"マイノリテイキャリヤーライフタイムが200μsec~2000μsecの太陽電池用FZ単結晶シリコン。Ntype300~500Ωcm、Ptype500~2000Ωcmの太陽電池用FZ単結晶シリコン。ドーピング後、Ptypeで5~50Ωcm、Ntypeで2~10Ωcmの太陽電池用FZ単結晶シリコン。不活性雰囲気において、成長スピードは1~8mm/minの範囲で製造する太陽電池用FZ単結晶シリコン。2inchφを超え12inchφ以下の直径の太陽電池用FZ単結晶シリコン。シーメンス法もしくは亜鉛還元法により製造された多結晶シリコンを原料として製造された請求項1から請求項5までのFZ単結晶シリコン。1種付けは、無転位100及び111種結晶を主力とするが、時として511、211の選択もあり、且つ成長条件次第では、それぞれがオフアングルを随時採用することが可能である。寸法は≒5×5mm~10×10mm、又は≒5mmφ~10mmφAsGrownCZ単結晶。2成長工程:種付け以降/等径/引き延ばし/押し縮めの工程を持つ。猶、種付け初期スピードは20mm/sec~30mm/sec、それ以降のスピードは初期スピードより漸減しつつ1mm/sec~8mm/minまで成長状況に応じて変化させる。3偏芯機構を持つFZ機:種芯軸と多結晶補給軸とが外部操作により微細で必要且つ有効な偏芯可能な機構を持つ事を特徴としている。42Mヘルツ~5MヘルツのSolidState若しくは真空管発信機を使用し、ハートレー、陽極同調型高周波発信器も適時採用可能である。又、特殊設計に依るHighFrequency型Gate/turnoffThyristorも利用することが出来る。5ワーキングコイルは、銀製OneTurn若しくは多重コイル型を基本とするが銅銀メッキ型も使用できる。又、特にTwoTurnも発振回路構成に依っては使用することが出来る。11/min~101/minのフローを持続させる。ワークコイル印加電圧如何に依っては、アルゴンに10~20の水素又はヘリュームガスを混入させ、グロー放電を阻止することが出来るが、此の水素又はヘリュームガスによる結晶格子間、或いは一部結晶格子置換の現象は、太陽電池光電変換率の目立った低下を来たさない。直径6φFZソーラー単結晶P型1現在工業的に一般に使用されている半導体用シリコン単結晶製造機とは異なり、単結晶成長製造時のスムーズな引上げのみにその機構を配慮した、単純な製造機器を採用した。具体的には、1960年代の極く単純なFZ単結晶製造機器の一般機構を活用し、そのまま大口径用に拡大し、極力コストの逓減に努めた機器を使用した。1シードは、ライフタイムキラーとなる不純物Fe族、Al等軽金属類、稀土類諸金属を極力排除するために、高価ではあるが現在半導体FZ製品製造過程に使われるシードを使用した。具体的には半導体FZ単結晶ロッドより7mm×7mm角の長さ100mmのシードを使用した。2銅に銀メッキ0,15mmt厚された、内径20mmφ外径60mmφのワーキングコイルを通して、2MHzの陽極同調型の容量150KVA真空管発信機を使用してパワーサプライとした。3シード部ダッシュは、60rpm、75mmL、5mmφ、とした。結晶軸は111を使用した。これはあくまでも製造コスト上安定した操業を念頭に入れた条件であり、時としては、半導体品質上の結晶欠陥の発生も許容するとした考えに基づく。言い換えれば、思想としては近い将来太陽電池が必要とする、基盤の高比抵抗、低コスト至上主義の概念に基づくものである。4ダッシュ部より徐々に直径を上げ、今回は直径8inφのソーラー用FZを長さ500mmLまで成長させた。5ダッシュ部より、所定直径部に至る略中間点約4inφ~6inφの時点で、下部より内径5inφ、外径6inφの円筒支えを上げ、直径部の長さが約200mmLとなるころ擦り上げ製品単結晶の支えとした。6単結晶製造時の炉雰囲気はアルゴン、その圧力は水柱30mmである。7ノンドーピングFZ単結晶成形で、ライフタイムは780μsecで目的の製品を得ることが出来た。この場合の単結晶の比抵抗は、Ptype1,200Ωcmであった。直径6φFZソーラー用単結晶N型実施例1と同じFZ単結晶製造機器を使用し、略同一条件で単結晶を作成したノンドーピングFZ単結晶成形でライフタイム980μsecで目的の製品を得ることが出来た。この場合の単結晶の比抵抗はN-type1,500Ωcmであった。実施例1及び実施例2によって得られたソーラーFZ単結晶は、その後スライス、表面ライトエッチ工程を経て、6φ220μ厚の太陽電池用ウェハーに加工され、片面よりボロン拡散150μを行い、太陽電池用基板となる拡散ウェハーを作成し、次工程に投入した。その結果は、初期的ではあるが、現行のCZソーラー基板太陽電池より上回った光変換効率を得ることが出来た。"