"第1取付部材と、筒状の第2取付部材と、前記第2取付部材および第1取付部材を連結すると共にゴム状弾性体から構成される防振基体と、前記第2取付部材に取り付けられて前記防振基体との間に液封入室を形成すると共にゴム状弾性体から構成されるダイヤフラムと、前記液封入室を前記防振基体側の第1液室および前記ダイヤフラム側の第2液室に仕切る仕切り部材と、前記第1液室および第2液室を連通させるオリフィスとを備えた液封入式防振装置において、前記液封入室を外部に連通させる減圧兼注入用孔と、その減圧兼注入用孔を封止する封止手段とを備え、前記減圧兼注入用孔を介して前記液封入室内を減圧した後、前記減圧兼注入用孔から液体を注入することで、前記液体を前記液封入室に充填し、前記減圧兼注入用孔を前記封止手段により封止することで製造され、前記ダイヤフラムは、前記仕切り部材側に膨張した部分球状を有し軸周りに対称な膜状に形成される膜本体と、前記膜本体から前記仕切り部材へ向けて突設される複数の突起からなりそれら複数の突起が互いに所定間隔を隔てつつ前記膜本体の部分球状の頂部を中心とする環状に配置される第1突起群とを備えることを特徴とする液封入式防振装置。前記仕切り部材は、前記ダイヤフラム側の面の中央に凹設される凹部と、前記凹部の周囲に位置し前記ダイヤフラム側に対面する環状の平面として形成される環状部とを備え、前記ダイヤフラムの第1突起群は、前記複数の突起の突設先端が、前記膜本体の頂部よりも前記仕切り部材側に位置すると共に軸方向視において前記環状部に重なる位置に配置されることを特徴とする請求項1記載の液封入式防振装置。前記ダイヤフラムは、前記膜本体から前記仕切り部材へ向けて突設される複数の突起からなりそれら複数の突起が互いに所定間隔を隔てつつ前記第1突起群よりも径方向外方において環状に配置される第2突起群を備えることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記第2突起群の突起の前記膜本体からの突設高さが、前記第1突起群の突起の前記膜本体からの突設高さよりも大きくされることを特徴とする請求項3記載の液封入式防振装置。前記第2突起群の突起の突設先端と前記仕切り部材との間の対向間隔が、前記第1突起群の突起の突設先端と前記仕切り部材との間の対向間隔と略同一であることを特徴とする請求項4記載の液封入式防振装置。しかしながら、上述した従来の技術では、液封入室内を真空引きにより減圧する工程の前に、キャップ部材内を真空引きにより先に減圧しておく工程を別途行う必要があるため、その分、製造工数が嵩むという問題点があった。本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、製造工数の増加を抑制しつつ、液封入室内に空気が残留することを抑制できる液封入式防振装置を提供することを目的としている。以下、本発明の好ましい実施例について、添付図面を参照して説明する。まず、図1及び図2を参照して、防振ユニット1の全体構成について説明する。図1aは、本発明の第1実施の形態における防振ユニット1の上面図であり、図1bは、図1aの矢印Ib方向から視た防振ユニット1の正面図である。また、図2は、図1aのII-II線における防振ユニット1の断面図である。なお、図2は、軸Oを含む断面に対応する。また、図2では、ボルトを断面視せずに図示する。図1及び図2に示すように、防振ユニット1は、自動車のエンジン図示せずを支持固定しつつ、そのエンジンの振動が車体図示せずへ伝達されることを抑制するための装置であり、ボス部材11と外筒部材12との間が防振基体13により連結された防振装置10と、その防振装置10の外筒部材12を保持すると共にエンジン側に取り付けられる第1ブラケット20と、防振装置10のボス部材11が固定されると共に車体側に取り付けられる第2ブラケット30とを備える。防振装置10は、軸O方向を鉛直方向に一致させた縦姿勢に配置されると共にボス部材11側を下方とした倒立状態に配置され、正面視枠状に形成される第2ブラケット30によって周囲が取り囲まれる。第1ブラケット20は、防振装置10の側方から径方向外方軸O直角方向、図1a上方へ向けて水平に張り出される。なお、第1ブラケット20及び第2ブラケット30には、それぞれ3ヶ所に取付穴h1,h2が穿設されており、それら各取付穴h1,h2に挿通されたボルトによりエンジン側または車体側にそれぞれ締結固定される。防振ユニット1が自動車のエンジンを車体に支持固定した状態いわゆる1W状態では、エンジンの重量により、防振基体13が圧縮変形され即ち、外筒部材12がボス部材11へ近接変位され、その分、防振装置10の上端側と第2ブラケット30の上辺側との間に所定の隙間が形成される。この場合、ダイヤフラム14が仕切り部材15と反対側へ向けて膨張される。なお、図1及び図2では、エンジンを支持固定する前の状態無負荷状態が図示される。防振装置10は、第2ブラケット30を介して車体側に取り付けられるボス部材11と、第1ブラケット20を介してエンジン側に取り付けられる筒状の外筒部材12と、これら両部材11,12を連結すると共にゴム状弾性体から構成される防振基体13とを主に備える。ボス部材11は、アルミニウム合金から上窄まりの断面略円錐台形状に形成され、下面側図2下側が第2ブラケット30にボルトにより締結固定される。外筒部材12は、樹脂材料から上下端図2上側および下側が開口した筒状に形成され、ボス部材11の上方図2上側に同軸状に配設される。なお、外筒部材12は、段差を有して構成されており、その段差の下側図2下側に大径の筒部が、段差の上側図2上側に小径の筒部が、それぞれ配設されると共に、大径の筒部が第1ブラケット20に軸O方向に圧入され保持される。防振基体13は、ゴム状弾性体から軸O回りに対称な下窄まりの断面略円錐台形状に形成され、ボス部材11の外面と外筒部材12大径の筒部および段差の部分の内壁面との間に加硫接着される。防振基体13の外筒部材12側の端部には、膜状のゴム膜が連なり、そのゴム膜により外筒部材12の小径の筒部の内壁面が覆われる。外筒部材12の上端側図2上側には、ダイヤフラム14が密着水密状態で装着される。これにより、ダイヤフラム14の下面側と防振基体13の上面側との間に液体が封入される液封入室が形成される。