二つの部材の間に位置して、当該二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置であって、前記離間距離方向に伸縮する弾性体と、一方の端面から他方の端面に向けて第一の貫通孔が形成され、外側に向けて第一の縁部が前記一方の端面側に形成された筒状の圧子と、一方の端面から他方の端面に向けて第二の貫通孔が形成され、外側に向けてフランジ部が前記一方の端面側に形成された筒状のガイド部材と、内側に向けて第二の縁部が一方の開口部に形成された筒状のハウジングと、を有し、前記ハウジングは、前記一方の開口部と反対側の他方の開口部が前記二つの部材のうちの一方の部材と対向するように、前記二つの部材の間に配置され、前記圧子は、前記第一の縁部が前記第二の縁部と接して、当該圧子の前記他方の端面が前記ハウジングの一方の開口部から突出するように、前記ハウジング内に収容され、前記ガイド部材は、前記第二の貫通孔の軸心が前記第一の貫通孔の軸心と一致するように、前記圧子が収容された前記ハウジング内に収容されて、前記ハウジングの内面、前記ガイド部材の側面、前記第一の縁部、および前記フランジ部により筒状の中空部が形成され、前記弾性体は、前記ガイド部材を、前記ハウジングの他方の開口部から押し出す方向に付勢して、前記二つの部材のうちの一方の部材に圧接させるように、前記中空部に設けられることを特徴とする離間距離調整装置。請求項1に記載の離間距離調整装置であって、前記二つの部材のうちの一方の部材は、支持対象であり、前記二つの部材のうちの他方の部材は、ベースであり、前記離間距離調整装置は、前記ベース上で前記支持対象を支持し、前記ベースに対する前記支持対象の高さを調整するレベリング装置であることを特徴とする離間距離調整装置。請求項2に記載の離間距離調整装置であって、前記支持対象には段付き貫通孔が形成されており、当該離間距離調整装置は、前記支持対象の当該離間距離調整装置が位置する側と反対側の面である搬送面側から、前記段付き貫通孔、前記第二の貫通孔、および前記第一の貫通孔に挿入されて、前記ベースにネジ止めされることで、前記支持対象を前記ベースに固定し、かつ前記支持対象の高さを調整するためのボルトをさらに有することを特徴とする離間距離調整装置。請求項3に記載の離間距離調整装置であって、前記ハウジングには、当該離間距離調整装置を、前記支持対象の前記搬送面側の反対側の面である裏面にネジ止めするための第三の貫通孔が形成されており、当該離間距離調整装置は、前記支持対象の裏面にネジ止めされることで、前記ガイド部材が前記ハウジング内に押し込まれ、前記弾性体にプリロードがかかることを特徴とする離間距離調整装置。請求項4に記載の離間距離調整装置であって、前記ボルトによる前記支持対象の高さ調整代は、前記弾性体にプリロードがかかった状態における、前記ハウジングの前記一方の開口部から前記圧子の前記他方の端面までの長さ、当該状態における、前記ガイド部材の前記他方の端面から前記圧子の前記一方の端面までの長さ、および前記弾性体の最大縮み量のうちの最も小さい長さの範囲内であることを特徴とする離間距離調整装置。搬送面から搬送物を浮上させる浮上搬送装置であって、ベースと、前記搬送面を備え、当該搬送面から、当該搬送面の反対側の面に向けてボルトを挿入して、当該ボルトの頭を、当該搬送面と当該搬送面の反対側の面との間の位置で固定するための貫通孔が形成されたエアレールと、支持対象として前記エアレールを前記ベース上で支持する請求項2ないし5のいずれか一項に記載の離間距離調整装置と、を有することを特徴とする浮上搬送装置。しかし、特許文献1に記載の基板搬送装置では、可動プレートを固定プレートに取り付ける際、作業者は、可動プレートの各雌ネジにねじ込んだ調整ネジにそれぞれバネを挿入し、これらのバネが抜け落ちないように保持しながら、各調整ネジの先端を、固定プレートの対応する雌ネジに位置付ける必要がある。このため、作業性がよくない。また、作業者が調整ネジの締め緩め作業を行うための空間を浮上ブロックの両側に確保しておく必要があるため、隣り合う浮上ブロックの間隔をさらに狭くしたり、隣り合う浮上ブロックを密着させたりすることができない。このため、隣り合う浮上ブロックの隙間の位置で、搬送対象に良好な状態で圧縮空気を吹き付けることができず、搬送対象の浮上状態が不安定になる可能性がある。