"チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入されるとともに、前記チャンバへ固定される第1ユニットと、前記チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入されるとともに、前記チャンバ内へ固定された前記第1ユニットに対して連結される第2ユニットとを備えることを特徴とするロボット。前記第1ユニットの高さ寸法および前記第2ユニットの高さ寸法の合計は、前記チャンバ上方の搬入スペースの高さ寸法よりも大きく、前記第1ユニットおよび前記第2ユニットそれぞれの高さ寸法は、前記搬入スペースの高さ寸法よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載のロボット。前記第1ユニットは、前記第2ユニットを鉛直方向に沿って昇降させる昇降部を備え、前記第2ユニットは、水平方向に伸縮するアーム部と、鉛直方向と平行な旋回軸を中心として前記アーム部を回転させる旋回部とを備えることを特徴とする請求項1または2に記載のロボット。前記昇降部は、モータと、筒状のシャフト部と、前記シャフト部の筒内に配設され、前記モータの回転運動を直線運動へ変換して前記シャフト部を昇降させる変換機構とを備え、前記シャフト部は、前記シャフト部の上方から挿入される前記第1ユニットの配線を、前記シャフト部の内周面と前記変換機構との間に形成される配線空間へ案内するガイド体を備えることを特徴とする請求項2または3に記載のロボット。前記第1ユニットは、水平方向に延在する第1フランジ部を上部に備え、前記第2ユニットは、水平方向に延在する第2フランジ部を下部に備え、前記第1フランジ部と前記第2フランジ部とが固定されることによって前記第1ユニットと連結されることを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載のロボット。前記第1フランジ部および前記第2フランジ部のうち一方は、位置決め用の凸部を備え、前記第1フランジ部および前記第2フランジ部のうち他方は、前記凸部と係合する位置決め用の凹部を備えることを特徴とする請求項5に記載のロボット。ロボットの第1ユニットを、チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入して、前記チャンバへ固定する固定工程と、前記ロボットの第2ユニットを、前記チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入して、前記チャンバ内へ固定された前記第1ユニットに対して連結させる連結工程とを含むことを特徴とするロボットの設置方法。前記連結工程は、前記第1ユニットの所定位置に位置決め用部材を設置する設置工程と、所定の治具が装着された前記第2ユニットを前記チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入する場合に、前記第1ユニットに設置された位置決め用部材および前記治具に形成された位置決め用目印を用いて前記第1ユニットに対する前記第2ユニットの位置決めを行う位置決め工程とを含むことを特徴とする請求項7に記載のロボットの設置方法。チャンバと、前記チャンバへ設置されるロボットとを備え、前記ロボットは、前記チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入されるとともに、前記チャンバへ固定される第1ユニットと、前記チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入されるとともに、前記チャンバ内へ固定された前記第1ユニットに対して連結される第2ユニットとを備えることを特徴とする製造装置。しかしながら、近年、ガラス基板や半導体ウエハ等のワークが大型化しつつあり、これらのワークの大型化に伴って、搬送ロボットおよび真空チャンバも大型化しつつある。このため、搬送ロボットの真空チャンバ内への設置が困難となる可能性がある。たとえば、搬送ロボットは、大型化するほど高さ寸法が大きくなり易い。