一対のアームとこのアームを連結する接続部とを有する振動子と、この振動子の一方のアームの主面に設けられた内側駆動部と、この一方のアームの主面に設けられるとともに前記内側駆動部と距離をおいて並設された外側駆動部と、前記振動子の一方のアームの主面に設けられた検知部とを備え、前記振動子の一対のアームのうちのいずれか一方のアームの裏面に金属と樹脂の混合物からなる付着部を設け、前記一対のアームの重量バランスが互いに均等になるように構成した角速度センサ。上記した従来の構成においては、第1の検知電極3または第2の検知電極4をレーザによるトリミングによって除去していたため、角速度センサの小型化に伴い第1のアーム1または第2のアーム5が小型化すると、トリミングによる除去により、第1のアーム1または第2のアーム5の強度が劣化することとなり、これにより、角速度センサの強度が劣化してしまうという課題を有していた。本発明は上記従来の課題を解決するもので、角速度センサが小型化しても、アームの強度が劣化することのない角速度センサを提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、一対のアームとこのアームを連結する接続部とを有する振動子と、この振動子の一方のアームの主面に設けられた内側駆動部と、この一方のアームの主面に設けられるとともに前記内側駆動部と距離をおいて並設された外側駆動部と、前記振動子の一方のアームの主面に設けられた検知部とを備え、前記振動子の一対のアームのうちのいずれか一方のアームの裏面に金属と樹脂の混合物からなる付着部を設け、前記一対のアームの重量バランスが互いに均等になるようにしたもので、この構成によれば、振動子の一対のアームのうちのいずれか一方のアームの裏面に金属と樹脂の混合物からなる付着部を設け、前記一対のアームの重量バランスが互いに均等になるようにしたため、一対のアームのうちの一方をトリミングするということがなくなり、これにより、角速度センサが小型化しても、強度が劣化することがないという作用効果を有するものである。以上のように本発明の角速度センサは、一対のアームとこのアームを連結する接続部とを有する振動子と、この振動子の一方のアームの主面に設けられた内側駆動部と、この一方のアームの主面に設けられるとともに前記内側駆動部と距離をおいて並設された外側駆動部と、前記振動子の一方のアームの主面に設けられた検知部とを備え、前記振動子の一対のアームのうちのいずれか一方のアームの裏面に金属と樹脂の混合物からなる付着部を設け、前記一対のアームの重量バランスが互いに均等になるようにしたもので、この構成によれば、振動子の一対のアームのうちのいずれか一方のアームの裏面に金属と樹脂の混合物からなる付着部を設け、前記一対のアームの重量バランスが互いに均等になるようにしたため、一対のアームのうちの一方をトリミングするということがなくなり、これにより、角速度センサが小型化しても、強度が劣化することのない角速度センサを提供することができるという効果を有するものである。以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施の形態における角速度センサの斜視図、図2は図1のA-A線断面図、図3は図1のB-B線断面図、図4は角速度センサを裏側からみた状態を示す斜視図である。図1~図4において、11は例えばSi等の非圧電材料からなる振動子で、この振動子11は、第1のアーム12および第2のアーム13と、前記第1のアーム12の一端と第2のアーム13の一端を接続する接続部14とで構成されている。15は前記振動子11における第1のアーム12および第2のアーム13の主面の内側に設けられた一対の内側駆動部で、この内側駆動部15は、図2に示すように、前記振動子11の主面に設けられた一対のPtからなる内側下部電極16と、この内側下部電極16の上面に設けられた内側圧電薄膜17と、この内側圧電薄膜17の上面に設けられ、かつTiおよびAuを層状に設けた内側上部電極18とで構成されている。そして、前記内側圧電薄膜17はチタン酸鉛膜19と、このチタン酸鉛膜19の上面に設けられたPZT圧電薄膜20とで構成されている。21は前記振動子11における第1のアーム12および第2のアーム13における主面の外側に前記内側駆動部15と距離をおいて並設された一対の外側駆動部で、この外側駆動部21は、前記内側駆動部15と同様に、前記振動子11の主面に設けられた一対のPtからなる外側下部電極22と、この外側下部電極22の上面に設けられた外側圧電薄膜23と、この外側圧電薄膜23の上面に設けられ、かつTiおよびAuを層状に設けた外側上部電極24とで構成されている。