"矩形シート状の基板を搬送する搬送経路の途上において当該基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって前記基板を処理するようにした基板搬送装置であって、前記基板の搬送方向と直交する横方向の両端よりも外方にそれぞれ設けられ、互いに同調して駆動する2条の無端鎖条部材と、前記各無端鎖条部材同士の間にそれぞれ掛け渡される複数の渡し部材と、前記各渡し部材のうちの前記各無端鎖条部材の搬送方向で対をなす2つの渡し部材に対し前記基板の搬送方向両端を取り付ける取付手段と、前記取付手段により基板の搬送方向両端が取り付けられた前記各渡し部材の両端を前記基板が撓まない状態で前記各無端鎖条部材に対しそれぞれ脱着自在に固定する固定手段と、を備えていることを特徴とする基板搬送装置。前記固定手段は、前記各無端索条部材及び前記各渡し部材の一方に設けられた突起と、前記各無端索条部材及び前記各渡し部材の他方に設けられ、前記各突起が挿通される挿通部と、を備えている請求項1に記載の基板搬送装置。前記取付手段としては、前記各無端鎖条部材の搬送方向で対をなす2つの渡し部材に対し前記基板の搬送方向両端を接着する帯状の接着テープが適用されている請求項1又は請求項2に記載の基板搬送装置。ところで、基板を処理液により処理するに当たり、搬送経路途上の気中において基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって行うスプレー式を採用することがある。その場合、基板の四隅を各クランプ部材により引張るものでは、ディップ式の処理を対象としているため、スプレー式の処理には不適格となる。これは、貯留槽内で基板を処理する際に必要な引張り力が気中でのスプレー式の処理には大き過ぎるからである。このため、気中で基板を処理する際に当該基板の四隅が各クランプ部材により引張られていると、基板上にプリントされた配線パターンが変形したり、破断したりするおそれがある。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、搬送経路途上の気中において基板を処理液の噴射により処理する際のプリントの変形や破断を確実に防止することができる基板搬送装置を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明では、矩形シート状の基板を搬送する搬送経路の途上において当該基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって前記基板を処理するようにした基板搬送装置を前提とする。そして、前記基板の横方向両端よりも外方にそれぞれ設けられ、互いに同調して駆動する2条の無端鎖条部材と、前記各無端鎖条部材同士の間にそれぞれ掛け渡される複数の渡し部材と、前記各渡し部材のうちの前記各無端鎖条部材の搬送方向で対をなす2つの渡し部材に対し前記基板の搬送方向両端を取り付ける取付手段と、前記取付手段により基板の搬送方向両端が取り付けられた前記各渡し部材の両端を前記基板が撓まない状態で前記各無端鎖条部材に対しそれぞれ脱着自在に固定する固定手段と、を備えていることを特徴とする。この特定事項により、基板の搬送方向両端が取付手段により取り付けられた各渡し部材の両端は、基板が撓まないように各無端鎖条部材に対し固定手段によってそれぞれ脱着自在に固定されているので、各無端鎖条部材に両端が固定された2つの渡し部材の間で基板が撓むことなく取り付けられている。このとき、2つの渡し部材の間で基板は引張られることはない。このため、搬送経路途上の気中において基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板を処理する際に基板に対し不要な引張り力が作用せず、2つの渡し部材の間で基板が撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路途上において基板を気中で処理する際の基板のプリントの変形や破断を確実に防止することが可能となる。