"回路基材を保持する基材保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を部品保持具により受け取り、前記基材保持装置に保持された回路基材に装着する装着ヘッドと、駆動源および運動伝達装置を備えて前記基材保持装置と前記装着ヘッドとを、基材保持装置に保持された回路基材の表面に平行な方向に相対移動させることにより、それら基材保持装置と装着ヘッドとの相対位置決めを行う位置決め装置とを含む電子回路部品装着機において、前記位置決め装置のバックラッシが過大になったことを検出する方法であって、前記基材保持装置と前記装着ヘッドとの一方に対して被検出部を、他方に対してその被検出部を撮像する撮像装置をそれぞれ固定的に設けるとともに、前記位置決め装置に前記駆動源の作動位置を検出する作動位置検出装置を設け、前記駆動源を正方向と逆方向とに引き続いて作動させ、正方向に作動させた場合の前記作動位置検出装置の検出値と前記撮像装置の画面内における前記被検出部の像の位置との関係と、逆方向に作動させた場合の前記検出値と前記像の位置との関係とに基づいて、前記位置決め装置のバックラッシを検出し、その検出したバックラッシが設定バックラッシ値を超えた場合に、前記位置決め装置のバックラッシ過大を検出することを特徴とする電子回路部品装着機のバックラッシ過大検出方法。前記運動伝達装置が、互いに螺合した雄ねじ部材とナットとを含む送りねじ機構を含み、前記バックラッシがその送りねじ機構のバックラッシを含む請求項1に記載のバックラッシ過大検出方法。前記装着ヘッドが、電子回路部品を負圧により吸着して保持する吸着ノズルを備え、前記位置決め装置が、その吸着ノズルを、前記基材保持装置に保持された回路基材の表面に平行な方向に移動させて、その吸着ノズルを回路基材に対して位置決めする吸着ノズル位置決め装置を含む請求項1または2に記載のバックラッシ過大検出方法。回路基材を保持する基材保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を部品保持具により受け取り、前記基材保持装置に保持された回路基材に装着する装着ヘッドと、駆動源および運動伝達装置を備えて前記基材保持装置と前記装着ヘッドとを、基材保持装置に保持された回路基材の表面に平行な方向に相対移動させることにより、それら基材保持装置と装着ヘッドとの相対位置決めを行う位置決め装置とを含む電子回路部品装着機において、少なくとも前記位置決め装置のバックラッシ過大を含む複数種類の原因に起因する位置決め不良を検出するとともにその位置決め不良の原因を推定する方法であって、前記基材保持装置と前記装着ヘッドとの一方に対して被検出部を、他方に対してその被検出部を撮像する撮像装置をそれぞれ固定的に設けるとともに、前記位置決め装置に前記駆動源の作動位置を検出する作動位置検出装置を設け、前記駆動源を正方向と逆方向とに、前記作動位置検出装置の検出値が互いに同じになるまで作動させた場合の、前記撮像装置の画面内における前記被検出部の2つの像のずれ量を検出し、そのずれ量に基づいてバックラッシを検出して、その検出したバックラッシが設定バックラッシを超えた場合に前記位置決め不良を検出するとともに、その位置決め不良の原因を前記位置決め装置におけるバックラッシの過大と推定することを特徴とする電子回路部品装着機の位置決め不良検出方法。本発明は上記の事情の下に為されたものであり、電子回路部品装着機において基材保持装置と装着ヘッドとの相対位置の位置決めを行う装置の過大なバックラッシを検出する方法および位置決め不良を検出する方法の提供を課題とする。上記の課題は、回路基材を保持する基材保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を部品保持具により受け取り、前記基材保持装置に保持された回路基材に装着する装着ヘッドと、駆動源および運動伝達装置を備えて前記基材保持装置と前記装着ヘッドとを、基材保持装置に保持された回路基材の表面に平行な方向に相対移動させることにより、それら基材保持装置と装着ヘッドとの相対位置決めを行う位置決め装置とを含む電子回路部品装着機において、前記基材保持装置と前記装着ヘッドとの一方に対して被検出部を、他方に対してその被検出部を撮像する撮像装置をそれぞれ固定的に設けるとともに、前記位置決め装置に前記駆動源の作動位置を検出する作動位置検出装置を設け、前記駆動源を正方向と逆方向とに引き続いて作動させ、正方向に作動させた場合の前記作動位置検出装置の検出値と前記撮像装置の画面内における前記被検出部の像の位置との関係と、逆方向に作動させた場合の前記検出値と前記像の位置との関係とに基づいて、前記位置決め装置のバックラッシを検出し、その検出したバックラッシが設定バックラッシ値を超えた場合に、前記位置決め装置のバックラッシ過大を検出することにより解決される。上記の課題はまた、回路基材を保持する基材保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を部品保持具により受け取り、前記基材保持装置に保持された回路基材に装着する装着ヘッドと、駆動源および運動伝達装置を備えて前記基材保持装置と前記装着ヘッドとを、基材保持装置に保持された回路基材の表面に平行な方向に相対移動させることにより、それら基材保持装置と装着ヘッドとの相対位置決めを行う位置決め装置とを含む電子回路部品装着機において、少なくとも前記位置決め装置のバックラッシ過大を含む複数種類の原因に起因する位置決め不良を検出するとともにその位置決め不良の原因を推定する方法を、前記基材保持装置と前記装着ヘッドとの一方に対して被検出部を、他方に対してその被検出部を撮像する撮像装置をそれぞれ固定的に設けるとともに、前記位置決め装置に前記駆動源の作動位置を検出する作動位置検出装置を設け、前記駆動源を正方向と逆方向とに、前記作動位置検出装置の検出値が互いに同じになるまで作動させた場合の、前記撮像装置の画面内における前記被検出部の2つの像のずれ量を検出し、そのずれ量に基づいてバックラッシを検出して、その検出したバックラッシが設定バックラッシを超えた場合に前記位置決め不良を検出するとともに、その位置決め不良の原因を前記位置決め装置におけるバックラッシの過大と推定することにより解決される。位置決め装置にバックラッシがあれば、駆動源を正方向と逆方向とにそれぞれ引き続いて作動させた場合、それら作動の少なくとも一方において被検出部と撮像装置との相対位置が、バックラッシがない場合とは異なる位置となる。したがって、各作動において撮像により得られる被検出部の像の位置と、バックラッシがない場合に作動位置検出装置の検出値に対して予定された被検出部の像の位置とのずれの差の絶対値がバックラッシの大きさに相当し、その絶対値の設定バックラッシ値との比較によりバックラッシ過大を検出することができる。位置ずれは、駆動源の正,逆方向の各作動毎に正負の符号を付して算出されるが、各位置ずれは正負の符号を異にし一方の位置ずれが0の場合を含む、それらの差の絶対値に基づいてバックラッシ量が得られる。被検出部の2つの像の各位置ずれの差が求められることにより誤差、例えば、撮像装置と装着ヘッドとの位置決め誤差やそれらの組付誤差があっても相殺され、バックラッシ量が取得される。このように被検出部の撮像に基づいて過大なバックラッシの検出を行えば、回路基材への電子回路部品の装着後の検査において装着精度の低下が検出される場合に比較して早くバックラッシ過大を検出することができ、不良な製品の発生を回避することができる。駆動源は、正方向と逆方向とにおいて作動位置検出装置の検出値が同じになるまで作動させてもよく、各方向について予め設定された異なる検出値になるまで作動させてもよい。位置決め装置の位置決め不良は種々の原因により生じる。バックラッシ過大はその1つであり、本発明に係る位置決め不良検出方法によれば、バックラッシ過大を原因とする位置決め不良を検出することができる。また、駆動源の正方向と逆方向とへの各作動時における作動位置検出装置の検出値が同じにされる場合には、位置決め不良検出時における駆動源の制御が容易である。さらに、他の原因が無い限り、各作動における撮像により得られる被検出部の2つの像のずれ量の絶対値自体がバックラッシ量となり、例えば、ずれ量の表示によりバックラッシ量が表示され、作業者にわかり易い。以下、請求可能発明のいくつかの実施形態を、上記各図を参照しつつ説明する。なお、請求可能発明は、下記実施形態の他、上記発明の態様の項に記載した態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。図1に、電子回路部品装着システム以後、装着システムと略称するの外観を示す。本装着システムは、複数の装着モジュール10が、共通で一体のベース12上に、互いに隣接して1列に配列されて固定されることにより構成されている。複数の装着モジュール10はそれぞれ、対回路基材作業機の一種である電子回路部品装着機であり、回路基材の一種である回路基板への電子回路部品の装着を分担し、並行して行う。装着モジュール10については、例えば、特開2004-104075公報に詳細に記載されており、本請求可能発明に関する部分以外の部分については簡単に説明する。各装着モジュール10はそれぞれ、図2に示すように、装着機本体たるモジュール本体18,基材搬送装置たる基板搬送装置20,基材保持装置たる基板保持装置22,部品供給装置24,装着装置26,基準マーク撮像装置28図4参照,部品撮像装置30および制御装置32図11参照を備えている。基板搬送装置20は、図2に示すように、本実施形態においては2つのコンベヤ50,52を備え、モジュール本体18を構成するベッド36の、装着モジュール10の前後方向の中央部に設けられ、回路基板54を複数の装着モジュール10が並ぶ方向と平行な方向であって、水平な方向に搬送する。本実施形態においては、回路基板54の搬送方向をX軸方向、水平な一平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向とする。装着モジュール10の左右方向ないし幅方向はX軸方向に平行であり、前後方向はY軸方向に平行である。回路基板54の搬送には、コンベヤ50,52の少なくとも一方が使用される。ベッド36上には、図2に示すように、X軸方向に平行に延び、対を成すサイドフレーム56,58が2対、Y軸方向に並んで設けられている。