"複数のステージが設けられ該複数のステージを移動させるインデックステーブル手段と、該複数のステージに複数の半導体チップを搭載して該複数の半導体チップを検査する検査手段とを有する半導体検査装置。前記ステージ上に搭載され、前記半導体チップが内部に収容されて通電可能とされるソケット手段を更に有する請求項1に記載の半導体検査装置。前記ソケット手段は、前記半導体チップの上面または下面の各端子に対して電気的に接続可能に構成されている請求項2に記載の半導体検査装置。半導体ウエハを個片化した後の複数の半導体チップのうち、これよりも少ない複数の半導体チップを、前記インデックステーブルの複数のステージのうち、これよりも少ない複数のステージに移送する第1移送手段を更に有する請求項1に記載の半導体検査装置。前記半導体チップが発光素子チップであって、前記検査手段は該発光素子チップの光学検査およびDC特性検査を行う請求項1に記載の半導体検査装置。前記ソケット手段は、前記半導体チップの搭載面に反射板が設けられている請求項2または3に記載の半導体検査装置。前記ソケット手段は、前記半導体チップの周辺部を開放しているかまたは該周辺部に光透過材が設けられている請求項2、3および6のいずれかに記載の半導体検査装置。検査後のソケット手段内の半導体チップを別シートに検査結果に応じて移送する第2移送手段を更に有する請求項1または4に記載の半導体検査装置。前記第1移送手段および第2移送手段は、複数の半導体チップを一括して移送する場合に、移送先と移送元の該複数の半導体チップのピックアップピッチが異なっている請求項4または8に記載の半導体検査装置。前記ソケット手段は、前記半導体チップを内部で位置決めする位置決め機構を有する請求項2または3に記載の半導体検査装置。前記検査手段は、前記インデックステーブル手段の各ステージに所定の各測定機能を有する請求項1に記載の半導体検査装置。前記インデックステーブル手段の各ステージに設けられた検査手段の全てを同時に駆動させて同時に検査する請求項11に記載の半導体検査装置。前記ソケット手段は、ソケット蓋開閉機構により開閉が行われる請求項2または3に記載の半導体検査装置。前記インデックステーブル手段は、外形が平面視円形状、楕円形状、長円形状の他、角部分が丸くなった三角形状、四角形状、多角形状および半円形状、さらに一または複数の直線状のうちのいずれかである請求項1に記載の半導体検査装置。前記インデックステーブル手段はそのステージが複数連続して直線状に並ぶ部分を有する請求項14に記載の半導体検査装置。前記インデックステーブル手段は、個片化した半導体ウエハの検査対象の複数の半導体チップの配置位置の周囲近傍に、一または複数配置されている請求項1に記載の半導体検査装置。上記従来の半導体検査装置100では、図7に示すように、粘着シート101上のLED素子チップ103のx-y-θ補正を行いながらプローブ104によりコンタクトしている。このため、位置合わせの時間を要するのと、粘着シート101を引き伸ばした状態で、半導体ウエハ102に多数設けられた各LED素子チップ103を順次検査するので、LED素子チップ103の配列ズレによってはプローブ104がコンタクトできないという問題があった。また、半導体ウエハ102に多数設けられた各LED素子チップ103を1個づつ順位測定するために多大な検査時間を要していた。また、LED素子チップ103で発光した光は上方だけではなく下方の粘着シート101側にも照射されるが、粘着シート101が光を吸収して上側で光量を測定したとしても正確な光量検査を行うことができない。通常は、粘着シート101側には反射板が設けられてLED素子チップ103から下側に照射された光も前方に向けられるようになっている。次に、特許文献1に開示されている上記従来の半導体検査装置200では、図8に示すように、粘着シート202自体に電極を持たせて裏面のコンタクトを可能とするものの、LED素子の場合、サファイヤガラスをベースとするため、サファイヤガラスの研磨により薄く削るなど、発光素子チップ201の裏面201aに電極を形成することは非常に困難であった。また、シート状態でのプローブ電極205と上部電極209とのコンタクトでは、大電流チップの測定の場合、発熱で粘着シート202が解ける可能性が高い。このときのシート温度は摂氏200度以上になる虞がある。さらに、従来技術のシート状態では、コンタクト裏面発光フリップチップに対応できず、既存の装置では、粘着シート202を介して光学系の測定をするため、正確な測定が全くできない。さらに、シート状態で発光光量を測定する場合、隣接チップとの距離により発光を妨げるため、正確な発光量の測定ができない。また、粘着シート202が介在することにより、裏面からの反射光を取れず、実仕様と異なった環境測定になってしまう。