"塗液タンクで貯留した塗液を吸引して送液する送液ポンプとダイヘッドとの流路に塗液供給用配管に電気振動を発生する超音波発振器と電気振動を機械振動に変換する超音波振動子と、塗液を混合させるためのスタティックミキサーと、異物を除去する為のフィルターを含んで構成されていることを特徴とする塗布装置。前記超音波発振器として15~50KHzの低周波超音波および03~1MHzの高周波超音波用の発振器を備えることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。前記超音波振動子は送液ポンプ後の液供給用配管およびダイヘッド排出側の塗液排出用配管に設置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布装置。前記スタティックミキサーは、2種類の塗液が合流した後、さらにダイヘッド供給口手前の塗液供給用配管内に設置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の塗布装置。前記塗液供給用配管に洗浄液用タンクおよび送液ポンプ、前記超音波振動子を含み、さらにダイヘッド排出側から洗浄液用タンクへ接続される塗液排出用配管で構成されている循環洗浄装置を備えていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の塗布装置。しかしながら、上記のような方法では塗液が送液系あるいはダイヘッド内に満たされた状態で待機する場合において塗液の沈降や凝集を防ぐ手段はなく、例えば塗工中にラインを停止する必要が生じたときには塗液の沈降や凝集が進行し、再稼動時には面性に不具合を及ぼしてしまう。そのため送液系およびダイヘッドの洗浄を行う必要があり、また洗浄を行うために塗布装置の既存の配管等を組み直す必要もあるので組み立て等に時間がかかり作業効率が悪いという問題点がある。本発明は、このような従来の問題を解決するためになされたもので、供給用配管内で塗液を分散させることで、塗布液に含まれる微粒子や顔料の沈降および凝集を低減させる塗布装置であり、さらには配管内での沈降、凝集物に対しても効率の良い洗浄を可能とする洗浄装置を備えた塗布装置の提供を目的とする。上記の目的を達成するための本発明の請求項1に係る塗布装置は、塗液タンクで貯留した塗液を吸引して送液する送液ポンプとダイヘッドとの流路に塗液供給用配管に電気振動を発生する超音波発振器と電気振動を機械振動に変換する超音波振動子と、塗液を混合させるためのスタティックミキサーと、異物を除去する為のフィルターを含んで構成されていることを特徴とする塗布装置である。請求項2の発明は、前記超音波発振器として15~50KHzの低周波超音波および03~1MHzの高周波超音波用の発振器を備えることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置である。請求項3の発明は、前記超音波振動子は送液ポンプ後の液供給用配管およびダイヘッド排出側の塗液排出用配管に設置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布装置である。請求項4の発明は、前記スタティックミキサーは、2種類の塗液が合流した後、さらにダイヘッド供給口手前の塗液供給用配管内に設置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の塗布装置である。請求項5の発明は、前記塗液供給用配管に洗浄液用タンクおよび送液ポンプ、前記超音波振動子を含み、さらにダイヘッド排出側から洗浄液用タンクへ接続される塗液排出用配管で構成されている循環洗浄装置を備えていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の塗布装置である。本発明の塗布装置においては、スタティックミキサーを備えることによって2種類の塗液を均一に混合させることが可能になり、さらにダイヘッド供給口に設置することで均一に分散した塗液を供給することが可能となる。