"クリーンルームの天井パネルに形成した貫通穴にパイプを貫通させ、そのパイプを支持すると共にそのパイプをシールするための天井貫通パイプの支持治具であって、治具本体に貫通穴を塞ぐフランジを形成し、そのフランジに、上記貫通穴に挿入されるパイプ支持筒を一体に形成すると共にそのフランジとパイプ支持筒で形成される挿入穴をパイプを挿脱自在に嵌合する内径に形成し、その挿入穴の内周面にリング溝を形成すると共にそのリング溝にOリングを装着したことを特徴とする天井貫通パイプの支持治具。リング溝は、上記挿入穴の内周に上下二段に形成される請求項1記載の天井貫通パイプの支持治具。フランジは、上記貫通穴の下部周囲に延びる円環状のリング部と、そのリング部に一体に形成され、上記貫通穴の下部周縁と係合する係合溝を有する段部とからなり、その段部に上記パイプ支持円筒が一体に形成される請求項1又は2記載の天井貫通パイプの支持治具。請求項1~3のいずれかに記載の天井貫通パイプの支持治具のパイプ支持円筒を、クリーンルーム側から天井パネルの貫通穴に挿入し、そのフランジを天井パネルに固定し、その固定後又は固定前にパイプ支持円筒の挿入穴にパイプを挿入し、その貫通穴内に挿入されたパイプ支持円筒と貫通穴間に、シール材を充填したことを特徴とする天井貫通パイプシール構造。しかしながら、この図7の支持治具44は、円筒状の挟持部43とパイプ17との隙間をシールするもので、パイプ17自体を拘束していないため、パイプ17が、ポンプの脈動などで繰り返し振動した場合、その振動による経年劣化で、バックアップ材45とシール材46のシール機能が十分に発揮できなくなる問題がある。またシール材46,48としては、シリコンやウレタンが使用されるが、これらは、クリーンルーム10内に暴露した状態であり、しかも劣化により、クリーンルーム10内に粉塵として飛散しやすく汚染源となる問題がある。この点では、図6に示したシール構造の方が優れている。そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、クリーンルームの天井パネルにパイプを貫通させる際に、パイプを確実に支持してシールできると共に、シール材の劣化による汚染の心配もない天井貫通パイプの支持治具及びこれを用いた天井貫通パイプシール構造を提供することにある。上記目的を達成するために請求項1の発明は、クリーンルームの天井パネルに形成した貫通穴にパイプを貫通させ、そのパイプを支持すると共にそのパイプをシールするための天井貫通パイプの支持治具であって、治具本体に貫通穴を塞ぐフランジを形成し、そのフランジに、上記貫通穴に挿入されるパイプ支持筒を一体に形成すると共にそのフランジとパイプ支持筒で形成される挿入穴をパイプを挿脱自在に嵌合する内径に形成し、その挿入穴の内周面にリング溝を形成すると共にそのリング溝にOリングを装着したことを特徴とする天井貫通パイプの支持治具である。請求項2の発明は、リング溝は、上記挿入穴の内周に上下二段に形成される請求項1記載の天井貫通パイプの支持治具である。請求項3の発明は、フランジは、上記貫通穴の下部周囲に延びる円環状のリング部と、そのリング部に一体に形成され、上記貫通穴の下部周縁と係合する係合溝を有する段部とからなり、その段部に上記パイプ支持円筒が一体に形成される請求項1又は2記載の天井貫通パイプの支持治具である。請求項4の発明は、請求項1~3のいずれかに記載の天井貫通パイプの支持治具のパイプ支持円筒を、クリーンルーム側から天井パネルの貫通穴に挿入し、そのフランジを天井パネルに固定し、その固定後又は固定前にパイプ支持円筒の挿入穴にパイプを挿入し、その貫通穴内に挿入されたパイプ支持円筒と貫通穴間に、シール材を充填したことを特徴とする天井貫通パイプシール構造である。本発明によれば、治具本体に貫通穴を塞ぐフランジと貫通穴に挿入するパイプ支持筒を形成すると共にそのフランジと支持筒に形成した挿入穴にパイプを挿脱自在に挿入すると共にその間をOリングでシールすることで、パイプを拘束しつつシールできるという優れた効果を発揮するものである。以下、本発明の好適な一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。先ず図5は、本発明の天井貫通パイプシール構造をクリーンルームに適用した全体図であり、クリーンルーム10の全体構成及び製造装置16とパイプ17の構成は図6で説明した従来例と同じであり、同一符号を付し、その説明は省略する。このクリーンルーム10の天井パネル11は、その厚さが40mmに形成される。