"光学面を表裏に有する複数個の微小レンズが平板上に形成されたレンズアレイを複数枚積層し、積層された前記微小レンズが一群の撮影光学系を構成するスタック型レンズアレイの前記光学面上に形成されたポジ型レジスト層に有効開口を形成する方法であって、前記ポジ型レジスト層は前記複数枚のレンズアレイの少なくとも2面以上に形成され、前記ポジ型レジスト層を露光する露光光を前記撮影光学系の最も被写体側に配置される光学面の有効径の範囲内に前記撮影光学系の撮影画角θ°の範囲内の入射角で入射させ、複数の前記光学面の有効径内のみに透過させて前記有効径内に形成された前記ポジ型レジスト層を露光する第1の工程と、前記露光されたポジ型レジスト層を現像処理によって除去し、前記光学面の中心に有効開口を形成する第2の工程と、が順次に行われることを特徴とする光学面上のポジ型レジスト層に有効開口を形成する方法。前記第1の工程は、前記露光光が、平行光線を出射するコリメータを前記撮影光学系の光軸に対して前記撮影光学系の撮影画角θ°の半分のθ°/2の角度に傾けた後に前記光軸を中心に360度回転させながら出射させる第1の光線と、θ°/2~0°の間の任意の角度に傾けた後に前記光軸を中心に360度回転させながら出射させる第2の光線とを含む複数の光線によって構成され、前記露光光が前記微小レンズの手前に配置された絞り開口を透過して前記光学面に入射され、前記有効径内全域の前記ポジ型レジスト層を露光することを特徴とする請求項1記載の光学面上のポジ型レジスト層に有効開口を形成する方法。前記第1の工程は、前記複数の光学面の中心に、前記有効開口より小径の前記ポジ型レジスト層の未形成部分があるものを含み、平行光線を出射するコリメータが前記撮影光学系の光軸に対して前記撮影光学系の撮影画角θ°の半分のθ°/2の角度に傾けられた後に前記光軸を中心に360度回転され、前記コリメータから出射された前記平行光線が前記微小レンズの手前に配置された絞り開口を透過した後に前記光学面に入射され、前記未形成部分を有する前記光学面の前記有効径の外径縁を含む内側の環状範囲が露光されて、前記有効径内の前記ポジ型レジスト層がすべて露光されることを特徴とする請求項1記載の光学面上のポジ型レジスト層に有効開口を形成する方法。前記第1の工程は、コリメータから出射された前記撮影光学系の光軸と平行な平行光線が、前記微小レンズの手前に配置されたフライアイレンズを透過して前記撮影画角と同じ角度に集束し、集束した光が前記光学面に入射され、前記一群の撮影光学系を構成する複数の前記微小レンズの有効径内の全域を露光することを特徴とする請求項1記載の光学面上のポジ型レジスト層に有効開口を形成する方法。前記現像処理は、積層された前記複数枚のレンズアレイが1枚1枚に分離された後に行われることを特徴とする請求項1~4いずれか記載の光学面上のポジ型レジスト層に有効開口を形成する方法。前述の特許文献1又は2に記載された方法では、レンズ面に形成された遮光膜に有効開口を形成することができるが、一度に形成できるのは1層の遮光膜に対してであるから、2枚以上のレンズアレイを重ねて構成したスタック型レンズアレイを作製する場合、1枚のレンズアレイに有効開口を形成した後に、2枚重ねにしてスタック型を構成しなければならない。仮に、レンズアレイを2枚重ねにして平行光で露光したとしても、レンズ面に形成される開口径は全て同じになってしまうので、一群の光学系を構成する場合のようにそれぞれ大きさの異なる開口を同時に形成することはできない。本発明は上記問題に鑑み、複数個のレンズが平面上に整列して形成されるとともに表裏にポジ型レジスト層が形成されたレンズシートを2枚以上積層したスタック型レンズアレイにおいて、前記レンズの光学面に大きさの異なる有効開口を一度の露光で形成する方法を提供する。本発明による光学面上のポジ型レジスト層に有効開口を形成する方法は、光学面を表裏に有する複数個の微小レンズが平板上に形成されたレンズアレイを複数枚積層し、積層された前記微小レンズが一群の撮影光学系を構成するスタック型レンズアレイの前記光学面上に形成されたポジ型レジスト層に有効開口を形成する方法である。この方法は、前記ポジ型レジスト層は前記複数枚のレンズアレイの少なくとも2面以上に形成され、前記ポジ型レジスト層を露光する露光光を前記撮影光学系の最も被写体側に配置される光学面の有効径の範囲内に前記撮影光学系の撮影画角θ°の範囲内の入射角で入射させ、複数の前記光学面の有効径内のみに透過させて前記有効径内に形成された前記ポジ型レジスト層を露光する第1の工程と、前記露光されたポジ型レジスト層を現像処理によって除去し、前記光学面の中心に有効開口を形成する第2の工程と、が順次に行われることを特徴とする。