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、二つの部材間の離間距離調整作業の作業性を向上させる技術を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明は、二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置において、弾性体等を含む複数の構成部品をユニット化可能な構造とするとともに、一方の部材の他方の部材への取付け、および離間距離の調整をボルト一本で行えるようした。例えば、本発明は、二つの部材の間に位置して、当該二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置であって、前記離間距離方向に伸縮する弾性体と、一方の端面から他方の端面に向けて第一の貫通孔が形成され、外側に向けて第一の縁部が前記一方の端面側に形成された筒状の圧子と、一方の端面から他方の端面に向けて第二の貫通孔が形成され、外側に向けてフランジ部が前記一方の端面側に形成された筒状のガイド部材と、内側に向けて第二の縁部が一方の開口部に形成された筒状のハウジングと、を有し、前記ハウジングは、前記一方の開口部と反対側の他方の開口部が前記二つの部材のうちの一方の部材と対向するように、前記二つの部材の間に配置され、前記圧子は、前記第一の縁部が前記第二の縁部と接して、当該圧子の前記他方の端面が前記ハウジングの一方の開口部から突出するように、前記ハウジング内に収容され、前記ガイド部材は、前記第二の貫通孔の軸心が前記第一の貫通孔の軸心と一致するように、前記圧子が収容された前記ハウジング内に収容されて、前記ハウジングの内面、前記ガイド部材の側面、前記第一の縁部、および前記フランジ部により筒状の中空部が形成され、前記弾性体は、前記ガイド部材を、前記ハウジングの他方の開口部から押し出す方向に付勢して、前記二つの部材のうちの一方の部材に圧接させるように、前記中空部に設けられる。本発明によれば、二つの部材間の離間距離調整作業の作業性を向上させることができる。以下、本発明の一実施の形態を説明する。図1は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置の搬送台100の概略構成を示す外観図である。図示するように、本実施の形態に係る浮上搬送装置は、FPD、太陽電池パネル等に用いられるガラス基板等の搬送物を搬送面21から浮上させて搬送する搬送台100を備えている。この搬送台100は、所定の間隔をおいて並べられた2本の角柱状のベースフレーム例えばアルミフレーム1と、2本のベースフレーム1の間にかけ渡された板状のエアレール2と、ベースフレーム1上でエアレール2を支えるための、ベースフレーム1毎に2本合計4本のレベリング装置3一部不図示と、を有する。なお、本実施の形態では、2本のベースフレーム1の間に1本のエアレール2がかけ渡された場合を例示しているが、実際には、例えば搬送距離分の長さを有する2本のベースフレーム1の間に、複数本のエアレール2がベースフレーム1の長手方向図1のY方向に並べてかけ渡される。また、本実施の形態では、1本のエアレール2を4本のレベリング装置3で支持しているが、エアレール2を安定に支持可能な本数のレベリング装置3を用いればよい。また、図1には図示していないが、搬送台100は、さらに、エアレール2にレベリング装置3を固定するボルト6と、レベリング装置3を介してエアレール2をベースフレーム1に固定するための六角穴付きボルト4およびTナット5と、を有する。ボルト6は、レベリング装置3毎に2本設けられている。また、六角穴付きボルト4およびTナット5は、レベリング装置3毎に1対合計4対設けられている。図2Aは、ベースフレーム1の外観図であり、図2Bは、図2Aに示すベースフレーム1のA-A断面図である。図示するように、ベースフレーム1の4つの外面上面12A、左側面12B、下面12Cおよび右側面12Dの各々には、ベースフレーム1の長手方向の所望の位置にTナット5を配置するためのT字状溝11が形成されている。T字状溝11は、溝縁112から溝底111までの間において溝幅s1から溝幅s2>s1に変わる段差113を含むT字状の断面形状を有し、ベースフレーム1の一方の端面長手方向に垂直な面13から他方の端面14まで連続している。このT字状溝11により、ベースフレーム1の両端面13、14にはT字状の開口が形成され、4つの外面12A~12Dの各々にも、一方の端面13から他方の端面14まで連続する溝幅s1の開口が形成される。なお、本実施の形態では、ベースフレーム1として、4つの外面12A~12DのすべてにT字状溝11が形成された4面溝タイプのフレームを使用しているが、少なくとも、エアレール2側に向けられる上面12AにT字状溝11が形成されたフレームであればよい。