液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路と、該流路内の液体を循環させる循環流路と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備し、前記循環流路には、液体が流れる順方向に対して傾斜して設けられて、当該循環流路の断面積を前記順方向の下流に向かって漸小させる第1壁面と、前記順方向に対して傾斜して設けられて前記第1壁面によって漸小した断面積を漸大させる第2壁面と、を具備する絞り部が設けられており、前記第1壁面の前記循環流路の当該第1壁面よりも上流側の内面に対する傾斜角度は、前記第2壁面の前記循環流路の当該第2壁面よりも下流側の内面に対する傾斜角度よりも大きいことを特徴とする液体噴射ヘッド。前記絞り部が複数設けられていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。前記第1壁面が、曲面で形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。前記流路は、複数の前記圧力発生室に共通して連通する共通液体室を具備すると共に、前記循環流路は、その両端部が前記共通液体室に連通して設けられていることを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記流路は、複数の前記圧力発生室に共通して連通する共通液体室を具備すると共に、前記循環流路は、一端部が前記共通液体室に連通し、他端部が前記各圧力発生室に連通して設けられていることを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。請求項1~5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。しかしながら、特許文献1及び2のように、複数の圧力発生室に共通して連通する共通液体室のインクを循環させるには、ポンプ等の圧力を発生する手段が必要になり、大型化すると共に、高コストになってしまうという問題がある。なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。本発明はこのような事情に鑑み、液体の増粘や成分の沈降を抑制して液体の噴射品質を向上すると共に小型化してコストを低減した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路と、該流路内の液体を循環させる循環流路と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備し、前記循環流路には、液体が流れる順方向に対して傾斜して設けられて、当該循環流路の断面積を前記順方向の下流に向かって漸小させる第1壁面と、前記順方向に対して傾斜して設けられて前記第1壁面によって漸小した断面積を漸大させる第2壁面と、を具備する絞り部が設けられており、前記第1壁面の前記循環流路の当該第1壁面よりも上流側の内面に対する傾斜角度は、前記第2壁面の前記循環流路の当該第2壁面よりも下流側の内面に対する傾斜角度よりも大きいことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。かかる態様では、絞り部を設けることで、循環流路を通る液体の順方向と、その逆の方向である逆方向とで流路抵抗に差を生じさせることができる。このため、圧力発生手段による流路内の液体への圧力変動だけで、液体を循環させることができ、別途ポンプ等が不要となって小型化及びコストの低減を図ることができる。ここで、前記絞り部が複数設けられていることが好ましい。これによれば、順方向と逆方向との流路抵抗の差比率を大きくすることができる。また、前記第1壁面が、曲面で形成されていてもよい。また、前記流路は、複数の前記圧力発生室に共通して連通する共通液体室を具備すると共に、前記循環流路は、その両端部が前記共通液体室に連通して設けられていることが好ましい。これによれば、共通液体室の液体を循環することができる。また、前記流路は、複数の前記圧力発生室に共通して連通する共通液体室を具備すると共に、前記循環流路は、一端部が前記共通液体室に連通し、他端部が前記各圧力発生室に連通して設けられていることが好ましい。これによれば、ノズル開口近傍の液体を循環させることができ、液滴として吐出される直前の液体の乾燥や含まれる成分の沈降を確実に抑制することができる。さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、液体の噴射品質を向上して小型化した液体噴射装置を実現できる。以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。実施形態1図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の短手方向の断面図であり、図3は、図2のA-A′線断面図及びその要部を拡大した断面図であり、図4は、流路構成を示す断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位110のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に並設された列が2列形成されている。