内部が2次元的に複数のセルに区画されており、隣接するセル同士を連通する連絡孔が設けられており、外部から作動流体を入れるための注入孔を有する平たいコンテナを用意する準備工程と、注入孔と連絡孔を通じて各セルに作動流体を注入する注入工程と、注入孔と連絡孔を閉じる封止工程と、を含む平型ヒートパイプの製造方法。前記注入工程と封止工程では、未密閉のセル内を脱気する工程、未密閉のセル内に作動流体を注入する工程、注入した作動流体を気化させる工程、特定のセル内の作動流体の濃度が所定の濃度に達した後にその特定のセルを密封する工程、を繰り返すことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。前記注入工程では、それぞれのセルを異なる温度に加熱した後にセル内の作動流体を気化させ、前記封止工程では、注入孔を閉じ、セル群の温度勾配に応じて各セル内の作動流体濃度が変化した後に連絡孔を閉じることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。封止工程の後に、少なくとも一つのセルに圧力を加えてセル容積を小さくする工程をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。請求項1から4のいずれか1項に記載の製造方法によって作られた平型ヒートパイプ。作動流体濃度が異なる複数のセルが2次元的に配置された平型ヒートパイプ。第1実施例図1に、コンテナ10の斜視図を示す。コンテナ10は、複数のセルA~Iに区画されたボディ4と、ボディ4にかぶせる上板2とで構成される。セルA~Iは、2次元的にレイアウトされている。セルA~Iは、全て同じサイズである。ボディ4の側面セルAの側面に注入孔6が設けられている。また、セルを隔てる隔壁には連絡孔8が設けられている。なお、図1では、セルAに設けられた連絡孔にのみ符号8を付したが、他のセルの連絡孔には符号を省略した。ボディ4と上板2は、銅またはアルミニウムで作られている。ボディ4は、プレス加工にて成形される。ボディ4と上板2は、圧着あるいはロウ付けで相互に接合される。ボディ4と上板2が接合されると、連絡孔8を除いてセルは他のセルから隔てられる。出来上がったコンテナ10は、側面に一つの注入孔6を有するとともに隣接するセルを繋ぐ連絡孔8を有する。なお、ボディ4と上板2を接合する前に、各セルには適量のウイッグが入れられる。本明細書ではウイッグについては説明と図示を省略する。次に、第一の製造方法について説明する図2A~図2G。まず、図1に示したコンテナを製作する準備工程。コンテナ10を所定温度まで加熱した後、注入孔6にポンプ21を繋ぎ、コンテナ10の内部を脱気する図2A、脱気工程。脱気により、コンテナ10内部をほぼ真空にする。次に、作動流体22を注入する図2B、注入工程。この時点では作動流体は、揮発性の液体である。作動流体は、水、あるいは、アンモニアなどが用いられるが、他の揮発性流体を用いてもよい。作動流体を注入した後、作動流体が気化するまで待機する図2C、気化工程。液体だった作動流体は、コンテナの熱で加熱されて気化する。ここでは、セルIに求められる作動流体濃度となるまで、待機する。作動流体の濃度が、セルIに求められる濃度となったら、セルIに通じる連絡孔8xを全て閉じる図2D、封止工程。連絡孔8xは、例えば、外部から押しつぶして閉じられる。図2Dの段階で、所望の作動流体濃度を有する密閉されたセルIが完成する。次に、コンテナ10を再び加熱し、ポンプ21を使って、未密封のセルセルA~セルHを脱気する図2E、2度目の脱気工程。作動流体の注入2度目の注入工程、気化2度目の気化工程を繰り返し、作動流体の濃度がセルHに求められる濃度となるまで待機する。セルH内の作動流体の濃度が所望の濃度に達したら、セルHに通じる連絡孔8yを全て閉じる2度目の封止工程。こうして、所望の作動流体濃度を有する密閉されたセルHが完成する図2F。上記の処理を全てのセルを密封するまで繰り返す。即ち、この製造方法は、特定のセルを封止した後、他のセルについて加熱脱気注入気化封止を繰り返す。最後に、セルAを密封する際には注入孔6も閉じる。こうして、それぞれのセルが異なる作動流体濃度を有する平型ヒートパイプ10が完成する図2G。第2実施例次に、第二の製造方法を説明する図3A~図3D。まず、コンテナ10を加熱する。