本装着モジュール10においては、装着モジュール10の前面側に設けられたコンベヤ50が設けられたサイドフレーム56,58のうち、前面側に位置するサイドフレーム56はベッド36に位置を固定して設けられ、サイドフレーム58およびコンベヤ52が設けられたサイドフレーム56,58はY軸方向に移動可能に設けられ、幅変更装置図示省略により移動させられてコンベヤ50,52の基板搬送幅が変更可能とされている。本実施形態においては、図3に示すように、2対のサイドフレーム56,58のうちの1つ、例えば、固定のサイドフレーム56の上面に基準マーク59が少なくとも1つ、例えば、複数あるいは3つ以上、本実施形態においては3つ、基板搬送方向に平行な方向に適宜の間隔を隔てて、本実施形態においては等間隔に設けられている。基準マーク59は、本実施形態においては平面視の形状が円形を成すものとされ、サイドフレーム56の上面に印刷,シールの貼付等、適宜の手段によって設けられている。以後、基準マーク59をレール基準マーク59と称する。基板保持装置22は、図2に示すように、2つのコンベヤ50,52の各々について設けられ、本実施形態においては、図示は省略するが、基板支持装置および一対のクランプ部材を含み、回路基板54を、その表面である被装着面が水平となる姿勢で保持する。本基板支持装置は、それぞれ回路基板54を下方から支持する支持部材たる複数の支持ピンを含み、一対のクランプ部材は、前記サイドフレーム56,58に設けられた押さえ部と共同して回路基板54の搬送方向に平行な両側縁部を保持する。サイドフレーム56,58は基板保持装置22の構成要素でもあり、レール基準マーク59は基板保持装置22に固定して設けられた被検出部を構成する。部品供給装置24は、図2に示すように、ベッド36の基板搬送装置20に対してY軸方向の一方の側であって、装着モジュール10の前面側に設けられている。部品供給装置24は、例えば、部品供給具たるフィーダの一種である複数のテープフィーダ以後、フィーダと略称する60により電子回路部品を供給するものとされている。装着装置26は、図4に示すように、装着ヘッド7070a,70b,70cと、装着ヘッド70を移動させるヘッド移動装置72とを備えている。ヘッド移動装置72は、X軸方向移動装置80およびY軸方向移動装置82を備えている。Y軸方向移動装置82は、本実施形態においては、モジュール本体18を構成するクラウン84に、部品供給装置24の部品供給部と2つの基板保持装置22とに跨って設けられたリニアモータ90を備え、可動部材たる移動部材としてのY軸スライド92をY軸方向の任意の位置へ移動させるものとされている。Y軸スライド92の移動位置はリニアスケール94図11参照により検出される。本実施形態においては、X軸方向移動装置80はY軸スライド92上に設けられ、図5に示すように、Y軸スライド92に対してX軸方向に移動させられるとともに、互いにX軸方向に相対移動させられる可動部材たる移動部材としてのX軸スライド100,102と、それらスライド100,102をそれぞれ、X軸方向に移動させるX軸スライド駆動装置104,106とを備えている。X軸スライド駆動装置104,106はそれぞれ、例えば、駆動源たる電動モータ110と、互いに螺合した雄ねじ部材112とナット114とを含み、運動伝達装置たる送りねじ機構116とを含むものとされている。X軸スライド102およびX軸スライド駆動装置106はX軸スライド100上に設けられ、X軸スライド100,102はそれぞれ、モジュール本体18に対してX軸方向において正逆両方向に移動させられ、X軸方向の任意の位置へ移動させられる。本実施形態においては、送りねじ機構116はボールねじ機構とされている。X軸スライド駆動装置104,106の各送りねじ機構116は、各ナット114がそれぞれX軸スライド100,102に固定され、各雄ねじ部材112がそれぞれY軸スライド92,X軸スライド100に回転可能かつ軸方向に相対移動不能に取り付けられたものとされており、雄ねじ部材112が電動モータ110により回転させられる。電動モータとして、本実施形態においては、エンコーダ付きのサーボモータが使用されている。サーボモータは回転角度の制御が可能な電動モータである。パルスモータの採用も可能である。X軸スライド100,102の両方によって装着ヘッド70を移動させることにより、装着ヘッド70に、隣接する2つの装着モジュール10に跨って保持された回路基板54の、2つの装着モジュール10の境界部分に位置する領域に電子回路部品の装着を行わせることができる。装着モジュール10内に設定された装着領域における回路基板54への電子回路部品の装着は、X軸スライド駆動装置106によるX軸スライド102の駆動のみにより行われる。X軸スライド駆動装置104によるX軸スライド100の駆動のみによっても、装着ヘッド70を装着モジュール10内の装着領域をX軸方向に移動させることができる。ヘッド移動装置は、X軸スライド上にY軸方向移動装置が設けられたものとされてもよい。装着ヘッド70は、部品保持具の一種である吸着ノズル120120a,120b,120cによって電子回路部品を負圧により吸着し、保持するものとされている。図6に示すように、吸着ノズル120を保持し、保持具保持部を構成するノズルホルダ122122a,122b,122cの数を異にする複数種類の装着ヘッド70が用意され、電子回路部品が装着される回路基板54の種類に応じて選択的にX軸スライド102に取り付けられる。例えば、図6に示す装着ヘッド70aはノズルホルダ122aを1つ備え、吸着ノズル120aが1つ保持される。図6に示す装着ヘッド70bは、ノズルホルダ122bを複数、例えば3個以上図示の例では12個備え、吸着ノズル120bが最大12個保持され得る。図6に示す装着ヘッド70cは、ノズルホルダ122cを複数備え、装着ヘッド70aと70bとの中庸的な特性を有する。装着ヘッド70a,70b,70cはそれぞれ、図7に概略的に示すようにヘッド本体124a,124b,124cを備え、ノズルホルダ122a,122b,122cはそれぞれ、ヘッド本体124a,124b,124cに設けられたホルダ昇降装置により昇降させられ、ホルダ回転装置により自身の軸線まわりに回転させられる。また、吸着ノズル120a,120b,120cについて設けられたバルブ図示省略の切換えにより、吸着ノズル120a,120b,120cへの負圧および正圧の供給が許容,遮断される。装着ヘッド70bにおいて12個のノズルホルダ122bは、図8に示すように、ヘッド本体124bにより鉛直軸線まわりに回転可能に保持された回転体130の回転軸線を中心とする一円周上に等角度間隔に設けられている。12個のノズルホルダ122bは、回転体130が回転体回転装置132によって回転させられることにより、順次、部品吸着装着位置に位置決めされ、ホルダ昇降装置134により昇降させられる。ノズルホルダ122bはまた、ホルダ回転装置136により、自身の軸線まわりに回転させられる。装着装置26がモジュール本体18に設けられるにあたり、図示は省略するが、装着装置26を構成する種々の部材の締結にボルトおよびナットを始めとする締結装置が用いられる。代表的には、例えば、送りねじ機構116の雄ねじ部材112およびナット114のY軸スライド92,X軸スライド100,102への取付けに使用される。また、ヘッド本体124a,124b,124cおよび回転体130が複数の部材が互いに一体的に組み付けられて成る場合、その組付けにボルトおよびナットが使用され得る。ヘッド本体124a,124b,124cにはそれぞれ、図7に示すように、X軸スライド102に取り付けられた状態において下向きとなり、かつ下方から撮像可能な面に基準マーク140a,140b,140c以後、ヘッド基準マーク140a,140b,140cと称するが設けられ、被検出部を構成している。ヘッド基準マーク140a,140b,140cは、本実施形態においては平面視の形状が円形を成し、印刷,シールの貼付等、適宜の手段によって1個ずつ設けられている。ヘッド本体124が複数の部材が一体的に組み付けられて成る場合、ヘッド基準マーク140は、複数部材のうち、ノズルホルダ122を保持する部材に設けられることが望ましい。装着ヘッド140bにおいて回転体130にヘッド基準マーク140が設けられてもよい。装着ヘッド70a,70b,70cはそれぞれ、図9および図10に示すヘッド取付装置148によりX軸スライド102に着脱自在に取り付けられ、ヘッド移動装置72により、基板保持装置22に保持された回路基板54の水平な表面に平行な方向に移動させられ、部品供給装置24の供給部と2つの基板保持装置22とに跨る移動平面内の任意の位置へ移動させられる。装着ヘッド70a,70b,70cのX軸スライド102に取り付けられる部分は同様に構成されており、X軸スライド102に選択的に取り付けられる。ヘッド取付装置148は、特開2004-221518公報に記載のヘッド取付装置と同様に構成されており、装着ヘッド70aを例に取って簡単に説明する。本ヘッド取付装置148は、図9に示すように、位置決め装置150およびクランプ装置152を含む。位置決め装置150は、ヘッド本体124aの背面部154の下部に設けられた2つの脚部156,上部に設けられた係合ブロック158,X軸スライド102の正面部160の下部に設けられた2つの脚部支承部162,脚部支承部162のやや上方に設けられた2つの下部係合ローラ164,2つの下部係合ローラ164の上方であって、正面部160の上部に設けられた係合穴166内に設けられた2つの上部係合ローラ168を含む。クランプ装置152は、図10に示すように、係合ブロック158の上部に回転可能に設けられた掛止ローラ170に掛止ピン172を掛合させる構造とされている。掛止ピン172は正面部160の上部に上下方向に移動可能に嵌合され、掛止ピン作動装置180により移動させられる。掛止ピン作動装置180は、ロッド182と、そのロッド182の一端部に偏心して設けられた円盤状のカム板184と、ロッド182を回転可能に支持する概ねパイプ状のロッド支持部材186と、ロッド182の他端部に設けられてロッド182を回転させるための操作部を構成するグリップ188とを含んで構成される。掛止ピン作動装置180は、ロッド支持部材186においてX軸スライド102の正面部160の上部に、ボルトおよびナットによって取り付けられている図9参照。掛止ピン172の上部には、カム板184の外径より若干大きな幅の溝190が形成され、この溝190にカム板184が係合するようにされている。