第1の直径を有する第1円板状物に第1とは異なる値の第2の直径を有する第2円板状物が積層された積層被加工物を切削ブレードで切削して個々のチップへと分割する積層被加工物の分割方法であって、積層被加工物をチャックテーブルで保持する保持ステップと、該チャックテーブルで保持された積層被加工物の外周縁に第1切削ブレードを切り込ませつつ、該第1切削ブレードと該チャックテーブルとを相対移動させて積層被加工物の外周縁を該第1切削ブレードで切削して、該第1円板状物と該第2円板状物の直径を同一にする外周縁切削ステップと、該外周縁切削ステップを実施した後、第2切削ブレードを積層被加工物の該第1円板状物側に切り込ませ、該第1円板状物を切削予定ラインに沿って切削する第1円板状物切削ステップと、該第1円板状物切削ステップを実施した後、第3切削ブレードを積層被加工物の該第2円板状物側に切り込ませ、該第2円板状物を切削予定ラインに沿って切削することで積層被加工物を個々のチップへと分割する第2円板状物切削ステップと、を具備したことを特徴とする積層被加工物の分割方法。ところが、直径の異なる第1及び第2の円板状物が積層された積層被加工物の場合、第1の円板状物側からと第2の円板状物側からそれぞれ切削ブレードで切削すると、直径が大きい円板状物の外周部分は直径の小さい円板状物に接着されていないため、その外周部分が飛散する。飛散した端材が切削ブレードに衝突することで切削ブレードを破損させたり、積層被加工物の上面に衝突することで積層被加工物上面を損傷させてしまう恐れがある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、直径が異なる第1及び第2の円板状物が積層された積層被加工物でも加工精度及び加工品質よく切削できるとともに、端材が飛散することで生じる切削ブレードや積層被加工物の損傷を防止可能な積層被加工物の分割方法を提供することである。本発明によると、第1の直径を有する第1円板状物に第1とは異なる値の第2の直径を有する第2円板状物が積層された積層被加工物を切削ブレードで切削して個々のチップへと分割する積層被加工物の分割方法であって、積層被加工物をチャックテーブルで保持する保持ステップと、該チャックテーブルで保持された積層被加工物の外周縁に第1切削ブレードを切り込ませつつ、該第1切削ブレードと該チャックテーブルとを相対移動させて積層被加工物の外周縁を該第1切削ブレードで切削して、該第1円板状物と該第2円板状物の直径を同一にする外周縁切削ステップと、該外周縁切削ステップを実施した後、第2切削ブレードを積層被加工物の該第1円板状物側に切り込ませ、該第1円板状物を切削予定ラインに沿って切削する第1円板状物切削ステップと、該第1円板状物切削ステップを実施した後、第3切削ブレードを積層被加工物の該第2円板状物側に切り込ませ、該第2円板状物を切削予定ラインに沿って切削することで積層被加工物を個々のチップへと分割する第2円板状物切削ステップと、を具備したことを特徴とする積層被加工物の分割方法が提供される。本発明によると、まず積層被加工物の外周縁が切削されて第1の円板状物と第2の円板状物の直径が同一に形成される。その後、第1の円板状物側と第2の円板状物側からそれぞれ切削ブレードで積層被加工物が切削されるため、加工精度や加工品質良く切削できるとともに、端材が飛散することで生じる切削ブレードや被加工物の損傷を防止できる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、第1粘着テープT1を介して環状フレームFで支持された積層被加工物11の斜視図が示されている。本実施形態の積層被加工物11は、例えばMEMSウエーハ15上にガラスキャップウエーハ13が積層された積層被加工物から構成される。MEMSウエーハ15は、格子状に形成された複数の切削予定ライン17によって区画された各領域にMEMSデバイス19が形成されて構成されている。MEMSウエーハ15の表面上にはガラスキャップウエーハ13が接着されている。積層被加工物11の裏面、即ちMEMSウエーハ15側は第1粘着テープT1に貼着され、第1粘着テープT1の外周部は環状フレームFに貼着されている。本発明の分割方法が適用される積層被加工物は、MEMSウエーハ15上にガラスキャップウエーハ13が積層された積層被加工物11に限定されるものではなく、例えば、デバイスウエーハ表面に樹脂モールドされたWL-CSPウエーハ、CMOSやCCD等の撮像デバイスのレンズになるレンズウエーハ上に保護ウエーハが積層された積層被加工物、センサ光学部品SensingOptics積層被加工物等を含むものである。本実施形態の積層被加工物の分割方法では、まず、図2に示すように、積層被加工物11を切削装置のチャックテーブル10で吸引保持する保持ステップを実施する。