片持状に延びる一対の弾性支持板と、相互に対向するように各弾性支持板に設けられ、高熱伝導率で電気絶縁性の素材よりなる板状体内部に電気抵抗発熱体及び熱電対を埋設して成る加熱エレメントと、前記加熱エレメントを前記弾性支持板の自由端に取付けるための取付具とを備え、弾性支持板の弾性下で加熱エレメントは被加熱板状物体の対向面に密接せしめられ、これにより被加熱板状物体の加熱を行うことを特徴とする接触型加熱装置。請求項1に記載の発明において、前記取付具は加熱エレメントを弾性支持板に対して遊動支持し、加熱エレメントはいつもその全面で被加熱部の対向面に密接せしめられることを特徴とする接触型加熱装置。請求項1または2に記載の発明において、加熱エレメントの背面側には耐熱性繊維材料よりなるバッキングが設けられていることを特徴とする接触型加熱装置。請求項3に記載の発明において、前記取付具は両端に耳部を備え、加熱エレメント及びバッキングは両端の突起部が前記耳部の開口に係合されることにより取付具に支持され、加熱エレメントから離間側において弾性支持板の上下の突起部の夫々が前記取付具における両端の耳部の中間部に形成される切欠部に係合することを特徴とする接触型加熱装置。請求項1から4のいずれか一項に記載の発明において、前記一対の弾性支持板は両外側よりねじに当接され、ねじの調節により被加熱板状物体を介しての加熱エレメント同士の接触圧を調節可能であることを特徴とする接触型加熱装置。従来技術では発熱部及びセンサ部を構成する金属箔をポリイミドフィルムに支持させる構造となっていた。そして、ポリイミドフィルムは薄くそれだけでは剛性がないため、発熱部を担持するポリイミドフィルムの部分は支持板によりバッキングさせ、支持板によりポリイミドフィルムの発熱部をウエーハに押し付けるようにし、他方熱電対部分からのポリイミドフィルムは支持板の端面をループして背面側に回りこむような構成としていた。このような従来技術の構造において、耐熱性の観点からポリイミドを使用しているのではあるが、プラスチックチューブの溶融切断のためには300°Cを超える高温が必要であり、加熱回数が増えると炭化してしまい寿命に限界があった。また、ポリイミドフィルムの熱伝導率が極端に小さいためポリイミドフィルムとウエーハの温度には相当な温度差があり、熱電対が検出するのはウエーハの温度ではなくポリイミドの温度であり、ウエーハの真の温度と検出温度とには必ず差がある。このような差を見込んで温度制御をしていたのであるが、このような温度差は個体間の特性変化や経時的な特性変化によって必ずしも一定ではなく精密な制御を困難とする原因となっていた。また、従来技術では熱電対部分からのポリイミドフィルムは支持体の端部から背面側に回り込む構造となっており、この部分は外気に開放しているために熱電対部分による検出温度に影響を及ぼし、このことも温度制御の困難性に少なからず影響を及ぼしていた。この発明は以上の問題点に鑑みてなされたものであり、面接触型ヒータの耐久性を高めかつ温度制御の精度も向上させることを目的とする。請求項1に記載の発明によれば、片持状に延びる一対の弾性支持板と、相互に対向するように各弾性支持板に設けられ、高熱伝導率で電気絶縁性の素材よりなる板状体内部に電気抵抗発熱体及び熱電対を埋設して成る加熱エレメントと、前記加熱エレメントを前記弾性支持板の自由端に取付けるための取付具とを備え、弾性支持板の弾性下で加熱エレメントは被加熱板状物体の対向面に密接せしめられ、これにより被加熱板状物体の加熱を行うことを特徴とする接触型加熱装置が提供される。請求項1の発明の作用効果を説明すると、高熱伝導率で電気絶縁性の素材よりなる板状体中に発熱体と熱電対を埋設した加熱エレメントにより発熱体及び熱電対の温度と板状体が面対面で接触する被加熱板状物体との温度とは実質的に一致させることができ、精度の高い温度制御を実現することができる上、被加熱板状物体は相互に弾性的に向き合うように弾性付勢された板状の加熱エレメント間に配置され、被加熱板状物体は対向面において板状の加熱エレメントと密接状態で加熱されるため被加熱板状物体をその全面において均等な加熱を行うことができる。請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明において、前記取付具は加熱エレメントを弾性支持板に対して遊動支持し、加熱エレメントはいつもその全面で被加熱部の対向面に密接せしめられることを特徴とする接触型加熱装置が提供される。請求項2の発明の作用効果を説明すると、遊動支持により加熱エレメントはいつもその全面で被加熱部の対向面に密接せしめられるため、被加熱板状物体の挿入姿勢に関わらず加熱エレメントはそれにいつも追従し、均等加熱を行うことができる。