"単結晶を載せる載台と、前記単結晶の側面にレーザ光を照射する光源と、該光源の照射した光が前記単結晶で散乱した光を検出する検出機構と、前記単結晶の厚み方向に、前記光源と前記載台との相対位置を移動させる移動機構と、を含む、検査装置。前記光源は、前記レーザ光を面状に広げるレンズをさらに有する、請求項1に記載の検査装置。前記光源は、前記レーザ光の照射角度を調整可能に構成されている、請求項1または2に記載の検査装置。前記検出機構として個体撮像素子を採用し、該個体撮像素子と前記単結晶との相対位置を、前記光源と連動して移動させる第2の移動機構をさらに含む、請求項1から3のいずれかに記載の検査装置。前記検出機構は、前記レーザ光源の移動と同期して焦点距離を変更する焦点調節機構をさらに有する、請求項1から3のいずれかに記載の検査装置。単結晶の側面にレーザ光を照射し且つ当該レーザ光が散乱した光を検出して、前記単結晶の内部の内包物を検査する、検査方法。しかしながら、例えば特許文献1に記載された技術では、サファイア基板を個別に検査することになり、多くの時間が必要になる。また、切り出してから内包物を確認するので、内包物が見つかった場合、切り出しの作業時間を浪費することになる。この切り出しの作業時間は、基板径が大きくなるほど長くなる。基板径の大型化が求められている現状にあっては、製造効率を低下させる大きな要因となっている。本発明は、上述の事情のもとで考え出されたものであって、検査効率の優れる検査装置および検査方法を提供することを目的とする。本発明の検査装置は、単結晶を載せる載台と、前記単結晶の側面にレーザ光を照射する光源と、該光源の照射した光が前記単結晶で散乱した光を検出する検出機構と、前記単結晶の厚み方向に、前記光源と前記載台との相対位置を移動させる移動機構と、を含む。本発明の検査方法は、単結晶の側面にレーザ光を照射し且つ当該レーザ光が散乱した光を検出して、前記単結晶の内部の内包物を検査する。本発明によれば、検査効率の優れる検査装置および検査方法を提供することができる。以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。以下の実施の形態は、例示するものであって、これらの実施の形態に本発明が限定されるものではない。<検査装置>図1~3に示した検査装置10は、単結晶の固まりであるインゴット20を検査する装置である。この検査装置10は、支持基板30と、載台40と、光源機構50と、検出機構60と、制御機構70と、記録機構80とを含んでいる。なお、インゴット20は、被検査物として図1に示されているだけであって、検査装置10を構成するものではない。インゴット20は、検査装置10を用いて検査を行う被検査物である。この検査装置10では、インゴット20の内部に内包されている内包物を検査する。この内包物には、偏析した原材料および製造装置の形成材料、ならびに気泡などが含まれる。この内包物は、インクルージョンinclusionなどと呼ばれる。インゴット20は、矢印方向D5,D6に伸びた柱状をしている。本実施形態では、この矢印方向D5,D6をインゴット20の厚み方向としている。また、本実施形態のインゴット20は、厚み方向に直交する面方向において、略円形状をしている。つまり、本実施形態のインゴット20は、円柱形状をしている。しかしながら、本発明にかかるインゴット形状はこれに限ったものではなく、直方体および立方体であってもよい。この面方向は、互いに直交する矢印方向D1,D2および矢印方向D3,D4に広がっている。支持基板30は、検査装置10の基材となるものである。この支持基板30のD5方向側の表面30aには、載台40と、光源機構50と、検出機構60とが載置されている。この支持基板30の表面30aには、微小な凹凸が形成されている。このような微小な凹凸を形成することによって、光源機構50の発する光を散乱させることができる。当該光が表面30aに照射された場合もインゴット20に強い光が照射されるのを抑えることできる。この支持基板30を形成する材料としては、金属材料、セラミックス、および樹脂材料を含む種々のものが採用できる。載台40は、D5方向側の載置面40aにインゴット20を載せる台である。この載台40の載置面40aは、インゴット20を安定に設置できるように構成されている。この載台40は、インゴット20から切り出す基板の仮想的な面方向と、光源機構50の発する光が照射される面方向とが揃う角度で、インゴット20を載置できるように構成されている。ここでは、インゴット20から切り出す基板の仮想的な面を仮想面とし、仮想面の面方向を仮想面方向とする。本実施形態では、支持基板30の表面30aの面方向に沿って、インゴット20から基板を切り出すこととする。この載台40を形成する材料としては、金属材料、セラミックス、および樹脂材料を含む種々のものが採用できる。