内燃機関の燃焼室から排出された排気ガスを前記燃焼室に還流する通路が形成された排気還流系部材において少なくとも前記通路を形成する内壁の表面に皮膜を形成する排気還流系部材の皮膜形成方法であって、前記排気還流系部材を炭素含有燃料に浸漬する浸漬処理工程と、前記炭素含有燃料に浸漬した前記排気還流系部材を加熱し、前記排気還流系部材に付着した前記炭素含有燃料の酸化反応および重合反応を促進させる加熱工程と、を有することを特徴とする排気還流系部材の皮膜形成方法。前記炭素含有燃料は、前記燃焼室に供給される燃料を主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の排気還流系部材の皮膜形成方法。前記浸漬処理工程は、前記排気還流系部材を真空中で前記炭素含有燃料に浸漬することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の排気還流系部材の皮膜形成方法。内燃機関の燃焼室から排出された排気ガスを前記燃焼室に還流する通路が形成された排気還流系部材において、前記通路を形成する内壁の表面が皮膜により覆われており、前記皮膜は、炭素含有燃料を酸化および重合させることにより生成されたことを特徴とする排気還流系部材。前記炭素含有燃料は、前記燃焼室に供給される燃料を主成分とすることを特徴とする請求項4に記載の排気還流系部材。しかしながら、上述した特許文献2に記載のEGR装置は、排気熱交換器の内壁が、酸化珪素により構成されたガラス皮膜により上記各イオンから保護されるようになっているものの、経年劣化などに起因してガラス皮膜が剥離した場合に、このガラス皮膜が内燃機関に与える影響に関しては何ら考慮されていなかった。本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、耐食性が高く、皮膜が内燃機関に影響を及ぼすことを防止できる排気還流系部材および排気還流系部材の皮膜形成方法を提供することを目的とする。本発明に係る排気還流系部材の皮膜形成方法は、上記目的達成のため、1内燃機関の燃焼室から排出された排気ガスを前記燃焼室に還流する通路が形成された排気還流系部材において少なくとも前記通路を形成する内壁の表面に皮膜を形成する排気還流系部材の皮膜形成方法であって、前記排気還流系部材を炭素含有燃料に浸漬する浸漬処理工程と、前記炭素含有燃料に浸漬した前記排気還流系部材を加熱し、前記排気還流系部材に付着した前記炭素含有燃料の酸化反応および重合反応を促進させる加熱工程と、を有することを特徴とする。この構成により、排気還流系部材の内壁に炭素含有燃料由来の皮膜を形成することができるので、内壁の表面に腐食の原因となるイオンを含んだ凝縮水が直接触れ、排気還流系部材が腐食することを防止することができる。また、皮膜が炭素含有燃料由来であるため、経年劣化などに起因して皮膜が剥がれ内燃機関の燃焼室に吸入された場合においても、燃焼室を画成する気筒に損傷を与えることを防止できる。また、上記1に記載の排気還流系部材の皮膜形成方法において、2前記炭素含有燃料は、前記燃焼室に供給される燃料を主成分とすることを特徴とする。この構成により、皮膜が燃焼室に供給される燃料と同じ成分を有する炭素含有燃料により構成されるため、皮膜が剥がれ燃焼室に吸入された場合においても、燃焼室を画成する気筒が損傷を受けることを抑制できる。また、炭素含有燃料としてガソリンを用いる場合には、皮膜の原材料を低コストにすることができる。また、上記1または2に記載の排気還流系部材の皮膜形成方法において、3前記浸漬処理工程は、前記排気還流系部材を真空中で前記炭素含有燃料に浸漬することを特徴とする。この構成により、内壁に炭素含有燃料が付着する際に気泡が発生せず、皮膜に気泡が形成されることを抑制できるので、皮膜と内壁との密着性を向上し、皮膜の耐久性を高めることが可能となる。また、本発明に係る排気還流系部材は、上記目的達成のため、4内燃機関の燃焼室から排出された排気ガスを前記燃焼室に還流する通路が形成された排気還流系部材において、前記通路を形成する内壁の表面が皮膜により覆われており、前記皮膜は、炭素含有燃料を酸化および重合させることにより生成されたことを特徴とする。