このため、大型化した搬送ロボットを真空チャンバの上方へ位置させるためには、搬送ロボットの搬入スペース、すなわち、真空チャンバ上面よりも上方のスペースをより広く確保することが好ましい。しかしながら、搬送ロボットの高さ寸法が大きくなると、搬送ロボットを収容する真空チャンバの高さ寸法も大きくなるため、搬送ロボットの搬入スペースを広く確保することが困難となる。このように、搬送ロボットが大型化するほど、搬送ロボットの真空チャンバ内への設置が困難となる可能性がある。実施形態の一態様は、チャンバ内への設置を容易に行うことができるロボット、ロボットの設置方法および製造装置を提供することを目的とする。実施形態の一態様に係るロボットは、第1ユニットと、第2ユニットとを備える。第1ユニットは、チャンバの上方からチャンバ内へ搬入されるとともに、チャンバへ固定される。第2ユニットは、チャンバの上方からチャンバ内へ搬入されるとともに、チャンバ内へ固定された第1ユニットに対して連結される。また、実施形態の一態様に係るロボットの設置方法は、固定工程と、連結工程とを含む。固定工程では、ロボットの第1ユニットを、チャンバの上方からチャンバ内へ搬入して、チャンバへ固定する。連結工程では、ロボットの第2ユニットを、チャンバの上方からチャンバ内へ搬入して、チャンバ内へ固定された第1ユニットに対して連結させる。また、実施形態の一態様に係る製造装置は、チャンバと、チャンバへ設置されるロボットとを備える。また、ロボットは、第1ユニットと、第2ユニットとを備える。第1ユニットは、チャンバの上方からチャンバ内へ搬入されるとともに、チャンバへ固定される。第2ユニットは、チャンバの上方からチャンバ内へ搬入されるとともに、チャンバ内へ固定された第1ユニットに対して連結される。実施形態の一態様によれば、チャンバ内への設置を容易に行うことが可能なロボット、ロボットの設置方法および製造装置を提供することができる。以下、添付図面を参照して、本願の開示するロボット、ロボットの設置方法および製造装置の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。まず、本実施形態に係るロボットの構成について図1を用いて説明する。図1は、実施形態に係るロボットの模式斜視図である。図1に示すように、ロボット1は、水平方向に伸縮する2つの伸縮アームを備える水平多関節ロボットである。具体的には、ロボット1は、胴体部10と、アームユニット20とを備える。胴体部10は、アームユニット20の下部に設けられるユニットである。かかる胴体部10は、筒状の筐体11内に昇降装置を備えており、かかる昇降装置を用いてアームユニット20を鉛直方向に沿って昇降させる。昇降装置の構成については、図3を用いて説明する。筐体11の上部には、フランジ部12が形成される。かかるフランジ部12が真空チャンバに形成された開口部の縁部に支持されることによって、ロボット1は真空チャンバに設置された状態となる。かかる点については、図2を用いて説明する。アームユニット20は、昇降フランジ部15を介して胴体部10と連結するユニットである。具体的には、アームユニット20は、固定ベース部21と、第1アーム部22と、第2アーム部23と、可動ベース部24と、補助アーム部25とを備える。なお、本実施形態において、固定ベース部21、第1アーム部22、第2アーム部23および可動ベース部24は、それぞれ第1部材、第2部材、第3部材および第4部材に対応する。固定ベース部21は、昇降フランジ部15に対して回転可能に支持される。固定ベース部21は、モータや減速機、シャフト等からなる旋回装置を備えており、かかる旋回装置を用いて回転する。旋回装置の構成については、図3を用いて説明する。固定ベース部21の上部には、第1アーム部22の基端部が減速機を介して回転可能に連結される。また、第1アーム部22の先端上部には、第2アーム部23の基端部が減速機を介して回転可能に連結される。そして、第2アーム部23の先端部には、可動ベース部24が回転可能に連結される。可動ベース部24は、ワークを保持するためのエンドエフェクタ24aを上部に備え、第1アーム部22および第2アーム部23の回転動作に伴って移動する。