シラン含有流を精製する方法であって、前記シラン含有流は、シランと、シランより沸点の高い1つ以上の化合物とを含んでおり、前記方法は、前記シラン含有流を重質末端蒸留塔に導入して、前記シラン含有流に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成する工程であって、前記シラン減少した塔底留分は、シランを含み、前記シラン含有流に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加している、シラン含有流を導入する工程と、前記シラン減少した塔底留分をシラン回収分離ユニットに導入して、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分に比べてシラン増加した留分とシラン減少した留分とを生成する工程と、を含むことを特徴とする方法。前記シラン回収分離ユニットは、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成する蒸留塔であることを特徴とする請求項1に記載の方法。軽質末端蒸留塔に供給流を導入して、塔頂留分と塔底留分とを生成する工程を含み、前記供給流は、シランと、シランより沸点の高い1つ以上の化合物と、シランより沸点の低い1つ以上の化合物とを含み、前記塔頂留分は、シランが減少し、シランより沸点の低い化合物が増加しており、前記塔底留分は、シランが増加し、シランより沸点の低い化合物が減少しており、前記塔底留分の一部が、前記重質末端蒸留塔に供給される前記シラン含有流を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分は、シランより沸点の低い化合物を含み、前記シラン増加した塔頂留分は、軽質末端蒸留塔に導入されて、シランより沸点の低い化合物を含むシラン減少した塔頂留分と、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分に比べてシラン増加した塔底留分とが形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。シランより沸点の高い前記1つ以上の化合物は、エタン、エチレン、エチルシラン、ジエチルシラン、トルエン、ジメトキシエタン及びその混合物から成る群から選ばれることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。シランより沸点の低い前記1つ以上の化合物は、水素、窒素及びメタンから成る群から選ばれることを特徴とする請求項3又は4に記載の方法。前記シラン回収分離ユニットから生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分は、前記軽質末端蒸留塔に導入することによって再利用されることを特徴とする請求項3に記載の方法。前記シラン回収分離ユニットから生成されて成る前記シラン減少した塔底留分中のシランの量は、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分中のシランの約10wt未満、約75wt未満、約5wt未満、約25wt未満、又は約1未満であることを特徴とする請求項3に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記塔頂留分中のシランと前記シラン回収分離ユニットから生成されて成る前記シラン減少された塔底留分中のシランとの合計量は、前記シラン含有流中のシランの約15wt未満、約10wt未満、約5wt未満又は約3wt未満であることを特徴とする請求項3に記載の方法。前記供給流と、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分とはエチレンを含み、前記エチレンの一部を除去してエチレン減少した排出流を形成するために、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分を吸収器に導入することを特徴とする請求項3に記載の方法。前記吸着器は、前記エチレンの一部をシランと反応させてエチルシランを形成するモレキュラーシーブを含み、前記方法は、エチルシランを含む前記エチレン減少した排出流をエチルシラン蒸留塔に導入して、前記吸着器から生成されて成る前記エチレン減少した排出流に比べると、精製されたシラン生成物を含むエチルシラン減少した塔頂留分と、エチルシラン増加した塔底留分とを生成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。前記エチルシラン増加した塔底留分は、前記エチルシラン増加した塔底留分を前記軽質末端蒸留塔に導入することによって再利用されることを特徴とする請求項11に記載の方法。前記シラン回収蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分の温度は、前記シラン回収蒸留塔からの放出の際に約70°C~約130°C、又は約85°C~約105°Cであることを特徴とする請求項2~12のいずれか1項に記載の方法。前記シラン回収蒸留塔は、約1500kPa~約2600kPa、又は約1700kPa~約2200kPaの塔頂の圧力で操作することを特徴とする請求項2~13のいずれか1項に記載の方法。前記供給流の前記成分は、前記軽質末端蒸留塔から生成された前記塔頂留分として、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分、前記シラン回収分離ユニットから生成されて成るシラン増加した塔頂留分、及び前記シラン回収分離ユニットから生成されて成る前記シラン減少した塔底留分として放出されるまで、実質的にどんな反応も受けないことを特徴とする請求項3に記載の方法。前記シラン含有流が、アルカリ又はアルカリ土類金属のシランを実質的に含まないことを特徴とする請求項1~15のいずれか1項に記載の方法。前記シラン含有流が、トリクロロシラン、テトラクロロシラン及びテトラフルオロシランを実質的に含まないことを特徴とする請求項1~15のいずれか1項に記載の方法。シランと、シランより沸点の高い1つ以上の化合物とを含んで成るシラン含有流を精製するためのシステムであって、前記シラン含有流に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成するための重質末端蒸留塔であって、前記シラン減少した塔底留分は、シランを含み、前記シラン含有流に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加している、重質末端蒸留塔と、重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分を生成するためのシラン回収蒸留塔と、を含むことを特徴とするシステム。前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分を、前記シラン回収蒸留塔に搬送するための搬送装置を含むことを特徴とする請求項18に記載のシステム。前記軽質末端蒸留塔に導入されたシラン含有供給流に比べて、シランより沸点の低い化合物が増加しているシラン減少した塔頂留分と、シランより沸点の低い化合物が減少しているシラン増加した塔底留分と、を生成するための軽質末端蒸留塔と、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔底留分を、前記重質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項18又は19に記載のシステム。前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分に比べると、シランより沸点の低い化合物が増加しているシラン減少した塔頂留分と、シランより沸点の低い化合物が減少しているシラン増加した塔底留分と、を生成するための軽質末端蒸留塔と、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分を、前記軽質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項18又は19に記載のシステム。前記シラン回収蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分を、前記軽質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置を含むことを特徴とする請求項20に記載のシステム。前記重質末端蒸留塔から生成された前記シラン増加した塔頂留分からエチレンの一部を取り除き、エチレン減少した排出流を生成するための吸着器と、前記重質末端蒸留塔から生成された前記シラン増加した塔頂留分を前記吸着器に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項20に記載のシステム。前記吸着器は、前記エチレンの一部をシランと反応させてエチルシランを形成するモレキュラーシーブを含み、前記システムは、前記吸着器から生成されて成る前記エチレン減少した排出流に比べると、精製されたシラン生成物を含むエチルシラン減少した塔頂留分と、エチルシラン増加した塔底留分と、を生成するためのエチルシラン蒸留塔と、エチルシランを含む前記エチレン減少した排出流を前記エチルシラン蒸留塔に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項23に記載のシステム。前記エチルシラン増加した塔底留分を前記軽質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置を含むことを特徴とする請求項24に記載のシステム。シラン含有流を精製する方法であって、前記シラン含有流は、シランと、シランより沸点の低い1つ以上の化合物とを含んでおり、前記方法は、前記シラン含有流を軽質末端蒸留塔に導入して、前記シラン含有流に比べてシラン減少した塔頂留分とシラン増加した塔底留分とを生成する工程であって、前記シラン減少した塔頂留分は、シランと、シランより沸点の低い化合物とを含む、シラン含有流を導入する工程と、前記シラン減少した塔頂留分をシラン回収分離ユニットに導入して、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分に比べてシラン増加した留分とシラン減少した留分とを生成する工程と、を含むことを特徴とする方法。