"荷電粒子の進行軸の周囲に巻線が巻回されている第1のコイル、第2のコイルおよび第3のコイルと、磁路を形成する強磁性体と、各々のコイルに電流を流す電流源装置と、前記第2のコイルおよび前記第3のコイルに、互いに逆向き、かつ、同じ電流量の電流を流し、前記第1のコイル、第2のコイルおよび第3のコイルにおける合計発熱量をPとし、前記第1のコイルに流れる電流量をI1とし、前記第1のコイルの抵抗値をR1とし、前記第2のコイルおよび第3のコイルに流れる電流量をI2とし、前記第2のコイルおよび第3のコイルにおける合成抵抗値をR2としたとき、前記第2のコイルおよび第3のコイルに流れる電流量を、以下の式1に従った量となるよう制御する制御装置と、を有することを特徴とする電磁レンズ。前記合計発熱量Pは、前記第1のコイルに流すことのできる電流量のうち、最大の電流量を前記第1のコイルに流し、前記第2のコイルおよび前記第3のコイルには、電流を流さないときの発熱量であることを特徴とする請求項1に記載の電磁レンズ。前記第1のコイル、前記第2のコイルおよび前記第3のコイルを構成する巻線が、互いに分散して巻回されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電磁レンズ。前記第1のコイルの巻数が、前記第2のコイルおよび前記第3のコイルそれぞれの巻数より多いことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の電磁レンズ。前記第2のコイルおよび前記第3のコイルそれぞれの抵抗値が、前記第1のコイルの抵抗値より大きいことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の電磁レンズ。前記第1のコイル、前記第2のコイルおよび前記第3のコイルを構成する巻線が角線であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の電磁レンズ。前記第1のコイル、前記第2のコイルおよび前記第3のコイルを構成する角線が、層状に巻回されていることを特徴とする請求項6に記載の電磁レンズ。前記第2のコイルおよび前記第3のコイルを構成する角線による層が、前記第1のコイルを構成する角線による層に、交互に挟まれていることを特徴とする請求項7に記載の電磁レンズ。請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の電磁レンズを有する荷電粒子装置。前記荷電粒子装置は、電子顕微鏡であることを特徴とする請求項9に記載の荷電粒子装置。電磁レンズに電流を流す定電流電源は、一般にコイルに流す電流について、ある固有のふらつきを持っている。特許文献1~3の技術では、少なくとも2つのコイルに別々に電流を流しているため、2つ以上の定電流電源が必要となる。それぞれの定電流電源において、変動幅としても、また時間的にも独立したふらつきが発生するため、定電流電源が1つである場合つまり、発熱量を考慮しない電磁レンズと比較して、電流のふらつきが大きくなってしまう。これが原因となって、電磁レンズの精度が低下してしまう。そして、電流のふらつきを小さくしようとすると、精度の高い従って、コストが高い定電流電源を2つ用意する必要が生じてしまうため、技術的な困難が増加してしまうという問題がある。このような背景に鑑みて本発明がなされたのであり、本発明は、電磁レンズが発生する磁場の安定性を向上させることを課題とする。前記課題を解決するため、本発明は、荷電粒子の進行軸の周囲に巻線が巻回されている第1のコイル、第2のコイルおよび第3のコイルと、磁路を形成する強磁性体と、各々のコイルに電流を流す電流源装置と、前記第2のコイルおよび前記第3のコイルに、互いに逆向き、かつ、同じ電流量の電流を流し、前記第1のコイル、第2のコイルおよび第3のコイルにおける合計発熱量をPとし、前記第1のコイルに流れる電流量をI1とし、前記第1のコイルの抵抗値をR1とし、前記第2のコイルおよび第3のコイルに流れる電流量をI2とし、前記第2のコイルおよび第3のコイルにおける合成抵抗値をR2としたとき、前記第2のコイルおよび第3のコイルに流れる電流量を、I2={P-I12R1/R2}1/2に従った量となるよう制御する制御装置と、を有することを特徴とする。