装着ヘッド70aのX軸スライド102に対する取付け,取外しは作業者により行われる。取付け時には、作業者はグリップ188を一方向本実施形態では正面から見て反時計回りに回転させ、カム板184により掛止ピン172を上方に移動させた状態で、先端が楔形状とされた脚部156をV字状とされた脚部支承部162に嵌め合わせる。これにより、装着ヘッド70aのX軸スライド102に対する上下方向の位置およびヘッド本体124aの下部の前後方向の位置が規定される。また、脚部156上部の間隔が小さくされた部分の対向する側面が、2つの下部係合ローラ164の各々の外周面に係合し、係合ブロック158の両側面が、2つの上部係合ローラ168の間に嵌まり込むことより、装着ヘッド70aのX軸スライド102に対する左右方向の位置が規定される。この状態で作業者は、グリップ188を反対方向本実施形態では正面から見て時計回りに回転させる。それにより、掛止ピン172は下降し、その下端部に形成された傾斜面192が掛止ローラ170の外周に当接するとともに、傾斜面192の作用により、装着ヘッド70aを下方に押し付け、さらにヘッド本体124aが殆ど隙間なくX軸スライド102に押し付けられる状態で掛止ローラ170を掛止し、ヘッド本体124aの上部が前後方向に位置決めされる。本実施形態においては、掛止ピン172および掛止ローラ170は位置決め装置の構成要素でもある。掛止状態は、カム板184の外周と溝190の下側面との間に生じる摩擦力、およびロッド182とロッド支持部材186との間に設けられた捻りバネ194によるロッド182の掛止ピン172が下方に向かう方向の付勢により維持される。装着ヘッド70aをX軸スライド102から離脱させるには、逆方向にグリップ188を回転させればよい。前記基準マーク撮像装置28は、図4に示すように、X軸スライド102に搭載され、ヘッド移動装置72により装着ヘッド70と共に移動させられ、回路基板54の被装着面に設けられた基準マークである基板基準マーク196図3参照を撮像する。ヘッド移動装置72は、基準マーク撮像装置移動装置を兼ねている。基準マーク撮像装置28はX軸スライド102に、例えば、ボルトおよびナットを用いて固定され、装着ヘッド70に対して固定的に設けられている。基板基準マーク196は複数、例えば、2個、対角線方向に隔たって設けられている。基準マーク撮像装置28は、例えば、CCDカメラあるいはCMOSカメラにより構成されている。部品撮像装置30は、図2に示すように、ベッド36の部品供給装置24と基板搬送装置20との間の部分に、例えば、ボルトおよびナットを用いて位置を固定して設けられている。部品撮像装置30は、本実施形態においては、装着ヘッド70bにより保持可能な最大数の吸着ノズル120bが保持された状態において、それら吸着ノズル120bの全部に保持された電子回路部品を同時に撮像し得るものとされている。基板保持装置22および部品撮像装置30はいずれもベッド36に設けられ、部品撮像装置30は基板保持装置22に固定的に設けられている。前記制御装置32は、図11に示すように、制御コンピュータ200を主体として構成されており、駆動回路202を介してリニアモータ90等、装着モジュール10を構成する種々の装置の駆動源等を制御し、制御回路204を介して表示画面206を制御する。制御回路204および表示画面206により報知装置たる表示装置208が構成され、文字,図形等により種々の情報等が表示される。報知装置としては、ランプの点灯,点滅、ブザーの鳴動,音声によるアナウンス,作業者が有する携帯端末への通信等、種々の態様で情報を報知する装置が採用可能である。制御コンピュータ200の入出力インタフェースには、基準マーク撮像装置28および部品撮像装置30の撮像により得られたデータを処理する画像処理コンピュータ212,X軸スライド102への装着ヘッド70の取付けを検出するヘッド検出センサ214,リニアスケール94および電動モータ110等に設けられたエンコーダ216図11には1つが代表して図示されている等が接続されている。ヘッド検出センサ214は、本実施形態においてはX軸スライド102に設けられ、非接触センサの一種である光電センサたる反射型の光電センサにより構成されている。ヘッド検出センサ214は、装着ヘッド70がX軸スライド102に取り付けられた状態ではON信号を出力し、取り外された状態ではOFF信号を出力するように構成され、複数種類の装着ヘッド70のいずれについてもX軸スライド102への取付けを検出し得るように設けられている。入出力インタフェースにはまた、他の装着モジュール10の制御装置32および装着システム全体を統括制御するシステム制御装置220が通信ケーブル222を介して接続されている。さらに、制御コンピュータ200のRAMには、図12ないし図14にフローチャートで表すルーチンを始めとし、回路基板54への電子回路部品の装着のための種々のプログラムおよびデータ等が記憶させられている。図12ないし図14に示すルーチンの実行により、基板保持装置22と装着ヘッド70との相対位置決め不良の検出,不良原因の推定および報知が行われる。本実施形態においては、装着モジュール10の運転開始が指示された後、通常運転の開始前に、X軸スライド駆動装置104,106の各送りねじ機構116のバックラッシの過大,基準マーク撮像装置28側および装着ヘッド70側においてボルトおよびナットによって互いに固定された複数部材の緩みずれ,強制ずれ,装着ヘッド70の取付不良および不明な原因による相対位置決め不良の検出,原因推定および報知が行われ、通常運転中に雄ねじ部材112の熱膨張,緩みずれ,強制ずれおよび不明な原因による位置決め不良の検出,原因推定および報知が行われる。過大なバックラッシは時間をかけて発生し、装着ヘッド70の取付け方の不良は運転中には発生しないため、それらを原因とする相対位置決め不良の検出は、本実施形態においては通常運転の開始前にのみ行われる。本ルーチンは、基準マーク撮像装置28によるレール基準マーク59の撮像に基づいてバックラッシの過大,緩みずれ,強制ずれ,熱膨張および不明な原因による位置決め不良の検出,不良原因の推定および報知が行われ、部品撮像装置30によるヘッド基準マーク140の撮像に基づいて、装着ヘッド70の取付不良,緩みずれ,強制ずれおよび不明な原因による位置決め不良の検出,不良原因の推定および報知が行われるように構成されている。また、X軸方向移動装置80を構成する2つのX軸スライド駆動装置104,106が個別に作動させられ、各作動毎に位置決め不良が検出される。本ルーチンは、装着モジュール10の運転開始指示により開始される。運転開始指示は、例えば、システム制御装置220から全部の装着モジュール10の各制御コンピュータ200へ送られる。そして、ステップ1以後、S1と略記する。他のステップについても同じ。では、装着モジュール10の停止継続時間が記憶されるとともに、運転継続時間の計測が開始される。継続時間は、本実施形態においては、制御コンピュータ200に設けられた時計の時刻の読込みにより取得される。そのため、S1においては時刻が読み込まれる。この時刻は停止終了時刻であり、運転開始時刻でもある。停止継続時間は装着モジュール10の前回の運転の停止から今回の運転の開始までの時間であり、S1において読み込まれた時刻および停止時刻メモリに記憶させられている停止時刻から停止継続時間が算出され、停止継続時間メモリに記憶させられる。また、読み込まれた時刻が運転開始時刻メモリに記憶させられる。停止時刻メモリ,停止継続時間メモリおよび運転開始時刻メモリは制御コンピュータ200のRAMに設けられて記憶手段を構成する。以下に説明する他のメモリについても同様である。次いでS2~S13が実行され、まず、X軸スライド102およびX軸スライド駆動装置106の作動による基準マーク撮像装置28の移動,レール基準マーク59の撮像およびその撮像に基づくバックラッシの過大,緩みずれ,強制ずれおよび不明な原因による位置決め不良の検出が行われる。ここではX軸スライド100はY軸スライド92に対して停止させられ、X軸方向においてはX軸スライド102のみが移動させられて検出が行われる。S2においては、レール基準マーク59の撮像が行われる。本実施形態においては、サイドフレーム56に設けられた3つのレール基準マーク59のうちの予め定められた1つ、例えば、真中のレール基準マーク59の撮像に基づいて不良の検出が行われる。3つのレール基準マーク59をそれぞれ撮像すれば、雄ねじ部材112全体についてバックラッシの発生状態を取得することができるが、ここでは説明を簡単にするために雄ねじ部材112の雄ねじ山の摩耗が最も大きいと推測される部分、例えば、X軸スライド102の移動経路が最も重複する部分である中央部に対応する真中のレール基準マーク59を撮像することとする。基準マーク撮像装置28はX軸スライド駆動装置106によるX軸スライド102の駆動により、予め設定された撮像位置、本実施形態においては、撮像画面の中心である撮像中心がレール基準マーク59の中心と一致することが予定された位置へ移動させられ、レール基準マーク59を撮像する。基準マーク撮像装置28の移動位置は撮像中心について設定され、X軸方向においては電動モータ110のエンコーダ216の検出値により規定され、Y軸方向においてはリニアモータ90のリニアスケール94の検出値により規定される。レール基準マーク59の撮像時に予定された基準マーク撮像装置28の移動位置である撮像位置をレール基準マーク正規撮像位置と称し、その撮像位置を規定するエンコーダ216の検出値をレール基準マーク正規撮像位置規定値と称する。レール基準マーク正規撮像位置規定値は、装着モジュール10の設計上、予め設定されている。また、移動時の加,減速度は、通常運転時に装着ヘッド70bを部品供給装置24と基板保持装置22との間で移動させるために設定された大きさとされる。この加,減速度を通常加,減速度と称する。撮像データは画像処理コンピュータ212により処理され、レール基準マーク59の像が得られれば、その像の撮像画面内における位置が算出される。レール基準マーク59の像が得られなければ、基準マーク撮像装置28はレール基準マーク59に対して予め設定された経路に沿って移動させられ、位置を変えて撮像が行われる。