"回転軸を中心にして反対側に、それぞれシート材を移動自在にガイドして保持し得る第1のシート材保持路と第2のシート材保持路とを有し、前記回転軸に一体の支持体に前記第1及び第2のシート材保持路を支持して、前記回転軸の180度回転により、前記第1のシート材保持路と前記第2のシート材保持路を上方位置及び下方位置に入れ換え、前記上方位置にて、前記第1及び第2のシート材保持路のいずれか一方に、該シート材保持路のガイド方向一方からシート材を搬入する搬入手段を配置し、前記下方位置にて、前記第1及び第2のシート材保持路のいずれか他方に、該シート材保持路に保持されたシート材を、該シート材保持路のガイド方向一方に向けて排出する第1の排出手段と、該シート材保持路のガイド方向他方に向けて排出する第2の排出手段と、を配置してなる、ことを特徴とする反転装置。前記回転軸の軸線が、前記第1及び第2のシート材保持路のガイド方向と平行に配置されてなる、請求項1記載の反転装置。前記回転軸の軸線が、前記第1及び第2のシート材保持路のガイド方向と直交するように配置されてなる、請求項1記載の反転装置。前記支持体は、前記回転軸に固定されたフレーム部材と、前記上方位置においてシート材の搬入方向下流側となる前記フレーム部材の一端面に固定されて前記第1及び第2のシート材保持路に沿って延びる片持ち形状の複数のアーム部材と、を有し、前記第1及び第2のシート材保持路は、前記アーム部材に回転自在に支持された複数のローラを有し、これらローラが、シート材を保持するようにその上下面において、該シート材保持路の幅方向に複数列配置されている前記各アーム部材の長手方向に沿って複数個配置されて構成され、前記搬入手段は、前記アーム部材の間を通る前記ローラの径より長いロッドを介して連結されている吸着パッドを有し、前記アーム部材の自由端側から、シート材を吸着した前記吸着パッドを挿入して、前記上方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路にシート材を搬入してなり、前記第1の排出手段は、前記アーム部材の間を通って、前記下方位置における前記第1又は第2のシート材保持路にあるシート材を、該シート材保持路のガイド方向一方に向けて押し出す第1の押し部材を有し、前記第2の排出手段は、前記アーム部材の間を通って、前記下方位置における前記第1又は第2のシート材保持路にあるシート材を、該シート材保持路のガイド方向他方に向けて押し出す第2の押し部材を有してなる、請求項1ないし3のいずれか記載の反転装置。請求項1ないし4のいずれか記載の反転装置と、前記シート材からなる被露光体に直接描画するレーザ露光機と、前記反転装置と前記レーザ露光機との間に配置された待機部と、前記反転装置の前記待機部と反対側に配置された排出部と、を備え、前記搬入手段は、前記レーザ露光機で露光された前記被露光体を該レーザ露光機の露光台から前記上方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路に搬入し、前記第1の排出手段は、前記下方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路から、表面が露光されて未露光である裏面を上面とした状態の被露光体を前記待機部に移送し、前記第2の排出手段は、前記下方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路から表面及び裏面の両面が露光された状態の被露光体を前記排出部に排出してなる、ことを特徴とする露光装置。請求項4記載の反転装置と、前記シート材からなる被露光体に直接描画するレーザ露光機と、前記反転装置と前記レーザ露光機との間に配置された待機部と、前記レーザ露光機の前記待機部と反対側に配置された投入部と、前記反転装置の前記待機部と反対側に配置された排出部と、前記待機部と前記投入部との間を移送範囲とし、前記投入部上の被露光体を前記レーザ露光機の露光台に移送すると共に、前記待機部上の被露光体を前記レーザ露光機の露光台に移送する第1のハンドリング装置と、を備え、前記吸着パッドは、前記レーザ露光機の露光台と前記上方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路との間を移送範囲とし、前記レーザ露光機の露光台上にある表面又は両面を露光された被露光体を前記上方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路に搬入する第2のハンドリング装置に配置され、前記第1の排出手段は、前記下方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路の表面が露光されて未露光である裏面を上面とした状態の被露光体を前記第1の押し部材により前記待機部上に移送し、前記第2の排出手段は、前記下方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路の両面が露光された状態の被露光体を前記第2の押し部材により前記排出部上に移送してなり、前記第1のハンドリング装置の移送経路と、前記第2のハンドリング装置の移送経路が、移送方向でオーバラップすると共に高さ方向で異なる、ことを特徴とする露光装置。