半導体レーザと、該半導体レーザを差し込むための筒部および開口部を有し、該筒部の内径は前記半導体レーザの位置調整のためにLD外径より大きく形成されているLD固定ホルダと、前記LD固定ホルダの筒部を差し込むためのキャップ部および調整スペース部を有し、該調整スペース部の内径は前記半導体レーザの位置調整のためにLD台座外径より大きく形成され、該LD台座を押して移動させるためのLD調整ピンを差し込む複数の貫通孔が設けられているLD固定キャップと、前記半導体レーザから出射されたレーザ光を平行光にする非球面レンズと、前記非球面レンズを中心線を合わせて挟むためのテーパー部および円筒スリーブ部を有する非球面レンズ固定スリーブと、前記LD固定ホルダの開口部に差し込まれるための円筒管部を有し、該円筒管部の内側には前記非球面レンズ固定スリーブを保持するための嵌め合い部を有する非球面レンズホルダとからなることを特徴とする半導体レーザモジュール。前記非球面レンズホルダを差し込むためのリング部を有するレンズホルダ固定リングを備えていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。請求項1に記載の複数の前記半導体レーザモジュールからなることを特徴とする半導体レーザアレイユニット。そこで、調整が容易でありメンテナンス性の優れた直接描画露光装置の光源光学系を形成することを課題とする。上記の課題を解決するため、本発明では、光源光学系を、光軸に直交するxy方向の調整機構と光軸に平行なz方向の調整機構を切り離したモジュール構造にし、モジュール単体で調整し、調整済みのモジュールをアレイ状に配列することを特徴とする。これにより、光源光学系の組み立て調整効率が向上し、半導体レーザの冷却効率も向上することから、安定した光源で工数を低減することを可能とする。以下、本発明を図示の実施形態に基づいて詳細に説明する。本発明の光源光学系は、図1で示す調整済みの半導体レーザモジュール1を図2および図3のようにアレイ状に配列した半導体レーザアレイユニットである。半導体レーザモジュール1の組み立て方法を説明する。半導体レーザモジュール1は、半導体レーザ11を光軸に直交する方向xy方向に移動させてxy方向の調整をするLD調整部10と、非球面レンズ21を光軸に平行な方向z方向に移動させてz方向の調整をするレンズ調整部20とからなる。まず、LD調整部10を組み立てる。LD調整部10は、半導体レーザ11、LD固定ホルダ12およびLD固定キャップ13とからなる。図4および図5で示すように、半導体レーザ11はLD固定ホルダ12とLD固定キャップ13とで挟持され、z方向に固定されるが、LD固定キャップ13の調整スペース部18の2つの貫通孔19に差し込まれた図11で示される調整ピン42でLD台座14を押して、xy方向へ動く程度に締め付けられる。LD固定ホルダ12の筒部15の内径は半導体レーザ11の位置調整のためにLD外形より大きく形成されている。また、LD固定キャップ13の調整スペース部18の内径は半導体レーザ11の位置調整のためにLD台座外形より大きく形成されている。本実施例では、半導体レーザ11は、中心線より1.5mm移動できるようになっている。本実施例では、図6で示すように、LD固定ホルダ12の筒部15の外周とLD固定キャップ13のキャップ部17の内側にはねじ溝が設けられており、ねじ込むことで半導体レーザ11が固定される。次に、レンズ調整部20を組み立てる。レンズ調整部20は、非球面レンズ21、非球面レンズ固定スリーブ22および非球面レンズ固定ホルダ23とからなる。図7および図8で示すように、非球面レンズ固定スリーブ22を圧入し、非球面レンズ21を非球面レンズ固定スリーブ22のテーパー部25で中心線を合わせて挟みz方向に固定する。非球面レンズ21は回転方向に対して対称であり、テーパー部25と接触する位置に丸みを帯びているため、またテーパー部25の角度を非球面レンズ21の形状に合わせることで、非球面レンズ21は非球面レンズ固定スリーブ22の中心に固定される。非球面レンズ21を保持した非球面レンズ固定スリーブ22を非球面レンズホルダ23の円筒管部26に差し込み、嵌め合い部27で非球面レンズ固定スリーブ22を中心線を合わせてz方向に固定する。