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分を冷却して、その中の前記シランの一部を凝縮する工程と、シラン凝縮した塔頂留分を気液セパレーターに導入して、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分に比べてシラン減少したガス流とシラン増加した液体流とを生成する工程であって、前記シラン増加した液体流は凝縮されたシランを含む、シラン凝縮した塔頂留分を導入する工程と、を含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分をコンデンサーに導入して、前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの一部を凝縮することを特徴とする請求項27に記載の方法。前記液体流は、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分と熱的に接触して、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの一部を凝縮することを特徴とする請求項27に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔から生成された前記液体流と前記シラン減少した塔頂留分とを交換器に導入して、前記シランの一部を凝縮することを特徴とする請求項29に記載の方法。前記液体流を前記軽質末端蒸留塔に導入することを特徴とする請求項27~30のいずれか1項に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔に導入する前に、前記液体流を蒸発させることを特徴とする請求項31に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの少なくとも約60、少なくとも約75、少なくとも約85、少なくとも約90、又は少なくとも約95が凝縮されることを特徴とする請求項27~32のいずれか1項に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分は、少なくとも約40wt、少なくとも約50wt、少なくとも約60wt、少なくとも約70wt、又は少なくとも約75wtのシランを含むことを特徴とする請求項26~33のいずれか1項に記載の方法。前記シランは、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分を、約100°C未満、約115°C未満、約130°C未満、約145°C未満、さらには約160°C未満の温度まで冷却することにより凝縮されることを特徴とする請求項27~34のいずれか1項に記載の方法。前記シラン含有流は、シランより沸点の高い化合物を含み、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔底留分は、前記シラン含有流に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加しており、前記シラン増加した塔底留分を前記重質末端蒸留塔に導入して、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成し、前記シラン減少した塔底留分は、シランより沸点の高い化合物が増加していることを特徴とする請求項26~35のいずれか1項に記載の方法。供給流を重質末端蒸留塔に導入して、塔頂留分と塔底留分とを生成する工程を含み、前記供給流は、シランと、シランより沸点の高い1つ以上の化合物と、シランより沸点の低い化合物とを含み、前記塔頂留分は、シランが増加し、且つシランより沸点の低い化合物が増加しており、前記塔底留分は、シランが減少し、シランより沸点の高い化合物が増加しており、前記塔頂留分の一部が、前記軽質末端蒸留塔に供給される前記シラン含有流を形成することを特徴とする請求項26~35のいずれか1項に記載の方法。シランより沸点の低い前記1つ以上の化合物は、水素、窒素及びメタンから成る群から選ばれることを特徴とする請求項26~37のいずれか1項に記載の方法。シランより沸点の高い前記1つ以上の化合物は、エタン、エチレン、エチルシラン、ジエチルシラン、トルエン、ジメトキシエタン及びその混合物から成る群から選ばれることを特徴とする請求項36又は37のいずれか1項に記載の方法。前記シラン含有流と、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分とはエチレンを含み、前記エチレンの一部を除去してエチレン減少した排出流を形成するために、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分を前記吸着器に導入することを特徴とする請求項36に記載の方法。前記吸着器は、前記エチレンの一部をシランと反応させてエチルシランを形成するモレキュラーシーブを含み、前記方法は、エチルシランを含む前記エチレン減少した排出流をエチルシラン蒸留塔に導入して、前記吸着器から生成されて成る前記エチレン減少した排出流に比べると、精製されたシラン生成物を含むエチルシラン減少した塔頂留分と、エチルシラン増加した塔底留分とを生成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項40に記載の方法。前記エチルシラン増加した塔底留分は、前記エチルシラン増加した塔底留分を前記軽質末端蒸留塔に導入することによって再利用されることを特徴とする請求項41に記載の方法。前記供給流の前記成分は、前記軽質末端蒸留塔から生成された前記塔頂留分として、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分、又は前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分として放出されるまで、実質的にどんな反応も受けないことを特徴とする請求項36に記載の方法。前記シラン含有流が、アルカリ又はアルカリ土類金属のシランを実質的に含まないことを特徴とする請求項26~43のいずれか1項に記載の方法。前記シラン含有流が、トリクロロシラン、テトラクロロシラン及びテトラフルオロシランを実質的に含まないことを特徴とする請求項26~43のいずれか1項に記載の方法。前記気液セパレーター内で分離された前記シラン減少したガス流中のシランの量が、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中のシランの約10wt未満、約8wt未満、約6wt未満、又は約4wt未満であることを特徴とする請求項27~45のいずれか1項に記載の方法。前記気液セパレーター内で分離された前記シラン減少したガス流中のシランと前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分中のシランとの合計量は、前記シラン含有流中のシランの約15wt未満、約11wt未満、約8wt未満、又は約4wt未満であることを特徴とする請求項36に記載の方法。シラン含有流を精製する方法であって、前記シラン含有流は、シランと、シランより沸点の低い1つ以上の化合物と、シランより沸点の高い1つ以上の化合物と、を含んでおり、前記方法は、前記シラン含有流を軽質末端蒸留塔に導入して、前記シラン含有流に比べてシラン減少した塔頂留分とシラン増加した塔底留分とを生成する工程であって、前記シラン減少した塔頂留分は、シランを含み、シランより沸点の低い化合物が増加している、シラン含有流を導入する工程と、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分を冷却して、その中の前記シランの一部を凝縮させる工程と、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔底留分を、重質末端蒸留塔に導入して、軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成する工程であって、前記シラン減少した塔底留分は、シラン含み、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔底留分に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加している、シラン増加した塔底留分を導入する工程と、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分をシラン回収分離ユニット中に導入して、前記重質末端蒸留塔から生成して成る前記シラン減少した塔底留分に比べてシラン増加した留分とシラン減少した留分とを生成する工程と、を含むことを特徴とする方法。シラン凝縮した塔頂留分を気液セパレーターに導入して、ガス流と凝縮したシランを含む液体流とを生成することを特徴とする請求項48に記載の方法。前記液体流が前記軽質末端蒸留塔に導入されることを特徴とする請求項49に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔に導入する前に、前記液体流を蒸発させることを特徴とする請求項50に記載の方法。前記シラン回収蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分は、前記軽質末端蒸留塔に導入することによって再利用されることを特徴とする請求項48~51のいずれか1項に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分をコンデンサーに導入して、前記シラン減少した塔頂留分の前記シランの一部を凝縮することを特徴とする請求項48~52のいずれか1項に記載の方法。前記液体流は、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分と熱的に接触して、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの一部を凝縮することを特徴とする請求項49~53のいずれか1項に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔から生成された前記液体流と前記シラン減少した塔頂留分とを交換器に導入して、前記シランの一部を凝縮することを特徴とする請求項54に記載の方法。