なお、圧力発生室12が幅方向に並設された2列は、一方の圧力発生室12の列に対して、他方の圧力発生室12の列が、幅方向で圧力発生室12の隣り合う間隔の半分だけずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口21も同様に、ノズル開口21の2列が半分の間隔だけずれて配置されて、解像度を2倍にしている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向の一端部側には、インク供給路14が設けられており、複数の圧力発生室12に共通する共通液体室であるマニホールド100からのインクがインク供給路14を介して圧力発生室12に供給される。なお、インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、マニホールド100から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。ちなみに、本実施形態では、共通流路であるマニホールドに連通する複数の個別流路を圧力発生室12とインク供給路14とが構成している。また、流路形成基板10の開口面側弾性膜50とは反対側には、連通板15が接着剤や熱溶着フィルム等を介して設けられている。連通板15には、各圧力発生室12に連通する厚さ方向に貫通した連通路16が設けられている。連通路16は、圧力発生室12の長手方向において、インク供給路14と連通する端部とは反対側の端部に連通して設けられている。また、連通路16は、各圧力発生室12毎に独立して設けられている。そのため、連通路16も、圧力発生室12が成す列と同様に略直線上に並設されている。このような連通路16を介して圧力発生室12は詳しくは後述するノズル開口21と連通している。また、連通板15には、循環流路17が設けられている。循環流路17は、圧力発生室12が成す列と当該列に隣接されて略直線上に並設された圧力発生室12のもう一つの列の間に、圧力発生室12の並設方向に沿って、複数の圧力発生室12に亘って設けられている。そして、この循環流路17には、連通板15の各連通路16が、各連通路16毎に設けられて、ノズルプレート20側に開口する凹形状を有する循環連通路16aを介してそれぞれ連通されている。また、本実施形態では、循環流路17には、並設された圧力発生室が成す列のそれぞれが各連通路16を介して共通して連通されている。このような循環流路17は、連通板15を厚さ方向に貫通して設けられている。また、本実施形態では、流路形成基板10の循環流路17の一部に面するように、凹形状を有する拡張部18が設けられている。この拡張部18は、循環流路17と略同じ開口幅を有し、且つ循環流路17と略同じ開口長さを有する凹形状で設けられており、循環流路17の断面積流路径方向の断面積を広げている。すなわち、実際には、連通板15に設けられた循環流路17と、流路形成基板10に設けられた拡張部18とが本実施形態の循環流路を構成している。また、循環流路17の途中には、当該循環流路17の断面積インクの流れを横断する流路径方向の断面積を漸小させると共に、元の大きさに漸大させる絞り部200が設けられている。この絞り部200については詳しくは後述する。なお、循環流路17の拡張部18が設けられたのとは反対側の面ノズルプレート20側の面は、ノズルプレート20によって封止されている。このような連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積流路形成基板10との接合面を有し、流路形成基板10のインク供給路14の外周で詳しくは後述するケース部材40との間でマニホールド100を画成する。このため、連通板15は、液滴の吐出方向からの平面視において、ケース部材40と略同じ面積を有する。また、連通板15の流路形成基板10とは反対側には、ノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等を介して設けられている。ノズルプレート20は、各連通路16を介して各圧力発生室12と連通するノズル開口21が設けられている。なお、ノズルプレート20は、ステンレス鋼等の金属や、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板などからなる。このようなノズルプレート20は、本実施形態では、連通板15よりも小さい。ノズルプレート20は、少なくとも2列の連通路16のノズルプレート20側の開口を共通して覆う大きさを有する。また、ノズルプレート20は、循環流路17を封止する大きさを有する。すなわち、ノズルプレート20は、連通板15の一方面を全て覆うことなく、連通板15に設けられた循環流路17と連通路16とを覆う大きさで設けられている。このように、ノズルプレート20の吐出方向からの平面視の面積を連通板15の吐出方向からの平面視の面積よりも小さくすることで、コストを低減することができる。ちなみに、図示していないが、ノズルプレート20の液体噴射面連通板15とは反対側の面には、撥水性撥液性を有する撥水膜が設けられている。このような撥水膜は高価であり、撥水膜を成膜する面積に応じてノズルプレート20のコストは高くなる。本実施形態では、ノズルプレート20の面積を小さくすることで、撥水膜を成膜する面積を狭めてノズルプレート20のコストを低減することができる。もちろん、ノズルプレート20の材料である金属板やセラミックス板の面積を単純に小さくすることでコストを低減することができる。