この経路は、例えば、図15に示すように、基準マーク撮像装置28がX軸方向およびY軸方向における各位置を交互に異ならされ、レール基準マーク正規撮像位置から離れていく経路であり、経路の方向転換位置図中、黒丸で示す位置において基準マーク撮像装置28が停止させられ、撮像が行われる。このレール基準マーク正規撮像位置とは異なる撮像位置をレール基準マーク走査撮像位置と称する。レール基準マーク走査撮像位置も、エンコーダ216の検出値によって規定されている。レール基準マーク59の像が得られれば、その時点で撮像は終了し、レール基準マーク59の像が得られなければ、基準マーク撮像装置28は次のレール基準マーク走査撮像位置へ移動させられ、撮像が行われる。レール基準マーク59の像が得られれば、そのレール基準マーク走査撮像位置へ基準マーク撮像装置28を移動させた際の電動モータ110のエンコーダ216の検出値がレール基準マーク走査撮像位置規定値メモリに記憶させられる。走査範囲は予め設定されており、レール基準マーク59の像が得られなくても、走査範囲の全部において撮像が行われれば、走査は終了する。そして、S3が実行され、レール基準マーク59の撮像が成功したか否かの判定が行われる。この判定はレール基準マーク59の像が得られたか否かにより行われ、像が得られていればS4が実行され、撮像により取得されたレール基準マーク59の位置が正常な位置であるか否かの判定が行われる。基準マーク撮像装置28がレール基準マーク正規撮像位置に位置する状態での撮像によりレール基準マーク59の像が得られたのであれば、撮像画面内におけるレール基準マーク59の像の中心位置と、撮像画面の中心位置とのX軸方向におけるずれ量が算出され、設定量と比較される。レール基準マーク59の像が、基準マーク撮像装置28がレール基準マーク走査撮像位置に位置する状態での撮像により得られたのであれば、レール基準マーク正規撮像位置とレール基準マーク走査撮像位置とのX軸方向におけるずれ量と、撮像画面内におけるレール基準マーク59の像の中心位置と撮像画面の中心位置とのX軸方向におけるずれ量との和がレール基準マーク59の位置ずれ量であり、設定量と比較される。各ずれ量は、正負の符号を付して求められ、設定量との比較は算出されたレール基準マーク59の位置ずれ量の絶対値について行われる。レール基準マーク59の位置にずれがなく、あるいは、ずれがあっても設定量以下であれば、レール基準マーク59の位置は正常とされ、S5以下のステップの実行により過大なバックラッシの検出等が行われる。この検出は、本実施形態においては、X軸スライド駆動装置106の電動モータ110を、正方向と逆方向とにおいてそれぞれ、エンコーダ216の検出値が同じ値になるまで回転させ、基準マーク撮像装置28を正方向と逆方向とに移動させ、エンコーダ216の同じ検出値により規定される位置においてレール基準マーク59を撮像させ、各撮像により得られた2つのレール基準マーク59の像のずれ量を検出することにより行われる。このエンコーダ216の検出値をバックラッシ過大検出用撮像位置規定値と称し、その規定値により規定される位置をバックラッシ過大検出用撮像位置と称する。S2の実行時にレール基準マーク正規撮像位置での撮像によりレール基準マーク59の像が得られたのであれば、レール基準マーク正規撮像位置規定値がバックラッシ過大検出用撮像位置規定値とされる。また、レール基準マーク走査撮像位置での撮像によりレール基準マーク59の像が得られたのであれば、レール基準マーク走査撮像位置規定値がバックラッシ過大検出用撮像位置規定値とされる。1回目の撮像時における基準マーク撮像装置28の移動方向は、例えば、基準マーク撮像装置28がレール基準マーク59に対してX軸方向において正方向側と負方向側とのいずれに位置するかによって決められる。基準マーク撮像装置28のレール基準マーク59に対する位置は、S2におけるレール基準マーク59の撮像により得られる。また、基準マーク撮像装置28とレール基準マーク59とのX軸方向における距離が設定距離以下であれば、基準マーク撮像装置28は、X軸方向において一旦、撮像時の移動方向とは逆方向へ移動させられ、レール基準マーク59との距離が設定距離を超える位置であって、過大なバックラッシがあっても加速,定速移動の後、減速して停止させられ得る距離となる位置へ移動させられ、その位置からレール基準マーク59に向かって移動させられる。また、移動時の加,減速度は、本実施形態においては前記通常加,減速度より小さくされている。具体的には、加速度は、基準マーク撮像装置28の移動開始時に雄ねじ部材112の雄ねじ山とナット114の雌ねじ山とが当接する際に衝撃により雌ねじ山が雄ねじ山から離れることがなく、当接した状態に保たれる大きさとされ、減速度は、基準マーク撮像装置28の停止時に慣性により雌ねじ山が雄ねじ山から離れることがなく、当接した状態を保って停止させられる大きさとされている。S5において基準マーク撮像装置28の正方向と逆方向とへの移動およびレール基準マーク59の撮像により、2つのレール基準マーク59の像の撮像画面内における各位置が正負の符号を付して取得され、それら位置の差が算出される。この差の絶対値である正逆差が正逆差メモリに記憶させられる。正逆差は、送りねじ機構116のバックラッシや、基準マーク撮像装置28とレール基準マーク59との間においてボルトおよびナットにより締結された複数部材の緩みずれにより生じる。これら部材は、ボルトおよびナットの螺合が緩めば互いにずれ得る状態となる。代表的には、X軸スライド駆動装置104,106の送りねじ機構116とX軸スライド100,102との間、および基準マーク撮像装置28とX軸スライド102との間において緩みずれが生じ得る。但し、緩みずれは、基準マーク撮像装置28が移動させられるとき、その加速度が大きく、ボルトおよびナットによって互いに固定された複数部材に大きい加速度が作用した場合に、それら部材が慣性によってずれるが、加速度が小さい場合には、複数部材がずれないのが普通であるため、本実施形態においては前記移動時の加,減速度が緩みずれは生じない大きさに設定されている。したがって、S5における基準マーク撮像装置28の移動により生じたレール基準マーク59の2つの像の位置ずれは、送りねじ機構116のバックラッシにより生じたものであると見なされ、取得された正逆差はバックラッシ量であり、バックラッシ量メモリにも記憶させられる。そして、S6において正逆差が設定量と比較され、設定量以上であればバックラッシが過大であると推定される。このようなバックラッシの検出は、電動モータ110の正方向の回転時におけるエンコーダ216の検出値と撮像画面内におけるレール基準マーク59の像の位置と、逆方向の回転時におけるエンコーダ216の検出値と撮像画面内におけるレール基準マーク59の像の位置との関係に基づく検出である。2つの像の位置の差は、各像の撮像中心に対するずれの符号を考慮した差の絶対値であり、基準マーク撮像装置28の移動位置は、その撮像画面の中心位置について設定されるからである。正逆差が過大であり、過大なバックラッシが検出されればS7が実行され、その旨が表示画面206に表示されて作業者に報知される。バックラッシの大きさも表示されてもよい。過大なバックラッシが検出された場合、装着モジュール10を停止させてもよい。しかし、バックラッシは時間をかけて徐々に生じるため、過大であることが検出された後、急増することはなく、そのまま運転が継続され、報知後に初めて行われる段取替えや保守,点検の際に作業者が対応しても支障がないため、本実施形態では装着モジュール10を停止させず、報知のみが行われる。それにより、作業者は送りねじ機構116のメンテナンス等の準備等を行うことができる。バックラッシ過大の検出が行われた後、S8が実行され、S5におけると同様に、X軸スライド102のみの移動による基準マーク撮像装置28の正方向および逆方向への移動,レール基準マーク59の撮像および正逆差の算出,記憶が行われる。S8では、基準マーク撮像装置28の加速度が複数種類に異ならされて基準マーク撮像装置28の移動およびレール基準マーク59の撮像等が行われる。加速度は3種類以上に異ならされることが望ましく、本実施形態においては3種類に異ならされ、1つはS5の実行時と同様に通常加速度より小さくされ、1つは通常加速度とされ、もう1つは通常加速度より大きくされる。最小の加速度での移動による正逆差は既に取得されており、S8では、通常加速度と通常加速度より大きい加速度との2種類の加速度での基準マーク撮像装置28の移動,レール基準マーク59の撮像のみが行われる。加速度を大きくしても、緩みずれが必ず生じるとも、生じ得る全部の緩みずれが生じるとも限らないため、加速度を複数種類に異ならせて撮像が行われる。また、前述のように、ボルトおよびナットによって互いに締結された複数部材の緩みずれは、加速度が大きい場合に現われるのであるが、減速度も大きくすれば、慣性により、移動開始時に生じたずれが低減させられる恐れがある。そのため、減速度は小さくされ、ずれが生じた状態で停止させられるようにされる。そして、S9において正逆差が過大であるか否かの判定が行われる。この判定は、基準マーク撮像装置28を加速度の大きさを3種類に異ならせることにより取得された3つの正逆差のうちで最大の正逆差からS5において記憶させられたバックラッシ量を差し引いたものが設定量以上であるか否かにより行われる。この設定量は、S6の判定に使用される設定量と同じでもよく、それより大きくされてもよい。最大の正逆差からバックラッシ量を差し引いたものが設定量以上であれば、S10において正逆差の変動が大きいか否かの判定が行われ、緩みずれの検出が行われる。前述のように加速度が小さい場合には緩みずれは生じないのに対し、加速度が大きい場合には緩みずれが生じ、正逆差が大きく、加速度の違いによる正逆差の変動が大きくなるからである。そのため、S10では、3種類の正逆差のうち、最大の正逆差から最小の正逆差が引かれ、その差が設定値以上であれば、変動が大きいとされ、S11が実行されて装着モジュール10が停止させられるとともに、緩みずれの発生が報知される。この緩みずれは、基準マーク撮像装置28によってレール基準マーク59を撮像することにより検出されたずれであり、基準マーク撮像装置28側において生じたずれであり、その旨も報知される。それに対し、正逆差の変動が小さければS12が実行され、装着モジュール10が停止させられるとともに、原因不明の異常の発生が報知される。