"基板上の複数の配線間を電気的に検査する検査装置であって、前記検査装置は、前記配線と電気的に接触する複数のプローブと、正極及び負極を有し前記配線間の電気特性値を測定する複数の電気特性測定器と、前記複数のプローブと前記正極または負極との接続を切り換える切換部と、前記切換部を制御する制御部とを備えており、前記制御部は、前記複数のプローブをプローブ群に分割して前記電気特性測定器により測定し、前記電気特性測定器で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線間の良否を判別し、不良があると判別された場合、前記プローブ群に異なる電気特性測定器を接続するよう前記切換部を制御することを特徴とする検査装置。基板上の複数の配線間を電気的に検査する検査装置であって、前記検査装置は、前記配線と電気的に接触する複数のプローブと、正極及び負極を有し、前記配線間の電気特性値を測定する電気特性測定器と、前記複数のプローブと前記正極または負極の接続を切り換える切換部と、前記切換部を制御する制御部とを備えており、前記制御部は、前記複数のプローブをプローブ群に分割して前記電気特性測定器により測定し、前記電気特性測定器で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線間の良否を判別し、不良があると判別された場合、前記プローブ群に電気特性測定器を順次接続するよう前記切換部を制御することを特徴とする検査装置。さらに、不良があると判別された前記プローブ群間の欠陥部を特定する特定手段を有する請求項1または2に記載の検査装置。前記特定手段は、温度または赤外線を検出する検出手段を有する請求項3に記載の検査装置。基板上の複数の配線にプローブを当接させ、該配線間を電気特性測定器により検査する検査方法であって、a:複数のプローブからなるプローブ群を2つのプローブ群に分割するステップと、b:分割されたプローブ群間の電気特性値を測定するステップと、c:測定された電気特性値が、正常値か否かを判断するステップと、d:電気特性値が正常値でなければ、異なる電気特性測定器とプローブ群とを接続するステップと、e:全プローブ群が1つのプローブになるまでステップa~dを繰り返すことを特徴とする検査方法。基板上の複数の配線にプローブを当接させ、該配線間を電気特性測定器により検査する検査方法であって、a:複数のプローブからなるプローブ群を2つのプローブ群に分割するステップと、b:分割されたプローブ群間の電気特性値を測定するステップと、c:測定された電気特性値が、正常値か否かを判断するステップと、d:電気特性値が正常値でなければ、電気特性測定器とプローブ群とを切断するステップと、e:全プローブ群が1つのプローブになるまでステップa~dを繰り返し、f:ステップcで正常値でないと判断されたプローブ群を、ステップbにおいて他のプローブ群と異なるタイミングで測定するステップとを有する検査方法。ステップaは、欠陥が存在する確率が大きくなるようプローブ群を分割する請求項5または6に記載の検査方法。ステップaは、プローブ群間で隣接するプローブ数が増加するようプローブ群を分割する請求項5から7のいずれかに記載の検査方法。ステップbにおいて、電気特性値が正常値でなければ、プローブ群間の欠陥部を特定する特定ステップをさらに有する請求項5から8のいずれかに記載の検査方法。前記特定ステップは、温度または赤外線を検出することで欠陥部を特定する請求項9に記載の検査方法。請求項5から10のいずれかに記載の検査方法を動作させる検査プログラムであって、コンピュータを上記の各ステップとして機能させることを特徴とする検査プログラム。請求項11に記載の検査プログラムが記録されたことを特徴とするコンピュータ読取可能なプログラム記録媒体。しかしながら、特許文献1に記載の検査装置及び検査方法は、検査装置自身を検査の対象としており、複数の基板を連続して検査する場合を対象としていない。そのため、短絡欠陥の発生を検出した時点で検査を中断する構成を取っている。従って、複数の基板を連続して検査する場合に特許文献1に記載のものを適用することは困難である。また仮に、検査中に短絡欠陥の発生を検出して検査を中断した後、中断した続きから検査を行う構成としても、欠陥候補を適切に絞り込むことができない事態が発生する。図10を用いて欠陥候補を適切に絞り込むことができない例を示す。図10には、検査装置が全4本の接触端子接触端子812a~dを有する場合を示している。図10aは、1回目の分割として、接触端子812a~dの4本の接触端子を、2本ずつの端子群2つに分割することを示した図である。接触端子812a、bは電圧検出部809の正極側に接続され、接触端子812c、dは電圧検出部809の負極側に接続されている。つまり、1回目の分割後に検査を行うことにより、電圧検出部809が正常値と異なる電圧値を検出した場合、接触端子812a、c間、接触端子812a、d間、接触端子812b、c間、又は接触端子812b、d間のいずれかに、欠陥が生じていることが判明する。次いで図10bは、2回目の分割として、接触端子812a~dの4本の接触端子を、1本ずつの端子4つに分割することを示した図である。ここで、2回目の分割で4本の接触端子812a~dから1本ずつの端子を4つ形成したとしても、電圧検出部809には、正極部と負極部の2つしか入力が無いため、結局は、4本の接触端子812a~dを2つの端子群に分けて電圧を検出することになる。