"信号光を略平行光とするコリメート光学系と、前記略平行光を分光する分光素子と、前記分光素子で分光された分光光を受光する集光光学系と、複数の反射鏡が、少なくとも前記分光素子による分光方向に1次元に配列されて空間光変調素子面を形成し、前記複数の反射鏡の各々が、少なくとも所定の1次元方向に回転可能な空間光変調素子と、前記空間光変調素子で反射された前記分光光を受光する投影光学系と、複数の受光素子が、少なくとも前記投影光学系の光軸と略直交する面内における前記空間光変調素子の前記回転可能な1次元方向に配列された受光器と、を有し、前記受光器の配置位置は、前記投影光学系の光軸と略直交する面内における前記空間光変調素子の前記回転可能な1次元方向に関して前記投影光学系の後側焦点位置であることを特徴とする分光器。前記投影光学系は、前記投影光学系の光軸に直交する面内における前記空間光変調素子の前記回転可能な1次元方向の屈折力と前記1次元方向に略直交する方向の屈折力とが異なり、前記空間光変調素子及び前記受光器は、前記投影光学系を介して、前記空間光変調素子の前記回転可能な1次元方向と略直交する方向に関して共役関係であることを特徴とする請求項1に記載の分光器。前記投影光学系は、前記光軸に回転対称な屈折力を有し、前記受光器の配置位置は、前記投影光学系の光軸と略直交する面内における前記空間光変調素子の前記回転可能な1次元方向に関して前記投影光学系の後側焦点位置であることを特徴とする請求項1に記載の分光器。前記投影光学系は、前記投影光学系の光軸と略直交する面内における前記空間光変調素子の前記回転可能な1次元方向と略直交する方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項2に記載の分光器。前記集光光学系は、前記集光光学系の光軸と略直交する面内における空間光変調素子の回転可能な1次元方向と略直交する方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項1、2、4のいずれか一項に記載の分光器。前記集光光学系は、前記集光光学系の光軸に回転対称な屈折力を有することを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の分光器。前記受光器は、前記投影光学系の光軸と直交する面内に前記複数の受光素子が2次元に配列され、前記空間光変調素子の前記複数の反射鏡の各々は、前記投影光学系の光軸と直交する面内における前記空間光変調素子の前記回転可能な1次元方向と直交する方向に回転可能であることを特徴とする請求項3に記載の分光器。前記信号光は、光ファイバの端面から射出されて前記コリメート光学系に入射するように構成されることを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の分光器。光源からの光を走査して対物レンズにより標本に集光し、前記標本から射出した信号光を前記対物レンズで集光する顕微鏡と、前記顕微鏡からの前記信号光を分光して検出する請求項1~8のいずれか一項に記載の分光器と、を有することを特徴とする顕微分光システム。上述のように共焦点顕微鏡に分光器を接続することで詳細なスペクトルデータが得られる蛍光顕微鏡を構成することができるが、実際にはスペクトルの形状の情報が必要となることは稀で、ある特定の波長域の蛍光強度の積分値のみが得られれば十分な場合も多い。具体的には単一の蛍光色素で標識した標本や蛍光波長域が十分に離れた既知の色素で多重標識した標本の観測を行う場合などスペクトルの形状そのものは重要ではなく、各蛍光色素の画像中での分布が得られれば十分であるような標本観察の機会が多い。従来の分光器ではその構成上、決まった分解能での分光情報が常に得られるかわりに、受光器の各チャンネルに入ってくる光量が少なくなり感度が十分でなく、S/Nも良くない。多チャンネルの受光器を利用しその出力に対して電気的な積分、もしくは、電気信号をA/D変換後に数値積分をすることで必要な蛍光波長範囲の信号強度を得ることもできるが、一般に多チャンネルの受光器は単一の受光器に比べて信号のS/Nや検出ダイナミックレンジが劣ることから十分なS/Nでの観察が困難であるという課題があった。本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、必要以上に波長分割をすることなく、必要最小限の受光素子で十分なS/Nを持った分光を行うことができる分光器及びこの分光器を有する顕微分光システムを提供することを目的とする。