中空孔を内側に設けた筒部とこの筒部における中空孔の上部を閉塞する平板部とからなる容器と、この容器における平板部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記容器に設けられ、前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力し、かつ前記振動子における検出電極からの出力信号を処理する処理回路とを備え、前記処理回路により、振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力を検出するようにした圧力センサ。中空孔を内側に設けた筒部とこの筒部における中空孔の上部を閉塞する平板部とからなる容器と、この容器における平板部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた第1の振動子と、前記容器における筒部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた第2の振動子と、前記容器に設けられ、前記第1の振動子および第2の振動子における駆動電極に駆動信号を入力し、かつ前記第1の振動子および第2の振動子における検出電極からの出力信号を処理する処理回路とを備え、前記処理回路により、第1の振動子および第2の振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力を検出するようにした圧力センサ。筒部から外方へ向かって突出するように幅広部を設けるとともに、この幅広部に切欠を設けた請求項1記載の圧力センサ。筒部から外方へ向かって突出するように幅広部を設けるとともに、この幅広部の全周にわたって溝を設けた請求項1記載の圧力センサ。前記幅広部に段差部を設けた請求項4記載の圧力センサ。しかしながら、上記従来の構成においては、基板3に加わる曲げ力による外側抵抗体5および内側抵抗体6の抵抗値の変化を検出しようとしているため、基板3の強度UPを目的として、基板3の厚みを大きくしようとすると、外側抵抗体5および内側抵抗体6の抵抗変化が小さくなり、これにより、出力感度が小さくなってしまうという課題を有していた。本発明は上記従来の課題を解決するもので、感度が高く特性の向上した圧力センサを提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、中空孔を内側に設けた筒部とこの筒部における中空孔の上部を閉塞する平板部とからなる容器と、この容器における平板部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記容器に設けられ、前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力し、かつ前記振動子における検出電極からの出力信号を処理する処理回路とを備え、前記処理回路により、振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力を検出するようにしたもので、この構成によれば、処理回路により、振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力を検出するようにしたため、平板部の強度UPを目的として、平板部の厚みを大きくしても、平板部に設けた振動子の固有振動数は変化することとなり、これにより、圧力センサの強度がUPするとともに出力感度が向上するという作用効果を有するものである。本発明の請求項2に記載の発明は、中空孔を内側に設けた筒部とこの筒部における中空孔の上部を閉塞する平板部とからなる容器と、この容器における平板部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた第1の振動子と、前記容器における筒部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた第2の振動子と、前記容器に設けられ、前記第1の振動子および第2の振動子における駆動電極に駆動信号を入力し、かつ前記第1の振動子および第2の振動子における検出電極からの出力信号を処理する処理回路とを備え、前記処理回路により、第1の振動子および第2の振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力を検出するようにしたもので、この構成によれば、第2の振動子の固有振動数の変化を検出することにより、圧力センサの周囲の温度変化を検出することができるから、第1の振動子から検出した圧力に応じた出力信号値から温度変化により発生する出力信号の変動量を補正することができるという作用効果を有するものである。本発明の請求項3に記載の発明は、特に、筒部から外方へ向かって突出するように幅広部を設けるとともに、この幅広部に切欠を設けたもので、この構成によれば、筒部の下側に幅広部を設けるとともに、この幅広部に切欠を設けたため、圧力センサを取着する際に生じる応力が振動子に伝達されることを防止できることとなり、これにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力のみを振動子により検出することができるから、出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。本発明の請求項4に記載の発明は、特に、筒部から外方へ向かって突出するように幅広部を設けるとともに、この幅広部の全周にわたって溝を設けたもので、この構成によれば、幅広部の全周にわたって溝を設けたため、圧力センサを取着する際に生じる応力が振動子に伝達されることを防止できることとなり、これにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力のみを振動子により検出することができるから、出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。本発明の請求項5に記載の発明は、特に、前記幅広部に段差部を設けたもので、この構成によれば、段差部の端部と溝の頂点を中心に2段階に幅広部が変形することにより、圧力センサを取着する際に生じる応力を吸収するから、中空孔に充填された被検出液体の圧力のみを振動子により検出することができることとなり、その結果、さらに出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。以上のように、本発明の圧力センサは、中空孔を内側に設けた筒部とこの筒部における中空孔の上部を閉塞する平板部とからなる容器と、この容器における平板部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記容器に設けられ、前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力し、かつ前記振動子における検出電極からの出力信号を処理する処理回路とを備え、前記処理回路により、振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力を検出するようにしたもので、この構成によれば、処理回路により、振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体の圧力を検出するようにしたため、平板部の強度UPを目的として、平板部の厚みを大きくしても、平板部に設けた振動子の固有振動数は変化することとなり、これにより、強度がUPするとともに出力感度の向上した圧力センサを提供することができるという効果を有するものである。実施の形態1以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1~3に記載の発明について説明する。