所定のz軸と略平行な回転軸線を有する出力部材と、前記出力部材の移動及び回転を行う第1アクチュエータ、第2アクチュエータ、第3アクチュエータ、及び、第4アクチュエータと、前記出力部材と前記第1アクチュエータとの間、及び、前記出力部材と前記第2アクチュエータとの間にそれぞれ設けられ、前記出力部材の回転軸線を前記z軸に対し略平行に保持しつつ、前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータの駆動により前記出力部材を前記z軸に交差する方向に移動させる第1リンク機構及び第2リンク機構と、前記出力部材と前記第3アクチュエータとの間を連結するリンク部材を有し、前記第3アクチュエータの駆動により前記出力部材を前記z軸に概ね平行な方向に移動させる第3リンク機構と、前記第4アクチュエータの駆動により生じる回転を前記リンク部材に伝達する第1回転伝達機構と、前記リンク部材からの回転を前記出力部材に伝達する第2回転伝達機構と、を備え、前記第1アクチュエータ、前記第2アクチュエータ及び前記第3アクチュエータの駆動により、xyz空間内で前記出力部材を位置決め可能であり、前記第1回転伝達機構及び前記第2回転伝達機構は、前記出力部材の位置決め位置に拘らず、前記第4アクチュエータの駆動による回転を前記リンク部材を介して前記出力部材に伝達可能である、ことを特徴とするパラレルリンクロボット。前記第1回転伝達機構は、前記第4アクチュエータの駆動により回転する回転部材と前記リンク部材とを接続する第1ユニバーサルジョイントを有し、前記第2回転伝達機構は、前記リンク部材と前記出力部材とを接続する第2ユニバーサルジョイントを有する、ことを特徴とする、請求項1に記載のパラレルリンクロボット。前記第1ユニバーサルジョイント及び前記第2ユニバーサルジョイントは、それぞれ不等速ジョイントである、ことを特徴とする、請求項2に記載のパラレルリンクロボット。前記第4アクチュエータは、回転型アクチュエータであり、前記第1回転伝達機構は、前記第4アクチュエータの駆動により回転する回転部材に、前記第4アクチュエータの駆動による回転を減速して伝達する減速機構を有する、ことを特徴とする、請求項1ないし3のうちの何れか1項に記載のパラレルリンクロボット。前記第4アクチュエータは、回転型アクチュエータであり、前記第3アクチュエータの可動部に支持固定されている、ことを特徴とする、請求項1ないし4のうちの何れか1項に記載のパラレルリンクロボット。前記第4アクチュエータは、固定の部分に支持固定され、前記第1回転伝達機構は、前記回転部材の位置に拘らず、前記第4アクチュエータの駆動による回転を前記回転部材に伝達する第3回転伝達機構を有する、ことを特徴とする、請求項2ないし4のうちの何れか1項に記載のパラレルリンクロボット。前記第1回転伝達機構は、前記出力部材の回転軸線と略平行に配置され、前記第3回転伝達機構により回転が伝達される前記回転部材である平行軸と、前記平行軸と前記リンク部材とを接続するユニバーサルジョイントと、を有し、前記第3アクチュエータは回転型アクチュエータで、その回転軸が前記z軸方向に対して略直交する方向に配置されるとともに、その回転軸に固定されるか又は一体に形成され、先端が前記平行軸に連結されたアーム部を有し、一端が前記固定の部分又は前記第4アクチュエータの回転軸に回転自在に連結されるとともに、他端が前記平行軸に回転自在に連結される他のリンク部材を有し、前記第3アクチュエータの前記アーム部と前記他のリンク部材を平行に保つ平行リンク機構が構成され、該平行リンク機構により前記平行軸が前記出力部材の回転軸線と略平行に保持されている、ことを特徴とする、請求項6に記載のパラレルリンクロボット。前記他のリンク部材の前記一端は、前記第4アクチュエータの回転軸に回転自在に連結され、前記第4アクチュエータは、前記z軸と略平行な回転軸を有する回転型アクチュエータであり、前記第4アクチュエータの回転軸及び前記平行軸は、それぞれ略同形状のクランク部を有し、前記第3回転伝達機構は、前記第4アクチュエータの回転軸の前記クランク部と、前記平行軸の前記クランク部と、これら両クランク部との間を連結する第3のリンク部材と、を有するリンク機構である、ことを特徴とする、請求項7に記載のパラレルリンクロボット。前記第4アクチュエータは、前記第3アクチュエータの回転軸に略平行な回転軸を有する回転型アクチュエータであり、前記他のリンク部材の前記一端は、前記固定の部分に回転自在に連結され、前記第3回転伝達機構は、前記第4アクチュエータの回転軸と平行に配置された伝達軸と、前記第4アクチュエータの回転軸と前記伝達軸との間で回転を伝達する第1中間伝達部と、前記伝達軸の回転を前記平行軸に伝達する第2中間伝達部と、前記第4アクチュエータの回転軸と前記伝達軸との距離を一定に規制する規制部材と、を有する、ことを特徴とする、請求項7に記載のパラレルリンクロボット。上述の特許文献1に記載された構造の場合、出力部材4を回動させるために、専用の伝動部材5を設ける必要があり、構造が複雑になることが避けられない。本発明は、このような事情に鑑み、簡単な構成で出力部材の回転を行える構造を実現すべく発明したものである。本発明は、所定のz軸と略平行な回転軸線を有する出力部材と、前記出力部材の移動及び回転を行う第1アクチュエータ、第2アクチュエータ、第3アクチュエータ、及び、第4アクチュエータと、前記出力部材と前記第1アクチュエータとの間、及び、前記出力部材と前記第2アクチュエータとの間にそれぞれ設けられ、前記出力部材の回転軸線を前記z軸に対し略平行に保持しつつ、前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータの駆動により前記出力部材を前記z軸に交差する方向に移動させる第1リンク機構及び第2リンク機構と、前記出力部材と前記第3アクチュエータとの間を連結するリンク部材を有し、前記第3アクチュエータの駆動により前記出力部材を前記z軸に概ね平行な方向に移動させる第3リンク機構と、前記第4アクチュエータの駆動により生じる回転を前記リンク部材に伝達する第1回転伝達機構と、前記リンク部材からの回転を前記出力部材に伝達する第2回転伝達機構と、を備え、前記第1アクチュエータ、前記第2アクチュエータ及び前記第3アクチュエータの駆動により、xyz空間内で前記出力部材を位置決め可能であり、前記第1回転伝達機構及び前記第2回転伝達機構は、前記出力部材の位置決め位置に拘らず、前記第4アクチュエータの駆動による回転を前記リンク部材を介して前記出力部材に伝達可能である、ことを特徴とするパラレルリンクロボットにある。本発明によれば、第3リンク機構を構成するリンク部材を介して、第4アクチュエータにより出力部材を回転させることができるため、出力部材を回転させるための専用の伝動部材が必要ない。このため、簡単な構成で出力部材の回転を行える。<第1の実施形態>本発明の第1の実施形態について、図1~図3を用いて説明する。図1及び図2に示すように、パラレルリンクロボット100は、ケース101と、出力部材102と、複数のリニアアクチュエータ104、105、108と、モータ110と、複数のリンク機構106、107、109と、を有する。なお、104は第1アクチュエータに、105は第2アクチュエータに、108は第3アクチュエータに、110は第4アクチュエータにそれぞれ相当する。また、106は第1リンク機構、107は第2リンク機構、109は第3リンク機構である。[ケース]ケース101内には、第1リニアアクチュエータ104、第2リニアアクチュエータ105、第3リニアアクチュエータ108を、それぞれの可動部が出力部材側に突出しないように収納する。ケース101はベース部材を兼ねており、複数のリニアアクチュエータ104、105、108が、ケース101を構成する略鉛直方向に配設された支持壁101bのそれぞれの所定の位置に直接又は取付部材などを介して固定されている。また、各リニアアクチュエータの駆動力を後述するリンク機構106、107、109を介して出力部材102に伝達するようにしている。そして、各リニアアクチュエータにより駆動されて各リンク機構を駆動する可動部がケース101内に収まるようにしている。更に、ケース101の複数個所に開口部101aを設け、開口部101aを介して、各リニアアクチュエータにより各リンク機構をそれぞれ駆動可能としている。なお、ケース101は一体の構成でなくてもよく、複数の筐体を連結させた構成でもよい。[出力部材]出力部材102は、ワークの移動や加工などを行うフィンガーやドリルなどの工具を取り付けるものである。このような出力部材102は、所定のz軸方向に配設された出力軸103の先端部下端部に結合されている。後述するように、出力部材102は、出力軸103を回転軸としてz軸回りの回転自在である。言い換えれば、出力部材102は、回転軸がz軸と略平行である。本実施形態では、z軸方向を鉛直方向としている。なお、出力軸103は軸状の形態を有することが好適であるが、実際に軸状の形態を有さなくても良い。後述するように、平行リンク等のリンク部材が結合されるジョイント部連結部が略直線上に並べられれば良く、本発明の出力部材はこのような場合も含むものとする。