"磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記圧電本体は、厚肉部と、前記厚肉部からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有し、前記厚肉部は、厚み方向に関し前記薄肉部と略同一位置に位置するベース領域と、前記ベース領域より前記ディスク面に近接する厚み方向一方側へ延びる膨出領域とを含み、前記電圧供給側電極層は、前記先端側薄肉部及び前記基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記膨出領域の下面に設けられており、前記一対の圧電部材は、前記電圧供給側電極層が前記ディスク面に近接する側に位置し且つ前記膨出領域が厚み方向に関し前記開口領域内に位置しつつ、前記先端側露出面及び前記基端側露出面が前記先端領域及び前記基端領域のディスク面とは反対側の上面のうち少なくとも前記開口領域に隣接する先端側支持面及び基端側支持面と対向した状態で、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように、前記圧電本体の前記下面に設けられ、前記支持部には、前記電圧供給側電極層がディスク面と対向した状態で該電圧供給側電極層が平面視において前記開口領域内に位置するように前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられており、前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されており、前記フレクシャ部は、フレクシャ金属基板と前記フレクシャ金属基板に積層されたフレクシャ配線体とを有し、前記フレクシャ配線体は、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線と前記信号配線を囲繞する保護層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線とを含み、前記電圧供給配線は、一端部が前記絶縁層に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層と対向し、前記一端部が導電性接着剤を介して前記電圧供給側電極層に電気的に接続されており、前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記開口を囲繞する部材が設けられていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、メインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダの粗動に加えて、左右一対の圧電部材の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションであって、前記圧電部材が圧電本体と前記圧電本体のディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と前記圧電本体のディスク面とは離間された側の上面に設けられた接地側電極層とを有する磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記電圧供給側電極層の短絡を有効に防止し得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。本発明の一態様は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記圧電本体は、厚肉部と、前記厚肉部からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有し、前記厚肉部は、厚み方向に関し前記薄肉部と略同一位置に位置するベース領域と、前記ベース領域より前記ディスク面に近接する厚み方向一方側へ延びる膨出領域とを含み、前記電圧供給側電極層は、前記先端側薄肉部及び前記基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記膨出領域の下面に設けられており、前記一対の圧電部材は、前記電圧供給側電極層が前記ディスク面に近接する側に位置し且つ前記膨出領域が厚み方向に関し前記開口領域内に位置しつつ、前記先端側露出面及び前記基端側露出面が前記先端領域及び前記基端領域のディスク面とは反対側の上面のうち少なくとも前記開口領域に隣接する先端側支持面及び基端側支持面と対向した状態で、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。又、本発明の他態様は、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように、前記圧電本体の前記下面に設けられ、前記支持部には、前記電圧供給側電極層がディスク面と対向した状態で該電圧供給側電極層が平面視において前記開口領域内に位置するように前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられており、前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されており、前記フレクシャ部は、フレクシャ金属基板と前記フレクシャ金属基板に積層されたフレクシャ配線体とを有し、前記フレクシャ配線体は、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線と前記信号配線を囲繞する保護層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線とを含み、前記電圧供給配線は、一端部が前記絶縁層に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層と対向し、前記一端部が導電性接着剤を介して前記電圧供給側電極層に電気的に接続されており、前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記開口を囲繞する部材が設けられている磁気ヘッドサスペンションを提供する。