前記シラン回収分離ユニットは、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成する蒸留塔であることを特徴とする請求項48~55のいずれか1項に記載の方法。シランより沸点の低い前記1つ以上の化合物は、水素、窒素及びメタンから成る群から選ばれることを特徴とする請求項48~56のいずれか1項に記載の方法。シランより沸点の高い前記1つ以上の化合物は、エタン、エチレン、エチルシラン、ジエチルシラン、トルエン、ジメトキシエタン及びその混合物から成る群から選ばれることを特徴とする請求項48~57のいずれか1項に記載の方法。前記シラン含有流と、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分とはエチレンを含み、前記エチレンの一部を除去してエチレン減少した排出流を形成するために、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分を前記吸着器に導入することを特徴とする請求項48~58のいずれか1項に記載の方法。前記吸着器は、前記エチレンの一部をシランと反応させてエチルシランを形成するモレキュラーシーブを含み、前記方法は、エチルシランを含む前記エチレン減少した排出流をエチルシラン蒸留塔に導入して、前記吸着器から生成されて成る前記エチレン減少した排出流に比べると、精製されたシラン生成物を含むエチルシラン減少した塔頂留分と、エチルシラン増加した塔底留分とを生成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項59に記載の方法。前記エチルシラン増加した塔底留分は、前記エチルシラン増加した塔底留分を前記軽質末端蒸留塔に導入することによって再利用されることを特徴とする請求項60に記載の方法。前記シラン含有流の前記成分は、前記軽質末端蒸留塔から生成された前記塔頂留分として、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分、又は前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分として放出されるまで、実質的にどんな反応も受けないことを特徴とする請求項61に記載の方法。前記シラン含有流が、アルカリ又はアルカリ土類金属のシランを実質的に含まないことを特徴とする請求項48~62のいずれか1項に記載の方法。前記シラン含有流が、トリクロロシラン、テトラクロロシラン及びテトラフルオロシランを実質的に含まないことを特徴とする請求項48~63のいずれか1項に記載の方法。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの少なくとも約60、少なくとも約75、少なくとも約85、少なくとも約90、又は少なくとも約95が凝縮されることを特徴とする請求項48~64のいずれか1項に記載の方法。前記シラン回収分離ユニットから生成されて成る前記シラン減少した塔底留分中のシランの量は、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分中のシランの約10wt未満、約75wt未満、約5wt未満、約25wt未満、又は約1未満であることを特徴とする請求項48~65のいずれか1項に記載の方法。前記ガス流中のシランの量が、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中のシランの約10wt未満、約8wt未満、約6wt未満、又は約4wt未満であることを特徴とする請求項48~66のいずれか1項に記載の方法。前記ガス流中のシランと前記シラン回収分離ユニットから生成されて成る前記シラン減少した塔底留分のシランとの合計量は、前記シラン含有流中のシランの約10wt未満、約5wt未満、約3wt未満、約1wt未満、約05wt未満、又は約03wt未満であることを特徴とする請求項49~67のいずれか1項に記載の方法。シランと、シランより沸点の低い1つ以上の化合物とを含んで成るシラン含有流を精製するためのシステムであって、前記シラン含有流に比べてシラン減少した塔頂留分とシラン増加した塔底留分とを生成するための軽質末端蒸留塔であって、前記シラン減少した塔頂留分は、シランと、シランより沸点の低い化合物とを含む、軽質末端蒸留塔と、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの一部を凝縮するためのコンデンサーと、ガス流と凝縮されたシランを含む液体流とを生成するための気液セパレーターと、を含むことを特徴とするシステム。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分を、前記コンデンサーに搬送するための搬送装置と、前記シラン凝縮した塔頂留分を、前記気液セパレーターに搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項69に記載のシステム。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの一部を凝縮するために、前記液体流を、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分と熱的に接触させるための交換器と、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分を、前記交換器に搬送するための搬送装置と、前記交換器内で生成されて成る前記部分的に凝縮したシラン減少した塔頂留分を、前記コンデンサーに搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項69又は70に記載のシステム。前記液体流又はその蒸発生成物を、前記軽質末端蒸留塔内に搬送するための搬送装置を含むことを特徴とする請求項69~71のいずれか1項に記載のシステム。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成るシラン増加した塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成するための重質末端蒸留塔であって、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分は、シランより沸点の高い化合物が増加している、重質末端蒸留塔と、前記シラン増加した塔底留分を、前記軽質末端蒸留塔から前記重質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項69~72のいずれか1項に記載のシステム。前記重質末端蒸留塔に導入される供給流に比べて、シランより沸点の低い化合物が増加しているシラン増加した塔頂留分と、シランより沸点の高い化合物が増加しているシラン減少した塔底留分と、を生成するための重質末端蒸留塔と、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分を、前記軽質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項69~72のいずれか1項に記載のシステム。前記重質末端蒸留塔から生成された前記シラン増加した塔頂留分からエチレンの一部を取り除き、エチレン減少した排出流を生成するための吸着器と、前記重質末端蒸留塔から生成された前記シラン増加した塔頂留分を前記吸着器に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項73に記載のシステム。前記吸着器は、前記エチレンの一部をシランと反応させてエチルシランを形成するモレキュラーシーブを含み、前記システムは、前記吸着器から生成されて成る前記エチレン減少した排出流に比べると、精製されたシラン生成物を含むエチルシラン減少した塔頂留分と、エチルシラン増加した塔底留分と、を生成するためのエチルシラン蒸留塔と、エチルシランを含む前記エチレン減少した排出流を前記エチルシラン蒸留塔に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項75に記載のシステム。前記エチルシラン増加した塔底留分を前記軽質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置を含むことを特徴とする請求項76に記載のシステム。シランと、シランより沸点の高い1つ以上の化合物と、シランより沸点の低い1つ以上の化合物とを含んで成るシラン含有流を精製するためのシステムであって、前記シラン含有流に比べてシラン減少した塔頂留分とシラン増加した塔底留分とを生成するための軽質末端蒸留塔であって、前記シラン減少した塔頂留分は、シランと、シランより沸点の低い化合物とを含む、軽質末端蒸留塔と、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの一部を凝縮するためのコンデンサーと、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分に比べて、シラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成するための重質末端蒸留塔であって、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分は、シランを含み、前記シラン含有流に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加している、重質末端蒸留塔と、重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分を生成するためのシラン回収蒸留塔と、を含むことを特徴とするシステム。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分を、前記コンデンサーまで搬送するための搬送装置と、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔底留分を、前記重質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置と、前記重質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔底留分を、前記シラン回収蒸留塔に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項78に記載のシステム。