"レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザビームをスクリーンの水平方向及び垂直方向に走査する走査部と、を有する画像表示装置において、前記走査部は、前記レーザビームを反射しつつスクリーンの水平方向に走査するように傾動する第1ミラーと、前記第1ミラーを保持する第1ホルダと、前記レーザビームを反射しつつスクリーンの垂直方向に走査するように傾動する第2ミラーと、前記第2ミラーを気密的に保持する第2ホルダとを有することを特徴とする画像表示装置。前記第1ミラーは、前記第1ホルダに対して大気開放状態で保持されていることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。前記第1ホルダは、前記第1ミラーに面した通気口を有することを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。前記第1ホルダは、前記第1ミラーを真空状態で保持することを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。前記第1ミラーと前記第2ミラーとは反射面の面積が異なることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の画像表示装置。前記レーザ光原側に前記第1ミラーが配置され、前記第1ミラーが反射したレーザビームを前記第2ミラーが反射することを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の画像表示装置。前記第1ミラーの面積より、前記第2ミラーの面積が大きいことを特徴とする請求項6に記載の画像表示装置。前記第1ミラーと前記第2ミラーは一体であって気密化された状態で保持されていることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。ところで、MEMSミラーを用いたレーザ走査式の画像表示装置では、一般に垂直走査にはノコギリ波を用いて駆動を行うが、最下部からの折り返しにおいてミラー動作にリンギングが生じる場合がある。MEMSミラーは一種の超小型精密の板バネであり、固有振動のQ値が非常に高く、わずかな衝撃により大きな振動が生じ、これがリンギングとなって現れ出力画像を乱す輝度ムラ、画像歪み要因となる。又、水平走査は高周波の共振駆動で行われるため、高速での広い振り角を得るためにミラーの小型化ならびに抵抗成分を小さくすることが求められるのに対し、垂直駆動は低周波の非共振DC駆動であるため、広い振り角と高いダンピング性が求められるという実情もある。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、ミラーを高精度に駆動でき、高精細の画像を表示できる画像表示装置を提供することを目的とする。請求項1に記載の画像表示装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザビームをスクリーンの水平方向及び垂直方向に走査する走査部と、を有する画像表示装置において、前記走査部は、前記レーザビームを反射しつつスクリーンの水平方向に走査するように傾動する第1ミラーと、前記第1ミラーを保持する第1ホルダと、前記レーザビームを反射しつつスクリーンの垂直方向に走査するように傾動する第2ミラーと、前記第2ミラーを気密的に保持する第2ホルダとを有することを特徴とする。本発明によれば、前記第2ホルダが、前記第2ミラーを気密的に保持しているので、傾動する前記第2ミラーを、前記第2ホルダ内部に密封された気体を用いてダンピングさせることで、リンギング等を生じることなく、低周波の非共振駆動を行わせることができ、また前記第2ミラーの広い振り角を阻害する恐れもない。尚、第2ホルダ内に収容される気体は空気が好ましいが、それに限られない。請求項2に記載の画像表示装置は、請求項1に記載の発明において、前記第1ミラーは、前記第1ホルダに対して大気開放状態で保持されていることを特徴とする。これにより、高周波の共振駆動で行われる前記第1ミラーの動作を阻害せず、高速での広い振り角を確保できる。特に、高周波の共振駆動である前記第1ミラーと、低周波の非共振駆動である前記第2ミラーとを別体とすることで、それぞれの特性に好適な保持状態を確保することで、適切な動作を実現できる。