ガス流46が特定の時間吸着ネット12を通過し、爆発性物質粒子18がその上に吸着され、吸着ネット12はその後爆発性物質粒子18が脱離する加熱温度に加熱され、脱離された爆発性物質粒子を含むガス流が、その検知のために検知器40に供給される、ガス流46中の爆発性物質粒子を検知するための方法において、検知される爆発性物質粒子18の粒子径と比較して小さい孔径を有するマイクロフィルタ12が吸着ネットとして使用されることを特徴とする方法。1μm未満、好ましくは400nm未満の孔径のマイクロフィルタ12が使用されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。加熱温度が設定され、加熱および脱離の後、検知される爆発性物質粒子18が気相でマイクロフィルタ12を通過することができる孔径のマイクロフィルタ12が使用されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。マイクロフィルタ12が、特定の爆発性物質を検知するために特定の温度に加熱されることを特徴とする、請求項1から3の何れか一項に記載の方法。収集モードにおいて、ガス流46aがマイクロフィルタ12を通過し、その後の検知モードにおいて、ガス流46bは、反対の流れ方向で、このとき加熱されるマイクロフィルタ12を通過して流れ、これに関連して、爆発性物質粒子18が脱離され、その後検知器40に供給され、ガス流は、検知モードにおいて、閉じた経路内を循環し、流れがマイクロフィルタ12を通過し、かつ検知器40を通過するようにすることを特徴とする、請求項1に記載の方法。その下流に検知器40が配置されるマイクロフィルタ12を含み、マイクロフィルタ12は加熱装置50、66およびマイクロフィルタ12の温度を制御する制御装置を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法を実施するための装置。マイクロフィルタ12を有するフローダクト32、および検知器40を有する循環ダクト34を含み、循環ダクトは収集モードにおいて遮断することができ、かつ検知モードでフローダクト32に接続することができ、閉じた環状ダクトを形成することを特徴とする、請求項1に記載の方法を実施するための装置。マイクロフィルタ12を加熱するためのハロゲンランプ66およびマイクロフィルタ12の温度を検知するための温度センサ72を含むことを特徴とする、請求項6または7に記載の装置。マイクロフィルタ12を抵抗加熱することができ、マイクロフィルタ12の温度を検知するために温度センサ72が提供されることを特徴とする、請求項6または7に記載の装置。フォトリソグラフィーエッチング法によって孔が形成されることを特徴とする、請求項6または7に記載の装置に使用されるマイクロフィルタ12の製造方法。これに基づき、本発明の目的は、爆発性物質の検知能力をさらに向上すること、または検知の閾値をさらに下げることである。この目的は、検知される爆発性物質粒子の粒子サイズまたは粒子直径よりも小さな孔径を有する、マイクロフィルタが吸着ネットとして使用されるという点で、本発明によって実現される。これに関して、用語マイクロフィルタは、約1μm程度の厚みの膜を意味すると理解され、これは支持構造体の結果として機械的安定性を有し、規則的な穿孔を含む。これらの穿孔は、好ましくは同じ直径を有し、それは好ましくは1μmよりも小さく、より好ましくは400nmよりも小さい。これによって、従来技術ではかなりの比率の粒子が吸着ネットのメッシュを通過することができ、累積が非常に少ないか、または非常に長い時間がかかるのに対して、従来技術とは異なり、ガス流中に存在する粒子の全てがその上に捕捉または吸着されることが可能になる。マイクロフィルタによって、粒子を表面に保持することができ、結果として、それらは容易に利用することができ、かつ再度容易に脱離することができる。対照的に、従来のメッシュは3次元の織物またはフェルトである。本発明によるこの構造は、粒子の全てが3次元構造体内ではなく単一の表面に存在し、そのため目的とする脱離がマイクロフィルタ表面の加熱によって可能となるため、特に脱離段階において有利である。所定の温度へのこの目標を定めた加熱は、特定の温度を設定することによって特定の爆発性物質に対する検知精度を実現するために、さらに使用され得る。このようにして、小さな爆発性物質粒子の携帯型粒子-ガス変換が有利には可能となる。マイクロフィルタの熱質量が小さいので、加熱過程の間非常に速い温度上昇と共に低出力での操作が可能になる。このようにして、粒子が単に脱離される代わりに、それらは分離されることができ、分子群が分裂し、これによって例えば窒素族を含む分子の追跡など違う方法での検知方法が可能となり得る。マイクロフィルタの孔径は、好ましくは検知される爆発性物質に応じて選択され、特定の爆発性物質を検知するために様々な孔径のマイクロフィルタを使用することも可能である。このために、マイクロフィルタを置換可能にすることも可能である。