"EGR通路との合流点より下流側の吸気経路の吸気酸素濃度と、排気経路の排気酸素濃度を使用してEGR率を算出し、この算出されたEGR率が、目標EGR率になるようにEGRバルブを制御する内燃機関のEGR制御方法において、吸気マニホールドに設けた吸気酸素濃度センサで前記吸気酸素濃度を検出すると共に、前記吸気マニホールドに設けた吸気圧力センサで吸気圧力を検出し、前記吸気酸素濃度を前記吸気圧力で補正する前に、前記吸気酸素濃度と前記吸気圧力に対して、エンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行うことを特徴とする内燃機関のEGR制御方法。排気経路に設けた排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度を、前記排気酸素濃度センサの近傍に設けた排気圧力センサで検出した排気圧力で補正する前に、前記排気酸素濃度と前記排気圧力に対して、エンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行うことを特徴とする請求項1記載の内燃機関のEGR制御方法。前記排気酸素濃度センサをEGR通路の分岐点より上流側の排気経路に設け、過渡状態におけるEGR率を算出する前に、前記排気酸素濃度センサで検出した排気酸素濃度に対して、エンジン回転数に関係する一次遅れの無駄時間を適用して補正することを特徴とする請求項1又は2に記載の内燃機関のEGR制御方法。前記排気酸素濃度センサをEGR通路の分岐点より下流側の排気経路に設け、過渡状態におけるEGR率を算出する前に、前記排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度で、予め設定した補償器を用いてEGR通路の分岐点より上流側の排気経路の位置に相当する排気酸素濃度を推定し、この推定した排気側酸素濃度に対して、エンジン回転数に関係する一次遅れの無駄時間を適用して補正することを特徴とする請求項1又は2に記載の内燃機関のEGR制御方法。EGRシステムと、EGR通路に設けたEGRバルブの弁開度を調整することでEGR率を目標EGR率に制御する制御装置を備え、吸気酸素濃度センサをEGR通路との合流点より下流側の吸気経路に設けると共に、排気酸素濃度センサを排気経路に設け、前記制御装置が、前記吸気酸素濃度センサで検出した吸気酸素濃度と、前記排気酸素濃度センサで検出した排気酸素濃度を使用してEGR率を算出し、この算出されたEGR率が、目標EGR率になるようにEGRバルブを制御する内燃機関において、前記吸気酸素濃度センサと吸気圧力センサを吸気マニホールドに設け、前記制御装置が、前記吸気酸素濃度センサで検出した前記吸気酸素濃度を前記吸気圧力センサで検出した吸気圧力で補正する前に、前記吸気酸素濃度と前記吸気圧力に対してエンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行う制御をすることを特徴とする内燃機関。前記排気酸素濃度センサと排気圧力センサを排気経路に設け、前記制御装置が、前記排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度を前記排気圧力センサで検出した排気圧力で補正する前に、前記排気酸素濃度と前記排気圧力に対してエンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行う制御をすることを特徴とする請求項5記載の内燃機関。前記排気酸素濃度センサをEGR通路の分岐点より上流側の排気経路に設け、前記制御装置が、過渡状態におけるEGR率を算出する前に、前記排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度に対して、エンジン回転数に関係する一次遅れの無駄時間を適用して補正することを特徴とする請求項5又は6に記載の内燃機関。前記排気酸素濃度センサをEGR通路の分岐点より下流側の排気経路に設け、前記制御装置が、過渡状態におけるEGR率を算出する前に、前記排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度で、予め設定した補償器を用いてEGR通路の分岐点より上流側の排気経路の位置に相当する排気酸素濃度を推定し、この推定した排気側酸素濃度に対して、エンジン回転数に関係する一次遅れの無駄時間を適用して補正することを特徴とする請求項5又は6に記載の内燃機関。本発明は、上記の状況を鑑みてなされたものであり、その目的は、内燃機関の運転状態においてEGR率を精度よく制御することができる内燃機関のEGR制御方法及び内燃機関を提供することにある。