"第1元素,第2元素および酸素元素からなる3元系の酸化物である対象物の組成比を測定する方法であって、第1元素および第2元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる2元系または3元系の酸化物であって各々の組成比が既知であり互いに異なる複数の標準試料それぞれに対してEPMA測定を行って特性X線スペクトルを求める標準試料測定ステップと、前記複数の標準試料それぞれの特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置に基づいて、特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置と組成比との間の関係式を作成する関係式作成ステップと、前記対象物に対してEPMA測定を行って特性X線スペクトルを求める対象物測定ステップと、前記対象物の特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置と前記関係式とに基づいて、前記対象物の組成比を求める組成比算出ステップと、を備えることを特徴とする組成比測定方法。前記関係式作成ステップおよび前記組成比算出ステップそれぞれにおいて、ピーク位置が異なる2以上のローレンツィアン形状の足し合わせにより特性X線スペクトルの形状が表されるとして各ローレンツィアン形状を求め、その求めたローレンツィアン形状に基づいて、特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置を求める、ことを特徴とする請求項1に記載の組成比測定方法。前記第1元素がSi元素であることを特徴とする請求項1に記載の組成比測定方法。前記第2元素がGe元素であることを特徴とする請求項3に記載の組成比測定方法。ところで、上記のようなEPMA測定で得られる特性X線強度と化学分析で得られる組成比との間の関係を表す検量線は、EPMA装置毎に必要であり、また、EPMA測定条件毎に必要である。したがって、上記のような検量線の作成には膨大な手間を要する。また、EPMA測定で得られる特性X線強度と化学分析で得られる組成比との間の関係は線形性を有していない。なぜなら、対象物に含まれる或る元素で発生した特性X線は、その対象物の内部から外部へ出て来るまでに周囲の同種の元素により吸収されて、対象物の外部にて測定される強度が小さくなるからである。このような線形性を有しない検量線を正確に作成するには、より多数の標準試料についてEPMA測定および化学分析を行う必要があり、この点でも膨大な手間を要することになる。本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、3元系の酸化物の組成比を容易に測定することができる方法を提供することを目的とする。本発明の組成比測定方法は、第1元素,第2元素および酸素元素からなる3元系の酸化物である対象物の組成比を測定する方法であって、第1元素および第2元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる2元系または3元系の酸化物であって各々の組成比が既知であり互いに異なる複数の標準試料それぞれに対してEPMA測定を行って特性X線スペクトルを求める標準試料測定ステップと、複数の標準試料それぞれの特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置に基づいて、特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置と組成比との間の関係式を作成する関係式作成ステップと、対象物に対してEPMA測定を行って特性X線スペクトルを求める対象物測定ステップと、対象物の特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置と関係式とに基づいて、対象物の組成比を求める組成比算出ステップと、を備えることを特徴とする。本発明の組成比測定方法は、関係式作成ステップおよび組成比算出ステップそれぞれにおいて、ピーク位置が異なる2以上のローレンツィアン形状の足し合わせにより特性X線スペクトルの形状が表されるとして各ローレンツィアン形状を求め、その求めたローレンツィアン形状に基づいて、特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置を求めるのが好適である。本発明の組成比測定方法では、第1元素がSi元素であってもよいし、第2元素がGe元素であってもよい。また、第1元素または第2元素として、Si,Geの他、Cu,Ca,Ni,Co,Zr,B,V,Zn,Sn,Hf,Th,Mn,Cr,Mg,Al,Ti,Mo,Ta,Nb,Fe,Cd,Pb等、多種の元素が可能である。本発明によれば、3元系の酸化物の組成比を容易に測定することができる。以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図1は、本実施形態の組成比測定方法のフローチャートである。本実施形態の組成比測定方法は、第1元素,第2元素および酸素元素からなる3元系の酸化物である対象物の組成比を測定する方法であって、標準試料測定ステップS1,関係式作成ステップS2,対象物測定ステップS3および組成比算出ステップS4を備える。