負荷に電力を供給する電力供給装置であって、前記負荷に対して電力を出力する電力出力部と、前記電力出力部から前記負荷に印加される負荷電圧および負荷電流を検出せずに、前記負荷の動作状態を検出する状態検出部と、前記状態検出部が検出した前記動作状態に基づいて、前記電力出力部が出力する出力電流を制御する出力制御部とを備える電力供給装置。前記状態検出部は、前記負荷に入力されるパターン信号の論理値に基づいて、前記動作状態を検出する請求項1に記載の電力供給装置。前記状態検出部は、前記負荷が出力するパターン信号の論理値に基づいて、前記動作状態を検出する請求項1に記載の電力供給装置。前記状態検出部は、前記パターン信号の論理値が遷移したか否かと、前記パターン信号の論理値とに基づいて、前記動作状態を検出する請求項2または3に記載の電力供給装置。前記状態検出部は、前記パターン信号の論理値の遷移を検出した場合に予め定められたレベルの遷移信号を出力する遷移信号出力部と、前記パターン信号の論理値に応じたレベルの論理値信号を出力する論理値信号出力部と、前記遷移信号および前記論理値信号の信号レベルを加算するレベル加算部とを有する請求項4に記載の電力供給装置。前記電力出力部は、複数の負荷に電力を出力し、前記遷移信号出力部、前記論理値信号出力部および前記レベル加算部は、前記負荷毎に設けられ、前記状態検出部は、それぞれの前記レベル加算部が出力する信号レベルを加算する統合加算部を更に有する請求項5に記載の電力供給装置。前記複数の負荷に対して予め定められたダミーパターンを入力したときに、それぞれの前記遷移信号出力部および前記論理値信号出力部が出力する信号レベルに基づいて、それぞれの前記遷移信号出力部および前記論理値信号出力部におけるゲインを調整するゲイン調整部を更に備える請求項6に記載の電力供給装置。前記状態検出部は、前記負荷の論理回路にクロックを供給するか否かを制御するクロックゲート信号の論理値に基づいて、前記動作状態を検出する請求項1に記載の電力供給装置。前記状態検出部は、前記負荷が出力する信号に基づいて、前記動作状態を検出する請求項1に記載の電力供給装置。前記電力出力部は、直流電源と、前記直流電源および前記負荷の間に設けられたコイルと、前記直流電源および前記コイルを電気的に接続するか否かを、前記出力制御部からの信号に応じて切り替えるスイッチング素子とを有する請求項1から9のいずれか一項に記載の電力供給装置。被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記被試験デバイスに電力を供給する請求項1から10のいずれか一項に記載の電力供給装置と、前記被試験デバイスに試験信号を入力し、前記試験信号に応答して前記被試験デバイスが出力する応答信号に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する試験部とを備える試験装置。しかし、負荷電圧または負荷電流を観測してフィードバック制御を行っても、急峻な変動に追従することが困難であった。例えば従来のDC-DCコンバータは、電源および負荷の間に設けられたコイルと、電源およびコイルを接続する線路と接地電位との間に設けられたダイオードと、負荷およびコイルを接続する線路と接地電位との間に設けられたコンデンサとを有する。コイルに電源を接続する期間と、コイルに電源を接続しない期間との比を、負荷電圧等と基準値との誤差に応じて制御することで、負荷電流の変動を補償する。しかし、負荷電圧に応じてフィードバック制御を行う電圧モード制御においては、フィードバック系がコイルとコンデンサの2次遅れ系となるので、フィードバック系の位相回転が大きくなる。このため、高周波の帯域においてフィードバック系のゲインを大きくすると、動作の不安定化、セトリングタイムの悪化、意図しないリンギングがおきてしまう。従って、高周波でのゲインを大きくすることができず、負荷電流の急峻な変化に応じた電圧変動に追従することができない。また、負荷電流の変動を直接観測してフィードバック制御することも考えられる。しかし、負荷電流の変動を直接観測することは困難である。例えば、低抵抗または電流トランスを、コイルと負荷の間の線路に設ける方法もあるが、当該抵抗または電流トランスの特性により、電流変動に対する応答特性が悪化してしまう。