"クランプ本体と、このクランプ本体に軸心方向へ進退可能に挿入されたクランプロッドと、このクランプロッドを進退させる流体圧シリンダを含むロッド駆動機構とを備えたクランプ装置に装備されて、前記クランプロッドの軸心方向の位置を検出するクランプ装置のロッド位置検出装置において、前記クランプ本体に固定的に設けられた弁支持部材と、前記弁支持部材に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材を含む弁機構と、前記弁支持部材に形成され前記弁機構により開閉される位置検出用の流体通路と、前記弁部材を閉弁側へ付勢可能な第1付勢手段と、前記弁部材を開弁側へ付勢可能な第2付勢手段と、前記流体圧シリンダによりクランプロッドを進退方向における予め設定された設定位置へ駆動する際、その設定位置又はその近傍位置で第1付勢手段の付勢力と第2付勢手段の付勢力の大小関係を逆転させる付勢力切換手段と、を備えたことを特徴とするクランプ装置のロッド位置検出装置。前記弁支持部材がクランプ本体の軸心方向基端側部分に配設され、前記弁部材と弁部材から軸心方向先端側へ一体的に延びて流体圧シリンダのクランプロッドを進出駆動する為の進出用流体圧作動室内に突出するロッド部とを有する検出ロッドを備え、前記第1付勢手段は、前記進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢可能に構成され、前記付勢力切換手段は、前記設定位置において第1付勢手段の付勢力を第2付勢手段の付勢力よりも大きくするように変化させることを特徴とする請求項1に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。前記第2付勢手段は、前記検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するバネ部材からなることを特徴とする請求項2に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。前記第2付勢手段は、前記検出ロッドのロッド部の長さ方向途中部に形成された受圧部を有し、前記進出用流体圧作動室内の流体圧を前記受圧部に作用させて検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するように構成されたことを特徴とする請求項2に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。前記進出用流体圧作動室に連通可能にクランプロッドに形成されて、前記検出ロッドのロッド部が軸心方向へ相対移動自在に挿入されるロッド挿入穴を備え、前記第1付勢手段は、前記進出用流体圧作動室から前記ロッド挿入穴に導入された流体圧により検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢することを特徴とする請求項2~4の何れか1項に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。前記付勢力切換手段は、前記検出ロッドのロッド部と、そのロッド部の先端部に一体的に形成された小径ロッド部と、前記クランプロッドが前記設定位置以外のときだけ前記ロッド部と前記ロッド挿入穴の周壁との間をシールするシール部材とを有することを特徴とする請求項5に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。前記ロッド駆動機構によりクランプロッドを退入駆動する際に、前記ロッド挿入穴内の流体を前記進出用流体圧作動室へ排出する流体排出通路が検出ロッドの内部に形成され、この流体排出通路に前記進出用流体圧作動室から前記ロッド挿入穴への流体の流入を逆止するチェック弁が組込まれたことを特徴とする請求項6に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。前記弁機構は、弁支持部材に形成された環状弁座面と、この環状弁座面に対向するように弁部材に形成された環状弁面とを有し、この環状弁面が環状弁座面に当接して前記流体通路を閉じることを特徴とする請求項1~7の何れか1項に記載のクランプ装置のロッド位置検出装置。特許文献1のロッド位置検出装置では、被検出部がクランプロッドと一体的に軸心方向へ移動し、特許文献3のロッド位置検出装置では、検出部材がクランプロッドと一体的に軸心方向へ移動する。つまり、特許文献1,3のロッド位置検出装置では、クランプロッドの位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化することができないため、ロッド位置検出装置をコンパクトに構成することができない。特許文献2のロッド位置検出装置では、被検出部を検出ロッドに取付けて、その移動量を特許文献1の被検出部の移動量よりも小さくすることができるが、ピストンロッドの位置検出を可能にするためには、検出ロッドの移動量をある程度必要とし、結局、軸心方向の検出スペースを小型化するのに限界がある。また、ピストンロッドが中間領域に位置するときに検出ロッドを中立位置に保持する2個の圧縮バネと、ピストンロッドが移動端側領域に位置するときにのみピストンロッドが検出ロッドと係合する係合手段を設ける必要があるため、構造が複雑化し、作動信頼性の問題も懸念される。