標準試料測定ステップS1では、第1元素および第2元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる2元系または3元系の酸化物であるN個の標準試料が用意され、これらN個の標準試料それぞれに対してEPMA測定が行われて特性X線スペクトルS1~SNが求められる。これらN個の標準試料それぞれの組成比は、既知であって、互いに異なる。特性X線スペクトルSnは、N個の標準試料のうち第nの標準試料のものである。ここで、Nは2以上の整数であり、nは1以上N以下の整数であり、EはX線エネルギー値を示す変数である。関係式作成ステップS2では、各標準試料の特性X線スペクトルSnにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置Enが求められ、これらピーク位置E1~ENに基づいて、特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置と組成比との間の関係式が作成される。この関係式は、第1元素および第2元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる2元系または3元系の酸化物について、その特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置Eから組成比Xを求めるためのものである。対象物測定ステップS3では、対象物に対してEPMA測定が行われて、この対象物の特性X線スペクトルS0が求められる。そして、組成比算出ステップS4では、特性X線スペクトルS0におけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置E0が求められ、このピーク位置E0と上記関係式とに基づいて対象物の組成比が求められる。標準試料測定ステップS1および対象物測定ステップS3では、共通の装置により同一の測定条件でEPMA測定が行われるのが好ましい。なお、特性X線スペクトルS0~SNそれぞれの形状からはエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置を明確に把握することができない場合がある。そのような場合には、そのピーク位置を以下のようにして求めればよい。すなわち、各々のピーク位置が互いに異なる2以上のローレンツィアン形状の足し合わせにより特性X線スペクトルの形状が表されるとして、最小二乗法または準ニュートン法によるフィッティング処理により各ローレンツィアン形状ピーク位置,ピーク強度および半値幅を求める。そして、その求めたローレンツィアン形状に基づいて、特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置を求めることができる。また、フィッティング処理の前に、酸素元素のKα線ピークが基準値となるように各特性X線スペクトルを規格化してもよい。以下では、第1元素がSi元素であって、第2元素がGe元素であるとして、より具体的な例について説明する。この場合、対象物および標準試料それぞれは、一般式Si1-XGeXO2で表される。ただし、0≦X≦1である。標準試料測定ステップS1では、Ge組成比Xが既知であって互いに異なるN個の標準試料それぞれに対してEPMA測定が行われて特性X線スペクトルS1~SNが求められる。関係式作成ステップS2では、特性X線スペクトルS1~SNにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置E1~ENに基づいて、特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置EとGe組成比Xとの間の関係式が作成される。この関係式はGe組成比Xの一次関数または二次関数で表される。対象物測定ステップS3では、対象物Si1-XGeXO2に対してEPMA測定が行われて、対象物Si1-XGeXO2の特性X線スペクトルS0が求められる。そして、組成比算出ステップS4では、この対象物Si1-XGeXO2の特性X線スペクトルS0におけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置E0と上記関係式とに基づいて、対象物Si1-XGeXO2のGe組成比Xが求められる。次に、本実施形態の組成比測定方法の実施例について説明する。ここでは、6個のサンプルを用意した。そのうち5個のサンプル1~5それぞれは、コア領域にGeがドープされたSiO2ガラスの光ファイバ母材であった。5個のサンプル1~5それぞれについてICPにより質量分析したところ、サンプル1のGe濃度は001未満であり、サンプル2のGe濃度は39であり、サンプル3のGe濃度は106であり、サンプル4のGe濃度は149であり、また、サンプル5のGe濃度は195であった。ICPはサンプル全体の平均的な組成情報しか得ることができない。これに対してEPMAは局所的な元素分析をすることができる。そこで、サンプル1~5それぞれの断面において中心位置を通過するラインに沿ってEPMA測定を行って、そのライン上の分布情報を得て、これに基づいてサンプル1~5それぞれの断面の中心におけるGe組成比を推定した。その結果、サンプル1のGe濃度は001未満であり、サンプル2のGe濃度は50であり、サンプル3のGe濃度は120であり、サンプル4のGe濃度は243であり、サンプル5のGe濃度は288であった。