この構成により、排気還流系部材の内壁に炭素含有燃料由来の皮膜を形成することができるので、内壁の表面に腐食の原因となるイオンを含んだ凝縮水が直接触れ、排気還流系部材が腐食することを防止することができる。また、皮膜が炭素含有燃料由来であるため、経年劣化などに起因して皮膜が剥がれ内燃機関の燃焼室に吸入された場合においても、燃焼室を画成する気筒に損傷を与えることを防止できる。また、上記4に記載の排気還流系部材において、5前記炭素含有燃料は、前記燃焼室に供給される燃料を主成分とすることを特徴とする。この構成により、皮膜が燃焼室に供給される燃料と同じ成分を有する炭素含有燃料により構成されるため、皮膜が剥がれ燃焼室に吸入された場合においても、燃焼室を画成する気筒が損傷を受けることを抑制できる。また、炭素含有燃料としてガソリンを用いる場合には、皮膜の原材料を低コストにすることができる。本発明によれば、耐食性が高く、皮膜が内燃機関に影響を及ぼすことを防止できる排気還流系部材および排気還流系部材の皮膜形成方法を提供できる。以下、本発明の実施の形態に係る排気還流系部材について、図面を参照して説明する。なお、本実施の形態においては、本発明に係る排気還流系部材を4気筒のガソリンエンジンを搭載した車両に適用する場合について説明する。まず、構成について説明する。本実施の形態に係るエンジン1は、ピストンが2往復する間に吸気行程と圧縮行程と膨張行程と排気行程とからなる一連の4行程を行う4サイクルのガソリンエンジンによって構成されており、図1に示すように、エンジン1は、エンジン本体2と、吸気装置3と、排気装置4と、を備えている。エンジン本体2は、シリンダヘッドおよびシリンダブロックを備えており、シリンダヘッドおよびシリンダブロックは、4つの気筒を形成している。これらの気筒には、ピストンにより燃焼室がそれぞれ画成されている。また、シリンダヘッドには、外気を燃焼室に導入するための吸気ポートおよび排気ガスを燃焼室から排出するための排気ポートが形成されている。シリンダヘッドおよびシリンダブロックには、図示しないウォータジャケットが形成されている。ウォータジャケットは、各気筒の周囲に設けられ、内部に冷却水20を流通させることによりエンジン本体2を冷却するようになっている。吸気装置3は、吸気管30と、エアクリーナ31と、スロットルバルブ32と、吸気マニホールド33とを備えている。エアクリーナ31は、フィルタにより吸入空気を浄化するようになっている。スロットルバルブ32は、吸気管30の下流部に設けられ、その開度を無段階に調整することが可能な電子制御式の開閉弁により構成されている。スロットルバルブ32は、所定の条件下において吸入空気の流路面積を絞り、この吸入空気の供給量を調整するようになっている。後述するECU10は、スロットルバルブ32に設置されたスロットルモータを制御してスロットルバルブ32の開度を調節するようになっている。吸気マニホールド33は、吸気管30と各気筒とを接続している。吸入空気は、吸気管30からエアクリーナ31および吸気マニホールド33を経て各燃焼室に流入されるようになっている。また、吸気マニホールド33と各気筒との接続により、エンジン本体2と吸気装置3とが接続されている。排気装置4は、排気マニホールド40と、触媒コンバータ41と、排気管42と、排気マフラ43と、テールパイプ44とを順に連結して構成されている。排気マニホールド40は、各シリンダから排出された排気ガス45を流通させる。この排気マニホールド40と各シリンダとの接続により、エンジン本体2と排気装置4とが接続されている。触媒コンバータ41は、酸化触媒と還元触媒と助触媒とからなる三元触媒を含んで構成されている。触媒コンバータ41は、例えば、排気ガス45のNOxを還元してNO2やNOにし、さらに炭化水素や一酸化炭素と反応させて窒素ガスにしたり、あるいは排気ガス45の炭化水素や一酸化炭素を酸化して水や二酸化炭素にすることができる。このように、触媒コンバータ41により、排気ガス45の一酸化炭素や窒素酸化物や炭化水素などの有害物質が浄化されるようになっている。排気マフラ43は、排気ガス45の圧力により排気ガス45の通路面積を調整可能な図示しない可変バルブを備えている。可変バルブは、アイドリング時やエンジン本体2の低回転時には閉じていて、排気ガス45の通路を縮小して消音効果を高めるようになっている。