特許文献1,2のロッド位置検出装置では、被検出部を検出するスイッチやセンサを設ける必要があるが、それらスイッチやセンサをクランプ本体に組込むことは難しい。故に、ピストンロッドや検出ロッドをシリンダよりも軸心方向基端側へ突出させ、そのロッド突出部分に被検出部を取付け、スイッチやセンサをシリンダよりも軸心方向基端側に配設するため、ロッド位置検出装置の構造が大型化し且つ複雑化する。特許文献3のロッド位置検出装置では、検出部材、検出孔、エア通路を設けて、エア通路に供給される加圧エアの圧力変化により、クランプロッドの軸心方向の位置を検出するが、検出部材の閉止部をクランプ本体側部材の検出孔の周面に密着させることは難しい。つまり、検出部材の閉止部により前記周面に開口されたエア通過の通路端を確実に閉止することが難しく、従って、加圧エアを利用したクランプロッドの位置検出が不安定になり、要するに、クランプロッドの位置検出精度を高めることができない場合がある。ここで、クランプロッドと一体的に移動する検出部材の閉止部を前記周面に密着させ、その周面に開口されたエア通過の通路端を確実に閉止するために、クランプロッドに対して検出部材を軸心直交方向へ付勢することは困難である。従って、クランプロッドの位置検出精度を高めるためには、閉止部の外周面と前記周面の加工精度を高めることが要求されるが、そうすると製作コストが高価になる。尚、特許文献4のクランプ検出装置は、クランプ装置とは独立に配設されるものであり、クランプロッドのクランプ状態しか検出することができない。本発明の目的は、クランプロッドの位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化してコンパクトに構成することができるロッド位置検出装置を提供すること、クランプ装置にコンパクトに組込むことができるロッド位置検出装置を提供すること、クランプロッドの位置検出精度を高めることができるロッド位置検出装置を提供すること、等である。請求項1の発明は、クランプ本体と、このクランプ本体に軸心方向へ進退可能に挿入されたクランプロッドと、このクランプロッドを進退させる流体圧シリンダを含むロッド駆動機構とを備えたクランプ装置に装備されて、前記クランプロッドの軸心方向の位置を検出するクランプ装置のロッド位置検出装置において、前記クランプ本体に固定的に設けられた弁支持部材と、前記弁支持部材に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材を含む弁機構と、前記弁支持部材に形成され前記弁機構により開閉される位置検出用の流体通路と、前記弁部材を閉弁側へ付勢可能な第1付勢手段と、前記弁部材を開弁側へ付勢可能な第2付勢手段と、前記流体圧シリンダによりクランプロッドを進退方向における予め設定された設定位置へ駆動する際、その設定位置又はその近傍位置で第1付勢手段の付勢力と第2付勢手段の付勢力の大小関係を逆転させる付勢力切換手段とを備えたことを特徴としている。請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記弁支持部材がクランプ本体の軸心方向基端側部分に配設され、前記弁部材と弁部材から軸心方向先端側へ一体的に延びて流体圧シリンダのクランプロッドを進出駆動する為の進出用流体圧作動室内に突出するロッド部とを有する検出ロッドを備え、前記第1付勢手段は、前記進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢可能に構成され、前記付勢力切換手段は、前記設定位置において第1付勢手段の付勢力を第2付勢手段の付勢力よりも大きくするように変化させることを特徴としている。請求項3の発明は、請求項2の発明において、前記第2付勢手段は、前記検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するバネ部材からなることを特徴としている。請求項4の発明は、請求項2の発明において、前記第2付勢手段は、前記検出ロッドのロッド部の長さ方向途中部に形成された受圧部を有し、前記進出用流体圧作動室内の流体圧を前記受圧部に作用させて検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するように構成されたことを特徴としている。請求項5の発明は、請求項2~4の何れか1項の発明において、前記進出用流体圧作動室に連通可能にクランプロッドに形成されて、前記検出ロッドのロッド部が軸心方向へ相対移動自在に挿入されるロッド挿入穴を備え、前記第1付勢手段は、前記進出用流体圧作動室から前記ロッド挿入穴に導入された流体圧により検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢することを特徴としている。請求項6の発明は、請求項5の発明において、前記付勢力切換手段は、前記検出ロッドのロッド部と、そのロッド部の先端部に一体的に形成された小径ロッド部と、前記クランプロッドが前記設定位置以外のときだけ前記ロッド部と前記ロッド挿入穴の周壁との間をシールするシール部材とを有することを特徴としている。請求項7の発明は、請求項6の発明において、前記ロッド駆動機構によりクランプロッドを退入駆動する際に、前記ロッド挿入穴内の流体を前記進出用流体圧作動室へ排出する流体排出通路が検出ロッドの内部に形成され、この流体排出通路に前記進出用流体圧作動室から前記ロッド挿入穴への流体の流入を逆止するチェック弁が組込まれたことを特徴としている。