コンピュータ数値制御によりプローブを互いに直交する複数の駆動軸に沿って移動させ、測定対象に当接させて測定対象の寸法を計測するための駆動手段と、該駆動手段を収めるための一体化された筐体と、該筐体のいずれかの側面に設けられた、前記駆動手段のいずれか一つを支持体に取付けるための取付手段と、を備えたことを特徴とする座標測定用ヘッドユニット。前記駆動手段が、リニアガイドとボールねじとモータの組合せでなることを特徴とする請求項1に記載の座標測定用ヘッドユニット。前記プローブが3次元方向に移動自在とされ、該プローブを、その軸方向に移動するための駆動手段が、前記取付手段側に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の座標測定用ヘッドユニット。前記プローブが、該プローブの軸方向と直交する2次元方向に移動自在とされていることを特徴とする請求項1又は2に記載の座標測定用ヘッドユニット。前記プローブが交換可能とされていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の座標測定用ヘッドユニット。請求項1乃至5のいずれかに記載の座標測定用ヘッドユニットと、測定対象が載置されるベースと、該ベース上で前記座標測定用ヘッドユニットを支持するためのスタンドと、を備えたことを特徴とする座標測定機。前記スタンドに上下方向へのZ軸駆動手段が取付けられ、該Z軸駆動手段に奥行き方向へのY軸駆動手段が取付けられ、該Y軸駆動手段に横方向へのX軸駆動手段が取付けられ、該X軸駆動手段にプローブが取付けられていることを特徴とする請求項6に記載の座標測定機。前記ベースに、測定対象を移動するための、移動量測定手段を備えたテーブルが配設されていることを特徴とする請求項6に記載の座標測定機。前記座標測定用ヘッドユニットの位置が、測定開始前に測定対象位置に合わせて手動で初期調整可能とされていることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の座標測定機。前記プローブを交換することにより、微細形状測定機又は画像測定機としても機能することを特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載の座標測定機。請求項1乃至5のいずれかに記載の座標測定用ヘッドユニットが取付けられていることを特徴とする工作機械。前記工作機械で加工中の加工対象を、該工作機械から取外すことなく、前記座標測定用ヘッドユニットのプローブで測定可能とされていることを特徴とする請求項11に記載の工作機械。前記座標測定用ヘッドユニットの移動が、工作機械の測長系とリンクされていることを特徴とする請求項11又は12に記載の工作機械。請求項1乃至5のいずれかに記載の座標測定用ヘッドユニットが取付けられていることを特徴とする搬送ライン。プローブの軸方向が異なる複数の前記座標測定用ヘッドユニットが取付けられていることを特徴とする請求項14に記載の搬送ライン。請求項1乃至5のいずれかに記載の座標測定用ヘッドユニットが取付けられていることを特徴とするロボットアーム。請求項6乃至10のいずれかに記載の座標測定機が、駆動用バッテリと共に台車に搭載されていることを特徴とする可搬型の座標測定機。しかしながら、特許文献1や2の技術は、測定ストロークの大きな大型のCMMの使用を前提に、工作機械や製造ラインに組込むものであったため、高価で、広い設置スペースを必要とするという問題があった。一方、実際のアプリケーションを見ると、外寸40mm~100mm程度の小物ワークを測定対象としたり、大物ワークであっても、内径や軸部分の外径の測定等、必ずしも大きな測定ストロークは必要としない場合も多い。このような場合、小型であっても測定ストロークが500mm以上と大きな従来の大半のCMMでは、測定対象部分に対して設置スペースが極端に大きくなってしまう。又、工作機械上で測定を行おうとする場合、刃工具の代わりに測定用のセンサ例えばタッチプローブを付けて測定することが考えられるが、この場合、測長系ガイドやスケールは工作機械のものを利用するため、工作機械の運動誤差を検出することは出来ないという問題もあった。