1個以上の洗浄チャンバと、搬入出用の移動可能、回転可能又は枢動可能な搬送装置2とを有する産業用洗浄システムであって、搬送装置2は被洗浄物G用の把持工具20を備える昇降装置28を有しており、この昇降装置によって洗浄チャンバ1への搬送変位が行われ、把持工具20は洗浄チャンバ1の開口部9を通って案内されており、この開口部はカバー11で閉じることができ、昇降装置28とカバー11とが一体構造となっている洗浄システムにおいて、カバー11は貫通路13内で昇降装置28の昇降アーム15のシャフト14に沿ってガイド18、16で可動に保持されており、連行部材23が設けられており、連行部材23は昇降アーム15の上昇中にカバー11のためのストッパを形成して洗浄チャンバ1が開かれるようにし、昇降アーム15の下降中にカバー11は洗浄チャンバ1上に載置されて洗浄チャンバ1が閉じ、カバー11が閉止位置にある状態で昇降アーム15を用いて洗浄チャンバ1内における把持工具20の上昇又は下降を制御できることを特徴とする産業用洗浄システム。1個以上の洗浄チャンバ1と、搬入出用の移動可能、回転可能又は枢動可能な搬送装置2とを有する産業用洗浄システムであって、搬送装置2は被洗浄物G用の把持工具20を備える昇降装置28を有しており、この昇降装置によって洗浄チャンバ1への搬送変位が行われ、把持工具20は洗浄チャンバ1の開口部9を通って案内されており、この開口部はカバー11で閉じることができ、昇降装置28とカバー11とが一体構造となっている洗浄システムにおいて、搬送装置2は軸周りで制御可能なマニピュレータアーム46と、把持工具20を備える昇降アーム47とを有しており、カバー11は貫通路48内で昇降アーム47のシャフト49に沿って可動に案内されており、カバー11と昇降アーム47との係合は振子軸受50を介して形成されており、昇降アーム47を収容するための軸方向ガイド54を有しており、カバー11のための連行部材55が設けられており、連行部材55は昇降アーム47の上昇中にカバー11のためのストッパを形成してカバー11を連行し、昇降アーム47の下降中にカバー11が洗浄チャンバ1上に載置されて処理チャンバ1を閉じ、洗浄チャンバ1内でガイド54における昇降アーム47の並進運動、又は振子軸受50における昇降アーム47の振子運動がマニピュレータアーム46によって制御可能であることを特徴とする産業用洗浄システム。前記搬送装置2は産業用ロボット45であることを特徴とする、請求項2に記載の産業用洗浄システム。前記振子軸受50のために昇降アーム47のシャフト49にガイド体57が固定されて、カバー11の貫通路48内に隙間60を持たせて挿入されており、ガイド体57を包囲する可撓な封止体58、例えばジャケット又はスリーブが設けられており、封止体58は一方ではカバー11に、他方ではガイド体57又は昇降アーム47に固定されていることを特徴とする、請求項2又は3に記載の産業用洗浄システム。前記カバー11は貫通路48内でガイド体57に沿って保持されていることを特徴とする、請求項2に記載の産業用洗浄システム。前記カバー11は支持ベルト59によってガイド体57に保持されていることを特徴とする、請求項2~5のいずれか1項に記載の産業用洗浄システム。前記封止体58は液体を通さない材料からなることを特徴とする、請求項3に記載の産業用洗浄システム。前記振子軸受50は、昇降アーム47に設けたボールヘッド52と、カバー11に設けたボールソケット53とを備える玉継手51として形成されていることを特徴とする、請求項2又は3に記載の産業用洗浄システム。前記ボールソケット53は、中央貫通路48の周囲に形成されていることを特徴とする、請求項8に記載の産業用洗浄システム。前記開口部9の直径はカバー11の直径より小さく、閉じたカバー11は昇降アーム15、47と共に端壁10上を摺動可能に形成されていることを特徴とする、請求項1~9のいずれか1項に記載の産業用洗浄システム。前記ガイド18は、カバー11と昇降アーム15とが互いに入れ子式に把持される領域を有することを特徴とする、請求項1に記載の産業用洗浄システム。