先ず接触端子812a、cを電圧検出部809の正極側に接続し、接触端子812b、dを電圧検出部809の負極側に接続する。ここで電圧検出部809が、正常値と異なる電圧値を検出した場合、接触端子812a、b間、接触端子812a、d間、接触端子812c、b間、又は接触端子812c、d間のいずれかに、欠陥が生じていることが判明する。要するに、接触端子812a、d間、接触端子812b、c間は、1回目の分割後と2回目分割後の各検査で、重複して検査を行っていることになる。仮に接触端子812a、d間に短絡欠陥があった場合には、1回目の分割後の検査及び2回目の分割後の検査で、電圧検出部809は正常値と異なる値を検出する。そうすると、1回目の検査結果だけであれば、欠陥候補は、接触端子812a、c間、接触端子812a、d間、接触端子812b、c間、又は接触端子812b、d間の4つに絞り込めているが、2回目の検査によって、欠陥候補は、接触端子812a、b間、又は接触端子812c、d間をさらに加えた6通りに増加してしまう。以上に示すように、特許文献1に記載の方法を用いた場合には、同じ欠陥部を何度も検出し、欠陥候補を適切に絞り込むことができない問題点があった。また、特許文献1に記載の方法では、基板の欠陥部の候補となる配線の組み合わせは抽出できるものの、基板における具体的な欠陥箇所は特定できない。具体的な欠陥箇所を特定するためには、そのための後工程を行う必要がある。しかしながら、特許文献1に記載の方法を用いた場合には、欠陥候補を適切に絞り込めないことから、後工程に時間がかかったり、特定する作業回数が多くなるという問題もあった。本発明は、上述した従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮したり、検査回数を低減できる検査装置、検査方法、検査プログラム及びプログラム記録媒体を提供することを目的とする。本発明に係る検査装置は、基板上の複数の配線間を電気的に検査する検査装置であって、前記検査装置は、前記配線と電気的に接触する複数のプローブと、正極及び負極を有し前記配線間の電気特性値を測定する複数の電気特性測定器と、前記複数のプローブと前記正極または負極との接続を切り換える切換部と、前記切換部を制御する制御部とを備えており、前記制御部は、前記複数のプローブをプローブ群に分割して前記電気特性測定器により測定し、前記電気特性測定器で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線間の良否を判別し、不良があると判別された場合、前記プローブ群に異なる電気特性測定器を接続するよう前記切換部を制御する。本発明に係る検査装置は、基板上の複数の配線間を電気的に検査する検査装置であって、前記検査装置は、前記配線と電気的に接触する複数のプローブと、正極及び負極を有し、前記配線間の電気特性値を測定する電気特性測定器と、前記複数のプローブと前記正極または負極の接続を切り換える切換部と、前記切換部を制御する制御部とを備えており、前記制御部は、前記複数のプローブをプローブ群に分割して前記電気特性測定器により測定し、前記電気特性測定器で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線間の良否を判別し、不良があると判別された場合、前記プローブ群に電気特性測定器を順次接続するよう前記切換部を制御する。また、不良があると判別された前記プローブ群間の欠陥部を特定する特定手段を有してもよいし、前記特定手段は、温度または赤外線を検出する検出手段を有してもよい。本発明に係る検査方法は、基板上の複数の配線にプローブを当接させ、該配線間を電気特性測定器により検査する検査方法であって、a:複数のプローブからなるプローブ群を2つのプローブ群に分割するステップと、b:分割されたプローブ群間の電気特性値を測定するステップと、c:測定された電気特性値が、正常値か否かを判断するステップと、d:電気特性値が正常値でなければ、異なる電気特性測定器とプローブ群とを接続するステップと、e:全プローブ群が1つのプローブになるまでステップa~dを繰り返す。本発明に係る検査方法は、基板上の複数の配線にプローブを当接させ、該配線間を電気特性測定器により検査する検査方法であって、a:複数のプローブからなるプローブ群を2つのプローブ群に分割するステップと、b:分割されたプローブ群間の電気特性値を測定するステップと、c:測定された電気特性値が、正常値か否かを判断するステップと、d:電気特性値が正常値でなければ、電気特性測定器とプローブ群とを切断するステップと、e:全プローブ群が1つのプローブになるまでステップa~dを繰り返し、f:ステップcで正常値でないと判断されたプローブ群を、ステップbにおいて他のプローブ群と異なるタイミングで測定するステップとを有する。また、ステップaは、欠陥が存在する確率が大きくなるようプローブ群を分割してもよいし、ステップaは、プローブ群間で隣接するプローブ数が増加するようプローブ群を分割してもよい。さらに、ステップbにおいて、電気特性値が正常値でなければ、プローブ群間の欠陥部を特定する特定ステップをさらに有してもよい。またさらに、前記特定ステップは、温度または赤外線を検出することで欠陥部を特定してもよい。