酸素O0.01~1重量、並びに2A族、3A族及び3B族の金属原子のうち少なくとも1種以上の金属原子が含有された主にSiCの焼結構造からなる無機繊維、及びその繊維間に形成され、炭素Cを主成分とする1~100nmの境界層が含まれたSiC繊維結合型セラミックスの表面がSiCを主成分とする被覆層によって被覆されていることを特徴とするSiC被覆SiC繊維結合型セラミックス。酸素O0.01~1重量、並びに2A族、3A族及び3B族の金属原子のうち少なくとも1種以上の金属原子が含有された主にSiCの焼結構造からなる無機繊維、及びその繊維間に形成され、炭素Cを主成分とする1~100nmの境界層が含まれた母材と、主にSiCを主成分とするセラミックス構造からなり、前記母材の表面の少なくとも一部に形成された表面部と、前記表面部と前記母材の間に介在し、前記母材の構造から表面部の構造に徐々に且つ連続的に変化する傾斜構造となっている境界部とを含むSiC繊維結合型セラミックスの表面がSiCを主成分とする被覆層によって被覆されていることを特徴とするSiC被覆SiC繊維結合型セラミックス。化学的、並びに物理的に研磨することなくSiC被覆後の表面粗さが、Rmax=10μm以下であり、かつSiC被覆層の膜厚のバラツキが50μm以下であることを特徴とする請求項1又は2記載のSiC被覆SiC繊維結合型セラミックス。しかし、特許文献1に記載されたものは、1600°Cを超える温度への急激な温度上昇や、高速燃焼ガス流下での特性が十分でなく、特許文献2に記載されたものは、高速燃焼ガス流下での特性が十分でない。そこで、本発明は、1600°C以上の温度への急激な温度上昇に耐え、かつ高速燃焼ガス流下においても、特性変化が少ない材料を提供することを目的とする。以上の目的を達成するため、本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、SiCを主成分とする被覆層でSiC繊維結合型セラミックスの表面を被覆することによって、1600°C以上の温度への急激な温度上昇に耐え、かつ高速燃焼ガス流下においても、特性変化を少なくすることができることを見出した。すなわち、本発明は、酸素O0.01~1重量、並びに2A族、3A族及び3B族の金属原子のうち少なくとも1種以上の金属原子が含有された主にSiCの焼結構造からなる無機繊維、及びその繊維間に形成され、炭素Cを主成分とする1~100nmの境界層が含まれたSiC繊維結合型セラミックスの表面がSiCを主成分とする被覆層によって被覆されていることを特徴とするSiC被覆SiC繊維結合型セラミックス、又は酸素O0.01~1重量、並びに2A族、3A族及び3B族の金属原子のうち少なくとも1種以上の金属原子が含有された主にSiCの焼結構造からなる無機繊維、及びその繊維間に形成され、炭素Cを主成分とする1~100nmの境界層が含まれた母材と、主にSiCを主成分とするセラミックス構造からなり、前記母材の表面の少なくとも一部に形成された表面部と、前記表面部と前記母材の間に介在し、前記母材の構造から表面部の構造に徐々に且つ連続的に変化する傾斜構造となっている境界部とを含むSiC繊維結合型セラミックスの表面がSiCを主成分とする被覆層によって被覆されていることを特徴とするSiC被覆SiC繊維結合型セラミックスである。以上のように、本発明によれば、1600°C以上の温度への急激な温度上昇に耐え、かつ高速燃焼ガス流下においても、特性変化が少ない材料を提供することができる。本発明者らは、開発当初、SiC繊維結合型セラミックスの部材を高速燃焼ガス流下において劣化させないためには、前記の特許文献1、2にも示されるように酸化物系被覆を表面に被覆する方法が最適であると考えていた。特に、SiC繊維結合型セラミックスにおいては、緻密なSiC系材料によって構成されていることから、同一のSiCをコーティングしても大きな進歩はないと考えていた。しかしながら、鋭意研究を重ねた結果、SiC繊維結合型セラミックスの表面にSiCを被覆することにより、1600°C以上の温度への急激な温度上昇においても、被覆層の剥離がなく、かつ高速燃焼ガス流下においてもガス流の痕跡が肉眼で見えないSiCを被覆したSiC繊維結合型セラミックスを見出すことに成功した。