また、可変バルブは、エンジン本体2の高回転時には開いていて、排気ガス45の通路を拡大し低背圧にすることにより排出効率を高めるようになっている。テールパイプ44の下流側端部は大気に開放されている。このため、排気マフラ43から排出された排気ガス45は、テールパイプ44を経て大気に放出されるようになっている。エンジン1は、さらに、排気還流装置以下、EGR装置という5を備えている。EGR装置5は、排気管42を流れる排気ガス45の一部を吸気管30に還流させて、各気筒の燃焼室へEGRガスとして供給するようになっている。これにより、ポンピングロスが低減し、燃費が向上するようになっている。EGR装置5は、上流管50と、EGRガスを冷却するためのEGRクーラ51と、中間管53と、EGRガスの流量を調節するためのEGRバルブ54と、下流管55とを備えている。上流管50と、EGRクーラ51と、中間管53と、EGRバルブ54と、下流管55とは、この記載の順に連結されている。ここで、本実施の形態に係る上流管50、EGRクーラ51、中間管53、EGRバルブ54および下流管55の少なくともいずれか一つは、本発明に係る排気還流系部材を構成する。上流管50は、排気装置4の排気管42に連結される。図1においては、上流管50がフランジ部を介して排気管42に連結される場合を示しているが、溶接など公知の方法を用いて排気管42に連結されていればよい。また、下流管55は、吸気装置3の吸気マニホールド33に連結されている。すなわち、EGR装置5は、排気装置4の排気ガス45の一部を吸気装置3に還流させる機能を有している。EGRバルブ54は、例えば、EGRバルブ駆動手段54aや図示しない弁体などを有する公知のバルブにより構成されている。EGRバルブ駆動手段54aは、例えば、ステップモータやDCモータにより構成されている。ECU10は、EGRバルブ54の開度を調整することによって、排気マニホールド40から吸気マニホールド33に導入されるEGRガス量、すなわち排気還流量を調整するようになっている。EGRクーラ51は、本体部57と、冷却水流入管58と、冷却水流出管59とを有している。そして、EGRクーラ51は、本体部57を構成する筐体内において、EGRガスの通路の外周部に冷却水配管が張り巡らされた構成を有している。冷却水流入管58は、本体部57の冷却水20の流通方向上流側の端部付近に設けられている。冷却水流入管58の上流側端部は、EGRクーラ51に冷却水20を供給する冷却水供給管61に連結されている。また、冷却水供給管61の上流側端部は、エンジン本体2のウォータジャケットを介して図示しない冷却水用供給ポンプに連結されている。冷却水流出管59の下流側端部は、冷却水排出管62に連結されている。冷却水排出管62の下流側端部は、例えば図示しないラジエータに連結されている。また、上流管50からEGRクーラ51に供給されたEGRガスは、EGRガスの通路を通過する際に冷却水配管を流れる冷却水20との熱交換により冷却され、下流側へ導かれるようになっている。本実施の形態に係るエンジン1を搭載した車両は、さらに、冷却水温センサ、エアフロメータ、スロットル開度センサ、エンジン回転数センサなどの各種センサを備えている。これらのセンサは、検出結果を表す信号をECU10にそれぞれ出力するようになっている。ECU10は、CPUCentralProcessingUnit、ROMReadOnlyMemoryおよびRAMRandomAccessMemoryを備え、バスを介して互いに接続されている。ROMは、排気還流量制御を実施するためのプログラムおよび気筒に対する燃料噴射量を制御するための制御プログラムを含む各種制御プログラムや、これらの各種制御プログラムを実行する際に参照されるマップなどが記憶されている。CPUは、ROMに記憶された各種制御プログラムやマップに基づいて各種の演算処理を実行するようになっている。また、RAMは、CPUによる演算結果や、上述した各センサから入力されたデータ等を一時的に記憶するようになっている。そして、ECU10は、上記した各種センサの出力に基づいて、排気還流量制御、燃料噴射量制御などを含むエンジン1の各種制御を実行する。ところで、EGR装置5においては、上述したように、車両の暖機中などEGR装置5を構成する排気還流系部材の内部温度が低い状態で排気ガス45が流入すると、排気還流系部材の内壁68図2参照によって排気ガス45が冷やされ露点以下となり、内壁68に凝縮水が発生する。