ガス流と凝縮されたシランを含む液体流とを生成するための気液セパレーターと、前記コンデンサーから生成されて成る前記シラン凝縮した塔頂留分を、前記気液セパレーターに搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項78又は79に記載のシステム。前記液体流又はその蒸発生成物を、前記軽質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置を含むことを特徴とする請求項80に記載のシステム。前記シラン回収蒸留塔から生成されて成る前記シラン増加した塔頂留分を、前記軽質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置を含むことを特徴とする請求項78~81のいずれか1項に記載のシステム。前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分中の前記シランの一部を凝縮するために、前記液体流を、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分と熱的に接触させるための交換器と、前記軽質末端蒸留塔から生成されて成る前記シラン減少した塔頂留分を、前記交換器に搬送するための搬送装置と、前記交換器内で生成されて成る前記部分的に凝縮したシラン減少した塔頂留分を、前記コンデンサーに搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項78~82のいずれか1項に記載のシステム。前記重質末端蒸留塔から生成された前記シラン増加した塔頂留分からエチレンの一部を取り除き、エチレン減少した排出流を生成するための吸着器と、前記重質末端蒸留塔から生成された前記シラン増加した塔頂留分を前記吸着器に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項78~83のいずれか1項に記載のシステム。前記吸着器は、前記エチレンの一部をシランと反応させてエチルシランを形成するモレキュラーシーブを含み、前記システムは、前記吸着器から生成されて成る前記エチレン減少した排出流に比べると、精製されたシラン生成物を含むエチルシラン減少した塔頂留分と、エチルシラン増加した塔底留分と、を生成するためのエチルシラン蒸留塔と、エチルシランを含む前記エチレン減少した排出流を前記エチルシラン蒸留塔に搬送するための搬送装置と、を含むことを特徴とする請求項84に記載のシステム。前記エチルシラン増加した塔底留分を前記軽質末端蒸留塔に搬送するための搬送装置を含むことを特徴とする請求項85に記載のシステム。全図にわたって、対応する符号は対応する部分を示す。<詳細な説明>本願開示の様々な実施形態によれば、蒸留操作を含み、従来のプロセスに比べて高い純度と高いシラン回収とを達成するシラン精製方法を、本明細書において開示する。さらに、そのような方法を実施するための精製システムを提供する。そのような方法及びシステムの実施形態は、シラン含有流から分離されたプロセス流例えば、精製されるシラン含有流に比べるとシランより沸点の低い化合物を比較的大量に含むプロセス流及び/又はシランより沸点の高い化合物を比較的大量に含む流れからのシランの回収を含んでいてもよい。以下でさらに検討されるように、シランは、蒸留操作又は凝縮操作を用いることにより、これらの不純物流から取り除かれるだろう。精製することのできるシラン含有流本願開示の実施形態によって精製することのできるシラン含有流は、本願開示の範囲から外れることなしに、多種多様な不純物を含んでいてもよく、また、それらの不純物を幅広い含有量で含んでいてもよい。シラン含有流は、本願開示の実施形態の精製プロセスを受ける前に、1つ以上の精製ステップを受けていてもよい例えば、シランより沸点の低い又はシランより沸点の高い不純物の量の除去。本願開示の精製プロセスを受ける前のシラン含有流のシランの量は、少なくとも約10wt、少なくとも約30wt、少なくとも約50wt、少なくとも約70wt、少なくとも約85wt、少なくとも約95wt、さらには少なくとも約99wt例えば約50wt~約99wt、又は約70wt~約99wtであってもよい。シラン含有流は、アルカリ又はアルカリ土類金属のシランを実質的に含まなくてもよく例えば、約01mol未満、又は約001mol未満だけ含んでいる、代わりに又はそれに加えて、トリクロロシラン、テトラクロロシラン及びテトラフルオロシランを実質的に含まなくてもよい。いくつかの実施形態において、これらの化合物は、本願開示の方法を実施する前にシラン含有流から実質的に取り除かれる。本願開示の方法を受けるシラン含有流は、シランより沸点の低い1つ以上の不純物及び/又はシランより沸点の低い1つ以上の不純物を含んでいてもよい。この点に関して、シランの沸点は約112°Cである。シランより沸点の高い不純物は、例えば、エタン、エチレン、エチルシラン、ジエチルシラン、トルエン及びジメトキシエタンを含んでいる。シランより沸点の低い不純物は、例えば、水素、窒素及びメタンを含んでいる。開始時のシラン含有流は、気体であってもよく、本願開示の範囲から逸脱することなしに、液体であってもよい。この点に関して、シラン含有流は、これらに限定されないが、典型的なシランの生成及び/又は処理の圧力及び温度を含んでいる温度及び圧力の範囲内にあってもよい。軽質末端流からの回収を含むシランの精製方法ここで、シランの精製方法を、本願開示の実施形態に従って概略的に示している図1を参照すると、シラン含有流3を軽質末端蒸留塔5に導入して、シラン含有流3に比べてシラン増加した塔底留分6とシラン減少した塔頂留分11とを生成する。シラン含有流3は、シランと、シランより沸点の低い1つ以上の化合物例えば水素、窒素及び/又はメタンを含んでいる。軽質末端蒸留塔5中に導入する前に、シラン含有流3は、凝縮され圧縮されてもよい。本明細書において、軽質末端蒸留塔とは、軽質末端蒸留塔の供給流又は、2つ以上の供給流を用いる場合は複数の供給流から、シランより沸点の低い化合物の少なくとも約50wtを分離する蒸留塔を指す。通常は、これらの分離された化合物は、蒸留塔5からシラン減少した塔頂留分11に移動される又は取り除かれる:removed。本願開示のいくつかの実施形態では、塔頂留分11は、シラン含有流3中におけるシランより沸点の低い化合物の少なくとも約50wtを含み、他の実施形態では、シラン含有流3中におけるシランより沸点の低い化合物の少なくとも約60wt、少なくとも約75wt、少なくとも約90wt、さらには少なくとも約95wtを含んでいる。シラン減少した塔頂留分11は、少なくとも約40wtシランを含んでいてもよく、他の実施形態では、少なくとも約50wt、少なくとも約60wt、少なくとも約70wt、又は少なくとも約75wtシランを含んでいてもよい。通常は、塔頂留分11には、シランより沸点の低い化合物が増加している。シラン含有流3がシランより沸点の高い化合物を含む実施形態では、塔底留分6ではこれらの化合物が増加し、塔頂留分11ではこれらの化合物中が減少する。軽質末端蒸留塔5は、当業者に認識されているように、シランから、シランより沸点の低い化合物を分離するのに適した温度及び圧力で操作することができる。例えば、軽質末端蒸留塔5は、約130°C~約50°C、又は約110°C~約70°Cの塔頂留分11の温度で、そして約1100kPa~約2500kPa、又は約1400kPa~約2200kPaの塔頂留分の圧力で操作してもよい。塔底留分6の温度は、約50°C~約120°Cであってもよい。軽質末端蒸留塔5から放出する際に、シラン減少した塔頂留分11は、慣例通りに中和されて、廃棄流として処分される。本願開示によれば、塔頂留分11を処理して、かなりの量のシランを回収できることが分かった。本願開示のいくつかの実施形態では、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11をシラン回収分離ユニット30に導入して、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11に比べてシラン増加した留分32とシラン減少した留分35とを生成する。シラン増加した留分32は、シラン増加した留分を軽質末端蒸留塔5に戻して再利用して使用するために、回収されてもよい。シラン回収分離ユニット30は、シランより沸点の低い化合物からシランを分離するのに適したいずれかの1つのユニットさらには、2つ以上のユニットであってもよい。例えば、ユニット30は、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11を、シラン減少した塔頂留分11に比べてシラン増加した塔底留分32とシラン減少した塔頂留分35とに分離する1つ以上の蒸留塔であってもよい。代わりに、図2に示されるように、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11を冷却してその中のシランの一部を凝縮してもよく、それにより、シランより沸点が低く、より揮発性の化合物からシランを分離する。塔頂留分11をコンデンサー37に導入して、シランを凝縮してもよい。シラン凝縮した塔頂留分42を気液セパレーター38に導入して、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11に比べてシラン減少したガス流35とシラン増加した液体流51とを生成してもよい。シラン増加した液体流51は、使用するために再循環され得る凝縮シランを含んでいる。任意で、図2に示されるように、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11を、冷却して将来的に部分的に凝縮するために、塔頂留分11を、最初に熱交換器36例えば交換器に導入してもよい。軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中のシランの一部を凝縮するために、塔頂留分11を気液セパレーター38から生成された液体流51と熱的に接触させてもよい。熱交換器36は、シラン含有流を冷却及び/又は凝縮するのに適したいずれの装置であってもよく、例えば、シェル-チューブ熱交換器であって、シェル側にシラン含有ガス流11が存在し、チューブ側に凝縮シラン流51が存在するものがある。