そして、LD調整部10とレンズ調整部を20を組み合わせる。図1で示すように、非球面レンズ21および非球面レンズ固定スリーブ22を保持する非球面レンズホルダ23を、半導体レーザ11およびLD固定キャップ13を保持するLD固定ホルダ12に差し込み固定する。本実施例では、図6および図9で示すように、LD固定ホルダ12の開口部16の内側と非球面レンズホルダ23の円筒管部26の外周にはねじ溝が設けられており、ねじ込むことでLD調整部10とレンズ調整部20がz方向に固定され、半導体レーザモジュール1の組み立てが完了する。さらに本実施例では、図10で示すように、リング部31の内側にねじ溝を有するレンズホルダ固定リング30を設け、非球面レンズホルダ23の円筒管部26の外周のねじ溝と合わせてねじ込むことで、LD調整部10とレンズ調整部20を固定する。半導体レーザモジュール1の調整方法を図11および図12を用いて説明する。組み立てられた半導体レーザモジュール1を、図11で示すように調整治具40に固定する。調整治具40は、XY軸ステージ41、複数の調整ピン42、x方向およびy方向のマイクロメータヘッド43で構成されている。まず、z方向の調整をし、次にxy方向の調整を行う。調整治具のターゲットでレーザ光が平行光束であり、光軸の中心が半導体レーザモジュール1の中心にあることを確認できれば、調整は完了である。z方向の調整方法について説明する。調整治具40に固定された状態で、非球面レンズ21を保持している非球面レンズ固定ホルダ23を、LD固定ホルダ12の奥まで入っている状態から半時計回りに手で回してスポット形状を観察する。本実施例では、発散した状態からスポット形状が米粒大に変化して収束し、また米粒大になって発散していく状態が確認できるので、初めに米粒大になる位置が平行光束であるため、この位置で固定する。このようにz方向の調整を行い、レンズホルダ固定リング30で固定する。xy方向の調整方法について説明する。LD固定キャップ13の調整スペース部18に明けられた2つの貫通孔19のそれぞれに調整ピン42を差し込み、2つの調整ピン42がLD台座14を押した状態で、XY軸ステージ41にあるマイクロメータヘッド43のつまみを回しながら2つの調整ピン42をxy方向に移動させることで半導体レーザ11をxy方向に移動し、微調整する。調整が済んだら、LD固定キャップ13を締めて固定する。調整後、調整ピン42を取り外し、半導体レーザモジュール1を調整治具40から取り外して、半導体レーザモジュール1の調整が完了する。組み立ておよび調整が済んだ半導体レーザモジュール1から出射されるレーザ光は楕円ビームであるが、その後の光学系で円形スポットとなるように調整される。組み立ておよび調整が済んだ複数の半導体レーザモジュール1を、調整治具のターゲットで確認しながら楕円ビームの長いほうが縦になるような向きにそろえて、図13で示す規則的に穴が開いた構造のLDベーススタンド50に圧入して挿入し、半導体レーザアレイユニットが完成する。光軸の微調整には、特許文献1で開示されている楔状のウエッジガラス等の光軸補正システムを使用する。このように、LD調整部で半導体レーザ11をxy方向に移動させることで光軸に垂直なxy方向の調整を行い、レンズ調整部で非球面レンズ21をz方向に移動させることで光軸に平行なz方向の調整を行い、xy方向とz方向の調整機構を分離したことで、調整を繰り返し行なわなくてよくなった。また、従来技術では、半導体レーザおよび調整機構をアレイ状に配列した後に調整を行なうのに対して、本発明では、調整機構をモジュール化させ、半導体レーザモジュール1をxyz方向に調整した後に、LDベーススタンド50に配列することが可能になり、調整スペースを大きく確保できることから、調整が容易になった。さらに、工数の多くを占める調整作業を従来では一人でしか行なえなかったのが、複数人で行なえるようになり、短納期にも対応することが可能になった。さらに、メンテナンスのために半導体レーザモジュール1を取り外したときの調整も容易に行えるようになった。