この載台40の載置面40aには、微小な凹凸が形成されている。このような微小な凹凸を形成することによって、光源機構50の発する光を散乱させることができる。特に、インゴット20の内包物で散乱した光が載置面40aに照射された場合でも2次散乱が生じるのを抑えることできる。また、この載置面40aは、光源機構50の発する光を減衰、吸収できるように着色可能である。この着色の色としては、黒色および色相環での反対色などが挙げられる。載置面40aの色によって、光源機構50の発する光を減衰、吸収することによって、2次散乱が生じるのをさらに抑えることできる。光源機構50は、インゴット20に対して光を照射するものである。この光源機構50では、インゴット20に照射する光として、レーザ光を採用している。この光源機構50は、光源51と、第1保持具52と、第1可動台53とを含んでいる。光源51は、インゴット20に照射する光を発するものである。この光源51は、レーザ発振器511と、第1レンズ512と、第1筐体513とを含んでいる。レーザ発振器511は、レーザ光を発する素子である。このレーザ発振器511の発するレーザ光は、第1レンズ512に照射されるように配置されている。第1レンズ512は、照射されたレーザ光を面方向に広げる機能を担っている。つまり、第1レンズ512は、線状のレーザ光を光学的に広げて、インゴット20の広い領域に照射されるように構成されている。この第1レンズ512としては、例えばシリンドリカルレンズ、およびシリンドリカルレンズを含むレンズ群などが挙げられる。本実施形態では、第1レンズ512としてシリンドリカルレンズを採用している。このシリンドリカルレンズは、通過した光を面方向に広げることができる。つまり、本実施形態の光源51の構成は、いわゆるスリットレーザという商品名で商品化されているものと同様の構成をしている。これらのレーザ発振器511および第1レンズ512は、第1筐体513に収容されている。この第1筐体513には、インゴット20の側面と対向する位置に開口部513aがある。この光源51では、レーザ発振器511を出て、第1レンズ512を経た光が開口部513aから出射される。この出射された光は、インゴット20の側面に照射され、インゴット20の内部を通過する。この照射された光は、インゴット20の内部に内包物があると、当該内包物で散乱する。検出機構60では、この散乱光を検出する。つまり、面状に広げた光をインゴット20に照射することで、当該面にある内包物の有無を検出することができるようになる。第1保持具52は、光源51を保持する器具である。この第1保持具52は、光源51を第1可動台53に固定している。本実施形態の第1保持具52は、光源51が発する光の照射角度を調節できるように構成されている。ここでいう照射角度とは、厚み方向に直交する直交面との交差角度をいう。このように照射角度を調節することができると、インゴット20の側面で屈折する光の進行方向を調整することができ、インゴット20の側面に傾斜がある場合の検査精度を高めることができる。インゴット20の側面には、製造条件のバラツキ、および製造方法によって傾斜が生じる場合がある。なお、この側面の傾斜には、部分的に窪みができているもの、部分的に膨らみができているもの、全体に傾斜ができているものなど、種々の場合がある。この第1保持具の照射角度の調節機能は、任意の角度で固定される構成であっても、検査の進行に応じて任意の角度に自動調整されるような構成であってもよい。第1可動台53は、光源51および第1保持具52を保持する台である。この第1可動台53には、第1保持具52が固定されており、光源51が間接的に固定されている。この第1可動台53は、厚み方向に沿って光源51を移動することができるように構成されている。このように光源51を厚み方向に沿って移動可能とすることによって、光源51と載台40との相対位置を移動させ、インゴット20の種々の位置に光を照射することができる。つまり、仮想面を厚み方向に沿って変えて、光を照射することができる。検出機構60は、インゴット20の内部の内包物で光源51の発した光が散乱した際の散乱光を検出する機能を担っている。この検出機構60は、インゴット20の上面側に散乱した光を検出するように構成されている。この検出機構60は、検出器61と、第2保持具62と、第2可動台63とを含んでいる。検出器61は、インゴット20の内部で散乱した光を検出して、電気信号を出力するものである。この検出器61は、検出素子611と、第2レンズ612と、第2筐体613とを含んでいる。検出素子611は、受光した光を検出して電気信号に変換するものである。検出素子611としては、個体撮像素子を含む光電変換素子が挙げられる。この光電変換素子としては、フォトダイオードおよびフォトトランジスタ、フォトレジスタおよび光依存性抵抗器、ならびに光電子倍増管などが挙げられる。