"アクチュエーターと、前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含むアーム連結装置と、複数のアームが、前記アーム連結装置により直列且つ回転可能に連結されたアーム体と、前記アーム体の一方の端部に設けられた前記アクチュエーターと前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含む基体連結装置により前記アーム体が回転可能に連結された基体と、複数の前記アームの内、被作業物保持手段が取り付けられた作業アームに備える、少なくとも角速度センサーを含む、慣性センサーと、前記角度センサーの回転角度検出データより、前記角度センサーを備える前記アクチュエーターによって動作する前記アームの角速度を演算する第1演算部と、前記慣性センサーの角速度検出データより、前記基体連結装置および前記アーム連結装置を軸とする前記アクチュエーターにより作動する前記アームの角速度を演算する第2演算部と、前記アームにある前記アクチュエーターによって動作する前記アームの前記角速度および前記慣性センサーの前記角速度検出データによって演算された前記アームの前記角速度の差より、振動の周波数成分を前記アーム毎にそれぞれ抽出し、前記アクチュエーターと前記アクチュエーターに連結される前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第3演算部と、を備える、ことを特徴とするロボット装置。前記周波数成分は、前記ロボット装置の機械系固有振動数のうち、反共振周波数および共振周波数を含むバンドパスフィルターによって抽出される、ことを特徴とする請求項1に記載のロボット装置。前記第1演算部により演算された前記アームの前記角速度と、前記第3演算部により演算された前記ねじれ角速度と、を加算する第4演算部を更に備える、ことを特徴とする請求項1または2に記載のロボット装置。アクチュエーターと、前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含むアーム連結装置と、複数のアームが、前記アーム連結装置により直列且つ回転可能に連結されたアーム体と、前記アーム体の一方の端部に設けられた前記アクチュエーターと前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含む基体連結装置により前記アーム体が回転可能に連結された基体と、複数の前記アームの内、被作業物保持手段が取り付けられた作業アームに備える、少なくとも角速度センサーを含む、慣性センサーと、を備えるロボット装置の制御方法であって、前記角度センサーの回転角度検出データより、前記角度センサーを備える前記アクチュエーターによって動作する前記アームの角速度を演算する第1演算工程と、前記慣性センサーの角速度検出データより、前記基体連結装置および前記アーム連結装置を軸とする前記アクチュエーターにより作動する前記アームの角速度を演算する第2演算工程と、前記アームにある前記アクチュエーターによって動作する前記アームの前記角速度および前記慣性センサーの前記角速度検出データによって演算された前記アームの前記角速度の差より、振動の周波数成分を前記アーム毎にそれぞれ抽出し、前記アクチュエーターと前記アクチュエーターに連結される前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第3演算工程と、を含む、ことを特徴とするロボット装置の制御方法。前記周波数成分は、前記ロボット装置の機械系固有振動数のうち、反共振周波数および共振周波数を含むバンドパスフィルターによって抽出される、ことを特徴とする請求項4に記載のロボット装置の制御方法。前記第1演算工程により演算された前記アームの前記角速度と、前記第3演算工程により演算された前記ねじれ角速度と、を加算し前記アームの角速度を演算する第4演算工程を更に備える、ことを特徴とする請求項4または5に記載のロボット装置の制御方法。しかしながら、従来のロボット装置の制御方法においては、角速度センサーもしくは加速度センサーのどちらかを用いて、振動を抑制する制御信号を生成しているため、センサー信号にバイアスドリフト等の誤差が含まれる場合に制御信号に誤差が生じ、正確な制御が行なえない場合があった。例えば、特許文献2においては、センサーの誤差の影響を低減するために角度センサーの高周波成分を除去するローパスフィルターと、角速度センサーの低周波成分を除去するハイパスフィルターと、の2種類のフィルターを用いるために、制御装置における演算量が多くなり、処理に時間が掛かったり、処理速度を上げるために演算機のコストが増加したりする問題があった。