"金属酸化物ゾル、並びに金属塩及び/又は金属水酸化物ゾルを含む出発原料を、流通式反応装置中で昇温及び熱処理する、高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。前記熱処理を、温度200°C以上及び圧力10MPa以上で実施する請求項1に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。前記出発原料を超臨界水と混合することで、前記昇温及び熱処理を実施する請求項1又は2に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。前記昇温及び熱処理を2分以内とする請求項1~3のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。前記昇温及び熱処理を、酸化状態下又は還元状態下で実施することで、高結晶性酸化物微粒子の酸素量及び/又は金属イオン価数を制御する請求項1~4のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。前記酸化状態又は還元状態を、過酸化水素水、ギ酸及びアンモニアからなる群から選択される1以上の制御剤で制御する請求項5に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。有機修飾剤を前記昇温及び熱処理前、又は前記昇温及び熱処理後に供給する請求項1~6のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。前記有機修飾剤が、カルボン酸、アミン、アルコール、アルデヒド又はチオールである請求項7に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。前記有機修飾剤を前記昇温及び熱処理後に供給する場合に、昇温開始から有機修飾剤の供給までの時間を5分以内とする請求項7又は8に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。未反応の有機修飾剤を溶剤で洗浄する請求項7~9のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。請求項1~10のいずれかの方法で得られる高結晶性金属酸化物微粒子。平均粒子径が200nm以下である請求項11に記載の高結晶性金属酸化物微粒子。インジウム含有量が10~99atmであり、スズ含有量が1~70atmであり、及び亜鉛含有量が0~70atmである請求項11又は12に記載の高結晶性金属酸化物微粒子。粒子表面に有機修飾基が結合してなる請求項11~13のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子。本発明の目的は、多数の工程を必要としないため製造時間を短縮でき、且つ製造コストが安価な高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法を提供することである。本発明によれば、以下の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法等が提供される。1.金属酸化物ゾル、並びに金属塩及び/又は金属水酸化物ゾルを含む出発原料を、流通式反応装置中で昇温及び熱処理する、高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。2.前記熱処理を、温度200°C以上及び圧力10MPa以上で実施する1に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。3.前記出発原料を超臨界水と混合することで、前記昇温及び熱処理を実施する1又は2に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。4.前記昇温及び熱処理を2分以内とする1~3のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。5.前記昇温及び熱処理を、酸化状態下又は還元状態下で実施することで、高結晶性酸化物微粒子の酸素量及び/又は金属イオン価数を制御する1~4のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。6.