さらに、シート方式の場合に粘着シート202を引き伸ばした状態でLED素子チップ201を検査するので、各LED素子チップ201に粘着シート202の引き伸ばしによるθズレが発生するという問題があった。本発明は、上記従来の問題を解決するもので、粘着シートを引き伸ばした状態での発光素子の光量検査時に生じる配列ズレによるミスコンタクトによる問題、多大な検査時間の問題、素子裏面端子の製作の問題や発熱の問題、裏面発光の問題を解消すると共に、実仕様に合致したより正確な光量検査を効率よく行うことができる半導体検査装置を提供することを目的とする。本発明の半導体検査装置は、複数のステージが設けられ該複数のステージを移動させるインデックステーブル手段と、該複数のステージに複数の半導体チップを搭載して該複数の半導体チップを検査する検査手段とを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。また、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるステージ上に搭載され、前記半導体チップが内部に収容されて通電可能とされるソケット手段を更に有する。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるソケット手段は、前記半導体チップの上面または下面の各端子に対して電気的に接続可能に構成されている。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置において、半導体ウエハを個片化した後の複数の半導体チップのうち、これよりも少ない複数の半導体チップを、前記インデックステーブルの複数のステージのうち、これよりも少ない複数のステージに移送する第1移送手段を更に有する。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置における半導体チップが発光素子チップであって、前記検査手段は該発光素子チップの光学検査およびDC特性検査を行う。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるソケット手段は、前記半導体チップの搭載面に反射板が設けられている。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるソケット手段は、前記半導体チップの周辺部を開放しているかまたは該周辺部に光透過材が設けられている。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置における検査後のソケット手段内の半導体チップを別シートに検査結果に応じて移送する第2移送手段を更に有する。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置における第1移送手段および第2移送手段は、複数の半導体チップを一括して移送する場合に、移送先と移送元の該複数の半導体チップのピックアップピッチが異なっている。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるソケット手段は、前記半導体チップを内部で位置決めする位置決め機構を有する。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置における検査手段は、前記インデックステーブル手段の各ステージに所定の各測定機能を有する。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるインデックステーブル手段の各ステージに設けられた検査手段の全てを同時に駆動させて同時に検査する。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるソケット手段は、ソケット蓋開閉機構により開閉が行われる。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるインデックステーブル手段は、外形が平面視円形状、楕円形状、長円形状の他、角部分が丸くなった三角形状、四角形状、多角形状および半円形状、さらに一または複数の直線状のうちのいずれかである。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるインデックステーブル手段はそのステージが複数連続して直線状に並ぶ部分を有する。さらに、好ましくは、本発明の半導体検査装置におけるインデックステーブル手段は、個片化した半導体ウエハの検査対象の複数の半導体チップの配置位置の周囲近傍に、一または複数配置されている。上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。本発明においては、複数のステージが設けられ該複数のステージを移動させるインデックステーブル手段と、該複数のステージに複数の半導体チップを搭載して該複数の半導体チップを検査する検査手段とを有する。