"ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑を除去した再利用可能な再生クーラントであって、残存シリコン成分が前記再生クーラント全体の0.01重量以上、3.0重量以下であり、前記残存シリコン成分に含まれる0.1μm以下の粒径のシリコン粒子が前記残存シリコン成分全体の0.01重量以上、30重量以下であることを特徴とする再生クーラント。請求項1に記載の再生クーラントのクーラント再生方法であって、ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生する使用済クーラントを縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに供給するクーラント供給工程と、前記遠心分離ユニットに供給された前記使用済クーラントをシリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程と、前記遠心分離液を回収する遠心分離液回収工程とを具備することを特徴とするクーラント再生方法。濾過膜を有する膜分離ユニットに、回収された前記遠心分離液を供給する遠心分離液供給工程と、前記膜分離ユニットに供給された前記遠心分離液の中に残存する前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程と、前記膜濾過液を回収する膜濾過液回収工程とをさらに具備することを特徴とする請求項2に記載のクーラント再生方法。前記遠心分離ユニットに供給される前の前記使用済クーラントの一部を抽出するクーラント抽出工程と、前記クーラント抽出工程によって抽出された抽出クーラントを濾過膜を有する膜分離ユニットに供給する抽出クーラント供給工程と、前記膜分離ユニットに供給された前記抽出クーラントの中の前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程と、前記膜濾過液及び前記遠心分離液を混合し前記再生クーラントを生成するクーラント混合生成工程とをさらに具備することを特徴とする請求項2に記載のクーラント再生方法。しかしながら、上述した使用済クーラントから再生クーラントを生成する再生処理を行う場合、以下に掲げる問題点を生じることがあった。すなわち、シリコン材料を切断するスライシング工程によって発生するシリコン切削屑は、0.1μm以下の非常に微細なシリコン微粒子と1μm以上の比較的大きなシリコン粒子とが混在し、その粒度分布が0.1μm付近と1μm付近とにそれぞれピークを有する所謂二峰性の性状を呈することが一般に知られていた。したがって、引用文献1及び引用文献2に記載の横置型の遠心分離装置を利用して上記使用済クーラントからシリコン切削屑を除去しようとした場合、有機液体のクーラントに対して比重の大きな1μm以上のシリコン粒子は比重差によって比較的容易に除去することが可能であり、例えば、シリコン切削屑の固形分濃度を6~8重量程度に調整することが可能であった。しかしながら、0.1μm以下のシリコン微粒子は、クーラントを構成する液体成分との比重差が小さいため遠心分離装置では完全に除去することが困難なことが多かった。回収されたクーラントにおけるシリコン切削屑の全体としての固形分濃度は低く抑えることができるものの、上述した0.1μm以下の微細なシリコン微粒子の残存率が著しく高くなることがあった。その結果、再生処理後の再生クーラントは、0.1μm以下のシリコン微粒子が高い割合で残存していることがあった。係るシリコン微粒子の存在は、シリコン材料の切断精度等に大きな影響を及ぼすことが知られ、例えば、ワイヤーが焼付けを起こし破断する等のトラブルを発生する要因となることがあった。一方、膜分離処理の場合、微細なシリコン切削屑でも除去可能であるものの、固形分濃度の高い使用済クーラントを直接処理すると、膜分離フィルタが目詰まりを起こすことがあった。また、遠心分離処理に比べて膜分離処理は、多くの処理時間が必要になることがあった。そのため、上述したように、前段階として遠心分離装置を利用してある程度の固形分濃度まで遠心分離処理によって使用済クーラントを処理し、その後、膜分離フィルタを利用して膜分離処理を行うことが行われていた。