請求項8の発明は、請求項1~7の何れか1項の発明において、前記弁機構は、弁支持部材に形成された環状弁座面と、この環状弁座面に対向するように弁部材に形成された環状弁面とを有し、この環状弁面が環状弁座面に当接して前記流体通路を閉じることを特徴としている。請求項1の発明によれば、クランプ本体に弁支持部材を固定的に設け、この弁支持部材に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材を含む弁機構により位置検出用の流体通路を開閉し、弁部材を閉弁側へ付勢可能な第1付勢手段、弁部材を開弁側へ付勢可能な第2付勢手段を備え、流体圧シリンダによりクランプロッドを進退方向における予め設定された設定位置へ駆動する際、付勢力切換手段により前記設定位置又はその近傍位置で第1付勢手段の付勢力と第2付勢手段の付勢力の大小関係を逆転させる。これにより、弁部材が作動して前記流体通路が開状態と閉状態の一方から他方へ切換わるため、クランプロッドの前記設定位置を検出可能に構成することができる。クランプロッドの位置検出のために、弁部材を微小ストロークだけ軸心方向へ移動可能にし、弁部材をクランプロッドと一体的に移動させずに構成することができるため、クランプロッドの位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化して、ロッド位置検出装置をコンパクトに構成し、ロッド位置検出装置をクランプ装置にコンパクトに組込むことができる。請求項2の発明によれば、弁支持部材をクランプ本体の軸心方向基端側部分に配設し、検出ロッドの弁部材から軸心方向先端側へ一体的に延びるロッド部を流体圧シリンダの進出用流体圧作動室内に突出させ、その進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢可能に第1付勢手段を構成することができ、即ち、クランプロッドを進出駆動する際の進出用流体圧作動室内の流体圧を第1付勢手段として有効利用することができる。付勢力切換手段により、前記設定位置において第1付勢手段の付勢力を第2付勢手段の付勢力よりも大きくするように変化させるので、弁部材を閉弁側へ移動させて前記流体通路を閉状態にすることができる。進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて前記流体通路を確実に閉状態にすることができるので、クランプロッドの位置検出精度を高めることができる。請求項3の発明によれば、第2付勢手段は検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するバネ部材からなるので、第2付勢手段を簡単に構成することができる。請求項4の発明によれば、第2付勢手段は、検出ロッドのロッド部の長さ方向途中部に形成された受圧部を有し、進出用流体圧作動室内の流体圧を前記受圧部に作用させて検出ロッドを軸心方向先端側へ付勢するように構成したので、クランプロッドを進出駆動する際の進出用流体圧作動室内の流体圧を、第1付勢手段としてだけでなく、第2付勢手段としても有効利用することができる。請求項5の発明によれば、進出用流体圧作動室に連通可能にクランプロッドにロッド挿入穴を形成し、そのロッド挿入穴に検出ロッドのロッド部を軸心方向へ相対移動自在に挿入し、第1付勢手段は進出用流体圧作動室からロッド挿入穴に導入された流体圧により検出ロッドを軸心方向基端側へ付勢するので、進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて検出ロッドを軸心方向基端側へ確実に付勢することができる。請求項6の発明によれば、付勢力切換手段は、検出ロッドのロッド部と、そのロッド部の先端部に一体的に形成された小径ロッド部と、クランプロッドが前記設定位置以外のときだけロッド部とロッド挿入穴の周壁との間をシールするシール部材とを有するので、クランプロッドを設定位置に進出駆動する際、クランプロッドが設定位置に達するまでは、シール部材により進出用流体圧作動室からロッド挿入穴への流体圧の導入を防止して、第2付勢手段の付勢力を第1付勢手段の付勢力よりも大きくして、前記流体通路を確実に開状態に保持することができ、クランプロッドが設定位置に達した場合、シール部材によるシール機能を無効にして進出用流体圧作動室からロッド挿入穴へ流体圧を導入させて、第1付勢手段の付勢力を第2付勢手段の付勢力よりも大きくするように変化させて、前記流体通路を確実に閉状態に切換えることができる。請求項7の発明によれば、ロッド駆動機構によりクランプロッドを退入駆動する際に、ロッド挿入穴内の流体を進出用流体圧作動室へ排出する流体排出通路を検出ロッドの内部に形成したので、ロッド挿入穴内の流体を進出用流体圧作動室へ排出しながらクランプロッドを確実に退入させることができ、この流体排出通路に進出用流体圧作動室からロッド挿入穴への流体の流入を逆止するチェック弁を組込んだので、クランプロッドを進出駆動する際、クランプロッドが設定位置に達するまで、進出用流体圧作動室からロッド挿入穴に流体圧が導入されるのを確実に防止することができる。