"開口装置APDを備える光学系であって、前記開口装置APDが、前記光学系を通過する光線束RBの横断面を可変に規定するための複数の開口素子を備え、前記開口装置が、前記光学系のビーム経路における係合位置と光学系のビーム経路外のニュートラル位置との間で第1の回転軸線RA1を中心として旋回可能であり、第1開口エッジAR1によって規定された第1開口を有する第1開口素子AE1と、前記光学系のビーム経路における係合位置と光学系のビーム経路外のニュートラル位置との間で第2の回転軸線RA2を中心として旋回可能であり、第2開口エッジAR2によって規定された、前記第1開口よりも小さい第2開口を有する少なくとも1つの第2開口素子AE2とを備え、係合位置に旋回された開口素子AR1,AR2が有効開口を形成し、旋回位置に旋回される前記開口素子の開口エッジが共通の面に位置しないように構成されていることを特徴とする光学系。請求項1に記載の光学系において、係合位置に旋回される前記開口素子の前記開口エッジが、少なくとも一方向に湾曲した共通の面CS、好ましくは回転対称面、特に球面状または円錐状に湾曲した面に位置する光学系。請求項1または2に記載の光学系において、前記開口装置が、少なくとも2個、好ましくは3個以上の旋回可能な開口素子AE1,AE2,AE3,AE4,AE5を備える光学系。請求項1から3までのいずれか一項に記載の光学系において、前記開口装置が、同軸的な回転軸線RA1,RA2,RA3を中心として旋回可能な少なくとも2個の旋回可能な開口素子を備え、好ましくは開口装置の全ての旋回可能な開口素子が、同じ回転軸線を中心として旋回可能である光学系。請求項1から4までのいずれか一項に記載の光学系において、共通の旋回駆動部ADが、2個以上の旋回可能な開口素子AE1,AE2,AE3、特に全ての旋回可能な開口素子のために設けられている光学系。請求項1から5までのいずれか一項に記載の光学系において、第2開口素子AE2が、外側部分O2と内側部分I2とを有し、該内側部分I2が、第2開口に直接に接続し、前記外側部分O2に対して突出しており、前記第2開口素子AE2の前記内側部分I2によって規定された前記第2開口が、前記第1開口に対して、前記外側部分とは反対側に配置されるように前記内側部分を第1開口に挿入することができる光学系。請求項1から5までのいずれか一項に記載の光学系において、前記第2開口素子が、外側部分と内側部分とを有し、該内側部分が、前記第2開口に直接に接続し、前記外側部分に対して突出しており、前記第2開口素子の前記内側部分によって規定された前記第2開口が、前記第1開口に対して前記第2開口素子の外側部分と同じ側に位置するように前記内側部分を前記第1開口内に挿入することができる光学系。請求項1から7までのいずれか一項に記載の光学系において、前記開口装置に、前記開口素子を能動的に冷却するための冷却装置が設けられている光学系。請求項1から8までのいずれか一項に記載の光学系において、前記光学系POが、ミラー面MS2,MSを有する少なくとも1つのミラーM2,Mを備え、前記開口装置が前記ミラーの近傍に配置され、有効開口が、二重ビーム経路の領域でミラー面の前方に配置される光学系。請求項1から9までのいずれか一項に記載の光学系において、前記ミラー面MS2,MSが凸面状または凹面状の曲率を有し、係合位置に旋回された前記開口素子AE1,AE2,AE3の前記開口エッジAR1,AR2,AR3によって規定された湾曲面CSが、ミラー面の曲率に適合されている光学系。請求項1から10までのいずれか一項に記載の光学系において、有効開口AP8が、円形とは異なる形状を有している光学系。請求項1から11までのいずれか一項に記載の光学系において、光学系POが入射面、射出面、および入射面と射出面との間に配置された少なくとも1つの瞳面P1を有し、開口装置APDが前記瞳面に配置されているか、または前記瞳面の近傍に配置されている光学系。本発明の課題は、異なる寸法の開口を、素早く、高い位置精度で光学系のビーム経路に移動させることができる光学系のための開口装置を提案することである。開口装置は、特に極紫外線EUVを用いたマイクロリソグラフィ用光学系で使用するために適しているが、ビーム経路の排気領域の清浄度または汚染防止に関して特に厳しい要求がある。特に、開口装置により、寸法の異なる開口を用いて光学系の光学特性の改善を可能とすることを目的とする。