"平板を積層することで冷却フィンを形成する工程と、前記冷却フィンをヘッダ枠体内に組み付ける工程とを備え、前記冷却フィンは、互いに分離された複数のフィン部分を有し、前記複数のフィン部分をそれぞれ個別に形成することを特徴とするプレート型冷却器の製造方法。前記複数のフィン部分の放熱性能は互いに異なることを特徴とする請求項1に記載のプレート型冷却器の製造方法。平板を積層することで前記ヘッダ枠体を形成する工程を更に備え、前記ヘッダ枠体を構成する平板と前記冷却フィンを構成する平板とを同じプレート部材から打ち抜き加工することを特徴とする請求項1又は2にプレート型冷却器の製造方法。平板を互いにずらして積層することで第1の枠体部分を形成する工程と、平板を互いにずらして積層することで第2の枠体部分を形成する工程と、前記第1の枠体部分と前記第2の枠体部分を接合することで前記ヘッダ枠体を形成する工程とを更に供えることを特徴とする請求項1~3の何れか1項にプレート型冷却器の製造方法。複数の線状部と前記複数の線状部を連接する連接部とを持つ第1の平板を形成する工程と、複数の前記第1の平板を第2の平板上に積層する工程と、積層された前記第1の平板の前記連接部を切断して除去することで前記冷却フィンを形成する工程とを更に備えることを特徴とする請求項1~4の何れか1項にプレート型冷却器の製造方法。ヘッダ枠体と、積層した平板により構成され、前記ヘッダ枠体内に組み付けられた冷却フィンとを備え、前記冷却フィンは、互いに分離された複数のフィン部分を有することを特徴とするプレート型冷却器。前記複数のフィン部分の放熱性能は互いに異なることを特徴とする請求項6に記載のプレート型冷却器。発熱体を搭載する面積が大きくなるほど、冷却フィンのサイズも大きくなる。しかし、従来は冷却フィンをそのままの大きさで加工していたため、打ち抜き精度やロウ付け時の位置精度の限界により、微細なスリットを形成することは困難であった。従って、十分な放熱性能を得るために冷却フィンを大きくする必要があり、製品の小型化に制約があった。さらに、大きな平板を打ち抜き加工するため、材料歩留りが悪いという問題もあった。本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、微細なスリットを持つ冷却フィンを材料歩留まり良く製造することができるプレート型冷却器及びその製造方法を得るものである。本発明に係るプレート型冷却器の製造方法は、平板を積層することで冷却フィンを形成する工程と、前記冷却フィンをヘッダ枠体内に組み付ける工程とを備え、前記冷却フィンは、互いに分離された複数のフィン部分を有し、前記複数のフィン部分をそれぞれ個別に形成することを特徴とする。本発明により、微細なスリットを持つ冷却フィンを材料歩留まり良く製造することができる。本発明の実施の形態に係るプレート型冷却器及びその製造方法について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1に係るプレート型冷却器を示す斜視図である。図2は、本発明の実施の形態1に係るプレート型冷却器の内部を示す上面図である。ヘッダ枠体1内に冷却フィン2が組み付けられている。冷却フィン2とヘッダ枠体1は、積層した3層以上の平板により構成されている。冷却フィン2の下に底板3が設けられ、冷却フィン2の上に天板4が設けられている。ヘッダ枠体1の側面には冷媒導入パイプ5と冷媒導出パイプ6が設けられている。冷却フィン2は、互いに分離された複数のフィン部分2aを有する。続いて、本実施の形態に係るプレート型冷却器の動作について説明する。冷媒導入パイプ5から導入された冷媒は、ヘッダ枠体1の上流側の流路を通って冷却フィン2に分配される。この冷媒は冷却フィン2のスリットを流れ、この際に発熱体からの熱を熱交換する。熱交換した冷媒は、ヘッダ枠体1の下流側の流路を通って冷媒導出パイプ6から導出される。続いて、本実施の形態に係るプレート型冷却器の製造方法について説明する。まず、冷却フィン2を構成する平板に、エッチングやパンチング等により冷却フィン形状を形成する。次に、図3に示すように、この平板を積層することで冷却フィン2を形成する。この際に、複数のフィン部分2aをそれぞれ個別に形成する。また、平板を積層することでヘッダ枠体1を形成する。積層された平板は、冷媒が外部に漏れないようにロウ付けで接合される。平板の接合時に、冷媒導入パイプ5と冷媒導出パイプ6も同時に接合する。ヘッダ枠体1の下に底板3をロウ付けで接合する。次に、図4に示すように、冷却フィン2をヘッダ枠体1の開口内に組み付ける。そして、ヘッダ枠体1及び冷却フィン2の上に天板4をロウ付けで接合する。