液封入室には、エチレングリコールなどの不凍性の液体図示せずが封入される。仕切り部材15は、液封入室を防振基体13側の第1液室とダイヤフラム側の第2液室とに仕切る部材であり、その外周側には、第1液室と第2液室とを連通させるオリフィス流路が形成される。なお、液封入室への液体の充填は、防振ユニット1防振装置10を組み立てた後、減圧兼注入用孔44a図3a参照を介して液封入室内を真空引きにより減圧して負圧とした後、その負圧を利用して、減圧兼注入用孔44aから液封入室内へ液体を注入することで行われる。ダイヤフラム14は、仕切り部材15側に膨張した部分球状を有し軸O周りに対称な膜状に形成される膜本体41と、膜本体41から仕切り部材15へ向けて突設される複数の突起42aからなる第1突起群42と、膜本体41の外周縁に連なると共に防振装置10の上面側および第1ブラケット20の本体部21の外周側を覆うストッパ部43とを備え、これら各部位41~43がゴム状弾性体から一体に形成される。なお、ダイヤフラム14は、ストッパ部43が、樹脂材料から軸O方向視円環状に形成される円環取付部44に加硫接着される。この円環取付部44が外筒部材12の上端側に内嵌され超音波溶着により連結されることで、ダイヤフラム14が外筒部材12に取着される。仕切り部材15は、外周側に位置するオリフィス形成部51と、そのオリフィス形成部51の内周面に加硫接着されゴム弾性体から軸O方向視円環状に形成される弾性壁部52と、その弾性壁部52を軸O方向で上下から挟み込むと共に樹脂材料から軸O方向視円形に形成される上下一対の挟持板部53,54とを備える。オリフィス形成部51は、樹脂材料から、断面形状が外周側に開放する断面コ字状に形成されると共に軸O方向視形状が円環状に形成され、外筒部材12小径の筒部に嵌め込まれることで、その外筒部材12の内壁面を覆うゴム膜に密着して、上述したオリフィスを形成する。弾性壁部52は、中央に軸Oに沿って貫通する円形の貫通穴を備え、上下一対の挟持板部53,54は、弾性壁部52の中央の貫通穴に挿通された円柱状の部分を介して互いに連結される。なお、挟持板部53は、ダイヤフラム14に対面する側に配設され、挟持板部54は、防振基体13に対面する側に配設される。第1ブラケット20は、平板状の本体部21と、その本体部21の一側図1a右上側角部から斜め方向に延設されるブロック状の延設部22とを備え、これらがアルミニウム合金から一体に形成される。本体部21の下方には、上面視円形の圧入穴が穿設され、この圧入穴に外筒部材12が軸O方向に圧入されることで、防振装置10外筒部材12が第1ブラケット20に保持される。第2ブラケット30は、アルミニウム合金から正面視枠状に形成され、防振装置10の周囲を取り囲むことで、大振幅の振動入力時に防振装置10の所定以上の変位を規制する。次いで、図3を参照して、ダイヤフラム14の詳細構成について説明する。図3aは、ダイヤフラム14の下面図であり、図3bは、図3aのIIIb-IIIb線におけるダイヤフラム14の断面図である。図3a及び図3bに示すように、ダイヤフラム14の膜本体41には、第1突起群42が形成される。第1突起群42は、液封入室内を減圧する工程において、ダイヤフラム14の膜本体41が仕切り部材15の挟持板部53に吸い付けられ、これら膜本体41と挟持板部53との間にエアーポケット空気の残留する空間が形成されることを抑制するための部位であり、複数本実施の形態では4個の突起42aを備える。突起42aは、膜本体41の下面から突設され、膜本体41下面の軸O方向視即ち、図3aの状態において、軸Oを中心とする環状に形成される突起を、放射状に分断した形状に形成される。即ち、第1突起群42を構成する複数の突起42aは、互いに所定間隔を隔てつつ膜本体41の部分球状の頂部即ち、軸Oを中心とする環状に配置される。本実施の形態では、放射状に分断する位置が周方向等間隔とされ、よって、4個の突起42aがそれぞれ同形状とされる。このように、第1突起群42の突起42aの配置を、膜本体41の部分球状の頂部即ち、軸Oを中心とする環状とし、各突起42aを等間隔に配置することで、膜本体41の変形性を確保できる。また、膜本体41の一部に変形を偏らせることなく全体を均一に変形させることができる。これにより、防振装置10の動的特性の向上とダイヤフラム14の耐久性の向上とを図ることができる。突起42aの軸Oを含む断面形状は、突設先端面図3b下側面が軸Oに略直交する平坦面として形成され、軸O側に位置する内壁面が突設先端面から膜本体41へ向けて下降傾斜される一方、軸Oの反対側に位置する外壁面が軸Oと略平行に形成される。このような形状とすることで、突起42aの剛性を確保できる。よって、液封入室内を減圧する際には、隣接する突起42a間の隙間を塞がれ難くして、エアーポケットが形成されることを抑制できる。なお、突起42aの突設先端面と内壁面および外壁面との間は、円弧状に湾曲して滑らかに接続される。また、突起42aの突設先端面は、膜本体41の頂部軸Oが通過する部位よりも仕切り部材15側図3b下側に位置する。本実施の形態では、この突起42aの突設先端面と膜本体41の頂部との間の軸O方向に沿う間隔が、膜本体41の膜厚寸法よりも大きくされる。ダイヤフラム14の環状取付部44は、外筒部材12図2参照に内嵌される筒状の部位に、図3aに示すように、径方向内方へ向けて突設される軸O方向視半円形状の突部が複数本実施の形態では5個形成され、それら各突部の内の1個の突部に減圧兼注入用孔44aが形成される。減圧兼注入用孔44aは、液封入室内を真空引きにより減圧する際に使用される貫通孔であり、ストッパ部43及び環状取付部44を貫通する貫通孔として形成されることで、液封入室内と外部とを連通可能に形成される。なお、減圧兼注入孔44aは、液封入室内を減圧し、液体の液封入室への充填が完了した後、図示しない封止手段例えば、鋼球やリベットなどの公知の手段により封止される非連通状態とされる。次いで、図4を参照して、仕切り部材15における挟持板部53の詳細構成、及び、その挟持板部53とダイヤフラム14の第1突起群42との関係について説明する。図4aは、挟持板部53の上面図であり、図4bは、図2のIVb部における防振装置10の部分拡大断面図である。