この保持ステップでは、更に環状フレームFをクランプ12でクランプして固定する。次いで、図3に示すように、チャックテーブル10で保持された積層被加工物11の外周縁に切削ユニット14の高速回転する第1切削ブレード16を切り込ませつつ、チャックテーブル10を回転させて積層被加工物11の外周縁を第1切削ブレード16で切削して、MEMSウエーハ15の直径をガラスキャップウエーハ13の直径と同一にする外周縁切削ステップを実施する。この外周縁切削ステップを実施すると、MEMSウエーハ15のサイズによっては図4に示すようにリング状端材21が残存するが、このリング状端材21は第1粘着テープT1から剥離して取り除くのが好ましい。この外周縁切削ステップでは、1回の切削ではなく、切り込み深さを変えつつ複数回積層被加工物11の外周縁を切削して、MEMSウエーハ15の直径をガラスキャップウエーハ13の直径と同一にしてもよい。外周縁切削ステップを実施した後、図5に示すように、外周縁切削ステップで使用したのと異なる切削装置のチャックテーブル20で積層被加工物11を吸引保持し、環状フレームFをクランプ22でクランプして固定する。第2切削ブレード24を切削すべき切削予定ライン17に整列させるアライメントを実施した後、矢印A方向に高速回転する第2切削ブレード24を積層被加工物11のガラスキャップウエーハ第1円板状物13に切り込ませ、チャックテーブル20を矢印X1方向に加工送りすることにより、ガラスキャップウエーハ13を切削予定ライン17に沿って切削するガラスキャップウエーハ第1円板状物切削ステップを実施する。切削予定ライン17のピッチずつ切削ブレード24を割り出し送りして、第1の方向に伸長する全ての切削予定ライン17に沿ってガラスキャップウエーハ13を切削する。次いで、チャックテーブル20を90度回転してから、第1の方向に直交する第2の方向に伸長する全ての切削予定ライン17に沿ってガラスキャップウエーハ13を切削する。第1円板状物切削ステップが終了すると、積層被加工物11のMEMSウエーハ第2円板状物側を第2粘着テープT2に貼着し、第2粘着テープT2の外周部を環状フレームFに貼着し、第1粘着テープT1を積層被加工物11及び環状フレームFから剥離する貼り替えステップを実施する。貼り替えステップを実施した後、図6に示すように、切削装置のチャックテーブル20で積層被加工物11を吸引保持し、積層被加工物11のMEMSウエーハ第2円板状物15側を露出させる。そして、クランプ22で環状フレームFをクランプして固定する。そして、赤外線カメラによりMEMSウエーハ15を裏側から撮像して切削予定ライン17を検出するアライメントを実施する。アライメント実施後、第2切削ブレード24を矢印A方向に高速回転しながら積層被加工物11のMEMSウエーハ第2円板状物側に切り込ませ、チャックテーブル20を矢印X1方向に加工送りして、MEMSウエーハ15を切削予定ライン17に沿って切削するMEMSウエーハ第2円板状物切削ステップを実施する。切削予定ライン17のピッチずつ第2切削ブレード24を割り出し送りして、第1の方向に伸長する全ての切削予定ライン17に沿ってMEMSウエーハ15を切削する。次いで、チャックテーブル20を90度回転してから、第1の方向に直交する第2の方向に伸長する全ての切削予定ライン17に沿ってMEMSウエーハ15を切削することにより、積層被加工物11を個々のチップへと分割する。上述した実施形態では、第1円板状物切削ステップでは、ガラスキャップウエーハ13をフルカットし、第2円板状物切削ステップでは、MEMSウエーハ15をフルカットしているが、本発明の分割方法はこの形態に限定されるものではない。例えば、第1円板状物切削ステップでは、第1円板状物ガラスキャップウエーハ13をハーフカットして切り残し部を形成しておき、続いて実施する第2円板状物切削ステップで第2円板状物MEMSウエーハ15とともに第1円板状物ガラスキャップウエーハの切り残し部を切削するようにしてもよい。上述した実施形態では、ガラスキャップウエーハ13を切削する第1円板状物切削ステップと、MEMSウエーハ15を切削する第2円板状物切削ステップとを同一の切削ブレード24で実施しているが、MEMSウエーハ15を切削する第2円板状物切削ステップを第2切削ブレード24とは異なる第3切削ブレードで実施するようにしてもよい。また、第1、第2及び第3切削ブレードは同じ切削ブレードでも良いし、それぞれ異なる切削ブレード、又は何れかが同じ切削ブレードでもよい。更に、保持ステップと外周縁切削ステップ、第1円板状物切削ステップ及び第2円板状物切削ステップを同じ切削装置で実施してもよいし、それぞれ別の切削装置で実施してもよい。