請求項6記載の露光装置を用いて、前記レーザ露光機の露光台上から前記上方位置にある前記第1又は第2のシート材保持路に向けて前記第2のハンドリング装置により被露光体を搬入する際、同時に、前記投入部又は前記待機部から前記レーザ露光機の露光台に向けて前記第1のハンドリング装置により被露光体を移送し、前記レーザ露光機が、前記露光台上の被露光体に露光する際、同時に、前記反転装置が、前記上方位置にある第1又は第2のシート材保持路に搬入された被露光体を前記下方位置に移動すると共にその表裏を反転して、該下方位置にある被露光体が両面を露光されている場合、該被露光体を前記第2の押し部材により前記排出部に移送し、前記被露光体が表面のみを露光されている場合、該被露光体を前記第1の押し部材により前記待機部上に移送する、ことを特徴とする露光方法。上記特許文献1記載の露光装置は、上記レーザ露光機の露光台テーブル、第1及び第2待機ステージ及び反転装置は、すべて同一平面にあり、反転装置により表裏を反転されて裏面を露光すべくレーザ露光機に戻される際、表面を露光された基板は、露光機から第1待機ステージに戻されて、第2待機ステージ等の搬送平面を空ける必要がある。また、反転装置は、基板の上下面を挟むように配置された1層のシート材基板保持路からなり、該保持路への搬入路及び排出路を同一平面に配置する必要があり、該反転装置への搬入、両面露光済の基板を排出するためにレーザ露光機から遠ざかる方向に排出する排出、及び表面を露光した基板をレーザ露光機に向けて戻す裏面露光用排出の各機能を高い効率で使い分けるのは困難であり、シート材基板の反転、搬送性の更なる向上の妨げとなっている。また、該反転装置を1個又は2個用いた上記露光装置は、レーザ露光機から表面露光済の基板を上記反転装置に搬入する経路と、裏面露光のために基板を反転装置からレーザ露光機に戻す経路とが、いわゆる平面交差となるため、基板の搬送が複雑になり、更なる生産性の向上の妨げになっていると共に、1台の露光機の前後にそれぞれ待機ステージを配置する必要があり、設置スペースの更なる省面積化の妨げとなっている。そこで、本発明は、反転装置に2層のシート材基板保持路を設け、該反転装置を露光装置並びに露光方法に適用し、もって上述した課題を解決した反転装置及び露光装置並びに露光方法を提供することを目的とするものである。本発明に係る反転装置19P,19Cは、回転軸20を中心にして反対側に、それぞれ基板等のシート材Bを移動自在にガイドして保持し得る第1のシート材保持路221と第2のシート材保持路222とを有し、前記回転軸20に一体の支持体21,21’に前記第1及び第2のシート材保持路221,222を支持して、前記回転軸の180度回転により、前記第1のシート材保持路221と前記第2のシート材保持路222を上方位置U及び下方位置Dに入れ換え、前記上方位置Uにて、前記第1及び第2のシート材保持路のいずれか一方例えば221に、該シート材保持路のガイド方向一方からシート材基板を搬入する搬入手段30,31を配置し、前記下方位置Dにて、前記第1及び第2のシート材保持路のいずれか他方例えば222に、該シート材保持路に保持されたシート材基板Bを、該シート材保持路222のガイド方向一方dに向けて排出する第1の排出手段32と、該シート材保持路222のガイド方向他方eに向けて排出する第2の排出手段33と、を配置してなる、ことを特徴とする。例えば図1~図4を参照して、上記反転装置19Pは、前記回転軸20の軸線が、前記第1及び第2のシート材保持路221,222のガイド方向と平行に配置されてなる。例えば図5~図7を参照して、上記反転装置19Cは、前記回転軸20の軸線が、前記第1及び第2のシート材保持路221,222のガイド方向と直交するように配置されてなる。詳しくは、前記反転装置19P,19Cは、前記支持体21,21’が、前記回転軸20に固定されたフレーム部材23...と、前記上方位置Uにおいてシート材基板Bの搬入方向下流側となる前記フレーム部材の一端面23b,23dに固定されて前記第1及び第2のシート材保持路221,222に沿って延びる片持ち形状の複数のアーム部材25...