"行及び列に配列された電荷収集サイトの2次元アレイであって、各行が、該行の方向に延びてそれぞれの相電圧に対応する前面の複数の電極に関連付けられた前記電荷収集サイトの2次元アレイと、各々が繰返し反転する傾斜部分を有する複数の導電ストリップであって、各部分が、2つ又はそれよりも多くの行の対応する相電圧の前記電極に電気接触し、かつ各部分が、先行部分が傾斜しているのと反対方向の行に対して傾斜している前記複数の導電ストリップと、を含むことを特徴とする背面照射型CCD。各導電ストリップが、ジグザク形状であることを特徴とする請求項1に記載のCCD。各導電ストリップが、湾曲波形を有することを特徴とする請求項1に記載のCCD。各導電ストリップが、前記アレイの側部でそれぞれの電圧相を供給するための端子に関連付けられることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のCCD。各導電ストリップが、そのそれぞれの相電圧電極に行方向に25個の電荷収集サイト当たり1回よりも多く電気接触することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のCCD。各導電ストリップの前記傾斜部分は、10個よりも多くない行の前記それぞれの相電圧電極と電気接触することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のCCD。前記導電ストリップは、異なるクロッキング電圧に関連付けられた少なくとも2つの組になっており、両方の組の該ストリップは、少なくとも1つの行にわたって延びるが、一方の組の該ストリップは、その行の前記電極と電気接続を行うのみであることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のCCD。前記異なるクロッキング電圧は、フレーム転送型CCDの撮像領域及び格納領域のためのものであることを特徴とする請求項7に記載のCCD。不運にも、シリコンウェーハ加工の性質は、微細な金属特徴部を形成することが困難であることを意味する。従って、これまでのところ、この技術は、列方向に比較的幅の広い電極を有する大きいピクセルを用いる素子に限定されており、その適用を制限している。前面照射型CCDJP2000-101061において、対応する相電極と接触する1組のV字形図10金属ストリップを提供することが提案されている。このストリップは、それらが遮る感光区域をできるだけ小さくするために幅広く離間し、これは、時定数が低減される量を制限し、ストリップはまた、感光区域の側部及び上部で駆動され、これは、この設計をフレーム転送作動に適応させることを困難にする。本発明は、各行が、行の方向に延びてそれぞれの相電圧に対応する前面の複数の電極と関連付けられた行及び列に配列された電荷収集サイトの2次元アレイと、各々が繰返し反転する傾斜部分を有し、各部分が、2つ又はそれよりも多くの行の対応する相電圧の電極に電気接触し、かつ各部分が、先行部分が傾斜している反対方向の行に対して傾斜している複数の導電ストリップとを含む背面照射型CCDを提供する。従来型の前面照射型素子と比較すれば、この配列は、より高密度の導電性トラック及び従って従来よりも高速なパラレル転送を可能にし、その理由は、このCCDが背面照射型であり、導電性トラックが電荷収集サイトを覆い隠さず、一方で駆動接続がアレイの側部でのみ行われることを可能にするからである。従来型の背面照射型素子と比較すれば、行当たりの導電ストリップは、1つ未満であり、この配列は、列方向により小さいピクセルに適用可能である。各導電ストリップは、ジグザグ形状にすることができ、又は湾曲波形を有することができ、例えば、それは、正弦波とすることができる。有利な態様においては、各導電ストリップの傾斜部分は、10よりも多くない行、好ましくは、5よりも多くない行のそれぞれの相電圧電極と電気接触する。好ましくは、各導電ストリップは、行方向において50電荷収集サイト当たり1回よりも多く、好ましくは、25電荷収集サイト当たり1回よりも多くそのそれぞれの相電圧電極と電気接触する。フレーム転送型CCDにおいては、導電ストリップの少なくとも一部は、画像及び格納領域のためのクロック電圧の分離した作動を短絡なしに可能にするために、少なくとも1つの付加的な行の電極に電気接触する。電気接続は、電極が形成された後に電極上に形成されることになる誘電体のある一定の領域を導電ストリップが堆積される前にエッチング除去することによって達成することができる。電極は、ポリシリコン電極とすることができ、導電ストリップは、アルミニウム又は銅のものとすることができる。ここで、本発明を実施する方法を例証として添付図面を参照して以下に詳細に説明する。全ての図にわたって、類似の部分は、同じ参照番号を与えられている。図2から図4を参照すると、本発明の第1の実施形態による背面照射フルフレーム型CCDの部分領域が示されている。図3は、行方向の12ピクセル及び列方向の8ピクセルであるアレイの部分領域行方向においてP1,1、P1,2、P1,3...P1,12、及び列方向においてP1,1、P2,1、P3,1...P8,1を示している。図4は、ピクセルの列の2つのみを示している。