そのため、それぞれの処理に多くの時間を要することとなり、回収された使用済クーラントを効率的に再生処理することができなかった。さらに、使用済クーラントを加熱し蒸留する技術は、不純物の混入していない高純度のクーラントを再生することができた。しかしながら、使用済クーラントを蒸発させるために高温で加熱させる必要があり、エネルギー効率の点から不利であった。また、最終的に回収されるクーラントの回収率も低くなり、加熱による熱変性によってクーラント自体の性能が劣化する虞もあった。そのため、蒸留分離技術を利用したクーラントの再生は実用上の課題が残っていた。そこで、本発明は上記実情に鑑み、使用済クーラントからシリコン切削屑を除去し、再利用可能に再生したものであって、ワイヤーが焼付けを起こし破断する等のトラブルを発生したり、膜分離フィルタが目詰まりを起こしたりしないような再生クーラント及び当該再生クーラントのクーラント再生方法の提供を課題とするものである。上記の課題を解決するため、本発明の再生クーラントは、ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑を除去した再利用可能な再生クーラントであって、残存シリコン成分が前記再生クーラント全体の0.01重量以上、3.0重量以下であり、前記残存シリコン成分に含まれる0.1μm以下の粒径のシリコン粒子が前記残存シリコン成分全体の0.01重量以上、30重量以下であるものから主に構成されている。ここで、使用済クーラントは、ワイヤーソー切断装置を利用してシリコン材料を切断するスライシング工程の際に利用される有機液体を回収したものであり、切断の際に発生するシリコン切削屑を含んで構成されるものである。使用済クーラントは、一般に6~10程度のシリコン切削屑が含まれ、流動性を有する泥状スラリー状の液体の態様を呈している。なお、本明細書中において、使用済クーラントは、所謂固定砥粒方式のワイヤーソー切断装置で使用されたクーラントを回収したものに加え、クーラント中に予め砥粒を分散させた遊離砥粒方式のワイヤーソー切断装置で使用されたクーラントを回収したものを含むものとする。遊離砥粒方式の場合、クーラントに分散された砥粒を予め周知の遠心分離装置によって除去したものが使用されている。ここで、砥粒は、クーラント及びシリコン切削屑に比べ比重差が著しいため、上記遠心分離装置によって容易に分離することができる。したがって、本発明の再生クーラントによれば、再利用可能に再生された再生クーラント中の残存シリコン成分が3.0重量以下であり、特に0.1μm以下の粒径のシリコン粒子が残存シリコン成分全体の0.01重量以上、30重量以下である。すなわち、0.1μm以下の粒径のシリコン微粒子の再生クーラント中の存在比率が極めて低いものとなり、再生クーラント中では0.9重量以下となる。これにより、シリコン微粒子によって引起こされるスライシング工程時のワイヤーが焼付けを起こし破断したり、膜分離フィルタの目詰まり等のトラブルが解消される。一方、本発明のクーラント再生方法は、上記に記載の再生クーラントのクーラント再生方法であって、ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生する使用済クーラントを縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに供給するクーラント供給工程と、前記遠心分離ユニットに供給された前記使用済クーラントをシリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程と、前記遠心分離液を回収する遠心分離液回収工程とを具備するものから主に構成されている。遠心分離ユニットは、開口部を下方に向けたボウル状の回転体を備えて構成される縦型遠心分離装置を有している。これにより、回転体の上面に連結された回転軸に従って高速で回転体を軸回転させることにより、回転体の内空間に遠心力を発生させ、当該内空間に吐出された使用済クーラントを遠心分離作用によって分離する機能を有している。