基板の欠陥を検出する装置であって、第1のセンサと、第2のセンサとを含み、前記第1のセンサ及び第2のセンサが、直線基板移動経路と交差するように配置されており、前記基板が前記直線基板移動経路に沿って移動する際に、基板の平行な端部をセンシングする装置。前記第1及び第2のセンサがチャンバの通路に隣接配置されていて、前記通路に入る前、又は前記基板が前記通路から出た後に、前記基板をセンシングする請求項1記載の装置。複数のビューウィンドウを含み、前記第1及び第2のセンサが、夫々、ビューウィンドウの外部又は近傍に装着されており、前記第1及び第2のセンサの夫々のビーム経路が、前記ビューウィンドウを通過する請求項2記載の装置。前記基板をサポートし、前記基板を前記第1及び第2のセンサの夫々のビーム経路を通して搬送するエンドエフェクタに接続された第1の腕と、他の基板を同時にサポート及び移動する他のエンドエフェクタに接続された第2の腕とを有するロボットを含む請求項1記載の装置。前記基板をサポートし、前記基板を、前記第1及び第2のセンサの夫々のビーム経路を通して搬送する少なくとも1つのエンドエフェクタを含む請求項1記載の装置。前記第1及び第2のセンサの夫々が、レーザー又は発光ダイオードを含むトランスミッタと、レシーバと、リフレクタとを含み、前記トランスミッタ及びレシーバは前記基板の前記端部の下に配置されており、前記リフレクタは前記基板の前記端部の上に配置されている請求項1記載の装置。前記トランスミッタがレーザーであり、光のレーザービームが前記基板の上又は下表面に衝突するときに、直径が約3ミリメートル未満の光のレーザービームを放出する請求項6記載の装置。基板の欠陥を検出する装置であって、基板をサポートするための少なくとも1つの基板サポート表面を有し、直線基板移動経路の少なくとも一部を画定する方向に移動可能なロボットと、第1のセンサと第2のセンサとを含み、前記基板が前記直線基板移動経路に沿って移動する際に、前記基板の平行な端部をセンシングするセンサシステムとを含む装置。前記第1及び第2のセンサがチャンバの通路に隣接配置されており、前記通路に入る前、又は前記基板が通路を出た後に、前記基板をセンシングする請求項8記載の装置。複数の複数のビューウィンドウを含み、前記第1センサ及び第2センサの夫々は複数のビューウィンドウの外部又は近傍に装着されていて、前記第1及び第2のセンサの夫々のビーム経路が、前記ビューウィンドウを通過するような構成である請求項8記載の装置。前記少なくとも1つの基板サポート表面がエンドエフェクタを含み、前記エンドエフェクタは前記基板をサポートし、前記基板を、前記前記第1及び第2のセンサの夫々のビーム経路を通して搬送するよう構成されていることを含む請求項8記載の装置。基板の欠陥及びずれを検出する装置であって、搬送チャンバと、前記搬送チャンバ内の可動エンドエフェクタであって、基板をサポートするサポート表面を有し、直線基板移動経路の少なくとも一部を画定する動作の範囲内で可動の可動エンドエフェクタと、前記搬送チャンバに結合した少なくとも2つのセンサを含むセンサシステムであって、前記基板が前記移動経路に沿って移動する際に、前記少なくとも2つのセンサの夫々のビーム経路が、前記基板の少なくとも2つの平行な端部を連続的にセンシングするセンサシステムとを含む装置。前記少なくとも2つのセンサが搬送チャンバの通路に隣接配置されており、前記通路に入る前、又は前記基板が前記通路を出た後に、前記基板をセンシングする請求項12記載の装置。前記エンドエフェクタが、前記少なくとも2つのセンサの夫々の前記ビーム経路を通して、1秒当たり約100ミリメートル~1秒当たり約2000ミリメートルの範囲の速度で、前記基板を移動する請求項12記載の装置。前記少なくとも2つのセンサの夫々が、レーザー又は発光ダイオードを含むトランスミッタと、レシーバと、対応のリフレクタとを含み、前記トランスミッタ及びレシーバは前記基板の端部の下に配置されており、前記リフレクタは前記基板の前記端部の上に配置されている請求項12記載の装置。矩形基板の欠陥及びずれを検出する装置であって、基板搬送ポートを有するチャンバと、基板をサポートするためのサポート表面を有し、前記基板搬送ポートを通る基板移動経路の少なくとも一部を画定する動作の範囲内で可動な可動ロボットと、前記チャンバに結合されたセンサシステムであって、前記基板が前記基板移動経路に沿って動く際に、前記基板の第1の端部及び前記基板の反対の端部を連続的にモニターするように配置されたビーム経路を含むセンサシステムとを含む装置。前記センサシステムが、前記搬送ポートの近接する反対の側部に配置された少なくとも第1のセンサ及び第2のセンサを含み、前記第1のセンサが前記第1の端部をモニターし、前記第2のセンサが前記矩形基板の前記反対の端部をモニターする請求項16記載の装置。前記第1のセンサ及び第2のセンサが、夫々、トランスミッタとレシーバとを含む請求項17記載の装置。前記トランスミッタから信号を受信し、前記信号の少なくとも一部を前記レシーバに戻すように適合されたリフレクタを含む請求項18記載の装置。前記ビーム経路が、前記基板の面に直交する角度で指向される請求項16記載の装置。