この課題は、開口装置を備える光学系であって、開口装置が、光学系を通過する光線束の横断面を可変に規定するための複数の開口素子を備え、開口装置が、光学系のビーム経路における係合位置と光学系のビーム経路外のニュートラル位置との間で第1の回転軸線を中心として旋回可能であり、第1開口エッジによって規定された第1開口を有する第1開口素子と、光学系のビーム経路における係合位置と光学系のビーム経路外のニュートラル位置との間で第2の回転軸線を中心として旋回可能であり、第2開口エッジによって規定された、前記第1開口よりも小さい第2開口を有する少なくとも1つの第2開口素子とを備え、係合位置に旋回された開口素子が有効開口を形成し、旋回位置に旋回される前記開口素子の開口エッジが共通の面に位置しないように構成されている本発明による光学系によって解決される。有利な改良形態が従属請求項に規定されている。全ての請求項の記載内容は参照により本明細書に組み込まれるものとする。本発明による開口装置を使用した場合、大きい有効開口と小さい有効開口との間の切換は、大きい開口を規定する第1開口素子が既に係合位置に配置されており、小さい開口を有する少なくとも1つの第2開口素子が旋回され、開口装置の有効開口を形成することによって行われる。係合位置に旋回される開口素子の開口エッジは共通平面に位置していないので、開口装置によって、ビーム経路に沿った様々な位置で異なる開口幅を設定するためにビーム経路の規定を行うことが可能である。したがって、換言すれば、旋回可能な開口素子を備える開口装置が設けられており、光線経路に沿った有効開口の位置を、開口直径の関数として所定の形式で変化させることができる。いわゆる平坦な開口装置において有効開口が開口直径とは無関係に光学系のビーム経路の同じ平面または同じ位置に常に位置する場合と比較して、本発明による開口装置を使用した場合、開口直径に応じて、開口装置の領域のビーム経路に有効開口の位置を的確に適合させることができる。その結果、例えば、いわゆる開口収差または開口曲率を有する光学系の場合、様々に異なる開口により改善された光学特性を得ることが可能となる。さらに絞りを狭める場合に口径食の問題を適切に低減または回避することが可能である。開口装置は、旋回可能な2つの開口素子を備えていてもよい。これにより、異なった開口直径および/または異なった形状の開口を有する有効開口の2個の異なる位置を得ることが可能である。幾つかの実施形態では、開口装置は少なくとも3個の旋回可能な開口素子を備え、例えば、3個、4個、5個、6個以上の別個の開口素子を有している。その結果、光学系の使用条件に有効開口を微細に段階的に適合させることが可能となる。2個以上の旋回可能な開口素子、例えば3個、4個または5個の開口素子を同軸的な回動軸線を中心として旋回させることができる。好ましくは、開口装置の全ての旋回可能な開口素子は、同じ回転軸線を中心として旋回可能である。このために、共通の旋回駆動部を設けることが可能であり、これにより、スペースを節約した簡単な構成で開口素子の正確な駆動が可能となる。本発明による幾つかの実施形態では、係合位置に旋回される開口素子の開口エッジは、少なくとも一方向に湾曲された共通の面、例えば回転対称的な面、特に球面状または円錐状に湾曲された面に位置する。このように、旋回可能な開口素子によって、例えば、球面状に湾曲した面の場合には球面状の開口または円錐状に湾曲した面の場合には円錐状の開口を実施することが可能である。開口エッジによって規定される湾曲面は、非対称的な面形状を有していてもよい。すなわち、空間で自由に湾曲した面を含んでいてもよい。例えばEUVマイクロリソグラフィの場合に生じるように、像収差のアスペクト比が高い場合、すなわち、像視野の高さと幅との間の差が大きい場合、共通の湾曲面は、例えば円筒状の面であってもよく、例えば、曲率は、好ましくは像視野の長い方の側に沿って延在する。本発明による開口装置では、大きい開口から小さい開口に切り換える際に、比較的小さい開口またはより小さい開口を有するさらなる開口を有する第2開口素子がそれぞれのニュートラル位置からそれぞれの係合位置に旋回される場合に、比較的大きい開口を有する開口素子を旋回された係合位置に保持することができる。この場合、係合位置に旋回された開口素子は開口素子のスタックを形成してもよい。比較的小さい開口を有する開口素子は、この場合、比較的小さい開口を有する絞り素子は比較的大きい開口を有する開口素子の側から補助的に旋回される。大きい方の開口と小さい方の開口とを異なる方向にずらすことが可能である。したがって、係合位置に旋回された開口素子の開口エッジによって規定される湾曲面は、実質的に凸面状または実質的に凹面状の曲率を有している。便宜上、より大きい開口を有する開口素子について、より小さい開口を有する開口素子に向いた側を第1の側と呼び、より小さい開口を有する開口素子に向いていない側を、第2の側と呼ぶ。