自重を含む0.008~5kgfの貼付荷重で露光原版に貼り付けたときに、エアパスが発生しない粘着層を持つことを特徴とするリソグラフィ用ペリクル。前記粘着層が、ヤング率が0.01~0.10MPa、引張接着強さが0.02~0.10N/mm2であり、表面の平坦度が0~15μmである、請求項1に記載されたリソグラフィ用ペリクル。前記粘着層のヤング率が0.02~0.08MPa、引張接着強さが0.04~0.08N/mm2である、請求項2に記載されたリソグラフィ用ペリクル。したがって本発明の目的は、ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができる、リソグラフィ用ペリクルを提供することにある。本発明の上記の目的は、自重を含む0.008~5kgfの貼付荷重で露光原版に貼り付けてもエアパスが発生しない粘着層を有することを特徴とするリソグラフィ用ペリクルによって達成された。上記粘着層は、ヤング率が0.01~0.10MPa、引張接着強さが0.02~0.10N/mm2であり、表面の平坦度が0~15μmである粘着層であることが好ましい。本発明によれば、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することのできる、リソグラフィ用ペリクルを提供することができる。以下本発明を、図を参照しながら説明する。図1は、本発明のペリクルの構成例を示す、断面概念図である。図において、符号1はペリクル膜、2は接着層、3はペリクルフレームであり、接着層2を介してペリクル膜1がペリクルフレーム3に張設される。符号4はペリクルをマスク表面に貼着するための粘着層、5は露光原版マスク又はレチクル、6はペリクルである。通常、粘着層4の下端面には粘着層4を保護するためのライナー図示せずが剥離可能に貼着されており、使用に際して剥がされる。また本発明においては、ペリクルフレーム3に気圧調整用の穴通気口を設けても良く、更に、パターニングに悪影響を及ぼすパーティクルの侵入を防ぐ目的で、この通気口に除塵用フィルター図示せずを設けても良い。本発明のペリクルに係る構成部材の大きさや材質は、通常のペリクル、例えば半導体リソグラフィ用ペリクル、大型液晶表示板製造リソグラフィ工程用ペリクル等と同様であり、公知のものの中から適宜選択して使用することができる。本発明で使用するペリクル膜の種類については特に制限はなく、例えば、従来からエキシマレーザー用に使用されている、非晶質フッ素ポリマー等が用いられる。非晶質フッ素ポリマーの例としては、サイトップ旭硝子株製の商品名、テフロン登録商標、AFデュポン社製の商品名等が挙げられる。これらのポリマーは、例えばフッ素系溶媒などで適宜溶解することができるので、ペリクル膜作製時に、必要に応じて溶媒に溶解して使用しても良い。ペリクルフレームを構成する材質としては、公知のアルミニウム合金材を使用することができる。アルミニウム合金材を使用する場合は、ペリクルフレームとしての強度が確保される限り特に制限されることはないが、特に、JISA7075、JISA6061、JISA5025等の材料を使用することが好ましい。本発明においては、ペリクルフレームに被膜を設ける前に、サンドブラストや化学研磨等の公知の方法によってペリクルフレーム表面を粗面化することが好ましい。このフレーム表面の粗化の方法は公知の方法の中から適宜選択することができるが、特にアルミニウム合金材に対しては、ステンレス粒、カーボランダム、ガラスビーズ等によって表面をブラスト処理し、更にNaOH等によって化学研磨を行い、表面を粗化する方法が好ましい。本発明のペリクルにおける粘着層4を構成する粘着剤としては、ペリクルの露光原版に対する自重を含む貼付荷重が、0.008~5kgfとなる粘着層を使用する。5kgfを超える貼付荷重でペリクルを貼り付けた場合には、ペリクルフレームの変形が大きく、貼り付けたマスクの形状を歪ませる要因となるからである。粘着剤の種類は公知の粘着剤の中から適宜選択すれば良いが、本発明においては、アクリル樹脂又はシリコーン樹脂を使用することが好ましく、粘着剤としての機能が保てる限り、これらを単独で使用しても2種類以上を混合して用いても良い。前記、ペリクルの露光原版に対する自重を含む貼付荷重が、0.008~5kgfとなる粘着層に用いられる粘着剤は、ヤング率が0.01~0.10MPaであることが好ましく、0.02~0.08MPaであることがより好ましい。ヤング率が0.01MPa以下であると、粘着層の強度が不十分となるため、ペリクルの貼付位置がずれるという可能性がある。また、0.10MPa以上であると、フレームの凹凸を吸収するために十分な柔軟性が得られない。また、前記粘着層の引張接着強さは0.02~0.10N/mm2であることが好ましく、0.04~0.08N/mm2であることがより好ましい。引張接着強さが0.02N/mm2よりも小さいと、露光中や輸送中にペリクルにかかる加速度により、ペリクルが露光原版から剥離する恐れがある。また引張接着強さが0.10N/mm2よりも大きいと、フレームの凹凸に沿って強い接着力が働くので、局所的な応力によってマスクが歪められる原因となる。