また塗液を配管内に長時間静止させていたとき、あるいは送液中に徐々に沈降してしまったときにも、洗浄時において低周波超音波および高周波超音波を発振する超音波発振器で配管内の塗液に超音波を与えることで、沈降、凝集してしまった塗液を再分散させることも可能であり、配管内の沈降物などの汚れ除去にも効果がある。また沈降しやすいまたは凝集しやすい微粒子や顔料にも対応可能である。よって本発明によれば、スタティックミキサーと超音波の併用により、塗液に含まれる微粒子や顔料の沈降及び凝集を減少させ、加えて塗液に含まれる樹脂や溶媒なども分散させることで塗液の均一性を保つことが可能になり、洗浄時においても沈降物などの汚れの除去にも対応可能である。以下、本発明の一実施の形態について、図1~図4を参照して説明する。図1は本発明にかかる塗布装置のダイコーターの一例を示す概略断面図、図2はサイド供給でのダイヘッドにおける塗液あるいは洗浄液の循環時の概略平面図、図3は図2の別経路であるセンター供給でのダイヘッドにおける塗液あるいは洗浄液の循環時の概略平面図、図4は本発明の塗布装置を備える塗布物の製造装置の一実施例の形態を示す概略図である。本実施の形態に示す塗布装置は、図1~図3のようにスタティックミキサー1、超音波振動子2、超音波発振器3、ダイヘッド6、塗液循環系などを含んで構成される。塗液送液系は図1に示すように、塗液用タンク9に貯蔵された塗液8a、bは送液ポンプ7により送液されスタティックミキサー1により混合され、フィルターでろ過されたのちダイヘッド6手前に設置されたスタティックミキサー1を通り、ダイヘッド内へ供給される。スタティックミキサー1は、図1~図3に示すように塗液供給用配管12内の2種類の塗液8が合流する後と、ダイヘッド6供給側手前に設置されており、2種類の塗液を均一に混合したり、また沈降し易いまたは凝集し易い微粒子や顔料を含む塗液8を分散して粒子や顔料、加えて樹脂や溶媒も分散させるようになっている。加えて、洗浄時においては塗液供給配管12内の汚れや沈降物の除去もできる。超音波振動子2は、図1~図3に示すように塗液供給用配管12内の送液ポンプ7および洗浄用タンク8の直後、さらにダイヘッド6排出側に設置されており、塗液8を配管内に長時間静止させていたとき、あるいは送液中に徐々に沈降してしまったときや洗浄時においては低周波超音波および高周波超音波を発振する超音波発振器3により供給用配管12の塗液8に超音波を与えることで、沈降、凝集してしまった塗液8を再分散させることも可能であり、塗液供給用配管12内の沈降物などの汚れ除去にも効果がある。また沈降しやすいまたは凝集しやすい微粒子や顔料にも対応可能である。送液系の洗浄時には、塗液用タンク9に洗浄液10を投入後、送液ポンプ7により送液し、超音波発振器3を稼動させることで、塗液供給用配管12内をより効率的に洗浄することが可能になる。加えてダイヘッドの洗浄時には、図2に示すように洗浄用タンク11に貯蔵された洗浄液10は送液ポンプ7により送液され、超音波振動子2を通過し、スタティックミキサー1を通り、ダイヘッド6内へ供給される。ダイヘッド6排出側から排出された洗浄液10は超音波振動子2を通り、洗浄用タンク11へ戻される。このとき、ダイヘッド6先端より洗浄液10が流出しないように循環させるためには、簡易的にはコーティングロール5とダイヘッド6の間にテフロン登録商標シートを挟むことで洗浄液10が流出しないようにすることは可能である。さらに送液ポンプ7で送液された塗液8が上流側に供給されないようにバルブ等で密閉系にすることで、ダイヘッド6のみの洗浄が可能となる。本実施の形態において、図1に示すようなダイコーター方式で、粒子を含有し沈降しやすい塗液8を使用するため、送液用ポンプ13には摺動部の無いダイアフラムポンプを用いる。塗液用タンク9より貯蔵された塗液8a、bは送液ポンプ7より塗液供給用配管12に送られ、スタティックミキサー1により混合された後、フィルター13およびスタティックミキサー1を通り、ダイヘッド6内へ供給され、基材4へ塗布される。