[第1アクチュエータ及び第2アクチュエータ]第1アクチュエータ及び第2アクチュエータである第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105は、それぞれが出力部材102をxyz空間内で移動させるための駆動源となる直動型のアクチュエータの一例である。これら第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105は、それぞれレール固定子104A、105Aをz軸方向鉛直方向に配置している。レール104A、105Aは、それぞれケース101の支持壁101bの鉛直方向中間部ないし下端寄りに固定されている。そして、第1リニアアクチュエータ104のレール104Aに第1移動子104aを、第2リニアアクチュエータ105のレール105Aに第2移動子105aを、それぞれレールに沿って移動自在に配置している。第1移動子104a、第2移動子105aには、それぞれレール104A、105Aと反対側に、z軸方向と略平行な第1軸104b、第2軸105bがそれぞれ固定されている。このような第1軸104b、第2軸105bは、第1移動子104a、第2移動子105aから突設したそれぞれが一対のアーム104B、105Bの先端に支持固定されている。したがって、第1軸104b、第2軸105bは、それぞれ第1移動子104a、第2移動子105aと共に、z軸方向に移動する。第1軸104bの中心軸線と第2軸105bの中心軸線はz軸に平行な共通の平面内に位置するように配置されている。即ち、第1軸104bと第2軸105bとは、z軸に平行な共通の平面内を移動する。言い換えれば第1移動子104aと第2移動子105aは、z軸に平行な所定の平面内を移動する。これら第1移動子104a及び第2移動子105aのそれぞれの移動量は、制御部Cにより制御される。制御部Cは、CPUやハードウエア回路又はそれらの組合せからなる。[第3アクチュエータ]第3アクチュエータである第3リニアアクチュエータ108は、出力部材102をxyz空間内の概ねz軸方向に移動させるための駆動源となる直動型アクチュエータの一例である。この第3リニアアクチュエータ108も、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105と同様に、レール固定子108Aをz軸方向鉛直方向に配置している。レール108Aは、ケース101の支持壁101bの鉛直方向上端寄りで、水平方向に関してレール104Aとレール105Aとの間に固定されている。そして、第3リニアアクチュエータ108のレール108Aに第3移動子108aをレールに沿って移動自在に配置している。第3移動子108aの移動量は制御部Cにより制御される。上述の第1、第2、第3各リニアアクチュエータとしては、リニアモータ、リニアステッピングモータなどが使用可能である。但し、リニアアクチュエータは、回転型アクチュエータの一例であるモータ等の回転運動をボールネジ等の変換機構により直線運動に変換したものであっても良い。また、これら回転型、リニア型等のアクチュエータは、サーボモータ、ステッピングモータ、超音波モータ等の電動アクチュエータ以外に、油圧などの他の動力により駆動されるものでも良い。[第4アクチュエータ]第4アクチュエータであるモータ110は、出力部材102をz軸回り鉛直軸回りに回動させるための駆動源となる回転型アクチュエータの一例である。このようなモータ110は、回転軸110aの方向を出力軸103と平行にするべく、回転軸110aがz軸方向鉛直方向に対して略平行となるように第3移動子108aに固定されている。モータ110の駆動量回転軸110aの回転量は制御部Cにより制御される。[第1リンク機構及び第2リンク機構]第1リンク機構106及び第2リンク機構107は、出力部材102と第1移動子104aとの間、及び、出力部材102と第2移動子105aとの間に、それぞれ設けられている。そして、後述するように出力部材102の回転軸出力軸103をz軸に略平行に保つように保持する機能を有するとともに、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動により出力部材102を移動する機能を有している。出力部材102の出力軸103とz軸との略平行を保つための平行リンク機構の一例である第1リンク機構106は、第1軸104bと、出力軸103と、複数の第1リンク部材である2本の第1リンクバー106aとを有する構成になっている。また、平行リンク機構の一例である第2リンク機構107は、第2軸105bと、出力軸103と、複数の第2リンク部材である2本の第2リンクバー107aとを有する構成になっている。なお、第1リンクバー106aと第2リンクバー107aとは、それぞれ3本以上としても良い。第1軸104bは、上述のようにz軸と平行に配置され、第1リニアアクチュエータ104の駆動によりz軸方向に沿って移動させられる。また、第2軸105bも、上述のようにz軸と平行に配置され、第2リニアアクチュエータ105の駆動によりz軸方向に沿って移動させられる。なお、第1軸104b、第2軸105bは軸状の形態を有することが好適であるが、実際に軸状の形態を有さなくてもよく、平行リンクのリンク部材であるリンクバーが結合されるジョイントをz軸鉛直線に略平行な直線上に並べてあれば良い。第1リンク機構106の2本の第1リンクバー106aは、同じ実効長後述する両端のジョイント部の可動中心位置間距離を有し、互いに平行に配置された状態で、第1軸104bと出力軸103とを接続する。本実施形態では、第1軸104b、出力軸103、2本の第1リンクバー106aで平行リンク機構を構成している。このため、出力部材102の位置に拘らず、第1軸104bと出力軸103との平行、2本の第1リンクバー106aの平行がそれぞれ保持される。第2リンク機構107の2本の第2リンクバー107aは、同じ実効長後述する両端のジョイント部の中心間距離を有し、互いに平行に配置された状態で、第2軸105bと出力軸103とを接続する。本実施形態では、第2軸105b、出力軸103、2本の第2リンクバー107aで平行リンク機構を構成している。このため、出力部材102の位置に拘らず、第2軸105bと出力軸103との平行、2本の第2リンクバー107aの平行がそれぞれ保持される。また、本実施形態の場合、出力部材102がx、y、z軸の何れの方向にも移動できるように、第1リンク機構106及び第2リンク機構107の各ジョイント部連結部を構成している。まず、第1リンク機構106は、出力軸103と2本の第1リンクバー106aの一端部とを、複数の2個の第1出力側ジョイント部106bによりそれぞれ連結している。また、第1軸104bと2本の第1リンクバー106aの他端部とを、複数の2個の第1駆動側ジョイント部106cによりそれぞれ連結している。第2リンク機構107は、出力軸103と2本の第2リンクバー107aの一端部とを、複数の2個の第2出力側ジョイント部107bによりそれぞれ連結している。また、第2軸105bと2本の第2リンクバー107aの他端部とを、複数の2個の第2駆動側ジョイント部107cによりそれぞれ連結している。2個の第1出力側ジョイント部106bは、少なくとも、出力軸103に対して第1リンクバー106aを、z軸回りの回動、及び、出力部材102及び第1リンクバー106aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。2個の第2出力側ジョイント部107bは、少なくとも、出力軸103に対する第2リンクバー107aの、z軸回りの回動、及び、出力部材102及び第2リンクバー107aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。即ち、第1出力側ジョイント部106b及び第2出力側ジョイント部107bは、少なくとも2自由度を有する。2個の第1駆動側ジョイント部106cは、少なくとも、第1軸104bに対して第1リンクバー106aを、z軸回りの回動、及び、第1軸104b及び第1リンクバー106aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。2個の第2駆動側ジョイント部107cは、少なくとも、第2軸105bに対して第2リンクバー107aを、z軸回りの回動、及び、第2軸105b及び第2リンクバー107aの配設方向に直交する直交軸を中心として回動自在である。即ち、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cも、少なくとも2自由度を有する。なお、第1軸104bと第2軸105bを軸受等により回転自在に支持すれば、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cは1自由度のジョイントに変更できる。[出力部材のz軸に交差する方向への移動]上述のように、第1リニアアクチュエータ104と出力軸103との間、及び、第2リニアアクチュエータ105と出力軸103との間に、それぞれ平行リンク機構を設けている。そして、これら2個のリニアアクチュエータにより出力軸103に固定の出力部材102をz軸に交差する方向即ち、概ね水平方向に移動可能としている。即ち、制御部Cが第3移動子108aの位置を固定したまま、第1移動子104a及び第2移動子105aを、z軸方向にそれぞれ任意の量移動させる。