"基台と、搬送対象を搬送する搬送部と、前記基台に連結された受圧部と、を備え、前記搬送部には前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する押圧部が設けられ、前記受圧部には前記押圧部の一部と係合する係合部が設けられていることを特徴とするハンドラー。前記押圧部は、前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する第1押圧部と、前記第1押圧部を前記基台に向けて押圧する第2押圧部とを備え、前記受圧部の前記係合部は、前記第2押圧部の一部に設けられた突出部と係合するように可動する請求項1に記載のハンドラー。前記押圧部は、前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する第1押圧部と、前記第1押圧部を前記基台に向けて押圧する第2押圧部とを備え、前記受圧部の前記係合部は、前記第2押圧部の一部に設けられた突出部との係合を解除するように可動する請求項2に記載のハンドラー。前記第1押圧部は、押圧シリンダーであり、前記第2押圧部は、前記押圧シリンダーを上昇及び下降させるモーターを含んでなり、前記第1押圧部の押圧力は、前記第2押圧部の押圧力よりも大きい請求項3に記載のハンドラー。前記モーターの駆動を制御するモーター制御部を備え、前記モーター制御部は、前記押圧シリンダーが前記搬送対象を押圧する状態で、前記モーターをトルク制御により駆動する請求項4に記載のハンドラー。前記モーターの駆動を制御するモーター制御部を備え、前記モーター制御部は、前記押圧シリンダーが前記搬送対象を押圧する前に、前記モーターをトルク制御により駆動する請求項4又は5に記載のハンドラー。前記係合部は、互いに向い合う一対の可動アームであって、前記一対の可動アームは、前記突出部と係合する位置と、前記突出部から離間する位置とに変位する請求項2~6のいずれか一項に記載のハンドラー。前記搬送部は、複数の前記搬送対象を吸着する状態を有し、前記押圧部は、複数の前記搬送対象を押圧する状態を有する請求項1~7のいずれか一項に記載のハンドラー。基台と、電子部品を搬送する搬送部と、前記基台に連結された受圧部と、前記基台に設けられた検査用ソケットと、を備え、前記搬送部には前記電子部品を前記基台の前記検査用ソケットに向けて押圧する押圧部が設けられ、前記受圧部には前記押圧部の一部と係合する係合部が設けられていることを特徴とする部品検査装置。ところで、上述したように、電子部品に形成された各端子の接続には所定の押圧力が必要であることから、電子部品の端子数や電子部品の個数が増えると、上記空圧シリンダーに必要とされる押圧力も大きくなる。一方、こうして空圧シリンダーの押圧力が大きくなると、検査用ソケットからの反力も自ずと大きくなる。そして、上記空圧シリンダーを支持する部材や空圧シリンダーを移動させるためのレールには、上記反力によって変形しない程度の剛性が必要になる。しかしながら、こうした部材及びレールの剛性を高めるためには、該部材及びレールを有した搬送部の大型化や重量化が免れ得ない。なお、こうした問題は、上述したように、モーターと空圧シリンダーとを用いて電子部品を押圧するハンドラーに限らず、搬送部に設けられた1つ以上の押圧部を用いて搬送対象を押圧するハンドラーに共通した問題である。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送対象を搬送する搬送部によって搬送対象を押圧するハンドラーにおいて、搬送部の大型化や重量化を抑えることの可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置を提供することにある。本発明の態様の一つは、ハンドラーが、基台と、搬送対象を搬送する搬送部と、前記基台に連結された受圧部と、を備え、前記搬送部には前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する押圧部が設けられ、前記受圧部には前記押圧部の一部と係合する係合部が設けられている。押圧部による押圧力が搬送対象に作用する際には、該押圧力に抗した反力が搬送部に作用することになる。上記の態様によれば、押圧力の反力うち、その一部は搬送部に作用するものの、その残部は、受圧部に設けられた係合部を介して基台に作用することとなる。つまり、押圧力の反力の全てが、搬送部に作用することはなく、該反力の一部は、基台に分散することになる。これにより、所望の押圧力で搬送対象が押圧されるものの、搬送部に求められる剛性は、押圧力の反力の一部に耐えうるもので足りる。そのため、搬送部の大型化や重量化を抑えることができる。本発明の態様の一つは、前記押圧部は、前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する第1押圧部と、前記第1押圧部を前記基台に向けて押圧する第2押圧部とを備え、前記受圧部の前記係合部は、前記第2押圧部の一部に設けられた突出部と係合するように可動することが好ましい。上記の構成によれば、押圧部を構成する第1押圧部と第2押圧部とのうち、受圧部の係合部は、第2押圧部の一部に設けられた突出部と係合するように可動する。そのため、上記係合によって第1押圧部の押圧力によって第2押圧部が押し返されることを抑えることが可能である。しかも、搬送対象に加わる押圧力が、受圧部と第2押圧部との機械的な係合で定まることになるため、該押圧力が変動することを抑えることが可能にもなる。本発明の態様の一つは、前記押圧部は、前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する第1押圧部と、前記第1押圧部を前記基台に向けて押圧する第2押圧部とを備え、前記受圧部の前記係合部は、前記第2押圧部の一部に設けられた突出部との係合を解除するように可動することが好ましい。上記の構成によれば、押圧部を構成する第1押圧部と第2押圧部とのうち、受圧部の係合部は、第2押圧部の一部に設けられた突出部との係合を解除するように可動する。そのため、上記係合によって第1押圧部の押圧力によって第2押圧部が押し返されることを抑えることが可能であり、また、該係合の解除により、押圧部の移動が突出部によって影響されにくくなる。しかも、搬送対象に加わる押圧力が、受圧部と第2押圧部との機械的な係合で定まることになるため、該押圧力が変動することを抑えることが可能にもなる。本発明の態様の一つは、前記第1押圧部は、押圧シリンダーであり、前記第2押圧部は、前記押圧シリンダーを上昇及び下降させるモーターを含んでなり、前記第1押圧部の押圧力は、前記第2押圧部の押圧力よりも大きいことが好ましい。押圧シリンダーから加えられる押圧力は、通常、押圧シリンダーの作動圧を大きくすること、例えば押圧シリンダーに供給される圧縮空気の圧力を高めることによって大きくなる。上述した態様では、相対的に大きい押圧力が必要とされる第1押圧部が、このような押圧シリンダーによって構成される。そのため、相対的に大きい押圧力がモーターの駆動によって加えられる構成と比較して、搬送部の構成を簡単にすること、ひいてはハンドラーの構成を簡単にすることが可能となる。また、第1押圧部がモーターから構成される場合と比較して、搬送対象に加わる押圧力を大きくすることが容易にもなる。本発明の態様の一つは、前記モーターの駆動を制御するモーター制御部を備え、前記モーター制御部は、前記押圧シリンダーが前記搬送対象を押圧する状態で、前記モーターをトルク制御により駆動することが好ましい。モーターを用いた搬送対象の押圧は、モーターの位置制御及びトルク制御の少なくとも一つにより行うことが可能である。なお、位置制御とは、押圧シリンダーの位置が所定の位置となるように、モーターの回転位置を制御するものである。他方、トルク制御とは、搬送対象に所定の押圧力が加わるように、モーターの発生トルクを制御するものである。ここで、上記押圧シリンダーの押圧力が大きくなるほど、該押圧シリンダーの支持側に対する反力、すなわち上記モーターに対する負荷も大きくなる。このとき、上述した位置制御によりモーターが駆動されていると、モーターの出力が上記反力を上回らない限り、モーターの回転位置は目的とする回転位置に到達しないことになる。そして、モーターの駆動電流が増大し続けることとなり、モーターの内部に過剰な負荷が加わることとなる。この点、上記の態様では、押圧シリンダーの押圧力が搬送対象に加わる状態で、モーターがトルク制御により駆動される。そのため、押圧シリンダーの伸長によって該押圧シリンダーの支持側が押し返されたとしても、モーターが所定のトルクを出力する以上は、該モーターに過剰な負荷が加わることはない。本発明の態様の一つは、前記モーターの駆動を制御するモーター制御部を備え、前記モーター制御部は、前記押圧シリンダーが前記搬送対象を押圧する前に、前記モーターをトルク制御により駆動することが好ましい。