"ガラス基板と、該ガラス基板の表面に対向配置した欠陥検知手段とを相対移動させ、前記ガラス基板の表面に沿って前記欠陥検知手段を走査させることにより、前記ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査するに際し、前記ガラス基板を、前記相対移動方向と直交する断面において、その表面側が凹状となる湾曲形態で保持することを特徴とするガラス基板の検査方法。前記ガラス基板のうち前記相対移動方向に沿って延びる二辺を一対の端部保持手段でそれぞれ保持することにより、前記ガラス基板を前記湾曲形態で保持することを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の検査方法。前記ガラス基板を縦姿勢とし、その上辺と下辺とを前記一対の端部保持手段でそれぞれ保持することを特徴とする請求項2に記載のガラス基板の検査方法。前記ガラス基板の裏面を裏面支持手段により受止支持しつつ、前記ガラス基板と前記欠陥検知手段とを相対移動させることを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載のガラス基板の検査方法。前記ガラス基板を単一円弧の湾曲形態で保持することを特徴とする請求項1~4の何れか一項に記載のガラス基板の検査方法。前記欠陥検知手段を静止した状態で、前記ガラス基板を移動させることを特徴とする請求項1~5の何れか一項に記載のガラス基板の検査方法。ガラス基板と、該ガラス基板の表面に対向配置した欠陥検知手段とを相対移動させ、前記ガラス基板の表面に沿って前記欠陥検知手段を走査させることにより、前記ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査するように構成された検査装置であって、前記ガラス基板を、前記相対移動方向と直交する断面において、その表面側が凹状となる湾曲形態で保持するように構成されていることを特徴とするガラス基板の検査装置。ところで、この種の検査処理に用いられる欠陥検知手段としてのカメラの焦点は、その撮像範囲の全領域で合うわけではなく、一般には狭角領域で合うように構成されている。そのため、曲がりのないストレート形態に保持されたガラス基板の表面に沿ってカメラを走査させることにより、ガラス基板の表面に欠陥が存するか否かを検査する従来方法では、ガラス基板の表面のうち、カメラのレンズとの離間距離が大きくなる広角領域に存する欠陥を精度良く検出することができない場合がある。このような問題は、例えば、カメラの設置台数を増加させるカメラの設置間隔を狭めることによって可及的に解消し得るが、設備投資が増大するため、ガラス基板の検査処理に要するコストが増大する。また、近年、ガラス基板の更なる大型化や薄板化の進展に伴って、検査対象であるガラス基板の剛性が益々低下する傾向にある。そのため、特許文献3に記載された方法のように、縦姿勢のガラス基板の上辺および下辺を把持しつつ上下方向に張力を付与したとしても、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させる際に生じる振動や気流の影響により、検査中のガラス基板の表裏面方向に振動バタツキや波打ちが生じ易くなっている。ガラス基板にこのような事象が生じると、欠陥検知手段としてカメラを用いる場合に焦点ズレが生じて欠陥検出の精度が低下する、ガラス基板の被把持部への応力集中が生じてガラス基板が破損する、などといった問題の発生確率が高まる。従って、ガラス基板と欠陥検知手段の相対移動速度、すなわちガラス基板の検査処理の実行速度は、高速化するよりもむしろ低速化せざるを得ず、ガラス基板の生産性を有効に高め得ないという問題がある。以上の実情に鑑み、本発明の課題は、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることにより、ガラス基板の表面に欠陥が存するか否かを検査する場合において、設備投資を抑えつつガラス基板の欠陥検出精度を高めることができ、しかもガラス基板の波打ち等に起因する欠陥検出精度の低下や破損等の問題発生を回避して、ガラス基板の生産性向上に寄与することにある。上記課題を解決するために創案された本発明は、ガラス基板と、ガラス基板の表面に対向配置した欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることにより、ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査するに際し、ガラス基板を、相対移動方向と直交する断面において、その表面側が凹状となる湾曲形態で保持することを特徴とする。