本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、一対の圧電部材の各々は、圧電本体と前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記圧電本体の前記下面に設けられ、前記磁気ヘッドサスペンションの支持部には、前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられ、前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されているので、前記電圧供給側電極層が意に反して短絡することを有効に防止できる。又、本発明の一態様によれば、前記一対の圧電部材における厚肉部の膨出領域が厚み方向に関し前記支持部の開口領域内に位置されているので、前記支持部に対する前記一対の圧電部材の装着位置に関する精度を向上させることができ、さらに、前記一対の圧電部材の伸縮動作を前記支持部の先端領域に効率的に伝達することができる。実施の形態1以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。図1に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。又、図2及びに、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション1の上面図ディスク面とは反対側から見た平面図及び下面図ディスク面側から見た底面図を示す。さらに、図3に、図2におけるIIIIII線に沿った断面図を示す。図1~図3に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション1は、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部20と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ図示せずに伝達するためのロードビーム部30と、前記荷重曲げ部20を介して前記ロードビーム部30を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに前記ディスク面と平行なシーク方向へ揺動される支持部10と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部30及び前記支持部10に支持されるフレクシャ部40と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線CLを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部10に装着された左右一対の圧電部材60とを備えている。前記支持部10は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部20を介して前記ロードビーム部30を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。本実施の形態においては、前記支持部10は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム図示せずの先端にかしめ加工によって接合されるボス部15を備えたベースプレートとされている。前記支持部10は、例えば、厚さ0.1mm~0.8mmのステンレス板によって好適に形成される。図1及び図2に示すように、前記支持部10は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域11と、前記荷重曲げ部20が連結される先端領域12と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域11及び前記先端領域12の間に位置する開口領域13と、前記開口領域13のサスペンション幅方向両側において前記基端領域11及び前記先端領域12の間を連結する左右一対の連結梁14であって、サスペンション長手方向中心線CLを基準にして互いに対して対称な形状を有している左右一対の連結梁14とを有している。なお、本実施の形態においては、図2及びに示すように、前記支持部10は、前記先端領域12,前記一対の連結梁14,前記基端領域11及び前記ボス部15を一体形成する第1支持部形成板101と、前記第1支持部形成板101の前記基端領域11を形成する部分に接合される第2支持部形成板102とを有している。前記ロードビーム部30は、前述の通り、前記荷重曲げ部20によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記ロードビーム部30は、平板状の本体部31と、前記本体部31の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部32とを有しており、前記フランジ部32によって剛性を確保している。前記ロードビーム部30は、例えば、厚さ0.02mm~0.1mmのステンレス板によって好適に形成される。詳しくは、前記ロードビーム部30は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起35を有している。前記突起35は、ディスク面に近接する方向に、例えば、0.05mm~0.1mm程度突出されている。この突起35は、前記フレクシャ部40におけるヘッド搭載領域43の裏面ディスク面とは反対側の面に接触しており、前記荷重はこの突起35を介して前記フレクシャ部40のヘッド搭載領域43に伝達される。本実施の形態においては、前記ロードビーム部30は、さらに、前記本体部31の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ34を一体的に有している。前記リフトタブ34は、前記磁気ヘッドスライダがディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション1が前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダをz方向前記ディスク面と直交する方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。