"ウエハをダイシングして形成したダイが貼着されたダイシングシートを張ったウエハパレットを装着したダイピックアップ装置の吸着ノズル又は該ダイピックアップ装置をセットした部品実装機の吸着ノズルで、前記ダイシングシート上のダイを吸着するものにおけるダイの位置を判定するダイ位置判定システムにおいて、前記ウエハパレットの上面のうちの前記ウエハより外側の位置に設けられた基準位置マークと、前記基準位置マークの位置を基準とする前記ウエハパレットの座標系で作成された前記ダイの配列位置情報を記憶した記憶手段と、所定位置にセットされた前記ウエハパレットの基準位置マークを撮像するカメラと、前記カメラの撮像画像を処理して前記ダイピックアップ装置又は前記部品実装機の機械座標系における前記基準位置マークの位置を認識する画像処理手段と、前記画像処理手段で認識した前記基準位置マークの位置と前記記憶手段に記憶した前記ダイの配列位置情報とに基づいて前記ダイピックアップ装置又は前記部品実装機の機械座標系における前記ダイの位置を演算するダイ位置演算手段とを備えていることを特徴とするダイ位置判定システム。前記ウエハパレットの上面に複数の基準位置マークが設けられ、前記ダイ位置演算手段は、前記画像処理手段で画像認識した前記複数の基準位置マークの位置に基づいて前記ダイピックアップ装置又は前記部品実装機の機械座標系に対する前記ウエハパレットの座標系の位置ずれ量を演算し、その位置ずれ量で前記ダイの配列位置情報を補正することで、前記ダイピックアップ装置又は前記部品実装機の機械座標系における前記ダイの位置を求めることを特徴とする請求項1に記載のダイ位置判定システム。前記画像処理手段及び前記ダイ位置演算手段は、前記ピックアップ装置の制御装置、前記部品実装機の制御装置、前記部品実装機を含む部品実装ラインの制御装置のいずれかに設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイ位置判定システム。前記記憶手段は、前記ウエハパレット、前記ピックアップ装置の制御装置、前記部品実装機の制御装置、前記部品実装機を含む部品実装ラインの制御装置のいずれかに設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のダイ位置判定システム。前記記憶手段には、複数のウエハパレットのダイの配列位置情報が記憶され、前記ウエハパレットには、該ウエハパレットの識別情報を記録又は記憶した識別情報記録部が設けられ、前記ダイピックアップ装置には、前記識別情報記録部から前記識別情報を読み取る識別情報読取り手段が設けられ、前記ダイ位置演算手段は、前記記憶手段に記憶された前記複数のウエハパレットのダイの配列位置情報の中から、前記識別情報読取り手段で読み取った前記識別情報に対応するウエハパレットのダイの配列位置情報を読み出して当該ウエハパレットのダイの位置を演算することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のダイ位置判定システム。前記記憶手段には、生産開始後に最初に前記吸着ノズルで吸着するダイ以下生産開始ダイというの位置情報が記憶されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のダイ位置判定システム。前記記憶手段には、生産終了時に次回の生産で最初に吸着するダイの位置情報を前記生産開始ダイの位置情報として更新記憶することを特徴とする請求項6に記載のダイ位置判定システム。しかしながら、上記特許文献1のように、ダイシングシート上の多数のダイの中から、ウエハの縁に形成したノッチに隣接するダイをリファレンスダイとする方法では、作業者がリファレンスダイを手動でティーチングしなければならず、生産能率が低下するという欠点があった。更に、作業ミスによりリファレンスダイが誤指定されて間違ったデータ修正が行われる可能性もある。一方、特許文献2では、ウエハに、製品として使用するダイとは異なる複数の専用のリファレンスダイを作り込むため、その分、ウエハ1枚当たりのダイの歩留まりが低下してコストアップするという欠点があった。そこで、本発明が解決しようとする課題は、生産能率向上とダイの歩留まり向上とを両立できると共に、作業ミスによるリファレンスダイの誤指定も回避できるダイ位置判定システムを提供することである。上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、ウエハをダイシングして形成したダイが貼着されたダイシングシートを張ったウエハパレットを装着したダイピックアップ装置の吸着ノズル又は該ダイピックアップ装置をセットした部品実装機の吸着ノズルで、前記ダイシングシート上のダイを吸着するものにおけるダイの位置を判定するダイ位置判定システムにおいて、前記ウエハパレットの上面のうちの前記ウエハより外側の位置に設けられた基準位置マークと、前記基準位置マークの位置を基準とするウエハパレットの座標系で作成されたダイの配列位置情報を記憶した記憶手段と、所定位置にセットされたウエハパレットの基準位置マークを撮像するカメラと、前記カメラの撮像画像を処理して前記ダイピックアップ装置又は前記部品実装機の機械座標系における前記基準位置マークの位置を認識する画像処理手段と、前記画像処理手段で認識した前記基準位置マークの位置と前記記憶手段に記憶した前記ダイの配列位置情報とに基づいて前記ダイピックアップ装置又は前記部品実装機の機械座標系における前記ダイの位置を演算するダイ位置演算手段とを備えた構成としている。