なお、ここでいうガラス基板の表面とは、ガラス基板の二面のうち、後工程において電極等の素子が形成される側の面を意味する。上記の方法によれば、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることによってガラス基板の欠陥の有無を検査しているガラス基板の検査処理を実行している間、相対移動方向と直交する断面におけるガラス基板の形態は、その表面側が凹状となる湾曲形態に保たれる。ガラス基板をこのような湾曲形態に保持しておけば、欠陥検知手段としてカメラを用いる場合、ガラス基板の表面各部間におけるレンズとの離間距離のばらつきを、ガラス基板をストレート形態に保持する場合に比べて小さくすることができる。そのため、一台のカメラの焦点が合う範囲を拡大することが、すなわち一台のカメラで欠陥を精度良く検出し得る範囲を拡大することができる。これにより、欠陥検知手段を構成するカメラの設置台数を減じて検査装置の構成を簡略化することが、あるいはカメラとして撮像範囲の小さい安価なものを用いることが可能となり、ガラス基板の検査処理に要するコストを低減することができる。また、ガラス基板を上記の湾曲形態に保持しておけば、ガラス基板の表裏面方向の負荷荷重に対する曲げ剛性が高まるので、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させるのに伴って生じる振動や気流がガラス基板の表面又は裏面に作用しても、ガラス基板にその表裏面方向における振動や波打ちが生じ難くなる。そのため、欠陥検知手段としてカメラを用いる場合にも、その焦点ズレに起因した欠陥検出の精度低下を回避することが可能となる。また、ガラス基板に局所的な応力集中が生じ難くなるので、ガラス基板が破損等し難くなる。そして、係る効果が奏されることにより、ガラス基板と欠陥検知手段の相対移動速度、すなわちガラス基板の検査処理速度を速めることができるので、ガラス基板の生産性向上に寄与することができる。上記の構成において、ガラス基板を上記の湾曲形態で保持するための具体的手段として、ガラス基板のうち、上記相対移動方向に沿って延びる二辺相対移動方向と直交する断面の両端部に位置する二辺を、一対の端部保持手段でそれぞれ保持する構成を採用し得る。このようにすれば、ガラス基板の四辺全てを保持する場合に比べ、ガラス基板を上記の湾曲形態で保持するための装置構成を簡略化することができるという利点がある。また、検査装置検査工程へのガラス基板の導入、および検査装置からのガラス基板の取り出しを円滑に実行することができるという利点もある。上記の構成には、ガラス基板を縦姿勢この縦姿勢には、鉛直方向に沿った垂直姿勢のみならず、鉛直方向に対して所定角度傾斜した傾斜姿勢も含むとし、その上辺と下辺とを一対の端部保持手段でそれぞれ保持する場合と、ガラス基板を横姿勢とし、その両側辺を一対の端部保持手段でそれぞれ保持する場合とが含まれる。ガラス基板を縦姿勢として検査処理を実行すれば、ガラス基板を横姿勢として検査処理を実行する場合に比べ、検査装置の占有スペースを減じて、ガラス基板の製造装置の省スペース化に寄与することができるという利点がある。また、ガラス基板を縦姿勢として検査処理を実行すれば、ガラス基板の下端を基準として欠陥検知手段カメラの設置位置設置態様や設置台数を決定付けることができるので、サイズの異なるガラス基板を検査する場合等、検査装置の仕様を変更する必要が生じた場合にも、その仕様変更を迅速かつ簡便に実行することができるという利点もある。もちろん、検査装置の占有スペース等に特段の制限がないような場合には、ガラス基板を縦姿勢または横姿勢の何れで保持するようにしても構わない。以上の構成において、ガラス基板の裏面を裏面支持手段により受止支持しつつ、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させるようにしても良い。このようにすれば、検査処理実行中のガラス基板を所望の湾曲形態に維持することが、すなわち検査処理実行中のガラス基板の形態が変化するような事態を防止することができるので、欠陥検出の精度向上を図る上で有利となる。なお、ガラス基板の裏面は、電極等の素子が形成される面ではないため、要求品質は表面に比して低い。