"流動性材料と粉体材料とを混合し分散する混合分散装置において、前記流動性材料の吸入口側の流動性材料側領域と前記粉体材料の吸入口側の粉体側領域とを仕切る仕切板と、前記流動性材料側領域に回転可能に配置され、径方向内方から吸入した前記流動性材料を径方向外方へ送出する回転羽根と、前記回転羽根から送出された前記流動性材料をさらに径方向外方の混合領域に向かって増速して送出する流動性材料用案内通路を有し、前記混合領域における前記流動性材料の流通に伴って前記粉体側領域における前記粉体材料を前記混合領域へ誘導する誘導部材と、を備え、前記誘導部材は、前記回転羽根の回転方向の逆方向に回転する、混合分散装置。前記誘導部材は、前記粉体側領域における前記粉体材料を前記混合領域に向かって案内する粉体用案内通路を有する、請求項1の混合分散装置。前記流動性材料用案内通路および前記粉体用案内通路は、径方向外方に行くに従って前記誘導部材の回転方向とは反対方向に位相がずれるように形成されている、請求項2の混合分散装置。前記流動性材料用案内通路および前記粉体用案内通路は、径方向外方に行くに従って流路断面積が小さくなるように形成されている、請求項2または3の混合分散装置。前記混合分散装置は、前記誘導部材より下流側に配置され、前記回転羽根に連結され前記回転羽根と一体的に回転可能な第一回転体と、前記第一回転体より下流側に配置され、前記誘導部材に連結され前記誘導部材と一体的に回転可能であり、前記第一回転体とにより前記流動性材料と前記粉体材料との混合材料を分散させる第二回転体と、をさらに備える、請求項1~4の何れか一項の混合分散装置。特許文献2に記載の装置において、材料の吸入能力を向上させるためには、回転羽根の回転速度を高くする必要がある。しかしながら、回転羽根を高速回転すると、回転アンバランスによる振動が発生しやすくなる。さらに、高速回転による騒音の問題も発生する。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、振動や騒音の発生を抑制しつつ、材料の吸入能力を向上することができる混合分散装置を提供することを目的とする。そこで、本発明者らは、鋭意研究を重ね、ディフューザポンプの基本概念を利用しつつ、従来固定されていたディフューザを回転羽根に対して逆方向に回転することを思いつき、本発明を発明するに至った。請求項1本発明に係る混合分散装置は、流動性材料と粉体材料とを混合し分散する混合分散装置において、前記流動性材料の吸入口側の流動性材料側領域と前記粉体材料の吸入口側の粉体側領域とを仕切る仕切板と、前記流動性材料側領域に回転可能に配置され、径方向内方から吸入した前記流動性材料を径方向外方へ送出する回転羽根と、前記回転羽根から送出された前記流動性材料をさらに径方向外方の混合領域に向かって増速して送出する流動性材料用案内通路を有し、前記混合領域における前記流動性材料の流通に伴って前記粉体側領域における前記粉体材料を前記混合領域へ誘導する誘導部材とを備える。そして、前記誘導部材は、前記回転羽根の回転方向の逆方向に回転する。請求項2また、前記誘導部材は、前記粉体側領域における前記粉体材料を前記混合領域に向かって案内する粉体用案内通路を有するようにしてもよい。請求項3また、前記流動性材料用案内通路および前記粉体用案内通路は、径方向外方に行くに従って前記誘導部材の回転方向とは反対方向に位相がずれるように形成されているようにしてもよい。請求項4また、前記流動性材料用案内通路および前記粉体用案内通路は、径方向外方に行くに従って流路断面積が小さくなるように形成されているようにしてもよい。請求項5また、前記混合分散装置は、前記誘導部材より下流側に配置され、前記回転羽根に連結され前記回転羽根と一体的に回転可能な第一回転体と、前記第一回転体より下流側に配置され、前記誘導部材に連結され前記誘導部材と一体的に回転可能であり、前記第一回転体とにより前記流動性材料と前記粉体材料との混合材料を分散させる第二回転体とをさらに備えるようにしてもよい。請求項1回転羽根を回転させると共に、誘導部材を回転羽根の反対方向に回転させることで、回転羽根と誘導部材との回転速度差を大きくすることができる。これにより、回転羽根の回転速度を低くしたとしても、流動性材料用案内通路から混合領域へ流動する流動性材料を増速することができる。その結果、粉体側領域から混合領域へ粉体材料を確実に誘導することができる。そして、回転羽根の回転速度を高くしないため、回転アンバランスによる振動の発生および騒音の発生を抑制することができる。なお、誘導部材が、ディフューザポンプを構成するディフューザに相当する部材である。請求項2誘導部材が粉体用案内通路を有することにより、粉体側領域における粉体材料を混合領域へより効果的に誘導することができる。