"基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上を摺動してマスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージと、クリーニング面をマスクの下面に接触させた状態でマスクに対して相対移動することによりマスクの下面に付着したペーストをクリーニングするマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法であって、マスクの下面のクリーニングを行うクリーニング領域とクリーニングを行わない非クリーニング領域を設定する領域設定工程と、領域設定工程において非クリーニング領域が設定された場合に、非クリーニング領域から遠ざかる方向にマスククリーナを移動させてクリーニング領域のクリーニングを行うクリーニング実行工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法。非クリーニング領域は、基板上の電極に対応するパターン孔が形成されていない領域に設定されることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法。基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上を摺動してマスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージと、クリーニング面をマスクの下面に接触させた状態でマスクに対して相対移動することによりマスクの下面に付着したペーストをクリーニングするマスククリーナと、マスクの下面のクリーニングを行うクリーニング領域とクリーニングを行わない非クリーニング領域を設定する領域設定手段と、領域設定手段により非クリーニング領域が設定された場合に、非クリーニング領域から遠ざかる方向にマスククリーナを移動させてクリーニング領域のクリーニングを行うクリーニング実行手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。非クリーニング領域は、基板上の電極に対応するパターン孔が形成されていない領域に設定されることを特徴とする請求項3に記載のスクリーン印刷機。しかしながら、従来、クリーニング領域のクリーニング時において、マスククリーナを非クリーニング領域の端部まで移動させた際に、マスククリーナのクリーニング面に付着していたペーストを非クリーニング領域内に侵入させてしまうことがあり、これが原因となって印刷不良が発生するおそれがあるという問題点があった。そこで本発明は、マスクの下面のクリーニングを行わない領域として設定した非クリーニング領域にマスククリーナ側のペーストを侵入させてしまうことのないスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法及びスクリーン印刷機を提供することを目的とする。請求項1に記載のマスククリーニング方法は、基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上を摺動してマスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージと、クリーニング面をマスクの下面に接触させた状態でマスクに対して相対移動することによりマスクの下面に付着したペーストをクリーニングするマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法であって、マスクの下面のクリーニングを行うクリーニング領域とクリーニングを行わない非クリーニング領域を設定する領域設定工程と、領域設定工程において非クリーニング領域が設定された場合に、非クリーニング領域から遠ざかる方向にマスククリーナを移動させてクリーニング領域のクリーニングを行うクリーニング実行工程とを含む。請求項2に記載のマスククリーニング方法は、請求項1に記載のスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法であって、非クリーニング領域は、基板上の電極に対応するパターン孔が形成されていない領域に設定される。請求項3に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上を摺動してマスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージと、クリーニング面をマスクの下面に接触させた状態でマスクに対して相対移動することによりマスクの下面に付着したペーストをクリーニングするマスククリーナと、マスクの下面のクリーニングを行うクリーニング領域とクリーニングを行わない非クリーニング領域を設定する領域設定手段と、領域設定手段により非クリーニング領域が設定された場合に、非クリーニング領域から遠ざかる方向にマスククリーナを移動させてクリーニング領域のクリーニングを行うクリーニング実行手段とを備えた。請求項4に記載のスクリーン印刷機は、請求項3に記載のスクリーン印刷機であって、非クリーニング領域は、基板上の電極に対応するパターン孔が形成されていない領域に設定される。本発明では、マスクの下面のクリーニングを行わない領域として非クリーニング領域が設定された場合に、非クリーニング領域から遠ざかる方向にマスククリーナを移動させてクリーニング領域のクリーニングを行うようにしているので、マスククリーナのクリーニング面から非クリーニング領域内にペーストを侵入させてしまうことがなく、印刷不良の発生を防止することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1及び図2において、スクリーン印刷機1は、基板2上に設けられた多数の電極3のそれぞれに半田等のペーストPtをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行する装置であり、基台10上に設けられた基板搬入コンベア11、基板保持ユニット12及び基板搬出コンベア13、基板保持ユニット12の上方に設けられたマスクホルダ14、マスクホルダ14によって水平姿勢に保持されたマスク15、マスク15の上方に設けられたスキージヘッド16、マスク15の下方に設けられたカメラユニット17及びマスククリーナ18並びに基台10内に設けられて各部の作動制御を行う制御装置19を備えている。