●基部、●被測定表面との接触または非接触測定用コネクションを確立および維持するためのプローブヘッドであって、少なくとも1つの継手によって基部に可動であるように連結されており、触針キャリア61、161、および触針先端部を有する中空触針62、62’、162を含むプローブヘッド、ならびに●触針キャリアに対する触針先端部の変位を測定するための光学モニタリングシステムであって、□触針62、62’、162内を触針先端部に向けて導かれるビームを発生させるための発光手段111、112、113、114、811、812、813、814、825、825’、911であり、ビームの少なくとも一部は、触針先端部で反射されて、戻りビームとして戻り光路に沿って伝搬する、発光手段、および□触針先端部の変位を示す電気出力信号を発生させることができる、戻りビームの検出器手段141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941を含む光学モニタリングシステム、を含む表面粗さ測定装置であって、●前記発光手段は、ビームが、所定の特性分布により識別可能な少なくとも2つの光学特性を有するように構築されており、●前記光学モニタリングシステムが、触針キャリア61、161内において戻り光路に設置された光学エンコード部材100、200、300、500、600であって、この光学エンコード部材100、200、300、500、600に対する戻りビームの照射位置50、50’の情報を、戻りビームの特性分布の変化に変換するように設計された光学エンコード部材をさらに含み、●検出器手段141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941が、前記少なくとも2つの識別可能な光学特性に対してセンシティブであり、戻りビームの特性分布の変化に応じて電気出力信号を発生させるように構成されていることを特徴とする表面粗さ測定装置。光学エンコード部材100、200、300、500、600の設計が、光学エンコード部材100、200、300、500、600に対する戻りビームの照射位置に応じて戻りビームの特性分布が修正され、戻りビームによって伝えられる触針先端部の変位の光学的表示を低下させることなく、修正された特性分布を有する戻りビームを光ファイバーによって検出器手段まで光導波することが可能となるようにし、前記修正された特性分布を有して光学エンコード部材100、200、300、500、600から検出器手段141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941へと伝搬する戻りビームが、戻り光路内の戻りビームの正確な伝搬路に属さないという触針先端部の変位を示すように、設計されていることを特徴とする請求項1に記載の表面粗さ測定装置。●前記表面粗さ測定装置が、一方の端部が前記基部を形成し、他方の端部が前記プローブヘッドを脱着可能に装着するためのソケットを含む関節付アームを有する座標測定機として設けられること、●発光手段111、112、113、114、811、812、813、814、825、825’、911、特に、1つ以上のレーザー光源を含む発光手段、および検出器手段141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941、特に、1つ以上の光検出器を含む検出器手段が、前記プローブヘッドの外側に設置され、特に、発光手段111、112、113、114、811、812、813、814、825、825’、911および検出器手段141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941が前記基部内に収容されること、ならびに●発光手段111、112、113、114、811、812、813、814、825、825’、911により発せられたビーム、および光学エンコード部材100、200、300、500、600から検出器手段141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941へと伝搬する戻りビームが、光ファイバーによって前記関節付アーム内を導波され、特に、サーキュレータ150をビームガイド装置として用いて、ビームが伝送ファイバー119からアウトカップリングされ、戻りビームが伝送ファイバー119内へインカップリングされること、または●前記表面粗さ測定装置が、□前記基部に可動であるように接続された2つの門脚921、922であって、ブリッジ923を支持する門脚921、922、□前記ブリッジに沿って可動であるX-キャリッジ924、および□X-キャリッジ924に可動であるように接続され、前記プローブヘッドを脱着可能に装着するためのソケットを含むZ-柱925、を含むブリッジ型座標測定機として設けられ、特に、前記ソケットが、Z-柱925または前記関節付アームの他方の端部のそれぞれに対する前記プローブヘッドの回転自由度を与えることを特徴とする請求項1または2に記載の表面粗さ測定装置。前記少なくとも2つの識別可能な光学特性が、●異なる波長もしくは波長範囲および/または●異なる偏光状態を有するビームの光成分によって与えられ、前記特性分布が、各光成分の割合または部分によって与えられることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。