本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、小型、安価で、高速の高精度測定が可能であり、工作機械における機上測定や搬送ラインでのインサイト測定が容易な、座標測定用ヘッドユニット、該座標測定用ヘッドユニットを備えた座標測定機、工作機械、及び、搬送ラインを提供することを課題とする。本発明は、小さな測定対象や、大きな測定対象の部分の測定に際しては、CMMによる高精度の測定が必要なストロークは、必ずしも大きくないことに着目してなされたもので、コンピュータ数値制御ComputerNumericalControl;CNCによりプローブを互いに直交する複数の駆動軸に沿って移動させ、測定対象に当接させて測定対象の寸法を計測するための駆動手段と、該駆動手段を収めるための一体化された筐体と、該筐体のいずれかの側面に設けられた、前記駆動手段のいずれか一つを支持体に取付けるための取付手段と、を備えたことを特徴とする座標測定用ヘッドユニットにより、前記課題を解決したものである。ここで、前記駆動手段を、リニアガイドとボールねじとモータの組合せとすることができる。又、前記プローブを3次元方向に移動自在とし、該プローブを、その軸方向に移動するための駆動手段を、前記取付手段側に配置することができる。あるいは、前記プローブを、該プローブの軸方向と直交する2次元方向に移動自在とすることができる。又、前記プローブを交換可能とすることができる。本発明は、又、前記座標測定用ヘッドユニットと、測定対象が載置されるベースと、該ベース上で前記座標測定用ヘッドユニットを支持するためのスタンドと、を備えたことを特徴とする座標測定機を提供するものである。ここで、前記スタンドに上下方向へのZ軸駆動手段を取付け、該Z軸駆動手段に奥行き方向へのY軸駆動手段を取付け、該Y軸駆動手段に横方向へのX軸駆動手段を取付け、該X軸駆動手段にプローブを取付けることができる。又、前記ベースに、測定対象を移動するための、移動量測定手段を備えたテーブルを配設することができる。又、前記座標測定用ヘッドユニットの位置を、測定開始前に測定対象位置に合わせて手動で初期調整可能とすることができる。又、前記プローブを交換することにより、微細形状測定機又は画像測定機としても機能させることができる。本発明は、又、前記座標測定用ヘッドユニットが取付けられていることを特徴とする工作機械を提供するものである。ここで、前記工作機械で加工中の加工対象を、該工作機械から取外すことなく、前記座標測定用ヘッドユニットのプローブで測定可能とすることができる。又、前記座標測定用ヘッドユニットの移動を、工作機械の測長系とリンクすることができる。本発明は、又、前記座標測定用ヘッドユニットが取付けられていることを特徴とする搬送ラインを提供するものである。ここで、プローブの軸方向が異なる複数の前記座標測定用ヘッドユニットを搬送ラインに取付けることができる。本発明は、又、前記座標測定用ヘッドユニットが取付けられていることを特徴とするロボットアームを提供するものである。本発明は、又、前記座標測定機が駆動用バッテリと共に台車に搭載された、可搬型の座標測定機を提供するものである。本発明によれば、座標測定用ヘッドユニットの測定ストロークを小さくして、ベースやスタンドから独立させたので、小型、安価で、高速の高精度測定が可能であり、工作機械における機上測定や搬送ラインでのインサイト測定が容易となる。特に、測定ストロークが小さいので、大型のCMMでは困難であった高速測定と高精度測定の両立が可能となる。又、工作機械や搬送ライン製造ラインや検査ラインも含むへの組込みも容易である。特に、プローブを3次元方向に移動自在とし、該プローブを、その軸方向に移動するための駆動手段を、前記取付手段側に配置した場合には、高精度の3次元測定が可能である。又、測定対象が載置されるベースと、該ベース上で前記座標測定用ヘッドユニットを支持するためのスタンドとを備えた場合には、設置スペースの非常に小さい、高精度でしかも安価な超小型のCMMを提供できる。