位置決め不良の原因が緩みずれあるいは強制ずれを含む原因不明の異常である場合、吸着ノズル120による電子回路部品の保持精度や回路基板54への電子回路部品の装着精度に対する影響が大きいか、あるいはさらに大きくなる可能性があるため、装着モジュール10が停止させられるのである。S2の実行によるレール基準マーク59の撮像時にレール基準マーク59の像が得られず、あるいは像が得られても、レール基準マーク59の位置のずれが大きく、その位置が正常でない場合には、基準マーク撮像装置28とレール基準マーク59との位置決め不良の原因は、例えば、強制ずれあるいはそれ以外の原因であって、不明な原因であると推定される。強制ずれは、例えば、作動中に基準マーク撮像装置28あるいはX軸スライド102の基準マーク撮像装置28が固定される部分が障害物に当たることにより生じる。そして、S13が実行され、装着モジュール10が停止させられるとともに、位置決め不良の発生および不良原因が基準マーク撮像装置28のレール基準マーク59の撮像により検出される強制ずれを含む不良であることが報知される。緩みずれ,強制ずれ,原因不明の異常がなければ、S9の実行後、S14が実行され、X軸スライド100の移動による基準マーク撮像装置28の移動およびレール基準マーク59の撮像に基づいて、X軸スライド駆動装置104の送りねじ機構116のバックラッシ,緩みずれ,強制ずれを含む不良および原因不明の異常検出が行われる。これらの検出は、X軸スライド102がX軸スライド100に対して停止させられ、X軸方向においてはX軸スライド100のみが移動させられて基準マーク撮像装置28が移動させられることにより行われる。検出はX軸スライド102の移動による場合と同様に行われるため、詳細な説明を省略する。レール基準マーク59の撮像に基づいてバックラッシ過大以外の不良が検出されなければ、S15以下のステップが実行され、部品撮像装置30によるヘッド基準マーク140の撮像が行われ、装着ヘッド70の取付不良,緩みずれ,強制ずれを含む不良および原因不明の異常の検出が行われる。この緩みずれは装着ヘッド70側において生じるずれであり、代表的には、X軸スライド駆動装置104,106の送りねじ機構116とX軸スライド100,102との間、および装着ヘッド70とX軸スライド102との間において生じ得る。例えば、ヘッド取付装置148の掛止ピン作動装置180をX軸スライド102に固定するボルトおよびナットの螺合が緩めば、装着ヘッド70とX軸スライド102との間にずれが生じ得る。また、強制ずれは、例えば、作動中に装着ヘッド70あるいはX軸スライド102の装着ヘッド70が取り付けられる部分が障害物に当たることにより生じる。これら不良の検出もX軸スライド100,102を別々に移動させることにより行われる。過大なバックラッシの検出は既に行われているため、ヘッド基準マーク140の撮像に基づいては行われない。まず、X軸スライド102の移動によるヘッド基準マーク140の撮像および位置決め不良の検出を説明する。例えば、装着ヘッド70bが電子回路部品の回路基板54への装着に使用され、X軸スライド102に取り付けられているとすれば、S15の実行により、装着ヘッド70bはヘッド移動装置72により、予め設定された撮像位置、本実施形態においてはヘッド基準マーク140bの中心が部品撮像装置30の撮像画面の中心と一致することが予定された位置へ移動させられ、ヘッド基準マーク140bの撮像が行われる。装着ヘッド70bの移動位置は、本実施形態においては回転体130の回転軸線について設定され、X軸方向においては電動モータ110のエンコーダ216の検出値により規定され、Y軸方向においてはリニアモータ90のリニアスケール94の検出値により規定される。ヘッド基準マーク140bの撮像時に予定された装着ヘッド70bの移動位置である撮像位置をヘッド基準マーク正規撮像位置と称し、撮像位置を規定するエンコーダ216の検出値をヘッド基準マーク正規撮像位置規定値と称する。また、X軸スライド102は、前記通常加,減速度で移動させられる。ヘッド基準マーク140bの撮像時にも、レール基準マーク59の撮像時と同様に、ヘッド基準マーク140bの像が得られなければ、装着ヘッド70bが部品撮像装置30に対して予め設定された経路に沿って移動させられ、位置を変えて撮像が行われる。ヘッド基準マーク140bの撮像後、S16~S22が前記S3,S4,S8~S12と同様に実行される。ヘッド基準マーク140bの撮像に基づいて位置決め不良の検出が行われるときには、過大なバックラッシの検出は既に済んでいて行われないため、S18では、装着ヘッド70bが異なる3種類の加速度でそれぞれ、正,逆方向に移動させられ、それぞれヘッド基準マーク140bが撮像されて正逆差が3種類取得される。S15の実行によるヘッド基準マーク140bの撮像時にヘッド基準マーク140の像が得られず、あるいは像が得られても、ヘッド基準マーク140bの位置ずれが大きく、その位置が正常でない場合にはS23が実行され、装着ヘッド70bの脱着が行われたか否かの判定が行われる。装着ヘッド70bの脱着が行われれば、例えば、取付位置の間違い,取付け方の不良,取り付けられた装着ヘッド70の種類の間違い等によりヘッド基準マーク140bのずれが大きくなることがあるからである。装着ヘッド70bの脱着が行われたか否かは、例えば、ヘッド検出センサ214による装着ヘッド70bの検出により判定される。装着モジュール10の停止中にヘッド検出センサ214の検出信号がON信号からOFF信号に変わり、更にOFF信号からON信号に変われば、装着ヘッド70の脱着が行われたことが装着ヘッド脱着メモリに記憶させられる。装着ヘッド脱着メモリに記憶させられたデータは、装着モジュール10の運転が停止させられたときにクリアされ、脱着無しとされる。ヘッド検出センサ214を設けず、作業者が装着ヘッド70の脱着を入力装置を用いて制御コンピュータ200に入力し、装着ヘッド脱着メモリに記憶させられるようにしてもよい。装着ヘッド70bの脱着が行われたのであれば、装着ヘッド70bの位置決め不良の原因が装着ヘッド70bの取付不良にあると推定され、S24の実行により、装着モジュール10が停止させられるとともに、位置決め不良の発生および不良原因が装着ヘッド70bの取付不良と推定されることが表示装置208により報知される。また、装着ヘッド70bの脱着が行われていないのであれば、装着ヘッド70bの位置決め不良の原因が強制ずれあるいはそれ以外の原因であって、不明な原因であると推定される。そして、S25において装着モジュール10が停止させられるとともに、位置決め不良の発生および不良原因がヘッド基準マーク140bの撮像により検出される強制ずれを含む不良であることが報知される。X軸スライド102の駆動による装着ヘッド70bの移動およびヘッド基準マーク140bの撮像に基づいて位置決め不良が検出されなければ、S26が実行され、X軸スライド100の駆動に基づいて位置決め不良の検出が行われる。そして、レール基準マーク59の撮像によっても、ヘッド基準マーク140bの撮像によっても、装着モジュール10を停止させる不良が検出されなければ、S27以下のステップが実行され、装着モジュール10の通常運転が開始される。通常運転中における位置決め不良の検出および原因推定を説明する。図13に示すS27の実行により通常運転が開始されれば、制御コンピュータ200のRAMに記憶させられた装着プログラムが実行され、回路基板54への電子回路部品の装着が行われる。簡単に説明すれば、装着ヘッド70bは部品供給装置24へ移動させられ、複数の吸着ノズル120bが順次、テープフィーダ60により供給される電子回路部品を吸着する。電子回路部品の受取り後、装着ヘッド70bは部品撮像位置へ移動させられて電子回路部品が撮像される。部品撮像位置は、本実施形態においては回転体130の回転軸線が撮像画面の中心と一致することが予定された位置とされ、エンコーダ216の値により規定される。撮像データが画像処理され、吸着ノズル120bによる電子回路部品の保持位置誤差が算出される。保持位置誤差には、X軸方向およびY軸方向における各位置誤差および回転位置誤差電子回路部品の軸線まわりの位置誤差が含まれる。撮像後、装着ヘッド70bは基板保持装置22へ移動させられ、保持した電子回路部品を回路基板54の部品装着箇所に装着する。回路基板54は、基板搬送装置20により搬送され、予め設定された作業位置である装着位置において停止させられる。停止後、回路基板54は基板保持装置22により保持され、基板基準マーク196が基準マーク撮像装置28により撮像される。そして、部品装着箇所のX軸,Y軸方向の各位置誤差および回転位置誤差が取得され、電子回路部品の装着時には、吸着ノズル120bによる電子回路部品の保持位置誤差と合わせて修正される。X軸,Y軸方向の位置誤差の修正は、装着ヘッド70bの移動位置の修正により行われ、回転位置誤差は吸着ノズル120bを回転させることにより修正される。保持位置誤差が修正不可能なほど大きい場合には、電子回路部品は収容箱図示省略に放棄され、回路基板54に装着されないようにされる。本装着モジュール10においてはまた、S28の実行により、通常運転中もレール基準マーク59およびヘッド基準マーク140bの撮像が行われ、位置決め不良の検出が行われる。これら撮像等は第一設定時間が経過する毎に行われ、通常運転が開始されれば、第一設定時間の経過が待たれるS28a。S28aにおいては、制御コンピュータ200に設けられた時計の時刻が繰返し読み込まれ、1回目に読み込まれた時刻を開始時刻として第一設定時間が経過したか否かの判定が行われる。第一設定時間が経過すれば、S28bが実行され、基準マーク撮像装置28がレール基準マーク59へ移動させられ、レール基準マーク59を撮像する。この際、装着ヘッド70bが電子回路部品を保持しているのであれば、その回路基板54への装着終了を待って撮像が行われる。また、ここでは、過大なバックラッシの検出時と同様に、3つのレール基準マーク59のうち、真中のレール基準マーク59が撮像される。本装着モジュール10においては、X軸スライド駆動装置104,106の各送りねじ機構116の雄ねじ部材112は、電動モータ110とは反対側の端部はY軸スライド92Y軸スライド92のX軸スライド駆動装置104を保持している部分とX軸スライド100とにより軸受を介して回転可能かつX軸方向に伸縮可能に保持されており、温度上昇時における熱膨張量が最も大きい。