マスク部材に設けられた保持孔にハンダペーストを充填する工程と、ハンダペーストが前記保持孔に充填されるとともに、一面側にシート部材が重ねられた前記マスク部材を基板上に配置する工程と、前記シート部材を介して前記保持孔に充填されたハンダペーストに空気圧を作用させ、前記ハンダペーストを前記基板上に転写する工程と、を備えることを特徴とするハンダ印刷方法。前記ハンダペーストは、前記マスク部材に前記シート部材を重ね合わせた状態で前記保持孔に充填されることを特徴とする請求項1記載のハンダ印刷方法。前記保持孔の内周面及び/又は前記シート部材の表面には、前記ハンダペーストの離脱を促進する表面加工が施されたことを特徴とする請求項1又は2に記載のハンダ印刷方法。内部にチャンバを備えた転写ヘッド部と、保持孔にハンダペーストが充填されるとともに、一面側にシート部材を重ね合わせた状態のマスク部材を、前記シート部材を前記チャンバ内に露出させた状態で前記転写ヘッド部に支持させる支持装置と、前記マスク部材を支持した前記転写ヘッド部が備える前記チャンバ内へ空気を吹き込む空気供給装置とを備えることを特徴としたハンダ印刷装置。しかしながら、上記のクリーム半田の塗布方法では、塗布条件によっては、マスク部材の穴に流し込まれたクリーム半田の保持性が悪く、クリーム半田が穴から流れ落ち、所望の位置に適切に塗布印刷できない場合が想定される。さらに、空気圧によりクリーム半田を基板上に転写するときに、空気は、穴を通じて、基板側へ吹き抜けることができるため、空気が穴を吹き抜ける際にクリーム半田を飛散させてしまうおそれがある。これでは、基板上に適切にクリーム半田を供給し、転写することが困難である。そこで、本明細書開示のハンダ印刷方法及びハンダ印刷装置は、基板上の狭い領域に適切にハンダペーストを印刷することを課題とする。本明細書開示のハンダ印刷方法は、マスク部材に設けられた保持孔にハンダペーストを充填する工程と、ハンダペーストが前記保持孔に充填されるとともに、一面側にシート部材が重ねられた前記マスク部材を基板上に配置する工程と、前記シート部材を介して前記保持孔に充填されたハンダペーストに空気圧を作用させ、前記ハンダペーストを前記基板上に転写する工程と、を備えることを特徴とする。ハンダペーストは、基板上にマスク部材が配置される前にその保持孔に充填されるため、例えば、周囲に部品が配置されている狭い領域におけるスキージ操作から開放される。また、ハンダペーストが空気圧によって保持孔から押し出され、基板上に転写されるときに、シート部材に作用する空気は保持孔を通過することがない。このため、ハンダペーストの基板側への飛散が回避され、所望の位置へハンダペーストを供給し、転写することができる。本明細書開示のハンダ印刷装置は、内部にチャンバを備えた転写ヘッド部と、保持孔にハンダペーストが充填されるとともに、一面側にシート部材を重ね合わせた状態のマスク部材を、前記シート部材を前記チャンバ内に露出させた状態で前記転写ヘッド部に支持させる支持装置と、前記マスク部材を支持した前記転写ヘッド部が備える前記チャンバ内へ空気を吹き込む空気供給装置とを備えることを特徴としている。予めハンダペーストが充填された状態のマスク部材を転写ヘッド部に支持させて印刷箇所に移動させるので、基板上の狭い領域に適切にハンダペーストを印刷することができる。また、チャンバ内に空気を供給して、チャンバ内の圧力を高めたり、風の流れを作り出したりすることにより、その空気圧によりシート部材を介してハンダペーストが基板へ転写される。すなわち、チャンバ内の空気が保持孔を通過することができず、基板側へ抜けることがないため、ハンダペーストの飛散が回避される。本明細書開示のハンダ印刷方法及びハンダ印刷装置によれば、基板上の狭い領域に適切にハンダペーストを印刷することができる。以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。図1は、電子部品搭載装置1の概略構成を示すブロック図である。図2は、ハンダ印刷装置10が備える転写ヘッド部11の概略構成を示す説明図である。ハンダ印刷装置10は、電子部品搭載装置1に含まれている。本明細書開示のハンダ印刷方法は、ハンダ印刷装置10を用いることにより実現することができる。ハンダ印刷装置10は、転写ヘッド部11を備える。転写ヘッド部11は、図2に示すように、その内部に、チャンバ11aを備えている。チャンバ11aは、転写ヘッド部11の下端面において開口している。転写ヘッド部11には、マスク部材50を保持するマスク部材保持部12が設けられている。マスク部材保持部12は、転写ヘッド部11の下端面に開口したチャンバ11aの下端縁に凹状に形成されている。