本発明の第1の態様においては、負荷に電力を供給する電力供給装置であって、負荷に対して電力を出力する電力出力部と、電力出力部から負荷に印加される負荷電圧および負荷電流を検出せずに、負荷の動作状態を検出する状態検出部と、状態検出部が検出した動作状態に基づいて、電力出力部が出力する出力電流を制御する出力制御部とを備える電力供給装置を提供する。本発明の第2の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに電力を供給する第1の態様の電力供給装置と、被試験デバイスに試験信号を入力し、試験信号に応答して被試験デバイスが出力する応答信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する試験部とを備える試験装置を提供する。なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。図1は、被試験デバイス200を試験する試験装置100の構成例を示す。被試験デバイス200は、メモリ、デジタル回路およびアナログ回路の少なくともいずれかを含むデバイスであってよい。被試験デバイス200は、半導体集積回路であってよい。試験装置100は、試験部110および電力供給装置10を備える。電力供給装置10は、電源電力を被試験デバイス200に供給する。試験部110は、被試験デバイス200を動作させる試験信号を、被試験デバイス200に入力する。また、試験部110は、試験信号に応答して被試験デバイス200が出力する応答信号に基づいて、被試験デバイス200の良否を判定する。例えば試験部110は、所定の論理値パターンを有する試験信号を、被試験デバイス200のデジタル回路に入力する。試験部110は、予め定められたアルゴリズムまたはシーケンスに応じて論理値パターンを順次生成する。試験信号は、予め定められた周期の試験レートに同期して、被試験デバイス200に印加される。試験部110は、当該デジタル回路が試験信号に応答して出力する応答信号の論理値パターンと、予め定められた期待値パターンとを比較して、被試験デバイス200の良否を判定する。図2は、電力供給装置10の構成例を示す。電力供給装置10は、電力出力部20、状態検出部40および出力制御部60を備える。電力出力部20は、被試験デバイス200に対して電力を出力する。電力出力部20は、DC-DCコンバータを有してよい。状態検出部40は、被試験デバイス200の動作状態を検出する。ここで動作状態とは、被試験デバイス200に印加される負荷電圧または負荷電流を変動させる要因となる被試験デバイス200の内部回路の状態を示す情報を指す。内部回路の状態とは、例えば内部回路の各素子の論理状態および入出力レベル、ならびに、各ノードの論理状態または電圧レベル等を指す。ただし状態検出部40は、電力出力部20から被試験デバイス200に印加される負荷電圧および負荷電流を直接は検出しない。状態検出部40は、電力出力部20以外から被試験デバイス200に入力される信号の論理値、電圧値、電流値等に基づいて、被試験デバイス200の動作状態を検出してよい。例えば状態検出部40は、試験部110から被試験デバイス200に入力される試験パターンに基づいて、被試験デバイス200の動作状態を検出する。試験パターンに応じて被試験デバイス200のデジタル回路が動作するので、試験パターンから被試験デバイス200の負荷電流の変動を推定することができる。また、状態検出部40は、負荷本例では被試験デバイス200に対して将来入力されるパターンを予め受け取って、当該パターンに基づいて将来の動作状態の変化を予め検出してもよい。本例の状態検出部40は、現在の試験レートのサイクルよりも後のサイクルにおいて被試験デバイス200に印加される試験パターンに基づいて、被試験デバイス200の動作状態の変動を推定してもよい。上述したように、試験部110は、予め定められたシーケンス等に応じて試験パターンを生成するので、状態検出部40は、後のサイクルにおける試験パターンを先読みすることができる。これにより、状態検出部40における応答速度を向上させることができる。また、状態検出部40は、試験パターンに代えて期待値パターンを用いてもよい。出力制御部60は、状態検出部40が検出した被試験デバイス200の動作状態に基づいて、電力出力部20が出力する出力電流を制御する。