一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、例えば、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とが、成膜及びリソグラフィー法によって順次積層されて圧電アクチュエーター300を構成している。ここで、圧電アクチュエーター300は、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第1電極60は圧電アクチュエーター300の共通電極とし、第2電極80を圧電アクチュエーター300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び第1電極60が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50及び絶縁体膜55を設けずに、第1電極60のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター300自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。また、各圧電アクチュエーター300の個別電極である第2電極80には、例えば、金Au等からなるリード電極90がそれぞれ接続されている。このリード電極90には、駆動IC等の駆動回路120が設けられたフレキシブル配線であるCOF等の配線基板121が接続されており、駆動回路120からの信号は、配線基板121及びリード電極90を介して各圧電アクチュエーター300に供給される。また、流路形成基板10上の圧電アクチュエーター300側の面には、圧電アクチュエーター300に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な保持部31を有する保護基板30が接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。圧電アクチュエーター300は、この保持部31内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。本実施形態では、圧力発生室12が幅方向に並設された2列に対応して圧電アクチュエーター300が幅方向に並設された列が2列設けられているため、保持部31を圧電アクチュエーター300の幅方向に並設された列に亘って共通して設けると共に、保持部31を各圧電アクチュエーター300の列毎に独立して設けた。また、保護基板30には、2つの保持部31の間に、保護基板30を厚さ方向に貫通して設けられた貫通孔32が設けられている。流路形成基板10の圧電アクチュエーター300から引き出されたリード電極90の端部は、貫通孔32内に露出するように延設されており、リード電極90と配線基板121とは貫通孔32内で電気的に接続されている。このような保護基板30は、本実施形態では、流路形成基板10と略同じ大きさ接合面側の面積で形成されている。また、保護基板30の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。また、保護基板30の流路形成基板10とは反対面側には、マニホールド100を構成するケース部材40が接合されている。ケース部材40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30を内部に保持する凹部41を有する。凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い面積を有し、流路形成基板10と保護基板30とを接合して合わせた厚さと略同じ深さを有する。そして、凹部41の開口面を連通板15で封止することで、凹部41内に保護基板30及び流路形成基板10を保持する。すなわち、凹部41の内面に保護基板30の流路形成基板10とは反対側の面が接合されていると共に、ケース部材40の凹部41が開口する面凹部41の周囲の面に連通板15の流路形成基板10側の面が接合されている。これにより、凹部41内に流路形成基板10及び保護基板30が保持されると共に、流路形成基板10及び保護基板30のインク供給路14側の外側端面に、ケース部材40と連通板15とによって画成された空間であるマニホールド100が形成される。本実施形態では、ケース部材40の凹部41の中央部に保護基板30及び流路形成基板10を保持させて、凹部41の中央部の両側に、各圧力発生室12に共通して連通するマニホールド100を形成するようにした。このようなマニホールド100は、図4に示すように、流路形成基板10及び保護基板30の周囲に亘って連続して設けられている。また、マニホールド100は、ケース部材40に設けられた導入路42から流入したインクをそれぞれの圧力発生室12の列に分配するように分岐した流路を有している。このようなマニホールド100の側面は、流路形成基板10及び保護基板30の端面によって画成されている。そして、循環流路17の一端部側は、マニホールド100に連通することなく、圧力発生室12に連通路16及び循環連通路16aを介して連通され、他端部側は、圧力発生室12の並設方向でマニホールド100と連通されている。また、ケース部材40には、マニホールド100に連通して当該マニホールド100にインクを供給する導入路42が設けられている。