ペリクル膜が張設されるペリクルフレームを貼り付けた基板から除去するための方法であって、基板の外周部を保持した後に、基板に貼り付けたペリクルフレームの対向辺を構成する2辺各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれに細棒を位置合わせして差し込み、ペリクルフレームを支持し、基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な方向の力を加えることを特徴とするペリクルフレーム除去方法。ペリクルフレームの外側面の複数箇所に設けた穴に細棒を位置合わせする方法として、発光素子と受光素子とを隣接して同一方向に向けて設けた光学センサにより穴の位置と方向を特定した後に、光学センサとの位置関係が知られた細棒の先端部を、対応するペリクルフレーム外側面の穴の位置と方向に位置合わせし、設置することを特徴とする請求項1に記載のペリクルフレーム除去方法。ペリクルフレームの外側面の複数箇所に設けた穴に細棒を位置合わせする方法として、撮像カメラによる穴の画像認識に基いて穴の位置情報を抽出し、該位置に細棒の先端部を設置することを特徴とする請求項1または2に記載のペリクルフレーム除去方法。請求項1~3のいずれかに記載の方法によりペリクルフレームの除去を行う装置であって、ペリクルフレームを貼り付けた基板の外周部を挟持する基板保持機構と、ペリクルフレームの対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれに細棒を位置合わせするアライメント機構と、細棒を穴に差し込み力を加えるフレーム除去機構と、を有することを特徴とするペリクルフレーム除去装置。アライメント機構が、発光素子と受光素子とを隣接して同一方向に向けて設けた光学センサである反射型フォトセンサとその移動手段とを有することを特徴とする請求項4に記載のペリクルフレーム除去装置。アライメント機構が、撮像カメラとカメラ移動手段と画像認識手段とを有することを特徴とする請求項4または5に記載のペリクルフレーム除去装置。フレーム除去機構が、基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な力を加えるように、細棒と連結して作動する枠剥離治具を有することを特徴とする請求項4~6のいずれかに記載のペリクルフレーム除去装置。ペリクルを基板表面から除去するための自動装置が上述の提案により可能となったが、実際に使用する時に各種の不具合が生じる。すなわち、ペリクルフレームをアームで把持して除去する手段を制御手段により実施する場合に、以下の問題が発生する。例えば、ペリクルフレームの高さが初期設計値以上、例えば5~10mmあれば確実に実施できるが、初期設計値未満、例えば4mm以下の高さのフレームに対しては把持し損なうことも発生する。また、フォトマスクの有効領域外の基板表面へのペリクルフレームの貼り付け位置が定位置から外れている場合も確実な把持が困難となる。本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、ペリクルフレームの高さが従来より低い場合や、基板表面へのペリクルフレームの貼り付け位置が定位置から外れている場合であっても、それを貼り付けた基板からペリクルフレームを確実に除去する方法を提供することである。上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、ペリクル膜が張設されるペリクルフレームを貼り付けた基板から除去するための方法であって、基板の外周部を保持した後に、基板に貼り付けたペリクルフレームの対向辺を構成する2辺各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれに細棒を位置合わせして差し込み、ペリクルフレームを支持し、基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な方向の力を加えることを特徴とするペリクルフレーム除去方法である。また、請求項2に記載の発明は、ペリクルフレームの外側面の複数箇所に設けた穴に細棒を位置合わせする方法として、発光素子と受光素子とを隣接して同一方向に向けて設けた光学センサにより穴の位置と方向を特定した後に、光学センサとの位置関係が知られた細棒の先端部を、対応するペリクルフレーム外側面の穴の位置と方向に位置合わせし、設置することを特徴とする請求項1に記載のペリクルフレーム除去方法である。