幾つかの実施形態では、比較的小さい内側の開口は、それぞれにより大きい開口に対して第1の側に対してずらして配置されている。すなわち、第1の側で、小さい方の開口を有する開口素子は、大きい方の開口を有する開口素子に対して補助的に旋回される。したがって、比較的大きい開口を有する開口素子の、補助的に旋回された小さい開口を有する開口素子が位置する側に小さい方の開口が位置する。このような曲率は、実質的にプレート状またはディスク状の異なる寸法の開口を有する開口素子によって容易に実施することができる。係合位置に旋回された開口素子の開口エッジによって規定される面を反対の曲率とすることも可能である。このために、幾つかの実施形態では、第2開口素子は、外側部分と内側部分とを備え、内側部分は開口に隣接し、外側部分に対して突出し、第1開口内に挿入される。この場合、第2開口素子の内側部分によって規定された第2開口は、第1開口素子における第2開口素子の外側部分に向かい合った側に、第1開口を超えて配置される。突出した内側部分は、例えば円錐形状を有していてもよい。これにより、異なった光線角度を有する光線束さえもが第2開口素子における口径食なしに第2開口を通過することができる。開口素子の回転軸線の配置および配向は、光学系における設置状況に適合させることができる。一実施形態では、第1および第2回転軸線は同軸的に配置されており、したがって、第1開口素子および第2開口素子は同じ回転軸線を中心として旋回可能である。特に、開口装置の全ての旋回可能な開口素子例えば、3個、4個、5個または6個以上の開口素子の回転軸線を同軸的に配置してもよい。この場合、これらの開口素子は、単一の共通した駆動部によって特に簡単に旋回させることができる。しかしながら、第1および第2回転軸線は、異なった場所に配置してもよいし、または異なる配向としてもよい。例えば、第2回転軸線は、第1回転軸線に対して、特に光線束の通過方向に対して第1回転軸線の反対側に平行にずらして配置してもよい。開口素子は、光線束の異なった側からそれぞれの係合位置に旋回させることができる。第1および第2回転軸線は相互に所定の角度で、特に直角に配向することが可能である。例えば、2つの開口素子は、相互に90°だけずれた方向に内外に旋回させることができる。一般に、開口素子の回転軸線は、それぞれの開口によって規定される平面に対して平行に位置している。しかしながら、このことは不可欠ではない。むしろ、回転軸線は開口によって規定される平面に対して所定の角度とすることが可能である。例えば、回転軸線は、開口によって規定される平面に対して垂直方向であってもよい。好ましくは、開口装置は、ビーム経路に沿って、光線束の光線が有限の開口、すなわち、異なる光線角度を有する位置に配置され、したがって、開口装置は平行ではないビーム経路の領域に位置する。例えば、光学系は、入射面、射出面、および入射面と射出面との間に配置された少なくとも1つの瞳面を有し、開口装置は、瞳面または瞳面の近傍に配置してもよい。このように、開口装置は開口絞りとして使用することができる。開口装置は、必要に応じてビーム経路に実質的に平行な領域に配置してもよい。開口装置は、係合位置に旋回される開口素子が光線束の単一ビーム経路の領域に配置されるように位置決めしてもよい。この位置は、例えば、光学的に2つのミラーの間またはレンズとミラーとの間または2つのレンズの間に位置する。幾つかの実施形態では、光学系は、ミラー面を備える少なくとも1つのミラーを有し、開口装置は、有効開口が二重ビーム経路の領域でミラー面の前方に配置されるように、ミラーの近傍に配置される。このように、ミラー面に向けられる光線もミラー面から反射される光線も有効開口を通過することができる。この場合、例えばミラーが光学系の瞳面の近傍に位置し、開口装置が開口絞りとして使用されることが好ましい。ミラー面が凸面または凹面状の曲率を有し、係合位置に旋回された開口素子の開口エッジによって規定される湾曲面がミラー面の曲率に適合されている場合、特に有利である。これにより、有効開口は任意の開口直径でミラー面の近傍に適切に位置し、口径食の問題を防止することができる。特に開口装置が二重ビーム経路の領域に配置されており、円形開口を有する開口素子が使用される場合、光線束の口径食がミラーへの入射光線の経路またはミラーからの反射光線の経路で生じ得る。幾つかの実施形態では、この問題は、円形とは異なる形状を有する有効開口によって防止される。開口は、例えば、卵形または楕円形であってもよい。楕円形の開口エッジを有する開口および開口直径の関数として開口エッジの楕円性を変更することができる開口が、例えば、本明細書出願人による反射屈折性投影対物レンズの分野における国際公開第2004/010164号により既知である。