"被加工物をレーザ加工する加工ヘッド部と、吸着孔が形成された外周載置部と,吸着孔が形成され上下に昇降する複数の可動載置部とを含み,前記被加工物を保持する載置部と、前記載置部をX軸方向およびY軸方向に駆動するXYテーブルと、前記外周載置部に設置され,前記被加工物の一辺のうち少なくとも前記可動載置部の長手方向に平行で加工の起点側の一辺を押さえるワーク押え部と、を備えたレーザ加工装置。前記外周載置部に設置され,前記被加工物の一辺のうち前記可動載置部の長手方向に平行な二辺を少なくとも押さえる一対のワーク押え部を備えた請求項1に記載のレーザ加工装置。前記ワーク押え部の前記被加工物と対向する側の面に有機物弾性体を設置した請求項1または2のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。前記有機物弾性体が線状に形成された請求項3に記載のレーザ加工装置。前記有機物弾性体が所定間隔で離散する点状に形成された請求項3に記載のレーザ加工装置。前記ワーク押え部の中央部分に開閉の支点となるチョウバン部と,前記ワーク押え部の両端を前記被加工物側に加圧する加圧部と、を備えた請求項1に記載のレーザ加工装置。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下の図面においては、同じ構成要素については同じ符号を付しているので説明を省略する場合がある。また、図面中に示されるX軸、Y軸およびZ軸はそれぞれ直交する方向である。ここで、Z軸は上下にあたる鉛直方向であり、各図の座標軸はそれぞれの視野の方向に対応するように描いている。実施の形態図1は、本発明の実施の形態の一例に係るレーザ加工装置100の概略構成図である。図1において、レーザ発振器102は、内部でレーザが発振されレーザビーム103を射出する。射出されたレーザビーム103は、光学系104により、方向を変えられ、レーザの密度やビーム径の調整およびビーム形状の整形などが行われる。光学系104を通過したレーザビーム103は、X軸方向にスキャンするためのXミラー106とY軸方向にスキャンするためのYミラー107とにより構成されるガルバノスキャナ105により走査され、位置決めされる。さらに、ガルバノスキャナ105で位置決めされたレーザビーム103が、fθレンズ108で集光され、被加工物111の加工点に照射されるように、レーザ加工装置100が構成されている。Xミラー106およびYミラー107より構成されるガルバノスキャナ105とfθレンズ108は加工ヘッド部109に設けられ、加工ヘッド部109はZ軸方向に移動可能なように装置本体に設置されている。被加工物111は複数個設けられた可動載置部112と外周載置部114上に置かれている。さらに、被加工物111の一辺のうち可動載置部112の長手方向Y軸方向に平行な二辺は一対のワーク押え部121によって押えられている。可動載置部112は、それぞれ1対のシリンダ図示せずによって支持され、当該シリンダは空気圧により制御されて個々の可動載置部112を独立に上下させることができる。加工テーブルはXテーブル131とYテーブル133の大きく2つのブロックより構成されている。Xテーブル131は、可動載置部112、外周載置部114、および、これらに付随する一式の構成を載置し、X軸方向に可動するように構成されている。X軸方向の移動には、Xテーブル駆動部132を駆動することでボールねじを回転させ、そこに載置されているもの一式ごとXテーブル131をスライドさせることで移動が行われる。Yテーブル133は、Xテーブル131とそれに載置されている構成一式をさらに載置し、Y軸方向に可動するように構成されている。Y軸方向の移動には、Yテーブル駆動部134を駆動することでボールねじを回転させ、そこに載置されているもの一式ごとYテーブル133をスライドさせることで移動が行われる。そして、これらレーザ発振器102、ガルバノスキャナ105、可動載置部112を昇降させるシリンダと、Xテーブル駆動部132、および、Yテーブル駆動部134などを制御する加工制御部101とが設けられている。さらに詳細なレーザ加工装置100の一部構成について図2を用いて説明する。図2は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置の載置部周辺の詳細構成を示す斜視図である。