前記酸化状態又は還元状態を、過酸化水素水、ギ酸及びアンモニアからなる群から選択される1以上の制御剤で制御する5に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。7.有機修飾剤を前記昇温及び熱処理前、又は前記昇温及び熱処理後に供給する1~6のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。8.前記有機修飾剤が、カルボン酸、アミン、アルコール、アルデヒド又はチオールである7に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。9.前記有機修飾剤を前記昇温及び熱処理後に供給する場合に、昇温開始から有機修飾剤の供給までの時間を5分以内とする7又は8に記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。10.未反応の有機修飾剤を溶剤で洗浄する7~9のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法。11.1~10のいずれかの方法で得られる高結晶性金属酸化物微粒子。12.平均粒子径が200nm以下である11に記載の高結晶性金属酸化物微粒子。13.インジウム含有量が10~99atmであり、スズ含有量が1~70atmであり、及び亜鉛含有量が0~70atmである11又は12に記載の高結晶性金属酸化物微粒子。14.粒子表面に有機修飾基が結合してなる11~13のいずれかに記載の高結晶性金属酸化物微粒子。本発明によれば、多数の工程を必要としないため製造時間を短縮でき、且つ製造コストが安価な高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法が提供できる。本発明の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法は、金属酸化物ゾル、並びに金属塩及び/又は金属水酸化物ゾルを含む出発原料を、流通式反応装置中で昇温及び熱処理する工程を含み、沈殿法のような多工程を必要とせず、製造工程を大幅に簡略化することができる。本発明の製造方法では、好ましくは上記出発原料を、当該出発原料が水に溶解した出発原料水溶液として用いる。尚、出発原料を溶解させる溶媒は水に限定されず、出発原料が溶解できる溶媒を適宜用いることができる。以下、本発明の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法を図面を参照して説明する。図1は、本発明の高結晶性金属酸化物微粒子の製造方法の一実施形態を示す概略フロー図である。本発明の製造方法では、原料液タンク10から金属酸化物ゾル、並びに金属塩及び/又は金属水酸化物ゾルを含む出発原料水溶液が、蒸留水タンク20から蒸留水が、及び任意に設けられる制御剤タンク30から制御剤が、それぞれポンプ12、22及び32によって、流通式反応容器50に供給される。そして反応容器50内において、その供給過程において加熱ヒーター40により所定の温度まで予め加熱された蒸留水と出発原料水溶液及び任意の制御剤が接触し、高結晶性金属酸化物微粒子が生成される。金属酸化物微粒子を製造する際に、通常、出発原料として当該金属特にスズの塩化物又は水酸化物のみを用いるが、特に金属水酸化物は、金属塩化物から調製される場合が多い等の理由から、これら出発原料は塩素を含み、超臨界又は亜臨界雰囲気下では反応装置を腐食させる場合がある。一方、本発明の製造方法では、塩素を含まない金属酸化物ゾルを含む出発原料を用いることにより、流通式反応装置の腐食を防ぐことができる。本発明の製造方法で用いることができる金属酸化物ゾルとしては、例えばSnO2ゾル、ZnOゾル、In2O3ゾルが挙げられる。目的の金属酸化物微粒子が複合金属酸化物微粒子である場合、出発原料は、当該複合金属酸化物を構成する少なくとも1種類の金属元素の金属酸化物ゾルを含めばよい。例えば複合金属酸化物微粒子が導電性を有するIZTO微粒子であるとき、Sn源として酸化スズゾル、In源として硝酸インジウム、Zn源として硝酸亜鉛を含む出発原料を用いることができる。出発原料水溶液中の出発原料金属酸化物ゾル、並びに金属塩及び/又は金属水酸化物ゾルの濃度は、出発原料が溶解している範囲であれば特に限定されないが、好ましくは0.0001~1mol/Lの範囲が好ましい。上記出発原料水溶液を流通式反応装置中で急速昇温熱処理をする。流通式反応装置は、出発原料を流通させながら熱処理を行うことができる反応容器であり、当該容器に連結する配管のサイズは特に限定されないが、例えば内径が1~10mm程度である。