以上の工程により本実施の形態に係るプレート型冷却器が製造される。続いて、本実施の形態の効果について説明する。従来のようにサイズの大きな冷却フィン2をそのままの大きさで加工すると形状の精度が低下する。そこで、本実施の形態では、冷却フィン2を複数のフィン部分2aに個片化してサイズを小さくする。これにより、各フィン部分2aの微細なスリットを高精度に形成することができる。よって、微細なスリットを持つ冷却フィンを材料歩留まり良く製造することができる。図5は、本発明の実施の形態1に係るプレート型冷却器の変形例1を示す斜視図である。変形例1では、冷却器に搭載する発熱部材の発熱量や大きさに合わせて、冷却性能や大きさが異なるフィン部分2aとフィン部分2bを組み合わせる。図6は、本発明の実施の形態1に係るプレート型冷却器の変形例2を示す斜視図である。変形例2では、冷却器に搭載する発熱部材の発熱量や大きさに合わせて、冷却フィン形状が異なる冷却フィン2aと冷却フィン2cを組み合わせる。ここで、冷却フィンのスリットが微細になるほど、放熱性能が高くなるが、圧損が上がる。従って、従来の冷却フィンでは、放熱性能をモジュールの最大発熱部分に合わせると、冷却器全体の圧損が上がってしまう。これに対し、変形例1,2では、放熱性能が互いに異なるフィン部分2a,2b,2cを用いる。そして、例えば、発熱量が大きい発熱部材の直下に微細スリットのフィン部分2aを配置し、他の発熱部材の直下に大きいスリットのフィン部分2cを配置する。これにより、圧損を軽減させつつ、冷却能力を向上させることができる。また、同一のヘッダ枠体1を用いながら冷却フィン2の組み合わせを変更することで、複数の品種に対応した冷却装置を安価に製造することができる。なお、フィン部分2a,2b,2cの一部を間引いて流路形状を最適化してもよい。図7~9は、本発明の実施の形態1に係る冷却フィンの製造方法を説明するための図である。まず、図7に示すように、直線又はそれに類似した形状の複数の線状部7とそれらを連接する連接部8とを持つ第1の平板9と、平坦な第2の平板10とを形成する。次に、図8に示すように、複数の第1の平板9を第2の平板10上に積層してロウ付けする。次に、図9に示すように、積層された第1の平板9の連接部8を切断して除去することで冷却フィン2を形成する。複数の線状部7を連接部8で連接することにより、微細な形状を持つ第1の平板9の剛性を確保することができる。従って、微細な冷却フィン2を精度よく安定に製造することができる。また、組立後に連接部8を削除することにより、連接部8が流路を妨げて圧力損失が増加するのを防ぐことができる。実施の形態2.本発明の実施の形態2に係るプレート型冷却器の製造方法について説明する。実施の形態2はヘッダ枠体1の形成方法が実施の形態1とは異なる。その他の構成は実施の形態1と同様である。まず、図10に示す片側開口形状コの字状の平板11を打ち抜き形成する。次に、図11に示すように、この平板11を互いにずらして積層することで第1の枠体部分1aを形成する。同様に、平板11を互いにずらして積層することで第2の枠体部分1bを形成する。そして、第1の枠体部分1aと第2の枠体部分1bをロウ付けで接合することでヘッダ枠体1を形成する。続いて、本実施の形態の効果について説明する。ヘッダ枠体1をそのままの大きさで加工すると、平板を大きく打ち抜く必要がある。このため、製品サイズが大きくなるに従って歩留りが悪化してしまう。そこで、本実施の形態では、ヘッダ枠体1をおよそ中央部で2分割した第1の枠体部分1aと第2の枠体部分1bを個別に形成し、それらを接合する。これにより、第1の枠体部分1aと第2の枠体部分1bのサイズが小さくなるため、歩留まりが改善される。なお、上記の実施の形態では、積層した平板によりヘッダ枠体1を構成した場合について説明した。これに限らず、ヘッダ枠体1をダイキャスト、機械加工、鍛造などにより、一体的に形成することもできる。これにより、ヘッダ枠体1の生産性が向上する。また、ヘッダ枠体1を構成する平板と冷却フィン2を構成する平板とを同じプレート部材から打ち抜き加工することが好ましい。これにより、ヘッダ枠体1の高さと冷却フィン2の高さを高精度に揃えることができるため、漏れのない高品質な冷却器を製造することができる。また、ヘッダ枠体1を構成する平板と冷却フィン2を構成する平板の枚数を増減させれば、冷却器の高さ厚さを簡単に変更することができる。また、ヘッダ枠体1や冷却フィン2の平板の接合には、ロウ付に限らず、接着や溶接などを用いてもよい。例えば、平板の間にシート状の接着剤やロウ材を挟み込んで接合する。予めロウ材が貼り付けられた平板を用いれば、効率よく組み立てることができる。"