第1方向に可動で、前記第1方向とは異なる第2方向に平行な第1の側面を有する可動部と、前記可動部に離間して設けられ、前記第1の側面に対向する第2の側面を有し、前記可動部を前記第1方向に可動に支持するフレームと、前記第1の側面に設けられ、前記第1方向と前記第2方向とに略直交する第3方向に垂直な一対の第1の面と第2の面とを有する櫛歯状の第1の電極と、前記第2の側面に、前記第1の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第3の面と第4の面とを有する櫛歯状の第2の電極と、を備え、前記第1の面及び前記第2の面は、それぞれ前記第3の面及び前記第4の面に対して、前記第3方向に偏差を有し、前記偏差の量は、重力の前記第3方向の成分が最大となる際に、前記重力により生じる前記可動部の前記第3方向への変位量の最大値よりも大きいアクチュエータ。第1方向に可動で、前記第1方向とは異なる第2方向に平行な第1の側面を有する可動部と、前記可動部に離間して設けられ、前記第1の側面に対向する第2の側面と、前記第1方向に水平かつ、前記可動部と対向する側面の裏面に一対の第3の側面とを有し、前記可動部を前記第1方向に可動に支持する第1のフレームと、前記第1のフレームに離間して設けられ、前記第3の側面に対向する第4の側面を有し、前記第1のフレームを前記第2方向に可動に支持する第2のフレームと、前記第1の側面に設けられ、前記第1方向と前記第2方向とに略直交する第3方向に垂直な一対の第1の面と第2の面とを有する櫛歯状の第1の電極と、前記第2の側面に、前記第1の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第3の面と第4の面とを有する櫛歯状の第2の電極と、前記第3の側面に設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第5の面と第6の面とを有する櫛歯状の第3の電極と、前記第4の側面に前記第3の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第7の面と第8の面とを有する第4の電極と、を備え、前記第1の面及び前記第2の面は、それぞれ前記第3の面及び前記第4の面に対して、前記第3方向に第1の偏差を有し、前記第1の偏差の量は、重力の前記第3方向の成分が最大となる際に、前記重力により生じる前記可動部の前記第3方向への変位量の最大値よりも大きい、あるいは、前記第5の面及び前記第6の面は、それぞれ前記第7の面及び前記第8の面に対して、前記第3方向に第2の偏差を有し、前記第2の偏差の量は、重力の前記第3方向の成分が最大となる際に、前記重力により生じる前記第1のフレームの前記第3方向への変位量の最大値よりも大きいアクチュエータ。第1方向に可動で、前記第1方向とは異なる第2方向に平行な第1の側面を有する可動部と、前記可動部に離間して設けられ、前記第1の側面に対向する第2の側面と、前記第1方向に水平かつ、前記可動部と対向する側面の裏面に第3の側面とを有し、前記可動部を前記第1方向に可動に支持する第1のフレームと、前記第1のフレームに離間して設けられ、前記第3の側面に対向する第4の側面を有し、前記第1のフレームを前記第2方向に可動に支持する第2のフレームと、前記第1の側面に設けられ、前記第1方向と前記第2方向とに略直交する第3方向に垂直な一対の第1の面と第2の面とを有する櫛歯状の第1の電極と、前記第2の側面に、前記第1の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第3の面と第4の面とを有する櫛歯状の第2の電極と、前記第3の側面に設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第5の面と第6の面とを有する櫛歯状の第3の電極と、前記第4の側面に前記第3の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第7の面と第8の面とを有する第4の電極と、前記第3方向に前記可動部と離間して設けられる基板と、前記可動部の前記基板側に設けられ、情報を記憶する記録媒体と、前記基板の前記可動部側に設けられ、プローブが配列されるプローブユニットと、を備え、前記第1の面及び前記第2の面は、それぞれ前記第3の面及び前記第4の面に対して、前記第3方向に第1の偏差を有し、あるいは、前記第5の面及び前記第6の面は、それぞれ前記第7の面及び前記第8の面に対して、前記第3方向に第2の偏差を有し、前記第1の偏差及び前記第2の偏差の方向は、前記基板を基準として、前記第3方向の前記可動部を向く方向である記憶装置。