ロボット1は、第1アーム部22の基端部に設けられた減速機および第1アーム部22の先端部に設けられた減速機を1つのモータを用いて同期的に動作させることで、エンドエフェクタ24aを直線的に移動させる。具体的には、ロボット1は、第1アーム部22に対する第2アーム部23の回転量が固定ベース部21に対する第1アーム部22の回転量の2倍となるように、第1アーム部22および第2アーム部23を回転させる。たとえば、ロボット1は、第1アーム部22が固定ベース部21に対してα度回転した場合に、第2アーム部23が第1アーム部22に対して2α度回転するように第1アーム部22および第2アーム部23を回転させる。これにより、エンドエフェクタ24aは、直線的に移動する。なお、真空チャンバ内の汚染防止等の観点から、減速機やモータといった駆動機構は、大気圧に保たれた第1アーム部22の内部に収納される。これにより、ロボット1を減圧環境下に置く場合であっても、グリス等の潤滑油の乾燥を防止することができる他、発塵による真空チャンバ内の汚染を防止することができる。補助アーム部25は、移動中のエンドエフェクタ24aが常に一定の方向を向くように、第1アーム部22および第2アーム部23の回転動作と連動して可動ベース部24の回転を規制するリンク機構である。具体的には、補助アーム部25は、第1リンク部25aと、中間リンク部25bと、第2リンク部25cとを備える。第1リンク部25aは、基端部が固定ベース部21に対して回転可能に連結され、先端部において中間リンク部25bの先端部と回転可能に連結される。また、中間リンク部25bは、基端部が第1アーム部22と第2アーム部23との連結軸と同軸上に軸支され、先端部が第1リンク部25aの先端部と回転可能に連結される。第2リンク部25cは、基端部において中間リンク部25bと回転可能に連結され、先端部において可動ベース部24の基端部と回転可能に連結される。また、可動ベース部24は、先端部において第2アーム部23の先端部と回転可能に連結され、基端部において第2リンク部25cと回転可能に連結される。第1リンク部25aは、固定ベース部21、第1アーム部22および中間リンク部25bと共に第1平行リンク機構を形成する。すなわち、第1アーム部22が基端部を中心として回転すると、第1リンク部25aおよび中間リンク部25bが、それぞれ第1アーム部22および固定ベース部21と平行な状態を保ちながら回転する。また、第2リンク部25cは、第2アーム部23、可動ベース部24および中間リンク部25bと共に第2平行リンク機構を形成する。すなわち、第2アーム部23が基端部を中心として回転すると、第2リンク部25cおよび可動ベース部24が、それぞれ第2アーム部23および中間リンク部25bと平行な状態を保ちながら回転する。中間リンク部25bは、第1平行リンク機構によって固定ベース部21と平行な状態を保ちながら回転する。このため、第2平行リンク機構の可動ベース部24も固定ベース部21と平行な状態を保ちながら回転する。この結果、可動ベース部24の上部に取り付けられるエンドエフェクタ24aは、固定ベース部21と平行な状態を保ちながら直線的に移動することとなる。このように、ロボット1は、第1平行リンク機構および第2平行リンク機構の2つの平行リンク機構を用いて、エンドエフェクタ24aの向きを一定に保つこととした。したがって、たとえば第2アーム部内にプーリや伝達ベルトを設け、これらプーリや伝達ベルトを用いてエンドエフェクタの向きを一定方向に維持する場合と比較して、プーリや伝達ベルトに起因する発塵を抑えることができる。また、補助アーム部25によってアーム全体の剛性を高めることができるため、エンドエフェクタ24aの動作時の振動を低減することができる。このため、プーリや伝達ベルトを用いてエンドエフェクタの向きを一定方向に維持する場合と比較して、エンドエフェクタ24aの動作時の振動に起因する発塵も抑えることができる。また、本実施形態に係るロボット1は、第1アーム部22、第2アーム部23、可動ベース部24および補助アーム部25で構成される伸縮アームを二組備える。このため、ロボット1は、たとえば、一方の伸縮アームを用いてある搬送位置からワークを取り出しつつ、他方の伸縮アームを用いてかかる搬送位置へ新たなワークを搬入する等、2つの作業を同時平行で行うことができる。