"酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂、難燃剤および少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ系熱架橋剤を含有し、該エポキシ系熱架橋剤が下記一般式EPで表される部分構造を有し、かつ該エポキシ系熱架橋剤のエポキシ当量が300g/eqを超えることを特徴とする感光性組成物。一般式EPにおいて、REPは置換基を表し、neは0~4の整数を表す。ここで、neが2~4のとき、複数のREPは互いに同じでも異なってもよい。前記エポキシ系熱架橋剤が下記一般式EP1~EP4のいずれかで表されることを特徴とする請求項1に記載の感光性組成物。一般式EP1~EP4において、LEP1は、-OCH2CHOQEP1CH2O-、-O-LEP2-O-、-O-LEP3-O-または-O-LEP2-O-LEP3-O-LEP2-O-を表す。ここで、LEP2はアルキレン基を表し、LEP3はアルキレン基またはアルキレンオキシアルキレン基-アルキレンオキシ1~20-アルキレン-の基を含むを表す。QEP1~QEP12は各々独立に、水素原子、無置換アルキル基またはグリシジル基を表す。REP1およびREP2は各々独立に水素原子またはアルキル基を表す。REP3~REP12は各々独立に置換基を表す。ne1~ne4は各々独立に、0または1以上の数を表す。ただし、ne1が2以上のとき、複数のQEP1は互いに同じでも異なってもよく、ne2が2以上のとき、複数のQEP5は互いに同じでも異なってもよく、ne3が2以上のとき、複数のQEP8は互いに同じでも異なってもよく、ne4が2以上のとき、複数のQEP11は互いに同じでも異なってもよい。ここで、上記一般式EP1~EP4の各々は、少なくとも2つのグリシジル基を有する。前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の固形分質量に対して、前記エポキシ系熱架橋剤を、固形分質量で30~150質量含有することを特徴とする請求項1または2に記載の感光性組成物。前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、下記一般式UE1で表される部分構造を有することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の感光性組成物。一般式UE1において、LUEは下記一般式1~3のいずれかの部分構造を有し、かつ主鎖の結合に-NHC=OO-もしくは-OC=ONH-を含まない2価の連結基を表す。一般式1において、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。一般式2において、R4~R8は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。Yは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。一般式3において、R9~R11は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。Zは、酸素原子、硫黄原子、-NR13-、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。ここでR13は、水素原子、又は1価の有機基を表す。前記一般式UE1におけるLUEが前記一般式1~3のいずれかの部分構造を1つ有することを特徴とする請求項4に記載の感光性組成物。前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、下記一般式G1で表される部分構造を有することを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の感光性組成物。一般式G1において、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、下記一般式U1で表される部分構造を有することを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の感光性組成物。一般式U1において、LU1はエチレン性不飽和基およびカルボキシル基を含まない2価の連結基を表す。前記一般式U1におけるLU1が、HO-LU1-OH換算での分子量が400~8,000であることを特徴とする請求項7に記載の感光性組成物。前記一般式U1におけるLU1が、HO-LU1-OH換算での分子量が500~5,000であることを特徴とする請求項7に記載の感光性組成物。前記酸変性エチレン性不飽和基含有樹脂が、ポリマー末端に、カルボキシル基を有する基を有することを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の感光性組成物。前記酸変性エチレン性不飽和基含有樹脂が、質量平均分子量が5,000~60,000であり、固形分の酸価が20mgKOH/g~120mgKOH/gであり、かつエチレン性不飽和基当量が0.05mmol/g~2.0mmol/gであることを特徴とする請求項1~10のいずれか1項に記載の感光性組成物。前記難燃剤が、有機ホスフィン酸金属塩であることを特徴とする請求項1~11のいずれか1項に記載の感光性組成物。さらに、熱硬化剤を含有することを特徴とする請求項1~12のいずれか1項に記載の感光性組成物。さらに、アミノ基またはフェノール性水酸基を少なくとも2つ有する熱硬化剤を含有することを特徴とする請求項1~12のいずれか1項に記載の感光性組成物。さらに、光重合開始剤およびラジカル重合性化合物を含有することを特徴とする請求項1~14のいずれか1項に記載の感光性組成物。キャリアフイルム上に、請求項1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を有することを特徴とする感光性ドライフィルム。基材上に、請求項1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層を有することを特徴とする感光性積層体。基材上に、請求項1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層を有し、該感光層を光硬化して得られるレジストパターンを有してなることを特徴とするフレキシブル配線板。前記基材がポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項18に記載のフレキシブル配線板。キャリアフイルム上に、請求項1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を塗布および乾燥して感光性ドライフィルムを得た後、該感光性ドライフィルムを使用して、基材上に感光層を形成し、該感光層を露光および現像処理してレジストパターンを形成することを特徴とするフレキシブル配線板の製造方法。請求項1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層に対して露光することを特徴とする永久パターン形成方法。本発明は、従来における前記諸問題に対応し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、絶縁性、耐折性、解像性、めっき耐性および難燃性の向上に加え、熱硬化時の反りの抑制、および表面タック発生を抑制した感光性組成物、感光性組成物、感光性ドライフィルム、感光性積層体、フレキシブル配線基板、フレキシブル配線基板の製造方法、及び永久パターン形成方法の提供を目的とする。本発明者等は、特にフレキシブル配線基板において、種々の酸変性のポリエチレン樹脂を検討したところ、特定の酸変性のポリエチレン樹脂では、従来から使用されているエポキシ系熱架橋剤を使用すると熱硬化時に反りが大きくなり、ハンドリングが困難になることがわかった。また、表面タックも発生しやすいことがわかった。これらを解決するために、使用するバインダー樹脂のガラス転移温度Tgを下げると表面タックが発生しやすくなるという問題が起こる。このため、表面タックの発生を抑制する方法を種々検討し、本発明に至った。前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、1酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂、難燃剤および少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ系熱架橋剤を含有し、該エポキシ系熱架橋剤が下記一般式EPで表される部分構造を有し、かつ該エポキシ系熱架橋剤のエポキシ当量が300g/eqを超えることを特徴とする感光性組成物。一般式EPにおいて、REPは置換基を表し、neは0~4の整数を表す。ここで、neが2~4のとき、複数のREPは互いに同じでも異なってもよい。2前記エポキシ系熱架橋剤が下記一般式EP1で表される1に記載の感光性組成物。一般式EP1~EP4において、LEP1は、-OCH2CHOQEP1CH2O-、-O-LEP2-O-、-O-LEP3-O-または-O-LEP2-O-LEP3-O-LEP2-O-を表す。ここで、LEP2はアルキレン基を表し、LEP3はアルキレン基またはアルキレンオキシアルキレン基-アルキレンオキシ1~20-アルキレン-の基を含むを表す。QEP1~QEP12は各々独立に、水素原子、無置換アルキル基またはグリシジル基を表す。REP1およびREP2は各々独立に水素原子またはアルキル基を表す。REP3~REP12は各々独立に置換基を表す。ne1~ne4は各々独立に、0または1以上の数を表す。ただし、ne1が2以上のとき、複数のQEP1は互いに同じでも異なってもよく、ne2が2以上のとき、複数のQEP5は互いに同じでも異なってもよく、ne3が2以上のとき、複数のQEP8は互いに同じでも異なってもよく、ne4が2以上のとき、複数のQEP11は互いに同じでも異なってもよい。ここで、上記一般式EP1~EP4の各々は、少なくとも2つのグリシジル基を有する。3前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の固形分質量に対して、前記エポキシ系熱架橋剤を、固形分質量で30~150質量含有する1または2に記載の感光性組成物。4前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、下記一般式UE1で表される部分構造を有する1~3のいずれか1項に記載の感光性組成物。一般式UE1において、LUEは下記一般式1~3のいずれかの部分構造を有し、かつ主鎖の結合に-NHC=OO-もしくは-OC=ONH-を含まない2価の連結基を表す。一般式1において、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。一般式2において、R4~R8は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。Yは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。一般式3において、R9~R11は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。Zは、酸素原子、硫黄原子、-NR13-、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。ここでR13は、水素原子、又は1価の有機基を表す。5前記一般式UE1におけるLUEが前記一般式1~3のいずれかの部分構造を1つ有する4に記載の感光性組成物。6前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、下記一般式G1で表される部分構造を有する1~5のいずれか1項に記載の感光性組成物。一般式G1において、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。7前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂が、下記一般式U1で表される部分構造を有する1~6のいずれか1項に記載の感光性組成物。一般式U1において、LU1はエチレン性不飽和基およびカルボキシル基を含まない2価の連結基を表す。8前記一般式U1におけるLU1が、HO-LU1-OH換算での分子量が400~8,000である7に記載の感光性組成物。9前記一般式U1におけるLU1が、HO-LU1-OH換算での分子量が500~5,000である7に記載の感光性組成物。10前記酸変性エチレン性不飽和基含有樹脂が、ポリマー末端に、カルボキシル基を有する基を有する1~9のいずれか1項に記載の感光性組成物。11前記酸変性エチレン性不飽和基含有樹脂が、質量平均分子量が5,000~60,000であり、固形分の酸価が20mgKOH/g~120mgKOH/gであり、かつエチレン性不飽和基当量が0.05mmol/g~2.0mmol/gである1~10のいずれか1項に記載の感光性組成物。12前記難燃剤が、有機ホスフィン酸金属塩である1~11のいずれか1項に記載の感光性組成物。13さらに、熱硬化剤を含有する1~12のいずれか1項に記載の感光性組成物。14さらに、アミノ基またはフェノール性水酸基を少なくとも2つ有する熱硬化剤を含有する1~12のいずれか1項に記載の感光性組成物。15さらに、光重合開始剤およびラジカル重合性化合物を含有する1~14のいずれか1項に記載の感光性組成物。16キャリアフイルム上に、1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を有することを特徴とする感光性ドライフィルム。17基材上に、1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層を有することを特徴とする感光性積層体。18基材上に、1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層を有し、該感光層を光硬化して得られるレジストパターンを有してなることを特徴とするフレキシブル配線板。19前記基材がポリイミドフィルムである18に記載のフレキシブル配線板。