図3Aは、エアレール2の外観図であり、図3Bは、図3Aに示すエアレール2のB-B断面拡大図である。エアレール2は、外部からエア供給口不図示に供給された圧縮空気を、内部のエア供給路不図示を介して、搬送面21の複数のエア吹き出し穴不図示から噴出する。図示するように、このエアレール2のベースフレーム1への取付け位置本実施の形態では4ヶ所には、それぞれ、搬送面21から裏面搬送面21とは反対側の面24に向けて六角穴付きボルト4を挿入するための段付き貫通孔23が形成されている。段付き貫通孔23には、この段付き貫通孔23に搬送面21側から挿入される六角穴付きボルト4の座面412図5参照が接触する段差25が形成されている。搬送面21から段差25までの領域大径部28における直径r1は、段差25から裏面24までの領域小径部27における直径r2より大きい。また、エアレール2の裏面24には、段付き貫通孔23の両側に、ボルト6が締結されるネジ穴26が形成されている。なお、本実施の形態では、エアレール2のベースフレーム1への取付け位置に段付き貫通孔23を形成しているが、エアレール2のベースフレーム1への取付け位置が調整可能となるように、例えばエアレール2の長手方向に、段付き貫通孔23の断面形状と同様な断面形状の段付き長穴を任意の長さで形成してもよい。図4Aは、レベリング装置3の外観図であり、図4Bは、図4Aに示すレベリング装置3のC-C断面図である。レベリング装置3は、ベースフレーム1上でエアレール2を支持し、ベースフレーム1に対するエアレール2の高さを調整する。図示するように、レベリング装置3は、ベースフレーム1に対するエアレール2の高さ方向図1のZ方向に伸縮する皿バネ群31と、皿バネ群31に付勢されてベースフレーム1の上面12Aに押し当てられる縁部付円筒状の圧子32と、皿バネ群31に付勢されてエアレール2の裏面24に押し当てられるフランジ部付円筒状のスプリングガイド33と、これらの部品31~33を収容するフランジ部および縁部付円筒状のハウジング34と、を有する。ハウジング34は、円筒部343と、円筒部343の内側に向けて円筒部343の一方の端面ハウジング34の底面348側の開口部341に形成された第二の縁部342と、円筒部343の外周から外側にはりだすように円筒部343の他方の端面ハウジング34の上面346側に形成されたフランジ部349と、を有している。このハウジング34は、上面346側の開口部344がエアレール2の段付き貫通孔23に対向する状態で上面346がエアレール2の裏面24と接するように、ベースフレーム1とエアレール2との間に配置される。また、フランジ部349には、エアレール2の裏面24のネジ穴26に対応する位置に、ボルト6が挿入される第三の貫通孔347が形成されている。圧子32は、ハウジング34の底面348側の開口部341からベースフレーム1側に突出する円柱部325と、円柱部325の外周から外側にはりだすように円柱部325の一方の端面圧子32の上面321側に形成された第一の縁部322と、を有する。円柱部325には、上面321から他方の端面圧子32の底面323に向けて六角穴付きボルト4を挿入するための第一の貫通孔324が形成されている。この圧子32は、第一の縁部322の下面326がハウジング34の第二の縁部342の上面350と接し、底面323がハウジング34の底面348側の開口部341からベースフレーム1側に突出した状態でハウジング34内に収容される。スプリングガイド33は、ハウジング34内の皿バネ群31に挿入される円柱部335と、円柱部335の外周からはりだすように円柱部335の一方の端面スプリングガイド33の上面331側に形成され、ハウジング34内の圧子32の上面321との間で皿バネ群31を押圧するフランジ部332と、を有する。円柱部335には、上面331から底面333に向けて六角穴付きボルト4を挿入するための第二の貫通孔334が形成されている。このスプリングガイド33が、第二の貫通孔334の軸心が圧子32の第一の貫通孔324の軸心と一致するようにハウジング34内に収容されると、円柱部335の外周面339、フランジ部332の下面336、ハウジング34の内面345、および圧子32の上面321により筒状の中空部337が形成される。なお、スプリングガイド33の円柱部335の底面333からフランジ部332の下面336までの長さk1は、皿バネ群31の自由高さよりも小さく、かつ、スプリングガイド33の上面331の位置をハウジング34の上面346の位置に揃えたときに、スプリングガイド33の底面333と圧子32の上面321との間にエアレール2の高さ調整代以上の隙間が形成される寸法に設定されている。