本発明に係る検査プログラムは、上記検査方法を動作させる検査プログラムであって、コンピュータを上記の各ステップとして機能させる。本発明に係るコンピュータ読取可能なプログラム記録媒体は、上記検査プログラムが記録されている。本発明によれば、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮したり、検査回数を低減できる検査装置、検査方法、検査プログラム及びプログラム記録媒体を提供することができる。以下、図面を参照して、本発明に係る実施態様を詳細に説明する。<実施形態1>図1は、本発明に係る実施形態1における検査装置100の主要構成を説明するためのブロック図であり、破線で囲まれた部分が、検査装置100の主要構成部である。検査装置100は、基板7が有するnnは2以上の自然数本の配線6-1、、配線6-n以下、配線6-1、...、配線6-nのうちの何れか或いは全体を説明する際は、簡単のために配線6と称するの中で、何れの配線群間に欠陥があるかを検知し、一度欠陥候補となった配線を、二度と検査しないことで、欠陥部を適切に絞り込むことができる。以下の説明では、基板の配線間において短絡しているものが欠陥である場合を説明するが、欠陥は短絡に限られない。例えば他の欠陥として、本来導通していなければならない配線間が、絶縁状態となっている場合や、所定以上の容量値である場合など種々の検査装置又は検査方法に本発明を適用することができる。検査装置100は、mmは2以上の自然数個の電気特性測定器1-1、、電気特性測定器1-m、切換部2、制御部3、記憶部4、n個のプローブ5を備え、電気特性測定器1は本発明における電気特性測定部に対応し、プローブ5が本発明におけるプローブに対応している以下、電気特性測定器1-1、...、電気特性測定器1-mのうちの何れか或いは全体を説明する際は、簡単のために電気特性測定器1と称する。電気特性測定器1は、各々正極端子及び負極端子を有し、各正極端子に接続された配線と各負極端子に接続された配線間の電圧値や、電気容量値などの電気特性を測定することができる。本実施形態においては、特に断りの無い限り、電気特性測定器は、一定の電圧を印加し電流量を測定する、もしくは一定の電流を流して電圧値を測定することで該配線間の抵抗値を測定する抵抗測定器とする。切換部2は、各プローブ5を各電気特性測定器1の正極端子または負極端子に電気的に接続させる手段であり、例えばリレー回路などで構成される。また切換部2は、何れの電気特性測定器1の正極端子及び負極端子にも接続されないようにすることもでき、本発明における切換部に相当する。制御部3は、電気特性測定器1で測定された各抵抗値と、欠陥が無い場合の正常な各抵抗値とを比較することで、欠陥の有無を検出するものであり、本発明における制御部に対応する。また制御部3は、記憶部4に予め記憶された所定の切換パターン順序に基づき、切換部2を制御し、電気特性測定器1の何れかと接続する。ここで所定の切換パターンとは、例えば各配線毎に電気特性測定器1の何れの正極端子または負極端子に接続するかを定めた所定の切換パターンの順序である。記憶部4は、欠陥が無い場合の正常な抵抗値と上記所定の切換パターン順序を予め記憶しており、後述するように電気特性値が正常でなければ、一方のプローブ群および他方のプローブ群を記憶することが可能であっても良い。プローブ5の各々は、配線6と一対一対応で電気的接続される針状端子である。図2は、本実施形態における検査方法のフローチャートであり、以下に図2の説明を行う。まず、記憶部4に記憶された所定の切換パターン順序を基に、プローブ5の群を2つの群に分割し、制御部3によって切換部2を切換え、一方のプローブ群に所定の電気特性測定器1の正極を繋ぎ、他方のプローブ群に該電気特性測定器1の負極を繋ぐS21。そして正極に接続されたプローブ群と、負極に接続されたプローブ群との間の抵抗値を測定するS22。なお、後述するように検査に使用する電気特性測定器1の数は増加する。S22では、検査に使用する複数の電気特性測定器1が同時に抵抗値を測定する。従って、S22の測定にかかる時間は増加しない。次に予め記憶部4に記憶された正常な抵抗値と比較するS23。正常な抵抗値は、短絡欠陥があるか否かを判定する閾値である。短絡がない配線間を測定した抵抗値は絶縁抵抗と呼ばれており、数百MΩ以上の大きな値である。従って、この数百MΩ以上を正常な抵抗値として記憶すればよい。また、測定した抵抗値がこの絶縁抵抗よりも低い場合、すなわち配線間がわずかに短絡している場合でも、基板の品質に問題が無い場合は、短絡欠陥がないと判定してもよい。従って、この場合は正常な抵抗値は数百MΩよりも小さい値になる。S23において正常な抵抗値と比較した結果、実際の抵抗測定値が正常な抵抗値と相違すると、欠陥有りと判断しS24:YES、欠陥があったプローブ群の組み合わせと欠陥が発生した基板の識別情報を記憶部4に記憶するS25。S25では欠陥候補と基板の識別情報を記憶するので、特許文献1に記載の技術のように、欠陥個所が判明する度に検査対象に清浄作業を施す必要はなく、継続して後続の基板を検査できるという効果があり、特に複数の基板を連続検査する場合に好適な実施形態となっている。なお、図2で示す検査を行った基板について、欠陥部を特定するための後工程を続けて行う場合は、S25において基板の識別情報を記憶しなくても良い。