そこで、正確に停止させたい部位、例えばワークを保持し、所定の作業を実行させるロボットハンドなどが備えられている部位、にジャイロセンサーと言われる慣性センサーを配置し、アーム停止の時などに発生するアーム振動を抑制するようにアームを駆動する駆動手段を制御し、短時間に正確な位置にアームを停止させるロボット装置とその制御方法を実現する。本発明は、少なくとも上述の課題の一つを解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。適用例1本適用例のロボット装置は、アクチュエーターと、前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含むアーム連結装置と、複数のアームが、前記アーム連結装置により直列且つ回転可能に連結されたアーム体と、前記アーム体の一方の端部に設けられた前記アクチュエーターと前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含む基体連結装置により前記アーム体が回転可能に連結された基体と、複数の前記アームの内、被作業物保持手段が取り付けられた作業アームに備える、少なくとも角速度センサーを含む、慣性センサーと、前記角度センサーの回転角度検出データより、前記角度センサーを備える前記アクチュエーターによって動作する前記アームの角速度を演算する第1演算部と、前記慣性センサーの角速度検出データより、前記基体連結装置および前記アーム連結装置を軸とする前記アクチュエーターにより作動する前記アームの角速度を演算する第2演算部と、前記アームにある前記アクチュエーターによって動作する前記アームの前記角速度および前記慣性センサーの前記角速度検出データによって演算された前記アームの前記角速度の差より、振動の周波数成分を前記アーム毎にそれぞれ抽出し、前記アクチュエーターと前記アクチュエーターに連結される前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第3演算部と、を備えることを特徴とする。本適用例のロボット装置によれば、ねじれ角速度をロボット装置の振動抑制制御の基となるデータとして用いることで、正確な制御を可能とする。適用例2上述の適用例において、前記周波数成分は、前記ロボット装置の機械系固有振動数のうち、反共振周波数および共振周波数を含むバンドパスフィルターによって抽出されることを特徴とする。上述の適用例によれば、上述の適用例によれば、反共振周波数および共振周波数をカットすることなく低周波成分をカットすることで、誤差を含む慣性センサーを用いた場合であっても、振幅の大きい領域において誤差を含まない慣性センサーにより得られる真の値に近いねじれ角速度を得ることができ、ねじれ角速度によって振動を正確に制御するロボット装置を得ることができる。適用例3上述の適用例において、前記第1演算部により演算された前記アームの前記角速度と、前記第3演算部により演算された前記ねじれ角速度と、を加算する第4演算部を更に備えることを特徴とする。上述の適用例によれば、ねじれ角速度の低周波成分には実動作が含まれない。従って、ねじれ角速度の低周波成分の除去は、すなわち慣性センサーの誤差ノイズの除去であり、低周波成分の除去されたねじれ角速度、もしくは、低周波成分の除去されたねじれ角速度にアクチュエーターの角速度を加えて得られるアーム角速度を制御データとして用いることで、正確なロボット装置の振動抑制制御を可能とする。適用例4本適用例のロボット装置の制御方法は、アクチュエーターと、前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含むアーム連結装置と、複数のアームが、前記アーム連結装置により直列且つ回転可能に連結されたアーム体と、前記アーム体の一方の端部に設けられた前記アクチュエーターと前記アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーを含む基体連結装置により前記アーム体が回転可能に連結された基体と、複数の前記アームの内、被作業物保持手段が取り付けられた作業アームに備える、少なくとも角速度センサーを含む、慣性センサーと、を備えるロボット装置の制御方法であって、前記角度センサーの回転角度検出データより、前記角度センサーを備える前記アクチュエーターによって動作する前記アームの角速度を演算する第1演算工程と、前記慣性センサーの角速度検出データより、前記基体連結装置および前記アーム連結装置を軸とする前記アクチュエーターにより作動する前記アームの角速度を演算する第2演算工程と、前記アームにある前記アクチュエーターによって動作する前記アームの前記角速度および前記慣性センサーの前記角速度検出データによって演算された前記アームの前記角速度の差より、振動の周波数成分を前記アーム毎にそれぞれ抽出し、前記アクチュエーターと前記アクチュエーターに連結される前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第3演算工程と、を含むことを特徴とする。