ここで、吐出されたクーラントは液体であり、回転体内壁に向けて噴出されることにより、上記内空間に発生した遠心力の作用を受けることになる。このとき、比重の大きな固形分シリコン切削屑等は、回転体の内壁面に移動して堆積し、スラッジとして回収される。一方、比重の比較的小さな成分液体成分、クーラントは、遠心力の影響をそれほど強く受けることがないため、回転体の内空間の回転軸心付近に滞留している。そして、同じく開口部から挿入され、先端が開口した液相取込口を有する液相回収部によって回収される。ここで、固液成分を含む液体状のクーラントが吐出された回転体の内空間での当該クーラントの滞留時間を長くすることにより、固形分及び液体成分の分離効率を向上させることができる。そのため、液体状のクーラントの吐出量供給量或いは吐出間隔を調整することにより、上記滞留時間が長くなるように設定が行われる。これにより、比重差を利用して固液分離或いは液液分離が可能となり、かつ開口部を下方に向けた回転体を有する縦型遠心分離装置であるため、使用済クーラントを回転体に連続的に供給し、分離後の液相の使用済クーラントを連続的に回収することができるため、従来に比して遠心分離処理を長時間に亘って継続することができる。その結果、従来型バッチ式の遠心分離装置に比べて処理効率が向上する。なお、回転体の回転体内壁に堆積した比重の大きな固形分スラッジは、そのままの状態では遠心分離性能に影響を与えるため、例えば、所定時間毎にスクレーパー等を利用して回転体内壁から掻落とされ、回収される。回収されるスラッジは、クーラントを主成分とする液分率が30~60程度の粘土状物質である。さらに、固定砥粒方式の使用済クーラントから得られるスラッジのシリコン純度は、液分を除いた状態で2~3Nの値を示すことが確認されている。したがって、スラッジ自体も取扱性に優れ、かつ再生利用にも適している。したがって、本発明のクーラント再生方法によれば、クーラント供給工程によって縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットの回転体に使用済クーラントを吐出し、比重差を利用した固液分離が行われる。このとき、開口部を下方に向けたボウル状の回転体が使用されるため、使用済クーラントを回転体に対して連続的に供給することが可能となり、遠心分離処理を長時間に亘って継続して行うことが可能となる。その結果、従来型バッチ式の遠心分離装置に比べて処理効率を大幅にアップさせられる。なお、回転体の内壁面に蓄積した比重の大きな固形分スラッジは、所定時間毎にスクレーパー等によって内壁面から掻取られ、回収される。さらに、本発明のクーラント再生方法は、上記構成に加え、濾過膜を有する膜分離ユニットに、回収された前記遠心分離液を供給する遠心分離液供給工程と、前記膜分離ユニットに供給された前記遠心分離液の中に残存する前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程と、前記膜濾過液を回収する膜濾過液回収工程とを具備するものであっても構わない。ここで、膜分離ユニットは、複数本のストロー状の中空糸膜をまとめて形成された濾過膜が利用され、中空部分に浸出した膜濾過液と、当該濾過膜を通過することのできなかった濃縮液とに分離するものである。ここで、濾過膜を通過できなかった濃縮液には、シリコン切削屑を含む固形分が多く含まれ、一方、膜濾過液は、ほとんどシリコン切削屑の含有がない。そのため、膜濾過液はそのままクーラントとして再利用可能な性能を有している。したがって、本発明のクーラント再生方法によれば、上述した遠心分離ユニットを利用した遠心分離処理の後、膜分離ユニットを利用した膜分離処理が実施される。これにより、遠心分離処理によってシリコン切削屑等の固形分が除去され、残存シリコン成分の割合が低くなった遠心分離液をさらに膜分離することで、得られる膜濾過液の残存シリコン成分をさらに低いものにすることが可能となる。さらに、遠心分離ユニットでは完全に除去しきれない0.1μm以下のシリコン微粒子を除去可能であり、再利用可能な十分な性能を有する再生クーラントを生成することが可能となる。そのため、0.1μm以下のシリコン微粒子の残存比率を抑制することができる。