"発熱部品に熱的に接続されて冷却用流体の流れる流路内に配置されるフィンユニットを有し、前記冷却用流体を用いて前記発熱部品を冷却するヒートシンクであって、前記フィンユニットは、前記冷却用流体が流れる方向に沿った接続端を有する略長方形状の切り起こしが板状の部材に複数設けられることにより形成され、前記冷却用流体が流れる方向に対して垂直な方向に沿って並ぶように前記切り起こしが複数設けられて切り起こし列が形成されると共に、前記切り起こし列が前記冷却用流体が流れる方向に沿って互いに所定距離だけ離れて複数形成されており、前記所定距離をammとし、前記切り起こしにおける前記冷却用流体が流れる方向の長さをLmmとし、前記板状の部材の厚さをtmmとし、前記板状の部材の厚さ方向における前記冷却用流体の流路高さをHMmmとしたときに、下記の条件式1乃至5を満たす、ことを特徴とするヒートシンク。0.2≦t/HM≦0.41t/HM≦0.5a/La0.222t/HM≧-0.5a/La0.383t/HM≦-0.5a/La0.734t/HM≧0.5a/La-0.135前記フィンユニットは、前記冷却用流体の流れる流路の前記発熱体が位置する側と反対側の流路壁に前記板状の部材の板面が接するように設けられる、ことを特徴とする請求項1に記載のヒートシンク。前記フィンユニットは、前記発熱体が熱的に接続される領域では、前記発熱体が熱的に接続されない領域に比して前記切り起こしにおける前記冷却用流体が流れる方向の長さが短く形成されている、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のヒートシンク。前記フィンユニットは、アルミニウム又はアルミニウム合金によって形成されている、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のヒートシンク。一般に、冷却用流体が流路の壁面と接触しやすくなるように冷却用流体の流れる流路を複雑に構成することにより、ヒートシンクの冷却性能を向上させることができるが、流路に冷却用流体を流すときの圧力損失が大きくなると、冷却用流体を循環させるために大きな出力のポンプが必要となってしまい、ポンプの駆動に伴って騒音が生じるおそれもある。本発明は、冷却流路での冷却用流体の圧力損失が小さく且つ冷却性能に優れたヒートシンクを提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明のヒートシンクは、発熱部品に熱的に接続されて冷却用流体の流れる流路内に配置されるフィンユニットを有し、前記冷却用流体を用いて前記発熱部品を冷却するヒートシンクであって、前記フィンユニットは、前記冷却用流体が流れる方向に沿った接続端を有する略長方形状の切り起こしが板状の部材に複数設けられることにより形成され、前記冷却用流体が流れる方向に対して垂直な方向に沿って並ぶように前記切り起こしが複数設けられて切り起こし列が形成されると共に、前記切り起こし列が前記冷却用流体が流れる方向に沿って互いに所定距離だけ離れて複数形成されており、前記所定距離をammとし、前記切り起こしにおける前記冷却用流体が流れる方向の長さをLmmとし、前記板状の部材の厚さをtmmとし、前記板状の部材の厚さ方向における前記冷却用流体の流路高さをHMmmとしたときに、下記の条件式1乃至5を満たす、ことを特徴とする。0.2≦t/HM≦0.41t/HM≦0.5a/La0.222t/HM≧-0.5a/La0.383t/HM≦-0.5a/La0.734t/HM≧0.5a/La-0.135前記フィンユニットは、前記冷却用流体の流れる流路の前記発熱体が位置する側と反対側の流路壁に前記板状の部材の板面が接するように設けられてもよい。前記フィンユニットは、前記発熱体が熱的に接続される領域では、前記発熱体が熱的に接続されない領域に比して前記切り起こしにおける前記冷却用流体が流れる方向の長さが短く形成されていてもよい。前記フィンユニットは、アルミニウム又はアルミニウム合金によって形成されていてもよい。本発明によれば、冷却流路での冷却用流体の圧力損失が小さく且つ冷却性能に優れたヒートシンクを提供することができる。以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図1は本発明の実施形態に係るヒートシンク10の様子の一例を示す斜視図である。ヒートシンク10は、例えばIGBT素子やリアクトルなどの図示しない発熱体被冷却体を冷却用流体を用いて冷却できるように構成されている。