第1方向に可動で、前記第1方向とは異なる第2方向に平行な第1の側面を有する可動部と、前記可動部に離間して設けられ、前記第1の側面に対向する第2の側面と、前記第1方向に水平かつ、前記可動部と対向する側面の裏面に第3の側面とを有し、前記可動部を前記第1方向に可動に支持する第1のフレームと、前記第1のフレームに離間して設けられ、前記第3の側面に対向する第4の側面を有し、前記第1のフレームを前記第2方向に可動に支持する第2のフレームと、前記第1の側面に設けられ、前記第1方向と前記第2方向とに略直交する第3方向に垂直な一対の第1の面と第2の面とを有する櫛歯状の第1の電極と、前記第2の側面に、前記第1の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第3の面と第4の面とを有する櫛歯状の第2の電極と、前記第3の側面に設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第5の面と第6の面とを有する櫛歯状の第3の電極と、前記第4の側面に前記第3の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第7の面と第8の面とを有する第4の電極と、前記第3方向に前記可動部と離間して設けられる基板と、前記可動部の前記基板側に設けられ、プローブが配列されるプローブユニットと、前記基板の前記可動部側に設けられ、情報を記憶する記録媒体と、を備え、前記第1の面及び前記第2の面は、それぞれ前記第3の面及び前記第4の面に対して、前記第3方向に第1の偏差を有し、あるいは、前記第5の面及び前記第6の面は、それぞれ前記第7の面及び前記第8の面に対して、前記第3方向に第2の偏差を有し、前記第1の偏差及び前記第2の偏差の方向は、前記基板を基準として、前記第3方向の前記可動部を向く方向である記憶装置。前記第1の偏差の量は、重力の前記第3方向の成分が最大となる際に、前記重力により生じる前記可動部の前記第3方向への変位量の最大値よりも大きく、前記第2の偏差の量は、重力の前記第3方向の成分が最大となる際に、前記重力により生じる前記第1のフレームの前記第3方向への変位量の最大値よりも大きい請求項3または4記載の記憶装置。各電極に前記電圧を印加する第1の電圧発生部を備え、前記第1の電圧発生部は、前記第1の電極と前記第2の電極と、あるいは前記第3の電極と前記第4の電極とに電位差を与え、前記可動部を前記第3方向に駆動する、請求項3乃至5記載いずれか1項に記載の記憶装置。前記可動部に対して前記基板とは逆側に、前記可動部と離間して設けられるキャップと、前記基板上に設けられる第1の平板電極と、前記キャップ上に設けられる第2の平板電極と、前記可動部上に設けられ、前記第1の平板電極に対向して配置される第3の平板電極と、前記可動部上に設けられ、前記第2の平板電極に対向して配置される第4の平板電極と、をさらに備える、請求項3乃至6いずれか1項に記載の記憶装置。前記第3の平板電極及び前記第4の平板電極の前記第1方向の両端部は、それぞれ対向する前記第1の平板電極及び前記第2の平板電極の前記第1方向の両端部よりも、少なくとも前記可動部の前記第1方向への駆動量の上限値だけそれぞれ広く、前記第3の平板電極及び前記第4の平板電極の前記第2方向の両端部は、それぞれ対向する前記第1の平板電極及び前記第2の平板電極の前記第2方向の両端部よりも、少なくとも前記可動部の前記第2方向への駆動量の上限値だけそれぞれ広い、あるいは、前記第1の平板電極及び前記第2の平板電極の前記第1方向の両端部は、それぞれ対向する前記第3の平板電極及び前記第4の平板電極の前記第1方向の両端部よりも、少なくとも前記可動部の前記第1方向への駆動量の上限値だけそれぞれ広く、前記第1の平板電極及び前記第2の平板電極の前記第2方向の両端部は、それぞれ対向する前記第3の平板電極及び前記第4の平板電極の前記第2方向の両端部よりも、少なくとも前記可動部の前記第2方向への駆動量の上限値だけそれぞれ広い、請求項7記載の記憶装置。