"Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶媒を含有し、前記被分散体の90以上が16nm~30nmの範囲の粒径を有し、且つ、前記被分散体におけるSi原子とTi原子との含有質量比Si/Ti比が0.20~0.50である固体撮像素子用チタンブラック分散組成物。請求項1に記載のチタンブラック分散組成物、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤を含有する固体撮像素子用黒色感放射線性組成物。前記D光重合性化合物が、オキシム化合物である請求項2に記載の固体撮像素子用黒色感放射線性組成物。更に、フッ素系界面活性剤を含有する請求項2又は請求項3に記載の固体撮像素子用黒色感放射線性組成物請求項2~請求項4のいずれか1項に記載の黒色感放射線性組成物を硬化して得られた黒色硬化膜。請求項5に記載の黒色硬化膜を備えた固体撮像素子。請求項2~請求項4のいずれか1項に記載の黒色感放射線性組成物をシリコン基板上に塗布して黒色感放射線性組成物層を形成する工程と、前記黒色感放射線性組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の前記黒色感放射線性組成物層を現像してパターンを形成する工程と、を有する黒色硬化膜の製造方法。請求項1に記載の固体撮像素子用チタンブラック分散組成物の製造方法であって、酸化チタン、シリカ粒子、及び分散剤を含む混合液を、酸素雰囲気下、750°C~1100°Cの温度で加熱した後、還元処理することにより、チタンブラック及びSi原子を含む被分散体を得る工程と、前記チタンブラック及びSi原子を含む被分散体、分散剤、及び有機溶媒を含む混合液を分散処理する工程と、を有する固体撮像素子用チタンブラック分散組成物の製造方法。しかしながら、チタンブラックは比重が大きいため、分散することが難しく、分散しても時間が経つとチタンブラックが沈降してしまうなどの問題があり、前記特許文献1、2に記載される組成物についても、経時安定性は不充分である。また、チタンブラックを含有する感放射線性組成物は遮光性であるため、該組成物をフォトリソ法によりパターン状の遮光膜形成に用いた場合には、露光光が組成物層を透過し難いことから、遮光膜周辺部に感放射線性組成物に由来する残留物以下、本明細書では、適宜残渣と称する。が発生し易いという問題がある本発明は、前記状況に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明の目的は、経時安定性に優れた固体撮像素子用チタンブラック分散組成物及びその製造方法を提供することにある。本発明の更なる目的は、経時安定性に優れ、且つ、遮光膜等の黒色硬化膜形成に用いた際に、該硬化膜の形成領域外における感放射線性組成物由来の残渣の発生が抑制された固体撮像素子用黒色感放射線性組成物、該黒色感放射線性組成物を用いて形成された黒色硬化膜及びその製造方法、並びに、該黒色硬化膜を備えた高画質の固体撮像素子を提供することにある。本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、下記に示す手段により、前記課題が解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。<1>Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶媒を含有し、前記被分散体の90以上が16nm~30nmの範囲の粒径を有し、且つ、前記被分散体におけるSi原子とTi原子との含有質量比Si/Ti比が0.20~0.50である固体撮像素子用チタンブラック分散組成物。<2>前記<1>に記載のチタンブラック分散組成物、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤を含有する固体撮像素子用黒色感放射線性組成物。<3>前記D光重合性化合物が、オキシム化合物である前記<2>に記載の固体撮像素子用黒色感放射線性組成物。<4>更に、フッ素系界面活性剤を含有する前記<2>又は<3>に記載の固体撮像素子用黒色感放射線性組成物<5>前記<2>~<4>のいずれか1項に記載の黒色感放射線性組成物を硬化して得られた黒色硬化膜。<6>前記<5>に記載の黒色硬化膜を備えた固体撮像素子。<7>前記2>~<4>のいずれか1項に記載の黒色感放射線性組成物をシリコン基板上に塗布して黒色感放射線性組成物層を形成する工程と、前記黒色感放射線性組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の前記黒色感放射線性組成物層を現像してパターンを形成する工程と、を有する黒色硬化膜の製造方法。<8>前記<1>に記載の固体撮像素子用チタンブラック分散組成物の製造方法であって、酸化チタン、シリカ粒子、及び分散剤を含む混合液を、酸素雰囲気下で、750°C~1100°Cの温度で加熱した後、還元処理することにより、チタンブラック及びSi原子を含む被分散体を得る工程と、前記チタンブラック及びSi原子を含む被分散体、分散剤、及び有機溶媒を含む混合液を分散処理する工程と、を有する固体撮像素子用チタンブラック分散組成物の製造方法。本発明によれば、経時安定性に優れた固体撮像素子用チタンブラック分散組成物及びその製造方法を提供することができる。本発明によれば、経時安定性に優れ、且つ、遮光膜形成に用いた際に遮光膜の形成領域外における感放射線性組成物由来の残渣の発生が抑制された固体撮像素子用黒色感放射線性組成物、該黒色感放射線性組成物を用いて形成された遮光性に優れた遮光膜及びその製造方法、並びに、該遮光膜を備えた高画質の固体撮像素子を提供することができる。以下、本発明の固体撮像素子用チタンブラック分散組成物及びその製造方法、固体撮像素子用黒色感放射線性組成物について詳細に説明する。[固体撮像素子用チタンブラック分散組成物及びその製造方法、及び、固体撮像素子用黒色感放射線性組成物]本発明の固体撮像素子用チタンブラック分散組成物以下、単に分散組成物とも称する。は、Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶媒を含有し、前記被分散体の90以上が16nm~30nmの範囲の粒径を有し、且つ、前記被分散体におけるSi原子とTi原子との含有比Si/Ti比が質量基準で0.20~0.50である固体撮像素子の遮光膜形成用チタンブラック分散組成物である。また、本発明の固体撮像素子用黒色感放射線性組成物以下、単に感放射線性組成物とも称する。は、本発明のチタンブラック分散組成物、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤を含有する感放射線性組成物である。即ち、本発明の感放射線性組成物は、本発明のチタンブラック分散組成物に含有される、Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体、B分散剤、及びC有機溶媒と共に、D光重合性化合物、及びE光重合開始剤を含有し、前記被分散体の90以上が16nm~30nmの範囲の粒径を有し、且つ、前記被分散体におけるSi原子とTi原子との含有質量比Si/Ti比が0.20~0.50であるものである。本発明のチタンブラック分散組成物及び感放射線性組成物は、固体撮像素子におけるシリコン基板上に設けられる遮光膜、反射防止膜、固体撮像素子の有効画素領域撮像部の周縁に配置される遮光膜、その他の膜の形成に好適に用いられる。また、本発明のチタンブラック分散組成物は、これ以外にも所謂MEMSMicroElectroMechanicalSystemsと総称される、機械要素部品、センサー、アクアクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に集積化したデバイスにおける遮光用途にも用いることができる。特に限定されるものではないが、例えばインクジェットプリンターのヘッド、圧力センサー、加速度センサー、ジャイロスコープ、プロジェクターなどの製品や、他にも例えば圧電アクチュエータのような光反射ユニットと素子とが一体となったものの遮光用途にも使用することができる。以下、本発明のチタンブラック分散組成物又は感放射線性組成物に含有される各成分について順次説明する。Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体本発明のチタンブラック分散組成物及び感放射線性組成物は、Aチタンブラック及びSi原子を含む被分散体以下、単に被分散体とも称する。を含有する。本発明の分散組成物においては、被分散体の90以上が16nm~30nmの範囲の粒径を有する粒子であり、且つ、該被分散体中のSi原子とTi原子との含有質量比Si/Tiが0.20~0.50であることを要する。本発明の感放射線性組成物は、本発明の分散組成物に由来する被分散体を含有する。該感放射線性組成物及びこれを硬化して得られた硬化膜遮光膜中に含有される被分散体についても、その90以上が30nm以下の粒径を有する粒子であり、且つ、該被分散体中のSi原子とTi原子との含有質量比Si/Ti比は、0.20~0.50である。本発明における被分散体の粒径とは、被分散体の粒子直径を意味し、粒子直径とは、粒子の外表面の投影面積と等しい面積をもつ円の直径である。粒子の投影面積は、電子顕微鏡写真での撮影により得られた面積を測定し、撮影倍率を補正することにより得られる。ここで、本発明における被分散体は、一次粒子の状態であるもの、凝集体二次粒子の状態であるものの双方を包含する。