前記課題を解決するために、本発明に係る分光器は、信号光を略平行光とするコリメート光学系と、略平行光を分光する分光素子と、分光素子で分光された分光光を受光する集光光学系と、複数の反射鏡が、少なくとも分光素子による分光方向に1次元に配列されて空間光変調素子面を形成し、複数の反射鏡の各々が、少なくとも所定の1次元方向に回転可能な空間光変調素子と、空間光変調素子で反射された分光光を受光する投影光学系と、複数の受光素子が、少なくとも投影光学系の光軸と略直交する面内における空間光変調素子の回転可能な1次元方向に配列された受光器と、を有し、受光器の配置位置は、投影光学系の光軸と略直交する面内における空間光変調素子の回転可能な1次元方向に関して投影光学系の後側焦点位置であることを特徴とする。このような分光器において、投影光学系は、この投影光学系の光軸に直交する面内における空間光変調素子の回転可能な1次元方向の屈折力とこの1次元方向に略直交する方向の屈折力とが異なり、空間光変調素子及び受光器は、投影光学系を介して、空間光変調素子の回転可能な1次元方向と略直交する方向に関して共役関係であることが好ましい。また、このような分光器において、投影光学系は、光軸に回転対称な屈折力を有し、受光器の配置位置は、投影光学系の光軸と略直交する面内における空間光変調素子の回転可能な1次元方向に関して投影光学系の後側焦点位置であることが好ましい。また、このような分光器において、投影光学系は、投影光学系の光軸と略直交する面内における空間光変調素子の回転可能な1次元方向と略直交する方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズであることが好ましい。また、このような分光器において、集光光学系は、この集光光学系の光軸と略直交する面内における空間光変調素子の回転可能な1次元方向と略直交する方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズであることが好ましい。また、このような分光器において、集光光学系は、この集光光学系の光軸に回転対称な屈折力を有することが好ましい。また、このような分光器において、受光器は、投影光学系の光軸と直交する面内に複数の受光素子が2次元に配列され、空間光変調素子の複数の反射鏡の各々は、投影光学系の光軸と直交する面内における空間光変調素子の回転可能な1次元方向と直交する方向に回転可能であることが好ましい。また、このような分光器において、信号光は、光ファイバの端面から射出されてコリメート光学系に入射するように構成されることが好ましい。また、本発明に係る顕微分光システムは、光源からの光を走査して対物レンズにより標本に集光し、この標本から射出した信号光を対物レンズで集光する顕微鏡と、顕微鏡からの信号光を分光して検出する上述の分光器のいずれかと、を有することを特徴とする。本発明によれば、必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子で十分なS/Nを持った分光を行うことができる分光器及びこの分光器を有する顕微分光システムを提供することができる。[第1の実施形態]以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図1~図3を用いて第1の実施形態に係る分光器を有する顕微分光システムの構成について説明する。図1に示すように、この顕微分光システム1は、光源系10、共焦点ユニット20及び顕微鏡30を有する共焦点顕微鏡と、分光器40と、制御部50と、を有する。この顕微分光システム1において、共焦点ユニット20と分光器40とは、ファイバカプラ29a,29bを介して光ファイバ28により光学的に接続されている。光源系10は、レーザ装置11と、光ファイバ13と、ファイバカプラ12,14と、を有する。レーザ装置11は、例えば、レーザーダイオードを備え、目的の波長特性を有する照明光を射出する。この照明光は、光ファイバ13を介して共焦点ユニット20に導かれる。なお、図1の例では、照明光として、標本33を励起して蛍光を発光させるための励起光を射出する。共焦点ユニット20は、光源系10からの照明光を略平行光束とするコリメートレンズ21と、ダイクロイックミラー22と、走査ユニット23と、スキャナレンズ24と、集光レンズ25と、ピンホール26aを有するピンホール板26と、リレーレンズ27と、を有する。また、顕微鏡30は、第2対物レンズ31及び対物レンズ32と、標本33が載置されるステージ34と、を有する。これらの共焦点ユニット20と顕微鏡30とを組み合わせて走査型共焦点顕微鏡が構成される。なお、ダイクロイックミラー22は、光源系10から射出されたレーザ光を顕微鏡30側に反射し、このレーザ光により励起した標本33から放射される蛍光を透過するように構成されている。また、集光レンズ25の像側焦点は、ピンホール板26のピンホール26aと略一致するように配置されている。光源である光源系10のレーザ装置11から射出されたレーザ光励起光はファイバカプラ12を介して光ファイバ13に導入される。