前記ガイド18が互いに入れ子式に摺動する封止構成を形成するために、カバー11はその内側にカラー様の円筒状突出部19を有しており、昇降アーム15はその把持工具20に付属した端部に円筒状カラー21を備えており、前記突出部と前記カラーは滑動して互いに入れ子式に把持されることを特徴とする、請求項11に記載の産業用洗浄システム。前記カバー11は、その載置面と、洗浄チャンバ1の開口部9縁部領域における載置面とが協働して横断方向で互いに向き合って摺動可能な封止構成を形成することを特徴とする、請求項1~12のいずれか1項に記載の産業用洗浄システム。前記カバー11は開口部9の縁部領域で環状封止ウェブ29により端壁10に支持されていることを特徴とする、請求項1~13のいずれか1項に記載の産業用洗浄システム。前記洗浄チャンバ1の端壁10に開口部9の縁部領域で、開口部9の縁部領域の面上を摺動可能な中間カバー24が配置されており、中間カバー24は開口部25を有し、昇降アーム15、48の作業位置において洗浄チャンバ1内でカバー11と摺動方向で連結されていることを特徴とする、請求項1~14までのいずれか1項に記載の産業用洗浄システム。前記中間カバー24はその内側縁部にカバー11に対抗する環状ウェブ27を有し、その外側縁部に端壁10に対抗する環状カラー26を有していることを特徴とする、請求項15に記載の産業用洗浄システム。前記開口部9の縁部は環状フランジウェブ12として形成されていることを特徴とする、請求項1~16のいずれか1項に記載の産業用洗浄システム。前記搬送装置2は、載置台40と洗浄チャンバ1とに沿って案内される台車38を有することを特徴とする、請求項1に記載の産業用洗浄システム。前記台車38に、進行方向に対して横断方向に延び且つ昇降アーム15を収容するスキッド41のためのレール44が取り付けられていることを特徴とする、請求項18に記載の産業用洗浄システム。前記昇降アーム15はガイド30内に支持された支柱として形成されており、この支柱は長手方向に全長に亘って把持工具20のための駆動軸42を有することを特徴とする、請求項1又は10~15のいずれか1項に記載の産業用洗浄システム。前記昇降アーム15は、その上側端部で上側ピニオン34と下側ピニオン35との間に案内されたチェーン駆動装置31にロック32によって固定されており、チェーン駆動装置31は台車38の腕木37に取り付けられていることを特徴とする、請求項1又は18~20に記載の産業用洗浄システム。本発明の課題は、洗浄チャンバの閉止が、昇降装置の運動方向に作動するカバー装置によって行われる改良された洗浄システムを提供することにある。この課題は、請求項1の手段第1の実施形態、又は請求項2の手段第2の実施形態により解決される。従属請求項に本発明の種々の実施形態を記載する。本発明の有利な特徴は、被洗浄物が洗浄チャンバから載置台に搬送されるとき、また、マルチチャンバシステムの場合にはある洗浄チャンバから次の洗浄チャンバに搬送されるとき、カバーが昇降装置の昇降アームに留まっている点にある。昇降アームとカバーが一体構造となっていることにより、被洗浄物が搬送装置によって搬送される際にカバーが連行される。特に、昇降アームがカバーを中央貫通路内に収容し、カバーは昇降アームで長手方向に可動に案内されているので、洗浄チャンバが閉じた状態で被洗浄物の昇降が可能である。昇降アームはカバーのための連行部材を備えており、昇降アームを所定の上昇高さ以上に持ち上げることによって連行が行われる。同様に、例えば洗浄チャンバを搬入するために昇降アームを所定の下降位置よりも下げると、カバーが洗浄チャンバの開口部の載置部と接触係合する。このように構成することにより洗浄チャンバは処理中に昇降アームの上昇と下降により被洗浄物が洗浄チャンバ内で上昇及び下降するときも常に閉じたままである。更に、被洗浄物を搬出する目的で昇降アームを上げることにより洗浄チャンバは自動的に開く。その際に昇降アームの連行部材はカバーと接触係合する。本発明の他の有利な特徴は、昇降アームが洗浄チャンバに対して高さを調節できることにより、カバーが閉じた状態で洗浄チャンバ内の被洗浄物を調整できる点にある。これにより種々の大きさの被洗浄物を洗浄チャンバの噴射又は照射以下単に噴射と記載するユニットに対して正確に位置決めできる。把持工具を水平運動と垂直運動によって簡単に位置決めできる本発明の特徴により、更なる改良が可能となる。