"混合ガス中の1つ以上のガス成分を吸着分離する圧力スイング吸着法によるガス分離装置において、同じ位置にガス通孔が貫設された2枚の板体を、少なくとも一方の板体がスライド移動できるようにして重ね合わせた弁体を備え、板体のスライド移動によって2枚の板体のガス通孔を連通状態又は非連通状態とすることにより開閉がなされる遮断弁を、吸着塔へのガス供給及び/又は吸着塔からのガス排出を行う配管の吸着塔接続部に設けたことを特徴とする圧力スイング吸着法によるガス分離装置。遮断弁を吸着塔の内側に配置したことを特徴とする請求項1に記載の圧力スイング吸着法によるガス分離装置。上述した分岐管の管径は、通過するガスの線流速によっても異なるが、比較的規模の大きいガス分離装置では数十cm~mオーダーとかなり大径であり、このため配管幹管の吸着塔接続部から各分岐管の切替用遮断弁までの容積がかなり大きくなる。この配管内の容積部分は、吸着塔内部と連通した死容積部分と言える空間であるが、原料ガスなどのような目的ガス成分濃度が低いガスと高純度の製品ガスの双方が通過又は充満する空間であるため、分岐管の切り替え時すなわち、工程の切り替え時に、高純度の製品ガスに目的ガス製品ガス成分濃度が低いガスが混合してしまい、このため高純度の製品ガスが得られにくいという問題がある。また、各分岐管に設けられる切替用遮断弁は、一般にボール弁やシリンダー弁などが用いられているが、大型の切替用遮断弁になると開閉動作に秒単位の時間を要し、それだけ各工程の切替に時間がかかるため、ガス分離装置の能力を損なう原因となる。したがって本発明の目的は、このような従来技術の課題を解決し、圧力スイング吸着法によるガス分離設備において、工程の切り替え時に高純度の製品ガスに目的ガス成分濃度が低いガスが混合することを防止し、高純度の製品ガスを得ることができるとともに、各工程の切替も迅速に行うことができ、高い生産性が得られるガス分離装置を提供することにある。上記課題を解決するための本発明の要旨は以下のとおりである。[1]混合ガス中の1つ以上のガス成分を吸着分離する圧力スイング吸着法によるガス分離装置において、同じ位置にガス通孔が貫設された2枚の板体を、少なくとも一方の板体がスライド移動できるようにして重ね合わせた弁体を備え、板体のスライド移動によって2枚の板体のガス通孔を連通状態又は非連通状態とすることにより開閉がなされる遮断弁を、吸着塔へのガス供給及び/又は吸着塔からのガス排出を行う配管の吸着塔接続部に設けたことを特徴とする圧力スイング吸着法によるガス分離装置。[2]上記[1]のガス分離装置において、遮断弁を吸着塔の内側に配置したことを特徴とする圧力スイング吸着法によるガス分離装置。本発明のガス分離設備は、配管の吸着塔接続部に、特定のスライド式の弁体を備えた遮断弁を設けたので、吸着塔内部と連通する配管内の死容積部分を極小化でき、このため、工程の切り替え時に高純度の製品ガスに目的ガス成分濃度が低いガスが混合することを防止し、高純度の製品ガスを得ることができる。また、遮断弁の開閉動作が短時間で済むため、各工程の切替を迅速に行うことができ、高い生産性が得られる。図1~図3は本発明のガス分離装置の一実施形態を模式的に示している。このガス分離装置は、圧力スイング吸着法により混合ガス中の1つ以上のガス成分を吸着分離するものである。図1は、ガス分離装置を構成する1つの吸着塔とこの吸着塔に接続された配管を示す説明図である。また、図2及び図3は、図1に示す配管の吸着塔接続部に設けられる遮断弁の弁体を示すもので、図2aは遮断弁が開状態にある場合の弁体の正面図、図2bは同じく平面図、図3aは遮断弁が閉状態にある場合の弁体の正面図、図3bは同じく平面図である。図において、1は吸着塔、2は吸着塔1へのガス供給及び/又は吸着塔からのガス排出を行う配管であり、本実施形態の配管2は、吸着塔1に接続される幹管20から3本の分岐管21a~21cが分岐し、これら各分岐配管21a~21cには、切替用遮断弁3a~3cが設けられている。本実施形態では、分岐管21aが原料ガス導入用、分岐管21bが洗浄ガス導入用、分岐管21cが吸着ガス回収用として、それぞれ使用される。配管2幹管20の吸着塔接続部には、スライド式の弁体を備えた遮断弁4が設けられている。この遮断弁4は、図2及び図3に示すような2枚の板体50,51からなる弁体5を備え、この弁体5が配管内にその径方向を塞ぐように設置されている。2枚の板体50,51は、同じ位置に複数のガス通孔6が貫設され、少なくとも一方の板体がスライド移動できるようにして重ね合わされることにより弁体5を構成している。