光学エンコード部材100、200、300、500、600が、戻り光路の第2光ファイバーコリメータ72の入射瞳面に設置されたセグメント化光学フィルター100、200、300、500、600を含み、前記フィルター100、200、300、500、600が、異なる透過率特性、好ましくは、重複しない透過率特性、の少なくとも2つのセグメント101、102、103、104、105、106、201、202、203、301、302、501、502、503を含み、特に、セグメント化光学フィルター100、200、300、600が、電気通信のITU標準に対応した、スペクトル範囲が100または200GHz、すなわちC帯およびL帯の0.8nmまたは1.6nmである、スペクトル的に重複しない透過窓を備えた色フィルター100、200、300、600であることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。光学エンコード部材100、200、300、500、600が、戻りビームの偏向を受光面において局所的に変化させることが可能な戻りビーム用光学屈折部材303を戻りビームの伝搬方向に対して垂直な方向に含むことを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。中空触針62、62’、162が触針長を有し、光学エンコード部材100、200、300、500、600が、触針長の変化を決定するための干渉範囲測定用の信号伝送のために設計されたセグメントを含むことを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。戻りビームが、ビーム分配器19、99を形成する少なくとも1つのビームスプリッター17、97a、97bを通過した後、光学エンコード部材100、200、300、500、600に導かれ、特に、ビーム分配器19、99が、光学エンコード部材100、200、300とともに互いに接着されたミクロ光学部材として設けられ、特に、このミクロ光学部材が、捕光器20、特に、障害となる非透過光の反射を低減するための黒色ガラスの吸収後面を有する捕光器を備えていることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記光学エンコード部材がセグメント化色フィルター500であり、偏光選択性の透過率を有するセグメント501、502を備え、特に、偏光計を用いることによって偏光の異なる戻りビーム路間の位相関係を決定することを可能とする1/4波長板503を追加的に含むことを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。●発光手段111、112、113、114、811、812、813、814、825、825’、911が、異なる波長で発光する複数のレーザー光源111、112、113、114、811、812、813、814、911であり、□特に、前記光学モニタリングシステムが、複数のレーザー光源111、112、113、114、811、812、813、814、911からの異なる波長の光をスペクトル的に合成するように、および合成された光をマルチプレクサから出る第1光ファイバー117内へカップリングするように設計されたマルチプレクサ120、720、820を追加的に備え、●検出器手段141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941が、前記異なる波長にセンシティブである複数の検出器141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941によって形成されており、□特に、前記光学モニタリングシステムが、戻りビームの光を異なる波長のビーム部分へスペクトル的に分離し、複数の検出器141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941により検出するように設計されたデマルチプレクサ130、720、820、830、830’を追加的に備えていることを特徴とする請求項1~9のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記発光手段が、特に、約10nmの帯幅の発光帯を有する、スーパールミネッセント発光ダイオード825、825’であって、そのスペクトル光が、戻りビームにおいて、光学エンコード部材100、200、300、600によって波長の異なる複数のパーシャルビームへと分離され、検出器手段141、142、143、144、145、541、542、543、544、841、842、843、844、845、846、941へと供給されることを特徴とする請求項1~10のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。発光手段111、112、113、114、811、812、813、814、825、825’、911が、異なる波長で発光し、フーリエスペクトルにおける複数の周波数f1、f2、f3、f4に対応する異なる周波数で変調された複数のレーザー光源111、112、113、114、811、812、813、814、911であり、検出器手段145が、前記識別可能な光学特性にセンシティブであり、前記個々の信号が、アナログまたはデジタル復調により分離可能であることを特徴とする請求項1~10のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。