"蛍光体原料を混合する工程、混合工程で得られる混合物を焼成する工程、焼成工程で得られる焼成物を洗浄する工程を有するβ型サイアロン蛍光体を製造する方法であって、該洗浄工程において、20°Cにおいて固体であり、かつ、20°Cにおける溶解度が0.01g/水100ml以上、400g/水100ml以下であるフッ化物の水溶液Aと、少なくとも一種のフッ化水素酸以外の無機酸を含む水溶液Bとを用いて洗浄することを特徴とする、β型サイアロン蛍光体の製造方法。前記蛍光体原料の仕込み組成が、下記式[1]で表されることを特徴とする、請求項1に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。Si6-xAlxOxN8-x:Euy[1]但し、前記式[1]において、x、及びyは、以下の式を満たす数を表す。0≦x≦4.20.001≦y≦0.03前記洗浄工程の前に、前記焼成工程で得られる焼成物に対し、1200°C以上1550°C以下の温度範囲で加熱する熱処理工程を有することを特徴とする、請求項1、または請求項2に記載の蛍光体の製造方法。前記水溶液Aに含まれるフッ化物がフッ化ナトリウムであることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の蛍光体の製造方法。前記水溶液Bに含まれる酸が硝酸であることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載の蛍光体の製造方法。焼成工程、または熱処理工程で得られる焼成物を、20°Cにおいて固体であり、かつ、20°Cにおける溶解度が0.01g/水100ml以上、400g/水100ml以下であるフッ化物の水溶液Aと、少なくとも一種のフッ化水素酸以外の無機酸を含む水溶液Bとを用いて洗浄することを特徴とする、β型サイアロン蛍光体の洗浄方法。しかしながら、フッ化水素酸は、極めて腐食性が高い液体であり例えば、眼、皮膚、粘膜を強く刺激し重度の薬傷を起こす。蒸気又は液体が眼に接触した場合、失明の恐れがある。皮膚等に対する浸透性があり、洗浄しない場合、組織浸透し骨まで達する。許容濃度は3ppm以下と規定されている。、急性毒性物質であるため、フッ化水素酸を安全に取扱うためには、様々な安全対策を講じなければならず、製品のコスト上昇を招く結果となるという問題があった。そこで、本発明は、より安全な酸窒化物蛍光体の製造方法を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明者等は、鋭意検討を重ねた結果、特定の性質を有するフッ化物の水溶液Aと、特定の酸を含む水溶液Bとを用いて洗浄することにより、より安全に蛍光体を製造することができることを見出し、本発明を完成させた。即ち、本発明の要旨は、次の1~6に存する。1蛍光体原料を混合する工程、混合工程で得られる混合物を焼成する工程、焼成工程で得られる焼成物を洗浄する工程を有するβ型サイアロン蛍光体を製造する方法であって、該洗浄工程において、20°Cにおいて固体であり、かつ、20°Cにおける溶解度が0.01g/水100ml以上、400g/水100ml以下であるフッ化物の水溶液Aと、少なくとも一種のフッ化水素酸以外の無機酸を含む水溶液Bとを用いて洗浄することを特徴とする、β型サイアロン蛍光体の製造方法。2前記蛍光体原料の仕込み組成が、下記式[1]で表されることを特徴とする、1に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。Si6-xAlxOxN8-x:Euy[1]但し、前記式[1]において、x、及びyは、以下の式を満たす数を表す。0≦x≦4.20.001≦y≦0.033前記洗浄工程の前に、前記焼成工程で得られる焼成物に対し、1200°C以上1550°C以下の温度範囲で加熱する熱処理工程を有することを特徴とする、1または2に記載の蛍光体の製造方法。4前記水溶液Aに含まれるフッ化物がフッ化ナトリウムであることを特徴とする、1~3のいずれかに記載の蛍光体の製造方法。5前記水溶液Bに含まれる酸が硝酸であることを特徴とする、1~4のいずれかに記載の蛍光体の製造方法。6焼成工程、または熱処理工程で得られる焼成物を、20°Cにおいて固体であり、かつ、20°Cにおける溶解度が0.01g/水100ml以上、400g/水100ml以下であるフッ化物の水溶液Aと、少なくとも一種のフッ化水素酸以外の無機酸を含む水溶液Bとを用いて洗浄することを特徴とする、β型サイアロン蛍光体の洗浄方法。本発明によれば、製造される蛍光体の発光特性を従来と同等レベルに維持しつつ、酸窒化物蛍光体の製造方法の安全性を向上させることができる。さらに、蛍光体製造における環境負荷も減らすこともできる。また、本発明により製造された蛍光体を用いれば、高輝度な発光装置を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について詳細に説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。なお、本明細書において~を用いて表される数値範囲は、~の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。また、本明細書中の蛍光体の組成式において、各組成式の区切りは読点、で区切って表わす。また、カンマ,で区切って複数の元素を列記する場合には、列記された元素のうち一種又は二種以上を任意の組み合わせ及び組成で含有していてもよいことを示している。例えば、Ca,Sr,BaAl2O4:Euという組成式は、CaAl2O4:Euと、SrAl2O4:Euと、BaAl2O4:Euと、Ca1-xSrxAl2O4:Euと、Sr1-xBaxAl2O4:Euと、Ca1-xBaxAl2O4:Euと、Ca1-x-ySrxBayAl2O4:Euとを全て包括的に示しているものとする但し、前記式中、0<x<1、0<y<1、0<xy<1。[1.蛍光体]蛍光体の組成本発明の製造方法は、酸窒化物蛍光体に適用することができるが、特に、焼成後、表面にSi金属が残存するものに好適に用いることができる。ここで、焼成とは、後述する焼成工程、又は、熱処理工程を意味するものである。表面とは、蛍光体粒子の表面から10nmの範囲をいう。Si金属とは、Si金属単体であっても、Siを含む化合物であってもよい。また、Si金属が残存するとは、蛍光体粒子の表面の少なくとも一部に前記Si金属が残存していればよい。