また、前記固定手段に、前記各無端索条部材及び前記各渡し部材の一方に設けられた突起と、前記各無端索条部材及び前記各渡し部材の他方に設けられ、前記各突起が挿通される挿通部と、を設けていてもよい。この場合には、突起と挿通部とで固定手段が構成され、各無端索条部材と各渡し部材の両端とを簡単な構成で固定することができる。更に、前記取付手段として、前記各無端鎖条部材の搬送方向で対をなす2つの渡し部材に対し前記基板の搬送方向両端を接着する帯状の接着テープを適用していてもよい。この場合には、基板の搬送方向両端が帯状の接着テープにより各渡し部材に取り付けられているので、基板の搬送方向両端を簡単に各渡し部材に取り付けることができる。以上、要するに、各渡し部材の両端を基板が撓まないように各無端鎖条部材に対し脱着自在に固定することで、搬送経路途上の気中において基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板を処理する際に基板に対し不要な引張り力が作用することがなく、2つの渡し部材の間で撓まない程度に張られた基板のプリントの変形や破断を確実に防止することができる。以下、本発明の実施の形態に係る基板搬送装置を図面に基づいて説明する。図1は基板搬送装置の全体構成を示す概略側面図である。この基板搬送装置Xは、基板W図2及び図3に表れるを搬送経路Sに沿って搬送するものである。この基板Wとしては、配線パターンがプリントされたフレキシブルプリント基板が適用される。基板処理装置Xは、現像処理エリアA、エッチング処理エリアB、及び剥離処理エリアCを搬送経路Sの搬送方向上流側から順に備えている。基板搬送装置Xの最上流端、つまり現像処理エリアAよりも上流側には、基板搬送装置Xに対し基板Wを投入する投入部X1が設けられている。一方、基板搬送装置Xの最下流端、つまり剥離処理エリアCよりも下流側には、基板搬送装置Xから基板Wを取り出す取出部X2が設けられている。現像処理エリアAは、投入部X1に投入された露光済の基板Wに対し上下双方からそれぞれ噴射される現像処理液炭酸ナトリウムなどの水溶液によって当該基板Wを現像処理する現像処理部A1と、この現像処理部A1において現像処理されて基板Wに付着している現像処理液を基板Wの上下双方からそれぞれ噴射される水によって水洗処理する水洗処理部A2と、この水洗処理部A2において水洗処理されて基板Wに付着している水をヒータにより乾燥処理する乾燥処理部A3とを備えている。エッチング処理エリアBは、現像処理エリアAにおいて処理された基板Wに対し上下双方からそれぞれ噴射されるエッチング処理液例えば塩化第二鉄などの水溶液によって当該基板Wをエッチング処理するエッチング処理部B1と、このエッチング処理部B1においてエッチング処理されて基板Wに付着しているエッチング処理液を基板Wの上下双方からそれぞれ噴射される水によって水洗処理する水洗処理部B2と、この水洗処理部B2において水洗処理されて基板Wに付着している水をヒータにより乾燥処理する乾燥処理部B3とを備えている。剥離処理エリアCは、エッチング処理エリアBにおいて処理された基板Wに対し上下双方からそれぞれ噴射される剥離処理液例えば水酸化ナトリウムによって当該基板Wに貼られたドライフィルムを剥離処理する剥離処理部C1と、この剥離処理部C1において剥離処理されて基板Wに付着している剥離処理液を基板Wの上下双方からそれぞれ噴射される水によって水洗処理する水洗処理部C2と、この水洗処理部C2において水洗処理した基板Wをその上下双方からそれぞれ噴射される中和水溶液例えば酸系の水溶液によって剥離処理液の強アルカリ成分を中和処理する中和処理部C3と、この中和処理部C3において中和処理されて基板Wに付着している中和水溶液を基板Wの上下双方からそれぞれ噴射される水によって水洗処理する水洗処理部C4と、この水洗処理部C4において水洗処理されて基板Wに付着している水をヒータにより乾燥処理する乾燥処理部C5とを備えている。各エリアA~Cの乾燥処理部A3,B3,C5では、ヒータの熱をファンにより基板Wの上下両面に吹き付けて乾燥処理する。また、各エリアA~Cは、搬送経路S上においてカバー材図示せずによりそれぞれ個別に覆われていて、カバー材による被覆の無い渡りDによって連結されている。