把持工具によって、洗浄チャンバ内で処理媒質が被洗浄物に噴出、噴射又は吹きつけされる位置を正確に決めることができる。更に、処理中であっても被洗浄物を往復させたり昇降させたりすることによって処理結果を改善することができる。これは、被洗浄物の外周面における標的領域を集中的に処理するために、例えばノズルブロックに沿って被洗浄物を案内できるからである。カバーが閉止位置にあるとき、昇降アームは垂直方向の昇降運動と水平方向の往復運動を実行できる。その際にカバーは載置部、好ましくは洗浄チャンバの端壁上で変位可能に案内されており、昇降アームの水平運動により所定の範囲内で変位できる。昇降装置の昇降アームは、ガイド内に垂直に配置された支柱として形成され、チェーン駆動装置によって可動であることが好ましい。駆動チェーンは2個のピニオンの間を案内されており、ピニオンはモータによって駆動される。チェーン駆動装置は、台車に取り付けられた腕木に固定されている。台車はガイドレール上を動き、昇降装置の昇降アームを被洗浄物載置台上の位置から洗浄チャンバ上の位置まで搬送できる。更に昇降アームによって洗浄チャンバ内で垂直昇降運動を実行できる。被洗浄物は把持工具によって載置台からピックアップされ、持ち上げられ、洗浄チャンバ内に降ろされることができる。洗浄チャンバ内部の昇降アームの作業位置で、搬送装置によって往復運動も実行できるので、被洗浄物は処理中に所望する全ての箇所を噴出ノズル、噴射ノズル又は吹きつけノズルに対応するよう案内できる。カバーはこの運動を共に行って開口部を閉じる。昇降装置の昇降アームは、洗浄チャンバの内部でも処理中にも垂直方向に昇降を制御できるので、被洗浄物の任意の面における全ての箇所に到達できる。昇降アームは有利には把持工具と共に長手方向軸を中心に回転可能に支持されており、把持工具の回転によって全ての外周面を洗浄することができる。昇降アーム内に全長に亘って把持工具のための駆動軸が支持されていることが好ましく、この駆動軸は昇降アームの他方の端部に取り付けたモータによって駆動される。搬送装置のフレキシビリティを高める目的で、ガイドレールを一連の洗浄チャンバに沿って載置台まで敷設し、これらのレール上で昇降装置を載せた台車が搬送を行う。昇降装置は把持工具を備える昇降アームを有するので、載置台から汚れた被洗浄物を取り出して最初の洗浄チャンバに搬入でき、ここで第1の処理過程、例えば洗浄過程が進行する。そして最後の洗浄チャンバに搬入され、ここで例えば乾燥過程が進行し、そこから清浄化された被洗浄物が載置台に載せられて搬出に供される。台車には進行方向に対して横断方向にレールが取り付けられており、それらのレール上にスキッドが案内されていることが有利である。スキッドは昇降装置を支持することができ、それによって把持工具を備える昇降アームは台車の進行方向に関わりなく動かすことができる。この配置構成により載置台から離れて不規則に配置された洗浄チャンバも3次元座標系で到達できる。最も単純な例では1列に間隔を置いて配置された洗浄チャンバにおいて、洗浄チャンバから離れた所にある載置台を原点として、例えば搬送ベルトを起点として被洗浄物を装着できる。この場合、把持工具が被洗浄物をピックアップし、昇降アームが被洗浄物を洗浄チャンバのレベルの上方の平面に持ち上げて、台車が第1の洗浄チャンバをX座標で操作し、スキッドが昇降アームを被洗浄物と共にY座標に沿って洗浄チャンバの開口部の上方の位置まで搬送する。最後に昇降アームは被洗浄物をつかんだ把持工具を開口部を通して降下させ、処理中固定する。この位置でスキッド、台車及び昇降アームは互いに調整された運動を行い、洗浄運動も実施する。請求項2に従う実施形態においては、搬送装置は、軸周りで制御可能な複数の部分からなるマニピュレータアームと、把持工具を備える昇降アームとを有する。カバーは中央貫通路内で昇降アームのシャフトに沿って可動に案内されており、中間カバーと昇降アームとは振子軸受を介して係合している。振子軸受は玉継手であり、この玉継手は昇降アームを収容するために追加的に軸方向ガイドを有していることが好ましい。好ましくはこの玉継手は、昇降アームに設けたボールヘッドと、中央貫通路の領域でカバーに設けたボールソケットによって構成される。好ましくはボールソケットは、ボールヘッドをその直径を越えて包囲し、その結果単純な係合が生じる。