"機器の取り付け面側に配置され、前記機器への外力を弾性変形により吸収する弾性部材と、前記弾性部材が嵌合される嵌合部を有するベースと、前記弾性部材及び前記ベースを前記機器の取り付け面にねじ止めするねじ止め手段と、前記嵌合部の縁部に設けられ、前記機器への外力で前記弾性部材が弾性変形して前記機器の取り付け面に接触すると変形する衝撃指標部とを備えた衝撃吸収部材。前記ベースは、前記機器の取り付け面とは反対側の面に、前記弾性部材よりも柔らかい弾性部材を備えたことを特徴とする請求項1記載の衝撃吸収部材。従来の衝撃吸収部材は、精密機器等の取り付け部に取り付けると、取り外しにくく、交換が困難であるという課題があった。例えば、特許文献1に代表される従来の衝撃吸収部材は、精密機器の底板に両面テープ又は接着剤を使用して取り付けられるので、その粘着力によっては取り外し交換が困難である。また、取り外した後に底板に両面テープや接着剤が残ってしまい、新しいゴム足を取り付けるには、テープや接着剤の残りをきれいに取り除く必要がある。精密機器が故障する物理的な要因には、衝撃や振動等による外力の印加がある。しかしながら、従来の衝撃吸収部材は、衝撃を受ける機会が多いにも拘わらず、実際に衝撃を受けて故障したとしても、その故障要因を後から知る術がなかった。つまり、精密機器に大きな衝撃が加わって故障しても、精密機器に外見上の変化がなければ、精密機器に衝撃が加わったか否かも判断できず、さらに衝撃が加わったことがわかったとしても、その衝撃により故障したのかどうかも判断できなかった。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、取り外しが容易で、かつ衝撃等の外力による故障を特定できる衝撃吸収部材を得ることを目的とする。この発明に係る衝撃吸収部材は、機器の取り付け面側に配置され、機器への外力を弾性変形により吸収する弾性部材と、弾性部材が嵌合される嵌合部を有するベースと、弾性部材及びベースを機器の取り付け面にねじ止めするねじ止め手段と、嵌合部の縁部に設けられ、機器への外力で弾性部材が弾性変形して機器の取り付け面に接触すると変形する衝撃指標部とを備える。この発明によれば、取り外しが容易で、かつ衝撃等の外力による故障を特定できるという効果がある。実施の形態1.図1は、この発明の実施の形態1による衝撃吸収部材の構成を示す図であり、精密機器の底板に取り付けるゴム足に本発明を適用した場合を示している。図1aは、衝撃吸収部材1の取り付け面側からみた外観斜視図であり、図1bは、図1aの矢印Aの方向からみた外観斜視図である。また、図2は、実施の形態1による衝撃吸収部材の分解斜視図であり、図2aは、衝撃吸収部材1の取り付け面側からみた分解斜視図を示しており、図2bは、図2aの矢印Bの方向からみた分解斜視図を示している。図3は、実施の形態1による衝撃吸収部材を精密機器の底板に取り付けた状態を示す図であり、図3aは側面図であり、図3bは縦断面図を示している。図1~3に示すように、実施の形態1の衝撃吸収部材1は、ベース2、ゴム部3、取り付けねじ4、リブ5及び滑り止め板6を備える。ベース2は、樹脂等の成型部材で形成された成型部品であり、円柱状のゴム部3を嵌め込むカップ状の外壁からなる嵌合部2aを有しており、その中心に取り付けねじ4を通す貫通孔2cが形成されている。また、ベース2の貫通孔2cの周囲には、ゴム部3に設けた嵌合凹部3bを嵌め込む嵌合凸部2bが形成されており、これらを嵌合することで取り付け時のゴム部3の位置ずれを防止している。なお、ベース2の滑り止め板6の取り付け面側の貫通孔2cの周囲には、少なくとも取り付けねじ4のねじ頭が、滑り止め板6から突出しないように凹部2dが形成される。ゴム部3は、円柱形状をした弾性部材から形成されており、外部から加わる衝撃や振動を吸収する。