また、請求項3に記載の発明は、ペリクルフレームの外側面の複数箇所に設けた穴に細棒を位置合わせする方法として、撮像カメラによる前記穴の画像認識に基いて前記穴の位置情報を抽出し、該位置に細棒の先端部を設置することを特徴とする請求項1または2に記載のペリクルフレーム除去方法である。また、請求項4に記載の発明は、請求項1~3のいずれかに記載の方法によりペリクルフレームの除去を行う装置であって、ペリクルフレームを貼り付けた基板の外周部を挟持する基板保持機構と、ペリクルフレームの対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれに細棒を位置合わせするアライメント機構と、細棒を穴に差し込み力を加えるフレーム除去機構と、を有することを特徴とするペリクルフレーム除去装置である。また、請求項5に記載の発明は、アライメント機構が、発光素子と受光素子とを隣接して同一方向に向けて設けた光学センサである反射型フォトセンサとその移動手段とを有することを特徴とする請求項4に記載のペリクルフレーム除去装置である。また、請求項6に記載の発明は、アライメント機構が、撮像カメラとカメラ移動手段と画像認識手段とを有することを特徴とする請求項4または5に記載のペリクルフレーム除去装置である。また、請求項7に記載の発明は、フレーム除去機構が、基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な力を加えるように、細棒と連結して作動する枠剥離治具を有することを特徴とする請求項4~6のいずれかに記載のペリクルフレーム除去装置である。本発明は、基板の外周部を保持した後に、基板に貼り付けたペリクルフレームの対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれに細棒を位置合わせして差し込みペリクルフレームを支持し、基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な力を加えるので、ペリクルフレームの高さが従来より低い場合や、基板表面へのペリクルフレームの貼り付け位置が定位置から外れている場合であっても、それを貼り付けた基板からペリクルフレームを確実に除去できる。以下、図面に従って、本発明を実施するための形態について説明する。図1は、本発明の方法の全体手順の一例を説明するためのフロー図である。本発明は、ペリクル膜が張設されるペリクルフレームを貼り付けた基板から除去するための方法であって、S1ペリクル付き基板の外周部を保持して設置した後に、S2~S6基板に貼り付けたペリクルフレームの対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれに細棒を位置合わせして差し込み、ペリクルフレームを支持し、S7基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な力を加えることを特徴とするペリクルフレーム除去方法である。上記の全体手順の内、細棒差し込み用の穴に細棒を位置合わせする方法を図2に示す。すなわち、細棒差し込み用の穴21の穴位置と穴の方向を決定する図1-S5までの方法を図2により説明する。ペリクル付きの基板1の表面上の適当な位置にペリクルフレーム2が貼り付けられている。ペリクル膜は、それが張設されたペリクルフレームから既に吸引等の手段により除去されていることが可能である。平面視で矩形のペリクルフレームの対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面の複数箇所に設けた穴を、細棒差し込み用の穴21のそれぞれを、位置と方向を決定すべき対象として、ペリクルフレームが構成する平面に沿って光学センサ3および撮像カメラ4を設置することができる。本発明は、図2a、bの平面図に示す光学センサ3や、図2cの断面図に示す撮像カメラ4により、上記の細棒差し込み用の穴21の位置を検知することができる。初めに、発光素子31と受光素子32とを隣接して同一方向に向けて設けた光学センサ3を用いる例について説明する。