"上面が平坦で前記上面から空気を吸引する多数の第1孔が設けられた台座と、下面に基板を吸着するために下面から空気を吸引する多数の第2孔が設けられたアームと、前記アームを移動させる駆動装置と、を有し、前記アームは、一方向に延びる第1吸着部材及びこの第1吸着部材に平行に延びる第2吸着部材を有し、前記第1吸着部材及び第2吸着部材は前記一方向に垂直の方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の少なくとも一方は前記一方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の夫々一部又は全部に前記第2孔が設けられていることを特徴とする基板矯正保持装置。上面が平坦で前記上面から空気を吸引する多数の第1孔が設けられた台座と、下面に基板を吸着するために下面から空気を吸引する多数の第2孔が設けられたアームと、前記アームを移動させる駆動装置と、を有し、前記アームは、一方向に延びる基準部材と、この基準部材の両端部に設けられ前記一方向に垂直の方向に延びる第1吸着部材及び第2吸着部材と、を有し、前記第1吸着部材及び第2吸着部材は前記基準部材に対し前記一方向に垂直の方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の少なくとも一方は前記基準部材に対し前記一方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の夫々一部又は全部に前記第2孔が設けられていることを特徴とする基板矯正保持装置。前記基板は、ガラス基板であり、このガラス基板の貼り合わせ装置に使用されるものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板矯正保持装置。上述のごとく、従来の薄いガラス基板を貼り合わせる貼り合わせ装置において、ガラス基板の反り及びたわみ等により高精度で貼り合わせることができないという問題点があった。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、基板に反り又はたわみがあっても、それを矯正して、高精度で他の基板又は部材に貼り合わせることができる基板矯正保持装置を提供することを目的とする。本発明に係る基板矯正保持装置は、上面が平坦で前記上面から空気を吸引する多数の第1孔が設けられた台座と、下面に基板を吸着するために下面から空気を吸引する多数の第2孔が設けられたアームと、前記アームを移動させる駆動装置と、を有し、前記アームは、一方向に延びる第1吸着部材及びこの第1吸着部材に平行に延びる第2吸着部材を有し、前記第1吸着部材及び第2吸着部材は前記一方向に垂直の方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の少なくとも一方は前記一方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の夫々一部又は全部に前記第2孔が設けられていることを特徴とする。本発明に係る他の基板矯正保持装置は、上面が平坦で前記上面から空気を吸引する多数の第1孔が設けられた台座と、下面に基板を吸着するために下面から空気を吸引する多数の第2孔が設けられたアームと、前記アームを移動させる駆動装置と、を有し、前記アームは、一方向に延びる基準部材と、この基準部材の両端部に設けられ前記一方向に垂直の方向に延びる第1吸着部材及び第2吸着部材と、を有し、前記第1吸着部材及び第2吸着部材は前記基準部材に対し前記一方向に垂直の方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の少なくとも一方は前記基準部材に対し前記一方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の夫々一部又は全部に前記第2孔が設けられていることを特徴とする。この基板矯正保持装置において、例えば、前記基板は、ガラス基板であり、このガラス基板の貼り合わせ装置に使用されるものである。本発明においては、基板を平坦な台座に吸着して基板の反り又はたわみを矯正し、この反り又はたわみがない状態で、基板をアームに吸着して、駆動装置によりアームを移動させて、所定の例えば貼り合わせ装置に基板を送給するから、基板に反り又はたわみがない状態で、基板を他の基板又は部材に貼り合わせることができる。よって、基板の貼り合わせを高精度で実施することができる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1aに示すように、本実施形態の基板矯正保持装置が保持すべきガラス基板1は、例えば、下に凸に反っており、たわみが生じているとする。