これによって、粘着シートを引き伸ばした状態で直に検査をするのではなく、インデックステーブル手段を介して検査するので、粘着シートを引き伸ばした状態での発光素子の光量検査時に生じる弊害が改善される。例えば配列ズレによるミスコンタクトによる問題、多大な検査時間の問題、素子裏面端子の製作の問題や発熱の問題、裏面発光の問題を解消すると共に、実仕様に合致したより正確な光量検査を効率よく行うことが可能となる。以上により、本発明によれば、インデックス方式により複数個をチップズレのない状態で同時に測定が可能となる。また、インデックステーブルの採用により、DC特性検査、光学系検査積分球の配置およびその設置数を任意に配置できることで同測数を増やすことが可能となる。また、ソケット方式のため、発熱および遮光の問題がなく測定ができ、かつコンタクト面発光、コンタクト裏面発光に容易に対応が可能であり、実仕様に近い状態での測定が可能となる。このように、粘着シートを引き伸ばした状態での発光素子の光量検査時に生じる配列ズレによるミスコンタクトによる問題、多大な検査時間の問題、素子裏面端子の製作の問題や発熱の問題、裏面発光の問題を解消すると共に、実仕様に合致したより正確な光量検査を効率よく行うことができる。以下に、本発明の半導体検査装置の実施形態1、2について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図における構成部材のそれぞれの厚みや長さなどは図面作成上の観点から、図示する構成に限定されるものではない。実施形態1図1は、本発明の実施形態1における半導体検査装置を用いた半導体検査方法を説明するための模式図である。図1において、本実施形態1の半導体検査装置1は、複数のステージが設けられ、複数のステージ21を移動させる円形状のインデックステーブル手段としてのインデックステーブル2と、ステージ21上に搭載され、半導体チップとしてのLED素子チップ5が内部に収容されて通電可能とされるソケット手段としてのソケット6と、半導体ウエハ4を個片化した後の複数のLED素子チップ5のうち、これよりも数が少ない一または複数のLED素子チップ5を、インデックステーブル2の複数のステージのうち、これよりも数が少ない一または複数のステージ21上の各ソケット6に移送する第1移送手段としてのピッカー71と、複数のステージ21に複数のLED素子チップ5を搭載して複数のLED素子チップ5を検査する検査手段と、検査後のソケット6内のLED素子チップ5を別シートに検査結果に応じて移送する第2移送手段としてのピッカー72,73とを有している。インデックステーブル2は、複数のステージ21が等間隔に設けられた平面視円形の回転テーブルである。インデックステーブル2は、1ステージ21分づつ回転し、各ステージ21にはソケット6が脱着自在に搭載されている。ソケット6は、粘着シート3上で個片化された半導体ウエハ4に多数設けられた各LED素子チップ5を順次載置して位置決めすると共にLED素子チップ5の各端子に所定電圧を印加可能とする。このように、ソケット6は、LED素子チップ5を内部で位置決めする位置決め機構を有するので、チップサイズが変わっても対応できるように構成さている。ソケット6は、詳細に後述するソケット蓋開閉機構により開閉を行う。ピッカー71は、粘着シート3上のLED素子チップ5をソケット6内にセットする。ピッカー71は、粘着シート3上のLED素子チップ5を吸引などによってピックアップして取り出し、そのLED素子チップ5をソケット6内に載置する。ピッカー72は、ソケット6内のLED素子チップ5を良品シート81に移送する。ピッカー73は、ソケット6内のLED素子チップ5を不良品シート82に移送する。ピッカー71~73において、1個のLED素子チップ5を移送する場合の他に、複数のLED素子チップ5を一括して移送する場合は、移送先と移送元の複数のLED素子チップ5のピックアップピッチが異なっている。検査手段は、発光素子チップとしてのLED素子チップ5の光学検査例えば光量検査の積分球91,92およびDC特性検査などを行う。インデックステーブル2の各ステージ21毎に所定の各測定機能を有する検査手段が搭載されている。また、インデックステーブル2の各ステージ21に設けられた検査手段の全てを別々または同時に駆動させて別々または同時に検査する。図2aは、第1光量検査と第1DC特性検査を行う場合の図1のインデックステーブルの平面図であり、図2bは、第1光量検査と第1DC特性検査の後に第2光量検査と第2DC特性検査を行う場合の図1のインデックステーブルの平面図であって、図2c~図2eは図1のソケット6の各事例を模式的に示す斜視図である。図2aに示すように、まず、ピッカー71により粘着シート3上のLED素子チップ5を取り出し、その取り出したLED素子チップ5をソケット6内に載置した後にソケット6の蓋61を閉める。