各平板電極に電圧を印加する第2の電圧発生部を備え、前記プローブと前記記録媒体とが非接触状態時、前記第2の電圧発生部は、前記第1の平板電極と前記第3の平板電極とに電位差を与え、かつ前記第2の平板電極と前記第4の平板電極とに電位差を与え、前記プローブと前記記録媒体との間隔を一定に保つ、請求項8記載の記憶装置。重力の影響を補償することのできるアクチュエータ及び記憶装置を提供する。実施形態のアクチュエータは、第1方向に可動で、前記第1方向とは異なる第2方向に平行な第1の側面を有する可動部と、前記可動部に離間して設けられ、前記第1の側面に対向する第2の側面を有し、前記可動部を前記第1方向に可動に支持するフレームと、前記第1の側面に設けられ、前記第1方向と前記第2方向とに略直交する第3方向に垂直な一対の第1の面と第2の面とを有する櫛歯状の第1の電極と、前記第2の側面に、前記第1の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第3の面と第4の面とを有する櫛歯状の第2の電極とを備える。また、前記第1の面及び前記第2の面は、それぞれ前記第3の面及び前記第4の面に対して、前記第3方向に偏差を有し、前記偏差の量は、重力の前記第3方向の成分が最大となる際に、前記重力により生じる前記可動部の前記第3方向への変位量の最大値よりも大きい。実施形態の記憶装置は、第1方向に可動で、前記第1方向とは異なる第2方向に平行な第1の側面を有する可動部と、前記可動部に離間して設けられ、前記第1の側面に対向する第2の側面と、前記第1方向に水平かつ、前記可動部と対向する側面の裏面に第3の側面とを有し、前記可動部を前記第1方向に可動に支持する第1のフレームと、前記第1のフレームに離間して設けられ、前記第3の側面に対向する第4の側面を有し、前記第1のフレームを前記第2方向に可動に支持する第2のフレームと、前記第1の側面に設けられ、前記第1方向と前記第2方向とに略直交する第3方向に垂直な一対の第1の面と第2の面とを有する櫛歯状の第1の電極と、前記第2の側面に、前記第1の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第3の面と第4の面とを有する櫛歯状の第2の電極と、前記第3の側面に設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第5の面と第6の面とを有する櫛歯状の第3の電極と、前記第4の側面に前記第3の電極の櫛歯と交互に離間して設けられ、前記第3方向に垂直な一対の第7の面と第8の面とを有する第4の電極と、前記第3方向に前記可動部と離間して設けられる基板と、前記可動部の前記基板側に設けられ、情報を記憶する記録媒体と、前記基板の前記可動部側に設けられ、プローブが配列されるプローブユニットとを備える。前記第1の面及び前記第2の面は、それぞれ前記第3の面及び前記第4の面に対して、前記第3方向に第1の偏差を有し、あるいは、前記第5の面及び前記第6の面は、それぞれ前記第7の面及び前記第8の面に対して、前記第3方向に第2の偏差を有し、前記第1の偏差及び前記第2の偏差の方向は、前記基板を基準として、前記第3方向の前記可動部を向く方向である。以下、発明を実施するための実施形態について説明する。第一の実施形態以下、本実施形態に係る記憶装置100の構成について、図1乃至図4を参照して詳細に説明する。図1aに示す記憶装置100は、データ以下、信号を保持可能な記録媒体103と、記録媒体103との間で信号の書き込みまたは読み出し以下、記録再生を行う複数のプローブ101を有するプローブユニット102と、プローブ101に対して記録媒体103を相対的に移動するためのアクチュエータ200とを備える。プローブユニット102の複数のプローブ101は、記録媒体103と対向するように配置している。各プローブ101の先端には電極を設けている。記録再生をおこなわない非記録再生時には、プローブ101と記録媒体103とは離間した状態にある。