具体的な蛍光体としては、サイアロン蛍光体が挙げられ、中でもβ型サイアロンが好ましく、以下の式[1]で表される組成を有するβ型サイアロンが特に好ましい。Si6-xAlxOxN8-x:Euy[1]但し、前記式[1]において、x、及びyは、以下の式を満たす数を表す。0≦x≦4.20.001≦y≦0.03前記式[1]において、xは、SiへのAlの置換量、NへのOの置換量を意味し、通常0以上、好ましくは0.1以上、特に好ましくは0.25以上であり、また、通常4.2以下、好ましくは2.0以下、特に好ましくは1.0以下である。xの値が大きすぎると発光波長が長波長になりすぎる傾向にあり、小さすぎると粒子が成長しなくなって輝度が低下する傾向にある。なお、前記式[1]において、SiへのAlの置換量を示すxと、NへのOの置換量を示すxとは、蛍光体の特性に影響を与えない範囲内で組成比のズレが生じていてもよい。即ち、SiへのAlの置換量を示すxと、NへのOの置換量を示すxとは、互いに異なる数であってもよい。前記式[1]において、yは、Eu濃度を意味し、通常0.001以上、好ましくは0.005以上、特に好ましくは0.01以上であり、また、通常0.03以下、好ましくは0.025以下、特に好ましくは0.02以下である。yの値が大きすぎると濃度消光が起こり、輝度が低下する傾向にあり、小さすぎると吸収効率が低下する傾向にあり、それに伴い、輝度が低下する傾向にある。前記式[1]に記載のSi、Al、O、N、Euの各構成元素は、本発明の効果に影響を与えない範囲内で、Ge、Ti、Zr、Hf、B、Ga、In、Cl、F等の他の元素によって置換されていてもよい。また、Si、Al、O、N、Euの各構成元素の他に、本発明の効果に影響を与えない範囲内で不可避的に混入してしまう不純物元素を含んでいてもよい。また、本発明の製造方法は、後述する水溶液A及び水溶液Bを用いて洗浄する工程を有することが必要である。そのため、本発明の製造方法により得られる蛍光体は、通常、水溶液Aに用いることのできるフッ化物が含有する金属元素例えば、Na等のアルカリ金属元素を1ppm以上含有することが好ましい。また、本発明の製造方法により得られる蛍光体は、フッ素を含有することが好ましく、具体的なフッ素含有量は、好ましくは1ppm以上、より好ましくは5ppm以上、また、好ましくは10ppm以下である。蛍光体の特性本発明によれば、従来の製法と比べより安全な製法により、従来と同等以上の特性の蛍光体を得ることができる。本発明の製造方法により得られる蛍光体が、前記式[1]で表される組成を有するものである場合、以下のような特性を有するものであることが好ましい。本発明により得られる蛍光体は、200nm~530nmの光により励起され、その発光ピーク波長が、通常510nm以上、好ましくは520nm以上であり、また、通常560nm以下、好ましくは550nm以下である。また、本発明により得られる蛍光体は、その内部量子効率が高いほど好ましい。その値は、通常60以上、好ましくは70以上である。本発明により得られる蛍光体は、その吸収効率が高いほど好ましい。その値は通常60以上、好ましくは65以上である。吸収効率が低いと発光効率が低下する傾向にある。本発明により得られる蛍光体は、その外部量子効率が高いほど好ましい。その値は、通常40以上、好ましくは45以上である。外部量子効率が低いと発光効率が低下する傾向にある。なお、上記内部量子効率、外部量子効率、及び吸収効率は、後述の実施例に記載の方法で測定することができる。[2.蛍光体の製造方法]本発明の製造方法では、例えば、下記式[1]で表される組成となるように蛍光体原料を仕込み、焼成した後、後述する水溶液Aと水溶液Bとを用いて洗浄することにより蛍光体を製造することができる。Si6-xAlxOxN8-x:Euy[1]但し、前記式[1]において、x、及びyは、以下の式を満たす数を表す。0≦x≦4.20.001≦y≦0.03なお、前記式[1]のO酸素の組成比には、Si源、Al源、Eu源に含まれる酸素量も含まれる。蛍光体原料としては、通常は金属化合物を用いる。すなわち、金属化合物を所定の組成となるように秤量し、混合した後に焼成することにより製造する。例えば、上記式[1]で表わされる蛍光体を製造する場合、Siの原料以下適宜Si源という、Alの原料以下適宜Al源という、Euの原料以下適宜Eu源というから必要な組み合わせを混合し混合工程、得られた混合物を焼成し焼成工程、得られた焼成物を洗浄する洗浄工程ことにより製造する。蛍光体原料本発明の蛍光体の製造方法において使用される蛍光体原料としては、公知のものを用いることができ、例えば、窒化ケイ素Si3N4と窒化アルミニウムAlNと酸化ケイ素SiO2及び/又は酸化アルミニウムAl2O3と、更にはEuの金属、酸化物、炭酸塩、塩化物、フッ化物、窒化物又は酸窒化物から選ばれるEu化合物を用いることができる。なお、前記式[1]におけるO酸素やN窒素は、Si源、Al源、Eu源から供給されてもよいし、N窒素は、焼成雰囲気から供給されてもよい。また、各原料には、不可避的不純物が含まれていてもよい。混合工程本発明の製造方法においては、通常、目的組成が得られるように蛍光体原料を秤量し、ボールミル等を用いて充分に混合し、蛍光体原料混合物を得る混合工程。上記混合手法としては、特に限定はされないが、具体的には、下記A及びBの手法が挙げられる。A例えばハンマーミル、ロールミル、ボールミル、ジェットミル等の乾式粉砕機、又は、乳鉢と乳棒等を用いる粉砕と、例えばリボンブレンダー、V型ブレンダー、ヘンシェルミキサー等の混合機、又は、乳鉢と乳棒を用いる混合とを組み合わせ、前述の蛍光体原料を粉砕混合する乾式混合法。B前述の蛍光体原料に水等の溶媒又は分散媒を加え、例えば粉砕機、乳鉢と乳棒、又は蒸発皿と撹拌棒等を用いて混合し、溶液又はスラリーの状態とした上で、噴霧乾燥、加熱乾燥、又は自然乾燥等により乾燥させる湿式混合法。蛍光体原料の混合は、上記湿式混合法又は乾式混合法のいずれでもよいが、水分による蛍光体原料の汚染を避けるために、乾式混合法や非水溶性溶媒を使った湿式混合法がより好ましい。焼成工程混合工程で得られた原料の混合物を焼成する焼成工程。通常、上述の蛍光体原料混合物を、必要に応じて乾燥後、少なくとも当該原料が接する面が窒化ホウ素からなる坩堝等の容器内に充填し、焼成炉、加圧炉等を用いて焼成を行なう。焼成温度については、所望する蛍光体の組成により異なるので、一概に規定できないが、一般的には1800°C以上2200°C以下の温度範囲で、安定して蛍光体が得られる。加熱温度が1800°C以上であればEuがβ型サイアロン結晶中に入り込むことができ、十分な輝度を有する蛍光体が得られる。