この凝縮水に排気ガス45が溶解すると、凝縮水中にSO42-イオン、SO3-イオン、Cl-イオンおよびHイオンなどのイオンが生成される。一方、上流管50やEGRクーラ51など各排気還流系部材の内壁68は、ステンレスあるいはアルミニウムなどの金属により構成されており、また、これらの内壁68の表面上には、ステンレスあるいはアルミニウムが酸化した不働体被膜65図2参照が形成されている。この上流管50やEGRクーラ51の内壁68を形成する金属および不働体被膜は、これらのイオンに晒されると腐食する可能性が生じる。そこで、本実施の形態においては、EGR装置5を構成する排気還流系部材の内壁68にコーティング材による皮膜66図2参照を形成する。これにより、排気還流系部材の内壁68に凝縮水が発生し、凝縮水に内壁68を腐食し得るイオンが生成された場合においても、皮膜66により内壁68を保護することが可能となる。さらに、本発明に係る皮膜66は、排気還流系部材の内壁68から剥離し燃焼室内に吸入されたとしても、燃焼室で燃料とともに燃焼され、排気ガス45として排気マニホールド40から排出されるよう、炭素含有燃料により形成されるようになっている。図2に示すように、例えばEGRクーラ51の本体部57の一部を構成する内壁は、ステンレス層64あるいはステンレス層64の表面が酸化することにより形成された不働体被膜65により構成されている。この不働体被膜65の表面に炭素含有燃料由来の皮膜66を形成し、上記各イオンを含む凝縮水67が不働体被膜65に直接接触しないようにする。炭素含有燃料由来の皮膜66は、以下に説明するように、皮膜66による保護の対象となる排気還流系部材に炭素含有燃料を付着させ、付着した炭素含有燃料を酸化重合させることにより形成されるようになっている。本実施の形態においては、排気還流系部材の内壁68への炭素含有燃料の付着は、浸漬装置70により行われるようになっている。浸漬装置70は、図3に示すように、フロア72上に設置される浸漬槽本体71と、上蓋73とを備え、浸漬槽本体71の内部には、浸漬液Aが収納されている。以下、排気還流系部材として、EGRクーラ51に皮膜66を形成する場合について説明する。なお、後述するように、排気還流系部材を構成する各部材は、溶接など公知の方法を用いて可能な限り互いに接合された状態で浸漬装置70にセットされる方がよい。したがって、EGRクーラ51に皮膜66を形成する場合には、EGRクーラ51に上流管50が接合された状態で浸漬装置70にセットされると好適である。以下の説明では、EGRクーラ51とは、EGRクーラ51のみの場合と、EGRクーラ51に上流管50が接合され一体化したもののいずれをも意味する。上蓋73は、浸漬槽本体71に被蓋するように上下動自在に吊設され、浸漬槽本体71と上蓋73とによって一つの浸漬槽89が構成される。上蓋73は釣鐘状に形成されており、浸漬槽本体71との間に比較的大きな密閉空間を画成するようになっている。また、上蓋73には真空ポンプ74に一端が接続される配管75が延設されており、配管75の途中には、外気に開放する一端を有する分岐配管76が接続されている。配管75の分岐配管76より真空ポンプ74側には、電磁弁77が設けられている。また、分岐配管76にも電磁弁78が設けられており、これら二つの電磁弁77、78の開閉の切替えおよび真空ポンプ74の作動の有無に応じて、浸漬槽本体71と上蓋73とで形成される密閉空間は、適時減圧あるいは大気に開放されるようになっている。浸漬装置70は、さらに、シャフト79を有しており、このシャフト79は、シリンダ90から上蓋73の天井部を通して該上蓋73内まで延設されている。また、シャフト79の下端にはパレット80が取り付けられている。パレット80は、皮膜66を形成する対象となる部材、つまり本実施の形態においてはEGRクーラ51を保持するようになっており、浸漬槽本体71の上端より僅か上方位置に下面が位置決めされる状態と、浸漬液A中に完全に浸漬される状態とを維持できるようにシリンダ90によって、その上昇端および下降端が定められている。浸漬槽本体71の下方内部には浸漬槽本体71の底面と平行に所定距離を有して配置され、浸漬槽本体71の断面の全面をカバーするようにフィルタ装置81が配設されている。