その他の解決手段については、実施形態中にて適宜説明する。本発明によれば、電磁レンズが発生する磁場の安定性を向上させることができる。次に、本発明を実施するための形態実施形態というについて、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。[電磁レンズ]第1実施形態図1は、第1実施形態に係る電磁レンズの断面を示す図であり、電磁レンズ1は、電子線の経路5を軸とする軸対称の構造を有する略リング状の形状を有している。略リング状の電磁レンズ1における断面図を示している。電磁レンズ1は、磁路を形成するための強磁性体11に、レンズコイルであるコイル12,13a,13bが内蔵されている。各コイル12,13a,13bは、それぞれ電気的に絶縁されている。コイル12には高精度な定電流電源2が接続されている。また、コイル13a、13bは、互いに直列に接続されており、定電流電源3に接続されている。後記するように、定電流電源3は、定電流電源2より精度の低いものを用いることができる。制御装置4は、定電流電源2,3の電流量を制御している。なお、図1において、各コイル12,13a,13bの内部では、実際には巻線が密に配置されている。ここで、コイル13aとコイル13bは、定電流電源3からの電流が、コイル13aとコイル13bとで、それぞれ逆向きに流れるよう接続されている。また、コイル13aとコイル13bの巻き数は等しい。なお、コイル12とコイル13aの巻き数は同じでもよいし、異なっていてもよい。また、コイル1に流れる電流の向きは、どちら向きでもよい。コイル13aとコイル13bに流れる電流が等しく、電流の流れる向きが反対向きであるため、定電流電源3が電流I2を流したとすると、コイル13aとコイル13bには、互いに逆向きの磁界が発生し、この逆向きの磁界が互いの磁界を打ち消しあう。従って、電流I2によって電磁レンズ1にもたらされる起磁力は0となる。一方、定電流電源2が電流I1を流したとすると、この電流I1は、コイル12を流れることとなる。コイル12の巻数をT1とすると、電流I1は、I1T1に比例した起磁力を電磁レンズ1に与える。ここで、電磁レンズ1の発熱量を考える。各コイル12,13a,13bの抵抗値はコイルの温度によって異なる。ある温度におけるコイル12,13a,13bの抵抗値をそれぞれR1、R2a、R2bとすると、電磁レンズ1全体の発熱量Pは、以下の式1となる。P=I12R1I22R2aR2b1R2=R2aR2bとすると、式1の発熱量Pは、以下の式2に変形できる。P=I12R1I22R22このときの電磁レンズ1の精度は、各コイル12,13a,13bに流れる励磁電流の時間的な変動ふらつきが大きく影響すると考えられる。定電流電源2による電流I1の時間的な変動の変動幅をΔI1とし、また同様に定電流電源3による電流I2の時間的な変動の変動幅をΔI2とする。前記したように、コイル13a,13bは逆向きに電流が流れるため、電流I2は電磁レンズの励磁には寄与しない。そのため、電流I2の時間的な変動も、励磁の変動に寄与しない。従って、電磁レンズ1が軸5上に発生する磁界レンズの強度の時間変動磁界の精度は、定電流電源2の精度変動幅であるΔI1に比例する量となる。次に、制御装置4が行う電流の制御を説明する。電磁レンズ1に起磁力Aを得たい場合、制御装置4は、式3に示す電流I1を流すよう定電流電源2を制御する。I1=A/T13そして、制御装置4は、以下の式4に従う電流I2を流すよう定電流電源3を制御する。式4は、式2に式3を代入して、I2について変形することにより得られる。制御装置4は、各電流I1,I2が、式3、式4となるよう定電流電源2,3を制御することにより、電流I1,I2を変化させても電磁レンズ1全体の発熱量を一定値Pで保つことができる。なお、発熱量Pは任意に設定されている値である。次に、電磁レンズ1の発熱量Pの決め方の一例を説明する。ここでは、定電流電源2が、流すことのでき得る最大の電流を流し、定電流電源3の流す電流が0であるときの発熱量Pmaxを式4における発熱量とする。