次に、インデックステーブル2は1ステージ分だけ回転した後に上昇して積分球9の下方開口部にソケット6の上方開口部を合体することにより、ソケット6内のLED素子チップ5に通電が為されて発光した光量を積分球91により正確に測定する。続いて、そのステージ21上のソケット6と共に下方に移動して積分球91の下方開口部とソケット6の窓部62との合体を解除した後に、インデックステーブル2は1ステージ分だけ回転し、ソケット6内のLED素子チップ5に所定の電圧を印加したときに流れる電流値などを測定するDC特性検査を行う。その後、インデックステーブル2は1ステージ分だけ回転した後に、ソケット6の蓋が開放されて、第1光量検査と第1DC特性検査においてLED素子チップ5が良品であった場合に、ピッカー72により内部からLED素子チップ5が取り出されて良品シート81の所定位置に移送される。さらに、インデックステーブル2は更に1ステージ分だけ回転した後に、第1光量検査と第1DC特性検査の少なくともいずれかにおいてLED素子チップ5が不良品であった場合に、ピッカー73により内部からLED素子チップ5が取り出されて不良品シート82の所定位置に不良項目に分けて移送されて載置される。このように、インデックステーブル2の任意のステージ21に光学系測定ステージ光量検査および電気特性テストステージDC特性検査を設け、同測数を容易に増減できる機構を持っている。なお、図2bでは、以上の第1光量検査と第1DC特性検査の後に第2光量検査と第2DC特性検査が行われる場合を示している。次に、ソケット6の各事例について説明する。図2cに示すように、ソケット6は、蓋61がケース64に対して開閉するようになっている。ソケット6の蓋61には、発光した光を取り出すための窓部62が設けられている。窓部62は開放されていてもよいし、窓部62に光透過材が設けられていてもよい。要するに、ソケット6は、LED素子チップ5の周辺部を光取り出し用に開放されていてもよいし、または光取り出し用に周辺部に光透過材が設けられていてもよい。ソケット6は、LED素子チップ5を内部で位置決めする位置決め機構を有する。窓部62に対応する蓋61の裏面からプローブまたは各端子63a,63bが下方に突出している。蓋61を閉めることによって、ケース64の凹部65内に収容され、ピン66によって押されて片側に寄せられて位置決めされた状態で吸着部67で固定されたLED素子チップ5の表面側の各端子に、そのプローブまたは各端子63a,63bがそれぞれ接触するようになっている。これによって、LED素子チップ5の表面側の各端子にプローブまたは各端子63a,63bを通して通電してLED素子チップ5を発光させることができる。ソケット6は、LED素子チップ5の搭載面側に反射板が設けられており、LED素子チップ5からの発光が反射板によって窓部62側に照射される。このソケット6を用いることによって、LED素子チップ5のチップサイズが変わっても容易に対応できる。図2dに示すように、ソケット6Aも、蓋61がケース64に対して上下に開閉するようになっている。ソケット6Aの蓋61には、発光した光を取り出すための窓部62Aが設けられている。ケース64の凹部65の底面からプローブまたは各端子63a,63bが上方に突出している。裏面照射型であっても裏面を上にして表面側の各端子を下側にしてLED素子チップ5を、ケース64の凹部65の内部に挿入すると共に蓋61を閉めることによりLED素子チップ5を位置決め機構により内部で位置決めすることができる。このように、蓋61を閉めることにより位置決め機構を構成するピン66を突出させて、ピン66で押してLED素子チップ5を片側に寄せて位置決めした状態で吸着部67で固定する。ケース64の凹部65の底面からプローブまたは各端子63a,63bとLED素子チップ5の各端子とを接触させることにより導通させて、LED素子チップ5からの発光を上側の窓部62Aから容易に取り出すことができる。この場合も、ソケット6Aは、LED素子チップ5の搭載面側に反射板が設けられており、LED素子チップ5からの発光が反射板によって窓部62A側に照射される。このソケット6Aを用いることによって、LED素子チップ5のチップサイズが変わっても容易に対応できる。以上のソケット6,6Aは、LED素子チップ5の上面または下面の各端子に対して電気的に接続可能に構成されている。図2eに示すように、ソケット6Bは、台部材69の上側が開放されている。ソケット6Bは、LED素子チップ5を位置決めする位置決め機構を有している。平面視4角形の対角方向の二つの角部上に、対角位置に配置されたL字状部材68がその内側隅部分を対角方向中心側に移動自在に構成されている。台部材69の中央部分上からプローブまたは各端子63a,63bが上方に突出ており、LED素子チップ5を台部材69上に搭載された時点で、対角位置の二つのL字状部材68をLED素子チップ5と共に対角方向中心側互いに逆向きに移動させてLED素子チップ5を位置決めする。