すなわち、図2で示す検査を終えた基板を、欠陥部を特定するための後工程に1枚ずつ搬送する場合、いわゆる枚葉搬送の場合は、基板の識別情報を記憶しなくても良い。一方、本実施形態では、所定枚数の基板に関し図2で示す検査を行った後、S25で記憶したデータを用いて、欠陥部を特定するための後工程を行うことを想定しているため、基板の識別情報も記憶するようにしている。すなわち、図2で示す検査を終えた複数の基板を、欠陥部を特定するための後工程にまとめて搬送する場合、いわゆるロット搬送の場合は、基板の識別情報を記憶するようにしている。なぜなら、後工程は、この基板の識別情報を用いて、搬送された複数の基板のうちどの基板に欠陥があるのかを識別する必要があるからであるこれは後述する実施形態2も同様である。次いで、欠陥があったプローブ群の負極側のプローブ数が1でない場合S26:NO、今まで用いていない新たな電気特性測定器1を割り当てるS27。一方欠陥があったプローブ群の負極側のプローブ数が1である場合S26:YES、S28へ移行する。また正常な抵抗値との比較により、欠陥無しと判断した場合S24:NOもS28へ移行する。全プローブ間の組み合わせについて検査が終了するとS28:YES、フローを終了し、まだ全プローブ間の検査が終了していなければS28:NO、S29へ移行する。新たな電気特性測定器1を割り当てた場合S29:YESはS30へ移行し、新たな電気特性測定器1を割り当てない場合はS29:NO、S31へ移行する。新たな電気特性測定器1を割り当てた場合は、記憶部4に記憶された所定の切換パターン順序を基に、新たな短絡欠陥検出部としての電気特性測定器1が割り当てられたプローブの各群を二分割し、プローブの各群において二分割された一方の群に、新たな電気特性測定器1の正極を繋ぎ、他方の群に、該電気特性測定器1の負極を繋ぎS30、S31へ移行する。さらに、新たな電気特性測定器1を割り当てていない場合には、記憶部4に記憶された所定の切換パターン順序を基に、新たな電気特性測定器1を割り当てていないプローブの各群を二分割し、プローブの各群において二分割された一方の群に、事前に使用していた電気特性測定器1の正極を繋ぎ、他方の群に、事前に使用していた電気特性測定器1の負極を繋ぎS31、S22へ移行する。切換パターン順序としては、例えば、プローブ群間で隣接するプローブ数が増加するようプローブ群を分割していくことなどが挙げられる。短絡欠陥は、ほとんどが隣接配線間で発生するので、プローブ群間で隣接するプローブ数が増加するようプローブ群を分割していくことで、欠陥が存在する確率が大きくなるようプローブ群を分割することになる。ここで、欠陥が存在する確率が大きくなるようプローブ群を分割していくことには、少なくとも2つの利点が存在する。先ず第一の利点は、全プローブを2つの群に分割する切換パターンにおいて、検査回数が進む毎に、検査を行う配線の組み合わせを絞り込むことができるため、短絡欠陥の検出が後になるほど、欠陥部を絞り込むことができる点である。また第二の利点は、最後の切換パターンにおいて、短絡発生率が最も高くなる最後のパターンであれば、短絡欠陥が検出されたとしても、電気特性測定器1を増やして検査する必要がなくなる点である。本実施形態では、S27で示すように、あるプローブ群間で欠陥を検出した場合には、プローブ群の一方、すなわち本実施形態においては負極側に新たな電気特性測定器1を割り当てる。そうすることで、以後、短絡を検出した負極側のプローブ群と正極側のプローブ群とを導通させることがなくなる。従って、そのプローブ群間の検査を2度行わないようにすることができ、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができる。また、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことによって、後の欠陥部を特定する工程において検査時間や検査回数を短縮することができる。このように、短絡欠陥が検出する度に、割り当てられた電気特性測定器1の数は増えていく。S22~S27、S29~S31は、割り当てられた1つ以上の電気特性測定器1毎に処理するのである。また、S22では、割り当てられた1つ以上の電気特性測定器1が同時にそれぞれ抵抗値を測定する。抵抗値を測定するには数百ミリ秒の時間を要する。一方、それ以外の処理は電気特性測定器1毎に並列に、制御部3によって処理することができる。また、制御部3としてはコンピューターなどが用いられるため、抵抗値を測定する数百ミリ秒の時間よりも非常に短い。従って、短絡欠陥の数にかかわらず、検査すべき配線間の全組み合わせをほぼ一定の時間で検査をすることができる。また、図2のS22~S31は、割り当てられた電気特性測定器1毎に処理を行う。割り当てられた電気特性測定器1の数が2つである場合について、以下に詳しく説明する。S22では、2つの電気特性測定器1が同時にそれぞれ抵抗値を測定する。S23では、測定した2つの抵抗値それぞれについて、正常な抵抗値と比較する。S24では、欠陥が有るか否かをそれぞれ判断する。欠陥があると判断された場合は、S25~S27の処理を行う。もし、欠陥有りと判断された数が2つの場合は、S27における新たな電気特性測定器1の割り当ては最大2回行われ、S28に進んだ時点で割り当てられた電気特性測定器の数は2~4になる。