すなわち、発熱量Pは以下の式5でPmaxに設定される。Pmax=I1max2R15なお、P=Pmaxに限らず、他の値でもよい。例えば、P>Pmaxでもよい。ただし、P<I2maxR22である必要はある。ここで、I2maxは、定電流電源3が、流すことのでき得る最大の電流である。また、P<Pmaxでもよいが、この場合、制御できない領域ができるため、好ましくない。P<I112R1となるI11が、I11<I1maxの条件で存在することになるが、このとき、I2=0としても電磁レンズ1全体の発熱量がPを上回るためである。なお、ここでは、コイル12の抵抗値R1およびコイル13a,13bの抵抗値R2が一定であるという前提で計算および制御を行っている。本実施形態の電磁レンズ1では、発熱量を常にPで一定とすることができる。コイル12,13a,13bの各抵抗値は、各コイル12,13a,13bにおける発熱量と放熱効率の影響を受けて変化するが、発熱量Pが一定となることにより、コイル12の抵抗値R1およびコイル13a,13bの抵抗値R2はある精度で一定とすることができる。従って、コイル12の抵抗値R1およびコイル13a,13bの抵抗値R2は近似的に一定であるという前提で計算および制御を行うことができる。さらに、高次の安定性のために、コイル12,13a,13bの抵抗値を定電流電源2,3で測定し、I22R2I12R1が一定となるよう制御することもできる。また、コイル13a,13bにおける電流のふらつきは、互いに逆向きに同じ量の電流が流れることで、完全にキャンセルされるため、定電流電源3は、精度の低いものを使用しても問題ないこととなる。つまり、複数の定電流電源2,3のうち、高い精度を備えた電源は定電流電源2の1つでよく、定電流電源3は相対的に精度の低い、安価な電源で十分である。さらに、本実施形態によれば特許文献1~3に記載の技術のような、2台以上の定電流電源がどちらも電磁レンズの起磁力にかかわる機構に比べ、電磁レンズ1が発生する磁場の安定性を向上させることができ、高精度で電磁レンズ1を制御することができる。以下の表は、このことを説明するための表である。表1では、上段に本実施形態、下段に比較例の各特性を示す。なお、比較例は特許文献1に記載の技術であるが、特許文献3に記載の技術も、同様の特性を示す。なお、表1におけるI1,I2,R1,R2は、それぞれのコイルに流れる電流値と、それぞれのコイルにおける抵抗値を示している。なお、本実施形態では、前記したようにコイル13aとコイル13bの合成抵抗値をR2とする。表1において、コイル数は、本実施形態において3であり、比較例が2であること、および電源数定電流電源数は、本実施形態および比較例において2であることは、本実施形態の説明および特許文献1の記載から明らかであるので、説明を省略する。また、電磁レンズが発生させる熱量は、どちらも同じであるため、説明を省略する。比較例が互いに逆向きに電流の流れる2つのコイルのそれぞれに電流値I1,I2を逆向きに流すため、比較例における電磁レンズ起磁力はI1-I2となる。また、比較例では、ΔI2電流値I2のふらつきの影響を0にすることができないため、起磁力精度は表1に示すようになる。これに対し、本実施形態では、I2の影響を排除することができるため、電磁レンズ起磁力はI1となり、起磁力精度をΔI1とすることができる。特に、ΔI2≠0であれば、起磁力精度については以下の式6が常に成り立つため、本実施形態の手法の方が、比較例の手法より電磁レンズ1が発生する磁場の安定性を向上させることができ、精度の高い制御を可能とする。第2実施形態次に、図2~図5を参照して、第2実施形態と、その変形例に係る電磁レンズの例を示す。なお、図2~図4における丸は巻線の断面を示している。また、図2~図5において、図1と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。図2に示す電磁レンズ1aでは、コイル12,13a,13bが複数の電線を互いに織り交ぜて巻く一体のコイルとなっている。