と、を有し、前記第1及び第2のシート材保持路221,222は、前記アーム部材25...に回転自在に支持された複数のローラ26...を有し、これらローラが、シート材基板Bを保持するようにその上下面において、該シート材保持路221,222の幅方向に複数列配置されている前記各アーム部材25...の長手方向に沿って複数個配置されて構成され、前記搬入手段は、前記回転軸20から離れた側における前記アーム部材25...の間Gを通るロッド30aを介して連結されている吸着パッド30を有し、前記アーム部材25の自由端側から、シート材基板Bを吸着した前記吸着パッド30を挿入して、前記上方位置Uにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222にシート材基板を搬入してなり、前記第1の排出手段は、前記アーム部材25...の間Gを通って、前記下方位置Dにおける前記第1又は第2のシート材保持路221,222にあるシート材基板Bを、該シート材保持路221,222のガイド方向一方dに向けて押し出す第1の押し部材32を有し、前記第2の排出手段は、前記アーム部材25...の間Gを通って、前記下方位置Dにおける前記第1又は第2のシート材保持路221,222にあるシート材基板Bを該シート材保持路221,222のガイド方向他方eに向けて押し出す第2の押し部材33を有してなる。なお、上記吸着パッド30のロッド30aは、前記アーム部材25と複数のローラ26からなる鋤刃状アームの上下方向高さより長く設定されている。例えば図8を参照して、本発明に係る露光装置50は、前記反転装置19と、前記シート材基板からなる被露光体Bに直接描画するレーザ露光機8と、前記反転装置19と前記レーザ露光機8との間に配置された待機部35と、前記反転装置19の前記待機部35と反対側に配置された排出部36と、を備え、前記搬入手段30,31は、前記レーザ露光機8で露光された前記被露光体Bを該レーザ露光機8の露光台9から前記上方位置Uにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222に搬入し、前記第1の排出手段32は、前記下方位置Dにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222から、表面が露光されて未露光である裏面を上面とした状態の前記被露光体Bを前記待機部35に移送し、前記第2の排出手段33は、前記下方位置Dにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222から表面及び裏面の両面が露光された状態の被露光体Bを前記排出部36に排出してなる、ことを特徴とする。詳しくは、上記露光装置50は、前記反転装置19と、前記シート材からなる被露光体Bに直接描画するレーザ露光機8と、前記反転装置19と前記レーザ露光機8との間に配置された待機部35と、前記レーザ露光機8の前記待機部35と反対側に配置された投入部52と、前記反転装置19の前記待機部35と反対側に配置された排出部36と、前記待機部35と前記投入部52との間を移送範囲とし、前記投入部52上の被露光体Bを前記レーザ露光機8の露光台9に移送すると共に、前記待機部35上の被露光体Bを前記レーザ露光機8の露光台9に移送する第1のハンドリング装置56と、を備え、前記吸着パッド30は、前記レーザ露光機の露光台9と前記上方位置Uにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222との間を移送範囲とし、前記レーザ露光機8の露光台9上にある表面又は両面を露光された被露光体Bを前記上方位置Uにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222に搬入する第2のハンドリング装置31に配置され、前記第1の排出手段は、前記下方位置Dにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222の表面が露光されて未露光である裏面を上面とした状態の被露光体Bを前記第1の押し部材32により前記待機部35上に移送し、前記第2の排出手段は、前記下方位置Dにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222の両面が露光された状態の被露光体Bを前記第2の押し部材33により前記排出部36上に移送してなり、前記第1のハンドリング装置56の移送経路と、前記第2のハンドリング装置31の移送経路が、移送方向でオーバラップすると共に高さ方向で異なる、ことを特徴とする。