"外力が作用する面を有し、前記外力の方向と大きさとを検出する外力検出部と、前記外力によって発生する滑り変位を検出する滑り検出部と、が積層された検出装置であって、前記外力検出部は、基準点の回りに複数配置された圧力センサーを有する第1基板と、前記基準点と重なる位置に重心が位置するとともに、前記外力によって先端部が前記第1基板に当接した状態で弾性変形する弾性体突起が形成された第2基板と、を備え、前記滑り検出部は、感圧導電シートと、前記感圧導電シートに電気的に接続され、前記感圧導電シートの抵抗値を検出する一対の電極が形成された第3基板と、を備えていることを特徴とする検出装置。前記外力が作用する面には、弾性を有する基板が設置されていることを特徴とする請求項1に記載の検出装置。前記外力が作用する面には、凹部と凸部のうち少なくとも一方が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の検出装置。前記外力が作用する面の側から順に、前記第3基板、前記第2基板、及び前記第1基板が積層されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検出装置。前記第3基板と前記第2基板との間には、剛性を有する基板が設置されていることを特徴とする請求項4に記載の検出装置。前記第2基板と前記第1基板とで構成される前記外力検出部は、一対の剛性を有する基板で挟持されていることを特徴とする請求項4に記載の検出装置。前記第2基板と前記第3基板のうち少なくとも一方は、剛性を有する基板であることを特徴とする請求項4に記載の検出装置。前記外力が作用する面の側から順に、前記第2基板、前記第1基板、及び前記第3基板が積層されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検出装置。前記第3基板の前記外力が作用する面と反対の面には、剛性を有する基板が設置されていることを特徴とする請求項8に記載の検出装置。前記第3基板は、一対の剛性を有する基板で挟持されていることを特徴とする請求項8に記載の検出装置。前記第3基板は、剛性を有する基板であることを特徴とする請求項8に記載の検出装置。前記第2基板は、剛性を有する基板であることを特徴とする請求項8乃至11に記載の検出装置。前記検出装置は演算部を備え、前記演算部は、前記外力によって前記弾性体突起が弾性変形することにより複数の前記圧力センサーで検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて前記外力が作用した方向及び前記外力の大きさを求める演算処理を実行することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の検出装置。前記演算部は、前記感圧導電シートの抵抗値を滑り検出信号に変換し、前記滑り検出信号の変化から前記滑り変位の発生を検出する演算処理を実行することを特徴とする請求項13に記載の検出装置。請求項1乃至14のいずれか1項に記載の検出装置を備えていることを特徴とする電子機器。請求項1乃至14のいずれか1項に記載の検出装置を備えていることを特徴とするロボット。しかしながら、特許文献1の検出装置では、測定面にかかる圧力の面内方向の力滑り力を測定することができない。特許文献2の検出装置では、外力を3次元の力ベクトルとして検出することは可能であるが、突起の変形の度合いで外力の検出限界が決まってしまう。以上のように、特許文献1及び2の検出装置では、いずれも外力の方向と大きさとを高い精度で検出することができなかったという課題を有している。さらに、近年のロボットには、単に硬い物体を把持するという動作だけでなく、例えば柔らかい物体を適切な力で把持するという動作、例えば人を撫でる、こする、拭くという動作など、より人に近い動作性能が要求されている。この様なロボットを実現するためには、人が持つ感覚機能の中の触覚力覚、滑り覚情報を高精度で検知する必要がある。詳しくは、物体に作用する力以下、外力と称すの方向及び大きさという力覚情報に加えて、外力が作用した物体の静止または滑りという滑り覚情報を高精度で検出する必要がある。本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、外力の方向及び大きさという力覚情報に加えて、外力が作用した物体の静止または滑りという滑り覚情報を高精度で検出することが可能な検出装置、さらには当該検出装置を搭載した電子機器やロボットを提供することを目的とする。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。適用例1本適用例の検出装置は、外力が作用する面を有し、外力の方向と大きさとを検出する外力検出部と、外力によって発生する滑り変位を検出する滑り検出部とが積層された検出装置であって、外力検出部は、基準点の回りに複数配置された圧力センサーを有する第1基板と、基準点と重なる位置に重心が位置するとともに、外力によって先端部が第1基板に当接した状態で弾性変形する弾性体突起が形成された第2基板とを備え、滑り検出部は、感圧導電シートと、感圧導電シートに電気的に接続され、感圧導電シートの抵抗値を検出する一対の電極が形成された第3基板とを備えていることを特徴とする。本適用例によれば、弾性体突起の先端部が第1基板複数の圧力センサーに当接した状態で、滑り方向圧力センサー表面と平行な方向に変形することが可能であるので、外力の方向と大きさとを検出することができる。更に、感圧導電シートの抵抗値は、滑り変位が発生する付近で変化点を有するので、感圧導電シートの抵抗値の変化から滑り変位の発生を検出することができる。従って、外力の方向と大きさという力覚情報に加えて、外力が作用した物体の静止または滑りという滑り覚情報からなる複合情報を検出できる検出装置を提供することができる。適用例2上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面には弾性を有する基板が設置されていることが好ましい。本適用例によれば、外力が作用する面には弾性を有する基板が設置され、外力の作用点で弾性を有する基板が変形するので、外力の作用点が移動する滑ることなく、外力を受け止めることができる。従って、弾性を有する基板によって、外力検出部及び滑り検出部に、外力が的確に伝達されるという効果を得ることができる。適用例3上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面には、凹部と凸部のうち少なくとも一方が形成されていることが好ましい。本適用例によれば、外力が作用する面には凹部と凸部のうち少なくとも一方が形成されているので、外力が作用する面の摩擦力が大きくなる。よって、外力の作用点は移動する滑ることがなく、外力をより的確に受け止めることができる。従って、外力検出部及び滑り検出部に、外力がより的確に伝達されるという効果を得ることができる。適用例4上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第3基板、第2基板、及び第1基板が積層されていることが好ましい。本適用例によれば、外力が作用する面の側から順に、滑り変位を検出する滑り検出部第3基板及び外力の方向と大きさとを検出する外力検出部第2基板、第1基板が積層されているので、外力検出部によって外力の方向と大きさという力覚情報を、及び滑り検出部によって物体の静止または滑りという滑り覚情報を、同時に検出することができるという効果を得ることができる。適用例5上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第3基板、第2基板、及び第1基板が積層され、第3基板と第2基板との間には、剛性を有する基板が設置されていることが好ましい。本適用例によれば、滑り検出部第3基板の外力が作用する面の反対の面には、剛性を有する基板が設置されているので、外力が作用しても滑り検出部は変形することがなく、滑り検出部に的確に外力が作用し、外力によって発生する滑り変位の発生を正確に検出することができる。さらに、外力検出部第2基板、第1基板の外力が作用する面には、剛性を有する基板が設置されているので、外力検出部には、一点集中でなく全体に外力が作用する。従って、外力検出部に設置した複数個所の弾性体突起に作用する外力の大きさ外力の分布を求めることができる。さらに、その差から作用した外力の回転モーメントも求めることができるという効果を得ることができる。適用例6上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第3基板、第2基板、及び第1基板が積層され、第2基板と第1基板とで構成される外力検出部は、一対の剛性を有する基板で挟持されていることが好ましい。本適用例によれば、滑り検出部第3基板の外力が作用する面の反対の面には、剛性を有する基板が設置されているので、外力が作用しても滑り検出部は変形することがなく、滑り検出部に的確に外力が作用し、外力によって発生する滑り変位の発生を正確に検出することができる。さらに、外力検出部第2基板、第1基板の外力が作用する面には、剛性を有する基板が設置されているので、外力検出部には、一点集中でなく全体に外力が作用する。よって、外力検出部に設置した複数個所の弾性体突起に作用する外力の大きさ外力の分布、及びその差から外力の回転モーメントを求めることができる。さらに、外力検出部の外力が作用する面と反対側の面に剛性を有する基板が設置されているので、外力が作用しても外力検出部が変形し、作用する外力の方向を誤検知することがなく、変形しやすい柔軟な物体にも検出部を取り付けることができるという効果も得ることができる。適用例7上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第3基板、第2基板、及び第1基板が積層され、第2基板と第3基板のうち少なくとも一方は、剛性を有する基板であることが好ましい。本適用例によれば、第2基板と第3基板のうち少なくとも一方は剛性を有するので、滑り検出部第3基板と外力検出部第2基板、第1基板との間に剛性を有する基板を新たに設置しなくても、滑り検出部と外力検出部とを適正に機能させることができるという効果を得ることができる。