記録再生時には、アクチュエータ200が記録媒体103を移動させ、プローブ101を記録媒体103に接触させる。この接触した状態で、たとえば、プローブ101の電極に所定の電圧を加えることにより、プローブ101と記録媒体103との間で信号の記録再生を行う。記録媒体103は、例えば強誘電体材料を含む薄膜であり、この薄膜の電気的な状態変化を信号として保持する。強誘電体材料としては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛などが好ましい。プローブユニット102は、基板105上にマトリクス状に配列される複数のプローブ101を有する。図1bに示すように、以下ではプローブ101は、4×4のマトリクス状に配列されるものを例に説明する。本実施形態では、アクチュエータ200として、3軸に駆動可能な静電駆動型のアクチュエータを用いる。図2に示すアクチュエータ200は、記録媒体103を載置するための矩形状平板のステージ可動部201と、ステージ201の周囲に第1空間を介して設けられる可動フレーム202と、可動フレーム202の周囲に第2空間を介して設けられる固定フレーム203とを備える。これらステージ201、可動フレーム202、固定フレーム203は導電性の材料で形成される。固定フレーム203は導電性の支持部材213、214、215及び216により可動フレーム202を支持している。また、可動フレーム202は、導電性の支持部材212によりステージ201を支持している。ステージ201の平面が図2に示すxy平面に沿って配置されるものとすると、第1空間には第1駆動部204が設けられて、ステージ201を図2中x軸及びz軸方向に駆動する。第2空間には第2駆動部205が設けられて、ステージ201及び可動フレーム202を一体にy軸方向に駆動する。可動フレーム202は、具体的には図2に示すように、ステージ201の4つの側面201a~201dに第1空間を隔てて対向し、かつ機械的に接続されて一体のフレーム部材202a~202dを有する。各フレーム部材は機械的には一体化されているが、電気的には例えば絶縁性の部材217により隣接するフレーム部材とは互いに絶縁されている。このうち、フレーム部材202b及び202dは、導電性の支持部材212により4箇所で弾性的にステージ201を支持している。固定フレーム203は、可動フレーム202の4つのフレーム部材202a~202dの側面に、第2空間を隔てて対向する6つのフレーム部材203a~203fを有する。具体的には、一対のフレーム部材203a及び203bはフレーム部材202aと、フレーム部材203cはフレーム部材202bと、一対のフレーム部材203d及び203eはフレーム部材202cと、フレーム部材203fはフレーム部材202dとそれぞれ対向して配置する。一対のフレーム部材203a及び203bは、導電性の支持部材213及び215によりそれぞれ1箇所でフレーム部材202d及び202aを弾性的に支持している。また、一対のフレーム部材203dと203eは、導電性の支持部材216及び214によりフレーム部材202c及び202dを弾性的に支持している。フレーム部材203e、203b、203dには、それぞれ電圧を印加するための電極パッド211e、211a、211cが設けられている。また、フレーム部材203c、203fには、それぞれ同様に電圧を印加するための電極パッド211b、211dが設けられている。第1駆動部204は、それぞれ同一の矩形状で等間隔に一列y軸方向に配置している複数の第1可動部電極207a、207c及び複数の第1固定部電極208a、208cを備える。複数の第1可動部電極207a、207cは、側面201a及び201cに設けられて、第1空間内でx軸方向に突出している。複数の第1固定部電極208a、208cは、フレーム部材202a及び202cの側面に設けられて、第1空間内でx軸方向に突出している。この場合、第1可動部電極207a、207cと第1固定部電極208a、208cとは、電極間隔の1/2だけy軸方向にずれて、互いに噛み合う配置が好ましい。第1駆動部204は、隣接する第1可動部電極207と第1固定部電極208との間に働くx軸方向の静電力によりステージ201をx軸方向に並進駆動する。