上記の態様によれば、押圧シリンダーが搬送対象に押圧力を加えるときには、モーターがトルク制御によって駆動されている。そのため、モーターに過剰な負荷が加わることがないうえ、搬送対象に加えられる押圧力が安定することにもなる。本発明の態様の一つは、前記係合部が、互いに向い合う一対の可動アームであって、前記一対の可動アームは、前記突出部と係合する位置と、前記突出部から離間する位置とに変位することが好ましい。上記の態様によれば、互いに向い合う一対の可動アームと押圧部に設けられた突出部とが係合し、押圧部からの押圧力の反力が、互いに向かい合う一対の可動アームの各々に作用することになる。それゆえに、押圧部からの押圧力の反力が、一カ所に作用する態様と比較して、該反力の分散する範囲を広くすることが可能であって、ひいては受圧部や基台に求められる剛性を抑えることが可能となる。本発明の態様の一つは、前記搬送部は、複数の前記搬送対象を吸着する状態を有し、前記押圧部は、複数の前記搬送対象を押圧する状態を有することが好ましい。複数の搬送対象を押圧する状態を有する態様では、搬送対象の個数が大きくなるに連れて、複数の搬送対象の全体に加えられる押圧力も自ずと大きくなる状態を有することになる。この際、接続対象の全体に加えられる押圧力に合わせて、該押圧力の反力も自ずと大きくなる状態を有することになる。この点、上記の態様によれば、上述のようにして大きくなる反力の一部が、基台に分散することになる。それゆえに、搬送部の大型化や重量化を抑えることができるという効果が、より顕著なものとなる。本発明の態様の一つは、部品検査装置が、基台と、電子部品を搬送する搬送部と、前記基台に連結された受圧部と、前記基台に設けられた検査用ソケットと、を備え、前記搬送部には前記電子部品を前記検査用ソケットに向けて押圧する押圧部が設けられ、前記受圧部には前記押圧部の一部と係合する係合部が設けられている。押圧部による押圧力が電子部品に作用する際には、該押圧力に抗した反力が搬送部に作用することになる。上記の態様によれば、押圧力の反力うち、その一部は搬送部に作用するものの、その残部は、受圧部に設けられた係合部を介して基台に作用することとなる。つまり、押圧力の反力の全てが、搬送部に作用することはなく、該反力の一部は、基台に分散することになる。これにより、所望の押圧力で搬送対象が押圧されるものの、搬送部に求められる剛性は、押圧力の反力の一部に耐えうるもので足りる。そのため、搬送部の大型化や重量化を抑えることができる。以下、本発明のハンドラー及び部品検査装置を具体化した一実施形態について、図1~図12を参照して説明する。まず、部品検査装置の構成について図1を参照して説明する。[部品検査装置の構成]図1に示されるように、部品検査装置の備えるハンドラー10の基台11には、各種ロボットの搭載される搭載面11aが上面として設けられ、該搭載面11aの大部分が、カバー部材12によって覆われている。これらカバー部材12と搭載面11aとにより囲まれた空間である搬送空間は、部品検査装置の外部から供給されるドライエアーにより湿度と温度とが所定の値に維持されている。基台11の搭載面11aには、一つの方向に延びる4つのコンベアーが、該コンベアーの搬送方向と直交する方向に配列されている。4つのコンベアーのうち、コンベアーの配列方向であるX方向の一方側には、2つの供給用コンベアーC1,C2が敷設され、他方、X方向の他方側には、2つの回収用コンベアーC3,C4が敷設されている。そして、供給用コンベアーC1,C2では、供給用コンベアートレイC1a,C2aが、カバー部材12の外側から内側に向かって運ばれる。また、回収用コンベアーC3,C4では、回収用コンベアートレイC3a,C4aが、カバー部材12の内側から外側に向かって運ばれる。なお、供給用コンベアートレイC1a,C2aには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Tが収容され、また、回収用コンベアートレイC3a,C4aには、検査後の複数の電子部品Tが収容されている。上記基台11の搭載面11a上には、X方向において互いに向い合う供給ロボット20と回収ロボット40とが搭載されている。供給ロボット20は、供給用コンベアーC1,C2のY方向に配置され、また、回収ロボット40は、回収用コンベアーC3,C4のY方向に配置されている。供給ロボット20は、Y方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド21と、供給側固定ガイド21に連結された可動軸である供給側可動ガイド22と、供給側可動ガイド22に連結され、且つ供給側可動ガイド22に沿って移動する供給用ハンドユニット23とを有している。供給側可動ガイド22は、供給側固定ガイド21から回収ロボット40側へ延びる可動軸であって、供給側固定ガイド21に対し、Y方向に往動及び復動可能に連結されている。供給用ハンドユニット23は、供給側可動ガイド22の搭載面11a側に配置されたエンドエフェクターであって、供給側可動ガイド22に対し、X方向に往動及び復動可能に連結されている。また、供給用ハンドユニット23は、供給側可動ガイド22から搭載面11aに向けた下降と、搭載面11a側から供給側可動ガイド22に向けた上昇とを可能に、供給側可動ガイド22に連結されている。そして、供給側可動ガイド22が、供給側固定ガイド21に沿って供給用コンベアーC1,C2側へ移動するとともに、供給用ハンドユニット23が、供給側可動ガイド22に沿って供給用コンベアートレイC1a,C2aの直上にまで移動する。これにより、供給用コンベアートレイC1a,C2aに載置された電子部品Tが、供給用ハンドユニット23に吸着され、その後、供給用コンベアートレイC1a,C2aから持ち上げられる。また、この状態から、供給側可動ガイド22が、供給側固定ガイド21に沿って供給用コンベアーC1,C2上から離れることによって、供給用ハンドユニット23に吸着された電子部品Tが、上述した搬送空間内の所定の位置へ供給される。回収ロボット40は、供給ロボット20と同じく、Y方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド41と、回収側固定ガイド41に連結された可動軸である回収側可動ガイド42と、回収側可動ガイド42に連結され、且つ回収側可動ガイド42に沿ってX方向に移動する回収用ハンドユニット43とを有している。回収側可動ガイド42は、回収側固定ガイド41から供給ロボット20側へ延びる可動軸であって、回収側固定ガイド41に対し、Y方向に往動及び復動可能に連結されている。回収用ハンドユニット43は、回収側可動ガイド42の搭載面11a側に配置されたエンドエフェクターであって、回収側可動ガイド42に対し、X方向に往動及び復動可能に連結されている。また、回収用ハンドユニット43は、回収側可動ガイド42から搭載面11aに向けた下降と搭載面11a側から回収側可動ガイド42に向けた上昇とを可能に、回収側可動ガイド42に連結されている。そして、回収側可動ガイド42が、回収側固定ガイド41に沿って回収用コンベアーC3,C4側へ移動するとともに、回収用ハンドユニット43が、回収側可動ガイド42に沿って、回収用コンベアートレイC3a,C4aの直上にまで移動する。これにより、回収用ハンドユニット43に吸着された電子部品Tが、回収用コンベアートレイC3a,C4aに載置される。カバー部材12の内側面には、Y方向に延びる搬送ガイド31が、該内側面におけるX方向の略中央に固定されている。この搬送ガイド31における両端部の下方には、X方向に延びる第1シャトル32と、同じくX方向に延びる第2シャトル37とが配設されている。第1シャトル32は、搭載面11aに固設されたX方向に延びる第1シャトルガイド32cに連結され、X方向において、供給側可動ガイド22及び回収側可動ガイド42のいずれか一方と重なるように、X方向にスライドする。第1シャトル32における上記供給ロボット20側には、供給用シャトルトレイ32aが固定され、また、第1シャトル32における上記回収ロボット40側には、回収用シャトルトレイ32bが固定されている。供給用シャトルトレイ32aには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Tが収容され、また、回収用シャトルトレイ32bには、検査後の複数の電子部品Tが収容されている。第2シャトル37は、これもまた、搭載面11aに固設されたX方向に延びる第2シャトルガイド37cに連結され、X方向において、供給側可動ガイド22及び回収側可動ガイド42のいずれか一方と重なるように、X方向にスライドする。第2シャトル37における上記供給ロボット20側には、供給用シャトルトレイ37aが固定され、また、第2シャトル37における上記回収ロボット40側には、回収用シャトルトレイ37bが固定されている。供給用シャトルトレイ37aには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Tが収容され、また、回収用シャトルトレイ37bには、検査後の複数の電子部品Tが収容されている。