具体的には、加熱率2.6MW/m2で200秒保持した後においても、ガス流の痕跡が肉眼で確認できず、好ましくは重量減少率が1重量以下である。本発明に係るSiC被覆SiC繊維結合型セラミックスは、SiC繊維結合型セラミックスの表面にSiCを主成分とする被覆層を均一に被覆したものである。SiC被覆は、一般的に用いられている溶射法、スパッタリング、化学的蒸着法CVD法等の薄膜成形方法で形成することができるが、複雑な形状物に均一で高純度なSiCを被覆できるCVD法が好ましい。被覆するSiCの純度は、高純度であることが好ましいが、一般的にCVD法で形成されるSiCの純度であればかまわない。しかし、反応焼結法による金属Siと炭素の反応によるSiCの生成では、金属Siが残留してはならない。金属Siは1600°C以上の高温で溶融するため、高温での高速燃焼ガス流により、SiC被覆層が剥離する原因となる。CVD法は、原料ガスとしてシランSiH4とプロパンC3H8、キャリアガスとして、水素H2を用いて、1000°C~1500°Cで実施されるのが一般的であるが、均一な製膜可能であれば特に原料ガスに限定はない。さらに、被覆層として形成される薄膜の形態は、化学的エッチング処理等、並びに物理的に研磨することなくSiC被覆後の表面粗さが、Rmax=10μm以下であり、かつSiC被覆層の膜厚のバラツキが50μm以下であることが好ましい。本発明が前記の特許文献1、2等と比較して有利な点は、SiC繊維結合型セラミックスと被覆材が同一のSiC系であり、熱膨張係数差を抑制するアンダーコートの必要がないことである。本発明においてSiC被覆層が被覆されるSiC繊維結合型セラミックスとしては、A酸素O0.01~1重量、並びに2A族、3A族及び3B族の金属原子のうち少なくとも1種以上の金属原子が含有された主にSiCの焼結構造からなる無機繊維、及びその繊維間に形成され、炭素Cを主成分とする1~100nmの境界層が含まれたものや、B酸素O0.01~1重量、並びに2A族、3A族及び3B族の金属原子のうち少なくとも1種以上の金属原子が含有された主にSiCの焼結構造からなる無機繊維、及びその繊維間に形成され、炭素Cを主成分とする1~100nmの境界層が含まれた母材と、主にSiCを主成分とするセラミックス構造からなり、前記母材の表面の少なくとも一部に形成された表面部と、前記表面部と前記母材の間に介在し、前記母材の構造から表面部の構造に徐々に且つ連続的に変化する傾斜構造となっている境界部とを含むもの傾斜構造SiC繊維結合型セラミックスがある。このようなSiC繊維結合型セラミックスは、SiC/SiC複合材料のように強化繊維であるSiC繊維間に繊維体積率と同程度のSiCマトリックスを含有するものでなく、体積率90以上がSiC系の繊維で構成されているセラミックス材料である。しかし、単体のSiCセラミックスとは異なり、破壊靱性が高く、欠陥に対して鈍感であり、単体のSiCセラミックスのような脆性的な破壊形態を示すことなく、SiC/SiC複合材料のような非線形的な破壊を示す材料である。即ち、荷重を負荷する過程で発生したクラックが繊維境界で方向を変えるクラックの偏向により、負荷荷重と変形ひずみの関係が非線形的な挙動を示す。具体的には、SiC繊維結合型セラミックスを構成する繊維材は、主としてSiCの焼結構造からなる無機繊維であって、0.01~1重量のO、並びに2A族、3A族及び3B族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属原子を含有し、最密充填に極めて近い構造に結合している。SiCの焼結構造からなる無機繊維は、主としてβ-SiCの多結晶焼結構造からなり、あるいはさらに、β-SiC及びCの結晶質微粒子からなる。Cの微結晶及び/又は極微量のOを含有する、β-SiC結晶粒子同士が粒界第2相を介すことなく焼結した領域ではSiC結晶間の強固な結合が得られる。仮に繊維中で破壊が起こる場合は、少なくとも30以上の領域でSiCの結晶粒内で進行する。場合によっては、SiC結晶間の粒界破壊領域と粒内破壊領域が混在する。