また、記録再生時には、第1駆動部204は、第1可動部電極207と第1固定部電極208との間に働くz軸方向の静電力によりステージ201をz軸方向に並進駆動して、プローブ101及び記録媒体103を接触状態にする。第2駆動部205は、それぞれ同一の矩形状で等間隔に一列x軸方向に配置している複数の第2可動部電極209b、209d及び複数の第2固定部電極208b、208dを備える。複数の第2可動部電極209b、209dは、フレーム部材202b及び202dの側面に設けられて、第2空間内でy軸方向に突出している。複数の第2固定部電極210b、210dは、フレーム部材203c及び203fの側面に設けられて、第2空間内でy軸方向に突出している。この場合、第2可変部電極209b、209dと第2固定部電極210b、210dとは、電極間隔の1/2だけx軸方向にずれて、互いに噛み合う配置が好ましい。第2駆動部205は、隣接する第2可動部電極209と第2固定部電極210との間に働くy軸方向の静電力によりステージ201及び可動フレーム202を一体にy軸方向に並進駆動する。図3には、プローブユニット102の基板105の一例を示す。基板105は、複数のプローブ101から受け取る信号の処理を行う処理部106、第1駆動部204及び第2駆動部205に対して印加する電圧の値を算出する制御部107、制御部107が算出する電圧を電極パッド211a~211eに印加する電圧発生部108を有する。図4は、非記録再生時における記憶装置100の断面図である。以下、ステージ201を基準にして、z軸方向のプローブユニット102側を上方、プローブユニット102とは逆側を下方と定義する。非記録再生時には、電極パッド211a~211eには電圧が印加されてない。ステージ201及び記録媒体103の自重と支持部材212の弾性力とが釣り合うことで、第1可動部電極207で形成される上方及び下方のxy平面以下、水平面は、第1固定部電極208で形成される両水平面よりもそれぞれ距離dだけ偏差を有し、z軸方向の下方で静止している。このとき、非記録再生時におけるプローブ101の先端と記録媒体103の平面との距離をzとすると、dzであることが好ましい。なお、図4に示すキャップ109は、例えばボンディング部110によりアクチュエータ200に接合され、記録媒体103をパッケージしている。このキャップ109はアクチュエータ200と電気的に絶縁関係である必要があるため、ボンディング部110には絶縁性の材料が好ましい。図5は、記録再生時における記憶装置の断面図である。記録再生時には、電圧発生部108が電極パッド211a~211eを介して、駆動部204、205の各電極に電圧を印加する。これにより、第1駆動部204が、ステージ201をz軸方向に駆動してプローブ101と記録媒体103とを接触させて、ステージ201をx軸方向に駆動する。同時に第2駆動部205が、ステージ201をy軸方向に駆動することで、プローブ101の記録媒体103に対する相対的な位置決めを行う。なお、この相対的な位置決めの際には、位置センサ104を用いてステージ201のx、y、z軸方向の変位を計測する。図5に示す位置センサ104は、例えばステージ201の記録媒体103とは裏面の四隅に設ける平板電極と、キャップ109の四隅に設けられる平板電極とがそれぞれ互いに向かい合わせて配置される。そして、この平板電極間の対向面積あるいは距離等の変化により生じる静電容量の変化により、ステージ201のx、y、z軸方向の変位を計測する。その後、プローブ101の相対位置を保った状態で、複数のプローブ101が各々あるいは同時に、記録媒体103に対して電圧を印加することで、信号の記録再生を行う。以下、図5及び図6を参照して、本実施形態の記憶装置100の相対的な位置決め動作について詳細に説明する。z軸駆動図5はz軸方向にステージ201を駆動し、プローブ101が記録媒体103に接触した状態を示す記憶装置100の横断面図である。本実施形態において、図4に示す静止状態での距離dは、記憶装置100が重力のz軸方向成分が最大となる姿勢の際に、この重力により生じるステージ201のz軸方向への変位量の最大値、すなわち記憶装置100の姿勢によらずに、重力によりステージ201がz軸方向に変位し得る最大の変位量をh、第1可動部電極207及び第1固定部電極208のz軸方向の幅をbとしたときに、hdbを満たすように規定する。