又、カンチレバー型の構造を構成するスタンドが正面から見て奥行き方向Y軸方向に配置されている場合、正面から見て横方向X軸方向へ移動する荷重が最も軽くなるように構成するために、X軸駆動軸を最下層に備えることが最も精度的に有利となる。更に、前記ベースに、測定対象を移動するための、移動量測定手段を備えたテーブルを備えた場合には、座標測定用ヘッドユニットのストロークを越えるワークにも対応でき、座標測定用ヘッドユニット自体を移動させるよりも安価且つ高精度に対応できる。特に、座標測定用ヘッドユニットを工作機械のヘッド部或いはその近辺に取付けた場合には、工作機械の測長系とは独立した高精度の測長系で機上計測が可能になる。以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。図1に、本発明にかかる座標測定用ヘッドユニットの実施形態が配設されたCMMを示す。本実施形態の座標測定用ヘッドユニット10は、プローブ12をX軸方向図の左右方向に移動自在とするためのX軸駆動部14、該X軸駆動部14をY軸方向図の前後方向に移動自在とするためのY軸駆動部16、及び、該Y軸駆動部16をZ軸方向図の上下方向に移動自在とするためのZ軸駆動部18と、これらを収めるための一体化された筐体13と、該筐体13のいずれかの側面ここでは後面に設けられた、前記Z軸駆動部18を支持体ここではベース30に固定されたスタンド32のサポート34に取付けるための取付手段ここでは取付面20と、を備えている。ここで、各軸方向の測定ストロークは、たとえばX軸及びY軸方向40~120mm、Z軸方向40mmとすることができる。前記座標測定用ヘッドユニット10には、前記駆動部14、16、18を制御する制御装置40がケーブル19により接続され、該制御装置40には、測定コマンドを送信したり、測定データを受信して幾何計算するホストコンピュータ42、データ処理ソフトウェア44、及び、駆動指令を送信するジョイスティックボックス46が接続されている。前記データ処理ソフトウェア44は、例えばプローブ12の先端球の座標位置と径を補正するためのプローブ補正機能、温度に応じて測定座標および測定対象例えばワークの寸法を補正する温度補正機能、静的動的に空間精度を補正する空間精度補正機能等を含む。前記座標測定用ヘッドユニット10は、測定対象図示省略が載置されるベース30に固定されたスタンド32のサポート34に取付けられている。該サポート34は、スタンド32の上端に配設されたハンドル36により回動する送りねじ38と螺合するねじ部34Aを有し、ハンドル36を回動することにより、サポート34、従って、座標測定用ヘッドユニット10の上下位置を、測定開始前に測定対象位置に合わせて手動で初期調整可能とされている。このように、例えばベース30上にスタンド32が固定され、該スタンド32上をサポート34が上下動するようにされた専用スタンドに座標測定用ヘッドユニット10を取付けることにより、設置スペースの小さな超小型CMMを実現できる。プローブ12も交換可能で、図1に示したようなタッチプローブや倣いプローブを用いればCMM、図2Aに例示するような微細プローブを用いれば微細形状測定機、図2Bに例示するような画像プローブを用いれば画像測定機になる。ここで、プローブ12を、その軸方向即ちZ軸方向に移動するためのZ軸駆動部18を、X軸駆動部14及びY軸駆動部16よりも取付面20側に配置しているのは、次のような理由による。即ち、図3Aに示す如く、Z軸駆動部18を、X軸駆動部14及びY軸駆動部16よりもプローブ12側図の下側に配置した場合には、測定中のX軸駆動部14やY軸駆動部16の移動による傾きがZ軸駆動部18で拡大されてしまい、プローブ12先端図の下端の誤差が大きくなる。これに対して、図3Bに示す如く、本実施形態のように、Z軸駆動部18を、X軸駆動部14及びY軸駆動部16よりも取付面20側図の上側に配置した場合は、測定中のX軸駆動部14やY軸駆動部16の移動による傾きがZ軸駆動部18で拡大されることがなく、プローブ12先端の誤差も大きくならないためである。