なお、図4aにおいてハッチングを付して示した領域は、図4bの軸O方向視において、第1突起群42の突起42aの突設先端面が挟持板部53に重なる領域を意味する。図4a及び図4bに示すように、挟持板部53は、その上面即ち、ダイヤフラム14側の面が、弾性壁部52よりも外径の小さな軸Oを中心とする円形に形成されると共に、軸Oに略直交する平坦面として形成される。この挟持板部53の上面には、軸Oを中心とする上面視円形の中央凹部53a1とその中央凹部53a1と同心の上面視環状の外周凹部53a2とがそれぞれが凹設される。これにより、中央凹部53a1と外周凹部53a2との間には、ダイヤフラム14に対面する環状の平面として形成される中央環状部53b1と、外周凹部53a2の周囲に位置しダイヤフラム14に対面する環状の平面として形成される外周環状部53b2とが形成される。挟持板部53の外周凹部53a2には、上面視略矩形に形成されると共に軸Oに沿って挟持板部53を貫通する複数本実施の形態では6個の貫通孔53cが周方向等間隔に配設される。ここで、挟持板部53の中央環状部53b1は、軸O方向視において、第1突起群42における突起42aの突設先端面が重なる位置に配置される。即ち、図4aにおいてハッチングを付した領域として示すように、本実施の形態では、突起42aの突設先端面を連ねて形成される仮想円環状形状の外径は、中央環状部53b1の外径よりも小さくされ、突起42aの突設先端面を連ねて形成される仮想円環状形状の内径は、中央環状部53b1の内径よりも大きくされる。また、本実施の形態では、図4bに示すように、挟持板部53の中央環状部53b1は、第1突起群42における突起42aの突設先端面との間に若干の隙間が形成される位置に配置される。なお、ここで定義した挟持板部53の中央環状部53b1と第1突起群42の突起42aとの位置関係は、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態において満たす。但し、ダイヤフラム14膜本体41の形状は、液封入室内を減圧する前の状態における形状と、液封入室内に液体を充填した後の状態における形状とがほぼ一致する。よって、液封入室内に液体を充填した後においても、上記位置関係は満たされる。次いで、図5を参照して、防振ユニット1の製造方法およびその製造過程における第1突起群42の機能について説明する。図5は、防振ユニット1の部分拡大断面図であり、液封入室内を減圧した状態が図示される。なお、図5は、軸Oを含む断面を図示し、図2に対応する。防振ユニット1の製造は、まず、ボス部材11と外筒部材12との間を防振基体13により連結した第1成形体と、ダイヤフラム14と、仕切り部材15オリフィス形成部51及び弾性壁部52とを加硫成形する。仕切り部材15については、弾性壁部52を挟持板部53,54で上下から挟みこみ、挟持板部53,54の中央部を超音波溶着により接合する。第1成形体の外筒部材12を、第1ブラケット20の本体部21における圧入穴に圧入し、第1成形体外筒部材12を第1ブラケット20に保持させると共に、第1成形体の外筒部材12内に仕切り部材15を嵌め入れた後、ダイヤフラム14の円環取付部44を外筒部材12の上端側に内嵌させ、超音波溶着により連結する。これにより、防振基体13とダイヤフラム14との間に液封入室が形成される。液封入室を形成した後は、減圧兼注入用孔44a図3a参照を介して、液封入室内を真空引きにより所定の負圧状態に達するまで減圧した後、その負圧を利用して、減圧兼注入用孔44aから液体を注入することで、液体を液封入室に充填する。液体の充填が完了した後は、減圧兼注入用孔44aを鋼球やリベットなどの封止手段により封止して、防振ユニット1の製造が完了する。この場合、液封入室内を減圧する工程において、ダイヤフラム14の膜本体41が仕切り部材15の挟持板部53へ向けて変位されるが、図5に示すように、膜本体41と挟持板部53との間に第1突起群42を介在させ、その第1突起群42の突起42aと突起42aとの間即ち、隣接する突起42a間の隙間を利用して、膜本体41と挟持板部53との間にエアーポケット空気の残留する空間が形成されることを抑制できる。よって、その後、液封入室内へ液体を注入する際に、液封入室内に残留していた空気が液体に混入することを抑制できる。また、液封入室内を十分に減圧することができるので、液体の注入効率の向上を図ることができる。第1突起群42の突起42aは、その突設先端面と、挟持板部53の中央環状部53b1とが、軸O方向視において、重なる位置に配置される。そのため、液封入室内を減圧する工程において、ダイヤフラム14の膜本体41が仕切り部材15の挟持板部53へ向けて変位される場合には、図5に示すように、中央環状部53b1に第1突起群42の突起42aを当接させることができる。即ち、液封入室内を減圧する工程では、仕切り部材15の挟持板部53へ向けてダイヤフラム14の膜本体41が変位し、挟持板部53の上面に膜本体41が当接した吸い付けられた際に、膜本体41と挟持板部53の中央凹部53a1との間の空間にエアーポケット空気の残留する空間が形成されやすい。これに対し、上述のように、第1突起群42の突起42aを挟持板部53の中央環状部53b1に当接させることで、膜本体41と挟持板部53の中央凹部53a1との間にエアーポケットが形成されることを効果的に抑制できる。その結果、液封入室に空気が残留することを抑制できる。また、第1突起群42が軸Oを中心とする環状に形成される即ち、複数の突起42aが環状に配置されると共に、挟持板部53の中央環状部53b1が軸Oを中心とする環状の平面として形成されることで、外筒部材12内に仕切り部材15を嵌め入れると共に外筒部材12の上端側にダイヤフラム14を取り付ける工程においては、ダイヤフラム14と仕切り部材15との間の相対的な周方向の方向性を考慮する必要がない。即ち、仕切り部材15に対するダイヤフラム14の相対的な周方向位置を位置決めする必要がないので、その分、組み付け作業を簡素化して、製造工数の削減を図ることができる。