センサ群と、第1制御機器を有する制御機器群と、前記制御機器群を制御するための情報が記憶されているレシピと、前記レシピに基づいて前記制御機器群を制御する制御手段を有する製造装置が処理した生産プロセスを管理する管理装置であって、記憶手段と、前記生産プロセスの期間中に前記制御手段が前記制御機器群に出力した制御情報と、前記生産プロセスの期間中に前記センサ群が検出した検出情報を取得する情報取得手段と、前記制御情報に含まれる前記第1制御機器に出力された代表制御情報から、前記生産プロセスの基準期間を決定し、前記基準期間に属している前記検出情報に基づく代表値と、前記基準期間に属している前記制御情報に基づく代表値を算出し、前記算出した各々の代表値を前記生産プロセスの特定情報と関連付けて、前記記憶手段に記憶することを特徴とする管理装置。前記検出情報に基づく代表値は、前記検出情報に含まれる所定のセンサが検出した前記基準期間に属している検出情報の平均値であることを特徴とする請求項1に記載の管理装置。前記制御情報に基づく代表値は、前記制御情報に含まれる所定の制御機器に出力された前記基準期間に属している制御情報の平均値であることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の管理装置。前記基準期間は、前記代表制御情報の時間的変化に特徴がある特徴時点を終了時点とし、前記終了時点より所定の時間遡った時点から始まり、前記終了時点で終わる期間であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の管理装置。前記基準期間の終了時点は、前記生産プロセスの開始時点の代表制御情報よりも所定の閾値以上となる特徴時点のうち、最も前記生産プロセスの終了時点に近い特徴時点であることを特徴とする請求項4に記載の管理装置。前記管理装置は、前記算出した各々の代表値と、異なる生産プロセスに関連付けられ前記記憶手段に記憶されている各々の代表値を比較し、比較結果を出力することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の管理装置。センサ群と、第1制御機器を有する制御機器群と、前記制御機器群を制御するための情報が記憶されているレシピと、前記レシピに基づいて前記制御機器群を制御する制御手段を有する製造装置が処理した生産プロセスを管理する管理装置の管理方法であって、前記管理装置は、記憶手段と、前記生産プロセスの期間中に前記制御手段が前記制御機器群に出力した制御情報と、前記生産プロセスの期間中に前記センサ群が検出した検出情報を取得する情報取得手段を有し、前記管理方法は、前記制御情報に含まれる前記第1制御機器に出力された代表制御情報から、前記生産プロセスの基準期間を決定するステップと、前記基準期間に属している前記検出情報に基づく代表値と、前記基準期間に属している前記制御情報に基づく代表値を算出するステップと、前記算出した各々の代表値を前記生産プロセスの特定情報と関連付けて、前記記憶手段に記憶するステップを有することを特徴とする管理方法。センサ群と、第1制御機器を有する制御機器群と、前記制御機器群を制御するための情報が記憶されているレシピと、前記レシピに基づいて前記制御機器群を制御する制御手段を有する製造装置が処理した生産プロセスを管理する管理装置で実行させる管理プログラムであって、前記管理装置は、記憶手段と、前記生産プロセスの期間中に前記制御手段が前記制御機器群に出力した制御情報と、前記生産プロセスの期間中に前記センサ群が検出した検出情報を取得する情報取得手段を有し、前記管理プログラムは、前記制御情報に含まれる前記第1制御機器に出力された代表制御情報から、前記生産プロセスの基準期間を決定するステップと、前記基準期間に属している前記検出情報に基づく代表値と、前記基準期間に属している前記制御情報に基づく代表値を算出するステップと、前記算出した各々の代表値を前記生産プロセスの特定情報と関連付けて、前記記憶手段に記憶するステップを有することを特徴とする管理プログラム。