さらにこの光ファイバ13を通ったレーザ光はファイバカプラ14から共焦点ユニット20のコリメートレンズ21に入射する。そして、このレーザ光はコリメートレンズ21で略平行光に変換された後、ダイクロイックミラー22で顕微鏡30側の光路に反射され、直交配置された2つのガルバノミラーからなる走査ユニット23及びスキャナレンズ24に導入されて、二次元的に走査される。走査されたレーザ光は、第2対物レンズ31で略平行光にされた後、対物レンズ32で集光され、標本33上の1点に集光される。なお、走査ユニット23により二次元的に走査される標本33上の位置は、制御部50により走査ユニット23におけるガルバノミラーの動作を制御することにより制御される。そして、このレーザ光により励起された標本33から放射された蛍光信号光は、対物レンズ32で略平行光に変換され、レーザ光励起光と逆の経路を辿ってダイクロイックミラー22に入射する。さらに、ダイクロイックミラー22に入射した蛍光はこのダイクロイックミラー22を透過し、集光レンズ25によりピンホール板26のピンホール26a上に集光される。ピンホール26aを通過した光は、リレーレンズ27を経て、ファイバカプラ29aから光ファイバ28に導かれる。リレーレンズ27を介すると、図1に示すように、ピンホール26aを通過した光が、そのままであると発散光束となるところを、再び、集光され、光ファイバ28の開口端において、見かけ上、小さな開口径でも、有効にロスが少なく入射できるようになる。ここで、ピンホール26aに形成される集光点は標本33上での光スポットの像となっているため、標本33上の他の点から発した光がたとえあったとしても、ピンホール26aでは像を結ばずピンホール板26により遮られ、ファイバカプラ29aにほとんど到達できない。そのため、このピンホール26aを通過できた光のみが、リレーレンズ27を介してファイバカプラ29aに到達できる。この結果、走査型共焦点顕微鏡では高い横分解能だけでなく、高い縦分解能を持って標本を観察できる顕微鏡となっている。ファイバカプラ29aに入射した蛍光は、光ファイバ28を通り、ファイバカプラ29bを介して分光器40に導入される。図2に示すように、分光器40は、光ファイバ28から入射する信号光図1の例では蛍光を略平行光束とするコリメート光学系41と、分光特性を有する波長分散素子以下分光素子と呼ぶである回折格子42と、2次元に微小反射鏡微小鏡が配列されて空間光変調面を形成する空間光変調素子44と、回折格子42で波長分散を受けた信号光分光光を空間光変調素子44の空間光変調素子面上に2次元に集光する集光光学系43と、複数の受光素子46aがアレー状に並べられた受光素子アレーを有して受光面を形成する受光器46と、空間光変調素子44で反射された信号光分光光を受光器46の受光面に結像させる投影光学系45と、を有する。以下、この分光器40の光軸方向光ファイバ28から出射した信号光が進む中心方向をZ軸とし、この光軸に直交する面内において水平方向をX軸とし、垂直方向をY軸として説明する。この分光器40では、光ファイバ28により導入された信号光を、コリメート光学系41により略平行光とし、回折格子42に照射する。この回折格子42は、X軸方向に延びる回折格子溝が微小間隔でY軸方向に複数並んで刻まれている。そのため、この回折格子42に入射した信号光は、Y軸方向に回折される。このとき回折角はその波長によって決まるため、この信号光はY軸方向に波長に応じて分散され、分光される。すなわち、光軸に直交する面内において、回折格子42による分光方向がY軸方向に相当し、この分光方向に直交する方向がX軸方向に相当する。そして、このようにして分光された信号光分光光は集光光学系43に入射する。この集光光学系43は、X軸方向とY軸方向の屈折力が異なるように構成されており、この図2においてはY軸方向の屈折力がX軸方向の屈折力より大きくなるように構成されている。例えば、この2次元集光光学系43としては、Y軸方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズを用いることができる。そのため、この集光光学系43に入射した分光光は、X軸方向には同一の長さであるがY軸方向に並ぶライン毎に異なる光波長からなる光パターンが生成され、空間光変調素子44上に投影される。例えば、図2の構成の場合、回折格子42でY軸方向上側に回折された分光光LI1は、集光光学系43により空間光変調素子44のY軸方向上側に光パターンIM11として集光される。また、回折格子42でY軸方向下側に回折された分光光LI2は、集光光学系43により空間光変調素子44のY軸方向下側に光パターンIM12として集光される。空間光変調素子44は、図3に示すような構造をした微小鏡44aが1次元、若しくは2次元に配列しているものである。