この構成では、ウエハパレットの上面に基準位置マークを設け、この基準位置マークの位置を基準とするウエハパレットの座標系で作成されたダイの配列位置情報を記憶手段に記憶するようにしているため、ダイピックアップ装置にセットしたウエハパレット上の基準位置マークの位置が判明すれば、その基準位置マークの位置と記憶手段に記憶したダイの配列位置情報とに基づいてダイピックアップ装置又は部品実装機の機械座標系におけるダイの位置を演算することができる。この場合、基準位置マークは、ウエハではなく、ウエハパレットに設けているため、ウエハに、製品として使用するダイとは異なる複数の専用のリファレンスダイを作り込む必要がなくなり、ウエハ1枚当たりのダイの歩留まりを低下させずに済む。しかも、ウエハパレット上の基準位置マークの位置を自動的に画像認識できるため、作業者がリファレンスダイを手動でティーチングする必要がなくなる。これにより、前記特許文献1における生産能率低下の課題も解決することができ、生産能率向上とダイの歩留まり向上とを両立できると共に、作業ミスによるリファレンスダイの誤指定も回避できる。この場合、ウエハパレットに設ける基準位置マークの数は1個であっても、その基準位置マークの形状を方向性のある形状にすれば、ダイピックアップ装置の機械座標系とウエハパレットの座標系との間の位置ずれ量X,Y,θ座標のずれ量を計測することは可能であるが、請求項2のように、ウエハパレットの上面に複数の基準位置マークを設け、画像処理手段で画像認識した複数の基準位置マークの位置に基づいてダイピックアップ装置又は部品実装機の機械座標系に対するウエハパレットの座標系の位置ずれ量を演算し、その位置ずれ量でダイの配列位置情報を補正することで、ダイピックアップ装置又は部品実装機の機械座標系におけるダイの位置を求めるようにしても良い。このように、複数の基準位置マークを用いれば、ダイピックアップ装置又は部品実装機の機械座標系に対するウエハパレットの座標系の位置ずれ量を精度良く演算することができ、ダイピックアップ装置又は部品実装機の機械座標系におけるダイの位置を精度良く演算することができる。本発明は、請求項3のように、画像処理手段とダイ位置演算手段は、ピックアップ装置の制御装置、部品実装機の制御装置、該部品実装機を含む部品実装ラインの制御装置のいずれに設けれても良い。これに各制御装置は、ネットワークで接続されていて相互に信号を送受信できるためである。また、請求項4のように、ダイの配列位置情報を記憶する記憶手段は、ウエハパレット、に設けても良いし、ダイピックアップ装置の制御装置の記憶装置を使用しても良いし、部品実装機の制御装置の記憶装置を使用しても良いし、或は、部品実装ラインの制御装置の記憶装置を使用しても良い。ダイピックアップ装置の制御装置の記憶装置又は部品実装ラインの制御装置の記憶装置を、ダイの配列位置情報を記憶する記憶手段として使用する場合は、請求項5のように、記憶手段に、複数のウエハパレットのダイの配列位置情報を記憶すると共に、ウエハパレットに、該ウエハパレットの識別情報を記録又は記憶した識別情報記録部を設け、且つ、ダイピックアップ装置に、前記識別情報記録部から前記識別情報を読み取る識別情報読取り手段を設け、前記記憶手段に記憶された複数のウエハパレットのダイの配列位置情報の中から、前記識別情報読取り手段で読み取った識別情報に対応するウエハパレットのダイの配列位置情報を読み出して当該ウエハパレットのダイの位置を演算するようにしても良い。このようにすれば、複数のウエハパレットのダイの配列位置情報を1つの記憶手段で一括して管理できる利点がある。この場合、識別情報記録部は、バーコード、2次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶する電子タグや、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良い。識別情報記録部から識別情報を読み取る識別情報読取り手段は、識別情報記録部の記録方式に応じて専用のリーダを設けても良いが、その分、コストアップする。そこで、ウエハパレットをセットするダイピックアップ装置には、ウエハパレット上のダイを撮像するカメラが標準装備されていることを考慮して、識別情報記録部として、上面に識別情報を表すコードが記録されたものを使用し、識別情報読取り手段は、前記カメラで前記コードを撮像して該コードを画像認識するようにしても良い。このようにすれば、ウエハパレット上のダイを撮像するカメラを、識別情報記録部から識別情報を読み取る識別情報読取り手段として兼用させることができ、低コスト化の要求を満たすことができる。また、生産開始後に最初に吸着ノズルで吸着するダイ以下生産開始ダイというは、作業者がティーチング等で指定するようにしても良いし、或は、請求項6のように、記憶手段に生産開始ダイの位置情報を記憶するようにしても良い。このようにすれば、作業者がティーチング等で生産開始ダイを指定する作業を省略することができ、生産能率をより一層向上できると共に、作業ミスによる生産開始ダイの誤指定も回避できる。