支持体と、第1のマス要素と、第2のマス要素とを具備する加速度計であって、前記第1及び第2のマス要素は、ユニタリ可動プルーフマスを形成するように緊密に互いに連結され、前記支持体は、前記第1のマス要素と前記第2のマス要素との間に少なくとも部分的に位置され、複数の装着脚が、前記支持体に対する移動に対して前記第1及び第2のマス要素を支持し、可動コンデンサフィンガの少なくとも2つのグループが、前記第1のマス要素に設けられ、かつ、前記支持体と連結された固定コンデンサフィンガの対応するグループと互いに噛合し、可動コンデンサフィンガの少なくとも2つのグループが、前記第2のマス要素に設けられ、かつ、前記支持体と連結された固定コンデンサフィンガの対応するグループと互いに噛合している加速度計。単一の、共有の電気接続部が、前記支持体と連結された固定コンデンサフィンガの2つのグループに接続部を与えるように設けられている請求項1の加速度計。単一の電気接続部が、前記支持体と連結された固定コンデンサフィンガの他の2つのグループに接続部を与えるように設けられている請求項2の加速度計。前記第1及び第2のマス要素が移動することができる距離を制限するように動作可能な停止形成部をさらに具備する請求項1ないし3のいずれか1の加速度計。前記停止形成部は、前記コンデンサフィンガのうち隣接しているコンデンサフィンガの間の接触を防ぐのに十分な程度にこのような移動を制限するように配置されている請求項4の加速度計。前記停止形成部は、前記第1のマス要素及び第2のマス要素と同じ電位にある前記支持体の一部に設けられている請求項4又は5の加速度計。前記第1及び第2のマス要素は、ブレースバーによって互いに連結されている請求項1ないし6のいずれか1の加速度計。前記ブレースバーは、前記第1及び第2のマス要素のフィンガのグループと前記支持体との間に延びている請求項7の加速度計。前記マス要素及び支持体は、使用の際、1対の基板間に支持されたシリコンウェーハのエッチングによって製造されている請求項1ないし8のいずれか1の加速度計。前記マス要素と前記支持体との間のスペースは、前記プルーフマスの動きを減衰させるように、シールされ、ガスで充填されている請求項9の加速度計。添付図面を参照してここに実質的に記載された加速度計。互いに一体的に形成され、互いに垂直であるように方向決めして配置された請求項1ないし11のいずれか1の1対の加速度計を有する2軸加速度装置。まず、図1を参照すると、支持体12を有する加速度計10が図示され、プルーフマス14が、一連の装着脚16によって支持体12に可動であるように装着されている。プルーフマス14、装着脚16及び支持体12は、互いに一体的に形成されており、ほぼ同一平面上にあり、例えば、シリコンウェーハの適切なエッチング又は他の処理によって製造されている。プルーフマス14は、1対の装着脚16によって支持体12に接続された第1のマス要素18と、他の対の装着脚16によって支持体12に接続された第2のマス要素20とにより構成されている。クロスブレース22は、使用の際、第1のマス要素18及び第2のマス要素20が同調して一緒に動いて、単一の質量体として振る舞うのを確実にするようにして、第1のマス要素18と第2のマス要素20とを互いに連結している。装着脚16は、全て、互いに平行であり、図1に矢印Aで示されるセンシング方向にほぼ垂直に延びている。プルーフマス14は、使用の際、支持体12に対して移動可能である。装着脚16は、中心の静止位置に向かってプルーフマス14を付勢するように、プルーフマス14にバイアス負荷を加える。使用の際、加速度計10がセンシング方向Aへの加速を受けると、プルーフマス14の慣性が、プルーフマス14を支持体12に対して移動させ、このような移動は、装着脚16の撓みによって受けられ、その中心位置に向かって戻るようにプルーフマス14を付勢する装着脚16の弾性エネルギによって加えられた回復負荷の作用に対して起こる。プルーフマス14が移動する距離は、加速度計が晒される加速の大きさに関連している。図示されるように、第1のマス要素18と第2のマス要素20とは、互いに離間されている。また、支持体12は、第1のマス要素と第2のマス要素との間のスペースに延びている。