適用例8上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第2基板、第1基板、及び第3基板が積層されていることが好ましい。本適用例によれば、外力が作用する側から順に、外力を検出する外力検出部第2基板、第1基板と滑り変位を検出する滑り検出部第3基板とが積層されているので、外力検出部によって外力の方向と大きさという力覚情報を、及び滑り検出部によって物体の静止または滑りという滑り覚情報を、同時に検出することができるという効果を得ることができる。適用例9上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第2基板、第1基板、及び第3基板が積層され、第3基板の外力が作用する面と反対の面には剛性を有する基板が設置されていることが好ましい。本適用例によれば、滑り検出部第3基板の外力が作用する面の反対の面には、剛性を有する基板が設置されているので、外力が作用しても滑り検出部は変形することがなく、滑り検出部に的確に外力が作用し、外力によって発生する滑り変位を正確に検出することができる。さらに、変形しやすい柔軟な物体にも検出装置を取り付けることができるという効果も得ることができる。適用例10上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第2基板、第1基板、及び第3基板が積層され、第3基板は一対の剛性を有する基板で挟持されていることが好ましい。本適用例によれば、外力検出部第2基板、第1基板の外力が作用する面と反対の面には、剛性基板が設置されているので、外力が作用しても外力検出部が変形し、作用する外力の方向を誤検知することがなく、外力の方向と大きさとをより正確に検出することができる。さらに、滑り検出部第3基板の外力が作用する面と反対の面にも、剛性を有する基板が設置されているので、外力が作用しても滑り検出部は変形することがなく、滑り検出部に的確に外力が作用し、外力によって発生する滑り変位を正確に検出することができる。さらに、変形しやすい柔軟な物体にも検出装置を取り付けることができるという効果も得ることができる。適用例11上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第2基板、第1基板、及び第3基板が積層され、第3基板は剛性を有する基板であることが好ましい。本適用例によれば、滑り変位検出部第3基板は剛性を有する基板であるので、外力が作用しても変形することがなく、滑り変位検出部に所定の外力が作用し、滑り変位の発生を正確に検出することができる。さらに、変形しやすい柔軟な物体にも検出装置を取り付ことができるという効果も得ることができる。適用例12上記適用例に記載の検出装置は、外力が作用する面の側から順に第2基板、第1基板、及び第3基板が積層され、第2基板は剛性を有する基板であることが好ましい。弾性突起体が形成された第2基板は剛性を有する基板であるので、第2基板から複数の圧力センサーを有する第1基板には、一点集中でなく全体に外力が作用する。よって、外力検出部に設置した複数個所の弾性体突起に作用する外力の大きさ外力の分布、及びその差から外力の回転モーメントを求めることができるという効果を得ることができる。適用例13上記適用例に記載の検出装置は演算部を備え、演算部は外力によって弾性体突起が弾性変形することにより複数の圧力センサーで検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外力が作用した方向及び外力の大きさを求める演算処理を実行することが好ましい。本適用例によれば、検出装置に作用する外力に、滑り方向圧力センサー表面と平行な方向の力成分があると、弾性体突起の重心は基準点からずれて、滑り方向に移動する。すると、複数の圧力センサーのうち、弾性体突起の重心が移動した部分と重なる割合が相対的に大きくなり、各圧力センサーで異なる値の圧力値が検出される。具体的には、弾性体突起の重心と重なる位置の圧力センサーでは相対的に大きい圧力値が検出され、弾性体突起の重心と重ならない位置の圧力センサーでは相対的に小さい圧力値が検出されることとなる。従って、演算部により、各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて、検出装置に作用した外力の方向と大きさとを求めることができるという効果を得ることができる。適用例14上記適用例に記載の検出装置は演算部を備え、演算部は感圧導電シートの抵抗値を滑り検出信号に変換し、滑り検出信号の変化から滑り変位の発生を検出する演算処理を実行することが好ましい。感圧導電シートの抵抗値は、滑り変位が発生する付近で変化点を有するので、感圧導電シートの抵抗値の変化点から、滑り変位の発生を検出することができる。演算部で、感圧導電シートの抵抗値の変化を、より正確に検出できる電気信号滑り検出信号に変換する。さらに、演算部で当該電気信号滑り検出信号の変化点から滑り変位の発生を検出する演算処理を実施することで、より正確に滑り変位の発生を検出することができるという効果を得ることができる。適用例15本適用例に記載の電子機器は、上記適用例に記載の検出装置を備えていることを特徴とする。上記適用例に記載の検出装置を電子機器に搭載することで、電子機器に作用する力の方向と大きさという力覚情報に加えて、静止または滑りという滑り覚情報を利用できるので、力覚情報による電子機器の操作に加えて、滑り覚情報による電子機器の操作が可能になり、より多様な操作ができる電子機器を提供することができる。例えば、情報携帯端末、携帯電話、パーソナルコンピューター、ビデオカメラのモニター、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、デジタルスチルカメラなどのタッチパッドに当該検出装置を搭載することで、より多様な操作性を提供することができる。適用例16本適用例に記載のロボットは、上記適用例に記載の検出装置を備えていることを特徴とする。上記適用例に記載の検出装置を備えたロボットは、物体に作用する力の方向と大きさという力覚情報に加えて、静止または滑りという滑り覚情報を同時に検出することができるので、物体が静止している状態だけでなく、物体が滑っている状態においても物体に作用する力の方向と大きさとを検知し、物体に作用する力の方向と大きさとを適正に制御することができる。従って、例えば人を介護する動作撫でる、こする、拭く、例えば粘土の様な柔軟な材料を陶芸品に加工する動作など、より人に近い動作を提供することができる。以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。第1実施形態<検出装置の概要>図1は、第1実施形態に係る検出装置100の構成を示す概略図である。図1に示すように、検出装置100は、矢印で示す外力Fが作用する検出部Kと、検出部Kから得られた情報を演算処理する演算部Eとで構成される。検出部Kは矩形状であり、外力Fが作用する側から順に、弾性基板A、滑り検出部B、剛性基板C、及び外力検出部Dが積層され、それぞれの部材は接着剤または粘着材によって接着されている。滑り検出部Bから得られた信号は演算部Eで演算処理され、外力Fによる滑り変位の発生を求めることができる。外力検出部Dで得られた信号は演算部Eで演算処理され、外力Fの方向と大きさとを求めることができる。外力Fが作用する側から順に、検出部Kの構成要素の詳細を説明する。また、以下の説明では、矩形状の検出部Kの1辺に沿った方向をX軸、当該1辺と直交し互いに対向する2辺に沿った方向をY軸、検出部Kと直交する方向をZ軸とする。更に、検査部Kに外力Fが作用する側を上Z軸方向、反対側を下Z軸-方向とする。<弾性基板A>弾性基板A図1参照は、外力Fが作用することによって変形し、外力Fが除荷されると元の形状に回復する弾性を有する基板であり、好適例としてシリコンゴムシートを用いている。外力Fの作用点で弾性基板Aが変形し、作用点が移動する滑ることなく外力Fを受け止めることができるので、外力Fは的確に滑り検出部Bに伝達される。弾性基板Aを形成する材料としては、上述のシリコンゴムの他に、天然ゴム、及びアクリルゴム、ニトリルゴム、イソプレンゴム、ウレタンゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、エピクロルヒドリンゴム、クロロプレンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴムなどの合成ゴムが好適である。また、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、フッ素樹脂などの軟質な樹脂も使用できる。更に、弾性基板Aの表面に凹部または凸部を形成すると摩擦係数が高くなり、外力Fをより的確に滑り検出部Bに伝達することができる。例えば、シリコンゴムを金型成形法によって、直径1mm~3mmの半球を形成したシリコンゴムシートを用いると、外力Fはより的確に滑り検出部Bに伝達される。このような凹部または凸部は、金型成形法以外に、溶剤によるエッチング、ディスペンサーやインクジェットによる塗布形成、スクリーン印刷などの方法によっても形成することができる。凹部または凸部は、母体基板と異なる材料で形成しても良い。なお、弾性基板Aは、弾性を有する基板の一例である。<滑り検出部B>図2は、外力Fが作用する前後における滑り検出部Bの状態を示す模式図である。滑り検出部Bは可撓性を有し、弾性基板Aと剛性基板Cとで挟持されることで、滑り検出部Bに所定の外力Fが作用するので、図2には弾性基板Aと剛性基板Cとも図示されている。図2aは外力が作用していない状態を示している。図2bは圧縮方向Z軸-方向の外力Fが作用した状態を示している。図2cは、上述の圧縮方向の力に加えて、滑り方向弾性基板Aの表面に水平な方向の力が作用した滑り変位発生前の状態、すなわち斜め方向の外力Fが作用した、滑り変位発生前の状態を示している。図2dは、斜め方向の外力が作用した、滑り変位後の状態を示している。さらに、図2b~図2dにおける点線は、外力Fが作用していない状態での感圧導電シートの輪郭を示している。図3は電極シートB2の平面図である。