前記無機繊維は、2A族、3A族及び3B族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属原子を含有する。無機繊維を構成する元素の割合は、通常、Si:55~70重量、C:30~45重量、O:0.01~1重量、M2A族、3A族及び3B族の金属元素:0.05~4.0重量、好ましくは、0.1~2.0重量である。2A族、3A族及び3B族の金属元素の中では、特にBe、Mg、Y、Ce、B、Alが好ましく、これらはいずれもSiCの焼結助剤として知られているもので、また有機ケイ素ポリマーのSi-H結合と反応し得るキレート化合物やアルコキシド化合物が存在するものである。この金属の割合が過度に少ないと無機繊維の十分な結晶性が得られず、その割合が過度に高くなると、粒界破壊が多くなり力学的特性の低下を招くことになる。上記無機繊維の全て或いは大部分は多角形状に変形し、最密充填構造に極めて近い状態に充填されている。また、繊維と繊維との境界領域には1~50nmの炭素を主成分とする境界層が形成されており、上記に示した構造を反映して、1600°Cにおける強度が室温強度の80以上の極めて高い力学的特性を発現する。また、上記無機繊維は、一方向に引き揃えられたシート状物の積層状態と同様の配向状態、3次元織物の積層状態と同様の配向状態、3次元織物の状態と同様の配向状態、或いはランダム配向状態のいずれか又はそれらの複合組織からなることができる。これらは、目的とする形状物に要求される力学的特性により暫時選択されるものである。さらに、傾斜構造SiC繊維結合型セラミックスの一部の表面表面部は、主としてSiCの焼結構造からなるモノリシックセラミックスであって、場合によっては、0.01~1重量のO、並びに2A族、3A族及び3B族の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属原子を含有している。この表面部のSiCは、主としてβ-SiCの多結晶焼結構造からなり、あるいはさらに、β-SiC及びCの結晶質微粒子からなる。Cの微結晶及び/又は極微量のOを含有する、β-SiC結晶粒子同士が粒界第2相を介すことなく焼結した領域ではSiC結晶間の強固な結合が得られる。仮に破壊が起こる場合は、少なくとも30以上の領域でSiCの結晶粒内で進行する。場合によっては、SiC結晶間の粒界破壊領域と粒内破壊領域が混在する。傾斜構造SiC繊維結合型セラミックスの一部は、主にSiCセラミックスからなる表面部と、無機繊維及び境界層からなる母材との境界が明瞭でなく、無機繊維及び境界層からなる母材は、内部に向かって徐々に確認できるようになる。次に、本発明に用いられるASiC繊維結合型セラミックス、及びB傾斜構造SiC繊維結合型セラミックスの製造方法について説明する。これら2種のセラミックスは、後述の第1工程aから第4工程dまでは同一であり、異なるのは第5工程e1:ASiC繊維結合型セラミックス、e2:B傾斜構造SiC繊維結合型セラミックスである。この製造方法は、aケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で1.5以上であるポリシラン或いはその加熱反応物に、2A族、3A族及び3B族の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属元素を添加し、金属元素含有有機ケイ素重合体を調製する第1工程、b金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第2工程、c紡糸繊維を酸素含有雰囲気中50~170°Cで加熱して不融化繊維を調製する第3行程、d不融化繊維を不活性ガス中で無機化する第4工程、e1第4工程によって得られた無機繊維の織物、繊維を一方向に配向したシート、繊維束、又はチョップ状短繊維の少なくとも1種類の形状よりなる予備成形体を所定形状のカーボンダイス中に配置して、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも1種からなる雰囲気中で、1700~2200°Cの範囲の温度で100~1000kg/cm2の加圧下でホットプレス処理する第5工程よりなる。