これにより出力部材102のz軸方向の位置は概ね変化しない一方で、第1軸104b及び第2軸105bと出力軸103とのz軸に交差する方向の距離が変化して、出力部材102が概ね水平方向に移動させられる。このとき、第1軸104b及び第2軸105bはz軸方向に対して略平行を保ちながら移動される。このため、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動により、出力軸103のz軸方向鉛直方向に対する姿勢を保ちながら、出力部材102をz軸に交差する概ね水平の方向に移動させることができる。また、本実施形態の場合、出力軸103側の2個の第1出力側ジョイント部106bと、出力軸103側の2個の第2出力側ジョイント部107bとが、z軸と略平行な同一軸上、即ち出力軸103上に配置されている。これにより、第1リニアアクチュエータ104から出力部材102におよぼす位置決め力の作用する位置と、第2リニアアクチュエータ105から出力部材102におよぼす位置決め力の作用する位置とが、上方から見て必ず一致する。このため、両リニアアクチュエータからの位置決め力の作用する位置の食い違いがある場合に生じる出力部材102の位置決め誤差を回避できる。なお、複数の第1出力側ジョイント部106bを結ぶ直線と、複数の第2出力側ジョイント部107bを結ぶ直線とを実質的に一致させていればよく、構造上の要求から僅かにずらして配置してもよい。なお、図2に丸印で示した2自由度のジョイント部106b、107b等としては、例えば図3に例示する構造のジョイントを適用できる。図3のジョイントは、矢印Aに示すような支持軸の周りに1回転以上回転する自由度と、矢印Bに示すような支持軸に略直角な軸周りに所定の振れ角度範囲内で回動する自由度を有する。後述する他の2自由度のジョイントも、この図3に例示する構造を有するものが好適である。このような2自由度のジョイントを用いれば、リンクバーの配設方向回りの回転の自由度を有さないので、平行リンク機構のねじれを防止することができる。[第3リンク機構]第3リンク機構109は、出力部材102と第3移動子108aとの間に設けられ、第3リニアアクチュエータ108の駆動により出力部材102を概ねz軸方向に移動可能としている。このような第3リンク機構109は、モータ110の回転軸110aに連結されたリンク部材である第3リンクバー109aと、出力軸103とにより構成される。第3リンクバー109aは、1本のみにより構成され、一端部を出力軸103の上端部に第3出力側ジョイント部である第2ユニバーサルジョイント109bにより連結している。一方、他端部を回転軸110aの先端部下端部に第3駆動側ジョイント部である第1ユニバーサルジョイント109cにより連結している。本実施形態の場合、第1、第2ユニバーサルジョイント109c、109bは、それぞれフックジョイントカルダンジョイントであり、後述するように、回転の伝達を行う。したがって、回転軸110aと第3リンクバー109aとの角度、及び、第3リンクバー109aと出力軸103との角度が45度以下の範囲で、第3リンクバー109aが可動可能である。そして、この可動範囲で出力部材102のxyz空間内での位置決めが可能で、かつ出力部材102のz軸周りの回動が可能である。なお、第1、第2ユニバーサルジョイント109b、109cとして不等速のフックジョイントではなく、ツェッパ型、バーフィールド型などの等速ジョイントを使用しても良い。これにより、出力部材102の可動範囲を上述よりも大きくできる。[出力部材の上下移動]制御部Cにより第3リニアアクチュエータ108を駆動すると、第3移動子108aがz軸方向に沿って移動し、モータ110の回転軸110aの先端に第3リンクバー109aを介して接続された出力部材102が概ね鉛直方向に移動する。厳密には、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の移動子104a、105aを固定のまま、第3リニアアクチュエータ108のみ駆動すると出力部材102は仮想的な円弧上を移動する。したがって、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動による出力部材102のz軸に交差する方向への移動に対応させて、第3リニアアクチュエータ108を駆動すれば出力部材102を概ねz軸方向へ移動することができる。これにより、xyz空間内で出力部材102を位置決め可能である。具体的には、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動による出力部材103の概ね水平方向への移動と共に、第3リニアアクチュエータ108の駆動による概ねz軸方向への移動を併用すれば、所定の範囲内の所望の位置に出力部材102を移動することができる。また、前述のように、第1リニアアクチュエータ104と出力部材102の出力軸103との間、及び、第2リニアアクチュエータ105と出力軸103との間に、それぞれ平行リンク機構を設けている。このため、出力部材102の水平方向及び鉛直方向の任意の移動に拘らず、出力軸103を鉛直方向と略平行な状態に維持できる。また、第3リニアアクチュエータ108の駆動により、出力部材102を上下方向に移動すると、第1リンクバー106aと第2リンクバー107aの水平からの傾斜の角度が変化する。このため、出力部材102の3次元空間内の移動位置は、第1、第2、第3各リンクバー106a、107a、109aの傾斜を考慮して、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量から幾何学的に算出できる。ここで、リニアアクチュエータの駆動量は、移動子の移動距離に相当する。なお、第1、第2リニアアクチュエータ104、105の駆動量から概略の位置を算出し、それを第3リニアアクチュエータ108の駆動量に応じて補正することで、出力部材102のxyz空間内の正確な移動位置を算出するようにしても良い。また、算出値を予め制御部C内の数値テーブルに格納しておき、目標とする移動位置に基づいて第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量をこの数値テーブルから求めることが好適である。また、移動位置から第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量を逆算する算出式を用いても良い。以上のようにして出力部材102の移動位置と第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量を関係付けることで、出力部材102に固定の出力部材102の3次元位置xyz位置の位置決めが可能となる。本実施形態の場合、第1軸104b、第2軸105bのそれぞれの中心軸線がz軸に平行な共通の平面内にあり、第1ユニバーサルジョイント109bの中心がその平面内又はその平面に概ね沿って移動するため、上述のように出力部材の位置を幾何学的に算出することは容易である。また、本実施形態の場合は第3リンクバー109aの出力部材102側の第3出力側ジョイント部となる第2ユニバーサルジョイント109bは、上述のように出力軸103の上端部に設けられている。第2ユニバーサルジョイント109bを設ける位置は、出力軸103の中央部等に変更しても良い。そして、この第2ユニバーサルジョイント109bと、2個の第1出力側ジョイント部106b及び2個の第2出力側ジョイント部107bとを、z軸と略平行な同一軸上出力部材102の回転軸上に配置している。これにより、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108によってそれぞれ出力部材102に対して力を作用させる位置が、上方から見ていつでも一致する。このため、3つのリニアアクチュエータを協働させて行う出力部材102の位置決めの誤差を低減できる。[第1、第2、第3各リニアアクチュエータの配置]本実施形態の場合、第1移動子104aと、第2移動子105aと、第3移動子108aとは、xy平面に直交する略同一平面内を移動するように配置されている。また、出力部材102は、これら各移動子104a、105a、108aに対してxy平面に関して外れた位置に位置決めされる。即ち、出力部材102と、同一平面内を移動する第1、第2、第3各移動子104a、105a、108aとの間に、それぞれ第1、第2、第3リンク機構106、107、109を設けている。そして、出力部材102を第1、第2、第3各移動子104a、105a、108a、に対して水平方向に外れた位置に位置決めするようにしている。このように全ての移動子が同一平面内を移動するため、出力部材102の位置を幾何学的に算出することが容易となる。なお、各移動子の位置関係は、上述の位置に限らない。例えば、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105とは、次のような関係を満たすように配置されていれば、それぞれの互いの移動子が同一平面上に位置しなくても良い。即ち、装置の上方から眺めた場合に、第1軸104bと出力部材102の中心とを結ぶ線分と、第2軸105bと出力部材102とを結ぶ線分との成す角度が、0°よりも大きく且つ180°よりも小さくなるように配置しても良い。