曲線両方向矢印で示すように、ペリクルフレーム2と同一平面内で光学センサ3の首振りを行って角度を変え、かつ、適宜平行移動することにより、図2bに点線矢印で示す光線をペリクルフレーム2の外側面に対して垂直にできる。発光素子31が垂直に照射した外側面の位置が、外側面に対して垂直に設けた細棒差し込み用の穴21に当たる場合に、一般に光線反射率の高い金属表面を有するペリクルフレームの穴以外の他の位置に当たる場合と較べて、反射して受光素子32に入射する光量が激減するので、光学センサ3の既知の位置と角度より、穴21の位置と方向を知ることができる。特に、上記の方法で検出できる光量の変化が極小の値をとる位置と角度が、光学センサ3と穴21を結ぶ方向がペリクルフレーム2の外側面と垂直の関係になる。上述のように光学センサ3の移動によって、受光する光量の変化を読み取り、穴の位置と方向を特定する1次検知の後に、光学センサとの位置関係が知られた細棒の先端部を、対応する穴の位置と方向に位置合わせし、設置することが可能となる図1-S3、H1、S5、S6。後述するように、細棒5と光学センサ3との位置関係は、予め一定で固定しておくか、または、一定の位置関係からの光学センサの移動変化量を知ることができるように構成しておくことができるので、細棒の先端部を所定の距離と向きだけ動かせる。光学センサ3による穴の位置と方向の検知は、同一のペリクルフレームに設けた他の異なる穴に対しても行う。同一辺の外側面に並ぶ二つの穴に対して、一つの光学センサにより検知する場合は、一つの穴の検知が終了次第もう一つの穴の検知を行うべく、光学センサは予め設定された一定距離の平行移動を行った後に、同様の方法で検知を行う。また、対向辺の外側面に並ぶ二つの穴に対して、上記とは別の光学センサにより検知する場合は、前述の検知と並行処理することも可能である。ペリクルフレームの対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれの位置と方向の検知を独立して行う手順を、簡単のために、図1の一群Aで表し、ペリクルフレームの各穴に対応して実施する。また、本例では、上述の光学センサ3による穴位置の1次検知ができた後に、追加の詳細な検知が必要かどうかを判断図1-H2して撮像カメラ4による検知を行うことも可能である。細棒を対応する穴21に位置合わせする方法として、撮像カメラ4による穴の画像認識に基いて穴の位置情報を抽出し、該位置に細棒の先端部を設置する方法は、前述の光学センサ3のみによる穴の検知とは異なり、画像処理情報に基いて精細な位置合わせを追加することができる。図2cの断面図に示すように、撮像カメラ4の断面図上の位置を、X方向およびY方向に太線両方向矢印に従って、移動できる。細棒差し込み用の穴21を正面から撮像するカメラ位置を、撮像画像の処理図1-S4により原点からの座標位置で同定することにより、光学センサによる検知に追加して正確な穴位置と方向を決めることができる図1-S5。その後、細棒の先端部を、対応する穴の位置と方向に位置合わせし、設置することが可能となる図1-S6。なお、一台の撮像カメラ4を用いて複数の細棒差し込み用の穴21の穴位置と方向を決めて、細棒の位置補正を行い細棒を差し込む手順を、図1の一群BのH2からS6に表す。ペリクルフレームの各穴に対応して上記の各処理を実施する手順の繰り返しを、簡単に表現している。図3は、本発明の方法の他の一部を説明するための模式平面図である。すなわち、基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な力を加えるフレーム除去駆動図1-S7を行うための前段階として、基板1に貼り付けたペリクルフレーム2の対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれに細棒5を差し込みペリクルフレームを支持する図1-S6方法を説明する。前述の光学センサ3や撮像カメラ4により、細棒差し込み用の穴21の穴位置と方向を決めて、その情報に従って、各細棒5を支えるそれぞれに対応する枠剥離治具6を、図の太線両方向矢印で示すXY方向の平行移動や曲線両方向矢印で示す平面内の回転方向の動きにより、各細棒5の先端を対応する穴の入口に位置合わせする。その後、細棒5を中心線に沿って穴の奥に向けて差し込み、ペリクルフレームを支持する。