しかし、雄ねじ部材112の温度は電動モータ110から離れるほど低くなるため、単位長さあたりの熱膨張量は小さく、熱膨張量を積分すれば、雄ねじ部材112の軸方向の中央において全体の3/4程度になり、真中のレール基準マーク59の撮像により雄ねじ部材112全体の熱膨張量が得られるとすることができるからである。本実施形態においては、通常運転中はX軸方向においてはX軸スライド駆動装置106のみが作動させられ、基準マーク撮像装置28はX軸スライド102の移動により、電動モータ110のエンコーダ216の検出値がレール基準マーク正規撮像位置規定値となる位置へ移動させられる。基準マーク撮像装置28の移動方向が、直前の移動と同じ方向であれば、そのまま移動させられ、直前の移動とは逆の方向であれば、S5において記憶させられたバックラッシ量の分より大きな距離基準マーク撮像装置28を移動させ、送りねじ機構116のバックラッシの影響が除去されるようにする。また、基準マーク撮像装置28は、前記通常加,減速度で移動させられる。撮像データが画像処理され、レール基準マーク59の像が得られなければ、通常運転開始前におけるレール基準マーク59の撮像時と同様に基準マーク撮像装置28が移動させられ、位置を変えてレール基準マーク59の撮像が行われる。撮像後、S28c,S28dが前記S3,S4と同様に実行され、レール基準マーク59の像が得られず、得られても位置ずれ量が大きく、レール基準マーク59の位置が正常でなければ、装着モジュール10の運転が停止させられるとともに、強制ずれを含む不良の発生が報知されるS28f。レール基準マーク59の像が得られ、その位置ずれ量の絶対値が設定量以下であればS28eが実行され、レール基準マーク59の位置ずれ量の絶対値が通常運転中レール基準マーク位置ずれ量メモリに記憶させられる。位置ずれ量は停止継続時間段階と対応付けて記憶させられる。停止継続時間は、S1において停止継続時間メモリに記憶させられており、その停止継続時間が、予め複数段階に分けられた停止継続時間のうちのいずれの段階に属するかが求められ、記憶させられる。複数段階の停止継続時間は、停止継続時間段階メモリに記憶させられている。レール基準マーク59の位置ずれ量は、エンコーダ216の検出値と撮像画面内におけるレール基準マーク59の像の位置との関係に相当する。基準マーク撮像装置28の位置は、その撮像画面の中心についてエンコーダ216の検出値により規定され、レール基準マーク59の位置ずれ量は、レール基準マーク59の像の撮像中心に対する位置および基準マーク撮像装置28の位置に基づいて取得されるからである。そして、位置ずれ量の通常運転中レール基準マーク位置ずれ量メモリへの記憶は、撮像画面内におけるレール基準マーク59の像の位置とエンコーダ216の検出値との関係の記憶であることとなる。通常運転中レール基準マーク位置ずれ量メモリにはまた、レール基準マーク59の撮像時におけるエンコーダ216の検出値が記憶される。撮像がレール基準マーク正規撮像位置規定値により規定される位置において行われたのであれば、その規定値が記憶され、撮像がレール基準マーク正規撮像位置規定値により規定される位置とは別の位置において行われたのであれば、レール基準マーク正規撮像位置規定値および撮像が行われた位置を規定するエンコーダ216の規定値が記憶させられる。規定値の記憶により、例えば、位置ずれ量がいずれのレール基準マーク59の撮像に基づいて得られたかがわかる。次にS28g~S28kが実行され、ヘッド基準マーク140bの撮像,ヘッド基準マーク140bの位置ずれ量の取得および通常運転中ヘッド基準マーク位置ずれ量メモリへの位置ずれ量および撮像が行われた位置等を規定するエンコーダ216の規定値の記憶が行われる。ヘッド基準マーク140bの撮像,位置ずれ量の取得は、X軸スライド102の駆動のみにより通常運転開始前と同様に行われ、取得された位置ずれ量は停止継続時間段階と対応付けて記憶させられる。通常運転中にレール基準マーク59の位置ずれ量およびヘッド基準マーク140bの位置ずれ量がそれぞれ、過大であるか否かの判定が行われるS28l,S28m。通常運転中レール基準マーク位置ずれ量メモリおよび通常運転中ヘッド基準マーク位置ずれ量メモリにそれぞれ記憶させられた最新の位置ずれ量が設定値と比較される。レール基準マーク59の位置ずれ量が設定値より大きければ、図14に示すS37以下のステップが実行され、ヘッド基準マーク140bの位置ずれ量が設定値より大きければ、S137以下のステップが実行され、位置決め不良の検出および原因推定が行われる。これについては後に説明する。S28l,S28mの判定を行うための設定値は、本実施形態においては、電子回路部品が回路基板54に装着される際に許容される部品装着箇所に対するX軸方向のずれと等しい大きさに設定されている。通常運転中にはまた、装着モジュール10の運転中断が指令されたか否かの判定が行われるS28n。中断指令は、例えば、作業者による入力,装着モジュール10における装着作業実行上における不具合、例えば、フィーダ60による部品供給不良,部品切れ,回路基板54の未搬入等、運転を継続することが困難な事態の発生に基づいて発せられる。中断指令が出されれば、S29が実行され、装着モジュール10が停止させられる。そして、S30において時刻が読み込まれて停止時刻メモリに記憶させられ、停止計測時間の計測が開始される。次いでS31が実行され、S31が1回目に実行されてから設定時間が経過したか否かの判定が行われる。何らかの事情により装着モジュール10の運転が停止させられるが、停止時間が短い場合があり得る。そのため、S31の判定に用いられる設定時間は比較的短く、装着モジュール10の運転停止により生じる送りねじ機構116等の温度低下を無視することができる程度の長さに設定されており、短設定時間と称する。短設定時間が経過していなければ、S32において装着モジュール10の運転再開が指令されたか否かが判定される。運転再開指令は、運転開始指示と同様に出される。短設定時間が経過する前に運転再開が指令されれば、S28が実行される。短時間の運転中断による装着モジュール10の停止は、装着ヘッド70と基板保持装置22との位置決め不良の検出に考慮されないのである。運転再開が指令されることなく短設定時間が経過すれば、S33が実行され、短設定時間より長い設定時間である長設定時間が経過したか否かの判定が行われる。例えば、運転中断の原因が装着モジュール10を構成する装置の不具合であっても、それが解消されれば、運転が再開されることがある。そのため、長設定時間は、不具合の発生により運転が停止させられ、不具合の解消により運転が再開されることが予測される時間よりやや長い時間、運転停止状態が継続したか否かを判定することができる長さに設定されている。長設定時間が経過していなければS34が実行され、運転再開が指令されたか否かの判定が行われる。長設定時間が経過する前に運転再開が指令されれば、S1が実行される。この際、S1では、S30において停止時刻メモリに記憶させられた停止開始時間に基づいて停止継続時間が算出され、停止継続時間メモリに記憶させられる。中断による装着モジュール10の停止時間が長いため、停止継続時間が取得され、位置決め不良の検出等に考慮されるようにされているのである。運転再開が指令されることなく長設定時間が経過すれば、ルーチンの実行は終了する。通常運転中にはさらに、装着モジュール10の運転終了が指令されたか否かの判定が行われるS28o。装着モジュール10の運転は、例えば、設定された枚数あるいは種類の回路基板54への電子回路部品の装着の終了,作業終了時刻の到来等により終了させられる。終了指令は、開始指示と同様にシステム制御装置220から指示される。作業者により終了指令が入力されてもよい。終了が指令されればS35が実行され、終了処理、例えば、停止時刻の停止時刻メモリへの記憶が行われた後、装着モジュール10が停止させられるS36。通常運転中のレール基準マーク59の撮像の結果、その位置ずれ量が過大であれば、S37以下のステップが実行される。S37においては、レール基準マーク59の位置ずれ量が急増したか否かの判定が行われる。この判定は、S28eの実行により蓄積されたレール基準マーク59の位置ずれ量に基づいて行われる。例えば、最新の位置ずれ量からその直前の位置ずれ量を引いた値が設定値と比較され、設定値以上であれば急増とされ、設定値より小さいのであれば急増ではないとされる。この設定値は、雄ねじ部材112の熱膨張を原因とするレール基準マーク59の位置ずれ量の増加勾配より大きく、緩みずれあるいは強制ずれを原因とするレール基準マーク59の位置ずれ量の増加勾配より小さい大きさとされている。熱膨張は装着モジュール10の運転開始後、構成部材の温度上昇に伴って徐々に増大するのに対し、緩みずれおよび強制ずれは急に生じるからである。また、熱膨張を原因とするレール基準マーク59の位置ずれ量の増加勾配は、停止継続時間が長いほど大きくなる。停止継続時間が長いほど、運転開始時における装着モジュール10の温度が低く、運転開始後の温度上昇勾配が大きいからであるが、この増加勾配が最大であっても、ずれを原因とするレール基準マーク59の位置ずれ量の増加勾配よりは小さい。したがって、前記S28aの第一設定時間は、熱膨張によるレール基準マーク59の位置ずれ量の増加勾配が、緩みずれあるいは強制ずれによる位置ずれ量の増加勾配より小さくなる長さに設定され、S37の判定のための設定値は、熱膨張を原因とするレール基準マーク59の位置ずれ量の増加勾配の最大値より大きく、緩みずれあるいは強制ずれによる位置ずれ量の増加勾配より小さい大きさに設定されている。レール基準マーク59の位置ずれ量が急増していなければ、S38aにおいて位置ずれ量の増加勾配が標準的な増加勾配より大きいか否かの判定が行われる。標準的な増加勾配は、熱膨張が過大でない場合における位置ずれ量の増加勾配であり、複数の停止継続時間段階の各々について設定されている。上記のように装着モジュール10の運転停止時間が長いほど、熱膨張を原因とするレール基準マーク59の位置ずれ量の増加勾配が大きくなるからである。標準的な増加勾配は、本装着モジュール10が新品の状態あるいは本装着モジュール10と同機種で正常であることが保証された装着モジュール10について取得される。この装着モジュール10を作動させ、設定時間停止させた後、再度作動させ、第一設定時間毎にレール基準マーク59の撮像を行って、その像の位置ずれ量を取得し、位置ずれ量の増加勾配を取得するのである。そして、停止継続時間を複数種類に異ならせて増加勾配を複数種類取得し、停止継続時間段階と対応付けて標準的増加勾配メモリに記憶させられる。