もし、欠陥有りと判断された数が1つの場合は、S27における新たな電気特性測定器1の割り当ては最大1回行われ、S28に進んだ時点で割り当てられた電気特性測定器の数は2~3になる。もし、欠陥有りと判断された数が0の場合は、S27における新たな電気特性測定器の割り当てはなく、S28に進んだ時点で割り当てられた電気特性測定器の数は2のままである。また、新たに割り当てられた電気特性測定器1の数上述のように、数は0~2だけS30を処理する。S31は、当初割り当てられていた2つの電気特性測定器1毎に処理する。再度行われるS22では、2~4の電気特性測定器1毎に行われるのである。短絡欠陥がない基板を検査する場合は、検査に使用する電気特性測定器1の数は1つである。一方、短絡欠陥が検出する度に、検査に使用する電気特性測定器1の数は増えていく。いずれにしても、S22において、検査に使用する1つないしは複数の電気特性測定器1が抵抗値を同時に測定する。従って、短絡欠陥の検出回数にかかわらず、S22で行われる抵抗測定回数は一定である。図3は、図2におけるS27の具体例を説明するための図である。図3aは、4つのプローブ5を2つずつの群に分割し、各群を電気特性測定器1の正極、負極に接続する態様を説明するための図である。他方図3bは、図3の電気特性測定器1が欠陥を検出し、新たな電気特性測定器2を加えた態様を説明するための図である。図3bに示すように、図3aで短絡を検出した負極側のプローブ2つと、正極側のプローブ2つとは、電気特性測定器1を通して導通することがなくなり、その後も2度とプローブ群間の検査を行わないようにすることができる。つまり、1つの欠陥に対して、2度以上検出することのない検査装置、及び検査方法を提供することができる。以下、本実施形態における基板7の配線6が16本である場合について具体的に説明する。短絡が発生し得る2本の配線間の組み合わせは16×15/2=120組となる。表1は、この場合に記憶部4で記憶される切換パターンの一例を示した表である。配線の本数が2のべき乗であれば、プローブ群を二分割していくと、最終的に1本の配線に分割することができる。この場合、抵抗検査回数は、配線本数を2を底とする対数により計算される。例えば配線が16本である場合は、抵抗検査はlog216=4回となる。1回目の抵抗測定は、8×8=64組の配線間の組み合わせを検査する。この1回目の抵抗測定で短絡を検出しなかった場合、2回目の抵抗測定は、8×8=64組の配線間の組み合わせを検査する。この64組のうち1回目の抵抗測定と重複している組み合わせは32組、重複していない新たな抵抗測定する組み合わせは32組である。1回目で短絡を検出しなかった場合、重複する32組の組み合わせは当然短絡していない。したがって2回目の抵抗測定では、重複していない32の組み合わせの短絡を検査するに等しい。一方、1回目の抵抗測定で短絡を検出した場合、1回目の抵抗測定の負極側に新たな電気特性測定器1を割り当てて、2つの電気特性測定器1を用いて2回目の抵抗測定を行う。2つの電気特性測定器1のそれぞれが抵抗測定する配線間の組み合わせは4×4=16組となるので、2回目の抵抗測定は1616=32組の組み合わせの短絡を検査していることになる。この32組の組み合わせのうち1回目の抵抗測定と重複している組み合わせはない。また、1回目の抵抗測定で短絡を検出しなかった場合、又は検出した場合のいずれも、2回目の抵抗測定で短絡を検査する配線間の組み合わせは、全く同じである。3回目および4回目の抵抗測定も、重複していない新たな配線間の組み合わせを同様に検査していくことになる。検査される配線間の組み合わせは、3回目の抵抗測定が16組、4回目の抵抗測定が8組となる。結局、1~4回目の抵抗測定で検査される抵抗間の組み合わせの合計は6432168=120組となり、すべての配線間の組みあわせを検査できる。また最終的に1本ずつの配線間で短絡を検出する必要があるため、最大で配線数の半分、つまり8つの電気特性測定器1を設けることがより好ましい。さて、基板に発生する短絡欠陥の数は、配線間の組み合わせ数と比べて非常に少なく、通常1~2つ程度である。短絡欠陥が1つ存在する基板を検査する場合、検査に使用される電気特性測定器1の数は1~2つである。同様に、短絡欠陥が2つ存在する基板を検査する場合、検査に使用される電気特性測定器1の数は1~3つである。従って、基板に発生する短絡欠陥の発生状況によっては、最大数すなわち配線数の半分よりも少ない電気特性測定器1で事足りる。上記のように電気特性測定器1の数を削減することによって、切換部2も簡素化でき、検査装置を安価かつ簡便に実現できる利点がある。しかしながら、短絡欠陥が多く発生した基板を検査した場合、S27で新たな抵抗測定器を割り当てられない事態、すなわち割り当てられていない電気特性測定器1がなくなってしまう事態が稀に起こりえる。このような場合は、欠陥があった配線群の負極側に、新たな抵抗測定器を割り当てずに処理を継続すればよい。ここで一般的に、基板7の配線6がNNは2以上の自然数本である場合を考える。検査すべき配線間の組み合わせはN×N-1/2組となり、Nが2のp乗pは1以上の自然数であれば、抵抗検査回数はp回となる。また、1~p回目の抵抗検査において、重複を除いた新たな短絡を検査する配線間の組み合わせは、順に22p-2組、22p-3組、22p-4組、、2組となる。一方、配線の本数が2のべき乗ではない場合には、配線を2等分することが出来ないステップが生じるため、2のべき乗になるように、架空の配線を定義し処理を行う。