この製造方法では、セルごとに異なる温度に加熱する。例えば、各セルにそれぞれ個別にヒータ当てて加熱する図3A。次に、注入孔6にポンプ21を繋ぎコンテナ内部を脱気する脱気工程。その後、作動流体を注入する図3B、注入工程。作動流体が気化した後、注入孔6だけを封鎖し、しばらく待機する。このとき、連絡孔8は閉じない。すると、セルの温度差に応じて、セル内部の作動流体の濃度が変化する図3C。温度の高いセルの濃度は、温度の低いセルの濃度よりも高くなる。なお、図3Cでは、ハッチングの相違が濃度の相違を表している。各セルの濃度が安定したら、全ての連絡孔8を閉じる図3D、封止工程。こうして、それぞれのセルが異なる作動流体濃度を有する平型ヒートパイプ10が完成する図3D。第3実施例次に、第三の製造方法を説明する図4A~図4D。コンテナ10を加熱し、脱気し、作動流体を注入する図4A。作動流体が気化したら、注入孔6と全ての連絡孔8を閉じる図4B。この製造方法では、この時点では、全てのセルで作動流体の濃度は同じである。この製造方法では、次に、セルの一部を押しつぶし、セルの容積を小さくする図4C。なお、図4Cの下の図は、上の平面図におけるIV-IV線に沿った断面図である。図4Cでは、セルHの一部の領域Hdと、セルIの一部の領域Idを押しつぶしたところを示している。セルH、セルI以外のセルについても、一部を押しつぶす。押しつぶす領域はセルによって異なる。セルの一部を押しつぶし、セルの容積を異ならせることによって、セル内の作動流体の濃度を所望の濃度とすることができる。実施例の技術についての留意点を述べる。実施例では、同じ容積の複数のセルを有するコンテナを用いた。セルのサイズは異なっていてもよい。実施例のヒートパイプでは、コンテナ内に複数のセルが2次元的にレイアウトされている。ここで、複数のセルが2次元的にレイアウトされているとは、平面を規定する2方向X軸方向とY軸方向の夫々でセルが並んでいることを意味する。第1の方法では、一つのセルを密封する毎にコンテナの加熱を繰り返した。これに代えて、コンテナを加熱し続けながら、セルの密封を繰り返してもよい。あるいは、コンテナを所定の温度に保ちながら、セルの密封を繰り返してもよい。全ての隣接するセルの間に連絡孔を設ける必要はない。注入孔から各セルへ通じる通路が確保できればよい。例えば、実施例において、セルEとセルDとの間の連絡孔、及び、セルDとセルGの間の連絡孔はなくともよい。セルAとセルDの間の連絡孔を通じてセルDへ作動流体を送ることができ、セルHとセルGの間の連絡孔を通じてセルGへ作動流体を送ることができるからである。上記したいずれの製造方法も、セル内の作動流体の濃度を、他のセルとは独立に自在に設定することができる。また、上記したいずれの製造方法によっても、作動流体の濃度の異なるセルが2次元的にレイアウトされた平型ヒートパイプが提供される。本発明の代表的かつ非限定的な具体例について、図面を参照して詳細に説明した。この詳細な説明は、本発明の好ましい例を実施するための詳細を当業者に示すことを単純に意図しており、本発明の範囲を限定することを意図したものではない。また、開示された追加的な特徴ならびに発明は、さらに改善された平型ヒートパイプを提供するために、他の特徴や発明とは別に、又は共に用いることができる。また、上記の詳細な説明で開示された特徴や工程の組み合わせは、最も広い意味において本発明を実施する際に必須のものではなく、特に本発明の代表的な具体例を説明するためにのみ記載されるものである。さらに、上記の代表的な具体例の様々な特徴、ならびに、独立及び従属クレームに記載されるものの様々な特徴は、本発明の追加的かつ有用な実施形態を提供するにあたって、ここに記載される具体例のとおりに、あるいは列挙された順番のとおりに組合せなければならないものではない。本明細書及び/又はクレームに記載された全ての特徴は、実施例及び/又はクレームに記載された特徴の構成とは別に、出願当初の開示ならびにクレームされた特定事項に対する限定として、個別に、かつ互いに独立して開示されることを意図するものである。さらに、全ての数値範囲及びグループ又は集団に関する記載は、出願当初の開示ならびにクレームされた特定事項に対する限定として、それらの中間の構成を開示する意図を持ってなされている。以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。