本発明に係る露光方法は、上記露光装置50を用いて、前記レーザ露光機8の露光台9上から前記上方位置Uにある前記第1又は第2のシート材保持路221,222に向けて前記第2のハンドリング装置31により被露光体Bを搬入する際、同時に、前記投入部52又は前記待機部35から前記レーザ露光機8の露光台9に向けて前記第1のハンドリング装置56により被露光体Bを移送し、前記レーザ露光機8が、前記露光台9上の被露光体Bに露光する際、同時に、前記反転装置19が、前記上方位置Uにある第1又は第2のシート材保持路221,222に搬入された被露光体Bを前記下方位置Dに移動すると共に表裏を反転して、該下方位置Dにある被露光体Bが両面を露光されている場合、該被露光体Bを前記第2の押し部材33により前記排出部36に移送し、前記被露光体Bが表面のみを露光されている場合、該被露光体Bを前記第1の押し部材32により前記待機部35上に移送する、ことを特徴とする。なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照するためであるが、これにより特許請求の範囲の構成に何等影響を及ぼすものではない。請求項1に係る本発明によると、回転軸を中心にして反対側に配置した第1のシート材保持路と第2のシート材保持路とを有する2層の反転装置からなるので、下方位置にあるシート材保持路のガイド方向両側に排出する第1及び第2の排出手段と、上方位置にあるシート材保持路に整合する搬入手段とを配置して、シート材基板の搬入及び排出がそれぞれ専用に与えられて合理的な配置となって、効率的にシート材基板の反転並びに搬入及び排出を行うことができる。また、反転装置は、上方位置及び下方位置にそれぞれシート材保持路を有する立体的な構造となって、専有設置スペースを小さくすることができる。請求項2に係る本発明によると、回転軸とシート材保持路のガイド方向とが平行に配置されるので、シート材基板を反転した状態で、シート材基板の表裏において前端側及び後端側が同じとなり、例えば露光装置に適用して、レーザ露光機の進入方向に対する相関関係がシート材基板の表裏において同じとなり、シート材基板の同一箇所の表裏を同一のレンズ系で露光できるため、同タイプのレーザ露光機において生じる露光描画の表裏誤差を小さくすることができ、より精度が求められる場合には効果的である。また、本反転装置にてシート材基板を反転する際、シート材保持路のシート材に滑り落ちるような重力が作用しないので、シート材基板をシート材保持路に保持するためのクランプ及びストッパ等が不要となり、反転装置の構造を簡単にしてコストダウン及び信頼性の向上を図ることができる。請求項3に係る本発明によると、回転軸をシート材保持路のガイド方向平面に直交するように配置したので、シート材基板の搬送装置の進行方向に対して、反転してもシート材基板の左右関係が同じであり、従来の反転装置の関係と同一となるため、後工程が容易、簡単となる。請求項4に係る本発明によると、回転軸に一体に固定されたフレーム材に、片持ち支持形状により複数のアーム部材を固定し、これらアーム部材に複数のローラを回転自在に支持して前記第1及び第2のシート材保持路を構成したので、上方位置においてシート材保持路の上記アーム部材の自由端からシート材を挿入する搬入路を容易に形成することができ、かつ下方位置において、シート材保持路のガイド方向一方及び他方にシート材基板を押し出す押し部材により第1及び第2の排出手段を容易に構成することができ、2層の反転装置を簡単で信頼性の高い構造とすることができる。請求項5に係る本発明によると、本反転装置を、レーザ露光機を有する露光装置に適用して高価なレーザ露光機を少数1台に抑えて、1個の反転装置及び待機部の配置と相俟って、高い生産性で被露光体を露光することができる。請求項6に係る本発明によると、待機部と投入部との間を移送範囲とした第1のハンドリング装置と、上方位置にあるシート材基板保持路とレーザ露光機の露光台を移送範囲とした第2のハンドリング装置とを、そのシート材基板の搬送経路が基板移送方向でオーバラップすると共に高さ方向で異なるように配置したので、第1のハンドリング装置及び第2のハンドリング装置は、待機部上方で移送方向に交差しても互いに干渉することがなく、両ハンドリング装置によるシート材基板の移送を同時に行うことを可能として、更なる省スペースを図ると共に、高い生産性によるシート材基板の両面露光を図ることができる。