マスク部材50は、所望の位置にハンダペースト55を保持する保持孔50aを備えている。マスク部材50は、後に詳述するように一面側にシート部材51が重ね合わせられ、保持孔50aにハンダペースト55が充填された状態でマスク部材保持部12に保持される。ハンダ印刷装置10は、支持装置に相当する吸気装置13を備えている。吸気装置13は、転写ヘッド部11に接続されている。吸気装置13は、マスク部材50に対する吸引作用を発揮できるもので、吸気通路13aを備えている。吸気通路13aは、吸気口13a1を備えている。この吸気口13a1は、転写ヘッド部11に設けられたマスク部材保持部12に位置している。支持装置は、転写ヘッド部11にマスク部材50を支持するとともに、マスク部材50を離脱することができるものであれば、どのような形態のものであってもよい。支持装置として吸気装置13を採用すれば、マスク部材50の支持及び離脱を容易に行うことができる。吸気装置13は、保持孔50aにハンダペースト55が充填されるとともに、一面側にシート部材51を重ね合わせた状態のマスク部材50を吸引し、転写ヘッド部11に保持する。このとき、シート部材51は、チャンバ11a内に露出した状態とされる。これにより、シート部材51は、チャンバ11a内の環境変化に応じた動作をする。ハンダ印刷装置10は、空気供給装置14を備えている。空気供給装置14は、転写ヘッド部11に接続されている。空気供給装置14は、空気流入口14aを備えており、この空気流入口14aは、図2に示すように転写ヘッド部11が備えるチャンバ11aに開口している。空気供給装置14は、マスク部材50を支持した転写ヘッド部11が備えるチャンバ11a内へ空気を吹き込む。空気供給装置14によりチャンバ11a内へ空気が供給されると、チャンバ11a内の圧力が上昇する。チャンバ11a内の圧力が上昇すると、保持孔51aに充填されたハンダペースト55がシート部材51を介して押し出される。ハンダ印刷装置10は、昇降装置15を備えている。昇降装置15は、転写ヘッド部11に接続されている。昇降装置15は、転写ヘッド部11を昇降させ、マスク部材50を基板40に対し、接近させ、又は、離間させることができる。ハンダ印刷装置10は、X-Y方向調節装置16を備えている。X-Y方向調節装置16は、転写ヘッド部11に接続されている。X-Y方向調整装置16は、マスク部材50の位置決めのために、転写ヘッド部11のX方向及びY方向の位置を調節することができる。ハンダ印刷装置10は、基板40が設置される設置テーブル17を備えている。また、ハンダ印刷装置10は、操作部18を備えている。操作部18は、転写ヘッド部11に接続された吸気装置13、空気供給装置14、昇降装置15、X-Y方向調整装置16と電気的に接続されている。これらの装置は、操作部18の指令信号に従って動作する。また、操作部18は、後に説明する電子部品供給ヘッド部20に接続される吸気装置21や、昇降装置22、X-Y方向調整装置23とも電気的に接続されており、これらの装置を動作させるための信号を発する。電子部品搭載装置1は、電子部品供給ヘッド部20を備える。電子部品供給ヘッド部20は、図8に示すように、下端面に凹状の電子部品保持部20aを備えている。また、ハンダ印刷装置10は、吸気装置21を備えている。吸気装置21は、電子部品供給ヘッド部20に接続されている。吸気装置21は、図8に示すように電子部品102に対する吸引作用を発揮できるもので、吸気通路21aを備えている。吸気通路21aは、吸気口21a1を備えており、この吸気口21a1は、電子部品供給ヘッド部20に設けられた電子部品保持部20aに位置している。電子部品搭載装置1は、電子部品供給ヘッド部20に接続される昇降装置22、X-Y方向調整装置23を備える。吸気装置21、昇降装置22及びX-Y方向調整装置23は、上述のように操作部18と電気的に接続されており、操作部18からの信号に基づいて動作する。本実施例における電子部品搭載装置1は、転写ヘッド部11と電子部品供給ヘッド部20とを別個に備えているが、転写ヘッド部11と電子部品供給ヘッド部20とを統合してもよい。すなわち、一つのヘッド部で、マスク部材の保持と、電子部品の保持の両方を行うようにしてもよい。つぎに、上述の電子部品搭載装置1を用いた電子部品の基板40の組み立てについて説明する。図3は、電子部品搭載装置1による電子部品装着の工程の一例を示すフロー図である。図4~図8は、主要な工程の様子をそれぞれ説明している。なお、主要な工程は、作業者が操作部18を操作することによって行われるが、主要な工程を自動化することも可能である。