なお、X軸駆動部14、Y軸駆動部16、Z軸駆動部18の駆動機構としては、例えば、図4に示す如く、リニアガイド14Aと、ボールねじ14Bと、モータ14Cの組合せを用いて、発熱を抑えることが好ましい。これは、駆動部を小型化するため小さなケースを用いると、熱がこもって、駆動系の発熱による測定誤差が問題となる可能性があるためである。なお、発熱が問題とならない場合や、送風、水冷等の発熱対策を採れる場合は、例えばリニアモータなど、他の駆動系を用いることもできる。図1の例では、測定対象をベース30上に直接載置して3次元測定を行うようにされていたが、図5に示す変形例のように、ベース30上に、1軸又は2軸図ではX軸方向の1軸に移動可能な、例えばリニヤエンコーダにより移動量を出力可能な測定対象ワーク移動テーブル31を載置して、測定対象図ではコネクションロッド8に対する測定ストロークを1軸又は2軸方向図ではX軸の1軸方向に拡大することができる。このように、測定対象8側を移動可能とすることによって、座標測定用ヘッドユニット10を移動させるよりも、安価で高精度に3次元測定のストロークを広げることができる。図5は1軸の例であるが、2軸のXYテーブルを用いても良い。なお、ワークを搬送するのに搬送装置をコンピュータでシーケンス制御してもよいし、手動でワークを移動させても良い。更に、一軸、二軸の搬送装置も対応でき、ロボットアームでワークを搬送するようにしても良い。図6に工作機械図は放電加工機50に座標測定用ヘッドユニット10を取付けた例を示す。工作機械加工用のヘッド部又はその近辺に小型の座標測定用ヘッドユニット10を取付けることで、比較的安易に機上計測が可能となる。通常のセンサタッチプローブなどを取付けるのと異なり、独立した測長系と駆動系を持っているので、工作機械の運動精度の影響を受けない。なお、一般的な工作機械のストロークと比較して座標測定用ヘッドユニット10のストロークは小さいが、加工が多数個取りのような場合、一つ一つは座標測定用ヘッドユニット10のストローク内に収まる場合がある。このような場合は、座標測定用ヘッドユニット10のみで測定可能であるが、全域を測定する場合は工作機械の測長系52とリンクさせることもできる。座標測定用ヘッドユニット10を組込む対象は、放電加工機に限定されず、特許文献2のようにマシニングセンタに組み込んだり、他の工作機械一般に組み込むことができる。更に、座標測定用ヘッドユニット10を取付ける位置は、工作機械の加工用ヘッド部又はその周辺が望ましいが、工作機械のテーブルにアクセス可能であれば、加工用ヘッド部周辺でなくとも良く、さらに、工作機械から独立した位置からでも測定可能である。即ち、座標測定用ヘッドユニット10が小型であるがゆえにフレキシブルな構成が可能になり、工作機械に組み込み型、工作機械に隣接型、工作機械と離れた位置にスタンドアローン配置型、工作機械からワークが出てきたところからライン上に複数配置など、様々な配置が可能である。なお、前記実施形態においては、いずれもプローブ12の軸方向が図の上下方向即ち、Z軸方向の縦型とされていたが、プローブ12の軸方向を水平方向の横型とすることもできる。図7に、搬送ラインのコンベア60近傍に、複数図では2台の座標測定用ヘッドユニット10を、プローブ12の軸方向を変えて、一方は縦型、一方は横型として配設した例を示す。このように複数の座標測定用ヘッドユニット10を配設することにより、搬送ライン上で迅速なオンライン測定が可能になる。なお、座標測定用ヘッドユニット10を配設する対象は、製造ライン、検査ライン等、対象を問わず、例えば図8に示すようにロボットのアーム70に取付けることもできる。又、例えば図9に示すようにZ軸駆動部18を省略して、2次元座標測定を行うようにしても良い。更に、図1に例示した超小型のCMMを図10に示すように駆動用バッテリ82や無線送信装置84と共に台車80に搭載し、測定信号は無線で受信装置86、演算装置88、表示装置90等へ送信するようにして、可搬型のCMMを実現することもできる。