導入路42は、流路形成基板10及び保護基板30の圧力発生室12の短手方向の一方側の辺に設けられたマニホールド100の上部連通板15とは反対側の中央部に連通するように配置されている。このような導入路42には、図示しない外部のインクが貯留された液体貯留手段に接続されたチューブなどの管状部材である供給管が接続される。勿論、導入路42には、インクカートリッジなどの液体貯留手段を直接接続してもよい。また、ケース部材40の凹部41の保護基板30が接合される底面には、封止膜45が設けられている。封止膜45は、剛性が低く可撓性を有する材料、例えば、ポリフェニレンサルファイドPPS等からなり、この封止膜45によってマニホールド100の一部が封止されている。また、ケース部材40のマニホールド100に相対向する領域は、凹形状を有する空間部46となっているため、マニホールド100のケース部材40側連通板15とは反対側の一部は、封止膜45のみで封止された撓み変形可能な可撓部47となっている。さらに、ケース部材40には、厚さ方向に貫通して、保護基板30の貫通孔32に連通する接続口48が設けられている。この接続口48に挿通された配線基板121が、保護基板30の貫通孔32を挿通されてリード電極90と接続される。また、ケース部材40の凹部41が開口する面とは反対面の接続口48の開口縁部には、壁部49が設けられている。この壁部49には、配線基板121と、配線基板121に接続される接続基板122と、が保持されている。接続基板122は、本実施形態では、外部配線が接続されるコネクター123が設けられたリジット基板からなり、リード電極90に接続された配線基板121が電気的に接続される。そして、接続基板122のコネクター123に外部配線図示なしが接続されることで、外部配線からの印刷信号を配線基板121に供給する。このようなケース部材40を用いてマニホールド100を形成することで、流路形成基板10及び保護基板30を小型化することができる。ここでたとえば、流路形成基板や保護基板にマニホールドを設ける場合、流路形成基板及び保護基板がマニホールドの周壁を画成させることになり、流路形成基板と保護基板とが圧力発生室の長手方向に大きくなってしまう。これに対して、本実施形態では、流路形成基板10及び保護基板30の端面がマニホールド100の一方面圧力発生室12の長手方向を画成し、マニホールド100の他方の面をケース部材40が画成するようにしたため、流路形成基板10及び保護基板30を小型化することができる。これにより、シリコンウェハー等の大判の基板に、複数の流路形成基板10や保護基板30を一体的に形成する際に、流路形成基板10及び保護基板30を小型化することで、大判の基板からの取り数を増やすことができ、コストを低減することができる。なお、シリコンウェハー等の大判の基板に複数の流路形成基板10や保護基板30を一体的に形成することで、複数の流路形成基板10や保護基板30を同時に形成することが可能となり、コストを低減することができる。また、本実施形態では、マニホールド100のノズルプレート20側の面を連通板15で画成するようにしたため、ノズルプレート20が積層方向厚さ方向でマニホールド100に重なる大きさは不要になる。これにより、ノズルプレート20の面積を狭くすることができ、ノズルプレート20のコストを低減することができる。ここで、循環流路17に設けられた絞り部200について図4、図5及び図6を参照して詳細に説明する。なお、図5は、流路の要部を拡大した斜視図であり、図6は、流路の要部を拡大した平面図である。図示するように、絞り部200は、循環流路17の各循環連通路16aに接続された領域よりも下流側循環連通路16aとは反対側に複数、本実施形態では2つ設けられている。この絞り部200は、循環流路17の内面から流路の径方向に突出して設けられている。すなわち、絞り部200は、循環流路17を圧力発生室12側からマニホールド100循環連通路16aとは反対側側に向かって流れるインクの流れ以下、順方向dというに対して交差する方向に突出して、循環流路17の流路径方向の断面積を狭く絞るように設けられている。なお、以下、循環流路17の断面積とは、流路径方向の断面積のことであり、順方向dを横断する断面積のことである。また、絞り部200は、順方向dに対して傾斜して設けられて循環流路17の断面積を下流側循環連通路16aとは反対側に向かって漸小させる第1壁面201と、順方向dに対して傾斜して設けられて第1壁面201によって漸小した循環流路17の断面積を漸大させて、第1壁面201の上流側と同じ断面積に戻す第2壁面202と、を具備する。すなわち、絞り部200は、順方向dにおいて上流側に相対向する第1壁面201と、下流側に相対向する第2壁面202と、を有する。また、絞り部200は、第1壁面201及び第2壁面202が、平坦面で形成されており、その先端面で連続した形状、すなわち、絞り部200を流路形成基板10側から上面視した際に三角形状を有する。そして、絞り部200の第1壁面201は、当該第1壁面201よりも順方向dで上流側の循環流路17の内面に対する傾斜角度θ1が、第2壁面202の当該第2壁面202よりも順方向dで下流側の循環流路17の内面に対する傾斜角度θ2よりも大きくなっているθ1>θ2。すなわち、絞り部200の第1壁面201は、順方向dの単位距離当たりの循環流路17の断面積を減少させる割合減少率:傾きが、第2壁面202の順方向dとは反対向きの逆方向の単位距離当たりの循環流路17の断面積を減少させる割合減少率:傾きよりも小さくなっている。