この場合、請求項7のように、記憶手段には、生産終了時に次回の生産で最初に吸着するダイの位置情報を生産開始ダイの位置情報として更新記憶するようにすると良い。このようにすれば、生産終了時にウエハパレット上に残ったダイを次回の生産で再使用する場合でも、次回の生産で最初に吸着する生産開始ダイの位置を自動的に取得することができ、作業者がティーチング等で生産開始ダイを指定する作業を省略できると共に、作業ミスによる生産開始ダイの誤指定も回避できる。本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。図1に示すように、本実施例のダイピックアップ装置11は、マガジン保持部12トレイタワー、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18図2参照、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。このダイピックアップ装置11は、図3に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。ダイピックアップ装置11のマガジン保持部12内に上下動可能に収納されたマガジン図示せずには、ダイ21ウエハ部品を載せたウエハパレット22と、トレイ部品電子部品を載せたトレイパレット図示せずとを多段に混載できるようになっている。図4及び図5に示すように、ウエハパレット22は、碁盤目状にダイシングされたウエハ多数のダイ21を貼着した伸縮可能なダイシングシート36を、円形の開口部を有するウエハ装着板23にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板23をパレット本体28にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシート36のエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシート36を下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板23に装着すれば良い。パレット引き出し機構14は、生産プログラム生産ジョブに従って、ウエハパレット22とトレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部12内のマガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出すものであり、パレット上の部品42やダイ21を部品実装機25図3参照の吸着ノズル図示せずでピックアップする位置以下部品実装機用引き出し位置というと、マガジンに近い引き出し位置以下サブロボット用引き出し位置というとのいずれの位置にもパレット22を引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル13の前端の位置マガジンから最も離れた位置であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット15の吸着ノズル図示せずでウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21を吸着可能な位置である。サブロボット15は、マガジン保持部12の背面部サブロボット用引き出し位置側の面のうちのパレット引き出しテーブル13の上方に位置して設けられ、XZ方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及び垂直方向に移動するように構成されている。尚、サブロボット15の移動方向をX方向のみとし、ウエハパレット22に対するサブロボット15のY方向パレット引き出し方向の相対的位置は、パレット引き出し機構14によってウエハパレット22をY方向に徐々に引き出すことで制御している。このサブロボット15には、1本又は複数本の吸着ノズル図示せずが下向きに設けられ、ピックアップするダイ21のサイズ等に応じてノズルチェンジャー20で吸着ノズルを交換できるようになっている。サブロボット15には、カメラ24が設けられ、このカメラ24の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ21の位置又はダイ21の吸着姿勢を確認できるようになっている。シャトル機構16は、サブロボット15の吸着ノズルでピックアップされた部品をシャトルノズル26で受け取って部品実装機25の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。反転ユニット17は、サブロボット15から受け取るダイ21を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ21の種類によっては、ウエハパレット22のダイシングシート36に上下反対に貼着されたダイ例えばフリップチップ等が存在するためである。