前記荷重曲げ部20は、基端部が前記支持部10に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部30に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダを前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。図1及び図2に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部20は、板面が前記ディスク面と対向するように配置された左右一対の板バネ21を有している。好ましくは、前記一対の板バネ21は、前記磁気ヘッドサスペンション1が前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダが前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション1の前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。前記荷重曲げ部20は、例えば、厚さ0.02mm~0.1mmのステンレス板によって形成される。なお、本実施の形態においては、図1及び図2に示すように、前記荷重曲げ部20は前記ロードビーム部30と一体形成されている。即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション1は、前記ロードビーム部30及び前記荷重曲げ部20を一体形成するロードビーム部/荷重曲げ部形成部材を有しており、前記ロードビーム部/荷重曲げ部形成部材における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部10の前記先端領域12における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記ロードビーム部形成部材が前記支持部10に溶接されている。前記フレクシャ部40は、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部30及び前記支持部10に接合される。詳しくは、前記フレクシャ部40は、図2に示すように、前記ロードビーム部30及び前記支持部10における前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域41と、前記本体領域41から先端側へ延びる一対の支持片42と、前記支持片42によって支持された前記ヘッド搭載領域43とを有している。前記ヘッド搭載領域43は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持している。前述の通り、前記ヘッド搭載領域43の裏面には前記突起35が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域43は前記突起35を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。前記フレクシャ部40は、前記ヘッド搭載領域43がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部30よりも低剛性とされる。前記フレクシャ部40は、例えば、厚さ0.01mm~0.025mm程度のステンレス板によって好適に形成される。なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部40には、前記磁気ヘッドスライダに書き込み信号及び/又は読み取り信号を伝達する為の信号配線がプリント回路として一体的に備えられている。即ち、前記フレクシャ部40は、前記本体領域41,前記一対の支持片42及び前記ヘッド搭載領域43を一体的に有するフレクシャ金属基板400と、前記フレクシャ金属基板400に積層されたフレクシャ配線体410とを有している。前記フレクシャ配線体410は、前記フレクシャ金属基板400におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層411図3参照と、前記絶縁層411におけるディスク面との対向面に積層された信号配線412図2参照と、前記信号配線412を囲繞する保護層図示せずとを有し得る。本実施の形態においては、前記フレクシャ金属基板400は、図2に示すように、前記ロードビーム部30の前記本体領域31,前記支持部10の前記先端領域12及び前記支持部10の前記基端領域11にそれぞれ溶接によって接合されている。図4に、前記一対の圧電部材60をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。又、図5及びに、それぞれ、前記圧電部材60の上面図ディスク面とは反対側から視た平面図及び側面図を示す。図4及び図5に示すように、前記圧電部材60は、PZTチタン酸ジリコン酸鉛からなる圧電本体61と、電圧供給側電極層65と、接地側電極層66とを有している。前記圧電本体61は、例えば厚さ0.05mm~0.3mmとされ、前記電極層65,66は、例えば厚さ0.05μm~数μmのAgやAuによって形成される。前記一対の圧電部材60は、先端部及び基端部が前記支持部10の前記先端領域12及び前記基端領域11にそれぞれ連結された状態で、サスペンション長手方向中心線CLを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置されている。即ち、前記一対の圧電部材60は、前記電圧供給側電極層65及び前記接地側電極層66の間への電圧印可に応じて一方が伸長し且つ他方が短縮し、これにより、前記先端領域12を前記基端領域11に対してシーク方向へ移動させて、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させ得るようになっている。