コンデンサー37はさらに、シェル-チューブ交換器であって、シェル側に、冷却した及び/又は部分的に凝縮したシラン含有ガス流41は存在し、チューブ側に、冷却液例えば液体窒素が存在するものであってもよい。気液セパレーター38は、流入する流れ42の圧力、温度及び/又は速度を下げて、同伴した液体をガスから分離するための容器を含んでいてもよい。気液セパレーター38は、ガス流から除去するのに、同伴した液体をさらに小滴に凝集させるデミスターを含んでいてもよい。この点に関して、任意で、そして本願開示のいくつかの実施形態において、プロセスは熱交換器36なしで行なわれ、塔頂留分11はコンデンサー37に直接導入されると理解されるべきである。熱交換器36を使用するか否かにかかわらず、塔頂留分11はコンデンサー37中で、例えば、約1100kPa~約2500kPa約160psia~約360psiaの圧力、又は約1400kPa~約2200kPa約200psia~約320psiaの圧力において約100°C未満、約115°C未満、約130°C未満、約145°C未満、さらには約160°C未満に冷却されてもよい。熱交換器36を使用する実施形態では、塔頂留分11は熱交換器中で、例えば、約1100kPa~約2500kPa約160psia~約360psiaの圧力、又は約1400kPa~約2000kPa約200psia~約290psiaの圧力において約50°C未満、約70°C未満、約85°C未満、さらには約100°C未満に冷却されてもよい。熱交換器36がコンデンサー37と共に使用されるかどうかにかかわらず、軽質末端蒸留塔5から生成され、コンデンサー37によって、そして任意で熱交換器36によって凝縮されるシラン減少した塔頂留分11中のシランの量は、少なくとも約60であり、他の実施形態では、シラン減少した塔頂留分11中のシランの少なくとも約75、少なくとも約85、少なくとも約90、又は少なくとも約95が凝縮される。シラン減少した塔頂留分11中のシランの一部を凝縮するために、気液セパレーター38から生成された液体流51を、熱交換器36に導入してもよい。シラン増加した液体流51の一部は、熱交換器36内で部分的に蒸発してもよく、液体流は125°C~約10°Cの範囲の温度まで加熱されてもよい。いくつかの実施形態では、シラン増加した液体流51は、熱交換器36内で完全に蒸発する。熱交換器36を出たシラン流32は、任意で周囲温度まで加熱されて、軽質末端蒸留塔5に導入するために加圧され得る処理前のシラン3図1に結合されてもよい。好適なヒーターは、例えば、外気を用いてシラン流32を加熱するフィン型交換器を含んでいる。蒸発したシラン流32は、再び凝縮されて、軽質末端蒸留塔5に再循環されてもよい。シラン流32は比較的純粋であってもよく、いくつかの実施形態では、少なくとも約90wtのシランを含み、他の実施形態では、少なくとも約92wt、少なくとも約95wt、又は少なくとも約97wtのシラン例えば、約90wt~999wt、又は約95wt~約999wtを含んでいる。代わりに又はそれに加えて、軽質末端蒸留塔5から生成された塔頂留分11中のシランの少なくとも約80wtは、シラン流32中に回収され、他の実施形態では、塔頂留分11中のシランの少なくとも約75wt、少なくとも約85wt、少なくとも約90wt、少なくとも約93wt、少なくとも約96wt、さらには約98wt例えば、約75wt~約999wt、約85wt~約999wt、又は約93wt~約999wtがシラン流32中に回収される。シラン回収分離ユニット30から生成されて成るシラン減少した塔頂留分35は、処理され、そして環境中に排出することにより処分されてもよい塔頂留分35は、処分する前に、例えば自然対流フィン型熱交換器を用いて加熱されてもよい。本願開示の実施形態によれば、シラン回収分離ユニット30の使用により、シラン回収分離ユニット30を使用していない従来の方法に比べて、中和されて処分される廃棄ガスの量を低減することができる。例えば、塔頂留分11の少なくとも約60wtがシラン流32中に回収されてもよく、他の実施形態では、塔頂留分11の少なくとも約65wt、少なくとも約70wt、さらには少なくとも約75wt例えば、約65wt~約90wt、又は約65wt~約80wtがシラン流32中に回収される。塔頂留分35は、最小量のシランを含んでいるのが好ましく、いくつかの実施形態では、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中に約10wt未満のシランを含んでいる。他の実施形態では、塔頂留分35は、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中に、約8wt未満、約6wt未満又は約4wt未満のシランを含んでいる。本願開示のいくつかの実施形態によれば、処理前のシランは、シランより沸点の高い化合物をさらに含んでいてもよい。シラン含有流3図1が、シランより沸点の高いそのような化合物を含んでいる場合、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン増加した塔底留分6は、典型的には、シラン含有流3に比べるとシランより沸点の高い化合物が増加している。これらの比較的高い沸点の化合物からシランを分離するために、図3に示すように、シラン増加した塔底留分6を重質末端蒸留塔15に導入して重質末端流からの回収を含むシラン精製方法とタイトルを付けたセクションにおいて後述するパラメーターに従って操作されてもよい、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン増加した塔底留分6に比べてシラン増加した塔頂留分43とシラン減少した塔底留分31とを生成することができる。シラン減少した塔底留分31は、シランより沸点の高い化合物が増加しており、処理されて例えば、中和されて処分されてもよい。代わりに、後述するように、シラン減少した塔底留分31は、シランを回収するために処理されてもよい。軽質末端蒸留塔5と、シラン回収分離ユニット30と、重質末端蒸留塔15とは、従来の方法に比べてシランの損失量の少ないシランの精製が可能である。例えば、本願開示のいくつかの実施形態によれば、図3の方法での廃棄流すなわち、シラン回収分離ユニット30から分離されたシラン減少したガス流35と、重質末端蒸留塔15から生成されたシラン減少した塔底留分31の中のシランの合計量は、シラン含有流3中のシランの約15wt未満であり、他の実施形態では、シラン含有流3中のシランの約11wt未満、約8wt未満、約4wt未満であってもよい。一般的に、トリクロロシランがシランの最終生成物を生成する一連の不均化と蒸留の工程を通じて得られる方法とは対照的に、シランを精製するための本願開示の実施形態において、シラン含有流3の成分は、軽質末端蒸留塔5から生成された塔頂留分11として、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43として、又は重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31として放出されるまで、実質的にどんな反応も受けない。いくつかの実施形態では、シラン含有流3は、重質末端蒸留塔15からシラン増加した塔頂留分43中に出るエチレンの量を含んでいる。以下に詳述するように、エチレンとシランは、吸着器例えばモレキュラーシーブ及び/又はエチルシラン蒸留塔を用いて分離されてもよい。本願開示のとある他の実施形態では、シラン含有流3は、軽質末端蒸留塔5に導入される前に除去される、シランより沸点の高い化合物を有して形成されてもよい。図4に示すように、シランと、シランより沸点の高い1つ以上の化合物と、シランより沸点の低い1つ以上の化合物とを含む供給流7を、重質末端蒸留塔15に導入して、塔頂留分3と塔底留分31とを生成する。塔頂留分3は、供給流7に比べると、シランが増加し、且つシランより沸点の低い化合物が増加している。塔頂留分3の一部は、軽質末端蒸留塔5に供給されるシラン含有流3を形成する。塔底留分31は、シランが減少し、シランより沸点の高い化合物が増加しており、中和されて処分されてもよく、又は後述するようにシランを回収するために処理されてもよい。この点に関して、下流蒸留すなわち図3の重質末端蒸留と図4の軽質末端蒸留の低い圧力は、軽質末端蒸留操作に比べて重質末端蒸留操作での回収においてより好ましいので、軽質末端蒸留5が重質末端蒸留15より前に行われる図3の方法は、重質末端蒸留15が軽質末端蒸留5より前に行われる図4の方法より好ましいだろう。重質末端流からの回収を含むシラン精製方法次に図5を参照すると、本願開示の実施形態に係るシランを精製するための別の方法が概略的に示されており、シラン含有流7を重質末端蒸留塔15に導入して、シラン含有流7に比べてシラン増加した塔頂留分43とシラン減少した塔底留分31とを生成する。シラン含有流7は、シランと、シランより沸点の高い1つ以上の化合物を含んでいる。重質末端蒸留塔15中に導入する前に、シラン含有流7は、凝縮され圧縮されてもよい。本明細書において、重質末端蒸留塔とは、重質末端蒸留塔の供給流又は、2つ以上の供給流を用いる場合は複数の供給流から、シランより沸点の高い化合物の少なくとも約50wtを分離する蒸留塔を指す。通常は、これらの分離された化合物は、重質末端蒸留塔15からシラン減少した塔底留分31に取り除かれる。シラン減少した塔底留分31は、シランの量を含んでおり、シラン含有流7に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加している。本願開示のいくつかの実施形態では、塔底留分31は、シラン含有流7中におけるシランより沸点の高い化合物の少なくとも約50wtを含み、他の実施形態中では、シラン含有流7中におけるシランより沸点の高い化合物の少なくとも約60wt、少なくとも約75wt、少なくとも約90wt、さらには少なくとも約95wtを含んでいる。シラン減少した塔底留分31は、少なくとも約20wtのシランを含んでいてもよく、他の実施形態では、少なくとも約40wt、少なくとも約60wt、少なくとも約80wt、少なくとも約90wt又は少なくとも約93wtのシランを含んでいる。通常に、塔底留分31は、シランより沸点の高い化合物が増加している。シラン含有流7がシランより沸点の低い化合物を含む実施形態では、、塔頂留分43は、これらの化合物が増加し、塔底留分31は、これらの化合物が減少する。重質末端蒸留塔15は、当業者に認識されているように、シランから、シランより沸点の高い化合物を分離するのに適した温度及び圧力で操作することができる。