搭載面11aのうち、搬送空間の略中央には、搭載面11aを貫通する矩形開口が設けられるとともに、複数の電子部品Tの検査を同時に行う接続対象としての検査用ソケット33が該矩形開口に埋設されている。検査用ソケット33は、電子部品Tが嵌め込まれるソケットであって、該電子部品Tを検査するための図示されない検査ユニットに連結されている。検査ユニットは、基台11の内部に収容されたハンドラーとは別体の装置であって、ハンドラーとともに部品検査装置を構成している。検査用ソケット33の上面には、複数の電子部品Tを同時に収容することの可能な検査用ポケット33aが凹設され、また、検査用ポケット33aの底面には、電子部品Tの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設されている。そして、電子部品Tが有する雄端子が検査用ポケット33aの雌端子に嵌め込まれることによって、該電子部品Tの電気的特性が検査可能になる。なお、検査用ポケット33aが有する端子は、基台11内に搭載された別体である検査ユニットに接続され、電子部品Tが有する端子は、検査用ポケット33aが有する端子を介し、検査ユニット内の検査回路に接続される。そして、検査用ソケット33による検査の結果は、該検査ユニットからハンドラー10に出力される。上記搬送ガイド31には、搬送部を構成する第1搬送ユニット34と第2搬送ユニット38とがY方向に並んで連結されている。第1搬送ユニット34は、第1シャトル32と検査用ソケット33との間を、Y方向に沿って往動及び復動する。第1搬送ユニット34の下端部は、搬送ガイド31と搭載面11aとの間を、Z方向に沿って下降及び上昇する。そして、第1搬送ユニット34は、供給用シャトルトレイ32aに収容された電子部品Tを該第1搬送ユニット34の下端部で保持したり、保持した電子部品Tを検査用ソケット33にまで搬送したり、該電子部品Tを検査用ソケット33に嵌め込んだりする。また、第1搬送ユニット34は、検査用ソケット33に嵌め込まれた電子部品Tを該第1搬送ユニット34の下端部で取り出したり、取り出した電子部品Tを回収用シャトルトレイ32bに載置したりする。第2搬送ユニット38は、第2シャトル37と検査用ソケット33との間を、Y方向に沿って往動及び復動する。第2搬送ユニット38の下端部は、搬送ガイド31と搭載面11aとの間を、Z方向に沿って下降及び上昇する。そして、第2搬送ユニット38は、供給用シャトルトレイ37aに載置された電子部品Tを該第2搬送ユニット38の下端部で保持したり、保持した電子部品Tを検査用ソケット33にまで搬送したり、該電子部品Tを検査用ソケット33に嵌め込んだりする。また、第2搬送ユニット38は、検査用ソケット33に嵌め込まれた電子部品Tを該第2搬送ユニット38の下端部で取り出したり、取り出した電子部品Tを回収用シャトルトレイ37bに載置したりする。また、搭載面11aのうち、検査用ソケット33のX方向における両側には、受圧部を構成する一対の受圧アーム機構35,36が固設されている。[部品検査装置の作用]上記ハンドラー10では、まず、検査前の電子部品Tが、外部装置から供給用コンベアートレイC1a,C2aに移載される。次いで、供給用コンベアーC1,C2が駆動されることによって、検査前の電子部品Tが搬送空間内にまで運ばれる。そして、検査前の電子部品Tが搬送空間内にまで運ばれると、供給側可動ガイド22が、供給側固定ガイド21に沿って供給用コンベアーC1,C2上にまで移動する。続いて、供給用ハンドユニット23が、供給用コンベアートレイC1a,C2aの直上にまで移動して電子部品Tを保持すると、供給側可動ガイド22が、供給側固定ガイド21に沿って第1シャトル32上まで移動する。次いで、供給側可動ガイド22が第1シャトル32上に到達すると、供給用ハンドユニット23が第1シャトル32上まで移動するとともに、供給用シャトルトレイ32aの直上に供給用ハンドユニット23が位置するように、第1シャトル32もスライドする。そして、供給用ハンドユニット23の保持した検査前の電子部品Tが、供給用ハンドユニット23から供給用シャトルトレイ32aに移載される。検査前の電子部品Tが供給用シャトルトレイ32aに移載されると、第1搬送ユニット34が第1シャトル32上にまで移動するとともに、供給用シャトルトレイ32aの直上に第1搬送ユニット34の下端部が位置するように、第1シャトル32もスライドする。次いで、第1搬送ユニット34の下端部が、供給用シャトルトレイ32aに向けて下降し、供給用シャトルトレイ32aに移載された検査前の電子部品Tが、第1搬送ユニット34の下端部に保持される。続いて、第1搬送ユニット34が検査用ソケット33上にまで移動し、検査前の電子部品Tが、検査用ソケット33の直上にまで搬送される。そして、検査前の電子部品Tが、第1搬送ユニット34の下端部とともに下降することによって、検査用ポケット33a内の雌端子に対し、電子部品Tの雄端子が嵌め込まれる。このようにして検査用ソケット33に検査前の電子部品Tが嵌め込まれると、電子部品Tの検査を開始するための検査開始信号が、ハンドラー10から検査ユニットに出力され、これにより、電子部品Tの検査が検査ユニットにて開始される。その後、電子部品Tの検査が終了したことを示す検査終了信号が、検査ユニットからハンドラー10に出力されると、検査後の電子部品Tが第1搬送ユニット34に保持された状態で、第1搬送ユニット34の下端部が上昇し、これにより検査後の電子部品Tが検査用ソケット33から取り出される。続いて、第1搬送ユニット34が、検査用ソケット33上から第1シャトル32上にまで移動するとともに、回収用シャトルトレイ32bの直上に第1搬送ユニット34が位置するように、第1シャトル32がスライドする。そして、第1搬送ユニット34の下端部が下降して電子部品Tの保持が解除されると、検査後の電子部品Tが第1搬送ユニット34から回収用シャトルトレイ32bに移載される。検査後の電子部品Tが回収用シャトルトレイ32bに移載されると、回収側可動ガイド42が回収側固定ガイド41に沿って第1シャトル32上にまで移動する。さらに、回収側可動ガイド42が第1シャトル32上に移動すると、回収用ハンドユニット43が第1シャトル32上にまで移動するとともに、回収用シャトルトレイ32bの直上に回収用ハンドユニット43が位置するように、第1シャトル32もスライドする。そして、回収用シャトルトレイ32bに移載された検査後の電子部品Tが、回収用ハンドユニット43に保持される。検査後の電子部品Tが回収用ハンドユニット43に保持されると、回収側可動ガイド42が、第1シャトル32上から回収用コンベアーC3,C4上にまで移動する。次いで、回収用ハンドユニット43が回収用コンベアートレイC3a,C4aの直上にまで移動し、検査後の電子部品Tが、検査結果毎に分類された状態で、回収用コンベアートレイC3a,C4aに移載される。なお、供給ロボット20と第2シャトル37との間でも、上述した供給ロボット20と第1シャトル32との間と同様に、検査前の電子部品Tが移載される。また、第2シャトル37と第2搬送ユニット38との間でも、上述した第1シャトル32と第1搬送ユニット34との間と同様に、検査前の電子部品T及び検査後の電子部品Tが移載される。さらにまた、第2シャトル37と回収ロボット40との間でも、上述した第1シャトル32と回収ロボット40との間と同様に、検査後の電子部品Tが移載される。[ハンドラーの詳細構成]次に、ハンドラー10の備える第1搬送ユニット34及び第2搬送ユニット38の構成について図2を参照して詳細に説明する。なお、第1搬送ユニット34と第2搬送ユニット38とは、搬送ガイド31との連結位置や移動先となるシャトルが互いに異なるものの、電子部品Tを押圧するための構成が同様であるため、以下では、第1搬送ユニット34について説明し、第2搬送ユニット38についての説明は割愛する。また、図2は、第1搬送ユニット34の周辺構造をコンベアー側からみた端面図であり、検査用ソケット33の直上に第1搬送ユニット34が配置された状態を示している。上述した搬送ガイド31には、検査前の電子部品Tを搬送するための第1搬送ユニット34が連結されている。第1搬送ユニット34を構成する水平移動アーム51は、搬送ガイド31に沿って往動及び復動可能に連結されている。水平移動アーム51の下端部には、垂直移動アーム52が、水平移動アーム51に対し上昇及び下降可能に連結されている。垂直移動アーム52は、水平移動アーム51内に搭載された押圧モーター51Mが回転することによって、水平移動アーム51に対して上昇及び下降する。また、垂直移動アーム52の下端部には、X方向に突出する突出部である被受圧片52aがY方向の全幅にわたり固設され、また、垂直移動アーム52の下端部には、空圧により作動する押圧シリンダー53が、搭載面11aに向けて連結されている。