"ヘッドサスペンションの情報読み書き用のスライダが取り付けられる取付面を有し、該取付面上に絶縁層を介して前記スライダに対する複数の電極が配設されたタング部の姿勢角を測定する姿勢角測定方法であって、前記タング部の取付面に対し少なくとも二つの電極を含めた範囲に単一のコリメート光を照射し、前記取付面での反射光から各電極による電極反射成分を抽出し、該電極反射成分に基づいて前記タング部の姿勢角を測定する、ことを特徴とする姿勢角測定方法。請求項1記載の姿勢角測定方法であって、前記各電極による電極反射成分から個別の姿勢角を測定し、該個別の姿勢角の平均値を前記タング部の姿勢角の測定値とする、ことを特徴とする姿勢角測定方法。請求項1又は2記載の姿勢角測定方法であって、前記電極反射成分の抽出は、前記反射光による撮像画像を形成し該撮像画像を画像処理することで行われる、ことを特徴とする姿勢角測定方法。請求項1~3の何れかに記載の姿勢角測定方法であって、前記ヘッドサスペンションは、前記電極に接続されてカバー絶縁層で被覆された配線パターンを有し、前記コリメート光の波長と前記カバー絶縁層の材質との選択により前記反射光の前記配線パターンでの反射を抑制する、ことを特徴とする姿勢角測定方法。請求項4記載の姿勢角測定方法であって、前記カバー絶縁層は、ポリイミドからなり、前記コリメート光は、青色又は紫色レーザー光である、ことを特徴とする姿勢角測定方法。請求項1~5の何れかに記載の姿勢角側方法に用いられる姿勢角測定装置であって、前記コリメート光を前記タング部の取付面に照射する照射部と、前記タング部からの反射光を受光する受光部と、該受光部で受光した反射光から前記電極反射成分を抽出し、前記電極反射成分に基づいて前記タング部の姿勢角を測定する処理部とを備えた、ことを特徴とする姿勢角測定装置。解決しようとする問題点は、タング部の取付面上にスライダに対する複数の電極が配設された場合に、タング部の姿勢角を測定できない点である。本発明は、タング部の取付面上にスライダに対する複数の電極が配設された場合でもタング部の姿勢角を測定するために、タング部の取付面に対し少なくとも二つの電極を含めた範囲に単一のコリメート光を照射し、前記取付面での反射光から各電極による電極反射成分を抽出し、該電極反射成分に基づいて前記タング部の姿勢角を測定することを最も主要な特徴とする。本発明によれば、タング部の取付面上にスライダに対する複数の電極が配設された場合でもタング部の姿勢角を確実に測定することができる。タング部の取付面上にスライダに対する複数の電極が配設された場合でもタング部の姿勢角を測定するという目的を、タング部の取付面に対し少なくとも二つの電極を含めた範囲に単一のコリメート光を照射し、その反射光から抽出した電極反射成分に基づいてタング部の姿勢角を測定することで実現した。具体的には、各電極による電極反射成分から個別の姿勢角を測定し、該個別の姿勢角の平均値をタング部の姿勢角の測定値とする。電極反射成分の抽出は、反射光による撮像画像を形成し該撮像画像を画像処理することで行わせることができる。コリメート光は、レーザー光であり、青色レーザー光或いは紫色レーザー光とするのが好ましい。以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。[姿勢角測定装置]図1は、姿勢角測定装置及びその周辺装置を概念的に示すブロック図である。図1の姿勢角測定装置1は、ヘッドサスペンション3のタング部5に対し、その静的姿勢角であるピッチロール角を非接触で測定するものである。この姿勢角測定装置1には、例えば搬送ライン7により測定対象となるヘッドサスペンション3が供給される。搬送ライン7上は、姿勢角測定装置1に加えて姿勢角修正装置9が配置され、姿勢角修正装置9には、ピッチロール角測定後のヘッドサスペンション3が供給される。姿勢角修正装置9では、例えばタング部5のピッチロール角が所定の公差よりも大きい場合に、公差内となるように修正する。修正は、レーザー照射等によって行われる。図2は、ヘッドサスペンションの測定対象部分であるタング部及びその周辺を示す要部拡大平面図である。ヘッドサスペンション3には、図1のように、フレキシャ11が取り付けられ、フレキシャ11の先端側のタング部5にスライダが支持される。