出力制御部60は、被試験デバイス200の動作状態が、負荷電流が増大する状態の場合には出力電流を増大させ、負荷電流が減少する状態の場合には、出力電流を減少させる。本例における電力供給装置10によれば、状態検出部40が負荷電圧および負荷電流を直接検出せずに、被試験デバイス200の動作状態を検出するので、動作状態の変動に応じて高速に出力電流を変動させることができる。なお、電力供給装置10は、状態検出部40を、負荷電圧または負荷電流を直接検出して出力電流を制御するフィードバック系とあわせて備えてもよい。図3は、電力出力部20および出力制御部60の詳細な構成例を示す。本例の電力出力部20は、直流電源22、第1スイッチング素子24、第2スイッチング素子26、コイル28およびコンデンサ30を有する。直流電源22は、直流電力を生成する。コイル28は、直流電源22と被試験デバイス200との間に設けられる。つまりコイル28は、直流電源22および被試験デバイス200を接続する線路に設けられる。コンデンサ30は、コイル28および被試験デバイス200を接続する線路と、接地電位との間に設けられる。第1スイッチング素子24は、直流電源22およびコイル28の間に設けられ、直流電源22およびコイル28を電気的に接続するか否かを、出力制御部60からの信号に応じて切り替える。第2スイッチング素子26は、第1スイッチング素子24およびコイル28を接続する線路を接地電位に接続するか否かを、出力制御部60からの信号に応じて切り替える。第2スイッチング素子26は、第1スイッチング素子24がオン状態の場合にオフ状態となり、第1スイッチング素子24がオフ状態の場合にオン状態となる。このような構成により、電力出力部20は、出力制御部60からの信号に応じた出力電圧および出力電流を、被試験デバイス200に対して出力する。本例の出力制御部60は、基準電源74、エラーアンプ72、補償器70、コンパレータ68、スイッチ制御部66、ドライバ64およびドライバ62を有する。エラーアンプ72は、電力出力部20から被試験デバイス200に印加される負荷電圧と、予め定められた基準電圧との誤差に応じた電圧を出力する。基準電源74は、エラーアンプ72に入力する基準電圧を生成する。補償器70は、エラーアンプ72が出力する電圧の高周波成分を除去する。補償器70はローパスフィルタ、または、ローパスフィルタおよびハイパスフィルタを並列に組み合わせたものであってよい。コンパレータ68は、補償器70が通過させた電圧V1と、コイル28に流れる電流に応じた電圧V2と、状態検出部40が出力する電圧V3とに応じた論理値の制御信号を出力する。コイル28に流れる電流は、コイル28から、第1スイッチング素子24および第2スイッチング素子26の接続点までの線路において検出される。コイル28よりも直流電源22側の線路において電流を検出するので、検出素子によって応答特性が劣化することを防ぐことができる。電力供給装置10は、コイル28から被試験デバイス200までの線路において、電流を検出する素子を有さないことが好ましい。本例のコンパレータ68は、電圧V1および電圧V3の和と、電圧V2および比較信号の電圧V4の和との比較結果に応じた論理値を出力する。コンパレータ68は、V2V4が、V1V3よりも大きくなった場合、第1スイッチング素子24をオフ状態にする制御信号論理値Hを出力してよい。また、V2V4が、V1V3よりも小さくなった場合、コンパレータ68は、論理値Lの制御信号を出力してよい。比較信号は、所定の周期を有する鋸波であってよい。これにより、コンパレータ68に入力される電圧V1、V2、V3のレベルに応じて、コンパレータ68が出力する制御信号のデューティー比が変化する。コンパレータ68が出力する制御信号は、スイッチ制御部66に入力される。スイッチ制御部66は、制御信号に基づいて第1スイッチング素子24および第2スイッチング素子26を制御することで、コイル28に流れる電流を制御する。スイッチ制御部66は、直流電源22からコイル28に流れる電流を増大させたい場合に第1スイッチング素子24がオン状態となる期間を増大させ、直流電源22からコイル28に流れる電流を減少させたい場合に第2スイッチング素子26がオン状態となる期間を増大させる。スイッチ制御部66は、制御信号をリセット端子に受け取り、クロック信号をセット端子に受け取るリセットセットフリップフロップRS-FFであってよい。