ここで、押圧シリンダー53は、第1押圧部を構成し、押圧モーター51M、垂直移動アーム52、及び被受圧片52aは第2押圧部を構成している。そして、第1押圧部と第2押圧部とが、押圧部を構成している。押圧シリンダー53には、図示しない圧縮空気供給部が接続されている。圧縮空気供給部は、例えば、部品検査装置の設置された施設が備えるガス供給系と、該ガス供給系の圧縮空気の供給を制御するバルブ等を有するものである。ガス供給系は、大気圧を基準圧力としたときの相対圧力が、例えば0.5MPaである圧縮空気を供給する。そして、押圧シリンダー53は、圧縮空気供給部から圧縮空気が供給されることによりZ方向に伸長し、該供給された圧縮空気が排気されることによりZ方向に収縮する。押圧シリンダー53の下端部には、例えば真空吸着によって電子部品Tを吸着することの可能なエンドエフェクターである複数の吸着部54が連結されている。吸着部54は、例えば吸着用のノズルと、該ノズルに接続された真空ポンプ等によって構成されている。上記搭載面11aにおける検査用ソケット33のX方向両側には、互いに向い合う受圧アーム機構35,36が、検査用ソケット33を挟むように配設されている。受圧アーム機構35,36は、搭載面11aに固設された支持体35a,36aと、該支持体35a,36aの上面にてX方向に往動及び復動可能に連結された受圧アーム35b,36bとを有している。受圧アーム35b,36bは、押圧部の一部である被受圧片52aと係合する係合部である。受圧アーム35b,36bには、図示されない圧縮空気供給部に接続されたアームシリンダーが連結されている。圧縮空気供給部は、例えば、上記押圧シリンダー53に接続された圧縮空気供給部と同様の構成である。そして、検査用ソケット33の直上に第1搬送ユニット34が配置され、且つ受圧アーム35b,36bのアームシリンダーに圧縮空気が供給されると、受圧アーム35b,36bがX方向に互いに近づき、該受圧アーム35b,35bが被受圧片52aに係合可能な係合位置に変位する。また、この状態から、アームシリンダー内の圧縮空気が排気されると、受圧アーム35b,36bがX方向に互いに離れ、該受圧アーム35b,36bが被受圧片52aから離間する離間位置に変位する。このように、受圧アーム35b,36bが可動する構造によって、受圧アーム35b,36bと被受圧片52aとの係合、又は、該係合の解除ができる。[ハンドラーの電気的構成]上記ハンドラー10の電気的構成について図3を参照して説明する。上記ハンドラー10に備えられた制御装置60は、中央処理装置CPU、不揮発性メモリROM、及び揮発性メモリRAMを有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。制御装置60は、上記ROM及びRAMに格納された各種データ及びプログラムに基づいて、ハンドラー10の動作にかかわる各種制御を行う。制御装置60には、コンベアーモーターMCを回転駆動させるコンベアー駆動部61が接続されている。コンベアー駆動部61には、コンベアーモーターMCの回転位置を検出するエンコーダーEMCが接続されている。コンベアー駆動部61は、制御装置60から入力された位置指令と、エンコーダーEMCから入力されたコンベアーモーターMCの回転位置とに基づいて、コンベアーモーターMCの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をコンベアーモーターMCに出力する。コンベアーモーターMCは、上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記コンベアーC1~C4を駆動する。なお、上記コンベアー駆動部61及びコンベアーモーターMCは、コンベアーC1~C4毎に設けられ、また、エンコーダーEMCは各コンベアーモーターMCに対して設けられている。制御装置60には、ガイドモーターMXを回転駆動させる可動ガイド駆動部62が接続されている。可動ガイド駆動部62には、ガイドモーターMXの回転位置を検出するエンコーダーEMXが接続されている。可動ガイド駆動部62は、制御装置60から入力された位置指令と、エンコーダーEMXから入力された回転位置とに基づいて、ガイドモーターMXの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をガイドモーターMXに出力する。ガイドモーターMXは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記可動ガイド22,42を固定ガイド21,41に沿って往動及び復動させる。なお、上記可動ガイド駆動部62及びガイドモーターMXは、供給側可動ガイド22及び回収側可動ガイド42の各々に対して設けられ、また、エンコーダーEMXは、各ガイドモーターMXに対して設けられている。制御装置60には、シャトルモーターMSを回転駆動させるシャトル駆動部63が接続されている。シャトル駆動部63には、シャトルモーターMSの回転位置を検出するエンコーダーEMSが接続されている。シャトル駆動部63は、制御装置60から入力された位置指令と、エンコーダーEMSから入力された回転位置とに基づいて、シャトルモーターMSの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をシャトルモーターMSに出力する。シャトルモーターMSは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ガイド32c,37cに沿ってシャトル32,37をスライドさせる。なお、上記シャトル駆動部63及びシャトルモーターMSは、第1シャトル32及び第2シャトル37の各々に対して設けられ、また、エンコーダーEMSは、各シャトルモーターMSに対して設けられている。制御装置60には、ハンドモーター駆動部64aと吸引バルブ駆動部64bとを有するハンドユニット駆動部64が接続されている。このうち、ハンドモーター駆動部64aには、ハンドモーターMZの回転位置を検出するエンコーダーEMZが接続されている。ハンドモーター駆動部64aは、制御装置60から入力された位置指令と、エンコーダーEMZから入力された回転位置とに基づいて、ハンドモーターMZの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をハンドモーターMZに出力する。ハンドモーターMZは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ハンドユニット23,43を上昇及び下降させる。吸引バルブ駆動部64bには、ハンドユニット23,43の先端に設けられた吸引バルブSV1の開放量を検出する吸引センサーESV1が接続されている。吸引バルブ駆動部64bは、制御装置60から入力された開度指令と、吸引センサーESV1から入力された開放量とに基づいて、吸引バルブSV1の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を吸引バルブSV1に出力する。吸引バルブSV1は、入力された上記駆動信号に応じた開閉を行うことで、その開放量に応じた吸引力にて上記電子部品Tを吸引する。なお、上記ハンドユニット駆動部64、ハンドモーターMZ、及び吸引バルブSV1は、供給用ハンドユニット23及び回収用ハンドユニット43の各々に対して設けられ、また、エンコーダーEMZ、吸引センサーESV1は、ハンドモーターMZ及び吸引バルブSV1の各々に対して設けられている。制御装置60には、搬送モーター駆動部65a、モーター制御部を構成する押圧モーター駆動部65b、シリンダー制御部を構成する押圧シリンダー駆動部65c、及び吸引バルブ駆動部65dを有した搬送ユニット駆動部65が接続されている。搬送モーター駆動部65aには、搬送モーターMYの回転位置を検出するエンコーダーEMYが接続されている。搬送モーター駆動部65aは、制御装置60から入力された位置指令と、エンコーダーEMYから入力された回転位置とに基づいて、搬送モーターMYの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を搬送モーターMYに出力する。搬送モーターMYは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記搬送ユニット34,38を上記搬送ガイド31に沿って往動及び復動させる。なお、上記搬送モーター駆動部65aは、第1搬送ユニット34及び第2搬送ユニット38の各々に対して設けられ、また、エンコーダーEMYも、第1搬送ユニット34及び第2搬送ユニット38の各々に対して設けられている。押圧モーター駆動部65bには、押圧モーター51Mの回転位置を検出するエンコーダーE51Mが接続されている。押圧モーター駆動部65bは、制御装置60から入力された位置指令と、エンコーダーE51Mから入力された回転位置とに基づいて、押圧モーター51Mの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を押圧モーター51Mに出力する。