本実施の形態においては、前記電圧供給側電極層65は、前記圧電本体61における前記ディスク面に近接する側の下面に配設されている。これは、前記電圧供給側電極層65への電圧供給構造の簡略化を図る為である。即ち、図2及び図3に示すように、前記フレクシャ部40は、前記構成要素に加えて、さらに、前記絶縁層411におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線415を有している。図6に、前記一対の圧電部材60を取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンションの上面図を示す。図3及び図6に示すように、本実施の形態においては、前記電圧供給配線415は、一端部が前記絶縁層411に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層65と対向しており、前記一端部が導電性接着剤95を介して前記電圧供給側電極層65に電気的に接続されている。なお、図3及び図6中の符号96は、前記導電性接着剤65の広がりを抑制するために前記開口の一部又は全部を囲繞する部材であり、例えば、金属によって形成される。一方、前記接地側電極層66は、図3及び図5に示すように、前記圧電本体61のディスク面とは反対側の上面に配設されている。本実施の形態においては、前記接地側電極層66は、図1,図2及び図3に示すように、導電性接着剤97を介して前記支持部10図示の形態においては前記先端領域12に電気的に接続されている。さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション1は、前記電圧供給側電極層65の短絡を有効に防止する為に下記構成を備えている。即ち、図3及び図5に示すように、前記電圧供給側電極層65は、前記圧電本体61の前記下面が先端側及び基端側においては露出して先端側露出面61F及び基端側露出面61Rを形成するように、前記圧電本体61の前記下面に設けられている。一方、前記支持部10には、前記電圧供給側電極層65がディスク面と対向し且つ該電圧供給側電極層65が平面視において前記開口領域13内に位置するように前記圧電部材60を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面61F及び前記基端側露出面61Rとそれぞれ対向する先端側支持面10F及び基端側支持面10Rが設けられている。本実施の形態においては、図3に示すように、前記先端領域12の上面のうち前記開口領域13に隣接する部分が前記先端側支持面10Fとして作用し、前記基端領域11の上面のうち前記開口領域13に隣接する部分が前記基端側支持面10Rとして作用している。そして、図3に示すように、前記圧電部材60は、前記先端側露出面61Fと前記先端側支持面10Fとの間、及び、前記基端側露出面61Rと前記基端側支持面10Rとの間にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤90F,90Rを介して前記支持部10に直接又は間接的に固着されている。このように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション1においては、前記圧電本体61の下面のうち先端側及び基端側には前記電圧供給側電極層65が存在しない前記先端側露出面61F及び前記基端側露出面61Rが設けられ、前記先端側露出面61F及び前記基端側露出面61Rが前記支持部10の前記先端側支持面10F及び前記基端側支持面10Rに絶縁性接着剤90F,90Rを介して固着されている。斯かる構成によれば、前記電圧供給側電極層65が前記支持部10に意に反して接触して短絡することを有効に防止できる。さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション1は下記構成を備えている。即ち、図3及び図4等に示すように、前記圧電本体61は、厚肉部62と、前記厚肉部62からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部63F及び基端側薄肉部63Rとを有している。前記厚肉部62は、厚み方向に関し前記薄肉部63F,63Rと略同一位置に位置するベース領域621と、前記ベース領域621より厚み方向一方側へ延びる膨出領域622とを含んでいる。斯かる構成の前記圧電本体61に対して、前記電圧供給側電極層65は、前記先端側薄肉部63F及び前記基端側薄肉部63Rの厚み方向一方側の表面が前記先端側露出面61F及び前記基端側露出面61Rとして作用するように前記膨出領域622の厚み方向一方側の表面にのみ設けられている。そして、前記先端側薄肉部63Fの厚み方向一方側の表面が前記絶縁性接着剤90Fを介して前記支持部10の前記先端領域12の上面に固着され且つ前記基端側薄肉部63Rの厚み方向一方側の表面が前記絶縁性接着剤90Rを介して前記支持部10の前記基端領域11の上面に固着されることで、前記膨出領域622が厚み方向に関し前記開口領域13内に位置し且つ前記電圧供給側電極層65がディスク面に近接する側に位置する状態で前記圧電部材60が前記支持部10に装着されている。斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション1によれば、前記一対の圧電部材60の少なくとも一部を厚み方向に関し前記開口領域13内に位置させつつ、前記支持部10に対する前記一対の圧電部材60の装着位置に関する精度を向上させることができる。即ち、前記一対の圧電部材60の伸縮動作は前記先端領域12を前記基端領域11に対して前記ディスク面に平行な方向へ揺動させる力として前記先端領域12へ伝達され、前記先端領域12が前記ディスク面に平行な方向へ揺動することによって前記磁気ヘッドスライダがシーク方向へ移動する。従って、前記一対の圧電部材60の伸縮動作を前記先端領域12に効率的に伝達させるという観点においては、前記一対の圧電部材60は厚み方向に関し可及的に前記開口領域13内に位置させることが望ましい。