ヒートシンク10は、図1に示すように、発熱体から熱Qが伝達されるベースプレート12と、ベースプレート12と共に冷却用流体の流路18を構成するカバープレート14と、冷却用流体の流路18内に配置されるフィンユニット20とを備える。実施形態では、冷却用流体は、水や不凍液などの液体を用いるものとした。冷却用流体は、例えばモータなどで駆動される図示しないポンプによって流路18内を図1中白抜き矢印方向に流れる。ベースプレート12は、例えば数百μm~数mmの厚さの熱伝導性に優れた金属板例えば、銅やアルミニウム、アルミニウム合金などで形成されている。ベースプレート12は、一方の面図1中、紙面裏側の面に図示しない発熱体が熱的に接続され、他方の面図1中、紙面表側の面にフィンユニット20が熱的に接続されている。ベースプレート12の板面の大きさは、被冷却体である発熱体の形状や大きさなどに応じて適宜定めることができる。カバープレート14は、例えば金属や樹脂などの材料によって形成され、ベースプレート12と共に冷却用流体の流路18を構成している。カバープレート14は、ベースプレート12との距離つまり、ベースプレート12に対する冷却流路の流路高さHMが略一定例えば、数mmなどとなるようにベースプレート12に取付けられている。フィンユニット20は、厚さtが例えば数百μm~数mmの熱伝導性に優れた金属例えば、銅やアルミニウム、アルミニウム合金などの一枚板に、図2に示すように、複数の切り起こしフィン24が設けられて形成されている。なお、図2では、フィンユニット20をベースプレート12側から見た様子を示している。フィンユニット20は、冷却用流体の流路18内に配置され、ベースプレート12やカバープレート14を介して図示しない発熱体に熱的に接続されている。具体的には、フィンユニット20は、図3に示すように、その板面裏面が、ベースプレート12に対抗するカバープレート14の面に接するように設けられている。、つまり、フィンユニット20は、発熱体図示せずが位置する側と反対側の流路18の流路壁に、フィンユニット20の板面が接するように設けられていることになる。フィンユニット20に設けられた複数の切り起こし24は、図1から図3に示すように、フィンユニット20の素材となる金属板に、略コ字状に切り込みを複数入れ、冷却用流体の流れる方向に沿って折り曲げて例えば45度切り起こすことで形成されている。こうして形成される複数の切り起こし24は、それぞれ、冷却用流体の流れる方向に沿った接続端24aおよび切り起こし端24bを有する長方形状の切り起こしとなる図2参照。なお、接続端24aや切り起こし端24bは、冷却用流体が流れる方向とのなす角度が0度つまり、冷却用流体の流れに沿っていることが望ましいが、±5度程度のずれがあっても本発明の効果は期待できる。フィンユニット20には、複数の切り起こし24が冷却用流体の流れる方向に対して垂直な方向に並んで設けられている。以下、冷却用流体の流れる方向に対して垂直な方向に並んだ複数の切り起こし24の群を切り起こし列フィン群22という。切り起こし列22における切り起こし24同士の距離や数は、切り起こし24の大きさやフィンユニット20の素材の強度に応じて適宜定めることができる。そして、フィンユニット20には、複数の切り起こし24からなる切り起こし列22が、冷却用流体の流れる方向に沿って互いに所定距離a例えば、数mmなどの間隔を空けて複数設けられている。なお、切り起こし列22は、切り起こし列22を構成する複数の切り起こし24のそれぞれについて、その接続端24a及び切り起こし端24bが冷却用流体の流れる方向に対して一様に0度の角度となるようにつまり、冷却用流体の流れに沿うように形成されてもよいし、冷却用流体の流れる方向に対して一様に所定角度例えば、±5度程度ずらして形成されてもよい。また、切り起こし列22を構成する複数の切り起こし24は、その接続端24a及び切り起こし端24bが、各切り起こし24毎で冷却用流体の流れる方向に対する角度が異なるように例えば、交互に±5度程度異なるように形成されてもよい。このようにフィンユニット20には、複数の切り起こし24が設けられているため、フィンユニット20の板面には、切り起こし24が切り起こされることによる空洞が複数存在する。こうしたフィンユニット20がベースプレート12とカバープレート14とで形成される流路18内に配置されることにより、冷却用流体が流れる流路18には、図4に示すように、切り起こし24が設けられてフィンユニット20の板材厚さ方向における流路高さベースプレート12に対する流路高さが高くなる領域と図4中、流路高さHM、切り起こし24が設けられてなく流路高さがフィンユニット20の厚さtだけ低くなる領域とが存在することになる図4中、流路高さHmHm=HM-t。