さらに、ダイヤフラム14は、複数の突起42aが環状に配置される第1突起群42を、挟持板部53に環状の平面として形成される中央環状部53b1に当接させるので、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群42の全ての突起42aを中央環状部53b1に当接させることができる。よって、第1突起群42の各突起42aの突設先端面が中央環状部53b1に当接された後、液封入室内の減圧がさらに進行し、ダイヤフラム14の膜本体41が仕切り部材15の挟持板部53へ向けて変位される過程において、ダイヤフラム14全体を安定した状態で均一に変形させることができる。その結果、膜本体41の一部が挟持板部53に袋状に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることをより確実に抑制できる。ここで、防振装置10は、エンジンの重量を防振基体13の圧縮変形で支持する構造なので、経時劣化や繰り返しの使用により、防振基体13にへたりが生じた場合には、そのへたりの分、ダイヤフラム14を仕切り部材15と反対側へ向けて膨張させることができる。即ち、防振基体13のへたりの発生に伴い、ダイヤフラム14が仕切り部材15へ向けて近接する構造即ち、エンジンの重量を防振基体13の引張変形で支持する構造であると、車両への防振ユニット1の組み付け後には、時間の経過と共に、突起42aの突設先端面が仕切り部材15に衝突し易くなり、打音の発生を招く。これに対し、防振装置10によれば、時間の経過と共に、衝突をし難くして、打音の発生を抑制することができる。次いで、図6から図8を参照して、第2実施の形態における防振ユニット201について説明する。第1実施の形態では、ダイヤフラム14に第1突起群42が配設される場合を説明したが、第2実施の形態におけるダイヤフラム214には、第1突起群42に加え、第2突起群245が配設される。なお、第1実施の形態と同一の部分については同一の符号を付して、その説明を省略する。図6aは、第2実施の形態におけるダイヤフラム214の下面図であり、図6bは、図6aのVIb-VIb線におけるダイヤフラム214の断面図である。図6a及び図6bに示すように、ダイヤフラム214の膜本体41には、第1突起群42に加え、第2突起群245が形成される。第2突起群245は、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群42と共に、エアーポケットの形成を抑制するための部位であり、複数本実施の形態では6個の突起245aを備える。突起245aは、膜本体41の下面から突設され、膜本体41下面の軸O方向視即ち、図6aの状態において、軸Oを中心とする環状に形成される突起を、放射状に分断した形状に形成される。即ち、第2突起群245を構成する複数の突起245aは、互いに所定間隔を隔てつつ、第1突起群42よりも径方向外方において膜本体41の部分球状の頂部即ち、軸Oを中心とする環状に配置される。本実施の形態では、放射状に分断する位置が周方向等間隔とされ、よって、6個の突起245aがそれぞれ同形状とされる。このように、第2突起群245の突起245aの配置を、第1突起群42の突起42aの配置と同様に、膜本体41の部分球状の頂部即ち、軸Oを中心とする環状とし、各突起245aを等間隔に配置することで、膜本体41の変形性を確保できる。また、膜本体41の一部に変形を偏らせることなく全体を均一に変形させることができる。これにより、防振装置210の動的特性の向上とダイヤフラム214の耐久性の向上とを図ることができる。突起245aの軸Oを含む断面形状は、突設先端面図6b下側面が仕切り部材15側へ向けて凸の湾曲面として形成される。一方、軸O側に位置する内壁面および軸Oの反対側に位置する外壁面が突設先端面から膜本体41へ向けて下降傾斜される。即ち、突起245aは、軸Oを含む断面形状が、突設先端面側が膜本体41側よりも幅が狭い先細形状に形成される。これにより、液封入室内を減圧する際には、突起245aを傾倒させることで、突起245aの突設先端面を挟持板部53の所定位置に当接した状態を維持し易くすることができ図8参照、ダイヤフラム214本体膜41全体としての変形を均一化し易くできる。なお、第2突起群245の突起245aは、その突設先端面の軸Oを含む断面形状が、仕切り部材15の挟持板部53における外周凹部53b2図7aにハッチングを付して示した領域の軸Oを含む断面形状と略同一の断面形状とされる。これにより、液封入室内を減圧する際には、突起245aの突設先端面を挟持板部53外周凹部53b2の上面に密着させた状態で当接させ、かかる突起245aを挟持板部53と膜本体41との間に安定した状態例えば、一部の突起245aのみ突設先端面の位置がずれるなどを抑制した状態で介在させることができる。また、第2突起群245の突起245aの突設先端面は、第1突起群42の突起42aの突設先端面よりも仕切り部材15側図6b下側に位置する。これにより、第2突起群245の突起245aの突設先端面と仕切り部材15の挟持板部53外周凹部53a2との間の対向間隔軸O方向寸法が、第1突起群42の突起42aの突設先端面と仕切り部材15の挟持板部53中央環状部53b1との間の対向間隔軸O方向寸法と略同一とされる。次いで、図7を参照して、挟持板部53とダイヤフラム214の第2突起群245との関係について説明する。図7aは、挟持板部53の上面図であり、図7bは、防振装置210の部分拡大断面図である。なお、図7aにおいてハッチングを付して示した領域は、図7bの軸O方向視において、第1突起群42の突起42aの突設先端面および第2突起群245の突起245aの突設先端面がそれぞれ挟持板部53に重なる領域を意味する。また、図7bは、図2のIVb部における防振装置210の部分拡大断面図に対応する。図7a及び図7bに示すように、挟持板部53の外周凹部53a2は、軸O方向視において、第2突起群245の突起245aの突設先端面が重なる位置に配置される。即ち、図7aにおいてハッチングを付した領域として示すように、本実施の形態では、突起245aの突設先端面を連ねて形成される仮想円環状形状の外径は、外周凹部53a2の外径とほぼ等しくされ、突起245aの突設先端面を連ねて形成される仮想円環状形状の内径は、外周凹部53a2の内径よりも十分に大きくされる。