20キャリアフイルム上に、1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を塗布および乾燥して感光性ドライフィルムを得た後、該感光性ドライフィルムを使用して、基材上に感光層を形成し、該感光層を露光および現像処理してレジストパターンを形成することを特徴とするフレキシブル配線板の製造方法。21前記1~15のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層に対して露光することを特徴とする永久パターン形成方法。本発明により、絶縁性、耐折性、解像性、めっき耐性および難燃性の向上に加え、熱硬化時の反りの抑制、樹脂のガラス転移温度を低下させることなく表面タック発生を抑制した感光性組成物、感光性組成物、感光性ドライフィルム、感光性積層体、フレキシブル配線基板、フレキシブル配線基板の製造方法、及び永久パターン形成方法を提供することができる。感光性組成物本発明の感光性組成物は、酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂と、少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ系熱架橋剤および難燃剤を含有する。また、熱硬化剤、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤とを少なくとも含有し、必要に応じてその他の成分を含有する。酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、本発明においては、特に、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する酸変性ポリウレタン樹脂が好ましい。本発明において、側鎖とは、ポリウレタン樹脂の主鎖を構成する原子の鎖から分岐もしくは主鎖を構成する原子に置換して連結した鎖であり、側鎖にエチレン性不飽和基を有すとは、エチレン性不飽和基をこのような側鎖に含むか、主鎖を構成する原子にエチレン性不飽和基が直接置換している。例えば、HOCH2CH=CHCH2OHのジオールとOCNCH26NCOとの反応のみで得られるポリウレタン樹脂は主鎖にエチレン性不飽和基を含むものである。また、エチレン性不飽和基とは、臭素価やヨウ素価の測定で消費されるエチレン結合を有する基であり、ベンゼンのような芳香族を示す基ではない。エチレン性不飽和基は置換基を有してもよいビニル基が好ましい。本発明で使用する酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の好ましい分子量、酸価およびエチレン性不飽和基当量および感光性組成物の好ましい含有量を以下に説明する。酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の質量平均分子量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5,000~60,000が好ましく、5,000~50,000がより好ましく、5,000~30,000が特に好ましい。質量平均分子量が、5,000未満であると、本発明の感光性組成物を感光性ソルダーレジストに用いた場合には、硬化膜の高温時の十分な低弾性率が得られないことがあり、60,000を超えると、塗布適性及び現像性が悪化することがある。これに加えて、無機充填剤を使用した場合には、無機充填剤の分散性に優れ、クラック耐性と耐熱性にも優れ、アルカリ性現像液による非画像部の現像性に優れる。ここで、前記質量平均分子量は、例えば、高速GPC装置東洋曹達株式会社製、HLC-802Aを使用して、0.5質量のTHF溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgelHZM-M1本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25°Cで屈折率検出器又はUV検出器検出波長254nmにより測定することができる。そして、標準ポリスチレンで較正した分子量分布曲線より質量平均分子量を求めた。酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の酸価としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、20mgKOH/g~120mgKOH/gが好ましく、30mgKOH/g~110mgKOH/gがより好ましく、35mgKOH/g~100mgKOH/gが特に好ましい。酸価が、20mgKOH/g未満であると、現像性が不十分となることがあり、120mgKOH/gを超えると、現像速度が高すぎるため現像のコントロールが難しくなることがある。ここで、酸価は、例えば、JISK0070に準拠して測定することができる。なお、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用する。なお、酸価は上記樹脂の固形分酸価である。酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂のエチレン性不飽和基当量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.05mmol/g~2.0mmol/gが好ましく、0.5mmol/g~1.9mmol/gがより好ましく、0.75mmol/g~1.8mmol/gが特に好ましい。エチレン性不飽和基当量が、0.05mmol/g未満であると、硬化膜の耐熱性が劣ることがあり、2.0mmol/gを超えると、耐折性が悪化することがある。ここで、エチレン性不飽和基当量は、例えば、臭素価を測定することにより求めることができる。前記臭素価は、例えば、JISK2605に準拠して測定することができる。なお、ここで、エチレン性不飽和当量は、代表的にはビニル基当量であり、上記臭素価で得られた測定する樹脂100gに対して付加した臭素Br2のグラム数gBr2/100gから、樹脂1g当たりの付加した臭素Br2のモル数に変換した値である。以下に、本発明において好ましい側鎖にエチレン性不飽和結合を有する酸変性ポリウレタン樹脂を説明する。側鎖にエチレン性不飽和結合を有する酸変性ポリウレタン樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、その側鎖に、下記一般式1~3で表される官能基のうち少なくとも1つを有するものが挙げられる。一般式1において、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。ここで、1価の有機基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、アルキルもしくはアリールスルホニル基、アルキルもしくはアリールスルフィニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、アシルオキシ基、カルバモイル基、スルファモイル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、カルボキシル基、スルホ基、ウレイド基、ウレタン基などが挙げられ、これらの基はさらにこれらの置換基で置換されていてもよい。なお、以降の各基や各一般式における1価の有機基もしくは置換基も同様の基が挙げられる。R1は、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基がより好ましい。また、R2及びR3は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基がより好ましい。Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表し、R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。R12は、置換基を有してもよいアルキル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基がより好ましい。ここで、上記の各基が有してもよい置換基置換基を有してもよいアルキル基等における、有してもよい置換基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記の1価の有機基で挙げた基が挙げられ、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アシルアミノ基、カルバモイル基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、カルボキシル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基が好ましい。一般式2において、R4~R8は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。R4~R8としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、ここで、1価の有機基としては、前記一般式1におけるR1~R3で挙げた基が挙げられる。R4~R8は、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいジアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基がより好ましい。上記の各基が有してもよい置換基としては、前記一般式1と同様のものが挙げられる。また、Yは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。R12は、前記一般式1のR12の場合と同義であり、好ましい例も同様である。一般式3において、R9~R11は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表す。ここで、1価の有機基としては、前記一般式1におけるR1~R3で挙げた基が挙げられる。R9は、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基がより好ましい。R10及びR11は、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいジアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基がより好ましい。ここで、上記の各基が有してもよい置換基としては、一般式1と同様のものが挙げられる。また、Zは、酸素原子、硫黄原子、-NR13-、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。R13は、水素原子、又は1価の有機基を表す。R13は、置換基を有してもよいアルキル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、メチル基、エチル基、イソプロピル基がより好ましい。一般式1~3で表される基のうち、一般式1で表される基が好ましく、架橋硬化膜形成性の点で、一般式1におけるR1がメチル基でかつR2とR3が水素原子である基、一般式1におけるR1~R3がいずれも水素原子である基、一般式3におけるZがフェニレン基であるスチリル基が好ましく、一般式1におけるR1がメチル基でかつR2とR3が水素原子である基、一般式1におけるR1~R3がいずれも水素原子である基がより好ましく、架橋硬化膜の形成性と生保存性との両立の点で、一般式1におけるR1がメチル基でかつR2とR3が水素原子である基が特に好ましい。ここで、一般式1におけるXは酸素原子が好ましく、エチレン性不飽和基としては、メタクリロイルオキシ基またはアクリロイルオキシ基がなかでも好ましく、メタクリロイルオキシ基が最も好ましい。側鎖にエチレン性不飽和基を導入するには、iエチレン性不飽和基をジイソシアネート化合物またはジオール化合物に有する化合物との重合反応で得る方法と、iiカルボキシル基含有ポリウレタンと、分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得る方法がある。以後、iの方法で得られたポリウレタン樹脂をポリウレタン樹脂iとも称し、iiの方法で得られたポリウレタン樹脂をポリウレタン樹脂iiとも称す。また、側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂とはポリウレタン樹脂iとiiの両方を含むものである。本発明においては、iの方法で得られたポリウレタン樹脂iが好ましい。-ポリウレタン樹脂i-ポリウレタン樹脂は、ジイソシアネート化合物とジオール化合物少なくとも2つの水酸基を有する化合物との反応で合成され、ポリウレタン樹脂iは、下記一般式4で表されるジイソシアネート化合物の少なくとも1種と、下記一般式5で表されるジオール化合物の少なくとも1種と、の反応生成物で表される構造単位を基本骨格とするポリウレタン樹脂である。OCN-X0-NCO一般式4HO-Y0-OH一般式5一般式4及び5において、X0及びY0は、それぞれ独立に2価の有機残基を表す。前記一般式4で表されるジイソシアネート化合物、又は、前記一般式5で表されるジオール化合物の少なくともどちらか一方が、前記一般式1~3で表される基のうち少なくとも1つを有していれば、当該ジイソシアネート化合物と当該ジオール化合物との反応生成物として、側鎖に前記一般式1~3で表される基が導入されたポリウレタン樹脂が生成される。かかる方法によれば、ポリウレタン樹脂の反応生成後に所望の側鎖を置換、導入するよりも、側鎖に前記一般式1~3で表される基が導入されたポリウレタン樹脂を容易に製造することができる。前記一般式4で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、トリイソシアネート化合物と、不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させて得られる生成物、などが挙げられる。前記トリイソシアネート化合物としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0034~0035に記載された化合物、などが挙げられる。前記不飽和基を有する単官能のアルコール又は前記単官能のアミン化合物としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0037~0040に記載された化合物、などが挙げられる。