このように第1壁面201及び第2壁面202を有する絞り部200を設けると、循環流路17を流れるインクの順方向dの流路抵抗は、逆方向の流路抵抗よりも小さくすることができる。具体的には、絞り部200によって絞った循環流路17の幅圧力発生室12の長手方向の幅を5.0μmにすると、順方向dの流路抵抗と逆方向の流路抵抗との比率は0.84となる。また、絞り部200によって循環流路17の幅を10μmにすると、流路抵抗の比率は0.65となる。したがって、このようなインクジェット式記録ヘッド1では、圧電アクチュエーター300の駆動によって圧力発生室12の容積を拡大縮小して、圧力発生室12内のインクに正圧及び負圧を発生させると、循環流路17内をインクが順方向d及び逆方向に往復する。このとき、絞り部200を設けることによって、循環流路17内を流れるインクの流路抵抗は順方向dと逆方向とで差があるため、順方向dにはインクが流れやすく、逆方向にはインクが流れ難くなる。これにより、圧電アクチュエーター300の駆動によって、圧力発生室12内のインクを循環流路17を順方向dに送ることができる。ちなみに、このような圧電アクチュエーター300の駆動は、例えば、インク滴を吐出する駆動ではなく、ノズル開口21からインク滴が吐出されない程度の電圧を印加する、所謂、微振動駆動を行わせればよい。このように、圧電アクチュエーター300の駆動だけで、循環流路17のインクを一方向に移動させることができるため、別途ポンプ等を設けることなく、インクを循環させることができる。このため、インクジェット式記録ヘッド1を小型化することができると共に、コストを低減して、インクの循環を実現し、インクの乾燥による増粘や、インクに含まれる成分の沈降を抑制することができる。なお、上述した例では、2つの絞り部200を循環流路17の相対向する壁面にそれぞれ設けるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図7に示すように、2つの絞り部200を循環流路17の同一壁面から同じ方向に突出させて設けてもよい。また、絞り部200の第1壁面201及び第2壁面202は、循環流路17の断面積を順方向dに漸小又は漸大させればよいため、平坦面に限定されるものではない。すなわち、例えば、図8に示すように、絞り部200Aに、平坦面ではなく、曲面状断面が円弧状となる第1壁面201Aを設けるようにしてもよい。もちろん、絞り部200、200Aの数やその配置は上述したものに限定されず、例えば、絞り部200、200Aを1個又は3個以上設けるようにしてもよく、また、絞り部200、200Aを循環連通路16a等に設けるようにしてもよい。そして、このようなインクジェット式記録ヘッド1は、液体貯留手段5から導入路42を介してインクを取り込み、マニホールド100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路120からの信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの第1電極60と第2電極80との間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、第1電極60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。また、圧力発生室12に供給されたインクは、上述のように圧電アクチュエーター300の駆動によって連通路16、循環流路17を介してマニホールド100に戻される、いわゆる循環を行わせることができる。このとき、圧力発生室12とノズル開口21とを連通する連通路16を設け、連通路16を循環流路17と接続することにより、ノズル開口21近傍の吐出直前のインクをマニホールド100に回収することができる。したがって、吐出直前のインクの乾燥による増粘や、インクに含まれる成分の沈降を抑制して、一定時間が経過した後であっても、インク吐出特性を略一定に揃えることができる。したがって、吐出特性のばらつきを抑制して液体の噴射品質を向上することができる。実施形態2図9は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図10は、流路形成基板を示す平面図である。図9に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド1Aは、複数の圧力発生室412が並設された流路形成基板410と、各圧力発生室412に連通する複数のノズル開口421が穿設されたノズルプレート420と、流路形成基板410のノズルプレート420とは反対側の面に設けられる振動板450と、振動板450上に設けられる圧電アクチュエーター500とを有する。流路形成基板410には、図9及び図10に示すように、各圧力発生室412が隔壁によって区画されてその幅方向に複数並設されている。また流路形成基板410の圧力発生室412の長手方向の一端側には、マニホールド600が流路形成基板410を貫通して設けられている。そして、各圧力発生室412とマニホールド600とは、それぞれインク供給路419を介して接続されている。このインク供給路419は、本実施形態では、圧力発生室412よりも狭い幅で形成されており、マニホールド600から圧力発生室412に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。