また、加熱温度が2200°C以下であれば、非常に高い窒素圧力をかけてβ型サイアロンの分解を抑制する必要がなく、その為に特殊な装置を必要とすることもないので工業的に好ましい。好ましい焼成温度としては、1820°C以上が好ましく、1900°C以上が特に好ましく、また、2150°C以下が好ましく、2100°C以下が特に好ましい。焼成工程における焼成雰囲気は、本発明の蛍光体が得られる限り任意であるが、通常は、窒素含有雰囲気である。具体的には、窒素雰囲気、水素含有窒素雰囲気が挙げられ、中でも窒素雰囲気が好ましい。なお、焼成雰囲気の酸素含有量は、通常10ppm以下、好ましくは5ppm以下にするとよい。また、昇温速度は、通常2°C/分以上、好ましくは3°C/分以上、また、通常10°C/分以下、好ましくは5°C/分以下である。昇温速度がこの範囲を下回ると、焼成時間が長くなる可能性がある。また、昇温速度がこの範囲を上回ると、焼成装置、容器等が破損する場合がある。焼成時間は、焼成時の温度や圧力等によっても異なるが、通常10分間以上、好ましくは1時間以上、また、通常24時間以下、好ましくは16時間以下、より好ましくは12時間以下である。焼成時の圧力は、焼成温度等によっても異なるが、通常0.1MPa以上、好ましくは0.5MPa以上であり、また、上限としては、通常2MPa以下、好ましくは1MPa以下である。このうち、工業的には0.6MPa~1.2MPa程度がコスト及び手間の点で簡便であり好ましい。得られる焼成物は、粒状又は塊状となる。これを解砕、粉砕及び/又は分級操作を組み合わせて所定のサイズの粉末にする。ここでは、D50が約30μm以下になる様に処理すればよい。具体的な処理の例としては、合成物を目開き45μm程度の篩分級処理し、篩を通過した粉末を次工程に回す方法、或いは合成物をボールミルや振動ミル、ジェットミル等の一般的な粉砕機を使用して所定の粒度に粉砕する方法が挙げられる。後者の方法において、過度の粉砕は、光を散乱しやすい微粒子を生成するだけでなく、粒子表面に結晶欠陥を生成し、発光効率の低下を引き起こす可能性がある。熱処理工程焼成工程で得られた焼成物焼成後の蛍光体を、さらに焼成温度より低い温度で熱処理することが好ましい熱処理工程。酸窒化物の不純物相を熱分解させるためである。熱処理工程後の蛍光体は、不純物相の熱分解により、蛍光体表面にSi金属が残存している傾向にある。適切な熱処理温度は、雰囲気等によっても異なるが、1200°C以上1550°C以下の温度範囲が好ましい。1200°C以上で不純物相の分解が進行する傾向にあり、1550°C以下でβ型サイアロンの急激な分解が抑制できる。熱処理の雰囲気としては、窒素雰囲気、水素含有窒素雰囲気、アルゴン雰囲気、水素含有アルゴン雰囲気、真空雰囲気等が挙げられ、アルゴン雰囲気が好ましい。熱処理時の圧力は、熱処理温度等によっても異なるが、通常0.05MPa以上、好ましくは0.09MPa以上であり、また、上限としては、通常1MPa以下、好ましくは0.5MPa以下である。このうち、工業的には0.09MPa~0.2MPa程度がコスト及び手間の点で簡便であり好ましい。熱処理時間は、熱処理時の温度や圧力等によっても異なるが、通常10分間以上、好ましくは1時間以上、また、通常24時間以下、好ましくは16時間以下、より好ましくは12時間以下である。尚、焼成工程と熱処理工程とは、上述の焼成工程における加熱後の冷却時に連続して行っても構わないが、所定の粒度まで調整した後に、熱処理を行った方が効果的である。これは、焼成時に形成させる結晶欠陥だけではなく、解砕や粉砕時に形成させる結晶欠陥も取り除くことができるからである。洗浄工程一般的に、β型サイアロンをはじめとする酸窒化物蛍光体は、焼成工程や熱処理工程において、熱分解により蛍光体表面にSi金属が生成する傾向にある。蛍光体の特性向上のためには、このSi金属をできる限り除去する必要がある。本発明の製造方法は、焼成工程または熱処理工程において得られる焼成物を、i20°Cにおいて固体であり、かつ、20°Cにおける溶解度が0.01g/水100ml以上、400g/水100ml以下であるフッ化物の水溶液Aと、ii硝酸、硫酸、塩酸、シュウ酸、及びリン酸からなる群から選ばれる少なくとも一種を含む水溶液Bとを用いて洗浄する工程を有することが必要である。即ち、洗浄工程に用いる混酸の成分として、従来、フッ化水素酸と硝酸が使用されていたが、本発明においては、急性毒性物質であるフッ化水素酸の使用量を減らすため、例えば、フッ化ナトリウム融点が993°Cの安定な固体である。の水溶液と硝酸とを用いることができる。これにより、前記Si金属を含む不純物を安全に、かつ、効率よく除去することができ、さらに、洗浄工程における歩留まりも向上させることができるので産業的利便性が向上する。本発明で用いる水溶液Aは、フッ化水素酸に比べ、人体に対して安全であり環境に対する負担が小さく、保管運搬などの作業工程においても取扱が容易である。前記水溶液Aに用いられるフッ化物の20°Cにおける溶解度は、好ましくは0.1g/水100ml以上、より好ましくは0.5g/水100ml以上であり、また、好ましくは100g/水100ml以下である。常温で固体であるがゆえに、取り扱い性、作業性が良好であり、安全に製造作業を行うことができる。また、このようなフッ化物を含む水溶液Aは、Si、SiO2などの不純物について腐食性を示すので、単独でもこれらの化合物を除去することができるが、Si、SiO2などの不純物が、酸窒化物の不純物相で皮膜されている場合には、前記の水溶液A単独では除去することが難しい傾向にあるため、硝酸、硫酸、塩酸、シュウ酸、及びリン酸からなる群から選ばれる少なくとも一種を含む水溶液Bを併用することで、酸窒化物の不純物相を除去し、Si、SiO2などの不純物も効率よく除去することができる。上記フッ化物を具体的に例示すれば、LiF、NaF、KF、RbF、CsF、NH4F、NaHF2、KHF2、RbHF2、NH5F2、AlF3、ZnF24H2O、ZrF4、Na2TiF6、K2TiF6、NH42TiF6、Na2SiF6、K2SiF6、ZnSiF66H2O、MgSiF66H2O、Na2ZrF6、K2ZrF6、NH42ZrF6、KBF4、NH4BF4、MgBF426H2O、KPF6、K3AlF6、Na3AlF6、SrF2等が挙げられる。本発明で使用できるフッ化物の溶解度を下表に示す。