側鎖に不飽和基を含有するジイソシアネート化合物を用いる方法におけるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、トリイソシアネート化合物と不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させることにより得ることできるジイソシアネート化合物であって、例えば、特開2005-250438号公報の段落0042~0049に記載された側鎖に不飽和基を有する化合物、などが挙げられる。ポリウレタン樹脂iは、重合性組成物中の他の成分との相溶性を向上させ、保存安定性を向上させるといった観点から、前記エチレン性不飽和基を含有するジイソシアネート化合物以外のジイソシアネート化合物を共重合させることもできる。前記共重合させるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、下記一般式6で表されるジイソシアネート化合物である。OCN-L1-NCO一般式6一般式6において、L1は、置換基を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表す。必要に応じ、L1は、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基を有していてもよい。前記一般式6で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、2,4-トリレンジイソシアネート、2,4-トリレンジイソシアネートの二量体、2,6-トリレンジイソシアネート、p-キシリレンジイソシアネート、m-キシリレンジイソシアネート、4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5-ナフチレンジイソシアネート、3,3’-ジメチルビフェニル-4,4’-ジイソシアネート等のような芳香族ジイソシアネート化合物;ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物;イソホロンジイソシアネート、4,4’-メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート、メチルシクロヘキサン-2,4又は2,6ジイソシアネート、1,3-イソシアネートメチルシクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート化合物;1,3-ブチレングリコール1モルとトリレンジイソシアネート2モルとの付加体等のジオールとジイソシアネートとの反応物であるジイソシアネート化合物;などが挙げられる。一般式4または6で表されるジイソシアネート化合物特に一般式6で表されるジイソシアネート化合物は異なる種類のものを組み合わせて用いてもよいが、耐折性を向上できる点で、少なくとも1種は芳香族のジイソシアネート化合物であることが好ましい。芳香族のジイソシアネート化合物としては、例えばビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビフェニル型、ナフタレン型、フェナントレン型、又はアントラセン型の骨格を有するジイソシアネート化合物であることが好ましく、ビスフェノールA型又はビスフェノールF型の骨格を有するジイソシアネート化合物であることがより好ましい。これらの各型の骨格は、下記一般式で表される。上記において、Ra、Rbは各々独立に置換基を表し、置換基としては炭素数が2~5のアルキル基が好ましい。l1およびl2は各々独立に0~4の整数を表す。l1およびl2は0または1が好ましい。l3は0~6の整数を表す。l4は0~8の整数を表す。l3は0~2が好ましく、l4は0または2が好ましい。l1~l4が2以上の時、複数のRa、Rbは互いに同一でも異なってもよい。前記ジイソシアネート化合物は芳香族のジイソシアネート化合物と脂肪族のジイソシアネート化合物を組み合わせることが、硬化後の反りを抑制し耐折性を向上する観点でより好ましい。芳香族のジイソシアネート化合物としては例えばビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビフェニル型、ナフタレン型、フェナントレン型、又はアントラセン型の骨格を有するジイソシアネート化合物であることが好ましく、ビスフェノールA型又はビスフェノールF型の骨格を有するジイソシアネート化合物であることがより好ましい。脂肪族のジイソシアネート化合物としては例えばヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネートが好ましく、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートがより好ましい。前記一般式5で表されるジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物、などが挙げられる。ここで、ポリウレタン樹脂の側鎖にエチレン性不飽和基を導入する方法としては、前述の方法の他に、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物を用いる方法が好ましい。前記側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物は、例えば、トリメチロールプロパンモノアリルエーテルのように市販されているものでもよいし、ハロゲン化ジオール化合物、トリオール化合物、アミノジオール化合物等の化合物と、不飽和基を含有する、カルボン酸、酸塩化物、イソシアネート、アルコール、アミン、チオール、ハロゲン化アルキル化合物等の化合物との反応により容易に製造される化合物であってもよい。このようなエチレン性不飽和基を有するジオール化合物としては、下記一般式UEで表される化合物が好ましく、ポリウレタン樹脂中には、下記一般式UE1で表される部分構造を有することになる。一般式UE、UE1において、LUEは主鎖の結合に-NHC=OO-もしくは-OC=ONH-を含まない2価の連結基であって、かつ側鎖にエチレン性不飽和基を1つ有する2価の連結基を表す。本発明においては、エチレン性不飽和基を有する基が前記一般式1で表される基である場合、LUEの主鎖に、α位もしくはβ位に、水酸基またはアシル基を有すアルキルオキシカルボニル基で結合しない場合が好ましい。一般式UEで表される化合物は、下記一般式UE-1~UE-6で表される化合物が好ましい。なお、下記一般式UE-7で表される化合物は、前記一般式UEで表される化合物以外に好ましい化合物である。一般式UE-1~UE-7において、E1は単結合または2価の連結基2価の有機残基を表し、E2は単結合または-CH2-以外の2価の連結基を表す。Aは2価の連結基を表す。Qは前記一般式1~3のいずれかの基を表す。E1、E2における2価の連結基としては、例えば、-O-、-S-、-OCHCH2-QCH2-、-CO2-CH2-、-OCH2CCH2-Q2CH2-、-O-CONHCH2CH2-、-OC=O-、-CONHCH2CH2-、-CH2CCH2-Q2CH2-、-CH2-、-NHCONHCH2CH2-、-NHCHCH2-QCH2-、-NCHCH2-QCH2-、-NHCH2CCH2-Q2CH2-、-NH-CHCH2-QCH2-、-C=O-、-CO2-CH2CH2-、-CO2-CH2CH2CH2-等が挙げられる。なお、ここで、Qは一般式1~3のいずれかの基を表す。これらの具体的な化合物は特開2005-250438号公報の段落0057~0060に記載された化合物が挙げられる。上記一般式UE-1~UE-7で表される化合物のうち、前記一般式UE-1~UE-6で表される化合物が好ましく、前記一般式UE-6で表される化合物がさらに好ましい。また、一般式UE-6で表される化合物のなかでも、下記一般式Gで表される化合物が特に好ましい。なお、一般式Gで表される化合物は、ポリウレタン樹脂中では、下記一般式G1で表される部分構造を有すことになる。一般式G、G1において、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は1価の有機基を表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表し、R12は、水素原子、又は1価の有機基を表す。なお、前記一般式G、G1におけるR1~R3及びXは、前記一般式1におけるR1~R3及びXと同義であり、好ましい態様もまた同様である。一般式Gで表される化合物は、特開2005-250438号公報の段落0064~0066に記載された化合物が挙げられ、本発明に好ましい。前記一般式Gで表されるジオール化合物に由来するポリウレタン樹脂を用いることにより、立体障害の大きい2級アルコールに起因するポリマー主鎖の過剰な分子運動を抑制効果により、層の被膜強度の向上が達成できるものと考えられる。本発明のポリウレタン樹脂iは酸変性であり、この酸変性における酸としてはカルボン酸、スルホン酸が挙げられるが、カルボン酸が特に好ましい。ポリウレタン樹脂iの合成には、カルボキシル基を有するジオール化合物を使用することで、酸変性することが好ましい。前記カルボキシル基を有するジオール化合物としては、例えば、以下の式17~19に示すものが含まれる。式17~19において、R15は、水素原子又は置換基例えば、シアノ基、ニトロ基、-F、-Cl、-Br、-I等のハロゲン原子、-CONH2、-COOR16、-OR16、-NHCONHR16、-NHCOOR16、-NHCOR16、-OCONHR16ここで、R16は、炭素数1~10のアルキル基、又は炭素数7~15のアラルキル基を表す。などの各基が含まれる。を有していてもよいアルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基を表すものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、水素原子、炭素数1~8個のアルキル基、炭素数6~15個のアリール基が好ましい。前記式17~19中、L9、L10、L11は、それぞれ同一でもよいし、相違していてもよく、単結合、置換基例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲン原子が好ましい。を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表すものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、炭素数1~20個のアルキレン基、炭素数6~15個のアリーレン基が好ましく、炭素数1~8個のアルキレン基がより好ましい。また必要に応じ、前記L9~L11中にイソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、カルボニル基、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基、エーテル基を有していてもよい。なお、前記R15、L9、L10、L11のうちの2個又は3個で環を形成してもよい。前記式18中、Arとしては、置換基を有していてもよい3価の芳香族炭化水素基を表すものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、炭素数6~15個の芳香族基が好ましい。前記式17~19で表されるカルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、3,5-ジヒドロキシ安息香酸、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸、2,2-ビス2-ヒドロキシエチルプロピオン酸、2,2-ビス3-ヒドロキシプロピルプロピオン酸、ビスヒドロキシメチル酢酸、ビス4-ヒドロキシフェニル酢酸、2,2-ビスヒドロキシメチル酪酸、4,4-ビス4-ヒドロキシフェニルペンタン酸、酒石酸、N,N-ジヒドロキシエチルグリシン、N,N―ビス2-ヒドロキシエチル-3-カルボキシ-プロピオンアミド、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。カルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0047に記載された化合物、などが挙げられる。このようなカルボキシル基の存在により、ポリウレタン樹脂に水素結合性とアルカリ可溶性といった特性を付与できるため好ましい。このようにカルボキシル基を導入することにより、酸価を、前述のような、本発明において好ましい範囲に調整することができる。また、側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、テトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物を併用することもできる。前記テトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0095~0101に記載された化合物、などが挙げられる。ポリウレタン樹脂iは、例えば、重合性組成物中の他の成分との相溶性を向上させ、保存安定性を向上させるといった観点から、前記側鎖にエチレン性不飽和基を含有するジオール化合物やカルボキシル基を含有するジオール化合物以外のジオール化合物を共重合させることができ、本発明においては、このようなジオール化合物を共重合させることが特に好ましい。このようなジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、低分子のジオール化合物やポリマージオール化合物であるポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物、m-ジヒドロキシベンゼンのポリカーボネート化合物などを挙げることできる。このようなジオール化合物は、下記一般式Uとして表され、ポリウレタン樹脂として組み込まれると、下記一般式U1で表される部分構造で表される。一般式U及びU1において、LU1はエチレン性不飽和基およびカルボキシル基を含まない2価の連結基を表す。LU1は、例えば、アルキレン基、アリーレン基、2価のヘテロ環基が挙げられ、該アルキレン基は、アルキレン基の鎖中に-O-、-OCOO-、フェニレン基、炭素-炭素二重結合、炭素-炭素三重結合、-OCO-Z1-COO-Z1はアルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基を表す。