一方、流路形成基板410の圧力発生室412の長手方向の他端部側には、循環液室418が設けられている。この循環液室418とマニホールド600とは流路形成基板410に形成される複数の循環流路417によってそれぞれ連通している。循環流路417は、圧力発生室412が一以上で構成される圧力発生室群の間に形成されている。本実施形態では、循環流路417を、各圧力発生室412の両側、すなわち、圧力発生室412の列の両外側と、互いに隣り合う圧力発生室412の間とにそれぞれ設けた。つまり、本実施形態では、圧力発生室群を1つの圧力発生室412で構成するようにした。なお、圧力発生室群を2つの圧力発生室412で構成し、循環流路417を圧力発生室群の間、すなわち、互いに隣り合う圧力発生室412の間を一つおきに設けるようにしてもよい。もちろん、圧力発生室群を構成する圧力発生室412の数は、3つ以上であってもよい。このような各循環流路417は、マニホールド600と循環液室418との間に略一定幅で形成されている。例えば、本実施形態では、各循環流路417は、圧力発生室412と略同一の幅で、且つ流路形成基板410を貫通して形成されている。また、圧力発生室412は、本実施形態では、流路形成基板410を貫通することなく形成されており、圧力発生室412のマニホールド600とは反対の端部側には、流路形成基板410を貫通してノズル開口421に連通する連通路416が形成されている。また、流路形成基板410の一方面側にはノズルプレート420が接合されている。そして上述のように各ノズル開口421が流路形成基板410に設けられた連通路416を介して各圧力発生室412と連通している。また、流路形成基板410の他方面側、すなわち圧力発生室412の開口面側には振動板450が接合され、圧力発生室412、循環流路417、マニホールド600及び循環液室418等はこの振動板450によって封止されている。そして圧力発生室412に対応する振動板450上には圧電アクチュエーター500が、その先端部を当接させた状態で固定されている。圧電アクチュエーター500は、圧電体層470と個別内部電極480及び共通内部電極460とが交互に積層され、圧電変形に寄与しない不活性領域が固定基板490に固着されている。また圧電アクチュエーター500の不活性領域には、駆動回路120が搭載された配線基板121が接続されている。また、振動板450上には、圧力発生室412に圧力変化を生じさせる圧力発生手段である圧電アクチュエーター500が固定基板490に固定された状態で収容される収容部441を有するケース部材440が固定されている。ケース部材440には、マニホールド600に連通する導入路442図10参照が設けられている。そして、導入路442には、図示しない管状部材である供給管を介して液体貯留手段が接続されている。また、液体貯留手段からマニホールド600に供給されたインクは、循環流路417を介して循環液室418に充填され、循環液室418のインクは、本実施形態で、圧力発生室12が並設された両側の循環流路417を介してマニホールド600に回収される。すなわち、本実施形態の循環流路は、循環流路417と循環液室418とで構成されており、このような循環流路は、両端部がマニホールド600に連通していると言える。さらに、各圧力発生室412の間に設けられた循環流路417には、上述した実施形態1と同様の絞り部200がそれぞれ2つずつ設けられている。この絞り部200は、第1壁面201がマニホールド600側に向かい、第2壁面202が循環液室418に向かうように配置されている。また、圧電アクチュエーター500の先端が当接する振動板450は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜451と、この弾性膜451を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板452との複合板で形成されており、弾性膜451側が流路形成基板410に接合されている。また振動板450の各圧力発生室412に対向する領域内には、圧電アクチュエーター500の先端部が当接する島部453が設けられている。すなわち振動板450の各圧力発生室412の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部454が形成されて、この薄肉部454の内側にそれぞれ島部454が設けられている。なお、振動板450のマニホールド600に対向する領域には、薄肉部454と同様に、支持板452が除去されて実質的に弾性膜451のみで構成される可撓部455が設けられている。ケース部材440の可撓部455に対向する部分には、可撓部455の変形を許容する空間である空間部456が形成されている。このようなインクジェット式記録ヘッド1Aでは、図示しない液体貯留手段からのインクが導入路442に供給され、導入路442に供給されたインクは、マニホールド600に供給される。マニホールド600に供給されたインクは、一部が圧力発生室412に供給されて、所望のタイミングで圧電アクチュエーター500が駆動することで圧力発生室412の容積を変化させてノズル開口421からインク滴が吐出される。また、圧電アクチュエーター500が駆動することで発生した圧力発生室412内のインクの圧力変動がマニホールド600内のインクに伝わり、マニホールド600内のインクは循環流路417及び循環液室418を介してマニホールド600に回収される、所謂、循環が行われる。