"放射線源から放射され、シート状の試料を透過してくる放射線を前記試料の流れ方向に対して直角に配置されたライン状放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検査装置において、前記放射線源とライン状放射線検出器の位置関係を測定状態に維持したまま試料の幅に対して直角方向に空気層を測定できる程度に僅かに退避させ、退避させた状態で放射線源とライン状放射線検出器の間の空気層を測定して校正用データを作成し、記憶手段に保存するように構成したことを特徴とする放射線検査装置。退避させた前記放射線源及びライン状放射線検出器を元の測定状態に戻し、試料を透過させて前記放射線検出器で検出した出力を前記記憶手段に保存した校正用データに基づいて補正することを特徴とする請求項1記載の放射線検査装置。前記退避位置が一定になるように位置検出器または着脱自在なストッパを設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の放射線検査装置。前記退避位置での校正用データを元に、ライン状放射線検出器を構成する各素子の感度分布個体差に基づき、夫々の素子毎に補正を行なうことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の放射線検査装置。前記校正用データを履歴管理または閾値管理し、線源や検出器の劣化故障診断に用いることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の放射線検査装置。前記退避動作は数十分乃至数時間程度の間隔で行うことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の放射線検査装置。前記放射線は、マイクロ波、ミリ波、紫外線、可視光線、赤外線、ガンマ線、電子線、中性子線、陽子線、アルファ線、ベータ線及びX線を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の放射線検査装置。前記試料はプラスチックシート、金属箔、電池電極材料、コンデンサ等の半導体材料及び紙を含むシート状物体であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の放射線検査装置。ところで、短期-中期に掛けての測定精度に一番影響を与える空気層の変化に対して、数時間おきに退避校正動作を行うことで、通常測定では、大きな問題は無い。但し、工場のコールドスタート時や台風通過等による短時間での大気変動が生じる場合には、数時間単位での校正動作では精度維持が難しい場合がある。校正動作の間隔を短くすることは解決策の一つであるが、退避位置での校正動作中は試料の測定ができなくなるというデメリットが存在する。また図3cに示すような全面測定型の場合には、装置を試料の全幅から外れるまで装置を引き出す必要があるため、装置自体の幅Wに対して2.5倍程度の幅が必要となり、また、退避動作そのものが行い難いと言う状況がある。比較的測定値に影響を与え易い温度変化を小さくするために測定ギャップの空気層に恒温化した空気を吹き付ける等の対策も行なわれているが、空気消費が多い恒温化のためのヒータ電力が必要となる等の問題がある。したがって本発明は、主に大気変動を由来として生じる測定信号の変動を補正するに際し、放射線源と放射線センサの位置関係を測定状態に維持したまま試料の幅に直角方向に空気層を測定できる程度に最小限の範囲で移動させることにより、フットプリント空きスペースの削減を図った放射線検査装置を提供することを目的としている。このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の放射線検査装置の発明は、放射線源から放射され、シート状の試料を透過してくる放射線を前記試料の流れ方向に対して略直角に配置されたライン状放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検査装置において、前記放射線源とライン状放射線検出器の位置関係を測定状態に維持したまま試料の幅に対して直角方向に空気層を測定できる程度に僅かに退避させ、退避させた状態で放射線源とライン状放射線検出器の間の空気層を測定して校正用データを作成し、記憶手段に保存するように構成したことを特徴とする。請求項2においては、請求項1記載の放射線検査装置において、退避させた前記放射線源及びライン状放射線検出器を元の測定状態に戻し、試料を透過させて前記放射線検出器で検出した出力を前記記憶手段に保存した校正用データに基づいて補正することを特徴とする。請求項3においては、請求項1または2記載の放射線検査装置において、前記退避位置が一定になるように放射線検査装置を構成するガイドユニットに位置検出器または着脱自在なストッパを設けたことを特徴とする。請求項4においては、請求項1乃至3のいずれかに記載の放射線検査装置において、退避位置で作成した校正用データを元に、ライン状放射線検出器を構成する各素子の感度分布個体差に基づき、夫々の素子毎に補正を行なうことを特徴とする。請求項5においては、請求項1乃至4のいずれかに記載の放射線検査装置において、取得した校正用データを履歴管理または閾値管理し、線源や検出器の劣化故障診断に用いることを特徴とする。請求項6においては、請求項1乃至5のいずれかに記載の放射線検査装置において、前記退避動作は数十分乃至数時間程度の間隔で行うことを特徴とする。請求項7においては、請求項1乃至6のいずれかに記載の放射線検査装置において、前記放射線は、マイクロ波、ミリ波、紫外線、可視光線、赤外線、ガンマ線、電子線、中性子線、陽子線、アルファ線、ガンマ線、ベータ線及びX線を含むことを特徴とする。請求項8においては、請求項1乃至7のいずれかに記載の放射線検査装置において、試料はプラスチックシート、金属箔、電池電極材料、コンデンサ等の半導体材料及び紙を含むシート状物体の厚さ坪量を測定することを特徴とする。本発明によれば以下のような効果がある。線源変動や大気変動、ダスト等にまつわる変動を補正する際にフレーム全体を試料上から退避する必要が無く、校正データ更新時のフットプリントを減じることができる。また、移動に伴う、退避動作を最小限として、退避校正処理に関わる時間を短縮できると共に退避時にも欠損データを最小限にすることができる。