また長時間待機する時には、コーティングロール5とダイヘッド6の間にテフロン登録商標シートを挟み密閉系にすることで、図2で示すような流路で循環させることも可能である。また、塗液8は2種類の混合とは限らず、使用する塗液8によっては超音波振動子2、送液ポンプ7、塗液用タンク9の台数も変更することも可能である。本実施の形態におけるスタティックミキサー1は、塗液供給用配管12の途中に一部含むものとし、サイズおよびエレメント数は配管径、使用する塗液8の特性、供給流量により決定されるもので、スタティックミキサー1の材質も金属や樹脂など塗液の性質により選択するものである。本実施の形態における超音波発振器3は、樹脂成分を除去するための15~50KHzの低周波超音波用発振器およびミクロンオーダーの微粒子や顔料を除去するための03~1MHzの高周波超音波用発振器を有しており、塗液8の特性にあった性能の超音波発振器を選択することが出来る。また超音波振動子2は、大きく分けて単結晶水晶やニオブ酸リチウム等、磁気チタン酸バリウムやPZT等、高分子材料ポリフッ化ビニデンフィルムに分類でき、ここで用いる超音波振動子は圧電振動子型であり、その圧電材料の種類には、圧電セラミックスBaTiO3、PZT,PbTiO3、圧電薄膜ZnO、圧電高分子膜等を用いたものを使用する。また材料の特性によっては常時加振させる必要はなく、長時間待機した後に加振するのみでよい場合もある。このような本実施の形態に示す塗布装置によれば、塗液供給配管12内に塗液8aおよび8bを混合させるため、加えて塗液8に含まれる微粒子や顔料を分散させ、沈降や凝集を防ぐためのスタティックミキサー1を備えたことにより、塗液供給配管12から供給された塗液8は均一に分散された状態でダイヘッド6内へ供給される。さらには、長時間待機時の後や洗浄時においては、超音波振動子2を備えたことにより塗液供給配管12内で沈降、凝集した塗液8や汚れなどを超音波の作用により、分散、除去することが可能となる。よって本発明によれば、スタティックミキサー1と超音波2の併用により、塗液8に含まれる微粒子や顔料の沈降及び凝集を減少させ、加えて塗液8に含まれる樹脂や溶媒なども分散させることで塗液8の均一性を保つことが可能になり、洗浄時においても沈降物などの汚れを除去することにも対応可能である。なお、本発明の塗布装置は、図1~4に示したダイコーターに限定されるものではなく、塗液を送る送液系を有している、グラビアコーター、バーコーターなどのロールを使用する他のタイプの塗布装置にも適用することができる。以上の、本発明の塗布装置を用いることにより、連続走行するウェブ状の基材4に対し塗液8を塗布し、基材4上に塗膜を備える塗布物を製造することができる。特に、粒子又は顔料を含む塗液8を用いて塗膜を形成し、塗布物を製造する際に用いることができる。粒子としては、光拡散粒子、AG粒子等を挙げることができる。塗布物としては、例えば、基材4上にバインダマトリックス形成材料と粒子と溶媒を含む塗液8を用い、粒子により表面に凹凸を備えるAG層を形成したAGフィルムを挙げることができる。AGフィルムは液晶表示装置といったディスプレイの観察者側の最表面に設けられ、ディスプレイ表面に入射する外光の映りこみを防ぐものである。粒子を含む塗液8を用いウェブ状の基材4上に表面に凹凸を有するAG層を基材4上に形成しAGフィルムを製造するに際しては、AG層中の粒子の単位体積当たりの量や粒子の分散状態によってヘイズや光沢度といった光学性能が大きく変化する。本発明の塗布装置を用いることにより、連続走行する基材4上にAG層を形成するに際に塗液8中に含まれる粒子の沈降や凝集による塗液8の経時変化を抑制することができ、安定的にAGフィルムを製造することができる。以下、塗布物としてAGフィルムを製造する場合について説明する。AGフィルムを形成する際には、基材4上に、例えば、バインダマトリックス形成材料、粒子を含む塗液8を塗布し、UVを照射することにより形成される。