そのため、ガラス基板の裏面を裏面支持手段により受止支持しても、製品品質上、特段の問題はない。また、以上の構成において、ガラス基板は、例えば曲率の異なる複数の円弧が接続されてなる湾曲形態で保持することができる他、単一円弧の湾曲形態で保持することができる。ガラス基板を単一円弧の湾曲形態で保持した場合、特に、欠陥検知手段を複数のカメラで構成するような場合においては、個々のカメラの焦点合わせを容易化し得るという利点がある。以上に示した本発明の構成上、ガラス基板の検査処理を実行する際には、1欠陥検知手段を静止した状態でガラス基板を移動させる、2ガラス基板を静止した状態で欠陥検知手段を移動させる、あるいは3ガラス基板と欠陥検知手段の双方を移動させる、という三方法の何れかを採用し得る。これら1~3の方法は何れを採用しても構わないが、検査処理を効率的に実行する観点から言えば、1欠陥検知手段を静止させた状態でガラス基板を移動させるのが望ましい。以上に示した本発明に係るガラス基板の検査方法は、特にフラットパネルディスプレイFPD用のガラス基板の検査処理を実行する際に好ましく用いることができる。すなわち、FPDは、大型化および薄板化の他、高画質化が進展していることに加え、パネルメーカー間でのコスト競争も激化していることから、欠陥の検出精度を向上しつつ、ガラス基板の生産性向上に寄与し得る本発明に係る検査方法は特に有益である。もちろん、本発明に係る検査方法は、FPD用のガラス基板以外にも、太陽電池用のガラス基板や電磁調理器用のガラス基板等、その表面上に各種素子が形成される電気電子機器用のガラス基板の検査処理を実行する際に好ましく適用することができる。また、上記課題を解決するため、本発明では、ガラス基板と、ガラス基板の表面に対向配置した欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることにより、ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査するように構成された検査装置であって、ガラス基板を、相対移動方向と直交する断面において、その表面側が凹状となる湾曲形態で保持するように構成されていることを特徴とするガラス基板の検査装置を提供する。このような検査装置によれば、上述した本発明に係るガラス基板の検査方法を採用した場合と同様の作用効果が得られる。以上に示すように、本発明によれば、ガラス基板と欠陥検知手段とを相対移動させ、ガラス基板の表面に沿って欠陥検知手段を走査させることにより、ガラス基板が欠陥を有するか否かを検査する場合において、設備投資を抑えつつ欠陥検出の精度を高めることができる。しかも、検査処理の実行時にガラス基板が波打ち等し難くなるので、ガラス基板の波打ち等に起因する欠陥検出の精度低下や当該ガラス基板の破損等の問題発生を回避することが可能となる。これにより、ガラス基板と欠陥検知手段の相対移動速度、すなわち検査処理速度を速め、ガラス基板の生産性向上に寄与することができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下に示す実施形態では、略矩形をなして四辺の寸法がそれぞれ1000mm以上で、かつ厚みが0.05~1.8mmとされるフラットパネルディスプレイFPD用のガラス基板を検査対象とする。図1に、本発明の第1実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置1の概略側面図を示し、図2に図1中のA-A線矢視断面図を示す。各図に示す検査装置1は、検査対象のガラス基板10を縦姿勢厳密には、図2に示すように、ガラス基板10の上辺11と下辺12を結ぶ直線Lが鉛直方向に対して所定角度傾いた傾斜姿勢で水平方向図1中の矢印X方向に搬送直進搬送する搬送手段2と、搬送手段2の搬送経路上に固定的に配設され、ガラス基板10が欠陥を有するか否かを検査する欠陥検知手段5とを主要部として構成される。欠陥検知手段5は、ガラス基板10の搬送方向と直交する方向鉛直方向に相互に離間して配置した複数台図示例では4台のカメラ6を主要部として構成されている。搬送手段2によって搬送されるガラス基板10の裏面10b側には図示外の光源が一又は複数配設されており、各カメラ6は、光源からガラス基板10に向けて照射された光をガラス基板10の表面10a側で受光し得るように、そのレンズをガラス基板10の表面10aに対向させている。