又、前記圧電部材60の前記支持部10への装着作業は、前記圧電部材60を吸引保持した状態で前記圧電部材60を所定の装着位置へ移動させることができ、さらに、その後に吸引保持を解除して前記圧電部材60を前記支持部10の所定装着位置に載置させることができるコレットを用いて行われる。詳しくは、テーパ状の位置決め面510Aを有するコレット500A図7参照又は水平面及び垂直面によって画される位置決め面510Bを有するコレット500B図7参照によって前記圧電部材60を吸引保持して前記圧電部材60を前記支持部10の所定装着位置まで移動させ、その後に、吸引を解除することで前記圧電部材60を前記絶縁性接着剤90F,90Rが塗布されている前記支持部10の所定装着位置に載置させて固着させる。従って、前記圧電部材60を前記装着位置に正確に位置させる為には、前記圧電部材60が前記コレット500A,500Bによって保持される際の保持位置を正確に制御する必要がある。この点に関し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション1においては、前記膨出領域622を厚み方向に関し前記開口領域13内に位置させた状態を基準にして、図3及び図7に示すように、前記先端側薄肉部63Fの上面及びサスペンション長手方向先端側を向く先端面が交差する先端側上方エッジ64Fは前記先端領域12の上面より上方前記ディスク面から離間された側に位置し、且つ、前記基端側薄肉部63Rの上面及びサスペンション長手方向基端側を向く基端面が交差する基端側上方エッジ64Rは前記基端領域11の上面より上方前記ディスク面から離間された側に位置している。従って、前記先端側上方エッジ64F及び前記基端側上方エッジ64Rを前記コレットの位置決め面510A,510Bによって位置決めされる部位として利用しつつ、前記膨出領域622を厚み方向に関し前記開口領域13内に位置させることができる。図8~に、前記圧電部材60の製造方法の一例のフロー図を示す。図8に示す第1工程において前記圧電本体61を形成するウエハ161を用意する。図8に示す第2工程においては、前記ウエハ161の両端面のうち前記圧電本体61の下面に相当する第1端面に前記電圧供給側電極層65を形成する第1導電性部材165をスパッタリング又は蒸着により設け、前記ウエハ161の両端面のうち前記圧電本体61の上面に相当する第2端面に前記接地側電極層66を形成する第2導電性部材166をスパッタリング又は蒸着により設ける。なお、本実施の形態においては、前記接地側電極層66は、図5に示すように、前記圧電本体61の上面の全域ではなく、前記電圧供給側電極層65と対向する領域即ち、前記厚肉部62の上面にのみ設けられている。従って、前記第2工程における前記第2導電性部材166の形成は、前記接地側電極層66が不要な領域をマスクで覆った状態で行われる。次いで、図8に示す第3工程において、前記ウエハ161の前記第1端面の側からダイシングを行って、前記先端側薄肉部63F及び前記基端側薄肉部63Rに相当する薄肉部163を介して複数の圧電部材60が連結されてなる圧電部材集合体160を形成する。そして、図8に示す第4工程において、前記薄肉部163を切断して前記圧電部材集合体160から複数の前記圧電部材60を形成する。なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記圧電部材60は、前記圧電本体61の上面のうち前記電圧供給側電極層65と対向する領域にのみ前記接地側電極層66を有している。従って、前記第2工程においては、前記圧電本体61の上面に相当する前記ウエハ161の前記第2端面に前記マスクを配置させてから、前記接地側電極層66を形成する前記第2導電性部材166を前記ウエハ161の前記第2端面に蒸着又はスパッタリングによって設けている。前記圧電部材60に代えて、前記接地側電極層66が前記圧電本体61の上面の全域に設けられている圧電部材60’を採用することも可能である。図9~に、前記圧電部材60’の製造方法の一例のフロー図を示す。図9に示すように、前記圧電部材60’の製造方法においては前記第2工程のマスキングが削除される。実施の形態2以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。図10に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション2をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。又、図11及びに、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション2の上面図ディスク面とは反対側から見た平面図及び下面図ディスク面側から見た底面図を示す。さらに、図12に、図11におけるXIIXII線に沿った断面図を示す。なお、図中、前記実施の形態1におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション2は、前記実施の形態1に係る磁気ヘッドサスペンション1を基準にして、前記一対の圧電部材60に代えて一対の圧電部材60Bを有している。図13に、前記一対の圧電部材60Bをディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。又、図14及びに、それぞれ、前記圧電部材60Bの上面図ディスク面とは反対側から視た平面図及び側面図を示す。前記圧電部材60Bは、図13及び図14に示すように、圧電本体61と電圧供給側電極層65と接地側電極層66とを有する点、前記圧電本体61が厚肉部62と前記厚肉部62からサスペンション長手方向先端側へ延びる先端側薄肉部63Fと前記厚肉部62からサスペンション長手方向基端側へ延びる基端側薄肉部63Rとを有している点、並びに、前記厚肉部62が厚み方向に関し前記薄肉部63F,63Rと略同一位置に位置するベース領域621と前記ベース領域621より厚み方向一方側へ延びる膨出領域622とを含む点において、前記実施の形態1における前記圧電部材60と共通する。