請求項8の発明によれば、弁機構は、弁支持部材に形成された環状弁座面と、この環状弁座面に対向するように弁部材に形成された環状弁面とを有し、この環状弁面が環状弁座面に当接して前記流体通路を閉じるので、進出用流体圧作動室内の流体圧を用いて弁部材を付勢して、環状弁面を環状弁座面に押圧状に当接させて前記流体通路を確実に閉じることができる。つまり、環状弁面や環状弁座面が多少粗くても、前記流体通路を確実に閉じることができるためクランプロッドの位置検出精度を維持でき、それら環状弁面や環状弁座面の面加工の加工精度を必要以上に高める必要がないためコスト的にも有利になる。以下、発明の実施の形態について実施例に基づいて説明する。図1~図4に示すように、クランプ装置1は、パレット等のベース部材Bに上方突出状に組付けられた旋回式クランプ装置であり、ベース部材Bの固定面Ba上面にワーク等のクランプ対象物Wを固定解除可能に固定する。クランプ装置1は、クランプ本体2と、クランプ本体2に軸心方向上下方向へ進退可能に上方突出状に挿入されたクランプロッド3と、クランプロッド3の上端部に固定されたクランプアーム4と、クランプロッド3を進退させるロッド駆動機構5と、クランプロッド3の進退動作をクランプロッド3の軸心回りの旋回動作に変換する変換機構6と、クランプロッド3の軸心方向の位置を検出するロッド位置検出装置7とを備えている。クランプ本体2は、シリンダ筒部11とシリンダ筒部11の上端壁を含むロッド挿通支持部12とを有する本体部材10と、シリンダ筒部11の下部に内嵌状に固定されたシリンダ下端壁13とを備えている。ベース部材Bには上端開放状の取付穴Bbが形成され、本体部材10のシリンダ筒部11を含む部分が取付穴Bbに内嵌されている。本体部材10のシリンダ筒部11とロッド挿通支持部12との境界付近に形成された段部10aが固定面Baに当接し、ロッド挿通支持部12が複数例えば、4本のボルト2aによりベース部材Bに固定されている。ロッド挿通支持部12には、上部に小径挿通孔12aが形成され、下部に小径挿通孔12aから連続する大径挿通孔12bが形成され、小径挿通孔12aの上部外周側にシール取付凹部12cが形成されている。シリンダ筒部11には、大径挿通孔12bに連通するシリンダ孔11aと、その下側にシリンダ孔11aよりも大径のネジ孔11bが形成されている。シリンダ下端壁13は、シリンダ孔11aの下端部に内嵌されネジ孔11bに螺合されている。クランプロッド3は、クランプ本体2に軸心方向に進退可能に且つ軸心回りに回動可能に支持されている。クランプロッド3は、ナット取付軸部3a、アーム固定軸部3b、中間軸部3c、大径軸部3d、ピストン部3eを上側から下側へ順に連続的に一体形成して構成されている。ナット取付軸部3aとアーム固定軸部3bと中間軸部3cがクランプ本体2から上方へ突出し、中間軸部3cと大径軸部3dが夫々クランプ本体2の小径挿通孔12aと大径挿通孔12bに摺動自在に挿通され、ピストン部3eがクランプ本体2のシリンダ孔11aに摺動自在に内嵌されている。クランプ本体2のシール取付凹部12cには、中間軸部3cに接触する環状のダストシール15が装着されている。クランプアーム4は、その基端部がアーム固定軸部3bに固定されて、軸心方向と直交する水平方向へ延びている。クランプアーム4に形成されたテーパ孔部4aがテーパ状のアーム固定軸部3bに係合して、ナット取付軸部3aに外嵌状に螺合されたナット部材8によりクランプアーム4がアーム固定軸部3bに締結されている。ロッド駆動機構5は複動型の油圧シリンダ20により構成され、クランプロッド3を、図2に示すアンクランプ状態になる最大進出位置と、図4に実線で示す最大退入位置退入位置とに亙って進退駆動可能であり、図4に仮想線で示すように、クランプアーム4がクランプ対象物Wをベース部材Bの固定面Baに押圧して、クランプロッド3はクランプ位置になる。油圧シリンダ20は、クランプロッド3の大径軸部3d及びピストン部3eと、クランプロッド3を退入駆動する為の退入用油圧作動室21と、クランプロッド3を進出駆動する為の進出用油圧作動室22とを有する。退入用油圧作動室21は、本体部材10の小径挿通孔12aと大径挿通孔12bとの境界の段部10bとピストン部3eとの間において、本体部材10とクランプロッド3とで囲まれた部分に形成されている。退入用油圧作動室21は、本体部材10の内部に形成され油路21aに接続され、ロッド挿通支持部12に設けられた油路21aの油圧ポート21bに、油圧供給源側から延びる油圧ホース21cが接続されている。クランプロッド3の大径軸部3d及びピストン部3eには、進出用油圧作動室22に連通可能に下端開放状のロッド挿通孔3fが形成され、このロッド挿入孔3fには検出ロッド35が軸心方向へ相対移動自在に挿入されている。進出用油圧作動室22は、本体部材10とシリンダ下端壁13とクランプロッド3のピストン部3eと検出ロッド35とで囲まれた部分に形成されている。進出用油圧作動室22は、本体部材10の内部に形成された油路22aに接続され、ロッド挿通支持部12に設けられた油路22aの油圧ポート22bに、油圧供給源側から延びる油圧ホース22cが接続されている。クランプロッド3の大径軸部3dとピストン部3eが退入用油圧作動室21に供給された油圧を受圧して、クランプロッド3が退入駆動され、クランプロッド3のピストン部3eが進出用油圧作動室22に供給された油圧を受圧して、クランプロッド3が進出駆動される。