しかしながら、さまざまな制御機器を制御する製造装置では、例えば保温段階に移行するまでにかかる時間等の段階移行の時期に係るレシピの情報を変更して生産プロセスの改善が成される場合がある。そして、このような場合、各種時系列データの期間に係る特徴が、変更を行う前と後とで失われてしまう可能性がある。このことから、所定の生産プロセスに対する各種時系列データから期間に係る稼働情報を算出し記憶管理しても、当該稼働情報だけでは、製品の品質を低下させる等の要因を推定又は特定することはできなかった。さらに、例えば気相成長装置における反応室内の圧力状態等は、多くの制御機器の制御状態に影響を受ける。このことから、異常な箇所が見受けられる圧力センサの時系列データだけを取得しても、異常を引き起こした要因を推定又は特定することはできなかった。本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、製品の品質を低下させる等の要因を推定又は特定することができる稼働情報を算出する管理装置を提供することを目的とする。本発明の管理装置は、センサ群と、第1制御機器を有する制御機器群と、制御機器群を制御するための情報が記憶されているレシピと、レシピに基づいて制御機器群を制御する制御手段を有する製造装置が処理した生産プロセスを管理する管理装置であって、記憶手段と、生産プロセスの期間中に制御手段が制御機器群に出力した制御情報と、生産プロセスの期間中にセンサ群が検出した検出情報を取得する情報取得手段と、制御情報に含まれる第1制御機器に出力された代表制御情報から、生産プロセスの基準期間を決定し、基準期間に属している検出情報に基づく代表値と、基準期間に属している制御情報に基づく代表値を算出し、算出した各々の代表値を生産プロセスの特定情報と関連付けて、記憶手段に記憶することを特徴とする。好ましくは、本発明の検出情報に基づく代表値は、検出情報に含まれる所定のセンサが検出した基準期間に属している検出情報の平均値であることを特徴とする。また、好ましくは、本発明の制御情報に基づく代表値は、制御情報に含まれる所定の制御機器に出力された基準期間に属している制御情報の平均値であることを特徴とする。また、好ましくは、本発明の管理装置の基準期間は、代表制御情報の時間的変化に特徴がある特徴時点を終了時点とし、終了時点より所定の時間遡った時点から始まり、終了時点で終わる期間であることを特徴とする。また、好ましくは、本発明の管理装置の基準期間の終了時点は、生産プロセスの開始時点の代表制御情報よりも所定の閾値以上となる特徴時点のうち、最も生産プロセスの終了時点に近い特徴時点であることを特徴とする。また、好ましくは、本発明の管理装置は、算出した各々の代表値と、異なる生産プロセスに関連付けられ記憶手段に記憶されている各々の代表値を比較し、比較結果を出力することを特徴とする。さらに、本発明の管理方法は、センサ群と、第1制御機器を有する制御機器群と、制御機器群を制御するための情報が記憶されているレシピと、レシピに基づいて制御機器群を制御する制御手段を有する製造装置が処理した生産プロセスを管理する管理装置の管理方法であって、管理装置は、記憶手段と、生産プロセスの期間中に制御手段が制御機器群に出力した制御情報と、生産プロセスの期間中にセンサ群が検出した検出情報を取得する情報取得手段を有し、管理方法は、制御情報に含まれる第1制御機器に出力された代表制御情報から、生産プロセスの基準期間を決定するステップと、基準期間に属している検出情報に基づく代表値と、基準期間に属している制御情報に基づく代表値を算出するステップと、算出した各々の代表値を生産プロセスの特定情報と関連付けて、記憶手段に記憶するステップを有することを特徴とする。