電子部品搭載装置1は、一旦組み立てられた基板40から、電子部品を取り外し、再び電子部品を装着するリペア作業に用いられる。基板40は、BGA実装プリント基板である。まず、ステップS1では、基板40に設けられたパッド41に対応させて設けられた保持孔50aを備えたマスク部材メタルマスク50を準備する。そして、保持孔50aの内周面に表面加工を施す。この表面加工は、充填されるハンダペースト55の付着を軽減するために行われるものである。本実施例では、フッ素樹脂加工が施され、図4AにA1部を拡大して示すように、フッ素樹脂層50a1が形成される。これにより、ハンダペースト55中のフラックスやチキソ剤などの粘性成分による付着を軽減することができる。これは、ハンダペースト55をパッド41側へ転写するときに、ハンダペースト55をパッド41上へ残存させ易くするための措置である。また、併せて、シート部材51の表面にもA2部を拡大して示すように、フッ素樹脂層51aを形成しておく。なお、表面加工は、毎回行う必要はなく、表面加工の効果が維持されている場合は、省略することができる。また、予め表面加工がされたマスク部材50、シート部材51を準備しておくこともできる。つぎに、ステップS2において、マスク部材50とシート部材51とが重ねて治具60へセットされる。治具60は、二段の凹部を備える。具体的に、治具60は、シート部材51が嵌め込まれる第1凹部60aを備える。また、治具60は、第1凹部60aの周囲に広がり、第1凹部60aよりも浅い第2凹部60bを備える。第1凹部60aには、シート部材51が収容され、第2凹部60bには、マスク部材50が収容される。マスク部材50は、第2凹部60bに収容された状態で、その表面が、治具60の上面と面一の状態となる。シート部材51は、柔軟性を有する樹脂材によって形成されている。本実施例では、シート部材51の一例としてシリコンゴムが採用されている。シート部材51には、以下の特性が求められる。まず、チャンバ11a内に供給された空気による空気圧の変化や風の流れに伴って、保持孔50a内に充填されたハンダペースト55を押し出すことができるように変形することができる柔軟性を有することが求められる。また、チャンバ11a内の空気を基板40側へ漏らすことがない気密性を有することが求められる。シート部材51は、チャンバ11a内の空気を通過させないことにより、ハンダペースト55を転写する際のハンダペースト55の飛散を抑制することができる。この観点から、シート部材51に求められる気密性は、空気の流通を完全に遮断することまでは要求されない。シート部材51の気密性は、保持孔50aにおける空気の流通に起因するハンダペースト55の飛散を回避することができる程度であればよい。つぎに、ステップS3において、保持孔50a内へハンダペースト55を充填する。ハンダペースト55は、マスク部材50の一面側にシート部材51を重ね合わせた状態で保持孔50aに充填される。図4Bを参照すると、ハンダペースト55は、治具60の上面に供給され、スキージ61を操作することによって保持孔50a内に充填される。このように、治具60にマスク部材50を収容した状態でスキージ61を操作する場合、周囲に他の電子部品等の障害物がないため、適切なスキージング作業が可能となる。すなわち、スキージ61を一定の圧力、傾斜角度、移動速度で操作することができるようになる。また、マスク部材50の下側にはシート部材51が配置されているので、保持孔50a内に充填されたハンダペースト55は、シート部材51で受け止められることになり、保持孔50aにおけるハンダペースト55の保持性が向上する。スキージ61の操作が完了し、ハンダペースト55の充填後は、図4Cに示すように、マスク部材50をシート部材51とともに治具60から取り外す。治具60から取り外されたマスク部材50とシート部材51とは、保持孔50a内に充填されたハンダペースト55の粘性成分により位置ズレが発生しない程度に一体化されている。より詳細には、保持孔50a内に充填されたハンダペースト55がシート部材51にも密着するため、図4Dに示すようにマスク部材50とシート部材51とは一体化される。シート部材51の表面には、保持孔50aの内周面と同様に、フッ素樹脂加工が施され、図4AにA2部を拡大して示すようにフッ素樹脂層51aが形成されている。これにより、ハンダペースト55中のフラックスやチキソ剤などの粘性成分による付着を軽減することができる。これは、ハンダペースト55をパッド41側へ残存させ易くするための措置である。つぎに、ステップS4において、シート部材51が重ねられたマスク部材50を転写ヘッド部11に支持させる。