●前記プローブヘッドが、被測定表面との接触測定用コネクションを確立および維持するための触覚センサー80を含み、触覚センサー80が、好ましくは、レトロリフレクタ79を備えていること、または、●前記プローブヘッドが、被測定表面との接触測定用コネクションを確立および維持するための光学-触覚センサーを含み、この光学-触覚センサーが、光透過性センサー先端部、または光透過用穿孔型センサー先端部を含むこと、または、●前記プローブヘッドが、被測定表面との非接触測定用コネクションを確立および維持するための光学センサー85、85’を含み、光学センサー85、85’が、好ましくは、波長分割マルチプレクサ89から触針先端部まで延在するシングルモードファイバー88を備えていること、特に、□回転型アクチュエータが設けられており、触針62、62’、162が、この回転型アクチュエータによって搬送される触針キャリア61、161に接続されており、好ましくはファイバーコイル88’aを有する範囲測定ファイバー88’を含むこと、または□触針62、62’、162を無限に回転させることを可能とするように設計された、シングルモードファイバー88用の回転式光カプラ93を備えており、回転式光カプラ93の一部分が触針62、62’、162と回転可能に接続されており、回転式カプラ93の他の部分が固定されていることを特徴とする請求項1~12のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記表面粗さ測定装置が3軸X、Y、Z測定機能を備えており、●好ましくはスペクトル的に重複しない透過率特性を有する少なくとも2つのセグメント105、106を備えた追加されるセグメント化色フィルター600、および●セグメント化色フィルター100、200、300、600の組み合わせとともに用いるためのビームスプリッターを有するビーム分配器99を含み、ビーム分配器99は、ビーム偏位プリズム96a、96b、ビームスプリッター97a、97b、97c、およびセグメント化色フィルター100、200、300、600を含み、下側ビームスプリッター97aは、Z方向に可動である触針の上端部に取り付けられており、一方、ビーム分配器99の他の部材は、触針キャリア61内に収容、固定されており、戻りビームが、ビームスプリッター97aによって2つの成分にスプリットされ、1つの成分は、セグメント化色フィルター100、200、300を有するビームスプリッター97bに向けて伝搬し、他の成分は、プリズム96bを経てセグメント化色フィルター600に導かれることを特徴とする請求項1~13のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。表面粗さ測定装置用のプローブヘッドであって、該プローブヘッドは、被測定表面との接触または非接触測定用コネクションを確立および維持するために形成されており、触針キャリア61、161、および触針先端部を有する中空触針62、62’、162を含み、●前記プローブヘッドが、表面粗さ測定装置から光ファイバーによって導波される、少なくとも2つの識別可能な光学特性を任意の特性分布で有するビームを受光する手段、および、前記光ファイバーからビームをアウトカップリングし、ビームを触針62、62’、162内で触針先端部に向けて誘導するための手段を含み、ビームの少なくとも一部は、前記触針先端部で反射されて、戻りビームとして戻り光路に沿って伝搬すること、●前記触針キャリアに対する前記触針先端部の変位を測定するための光学モニタリングシステムの一部として、光学エンコード部材100、200、300、500、600を含み、光学エンコード部材100、200、300、500、600は、触針キャリア61、161内において戻り光路に設置され、光学エンコード部材100、200、300、500、600に対する戻りビームの照射位置の情報を、戻りビームの特性分布の変化へと変換するように設計されていること、および●変化した特性分布を有する戻りビームを、光ファイバー内にインカップリングして、表面粗さ測定装置内の戻りビームを光導波することを可能にするための手段を含むことを特徴とする請求項1~14のいずれかに記載のプローブヘッド。触針キャリア61、161が、下記のうち少なくとも1つをさらに含む:●伝送ファイバー119ならびに第1光ファイバー117および第2光ファイバー118に接続されたサーキュレータ150であって、□伝送ファイバー119から受光されたビームを、第1光ファイバーコリメータ71に接続された第1光ファイバー117に入射させるため、および□第2光ファイバーコリメータ72によって第2光ファイバー118内にインカップリングされた戻りビームを、伝送光ファイバー119内に入射させるためのサーキュレータ150;●ビームスプリッター17、97a、97bを含むビーム分配器19、99ことを特徴とする、請求項15に記載のプローブヘッド。表面粗さ測定装置のプローブヘッドのモニタリング方法であって、前記プローブヘッドは、触針キャリア61、161、および触針先端部を有する中空触針62、62’、162を含み、前記モニタリング方法は、前記触針キャリアに対する前記触針先端部の変位を測定するように設計されており、該モニタリング方法が、●所定の特性分布により識別可能な少なくとも2つの光学特性を有するビームを、触針62、62’、162内で触針先端部に向けて誘導し、ビームの少なくとも一部が前記触針先端部で反射され、戻り光路に沿って戻りビームとして伝搬する工程;●□触針キャリア61、161内において前記戻り光路に設置された光学エンコード部材100、200、300、500、600に対する戻りビームの照射位置の情報を、□前記戻りビームの特性分布の変化に変換する工程;●戻りビームの前記少なくとも2つの識別可能な光学特性を検出する工程;および●前記戻りビームの変化した特性分布に応じて、前記触針キャリアに対する前記触針先端部の変位を決定する工程を含み、●特に、前記変換工程の後、戻りビームが光ファイバーによって導波される、表面粗さ測定装置のプローブヘッドのモニタリング方法。前記触針キャリアに対する前記触針先端部の変位が、Xおよび/またはY方向において決定され、特に、●前記変換工程を行う前に、Z方向における変位に応じて戻りビームを偏向させ、次に、戻りビームの変化した特性分布に応じて、Z方向における触針先端部の変位も決定することによって、または●特に誘導センサーを有する電子範囲測定システムを使用することによって、前記触針先端部の変位が、Z方向において追加的に決定されることを特徴とする請求項17に記載のモニタリング方法。