尚、油圧作動室21,22からの油のリークを防止する為の複数のシール部材符号省略、図中断面が黒色の部材が設けられている。尚、油圧シリンダ20の代わりに複動型のエアシリンダを採用することも可能である。変換機構6は、本体部材10のロッド挿通支持部12に大径挿通孔12bに臨むように保持された複数例えば、3個の鋼球25と、クランプロッド3の大径軸部3dの外周部に形成され複数の鋼球25に夫々係合する複数例えば、3本の鋼球溝26を有する。各鋼球溝26は、軸心方向と平行方向に延びるストレート鋼球溝26aと、このストレート鋼球溝26aの下端に繋がり90度に亙って形成された旋回鋼球溝26bからなる。クランプロッド3が最大進出位置から最大退入位置へ退入動作する際、先ず、鋼球25は旋回鋼球溝26bに係合するため、クランプロッド3はクランプアーム4と一体的に旋回しながら下降し、90度旋回すると、鋼球25はストレート鋼球溝26aに係合するため、クランプロッド3はクランプアーム4と一体的に旋回せずに下降する。クランプロッド3が最大退入位置から最大進出位置へ進出動作する際は前記と逆の動作になる。尚、複数の鋼球25をクランプロッド3の大径軸部3dに保持し、これら複数の鋼球25に夫々係合する複数の鋼球溝26を本体部材10のロッド挿通支持部12に形成してもよい。次に、ロッド位置検出装置7について説明する。図2、図4、図5に示すように、ロッド位置検出装置7は、クランプ本体2に固定的に設けられた弁支持部材30と、弁支持部材30に上下方向軸心方向へ移動自在に装着された検出ロッド35と、検出ロッド35に設けられた弁部材36を含む弁機構40と、弁支持部材30に形成され弁機構40により開閉される位置検出用の流体通路45と、弁部材36を閉弁側下方へ付勢可能な第1付勢機構50と、弁部材36を開弁側上方へ付勢可能な第2付勢機構55と、油圧シリンダ20によりクランプロッド3を進退方向における予め設定された設定位置である最大進出位置へ進出駆動する際、その最大進出位置又はその近傍位置で第1付勢機構50の下向きの付勢力と第2付勢機構55の上向きの付勢力の大小関係を逆転させる付勢力切換機構60とを備えている。弁支持部材30は、クランプ本体2の下端側部分軸心方向基端側部分に配設され、クランプ本体2のシリンダ下端壁13と、シリンダ下端壁13に固定された下部支持部材31とを有する。シリンダ下端壁13の上部に挿通孔13aが形成され、シリンダ下端壁13の下部に挿通孔13aと連通する下端開放状の凹部13bが形成されている。下部支持部材31は、上部嵌合部31a、鍔状部31b、下部軸状部31cを有する。上部嵌合部31aがシリンダ下端壁13の凹部13bの下部に内嵌され、上部嵌合部31aの上端面には水平且つ平滑な環状弁座面41が形成されている。鍔状部31bは、ベース部材Bの取付穴Bbの下端側部分に内嵌され、複数例えば、4本のボルト32によりシリンダ下端壁13に固定され、取付穴Bbの底面から多少の隙間を空けて配設されている。下部軸状部31cは、ベース部材Bの取付穴Bbの中心部下側に形成された凹部Bcに内嵌されている。下部支持部材31にはバネ装着穴31dが上端開放状に形成されるとともに、この下部支持部材31に前記流体通路45が形成されている。流体通路45は、加圧エアを供給する第1流体通路46と加圧エアを排出する第2流体通路47とを有する。第1流体通路46は下部支持部材31のバネ装着穴31dよりも外周外側部分に上下貫通状に鉛直に形成され、この第1流体通路46の下流側上端の通路端46aが環状弁座面41に開口され、第1流体通路46にはベース部材Bに形成された流体供給通路48が接続されている。第2流体通路47は下部支持部材31の中心部分に上下貫通状にバネ装着穴31dを含めて鉛直に形成され、第2流体通路47にはベース部材Bに形成された流体排出通路49が接続されている。尚、第2流体通路47から加圧エアを供給し、第1流体通路46から加圧エアを排出してもよい。この場合、符号49が流体供給通路になり、符号48が流体排出通路になる。検出ロッド35は、弁部材36と、弁部材36から上方軸心方向先端側へ一体的に延びて進出用油圧作動室22内に突出するロッド部37とを有する。弁部材36はシリンダ下端壁13の凹部13bに微小ストロークだけ上下移動自在に内嵌され、弁部材36の下端面には水平且つ平滑な環状弁面42が形成されている。ロッド部37がシリンダ下端壁13の挿通孔13aに上下移動自在に挿通され、ロッド部37の先端部上端部に小径ロッド部38が一体的に形成され、ロッド部37及び小径ロッド部38がクランプロッド3のロッド挿入穴3fに挿入されている。弁機構40は、弁支持部材31に形成された前記環状弁座面41と、この環状弁座面41に対向するように弁部材36に形成された前記環状弁面42とを有する。第1付勢機構50の付勢力が第2付勢機構55の付勢力よりも大きい場合に、環状弁面42が環状弁座面41に押圧状に当接し第1流体通路46の通路端46aを閉塞するので、流体通路45が閉じられる。第2付勢機構55の付勢力が第1付勢機構50の付勢力よりも大きい場合に、環状弁面42が環状弁座面41から上方へ離隔し第1流体通路46の通路端46aを開放するので、第1,第2流体通路46,47が環状弁座面41と環状弁面42と間の隙間を介して接続され、即ち、流体通路45が開けられる。第1付勢機構50は、進出用油圧作動室22内の油圧を用いて検出ロッド35を下方へ付勢可能に構成されている。