また製造装置16に接続されるパイプ17は、SUS管、ポリエチレンや塩化ビニルなどの樹脂パイプ、或いは樹脂とアルミなどの金属を複合させた複合パイプなどで形成され、その径は、10A~100Aの範囲が適用される。また、貫通穴18は、そのパイプ17の外径に対して十分に大きな内径に形成される。本発明においては、このパイプ17を貫通穴18に貫通させて天井パネル11に支持させる支持治具20として、パイプ17を確実に支持しかつその間のシールを良好にするようにしたものであり、これを図1~図4により説明する。図1~図4において、治具本体21は、アルミ合金やSUSで形成されてなり、その治具本体21に、貫通穴18を塞ぐフランジ22が形成され、そのフランジ22に一体に貫通穴18に挿入されるパイプ支持筒23が形成される。この治具本体21には、フランジ22とパイプ支持筒23にて挿入穴24が形成される。フランジ22は、貫通穴18の下部周囲に延び、貫通穴18の穴径より十分大きな径に形成された円環状のリング部25と、そのリング部25に一体に形成され、貫通穴18の下部周縁と係合する係合溝26を有する段部27とからなる。このリング部25には、天井パネル11にネジ28で治具本体21を固定するためのネジ穴29が形成される。また段部27は、貫通穴18の内径より大きく形成された下部段30と、貫通穴18の内径と同じ外径に形成された上部段31からなり、下部段30と上部段31間に係合溝26が形成される。下部段30の上面は天井パネル11の下面に当接するよう、またその上部段31の外周面が貫通穴18に嵌合するように形成される。挿入穴24は、挿入するパイプ17の外径に対して僅かに大きくなるよう、例えばパイプ17の径が25mmであれば、25.3mmとなるように形成される。この挿入穴24の上部には、拡径部24aが形成され、下端縁はアール状に面取が施され、その拡径部24aと下縁間の内周面には、上下二段にリング溝32、32が形成され、このリング溝32、32にOリング33、33が装着される。Oリング33、33は、その内周径がパイプ17の外径より僅かに小さく、装着後に、その内周面が挿入穴24の内面から突出するように形成される。以上において、治具本体21の挿入穴24にパイプ17を挿通した状態で、天井パネル11の貫通穴18に、そのパイプ支持筒23を挿入すると共に段部27の係合溝26を貫通穴18に係合させる。これにより段部27の上部段31が貫通穴18に嵌め込まれ、下部段30の上面が貫通穴18の周囲の天井パネル11の面に接触した状態となる。この状態で、フランジ22のネジ穴29にネジ28を挿入すると共にそのネジ28を天井パネル11にねじ込むことで治具本体21を取り付ける。このようにパイプ17を治具本体21を介して貫通穴18に挿入し、治具本体21を介して天井パネル11に固定したのち、給気チャンバー14側から貫通穴18内にシール材34を充填してシール構造とする。また、上述の説明は、治具本体21の挿入穴24にパイプ17を挿通した状態で、天井パネル11の貫通穴18に取り付ける例で説明したが、治具本体21のみを貫通穴18に挿入して天井パネル11に固定し、その後治具本体21の挿入穴24にパイプ17を挿入するようにしてもよい。この場合、パイプ17は、給気チャンバー14側から挿入しても、クリーンルーム10側から挿入してもいずれでもよく、施工状態に応じて適宜選択することができる。またパイプ17を挿入後は、貫通穴18にシール材34を充填してシール構造とする。次に本実施の形態の作用を説明する。パイプ17は、予め治具本体21の挿入穴24に挿通した状態で天井パネル11の貫通穴18を通した後、その治具本体21を天井パネル11にネジ28にて固定することで、或いは治具本体21を天井パネル11にネジ28にて固定した後、その挿通穴24に挿入することで貫通穴18に固定することで、施工が容易となる。この際、パイプ17は、従来のようにシールのみの構造と違って、フランジ22とパイプ支持筒23にて形成される挿入穴24に挿入されることで、その動きが拘束され、ポンプ等の脈動でパイプ17が振動しても、パイプ17の振動を抑えることができる。またパイプ支持筒23とパイプ17間はOリング33、33でシールされるため、パイプ17は、軸方向に移動が可能であり、取付施工の際の位置調整が容易となると共に施工後でも移動が可能となる。またパイプ支持筒23と貫通穴18とのシールは、貫通穴18に充填したシール材34でシールされる。このシール材34は、給気チャンバー14側の貫通穴18から充填するため、シール材34が劣化してもクリーンルーム10内の汚染源になることもない。"