また、挟持板部53の外周凹部53a2は、第2突起群245における突起245aの突設先端面との間に若干の隙間が形成される位置に配置される。突起245aの突設先端面の周方向長さ軸Oを中心とする中心角は、図7aに示すように、外周凹部53a2に貫通する貫通孔53cの周方向長さ軸Oを中心とする中心角よりも大きくされる。これにより、仕切り部材15に対するダイヤフラム214の相対的な周方向位置に関わらず、外周凹部53a2の上面には、突起245aの突設先端面の一部が当接される。なお、ここで定義した挟持板部53の外周凹部53a2と第2突起群245の突起245aとの位置関係は、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態において満たす。但し、ダイヤフラム214膜本体41の形状は、液封入室内を減圧する前の状態における形状と、液封入室内に液体を充填した後の状態における形状とがほぼ一致する。よって、液封入室内に液体を充填した後においても、上記位置関係は満たされる。次いで、図8を参照して、防振ユニット201の製造過程における第2突起群245の機能について説明する。図8は、防振ユニット201の部分拡大断面図であり、液封入室内を減圧した状態が図示される。なお、図8は、軸Oを含む断面を図示し、図2に対応する。また、防振ユニット201の製造方法は、第1実施の形態における防振ユニット1の場合と同様であるので、その説明を省略する。図8に示すように、減圧兼注入用孔44a図6参照を介して、液封入室内が真空引きにより減圧され、ダイヤフラム214の膜本体41が仕切り部材15の挟持板部53へ向けて変位された場合には、図8に示すように、膜本体41と挟持板部53との間に第1突起群42及び第2突起群245を介在させ、それら第1突起群42の隣接する突起42a間の隙間および第2突起群245の隣接する突起245a間の隙間をそれぞれ利用して、膜本体41と挟持板部53との間にエアーポケットが形成されることを抑制できる。よって、その後、液封入室内へ液体を注入する際に、液封入室内に残留していた空気が液体に混入することを抑制できる。また、液封入室内を十分に減圧することができるので、液体の注入効率の向上を図ることができる。この場合、ダイヤフラム214の膜本体41は、仕切り部材15側に膨張した部分球状を有して形成されることから、液封入室内が減圧されると、膜本体41は、頂部近傍よりも第1突起群42の外周側外縁側、即ち、第1突起群42とストッパ部43との間の部分の方がその変形が大きくなるところ、第1突起群42の周囲に第2突起群245が配設されることで、かかる第2突起群245を膜本体41の補強としても機能させることができる。また、第2突起群245は、その突起245aの突設先端面と外周凹部53a2の上面との間の対向間隔図7b上下方向寸法が、第1突起群42の突起42aの突設先端面と中央環状部53b1との間の対向間隔と略同一とされる。よって、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群42と第2突起群245とを仕切り部材15の中央環状部53b1及び外周凹部53a2にほぼ同時に当接させることができる。これにより、これら第1突起群42と第2突起群245との両者を仕切り部材15に適切に当接させ、膜本体41を安定した態様で変位変形させることができる。即ち、エアーポケットが形成されることを抑制する機能を第1突起群42及び第2突起群245に確実に発揮させることができる。次いで、図9から図12を参照して、第3実施の形態における防振ユニット301について説明する。第1実施の形態では、弾性壁部52がオリフィス形成部51に固定加硫接着されて仕切り部材15が形成される場合を説明したが、第3実施の形態における仕切り部材315は、一対の変位規制部352,353の対向面間に弾性仕切り膜354が遊動可能に収納される。なお、第3実施の形態における防振ユニット301と第1実施の形態における防振ユニット1とは、ダイヤフラム314及び仕切り部材315とダイヤフラム14及び仕切り部材15とが互いに異なる点を除き、他の構成は同一である。第1実施の形態と同一の部分については同一の符号を付して、その説明を省略する。図9は、第3実施の形態における防振ユニット301の断面図である。なお、図9は、軸Oを含む断面に対応する。また、図9では、ボルトを断面視せずに図示する。ダイヤフラム314は、膜本体41から仕切り部材315へ向けて突設される複数の突起342aからなる第1突起群342を備える。仕切り部材315は、外周側に位置するオリフィス形成部351と、そのオリフィス形成部351の内周面側に一体に形成される変位規制部352と、オリフィス形成部351の下端側に配設されると共に変位規制部352と所定間隔を隔てて対向する変位規制部353と、それら一対の変位規制部352,353の対向面間に遊動可能に収納される弾性仕切り膜354とを備える。オリフィス形成部351は、樹脂材料から、断面形状が外周側に開放する断面コ字状に形成されると共に軸O方向視形状が円環状に形成され、外筒部材12小径の筒部に嵌め込まれることで、その外筒部材12の内壁面を覆うゴム膜に密着して、ダイヤフラム314側の液室と防振基体13側の液室とを連通させるオリフィスを形成する。変位規制部352,353は、弾性仕切り膜354を受け止めてその変位を規制する板状の部位であり、複数の開口貫通孔352a1~352a3等により格子形状に形成される図11a参照。なお、変位規制部352,353の格子形状は互いに同一とされる。変位規制部352は、オリフィス形成部351の内周面に一体に形成され、ダイヤフラム314に対面する側に配設される。変位規制部352のダイヤフラム314側の面は、軸Oに直交する平面とされる。変位規制部353は、オリフィス形成部351と同等の外径を有する円板状に形成され、防振基体13に対面する側に配設される。弾性仕切り膜354は、ゴム状弾性体から円板状に形成され、中央において最大の膜厚を有すると共に、その中央における最大の膜厚が変位規制部352,353の対向面間の間隔よりも若干小さくされる。次いで、図10を参照して、ダイヤフラム314の詳細構成について説明する。