また、ゴム部3には、ベース2と同様に中心に取り付けねじ4を通す貫通孔3aが形成されており、貫通孔3aの周囲には、ベース2の嵌合凸部2bを嵌め込む嵌合凹部3bが形成される。図3に示すように、実施の形態1の衝撃吸収部材1は、ベース2の嵌合部2aにゴム部3を嵌合させたものを精密機器の底板7の取り付け位置に配置し、貫通孔2c,3aを通した取り付けねじ4を底板7のねじ穴7aにねじ止め固定することで、精密機器のゴム足として機能する。このとき、取り付けねじ4のねじ頭はベース2の凹部2d内に収まり、滑り止め板6から突出することはない。なお、取り付けねじ4と精密機器の底板7に設けたねじ穴7aがねじ止め手段として機能する。なお、ゴム部3の外径はベース2の嵌合部2aの内径よりも小さく、ゴム部3の高さはベース2の嵌合部2aの外壁より高く構成される。ここで、ゴム部3は、使用する弾性部材の外力に対する弾性変形の度合に基づいて、外部からの衝撃や振動で弾性変形しても、その外力強度が規格で許容された範囲以下であれば、リブ5が精密機器の底板7に接触しない若しくは潰れない程度に接触する高さとする。リブ5が精密機器の底板7に接触して潰れたことを確認できれば、規格で許容された範囲を超える衝撃が精密機器にも伝わっていると判断できる。つまり、リブ5は、規格で許容された範囲を超える衝撃が精密機器へ加わったことを示す衝撃指標部として機能する。リブ5は、ベース2の嵌合部2aの外壁縁部に設けられたリブであり、外部からの衝撃や振動で底板7に衝突して潰れることにより、規格で許容された範囲を超える衝撃強度が加わったこと、すなわち精密機器が故障する衝撃が加わったことを特定できる。また、リブ5はベース2とともに一体成型される。図1~3に示すリブ5の形状は棒状であるが、外部からの衝撃で底板7に衝突した際に変形したことが視認できる形状であればよい。さらに、図1~3では、リブ5を1つだけ形成した場合を示したが、複数のリブ5をベース2の嵌合部2aの外壁縁部に設けてもかまわない。滑り止め板6は、ベース2の底面の滑り止めとなる構成部であり、ベース2の底面側に両面テープか接着剤で取り付けられる。次に、図1~3を参照して実施の形態1の衝撃吸収部材1を精密機器の底板7に取り付ける手順について説明する。先ず、ゴム部3の嵌合凹部3bとベース2の嵌合凸部2bを嵌め合わせることにより、ゴム部3をベース2の嵌合部2aに配置する。次に、取り付けねじ4を、ベース2に形成された貫通孔2c及びゴム部3に形成された貫通孔3aに通し、精密機器の底板7のねじ穴7aにねじ止め固定する。この後、滑り止め板6を両面テープか接着剤でベース2の底面に取り付ける。なお、滑り止め板6の取り付けは、衝撃吸収部材1を底板7に取り付ける前に取り付けてもかまわない。また、精密機器の底板7が薄い場合はスペーサを介してねじ止めしてもよい。このように、実施の形態1の衝撃吸収部材1は、取り付けねじ4によるねじ止めで精密機器の底板7に取り付けられ、取り付けねじ4を外せば精密機器の底板7から容易に取り外すことができる。従って、従来の衝撃吸収部材と異なり、取り付けに両面テープや接着剤を使用しないため、交換が容易であり、かつテープや接着剤の残りが底板7に付着することがない。つまり、従来の衝撃吸収部材よりも取り付けや交換が容易で、その作業性を向上させることができる。また、ベース2の外周の縁部に設けたリブ5が、精密機器の底側から規格で許容される範囲を超える衝撃が加わった際に、底板7に接触して潰れるように構成することで、規格で許容される範囲を超える衝撃が加わったことを視認できる。これにより、リブ5が潰れていれば、当該精密機器が、底面から加わった衝撃という原因で故障したと判断することができる。