"露光対象のフィルムを第1方向に移動させる搬送装置と、露光光を出射する光源と、前記第1方向に傾斜する方向に延びるスリットが前記第1方向に直交する第2方向に複数本配列され、前記スリットを介して前記露光光を前記フィルムに照射するマスクと、前記マスクに重ね合わされ、前記第2方向に延びて全ての前記スリットと交差する開口が形成された遮光部材と、前記遮光部材と前記マスクとの前記第1方向における相対的な位置を制御する制御部と、を有し、前記スリットは、その幅が前記第1方向に関して線形的に変化しており、前記スリット間の間隔は前記第2方向にみたときに前記スリットの幅と同一であり、前記制御部は、前記フィルムの幅方向の伸びに応じて前記マスクと前記遮光部材との相対的な位置を制御することを特徴とする露光装置。前記光源、前記遮光部材及び前記マスクは、前記第1方向に沿って2組配置され、一方のマスクのスリットは、他方のマスクのスリットに対し、前記第2方向に前記スリットの配列ピッチだけ偏倚しているように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。前記2個の光源による露光により、相互に偏光方向が異なる帯状の偏光部を第2方向に交互に形成することを特徴とする請求項2に記載の露光装置。しかしながら、特許文献1の技術は、フィルムが変形する原因をガラス基板上に移動させたものであり、フィルム上に上述したような配向膜を形成する必要がある場合には使用できない。また、特許文献2は、フィルムの熱変形そのものを防止する技術であり、変形したフィルムに対応させて高精度の露光を行うものではない。フィルム1が、熱変形等により、フィルム移動方向に直交する幅方向に変形した場合においては、変形後のフィルム幅に対応させて、マスクを取り替えることが考えられる。即ち、図7に示すように、フィルム1は、例えば露光時の加熱により、特に、フィルム移動方向に直交する方向に膨張し、搬送時の冷却により、膨張前の幅に収縮する。そこで、マスク20,21を、夫々、フィルム1の幅方向の膨張率を考慮したスリットが設けられたマスク200,210に取り替えて露光することが考えられる。しかし、この場合においては、フィルム1の膨張率に合わせて、複数種類のマスクを用意する必要があり、偏光フィルムの製造コストが増大するという問題点がある。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、露光対象のフィルムが幅方向に変形した場合においても、マスクを取り替えることなく露光できる露光装置を提供することを目的とする。本発明に係る露光装置は、露光対象のフィルムを第1方向に移動させる搬送装置と、露光光を出射する光源と、前記第1方向に傾斜する方向に延びるスリットが前記第1方向に直交する第2方向に複数本配列され、前記スリットを介して前記露光光を前記フィルムに照射するマスクと、前記マスクに重ね合わされ、前記第2方向に延びて全ての前記スリットと交差する開口が形成された遮光部材と、前記遮光部材と前記マスクとの前記第1方向における相対的な位置を制御する制御部と、を有し、前記スリットは、その幅が前記第1方向に関して線形的に変化しており、前記スリット間の間隔は前記第2方向にみたときに前記スリットの幅と同一であり、前記制御部は、前記フィルムの幅方向の伸びに応じて前記マスクと前記遮光部材との相対的な位置を制御することを特徴とする。本発明に係る露光装置において、例えば前記光源、前記遮光部材及び前記マスクは、前記第1方向に沿って2組配置され、一方のマスクのスリットは、他方のマスクのスリットに対し、前記第2方向に前記スリットの配列ピッチだけ偏倚しているように配置されている。この場合に、例えば前記2個の光源による露光により、相互に偏光方向が異なる帯状の偏光部を第2方向に交互に形成する。本発明においては、マスクには、フィルムの移動方向の第1方向に傾斜する方向に延びるスリットが第1方向に直交する第2方向に複数本配列されており、このスリットの幅は、第1方向に関して線形的に変化しており、スリット間の間隔は、第2方向にみたときにスリットの幅と同一である。そして、第2方向に延びて全てのスリットと交差する開口が形成された遮光部材がマスクに重ね合わされて設けられている。これにより、本発明においては、第2方向に延びる遮光部材の開口及びマスクのスリットを透過した露光光がフィルムに照射される。そして、制御部は、フィルムの幅方向の伸びに応じて、遮光部材とマスクとの第1方向における相対的な位置を制御することにより、フィルムに対する露光光の照射領域の幅を調節することができる。よって、露光対象のフィルムが幅方向に変形した場合においても、マスクを取り替えることなく露光できる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1aは本発明の実施形態に係る露光装置の全体の構成を示す側面図、図1bはマスクを示す平面図、図1cは同じくアパーチャを示す平面図である。