このフィルタ装置81は、上下二枚のパンチングメタル82a、82bと、これらのパンチングメタル82a、82bの間に保持されるフィルタ83とによって構成されている。また、パンチングメタル82a、82bおよびフィルタ83の中央部にエア通路84が形成され、浸漬槽本体71の内壁に凸設されたリング状の支持部材85上に脱着自在に載置されている。フィルタ装置81の下方には、図示しないエアポンプに一端が接続されるエア配管86の開口端部が配設されている。このエア配管86の途中には、除湿器87および電磁弁88が設けられており、この電磁弁88が閉状態から開状態に移行することにより、浸漬槽本体71の浸漬液A中に乾燥したエアが供給されるようになっている。この浸漬装置70は、上蓋73を開いた状態で、パレット80上にEGRクーラ51を載置し、上蓋73を下降させて、浸漬槽本体71に被蓋する。また、電磁弁77を開状態、電磁弁78を閉状態にして、真空ポンプ74を作動させることにより、浸漬槽89内が減圧されるようになっている。この時、EGRクーラ51を含むパレット80は浸漬液A上に位置されており、これによってEGRクーラ51の空孔および浸漬液Aの双方に滞留する空気が除去される。次に、シリンダ90の作動によってパレット80を下降させ、EGRクーラ51の全体を浸漬液A中に浸漬する。この浸漬によってEGRクーラ51の空孔内に浸漬液Aが浸入する。そして、所定時間後に真空ポンプ74を停止し、電磁弁77を閉状態、電磁弁78を開状態として、浸漬槽89内を大気に開放する。この大気開放によって浸漬液AはさらにEGRクーラ51の空孔内に浸入する。再びシリンダ90の作動によりパレット80を上昇させ、これと同時に上蓋73も上昇させて、パレット80よりEGRクーラ51を取り出すことにより一連の浸漬処理が終了する。なお、浸漬処理の終了後には、電磁弁88を開状態に移行して浸漬液A中にエアを供給する。この供給されたエアは、フィルタ装置81のエア通路84から上方へ通過して浸漬液Aをバブリングさせる。この結果、浸漬液Aに対流が生じ、その際、不純物を有する浸漬液Aは、フィルタ装置81を通過して浸漬槽本体71の底部に移動し、この間、浸漬液A中に浮遊している不純物がフィルタ83に捕捉される。本実施の形態においては、浸漬液Aはガソリンにより構成されている。なお、浸漬液Aとしては、軽油など、酸化重合反応によりEGRクーラ51の表面に皮膜66を形成可能な炭素含有燃料など他の芳香族化合物により構成されていてもよい。また、浸漬装置70による浸漬処理が終了したしたEGRクーラ51は、表面に付着したガソリンを酸化重合させるために加熱される。本実施の形態においては、EGRクーラ51は、図4に示す炉93を用いて加熱されるようになっている。炉93は、加熱室95を画成する本体部94と、加熱室95の外周を覆うよう本体部94に設置されたヒータ96と、EGRクーラ51などの排気還流系部材を保持する金属網97とを備えている。また、炉93は、図示しない温度制御器と接続されており、EGRクーラ51を保持する金属網97が加熱室95内に設置されると、温度制御器はヒータ96に供給される電流を調節し、加熱室95内の空気を所望の温度に維持するようになっている。ヒータ96は、浸漬液Aの酸化重合が促進される温度に設定される。本実施の形態においては、浸漬液Aとしてガソリンが用いられているため、酸化重合反応が発生する80°C以上であり、かつ、ガソリンが燃焼しない140°C以下に設定されると好適である。また、炉93の加熱中は、酸化重合反応を促進させるために、NOxを添加するようになっている。本実施の形態に係る炉93には、本体部94の下方において加熱室95と連通する一端と、図示しないNOx供給タンクに連通する他端とを有する配管98が配設されている。また、配管98の途中には、加熱室95に供給されるNOxの流量を調節するための電磁弁99が設置されている。なお、加熱室95内におけるNOxの濃度は数以下であれば十分である。このように、EGRクーラ51は、炉93において加熱処理が実行されることによって、EGRクーラ51の内壁68を含む表面全体にガソリン由来の皮膜66が形成される。