基板20を熱加工するための熱処理内側チャンバ3であって、壁10を備え、該壁10は、熱処理内側チャンバ3の内室24を包囲し、熱加工の間に基板20を支承するための支承装置8を備え、熱処理内側チャンバ3の内室24にエネルギを導入するためのエネルギ源11を備え、壁10の内側面の少なくとも一部は、エネルギ源11により導入される出力を反射するように形成されるものにおいて、壁10の内側面の少なくとも一部は、少なくとも赤外線高反射性の材料から成ることを特徴とする、基板を熱処理する熱処理内側チャンバ。特に請求項1に記載の、基板20を熱加工するための熱処理内側チャンバ3であって、壁10を備え、該壁10は、熱処理内側チャンバ3の内室24を包囲し、熱加工の間に基板20を支承するための支承装置8を備え、熱処理内側チャンバ3の内室24にエネルギを導入するためのエネルギ源11を備えるものにおいて、壁10の少なくとも一部を冷却するための冷却装置14を設けることを特徴とする、基板を熱処理する熱処理内側チャンバ。壁10は、熱処理内側チャンバ3の内室24を、複数面で、好適には全面的に包囲する、請求項1または2記載の熱処理内側チャンバ。冷却装置14は、液状の冷媒、特に油用の回路15を備える、請求項2または3記載の熱処理内側チャンバ。熱処理内側チャンバ3の少なくとも1つの壁10に冷却通路16を設ける、請求項4記載の熱処理内側チャンバ。熱処理内側チャンバ3の壁面の少なくとも80および/または全ての壁10に冷却通路16を設ける、請求項5記載の熱処理内側チャンバ。冷却通路16は、熱処理内側チャンバ3の壁10内で蛇行状に延びる、請求項5または6記載の熱処理内側チャンバ。冷却通路16は、略矩形の横断面を有する、請求項5から7までのいずれか1項記載の熱処理内側チャンバ。隣り合う冷却通路16は、ウェブ18によって仕切られ、該ウェブ18の幅19および/または高さ18aは、冷却通路16の幅17の20~80である、請求項5から8までのいずれか1項記載の熱処理内側チャンバ。熱エネルギ源11は、熱エネルギを放出するための加熱手段11’を備え、該加熱手段11’は、熱処理内側チャンバ3内に配置される、請求項2から9までのいずれか1項記載の熱処理内側チャンバ。加熱手段11’は、好適には基板面20に対して平行に延びる複数の石英ロッド12により形成される、請求項10記載の熱処理内側チャンバ。石英ロッド12は、基板面20の両側に配置される、請求項11記載の熱処理内側チャンバ。熱処理内側チャンバ3に、エネルギ源11から入射される出力を反射するための中間反射壁28および/または縁反射器30が設けられている、請求項2から12までのいずれか1項記載の熱処理内側チャンバ。少なくとも1つの壁10および/または少なくとも熱処理内側チャンバ3の内側面29は、少なくとも部分的に、耐熱性のかつ/またはセレンに対する耐性を有するかつ/または少なくとも赤外線高反射性の材料、好適には特殊鋼、モリブデン、金、窒化物、窒化チタン、窒化ケイ素または拡散高反射性の熱可塑性樹脂から成るか、またはそのような材料を含む、請求項13記載の熱処理内側チャンバ。中間反射壁28および/または縁反射器30は、エネルギ源11から放射される出力を基板20に集束するように成形されている、請求項13記載の熱処理内側チャンバ。熱処理内側チャンバ3の冷却される壁10と基板20との間に、温度均一化のための少なくとも1つの中間反射器20’’が配置されている、請求項13記載の熱処理内側チャンバ。熱処理内側チャンバ3は、基板20を導入しかつ取り出すための閉鎖可能な開口6を備える、請求項2から16までのいずれか1項記載の熱処理内側チャンバ。熱処理内側チャンバ3は、基板20を搬送するための搬送装置8と結合され、かつ/または基板20は、基板ボックスに収容される、請求項2から17までのいずれか1項記載の熱処理内側チャンバ。基板20を熱加工するための加工チャンバ1であって、周囲に対して基板20を遮蔽するための外側チャンバ2を備え、該外側チャンバ2内に配置された、熱加工の間に基板20を収容するための熱処理内側チャンバ3を備え、熱処理内側チャンバ3の内室24にエネルギを導入するためのエネルギ源11を備えるものにおいて、加工チャンバ1は、熱処理内側チャンバ3の壁10の少なくとも一部を冷却するための冷却装置14を備え、かつ/または熱処理内側チャンバ3は、壁10を備え、エネルギ源11により導入される出力を反射するための壁10の内側面の少なくとも一部が、少なくとも赤外線高反射性の材料から成ることを特徴とする、基板を熱処理する加工チャンバ。熱処理内側チャンバ3は、スペーサ26により、外側チャンバ2に固定される、請求項19記載の加工チャンバ。冷却装置14は、液状の冷媒、特に油用の回路15を備え、スペーサ26は、冷媒を供給しかつ排出するための中空室27を備える、請求項20記載の加工チャンバ。外側チャンバ2は、真空チャンバである、請求項19から21までのいずれか1項記載の加工チャンバ。