図1aに示すように、本実施形態に係る露光装置には、例えばロール状の供給リール41から露光対象のフィルム1が連続的に供給され、巻き取り側のリール44に巻き取られるまでの間に、例えば、配向膜材料の塗布、露光、乾燥処理等が施される。なお、図1aにおいては、フィルム1に対する露光工程のみを図示している。例えば供給リール41及びリール44は、モータ等の駆動装置により回転駆動されることにより、露光装置内にフィルム1が連続的に供給され、フィルム1の表面側又は裏面側に設けられた搬送ローラ42,43等により、フィルム1は緊張状態で支持されている。そして、露光装置内においては、フィルム1は、供給リール41及びリール44の回転駆動力により、1方向に移動される。本実施形態においては、2個の搬送ローラ42,43間におけるフィルム1の上方に、光源、マスク及びアパーチャが2組設けられている。そして、光源5A,5Bから、夫々、偏光方向が異なる露光光を出射させ、アパーチャ3A,3B及びマスク2A,2Bを透過した露光光をフィルム1の表面に形成された配向材料膜に照射することにより、露光光ごとに偏光方向が異なる配向膜本発明における偏光部を帯状に形成する。即ち、例えば、光源5Aから出射された露光光により、偏光方向が―45°の直線偏光又は偏光方向がCWClockWiseの円偏光の表示光を透過させる配向膜aを形成し、光源5Bから出射された露光光により、偏光方向が45°の直線偏光又は偏光方向がCCWCounterClockWiseの円偏光の表示光を透過させる配向膜bを形成する。フィルム1の移動方向の上流側には、フィルム1が露光時の加熱又は搬送時の冷却等により熱変形していない位置において、フィルムの両側部に線状のフィルムアライメントマーク1aを形成するアライメントマーカ6が設けられている。マスク2の裏面側には、例えばフィルム1の側部に形成された1対のフィルムアライメントマーク1aを検出するカメラ7図1における符号7A,7Bが設けられており、このカメラ7により検出されるフィルムアライメントマーク1aの位置により、露光前におけるフィルム1の幅が例えば図示しない演算部により算出され、例えばフィルム1の熱変形前の幅と熱変形後の幅とにより、露光前におけるフィルムの膨張率が演算されるように構成されている。図1bに示すように、マスク2は、遮光性の材料からなる基部2aに、フィルム1の移動方向に直交する方向に複数本のスリット2bが配列されたものであり、各スリット2bは、その幅が線形的に変化するように設けられており、スリット間の間隔はフィルム移動方向に直交する方向からみたときにスリットの幅と同一である。即ち、図1bに示すマスクにおいて、各スリット2bの幅は、最上部が最も狭く、スリットの長手方向に沿って下方へ行くほど、広くなるように設けられている。そして、各スリット2bは、フィルム1の移動方向に傾斜して延びている。このスリット2bの傾斜は、フィルム移動方向に直交する方向に関して、マスク2の中央よりも側部側の方が大きく、例えばフィルム移動方向における各スリット2bの長さを300mmとしたときに、マスク2の最も側部側のスリットの縁部は、フィルム移動方向における端部間がフィルム移動方向に直交する方向に100μm程度変位して設けられている。アパーチャ3は、例えばSUS製の遮光性の板材であり、図1cに示すように、その基部3aの中央には、1方向に延びるように、幅が例えば20乃至30mmの開口3bが設けられている。そして、この開口3bの長手方向がフィルム1の移動方向に直交するように光源5とマスク2との間に配置されている。よって、光源5から出射された露光光は、アパーチャ3によりその一部が遮光され、アパーチャ3の開口3bを透過した露光光のみがマスク2に照射される。よって、制御部により、フィルム移動方向におけるマスク2と遮光部材3との相対的位置が制御されることにより、マスク2に対する露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動し、マスク2のスリット2bを透過してフィルム1上に照射される露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動すると共に、露光光照射領域の幅が変化する。前記マスク2は、図2に示すように、例えばアクチュエータ等図示せずにより、アパーチャ3に対して、相対的にフィルム移動方向に移動可能に構成されており、アパーチャ3とマスク2とのフィルム移動方向における相対的位置は、図示しない制御部により制御されている。そして、制御部により、アパーチャ3とマスク2とのフィルム移動方向における相対的位置がフィルム1の幅方向の伸びに応じて制御されることにより、マスク2に対する露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動する。