次に、本実施形態に係るロボット1および真空チャンバを備える製造装置の構成について説明した後に、ドッキングフランジ周辺の構成およびロボット1の真空チャンバへの設置方法について具体的に説明する。図2は、製造装置の構成を示す模式側面図である。図2に示すように、製造装置100は、ロボット1と、ロボット1を収容する真空チャンバ30とを備える。ロボット1は、胴体部10に形成されたフランジ部12が真空チャンバ30の底部に形成された開口部31の縁部に対してシール部材を介して固定される。これにより、真空チャンバ30は密閉された状態となり、真空ポンプ等の減圧装置によって内部が減圧状態に保たれる。なお、胴体部10の筐体11は、真空チャンバ30の下部から突出しており、真空チャンバ30を支持する支持部35内の空間に位置する。ロボット1は、かかる真空チャンバ30内においてワークの搬送作業を行う。たとえば、ロボット1は、第1アーム部22および第2アーム部23を用いてエンドエフェクタ24aを直線的に移動させることで、図示しないゲートバルブを介して真空チャンバ30と接続される他の真空チャンバからワークを取り出す。つづいて、ロボット1は、エンドエフェクタ24aを引き戻したのち、旋回軸Oを中心に固定ベース部21を水平方向に回転させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバに対してアームユニット20を正対させる。そして、ロボット1は、第1アーム部22および第2アーム部23を用いてエンドエフェクタ24aを直線的に移動させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバへワークを搬入する。真空チャンバ30は、ロボット1の形状に合わせて形成される。たとえば、図2に示すように、真空チャンバ30には、底面に凹部が形成されており、かかる凹部に対して、固定ベース部21や昇降フランジ部15といった下方へ突出するロボット1の部位が納められる。このように、真空チャンバ30をロボット1の形状に合わせて形成することで、チャンバ内の容積を小さくすることができ、真空チャンバ30の減圧状態を容易に維持することが可能となる。真空チャンバ30の上部には、真空チャンバ30を外部と連通可能に閉塞する蓋部32が設けられる。ロボット1は、蓋部32が取り外された真空チャンバ30の上方から真空チャンバ30内へ搬入される。本実施形態に係るロボット1は、胴体部10とアームユニット20とが昇降フランジ部15において分割可能に構成される。具体的には、本実施形態に係るロボット1は、昇降フランジ部15が、第1ドッキングフランジ15aおよび第2ドッキングフランジ15bの2つのフランジで構成される。第1ドッキングフランジ15aは、胴体部10側に固定されるフランジであり、第2ドッキングフランジ15bは、アームユニット20側に固定されるフランジである。本実施形態に係るロボット1は、これら第1ドッキングフランジ15aおよび第2ドッキングフランジ15bをボルト等を用いて一体化させることによって、胴体部10とアームユニット20とが一体化した状態となる。そして、本実施形態では、ロボット1を胴体部10とアームユニット20とに分割した状態で真空チャンバ30内に搬入する。これにより、ロボット1の真空チャンバ30への設置を容易に行うことができるようにした。次に、第1ドッキングフランジ15aを備える胴体部10および第2ドッキングフランジ15bを備える固定ベース部21の構成について図3を用いて説明する。図3は、胴体部10および固定ベース部21の構成を示す模式断面図である。図3に示すように、胴体部10は、昇降装置40を備える。昇降装置40は、図示しないモータおよび変換機構42を用いてシャフト部43を鉛直方向に移動させる装置である。第1ドッキングフランジ15aは、フランジ部12に形成された開口部121から突出するシャフト部43の上端部に固定される。また、アームユニット20は、旋回装置60を備える。旋回装置60は、たとえば、モータ61aと減速機61bとが一体化された減速機付モータ61の回転をプーリ64,65および伝達ベルト63を介してシャフト部62へ伝達することによって、シャフト部62を回転させる。