このように、実施形態のヒートシンク10では、フィンユニット20の切り起こし24によって冷却用流体の流れる流路壁に凹凸が形成され、この凹凸によって流路18に流れる冷却用流体の流れが乱される。これにより、フィンユニット20などの形状を調整することでヒートシンク10の冷却性能を向上させることができる。また、実施形態のヒートシンク10では、フィンユニット20は、フィンユニット20の板面裏面がベースプレート12とは反対側となるカバープレート14の板面に接するように設けられているから、流路18に冷却用流体が流れるときには、ベースプレート12から離れた位置の比較的温度の低い冷却用流体がベースプレート12側に蛇行させられて移動し、ベースプレート12に温度の低い冷却用流体を接触させることができ、ヒートシンク10の冷却性能を効果的に向上させることができる。次に、こうしたフィンユニット20の金属板の厚さt、ベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHM、切り起こしフィン24の冷却用流体の流れる方向に沿った長さL、切り起こし列22同士の距離aと、ヒートシンク10の性能との関係について説明する。まず、フィンユニット20の金属板の厚さtとベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMの比t/HMを変化させたときの、ベースプレート12の最高温度上昇値ΔTmaxと冷却用流体の出口部での温度バラツキTmax-Tminと冷却用流体の圧力損失ΔPの変化について、シミュレーション計算による結果を説明する。ここで、シミュレーション計算は、ベースプレート12及びフィンユニット20の材質をアルミニウムとし、ベースプレート12のサイズを幅:30mm×長さ:80mm×厚さ:3mmとする条件で行った。また、冷却用流体として初期温度が20°Cの水を用い、冷却用流体の流路18入口から流速0.12m/sで均等に流され、ベースプレート12に均一に熱量800Wが負荷される条件で行った。比較基準として、主にインバーター用の水冷冷却器に用いられている図9に示すコルゲートフィン30での冷却性能を参照する。比較基準のコルゲートフィンの板厚は0.3mm、流路隙間は0.9mmである。このコルゲートフィンを用いた場合、ベースプレートの最高温度上昇値ΔTmaxと冷却用流体の出口部での温度バラツキTmax-Tminと圧力損失ΔPは、ΔTmax=ΔT1=80.2°C、Tmax-Tmin=41°C、ΔP=ΔP1=557Paである。一般に、流路18の圧力損失ΔPが大きくなるにともない、ヒートシンク10の冷却性能は大きくなる傾向にある。そこで、比較基準に対して、次式aにより求められるベースプレートの最高温度上昇値ΔTmaxの改善率X[]と次式bにより求められる圧力損失ΔPの悪化率Y[]との比率Z=X/Yを求めてヒートシンク10の性能を評価した。X=コルゲートフィンのΔT1-ΔTコルゲートフィンのΔT1×100aY=ΔP-コルゲートフィンのΔP1コルゲートフィンのΔP1×100bY<0の場合圧力損失ΔPが比較基準に対して小さくなる場合、Z<0であれば圧力損失ΔPが低下すると共に冷却性能が向上しているため評価を○とし、Z≧0であれば冷却性能が低下したため評価を×とした。また、Y≧0の場合圧力損失ΔPが比較基準に対して大きくなる場合、Z>0.15なら圧力損失ΔPは増加しているものの冷却性能が効果的に向上していると判断して評価を○とし、Z≦0.15なら圧力損失ΔPが増加していると共に冷却性能があまり向上していないと判断して評価を×とした。図5に、以下に説明するシミュレーション計算によるヒートシンクの性能の評価をまとめて示す。ベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMを2mmとし、フィンユニット20の切り起こし列22同士の距離a、各切り起こし24の冷却用流路が流れる方向の長さLが、a=1mm、L=1.6mma/aL=0.38としたときのシミュレーション計算の結果を表1に示す。表1において、Tmaxは冷却用流体の出口部での最高温度、Tminは冷却用流体の出口部での最低温度をそれぞれ示している。このため、Tmax-Tminの値が小さいほど冷却用流体の出口部下流端での温度バラツキが小さく、冷却用流体全体で熱を受け取っていることが示唆される。フィンユニット20の板材厚さtが0.2mmt/HM=0.1,0.3mmt/HM=0.15の場合、Tmax-Tminが大きな値80.5°C,61.7°Cとなり、冷却用流体の出口部での温度バラツキが大きくなる。