各微小鏡44aはヒンジ44bで支えられた軸44cの周りに電極44dに加えられた電圧によって所定の1次元方向本実施形態では分光方向と略直交する方向であるX軸方向に鏡面を傾斜させる回転させることができるように構成されている。一般に極端に縦横の長さの異なる微小鏡44aは製造が困難であることから、縦横の空間光変調素子44として十分な横幅が得られない場合には2次元配列したものを利用し、X軸方向に並ぶ微小鏡44aのX軸方向の各ラインに同一の制御を行うことで、あたかもY軸方向の幅が狭くX軸方向に長い鏡があるようにすることもできる。空間光変調素子44において反射された信号光分光光は、投影光学系45によって受光器46に導かれる。なお、受光器46の複数の受光素子46aは、X軸方向にアレー状に並んで配置されている。すなわち、受光器46の受光素子46aは、空間光変調素子44の微小鏡44aの回転可能な1次元方向X軸方向に配列されている。この投影光学系45は、光軸に対して回転対称な屈折力を有する第1集光レンズ45aと、Y軸方向の屈折力の方がX軸方向の屈折力より大きい第2集光レンズ45bとからなり、合成焦点距離がY軸方向とX軸方向とで異なるように設計されている。このとき、受光器46は、投影光学系45の光軸と略直交する面内における分光方向と略直交する方向、すなわち、空間光変調素子44の微小鏡44aの回転可能な1次元方向X軸方向に関して、投影光学系45の後側焦点位置に配置されている。また、空間光変調素子44及び受光器46は、投影光学系45を介して、この投影光学系45の分光方向、すなわち、空間光変調素子44の微小鏡44aの回転可能な1次元方向と略直交する方向Y軸方向に関して、共役関係に配置されている。なお、この投影光学系45の第2集光レンズ45bも、Y軸方向分光方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズを用いることができる。上述のように、この第1の実施形態では投影光学系45のX軸方向の焦点距離は、この投影光学系45のX軸方向主面と受光器46との距離L2に等しくなるように設計されている。そのため、空間光変調素子44上の微小鏡44aによる信号光分光光の反射方向に依存して受光器46を構成する受光素子46aのうちのどの受光素子46aに入射するかを選択することができる。一方、投影光学系45のY軸方向の焦点距離に関しては、空間光変調素子44と受光器46とが共役になるように設計されている。すなわち、空間光変調素子44と投影光学系45のY軸方向主面との距離がL1である場合に、Y軸方向の焦点距離fが次式1を満足するように設計されている。f=L1×L2/L1L21このとき、空間光変調素子44の像が受光素子46aの受光領域に収まる必要があることから、投影光学系45のY軸方向の倍率は、受光素子46aと空間光変調素子44の大きさの比以下となっている必要がある。すなわち、投影光学系45のY軸方向の倍率は、受光素子46aの受光領域の大きさと空間光変調素子44の空間光変調素子面の大きさとの比以下となっている必要がある。ここで、投影光学系45の倍率は上述の距離L2と距離L1との比に等しいので、次式2の関係を満たす必要がある。L2/L1≦受光領域Y軸方向サイズ/空間光変調素子面Y軸方向サイズ2以上より、この第1の実施形態に係る分光器40においては、空間光変調素子44のX軸方向に並ぶ微小鏡44aから構成されるラインの各々に、分光された波長の異なる信号光が入射するため、ライン毎に微小鏡44aの傾斜角度を制御することにより、分光された信号光を波長毎にどの受光素子46aに入射させるかを制御することができる。例えば、空間光変調素子44のY軸方向上側に集光された光パターンIM11の反射光LO1は、X軸方向左側の受光素子46aに集光されて像IM21を形成し、空間光変調素子44のY軸方向下側に集光された光パターンIM12の反射光LO2は、X軸方向右側の受光素子46aに集光されて像IM22を形成している。なお、受光器46の受光素子46aは、これらの受光素子46aに入射する分光光の強度を検出し、その検出値が制御部50に渡され、制御部50で演算処理されて画像として図示しない表示装置等に出力される。それでは、この第1の実施形態に係る分光器40の具体的な設計手段を以下に示す。なお、集光光学系43及び第2集光レンズ45bについてはY軸方向空間光変調素子44の微小鏡44aの回転可能な1次元方向と略直交する方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズを用いる場合について説明する。まず、コリメート光学系41の焦点距離fcは、このコリメート光学系41を通過した後の光ビームの幅がおおよそ空間光変調素子44の横幅X軸方向幅と等しくなるようにすれば良いので、空間光変調素子44のX軸方向幅をWとすると、次の条件式3を満足すれば良い。