"基部と、前記基部の重心位置である原点を通るX軸と、前記原点を通り、前記X軸と直交するY軸と、前記原点を通り、前記X軸および前記Y軸と直交するZ軸と、を有する座標軸を定義し、X座標とY座標とがともに正の値をとる領域を第1象限、X座標が負でY座標が正の値をとる領域を第2象限、X座標とY座標とがともに負の値をとる領域を第3象限、X座標が正でY座標が負の値をとる領域を第4象限、と定義したとき、前記X軸に沿って、前記基部から互いに反対方向へ突出している一対の第1突出部と、プラスX軸に沿って突出している前記第1突出部から、前記第1象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第1駆動腕と、プラスX軸に沿って突出している前記第1突出部から、前記第4象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出し、前記第1駆動腕と逆相で振動する第2駆動腕と、を有する第1駆動振動部と、マイナスX軸に沿って突出している前記第1突出部から、前記第2象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第3駆動腕と、マイナスX軸に沿って突出している前記第1突出部から、前記第3象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出し、前記第3駆動腕と逆相で振動する第4駆動腕と、を有する第2駆動振動部と、前記基部から、プラスY軸方向または前記第1象限方向へ延出している第1検出腕と、前記基部から、マイナスY軸方向または前記第4象限方向へ延出している第2検出腕と、を有する第1検出振動部と、前記基部から、プラスY軸方向または前記第2象限方向へ延出している第3検出腕と、前記基部から、マイナスY軸方向または前記第3象限方向へ延出している第4検出腕と、を有する第2検出振動部と、を備えている、ことを特徴とする物理量検出素子。請求項1に記載の物理量検出素子において、前記第1駆動振動部と前記第2駆動振動部との配置および前記第1検出振動部と前記第2検出振動部との配置は、前記Y軸に対してそれぞれ線対称である、ことを特徴とする物理量検出素子。請求項1または2に記載の物理量検出素子において、前記第1突出部の幅は、前記第1突出部から延出している前記第1から第4駆動腕の少なくとも一つの腕幅より大きい、ことを特徴とする物理量検出素子。請求項1から3のいずれか一項に記載の物理量検出素子において、前記第1検出腕は、前記基部から、前記第1象限方向に延出し、前記第2検出腕は、前記基部から、前記第4象限方向に延出し、前記第3検出腕は、前記基部から、前記第2象限方向に延出し、前記第4検出腕は、前記基部から、前記第3象限方向に延出している、ことを特徴とする物理量検出素子。請求項4に記載の物理量検出素子において、前記第1駆動腕と前記第1検出腕との配置は、それぞれ略平行であり、前記第2駆動腕と前記第2検出腕との配置は、それぞれ略平行であり、前記第3駆動腕と前記第3検出腕との配置は、それぞれ略平行であり、前記第4駆動腕と前記第4検出腕との配置は、それぞれ略平行である、ことを特徴とする物理量検出素子。請求項1から5のいずれか一項に記載の物理量検出素子において、前記基部は、Y軸に沿って互いに反対方向へ突出している一対の第2突出部を有し、プラスY軸に沿って突出している前記第2突出部から、前記第1検出腕および前記第3検出腕が延出し、マイナスY軸に沿って突出している前記第2突出部から、前記第2検出腕および前記第4検出腕が延出している、ことを特徴とする物理量検出素子。請求項1から5のいずれか一項に記載の物理量検出素子において、前記基部からプラスY軸に沿って延出している第5検出腕と、前記基部からマイナスY軸に沿って延出している第6検出腕と、を有する第3検出振動部をさらに有している、ことを特徴とする物理量検出素子。請求項6に記載の物理量検出素子において、プラスY軸に沿って突出している前記第2突出部から、プラスY軸に沿って延出している第5検出腕と、マイナスY軸に沿って突出している前記第2突出部から、マイナスY軸に沿って延出している第6検出腕と、を有する、第3検出振動部をさらに有している、ことを特徴とする物理量検出素子。請求項1から8のいずれか一項に記載の物理量検出素子と、前記物理量検出素子を制御する制御回路部と、を備えている、ことを特徴とする物理量検出装置。請求項1から8のいずれか一項に記載の物理量検出素子を備えている、ことを特徴とする電子機器。しかし、従来の技術では、振動漏れを十分に抑制することが困難である、という課題があった。つまり、特許文献1における技術では、駆動腕と検出腕とが基部から延びていて、互いの配置が近い構成であるため、検出腕が駆動腕における駆動振動の影響を受けやすく、振動片に回転が加わっていない状態においても、検出腕が振動してしまい、ノイズ成分が未だ大きい、という課題があった。また、特許文献2における技術では、駆動腕が一方向即ち片側にのみ延びた形態であるため、振動片全体としての運動量を保存することが困難であり、振動漏れを十分に抑制しきれない、という課題があった。