請求項3流動性材料用案内通路および粉体用案内通路を上記のように形成することで、混合領域における流動性材料の高速化することができる。従って、粉体側領域における粉体材料を混合領域へより効果的に誘導することができる。さらに、流動性材料用案内通路と粉体用案内通路とが同位相の方向にずれるように形成されることで、粉体材料を混合領域へより誘導しやすくなる。請求項4流動性材料用案内通路の流路断面積を下流に向かって小さくすることで、流動性材料をより高速化することができるため、粉体側領域における粉体材料を混合領域へより効果的に誘導することができる。さらに、粉体用案内通路の流路断面積を下流に向かって小さくすることで、粉体材料を混合領域へより誘導しやすくなる。請求項5第一回転体と第二回転体は、それぞれ回転羽根と誘導部材とに連結されている。従って、専用の駆動装置を設置することなく、第一回転体と第二回転体とによる分散能力を得ることができる。本実施形態の混合分散装置は、例えば、リチウムイオン二次電池の電極正極および負極を製造するための装置を構成する。リチウムイオン二次電池の電極は、アルミニウム箔や銅箔などの基材に活物質材料のスラリーを塗布して焼成することにより成形される。本実施形態の混合分散装置は、活物質材料のスラリーを製造する装置である。具体的には、水などの液体に、活物質の金属粉末を混合して分散することにより作られる。以下、粉体材料が混合分散された後のスラリーを流動性混合材料と称し、粉体材料が混合される前の液体を流動性基材料と称する。流動性混合材料および流動性基材料は、共に、流動性を有する。ただし、流動性混合材料は、流動性基材料に比べると、粘度が高く形成されている。本実施形態の混合分散装置について、図1~図3を参照して説明する。混合分散装置は、図1の下方から流動性基材料をハウジング110内に吸入し、図1の上方から粉体材料をハウジング110内に吸入し、ハウジング110内において、流動性基材料と粉体材料とを混合し分散して流動性混合材料を生成する。そして、生成された流動性混合材料をハウジング110の外周面から径方向外方に排出する。この混合分散装置は、装置本体100と、活物質の粉体材料を収容する粉体ホッパ200と、第一駆動装置300と、第二駆動装置400とを備える。ここで、粉体ホッパ200、第一駆動装置300および第二駆動装置400は、装置本体100のハウジング110に支持されている。装置本体100は、ハウジング110、回転仕切部材120、回転羽根130、誘導部材140、第一環状分散部材150、第二環状分散部材160を備える。ハウジング110は、中空円盤状に形成されている。ハウジング110の下面の中心には、流動性基材料を吸入する流動性材料用吸入口111が形成されている。ハウジング110の上面の中心には、円筒状開口部112を有する。この円筒状開口部112は、回転仕切部材120を介して粉体ホッパ200の粉体材料を吸入する。そして、ハウジング110内においては、流動性材料用吸入口111から吸入した流動性基材料と、円筒状開口部112から吸入された粉体材料とを混合し分散させて、流動性混合材料を生成する。さらに、ハウジング110の外周面の一部には、ハウジング110内にて生成された流動性混合材料を排出する排出口113が形成されている。回転仕切部材120は、筒軸部121と、仕切板122とを備える。筒軸部121は、円筒状に形成され、かつ、図1の下端側に径方向に貫通する複数の貫通孔121aを有している。この筒軸部121は、ハウジング110の円筒状開口部112の内周面に回転可能に同軸状に支持されている。筒軸部121の上端には、粉体ホッパ200の粉体材料の排出端を装着可能であって、粉体ホッパ200から粉体材料を吸入する粉体用吸入口121bが形成されている。つまり、粉体ホッパ200から吸入された粉体材料は、筒軸部121の上端に位置する粉体用吸入口121bから吸入され、筒軸部121内部を通過して、筒軸部121の下端に位置する貫通孔121aから排出され、粉体側領域E2に到達する。仕切板122は、円盤状に形成され、その中心部が筒軸部121の図1の下端に固定されている。つまり、仕切板122は、筒軸部121と共に、ハウジング110内に、その中心軸回りに回転可能に配置されている。この仕切板122は、ハウジング110内の中心付近を上下に区画し、下側に位置する流動性材料用吸入口111側の領域E1流動性材料側領域と上側に位置する円筒状開口部112側の領域E2粉体側領域とに仕切っている。回転羽根130は、仕切板122の下面のうち径方向外方の位置に、周方向に複数設けられている。つまり、回転羽根130は、仕切板122の回転に伴って回転する。回転羽根130は、径方向内方に位置する流動性材料用吸入口111から吸入した流動性基材料または流動性混合材料を、径方向外方へ送出するポンプ羽根として機能する。それぞれの回転羽根130は、径方向外方に行くに従って回転羽根130の回転方向とは反対方向に位相がずれるように形成されている。