米国特許第7,221,516号明細書は、EUVマイクロリソグラフィ用投影対物レンズのための開口装置を開示しており、この開口装置の開口は、口径食を防止するために非円形の形状を有している。ここに記載されているタイプの旋回可能な開口素子を備える開口装置は、本明細書に記載の開口装置の代わりに使用することができる。この点で、国際公開第2004/010164号および米国特許第7,221,516号明細書の開示内容は参照により本明細書の内容に組み込まれるものとする。上記特徴およびさらなる特徴は請求項のみならず、詳細な説明および図面からも明らかであり、個々の特徴は、それぞれ独立して、または複数の特徴を組み合わせて本発明の一実施形態または他の分野で実施することができ、固有に保護可能な有利な実施形態を構成することができる。以下に例示的な実施形態を図面に示し、詳細に説明する。図1には、好ましい例示的な実施形態に基づきEUV投影対物レンズPOの一般的な構成が示されている。EUV投影対物レンズPOは、物体平面OSに配置されたレチクルのパターンなどを、物体平面に平行に配向された像平面ISに、例えば4:1の比率で縮小された寸法で結像するための役割を果たす。結像は、特に約13.4nmの作動波長で、極紫外線領域EUVからの電磁光線によって行われる。この光線は、以下では単に光とも呼ぶ。投影対物レンズによって構成された光学系は、光線束に作用する反射光学素子ミラーのみを備える。物体平面OSと像平面ISとの間には、湾曲したミラー面を有する全部で6個のミラーM1~M6が配置されており、像平面および物体平面に対して垂直な共通の光軸OAを規定するように、相互に同軸的に配置されている。ミラーM1~M6の反射性ミラー表面は回転対称的な球面を備え、これらの球面の対称軸線は共通の機械的軸線OAと一致する。この実施例では、物体は、集積回路のパターンを有するマスクレチクルであるが、例えば格子などの異なるパターンを含んでいてもよい。本実施例では、基板としての役割を果たし、レジスト層を備えるウェーハに像が形成されるが、例えば、液晶ディスプレイの素子用の基板または光回折格子用の基板など他の基板も同様に可能である。投影時に物体平面OSと像平面ISとの間を通過する光線束RBが、図1には選択したビームに基づき示されている。軟X線のための光源を備える照明系図示しないからの光は、物体平面OSの像側から、物体平面OSに配置された反射性マスクMにまず入射する。反射された光は、物体に向いた凹状のミラー面を有する第1ミラーM1に入射し、このミラー面は、入射光線をわずかに収縮させた形で第2ミラーM2に向けて反射する。第2ミラーM2は、第1ミラーM1に向いた凹状ミラー面を有し、このミラー面は、収束された光線束として第3ミラーM3の方向に光線を反射する。第3ミラーM3は、凸状ミラー面を有し、このミラー面は、入射光線を光軸から外れるように第4ミラーM4の凹状ミラー面の方向に反射する。第4ミラーM4は、光軸から大きく外れたミラー領域で用いられ、入射光線を反射し、像平面ISの近傍に配置された第5ミラーM5には実際の中間像IMIが形成される。第5ミラーは、像平面に向いていない凸状ミラー面を有し、このミラー面は、入射する発散光線を第6ミラーM6の方向に反射する。第6ミラーM6は、像平面ISに向いた凹状ミラー面を有し、このミラー面は、入射光線を反射し、像平面ISに集束する。全てのミラーM1~M6は、排出可能なハウジングHの内部に収容されており、ハウジングHのハウジング壁は、図1に破線で示されている。ミラーM1~M6の全ての反射面は、反射率を増大させる反射コーティングを被覆されている。好ましい実施形態は、例えば、約40層の交互の層ペアによる層スタックを含み、交互の層ペアはそれぞれケイ素層とモリブデン層とを備える。投影対物レンズは、例えば、米国特許第6,927,901号明細書特許文献1に開示された投影対物レンズの構成にしたがって構成してもよい。この関連で、特許文献1の開示内容は、参照により本明細書に組み込まれるものとする。ステップアンドスキャン動作用に構成された6ミラーシステムは、軸外環状視野で作動し、2×26mm2の一般的な視野寸法でNA=0.25の開口数を達成する。平坦な物体平面OSとこれと光学的に共役の平坦な像平面ISとの間の光学結像は2段階で行われ、単一の実際の中間像IMIが生成される。この場合、第1ミラーM1、第2ミラーM2、第3ミラーM3および第4ミラーM4を備える第1対物レンズ部分は、-1に近い結像倍率で中間像IMIを生成する。