そして、前記外側圧電薄膜23はチタン酸鉛膜25と、このチタン酸鉛膜25の上面に設けられたPZT圧電薄膜26とで構成されている。27は前記振動子11における第1のアーム12および第2のアーム13の主面に前記内側駆動部15と外側駆動部21との間に位置して設けられた検知部で、この検知部27は前記振動子11の主面に設けられた一対のPtからなる検知下部電極28と、この検知下部電極28の上面に設けられた検知圧電薄膜29と、この検知圧電薄膜29の上面に設けられ、かつTiおよびAuを層状に設けた検知上部電極30とで構成されている。そして、前記検知圧電薄膜29はチタン酸鉛膜31と、このチタン酸鉛膜31の上面に設けられたPZT圧電薄膜32とで構成されている。そしてまた、前記振動子11における第1のアーム12の裏面には、図2および図4に示すように、例えばAuと、テトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂との混合物からなる半径約20μmの半球状の付着部33を設けており、この付着部33により、第1のアーム12と第2のアーム13との重量バランスが互いに均等になるように構成されている。以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次にその製造方法を説明する。まず、略厚さ0.2mmの110面のシリコンSiウエハを準備し、このシリコンSiウエハ上にPtをスパッタもしくは蒸着により略100Åの厚さとなるように成膜することにより、振動子11における第1のアーム12および第2のアーム13の上面の内側下部電極16、外側下部電極22および検知下部電極28が設けられる位置に下部電極図示せずを形成する。次に、PZT等の圧電薄膜の良好な配向を得るための製造条件の許容範囲を広くすることができるランタンとマグネシウムが添加されたチタン酸鉛膜図示せずをスパッタにより略200Åの厚さとなるように成膜した後、チタン酸ジルコン酸鉛PZTをスパッタにより、略2~3μmの厚さとなるように成膜することにより、内側圧電薄膜17、外側圧電薄膜23および検知圧電薄膜29が設けられる位置に圧電薄膜図示せずを形成する。次に、Tiをスパッタもしくは蒸着により略15Åの厚さとなるように成膜した後、その上面にAuの材料をスパッタもしくは蒸着により略2000Åの厚さとなるように成膜することにより、内側上部電極18、外側上部電極24および検知上部電極30が設けられる位置に上部電極図示せずを形成する。次に、フォトリソグラフィ技術とドライエッチング技術を用いて、図1および図2に示すような形状の内側下部電極16、外側下部電極22、検知下部電極28、内側圧電薄膜17、外側圧電薄膜23、検知圧電薄膜29、内側上部電極18、外側上部電極24および検知上部電極30を形成する。最後に、振動子11に角速度を付加しない状態において、検知部27における検知上部電極30に電荷が発生しないように、第1のアーム12または第2のアーム13の裏面に、Au、テトラフルオロエチレン樹脂、水および有機溶剤の混合物からなるインクジェットプリント用インクを、インクジェットプリント方式により、塗布した後、常温で乾燥させて、付着部33を第1のアーム12または第2のアーム13に形成する。上記したように本発明の一実施の形態においては、第1のアーム12または第2のアーム13の裏面に、Au、テトラフルオロエチレン樹脂、水および有機溶剤の混合物からなるインクジェットプリント用インクを、インクジェットプリント方式により、塗布した後、常温で乾燥させて、付着部33を設けているため、第1のアーム12と第2のアーム13との重量バランスが互いに均等になることとになり、その結果、一対のアームのうちの一方をトリミングするということがなくなるから、角速度センサが小型化しても、強度が劣化することのないという作用効果を有するものである。次に、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、その動作を図面を参照しながら説明する。図5、図6において、39は分極方向を示す矢印、40、41は内側圧電薄膜17および外側圧電薄膜23の伸縮方向を示す矢印である。