さらに、本発明のクーラント再生方法は、上記構成に加え、前記遠心分離ユニットに供給される前の前記使用済クーラントの一部を抽出するクーラント抽出工程と、前記クーラント抽出工程によって抽出された抽出クーラントを濾過膜を有する膜分離ユニットに連続的に供給する抽出クーラント供給工程と、前記膜分離ユニットに供給された前記抽出クーラントの中の前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程と、前記膜濾過液及び前記遠心分離液を混合し前記再生クーラントを生成するクーラント混合生成工程とを具備するものであっても構わない。したがって、本発明のクーラント生成方法によれば、遠心分離ユニットによる遠心分離処理と並行して膜分離ユニットを利用した膜分離処理が行われる。これにより、遠心分離ユニットを利用した使用済クーラントの高い処理効率と、膜分離ユニットを利用した微細なシリコン微粒子を除去する精度の高い分離処理とを併せて行うことが可能となる。本発明の効果として、遠心分離処理及び/または膜分離処理等を利用して再利用可能な条件に適合する再生クーラントを生成することができる。以下、本発明の一実施形態である再生クーラント4及びクーラント再生方法1a,1bについて、図1乃至図4に基づいて主に説明する。ここで、図1はクーラント再生方法1aの流れを模式的に示す説明図であり、図2はクーラント再生方法1bの別例の流れを模式的に示す説明図であり、図3は遠心分離ユニット2の概略構成を示す説明図であり、図4はクーラント再生方法1a,1bによるクーラント再生結果を示す説明図である。ここで、本実施形態のクーラント再生方法1a等は、ワイヤーソー切断装置を利用してブロック状のシリコンインゴットシリコン材料を予め規定されたサイズに切断するスライシング工程で発生する使用済クーラント3を回収し、再利用可能な再生クーラント4に再生するものについて例示する。なお、本実施形態で回収される使用済クーラント3は、ワイヤーソー自体に硬質ダイヤモンド等の砥粒が貼着された固定砥粒方式のワイヤーソー切断装置から回収されたものを想定している。そのため、使用済クーラント3から砥粒を回収する前工程が不要となっている。さらに、具体的に説明すると、本実施形態の再生クーラント4は、再生クーラント4中に残存する残存シリコン成分が再生クーラント全体の0.01重量以上、3.0重量以下、かつ残存シリコン成分中に含まれる0.1μm以下のシリコン粒子の残存シリコン成分中に占める比率が全体の0.01重量以上、30重量以下に調整されている。すなわち、再生クーラント全体に対するシリコン濃度及び含有シリコン中の0.1μm以下のシリコン粒子の存在比率の二つの条件を具備するものを再生クーラント4として再使用可能としている。上記再生クーラント4に再生するクーラント再生方法1a,1bは、図1乃至図4にそれぞれ示すように、縦型遠心分離装置5を有する遠心分離ユニット2を使用する遠心分離再生工程Aと、複数の中空糸膜を束ねて形成された濾過膜6を有する膜分離ユニット7を必要に応じて組合わせて利用する膜分離再生工程Bとを具備するものである。さらに具体的に説明すると、遠心分離ユニット2は、図3に示すように、略筐体状に形成された装置本体5aと、装置本体5aの内部に収容され開口部8を下方に向けた状態で配設されたボウル状の回転体9と、回転体9の上面と連結し一部を装置本体5aから突設させた回転軸10、当該回転軸10に従って回転体9を高速で軸回転させる回転力を発生する回転モータ11a、及び回転モータaの回転を回転軸10に伝達する回転伝達部11bを有する回転体駆動部11と、回転体駆動部11を制御し回転体9の回転数等を電気的に制御する回転体制御部図示しないと、開口部8から回転体9の内空間12に送出された吐出ノズル13の先端から遠心分離対象の使用済クーラント3を吐出するクーラント吐出部14と、回転体9の回転によって内空間12に発生する遠心力を利用して遠心分離され、回転体内壁15に堆積したシリコン切削屑16を含む固形分17スラッジに相当を掻落とすスクレーパ18を有し、内空間12でスクレーパ18の位置を変位させるスクレーパ変位機構部図示しないと、開口部8から回転体9の内空間12に挿入され、回転体9の上面近傍に開口した液相取込口20aを有し、遠心分離によって固形分17と分離した液相の遠心分離液19を回収する液体回収部20とを主に具備する縦型遠心分離装置5を備えている。