請求項7に係る本発明によると、第2のハンドリング装置によるレーザ露光機の露光台から上方位置にある反転装置のシート材基板保持路への被露光体の移送と、第1のハンドリング装置による待機部から上記露光台への被露光体の移送とを同時に行い、かつレーザ露光機により被露光体の露光をする際、異なる被露光体の反転並びに待機部への移送又は排出部への排出を同時に行って、高い生産性による被露光体の露光を行うことができる。以下、図面に沿って本発明の実施の形態を説明する。平行軸タイプの反転装置19Pは、図1~図4に示すように、回転軸20に一体に固定された支持体21を有しており、該支持体21には、回転軸20を挟んで180度反対側に同一形状からなる第1及び第2のシート材保持路221,222が2層状に支持されている。なお、本反転装置で取扱うシート材は、どのようなものでもよいが、本実施の形態では露光装置に適用しているので、シート材は被露光体であるプリント基板となり、以下単に基板という。上記支持体21は、左右の側板23a,23a、これら両側板の前端側で連結する前板23b及び両側板の中央で連結するサポート板23c,23cからフレーム部材を有し、その上面、下面及び後面の中央部以外が開放された平面視コ字状からなる。前記前端側及び後端側に位置すると両サポート板23c,23cを貫通して上記回転軸20が一体に固定されており、前端側サポート板23cと一体の前板23bに一端が固定されて多数のアーム部材25...が上記回転軸20の軸線に平行に後端側に向けて延びており、これらアーム部材25の後端先端側は自由端となって、片持ち支持形状である鋤刃櫛歯形状となっている。アーム部材25は、幅方向に複数列本実施の形態では6列配置され、かつ回転軸20を中心にして反対側にそれぞれ2段の合計4段が平行に配置されている。各アーム部材25には、その長手方向にそれぞれ複数本実施の形態では7個のローラ26...が回転自在に支持されており、これらローラ26は、アーム部材25の上下方向の幅より大径であり、それぞれ上下2段の複数列ローラにより、前記第1及び第2の基板保持路221,222を形成している。これら基板保持路221,222は、基板Bの上下を挟んで保持すると共に、前記回転軸20の軸線方向に基板を移動自在にガイドする。前記回転軸20により支持体21が図1に矢印で示すように、往復回動旋回又は一方向に回動自在となっており、モータ等のアクチュエータにより、180度回転して、第1の基板保持路221と第2の基板保持路222とを上方位置及び下方位置に入れ換え得る。ローラ26を支持して幅方向に延びる多数列のアーム部材25の間は、図2Aに示すように、複数実施の形態では3列の空隙部が形成されており、これら空隙部Gは、後端側が開放されて、基板Bを第1又は第2の基板保持路221,222に導入可能となっている。また、図3Bに示すように、支持体21の前板23bは、上下各1箇所に上記基板保持路と整合するようにスリット27,27があけられており、下方位置にあるスリットから基板Bを排出し得る。図1及び図3Aに示すように、支持体21の後端側は、中央部のサポート板23cを除いてその上方及び下方は、開放しており、上方位置にて基板Bを第1又は第2の基板保持路221,222に搬入可能となっており、下方位置にて基板Bを第1又は第2の基板保持路から排出可能となっている。本反転装置19Pは、以上のような構成からなるので、以下図4に沿ってその作動を説明する。図4Aは、搬入手段30,31により上方位置Uにある第1の基板保持路221又は第2の基板保持路222に基板Bを搬入する状態を示す。搬入手段は、複数実施の形態では5個の吸着パッド30を有する第2のハンドリング装置31からなり、該吸着パッド30は、アーム部材25と複数のローラ26からなる鋤刃状アームの上下方向の高さより長いロッド30aを有している。これらロッド30aは、その内部で連通する負圧により基板Bを吸着すると共に、上記アーム部材25の間の空隙部Gを通って、上方位置にある第1の基板保持路221にその後端側から搬入する。該第1の基板保持路221は、基板Bをその上下面をローラ26...で挟んで矢印a方向にガイドしながら保持する。第2のハンドリング装置31が上方位置Uにある第1の基板保持路221内に基板Bを搬入した状態で、吸着パッド30の吸着を解き、上方に退避する。図4Bに示すように、上方に退避した吸着パッド30を有する第2のハンドリング装置31は、矢印bに示すようにホームポジション図8に示すレーザ露光機の露光台に向けて移動し、搬入された基板Bは、上方位置にある第1の基板保持路221のローラ26間に保持される。図4Cに示すように、反転装置19Pが180度回転して、上方位置Uにあった第1の基板保持路221が下方位置Dに移動し、かつ該保持路221に保持される基板Bは、表裏が反転される。