すなわち、本実施形態の欠陥検知手段5は、図示外の光源からガラス基板10に向けて照射された光を、ガラス基板10の反対側で各カメラ6により受光し、その受光した光量の変化に基づいて欠陥の有無を検知するように構成されている。なお、光源は、ガラス基板10の表面10a側に配設しても良いし、ガラス基板10の裏面10b側に配設しても良いし、あるいは、ガラス基板10の表面10a側および裏面10b側の双方に配設しても良い。また、使用可能な欠陥検知手段5は、受光した光量の変化に基づいて欠陥の有無を検知するものに限定されるわけではない。例えば、撮影画像に基づいて欠陥を検知するようなものであっても構わない。搬送手段2は、鉛直方向に離間して設けられた一対の端部保持手段3,4を備えており、縦姿勢で検査装置1に導入されたガラス基板1は、これら端部保持手段3,4によりその上辺11および下辺12を保持されつつ、水平方向に直進搬送される。上側の端部保持手段3は、外周部にガラス基板10の上辺11を嵌合保持する断面V字状の周溝3bが設けられた複数の第1ローラ3aを水平方向に沿って一列に並べて構成され、図中下側の端部保持手段4は、外周部にガラス基板10の下辺12を嵌合保持する断面V字状の周溝4bが設けられた複数の第2ローラ4aを水平方向に沿って一列に並べて構成される。第1ローラ3aと第2ローラ4aの少なくとも一方は、図示しない駆動源からの出力を受けて回転駆動する駆動ローラとされる。また、第1ローラ3aおよび第2ローラ4aとしては、少なくとも外周部を樹脂やゴム等の弾性材料で形成したものが好適に使用される。搬送中のガラス基板10に、ローラ3a,4aとの接触に伴ってキズ等が形成されるのを可及的に回避するためである。本実施形態において、第1ローラ3aは、その外周部の周溝3bを通って延びる直線L1が鉛直方向に沿うように垂直姿勢で配設されている。一方、第2ローラ4aは、その外周部の周溝4bを通って延びる直線L2が鉛直方向に対して所定角度傾くような傾斜姿勢で配設され、かつ、第1ローラ3aの直下位置からガラス基板10の表面10a側に所定量シフトした位置に配設されている。また、第1ローラ3aの周溝3bと第2ローラ4aの周溝4bとの間の離間距離直線距離は、検査対象のガラス基板10の撓みがない状態における上辺11と下辺12間の離間距離よりも所定量小さくなっている。上記した第1ローラ3aおよび第2ローラ4aの配設態様から、検査対象のガラス基板10が検査装置1に導入されると、当該ガラス基板10は、その上辺11と下辺12を結ぶ直線Lが鉛直方向に対して所定角度傾いた傾斜姿勢に保持されると共に、その搬送方向と直交する断面鉛直方向断面において、欠陥検知手段5が配設されている表面10a側が凹状となる湾曲形態、より詳しくは単一円弧の湾曲形態に保持される。そして、この湾曲形態に保持されたままの状態で水平方向に直進搬送されるガラス基板10が、欠陥検知手段5の対向領域を順次通過することにより、ガラス基板10の表面10aに微小傷や異物等の欠陥が存するか否かが検査される。以上で示したように、本発明に係る検査方法によれば、ガラス基板10と欠陥検知手段5とを相対移動させ本実施形態ではガラス基板10のみが移動する、ガラス基板10の表面10aに沿って欠陥検知手段5を走査させることによりガラス基板10の欠陥の有無を検査している間、ガラス基板10の搬送方向と直交する断面におけるガラス基板10の形態は、その表面10a側が凹状となる湾曲形態に保たれる。ガラス基板10をこのような湾曲形態に保持しておけば、ガラス基板10の表面10a各部間におけるカメラ6のレンズとの離間距離のばらつきを、ガラス基板10をストレート形態に保持する場合に比べて小さくすることができる。そのため、一台のカメラ6の焦点が合う範囲を拡大することが、すなわち一台のカメラ6で欠陥を精度良く検出し得る範囲を拡大することができる。これにより、カメラ6の設置台数を減じて検査装置1の構成を簡略化することが、あるいはカメラ6として撮像範囲画角の小さい安価なものを用いることが可能となり、ガラス基板10の検査処理に要するコストを低減することができる。また、ガラス基板10を上記の湾曲形態に保持しておけば、ガラス基板10の表裏面方向の負荷荷重に対する曲げ剛性が高まるので、ガラス基板10を搬送しながら検査処理を実行するのに伴って生じる振動や気流がガラス基板10の表面10aや裏面10bに作用しても、ガラス基板10にその表裏面方向における振動や波打ちが生じ難くなる。そのため、欠陥検知手段5を複数のカメラ6で構成し、これらカメラ6で欠陥検出を行う場合にも、カメラ6の焦点ズレに起因した欠陥検出の精度低下を回避することが可能となる。