前記第1の工程は、前記露光光が平行光線を出射するコリメータを前記撮影光学系の光軸に対して前記撮影光学系の撮影画角θ°の半分のθ°/2の角度に傾けた後に前記光軸を中心に360度回転させながら出射させる第1の光線と、θ°/2~0°の間の任意の角度に傾けた後に前記光軸を中心に360度回転させながら出射させる第2の光線とを含む複数の光線によって構成され、前記露光光が前記微小レンズの手前に配置された絞り開口を透過して前記光学面に入射されて前記有効径内全域の前記ポジ型レジスト層を露光するようにすることが好ましい。前記第1の工程は、前記複数の光学面の中心に、前記有効開口より小径の前記ポジ型レジスト層の未形成部分があるものを含み、平行光線を出射するコリメータが前記撮影光学系の光軸に対して前記撮影光学系の撮影画角θ°の半分のθ°/2の角度に傾けられた後に前記光軸を中心に360度回転され、前記コリメータから出射された前記平行光線が前記微小レンズの手前に配置された絞り開口を透過した後に前記光学面に入射され、前記未形成部分を有する前記光学面の前記有効径の外径縁を含む内側の環状範囲が露光されて、前記有効径内の前記ポジ型レジスト層がすべて露光されるようにしても良い。前記第1の工程は、コリメータから出射された前記撮影光学系の光軸と平行な平行光線が、前記微小レンズの手前に配置されたフライアイレンズを透過して前記撮影画角と同じ角度に集束し、集束した光が前記光学面に入射され、前記一群の撮影光学系を構成する複数の前記微小レンズの有効径内の全域を露光するようにしても良い。前記現像処理は、積層された前記複数枚のレンズアレイが1枚1枚に分離された後に行われるようにすると良い。本発明によれば、2枚以上積層されて一群の光学系を形成する複数枚のレンズの光学面上のポジ型レジスト層に、それぞれ大きさの異なる有効開口を一度の露光で形成することができる。図1に示されるように、スタック型レンズアレイ10は、非球面の微小レンズ以下、単にレンズという14,22,23が所定の間隔で平板部15上に整列して形成されたレンズアレイ11~13が積層される。レンズアレイ11~13は四隅に位置決めして組立るための位置決め孔16が設けられ、位置決め孔16に露光台20に立設された位置決め軸21が挿通される。レンズアレイ11~13のそれぞれの間にはスペーサ18,19が配置され、レンズアレイ11~13がそれぞれ所定の間隔で組み付けられる。これによってレンズアレイ11~13に形成されたそれぞれのレンズが一群の撮影光学系を構成する。露光台20にセットされたレンズアレイ11~13の上に微小レンズ14光軸40を中心とする絞り開口31が形成された絞り板32が配置される。絞り開口31はレンズ14,22,23によって構成される撮影光学系の入射瞳の大きさに形成され、入射瞳の位置に配置される。平行光線34を出射するコリメータを備えた光源30が絞り板32の上方に配置される。図2に示されるように、光源30は、レンズアレイ11の中心の光軸40に対して撮影画角と同じθ/2°まで傾けることができ、傾けた状態で軸40を中心にして360度回転させることができる第1の光線。また、図3に示されるように、θ/2°より小さい角度でロックして360度回転させることもでき第2の光線50、図4に示されるように、傾き角を0°にして出射光が光軸40と平行になるようにすることもできる別の第2の光線33。これら複数の第2の光線を第1の光線とともにレンズアレイ11~13に照射することで、レンズ14,22,23によって構成される撮影光学系の光路と同じ範囲を透過する露光光が形成される。図5に示されるように、レンズアレイ11~13は、それぞれの表裏の全面にポジ型レジスト層以下、遮光膜という44~49が形成されている。なお、遮光膜の形成方法については、特に限定しない。蒸着、塗布、印刷、リソグラフィ、インクジェットなど周知の方法を用いると良い。図2に戻って説明する。光源30の傾き角がθ/2°のときは、絞り開口31を透過した第1の光線34がレンズ14の第1光学面24上の範囲35図6参照を照射し、これが光軸40を中心に360度回転した範囲36第1の光線34による露光範囲は、第1光学面24上の有効径の範囲有効開口37と同じと一致する。これにより、第1の光線34はレンズ14,22,23のそれぞれの光学面第1光学面24~第6光学面29を透過してそれぞれの有効径内を露光する。レンズ14の第1光学面24では第1の光線34が有効径の内側の範囲と一致して、第1光学面24の有効径内を露光するが、例えば、レンズ22の第3光学面26では第1の光線34が露光する範囲は有効径の内側に隣接する環状範囲51となる。そこで、光源30を傾けずに光軸40と平行に光線33を出射させて第3光学面26を露光する。