細棒5は、穴21の内径より小さく、しかし一定の剛性を有する金属棒で作製し、必要に応じて表面の錆や傷や塵埃を防止するために樹脂コートにより保護することができる。細棒5の対応する穴21への差し込みは、ペリクルフレーム2の対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面に少なくとも2箇所ずつ実施することにより、ペリクルフレームの支持を確実に行うことができる。次に、基板1からペリクルフレーム2を均一に遠ざける方向に細棒5に対して基板に垂直な力を加えるフレーム除去駆動図1-S7を行う。以下、本発明の方法によりペリクルフレームの除去を行う装置の説明に基き、具体的に説明する。図4は、本発明の装置の構成例を説明するための模式概念図である。図示したペリクルフレーム除去装置は、前述の本発明の方法により基板からペリクルフレームを取り外し除去を行う装置の例であって、ペリクルフレーム2を貼り付けた基板1の外周部を挟持する基板保持機構10と、ペリクルフレームの対向辺を構成する2辺の枠部の各々の外側面の複数箇所に設けた穴のそれぞれに細棒を位置合わせするアライメント機構11と、細棒を穴に差し込み力を加えるフレーム除去機構12と、を有する。アライメント機構11とフレーム除去機構12とは、それぞれ一点鎖線で囲まれた機構全体を示し、基板保持機構10とともに、全体制御部13に接続して各機構相互の連携を取って、ペリクルフレーム2の基板1からの除去操作を自動化することができる。全体制御部13は、また、外部入力や手入力により、随時必要な情報を入れることができ、操作のための各種パラメータの修正や例外処理の内容を指示することができる。アライメント機構11は、光学センサ3と光学センサ移動手段33を有することができる。光学センサ3は、図2bに示した発光素子31と受光素子32とを隣接して同一方向に向けて設けた反射型フォトセンサを用い、発光素子として発光ダイオードが使用でき、受光素子として高感度のフォトトランジスタが使用できる。後述するフレーム除去機構12の細棒5と光学センサ3との位置関係は、予め一定で固定しておくか、または、一定の位置関係からの光学センサの移動変化量を知ることができるように構成する。光学センサ移動手段33は、平行移動や回転動作のためのモーター類と位置確認用スケールやガイド類の一般的なものから適宜選択し、使用できる。アライメント機構11は、また、撮像カメラ4とカメラ移動手段41と画像認識手段42を有することができる。撮像カメラ4としては、CCD等の小型の固体撮像カメラが好適であり、必要に応じて複数台設置する。特定の撮像カメラ4が撮像対象とする細棒差し込み用の穴21の個体選別を予め行っておけば、必要な可動範囲に対応して、そのカメラを移動させるためのカメラ移動手段41を連結して準備できる。カメラ移動手段41としては、光学センサ移動手段33と同様に、平行移動や回転動作のためのモーター類と位置確認用スケールやガイド類の一般的なものから適宜選択し、使用できる。撮像カメラ4は、画像認識手段42とも連結する。画像認識手段42は、撮像画像として取り込んだ画像情報を加工するとともに、カメラ移動手段41の位置情報を利用して、細棒差し込み用の穴21の入口円の中心座標を求めたり、穴の穿ち角度の概略を知ることができる。フレーム除去機構12は、複数の枠剥離治具6のそれぞれに一つずつ取り付けた細棒5をペリクルフレーム2の対応する細棒差し込み用の穴21に差し込んでペリクルフレームを支持した後、基板1からペリクルフレーム2を均一に遠ざける方向に複数の細棒に対して基板に垂直な力を加えるフレーム除去駆動図1-S7を実施することができる。なお、フレーム除去駆動の実施に先立って、ペリクルフレーム2を基板1表面に固定させている接着領域に紫外線を照射して剥離し易くすることが可能であり、フレーム除去機構12の一部にそのための紫外線照射光源図示せずを設けることができる。枠剥離治具6には、位置情報評価部61が付設され、位置情報評価部61は、光学センサ移動手段33と同様の位置確認用スケールやガイド類の一般的なものから適宜選択し、使用できる。さらに、光学センサ3と一定の位置関係を固定して枠剥離治具6を使用する場合には、位置情報評価部61は省略することも可能である。枠剥離治具6には、また、平行移動や回転動作のためのモーター類の一般的なものから適宜選択し、使用できる枠剥離治具駆動手段62が付設される。