前記のように、クランプロッド3のロッド挿入穴3fには検出ロッド35のロッド部37が挿入されており、第1付勢機構50は、進出用油圧作動室22からロッド挿入穴3fに導入された油圧により検出ロッド35を下方へ付勢する。ロッド挿入穴3fにおいて、クランプロッド3と検出ロッド35とで囲まれた部分に、検出ロッド35を下方へ付勢する為の付勢用油圧作動室62が形成される。第2付勢機構55は、検出ロッド35を上方へ付勢するバネ部材56からなり、このバネ部材56が、下部支持部材31のバネ装着穴31dにおいて、検出ロッド35の弁部材36と下部支持部材31との間に装着されている。バネ部材56で検出ロッド35を上方へ付勢する付勢力は、付勢用油圧作動室62に導入された油圧で検出ロッド35を下方へ付勢する付勢力よりも小さくなるように設定されている。付勢力切換機構60は、油圧シリンダ20によりクランプロッド3を進出駆動する際、クランプロッド3の最大進出位置又はその近傍位置において第1付勢機構50の付勢力を第2付勢機構55の付勢力よりも大きくするように変化させる。この付勢力切換機構60は、検出ロッド35の前記ロッド部37及び小径ロッド部38と、クランプロッド3が最大進出位置又は最大進出位置を含むその近傍位置以外のときだけロッド部37とクランプロッド3のロッド挿入穴3fの周壁との間をシールする環状のシール部材61とを有する。つまり、クランプロッド3が最大進出位置又は最大進出位置を含むその近傍位置以外のときには、進出用油圧作動室22から付勢用油圧作動室62への油圧の導入が不可能な状態になる。一方、クランプロッド3が最大進出位置又は最大進出位置を含むその近傍位置のときには、シール部材61によるシール機能は無効になり、進出用油圧作動室22から付勢用油圧作動室62へ油圧が導入される。シール部材61は、クランプロッド3の下部ピストン部3eにロッド挿入穴3fに臨むように装着されている。但し、シール部材61を、検出ロッド35のロッド部37の先端外周部に装着してもよい。油圧シリンダ20によりクランプロッド3を退入駆動する際に、クランプロッド3のロッド挿入穴3f内の油を進出用油圧作動室22へ排出する流体排出通路65が検出ロッド35の内部に形成され、この流体排出通路65に進出用油圧作動室22からクランプロッド3のロッド挿入穴3fへの油の流入を逆止するチェック弁66が組込まれている。流体排出通路65は、上流端が小径ロッド部38の上端面に開口し、下流端がシリンダ下端壁13の上方近傍においてロッド部37の外周面に開口するように形成されている。尚、流体通路45第1,第2流体通路46,47からのエアのリークを防止する為の複数のシール部材符号省略、図中断面が黒色の部材が設けられ、それらの一部は油圧作動室21,22からの油のリークを防止する為のシール部材の一部として併用されている。尚、前記加圧エアの代わりに油圧等の加圧流体を採用してもよい。以上、説明したクランプ装置1の作用効果について説明する。例えば、図6に示すように、複数例えば、4個のクランプ装置1を有するクランプシステムSが構成され、このクランプシステムSは、複数のクランプ装置1によりベース部材Bにクランプ対象物Wを固定解除可能に固定するとともに、複数のクランプ装置1のクランプロッド3の最大進出位置を検出可能である。尚、複数のクランプ装置1の油圧シリンダ20に油圧を供給する油圧系については図示省略する。このクランプシステムSでは、ベース部材Bに形成された流体供給通路48に、複数のクランプ装置1の第1流体通路46が並列接続され、ベース部材Bに形成された流体排出通路49に、複数のクランプ装置1の第2流体通路47が並列接続されている。流体供給通路48の供給ポート48aが加圧エア供給通路71により加圧エア供給源70に接続され、流体排出通路49の排出ポート49aが大気開放されている。加圧エア供給通路71には、方向切制御換弁72が設けられ、方向切換制御弁72よりも下流側に圧力センサ73が接続されている。位置検出制御装置74が、方向切換制御弁72を制御して供給ポート48aへの加圧エアの供給/停止を行うとともに、複数のクランプ装置1のクランプロッド3が進出駆動される際に、供給ポート48aに加圧エアを供給して、圧力センサ73により検出された加圧エアの圧力に基づいて、複数のクランプ装置1のクランプロッド3が最大進出位置か否か検出するロッド位置検出処理を実行する。各クランプ装置1では、油圧シリンダ20によりクランプロッド3を進出駆動する際例えば、クランプロッド3を図4に示す最大退入位置から進出駆動する時、バネ部材56の付勢力により、検出ロッド35の環状弁面42が下部支持部材31の環状弁座面41から上方へ離隔して、第1流体通路46の通路端46aが開放され、第1,第2流体通路46,47流体通路45が接続される。その後、クランプロッド3が図2に示す最大進出位置又はその近傍位置のときに、シール部材61によるシール機能が無効になり、進出用油圧作動室22から付勢用油圧作動室62に油圧が導入され、その油圧により検出ロッド35を下方へ付勢する付勢力は、バネ部材56により検出ロッド35を上方へ付勢する付勢力よりも大きいため、検出ロッド35は下方へ移動し、検出ロッド35の環状弁面42が下部支持部材31の環状弁座面に押圧状に接触する。つまり、環状弁面42により第1流体通路46の通路端46aが閉塞され、第1,第2流体通路46,47流体通路45が遮断される。