この位置決めした状態でLED素子チップ5を吸着部67で固定する。これによって、台部材69から突出したプローブまたは各端子63a,63bとLED素子チップ5の各端子とを接触させて導通させ、LED素子チップ5からの発光を上側に容易に取り出すことができる。ソケット6Bは、LED素子チップ5の周辺部を開放している。この場合も、LED素子チップ5のチップサイズが変わっても容易に対応できる。次に、LED素子チップ5に対するソケット6の位置決め機構について図3a~図3cを用いて更に詳細に説明する。図3a~図3cは、LED素子チップ5に対する図1のソケット6の位置決め機構を説明するための縦断面図である。図3aに示すように、ソケット6において、ヒンジ61aにより蓋61が開いた状態でLED素子チップ5がピッカー71によって移送されてケース64の凹部65内に載置される。図3bに示すように、ケース64に対してヒンジ61aにより蓋61が閉じるときに、これに連動して、ピン66が突出してLED素子チップ5の側面を押してLED素子チップ5を片側に寄せて位置決めする。この場合、ケース64の凹部65の内側面に平面視でテーパが付いていれば、ピン66の突出方向に直交する方向にもLED素子チップ5を寄せることができてLED素子チップ5を正確に位置決めすることができる。図3cに示すように、ソケット6において、ケース64に対してヒンジ61aにより蓋61が閉じた場合、蓋61の先端のフック61bがケース64に係合して固定される。この場合に、プローブまたは各端子63a,63bとLED素子チップ5の各端子とが1対1に対応して互いに接触する。これによって、プローブまたは各端子63a,63bとLED素子チップ5の各端子とを導通させ、LED素子チップ5からの発光を上側の窓部62を通して容易に取り出すことができる。ソケット6は、蓋61を閉じると、その先端のフック61bによりケース64に係合して蓋61が閉まったままになり、もう一度、蓋61を押圧すると、フック61bがケース64に係合部から外れて蓋61が容易にあくように構成されている。ここで、ソケット6を開閉するソケット蓋開閉機構について説明する。ソケット蓋開閉機構は、図4のソケット蓋開け機構10Aと図5のソケット蓋押さえ機構10Bとを有している。図4は、図1の半導体検査装置1に用いるソケット蓋開け機構10Aを示す側面図である。図4において、ソケット蓋開け機構10Aは、回転軸11の上端にアーム12が回転軸11と共に回転自在に設けられており、アーム12の先端部分が下方にL字状に屈曲した先端部13によってソケット6の蓋61上を押圧することにより、フック61bが外れてソケット6の蓋61を開けることができる。ソケット蓋開け機構10Aは、インデックステーブル2の下流側に設けられており、検査後のLED素子チップ5を取り出すためにソケット6の蓋61を押して開ける機構になっている。図5は、図1の半導体検査装置1に用いるソケット蓋押さえ機構10Bを示す側面図である。図5において、ソケット蓋押さえ機構10Bは、回転軸15の上端にアーム16が回転軸15と共に回転自在に設けられており、アーム16の先端部分が下方にL字状に屈曲した先端部17およびその角部18によって、ソケット6の蓋61を角部18で途中まで閉めて先端部17で押えて完全に閉めるようになっている。ことにより、ソケット6の蓋61を容易に閉めることができる。ソケット蓋押さえ10Bは、インデックステーブル2の上流側に設けられ、検査前のLED素子チップ5がピッカー71によって移送されてソケット6内に収容された後に、ソケット6の蓋61を閉めるようになっている。上記構成により、以下、その動作について説明する。まず、インデックステーブル2の各ステージ21にはチップサイズに合わせたソケット6が脱着式で搭載される。次に、粘着シート2上で個片化された半導体ウエハ3に多数設けられた各LED素子チップ5を、粘着シート2を引っ張った状態で、粘着シート2から1チップ毎にピッカー71でピックアップして取り出し、取り出したLED素子チップ5をインデックステーブル2の所定のステージ21上のソケット6内に載置する。この場合、ピッカー71でLED素子チップ5をソケット6内に移送後、ソケット6は位置決め機構を有するため、ピッカー71でのチップ移送に精度が必要なく高速移送が可能となる。次に、インデックステーブル2を1ステージ分回転すると共に、ソケット蓋押さえ機構10Bによりソケット6の蓋61を角部18で途中まで閉めて先端部17で押えてソケット6の蓋61を完全に閉める。続いて、インデックステーブル2は上昇して積分球91の下方開口部にソケット6の窓部62を合体することにより、ソケット6内のLED素子チップ5に通電が為されて発光した光量を積分球91により正確に測定する光量検査を行う。