本発明における被分散体は、90以上が16nm~30nmの範囲の粒径を有する粒子であり、該粒径は、17nm~27nmの範囲であることが好ましく、17nm~23nmの範囲であることがより好ましい。また、本発明における被分散体中のSi原子とTi原子と含有質量比Si/Ti比は、0.20~0.50の範囲であり、0.25~0.47の範囲であることが好ましく、0.30~0.45の範囲であることがより好ましい。被分散体の粒径及びSi/Ti比が、上記の範囲であると、被分散体を含むチタンブラック分散組成物の製造が容易であり、経時安定性についても向上する。また、該チタンブラック分散組成を含む感放射線性組成物を用いてフォトリソ法で遮光膜を形成した際には、残渣の発生が低減される。本発明における被分散体の製造方法としては、酸化チタン、シリカ粒子、及び分散剤を含む混合液を、酸素雰囲気下で、高温750°C~1100°Cの温度で加熱した後、還元処理する方法が挙げられる。より詳細には、例えば、原料となる酸化チタン、シリカ粒子、及び分散剤を含む混合液を調製し、該混合液を、酸素雰囲気下、750°C~1100°C好ましくは850°C~1000°Cの温度で加熱した後、窒素置換し、更にアンモニアガスにより還元処理する方法により、本発明における被分散体を好適に得ることができる。上記の方法において用いるシリカ粒子の量を適宜選択することで、最終的に得られる被分散体の粒径を16nm~30nmの範囲に制御することができる。被分散体におけるSi/Ti比を、0.20~0.50の範囲とするためには、以下のような手段を用いることができる。例えば、前記した酸化チタンとシリカ粒子との混合物を、分散することにより分散組成物を得て、この分散組成物を高温にて還元処理することにより得る方法においては、酸化チタンとシリカ粒子との混合比を変更することにより得ることができる。更に、例えば、特開2008-266045公報の段落番号00056及び同公報の段落番号0016~0021に記載の方法に準拠した方法によっても、被分散体におけるSi/Ti比を調整することができる。本発明の感放射線性組成物を硬化して得られた硬化膜遮光膜中に含有される被分散体についても、その90以上が16nm~30nmの範囲の粒径を有する粒子であり、また、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Ti比が0.20~0.50の範囲である。粒径及びSi/Ti比の好ましい範囲についても、前述の範囲と同様である。本発明においては、チタンブラック及びSi原子を含む被分散体の90以上が16nm~30nmの範囲の粒径を有し、且つ、該被分散体におけるSi原子とTi原子との含有比Si/Ti比が0.20~0.50の範囲であることで、この被分散体を含む本発明の分散組成物及び感放射線性組成物の経時安定性が良好となり、該感放射線性組成物を用いて遮光膜を形成した際には、遮光膜の形成領域外における感放射線性組成物由来の残渣の発生が低減される。なお、残渣は、チタンブラック、樹脂成分等の感放射線性組成物に由来する成分を含むものである。本発明の分散組成物及び感放射線性組成物の経時安定性が良好な理由としては、詳細なメカニズムは不明であるが、被分散体にSi原子が所定の比率で存在することにより、組成物に含有される分散剤と被分散体に含まれるチタンブラックとの吸着が最適な状態になるためであると推測している。また、本発明の感放射線性組成物を用いることで、硬化膜を形成する際に残渣が低減される理由は未だ明確ではないが、本発明における被分散体は、その90以上が16nm~30nmの小粒径を有しており、更に、前述のごとく、分散剤と被分散体に含まれるチタンブラックとの吸着が最適な状態であることから、感放射線性組成物における被分散体の凝集が効果的に低減されるため、本発明の感放射線性組成物を硬化膜の形成に用いた際には、微細な被分散体が均一に分散された状態の膜形成が可能となり、結果として被分散体の凝集体に起因する残渣が低減するためであるためと推測している。また、チタンブラックは、紫外から赤外までの広範囲に亘る波長領域の光に対する遮光性に優れることから、本発明の分散組成物又は感放射線性組成物を用いて形成された遮光膜は優れた遮光性を発揮する。本発明のチタンブラック分散物又は感光性樹脂組成物に含有される被分散体について、その90が16nm~30nmの粒径を有するか否かを判断するには、下記に示す方法A-1を用いる。また、本発明の感光性樹脂組成物を硬化して得られた硬化膜遮光膜に含有される被分散体について、その90が16nm~30nmの粒径を有するか否かを判断するには、下記に示す方法A-2を用いる。<方法A-1>チタンブラック分散物又は感光性樹脂組成物を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート以下、PGMEAとも略称する。により100倍に希釈した試料液を調製する。得られた試料液を、カーボンフォイル上に滴下、乾燥させて、透過型電子顕微鏡を用いて形態観察写真を撮影する。得られた写真から、粒子400個について外表面の投影面積を求め、この面積に相当する円の直径を算出し、度数分布を評価する。<方法A-2>遮光膜が形成された基板から硬化膜を削り取り、これを石英ボード上に載せて、電気炉を使用して100mL/minの酸素フロー下にて、500°Cで60分間加熱処理して粉体を得る。加熱処理により得られた粉体を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて100倍に希釈して試料液を調製する。得られた試料液を、カーボンフォイル上に滴下、乾燥させて、透過型電子顕微鏡を用いて形態観察写真を撮影する。得られた写真から、粒子400個について外表面の投影面積を求め、この面積に相当する円の直径を算出し、度数分布を評価する。本発明のチタンブラック分散組成物又は感放射線性組成物に含有される被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.20~0.50の範囲であるか否かを判断するには、下記に示す方法B-1又は方法1-2を用いる。<方法B-1>チタンブラック分散組成物又は感放射線性組成物を、酸素雰囲気中で加熱処理し、チタンブラック粒子を含む被分散体を取り出す。チタンブラック分散組成物又は感放射線性組成物を、20mg秤量し、ここに、HF0.1mL、HNO310aq.1mL、H2SO45aq.1mL、及びHCL3aq.1mLを添加し、マイクロウェーブ溶解を液温180°Cで行う。その後、この混合液に、H2Oを100mLになるまで加え、これをICP-OESAttom、商品名:SII社製に供し、元素分析を行う。得られた結果より、Si/Tiの質量比を算出する。<方法B-2>チタンブラック分散組成物又は感放射線性組成物を、小型ロータリーキルン株式会社モトヤマ製を用いて酸素雰囲気中で700°Cに加熱し、30分間保持した後に冷却し、粉体を2g得て、得られた粉体を厚さ0.2mmのタングステン板上にのせ、これを、電子線加熱機構を具備した真空チャンバ内に設置し、真空度を10-5Torr以下として電子線加熱により1000°Cで30秒加熱処理する。加熱処理した粉体について、電界放出型走査電子顕微鏡S-4800商品名、日立テクノロジーズ社製及び、エネルギー分散型蛍光X線検出器INCAEnergyPentaFETx3商品名、Oxford社製を用いて、Si原子量、Ti原子量を求め、Si/Ti比を算出する。また、本発明の感放射線性組成物を硬化して得られた硬化膜遮光膜に含有される被分散体について、その被分散体中のSi原子とTi原子との含有比Si/Tiが0.20~0.50であるか否かを判断するには、下記に示す方法Cを用いる。<方法C>遮光膜が形成された基板を割ることで、遮光膜の断面を作製し、この断面についてエネルギー分散型蛍光X線分析装置により、遮光膜表面におけるSi原子量とTi原子量を得ることができる。これらの量比を、遮光膜中のSi/Tiとして評価する。この際のエネルギー分散型蛍光X線分析としては、前記の走査型電子顕微鏡として日立ハイテクノロジー社製S-4800商品名、及び、エネルギー分散型蛍光X線検出器としてOxford社製INCAEnergyPentaFETx3商品名を同様に用いることができる。以下、チタンブラックについて、更に詳細に説明する。本発明においてチタンブラックとは、チタン原子を有する黒色粒子であり、好ましくは低次酸化チタンや酸窒化チタン等の黒色粒子である。チタンブラックは、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、粒子表面を修飾することが可能である。粒子表面の修飾としては、例えば、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム等で被覆処理が可能であり、また、特開2007-302836号公報に示されるような撥水性物質での処理も可能である。チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M-C、13R、13R-N、13M-T商品名:以上、三菱マテリアル株製、ティラックTilackD商品名:赤穂化成株製、MT-01、MT-10EX、MT-05、MT-100TV、MT-100Z、MT-150EX、MT-150W、MT-150A商品名:テイカ製などが挙げられる。チタンブラックの製造方法としては、二酸化チタンと金属チタンの混合体を還元雰囲気で加熱し還元する方法特開昭49-5432号公報に記載の方法、四塩化チタンの高温加水分解で得られた超微細二酸化チタンを、水素を含む還元雰囲気中で還元する方法特開昭57-205322号公報に記載の方法、二酸化チタン又は水酸化チタンをアンモニア存在下で高温還元する方法特開昭60-65069号公報、特開昭61-201610号公報に記載の方法、二酸化チタン又は水酸化チタンにバナジウム化合物を付着させ、アンモニア存在下で高温還元する方法特開昭61-201610号公報に記載の方法などがあるが、これらに限定されるものではない。