基板搬入コンベア11はスクリーン印刷機1の外部から投入された基板2を搬入し図1中に示す矢印R1、基板保持ユニット12に受け渡す。基板搬出コンベア13は基板保持ユニット12から受け取った基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する図1中に示す矢印R2。すなわち、基板2は基板搬入コンベア11、基板保持ユニット12、基板搬出コンベア13の順で搬送され、この基板2の移動方向をX軸方向オペレータOPから見た左右方向とする。また、このX軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向オペレータOPから見た前後方向とし、上下方向をZ軸方向とする。基板保持ユニット12は、XYZロボットから成るユニット移動機構12AによってXY平面内での移動回転も含む及びZ軸方向への移動が自在なユニットベース21、ユニットベース21に取り付けられて基板2のX軸方向への搬送及び所定の作業位置図1に示す位置への位置決めを行う一対のコンベア22、ユニットベース21に設けられた下受け部昇降シリンダ23、下受け部昇降シリンダ23によって昇降され、コンベア22によって作業位置に位置決めされた基板2の両端がコンベア22から上方に離間するように基板2を下方から持ち上げ支持する下受け部24及びY軸方向に開閉自在に設けられ、下受け部24により持ち上げ支持された基板2の両側部をY軸方向から挟んでクランプして保持する一対のクランプ部材25を備えている。図3において、マスク15は基板2上の電極3の配置に対応して設けられた多数のパターン孔15hを有した矩形の金属板から成るマスク本体15a、マスク本体15aの周囲に設けられた樹脂例えばポリエステル製のメッシュ状の膜部材15b及び膜部材15bの外周部を支持する矩形枠状のマスク枠15wから成る。図3において、マスクホルダ14は、基台10の上方をY軸方向に延びた断面L字状の左右一対のレール部材14aから成り、マスク15はこれら左右一対のレール部材14aによってX軸方向に対向する左右両辺が下方から支持される。図1及び図2において、スキージヘッド16は、マスクホルダ14に保持されたマスク15の上方領域をY軸方向に移動自在に設けられたプレート状のベース部材41、ベース部材41に取り付けられてピストンロッド42aをベース部材41の下方に突出させた2つのスキージ昇降シリンダ42、各スキージ昇降シリンダ42のピストンロッド42aの下端に取り付けられてX軸方向に延びたスキージ保持具43及び各スキージ保持具43に上端部が保持されて斜め下方に延びた薄板部材から成る2つのスキージ44を備えている。図1及び図2において、カメラユニット17は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ17aと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ17bを備えて成る。カメラユニット17は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構17Aによってマスク15の下方領域を水平面内方向に移動される。図1及び図2において、マスククリーナ18は全体としてX軸方向に延びており、マスク15と平行な水平面内の一の方向Y軸方向及び上下方向Z軸方向に移動自在に設けられた平面視断面が矩形状の筒状部材から成るノズル部31の上端部にペーパー部材32が掛け渡されて成る。ペーパー部材32のノズル部31の上端部に掛け渡された部分はマスク15マスク本体15aの下面と接触してマスク15の下面に付着したペーストPtの残り滓を拭き取るクリーニング面18aとなっている。マスククリーナ18は、ノズル部31の上端部によってペーパー部材32をマスク15の下面に押し付けた状態でY軸方向に移動することにより、マスク15の下面に付着したペーストPtを拭き取る。ペーパー部材32のクリーニング面18aは、一対のローラ部材33によってペーパー部材32を巻き取ることで更新することができる。図2において、ノズル部31内には図示しない空気吸引管路が設けられており、ペーパー部材32のクリーニング面18aを介して空気吸引管路内に空気を吸引することによりペーパー部材32によるペーストPtの拭き取りを効率よく行うことができる。基板保持ユニット12のコンベア22による基板2の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板2に対する下受け部24による下受け動作及び一対のクランプ部材25によるクランプ動作は、制御装置19が下受け部昇降シリンダ23を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構12B図2の作動制御を行うことによってなされ、基板2を保持した基板保持ユニット12の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置19が前述のユニット移動機構12Aの作動制御を行うことによってなされる。また、基板搬入コンベア11による基板2の搬入動作及び基板搬出コンベア13による基板2の搬出動作も制御装置19によってなされる。