図2においては、回転羽根130の回転方向が右回りであるため、それぞれの回転羽根130の位相は径方向外方に行くに従って左回り側にずれている。誘導部材140は、仕切板122の径方向外方仕切板122および回転羽根130の下流側に配置されている。誘導部材140は、ハウジング110の円筒状開口部112の内周面と回転仕切部材120の筒軸部121の外周面との間に回転可能に支持された回転被支持部144を備えている。つまり、誘導部材140は、ハウジング110および回転仕切部材120に対して回転可能に配置されている。この誘導部材140は、回転羽根130の回転方向とは逆方向に回転される。誘導部材140は、回転羽根130から送出された流動性基材料または流動性混合材料をさらに径方向外方の混合領域に向かって増速して送出する流動性材料用案内通路141を有する。この流動性材料用案内通路141は、径方向外方に行くに従って誘導部材140の回転方向とは反対方向回転羽根130の回転方向に位相がずれるように形成されている。つまり、回転羽根130と誘導部材140の流動性材料用案内通路141とにより、いわゆるディフューザポンプのように機能する。この流動性材料用案内通路141は、径方向外方に行くに従って流路断面積が小さくなるように形成されている。流動性材料用案内通路141の流路断面積を下流に向かって小さくすることで、流動性基材料をより高速化することができる。さらに、誘導部材140は、粉体側領域E2における粉体材料を径方向外方に位置する混合領域に向かって案内する粉体用案内通路142を有する。粉体用案内通路142は、少なくとも径方向内方において、仕切部143を介して、流動性材料用案内通路141とは独立して形成されている。ただし、粉体用案内通路142における径方向外方は、流動性材料用案内通路141における径方向外方に連通している。つまり、流動性材料用案内通路141の径方向外方に位置する混合領域における流動性基材料または流動性混合材料の流通に伴って、粉体用案内通路142を介して粉体側領域E2における粉体材料を混合領域へ誘導することができる。この粉体用案内通路142は、流動性材料用案内通路141と同様の方向に延びるように形成されており、径方向外方に行くに従って誘導部材140の回転方向とは反対方向回転羽根130の回転方向に位相がずれるように形成されている。さらに、粉体用案内通路142は、径方向外方に行くに従って流路断面積が小さくなるように形成されている。このように流動性材料用案内通路141および粉体用案内通路142を形成することで、粉体側領域E2における粉体材料を混合領域へより効果的に誘導することができる。さらに、粉体用案内通路の流路断面積を下流に向かって小さくすることで、粉体材料を混合領域へより誘導しやすくなる。第一環状分散部材150第一回転体は、中心に貫通孔を有する環状に形成されており、回転羽根130の下縁に一体的に連結されている。第一環状分散部材150は、円盤部151、第一内周側凸歯152、第一外周側凸歯153を備える。円盤部151は、回転羽根130の下縁に連結されており、その中心孔が流動性材料用吸入口111に連通している。第一内周側凸歯152は、誘導部材140の径方向外方誘導部材140の下流側である混合領域に配置されており、円盤部151の上面から軸方向上方流動性混合材料の流通方向に直交する方向に突出するように、かつ、周方向に複数形成されている。第一外周側凸歯153は、第一内周側凸歯152の径方向外方であって円盤部151の外周縁から軸方向上方に突出するように、かつ、周方向に複数形成されている。つまり、第一内周側凸歯152および第一外周側凸歯153は、軸方向上方に先端を有し、周方向に連続する櫛歯状に形成されている。これら第一内周側凸歯152および第一外周側凸歯153の歯先は、第二環状分散部材160に対して相対回転可能となるように僅かな隙間を有している。そして、第一内周側凸歯152および第一外周側凸歯153の周方向縁面は、周方向にそれぞれ隣り合う第一内周側凸歯152および第一外周側凸歯153の歯先側の隙間幅が歯元側の隙間幅とほぼ同程度となるように形成されている。第二環状分散部材160第二回転体は、第一環状分散部材150との相対動作によって、流動性混合材料を分散する。この第二環状分散部材160は、誘導部材140の外周面から径方向外方に位置するように、当該外周面に連結されている。つまり、第二環状分散部材160は、誘導部材と一体的に回転可能とされている。この第二環状分散部材160は、第二内周側凸歯161および第二外周側凸歯162を備える。第二内周側凸歯161および第二外周側凸歯162は、ハウジング110の内面から軸方向下方第一内周側凸歯152の突出方向とは反対方向に突出するように、かつ、周方向に複数形成されている。