流体通路が設けられたボディと、ボディに形成された流体通路の周縁に着脱可能に配置されたシートと、ボディに着脱可能に配置されてシートを保持するシートホルダと、シートに押圧離間されることで流体通路の開閉を行うダイヤフラムと、ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押さえを上下移動させる上下移動手段とを備えているダイヤフラム弁において、ボディおよびシートホルダがいずれも金属製とされて、シートホルダのビッカース硬度は、ボディのビッカース硬度よりも小さくなされていることを特徴とするダイヤフラム弁。ボディのビッカース硬度がHv180~Hv300であり、インナーディスクのビッカース硬度がHv90~Hv150であることを特徴とする請求項1のダイヤフラム弁。シートホルダの取付け時には、ボディとシートホルダとの間に大きい力が作用することがあり、上記従来のものでは、シートの交換を繰り返した場合、ボディが大きく傷つくという問題があった。この発明の目的は、シート交換を繰り返した場合であっても、ボディに大きな傷が付くことを防止したダイヤフラム弁を提供することにある。この発明によるダイヤフラム弁は、流体通路が設けられたボディと、ボディに形成された流体通路の周縁に着脱可能に配置されたシートと、ボディに着脱可能に配置されてシートを保持するシートホルダと、シートに押圧離間されることで流体通路の開閉を行うダイヤフラムと、ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押さえを上下移動させる上下移動手段とを備えているダイヤフラム弁において、ボディおよびシートホルダがいずれも金属製とされて、シートホルダのビッカース硬度は、ボディのビッカース硬度よりも小さくなされていることを特徴とするものである。シートホルダの取付け時には、ボディとシートホルダとの間に大きい力が作用することがあるが、シートホルダのビッカース硬度がボディのビッカース硬度よりも小さく例えば70以下となされていることにより、シートホルダが変形することによって、ボディに傷が付くことが防止される。もしくは、ボディに多少の傷や変形が付いても、再使用することが可能な程度の傷や変形に抑えることができる。シートホルダは、容易に交換可能であるので、シート交換時にこれを新品に交換することで、シートホルダの変形に伴う不具合が生じることが防止される。これにより、シート交換を何度も繰り返した場合であっても、ボディを長期間に亘って使用することが可能であり、ダイヤフラム弁の信頼性が確保される。シートホルダのビッカース硬度をボディのビッカース硬度よりも小さくするには、同じ材料例えばSUS316Lなどのステンレス鋼として、熱処理条件や加工条件を変更することで得ることができ、ボディを一般的に使用されているSUS316Lなどのステンレス鋼として、シートホルダの材料をこれより硬度が低い金属例えばニッケル合金としてもよい。ダイヤフラム弁は、上下移動手段が開閉ハンドルなどの手動弁であってもよく、上下移動手段が適宜なアクチュエータとされた自動弁であってもよく、自動弁の場合のアクチュエータは、流体空気圧によるものでもよく、電磁力によるものでもよい。シートは、例えば合成樹脂製とされるが、金属製であってももちろんよい。ダイヤフラムは、例えば、ニッケル合金薄板からなるものとされ、円形に切り抜き、中央部を上方へ膨出させた逆皿形に形成される。ダイヤフラムは、例えば、ステンレス鋼薄板からなるものや、ステンレス鋼薄板とニッケルコバルト合金薄板との積層体よりなるものとしてもよく、ダイヤフラムの材料は、特に限定されるものではない。また、ダイヤフラムは、1枚であっても、複数枚を重ねた積層体であってもよく、仕様や条件などによって自由に選択することができる。シートホルダは、例えば、孔あき円板状で、シートを保持する内周縁部と、所定間隔で流体流出通路に通じる複数の貫通孔が形成された中間環状部と、ダイヤフラムの外周縁部を挟持する外周縁部とからなるものとされる。なお、この明細書において、ダイヤフラムの軸線方向弾性変形方向を上下方向というものとするが、この方向は、便宜的なものであり、実際の取付けでは、上下方向が鉛直方向とされるだけでなく、水平方向とされることもある。この発明のダイヤフラム弁によると、ボディおよびシートホルダがいずれも金属製とされて、シートホルダのビッカース硬度は、ボディのビッカース硬度よりも小さくなされているので、シート交換を何度も繰り返した場合であっても、ボディを長期間に亘って使用することが可能であり、信頼性が確保される。この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。