押圧モーター51Mは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、垂直移動アーム52を上昇及び下降させる。また、押圧モーター駆動部65bには、押圧モーター51Mにおける駆動電流の実値を計測する電流計測部I51Mが接続されている。押圧モーター駆動部65bは、制御装置60から入力されたトルク指令と、電流計測部I51Mから入力された計測値とに基づいて、押圧モーター51Mの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を押圧モーター51Mに出力する。押圧モーター51Mは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、垂直移動アーム52を上昇及び下降させる。ちなみに、制御装置60は、押圧モーター51Mの駆動制御の方法として、位置制御モードとトルク制御モードとを選択する。このうち、位置制御モードとは、上記搬送ユニット34,38の端部に連結された吸着部54が所定の位置となるように、上記位置指令に基づいて押圧モーター51Mの駆動を制御する方法である。他方、トルク制御モードとは、押圧モーター51Mの回転によって生じるトルクが所定の大きさに維持されるように、上記トルク指令に基づいて押圧モーター51Mの駆動を制御する方法である。なお、上記押圧モーター駆動部65bは、第1搬送ユニット34及び第2搬送ユニット38の各々に対して設けられ、また、電流計測部I51Mも、第1搬送ユニット34及び第2搬送ユニット38の各々に対して設けられている。押圧シリンダー駆動部65cは、制御装置60から入力された駆動指令に基づいて、押圧シリンダー53に作動圧を供給するための駆動信号を生成するとともに、該各駆動信号を押圧シリンダー53に出力する。そして、押圧シリンダー53は、それが伸長するための駆動信号に応じて伸長することで電子部品Tに押圧力を加えるとともに、それが収縮するための駆動信号に応じて収縮することで電子部品Tに対する押圧力を解除する。なお、上記押圧シリンダー駆動部65cは、第1搬送ユニット34及び第2搬送ユニット38の各々に対して設けられている。吸引バルブ駆動部65dには、吸引バルブSV2の開放量を検出する吸引センサーESV2が接続されている。吸引バルブ駆動部65dは、制御装置60から入力された開度指令と、吸引センサーESV2から入力された開放量とに基づいて、吸引バルブSV2の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を吸引バルブSV2に出力する。そして、吸引バルブSV2は、その開放量に応じた吸引力にて上記電子部品Tを吸引する。なお、吸引バルブ駆動部65dは、第1搬送ユニット34及び第2搬送ユニット38の各々に対して設けられている。また、吸引センサーESV2は、吸引バルブSV2の各々に対して設けられている。制御装置60には、上記受圧アーム35b,36bを変位させる受圧アーム駆動部66が接続されている。受圧アーム駆動部66は、制御装置60から入力された駆動指令に基づいて、受圧アーム35b,36bのアームシリンダー35s,36sに作動圧を供給するための駆動信号を生成するとともに、該駆動信号をアームシリンダー35s,36sに出力する。そして、アームシリンダー35s,36sは、受圧アーム35b,36bを変位させるための駆動信号に応じて伸長することで受圧アーム35b,36bを上記係合位置に変位させる。他方、アームシリンダー35s,36sは、それが収縮するための駆動信号に応じて収縮することで、受圧アーム35b,36bを上記離間位置に変位させる。[ハンドラーの作用]次に、搬送ユニットによって保持された電子部品Tが、検査用ソケット33に嵌め込まれる際の、各種モーターの駆動の態様と各種シリンダーの駆動の態様とを、上述した構成に基づき、図4~図12を参照して説明する。なお、第1搬送ユニット34による嵌め込み態様と第2搬送ユニット38による嵌め込み態様とは、電子部品Tの供給元や電子部品Tの搬送方向が互いに異なるものの、それ以外では互いに同様の態様であるため、以下では、第1搬送ユニット34における上記態様についてのみ例示する。なお、図4には、搬送モーターMYに対する位置指令が、第1搬送ユニット34の動作とともに便宜的に示され、また、押圧モーター51Mに対する位置指令やトルク指令が、垂直移動アーム52の動作及び制御モードとともに便宜的に示されている。また、図5~図12には、図4に示される各タイミングT0~T10での第1搬送ユニット34の駆動態様及び受圧アーム機構35,36の駆動態様が、これらの平面構造と端面構造とが互いに対応付けられた状態で示されている。[搬送ユニットセット期間:T0-T1]まず、図4に示されるように、制御装置60は、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。この際、制御装置60が出力する位置指令は、第1搬送ユニット34の吸着部54を供給用シャトルトレイ32aの直上から、検査用ソケット33の直上まで移動させるためのものである。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターMYに出力する。これにより、搬送モーターMYがタイミングT0から所定の方向への回転を開始し、第1搬送ユニット34の吸着部54が、電子部品Tを保持したまま検査用ソケット33の直上に到達するまで、第1搬送ユニット34が検査用ソケット33に向けて往動する図5a参照。なお、上述した搬送ユニットセット期間では、垂直移動アーム52の下端部が最上位置を維持するように、制御装置60は、押圧モーター駆動部65bに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部65bは、押圧モーター51Mの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター51Mに出力する。これにより、押圧モーター駆動部65bは、押圧モーター51Mの回転を抑える。また、上述した搬送ユニットセット期間では、押圧シリンダー53に作動圧が供給されないように、制御装置60は、押圧シリンダー駆動部65cに押圧解除指令を出力する。これにより、押圧シリンダー駆動部65cは、押圧解除指令に基づく駆動信号を生成し、これにより、押圧シリンダー53に作動圧を供給しないことで、押圧シリンダー53の伸長量を最小値に維持する図5b参照。そして、上述のように、垂直移動アーム52の下端部が最上位置に維持され、且つ押圧シリンダー53の伸長量が最小値に維持されることにより、吸着部54がそれの最上位置に配置される。なお、吸着部54の最上位置とは、水平移動アーム51が搬送ガイド31に沿って移動するときに、吸着部54と他の部材とが衝突しない位置である。[下降押圧期間:T1-T3]吸着部54が検査用ソケット33の直上に到達すると、吸着部54に吸着された電子部品Tが検査用ソケット33に収容されるように、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT1にて、押圧モーター駆動部65bに対し位置指令を出力する。この際、制御装置60は、上述した位置制御モードでの位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部65bは、押圧モーター51Mの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター51Mに出力する。これにより、押圧モーター51Mが、タイミングT1から所定方向への回転を開始し、検査用ソケット33に電子部品Tが収容されるまで、垂直移動アーム52が下降する。そして、タイミングT2にて、検査用ソケット33に電子部品Tが収容されると、押圧モーター51Mの位置制御が続けられ、吸着部54の位置が所定の位置になるように、吸着部54がさらに下降する。これにより、電子部品Tには、押圧モーター51Mからの押圧力が加えられることになる図6ab参照。なお、上述した下降押圧期間では、第1搬送ユニット34におけるY方向の位置が維持されるように、制御装置60は、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターMYに出力して該搬送モーターMYの回転を抑える。[受圧アーム駆動期間:T3-T4]電子部品Tが検査用ソケット33に位置決めされると、受圧アーム機構35,36の受圧アーム35b,36bが上記係合位置に変位するように、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT3にて、受圧アーム駆動部66に対し係合指令を出力する。