他方、前記圧電部材60Bは、図13及び図14に示すように、前記電圧供給側電極層65が前記圧電本体61の厚み方向他方側の表面即ち、前記膨出領域622とは反対側の表面に設けられている点、並びに、前記先端側薄肉部63F及び前記基端側薄肉部63Rの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面61F及び前記基端側露出面61Rとして作用する点において、前記実施の形態1における前記圧電部材60と相違している。即ち、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション2においては、図12に示すように、前記圧電部材60Bは、前記膨出領域622が前記ベース領域621よりもディスク面から離間される側即ち、上方側に位置する状態で、平面視において全体が前記支持部10の前記開口領域13内に位置するように前記支持部10に装着されている。つまり、本実施の形態においては、前記圧電本体61の厚み方向他方側の表面が前記ディスク面に近接する状態で即ち、前記ベース領域621が前記ディスク面に対向する状態で、前記圧電部材60Bの全体が平面視において前記開口領域13内に位置されている。斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション2においては、前記圧電本体61の前記先端側薄肉部63F及び前記基端側薄肉部63Rの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面61F及び前記基端側露出面61Rとして作用する。即ち、前記電圧供給側電極層65は、前記先端側薄肉部63R及び前記基端側薄肉部63Rの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面61F及び前記基端側露出面61Rとして作用するように前記圧電本体61の厚み方向他方側の表面に設けられている。一方、前記支持部10の前記先端領域12にはディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域13の双方に開く先端側受け部19Fが設けられ、前記支持部10の前記基端領域11にはディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域13の双方に開く基端側受け部19Rが設けられている。図15及びに、それぞれ、前記一対の圧電部材60Bを取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンション2の上面図及び下面図を示す。図12及び図15に示すように、本実施の形態においては、前記支持部10には、少なくとも一部が平面視において前記開口領域13内に位置した状態で前記先端領域12の基端側エッジ近傍に位置するように前記支持部10の下面ディスク面との対向面に固着された先端側支持プレート120と、少なくとも一部が平面視において前記開口領域13内に位置した状態で前記基端領域11の先端側エッジ近傍に位置するように前記支持部10の下面ディスク面との対向面に固着された基端側支持プレート110とが設けられている。前記先端側支持プレート120は前記先端領域12と共働して前記先端側受け部19Fを形成している。即ち、図12に示すように、本実施の形態においては、前記先端側支持プレート120の上面ディスク面とは反対側の面と前記先端領域12のサスペンション長手方向基端側を向く端面とによって前記先端側受け部19Fが形成されている。前記基端側支持プレート110は前記基端領域11と共働して前記基端側受け部19Rを形成している。即ち、図12に示すように、本実施の形態においては、前記基端側支持プレート110の上面ディスク面とは反対側の面と前記基端領域11のサスペンション長手方向先端側を向く端面とによって前記基端側受け部19Rが形成されている。なお、本実施の形態においては、図15に示すように、前記先端側支持プレート120は、前記ロードビーム部30及び前記荷重曲げ部20と一体形成されている。即ち、前記磁気ヘッドサスペンション2は、前記ロードビーム部30,前記荷重曲げ部20及び前記先端側支持プレート120を一体形成するロードビーム部/荷重曲げ部/先端側支持プレート形成部材を有している。一方、前記基端側支持プレート110は、図15に示すように、前記支持部10を形成する前記第2支持部形成板102に一体形成されている。なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記支持部10に前記先端側支持プレート120及び前記基端側支持プレート110を備え、前記先端領域12のサスペンション長手方向基端側を向く端面と前記先端側支持プレート120の上面とによって前記先端側受け部19Fを形成し、且つ、前記基端領域11のサスペンション長手方向先端側を向く端面と前記基端側支持プレート110の上面とによって前記基端側受け部19Rを形成しているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。即ち、図示は省略するが、前記先端領域12の上面とサスペンション長手方向基端側を向く基端面とが交差する基端側上方エッジを含む領域を切り欠く先端側切り欠き部を形成し、且つ、前記基端領域11の上面とサスペンション長手方向先端側を向く先端面とが交差する先端側上方エッジを含む領域を切り欠く基端側切り欠き部を形成して、前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部によって前記先端側受け部19F及び前記基端側受け部19Rを形成することも可能である。斯かる構成の前記支持部10に対して、図12に示すように、前記先端側露出面61Fとして作用する前記先端側薄肉部63Fの厚み方向他方側の表面が前記絶縁性接着剤90Fを介して前記先端側支持面10Fとして作用する前記先端側受け部19Fの上面に固着され、且つ、前記基端側露出面61Rとして作用する前記基端側薄肉部63Rの厚み方向他方側の表面が前記絶縁性接着剤90Rを介して前記基端側支持面10Rとして作用する前記基端側受け部19Rの上面に固着されている。斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション2によれば、前記実施の形態1におけると同様に、前記電圧供給側電極層65の短絡を有効に防止できる。