太陽電池を移動させる太陽電池移送装置と、太陽電池にレーザビームを照射するレーザ部と、前記レーザ部を移動させるレーザ移送装置と、前記太陽電池移送装置、前記レーザ部及び前記レーザ移送装置を制御する中央コントロールユニットと、を含む薄膜型太陽電池製作用レーザスクライビング装置であって、前記中央コントロールユニットは、太陽電池に刻むマーキング情報を入力する入力部と、入力された前記マーキング情報を格納する格納部と、前記格納部に格納された前記マーキング情報によって前記レーザ部、前記レーザ移送装置及び前記太陽電池移送装置を制御するメインコントローラと、を含み、スクライビング工程と同時に又はスクライビング工程後に太陽電池に所望の情報を刻めるようにする薄膜型太陽電池製作用レーザスクライビング装置。前記メインコントローラには、スクライビング工程を行うためのスクライビングプログラムと、マーキング工程を行うためのマーキングプログラムと、入力されたスクライビング情報及びマーキング情報を用いてスクライビングが行われる領域とマーキングが行われる領域の位置情報を生成する加工―移送情報生成プログラムと、が内蔵され、前記位置情報を用いて、スクライビングが行われる領域では前記スクライビングプログラムを実行してスクライビング工程を行い、マーキングが行われる領域では前記マーキングプログラムを実行してマーキング工程を行うことによって、スクライビング工程とマーキング工程を1つの前記レーザ部で同時に又は順次行うことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜型太陽電池製作用レーザスクライビング装置。前記太陽電池移送装置に設置され、太陽電池の位置を測定して前記メインコントローラに伝送する太陽電池位置測定装置をさらに備えており、前記太陽電池位置測定装置から伝送された位置情報を用いて位置フィードバックをし、スクライビング工程又はマーキング工程を行うことを特徴とする、請求項2に記載の薄膜型太陽電池製作用レーザスクライビング装置。太陽電池を移動させる太陽電池移送装置と;太陽電池にレーザビームを照射するレーザ部と;前記レーザ部を移動させるレーザ移送装置と;太陽電池に刻むマーキング情報を入力する入力部と、入力された前記マーキング情報を格納する格納部と、前記格納部に格納された前記マーキング情報によって前記レーザ部、前記レーザ移送装置及び前記太陽電池移送装置を制御し、スクライビング工程を行うためのスクライビングプログラム、マーキング工程を行うためのマーキングプログラム、及びスクライビング工程とマーキング工程を1つの前記レーザ部で同時に又は順次行うための加工―移送情報生成プログラムが内蔵されたメインコントローラと、を含む中央コントロールユニットと;前記太陽電池移送装置に設置され、太陽電池の位置を測定して前記メインコントローラに伝送する太陽電池位置測定装置と;を含んで構成される薄膜型太陽電池製作用レーザスクライビング装置を用いた薄膜型太陽電池加工方法であって、前記入力部を通してマーキング情報及びスクライビング情報を入力し、前記加工―移送情報生成プログラムを通して太陽電池上にレーザビームを照射する部分の位置情報を生成し、生成された位置情報に該当する太陽電池上の位置にレーザビームを照射してマーキング及びスクライビングを行うことを含む薄膜型太陽電池加工方法。前記位置情報生成段階は、スクライビング工程が行われる領域とマーキング工程が行われる領域を生成し、前記照射段階は、スクライビング工程が行われる領域では前記スクライビングプログラムを実行してスクライビング工程を行い、マーキング工程が行われる領域では前記マーキングプログラムを実行してマーキング工程を行うことを特徴とする、請求項4に記載の薄膜型太陽電池加工方法。前記位置情報生成段階は、スクライビングのための直線移送の経路上でマーキングを行えるように位置情報を生成することを特徴とする、請求項4又は5に記載の薄膜型太陽電池加工方法。前記位置情報生成段階は、P1、P2、P3スクライビング工程が全て完了したとき、統合的なマーキング結果を有するようにP1、P2、P3スクライビング工程時にレーザビームを照射する位置情報をそれぞれ生成し、前記照射段階は、P1、P2、P3スクライビング工程時にそれぞれ生成された位置情報によってレーザビームを照射することを特徴とする、請求項6に記載の薄膜型太陽電池加工方法。前記のようなスクライビング工程とマーキング工程は、別途の工程として認識されていたので、別途の装置を用いて行われてきた。しかし、レーザを用いて薄膜を部分的に除去する工程を行う面で類似性のあるこれら2つの工程を別途に行うことによって、複数の装備を備えなければならず、その結果、生産費用が増加することはもちろん、生産時間も増加するという問題がある。本発明は、前記のような問題を解決するためになされたもので、スクライビング工程とマーキング工程を同時に1つの工程で行えるようにマーキング機能を有するレーザスクライビング装置及びこれを用いた薄膜型太陽電池加工方法を提供することを目的とする。