"ボディに形成された第1流路および第2流路の境に設けられた弁座に対しアクチュエータによりダイアフラムの弁体部を当接または離間させることにより、前記第1流路と前記第2流路との間を閉鎖または開放するようにしたダイアフラム弁において、前記ダイアフラムと一体化され、前記ダイアフラムの膜部に対して前記アクチュエータ側から常に面接触するバックアップを有すること、前記バックアップが、前記アクチュエータのピストンのうち、一方側でバネ力を受け、反対側で操作エアの受圧部となる前記ピストンから延びたロッドと連結されていること、前記ピストンが摺動する第1シリンダとは別部材の第2シリンダを有すること、前記第2シリンダが、前記ロッドが摺動する内壁を有し、前記ダイアフラムの膜部の外周に当接して、前記ダイアフラムの膜部の外周を前記膜部が変形する方向で前記ボディに対して固定すること、前記バックアップの前記ダイアフラムの膜部に対する接触面の形状は、前記ダイアフラムの弁体部が前記弁座に当接したとき、前記バックアップと前記ダイアフラムの膜部との接触面積が最大となるように形成されていることを特徴とするダイアフラム弁。請求項1に記載するダイアフラム弁において、前記ダイアフラムは、前記弁体部と前記膜部との境界が前記弁座の径よりも内側に位置するものであることを特徴とするダイアフラム弁。しかしながら、上記したダイアフラム弁では、流体圧力が高くても300kPa程度までの流体の供給制御にしか使用することができず、高圧流体500kPa以上の供給制御を行うとダイアフラムの膜部が塑性変形して延びてしまうという問題があった。なぜなら、特開平9-229213号公報に開示されたダイアフラム弁では、弾性部材によりダイアフラムの膜部を受け止めているが、この弾性部材はダイアフラムの動きに伴って大きく変形する特開平9-229213号公報の図1、図2参照。このため、高圧流体をこのダイアフラム弁に供給すると、弾性部材によってダイアフラムの膜部に作用する負荷を緩衝しきれずにダイアフラムの膜部が塑性変形して延びてしまうからである。特に、ダイアフラムの弁体部が弁座から離間したとき開弁時、高圧流体が流れるとダイアフラムの膜部に作用する負荷を弾性部材で緩衝することができずにダイアフラムの膜部が塑性変形して延びてしまう。また、特開2004-176828号公報に開示されたダイアフラム弁では、ダイアフラムの弁体部が弁座から離間したとき開弁時、押さえ部材がダイアフラムに接触していない。このため、高圧流体が流れるとダイアフラムの膜部が塑性変形して延びてしまうからである。このように、従来のダイアフラム弁では、高圧流体の供給制御を行うことができない。これに対して、例えば、ダイアフラム弁が使用される半導体製造工場の一部では建物が高層化されており、1階部分に貯蔵された薬液を高層階部分に供給する必要がある。そして、このような薬液供給弁として使用されるダイアフラム弁では、ダイアフラムに高い圧力例えば、700kPa程度が作用する。ところが、上記したように現状のダイアフラム弁では、ダイアフラムの膜部が変形してしまい、上記の薬液供給弁として使用することができなかった。そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、高圧流体を使用してもダイアフラムの膜部が塑性変形することを防止して高圧流体の供給制御を行うことができるダイアフラム弁を提供することを課題とする。上記問題点を解決するためになされた本発明に係るダイアフラム弁は、ボディに形成された第1流路および第2流路の境に設けられた弁座に対しアクチュエータによりダイアフラムの弁体部を当接または離間させることにより、前記第1流路と前記第2流路との間を閉鎖または開放するようにしたダイアフラム弁において、前記ダイアフラムと一体化され、前記ダイアフラムの膜部に対して前記アクチュエータ側から常に面接触するバックアップを有すること、前記バックアップが、前記アクチュエータのピストンのうち、一方側でバネ力を受け、反対側で操作エアの受圧部となるピストン本体部から延びたロッドと連結されていること、前記ピストン本体部が摺動する第1シリンダとは別部材の第2シリンダを有すること、前記第2シリンダが、前記ロッドが摺動する内壁を有し、前記ダイアフラムの膜部の外周に当接して、前記ダイアフラムの膜部の外周を前記膜部が変形する方向で前記ボディに対して固定すること、前記バックアップの前記ダイアフラムの膜部に対する接触面の形状は、前記ダイアフラムの弁体部が前記弁座に当接したとき、前記バックアップと前記ダイアフラムの膜部との接触面積が最大となるように形成されていることを特徴とするものである。