ブレース22はまた、このスペースを横切って延びている。また、支持体12は、ブレークを含むように形成されており、ブレース22がこのブレークを通って延びており、これにより、プルーフマス14が支持体12に対して自由に移動することができる。従って、支持体12は、上述のブレークによって分離された上側支持部分12aと下側支持部分12bとの形態を取る。図6に示されるように、第1のマス要素18は、可動コンデンサフィンガの上側グループ24と下側グループ26とを保持しており、各フィンガが、装着脚16にほぼ平行に、従って、プルーフマス14が移動することができる方向Aにほぼ垂直に延びている。移動可能可動という用語は、個々のフィンガがプルーフマス14に対して移動することができることを示唆するのではなく、フィンガが、それ自体、支持体12に対して移動可能であるプルーフマスに設けられているという事実によって支持体12に対して移動することができることを表すために使用される。支持体12は、固定コンデンサフィンガの第1の対の上側グループ28と下側グループ30とをそこに連結している。上側グループ28のフィンガは、上側グループ24のフィンガと互いに噛合しており、また、下側グループ30のフィンガは、下側グループ26のフィンガと互いに噛合している。同様に、第2のマス要素20には、可動コンデンサフィンガの上側グループ32と下側グループ34とが設けられ、支持体12と連結された固定コンデンサフィンガの第2の対の上側グループ36と下側グループ38と互いに噛合している。第1の上側グループ28と第2の上側グループ36とは、支持体12の上側部分12aと連結され、また、第1の下側グループ30と第2の下側グループ38とは、支持体12の下側部分12bと連結されている。図6に最も良く示されるように、互いに噛合された対のグループの各々のフィンガは、等間隔に離間されていない。各場合において、支持体12と連結されたグループ28、30、36、38の各々の固定フィンガは、プルーフマス14がその中心の静止位置を占めているとき、ブレースバー22からより離れた隣接している可動フィンガによりもブレースバー22に最も近い隣接している可動フィンガの近くに位置している。しかし、これが逆にされた構成も可能でありうる。既に述べられたように、支持体12、プルーフマス14及び装着脚16は、互いに一体的に形成されている。図2、図3並びに図4に最も良く示されるように、これらの構成要素から形成されたシリコンウェーハは、便宜的には、1対のガラス又は他の適切な材料の基板40、42の間に挟持されている。基板40、42は、それによって支持されるように、基板40、42を支持している支持体12を与えるように適切に凹んでおり、一方、装着脚16及びプルーフマス14は、プルーフマス14が、加速度計10がその方向に加速を受けたときにセンシング方向Aに自由に移動することができることを確実にするように、わずかな距離だけそこから離間されている。基板40、42の間のスペースと、プルーフマス14と、支持体12とは、減衰媒体で、便宜的には、気体の減衰媒体、例えば、空気で、好ましくは、ほぼ大気圧で、充填されている。従って、加速度計の動作は、圧搾減衰に従って弱められる。フィンガの間のギャップやフィンガの長さなどの適切な選択によって、所望であれば臨界減衰が達成されることができ、加速度計が開ループ配置で使用されることが望ましい。装着脚16の根、即ち、装着脚16が支持体12に接合している点は、支持体12の軸に接近しており、従って、上側部分12aに取着された装着脚16の根は、互いに接近しており、また、下側部分12bに取着された装着脚16の根は、互いに接近している。結果として、基板40、42の材料、及びウェーハから形成された支持体12、プルーフマス14及び装着脚16のさまざまな熱膨張から生じる応力が最小にされる。プルーフマス14の共振周波数は、幾分、装着脚16の応力に依存しているので、このことは重要である。図2、図3並びに図4は、さらに、グループの各々のコンデンサフィンガに電気通路electricalvias又は接続部を形成することができる適切な位置を示す図である。図示されるように、支持体12は、その上に設けられた2つの電気接続部44、46を有する。