さらに、精密機器の保守点検時にリブ5の破損を確認すれば、故障の原因を特定できるので、精密機器の底面から加わる衝撃に対しての対策をとることが可能であり、保守性の向上を図ることができる。なお、規格で許容される範囲を超える衝撃が加わった際に、リブ5が底板7に接触して潰れるように構成した場合を示したが、完全に潰れなくてもよく、リブ5が底板7と接触して変形すればよい。この場合、外力の強度とゴム部3の弾性変形の度合との関係を考慮して、ゴム部3の高さ厚さ及びリブ5と底面7との距離を設定することで、リブ5の変形の度合から、どの程度の外力が加わったのかを特定できるように構成してもよい。以上のように、この実施の形態1によれば、精密機器の底面7側に配置され、精密機器への外力を弾性変形により吸収するゴム部3と、ゴム部3が嵌合される嵌合部2aを有するベース2と、ゴム部3及びベース2を精密機器の底面7にねじ止めするねじ止め手段であるねじ穴7aと取り付けねじ4と、嵌合部2aの縁部に設けられ、精密機器への外力でゴム部3が弾性変形して精密機器の底面7に接触すると変形するリブ5とを備える。このように構成したので、衝撃吸収部材の取り外しが容易であり、かつ、リブ5の変形を視認することで衝撃等の外力による故障を容易に特定することができる。実施の形態2.上記実施の形態1はベース2の底面に滑り止め板6を取り付けた構造を示したが、この実施の形態2では、ベースの底面側にも弾性部材のゴム部を設けた構成について述べる。このようにベースの両側にゴム部を設けることにより、衝撃や振動を抑制するゴム足としての機能を向上させることができる。図4は、この発明の実施の形態2による衝撃吸収部材の構成を示す図であり、精密機器の底板に取り付けるゴム足に本発明を適用した場合を示している。図4aは、衝撃吸収部材1Aの取り付け面側からみた外観斜視図であり、図4bは、図4aの矢印Aの方向からみた外観斜視図である。また、図5は、実施の形態2による衝撃吸収部材の分解斜視図であり、図5aは、衝撃吸収部材1の取り付け面側からみた分解斜視図を示しており、図5bは、図5aの矢印Bの方向からみた分解斜視図を示している。図6は、実施の形態2による衝撃吸収部材を精密機器の底板に取り付けた状態を示す図であり、図6aは側面図であり、図6bは縦断面図を示している。なお、図4~6において、図1~3と同一な構成要素については同一の符号を付して詳細な説明は省略する。図4~6に示すように、実施の形態2の衝撃吸収部材1Aは、ベース2A、ゴム部3,3A、取り付けねじ4及びリブ5を備える。ベース2Aは、樹脂等の成型部材で形成された成型部品であり、円柱状のゴム部3を嵌め込むカップ状の外壁からなる嵌合部2a及びその反対側にも円柱状のゴム部3Aを嵌め込むカップ状の外壁からなる嵌合部2eを有しており、その中心に取り付けねじ4を通す貫通孔2cが形成されている。また、嵌合部2a側の貫通孔2cの周囲には、ゴム部3に設けた嵌合凹部3bを嵌め込む嵌合凸部2bが形成されており、これらを嵌合することで取り付け時のゴム部3の位置ずれを防止している。なお、ゴム部3Aについては、ベース2Aの嵌合部2eに両面テープか接着剤を使用して取り付けられる。ゴム部3,3Aは、上記実施の形態1と同様に円柱形状をした弾性部材から形成されており、外部から加わる衝撃や振動を吸収する。また、ゴム部3,3Aには、ベース2Aと同様に、中心に取り付けねじ4を通す貫通孔3a,3cが形成されており、貫通孔3aの周囲には、ベース2の嵌合凸部2bを嵌め込む嵌合凹部3bが形成される。図6に示すように、実施の形態2の衝撃吸収部材1Aは、ベース2Aをゴム部3を介して精密機器の底板7の取り付け位置に配置し、貫通孔2c,3aを通した取り付けねじ4を底板7のねじ穴7aにねじ止め固定することで、精密機器のゴム足として機能する。このとき、取り付けねじ4のねじ頭はベース2Aの凹部2d内に収まり、ベース2Aの底面に取り付けたゴム部3Aから突出することはない。