これは、値t/HMが小さいときには、冷却用流体に乱流が生じにくいためと考えられる。フィンユニット20の板材厚さtが0.9mmt/HM=0.45の場合、Tmax-Tminは小さな値32.8°Cとなると共に最高温度上昇値ΔTmaxは48.2°Cとなり、従来のコルゲートフィンの最高温度上昇値ΔTmax=80.2°Cよりも冷却性能は優れている。しかし、この場合、評価値Zは0.03<0.15となり、つまり、圧力損失ΔPの悪化率Yが大きく、圧力損失と冷却性能のバランスが好ましくない。流路18のベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMが2mmであり、フィンユニット20の切り起こし列22同士の距離a、各切り起こし24の冷却用流路が流れる方向の長さLが、a=2mm、L=2.3mma/aL=0.47のときのシミュレーション計算の結果を表2に示す。フィンユニット20の板材厚さtが0.2mmt/HM=0.1,0.3mmt/HM=0.15の場合、表1に示される結果と同様に、Tmax-Tminは大きな値81.1°C,63.1°Cとなり、冷却用流体の出口部での温度バラツキが大きくなる。フィンユニット20の板材厚さtが0.9mmt/HM=0.45の場合、Tmax-Tminが比較的小さな値51.6°Cとなると共に最高温度上昇値ΔTmaxは52.1°Cとなり、従来のコルゲートフィンの最高温度上昇値ΔTmax=80.2°Cよりも冷却性能が優れるている。しかし、この場合、評価値Zは0.03<0.15となり、表1に示される結果と同様に、圧力損失と冷却性能のバランスが好ましくない。表1及び表2に示される結果から、フィンユニット20の金属板の厚さtとベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMの比t/HMは、0.2≦t/HM≦0.4の関係を満たすことが好ましいと言える図5参照。次に、切り起こし列フィン群22同士の距離aと、切り起こしフィン24の冷却用流体の流れる方向の長さLについて、a/aLを変化させたときの、最高温度上昇値ΔTmaxと冷却用流体の出口部での温度バラツキTmax-Tminと冷却用流体の圧力損失ΔPの変化について、シミュレーション計算による結果を説明する。ここで、シミュレーション計算は、ベースプレート12及びフィンユニット20の材質をアルミニウムとし、ベースプレート12のサイズを幅:30mm×長さ:80mm×厚さ:3mmとする条件で行った。また、冷却用流体として初期温度が20°Cの水を用い、冷却用流体の流路18入口から流速0.12m/sで均等に流され、ベースプレート12に均一に熱量800Wが負荷される条件で行った。切り起こし列22同士の距離aが1mmであり、流路18のベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMとフィンユニット20の厚さtが、HM=2mm,t=0.6mmt/HM=0.3のときのシミュレーション計算の結果を表3に示す。切り起こし24の冷却用流体の流れる方向の長さLが18.8mmの場合a/aL=0.05、Tmax-Tminは表3中で比較的大きな値32.3°Cとなり、冷却用流体の出口部での温度バラツキが大きくなる。これは、値a/aLが小さ過ぎると、冷却用流体に温度境界層が発達し、熱交換の効率が落ちるためと考えられる。切り起こし24の冷却用流体の流れる方向の長さLが0.1mmの場合a/aL=0.9、最高温度上昇値ΔTmaxの改善率X[]は負の値となり、つまり、従来のコルゲートフィンと比べて冷却性能が低下してしまう。これは、値a/aLが大き過ぎると、フィンユニット20の切り起こしフィン24が占める割合が小さくなり、効率的な熱交換が行われないためと考えられる。切り起こし列22同士の距離aが1mmであり、流路18のベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMとフィンユニット20の厚さtが、HM=2mm,t=0.4mmt/HM=0.2のときのシミュレーション計算の結果を表4に示す。切り起こし24の冷却用流体の流れる方向の長さLが18.8mmの場合a/aL=0.05、表3に示される結果と同様に、Tmax-Tmiは大きな値68.5°Cとなり、冷却用流体の出口部での温度バラツキが大きくなる。