なお、このうち下限の限定は、第1可動部電極207及び第1固定部電極208が対向面積を有するための条件である。電圧発生部108は、電極パッド211a及び211cに対してそれぞれ電圧V1、V2を印加し、同時に電極パッド211eに対しては電圧V1、V2とは異なる電圧V3を印加、あるいはアース電位V3=0とする。電極パッド211aは、フレーム部材203b及び支持部材215を介してフレーム部材202aに接続しているため図2参照、第1固定部電極208aにも電圧V1が加わる。また、電極パッド211cは、フレーム部材203d及び支持部材216を介してフレーム部材202cに接続しているため、第1固定部電極208cにも電圧V2が加わる。そして電極パッド211eは、フレーム部材203e、支持部材214、フレーム部材202d及び支持部材212を介してステージ201に接続しているため、第1可動部電極207a及び207cには電圧V3が加わる。したがって、第1駆動部204においては、図5中のx軸方向の右側にある第1固定部電極208aと第1可動部電極207aとの間には電位差V1-V3が生じ、x軸方向の左側にある第1固定部電極208cと第1可動部電極207cとの間には電位差V2-V3が生じている。第1駆動部204は、この電位差により第1固定部電極-第1可動部電極間には静電力引力が発生する。この静電力は対向面積を増す方向x軸、z軸方向及び互いを引き合う方向y軸方向に成分を有するが、このうちz軸方向の静電力により、上記の距離dの静止状態から、第1可動部電極207及び第1固定部電極208の両水平面のz軸方向の高さがそれぞれ一致し、d0となる方向にステージ201を駆動し、プローブ101と記録媒体103とを接触させる。なお、上記のy軸方向の静電力は、隣接する第1固定部電極と第1可動部電極との間で打ち消し合うために、あるいは厳密には打ち消し合っていない場合であっても、支持部材212により支持されるステージ201はy軸方向へは駆動しないため、ここでは考慮されない。x及びy軸駆動ステージ201をz軸方向へ駆動すると同時に、x軸及びy軸方向への駆動を行うことで記録媒体103の平面内でのプローブ101の位置決めが行われる。ここでは、例として図6に示すx軸方向への駆動について説明を行う。電圧発生部108は、例えば電極パッド211aに対して、電極パッド211cに印加する電圧よりも大きな電圧を印加するすなわち、V1>V2。この結果、|V1-V3|>|V2-V3|となるために、部電極207aと第1固定部電極208aとの間に生じるx軸方向の静電力が、第1可動部電極207cと第1固定部電極208cとの間に生じるx軸方向の静電力を上回ることで、ステージ201はx軸正方向へ駆動される。逆に電極パッド211cに対して、電極パッド211aに印加する電圧よりも大きな電圧を印加するすなわち、V2>V1と、第1可動部電極207cと第1固定部電極208cとの間に生じるx軸方向の静電力が、第1可動部電極207aと第1固定部電極208aとの間に生じるx軸方向の静電力を上回ることで、ステージ201はx軸負方向へ駆動される。y方向への駆動は、x軸駆動の際と同様に、電圧発生部108が第2可動部電極209bと第2固定部電極210bとの間のy軸方向の静電力、及び第2可動部電極209dと第2固定部電極210dとの間のy軸方向の静電力をそれぞれ調整することで行われる。なお、x軸方向及びy軸方向の駆動量の上限値は、電極が対向する側面に接触しない範囲内において予め決定することができる。また、具体的な電圧の値は、制御部107が、位置センサ104が計測するステージ201の変位を入力として、例えば変位の目標値との差が0に収束する方向に算出する。記録再生プローブ101及び記録媒体103が接触状態図5において、ステージ201及びプローブ101の電極は強誘電体材料の記録媒体103を介して部分的な強誘電キャパシタを形成する。そして、上記のように、プローブ101の記録媒体103に対する相対的な位置決めが行われた後、その状態を維持したまま、信号の記録再生を行う。