本発明に適用されるチタンブラックとしては、個々の粒子の一次粒径及び平均一次粒径のいずれもが小さいものであることが好ましい。本発明のチタンブラック分散組成物及び感放射線性組成物は、チタンブラックを1種のみを含有するものであってもよく、2種以上を含有していてもよい。また、本発明の効果を損なわない限りにおいて、チタンブラックと共に、分散性、着色性等を調整する目的で、Cu、Fe、Mn、V、Ni等の複合酸化物、酸化コバルト、酸化鉄、カーボンブラック、アニリンブラック等からなる黒色顔料を、1種又は2種以上を組み合わせて、被分散体として併用してもよい。この場合、全被分散体中の50質量以上をチタンブラック粒子からなる被分散体が占めることが好ましい。また、後述するように、遮光性の調整等を目的として、本発明の効果を損なわない限りにおいて、チタンブラック及びSi原子を含む被分散体粒子と共に、他の着色剤有機顔料や染料などを所望により併用してもよい。チタンブラック分散組成物中の被分散体の含有量は、分散組成物の全固形分に対し、5質量~60質量であることが好ましく、10質量~50質量であることが更に好ましい。また、感放射線性組成物中の被分散体の含有量は、感放射線性組成物の全固形分に対し、2.5質量~30質量であることが好ましく、5質量~20質量であることが更に好ましい。ここで分散組成物中の全固形分、及び感放射線性組成物中の全固形分とは、それぞれ分散物または感放射線性組成物に含まれる全質量から有機溶媒を除いた質量のことをいう。本発明においては、被分散体中のSi原子とTi原子との質量換算による含有質量比Si/Tiが質量換算で0.20~0.50の範囲であることを要する。以下、被分散体にSi原子を導入する際に用いられる材料について述べる。被分散体にSi原子を導入する際には、シリカなどのSi含有物質を用いればよい。本発明に用いうるシリカとしては、沈降シリカ、フュームドシリカ、コロイダルシリカ、合成シリカなどを挙げることができ、これらを適宜選択して使用すればよい。シリカは市販品としても入手可能であり、例えば、新日鉄マテリアルズ製、HS-101、HS-102、HS-103、HS-104、HS-105、HS-106、HS-107、HS-201、HS-202、HS-203、HS-204、HS-205、HS-301、HS-302、HS-303、HS-304、HS-305商品名;宇部日東化成製、ハイプレシカSS、ハイプレシカTS、ハイプレシカBS、ハイプレシカSP、ハイプレシカFQ商品名;キャボット製、CAB-O-SIL登録商標LM-150、CAB-O-SIL登録商標LM-150、CAB-O-SIL登録商標S-17Dなどを用いることができる。さらに、シリカ粒子の粒径が本発明による遮光膜を形成した際に膜厚と同程度の粒径であると遮光性の低下を引き起こすため、シリカ粒子として微粒子タイプのシリカを用いることが好ましい。微粒子タイプのシリカの例としては、例えば、AEROSIL登録商標90、AEROSIL登録商標130、AEROSIL登録商標150、AEROSIL登録商標200、AEROSIL登録商標300、AEROSIL登録商標380、AEROSIL登録商標OX50、AEROSIL登録商標EG50、AEROSIL登録商標TT600、AEROSIL登録商標200SP、AEROSIL登録商標300SP、AEROPERL登録商標300/30、AEROSIL登録商標R972、AEROSIL登録商標R974、AEROSIL登録商標R104、AEROSIL登録商標R106、AEROSIL登録商標R202、AEROSIL登録商標R805、AEROSIL登録商標R812、AEROSIL登録商標R812S、AEROSIL登録商標R816、AEROSIL登録商標R7200、AEROSIL登録商標R8200、AEROSIL登録商標R9200、AEROSIL登録商標MOX80、AEROSIL登録商標MOX170、AEROSIL登録商標COK84、AEROSIL登録商標RY50、AEROSIL登録商標NY50、AEROSIL登録商標RY200、AEROSIL登録商標RY200、AEROSIL登録商標RX50、AEROSIL登録商標NAX50、AEROSIL登録商標RX200、AEROSIL登録商標RX300、AEROSIL登録商標R504、AEROPERL登録商標300/30、VPAEROPERL登録商標P25/20M05;触媒化成製S6、MA1004商品名、以下同様、MA1006、MA1010、MA1013、MX030W、MX050W、MX100W、KE-E30、KE-E40、KE-E50、KE-E70、KE-E150、KE-P10、KE-P30、KE-P50、KE-P100、KE-P150、KE-P250;新日鉄マテリアルズ製HS-101商品名、以下同様、HS-102、HS-103、HS-104、HS-105、HS-106、HS-107、HS-201、HS-202、HS-203、HS-204、HS-205、HS-301、HS-302、HS-303、HS-304、及びHS-305;宇部日東化成製、ハイプレシカSS商品名、以下同様、ハイプレシカTS、ハイプレシカBS、ハイプレシカSP、及びハイプレシカFQ;キャボット製、CAB-O-SIL登録商標、以下同様LM-150、CAB-O-SILLM-150、及びCAB-O-SILS-17Dなどを用いることができるがこれらに限定されない。B分散剤本発明のチタンブラック分散組成物及び感放射線性組成物は、B分散剤を含有する。本発明におけるB分散剤としては、高分子分散剤例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリメタアクリレート、メタアクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、及び顔料誘導体等を挙げることができる。本発明におけるB分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及びブロック型高分子に分類することができる。本発明におけるB分散剤は、チタンブラック及び所望により併用する顔料等の被分散体の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、本発明におけるB分散剤は被分散体の表面を改質することで、分散樹脂の吸着を促進させる効果を有する。本発明に用いうるB分散剤の具体例としては、BYKChemie社製Disperbyk-101商品名、ポリアミドアミン燐酸塩、107商品名、カルボン酸エステル、110商品名、酸基を含む共重合物、130商品名、ポリアミド、161、162、163、164、165、166、170、180、190商品名、高分子共重合物、BYK-P104、P105商品名、高分子量不飽和ポリカルボン酸、EFKA社製EFKA4047、4050、4010、4165商品名、ポリウレタン系、EFKA4330、4340商品名、ブロック共重合体、4400、4402商品名、変性ポリアクリレート、5010ポリエステルアミド、5765商品名、高分子量ポリカルボン酸塩、6220商品名、脂肪酸ポリエステル、6745商品名、フタロシアニン誘導体、6750商品名、アゾ顔料誘導体、味の素ファインテクノ株製アジスパーPB821、PB822、共栄社化学株製フローレンTG-710ウレタンオリゴマー、ポリフローNo.50E、No.300商品名、アクリル系共重合体、楠本化成株製ディスパロンKS-860、873SN、874、2150商品名、脂肪族多価カルボン酸、7004ポリエーテルエステル、DA-703-50、DA-705、DA-725、花王株製デモールRN、N商品名、ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物、デモールMS、C、SN-B商品名、芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物、ホモゲノールL-18商品名、高分子ポリカルボン酸、エマルゲン920、930、935、985商品名、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、アセタミン86ステアリルアミンアセテート、ルーブリゾール社製ソルスパース5000フタロシアニン誘導体、22000商品名、アゾ顔料誘導体、13240ポリエステルアミン、3000、17000、27000商品名、末端部に機能部を有する高分子、24000、28000、32000、38500グラフト型高分子、日光ケミカル者製ニッコールT106ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート、MYS-IEX商品名、ポリオキシエチレンモノステアレート等が挙げられる。また、川研ファインケミカル株製ヒノアクトT-8000Eなどの両性分散剤も挙げられる。これらのB分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。グラフト共重合体:特定樹脂A本発明においては、B分散剤として、グラフト共重合体以下、特定樹脂Aともいうを用いることも好ましい。B分散剤としてグラフト共重合体を用いることで、分散性及び保存安定性をより向上させることができる。特定樹脂Aの酸価は、5.0mgKOH/g以上200mgKOH/g以下の範囲であることが好ましく、より好ましくは10mgKOH/g以上150mgKOH/g以下の範囲であり、更に好ましくは60mgKOH/g以上150mgKOH/g以下の範囲である。