但し、NAfは光ファイバ28の開口数である。W=2×fc×NAf3次に集光光学系シリンドリカルレンズ43のY軸方向の焦点距離f1については、波長としてλ1~λ2の範囲の信号光を分光して検出するために、回折格子42として格子定数dのものを使い、この回折格子42への入射角をθ1とすると、回折格子42からの出射角θ2は、sin1λ1/d-sinθ1からsin1λ2/d-sinθ1までの範囲となる。従って、回折格子42から出射する分光光の半画角Δθは次式4で表される。Δθ=sin1λ2/d-sinθ1-sin1λ1/d-sinθ1/24よって、空間光変調素子44の微小鏡44aのY軸方向のピクセルピッチをPSLMとし、Y軸方向に並ぶピクセル数をNSLMとすると、集光光学系43のY軸方向の焦点距離f1は、次の条件式5を満たすようにすれば良い。2×f1×sinΔθ=PSLM×NSLM5最後に投影光学系45の焦点距離については、X軸方向の焦点距離f2TとY軸方向の焦点距離f2Lとがあるが、これらはそれぞれ次のように決める。まず、受光素子46aの横幅X軸方向幅がWdTで、この受光素子46aがX軸方向にNd本並んでおり、空間光変調素子44の各微小鏡44aは±αmの偏向角を持つとすると、この投影光学系45のX軸方向の焦点距離f2Tは、次式6の関係を満たせば良い。f2T×sinαm=WdT×Nd/26なお、空間光変調素子44の縦幅Y軸方向幅がPSLM×NSLMとして表されるため、この空間光変調素子44で反射された分光光のうち、Y軸方向の成分が、投影光学系45で集光されて受光素子46aの縦幅Y軸方向幅WdLに入ればいいので、投影光学系45の倍率Mを次式7となるようにすれば良い。M=WdL/PSLM×NSLM7一方、投影光学系45のY軸方向の焦点距離f2Lは、投影光学系45から受光器46までの距離L2が、投影光学系45のY軸方向焦点距離f2Tに等しいので、空間光変調素子44と投影光学系45のY軸方向主面との距離がL1であれば、上述の式1の関係より、次式8のように表される。f2L=L1×f2T/L1f2T8このように設計された光学系において、光軸に対してX軸方向にk番目の位置にある受光素子46aに入射させる際には、空間光変調素子44でその蛍光波長を反射している微小鏡44aの傾きαを、次式9となるように制御すれば良い。なお、回折格子42で分光された波長毎の分光光をどの受光素子46aに入射させるかは、制御部50により空間光変調素子44の微小鏡44aの傾斜角を制御することにより選択することができる。α=sin1k×WdT/f2T9空間光変調素子44上の微小鏡44aはこの第1の実施形態のような光学配置の場合にはY軸方向に1次元に配列していることが望ましいが、微小鏡44aが2次元に配列していてもかまわない。その際にはY軸方向の同一高さにありX軸方向に並ぶ微小鏡44aが同一の反射角となるように制御されれば良い。蛍光検出をする際に使われる励起光など受光素子46aに入射することが望ましくない波長の光に関しては、空間光変調素子44上のその光の波長に対応する微小鏡44aの傾きを大きくすることで受光素子46aに入射しない方向に飛ばしてしまうこともできる。上記の設計手順において受光器46を構成する受光素子46aのうち最も端に位置するものをブランクにしてしまうことで、検出が不要な励起光についてはその位置に集光するように空間光変調素子44を制御することで、受光器46に対して不要な光が入射することを防ぐことができる。このように、この第1の実施形態に係る分光器40は、信号光の波長ごとに受光素子46aを選択することができるので、必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子46aで十分なS/Nを持った分光を行うことができる。さらに、励起光など不要な光が受光素子46aに入射して信号強度を乱したり受光素子46aを傷めたりすることを避けることができる。また、任意の励起波長が受光器46に入ることを避けられるので、特に複数の励起波長で観察する共焦点顕微鏡に最適である。また、この第1の実施形態に係る分光器40は、光ファイバ28を入射端としているので、容易に共焦点顕微鏡に接続することが可能である。すなわち、一般に共焦点顕微鏡では光検出をピンホールに接続した光検出器で行っているが、ピンホール透過後の光を光ファイバに入射させることで光検出器への光導入を容易に光ファイバで行うことが可能である。このようにして、分光機能を持った共焦点顕微鏡に適した分光器を構成することができる。[第2の実施形態]図4に、第2の実施形態に係る分光器140の構成を示す。第1の実施形態に係る分光器40との違いは、横方向XZ断面におけるX軸方向であって、空間光変調素子44の微小鏡44aの回転可能な1次元方向において光ファイバ28の射出端と空間光変調素子44とが共役関係であり、同様に横方向X軸方向において回折格子42と受光器46の受光面とが共役関係になったことである。