さらに、インデックステーブル2は、そのステージ上のソケット6と共に下方に移動して積分球91の下方開口部とソケット6の窓部62との合体を解除した後に、インデックステーブル2は1ステージ分だけ回転し、ソケット6内のLED素子チップ5に所定の電圧を印加したときに流れる電流値などを測定するDC特性検査を行う。さらに、インデックステーブル2は1ステージ分だけ回転した後に、光量検査とDC特性検査においてLED素子チップ5が良品であった場合に、ソケット蓋開け機構10Aによりソケット6の蓋が開放され、ピッカー72により内部からLED素子チップ5が取り出されて良品シート81の所定位置に移送される。この場合に、測定により判定されたLED素子チップ5が良品ランク別に良品シート81に移載する。さらに、インデックステーブル2は更に1ステージ分だけ回転した後に、光量検査と第1DC特性検査の少なくともいずれかにおいてLED素子チップ5が不良品であった場合に、ソケット蓋開け機構10Aにより蓋61が開放されたソケット6の内部からピッカー73によりLED素子チップ5が取り出されて不良品シート82の所定位置に不良項目に分けて移送される。以上により、本実施形態1によれば、複数のステージ21が設けられ、複数のステージ21を移動させるインデックステーブル2と、ステージ21上に搭載され、半導体チップとしてのLED素子チップ5が内部に収容されて通電可能とされるソケット6と、半導体ウエハ4を個片化した後の複数のLED素子チップ5のうち、これよりも数が少ない一または複数のLED素子チップ5を、インデックステーブル2の複数のステージのうち、これよりも数が少ない一または複数のステージ21上の各ソケット6に移送するピッカー71と、一または複数のステージ21に一または複数のLED素子チップ5を搭載して一または複数のLED素子チップ5を検査する検査手段を有している。これによって、インデックス方式により一または複数個をチップズレのない状態で同時に測定ができる。しかも、ソケット6に位置決め機構を設ける方式により、LED素子チップ5の位置ずれが発生せず、確実に検査を行うことができる。また、インデックステーブル2の採用により、DC特性検査、光学系検査積分球の配置およびその設置数を任意に配置できることで同測数を増やすことができる。また、ソケット方式のため、発熱および遮光の問題がなく測定ができ、かつコンタクト面発光、コンタクト裏面発光に容易に対応が可能であり、実仕様に近い状態での測定が可能となる。さらに、インデックス方式により従来のシート発熱影響を受けない。さらに、ソケット6自体を反射仕様にすることにより、実仕様に近く、遮光の影響を受けない正確な光量の測定が可能となる。したがって、従来のように粘着シートを引き伸ばした状態での発光素子の光量検査時に生じる配列ズレによるミスコンタクトによる問題、多大な検査時間の問題、素子裏面端子の製作の問題や発熱の問題、裏面発光の問題を解消すると共に、実仕様に合致したより正確な光量検査を効率よく行うことができる。実施形態2上記実施形態1では、円形のインデックステーブル2の各ステージ21上のソケット6にLED素子チップ5を一または複数個例えば2個づつ移動させて順次または同時に検査する場合について説明したが、本実施形態2では、長円形のインデックステーブル2Aの各ステージ21A上の複数のソケット6に各LED素子チップ5を更に多くの所定数を一括して同時に移動させて順次または同時に検査する場合について説明する。本実施形態2では、量産により対応することができる。図6は、本発明の実施形態2における半導体検査装置を用いた半導体検査方法を説明するための模式図である。なお、図6では、図1の構成部材と同一の作用効果を奏する部材には同一の部材符号を付して説明する。図6において、本実施形態2の半導体検査装置1Aは、複数のステージが設けられ、複数のステージ21を一部で一直線状に移動させるインデックステーブル手段としてのインデックステーブル2Aと、ステージ21A上に搭載され、半導体チップとしてのLED素子チップ5が内部に収容されて通電可能とされるソケット手段としてのソケット6と、半導体ウエハ4を個片化した後の複数のLED素子チップ5のうち、これよりも数が少ない一または複数のLED素子チップ5を、インデックステーブル2の複数のステージのうち、これよりも数が少ない一または複数のステージ21上の各ソケット6に同時に一括して移送する第1移送手段としてのピッカー74と、複数のステージ21に一または複数のLED素子チップ5を搭載して一または複数のLED素子チップ5を順次または一括して検査する検査手段と、この検査後のソケット6内のLED素子チップ5を別シートに検査結果に応じて移送する第2移送手段としてのピッカー72,73とを有している。インデックステーブル2Aは、複数のステージ21Aが等間隔に設けられた平面視長円形の回転テーブルである。