また、ガラス基板10に局所的な応力集中が生じ難くなるので、ガラス基板10が破損等し難くなる。そして、係る効果が奏されることにより、ガラス基板10の搬送速度、すなわちガラス基板10の検査処理速度を速めることができるので、ガラス基板10の欠陥検出に要するサイクルタイムを減じ、ガラス基板10の生産性向上に寄与することができる。また、ガラス基板10を単一円弧の湾曲形態で保持するようにしたので、複数のカメラ6は、ガラス基板10の搬送方向の直交断面に沿って延びる円弧状の軌跡と同心円上に配置することができる。従って、個々のカメラ6の焦点合わせを容易にかつ適切に実行することができる。さらに、ガラス基板10を縦姿勢厳密には、鉛直方向に対して所定角度傾斜した傾斜姿勢として検査処理を実行するので、ガラス基板10の下端を基準として欠陥検知手段5カメラ6の設置位置設置態様や設置台数を決定付けることができる。そのため、サイズの異なるガラス基板10を検査する場合等、検査装置1の仕様を変更する必要が生じた場合にも、その仕様変更を迅速かつ簡便に実行することができる。また、縦姿勢で搬送されるガラス基板10のうち、その搬送方向水平方向に沿って延びる上辺11および下辺12を、鉛直方向に離間して設けた一対の端部保持手段3,4でそれぞれ保持するようにしたことから、例えばガラス基板10の四辺全てを保持する場合に比べ、ガラス基板10を上記の湾曲形態で保持するための構成を簡略化することができる。また、検査装置1へのガラス基板10の導入、および検査装置1からのガラス基板10の排出取り出しを円滑に実行することができる。以上、本発明の一実施形態について説明を行ったが、本発明に係る検査方法を実施するための検査装置1には種々の変更を施すことができる。以下、その変更例について図面に基づいて説明を行うが、変更点についてのみ詳細に説明を行い、上述の実施形態と実質的に同一の構成には共通の参照番号を付して重複説明を省略する。図3は、本発明の第2実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置1の概略正面図を示している。この実施形態の検査装置1が上述した検査装置1と異なる主な点は、ガラス基板10の裏面10bを受止支持する裏面支持手段をさらに備える点にある。詳述すると、裏面支持手段は、ガラス基板10の搬送方向水平方向および搬送方向と直交する方向鉛直方向に沿って所定間隔で複数設けられた裏部ローラ7にて構成されている。各裏部ローラ7は、その外周部が円弧状に湾曲した円盤状をなし、かつ少なくとも外周部が、第1ローラ3aおよび第2ローラ4aと同様に、樹脂やゴム等の弾性材料で形成されている。そして、複数の裏部ローラ7は、ガラス基板10を、その表面10a側が凹状となる湾曲形態を維持した状態で搬送させ得るように配列されている。複数の裏部ローラ7は、その全てを駆動ローラ又は空転ローラで構成しても良いし、その一部を駆動ローラで構成すると共に残部を空転ローラで構成しても良い。なお、裏部ローラ7の一部または全部を駆動ローラで構成した場合に、駆動ローラからなる裏部ローラ7のみでもガラス基板10に十分な推進力を与えることができるのであれば、第1ローラ3aおよび第2ローラ4aはその全てを空転ローラで構成しても構わない。このようにすれば、検査処理実行中のガラス基板10を所望の湾曲形態に維持することが、すなわち検査処理実行中のガラス基板10の形態が変化するような事態を防止することができるので、例えば自重による撓みが生じ易い大型かつ薄肉のガラス基板10の検査処理を実行するような場合においては、欠陥検出の精度向上を図る上で有利となる。なお、ガラス基板10の裏面10bは電極等の素子が形成される面ではなく、要求品質は表面10aに比して低いことから、ガラス基板10の裏面10bを複数の裏部ローラ7により受止支持し、ガラス基板10の裏面10bが繰り返し裏部ローラ7と接触したとしても、製品品質上、特段の問題は生じない。図4は、本発明の第3実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置1の概略正面図を示している。本実施形態の検査装置1が図1および図2に示す検査装置1と異なる主な点は、各第1ローラ3aを、その外周部の周溝3bを通って延びる直線L1が鉛直方向に対して所定角度傾くような傾斜姿勢で配設すると共に、第1ローラ3aの回転中心と第2ローラ4aの回転中心とを同一の鉛直線上に配設した点にある。