言い換えれば、第1軸104bと第2軸105bとは、装置の上方から眺めた場合に出力部材102とそれぞれの中心を結ぶ2つの線が直線となるような位置、及び、互いにの中心が重なる位置のそれぞれから外れるように配置する。このように構成することにより、出力部材102の位置決めの計算が、各移動子のxy平面での位置関係を考慮する分複雑になるが、設計時の自由度が高くなる。本実施形態の場合、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105とは、鉛直方向の位置はほぼ同じ多少鉛直方向にずれている場合も含むとし、互いに水平方向にずれた位置に配置している。また、第1リンクバー106aと第2リンクバー107aとは、長さを同じとしても良いし、異ならせても良い。また、第3リニアアクチュエータ108は、水平方向に関し、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との間に配置することが好適である。但し、第1リニアアクチュエータ104と同じ位置又は、第2リニアアクチュエータ105と同じ位置としても良い。本実施形態では、第3リニアアクチュエータ108は、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との間で、これら2個のリニアアクチュエータ及び出力部材102よりも鉛直方向上方に配置されている。また、第3リニアアクチュエータ108の水平方向の位置は、出力部材102から外れた位置で、且つ、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との中央としている。[第1回転伝達機構及び第2回転伝達機構]リンク部材である第3リンクバー109aと第4アクチュエータであるモータ110との間には、モータ110の駆動により生じる回転を第3リンクバー109aに伝達する第1回転伝達機構1091が設けられている。第1回転伝達機構1091は、回転部材である回転軸110aと第3リンクバー109aとを接続する、上述した第1ユニバーサルジョイント109cを有する。一方、出力部材102の出力軸103と第3リンクバー109aとの間には、第3リンクバー109aの回転を出力軸103に伝達する第2回転伝達機構1092が設けられている。第2回転伝達機構1092は、第3リンクバー109aと出力軸103とを接続する第2ユニバーサルジョイント109bを有する。本実施形態の場合、図2に示す様に、第1ユニバーサルジョイント109cと第2ユニバーサルジョイント109bとは、不等速性が打ち消されるように、互いの回転方向の位相をずらしている。即ち、入力側の位相を、第1ユニバーサルジョイント109cと第2ユニバーサルジョイント109bとで90°ずらしている。言いかえると、第1ユニバーサルジョイント109cの上側の部分の折り曲げ回動軸が図示のようにy軸方向に向いているとき、第2ユニバーサルジョイント109bの上側の部分の折り曲げ回動軸が、図示のようにx軸方向に向くようになっている。これら第1、第2ユニバーサルジョイント109c、109bは、上述したように、それぞれフックジョイントであり、角速度が不等速で伝達される不等速ジョイントである。但し、上述のように、出力軸103は出力部材102の位置に拘らずz軸に対する平行が維持される。回転軸110aは第3移動子108aにz軸と平行に配置されている。このため、回転軸110aと出力軸103とはz軸に対する平行が常に維持される。したがって、回転軸110aと第3リンクバー109aとの角度と、第3リンクバー109aと出力軸103との角度がほぼ同じとなる。このように第3リンクバー109aの両端部の第1、第2ユニバーサルジョイント109c、109bが、入出力の位相を90°ずらして配置されるため、不等速性が打ち消される。この結果、回転軸110aの回転は、第1ユニバーサルジョイント109c、第3リンクバー109a、第2ユニバーサルジョイント109bを介して、出力軸103にほぼ等速で伝達される。言い換えれば、モータ110の駆動により回転軸110aを回転させれば、第3リンクバー109aも回転し、出力軸103も回転軸110aと同量の回転をさせられることになる。[出力部材の回動]したがって、第1、第2ユニバーサルジョイント109c、109bにより、出力部材102の位置決め位置に拘らず、モータ110の回転を第3リンクバーを介して出力部材102に伝達可能である。即ち、モータ110を回転させると第3リンクバー109aは第1ユニバーサルジョイント109cにより回転を伝達されモータ110と同期して回転する。この回転は第2ユニバーサルジョイント109bにより出力軸103に伝達されるため、モータ110の駆動量を制御することにより出力部材102の回転を制御可能である。しかも、出力部材102の回動量は第4アクチュエータであるモータ110の駆動量により一意に決まり、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量に影響を受けることなく、制御を簡単に行える。また、モータ110を保持励磁や電磁ブレーキ等により停止し、回転軸110aの回転角度を固定しておけば、出力軸103及び出力部材102をxyz空間内で任意の位置に移動しても、出力軸103の回転角度が保持されたままとなる。即ち、出力部材102の回転角度が維持される。なお、上述のように、モータ110の回転軸110aは、第1ユニバーサルジョイント109cにより第3リンクバー109aに結合されている。また、第3リンクバー109aは、第2ユニバーサルジョイント109bによって出力軸103に結合されている。但し、モータ110の回転軸に加わるスラスト方向の負荷が許容値を超える場合は、モータ110の回転軸110aと第1ユニバーサルジョイント109cとを直結せずに、軸受を介するようにしても良い。即ち、第1回転伝達機構1091として、第1ユニバーサルジョイント109cに加えて、回転軸110aとこの第1ユニバーサルジョイント109cとの間に軸受を追加して、この軸受によってスラスト方向の負荷を受ける構造等に変更しても良い。本実施形態によれば、第3リンク機構109を構成する第3リンクバー109aを介して、モータ110により出力部材102を回転させることができるため、出力部材102を回転させるための専用の伝動部材が必要ない。このため、簡単な構成で出力部材の回転を行える。即ち、出力部材102を概ね鉛直方向に移動させるためのリンクバー109aにより、出力部材102の回転も行わせることができるので、出力部材102の回転のための駆動バー等を別途設けなくてもよく、機構をシンプルに構成することができる。また、出力部材102の、概ね水平方向の移動を第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105により制御し、概ね鉛直方向の移動を第3リニアアクチュエータ108により制御し、回動をモータ110により制御している。このため、制御を簡単に行える。即ち、位置決めの目標位置に対して第1、第2、第3の各リニアアクチュエータの駆動量制御量は互いに関係があるものの、それぞれ制御する方向移動方向が概ね水平方向か、概ね鉛直方向かに決まっているため、それぞれの駆動量の算出を簡単に行える。また、第4アクチュエータであるモータに関しては第1、第2、第3の各リニアアクチュエータの駆動量に無関係に駆動量を簡単に決定できる。また、本実施形態の場合、出力軸103の軸線上に各リンクバーから接続されるジョイント部を配列したので、リンクバーからの力が作用する作用点は出力軸103の軸線方向から見たときに一致する。このため、出力軸103や出力部材102の位置決めに対して作用点のずれによる偏差を生じることがない。従って、位置決め誤差の少ないパラレルリンクロボットが提供できるとともに、位置決め位置に対して各アクチュエータの駆動量の算出が容易となる。<第2の実施形態>本発明の第2の実施形態について、図4を用いて説明する。本実施形態は、上述の第1の実施形態に対し、第1回転伝達機構1091にモータ110と第1ユニバーサルジョイント109cとの間の減速機構110Aを追加している。この減速機構110Aは、ウォームギヤ111及びウォームホイール112から構成され、モータ110の回転を減速して伝達する。ウォームホイール112には回転部材である回転軸110bを固定している。即ち、ウォームホイール112と回転軸110bとは一緒に回転する。回転軸110bは、z軸方向と略平行になるように第3移動子108aに回転自在に支持されている。回転軸110bの先端部下端部には、第1ユニバーサルジョイント109cを介して第3リンクバー109aを連結している。また、本実施形態の場合、モータ110の設置位置の自由度を持たせるために、第1回転伝達機構1091に2つのプーリ113、114と、それらの間に掛け渡されたベルト115を追加している。なお、2つのプーリ113、114と、それらの間に掛け渡されたベルト115の動力伝達機構は複数のギヤを有する機構に変更しても良い。このようなプーリによる動力伝達機構及び減速機構110Aは、第3移動子108aに支持されている。このような本実施形態の場合、モータ110の回転はプーリ113、ベルト115、プーリ114を介してウォームギヤ111に伝達される。