上述の如く、本実施形態においては、マスク2に設けられた複数本のスリット2bは、フィルム1の移動方向に傾斜して延び、また、各スリット2bの幅は、フィルム1の移動方向に沿って線形的に変化するように設けられており、スリット間の間隔はフィルム移動方向に直交する方向からみたときにスリットの幅と同一である。よって、図2a及び図2bに示すように、アパーチャ3に対してマスク2が相対的にフィルム移動方向に移動されると、これに伴って、アパーチャ3の開口3bを透過してマスク2に照射される露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動し、スリット2bに透過されてフィルム1上に照射される露光光の照射領域の幅が変化する。これにより、例えば露光時の高温等により、フィルム1が膨張した場合においても、変形後のフィルム1の幅に対応させて、フィルム1上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができる。本実施形態においては、制御部は、前記カメラ7が検出したフィルムアライメントマーク1aの位置により演算部が演算したフィルムの膨張率に基づいて、マスク2をアパーチャ3に対して相対的にフィルム移動方向に移動させる。これにより、フィルム1がその幅方向に膨張した場合においても、フィルム1の幅方向の伸びに基づいて、フィルム上の露光領域の幅を調節することができる。次に、上述の如く構成された本実施形態の露光装置の動作について説明する。露光対象のフィルム1は、例えばロール状の供給リール41から連続的に供給され、巻き取り側のリール44に巻き取られるまでの間に、例えば、配向膜材料の塗布、露光、乾燥処理等が施される。即ち、露光装置内に供給されるフィルム1の表面には、配向材料が膜状に塗布されている。図3に示すように、本実施形態においては、先ず、アライメントマーカ6により、露光装置内に供給されたフィルム1の側部に、線状のフィルムアライメントマーク1aを連続的又は断続的に形成する。このフィルムアライメントマーク1aを形成する時点においては、フィルム1は熱変形していない。フィルムアライメントマーク1aが形成されたフィルム1は、例えば供給リール41及びリール44等の回転駆動力により、露光装置内に連続的に供給され、露光装置内においては、搬送ローラ42,43等により支持されて、露光装置内を1方向に移動される。このとき、例えば、露光時の高温等により、フィルム1が膨張する。搬送ローラ42,43等によりフィルムが搬送されている間においては、特に、フィルム1はその移動方向に直交する幅方向に変形しやすく、加熱による膨張により、フィルム1の幅が大きくなる。露光前に熱膨張したフィルム1は、搬送ローラ42,43等による搬送により、露光光の照射位置に搬送される。この膨張後のフィルム1において、カメラ7Aにより、両側部に設けられたフィルムアライメントマーク1aの位置を検出する。このカメラ7Aによる検出結果は、例えば図示しない演算部に送信され、フィルム1の膨張率が算出される。そして、算出されたフィルム1の膨張率が図示しない制御部に送信される。そして、制御部は、フィルム1の膨張率に基づいて、フィルム移動方向におけるマスク2の位置をアパーチャ3に対してフィルム移動方向に相対的に移動させ、アパーチャ3の開口3bを、マスク2のスリット2bの幅広の領域に対応させる。本実施形態においては、マスク2に設けられたスリット2bは、フィルム移動方向における長さが300mmであり、マスク2の最も側部側におけるスリット2bの縁部は、フィルム移動方向における端部間がフィルム移動方向に直交する方向に100μmマスク2の両側部で200μm程度変位するように設けられている。よって、例えば、フィルムの伸びに伴って、マスクアライメントマーク1a間の距離が20μm増えた場合には、制御部は、マスク2の位置を、フィルム1が膨張していない状態に対応する位置からフィルム移動方向に30mm移動するように制御し、フィルム1に対する露光光の照射領域の幅を広げる。即ち、光源5A,5Bから出射された露光光は、アパーチャ3の開口3bを透過し、マスク2上に照射されるが、アパーチャ3に対するマスク2の相対的位置がフィルム移動方向に移動されることにより、アパーチャ3の開口3bを透過してマスク2に照射される露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動する。本発明においては、マスク2に設けられた複数本のスリット2bは、フィルム移動方向に傾斜して延び、また、各スリット2bの幅は、フィルム1の移動方向に沿って線形的に変化するように設けられている。よって、マスク2の移動に伴って、マスク2に対する露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動すると、スリット2bに透過されてフィルム1上に照射される露光光照射領域の幅が変化する。