このダイアフラム弁では、バックアップがダイアフラムと一体化されている。また、バックアップは、ダイアフラムの膜部に対してアクチュエータ側から常に面接触している。このため、バックアップはダイアフラムとともに動くので、ダイアフラムの位置にかかわらず、ダイアフラムの膜部を常に受け止めている。すなわち、閉弁時あるいは開弁時のいずれの状態であっても、ダイアフラムの膜部はバックアップにより受け止められている。このため、高圧流体を使用してもダイアフラムの膜部が塑性変形することを防止することができる。これにより、このダイアフラム弁によれば、高圧流体の供給制御を行うことができる。ここで、このダイアフラム弁では開弁時において、バックアップがダイアフラムの膜部全体と接触していないが、非接触の部分は若干変形してバックアップに接触する。そして、このときの膜部の変形量は小さい。つまり、弾性変形領域内での変形である。このため、このダイアフラム弁では、開弁時においても、ダイアフラムの機能上問題となるような膜部の塑性変形を確実に防止することができる。また、このダイアフラム弁は、バックアップのダイアフラムの膜部に対する接触面の形状は、ダイアフラムの弁体部が弁座に当接したとき、バックアップとダイアフラムの膜部との接触面積が最大となるように形成されている。このため、閉弁後にウォーターハンマーが発生した場合であっても、バックアップによってダイアフラムの膜部のほぼ全域をしっかりと受け止めることができ、ダイアフラムの膜部が塑性変形することを確実に防止することができるからである。また、本発明に係るダイアフラム弁においては、前記ダイアフラムは、前記弁体部と前記膜部との境界が前記弁座の径よりも内側に位置するものであることが望ましい。高圧流体の供給制御を行うためには、ダイアフラムの膜厚を厚く従来のものに対して倍程度の厚さにする必要があるが、従来の形状のままで膜厚を単に厚くするとダイアフラムが正常に動作しない。そこで、ダイアフラムの形状をこのようにすることにより、ダイアフラムの膜部の長さを長くすることができるため、膜厚を厚くした場合でも膜部を無理なく変形させることができる。その結果、膜厚を厚くした場合でもダイアフラムを正常に動作させることができる。本発明に係るダイアフラム弁によれば、ダイアフラムの膜部がバックアップにより常時受け止められているので、高圧流体を使用してもダイアフラムの膜部が塑性変形することを防止して高圧流体の供給制御を行うことができる。以下、本発明のダイアフラム弁を具体化した最も好適な実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。本実施の形態は、本発明を給液用薬液弁に適用したものである。そこで、本実施の形態に係るダイアフラム弁の概略構成を図1および図2に示す。図1は、閉弁時の状態を示すダイアフラム弁の断面図である。図2は、開弁持の状態を示すダイアフラム弁の断面図である。ダイアフラム弁1は、フッ素樹脂製のボディ10に第1流路11及び第2流路12が形成されている。そして、ボディ10の上面中央には弁座13が形成され、弁座13内の弁孔14には第2流路12が接続され、弁座13の周りに形成された環状の溝部15には第1流路11が接続されている。こうして第1流路11と第2流路12とは、共にボディ10の上面開口部に連通し、その開口部はダイアフラム弁体20によって塞がれている。特に、ダイアフラム弁体20は周縁部分が固定され、これにより第1流路11から第2流路12を接続する気密な空間が形成されている。ダイアフラム弁体20は、弁座13に対して当接離間する弁体部21と、そこから外側に張り出した膜部22と、膜部22の周縁に形成された環状の固定部23とを有して形成されたものである。そして、固定部23がボディ10と後述する第2シリンダ30bとによって挟み込まれ、ダイアフラム弁体20がボディ10に対して固定されている。ここで、ボディ10は、固定部23の肉厚部分までしか当接していないが、第2シリンダ30bは、膜部22にまで当接している。これにより、断面積が大きく変化する固定部23と膜部22との変化部分を、その膜部22が変形する方向で支えるようにしている。