を含んでもよい。一般式Uで表されるジオール化合物のうち、低分子のジオール化合物としては、質量平均分子量が400未満のものが好ましく、例えば、特開2007-2030号公報の段落0048に記載された化合物、などが挙げられる。本発明においては、ポリマージオール化合物が好ましく、以下に詳細に説明する。-ポリマージオール化合物-前記ポリマージオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイドのブロック共重合体又はランダム共重合体、ポリテトラメチレングリコール、テトラメチレングリコールとネオペンチルグリコールとのブロック共重合体又はランダム共重合体等のポリエーテルジオール類;多価アルコール又はポリエーテルジオールと無水マレイン酸、マレイン酸、フマル酸、無水イタコン酸、イタコン酸、アジピン酸、テレフタル酸、イソフタル酸等の多塩基酸との縮合物であるポリエステルジオール類;グリコール又はビスフェノールと炭酸エステルとの反応、あるいは、グリコール又はビスフェノールにアルカリの存在下でホスゲンを作用させる反応などで得られるポリカーボネートジオール類;カプロラクトン変性ポリテトラメチレンジオール等のカプロラクトン変性ポリマージオール、ポリオレフィン系ポリマージオール、水添ポリブタジエンジオール等のポリブタジエン系ポリマージオール、シリコーン系ポリマージオールなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。なお、本発明において好ましい化合物や部分構造は前記一般式U、U1におけるLU1が、-CH2CH2OnU1CH2CH2-、-CH2CHCH3OnU1-CH2CHCH3-、-CH2CH2CH2OnU1-CH2CH2CH2-、-CH2nU2-OC=O-CH2nU3-C=OOnU4-OCH2nU2-または-CH2nU5-OC=OOnU6-CH2nU7-である。ここで、nU1~nU7は各々独立に1以上の数を表す。また、一般式Uで表される化合物は、後述の一般式III-1~III-6で表されるジオール化合物も好ましい。前記ポリエーテルジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0068~0076に記載された化合物、などが挙げられる。前記ポリエステルジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0077~0079、段落0083~0085におけるNo.1~No.8及びNo.13~No.18に記載された化合物、などが挙げられる。前記ポリカーボネートジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0080~0081及び段落0084におけるNo.9~No.12で記載された化合物、などが挙げられる。また、上述したジオール化合物の他に、イソシアネート基と反応しない置換基を有するジオール化合物を併用することもできる。前記イソシアネート基と反応しない置換基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0087~0088に記載された化合物、などが挙げられる。このようなポリマージオール化合物の質量平均分子量は、400~8,000であることが好ましく、500~5,000であることがより好ましく、600~3000であることがさらに好ましく、800~2,000であることが特に好ましい。質量平均分子量が、400未満であると、耐折性が十分に得られないことがあり、8,000を超えると、得られるポリウレタン樹脂のガラス転移温度Tgが低下しすぎるため、絶縁信頼性が低下してしまうことがある。ここで、質量平均分子量は、例えば高速GPC装置を使用して、0.5質量のTHF溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgelHZM-M1本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25°Cで屈折率検出器あるいはUV検出器検出波長254nmにより測定することができる。酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂中における前記一般式U1で表される部分構造の質量比率は、10~60が好ましく、20~60であることがより好ましく、25~55であることがさらに好ましく、30~50であることがさらに好ましい。前記質量比率が10未満であると硬化後の反り抑制が困難になることがあり、60を超えると光硬化の感度が低下しすぎて解像性が悪化してしまうことがある。また、本発明で使用する側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂としては、ポリマー末端、主鎖に不飽和基を有するものも好適に使用される。ポリマー末端、主鎖に不飽和基を有することにより、更に、感光性組成物と側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂との間、又は側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂間で架橋反応性が向上し、光硬化物強度が増す。ここで、不飽和基としては、架橋反応の起こり易さから、炭素-炭素二重結合を有することが特に好ましい。ポリマー末端に不飽和基を導入する方法としては、以下に示す方法がある。即ち、上述した側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂の合成の工程での、ポリマー末端の残存イソシアネート基と、アルコール類又はアミン類等で処理する工程において、不飽和基を有するアルコール類又はアミン類等を用いればよい。このような化合物としては、具体的には、先に、不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物として挙げられた例示化合物と同様のものを挙げることができる。なお、不飽和基は、導入量の制御が容易で導入量を増やすことができ、また、架橋反応効率が向上するといった観点から、ポリマー末端よりもポリマー側鎖に導入されることが好ましい。導入されるエチレン性不飽和結合基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、架橋硬化膜形成性の点で、メタクリロイル基、アクリロイル基、スチリル基が好ましく、メタクリロイル基、アクリロイル基がより好ましく、架橋硬化膜の形成性と生保存性との両立の点で、メタクリロイル基が特に好ましい。また、メタクリロイル基の導入量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、エチレン性不飽和基当量としては、0.05mmol/g~2.0mmol/gが好ましく、0.5mmol/g~1.90mmol/gがより好ましく、0.75mmol/g~1.80mmol/gが特に好ましい。主鎖に不飽和基を導入する方法としては、主鎖方向に不飽和基を有するジオール化合物をポリウレタン樹脂の合成に用いる方法がある。前記主鎖方向に不飽和基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばcis-2-ブテン-1,4-ジオール、trans-2-ブテン-1,4-ジオール、ポリブタジエンジオール、などが挙げられる。本発明においては、本発明で使用する側鎖にエチレン性不飽和結合を有する酸変性ポリウレタン樹脂としては、ポリマー主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を有するものも、アルカリ性現像液による非画像部の現像性に優れる点で好適に用いられる。ポリマー主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を有し、2つ以上5つ以下のカルボキシル基を有することが好ましく、2つのカルボキシル基を有することが現像性に優れ、微細パターン形成性の点で特に好ましい。なお、前記ポリウレタン樹脂における主鎖の末端は、2つあるが、片末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有することが好ましく、両末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有していてもよい。前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、下記一般式ADで表される構造を有することが好ましい。一般式AD-L100-COOHn一般式ADにおいて、L100は、n1価の有機連結鎖を表し、nは1以上の整数を示し、1~5が好ましく、2が特に好ましい。L100で表される有機連結基は、炭素原子、水素原子、酸素原子、窒素原子、及び硫黄原子から選択される1以上の原子を含んで構成され、具体的には、L100で表される有機連結基の主骨格を構成する原子数は、1~30が好ましく、1~25がより好ましく、1~20が更に好ましく、1~10が特に好ましい。なお、前記有機連結基の主骨格とは、前記ポリウレタン樹脂の主鎖と末端COOHとを連結するためのみに使用される原子又は原子団を意味し、連結経路が複数ある場合には、使用される原子数が最も少ない経路を構成する原子又は原子団を指す。前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリウレタン樹脂製造の原料として、少なくとも1つのカルボキシル基を有するカルボン酸化合物を用いる方法などが挙げられる。前記カルボン酸化合物としては、カルボキシル基を1つ有するモノカルボン酸化合物、カルボキシル基を2つ有するジカルボン酸化合物、カルボキシル基を3つ有するトリカルボン酸化合物、カルボキシル基を4つ有するテトラカルボン酸化合物、カルボキシル基を5つ有するペンタカルボン酸化合物などが挙げられる。これらの中でも、カルボキシル基を2つ有するジカルボン酸化合物が、現像性に優れ、微細パターン形成性の点で特に好ましい。前記カルボン酸化合物としては、少なくとも1つのカルボキシル基を有すれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、下記一般式ADHで表される化合物が好適である。一般式ADHH-O-L200-Y100-L100-COOHn一般式ADHにおいて、L100及びnは、前記一般式ADと同じ意味を表す。Y100は2価以上の原子を表す。L200は単結合又は置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。Y100における2価以上の原子としては、例えば、酸素原子、窒素原子、炭素原子、ケイ素原子、などが挙げられる。これらの中でも、窒素原子、炭素原子が特に好ましい。ここで、Y100で表される原子が2価以上であるとは、少なくともY100が、L100及びL200を介して末端-COOHが結合する2つの結合手を有することを意味するが、Y100は、更に水素原子、又は置換基を有していてもよい。Y100に導入可能な置換基としては、水素原子、酸素原子、硫黄原子、窒素原子及びハロゲン原子から選択される原子を含んで構成される置換基が挙げられる。これらの中でも、炭素原子数1~50の炭化水素基が好ましく、炭素原子数1~40の炭化水素基がより好ましく、炭素原子数1~30の炭化水素基が特に好ましい。L200におけるアルキレン基としては、炭素原子数1~20のアルキレン基が好ましく、炭素原子数2~10のアルキレン基がより好ましい。前記アルキレン基に導入可能な置換基としては、例えばハロゲン原子-F、-Br、-Cl、-I、置換基を有していてもよいアルキル基、などが挙げられる。前記一般式ADHで表されるカルボン酸化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、乳酸、リンゴ酸、ヒドロキシへキサン酸、クエン酸、ジオール化合物と酸無水物の反応物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、リンゴ酸が特に好ましい。本発明で使用するポリウレタン樹脂iの具体例としては、例えば、特開2005-250438号公報の段落0293~0310に示されたP-1~P-31のポリマー、などが挙げられる。これらの中でも、段落0308及び0309に示されたP-27及びP-28のポリマーが好ましい。本発明で使用する側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂は、前記ジイソシアネート化合物及びジオール化合物を、非プロトン性溶媒中、それぞれの反応性に応じた活性の公知の触媒を添加し、加熱することにより合成される。合成に使用されるジイソシアネート及びジオール化合物のモル比Ma:Mbとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、1:1~1.2:1が好ましく、アルコール類又はアミン類等で処理することにより、分子量あるいは粘度といった所望の物性の生成物が、最終的にイソシアネート基が残存しない形で合成される。本発明で使用する側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂は、特に、前述のジイソシアネート化合物と、ジオール化合物として、分子内に2つの水酸基を有するアクリレート化合物、分子内に2つの水酸基を有するカルボン酸および前述のポリマージオール化合物とを反応させて得ることが好ましく、これに加え、一般式ADHで表される、1つの水酸基とカルボキシル基を有する化合物を反応させて得ることが好ましい。-ポリウレタン樹脂ii-ポリウレタン樹脂iiは、カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂である。ポリウレタン樹脂iiは、ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジオールとを必須成分とするカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂と、分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂である。目的に応じて、ジオール成分として、質量平均分子量300以下の低分子ジオールや質量平均分子量500以上の低分子ジオールを共重合成分として加えてもよい。