請求項3に記載の画像表示装置は、請求項1に記載の発明において、前記第1ホルダは、前記第1ミラーに面した通気口を有することを特徴とする。これにより、高周波の共振駆動で行われる前記第1ミラーの動作を阻害せず、高速での広い振り角を確保できる。請求項4に記載の画像表示装置は、請求項1に記載の発明において、前記第1ホルダは、前記第1ミラーを真空状態で保持することを特徴とする。これにより、高周波の共振駆動で行われる前記第1ミラーの動作を阻害することがない。請求項5に記載の画像表示装置は、請求項1~4のいずれかに記載の発明において、前記第1ミラーと前記第2ミラーとは反射面の面積が異なることを特徴とする。請求項6に記載の画像表示装置は、請求項1~5のいずれかに記載の発明において、前記レーザ光原側に前記第1ミラーが配置され、前記第1ミラーが反射したレーザビームを前記第2ミラーが反射することを特徴とする。これにより前記第1ミラーで反射したレーザビームを前記第2ミラーで更に反射してスクリーン上に走査できる。請求項7に記載の画像表示装置は、請求項5に記載の発明において、前記第1ミラーの面積より、前記第2ミラーの面積が大きいことを特徴とする。これにより前記第1ミラーが傾いても、それから出射したレーザビームを前記第2ミラーで捕獲し反射できる。請求項8に記載の画像表示装置は、請求項1に記載の発明において、前記第1ミラーと前記第2ミラーは一体であって気密化された状態で保持されていることを特徴とする。これにより、前記ミラーを、前記ホルダ内部に密封された気体を用いてダンピングさせることで、リンギング等を生じることなく、低周波の非共振駆動を行わせることができ、また前記ミラーの広い振り角を阻害する恐れもない。本発明によれば、ミラーを高精度に駆動でき、高精細の画像を表示できる画像表示装置を提供することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明にかかる第1の実施の形態の画像表示装置を示す概略図である。図1において、画像表示装置は、赤色のレーザビームを出射する赤色光源LDrと、赤色のレーザビームを平行ビームに変換するコリメータCLrと、赤色のレーザビームを反射するミラーMRrと、青色のレーザビームを出射する青色光源LDbと、青色のレーザビームを平行ビームに変換するコリメータCLbと、青色のレーザビームを反射するが赤色のレーザビームは透過するダイクロミラーMRbと、緑色のレーザビームを出射する緑色光源LDgと、緑色のレーザビームを平行ビームに変換するコリメータCLbと、赤色のレーザビームと青色のレーザビームを反射するが緑色のレーザビームは透過するダイクロミラーMRgと、ハーフミラーHFと、メインミラーMMと、第1MEMSミラーMEMS1と、第2MEMSミラーMEMS2と、センサレンズSLと、検出器PDとを有する。赤色光源LDrから出射された赤色のレーザビームは、コリメータCLrを通過してミラーMRrで反射された後、ダイクロミラーMRbを透過する。又、青色光源LDbから出射された青色のレーザビームは、コリメータCLbを通過して、ダイクロミラーMRbで反射される。つまり、ダイクロミラーMRbから赤色のレーザビームと青色のレーザビームが出射され、ダイクロミラーMRgに入射する。一方、緑色光源LDgから出射された緑色のレーザビームは、コリメータCLbを通過して、更にダイクロミラーMRgを通過するが、ダイクロミラーMRgは赤色のレーザビームと青色のレーザビームを反射するので、各色のレーザビームは、ここで結合されて光路が一致するようになる。すなわち、ダイクロミラーMRgが結合手段を構成する。ダイクロミラーMRgから出射された各色のレーザビームは、ハーフミラーHFで一部が反射され、残りは通過して、更にメインミラーMMで反射され、第1MEMSミラーMEMS1に入射する。第1MEMSミラーMEMS1は、1軸回りに傾くように駆動される。第1MEMSミラーMEMS1からの反射光は、次に第2MEMSミラーMEMS2に入射する。第2MEMSミラーMEMS2は、第1MEMSミラーMEMS1の傾動軸とは直交する軸回りに傾くように駆動される。第2MEMSミラーMEMS2からの反射光は、スクリーンSC上に照射されるが、第1MEMSミラーMEMS1を繰り返し傾動させることで、スクリーンの水平方向に往復走査され、第2MEMSミラーMEMS2を傾動させることで、スクリーンの垂直方向に走査されることとなる。