図1は本発明の実施の形態1における圧力センサの分解斜視図、図2は同圧力センサの側断面図、図3は同圧力センサの上面図である。図1~図3において、21はSUS630からなる容器である。そして、この容器21は、中空孔22を内側に設けた筒部23と、この筒部23における中空孔22の上部を閉塞する平板部24とを設けている。また、前記容器21における筒部23には外方へ突出するように幅広部25を設けており、さらにこの幅広部25の略中央には全周にわたって切欠26を設けている。27は歪検出部材で、この歪検出部材27は、前記容器21の上面に貼着されるとともに、平板部24の上方に位置して両持梁からなる第1の振動子28を設けている。そして、前記第1の振動子28の上面には、Pt、PZT、Auを積層して構成された駆動部29および検知部30を設けている。また、歪検出部材27には、筒部23の上方に位置して、両持梁からなる第2の振動子31を設けている。そして、前記第2の振動子31の上面には、Pt、PZT、Auを積層して構成された駆動部32および検知部33を設けている。そしてまた、前記歪検出部材27には、Auからなる配線パターン34を設けており、この配線パターン34は前記第1の振動子28における駆動部29および検知部30、さらには、前記第2の振動子31における駆動部32および検知部33に電気的に接続されている。また、前記歪検出部材27にはICからなる処理回路35を設けており、この処理回路35は配線パターン34を介して前記第1の振動子28における駆動部29および第2の振動子31における駆動部32に駆動信号を入力して、第1の振動子28および第2の振動子31を振動駆動するとともに、第1の振動子28における検知部30および第2の振動子31における検知部33からの出力信号を処理することにより、第1の振動子28および第2の振動子31の固有振動数を検出している。以上のように構成された本発明の実施の形態1における圧力センサについて、次にその組立方法を説明する。まず、SUS630からなる棒材図示せずを準備し、この棒材図示せずを切削することにより、容器21に中空孔22、幅広部25および切欠26を形成する。次に、半導体基板図示せずの上面に、Auからなる配線パターン34を蒸着した後、第1の振動子28の駆動部29、検知部30および第2の振動子31の駆動部32、検知部33を設ける箇所にPtを蒸着する。次に、Ptの上面にPZTを蒸着した後、さらに、Auを蒸着して、第1の振動子28の上面に駆動部29および検知部30を形成すると同時に、第2の振動子31の上面に駆動部32および検知部33を形成する。次に、半導体基板図示せずの上面にICからなる処理回路35を載置して、処理回路35を第1の振動子28における駆動部29、検知部30および第2の振動子31における駆動部32、検知部33と配線パターン34により電気的に接続し、歪検出部材27を形成する。最後に、前記歪検出部材27を前記容器21における筒部23および平板部24の上面に貼着することにより、圧力センサを形成する。以上のように構成、組立られた本発明の実施の形態1における圧力センサについて、次にその動作を説明する。処理回路35から第1の振動子28における駆動部29に、第1の振動子28の固有振動数faと略同一の周波数の交流電圧を印加するとともに、第2の振動子31における駆動部32に、第2の振動子31の固有振動数fbと略同一の周波数の交流電圧を印加する。そうすると、第1の振動子28は固有振動数faで弦振動し、一方、第2の振動子31は固有振動数fbで弦振動する。この状態において、第1の振動子28における検知部30からの出力信号を処理回路35により処理すると、振動数faが検出され、同様に、第2の振動子31における検知部33からは振動数fbが検出される。そして、図4に示すように、容器21における中空孔22に充填された被検出液体36の圧力が上昇すると、平板部24が上方に膨れ上がる。そうすると、歪検出部材27に引張荷重が作用する。そして、図5に示すように、歪検出部材27における第1の振動子28の振動数faは増加する。したがって、第1の振動子28の検知部30からの出力信号を処理回路35により処理することにより、周波数の変化量として、容器21に充填された被検出液体の圧力を検出することができるものである。ここで、圧力センサの周囲の温度が変化することにより、第1の振動子28の固有振動数が変化する場合を考えると、本発明の実施の形態1における圧力センサにおいては、第2の振動子31の固有振動数の変化を検出することにより、圧力センサの周囲の温度変化を検出することができるから、第1の振動子28から検出した圧力に応じた出力信号値から、温度変化により発生する出力信号の変動量を補正することができるという作用効果を有するものである。ここで、さらに、圧力センサを相手側取付部材図示せずに取着する場合を考える。本発明の実施の形態1における圧力センサにおいては、容器21における筒部23から外方へ向かって突出するように幅広部25を設けるとともに、この幅広部25に切欠26を設けたもので、この構成によれば、筒部23から外方へ向かって突出するように幅広部25を設けるとともに、この幅広部25に切欠26を設けたため、圧力センサを取着する際に生じる応力が第1の振動子28および第2の振動子31に伝達されることを防止できることとなり、これにより、中空孔22に充填された被検出液体36の圧力のみを第1の振動子28により検出することができるから、出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。実施の形態2以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項4~5に記載の発明について説明する。図6は本発明の実施の形態2における圧力センサの斜視図、図7は同圧力センサの側断面図である。なお、実施の形態1の構成と同様の構成を有するものについては、同一符号を付しその説明を省略する。図6、図7において、41は例えばS45C等の炭素鋼からなる容器である。そして、この容器41は、中空孔42を内側に設けた筒部43と、この筒部43における中空孔42の上部を閉塞する平板部44とを設けている。また、前記容器41における筒部43には外方へ突出するように幅広部45を設けており、さらにこの幅広部45の略中央には全周にわたって溝46を設けている。そしてまた、前記幅広部45における溝46の下方には段差部47を設けている。ここで、図8に示すように、圧力センサを相手側取付部材48に取着する場合を考える。本発明の実施の形態2における圧力センサにおいては、容器41における筒部43から外方へ向かって突出するように幅広部45を設けるとともに、この幅広部45に全周にわたって溝46を設けている。この構成によれば、筒部43から外方へ向かって突出するように幅広部45を設けるとともに、この幅広部45に溝46を設けたため、圧力センサを相手側取付部材48に取着する際に生じる応力が第1の振動子28および第2の振動子31に伝達されることを防止できることとなり、これにより、中空孔42に充填された被検出液体49の圧力のみを第1の振動子28により検出することができるから、出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。そしてまた、幅広部45に段差部47を設けたため、段差部47の端部50と溝46の頂点51を中心に2段階に幅広部が変形することとなり、その結果、圧力センサを相手側取付部材48に取着する際に生じる応力をさらに吸収するから、中空孔42に充填された被検出液体49の圧力のみを第1の振動子28により検出することができることとなり、これにより、さらに出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。