この場合、搬送経路Sは、その搬送方向上流端の投入部X1及び搬送方向下流端の取出部X2を含めて10m~20mの搬送長さに設定されている。図2はエッチング処理エリアBのエッチング処理部B1を示す平面図、図3はエッチング処理部B1を示す側面図である。図2及び図3に示すように、基板搬送装置Xは、矩形シート状の基板Wの横方向両端図2では上下方向両端よりも外方にそれぞれ設けられた2条の無端鎖条部材としての平ベルトタイプのベルトコンベア1と、各ベルトコンベア1同士の間にそれぞれ掛け渡される複数の渡し部材2,2,...と、各渡し部材2のうちのベルトコンベア1の搬送方向で対をなす2つの渡し部材2,2に対し基板Wの搬送方向両端を取り付ける取付手段3と、この取付手段3により基板Wの搬送方向両端が取り付けられた各渡し部材2の両端を各ベルトコンベア1に対しそれぞれ脱着自在に固定する固定手段4と、を備えている。エッチング処理部B1に対応する各ベルトコンベア1同士の間には、基板Wの上下両面に対しエッチング処理液を噴霧する複数のスプレーノズルX3,X4,...が搬送方向に均等に配置されている。この場合、基板Wに対し上方から噴霧する上側スプレーノズルX3及び下方から噴霧する下側スプレーノズルX4は、互いに上下に対向する位置に設けられていて、上下から噴霧されるエッチング処理液による基板Wの波打ちを抑制している。なお、現像処理エリアAの現像処理部A1での現像処理液の噴射、水洗処理部A2での水の噴射、エッチング処理エリアBの水洗処理部B2での水の噴射、剥離処理エリアCの剥離処理部C1での剥離処理液の噴射、水洗処理部C2,C4での水の噴射、及び中和処理部C3での中和水溶液の噴射においても、同様に上下に配置された複数のスプレーノズルが供される。このスプレーノズルの噴射は、いずれにおいても搬送経路S途上の気中において行われる。各ベルトコンベア1は、20~30mm程度の幅に設定され、基板搬送装置Xの最上流端の投入部X1から現像処理エリアA、エッチング処理エリアB及び剥離処理エリアCを経て最下流端の取出部X2に至る搬送経路Sに亘って敷設されている。この各ベルトコンベア1は、樹脂材よりなり、投入部X1又は取出部X2に設けられた駆動ローラ図示せずの両端に巻き掛けられ、互いに同調して駆動するようになっている。また、各ベルトコンベア1は、その搬送方向所定間隔置きに設けられた複数の従動ローラ11図2及び図3では2つのみ示すによってガイドされている。この各ベルトコンベア1は、280mm程度の間隔を隔てて配置されている。各渡し部材2は、ガラスエポキシ樹脂製の板状物よりなり、断面略矩形状を呈している。この各渡し部材2は、ほぼ260mm程度の長さに形成され、各ベルトコンベア1の搬送方向と直交する方向に掛け渡されている。この場合、各渡し部材2は、0.2mm~0.5mm程度の厚さに形成され、各ベルトコンベア1間に掛け渡された際に撓み難い硬度を有している。取付手段3としては、各ベルトコンベア1の搬送方向で対をなす2つの渡し部材2,2に対し基板Wの搬送方向両端を接着する帯状の接着テープが適用されている。この接着テープ3取付手段は、対をなす2つの渡し部材2,2の互いに対抗する対向面21の上端と基板Wの搬送方向の端辺W1とを互いに一致させた状態図2に破線で示す状態で、各渡し部材2の上面の対向面21側縁と基板Wの上面の端辺W1側縁とに上方から跨って接着されている。この場合、接着テープ3は、基板Wの搬送方向の寸法と略一致する長さのものが用いられている。図4は一方のベルトコンベア1と前側の渡し部材2との固定構造を示す拡大図、図5は図4のT-T線における断面図である。この図4及び図5において、固定手段4は、各ベルトコンベア1図4及び図5では一方のもののみ示すの搬送方向所定間隔置き例えば13mm~20mm程度の間隔置きに外方へ突出する突起としての複数のピン41,41,...と、各渡し部材2の両端に貫通され、ピン41が挿通される挿通部としての挿通孔42とを備えている。各ピン41は、5~10mm程度の長さに設定されている。そして、固定手段4による、各ベルトコンベア1に対する各渡し部材2の固定は、投入部X1において各ベルトコンベア1のピン41に対し上方から渡し部材2の両端の挿通孔42を挿通させることによって行われる。