シャフト部62は、軸受け211を介して固定ベース部21に回転可能に支持されているが回転方向には固定されているため、結果的に固定ベース部21がシャフト部62の中心軸を旋回軸Oとして固定ベース部21が水平方向に回転することとなる。第2ドッキングフランジ15bは、固定ベース部21の下部から鉛直下向きに突出するシャフト部62の先端部に固定される。そして、胴体部10およびアームユニット20は、第1ドッキングフランジ15aおよび第2ドッキングフランジ15bをボルト等で固定することによって一体化し、ロボット1となる。ここで、図3に示すように、第1ドッキングフランジ15aの上面には、位置決めピン151が設けられ、第2ドッキングフランジ15bには、位置決めピン151と係合する係合孔153が形成される。アームユニット20は、位置決めピン151と係合孔153とを係合させた状態で第1ドッキングフランジ15aと第2ドッキングフランジ15bとを固定することにより、胴体部10に対して適切な位置で連結される。このように、本実施形態に係るロボット1では、第1ユニットである胴体部10が、水平方向に延在する第1ドッキングフランジ15aを上部に備え、第2ユニットであるアームユニット20が、水平方向に延在する第2ドッキングフランジ15bを下部に備える。そして、本実施形態に係るロボット1では、第1ドッキングフランジ15aと第2ドッキングフランジ15bとを固定することによって胴体部10とアームユニット20とを連結することとした。したがって、胴体部10とアームユニット20との連結作業を容易に行うことができる。また、本実施形態に係るロボット1では、第1ドッキングフランジ15aに対して位置決め用の凸部である位置決めピン151を設け、かかる位置決めピン151と係合する係合孔153を第2ドッキングフランジ15bに形成した。したがって、胴体部10に対してアームユニット20を正確な位置で連結することができる。なお、ここでは、第1ドッキングフランジ15aに位置決めピン151を設け、第2ドッキングフランジ15bに係合孔153を形成したが、第1ドッキングフランジ15aに挿通孔を形成し、第2ドッキングフランジ15bに位置決めピンを設けてもよい。また、ここでは、位置決め用の凸部および位置決め用の凹部の一例として、位置決めピン151および係合孔153を用いて説明したが、位置決め用の凸部および凹部は、ピンおよび挿通孔に限定されるものではない。また、ここでは、旋回装置60が減速機付モータ61を備える場合の例について説明したが、モータと減速機とは、必ずしも一体化されていなくてもよい。つづいて、旋回装置60および昇降装置40の具体的な構成について説明する。図3に示すように、旋回装置60のシャフト部62には、シャフト部62の上端から下端まで貫通する貫通孔622が旋回軸Oに沿って形成され、第2ドッキングフランジ15bにも同様の貫通孔154が形成される。そして、これらの貫通孔622,154には、アームユニット20の配線300が挿通される。かかる配線300は、シャフト部62の上方から貫通孔622,154を通って固定ベース部21の下部から垂れ下がった状態となる。昇降装置40は、変換機構42と、シャフト部43と、リニアガイド44とを備える。変換機構42は、図示しないモータの回転運動を直線運動へ変換する機構部である。具体的には、変換機構42は、ボールねじ421およびボールナット422を備える。ボールねじ421は、軸受112を介して筐体11に回転可能に支持され、ボールナット422は、ボールねじ421に貫装される。シャフト部43は、鉛直方向に沿って延在する筒状の部材である。かかるシャフト部43の筒内には、変換機構42が配設されており、変換機構42のボールナット422がシャフト部43の内周面に固定される。また、シャフト部43は、外周面においてリニアガイド44に固定される。図示しないモータを作動させると、モータの回転は、図示しない伝達ベルトやプーリを介して変換機構42のボールねじ421へ伝達される。そして、ボールねじ421およびボールナット422によってモータの回転運動が直線運動へ変換されて、ボールナット422に固定されたシャフト部43が、リニアガイド44に沿って昇降する。