ポリウレタン樹脂iiは、これを用いることにより、無機充填剤との安定した分散性や耐クラック性や耐衝撃性に優れることから、耐熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性、電気特性が向上する。また、前記ポリウレタン樹脂iiとしては、置換基を有していてもよい2価の脂肪族及び芳香族炭化水素のジイソシアネートと、C原子及びN原子のいずれかを介してCOOH基と2つのOH基を有するカルボキシル基含有ジオールとを必須成分とした反応物であって、得られた反応物と、-COO-結合を介して分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるものであってもよい。また、前記ポリウレタン樹脂iiとしては、下記一般式Iで示されるジイソシアネートと、前述のポリウレタン樹脂iにおいて説明した式17~19で表されるカルボキシル基含有ジオール化合物から選ばれた少なくとも1種とを必須成分とし、目的に応じて下記一般式III-1~III-6で示される質量平均分子量が800~3,000の範囲にある高分子ジオールから選ばれた少なくとも1種との反応物であって、得られた反応物と、下記一般式IV-1~IV-16で示される分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるものであってもよい。OCN-R1-NCO一般式I一般式Iにおいて、R1は、置換基例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、及びハロゲン原子のいずれかが好ましいを有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素を表す。必要に応じて、R1は、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エステル基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基のいずれかを有していてもよい。一般式III-1~III-3において、R7、R8、R9、R10及びR11は、それぞれ同一でもよいし、相異していてもよく、2価の脂肪族又は芳香族炭化水素を表す。R7、R9、R10及びR11は、それぞれ炭素数2個~20個のアルキレン基又は炭素数6個~15個のアリーレン基が好ましく、炭素数2個~10個のアルキレン又は炭素数6個~10個のアリーレン基がより好ましい。R8は、炭素数1個~20個のアルキレン基又は炭素数6個~15個のアリーレン基を表し、炭素数1個~10個のアルキレン又は炭素数6個~10個のアリーレン基がより好ましい。また、R7、R8、R9、R10及びR11中には、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エーテル基、カルボニル基、エステル基、シアノ基、オレフィン基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基、又はハロゲン原子などがあってもよい。一般式III-4において、R12は、水素原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。水素原子、炭素数1個~10個のアルキル基、炭素数6個~15個のアリール基、炭素数7個~15個のアラルキル、シアノ基又はハロゲン原子が好ましく、水素原子、炭素数1個~6個のアルキル及び炭素数6個~10個のアリール基がより好ましい。また、R12中には、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、アルコキシ基、カルボニル基、オレフィン基、エステル基又はハロゲン原子などがあってもよい。mは、2~4の整数を表す。一般式III-5において、R13は、アリール基又はシアノ基を表し、炭素数6個~10個のアリール基又はシアノ基が好ましい。なお、前記一般式III-1~III-6中、n1、n2、n3、n4、n5、n7、n8およびn9は、それぞれ2以上の整数を表し、2~100の整数が好ましい。前記一般式中、n6は、0又は2以上の整数を示し、0又は2~100の整数が好ましい。一般式IV-1~IV-16において、R14は、水素原子又はメチル基を表し、R15は、炭素数1~10のアルキレン基を表し、R16は、炭素数1~10の炭化水素基を表す。pは、0又は1~10の整数を表す。なお、カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基又はオキセタン基を有する化合物とを反応した場合、X、YまたはZがポリウレタン主鎖と連結する部分構造に、-CO2-β位またはγ位に水酸基もしくはアシルオキシ基が置換した脂肪族の基-を有する構造となる。ここで側に一般式1~3の部分構造が存在する。また、前記ポリウレタン樹脂iiは、更に第5成分として、カルボキシル基非含有の低分子量ジオールを共重合させてもよく、該低分子量ジオール化合物としては、前記一般式III-1~III-6で表され、質量平均分子量が500以下のものである。該カルボキシル基非含有低分子量ジオールは、アルカリ溶解性が低下しない限り、また、硬化膜の弾性率が十分低く保つことができる範囲で添加することができる。上記の低分子量ジオール化合物としては、例えば、特開2007-2030号公報の段落0048に記載された化合物、などが挙げられる。前記ポリウレタン樹脂iiとしては、特に、前記一般式Iで示されるジイソシアネートと、前述の式17~19で示されるカルボキシル基含有ジオールから選ばれた少なくとも1種とを必須成分とし、目的に応じて、一般式III-1~III-6で示される質量平均分子量が800~3,000の範囲にある高分子ジオールから選ばれた少なくとも1種や、一般式III-1~III-6で示される質量平均分子量が500以下のカルボキシル基非含有の低分子量ジオールとの反応物に、更に一般式IV-1~IV-16のいずれかで示される分子中に1個のエポキシ基と少なくとも1個のメタアクリル基を有する化合物を反応して得られる、酸価が20mgKOH/g~120mgKOH/gであるアルカリ可溶性光架橋性ポリウレタン樹脂が好適である。なお、上記ポリウレタン樹脂iiにおいても、前記一般式III-1~III-6で表される化合物に替えて、または併用して、前述のポリウレタン樹脂iで説明した一般式Uで表されるジオール化合物を使用することは好ましく、酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂中における前記一般式U1で表される部分構造の質量比率は、前述のポリウレタン樹脂iの場合と同様である。これらの高分子化合物は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。また、ポリウレタン樹脂iiにおいても、ポリマー主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を有するものもが、ポリウレタン樹脂iと同様の効果を得るために好ましく、ポリウレタン樹脂iで説明したようなポリマー主鎖の末端封止方法や一般式Aで表される基が好ましく、ポリウレタン樹脂iと好ましい範囲も同じである。前記ポリウレタン樹脂iiとしては、例えば、特開2007-2030号公報の段落0314~0315に示されたU1~U4、U6~U11のポリマーにおけるエポキシ基及びビニル基含有化合物としてのグリシジルアクリレートを、グリシジルメタクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート商品名:サイクロマーA400、ダイセル化学株式会社製、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート商品名:サイクロマーM400、ダイセル化学株式会社製に代えたポリマー、などが挙げられる。-カルボキシル基含有ポリウレタンと分子中にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物とを反応して得られるポリウレタン樹脂iiの合成法-前記ポリウレタン樹脂iiの合成方法としては、前記ジイソシアネート化合物及びジオール化合物を非プロトン性溶媒中、それぞれの反応性に応じた活性の公知な触媒を添加し、加熱することにより合成される。使用するジイソシアネート及びジオール化合物のモル比は、0.8:1~1.2:1が好ましく、ポリマー末端にイソシアネート基が残存した場合、アルコール類又はアミン類等で処理することにより、最絡的にイソシアネート基が残存しない形で合成される。本発明で使用する酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂i、iiは、該特定ポリウレタン樹脂とは異なる構造を有するポリウレタン樹脂を含むアルカリ可溶性高分子を併用することも可能である。例えば、前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂は、は、主鎖及び/又は側鎖に芳香族基を含有したポリウレタン樹脂を併用することが可能である。本発明で使用するポリウレタン樹脂i、iiの前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5質量~80質量が好ましく、20質量~75質量がより好ましく、30質量~70質量が特に好ましい。前記含有量が、5質量未満であると、耐折性が良好に保つことができないことがあり、80質量を超えると、耐熱性が破綻をきたすことがある。前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好な耐折性と耐熱性の両立の点で有利である。<ラジカル重合性化合物>前記ラジカル重合性化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、エチレン性不飽和基を1つ以上有する化合物が好ましい。前記エチレン性不飽和基を有する官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基、ビニルフェニル基、ビニルエステル基、ビニルエーテル基、アリルエーテル基、アリルエステル基などが挙げられる。前記エチレン性不飽和基を1つ以上有する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、メタアクリル基を有するモノマーから選択される少なくとも1種が好ましい。前記メタアクリロイル基を有するモノマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレングリコールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタアクリレート、フェノキシエチルメタアクリレート等の単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、ジシクロペンタンジメチロールジメタアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタアクリレート、ペンタエリトリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタアクリレート、ヘキサンジオールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリロイルオキシプロピルエーテル、トリアクリロイルオキシエチルイソシアヌレート、トリアクリロイルオキシエチルシアヌレート、グリセリントリメタアクリレート;トリメチロールプロパン、グリセリン、ビスフェノール等の多官能アルコールに、エチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加反応した後でメタアクリレート化したもの;エポキシ樹脂とメタアクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレートやメタクリレートなどが挙げられる。これらの中でも、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタアクリレート、ジシクロペンタンジメチロールジメタアクリレート、トリシクロデカンジメタノールメタアクリレートがより好ましい。ラジカル重合性化合物としては、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基を2個以上有するものやトリシクロデカンジメタノールメタアクリレートのように脂環を有する化合物が好ましい。前記ラジカル重合性化合物の前記感光性組成物固形分中の含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5質量~50質量が好ましく、10質量~40質量がより好ましい。前記含有量が、5質量以上であれば、現像性、露光感度が良好となり、50質量以下であれば、感光層の粘着性が強くなりすぎることを防止できる。<光重合開始剤>前記光重合開始剤としては、前記ラジカル重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましく、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤である。また、前記光重合開始剤は、波長約300nm~800nmの範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する成分を少なくとも1種含有していることが好ましい。前記波長は330nm~500nmがより好ましい。また、必要に応じてその他の光重合開始剤を含んでいてもよい。前記光重合開始剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、少なくとも芳香族基を有する化合物であることが好ましく、ビスアシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物であることがより好ましい。前記中性の光重合開始剤は、2種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤としては、例えば、ビスアシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物などが挙げられる。