水溶液の溶解度が低すぎる塩は、同量の蛍光体を洗浄するときに必要とされる水溶液の量を増やさなければならず、環境への負担が増す傾向にあり、一方、溶解度が高すぎる塩は潮解性が激しく、保管と作業により配慮を配らなければならず、産業的利便性が低下する傾向にあるので、適宜、選択する必要がある。例示した中でも、溶解度が適度高く、潮解性が低いことから、フッ化ナトリウムNaFが好ましい。また、水溶液Aにおけるフッ化物の濃度は、用いるフッ化物の溶解度に応じて適宜調整することが好ましい。また、前記水溶液Bとして用いることができる酸としては、フッ化水素酸以外の無機酸であり、具体的には、硝酸、硫酸、塩酸、シュウ酸、及びリン酸からなる群から選ばれる少なくとも一種以下、これらの酸を水溶液Bの無機酸と略する。である。中でも、酸化力が高いことから、硝酸が好ましい。水溶液Bの無機酸の濃度としては、水溶液Aと水溶液Bとの合計量に対し、通常10重量以上、好ましくは15重量以上、より好ましくは20重量以上であり、通常70重量以下である。水溶液Aと水溶液Bとの合計量に対する、水溶液Bの無機酸の濃度が上述の範囲となれば、水溶液Bに用いる水溶液Bの濃度に特に制限はなく、例えば、希硝酸でも濃硝酸でも用いることができる。水溶液Aと水溶液Bとの組み合わせとしては、NaFと硝酸との組み合わせが好ましい。これらの混合水溶液による溶解処理は、速やかにSiを除去して蛍光体の特性を向上することができるとともに、環境負担を減らしながら、作業性、産業的利便性が向上させることができることから好ましい。本発明の洗浄工程においては、焼成工程または熱処理工程で得られた蛍光体を、水溶液Aと水溶液Bとの混合液に浸漬することにより行われる。この際、水溶液Aと水溶液Bとを合わせることができればその混合方法に特に制限はなく、水溶液Aに水溶液Bを加えても、水溶液Bに水溶液Aを加えてもよい。また、本発明においては、必ずしも、水溶液Aと水溶液Bとを予め混合しておく必要はない。はじめに焼成工程または熱処理工程で得られた蛍光体を水溶液Aに浸漬し、その後でそこに水溶液Bを添加する態様も、はじめに焼成工程または熱処理工程で得られた蛍光体を水溶液Bに浸漬し、その後でそこに水溶液Aを添加する態様も、本発明に含まれる。ここで、浸漬している間、静置することにしても構わないが、作業効率の観点から、洗浄時間を短縮することができる程度に攪拌することが好ましい。また、通常、室温で作業を行うが、必要に応じて水溶液を加熱してもよい。蛍光体を、水溶液Aと水溶液Bとの混合液に浸漬する時間は、攪拌条件等によっても異なるが、通常1時間以上、好ましくは2時間以上であり、また、通常24時間以下、好ましくは12時間以下である。本発明の洗浄工程において、水溶液Aと水溶液Bとの混合液に蛍光体を浸漬する作業を行った後、一般的な水洗、ろ過を行うことが好ましい。水洗における洗浄媒としては、通常、室温25°C程度の水を用いるが、必要に応じて加熱してもよい。上述した蛍光体の水洗は、洗浄後の蛍光体について、次のような水分散試験を行い、その時の上澄み液の電気伝導度が所定の値以下となるまで行うことが好ましい。即ち、洗浄後の蛍光体を、必要に応じて乾式ボールミル等で解砕ないし粉砕し、篩又は水簸により分級を行って所望の重量メジアン径に整粒する。その後、当該蛍光体の10重量倍の水中で所定時間、例えば10分間撹拌して分散させた後、1時間静置することにより、水よりも比重の重い蛍光体粒子を自然沈降させる。このときの上澄み液の電気伝導度を測定し、その電気伝導度が通常100μS/cm以下、好ましくは50μS/cm以下、最も好ましくは10μS/cm以下となるまで、必要に応じて上述の洗浄操作を繰り返す。この蛍光体の水分散試験に用いられる水としては、特に制限はないが、洗浄媒の水と同様に脱塩水又は蒸留水が好ましく、特に電気伝導度は、通常0.01μS/cm以上、好ましくは0.1μS/m以上、また、通常10μS/cm以下、好ましくは1μS/cm以下である。また、上記蛍光体の水分散試験に用いられる水の温度は、通常、室温25°C程度である。このような水洗を行うことにより得られる蛍光体は、これを重量比で10倍の水に分散後、1時間静置して得られる上澄み液の電気伝導度が通常10μS/cm以下である。なお、上記蛍光体の水分散試験における上澄み液の電気伝導度の測定は、株式会社堀場製作所製、電気伝導度計ES-12等を用いて行うことができる。また、上記洗浄工程後は、蛍光体を付着水分がなくなるまで乾燥させて、使用に供する。また、さらに、必要に応じて、凝集をほぐすために分散分級処理を行ってもよい。[3.蛍光体の用途]本発明により得られる蛍光体は、蛍光体を使用する任意の用途に用いることができる。また、本発明により得られる蛍光体は、本発明により得られる蛍光体を単独で使用することも可能であるが、本発明により得られる蛍光体を2種以上併用したり、本発明により得られる蛍光体とその他の蛍光体とを併用したりした、任意の組み合わせの蛍光体混合物として用いることも可能である。本発明により得られる蛍光体は、公知の液体媒体例えば、シリコーン系化合物等と混合して、蛍光体含有組成物として用いることもできる。また、本発明により得られる蛍光体は、特に、近紫外光ないし青色光で励起可能であるという特性を生かして、近紫外光ないし青色光を発する光源と組み合わせることで、各種の発光装置に好適に用いることができる。本発明により得られる蛍光体が通常は緑色発光蛍光体であることから、例えば、本発明により得られる蛍光体に、青色光を発する励起光源を組み合わせれば、青色~緑色の発光装置を製造することができる。また、本発明により得られる蛍光体に、青色光を発する励起光源、及び赤色光を発光する蛍光体を組み合わせるか、近紫外光を発する励起光源、青色光を発光する蛍光体、及び赤色を発光する蛍光体を組み合わせれば、本発明により得られる蛍光体が緑色光を発光するので、白色発光装置を製造することができる。発光装置の発光色としては白色に制限されず、蛍光体の組み合わせや含有量を適宜選択することにより、電球色暖かみのある白色やパステルカラー等、任意の色に発光する発光装置を製造することができる。こうして得られた発光装置を、画像表示装置の発光部特に液晶用バックライトなどや照明装置として使用することができる。[4.蛍光体含有組成物]本発明により得られる蛍光体は、液体媒体と混合して用いることもできる。特に、本発明の蛍光体を発光装置等の用途に使用する場合には、これを液体媒体中に分散させた形態で用いることが好ましい。本発明の蛍光体を液体媒体中に分散させたものを、適宜本発明の蛍光体含有組成物と呼ぶものとする。[4-1.蛍光体]本発明の蛍光体含有組成物に含有させる本発明の蛍光体の種類に制限は無く、上述したものから任意に選択することができる。