上述の適用例によれば、ねじれ角速度をロボット装置の振動抑制制御の基となるデータとして用いることで、正確に制御することを可能とする。適用例5上述の適用例において、前記周波数成分は、前記ロボット装置の機械系固有振動数のうち、反共振周波数および共振周波数を含むバンドパスフィルターによって抽出されることを特徴とする。上述の適用例によれば、反共振周波数および共振周波数をカットすることなく低周波成分をカットすることで、誤差を含む慣性センサーを用いた場合であっても、振幅の大きい領域において誤差を含まない慣性センサーにより得られる真の値に近いねじれ角速度を得ることができ、ねじれ角速度によるロボット装置の振動を正確に制御することができる。適用例6上述の適用例において、前記第1演算工程により演算された前記アームの前記角速度と、前記第3演算工程により演算された前記ねじれ角速度と、を加算し前記アームの角速度を演算する第4演算工程を更に備えることを特徴とする。上述の適用例によれば、ねじれ角速度の低周波成分には実動作が含まれない。従って、ねじれ角速度の低周波成分の除去は、すなわち慣性センサーの誤差ノイズの除去であり、低周波成分の除去されたねじれ角速度、もしくは、低周波成分の除去されたねじれ角速度にアクチュエーターの角速度を加えて得られるアーム角速度を制御データとして用いることで、正確にロボット装置の振動を制御し、抑制することを可能とする。以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。第1実施形態図1は第1実施形態に係るロボット装置を示し、aは概略平面図、bは概略断面図である。本実施形態のロボット装置は、水平方向に回転可能に2本のアームが連結された、いわゆる2軸水平多関節ロボット100以下、ロボット装置100というである。ロボット装置100は、第1アーム11と第2アーム12とがアーム連結装置20によって回転可能に連結されて構成されるアーム体10を備えている。アーム体10は、基体連結装置30により、基盤に固定された基体40と回転可能に連結され、ロボット装置100を構成している。アーム連結装置20は、アクチュエーター51と、アクチュエーター51のトルクを所定の減速比で伝達するトルク伝達装置61と、を含む。また、基体連結装置30は、アクチュエーター52と、アクチュエーター52のトルクを所定の減速比で伝達するトルク伝達装置62と、を含む。アーム体10の基体40とは反対の端部となる第2アーム12の端部には加工用ツールもしくは被加工物を保持する被作業物保持手段としてのワーク保持装置70が備えられている。アーム連結装置20に含まれるアクチュエーター51には回転角度を検出する角度センサー81が備えられている。また、基体連結装置30にも、アクチュエーター52に角度センサー82が備えられている。また、第2アーム12のワーク保持装置70が備えられる位置に対応する位置に慣性センサー90が備えられている。慣性センサー90は、少なくとも角速度センサーを含み、慣性センサー90の取り付け位置、すなわちワーク保持装置70の配置位置での角速度を検出可能にしている。図2は、本実施形態に係るロボット装置100の構成を示す制御ブロック図である。CPU200は、後述する第1演算部510、第2演算部520、第3演算部530、第4演算部540および制御部600を含み、ROM300に記憶されたプログラムを読み出して実行する。また、RAM400はCPU200におけるプログラム実行によって得られるデータを保存し、CPU200へ保存されたデータから必要なデータを送出する。ロボット装置100に備える角度センサー81,82によって検出されたアクチュエーター51,52の回転角度データは、第1演算部510においてアクチュエーター51の回転角度θ1、アクチュエーター52の回転角度θ2、に換算され、換算されたそれぞれの回転角度θ1、θ2を時間で1回微分し、アクチュエーターの回転角速度を演算する。得られたアクチュエーターの回転角速度から、アクチュエーターが駆動するアームの回転角速度を求める。第1アーム11の場合は、アクチュエーター52から減速比1/N2を持つトルク伝達装置62によって駆動されるため、基体連結装置30の出力部の回転角速度ω2は、ω2=dθ2/dt×1/N2となる。