この点に関して、塔底留分31の比較的高い温度は、通常は塔底留分31中のシランの量を低減するが、シラン増加した塔頂留分43中の不純物の量を増加させる。従って、蒸留塔15は、塔頂留分43中の不純物の量が精製操作において許容できないような温度未満で操作されてもよい。例えば、重質末端蒸留塔15は、約10°C未満の塔底留分31の温度において操作されてもよく、他の実施形態では、約0°C未満、約10°C未満で、約20°C未満、約30°C未満、さらには約40°C未満例えば、約50°C~約10°C、約50°C~0°C、又は40°C~0°Cの温度で操作されてもよい。蒸留塔15は、約1250kPa~約3000kPa、又は約1500kPaから約2500kPaの圧力で操作されてもよい。重質末端蒸留塔15から放出する際に、シラン減少した塔底留分31は、慣例通りに中和されて、廃棄流として処分される。本願開示によれば、塔底留分31を処理して、かなりの量のシランを回収できることが分かった。本願開示のいくつかの実施形態では、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31は、シラン回収分離ユニット10に導入されて、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31に比べてシラン増加した留分13とシラン減少した留分8とを生成する。シラン増加した留分13は、シラン増加した留分13を重質末端蒸留塔15に戻して再循環することによって、使用するために回収されてもよく、後述するように、重質末端蒸留塔15に加えて、軽質末端蒸留塔が使用される実施形態では、軽質末端蒸留塔に再循環するのでもよい。さらに後述するように、シラン増加した留分13は、さらに処理されかつ又は精製されてもよい。シラン回収分離ユニット10は、シランより沸点の高い化合物からシランを分離するのに適したいずれかの1つのユニットさらには、2つ以上のユニットであってもよい。例えば、ユニット10は、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31を、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分8に比べてシラン増加した塔頂留分13とシラン減少した塔底留分31とに分離する、1つ以上の蒸留塔であってもよい。シラン回収分離ユニット10が蒸留塔である実施形態では、蒸留塔は、シラン回収蒸留塔10からの放出の際に、シラン減少した塔底留分8の温度が約10°C~約80°C又は約20°C~約50°Cとなるように操作されてもよい。蒸留塔10は、塔頂の圧力が約1500kPa~約2600kPa、又は約1700kPa~約2200kPaで操作されてもよい。シラン回収分離ユニット10から生成されて成り、使用するために回収されるシラン増加した塔頂留分13は、少量の不純物を含んでいてもよい。しかしながら、塔頂留分13は、少なくとも約90wtのシランを含んでいてもよく、他の実施形態では、少なくとも約92wt、少なくとも約95wt、又は少なくとも約97wtのシラン例えば、約90wt~約999wt、又は約95wt~約999wtを含んでいてもよい。代わりに又はそれに加えて、重質末端蒸留塔15から生成された塔底留分31中のシランの少なくとも約80wtは、シラン回収分離ユニット10から生成された塔頂留分13中に回収され、他の実施形態では、塔底留分31中のシランの少なくとも約75wt、少なくとも約85wt、少なくとも約90wt、少なくとも約93wt、少なくとも約96wt、さらには約98wt例えば、約75wt~約999wt、約85wt~約999wt、又は約93wt~約999wtが塔頂留分13中に回収される。シラン回収分離ユニット10から生成されて成るシラン減少した塔底留分8は、処理され、そして環境中に排出することにより処分されてもよい。本願開示の実施形態によれば、シラン回収分離ユニット10の使用により、シラン回収分離ユニット10を使用していない従来の方法に比べて、中和されて処分される廃棄ガスの量を低減することができる。例えば、塔底留分31の少なくとも約30wtは、シラン回収分離ユニット10から生成された塔頂留分13中に回収されてもよく、他の実施形態では、重質末端蒸留塔15から生成された塔底留分31の少なくとも約40、少なくとも約50、少なくとも約60、さらには少なくとも約70例えば、約30~約90、約30~約80、又は約40~約80が、塔頂留分13中に回収されてもよい。塔底留分8は、最小量のシランを含んでいるのが好ましく、いくつかの実施形態では、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31中のシランの約10wt未満を含んでいる。他の実施形態では、塔底留分8は、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31中のシランの約75wt未満、約5wt未満、約25wt未満、又は約1未満を含んでいる。本願開示のいくつかの実施形態では、処理前のシランはまた、シランより沸点の低い化合物を含んでいてもよい。処理前のシランが、シランより沸点の低いそのような化合物を含んでいる場合、軽質末端蒸留塔5処分されてもよい。代わりに、上述したように、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11は、シランを回収するために処理されてもよい。シラン回収分離ユニット10から生成された塔頂留分13は、留分を軽質末端蒸留塔5に再循環して回収されてもよい。重質末端蒸留塔15と、シラン回収分離ユニット10と、軽質末端蒸留塔5とは、従来の方法に比べてシランの損失量の少ないシランの精製が可能である。また、例えば本願開示のいくつかの実施例によれば、図6の方法での廃棄流の中のシランの合計量は、シラン含有流3のシランの約15wt未満であり、他の実施形態では約10wt未満、約5wt未満、又は約3wt未満である。一般的に、トリクロロシランがシランの最終生成物を生成する一連の不均化と蒸留の工程を通じて得られる方法とは対照的に、シランを精製するための本願開示の実施形態において、供給流3の成分は、軽質末端蒸留塔5から生成された塔頂留分11として、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43として、シラン回収分離ユニット10から生成されて成るシラン増加した塔頂留分13として、又はシラン回収分離ユニット10から生成されたシラン減少した塔底留分8として放出されるまで、実質的にどんな反応も受けない。いくつかの実施形態では、供給流3はエチレンの量を含んでおり、その大部分は、軽質末端蒸留塔5から生成される塔底留分7内に分離され、そして軽質末端蒸留塔15から生成されるシラン増加した塔頂留分43に分離される。ここで図7を参照すると、米国特許第4554141号、第5206004号及び第5211931号に開示されているようにその各々は、すべての関連し一致した目的のために、参照して本明細書に組込む、塔頂留分43を吸着器52に導入してエチレンの一部を除去し例えば、より容易にシランから分離可能な別の化合物に変換し、エチレン減少排出流54を形成することにより、エチレンをシランから分離することができる。吸着器52は、エチレンの一部をシランと反応させてエチルシランを形成するモレキュラーシーブであってもよい。吸着器52は、約10°C~約100°C又は約0°C~約60°Cの温度において、約1500kPa~約2600kPa約220psia~約380psia又は約1700kPa~約2200kPa約250psia~約320psiaの圧力下で操作してもよい。エチルシランを含んで成るエチレン減少した排出流54をエチルシラン蒸留塔60に導入して、吸着器から生成されて成るエチレン減少した排出流に比べると、精製されたシラン生成物を含むエチルシラン減少した塔頂留分62と、エチルシラン増加した塔底留分64と、を生成する。エチルシラン増加塔底留分64は、そのエチルシラン増加塔底留分64を軽質末端蒸留塔5に導入することによって再利用されてもよい。エチルシラン減少塔頂留分62は、重量で約10ppm未満のエチレン及びエタンを含んでもよく、さらには約1ppm未満、約01ppm未満、そしてさらには約001ppm未満のエチレン及びエタンを含んでもよい。エチルシラン蒸留塔60は、約10°C~約100°C、又は約0°C~約60°Cの温度において、約1500kPa~約2600kPa、又は約1700kPa~約2200kPaの圧力下で操作してもよい。本願開示のとある他の実施例では、軽質末端蒸留塔5は、シラン含有流7を重質末端蒸留塔15に導入した後に、シランより沸点の低い化合物を取り除いてもよい。図8に示すように、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43を軽質末端蒸留塔5に導入して、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43に比べて、シランより沸点の低い化合物を含んでいるシラン減少した塔頂留分11と、シラン増加した塔底留分6と、を生成する。シラン含有流7がエチレンを含む実施形態では、ほとんどのエチレンは、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン増加した塔底留分6に分離されてもよい。図7に示し且つ上述したような方法及びシステムにおいて、シラン増加した塔底留分6を、吸着器とエチルシラン蒸留塔とに導入してもよい。この点に関して、また上で検討したように、軽質末端蒸留5が重質末端蒸留15より前に行われる図6及び図7の方法は、重質末端蒸留15が軽質末端蒸留5より前に行われる図8の方法より好ましいだろう。軽質末端流及び重質末端流の両方からの回収を含むシラン精製方法上述の方法は、廃棄流からさらにシランを回収するために、組み合わせて操作されてもよい。図9に示すように、シランより沸点の高い1つ以上の化合物と、シランより沸点の低い1つ以上の化合物とを含むシラン含有流3を、軽質末端蒸留塔5に導入して、シラン含有流3に比べてシラン減少した塔頂留分11とシラン増加した塔底留分6とを生成する。シラン減少した塔頂留分11は、シランを含み、シランより沸点の低い化合物が増加している。軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11は、コンデンサー37内で冷却されて、シランの一部がそこで凝縮される。