次いで中間像は、第5ミラーM5と第6ミラーM6とによって形成された第2対物レンズ部分によって、縮小倍率で像平面ISに結像される。物体平面OSと中間像との間で、第1瞳面P1は、第2ミラーM2の凹状ミラー面に隣接している。中間像IMIと像平面ISとの間の第2瞳面P2は、幾何学的および光学的に第5ミラーと第6ミラーとの間に位置する。開口装置APDが第1瞳面P1の領域に配置されており、開口装置は、可変に設定することができる開口を有する開口絞りとしての役割を果たし、これにより、投影時に実際に使用される像側の開口数が決定される。開口装置APDは、図2に別の概略図でも示されており、より多数の開口素子を備え、同様に用いることのできる変化態様が図5に示されている。開口装置は第1開口素子AE1を備え、開口素子AE1は、光学系のビーム経路における図1に示す係合位置とビーム経路外のニュートラル位置との間で、第1回転軸線RA1を中心として旋回駆動部ADによって旋回可能である。第1開口素子AE1は、第1開口エッジAR1によって規定された円形の第1開口を有する。開口素子の係合位置で、上記開口エッジは開口素子の光規定エッジとして作用し、凹面ミラーからの往路および凹面ミラーからの復路で開口を通過する全ての光線は結像に貢献することができ、凹面ミラーへの往路または凹面ミラーにおける反射後に凹面ミラーからの復路に開口の外側で入射する光線は遮断される。さらに開口装置は第2開口素子AE2を備え、第2開口素子AE2は、光学系のビーム経路における係合位置とビーム経路外のニュートラル位置との間で、第1回転軸線RA1と同軸的な第2回転軸線RA2を中心として同じ旋回駆動部ADによって旋回可能である。第2光学素子AE2は第2開口を備える。第2開口は第2開口エッジAR2によって規定され、第1開口よりも小さい。円形開口の場合、開口の大きさを開口の直径によって規定することができ、本実施例の場合、第2開口の直径は、第1開口の直径よりも著しく小さい。一般に、第2開口の直径は、第1開口の直径の95未満である。第2開口素子AE2は、図1ではビーム経路外のニュートラル位置で示されている。さらに開口装置は第3開口素子AE3を備え、第3開口素子AE3は、同じ旋回駆動部ADによって、第1回転軸線RA1および第2回転軸線RA2と同一の第3回転軸線RA3を中心として、光学系のビーム経路における係合位置とビーム経路外のニュートラル位置との間で旋回可能である。第3光学素子は第3開口を備え、第3開口は第3開口エッジAR2によって規定され、第1開口よりも著しく小さい。第3開口素子AE3は、図1ではニュートラル位置で示されており、図2では係合位置で示されている。回転軸線RA1、RA2およびRA3は、関連した開口によって規定された開口平面に対してそれぞれ平行に位置し、開口装置を設置した状態では投影対物レンズの光軸OAに対して垂直方向に位置している。他の実施形態では2個のみの旋回可能な開口素子が設けられている。図4および図5に示すように、4個以上の開口素子、例えば4個または5個以上の開口素子を設けることも同様に可能である。図6の実施形態の場合と同様に、開口装置は4個の旋回可能な開口素子を備え、全ての可動な開口素子は、共通した単一の旋回駆動部ADによって駆動される。旋回駆動部ADは、例えば、投影露光装置の制御装置によって駆動される電動モータを含んでいてもよい。開口素子は、電動モータの出力軸SHにジョイントによって取り付けられており、一方向へ軸を回転させた場合には時間間隔をおいて続けて全ての開口素子を係合位置に旋回させることができ、モータ軸を反対方向に回転させた場合には、開口素子は間隔をおいて続けてニュートラル位置に旋回される。このために、適宜な駆動装置が軸に設けられている。軸伝動技術から既知のような駆動装置として構成してもよい。図2から特によくわかるように、係合位置に旋回された開口素子AE1,AE2およびAE3の開口エッジAR1,AR2およびAR3は、破線で示した共通の湾曲面CSに位置する。湾曲面CSは、本実施例では球面、すなわち、球状に湾曲した面である。このことは、係合位置に旋回された開口素子の開口エッジが共通の平面に位置せず、方向AXに対して平行に相互にずらされていることにより達成される。方向AXは光軸OAと一致していてもよい。より正確には、第1開口エッジAR1は第1開口平面AP1を規定し、第1開口エッジAR2は第2開口平面AR2を規定し、第3開口エッジAR3は第3開口平面AR1を規定し、これらの開口平面はそれぞれ相互に平行である。結像時に作動する有効開口は、それぞれ係合位置に配置された最小の開口、すなわち、図1および図2に示した実施例の場合には、第3開口によって決定される。