これらを組み合わせることで、ラスター走査が行われる。これにより画像が形成される。図2aは、第1MEMSミラーMEMS1を正面から見た図であり、図2bは、aの第1MEMSミラーMEMS1をIIBIIB線で切断して矢印方向に見た図である。この第1MEMSミラーMEMS1は、シリコンなどの半導体基板100に対して、フォトリソグラフやエッチングなどの半導体製造技術を用いて加工を施すことにより、製造されるものである。半導体基板100は、本例では、2枚のシリコン層の間に酸化層を挟んでなるSOIシリコンオンインシュレータ基板100からなる。このSOI基板100の一方のシリコン層の表面側が図2aに表されている。SOI基板100における一方のシリコン層に対して、トレンチエッチングを施すことにより、図2に示されるような構造体110~140が形成されている。図2に示されるSOI基板100の中央部にミラー第1ミラー110が位置している。本例では、ミラー110は矩形板状をなしているが、円盤状でも良い。ミラー110は、その反射面に金やアルミニウム等の金属薄膜による反射膜が形成されており、入射光線の反射率が高められており、基材120に対して、バネ部としての一対の梁部130を介して連結されている。この基材120は、ミラー110の周囲に位置する矩形枠状のフレーム121を有している。このフレーム121は、たとえばSOI基板100における他方のシリコン層に対して酸化層を介して支持されており、フレーム121およびその支持部を含めて基材120が構成されている。フレーム121は、ホルダ150を介して不図示の筐体に取り付けられる。ホルダ第1ホルダ150は、図2bに示すように、フレーム121との当接部以外は凹状に形成され、中央に開口150aを有し、内部を大気開放状態にしている。ミラー110はフレーム121を介して宙づりになった状態であり、即ち上下面がオープンに保持されている。また、このフレーム121の内周部においては、一方のシリコン層の下側に位置する酸化層は、犠牲層エッチングなどにより除去されている。つまり、フレーム121の内周に位置する一方のシリコン層からなる構造体は、その下の他方のシリコン層とは離間した状態となっている。ミラー110は、1組の両端にて梁部130を介してフレーム121に連結され支持されている。この梁部130は、本実施形態では、傾動型のミラー110を実現するものであり、この梁部130の弾性力によって、図2a中の矢印Y1方向に、ミラー110を回転振動させることができるようになっている。また、ミラー110のもう1組の両端には、ミラー110を駆動する、すなわち回転振動させるための力として静電気力を印加するための駆動電極140が設けられている。本例では、駆動電極140は、ミラー110からフレーム121側に突出して形成された櫛歯部と、フレーム121からミラー110側に突出して形成された櫛歯部とから構成されている。そして、駆動電極140は、ミラー110側の櫛歯部とフレーム121側の櫛歯部との間に電圧を印加することにより、これら両櫛歯部の間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力の印加によって、ミラー110は、梁部130の弾性力の作用により、矢印Y1方向に回転振動するようになっている。即ち、駆動電極140に高周波の交番電圧を印加することで、ミラー110はY1方向両方向に、高周波の共振による往復回動するようになっている。このとき、図2bに示すように、ミラー110は、ホルダ150に対してオープンに、即ちミラー110の両面が大気開放状態になるように支持されているので、空気抵抗が小さく、ミラー面積が小さいことも相まって、高周波の共振駆動を妨げることがない。尚、駆動電極140の代わりに、圧電素子を設けても良いし、電磁式に駆動するものでも良い。図3aは、第2MEMSミラーMEMS2を正面から見た図であり、図3bは、aの第2MEMSミラーMEMS2をIIIBIIIB線で切断して矢印方向に見た図である。この第2MEMSミラーMEMS2も、シリコンなどの半導体基板200に対して、フォトリソグラフやエッチングなどの半導体製造技術を用いて加工を施すことにより、製造されるものである。半導体基板200は、本例では、2枚のシリコン層の間に酸化層を挟んでなるSOIシリコンオンインシュレータ基板200からなる。