また、固定手段4による、各ベルトコンベア1に対する各渡し部材2の解除は、取出部X2において各ベルトコンベア1に対し渡し部材2を上方へ持ち上げて各ピン41から渡し部材2両端の挿通孔42を抜き取ることで行われる。したがって、本実施の形態では、基板Wの搬送方向両端が接着テープ3により取り付けられた各渡し部材2の両端は、基板Wが撓まないように各ベルトコンベア1に対し固定手段4によって、それぞれ脱着自在に固定されているので、各ベルトコンベア1に両端が固定された2つの渡し部材2,2の間で基板Wが撓むことなく取り付けられている。このとき、2つの渡し部材2,2の間で基板Wは引張られることはない。このため、搬送経路S途上の気中において基板Wの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板Wを処理する際に基板Wに対し不要な引張り力が作用せず、2つの渡し部材2,2の間で基板Wが撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路S途上において基板Wを気中で処理する際の基板Wのプリントの変形や破断を確実に防止することができる。また、各ベルトコンベア1の搬送方向所定間隔置きに外方へ突出する複数のピン41と、各渡し部材2の両端に貫通された挿通孔42とで固定手段4が構成されているので、各ベルトコンベア1と各渡し部材2の両端とを簡単な構成で固定することができる。更に、基板Wの搬送方向両端が帯状の接着テープ3によって各渡し部材2に取り付けられているので、基板Wの搬送方向両端を簡単に各渡し部材2に取り付けることができる。次に、本発明の第2の実施の形態を図6及び図7に基づいて説明する。図6は基板搬送装置Xの一方のベルトコンベア1と前側の渡し部材2との固定構造を示す拡大平面図、図7は図6のU-U線における断面図である。この実施の形態では、固定手段の構成を変更している。なお、固定手段を除くその他の構成は、前記第1の実施の形態と同じであり、同一部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。すなわち、図6及び図7に示すように、固定手段5は、各ベルトコンベア1図6及び図7では一方のもののみ示すの搬送方向所定間隔置き例えば13mm~20mm程度の間隔置きに貫通する挿通部としての複数の挿通孔51,51,...と、各渡し部材2の両端より下方に突設され、挿通孔51に挿通される突起としてのピン52とを備えている。各ピン52は、5~10mm程度の長さに設定されている。そして、固定手段5による、各ベルトコンベア1に対する各渡し部材2の固定は、投入部X1において各ベルトコンベア1の各挿通孔51に対し上方から渡し部材2の両端のピン52を挿通させることによって行われる。また、固定手段5による、各ベルトコンベア1に対する各渡し部材2の解除は、取出部X2において各ベルトコンベア1に対し渡し部材2を上方へ持ち上げて渡し部材2両端の挿通孔51から各ピン52を抜き取ることで行われる。この場合、各ベルトコンベア1は、挿通孔51にピン52が挿通される構造であるため、ピン52の長さを考慮して厚肉に形成されている。したがって、本実施の形態では、各渡し部材2は、その両端より下方に突設したピン52を当該基板Wが撓まないように各ベルトコンベア1に貫通する挿通孔51に対し挿通させることによって、それぞれ脱着自在に固定されているので、各ベルトコンベア1に両端が固定された2つの渡し部材2,2の間で基板Wが撓むことなく取り付けられ、2つの渡し部材2,2の間で基板Wが引張られることもない。このため、搬送経路S途上の気中において基板Wの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板Wを処理する際に基板Wに対し不要な引張り力が作用せず、2つの渡し部材2,2の間で基板Wが撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路S途上において基板Wを気中で処理する際の基板Wのプリントの変形や破断を確実に防止することができる。