また、通常測定に用いるラインセンサと線源をそのまま利用することにより、新たな測定機器を備える必要が無く、校正処理に関わるコストアップを回避することができる。また、従来の校正動作に準ずる構造とすることで、信頼性を確保することができる。以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の実施形態の一例を示す構成図でaは測定状態の斜視図、bはラインセンサと放射線源を試料の幅方向に直角方向に僅かに移動させたずらした状態を示す斜視図である。なお、図3b,cに示す従来例とはC型フレームをガイドユニット8に沿って僅かに引き出してストッパ9に当接させ、試料から露出した部分の空気層を測定する点のみが異なっている。ストッパ9は図示しないねじなどで着脱自在に固定されており、メンテナンスなどを行う際にはストッパははずされてC型フレームが試料から完全に離れた状態とされる。図ではC型フレームを退避させるガイドユニットの長さは短く表示されているが実際には十分な退避ができる程度に形成されている。なお、C型フレームをガイドユニット8に沿って僅かに引き出すに際しては近接スイッチ、リミットスイッチを含む位置検出器を用いても良い。図1aに示すように、線源2aとラインセンサ3a間に試料1を置き、試料を透過したときの放射線減衰量から試料厚さを求める場合には、大気による減衰を含んで測定していることになる。試料の厚さを正確に求めたい場合には、大気による減衰分を補正することが重要である。図4bで説明したように大気による減衰分を補正する場合、従来はC型フレームを試料1から完全に引き出した状態で空気層を測定し、その測定結果に基づいて試料の厚さを補正していた。本発明では、予め、線源2aと検出器ラインセンサ3aと位置関係を保った状態でラインセンサの一部が試料1の投影を受けない位置に退避させて、空気層での測定を行なう。そして、退避させて測定した空気層での測定結果を元に検量線を用いて坪量化を行う。退避動作は数十分乃至数時間程度の間隔で行う。坪量化した値は、空気層測定に用いた検出器と他の検出器における信号強度分布や感度特性、個別の器差等を合わせた個別の特性に合わせて全ての検出器に対応する校正用坪量データとして記憶手段に記憶する。試料全幅の測定を行なう際には、線源とラインセンサの位置関係を保って所定の測定位置に移動する。試料透過時の減衰を受けた線束をラインセンサで測定し、この結果を検量線に合わせて坪量を計算する。その後、各ラインセンサに合わせて記憶しておいた校正用データを用い、試料透過時の減衰を受けた放射線をラインセンサで測定して得た坪量の補正を行なう。坪量の補正は、各ラインセンサの特性を取得した際に得た校正データに対する差分値を記憶して、試料測定を行なう際に得た測定値からこの差分値を減算しても良いし、各校正データ取得処理の度に更新する校正値の絶対値を用いて減算しても良い。以下に、校正データ分布補正について説明する。各素子の校正データ分布を求めるには幾つかの方法があるが、例えば次のようなものがある。1検量線の差に基づく分布補正方法例えば、一部退避を行なって、校正を行なうための素子における検量線と測定時における他の素子との間に図2aに見るような違いがあるとする。イで示す曲線は該当素子a1の検量線、ロで示す曲線は該当素子の検量線である。こうした違いは、各素子の器差や線源分布及び測定素子の位置等により生じる。各々の素子において、信号強度に対する坪量の変化は予め個別の検量線として与えられている。また、校正用素子に対する該当素子の検出感度も予め採取されている。校正用素子で受けた線量の変化は、各々の該当素子との感度比を用いて該当素子における変動量を求める。この変動量に対する坪量の変化を該当素子における補正量として用いる。例えば、校正用素子と該当素子a1の感度比が5あった場合に校正用素子の信号強度が10減じられて測定された場合には、該当素子a1における信号強度は10.5が減じられた物として検量線から坪量を算出する。この坪量を用いて測定時の補正を行なえば良い。2大気の厚さに基づく分布補正方法校正用素子のある位置における大気の厚さと該当素子のある位置における大気の厚さには、差がある。例えば、図2bでは該当素子の位置における大気の厚さは、校正用素子の位置における大気の厚さのcosθ倍である。ハで示す素子は該当素子の位置、二で示す素子は校正用素子の位置である。このように検出器の各位置における大気の厚さに相当する比率を校正用素子から求めた坪量に乗ずることにより各々の素子位置による校正用分布を算出し、測定時の補正を行なえば良い。校正データ取得処理は、定時的に或いは、温度や気圧等大気変化が一定の閾を超えた場合、或いは銘柄変更等の適宜のタイミングで行なえば良く、次回校正データ取得まで校正用データを保持して測定演算に用い続ける。校正用データに用いる検量線は、空気に合わせて作成した物でも良いし、試料種類に合わせて作成した検量線から得た結果に対して空気感度に合わせた補正を適宜行なったものでも良いし、検量線に代えて、例えば経験則や論理則による近似式や参照テーブルを用いてもよい。図3a,bは本発明の放射線測定装置を用いた信号処理の流れを示すフローチャートである。図においてaは試料測定用センサで測定した信号処理の流れ、bはC型フレームを僅かに退避させて、所定時間ごとにバッチで空気層を測定するフローである。図3aにおいて、Step1:放射線が試料全面を透過する測定状態でラインセンサにより試料を透過した後の放射線信号を測定する。Step2:検量線を用い、Step3:厚さ坪量を求める。図3bにおいて、Step1’:退避位置における線源2aとラインセンサの間の空気層を測定する。Step2’:その信号を用いて検量線を作成する。Step3’:作成した検量線を用いて校正用の坪量を計算する。Step4’:校正データの分布補正を行う。Step5’:校正データの補正分布データを記憶手段に記憶する。図3aに戻り、Step4:Step5’で記憶した補正分布データで校正用の坪量を減算する。ステップ5:補正後の坪量を求め、ステップ6:補正された坪量を測定値として出力する。以上のステップにより厚さ測定の補正が行なうことができる。なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。"