増加勾配は、複数の停止継続時間段階の1段階毎に停止継続時間を1つ設定して取得してもよく、1段階の停止継続時間内に停止継続時間を複数設定し、取得された複数の増加勾配に基づいて取得してもよい。例えば、複数の増加勾配の平均を標準的な増加勾配とするのである。S38aでは、S1において記憶させられた停止継続時間が属する停止継続時間段階について設定された標準的増加勾配が読み出される。そして、標準的増加勾配に1より大きい係数を掛けることにより設定勾配が決められて実際の増加勾配と比較され、実増加勾配の標準的増加勾配に対する外れ量が設定外れ量を超えるか否かが判定される。実増加勾配は、例えば、S28eにおいて記憶させられた最新の位置ずれ量と、その直前の1つの位置ずれ量、あるいは直前の複数の位置ずれ量とにより取得される。最新の位置ずれ量と最古の位置ずれ量とに基づいて取得されてもよい。位置ずれ量の実際の増加勾配が設定増加勾配以下であれば、S38aがNOになってS38bが実行され、装着モジュール10が停止させられた後、S44が実行される。S44については後に説明する。実際の増加勾配が設定勾配より大きければS39が実行され、装着モジュール10の運転が停止させられる。そして、S40において時刻が読み込まれて停止時刻メモリに記憶させられ、停止継続時間の計測が開始される。また、読み込まれた時刻と運転開始時刻メモリに記憶させられている運転開始時刻とに基づいて運転継続時間が算出され、運転継続時間メモリに記憶させられる。次いでS41が実行され、設定時間が経過したか否かの判定が行われる。この設定時間は、過大ではない通常の熱膨張が解消されるのに十分な長さに設定されており、熱膨張解消設定時間と称する。熱膨張が過大な場合、雄ねじ部材112の温度は熱膨張が過大でない場合より高くなっているが、運転停止後の温度低下勾配が大きく、雄ねじ部材112の収縮勾配が大きい。そのため、位置決め不良の原因が過大な熱膨張であれば、通常の熱膨張が解消されるのに十分な時間の経過により、レール基準マーク59の位置ずれ量が標準的な量、すなわち熱膨張のない状態での量に近くなり、レール基準マーク59の位置ずれ量の増加勾配の標準的な増加勾配より大きい事態が過大な熱膨張により生じたことがわかるからである。本実施形態においては、熱膨張解消設定時間は運転継続時間に応じて予め複数種類、設定されている。装着モジュール10が新品の状態で、あるいは装着モジュール10と同機種で正常であることが保証された装着モジュール10により取得される。装着モジュール10を運転させ、装着ヘッド70による回路基板54への電子回路部品の装着動作を模擬的に行わせた後、停止させる。停止後、設定時間毎にレール基準マーク59を基準マーク撮像装置28に撮像させ、その位置ずれ量を取得する。この設定時間は熱膨張解消設定時間より短く、前記S28aの第一設定時間と同じでもよく、異ならされてもよい。そして、レール基準マーク59の位置ずれ量が、熱膨張が解消されたとすることができる値になったならば、その際の装着モジュール10の運転停止からの経過時間を取得する。経過時間は、装着モジュール10の運転継続時間を複数種類に異ならせて取得される。装着モジュール10は、運転開始後、構成部材の温度が上昇して一定となる定常状態となる前に何らかの理由で停止させられる場合がある。その場合には、装着モジュール10の構成部材の温度が未だ定常温度に達していないため、運転継続時間の長さに応じて停止後の温度低下勾配が異なり、レール基準マーク59の位置ずれ量の減少勾配が異なって、位置ずれ量の減少に要する時間も異なるからである。そして、運転停止前の運転継続時間が複数段階に分けられ、各段階毎に、熱膨張解消設定時間を取得するための運転継続時間が少なくとも1つずつ、本実施形態においては1つずつ設定されて経過時間が取得され、熱膨張解消設定時間として運転継続時間段階と対応付けて熱膨張解消設定時間メモリに記憶させられる。S41では、S40において記憶させられた運転継続時間が読み出され、熱膨張解消設定時間が決められる。設定時間の経過後、S42が実行される。そして、基準マーク撮像装置28が移動させられてレール基準マーク59を撮像し、レール基準マーク59の位置ずれ量が算出されて設定値と比較される。この撮像時には、基準マーク撮像装置28はまず、エンコーダ216の値がレール基準マーク正規撮像位置規定値となる位置へ移動させられる。また、基準マーク撮像装置28は、バックラッシの影響が排除されるように移動させられる。レール基準マーク59の像が得られなければ、基準マーク撮像装置28は位置を異ならせて撮像を行う。過大な熱膨張の検出は、通常運転中における撮像によりレール基準マーク59の像が得られた状態で行われるため、S42における撮像時にもレール基準マーク59の像が得られ、位置ずれ量が算出される。S42の判定を行うための設定値は、雄ねじ部材112が熱膨張がない状態に戻った状態での位置ずれ量であって、撮像誤差,基準マーク撮像装置28の位置決め誤差や組付誤差により生じると予想されるレール基準マーク59の位置ずれ量の絶対値よりやや大きい値に設定されている。位置ずれ量の絶対値が設定値以下であれば、通常運転中に生じた過大な位置ずれは、過大な熱膨張を原因とすると推定される。熱膨張は過大でも過大でなくても、時間の経過に伴なって減少し、それにより位置ずれ量も小さくなる特徴を有するからであり、S43が実行され、位置決め不良の発生および不良の原因が雄ねじ部材112の過大な熱膨張と推定されることが表示画面206に表示され、報知される。過大な熱膨張の原因として、例えば、電動モータ110の負荷が過大であること、装着モジュール10に設けられたエアコンが異常であって、雄ねじ部材112周辺の温度が上昇し、雄ねじ部材112の温度が過剰に上昇して過大な熱膨張が生じていることが推定される。この推定も報知される。それに対し、位置ずれ量が設定値より大きければS44が実行され、位置決め不良の発生および不良原因が不明であることが報知される。位置ずれ量の増大が急に生じたのではなく、装着モジュール10を停止させて熱膨張による位置ずれが解消される状態においてもなお位置ずれ量が大きい場合には、不良原因が過大な熱膨張ではないことはわかるが、不明であるからである。また、通常運転中に位置ずれ量が大きくなったが、その増大が急ではなく、かつ、増加勾配が標準的であってS38aがNOになった場合も同様であり、S44の実行により原因不明の不良の発生が報知される。通常運転中の過大な位置ずれが急に生じたのであれば、S45~S48が実行される。S45,S46は前記S8,S10と同様に実行される。S45では、加速度を3種類に異ならせることによる基準マーク撮像装置28の移動およびレール基準マーク59の撮像が行われる。そして、取得された3つの正逆差のうち、最小と最大の正逆差の変動が大きければ、位置決め不良の原因が緩みずれと推定されるS47。また、変動が小さければ、位置決め不良の原因が強制ずれと推定されるS48。S45~S48が実行されるのは、S28bでの撮像により得られたレール基準マーク59の像の位置ずれ量が急増した場合であるからである。そして、不良の発生,推定原因の報知および装着モジュール10の停止が行われる。作業者は、表示画面206に表示された位置決め不良の推定原因に基づいて、位置決め不良を解消すべくメンテナンス等を行う。また、原因が不明であれば、原因を究明し、解消する。S37~S48の実行後、S49においてフラグFがONにセットされ、レール基準マーク59の撮像に基づく位置決め不良の検出が行われたことが表される。そして、S50が前記S28mと同様に実行され、通常運転中におけるヘッド基準マーク140bの撮像により得られた位置ずれ量が設定量より大きいか否かの判定が行われる。位置ずれ量が設定量より大きければ、S137~S148が実行され、ヘッド基準マーク140bの撮像に基づく位置決め不良の原因検出が行われる。この検出を行うためのステップは、各ステップに、S37~S48の各ステップ番号に100を加えた番号を付して示すように、撮像される基準マークがヘッド基準マーク140bであり、撮像が部品撮像装置30によって行われることを除いてS37~S48と同様に実行される。但し、位置ずれ量の増加勾配が大きくなくても、過大な熱膨張の検出は既に行われているため、S51がYESになってS138~S144は実行されず、S52が実行されてフラグFがOFFにリセットされる。また、ヘッド基準マーク140bの位置ずれ量が設定量以下であれば、S50がNOになってS52が実行される、通常運転中においてレール基準マーク59の位置ずれ量は過大でないが、ヘッド基準マーク140bの位置ずれ量が過大な場合、S28lの判定結果がNO、S28mの判定結果がYESになってS137~S148が実行される。ヘッド基準マーク140bの位置ずれ量が急増していなければ、S137の判定結果がNOになってS51が実行されるが、過大な熱膨張の検出がまだ行われておらず、フラグFがセットされていないため、S51の判定結果がNOになってS138~S144が実行される。以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、モジュール本体18が静止部材を構成し、電動モータ110のエンコーダ216が作動位置検出装置を構成し、X軸方向移動装置80,Y軸方向移動装置82と共に吸着ノズル位置決め装置を構成している。また、X軸スライド102の脚部支承部162等、ヘッド取付装置148の構成要素が設けられた部分が被取付部を構成し、装着ヘッド70のヘッド本体124の脚部156等、ヘッド取付装置148の構成要素が設けられた部分が着脱可能部を構成し、ヘッド基準マーク140は着脱可能部に対して固定的に設けられている。なお、ヘッド基準マーク140の撮像に基づいて送りねじ機構116のバックラッシの過大の検出が行われるようにしてもよい。運転開始前にレール基準マーク59の撮像により緩みずれ,強制ずれを含む不良,原因不明な異常が検出された場合にも、ヘッド基準マーク140の撮像による位置決め不良の検出が行われるようにしてもよい。また、S10の判定を省略し、S9の判定の結果、正逆差が過大であれば、不良が生じているとしてもよい。この場合、不良原因は、緩みずれおよび原因不明の異常を含むことになる。位置決め装置の位置決め不良の原因が位置決め装置の負荷過大であることは、作動位置検出装置の検出値と被検出部の像の位置との関係が標準的な関係に戻ったことが明らかになることを待つことなく、推定されてもよい。