つまり、電磁レンズ1aにおいて、コイル12,13a,13bの巻線以下、コイル12,13a,13bと称するが、互いに均一に分散して、電子線の経路5の周りを巻回している構造となっている。なお、コイル13a,13bは、第1実施形態と同様、電流が逆向きに流れるように巻線が巻回されている。また、コイル12,13a,13bは、互いに絶縁されており、各コイル12,13a,13bを構成する巻線の一端と他端は、電磁レンズ1a外に独立に取り出すことができる。なお、コイル13a,13bにおける巻線の一端は、電磁レンズ1a内部で接続されていてもよい。第1実施形態図1に示す電磁レンズ1では、コイル12が配置されている箇所と、コイル13a,13bが配置されている箇所が、明確に分離しているため、全体の発熱量が一定であっても、その発熱分布に偏りが生じる可能性がある。第2実施形態に示す電磁レンズ1aでは、図2のようにコイル12,13a,13bが、互いに均一に分散して巻回されているため、発熱分布を均一にすることができる。図3~図5は、第2実施形態に係る電磁レンズの変形例を示す図である。前記したように、コイル13aとコイル13bにおける巻線の巻数が等しければ、図3に示す電磁レンズ1bのようにコイル12とコイル13a,13bの巻数が異なってもよい。図5に示すように、コイル12の巻数が、コイル13a,13bそれぞれの巻数より多いことが技術的に自然であり好ましいが、コイル12の巻数が、コイル13a,13bそれぞれの巻数より少なくてもよい。なお、コイル13aと、コイル13bの巻数は、同じになるように巻回される。また、コイル13a,13bにおける巻線をコイル12に巻回される巻線に比べて高抵抗の材料で作った場合、コイル13a,13bにおける発熱量が大きくなるため式2、図4の電磁レンズ1cのように、コイル13a、13bの巻数をコイル12に比べてずっと少ない巻数とすることが望ましい。このように、コイル13a、13bの巻数をコイル12に比べて少ない巻数とすることで、電磁レンズ1cを小型化することができる。なお、図4では、各コイル12,13a,13bの抵抗値を、丸の大きさで表現し、丸の大きさが小さいほど抵抗値が大きく、丸の大きさが大きいほど抵抗値が小さい。このようにすることで、コイル13a,13bに流す電流を少なくすることができるので、安定性を向上させることができる。この場合も、コイル12の中にコイル13a,13bが、均一に分散して巻回されるようにすることが望ましい。また、電磁石におけるコイルを高性能にするためには、発熱を熱伝導で逃がす目的と、限られた断面積に最大の電流密度を投入する目的のために、巻線を隙間なく巻回することが重要である。この目的のために、図5の電磁レンズ1dのように、巻線の断面が円形ではなく四角形などの角型である角線を用いてもよい。図5において、各コイル12,13a,13bが、各コイルにおける巻線の断面を示している。この場合、角線を用いた各コイル12,13a,13bは、図5に示すように層状の構造とすることが望ましい。さらに、コイル13aとコイル13bがコイル12の層に挟まれる構造にするのが望ましい。また、コイル13a、コイル13bの巻線を薄い層とする巻き線の厚みを薄くすることで、励磁に関わるコイル12を巻回する断面積を確保し、かつ隙間なく巻くことができるようになる。本実施形態では、コイル13aの巻数とコイル13bの巻数が等しければ、本実施形態の電磁レンズ1,1a~1dのコイル12,13a,13bの巻線の直径や厚みが異なっていてもよい。また、各コイル12,13a,13bの巻線の材質が異なっていてもよい。なお、巻線の直径や、厚みや、材質が異なることで、図4で説明したようにコイル12と、コイル13a,13bとの巻数が異なるが、コイル13aと、コイル13bの巻数は等しくなるように巻回される。また、コイル13a,13bに相当するコイルは、それぞれの合計巻数が一致していれば、複数のコイルからなる複合コイルとして備えることも可能である。つまり、本実施形態では、コイル13a,13bを1本の巻線からなる単一のコイルとしているが、コイル13a,13bのそれぞれを複数本の巻線からなる複数のコイルとしてもよい。