そして、特許文献3における技術では、特許文献2と同様、駆動用腕が片側にのみ延びた形態であることに加え、定幅部を検出用腕側に設けた場合の駆動用腕から検出用腕への振動漏れを抑制する効果は、定幅部を駆動用腕側に設けた場合に比べて、小さくなるという知見が得られていて、この対策には定幅部をより幅広にしなくてはならない、という課題があった。本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。[適用例1]本適用例に係る物理量検出素子は、基部と、前記基部の重心位置である原点を通るX軸と、前記原点を通り、前記X軸と直交するY軸と、前記原点を通り、前記X軸および前記Y軸と直交するZ軸と、を有する座標軸を定義し、X座標とY座標とがともに正の値をとる領域を第1象限、X座標が負でY座標が正の値をとる領域を第2象限、X座標とY座標とがともに負の値をとる領域を第3象限、X座標が正でY座標が負の値をとる領域を第4象限、と定義したとき、前記X軸に沿って、前記基部から互いに反対方向へ突出している一対の第1突出部と、プラスX軸に沿って突出している前記第1突出部から、前記第1象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第1駆動腕と、プラスX軸に沿って突出している前記第1突出部から、前記第4象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出し、前記第1駆動腕と逆相で振動する第2駆動腕と、を有する第1駆動振動部と、マイナスX軸に沿って突出している前記第1突出部から、前記第2象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出している第3駆動腕と、マイナスX軸に沿って突出している前記第1突出部から、前記第3象限方向かつ前記X軸に対して斜めに延出し、前記第3駆動腕と逆相で振動する第4駆動腕と、を有する第2駆動振動部と、前記基部から、プラスY軸方向または前記第1象限方向へ延出している第1検出腕と、前記基部から、マイナスY軸方向または前記第4象限方向へ延出している第2検出腕と、を有する第1検出振動部と、前記基部から、プラスY軸方向または前記第2象限方向へ延出している第3検出腕と、前記基部から、マイナスY軸方向または前記第3象限方向へ延出している第4検出腕と、を有する第2検出振動部と、を備えている、ことを特徴とする。この物理量検出素子によれば、駆動振動をする第1駆動振動部および第2駆動振動部は、基部から直接延出しておらず、基部に突出して形成されている第1突出部から延出した構成である。このような第1突出部を駆動振動側に有する物理量検出素子は、第1駆動振動部および第2駆動振動部の振動が、基部を介して第1検出振動部および第2検出振動部へ伝わる、いわゆる振動漏れを効果的に抑制することが可能である。また、第1突出部は、基部から互いに反対方向へ突出しているため、第1駆動振動部および第2駆動振動部の駆動振動によって、基部に生じる可能性のある振動漏れを打ち消す効果も奏する。さらに、物理量検出素子は、第1駆動振動部の第1駆動腕と第2駆動腕とが互いに逆相で振動し、同等に、第2駆動振動部の第3駆動腕と第4駆動腕とが互いに逆相で振動することにより、バランスの良好な駆動振動を励振することができ、不要な振動ノイズ等が発生し難い構成でもある。このように、物理量検出素子は、第1突出部を設けることで、振動漏れの抑制を十分に図れる構成となっている。なお、この構成の物理量検出素子は、例えば、X軸またはY軸まわりの角速度等を検出するのに好適である。[適用例2]上記適用例に係る物理量検出素子において、前記第1駆動振動部と前記第2駆動振動部との配置および前記第1検出振動部と前記第2検出振動部との配置は、前記Y軸に対してそれぞれ線対称である、ことが好ましい。この構成によれば、第1駆動振動部と第2駆動振動部とは、互いに均等な振動となることにより、バランスがとれ安定した駆動振動をすることが可能である。同様に、第1検出振動部と第2検出振動部とは、対象な腕形状のもとでそれぞれ検出振動を検出することができ、検出した物理量の解析がしやすく、且つ安定した検出が可能である。[適用例3]上記適用例に係る物理量検出素子において、前記第1突出部の幅は、前記第1突出部から延出している前記第1から第4駆動腕の少なくとも一つの腕幅より大きい、ことが好ましい。この構成によれば、第1突出部は、第1駆動振動部または第2駆動振動部のうちの少なくともいずれかの腕幅より大きい幅を有していて、これにより、第1駆動振動部または第2駆動振動部と異なる共振振動形態等となり、基部への振動漏れを、より抑制することが可能である。物理量検出素子は、第1突出部を有していれば、振動漏れの抑制を図れるが、第1駆動振動部または第2駆動振動部よりも幅広の第1突出部を有すれば、より一層振動漏れの抑制を図ることが可能である。