さらに、本発明の管理プログラムは、センサ群と、第1制御機器を有する制御機器群と、制御機器群を制御するための情報が記憶されているレシピと、レシピに基づいて制御機器群を制御する制御手段を有する製造装置が処理した生産プロセスを管理する管理装置で実行させる管理プログラムであって、管理装置は、記憶手段と、生産プロセスの期間中に制御手段が制御機器群に出力した制御情報と、生産プロセスの期間中にセンサ群が検出した検出情報を取得する情報取得手段を有し、管理プログラムは、制御情報に含まれる第1制御機器に出力された代表制御情報から、生産プロセスの基準期間を決定するステップと、基準期間に属している検出情報に基づく代表値と、基準期間に属している制御情報に基づく代表値を算出するステップと、算出した各々の代表値を生産プロセスの特定情報と関連付けて、記憶手段に記憶するステップを有することを特徴とする。本発明の管理装置では、例えば加熱ヒータの操作量の時系列データから、成膜段階と推測される基準期間を決定している。そして、決定した基準期間に属している各種時系列データに基づいて、例えば加熱ヒータに対する平均操作量、反応室内の平均温度、反応室内の平均圧力、回転機に対する平均操作量などの代表値を算出し記憶している。このことから、例えば保温段階に移行するまでにかかる時間等の段階移行の時期に係る項目の変更が行われた場合においても、生産プロセス毎に算出し記憶された代表値を比較することによって、製品の品質を低下させる等の要因の推定又は特定することができる。以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の説明において、各種制御機器を稼働させる時期や操作量などの各種情報を記憶する記憶領域やファイルなどの当該各種情報を総称する実態をレシピと呼称している。また、生産の開始から終了までの一連の処理がなされた所定の生産プロセスをバッチ処理と呼称している。さらに、処理内容の説明においては、ステップをSで表し、各々の処理を数字で区別している。図1は、本発明の実施の形態に係る生産システム1の全体構成を示し、以下に説明する。生産システム1は、所望する半導体基板を生産する気相成長装置50と、当該気相成長装置50によって処理がなされた所定のバッチ処理に対して、気相成長装置50の各種センサのセンサ情報および各種制御機器に出力される制御情報である各種プロセスデータを管理する管理装置10から構成される。管理装置10は、各種情報や利用者指示を入力するための入力手段15、各種情報を表示するための表示手段16、各種情報を記憶するための記憶手段12、無線又は有線の通信手段やリムーバブルな記録媒体からデータを読込むことが可能な記録ドライブである情報取得手段13、そしてこれら各部を制御する主制御コントローラ11から構成される。ここで、気相成長装置50の各種プロセスデータは、通信データ又はリムーバブルな記録媒体に記録された記録データとして、情報取得手段13を通じて気相成長装置50から取得する。気相成長装置50は、ガス導入口53から導入される原料ガスを、複数のガス流路54から均一に反応室56に供給するよう構成されている。そして、反応室56の下部中央には回転機62によって回転自在の回転軸59が設けられ、回転軸59の先端には、複数のガス流路54から原料ガスが供給される面と対向するようにして、被処理基板58が載置された円盤状の基板保持体57が取り付けられている。さらに、基板保持体57の下方には基板保持体57を加熱するための加熱ヒータ60が取り付けられている。加熱ヒータ60は、ヒータ駆動回路61を通じて発熱量の調整等の制御がなされる。また、回転機62も同様に、回転機駆動回路63によって回転速度の調整等の制御がなされる。さらに、ガス供給部やガス排出部等の不図示の制御機器についても同様に、各種駆動回路を通じて操作量の調整等の制御がなされる。基板保持体57周辺の温度又は加熱ヒータ60の消費電力を計測する温度センサ70、基板保持体57の回転速度又は回転機62の消費電力を計測する回転速度センサ71、反応室56内部の圧力を計測する圧力センサ72、ガス流路54から反応室56に供給される原料ガスの流量を計測する流量センサ73などの各種センサが各部要所に設けられている。