そして、ウォームギヤ111からウォームホイール112に回転が減速して伝達され、回転軸110bが回転する。更に、第1ユニバーサルジョイント109cを介して第3リンクバー109aが回転し、第2ユニバーサルジョイント109bを介して出力部材102が回転する。本実施形態によれば、モータ110の回転を減速して出力部材102に伝達できるため、出力部材102の回転制御をより精密に行える。また、モータ110からの回転トルクは、減速して伝達されることにより増強される。その他の構造及び作用は、上述の第1の実施形態と同様である。<第3の実施形態>本発明の第3の実施形態について、図5を用いて説明する。本実施形態の上述の第1、第2の実施形態に対する主要な相違点は、第1、第2、第3アクチュエータを回転型のアクチュエータに変更したことである。以下、詳細に説明する。パラレルリンクロボット200は、ケース図示省略と、出力部材202と、複数のモータ204、205、208、210と、複数のリンク機構206、207、209と、を有する。第1モータ204は第1アクチュエータに、第2モータ205は第2アクチュエータに、第3モータ208は第3アクチュエータに、第4モータ210は第4アクチュエータに、それぞれ相当する。また、206は第1リンク機構に、207は第2リンク機構に、209は第3リンク機構に、それぞれ相当する。不図示のケース内には、第1モータ204、第2モータ205、第3モータ208を、それぞれの可動部が出力部材側に突出しないように収納する。ケースはベース部材を兼ねており、複数のモータ204、205、208が、ケース内のそれぞれの所定の位置に直接又は取付部材などを介して固定されている。また、第1モータ204、第2モータ205、第3モータ208の駆動力は、後述するリンク機構206、207、209を介して出力部材202に伝達するようにしている。そして、各モータにより駆動されて各リンク機構を駆動する可動部がケース内に収まるようにしている。更に、ケースの複数個所に開口部を設け、開口部から突き出す各リンク機構を各モータによりそれぞれ駆動可能としている。なお、ケースは一体の構成でなくてもよく、複数の筐体を連結させた構成でもよい。出力部材202は、ワークの移動や加工などを行う工具を取り付けるものである。このような出力部材202は、z軸方向に略平行に配置された出力軸203の先端部下端部に結合されている。後述するように、出力部材202は、出力軸203を回転軸として回転可能である。言い換えれば、出力部材202は、回転軸線がz軸と略平行である。本実施形態では、z軸方向を鉛直方向としている。なお、出力軸203は軸状の形態を有することが好適であるが、実際に軸状の形態を有さなくても良い。後述するように、平行リンク等のリンク部材が結合されるジョイント部が略直線上に並べられれば良く、本発明の出力軸はこのような場合も含むものとする。[第1モータ及び第2モータ]第1モータ204及び第2モータ205は、それぞれが出力部材202を概ねxy平面に沿って水平方向に移動させるための駆動源となる回転型アクチュエータの一例である。なお、厳密に言えば第3モータ208の回転を停止している場合は、第1モータ204及び第2モータ205の回転によって出力部材202は仮想的な球面上を移動することになる。このような第1モータ204及び第2モータ205は、回転軸の方向がz軸方向鉛直方向に略平行に配置されている。そして、第1モータ204の回転軸に第1アーム204aを、第2モータ205の回転軸に第2アーム205aをそれぞれ固定又は一体的に形成している。これら第1アーム204a及び第2アーム205aは、xy平面水平面に略平行に配置される。したがって、第1アーム204aは第1モータ204の駆動により、第2アーム205aは第2モータ205により、それぞれ略水平方向に揺動する。第1、第2モータ204、205の駆動量回転軸の回転量は制御部Cにより制御される。[第3モータ]第3モータ208は、出力部材202を概ねz軸方向に移動させるための駆動源となる回転型アクチュエータの一例である。このような第3モータ208は、回転軸がz軸方向に対して略直交する方向を向くように、すなわち回転軸が略水平となるように配置されている。そして、第3モータ208の回転軸に、回動腕部である第3アーム208aを固定又は一体的に形成している。この第3アーム208aは、第3モータ208の回転軸に直交する平面水平面に略直交する平面上に配置される。したがって、第3アーム208aは第3モータ208の駆動により、第3モータ208の回転軸を中心として、この回転軸に直交する平面に沿って揺動する。そして、第3アーム208aの先端部に結合された後述の第3リンク機構209を介して、出力部材202を概ねz軸方向に移動することができる。厳密に言えば、第1モータ204と第2モータ205の回転を停止している場合は、第3モータ208の駆動により出力部材202は仮想的な円弧上を移動することになる。なお、第3モータ208を駆動方向がz軸に略平行なリニアアクチュエータに変更してもよい。第3モータ208の駆動量回転軸の回転量は制御部Cにより制御される。[第4モータ]第4モータ210は、出力部材202をz軸回り鉛直軸回りに回動させるための駆動源となる回転型アクチュエータの一例である。このような第4モータは、第3モータ208の駆動により揺動される可動部である第3アーム208a、又は、第3モータ208の回転軸の何れかに固定されており、第3アーム208aと共に回動する。第4モータ210の駆動量回転軸の回転量は制御部Cにより制御される。なお、上述の説明では、第1、第2、第3、第4アクチュエータは、それぞれ電動の回転型アクチュエータモータとした。このような回転型のアクチュエータは、サーボモータ、ステッピングモータ、超音波モータ等の電動アクチュエータ、更には、電動以外に、油圧などの他の動力により駆動されるものでも良い。[第1リンク機構及び第2リンク機構]第1リンク機構206及び第2リンク機構207は、出力軸203と第1モータ204の第1アーム204aとの間、及び、出力軸203と第2モータ205の第2アーム205aとの間に、それぞれ設けられている平行リンク機構である。そして、第1の実施形態と同様に、出力部材202の出力軸回転軸203をz軸に略平行に保つように保持しつつ、第1モータ204及び第2モータ205の駆動により出力部材202をz軸に交差する方向に移動可能としている。即ち、第1リンク機構206は、第1軸204bと、出力軸203と、複数の第1リンク部材である2本の第1リンクバー206aとを有する。また、平行リンク機構の一例である第2リンク機構207は、第2軸205bと、出力軸203と、複数の第2リンク部材である2本の第2リンクバー207aとを有する。なお、第1リンクバー206aと第2リンクバー207aとは、それぞれ3本以上としても良い。第1軸204bは、出力軸203と平行に配置され、第1モータ204の駆動によりxy平面に沿って移動させられる。また、第2軸205bは、出力軸203と平行に配置され、第2モータ205の駆動によりxy平面に沿って移動させられる。このために、第1軸204bの中間部は、軸受204cを介して第1アーム204aに、第2軸205bの中間部は、軸受205cを介して第2アーム205aに、それぞれ接続されている。また、第1軸204bは第1アーム204aに、第2軸205bは第2アーム205aに、それぞれz軸に対して略平行を保つように支持されている。第1リンク機構206の2本の第1リンクバー206aは、同じ長さ後述する両端のジョイント部の中心間距離を有し、互いに平行に配置された状態で、第1軸204bと出力軸203とを接続する。第2リンク機構207の2本の第2リンクバー207aは、同じ長さ後述する両端のジョイント部の中心間距離である実効長を有し、互いに平行に配置された状態で、第2軸205bと出力軸203とを接続する。また、本実施形態の場合、出力部材202がx、y、z軸の何れの方向にも移動できるように、第1リンク機構206及び第2リンク機構207の各ジョイント部連結部を構成している。まず、第1リンク機構206は、出力軸203と2本の第1リンクバー206aの一端部とを、複数の2個の第1出力側ジョイント部206bによりそれぞれ連結している。また、第1軸204bと2本の第1リンクバー206aの他端部とを、複数の2個の第1駆動側ジョイント部206cによりそれぞれ連結している。第2リンク機構207は、出力軸203と2本の第2リンクバー207aの一端部とを、複数の2個の第2出力側ジョイント部207bによりそれぞれ連結している。また、第2軸205bと2本の第2リンクバー207aの他端部とを、複数の2個の第2駆動側ジョイント部207cによりそれぞれ連結している。2個の第1出力側ジョイント部206bは、少なくとも、出力軸203に対して第1リンクバー206aを、出力軸回りの回動、及び、出力軸及び第1リンクバー206aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。2個の第2出力側ジョイント部207bは、少なくとも、出力軸203に対する第2リンクバー207aの、出力軸回りの回動、及び、出力軸及び第2リンクバー207aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能とする。