製造することができる。実施の形態2実施の形態2は、シリコン探針の先端にカーボンナノファイバ探針CNF探針またはカーボンナノチューブ探針CNT探針が形成されているカンチレバーに非磁性硬質保護膜を付加したものである。図3により、本発明の実施の形態2に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの構成について説明する。図3は本発明の実施の形態2に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの構成を示す構成図である。図3において、磁気力顕微鏡用カンチレバー1は、シリコン探針の先端に形成されたカーボンナノファイバ探針CNF探針またはカーボンナノチューブ探針CNT探針からなる探針601と、この探針601の正面に付加された磁性膜2と、磁性膜2が付加された探針の正面と裏面に付加する非磁性硬質保護膜3とを備え、高耐久性の磁気力顕微鏡用カンチレバー1を構成している。本実施の形態における磁気力顕微鏡用カンチレバー1の各部分の役割は実施の形態1と同様である。次に、図4により、本発明の実施の形態2に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法について説明する。図4は本発明の実施の形態2に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法を示す図である。まず、探針601を持つ磁気力顕微鏡用カンチレバー1の真正面から、磁性膜2をコーティングする図4a。探針601は長が200nm以上、径が10nm~30nmである棒状物であるため、磁性膜2をコーティングする際は、スパッタ装置の選択は1つのポイントであり、廻りこみを抑えるために、ターゲットとカンチレバー間の距離は比較的大きいほうが良い。さらに、探針601に非磁性硬質保護膜3を付加する。非磁性硬質保護膜3は正面と裏面の2方向、角度無しで、コーティングするが図4b、非磁性硬質保護膜3を成膜する際に、膜の回りこみで探針601の全体を保護するため、探針縦方向一周に非磁性硬質保護膜3を付加できるように、成膜ターゲットと試料間の距離は比較的短いほうが良い。一方、探針の先端部の非磁性硬質保護膜の厚さは2nm~3nmに抑えるために、探針先端部の前約20nmの所、探針先頭の所の非磁性硬質保護膜3が厚くならないように、遮蔽物701を設置し、要求した膜厚になったら、また遮蔽物701を取り除き、さらに底面から非磁性硬質保護膜を2nm~3nm成膜する図4c。このように磁気力顕微鏡用カンチレバー1を製造することにより、非磁性硬質保護膜3が付加された磁気力顕微鏡用カンチレバー1を容易に製造することができる。実施の形態3実施の形態3は、実施の形態2において、非磁性硬質保護膜3の付加を磁気力顕微鏡用カンチレバー1を回転させながら行うようにしたものである。磁気力顕微鏡用カンチレバー1の構成は実施の形態2と同様である。次に、図5により、本発明の実施の形態3に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法について説明する。図5は本発明の実施の形態3に係る磁気力顕微鏡用カンチレバーの製造方法を示す図である。まず、探針601を持つ磁気力顕微鏡用カンチレバー1の真正面から、磁性膜をコーティングする図5a。その後、すぐに非磁性硬質保護膜3を付加することなく、探針601の先端に径と同程度、または若干大きい微粒子802径:10nm~40nmを先に着け、その後、磁気力顕微鏡用カンチレバー1に探針を軸として回転させ、カンチレバー1の探針側の斜方から非磁性硬質保護膜を成膜する図5b。非磁性硬質保護膜3の要求膜厚になったら、微粒子802を取り除き、さらに底面から非磁性硬質保護膜を2~3nm成膜する図5c。このように磁気力顕微鏡用カンチレバー1を製造することにより、非磁性硬質保護膜3が付加された磁気力顕微鏡用カンチレバー1を容易に製造することができる。以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。