第1ドッキングフランジ15aには、貫通孔152が旋回軸Oに沿って形成されており、かかる貫通孔152を介してアームユニット20の配線300がシャフト部43内へ挿入される。シャフト部43内へ挿入された配線300は、シャフト部43の下部に形成された切欠部431からシャフト部43外へ引き出され、シャフト部43外に設けられたコネクタパネルに接続される。ここで、変換機構42は、シャフト部43の内周面に寄せた状態で配設される。具体的には、変換機構42は、ボールねじ421の中心軸をシャフト部43の中心軸すなわち、旋回軸Oからずらした状態で配設される。これにより、変換機構42とシャフト部43の内周面との間には、配線300の配線空間Sが形成される。そして、シャフト部43には、上方から挿入される配線300を配線空間Sへ案内するガイド体450が設けられる。ガイド体450は、配線空間Sと変換機構42との間においてボールねじ421の上部および側面を覆うように設けられた部材であり、配線空間Sへ向けて傾斜が形成されている。このように、シャフト部43の筒内にガイド体450を設けることで、ボールねじ421やボールナット422に阻害されることなく、配線300を配線空間Sへ容易に導くことができる。また、ロボット1の動作中において配線300と変換機構42とが接触することを防止することもできる。次に、ロボット1の真空チャンバ30への設置方法について説明する。まず、真空チャンバ30上方の搬入スペースの高さ寸法とロボット1の高さ寸法との比較について図4を用いて説明する。図4は、真空チャンバ30上方の搬入スペースの高さ寸法とロボット1の高さ寸法との比較図である。なお、図4に示すように、ロボット1の搬入作業は、真空チャンバ30上部の蓋部32図2参照が取り外された状態で行われる。ロボット1は、たとえば、天井クレーン700を用いて真空チャンバ30の上方から真空チャンバ30内へと搬入される。天井クレーン700は、フック701を用いて対象物を所定の高さまで吊り上げ、天井750に設けられた走行レーン751に沿って走行した後、吊り上げた対象物を所定位置へ降ろすクレーン装置である。天井クレーン700を用いて吊り上げた対象物を真空チャンバ30内へ搬入するためには、対象物の高さ寸法が、真空チャンバ30上方の搬入スペースの高さ寸法Xよりも小さい必要がある。ここで、搬入スペースとは、真空チャンバ30の上方に位置させたロボット1を真空チャンバ30内へ搬入するための空間であり、具体的には、最高位置まで引き上げたフック701の下部から真空チャンバ30の上端部までの空間のことである。本実施形態に係るロボット1の高さ寸法Hは、この搬入スペースの高さ寸法Xよりも大きい。このような場合には、天井クレーン700を用いてロボット1を搬入スペースまで移動させようとしても、ロボット1が真空チャンバ30の側壁に当たってしまうため、ロボット1を搬入スペースまで移動させることが難しい。そこで、本実施形態に係るロボット1は、ロボット1を胴体部10とアームユニット20とに分割可能に構成し、胴体部10およびアームユニット20ごとに真空チャンバ30へ搬入することとした。以下では、本実施形態に係るロボット1の真空チャンバ30への設置方法を図5Aおよび図5Bを用いて説明する。図5Aは、胴体部10の真空チャンバ30への設置方法を示す説明図であり、図5Bは、アームユニット20の真空チャンバ30への設置方法を示す説明図である。図5Aに示すように、作業者等は、天井クレーン700を用いて胴体部10の真空チャンバ30への設置を行う。まず、作業者等は、リング810を備えた吊治具800を胴体部10に装着させた後、吊治具800のリング810に天井クレーン700のフック701を引っ掛けて胴体部10を吊り上げる。つづいて、作業者等は、走行レーン751に沿って天井クレーン700を走行させることにより、胴体部10を真空チャンバ30上方の搬入スペースまで移動させる。ここで、図5Aに示すように、吊治具800を含む胴体部10の高さ寸法h1は、搬入スペースの高さ寸法Xよりも小さい。このため、胴体部10は、真空チャンバ30に当たることなく搬入スペースまで移動することができる。