図10aは、ダイヤフラム314の下面図であり、図10bは、図10aのXb-Xb線におけるダイヤフラム314の断面図である。図10a及び図10bに示すように、ダイヤフラム314の膜本体41には、第1突起群342が形成される。第1突起群342は、第1実施の形態における第1突起群42と同様に、エアーポケット空気の残留する空間が形成されることを抑制するための部位であり、複数本実施の形態では4個の突起342aを備える。突起342aは、膜本体41の下面から突設され、膜本体41下面の軸O方向視即ち、図10aの状態において、軸Oを中心とする環状に形成される突起を、放射状に分断した形状に形成される。即ち、第1突起群342を構成する複数の突起342aは、互いに所定間隔を隔てつつ膜本体41の部分球状の頂部即ち、軸Oを中心とする環状に配置される。本実施の形態では、放射状に分断する位置が周方向等間隔とされ、よって、4個の突起342aがそれぞれ同形状とされる。このように、第1突起群342の突起342aの配置を、膜本体41の部分球状の頂部即ち、軸Oを中心とする環状とし、各突起342aを等間隔に配置することで、膜本体41の変形性を確保できる。また、膜本体41の一部に変形を偏らせることなく全体を均一に変形させることができる。これにより、防振装置310の動的特性の向上とダイヤフラム314の耐久性の向上とを図ることができる。突起342aの軸Oを含む断面形状は、突設先端面図10b下側面が軸Oに略直交する平坦面として形成され、軸O側に位置する内壁面および軸Oの反対側に位置する外壁面が軸Oと略平行に形成される。本実施の形態では、第1実施の形態における第1突起群42と比較して環状の内径および外径が比較的小さくされるところ、第1突起群342を上記の形状とすることで、膜本体41の頂部近傍における変形性を確保して、動的特性の向上を図りつつ、液封入室内を減圧する際には、隣接する突起342a間の隙間を塞がれ難くして、エアーポケットが形成されることを抑制できる。なお、突起342aの突設先端面は、膜本体41の頂部軸Oが通過する部位よりも仕切り部材315側図10b下側に位置する。本実施の形態では、この突起342aの突設先端面と膜本体41の頂部との間の軸O方向に沿う間隔が、膜本体41の膜厚寸法とほぼ同一とされる。次いで、図11を参照して、仕切り部材315における変位規制部352の詳細構成、及び、その変位規制部352とダイヤフラム314の第1突起群342との関係について説明する。図11aは、仕切り部材315の上面図であり、図11bは、図9のXIb部における防振装置310の部分拡大断面図である。なお、図11aにおいてハッチングを付して示した領域は、図11bの軸O方向視において、第1突起群342の突起342aの突設先端面が変位規制部352に重なる領域を意味する。図11a及び図11bに示すように、変位規制部352は、中央の貫通孔352a1と、周方向に2列に並ぶ複数の貫通孔352a2,352a3とを備える。図11aに示す変位規制部352の上面視即ち、軸O方向視において、貫通孔352a1は、軸Oを中心とする円形に形成され、貫通孔352a2,353a3は、軸Oを中心とする環状の貫通孔を放射状に分断した形状にそれぞれ形成される。本実施の形態では、放射状に分断する位置が周方向等間隔内側の列は90度間隔、外側の列は45度間隔とされ、これにより、内側の列では4個の貫通孔352a2がそれぞれ同形状とされると共に、外側の列では8個の貫通孔352a3がそれぞれ同形状とされる。なお、2列の貫通孔352a2,353a3は、内側の列の貫通孔352a2の周方向位置が、外側の列の45度ごとの貫通孔352a3の周方向位置に一致するように配置される。これにより、変位規制部352には、貫通孔352a1と貫通孔352a2との間に中央環状部352b1が、貫通孔352a2と貫通孔352a3との間に中間環状部352b2が、貫通孔352a3の外周側に外周環状部352b3が、ダイヤフラム314に対面する同心の環状の平面としてそれぞれ形成される。また、中央環状部352b1と中間環状部352b2との間には4本の放射状部352c1が、中間環状部352b2と外周環状部352b3との間には8本の放射状部352c2が、ダイヤフラム314に対面し軸Oを中心とする放射直線状の平面としてそれぞれ形成される。ここで、変位規制部352の中央環状部352b1は、軸O方向視において、第1突起群342における突起342aの突設先端面が重なる位置に配置される。即ち、図11aにおいてハッチングを付した領域として示すように、本実施の形態では、突起342aの突設先端面を連ねて形成される仮想円環状形状の外径は、中央環状部352b1の外径よりも若干小さくされ、突起342aの突設先端面を連ねて形成される仮想円環状形状の内径は、中央環状部352b1の内径よりも若干大きくされる。また、本実施の形態では、図11bに示すように、変位規制部352の中央環状部352b1は、第1突起群342における突起342aの突設先端面との間に若干の隙間が形成される位置に配置される。なお、ここで定義した変位規制部352の中央環状部352b1と第1突起群342の突起342aとの位置関係は、第1実施の形態の場合と同様に、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態において満たす。但し、ダイヤフラム314膜本体41の形状は、液封入室内を減圧する前の状態における形状と、液封入室内に液体を充填した後の状態における形状とがほぼ一致する。よって、液封入室内に液体を充填した後においても、上記位置関係は満たされる。次いで、図12を参照して、防振ユニット301の製造方法およびその製造過程における第1突起群342の機能について説明する。図12は、防振ユニット301の部分拡大断面図であり、液封入室内を減圧した状態が図示される。なお、図12は、軸Oを含む断面を図示し、図9に対応する。防振ユニット301の製造は、第1実施の形態の場合と同様に、第1成形体外筒部材12を第1ブラケット20に保持させると共に、第1成形体の外筒部材12内に仕切り部材315を嵌め入れた後、ダイヤフラム314の円環取付部44を外筒部材12の上端側に内嵌させ、超音波溶着により連結する。