このように、本実施形態においては、フィルム1が膨張してその幅方向に伸びた場合においても、変形後のフィルム1の幅に対応させて、フィルム1上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができる。よって、本実施形態においては、フィルム1がその移動方向に直交する幅方向に変形した場合においても、マスク2を取り替えることなく露光できる。露光光の照射により、フィルム1上に塗布された配向材料は、照射光の偏光方向に応じて光配向し、配向膜が形成される。例えば、光源5Aから出射された露光光により、偏光方向が―45°の直線偏光又は偏光方向がCWClockWiseの円偏光の表示光を透過させる配向膜aが形成される。一方、マスク2のスリット2b間の領域には、露光光は透過されないため、配向膜a間には未露光の領域が残される。このマスク2のスリット2b間の間隔は、スリット2bの幅と同一であるため、配向膜a間の未露光の領域は、配向膜aと幅が等しい。本実施形態においては、フィルム移動方向の下流側に設けられた光源5B、マスク2B、及びアパーチャ3Bにより、この未露光の領域が露光される。この場合においても、例えばカメラ7Bにより、フィルム1の両側部に設けられたフィルムアライメントマーク1aの位置を検出する。そして、カメラ7Bによる検出結果は、例えば図示しない演算部に送信され、フィルム1の膨張率が算出され、算出されたフィルム1の膨張率は、図示しない制御部に送信される。そして、配向膜aの形成工程と同様に、制御部は、フィルム1の膨張率に基づいて、フィルム移動方向におけるマスク2の位置をアパーチャ3に対して相対的に制御し、アパーチャ3の開口3bをスリット2bの所定の幅の領域に対応させる。よって、フィルム移動方向下流側においても、フィルム1の幅に対応させて、フィルム1上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができ、フィルム1がその移動方向に直交する幅方向に変形した場合においても、マスク2を取り替えることなく露光できる。そして、光源5Bから出射された露光光の照射により、配向膜a間の未露光の領域に配向膜aと隣接するように、偏光方向が45°の直線偏光又は偏光方向がCCWCounterClockWiseの円偏光の表示光を透過させる配向膜bが形成される。フィルム1は、搬送に伴い、その移動方向に直交する方向に蛇行する場合がある。しかし、本実施形態のように、光源5、マスク2及びアパーチャ3が2組設けられ、偏光方向が異なる2種類の露光光を照射する形式の露光装置においては、配向材料を光配向させる2種類の露光光は、その照射位置の相対的な位置合わせが重要となる。例えば、露光光の照射位置がフィルム1の幅方向にずれてしまうと、未露光の領域が残ったり、重ね露光される領域が生じて、露光不良となる。しかし、本実施形態においては、フィルムアライメントマーク1aは、フィルム1の両側部に形成されているので、例えばフィルム移動方向に直交する方向において、マスク2の中央位置と1対のフィルムアライメントマーク1aの中央位置とが一致するように、例えば制御部により、フィルム移動方向に直交する方向におけるマスク2の位置を制御することにより、上記露光不良を防止できる。この場合において、フィルム移動方向に直交する方向におけるマスク2の位置を制御する第2の制御部が設けられていてもよい。これにより、例えばフィルム1が、移動に伴って蛇行した場合においても、配向膜a及び配向膜bを相互に隣接するように、交互に形成することができる。露光光の照射により、配向膜a,配向膜bが形成されたフィルムは、搬送により、冷却され、やがて、膨張前の幅に収縮する。よって、幅広に形成された配向膜a,配向膜bは、フィルム1の収縮に伴い、所定の幅となり、図6に示すような偏光フィルムが製造される。以上のように、本実施形態においては、フィルム1が加熱によりその幅方向に膨張した場合においても、マスク2に設けられたスリット形状、アパーチャ3の構成及び制御部による制御により、マスクを取り替えることなく露光できる。なお、本実施形態においては、フィルム1が加熱により膨張した場合について述べたが、フィルム1が露光前に例えば冷却されて収縮している場合においても、制御部により、フィルム1の収縮率に対応させて、マスク2とアパーチャ3とのフィルム移動方向における相対的位置を制御することにより、マスクを取り替えることなく、偏光フィルムを精度よく製造することができる。また、本実施形態においては、光源5、マスク2及びアパーチャ3がフィルムの移動方向に沿って2組配置され、光源5A,5Bが夫々、偏光方向が異なる露光光を出射し、配向膜a及び配向膜bを一連の工程で形成する場合について説明したが、配向膜a及び配向膜bを形成する露光装置は、夫々、別の露光装置を使用してもよい。又は、フィルムに対する露光光の照射方向を偏光することにより、1台の露光装置により、偏光方向が異なる配向膜を形成することもできる。