この図5、図6において、内側下部電極16と内側上部電極18との間、および外側下部電極22と外側上部電極24との間にDC約20Vを印加すると、内側圧電薄膜17、外側圧電薄膜23および検知圧電薄膜29の分極ベクトルの方向は一方向に揃う。例えば、内側下部電極16および外側下部電極22がプラス側に、内側上部電極18および外側上部電極24がマイナス側になるようにDC電圧を印加すると、矢印39に示すような方向に分極ベクトルが向く。このような内側圧電薄膜17および外側圧電薄膜23に対して図5に示すように、内側上部電極18および外側上部電極24が内側下部電極16および外側下部電極22よりも高電位になるように電圧を印加すると内側圧電薄膜17および外側圧電薄膜23は矢印に示す方向の分極ベクトルと垂直な矢印40の方向に伸びる。逆に、図6に示すように、内側上部電極18および外側上部電極24が内側下部電極16および外側下部電極22よりも低電位になるように電圧を印加すると内側圧電薄膜17および外側圧電薄膜23は矢印39に示す方向の分極ベクトルと垂直な矢印41の方向に縮む。したがって、内側下部電極16および外側下部電極22をGND電極または仮想GND電極とし、そして内側上部電極18および外側上部電極24に交流電圧を印加すると、内側圧電薄膜17および外側圧電薄膜23は、矢印40、41に示すように伸び縮みする。また、図2に示す内側上部電極18および外側上部電極24に互いに位相が180°異なる交流電圧を印加することにより、内側圧電薄膜17が伸びる場合は、外側圧電薄膜23は縮む。逆に、内側圧電薄膜17が縮む場合は、外側圧電薄膜23は伸びる。以上の原理に基づき、振動子11における第1のアーム12および第2のアーム13は互いに逆方向X方向に振動子共振する。そして、この状態において、振動子11からなる角速度センサにおける振動子11の長手方向の軸方向周りに角速度が付加されると、振動子11の第1のアーム12および第2のアーム13の主面に直角な方向Z方向に発生するコリオリ力に起因した振動によって、第1のアーム12と第2のアーム13とが互いに逆方向に撓む。そしてこの逆方向への撓みにより、第1のアーム12における検知圧電薄膜29と第2のアーム13における検知圧電薄膜29とに発生する電荷が互いに逆となる。そこで、その電荷を検知上部電極30により検出し、そして、差動アンプ図示せずにより差動をとることにより、出力信号を出力し、角速度を検出するものである。ここで、振動子11の製造のバラツキにより、角速度センサに角速度が付加されていない状態においても、振動子11における第1のアーム12および第2のアーム13が駆動方向に対して斜めに振動する場合を考えて見ると、このような場合には、角速度が付加されていない状態においても、第1のアーム12が検知部27を設けた側と反対側に撓むため、第1のアーム12における検知上部電極30には正の電荷が発生することになる。一方、第2のアーム13は検知部27を設けた側に撓むことになるため、第2のアーム13における検知上部電極30には負の電荷が発生することになる。そして、この電荷の差動をとるため、あたかも角速度が生じているかのような出力信号が角速度センサから出力されることになってしまうものである。しかしながら、本発明の一実施の形態における角速度センサにおいては、第1のアーム12または第2のアーム13の裏面に、Au、テトラフルオロエチレン樹脂、水および有機溶剤の混合物からなるインクジェットプリント用インクを、インクジェットプリント方式により、塗布した後、常温で乾燥させて、付着部33を第1のアーム12または第2のアーム13に形成したため、振動子11における第1のアーム12および第2のアーム13は駆動方向に対して斜めに振動する際に発生する電荷を相殺することになるため、角速度センサからの出力信号の調整をすることができるものである。なお、本発明の一実施の形態における角速度センサにおいては、振動子11における第1のアーム12にAuと、テトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂との混合物からなる付着部33を設ける構成としたが、Auの代わりに、Ag、Pt、Cu、Fe、Ni、Al、Si、Cr、Ti、Sn等の金属としたり、テトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂の代わりに、フェノール系樹脂、エポキシ系樹脂等の熱硬化性樹脂類、あるいはオレフィン系樹脂等の熱可塑性樹脂との混合物としても良いものである。