特定樹脂Aの酸価が200mgKOH/g以下であれば、遮光膜を形成する際の現像時におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。また、特定樹脂Aの酸価が5.0mgKOH/g以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、特定樹脂Aの酸価が60mgKOH/g以上であれば、チタンブラックの沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくすることができ、チタンブラック分散組成物又は感放射線性組成物の経時安定性をより向上できる。本発明において、特定樹脂Aの酸価は、例えば、分散剤中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、特定樹脂Aの構成成分として含まれうる酸基を含有するモノマー単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。本発明における特定樹脂Aの重量平均分子量は、遮光膜を形成する際において、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、10,000以上300,000以下であることが好ましく、15,000以上200,000以下であることがより好ましく、20,000以上100,000以下であることが更に好ましく、25,000以上50,000以下であることが特に好ましい。なお、特定樹脂Aの重量平均分子量は、例えば、GPCによって測定することができる。グラフト共重合体としては、水素原子を除いた原子数が40~10000の範囲であるグラフト鎖を有するものが好ましい。この場合のグラフト鎖とは、共重合体の主鎖の根元から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。この特定樹脂Aは、チタンブラック粒子に分散性を付与しうる分散樹脂であり、優れた分散性と、グラフト鎖による溶媒との親和性を有するために、チタンブラック粒子の分散性、及び経時後の分散安定性に優れる。また、感放射線性組成物としたとき、グラフト鎖の存在により重合性化合物又はその他の併用可能な樹脂などとの親和性を有するので、アルカリ現像で残渣を生じにくくなる。また、この特定樹脂Aに、更に、カルボン酸基などのアルカリ可溶性の部分構造を導入することで、アルカリ現像によるパターン形成のために現像性を付与する樹脂としての機能をも付与することができる。従って、前記グラフト共重合体に、アルカリ可溶性の部分構造を導入することで、本発明のチタンブラック分散組成物は、チタンブラック粒子の分散に不可欠の分散樹脂自体がアルカリ可溶性を有することになる。このようなチタンブラック分散物を含有する感放射線性組成物は、露光部の遮光性に優れたものとなり、且つ、未露光部のアルカリ現像性が向上される。グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり分散性は向上するが、一方グラフト鎖が長すぎるとチタンブラックへの吸着力が低下して分散性は低下してしまう。このため、本発明で使用されるグラフト共重合体としては、グラフト鎖1本あたりの水素原子を除いた原子数が40~10000であることが好ましく、グラフト鎖1本あたりの水素原子を除いた原子数が50~2000であることがより好ましく、グラフト鎖1本あたりの水素原子を除いた原子数が60~500であることが更に好ましい。グラフト鎖のポリマー構造の例としては、ポリメタアクリル、ポリエステル、ポリウレタン、ポリウレア、ポリアミド、ポリエーテルなどが挙げられる。グラフト鎖としては、グラフト部位と溶媒との相互作用性を向上させ、それにより分散性を高めるために、ポリメタアクリル、ポリエステル、又はポリエーテルを有するグラフト鎖であることが好ましく、ポリエステル又はポリエーテルを有するグラフト鎖であることがより好ましい。このようなポリマー構造をグラフト鎖として有するマクロモノマーの構造としては、ポリマー主鎖部と反応可能な置換基を有し、且つ本発明の要件を満たしていれば、特に限定されないが、好ましくは、反応性二重結合性基を有するマクロモノマーを好適に使用することができる。特定樹脂Aの合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、AA-6商品名、、AA-10、AB-6、AS-6、AN-6、AW-6、AA-714、AY-707、AY-714、AK-5、AK-30、AK-32、ブレンマーPP-100商品名、日油株製、ブレンマーPP-500商品名、日油株製、ブレンマーPP-800商品名、日油株製、ブレンマーPP-1000商品名、日油株製、ブレンマー55-PET-800日油株製、ブレンマーPME-4000商品名、日油株製、ブレンマーPSE-400商品名、日油株製、ブレンマーPSE-1300商品名、日油株製、ブレンマー43PAPE-600B商品名、日油株製、などが用いられる。このなかでも、好ましくは、AA-6、AA-10、AB-6、AS-6商品名、東亜合成株、AN-6、ブレンマーPME-4000商品名、日油株製などが用いられる。特定樹脂Aにおけるグラフト部位としては、少なくとも下記式1~式4のいずれかで表される構造単位を含むことが好ましい。式1~式4において、W1、W2、W3及びW4は、それぞれ独立に、酸素原子或いはNHを表し、特に酸素原子が好ましい。X1、X2、X3、X4、及びX5は、それぞれ独立に、水素原子又は1価の有機基を表す。X1、X2、X3、X4、及びX5としては、合成上の制約の観点からは、好ましくはそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1から12のアルキル基であり、それぞれ独立に水素原子又はメチル基であることがより好ましく、メチル基が特に好ましい。式1~式4において、Y1、Y2、Y3、及びY4は、それぞれ独立に、2価の連結基を表し、該連結基は特に構造上制約されない。Y1、Y2、Y3、又はY4で表される2価の連結基として、具体的には、下記のY-1~Y-21の連結基などが例として挙げられる。下記に示した構造において、A、Bはそれぞれ、式1~式4における左末端基及び右末端基との結合部位を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、、サイクロマーPシリーズ、プラクセルCF200シリーズいずれもダイセル化学工業株式会社製、Ebecryl3800ダイセルユーシービー株式会社製などが挙げられる。これら重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂としては、予めイソシアネート基とOH基を反応させ、未反応のイソシアネート基を1つ残し、かつメタアクリロイル基を含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、OH基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する2塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂、OH基を含むアクリル樹脂とイソシアネートと重合性基を有する化合物を反応させた樹脂、特開2002229207号公報及び特開2003335814号公報に記載されるα位又はβ位にハロゲン原子或いはスルホネート基などの脱離基を有するエステル基を側鎖に有する樹脂を塩基性処理を行うことで得られる樹脂などが好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、特に、ベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸共重合体やベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸/他ノモノマーからなる多元共重合体が好適である。この他、2-ヒドロキシエチルメタクリレートを共重合したもの、特開平7-140654号公報に記載の、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクレート/メタクリル酸共重合体などが挙げられる。市販品としては、例えばアクリル化アクリレートACAZ300、Z320、Z250、Z251、200M、230AAダイセルサイテック社製などが挙げられる。アルカリ可溶性樹脂としては、上記したアルカリ可溶性樹脂の中でも側鎖に重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂が好ましい。アルカリ可溶性樹脂の酸価としては好ましくは10mgKOH/g~200mgKOH/g、より好ましくは10mgKOH/g~100mgKOH/gであることが好ましく、15~80mgKOH/gであることが最も好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量Mwとしては、5,000~20,000が好ましく、8,000~18,000がさらに好ましく、10,000~15,000が最も好ましい。本発明の感放射線性組成物におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量は、組成物の全固形分中に対して、0.1質量~40.0質量であることが好ましく、遮光膜等の硬化膜の剥がれ抑制と現像残渣抑制の両立の観点からは、1.0質量~40.0質量であることがより好ましく、5.0~30.0質量であることがさらに好ましい。