シラン凝縮した塔頂留分42を気液セパレーター38に導入して、ガス流35と、凝縮したシランを含む液体流51とを生成する。軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中のシランの一部を凝縮するために、熱交換器36中で、液体流51を、シラン減少した塔頂留分11と熱的に接触させてもよい。蒸発流32は、およそ周囲温度まで例えば加熱装置中で加熱して、軽質末端蒸留塔5に導入されてもよい。軽質末端蒸留塔5から生成して成るシラン増加した塔底留分6は、重質末端蒸留塔15に導入されて、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン増加した塔底留分31に比べてシラン増加した塔頂留分43とシラン減少した塔底留分6とを生成する。シラン減少した塔底留分31は、シランを含み、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン増加した塔底留分6に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加している。重質末端蒸留塔15から生成して成るシラン減少した塔底留分31をシラン回収分離ユニット10に導入して、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31に比べてシラン増加した塔頂留分13とシラン減少した塔底留分8とを生成する。シラン含有流3がエチレンを含むいくつかの実施形態では、大部分のエチレンは、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43に分離されてもよい。シランからエチレンを分離するために、図7に示し且つ上述したような方法及びシステムにおいて、塔頂留分43を、吸着器とエチルシラン蒸留塔とに導入してもよい。この点に関して、図9に示す装置例えば、軽質末端蒸留、重質末端蒸留、コンデンサー、シラン回収ユニットなどは、先に説明したように操作してもよいと理解されるべきである。通常は、シラン含有流3の成分は、軽質末端蒸留塔5から生成された塔頂留分11として、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43として、又はシラン回収分離ユニット10から生成されて成るシラン減少した塔底留分8として放出されるまで、実質的にどんな反応も受けない。図9に示す方法は、廃棄流中のシランを回収するのを可能にする。凝縮したシラン51から分離されたガス流35中のシランの量は、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分中のシランの約10wt未満であってもよく、他の実施形態では、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中のシランの約8wt未満、約6wt未満、又は約4wt未満であってもよい。これら及び他の実施形態では、シラン回収分離ユニット10から生成されて成るシラン減少した塔底留分8中のシランの量は、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31中のシランの約10wt未満であってもよく、他の実施形態では、シラン回収分離ユニット10から生成されて成るシラン減少した塔底留分8中のシランの量は、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31中のシランの約75wt未満、約5wt未満、約25wt未満、又は約1未満であってもよい。図9の方法及びシステムにおいて損失したシランの合計量に関して、ガス流35と、シラン回収分離ユニット10から生成されて成るシラン減少した塔底留分8との中のシランの量の合計は、シラン含有流3中のシランの約10wt未満であてもよく、又はシラン含有流3中のシランの約5wt未満、約3wt未満、約1wt未満、約05wt未満、さらには約03wt未満であってもよい。この点に関して、上述した方法は並列的に操作されてもよく例えば、並列的にシランを精製する装置の2つのトレインを使用してもよい、様々なトレインからのフローを組み合わせてもよく、及び/又は処理フローを方法のどの時点で分離してもよい、と理解されるべきである。さらに、この点に関して、上述の装置は、並列に又は直列に操作される1つ以上のユニットを含んでもよい、と理解されるべきであり、そして、単一ピースの装置への言及は、限定する意味として見なされるべきではない。図1~図9に示したシステム及び方法は典型例であり、図説されたシステム及び方法は、制限されることなしに、任意の組み合わせの中で使用されてもよい、と理解されるべきである。軽質末端流、重質末端流、又は軽質末端流と重質末端流との両方からシランを精製するシステム本願開示の方法は、例えば図1~図9に示し且つ上述したシステムなど、シランを精製するためのシステム内で実施されるだろう。いくつかの実施形態において、図1に示すように、システムは、シランとシランより沸点の低い1つ以上の化合物とを含むシラン含有流3を精製する。システムは、シラン含有流3に比べてシラン減少した塔頂留分11とシラン増加した塔底留分6とを生成するための軽質末端蒸留塔5を含んでおり、シラン減少した塔頂留分11は、シランとシランより沸点の低い化合物とを含む。システムはまた、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中のシランの一部を凝縮するためのコンデンサー37と、ガス流35と凝縮したシランを含む液体流51とを生成するための気液セパレーター38と、を含んでいる。システムはまた、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11をコンデンサー37に搬送するための搬送装置と、シラン凝縮された塔頂留分42を気液セパレーター38に搬送するための搬送装置とを含んでいる。熱交換器36は、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中のシランの一部を凝縮するために、液体流51を、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11と熱的に接触させるために使用されてもよい。搬送装置は、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11を、熱交換器36に搬送し、また、搬送装置は、熱交換器36内で生成されて成る部分的に凝縮したシラン減少した塔頂留分41を、コンデンサー37に搬送する。搬送装置は、液体流32又はその蒸発生成物を、軽質末端蒸留塔5内に搬送する。いくつかの実施形態では、システムは、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン増加した塔底留分6に比べてシラン増加した塔頂留分43とシラン減少した塔底留分31とを生成するために、重質末端蒸留塔15を含んでおり、シラン減少した塔底留分は、シランより沸点の高い化合物が増加している。搬送装置は、シラン増加した塔底留分6を、軽質末端蒸留塔5から重質末端蒸留塔15に搬送する。代わりに、図4に示すように、重質末端蒸留塔15は、軽質末端蒸留塔5に分離する前に材料を分離してもよく、搬送装置は、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分3を、軽質末端蒸留塔5に搬送する。シラン含有流3がエチレンを含む実施形態では、さらに後述するように、重質末端蒸留塔から生成されて成るシラン増加した塔頂留分に比べると、精製されたシラン生成物を含むエチルシラン減少した塔頂留分と、エチルシラン増加した塔底留分と、を生成するために、システムは吸着器とエチルシラン蒸留塔とを含んでいてもよい。処理前のシランがシランより沸点の高い化合物を含んでいる本願開示の実施形態では、図5に示すように、システムは、シラン含有流7に比べてシラン増加した塔頂留分43とシラン減少した塔底留分31とを生成するための重質末端蒸留塔15を含み、シラン減少した塔底留分31は、シランを含み、シラン含有流7に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加している。システムはまた、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31に比べてシラン増加した塔頂留分13とシラン減少した塔底留分8とを生成するための、シラン回収分離ユニット10を含んでいる。搬送装置は、重質末端蒸留塔15から生成されたシラン減少した塔底留分31を、シラン回収分離ユニット10に搬送する。図6を参照すると、システムはまた、軽質末端蒸留塔5に導入されるシラン含有供給流3に比べて、シランより沸点の低い化合物が増加しているシラン減少した塔頂留分11と、シランより沸点の低い化合物が減少しているシラン増加した塔底留分7と、を生成するための軽質末端蒸留塔5を含んでいてもよい。搬送装置は、シラン増加した塔底留分7を重質末端蒸留塔15に搬送する。搬送装置は、シラン回収分離ユニット10から生成されて成るシラン増加した塔頂留分13を、軽質末端蒸留塔5に搬送する。代わりに、図8に示すように、重質末端蒸留塔15は、軽質末端蒸留塔5に分離する前に材料を分離してもよく、搬送装置は、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43を、軽質末端蒸留塔5に搬送する。図7を参照すると、シラン含有流3がエチレンを含む実施形態では、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43からエチレンの一部を取り除くために、そしてエチレン減少した排出流54を形成するために、システムは吸着器52を含んでいてもよい。搬送装置は、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン増加した塔頂留分43を、吸着器52に搬送する。吸着器52は、エチレンの一部をシランと反応させてエチルシランを形成するモレキュラーシーブであってもよい。システムは、エチルシラン蒸留塔60を含み、搬送装置は、エチレン減少した排出流54をエチルシラン蒸留塔60に搬送する。エチルシラン蒸留塔60は、吸着器52から生成されたエチレン減少した排出流54に比べて、精製されたシラン生成物を含みエチルシラン減少した塔頂留分62と、エチルシラン増加した塔底留分64と、を生成する。