なお、仕切り部材315は、変位規制部353、弾性仕切り膜354、オリフィス形成部351及び変位規制部352をそれぞれ別々に外筒部材12内へ嵌め入れても良く、或いは、弾性仕切り膜354を変位規制部352,353の対向間に挟みこみ、オリフィス形成部351と変位規制部353とを超音波溶着などにより連結し、これら一体化したもの仕切り部材315を外筒部材12内に嵌め入れても良い。これにより、防振基体13とダイヤフラム314との間に液封入室が形成されるので、減圧兼注入用孔44a図10a参照を介して、液封入室内を真空引きにより所定の負圧状態に達するまで減圧した後、その負圧を利用して、減圧兼注入用孔から液体を注入することで、液体を液封入室に充填する。液体の充填が完了した後は、減圧兼注入用孔44aを鋼球やリベットなどの封止手段により封止して、防振ユニット301の製造が完了する。液封入室内を減圧する工程においては、図12に示すように、膜本体41と変位規制部352との間に第1突起群342を介在させ、その第1突起群342の突起342aと突起342aとの間即ち、隣接する突起342a間の隙間を利用して、膜本体41と変位規制部352との間にエアーポケットが形成されることを抑制できる。よって、その後、液封入室内へ液体を注入する際に、液封入室内に残留していた空気が液体に混入することを抑制できる。また、液封入室内を十分に減圧することができるので、液体の注入効率の向上を図ることができる。この場合、仕切り部材315の変位規制部352へ向けてダイヤフラム314の膜本体41が変位されると、変位規制部352の中央環状部352b1即ち、軸Oに最も近接する環状の平面に膜本体41が当接される吸い付けられることで、エアーポケットが形成されやすい。これに対し、防振ユニット301によれば、第1突起群342の突起342aを変位規制部352の中央環状部352b1に当接させることで、エアーポケットが形成されることを効果的に抑制できる。その結果、液封入室に空気が残留することを抑制できる。また、第1突起群342が軸Oを中心とする環状に形成される即ち、複数の突起342aが環状に配置されると共に、変位規制部352の中央環状部352b1が軸Oを中心とする環状の平面として形成されるので、第1実施の形態の場合と同様に、ダイヤフラム314と仕切り部材315との間の相対的な周方向の方向性を考慮することを不要とできる。よって、組み付け作業を簡素化して、製造工数の削減を図ることができる。さらに、ダイヤフラム314は、複数の突起342aが環状に配置される第1突起群342を、変位規制部352に環状の平面として形成される中央環状部352b1に当接させるので、第1実施の形態の場合と同様に、全ての突起342aを中央環状部352b1に当接させることができる。よって、液封入室内の減圧が進行する過程において、ダイヤフラム314全体を安定した状態で均一に変形させることができる。その結果、膜本体41の一部が変位規制部352に袋状に吸い付けられて、エアーポケットが形成されることをより確実に抑制できる。次いで、図13から図15を参照して、第4実施の形態における防振ユニット401について説明する。第3実施の形態では、ダイヤフラム314に第1突起群342が配設される場合を説明したが、第4実施の形態におけるダイヤフラム414には、第1突起群342に加え、第2突起群445が配設される。なお、上記各実施の形態と同一の部分については同一の符号を付して、その説明を省略する。図13aは、第4実施の形態におけるダイヤフラム414の下面図であり、図13bは、図13aのXIIIb-XIIIb線におけるダイヤフラム414の断面図である。図13a及び図13bに示すように、ダイヤフラム414の膜本体41には、第1突起群342に加え、第2突起群445が形成される。第2突起群445は、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群342と共に、エアーポケットの形成を抑制するための部位であり、複数本実施の形態では6個の突起445aを備える。突起445aは、膜本体41の下面から突設され、膜本体41下面の軸O方向視即ち、図13aの状態において、軸Oを中心とする環状に形成される突起を、放射状に分断した形状に形成される。即ち、第2突起群445を構成する複数の突起445aは、互いに所定間隔を隔てつつ、第1突起群342よりも径方向外方において膜本体41の部分球状の頂部即ち、軸Oを中心とする環状に配置される。本実施の形態では、放射状に分断する位置が周方向等間隔とされ、よって、6個の突起445aがそれぞれ同形状とされる。このように、第2突起群445の突起445aの配置を、膜本体41の部分球状の頂部即ち、軸Oを中心とする環状とし、各突起445aを等間隔に配置することで、第3実施の形態の場合と同様に、膜本体41の変形性を確保できる。また、膜本体41の一部に変形を偏らせることなく全体を均一に変形させることができる。これにより、防振装置410の動的特性の向上とダイヤフラム414の耐久性の向上とを図ることができる。突起445aの軸Oを含む断面形状は、突設先端面図13b下側面が軸Oに直交する平坦面として形成される。一方、軸O側に位置する内壁面および軸Oの反対側に位置する外壁面が突設先端面から膜本体41へ向けて下降傾斜される。即ち、突起445aは、軸Oを含む断面形状が、突設先端面側が膜本体41側よりも幅が狭い先細形状に形成される。これにより、液封入室内を減圧する際には、突起445aを傾倒させることで、突起445aの突設先端面を変位規制部352の所定位置に当接した状態を維持し易くすることができ図15参照、ダイヤフラム414本体膜41全体としての変形を均一化し易くできる。また、第2突起群445の突起445aの突設先端面は、第1突起群342の突起342aの突設先端面と同じ高さ位置即ち、軸O方向位置に配置される。これにより、第2突起群445の突起445aの突設先端面と仕切り部材315の変位規制部352中間環状部352b2との間の対向間隔軸O方向寸法が、第1突起群342の突起342aの突設先端面と仕切り部材315の変位規制部352中央環状部352b1との間の対向間隔軸O方向寸法と略同一とされる。次いで、図14を参照して、変位規制部352とダイヤフラム414の第2突起群445との関係について説明する。