図1は、この発明によるダイヤフラム弁の1実施形態を示しており、ダイヤフラム弁は、流体流入通路、流体流出通路および上方に向かって開口した凹所を有しているブロック状ボディと、ボディの凹所上部に下端部がねじ合わされて上方にのびる円筒状ボンネットと、流体流入通路の周縁に設けられた環状のシートと、ボディ内のシートの外周に設けられてシートを保持するシートホルダと、シートに押圧または離間されて流体通路を開閉するダイヤフラムと、ダイヤフラムの中央部を押さえるダイヤフラム押さえを下端に有し、ボンネット内に上下移動自在に挿入されてダイヤフラム押さえを介してダイヤフラムをシートに押圧離間させるステムと、ステムを下方に付勢する圧縮コイルばね付勢部材と、ボンネット内周に配置されてステムの上下移動を案内しかつステムの移動範囲を規制するガイド筒と、ダイヤフラムの外周縁部上面とガイド筒の下端との間に配置されてダイヤフラムの外周縁部をシートホルダの外周縁部との間で挟持するダイヤフラム保持リングと、シートホルダを保持してガイド筒の下端部およびダイヤフラム保持リングに着脱可能に取り付けられたリテーナと、ステムおよびダイヤフラム押さえを流体通路を開閉するために圧縮空気で上下移動させる上下移動手段図示略とを備えている。ガイド筒は、厚肉部と、その上方に連なる薄肉部とからなる。厚肉部の内周は、薄肉部の内周よりも径が大きく、厚肉部の内周によって、ステムに設けられたフランジ部の外周を案内するようになっている。厚肉部の外周は、薄肉部の外周よりも径が大きく、厚肉部の上面厚肉部と薄肉部との間の段差面によって、ボンネットの下端面を受けている。したがって、ボンネットがボディにねじ合わされることで、ガイド筒は、ダイヤフラム保持リングを下方に押圧する。こうして、ガイド筒は、ステムを案内するためだけでなく、ダイヤフラム保持リングをボディに固定するための部材ともなっており、ガイド筒とダイヤフラム保持リングとを合わせたものがダイヤフラムの外周縁部をシートホルダとの間で挟持するダイヤフラム保持部材を構成している。シートホルダは、金属製で孔あき円板状とされており、図2に詳しく示すように、シートを保持する内周縁部と、所定間隔で流体流出通路に通じる複数の貫通孔が形成された中間環状部と、ダイヤフラムの外周縁部を挟持する外周縁部とからなる。シートは、下方からシートホルダに嵌め入れられている。リテーナは、略円筒状で、シートの外径にほぼ等しい内径を有しガイド筒の下端部およびダイヤフラム保持リングの外周に嵌め合わされる周壁と、周壁の下端部に設けられてシートホルダの外周縁部を受ける内向きフランジ部とを有している。シートは、シートホルダおよびリテーナからなるダイヤフラム弁用シートホルダユニットに保持されて、ボディ内に配置される。シートは、通常、一定期間使用した場合に交換されるようになされており、シートの交換に際しては、リテーナを取り外すことで、シートホルダおよびこれに保持されたシートを取り外すことができる。そして、シートを交換し、必要に応じて、シートホルダも交換し、シートホルダおよびリテーナからなるダイヤフラム弁用シートホルダユニットにシートが保持された状態で、ボディ内に戻される。こうして、シートの交換を容易に行うことができる。リテーナは、塑性変形する可能性がほとんど無いので、通常、繰り返しての使用が可能であり、また、塑性変形しないことで、シートの交換の容易性が長期間に亘って維持される。従来、ボディおよびシートホルダは、いずれもステンレス鋼SUS316Lとされていたが、この発明のダイヤフラム弁においては、シートホルダのビッカース硬度は、ボディのビッカース硬度よりも小さいものとされている。シートホルダのビッカース硬度を変更した場合のボディの変形の有無ボディの再使用性の可否の試験結果を表1に示す。表1において、ボディのビッカース硬度は、従来と同じとされており、そのビッカース硬度は、Hv230である。このボディのビッカース硬度に対して、約1/2のビッカース硬度Hv113を有するシートホルダを使用してシートホルダの着脱を行った。上記表1の結果から、シートホルダのビッカース硬度をボディのビッカース硬度に比べて小さくすることで、ボディの変形を無くし、ボディを再使用し続けられることが分かる。シートホルダのビッカース硬度の上限は、ボディのビッカース硬度の70とすることが好ましい。シートホルダのビッカース硬度の下限は、特に限定されないが、シートホルダの強度を確保する点から、Hv90以上が好ましい。なお、上記のダイヤフラム弁においては、リテーナを使用しているが、リテーナを使用しないダイヤフラム弁であっても、シートホルダのビッカース硬度をボディのビッカース硬度よりも小さくすることで、上記のボディ傷付き防止効果が得られることはもちろんである。