[適用例4]上記適用例に係る物理量検出素子において、前記第1検出腕は、前記基部から、前記第1象限方向に延出し、前記第2検出腕は、前記基部から、前記第4象限方向に延出し、前記第3検出腕は、前記基部から、前記第2象限方向に延出し、前記第4検出腕は、前記基部から、前記第3象限方向に延出している、ことが好ましい。この構成によれば、例えば、第1検出腕は、第1象限方向へ延出していて、その延出している象限方向は第1駆動腕と同じである。ここで、第1駆動腕に、物理量検出素子の回転等を検出するための振動が生じた場合、第1検出腕には、該振動に呼応して検出振動が生じることになる。この場合、第1検出腕が、第1駆動腕と同じ第1象限方向へ延出していることにより、第1検出腕に、該振動に呼応する検出振動が生じやすくなり、物理量検出素子の検出精度の向上が図れる。これは、第2駆動腕と第2検出腕、第3駆動腕と第3検出腕、および第4駆動腕と第4検出腕、とにおいても、同様のことが言える。[適用例5]上記適用例に係る物理量検出素子において、前記第1駆動腕と前記第1検出腕との配置は、それぞれ略平行であり、前記第2駆動腕と前記第2検出腕との配置は、それぞれ略平行であり、前記第3駆動腕と前記第3検出腕との配置は、それぞれ略平行であり、前記第4駆動腕と前記第4検出腕との配置は、それぞれ略平行である、ことが好ましい。この構成によれば、駆動振動をしている第1駆動振動部第1駆動腕および第2駆動腕に、例えば、物理量検出素子の回転等を検出するための振動が生じた場合、第1検出振動部第1検出腕および第2検出腕には、該振動に呼応して検出振動が生じることになる。ここで、第1検出振動部の各振動腕が、対応する第1駆動振動部の振動腕と略平行であることにより、第1検出振動部に、該振動に呼応する検出振動がより生じやすくなり、物理量検出素子における検出精度のさらなる向上が図れる。これは、第2駆動振動部と第2検出振動部とにおいても、同様のことが言える。[適用例6]上記適用例に係る物理量検出素子において、前記基部は、Y軸に沿って互いに反対方向へ突出している一対の第2突出部を有し、プラスY軸に沿って突出している前記第2突出部から、前記第1検出腕および前記第3検出腕が延出し、マイナスY軸に沿って突出している前記第2突出部から、前記第2検出腕および前記第4検出腕が延出している、ことが好ましい。この構成によれば、検出振動をする第1検出腕および第3検出腕を有する第1検出振動部と、同じく検出振動をする第2検出腕および第4検出腕を有する第2検出振動部とは、基部からY軸に沿って互いに反対方向へ突出して形成されている第2突出部から延出した構成である。このような第2突出部を検出振動側に有する物理量検出素子は、第1駆動振動部および第2駆動振動部の振動が、基部を介して第1検出振動部および第2検出振動部へ伝わる、振動漏れをより効果的に抑制することが可能である。物理量検出素子は、第1突出部に加え、第2突出部を有することにより、ほぼ完璧に振動漏れの抑制が可能である。なお、この場合、第2突出部を含めて基部であり、第1検出振動部および第2検出振動部は、基部から延出していると言える。[適用例7]上記適用例に係る物理量検出素子は、前記基部からプラスY軸に沿って延出している第5検出腕と、前記基部からマイナスY軸に沿って延出している第6検出腕と、を有する第3検出振動部をさらに有している、ことが好ましい。この構成によれば、物理量検出素子は、第1検出振動部および第2検出振動部と同じ原理で検出振動を検出する第3検出振動部を有し、第3検出振動部は、基部からY軸に沿って延出している構成である。このような物理量検出素子は、例えば、X軸またはY軸まわりの角速度等を検出することに加え、第3検出振動部によってZ軸まわりの角速度等も検出することができ、単体で同時に3軸の角速度等の検出が可能である。[適用例8]上記適用例に係る物理量検出素子は、プラスY軸に沿って突出している前記第2突出部から、プラスY軸に沿って延出している第5検出腕と、マイナスY軸に沿って突出している前記第2突出部から、マイナスY軸に沿って延出している第6検出腕と、を有する、第3検出振動部をさらに有している、ことが好ましい。この構成によれば、物理量検出素子は、第1検出振動部および第2検出振動部と同じ原理で検出振動を検出する第3検出振動部を有し、第3検出振動部は、基部からY軸に沿って突出して形成されている第2突出部から延出している構成である。このような第2突出部から延出する第3検出振動部を有する物理量検出素子は、第1駆動振動部および第2駆動振動部の振動が、基部を介して第3検出振動部へ伝わる振動漏れをより一層抑制することが可能である。このような物理量検出素子は、例えば、X軸またはY軸まわりの角速度等を検出することに加え、第3検出振動部によってZ軸まわりの角速度等も検出することができ、第1検出振動部、第2検出振動部および第3検出振動部への振動漏れを抑制しつつ、単体で同時に3軸の角速度等の検出が可能である。[適用例9]本適用例に係る物理量検出装置は、上記適用例のいずれかに記載の物理量検出素子と、前記物理量検出素子を制御する制御回路部と、を備えている、ことを特徴とする。この物理量検出装置によれば、少なくとも第1突出部を有することにより、振動漏れを抑制して、例えば角速度等をはじめとした物理量の検出精度を、大きく向上させることが可能である。