そして、受圧アーム駆動部66は、上記係合指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号をアームシリンダー35s,36sに出力する。これにより、アームシリンダー35s,36sが伸長して受圧アーム35b,36bが係合位置に変位する図7ab参照。なお、こうした受圧アーム駆動期間では、第1搬送ユニット34におけるY方向の位置が維持されるように、制御装置60は、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターMYに出力して搬送モーターMYの回転を抑える。また、こうした受圧アーム駆動期間では、電子部品Tに対して押圧モーター51Mからの押圧力Fbaseが加えられるように、制御装置60は、押圧モーター駆動部65bに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部65bは、押圧モーター51Mの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター51Mに出力して吸着部54の位置を所定の位置まで下降させる。なお、こうした押圧力Fbaseとは、試験等によって予め設定されたものであり、押圧力Fbaseが電子部品Tを検査用ポケット33aに位置決めすることに足る力であって、且つ、該押圧力Fbaseによって電子部品Tや検査用ソケット33が変形しない程度のものである。[トルク制御期間:T4-T5]受圧アーム35b,35bが係合位置に変位すると、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT4にて、押圧モーター駆動部65bに対しトルク制御モードでのトルク指令を出力する。この際、上述した押圧力Fbaseよりも大きい押圧力Fconが電子部品Tに対し加えられるように、制御装置60はトルク指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部65bは、電流計測部I51Mの計測値とトルク指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター51Mに出力する。これにより、押圧モーター51Mは、タイミングT4から所定方向への回転を引き続き行い、押圧モーター51Mは、所定のトルクを出力して電子部品Tに対し上述した押圧力Fconを加え、検査用ソケット33に対し電子部品Tを位置決めする図8a参照。なお、上述したトルク制御期間では、第1搬送ユニット34におけるY方向の位置が維持されるように、制御装置60は、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。また、アームシリンダー35s,36sの伸長が維持されるように、制御装置60は、受圧アーム駆動部66に対し係合指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転を抑えるとともに、受圧アーム駆動部66は、アームシリンダー35s,36sの伸長を維持する。そして、押圧モーター駆動部65bは、電子部品Tを押圧力Fconで押圧し続ける図8b参照。[シリンダー押圧期間:T5-T6]電子部品Tが押圧力Fconで押圧されると、押圧シリンダー53に作動圧を供給するように、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT5にて、押圧シリンダー駆動部65cに対し押圧指令を出力する。そして、押圧シリンダー駆動部65cは、押圧指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を圧縮空気供給系に出力する。これにより、押圧シリンダー駆動部65cは、押圧シリンダー53に作動圧を供給するとともに、電子部品Tに対し、さらに押圧力Fhighを加える。この押圧力Fhighとは、上述した押圧力Fbaseよりも大きい力であって、且つ、該押圧力Fhighでの押圧により、電子部品Tや検査用ソケット33が変形しない程度のものである。そして、このような押圧力Fhighが電子部品Tに加えられることによって、電子部品Tの雄端子と検査用ソケット33の雌端子との電気的な接続が確実に行われることになる。そして、押圧シリンダー53に作動圧が供給されると、制御装置60は、検査を開始するための検査開始信号を検査ユニットに対して出力する。このとき、押圧力Fhighに抗する反力が、第1搬送ユニット34における支持側である垂直移動アーム52に対して印加される。これにより、垂直移動アーム52が搬送ガイド31側に押し返されることによって、該被受圧片52aと受圧アーム35b,36bとが係合する図9ab参照。そのため、押圧シリンダー53による押圧力の反力は、その一部が第1搬送ユニット34に作用するものの、その残部が、受圧アーム機構35,36を介して基台11に作用することとなる。つまり、垂直移動アーム52が押圧シリンダー53の伸長で押し返されるものの、押圧シリンダー53の伸長が受圧アーム機構35,36で抑えられる分、垂直移動アーム52の押し返される程度は、少なからず抑えられることとなる。それゆえに、垂直移動アーム52による押圧力Fconよりも大きい押圧力が電子部品Tに加えられるものの、電子部品Tの受ける押圧力の反力の全てが、第1搬送ユニット34に作用することはなく、該反力の一部は、基台11に分散することになる。これにより、所望の押圧力で電子部品Tが押圧されるものの、第1搬送ユニット34に求められる剛性は、該押圧力の反力の一部に耐えうるもので足りる。したがって、第1搬送ユニット34の大型化や重量化を抑えることができる。ちなみに、押圧シリンダー53の伸長量が、受圧アーム機構35,36によって強制的に定められない態様では、押圧モーター51Mの駆動の態様に応じて、押圧シリンダー53の伸長量も変わることになる。そして、押圧モーター51Mの駆動がトルク制御モードであるとはいえ、被受圧片52aと受圧アーム35b,36bとの機械的な係合で押圧力が定まる態様と比較すれば、電子部品Tに対する押圧力も変動することとなる。この点、上述した態様であれば、押圧シリンダー53の伸長量が、被受圧片52aと受圧アーム35b,36bとの係合で所定の値に定まるため、電子部品Tに対する押圧力も安定することとなる。なお、上述したシリンダー押圧期間では、先のトルク制御期間と同様、第1搬送ユニット34におけるY方向の位置が維持されるように、制御装置60は、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。また、アームシリンダー35s,36sの伸長が維持されるように、制御装置60は、受圧アーム駆動部66に対し係合指令を出力する。さらにまた、上述のように、押圧モーター51Mが押圧シリンダー53を押圧力Fconで押圧できるように、制御装置60は、押圧モーター駆動部65bに対してトルク指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転を抑えるとともに、受圧アーム駆動部66は、アームシリンダー35s,36sの伸長を維持する。そして、押圧モーター駆動部65bは、押圧シリンダー53を押圧力Fconで押圧し続ける。ちなみに、押圧モーター51Mを用いた電子部品Tの押圧は、押圧モーター51Mの位置制御及びトルク制御の少なくとも一つにより行うことができる。ここで、押圧シリンダー53の押圧力が大きくなるほど、該押圧シリンダー53の支持側に対する反力、すなわち押圧モーター51Mに対する負荷も大きくなる。このとき、上述した位置制御モードにより押圧モーター51Mが駆動されていると、押圧モーター51Mの出力が上記反力を上回らない限り、押圧モーター51Mの回転位置は目的とする回転位置に到達しないことになる。そして、押圧モーター51Mの駆動電流が増大し続けることとなり、押圧モーター51Mの内部に過剰な負荷が加わることとなる。この点、上述したシリンダー押圧期間では、押圧シリンダー53の押圧力が電子部品Tに加わる状態で、押圧モーター51Mがトルク制御モードにより駆動される。そのため、押圧シリンダー53の伸長によって垂直移動アーム52が押し返されたとしても、押圧モーター51Mが所定のトルクを出力する以上は、該押圧モーター51Mに過剰な負荷が加わることはない。[シリンダー押圧解除期間:T6-T7]検査ユニットにおいて電子部品Tの検査が終了すると、電子部品Tの回収を開始するための検査終了信号が検査ユニットから制御装置60に出力される。次いで、押圧シリンダー53が収縮するように、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT6にて、押圧シリンダー駆動部65cに対し押圧解除指令を出力する。これにより、押圧シリンダー駆動部65cは、押圧解除指令に基づく駆動信号の生成することで、押圧シリンダー53の伸長による押圧力を解除する。これにより、第1搬送ユニット34に対する反力が小さくなることから、垂直移動アーム52の被受圧片52aと受圧アーム35b,36bとの係合も解除される図10ab参照。