皿バネ群31は、筒状の中空部337内でエアレール2のベースフレーム1に対する高さ方向に積み重ねられた複数枚の皿バネ311により構成されている。本実施の形態では、隣り合う皿バネ311の向きが逆になるように複数枚の皿バネ311を重ね合わせているがいわゆる直列組合せ方式、隣り合う皿バネ311の向きが同じになるように複数枚の皿バネ311を重ね合わせてもいわゆる並列組合せ方式、あるいはいわゆる直列方式と並列方式との組合せでもよい。また、本実施の形態では、6枚の皿バネ311を積み重ねているが、実施の形態によって、使用する皿バネの枚数は適宜変更可能である。この皿バネ群31は、圧子32をハウジング34の底面348側の開口部341から押し出す方向に付勢し、圧子32をベースフレーム1の上面12Aに圧接するとともに、スプリングガイド33をハウジング34の上面346側の開口部344から押し出す方向に付勢し、スプリングガイド33をエアレール2の裏面24に圧接する。また、皿バネ群31は、搬送対象の搬送中に受ける荷重搬送対象、エアレール2等によりレベリング装置3一本あたりにかかる荷重等を安定に支持可能な許容荷重およびばね定数を有している。このような弾性を有しているものであれば、皿バネ群31の代わりに、筒状の中空部337内に配置することが可能な形状を有する他の弾性体コイルバネ、筒状のゴム等を用いてもよい。なお、本実施の形態においては、フランジ部付円筒状のスプリングガイド33と、縁部付円筒状の圧子32と、フランジ部および縁部付円筒状のハウジング34とを用いているが、皿バネ群31の軸心がずれない他の立体形状のスプリングガイド33、圧子32およびハウジング34を用いてもよい。図5Aは、六角穴付きボルト4の外観図である。図示するように、六角穴付きボルト4は、頭部41の上面411に六角レンチ用の六角穴43が形成されている。六角穴付きボルト4の頭部41の直径r3は、エアレール2の段付き貫通孔23の大径部28の直径r1よりも小さく、かつ小径部27の直径r2よりも大きい。また、六角穴付きボルト4の頭部41の厚さk2は、エアレール2の段付き貫通孔23の大径部28の長さk3図3B参照よりも小さい。このため、六角穴付きボルト4は、エアレール2の搬送面21側から段付き貫通孔23に挿入されたとき、頭部41が搬送面21より下側にきた位置で座面412が段付き貫通孔23の段差25に接触して、段付き貫通孔23の大径部28内に頭部41が完全に収容される。また、六角穴付きボルト4の座面412からネジ部42までの長さk4は、エアレール2の段付き貫通孔23の小径部27の長さk5図3B参照と、レベリング装置3のハウジング34の高さ一方の開口部341から他方の開口部344までの長さk6図4B参照との合計より小さい。また、図4Bに示すように、圧子32の第一の縁部322がハウジング34の第二の縁部342と接触して、圧子32の底面323がハウジング34の開口部341から突出している状態において、六角穴付きボルト4の座面412からネジ部42の先端421までの長さk7は、圧子32の底面323からハウジング34の上面346までの長さk8、エアレール2の段付き貫通孔23の小径部27の長さk5、およびベースフレーム1のT字状溝11の溝縁112から段差113までの深さk10図2B参照の合計より大きく、かつ、上述のk8、k5、およびベースフレーム1のT字状溝11の溝縁112から溝底111までの深さk11図2B参照の合計より小さい寸法とされている。図5Bは、Tナット5の断面図である。図示するように、Tナット5は、一方の端面上面51から他方の端面底面53までの間において、幅がs3からs4>s3に変わる段差52を含むT字状の断面形状を有しており、上面51から底面53まで貫通した、六角穴付きボルト4のネジ部42と螺合するネジ穴54が形成されている。上面51から段差52までにおける幅s3は、ベースフレーム1のT字状溝11の溝縁112から段差113までにおける溝幅s1図2B参照よりも小さい。段差52から底面53までにおける幅s4は、ベースフレーム1のT字状溝11の溝縁112から段差113までにおける溝幅s1より大きく、かつT字状溝11の段差113から溝底111までにおける溝幅s2図2B参照より小さい。また、段差52から上面51までの高さk9は、ベースフレーム1のT字状溝11の溝縁112から段差113までの深さk10図2B参照以下の寸法である。