本実施形態の基板矯正保持装置においては、台座2が設置されており、この台座2は、その上面が水平かつ平坦であり、この上面に開口する多数の微細な孔2aが形成されていて、この孔2aを介して、台座2の上面から空気を吸引することができるようになっている。そして、この台座2の上方に、アーム3が移動できるように、適宜のガイド図示せずに案内支持され、適宜の駆動装置図示せずにより駆動されるようになっている。このアーム3は、図3aに示すように、平面視で、棒状の基準部材3aと、この基準部材3aの両端部に配設された棒状の第1吸着部材3bと第2吸着部材3cとから構成されている。この第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cはいずれも基準部材3aの長手方向に垂直の方向に延びており、基準部材3aと第1及び第2吸着部材3b、3cとは相互に直交している。そして、図3bに示すように、基準部材3aに対し、第1吸着部材3bはその長手方向に移動可能であり、第1吸着部材3bは基準部材3aに対する第1吸着部材3bの長手方向の位置を調整することができる。また、第2吸着部材3cも、基準部材3aに対して、第2吸着部材3cの長手方向に移動可能であり、この方向の位置を調整することができる。更に、基準部材3aは、その長さを変更可能に、即ち伸縮可能になっており、基準部材3aとこの基準部材3aの一方の端部に配置された第2吸着部材3cとは、一体的に基準部材3aの長手方向に移動することができる。これらの基準部材3aに対する第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cの位置の調整並びに基準部材3aの長さ調整は、手動により行えば良いが、適宜の駆動装置により位置調整することもできる。第2吸着部材3b及び第3吸着部材3cの前方の一部の下面には、図5に示すように、下面に開口する複数個の孔3eが形成されており、これらの孔3eは、第2吸着部材3b及び第3吸着部材3cの内部を貫く1個の空気通路3fに連通している。そして、この空気通路3f及び孔3eを介して、第2吸着部材3b及び第3吸着部材3cの下面から空気を吸引することにより、この孔3eの形成位置に、ガラス基板1の領域1a、1bを吸着するようになっている。また、第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cの下面には、閉塞板3dが設置されていて、この閉塞板3dは前記下面に沿って移動することができるようになっている。これにより、閉塞板3dは孔3eにおけるガラス基板1の領域1a1bの吸着に関与しないガラス基板1の領域1a1bにより閉塞されない孔3eを閉塞し、空気の吸引圧力が低下してしまうことを防止している。保持及び矯正対象のガラス基板1には、図2a乃至eに平面図を示すように、種々の形状がある。図2aは、通常の矩形の形状をなし、その幅方向の両端部の帯状の領域1a、1bは、吸着用部材が接触できる領域である。この領域1a、1bに挟まれた領域1c1がマイクロレンズ等が設けられる実用領域である。図2bは実用領域1c2の一方の端部が短く、他方の端部が長い台形状をなしており、従って、ガラス基板としても、一方の端部の保持領域1aが短く、他方の端部の保持領域1bが長い。図2cは、実用領域1c3が領域1c2の逆の形状を有する。図2d及び図2eは実用領域1c4及び実用領域1c5が相互に逆方向に傾斜した平行四辺形の形状を有する。このため、図4a乃至eに示すように、アーム3はこのガラス基板1を種々の態様で保持することになる。即ち、図5に示すように、第1及び第2の吸着部材3b、3cの下面における孔3eが形成された部分がガラス基板1の接触可能の領域1a、1bに重なるように、第1及び第2の吸着部材3b、3cの位置を調節する。具体的には、図4aに示すように、ガラス基板1が矩形の場合は、第1及び第2の吸着部材3b、3cの基準部材3aからの突出長さは同一である。図4bに示すように、ガラス基板1の領域1c2が、図示上で、上の方の辺が短い場合には、第1吸着部材3bは基準部材3aに対して、図示上の右方に若干移動させて、第1吸着部材3bがガラス基板1の領域aの直上域から突き出ないようにする。逆に、図4cに示すように、第2吸着部材3cを基準部材3aに対して右方に移動させて、第2吸着部材3cがガラス基板1の接触可能領域1bの直上域から突き出ないようにする。図4d、eに示すように、ガラス基板1が平行四辺形をなす場合も、その接触可能領域1a、1bの位置に合わせて、第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cの基準部材3aに対する相対的位置を決定する。なお、領域1a、1bの長さが短い場合には、図5に示すように、閉塞板3fを領域1a、1bの位置に合わせて移動させ、孔3dのうち、ガラス基板1の上面に接触してしないものを、閉塞しておく。次に、上述のごとく構成された本実施形態の動作について説明する。