反応装置内での熱処理は、好ましくは水が亜臨界又は超臨界となる温度200以上及び圧力10MPa以上の熱水と出発原料水溶液を接触させることにより実施し、より好ましくは超臨界水例えば374°C、圧力22MPaと出発原料水溶液を接触させることにより実施する。超臨界水を用いる超臨界水熱合成は、エネルギー効率に優れる合成であり、加熱媒体が水であることから、環境負荷低減にも貢献することができる。尚、原料液と水の接触直後反応器~冷却器までの反応液の温度は例えば200~500°Cとするとよい。上記熱処理は、好ましくは2分以内とし、より好ましくは1分以内、さらに好ましくは30秒以内、特に好ましくは数秒間である。熱処理が2分超では、得られる酸化物微粒子の粒径が大きくなるおそれがあるほか、反応器の配管を長くする必要があり、維持管理費等の製造コストが上昇するおそれがある。上記昇温及び熱処理は、好ましくは酸化状態下又は還元状態下で実施することで、高結晶性酸化物微粒子の酸素量及び/又は金属イオン価数を制御する。酸化状態下又は還元状態下で昇温及び熱処理を実施し、得られる高結晶性酸化物微粒子の酸素量及び/又は金属イオン価数を制御することにより、導電性等を制御することができる。酸化状態又は還元状態は、例えば制御剤を反応容器に供給することにより作り出すことができ、当該制御剤は、好ましくは過酸化水素水、ギ酸及びアンモニアからなる群から選択される1以上の制御剤である。尚、図1では制御剤タンク30に制御剤を充填しているが、制御剤タンク30を設けずに当該制御剤を原料液タンク10に出発原料と共に充填してもよく、また、タンク30とタンク10の両方に充填してもよい。本発明の製造方法では、好ましくは有機修飾剤を流通式反応装置に供給する、又は昇温及び熱処理後生成した高結晶性金属酸化物微粒子に供給する。有機修飾剤を供給することにより、得られる高結晶性金属酸化物微粒子の表面に有機修飾剤の有機分子残基有機配位子が結合し、微粒子の有機溶媒との相溶性を高めることができる。有機修飾剤を供給して得られる有機修飾高結晶性金属酸化物微粒子は、有機溶媒に対して安定に分散状態を維持でき、例えば、適当な溶剤例えば、水、メタノール、エタノール、2-プロパノール、1-プロパノール、1-メトキシ-2-プロパノール、2-メトキシ-1-プロパノール、1-エトキシ-2-プロパノール、2-エトキシ-1-プロパノール、2-メトキシエチルアセテート、2-メトキシ-1-プロピルアセテート、1-メトキシ-2-プロピルアセテート、2-エトキシエチルアセテート、2-ブトキシエチルアセテート、テトラヒドロフルフリルアルコール、炭酸プロピレン、N,N―ジメチルホルムアミド、N―メチルホルムアミド、N―メチルピロリドン、2-エトキシエタノール、2-ブトキシエタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジエチルケトン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、イソホロン、シクロヘキサノン、2-エトキシエタノール、2-ブトキシエタノール等を媒体とした分散液とすることができる。従って、本発明の製造方法では、高結晶性金属酸化物微粒子分散液を少ない工程数で一気に製造することが可能となる。図1のプロセスで本発明の製造方法を実施する場合、有機修飾剤は、例えば原料液タンク10に出発原料と共に充填するとよい。また、図2に示すように有機修飾剤タンク80を別途設け、ポンプ82によって反応容器50供給するルート1、又は反応容器50と冷却器60の間に供給することによっても実施できるルート2。有機修飾剤を昇温及び熱処理後に供給する場合には、好ましくは昇温開始から有機修飾剤の供給までの時間を5分以内とし、より好ましくは3分以内、さらに好ましくは1分以内、特に好ましくは数秒以内とする。有機修飾剤の供給までの時間が昇温開始から5分超の場合、得られる酸化物微粒子の粒径が大きくなるおそれがあるほか、反応器の配管を長くする必要があり、維持管理費等の製造コストが上昇するおそれがある。上記有機修飾剤は、好ましくはカルボン酸例えばペンタン酸、ヘキサン酸、及びヘプタン酸、アミン例えばペンタンアミド、ヘキサンアミド、及びオクタンアミド、アルコール例えばペンタノール、ヘキサノール、及びヘプタノール、アルデヒド例えばペンタナール、ヘキサナール、及びヘプタナール又はチオール例えばペンタンチオール、ヘキサンチオール、及びヘプタンチオールである。