[適用例10]本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の物理量検出素子を備えている、ことを特徴とする。この電子機器によれば、振動漏れを抑制して物理量の検出精度を向上することが可能な、物理量検出素子を備えていることにより、高精度なセンサー機能を備えることができ、機器性能の向上を図ることが可能である。以下に、本発明の物理量検出素子における、好適な一例について、添付図面を参照して説明する。ここでは、振動特性の良好な圧電性材である水晶を素材とする、ジャイロ素子物理量検出素子について述べる。最初に、ジャイロ素子の素材である水晶について説明する。物理量検出素子としてのジャイロ素子は、六角柱をなす水晶柱から切り出される。この水晶柱は、柱の長手方向に光軸であるz軸と、z軸に垂直な電気軸であるx軸および機械軸であるy軸とを有していて、いわゆる六方晶の性質を有している。このような水晶柱において、ジャイロ素子は、x-y平面を、x軸とy軸との交点座標原点からみてx軸まわりに角度5度傾けた平面に沿う、水晶z板から切り出されたものである。即ち、水晶柱から切り出されたジャイロ素子の座標軸は、x請求項におけるX軸,y’請求項におけるY軸,z’請求項におけるZ軸となる。以下では、ジャイロ素子の形状に係る各実施形態について、まず説明し、その後、図5を参照して、ジャイロ素子の物理量検出の動作原理を説明する。実施形態1図1は、実施形態1におけるジャイロ素子の構成を示す平面図である。図1に示すように、ジャイロ素子物理量検出素子1は、基部2の重心この場合基部2の中央位置を原点とするX,Y,Z座標において、X-Y平面に沿って腕等が延出する形態をなしている。なお、このX,Y,Z座標は、原点を通るX軸と、原点を通りX軸と直交するY軸と、原点を通りX軸およびY軸と直交するZ軸と、を有する座標軸である。また、この座標軸において、X座標とY座標とがともに正の値をとる領域を第1象限、X座標が負でY座標が正の値をとる領域を第2象限、X座標とY座標とがともに負の値をとる領域を第3象限、X座標が正でY座標が負の値をとる領域を第4象限、と定義する。そして、ここでいうX軸,Y軸,Z軸は、請求項におけるX軸,Y軸,Z軸に該当する。また、請求項におけるプラスX軸、プラスY軸、プラスZ軸は、X、Y、Zで表し、マイナスX軸、マイナスY軸、マイナスZ軸は、X-、Y-、Z-で表す。ジャイロ素子1は、Y軸方向を長辺とする四角形状の基部2と、基部2の長辺中央からX軸方向へ突出した第1突出部3aと、第1突出部3aの先端から、この場合X軸に対して30度の角度で、第1象限の方向へ延出した第1駆動腕11aと、第1突出部3aの先端から、X軸に対して30度の角度で、第4象限の方向へ延出した第2駆動腕11bと、を有している。これら第1駆動腕11aおよび第2駆動腕11bは、第1駆動振動部11として機能する。また、ジャイロ素子1は、基部2の長辺中央からX-軸方向へ突出した第1突出部3bと、第1突出部3bの先端から、X軸に対して30度の角度で、第2象限の方向へ延出した第3駆動腕12aと、第1突出部3bの先端から、X軸に対して30度の角度で、第3象限の方向へ延出した第4駆動腕12bと、を有している。これら第3駆動腕12aおよび第4駆動腕12bは、第2駆動振動部12として機能する。なお、第1駆動腕11a乃至第4駆動腕11dは、必ずしも第1突出部3a,3bの先端から延出している必要はなく、第1突出部3a,3bの途中からそれぞれ延出している構成であっても良い。そして、X-Y平面視において、第1突出部33a,3bの幅sと、第1駆動腕11a、第2駆動腕11b、第3駆動腕12aおよび第4駆動腕12bの各腕幅tとは、s>tの関係となっている。さらに、ジャイロ素子1は、基部2における第1象限の角部基部2のX軸側から、第1駆動腕11aと平行に延出する第1検出腕13aと、基部2における第4象限の角部から、第2駆動腕11bと平行に延出する第2検出腕13bと、基部2における第2象限の角部基部2のX-軸側から、第3駆動腕12aと平行に延出する第3検出腕14aと、基部2における第3象限の角部から、第4駆動腕12bと平行に延出する第4検出腕14bと、を有している。これら第1検出腕13a、第2検出腕13b、第3検出腕14aおよび第4検出腕14bは、腕幅tで形成されている。また、これら第1検出腕13aおよび第2検出腕13bは、第1検出振動部13として機能し、第3検出腕14aおよび第4検出腕14bは、第2検出振動部14として機能する。そして、ジャイロ素子1では、第1駆動振動部11と第2駆動振動部12とが、この場合Y軸を中心にして線対称に配置されており、同様に、第1検出振動部13と第2検出振動部14とが、Y軸を中心にして線対称に配置されている、といえる。ここで、第1突出部3aから突出した第1駆動振動部11および第1突出部3bから突出した第2駆動振動部12は、それぞれの腕の断面が矩形状であって、対をなす面にそれぞれ設けられた励振電極不図示を有している。