断面においては、CCDは、図2に示す公知のCCDと同様に見える。実際には、CCDは、各行に数百ものピクセル及び各列に数百ものピクセルを有すると考えられ、典型的なアレイは、1024×1024に拡張される。CCDは、図3において上面で見られ、照射は、図面の平面の下からCCDに当たる。図4を参照すると、クロッキング電圧は、線IΦ1からIΦ3によってそれぞれの端子t1からt6に印加される。電荷の行は、パラレル方式で出力レジスタ3に転送され、レジスタは、電荷を矢印Aの方向に直列方式で出力する。影像電荷パターンが収集されている間、電極は、固定電位に保持される。電子は、最も高い正電位を有する1つ又は複数の電極の下に集まる。露光期間が終わると、これらの相への連続電圧の印加による電極のクロッキングが、電子の全てのパケットを列の方向に素子まで図面に見られるように転送する。各行に対応して3つの電極図3が存在する。第1の行の場合には、電極は、R1/1、R1/2、及びR1/3である。電極は、ポリシリコンであり、ポリシリコンの抵抗性は、相電圧IΦ1からIΦ3が印加される端子t1からt6とCCD素子の中央部との間で各電極に沿って有意な抵抗R図2が存在することを意味する。電極は、誘電体シリコンの面に形成された二酸化珪素層d1に依存する電極が取り付けられたシリコンSに対するキャパシタンスCも有し、その結果、電気的時定数が生じる。時定数の影響は、パラレル転送の速度が増大する時に素子の水平中央部での様々なクロック電圧の振幅を低下させることであると考えられる。金属のジグザグストリップmP1、mP2、mP3、mP5、mP6、mP7などが、電極の中央部での電圧変動の時定数を低下させるために設けられ、これらは、緊密に離間し、かつアレイの側部のみで駆動することができる。第1の行は、第1の電圧相IΦ1に接続した端子t1を有する。第2の行は、第2の電圧相IΦ2に接続した端子t2を有する。第3の行は、第3の電圧相IΦ3に接続した端子t3を有する。第4の行は、端子を有さず、第1の電圧相のための次の端子t4は、IΦ3相のための端子に直接に隣接するIΦ1相のための端子を有する必要性を回避するために、次の行の上に提供される。全ての端子IΦ1などは、図4に示すようにそれぞれの電圧相によって共通に駆動される。各行の各電極が所要の相電圧を供給されるように、各ストリップmP1、mP2、mP3、mP5、mP6、mP7は、それぞれの端子t1からt6に接続し、4つの行において対応する相で駆動される電極と電気接触を行う。例えば、相IΦ1によって駆動される端子t1に接続した導電ストリップmP1は、4つの行、R1/1、R2/1、R3/1、及びR4/1において相IΦ1電極と電気接触を行う。金属のストリップ、例えば、mP1の連続した部分は、繰返し反転する方向に行に対して傾斜し、それぞれの電圧相の各ポリシリコン電極にその長さに沿って複数の接続を行う。ポリシリコン電極Rn/nへのストリップmPnの電気接続は、ポリシリコン電極Rn/n上に形成される絶縁性シリコンダイオード層d2の領域を通るエッチングによって達成される図2。次に、金属の薄層が、ウェーハ全域にわたって堆積され、不要な場所がエッチング除去されて導電ストリップmPnの連続したジグザグパターンが残される。金属トラックから下の電極への接触領域を表すストリップ内の浅い正方形の凹部が、エッチング除去領域にわたって可視であり、その典型的なものが参照符号aによって示されている。各金属導体は、関連のポリシリコン電極とCCDデバイスを横切って頻繁な間隔で典型的に数百回接触する。図3及び図4の実施形態は、3相撮像クロックを使用するが、この技術は、2相及び4相のような他の相数を有するCCDにも適用可能である。一般的に、金属トラックの垂直ピッチは、電極のピッチの倍数であることになり、水平に対するジグザグの角度は、水平及び垂直方向ピクセルサイズピクセルは正方形であるとは限らない及び各ピクセルを形成するパラレル転送電極の数のようなセンサ要件に従って最適化される。金属トラックは、シリコンを貫通する光シリコンにより深く浸透する赤色光又は赤外線光に主として関連するを反射し、光子の捕捉の可能性を増大することができるので、トラックの幅及び角度は、各ピクセルの上の金属の量の均等化し、従って、ピクセル毎の感度の変動の低減に役立つように選択することができる。金属トラックは、より長くなり、その抵抗性が増大することになり、対応するポリシリコン電極に対する金属トラックからの接点がより少なくなる場合があるので、ジグザグ金属トラックは、必要以上に多くの垂直方向電極にわたって延長されないことが一般的に望ましい。金属トラックのない2MHzのパラレル転送速度に比べて少なくとも10MHzの最大パラレル転送速度を有する図1に示す種類の従来型の直線金属トラックを用いる典型的なCCDは、30マイクロメートルの列方向のピクセルの最小ピッチで製造することができる。本発明によるジグザグ金属トラックを用いるCCDは、遥かに小さいピクセルピッチ、例えば、12マイクロメートルで同じ転送速度を維持することができる。ジグザグ金属トラックは、僅か6ミクロンだけ離間した僅か8ミクロンほどの幅を有することができると考えられる。