まず、図2に示すように、被加工物図示せずが載置保持される載置部は、複数個設けられた可動載置部112と外周載置部114とによって構成される。可動載置部112には複数の載置部吸着孔113が設けられ、また、外周載置部114にも外周吸着孔115が設けられている。被加工物は、載置部吸着孔113と外周吸着孔115より真空引きすることにより吸着保持される。ワーク押え部121は、可動載置部112の長手方向Y軸方向に平行な2辺に一対設置されている。このワーク押え部121は、外周載置部114に設置された部材に設けられた支点124によって回転可能なように取り付けられ、押え部駆動シリンダ123によって開閉される。ワーク押え部121は、Z軸方向の寸法的制約より長尺の板状の金属体で形成され、ワーク押え部121の被加工物と対向する側の面にはクランプ部材122を設けている。クランプ部材122はウレタンゴムやシリコンゴムのような有機物弾性体で形成されている。これにより、被加工物と接触した際に傷つけずに押圧力を発生し、かつ、被加工物の滑りによるズレを防止することができる。なお、クランプ部材122の形状は図示するように線状に連続して盛り上がるようにしてもよいし、所定間隔で離散する点状に形成してもよい。線状であれば被加工物の辺に一様に押圧可能であるし、点状であれば集中して押圧できる。例えば、点状に形成する位置を外周吸着孔115との関係で隣接する外周吸着孔115の中央部近傍に配置すれば、吸引と押圧による保持力を効果的に分布させることができる。また、本実施の形態では長尺の板状のワーク押え部121の中央にチョウバン部126を設けている。蝶番部126は、ワーク押え部121の開閉動作の回転の支点となり、押え部駆動シリンダ123は長尺の両端にあるため、ワーク押え部121の中心部分の浮きを抑え、押圧力をより均一にする役目を担う。以上のように構成されたレーザ加工装置100の動作について説明する。図3は、被加工物111を搭載するときの載置部とワーク押え部121の状態を示すY軸方向から見た3-3線の断面から見た側面図である。図4は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置のワーク押え部の詳細構成と動きを示す、図2の3-3線の断面から見た側面図である。被加工物111を装置に搭載するにあたり、加工テーブルを移動させることで載置部を被加工物111の搭載位置まで移動させ、ここでは載置部吸着孔113と外周吸着孔115の真空引きを止めて吸着していない状態にし、可動載置部112を全て上昇させておく。また、ワーク押え部121は押え部駆動シリンダ123によって開いた状態にされている。2つの支点124と押え部駆動リンク125によって、押え部駆動シリンダ123の上下の動作が、矢印に示すようにワーク押え部121の回転動作に変換されている。被加工物111を載置部上に搭載した後、載置部吸着孔113と外周吸着孔115を真空引きして被加工物111の下面の吸着保持を開始する。そして、押え部駆動シリンダ123により、ワーク押え部121を図3に示す開いた状態から閉じた状態に駆動する。かかる状態を図4に示す。図4に示されるように、吸着孔115が形成された外周載置部114と,吸着孔113が形成された複数の可動載置部112112a、112b、112c、112d上に被加工物111は保持されている。そして、被加工物111の辺のうち可動載置部112の長手方向Y軸方向に平行な辺がワーク押え部121により押えられている。被加工物111に接する部分にはクランプ部材122が設けられ、被加工物111に対して押圧力を発生するとともに被加工物111の滑りによるズレを防止している。被加工物111の保持が完了したのち以下の動作を行う。被加工物111を保持した載置部を第1の加工エリアに移動させるべく加工テーブルの移動を開始する。原点位置にある加工ヘッドの焦点位置への移動を開始する。第1の加工エリアの下面にある可動載置部112のみ、当該可動載置部112に設けられた載置部吸着孔113の真空引きをブロー陽圧に切り換え、当該部位の被加工物111下面の吸着保持をやめ、当該可動載置部112を下降する。これらの動作を並行して行う。この加工エリアに関して、その一例を図5に示す。図5は、本発明の実施の形態に係る被加工物の加工エリアの順序の一例を示す斜視図である。図5において被加工物111に1から48までの番号を付しているエリアが加工エリア140である。