"極小径のステンレス等の金属線、或いはテトロンやナイロン等の化繊を縦横に配して網目状のスクリーンメッシュを形成し、このスクリーンメッシュ上に極薄な厚みで、且つ、所定の色彩で着色された感光乳剤の薄膜を貼設した後、この薄膜について、所定の方法により前記感光乳剤が硬化して前記スクリーンメッシュに固着された部位とともに、前記感光乳剤が溶解して前記スクリーンメッシュから溶出された部位とが形成されてなる製版を検査する検査装置であって、前記製版の検査部位がカメラの画角を臨む適宜な被写体位置になるように配置された撮像カメラと、前記製版に対し前記撮像カメラが配置される側とは反対側で、且つ、前記撮像カメラの被写体位置の外側に配置されて、その光線が前記製版に所定角度をなし、且つ、前記被写体位置を均一に照射するように配置された前記感光乳剤の色彩と同色又は同系色の拡散広角照明手段と、この拡散広角照明手段と同一側で、且つ、前記撮像カメラの被写体位置に対向して配置されて、その光線が前記被写体位置を垂直に照射するように配置された、前記感光乳剤の色彩と補色若しくは当該補色と同系色、又は前記感光乳剤の色彩に対し前記撮像カメラで分離識別可能な彩色の同軸透過照明手段とを備えてなることを特徴とするスクリーン印刷用製版の検査装置。解決しようとする問題点は、スクリーン印刷用製版の検査において、スクリーンメッシュに貼設される感光乳剤の薄膜が極薄に形成されていても、製版の良否判定において誤判定が生ずることのない検査を可能にする点である。本発明の請求項1に係るスクリーン印刷用製版の検査装置は、極小径のステンレス等の金属線、或いはテトロンやナイロン等の化繊を縦横に配して網目状のスクリーンメッシュを形成し、このスクリーンメッシュ上に極薄な厚みで、且つ、所定の色彩で着色された感光乳剤の薄膜を貼設した後、この薄膜について、所定の方法により前記感光乳剤が硬化して前記スクリーンメッシュに固着された部位とともに、前記感光乳剤が溶解して前記スクリーンメッシュから溶出された部位とが形成されてなる製版を検査する検査装置であって、前記製版の検査部位がカメラの画角を臨む適宜な被写体位置になるように配置された撮像カメラと、前記製版に対し前記撮像カメラが配置される側とは反対側で、且つ、前記撮像カメラの被写体位置の外側に配置されて、その光線が前記製版に所定角度をなし、且つ、前記被写体位置を均一に照射するように配置された前記感光乳剤の色彩と同色又は同系色の拡散広角照明手段と、この拡散広角照明手段と同一側で、且つ、前記撮像カメラの被写体位置に対向して配置されて、その光線が前記被写体位置を垂直に照射するように配置された、前記感光乳剤の色彩と補色若しくは当該補色と同系色、又は前記感光乳剤の色彩に対し前記撮像カメラで分離識別可能な彩色の同軸透過照明手段とを備えるものである。本検査装置によれば、拡散広角照明手段及び同軸透過照明手段の、互いに補色若しくは当該補色と同系色の光線を一定条件下で照射することにより、又は撮像カメラで分離識別可能な色彩の、拡散広角照明手段及び同軸透過照明手段の光線を一定条件下で照射することにより、感光乳剤の薄膜が極薄に形成されていても、製版の良否判定において誤判定が生ずることのない検査が可能になり、したがって、製品としての歩留まりを向上させることができる。ところで、本発明の場合、撮像範囲を示すカメラの画角とは、撮像カメラのレンズによって設定される図2中の角Pであり、撮像カメラの視野とは、カメラの画角Pにより撮像カメラのレンズと、被写体位置、即ち、製版の検査部位とで形成される略三角錐体のエリアを称し、図2中のエリアQである。また、撮像カメラで分離識別可能な色彩とは、例えば青色系と黄色系のようなものであって、製版の良否判定において誤判定が生ずることのない検査が可能になればよいものである。本発明のスクリーン印刷用製版の検査装置によれば、スクリーンメッシュに貼設される感光乳剤の薄膜が極薄に形成されていても、製版の良否判定において誤判定が生ずることのない検査が可能になり、したがって、製品としての歩留まりを向上させることができる。本発明の実施形態に係るスクリーン印刷用製版の検査装置及び検査方法を図1~3を参照して説明する。