更に、このように構成することによりカバーに対する封止が行われる。昇降アームの端部にはカバーのための連行部材が設けられており、昇降アームの上昇中にカバーを連行する目的で連行部材はカバーのためのストッパを形成する。昇降アームの下降中に洗浄チャンバを閉じるためにカバーは洗浄チャンバの上に載る。洗浄チャンバが閉じた状態でマニピュレータアームを用いて、ガイド内での昇降アームの並進運動又は振子軸受内での昇降アームの振子運動を行うことができる。本発明の更なる有利な構成においては、振子軸受は、カバーの中央貫通路に隙間を持たせて挿入された縦長のガイド体が装備されている。本発明において振子軸受とは、カバーが閉じた状態でガイド体がカバーの中央貫通路内でカバーに対して相対的に可動であることと定義される。ガイド体は昇降アームのシャフトと固く係合しており、カバーはガイド体に可動に保持されている。ガイド体とカバーの貫通路との間の隙間は昇降アームのガイドの働きをして、作業位置でマニピュレータアームを動かすことによりカバーに関わりなく昇降アームの運動、更には把持工具を備えるガイド体の昇降運動又はシャフト昇降運動が可能となり、昇降アームを傾けることによって振子運動が可能となる。ガイド体は把持工具とマニピュレータアームの間の領域で、昇降アームを取り囲んで同心的ケージ又は円筒体例えば円形断面又は正方形断面の管片として形成できる。作業位置で洗浄液がガイド体を通って外に出るのを防ぐために、ガイド体の内側断面は昇降アームのシャフトに対して封止されている。更に、ガイド体とカバーの貫通路との間の隙間はフレキシブルな封止体、例えばジャケット又はスリーブによって覆われている。この封止体はカバーとガイド体との間の係合を形成し、昇降アームと一体構造となっている。ジャケット又はスリーブは、一方でカバーに固定され、他方でガイド体に固定されている。ジャケット又はスリーブは、ガイド体の昇降運動に応じて収縮又は伸長する蛇腹として形成できる。封止体は液体を通さない材料からなる。搬送変位の間、カバーとガイド体の係合維持するためには、封止体はカバーのための保持具としての機能を追加的に有することができる。代替的な保持具としての機能は、一方でカバーに固定され、他方でガイド体に固定された支持ベルトが担うことができる。この場合、カバーの加重は封止体にかからない。本実施形態の利点は、洗浄チャンバ内での被洗浄物の処理が改良される点にある。昇降アームによる把持工具の昇降運動に加え、把持工具はマニピュレータアームの制御によって洗浄チャンバ内で任意の方向に振子運動も行うことができる。マニピュレータアームの制御は産業用ロボットによって行うことが好ましい。産業用ロボットは複雑なプログラミングによってフレキシブルな動作手順を実行ができるので、洗浄チャンバ内の被洗浄物を最適に処理できる。被洗浄物の個別的操作及び処理チャンバ内に取り付けた処理器具に対する位置合わせを可能とする機能は制御可能である。複数の洗浄チャンバに対して、全ての洗浄チャンバに適合する少なくとも1個のカバーが必要である。このカバーは洗浄チャンバ内に潜入する度に自動的に洗浄チャンバの開口部を閉じる。また、被洗浄物が洗浄チャンバ内で動かされるときも、洗浄チャンバは閉じたままである。本発明の有利な構成においては、カバーの閉止位置で昇降アームが水平方向に動くことによって、洗浄チャンバの開口部でカバーが水平方向に滑動して変位する。カバーが水平方向に変位可能であるので、同時に洗浄チャンバの開口部をカバーで封止することが可能になる。このため、カバーが往復運動する際も洗浄チャンバは密に閉じられている。この有利な構成における利点は、往復運動、昇降運動又は振子運動のいずれにおいても封止が形成されるため、処理媒質の流出が防止されることにある。封止が水平運動方向でも垂直運動方向でも行われることによって、基礎部材として昇降アームの周囲に水平方向に移動可能な鍔状のスライドカバーが取り付けられ、洗浄チャンバの開口部の縁部に固定されずに載っている。スライドカバーは同心的な例えば円筒状の管突出部を有する一方、昇降アームが把持工具を支持している端部に昇降アーム周りに同心的に延びる例えば円筒状の管突出部も同時に有する。両部材は互いに入れ子式に摺動可能な封止係合を形成して、垂直方向における昇降アームの封止性を保証する。