F-2着色剤本発明の感放射線性組成物には、所望の遮光性を発現させるべく、公知の有機顔料や染料などの無機顔料以外のF-2着色剤を併用することが可能である。併用することができるF-2着色剤としては、有機顔料では、例えば、特開2008-224982号公報段落番号0030~0044に記載の顔料や、C.I.PigmentGreen58、C.I.PigmentBlue79のCl置換基をOHに変更したものなどが挙げられ、これらの中でも、好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明に適用しうるF-2着色剤は、これらに限定されるものではない。C.I.PigmentYellow11,24,108,109,110,138,139,150,151,154,167,180,185、C.I.PigmentOrange36,38,62,64、C.I.PigmentRed122,150,171,175,177,209,224,242,254、255、C.I.PigmentViolet19,23,29,32、C.I.PigmentBlue15:1,15:3,15:6,16,22,60,66、C.I.PigmentGreen7,36,37,58、C.I.PigmentBlack1,7また、F-2着色剤として使用可能な染料の例としては、特に制限はなく、公知の染料を適宜選択して使用できる。例えば、特開昭64-90403号公報、特開昭64-91102号公報、特開平1-94301号公報、特開平6-11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5-333207号公報、特開平6-35183号公報、特開平6-51115号公報、特開平6-194828号公報、特開平8-211599号公報、特開平4-249549号公報、特開平10-123316号公報、特開平11-302283号公報、特開平7-286107号公報、特開2001-4823号公報、特開平8-15522号公報、特開平8-29771号公報、特開平8-146215号公報、特開平11-343437号公報、特開平8-62416号公報、特開2002-14220号公報、特開2002-14221号公報、特開2002-14222号公報、特開2002-14223号公報、特開平8-302224号公報、特開平8-73758号公報、特開平8-179120号公報、特開平8-151531号公報等に記載の色素が挙げられる。染料が有する化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の化学構造が挙げられる。本発明の感放射線性組成物におけるF-2着色剤としては、該組成物が必須に含有するA被分散体と組み合わせた場合に、硬化性と遮光性を両立しうるという観点から、オレンジ顔料、赤色顔料、及び、バイオレット顔料からなる群より選択される1種以上の有機顔料が好ましく、最も好ましくは赤色顔料との組み合わせである。本発明における被分散体と組み合わせて用いられるオレンジ顔料、赤色顔料、及びバイオレット顔料としては、例えば、前記で例示したC.I.PigmentOrange、C.I.PigmentRed、C.I.PigmentVioletに属する各種顔料を、目的とする遮光性に応じて適宜選択すればよい。遮光性向上の観点からは、C.I.PigmentViolet29、C.I.PigmentOrange36,38,62,64、C.I.PigmentRed177,254、255などが好ましい。F-3増感剤本発明の感放射線性組成物には、E光重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、F-3増感剤を含有していてもよい。F-3増感剤としては、用いられるE光重合開始剤を、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。F-3増感剤の好ましい例としては、特開2008-214395号公報の段落番号0085~0098に記載された化合物を挙げることができる。F-3増感剤の含有量は、感度と保存安定性の観点から、感放射線性組成物の全固形分に対し、0.1質量~30質量の範囲内であることが好ましく、1~20質量の範囲内であることがより好ましく、2~15質量の範囲内であることが更に好ましい。F-4重合禁止剤本発明の感放射線性組成物には、該組成物の製造中或いは保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために少量のF-4重合禁止剤を添加することが望ましい。本発明に用いうるF-4重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-t-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、t-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス3-メチル-6-t-ブチルフェノール、2,2’-メチレンビス4-メチル-6-t-ブチルフェノール、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。中でも、p-メトキシフェノールが好ましい。重合禁止剤の添加量は、感放射線性組成物の全固形分に対して、約0.01質量~約5質量が好ましい。また、必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するために、ベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で塗布膜の表面に高級脂肪酸誘導体等を偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約0.5質量~約10質量が好ましい。F-5密着向上剤本発明の感放射線性組成物には、支持体などの硬質表面との密着性を向上させるために、F-5密着向上剤を添加することができる。F-5密着向上剤としては、シラン系カップリング剤、チタンカップリング剤等が挙げられる。シラン系カップリング剤としては、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、が好ましく、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが好ましく挙げられ、市販品としては例えば、KBM-502、KBM-503、KBM-903、KBE-903、KBM-603、KBE-502、KBE-503信越シリコーン社製等が挙げられる。F-5密着向上剤の含有量は、感放射線性組成物の全固形分中0.5質量30質量であることが好ましく、0.7質量~20質量であることがより好ましい。F-6界面活性剤本発明の感放射線性組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。これらの中でもフッ素系界面活性剤が好ましい。特に、本発明の感放射線性組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性特に、流動性がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する感放射線性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3質量~40質量が好適であり、より好ましくは5質量~30質量であり、特に好ましくは7質量~25質量である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感放射線性組成物中における溶解性も良好である。フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781以上、DIC株製、フロラードFC430、同FC431、同FC171以上、住友スリーエム株製、サーフロンS-382、同SC-101、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC1068、同SC-381、同SC-383、同S393、同KH-40以上、旭硝子株製等が挙げられる。ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステルBASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1、ソルスパース20000日本ルーブリゾール株製等が挙げられる。カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体商品名:EFKA-745、森下産業株製、オルガノシロキサンポリマーKP341信越化学工業株製、メタアクリル酸系共重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95共栄社化学株製、W001裕商株製等が挙げられる。アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017裕商株社製等が挙げられる。シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レダウコーニング株製トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA,トーレシリコーンSH21PA,トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400、モメンティブパフォーマンスマテリアルズ社製TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452、信越シリコーン株式会社製KP341、KF6001、KF6002、ビックケミー社製BYK307、BYK323、BYK330等が挙げられる。