即ち、第1出力側ジョイント部206b及び第2出力側ジョイント部207bは、少なくとも2自由度を有する。2個の第1駆動側ジョイント部206cは、少なくとも、第1軸204bに対して第1リンクバー206aを、第1軸204b及び第1リンクバー206aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。2個の第2駆動側ジョイント部207cは、少なくとも、第2軸205bに対する第2リンクバー207aの、第2軸205b及び第2リンクバー207aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能とする。即ち、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cは、少なくとも1自由度を有する。このように、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cを1自由度にできるのは、第1軸204bと第2軸205bを軸受204c、205cにより回転自在に支持しているためである。本実施形態においても、第1軸204bと第2軸205bを第1の実施形態の移動子に相当する可動部材である第1アーム204a、第2アーム205aにそれぞれ固定しても良い。そして、第1駆動側ジョイント部206c及び第2駆動側ジョイント部207cを、図3に示したような2自由度のジョイントに変更しても良い。[出力部材の出力軸に交差する方向への移動]上述のように、第1モータ204と出力部材202との間、及び、第2モータ205と出力部材202との間に、それぞれ平行リンク機構を設け、これら2個のモータにより出力部材202を出力軸に交差する方向に移動させている。このとき、第1軸204b及び第2軸205bはz軸方向に対して略平行を保ちながら移動される。このため、第1モータ204及び第2モータ205の駆動により、出力部材202の回転軸出力軸203のz軸方向鉛直方向に対する略平行の姿勢を保ちながら、この出力部材202を出力軸に交差する概ね水平の方向に移動させることができる。また、本実施形態の場合、出力軸203側の2個の第1出力側ジョイント部206bと、出力軸203側の2個の第2出力側ジョイント部207bとが、z軸と略平行な同一軸上、即ち出力軸203上に配置されている。これにより、第1モータ204から出力部材102におよぼす位置決め力の作用する位置と、第2モータ205から出力部材102におよぼす位置決め力の作用する位置とが上方から見て必ず一致する。このため、両モータからの位置決め力の作用する位置の食い違いがある場合に生じる出力軸203の位置決め誤差の発生を回避できる。なお、複数の第1出力側ジョイント部206bを結ぶ直線と、複数の第2出力側ジョイント部207bを結ぶ直線とを実質的に一致させていればよく、構造上の要求からわずかにずらして配置してもよい。更に、2個の第1出力側ジョイント部206bを結ぶ線分の中点と、2個の第2出力側ジョイント部207bを結ぶ線分の中点とが略一致するように、2本の第1リンクバー206a及び2本の第2リンクバー207aをそれぞれ配置している。図示の例では、2個の第2出力側ジョイント部207bの間に2個の第1出力側ジョイント部206bを配置している。そして、隣接する第1出力側ジョイント部206bと第2出力側ジョイント部207bの上側の一対の間隔と下側の一対の間隔とを、互いに同じとしている。これにより、第1モータ204の駆動により出力軸203を移動させる力と、第2モータの駆動により出力軸203を移動させる力とを釣り合わせ易くできる。即ち、出力軸203を2個のモータにより出力軸203に交差する方向に移動させても、出力軸203にバランス良く力を作用させることができる。この結果、出力軸203の移動の際に出力軸103に傾くような力が作用せず、位置決め制度を向上させられる。[第3リンク機構]第3リンク機構209は、出力部材202の出力軸203と第3モータ208の第3アーム208aとの間に設けられ、第3モータ208の駆動により出力部材202を概ねz軸方向に移動可能としている。このような第3リンク機構209は、第3軸208cと、第3リンク部材である第3リンクバー209aと、出力軸203とにより構成される。第3軸208cは、回動腕部可動部材である第3アーム208aの先端にz軸と略平行に軸受208bにより回転自在に支持されている。第3リンクバー209aは、一端部を出力軸203の上端部に第3出力側ジョイント部である第2ユニバーサルジョイント109bにより連結されている。また、他端部を第3軸208cの先端部に第3駆動側ジョイント部である第1ユニバーサルジョイント209cにより連結されている。これら第1、第2ユニバーサルジョイント209c、209bは、第1の実施形態と同様である。[出力部材の上下移動]第3モータ208を駆動すると、第3アーム208aの運動により第3アーム208aの先端が水平面に略直交する平面に沿って揺動する。そして、この第3アーム208aの先端に第3軸208c及び第3リンクバー209aを介して接続された出力部材202が概ね鉛直方向に移動する。厳密には第3アーム208aのみ駆動すると出力部材202は仮想的な円弧上を移動する。第1モータ204及び第2モータ205の駆動による、出力軸203に交差する概ね水平の方向への出力軸203の移動とともに、第3モータ208を駆動すれば、出力軸203の水平方向と鉛直方向への移動が可能となる。したがって、第1、第2モータ204、205の駆動による出力部材202の水平方向への移動に対応させて、第3モータ208の駆動により出力部材202を概ね鉛直方向へ移動させることにより、xyz空間内で出力部材202を所定の範囲内の所望の位置に位置決め可能である。この位置決めに関しては、第1の実施形態とほぼ同様である。[各モータの配置]また、本実施形態では、上述のように、出力部材202と、第1、第2、第3モータ204、205、208との間に、それぞれ第1、第2、第3リンク機構206、207、209を設けている。そして、第1、第2、第3モータ204、205、208を、出力部材202の移動領域に対して水平方向に外れた位置に配置している。即ち、出力部材202がどの位置に移動しても、出力部材202が何れかのモータの鉛直方向下側に位置することはない。特に、第1モータ204と第2モータ205とは、装置の上方から眺めた場合に、次のような関係を満たすように配置される。即ち、第1モータ204の中心回転軸と出力部材202の中心出力軸203とを結ぶ線分と、第2モータ205の中心回転軸と出力軸203とを結ぶ線分との成す角度が、0°よりも大きく且つ180°よりも小さくなるように配置される。言い換えれば、第1モータ204と第2モータ205とは、装置の上方から眺めた場合に出力軸203とそれぞれの中心を結ぶ2つの線が直線となるような位置、及び、互いにの中心が重なる位置のそれぞれから外れるように配置する。[第1回転伝達機構及び第2回転伝達機構]リンク部材である第3リンクバー209aと第4アクチュエータである第4モータ210との間には、第4モータ210の駆動により生じる回転を第3リンクバー209aに伝達する第1回転伝達機構2091が設けられている。第1回転伝達機構2091は、減速機構210A、及び、回転部材である第3軸回転軸208cと第3リンクバー209aとを接続する第1ユニバーサルジョイント209cを有する。一方、出力部材202の出力軸203と第3リンクバー209aとの間には、第3リンクバー209aの回転を出力軸203に伝達する第2回転伝達機構2092が設けられている。第2回転伝達機構2092は、第3リンクバー209aと出力軸203とを接続する第2ユニバーサルジョイント209bを有する。第1回転伝達機構2091の減速機構210Aは、プーリ213、214及びベルト215から構成される。プーリ213は、第4モータ210の回転軸に固定され、プーリ214は、第3軸208cに固定されている。そして、これら両プーリ213、214との間にベルト215が掛け渡されている。プーリ213はプーリ214よりも小径であるため、これらのプーリとベルトにより減速機構210Aが構成されている。[出力部材の回動]減速機構210Aにより第4モータ210の回転は減速されて第3軸208cに伝達される。第3軸208cの回転は第1ユニバーサルジョイント209cにより第3リンクバー209aに伝達される。更に、第3リンクバー209aの回転は第2ユニバーサルジョイント209bにより出力軸203に伝達されるので、第4モータ210を回転させれば出力軸203及び出力部材202をz軸回り鉛直軸回りに回動させることができる。なお、2つのプーリ213、214と、それらの間に掛け渡されたベルト215の動力伝達機構は、複数のギヤを有する機構に変更してもよい。本実施形態の場合も、第1の実施形態と同様に、第1ユニバーサルジョイント109cと第2ユニバーサルジョイント109bとは、それぞれフックジョイントであり、不等速性が打ち消されるように、互いの回転方向の位相をずらしている。即ち、入力側の位相を、第1ユニバーサルジョイント209cと第2ユニバーサルジョイント209bとで90°ずらしている。但し、本実施形態では第3軸208cは出力軸203に対して平行に保たれてはいない。