この場合、コイル13aを構成するコイルの巻数と、コイル13bを構成する巻数は同じとする必要がある。同様に、コイル12も複数のコイルで構成されるようにしてもよい。また、コイル13a,13bを、1本の巻線を折り返したものを軸の周りに巻くことによって形成することもできる。つまり、コイル13aまたはコイル13bを1本の巻線で形成した後、この巻線を折り返して、軸電子線の経路5の周りに巻回することでコイル13bまたはコイル13aを形成してもよい。折り返し箇所は一方のコイルを形成した後に折り返してもよいし、1周毎に折り返してもよい。さらに、このような折り返しで形成したコイルを複数備えることで、コイル13a,13bを形成してもよい。また、本実施形態では、定電流電源2,3を別の定電流電源としたが、一体の定電流電源としてもよい。この場合、コイル12に流す電流と、コイル13a,13bに流す電流とを分流し、かつ、コイル12に流れる電流の電流量と、コイル13a,13bに流れる電流量とを調節可能な分流手段を備える必要がある。本実施形態によれば、3つのコイル12,13a,13bのうち、電流の大きさが同じで、かつ電流の流れる方向が互いに逆向きである2つのコイル13a,13bを設け、さらに式3および式4に従って各コイル12,13a,13bを流れる電流を制御することによって、発熱量を一定に保ったまま、電磁レンズ1,1a~1dの磁界強度を変化させることができ、電磁レンズ1,1a~1dが発生する磁場の安定性を向上させることができる。また、電流の大きさが同じで、かつ電流の流れる方向が互いに逆向きである2つのコイル13a,13bを設けることで、これらのコイルに流れる電流による起磁力をキャンセルすることができるため、電磁レンズ1,1a~1dの精度を、特許文献1~3に記載の技術と比較して向上させることができる。[荷電粒子装置]次に、図6を参照して、本実施形態に係る電磁レンズ1,1a~1dを備える荷電粒子装置を説明する。図6は、本実施形態に係る電磁レンズを備える荷電粒子装置の構成例を示す図である。なお、本実施形態では、荷電粒子装置として透過型電子顕微鏡の例を示しているが、走査型電子顕微鏡、イオンビーム装置、電子線描画装置などの荷電粒子装置としてもよい。図6の透過型電子顕微鏡以下、電子顕微鏡200と称するは、一般的な電子顕微鏡であるため、その詳細な説明は省略するが、電子銃201、電子光学系部202、試料ホルダ203、検出器204、電源を有する制御検出部205、制御装置206および高圧電源部251を有する。そして、電子銃201と電子光学系部202は、それぞれ真空排気装置212、213を備えている。電子銃201は電子源211から電子線を発生放出する。放出された電子線は、経路5に従って進み、電子光学系部202において収束、偏向させられ、試料231に照射される。試料ホルダ203は試料231を保持し、必要に応じ、オペレータの操作に応じて、試料231を移動、傾斜、交換する。検出器204は、試料231が発生した反射電子、二次電子、反射電子、透過電子、散乱電子、X線などを計測する。制御検出部205は、電子銃201、電子光学系202に電源を供給するとともに、制御装置206の指示に従って出力を調整することによって、電子線をオペレータが要求する状態に制御する。特に、電子銃201は、制御検出部205に接続されている高圧電源部251で昇圧された電圧から電子線を発生する。また、制御装置206は、制御検出部205を介して検出器204から取得した情報をデジタル信号に変換するとともに、制御検出部205を制御することで電子銃201、電子光学系202を制御するとともに、検出器204からの情報を処理し、オペレータに視認可能な形で表示または記録する。ここで、制御装置206が図1の制御装置4に相当し、制御検出部205に図1の定電流電源2,3が含まれている。また、電子光学系部202に3つの電磁レンズ221が備えられ、検出器204に1つの電磁レンズ221が備えられている。これらの電磁レンズ221は、図6の上から順にC1レンズ、C2レンズ、対物レンズ、照射レンズである。これら4つの電磁レンズ221のうち、少なくとも1つが本実施形態の電磁レンズ1,1a~1dのいずれかである。"