請求項3に記載の発明によれば、請求項1または2に記載の発明において、加熱エレメントの背面側には耐熱性繊維材料よりなるバッキングが設けられていることを特徴とする接触型加熱装置が提供される。請求項3の発明の作用効果を説明すると、耐熱性繊維材料よりなるバッキングが加熱エレメントと弾性支持板との間に配置されており、加熱エレメントの高温が直接弾性支持板に伝達されるのを遮断すると共に、それが帯びる幾分の弾性がクッション的な機能を発揮し、被加熱板状物体ウエーハに対する加熱エレメントの密着性の向上に寄与させることができる。図1~図3は腹膜透析においてプラスチックチューブの切断及び接続を行うための自動化装置におけるウエーハ挿入加熱部を示しており、本体10は対称な半部を対向面にて接合して構成され、その接合面間にスロット12が形成される。スロット12にはウエーハ14が矢印aのように手操作により押し込まれる。スロット12は上部では図1のようにウエーハ14の挿入のために広くなっているが、下部は図2に示すように絞り部13が設けられ、この絞り部13に挿入されたウエーハ14を実質的にガタなく保持することができる。スロット12にウエーハ14が下面まで押し込まれると、これを自動的に検知してウエーハ駆動機構図示しないが動作され、ウエーハ14の下端をチャックし、ウエーハ14は図3の矢印bのようにスロット12の前方の加熱位置14まで駆動される。このウエーハ加熱位置14には一対のウエーハを挟むように一対のヒータアセンブリ16この発明の加熱装置が設けられる。ヒータアセンブリ16は常態では弾性力下でその対向加熱面が密接しているが、図3の矢印bの方向に移動してくるウエーハ14によって弾性に抗して幾分押し広げられ、加熱位置14において一旦停止するようにされる。各ヒータアセンブリ16は弾性支持板18と、弾性支持板18の自由端に設けられた板状の加熱エレメント20と、この加熱エレメント20を弾性支持板18の自由端に取付けるための取付具22と、加熱エレメント20と取付具22との間に配置されるケブラー米国デュポン社の登録商標などの耐熱繊維の不織布により構成されるバッキング23とから構成される。弾性支持板18は鋼板にて構成され、後端は本体10の下端の溝部24まで延びており、止めねじ25は弾性支持板18を本体10の係止部101に押し付けることにより弾性支持板18、換言すれば、ヒータアセンブリ16を本体10に支持する。ねじ26はその締結によって弾性支持板18の自由端に担持される加熱エレメント20を相手側の加熱エレメント20に向けて変位せしめる。従って、ねじ26の調節により加熱エレメント20同士の接触圧、換言すれば加熱エレメント20間をウエーハ14が通過するときのウエーハ14に対する加熱エレメントの面接触圧を調節することができる。取付具22は極薄の鋼板にて構成され、上下両端に耳部221図2参照を備え、他方加熱エレメント20の上下両端には突起部201図2及び図6が設けられ、加熱エレメント20の突起部201が取付具22の耳部221の開口221Aに係合することにより加熱エレメント20は取付具22に取付けられる。そして、耐熱繊維の不織布などで構成されたバッキング23は適宜な弾性力によって加熱エレメント20を取付具22に支持している。取付具22はまたその上下上端縁で外方側に折り曲げられ、断面コの字状チャンネル22A図5を形成し、その上下の曲折部222図3及び図5に切欠部223図4が設けられ、他方、弾性支持板18はその前端部は取付具22の曲折部222間のチャンネル部22Aに嵌合され図5参照、かつ上下に形成した突起部181図1が切欠部223に嵌合される図3及び図4参照。加熱エレメント20のこのような取付構造は加熱エレメント20の実質的に全方位的な浮動的な支持を実現し、加熱エレメント20間へのウエーハ14の挿入姿勢に関わらず加熱エレメント20をウエーハ14に追従させ、加熱エレメント20をいつもウエーハ14に面対面で接触せしめ、ウエーハは全面にわたって加熱エレメント20による均等な加熱を受けることができる。加熱エレメント20は高い熱伝導率を有しているが電気絶縁性を持った基板30中にニクロム線などの電気抵抗性線状発熱体及び熱電対を埋設して構成される。この実施形態では高い熱伝導率を有しているが電気絶縁性を持ったとしてはアルミナ系の粉状素材に幾分のバインダ成分を混練した素材が選定され、この素材を金型内で焼成することにより基板30として構成している。図7に示すように基板30はその全長にわたって延びる長手方向溝30Aと長手方向突起301とを交互に形成している。幅方向における中央部には中間で途切れた突起302303を形成している。