洗浄チャンバの開口部に対するスライドカバーの被覆度は、全ての摺動方向で終端位置でもなお被覆が存在するように寸法設計されている。スライドカバーを形成する鍔状部材と、洗浄チャンバの開口部の縁部領域との間の封止を改善するために、外周に環状封止ウェブが取り付けられており、この環状封止ウェブはその端面で開口部の縁部領域における面に支えられることができる。更なる封止の改善は中間カバーによって達成される。従属請求項に記載されているように、この中間カバーはその環状カラーが開口部の縁部領域の上に載って水平方向に変位可能であり、昇降アームが洗浄チャンバから進出する際に連行されず、洗浄チャンバに留まっている。以下、本発明の二実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下、本発明洗浄システムの実施形態二種を説明する。図1~図4は第1の実施形態を示し、図5~図8は第2の実施形態を示す。図9~図11は図5~図8に示す実施形態の変形例を示す。本システムの同一部材は各実施形態において同じ参照番号で表し、共通の説明が適用される。図1~図4は1個の洗浄チャンバ1を有する洗浄システムを、図4~図8は2個の洗浄チャンバ1を有する洗浄システムを示す。これら洗浄チャンバ1は搬送装置2によって装入される。洗浄チャンバ1は、下側に使用済み洗浄液の排出口4を有するメタルハウジング3からなる。洗浄チャンバの1の外套には、処理媒体を噴射するための機構5、6が取り付けられており、回転可能な噴出ノズル、噴射ノズル又は吹きつけノズル7が、また、高圧放射用のランスパイプ8が洗浄チャンバ1内に突入している。洗浄チャンバ1はメタルハウジング3の上側端壁10に排出口4と向き合う中央開口部9を有しており、開口部9はカバー11で閉じることができる。本実施形態では1個の中央開口部9が存在している。この開口部9は円形に形成されている。もちろんカバー11と開口部9は正方形又は長方形であることもできる。開口部9の縁部は、外方に向けられた環状フランジウェブ12を有している。カバー11は、昇降アーム15のシャフト14を収容する中央貫通路13を有している。図1、図2及び図3は、互いに入れ子式に摺動可能な封止構成を形成するためのガイド18を示している。カバー11はその内側にカラー様の円筒状突出部19を有し、昇降アーム15には把持工具20に付属した端部に円筒状カラー21が装備されている。突出部19とカラー21は滑動して互いに入れ子式となっている。カラー21は底部22が昇降アーム15の端面に固定されており連行部材23として作用するフランジを有している。昇降アーム15が持ち上げられると、連行部材23は所定の上昇高さからカバー11と作用係合して持ち上げられる。逆の場合には所定の下降位置からカバー11は端壁10又は中間カバー24の上に載置される。図4に示すように、カバー11はガイド16で保持されている。ガイド16は貫通路13の縁部領域の周囲にブシュ17を有しており、このブシュ17でカバー11はシャフト14に沿って摺動可能に支持されている。図2から明らかなように、端壁10には中央開口部25を有する非固定の中間カバー24が載置されている。中央開口部25の直径は端壁10内の開口部9の直径と等しいか、或いはやや小さい。中間カバー24の直径は端壁10内の開口部9の直径よりかなり大きく、外側の環状カラー26を有しており、この環状カラー26を介して中間カバー24は端壁10上に載置される。中間カバー24は中央開口部25の周囲に外方に向けられたウェブ27を備えている。中間カバー24の直径と開口部9の間に差寸法Bが生じるため、中間カバー24が端壁10上で全ての方向に移動できる。中間カバー24の端壁10上での摺動領域はフランジウェブ12とカラー26によって限定される。フランジウェブ12とカラー26はストッパとして作用する。図1では、昇降装置28の昇降アーム15は洗浄チャンバ1内に突入している。昇降アーム15の端部には被洗浄物Gを固持する把持工具20が存在する。カバー11は外縁部に環状封止ウェブ29を有し、中間カバー24と協働することにより封止ウェブ29はわずかな隙間を有して面一で中間カバー24のウェブ27内に挿入可能であり、昇降アーム15が開口部9を通って降下すると封止ウェブ29の端面が中間カバー24上に載置されることによって自動的に作用係合を形成する。