支持されるスライダとしては、例えば熱膨張によるフライハイトコントロール、磁化の熱ゆらぎ対策のためのヒートアシスト、ディスクに対する接触検知のためのセンサー等の機能が実装されたものである。フレキシャ11のタング部5周辺には、図2のように、ステンレス等からなる金属基板13上に絶縁層15を介して配線パターン17が配索されている。配線パターン17は、スライダの機能用、インターリーブ化、或いはグランド用等の複数本の配線からなり、フレキシャ11の先端部から基端部側図1参照にかけて形成されている。なお、配線パターン17には、図示しないポリイミドからなるカバー絶縁層によって表面が被覆されている。フレキシャ11のタング部5は、片持ち状に設けられ、その表面にスライダが取り付けられる取付面19が形成されている。取付面19上には、フレキシャ11の絶縁層15を介してスライダに対する複数のパッド電極21が配設されている。本実施例では、タング部5の表面全域が絶縁層15により覆われ、その絶縁層15上にパッド21が分散配置されている。各パッド21は、配線パターン17の各配線の端部に接続されている。図3は、図1の姿勢角測定装置の構成を示す概略図である。図1の姿勢角測定装置1は、図3のように、レーザー照射部23と、レーザー受光部25と、処理部27とを備えている。レーザー照射部23は、コリメート光としてのレーザー光Lを、タング部5の取付面19に照射するものである。このレーザー照射部23は、レーザー発振器29と、第1の偏光板31と、アパーチャ33と、ビームスプリッタ35とを備えている。レーザー発振器29は、例えば半導体レーザー発振器からなり、例えば、赤色レーザー光、青色レーザー光、或いは紫色レーザー光を出射する。レーザー発振器29内には、図示しない光源の光軸上にコリメータレンズが配置され、レーザー光Lをコリメート光並行光として出射する。このレーザー光Lは、半導体レーザー特有の楕円ビームが円ビームに近い状態に補正されたものとなっている。レーザー発振器29からのレーザー光Lは、第1の偏光板31を通過する。第1の偏光板31は、例えば1/4波長板等からなり、レーザー光Lの光路上に介設されている。この第1の偏光板31は、レーザー光Lを透過させてノイズを除去する。なお、第1の偏光板31は、省略することも可能である。第1の偏光板31からのレーザー光Lは、アパーチャ33を通過する。アパーチャ33は、レーザー光Lの光路上に位置する可変式又は固定式の穴を有している。アパーチャ33は、その穴径に応じて通過するレーザー光Lの径を設定する。アパーチャ33の穴径は、任意であり、タング部5自体やその照射対象範囲の大きさに応じて設定される。本実施例では、0.8~1.0mm程度に設定され、レーザー光Lをタング部5全体に照射できながらタング部5外への照射を抑制できるようになっている。アパーチャ33を通過したレーザー光Lは、ビームスプリッタ35を介してタング部5に照射される。ビームスプリッタ35は、例えばハーフミラー等からなり、アパーチャ33からのレーザー光Lをタング部5に向けて偏向反射する。また、ビームスプリッタ35は、タング部5での反射光Rをレーザー受光部25側に透過する。レーザー受光部25は、第2の偏光板37と、角度検出カメラ39とを備えている。第2の偏光板37は、例えば1/4波長板等からなり、反射光Rの光路上に介設されている。第2の偏光板37は、反射光Rを透過させてノイズを除去する。なお、第2の偏光板37は、第1の偏光板31と同様に省略することも可能であるが、この場合は、第1の偏光板31を設けておくことが好ましい。逆に、第1の偏光板31を省略する場合は、第2の偏光板37を設けておくことが好ましい。第2の偏光板37からの反射光Rは、角度検出カメラ39によって受光される。角度検出カメラ39は、例えばCCDカメラ等で構成され、タング部5側からの反射光Rを受光面上で結像する。この角度検出カメラ39は、結像による電気信号を処理部27に出力する。処理部27は、例えばコンピュータ等の情報処理装置からなっている。この処理部27は、図示しない記憶部内のプログラムを実行することで、画像処理部41、角度測定部43を機能構成として備える。