さらに、加熱ヒータ60や回転機62などの制御機器を制御するためのプロセス制御コントローラ81、各種情報が記憶されている記憶手段82、そして無線又は有線の通信手段やリムーバブルな記録媒体からデータを書込むことが可能な記録ドライブである情報伝達手段83などの各種デバイスが設けられている。ここで、記憶手段82には、加熱ヒータ60などの各種制御機器を制御するための操作量や稼働条件などの各種情報が記憶されているレシピ821を含んで構成されている。プロセス制御コントローラ81は、レシピ821に基づいて各種制御機器の制御を行う。さらに、たとえば、利用者による生産プロセスの開始指示から生産プロセスが完了するまでの期間を生産プロセス期間とし、当該生産プロセス期間中のプロセスデータを所定の時間間隔で収集する。そして、収集したプロセスデータを、情報伝達手段83を通じて管理装置10に伝達する。図2は、バッチAとバッチBの2種類のバッチ処理における、代表的なプロセスデータの時間的変化を例示している。ここで、バッチAは、被処理基板を成膜に適した成膜温度にまで加熱する昇温段階の初期において、所定の操作量で急激に加熱ヒータ60を稼働させ制御するレシピのバッチ処理を例示している。一方、バッチBは、昇温段階の初期において、TA時間かけて徐々に操作量を所定の操作量になるまで上昇させて加熱ヒータ60を稼働させ制御する昇温初期段階が、バッチAに対して追加されている。そして、当該昇温初期段階が追加された点を除き同一であるレシピのバッチ処理を例示している。ここで、バッチAとバッチBの各種プロセスデータの時間的変化の特徴の1つとして、例えばバッチBの生産プロセス期間は、バッチAに比べて昇温初期段階の期間TA分だけ長くなっている点が挙げられる。図2AはバッチAに対して、図2EはバッチBに対して、プロセス制御コントローラ81がヒータ駆動回路61に出力したヒータ操作量の時間的変化を示し、情報伝達手段83では、生産プロセス期間中のヒータ操作量を管理装置10に伝達する。ここで、ヒータ操作量のプロセスデータに係り、被処理基板上に半導体結晶が成長している成膜段階と推定する期間中のヒータ操作量は、所定の操作量で安定し続ける保温段階にあるという特徴を有している。図2BはバッチAに対して、図2FはバッチBに対して、プロセス制御コントローラ81が回転機駆動回路63に出力した回転機操作量の時間的変化を示し、情報伝達手段83では、生産プロセス期間中の回転機操作量を管理装置10に伝達する。ここで、他の各種制御機器の駆動回路に出力した操作量の情報についても同様に、生産プロセス期間中の操作量を管理装置10に伝達する。図2CはバッチAに対して、図2GはバッチBに対して、温度センサ70がプロセス制御コントローラ81に出力した温度センサ情報の時間変化を示し、情報伝達手段83では、生産プロセス期間中の温度センサ情報を管理装置10に伝達する。図2DはバッチAに対して、図2HはバッチBに対して、圧力センサ72がプロセス制御コントローラ81に出力した圧力センサ情報の時間変化を示し、情報伝達手段83では、生産プロセス期間中の圧力センサ情報を管理装置10に伝達する。ここで、温度センサ70、圧力センサ72以外の各種センサから出力されたセンサ情報も同様に、生産プロセス期間中のセンサ情報を管理装置10に伝達する。図3は、主制御コントローラ11の処理手順を示し、以下に説明する。主制御コントローラ11では、気相成長装置50から伝達された所定のバッチ処理に対する各種プロセスデータを、情報取得手段13を通じて取得するS100。ここで、当該処理において、取得した各種プロセスデータに対応するバッチ処理を特定するために、例えば当該バッチ処理の生産プロセスが開始された日付時刻や使用された気相成長装置を識別する識別コードなどのバッチ特定情報を、情報取得手段13を通じて取得する、又はバッチ特定情報の入力を利用者に促し取得する。上述のS100に続いて、取得した各種プロセスデータの中から、ヒータ操作量のプロセスデータを選択して抽出するS200。ここで、当該処理で抽出するプロセスデータは、ヒータ操作量以外の各種制御機器の駆動回路に出力した操作量を選択して抽出するものとしても構わない。