突き上げユニット18図2参照は、パレット引き出しテーブル13に設けられて、ウエハパレット22のダイシングシート下方の空間領域をXY方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及びその直角方向に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット22を引き出した場合でも、ダイシングシート36のうちのピックアップしようとするダイ21の貼着部分をその下方から突き上げポット27で局所的に突き上げることで、当該ダイ21の貼着部分をダイシングシート36から部分的に剥離させてダイ21をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げユニット18は、ダイ21のサイズ等に応じて突き上げポット27を選択できるようにするために、複数種類例えば4種類の突き上げポット27が所定角度ピッチ図2の例では90°ピッチで放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げポット27が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。この突き上げユニット18は、サーボモータ図示せずを駆動源として突き上げユニット18全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット18が上昇して突き上げポット27の上端がウエハパレット22のダイシングシート36に接触すると、ストッパ機構図示せずによって突き上げユニット18の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット27から突き上げピンが上方に突出して、ダイシングシート36のうちの吸着しようとするダイ21の貼着部分吸着ノズルの吸着点を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピンの突き上げ高さを調整できるようになっている。尚、NGコンベア19は、不良部品や吸着不良のダイ21を排出するコンベアである。図3に示すように、マガジン保持部12には、ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21をサブロボット15の吸着ノズルでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部31が設けられ、ウエハパレット22上のダイ21をサブロボット15の吸着ノズルでピックアップする状態を作業者が確認する際に、マガジン保持部12内のパレットを窓部31よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択できるように構成されている。更に、確認モードでは、サブロボット15の吸着ノズルがウエハパレット22上のダイ21をピックアップした状態で、サブロボット15を停止できるようになっている。以上のように構成したダイピックアップ装置11の制御装置32は、キーボード、マウス等の入力装置33と、液晶ディスプレイ等の表示装置34等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、生産プログラムに従って部品実装機25に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構14、サブロボット15及びシャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18等の動作を次のように制御する。1小さいダイ21の場合小さいダイ21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品実装機25の吸着ノズルへのダイ21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウエハパレット22を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。2上記以外のサイズのダイ21の場合ダイ21のつかみ替えが可能なサイズのダイ21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15の吸着ノズルで当該ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21をピックアップし、当該ダイ21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からダイ21を部品実装機25の吸着ノズルでピックアップする。3トレイ部品の場合トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上の部品を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。ところで、ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21を吸着ノズルで吸着してピックアップする際に、突き上げポット27は、ダイシングシート36を張ったウエハパレット22の円形開口部内に位置して該ダイシングシート36の下面にほぼ密着し、且つ、吸引状態で該ダイシングシート36の下面に沿ってXY方向に移動するため、突き上げポット27がウエハパレット22の円形開口縁部と干渉することを避ける必要がある。