ここで、回転体駆動部11によって軸回転するボウル状の回転体9は、高速で回転することにより内空間12内に100Gから3000G程度の遠心力を発生させることができる。これにより、内空間12に吐出された液体は、比重差を利用して遠心分離され、比重の大きな成分例えば、固形分17等が回転体内壁15に向かって押付けられ、一方、比重の小さな成分液体の遠心分離液19等が開口部8から落下し液体回収部20に回収される。これにより、固体成分及び液体成分を含む使用済クーラント3をそれぞれの成分に分離することができる。なお、使用済クーラント3の固形分濃度=シリコン含有率に相当やシリコン切削屑16のサイズ、種類等に応じ、高速で回転させて発生する遠心力の強さを適宜変更することができる。さらに、回転体9の開口部8の下方にはスクレーパ18によって回転体内壁15から掻落とされた固形分17を回収するスラッジ回収部図示しない等の周知の構成を備えるものであっても構わない。一方、膜分離ユニット7は、分解精度が2μmの親水化ポリフッ化ビニリデン中空糸膜膜面積が1.8平方メートルのモジュールを12本並列させて構成した濾過膜6を有している。そして、膜分離の際には、10リットル/h本の供給速度で処理対象の液体使用済クーラント3等を供給する。このとき、濾過方式は、外圧循環濾過方式循環線速度=0.1m/sで濾過圧力を30kPaに設定した条件で行っている。さらに、処理対象の液体の供給を120秒間継続した後、エアーによる逆洗を5秒間実施する工程を1サイクルとして行っている。ここで、エアーによる逆洗は、膜分離工程で中空糸膜表面に付着したシリコン切削屑16等によって目詰まりし、濾過性能が低下することを防ぐためである。係る膜分離ユニット7を使用することによって、濾過膜6を通過した膜濾過液21と、濾過膜6を通過することのできなかったシリコン切削屑16を含む濃縮液22とに分離することができる。次に、本実施形態のクーラント再生方法1aの流れについて主に図1に基づいて説明する。始めにスライシング工程で使用されるクーラントは、未使用の状態ではジエチレングリコール70重量、水27重量、及びその他添加剤3重量の比率で混合された有機液体が用いられる。そして、スライシング工程で使用された後の使用済クーラント3は、シリコン切削屑16を含む固形分の固形分濃度が6.2重量のものを本実施形態では使用するものとする。また、回収された180リットルの使用済クーラント3が予め貯留タンク図示しないに貯留されている。ここで、上記使用済クーラント3中の固形分濃度は、測定対象液を蒸留水で約20倍に希釈した後、0.45μmのセルロースアセテート製のメンブレンフィルタを用いて吸引濾過し、その後乾燥させることによりフィルタに残る固形分17の重量を測定することによって定量している。そして、貯留タンクから送出された使用済クーラント3は、縦型遠心分離装置5を有する遠心分離ユニット2に供給される。ここで、遠心分離ユニット2では高速で回転する回転体9を有し、供給された使用済クーラント3は吐出ノズル13を通じて回転体9の内空間12に18リットル/分の吐出速度で吐出されるクーラント供給工程S1。その結果、内空間12で生じる遠心作用によって比重差に基づく分離が行われ、比較的比重の大きいシリコン切削屑を含む固形分17が回転体内壁15に向かって押付けられるように体積し、一方、固形分17が除去された液体成分を主体とする遠心分離液19は内空間12に対流し、液体回収部20の液相取込口20aから取込まれる遠心分離工程S2。ここで、液相取込口20aから取込まれた遠心分離液19は、取込管20bを通り、回転体9及び装置本体5aの外部に導出されることにより回収される遠心分離液回収工程S3。なお、本実施形態のクーラント再生方法1aの場合、回収された遠心分離液19は使用済クーラント3の貯留された貯留タンクに導出され、当該使用済クーラント3と混合される遠心分離液混合工程S4。その結果、遠心分離処理によってシリコン切削屑16等の固形分17が除去され、使用済クーラント3中の固形分濃度が低下する。