コーティングおよび基材を備える被覆された部材であって、前記コーティングが、少なくとも1つの中間層および少なくとも1つの硬質炭素層を備え、前記硬質炭素層はダイヤモンドまたはDLCを含み、かつ前記コーティングの最も外側の層を形成し、前記中間層は、SixC1-x-y-zNyMzただし0.4≦x≦0.6、0≦y≦0.1、および0≦z≦0.2の合成物を有するPVDで形成された層を含み、SiおよびCが必須成分であり、Mが、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、B、AlおよびRuからなる群から選択された1つまたは複数の元素であり、回折角が34°から36°で観察されたSiCピークの半値幅は、CuKα線を用いてX線回折XRDが実施された場合に3°以下であることを特徴とする被覆された部材。前記コーティングは、中間層と硬質炭素層が交互になっている層を含む積層列を備え、前記積層列は、複数の中間層および複数の硬質炭素層を含むことを特徴とする請求項1に記載の被覆された部材。前記複数の中間層のすべての層は10nmから10μmであり、前記複数の硬質炭素層のすべての層は0.1μmから50μmであることを特徴とする請求項2に記載の被覆された部材。前記複数の中間層のうちの少なくとも2つの層は別々の組成を有し、かつ/または前記複数の硬質炭素層のうちの少なくとも2つの層は、別々の組成を有することを特徴とする請求項2に記載の被覆された部材。前記コーティングは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、Wからなる群から選択された1つまたは複数の金属を含む少なくとも1つの第1の層をさらに備え、前記コーティングの最も内側の層は前記第1の層であり、前記第1の層の厚さは5nmから10μmであることを特徴とする請求項1に記載の被覆された部材。前記少なくとも1つの第1の層は、Si、Al、Y、B、N、およびCからなる群から選択された1つまたは複数の元素をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の被覆された部材。前記コーティングは、第1の層と中間層が交互になっている層を含む多層構造体を備え、前記多層構造体は、複数の第1の層および複数の中間層を含み、前記多層構造体の最も外側の層は、前記中間層のうちの1つであることを特徴とする請求項5に記載の被覆された部材。前記複数の第1の層のうちの少なくとも2つの層は別々の組成を有し、かつ/または前記複数の中間層のうちの少なくとも2つの層は、別々の組成を有することを特徴とする請求項7に記載の被覆された部材。前記複数の第1の層のすべての層は5nmから10μmであることを特徴とする請求項7に記載の被覆された部材。前記コーティングは、中間層と硬質炭素層が交互になっている層を含む積層列を備え、前記積層列は、複数の中間層および複数の硬質炭素を含み、前記積層列は前記多層構造体の上にあり、前記積層列の最も外側の層は、前記硬質炭素層のうちの1つであり、また前記コーティングの最も外側の層でもあることを特徴とする請求項7に記載の被覆された部材。前記積層列の最も内側の層は、前記硬質炭素層のうちの1つであることを特徴とする請求項7に記載の被覆された部材。前記少なくとも1つの第1の層のうちの1つまたは複数の層は、2つ以上のサブ層を含むことを特徴とする請求項5に記載の被覆された部材。前記部材は、治具、摩耗部品および摩擦部材からなる群から選択されることを特徴とする請求項1に記載の被覆された部材。前記部材は切削工具であることを特徴とする請求項1に記載の被覆された部材。