なお、ゴム部3Aの外径はベース2Aの嵌合部2eの内径よりも小さく、ゴム部3Aの高さはベース2Aの嵌合部2eの外壁より高く構成される。これにより、嵌合部2eの外壁がゴム部3Aの接着部位を保護し、側方から加わる外力によってベース2Aから剥がれることを防止できる。また、ゴム部3Aは、ゴム部3よりも柔らかい弾性部材で形成されており、外部から加わった衝撃を吸収して、ベース2A及びゴム部3へ伝わる衝撃強度を低減することができる。ゴム部3Aは、貫通孔3cを嵌合部2eの貫通孔2cに合わせてベース2Aに両面テープ若しくは接着剤を使用して取り付けられる。さらに、上記実施の形態1と同様に、ゴム部3は、使用する弾性部材の外力に対する弾性変形の度合に基づいて、外部からの衝撃や振動で弾性変形しても、その衝撃強度が規格で許容された範囲以下であれば、リブ5が精密機器の底板7に接触しない若しくは潰れない程度に接触する高さとする。つまり、リブ5が精密機器の底板7に接触して潰れたことを確認できれば、規格で許容された範囲を超える衝撃が、精密機器にも伝わっていると判断できる。次に、図4~6を参照して実施の形態2の衝撃吸収部材1Aを精密機器の底板7に取り付ける手順について説明する。先ず、ゴム部3の嵌合凹部3bとベース2の嵌合凸部2bを嵌め合わせることにより、ゴム部3をベース2Aの嵌合部2aに配置する。次に、取り付けねじ4を、ベース2Aに形成された貫通孔2c及びゴム部3に形成された貫通孔3aに通し、精密機器の底板7のねじ穴7aにねじ止め固定する。この後、ゴム部3Aを両面テープか接着剤でベース2Aの嵌合部2eに取り付ける。なお、ゴム部3Aの取り付けは、衝撃吸収部材1Aを底板7に取り付ける前に取り付けてもかまわない。また、精密機器の底板7が薄い場合には、スペーサを介してねじ止めしてもよい。このように、実施の形態2の衝撃吸収部材1Aは、精密機器の底面から加わる衝撃や振動を吸収するゴム部3Aを設けることにより、上記実施の形態1の構成よりも精密機器に加わる衝撃や振動を低減できる。また、上記実施の形態1と同様に、ねじ止めで取り付けられるので、従来の衝撃吸収部材よりも取り付けや交換が容易であり、その作業性を向上させることができる。また、ベース2Aの外周の縁部に設けたリブ5が、精密機器の底側から規格で許容される範囲を超える衝撃が加わった際に、底板7に接触して潰れるように構成することで、規格で許容される範囲を超える衝撃が加わったことを視認できる。これにより、リブ5が潰れていれば、当該精密機器が、底面から加わった衝撃という原因で故障したと判断することができる。さらに、精密機器の保守点検時にリブ5の破損を確認すれば、故障の原因を特定できるので、精密機器の底面から加わる衝撃に対しての対策をとることが可能であり、保守性の向上を図ることができる。なお、規格で許容される範囲を超える衝撃が加わった際に、リブ5が底板7に接触して潰れるように構成した場合を示したが、完全に潰れなくてもよく、リブ5が底板7と接触して変形すればよい。この場合、外力の強度とゴム部3,3Aの弾性変形の度合との関係を考慮して、ゴム部3,3Aの高さ厚さ及びリブ5と底面7との距離を設定することにより、リブ5の変形の度合から、どの程度の外力が加わったのかを特定できるように構成してもよい。以上のように、この実施の形態2によれば、上記実施の形態1の構成に加えて、ベース2Aの精密機器の底面7とは反対側の面に、ゴム部3よりも柔らかいゴム部3Aを備えたので、上記実施の形態1と同様の効果が得られるとともに、上記実施の形態1の構成と比較して、故障原因となる衝撃や振動の影響をさらに低減することができる。なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。"