図2において、スキージヘッド16ベース部材41のY軸方向への往復移動動作は制御装置19が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構16M図2の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ44のベース部材41に対する昇降動作は、制御装置19がそのスキージ44に対応するスキージ昇降シリンダ42の作動制御を行ってスキージ保持具43を上下させることによってなされる。図2において、カメラユニット17の水平面内での移動動作は、制御装置19がカメラユニット移動機構17Aの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ17aによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ17bによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置19によってなされ、下方撮像カメラ17aの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ17bの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置19に送信されて制御装置19の画像認識部19aにおいて画像認識処理される。マスククリーナ18の水平面内での移動と昇降移動は、制御装置19が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ移動機構18Aの作動制御を行うことによってなされる。また、マスククリーナ18が備えるペーパー部材32の巻き取り動作とペーパー部材32を介したペーストPtの吸引動作は、制御装置19のクリーニング実行部19b図2が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ作動機構18B図2の作動制御を行うことによってなされる。このような構成のスクリーン印刷機1がスクリーン印刷作業を行う場合には、制御装置19は先ず、上流工程側の他の装置から基板2が送られてきたことを検知したところで基板搬入コンベア11と基板保持ユニット12のコンベア22を作動させ、スクリーン印刷機1内に基板2を搬入したうえで図4に示すステップST1。図5a、基板保持機構12Bの作動制御を行って基板2を保持する図4に示すステップST2。図5b。基板2の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ23で下受け部24を押し上げて基板2をコンベア22から浮いた状態に持ち上げる一方図5b中に示す矢印A1、一対のクランプ部材25を閉じる方向に駆動して基板2の両端を挟み込む図5b中に示す矢印B1ことによって行う。制御装置19は基板2を保持したら、カメラユニット移動機構17Aの作動制御を行い、下方撮像カメラ17aを基板2に設けられた基板側マーク2m図1の直上に位置させて下方撮像カメラ17aに基板側マーク2mの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ17bをマスク15に設けられたマスク側マーク15m図1及び図3の直下に位置させて上方撮像カメラ17bにマスク側マーク15mの撮像を行わせる。そして、得られた基板側マーク2mの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク15mの画像データからマスク15の位置を把握し、基板保持ユニット12を水平面内方向に移動させ、基板側マーク2mとマスク側マーク15mとが上下に対向するようにして、マスク15に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う図4に示すステップST3。制御装置19は、マスク15に対する基板2の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構12Aの作動制御を行って基板保持ユニット12を基台10に対して上昇させ図6a中に示す矢印C1、基板2を保持した一対のクランプ部材25がマスク15の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材25及び基板2それぞれの上面をマスク15の下面に接触させる図4に示すステップST4。図6a。これにより基板2上の電極3とマスク15のパターン孔15hとが合致した状態となる。制御装置19は基板2をマスク15に接触させたら、制御装置19に繋がるディスプレイ装置DP図2に、オペレータOPにペーストPtの供給を促すメッセージを表示する図4に示すステップST5。この表示に対してオペレータOPは、現時点でマスク15上に残っているペーストPtを目視し、そのペーストPtの量に基づいてペーストPtの供給補充を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストPtの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ図示せずにより、マスク15上にペーストPtの供給を行う。そしてオペレータOPは、ペーストPtの供給が終わり、或いはペーストPtの供給が不要と判断したときには、制御装置19に繋がる動作再開ボタンBT図2の操作を行う。制御装置19は、ディスプレイ装置DPにペーストPtの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタンBTの操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い図4に示すステップST6、動作再開ボタンBTからの信号出力に基づいて、オペレータOPによって動作再開ボタンBTの操作がなされたことを検知したときには、スキージ44によるスキージングを行ってマスク15上のペーストPtを基板2に転写させる図4に示すステップST7。