さらに、前記磁気ヘッドサスペンション2においては、図12に示すように、前記圧電部材60Bを装着位置に位置させた状態において、前記膨出領域622の先端側上方エッジ62F及び基端側上方エッジ62Rが前記先端領域12の基端側上方エッジ及び前記基端領域の先端側上方エッジからそれぞれ離間されることになる。斯かる構成によれば、図12,図16及びに示すように、前記膨出領域622の上面及びサスペンション長手方向先端側を向く先端面が交差する前記先端側上方エッジ62Fと前記膨出領域62の上面及びサスペンション長手方向基端側を向く基端面が交差する前記基端側上方エッジ62Rとを前記コレット500A,500Bの前記位置決め面510A,510Bによって位置決めされる部位として利用しつつ、前記コレット500A,500Bによって吸引保持された状態で前記圧電部材60Bを厚み方向に関し可及的に前記開口領域13内に位置させることができる。従って、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション2においても、前記実施の形態1におけると同様に、前記一対の圧電部材60Bを厚み方向に関し可及的に前記開口領域13内に位置させつつ前記支持部10に対する前記一対の圧電部材60Bの装着位置に関する精度を向上させることができる。なお、前記各実施の形態においては、前記一対の圧電部材6060Bは互いに対して別体とされているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。即ち、前記一対の圧電部材6060Bを単一の圧電部材形成体によって一体形成することも可能である。図17~に、それぞれ、第1例に係る圧電部材形成体600の下方斜視図,側面図及び下面図を示す。図17に示すように、前記第1例に係る圧電部材形成体600は、前記一対の圧電部材6060Bにおける前記圧電本体61を一体的に有する圧電本体形成体610と、前記一対の圧電部材6060Bにおける前記電圧供給側電極層65を形成する電圧供給側電極層形成体650と、前記一対の圧電部材6060Bにおける前記接地側電極層66を形成する接地側電極層形成体660とを含んでいる。前記電圧供給側電極層形成体650及び前記接地側電極層形成体660の少なくとも一方図示の形態においては前記電圧供給側電極層形成体650は、サスペンション長手方向中心線CLを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電極板671,672であって、前記一対の圧電部材6060Bの対応する電極層図示の形態においては前記電圧供給側電極層65をそれぞれ形成する一対の電極板670を有している。このように、前記一対の圧電部材6060Bが一体化された前記圧電部材形成体600を用いることにより、製造プロセスの簡略化を図ることができる。なお、前記電圧供給側電極層形成体650及び前記接地側電極層形成体660の他方図示の形態においては前記接地側電極層660は、単一の電極板を有することも可能であるし、若しくは、サスペンション長手方向中心線CLを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電極板であって、前記一対の圧電部材の対応する電極層図示の形態においては前記接地側電極層66をそれぞれ形成する一対の電極板を有することも可能である。好ましくは、前記圧電本体形成体610のうち一方の前記圧電部材6060Bの前記圧電本体61を形成する部分の分極方向と他方の前記圧電部材6060Bの前記圧電本体61を形成する部分の分極方向とを異ならせることができる。斯かる好ましい構成によれば、前記一対の圧電部材6060Bの前記電圧供給側電極層65に同一電圧を印可することで前記一対の圧電部材6060Bの一方を伸長動作させ、他方を圧縮動作させることができる。図18~に、それぞれ、第2例に係る圧電部材形成体700の下方斜視図,上面図,側面図及び下面図を示す。図18に示すように、前記第2例に係る前記圧電部材形成体700は、接地配線710を有している点において、前記第1例に係る前記圧電部材形成体600と相違している。詳しくは、前記接地配線710は、一端部が前記圧電部材形成体700の上面ディスク面とは反対側の面に配設された前記接地側電極層形成体660に電気的に接続され且つ他端部が前記圧電部材形成体700の下面ディスク面と対向する面に配設された接地端子715を形成している。前記第2例に係る前記圧電部材形成体700によれば、前記電圧供給側電極層65に電圧を供給する為の電気接続構造及び前記接地側電極層66を接地させる為の電気接続構造の双方を前記圧電部材形成体700の下面ディスク面に対向する面側に設けることができ、これにより、前記電気接続構造の簡略化を図ることができる。図18に示すように、前記第2例に係る前記圧電部材形成体700においては、前記電圧供給側電極層形成体650は、サスペンション長手方向中心線CLを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電圧供給側電極板651,652であって、前記一対の圧電部材6060Bの前記電圧供給側電極層65をそれぞれ形成する一対の電圧供給側電極板651,652を有している。斯かる構成においては、好ましくは、前記接地端子715はサスペンション幅方向に関し前記一対の電圧供給側電極板651,652の間に配置される。斯かる構成によれば、前記接地端子715に接続される接地用の電気接続構造の存在が、前記一対の圧電部材6060Bの伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向への移動特性を阻害することを有効に防止できる。前記第2例に係る前記圧電部材形成体700においては、図18及びに示すように、前記接地配線710のうち前記圧電部材形成体700の下面に位置する部分は、前記先端側露出面61F又は前記基端側露出面61Rを利用してサスペンション幅方向に延びている。斯かる構成によれば、前記圧電部材形成体700を大型化させることなく、前記接地端子715をサスペンション幅方向に関し前記一対の電圧供給側電極板651,652の間に位置させることができる。"