なお、上述したシリンダー押圧解除期間では、第1搬送ユニット34におけるY方向の位置が維持されるように、制御装置60は、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。また、アームシリンダー35s,36sの伸長が維持されるように、制御装置60は、受圧アーム駆動部66に対し係合指令を出力する。さらにまた、上述のように、押圧モーター51Mが電子部品Tを押圧力Fconで押圧できるように、制御装置60は、押圧モーター駆動部65bに対してトルク指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転を抑えるとともに、受圧アーム駆動部66は、アームシリンダー35s,36sの伸長を維持する。そして、押圧モーター駆動部65bは、電子部品Tを押圧力Fconで押圧し続ける。[位置制御期間:T7-T8]押圧シリンダー53による押圧が解除されると、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT7にて、押圧モーター駆動部65bに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部65bは、押圧モーター51Mの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター51Mに出力する。これにより、押圧モーター51Mは、所定方向への回転を開始することで、電子部品Tを押圧力Fbaseで押圧し始める図11ab参照。なお、上述した位置制御期間では、第1搬送ユニット34におけるY方向の位置が維持されるように、制御装置60は、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。また、アームシリンダー35s,36sの伸長が維持されるように、制御装置60は、受圧アーム駆動部66に対し係合指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転を抑えるとともに、受圧アーム駆動部66は、アームシリンダー35s,36sの伸長を維持する。[受圧アーム解除期間:T8-T9]押圧モーター51Mが位置制御により駆動されると、受圧アーム35b,36bが離間位置にまで戻るように、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT8にて、受圧アーム駆動部66に対する係合解除指令を出力する。そして、受圧アーム駆動部66が、係合解除指令に基づく駆動信号を生成して出力し、アームシリンダー35s,36sが収縮して、受圧アーム35b,36bが離間位置に戻る図12ab参照。なお、上述した受圧アーム機構解除期間では、第1搬送ユニット34におけるY方向の位置が維持されるように、制御装置60は、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。また、電子部品Tが押圧力Fbaseで押圧されるように、制御装置60は、押圧モーター駆動部65bに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転を抑えるとともに、押圧モーター駆動部65bは、押圧モーター51Mの回転を抑える。[上昇期間:T9-T10]受圧アーム35b,36bが離間位置にまで戻されると、垂直移動アーム52の下端部が最上位置にまで戻るように、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT9にて、押圧モーター駆動部65bに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部65bは、押圧モーター51Mの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター51Mに出力する。これにより、押圧モーター51Mは、タイミングT9以前までとは逆の方向へ回転して垂直移動アーム52を最上位置にまで戻す。次いで、垂直移動アーム52の下端部が最上位置に到達すると、第1搬送ユニット34の吸着部54が回収用シャトルトレイ32bの直上に配置するように、制御装置60は、図4に示されるように、タイミングT10にて、搬送モーター駆動部65aに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部65aは、搬送モーターMYの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターMYに出力する。これにより、搬送モーターMYがタイミングT10から所定方向への回転を開始し、吸着部54に吸着された電子部品Tが回収用シャトルトレイ32bの直上に到達するまで、第1搬送ユニット34が第1シャトルに向けて復動する。以上説明したように、上記実施形態によれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。1押圧シリンダー53による押圧力の反力は、その一部が搬送ユニット34,38や搬送ガイド31に作用するものの、その残部が、受圧アーム機構35,36を介して基台11に作用することとなる。つまり、押圧力の反力の全てが、搬送ユニット34,38に作用することはなく、該反力の一部は、基台11に分散することになる。これにより、所望の押圧力で電子部品Tが押圧されるものの、搬送ユニット34,38に求められる剛性は、押圧力の反力の一部に耐えうるもので足りる。そのため、搬送ユニット34,38の大型化や重量化を抑えることができる。2電子部品Tを押圧する垂直移動アーム52と押圧シリンダー53とのうち、受圧アーム機構35,36は、垂直移動アーム52に設けられた被受圧片52aのみと係合する。そのため、押圧シリンダー53の押圧力によって垂直移動アーム52が押し返されることを抑えることが可能である。しかも、電子部品Tに加わる押圧力が変動することを抑えることが可能にもなる。3搬送ユニット34,38が、相対的に大きい押圧力で電子部品Tを押圧する押圧シリンダー53を有するため、相対的に大きい押圧力がモーターの駆動によって加えられる構成と比較して、搬送ユニット34,38の構成を簡単にすること、ひいてはハンドラー10の構成を簡単にすることが可能となる。また、押圧シリンダー53に代えてモーターを備える構成と比較して、電子部品Tに加わる押圧力を大きくすることが容易にもなる。4押圧シリンダー53の押圧力が電子部品Tに加わる状態で、押圧モーター51Mがトルク制御により駆動される。そのため、押圧シリンダー53の伸長によって垂直移動アーム52が押し返されたとしても、押圧モーター51Mが所定のトルクを出力する以上は、該モーターに過剰な負荷が加わることはない。5押圧シリンダー53が電子部品Tに押圧力を加えるときには、押圧モーター51Mがトルク制御によって駆動されている。そのため、押圧モーター51Mに過剰な負荷が加わることがないうえ、電子部品Tに加えられる押圧力が安定することにもなる。6押圧シリンダー53からの押圧力の反力が、互いに向かい合う一対の受圧アーム35b,36bの各々に作用することになる。そのため、押圧シリンダー53からの押圧力に抗する反力が、搭載面11aの一カ所に作用する態様と比較して、該反力の分散する範囲を広くすることが可能であって、ひいては受圧アーム機構35,36や基台11に求められる剛性を抑えることが可能となる。7複数の電子部品Tが同時に押圧される上記態様であれば、検査用ソケット33の全体に加えられる押圧力が自ずと大きくなるため、これに合わせて、該押圧力の反力も自ずとと大きくなる。そのため、搬送ユニット34,38の大型化や重量化を抑えることができるという効果がより顕著なものとなる。なお、上記実施形態は、以下のように適宜変更して実施することができる。搬送対象は、上述した電子部品Tの他、光学部品や精密機器部品等の各種部品であってもよく、要は、搬送並びに押圧されるものであればよい。こうした搬送対象であっても、上記1~7に準じた効果を得ることは可能である。保持部が搬送対象を保持する態様は、上述のように搬送対象を吸着する態様に限らず、例えば、搬送対象を把持する態様であってもよく、要は、上記各種トレイに載置された搬送対象を保持するとともに、保持された搬送対象を検査用ソケット33にて押圧することの可能な態様であればよい。このような保持の態様であっても、上記1~7に準じた効果を得ることは可能である。ハンドラー10は、複数の電子部品Tを必ずしも同時に搬送し、且つ、同時に押圧する構成でなくともよい。要は、複数の電子部品Tを同時に搬送する状態、及び、複数の電子部品Tを同時に押圧する状態を少なくとも有していればよい。こうした構成によれば、検査用ソケット33の全体に加えられる押圧力が大きくなる状態を有することから、これに合わせて、該押圧力の反力も大きくなる状態を有することになる。