また、本発明の蛍光体含有組成物に含有させる本発明の蛍光体は、1種のみであってもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。更に、本発明の蛍光体含有組成物には、本発明の効果を著しく損なわない限り、本発明の蛍光体以外の蛍光体を含有させてもよい。[4-2.液体媒体]本発明の蛍光体含有組成物に用いられる液体媒体の種類は特に限定されず、通常、半導体発光素子を覆ってモールディングすることのできる硬化性材料を用いることができる。硬化性材料とは、流体状の材料であって、何らかの硬化処理を施すことにより硬化する材料のことをいう。ここで、流体状とは、例えば液状又はゲル状のことをいう。硬化性材料は、その硬化物が半導体発光素子等から発せられた光を蛍光体へ導く役割を担保するものであれば、具体的な種類に制限は無い。また、硬化性材料は、1種のみを用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。したがって、硬化性材料としては、無機系材料及び有機系材料並びに両者の混合物のいずれを用いることも可能である。これら硬化性材料の中では、半導体発光素子からの発光に対して劣化が少なく、耐アルカリ性、耐酸性、耐熱性にも優れる珪素含有化合物を使用することが好ましい。珪素含有化合物とは分子中に珪素原子を有する化合物をいい、ポリオルガノシロキサン等の有機材料シリコーン系化合物、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素等の無機材料、及びホウケイ酸塩、ホスホケイ酸塩、アルカリケイ酸塩等のガラス材料を挙げることができる。中でも、透明性、接着性、ハンドリングの容易さ、機械的、熱的応力の緩和特性に優れる等の点から、シリコーン系材料が好ましい。[4-3.その他の成分]本発明の蛍光体含有組成物には、本発明の効果を著しく損なわない限り、蛍光体及び液体媒体以外に、その他の成分、例えば、屈折率調整のための金属酸化物や、拡散剤、フィラー、粘度調整剤、紫外線吸収剤等の添加剤を含有させても良い。その他の成分は、1種のみを用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。[5.発光装置]本発明の発光装置以下、適宜発光装置というは、第1の発光体励起光源と、当該第1の発光体からの光の照射によって可視光を発する第2の発光体とを有する発光装置であって、該第2の発光体として前述の[1.蛍光体]の項で記載した本発明の蛍光体を1種以上含む第1の蛍光体を含有するものである。本発明の発光装置に用いられる本発明の蛍光体の好ましい具体例としては、前述の[1.蛍光体]の欄に記載した本発明の蛍光体や、後述の[実施例]の欄の各実施例に用いた蛍光体が挙げられる。また、本発明の蛍光体は、何れか一種を単独で使用してもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。本発明の発光装置は、第1の発光体励起光源を有し、且つ、第2の発光体として少なくとも本発明の蛍光体を使用している他は、その構成は制限されず、公知の装置構成を任意にとることが可能である。装置構成の具体例については後述する。本発明の発光装置のうち、特に白色発光装置として、具体的には、第1の発光体として後述するような励起光源を用い、上述のように本発明の蛍光体の他、後述するような青色の蛍光を発する蛍光体以下、適宜青色蛍光体という、緑色の蛍光を発する蛍光体以下、適宜緑色蛍光体という、赤色の蛍光を発する蛍光体以下、適宜赤色蛍光体という、黄色の蛍光を発する蛍光体以下、適宜黄色蛍光体という等の公知の蛍光体を任意に組み合わせて使用し、公知の装置構成をとることにより得られる。ここで、該白色発光装置の白色とは、JISZ8701により規定された、黄みの白、緑みの白、青みの白、紫みの白及び白の全てを含む意であり、このうち好ましくは白である。[5-1.発光装置の構成]<5-1-1.第1の発光体>本発明の発光装置における第1の発光体は、後述する第2の発光体を励起する光を発光するものである。第1の発光体の発光ピーク波長は、後述する第2の発光体の吸収波長と重複するものであれば、特に制限されず、幅広い発光波長領域の発光体を使用することができる。通常は、紫外領域から青色領域までの発光波長を有する発光体が使用される。第1の発光体の発光ピーク波長の具体的数値としては、通常200nm以上が望ましい。このうち、青色光を励起光として用いる場合には、通常420nm以上、好ましくは430nm以上、より好ましくは440nm以上、また、通常480nm以下、好ましくは470nm以下、より好ましくは460nm以下の発光ピーク波長を有する発光体を使用することが望ましい。一方、近紫外光を励起光として用いる場合には、通常300nm以上、好ましくは330nm以上、より好ましくは360nm以上、また、通常420nm以下、好ましくは410nm以下、より好ましくは400nm以下の発光ピーク波長を有する発光体を使用することが望ましい。第1の発光体としては、一般的には半導体発光素子が用いられ、具体的には発光ダイオードLEDやレーザーダイオードLD等が使用できる。その他、第1の発光体として使用できる発光体としては、例えば、有機エレクトロルミネッセンス発光素子、無機エレクトロルミネッセンス発光素子等が挙げられる。但し、第1の発光体として使用できるものは本明細書に例示されるものに限られない。中でも、第1の発光体としては、GaN系化合物半導体を使用したGaN系LEDやLDが好ましい。なぜなら、GaN系LEDやLDは、この領域の光を発するSiC系LED等に比し、発光出力や外部量子効率が格段に大きく、前記蛍光体と組み合わせることによって、低電力で非常に明るい発光が得られるからである。例えば、20mAの電流負荷に対し、通常GaN系LEDやLDはSiC系の100倍以上の発光強度を有する。GaN系LEDやLDとしては、AlXGaYN発光層、GaN発光層又はInXGaYN発光層を有しているものが好ましい。中でも、発光強度が非常に高いことから、GaN系LEDとしては、InXGaYN発光層を有するものが特に好ましく、InXGaYN層とGaN層との多重量子井戸構造のものがさらに好ましい。なお、上記においてXYの値は通常0.8~1.2の範囲の値である。GaN系LEDにおいて、これら発光層にZnやSiをドープしたものやドーパント無しのものが発光特性を調節する上で好ましいものである。