しかし、第2の光線33によって露光された範囲52との間に未露光の部分53図4参照が生じる。そこで、光源30の傾き角を撮影画角の半角θ/2°より小さい角度にした第2の光線50を出射させる図3参照。第2の光線50による第3光学面26上の露光範囲54は環状範囲51と一部が重なるものの光軸を含む範囲52との間に未露光の部分55が未だ存在する図8参照。更に、光源30の傾斜を小さくして光軸寄りにし、第4の光線図示せずを出射させ、未露光の部分55が露光するようにすれば、第3光学面26の有効径内がすべて露光される。このように、光源30の光軸40に対する傾斜角を撮影画角の範囲内0~θ/2で変化させながら繰返し露光することでレンズ14,22,23の光学面第1光学面24~第6光学面29に対して、それぞれの有効径内の遮光膜を露光することができる。図9に示されるように、レンズアレイ11~13は、露光が済んだ後に露光台20から1枚づつ取り外されて現像処理が行われ、レンズ14,22,23に形成された遮光膜44~49の露光された範囲、即ち、設定された全ての有効径内の遮光膜が除去され、有効開口37~39,41~43が形成される。有効開口37~39,41~43が形成されたレンズアレイ11~13は、個々のレンズ14,22,23に対応するスペーサを介して再度積層され、紫外線硬化型接着材等で固着された後に1つ1つのレンズユニットにダイシングされる。その後、CCDなどのイメージセンサが取付けられて撮像ユニットが作製される。次に、別の形成方法について説明する。レンズの光学面に形成される有効開口の大きさは設計値により決まっている。従って、レンズアレイに遮光膜を形成する際、光学面の有効開口の部分に遮光膜を形成しなければ良く、その方が除去する手間が省ける。しかしながら、高精度な未形成部分を遮光膜に設ける方法はなく、そのため、遮光膜の形成後に不要範囲を露光し、現像処理で除去する方法が採られている。そこで、本発明による第2の方法は、有効径より少しだけ小さな未形成部分を設けて遮光膜を形成し、その後、有効径内を露光して有効径より内側に少しだけはみ出した部分を除去する方法を提案するものである。説明については、前述した第1の方法と同じものは図面に同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図10に示されるように、積層されたレンズアレイ11~13の各光学面24~29図9参照に形成される遮光膜64~69は、それぞれの光学面24~29に設定された有効開口37~39,41~43図9参照より小径の未形成部分57~59,61~63が設けられている。露光光は前述した第1の光線34を用いる。光源30を光軸40に対して撮影画角と同じ角度撮影画角の半角θ/2°に傾け、光軸40を中心に360度回転させて第1の光線34をレンズ14,22,23に照射し透過させる図2参照。第1の光線34は第1光学面24では有効径内の全てを露光するが、例えば、第3光学面26では有効径の外径縁を含む内側の環状範囲51図7,11参照を露光する。図11に示されるように、第3光学面26に形成された遮光膜66は、第1の光線34によって露光される環状範囲51の内径より大きく、且つ有効径有効開口39と同じ径より小さい円60の内側に遮光膜66の未形成部分63が設けられている。ここで、第1の光線34によって環状範囲51が露光され、有効径と円60の間の遮光膜遮光膜66の一部が露光される。このとき露光された範囲の遮光膜が現像処理によって除去される。これによって、有効径より内側には遮光膜がなくなり、有効開口39図9参照が形成される。同じ様に、有効開口38,41~43図9参照も形成される。次に、第3の方法について説明する。図12に示されるように、この方法は前記第1の方法で使用した絞り板32の代わりに複数の集光レンズ71を有するフラスアイレンズ70を用いる。集光レンズ71は、光源30から出射された平行光を前記撮影画角と同じ角度に集束させるとともに、出射させた集束光72をレンズアレイ73,74に形成されたレンズ75,76の第1光学面81~第4光学面84に透過させる。集光レンズ71は、集束光72が第1光学面81の有効径内のみに照射されるように位置決めされ、レンズ75,76を透過する光線は、前記撮影光学系内の光路と同じ光路をレンズ75,76内に形成する。レンズアレイ73,74の表裏には遮光膜85~88が形成されている。第1光学面81~第4光学面84のそれぞれの有効径内に形成された遮光膜はレンズ75,76の光路内に位置しており、透過する光によって露光される。このとき露光された範囲の遮光膜は現像処理によって除去され、有効径内には遮光膜がなくなり、有効開口91~94図13参照が形成される。"