スイッチ制御部66のQ端子は、ドライバ62を介して第1スイッチング素子24のゲートに接続され、/Q端子は、ドライバ64を介して第2スイッチング素子26のゲートに接続される。スイッチ制御部66が出力する信号は、セット端子に入力されるクロックに応じてH論理となり、リセット端子にH論理が入力された場合にL論理となる。このため、コンパレータ68からの制御信号により、スイッチ制御部66が出力するパルスのデューティー比が制御され、出力電流が制御される。なお、スイッチ制御部66のセット端子およびリセット端子に入力する制御信号の論理値を遷移させる場合において、セット端子およびリセット端子に同時に論理値Lが入力される期間が存在するように、スイッチ制御部66の各端子に制御信号を入力してよい。これにより、第1スイッチング素子24および第2スイッチング素子26が同時にオン状態となることを防ぐことができる。本例の電力供給装置10によれば、状態検出部40を設けることで、負荷電圧および負荷電流を直接検出しないフィードバック経路で出力電流を制御できる。このため、負荷電流の変動に高速に追従することができる。これにより電力供給装置10は、負荷電流の変動に追従して、電源電圧を略一定に保つことができる。また、電力供給装置10は、追従能力の範囲内において、所望の応答特性で負荷電流の変動に追従してもよい。これにより、例えば被試験デバイス200の実動作時に想定される電源を電力供給装置10で模擬して、被試験デバイス200を試験できる。また、電力供給装置10は、負荷電圧に応じて出力電流を制御する電圧モード制御のフィードバック経路と、コイル28に流れる電流に応じて出力電流を制御するフィードバック経路とを有する。コイル28に流れる電流に応じて出力電流を制御するので、電圧モード制御においてコイル28により生じるポールをキャンセルして、フィードバックを1次遅れ系にすることができる。このため、補償器70のカットオフ周波数を、比較的に高周波数に設定することができ、電圧モード制御におけるフィードバックの追従性を向上させることができる。また、電力供給装置10は、コイル28に流れる電流を検出することに変えて、第1スイッチング素子24または第2スイッチング素子26に流れる電流を検出してよい。また、電力供給装置10は、各スイッチング素子に流れる電流を検出する代わりに、各スイッチング素子の端子間電圧を検出してもよい。この場合、第1スイッチング素子24または第2スイッチング素子26のオン抵抗は既知とする。なお、状態検出部40は、補償器70を介さずに、被試験デバイス200の動作状態に応じた電圧を、コンパレータ68に入力する。このため、状態検出部40は、補償器70の帯域によらず、出力電流を制御することができる。また、電力出力部20および出力制御部60の構成は、図3に示した構成に限定されない。例えば、電力出力部20における第2スイッチング素子26に代えて、ダイオードを用いることができる。この場合、出力制御部60は、ドライバ64を有さない。また、図3においては、電力出力部20として降圧型のDC-DCコンバータを示したが、昇圧型のDC-DCコンバータであってよく、昇降圧型のDC-DCコンバータであってもよい。また、電力出力部20は、AC-DCコンバータ、インバータ等であってもよい。図4は、状態検出部40の構成例を示す。本例の状態検出部40は、被試験デバイス200に入力されるパターン信号または被試験デバイス200の内部で生成されるパターン信号の論理値に基づいて、被試験デバイス200の動作状態を検出する。本例の被試験デバイス200は、パターン信号が入力されるラインドライバ202を有する。一般にラインドライバ202は、出力パターンの論理値が遷移した瞬間に大電流が流れる場合がある。また、ラインドライバ202は、終端抵抗に流れる電流が、出力パターンの論理値がHまたはLの場合で異なる場合がある。本例の状態検出部40は、パターン信号の論理値が遷移したか否かと、パターン信号の論理値とに基づいて、ラインドライバ202の動作状態を検出する。なお、本例において電力出力部20は、複数の負荷本例ではラインドライバ202に電力を出力する。各負荷は、同一の被試験デバイス200に設けられてよく、異なる被試験デバイス200に設けられてもよい。