有機修飾剤を供給することにより得られる有機修飾高結晶性酸化物微粒子は、好ましくは未反応の有機修飾剤を溶剤で洗浄する。未反応の有機修飾剤が残っていると、粒子間の接触を妨害して微粒子の導電性が低下するおそれがある。洗浄に用いる溶媒としては、アセトン、エタノール、シクロヘキサン、MiBKメチルイソブチレンケトンが挙げられる。反応容器50内での反応により生成した高結晶性金属酸化物微粒子は、通常、冷却器60により室温にまで冷却され、背圧弁70を経由して反応混合物として得られる。反応混合物からの高結晶性金属酸化物微粒子の分離は、物理的及び/又は化学的な公知の手段を適用することができる。特に有機修飾剤によって高結晶性金属酸化物微粒子に有機溶媒に対する相溶性が付与されている場合、親水性又は疎水性である有機溶媒を利用して、相分離又は相分配により微粒子を分離することができる。好適には、溶媒抽出等も使用できる。本発明の製造方法により得られる高結晶性金属酸化物微粒子は導電性を有し、有機修飾剤によって有機溶媒に対する相溶性を付加することで得られる高結晶性金属酸化物微粒子分散液は、導電性ペーストや塗布液とすることができる。これら導電性ペーストや塗布液を、ガラス、プラスチック等の基材に塗布、印刷、浸漬、スピンコート又は噴霧等の手段で塗工し、乾燥することで透明導電膜とすることができる。この膜は、ガラス、プラスチック等の帯電防止や埃の付着防止に有効である。また、ディスプレーや計測器の窓ガラスの帯電防止や埃の付着防止に用いることもできる。さらに、電界効果型薄膜トランジスタとして用いることも可能である。本発明の高結晶性金属酸化物微粒子の平均粒径は、好ましくは200nm以下であり、導電性及び透明性の観点からより好ましくは50nm以下である。平均粒子径を200nm以下とすることにより、透明導電性が要求される用途や平滑性が求められる薄膜用途にも微粒子を使用することができる。本発明の高結晶性金属酸化物微粒子は、好ましくはIZTOインジウム亜鉛スズ酸化物微粒子又はITOインジウムスズ酸化物微粒子であり、より好ましくはインジウム含有量が10~99atmであり、スズ含有量が1~70atmであり、及び亜鉛含有量が0~70atmであるIZTO微粒子又はITO微粒子であり、さらに好ましくはインジウム含有量が20~70atmであり、スズ含有量が5~60atmであり、及び亜鉛含有量が5~60atmであるIZTO微粒子である。本発明の方法で製造する場合、出発原料の原子比を上記範囲に設定することにより、これら微粒子を製造することができる。実施例1[IZTO微粒子の製造]図1に示すプロセスでIZTO微粒子の製造方法を実施した。原料液タンクには、InNO333H2O、ZnNO326H2O及びSnO2ゾル多木化学を含み、モル比がIn/Zn/SnTin=4/3/3である全金属モル濃度が0.05Mである出発原料水溶液を充填した。当該水溶液はさらに有機修飾剤であるヘキサン酸を0.1Mで含む。また、制御剤タンクには、1.0Mのギ酸を充填した。原料液タンクから、有機修飾剤を含む出発原料水溶液を6mL/分で、蒸留水タンクから蒸留水を36mL/分で、制御剤タンクからギ酸を4mL/分で反応容器に供給し、これらの反応容器での合流後の温度を450°Cとし、且つ容器内の圧力を30MPaにして反応を実施した。反応後の得られたIZTO分散液を、エタノールで2回洗浄した後、アセトンで3回洗浄し、遠心分離して、乾燥させることによりIZTO微粒子を得た。得られた微粒子のX線回折結果を図3に示す。当該パターンから得られた微粒子が結晶構造を有していることが確認できる。また、得られた微粒子の平均粒子径を測定したところ、約20nmであった。得られた微粒子に荷重をかけ、粒子かさ密度3g/cm3での導電性を評価した。また、得られた微粒子を窒素雰囲気下で熱処理600°C、30分間し、焼成後の微粒子の導電性を上記と同様にして評価した。結果を表1に示す。実施例2-4出発原料のモル比を表1に示すモル比に変更した他は実施例1と同様にして、IZTO微粒子の製造を実施し、その導電性を評価した。得られた微粒子のX線回折結果を図3に、導電性の評価結果を表1に示す但し、実施例2については、焼成処理後の導電性評価は行っていない。尚、実施例2-4の微粒子は、いずれも平均粒子径が約20nmであった。比較例1SnO2ゾルの代わりにSnCl4から合成したSnOH4ゾルを使用した他は実施例1と同様にしてIZTO微粒子の合成を実施したが、ラインに穴が開き、継続的なIZTO微粒子の製造はできなかった。これは残留するCl-イオンが原因と考えられる。"