この励振電極は、電圧が印加されると、第1駆動腕11a、第2駆動腕11b、第3駆動腕12aおよび第4駆動腕12bを屈曲させることにより、各腕を振動させる。この場合、第1駆動腕11aと第2駆動腕11bとは、逆相で振動する構成になっていて、第1駆動腕11aがX軸側へ屈曲すると、第2駆動腕11bもX軸側へ屈曲し、第1駆動腕11aがX軸から離反する側へ屈曲すると、第2駆動腕11bもX軸側から離反する側へ屈曲する。同様に、第3駆動腕12aと第4駆動腕12bとは、逆相で振動する構成になっていて、第3駆動腕12aがX軸側へ屈曲すると、第4駆動腕12bもX軸側へ屈曲し、第3駆動腕12aがX軸から離反する側へ屈曲すると、第4駆動腕12bもX軸側から離反する側へ屈曲する。さらに、第1駆動腕11aと第3駆動腕12aとが同相で振動し、第2駆動腕11bと第4駆動腕12bとが同相で振動するようになっている。また、第1検出振動部13および第2検出振動部14は、それぞれの腕の断面が矩形状であって、対をなす面にそれぞれ設けられた検出電極不図示を有している。この検出電極は、ジャイロ素子1にX軸またはY軸まわりに角速度等が印加された際に、第1検出振動部13および第2検出振動部14の各腕が屈曲することによって生じた電圧を電気信号として取り出すための電極である。即ち、第1検出振動部13および第2検出振動部14は、ジャイロ素子1に印加された角速度等を検出し、電気信号として出力する作用を担っている。これについては、図5を参照して後述する。以上説明した実施形態1におけるジャイロ素子1の主要な効果としては、第1突出部3a,3bを有することにより、第1駆動振動部11および第2駆動振動部12の振動が基部2を介して第1検出振動部13および第2検出振動部14へ伝わる、振動漏れを効果的に抑制できる、ことが挙げられる。また、第1突出部3a,3bを振動振幅の大きい第1駆動振動部11および第2駆動振動部12側に設けているため、振動漏れ抑制効果が大きい。さらに、ジャイロ素子1は、第1突出部3a,3bが基部2から互いに反対方向へ突出していること、と、第1駆動腕11aと第2駆動腕11bとが互いに逆相で振動し、同様に、第3駆動腕12aと第4駆動腕12bとが互いに逆相で振動すること、とにより、バランスの良好な駆動振動を励振することができる。このようなジャイロ素子1は、X軸またはY軸まわりの角速度等を検出するのに好適な素子である。実施形態2次に、ジャイロ素子の他の形態について説明する。図2は、実施形態2におけるジャイロ素子の構成を示す平面図である。実施形態2におけるジャイロ素子20は、第1検出振動部13と第2検出振動部14との延出位置が、実施形態1におけるジャイロ素子1とは異なっている。一方、ジャイロ素子20の機能は、ジャイロ素子1とほぼ同様であり、従って、異なっている部分以外は、同符号を付与し、説明を省略する。図2に示すように、ジャイロ素子20は、実施形態1におけるジャイロ素子1と同様な基部2、第1突出部33a,3b、第1駆動振動部11および第2駆動振動部12を有している。そして、ジャイロ素子20は、基部2の短辺中央からY軸方向へ突出した第2突出部4aを有し、第2突出部4aの先端から、第1駆動腕11aと平行に延出する第1検出腕13aと、第2突出部4aの先端から、第3駆動腕12aと平行に延出する第3検出腕14aと、を有している。さらに、ジャイロ素子20は、基部2の短辺中央からY-軸方向へ突出した第2突出部4bを有し、第2突出部4bの先端から、第2駆動腕11bと平行に延出する第2検出腕13bと、第2突出部4bの先端から、第4駆動腕12bと平行に延出する第4検出腕14bと、を有している。これら第1検出腕13aおよび第2検出腕13bは、第1検出振動部13として機能し、第3検出腕14aおよび第4検出腕14bは、第2検出振動部14として機能する。なお、第1検出腕13a乃至第4検出腕13dは、必ずしも第2突出部4a,4baの先端から延出している必要はなく、第2突出部4a,4bの途中からそれぞれ延出している構成であっても良い。そして、X-Y平面視において、第2突出部44a,4bは、幅sを有し、第1検出腕13a、第2検出腕13b、第3検出腕14aおよび第4検出腕14bの各腕幅tとは、s>tの関係となっている。このジャイロ素子20の動作原理については、図5を参照して後述する。以上のような構成のジャイロ素子20の主要な効果としては、第1検出振動部13と第2検出振動部14とが基部2から突出して形成されている第2突出部44a,4bのいずれかから延出した構成であるため、第1駆動振動部11および第2駆動振動部12の振動が、基部2を介して第1検出振動部13および第2検出振動部14へ伝わる振動漏れを、ジャイロ素子1の場合よりもさらに抑制できる、ことが挙げられる。なお、この場合、第2突出部4を含めて基部2であって、第1検出振動部13および第2検出振動部14は、基部から延出していると言うことができる。実施形態3次に、ジャイロ素子の他の形態について説明する。図3は、実施形態3におけるジャイロ素子の構成を示す平面図である。実施形態3におけるジャイロ素子30は、実施形態1におけるジャイロ素子1に、第3検出振動部15が追加された形態である。