図1および図2からよくわかるように、係合位置に旋回された開口素子は、ミラーM2の反射されたミラー面MS2の近傍に位置し、有効開口は、ミラー面の前方の二重ビーム経路の領域に位置する。光線束の光線が結像に貢献することができるように、第1ミラーM1から第2ミラーM2の方向に反射される光線部分と、第2ミラーM2から第3ミラーM3の方向に反射される光線部分は、いずれも有効開口を通過しなければならない。光線束のエッジに位置し、実際に結像のため必要な光線が開口を介したミラーへの往路またはミラーからの復路において制限される場合、これは口径食と呼ばれ、一般に不都合である。例えば、可変の開口を有する平坦な開口が凹面ミラーM2の前方に設けられている場合、口径食の問題は増大しやすく、開口セットの有効開口は小さくなる。このような問題は、特別な構成の開口装置において、係合位置に旋回される開口素子または開口素子の開口エッジが、ミラー面MS2の曲率と同一な、またはこれに適合された湾曲面CSを規定することにより回避される可能性が大きい。本実施例の場合、開口エッジによって規定される共通の面CSは、ミラー面MS2の凹面曲率に適合させた曲率を有し、したがって、ほぼ同一の曲率半径を有し、軸線AXに対して平行に測定した場合に、旋回された開口エッジとミラー面との間の距離Dが、開口の関連した直径とは無関係に、全ての開口エッジについて同一であるか、またはほぼ同じになる。この距離Dは、ミラー面の直径に関係して、例えば、1、2、3または4ミリメートルのオーダであってよい。ミラー面の直径が10cm~50cmの場合、距離Dは、例えば、ミラー面の直径の1~5であってよい。図2の凹面ミラーM2の実施例では、係合位置に旋回された全ての開口素子の開口は、凹面ミラーの物理的エッジEによって規定される平面と凹面ミラーの頂点Vとの間に位置する。旋回可能な開口素子を使用する場合、ミラー面に隣接したそれぞれの有効開口の有利な配置は特別な構造的手段なしには得られない。なぜなら、開口素子はミラーの反射側からミラーに向けて、またはミラーから離れるように旋回させる必要があり、同時に、最大の開口を有する開口素子は、ミラーの近傍で旋回可能な開口素子の順序で最初に係合位置に旋回させる必要があるからである。しかも共通の面CSをミラー曲率に適合させるためには、第2開口素子すなわち、比較的小さい開口を有する開口素子は外側部分O2と内側部分I2とを有し、内側部分I2は第2開口に直接に接続し、外側部分O2に対して共通の面CSの方向に突出しており、比較的大きい第1開口内に案内される。したがって、第2開口素子の内側部分I2によって規定された第2開口は、第1開口素子AE1における第2開口素子AE2の外側部分O2に向かい合った側に第1開口または開口平面AP2を超えて位置する。換言すれば、第2開口素子AE2の内側部分I2によって規定される第2開口は、第1開口に相対配置することができ、これにより、内側部分I2に向かい合って、すなわち、第1開口の他の側に位置する。したがって、より小さい開口はこのミラーに近い次に大きい開口を通ってミラーの方向に移動される。特に図6に示すように、それぞれの外側部分は、関連した開口に対して平行なプレートの形状を有している。反対に、隣接する内側部分は、円錐台の形状で実施されており、その広い方の端部は外側部分に隣接し、テーパした端部は、関連した開口を規定する。円錐部分の円錐角は、光学系のビーム経路、すなわち、光線束の経路に適合させてもよい。したがって、内側部分の内側、または外側部分にさえもビームは入射せず、内側部分における直径が小さい方の端部は光規定エッジ、すなわち、有効開口エッジを形成する。さらに、それぞれの開口素子の回転軸線と、内側部分との間の距離、および相対位置は、より小さい開口を有する開口素子が内外に旋回された場合に、既に係合位置に配置されているより大きい開口を有する開口素子と衝突しないように寸法決めされていることが望ましい。図3は、開口装置APDの例示的な実施形態を示し、開口装置APDの旋回可能な開口素子は、係合位置で、凹面ミラーMの凸状に湾曲したミラー面MSの前方に直接に配置されている。図2の実施形態のように、係合位置に配置された開口素子の開口エッジは、共通の球面CSに位置し、この球面の曲率半径は、凸面ミラー面MSの曲率半径に対応している。この場合にも、係合位置に配置された開口素子の開口エッジと、ミラー面との間の軸線方向に平行な距離Dは、全ての開口素子で開口直径とは無関係に実質的に同じであり、この距離は、有効開口の直径とは無関係に、口径食ができるだけ回避されるように十分に小さく寸法決めされている。