以下、図1~図3を参照して、滑り検出部Bの詳細を説明する。図1に示すように、滑り検出部Bは、上側外力Fが作用する側に感圧導電シートB1、下側に電極シートB2が積層された2層構造となっている。電極シートB2は、一対の電極が形成された第3基板の一例である。図2に示すように、感圧導電シートB1は、シリコンゴムなどの非導電性エラストマー樹脂B1aに、炭素粒子などの導電性粒子B1bを分散させて形成され、外力Fによって変形する導電体である。図2では、互いに接触し導電経路を形成した導電性粒子B1bを黒丸で、導電経路を形成していない導電性粒子B1bを白丸で示している。外力Fによって、感圧導電シートの抵抗値は下記に示す変化を示す。1外力Fが作用していない状態では、互いに接触する導電性粒子B1bの数は少なく、導電経路がほとんど形成されていないので、107Ω以上の非常に大きな抵抗値を示す図2a。2圧縮方向の外力Fが作用すると、導電性粒子B1bは互いに接近し、互いに接触する導電性粒子B1bの数が多くなるので、導電経路が形成され、図2aの状態より抵抗値は小さくなる図2b。図2c及び図2dも同様である。3圧縮方向の外力に加えて滑り方向の外力、すなわち斜め方向の外力Fが作用すると、感圧導電シートB1は滑り方向に伸びるので、互いに離間する導電性粒子B1bが増え、導電経路を形成する導電性粒子B1bが減少し、図2bの状態より抵抗値は大きくなる。また、滑り変位が発生する直前で、感圧導電シートB1は滑り方向に最も伸びた状態となる。このために、滑り変位が発生する付近で、抵抗値が最も大きくなる図2c。4詳細は後述するが、滑り変位が発生すると滑り方向の外力Fは小さくなるので、滑り方向への感圧導電シートの伸びは小さくなる。このために、離間した導電性粒子B1bは接近し、導電経路を形成した導電性粒子B1bが増加し、滑り変位が発生する前の図2cの状態よりも抵抗値は小さくなる図2d。このように、外力Fによって感圧導電シートB1は変形し、導電性粒子B1bが接触または離間し、感圧導電シートB1の抵抗値が変化する。図3に示すように、電極シートB2は、2本の櫛型電極110、111及び2個の電極端子110a、111aが形成された樹脂フィルムである。電極シートB2は、感圧導電シートB1に電気的に接続されるように固着され、感圧導電シートB1の抵抗値を電極端子110aと電極端子111aとからモニターする。電極シートは感圧導電シートの抵抗値をモニターすることが目的であり、例えば2本の電極を渦巻形状としても良い、例えば2本の電極を異なる基板に配置し、2枚の基板で感圧導電シートを挟持する構成としても良い。<剛性基板C>剛性基板C図1参照は、厚さ0.5mmのアルミ板である。剛性基板Cを形成する材料としては、アルミニウム、マグネシウム、チタンなどの軽金属、これら軽金属を主成分とする合金、ガラス、石英、セラミック、及びアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、FRP繊維強化プラスチック、PETポリエチレンテレフタレートなどの硬質な樹脂が好適である。剛性基板Cとして、SUS、鉄、ニッケルなどの金属も使用可能であるが、軽量化のために、アルミニウムのように比重の小さな軽金属のほうが好ましい。剛性基板Cは、以下に示す役割を有している。1滑り検出部Bの下に剛性基板Cを配置することによって、滑り検出部Bは可撓性を有していても変形することがなく、滑り検出部Bに所定の外力Fが作用する。2外力検出部Dの上に剛体基板Cが配置されることによって、外力検出部Dに対して局所的でなく、全体に外力Fが作用する。よって、外力検出部Dの複数個所で外力の大きさ外力の分布、及びその差から外力の回転モーメントを検出することができる。剛体基板Cは、剛性を有する基板の一例である。<外力検出部D>外力検出部D図4参照は、基準点に外力Fを作用させる弾性体突起32を有する基板、及び基準点に作用した外力Fの圧力値を検出する静電容量方式の圧力センサーで構成される。なお、基準点とは、すべり力が作用していない場合に、弾性体突起32の中心が位置するポイントである。図4は、外力検出部Dの概略構成を示す分解斜視図である。図4においては、便宜上、誘電体40図11参照の図示を省略している。図4において、符号Pは基準点、符号Sは1つの弾性体突起32に対応して配置された複数の容量検出素子S1~S4第1容量電極12と第2容量電極22と誘電体40とで構成される容量検出素子が検出する単位検出領域を示している。なお、第1容量電極12と第2容量電極22と誘電体40とで構成される容量検出素子は、圧力センサーの一例である。図4に示すように、外力検出部Dは、基準点Pの回りに複数配置された第1容量電極12を有する第1容量電極基板10と、第1容量電極12を挟んで第1容量電極基板10と対向配置された第2容量電極基板20と、第1容量電極基板10と第2容量電極基板20との間に配置された誘電体40図11参照と、基準点Pに重なる位置に重心が位置するとともに外力によって先端部が第2容量電極基板20に当接した状態で弾性変形する、弾性体突起32が形成された第2基板30と、を備えている。なお、第1容量電極基板10と第2容量電極基板20と誘電体40とで構成される素子基板は、圧力センサーを有する第1基板の一例である。弾性体突起32が形成された第2基板30は、弾性体突起が形成された第2基板の一例である。第1容量電極基板10は、例えばガラス、石英及びプラスチック等の材料で構成された矩形状の第1容量電極基板本体11と、第1容量電極基板本体11に配置された複数の第1容量電極12と、を具備して構成されている。例えば、第1容量電極基板本体11の大きさ平面視のサイズは、縦56mm×横56mm程度になっている。複数の第1容量電極12は、基準点Pに対して点対称に配置されている。例えば、複数の第1容量電極12は、互いに直交する2方向X方向及びY方向にマトリクス状に配置されている。これにより、基準点Pと各第1容量電極12との間の距離が互いに等しくなるので、各第1容量電極12と第2容量電極22とを含んで構成される各容量検出素子S1~S4が検出する静電容量値が互いに等しくなる。よって、各容量検出素子S1~S4の静電容量値のうち任意に組み合わされた各容量検出素子S1~S4の静電容量値の差分を演算することが容易となる。なお、静電容量値の差分の演算方法については後述する。隣り合う第1容量電極12の間隔は、0.1mm程度になっている。このため、外乱や静電気等の影響により隣り合う位置の容量検出素子S1~S4で検出される静電容量の値にノイズがのらないようになっている。複数の第1容量電極12は、単位検出領域S当たり縦2行横2列に計4つ配置されている。4つの第1容量電極12の中心単位検出領域Sの中心が基準点Pとなっている。例えば、単位検出領域Sの大きさ平面視のサイズは、縦2.8mm×横2.8mm程度になっている。また、4つの第1容量電極12の各面積がほぼ等しくなっている。第1容量電極12の形成材料としては、例えばアルミニウムAl等の金属材料を用いることができる。なお、本実施形態においては、第1容量電極12が単位検出領域S当たり縦2行横2列に計4個配置されているが、これに限らない。第1容量電極12は、単位検出領域S当たり3個以上配置されていればよく、例えば、縦3行横3列の計9個配置されていてもよく、縦4行横4列の計16個配置されていてもよい。第2容量電極基板20は、例えばプラスチック等の材料で構成された矩形状の第2容量電極基板本体21と、第2容量電極基板本体21に配置された第2容量電極22と、を具備して構成されている。第2容量電極基板本体21は、接触面に外力が作用したときに可撓性を有する程度の厚さに形成されている。なお、第2容量電極基板本体21は平面視において第1容量電極基板本体11と同じサイズに形成されている。第2容量電極22は、複数の第1容量電極12の全体と重なる位置に配置されている。具体的には、第2容量電極22は、第2容量電極基板本体21の下面の露出する部位全体に亘って形成されている。第2容量電極22の形成材料としては、第1容量電極12と同様に、例えばアルミニウムAl等の金属材料を用いることができる。誘電体40図11参照は、第1容量電極基板10と第2容量電極基板20との間に配置された、弾性体若しくは流体からなるものである。誘電体40の形成材料としては、例えば、ゴム等の弾性体を用いることもできるし、シリコンオイルや液晶等の流体を用いることもできる。第1容量電極基板10と第2容量電極基板20との間には、第1容量電極基板10と第2容量電極基板20との間の距離を一定に保つスペーサー図示略が複数配置されている。複数のスペーサーは、弾性体突起32がマトリクス状に配置された領域の外周部に配置される。これにより、誘電体40は、第1容量電極基板10と第2容量電極基板20との間においてZ方向に一定の厚みを有して構成されている。第2基板30は、矩形状の第2基板本体31と、第2基板本体31に配置された複数の弾性体突起32と、を具備して構成されている。第2基板本体31には、剛体基板Cを介して外力Fが作用する。第2基板本体31は、例えばガラス、石英及びプラスチック等の材料で構成することもできるし、発泡ウレタン樹脂等の樹脂材料で構成することもできる。本実施形態では、第2基板本体31及び弾性体突起32の形成材料として樹脂材料を用い、第2基板本体31及び弾性体突起32を金型で一体形成している。複数の弾性体突起32は、第2基板本体31上においてX方向及びY方向にマトリクス状に配置されている。弾性体突起32の先端部は、球面の錘状となっており、第2容量電極基板本体21に当接している。弾性体突起32の重心は、基準点Pと重なる位置に配置されている。また、複数の弾性体突起32は、互いに離間して配置されている。このため、弾性体突起32が弾性変形したときの第2基板本体31の面内に平行な方向の変形量を許容することができる。弾性体突起32のサイズは任意に設定することができる。ここでは、弾性体突起32の基部の径弾性体突起32が第2基板本体31に接する部分の直径は1.8mm程度になっている。弾性体突起32の高さ弾性体突起32のZ方向の距離は2mm程度になっている。隣り合う弾性体突起32の離間間隔は2mm程度になっている。弾性体突起32のデュロメーター硬さタイプA、ISO7619準拠のデュロメーターによる硬さ測定値は30程度になっている。