これらの中でも、感光層の感度、保存性、及び感光層とプリント配線板形成用基板との密着性等の観点から、オキシム誘導体、ビスアシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物が好ましい。前記ビスアシルホスフィンオキシド、前記アセトフェノン系化合物、前記ベンゾフェノン系化合物、前記ベンゾインエーテル系化合物、前記ケタール誘導体化合物、前記チオキサントン化合物としては、例えば、特開2010-256399号公報の段落0042に記載されたビスアシルホスフィンオキシド、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物などが挙げられる。前記オキシム誘導体としては、例えば、特開2010-256399号公報の段落0043~0059に記載されたオキシム誘導体などが挙げられる。前記光重合開始剤は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の前記感光性組成物固形分中の含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.1質量~30質量が好ましく、0.5質量~20質量がより好ましく、0.5質量~15質量が特に好ましい。<熱架橋剤>本発明の感光性組成物中には、少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ系熱架橋剤を含有する。本発明で使用するエポキシ系熱架橋剤は、下記一般式EPで表される部分構造を有し、かつ該エポキシ系熱架橋剤のエポキシ当量が300g/eqを超えるものである。一般式EPにおいて、REPは置換基を表し、neは0~4の整数を表す。ここで、neが2~4のとき、複数のREPは互いに同じでも異なってもよい。REPにおける置換基としては、脂肪族基例えば、アルキル基、シクロアルキル基、ビシクロアルキル基他、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルキルもしくはアリールスルホニル基、アルキルもしくはアリールスルフィニル基、ハロゲン原子が好ましい基として挙げられる。本発明で使用するエポキシ系熱架橋剤は、好ましくは下記一般式EP1~EP4のいずれかで表される化合物である。一般式EP1~EP4において、LEP1は、-OCH2CHOQEP1CH2O-、-O-LEP2-O-、-O-LEP3-O-または-O-LEP2-O-LEP3-O-LEP2-O-を表す。ここで、LEP2はアルキレン基を表し、LEP3はアルキレン基またはアルキレンオキシアルキレン基-アルキレンオキシ1~20-アルキレン-の基を含むを表す。QEP1~QEP12は各々独立に、水素原子、無置換アルキル基またはグリシジル基を表す。REP1およびREP2は各々独立に水素原子またはアルキル基を表す。REP3~REP12は各々独立に置換基を表す。ne1~ne4は各々独立に、0または1以上の数を表す。ただし、ne1が2以上のとき、複数のQEP1は互いに同じでも異なってもよく、ne2が2以上のとき、複数のQEP5は互いに同じでも異なってもよく、ne3が2以上のとき、複数のQEP8は互いに同じでも異なってもよく、ne4が2以上のとき、複数のQEP11は互いに同じでも異なってもよい。ここで、上記一般式EP1~EP4の各々は、少なくとも2つのグリシジル基を有する。LEP2におけるアルキレン基は炭素数1~20が好ましく、1~12がより好ましい。また、置換基を有してもよく、該置換基としては、好ましくはアルキル基、ハロゲン原子、水酸基、より好ましくはアルキル基、水酸基である。LEP3はアルキレン基またはアルキレンオキシアルキレン基-アルキレンオキシ1~20-アルキレン-の基を含むを表すが、ここでのアルキレンは、好ましくは炭素数1~20、より好ましくは炭素数2~12である。また、複数のアルキレンオキシ基を有する場合、1炭素数1~3のアルキレンオキシ基例えば、メチレン、1,1-エタンジイル、1,3-プロパンジイル、1,2-プロパンジイルから構成、2炭素数4~20、好ましくは4~12のアルキレンオキシ基から構成、3上記炭素数1~3のアルキレンオキシ基と上記炭素数4~20のアルキレンオキシ基が混在して構成、であることが好ましい。一般式EP1において、LEP1が-O-LEP2-O-LEP3-O-LEP2-O-を表す場合、LEP2は-CHCH3-または-CH2CHOHCH2-が好ましく、LEP3がさらにアルキレン基の場合、炭素数1~20、好ましくは2~12のアルキレン基が好ましく、これらは置換基を有してもよく、該置換基としては好ましくはアルキル基、ハロゲン原子、水酸基、より好ましくはアルキル基、水酸基である。一方、-O-LEP2-O-LEP3-O-LEP2-O-において、LEP3が-アルキレンオキシ1~20-アルキレン-の場合、アルキレンオキシは、1炭素数1~3のアルキレンオキシ基例えば、メチレン、1,1-エタンジイル、1,3-プロパンジイル、1,2-プロパンジイルから構成、2炭素数4~20、好ましくは4~12のアルキレンオキシ基から構成、3上記炭素数1~3のアルキレンオキシ基と上記炭素数4~20のアルキレンオキシ基が混在して構成、であることが好ましい。REP1およびREP2は各々独立に水素原子またはアルキル基を表すが、水素原子または炭素数1~6のアルキル基が好ましい。REP3~REP12における置換基としては、前述の一般式1におけるR1~R3で挙げた1価の有機基で挙げた置換基が挙げられる。これらのうち、アルキル基、ハロゲン原子が好ましい。上記一般式EP1~EP4のうち、一般式EP1で表される化合物が好ましい。なお、一般式EP1の中でもLEP1が、-OCH2CHOQEP1CH2O-を表す場合、QEP1が水素原子またはアルキル基で、かつQEP2およびQEP3がグリシジル基であるものが好ましい。上記において、主にQEP1、QEP5、QEP11のグリシジル基の量を調整することによりエポキシ当量を調節することができる。本発明のエポキシ系熱架橋剤のエポキシ当量は、300g/eqを超えるが、350g/eq以上が好ましく、400g/eq以上がより好ましい。エポキシ当量の上限は特に限定されるものではないが、2000g/eq以下が好ましく、1000g/eq以下がより好ましい。なお、エポキシ当量は、熱架橋剤中に存在するエポキシ基1つ1当量当たりの熱架橋剤の分子量であり、g/eqで表される。本発明で使用するエポキシ系熱架橋剤は、感光性バインダー樹脂と区別されるものであり、カルボキシル基やエチレン性不飽和基を含有しない化合物が好ましい。本発明で好ましく使用されるエポキシ系熱架橋剤は、例えば、EPICLONEXA-4850-150エポキシ当量450、EPICLONEXA-4850-1000エポキシ当量350、EPICLONEXA-4816エポキシ当量403、EPICLONEXA-4822エポキシ当量385いずれもDIC社製が挙げられる。また、特開2006-36935号公報の段落0024に記載の例示化合物2~8に記載の化合物、特開2011-46928号公報の一般式1で記載の化合物および段落0037に記載の例示化合物18~29が挙げられる。本発明で使用される上記エポキシ系熱架橋剤は、前記酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂の固形分質量に対して、固形分質量で30~150質量含有することが好ましく、40~100質量含有することがさらに好ましい。本発明において、熱架橋剤は、上記エポキシ系熱架橋剤と併用して、他の熱架橋剤を使用することができる。このような他の熱架橋剤としては、エポキシ当量が300g/eq以下の熱架橋剤や他の構造の熱架橋剤が挙げられる。例えば、エポキシ化合物としては、特開2010-256399号公報の段落0071~0073に記載されたエポキシ化合物などが挙げられ、オキセタン化合物としては、例えば、特開2010-256399号公報の段落0074に記載されたオキセタン化合物などが挙げられる。<熱硬化剤>本発明においては、前記エポキシ化合物と反応し、結合を生成することで架橋するため、例えば、アミン化合物例えば、ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4-ジメチルアミノ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メトキシ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メチル-N,N-ジメチルベンジルアミン等、4級アンモニウム塩化合物例えば、トリエチルベンジルアンモニウムクロリド等、ブロックイソシアネート化合物例えば、ジメチルアミン等、イミダゾール誘導体二環式アミジン化合物及びその塩例えば、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、4-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-2-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール等、リン化合物例えば、トリフェニルホスフィン等、グアナミン化合物例えば、メラミン、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メチロールメラミン、アルキル化メチロールメラミンメチロールの水酸基を、メチル基、エチル基、ブチル基等でエーテル化等、S-トリアジン誘導体例えば、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン、2-ビニル-2,4-ジアミノ-S-トリアジン、2-ビニル-4,6-ジアミノ-S-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジンイソシアヌル酸付加物等などを用いることができる。ここで、メラミン誘導体としては、例えば、特開2010-256399号公報の段落0077に記載されたメラミン誘導体などが挙げられる。これらは1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。なお、上記以外の熱硬化する化合物を用いてもよく、さらには硬化を促進する化合物を併用してもよい。このような上記以外の熱硬化する化合物や硬化を促進する化合物としては、例えば、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート又はその誘導体のイソシアネート基にブロック剤を反応させて得られる化合物ブロック化ポリイソシアネート化合物、オキサゾリン誘導体などが挙げられる。前記ポリイソシアネート化合物としては、例えば、特開2010-256399号公報の段落0075に記載されたポリイソシアネート化合物などが挙げられる。前記ブロック化ポリイソシアネート化合物としては、例えば、特開2010-256399号公報の段落0076に記載された化合物などが挙げられる。前記オキサゾリン誘導体としては、例えば、1,3-ビス4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリルベンゼン、1,4-ビス4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリルベンゼン、2,2’-ビス2-オキサゾリンなどが挙げられる。本発明においては、上記の中でも、-NH2やフェノール性水酸基を2個以上有する化合物が好ましく、中でもトリアジン環化合物、フェノール樹脂が好ましく、トリアジン環化合物がより好ましい。フェノール樹脂としては、ノボラック樹脂が挙げられ、該ボラック樹脂としては、フェノールノボラック樹脂およびクレゾールノボラック樹脂が挙げられる。より具体的には、クレゾールノボラック樹脂質量平均分子量:320~32,000,SP値:15.2、フェノールノボラック樹脂質量平均分子量:360~36,000,SP値:16.4、ナフチルクレゾールSP値:19.0、トリスヒドロキシフェニルメタンSP値:15.6、ジナフチルトリオールSP値:、テトラキス4-ヒドロキシフェニルエタンSP値:15.7及び4,4’-オキシビス1,4-フェニルエチルテトラクレゾールSP値:20.1等が挙げられる。フェノール性水酸基を2個以上有する化合物は、好ましくは、下記一般式PHとして表すことができる。一般式PHにおいて、RP1およびRP2は各々独立に、水素原子または置換基を表す。np1は0または1以上の数を表す。RP3およびRP4は各々独立に、水素原子またはアルキル基を表す。ここで、RP1およびRP2における置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヒドロキシル基、シアノ基、カルボキシル基、スルホ基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、カルバモイル基、スルファモイル基などが挙げられる。RP1およびRP2は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基が好ましく、RP3およびRP4は水素原子または炭素数1~8のアルキル基より好ましくはメチル基が好ましく、両方が水素原子である場合が最も好ましい。これらのノボラック樹脂の具体例としては、群栄化学工業株式会社からエポキシ樹脂硬化剤用として、フェノールノボラック樹脂製品名レヂトップPSM-4261、レヂトップPSM-4324、レヂトップPSM-4326、レヂトップPSM-4327、クレゾールノボラック樹脂製品名PS-6937、レヂトップPSF-2803、レヂトップPSF―2808いずれも群栄化学社製などが市販されている。また、フェノライトLA-7052、LA-7054いずれもDIC社製が挙げられ、その他住友ベークライト株式会社、日立化成工業株式会社等からもエポキシ樹脂硬化剤用として市販されているノボラック樹脂を用いることができる。トリアジン環化合物としては、下記一般式Tで表される化合物が好ましい。一般式Tにおいて、RT1およびRT2は各々独立に、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基またはアリールチオ基を表す。一般式Tで表されるトリアジン環化合物は、メラミン、ベンゾグアナミンまたはアセトグアナミンが好ましい。熱硬化剤の前記感光性組成物固形分中の固形分含有量は、通常0.01~15質量である。<難燃剤>本発明の感光性組成物は、難燃剤を含有する。