図14aは、仕切り部材315の上面図であり、図14bは、防振装置410の部分拡大断面図である。なお、図14aにおいてハッチングを付して示した領域は、図14bの軸O方向視において、第1突起群342の突起342aの突設先端面および第2突起群445の突起445aの突設先端面がそれぞれ変位規制部に重なる領域を意味する。また、図14bは、図9のXIb部における防振装置410の部分拡大断面図に対応する。図14a及び図14bに示すように、変位規制部352の中間環状部352b2は、軸O方向視において、第2突起群445の突起445aの突設先端面が重なる位置に配置される。即ち、図14aにおいてハッチングを付した領域として示すように、本実施の形態では、突起445aの突設先端面を連ねて形成される仮想円環状形状の外径は、中間環状部352b2の外径より若干小さくされ、突起445aの突設先端面を連ねて形成される仮想円環状形状の内径は、中間環状部352b2の内径よりも若干大きくされる。また、変位規制部352は、第2突起群445における突起445aの突設先端面との間に若干の隙間が形成される位置に配置される。なお、ここで定義した変位規制部352の中間環状部352b2と第2突起群445の突起445aとの位置関係は、液封入室内を真空引きにより減圧する前の状態において満たす。但し、ダイヤフラム414膜本体41の形状は、液封入室内を減圧する前の状態における形状と、液封入室内に液体を充填した後の状態における形状とがほぼ一致する。よって、液封入室内に液体を充填した後においても、上記位置関係は満たされる。次いで、図15を参照して、防振ユニット401の製造過程における第2突起群445の機能について説明する。図15は、防振ユニット401の部分拡大断面図であり、液封入室内を減圧した状態が図示される。なお、図15は、軸Oを含む断面を図示し、図9に対応する。また、防振ユニット401の製造方法は、第3実施の形態における防振ユニット301の場合と同様であるので、その説明を省略する。図15に示すように、減圧兼注入用孔44a図13a参照を介して、液封入室内が真空引きにより減圧され、ダイヤフラム414の膜本体41が仕切り部材315の変位規制部352へ向けて変位された場合には、図15に示すように、膜本体41と変位規制部352との間に第1突起群342及び第2突起群445を介在させ、それら第1突起群342の隣接する突起342a間の隙間および第2突起群445の隣接する突起445a間の隙間をそれぞれ利用して、膜本体41と変位規制部352との間にエアーポケットが形成されることを抑制できる。よって、その後、液封入室内へ液体を注入する際に、液封入室内に残留していた空気が液体に混入することを抑制できる。また、液封入室内を十分に減圧することができるので、液体の注入効率の向上を図ることができる。この場合、ダイヤフラム414の膜本体41は、仕切り部材315側に膨張した部分球状を有して形成されることから、液封入室内が減圧されると、膜本体41は、頂部近傍よりも第1突起群342の外周側外縁側、即ち、第1突起群342とストッパ部43との間の部分の方がその変形が大きくなるところ、第1突起群342の周囲に第2突起群445が配設されることで、かかる第2突起群445を膜本体41の補強としても機能させることができる。また、第2突起群445は、その突起445aの突設先端面と中間環状部352b2の上面との間の対向間隔図14b上下方向寸法が、第1突起群342の突起342aの突設先端面と中央環状部352b1との間の対向間隔と略同一とされる。よって、液封入室内を減圧する工程において、第1突起群342と第2突起群445とを仕切り部材315の中央環状部352b1及び中間環状部352b2にほぼ同時に当接させることができる。これにより、これら第1突起群342と第2突起群445との両者を仕切り部材315に適切に当接させ、膜本体41を安定した態様で変位変形させることができる。即ち、エアーポケットが形成されることを抑制する機能を第1突起群342及び第2突起群445に確実に発揮させることができる。以上、実施の形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形が可能であることは容易に推察できるものである。上記各実施の形態で挙げた数値は一例であり、他の数値を採用することは当然可能である。例えば、上記各実施の形態では、第1突起群42,342がそれぞれ4個の突起42a,342aを備える場合を説明したが、かかる個数は一例であり、3個以下であっても良く、或いは、5個以上であっても良い。第2突起群245,345の突起245a,345aについても同様である。上記各実施の形態では、液封入室内を減圧する前の状態において、第1突起群42,342突起42a,342aの突設先端面と中央環状部53b1,352b1との間に隙間が形成される場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、第1突起群42,342突起42a,342aの突設先端面が中央環状部53b1,352b1に当接していても良い。その後の液封入室内を減圧する工程において、第1突起群42,342の機能を確実に発揮させ、エアーポケットが形成されることを効果的に抑制することができる。第2突起群245,445についても同様である。なお、防振装置10~410は、エンジンの重量を防振基体13の圧縮変形で支持する構造なので、実際の使用時には、ダイヤフラム14~414を仕切り部材15,315と反対側へ向けて膨張させることができる。よって、第1突起群42,342等を仕切り部材15,315へ当接させておく構成であっても、両者を衝突し難くして、打音の発生を抑制することができる。上記各実施の形態では、第1突起群42,342の隣接する突起42a,342a同士が非連結とされる隣接する突起42a,342aの間には膜本体41のみが存在する場合を説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、隣接する突起42a,342a同士を、それら突起42a,342aよりも突設高さが低い突起により連結しても良い。隙間を確保しつつ、突起42a,342aの剛性を高め、エアーポケットの形成をより確実に抑制することができる。"