また、ウエハパレット22のダイシングシート36上のウエハのサイズは、8インチ、6インチ、4インチ等、様々なサイズがあり、また、同じサイズであっても、内側にグリップリングが有るものと無いものとがあり、グリップリングの有無によってもウエハの有効領域円形開口部の径が異なってくる。従って、ウエハパレット22のダイシングシート36上のウエハのサイズやグリップリングの有無に応じて、突き上げポット27のXY方向の移動可能範囲を設定する必要がある。そこで、本実施例では、ウエハパレット22に、その識別情報を記録又は記憶した識別情報記録部35を設け、この識別情報記録部35に、ウエハパレット22の識別情報の他に、ダイシングシート36上のウエハのサイズ及び/又はピックアップ動作範囲に関するウエハ情報を記録又は記憶するようにしている。この識別情報記録部35は、バーコード、2次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶する電子タグや、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良い。識別情報記録部35から識別情報やウエハ情報を読み取る識別情報読取り手段は、識別情報記録部35の記録方式に応じて専用のリーダを設けても良いが、その分、コストアップする。そこで、ダイピックアップ装置11にダイ撮像用のカメラ24が標準装備されていることを考慮して、本実施例では、識別情報記録部35として、上面に識別情報とウエハ情報を表すコードバーコード、2次元コード等が記録されたものを使用すると共に、識別情報読取り手段として、ダイピックアップ装置11に装備されたダイ撮像用のカメラ24を使用し、カメラ24で識別情報記録部35のコードを撮像してダイピックアップ装置11の制御装置32で画像処理することで識別情報記録部35のコードを読み取る。このようにすれば、識別情報記録部35から識別情報とウエハ情報を読み取る識別情報読取り手段をダイ撮像用のカメラ24に兼用させることができ、コストアップを回避できる。ダイピックアップ装置11の制御装置32は、ダイピックアップ動作を開始する前にダイ撮像用のカメラ24を使用してウエハ情報記録部35のコードから識別情報とウエハ情報を読み取って、突き上げポット27のXY方向の移動可能範囲を自動設定する。これにより、突き上げポット27がウエハパレット22の円形開口縁部と干渉しないXY方向の移動可能範囲の情報を入力する作業を行う必要がなくなり、生産性を向上できる。ところで、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をパレット引き出しテーブル13上に引き出して、該ウエハパレット22上のダイ21を吸着ノズルで吸着する際に、ダイ吸着動作毎に吸着ノズルをダイ21と位置合わせする必要があるため、次のような方法で、ウエハパレット22上のダイ21の位置を演算するようにしている。ウエハパレット22の上面のうちのウエハより外側の位置ウエハ装着板23の例えば2箇所に基準位置マーク41が設けられている。2個の基準位置マーク41の位置は、例えば、円形のウエハの直径方向両外側又はその付近に設定すれば良く、要は、2個の基準位置マーク41を基準とするウエハパレット22の座標系をより精度良く設定できるように、2個の基準位置マーク41の間隔を広げて設ければ良い。2個の基準位置マーク41の形状は、その中心位置を精度良く画像認識できる形状であればどの様な形状であっても良い。生産開始前に、基準位置マーク41の位置を基準とするウエハパレット22の座標系で、ウエハパレット22上のダイ21の配列を示すダイ配列位置情報マップデータを作成して記憶手段に記憶しておく。この記憶手段は、ウエハパレット22に設けても良いし、ダイピックアップ装置11の制御装置32の記憶装置を使用しても良いし、部品実装機25の制御装置の記憶装置を使用しても良いし、或は、ダイピックアップ装置11を設置した部品実装ラインの制御装置生産管理用コンピュータの記憶装置を使用しても良い。記憶手段をウエハパレット22に設ける場合は、この記憶手段に識別情報やウエハ情報も記憶するようにすれば良い。本実施例では、ダイピックアップ装置11の制御装置32の記憶装置又は部品実装機25の制御装置の記憶装置又は部品実装ラインの制御装置の記憶装置に複数のウエハパレット22のダイ配列位置情報を記憶しておき、該記憶装置に記憶された複数のウエハパレット22のダイ配列位置情報の中から、前記識別情報読取り手段で読み出した識別情報に対応するウエハパレット22のダイ配列位置情報を読み出して当該ウエハパレット22のダイ21の位置を演算するようにしている。このようにすれば、複数のウエハパレット22のダイ配列位置情報を1つの記憶装置で一括して管理できる利点がある。ここで、ダイ配列位置情報マップデータは、例えば、前記特許文献1特開2006-332417号公報に記載されているように、検査装置等を用いて作成しても良いし、或は、デジタイザ等を改良した専用の装置を用いて作成しても良い。ダイ配列位置情報に加え、不良ダイの位置情報を記憶して、吸着ノズルで不良ダイを吸着しないようにしても良い。また、生産開始後に最初に吸着ノズルで吸着するダイ21以下生産開始ダイというは、作業者がティーチング等で指定するようにしても良いが、本実施例では、記憶手段に生産開始ダイの位置情報を記憶するようにしている。