同様に、第2アーム12を駆動するアクチュエーター51を含むアーム連結装置20の出力部の回転角速度ω1は、ω1=dθ1/dt×1/N11/N1:トルク伝達装置61の減速比となる。第2演算部520では、第2アーム12に備えられた慣性センサー90が検出した検出値から、アーム体10の角速度としての基体連結装置30を回転軸とする慣性センサー90の配置位置、すなわちワーク保持装置70部の角速度ωaが演算される。第3演算部530では、上述のように演算されたアクチュエーターの回転によるアクチュエーターを含む連結装置を回転軸とする第2アーム12の角速度ω1、第1アーム11の角速度ω2と、第2アーム12に取り付けられた慣性センサー90から得られた基体連結装置30を回転軸とする第2アームの角速度ωaとの差であるねじれ角速度ωbが、ωb=ωa-ω2-ω1によって得られる。得られたねじれ角速度ωbは、第1アーム11に起因するねじれ角速度ωb1と、第2アーム12に起因するねじれ角速度ωb2と、が合成されたものと考えられ、ωb=ωb1ωb2と表される。換言すれば、ねじれ角速度ωbを、各アーム11,12に起因するねじれ角速度ωb1,ωb2に分解することによって、アーム体10の振動を抑制するためのアクチュエーター制御信号、すなわちフィードバック信号を生成することができる。ねじれ角速度ωbを、各アーム11,12に起因するねじれ角速度ωb1,ωb2に分解する方法を説明する。図3は、図1に示すロボット装置100のアーム連結装置20および基体連結装置30を、ばね特性と減衰特性ダンパー特性の特性模型で表した図である。図3に示すように、ロボット装置100のアーム連結装置20は、仮想ばね20aと仮想減衰装置20bとを備えて第1アーム11と第2アーム12が連結され、基体連結装置30は、仮想ばね30aと仮想減衰装置30bとを備えて第1アーム11が基体40に連結されている、と模型的にロボット装置100を示すことができる。この模型化したロボット装置100において、第1アーム11と第2アーム12では、重量、長さ、剛性などが異なることが一般的であり、そのことによって第1アーム11が基体連結装置30に備えるアクチュエーター52によって駆動される場合の周波数応答と、第2アーム12がアーム連結装置20に備えるアクチュエーター51によって駆動される場合の仮想ばね20a,30aと仮想減衰装置20b,30bとの構成を用いて算出される周波数応答と、では異なる特性を示す。図4は、第1アーム11と第2アーム12の周波数応答を示すボード線図である。図4aは第1アーム11の周波数応答、bは第2アーム12の周波数応答、を示す。第1アーム11は、基体連結装置30に備えるアクチュエーター52は高出力のものを備えることができるため、高い剛性を備え、重量も重くすることができる。一方、第2アーム12は、第1アーム11にアーム連結装置20を備えるため、小型で低出力のアクチュエーター51とする必要があることから、軽量化が図られている。そのように構成されることにより、図4aに示す第1アーム11と図4bに示す第2アーム12とでは周波数特性が異なってくる。この周波数特性が異なることに注目し、ねじれ角速度ωbを、各アーム11,12に起因するねじれ角速度ωb1,ωb2に分解することができる。具体的には、第3演算部530に、図5に示す特性を備えるバンドパスフィルターを備えることでねじれ角速度ωbから、第1アーム11のねじれ角速度ωb1成分を抽出するバンドパスフィルターと、図5bに示す特性を有する第2アーム12のねじれ角速度ωb2成分を抽出するバンドパスフィルターと、によりフィルタリングして第1アーム11のねじれ角速度ωb1と第2アーム12のねじれ角速度ωb2を抽出し、得ることができる。図6はロボット装置100におけるアクチュエーターのトルクに対する、アクチュエーターからトルク伝達装置を介してアームを駆動する角速度Ωactと、慣性センサーにより得られるアームの角速度Ωarmと、ねじれ角速度Ωtorの応答を説明するボード線図である。図6に示すように、Ωact、Ωarmにおいては、低周波成分に本来の動作成分も含まれるが、Ωtorには実際の動作成分がほとんど低周波成分には含まれない。この点に着眼し、本発明はねじれ角速度Ωtorの低周波成分をセンサーのバイアスドリフト等による誤差による影響分とみなし、除去することでロボット装置100の低周波ノイズを除去し、ロボット装置100の振動を正確に制御することを可能とするものである。図7は、動作時のねじれ角速度の周波数成分を概念的に示す図であり、低周波成分をハイパスフィルターなどの手段によって除去する様子を示している。図7aは誤差の無い慣性センサーの場合、図7bがバイアスドリフト等の低周波の誤差の有る慣性センサーの場合を示しており、図7aと図7bの差が慣性センサーの誤差による成分を示している。