位置検出制御装置74でロッド位置検出処理を実行するにあたって、複数のクランプ装置1の第1,第2流体通路46,47の全てが遮断された状態における通路71内の加圧エアの圧力を判定基準圧として予め設定しておく。ロッド位置検出処理では、複数のクランプ装置1のクランプロッド3の進出駆動が開始されてから、設定時間内に圧力センサ73により検出された圧力が判定基準圧以上になると、複数のクランプ装置1のクランプロッド3の全てが正常に進出動作して最大進出位置に切換わったと判定され、そうならない場合、複数のクランプ装置1のクランプロッド3の少なくとも1つが最大進出位置に切換わっていない、或いは、正常に進出動作していないと判定される。この場合、ベース部材Bへのクランプ対象物Wの着脱作業を実行させないようにすることができ、また、何らかの報知機器により外部に報知することができる。尚、圧力センサ73の代わりに圧力スイッチを採用してもよい。この場合、その圧力スイッチが前記判定基準圧を境界にオンオフが切換わるように構成されたものにして、前記同様のロッド位置検出処理を実現することができる。本発明のロッド位置検出装置7によれば、クランプ本体2に弁支持部材30を固定的に設け、この弁支持部材30に軸心方向へ移動自在に装着された弁部材36を含む弁機構40により位置検出用の流体通路45を開閉し、弁部材36を閉弁側へ付勢可能な第1付勢機構50、弁部材36を開弁側へ付勢可能な第2付勢機構55を備え、油圧シリンダ20によりクランプロッド3を最大進出位置へ駆動する際、付勢力切換機構60によりクランプロッド3の最大進出位置又はその近傍位置で第1付勢機構50の付勢力と第2付勢機構55の付勢力の大小関係を逆転させる。これにより、弁部材36が作動して流体通路45が開状態から閉状態へ切換わるため、流体通路45に供給される加圧エアの圧力上昇を検知して、クランプロッド3の最大進出位置を検出可能に構成することができる。クランプロッド3の位置検出のために、弁部材36を微小ストロークだけ軸心方向へ移動可能にし、弁部材36をクランプロッド3と一体的に移動させずに構成することができるため、クランプロッド3の位置検出に必要な軸心方向の検出スペースを小型化して、ロッド位置検出装置7をコンパクトに構成し、ロッド位置検出装置7をクランプ装置1にコンパクトに組込むことができる。弁支持部材30をクランプ本体2の軸心方向基端側部分に配設し、検出ロッド35の弁部材36から軸心方向先端側へ一体的に延びるロッド部37を油圧シリンダ20の進出用油圧作動室22内に突出させ、その進出用油圧作動室22内の油圧を用いて検出ロッド35を軸心方向基端側へ付勢可能に第1付勢機構50を構成することができ、即ち、クランプロッド3を進出駆動する際の進出用油圧作動室22内の油圧を第1付勢機構50として有効利用することができる。第2付勢機構55は検出ロッド35を軸心方向先端側へ付勢するバネ部材56からなるので、第2付勢機構55を簡単に構成することができる。付勢力切換機構60により、クランプロッド3の最大進出位置において第1付勢機構50の付勢力を第2付勢機構55の付勢力よりも大きくするように変化させるので、弁部材36を閉弁側へ移動させて流体通路45を閉状態にすることができる。進出用油圧作動室22内の油圧を用いて流体通路45を確実に閉状態にすることができるので、クランプロッド3の位置検出精度を高めることができる。進出用油圧作動室22に連通可能にクランプロッド3にロッド挿入穴3fを形成し、そのロッド挿入穴3fに検出ロッド35のロッド部37を軸心方向へ相対移動自在に挿入し、第1付勢機構55は進出用油圧作動室22からロッド挿入穴3fに導入された油圧により検出ロッド35を軸心方向基端側へ付勢するので、進出用油圧作動室22内の油圧を用いて検出ロッド35を軸心方向基端側へ確実に付勢することができる。付勢力切換機構60、検出ロッド35のロッド部37と、そのロッド部37の先端部に一体的に形成された小径ロッド部38と、クランプロッド3が最大進出位置以外のときだけロッド部37とロッド挿入穴3fの周壁との間をシールするシール部材61とを有するので、クランプロッド3を最大進出位置に進出駆動する際、クランプロッド3が最大進出位置に達するまでは、シール部材61により進出用油圧作動室22からロッド挿入穴3fへの油圧の導入を防止して、第2付勢機構55の付勢力を第1付勢機構55の付勢力よりも大きくして、流体通路45を確実に開状態に保持することができ、クランプロッド3が最大進出位置に達した場合、シール部材61によるシール機能を無効にして進出用油圧作動室22からロッド挿入穴3fへ油圧を導入させて、第1付勢機構50の付勢力を第2付勢機構55の付勢力よりも大きくするように変化させて、流体通路45を確実に閉状態に切換えることができる。油圧シリンダ20によりクランプロッド3を退入駆動する際に、ロッド挿入穴3f内の油を進出用油圧作動室22へ排出する流体排出通路65を検出ロッド35の内部に形成したので、ロッド挿入穴3f内の油を進出用油圧作動室22へ排出しながらクランプロッド3を確実に退入させることができ、この流体排出通路65に進出用油圧作動室22からロッド挿入穴3fへの油の流入を逆止するチェック弁66を組込んだので、クランプロッド3を進出駆動する際、クランプロッド3が最大進出位置に達するまで、進出用油圧作動室22からロッド挿入穴3fに油圧が導入されるのを確実に防止することができる。