"内燃機関の排気通路に設けられたパティキュレートフィルタと、前記パティキュレートフィルタより下流側の排気通路に設けられた第1選択還元型NOx触媒と、前記第1選択還元型NOx触媒より下流側の排気通路に設けられた第2選択還元型NOx触媒と、前記パティキュレートフィルタと前記第1選択還元型NOx触媒との間の排気通路に設けられ、排気中に尿素を添加する尿素添加部と、前記第1選択還元型NOx触媒と前記第2選択還元型NOx触媒との間の排気通路に設けられ、排気中の粒子状物質量を検出するPMセンサと、を備える内燃機関の排気浄化装置。前記第1選択還元型NOx触媒の熱容量が前記第2選択還元型NOx触媒の熱容量より小さい請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。排気通路にNOx触媒を設けた場合、還元剤たるアンモニアを該NOx触媒に供給する必要がある。そのため、NOx触媒より上流側の排気中に尿素を添加する尿素添加部が設けられる。尿素添加部から添加された尿素が加水分解することで生じたアンモニアがNOx触媒に供給される。また、排気通路にフィルタを設けた場合、該フィルタを通過したPM量を検出すべく、該フィルタより下流側にPMセンサを設ける場合がある。PMセンサは、排気中のPM量を検出するセンサである。ここで、排気通路におけるフィルタより下流側に尿素添加部及びNOx触媒を設けた構成において、さらにフィルタより下流側にPMセンサを設ける場合、尿素添加部よりも下流側にPMセンサが配置されると、尿素添加弁から添加された尿素によってPMセンサが被水する可能性がある。尿素によってPMセンサが被水すると、PMセンサの劣化が促進される虞がある。さらに、PMセンサに付着した尿素が排気によって加熱されると、ビウレットやシアヌル酸等のアンモニア由来化合物が生成される場合がある。該アンモニア由来化合物が生成されると、PMセンサが該アンモニア由来化合物をPMとして検知する可能性がある。PMセンサが該アンモニア由来化合物をPMとして検知すると、PMセンサによって本来検出すべき、燃料成分によって形成されたPM量の検出精度が低下する虞がある。本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであって、内燃機関の排気通路におけるフィルタより下流側に尿素添加部及びNOx触媒を設けた構成において、さらにフィルタより下流側にPMセンサを設ける場合に、PMセンサの劣化及びPM量の検出精度の低下を抑制することを目的とする。本発明では、内燃機関の排気通路において、フィルタより下流側に第1NOx触媒と第2NOx触媒とを排気の流れに沿って上流側から順に設ける。そして、フィルタと第1NOx触媒との間に尿素添加部を設け、第1NOx触媒と第2NOx触媒との間にPMセンサを設ける。より詳しくは、本発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、内燃機関の排気通路に設けられたパティキュレートフィルタと、前記パティキュレートフィルタより下流側の排気通路に設けられた第1選択還元型NOx触媒と、前記第1選択還元型NOx触媒より下流側の排気通路に設けられた第2選択還元型NOx触媒と、前記パティキュレートフィルタと前記第1選択還元型NOx触媒との間の排気通路に設けられ、排気中に尿素を添加する尿素添加部と、前記第1選択還元型NOx触媒と前記第2選択還元型NOx触媒との間の排気通路に設けられ、排気中の粒子状物質量を検出するPMセンサと、を備える。ここで、PMセンサは、排気中のPM量流量に対応する信号を出力するものであってもよく、また、自身に堆積したPM量に対応する信号を出力するものであってもよい。本発明によれば、尿素添加部とPMセンサとの間に第1NOx触媒が配置されることで、尿素によってPMセンサが被水し難くなる。そのため、PMセンサの劣化を抑制することができる。また、本発明によれば、PMセンサが第2NOx触媒よりも上流側に配置されることで、該PMセンサが第2NOx触媒よりも下流側に配置された場合に比べて、フィルタにおいてPMが酸化された際にPMセンサが昇温し易くなる。その結果、PMセンサに堆積したアンモニア由来化合物が除去され易くなる。従って、PMセンサのPM量の検出精度の低下を抑制することができる。さらに、PMセンサが第2NOx触媒よりも下流側に配置された場合に比べて、排気によってPMセンサが昇温し易くなる。そのため、低温始動時等のようなPMセンサの温度がその活性温度より低いときに、該PMセンサをより早期に活性化させることができる。