外力を検出する力センサと、前記力センサに外力を減衰させて入力する減衰機構を備えた力検出装置であって、前記減衰機構は、前記力センサの入力部に設けられた伝達部材と、一端が前記力センサの固定部に設けられた支持部材と、前記支持部材の他端に枢動可能に支持された可倒軸とを備え、前記可倒軸は前記伝達部材に屈曲可能に接続されていることを特徴する力検出装置。前記支持部材は、前記可倒軸の重心位置を支持することを特徴とする請求項1に記載の力検出装置。請求項1または請求項2のいずれかの力検出装置と、回転駆動部とを備えた自動ねじ締め装置であって、前記回転駆動部の回転力を、前記回転駆動部に設けた第1のプーリから前記力検出装置の前記伝達部材に設けた第2のプーリにベルトで伝達し、前記第2のプーリにより前記力検出装置の前記可倒軸を回転させることを特徴とする自動ねじ締め装置。一対の請求項1または請求項2のいずれかの力検出装置を備えた把持装置であって、前記一対の力検出装置をそれぞれサーボモータに設置し、前記一対の力検出装置の前記可倒軸の先端で物体を把持するように、前記一対の力検出装置を駆動することを特徴とする把持装置。しかしながら、特許文献1の力センサ500は、受力体510に過度の外力が作用すると、元の形状に復帰できなくなったり、構造体に亀裂が発生するなど、機械的な損傷を被る問題があった。また、特許文献2の自動ねじ締め装置600は、力センサ612と螺合部品601の間に把持回転装置614が介在し、力センサ612と螺合部品601の距離Lが長くなるため、螺合部品601の傾きなどにより先端に横方向の外力が働くと、力センサ612には、てこの作用により外力が増幅されて作用するため、力センサ612の損傷がより生じやすくなる問題があった。また、特許文献3の把持装置700も、把持する物体からの反力がフィンガ738を介して力センサ736に伝達されるため、力センサ736の損傷がより生じやすくなる問題があった。本発明は、離れた対象物から力センサに加わる横からの外力を減衰して測定することができる力検出装置を提供することを目的とする。外力を検出する力センサと、力センサに外力を減衰させて入力する減衰機構を備えた力検出装置であって、減衰機構は、力センサの入力部に設けられた伝達部材と、一端が力センサの固定部に設けられた支持部材と、支持部材の他端に枢動可能に支持された可倒軸とを備え、可倒軸は伝達部材に屈曲可能に接続されていることを特徴する。離れた距離の対象物から力センサに入力される外力を減衰して測定することができる。以下、図面に基づいて本発明を実施するための最良の形態を説明する。図1は、本発明の実施例1の力検出装置100の正面図である。力検出装置100は、作業対象のワークWから外力を検出するための力センサ10と、力センサ10に外力を減衰させて入力する減衰機構20を備えている。力センサ10は、互いに直交するX軸、Y軸、Z軸に対して、各軸方向に与えられる力Fx、Fy、Fzと、各軸の回転方向に与えられるモーメントMx、My、Mzの6成分を測定する6軸力センサや、これらのうち3成分を測定する3軸力センサなどである。力センサ10は、減衰された外力が入力される入力部10aと、基幹装置に固定される固定部10bを有し、外力によって入力部10aと固定部10bの間に生じる歪みを電気信号に変換して出力する。減衰機構20は、外力が印加されることにより傾倒する可倒軸21と、可倒軸21で減衰された外力を力センサ10の入力部10bに伝達する伝達部材22と、可倒軸21を支持する支持部材23を備えている。これらの可倒軸21、伝達部材22、支持部材23は、剛性を有する部材で形成されている。可倒軸21は、外力が印加される先端21aから後端21bまで、一本の軸状に形成されたものである。また、伝達部材22は、可倒軸21を接続する軸部22aが面部22bの中心に一体形成されたものである。そして、可倒軸21の後端21bと伝達部材22の軸部22aがユニバーサルジョイント25を介して屈曲可能に接続されており、伝達部材22の面部22bと力センサ10の入力部10bが全面で固定されている。支持部材23は、力センサ10の固定部10bに固定される基部23aと、基部23aから力センサ10の入力部10b下方に延びる腕部と、腕部先端に形成された支持部23bとからなる。支持部23bは、可倒軸21がぐらつかないように可倒軸21の先端21aと後端21bの間を支持するものであり、可倒軸21をx軸およびy軸周りに傾倒可能にするピロボール26と、可倒軸3をz軸で枢動可能にするロータリーブッシュ27が組み込まれている。上記の構成により、減衰機構20は、外力が印加されない状態で、可倒軸21が支持部23bにより伝達部材22の軸部22aと真直ぐになるように支持されており、先端21aに外力が印加されると、可倒軸21が支持部23bを中心に軸部22aに対して、x軸、y軸周りに傾倒するようになっている。図2は、外力が印加されたときの減衰機構20の動作を説明するための正面図である。