界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。界面活性剤の感放射線性組成物への添加量は、感放射線性組成物の全質量に対して、0.001質量~2.0質量が好ましく、より好ましくは0.005質量~1.0質量である。F-7その他の添加剤更に、感放射線性組成物は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、或いは酸素による光重合性化合物の重合阻害を抑制する等の目的で共増感剤を含有してもよい。また、硬化皮膜の物性を改良するために、希釈剤、可塑剤、感脂化剤等の公知の添加剤を必要に応じて加えてもよい。チタンブラック分散組成物の製造方法本発明のチタンブラック分散組成物の製造方法は、特に制限されないが、例えば、既述の方法によりチタンブラック及びSi原子を含む被分散体を得る工程と、前記チタンブラック及びSi原子を含む被分散体、分散剤、及び有機溶媒を含む混合液を分散処理する工程と、を有する方法であることが好ましい。分散処理は、例えば、攪拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機、湿式分散機、等を用いて行うことができる。また、分散処理は、2回以上の分散処理多段分散により行ってもよい。黒色感放射線性組成物の製造方法本発明の黒色感放射線性組成物の製造方法については、特に特に制限されないが、例えば、本発明のチタンブラック分散組成物、D重合性化合物、E光重合開始剤、及び、所望により併用される各種の添加剤を混合する方法が挙げられる。上記のようにして得られた黒色感放射線性組成物は、好ましくは孔径0.01~3.0μm、より好ましくは孔径0.05~0.5μm程度のフィルタなどを用いて濾別した後、使用に供することもできる。黒色硬化膜及びその製造方法次に、本発明の黒色硬化膜及びその製造方法について説明する。本発明の黒色硬化膜は、固体撮像素子が備える黒色硬化膜であり、本発明の感放射線性組成物を硬化させて得られる。本発明の黒色硬化膜は、固体撮像素子が備える遮光膜、反射防止膜、その他の膜として適用しうる。本発明の黒色硬化膜は、固体撮像素子が有するシリコン基板上に、本発明の黒色感放射線性組成物を用いて形成することができる。シリコン基板は、予め一方の面に撮像素子を形成したものでも、黒色硬化膜形成後に撮像素子を形成してもよい。また、黒色硬化膜形成後に着色画素を形成してもよいし、黒色硬化膜の形成前に着色画素を形成してもよい。黒色硬化膜の膜厚としては特に限定はないが、本発明による効果をより効果的に得る観点からは、乾燥後の膜厚で、0.5μm~8.0μmの範囲が好ましく、1.0μm~7.0μmの範囲がより好ましく、2.0μm~5.0μmの範囲が更に好ましい。パターン形成後の黒色硬化膜のサイズ一辺の長さとしては、本発明による効果をより効果的に得る観点からは、10μm~400μmの範囲が好ましく、50μm~300μmの範囲がより好ましく、200μm~300μmの範囲が更に好ましい。本発明における黒色硬化膜の好ましい製造方法は、本発明の感放射線性組成物を、シリコン基板上に塗布して黒色感放射線性組成物層を形成する工程以下、適宜感放射線性組成物層形成工程と略称する。と、前記黒色感放射線性組成物層をパターン状に露光する工程以下、適宜露光工程と略称する。と、露光後の前記黒色感放射線性組成物層を現像してパターンを形成する工程以下、適宜現像工程と略称する。と、を有することを特徴とする。以下、本発明における黒色硬化膜の製造方法における各工程について説明する。黒色感放射線性組成物層形成工程まず、感放射線性組成物層形成工程で用いられる基板について説明する。カラーフィルタに用いられる基板としては、例えば、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えば、シリコン基板や、プラスチック基板が挙げられる。また、プラスチック基板は、その表面に、ガスバリヤー層及び/又は耐溶剤性層を有していることが好ましい。感放射線性組成物層形成工程において、感放射線性組成物を基板に形成する方法としては、特に限定されるものではないが、スピン塗布法、スリットアンドスピン法、スピンレス塗布法等のスリットノズルを用いる方法が好ましい。基板上に感放射線性組成物による塗布膜を形成する際、固体撮像素子用の遮光膜では、塗布膜の厚みプリベーク処理後は、0.5μm~8.0μmの範囲が好ましく、1.0μm~7.0μmの範囲がより好ましく、2.0μm~5.0μmの範囲が更に好ましい。感放射線性組成物層形成工程において、通常は、塗布後にプリベーク処理を施す。必要によっては、プリベーク前に真空処理を施すこともできる。真空乾燥の条件は、真空度が、通常、0.1torr~1.0torr、好ましくは0.2torr~0.5torr程度である。また、プリベーク処理は、ホットプレート、オーブン等を用いて50°C~140°Cの温度範囲で、好ましくは70°C~110°C程度であり、10秒~300秒の条件にて行うことができる。なお、プリベーク処理には、高周波処理などを併用してもよい。高周波処理は単独でも使用可能である。露光工程露光工程では、前述のようにして形成された感放射線性組成物からなる感放射線性組成物層に対し、所定のマスクパターンを介して露光を行う。露光の際に使用される放射線としては、g線、h線、i線、j線等の紫外線が好ましい。特に、固体撮像素子用の遮光膜を製造する際には、ステッパー露光機にて、主として、i線を使用することが好ましい。現像工程現像工程では、露光後の感放射線性組成物層の未露光部未硬化部を現像液に溶出させ、硬化分のみを基板上に残存させる。現像温度としては、通常20°C~30°Cであり、現像時間としては20秒~90秒である。現像液としては、未硬化部における感放射線性組成物の塗布膜を溶解する一方、硬化部を溶解しないものであれば、いずれのものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶媒の組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。現像に用いられる有機溶媒としては、本発明における感放射線性組成物を調製する際に使用できる既述のC有機溶媒が挙げられる。また、アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-[5,4,0]-7-ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001質量~10質量、好ましくは0.01質量~1質量となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。好ましくは有機アルカリ性の水溶液である。アルカリ性水溶液には、例えば、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤等を適量添加することもできる。現像方式は、パドル方式、デイップ方式、シャワー方式、スプレー方式などいずれでもよく、これにスウィング方式、スピン方式、超音波方式などを組み合わせてもよい。現像液に触れる前に、被現像面を予め水等で湿しておいて、現像ムラを防ぐこともできる。また、基板を傾斜させて現像することもできる。後硬化工程上記した現像によりパターンを形成する工程の後に、さらに、得られたパターンをより硬化させる後硬化工程を実施することが好ましい。後硬化工程は、加熱及び/又は露光紫外線照射によって行うが、得られたパターンをさらに硬化させ、着色画素形成のパターン形成工程でのパターンの溶解等を防止したり、パターン形成された遮光膜の画素の耐溶剤性を向上したりすることができる。後硬化工程は、紫外線照射によることが好ましい。加熱処理後加熱、ポストベークによる後硬化工程は、余剰の現像液を洗浄除去するリンス処理を経て、乾燥を施した後に施される。リンス処理は、通常は純水で行うが、省液のために、最終洗浄で純水を用い、洗浄初期は使用済の純水を使用したり、また、基板を傾斜させて洗浄したり、超音波照射を併用したりする方法を用いてもよい。リンス処理後、水切り、乾燥をした後に、通常、約200°C~250°Cの加熱処理を行う。この加熱処理ポストベークは、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン熱風循環式乾燥機、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式或いはバッチ式で行うことができる。加熱処理時間は、30秒~30000秒が好ましく、更に好ましくは、60秒~1000秒である。露光後露光による後硬化工程紫外線照射工程は、g線、h線、i線、KrF、ArF、紫外光、電子線、X線等により行うことができるが、g線、h線、i線、UV光が好ましく、特に、紫外光が好ましい。現像工程後のパターンに、前期露光工程における露光量の10倍以上の照射光量の紫外光を照射することが望ましい。紫外光の照射光量は、前期露光工程の露光量の12倍以上200倍以下が好ましく、15倍以上100倍以下がより好ましい。光源としては、例えば、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ等を使用することができる。