なお、EGRクーラ51が炉93から取り出された状態においては、EGRクーラ51のフランジ部を含む全面に皮膜66が形成されている。そのため、EGRクーラ51を他の部材、例えば中間管53と接続する際に、EGRクーラ51および中間管53のフランジ部の面同士の密着度が低下する可能性がある。したがって、EGRクーラ51を中間管53など他の部材と接続する前に、フランジ部に付着している皮膜66をヘキサンなど炭素含有燃料由来の皮膜を除去可能な有機溶媒により除去する。次に、本実施の形態に係る排気還流系部材の皮膜形成処理について図5を参照して説明する。なお、以下の説明においても、EGRクーラ51に皮膜66を形成する場合を例に説明する。図5に示すように、皮膜形成処理は、まず、皮膜66を形成する対象となるEGRクーラ51が製作される部品製作工程が実行されるステップS11。なお、以下の皮膜形成処理が終了した部材に溶接などの加工処理を行うと、形成された皮膜66が剥離する可能性が生じる。したがって、以下に記載する浸漬処理工程が行われる前に、排気還流系部材の溶接処理などを終了しておくと好適である。次に、浸漬処理工程が実行されるステップS12。この浸漬処理においては、EGRクーラ51がパレット80にセットされる。このとき、ガソリンの温度は、ガソリンの酸化重合反応を抑制するために80°C未満に設定されている。なお、浸漬処理は、浸漬槽89内が所望の真空度になった後、EGRクーラ51の全面にガソリンを付着させるために必要な時間行われる。本実施の形態においては、EGRクーラ51を構成する部品全体に対し浸漬処理を実行するので、皮膜形成処理によりEGRクーラ51の上流側部分にも皮膜66が形成されるが、この部分に形成された皮膜は、高温の排気ガス45に接し剥離する可能性がある。しかしながら、本実施の形態に係る皮膜66は、上記のように炭素含有燃料を原料とし、燃焼室内に吸入されたとしても燃焼室で燃料とともに燃焼されるため、剥離した場合においてもエンジン1に影響を与えない。そして、パレット80が浸漬槽本体71内に下降し、EGRクーラ51がガソリンに浸漬されると、EGRクーラ51の表面に付着したガソリンに気泡が発生しないよう、真空ポンプ74が作動され、浸漬槽本体71内が真空になる。浸漬槽本体71内の真空度は、高いほど気泡が発生しにくくなるが、浸漬処理工程の実行に時間がかかる。したがって、真空度は、気泡が発生する可能性と浸漬処理工程にかかる時間とに基づいて実験的に最適値を求めるようにする。次に、加熱工程が実行されるステップS13。この加熱工程においては、EGRクーラ51が金属網97に入れられ、金属網97ごと加熱室95内に設置される。なお、この加熱工程においては、EGRクーラ51の表面に付着した浸漬液の酸化反応および重合反応が再現性を有するよう、浸漬処理工程で使用した浸漬液の種類に応じて温度条件や時間条件を設定するようになっている。炉93は、加熱室95内の温度が110°Cとなるようヒータ96が調節される。また、ヒータ96による加熱は30分間行われる。なお、加熱室95内の温度は80°C~140°Cが好適であり、また加熱時間はガソリンの酸化重合反応の速度に応じ10分~1時間であれば好適である。これにより、ガソリンの酸化重合が促進され、EGRクーラ51の表面に、皮膜66が形成される。この皮膜66は、上記の条件により形成することにより300°Cの耐熱性を有している。このようにして皮膜66が生成されたEGRクーラ51は、フランジ部の表面など不要部分に形成された皮膜66をヘキサンにより除去した後、車両に設置される。なお、EGRクーラ51よりEGRガス上流側に設置される上流管50においては、内壁の温度が排気により700°C~800°Cの高温となり、上流管50の内壁に形成された皮膜66が剥離する可能性が生じるが、この皮膜66はガソリン由来であるため、剥離した皮膜66が燃焼室に流入しても、燃料とともに燃焼室で燃焼するため、上述したエンジン本体2における摺動不良などの従来の問題が生じることを抑制できる。以上のように、本発明の実施の形態に係る排気還流系部材の皮膜形成方法は、排気還流系部材の内壁68に炭素含有燃料の皮膜66を形成することができるので、内壁68の表面に腐食の原因となるイオンを含んだ凝縮水67が直接触れ、排気還流系部材が腐食することを防止することができる。