<滑り検出に係る演算部E>次に、図5を参照しながら、滑り検出に係る演算部Eの役割の詳細を説明する。図5は、滑り検出信号発生回路120の等価回路図である。図5には、滑り検出信号発生回路120の働きを分かりやすく説明するために、滑り検出部Bも図示されている。図5では、滑り検出部Bの感圧導電シートは、可変抵抗121として図示されている。図5に示すように、滑り検出信号発生回路120は、基準抵抗122、直流電源123、及び出力端子110b、111bなどで構成されている。また、点線で囲まれた滑り検出信号Bは、滑り検出部Bの電極端子110a、111aを介して、滑り検出信号発生回路120の基準抵抗122と直列に接続されている。この等価回路により、可変抵抗121滑り検出部Bの感圧導電シートの両端から分電電圧が出力され、滑り検出信号Vsとなる。このように、滑り検出信号発生回路120によって、滑り検出部Bの感圧導電ゴムB1の抵抗値が滑り検出信号Vsに変換され、滑り検出信号Vsから滑り変位の発生が検出される。なお、滑り変位発生の検出方法の詳細は後述する。<外力検出に係る演算部E>外力検出部D図4参照に関しては、外力で変化する複数の容量検出素子S1~S4の静電容量値のうち任意に組み合わされた各容量検出素子の静電容量値の差分を演算し、その差分に基づいて外力が作用した方向と外力の大きさとを求めることができる。<センシング回路>図6は、容量検出素子を用いて外力を検出するセンシング回路60の等価回路図である。なお、図6には、外力検出部Dにおける第1容量電極12と第2容量電極22と誘電体40とで構成される容量検出素子が、符号Clの可変容量として図示されている。センシング回路60は、リセットトランジスタ61と、増幅トランジスタ62と、選択トランジスタ63と、基準容量素子Crとを備え、外力検出部Dの容量検出素子Clに接続されている。容量検出素子Clの第2容量電極22には、共通電位Vcomが供給されている。リセットトランジスタ61のドレインは電源線70に接続されている。リセットトランジスタ61のソースは増幅トランジスタ62のゲートに接続されている。電源線70には電源電位VRHが供給される。リセットトランジスタ61のゲートは第1制御線72に接続されている。第1制御線72にはリセット信号RESが供給される。増幅トランジスタ62のドレインは電源線70に接続されている。増幅トランジスタ62のソースは選択トランジスタ63のドレインに接続されている。増幅トランジスタ62のゲートと第1制御線72との間には基準容量素子Crが設けられている。また、増幅トランジスタ62のゲートは容量検出素子Clの第1容量電極12と接続されている。選択トランジスタ63のソースは検出線74に接続されている。選択トランジスタ63のゲートは第2制御線76に接続されている。第2制御線76には選択信号SELが供給される。<回路動作>次に、センシング回路60の動作を図7~図10を参照しながら説明する。図7は、本実施形態に係るセンシング回路60の動作を示すタイミングチャートである。図8は、リセット期間におけるセンシング回路60の動作を示す説明図である。図9は、センシング期間におけるセンシング回路60の動作を示す説明図である。図10は、読出期間におけるセンシング回路60の動作を示す説明図である。図7に示すように、センシング回路60は、リセット期間Tres、センシング期間Tsen、及び読出期間Toutを一単位として動作する。<リセット期間>先ず、リセット期間Tresにおいて、第1制御線72に供給されるリセット信号RESのレベルは電位VDに設定される。すなわち、リセット期間Tresにおいては、リセット信号RESのレベルはハイレベルに設定され、リセットトランジスタ61はオン状態となる。一方、第2制御線76に供給される選択信号SELはローレベルに設定され、選択トランジスタ63はオフ状態となる。すると、図8に示すように、増幅トランジスタ62のゲート電位VAは電源電位VRHに設定リセットされる。また、容量検出素子Clの第1容量電極12にも電源電位VRHが供給され、容量検出素子Clの第1容量電極12と第2容量電極22との間の電圧はVRH-Vcomに設定される。<センシング期間>次に、リセット期間Tres経過後の次の期間であるセンシング期間Tsenにおいては、リセット信号RESのレベルがVDからGND=0Vに変化する。すると、図9に示すように、リセットトランジスタ61はオフ状態となる。また、センシング期間Tsenにおいては、選択信号SELはローレベルに設定され、選択トランジスタ63はオフ状態となる。増幅トランジスタ62のゲートのインピーダンスは十分に高いため、センシング期間Tsenにおいては、増幅トランジスタ62のゲートは電気的にフローティング状態となる。基準容量素子Crの一方の電極には第1制御線72を介してリセット信号RESが供給され、信号レベルがVDからGNDに変化する。すると、それに応じて増幅トランジスタ62のゲートの電位VAも変化する。このときのゲートの電位VAの変化量は、基準容量素子Crと容量検出素子Clとの容量比に応じた値となる。<読出期間>センシング期間Tsenの次の期間である読出期間Toutにおいては、選択信号SELがローレベルからハイレベルに変化する。すると、図10に示すように、選択トランジスタ63がオン状態となる。これにより、増幅トランジスタ62のゲートの電位VAに応じた大きさの検出電流Itが検出線74を流れる。この検出電流Itは、物体例えば指と外力検出部Dとの接触を検出する検出回路図示略へ供給される。センシング期間Tsenにおいて容量検出素子Clの容量値が変化すると、それに応じて増幅トランジスタ62のゲートの電位VAも変化する。したがって、物体が検出装置100に接触していない状態のときに読出期間Tsenで出力される検出電流Itの値と、物体が外力検出部Dに接触したときに読出期間Tsenで出力される検出電流Itの値とは異なる。ここで、物体が外力検出部Dに接触していない状態における容量検出素子Clの容量値をClc、物体が外力検出部Dに接触したときの容量検出素子Clの容量値の変化量をΔClc、基準容量素子Crの容量値をCref、第1制御線72の電位変化をΔV=VDとすると、物体が外力検査部Dに接触したときの増幅トランジスタ62のゲートの電位VAの変化量ΔVAは、以下に示す式1で表される。ただし、式1において寄生容量は無視している。検出回路図示略は、検出電流It検出信号に相当の値に基づいて物体と検出装置100との接触を検出する。物体が外力検出部Dに接触したときのゲートの電位VAの変化量ΔVAが大きいほど、非接触時における検出電流Itの値と接触時における検出電流Itの値との差が大きくなり、検出感度も高くなる。図11及び図12は、基準点Pに作用する外力の方向と大きさを検出する方法の説明図である。図11a~cは、第1実施形態に係る容量検出素子による静電容量の変化を示す断面図である。図12a~cは、図11a~cに対応した、第1実施形態に係る容量検出素子における静電容量の変化を示す平面図である。なお、図11a及び図12aは第2基板30の表面に外力が付加される前の状態外力の作用がないときを示している。図11b及び図12bは第2基板30の表面に垂直方向すべり力がない状態の外力が付加された状態を示している。図11c及び図12cは第2基板30の表面に斜め方向すべり力がある状態の外力が付加された状態を示している。また、図12a~cにおいて、符号Gは弾性体突起32の重心圧力中心を示している。図11a及び図12aに示すように、第2基板30の表面に外力が付加される前においては、弾性体突起32は変形しない。これにより、第1容量電極12と第2容量電極2との間の距離は一定に保たれる。このとき、弾性体突起32の重心Gは基準点Pと重なる位置に配置されている。このときの各容量検出素子S1~S4の静電容量値は図示略のメモリに記憶されている。メモリに記憶された各容量検出素子S1~S4の静電容量値を基準として外力の作用する方向や大きさが求められる。図11b及び図12bに示すように、第2基板30の表面に垂直方向の外力が付加されたときには、弾性体突起32は先端部が第2容量電極基板20の表面に当接した状態で─Z方向に圧縮変形する。これにより、第2容量電極基板20が-Z方向に撓み、第1容量電極12と第2容量電極22との間の距離が外力の作用がないときに比べて小さくなる。つまり、このときの容量検出素子の静電容量値は、外力の作用がないときに比べて大きくなる。弾性体突起32は、外力の大きさに応じて圧縮変形する。外力が大きくなると、弾性体突起32はこれ以上変形しない臨界点を迎える。弾性体突起32に臨界点を越えた外力が作用すると、誘電体40がZ方向に柔軟に変形する。このため、弾性体突起32が変形しうる臨界点以上の大きさの外力を検出することができる。図11c及び図12cに示すように、第2基板30の表面に斜め方向の外力が付加されたときには、弾性体突起32は先端部が第2容量電極基板20の表面に当接した状態で斜めに傾いて圧縮変形する。これにより、第2容量電極基板20が-Z方向に撓み、第1容量電極12と第2容量電極22との間の距離が外力の作用がないときに比べて小さくなる。また、第2容量電極基板20の撓み量は-X方向成分よりもX方向成分のほうが大きくなる。このとき、弾性体突起32の重心Gは基準点PからX方向及びY方向にずれる。この場合、弾性体突起32の先端部と4つの第1容量電極12との重なる面積は互いに異なる。具体的には、弾性体突起32の先端部と4つの第1容量電極12との重なる面積は、4つの第1容量電極12のうち-X方向及び-Y方向に配置された部分と重なる面積よりもX方向及びY方向に配置された部分と重なる面積のほうが大きくなる。弾性体突起32は、外力の大きさに応じて斜めに圧縮変形し、外力が大きくなるとこれ以上変形しない臨界点を迎える。また、弾性体突起32は、斜め方向の外力により変形に偏りが生じる。すなわち、弾性体突起32の重心は基準点Pからずれてすべり方向X方向及びY方向に移動する。すると、弾性体突起32の重心が移動した部分の誘電体40の厚みが相対的に薄くなる。つまり、各容量検出素子で異なる値の静電容量が検出される。