つづいて、作業者等は、天井クレーン700を操作し、胴体部10の筐体11を真空チャンバ30の開口部31へ通すようにして胴体部10を真空チャンバ30内へ載置する。これにより、胴体部10は、フランジ部12において真空チャンバ30の開口部31の縁部に支持された状態となる。そして、作業者等は、胴体部10のフランジ部12と開口部31の縁部とをボルト等を用いて固定する。これにより、胴体部10の真空チャンバ30への設置が完了する。なお、真空チャンバ30へ設置された胴体部10には、アームユニット20の位置決めのためのガイド部材が取り付けられるが、かかる点については、図6を用いて説明する。胴体部10の真空チャンバ30への設置が完了すると、作業者等は、図5Bに示すようにアームユニット20の真空チャンバ30への設置を行う。まず、作業者等は、リング610を備えた吊治具600をアームユニット20へ装着させた後、吊治具600のリング610に天井クレーン700のフック701を引っ掛けて胴体部10を吊り上げる。このとき、アームユニット20の配線300は、アームユニット20の下部から垂れ下がった状態となっている。作業者等は、走行レーン751に沿って天井クレーン700を走行させることにより、アームユニット20を真空チャンバ30上方の搬入スペースまで移動させる。ここで、図5Bに示すように、吊治具600を含むアームユニット20の高さ寸法h2は、搬入スペースの高さ寸法Xよりも小さい。このため、アームユニット20は、真空チャンバ30に当たることなく搬入スペースまで移動することができる。つづいて、作業者等は、天井クレーン700を操作し、真空チャンバ30に設置された胴体部10へ向けてアームユニット20を降下させる。これにより、アームユニット20の下部から垂れ下がった配線300は、胴体部10が備える昇降装置40のシャフト部43内へ挿入される図3参照。上述したように、シャフト部43内には、配線300の配線空間Sと変換機構42との間にガイド体450が設けられている。このため、作業者等は、変換機構42に阻害されることなく配線300を配線空間Sへ通すことができる。なお、配線空間Sまで通された配線300は、切欠部431からシャフト部43外へと引き出されて、コネクタパネルに接続される。つづいて、作業者等は、アームユニット20をさらに降下させ、アームユニット20の下部に設けられた第2ドッキングフランジ15bを、胴体部10の上部に設けられた第1ドッキングフランジ15aへ近づける。ここで、アームユニット20の吊治具600には、胴体部10に設けられたガイド部材と対をなす位置決め用の目印が形成されており、作業者等は、これらガイド部材および位置決め用の目印を用いて、アームユニット20の大まかな位置決めを行う。図6は、胴体部10に対するアームユニット20の大まかな位置決め方法を示す説明図である。図6に示すように、胴体部10のフランジ部12上の所定位置には、円柱状のガイド部材125,126が取り付けられる。また、アームユニット20の吊治具600には、位置決め用の目印として、貫通孔602a,603aが、ガイド部材125,126間の間隔と等しい間隔で形成される。作業者等は、これらガイド部材125,126および貫通孔602a,603aを目印としてアームユニット20の位置決めを行う。具体的には、作業者等は、貫通孔602a,603aを上方から見た場合に、ガイド部材125,126がそれぞれ貫通孔602a,603a内に収まるようにアームユニット20の位置を調整しながら、アームユニット20を胴体部10へ向けて降下させる。このように、本実施形態では、胴体部10のフランジ部12に対して着脱可能な位置決め用のガイド部材125,126を設け、吊治具600に対してガイド部材125,126に対応する貫通孔602a,603aを形成することとした。そして、本実施形態では、これらガイド部材125,126および貫通孔602a,603aを用いてアームユニット20の胴体部10に対する位置決めを行うこととした。したがって、作業者等は、アームユニット20の胴体部10へ向けて降下させつつ、胴体部10に対するアームユニット20の大まかな取り付け位置を容易に把握することができる。また、上述したように、胴体部10の第1ドッキングフランジ15aには、位置決め用の凸部である位置決めピン151が設けられており、アームユニット20の第2ドッキングフランジ15bには、位置決めピン151と係合する係合孔153が形成される。