搬送装置は、エチルシラン増加した塔底留分64を、軽質末端蒸留塔5内に搬送する。いくつかの実施形態において、図9に示すように、システムは、シラン含有流の精製方法において、軽質末端流と重質末端流との両方からシランを回収してもよい。図9に示すように、システムは、シラン含有流3に比べてシラン減少した塔頂留分11とシラン増加した塔底留分6とを生成するための軽質末端蒸留塔5を含み、シラン減少した塔頂留分11は、シランと、シランより沸点の低い化合物とを含む。コンデンサー37は、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中のシランの一部を凝縮する。システムは、ガス流35と凝縮したシランを含む液体流51とを生成するための気液セパレーター38を含んでいる。搬送装置は、シラン凝縮した塔頂留分42を、コンデンサーから気液セパレーター38まで搬送する。軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11中のシランの一部を凝縮するために、液体流51を、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11と熱的に接触させるための熱交換器36を、システムは含んでいる。搬送装置は、液体流51又はその蒸発生成物を、軽質末端蒸留塔5に搬送する。搬送装置は、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン減少した塔頂留分11を、熱交換器36に搬送する。搬送装置は、熱交換器36内で生成されて成る部分的に凝縮したシラン減少した塔頂留分41をコンデンサー37に搬送する。システムは、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン増加した塔底留分6に比べてシラン増加した塔頂留分43とシラン減少した塔底留分31とを生成するための、重質末端蒸留塔15を含み、シラン減少した塔底留分31は、シランを含み、シラン増加した塔底留分6に比べるとシランより沸点の高い1つ以上の化合物が増加している。システムは、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31に比べてシラン増加した塔頂留分13とシラン減少した塔底留分8とを生成するために、シラン回収分離ユニット10を含んでいる。図9に示したシステムによれば、搬送装置は、軽質末端蒸留塔5から生成されたシラン減少した塔頂留分11を、コンデンサー37に搬送する。搬送装置は、軽質末端蒸留塔5から生成されて成るシラン増加した塔底留分6を、重質末端蒸留塔15に搬送する。搬送装置は、重質末端蒸留塔15から生成されて成るシラン減少した塔底留分31を、シラン回収分離ユニット10に搬送する。搬送装置は、シラン回収分離ユニット10から生成されて成るシラン増加した塔頂留分13を、軽質末端蒸留塔5に搬送する。シラン含有流3がエチレンを含む実施形態では、さらに上述したように、システムは、重質末端蒸留塔15から生成されて成る塔頂留分43からエチレンを取り除くために、吸着器とエチルシラン蒸留塔とを含んでいてもよい。この点に関して、図1~図9のシステムで使用される好適な搬送装置は、本技術分野で周知である。ガス移転に適した搬送装置は、例えば、再循環ファン又は送風機を含んでいる。液体搬送に適した搬送装置は、例えば、ポンプ及びコンプレッサを含んでいる。この点に関して、本明細書における搬送装置の表現の使用は、システムのあるユニットから別のユニットに直接に移動することを意味することを意図するものではなく、どちらかといえば、単に材料が、あるユニットから別のユニットに、多数の間接的な移転部分及び/又は機構によって移動される、と理解されるべきである。例えば、材料が、あるユニットから別の処理ユニットに搬送され、そして第2のユニットに搬送されてもよい。この例において、中間処理装置自体を含む運搬ユニットの各々は搬送装置と見なすことができ、搬送装置の表現は、限定する意味として見なされるべきではない。好ましくは、シラン精製用のシステムに利用される装置はすべて、システム内で使用される化合物及び生成される化合物に露出されることを含む環境中での腐食に強い。構造に適した材料は、従来のもので且つ本願開示の分野で周知のものであり、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、モネル合金、インコネル合金、ハステロイ合金、ニッケル、グラファイト例えば、押し出ししたもの又はイソ成型されたもの、及び炭化ケイ素例えば、転換グラファイト又は押し出ししたものを含んでいる。軽質末端蒸留操作からのシラン回収のモデル化軽質末端蒸留塔の塔頂留分からのシラン回収は、ASPENモデリングソフトウェアを用いてモデル化された。軽質末端蒸留操作からの塔頂留分は、1825kPaで94°Cに冷却された交換器に導入される。凝縮した液体供給の55wtと蒸気供給の45wtとを含んで成る部分的に凝縮した塔頂留分は、液体窒素で冷却されたコンデンサーに導入される。コンデンサーは、1825kPaよりわずかに低い圧力において、部分的に凝縮した塔頂留分を129°Cに冷却する。シラン凝縮した塔頂留分は、98wtの純粋さの液体シラン供給の77wtと、蒸気とを含んでいる。液体シラン流は、窒素、メタン、水素、エタン及びエチレンを含んでいてもよい。圧縮流は、デミスターを含み1825kPaよりわずかに低い圧力で作動する気液セパレーターに導入されて、軽質末端蒸留塔から生成されたシラン減少した塔頂留分に比べてシラン減少したガス流軽質末端蒸留塔から生成された塔頂留分の23wtとシラン増加した液体流軽質末端蒸留塔から生成された塔頂留分の77wtとを生成する。ガス流は、中和及び処分の前に、自然対流フィン型交換器によって暖められる。コンデンサーのエネルギー必要量を低減するために、液体流を交換器に導入して、軽質末端蒸留塔から生成された塔頂留分と熱を交換させる。液体流は、交換器内で完全に蒸発し、そして対流フィン型交換器内でさらに暖められる。蒸発した液体流は、新鮮な処理前のシランと結合され、2170kPaに圧縮されて、軽質末端蒸留操作に導入される。重質末端蒸留操作からのシラン回収のモデル化重質末端蒸留塔の塔頂留分からのシラン回収は、ASPENモデリングソフトウェアを用いてモデル化された。軽質末端蒸留と重質末端蒸留とを含みシラン回収蒸留を含まないシステムが、最初にモデル化された。システムは、処理前のシランシランより沸点の低い化合物08wtと、シランより沸点の高い化合物18wtとを含む974wtシランが、軽質末端蒸留塔に導入される2つの操作トレインを含んでいる。第1及び第2トレインの軽質末端蒸留塔の各々は、処理前のシランに比べてシラン増加した塔底留分とシラン減少した塔頂留分とを生成する。塔頂留分は、供給内のシランの3を含んでいた。軽質末端蒸留塔からの塔底留分は、各々が重質末端蒸留塔に導入されて、軽質末端蒸留塔で生成された塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成した。重質末端蒸留塔から生成された塔底留分は、供給からのシランの34wtを含み、塔頂留分は、供給内のシランの966wtを含んでいた。塔頂留分は、温度26°C14°F、2032kPa280psigであった。シランの収率は938wtであり、シランの33wtは重質末端蒸留塔の塔底留分中に失われた。上述のシステムは、重質末端蒸留塔から生成された塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成するために、シラン回収蒸留塔に導入される各トレインの重質末端蒸留塔から生成された塔底留分によって、モデル化された。シラン回収蒸留塔から生成された塔底留分は、中和されて処分されてもよく、塔頂留分は、軽質末端蒸留塔に戻して再利用される。シラン回収蒸留塔の塔底留分は、温度36°C、1793kPa260psigである。このシステムでは、重質末端蒸留塔から生成された塔底留分は、供給内のシランの37wtを含んでおり、重質末端蒸留塔から生成された塔頂留分それは、シラン生成物として使用されてもよく、任意で、例えばエチレンの除去などのさらなる処理の後であってもよいは、供給内のシランの963wtを含んでいる。シランの収率は971wtであり、シラン回収蒸留塔を含んでいなかったシステムより3wtの増加である。重質末端蒸留操作からの商業規模のシラン回収商業規模のシステムは、処理前のシランが軽質末端蒸留塔に導入される2つの操作トレインを含んでいた。第1及び第2トレインの軽質末端蒸留塔は、各々が、処理前のシランに比べてシラン増加した塔底留分とシラン減少した塔頂留分とを生成した。軽質末端蒸留塔からの塔底留分は、各々が重質末端蒸留塔に導入されて、軽質末端蒸留塔で生成された塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成した。各トレインの重質末端蒸留塔から生成された塔底留分は、シラン約60wtに濃縮され、温度40°C104°F、圧力2000kPa275psigでシラン回収蒸留塔に導入されて、重質末端蒸留塔から生成された塔底留分に比べてシラン増加した塔頂留分とシラン減少した塔底留分とを生成した。シラン回収カラムは、塔頂の圧力1320kPa177psig、カラムを横切る圧力差22kPaで操作された。塔底の温度は17°Cだった。シラン回収カラムは、シラン濃度988wtの塔頂留分と、シラン濃度77wtの塔底留分とを生成し、塔底留分に対する塔頂留分の重量比は131であった。塔頂留分は、軽質末端蒸留塔に再循環され、塔底留分は、中和されて処分された。シランの約94は、シラン回収蒸留塔によって回収された。この点に関して、実施例1~3に記載された操作条件は典型的であり、他の条件を用いてもよいと理解されるべきである。本願開示又は好ましい実施形態の要素を導入するときに、1つのa、1つのan、そのthe及び前記saidという記載は、1つ以上の要素があることを意味している。含んでなるcomprising、含むincluding、及び有するhavingという語句は、包括的な意味であって、言及した要素以外の要素が存在してもよいことを意味することを意図している。上記の装置及び方法において、本願開示の範囲から逸脱することなしに様々な変更を行なうことが可能であるので、上記の説明に含まれ且つ添付の図面に図示された全ての事項が例示であると解釈されるべきであり、限定する意味としては解釈されるべきではないことを意図するものである。