図1に示す昇降アーム15の位置において、搬送装置2又は昇降アーム15が往復運動するとカバー11は中間カバー24を連行する。このとき封止ウェブ29と中間カバー24のウェブ27は連行部材として働く。カバー11を目的に叶うよう形成すると、往復運動における実質的な移動距離は、ほぼ寸法Bに等しくできる。本実施形態では全てのカバー11、24及び開口部9、25は円形に形成されている。図2に封止構成の単純化された変形例を示す。中間カバー24は存在せず、カバー11はその封止ウェブ29で直接端壁10の上に載置されるか、或いはカバー11はその封止ウェブ29で端壁10のフランジウェブ12上に支持されている。図からわかるように、昇降アーム15がカバー11を連行して洗浄チャンバ1の中心から左にノズル7に向かってずれている。図1、図2、図3及び図4に示すように、昇降アーム15は、ガイド30内に垂直に配置された支柱として形成されていることが好ましく、昇降アーム15の上端部はロック32によって駆動チェーン33と係合し、チェーン駆動装置31により駆動することができる。駆動チェーン33は2個のピニオン34、35の間に案内されており、1個のピニオン34はモータ36によって駆動される。チェーン駆動装置31は腕木37に固定されており、腕木37は台車38又は台車38に支持されたスキッド41に取り付けられている。台車38はガイドレール39上を動き、被洗浄物Gのための載置台40の上方の位置から洗浄チャンバ1の開口部9の上方の位置まで昇降アーム15を搬送できる。昇降アーム15によって垂直運動が実行される。載置台40から把持工具20により被洗浄物Gをピックアップし、昇降アーム15で持ち上げて、洗浄チャンバ1内に沈めることができる。洗浄チャンバ1の内部における昇降アーム15の作業位置で、台車38又はスキッド41により往復運動を実行できるので、処理中に被洗浄物Gは所望する全ての箇所が噴出ノズル、噴射ノズル又は吹きつけノズル7、8に対応して案内される。カバー11は中間カバー24と共にこの運動を共に行い開口部9を閉じる。昇降アーム15は洗浄チャンバ1の内部でも処理中に垂直方向に昇降制御できるので、被洗浄物Gのある面における全ての箇所に到達できる。昇降アーム15は把持工具20と共に長手方向軸を中心に回転可能に支持されていることが好ましく、把持工具20の回転によって全ての外周面を洗浄できる。好ましくは、昇降アーム15内では全長に亘って把持工具20のための駆動軸42が支持されており、駆動軸42は昇降アーム15の他方の端部に取り付けたモータ43によって駆動される。搬送装置2のフレキシビリティを高める目的で、台車38のレール44上にスキッド41が取り付けられている。ガイドレール39は一連の洗浄チャンバ1に沿って載置台40まで敷設できる。複数の洗浄チャンバ1が曲線上に配置され、隣接する2個の洗浄チャンバ1の間に載置台40が挿入された円形の配置構成も考えられる。汚れた被洗浄物Gが載置台40から取り出されて第1の洗浄チャンバ1に送り込まれ、ここで第1の処理過程例えば洗浄過程が行われ、第2の洗浄チャンバ1に送り込まれ、そこで例えば乾燥過程が行われ、そこから清浄化された被洗浄物Gが載置台40に載せられて搬出される。スキッド41が台車38の進行方向に対して横断方向に配置されている場合、把持工具20を備える昇降アーム15は台車38の進行方向に関わりなく動かすことができる。この配置構成により載置台40から離れて不規則に配置された洗浄チャンバ1も3次元座標系で到達できる。最も単純な例では1列に間隔を置いて配置された洗浄チャンバ1において、洗浄チャンバ1から離れた所にある載置台40を原点として、例えば搬送ベルトを起点として被洗浄物Gを装着できる。この場合、昇降アーム15が把持工具20で被洗浄物Gをピックアップし、洗浄チャンバ1のレベルの上方の平面に持ち上げて、台車38が第1の洗浄チャンバ1をX座標で操作し、スキッド41が昇降アーム15を被洗浄物Gと共にY座標に沿って洗浄チャンバ1の開口部9又は25の上方の位置まで搬送する。最後に昇降アーム15は被洗浄物Gをつかんだ把持工具20を開口部25、9を通して降下させ、処理中固定する。