図6及び図7と図1に示すように、湾曲したガラス基板1を、台座2の上に載置し、ガラス基板1の全面について、孔2aから空気を吸引することにより、ガラス基板1を台座2に吸着する。この台座2における吸着により、ガラス基板1は、反り又はたわみがあったとしても、台座2の上面に吸着することにより、台座2の平坦な上面に沿って成形され、反り又はたわみが矯正される。その後、図1b、cに示すように、台座2上のガラス基板1に対し、アーム3を下降させて、アーム3の第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cの孔3dを介して空気を吸引し、第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cにより、ガラス基板1をその領域1a、1bにて吸着する。その後、台座2の空気吸引を停止し、図1dに示すように、アーム3がガラス基板1を吸着した状態で上昇する。次いで、図6及び図7に示すように、アーム3は、ガラス基板1を保持したまま、台座2に隣接して配置された貼り合わせ装置4に、ガラス基板1を搬送する。貼り合わせ装置4においては、その下方に透過照明光源4aが上方に向けて透過照明光を出射するようになっており、上方における透過照明光の光軸上に、透過光を検出するカメラ4bが配置されている。そして、この貼り合わせ装置4の所定の貼り合わせ位置には、他のガラス基板10が設置されており、アーム3はガラス基板1を保持したまま、このガラス基板10の直上位置に移動し、そして、アーム3が下降することにより、ガラス基板1を他のガラス基板10上に重ねる。このとき、透過照明光源4aからの透過光が、ガラス基板10,1を透過して、カメラ4bに検出され、ガラス基板10,1に設けておいたアライメントマーク図示せずをカメラ4bが検出することにより、必要に応じてアーム3の位置を調整して、ガラス基板1とガラス基板10とを位置合わせする。そして、アーム3がガラス基板1を保持した状態で、接着剤等により、ガラス基板1とガラス基板10とを貼り合わせる。その後、アーム3の第1及び第2吸着部材3b、3cからの空気吸引を停止し、アーム3は元の位置に戻る。このようにして、台座2上でガラス基板1の反り及びたわみが矯正され、平坦になったガラス基板1をその状態でアーム3がガラス基板1の両側部の領域1a、1bで吸着するので、台座2によるガラス基板1の吸着が解除されても、ガラス基板1に反り又はたわみが再度生じることはない。そして、他のガラス基板10との貼り合わせに際しても、アーム3はガラス基板1の領域1a、1bを吸着した状態で、ガラス基板1とガラス基板10に接着するので、ガラス基板1に反り又はたわみが戻ってしまうことはない。そして、保持すべきガラス基板1には、種々の大きさが存在するが、本発明のアーム3は、その第1吸着部材3bと第2吸着部材3cとの間隔を調整できるので、種々の大きさのガラス基板に対して汎用性がある。また、保持すべきガラス基板1には、種々の形状が存在するが、本発明のアーム3は、その第1吸着部材3bと第2吸着部材3cの基準部材3aに対する位置を調整できるので、第1吸着部材3bの空気吸引による吸着部の位置を、第2吸着部材3cの空気吸引による吸着部の位置とを、独立して調整することができるため、種々の形状のガラス基板についても、その形状に合わせてアーム3が吸着することができる。このため、第1,第2吸着部材3b、3cがガラス基板1からはみ出て突出してしまうことがなく、駆動装置によりアーム3が移動して貼り合わせ装置4にガラス基板1を設置する際、第1,第2吸着部材3b、3cの余分な部分が貼り合わせ装置4の部材に干渉して、その動作を阻害してしまうことがない。本発明は上述の実施形態に限らないことは勿論である。例えば、本発明は、マイクロレンズアレイを構成する複数のガラス基板を積層して貼り合わせる場合に限らず、基板に反り又はたわみがある場合の種々の用途に使用することができる。また、第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cは、基準部材3aに移動可能に設けられて、基準部材3aと共に搬送される場合に限らず、例えば、第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cを装置本体に設置して、装置本体に対し、第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cの長手方向及びこの方向に直交する方向に移動可能に設置することもできる。基板を吸着する第1吸着部材3b及び第2吸着部材3cがアームは、夫々一方向に相互に平行に延びると共に、前記一方向に垂直の方向に相対的に移動可能であり、前記第1吸着部材及び第2吸着部材の少なくとも一方が前記一方向に相対的に移動可能であれば良い。"