その実施形態を図16に基づいて説明する。本実施形態において位置決め不良を検出し、不良原因を推定するためのルーチンは、雄ねじ部材112の過大な熱膨張を検出するためにS41,S42,S141,S142に代えてS61~S64,S161~S164が実行されることを除いて、前記実施形態のルーチンと同様に構成されている。S61においては、第二設定時間が経過したか否かが判定される。S61においては時刻が繰返し読み込まれ、1回目に読み込まれた時刻からの時間の経過に基づいて第二設定時間が経過したか否かの判定が行われる。第二設定時間が経過すればS62が実行され、カウンタのカウント値Nが1増加させられるとともに、レール基準マーク59の撮像,位置ずれ量の取得,停止時位置ずれ量メモリへの記憶が行われる。基準マーク撮像装置28は、バックラッシの影響が排除されるように移動させられる。次いでS63においてカウント値Nが設定値Nsr以上であるか否かにより、装着モジュール10の停止状態が設定時間以上、継続したか否かが判定される。位置決め不良の原因が過大な熱膨張であれば、運転停止による温度低下により雄ねじ部材112の熱膨張量が減少し、時間の経過に伴なってレール基準マーク59の位置ずれ量が減少する。したがって、レール基準マーク59の位置ずれ量の減少勾配が、停止時間が十分に長ければ、位置ずれ量が雄ねじ部材112に熱膨張がない状態での量に近くなると推定される大きさであれば、位置決め不良の原因が過大な熱膨張であると推定することができる。減少勾配は、装着モジュール10の停止後、位置ずれ量が雄ねじ部材112に熱膨張がない状態での量に近くなるのに要する時間より短い時間で取得することができ、設定値Nsrは、熱膨張に対応する位置ずれ量の減少勾配を得るために必要な時間、レール基準マーク59の位置ずれ量の取得が行われる値に設定されている。設定値Nsrは、運転継続時間に応じて予め複数種類、設定されている。前記S41において熱膨張が解消されるのに十分な時間が経過したか否かの判定を行うための熱膨張解消設定時間の設定と同様に、本装着モジュール10が新品の状態で、あるいは本装着モジュール10と同機種で正常であることが保証された装着モジュール10を模擬的に作動させ、停止させた後、予め設定された時間毎にレール基準マーク59を撮像して位置ずれ量を取得し、その減少勾配が設定減少勾配となるのに要する時間を取得することにより設定される。温度低下に伴なうレール基準マーク59の位置ずれ量の減少勾配は、運転停止時における雄ねじ部材112の温度によって異なり、運転継続時間によって異なるため、運転停止前の運転継続時間が複数段階に分けられ、各段階毎に運転継続時間が少なくとも1つずつ、本実施形態においては1つずつ設定されて運転停止後の位置ずれ量の減少勾配および減少勾配の取得に要する時間が取得される。この時間は設定値Nsrに換算され、運転継続時間段階と対応付けて熱膨張解消設定値メモリに記憶させられる。減少勾配も設定減少勾配として記憶させられる。装着モジュール10の停止後にレール基準マーク59の位置ずれ量を取得する時間間隔であるS61の第二設定時間は、例えば、設定値Nsr等を取得する際に行われるレール基準マーク59の撮像のための時間間隔と同じ長さに設定されている。第二設定時間は、前記第一設定時間と同じ長さでもよく、異なる長さとされてもよい。S63では、S40において記憶させられた運転継続時間に基づいて設定値Nsrが決められる。カウント値Nが設定値Nsr以上になるまで、S61~S63が繰返し実行される。基準マーク撮像装置28はS62の1回目の実行による撮像後、レール基準マーク59を撮像した位置に停止させられたままであり、そのままレール基準マーク59が基準マーク撮像装置28により撮像される。S62が実行される毎に基準マーク撮像装置28がレール基準マーク59に向かって移動させられ、レール基準マーク59が撮像されるようにしてもよい。カウント値Nが設定値NsrになればS64が実行され、レール基準マーク59の位置ずれ量の減少勾配が設定減少勾配にほぼ等しいか否かの判定が行われる。この判定は、S62において第二設定時間経過毎に取得された位置ずれ量に基づいて行われ、例えば、最新の位置ずれ量および最古の位置ずれ量に基づいて位置ずれ量の減少勾配が算出され、設定減少勾配と比較される。設定減少勾配は、S40において記憶させられた運転継続時間に基づいて決められる。算出された実際の減少勾配が設定減少勾配と見なし得る範囲の値であれば、時間の経過に伴って熱膨張が減少し、レール基準マーク59の位置ずれ量が熱膨張のない状態での量に近くなって、レール基準マーク59とエンコーダ216の検出値との関係が標準的な関係に戻ると推定され、不良原因が過大な熱膨張と推定され、S43が実行される。減少勾配が設定減少勾配と見なし得ない範囲の値であれば不良原因は不明であり、S44が実行される。なお、カウント値Nは、S63の判定がYESになった後、0にリセットされ、例えば、S43,S44においてリセットされるようにされる。部品撮像装置30によるヘッド基準マーク140bの撮像に基づいて位置決め不良が検出される場合にも同様に、ヘッド基準マーク140bの位置ずれ量の減少勾配の大きさにより、位置決め不良の原因が過大な熱膨張であるか否かの判定が行われる。S163,S164の各判定に使用される設定値Nshおよび設定減少勾配は、装着モジュール10を運転継続時間を複数種類に異ならせて作動させ、停止後、設定時間毎にヘッド基準マーク140bを部品撮像装置30に撮像させることにより取得される。次に、バックラッシおよび緩みずれの検出の別の実施形態を図17に基づいて説明する。図12に示すフローチャートに基づいて説明した前記実施形態においては、基準マーク撮像装置28を正方向と逆方向とへ移動させる場合の加,減速度を十分小さくすれば緩みずれは生じないことを前提としてバックラッシが検出されるようになっていたが、本実施形態においてはこの前提なしでバックラッシと緩みずれの検出が行われる。なお、図12に示すフローチャートに対して異なる部分のみ、ステップ番号を変えて説明する。本実施形態においては、S1~S4の実行後、S71が前記S8と同様に実行される。そして、S72において正逆差が過大であるか否かの判定が行われる。S71において取得された複数、例えば、3つの正逆差のうち最大の正逆差が設定値以上であるか否かが判定されるのであり、設定値より小さければS73が実行され、最大の正逆差がバックラッシ量としてバックラッシ量メモリに記憶させられる。正逆差は緩みずれによって生じることもあるが、緩みずれを原因とする最大の正逆差は、過大ではないバックラッシより大きい。そのため、設定値は、緩みずれおよび過大なバックラッシと、過大ではないバックラッシとを判別することができる大きさに設定されており、設定値より小さい最大の正逆差は過大ではないバックラッシによるものと判定される。バックラッシ量メモリは、装着モジュール10の電源がOFFにされてもデータが保存されるものとされており、S73では、現にバックラッシ量メモリに記憶させられているバックラッシ量に代えて、S71において取得された最大の正逆差が記憶させられる。最大の正逆差が設定値以上であれば、何らかの位置決め不良が生じており、S74が実行され、正逆差が急増したか否かの判定が行われる。この判定は、S71において取得された3つの正逆差のうちの最大の正逆差から、バックラッシ量メモリに記憶させられているバックラッシ量が引かれ、その差が設定値以上であるか否かにより行われる。バックラッシ量メモリに記憶させられたバックラッシ量は、今回のS74の実行と同じ日であって、S74の実行より前に記憶させられた量であることもあり、今回のS74の実行より前の日に実行されて記憶させられた量であることもある。いずれにしてもバックラッシ量メモリに記憶させられたバックラッシ量は最新のものであり、それに対する差が設定値より小さく、正逆差が急増していなければ、正逆差はバックラッシによるものとすることができる。バックラッシ量は緩やかに増大するものであるからである。S74の判定結果がNOであれば、S75が実行されてバックラッシ過大が報知されるとともに、S74の判定に使用された最大の正逆差がバックラッシ量として、現にバックラッシ量メモリに記憶させられているバックラッシ量に代えて記憶させられる。それに対し、正逆差が急増していれば、過大な正逆差はバックラッシによるものではなく、S74の判定がYESになってS10~S12が実行され、取得された3つの正逆差の変動が大きいか否かにより緩みずれの検出が行われる。ヘッド基準マーク140の撮像による位置決め不良の検出時には、S18の実行により3つの正逆差が取得された後、S76がS74と同様に実行され、正逆差が急増したか否かの判定が行われる。バックラッシ過大の検出はレール基準マーク59の撮像により済んでおり、正逆差が急増していなければ、S26が実行される。正逆差が急増していれば、S20~S22が実行され、緩みずれ等の検出が行われる。なお、位置決め装置の過大なバックラッシの検出は、電子回路部品装着機の通常運転中に行ってもよい。また、リニアモータ90を駆動源とするY軸方向移動装置82についても過大な熱膨張,緩みずれ,強制ずれが検出されるようにしてもよい。その場合には、リニアスケール94を可及的に熱膨張率の小さい材料で形成するとともに、可及的にリニアモータ90の温度上昇の影響を受けない位置および状態放射熱の影響も受けにくい等で設置することが望ましい。また、Y軸方向移動装置を送りねじ機構を含むものとし、過大なバックラッシが検出されるようにしてもよい。さらに、基板保持装置に設けられた被検出部である複数のレール基準マークをそれぞれ撮像して位置決め不良を検出するようにしてもよい。この場合、例えば、複数のレール基準マークの各位置ずれ量を比較することにより、過大なバックラッシの発生箇所を特定することや、過大な熱膨張の発生状態を取得することができる。装着ヘッド側に被検出部を複数設けてもよい。この場合、例えば、被検出部を撮像装置に対して移動させられる複数の部材、例えば、装着ヘッド70,X軸スライド100,102,基準マーク撮像装置28等の互いに別体の2部材以上と、1部材においてX軸方向に隔たった2箇所以上との少なくとも一方に設けて撮像し、各位置ずれ量を取得する。取得された複数の位置ずれ量に基づいて、例えば、バックラッシ,熱膨張の発生状況や緩みずれ,強制ずれの発生箇所を特定することが可能である。"