図7において電熱線は2点鎖線34で、熱電対線クロメル-コンスタンタンは鎖線36にて表す。電熱線34はリード線への結線用のターミナル37を両端に有し、ターミナル外側の溝30Aより導入され、突起301の前端でループされ、次の溝30Aに戻ってきて次の突起301の後端でループされ、次の溝30Aを進み、突起302の先端でループされる。後の経路はこれまでと対称であり、最終的には外側の溝から取出される。電熱線34を以上のように巻き付けた状態でセラミック系の接着剤例えば株式会社オーデックからセラマボンドの商品名で販売されているものが基板30の溝30Aに部分的に充填され、電熱線34が接着剤層内に埋設された状態となる。接着剤の充填後に、熱電対線36が上から2番目の溝30Aより導入され、2番目の突起301の前端でループされ突起303の後端でループされる。このループ部分361がクロメルとコンスタンタンとの接合部温度検出部となっている。そして、熱電対線36は対称の経路で溝を通され、最終的に最下側から一つ上の溝30Aから引出される。そして、再び、セラミック系の接着剤が充填され、最終的には図8及び図9に示すように電熱線34及び熱電対線36が外部への結線部以外は充填剤層40中に実質的に全体が埋設された状態となり、板状加熱エレメント20として完成される。そして、板状加熱エレメント20における電熱線34及び熱電対36の埋設面と離間側における基板30の面がウエーハ14との接触面20Aとなり、充填剤層側の面が裏面20Bであり、バッキング23を介して取付具22により弾性支持板18に支持される構造となっている。以上説明した加熱装置の動作を説明すると、ウエーハ14は図1の矢印aのようにスロット12に上面から図2に14 ́にて示す下面の絞り部13まで手操作で導入されこのときのウエーハの位置を14 ́にて示す、その後は電動式の動作になり、図示しないチャックに把持されたウエーハ14は図3の矢印bのように移動せしめられ、対向した加熱エレメント20を弾性支持板18の弾性に抗して押し広げつつ移動され、加熱位置14で一旦停止する。加熱エレメント20はその両端上下の突起201が取付具22の耳部221の大きめの開口221Aに装着され、かつ外面側では上下の切欠223において取付具22の上下の係合突起223に嵌着され、このような取付け構造は前述の通り、加熱エレメント20の全方位的な幾分の回動運動を可能とし、ウエーハ14の挿入姿勢の幾分の変化に関わらず加熱エレメント20をいつもウエーハ14に密着せしめる。電熱線34及び熱電対線36は図示しない制御装置に接続され、この制御装置は熱電対が検出する加熱エレメント20の温度が設定温度となるように電熱線34への通電を制御する。この発明の実施形態において電熱線34及び熱電対36は熱伝導率が高い素材であるアルミナ粉末を成形した基板30に巻回され、検出端361及び検出端361への配線を含めた全体がセラミック系接着剤よりなる充填層40内に埋設されており、電熱線34の温度=熱電対36の温度=基板30の温度の関係がいつも保たれる。そして、加熱エレメント20は銅版より成る極めて高熱伝導率のウエーハ14に圧力下で面接触しており、結果として熱電対36が計測する温度はウエーハ14の温度と殆ど等しくなり、その温度差は実測によれば高々3°Cであった。そのため、加熱位置14に停止中のウエーハ14を所期の温度まで昇温することができる。そのため、ウエーハ14の温度が過小のためプラスチックチューブの溶融切断が円滑に行われなくなったり、逆にウエーハ14の温度が過大となってその寿命が短縮するなどの従来技術の不具合が解消される。昇温後のウエーハは図3の14のように前進され、この前進の際にその経路を横断するように配置されたプラスチックチューブ図示しないの溶融切断が行われ、以降のプラスチックチューブの封止及び接続作業は特開平6197957号公報や特開平7277309号公報に記載と同様に実施することができる。図10及び図11は加熱エレメントの第2の実施形態を示しており、この実施形態では接合部361からの熱電対線36は一旦溝30Aを出たあとはセラミック中に埋設せず、バッキング23との当接面となる裏面20B側に戻している。即ち、図11に示すように一旦溝30Aを出たあとの熱電対線の部分364は裏面20B上に出ている。この実施形態では図8及び図9で示す第1の実施形態の加熱エレメントのように接着剤の充填工程が溝30Aへの電熱線34及び接合部361からの熱電対線の引出部分の1回で済むため、接着剤充填工程が効率化される。また、溝30Aを出たあとの熱電対線の部分は加熱エレメントのバッキング23との間に位置するため外気の影響が遮断されるため、図8及び図9の完全充填構造と実質的に遜色のない温度検出精度を得ることができる。