切り起こし24の冷却用流体の流れる方向の長さLが0.5mm,0.3mmの場合a/aL=0.67,0.77、最高温度上昇値ΔTmaxの改善率X[]は負の値となり、つまり、従来のコルゲートフィンと比べて冷却性能が低下してしまう。以上の他に、ベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMを2mmとし、切り起こし列フィン群22同士の距離aを1mmとしたときに、切り起こし列フィン群22同士の距離aと切り起こしフィン24の冷却用流体の流れる方向の長さLとについてのa/aLを変更させたときや、フィンユニット20の金属板の厚さtとベースプレート12に対する冷却用流体の高さHMの比t/HMを変化させた場合の、ベースプレート12の最高温度上昇値ΔTmaxと冷却用流体の出口部での温度バラツキTmax-Tminと冷却用流体の圧力損失ΔPの変化について、シミュレーション計算による結果を説明する。ここで、シミュレーション計算は、ベースプレート12及びフィンユニット20の材質をアルミニウムとし、ベースプレート12のサイズを幅:30mm×長さ:80mm×厚さ:3mmとする条件で行った。また、冷却用流体として初期温度が20°Cの水を用い、冷却用流体の流路18入口から流速0.12m/sで均等に流され、ベースプレート12に均一に熱量800Wが負荷される条件で行った。シミュレーション計算の結果を表5に示す。表5において、フィンユニット20の板材厚さtが0.2mmt/HM=0.1、切り起こし24の冷却用流体の流れる方向の長さLが3.9mm,0.5mma/aL=0.20,0.67の場合、Tmax-Tminが大きな値83.9°Cとなり、冷却用流体の出口部での温度バラツキが大きくなる。フィンユニット20の板材厚さtが0.4mmt/HM=0.2、切り起こし24の冷却用流体の流れる方向の長さLが3.9mma/aL=0.20の場合、ベースプレート12の最高温度上昇値ΔTmaxの改善率X[]は負の値となり、つまり、従来のコルゲートフィンと比べて冷却性能が低下してしまう。フィンユニット20の板材圧さtが0.9mmt/HM=0.45、切り起こし24の冷却用流体の流れる方向の長さLが3.9mm,0.5mma/aL=0.20,0.67の場合、Tmax-Tminは小さな値3.4°C,3.2°Cとなると共に最高温度上昇値ΔTmaxは50.2°C,48.8°Cとなり、従来のコルゲートフィンの最高温度上昇値ΔTmax=80.2°Cよりも冷却性能は優れている。しかし、この場合、評価値Zは0.03<0.15,0.04<0.15となり、つまり、圧力損失ΔPの悪化率Yが大きく、圧力損失と冷却性能のバランスが好ましくない。値t/HMが大きくなると、流路18での圧力損失が増加するが、表5に示される関係から、この圧力損失の増加に対して一律に同じ割合で冷却性能が向上するわけではないことがわかる図5参照。例えば、a/Laを一定の値とした場合、0.2≦t/HM≦0.3のときには、t/HMを増加させることで圧力損失をあまり増加させることなく冷却性能を向上させることができる評価値Z>0.15。一方で、例えば、a/Laを一定の値とした場合、0.3≦t/HM≦0.4のときには、圧力損失が大幅に相加するものの、それに見合った冷却性能の向上がない評価値Z≦0.15。つまり、表1乃至表5に示される結果から、次式1~5を満たしていれば、従来のコルゲートフィンを用いた水冷ヒートシンクに比べて冷却用流体の圧力損失を抑制しつつ冷却性能を向上できることが分かる。また、値t/HMが0.2以上0.4以下の範囲内であれば、値t/HMに拘わらず、値a/Laが0.3以上0.6以下の範囲内のときに、従来のコルゲートフィンを用いた水冷ヒートシンクに比べて冷却用流体の圧力損失を抑制しつつ冷却性能を向上できることが分かる。0.2≦t/HM≦0.41t/HM≦0.5a/La0.222t/HM≧-0.5a/La0.383t/HM≦-0.5a/La0.734t/HM≧0.5a/La-0.135さらに、流路18のベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMが1.2mmのときのシミュレーション計算の結果を表6に示す。ここで、シミュレーション計算は、ベースプレート12及びフィンユニット20の材質をアルミニウムとし、ベースプレート12のサイズを幅:30mm×長さ:80mm×厚さ:3mmとする条件で行った。また、冷却用流体として初期温度が20°Cの水を用い、冷却用流体の流路18入口から流速0.12m/sで均等に流され、ベースプレート12に均一に熱量800Wが負荷される条件で行った。