この位置でスキッド41、台車32及び昇降アーム15は互いに調整された運動を行い、洗浄運動も実施する。更に、図1には洗浄チャンバ1の作業位置における搬送装置2の位置が示され、図3には搬送装置2が被洗浄物Gを載置台40に降ろすための位置が示されており、カバー11と昇降アーム15が係合したままであることがわかる。図4は洗浄システムの側面図であり、スキッド41によって台車38の運動方向に対して横断方向に昇降アーム15の搬送運動が行われる。図5~図8及び図9~図11に示す洗浄システムは、搬送装置2として複数の軸周りで制御可能なマニピュレータアーム46と、自由端に把持工具20を備える昇降アーム47を有する産業用ロボット45を含む。カバー11は中央貫通路48内で昇降アーム47のシャフト49に沿って可動に案内されている。カバー11と昇降アーム47との間に振子軸受50として構成された係合があり、非固定で懸垂するカバー11は自在に枢動できる。図5~図8に示すように、振子軸受50はボールヘッド52とボールソケット53からなる玉継手51として形成されている。ボールヘッド52は昇降アーム47のシャフト49上でガイド54内を摺動可能に支持されており、ボールソケット53は貫通路48の縁部領域でカバー11に設けられている。昇降アーム47の端部47に設けられている連行部材55は、昇降アーム47の上昇中にカバー11を連行するためのストッパを形成する。昇降アーム47の下降中にカバー11が洗浄チャンバ1と一直線の位置で閉じ、カバー11は洗浄チャンバ1の上に載置される。作業位置においてマニピュレータアーム46を用いると、把持工具20は昇降アーム47によってガイド54内で昇降することができ、或いは振子軸受50内で振子運動させることができる。運動を実施するための他の可能性は、カバー11の載置面が開口部9の縁部領域で摺動可能であり、把持工具20の往復運動を実行できることである。これによって複数の面において洗浄チャンバ内で被洗浄物Gの最適な調整と位置合わせが可能となる。また、図7に示すように、昇降アーム47内の軸56により把持工具20の回転及び枢動が可能である。図7は、カバー11が洗浄チャンバ1の右縁部に移動していることを更に示している。図8は洗浄チャンバ1の左縁部に移動したカバー11の位置を示している。図9~図11に示す洗浄システムは、図5~図8に従うシステムの変形例である。本質的な違いは振子軸受50の構成にある。図5~図8に示すその他のシステム要素は図9~図11に示す変形例に対しても該当するので、上の記載を参照されたい。振子軸受50は、カバー11と昇降アーム47との間に特段の回転継手を形成することなく、処理チャンバ1内で昇降アーム47が把持工具20と共に複数の方向に動くことを可能にする。洗浄チャンバ1内での処理中に、即ちカバー11が閉じた状態で昇降アーム47の振子運動の機能は、カバー11の貫通路48内に隙間60を持たせて挿入されたガイド体57によって達成される。隙間60の大きさは、ガイド体57が水平に対して所定の角度だけ傾くことができ、それによってカバー11と摩擦接触して動けなくなることがないように調節されている。また、隙間60は、昇降アーム47が水平方向に動くと洗浄チャンバ1の端壁10でカバー11が水平方向に移動できるよう十分小さいものとする。更に、ガイド体57は貫通路48内の案内が昇降アーム47の全昇降行程に亘って行われるよう縦長の形状を有している。昇降アーム47はガイド体57を貫通して、結合部61を介して昇降アーム47のシャフト47に密に固定されている。昇降アーム47及びガイド体は結合部61と一体構造となっている。ガイド体57として側方が開いた円形又は矩形断面のケージ又は円筒を使用できる。隙間61を封止するために、カバー11とガイド体57との間に液体を通さない材料からなるフレキシブルな封止体58が設けられている。封止体58は蛇腹又はスリーブとして形成されており、一端でカバー11のフランジ図示せずに固定され、他端でガイド体57の上側縁部領域に固定されている。洗浄チャンバ1内で洗浄する間、昇降アーム47が動くと封止体58はアコーデオン状に圧縮されたり引き伸ばされたりする。搬送過程で封止体58の荷重を軽減するために、カバー11は支持ベルト59によってガイド体57又は昇降アーム47に保持されている。