又はe2第4工程によって得られた無機繊維の織物、繊維を一方向に配向したシート、繊維束、又はチョップ状短繊維の少なくとも1種類の形状よりなる予備成形体の全面又は一部の表面を粉末状及び/又はポーラス状の無機物質に接するように所定形状のカーボンダイス中に配置して、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも1種からなる雰囲気中で、1700~2200°Cの範囲の温度で100~1000kg/cm2の加圧下でホットプレス処理する第5工程よりなる。第1工程第1工程においては、前駆重合体である金属元素含有有機ケイ素重合体を調整する。第1工程において用いられるポリシランは、例えば有機ケイ素化合物の化学化学同人1972年に記載の方法に従い、ナトリウムを用いて1種類以上のジクロロシランを脱塩素反応させることにより得られる鎖状又は環状の重合体であり、その数平均分子量は、通常300~1000である。このポリシランは、ケイ素の側鎖として、水素原子、低級アルキル基、フェニル基又はシリル基を有することができるが、何れの場合も、ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で1.5以上であることが必要である。この条件を満足しないと、繊維中の炭素の全てが不融化の際に導入された酸素と共に、焼結に至るまでの昇温過程で炭酸ガスとして脱離し、繊維間の境界炭素層が形成されないので好ましくない。第1工程において用いられるポリシランとしては、その加熱反応物を用いても良い。ポリシランの加熱反応物は、上記の鎖状又は環状のポリシランを加熱して得られるポリシラン結合単位に加えて一部にカルボシラン結合を含む有機ケイ素重合体を包含する。このような有機ケイ素合体は、それ自体公知の方法で調製することができる。調製法の例としては、鎖状又は環状のポリシランを400~700°Cの比較的高い温度で加熱反応する方法、及びこのポリシランにフェニル基含有ポリボロシロキサンを加えて250~500°Cの比較的低い温度で加熱反応する方法などを挙げることができる。こうして得られる有機ケイ素重合体の数平均分子量は、通常1000~5000である。フェニル含有ポリボロシロキサンは、特開昭53-42300号公報及び同53-50299号公報に記載の方法に従って調製することができる。例えば、フェニル含有ポリボロシロキサンは、ホウ酸と1種類以上のジオルガノクロロシランとの脱塩酸縮合反応によって調製することができ、その数平均分子量は通常500~10000である。フェニル基含有ポリボロシロキサンの添加量は、ポリシラン100重量部に対して通常15重量部以下である。ポリシランに対して、2A族、3A族及び3B族の金属元素を含有する化合物の所定量を添加し、不活性ガス中、通常250~350°Cの範囲の温度で1~10時間反応することにより、原料である金属元素含有有機ケイ素重合体を調製することができる。上記金属元素は、最終的に得られる焼結SiC繊維結合体中の金属元素の含有割合が0.05~4.0重量になる割合で使用され、具体的割合は本発明の教示に従って当業者が適宜に決定することができる。また、上記の金属元素含有有機ケイ素重合体は、ポリシランのケイ素原子の少なくとも一部が、金属原子と酸素原子を介してあるいは介さずに結合された構造を有する、橋かけ重合体である。第1工程で添加される2A族、3A族及び3B族の金属元素を含有する化合物としては、前記金属元素のアルコキシド、アセチルアセトキシド化合物、カルボニル化合物、シクロペンタジエニル化合物等を用いることができ、例えば、ベリリウムアセチルアセトナート、マグネシウムアセチルアセトナート、イットリウムアセチルアセトナート、セリウムアセチルアセトナート、ほう酸ブトキシド、アルミニウムアセチルアセトナート等を挙げることができる。これらはいずれも、ポリシラン或いはその加熱反応物との反応時に生成する有機ケイ素ポリマー中のSi-H結合と反応して、それぞれの金属元素がSiと直接あるいは他の元素を介して結合した構造を生成し得るものである。第2工程第2工程においては、金属元素含有有機ケイ素重合体の紡糸繊維を得る。