画像処理部41は、角度検出カメラ39からの電気信号に基づいて、反射光Rによる撮像画像を形成する。また、画像処理部41は、形成された撮像画像に対して画像処理であるフィルタ処理を行う。このフィルタ処理により、撮像画像からタング部5のパッド21での反射成分パッド反射成分によるパッド反射画像を形成する。従って、処理部27は、レーザー受光部25で受光した反射光Rからパッド反射成分電極反射成分を抽出する構成となっている。フィルタ処理としては、周知のフィルタ処理を用い、撮像画像から所定の上限及び下限閾値間の輝度のものを残し、それ以外を除去する。なお、閾値設定は、実験等を通じてパッド反射成分を確実に残せるようにする。このため、閾値設定の際には、パッド反射成分であっても、それ以外の反射成分と誤認されるような極度に輝度の大きいものや小さいものは除外できるようにする。角度測定部43は、抽出されたパッド反射成分に基づいてタング部5のピッチロール角を測定する。すなわち、角度測定部43は、パッド反射画像の各パッド反射成分の位置から個別のピッチロール角を測定する。この測定は、予めパッド反射成分の位置とピッチロール角との相関を示すテーブルを用意しておき、これを参照することで行わせることができる。また、角度測定部43は、全ての個別のピッチロール角による平均値を算出し、これをタング部5全体としてのピッチロール角の測定値とする。[姿勢角測定方法]図4は実施例1の姿勢角測定方法によるピッチロール角の測定手順を示すフローチャート、図5はタング部でのレーザー光の照射及び反射を示す要部概念図、図6は反射光による撮像画像、図7はパッド反射成分によるパッド反射画像である。本実施例のピッチロール角測定では、例えば図1の搬送ライン7により測定対象となるヘッドサスペンション3が姿勢角測定装置1に供給されることで、図4のフローチャートがスタートする。まず、ステップS1では、レーザー光の発振が行われる。すなわち、図3のように、レーザー照射部23がレーザー発振器29によりレーザー光の発振を行う。発振されたレーザー光Lは、第1の偏光板31、アパーチャ33、ビームスプリッタ35を介してタング部5の取付面19に照射される。本実施例では、レーザー光Lの径がタング部5全体に対して照射可能に設定されているため、タング部5の取付面19には、図5のように、全パッド21を含めた全範囲に単一のレーザー光Lが照射されることになる。ただし、レーザー光Lは、必ずしも全パッド21を含めた範囲に照射しなくてもよい。例えば、相対的に小さいパッド反射の弱いパッドを除外する等、少なくとも二つのパッド21を含めた範囲に照射できればよい。次いで、ステップS2のように、レーザー光の反射が行われる。すなわち、タング部5に対して照射されたレーザー光Lが、図5のように取付面19上で反射する。これにより、タング部5の取付面19全体による反射光Rが形成される。ここで、レーザー光Lが赤色レーザー光である場合は、取付面19上或いはその周囲のカバー絶縁層ポリイミドで覆われた配線パターン17からも少量の反射が生じ、これがノイズとなるおそれがある。これに対し、レーザー光Lが青色又は紫色レーザー光である場合は、そのような少量の反射も抑制することができ、ノイズを低減することができる。これは、レーザー光の波長によりカバー絶縁層の透過率が異なり、その結果ノイズの量が変動するためである。従って、配線パターン17がカバー絶縁層で覆われている場合は、カバー絶縁層の材質とレーザー光Lの波長レーザー光の色との選択により反射光Rのノイズを低減できる。次いで、ステップS3のように、反射光の受光が行われる。すなわち、タング部5からの反射光Rは、図3のように、ビームスプリッタ35及び第2の偏光板37を介して、レーザー受光部25の角度検出カメラ39に受光される。角度検出カメラ39は、受光による電気信号を処理部27に出力する。次いで、ステップS4のように、パッド反射成分の抽出が行われる。すなわち、処理部27の画像処理部41は、角度検出カメラ39からの電気信号に基づき、図6のように反射光Rによる撮像画像を形成する。撮像画像からは、図7のように、フィルタ処理を通じてパッド反射成分Cを抽出したパッド反射画像を形成する。