即ち、上方位置Uにあった基板Bは表面が上面にあるが、下方位置Dでは、裏面が上面になる。図4Dに示すように、表裏を反転されて第1の基板保持路221に保持された基板Bは、下方位置Dにおいて基板保持路のガイド方向一方dに向けて排出する第1の排出手段32又はガイド方向他方eに向けて排出する第2の排出手段33により左右異なる搬送方向に排出される。上記第1及び第2の排出手段をそれぞれ構成する第1の押し部材裏面露光側払い出し爪32及び第2の押し部材基板排出側払い出し爪33が該基板保持路内に出没自在にかつ該基板保持路の上記アーム部材25の間の空隙部Gを通ってガイド方向にd又はeに移動自在に配置されている。また、下方位置Dにある第1又は第2の基板保持路221,222と同一平面にて、そのガイド方向一方側に待機部ステーション35が配設され、ガイド方向他方側に排出部36が配設されており、これら待機部35及び排出部36はローラコンベヤからなる。上記第1又は第2の押し部材32,33が作動して、基板Bを第1の基板保持路221から待機部35又は排出部36に移送する際、同時に、第2のハンドリング装置31の吸着部パッド30に吸着された基板Bが上方位置Uにある第2の基板保持路に222に搬入される矢印c。図4Eに示すように、基板Bが両面露光済即ち処理が完全に終了したシート材の場合、第2の押し部材33が第1の基板保持路221の待機部35側にて該保持路内に突出し、この状態で排出部36方向eに移動して基板Bの待機部側端を押しながら、該保持路221のローラ26及び排出部36のローラで案内しつつ該基板Bを排出部36に移送する。この際、該基板Bは、前板フレーム部材23aのスリット27を通って排出部36に排出される。図4Fに示すように、基板Bが片面のみ露光され、裏面が未露光で上面となっている場合即ち処理が途中のシート材、第1の押し部材32が第1の基板保持路221の排出部36側で該保持路内に突出し、この状態で待機部35方向dに移動して基板Bの排出部側端を押しながら、該保持路221のローラ26及び待機部35のローラで案内しつつ該基板Bを待機部35に移送する。この際、支持体21は後端側が開放しているので、基板Bは、何等干渉することなく待機部35に移載される。ついで、図5~7に沿って、直交軸タイプの反転装置について説明する。該反転装置19Cは、基板保持路221,222のガイド方向と直交する方向に回転軸20が配置されている。該回転軸20を中心にして反対側に、第1及び第2の基板保持路221,222が2層に配置されている。回転軸20と一体の支持部21’は、左右の側板23a,23a、これら両側板の前端及び後端の上半分又は下半分を連結する端板23d、及び上記左右側板の中央部に上記保持路と平行に延びている両サポート板23e,23eからなるフレーム部材を有している。上記回転軸20は、上記両サポート板23eを貫通して固定されており、また端板23dは、図6BCに示すように、上位置において前端側に位置し、下位置において後端側に位置し、いずれの位置にあっても端板23dがない側は開放されている。即ち、上方位置に端板23dがある場合、下方位置は開放され、下方位置に端板23dがある場合、上方位置は開放されている。上記各端板23dには、第1又は第2の基板保持路221,222に整合するように、基板貫通用のスリット27がそれぞれ形成されている。それぞれ前記端板23dに固定されて多数のアーム部材25...が幅方向に多数列かつ上下2段に延びており、これらアーム部材25の先端が自由端となるように片持ち構造で支持され、鋤刃櫛歯形状となっている。前記多数列2段の各アーム部材25...には、長手方向にそれぞれローラ26が回転自在に支持されており、これらローラ26はアーム部材25の上下方向の幅より大径であり、これらローラ26により、基板Bの上下面を挟んで移動自在にガイドして保持し得る第1及び第2の基板保持路221,222を形成する。図6B,Cに示すように、第1の基板保持路221が上方位置Uにある場合、端板23dは、サポート板23eの上方にあって前端側に位置し、該端板23dに各アーム部材25が片持ち支持形状にて支持されて、後端側が開放された上記第1の基板保持路221を構成している。第2の基板保持路222が下方位置Dにある場合は、端板23dがサポート板23eの下方にあって後端側に位置し、該端板23dに各アーム部材25が片持ち支持形状にて支持されて、前端側が開放された上記第2の基板保持路222を構成している。そして、回転軸20により支持部21’を180度回転すると、上記第2の基板保持路222が上方位置になり、前端側に端板23dが位置して後端側が開放され、上記第1の基板保持路221が下方位置になり、後端側に端板23dが位置して前端側が開放される。