このSOI基板200の一方のシリコン層の表面側が図3aに表されている。SOI基板200における一方のシリコン層に対して、トレンチエッチングを施すことにより、図3に示されるような構造体210~240が形成されている。図3に示されるSOI基板200の中央部にミラー第2ミラー210が位置している。本例では、ミラー210は矩形板状をなしているが、円盤状でも良い。ミラー110より面積の大きいミラー210幅Δ1<幅Δ2は、その反射面に金やアルミニウム等の金属薄膜による反射膜が形成されており、入射光線の反射率が高められており、基材220に対して、バネ部としての一対の梁部230を介して連結されている。この基材220は、ミラー210の周囲に位置する矩形枠状のフレーム221を有している。このフレーム221は、たとえばSOI基板200における他方のシリコン層に対して酸化層を介して支持されており、フレーム221およびその支持部を含めて基材220が構成されている。フレーム221は、ホルダ250を介して不図示の筐体に取り付けられる。ホルダ250は、図3bに示すように、フレーム121との当接部以外は凹状に形成されているが開口は設けられていない。又、フレーム121の上方は、透明なカバー251により覆われている。第2ホルダを構成するカバー251とホルダ250とで気密された空間内内部は大気圧で、ミラー210は宙づりになった状態で保持されている。また、このフレーム221の内周部においては、一方のシリコン層の下側に位置する酸化層は、犠牲層エッチングなどにより除去されている。つまり、フレーム221の内周に位置する一方のシリコン層からなる構造体は、その下の他方のシリコン層とは離間した状態となっている。ミラー210は、1組の両端にて梁部230を介してフレーム221に連結され支持されている。この梁部230は、本実施形態では、回転振動型のミラー210を実現するものであり、この梁部230の弾性力によって、図3aに示すように、矢印Y1方向図2aの傾動軸と直交する矢印X1方向に、ミラー210を回転振動させることができるようになっている。また、ミラー210のもう1組の両端には、ミラー210を駆動する、すなわち回転振動させるための力として静電気力を印加するための駆動電極240が設けられている。本例では、駆動電極240は、ミラー210からフレーム221側に突出して形成された櫛歯部と、フレーム221からミラー210側に突出して形成された櫛歯部とから構成されている。そして、駆動電極240は、ミラー210側の櫛歯部とフレーム221側の櫛歯部との間に電圧を印加することにより、これら両櫛歯部の間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力の印加によって、ミラー210は、梁部230の弾性力の作用により、矢印X1方向に回転振動するようになっている。即ち、駆動電極240に低周波のノコギリ刃状の電圧を印加することで、ミラー210は、低高周波の非共振による回動を行うようになっている。このとき、図3bに示すように、ミラー210は、ホルダ250とカバー251により気密状態に保持されているので、空気抵抗が大きく、ミラー面積が大きいことも相まって、リンギングを抑制して精度良い低周波の非共振駆動を行うことができる。尚、駆動電極240の代わりに、圧電素子を設けても良いし、電磁式に駆動するものでも良い。図4は、第1MEMSミラーMEMS1の変形例を示す、図2bと同様な図である。本変形例では、ホルダ150’に開口を設ける代わりに、ミラー110の表面に対向して、大気に下方する通気口150b’を設けている。それ以外は、上述の実施の形態と同様である。本変形例によれば、ミラー110の両面が、通気口150b’を介して大気開放状態になるように支持されているので、空気抵抗が小さく、ミラー面積が小さいことも相まって、高周波の共振駆動を妨げることがない。図5は、第1MEMSミラーMEMS1の別な変形例を示す、図2bと同様な図である。本変形例では、ホルダ150に開口を設けておらず、また透明なカバー151を設けて、ミラー110を大気から気密し、且つ内部を真空にしている。それ以外は、上述の実施の形態と同様である。本変形例によれば、ミラー110の両面が空気に接しておらず、高周波の共振駆動を妨げることがない。図6は、本発明にかかる第2の実施の形態による画像表示装置1の全体構成を示すブロック図である。