第二内周側凸歯161は、第一内周側凸歯152より下流側径方向外方であって、第一外周側凸歯153の上流側径方向内方に配置されており、それらに対して流動性混合材料の流通方向に対向するように配置されている。また、第二外周側凸歯162は、第一外周側凸歯153の下流側径方向外方に、当該第一外周側凸歯153に対して流動性混合材料の流通方向に対向するように配置されている。第二内周側凸歯161および第二外周側凸歯162の歯先は、第一環状分散部材150の円盤部151に対して僅かな隙間を有している。そして、第二内周側凸歯161および第二外周側凸歯162の周方向縁面は、周方向にそれぞれ隣り合う第二内周側凸歯161および第二外周側凸歯162の歯先側の隙間幅が歯元側の隙間幅とほぼ同程度となるように形成されている。第一駆動装置300は、回転仕切部材120の筒軸部121の上端外周面を回転駆動する。第一駆動装置300は、モータ301と、モータ301の出力軸に固定された駆動プーリ302と、筒軸部121の外周面に固定された従動プーリ303と、駆動プーリ302と従動プーリ303とを懸架するベルト304とを備える。つまり、モータ301が動作することによって、駆動プーリ302の回転駆動がベルト304を介して従動プーリ303に伝達される。このようにして、回転仕切部材120と、回転仕切部材120に連結されている回転羽根130および第一環状分散部材150とが回転する。第二駆動装置400は、誘導部材140の回転被支持部144の上端外周面を回転駆動する。第二駆動装置400は、モータ401と、モータ401の出力軸に固定された駆動プーリ402と、回転被支持部144の外周面に固定された従動プーリ403と、駆動プーリ402と従動プーリ403とを懸架するベルト404とを備える。つまり、モータ401が動作することによって、駆動プーリ402の回転駆動がベルト404を介して従動プーリ403に伝達される。このようにして、誘導部材140および誘導部材140に連結されている第二環状分散部材160が回転する。ここで、第二駆動装置400のモータ401の回転方向は、第一駆動装置300のモータ301の回転方向と逆方向とされている。以上説明した混合分散装置の作用について説明する。第一駆動装置300のモータ301が正回転することにより、回転仕切部材120、回転羽根130、第一環状分散部材150が、ハウジング110に対して正回転する図2および図3の右回り。一方、第二駆動装置400のモータ401が逆回転モータ301の正回転の反対方向の回転することにより、誘導部材140および第二環状分散部材160が、ハウジング110に対して逆回転する図2および図3の左回り。そうすると、回転羽根130と誘導部材140とが相対回転することにより、回転羽根130と誘導部材140とによりディフューザポンプとしての作用が生じ、流動性基材料が流動性材料用吸入口111から流動性材料側領域E1に吸入される。吸入された流動性基材料は、回転羽根130および流動性材料用案内通路141を通過して、混合領域に送出される。そして、流動性基材料の流通によって、粉体材料が粉体用吸入口121bから粉体側領域E2に吸入される。吸入された粉体材料は、粉体用案内通路142を通過して、混合領域に誘導される。混合領域においては、第一環状分散部材150と第二環状分散部材160が配置されている。そして、径方向内方から径方向外方に向かって、第一内周側凸歯152、第二内周側凸歯161、第一外周側凸歯153、第二外周側凸歯162の順に配置されており、相互に相対回転している。従って、誘導部材140から送出された流動性基材料および粉体材料は、混合されつつ、それぞれの凸歯152,153,161,162によるせん断力によって分散される。そして、第二外周側凸歯162を通過した流動性混合材料は、排出口113から外部へ排出される。このようにして、均質な流動性混合材料が生成される。ところで、流動性基材料を混合領域へ流通させるために、回転羽根130を回転させると共に、誘導部材140を回転羽根130の反対方向に回転させることとした。このようにすることで、回転羽根130と誘導部材140との回転速度差を大きくすることができる。これにより、回転羽根130の回転速度を低くしたとしても、流動性材料用案内通路141から混合領域へ流動する流動性材料を増速することができる。その結果、粉体側領域E2から混合領域へ粉体材料を確実に誘導することができる。そして、回転羽根130の回転速度を高くしなくても良いため、回転アンバランスによる振動の発生および騒音の発生を抑制することができる。さらに、第一環状分散部材150と第二環状分散部材160は、それぞれ回転羽根130と誘導部材140とに連結されている。従って、これらを回転するための専用の駆動装置を設置することなく、第一環状分散部材150と第二環状分散部材160とによる分散能力を得ることができる。"