検知の選択性をさらに向上させるために、異なる孔径を有する2つのマイクロフィルタを連続して配置し、第1のマイクロフィルタは大きくかつ不要な粒子を捕捉するために大きな孔径例えば1μmを有し、第2のマイクロフィルタは小さな孔径例えば400nmを有し、下流に配置され、その上に検知される粒子が吸着されるようにすることも可能である。第2段階において、第2のマイクロフィルタのみ加熱され、その上に吸着された爆発性物質粒子のみが脱離され、検知器に供給されるようにする。その後、検知過程の終了後、第1のフィルタは、その上に吸着された不要な粒子を取り除くために加熱されてもよい。本発明の有利な形態によれば、加熱温度が設定され、マイクロフィルタは加熱および脱離の後気相において爆発性物質粒子がマイクロフィルタを通過することができる孔径で使用される。この温度は、約150°Cから250°Cである。本方法の、簡単な構造の装置を使用することができる、この特に簡単な実施形態において、気体は様々な流れ方向に配置全体にわたって流れる必要が無い。これに関連して、ガス流は、好ましくは恒久的に活性化され、マイクロフィルタを恒久的に通過して流れ、ガス検知器にはガス流が常に流れる。しかしながら、特定の時間特に約10~20秒の後、十分な粒子がマイクロフィルタに吸着され、マイクロフィルタが加熱されるとき、累積された爆発性物質粒子から得られる脱離物中に、爆発性物質粒子が十分な濃度で存在し、それは検知器によって良好に検知することができる。上述の方法を実施するのに好ましい装置は、その下流に検知器が配置されるマイクロフィルタを含み、マイクロフィルタは加熱装置およびマイクロフィルタの温度を制御する制御装置を含む。この簡易な配置において、マイクロフィルタおよび検知器には常に同じ方向に、爆発性物質粒子を含むガス流が流れ、これは構造という観点から非常に簡単なものである。本発明による方法の他の実施形態は、収集モードにおいて、ガス流がマイクロフィルタを通過し、その後の検知モードにおいて、ガス流は、反対の流れ方向で、この処理において加熱されたマイクロフィルタを通過して流れる。これに関連して、マイクロフィルタに付着した爆発性物質粒子が脱離され、検知器内においてこの累積された形態で分析され得る。これに関連して、ガス流は、検知モードにおいて、閉じた経路内を循環する。本方法のこの実施形態を実施するための装置は、マイクロフィルタを有するフローダクトおよび検知器を有する循環ダクトを含み、循環ダクトは収集モードにおいて遮断することができ、かつ検知モードでフローダクトに接続することができ、閉じた環状ダクトを形成する。有利な実施形態によれば、装置はマイクロフィルタを加熱するためのハロゲンランプを含み、それはコリメータを用いてマイクロフィルタ全体に平行かつ均一な照射を実施するか、または焦点レンズを用いてフィルタの特定の領域上に目標を有する方向で実施することが可能である。光学または抵抗温度計と併用して、マイクロフィルタの温度は正確に測定することができ、目標に応じて特定の温度を設定することを可能にする。これにより、時間に対する特定の所定の温度経過を設定することができ、様々なタイプの爆発性物質に対して選択的に実施することが可能となる。製造方法において、上述の装置の一つを用いるためのマイクロフィルタは、好ましくはフォトリソグラフィエッチングプロセスによって製造され、所定のサイズ範囲の理想的な直径において、マイクロフィルタの全ての孔の形成を可能にする。本発明は、好ましい実施例によって、添付される図面を参照しつつ、以下にさらに説明される。異なる図面において同様の参照番号は同様の要素を示す。図1は、基本的にマイクロフィルタ12、検知器14、および吸引ポンプ16からなる検知装置10aの第1実施形態を概略的に示す。爆発性物質粒子18で汚染された物品20も概略的に示され、その上を空気流22が通過し、これはマイクロフィルタ12を通過して流れ、さらに検知器14を通過する。これに関連して、爆発性物質粒子18図面では非常に拡大されて示されるは、選択された孔径爆発性物質粒子18のサイズと比較して小さいの結果として粒子はマイクロフィルタ12を通過することができないので、マイクロフィルタ12に付着する。特定の時間好ましくは約10から20秒の後、十分な爆発性物質粒子18がマイクロフィルタ12上に蓄積され、その後マイクロフィルタ12が加熱装置24を用いて好ましくは約150から250°Cの温度に加熱される。高い温度の結果として、爆発性物質粒子18はマイクロフィルタ12から脱離し、気相となり、その状態でマイクロフィルタ12の孔を通過することができ、結果的に高い濃度で検知器14に供給され得る。数秒間の特定の時間その間にマイクロフィルタ12に付着している実質的に全ての爆発性物質粒子18が脱離されるの後、加熱装置24のスイッチが再度切られ、分析されるさらなる物品20が爆発性物質粒子18に関して、再度ガス流22を用いて、分析され得る。図2aおよび2bは、爆発性物質粒子を検知するための装置10bの第2実施形態を概略的に示す。これは、マイクロフィルタ12が配置されるフローダクト32が取り付けられる、ガス入り口30を含む。