状態検出部40は、遷移信号出力部41、論理値信号出力部46、レベル加算部49および統合加算部50を有する。なお、遷移信号出力部41、論理値信号出力部46およびレベル加算部49は、負荷毎に設けられる。遷移信号出力部41は、パターン信号の論理値の遷移を検出した場合に、予め定められたレベルの遷移信号を出力する。遷移信号出力部41は、遅延部42、排他的論理和回路43、補償器44および増幅器45を有する。遅延部42は、被試験デバイス200に入力されるパターン信号を受け取り、当該パターン信号を1周期遅延させて出力する。遅延部42は、フリップフロップD-FFであってよい。排他的論理和回路43は、被試験デバイス200に入力されるパターン信号と、遅延部42が出力する信号との排他的論理和を出力する。つまり、排他的論理和回路43は、パターン信号の論理値が遷移したサイクルではH論理を出力し、パターン信号の論理値が遷移しないサイクルではL論理を出力する。補償器44は、排他的論理和回路43が出力する信号から、所定の高周波成分を除去する。当該高周波成分は、パターン信号の周波数よりも高い帯域の成分である。補償器44はローパスフィルタであってよい。増幅器45は、補償器44が通過させた信号のレベルを、設定される増幅率で増幅した遷移信号を出力する。論理値信号出力部46は、被試験デバイス200に入力されるパターン信号の論理値に応じたレベルの論理値信号を出力する。論理値信号出力部46は、補償器47および増幅器48を有する。補償器47は、被試験デバイス200に入力されるパターン信号から、所定の高周波成分を除去する。当該高周波成分は、パターン信号の周波数よりも高い帯域の成分である。補償器47はローパスフィルタであってよい。増幅器48は、補償器47が通過させた信号のレベルを、設定される増幅率で増幅した論理値信号を出力する。レベル加算部49は、遷移信号出力部41が出力する遷移信号および論理値信号出力部46が出力する論理値信号の信号レベルを加算する。統合加算部50は、負荷毎に設けられたレベル加算部49が出力する信号レベルを加算した信号を、出力制御部60のコンパレータ68に出力する。このような構成により、被試験デバイス200に入力されるパターン信号の論理値に基づいて、被試験デバイス200の動作状態を検出し、電力出力部20が被試験デバイス200に出力する出力電流を制御することができる。上述した例において状態検出部40は、ラインドライバ202に入力されるパターン信号の論理値に基づいて、ラインドライバ202の動作状態を検出したが、状態検出部40は、ラインドライバ202が出力するパターン信号の論理値に基づいて、ラインドライバ202の動作状態を検出してもよい。この場合の状態検出部40の構成および動作は、入力パターン信号に基づいて動作状態を検出する例と同様である。図5は、電力供給装置10の他の構成例を説明する図である。本例の電力供給装置10は、図1から図4に関連して説明した電力供給装置10の構成に加え、ゲイン調整部90を更に備える。ゲイン調整部90は、それぞれの負荷例えばラインドライバ202に対して予め定められたダミーパターンを入力したときに、それぞれの遷移信号出力部41および論理値信号出力部46が出力する信号レベルに基づいて、増幅器45および増幅器48の増幅率を調整する。入力されるパターン信号の論理値が遷移した場合の、被試験デバイス200の負荷電流の変動量は、予め測定または算出することができる。ゲイン調整部90は、論理値が遷移するダミーパターンをそれぞれの負荷に入力したときに、状態検出部40からコンパレータ68に入力される電圧V3が、当該負荷電流の変動を補償する量だけ変動するように、それぞれの増幅器45の増幅率を調整する。また、入力されるパターン信号の論理値ごとの、負荷に流れる終端電流の値についても、予め測定または算出することができる。ゲイン調整部90は、所定の論理値のダミーパターンをそれぞれの負荷に入力したときに、状態検出部40からコンパレータ68に入力される電圧V3が、当該終端電流を補償するレベルとなるように、それぞれの増幅器48の増幅率を調整する。図6は、状態検出部40の他の構成例を示す。本例の状態検出部40は、被試験デバイス200の論理回路にクロックを供給するか否かを制御するクロックゲート信号の論理値に基づいて、動作状態を検出する。