このため、第1、第2ユニバーサルジョイント209c、209bの不等速性を打ち消すようにこれらの位相を上述のようにずらしているものの、第3軸208cと出力軸203の回転角度を厳密には一致させることができない。このため、第4モータ210の回転を停止させていても、出力軸203の位置決め位置を変更すると出力軸203の回転角度は変化する。したがって、本実施形態の場合、この回転角度の変化を考慮して、第4モータ210の回転を制御することが好適である。なお、第3軸208cと出力軸203の回転角度を一致させるために、図示のフックジョイント型のユニバーサルジョイント209b、209cに代えて、等速ボールジョイント等の等速ジョイントを使用しても良い。なお、本実施形態の場合、第4モータ210を、第3モータ208の回転軸及び第3アーム208aの少なくとも一方に取り付けているため、第4モータ210は第3アーム208aの揺動とともに回動する。したがって、第3モータ208の負荷を増加させる慣性モーメントを抑えるために、第4モータ210の重心位置を第3モータ208の回転軸に接近させるように、第4モータ210の取り付け位置を決めることが好適である。但し、第3モータ208の許容できる負荷の慣性モーメントが十分大きい場合は、第4モータ210の重心位置を第3モータ208の回転軸よりも第3リンクバー209aと反対側寄りにずらしても良い。そして、第4モータ210の自重によって第3リンクバー209aが上側に移動するような向きにモーメントが働くようにする。このようにすると、出力部材202、出力軸203、複数のリンクバー、第3軸208c、軸受208b等の自重によって第3モータ208の回転軸に働く図示の反時計回りの向きのモーメントの一部または全てを相殺できる。本実施形態によれば、第1、第2、第3モータ204、205、208の回転を制御することにより、出力部材202のxyz空間内での位置決めを行える。また、第4モータ210の回転を制御することで出力部材202の回転を行える。特に、この出力部材202の回転を行わせるための第4モータ210の駆動力の伝達を、出力軸203の概ね鉛直方向の移動を行わせるための第3リンクバー209aを介して行わせている。このため、シンプルな構造のパラレルリンクロボットが実現できる。その他の構造及び作用は、上述の第2の実施形態と同様である。<第4の実施形態>本発明の第4の実施形態について、図6を用いて説明する。本実施形態は、上述の第3の実施形態に対し、減速機構210Bをウォーム減速機に変更している。このために第4モータ210を回転軸が第3アーム208aの配設方向と平行となるように配置している。そして、第4モータ210の回転軸にウォームギヤ216を設け、このウォームギヤ216を、第3アーム208aの先端に回転自在に支持された第3軸208cに設けられたウォームホール217に噛合させている。これにより、第4モータ210の回転が減速されて第3軸208cに伝達される。その他の構造及び作用は、第3の実施形態と同様である。<第5の実施形態>本発明の第5の実施形態について、図7を用いて説明する。上述したように、第3の実施形態、第4の実施形態においては、フックジョイントのような単純なユニバーサルジョイントを使用すると出力軸の回転角度を第3軸の回転角度に一致させることができなかった。この点を改良すべく、本実施形態では第3軸221の向きを出力軸203の向きに一致させられる機構を採用した。また、第4アクチュエータの一例である第4モータ210をベース部材等の固定の部分に支持固定して、第4モータ210が第3モータ208の回転軸の負荷とならないようにした。本実施形態のパラレルリンクロボット200について、第1ユニバーサルジョイント209c及びそれよりも下方に図示されている部材及び構成は第3の実施形態、第4の実施形態と同様である。第1ユニバーサルジョイント209cは第3軸221に結合されている。第3軸221は2自由度のジョイント部208dにより第3モータ208の可動部である第3アーム208aに結合され、自身の軸回りに回転自在となっている。本実施形態の場合、第1回転伝達機構2091aは、第3リンクバー209aの位置に拘らず、第4モータ210の駆動による回転を第3リンクバー209aに伝達する第3回転伝達機構2093を有する。第3回転伝達機構2093は、出力部材202の出力軸203の回転軸線と略平行に配置された平行軸回転部材である第3軸221に回転を伝達する。まず、第3回転伝達機構2093について説明する。第4モータ210は、z軸と略平行な回転軸220を有する回転型アクチュエータである。即ち、第4モータ210は、回転軸220がz軸方向と略平行となるように配置されている。また、第4モータ210の回転軸220及び平行軸である第3軸は、それぞれ同形状のクランク部220a、220b、221a、221bを有する。第3回転伝達機構2093は、第4モータ210の回転軸220のクランク部220a、220bと、第3軸のクランク部221a、221bと、これら両クランク部との間を連結する第3のリンク部材である駆動リンクバー223と、を有するリンク機構である。そして、このリンク機構により回転軸220の回転を第3軸221に伝達している。より具体的に説明する。第4モータ210の回転軸220には、2つのクランク部220a、220bが形成されている。また、第3軸221にも、2つのクランク部221a、221bが形成されている。クランク部220aとクランク部221aとの間及び、クランク部220bとクランク部221bとの間には、それぞれ同じ長さ両端のジョイントの中心間の距離である実効長の駆動リンクバー223が4個の2自由度のジョイント223aによって連結されている。第4モータ210の駆動により回転軸220を回転させると、クランク部220a、220bの回転は2本の駆動リンクバー223によってクランク部221a、221bに伝達され、第3軸221を回転させる。2つのクランク部220a、220bの間の上方から見た角度と、2つのクランク部221a、221bの間の上方から見た角度は等しくする。それらの角度θは略90度が最適であるが40度~140度の範囲内にすることも可能である。このような構成では、クランク部の一方の対例えば220aと221aが死点にあるとき、クランク部の他方の対例えば220bと221bは死点にないため、任意の回転位置において動力の伝達が可能となる。そして、出力軸203及び出力部材202の360度以上の回転が可能である。また、本実施形態の場合、回転型アクチュエータである第3モータ208の駆動により第3軸221の位置が移動しても、第3軸221と第4モータ210の回転軸220との平行を維持できるように構成している。即ち、第3モータ208は、その回転軸がz軸と略直交する方向水平方向に配置されている。第4モータ210の回転軸220は、その延長線が第3モータ208の回転軸又はこの回転軸の延長線と交差するように配置されている。なお、第4モータ210の回転軸220は、第4モータ210を介してベース部材などの固定の部分にz軸と略平行に支持された軸に相当する。また、第4モータ210の回転軸220と第3軸221との間を、リンク部材であるリンクバー222により連結している。リンクバー222の両端には、2自由度のジョイント部222a、222bを設け、リンクバー222の両端を第3軸221及び回転軸220にそれぞれ連結している。また、第3モータ208の回転軸と第3軸221とは、アーム部である第3アーム208aにより連結されている。第3アーム208aの先端には、2自由度のジョイント部208dを設け、この先端を第3軸221に連結している。上述のように、第4モータ210の回転軸220は、その延長線が第3モータ208の回転軸上に存在する。このため、リンクバー222の長さ両端のジョイントの中心間の距離である実効長と、第3アーム208aの長さ第3モータ208の回転中心とジョイント部208dの中心との距離である実効長とは同じとなる。したがって、第3軸221と、回転軸220と、リンクバー222と、第2アーム208aとで平行リンク機構を構成する。より具体的に説明する。リンクバー222は一端に2自由度のジョイント部222aを有し他端に2自由度のジョイント部222bを有している。第4モータ210は他のモータと同様にベース部材を兼ねる不図示のベース部材を兼ねるケース等に直接又は取付部材等を介して間接的に取り付けられており、その回転軸220が略鉛直方向を向き、出力軸203と平行となっている。第3軸221と第4モータ210の回転軸220にリンクバー222が、それぞれ2自由度のジョイント部222a、222bによって結合されている。リンクバー222の実効長両端のジョイント部222a、222bの中心間の距離は、第3アーム208aの実効長ジョイント部208dの中心から第3アーム208aの図示の屈曲点までの距離に等しい。また、2自由度のジョイント部222a、222b、208dの位置及び、第3アーム208aの図示の屈曲点が平行四辺形の4つの頂点に相当する擬似的な平行リンク機構を構成する。したがって、第3軸221は、第4モータ210の回転軸220に対して平行となるように規制されながら、第3モータ208の駆動による第3アームの回転により、概ね上下方向に移動する。このように第3軸221は、回転軸220と平行に、即ちz軸と略平行に維持されながら移動するため、出力軸203に対しても平行に保たれる。