個々の加工エリア140は、ガルバノスキャナ105のスキャン範囲内に設定されており、当該エリア内のレーザ加工の位置決めはガルバノスキャナ105を制御することで行われる。なお、図示するエリアはあくまでも一例であり、この図に限定されるものではない。上述の動作が完了し、加工ヘッド部109のある位置の下方に被加工物111の第1の加工エリア141が到着したのち、レーザビーム103により第1の加工エリア141の穴加工を開始する。なお、本図において142の符号を付している被加工物111の一辺が、可動載置部の長手方向に平行で加工の起点側の一辺142に該当する。図6は、第1の加工エリア141で穴加工している状態を、3-3線の断面から見た側面図である。第1の加工エリア141に対応する位置の可動載置部112aが下降した状態でレーザビーム103が照射されて穴加工がなされる。被加工物111の可動載置部の長手方向に平行で加工の起点側の一辺図示せずは、外周載置部114に設けられた外周吸着孔115によって吸着され保持される。それとともに、起点側の一辺は、クランプ部材122を設けたワーク押え部121で押えられている。これにより、被加工物111のたわみと位置ずれが防止されている。所定のレーザの照射が完了し、第1の加工エリア141内の全ての穴加工が完了したら、次に第2の加工エリアに移動するために、加工テーブルを本実施の形態ではY方向に移動させる。第2の加工エリア例えば、加工エリア143におけるレーザ穴加工の状態についても、図6に示すとおりである。このようにして、順次、可動載置部112aが下降しているエリアをすべて図5における第1の加工エリアから第6の加工エリアまでレーザ加工し終わるまで同様の動作を繰り返す。なお、可動載置部112aは、図5における第1の加工エリアから第6の加工エリアまでを保持する。ひとつの可動載置部112aが下降しているエリアすべてのレーザ加工をし終わったら、以下の動作を開始する。まず、載置部を次の加工エリアに移動すべく、加工テーブルをX方向に移動開始する。すでに下降していた可動載置部112aのブロー陽圧を止めながら、当該可動載置部112aを上昇する。上昇が完了したら当該可動載置部112aに設けた載置部吸着孔113を真空引きして、被加工物111を再び吸着し保持する。次の加工エリア図5における第7の加工エリアに対応する位置の可動載置部112bに設けた載置部吸着孔113の真空引きをブローに切り換える。当該箇所の被加工物111の下面の保持がされなくなったら、当該箇所の可動載置部112bを下降する。これらの動作を並行して行う。以上のように、当該加工エリアにおける準備が整った後、ガルバノスキャナ105を制御し、穴加工位置にレーザビーム103の照射を開始する。図7は、本発明の実施の形態に係る載置部の第2の動作状態を示す3-3線の断面から見た側面図である。図7は、当該加工エリアをレーザ穴加工している状態を、Y軸方向から見た部分断面図である。加工エリアに対応する位置の可動載置部112bが下降した状態でレーザビーム103が照射されて穴加工がなされる。被加工物111の可動載置部の長手方向に平行で加工の起点側の一辺は、外周載置部114に設けられた外周吸着孔115によって吸着保持されるとともに、クランプ部材122を設けたワーク押え部121で押えられている。可動載置部112aによる吸着は被加工物の穴加工がされているため、他の可動載置部の吸着に比べて強くはないが、被加工物のたわみと位置ずれは本発明の構成により防止されている。可動載置部112bが下降しているエリアをすべて図5における第7の加工エリアから第12の加工エリアまでレーザ加工し終わると同様に次の加工エリアに移動する。その状態を図8に示す。ここでも同様に、加工エリアに対応する位置の可動載置部112cが下降した状態でレーザビーム103が照射されて穴加工がなされる。被加工物111の可動載置部の長手方向に平行で加工の起点側の一辺は、外周載置部114に設けられた外周吸着孔115によって吸着し保持されるとともに、クランプ部材122を設けたワーク押え部121で押えられて、被加工物111のたわみと位置ずれは防止されている。上述の動作を繰り返し、被加工物111の所定のエリアすべての加工を行う。所定のエリアのすべての加工が完了したら、以下の動作を開始する。まず、被加工物取り出し位置に移動を開始すべく、加工テーブルの移動を開始する。