なお、分離対象の固形分17と遠心分離液19との比重差が著しい場合には、上記遠心分離液19の循環を行わない、或いは循環回数を少なくすることも可能である。ここで、クーラント供給工程S1乃至遠心分離液回収工程S3が本発明の遠心分離再生工程Aに相当する。係る遠心分離再生工程Aで所定の循環回数を経て再生クーラント4として遠心分離液19を回収する方法を、本実施形態のクーラント再生方法1aにおける実施例1とする。その後、上記遠心分離再生工程Aによって得られた遠心分離液19をさらに膜分離ユニット7に供給する遠心分離液供給工程S5。これにより、供給された遠心分離液19は濾過膜6による膜分離処理が行われる膜分離工程S6。これにより、中空糸膜から構成された濾過膜6を通過した、シリコン切削屑16をほとんど含まない膜濾過液21と、濾過膜6を通過することのできない濃縮液22とに分離することができる。なお、本実施形態において、上記膜分離工程S6は遠心分離液19の液温を50°Cに調製した状態で行っている。その後、分離された膜濾過液21を再生クーラント4として回収する膜濾過液回収工程S7。ここで、遠心分離液供給工程S5乃至膜濾過液回収工程S7が本発明の膜分離再生工程Bに相当する。係る膜分離再生工程Bを経て回収する方法を、本実施形態のクーラント再生方法1aにおける実施例2とする。これにより、予め設定した再生条件範囲の再生クーラント4が生成される。さらに、本実施形態の別例のクーラント再生方法1bについて、図2等に基づいて説明する。なお、説明を簡略化するため、上述のクーラント再生方法1aにおいて説明した構成及び作用効果と同一のものについては説明を省略するものとする。本実施形態のクーラント再生方法1bは、上述したクーラント再生方法1の遠心分離再生工程Aの一部クーラント供給工程S1乃至遠心分離液混合工程S4までと並行して膜分離再生工程Bを実施するものである。そのため、貯留タンクに貯留された使用済クーラント3の一部を抽出するクーラント抽出工程T1と、抽出された抽出クーラント23使用済クーラント3の一部を膜分離ユニット7に供給する抽出クーラント供給工程T2と、膜分離ユニット7に供給された抽出クーラント23を濃縮液22と膜濾過液21とに膜分離する膜分離工程T3と、膜分離された膜濾過液21を回収する膜濾過液回収工程T4と、回収された膜濾過液21及び同時並行で実施された遠心分離再生工程Aによって回収された遠心分離液19及び膜分離再生工程Bによって回収された膜濾過液21と混合し再生クーラント4を再生するクーラント混合生成工程T5とを具備している。これにより、高い処理効率を維持し、かつ予め設定した再生条件範囲の再生クーラント4を生成することができる。遠心分離再生工程A及び膜分離再生工程Bを併用して再生クーラント4を生成する本実施形態のクーラント再生方法1bを実施例3とする。図4は、既に説明したクーラント再生方法1a,1bによる各実施例1乃至実施例3の再生結果を示すものである。また、比較例1として遠心分離再生工程Aの循環回数を1回に設定したもの、比較例2として実施例3の条件で膜分離再生工程Bを行わなかったものについても併せて図示している。これによると、実施例1乃至実施例3のいずれにおいても最終的な固形分濃度残存シリコン成分が2.8重量、0.08重量、1.88重量といずれも3.0重量以下であり、本発明の条件を満たす再生クーラント4であることが確認される。これにより、既存の再生されたクーラント6~8重量程度に比べてさらに固形分濃度を抑えた再生クーラント4を縦型遠心分離装置によって得ることができる。さらに、0.1μm以下のシリコン微粒子の存在比率は、残存シリコン成分全体の21重量、20重量、27重量といずれも30重量以下であることが確認される。なお、シリコン微粒子の粒径は、レーザ散乱式粒度分布測定装置を利用して質量分布に基づいて評価した後、0.1μm以下のシリコン微粒子の含有率を面積比に基づいて算出している。特に、遠心分離の循環回数12回で膜分離処理を併用した実施例2の場合、残存シリコン成分の濃度を0.08重量以下に抑え、かつ0.1μm以下のシリコン微粒子の存在比率も20重量以下となっている。