次に、本発明の第3の実施の形態を図8及び図9に基づいて説明する。図8は基板搬送装置Xの一方のベルトコンベア1と前側の渡し部材2との固定構造を示す拡大平面図、図9は図8のV-V線における断面図である。この実施の形態では、固定手段の構成を変更している。なお、固定手段を除くその他の構成は、前記第1の実施の形態と同じであり、同一部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。すなわち、図8及び図9に示すように、固定手段6は、各ベルトコンベア1図8及び図9では一方のもののみ示すの搬送方向所定間隔置き各渡し部材2の短手方向の長さよりも若干長い間隔置き、例えば25mm~40mm程度に外方へ突出する複数の突起61,61,...を備えている。そして、固定手段6は、ベルトコンベア1の搬送方向で互いに相隣なる一対の突起61,61により構成され、その各突起61,61同士の間に渡し部材2の両端を収容して固定している。各突起61は、その下流側面ベルトコンベア1の搬送方向下流側の面の内外方向略中央位置より略45°の傾斜角度を存して外方に行くに従い下流側に膨出する略三角形状の膨出部62を備えている。各突起61は、10mm程度の長さに設定されている。そして、固定手段6による、各ベルトコンベア1に対する各渡し部材2の固定は、投入部X1において各ベルトコンベア1の一対の突起61,61に対し上方から渡し部材2の両端を挿通、具体的には、上流側の突起61の膨出部62の傾斜面に沿うように渡し部材2を斜めにして突起61,61同士の間に収容させることによって行われる。また、固定手段6による、各ベルトコンベア1に対する各渡し部材2の解除は、取出部X2において各ベルトコンベア1に対し渡し部材2を上方へ持ち上げて渡し部材2の両端を抜き取る、具体的には、上流側の突起61の膨出部62の傾斜面に沿うように渡し部材2を斜めにして突起61,61同士の間から抜き取ることで行われる。したがって、本実施の形態では、各渡し部材2は、その両端を当該基板Wが撓まないように各ベルトコンベア1の突起61,61同士の間に収容させることによって、脱着自在に固定されているので、各ベルトコンベア1に両端が固定された2つの渡し部材2,2の間で基板Wが撓むことなく取り付けられ、2つの渡し部材2,2の間で基板Wが引張られることもない。このため、搬送経路S途上の気中において基板Wの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板Wを処理する際に基板Wに対し不要な引張り力が作用せず、2つの渡し部材2,2の間で基板Wが撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路S途上において基板Wを気中で処理する際の基板Wのプリントの変形や破断を確実に防止することができる。しかも、上流側の突起61の膨出部62の傾斜面に沿うように渡し部材2を斜めにしなければ突起61,61同士の間から渡し部材2が抜き取れないので、スプレーノズルの噴射時、特に下側スプレーノズルの噴射時に、渡し部材2の浮き上がりが膨出部62によって抑制され、実施する上で非常に有利なものとなる。次に、本発明の第4の実施の形態を図10及び図11に基づいて説明する。図10は基板搬送装置Xの一方のベルトコンベア1と前側の渡し部材2との固定構造を示す拡大平面図である。また、図11は図10のY-Y線における断面図であり、aは固定手段による固定前の状態を示し、bは固定手段による固定後の状態を示している。この実施の形態では、固定手段の構成を変更している。なお、固定手段を除くその他の構成は、前記第1の実施の形態と同じであり、同一部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。すなわち、図10及び図11に示すように、固定手段7は、各ベルトコンベア1図10及び図11では一方のもののみ示すの搬送方向所定間隔置き各渡し部材2の短手方向の長さよりも若干長い間隔置き、例えば75mm~120mm程度に外方へ突出する複数の突起71,71,...