表2は、本実施形態における基板7の配線6が12本である場合において、切換部2などの挙動を示した表である。12本の配線に架空の配線4本を追加して配線の本数を合計16本とし、追加後の配線本数を2のべき乗である16本とし、表1に示す切換パターンを用いて、処理を行うことになる。表2において、電位が0のプローブは電気特性測定器1の負極側に、電位がEのプローブは電気特性測定器1の正極側に各々電気的接続されていることを表す。架空の配線は、いずれの配線とも短絡を起こさない理想の配線と考えることができる。以下、架空の配線と実在する配線との間を架空配線間と称する。架空配線間は、短絡を発生しないので、各抵抗測定の重複していない新たな配線間の組み合わせの中で、架空配線だけと組み合わせられる実在する配線は、短絡を発生しない。したがって、このような配線間は、抵抗値測定の際に省くことができる。その結果、使用する電気特性測定器1を少なくすることができる場合がある。このような場合を具体的に以下に説明する。表2の4回目の抵抗測定では、重複していない新たな配線間の組み合わせが8組である。具体的には、架空配線1:配線6-1,配線6-2:配線6-3,架空配線2:配線6-4,配線6-5:配線6-6,架空配線3:配線6-7,配線6-8:配線6-9,架空配線4:配線6-10,配線6-11:配線6-12である。ここで、X:Yは、配線Xと配線Yとの間の短絡を検査するように、配線Xを電気特性測定器1の負極に接続して電位を0にし、配線Yを電気特性測定器1の正極に接続して電位をEにすることを表す。この8通りの配線の組み合わせのうち、架空配線1:配線6-1,架空配線2:配線6-4,架空配線3:配線6-7,架空配線4:配線6-10の4つは、X:YのXに相当する配線が架空配線であるため、短絡を発生しない。したがって、この4通りの配線間は、4回目の抵抗測定から省くことができる。その結果、この4通りのX:YのYに相当する右側の配線6-1、6-4、6-7、6-10を何れの電気特性測定器1の正極端子及び負極端子にも接続させない。表2の4回目の抵抗測定において、配線6-1、6-4、6-7、6-10に斜線を記しているのは、何れの電気特性測定器1の正極端子及び負極端子にも接続していないことを表している。次に、4回目の抵抗測定において、使用する電気特性測定器1の最大数を削減できることを示す。1回目の抵抗測定時に電気特性測定器1が短絡を検出し、2回目の抵抗測定時に2つの電気特性測定器1が共に短絡を検出し、3回目の抵抗測定時に4つの電気特性測定器1が共に短絡を検出した場合、4回目の抵抗測定では、本来は8つの電気特性測定器1が必要になる。また、この8つは、使用する電気特性測定器1が最大数となる場合である。しかし、架空配線1:配線6-1,架空配線2:配線6-4,架空配線3:配線6-7,架空配線4:配線6-10の4つは抵抗測定をする必要が無く、電気特性測定器1を割り当てる必要もない。したがって、4回目の抵抗測定は、4つの電気特性測定器1だけで検査ができる。すなわち、3回目の抵抗測定における電気特性測定器1の割り当てを変えずに、4回目の抵抗測定を行えばよい。したがって、4回目の抵抗測定は、4つの電気特性測定器1が配線6-2:配線6-3,配線6-5:配線6-6,配線6-8:配線6-9,配線6-11:配線6-12をそれぞれ検査すればよい。このように本実施形態では、不良があると判別された場合、異なる電気特性測定器を接続するように切換部を制御することができるので、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮したり、検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供することができる。<実施形態2>本実施形態は、1つの電気特性測定器1だけを用いて、実施形態1と同様、一度欠陥候補となった配線間の組み合わせを、二度と検査しないことで、適切に欠陥部を絞り込むことができる装置および方法であり、図4と図5を用いて説明する。また本実施形態においても、電気特性測定器1、プローブ5、切換部2が本発明における電気特性測定器、プローブ、切換部に対応している。また記憶部4については、実施形態1で説明した機能に加えて、電気特性値が正常でなければ、一方のプローブ群および他方のプローブ群を記憶することがさらに可能であっても良い。電気特性測定器1が1つの場合には、実施形態1のS27のように欠陥が検出されたプローブ群の負極側に電気特性測定器1を割り当てるのではなく、欠陥検出を後回しにすることで対応する。すなわち欠陥があると判別した場合、プローブ群に電気特性測定器1を順次接続するようしている。本実施形態は、実施形態1と比べて、電気特性測定器1が1つで済み、切替部2が簡素化でき、簡便な構成とすることができる。図4は、本実施態様における検査装置400の主要構成を説明するためのブロック図である。図4に示すように、本実施形態の構成で実施形態1と異なるのは、電気特性測定器1が1つであるという点だけであり、他の構成は実施形態1と同様であるため、説明は省略する。図5は、本実施形態における検査方法のフローチャートであり、以下の通り説明を行う。