本実施形態では、板体50,51のほぼ全面に複数の丸穴状のガス通孔6が貫設され、板体50が管内を塞ぐように固定されるとともに、板体51が板体50に対してスライド移動するように構成されている。この板体51のスライド移動によって、2枚の板体50,51のガス通孔6を連通状態又は非連通状態とすることにより、遮蔽弁4の開閉がなされる。図2は、板体50,51のガス通孔6が連通状態板体50,51のガス通孔6が重なり合う状態となる遮蔽弁4の開状態を示し、図3は、板体50,51のガス通孔6が非連通状態板体50,51のガス通孔6が重なり合わない状態となる遮蔽弁4の閉状態を示す。板体50,51からなる弁体5は、遮断弁4を構成するケーシング7に内蔵され、このケーシング7内で板体51がスライド移動する。板体51をスライド移動させる駆動源は任意であり、例えば、圧縮空気等のガス圧力を利用した駆動源例えば、エアシリンダなど、電磁誘導などの電気的力を利用した駆動源などを用いることができる。また、油圧シリンダやスクリューボールなどを駆動源としてもよい。板体50,51は、直接密着させてもよいが、ガスシールやスライド移動の潤滑のためにゴム材やグリース等を介して密着させてもよい。また、本実施形態では板体50を固定し、板体51をスライド移動させるようにしてあるが、両板体50,51をスライド移動させるようにしてもよい。本発明で用いる遮断弁4は、短時間に開閉動作を行わせるようにするため、スライド移動する板体の移動ストロークが小さい方が好ましく、このためには、板体のスライド移動方向でのガス通孔6の幅は、ガスの通過を妨げない限度でなるべく小さい方が好ましい。具体的には、板体のスライド移動方向でのガス通孔6の幅は、配管内径の10以下が好ましい。一方、ガスの通過が阻害されないようにするため、ガス通孔6の合計面積は配管内の径方向断面積の30以上とすることが好ましい。板体50,51に設けるガス通孔6の形態や数は任意であり、要は、同じ位置にガス通孔6が貫設され、板体のスライド移動によって板体50,51のガス通孔6を連通状態又は非連通状態とすることにより、遮蔽弁4の開閉がなされるようにすればよい。図4及び図5は、配管の吸着塔接続部に設けられる遮断弁4弁体の他の実施形態を示すもので、図4aは遮断弁が開状態にある場合の弁体の正面図、図4bは同じく平面図、図5aは遮断弁が閉状態にある場合の弁体の正面図、図5bは同じく平面図である。この実施形態では、両板体50,51に縦方向に細長状の複数のガス通孔6が並列的に設けられている。上述した実施形態の弁体5は、板体を直線的にスライド移動させるものであるが、以下の実施形態に示すように、板体を回転又は揺動させてスライド移動させるようにしてもよい。図6及び図7は、配管の吸着塔接続部に設けられる遮断弁4弁体の他の実施形態を示すもので、図6aは遮断弁が開状態にある場合の弁体の正面図、図6bは同じく平面図、図7aは遮断弁が閉状態にある場合の弁体の正面図、図7bは同じく平面図である。この実施形態では、弁体5を構成する両板体50,51の同じ位置に、細長状の複数のガス通孔6が放射状若しくは花びら状に設けられており、円板の中心を回転中心として、板体51が板体50に対して回転スライド移動するように構成されている。この板体51の回転スライド移動によって、2枚の板体50,51のガス通孔6を連通状態又は非連通状態とすることにより、遮断弁4の開閉がなされる。図6は、板体50,51のガス通孔6が連通状態板体50,51のガス通孔6が重なり合う状態となる遮断弁4の開状態を示し、図7は、板体50,51のガス通孔6が非連通状態板体50,51のガス通孔6が重なり合わない状態となる遮断弁4の閉状態を示す。板体50,51間のシール、ガス通孔6の構成、弁体5の配置構造や駆動源などは、図1~図3の実施形態と同様である。また、本実施形態では板体50を固定し、板体51をスライド移動させるようにしてあるが、両板体50,51をスライド移動させるようにしてもよい。さらに、図8及び図9は他の実施形態を示すもので、図8aは遮断弁が開状態にある場合の弁体の正面図、図8bは同じく平面図、図9aは遮断弁が閉状態にある場合の弁体の正面図、図9bは同じく平面図である。この実施形態では、両板体50,51は扇形状に構成され、両板体50,51の同じ位置に、細長状の複数のガス通孔6が設けられている。複数のガス通孔6は、扇形状の要部分から放射状に設けられている。