なお、縦方向Y軸方向であって、空間光変調素子44の微小鏡44aの回転可能な1次元方向と略直交する方向の関係は第1の実施形態と同様であり、また、この第1の実施形態と同様の構成要素については、同一の符合を付し、詳細な説明は省略する。図4aに示す分光器140は、光ファイバ28から入射する信号光を略平行光とするコリメート光学系41と、分光特性を有する波長分散素子分光素子である回折格子42と、2次元に微小反射鏡微小鏡が配列された空間光変調素子44と、回折格子42で波長分散を受けた信号光分光光を空間光変調素子44の空間光変調素子面上に1次元に集光する集光光学系143と、複数の受光素子46aがX軸方向にアレー状に並べられた受光素子アレーを有する受光器46と、空間光変調素子44で反射した光を受光器46の受光面に結像させる投影光学系45と、を有する。この分光器140では、光ファイバ28を介して取り込まれた信号光を、コリメート光学系41により略平行光とし、回折格子42に照射する。この信号光は回折格子42で波長毎に異なる角度に分散されて集光光学系143により空間光変調素子44上に集光される。なお、空間光変調素子44は第1の実施形態と同様に、図3に示す構成を有している。また、この第2の実施形態において、集光光学系143は光軸に回転対称な屈折力を有している。そのため、回折格子42でY軸方向上側に回折された分光光LI1は、集光光学系143により空間光変調素子44のY軸方向上側に点像IM11として集光される。また、回折格子42でY軸方向下側に回折された分光光LI2は、集光光学系143により空間光変調素子44のY軸方向下側に点像IM12として集光される。空間光変調素子44で反射された分光光は投影光学系45によって受光器46に導かれる。ここで、投影光学系45は第1の実施形態と同様、光軸に回転対称な屈折力を有する第1集光レンズ45aと例えばシリンドリカルレンズで構成される第2集光レンズ45bとからなり、合成焦点距離がY軸方向とX軸方向で異なるように設計されている。なお、空間光変調素子44及び受光器46の投影光学系45に対する配置位置は、第1の実施形態と同様である。この第2の実施形態においても、投影光学系45のX軸方向の焦点距離は、第1の実施形態と同様に、投影光学系45のX軸方向主面と受光器46との距離L22に等しくなるように設計されており、図4bに示すように、空間光変調素子44上の微小鏡44aによる信号光分光光LI1の反射方向反射光LO1の方向に依存して受光器46を構成する受光素子46aのうちのどの受光素子46aに入射するかを選択することができる。また、投影光学系45のY軸方向の焦点距離に関しても、第1の実施形態と同様に、空間光変調素子44と受光器46とが共役となるように設計されている。すなわち、空間光変調素子44と投影光学系45のY軸方向主面との距離がL21である場合に焦点距離fが、次式10の関係となるように設定されている。f=L21×L22/L21L2210また、第1の実施形態と同様に、空間光変調素子44の像が受光素子46aの受光面に収まる必要があることから、投影光学系45のY軸方向の倍率は受光素子46aの受光領域の大きさと空間光変調素子44の空間光変調素子面の大きさとの比以下となっている必要がある。ここで、投影光学系45の倍率は距離L22と距離L21との比に等しいので、次式11の関係を満たす必要がある。L22/L21≦受光領域Y軸方向サイズ/空間光変調素子面Y軸方向サイズ11以下に、この第2の実施形態に係る分光器140の具体的な設計手段を示す。なお、第2集光レンズ45bについてはY軸方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズを用いる場合について説明する。まず、コリメート光学系41の焦点距離fcは、このコリメート光学系41を通過した後の光ビームの幅がおおよそ受光素子46aの横幅X軸方向幅と等しくなるようにすれば良いので、受光素子46aのX軸方向幅をW′とすると、次式12の関係を満足すれば良い。但し、NAfは光ファイバ28の開口数であり、f22T及びf21はそれぞれ下記の式から決まる投影光学系45のX軸方向の焦点距離及び集光光学系143の焦点距離である。W′≧f22T/f21×2×fc×NAf12次に集光光学系143の焦点距離f21については、波長としてλ1~λ2の範囲の信号光を検出するために、回折格子42として格子定数dのものを使い、回折格子42への入射角をθ1とすると、回折格子42からの出射角θ2は、sin1λ1/d-sinθ1からsin1λ2/d-sinθ1までの範囲となる。従って、回折格子42から出射する分光光の半画角Δθは第1の実施形態で示した式4で表される。