なお、ダイアフラム弁体20は、ボディ10と同様にフッ素樹脂によって形成されている。また、高圧流体の供給制御を行うために、膜部22の厚さが従来品の倍程度となっている。本実施の形態では、膜部22の厚さは0.9mmである。しかしながら、従来品の形状のままで膜厚を単に厚くするとダイアフラム弁体が正常に動作しない。そこで、ダイアフラム弁1では、膜部22と弁体部21との付け根25を、ダイアフラム弁体20の中心線ロッド31bの軸芯Lに近いところに配置している。すなわち、中心線Lから付け根25までの距離Aが、その中心線Lから弁座13までの距離Bより短くなるようにし、付け根25が弁座13の位置よりも中心線L側に位置するようにしている。これにより、膜部22の長さが長くなるので、膜厚を厚くした膜部22を無理なく変形させることができるようになっている。また、膜部22は、その付け根25が弁体部21の傾斜部分において起立し、そこから上向きに広がり、途中で横向きになるように湾曲した断面形状で形成されている。このため、膜部22外周の固定部23は、図1に示すような閉弁時には付け根25よりも高いところに位置している。そして、ダイアフラム弁体20の上方に、ダイアフラム弁体20の動作を制御するためのアクチュエータ50が配置されている。つまり、ボディ10の上にアクチュエータ50が配置されている。アクチュエータ50には、第1シリンダ30aと、第2シリンダ30bと、ピストン31aと、ロッド31bと、カバー32と、スプリング33とが備わっている。そして、第1シリンダ30a内にピストン31aが摺動可能に挿入され、第2シリンダ30b内にロッド31bが摺動可能に挿入されている。また、ピストン31aとロッド31bとが連結され一体となっている。ロッド31bは下端部でバックアップ40に連結され、バックアップ40がダイアフラム弁体20の弁体部21に差し込まれて一体になっている。つまり、ロッド31bは、バックアップ40を介してダイアフラム弁体40に連結している。なお、バックアップ40の詳細は後述する。第1シリンダ30aの上部開口にカバー32が取り付けられ、カバー32によって第1シリンダ30a内にできた閉空間にスプリング33が装填されている。これにより、ピストン31aがスプリング33によって上方から付勢されるようになっている。従って、このダイアフラム弁1は、ピストン30aにスプリング33の付勢力が常に下方に作用し、図1に示すように弁体部21が弁座13に対して当接するように構成されたノーマルクローズタイプの弁である。一方、ピストン31aの下方には加圧室34が形成され、その加圧室34内に圧縮エアを供給する操作ポート35が第1シリンダ30aに形成されている。また、第1シリンダ30aには、スプリング33が装填されたピストン31a上方の空間に連通する呼吸ポート36が形成されている。ここで、バックアップ40は、上記したようにロッド31bと弁体部21とを連結するとともに、ダイアフラム弁体20の膜部22を上方から受け止めるためのものでもある。このバックアップ40は、ゴム材41と、そのゴム部材41を保持する樹脂製の保持部材42とを備えており、ダイアフラム弁体20の弁体部21と一体で上下動するようになっている。バックアップ40に備わるゴム材41は、ダイアフラム弁体20の膜部22との接触面に配設され、膜部22に常に面接触している。ゴム材41には、ゴム硬度が70~80のフッ素ゴムやEPDMなどのゴムが使用されている。そして、このゴム材41は、ダイアフラム弁体20の弁体部21が弁座13に当接したとき、ゴム材41とダイアフラム弁体20の膜部22との接触面積が最大となる形状に形成されている図2参照。また、ゴム材41のダイアフラム弁体20の膜部22に対する接触面は、膜部22に倣うように滑らかに形成されている。続いて、上記した構成を有するダイアフラム弁1の動作について説明する。ダイアフラム弁1は、通常、ピストン31aがスプリング33によって下方に付勢され、ロッド31bおよびバックアップ40を介してピストン31aに連結されたダイアフラム弁体20の弁体部21が、図1に示すように弁座13に対して押し付けられている。こうした閉弁状態のダイアフラム弁1はダイアフラム弁体20によって遮断され、第1流路11に流入した流体が第2流路12へ、または第2流路12に流入した流体が第1流路11へ流れることはない。