従って、第3検出振動部15以外は、同符号を付与し、説明を省略する。図3に示すように、ジャイロ素子30は、実施形態1におけるジャイロ素子1の構成に加え、基部2の短辺中央からY軸方向へ突出した第5検出腕15aと、基部2の短辺中央からY-軸方向へ突出した第6検出腕15bと、を有している。第5検出腕15aと第6検出腕15bとは、腕幅tを有し第3検出振動部15として機能する。第3検出振動部15は、それぞれの腕の断面が矩形状であって、対をなす面にそれぞれ設けられた検出電極不図示を有している。この検出電極は、ジャイロ素子1にZ軸まわりに角速度等が印加された際に、第5検出腕15aおよび第6検出腕15bの各腕が屈曲することによって生じた電圧を電気信号として取り出すための電極である。即ち、第3検出振動部15は、ジャイロ素子30に印加された角速度等を検出し、電気信号として出力する作用を担っている。これについては、図5を参照して後述する。以上のような構成のジャイロ素子30の主要な効果としては、X軸またはY軸まわりの角速度等を検出することに加え、Z軸まわりの角速度等も検出することができ、単体で同時に3軸の角速度等の検出ができる、ことが挙げられる。実施形態4次に、ジャイロ素子の他の形態について説明する。図4は、実施形態4におけるジャイロ素子の構成を示す平面図である。実施形態4におけるジャイロ素子40は、第1突出部3および第2突出部4を有する、実施形態2におけるジャイロ素子20に、第3検出振動部15が追加された形態である。この第3検出振動部15は、実施形態3における場合と同様に、腕幅t図3の形状および検出機能を有している。図4に示すように、ジャイロ素子40は、実施形態2におけるジャイロ素子20の構成に加え、第2突出部4aからY軸方向へ突出した第5検出腕15aと、第2突出部4bからY-軸方向へ突出した第6検出腕15bと、を有している。第5検出腕15aと第6検出腕15bとは、第3検出振動部15として機能する。第3検出振動部15は、実施形態3のジャイロ素子30における第3検出振動部15と同様の機能を有し、Z軸まわりの角速度等を検出する。これについては、図5を参照して後述する。以上のような構成のジャイロ素子40の主要な効果としては、X軸またはY軸まわりの角速度等を検出することに加え、Z軸まわりの角速度等も検出することができ、さらに、第1検出振動部13および第2検出振動部14への振動漏れを抑制することに加え、第3検出振動部15への振動漏れをも抑制しつつ、単体で同時に3軸の角速度等の検出ができる、ことが挙げられる。次に、実施形態1~4におけるジャイロ素子1,20,30,40の動作原理について説明する。ここでの動作原理の説明は、X軸、Y軸、Z軸に係る角速度物理量を検出できる、ジャイロ素子40の場合を代表例にして行なう。図5aは、ジャイロ素子におけるX軸まわりの角速度の検出を示す平面図、図5bは、ジャイロ素子におけるY軸まわりの角速度の検出を示す平面図、図5cは、ジャイロ素子におけるZ軸まわりの角速度の検出を示す平面図である。まず、図5aを参照して、X軸まわりの角速度の検出について説明する。ジャイロ素子40の第1駆動振動部11および第2駆動振動部12は、既述したように、互いに逆相で振動駆動振動をしている。この状態で、ジャイロ素子40をX軸のまわりに回転させると、第1駆動腕11aおよび第3駆動腕12aには、Z軸方向のコリオリ力が働き、Z軸方向の検出振動が発生する。同様に、第2駆動腕11bおよび第4駆動腕12bには、第1駆動腕11aおよび第3駆動腕12aと反対方向のZ軸方向にコリオリ力が働き、Z軸方向の検出振動が発生する。そして、第1検出腕13aは、第1駆動腕11aの検出振動に呼応して、第1駆動腕11aと同じようにZ軸方向に検出振動をし、第3検出腕14aは、第3駆動腕12aの検出振動に呼応して、第3駆動腕12aと同じようにZ軸方向に検出振動をする。また、第2検出腕13bは、第2駆動腕11bの検出振動に呼応して、第1検出腕13aと反対方向のZ軸方向に検出振動をし、第4検出腕14bは、第4駆動腕12bの検出振動に呼応して、第3検出腕14aと反対方向のZ軸方向に検出振動をする。即ち、第1検出腕13aおよび第3検出腕14aと、第2検出腕13bおよび第4検出腕14bとは、互いに異なる位相で検出振動をすることになる。ジャイロ素子40では、これら第1検出腕13a、第2検出腕13b、第3検出腕14aおよび第4検出腕14bの検出振動により発生する、電気信号を検出することにより、コリオリ力の大きさを知得でき、ジャイロ素子40に加えられたX軸まわりの角速度の大きさを認識することができる。次に、図5bを参照して、Y軸まわりの角速度の検出について説明する。ジャイロ素子40の第1駆動振動部11および第2駆動振動部12は、既述したように、互いに逆相で振動をしている。この状態で、ジャイロ素子40をY軸のまわりに回転させると、第1駆動腕11aおよび第2駆動腕11bには、Z軸方向のコリオリ力が働き、Z軸方向の検出振動が発生する。同様に、第3駆動腕12aおよび第4駆動腕12bには、第1駆動腕11aおよび第2駆動腕11bと反対方向のZ軸方向にコリオリ力が働き、Z軸方向の検出振動が発生する。