そして、扇形状の要部分を中心として、板体51が板体50に対して回動揺動スライド移動するように構成されている。この板体51の回動揺動スライド移動によって、2枚の板体50,51のガス通孔6を連通状態又は非連通状態とすることにより、遮断弁4の開閉がなされる。図8は、板体50,51のガス通孔6が連通状態板体50,51のガス通孔6が重なり合う状態となる遮断弁4の開状態を示し、図9は、板体50,51のガス通孔6が非連通状態板体50,51のガス通孔6が重なり合わない状態となる遮断弁4の閉状態を示す。板体50,51間のシール、ガス通孔6の構成、弁体5の配置構造や駆動源などは、図1~図3の実施形態と同様である。また、本実施形態では板体50を固定し、板体51をスライド移動させるようにしてあるが、両板体50,51をスライド移動させるようにしてもよい。ここで、配管2幹管20の吸着塔接続部から各分岐管21a~21cの切替用遮断弁3a~3cまでの配管内の容積部分xが、従来では吸着塔内部と連通する死容積部分と言える空間であり、原料ガスなどのような目的ガス成分濃度が低いガスと高純度の製品ガスの双方が通過又は充満する空間であるため、工程の切り替え時に、高純度の製品ガスに目的ガス成分濃度が低いガスが混合するという問題を生じていたものである。これに対して、遮断弁4が設けられた本発明のガス分離装置では、吸着工程、洗浄工程及び脱着工程の各工程を実施中は遮断弁4を開状態図2、図4、図6、図8の状態とするが、例えば、吸着工程から洗浄工程に切替える際に、遮断弁4を閉状態図3、図5、図7、図9の状態とし、容積部分x内のガスをいずれかの分岐管21を通じて真空引きして排出し、しかる後、遮断弁4を開状態とし、洗浄工程に移行する。以上の操作をより詳細に説明すると、吸着工程では、分岐配管21b,21cの切替用遮断弁3b,3cが閉状態とされ、分岐配管21aを通じて吸着塔1に原料ガスが導入される。この吸着工程終了後、遮断弁4を閉状態とし分岐管21bの切替用遮断弁3bの閉状態を維持し、且つ分岐管21aの切替用遮断弁3aを閉状態とする、容積部分x内のガスを分岐管21cを通じて真空引きして系外へ排出するこの排ガスは、例えば吸着オフガスに混合してもよい。しかる後、遮断弁4を開状態とし分岐管21aの切替用遮断弁3aの閉状態を維持し、且つ分岐管21cの切替用遮断弁3cを閉状態とする、分岐管21bを通じて吸着塔1に洗浄ガス製品ガスの一部を導入する洗浄工程に移行する。以上により、工程の切り替え時に、高純度の製品ガスに目的ガス成分濃度が低いガスが混合することが防止できる。洗浄工程から脱着工程の切替時は、容積部分xに高純度の製品ガスが満たされているので、真空引きして系外へ排出する操作は不要である。また、脱着工程から吸着工程への切替時は、容積部分xに高純度の製品ガスが満たされており、これに目的ガス成分濃度の低い原料ガスを導入すると製品ガスを損失することになるので、上述したと同様に遮断弁4と切替用遮断弁3a~3cの開閉操作により、容積部分xの製品ガスを真空引きして回収してから、その容積部分xに原料ガスを導入し、製品ガスの損失を防ぐようにする。また、遮断弁4は、弁体5を構成する板体51を小さいストロークでスライド移動させるだけで開閉動作するので、開閉時間が短く、工程の切り替えを迅速に行うことができる。図10は、本発明のガス分離装置の他の実施形態を模式的に示すもので、ガス分離装置を構成する1つの吸着塔とこの吸着塔に接続された配管を示す説明図である。図1の実施形態は、遮断弁4を吸着塔1の外側に設置したものであるが、この実施形態は、配管2幹管20の端部を吸着塔1の内側に位置させ、遮断弁4を吸着塔1の内側に設置したものである。この場合には、例えば、弁体駆動用の圧縮ガスを吸着塔1の内側に設置した遮断弁4に供給する供給管8を設ける。なお、遮断弁4の構成は、上述した各実施形態と同様である。図11は、本発明のガス分離装置の他の実施形態を模式的に示すもので、ガス分離装置を構成する1つの吸着塔とこの吸着塔に接続された配管を示す説明図である。この実施形態は、分岐管を有しない複数の配管2を吸着塔1に接続し、この各吸着塔接続部に遮断弁4を設けたものである。また、この実施形態では、配管2幹管20の端部を吸着塔1の内側に位置させ、遮断弁4を吸着塔1の内側に設置してある。この場合には、図10の実施形態と同様に、例えば、弁体駆動用の圧縮ガスを吸着塔1の内側に設置した遮断弁4に供給する供給管を設ける。なお、遮断弁4の構成は、上述した各実施形態と同様である。"