このため、Tナット5は、ベースフレーム1のT字状溝11内の所望の位置に配置でき、また、六角穴付きボルト4のネジ部42とネジ穴54との締結によりT字状溝11の溝底111から溝縁112の方向に力が加えられると、段差52がT字状溝11の段差113に接触し、ベースフレーム1に固定される。つぎに、ベースフレーム1へのエアレール2の取付け作業について説明する。図6Aは、レベリング装置3の組立て作業を説明するための断面図であり、図6Bは、エアレール2へのレベリング装置3の取付け作業を説明するための断面図である。また、図7は、ベースフレーム1へのエアレール2の取付け作業を説明するための断面図である。1レベリング装置3の組立てベースフレーム1へのエアレール2の取付けに必要な本数本実施の形態では4本のレベリング装置3をあらかじめ組み立てておく。具体的には、以下の通りである。図6Aに示すように、圧子32を底面323側からハウジング34内に挿入し、圧子32の第一の縁部322をハウジング34の第二の縁部342に当接させる。つぎに、隣り合う皿バネ311の向きが逆になるように、複数枚の皿バネ311を、ハウジング34内に収容された圧子32上に積み重ねる。それから、スプリングガイド33を底面333側からハウジング34内に挿入して、スプリングガイド33の円柱部335を皿バネ群31に挿入する。これにより、圧子32、皿バネ群31、およびスプリングガイド33が順番にハウジング34内に収容され、図4A、Bに示すようなレベリング装置3が完成する。2エアレール2へのレベリング装置3の取付け図6Bに示すように、レベリング装置3ごとに、2本のボルト6を、ハウジング34の第三の貫通孔347を介して、エアレール2の裏面24のネジ穴26にネジ止めする。これにより、スプリングガイド33の第二の貫通孔334および圧子32の第一の貫通孔324の軸心がエアレール2の段付き貫通孔23の軸心と一致した状態でハウジング34の上面346がエアレール2の裏面24と当接し、レベリング装置3がエアレール2の裏面24に取り付けられる。これにより、スプリングガイド33の上面331が、ハウジング34の上面346と同じ位置にくるまで、スプリングガイド33がハウジング34内に押し込まれ、皿バネ群31にプリロードがかかる。このときの圧子32のハウジング34の底面348からの突出部分の長さをc1とし、スプリングガイド33の底面333から圧子32の上面321までの長さをc2とする。3ベースフレーム1へのエアレール2の取付けと高さ調整エアレール2を2本のベースフレーム1の間にかけ渡すように配置する。ベースフレーム1の上面12A側のT字状溝11に2つのTナット5を挿入し、これらのTナット5を、エアレール2の段付き貫通孔23に対応する位置に配置する。つぎに、図7に示すように、六角穴付きボルト4を、エアレール2の搬送面21側から、エアレール2の段付き貫通孔23、スプリングガイド33の第二の貫通孔334、圧子32の第一の貫通孔324に挿入し、六角レンチ7を使って六角穴付きボルト4のネジ部42をTナット5のネジ穴54にネジ止めする。これにより、ハウジング34の底面348側の開口部341からベースフレーム1側に突出している圧子32の底面323がベースフレーム1の上面12Aと当接した状態で、エアレール2がレベリング装置3を介してベースフレーム1に取り付けられる。上述したように、六角穴付きボルト4の頭部41の座面412からネジ部42までの長さk4図5A参照は、エアレール2の段付き貫通孔23の小径部27の長さk5図3B参照と、レベリング装置3のハウジング34の高さ一方の開口部341から他方の開口部344までの長さk6図4B参照との合計より小さい。また、圧子32の第一の縁部322がハウジング34の第二の縁部342と接触して、圧子32の底面323がハウジング34の開口部341から突出している状態において、六角穴付きボルト4の座面412からネジ部42の先端421までの長さk7図5A参照は、圧子32の端面323からハウジング34の上面346までの長さk8図4B参照、エアレール2の段付き貫通孔23の小径部27の長さk5図3B参照、およびベースフレーム1のT字状溝11の溝縁112から段差113までの深さk10図2B参照の合計より大きく、かつ上述のk8、k5、およびベースフレーム1のT字状溝11の溝縁112から溝底111までの深さk11図2B参照の合計より小さい。このため、Tナット5への六角穴付きボルト4の締め具合を調節することにより、高さ調整代図6Bに示すc1、c2、および皿バネ群31の最大縮み量のうちの最も小さい長さの範囲内で、ベースフレーム1に対するエアレール2の高さを調整できる。