なお、本発明における粘着層のヤング率及び引張接着強さは、ペリクルを貼り付けたマスクを固定し、ペリクルの一辺を、マスクに垂直な方向に0.1mm/sの速度で引き上げて行う引張試験によって得られる、粘着層の伸びひずみとその応力から求められる。本発明のペリクルにおける前記粘着層の表面の平坦度は0~15μmであることが好ましい。粘着層表面の平坦度が15μmを超えるような凹凸があると、ペリクルをマスクに貼り付けたときに局所的な応力が発生し、これによりマスクが変形する。尚、上記粘着層表面の平坦度は、粘着層を形成させたペリクルフレームの各コーナー4点と4辺の中央4点の計8点における粘着層の高さを測定し、仮想平面を算出して、その仮想平面からの各点の距離のうち、最大値から最小値を引いた差によって算出した値である。粘着層表面の平坦度は、XY軸プログラムステージを有するレーザー変位計により測定することができる。本発明においては、自製の変位計を使用した。以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれによって制限されるものではない。なお、実施例及び比較例におけるマスクは露光原版の例として記載したものであり、レチクルに対しても同様に適用できることはいうまでもない。また本発明では、実施例、比較例ともに外寸が149mm×122mm×3.5mmで肉厚が2mm、粘着層側の端面の平坦度が20μmのペリクルフレームを使用した。ペリクルフレームを純水で洗浄した後、硬化剤を添加した綜研化学株製のアクリル粘着剤商品名:SKダイン1495をシリンジに入れ、ディスペンサーを用いて、前記洗浄したペリクルフレームの端面に塗布した。次いで、硬化時間を30分、硬化温度を140°Cとして、粘着層表面の平坦度が10μmになるように硬化させた。更に、ペリクルフレームの粘着面とは反対側の面に、旭硝子株製のサイトップ接着剤商品名:CTX-Aを塗布した後、130°Cでペリクルフレームを加熱し、接着剤を硬化させた。次に、上記ペリクルフレームよりも大きなアルミ枠に取ったペリクル膜に上記ペリクルフレームの接着剤側を貼り付け、ペリクルフレームよりも外側の膜部分を除去してペリクルを完成させた。得られたペリクルを5kgfの貼付荷重でマスクに貼り付けた。ペリクルフレームを純水で洗浄した後、綜研化学株製のアクリル粘着剤商品名:SKダイン1425と同SKダイン1495を1:1の割合で混合し、硬化剤を添加してシリンジに入れ、ディスペンサーを用いて、前記洗浄したペリクルフレームの端面に塗布した。次いで、硬化時間を30分、硬化温度を140°Cとして、粘着層表面の平坦度が15μmになるように硬化させた。その後、実施例1と同様にしてペリクルを完成させ、得られたペリクルを5kgfの貼付荷重でマスクに貼り付けた。ペリクルフレームを純水で洗浄した後、実施例2で使用したSKダイン1495とSKダイン1425を1:3の割合で混合し、硬化剤を添加してシリンジに入れ、ディスペンサーを用いて、前記洗浄したペリクルフレームの端面に塗布した。次いで、硬化時間を30分、硬化温度を140°Cとして、粘着層表面の平坦度が15μmになるように硬化させた。その後、実施例1と同様にしてペリクルを完成させ、得られたペリクルを2kgfの貼付荷重でマスクに貼り付けた。比較例1実施例1と同様にして、粘着層表面の平坦度が20μmになるようにペリクルを作製し、得られたペリクルを25kgfの貼付荷重でマスクに貼り付けた。比較例2ペリクルフレームを純水で洗浄した後、硬化剤を添加したSKダイン1425をシリンジに入れ、ディスペンサーを用いて、前記洗浄したペリクルフレームの端面に塗布した。次いで、硬化時間を30分、硬化温度を140°Cとして、粘着層表面の平坦度が20μmになるように硬化させた。その後、実施例1と同様にしてペリクルを完成させ、得られたペリクルを5kgfの貼付荷重でマスクに貼り付けた。比較例3ペリクルフレームを純水で洗浄した後、硬化剤を添加した綜研化学株製のアクリル粘着剤商品名:SKダイン1499をシリンジに入れ、ディスペンサーを用いて、前記洗浄したペリクルフレームの端面に塗布した。次いで、硬化時間を30分、硬化温度を140°Cとして、粘着層表面の平坦度が20μmになるように硬化させた。その後、実施例1と同様にしてペリクルを完成させ、得られたペリクルを5kgfの貼付荷重でマスクに貼り付けた。実施例1~3及び比較例1~3で作製したペリクルをマスクに貼り付ける前と、貼り付けた後のマスクの平坦度をTropel社のFlatMasterを使用して測定した。貼り付け前後におけるマスク各点の高さの差のうち、/-側それぞれにおける最大変化量の絶対値の和を、マスクの最大変形レンジとして算出した。なおペリクルの貼り付けによりマスクが変形した場合には、平坦度が変化していない場合でも最大変形レンジは大きな値となることがあるので、マスクの変形/歪みの指標として、最大変形レンジは平坦度よりも有効である。その後、これらのマスクを、80°Cに保ったオーブン中で72時間静置して貼り付け状態を観察し、エアパスとペリクル位置のズレの有無について調べた。また、別途同条件で作製したペリクルをマスクから剥離したときにおける、粘着層の引張接着強さと伸びを測定し、これらの値からヤング率を求めた。得られた結果を表1に示した。表1の結果から、本発明のペリクルがエアパス及び位置ズレの発生を防ぎつつ、マスクの変形を低減することができることが実証された。