このスキージングは、具体的には、スキージヘッド16から2つのスキージ44のうちの一方を下降させ、マスク15の上面に当接させた状態を維持したままベース部材41をY軸方向に移動させることによって行う図6b中に示す矢印D。これによりマスク15上でスキージ44が摺動し、マスク15上のペーストPtはスキージ44によって掻き寄せられてマスク15のパターン孔15h内に押し込まれ、基板2の電極3上に転写される。なお、制御装置19は、スキージヘッド16を前方から後方に移動させてスキージングを行うときには後側のスキージ44をマスク15上に当接させ、スキージヘッド16を後方から前方に移動させてスキージングを行うときには前側のスキージ44をマスク15上に当接させるようにする。制御装置19は、スキージングを行って基板2にペーストPtを転写させたら、ユニット移動機構12Aを作動させて基板保持ユニット12を下降させ図7a中に示す矢印C2、マスク15から基板2及び一対のクランプ部材25を離間させて版離れを行う図4に示すステップST8。図7a。これにより基板2の電極3上にペーストPtが残留し、基板2にペーストPtが印刷される。制御装置19は版離れが終わったら、基板保持ユニット12による基板2の保持を解除する図4に示すステップST9。図7b。この基板2の保持の解除は、具体的には、制御装置19が基板保持機構12Bを作動させて一対のクランプ部材25を開かせたうえで図7b中に示す矢印B2、下受け部24を下降させ図7b中に示す矢印A2、基板2の両端を一対のコンベア22上に降ろすことによって行う。制御装置19は基板2の保持を解除したら、ユニット移動機構12Aを作動させて基板保持ユニット12を水平面内で移動させ、コンベア22の向きを整えたうえでコンベア22及び基板搬出コンベア13を作動させ、基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する図4に示すステップST10。制御装置19は基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う図4に示すステップST11。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。スクリーン印刷機1は上記手順によって基板2の1枚当たりのスクリーン印刷作業を行うが、このようなスクリーン印刷作業を数枚~十数枚或いは数十枚の基板2に対して行うと、マスク15の下面に付着したペーストPtペーストPtの残り滓によって印刷状態が不良になってくるおそれがある。このため本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、定期的にマスククリーナ18を用いたマスク15のクリーニング作業を実行するようになっており、図8及び図9の説明図を用いて以下にその説明を行う。制御装置19は、マスククリーナ18を用いたマスク15マスク本体15aのクリーニングを行うときには、先ず、オペレータOPからの事前入力等によって記憶部19c図2に記憶されたマスク15ごとのクリーニング関連情報を入手し、領域設定部19d図2において、マスク15の下面のクリーニングを行う領域クリーニング領域S1。図3も参照とクリーニングを行わない領域非クリーニング領域S2。図3も参照の設定を行う領域設定工程。これらクリーニング領域S1と非クリーニング領域S2は、図3に示すように、スキージヘッド16の移動方向であるY軸方向と直交する方向X軸方向に延びた帯状の領域として設定する。ここでは、Y軸方向にひとつ目のクリーニング領域S1である第1のクリーニング領域S11、非クリーニング領域S2、ふたつ目のクリーニング領域S1である第2のクリーニング領域S12がマスク15の後方側からこの順で並んだものとなっている。なお、非クリーニング領域S2は、例えば、基板2上の電極3に対応するパターン孔15hが形成されておらず、もともとペーストPtが印刷されることがない領域のうち、その領域をクリーニングした場合にはマスククリーナ18のクリーニング面18aに付着したペーストPtが擦り付けられて却って不都合が生じる領域例えば金パッドが分散配置されているような領域に設定される。制御装置19のクリーニング実行部19bは、領域設定部19dにおいて、マスク15の下面のクリーニングを行う領域とクリーニングを行わない領域が設定されたら、クリーナ移動機構18Aとクリーナ作動機構18Bの作動制御を行って、以下に示すクリーニング実行工程を行う。クリーニング実行工程では、制御装置19のクリーニング実行部19bは、マスククリーナ18を領域設定部19dで領域設定工程で設定された第1のクリーニング領域S11の前後Y軸方向の両端部のうち、非クリーニング領域S2側の端部である前方側端部の直下に位置させ図8a中に示す矢印W1、そこからマスククリーナ18を上昇させて図8a中に示す矢印W2、マスククリーナ18のクリーニング面18aをマスク15の下面に接触させる図8a。なお、このマスククリーナ18の上昇時にマスククリーナ18のクリーニング面18aが非クリーニング領域S2にかかることがないように、マスククリーナ18を上昇させる前の位置矢印W1の終端の位置が、制御装置19のクリーニング実行部19bによって調整される。制御装置19のクリーニング実行部19bは、マスククリーナ18のクリーニング面18aをマスク15の下面に接触させたら、クリーナ移動機構18Aの作動制御を行って、マスククリーナ18を非クリーニング領域S2から遠ざかる方向にマスク15の内側からマスク15の外側に移動させ、マスククリーナ18のクリーニング面18aペーパー部材32によりマスク15の下面に付着しているペーストPtの残り滓を拭き取って図8b中に示す矢印W3、第1のクリーニング領域S11のクリーニングを行う。