GaN系LEDはこれら発光層、p層、n層、電極、及び基板を基本構成要素としたものであり、発光層をn型とp型のAlXGaYN層、GaN層、又はInXGaYN層などでサンドイッチにしたヘテロ構造を有しているものが、発光効率が高くて好ましく、更にヘテロ構造を量子井戸構造にしたものが、発光効率が更に高いため、より好ましい。なお、第1の発光体は、1個のみを用いてもよく、2個以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。<5-1-2.第2の発光体>本発明の発光装置における第2の発光体は、上述した第1の発光体からの光の照射によって可視光を発する発光体であり、第1の蛍光体として本発明の蛍光体を1種以上含有するとともに、その用途等に応じて適宜、後述する第2の蛍光体青色蛍光体、緑色蛍光体、黄色蛍光体、橙色蛍光体、赤色蛍光体等を含有する。また、例えば、第2の発光体は、第1及び第2の蛍光体を封止材料中に分散させて構成される。<5-1-2-1.第1の蛍光体>本発明の発光装置における第2の発光体は、少なくとも上述の本発明の蛍光体を含む第1の蛍光体を含有する。本発明の蛍光体は、何れか1種を単独で使用してもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよく、所望の発光色となるよう、本発明の蛍光体の組成を適宜調整すればよい。<5-1-2-2.第2の蛍光体>本発明の発光装置における第2の発光体は、その用途に応じて、上述の第1の蛍光体以外にも蛍光体即ち、第2の蛍光体を含有していてもよい。通常、これらの第2の蛍光体は、第2の発光体の発光の色調を調節するために使用されるため、第2の蛍光体としては第1の蛍光体とは異なる色の蛍光を発する蛍光体を使用することが多い。例えば、第1の蛍光体として緑色蛍光体を使用する場合、第2の蛍光体としては、青色蛍光体、赤色蛍光体、黄色蛍光体等の緑色蛍光体以外の蛍光体を用いるとよい。但し、第1の蛍光体と同色の蛍光体を第2の蛍光体として用いることも可能である。上記第2の発光体中に用いられる、本発明の蛍光体以外の蛍光体即ち、第2の蛍光体の組成には特に制限はないが、母体結晶となる、Y2O3、YVO4、Zn2SiO4、Y3Al5O12、Sr2SiO4等に代表される金属酸化物、Sr2Si5N8等に代表される金属窒化物、Ca5PO43Cl等に代表されるリン酸塩及びZnS、SrS、CaS等に代表される硫化物、Y2O2S、La2O2S等に代表される酸硫化物等にCe、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb等の希土類金属のイオンやAg、Cu、Au、Al、Mn、Sb等の金属のイオンを付活元素又は共付活元素として組み合わせたものが挙げられる。下表に、好ましい結晶母体の具体例を示す。但し、上記の母体結晶及び付活元素又は共付活元素は、元素組成には特に制限はなく、同族の元素と一部置き換えることもでき、得られた蛍光体は近紫外から可視領域の光を吸収して可視光を発するものであれば用いることが可能である。具体的には、蛍光体として以下に挙げるものを用いることが可能であるが、これらはあくまでも例示であり、本発明で使用できる蛍光体はこれらに限られるものではない。なお、以下の例示では、前述の通り、構造の一部のみが異なる蛍光体を、適宜省略して示している。本発明の発光装置に使用される第2の蛍光体の重量メジアン径D50は、通常2μm以上、中でも5μm以上、また、通常30μm以下、中でも20μm以下の範囲であることが好ましい。重量メジアン径D50が小さ過ぎると、輝度が低下し、蛍光体粒子が凝集してしまう傾向がある。一方、重量メジアン径が大き過ぎると、塗布ムラやディスペンサー等の閉塞が生じる傾向がある。<青色蛍光体>本発明の蛍光体に加えて青色蛍光体を使用する場合、当該青色蛍光体は本発明の効果を著しく損なわない限り任意のものを使用することができる。この際、青色蛍光体の発光ピーク波長は、通常420nm以上、好ましくは430nm以上、より好ましくは440nm以上、また、通常490nm以下、好ましくは480nm以下、より好ましくは470nm以下、更に好ましくは460nm以下の波長範囲にあることが好適である。使用する青色蛍光体の発光ピーク波長がこの範囲にあると、本発明の蛍光体の励起帯と重なり、当該青色蛍光体からの青色光により、本発明の蛍光体を効率良く励起することができるからである。このような青色蛍光体としては、Ca,Sr,BaMgAl10O17:Eu、Sr,Ca,Ba,Mg10PO46Cl,F2:Eu、Ba,Ca,Mg,Sr2SiO4:Eu、Ba,Ca,Sr3MgSi2O8:Euが好ましく、Ba,SrMgAl10O17:Eu、Ca,Sr,Ba10PO46Cl,F2:Eu、Ba3MgSi2O8:Euがより好ましく、Sr10PO46Cl2:Eu、BaMgAl10O17:Euが特に好ましい。<緑色蛍光体>本発明の蛍光体に加えて緑色蛍光体を使用する場合、当該緑色蛍光体は本発明の効果を著しく損なわない限り任意のものを使用することができる。この際、緑色蛍光体の発光ピーク波長は、通常500nmより大きく、中でも510nm以上、更には515nm以上、また、通常550nm以下、中でも542nm以下、更には535nm以下の範囲であることが好ましい。この発光ピーク波長が短過ぎると青味を帯びる傾向がある一方で、長過ぎると黄味を帯びる傾向があり、何れも緑色光としての特性が低下する場合がある。このような緑色蛍光体としては、Y3Al,Ga5O12:Tb、CaSc2O4:Ce、Ca3Sc,Mg2Si3O12:Ce、Sr,Ba2SiO4:Eu、Si,Al6O,N8:Euβ-sialon、Ba,Sr3Si6O12:N2:Eu、SrGa2S4:Eu、BaMgAl10O17:Eu,Mnが好ましい。得られる発光装置を照明装置に用いる場合には、Y3Al,Ga5O12:Tb、CaSc2O4:CeCa3Sc,Mg2Si3O12:Ce、Sr,Ba2SiO4:Eu、Si,Al6O,N8:Euβ-sialon、Ba,Sr3Si6O12N2:Euが好ましい。また、得られる発光装置を画像表示装置に用いる場合には、Sr,Ba2SiO4:Eu、Si,Al6O,N8:Euβ-sialon、Ba,Sr3Si6O12N2:Eu、SrGa2S4:Eu、BaMgAl10O17:Eu,Mnが好ましい。<黄色蛍光体>本発明の蛍光体に加えて黄色蛍光体を使用する場合、当該黄色蛍光体は本発明の効果を著しく損なわない限り任意のものを使用することができる。