マスク部材50は、操作部18により吸気装置13を作動させることによって吸気口13a1に吸引され、マスク部材保持部12に保持される。このとき、シート部材51は、図4Dに示す状態、すなわち、マスク部材50の上側に位置する。しかしながら、ハンダペースト55は、保持孔55aの内周面に加え、シート部材51とも密着しているため、脱落し難い状態となっている。さらに詳細に説明すると、保持孔50aの内周面と、シート部材51の表面には、いずれもフッ素樹脂加工がなされており、ハンダペースト55の付着が低減される状態となっている。これにもかかわらず、ハンダペースト55が、周囲と密着している面積が大きいため、ハンダペースト55の脱落は抑制されている。つぎに、ステップS5において、転写ヘッド部11の位置調整を行う。転写ヘッド部11の位置調整は、光学系位置確認装置19と、X-Y方向調整装置16を用いて行われる。基板40は、設置テーブル17上に設置しておく。作業者は、図5に示すように、光学系位置確認装置19を用いて、基板40上の部品装着位置を示す基板側基準点と、転写ヘッド部11に設けられたヘッド側基準点とを確認しつつ、操作部18によってX-Y方向調整装置16を操作する。そして、基板側基準点とヘッド側基準点とが重なるように転写ヘッド部11の位置を調整する。転写ヘッド部11の位置調整が行われることにより、基板40上に設けられたパッド41の位置とマスク部材50に設けられた保持孔50aとのX-Y方向位置が一致する。つぎに、ステップS6において、転写ヘッド部11を降下させる。すなわち、図6に示すように、マスク部材50を設置テーブル17上の基板40に接近させ、さらに、保持孔50a内に保持されたハンダペースト55をパッド41に接触させる。転写ヘッド部11の降下は、操作部18により、昇降装置15を作動させることにより行われる。このとき、転写ヘッド部11は、垂直に降下すればよく、すでに基板40上に搭載されている電子部品101a、101bが障害になることがない。すなわち、転写ヘッド部11は、狭い領域に適切に降下することができる。なお、マスク部材50の基板40上への供給が完了した段階で、吸気装置13による吸引動作を一旦停止しておくこともできる。マスク部材50の基板40上への供給が完了し、パッド41とハンダペースト55とが接触していれば、マスク部材50を保持するための吸引は不要となるためである。ただし、後の工程で再びマスク部材50の吸引が必要となるため、本実施例では、吸気装置13による吸引動作は継続させている。つぎに、ステップS7において、保持孔50aに保持されたハンダペースト55をパッド41に転写し、バンプ55aを印刷する。転写作業は、操作部18により、空気供給装置14を作動させることにより行う。空気供給装置14が作動すると、空気流入口14aからチャンバ11a内に空気が吹き込まれる。チャンバ11a内に空気が吹き込まれると、チャンバ11a内の空気圧が上昇する。空気圧が上昇すると、図6においてB部を拡大して示すように、シート部材51が押され、変形する。シート部材51が変形すると、ハンダペースト55が押される。すなわち、ハンダペースト55は、シート部材51を介してチャンバ11a内の空気によって加圧され、押し出される。これにより、ハンダペースト55は、パッド41上に供給され、バンプ55aを形成することができる。パッド41は、保持孔50aの内周面やシート部材51の表面と異なり、フッ素樹脂加工は施されていない。このため、ハンダペースト55は、パッド41上に付着し易くなっている。転写作業は、チャンバ11a内の圧力を上昇させたり、高圧な空気をシート材51に吹き付けたりして、ハンダペースト55を押し出すことによって行われる。また、ハンダペースト5が、保持孔50aの内周面やシート部材51から剥離し、パッド41上に留まり易くするために、空気の供給状態を調整することができる。例えば、空気の供給状態により、シート部材を振動させ、ハンダペースト55をパッド41上に供給し易くすることができる。このように、転写ヘッド部11が保持するマスク部材50を用いてハンダペースト55の供給が行われるため、基板40上に配置されたマスク部材50に対してスキージング作業を行うことから開放される。また、チャンバ11a内の空気は、直接的にはシート部材51に作用し、保持孔50aを通じて基板40側へ吹き抜けることがない。このため、ハンダペースト55の飛散が回避され、ハンダペースト55をパッド41上に留めておくことができる。つぎに、ステップS8において、転写ヘッド部11を上昇させる。