但し、第1ローラ3aの周溝3bを通って延びる直線L1の傾斜方向は、第2ローラ4aの周溝4bを通って延びる直線L2の傾斜方向とは逆向きとなっている。このような構成の検査装置1にガラス基板10を導入すると、当該ガラス基板10は、その上辺11と下辺12を結ぶ直線Lを鉛直方向に沿わせつつ、鉛直方向断面において、その表面10a側が凹状となる湾曲形態より詳しくは、単一円弧の湾曲形態に保持された状態で検査処理が実行される。このような構成を採用する場合であっても、上述の第1実施形態を採用する場合と概ね同一の作用効果が得られる。なお、ガラス基板10を上記の湾曲形態に保持した状態で搬送しながら、当該ガラス基板10の検査処理を実行する場合においても、図3に示した第2実施形態と同様に、ガラス基板10の裏面10bを裏面支持手段としての裏部ローラ7により受止支持するようにしても良い図示省略。図5は、本発明の第4実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図を示している。この実施形態の検査装置1が、図1および図2に示す検査装置1と異なる主な点は、複数の第1ローラ3aを、その外周部の周溝3bを通って延びる直線L1が鉛直方向に対して所定角度傾くような傾斜姿勢で配設する一方、複数の第2ローラ4aを、その外周部の周溝4bを通って延びる直線L2が鉛直方向に沿うような垂直姿勢で配設した点にある。このような構成を採用する場合であっても、上述の第1実施形態を採用する場合と概ね同一の作用効果が得られる。図6は、本発明の第5実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図を示している。この実施形態の検査装置1は、縦姿勢で水平方向に搬送されるガラス基板10を、その搬送方向と直交する方向の断面において、その表面10a側が凹状となる湾曲形態に保持したまま検査処理を実行するという以上に示した検査装置1とは異なり、横姿勢で水平方向に搬送されるガラス基板10を、その搬送方向と直交する方向の断面において、その表面10a側が凹状となる湾曲状態に保持したまま検査処理を実行するように構成されている。具体的に述べると、本実施形態の検査装置1は、本発明の第3実施形態に係る検査方法を実施する際に使用する検査装置1図4を、時計回りに90°回転させた構成に相当する。すなわち、検査装置1を構成する搬送手段2は、横姿勢のガラス基板10の搬送方向に沿って延びる二辺両側辺13,14を保持する一対の端部保持手段3,4を備えており、本実施形態の端部保持手段3,4は、図4に示す端部保持手段3,4を時計回りに90°回転させた構成を具備する。このような構成を採用する場合であっても、上述の第1実施形態を採用する場合と概ね同一の作用効果が得られる。図7は、本発明の第6実施形態に係るガラス基板の検査方法を実施する際に使用する検査装置の概略正面図を示している。この実施形態の検査装置1では、図6に示す検査装置1に、ガラス基板10の裏面10bを受止支持するための裏面支持手段複数の裏部ローラ7を追加している。このようにすれば、上述の第2実施形態を採用する場合と概ね同一の作用効果が得られる。以上の実施形態では、ガラス基板10の搬送方向に沿って延びる二辺を保持するための一対の端部保持手段3,4を、何れも、外周部に断面V字状の周溝が設けられたローラの列ローラ群で構成したが、一対の端部保持手段3,4の何れか一方または双方は、ローラと同等の役割を果たし得るその他の部材の群で構成することも可能である。また、以上の実施形態では、ガラス基板10を単一円弧の湾曲形態に保持した状態で検査処理を実行するようにしたが、ガラス基板10を、曲率の異なる複数の円弧を接続した湾曲形態に保持した状態で検査処理を実行するようにしても構わない。また、以上では、ガラス基板10を移動側、欠陥検知手段5を静止側とした場合に本発明に係る検査方法を適用したが、ガラス基板10を静止側、欠陥検知手段5を移動側とする場合や、ガラス基板10と欠陥検知手段5の双方を移動させる場合にも、本発明に係る検査方法を好ましく適用することができる。また、以上では、FPD用のガラス基板10の検査処理を実行するに際して本発明に係る検査方法を適用する場合について説明を行ったが、本発明に係る検査方法は、FPD用のガラス基板以外にも、太陽電池用のガラス基板や電磁調理器用のガラス基板等、その表面上に各種素子が形成される電気電子機器用のガラス基板の検査処理を実行する際に好ましく適用することができる。"