上記の目的を達成するための本発明の内燃機関のEGR制御方法は、EGR通路との合流点より下流側の吸気経路の吸気酸素濃度と、排気経路の排気酸素濃度を使用してEGR率を算出し、この算出されたEGR率が、目標EGR率になるようにEGRバルブを制御する内燃機関のEGR制御方法において、吸気マニホールドに設けた吸気酸素濃度センサで前記吸気酸素濃度を検出すると共に、前記吸気マニホールドに設けた吸気圧力センサで吸気圧力を検出し、前記吸気酸素濃度を前記吸気圧力で補正する前に、前記吸気酸素濃度と前記吸気圧力に対して、エンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行うことを特徴とする方法である。この内燃機関のEGR制御方法によれば、吸気酸素濃度を精度よく補正できるので、EGR率を精度よく算出でき、適正なEGRを行うことができる。また、上記の内燃機関のEGR制御方法において、排気経路に設けた排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度を、前記排気酸素濃度センサの近傍に設けた排気圧力センサで検出した排気圧力で補正する前に、前記排気酸素濃度と前記排気圧力に対して、エンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行う方法を採ると、排気酸素濃度を精度よく補正できるので、EGR率を精度よく算出でき、適正なEGRを行うことができる。更に、上記の内燃機関のEGR制御方法において、前記排気酸素濃度センサをEGR通路の分岐点より上流側の排気経路に設け、過渡状態におけるEGR率を算出する前に、前記排気酸素濃度センサで検出した排気酸素濃度に対して、エンジン回転数に関係する一次遅れの無駄時間を適用して補正する方法を採ると、過渡状態においても排気酸素濃度を精度よく補正できるので、EGR率を精度よく算出でき、適正なEGRを行うことができる。あるいは、上記の内燃機関のEGR制御方法において、前記排気酸素濃度センサをEGR通路の分岐点より下流側の排気経路に設け、過渡状態におけるEGR率を算出する前に、前記排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度で、予め設定した補償器を用いてEGR通路の分岐点より上流側の排気経路の位置に相当する排気酸素濃度を推定し、この推定した排気側酸素濃度に対して、エンジン回転数に関係する一次遅れの無駄時間を適用して補正する方法を採ると、過渡状態においても排気酸素濃度を精度よく補正できるので、EGR率を精度よく算出でき、適正なEGRを行うことができる。そして、上記の目的を達成するための本発明の内燃機関は、EGRシステムと、EGR通路に設けたEGRバルブの弁開度を調整することでEGR率を目標EGR率に制御する制御装置を備え、吸気酸素濃度センサをEGR通路との合流点より下流側の吸気経路に設けると共に、排気酸素濃度センサを排気経路に設け、前記制御装置が、前記吸気酸素濃度センサで検出した吸気酸素濃度と、前記排気酸素濃度センサで検出した排気酸素濃度を使用してEGR率を算出し、この算出されたEGR率が、目標EGR率になるようにEGRバルブを制御する内燃機関において、前記吸気酸素濃度センサと吸気圧力センサを吸気マニホールドに設け、前記制御装置が、前記吸気酸素濃度センサで検出した前記吸気酸素濃度を前記吸気圧力センサで検出した吸気圧力で補正する前に、前記吸気酸素濃度と前記吸気圧力に対してエンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行う制御をするように構成される。この構成によれば、吸気酸素濃度を精度よく補正できるので、EGR率を精度よく算出でき、適正なEGRを行うことができる。また、上記の内燃機関において、前記排気酸素濃度センサと排気圧力センサを排気経路に設け、前記制御装置が、前記排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度を前記排気圧力センサで検出した排気圧力で補正する前に、前記排気酸素濃度と前記排気圧力に対してエンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行う制御をするように構成される。この構成によれば、排気酸素濃度を精度よく補正できるので、EGR率を精度よく算出でき、適正なEGRを行うことができる。