後硬化工程においては、後露光と後加熱は、併用してもよく、この場合はどちらを先に行ってもよいが、後加熱に先立って、後露光を実施することが好ましい。後露光で硬化を促進させることにより、後加熱過程で見られるパターンの熱ダレやすそ引きによる形状の変形を抑止するためである。このようにして得られた遮光膜を有するシリコン基板上に色分解用の着色画素が形成され、固体撮像素子として用いられる。着色画素は、複数の色相の画素で構成されるが、前記パターン形成工程及び必要に応じて後硬化工程を所望の色数に合わせて繰り返すことにより、所望数の色相に構成された色分解用のカラーフィルタを作製することができる。<固体撮像素子>本発明の固体撮像素子は、既述の黒色硬化膜を備えることを特徴とする。本発明の固体撮像素子としては、例えば、本発明の黒色硬化膜からなる遮光膜ブラックマトリクスと、必要により他の色3色あるいは4色の画素からなるパターン状皮膜と、を有するカラーフィルタを備えて構成することができる。本発明における固体撮像素子は、周辺部における遮光能の低下が抑制され、しかも得られたパターンの残渣が低減され、しかもパターンの直線性が良好なので、ノイズを低減でき、色再現性を向上させることができる。本発明における固体撮像素子の構成としては、前述の遮光膜ブラックマトリクスなどの黒色硬化膜が備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、基板上に、固体撮像素子CCDイメージセンサー、CMOSイメージセンサー、等の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる受光素子を有し、基板の受光素子形成面の反対側の面に本発明に係るブラックマトリックスが備えられた構成等が挙げられる。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、部は質量基準である。また、室温は25°Cを指す。チタンブラックの作製粒径15nmの酸化チタンMT-150A商品名:テイカ株製を100g、BET表面積300m2/gのシリカ粒子AEROPERL登録商標300/30エボニック製を25g、及び、Disperbyk190商品名:ビックケミー社製を100g秤量し、イオン電気交換水71gを加えてKURABO製MAZERSTARKK-400Wを使用して、公転回転数1360rpm、自転回転数1047rpmにて20分間処理することにより均一な混合物水溶液を得た。この水溶液を石英容器に充填し、小型ロータリーキルン株式会社モトヤマ製を用いて酸素雰囲気中で920°Cに加熱した後、窒素で雰囲気を置換し、同温度でアンモニアガスを100mL/minで5時間流すことにより窒化還元処理を実施した。終了後回収した粉末を乳鉢で粉砕し、粉末状の比表面積73m2/gのチタンブラックA被分散体を得た。また、チタンブラックAの作製にて使用したシリカ粒子AEROPERLを、それぞれ38g、10g、5g、48gとすることにより、それぞれチタンブラックB、チタンブラックC、チタンブラックX、及びチタンブラックYを得た。分散剤1の合成500mL三口フラスコに、ε-カプロラクトン600.0g、2-エチル-1-ヘキサノール22.8gを導入し、窒素を吹き込みながら、攪拌溶解した。モノブチル錫オキシド0.1gを加え、100°Cに加熱した。8時間後、ガスクロマトグラフィーにて原料が消失したのを確認後、80°Cまで冷却した。2,6-ジ-t-ブチル-4-メチルフェノール0.1gを添加した後、2-メタクリロイロキシエチルイソシアネート27.2gを添加した。5時間後、1H-NMRにて原料が消失したのを確認後、室温まで冷却し、固体状の前駆体M1下記構造を200g得た。M1であることは、1H-NMR、IR、質量分析により確認した。前記前駆体M1を30.0gと、NKエステルCB-12-メタクリロイロキシエチルフタル酸、新中村化学工業株製を70.0gと、ドデシルメルカプタン2.3gと、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート233.3gとを、窒素置換した三口フラスコに導入し、攪拌機新東科学株:スリーワンモータにて攪拌し、窒素をフラスコ内に流しながら加熱して75°Cまで昇温した。これに、2,2-アゾビス2-メチルプロピオン酸ジメチル和光純薬株製のV-6010.2gを加え、75°Cにて2時間加熱攪拌を行なった。2時間後、更にV-601を0.2g加えて3時間、加熱攪拌の後、下記分散剤1の30質量溶液を得た。分散剤1の組成比、酸価、及び重量平均分子量Mwは、以下の通りである。なお、重量平均分子量は、ゲル透過クロマトグラフGPCにより測定し、ポリスチレン換算で算出した値である。GPCは、HLC-8020GPC東ソー株製を用い、カラムをTSKgelSuperHZM-H、TSKgelSuperHZ4000、TSKgelSuperHZ200東ソー社製として測定した。組成比:x=35質量、y=65質量酸価:80mgKOH/gMw:30,000分散剤2の合成1,000mL三口フラスコに1-メトキシ-2-プロパノール210gを入れ、窒素気流下、85°Cまで加熱した。これに、ベンジルメタクリレート63.4g、イソブチルメタクリレート64.7g、メタクリル酸29.0g、ブレンマーPME-400商品名、日油株式会社製、メトキシポリエチレングリコールモノメタクリレート24.0g、V-601和光純薬製4.15gを1-メトキシ-2-プロパノール212gに添加して調製した溶液を、2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に5時間加熱して反応させた。次いで、加熱を止め、以下の構造及びモノマー比率を有する4元系共重合体分散剤2を含む溶液を得た。分散剤2の固形分濃度は30質量、重量平均分子量は11000、酸価は43.0mgKOH/gであった。[実施例1~4、比較例1~3]1.チタンブラック分散組成物の調製<チタンブラック分散組成物Aの調製>下記組成1に示す成分を、攪拌機IKA社製EUROSTARを使用して、15分間混合し、分散物aを得た。組成1A被分散体:前記にて作製されたチタンブラックA25部B分散剤:前記にて得られた分散剤1の30質量溶液25部C有機溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50部得られた分散物aに対し、寿工業株製のウルトラアペックスミルUAM015を使用して下記条件にて分散処理を行い、実施例1のチタンブラック分散組成物Aを得た。分散条件ビーズ径:φ0.05mmビーズ充填率:75体積ミル周速:8m/sec分散処理する混合液量:500g循環流量ポンプ供給量:13kg/hour処理液温度:25~30°C冷却水:水道水ビーズミル環状通路内容積:0.15Lパス回数:90パス<チタンブラック分散組成物B、C、X、Y、Zの調製>実施例1のチタンブラック分散組成物Aの調製において使用したチタンブラックAを、チタンブラックB、C、X、Y、三菱マテリアル製のチタンブラック13M-T商品名とした以外は、チタンブラック分散組成物Aと同様にして、実施例2、3及び比較例1~3のチタンブラック分散組成物B、C、X、Y、Zを得た。<チタンブラック分散組成物Hの調製>実施例2のチタンブラック分散組成物Bの調製において用いた分散剤1の30質量溶液を、前記にて得られた分散剤2の30質量溶液に変更した以外は、チタンブラック分散組成物Bと同様にして、チタンブラック分散組成物Hを得た。-チタンブラック分散組成物の評価-上記にて得られた各チタンブラック分散組成物について、被分散体のSi/Ti比、及び、被分散体の粒径を測定した。<Si/Ti比>得られたチタンブラック分散組成物A、B、C、H、X、Y、及び、Zの各々から分取した測定用試料を、市販の石英ボート上にのせて、電気炉を使用して100mL/minの酸素フロー下にて500°Cで60分間加熱処理した。加熱処理により得られた粉体について、S-4800商品名、株日立テクノロジーズ製、及び、INCAEnergyPentaFETx3Oxford社製を用いて、Si原子量、Ti原子量を求め、Si/Ti比を算出した。結果を表1に示す。<被分散体の粒径>チタンブラック分散組成物A、B、C、H、X、Y、及び、Zを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて100倍に希釈し、これをカーボンフォイル上に滴下、乾燥し、これをTEMにより観察することにより、被分散体の平均粒径、及び20nm以下の粒径を有する被分散体の比率を評価した。なお、評価では粒径を円換算により評価し、サンプリング数を400とした。その結果、チタンブラック分散組成物A、B、C、H、X、Y、及び、Zに含有される被分散体の平均粒径は、それぞれ、20nm、21nm、21nm、21nm、32nm、15nm、75nmであった。また、20nm以下の粒径を有する被分散体の比率は表1に示す通りであった。<経時安定性の評価>チタンブラック分散組成物A、B、C、X、Y、及び、Zから分取した評価用試料100gを、ガラス瓶に入れ、室温下に4ヶ月間静置し、上澄み液を5g採取した。採取した液をガラスウェハー上にスピンコーターを使用して塗布し、株島津製作所製分光器UV-3600商品名により、波長500nmにおける吸光度OD1を測定した。静置前のチタンブラック分散組成物についても、静置後のものと同様にして吸光度OD0を測定した。静置保管前後の吸光度の比を下記式により算出し、経時安定性を評価した。経時安定性=静置後の550nmにおける吸光度OD0静置前の550nmにおける吸光度OD1×100表1に示されるように、実施例のチタンブラック分散組成物A、B、C、及びHは、比較例のチタンブラック分散組成物X、Y、及びZとの対比において、いずれも優れた経時安定性を示すことが分かる。