この際、黄色蛍光体の発光ピーク波長は、通常530nm以上、好ましくは540nm以上、より好ましくは550nm以上、また、通常620nm以下、好ましくは600nm以下、より好ましくは580nm以下の波長範囲にあることが好適である。このような黄色蛍光体としては、Y3Al5O12:Ce、Y,Gd3Al5O12:Ce、Sr,Ca,Ba,Mg2SiO4:Eu、Ca,SrSi2N2O2:Euが好ましい。<橙色ないし赤色蛍光体>本発明の蛍光体に加えて橙色ないし赤色蛍光体を使用する場合、当該橙色ないし赤色蛍光体は本発明の効果を著しく損なわない限り任意のものを使用することができる。この際、橙色ないし赤色蛍光体の発光ピーク波長は、通常570nm以上、好ましくは580nm以上、より好ましくは585nm以上、また、通常780nm以下、好ましくは700nm以下、より好ましくは680nm以下の波長範囲にあることが好適である。このような橙色ないし赤色蛍光体としては、Ca,Sr,Ba2Si5N,O8:Eu、Ca,Sr,BaSiN,O2:Eu、Ca,Sr,BaAlSiN,O3:Eu、Sr,Ba3SiO5:Eu、Ca,SrS:Eu、La,Y2O2S:Eu、Euジベンゾイルメタン31,10-フェナントロリン錯体等のβ-ジケトン系Eu錯体、カルボン酸系Eu錯体、K2SiF6:Mnが好ましく、Ca,Sr,Ba2Si5N,O8:Eu、Sr,CaAlSiN,O:Eu、La,Y2O2S:Eu、K2SiF6:Mnがより好ましい。また、橙色蛍光体としては、Sr,Ba3SiO5:Eu、Sr,Ba2SiO4:Eu、Ca,Sr,Ba2Si5N,O8:Eu、Ca,Sr,BaAlSiN,O3:Ceが好ましい。[6.発光装置の実施形態][6-1.発光装置の実施形態]以下、本発明の発光装置について、具体的な実施の形態を挙げて、より詳細に説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において任意に変形して実施することができる。本発明の発光装置の一例における、励起光源となる第1の発光体と、蛍光体を有する蛍光体含有部として構成された第2の発光体との位置関係を示す模式的斜視図を図1に示す。図1中の符号1は蛍光体含有部第2の発光体、符号2は励起光源第1の発光体としての面発光型GaN系LD、符号3は基板を表す。相互に接触した状態をつくるために、LD2と蛍光体含有部第2の発光体1とそれぞれ別個に作製し、それらの面同士を接着剤やその他の手段によって接触させてもよいし、LD2の発光面上に蛍光体含有部第2の発光体を製膜成型させてもよい。これらの結果、LD2と蛍光体含有部第2の発光体1とを接触した状態とすることができる。このような装置構成をとった場合には、励起光源第1の発光体からの光が蛍光体含有部第2の発光体の膜面で反射されて外にしみ出るという光量損失を避けることができるので、装置全体の発光効率を良くすることができる。図2aは、一般的に砲弾型と言われる形態の発光装置の代表例であり、励起光源第1の発光体と蛍光体含有部第2の発光体とを有する発光装置の一実施例を示す模式的断面図である。該発光装置4において、符号5はマウントリード、符号6はインナーリード、符号7は励起光源第1の発光体、符号8は蛍光体含有部、符号9は導電性ワイヤ、符号10はモールド部材をそれぞれ指す。また、図2bは、表面実装型と言われる形態の発光装置の代表例であり、励起光源第1の発光体と蛍光体含有部第2の発光体とを有する発光装置の一実施例を示す模式的断面図である。図中、符号22は励起光源第1の発光体、符号23は蛍光体含有部第2の発光体、符号24はフレーム、符号25は導電性ワイヤ、符号26及び符号27は電極をそれぞれ指す。[6-2.発光装置の用途]本発明の発光装置の用途は特に制限されず、通常の発光装置が用いられる各種の分野に使用することが可能であるが、演色性が高い、及び色再現範囲が広いことから、中でも照明装置や画像表示装置の光源として、とりわけ好適に用いられる。<6-2-1.照明装置>本発明の発光装置を照明装置に適用する場合には、前述のような発光装置を公知の照明装置に適宜組み込んで用いればよい。例えば、図3に示されるような、前述の発光装置4を組み込んだ面発光照明装置11を挙げることができる。図3は、本発明の照明装置の一実施形態を模式的に示す断面図である。この図3に示すように、該面発光照明装置は、内面を白色の平滑面等の光不透過性とした方形の保持ケース12の底面に、多数の発光装置13前述の発光装置4に相当を、その外側に発光装置13の駆動のための電源及び回路等図示せず。を設けて配置し、保持ケース12の蓋部に相当する箇所に、乳白色としたアクリル板等の拡散板14を発光の均一化のために固定してなる。そして、面発光照明装置11を駆動して、発光装置13の励起光源第1の発光体に電圧を印加することにより光を発光させ、その発光の一部を、蛍光体含有部第2の発光体としての蛍光体含有樹脂部における前記蛍光体が吸収し、可視光を発光し、一方、蛍光体に吸収されなかった青色光等との混色により演色性の高い発光が得られ、この光が拡散板14を透過して、図面上方に出射され、保持ケース12の拡散板14面内において均一な明るさの照明光が得られることとなる。<6-2-2.画像表示装置>本発明の発光装置を画像表示装置の光源として用いる場合には、その画像表示装置の具体的構成に制限は無いが、カラーフィルターとともに用いることが好ましい。例えば、画像表示装置として、カラー液晶表示素子を利用したカラー画像表示装置とする場合は、上記発光装置をバックライトとし、液晶を利用した光シャッターと赤、緑、青の画素を有するカラーフィルターとを組み合わせることにより画像表示装置を形成することができる。以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。[測定方法]後述する各実施例および各比較例の輝度、各量子効率、および反射率は、以下の方法により測定した。<発光スペクトル>発光スペクトルは、室温25°Cにおいて、日立製作所製蛍光分光光度計F-4500を用いて測定した。より具体的には、波長455nmの励起光を蛍光体に照射し、480nm以上800nm以下の波長範囲内の発光スペクトルを得た。<励起スペクトル>励起スペクトルは、室温25°Cにおいて、日立製作所製蛍光分光光度計F-4500を用いて測定した。より具体的には、540nmの緑色発光ピークをモニターして、250nm以上530nm以下の波長範囲内の励起スペクトルを得た。<輝度>上述の方法で得られた発光スペクトルから励起波長域を除いた範囲を対象として、JISZ8724に準拠して算出したXYZ表色系における刺激値Yを求めた。