と、各突起71の下上流側面ベルトコンベア1の搬送方向下流側の面の外部図11では上部より下流側図11では右側に膨出する膨出部72と、各渡し部材2の両端における上流側面ベルトコンベア1の搬送方向上流側の面の下部に凹設され、膨出部72が挿通される挿通部としての挿通穴73とを備えている。各突起71は、渡し部材2の略半分程度の高さ例えば0.1mm~0.25mm程度に設定されている。そして、固定手段7による、各ベルトコンベア1に対する各渡し部材2の固定は、投入部X1において各ベルトコンベア1の突起71,71同士の間に渡し部材2の両端を載置し、各ベルトコンベア1の搬送に伴い移動する突起71の膨出部72を渡し部材2の両端を滑らせながら挿通穴73に挿通させることによって行われる。また、固定手段7による、各ベルトコンベア1に対する各渡し部材2の解除は、取出部X2において各ベルトコンベア1に対し渡し部材2を滑らせて渡し部材2の両端の挿通穴73から突起71の膨出部72を離脱させて抜き取ることで行われる。したがって、本実施の形態では、各渡し部材2は、その両端の挿通穴73に対し各ベルトコンベア1の突起71の膨出部72を基板Wが撓まないように挿通させることによって、それぞれ脱着自在に固定されているので、各ベルトコンベア1に両端が固定された2つの渡し部材2,2の間で基板Wが撓むことなく取り付けられ、2つの渡し部材2,2の間で基板Wが引張られることもない。このため、搬送経路S途上の気中において基板Wの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板Wを処理する際に基板Wに対し不要な引張り力が作用せず、2つの渡し部材2,2の間で基板Wが撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路S途上において基板Wを気中で処理する際の基板Wのプリントの変形や破断を確実に防止することができる。しかも、各ベルトコンベア1の突起71,71同士の間に渡し部材2の両端を載置し、各ベルトコンベア1の搬送に伴い移動する突起71の膨出部72を渡し部材2の両端を滑らせながら嵌合穴73に嵌合させて固定されるので、コンベアベルト1に対する渡し部材2の固定が簡単に行われ、固定手段7による固定作業の簡単化を図ることができる。なお、本発明は、前記各実施の形態に限定されるものではなく、その他種々の変形例を包含している。例えば、前記各実施の形態では、各ベルトコンベア1として平ベルトタイプのものを用いたが、図12に示すように、裏面に断面略半円形状の複数の歯80,80,...を搬送方向所定間隔置きに一体的に設けたタイミングベルトタイプの2条のコンベアベルト8を用いてもよく、この各ベルトコンベア8の各歯80と噛合する凹溝82,82,...を、駆動ローラ及び従動ローラ81の両端の外周面に設ける必要がある。この場合には、各コンベアベルト8裏面の各歯80と駆動ローラ及び従動ローラ81の各凹溝82とが滑りなく噛み合い、スプレーノズルからの噴射による両者8,81間での滑りを確実に防止することが可能となる。また、前記各実施の形態では、各渡し部材2の対向面21の上端と基板Wの端辺W1とを互いに一致させた状態で接着テープ3により接着したが、各渡し部材の上面の対向面側縁に基板の端辺を重ねてオーバーラップさせた状態で、接着テープにより接着されていてもよい。しかも、接着テープは、基板の搬送方向の寸法と略一致する長さのものを必ずしも用いる必要はなく、短尺な複数の接着テープによって各渡し部材の対向面の上端と基板の端辺とが接着されていてもよい。また、前記各実施の形態では、基板Wの横方向両端よりも外方にそれぞれベルトコンベア1を設けたが、チェーンなどの無端鎖条部材であってもよい。また、前記各実施の形態では、基板Wとしてフレキシブルプリント基板を適用したが、硬質のリジッド基板やガラス基板を適用してもよいのはいうまでもない。更に、各ベルトコンベア1より外方に突出する複数のピン41や突起61,71、又は、各ベルトコンベア1を貫通する複数の挿通孔51に対する渡し部材2の両端の固定位置を明確にする上で、渡し部材の両端の固定位置に対応するピン、突起又は挿通孔に着色などが施されていてもよい。"