なお、サンプル1は、Si元素および酸素元素からなる2元系の酸化物と見做し得る。サンプル6として、Aldrich社製のGeO2X≧999999を用いた。なお、サンプル6は、Ge元素および酸素元素からなる2元系の酸化物と見做し得る。サンプル1~5については、鏡面研磨を行って、その研磨面に対してEPMA測定を行った。サンプル6については、G2エポキシに樹脂埋めし、クロスセクションポリッシャにより断面加工した。EPMA測定装置として日本電子製JXA8530Fを使用して、サンプル1~6それぞれに対してEPMA測定を行った。EPMA測定条件としては、加速電圧は8kVであり、照射電流量は200nAであり、電子ビーム形状は円であり、電子ビーム径は20μmmであり、エネルギー範囲は520~537eVであり、サンプリングタイムは1sであり、積算回数は1回であり、X線分光結晶はTAPであり、PHA条件はベース04Vであり、ウィンドウは34Vであった。このような条件でEPMA測定を行って、サンプル1~6それぞれの特性X線スペクトルを得た。サンプル1~6それぞれの特性X線スペクトルを以下のようにして解析した。先ず、酸素元素のKα線ピークが基準値となるように各特性X線スペクトルを規格化した。その後、サンプル1~6それぞれの特性X線スペクトルの形状を4個のローレンツィアン形状の足し合わせにより表すことができるとして、準ニュートン法によるフィッティング処理により各ローレンツィアン形状ピーク位置,ピーク強度および半値幅を求めた。4個のローレンツィアン形状は、519~522eVにピーク1を有するもの、524~525eVにピーク2を有するもの、526eV付近にピーク3を有するもの、および、532eV付近にピーク4を有するものであった。図2は、サンプル1について、EPMA測定を行って得られた実測の特性X線スペクトル、準ニュートン法により収束させた後のピーク1~4それぞれのローレンツィアン形状、および、これらピーク1~4それぞれのローレンツィアン形状を足し合わせたもの、を示す図である。同図に示されるように、EPMA測定を行って得られた実測の特性X線スペクトルは、準ニュートン法により収束させた後のピーク1~4それぞれのローレンツィアン形状を足し合わせたものと、よく一致している。したがって、このピーク1のピーク位置を明確に把握することができる。図3は、サンプル1~6それぞれについてEPMA測定を行って得られた実測の特性X線スペクトルを示す図である。同図から判るように、ピーク2のピーク位置が一定であるのに対して、ピーク1のピーク位置はGe濃度により異なっている。すなわち、Ge濃度が大きいほど、ピーク1のピーク位置は高エネルギー側にシフトしている。図4および図5それぞれは、サンプル1~6それぞれの特性X線スペクトルについて求めたピーク1の位置EとGe濃度との関係を示すグラフである。図4に示されるように、Ge濃度Xが小さい場合30wt以下の場合、ピーク位置EeVはGe濃度Xwtに対して一次関数でよく表すことができる。この一次関数はE=00087X5209なる式で表され、誤差はR2=09831である。一方、図5に示されるように、Ge濃度Xの全範囲において、ピーク位置EeVはGe濃度Xwtに対して二次関数でよく表すことができる。この二次関数はE=00002X200031X52092なる式で表され、誤差はR2=09978である。このように、第1元素および第2元素の双方または何れか一方と酸素元素とからなる2元系または3元系の酸化物の特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置は、該酸化物の組成比に対して一次関数または二次関数でよく表される。このことを利用して、本実施形態の組成比測定方法は、N個の標準試料それぞれの特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置E1~ENに基づいて、このピーク位置と組成比との間の関係式一次関数式または二次関数式を作成することができる。そして、本実施形態の組成比測定方法は、この関係式を用いることで、第1元素,第2元素および酸素元素からなる3元系の酸化物である対象物の特性X線スペクトルにおけるエネルギー範囲519~522eV内のピーク位置から、該対象物の組成比を求めることができる。エネルギー範囲519~522eV内のピーク位置と組成比との間の関係式が一次関数式で表される範囲であれば、N=2でよい。エネルギー範囲519~522eV内のピーク位置と組成比との間の関係式が二次関数式で表される範囲であれば、N=3でよい。したがって、本実施形態の組成比測定方法は、3元系の酸化物である対象物の組成比を容易に測定することができる。図6は、3元系の酸化物Si1-XGeXO2のエネルギー準位を説明する図である。酸素のKα線は、2p準位から1s準位への遷移に因るものである。同図中には、ピーク1~3それぞれに対応する遷移が示されている。Si元素の価電子は22であり、Ge元素の価電子は22である。Ge元素の価電子の方が準位が高いので、SiO2にGeをドープしていくと、同図の5A1準位が高エネルギー側にシフトする。この効果が特性X線スペクトルにおけるピーク1のピークシフトとなって現れる。本実施形態は、このような現象を利用したものである。"