更に、上記の内燃機関において、前記排気酸素濃度センサをEGR通路の分岐点より上流側の排気経路に設け、前記制御装置が、過渡状態におけるEGR率を算出する前に、前記排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度に対して、エンジン回転数に関係する一次遅れの無駄時間を適用して補正するように構成される。この構成によれば、過渡状態においても排気酸素濃度を精度よく補正できるので、EGR率を精度よく算出でき、適正なEGRを行うことができる。あるいは、上記の内燃機関において、前記排気酸素濃度センサをEGR通路の分岐点より下流側の排気経路に設け、前記制御装置が、過渡状態におけるEGR率を算出する前に、前記排気酸素濃度センサで検出した前記排気酸素濃度で、予め設定した補償器を用いてEGR通路の分岐点より上流側の排気経路の位置に相当する排気酸素濃度を推定し、この推定した排気側酸素濃度に対して、エンジン回転数に関係する一次遅れの無駄時間を適用して補正するように構成される。この構成においても、過渡状態においても排気酸素濃度を精度よく補正できるので、EGR率を精度よく算出でき、適正なEGRを行うことができる。本発明に係るEGR制御装置によれば、内燃機関の運転においてEGR率を精度よく制御することができる。以下、本発明に係る実施の形態の内燃機関のEGR制御方法及び内燃機関について、図面を参照しながら説明する。ここでは、内燃機関が車両搭載のディーゼルエンジンである場合について説明しているが、本発明は、車両搭載のディーゼルエンジンのみならず、車両搭載のその他のエンジンや産業用のエンジンや発電用のエンジン等の内燃機関全般において適用できる。図1に示すように、本発明の実施の形態の内燃機関10は、エンジン本体11の吸気マニホールド11aに接続する吸気通路吸気経路12と、排気マニホールド11bに接続する排気通路排気経路13を備えて形成されている。この吸気通路12には、上流側からエアクリーナ14とターボチャージャターボ式過給器15のコンプレッサ15aと吸気絞り弁16が設けられ、更には、図示しないが、吸入空気量を測定するエアフローセンサや、コンプレッサ15aで圧縮され温度が上昇した吸入空気を冷却するためのインタークーラ等も設けられる。また、排気通路13には、上流側から排気絞り弁17とターボチャージャ15のタービン15bと排気ガス浄化装置18が設けられ、更には、図示しないがサイレンサー消音器が設けられる。次に、EGRシステムについて説明する。EGR通路19が、排気マニホールド11bと排気絞り弁17との間の排気通路13と、吸気絞り弁16と吸気マニホールド11aとの間の吸気通路12とを接続して設けられ、このEGR通路19の上流側からEGRガスを冷却するためのEGRクーラ20と、EGRガスの流量を調整するためのEGRバルブ21が設けられる。そして、この内燃機関10では、吸気酸素濃度センサ22と吸気圧力センサ23を吸気マニホールド11aに設け、上流側排気酸素濃度センサ24と上流側排気圧力センサ25を排気マニホールド11bに設ける。つまり、吸気酸素濃度センサ22をEGR通路19との合流点より下流側の吸気経路11aに設けると共に、上流側排気酸素濃度センサ24と上流側排気圧力センサ25をEGR通路19の分岐点より上流側の排気通路13に設ける。あるいは、排気ガス処理装置18の下流側の排気通路13に、下流側酸素濃度センサ26と下流側排気圧力センサ27を設ける。また、クランク角度センサ28とエンジン回転速度センサエンジン回転数センサ29を設ける。更に、これらのセンサ22~29等の検出値を入力して、EGRバルブ21の弁開度を調整する制御装置30を設ける。この制御装置30は、通常は、エンジンコントロールユニットECUと呼ばれるエンジン全般を制御する制御装置に組み込まれている。この制御装置30は、定常状態及び過渡状態において、吸気酸素濃度センサ22で検出した吸気酸素濃度と、上流側排気酸素濃度センサ24、又は、下流酸素濃度センサ26で検出した排気酸素濃度を使用してEGR率を算出し、この算出されたEGR率が、目標EGR率になるようにEGRバルブ21を制御するように構成される。そして、内燃機関10の運転が定常状態においては、吸気酸素濃度センサ22で検出した吸気酸素濃度Ciを吸気側圧力センサ23で検出した吸気圧力Piで補正する前に、吸気圧力Piに対してエンジン回転速度に同期させて気筒間シリンダ間の平均処理を行う。また、上流側排気酸素濃度センサ24、又は、下流酸素濃度センサ26で検出した排気側酸素濃度Ceを排気側圧力センサ25で検出した排気圧力Peで補正する前に、排気圧力に対してエンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行う。このエンジン回転速度に同期させての気筒間の平均処理について説明する。