また、皮膜66が炭素含有燃料由来であるため、経年劣化などに起因して皮膜66が剥がれエンジン本体2の燃焼室に吸入された場合においても、燃焼室を画成する気筒に損傷を与えることを防止できる。また、皮膜66が燃焼室に供給される燃料と同じ成分を有する炭素含有燃料により構成されるため、皮膜66が剥がれ燃焼室に吸入された場合においても、燃焼室を画成する気筒が損傷を受けることを抑制できる。また、炭素含有燃料としてガソリンを用いる場合には、皮膜66の原材料を低コストにすることができる。また、排気還流系部材を真空中で炭素含有燃料に浸漬するので、内壁68に炭素含有燃料が付着する際に気泡が発生せず、皮膜66に気泡が形成されることを抑制できる。したがって、皮膜66と内壁68との密着性を向上し、皮膜66の耐久性を高めることが可能となる。なお、以上の説明においては、EGRクーラ51に皮膜66を形成する場合を例に説明したが、これに限定されず、中間管53、EGRバルブ54あるいは下流管55などEGR装置5を構成する他の部材に皮膜66を形成するようにしてもよい。さらに、吸気管30や吸気マニホールド33など吸気装置3を構成する部材に皮膜66を形成するようにしてもよい。特に、アクセル開度に応じて吸入空気量を調節するスロットルバルブ32より吸気下流側の部材は、EGR装置5を介してEGRガスが流れ込み、上述したイオンを含む凝縮水が発生する可能性が高まる。したがって、スロットルバルブ32より吸気下流側の部材に皮膜66を形成すると、凝縮水が部材の内壁と直接接触することを防止し部材の腐食を抑制できるので好適である。つまり、吸気管30および吸気マニホールド33は、本発明に係る排気還流系部材を構成する。また、以上の説明においては、浸漬処理が終了したEGRクーラ51を炉93に入れて、ガソリンの酸化重合を行う場合について説明したが、これに限定されず、EGRクーラ51の筐体内部のみを加熱し、内壁68の表面のみに皮膜66が形成されるようにしてもよい。この場合、EGRクーラ51のフランジ部と接続可能なフランジ部を有し、EGRクーラ51内に加熱された空気を送り込むことができる送風機を用いるようにする。また、送風機は、80°C~140°Cに加熱された空気および触媒としてのNOxをEGRクーラ51に送り込むようにする。また、以上の説明においては、筐体がステンレスにより構成されたEGRクーラ51に皮膜66を形成する場合について説明したが、これに限定されず、樹脂により形成された部材に皮膜66を形成してもよい。この場合、樹脂は130°C近傍で溶融する可能性がある。したがって、酸化重合処理を行う場合には、炉93の温度を80°C以上であり、かつ130°Cより低い温度になるよう設定する。なお、以上の説明においては、EGR装置5がターボユニットを備えないエンジン1に適用される場合について説明したが、これに限定されず、EGR装置5がターボユニットを備えるエンジン1に適用されてもよい。この場合、EGR装置5は、タービンホイールの上流側から排気ガスを取得してコンプレッサホイールの下流側にEGRガスとして還流するいわゆるHPLHighPressureLoopを構成してもよい。また、EGR装置5が、タービンホイールの下流側から排気ガスを取得してコンプレッサホイールの上流側にEGRガスとして還流するLPLLowPressureLoopを構成していてもよい。また、EGR装置5は、ガソリンエンジンにより構成されたエンジン1を搭載した車両に適用される場合について説明したが、これに限定されず、EGR装置5は、ディーゼルエンジンなど公知の内燃機関を搭載した車両に適用されていればよい。また、以上の説明においては、燃料が吸気ポートに噴射されるポート噴射式エンジンにEGR装置5が適用される場合について説明したが、これに限定されず、燃料が各燃焼室に直接噴射される筒内噴射式エンジンにEGR装置5が適用されていてもよい。また、筒内噴射およびポート噴射のいずれもが行われるエンジンにEGR装置5が適用されていてもよい。また、EGR装置5は、エンジン1のみを動力源とする車両のみならず、エンジンおよび回転電機を動力源とするハイブリッド車両に適用されていてもよい。以上のように、本発明に係る皮膜形成方法は、耐食性が高く、皮膜が内燃機関に影響を及ぼすことを防止できるという効果を奏するものであり、内燃機関の排気還流系部材に有用である。