前駆重合体である金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸及び乾式紡糸のようなそれ自体公知の方法によって紡糸し、紡糸繊維を得ることができる。第3工程第3工程においては、紡糸繊維を酸素含有雰囲気中50~170°Cで加熱して不融化繊維を調製する。不融化の目的は、紡糸繊維を構成するポリマー間に酸素原子による橋かけ点を形成させて、後続の無機化工程において不融化繊維が溶融せず、かつ隣接する繊維同士が融着しないようにすることである。酸素含有雰囲気を構成するガスとしては、空気、酸素、オゾンが例示される。不融化温度は50~170°Cであり、不融化時間は不融化温度に依存するが、通常、数分~30時間である。不融化繊維中の酸素の含有量は8~16重量になるようにコントロールすることが望ましい。この酸素の大部分は、次工程の無機化後も繊維中に残存し、最終の焼結に至るまでの昇温過程において、無機繊維中の余剰炭素をCOガスとして脱離させる重要な働きをする。なお、酸素含有量が8重量より少ない場合は、無機繊維中の余剰炭素が必要以上に残存し、昇温過程においてSiC結晶の回りに偏析して安定化するためβ-SiC結晶同士が粒界第2相を介すことなく焼結することを阻害し、また、16重量よりも多い場合は、無機繊維中の余剰炭素が完全に脱離して繊維間の境界炭素層が生成しない。これらは、いずれも得られる材料の力学的特性に悪影響を及ぼす。前記不融化繊維は、さらに不活性雰囲気中で予備加熱することが好ましい。不活性雰囲気を構成するガスとしては、窒素、アルゴンなどを例示することができる。加熱温度は通常150~800°Cであり、加熱時間は数分~20時間である。不融化繊維を不活性雰囲気中で予備加熱することによって、繊維への酸素の取り込みを防止しつつ、繊維を構成するポリマーの橋かけ反応をより進行させ、前駆体重合体からの不融化繊維の優れた伸びを維持しつつ、強度をより向上させることができる、これにより、次工程の無機化を作業性よく安定に行うことができる。第4工程第4工程においては、不融化繊維を、連続式又は回分式で、アルゴンのような不活性ガス雰囲気中、1000~1700°Cの範囲内の温度で加熱処理して、無機化する。第5工程ASiC繊維結合型セラミックスの場合第3工程で得られた不融化繊維、又は第4工程で得られた無機化繊維を所定の形状、例えば、織物、繊維を一方向に配向したシート、繊維束、又はチョップ状短繊維の少なくとも1種類の形状よりなる予備成形体を所定形状のカーボンダイス中に配置して、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素のうち少なくとも1種からなる雰囲気中で、1700~2200°Cの範囲で加熱する。加熱した後、100~1000kg/cm2の範囲の圧力で加圧処理することによって、ASiC繊維結合型セラミックスを製造することができる。加熱後、予備成形体の表面部の炭素をCOやSiOガスとして排出させるために、その温度で一定時間保持した後に加圧処理を行うことが好ましい。保持する時間は、予備成形体の大きさや種類、及び昇温速度などによって決定される。第5工程B傾斜構造SiC繊維結合型セラミックスの場合第3工程で得られた不融化繊維、又は第4工程で得られた無機化繊維を所定の形状、例えば、織物、繊維を一方向に配向したシート、繊維束、又はチョップ状短繊維の少なくとも1種類の形状よりなる予備成形体に形成し、その表面の少なくとも一部を粉末状及びポーラス状の少なくとも一方の形状の無機物質に接するように所定形状のカーボンダイス中に配置して、真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素のうち少なくとも1種からなる雰囲気中で、1700~2200°Cの範囲で加熱する。加熱した後、100~1000kg/cm2の範囲の圧力で加圧処理することによって、B傾斜構造SiC繊維結合型セラミックスを製造することができる。加熱後、予備成形体の表面部の炭素をCOやSiOガスとして排出させるために、その温度で一定時間保持した後に加圧処理を行うことが好ましい。保持する時間は、予備成形体の大きさや種類、及び昇温速度などによって決定される。前記粉末状やポーラス状の無機物質は、成形後の部品性能に影響を及ぼさない限り限定はないが、主としては、カーボン、BN等が挙げられる。