酸素濃度センサ22、24又は26の検出値Ci,Ceは雰囲気圧力により影響を受ける場合があるので、雰囲気圧力Pi,Peにより補正する必要がある。しかしながら、クランク軸の回転角度に対して、気筒内の吸気行程、圧縮行程、膨張行程、排気行程等により気筒内圧力が変動するので、吸気マニホールド吸気経路11a及び排気マニホールド11bや排気通路13の排気経路における酸素濃度Ci,Ceと圧力Pi,Peの計測においても、図2に示すように、この圧力変化の影響がある。また、圧力センサ23、25又は27と酸素濃度センサ22、24又は26を設置する場所が異なるので、この位置の違いによる出力の位相差も考慮する必要がある。一般的には一定時間毎にサンプリングするので、この場合には、クランク軸の一定回転数の時間に対して、遅い回転数ではサンプリング数が多くなり、早い回転数ではサンプリング数が少なくなるので、エンジン回転速度が異なるとサンプリング数が変化する。そのため、平均値を計算するときの母数サンプル数が変わる。つまり、クランク軸の回転数が低くなれば、母数は大きくなり、回転数が高くなれば母数は小さくなる。そのため、平均化しても、各エンジン回転速度に対して、同じ精度の値が求められるとは限らない。そのため、適当な時間間隔でサンプリングして平均値を求めても、すべてのエンジン回転側で、同じような精度の酸素濃度や圧力の値が得られないので、精度よい制御を行うことができない。これに対して、本発明では、エンジン回転速度に応じて、サンプリング間隔を変更し、同じサンプリング数で平均処理できるようにする。例えば、クランク角度を基準にして一定角度毎にサンプリングする。より具体的には、各気筒の上死点位置を中心として4気筒エンジンならば±90度の区間でサンプリングする。これにより、エンジン回転速度に因らずに、クランク軸の一定回転角度に対して同一サンプル数となり、クランク軸が一回転した時間の倍数の時間の期間でサンプリングすることで位相差も考慮できるので、異なるエンジン回転速度であっても、平均化に関しては、常に同じ精度で平均値を求めることができる。本発明では、吸気酸素濃度センサ22で検出した吸気酸素濃度Ci、吸気側圧力センサ23で検出した吸気側圧力Pi、上流側排気酸素濃度センサ24又は下流側酸素濃度センサ26で検出した排気酸素濃度Ce、上流側排気圧力センサ25又は下流側排気圧力センサ27で検出した排気側圧力Peの検出を、クランク軸の一定回転角度に対して同一サンプル数になるようにサンプリングし、平均化する。即ち、エンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行う。これにより、図2に示すような、各センサ22、23、24又は26、25又は27の検出値Ci,Pi,Ce,Peにおける脈動による影響、即ち、測定値のばらつきを低減する。これにより、吸気酸素濃度センサ22で検出した吸気酸素濃度Ciを吸気側圧力センサ23で検出した吸気圧力Piで補正する前に、吸気酸素濃度Ciと吸気圧力Piに対してエンジン回転速度に同期させて気筒間シリンダ間の平均処理を行うことができ、また、上流側排気酸素濃度センサ24又は下流側酸素濃度センサ26で検出した排気酸素濃度Ceを上流側排気圧力センサ25又は下流側排気圧力センサ27で検出した排気圧力Peで補正する前に、排気酸素濃度Ceと排気圧力Peに対してエンジン回転速度に同期させて気筒間の平均処理を行うことができる。そして、酸素濃度センサ22、24又は26の出力値Ci,Ceと、圧力センサ23、25又は27の出力値Pi,Peに対して、エンジン回転速度に同期させての気筒間の平均処理した後、これらの平均処理後の圧力データPim,Pemを利用して酸素濃度データCim,Cemの圧力補正を行う。なお、この圧力補正式に関してはセンサメーカー仕様によるのでここでは述べない。また、酸素濃度センサ22、24、26は経年変化により汚損し出力が変化してしまうという問題があるが、これは、モータリング時の吸気酸素濃度=大気酸素濃度の関係を用いて、酸素濃度センサ22、24、26の出力を校正して利用することで解決できる。次に、補正後の吸気酸素濃度Cimcと排気酸素濃度CemcからEGR率Ecを算出する。従来技術のEGR率の算出に用いられているように、一般的に、吸気のCO2濃度Biと、排気のCO2濃度Beと大気中CO2濃度BaBa≒0から、EGR率Ecは、Ec=Bi-Ba/Be-Ba≒Bi/Beとなる。同様に、本願発明のように、補正後の吸気酸素濃度Ciと排気酸素濃度Ceと大気中酸素濃度CaCa≒21を用いる場合は、EGR率Ecは、Ec=Ca-Cimc/Ca-Cemcとなる。次に、内燃機関10の運転が過渡状態におけるEGR率Ecの算出について説明する。