加工ヘッド部109の原点への移動を開始する。すでに下降していた可動載置部112のブローを止めながら、当該可動載置部112を上昇して、上昇が完了したら当該可動載置部112に設けた載置部吸着孔113を真空引きして、被加工物111を再び吸着保持する。これらの動作を並行して行う。上述の全ての動作が完了し、加工テーブルが被加工物111の取り出し位置に移動し終わったら、押え部駆動シリンダ123を動作させて、ワーク押え部121を開いた状態にし、すべての載置部吸着孔113とすべての外周吸着孔115の真空引きを止める。そして、被加工物111の吸着保持がされなくなるのを確認し、被加工物111の取出装置図示せずが載置部から被加工物111を取出し、被加工物のレーザ穴加工を完了する。以上のように、本発明のレーザ加工装置100は、加工ヘッド部109と、載置部と、XYテーブルと、ワーク押え部121と、を備えた構成である。ここで、加工ヘッド部109は、被加工物111をレーザ加工する。載置部は、吸着孔115が形成された外周載置部114と,吸着孔113が形成され上下に昇降する複数の可動載置部112とを含み,被加工物111を保持する。XYテーブルは、載置部をX軸方向およびY軸方向に駆動する。ワーク押え部121は、外周載置部114に設置され,被加工物111の一辺のうち少なくとも可動載置部112の長手方向に平行で加工の起点側の一辺142を押さえる。この構成により、加工の進行に合わせて、可動載置部112が加工の起点側から順次下降と上昇を行ったとしても、それに合わせて順次伝搬して増大していく被加工物111のたわみや位置ずれを防止できるものである。これにより、厚さの非常に薄いシート状の被加工物111であっても、精度の高いレーザ加工が行うことができ、精度不良にともなう加工不良を低減し、精密な穴加工を実現することができる。また、外周載置部114に設置され,被加工物111の一辺のうち可動載置部112の長手方向に平行な二辺を少なくとも押さえる一対のワーク押え部121を備えた構成としてもよい。この構成により、加工の起点側から加工の進行に合わせて順次伝搬して増大していく被加工物のたわみや位置ずれを防止でき、特に加工の終期での逆側からの被加工物111のたわみや位置ずれを防止できて、より効果は高くなる。これにより、厚さの非常に薄いシート状の被加工物111であっても、精度の高いレーザ加工が行うことができ、精度不良にともなう加工不良を低減し、精密な穴加工を実現することができる。また、ワーク押え部121の被加工物111と対向する側の面に有機物弾性体、例えばクランプ部材を設置した構成としてもよい。この構成により、被加工物111と接触した際に傷つけずに押圧力を発生し、かつ、被加工物111の滑りによるズレを防止することができる。また、有機物弾性体が線状に形成された構成としてもよい。この構成により、被加工物の辺に一様に押圧可能で吸引と押圧による保持力を効果的に分布させることができる。また、有機物弾性体が所定間隔で離散する点状に形成された構成としてもよい。この構成により、点状の部分に集中して押圧でき、吸引と押圧による保持力を効果的に分布させることができる。また、ワーク押え部121の中央部分に開閉の支点124となるチョウバン部126と,ワーク押え部121の両端を被加工物111側に加圧する加圧部と、を備えた構成としてもよい。この構成により、ワーク押え部121の中心部分の浮きを抑え、押圧力をより均一にできる。以上のように、上下に昇降する複数の可動載置部112の吸着によって被加工物111の保持を行うレーザ加工装置100に対し、被加工物111の特定の辺をさらにワーク押え部121で押圧するという発明の着想は、容易に想到し得るものではない。被加工物111が非常に薄く、かつ、その加工に高い精度を要求されるようになり、加工の進行に合わせて、可動載置部112が加工の起点側から順次下降と上昇を行うことで、被加工物のたわみや位置ずれが順次伝搬して増大していくという課題認識があって初めて想到し得るものである。なお、本実施の形態においては可動載置部112を8つ設置し、被加工物111の加工エリア140を48エリアに設定した例を用いて説明を行ったが、可動載置部112の数や加工エリア140の数は、レーザ加工装置100の大きさや被加工物の形状等の設計要件で決定すればよく、この例に限定されるものではない。"