言うまでもなく、本発明の範囲を逸脱することなく説明した実施形態に対して変形を作ることができる。すなわち、ジグザグは、ジグザグの上部及び底部に平坦部分を含むことができ、ジグザグ部分の角度は、行の長さに沿って変えることができ、又はストリップは、連続方式で波状化することができ、例えば、正弦波形状金属ストリップを使用することができると考えられる。相電圧のための端子は、図示のような5行目毎の代わりに4行目毎に提供することができると考えられる。隣接する端子接続は、それらをアレイの両側の間で分割することによって避けることができると考えられる。同様に、導電ストリップが、より多数の行にわたって延びてそれらと電気接続を行うように配列することにより、端子は、6行目毎又はより大きい間隔で提供することができると考えられる。同様に、電極よりも少ない金属トラックが存在する限り、各行当たり1つ又はそれよりも多くのストリップを設けることができ、例えば、3つの電極当たり2つのストリップを設けることができる。アルミニウム以外の材料、例えば、銅を使用することができる。また、電極がポリシリコンである必要はなく、電極は、他の材料とすることができる。このCCDに対しては、シリコン基板を有する必要性もない。図2、図5、及び図6により、フレーム転送型CCDが本発明の第2の実施形態に従って示されている。図5は、撮像領域と格納領域の間の移行の各側のピクセルの行、すなわち、撮像領域2においてPi1,1、Pi2,1、Pi3,1、Pi4,1、Pi5,1、及びPi6,1、及び格納領域においてPs1,1、Ps2,1が示されている。図5は、12列Pi1,12までを示し、一方で図6は、2つだけを示している。断面において、このCCDは、図2の従来技術のCCDと同様である。市販のための素子においては、撮像領域において数百の行、例えば、撮像区域において1024行×1024列が存在し、格納領域においては典型的に僅かに多い行が存在すると考えられる。格納領域2の各底部行は、出力レジスタ3に転送され、これは、矢印Aの方向の直列出力を有する。このようなCCDにおいて、CCDの撮像領域及び格納領域は、異なるクロッキング波形によって作動され、撮像領域2は、3相撮像クロックIΦ1、IΦ2、及びIΦ3により、かつ格納領域4は、3相格納領域クロックSΦ1、SΦ2、及びSΦ3によってクロッキングされる。一般的に、撮像及び格納領域相クロックは、フレーム転送スミアを回避するために、撮像領域内の電荷パターンを格納領域内に迅速にシフトするようなものと考えられる。格納領域からの読み出しは、これをフレームが撮像領域内で露光されている1つの積分期間にわたって行うことができるので典型的に遥かに長くかかると考えられる。撮像領域から格納領域への典型的なシフトは、約0.1ms内に行われるであろうが、格納領域からの読み出しは、典型的に20msかかると考えられる。撮像クロックが固定電位に保持され、一方、格納クロックが各行から隣接する行にかけて電荷を出力レジスタ3に移送することになる期間中のような格納クロックと撮像クロックに異なる電圧が印加される時が存在することになる。本発明の第2の実施形態では、ジグザグパターンは、第1の実施形態におけるよりも多くの行4行でなくて6行にわたって垂直方向に延びている。金属ストリップは、撮像領域に対してmPi1、mPi2、mPi3、及び格納領域に対してmPs1、mPs2、mPs3である。各ストリップは、端子t1からt6で関連する相電圧に接続する。撮像領域2の最後の2つの行及び格納領域4の最初の行の上に延びる導電ストリップは、撮像及び格納クロックの両方に接続されることに注意されたい。しかし、格納クロックに接続した導電ストリップmPs1及びmPs2は、撮像領域2の最後の2つの行の電極とは電気接続を行わない。これは、対応する撮像及び格納クロックの間の短絡を回避する。フレーム転送中に、撮像及び格納クロックの両方は、同期して作動する。積分中に、格納クロックは作動し、一方、撮像クロックは作動しない。類似の制約が、撮像及び格納領域において他の相数を有するCCDに適用されることになる。本発明の第2の実施形態では、撮像領域と格納領域は、互いに隣接する。しかし、それらの間にパイプライン接続が存在する場合がある。従って、CCDは、2つ又はそれよりも多くの格納部分を下に有する1つの撮像部分を用いて構成することができると考えられ、各部分は、その独自のクロックの組を有する。この利点は、2つの画像を急速に捕捉することができることであり、第1の画像は、2つの格納部分のうちの下のものまで移動し、第2の画像は、2つの格納部分のうちの上のものまで移動する。時間的に互いに接近して捕捉された2つの画像は、次に、通常の速度で読み出することができる。クロックが異なる組に切り換わらなければならない複数の境界が存在すると考えられる例えば、この例においては、撮像から格納1へ、同じく格納1から格納2へ。更に、本発明は、第1の実施形態におけるようなフルフレーム型CCD又は第2の実施形態におけるようなフレーム転送型CCDに適用可能であるのみならず、インターライン転送型CCD及びTDI型CCD、又はパラレル転送を用いる他のCCDにも適用される。上述のCCDは、全て直線電極を有したが、本発明は、湾曲電極を有するCCDにも適用可能である。"