よって、空間光変調素子44の微小鏡44aのY軸方向のピクセルピッチをPSLMとし、Y軸方向に並ぶピクセル数をNSLMとすると、集光光学系143の焦点距離f21は、次の条件式13を満たすようにすれば良い。2×f21×sinΔθ=PSLM×NSLM13最後に投影光学系45の焦点距離については、X軸方向の焦点距離f22TとY軸方向の焦点距離f22Lとがあるが、これらはそれぞれ次のように決める。まず、受光素子46aの横幅X軸方向幅がWdTで、この受光素子46aがX軸方向にNd本並んでおり、空間光変調素子44の各微小鏡44aは±αmの偏向角を持つとすると、この投影光学系45のX軸方向の焦点距離f22Tは、次式14の関係を満たせば良い。f22T×sinαm=WdT×Nd/214なお、空間光変調素子44の縦幅Y軸方向幅がPSLM×NSLMとして表されるため、この空間光変調素子44で反射された分光光のうち、Y軸方向に延びる光が、投影光学系45で集光されて受光素子46aの縦幅Y軸方向幅WdLに入ればいいので、投影光学系45の倍率Mは、第1の実施形態で示した式7となるようにすれば良い。一方、投影光学系45のY軸方向の焦点距離f22Lは、投影光学系45から受光器46までの距離L22が、投影光学系45の横方向焦点距離f22Tに等しいので、空間光変調素子44と投影光学系45のY軸方向主面との距離がL21であれば、上述の式10の関係より、次式15のように表される。f22L=L21×f22T/L21f22T15このように設計された光学系において、光軸に対してX軸方向にk番目の位置にある受光素子46aに入射させる際には、空間光変調素子44でその蛍光波長を反射している微小鏡44aの傾きαを、次式16となるように制御すれば良い。α=sin1k×WdT/f22T16例えば、図4cに示すように、空間光変調素子44のY軸方向上側に集光された点像IM11の反射光LO1、はX軸方向左側の受光素子46aに集光されて像IM21を形成し、空間光変調素子44のY軸方向下側に集光された点像IM12の反射光LO2は、X軸方向右側の受光素子46aに集光されて像IM22を形成している。このとき、投影光学系45により形成される点像IM11,IM12の像は、X軸方向に延びるライン上の光パターンとなる。なお、この第2の実施形態においても、空間光変調素子44上の微小鏡44aはY軸方向に1次元に配列していることが望ましいが、微小鏡44aが2次元に配列していてもかまわない。その際にはY軸方向の同一高さにありX軸方向に並ぶ微小鏡44aが同一の反射角となるように制御されればよい。第2の実施形態に係る分光器140を以上のような構成にすることによって、空間光変調素子44の素子サイズを小さくすることができる。[第3の実施形態]図5に、第3の実施形態に係る分光器240の構成を示す。第1及び第2の実施形態に係る分光器40,140との違いは、縦方向及び横方向で、光ファイバ28の射出端と空間光変調素子244が共役関係であり、同様に回折格子42と受光器246の受光面が共役関係になったことである。なお、第1及び第2の実施形態と同様の構成要素については、同一の符合を付し、詳細な説明は省略する。図5aに示す分光器240は、光ファイバ28から入射する信号光を略平行光とするコリメート光学系41と、分光特性を有する波長分散素子分光素子である回折格子42と、2次元に微小反射鏡微小鏡が配列された空間光変調素子244と、回折格子42で波長分散を受けた信号光分光光を空間光変調素子244上に1次元に集光する集光光学系143と、複数の受光素子246aを有する受光器246と、空間光変調素子244で反射した光を受光器246の受光面に結像させる投影光学系245と、を有する。なお、この第3の実施形態に係る分光器240においては、必ずしも受光素子246aはアレー上に並んでいる必要はなく、例えば、図5dに示すように2次元に配置することができる。この分光器240では、光ファイバ28を介して取り込まれた信号光を、コリメート光学系41により略平行光とし、回折格子42に照射する。観察光は回折格子42で波長毎に異なる角度に分散されて集光光学系143により空間光変調素子244上に集光される。この第3の実施形態においても、第2の実施形態と同様に、集光光学系143は光軸に回転対称な屈折力を有している。そのため、図5a,bに示すように、回折格子42でY軸方向上側に回折された分光光LI1は、集光光学系143により空間光変調素子244のY軸方向上側に点像IM11として集光される。また、回折格子42でY軸方向下側に回折された分光光LI2は、集光光学系143により空間光変調素子244のY軸方向下側に点像IM12として集光される。また、空間光変調素子244は第1及び第2の実施形態とは異なり、上述の所定の1次元方向X軸方向に加えて、この1次元方向に略直交する方向Y軸方向にも鏡面を傾斜させることができる、すなわち、X軸方向及びY軸方向の2軸に鏡面を傾斜させることができるようになっている。