コーティングおよび基材を備える被覆された部材であって、前記コーティングは、前記基材の上の多層構造体であって、第1の層と中間層が交互になった層を含み、かつ複数の第1の層および複数の中間層を含む多層構造体と、前記多層構造体の上の積層構造体であって、中間層と硬質炭素層が交互になった層を含み、かつ複数の中間層および複数の硬質炭素層を含む積層構造体とを備え、前記第1の層のそれぞれは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、Wからなる群から選択された1つまたは複数の金属を含み、前記第1の層のそれぞれの厚さが5nmから10μmであり、前記中間層のそれぞれは、SixC1-x-y-zNyMzただし0.4≦x≦0.6、0≦y≦0.1、および0≦z≦0.2の合成物を有するPVDで形成された層を含み、SiおよびCが必須成分であり、Mが、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、B、AlおよびRuからなる群から選択された1つまたは複数の元素であり、回折角が34°から36°で観察されたSiCピークの半値幅は、CuKα線を用いてX線回折XRDが実施された場合に3°以下であり、前記硬質炭素層のそれぞれはダイヤモンドまたはDLCを含み、前記コーティングの最も内側の層は前記第1の層のうちの1つであり、前記コーティングの最も外側の層は、前記硬質炭素層のうちの1つであることを特徴とする被覆された部材。基材およびコーティングを備える被覆された部材を作製する方法であって、aPVD法によって前記基材の上に中間層を堆積するステップであって、前記中間層は、SixC1-x-y-zNyMzただし0.4≦x≦0.6、0≦y≦0.1、および0≦z≦0.2の合成物を含み、Mが、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、B、AlおよびRuからなる群から選択された1つまたは複数の元素であり、その結果、回折角が34°から36°で観察されたSiCピークの半値幅は、CuKα線を用いてX線回折XRDが実施された場合に3°以下になり、PVD堆積中、前記基材は400°Cから800°Cの間の所定の温度に保たれ、-30Vから-300Vの所定のバイアス電圧が前記基材に印加される、ステップと、b前記中間層の上に硬質炭素層を堆積するステップであって、前記硬質炭素層はダイヤモンドまたはDLCを含む、ステップとを含むことを特徴とする方法。PVDマグネトロンスパッタ法によって前記中間層を堆積するステップを含むことを特徴とする請求項16に記載の方法。ステップaを実行する前に前記基材の上に第1の層を堆積するステップをさらに含み、前記第1の層は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、Wからなる群から選択された1つまたは複数の金属を含み、前記第1の層の厚さは5nmから10μmであることを特徴とする請求項16に記載の方法。前記少なくとも1つの第1の層は、Si、Al、Y、B、NおよびCからなる群から選択された1つまたは複数の元素をさらに含むことを特徴とする請求項18に記載の方法。ステップaの後で、かつステップbの前に、追加の第1の層と中間層を交互に堆積するステップをさらに含むことを特徴とする請求項18に記載の方法。ステップbの後に、追加の中間層と硬質炭素層を交互に堆積するステップをさらに含み、堆積される最終の層は硬質炭素層であることを特徴とする請求項20に記載の方法。本発明の硬質炭素コーティングは、例としては熱フィラメントCVD、燃焼炎法、ECR電子サイクロトロン共鳴、またはプラズマCVDPCVDなどの、当技術分野で知られている硬質炭素コーティングの方法のいずれでも堆積することができる。硬質炭素コーティングは、超ナノ結晶ダイヤモンド、粗い粒状ダイヤモンド、またはDLCとすることができる。本明細書および特許請求の範囲の全体を通して、基材に最も近い層が最も内側の層と定義され、基材から最も遠い層が最も外側の層と定義される。図1は、本発明の第1の実施形態による部材1Aの概略断面図である。部材1Aは、中間層5および最も外側の硬質炭素層7を含むコーティング6Aで被覆された基材2を有する。鉄ベースの合金および硬質金属などの金属材料、もしくはサーメット、セラミック、または超砥粒が基材2として適宜に使用される。部材1Aが切削工具として使用される諸実施形態では、硬質金属が基材2として適宜に使用される。中間層5は、その必須成分としてSiケイ素およびC炭素と、任意選択の成分としてN窒素および元素Mとを有する、SixC1-x-y-zNyMzただし0.4≦x≦0.6、0≦y≦0.1、および0≦z≦0.2の合成物を有する。