図7aに示す、低周波成分の除去前のねじれ角速度Ωtorを、ハイパスフィルターによって低周波成分を除去することでΩtor ́となる。図4bでは、低周波成分の除去前のねじれ角速度Ω ́torを、同様に低周波成分を除去することでΩ ́tor ́となる。図7aに示すように、低周波成分が除去されたねじれ角速度Ωtor ́は、除去前のねじれ角速度Ωtorに対して、除去した周波数以下では振幅は小さくなる。しかし、その領域Sは図に示すように微小な値、例えば105以下の領域であって、除去分は無視できるレベルである。一方、図7bに示す誤差を持つ慣性センサーの場合には、ハイパスフィルターによる低周波成分の除去前後に生じる差異領域Tは、振幅の大きい領域にある。従って、低周波成分を除去することで、図7bにおける低周波成分除去前の誤差を含まない値Uに近づけることができる。よって、ねじれ角速度の低周波成分を除去することで、バイアスドリフト等の低周波成分の誤差を持つ慣性センサーを用いても、誤差の無い、言い換えると真の値に近いねじれ角速度を得ることができ、ねじれ角速度によるロボット装置100の振動を正確に制御することが可能となる。すなわち、上述のように求められたねじれ角速度ωb1、ωb2に対して、その周波数成分のうち、低周波成分を図示しないハイパスフィルター以下、HPFというにより除去したねじれ角速度Ωb1、Ωb2を演算する。ここで、HPFのフィルタリング周波数は、ロボット装置100の機械系固有振動数のうち、反共振周波数および共振周波数における最も低い周波数に対して、より低い周波数のHPFを用いることが好ましい。また、ハイパスフィルターではなくバンドパスフィルターを用いることで、不必要な低周波成分を除去しながら、高周波成分にも存在する不必要な周波数成分除去するも可能である。低周波成分を除去したねじれ角速度Ωb1、Ωb2を用いて、制御部600において制御信号を生成し、各アクチュエーター51,52を制御することができる。この場合、第4演算部540を備え、低周波成分が除去されたねじれ角速度Ωb1、Ωb2に、各連結装置20,30のトルク伝達装置61,62を介して第2アーム12、第1アーム11に伝えられる角速度ω1,ω2を加算し、その結果を用いて制御部600において制御信号を生成することもできる。第2実施形態第2実施形態として第1実施形態に係るロボット装置100の制御方法を説明する。図8は、本実施形態に係るロボット装置100の制御方法を示すフローチャートである。第1演算工程ロボット装置100の稼動状態において、先ず第1演算工程S111が実行される。第1演算工程S111では、第1演算部510においてアクチュエーター51,52に備える角度センサー81,82から回転角度データを入手する。得られた回転角度データから、回転角度へ換算し、回転角度を時間で1回微分を行い、第2アーム12を駆動するアクチュエーター51を含むアーム連結装置20の出力部の回転角速度ω1、基体連結装置30の出力部の回転角速度ω2を演算する。第2演算工程同時に第2演算工程S112において、第2演算部520に第2アーム12に備える慣性センサー90から角速度データを入手し、アーム体10を連結駆動する各連結装置20,30を回転軸とする各アーム11,12の角速度を演算する。すなわち、上述したように慣性センサー90から得られたデータから、基体連結装置30を回転軸とするアーム体10の慣性センサー90の配置位置での角速度ωaが演算される。第3演算工程次に、第3演算工程S120に移行する。第3演算工程S120では、第1演算工程S111で演算された角速度ω1,ω2と、第2演算工程S112において慣性センサー90の検出データから演算されたアーム体10の角速度ωaから、ωb=ωa-ω2-ω1によって、ねじれ角速度ωbを演算する。演算されたねじれ角速度ωbを、バンドパスフィルターによってフィルタリングし、第1アーム11のねじれ角速度ωb1、第2アーム12のねじれ角速度ωb2、を抽出、分解する。演算、抽出されたねじれ角速度ωb1、ωb2を、ロボット装置100の機械系固有振動数のうち、低周波成分を除去したねじれ角速度Ωb1、Ωb2を演算する。第4演算工程次に、第4演算工程S130に移行する。第4演算工程S130では、第3演算工程S120で演算された、バンドパスフィルターにより低周波成分を除去したねじれ角速度Ωb1、Ωb2に、各連結装置20,30のトルク伝達装置61,62を介して第2アーム12、第1アーム11に伝えられる角速度ω1,ω2を加算し、その結果に基づく制御信号を生成する制御信号生成工程S140に移行する。制御信号生成工程制御信号生成工程S140は、制御部600において、得られた第4演算工程S130における演算結果を基に、各アクチュエーター51,52の制御信号を生成する。