まず、本検査装置1を含む本実施形態に係る検査システムの概略を、図1を参照して説明する。本検査システムは、後に詳述する、デジタルカメラ3及び照明装置4から構成され、検査対象のスクリーン印刷用製版2に対する良否判定に際して誤判定が生ずることのない検査を可能にする本検査装置1と、本検査装置1と所定制御信号の送受信を行なうPCパーソナルコンピュータ5とから構成されており、PC5は、本検査装置1との間で、スクリーン印刷用製版2が載置されたテーブル図示せずをX-X方向及びY-Y方向の2次元に移動したがって、製版2の検査部位を可変することができる。させる制御信号や、照明装置4のオンオフ制御信号、照明の色可変及び照明の強弱可変などの制御信号、デジタルカメラ3のオンオフ制御信号及びその撮像データの取込み制御信号の送受信を行なう。加えて、PC5は、所定のソフトウェアにより、所定のアルゴリズムに従ってデジタルカメラ3から取込んだ撮像データについてしきい値処理などの適宜な画像処理を行なうととも、予め格納された基準データと比較判定し、検査部位の良否を、例えばディスプレイ上に表示することなどして最終的には製版2の良否判定を行なう。尚、符号6は、デジタルカメラ3の、PC5に接続するためのインターフェースである。本検査装置1は、図2に示すように、スクリーン印刷用製版2の検査部位Sがカメラの画角Pを臨む適宜な被写体位置この位置で所定の撮像範囲が形成される。になるように、本実施の形態では、製版2の上方に配置されたデジタルカメラ撮像カメラ3と、製版2を隔ててデジタルカメラ3に対向する態様で当該デジタルカメラ3が配置される側とは反対側の下方に、浅皿状枠体7aの下面に中空有底の円筒状枠体7bを連設させて略とんがり帽子状をなす設置枠7を備えた照明装置4とで構成され、この照明装置4の設置枠7には、当該設置枠7の枠体7aに形成された略45度の傾斜面この傾斜面は、枠体7aの開口端に行くに従って拡くなるとともに、被写体位置、即ち、検査部位Sの外側に位置するように形成されている。に配置されて、その光線が製版2に対し、本実施の形態では、枠体7aの傾斜面に従って略45度所定角度をなし、且つ、被写体位置、即ち、検査部位Sに均一に照射されるように配置された感光乳剤の色彩と同一の、本実施の形態では、赤色系の拡散広角照明手段である、8つのLED8このLED8は円周等分に8つ配列されているが、同図にはそのうちの2つのみが描かれ、これらからの光線は破線で表示されている。と、この設置枠7の枠体7bの底中央したがって、拡散広角照明手段と同一側で、且つ、撮像カメラの被写体位置に対向して配置されることになる。には、その光線が被写体位置、即ち、検査部位Sに垂直をなして照射されるように配置された感光乳剤の色彩と補色の、本実施の形態では、緑色系の同軸透過照明手段である1つのLED9これからの光線は実線で表示されている。とが設置されている。尚、枠体7bの内筒壁面は鏡面仕上げされ、その筒径及び筒長は、LED9からの光線が平行光線をなして被写体位置、即ち、検査部位Sに垂直に照射されるようになっていることは言うまでもない。ところで、スクリーン印刷用製版2は、背景技術のところでも述べたように、直径数十ミクロンの極小径の、本実施の形態ではステンレス線10aを縦横に配して網目状のスクリーンメッシュ10を形成し、このスクリーンメッシュ10上に数ミクロン~数十ミクロンの極薄な厚みで、本実施の形態では色彩が赤色系の感光乳剤エマルジョンの薄膜11を貼設した後、この薄膜11に予め所定の回路パターン12が焼き付けられたネガフィルムを介して紫外線を照射し、現像などすることで、感光乳剤が硬化してスクリーンメッシュ10に固着された部位、即ち、薄膜11が形成された部位この部位は、スクリーン印刷時に、導体インクが転写されない部位とともに、感光乳剤が溶解してスクリーンメッシュ10から溶出された部位この部位は、スクリーン印刷時に、導体インクが転写されて回路パターン12が形成される部位とが形成されてなるものである図2,3参照。尚、図2は、スクリーン印刷用製版2のある部位の横断面図であり、また、図3は、スクリーン印刷用製版2のある検査部位Sの一例を示す模式図であり、スクリーンメッシュ10が実線で描かれているところが回路パターン12の部位で、破線で描かれているところが薄膜11の部位である。