続いて、ヒータ操作量のプロセスデータから成膜段階と推定される一部期間を抽出し、バッチ処理の基準期間BPRに決定するS300。続いて、決定した基準期間BPRと各種プロセスデータに基づいて、ヒータ操作量の代表値BHO、回転機操作量の代表値BMO、温度センサ情報の代表値BT、圧力センサ情報の代表値BPなどの各種プロセスデータ毎の代表値を、バッチ処理の稼働情報として算出するS400。続いて、上述した処理によって算出された各種稼働情報を、バッチ特定情報と対応付けて記憶手段12に記憶、又は表示手段16に表示して処理を終了するS500。図4は、図3に示したS300において、ヒータ操作量のプロセスデータから成膜段階と推定される一部期間を基準期間BPRとして決定する場合の処理手順を示し、図5は、当該処理によって決定された基準期間BPRの一例を示している。図4および図5を用いて、基準期間BPRの決定方法の一例について説明する。最初に、プロセスデータの生産プロセスに直接関係しない無効期間を、生産プロセス期間から除外した有効期間TPRを抽出するS301。ここで、無効期間には、たとえば、各種制御機器への電力供給などの事前処理を行う期間や、次の生産プロセスに影響を与えないようにするための各種制御機器の事後処理期間などが挙げられる。そして、このような無効期間は、ヒータ操作量のプロセスデータの特徴から推定して抽出する。図5Aは、無効期間を除外した有効期間TPRの一例を示している。本図によると、生産プロセスの開始時点から操作量VBに到達するまでの期間と、操作量VB未満で移行し続けて生産プロセスが終了するまでの期間を無効期間とし、この無効期間を生産プロセス期間から除外した期間を有効期間TPRと定めている。なお、操作量VBは、生産プロセスの開始時点の操作量VIに比べ、予め定めたVD分多い値として定められる。上述のS301に続いて、有効期間TPRの範囲内に属しているプロセスデータの特徴点のうち、生産プロセスの終了時点に最も近い特徴点の時点PEを、成膜段階の終了時点として抽出するS302。ここで、プロセスデータの特徴点は、時間的変化の割合が予め定められる条件を超えて変化した時点を探索することで抽出することができる。図5Bは、有効期間TPRの範囲内に属し、プロセスデータの特徴点として抽出され得る特徴点P1~P7を例示している。特徴点P1は、急激に操作量が増加する状態から、操作量の変動がほとんどない状態に遷移した時点の探索によって抽出することができる。また、特徴点P2とP7は、操作量の変動がほとんどない状態から、急激に操作量が減少する状態に遷移した時点の探索によって抽出することができる。さらに、特徴点P3~P6は、操作量の変動が上昇又は下降する第1変動状態から、第1変動状態とは正反対となる操作量の変動が下降又は上昇する第2変動状態に遷移した時点の探索によって抽出することができる。当該S302では、このような特徴点P1~P7の中から生産プロセスの終了時点に最も近い特徴点P7の時点PEを、成膜段階の終了時点として抽出する。なお、特徴点P1~P6の抽出を行わずに、有効期間TPRの終了時点から特徴点を探索し、最初に見つかった特徴点の時点を、成膜段階の終了時点として抽出しても構わない。上述のS302に続いて、時点PEより予め定めたTD時間前のPS時点より始まり、時点PEで終わる期間を、基準期間BPRとして決定するS303。ここで、TD時間は、基準期間BPRが成膜段階と推定される一部期間に決定されるように、予測又は期待される実際の成膜期間よりも十分に短い時間が定められる。図5Cは、決定された基準期間BPRを示し、本図によると、基準期間BPRの終了時点を特徴点P7の時点PEとし、開始時点を終了時点PEより予め定めたTD時間前のPS時点として定めている。図6は、図3に示したS400の処理によって算出された各種プロセスデータ毎の代表値を示している。図6Aは、ヒータ操作量の時系列変化とヒータ操作量の代表値BHOを示し、当該代表値BHOは、基準期間BPR内のヒータ操作量の平均をとって算出する。