これにより、作業者等は、第1ドッキングフランジ15aに対して第2ドッキングフランジ15bを正確に設置することができる。第1ドッキングフランジ15a上に第2ドッキングフランジ15bを載置した後、作業者等は、第1ドッキングフランジ15aと第2ドッキングフランジ15bとをボルト等で固定する。これにより、胴体部10およびアームユニット20は、一体化し、ロボット1となる。なお、図6に示すように、アームユニット20の吊治具600は、上側支持部材601と、下側支持部材602,603と、連結シャフト604~606を備える。作業者等は、まず、下側支持部材602,603を固定ベース部21の下部に取り付ける。固定ベース部21に取り付けられた下側支持部材602,603は、その一部が固定ベース部21からY軸負方向へ向けて突出した状態となる。かかる下側支持部材602,603の固定ベース部21から突出した部分に、貫通孔602a,603aがそれぞれ形成される。つづいて、作業者等は、連結シャフト604,605をそれぞれ下側支持部材602,603に取り付け、連結シャフト606を固定ベース部21に取り付ける。そして、作業者等は、上側支持部材601を連結シャフト604~606に取り付け、ボルト等でこれらを締結する。これにより、吊治具600は、アームユニット20に取り付けられた状態となる。上述してきたように、本実施形態では、ロボットを、胴体部およびアームユニットの2つのユニットに分割可能に構成した。具体的には、胴体部が、真空チャンバの上方から真空チャンバ内へ搬入されるとともに真空チャンバへ固定され、アームユニットが、真空チャンバ内へ固定された胴体部に対して連結されるように構成した。したがって、真空チャンバ内へのロボットの設置を容易に行うことができる。また、本実施形態では、胴体部の高さ寸法およびアームユニットの高さ寸法の合計が、真空チャンバ上方の搬入スペースの高さ寸法よりも大きく、胴体部およびアームユニットそれぞれの高さ寸法が、搬入スペースの高さ寸法よりも小さいこととした。したがって、たとえば、ロボットおよび真空チャンバが大型化することによって搬入スペースを確保することが困難となった場合であっても、ロボットを分割することで、ロボットの真空チャンバへの設置を容易に行うことができる。しかも、本実施形態では、アームユニットを鉛直方向へ昇降させる昇降装置を胴体部に設け、旋回軸を中心として伸縮アームを回転させる旋回装置をアームユニットに設けることとした。これにより、胴体部が昇降装置および旋回装置の双方を備える場合と比較して、胴体部の高さ寸法とアームユニットの高さ寸法とを均等に揃えることができる。したがって、胴体部の高さ寸法とアームユニットの高さ寸法との差が大きい場合と比較して、真空チャンバ上の搬入スペースがより小さい場合であっても、胴体部およびアームユニットを搬入スペースまで移動させることができる。なお、上述してきた実施形態では、ロボットが、ワークを搬送する搬送ロボットである場合の例について説明したが、ロボットは、ワークの搬送以外の作業を行うロボットであってもよい。また、上述してきた実施形態では、ロボットが、真空チャンバ内に設置される場合の例について説明してきたが、ロボットが設置されるチャンバは真空チャンバ以外のチャンバであってもよい。また、上述してきた実施形態では、ロボットの高さ寸法が搬送スペースの高さ寸法よりも大きい場合の例について説明したが、ロボットの高さ寸法は、搬送スペースの高さ寸法より小さくてもよい。このような場合であっても、ロボットを分割してチャンバ内へ搬入することで、1回の搬入動作で搬入させる対象物の重量および大きさを減らすことができ、ロボットのチャンバ内への搬入を容易に行うことができる。また、上述してきた実施形態では、建屋に設けられた天井クレーンを用いて胴体部やアームユニットの搬入作業を行う場合の例について説明したが、胴体部やアームユニットの搬入作業に用いるクレーンは、天井クレーン以外のクレーン装置であってもよい。さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。"