図7は、画像表示装置1の斜視図である。本実施の形態では、第1MEMSミラーと第2MEMSミラーとを一体化したミラー部16を有する。画像表示装置1は、例えば光スキャナプロジェクタに搭載され、レーザ光源77r,7g,7b、コリメータCLCLr、CLg、CLb、レーザ制御部100、ダイクロミラー88r,8g,8b、ハーフミラーHF、検出器PD、光スキャナ9走査部、位相検出部110、及び同期信号出力部120を備えている。レーザ制御部100は、フレームメモリ2、画像処理用メモリ3,ラインバッファメモリ4、表示コントローラ5、変調器66r,6g,6b、ドライバ13、及びシステムコントローラ14を備え、レーザ光源7を制御する。フレームメモリ2は、水平同期信号及び垂直同期信号に基づいて、主画像の画像データ以下、主画像データと表す。を1フレーム単位で一時的に記憶する。ここで、主画像としては、例えば、映画、テレビ番組等が挙げられる。なお、主画像データは、例えばR,G,Bの色成分からなるカラーの画像データとするが、モノクロの画像データであってもよい。画像処理用メモリ3に記憶された画像データは、表示画像の歪みを補正する処理等を施される。ラインバッファメモリ4は、画像処理用メモリ3の第1の領域と第2の領域から交互に、水平方向の複数ライン単位で順次に出力される主画像データを記憶する。表示コントローラ5は、水平同期信号及び垂直同期信号に基づいて、フレームメモリ2への1フレームの主画像データの書き込み制御、画像処理用メモリ3における画像処理、画像処理用メモリ3からラインバッファメモリ4への画像データの書き込み制御、及びラインバッファメモリ4から画像データを1画素単位で順次に変調器6に出力させる制御等を行う。ここで、ライバッファメモリ4に記憶された画像データは、R色成分が変調器6rに出力され、G色成分が変調器6gに出力され、B色成分が変調器6bに出力される。具体的には、表示コントローラ5は、同期信号出力部120から垂直同期信号が入力されると、1フレーム分の主画像データをフレームメモリ2に記憶させる。また、ラインバッファメモリ4に、キャラクターメモリ3に記憶された副画像データの先頭の1ライン分を記憶させる。そして、ラインバッファメモリ4に記憶された副画像データを1画素単位で順次に変調器6に出力させる。そして、水平同期信号が入力されると、ラインバッファメモリ4に次の1ライン分の副画像データを記憶させ、ラインバッファメモリ4から次の1ライン分の副画像データを1画素単位で順次に変調器6に出力させる。これにより、スクリーン10に主画像データで強度が変調されたレーザビームがラスター走査され、主画像が表示されることになる。ラスター走査が画面右下まで行われれば、再びレーザビームを画面左上まで戻す。その間に、フレームバッファ2には新たな画像データが読み込まれ、上述のようにして、次の画像を表示する準備がなされる。以上を繰り返すことで、複数枚の画像を表示できる。変調器66r,6g,6bは、それぞれラインバッファメモリ4から1画素単位で順次に出力される画像データのR,G,B成分を用いて、レーザ光源7r,7g,7bから射出されるR,G,Bのレーザビームの強度を変調する。レーザ光源7r,7g,7bは、例えば、レーザダイオードにより構成され、それぞれ、赤R、緑G、青Bのレーザビームを射出する。コリメータCLr、CLg、CLbは、赤R、緑G、青Bのレーザビームを平行ビームに変換する。ダイクロミラー88r,8g,8bは、レーザ光源7r,7g,7bから射出されたレーザビームを合波して、一本のレーザビームWにする。検出器PDは、図2に示すような検出面を有し、ハーフミラーHFにより反射されたレーザビームWの一部を検出する。光スキャナ9は、例えば2次元の光スキャナにより構成され、水平同期信号及び垂直同期信号に基づいて、レーザビームWを2次元的に走査ラスター走査し、スクリーン10に画像を表示する。スクリーン10は、ラスター走査されるレーザビームWが投影されて、画像を表示させる。検出器PDは、レーザ光源7r,7g,7bから射出されるレーザビームの強度を各々モニタし、モニタ信号を変調器6r,6g,6bに出力する機能も有する。なお、変調器6r,6g,6bは、このモニタ信号から、レーザビームの強度の時間平均値が既定値になるようにレーザ光源7r,7g,7bをAPCautopowercontrol制御する。