図3に示す開口装置の特別な構成では、第1開口素子AE1および第2開口素子AE2の開口エッジは、ミラーの頂点Vの前方に間隔をおいて、ミラーの反射側の平面にそれぞれ位置する。これにより、中央部に孔を設けたディスクの形態の構造的に簡単な開口素子の構成が可能となり、開口素子は、ミラーと衝突することなしに凹面ミラーの回転対称軸線AXに対して垂直方向に移動させることができる。したがって、本実施例の場合、開口素子の同軸的な回転軸線RA1およびRA2は、開口によって規定される平面に対して垂直方向に、または軸線AXに対して平行に配向されており、これにより、場合によっては不要な開口素子を軸線AXに対して垂直な旋回面でビーム経路内外に旋回させることができる。本実施例では、凸面ミラーの最も近くに位置する開口素子AE4については、開口素子の開口エッジによって規定される平面は凸面ミラーと交差するので側方の旋回することはできない。この開口素子については、軸線AXに対して垂直方向に延在し、適宜な偏向を行う同じ旋回駆動部ADによって実施することのできる旋回部を設けるか、または別個の駆動部による旋回部を設けることも可能である。図2および図3に示した実施例では、それぞれの開口素子に関連した旋回のための回転軸線は、それぞれの開口によって規定される平面に対して平行に位置しているか、またはこの平面に対して垂直方向に位置している。回転軸線の他の配向、図示の方向に対して斜めの配向、例えば、図示の方向に対して45°の回転軸線の配向も可能である。本発明の実施形態による開口装置は、係合位置に旋回される開口素子が単一ビーム経路の領域に位置するように配置してもよい。図4および図5は、単一ビーム経路を明確にするために、投影対物レンズの物体平面と像平面との間にそれぞれ左側から右側へ軸線方向に平行に延在する光線束の光線を示す。光線束のオープン光線は、開口装置の位置で異なる光線角度を有している。単一ビーム経路の領域では上述の口径食は付随的にしか影響がないか、または全く影響がない。しかしながら、システムの光学特性は、平坦な物体が平坦な像平面に結像されるにもかかわらず、関連した瞳結像部が瞳領域に像視野曲率を有するように設計されている場合もある。このような場合にも、平坦な開口を使用した場合には開口調整時に結像品質が損なわれることもあり、したがって、開口装置を設け、有効開口の軸線方向位置が、有効開口の直径に関係して変化することが好ましい。図4および図5に示した実施形態では、このことは、それぞれ共通の回転軸線を中心として旋回可能な5つの開口素子を有する開口装置を用いて実施される。同一、類似の部分または構成には、図1~図3の部分または構成に対応した参照符号を付す。図4の開口装置APDは、5つの開口素子AE1,AE2,AE3,AE4およびAE5を有し、これらの開口素子は、共通の旋回駆動部によって共通の回転軸線RAを中心として旋回可能であり、図示の係合位置で開口素子のスタックの形式で相互に重ねられている。光入射側に配置され、最大の開口を有する第1開口素子AE1は、開口を形成する切欠きを有する平行な面のプレートの形態で構成されている。他の開口素子は、それぞれプレート状の外側部分と、開口を規定し、隣接するより大きい開口の方向に外側部分に対して円錐状に幾分突出した内側部分とを備える。しかしながら、図1および図2または図6に示した実施形態とは異なり、次に大きい開口に対して小さい開口が、それぞれの開口素子の関連した外側部分と同じ側に位置している。これにより、係合位置に旋回される開口素子の開口エッジによって規定される共通の面CSが、図1および図2に示した実施形態の対応した共通の面と比べて正反対の曲率を有する。旋回可能な開口素子の円錐状の内側部分によって、例えば、共通の球面CSの曲率半径が大きい場合にもそれぞれの光学素子の開口を極めて正確に球面CAに位置決めすることができ、開口のプレート状の外側部分の厚さは限定的なパラメータを構成しない。したがって、異なる寸法の開口が方向AXに対して、開口部分の外側部分の厚さに相当する間隔よりも相互により接近して位置していてもよい。上述のように、開口装置の有効開口は、最小の開口を有する開口素子の係合位置に旋回された開口によってそれぞれ規定される。開口エッジの対応した構成、すなわち、開口素子の光規定エッジが設けられている場合、このような開口装置を図示の配向または反対の配向で、すなわち、180°だけ回動させて、必要に応じてビーム経路に組み込むことができる。設定時の配向は、旋回可能な開口素子の旋回移動に利用できる構成スペースおよび設定場所において有効な開口曲率に応じて決定することができる。図示の実施例では、開口素子の開口はいずれの場合にも円形であり、開口を含む開口エッジは平面に位置している。