フローダクト32は一端において、マイクロフィルタ12の両側でフローダクト32に連結されるU字循環ダクト34に連結される。フローダクト32は、出口ダクト36にさらに連結され、出口ダクト36の中に吸引ポンプ38が配置される。循環ポンプ39が循環ダクト34内に配置される。検知器40は、好ましくはイオン移動度分光分析器IMSまたは金属酸化物半導体ガスセンサMOXセンサであり、循環ダクト34の壁にさらに配置される。フローダクト32は入口ロック42によって入口30から、かつ出口ロック44によって出口ダクト36から、遮断され得る。装置10bが、図2aに収集モードで示され、図2bに検知モードで示される。図2aによる収集モードにおいて、入口ロック42が開き、入口30がフローダクト32と連通するようにする。出口ダクト36または循環ダクト34のどちらかを交互に遮断する出口ロック44は、循環ダクト34を閉じる位置に配置される。吸引ポンプ38を操作することによって、ガス流46a好ましくは周囲空気流は入口30内部に吸引され、そこからマイクロフィルタ12、フローダクト32、および出口ダクト36を通過し、ガス出口48に導かれる。これに関連して、ガス流46aと共に移送される爆発性物質粒子はマイクロフィルタ12に保持され、その小さな孔径の結果として、そこで粒子が凝集される。出口ロック44が循環ダクト34を閉じているので、そこを通過して流れることはない。数秒の時間の後、十分な爆発性物質粒子がマイクロフィルタ12上に凝集したとき、装置は図2bに示される検知モードに切り替えられ、入口ロック42は閉じられ、出口ロック44は出口ダクト36を閉じる位置に再配置される。さらに、吸引ポンプ38のスイッチが切られ、循環ポンプ39が代わりに作動される。この場合、閉じた環状のフローダクトが存在し、この中でガス流46bが循環する。同時に、電流がコンタクト50を介してマイクロフィルタ12を通過し、マイクロフィルタ12が、爆発性物質粒子がそこから脱離する温度に加熱されるようにする。ガス流46bが循環する一方で、マイクロフィルタ12に付着している爆発性物質粒子が脱離され、かつ爆発性物質が検知される検知器40を通過する。循環ポンプ39が作動され、循環ガス流46bが、収集モードにおけるガス流46aとは反対の方向にマイクロフィルタ12を通過するようにする。図3は、基本的に図2aおよび2bの10bによる実施形態に対応する、検知装置のさらなる実施形態10cを示す。それらの実施形態とは対照的に、閉じた循環ダクトは存在せず、代わりにフローダクト32は入口54および出口56に連結される。この実施形態において、検知モードでは、循環される代わりに、ガスは入口54を介して吸引され、マイクロフィルタ12を通過し、吸引ポンプ39を用いて出口56に導かれ、ガス流46cに同伴される爆発性物質粒子は検知器40によって検知される。これに関連して、マイクロフィルタ12は端子50を用いて再度電気的に加熱される。図4aおよび4bは、加熱可能なマイクロフィルタを含む検知装置の2つの実施形態を示す。図4aによる実施形態において、ガス入口60は、マイクロフィルタ12が配置されるフローダクト62内に開く。ガス出口64は、マイクロフィルタ12から下流に提供される。好ましくは約100から200ワットの出力であるハロゲンランプ66は、窓70を通して電磁波のビーム68をマイクロフィルタ12上に向け、マイクロフィルタ12を加熱する。窓74を含む光学温度計72が提供され、加熱されたマイクロフィルタ12によって放射される熱放射76を検知し、結果的にマイクロフィルタ12の温度を測定する。操作の間、爆発性物質粒子を含むガスはガス入口60およびフローダクト62を通って流れ、マイクロフィルタ12を通過し、爆発性物質粒子は、フィルタの孔径の結果として、マイクロフィルタ12上に保持され続ける。ガス流はその後ガス出口64を介して排出される。これに関連して、ハロゲンランプ66のスイッチが切られる。これは、収集モードで数秒間にわたって実施される。その後の検知モードにおいて、ハロゲンランプ66は作動され、マイクロフィルタ12を加熱し、これは温度計72によって監視される。ハロゲンランプ66および温度センサ72は制御手段を介して連結され、マイクロフィルタ12の所定の温度または所定の温度変化が設定される。これに関連して、検知モードにおいて、図1による実施形態のように、収集モードと同じ流れ方向で、または図2および3による実施形態のように反対の流れ方向で、フローダクト62中を流すことができる。図4bによる実施形態において、マイクロフィルタ12に関して抵抗ヒータが与えられ、端子50を介して電気エネルギーを供給される。この実施形態は、熱放射に関して光学的経路が必要ではないため、構成の観点からみて簡単である。この目的で、マイクロフィルタが、電気コンタクトを介して抵抗加熱される金属基板に固定されるのが好都合である。その代わりに、表面のマイクロ構造を有する加熱要素がフィルタ上に構築されてよく、これは熱質量が非常に低く、その結果迅速かつ有効な加熱および冷却であるという利点を有する。