この高さ調節作業を、エアレール2のベースフレーム1への取付けに用いる4本のレベリング装置3のそれぞれに対して行うことにより、エアレール2の搬送面21のレベリングを行う。以上、本発明の一実施の形態を説明した。本実施の形態に係るレベリング装置3は、皿バネ群31、圧子32およびスプリングガイド33がハウジング34内に収容されて、皿バネ群31、圧子32、スプリングガイド33、ハウジング34を含む複数の構成部品がユニット化されているため、エアレール2のベースフレーム1への取付け作業に先だって、あらかじめ必要本数を組み立てておくことが可能である。このため、作業者は、一部の部品の落下等を気にすることなく簡単に、レベリング装置3をエアレール2に取り付けることができ、作業効率が向上する。また、レベリング装置3をエアレール2に取り付けることにより、レベリング装置3の皿バネ群31にプリロードがかかるため、皿バネ群31がプリロードされていない場合と比較して少ない回数、六角穴付きボルト4をTナット5に締め付けるだけで、エアレール2をベースフレーム1に取り付けることができる。また、レベリング装置3をエアレール2に取り付けることにより、スプリングガイド33の上面331がハウジング34の上面346と同じ位置まで押し込まれて皿バネ群31にプリロードがかかるので、エアレール2のベースフレーム1への取付け作業に使用する4本のレベリング装置3に対して、面倒なプリロード調整を行わなくても、均等なプリロードをかけておくことができる。また、六角穴付きボルト4を、エアレール2の搬送面21側から段付き貫通孔23に挿入して、Tナット5にネジ止めすることにより、エアレール2をベースフレーム1に取り付けるとともに、六角穴付きボルト4の締め具合を調節することで、エアレール2のベースフレーム1に対する高さを調整するので、特許文献1に記載の基板搬送装置と異なり、高さ調整用の隙間をエアレール2の長手方向図1のX方向の両側に確保しておく必要がない。したがって、複数のエアレール2を並べた場合、隣り合うエアレール2を密着させる等、複数のエアレール2の間隔寸法を、搬送対象の浮上安定性等を考慮して柔軟に設定することができる。このため、搬送対象をより安定に浮上させて搬送できる。また、レベリング装置3のハウジング34に形成された第三の貫通孔347を介して、ボルト6を、エアレール2の裏面24に形成されたネジ穴26にネジ止めすることにより、皿バネ群31にプリロードをかけた状態で、レベリング装置3をエアレール2に取り付けるので、エアレール2のベースフレーム1への取付け作業に先だって、必要本数のエアレール2へのレベリング装置3の取付けおよびプリロード作業をあらかじめ行っておくことが可能となる。このため、作業効率がさらに向上する。なお、本実施の形態では、六角穴付きボルト4およびTナット5を用いて、レベリング装置3を介してベースフレーム1にエアレール2を取り付けているが、本発明はこれに限定されない。ベースフレーム1の上面12Aの、エアレール2の段付き貫通孔23に対応する位置に、六角穴付きボルト4のネジ部42と螺合するネジ穴を形成することで、Tナット5を用いずにエアレール2をベースフレーム1に取り付けられるようにしてもよい。また、本実施の形態では、六角レンチ7を使って、エアレール2の搬送面21側から、ベースフレーム1へのエアレール2の取付けおよび搬送面21のレベリングを行えるようにするために、六角穴付きボルト4を用いているが、本発明はこれに限定されない。使用する工具を応じて、例えば、十字穴、すり割り溝等が頭部の上面に形成されたボルトを用いればよい。また、本実施の形態では、所定の間隔をおいて並べられた2本の角柱状のベースフレーム1上にかけ渡すようにして、エアレール2をベースフレーム1に取り付けているが、本発明はこれに限定されない。例えば、1枚の板状のベースフレーム上に載せるようにして、エアレール2をベースフレーム1に取り付けてもよい。また、本実施の形態では、搬送台100を有する浮上搬送装置への適用を例に説明したが、本発明は、レベリング対象面を有するテーブルがベース材に固定されている他の装置にも適用可能である。また、本実施の形態では、ベースフレーム1上でエアレール2を支持し、ベースフレーム1に対するエアレール2の高さを調整するレベリング装置3を説明したが、本発明は、二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置に広く適用できる。