また、この無機物質の形状、サイズは、部品形状や目的とする表面のSiCセラミックスの形成状態によって適宜選択する。例えば、表面SiCの形成層を深くしたい場合は、粉末の平均粒径の大きいものを選択する。この予備成形体が無機物質に接した部分が主にSiCセラミックスからなる表面部となり、その表面部から内部に向かって母材の構造に傾斜的に変化する傾斜構造となっている境界部が形成される。以下、本発明を実施例により説明する。まず、高温における高速燃焼ガス流下での評価方法について示す。[エロージョン試験]IHI製のアーク加熱方式のエロージョン試験装置を用いて、ノズル径75mm、ノズルからの距離35mm、燃焼ガス模擬空気の流量50L/min、電流180Aの条件で200秒実施した。この条件における加熱率をガートンゲージで実測したところ、2.6MW/m2であった。サンプルの表面温度は、燃焼ガスが噴射しているノズル上部に取り付けた覗き窓に放射温度計を設置して、サンプルの斜め上から測定した。実施例1まず、窒素ガス気流下にナトリウム400gを含有する無水キシレンを加熱環流させながら、ジメチルジクロロシラン1Lを滴下し、引き続き10時間加熱環流し沈殿物を生成させた。この沈殿をろ過し、メタノール、次いで水で洗浄して、白色のポリジメチルシラン420gを得た。次に、ジフェニルジクロロシラン750g、及びホウ酸124gを窒素ガス雰囲気下にn-ブチルエーテル中、100~120°Cで加熱し、生成した白色樹脂状物をさらに真空中400°Cで1時間加熱処理することによって、フェニル基含有ポリボロシキサン530gを得た。前述で得られたポリジメチルシラン100部にこのフェニル基含有ポリボロシロキサン4部を添加し、窒素ガス雰囲気中、350°Cで5時間熱縮合して、高分子量の有機ケイ素重合体を得た。この有機ケイ素重合体100部を溶解したキシレン溶液にアルミニウム-トリ-sec-ブトキシドを7部加え、窒素ガス気流下、310°Cで架橋反応させることによって、ポリアルミノカルボシランを合成した。これを245°Cで溶融紡糸し、空気中140°Cで5時間加熱処理した後、更に窒素中300°Cで10時間加熱して不融化繊維を得た。この不融化繊維を窒素中1500°Cで連続焼成し、炭化ケイ素系連続無機繊維を合成した。次に、この繊維の繻子織物シートを作製し、89mm×89mmに切断した後、150枚を積層して、90mm×90mmのカーボンダイス中にセットし、アルゴン雰囲気下、温度1900°C、圧力50MPaでホットプレス成形した。得られたSiC繊維結合型セラミックスから30mm×30mm×1.5mmtの板材を採取し、原料ガスとしてシランSiH4とプロパンC3H8、キャリアガスとして、水素H2を用いて、CVD装置により、膜厚40μmのSiCを被覆することによって、SiCを被覆したSiC繊維結合型セラミックスを合成した。得られたSiCを被覆したSiC繊維結合型セラミックスの表面を光学顕微鏡で観察した結果を図1に、断面を走査型電子顕微鏡で観察した結果を図2に示す。図2において、符号1は、SiC被覆層であり、符号2は、SiC繊維結合型セラミックスであり、符号3は、これらの境界部である。図1より、SiC繊維結合型セラミックスの表面に被覆したSiCにクラックやピンホール等の欠陥や、SiC膜の剥離のないことがわかる。また、図2より被覆直下のSiC繊維結合型セラミックスの組織と内部の組織に変化はなく、SiC被覆によるSiC繊維結合型セラミックスに変質がないことが確認された。そして、このSiCを被覆したSiC繊維結合型セラミックスと被覆していないSiC繊維結合型セラミックスのエロージョン試験を実施し、試験前と試験後の重量変化と表面状態を観察した。表1にエロージョン試験の条件と結果を示す。SiCを被覆していないSiC繊維結合型セラミックスの重量減少率に比べ、表面にSiCを被覆したSiC繊維結合型セラミックスのエロージョン試験後の重量減少率は非常に小さい。図3に表面にSiCを被覆したSiC繊維結合型セラミックスのエロージョン試験後のサンプルの表面状態を示す。SiCを被覆したSiC繊維結合型セラミックスの表面にはエロージョン試験によるガス流の痕跡はない。