2.黒色感放射線性組成物の調製バインダー溶液1の調製1,000mL三口フラスコに1-メトキシ-2-プロパノール159gを入れ、窒素気流下、85°Cまで加熱した。これに、ベンジルメタクリレート63.4g、メタクリル酸72.3g、V-601和光純薬製4.15gを1-メトキシ-2-プロパノール159gに添加して調製した溶液を、2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に5時間加熱して反応させた。次いで、加熱を止め、ベンジルメタクリレート/メタクリル酸30/70mol比の共重合体を含む溶液得た。次に、得られた共重合体溶液の内、120.0gを、300mL三口フラスコに移し、グリシジルメタクリレート16.6g、p-メトキシフェノール0.16gを加え、撹拌し溶解させた。溶解後、トリフェニルホスフィン3.0gを加え、100°Cに加熱し、付加反応を行った。グリシジルメタクリレートが消失したことを、ガスクロマトグラフィーで確認し、加熱を止めた。反応液に、1-メトキシ-2-プロパノール184gを加え、重量平均分子量12,000GPC法により求めたポリスチレン換算値、酸価35mgKOH/g、固形分30質量のバインダー溶液1を調製した。バインダー溶液2の調製ダイセル化学工業株サイクロマーPACA230A商品名、固形分55、重量平均分子量14000、酸価20mgKOH/gに、1-メトキシ-2-プロパノールを追加して、固形分を30質量としたバインダー溶液2を調製した。黒色感放射線性組成物Aの調製下記組成2の成分を攪拌機で混合して、実施例1の黒色感放射線性組成物Aを調製した。組成2チタンブラック分散組成物A50部F-1アルカリ可溶性樹脂:バインダー溶液117.0部D光重合性化合物:KAYARADDPHAジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬株製5.0部E光重合開始剤:IRGACUREOXE02下記構造、BASF社製2.5部F-4重合禁止剤:p-メトキシフェノール0.003部F-6界面活性剤:メガファックF781フッ素系界面活性剤、DIC株製0.01部C有機溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10部C有機溶媒:シクロヘキサノン10部黒色感放射線性組成物B、C、H、X、Y、及びZの調製黒色感放射線性組成物Aの調製において、組成2に示される成分のうち、チタンブラック分散物Aを、チタンブラック分散物B、C、H、X、Y、及びZに、それぞれ変更した以外は、黒色感放射線性組成物Aと同様にして、実施例2~4及び比較例1~3の黒色硬化性組成物B、C、H、X、Y、及びZを調製した。-黒色感放射線性組成物の評価-上記にて得られた各黒色感放射線性組成物について、被分散体のSi/Ti比、被分散体の粒径、及び、経時安定性について評価した。<Si/Ti比>得られた黒色感放射線性組成物A、B、C、H、X、Y、及び、Zの各々から分取した測定用試料を、市販の石英ボート上にのせ電気炉を使用して100mL/minの酸素フロー下にて500°Cで60分間加熱処理した。加熱処理により得られた粉体について、S-4800商品名、株日立テクノロジーズ製、及び、INCAEnergyPentaFETx3Oxford社製を用いて、Si原子量、Ti原子量を求め、Si/Ti比を算出した。その結果、各黒色感放射線性組成物中の被分散体におけるSi/Ti比は、チタンブラック分散組成物A、B、C、H、X、Y、及び、Zに含まれる被分散体におけるSi/Ti比と同じ結果であった。結果を表2に示す。<被分散体の粒径>黒色感放射線性組成物A、B、C、H、X、Y、及び、Zを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて100倍に希釈し、これをカーボンフォイル上に滴下、乾燥し、これをTEMにより観察することにより被分散体の平均粒径を測定した。その結果、各黒色感放射線性組成物に含まれる被分散体の粒径は、チタンブラック分散組成物A、B、C、X、Y、及び、Zに含まれる被分散体の粒径と同じ結果であった。結果を表2に示す。<経時安定性の評価>黒色感放射線性組成物A、B、C、X、Y、及び、Zから分取した評価用試料100gを、ガラス瓶に入れ、室温下に4ヶ月間静置し、上澄み液を5g採取した。採取した液をガラスウェハー上にスピンコーターを使用して塗布し、株島津製作所製分光器UV-3600商品名により、波長500nmにおける吸光度OD1を測定した。静置前黒色感放射線性組成物についても、静置後のものと同様にして吸光度OD0を測定した。静置保管前後の吸光度の比を下記式により算出し、経時安定性を評価した。経時安定性=静置後の550nmにおける吸光度静置前の550nmにおける吸光度×100結果を表2に示す。3.遮光膜黒色硬化膜の形成上記で得られた黒色感放射線性組成物A、B、C、X、Y、及び、Zを、それぞれ基板であるシリコンウェハーにスピンコート法で塗布し、その後、ホットプレートにて120°Cで2分加熱して、黒色感放射線性組成物塗布層を形成した。次いで、得られた塗布層を、i線ステッパーを用い、10μm/10μmのラインアンドスペースパターンを有するフォトマスクを介して、露光量100mJ/cm2から100mJ/cm2ずつ変更させて、露光した。露光後の塗布層に対し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド0.3水溶液を用い、23°C60秒間パドル現像を行った。その後、純水を使用してスピンシャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗し、実施例1~実施例3及び比較例1~比較例3のパターン状の遮光膜を得た。-遮光膜の評価-上記にて得られた各パターン状の各遮光膜硬化膜ついて、膜中に含まれる被分散体のSi/Ti比、被分散体の粒径、及び、残渣について評価した。<Si/Ti比>各遮光膜が形成されている基板を割り、遮光膜の断面を作製した。得られた断面について、株日立ハイテクノロジーズ製S-4800及びOxford社製INCAEnergyPentaFETx3により、Si原子量、Ti原子量を求め、Si/Ti比を算出した。その結果、各遮光膜に含まれる被分散体のSi/Ti比は、チタンブラック分散組成物A、B、C、X、Y、及び、Zに含まれる被分散体におけるSi/Ti比と同じ結果表1に示す結果であった。<被分散体の粒径>各遮光膜の各々についてスパチュラを用いて削り取った測定用試料を、市販の石英ボート上にのせ電気炉を使用して100mL/minの酸素フロー下にて500°Cで60分間加熱処理した。加熱処理により得られた粉体について、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて100倍溶液を作製し、これをカーボンフォイル上に滴下、乾燥し、これをTEMにより観察することにより被分散体の平均粒径を測定した。その結果、各遮光膜に含まれる被分散体の粒径は、チタンブラック分散組成物A、B、C、X、Y、及び、Zに含まれる被分散体の粒径と同じ結果表1に示す結果であった。<残渣の評価>各パターン状の各遮光膜の現像部について、走査型電子顕微鏡商品名:S-4800、株日立ハイテクノロジー製により観察し、基板上における現像残渣の有無を評価した。基板上に10nm以上の残渣が観察されないことが、遮光膜として良好であることを示す。結果を表2に示す。表2に示されるように、実施例の黒色感放射線性組成物A、B、C、及びHは、比較例の黒色感放射線性組成物X、Y、Zとの対比において、いずれも優れた経時安定性を示し、且つ、これを用いた遮光膜の形成においては、現像部遮光膜の形成領域外に現像残渣が観察されなかった。[実施例5]実施例2の黒色感放射線性組成物Bの調製において、バインダー溶液1をバインダー溶液2に変更した以外は、実施例2と同様にして黒色感放射線性組成物Dを作製した。[実施例6]実施例4の黒色感放射線性組成物Dの調製において、重合性化合物を下記に示す重合性化合物に変更した以外は、実施例4と同様にして黒色感放射線性組成物Eを作製しした。KAYARADDPHAジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬株製2.5部ATM-35E下記構造、新中村化学工業株製2.5部[実施例7]実施例2の黒色感放射線性組成物Bの調製において、重合性化合物を下記に示す重合性化合物に変更した以外は、実施例2と同様にして、同様にして黒色硬化組成物Fを作製した。KAYARADDPHAジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬株製2.5部A-TMMT下記構造、新中村化学工業株製2.5部[実施例8]実施例6の黒色感放射線性組成物Fの調製において、光重合開始剤を下記に示す光重合開始剤に変更した以外は、実施例6と同様にして黒色硬化組成物Gを作製した。IRGACUREOXE1下記構造、BASF社製2.5部実施例5~8にて調製した各黒色感放射線性組成物について、実施例1と同様にして評価した。結果を下記表3に示す。表3に示されるように、実施例5~8の黒色感放射線性組成物についても、いずれも優れた経時安定性を示し、且つ、これを用いた遮光膜の形成においては、現像部遮光膜の形成領域外には現像残渣が観察されなかった。また本発明の黒色の感放射線性組成物A、B、C、および実施例5~8の感放射線性組成物を、MEMSにおける遮光用途に用いたところ、良好なデバイスが得られた。"