したがって、第1、第2ユニバーサルジョイント209c、209bとして、フックジョイント等の単純で安価なものを使用しても、位相を図示のようにしておくことで、ユニバーサルジョイントの不等速性は相殺される。そして、第1、第2の実施形態と同様に、第3軸221の回転と出力軸203の回転を一致させられる。なお、動力の伝達効率の面から駆動リンクバー223の傾斜を45度程度までに抑えることが好適である。また、本実施形態において、2自由度のジョイント部208d、222a、222b、223aとしては図3に示したものが使用可能であり、このように部品の共通化をすることは装置を安価にでき好適である。このような本実施形態の構成により、第1~第3モータの駆動量に影響されず、出力部材202の回転角度は第4モータ210の駆動量により独立して制御が可能である。本実施形態のパラレルリンクロボットにおけるその他の動作及び作用効果は第3の実施形態と同様である。<第6の実施形態>本発明の第6の実施形態について、図8を用いて説明する。本実施形態では、第5の実施形態と同様に、第3軸221の向きを出力軸203の向きに一致させる機構を採用した。また、第3軸221に減速ギヤユニットを装着し、減速ギヤユニットと第4アクチュエータである第4モータ210との間の動力伝達をベルト等で行うようにした。本実施形態の場合、第4モータ210は、z軸方向の線分と略直交する回転軸210bを有する回転型アクチュエータである。本実施形態の第3回転伝達機構2093aは、第4モータ210の回転軸210bと平行に配置された伝達軸231bと、第1中間伝達部232Aと、第2中間伝達部231と、規制部材233と、を有する。第1中間伝達部232Aは、第4モータ210の回転軸210bと伝達軸231bとの間で回転を伝達する。本実施形態の場合、回転軸210bにプーリ210cを、伝達軸231bにプーリ231aをそれぞれ設け、両プーリ210c、231aにベルト232を掛け渡してなる。第2中間伝達部231は、伝達軸231bの回転を第3軸221に伝達するもので、減速ギヤユニット減速機構により構成している。規制部材233は、第4モータ210の回転軸210bと伝達軸231bとの距離を一定に規制するものである。また、本実施形態の場合も、第1回転伝達機構2091bは、出力部材202の出力軸203と略平行に配置され、第3回転伝達機構2093aにより回転が伝達される第3軸221と、第1ユニバーサルジョイント209cと、を有する。また、第3モータ208は回転型アクチュエータで、その回転軸がz軸方向の線分と略直交する方向水平方向に配置されている。より具体的に説明する。第3軸221には減速ギヤユニットである第2中間伝達部231が取り付けられている。第2中間伝達部231の入力軸の延長線は第3軸221の中心軸に略直交するようになっている。また、第2中間伝達部231の入力軸である伝達軸231bにはプーリ231aが取り付けられている。そして、プーリ231aの回転が不図示の傘歯ギヤ、フェースギヤ、ウォームギヤ等を用いた任意の減速ギヤにより減速されて、第3軸221を回転させるようになっている。一方、第4モータ210の回転軸210bにはプーリ210cが取り付けられ、ベルト232がプーリ210c、231aに掛け回されて、第1中間伝達部232Aを構成している。これにより、第4モータ210の回転がプーリ210c、ベルト232、プーリ231a、伝達軸231b、第2中間伝達部231を介して、第3軸221に伝達される。そして、第3軸221、第1ユニバーサルジョイント209c、第3リンクバー209a、第2ユニバーサルジョイント209bを介して、出力軸203に回転が伝達される。出力軸203の回転角度を正確に制御したい場合は、ベルト232はタイミングベルト等のすべりの起こらないものを使用することが好適である。なお、プーリ210c、231aは実質的に同径のものを使用する。また、ベース部材などの固定の部分には、支持軸230が、z軸と略平行に支持され、その延長線が第3モータ210の回転軸又はこの回転軸の延長線と交差するように配置されている。そして、第3モータ208の駆動により第3軸221の位置が移動しても、第3軸221と支持軸230との平行を維持できるように構成している。即ち、第3モータ208は、その回転軸がz軸方向の線分と略直交する方向水平方向に向くように配置されている。支持軸230は、その延長線が第3モータ208の回転軸又はこの回転軸と交差するように配置されている。また、支持軸230と第3軸221との間を、リンク部材であるリンクバー222により連結している。リンクバー222の両端には、2自由度のジョイント部222aと1自由度のジョイント部222bを設け、リンクバー222の両端を第3軸221及び支持軸230にそれぞれ連結している。また、第3モータ208の回転軸と第3軸221とは、第3アーム208aにより連結されている。第3アーム208aの先端には、2自由度のジョイント部208dを設け、この先端を第3軸221に連結している。上述のように、支持軸230は、その延長線が第3モータ208の回転軸線上に存在する。このため、リンクバー222の長さ両端のジョイントの中心間の距離と、第3アーム208aの長さ第3モータ208の回転中心とジョイント部208dの中心との距離とは同じとなる。したがって、第3軸221と、支持軸230と、リンクバー222と、第2アーム208aとで平行リンク機構が構成される。より具体的に説明する。第4モータ210は他のモータと同様にベース部材を兼ねる不図示のケース等に直接又は取付部材等を介して間接的に取り付けられており、その回転軸210bが略水平方向を向き、第3モータ208の回転軸と平行となっている。また、略鉛直の支持軸230が出力軸203に対し平行になるように不図示のケース等に固定して設置されている。支持軸230の延長線は第3アーム208aの図示の屈曲部を通過するようになっている。なお、支持軸230は軸状の形態でなくてもよいが、後述の擬似的な平行リンク機構の説明を理解しやすくするために軸状にしたものである。第3軸221と支持軸230にリンクバー222が、それぞれ2自由度のジョイント部222aと1自由度のジョイント部222cによって結合されている。リンクバー222の実効長ジョイント部222aの中心からジョイント部222cの中心までの距離は第3アーム208aの実効長ジョイント部208dの中心から第3アーム208aの屈曲点までの距離と等しい。また、第3軸221上のジョイント部208dの中心からジョイント部222aの中心までの距離は、支持軸230上のジョイント部222cの中心から第3アーム208aの屈曲点までの距離に等しい。このように、2自由度のジョイント部222a、208d、1自由度のジョイント部222cの位置及び、第3アーム208aの屈曲点が平行四辺形の4つの頂点に相当する擬似的な平行リンク機構を構成している。そして、第3軸221は支持軸230に対して平行となるように規制されながら、第3モータ208の駆動での第3アーム208aの回転により、概ね上下方向に移動する。このように第3軸221は、支持軸230と平行に、即ちz軸と平行に維持されながら移動するため、出力軸203に対しても平行に保たれる。したがって、第1、第2ユニバーサルジョイント209c、209bとして、フックジョイント等の単純で安価なものを使用しても、入力側の位相を図示のようにずらしておくことで、ユニバーサルジョイントの不等速性は相殺される。そして、第1、第2の実施形態と同様に、第3軸221の回転と出力軸203の回転を一致させられる。また、本実施形態の場合、第2中間伝達部231の伝達軸231b入力軸の中心線と、第4モータ210の回転軸210bの中心線との間の距離が、リンクバー222の実効長と同一になるように、第4モータ210の取付け位置を定めている。また、掛け渡されたベルト232の直線部がリンクバー222に対して平行になるように第4モータ210の取付け位置を定めている。このため、第3モータ208の駆動により第3軸221を移動しても、電磁ブレーキや保持励磁等で第4モータ210の回転を停止しておけば、プーリ210c、231aは実質的に同径であるためプーリ231aは回転しない。この結果、第3軸221の回転角度は変化しない。また、本実施形態の場合、規制部材233により、第2中間伝達部231の伝達軸231bの中心線と第4モータ210の回転軸210bの中心線との間の距離を一定に保つようにしている。そして、第2中間伝達部231の姿勢を保つことで、伝達軸231bの中心線を、第4モータ210の回転軸210bの中心線に対して平行に保つようにしている。このために規制部材233は、両端に軸受を有しリンクバー222と同一の実効長両方の軸受の中心間の距離を有している部材であり、一例として棒状の形態としている。また、リンクバー222に対して平行になるように配置される。このように伝達軸231bと回転軸210bとの平行が保たれれば、ベルトテンション等で不用意に第3軸221が回転することを防止でき、回転角度制御をより精密に行える。このような本実施形態の場合も、第1~第3モータの駆動量に影響されず、出力部材202の回転角度は第4モータ210の駆動量により独立して制御が可能である。なお、プーリ210c、231aとベルト232による動力伝達機構は3個以上のギヤを用いた機構で置き換えても良い。その他の構造及び作用は、上述の第5の実施形態と同様である。