具体的には、弾性体突起32の重心と重なる位置の容量検出素子では相対的に大きい静電容量が検出され、弾性体突起32の重心と重ならない位置の容量検出素子では相対的に小さい静電容量が検出されることとなる。そして、後述する差分の演算方法に基づいて外力が作用した方向と大きさとが求められる。図13は、第1実施形態に係るセンシング領域の座標系を示す図である。図14は、第1実施形態に係る容量検出素子による垂直方向の外力分布を示す図である。図15は、第1実施形態に係る容量検出素子によるすべり方向の計算例を示す図である。図13に示すように、複数の容量検出素子S1,S2,S3,S4は、単位検出領域S当たり縦2行横2列に計4つ配置されている。ここで、各容量検出素子S1,S2,S3,S4が検出する静電容量値検出値をそれぞれPS1,PS2,PS3,PS4とすると、外力のX方向成分Fx外力の面内方向成分のうちX方向に作用する分力の割合は以下の式2で表される。また、外力のY方向成分Fy外力の面内方向成分のうちY方向に作用する分力の割合は以下の式3で表される。また、外力のZ方向成分Fz外力の垂直方向成分は以下の式4で表される。本実施形態では、外力によって弾性体突起32が弾性変形することにより変化する4つの容量検出素子S1,S2,S3,S4の静電容量値のうち任意に組み合わされた各容量検出素子の静電容量値の差分を演算し、その差分に基づいて外力が作用した方向と大きさが演算される。式2に示すように、外力のX方向成分Fxにおいては、4つの容量検出素子S1,S2,S3,S4の静電容量値のうちX方向に配置された容量検出素子S2及びS4が組み合わされるとともに、-X方向に配置された容量検出素子S1及びS3が組み合わされる。このように、X方向に配置された容量検出素子S2及びS4の組み合わせによる静電容量値と-X方向に配置された容量検出素子S1及びS3の組み合わせによる静電容量値との差分に基づいて外力のX方向成分が求められる。式3に示すように、外力のY方向成分Fyにおいては、4つの容量検出素子S1,S2,S3,S4の静電容量値のうちY方向に配置された容量検出素子S1及びS2が組み合わされるとともに、-Y方向に配置された容量検出素子S3及びS4が組み合わされる。このように、Y方向に配置された容量検出素子S1及びS2の組み合わせによる静電容量値と-Y方向に配置された容量検出素子S3及びS4の組み合わせによる静電容量値との差分に基づいて外力のY方向成分が求められる。式4に示すように、外力のZ方向成分Fzにおいては、4つの容量検出素子S1,S2,S3,S4の静電容量値を足し合わせた合力で求められる。ただし、外力のZ方向成分Fzは、外力のX方向成分Fx及び外力のY方向成分Fy分力に比べて検出値が大きく検出される傾向がある。例えば、弾性体突起32の材質として硬いものを用いたり、先端部の形状を先鋭にしたりすると、外力の検出感度が高くなる。しかしながら、弾性体突起32の材質として硬いものを用いると弾性体突起32が変形しにくくなり外力の面内方向の検出値が小さくなってしまう。また、弾性体突起32の先端部の形状を先鋭にすると接触面を指で触ったときのタッチ感に強い感度違和感を与える場合がある。このため、外力のZ方向成分Fzの検出値を、外力のX方向成分Fx及び外力のY方向成分Fyの検出値と揃えるには、弾性体突起32の材質や形状によって決定される補正係数で検出値を適宜補正する必要がある。図14に示すように、外力検出部Dの検出面弾性基板Aに外力が作用する面の中央部より左上寄りの位置を指で斜めに押した場合を考える。外力検出部Dには単位検出領域Sが縦15行×横15列計225個マトリクス状に配置されている。すなわち、図14の実線で囲まれた矩形状格子が単位検出領域Sであり、各単位検出領域Sには縦2行横2列の4つ容量検出素子S1~S4図示省略が存在する。このとき、外力の垂直方向の圧力は、外力が作用した部分の中心部が最も大きくなっている90~120mV程度。また、外力の垂直方向の圧力は、中心部に次いでその周辺部60~90mV程度、最外周部30~60mV程度の順小さくなっている。また、指で押されていない領域は、0~30mV程度となっている。図15に示すように、外力検出部Dの検出面の中央部より左上寄りの位置を指で斜めに押した場合の外圧の面内方向成分すべり方向の算出方法を考える。指の押圧力外力は、縦15行×横15列に配置された単位検出領域Sのうち、縦3行×横3列に配置された部分の単位検出領域Sに作用しているとする。図15aは、外力が作用した単位検出領域Sにおける4つ容量検出素子S1~S4の検出値の合計値PS1PS2PS3PS4を示している。図15bは、上述の単位検出領域の4つ容量検出素子S1~S4の各検出値PS1,PS2,PS3,PS4を、単位検出領域Sごとに示している。また、図15bの実線は単位検出領域Sの境界を、及び点線は容量検出素子S1~S4の境界を示している。図15cは、図15bの点線Qで囲んだ単位検出領域Sに配置されている、4つの容量検出素子S1~S4のレイアウトと座標系とを示している。また、図15cに示すように、容量検出素子S1~S4の検出値が、PS1~PS4となる。図15bにおける他の単位検出領域Sの4つの容量検出素子S1~S4も、同様のレイアウトと座標系とになっている。図15dは、上述した式1と式2とによって求めた、外力のX方向成分Fxと外力のY方向成分Fyとを、単位検出領域Sごとに示している。外力の作用する方向は、例えば図15dに示す9つの算出結果の平均値で求める方法、例えば9つの算出結果のうちの最大値例えば所定のしきい値よりも大きい検出値により求める方法などを用いて求めることができる。ここでは、図15dに示す9つの算出結果を平均することで、外力のX方向成分Fxと外力のY方向成分Fyとを求め、外力はX方向を基準として左回りに約123°の方向に作用していることが分かる。このように、縦3行×横3列に配置された各単位検出領域Sは、それぞれ4つの容量検出素子S1~S4を有しており、各容量検出素子S1~S4で検出された静電容量値のうち任意に組み合わされた各容量検出素子S1~S4の静電容量値の差分を演算し、その差分に基づいて外力が作用した方向が演算される。<検出装置を用いた実験>図16は検出装置100を用いた実験装置200の模式図である。なお、図16では検出装置100を構成する演算部Eの図示を省略している。実験装置200は、押圧部材201、検出部K、把持部材202、及び台車203で構成される。押圧部材201はアクリル板である。検出部Kは、押圧部材201の側から順に弾性基板A、滑り検出部B、剛性基板C、及び外力検出部Dが積層されている。把持部材202はアクリル板である。検出部Kは押圧部材201に、把持部材202は台車203に、それぞれ粘着剤で台車203に接着されている。実験装置200では、押圧部材201から検出部K弾性基板Aに6Nの垂直方向Z軸-方向の外力以下、垂直荷重と称すが作用し、台車203に滑り方向X軸-方向の外力Fsが作用している。このような外力を作用させることで、押圧部材201から検出部Kに、垂直荷重6Nと滑り方向の外力Fsとが合成された斜め方向の外力が作用しているものとみなすことができる。滑り方向の外力Fsの大きさは、外力検出部Dで測定される。滑り検出信号Vsは、滑り検出部Bで測定される。また、検出部Kにおける垂直荷重の作用面弾性基板Aの位置はレーザー変位計図示略によって測定され、変位量初期に対する移動距離が算出される。このような実験装置200を用いて、滑り方向の外力Fsを変化させ、滑り変位が発生する前後における滑り検出信号Vs、滑り方向の外力Fs、及び変位量を計測した。図17に実験結果を示す。図17aは滑り検出部Bによって測定された滑り検出信号Vsの経時変化を、図17bは外力検出部Dによって測定された滑り方向の外力Fsの経時変化を、及び図17cは検出部K弾性基板Aの変位量の経時変化を示している。各グラフの横軸は経過時間であり、図17a~図17c共に同じスケールになっている。横軸のta概略0.23秒から検出部Kに滑り方向の外力Fsが作用し、横軸のtb概略0.34秒で滑り変位が発生した。滑り方向の外力Fsが作用していない期間をT1、外力Fsが作用し滑り変位が発生するまでの期間ta~tbをT2、及び滑り変位が発生した以降tb以降の期間をT3とする。以下に、期間T1、期間T2、及び期間T3に関する実験装置200の状態を説明する。1期間T1検出部Kには6Nの垂直荷重が作用しているために、滑り検出部Bは圧縮変形し、概略0.5Vの略一定の滑り検出信号Vsが発生している。また、滑り方向の外力Fsはゼロであるので、変位量もゼロとなっている。2期間T2検出部Kに滑り方向の外力Fsが作用すると、外力Fsに抗する力、すなわち静止摩擦力が外力Fsと逆方向に作用し、検出部Kは静止状態を維持する。ここで、静止摩擦力=垂直荷重6N×静止摩擦係数という関係にあり、静止摩擦力は外力Fsに比例して変化する。期間T2における外力Fsは、この静止摩擦力に相当する。また、外力Fsは時間の経過と共に大きくなる。外力Fsが最大静止摩擦力よりも大きくなると、検出部Kに滑り変位が発生する。滑り変位が発生する直前の外力Fs、すなわち図17bのtb時点概略0.34秒の外力Fsは、最大静止摩擦力垂直荷重6N×最大静止摩擦係数に相当する。滑り方向の外力Fsが作用すると、滑り検出部Bと弾性基板Aとは滑り方向に伸び、滑り検出部Bでは互いに離間する導電性粒子B1bが増加するので、抵抗値は徐々に大きくなる。このために、図17aに示すように、当該抵抗値から変換された滑り検出信号Vsは徐々に大きくなる。また、図17cに示すように、軽微であるが変位量の増加が観測される。これは、滑り変位が発生する前段階における検出部Kの滑り方向の伸びを示している。3期間T3t2時点で滑り変位が始まり、検出部Kには外力Fsが作用する方向への移動、すなわち滑り変位が発生する。ここでは検出部Kに動摩擦力が作用するので、期間T3における外力Fsは動摩擦力に相当する。また、動摩擦力=垂直荷重6N×動摩擦係数という関係にあり、動摩擦係数は最大静摩擦係数よりも小さいので、滑り変位が発生すると外力Fsは急激に減少する。滑り変位が発生した以降にスティックアンドスリップ現象滑り振動、すなわち検出部Kが押圧部材201に対して滑ったり、引っ掛かったりという動作を繰り返す現象が生じるので、外力Fsは一定範囲で変動することとなる。