個体撮像素子としては、電荷結合素子イメージセンサCCDイメージセンサ、ChargeCoupledDeviceImageSensor、および相補性金属酸化膜半導体イメージセンサCMOSイメージセンサ、ComplementaryMetalOxideSemiconductorImageSensorが挙げられる。本実施形態では、この検出素子611として個体撮像素子を採用している。個体撮像素子を採用することで、検出した光の面方向における位置を特定することができるようになる。面方向における光の位置を特定することで、仕様特性において影響の無いまたは小さい内包物があった場合、測定誤差の場合などを考慮することができる。仕様特性において影響の小さい内包物としては、例えばインゴット20の周縁部を後の加工で除去する場合に当該周縁部にある内包物が挙げられる。また、測定誤差としては、例えばインゴット20の側面と外部との屈折率の違いで散乱した場合などが挙げられる。この検出素子611の出力する電気信号は、記録機構80に入力されるように構成されている。この検出素子611には、第2レンズ612を介した光が入射される。第2レンズ612は、検出素子611に入射する光を集光する機能を担っている。検出素子611として個体撮像素子を採用する本実施形態では、格子状に配列した小型のレンズアレイを採用している。これらの検出素子611および第2レンズ612は、第2筐体613に収容されている。この第2筐体613には、インゴット20の上面と対向する位置に開口部613aがある。この検出器61では、開口部613aから入射された光が第2レンズ612を介して検出素子611に入力される。第2保持具62は、検出器61を保持する器具である。この第2保持具62は、検出器61を第2可動台63に固定している。第2可動台63は、検出器61および第2保持具62を保持する台である。この第2可動台63には、第2保持具62が固定されており、検出器61が間接的に固定されている。この第2可動台63は、厚み方向に沿って検出器61を移動することができるように構成されている。このように検出器61を厚み方向に沿って移動可能とすることによって、検出器61の焦点深度に合わせて検出位置を変えることができる。つまり、仮想面の位置を厚み方向に沿って変えて内包物の検出をすることができる。制御機構70は、第1可動台53および第2可動台63の動作を制御する機能を担っている。つまり、第1可動台53および第2可動台63を連動させている。連動させることによって、光を照射する面と、検査する面とを対応させることができる。記録機構80は、検査した面の位置情報と、検査した面の内包物の情報とを対応させて記録するものである。この記録機構80は、制御機構70から出力した電気信号を利用して、検査した面の位置情報を得ている。この検査した面の位置情報は、第1可動台53の位置情報および第2可動台63の位置情報の少なくとも一方を含むものである。なお、第1可動台53の位置または第2可動台63の位置を位置センサで検出したフィードバック信号を利用して、検査した面の位置情報を得てもよい。また、この記録機構80は、検出器61が出力した電気信号を利用して、検査した面の内包物の有無の情報を得ている。この二つの位置情報を利用することで、内包物がある位置を特定することができる。この記録機構80において、内包物の有無を検査する位置を決める方法としては、例えば次の方法が挙げられる。第1の方法としては、制御機構70を介して検査する面を微小距離ずつ動かして、所望の移動距離ごとに内包物の有無を検査する方法が挙げられる。この方法では、微小移動の度に内包物の有無を検査してもよいし、所定回数の微小移動の度に内包物の有無を検査してもよい。検査する面の移動距離および検査する面の間隔は、所望の検査精度に応じて適宜選択される。第2の方法としては、検査する面を連続的に動かしつつ、検出機構60の出力を読み取る時期で検査する面を選択して、内包物の有無を検査する方法が挙げられる。本実施形態の記録装置80では、インゴット20を介して映り込む載台40の載置面40aの模様を、画像処理によって相殺している。このような画像処理を施すことによって、載置面40aの表面状態に起因する像と、内包物との識別性能を高めることができる。本実施形態の検査装置10では、インゴット20の内部に存在する内包物の厚み方向における位置を調べることができる。この検査装置10は、切り出した基板を個々に検査する場合に比べて検査効率を高めることができる。この検査装置10は、サファイア単結晶のように、極めて高い硬度を有する材料を検査する場合に特に有用である。また、この検査装置10を用いることで、内包物が存在する部分の加工を省略することができる。つまり、内包物が検知されなかった箇所のみを加工することで、製造効率も高めることができる。<検査方法>図1~3に示した検査装置10を参照して、本発明の検査方法の一実施形態を説明する。