すなわち、周方向にのみ湾曲されている。しかしながら、いずれの特性も強制的ではない。例として、開口エッジが平面に位置するのではなく、相互に垂直な2つの面に曲率を有しているように開口素子を湾曲させてもよい。これに関して図7は、AE7のプレート状開口の実施例を概略的に示しており、開口素子AE7は、第1円筒軸線CA1を中心として実質的に円筒状に湾曲されている。開口素子は、開口エッジAR7によって取り囲まれる円形の開口AP7を有している。開口エッジは、第1円筒軸線CA1によって規定される円筒と、この円筒を貫通する円筒CY破線で示すとが交差する線として生じ、円筒の円筒軸線第2円筒軸線CA2は第1円筒軸線に対して垂直である。したがって、開口エッジは、第1に開口素子AE7によって規定される円筒状に湾曲した面に位置し、第2にこの円筒状に湾曲した面の軸線に対して垂直方向に配向された円筒面に位置する。その結果、開口エッジは、周方向および貫通する円筒CYの軸線に対して平行な面の両方で湾曲される。このような構成は、例えば、ミラー面が自由面、すなわち、実際のミラー面と最適に適合した球面とのずれが、使用される波長よりも著しく大きい非回転対称的な非球面に相当するミラーの場合には有利である。このような開口素子は、例えば本発明の上記実施形態では、旋回可能な開口素子として実施してもよい。しかしながら、開口素子は、旋回式開口のないシステムで使用することもできる。例えば、開口変化を並進移動によって行うことができるように、このような開口素子を変位可能に第1円筒軸線CA1に対して平行に取り付けてもよい。図8は、開口素子AE8の例を概略的に示す。開口素子AE8の開口エッジAR8によって取り囲まれた開口AP8は、円形とは異なる形状、すなわち、実質的に卵形または楕円形である。このような円形とは異なる開口は、一方側から斜めに下流側の光学素子の方向にミラー面に入射する光線束を反射するミラーの前方に開口装置を配置する場合には特に有利である。図1の例示的な実施形態では、この状態が凹面状の第2ミラーM2の前で得られる。第2ミラーM2は第1ミラーM1からの光線を受け、この光線を第3ミラーM3の方向に反射し、第3ミラーM3の反射面は、光学軸線OAに対して相対的にM1の反射面の反対側に位置する。この状態では、非円形の開口の大きい方の第1直径D1が図示の子午面に位置し、D1よりも小さい第2直径D2が子午面の垂直方向に、すなわち、図平面に対して垂直方向に位置することが好ましい。開口は、特に光線束における斜めに入射する主光線に対して対称的に位置する2本の光線が、いずれも往路および復路で有効開口を通過するか、または開口素子によって遮断されるように寸法決めすることができる。光線経路に関するこのような状況の例、例えば米国特許第7,221,516号明細書に記載されており、その開示内容は、参照により本明細書に組み込まれるものとする。上記例示的な実施形態の開口素子は、それぞれ連続的に湾曲した開口エッジによって構成することができ、したがって、開口は透過フィルタとして機能し、透過率は最大であり、透過関数は方形であり、開口の領域における開口全体にわたって一定である。開口エッジの外側の領域ではゼロに等しく、完全な透過および完全なビーム遮断との間の急激な移行が開口エッジで行われる。しかしながらこのことは不可欠ではない。開口素子は、任意の他の透過率関数を有するフィルタとして構成してもよい。例えば、外側へ移行するにつれて連続的に透過率が減衰する広幅または狭幅の移行領域を、全にビームを遮断する外側領域と完全に透過性の内側領域との間に設けてもよい。このような構成は、例えば、開口エッジの領域に、内側に向いた鋸歯状の縁部を有する開口を設けることにより達成できる。これに関して、開口素子は、方形ではない透過率関数を有する任意のフィルタとして構成してもよい。開口素子AE1,AE2などに代替的または付加的に、図1、図3および図6に関連して説明した旋回駆動部を用いて、さらにフィルタ、拡散プレートおよび/または屈折または反射光学素子をビーム経路外のニュートラル位置から、光学ビーム経路に影響を及ぼす係合位置に移動させることもできる。開口を狭める場合にビーム経路に旋回され、光線の一部を遮断する開口素子の面は、幾つかの実施形態では、例えば、EUV領域で有効な反射コーティングを塗布することによって反射面として構成されている。これにより、部分的に照射された開口素子が不都合に過剰に加熱されることを防止することができる。代替的または付加的に、開口装置には、開口素子を能動的に冷却するための冷却装置が設けられている。例として、冷却液によって冷却することのできる流体通路を開口素子に設けてもよい。"