また、本発明においては、第1NOx触媒の熱容量を第2NOx触媒の熱容量より小さくしてもよい。これによれば、PMセンサがより昇温し易くなる。本発明によれば、排気通路におけるフィルタより下流側に尿素添加部及びNOx触媒を設けた構成において、さらにフィルタより下流側にPMセンサを設ける場合に、PMセンサの劣化及びPM量の検出精度の低下を抑制することができる。以下、本発明の具体的な実施形態について図面に基づいて説明する。本実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置等は、特に記載がない限りは発明の技術的範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。<実施例>ここでは、本発明に係る内燃機関の排気浄化装置を、車両駆動用のディーゼルエンジンに適用した場合について説明する。ただし、本発明に係る内燃機関は、ディーゼルエンジンに限られるものではなく、ガソリンエンジン等であってもよい。[排気系の概略構成]図1は、本実施例に係る内燃機関の排気系の概略構成を示す図である。内燃機関1は車両駆動用のディーゼルエンジンである。内燃機関1には排気通路2が接続されている。尚、図1における矢印は、排気の流れ方向を表している。排気通路2にはフィルタ3が設けられている。フィルタ3は、内燃機関1での燃料の燃焼によって生成された排気中のPMを捕集する。尚、フィルタ3には、酸化触媒、吸蔵還元型NOx触媒、又は選択還元型NOx触媒等の触媒が担持されていてもよい。フィルタ3によってPMが捕集されることで、該フィルタ3に徐々にPMが堆積する。排気温度の上昇等に伴ってフィルタ3の温度が、PMの酸化が可能な温度まで上昇した時には、該フィルタ3に堆積したPMが酸化される。また、フィルタ3の温度を強制的に上昇させる、所謂フィルタ再生処理を実行することで、該フィルタ3に堆積したPMを酸化させて除去することもできる。フィルタ3より下流側の排気通路2には第1選択還元型NOx触媒第1NOx触媒4が設けられている。第1NOx触媒4より下流側の排気通路2には第2選択還元型NOx触媒第2NOx触媒5が設けられている。第1NOx触媒4の熱容量は、第2NOx触媒5の熱容量に比べて小さい。フィルタ3と第1NOx触媒4との間の排気通路2には尿素添加弁6が設けられている。尿素添加弁6は排気中に尿素水溶液を添加する。尿素添加弁6には、尿素水溶液が貯留されている尿素タンク図示せずが接続されている。尿素タンクから尿素添加弁6に尿素水溶液が供給される。また、尿素添加弁6は、内燃機関1を制御するためのECU図示せずに電気的に接続されており、該ECUによって制御される。尚、本実施例においては、尿素添加弁6が、本発明に係る尿素添加部に相当する。尿素添加弁6から排気中に尿素水溶液が添加されることで、第1及び第2NOx触媒4,5に尿素が供給される。第1又は第2NOx触媒4,5に供給された尿素は各NOx触媒4,5に一旦吸着する。そして、吸着した尿素が加水分解することでアンモニアが生じる。該アンモニアが還元剤となって排気中のNOxが還元される。そして、本実施例では、第1NOx触媒4と第2NOx触媒5との間の排気通路2に、排気中のPM量を検出するPMセンサ7が設けられている。該PMセンサ7は、自身に堆積したPM量に対応する電気信号を出力するセンサである。ここで、PMセンサ7の詳細について、図2及び3に基づいて説明する。図2は、PMセンサ7のセンサ素子の概略構成を示す図である。図3は、PMセンサ7におけるPM堆積量と、PMセンサ7の電極7a,7b間の電気抵抗及びPMセンサ7の出力値との関係を示すグラフである。図3において、横軸はPMセンサ7におけるPM堆積量を表しており、下段縦軸はPMセンサ7の電極7a,7b間の電気抵抗を表しており、上段縦軸はPMセンサ7の出力値を表している。図2に示すように、PMセンサ7のセンサ素子は、一対の櫛歯型電極7a,7bを有している。PMセンサ7には、排気中のPMが付着し、該付着したPMが徐々に堆積する。PMセンサ7におけるPM堆積量が増加するにつれて、電極7a,7b間に存在するPMの量が増加する。そのため、図3に示すように、PMセンサ7におけるPM堆積量が多いほど、電極7a,7b間の電気抵抗が低くなる。そして、電極7a,7b間の電気抵抗が低下するほど、PMセンサ7の出力値が増加する。従って、該PMセンサ7の出力値は、PMセンサ7におけるPM堆積量に対応した値となる。