図6Bは、回転機操作量の時系列変化と回転機操作量の代表値BMOを示し、当該代表値BMOは、基準期間BPR内の回転機操作量の平均をとって算出する。図6Cは、温度センサ情報の時系列変化と温度センサ情報の代表値BTを示し、当該代表値BTは、基準期間BPR内の温度センサ情報の平均をとって算出する。図6Dは、圧力センサ情報の時系列変化と圧力センサ情報の代表値BPを示し、当該代表値BPは、基準期間BPR内の圧力センサ情報の平均をとって算出する。このように、本実施の形態に係る管理装置10では、取得した各種プロセスデータの中から、所定の制御機器の駆動回路に出力した操作量のプロセスデータを選択し抽出して、抽出したプロセスデータから、成膜段階と推定される一部期間を基準期間として決定している。そして、ヒータ操作量、回転機操作量、温度センサ情報、圧力センサ情報などの各種プロセスデータ毎の代表値を、例えば決定した基準期間のプロセスデータの平均値を求める等の統計的算出手法により、バッチ処理の稼働情報として算出している。このことから、例えば保温段階に移行するまでにかかる時間等の段階移行の時期に係る項目の変更が行われた場合においても、本実施の形態に係る管理装置10で記憶又は表示された、変更前のバッチ処理の稼働情報と変更後のバッチ処理の稼働情報を比較することによって、製品の品質を低下させる等の要因の推定又は特定することができる。図7は、主制御コントローラ11で処理がなされる稼働情報の比較処理手順の一例を示し、以下に説明する。最初に、比較する2種類のバッチ処理を選択するS801。ここで、当該処理は、たとえば、記憶手段12に記憶されているバッチ特定情報を読み出し、表示手段16に当該バッチ特定情報を一覧表示し、表示されたバッチ処理の中から2種類のバッチ処理を利用者に選択させることによってなされる。そして、選択された2種類のバッチ処理に関連付けられている稼働情報を表示手段16に表示し、当該稼働情報を比較するS802。ここで、当該稼働情報の比較は、たとえば、稼働情報として記憶されている各種プロセスデータ毎の代表値の差分を算出することによってなされる。ここで、上述したS801とS802の処理において、たとえば、良品が生産された時のバッチ処理の稼働情報を比較用の稼働情報として予め設定し、当該比較用の稼働情報と利用者によって選択された複数のバッチ処理の稼働情報を各々に比較するものとしても構わない。続いて、S802における比較結果が、予め規定されている閾値以上になっているかどうかを判断するS803。ここで、当該処理は、たとえば、各種プロセスデータ毎に閾値が規定され、各種プロセスデータ毎に算出された差分が、各々規定された閾値以上になっているかどうかを判断することによってなされる。続いて、S803における判断結果が、閾値以上になっている場合には、警告を表示又は警告音を出力するS804。ここで、たとえば、警告を表示する際には、閾値以上になっていると判断されたプロセスデータを特定するための情報、当該プロセスデータの代表値、そして当該プロセスデータの算出された代表値の差分値を、表示手段16に表示することによってなされる。ここで、本実施の形態に係る管理装置の主制御コントローラ11は、上述した図3、図4及び図7に従う処理手順を制御プログラムとしてメモリから読み出して実行する。このような場合、主制御コントローラ11に読み出される、上述した図3、図4及び図7に従う制御プログラムは、本実施の形態に係る管理装置に付属する記録媒体に予め記録させて、プログラム製品として提供することもできる。このような記録媒体としては、CDCompactDiscやメモリカードなどの管理装置で読取り可能な記録媒体がある。あるいは、本実施の形態に係る又は管理装置に内蔵するハードディスクなどの記録媒体に記録させて提供することもできる。さらに、インターネットを含む各種ネットワークを介するダウンロードによって提供することもできる。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。