図2に示すように、可倒軸21の先端21aに横方向の外力Fxが印加されると、可倒軸21は支持部23bが支点となって、可倒軸21の後端21bが外力Fxと反対方向に移動するため、可倒軸21と伝達部材22がユニバーサルジョイント25で屈曲して、可倒軸21が軸部22aに対して、x軸、y軸周りに傾倒した状態となる。図1の構成において、可倒軸21の先端21aから支持部23bまでの長さをL1とし、支持部23bからユニバーサルジョイント25までの長さをL2とし、ユニバーサルジョイント25から力センサ10の中心までの長さをL3とする。可倒軸21が傾倒しない従来の力センサの場合、先端21aに横方向の外力Fxが働いたとき、力センサ10に伝わるモーメントMは、モーメントM=FxL1L2L3となり、対象物から力センサ10までの距離L1L2L3が離れるほど、力センサ10に外力Fxが増幅されて入力される。一方、本発明の減衰機構20を備えた力検出装置100は、てこの原理により、M=FxL1/L2L3に減衰させることができ、また、L1~L3の長さを変えることにより、減衰量を調整することができる。したがって、本発明の力検出装置100によれば、力センサ10に入力される力を減衰する減衰機構20を備えているので、対象物から力センサ10までの距離L1L2L3が離れ、可倒軸21の先端に横方向の外力Fxが印加された場合でも、減衰機構20のてこの作用により力センサ10に入力される外力を仕様の範囲内に抑えて測定することができる。なお、支持部23bは、ユニバーサルジョイント25から先端21aまでの重心位置を支持するのが望ましい。重心位置を支持している構造では、力検出装置100が横に動いたとき、可倒軸21の慣性力を支持部23bが完全に受け止めるため可倒軸21が支持部23bを中心に回ろうとする回転モーメントを発生せず、したがって慣性力が力センサ10に伝わらないので、力センサ10に慣性によるノイズが印加されず、先端21aに受けた外力だけを高感度で測定することができる。図3は、本発明の力検出装置100を用いた自動ねじ締め装置200の正面図である。自動ねじ締め装置200は、可倒軸21を回転させるためのモータ30と、プーリ31、32と、ベルト33とを備えている。モータ30は、支持部材23の基部23aから腕部と反対側に延びた設置部23cに設置されており、ベルト33によって、モータ30側の回転軸に設けられた第1のプーリ31から伝達部材22の軸部22aに設けられた第2のプーリ32へ回転力が伝達される。第2のプーリ32は、軸部22aを軸として回転し、可倒軸21をユニバーサルジョイント25とともに回転させるようになっている。また、可倒軸21の先端21aには、各種のねじ35に対応したビットが取り付けられている。上記の構成により、本発明の自動ねじ締め装置200は、モータ30によって可倒軸21を回転させて、先端21aに設けたビットでねじ35を対象物Wにねじ締めすることができる。そして、ねじ締め中にねじ35が傾くなどにより、先端21aに横方向の外力Fxが働いたとき、可倒軸21を回転させながら軸部22aに対してx軸、y軸周りに傾倒させることができる。したがって、本発明の自動ねじ締め装置200によれば、ねじ締めする対象物から力センサ10までの距離が離れ、可倒軸21の先端21aに横方向の外力Fxが印加された場合でも、減衰機構20のてこの作用により力センサ10に入力される外力を減衰させ、仕様の範囲内に抑えて測定することができる。このため、ねじ締め中に生じる外力を検出することができ、ねじ締め作業を自動化し、ねじの傾きや締め付け力を制御することができる。なお、モータ30の重量が力センサ10にかからないように、モータ30が支持部材23に載置され、モータ30の回転力をベルト33を介して第1のプーリ31から第2のプーリ32に伝達させ、可倒軸21を回転させているため、モータ30の重量に関係なく、力センサ10の測定感度を維持することができる。図4は、本発明の力検出装置100を用いた把持装置300の正面図である。把持装置300は、サーボモータ40を介して基幹装置に設置された一対の力検出装置100A、100Bを備えている。それぞれの力検出装置100A、100Bは、可倒軸21の先端21aにワークWを把持するための把持部41が設けられ、サーボモータ40により両把持部40を開閉動作できるように構成されている。本発明の把持装置300によれば、対象物Wを把持したときの反力Fxが把持部41から可倒軸21の先端21aの横方向に印加されるが、力検出装置100A、100Bに備えられた減衰機構20のてこの作用により、それぞれの力センサ10に入力される外力を減衰させ、仕様の範囲内に抑えられるので、力センサ10から離れた把持部41に生じる反力Fxを測定することができる。また、力検出装置100A、100Bの把持部41に生じる反力Fxをサーボモータ40にフィードバックすれば、対象物Wの硬さに応じて把持力を最適に調整することができる。