そして、第1検出腕13aは、第1駆動腕11aの検出振動に呼応して、第1駆動腕11aと同じようにZ軸方向に検出振動をし、第2検出腕13bは、第2駆動腕11bの検出振動に呼応して、第2駆動腕11bと同じようにZ軸方向に検出振動をする。また、第3検出腕14aは、第3駆動腕12aの検出振動に呼応して、第1検出腕13aと反対方向のZ軸方向に検出振動をし、第4検出腕14bは、第4駆動腕12bの検出振動に呼応して、第2検出腕13bと反対方向のZ軸方向に検出振動をする。即ち、第1検出腕13aおよび第2検出腕13bと、第3検出腕14aおよび第4検出腕14bとは、互いに異なる位相で検出振動をすることになる。ジャイロ素子40では、これら第1検出腕13a、第2検出腕13b、第3検出腕14aおよび第4検出腕14bの検出振動により発生する、電気信号を検出することにより、コリオリ力の大きさを知得でき、ジャイロ素子40に加えられたY軸まわりの角速度の大きさを認識することができる。次に、図5cを参照して、Z軸まわりの角速度の検出について説明する。ジャイロ素子40の第1駆動振動部11および第2駆動振動部12は、既述したように、互いに逆相で振動をしている。この状態で、ジャイロ素子40をZ軸のまわりに回転させると、第1駆動腕11aおよび第2駆動腕11bには、Y軸方向のコリオリ力が働き、Y軸方向の検出振動が発生する。同様に、第3駆動腕12aおよび第4駆動腕12bには、第1駆動腕11aおよび第2駆動腕11bと反対方向のコリオリ力が働き、Y軸方向の検出振動が発生する。そして、第5検出腕15aと第6検出腕15bとは、第1駆動腕11a、第2駆動腕11b、第3駆動腕12aおよび第4駆動腕12bの検出振動に呼応して、互いに異なる方向のX軸方向に検出振動をする。ジャイロ素子40では、これら第5検出腕15aおよび第6検出腕15bの検出振動により発生する、電気信号を検出することにより、コリオリ力の大きさを知得でき、ジャイロ素子40に加えられたZ軸まわりの角速度の大きさを認識することができる。以上、ジャイロ素子40を例にして動作原理を説明したが、ジャイロ素子1,20,30においても、同様な動作原理で角速度の検出が可能である。次に、ジャイロ素子1,20,30,40のいずれかを用いて、角速度を検出するジャイロ装置物理量検出装置の構成について説明する。図6aは、ジャイロ素子を備えたジャイロ装置を示す平面図である。また、図6bは、ジャイロ素子を備えたジャイロ装置を示す断面図であり、図6aにおけるE-E断面を示している。この場合、図6では、ジャイロ素子1を備えた場合のジャイロ装置5を示していて、図6aでは、説明のために蓋体52を省略して示している。図6に示すように、ジャイロ装置5は、ジャイロ素子1と、ジャイロ素子1をリード6060a,60b,60c,60d,60e,60fを介して支持する支持基板58と、支持基板58を固定する固定基板である収容体51を有するセラミックパッケージ50と、ICIntegratedCircuitチップ制御回路部70と、収容体51内を気密に封止するための蓋体52とを備えている。セラミックパッケージ50に収容されているICチップ70は、セラミックパッケージ50のボンディングパッド57に金線などの金属ワイヤ71によって接続されている。このICチップ70には、ジャイロ素子1を励振させる発振回路、角速度等を検出する検出回路等が含まれている。また、セラミックパッケージ50における収容体51には棚部54が形成され、その面に接続端子55が形成されている。棚部54には、支持基板58が接着固定されていて、この接着固定には導電性接着剤59が用いられている。そして、セラミックパッケージ50の外周部には外部接続端子56が形成され、外部接続端子56と接続端子55およびボンディングパッド57の一部とが導通する構成となっている。また、支持基板58にはリード6060a,60b,60c,60d,60e,60fが設けられ、リード60a,60b,60c,60dの先端は、ジャイロ素子1の基部2に形成された、検出電極パッド61の対応するパッドにそれぞれ接合され、リード60e,60fの先端は、ジャイロ素子1の基部2に形成された駆動電極パッド62の、対応するパッドにそれぞれ接合されている。これらリード60により、ジャイロ素子1は他部品と接触しないように空中に支持されている。なお、検出電極パッド61は、検出振動の検出のためのものであり、駆動電極パッド62は、駆動振動を励振させるためのものである。このような構成のセラミックパッケージ50は、収容体51にシームリング53が固着され、シームリング53に蓋体52をシーム溶接することで、セラミックパッケージ50内が減圧された状態で封止されている。なお、セラミックパッケージ50内は、減圧状態ではなく、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが封入された状態でも良い。ここで、支持基板58は、TABTapeAutomatedBonding実装用の基板を用いていて、ポリイミドフィルム等の基材に銅箔等の金属箔により形成された導体パターンを有している。