難燃剤としては、リン系化合物や、ペンタブロモジフェニルエーテル、オクタブロモジフェニルエーテル、デカブロモジフェニルエーテル、テトラブロモビスフェノールA、ヘキサブロモシクロドデカンのような臭素化化合物、塩素化パラフィンのような塩素化化合物などが挙げられるが、リン含有難燃剤が好ましい。<リン含有難燃剤>リン含有難燃剤としては、例えば縮合リン酸化合物、ポリリン酸メラミン塩、フォスファゼン化合物、有機ホスフィン酸金属塩、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。縮合リン酸化合物としては、例えばレゾルシノールビス-ジフェニルホスフェート、レゾルシノールビス-ジキシレニルホスフェート、ビスフェノールAビス-ジフェニルホスフェートなどがあり、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えばCR-733S、CR-741、CR-747、PX-200以上、大八化学株式会社製、FP-600、FP-700、レオフォスRDP、レオフォスBAPP、などが挙げられる。ポリリン酸メラミン塩としては、例えば下記一般式で表される化合物であり、nは1以上の数を表す。市販品を用いることができる。該市販品としては、例えばAP750、AP760、OP1312以上、クラリアントジャパン社製、FP-2100J、FP-2200、ヒシガード6ME、FCP-770などが挙げられる。フォスファゼン化合物としては、例えば下記一般式で表される化合物が挙げられ、Rは水素原子、又は炭素数1~8のアルキル基であり、市販品を用いることができる。該市販品としては、例えばSPS-100などが挙げられる。有機ホスフィン酸金属塩としては、例えば下記一般式で表されるものであり、APおよびBPは各々独立に、アルキル基またはアリール基を表し、Mは、Mg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Zn、Fe、Zr、Ce、Bi、Sr、Mn、Ni、及びNaから選択される少なくとも1種であり、mは1~4の整数を表す。ここで、Mは、Alが好ましい。また、AおよびBは炭素数1~6のアルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。有機ホスフィン酸金属塩は、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えばOP-935クラリアントジャパン社製などが挙げられる。本発明においては、有機ホスフィン酸金属塩が特に好ましい。リン含有難燃剤の前記感光性組成物固形分中の含有量は、10質量~35質量が好ましく、15質量~30質量がより好ましい。前記含有量が、10質量未満であると、十分な難燃性が保てないことがあり、35質量を超えると、解像性の悪化、耐折性の悪化、絶縁信頼性の悪化となることがある。<その他の成分>前記その他の成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、フィラー、熱重合禁止剤、可塑剤、着色剤着色顔料あるいは染料などが挙げられ、更に基材表面への密着促進剤及びその他の助剤類例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤などを併用してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、目的とする感光性フィルムの安定性、写真性、膜物性などの性質を調整することができる。前記フィラーについては、例えば特開2008-250074号公報の段落0098~0099などが挙げられる。前記熱重合禁止剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0101~0102などが挙げられる。なお、本発明においては、感光性組成物中に無機フィラーである無機微粒子を含有しないことが好ましく、含有したとしても感光性組成物の固形分比で10質量未満、より好ましくは1質量未満である。前記可塑剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0103~0104などが挙げられる。前記着色剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0105~0106などが挙げられる。前記密着促進剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0107~0109などが挙げられる。感光性ドライフィルム本発明の感光性ドライフィルムは、少なくとも、キャリアフイルム支持体フイルムと、該キャリアフイルム上に本発明の感光性組成物を含む感光層とを有し、更に必要に応じて、その他の層を有する。<キャリアフイルム>キャリアフイルムとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光層を剥離可能であり、かつ光の透過性が良好であるものが好ましく、更に表面の平滑性が良好であることがより好ましい。キャリアフイルムとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008-250074号公報の段落0115~0117に記載の支持体などが挙げられる。<感光層>前記感光層は、本発明の前記感光性組成物を含む層であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。また、前記感光層の積層数としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、1層であってもよいし、2層以上であってもよい。前記感光層の形成方法としては、例えば、前記支持体の上に、本発明の前記感光性組成物を、水又は溶剤に溶解、乳化又は分散させて感光性組成物溶液を調製し、該溶液を直接塗布し、乾燥させることにより積層する方法などが挙げられる。前記感光性組成物溶液に用いる溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。前記塗布の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スピンコーター、スリットスピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーター等を用いて、前記支持体に直接塗布する方法などが挙げられる。前記乾燥の条件としては、各成分、溶媒の種類、使用割合等によっても異なるが、通常60°C~110°Cの温度で30秒間~15分間程度である。前記感光層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1μm~100μmが好ましく、2μm~50μmがより好ましく、4μm~30μmが特に好ましい。<その他の層>前記その他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、保護フィルム、熱可塑性樹脂層、バリア層、剥離層、接着層、光吸収層、表面保護層等の層が挙げられる。前記感光性ドライフィルムは、これらの層を1種単独で有していてもよいし、2種以上を有していてもよい。-保護フィルム-前記感光性フィルムは、前記感光層上に保護フィルムを形成してもよい。前記保護フィルムとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008-250074号公報の段落0118に記載の保護フィルムなどが挙げられる。前記保護フィルムと前記支持体との組合せとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008-250074号公報の段落0118に記載の組合せなどが挙げられる。また、前記支持体と前記保護フィルムとの静摩擦係数は、0.3~1.4が好ましく、0.5~1.2がより好ましい。前記静摩擦係数が、0.3以上であれば、滑り過ぎによって、ロール状にした場合に巻ズレが発生することを防止でき、1.4以下であれば、良好なロール状に巻くことができる。前記感光性ドライフィルムの長さ、保管方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008-250074号公報の段落0120に記載の長さ、保管方法などが挙げられる。前記保護フィルムは、前記保護フィルムと前記感光層との接着性を調整するために表面処理してもよい。前記表面処理は、例えば、前記保護フィルムの表面に、ポリオルガノシロキサン、弗素化ポリオレフィン、ポリフルオロエチレン、ポリビニルアルコール等のポリマーからなる下塗層を形成させる。該下塗層の形成は、前記ポリマーの塗布液を前記保護フィルムの表面に塗布した後、30°C~150°Cで1分間~30分間乾燥させることにより形成させることができる。前記乾燥の際の温度は50°C~120°Cが特に好ましい。感光性積層体本発明の感光性積層体は、少なくとも基体と、前記基体上に感光層とを有してなり、更に必要に応じて、その他の層を積層してなる。前記感光層は、本発明の前記感光性組成物を含む層である。前記感光層は、例えば、上述の製造方法で作製された前記感光性ドライフィルムから転写されたものであり、上述と同様の構成を有する。<基材>前記基材基体は、感光層が形成される被処理基材、又は本発明の感光性フィルムの少なくとも感光層が転写される被転写体となるもので、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、表面平滑性の高いものから凸凹のある表面を持つものまで任意に選択できるが、板状の基材、いわゆる基板が好ましい。具体的には、公知のプリント配線板製造用の基板プリント基板、ガラス板ソーダガラス板など、合成樹脂性のフィルム、紙、金属板などが挙げられ、本発明においてはポリイミドフイルムが特に好ましい。<感光性積層体の製造方法>前記感光性積層体の製造方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、本発明の感光性ドライフィルムにおける少なくとも感光層を加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら転写して積層する方法などが挙げられる。前記感光性積層体の製造方法の一例は、前記基体の表面に本発明の感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層する方法である。なお、前記感光性ドライフィルムが前記保護フィルムを有する場合には、該保護フィルムを剥離し、前記基体に前記感光層が重なるようにして積層するのが好ましい。前記加熱温度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、15°C~180°Cが好ましく、60°C~140°Cがより好ましい。前記加圧の圧力としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、0.1MPa~1.0MPaが好ましく、0.2MPa~0.8MPaがより好ましい。前記加熱の少なくともいずれかを行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ラミネータ例えば、大成ラミネータ株式会社製、VP-II、ニチゴーモートン株式会社製、VP130などが好適に挙げられる。本発明の感光性ドライフィルム及び前記感光性積層体は、電子材料分野における高精細な永久パターンの形成用として広く用いることができ、プリント基板、特にフレキシブル配線基板の永久パターン形成用に好適に用いることができる。永久パターン形成方法本発明の永久パターン形成方法は、露光工程を少なくとも含み、更に必要に応じて、その他の工程を含む。<露光工程>前記露光工程は、本発明の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行う工程であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、本発明の前記感光性積層体における感光層に対して露光を行う工程などが挙げられる。前記露光の対象としては、前記感光層である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、基材上に感光性ドライフィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層して形成した積層体に対して行われることが好ましい。前記露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、デジタル露光、アナログ露光などが挙げられる。<その他の工程>前記その他の工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材の表面処理工程、現像工程、硬化処理工程、ポスト露光工程などが挙げられる。-現像工程-前記現像工程は、前記感光層の未露光部分を除去する工程である。前記露光部分の除去方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像液を用いて除去する方法などが挙げられる。前記現像液としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008-250074号公報の段落0171~0173に記載の現像液などが挙げられる。-硬化処理工程-前記硬化処理工程は、前記現像工程が行われた後、形成されたパターンにおける感光層に対して硬化処理を行う工程である。前記硬化処理工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、全面露光処理、全面加熱処理などが好適に挙げられる。前記全面露光処理、及び前記全面加熱処理の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2008-250074号公報の段落0176~0177に記載の方法などが挙げられる。前記永久パターンの形成方法が、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかを形成する永久パターン形成方法である場合には、プリント基板上、特に本発明においてはフレキシブル配線基板上に前記永久パターン形成方法により、永久パターンを形成し、更に、以下のように半田付けを行うことができる。