弁機構40は、弁支持部材30に形成された環状弁座面41と、この環状弁座面41に対向するように弁部材36に形成された環状弁面42とを有し、この環状弁面42が環状弁座面41に当接して流体通路45を閉じるので、進出用油圧作動室22内の油圧を用いて弁部材36を付勢して、環状弁面42を環状弁座面41に押圧状に当接させて流体通路45を確実に閉じることができる。つまり、環状弁面42や環状弁座面41が多少粗くても、流体通路45を確実に閉じることができるためクランプロッド3の位置検出精度を維持することができ、それら環状弁面42や環状弁座面41の面加工の加工精度を必要以上に高める必要がないためコスト的にも有利になる。クランプロッド3が旋回しても検出ロッド35は旋回しないように、検出ロッド35を弁支持部材30に対して回り止めする構造例えば、キー手段を設けてもよい。以下、実施例1を部分的に変更した別実施例について説明する。但し、基本的に、前記実施例と同一又は類似するものについては同一符号又は類似符号を付し、前記実施例と異なる構成について説明する。図7に示すように、このクランプ装置1Aは、上下方向の厚さ比較的薄いベース部材BAに組付けられている。ベース部材BAには、実施例1のような流体供給通路48と流体排出通路49を形成することが難しく、故に、クランプ装置1Aは、流体供給通路48と流体排出通路49に代わる流体供給ホース48Aと流体排出ホース49Aを直接接続できるように構成されている。クランプ本体2のシリンダ筒部11は、ベース部材BAに上下貫通状に形成された取付穴BAbに内嵌され、ベース部材BAの下方へ突出している。ロッド位置検出装置7Aにおいて、弁支持部材30Aの下部支持部材31Aに接続アタッチメント80が装着され、この接続アタッチメント80に流体供給ホース48Aと流体排出ホース49Aが接続されている。流体通路45Aは、第1,第2流体通路46,47Aを有し、第2流体通路47Aの上流側の通路端は、実施例1同様、下部支持部材31Aの上端面に開口されているが、第2流体通路47Aの下流側の通路端は、下部支持部材31Aの下部軸状部31Acの外周面に開口されている。接続アタッチメント80には、凹部80aと凹部80aに連続する孔部80bとが上下に形成され、凹部80aに下部支持部材31Aの鍔状部31bが内嵌され、孔部80bに下部支持部材31Aの下部軸状部31Acが内嵌された状態で、接続アタッチメント80が下部支持部材31Aに止め輪84で回動自在に保持されている。下部支持部材31Aの鍔状部31bは、接続アタッチメント80の凹部80aの底面との間に隙間を空けて配設されており、接続アタッチメント80には、第1流体通路46に前記隙間を介して連通する第1流体接続通路81が形成され、この第1流体接続通路81の接続ポートに流体供給ホース48Aが接続されている。また、接続アタッチメント80には、第2流体通路47Aに連通する第2流体接続通路82が形成され、この第2流体接続通路82の接続ポートに流体排出ホース49Aが接続されている。図8に示すように、このクランプ装置1Bのロッド位置検出装置7Bにおいて、第2付勢機構55Bは、検出ロッド35Bのロッド部37Bの長さ方向途中部に形成された受圧部85を有し、進出用油圧作動室22内の油圧を受圧部85に作用させて検出ロッド35Bを軸心方向先端側へ付勢するように構成されている。実施例1のバネ部材56からなる第2付勢機構55は省略されている。弁支持部材30Bの下部支持部材31Bは、上部嵌合部31a、鍔状部31Bbを有し、鍔状部31Bbの中央部分がベース部材Bに形成された取付穴Bbの底面に近接している。下部支持部材31Bに流体通路45Bの第2流体通路47Bが上下貫通状に形成され、流体排出通路49Bは、その上流側の通路端が取付穴Bbの底面に開口するようにベース部材Bに形成されている。検出ロッド35Bのロッド部37Bは、ロッド大径部37Baと、ロッド大径部37Baの下側に位置するロッド小径部37Bbからなり、これらロッド大径部37Baとロッド小径部37Bbの境界の段部がシリンダ下端壁13の上方近傍に位置するとともに、その段部によって受圧部85が形成されている。このロッド位置検出装置によれば、クランプロッド3を進出駆動する際の進出用油圧作動室22内の流体圧を、第1付勢機構50としてだけでなく、第2付勢機構55Bとしても有効利用することができる。つまり、実施例1のようなバネ部材56省略することができるので、部品点数を低減し構造を簡単化することができ、しかも、バネ部材56のようなバネ力低下等の問題もないため、作動信頼性を長期に亙って確保することができる。その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、前記開示事項以外の種々の変更を付加して実施可能である。例えば、検出ロッドを下方へ付勢する付勢機構により弁部材を開弁側へ付勢可能に構成し、検出ロッドを上方へ付勢する付勢機構により弁部材を閉弁側へ付勢可能に構成することもできる。また、実施例1~3のロッド位置検出装置では、クランプロッドを進出駆動する際に、シール部材によるシール機能が無効になるクランプロッドの位置を最大進出位置以外の所定位置に変更して、その所定位置を検出可能に構成することもできる。また、本発明は、クランプロッドが軸心回りに旋回することなく進退する直動式リンク式クランプ装置への適用も勿論可能である。"