そして、マスククリーナ18のクリーニング面18aが第1のクリーニング領域S11の端部非クリーニング領域S2とは反対側の端部であり、後方側の端部に達したところで第1のクリーニング領域S11のクリーニングが終了する図8b。ここで、マスククリーナ18のクリーニング面18aによりマスク15の下面に付着しているペーストPtの残り滓を拭き取るときは、制御装置19のクリーニング実行部19bは、ノズル部31内の空気吸引管路を介した空気の吸引動作を行うようにするその後のクリーニング動作においても同じ。制御装置19のクリーニング実行部19bは、第1のクリーニング領域S11のクリーニングが終了したら、マスククリーナ18を下降させてクリーニング面18aをマスク15の下面から離間させたうえで図8c中に示す矢印W4、マスククリーナ18を第2のクリーニング領域S12の前後の両端部のうち、非クリーニング領域S2側の端部である後方側端部の直下に位置させる図8c中に示す矢印W5。そして、そこからマスククリーナ18を上昇させて図8c中に示す矢印W6、マスククリーナ18のクリーニング面18aをマスク15の下面に接触させる図8c。なお、このマスククリーナ18の上昇時にマスククリーナ18のクリーニング面18aが非クリーニング領域S2にかかることがないように、マスククリーナ18を上昇させる前の位置矢印W5の終端の位置が、制御装置19のクリーニング実行部19bによって調整される。制御装置19のクリーニング実行部19bは、マスククリーナ18のクリーニング面18aをマスク15の下面に接触させたら、マスククリーナ18を非クリーニング領域S2から遠ざかる方向にマスク15の内側からマスク15の外側に移動させ、マスククリーナ18のクリーニング面18aペーパー部材32によりマスク15の下面に付着しているペーストPtの残り滓を拭き取って図8d中に示す矢印W7、第2のクリーニング領域S12のクリーニングを行う。そして、マスククリーナ18のクリーニング面18aが第2のクリーニング領域S12の端部非クリーニング領域S2とは反対側の端部であり、前方側の端部に達したところで第2のクリーニング領域S12のクリーニングが終了し図8d、マスククリーナ18をマスク15から離間させて図8e中に示す矢印W8、マスク15の1枚当たりのクリーニング実行工程が終了する図8e。このようにしてマスク15の1枚当たりのクリーニング実行工程が終了した後、次にマスククリーニングを実行すべき時期がきたときには、前述の要領とは前後対称のルートでマスククリーナ18を移動させ、第2のクリーニング領域S12、第1のクリーニング領域S11の順でマスククリーニングを実行する図9a,b,c,d,d,e及びこれらの図中に示す矢印W11~W18参照なお、このようなマスククリーニングにおいて、制御装置19のクリーニング実行部19bは、マスククリーナ18のクリーニング面18aにくっついたペーストPtが多くなってきた頃に、一対のローラ部材33を作動させてペーパー部材32の巻き取りを行い、クリーニング面18aの更新を行う。以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基板2の上面に接触されるマスク15、基板2の上面に接触されたマスク15上を摺動してマスク15上に供給されたペーストPtを基板2に転写させるスキージ44、クリーニング面18aをマスク15の下面に接触させた状態でマスク15に対して相対移動することによりマスク15の下面に付着したペーストPtをクリーニングするマスククリーナ18、マスク15の下面のクリーニングを行うクリーニング領域S1とクリーニングを行わない非クリーニング領域S2を設定する領域設定手段制御装置19の領域設定部19d及び領域設定手段により非クリーニング領域S2が設定された場合に、非クリーニング領域S2から遠ざかる方向にマスククリーナ18を移動させてクリーニング領域S1のクリーニングを行うクリーニング実行手段制御装置19のクリーニング実行部19bを備えたものとなっている。また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1におけるマスククリーニング方法は、マスク15の下面のクリーニングを行うクリーニング領域S1とクリーニングを行わない非クリーニング領域S2を設定する領域設定工程と、領域設定工程において非クリーニング領域S2が設定された場合に、非クリーニング領域S2から遠ざかる方向にマスククリーナ18を移動させてクリーニング領域S1のクリーニングを行うクリーニング実行工程を含むものとなっている。本実施の形態におけるスクリーン印刷機1及びスクリーン印刷機1におけるマスククリーニング方法では、マスク15の下面のクリーニングを行わない領域として非クリーニング領域S2が設定された場合に、非クリーニング領域S2から遠ざかる方向にマスククリーナ18を移動させてクリーニング領域S1のクリーニングを行うようにしているので、マスククリーナ18のクリーニング面18aから非クリーニング領域S2内にペーストPtを侵入させてしまうことがなく、印刷不良の発生を防止することができる。なお、上述の例では、1つの非クリーニング領域S2が2つのクリーニング領域S1第1のクリーニング領域S11及び第2のクリーニング領域S12の間に位置するようになっていたが、非クリーニング領域S2はスキージヘッド16の移動方向であるY軸方向と直交する方向X軸方向に延びた帯状の領域として設定されるのであれば、その位置及び数は任意である。2つの非クリーニング領域S2の間に位置するひとつのクリーニング領域S1をクリーニングする場合には、クリーニング領域S1それぞれの両端から、クリーニング領域S1の中央へ向かってすなわち、非クリーニング領域S2から遠ざかる方向にマスククリーナ18を移動させてクリーニングを行えば、2つの非クリーニング領域S2のいずれにもマスククリーナ18に付着したペーストPtを侵入させることなく、クリーニング領域S1のクリーニングを行うことができる。"