まず、インゴット20を準備する。次に、準備したインゴット20を載台30の上に載置する。このインゴット20は、光源51の発する面状の光が仮想面方向に沿って照射される角度で載置する。次に、インゴット20に検査する。具体的には、光源51から面状のレーザ光を発し、インゴット20に照射する。このインゴット20の検査は、面状の光を照射した領域について行う。この照射されたレーザ光は、インゴット20の内部に内包物があると、当該内包物で散乱する。散乱した光は、検出器61に入射されて検出される。一方、レーザ光を照射した領域に内包物が無い場合には、散乱光が検出器61に入射されない。この散乱光の違いによって、面状の光を照射した領域の内包物の有無を検査することができる。次に、光源51および検出器61の位置を同期させながら厚み方向に移動させる。この移動によって、光源51および検出器61と、インゴット20との相対位置を移動させ、検査する領域を変更する。次に、光源51からレーザ光を照射し、検出器61で散乱光を検出する検査を行う。この相対位置の移動および内包物の検査を繰り返すことによって、インゴット20全体を検査することができる。以上、本発明の具体的な実施の形態の例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の要旨から逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。本実施形態の検査装置10では、インゴット20を載せる台として載台40を採用しているが、この構成に限られない。支持基板30の表面の一部を、インゴット20を載せる領域としてもよい。この場合は、支持基板30が載台としての機能を担うこととなる。上述のインゴット20Aは、製造方法に起因して表面に凹凸を有する場合がある。表面に凹凸を有する場合は、入射した光が表面で散乱してしまう。そこで、本実施形態のインゴット20Aは、表面にマッチング液21と、シート22とが設けられている。このマッチング液21は、インゴット20Aの側面と、上面とに広がっている。このマッチング液21は、インゴット20Aの屈折率と、インゴット20Aの外雰囲気の屈折率との差を小さくする働きをしている。つまり、マッチング液21は、屈折率のマッチングを図っている。インゴット20Aの側面には、光源機構50の発する光が照射される第1領域と、当該光が外側に出る第2領域とがある。第1領域にマッチング液21があると、インゴット20Aの側面に凹凸がある場合でも、インゴット20Aに対して光を良好に入射することができる。また、第2領域にマッチング液21があると、インゴット20Aの側面に凹凸がある場合でも、インゴット20Aの側面の内側で光が反射して戻ってしまうのを低減することができる。また、インゴット20Aの上面にマッチング液21があると、インゴット20Aの上面に凹凸がある場合でも、インゴット20Aの内部で散乱した光を上面側から良好に検出することができる。シート22は、インゴット20Aの表面からマッチング液21が流れ出すのを低減している。このシート22は、光源51の発する光が透過する材料で形成されている。ここでいう光が透過するとは、検査可能な範囲であれば特に限定されるものではなく、光源51の発する光の強さに応じて選択される。なお、マッチング液21は、シート22と同時に設けられる場合に限られず、単独で設けてもよい。マッチング液21の流れ出すのを低減する他の手段としては、例えば、マッチング液21として粘性の高いものを採用したり、マッチング液21を硬化したりする方法が挙げられる。マッチング液21を硬化した場合、インゴットの外周部を研削するのと併せて、硬化したマッチング液を研削することで工程を簡素にすることができる。上述の載台40は、面方向に回転できるように構成されていてもよい。載台40が回転できるように構成されていると、レーザ光を違う方向から入射することができる。違う方向からレーザ光を入射できると、インゴット20の中に比較的大きな内包物があっても、内包物によってレーザ光が照射されない領域を検査することができる。上述の実施形態では、第1レンズ512および第2レンズ612として、1つのレンズを用いているが、複数のレンズを用いてもよい。上述の制御機構70および記録機構80を1つの装置に収めてもよい。例えば、ADボードなどの制御ボードを搭載したパソコンを制御機構70謙記録機構80として採用してもよい。上述の実施形態では、第1可動台53および第2可動台63を動かしているが、これに限られるものではない。例えば可動式の載台40を採用することで、第1可動台53および第2可動台63を固定式の台にして、構造を簡素化することができる。また、第2レンズ612として、焦点距離を調節可能なレンズ群を採用することで、第2可動台63を固定式の台にして構造を簡素化することができる。"