具体的には、記録時には、プローブ101の電極が記録媒体103に対して電圧を印加し、記録媒体103に電荷の分極を生じさせることで信号の記録を行う。一方で、再生時には、プローブ101が記録媒体103に対してパルス電圧を印加して、処理部106が電荷の分極反転により生じる電流を検出することで、信号の再生を行う。この際、複数のプローブ101は各々あるいは同時に、記録媒体103に対して電圧を印加することで信号の記録再生を行うことができる。また、記録媒体103としては、金属酸化物等の材料から形成される絶縁性の薄膜を用いることも可能であるが、この際には、プローブ101が印加する電圧により生じる記録媒体103の抵抗変化を信号として記録再生を行うことができる。なお、記憶装置100のアクチュエータ200は、例えば1枚のSiウェハ等からリソグラフィ及びエッチングにより形成することができる。特に第1駆動部204を形成する際には、例えば一方の面では、第1固定部電極208を形成する領域にマスクを形成した状態で、ステージ201及び第1可動部電極207を形成する領域をエッチングする。そして、上記とは逆の面では、第1可動部電極207を形成する領域にマスクを形成した状態で、第1固定部電極208を形成する領域をエッチングすることで形成することができる。本実施形態の記憶装置100では、アクチュエータ200のステージ201上に記録媒体103が搭載され、この記録媒体103に対向してプローブユニット102が設置される構成を例に説明を行ったが、ステージ201上にプローブ101をアレイ状に配置し、このプローブ101に対向して記録媒体103を基板105に設置することも可能である。また、ステージ201と、可動フレーム202の各フレーム部材と、固定フレーム203の各フレーム部材と、各支持部材との接続関係は上記に限定されるものではなく、第1可動部電極207と第1固定部電極208とが電気的に絶縁関係に、第2可動部電極209と第2固定部電極210とが電気的に絶縁関係であればよい。さらに、上記に加えて第2可動部電極209で形成される両水平面は、第2固定部電極210で形成される両水平面よりもそれぞれ距離d2だけ、z軸方向の下方に位置するものであってもよい。この際には、記憶装置100の姿勢によらずに、重力により可動フレーム202がz軸方向へ変位し得る最大の変位量をh2、第2可動部電極209及び第2固定部電極210のz軸方向の幅をb2としたときに、上記の距離d2が、h2d2b2を満たすように規定する。また、このときには、dd2zすなわち、d2zdであることが好ましい。本実施形態の記憶装置100によれば、例えば記憶装置100の設置方向変化することでステージ201が重力により変位する際にも、第1可動部電極207は固定部電極208よりもz軸方向の基板105とは逆側に位置する。したがって、このとき電極間の対向面積を増す方向に働く安定した静電力により、ステージ201をz軸方向の基板105側へ安定に駆動することができる。その結果、安定した記録再生を行うことができる。また、z軸方向の重力による影響でプローブ101と記録媒体103とが予期せずに接触してしまうことによる、プローブ101の破損を防ぐことができる。第二の実施形態以下、本実施形態の記憶装置300について図7乃至図9を参照して詳細に説明する。図7は本実施形態の記憶装置300の概略図である。また、図8は本実施形態の記憶装置300の構成を示す横断面図である。第一の実施形態の記憶装置100の構成と異なるのは、本実施形態の記憶装置300がさらに、アクチュエータ400とプローブユニット102間の空間第3空間に第3駆動206aと、アクチュエータ400とキャップ109間の空間第4空間に第3駆動部206bとを備えている点である。ここでは、第一の実施形態の記憶装置100と共通の構成については同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。第3駆動部206aは、例えばステージ201上の周辺部に設けられる矩形状の第1平板電極401aと、第3空間を介してステージ201に対向するプローブユニット102に設けられる矩形状の第2平板電極402aとが互いに、中心軸を共有して対向して配置される。