これにより、レーザビームの発振強度が安定化されると共に、レーザ光源7の破損が防止される。位置検出部PR12は、例えば赤外発光ダイオード等の発光素子及びフォトトランジスタ等の受光素子を含むフォトリフレクタにより構成され、発光素子から出力された光を対象物であるミラー部16図8参照に当て、反射光を受光素子で検出し、ミラー部16の水平方向及び垂直方向の傾斜角度を示す検出信号を動作状態検出部13及び位相検出部110に出力する。システムコントローラ14は、ドライバ13を介して光スキャナ9への駆動信号を出力すると共に、主画像を表示しない場合、画像を表示しない黒画像を表示するように表示コントローラ5に指示する。位相検出部110は、位置検出部12により検出された検出信号を用いてミラー部16の水平方向及び垂直方向の傾斜角度を検出する。同期信号出力部120は、位相検出部110により検出されたミラー部16の傾斜角度に基づいて水平同期信号及び垂直同期信号を表示コントローラ5に出力する。ここで、同期信号出力部120は、位相検出部110により検出された水平方向の傾斜角度が1ラインの走査を開始する角度となった場合に水平同期信号を出力すればよい。また、同期信号出力部120は、位相検出部110により垂直方向の傾斜角度が1フレームの先頭の1ラインの走査を開始する角度となった場合に垂直同期信号を出力すればよい。次に、光スキャナ9の動作について説明する。図8は、光スキャナ9の詳細な構成を示す平面図である。光スキャナ9は、2次元走査ミラー15により構成され、2次元走査ミラー15を図7の筐体BXに固定する固定枠70と、固定枠70の内側に可動部分として枠状に形成された可動枠30と、可動枠30の内側に形成された方形状のミラー部16とを備えている。尚、ミラー部16は、透明なカバー151により覆われて気密状態で固定枠70を介して筐体BX図7内に保持されている。カバー151と筐体BXが、第1ホルダ及び第2ホルダを兼ねる。これによりミラー部16を、カバー151と筐体BX内部に密封された気体を用いてダンピングさせることで、リンギング等を生じることなく、低周波の非共振駆動を行わせることができ、またミラー部16の広い振り角を阻害する恐れもない。ミラー部16は、ミラー部16の中心を通るY軸に沿って外方へ延びるトーションバー21,22を介して、Y軸方向の両側から可動枠30に弾性的に支持されている。また、可動枠30は、Y軸に直交し、ミラー部16の中心を通るX軸近傍の端部30a,30b,30c,30dのそれぞれに一端が接続された曲がり梁41,42,43,44により、X軸の両側から固定枠70に弾性的に支持されている。これらの固定枠70、曲がり梁41~44、可動枠30、ミラー部16、及びトーションバー21,22は、シリコン基板の異方性エッチングにより一体的に形成されている。また、第1ミラー及び第2ミラーを兼ねるミラー部16の表面には、金やアルミニウム等の金属薄膜による反射膜が形成されており、入射光線の反射率が高められている。また、曲がり梁41,42,43,44の表面には、電気-機械変換素子である圧電素子51,52,53,54が接着等により貼り付けられ、4つのユニモルフ部61,62,63,64が形成されている。曲がり梁41~44は、圧電素子51~54の曲げ変形により、可動枠30にY軸及びX軸回りに独立に傾動トルクを作用させ、可動枠30をY軸及びX軸を2軸で回動させる。ここで、可動枠30の回動動作について図9を用いて説明する。図9a~eは2次元走査ミラー15の図8のIXIX方向の断面図である。なお、図9aは静止時を示し、図9b~eは駆動時を示している。図9aに示すように、圧電素子51,52の表裏には、それぞれ上部プラス電極511,521、下部マイナス-電極512、522が設けられており、上部電極511521と下部-電極512522との間に分極反転を起こさない範囲で交流電圧を印加することで、圧電素子51、52を伸縮させ、ユニモルフ部61,62を厚み方向に変位させる。同様に、圧電素子53,54の表裏には、それぞれ上部電極531,541図略、下部-電極532,542図略が設けられている。最初に、X軸回りの回動動作について説明する。ドライバ13が圧電素子51に伸びる方向の電圧を印加し、圧電素子52に圧電素子51と逆位相の縮む方向の電圧を印加すると、ユニモルフ部61,62の一端は、固定枠70に固定保持されているので、図9bに示すように、ユニモルフ部61は下方に曲がり、一方、ユニモルフ部62は上方に曲がる。