AG層は、バインダマトリックス中に粒子が分散した構造をとり、粒子により表面に凹凸が形成される。図4に本発明の塗布装置を備える塗布物AGフィルムの製造装置の一実施の形態を示す概略図を示した。図4に示した製造装置は、ウェブ状の基材4がロール状に巻き取られた基材4を連続走行させるための基材巻出し部15、基材4を連続走行可能に支持する複数のガイドロール16を備える塗布装置、基材4に塗布された塗液8を乾燥する乾燥装置17、乾燥後の塗膜を硬化する硬化装置18、及び塗液8を乾燥硬化した後の基材4をロール状に巻き取る巻取り部19を備える。連続走行される基材4は塗布装置を通過後、乾燥装置17、紫外線照射装置18を通過することにより、塗布物が製造される。また、本発明の塗布装置を用いた塗布物としては塗膜として反射防止層を機能層として備える反射防止フィルムをあげることができる。反射防止層を形成する際には、バインダマトリックス形成材料と低屈折粒子を含む塗液8を用いて行なうことができる。また、本発明の塗布装置を用いた塗布物の他の例としては、塗膜として帯電防止層を備える帯電防止フィルムをあげることができる。帯電防止層を形成する際には、バインダマトリックス形成材料と導電性粒子を含む塗液を用いて形成することができる。また、本発明の塗布装置を用いた塗布物にあっては、塗膜として例えばAG層と反射防止層、反射防止層とAG層を備えるといったように複数の機能層を備えていてもよく、このとき、少なくとも1層が本発明の塗布装置により形成されていれば良い。また、帯電防止性能を備えるAG層といったように、1層で複数の機能を有している層であっても良い。次に、本発明の実施例について説明する。<実施例1>バインダマトリックス形成材料として紫外線硬化型樹脂であるアクリルモノマーペンタエリスリトールトリアクリレート85重量部、光重合開始剤であるイルガキュア184BASF社製5重量部、溶媒であるトルエン100重量部を混合した中に、平均粒子径3μmのシリカ粒子10重量部を分散させた塗液8を用意した。また、塗布を行うウェブ状の基材4としてはフィルム厚80μmのトリアセチルセルロース以下、TACフィルムを用意した。さらにスタティックミキサー1および超音波振動子2の効果を確認するために送液系およびダイヘッド6を塗液8で満たした状態で5時間待機した後、送液系内での循環を行った。そして図4に示す製造装置を用い、連続走行するTACフィルム上に塗液8を塗布し、塗布後、TACフィルムを乾燥装置17及び紫外線照射装置18を通過させることにより、TACフィルム上に約5μmのAG層を形成し、AGフィルムを製造した。このとき、TACフィルムは全長1000mのものを用い連続走行させ、AGフィルムを連続製造した。<比較例1>実施例1と同一の塗液8を用意した。図1に示す塗布装置からスタティックミキサー1および超音波振動子2を外し、送液系およびダイヘッド6を塗液8で満たした状態で5時間待機した後、図4に示す製造装置を用い、連続走行するTACフィルム上に塗液8を塗布し、塗布後、TACフィルムを乾燥炉17及び紫外線照射装置18を通過させることにより、TACフィルム上に約5μmのAG層を形成し、AGフィルムを製造した。このとき、TACフィルムは全長1000mのものを用い連続走行させ、AGフィルムを連続製造した。実施例1及び比較例1で得られたそれぞれのAGフィルムについて、製造直後のものと製造終了直前のものを抜き取った。得られた製造直後のAGフィルムと製造終了直前のAGフィルムについて、蛍光灯の照明がある部屋で蛍光灯の像をAGフィルムに映りこませることにより防眩性能の確認をおこなったところ、実施例では製造直後のAGフィルムと製造終了直前のAGフィルムの間で防眩性能の差は確認されなかった。一方、比較例では製造直後のAGフィルムと実施例の製造直後のAGフィルムの間で防眩性能に差が確認され、さらに製造終了直前のAGフィルムの間で防眩性能に差が確認され、塗液を充填した状態およびAGフィルムを製造中に塗液の状態が変化したものと推測される。"