上記直交軸タイプの反転装置19Cも、先の平行軸タイプの反転装置19Pと同様に、図7A~Fに示すように作動する。図7Aに示すように、第2のハンドリング装置31の吸着パッド30に吸着された基板Bは、上方位置Uにある第1又は第2の基板保持路221222に、開放されている後端側から挿入される矢印a。図7Bに示すように、基板Bは第2のハンドリング装置31により、第1の基板保持路221に移送され、第2のハンドリング装置31の吸着パッド30の吸着を解いて、図7Cに示すように、反転装置19Cは、回転軸20により矢印gに示すように180度回転する。この際、基板保持路221又は222は、そのガイド方向が上下方向に傾斜するため、該基板保持路221から基板Bが飛び出すことを防止するため、ストッパ又はクランプ等により基板Bを基板保持路221に保持する必要がある。なお、クランプは、エアシリンダ等で開閉するゴム又はスポンジからなり、基板保持路の一部に配置されて、基板Bの端部分を上下から挟み込んで固定するか、又は基板全体を圧接して固定するものでもよい。また、ストッパは、上記反転回転時に、基板保持路の傾斜下側となる部分における基板保持路に出没自在に配置され、基板が基板保持路を重力により滑り落ちるのを該ストッパに当接して防止する。前記平行軸タイプの反転装置19Pは、反転回転時、基板保持路221,222は回転軸20と平行に保持されて、基板Bが滑り落ちるような重力が作用しないため、上記クランプ等は不要であるが、高い位置精度で保持するためにクランプ等を配置してもよい。図7D,E,Fに示すように、反転装置19Cにより、表裏を反転して下方位置に移動した基板Bは、第1の基板保持路221から、第1の押し部材32により待機部35に移送されるか、第2の押し部材33により排出部36に移送される。この際、第2のハンドリング装置31の吸着パッド30に吸着された基板Bが、上方位置Uにある第2の基板保持路222に搬入される。ついで、本反転装置19平行軸タイプ19Pでも直交軸タイプ19Cでも同様なので、19と表記を用いた露光装置並びに露光方法について、図8に沿って説明する。露光装置50は、被露光体基板Bに直接描画する1台のレーザ露光機8と前述した1台の反転装置19とを備える。レーザ露光機8の基板移動方向上流側にはローラコンベヤからなる投入部52が配設され、上記レーザ露光機8の基板移動方向下流側で上記反転装置19との間には待機部35である裏面投入側ローラコンベヤが配設され、上記反転装置19の基板移動方向下流側には排出部36である排出側ローラコンベヤが配設されている。レーザ露光機8は、矢印Y方向に移動可能な露光台テーブル9及び多数の露光ヘッド53実施の形態では2列各4個を有するレーザ発光部10を有しており、露光台9上に載置された基板Bを矢印Y方向に移動しつつ、上記レーザ発光部10が基板Bに向けてレーザ光を照射して、該基板Bの上面にプリント配線を直接描画する。上記露光台9と、それぞれローラコンベヤからなる投入部52、待機部35及び排出部36、そして反転装置19における下方位置にある第1又は第2の基板保持路221,222が同一レベル平面に配置される。前記露光台9と投入部52との間及び前記露光台9と待機部35との間を移送範囲として第1のハンドリング装置56が配設されており、該第1のハンドリング装置56には基板Bを吸着する吸着パッド57を有している。また、前記露光台9と前記反転装置19の上方位置Uにある第1又は第2の基板保持路221,222との間を移送し得る前記第2のハンドリング装置31が配設されている。上記第1のハンドリング装置56と第2のハンドリング装置31とは、基板Bの移送方向で一部オーバラップしているが、高さ方向において異なる位置にある。即ち、待機部35の上方において、第2のハンドリング装置31の基板移送経路は、反転装置19の上方位置における基板保持路221に整列して、第1のハンドリング装置56の基板移送経路の上方に位置する。本露光装置50は、上述した構成からなるので、投入部52に投入された基板Bは、その移動方向側端で滞留する。該投入部52上の両面未露光の基板1枚目Bは、第1のハンドリング装置56の吸着パッド57に吸着されて、レーザ露光機8の露光台9上に移載され、レーザ発光部10によりその表面に直接描画される。該表面が露光された1枚目の基板Bは、第2のハンドリング装置31の吸着部30に吸着されて、反転装置19の上方位置にある第1又は第2の基板保持路221に搬入される。