接続部又は通路は、周知技術を使用して製造されることができる。1つの便宜的な技術は、例えば、ほぼ切頭円錐の凹部を形成するために、基板40に、及び支持体12の材料にパウダーブラスト処理をし、そして、その表面が、支持体12の関連部品に良い電気接続部を与えるために金属被覆される技術である。接続部44は、上側部分12aに設けられ、固定フィンガの第1の上側グループ28及び第2の上側グループ36に電気接続部を提供する。また、接続部46は、下側部分12bに設けられ、固定フィンガの第1の下側グループ30及び第2の下側グループ38に電気接続部を提供する。固定フィンガの第1の上側グループ28及び第2の上側グループ36が支持体12の上側部分12aの両側から延びているので、これらグループの両方に対して、単一の、共通の接続部を使用することが便宜的であり、同様に、固定フィンガの下側グループの両方に対して、単一の、共通の接続部を使用することが便宜的であることが理解される。既に述べられたタイプの代表的な差動静電容量加速度計の構成とは対照的に、本発明の構成は、形成される接続部の数が減少されることが理解される。従って、かなりのスペースの節約及びサイズの減少が達成されることができ、また、製造プロセスがかなり単純化されることができる。接続部44、46に加えて、加速度計には、さらに、接続部48が設けられ、これによって、駆動信号が、プルーフマス14と連結された可動フィンガのグループに印加されることができる。また、接地接続部50も与えられる。これらの接続部は、既に述べられた接続部と同様の形態であることができる。使用の際、加速度計10は、図1に示される方向付けで、支持体12に対するプルーフマス14の上方移動をもたらす方向Aへの加速を受ける。これは、上側グループ24、28、32、36の最も接近しているものの間の間隔を減少させ、一方、下側グループ26、30、34、38のフィンガの中で最も接近しているものの間の間隔が、均一量だけ増加する。フィンガの間隔の変化は、これらの間の静電容量の変化をもたらし、また、微分容量の適切なモニタリングによって、支持体12に対するプルーフマス14の位置の表示を与える出力が達成されることができる。プルーフマス14によって占められる位置が加えられた加速の大きさと関連しているので、静電容量のモニタリングによって、加えられた加速の大きさの表示が出力されることができることが理解される。静電容量がモニタされる方法は、便宜的には、米国特許第7047808号に実質的に記載されている。即ち、例えば、方形波駆動電圧が、好ましくは、接続部44に、従って、支持体12と連結された固定フィンガの第1の上側グループ28及び第2の上側グループ36に印加され、一方、同様の、しかし、反位相の、方形波駆動信号が、接続部46に、従って、固定フィンガの第1の下側グループ30及び第2の下側グループ38に印加される。接続部48によってプルーフマス14に装着された可動フィンガのグループから得られた信号の適切なモニタリング及び処理によって、加えられた加速を示す出力が達成されることができる。開ループタイプの配置の使用、又は閉ループ方法で出力が引き出されてもよい。例えば、米国特許第7047808号に記載されているように、静電容量がモニタされる方法は、大部分は既知の技術に従うので、ここではさらなる詳細は述べない。微分容量がモニタされる方法は、既に概略を述べたとおり、必要でないことが注目されるべきである。例えば、接続部44、46に逆位相入力を与えて出力を得るために接続部48を使用するのではなく、入力信号が接続部48に与えられて、出力信号を得るために接続部44、46での差動出力がモニタされることができる。さらに、方形波信号の使用が参照されてきたが、本発明はこれに限定されるものではない。図2並びに図5に示されるように、加速度計10は、便宜的には、互いに隣接して位置され、これらのセンシング方向Aが互いに垂直であるように2つの加速度計10により構成されたより大きな加速度装置52の一部を形成している。所望であれば、基板40、42は、両加速度計10に共通であることができる。この形態の加速度装置52は、2つの垂直方向、即ち2軸での加速がモニタされることを可能にする。