インデックステーブル2Aは、1ステージ分または所定ステージ数分づつ回転し、各ステージ21にはソケット6がそれぞれ脱着自在に搭載されている。インデックステーブル2Aは、平面視長円形であり、直線状部分に複数のステージ21を設けることができる。ソケット6は、上記実施形態1の場合と同様であり、このインデックステーブル2Aの各ステージ21A上に配置されてLED素子チップ5を通電駆動可能とする。ピッカー74は、粘着シート3上の所定数複数のLED素子チップ5を一括して同時に、長円形の直線ラインに並んだ各ソケット6内にそれぞれセットすることができる。上記実施形態1の場合に複数のLED素子チップ5を一括して同時に移送できたとしても、インデックステーブル2が円形であることから、2個のLED素子チップ5やせいぜい数個である。これに対して、インデックステーブル2Aでは直線状部分に多数のステージ21を設けることができるので、より多くの同時検査に有利である。ピッカー74は、粘着シート3上の所定数複数のLED素子チップ5の配列ピッチで1列に並んだ多数の吸着ノズル74aにより、粘着シート3上の一列の多数のLED素子チップ5を一括して同時に吸引して取り出し、その一列の所定数のLED素子チップ5を、インデックステーブル2Aの直線ラインに並んだ多数のソケット6の配列ピッチに所定数の吸着ノズル74aのピッチを広げて、所定数のソケット6内にそれぞれ各吸着ノズル74aによって所定数複数のLED素子チップ5を同時に載置することができる。上記構成により、まず、粘着シート3を引き延ばした状態で、粘着シート3上の一列の所定数多数のLED素子チップ5をピッカー74で一括して取り出し、インデックステーブル2Aの各ステージのピッチに各吸着ノズル74aのピッチを広げて、各ステージ21A上の各ソケット6内にそれぞれ1列の各吸着ノズル74aによって所定数多数のLED素子チップ5を一括して同時に載置する。このように、ピッカー74が粘着シート3上のチップサイズでチップを複数吸着後に、インデックステーブル2Aのステージサイズに、所定数の各吸着ノズル74aが固定されたアームを広げることができるため、所定数多数のLED素子チップ5を一度の移動によって一括して同時に各ソケット6内に載置することができる。その後は、上記実施形態1の場合と同様である。以上により、本実施形態2によれば、ピッカー74の吸着ノズル74aを複数個設置した構造にし、粘着シート3を広げたチップ間隔からインデックステーブル2Aの直線部分のステージ間隔に間隔を広げる機構を持つことにより、検査処理能力で律速するピックプレース時間を大幅に削減することができる。また、任意のステージ21Aに光学系測定、電気特性テストステージを設け、同測数を容易に増減できる機構を持つことができる。なお、上記実施形態1では、インデックステーブル2は、外形が平面視円形状で、そのステージ21が外周側に所定間隔を空けて設けられるように構成し、上記実施形態2では、インデックステーブル2Aは、外形が平面視長円形状で、そのステージ21Aが複数連続して直線状に並ぶ部分を有するように構成したが、これに限らず、外形が平面視楕円形状の他、角部分が丸くなった平面視三角形状、四角形状、多角形状および半円形状のうちのいずれかであってもよいし、さらに一または複数の直線状であるであってもよい。要するに、複数のステージ21や21Aが複数連続して直線状に並ぶ部分を有するように構成されていれば、一括検査処理時に有利である。なお、上記実施形態1では、インデックステーブル2,2Aは、個片化した半導体ウエハ4の検査対象の複数の半導体チップとしての複数のLED素子チップ5例えば10万個の配置位置の周囲近傍に、一つ配置される場合について説明したが、これに限らず、インデックステーブル2,2Aが、個片化した半導体ウエハ4の検査対象の複数のLED素子チップ5例えば10万個の配置位置の周囲近傍であって、互いに対向する反対側に2箇所配置されていてもよい。要するに、個片化した半導体ウエハ4の両側に、インデックステーブル2,2Aのいずれかが設けられていてもよい。要するに、個片化した半導体ウエハ4の片側にインデックステーブル2が設けられ、個片化した半導体ウエハ4の他の片側にインデックステーブル2Aが設けられていてもよい。要するに、インデックステーブル2,2Aが、個片化した半導体ウエハ4の検査対象の複数のLED素子チップ5例えば10万個の配置位置の周囲近傍に複数箇所配置されていてもよい。以上のように、本発明の好ましい実施形態1、2を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態1、2に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態1、2の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。"