すなわち、図7に示すように、マスク部材50及びシート部材51を吸引保持したまま、転写ヘッド部11を上昇させる。転写ヘッド部11の上昇は、操作部18により、昇降装置15を作動させることにより行われる。このとき、転写ヘッド部11は、垂直に上昇すればよく、すでに基板40上に搭載されている電子部品101a、101bが障害になることがない。転写ヘッド部11を上昇させるときに、マスク部材50及びシート部材51は、ともに引き上げられる。このため、転写ヘッド11を上昇させるときには、吸気装置13を作動させ、マスク部材50を吸引した状態とする。マスク部材50が引き上げられることにより、図7に示すように、パッド41上にハンダペースト55が転写され、ハンダペースト印刷部55aが形成された状態となる。保持孔50aの内周面とシート部材51の表面には、フッ素樹脂加工が施されているため、マスク部材50を引き上げることにより、ハンダペースト55は、容易に保持孔50aから離脱し、パッド41上に転写される。このように、転写ヘッド部11を用いることにより、狭い領域に適切にハンダペースト55によるハンダペースト印刷部55aが形成される。つぎに、ステップS9において、電子部品供給ヘッド部20の位置調整を行う。電子部品供給ヘッド部20は、電子部品保持部20aに交換対象となる電子部品102を保持している。電子部品102は、吸気装置21が作動することにより、吸気口21a1に吸引され、電子部品保持部20aに保持されている。電子部品供給ヘッド部20の位置調整は、ステップS5で行った転写ヘッド部11の位置調整と同様の要領で行われる。すなわち、電子部品供給ヘッド部20の位置調整は、光学系位置確認装置19と、X-Y方向調整装置23を用いて行われる。基板40は、設置テーブル17上に設置しておく。作業者は、図5に示すように、光学系位置確認装置19を用いて、基板40上の部品装着位置を示す基板側基準点と、電子部品供給ヘッド部20に設けられたヘッド側基準点とを確認しつつ、操作部18によってX-Y方向調整装置23を操作する。そして、基板側基準点とヘッド側基準点とが重なるように電子部品供給ヘッド部20の位置を調整する。電子部品供給ヘッド部20の位置調整が行われることにより、基板40上に設けられたパッド41の位置とこれに対応する電子部品102の電極とのX-Y方向位置が一致する。つぎに、ステップS10において、電子部品供給ヘッド部20を降下させる。すなわち、図8に示すように、電子部品102をハンダペースト印刷部55a上に降下させ、設置する。電子部品供給ヘッド部20の降下は、操作部18により、昇降装置22を作動させることにより行われる。このとき、電子部品供給ヘッド部20は、垂直に降下すればよく、すでに基板40上に搭載されている電子部品101a、101bが障害になることがない。つぎに、ステップS11では、電子部品102の装着が行われる。電子部品102の装着が完了したら、引き続き、ステップS12において、電子部品供給ヘッド部20を上昇させる。電子部品供給ヘッド部20の上昇は、操作部18により、昇降装置22を作動させることにより行われる。このとき、電子部品供給ヘッド部20は、垂直に上昇すればよく、すでに基板40上に搭載されている電子部品101a、101bが障害になることがない。電子部品供給ヘッド部20を上昇させるとき、すでに、電子部品供給ヘッド部20が電子部品102を保持しておく必要はない。このため、電子部品供給ヘッド部20を上昇させるときは、吸気装置21による電子部品102の吸引は停止しておく。以上で、基板40上への新たなハンダペースト印刷部55aを形成するハンダ印刷を伴う一連の部品交換工程が完了する。上記の実施例によれば、スキージング作業は、周囲に障害物がない状態で行うことができる。そして、保持孔50aにハンダペースト55を保持したマスク部材50を転写ヘッド部11に保持した状態で基板40上に設置するので、狭い領域にハンダペースト55によるハンダペースト印刷部55aを形成することができる。しかも、チャンバ11a内の空気は、シート部材51を介して保持孔50a内のハンダペースト55に作用するので、ハンダペースト55の飛散が回避される。また、保持孔50a内にハンダペースト55を充填するときに、マスク部材50にシート部材51を重ね合せているので、ハンダペースト55の保持性が良好である。さらに、保持孔50aの内周面やシート部材51aの表面にフッ素樹脂加工表面加工が施されているので、保持孔50a内のハンダペースト55を離脱させ易く、ハンダペースト55をパッド41上へ残置させ易い。以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。