このようにすれば、作業者がティーチング等で生産開始ダイを指定する作業を省略することができ、生産能率をより一層向上できる。この場合、記憶装置に、生産終了時に次回の生産で最初に吸着するダイ21の位置情報を生産開始ダイの位置情報として更新記憶するようにすると良い。このようにすれば、生産終了時にウエハパレット22上に残ったダイ21を次回の生産で再使用する場合でも、生産開始ダイの位置を自動的に取得することができ、作業者がティーチング等で生産開始ダイを指定する作業を省略することができる。本実施例では、ダイピックアップ装置11の制御装置32又は部品実装機25の制御装置又は部品実装ラインの制御装置によって、図5のダイ位置演算プログラムを実行することで、画像認識した基準位置マーク41の位置と記憶装置に記憶したダイ配列位置情報とに基づいてダイピックアップ装置11の機械座標系におけるダイ21の位置を演算する。ここで、ダイピックアップ装置11の機械座標系とは、ダイ21を吸着する吸着ノズルを移動させるサブロボット15の制御に用いる座標系のことである。図5のダイ位置演算プログラムは、ダイピックアップ装置11の稼働中に所定周期で繰り返し実行され、特許請求の範囲でいう画像処理手段及びダイ位置演算手段としての役割を果たす。本プログラムが起動されると、まずステップ101で、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22がパレット引き出しテーブル13上の所定位置まで引き出されたか否かを判定し、引き出されていなければ、引き出されるまで待機する。その後、ウエハパレット22がパレット引き出しテーブル13上に引き出された時点で、ステップ102に進み、カメラ24等の識別情報読取り手段を用いて、ウエハパレット22の識別情報記録部35から識別情報を読み取る。この後、ステップ103に進み、記憶装置に記憶された複数のウエハパレット22のダイ配列位置情報と生産開始ダイの位置情報の中から、識別情報読取り手段で読み取った識別情報に対応するウエハパレット22のダイ配列位置情報と生産開始ダイの位置情報を読み込む。この後、ステップ104に進み、カメラ24でウエハパレット22の2箇所の基準位置マーク41を撮像し、次のステップ105で、カメラ24の撮像画像を処理して、ダイピックアップ装置11の機械座標系における基準位置マーク41の位置を認識する。この後、ステップ106に進み、ダイピックアップ装置11の機械座標系における基準位置マーク41の位置に基づいてダイピックアップ装置11の機械座標系に対するウエハパレット22の座標系の位置ずれ量X軸方向ずれ量ΔX,Y軸方向ずれ量ΔY,回転方向ずれ量Δθを演算する。そして、次のステップ107で、上記ステップ103で読み込んだダイ配列位置情報と生産開始ダイの位置情報を上記ウエハパレット22の座標系の位置ずれ量ΔX,ΔY,Δθで補正することで、ダイピックアップ装置11の機械座標系における各ダイ21の位置及び生産開始ダイの位置を求める。以上説明した本実施例によれば、ウエハパレット22の上面に基準位置マーク41を設け、この基準位置マーク41の位置を基準とするウエハパレット22の座標系で作成されたダイ配列位置情報を記憶手段に記憶するようにしているため、ダイピックアップ装置11にセットしたウエハパレット22上の基準位置マーク41の位置が判明すれば、その基準位置マーク41の位置と記憶手段に記憶したダイ配列位置情報とに基づいてダイピックアップ装置11の機械座標系におけるダイ21の位置を演算することができる。この場合、基準位置マーク41は、ウエハではなく、ウエハパレット22に設けているため、ウエハに、製品として使用するダイ21とは異なる複数の専用のリファレンスダイを作り込む必要がなくなり、ウエハ1枚当たりのダイ21の歩留まりを低下させずに済む。しかも、ウエハパレット22上の基準位置マーク41の位置を自動的に画像認識できるため、作業者が基準位置マーク41を手動でティーチングする必要がなくなる。これにより、前記特許文献1特開2006-332417号公報における生産能率低下の課題も解決することができ、生産能率向上とダイ21の歩留まり向上とを両立させることができると共に、作業ミスによるリファレンスダイの誤指定も回避することができる。本実施例では、ウエハパレット22に設ける基準位置マーク41の数を2個複数としたが、本発明は、基準位置マークが1個であっても良く、この場合でも、基準位置マークの形状を方向性のある形状例えばX方向に延びる直線部分とY方向に延びる直線部分をもつL字形状にすれば、ダイピックアップ装置11の機械座標系とウエハパレット22の座標系との間の位置ずれ量ΔX,ΔY,Δθを計測することができる。尚、本実施例では、ダイピックアップ装置11のカメラ24でウエハパレット22の基準位置マーク41を撮像して、ダイピックアップ装置11の機械座標系におけるダイの位置を演算するようにしたが、部品実装機25の装着ヘッドに設けられた基板マーク撮像用のカメラでウエハパレット22の基準位置マーク41を撮像して、該部品実装機25の機械座標系におけるダイの位置を演算して、該部品実装機25の装着ヘッドの吸着ノズルでウエハパレット22上のダイを直接吸着するようにしても良い。その他、本発明は、部品供給装置11の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。"