まず、記憶部4に記憶された所定の切換パターン順序を基に、プローブ5の群を2つの群に分割し、制御部3によって切換部2を切換えて、一方の群に電気特性測定器1の正極を繋ぎ、他方の群に電気特性測定器1の負極を繋ぎS51、正極に接続されたプローブ群と、負極に接続されたプローブ群との間の抵抗値を測定しS52、測定した抵抗値を正常な抵抗値と比較しS53、欠陥有りと判断した場合S54:YES、欠陥があったプローブ群の組み合わせと欠陥が発生した基板の識別情報を記憶部4に記憶するS55。S55では欠陥候補と基板の識別情報を記憶するので、特許文献1に記載の技術のように、欠陥個所が判明する度に検査対象に清浄作業を施す必要はなく、継続して後続の基板を検査できるという効果があり、特に複数の基板を連続検査する場合に好適な実施形態となっている。なお、図5で示す検査を行った基板について、欠陥部を特定するための後工程を続けて行う場合は、S55において基板の識別情報を記憶しなくても良い。一方、本実施形態では、所定枚数の基板に関し図5で示す検査を行った後、S55で記憶したデータを用いて、欠陥部を特定するための後工程を行うことを想定しているため、基板の識別情報も記憶するようにしている。欠陥があったプローブ群の負極側のプローブ数が1でない場合S56:NO、欠陥があったプローブ群の負極側と電気特性測定器1とを切断しS57、次にプローブ群を分割して以降に欠陥検出を後回しにするプローブ群として、欠陥があったプローブ群の負極側を記憶部4に記憶しS58、欠陥があったプローブ群の負極側のプローブ数が1である場合S56:YES、S59へ移行する。また、正常な抵抗値との比較により、欠陥無しと判断した場合S54:NOもS59へ移行する。欠陥検出を後回しにしたプローブ群の中に二分割されたものがあればS59:YES、S61へ移行し、二分割されたものがなければS59:YES、S60へ移行する。欠陥検出を後回しにしたプローブ群の中に二分割されたものがある場合には、その中から1つ選びS61、選ばれたプローブ群において、二分割された群に、それぞれ負極、正極を割り当てるS62。欠陥検出を後回しにしたプローブ群の中に二分割されたものがない場合、全プローブ間の組み合わせについて検査が終了していればS60:YES、フローを完了し、全プローブ間の組み合わせについて検査が終了していなければS60:NO、記憶部4に記憶された所定の切換パターン順序を基に、前回分割されたプローブの群を、それぞれ、さらに二分割し、欠陥検出を後回しにしたプローブ群以外の群に関しては、一方の群に電気特性測定器1の正極、他方の群に負極を割り当てS63、S51へ移行する。本実施形態では、欠陥検出部1が1つである場合でも、S58で示すように、あるプローブ群間で欠陥が検出された場合には、欠陥があったプローブ群の負極側を、次にプローブ群を分割して以降に欠陥検出を後回しにすることで、そのプローブ群間の検査を2度と行わないようにすることができる。つまり、本実施形態に係る検査装置、及び検査方法は、一度欠陥候補となった配線間の組み合わせを、二度と検査しないことで、適切に欠陥部を絞り込むことができる。また、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことによって、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮することができる。換言すれば、本実施形態では、不良があると判別された場合、電気特性測定器を順次接続するように切換部を制御できるので、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮することができる検査装置および検査方法を提供することができる。さらに、実施形態1と比べて、電気特性測定器1が1つで済み、切替部2が簡素化でき、簡便な構成とすることができるという新たな効果を奏し得る。<実施形態3>本実施形態は、実施形態1に対し、欠陥部を特定するため、サーモ検査を行う後工程をさらに有する点が異なる。図6に示す通り、検査装置600にはサーモ検査を行うためのサーモカメラ10をさらに備えている。検査装置600は、サーモカメラ10以外の構成は、検査装置100と同様であるため説明を省略し、サーモカメラ10に関連する部分を中心に説明する。なお本実施形態では、欠陥部を特定するために、温度または赤外線を検出する検出手段としてサーモカメラを採用した場合を説明するが、検出手段はサーモカメラには限定されず、温度または赤外線を検出する他の検出手段を用いても良いことは勿論である。図6は、本実施形態におけるサーモ検査を利用した検査装置の一例を表した図である。サーモ検査を利用した検査装置600は、サーモカメラ10を備える。プローブ5は、電気特性測定器1から印加された電圧によって基板7の配線6を導通させ、短絡欠陥部等を発熱させる。あるいは電圧源ないしは電流源を別途設けて、基板7の配線6を導通させ、短絡欠陥部等を発熱させてもよい。サーモカメラ10は、基板7の例えば赤外画像を取得する。記憶部4は、制御部3と接続され、画像データ等を記憶する。制御部3は、サーモカメラ10を制御し、また、サーモカメラ10の撮像位置合わせのために画像のマッチング等を行う画像処理部としても機能する。図7は、本実施形態におけるサーモ検査の手順を説明するためのフローチャートであり、以下説明する。まず、どのプローブ群間に短絡欠陥部があるかを特定するS71。S71の具体的な処理内容としては、実施形態1図2におけるS21~S31のフローを用いても良いし、実施形態2図5におけるS51~S62のフローを用いても良い。