支持基板58の中央部は、開口となっていて、この開口には導体パターンであるリード60が延出している。リード60の検出電極パッド61または駆動電極パッド62と反対側の先端は、セラミックパッケージ50の接続端子55と接続されている。このジャイロ装置5は、例えば、以下に説明する電子機器等に搭載されて、優れたジャイロ機能を発揮する。なお、ジャイロ装置としては、ジャイロ素子1を備えた構成の他、ジャイロ素子20,30,40のいずれかを備えたものも、ジャイロ装置5とほぼ同様に優れたジャイロ機能を発揮する。次に、ジャイロ素子1,20,30,40のいずれかを用いた構成の電子機器について説明する。図7aは、ジャイロ素子を備えたデジタルビデオカメラを示す斜視図である。図7aに示すように、デジタルビデオカメラ100は、受像部101と、操作部102と、音声入力部103と、表示ユニット104と、を備えている。このデジタルビデオカメラ100は、ジャイロ素子40を備えており、X軸、Y軸およびZ軸の3軸まわりの角速度を検出して、手ぶれ補正機能を発揮することができ、鮮明な映像を記録することができる。この場合、ジャイロ素子40は、ジャイロ装置5の形態であることが好ましい。同様に、デジタルビデオカメラ100がジャイロ素子30を備えている場合も、X軸、Y軸およびZ軸の3軸まわりの角速度を検出して、手ぶれ補正機能を発揮することができる。また、デジタルビデオカメラ100に、例えば、ジャイロ素子10,20のいずれかを備えることも可能であり、この場合、デジタルビデオカメラ100は、X軸およびY軸の2軸まわりの角速度を検出する補正機能を有することになる。また、図7bは、ジャイロ素子を備えた携帯電話を示す斜視図である。図7bに示すように、携帯電話機200は、複数の操作ボタン201と、表示ユニット202と、カメラ機構203と、シャッターボタン204と、を備えている。この携帯電話機200は、ジャイロ素子40を備えており、X軸、Y軸およびZ軸の3軸まわりの角速度を検出して、カメラ機構203が手ぶれ補正機能を発揮することができ、鮮明な映像を記録することができる。この場合、ジャイロ素子40は、ジャイロ装置5の形態であることが好ましい。同様に、携帯電話機200がジャイロ素子30を備えている場合も、X軸、Y軸およびZ軸の3軸まわりの角速度を検出して、手ぶれ補正機能を発揮することができる。なお、携帯電話機200としては、ジャイロ素子30,40のいずれかを備えた構成の他、ジャイロ素子10,20のいずれかを備えたものも、X軸およびY軸の2軸まわりの角速度を検出する補正機能を発揮することができる。なお、電子機器としては、図7に示すデジタルビデオカメラ100や携帯電話機200に限定されず、デジタルスチールカメラ、ナビゲーション装置、車体姿勢検出装置、ゲームコントローラー、ヘッドマウンテンディスプレイ、ポインティングデバイス、掃除ロボット等が挙げられる。また、ジャイロ素子は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、次に挙げる変形例のような形態であっても、実施形態と同様な効果が得られる。変形例1ジャイロ素子1において、第1駆動振動部11、第2駆動振動部12、第1検出振動部13、第2検出振動部14の各腕は、基部2から離反する方向へ延出している構成であるが、この構成に限定されるものではない。例えば、基部2の形状や第1突出部3の突出長さ等を変えて、該腕が基部2に向かって延出している構成であっても良い。これによれば、ジャイロ素子の小型化等が図れる。変形例2ジャイロ素子1において、第1駆動振動部11、第2駆動振動部12、第1検出振動部13、第2検出振動部14の各腕は、X軸に対して30度の角度をなして延出しているが、30度の角度に限定されることなく、他の角度であっても良い。なお、他の角度の場合であっても、対応する駆動腕と検出腕とは、平行であることが好ましい。変形例3ジャイロ素子1において、第1検出振動部13、第2検出振動部14の各腕は、基部2から第1象限乃至第4象限のいずれかの方向へ斜めに延出しているが、基部2からY軸に沿って延出する構成であっても良い。変形例4ジャイロ素子1において、第1駆動振動部11、第2駆動振動部12、第1検出振動部13、第2検出振動部14の各腕は、それぞれの先端部に、各腕より幅広のハンマーヘッドを設けた構成であっても良い。ハンマーヘッドを設けることにより、各腕は、より安定した振動をすることができる。なお、この場合、ハンマーヘッドは、腕の構成要素には含まれない。変形例5ジャイロ素子1,20,30,40は、圧電性材である水晶から形成されているが、水晶に限定されることなく、水晶以外のニオブ酸リチウムLiNbO3、チタン酸ジルコン鉛PZT等を用いても良い。更に、ジャイロ素子1,20,30,40は、圧電性材に限定されるものではなく、シリコンやゲルマニウムなどの非圧電性材料であっても良く、この場合、励振電極には圧電性材を組み合わせて振動可能な構成にしておく。これにより、ジャイロ素子1,20,30,40において、要求特性や用途等に応じて、適切な材料を選ぶことができ選択肢が拡大する。"