すなわち、バンドパスフィルターにより低周波成分を除去したねじれ角速度Ωb1、Ωb2に、各連結装置20,30のトルク伝達装置61,62を介して第2アーム12、第1アーム11に伝えられる角速度ω1,ω2を加算した角速度を基に、各アクチュエーター51,52を制御するための信号を生成し、次のロボット装置動作停止確認工程S150に移行する。ロボット装置停止確認工程ロボット装置動作停止確認工程S150では、ロボット装置100が動作状態であるか、を確認し、動作状態Noである場合には、第1演算工程S111、第2演算工程S112に戻り、制御を繰り返す。動作停止状態Yesである場合には、制御は終了する。上述の通り、ロボット装置100のワーク保持装置70の配置位置に備えた1個の慣性センサー90によって、各アームのねじれ角速度を演算し、得られたねじれ角速度を制御データとすること、更に低周波成分を除去したねじれ角速度を制御データとすることで、慣性センサーの誤差分を除去した正確なロボット装置の振動抑制制御を可能とする。実施例1第1実施形態に係るロボット装置100の、ねじれ角速度を基にした制御の実施例について説明する。アクチュエーター51,52へのトルク指令値τを算出する方程式に、アクチュエーター角度、アーム角度リンク角度、アクチュエーター角速度、アーム角速度の4状態量が用いられ、このうちアーム角速度に上述の実施形態で説明した低周波成分を除去したねじれ角速度Ωb1、Ωb2連結装置のトルク伝達装置61,62を介してアームに伝えられる角速度ω2、ω1を用いる。上述の4状態量であるアクチュエーター角度と、アーム角度リンク角度と、アクチュエーター角速度と、各アームのアクチュエーターから見た場合の機械系固有振動数反共振周波数及び共振周波数の周波数成分を含んだ低周波成分を除去したねじれ角速度に連結装置のトルク伝達装置61,62を介してアームに伝えられる角速度を加えたアーム角速度と、を測定し、測定された4状態量を基に、下記式1により、状態フィードバック制御系を構築する。式1におけるk1~k5は、制御装置の内部の制御ゲインであり、極配置法や最適レギュレーター等によって決定することができる。こうして得られたトルク指令値τを用いて制御することで、ロボット装置100の振動を抑制し、正確な動作を可能とする。上述の実施例において、アーム角速度に上述の実施形態で説明した低周波成分を除去したねじれ角速度Ωb1、Ωb2連結装置のトルク伝達装置61,62を介してアームに伝えられる角速度ω2、ω1を用いる例を説明したが、状態量としてアーム角速度に換えてねじれ角速度を用いることで、演算量の少ない制御系を構築することができる。すなわち、式1におけるアーム角度θa、およびその1回微分のアーム角速度dθa/dtをねじれ角速度実施形態におけるΩb1、Ωb2として用いて、下記式2により制御系を構築する。式2におけるkt1~kt5は、制御装置の内部の制御ゲインであり、極配置法や最適レギュレーター等によって決定することができる。こうして得られたトルク指令値τを用いて制御することで、ロボット装置100の振動を抑制し、正確な動作を可能とする。実施例2他の実施例として、図9に示す制御ブロック図によって説明する。図9は上述の第1実施形態における図2に示す制御ブロック図に対して、制御部610における位置制御系610a、速度制御系610bが演算結果を取得し、制御する例を示す点で異なる。従って、実施形態と同じ構成には同じ符号を付し、説明は省略する。図9に示す本実施例においても、CPU210は、後述する第1演算部510、第2演算部520、第3演算部530および制御部610を含み、ROM310に記憶されたプログラムを読み出して実行する。また、RAM410はCPU210におけるプログラム実行によって得られるデータを保存し、CPU210へ保存されたデータから必要なデータを送出する。図9の制御ブロック図に示すように、本実施例の制御は、第1演算部510において換算されるアクチュエーター51,52の回転角度データを位置制御系610aが取得する。また、同じく第1演算部において演算されたアクチュエーター51,52の角速度データは速度制御系610bが取得する。第3演算部530で演算されたねじれ角速度データは、速度制御系610bが取得し、位置制御系610aから入力される角速度指令と合わせて、速度制御系610bはロボット装置100にトルク指令を出力する。このように制御することで、ロボット装置100の振動を抑制し、正確な動作を可能とする。上述の実施形態ならびに実施例は、図1に示す通り2本のアームを備える水平多関節型のアーム体10により説明したが、これに限定はされず、3本以上のアームを備えるロボット装置にも適用される。"