各加速度計10が比較的コンパクトな形態であり、必要とされる電気接続の数が減少するので、加速度装置52もまた、比較的コンパクトで簡単な形態であることができる。加速度計10及び装置52は、一連の形態を取ることができる。装置52は、約2.1mm×4.2mmの寸法であることができることが意図される。このような構成では、支持体12、装着脚16及びプルーフマス14が形成されるシリコンウェーハは、便宜的には、厚さ約150μmであり、装着脚16は、幅約7~8μmであることができ、20:1の範囲のアスペクト比を有し、フィンガは、長さ約0.7mm、幅約6μmであり、フィンガの間隔は9~15μmであり、フィンガの各グループは、18のフィンガを含む。このような構成では、ブレース22が、長さ約0.85mm、幅50μmであることができる。しかし、これらの寸法は単なる例であり、他の広範な構成が可能であることが理解される。加速度計10にとって、加速度計への損傷に屈することなく、かなりの加速に耐えることができることが望ましい。既に述べられた構成では、センシング方向Aへのかなり大きな加速により、第1及び第2のマス要素18、20の各々の端部部分が支持体12の隣接している部分に接触する。このような接触は、互いに噛合されたフィンガのうち隣接しているフィンガの間で接触が生じる前に生じ、従って、損傷の危険又は生じているフィンガ間の静止摩擦は、低い。しかし、プルーフマス14の部分と支持体12との間の係合は、これらの間の電気伝導、接地に関するプルーフマス14の一時的なショート、出力の一時的なロス又は出力精度の低下をもたらす。一方、いくつかのアプリケーションでは、このような短期間の一時的なショートは、問題とされないが、このようなショートを回避することが望ましい状況でありうる。図7ないし図9は、既に述べられた構成の変形を示すものであり、このようなショートが回避されることができる。図7ないし図9に示されるように、支持体12には、装着脚16に隣接して延びているが、装着脚16から離間されている固定停止部材54が設けられており、基板40、42に非可動に固定されている。停止部材54は、プルーフマス14のさまざまな構成部材に電気的に接続され、従って、プルーフマス14のさまざまな構成部材とほぼ同じ電位であり、プルーフマス14が所定の制限位置に移動したとき、第1のマス要素18及び第2のマス要素20の端部部分と当接するか係合するように配置された橋台部分56を含むように、これらの端部に形成されており、これにより、プルーフマス14のさらなる移動を防ぐ。停止部材54がプルーフマス14と同じ電位で保持されるので、このような接触は、地面へのプルーフマス14のショートをもたらさないことが理解される。フィンガが互いに接触する場合、フィンガには、図7に示されるように、小さなピップ58が設けられることができる。これらピップ58は、フィンガが、その表面全体ではなく、隣接しているフィンガのピップ58の間で接触するようにしてアライメントされており、従って、静止摩擦の危険をさらに低減させる。図7、図8並びに図9は、シリコンウェーハの一部から形成された支持体12、装着脚16及びプルーフマス14が基板40、42に陽極結合されているanodicallybondこと、及び、これらの部分が、基板40、42の浅い凹部の形成部から生じ、従って、これに対して自由に移動することができることを明確に示す図である。特に、図7は、支持体12及び停止部材54が下にある基板40に結合され、一方、プルーフマス14及び装着脚16が、それに対して自由に移動可能であり、他方、各装着脚16の最端部分の大部分が、連結されたマス要素から離れていることを示す図である。図7は、さらに、支持体12が、固定フィンガの上側グループ及び下側グループが互いに電気的に絶縁された結果、エッチングされたウェーハの関連する部分の全体の厚さだけ断ち切られていることを示している。これらの特徴は、図7ないし図9に最も明確に示されるが、図1ないし図6の構成がこれに関してかなり類似していることが理解される。本発明の特定の実施の形態がここに記載されてきたが、広範な修正及び変更が、本発明の範囲から逸脱することなく、説明され図示された構成体に加えられることができることが理解される。