この際、該基板Bは、上方位置にある基板保持路221の後端側から、前記アーム部材25の間の空隙部Gをそのロッド30aが通って該基板保持路221に搬入される。反転装置19が180度回転することにより、上方位置Uにある基板保持路221は、下方位置Dに移動し、かつ該基板保持路221に保持されている上記基板Bは、表裏が反転されて裏面が上面となる。該反転された基板Bは、第1の押し部材32により矢印d裏面露光方向に移送されて待機部35に移載される。この際同時に、第1のハンドリング装置56により次の基板2枚目Bが投入部52から露光台9に移送され、レーザ露光機8によりその表面が露光される。該表面露光された2枚目の基板Bは、第2のハンドリング装置31により反転装置19の上方位置にある第2の又は第1の基板保持路222に搬入される。該搬入と同時に、待機部35で待機している、表面が露光されて未露光である裏面を上面とした1枚目の基板Bが、第1のハンドリング装置56の吸着パッド57に吸着されて、待機部35上から露光台9上に移載される。この際、第2のハンドリング装置31による基板の移送経路と、第1のハンドリング装置56による基板の移送経路とが、待機部35上で移送方向でオーバラップすることになるが、上記両移送経路は、高さ方向で異なるので干渉することはない。そして、前記レーザ露光機8で上記1枚目の基板Bの裏面が露光され、この際同時に、上記2枚目の基板Bは、反転装置19により下方位置Dに移動すると共に表裏が反転され、更に該裏面を上面として待機部35に移載される。上記両面が露光された1枚目の基板Bは、露光台9から第2のハンドリング装置31により反転装置19の上方位置Uにある第1の基板保持路221に搬入される。これと同時に、待機部35に裏面を上面として待機している2枚目の基板Bは、第1のハンドリング装置56により露光台9に移載され、レーザ露光機8により裏面が露光される。この際同時に、反転装置19の上方位置Uにある第1の基板保持路221に搬入された1枚目の基板Bは、該反転装置の回転により下方位置Dに移動されると共に表面が上面となり、更に第2の押し部材33により矢印e方向に移動されて排出部36に排出され、両面露光が完了する。上記露光台9にて裏面露光された2枚目の基板Bは、第2のハンドリング装置31により上方位置Uにある第2の基板保持路222に搬入される。この際同時に、第1のハンドリング装置56により、投入部52から3枚目の基板Bが露光台9上に移送される。そして、レーザ露光機8により該基板Bの表面が露光される際、同時に、上記反転装置19の第2の基板保持路222に搬入された2枚目の基板Bが下方位置に移動して表面が上面になるように反転し、更に第2の押し部材33により排出部36に排出されて、両面露光が完了する。同様に、4枚目の基板の表面が露光される際、3枚目の基板Bが待機する。3枚目の基板の裏面が露光する際、4枚目の基板が待機する。4枚目の基板Bが裏面を露光する際、3枚目の基板が排出する。このように、基板の表面露光のための投入、基板の裏面露光のための待機、両面露光された基板の排出が、2回1セットとして連続して順次繰返される。上述した露光装置50を用いた露光方法により、レーザ露光機の露光台から反転装置の上方位置にある基板保持部への搬入と、待機部にある基板Bを露光台への移送とを同時に行うことができ、また、レーザ露光機で基板Bを露光する際、片面露光済の基板を反転して待機部35で待機するか、両面露光済の基板Bを排出部に排出する作業を同時に行うことができるので、高価なレーザ露光機を1台としてコストダウンを図った露光装置でありながら、連続した高い生産性による基板Bの両面露光を行うことができる。また、上記露光装置50は、上下方向で2層となる反転装置と、レーザ露光機、その間に配置される1個の待機部、その他投入部及び排出部で足りるので、露光装置50の設置スペースが小さくて足りる。なお、反転装置は、前述した平行軸タイプ19Pでも直交軸タイプ19Cのどちらを用いてもよいが、平行軸タイプ19Pによると、反転した状態で、基板は、その表面及び裏面で先端及び後端が同じ関係となり、レーザ露光機への進入方向が基板の表裏で同じ相関関係となり、通常4~8本のレンズ系からなるレーザヘッド53で露光する際、基板の同一箇所の表裏を同タイプのレーザ露光機において生じる露光描画の表裏誤差を小さくすることができ、より精度が求められる場合には効果的である。前記直交軸タイプの反転装置19Cによると、ローラコンベヤからなる投入部52、待機部35、排出部36及び反転装置の基板保持路221,222の進行方向に対して、反転しても基板Bの左右関係が同じであり、従来の反転装置の関係と同一となるため、後工程の変更が容易、簡単となる。"