次に、本検査装置1を用いたスクリーン印刷用製版2の良否判定方法を図1~3を参照して説明する。本検査装置1においては、最初にLED8及びLED9を照射しておいて、しかる後、スクリーン印刷用製版2が載置されたテーブルを移動させてデジタルカメラ3の被写体位置の位置に当該製版2の検査部位Sを合わせるか、被写体位置に当該製版2の検査部位Sを合わせてからLED8及びLED9を照射する。図2には、上述のように、この検査部位Sを含むある断面部位、即ち、イ部~リ部の断面部位が描かれている。そして、デジタルカメラ3では、製版2の検査部位Sのハ部~ト部の一部が撮像される。すると、ハ部や、ホ部、トの一部には正規の膜厚の薄膜11が形成されているため、薄膜11の色彩と補色の関係にある緑色系の光線は、薄膜11に吸収されこれを透過せず、また、赤色系の入射光線は薄膜11に対し斜め方向に反射し拡散するが、カメラの視野Qに入るものは僅かであり、この結果、これらの部位は、デジタルカメラ3では黒色系の光像として撮像される。また、ニ部は、薄膜11が極薄膜厚に形成されているため、緑色系の光線の一部が薄膜11を透過してしまうとともに、赤色系の光線が薄膜11に反射し拡散してその一部がカメラの視野Qに入るため、この部位は、デジタルカメラ3では緑色系と赤色系の混合した光像として撮像される。更に、ヘ部は、薄膜11が形成されていないピンホール状の欠陥部位となっている。ため、この部位は、デジタルカメラ3では赤色系の光像が一切入らない緑色系の光像として撮像される。そして、これら検査部位Sのハ~ト部の一部の光像の撮像データに対し、PC5において、しきい値処理などの適宜な画像処理が行なわれるととも、予め格納されたこの検査部位Sの基準データとの比較判定がなされ、この検査部位の良否が判定される。この場合、ハ部や、ホ部、トの一部は良と判定され、ヘ部は不良と判定されることはもちろんであるが特に、ヘ部のような欠陥部位には、上述のように赤色系の光像が一切入らないので、良否判定は正確で容易である。、ニ部については、実験データや製造データなどから、良と判定するためのしきい値、即ち、緑色系と赤色系の色彩の混合割合がどれくらいであれば薄膜11の膜厚として許容し、且つ、欠陥部位とは見なさない、との判定基準を予め決めておいて判定される。したがって、従来の検査のしかたに拠れば不良と判定されていたものが本検査装置1の検査のしかたに拠れば良と判定されるようになるので、製品としての歩留まりを向上させることができる。このような検査部位Sに対する良否判定は、スクリーン印刷用製版2が載置されたテーブルを移動させて当該製版2の全面に渡って行なわれることはもちろんである。ところで、検査部位Sから外れたイやリ部は、正規の膜厚の薄膜11が形成されている部位であり、赤色系の入射光線は、この薄膜11に対し斜め方向に反射され拡散するが、その殆どがカメラの視野Qに入らず、また、この部位には緑色系の光線は入射しない。ロ部やチ部は、回路パターン12の部位であり、赤色系の光線の一部は通過するがカメラの視野Qに殆ど入らず、緑色系の光線は入射しない。ト部の残余の部は、正規の膜厚の薄膜11が形成されている部位であって、赤色系の光線は薄膜11に対し斜め方向に反射し拡散するが、その殆どがカメラの視野Qに入らず、緑色系の光線は入射しない。したがって、これらの検査部位Sから外れた部位が、検査部位Sの良否判定に影響を及ぼすことはない。ところで、上述した、検査部位Sと基準データとの両者の比較に際しての実際のアルコリズムでは、図3中の回路パターン12の部位のところを検査部位から除外して薄膜11が貼設された部位に対する比較判定方法が採られている。また、本実施の形態では、赤色系のLED8及び緑色系のLED9とを用いた場合について説明したが、例えば青色系のLEDと黄色系のLEDとであってもよく、けだし、カメラ3による光像の撮像データに対し、上述した方法に準じて、PC5において、基準データとの比較判定がなされ、この検査部位の良否判定には支障がないからである。"