次に、S71で特定したプローブ群間、すなわち、S25S55で記憶部4に記憶されたプローブ群の組み合わせのうち、まだ電流を流していないプローブ群間に電流を流しS72、短絡欠陥部を発熱させる。次いで、サーモカメラ10で撮影することで、発熱した短絡欠陥部を、欠陥部をより詳細に特定するS73。S71で特定したプローブ群間全てに電流を流し終えたならばS74:YES、フローを終了し、S71で特定したプローブ群間全てに電流を流し終えていなければS74:NO、S72に移行する。本実施形態によれば、検査装置600が一度欠陥候補となった配線を、二度と検査しない構成と相俟って、欠陥部をより詳細に特定するためのサーモ検査の回数を減らすことができ、検査時間を短縮することができる。一般的にサーモ検査では、被検査箇所が温度上昇するのを待つ必要があり、また検査後に温度低下を待つ必要が生じる場合もある。例えば、サーモ検査を一度行うのに要する時間が十秒程度であるのに対して、導通検査は、数百ミリ秒程度で済む場合もある。従って、サーモ検査に要する時間は、短絡検査や導通検査等と比して比較的長くなる。しかしながら本実施形態においては、欠陥部の候補を適切に絞り込むことができるため、後工程のサーモ検査回数を減らすことができ、全体の検査時間を大幅に低減したり、検査回数を低減できるという格別な相乗効果を奏することができる。また、本実施形態では、実施形態1、2に加えて、さらに検出手段としてのサーモカメラ10を備えることで、どのプローブ群間に短絡欠陥部があるかを特定する装置とサーモ検査装置を別装置とするよりも簡便な構成とすることができるという効果も期待できる。ここで効果について補足すると、後工程の検査工程の内容によっては、検査時間のみ低減できる場合、検査回数のみ低減できる場合、又は検査時間及び検査回数の双方が低減できる場合の3通りが存在する。奏し得る効果は、後工程の内容又は方法で3通りの何れかとなるが、例えばサーモカメラで基板全体を一度に撮影できない場合は、欠陥部が絞り込めていることで、撮影回数を減らせるので、検査回数を減少させて検査時間も低減することが可能となる以上が本発明の実施形態の説明であるが、本発明はこれら実施形態にのみ限定されないことは勿論である。例えば実施形態1において、プローブ5の個数は16個としたが、本発明は、これに限定されるものではなく、プローブ5は、配線6の数以上であれば、いくつあってもよい。また、図2中のS26、27では、欠陥があったプローブ群の負極側を扱ったが、本発明は、これに限定されるものではなく、正極側を扱ってもよいことは勿論である。さらに本発明は、本来、相互に電気的に接続しないように設計された配線間に、短絡が生じているかを検査することのみならず、本来、相互に電気的に導通するように設計された配線間の、断線、細り等の不良を検出することにも用いることができる。またさらに本発明において、制御部3や記憶部4は、集積回路ICチップ上に形成された論理回路によってハードウェア的に実現していてもよいし、CPUcentralprocessingunitを用いてソフトウェア的に実現してもよい。また、後者の場合、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するCPU、制御プログラムを格納したROMreadonlymemory、制御プログラムを展開するRAMrandomaccessmemory、制御プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶媒体などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである制御プログラムのプログラムコード実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラムをコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を供給し、そのコンピュータまたはCPUやMPUmicroprocessorunitが記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ類、フロッピー登録商標ディスク/ハードディスク等の磁気ディスクやCD-ROMcompactdiscreadonlymemory/MOmagnetooptical/MDMiniDisc、登録商標/DVDdigitalversatiledisk/CD-RCDRecordable等の光ディスクを含むディスク類、ICカードメモリカードを含む/光カード等のカード類、マスクROM/EPROMerasableprogrammablereadonlymemory/EEPROMelectricallyerasableandprogrammablereadonlymemory/フラッシュROM等の半導体メモリ類、あるいはPLDProgrammablelogicdeviceやFPGAFieldProgrammableGateArray等の論理回路類などを用いることができる。さらには上述した機能を実現するソフトウェアをインターネット、共有サーバーなどへアクセス可能となるようアップロードし、ユーザなどがソフトウェアをダウンロードし検査装置にインストールすることで本発明を実施することも可能である。"