そのため、搬送ユニット34,38の大型化や重量化を抑えることができるという効果がより顕著なものとなる。一つの搬送ユニットの搬送する搬送対象の個数は、一つであってもよい。このような構成であっても、上記1~6に準じた効果を得ることは可能である。被受圧片52aと一つの受圧アーム機構とが係合する構成であってもよく、このような構成であっても、上記1~5、7に準じた効果を得ることは可能であり、また、受圧アーム機構の数が少ない分だけ、ハンドラー10の構成を簡素なものとすることが可能である。第1押圧部である押圧シリンダー53が電子部品Tに対し押圧力を加える際、該押圧力の印加と同時に、第2押圧部を構成する押圧モーター51Mがトルク制御モードにて駆動される構成であってもよい。このような構成であっても、上記1~4、6、7に準じた効果を得ることは可能であって、しかも押圧シリンダー53が駆動されるタイミングと、押圧モーター51Mがトルク制御モードで駆動されるタイミングとを、共通する制御信号で同期させることが可能にもなる。それゆえに、押圧シリンダー53が駆動されるタイミングと押圧モーター51Mがトルク制御モードで駆動されるタイミングとの整合が容易なものになる。押圧シリンダー53が電子部品Tに押圧力を加えるときに、押圧モーター51Mを位置制御によって駆動する態様であってもよい。このような構成であっても、上記1~3、5~7に準じた効果を得ることは可能であるとともに、押圧モーター51Mの駆動電流を計測するための電流計測部I51Mを省略することが可能でもある。押圧シリンダーは、バルブを介して所定圧力の圧縮空気が供給される構成に限らず、電空レギュレーターによって所定圧力に圧縮された空気が供給される構成であってもよい。また、押圧シリンダーは、圧縮空気によって作動圧を与えられるシリンダーに限らず、油圧によって作動圧を与えられるシリンダーであってもよい。搬送ユニット34,38が押圧シリンダー53に代えて押圧モーター51Mとは異なる押圧用のモーターを有する構成であってもよく、このような構成であっても、上記1、2、6、7に準じた効果を得ることは可能である。搬送ユニット34,38が押圧シリンダー53のみによって搬送対象を押圧する構成であってもよい。このような構成であっても、上記1、2、6、7に準じた効果を得ることは可能である。搬送ユニット34,38が押圧シリンダー53を有しない構成であって、搬送対象の押圧が押圧モーター51Mのみによって行われる構成であってもよい。このような構成であっても、上記1、2、6、7に準じた効果を得ることは可能であって、しかも搬送ユニットの構成を簡素にすることが可能にもなる。受圧アーム35b,36bと係合する被受圧片52aは、垂直移動アーム52の下端に限らず、垂直移動アーム52の下端よりも水平移動アーム51側に設けられるようにしてもよい。被受圧片を垂直移動アームと押圧シリンダーとに設けるとともに、受圧アーム機構35,36が、これら被受圧片の両方と係合する構成であってもよい。このような構成であっても、上記1、3~7に準じた効果を得ることは可能であって、被受圧片の数が多い分だけ、押圧モーター51Mと押圧シリンダー53とによる押圧力の反力が、より確実に受圧アーム機構35,36によって受圧されるようになる。押圧シリンダーがシリンダー本体と吸着部に連結されたプランジャーとを備え、被受圧片をシリンダー本体に設ける構成であってもよい。こうした構成であっても、上記1、3~7に準じた効果を得ることは可能である。受圧アーム35b,36bは、アームシリンダー35s,36s以外の機構、例えばモーターによって駆動される機構等、他の機構によって駆動されるものであってもよい。受圧アーム35b,36bが、その係合位置にて支持体35a,36aに固定され、受圧アーム35b,36bと検査用ソケット33との間に、被受圧片52aがY方向に移動することの可能な隙間が設けられる構成であってもよい。このような構成であれば、固定された受圧アーム35b,36bの下方において、検査用ソケット33に対する電子部品Tの搬入及び搬出が行われるとともに、押圧力の反力によって押し返される被受圧片52aが、受圧アーム35b,36bと係合することとなる。また、受圧アーム35b,36bの可動に必要な機構を省略することが可能であるため、受圧アーム35b,36bの構成の簡素化が可能にもある。受圧アーム35b,36bと被受圧片52aとは、以下のように動作する構成であってもよい。すなわち、係合位置にある受圧アーム35b,36bと検査用ソケット33との隙間に、被受圧片52aがY方向から移動する。次いで、被受圧片52aと受圧アーム35b,36bとが係合した後に、受圧アーム35b,36bが離間位置に変位する。そして、被受圧片52aがZ方向に移動する。こうした動作によれば、第1搬送ユニット34による電子部品Tの押圧が行われるときには、離間位置にある受圧アーム35b,36bを係合位置に移動させる期間、すなわち、上記タイミングT3からタイミングT4までの期間を割愛することができる。なお、離間位置に変位した受圧アーム35b,36bは、任意のタイミングにて、係合位置に変位するようにすればよい。受圧アーム35b,36bと被受圧片52aとは、以下のように動作する構成であってもよい。すなわち、離間位置にある受圧アーム35b,36b間に、被受圧片52aがZ方向から移動し、そして、受圧アーム35b,36bが係合位置に移動する。次いで、被受圧片52aと受圧アーム35b,36bとが係合した後に、被受圧片52aが、受圧アーム35b,36bと検査用ソケット33との隙間からY方向に移動することで、受圧アーム35b,36bとの係合を解除する。こうした動作によれば、第1搬送ユニット34による電子部品Tの押圧が行われるときには、係合位置に変位した受圧アーム35b,36bを離間位置に移動させる期間、すなわち、上記タイミングT8からタイミングT9までの期間を割愛することができる。なお、係合位置に変位した受圧アーム35b,36bは、被受圧片52aの解除後における任意のタイミングにて、離間位置に変位するようにすればよい。押圧部の一部が、固定された受圧部の係合部と係合するように可動する構成であってもよく、また、係合部との係合を解除するように可動する構成であってもよい。受圧部は、押圧部との接触により生じる摩擦によって、押圧部が押圧方向とは反対側に移動することを抑える構成として具現化することもできる。そして、受圧部と押圧部との接触場所は、押圧部の下端であってもよい。この場合、押圧部に凹部が設けられるとともに、受圧部に凸部が設けられる構成、あるいは、押圧部に凸部が設けられるとともに、受圧部に凹部が設けられる構成であってもよい。これら凹部と凸部との間で生じる摩擦によって、押圧部の移動を少なからず抑えることができる。要は、受圧部とは、押圧部が、搬送対象を押圧したときに生じる反力によって押し返されることを係止できる構成であればよい。押圧モーター51Mの押圧力よりも、押圧シリンダー53の押圧力の方が大きい構成としたが、押圧モーター51Mの押圧力が、押圧シリンダー53の押圧力よりも大きい構成、あるいは、押圧モーター51Mの押圧力と押圧シリンダー53の押圧力とが等しい構成であってもよい。ハンドラー10は、第1搬送ユニット34が検査用ソケット33に電子部品Tを嵌め込むときの反力を受ける受圧アーム機構35,36を有するようにした。これに限らず、第1搬送ユニット34が、供給用シャトルトレイ32a、回収用シャトルトレイ37b、あるいはコンベアートレイC1a,C2a,C3a,C4a等にて電子部品Tを押圧する際の反力を受圧する受圧アーム機構をハンドラー10が有するようにしてもよい。押圧モーター51Mの押圧力が、押圧シリンダー53の押圧力よりも大きい構成、あるいは、押圧モーター51Mの押圧力と押圧シリンダー53の押圧力とが等しい構成であってもよい。固定された供給側固定ガイド21に対して供給側可動ガイド22が相対移動するとともに、固定された回収側固定ガイド41に対して回収側可動ガイド42が相対移動するようにしたが、固定された単一の固定ガイドに対して相対移動可能な可動ガイドが2つ設けられる構成であってもよい。この場合、固定ガイドは、上記カバー部材12内であって、基台11の上面におけるX方向に延びる一辺と平行に、且つ基台11のX方向の略全幅にわたって形成されることが好ましい。また、2つの可動ガイドは、カバー部材12内、且つ、上記搬送ガイド31を挟んで反対側に設けられることが好ましい。ハンドラー10の有する搬送ユニットの台数は、2台に限らず、1台あるいは3台であってもよい。供給用シャトルトレイ32aに収容された電子部品Tが第1搬送ユニット34によって検査用ソケット33にまで搬送され、且つ検査用ソケット33に収容された電子部品Tが第2搬送ユニット38によって押圧される態様であってもよい。要は、搬送対象を搬送し、且つ該搬送対象を押圧する態様であればよい。ハンドラーは、搬送対象を検査する部品検査装置に限らず、搬送対象の搬送と押圧とを行う装置に用いられるものであればよい。"