なお、図7の縁部には、抽出されたパッド反射成分CによるXY軸の輝度分布DX,DYが示されている。パッド反射画像では、フィルタ処理の閾値設定により、パッド反射成分であっても極度に輝度の高いものや低いものは除外されるので、それらと共に他の反射成分も除去される。このため、配線パターン17の非平面部等の反射成分をパッド反射成分として誤判定することを防止できる。次いで、ステップS5のように、個別のピッチロール角測定が行われる。すなわち、処理部27の角度測定部43は、画像処理部41からパッド反射画像を受け取り、各パッド反射成分Cの位置から個別のピッチロール角を測定する。具体的には、図7の各パッド反射成分CのXY軸に対する位置を検出する。この位置から、各パッド反射成分Cによる個別のピッチロール角を相関テーブル等を用いて測定する。ここで、パッド21は、その表面形状や傾き等にばらつきがあるので、個別のピッチロール角は、それらのばらつきを含めた値となっている。次いで、ステップS6のように、全体としてのピッチロール角測定が行われる。すなわち、角度測定部43は、全ての個別のピッチロール角による平均値を算出し、これをタング部5全体としてのピッチロール角の測定値とする。この測定値は、個別のピッチロール角のばらつきが、平均によって大幅に低減又は除去されている。こうして抽出されたパッド反射成分Cに基づき、タング部5のピッチロール角測定が完了する。その後は、測定されたピッチロール角に対して、公差の範囲か否かの判断等が行われることになる。[実施例1の効果]本実施例の姿勢角測定方法では、ヘッドサスペンション3の情報読み書き用のスライダが取り付けられる取付面19を有し、該取付面19上に絶縁層15を介してスライダに対する複数のパッド21が配設されたタング部5のピッチロール角を測定する姿勢角測定方法であって、タング部5の取付面19に対し少なくとも二つのパッド21を含めた範囲に単一のコリメート光であるレーザー光Lを照射し、取付面19での反射光Rから各パッド21によるパッド反射成分Cを抽出し、該パッド反射成分Cに基づいてタング部5のピッチロール角を測定する。従って、姿勢角測定方法では、タング部5の取付面19上にスライダに対する複数のパッド21が配設されていても、タング部5のピッチロール角を確実に測定することができる。また、本実施例では、少なくとも二つのパッド21を含めた範囲にレーザー光Lを照射するので、レーザー光Lの大径化を通じて径の管理を簡素化することができる。レーザー光Lの大径化は、アパーチャ33の穴径を拡大するだけで対応させることができる。また、本実施例では、各パッド21によるパッド反射成分Cから個別のピッチロール角を測定し、該個別のピッチロール角の平均値をタング部5全体としてのピッチロール角の測定値とする。従って、本実施例では、多点測定でありながら、コリメータを用いた一点測定と同様にしてタング部5のピッチロール角測定を容易且つ確実に行わせることができる。しかも、ピッチロール角の測定値は、個別のピッチロール角のばらつきが平均によって大幅に低減又は除去されるので、精度の良いピッチロール角測定を実現することができる。また、パッド反射成分Cの抽出は、反射光Rによる撮像画像を形成し該撮像画像を画像処理で行われるので、容易且つ確実に行うことができる。また、本実施例では、ヘッドサスペンション3が、パッド21に接続されてポリイミドからなるカバー絶縁層で被覆された配線パターン17を有している。このため、コリメート光が青色又は紫色レーザー光Lである場合は、取付面19上或いはその周囲のカバー絶縁層で被覆された配線パターン17からの反射を抑制し、ノイズを低減することができる。従って、パッド反射成分Cの抽出を、より容易且つ確実に行わせることができる。本実施例の姿勢角測定装置1は、コリメート光としてのレーザー光Lをタング部5の取付面19に照射するレーザー照射部23と、タング部5からの反射光Rを受光するレーザー受光部25と、レーザー受光部25で受光した反射光Rからパッド反射成分Cを抽出し、パッド反射成分Cに基づいてタング部5のピッチロール角を測定する処理部27とを備えている。従って、本実施例では、姿勢角測定装置1により、姿勢角測定方法を容易に実現することができる。"