例えば、図6に示すように、各微小鏡244aは、第1ヒンジ244bで支えられた第1軸244cの周りに第1電極244fに加えられた電圧によってX軸方向に鏡面を傾斜させることができ、さらに、この第1ヒンジ244bは、第2ヒンジ244dで支えられた第2軸244eの周りに第2電極244gに加えられた電圧によってY軸方向に鏡面を傾斜させることができるように構成されている。空間光変調素子244において反射された分光光は投影光学系245によって受光器246に導かれる。ここで、投影光学系245は、第1及び第2の実施形態とは異なり、Y軸方向とX軸方向で焦点距離は同じである。例えば、この投影光学系245は、光軸に回転対称な屈折力を有して構成されている。この第3の実施形態において、受光器246は、投影光学系245の光軸と略直交する面内におけるY軸方向分光方向に関してこの投影光学系245の後側焦点位置に配置されている。すなわち、投影光学系245の焦点距離は、投影光学系245の主面と受光器246との距離L2に等しくなるように設計されており、図5a,c,dに示すように、空間光変調素子244上の微小鏡244aによる信号光分光光LI1の反射方向反射光LO1の方向に依存して受光器246を構成する受光素子246aのうちのどの受光素子246aに入射するかを選択することができる。以下に、この第3の実施形態に係る分光器240の具体的な設計手段を示す。まず、コリメート光学系41の焦点距離fcは、このコリメート光学系41を通過した後の光ビームの径に集光光学系143と投影光学系245で決まる倍率を乗じた径が受光素子246aの径に等しくなるようにすれば良いので、受光素子246aの径をΦとすると、次式17の関係を満たせば良い。但し、NAfは光ファイバ28の開口数であり、f32及びf31はそれぞれ下記の式から決まる投影光学系245の焦点距離及び集光光学系143の焦点距離である。Φ≧f32/f31×2×fc×NAf17次に集光光学系143の焦点距離f31については、波長としてλ1からλ2の範囲の信号光を検出するために、回折格子42として格子定数dのものを使い、回折格子42への入射角をθ1とすると、回折格子からの出射角θ2は、sin1λ1/d-sinθ1からsin1λ2/d-sinθ1までの範囲となる。従って、回折格子42から射出する分高校の半画角Δθは第1の実施形態で示した式4で表される。よって、空間光変調素子244の微小鏡244aのY軸方向のピクセルピッチをPSLMとし、Y軸方向に並ぶピクセル数をNSLMとすると、集光光学系143の焦点距離f31は、次の条件式18を満たすようにすれば良い。2×f31×sinΔθ=PSLM×NSLM18最後に投影光学系245の焦点距離については、次のように決める。図5dに示すように、受光素子246aの縦幅Y軸方向幅がWdLで、この受光素子246aがX軸方向にNd列、横幅X軸方向幅がWdTで、Y軸方向にMd行、2次元上に並んでおり、また、空間光変調素子244の各微小鏡244aは縦方向Y軸方向に±αmの偏向角を持ち、横方向X軸方向に±βmの偏向角をもつとすると、この投影光学系245の焦点距離f32は、次式19,20の関係を満たせば良い。f32×sinαm=WdL×Nd/219f32×sinβm=WdT×Md/220このように設計された光学系において、光軸に対して縦方向Y軸方向にj番目で、横方向X軸方向にk番目の位置にある受光素子246aに入射させる際には、空間光変調素子244でその蛍光波長を反射している微小鏡244aの傾きα,βを、次式21,22となるように制御すれば良い。α=sin1j×WdL/f3221β=sin1k×WdT/f3222例えば、図5dに示すように、空間光変調素子244のY軸方向上側に集光された点像IM11の反射光LO1、は上段のX軸方向左側の受光素子246aに集光されて像IM21を形成し、空間光変調素子244のY軸方向下側に集光された点像IM12の反射光LO2は、下段のX軸方向右側の受光素子246aに集光されて像IM22を形成している。なお、この第3の実施形態においても、空間光変調素子244上の微小鏡244aはY軸方向に1次元に配列していることが望ましいが、微小鏡244aが2次元に配列していてもかまわない。その際にはY軸方向の同一高さにありX軸方向に並ぶ微小鏡244aが同一の反射角となるように制御されればよい。第3の実施形態に係る分光器240を以上のような構成にすることによって、空間光変調素子244の素子サイズを小さくすることができる。また、受光器246は、その受光素子246aを1次元だけでなく2次元に配置することもでき、分光された波長毎に、これらの受光素子246aの選択自由度を上げることができる。"