即ち、前記現像により、前記永久パターンである硬化層が形成され、前記プリント基板の表面に金属層が露出される。該プリント配線板の表面に露出した金属層の部位に対して金メッキを行った後、半田付けを行う。そして、半田付けを行った部位に、半導体や部品などを実装する。このとき、前記硬化層による永久パターンが、保護膜あるいは絶縁膜層間絶縁膜、ソルダーレジスト、特にフレキシブルソルダーレジストとしての機能を発揮し、外部からの衝撃や隣同士の電極の導通が防止される。プリント基板プリント基板、特に本発明で好ましいフレキシブル配線基板は、少なくとも基体と、前記永久パターン形成方法により形成された永久パターンと、を有してなり、更に、必要に応じて適宜選択した、その他の部材を有する。その他の部材としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材と前記永久パターン間に、更に絶縁層が設けられたビルドアップ基板などが挙げられる。以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら制限されるものではない。なお、実施例中の部は質量部を表す。なお、調製例における酸価、質量平均分子量は、以下の方法により測定した。<酸価>前記酸価は、JISK0070に準拠して測定した。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用した。<質量平均分子量>前記質量平均分子量は、高速GPC装置東洋曹達社製HLC-802Aを使用して測定した。即ち、0.5質量のTHFテトラヒドロフラン溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgelHZM-M1本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25°Cで屈折率検出器により測定した。次に、標準ポリスチレンで較正した分子量分布曲線より質量平均分子量を求めた。調製例1<酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂PU1の合成>コンデンサー、及び撹拌機を備えた1Lの3つ口丸底フラスコに、2,2-ビスヒドロキシメチル酪酸DMBA15.00g0.101モル、グリセロールモノメタクリレートGLM31.83g0.199モル、ポリテトラメチレングリコール分子量1000PTMG100075g0.075モル及びリンゴ酸6.03g0.045モルをシクロヘキサノン300mLに溶解した。これに、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI23.46g0.094モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI47.30g0.281モル、2,6-ジ-t-ブチルヒドロキシトルエン0.6g、及び触媒として、商品名:ネオスタンU-600日東化成社製、無機ビスマス0.6gを添加し、75°Cにて、5時間加熱撹拌した。室温まで冷却後、シクロヘキサノンで濃度調整して、固形分濃度40質量の酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂PU1溶液を得た。得られた酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂PU1の質量平均分子量は8,600、固形分酸価は54mgKOH/g、エチレン性不飽和基当量は1.0mmol/gであった。調製例2<酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂PU2の合成>調製例1において、2,2-ビスヒドロキシメチル酪酸DMBA15.00g0.101モル、グリセロールモノメタクリレートGLM31.83g0.199モル、ポリテトラメチレングリコール分子量1000PTMG100075g0.075モル及びリンゴ酸6.03g0.045モルの組み合わせを、2,2-ビスヒドロキシメチル酪酸DMBA15.00g0.101モル、グリセロールモノメタクリレートGLM31.83g0.199モル、ETERNACOLUH-100宇部興産製、分子量100075g0.075モル及びリンゴ酸6.03g0.045モルとの組合せに代えたこと以外は、調製例1と同様にして、固形分濃度40質量の酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂PU2溶液を得た。得られた酸変性のエチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂PU2の質量平均分子量は8,800、固形分酸価は54mgKOH/g、エチレン性不飽和基当量は1.0mmol/gであった。調製例3顔料分散液1の調製フタロシアニンブルーを0.75質量部と、アントラキノン系黄色顔料PY240.22質量部と、メラミン23.1質量部と、シクロヘキサノン156.0質量部を秤量し、直径0.65mmのジルコニアビーズが充填されたモーターミルM-250アイガー社製分散機を用いて分散し、プレ顔料分散液1を得た。調製例4顔料分散液2の調製フタロシアニンブルーを0.75質量部と、アントラキノン系黄色顔料PY240.22質量部と、レヂトップPSM620023.1質量部と、2-エチル-4-メチルイミダゾール1.1質量部と、シクロヘキサノン156.0質量部を秤量し、直径0.65mmのジルコニアビーズが充填されたモーターミルM-250アイガー社製分散機を用いて分散し、プレ顔料分散液2を得た。調製例5顔料分散液3の調製フタロシアニンブルーを0.75質量部と、アントラキノン系黄色顔料PY240.22質量部と、フェノライトLA705238.5質量部と、2-エチル-4-メチルイミダゾール1.1質量部と、シクロヘキサノン140.6質量部を秤量し、直径0.65mmのジルコニアビーズが充填されたモーターミルM-250アイガー社製分散機を用いて分散し、プレ顔料分散液3を得た。調製例6難燃剤分散液1の調製調製例1で合成したポリウレタン樹脂PU1溶液452質量部と、有機ホスフィン酸金属塩EXOLITOP-935クラリアント社製78.7質量部と、BYK-W903ビックケミー社製3.9質量部と、シクロヘキサノン65.0質量部を秤量し、直径0.65mmのジルコニアビーズが充填されたモーターミルM-250アイガー社製分散機を用いて分散し、難燃剤分散液1を得た。調製例7難燃剤分散液2の調製調製例2で合成したポリウレタン樹脂PU2溶液452質量部と、有機ホスフィン酸金属塩EXOLITOP-935クラリアント社製78.7質量部と、BYK-W903ビックケミー社製3.9質量部と、シクロヘキサノン65.0質量部を秤量し、直径0.65mmのジルコニアビーズが充填されたモーターミルM-250アイガー社製分散機を用いて分散し、難燃剤分散液2を得た。実施例1<感光性ソルダーレジスト組成物塗布液の調製>下記の各成分を混合し、感光性ソルダーレジスト組成物塗布液を調製した。調製例2で合成した酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂PU28.0質量部ラジカル重合性化合物:A-DPH新中村化学工業株製5.5質量部光重合開始剤:IRG907チバスペシャリティケミカル株製0.6質量部増感剤:DETX日本化薬株式会社製0.06質量部増感剤:EAB-F保土ヶ谷化学株製0.18質量部熱架橋剤:EXA-4850-150DIC社製6.0質量部調製例3で調製した顔料分散液1:5.1質量部調製例4で調製した難燃剤分散液1:32.5質量部その他:メガファックF-780F0.6質量部大日本インキ株製:30質量メチルエチルケトン溶液-感光性ソルダーレジストフィルムの作製-支持体として、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィムPETを用い、該支持体上に前記感光性ソルダーレジスト組成物塗布液をバーコーターにより、乾燥後の感光層2の厚みが約38μmになるように塗布し、80°C、30分間熱風循環式乾燥機中で乾燥させ、感光性ソルダーレジストフィルムを作製した。<感光材料硬化物積層体の形成>-硬化前積層体1の調製-次に、前記基材として、エスパネックスポリイミド25μm、銅箔18μmの銅箔をエッチングして除去したポリイミドフィルム25μmを調製した。該基板上に、前記感光性ソルダーレジストフィルムの感光層が前記基板に接するようにして、真空ラミネーター名機製作所製、MVLP500を用いて積層させ、前記基板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム支持体とがこの順に積層された積層体を調製した。圧着条件は、圧着温度50°C、圧着圧力0.2MPa、ラミネート速度1m/分とした。-硬化前積層体2の調製-前記基材として、エスパネックスポリイミド12.5μm、銅箔18μmの銅箔をエッチングして除去したポリイミドフィルム12.5μmを調製した。該基板上に、前記感光性ソルダーレジストフィルムの感光層が前記基板に接するようにして、真空ラミネーター名機製作所製、MVLP500を用いて積層させ、前記基板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム支持体とがこの順に積層された積層体を調製した。次に裏面も同様に積層した。圧着条件は、圧着温度50°C、圧着圧力0.2MPa、ラミネート速度1m/分とした。-硬化前積層体3の調製-次に、前記基材として、エスパネックスポリイミド25μm、銅箔18μmの表面を、硫酸/過酸化水素液CA5330A、メック株製にて酸洗浄処理を施した。該基板上に、前記感光性ソルダーレジストフィルムの感光層が前記基板に接するようにして、真空ラミネーター名機製作所製、MVLP500を用いて積層させ、前記基板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム支持体とがこの順に積層された積層体を調製した。圧着条件は、圧着温度50°C、圧着圧力0.2MPa、ラミネート速度1m/分とした。-露光工程-前記調製した積層体における感光層に対し、ポリエチレンテレフタレートフィルム支持体側から、エネルギー量150mJ/cm2を照射し露光し、前記感光層を硬化させた。ポリイミドフィルムの両面に感材層がある場合は、両面を同様の条件にて露光し硬化させた。-熱硬化処理工程-前記の硬化工程後の積層体からPETフィルムを剥がし、160°Cで1時間加熱処理を施した。<評価方法>-表面タック性-25μm厚のポリエチレンテレフタレート支持体上に感光液を塗布乾燥し、38μm厚の感光層を形成し、室温下で16μm厚のポリプロピレンカバーフィルムを積層後、一晩放置し、その後カバーフィルムを該感光層から剥離して、該カバーフィルムの剥離性をテストした。得られた結果を下記表2に示す。評価基準○:容易に剥がれる。△:剥がすのに少し力を要するが、実用上問題なし。×:剥がすのに力を要し、表面形状にスジやシワが入る。-熱硬化処理後の反り-前記硬化前積層体1を50mm角に切り出し、露光、熱硬化処理を施した。処理後の積層体を水平な台に置いたときの四つ角の反り量を測定した。得られた結果を下記表2に示した。評価基準○:反り量が5mm以下。△:反り量が5mmより大きく、8mm以下。×:反り量が8mmより大きい。-難燃性-前記硬化前積層体2に露光、熱硬化処理を施した。処理後の積層体を用い、UL-94VTM試験の条件に準拠した方法にて難燃性を評価した。得られた結果を下記表2に示した。○:第一接炎の燃焼時間と第二接炎の燃焼時間の合計が10秒以下。△:第一接炎の燃焼時間と第二接炎の燃焼時間の合計が10秒より大きく、20秒以下。×:第一接炎の燃焼時間と第二接炎の燃焼時間の合計が20秒より大きい。-解像性の評価-前記硬化前積層体3を室温23°Cで55RHにて10分間静置した。得られた感光性積層体のポリエチレンテレフタレートフィルム支持体上から、前記パターン形成装置を用いて、丸穴パターンを用い、丸穴の直径の幅100~200μmの丸穴が形成できるよう露光を行った。この際の露光量は、前記感度の評価における前記感光性フィルムの感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量である。室温にて10分間静置した後、前記感光性積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム支持体を剥がし取った。感光層の全面に、前記現像液として30°Cの1質量炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.15MPaにて未硬化領域を溶解除去した。このようにして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層版の表面を光学顕微鏡で観察し、パターンの丸穴底部に残渣が無いこと、パターン部の捲くれ剥がれなどの異常が無く、かつスペース形成可能な最小の丸穴パターン幅を測定し、これを解像度とし、下記基準で評価した。該解像度は数値が小さいほど良好である。結果を下記表2に示す。評価基準○:直径100μm以下の丸穴が解像可能で、解像性に優れている。△:直径100μmより大きく、150μm以下の丸穴が解像可能で、解像性がやや劣る。×:丸穴が解像不可で、解像性が劣る。実施例2~6、比較例1~3上記実施例1において、バインダー樹脂の酸変性エチレン性不飽和基含有ポリウレタン樹脂、エポキシ熱架橋剤、顔料分散液、顔料分散液中の硬化剤および難燃剤を下記表1のように変更した以外は実施例1と同様にして、実施例2~6および比較例1~3を行った。なお、上記におけるエポキシ熱架橋剤のEXA-4850-150、EXA-4850-1000およびHP-7200はいずれもDIC社製商品名のものであり、エポキシ熱架橋剤のYDF-170は新日鐵化学社製商品名のものである。また、上記における硬化剤のレヂトップPSM-6200は、群栄化学社製商品名:フェノールノボラック樹脂のものであり、フェノライトLA-7052は、DIC社製商品名:アミノトリアジン変性ノボラック樹脂である。ここで、エポキシ当量の単位はg/eqである。これらの上記実施例、比較例における得られた結果をまとめて、下記表2に示した。上記表2から明らかなように、エポキシ当量300g/eqを超えるエポキシ化合物と難燃剤を使用することで、表面タック、解像性、熱硬化後の反り、難燃性に優れた保護膜を得ることができる。"