図17bにおける外力Fsが最大となった時点が、滑り変位が発生する時点である。図17bのP3領域は、上述のスティックアンドスリップ現象を示している。また、図17aに示すように、滑り変位が発生した直後に滑り検出信号Vsが最大となっている。<滑り変位の検出方法>このように、外力Fsが最大となる時点で滑り変位が発生するので、外力Fsの変化から滑り変位の発生を検出できるはずであるが、最大静止摩擦係数と動摩擦係数との差が小さい物体では、外力Fsの変化から滑り変位を検出することが難しい。すなわち、最大静止摩擦係数と動摩擦係数との差が大きなアクリル板では、外力Fsは図17bに示す変化を示し、滑り変位を検出することが可能であるが、布や表面が柔らかく変形しやすい材料などでは、最大静止摩擦係数と動摩擦係数との差が小さく、外力Fsの変化は非常に小さいので、外力Fsの変化から滑り変位の発生を検出することが難しい。一方、滑り検出信号Vsは、滑り検出信号発生回路120図5参照によって、滑り検出部Bを構成する感圧導電ゴムB1の抵抗値から変換された分電電圧であり、滑り変位が発生する付近で増加するという特性がある。詳しくは、図2cと図2dとで模式的に示したように、滑り変位が発生する前後で滑り方向に形状変化が発生し、感圧導電ゴムB1の抵抗値、すなわち滑り検出信号Vsの変化点が発生する。さらに、滑り検出信号Vsは、上述の摩擦係数最大静止摩擦係数、動摩擦係数に依存しないので、布や表面が柔らかく変形しやすい材料であっても、滑り変位の発生を検出することができる。このように、外力検出部Dで滑り変位の発生を検出することが困難な材料であっても、滑り検出部Bで滑り変位の発生を検出することができる。今回の実験では、滑り変位が発生した直後に滑り検出信号Vsが最大となった。他の材料の押圧部材201を用いた実験では、滑り検出信号Vsが最大となる時点は、ある一定の範囲の分布を有していた。すなわち、滑り検出信号Vsが最大となる時点は、押圧部材201の種類、表面形状などで変化し、滑り変位が発生する直前に最大となる場合、滑り変位の発生と同時に最大となる場合、及び滑り変位が発生した直後に最大となる場合があった。ただし、滑り検出信号Vsが最大となる時点と滑り変位が発生する時点との時間差は小さく、滑り検出信号Vsが最大となった時点を、滑り変位が発生した時点と見なして良い。このように、演算部Eで、滑り検出部Bの抵抗値を滑り検出信号Vsに変換し、滑り変位が最大となる時点を求める演算処理を実施することで、押圧部201の種類に関係なく滑り変位の発生を検出することができる。すなわち、図17aのP1領域の検出信号Vsが最大となった時点が、滑り変位が発生した時点となる。また、滑り検出信号Vsの高周波成分を離散ウェーブレット変換して求めたウェーブレット係数の変化からも、滑り変位の発生を検出することが可能である。図17bのP2領域に示すように、滑り変位が発生する前段階で、滑り検出信号Vsが極大となる滑り前ピークが発生する場合がある。現状では、滑り前ピークが発生する場合と、発生しないは場合があるが、滑り前ピークを確実に検出することができれば、滑り変位の発生を予知することも可能である。以上述べたように、本実施形態に係る検出装置100によれば、以下の効果を得ることができる。検出装置100を構成する検出部Kは、滑り変位の発生を検出する滑り検出部Bと、外力の大きさと方向とを検出する外力検出部Dとが積層されているので、外力の方向と大きさという力覚情報に加えて、外力が作用した物体の静止または滑りという滑り覚情報からなる複合情報を検出することができる。検出部Kの外力作用面には弾性基板Aが設置され、外力Fの作用点で弾性基板Aが変形するので、外力Fの作用点が移動する滑ることなく、外力Fを的確に受け止めることができる。従って、外力Fは的確に滑り検出部Bと外力検出部Dとに伝達され、より正確に力覚情報と滑り覚情報とを検出することができる。滑り変位検出部Bの下には剛性基板Cが設置されているので、滑り検出部Bが可撓性を有していても変形することがないので、外力Fは的確に滑り変位検出部Bに作用する。従って、滑り変位をより正確に検出することができる。外力検出部Dの上には剛性基板Cが設置されているので、外力検出部Dには、一点集中でなく全体に外力Fが作用する。よって、外力検出部Dに設置した複数個所の弾性体突起32に作用する外力Fの大きさ外力Fの分布、及びその差から外力Fの回転モーメントを検出することができる。滑り変位検出部Bにおける滑り検出信号Vsは、滑り変位が発生する付近で増加し、最大となる特性を有する。さらに、滑り検出信号Vsは、滑り検出部Bを構成する感圧導電シートの形状抵抗値に依存して変化するので、物体の種類に関係なく検出信号Vsが最大となる変化点を求めることができ、安定して滑り変位の発生を検出することができる。外力検出部Dに作用する外力に、滑り方向圧力センサー表面と平行な方向の力成分があると、弾性体突起32の重心は基準点Pからずれて、滑り方向に移動する。すると、複数の圧力センサーS1~S4のうち、弾性体突起32の重心が移動した部分と重なる割合が相対的に大きくなり、各圧力センサーで異なる値の圧力値が検出される。具体的には、弾性体突起32の重心と重なる位置の圧力センサーでは相対的に大きい圧力値が検出され、弾性体突起の重心と重ならない位置の圧力センサーでは相対的に小さい圧力値が検出されることとなる。従って、演算部Eにより、各圧力センサーS1~S4で検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて、外力検出部Dに作用した外力Fの方向と大きさとを求めることができる。第2実施形態次に、第2実施形態に係る検出装置100を説明する。本実施形態においては、外力検出部Dの構成が第1実施形態と異なり、それ以外の構成は同じである。詳しくは、外力検出部Dを構成する圧力センサーは、第1実施形態では静電容量方式の圧力センサーを使用しているが、本実施形態においては抵抗方式の圧力センサーを使用している点が異なる。よって、第1実施形態と同一の構成部位に関しては、同一の番号を附し、重複する説明を省略する。以下、第1実施形態との相違点を中心に説明する。<外力検出部D>図18は、第2実施形態に係る外力検出部Dの概略構成を示す分解斜視図である。図18において、符号Pは基準点、符号Sは1つの弾性体突起32に対応して配置された複数の圧力センサー42が検出する単位検出領域を示している。外力検出部Dは、基準点に外力Fを作用させる弾性体突起32を有する基板、及び基準点に作用した外力Fの圧力値を検出する抵抗方式の圧力センサーで構成される。なお、基準点とは、すべり力が作用していない場合に、後述する弾性体突起32の中心が位置するポイントである。なお、説明の都合上、圧力センサー42、圧力センサーS1~S4というように、圧力センサーに異なる符号を附して説明する場合がある。図18に示すように、外力検出部Dは、基準点Pの回りに複数配置された圧力センサー42を有する第1基板101と、基準点Pに重なる位置に重心が位置するとともに外力によって先端部が第1基板101に当接した状態で弾性変形する弾性体突起32が形成された第2基板30と、を備えている。なお、圧力センサー42を有する第1基板101は、圧力センサーを有する第1基板の一例である。弾性体突起32が形成された第2基板30は、弾性体突起が形成された第2基板の一例である。外力検出部Dは、外力によって弾性体突起32が弾性変形することにより複数の圧力センサー42で検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサー42で検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外力が作用した方向と大きさを演算する演算装置図示略を備えている。第1基板101は、例えばガラス、石英及びプラスチック等の材料で構成された矩形状の第1基板本体111と、第1基板本体111に配置された複数の圧力センサー42と、を具備して構成されている。例えば、第1基板本体111の大きさ平面視のサイズは、縦56mm×横56mm程度になっている。複数の圧力センサー42は、基準点Pに対して点対称に配置されている。例えば、複数の圧力センサー42は、互いに直交する2方向X方向及びY方向にマトリクス状に配置されている。これにより、基準点Pと各圧力センサー42との間の距離が互いに等しくなるので、弾性体突起32の変形と各圧力センサー42で検出される圧力値との関係が互いに等しくなる。よって、各圧力センサー42の圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサー42で検出された圧力値の差分を演算することが容易となる。なお、圧力値の差分の演算方法については後述する。隣り合う圧力センサー42の間隔は、0.1mm程度になっている。このため、外乱や静電気等の影響により隣り合う位置の圧力センサー42で検出される圧力値にノイズがのらないようになっている。複数の圧力センサー42は、単位検出領域S当たり縦2行横2列に計4つ配置されている。4つの圧力センサー42の中心単位検出領域Sの中心が基準点Pとなっている。例えば、単位検出領域Sの大きさ平面視のサイズは、縦2.8mm×横2.8mm程度になっている。また、4つの圧力センサー42の各面積がほぼ等しくなっている。圧力センサー42は、感圧導電ゴムを使用した感圧素子である。圧力センサー42は、接触面に外力が作用したときに感圧導電ゴムに加わる外力を電気信号に変換する。第2基板30は、矩形状の第2基板本体31と、第2基板本体31に配置された複数の弾性体突起32と、を具備して構成されている。第2基板本体31は、外力を直接受ける部分である。第2基板本体31は、例えばガラス、石英及びプラスチック等の材料で構成することもできるし、発泡ウレタン樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂材料で構成することもできる。本実施形態では、第2基板本体31及び弾性体突起32の形成材料として樹脂材料を用い、第2基板本体31及び弾性体突起32を金型で一体形成している。複数の弾性体突起32は、第2基板本体31上においてX方向及びY方向にマトリクス状に配置されている。