また、PMセンサ7は、フィルタ3よりも下流側に設けられている。そのため、PMセンサ7には、フィルタ3に捕集されずに、該フィルタ3を通過したPMが捕集される。従って、該PMセンサ7におけるPM堆積量は、フィルタ3を通過したPM量の積算値に対応した量となる。PMセンサ7はECUに電気的に接続されており、PMセンサ7の出力信号が該ECUに入力される。ECUでは、該PMセンサ7の出力値に基づいて、フィルタ3の故障診断が行われる。破損や溶損等のフィルタ3の故障が発生した場合、フィルタ3が正常な状態の場合よりも該フィルタ3を通過するPM量が増加する。そこで、所定期間中におけるPMセンサ7の出力値の変化量が所定の閾値を超えた場合、ECUは、フィルタ3の故障が発生したと判定する。尚、電極7a,7b間に存在するPMの量が変化すれば、該電極7a,7b間を流れる電流等の電気抵抗以外の電気的特性値も変化する。そのため、PMセンサ7は、電気抵抗以外の電気的特性値に基づいて、自身に堆積したPM量に対応した信号を出力するものであってもよい。さらに、本発明に係るPMセンサは、自身に堆積したPM量に対応する信号を出力するものに限られるものではなく、排気中のPM量流量に対応する信号を出力するものであってもよい。[本実施例に係る構成の効果]排気通路における尿素添加弁よりも下流側にPMセンサが設けられた場合、尿素添加弁から添加された尿素水溶液によってPMセンサが被水する虞がある。しかしながら、本実施例においては、尿素添加弁6とPMセンサ7との間に第1NOx触媒4が配置されている。このような構成によれば、尿素水溶液によってPMセンサ7が被水し難くなる。従って、PMセンサ7の劣化を抑制することができる。また、PMセンサ7に付着した尿素が排気によって加熱されると、アンモニア由来化合物ビウレットやシアヌル酸等が生成される場合がある。PMセンサ7において、このようなアンモニア由来化合物が生成されると、PMセンサ7が該アンモニア由来化合物をPMとして検知する可能性がある。つまり、PMセンサ7において、燃料成分によって形成されたPMに加えてアンモニア由来化合物が堆積することで、電極7a,7b間の電気抵抗がPMのみが堆積した場合よりも低くなり、その結果、PMセンサ7が、該PMセンサ7におけるPM堆積量よりも大きな値を出力する可能性がある。このように、PMセンサ7がアンモニア由来化合物をPMとして検知すると、PMセンサ7によって本来検出すべき、燃料成分によって形成されたPM量の検出精度が低下する虞がある。ここで、第2NOx触媒5より下流側の排気通路2にPMセンサ7を設けた場合であっても、尿素添加弁6から添加された尿素水溶液による該PMセンサ7の被水を抑制することができる。しかしながら、本実施例のように、第2NOx触媒5より上流側の排気通路2にPMセンサ7を配置した場合、第2NOx触媒5より下流側の排気通路2にPMセンサ7を配置した場合に比べて、フィルタ3においてPMが酸化された際に発生した熱をPMセンサ7が受け易くなる。そのため、PMセンサ7が昇温し易くなる。PMセンサ7が昇温すると、該PMセンサ7に堆積したアンモニア由来化合物が酸化され除去される。つまり、第2NOx触媒5より上流側の排気通路2にPMセンサ7を配置した場合、第2NOx触媒5より下流側の排気通路2にPMセンサ7を配置した場合に比べて、PMセンサ7に付着したアンモニア由来化合物が除去され易くなる。さらに、本実施例においては、第1NOx触媒4の熱容量が第2NOx触媒5の熱容量よりも小さい。これによって、フィルタ3においてPMが酸化された際に、PMセンサ7がより昇温し易くなる。そのため、PMセンサ7に付着したアンモニア由来化合物の除去がより促進される。従って、本実施例に係る構成によれば、PMセンサ7のPM量の検出精度の低下を抑制することができる。その結果、上述したようなフィルタ3の故障診断において誤診断が生じることも抑制することができる。また、第2NOx触媒5より上流側の排気通路2にPMセンサ7を配置した場合、第2NOx触媒5より下流側の排気通路2にPMセンサ7を配置した場合に比べて、排気によってPMセンサ7が昇温し易くなる。さらに、第1NOx触媒4の熱容量が第2NOx触媒5の熱容量よりも小さいことで、フィルタ3におけるPMの酸化熱によってPMセンサ7が昇温される場合と同様、排気によるPMセンサ7の昇温もより促進され易くなる。従って、本実施例に係る構成によれば、低温始動時等のようなPMセンサ7の温度がその活性温度より低いときに、該PMセンサ7をより早期に活性化させることができる。"