元素Mは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Y、B、AlおよびRuからなる群から選択された1つまたは複数の元素である。中間層は、C、Nおよび/またはMの濃度に関して、コーティングの外面から基材に向かう方向で組成傾斜を有することがある。この傾斜は、中間層の最も外側の部分におけるC、Nおよび/またはMの平均濃度と、中間層の最も内側の部分におけるC、Nおよび/またはMの平均濃度との間に差があるようになっている。結晶のcrystallineとは、回折角2θが34°から36°で観察されたSiCピークの半値幅FMHM半値全幅が、CuKα線を用いてX線回折XRDが実施された場合に3°以下のものであり、実質的にSiC結晶と考えられものだけでなく、SiC結晶およびアモルファスSiCを含む化合物構造体を形成するものも含むことに留意されたい。具体的には、34°から36°で観察されるピークは、立方晶SiCの[111]面のピークに相当する。中間層5は、PVD法を用いて形成される例えば、特許文献8参照。中間層5は、10nmの薄い層であることがあり、または10μmまでの厚い層であることがある。硬質炭素層7は、当技術分野で知られているCVD法により堆積することができる。硬質炭素層7は、0.1μmの薄い層であることがあり、または50μmまでの厚い層であることがある。SiC炭化ケイ素は、少なくとも40GPaの硬度を有し、耐酸化性および耐摩耗性に優れている。結晶SiC膜は、PVD法の膜形成条件を制御することによって、本質的に亀裂を伴わずに形成される例えば、特許文献8参照。この膜は、基材または被覆された基材と硬質炭素層の間、または2つの硬質炭素層の間で良好な接着界面層になることが分かっている。前に説明したように、超硬合金の結合剤であるコバルトおよび/またはニッケルは、硬質炭素をグラファイトに変換する触媒である。XRD分析により、基材とSiC層の間にTiNおよび/またはTiCNの層がある場合でも、CVD法によって超硬合金基材の上に堆積されたSiC層中にCoSi相が見出されることが示される。CVD法の温度は800°Cから1200°Cの間であるのに対し、PVD法の温度は400°Cから800°Cの間である。開示されているSiC膜は、基材中に存在するコバルトを含む元素に対する拡散バリヤとして働く能力において、知られているCVDSiC層と比べて非常に優れていることが現在では分かっている例えば、特許文献8参照。図2aおよび図2bは、本発明の第2の実施形態による部材1Bの概略断面図である。部材1Bの基材2は、コーティング6Bで被覆されている。コーティング6Bは3つの層、すなわち、基材2の表面に形成された最も内側の第1の層4、第1の層4の上に設けられた中間層5、および中間層5の上に形成された硬質炭素層7を有する。部材1Bの基材2は、上述の部材1Aの基材2と類似している。コーティング6Bの中間層5および硬質炭素層7は、上述のコーティング6Aの中間層5および硬質炭素層7とほぼ同じである。第1の層4は、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、およびWからなる必須成分の群から選択された1つまたは複数の金属を含み、また任意選択で、Si、Al、YおよびBから成る選択成分の群から選択された1つまたは複数の元素をさらに含む。本発明のいくつかの実施形態では、第1の層4は金属、または必須成分と選択成分の混合物でありうる。別の実施形態では、第1の層4はセラミックであり、NおよびCの一方または両方の非金属元素をさらに含む。上述の第1の層4は、基材2に対して優れた接着性を有する。中間層5は、第1の層4との優れた接着性を有する。したがって、コーティング6Bは、第1の層4をコーティング6Bの最も内側の層として設けることによって、基材2との優れた接着性を示す。つまり、部材1Bは、基材2と硬質炭素層7の間に、前述の部材1Aの接着性と比べて改善された接着性を有する。部材1Bの構成が適用される切削工具、治具および摩擦部材は、優れた耐久性を呈示する。