本例の被試験デバイス200は、内部の論理回路にクロックを供給するか否かを制御するゲート回路204を有する。ゲート回路204は、入力されるクロックゲート信号と、クロックとの論理積を出力する。なお、本例において電力出力部20は、複数の被試験デバイス200に電力を出力する。状態検出部40は、複数の増幅器51および統合加算部52を有する。複数の増幅器51は、複数の被試験デバイス200に対応して設けられる。それぞれの増幅器51は、対応する被試験デバイス200のクロックゲート信号を受け取り、設定される増幅率で増幅して出力する。統合加算部52は、それぞれの増幅器51が出力する信号を加算して、出力制御部60のコンパレータ68に出力する。このような構成により、被試験デバイス200のクロックゲート信号に基づいて、被試験デバイス200の動作状態を検出し、出力電流を制御することができる。本例においても、電力供給装置10はゲイン調整部90を備えてよい。ゲイン調整部90は、それぞれの被試験デバイス200に対して所定の論理値のクロックゲート信号を入力したときに、それぞれの増幅器51が所定のレベルの信号を出力するように、それぞれの増幅器51の増幅率を調整する。クロックゲート信号の論理値ごとに、被試験デバイス200の負荷電流の平均値は測定または算出することができる。ゲイン調整部90は、それぞれの増幅器51の出力レベルが、クロックゲート信号の論理値ごとに定まる負荷電流を補償するレベルとなるように、増幅率を調整する。なお、状態検出部40は、クロックゲート信号以外にも、被試験デバイス200の動作を制御する多様なゲート信号に基づいて、被試験デバイス200の動作状態を検出することができる。例えば状態検出部40は、被試験デバイス200に電源電力を供給するか否かを制御するパワーゲート信号に基づいて、被試験デバイス200の動作状態を検出することができる。図7は、状態検出部40の他の構成例を示す。本例の状態検出部40は、被試験デバイス200の内部に設けられたパワーアンプ206が出力する信号に基づいて、被試験デバイス200の動作状態を検出する。パワーアンプ206は、入力されるRF信号を増幅して出力する。パワーアンプ206は、AB級またはC級のアンプであってよい。状態検出部40は、検波器53および増幅器54を有する。検波器53は、パワーアンプ206が出力する信号を検波する。検波器53は、パワーアンプ206が出力する信号を整流するダイオードを有してよい。増幅器54は、検波器53が検波した信号を、設定される増幅率で増幅し、出力制御部60のコンパレータ68に出力する。なお、検波器53は、パワーアンプ206に入力されるRF信号を検波してもよい。また、被試験デバイス200において、RF信号を中間周波数またはベースバンド周波数に変換する場合、検波器53は、中間周波数またはベースバンド周波数に変換された信号を検波してもよい。本例においても、電力供給装置10はゲイン調整部90を備えてよい。ゲイン調整部90は、被試験デバイス200に対して所定の信号を入力したときに、増幅器54が所定のレベルの信号を出力するように、増幅器54の増幅率を調整する。なお、被試験デバイス200の内部に増幅器が設けられ、状態検出部40が当該増幅器を介して信号を受け取る場合、ゲイン調整部90は、被試験デバイス200の増幅器における増幅率に応じて、増幅器54の増幅率を設定する。また、被試験デバイス200の増幅器における増幅率が変更されたことに応じて、ゲイン調整部90は増幅器54の増幅率を再設定してよい。なお、図1から図7に関連して説明した電力供給装置10は、試験装置100に用いるものに限定されない。つまり、電力供給装置10により電力が供給される負荷は、被試験デバイス200に限定されない。電力供給装置10は、半導体装置、通信機器等の負荷に電力を供給してよい。また、電力供給装置10は、半導体装置、通信機器等のデバイスに実装され、デバイス内の負荷に電力を供給してもよい。以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段より前に、先立って等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上まず、、次に、等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。