流路18のベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMが1.2mmの場合でも、切り起こし列22同士の距離ammと、切り起こし24の冷却用流体が流れる方向の長さLmmと、フィンユニット20の厚さtmmと、ベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMmmとが、上述した式1~5を満たしていれば、従来のコルゲートフィンを用いた水冷ヒートシンクに比べて冷却用流体の圧力損失を抑制しつつ冷却性能を向上できることが分かる。以上説明した実施形態のヒートシンク10では、冷却用流体に流れる方向に対して垂直な方向に沿って並ぶように複数の切り起こし24を設けて切り起こし列22を形成し、この切り起こし列22を冷却用流体が流れる方向に沿って複数設けてフィンユニット20を形成し、切り起こし列22同士の距離ammと、切り起こし24の冷却用流体が流れる方向の長さLmmと、フィンユニット20の板材厚さtmmと、ベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMmmとが、上述した式1~5を満たすことにより、冷却用流体の流れる流路18内で乱流を効果的に生じさせることができ、流路18での冷却用流体の圧力損失が小さく且つ冷却性能に優れたヒートシンクを提供することができる。また、実施形態のヒートシンク10では、フィンユニット20をアルミニウムやアルミニウム合金の一枚板にプレス加工などを施して形成することができ、簡便な方法によって圧力損失が小さく且つ冷却性能が高いヒートシンクを製造することができる。さらに、実施形態のヒートシンク10では、フィンユニット20に複数の切り起こし列22が冷却用流体が流れる方向に繰り返し形成されるから、冷却用流体に複数箇所で乱流を生じさせることができ、圧力損失の低下と冷却性能の向上との両立を図ることができる。実施形態のヒートシンク10では、フィンユニット20の板面裏面がベースプレート12と反対側のカバープレート14の面に接するように設けられるものとしたが図1及び図3参照、図6及び図7の変形例のヒートシンク110に示すように、フィンユニット20の板面裏面がベースプレート12の板面に接するように設けられてもよい。この場合でも、フィンユニット20によって、流路18に流れる冷却用流体の流れを乱すことができ、冷却用流体の圧力損失を抑制しつつヒートシンク10の冷却性能を向上させることができる。実施形態のヒートシンク10では、同一の形状の複数の切り起こし24がフィンユニット20に形成されるものとしたが、図8の変形例のヒートシンク210に示すように、発熱体が熱的に接続されるフィンユニット20の領域20Aでは、発熱体が熱的に接続されない領域20Bに比して、切り起こし24の冷却用流体が流れる方向の長さLが短く形成されてもよい図8中、LA<LB。こうすれば、発熱体からの熱が伝わって比較的高温となりやすいフィンユニット20の領域20Aで効果的に放熱を行うことができる。また、領域20Bについては切り起こしの長さLを小さくしないため、ヒートシンク10の生産性の低下を抑制することができる。また、ヒートシンク10は、フィンユニット20の切り起こし列22同士の距離ammと、切り起こし24の冷却用流体が流れる方向の長さLmmと、フィンユニット20の板材厚さtmmと、ベースプレート12に対する冷却用流体の流路高さHMmmとが、上述した式1乃至5を満たせばよく、複数の切り起こしフィン24は、直方体状以外の形状でもよく、それぞれ同一の形状でなくても構わない。実施形態のヒートシンク10では、フィンユニット20は、ベースプレート12に対して45度の角度で切り起こして切り起こしフィン24が形成されるものとしたが、垂直90度に切り起こすなど45度以外の角度で切り起こしてフィンが形成されてもよい。なお、フィンの先端がフィンユニット20が取付けられた流路壁に対抗する流路壁と熱的に接触するように切り起こすことが好ましい。また、切り起こし角度が小さすぎると、フィンの接続端24aと切り起こし端24bとの距離が長くなってしまい、フィンの接続端24aと切り起こし端24bとで温度差が生じて冷却の効率が低下することが想定されるため、切り起こし角度は20度から90度の範囲とすることが望ましい。さらに、切り起こし角度を30度から60度にすることで、プレス成形によってフィンユニット20を容易に成形しやすくすることができる。以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、様々な変更構成要素の削除等を含むをなし得ることはいうまでもない。"