更に、本実施形態においては、アパーチャ3が光源5とマスク2との間に配置されている場合について説明したが、本発明においては、フィルム1に対する露光光の照射領域をマスク2のスリット2b及びアパーチャ3の開口3bにより規制できればよく、アパーチャ3は、例えばマスク2とフィルム1との間に配置されていてもよい。更にまた、マスク2としては、図4に示すようなスリット2bを有するマスク2Cを使用することができる。このマスク2Cにおいても、複数本のスリット2bは、その幅がフィルム移動方向に関して線形的に変化しており、スリット間の間隔は、フィルム移動方向に直交する方向からみたときに、スリット2bの幅と同一である。図4に示すマスク2Cにおいては、マスク2Cの両端部に設けられたスリットのうち、一端部に設けられたスリット2bは、その側縁がフィルム1の移動方向と平行に設けられており、その他の複数本のスリット2bは、フィルム1の移動方向に傾斜して延び、スリット2bの傾斜は、フィルム移動方向に直交する方向に関して、一端部側から他端部側へと、徐々に大きくなるように設けられている。このようなマスク2Cを使用した場合においても、フィルム1の幅方向の伸びに応じて、例えばフィルム1の膨張率により、マスク2とアパーチャ3との相対的な位置を制御することにより、本発明の効果を得ることができる。更にまた、本実施形態においては、フィルム1上には、露光光の照射により硬化量が変化する露光材料からなる配向材料膜が形成されていても、露光光の照射により配向方向が一意的に定まり、更に露光光を照射しても配向方向が変化しない露光材料からなる配向材料膜が形成されていてもよい。次に、本発明の第2実施形態に係る露光装置について説明する。図5は、第2実施形態に係る露光装置による露光工程を示す図である。本実施形態においては、フィルム1には、露光光の照射により硬化量が変化する露光材料からなる配向材料膜が形成されている。また、第1実施形態におけるマスク2Aに代えて、マスク2Dが設けられている。このマスク2Dには、スリット2bではなく、フィルム移動方向に幅が変化する開口2eが設けられている。そして、アパーチャ3の開口3b及びマスク2Dの開口を介して、露光光をフィルム1の露光対象領域の全域に照射できるように構成されている。その他の構成は、第1実施形態と同様である。本実施形態においては、フィルム1には、その表面上に、露光光の照射により硬化量が変化する露光材料からなる配向材料膜が形成されている。本実施形態においては、先ず、図5aに示すように、光源5Aから出射された露光光により、フィルム1の表面に形成された配向材料膜の全域を所定の第1の硬化量となるまで露光する。そして、その後、図5bに示すように、光源5Bから出射された露光光により、アパーチャ3Bの開口及びマスク2Bのスリットに対応させて配向材料膜に照射して第1の硬化量より大きい第2の硬化量となるまで露光する。これにより、第1実施形態と同様の配向膜を形成する。例えば配向膜が所定の偏光方向で形成され、露光光を更に照射しても偏光方向が変化しないときの硬化量を100とした場合に、光源5Aから出射された露光光による露光により、配向材料膜を硬化量が50になるまで硬化させる。そして、その後、光源5Bから出射された露光光による露光により、配向材料膜をアパーチャ3Bの開口及びマスク2Bの所定幅のスリットに対応させて、硬化量が100になるまで硬化させる。このとき、光源5Bからの露光光が照射されない領域は、硬化量が50のままであるが、例えば露光後にポストベークを施す材料塗布後の乾燥プリベーク温度よりも高い温度で熱硬化させることにより、硬化量が100となるまで硬化させて配向方向を固定する。本実施形態においても、露光による加熱により、フィルム1が膨張してその幅方向に伸びた場合においても、制御部により、フィルム移動方向におけるマスク2とアパーチャ3との相対的な位置を制御することにより、フィルム1上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができ、マスク2を取り替えることなく露光できる。なお、第1実施形態の露光装置において、フィルム移動方向における下流側のマスク2Bに代えて、本第2実施形態のようなマスク2Dを配置し、上流側の光源5Aから出射された露光光による露光により、配向材料膜をアパーチャ3Bの開口及びマスク2Bの所定幅のスリットに対応させて、硬化量が100となるまで硬化させ、下流側の光源5Bから出射された露光光による露光により、露光対象領域の全面を露光するように構成した場合においても、第1実施形態及び第2実施形態と同様の配向膜を形成することができる。この場合においても、制御部により、フィルム移動方向におけるマスク2とアパーチャ3との相対的な位置を相対的に制御することにより、フィルム1上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができ、マスク2を取り替えることなく露光できる。"