そして、ボディ10の操作ポート35から圧縮エアが供給されると、ピストン31aが下方から加圧され、スプリング33の付勢力に抗してピストン31aが上昇する。そのため、ピストン31aにロッド31b及びバックアップ40を介して接続された弁体部21は上昇する。これにより、図2に示すように、弁体部21は弁座13から離間し、第1流路11と第2流路12とが連通した開弁状態となる。このとき、流体を第1流路11から供給すれば溝部15、弁孔14を経由して第2流路12へと流れ、流体を第2流路12から供給すれば弁孔14、溝部15を経由して第1流路11へと流れる。その後、操作ポート35から加圧室34に供給された圧縮エアを排出すれば、スプリング33に付勢されたピストン31aが下降する。そのため、ピストン31aにロッド31b及びバックアップ40を介して接続された弁体部21が下降する。これにより、図1に示すように、弁体部21が弁座13に当接して閉弁状態に戻って流体の流れが遮断される。ここで、ダイアフラム弁1では、バックアップ40は、弁体部21に一体化されているので、ダイアフラム弁体20とともに上下動する。このため、図1および図2に示すように、閉弁時および開弁時において、ダイアフラム弁体20の膜部22は、バックアップ40ゴム材41によってしっかりと受け止められている。従って、ダイアフラム弁1では、高圧流体を使用してもダイアフラム弁体20の膜部22が塑性変形することを防止することができる。よって、このダイアフラム弁1によれば、高圧流体の供給制御を行うことができる。なお、ダイアフラム弁1では開弁時において、図2に示すように、バックアップ40がダイアフラム弁体20の膜部22全体と接触していないが、非接触の部分が高圧流体の流体圧により変形したとしてもすぐにバックアップ40に接触する。このため、膜部22の変形量は小さく、膜部22は弾性変形するだけで塑性変形まではしない。従って、開弁時においても、機能上問題となるような膜部22の塑性変形を確実に防止することができる。また、ゴム材41の膜部22に対する接触面の形状が、閉弁時にゴム材41と膜部22との接触面積が最大となるようになっているので、閉弁後にウォーターハンマーが発生した場合であっても、バックアップ41によって膜部22をしっかりと受け止めることができるので、膜部22の塑性変形を確実に防止することができる。さらに、ゴム材41の膜部22に対する接触面は、膜部22に倣うように滑らかに形成されているので、膜部22の一部分に過大な負荷が作用すること応力集中を防止することができる。そして、ダイアフラム弁1では、このようなゴム材41をバックアップ40が備えているので、図3に示すように、弁座13の沈み込みが発生した場合であっても、膜部22に応力集中を発生させることなく膜部22をバックアップ40によって受け止めることができる。なぜなら、図4に示すように、ゴム材41のエッジ部外周部41aでは、厚みが減少して径方向に膨張する。このゴム材41の変形により、膜部22に局部的な変形が生じない。なお、バックアップ40がゴム材41を備えていない場合には、膜部22は図4に破線で示すように局部的に変形してしまうため、その部分で応力集中が起きて膜部22が塑性変形してしまう。つまり、ダイアフラム弁1では、弁座13の沈み込みが発生した場合であっても、膜部22の局部的な変形を防止することができるので、膜部22が塑性変形することを確実に防止することができる。これにより、ダイアフラム弁1の耐久性が向上する。以上、詳細に説明したように本実施の形態に係るダイアフラム弁1では、ダイアフラム20の弁体部21と一体化されて常にダイアフラム弁体20の膜部22に面接触するゴム材41を備えるバックアップ40を有している。このため、ダイアフラム弁体20の位置にかかわらず、膜部22がバックアップ40によって受け止められている。これにより、ダイアフラム弁1では、高圧流体を使用した場合にも膜部22の塑性変形することを確実に防止することができる。なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、上記した実施の形態では,スプリング33の付勢力に抗してダイアフラム弁体20に開弁動作をさせるアクチュエータとしてエアシリンダを採用したが、この他にもソレノイドを利用するようにしてもよい。"