先ず、過渡状態で、EGR通路の分岐点より上流側の排気経路に設けた上流側排気酸素濃度センサ24の検出値Ceを用いた場合を説明する。この過渡状態におけるEGR率Ecの算出には、排気マニホールド11bに設けた上流側排気酸素濃度センサ24で計測した排気酸素濃度Ceの瞬時値が、EGR通路19の配管を伝わって吸気マニホールド11aに到達する時間を考慮する必要がある。この上流側排気酸素濃度センサ24の測定値に対して直接一次遅れ無駄時間を適用する。これについて説明する。図3は、排気EGR系システム45を模式的に示したものである。以下の式1~8を基に、排気EGR系を一次遅れ無駄時間の簡易的なモデルで表わす。エネルギー保存側から、熱の移動が無い場合、図3で示したシステム45の容積の収支は以下の式1で示すことができる一般的な式。式1は、となる。Vを一定とし、温度Tが一定の場合、h1=h2=cpTとして、排気EGR経路の容積は一定であるので、となり、式2と式3から、κ=cp/cvであるので、となる。ここで、単位時間当たりのシリンダ吸入ガス量は、エンジン回転数Ne、体積効率η、ガス定数Rとすると、以下の式5で表わせる。体積効率ηは、予め実験的に得ているデータである。よって、次式7のような、一次の微分方程式に帰着する。よって、この系の時定数Tは、T=1/aであるから、となる。ここで、排気EGR経路の容積Vから時定数Tを算出する。次に、過渡状態で、上流側排気酸素濃度センサ24の代わりに排気ガス処理装置18の下流側の排気通路13に設けた下流側排気酸素濃度センサ26を用いる場合について説明する。この場合は、排気ガスGが排気マニホールド11b、配管13、タービン15b、排気ガス浄化装置18を通って、下流側排気酸素濃度センサ26で検出するまでに、遅れが生じることになる。この下流側排気酸素濃度センサ26の検出値を用いて、吸気マニホールド11aに到達する排気ガスGの排気酸素濃度を推定するためには、この下流側排気酸素濃度センサ26の検出値から、微分補償器によりEGR通路19の分岐点より上流側の排気経路の位置例えば、排気酸素濃度センサ24の搭載位置、あるいは、排気マニホールド11bの位置に相当する排気酸素濃度Ceを推定する。微分補償器はラプラス演算子sとすると、その伝達関数Gsは、Gs=ksとなり、ここで、係数kは、EGR通路19の分岐点より上流側の排気経路の位置例えば、上流側排気酸素濃度センサ24の搭載位置あるいは排気マニホールド11bの内部の位置から下流側排気酸素濃度センサ26の搭載位置までのガスの経路長及び容積、排気ガスGの流速から決まる値である。この配管長Lex、容積Vexはエンジン固有の定数であり、流速はエンジン回転数Neと相関があるので、係数kはk=fNe,Lex,Vexの形となり、エンジン回転数のテーブルとなる。従って、実際には、k=fNe,Lex,Vexに相当するデータを、予めマップデータで記憶させておき、係数kの算出時に、このマップデータを参照する。微分補償を適用して推定した、EGR通路19の分岐点より上流側の排気経路の位置の排気酸素濃度に対して、上記の過渡状態での上流側排気酸素濃度センサ24の検出値を用いた場合と同様に一次遅れ無駄時間の補償を適用する。一次遅れ系の伝達関数は、時定数Tとして、となり、無駄時間の伝達係数は、無駄時間Lとして、となるので、よって、一次遅れ無駄時間系として、となる。酸素濃度センサで検出された酸素濃度をCexmとし、補正後の酸素濃度をCexmhとすると、時刻tにおける値は、となる。そして、上記で算出したEGR率Ecの目標EGR率Etに対する偏差erを計算し、この偏差erがゼロになるように、例えば、PIDのフィードバック制御によりEGRバルブ21の弁開度を制御する。なお、実際には、弁開度を調整するために、EGRバルブ21の弁開度を変更するための直流モータDCモータにおいて回転軸の回転角度の制御を実施することになる。つまり、エンジン回転数Neと燃料噴射量Qfで決まるエンジン運転状態に対して、EGR制御マップ等を参照して得られる目標EGR率EtNe,Qfを算出し、この目標EGR率Etに対して、算出されたEGR率Ecを用いると、偏差erは、er=Et-Ecとなり、PID制御を行う場合には、EGRバルブ21の操作量Evtは、Evt=kp×erki×∫erdtkd×der/dtで算出される。この操作量Evtに対して、EGRバルブ21の直流モータの位置制御が行われることになる。上記の内燃機関のEGR制御方法及び内燃機関10によれば、内燃機関の運転状態においてEGR率を精度よく制御することができる。特に内燃機関の運転状態が過渡状態になってもEGR率を精度よく制御することができる。"