同様に、圧電素子53,54にも圧電素子51,52とそれぞれ同じ位相の電圧を印加すると、ユニモルフ部63は下方に曲がり、一方、ユニモルフ部64は上方に曲がる。これにより、可動枠30にはX軸を中心とした傾動トルクが作用し、可動枠30はX軸を中心として矢印P方向に傾く。また、圧電素子51~54に、図9bの場合とは逆位相の電圧を印加すると、前述と同様の原理で、図9cに示すように、可動枠30にはX軸を中心とした傾動トルクが作用し、X軸を中心として矢印Q方向に傾く。そして、圧電素子51~54にこのような位相関係を保った交流電圧を印加すると、ユニモルフ部61~64は、交流電圧に追従して上下方向の振動を繰り返し、可動枠30にシーソー的な傾動トルクが作用され、可動枠30はX軸を中心として所定変位角度まで回転振動する。次に、Y軸回りの回動動作についついて説明する。ドライバ13が圧電素子51,52のいずれにも伸びる方向の電圧を印加すると、それぞれのユニモルフ部61,62の一端は、固定枠70に固定保持されているので、図9dに示すように、いずれも下方に曲がる。一方、圧電素子53、54に圧電素子51、52と逆位相の縮む方向の電圧を印加すると、図9eに示すように、ユニモルフ部63、64はいずれも上方に曲がる。これにより、可動枠30にはY軸を中心とした傾動トルクが作用し、可動枠30はY軸を中心として傾く。そして、圧電素子51~54にこのような位相関係を保った交流電圧を印加すると、ユニモルフ部61~64は、交流電圧に追従して上下方向の振動を繰り返し、可動枠30にシーソー的な傾動トルクが作用し、可動枠30はY軸を中心として所定変位角度まで回転振動する。このように、ドライバ13から4つのユニモルフ部61~64にそれぞれ所定の電圧を印加することにより、可動枠30によって支持されているミラー部16のX軸及びY軸周りの傾きを任意に制御することができる。また、曲がり梁41~44は、Y軸及びX軸を挟んで対称に配置され、曲がり梁41~44に設けられたそれぞれの圧電素子51~54は、同じ位相あるいは互いに180度異なる逆位相の駆動信号で駆動されるようにしたので、可動枠30を片振れなしにY軸及びX軸の2軸で独立して回動させることができる。次に、2次元走査ミラー15を用いたレーザビームWの偏向を行う方法について、図10を用いて説明する。レーザ光源7から射出されたレーザビームWを2次元走査ミラー15でラスター走査して画像を生成する。ここで、水平方向の走査周波数は例えば30kHz、垂直方向の走査周波数は例えば60Hz程度である。また、ミラー部16の水平、垂直方向の傾斜角度はそれぞれほぼ±10度である。また、ミラー部16の水平走査は正弦波の駆動電圧を用いた機械共振振動を行うことから、水平方向の走査領域の左右の周辺部は水平走査速度が極端に低下する。そのため、図10に示すように、画像表示領域17の水平域は、走査領域18の全てを使用せずに少し内側の領域としている。垂直走査はノコギリ波の駆動電圧を用いて行われていることから、ミラー部16の走査の直線性の良好な領域のみを通常の画像表示に使用するので、水平走査と同様、通常の画像表示領域17の垂直域は、走査領域18の全てを使用せずに少し内側の領域としている。次に、画像表示装置1の動作について説明する。電源が投入されると、システムコントローラ14は、表示コントローラ5に、黒画像データをラインバッファメモリ4へ出力するように指示する。上述したように、入力される画像データに応じて、ラインバッファメモリ4への画像データが書き込まれる。変調器6は、レーザ光源7を発振させ、ラインバッファメモリ4から画像データを1画素単位で読み出し、読み出した画像データを用いてレーザ光源7から射出されるレーザビームを変調する。レーザ光源7から射出された3本のレーザビームはダイクロミラー8により一本のレーザビームWに合波され、ミラー部16に入射する。レーザビームWは、走査駆動されるミラー部16によりラスター走査され、スクリーン10上に投影され、これにより高精細な画像を形成できる。図6に示す変調器6として、AOMAcousticOpticalModulatorを採用してもよい。この場合、変調器6r,6g,6bをレーザ光源7r,7g,7bとダイクロミラー8r,8g,8bとの間に設置すればよい。"