第3駆動部206bは、例えばステージ201上の周辺部に設けられる矩形状の第1平板電極401bと、第4空間を介してステージ201に対向するキャップ109に設けられる矩形状の第2平板電極402bとが互いに、中心軸を共有して対向して配置される。第3駆動部206a及び206bは、記録再生時には、第1駆動部204がステージ201をz軸方向に駆動した後、対向する平板電極間に電位差を与え、この際のz軸方向の静電力によりプローブ101と記録媒体103との間の接触力を調整する。また、非記録再生時には、上記のz軸方向の静電力によりプローブ101と記録媒体103との間の距離を一定に保つ。また、第1平板電極401aと第2平板電極402aと、第1平板電極401bと第2平板電極402bとはそれぞれ異なる面積を有し、ステージ201がx軸あるいはy軸方向に最大限駆動する場合であっても、電極間の対向面積が一定となる。具体的には、第1平板電極401a、401bのx軸方向の両端部は、第2平板電極402a、402bのx軸方向の両端部よりも、少なくとも第1駆動部204によるステージ201の駆動量の上限値以上それぞれ広い。また、第1平板電極401a、401bのy軸方向の両端部は、第2平板電極402a、402bのy軸方向の両端部よりも、少なくとも第2駆動部205によるステージ201の駆動量の上限値以上それぞれ広い。図9は、第1駆動部204がx軸正方向にステージ201を上限まで駆動している状態を示す断面図である。ここでは、第1平板電極401a、401bのx軸方向の両端部は、第2平板電極402a、402bの両端部よりも第1駆動部204の駆動量の上限値だけ広い。この状態において、第1平板電極401a、401bのx軸負方向の端部と第2平板電極402a、402bのx軸負方向の端部とはx軸方向において一致する。また、x軸負方向にステージ201を上限まで駆動する際にも同様に、両平板電極401aと402a、及び401bと402bのx軸正方向の端部がx軸方向において一致する。ここでの説明は省略するが、第2駆動部205によりステージ201をy軸方向に駆動する場合にも同様のことが言える。これにより、第1駆動部204及び第2駆動部205によりステージ201を駆動した際でも第1平板電極401aと第2平板電極402aとの対向面積は常時一定となり、両平板電極401a及び402a間の静電容量は一定に保たれる。その結果、安定した静電力により接触力の調整を行うことができる。動作記録再生時には、電圧発生部108が、第1平板電極401aと第2平板電極402a間及び第1平板電極401bと第2平板電極402b間に電位差を与えることで、電極間に働くz軸方向の静電力を発生させる。このとき、第1平板電極401aと第2平板電極402a間に発生する静電力をF1、第1平板電極401bと第2平板電極402b間に働く静電力をF2とすると、F1>F2のとき、ステージ201は上方側へ引き付けられる。逆に、F1<F2のときには、ステージ201は下方側へ引き付けられる。この静電力F1及びF2の差を調整することで、プローブ101と記録媒体103との間の接触力を調整する。非記録再生時には、電圧発生部108が、第1平板電極401aと第2平板電極402a間及び第1平板電極401bと第2平板電極402b間に電位差を与えることで、電極間に働くz軸方向の静電力を発生させる。このとき、上記の静電力をF1=F2とすることで、装置の設置方向が変化した際や一時的に外乱が加わった際にもステージ201は静止状態を保つ。なお、本実施形態では、第1平板電極401a、401bの面積を第2平板電極402a、402bの面積よりも広くしたが、上記のようにステージ201が駆動する際にも常時対向面積が一定となればよいので、第2平板電極402a、402bの面積が第1平板電極401a、402aの面積よりも広くすることも可能である。以上説明した少なくとも1つの実施形態の記憶装置によれば、重力や外乱などの影響を補償することが可能となる。これら実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、様々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同時に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。