弾性体突起32の先端部は、球面の錘状となっており、第1基板101第1基板本体111上の複数の圧力センサー42に当接している。弾性体突起32の重心は、初期的に基準点Pと重なる位置に配置されている。また、複数の弾性体突起32は、互いに離間して配置されている。このため、弾性体突起32が弾性変形したときの第2基板本体31の面内に平行な方向の変形を許容することができる。弾性体突起32のサイズは任意に設定することができる。ここでは、弾性体突起32の基部の径弾性体突起32が第1基板101に接する部分の直径は1.8mm程度になっている。弾性体突起32の高さ弾性体突起32のZ方向の距離は2mm程度になっている。隣り合う弾性体突起32の離間間隔は2mm程度になっている。弾性体突起32のデュロメーター硬さタイプA、ISO7619準拠のデュロメーターによる硬さ測定値は30程度になっている。図19及び図20は、基準点Pに作用する外力の方向と大きさとを検出する方法の説明図である。図19a~cは、第2実施形態に係る圧力センサー42による圧力値の変化を示す断面図である。図20a~cは、図19a~cに対応した、第2実施形態に係る圧力センサー42による圧力値の変化を示す平面図である。なお、図19a及び図20aは第2基板30の表面に外力が付加される前の状態外力の作用がないときを示している。図19b及び図20bは第2基板30の表面に垂直方向すべり力がない状態の外力が付加された状態を示している。図19c及び図20cは第2基板30の表面に斜め方向すべり力がある状態の外力が付加された状態を示している。また、図20a~cにおいて、符号Gは弾性体突起32の重心圧力中心を示している。図19a及び図20aに示すように、第2基板30の表面に外力が付加される前においては、弾性体突起32は変形しない。これにより、第1基板101と第2基板30との間の距離は一定に保たれる。このとき、弾性体突起32の重心Gは基準点Pと重なる位置に配置されている。このときの各圧力センサー42の圧力値は図示略のメモリーに記憶されている。メモリーに記憶された各圧力センサー42の圧力値を基準として外力の作用する方向や大きさが求められる。図19b及び図20bに示すように、第2基板30の表面に垂直方向の外力が付加されたときには、弾性体突起32は先端部が第1基板101の表面に配置された複数の圧力センサー42に当接した状態でZ方向に圧縮変形する。これにより、第2基板30が-Z方向に撓み、第1基板101と第2基板30との間の距離が外力の作用がないときに比べて小さくなる。このときの圧力センサー42の圧力値は、外力の作用がないときに比べて大きくなる。また、その変化量は各圧力センサー42とも略同じ値となる。図19c及び図20cに示すように、第2基板30の表面に斜め方向の外力が付加されたときには、弾性体突起32は先端部が第1基板101の表面に配置された複数の圧力センサー42に当接した状態で斜めに傾いて圧縮変形する。これにより、第2基板30が-Z方向に撓み、第1基板101と第2基板30との間の距離が外力の作用がないときに比べて小さくなる。このとき、弾性体突起32の重心Gは基準点PからX方向及びY方向にずれる。この場合、弾性体突起32の先端部と4つの圧力センサー42との重なる面積は互いに異なる。具体的には、弾性体突起32の先端部と4つの圧力センサー42との重なる面積は、4つの圧力センサー42のうち-X方向及び-Y方向に配置された部分と重なる面積よりもX方向及びY方向に配置された部分と重なる面積のほうが大きくなる。弾性体突起32は、斜め方向の外力により変形に偏りが生じる。すなわち、弾性体突起32の重心は基準点Pからずれてすべり方向X方向及びY方向に移動する。すると、各圧力センサー42で異なる値の圧力値が検出される。具体的には、弾性体突起32の重心と重なる位置の圧力センサー42では相対的に大きい圧力値が検出され、弾性体突起32の重心と重ならない位置の圧力センサー42では相対的に小さい圧力値が検出されることとなる。そして、後述する差分の演算方法に基づいて外力が作用した方向と大きさが求められる。<外力検出に係る演算部E>図18に示す外力検出部Dに関しては、外力によって弾性体突起32が弾性変形することにより4つの圧力センサーS1~S4で検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外力が作用した方向が演算される。第2実施形態と第1実施形態とでは、圧力センサーの方式が異なるだけで、圧力センサーの配置、圧力センサーの出力値などは同等である。さらに、第1実施形態と同じ条件で外力が作用した方向と大きさとを求めたので、第1実施形態と同じ図面、すなわち図13センシング領域の座標系を示す図、図14圧力センサーによる垂直方向の外力分布を示す図、図15圧力センサーによるすべり方向の計算例を用いて、外力が作用した方向を求める演算方法の詳細を説明する。図13に示すように、複数の圧力センサーS1~S4が、単位検出領域S当たり縦2行横2列に計4つ配置されている。ここで、各圧力センサーS1~S4が検出する圧力値検出値をそれぞれPS1,PS2,PS3,PS4とすると、外力のX方向成分Fx外力の面内方向成分のうちX方向に作用する分力の割合は、第1実施形態と同様の以下の式5で表される。また、外力のY方向成分Fy外力の面内方向成分のうちY方向に作用する分力の割合も、第1実施形態と同様の以下の式6で表される。また、外力のZ方向成分Fz外力の垂直方向成分も、第1実施形態と同様の以下の式7で表される。式5に示すように、外力のX方向成分Fxにおいては、4つの圧力センサーS1~S4で検出された圧力値のうちX方向に配置された圧力センサーS2及びS4で検出された値が組み合わされるとともに、-X方向に配置された圧力センサーS1及びS3で検出された値が組み合わされる。このように、X方向に配置された圧力センサーS2及びS4の組み合わせによる圧力値と-X方向に配置された圧力センサーS1及びS3の組み合わせによる圧力値との差分に基づいて外力のX方向成分が求められる。式6に示すように、外力のY方向成分Fyにおいては、4つの圧力センサーS1~S4で検出された圧力値のうちY方向に配置された圧力センサーS1及びS2で検出された値が組み合わされるとともに、-Y方向に配置された圧力センサーS3及びS4で検出された値が組み合わされる。このように、Y方向に配置された圧力センサーS1及びS2の組み合わせによる圧力値と-Y方向に配置された圧力センサーS3及びS4の組み合わせによる圧力値との差分に基づいて外力のY方向成分が求められる。式7に示すように、外力のZ方向成分Fzにおいては、4つの圧力センサーS1~S4の圧力値を足し合わせた合力で求められる。ただし、外力のZ方向成分Fzは、外力のX方向成分Fx及び外力のY方向成分Fy分力に比べて検出値が大きく検出される傾向がある。例えば、弾性体突起32の材質として硬いものを用いたり、先端部の形状を先鋭にしたりすると、外力のZ方向成分Fzの検出感度が高くなる。しかしながら、弾性体突起32の材質として硬いものを用いると弾性体突起32が変形しにくくなり外力の面内方向の検出値が小さくなってしまう。また、弾性体突起32の先端部の形状を先鋭にすると接触面を指で触ったときのタッチ感に強い感度違和感を与える場合がある。このため、外力のZ方向成分Fzの検出値を、外力のX方向成分Fx及びのY方向成分Fyの検出値と揃えるには、弾性体突起32の材質や形状によって決定される補正係数で検出値を適宜補正する必要がある。図14に示すように、外力検出部Dの検出面弾性基板Aに外力が作用する面の中央部より左上寄りの位置を指で斜めに押した場合を考える。外力検出部Dには単位検出領域Sが縦15行×横15列計225個マトリクス状に配置されている。すなわち、図14の実線で囲まれた矩形状格子が単位検出領域Sであり、各単位検出領域Sには縦2行横2列の4つ圧力センサーS1~S4図示省略が存在する。このとき、外力の垂直方向の圧力は、外力が作用した部分の中心部が最も大きくなっている90~120mV程度。また、外力の垂直方向の圧力は、中心部に次いでその周辺部60~90mV程度、最外周部30~60mV程度の順小さくなっている。また、指で押されていない領域は、0~30mV程度となっている。図15に示すように、外力検出部Dの検出面の中央部より左上寄りの位置を指で斜めに押した場合の外圧の面内方向成分すべり方向の算出方法を考える。指の押圧力外力は、縦15行×横15列に配置された単位検出領域Sのうち、縦3行×横3列に配置された部分の単位検出領域Sに作用しているとする。図15aは、外力が作用した単位検出領域Sにおける4つ圧力センサーS1~S4の検出値の合計値PS1PS2PS3PS4を示している。図15bは、上述の単位検出領域の4つ圧力センサーS1~S4の各検出値PS1,PS2,PS3,PS4を、単位検出領域Sごとに示している。また、図15bの実線は単位検出領域Sの境界を、及び点線は圧力センサーS1~S4の境界を示している。図15cは、図15bの点線Qで囲んだ単位検出領域Sに配置されている、4つの圧力センサーS1~S4のレイアウトと座標系とを示している。また、図15cに示すように、圧力センサーS1~S4の検出値が、PS1~PS4となる。図15bの他の単位検出領域Sの4つの圧力センサーS1~S4も、同様のレイアウトと座標系とになっている。図15dは、上述した式5と式6とによって求めた、外力のX方向成分Fxと外力のY方向成分Fyとを、単位検出領域Sごとに示している。外力の作用する方向は、例えば図15dに示す9つの算出結果の平均値で求める方法、例えば9つの算出結果のうちの最大値例えば所定のしきい値よりも大きい検出値により求める方法などを用いて求めることができる。ここでは、図15dに示す9つの算出結果を平均することで、外力のX方向成分Fxと外力のY方向成分Fyとを求め、外力はX方向を基準として左回りに約123°の方向に作用していることが分かる。このように、縦3行×横3列に配置された各単位検出領域Sは、それぞれ4つの圧力センサーS1~S4を有しており、各圧力センサーS1~S4で検出された検出値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーS1~S4の検出値の差分を演算し、その差分に基づいて外力が作用した方向が演算される。