第1の層4は好ましくは、必須成分としてTiおよびCrのうち1つ以上を有し、選択成分としてY、AlおよびSiから選択された1つ以上を有し、いくつかの実施形態では窒化物である。第1の層4は好ましくは、Ti、Cr、TiN、CrN、TiC、TiAlN、CrAlN、TiCrAlN、TiCrAlSiN、TiAlSiN、およびTiCrAlSiYNのうちのいずれか1つである。これらのうち、Ti、CrN、TiAlN、CrAlN、TiCrAlN、TiCrAlSiN、TiAlSiN、およびTiCrAlSiYNは、特に一部の応用例で切削工具用である。Alを含有する第1の層4では、切削中に切削工具が達するような高温での耐酸性が改善され、その結果として、改善された切削性能がもたらされた。第1の層4は、好ましくは少なくとも0.2μm、より好ましくは少なくとも0.5μmである。図2bで分かるように、いくつかの実施形態では、第1の層4は2つ以上のサブ層4i、4iiなどを有するが、隣り合うサブ層は別々の組成を有する。これらのサブ層はすべて同じ厚さを有することがあり、またはいくつかの実施形態では、サブ層の1つ以上が固有の厚さを有することがある。第1の層4のサブ層それぞれの厚さは、好ましくは少なくとも5nmである。第1の層4は、アークイオンめっき法またはCVD法などの知られている方法で形成することができる。中間層5は、第1の基材4の上にマグネトロンスパッタによって形成される。チャンバ内に装着された基材にマグネトロンスパッタまたはアークイオンめっきを選択的に実施できる、膜形成装置を使用することが好ましい。図3は、本発明の第3の実施形態による部材1Cの断面図である。部材1Cの基材2は、コーティング6Cでコーティングされる。コーティング6Cは、交互に堆積された複数の第1の層4および複数の中間層5を含む多層構造体8Cを有し、硬質炭素層7は、多層構造体の上に堆積される。多層構造体8Cは4つ以上の層を有する。多層構造体8Cの最も外側の層は、硬質炭素層7に隣接する中間層5である。第1の層4および中間層5と、硬質膜層8Cを成す硬質炭素層7とは、上述の部材1Aおよび1B用の、説明された第1の層4、中間層5および硬質炭素層7とほぼ同じである。コーティング6Cは多数の界面構造がある構造体を有するので、その硬度が強化され、耐摩耗性が改善される。したがって、部材1Cで作られた切削工具および摺動部材は、優れた耐久性を有する。複数の第1の層4それぞれの厚さ、および多層構造体8Cの複数の中間層5それぞれの厚さは、好ましくは5nmから10μm、より好ましくは100nmから2μmの範囲内にある。いくつかの実施形態では、多層構造体8Cの複数の第1の層4のいずれかの組成は、複数の第1の層4のいずれか他と異なりうる。あるいは、複数の第1の層4のいずれかの層は、複数の第1の層4の少なくとも1つの他の層と同じ組成でありうる。いくつかの実施形態では、多層構造体8Cの複数の中間層5のいずれかの組成は、複数の中間層5のいずれか他のものと異なりうる。あるいは、複数の中間層5のいずれかの層は、複数の中間層5の少なくとも1つの他の層と同じ組成でありうる。好ましくは、多層構造体8Cの組成、厚さおよび層の数は、層が多数であることによって生じる内部応力を低減するように設定される。図4は、本発明の第4の実施形態による部材1Dの概略断面図である。部材1Dは、基材2の表面がコーティング6Dで被覆された構造体を有する。コーティング6Dは、積層列10Dで被覆された多層構造体8Dを有する。複数の第1の層4と複数の中間層5が交互に堆積されている多層構造体8Dは、コーティング6Cの説明された多層構造体8Cと類似している。積層列10Dは、複数の硬質炭素層7と複数の中間層5が交互になっている層を有する。積層列10Dは3つ以上の層を有する。いくつかの実施形態では、積層列10Dの複数の中間層5のいずれの組成および/または厚さも、複数の中間層5のいずれか他のものと異なりうる。同様に、いくつかの実施形態では、積層列10Dの複数の硬質炭素層7のいずれの組成および/または厚さも、積層列10Dの複数の硬質炭素層7のいずれか他のものと異なりうる。