一方、循環回数が1回の比較例1及び循環回数が6回で遠心分離処理のみしか実施しなかった比較例2の場合、いずれも最終的な固形分濃度は5.2重量及び3.7重量と3.0重量を超え、かつ0.1μm以下の存在比率も32重量及び35重量と30重量を超えている。上述した実施例1乃至実施例3及び比較例1,2でそれぞれ生成された再生クーラント4を利用して実際にシリコンインゴットをワイヤーソー切断装置でスライシングした場合の切断性の評価を図4の最終結果欄に示す。なお、切断性の評価は、シリコンインゴットのスライス面切断面のソーマーク切断痕を目視で確認し、スライス面の平滑性や切断ムラ、スライス面に欠けや割れ等の有無について評価している。これにより、実施例1乃至実施例3は、いずれも切断性が良好であることが確認された。すなわち、クーラント中の残存シリコン成分の含有率をクーラント全体の3.0重量以下に抑え、かつ含有する残存シリコン成分に対する0.1μm以下のシリコン微粒子の存在比率をシリコン全体の30重量以下にすることにより、実用可能な十分な切削性を得るとともに、スライス面も良好なものとすることができた。一方、本発明の再生クーラント4の残存シリコン成分の含有率及び0.1μm以下のシリコン微粒子の存在比率の二つの条件を満たさない比較例1及び比較例2の再生クーラントは、一部に平滑性に問題があったり、切断ムラが確認され、ソーマークの目視評価でも不良が確認された。これにより、固形分濃度が3.0重量以上、及び0.1μm以下のシリコン微粒子の存在比率がシリコン全体の30重量以上の条件を満たさない再生クーラントは切削性の点において実用的でなかった。以上示したように、本実施形態の再生クーラント4は、上述した二つの条件を満たすことにより、優れた切削性能を発揮することができ、さらに、クーラント再生方法1a,1bによれば、遠心分離再生工程A及び/または膜分離再生工程Bを組合わせることにより、固形分濃度を3.0重量以下に抑え、かつ0.1μm以下のシリコン微粒子の含有率が残存シリコン成分中の30重量以下の条件を満たす本発明の再生クーラント4を生成することができる。特に、従来の再生クーラントの再生処理の場合、使用済クーラントの固形分濃度をいかに抑えるかを目的とするものであり、再生クーラント中の0.1μm以下のシリコン微粒子の存在比率に基づいてシリコンインゴットの切断性の評価を行ったものはなく、係る点において優れた作用効果を本発明はそうしている。以上、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、以下に示すように、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良及び設計の変更が可能である。すなわち、本実施形態の再生クーラント4において、遠心分離処理単独及び膜分離処理との組合わせによって残存シリコン成分等を規定の条件範囲にするものを示したがこれに限定されるものではなく、その他周知の固液分離手法を利用して上記条件範囲に調製したものであっても構わない。残存シリコン成分の含有率及び0.1μm以下のシリコン微粒子の存在比率の二つの条件が本発明に規定された範囲に含まれているものであれば、上記作用効果を奏することが可能となる。さらに、本実施形態のクーラント再生方法1a等において、固定砥粒方式のワイヤーソー切断装置から回収される砥粒の未混入の使用済クーラント3を使用するものを示したが、これに限定されるものではなく、遊離砥粒方式のワイヤーソー切断装置から回収されたものを用いるものであっても構わない。係る場合、遠心分離ユニット2等を利用して使用済クーラント3から予め砥粒を遠心分離する前工程が必要となる。砥粒は、使用済クーラント3に含まれるシリコン切削屑16等と比べて比重が著しく大きいため、上記遠心分離処理によってほとんどを回収することができる。そのため、本実施形態のクーラント再生方法1a等によるクーラント4の再生処理に影響を及ぼすことがない。さらに、本実施形態のクーラント再生方法1a等において、遠心分離再生工程A及び膜分離再生工程B等における循環回数や循環条件等は分離対象となる使用済クーラント3等に応じて任意に設定することができる。"