以上述べたように、本実施形態に係る検出装置100によれば、第1実施形態の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。外力検出部Dは、第2基板30に形成した弾性体突起32の先端部が第1基板101複数の圧力センサー42に当接した状態ですべり方向圧力センサー42表面に平行な方向に変形することが可能であるので、外力の方向と大きさの検出精度を高めることができる。詳しくは、第2基板30の表面に外力が付加されると、弾性体突起32は先端部が第1基板101に配置された複数の圧力センサー42に当接した状態で圧縮変形する。このとき、面内の所定の方向のすべり力成分がある場合、弾性体突起32の変形には偏りが生じる。すなわち、弾性体突起32の重心は基準点Pからずれて所定方向すべり方向に移動する。すると、複数の圧力センサー42のうち弾性体突起32の重心が移動した部分と重なる割合が相対的に大きくなる。つまり、各圧力センサーS1~S4で異なる値の圧力値が検出される。具体的には、弾性体突起32の重心と重なる位置の圧力センサー42では相対的に大きい圧力値が検出され、弾性体突起32の重心と重ならない位置の圧力センサー42では相対的に小さい圧力値が検出されることとなる。よって、演算装置により、各圧力センサーS1~S4で検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外力が作用した方向と大きさを求めることができる。したがって、外力の方向と大きさを高い精度で検出することが可能な検出装置100を提供することができる。外力検出部Dに配置された圧力センサー42は、柔軟性に優れた感圧導電ゴムで構成されるので、衝撃などの機械的ストレスに強いという効果を得ることができる。なお、外力検出部Dに配置する圧力センサー42は、静電容量方式及び抵抗方式に限定されない。例えば、強誘電体結晶に圧力を加えると結晶表面に電荷が生じるピエゾ効果を利用した電荷変化方式であっても良い。例えば、弾性体の変形による光反射率の変化や弾性体の中のマーカーを変位計測するなどの光学方式であっても良い。また、例えば、バネ等の機械的構造の変位、変形から検出する機械的変位方式であっても良い。要は、圧力によって変化する物理量を電気的信号として検出できる素子であれば良い。第3実施形態電子機器図21は、上記実施形態1及び/または実施形態2に係る検出装置100を適用した電子機器としての携帯情報端末PDA:PersonalDigitalAssistants2000の概略構成を示す模式図である。携帯情報端末2000は、複数の操作ボタン2002及び電源スイッチ2003、並びに表示部としての検出部Kを適用した液晶パネル2001を備えている。電源スイッチ2003を操作すると、液晶パネル2001にはメニューボタンが表示される。例えば、メニューボタン図示略を指で触れると各種ゲームが表示されたり、電子黒板が表示されたりする。このような電子機器によれば、上述した検出装置100を備えているので、外力の方向と大きさという力覚情報に加えて、静止及び滑りという滑り覚情報を、電子機器を操作するための入力情報として取り込むことができる。例えば、指による操作で滑り変位が発生した場合に、液晶パネル2001のバックライト図示省略の点灯色を変化させるなどを実行すれば、アミューズメント用途におけるゲームの多様性を増すことができる。なお、電子機器としては、情報携帯端末以外にも、例えば携帯電話、パーソナルコンピューター、ビデオカメラのモニター、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、デジタルスチルカメラなどのタッチパネルを備えた機器等が挙げられる。これらの電子機器に対しても、上記実施形態に係る検出装置100を適用させることができる。第4実施形態ロボット図22は、上記実施形態1及び/または実施形態2係る検出装置100を適用したロボットとしてのロボットハンド3000の概略構成を示す模式図である。図22aに示すように、ロボットハンド3000は、本体部3003及び一対のアーム部3002、並びに検出装置100を適用した把持部3001を備えている。例えば、リモコン等の制御装置によりアーム部3002に駆動信号を送信すると、一対のアーム部3002が開閉動作する。図22bに示すように、ロボットハンド3000でコップ等の物体対象物3010を把持する場合を考える。このとき、物体3010に作用する力は把持部3001で圧力として検出される。ロボットハンド3000は、把持部3001として上述した検出装置100を備えているので、物体3010の表面接触面に垂直な方向の力と併せて重力Mgですべる方向の力すべり力の成分を検出することが可能である。例えば、柔らかい物体を変形させたりすべりやすい物体を落としたりしないよう、物体3010の質感に応じて力を加減しながら持つことができる。このロボットによれば、物体が静止している状態だけでなく、滑り状態おいても物体に作用させる力を適正に制御することができるので、上述した滑りやすい物体を適切に把持する動作以外に、例えば人を介護する動作撫でる、こする、拭く、例えば粘土の様な柔軟な材料を適切な力で加工する職人的な動作のように、より人に近い動作を提供することができる。なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。変形例1外力が作用する側から順に、第1実施形態の検出部Kは、弾性基板Aと、滑り検出部Bと、剛性基板Cと、外力検出部Dとが積層されているが、本変形例の検出部Kでは、弾性基板Aと、滑り検出部Bと、剛性基板Cと、外力検出部Dと、剛性基板Cとが積層されている。このような構成にすることによって、外力検出部Dの外力が作用する面と反対側の面にも剛性基板Cが設置されているので、外力が作用しても外力検出部Dが変形し、作用する外力の方向を誤検知することがない。さらに、変形しやすい柔軟な物体にも検出部Kを取り付けることができるという効果も得ることができる。変形例2外力が作用する側から順に、第1実施形態の検出部Kは、弾性基板Aと、滑り検出部Bと、剛性基板Cと、外力検出部Dとが積層されているが、本変形例の検出部Kでは、弾性基板Aと、滑り検出部Bと、外力検出部Dとが積層され、滑り検出部Bの一対の電極を形成した電極シートB2または外力検出部Dの弾性体突起32が形成された第2基板30のうち少なくとも一方は、ガラス、セラミック、金属、樹脂などの剛性を有する基板で構成されている。このような構成にすることによって、滑り検出部Bまたは外力検出部Dの少なくとも一方は剛性を有する基板を有しているので、滑り検出部Bと外力検出部Dとの間に剛性基板Cを設置しなくても、滑り検出部Bと外力検出部Dとを適正に機能させることができるという効果を得ることができる。変形例3外力が作用する側から順に、第1実施形態の検出部Kは、弾性基板Aと、滑り検出部Bと、剛性基板Cと、外力検出部Dとが積層されているが、本変形例の検出部Kでは、弾性基板Aと、外力検出部Dと、滑り検出部Bと、剛性基板Cとが積層されている。このような構成にすることによっても、外力検出部Dによって外力の方向と大きさという力覚情報、及び滑り検出部Bによって静止または滑りという滑り覚情報という複合情報を検出することができるという効果を得ることができる。変形例4外力が作用する側から順に、第1実施形態の検出部Kは、弾性基板Aと、滑り検出部Bと、剛性基板Cと、外力検出部Dとが積層されているが、本変形例の検出部Kでは、弾性基板Aと、外力検出部Dと、滑り検出部Bとが積層されている。このような構成にすることによって、剛性を有する物体に検出部Kを取り付ける場合において、滑り検出部Bの外力が作用する面と反対の面に剛性を有する基板を設置しなくても、検出部Kを取り付ける物体自身が剛性を有しているので、滑り検出部Bは外力によって変形することなく、物体の静止または滑りという滑り覚情報を正確に検出することができる。さらに、剛性基板Cを省略できるので、検出部Kをより安価に製造できるという効果も得ることができる。変形例5外力が作用する側から順に、第1実施形態の検出部Kは、弾性基板Aと、滑り検出部Bと、剛性基板Cと、外力検出部Dとが積層されているが、本変形例の検出部Kでは、弾性基板Aと、外力検出部Dと、剛性基板Cと、滑り検出部Bと、剛性基板Cとが積層されている。このような構成にすることによって、外力検出部Dの外力が作用する面と反対側の面に剛性基板Cが設置されているので、外力が作用しても外力検出部Dが変形し、作用する外力の方向を誤検知することがない。さらに、滑り検出部Bの外力が作用する面と反対側の面にも剛性基板Cが設置されているので、外力が作用しても滑り検出部Bは変形することがなく、滑り検出部Bに所定の外力が作用する。よって、滑り検出部Bにおいて静止または滑りという滑り覚情報を正確に検出することができる。さらに、変形しやすい柔軟な物体にも検出部Kを取り付けることができるという効果も得ることができる。変形例6外力が作用する側から順に、第1実施形態の検出部Kは、弾性基板Aと、滑り検出部Bと、剛性基板Cと、外力検出部Dとが積層されているが、本変形例の検出部Kでは、弾性基板Aと、外力検出部Dと、滑り検出部Bとが積層され、滑り検出部Bの一対の電極を形成した電極シートB2は、ガラス、セラミック、金属、樹脂などの剛性を有する基板で構成されている。このような構成にすることによって、滑り検出部Bは剛性を有するので、外力が作用しても変形することがなく、所定の外力が作用する。よって、滑り検出部Bにおいて静止または滑りという滑り覚情報を正確に検出することができるという効果を得ることができる。さらに、変形しやすい柔軟な物体にも検出部Kを取り付けることができるという効果も得ることができる。変形例7上述の変形例3乃至変形例6において、外力検出部Dの弾性体突起32が形成された第2基板30は、ガラス、セラミック、金属、樹脂などの剛性を有する基板で構成されている。このような構成にすることによって、外力検出部Dの第2基板30は剛性を有するので、外力検出部Dの弾性体突起32には、一点集中でなく、複数個所に外力が作用する。よって、複数個所の弾性体突起32に作用した外力の大きさ外力の分布、及びその差から外力の回転モーメントを検出することができるという効果を得ることができる。"