次いで、波長455nmの励起光で三菱化学株式会社製の黄色蛍光体Y3Al5O12:Ce製品番号:P46-Y3を励起して得られた発光スペクトルから上述に記載の方法と同様にして求めた刺激値Yを100とした相対値を相対輝度以下、単に輝度と称する場合がある。として算出した。<量子効率吸収効率αq、内部量子効率ηi、及び外部量子効率ηo>測定対象となる蛍光体サンプル例えば蛍光体の粉末等を、測定精度が保たれるように、十分に表面を平滑にしてセルに詰め、積分球等の集光装置に取り付けた。該集光装置に、蛍光体サンプルを励起するための発光源として、Xeランプを取り付けた。また、発光源の発光ピーク波長が450nmの単色光となるように、フィルターやモノクロメーター回折格子分光器等を用いて調整を行なった。この発光ピーク波長が調整された発光源からの光を、測定対象の蛍光体サンプルに照射し、発光蛍光及び反射光を含むスペクトルを分光測定装置大塚電子株式会社製MCPD7000で測定した。<反射スペクトル>反射スペクトルは、励起光源として150Wキセノンランプを、集光装置として積分球を、スペクトル測定装置として、大塚電子製MCPD7000マルチチャンネルスペクトル測定装置を使用した。まず、標準白板として、励起光に対してほぼ100の反射率Rを持つ物質、Labsphere製Spectralon波長450nmの励起光に対する反射率:99に150Wキセノンランプを照射し、380nm以上780nm以下の波長範囲においてスペクトル測定装置を使用し、各波長の反射強度を測定し、パーソナルコンピューターによる感度補正等の信号処理を経て反射スペクトルを得た。次に、測定対象となる蛍光体試料を、測定精度が保たれるように、十分に表面を平滑にしてセルに詰め、同様の方法により各波長の反射強度を測定し、標準白板との反射強度の比率より試料の反射スペクトルを得た。得られた反射スペクトルから、770nmにおける反射率を求めた。<実施例1>原料として、Si3N4宇部興産社製、SN-E10グレードを477.5g、Eu2O3信越化学社製、RUグレードを4g、AlNトクヤマ社製、Fグレードを16.5g、Al2O3大明化学社製、TM―DARグレードを2g、秤量した。上記の原料を、振動ミール中央加工機社製MB―1型に設置し、1時間振動混合を行った。その後、得られた蛍光体原料混合物をナイロンメッシュNxx-13,目開き100umに全量通した。得られた蛍光体原料混合物を、外径9cm高さ10cmの窒化ホウ素製ルツボに200g充填し、富士電波社製加圧窒化炉FVPS-R-160/150で窒素圧0.92MPaの雰囲気下で、2000°Cで12時間保持することにより焼成した。得られた焼成粉体を、ナイロンメッシュN―No.305T,目開き48umをパスさせた。その後、得られた粉体35gを、外径6cm高さ3.5cmの窒化ホウ素製ルツボに入れて管状炉に設置し、アルゴンガスを0.5L/分で流しながら、1450°Cで8時間加熱することにより、熱処理を行った。前記熱処理により得られた粉体を、ナイロンメッシュN―No.305T,目開き48umに全量通すことにより、蛍光体を得た。得られた蛍光体粉体の中で2gを、NaF和光純薬工業社製、純度990.5gを純水18mlに溶解させた水溶液と、硝酸和光純薬工業社製、68~70重量8mlとの混合水溶液に入れて、6時間、スターラーを用いて攪拌することにより、洗浄した。洗浄した粉体を、電気伝導度が10μS/cm以下になるまで通常のろ過、水洗を繰り返した後、150°Cで2時間乾燥して実施例1の蛍光体を得た。粉末X線解析を行うことにより、実施例1の蛍光体が、β型サイアロンであることを確認した。<実施例2>実施例1において、NaFの使用量を0.1gに変更したこと以外は、実施例1と同様の条件で蛍光体を製造し、実施例2の蛍光体を得た。<参考例1>実施例1で合成した洗浄前の粉体5gを、フッ化水素酸森田化学社製、46-4810mlと硝酸和光純薬工業社製、68-7017.6mlとの混合溶液に入れたこと以外は、実施例1と同様の条件で蛍光体を洗浄し、参考例1の蛍光体を得た。実施例1、実施例2、および参考例1の製造条件について、表3にまとめて示す。また、実施例1、実施例2および参考例1の蛍光体の、波長455nmの励起光を照射したときの輝度、波長450nmの励起光を照射したときの各量子効率および反射スペクトル中で770nmにおける反射率を表4に示す。実施例1については、発光スペクトル、及び励起スペクトルを測定し、その結果を図4、及び図5に示す。以上の結果から、実施例1~2の蛍光体は、参考例1の蛍光体と同程度の特性である。即ち、本発明によれば、フッ化水素酸を使用しなくても実用的な特性を示す蛍光体を得ることができる。<比較例1>実施例1において洗浄を行わないこと以外は、実施例1と同様の条件で蛍光体を製造し、比較例1の蛍光体を得た。即ち、熱処理により得られた粉体を、ナイロンメッシュに全量通した後の蛍光体を比較例1の蛍光体とした。<実施例3~8>実施例1において、洗浄する際に添加するフッ化物とその量を、それぞれNaFを0.20g実施例3、LiFを0.12g実施例4、RbFを0.5g実施例5、CsFを0.73g実施例6、Na3AlF6を0.17g実施例7、SrF2を0.30g実施例8に変更したこと以外は、実施例1と同様の条件で蛍光体を製造し、実施例3~8の蛍光体を得た。<比較例2>実施例1において、洗浄する際に添加するフッ化物とその量を、MgF2を0.15gに変更したこと以外は、実施例1と同様の条件で蛍光体を製造し、比較例2の蛍光体を得た。<比較例3>比較例2において、洗浄する際に使用する純水と硝酸の合計量を5倍にしたこと以外は、比較例2と同様の条件で蛍光体を製造し、比較例3の蛍光体を得た。なお、使用したMgF2の溶解度は0.0087g/水100ml化学大辞典である。上述の実施例3~8、および比較例2~3の製造条件について、表5にまとめて示す。また、実施例3~8、および比較例2と3の蛍光体の、波長455nmの励起光を照射したときの輝度、波長450nmの励起光を照射したときの各量子効率および反射スペクトル中で770nmにおける反射率を表6に示す。また、併せて、水溶液Aとして用いたフッ化物の水100mlに対する溶解度を示す。以上の結果から、実施例3~8の蛍光体は、洗浄を行わない比較例1および溶解度の低いフッ化物を添加して洗浄した比較例2と3の蛍光体に比べると非常に優れた蛍光特性を示すことがわかる。即ち、本発明によれば、酸窒化物蛍光体を洗浄する際にフッ化水素酸を使用しなくても実用的な特性を示す蛍光体を得ることができる。"