このように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド1Aであっても、上述した実施形態1と同様に、別途ポンプ等が不要となって、圧電アクチュエーター500の駆動のみで、インクを循環させることができるため、小型化を図ることができると共に、コストを低減することができる。他の実施形態以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した各実施形態では、流路形成基板10として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、SOI基板、ガラス、金属等の材料を用いるようにしてもよい。また、上述した各実施形態では、圧力発生室12に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター300及び縦振動型の圧電アクチュエーター500を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。また、これら上述したインクジェット式記録ヘッド1は、インクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図11は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。本実施形態のインクジェット式記録装置は、装置本体にインクジェット式記録ヘッド1を固定し、ノズル開口21の並設方向に対して直交する方向に記録用紙等の被噴射媒体を搬送することで被噴射媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置である。具体的には、図11に示すように、インクジェット式記録装置Iは、インクジェット式記録ヘッド1を具備するインクジェット式記録ヘッドユニット2と、装置本体3と、被記録媒体である記録シートSを給紙するローラー4と、液体貯留手段5とを備えている。インクジェット式記録ヘッドユニット2以下、ヘッドユニット2とも言うは、複数のインクジェット式記録ヘッド1と、複数のインクジェット式記録ヘッド1を保持する板状のベースプレート6と、を具備する。このヘッドユニット2は、ベースプレート6に取り付けられたフレーム部材7を介して装置本体3に固定されている。また、装置本体3にはローラー4が設けられている。ローラー4は、装置本体3に給紙された被噴射媒体である紙等の記録シートSを搬送し、記録シートSをインクジェット式記録ヘッド1のインクの吐出面側を通過させる。また、上述したように、各インクジェット式記録ヘッド1には、装置本体3に固定されてインクを貯留する液体貯留手段5がフレキシブルチューブ等の供給管8を介して接続されている。液体貯留手段5からのインクは、供給管8を介して各インクジェット式記録ヘッド1に供給される。このようなインクジェット式記録装置Iでは、ローラー4により搬送方向に記録シートSが搬送されると共に、ヘッドユニット2のインクジェット式記録ヘッド1によってインクが吐出されて記録シートSに画像等が印刷される。なお、上述した例では、複数のインクジェット式記録ヘッド1を具備するヘッドユニット2をインクジェット式記録装置Iに1つだけ設けるようにしたが、インクジェット式記録装置Iに搭載するヘッドユニット2を2つ以上設けてもよい。また、インクジェット式記録装置Iに直接インクジェット式記録ヘッド1を搭載するようにしてもよい。また、上述した実施形態1及び2では、インクジェット式記録ヘッド1、1Aの内部でインクを循環させるようにしたが、勿論これに限定されず、インクジェット式記録ヘッド1、1Aの外部でインクを循環させるようにしてもよい。すなわち、液体貯留手段5に循環流路17、417から排出されたインクを回収する回収管を接続するようにしてもよい。さらに、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド1が固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置Iを例示したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、記録シートSの搬送方向と交差する方向主走査方向に移動するキャリッジにインクジェット式記録ヘッド1を搭載し、インクジェット式記録ヘッド1を主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。また、本実施形態では、液体貯留手段5が装置本体3に固定されたタイプのインクジェット式記録装置Iを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクカートリッジ等の液体貯留手段を各インクジェット式記録ヘッド1、インクジェット式記録ヘッドユニット2又はキャリッジ等に固定するタイプのインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。さらに本実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED電界放出ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。