本発明に係る薄膜型太陽電池製作用レーザスクライビング装置は、太陽電池を移動させる太陽電池移送装置と、太陽電池にレーザビームを照射するレーザ部と、前記レーザ部を移動させるレーザ移送装置と、前記太陽電池移送装置、前記レーザ部及び前記レーザ移送装置を制御する中央コントロールユニットとを含む薄膜型太陽電池製作用レーザスクライビング装置において、前記中央コントロールユニットは、太陽電池に刻むマーキング情報を入力する入力部と、入力された前記マーキング情報を格納する格納部と、前記格納部に格納された前記マーキング情報によって前記レーザ部、前記レーザ移送装置及び前記太陽電池移送装置を制御するメインコントローラとを含み、スクライビング工程と同時に又はスクライビング工程後に太陽電池に所望の情報を刻めるようにする。また、前記メインコントローラには、スクライビング工程を行うためのスクライビングプログラムと、マーキング工程を行うためのマーキングプログラムと、入力されたスクライビング情報とマーキング情報を用いてスクライビングが行われる領域とマーキングが行われる領域の位置情報を生成する加工―移送情報生成プログラムとが内蔵され、前記位置情報を用いて、スクライビングが行われる領域では前記スクライビングプログラムを実行してスクライビング工程を行い、マーキングが行われる領域では前記マーキングプログラムを実行してマーキング工程を行うことによって、スクライビング工程とマーキング工程を1つの前記レーザ部で同時に又は順次行うことを特徴とする。また、前記太陽電池移送装置に設置され、太陽電池の位置を測定して前記メインコントローラに伝送する太陽電池位置測定装置をさらに備えており、前記太陽電池位置測定装置から伝送された位置情報を用いて位置フィードバックをし、スクライビング工程又はマーキング工程を行うことを特徴とする。本発明に係る薄膜型太陽電池加工方法は、太陽電池を移動させる太陽電池移送装置と;太陽電池にレーザビームを照射するレーザ部と;前記レーザ部を移動させるレーザ移送装置と;太陽電池に刻むマーキング情報を入力する入力部と、入力された前記マーキング情報を格納する格納部と、前記格納部に格納された前記マーキング情報によって前記レーザ部、前記レーザ移送装置及び前記太陽電池移送装置を制御し、スクライビング工程を行うためのスクライビングプログラム、マーキング工程を行うためのマーキングプログラム及びスクライビング工程とマーキング工程を1つの前記レーザ部に同時に又は順次行うための加工―移送情報生成プログラムが内蔵されたメインコントローラとを含む中央コントロールユニットと;前記太陽電池移送装置に設置され、太陽電池の位置を測定して前記メインコントローラに伝送する太陽電池位置測定装置と;を含んで構成される薄膜型太陽電池製作用レーザスクライビング装置を用いた薄膜型太陽電池加工方法であって、前記入力部を通してマーキング情報及びスクライビング情報を入力し、前記加工―移送情報生成プログラムを通して太陽電池上にレーザビームを照射する部分の位置情報を生成し、前記の生成された位置情報に該当する太陽電池上の位置にレーザビームを照射してマーキング及びスクライビングを行うことを含む。また、前記位置情報生成段階は、スクライビング工程が行われる領域とマーキング工程が行われる領域を生成し、前記照射段階は、スクライビング工程が行われる領域では前記スクライビングプログラムを実行してスクライビング工程を行い、マーキング工程が行われる領域では前記マーキングプログラムを実行してマーキング工程を行うことを特徴とする。また、前記位置情報生成段階は、スクライビングのための直線移送の経路上でマーキングを行えるように位置情報を生成することを特徴とする。また、前記位置情報生成段階は、P1、P2、P3スクライビング工程が全て完了したとき、統合的なマーキング結果を有するようにP1、P2、P3スクライビング工程時にレーザビームを照射する位置情報をそれぞれ生成し、前記照射段階は、P1、P2、P3スクライビング工程時にそれぞれ生成された位置情報によってレーザビームを照射することを特徴とする。本発明によると、スクライビング工程でマーキング工程を直ちに行うことができ、生産時間を短縮することができる。また、一台の装置で2つの工程を共に行うことができ、生産費用を節減することができる。また、スクライビング工程中に所望の位置に選択的にマーキングを行うことができ、ビル壁体統合型太陽電池BIPVの場合、別途の工程時間を消費しなくても採光効果及び全面マーキング効果を与えることができる。以下、添付の図面を参照して本発明の好適な実施例を詳細に説明する。図3は、本発明に係るスクライビング装置を示した概略的な構成図で、図4は、図3のスクライビング装置を用いてスクライビング工程とマーキング工程を行った太陽電池を示した平面図で、図5は、図3のスクライビング装置を用いてスクライビング工程とマーキング工程を同時に行った太陽電池を示した平面図である。図3を参照すると、本発明に係るスクライビング装置は、中央コントロールユニット10、レーザ部30、レーザ移送部50及び太陽電池移送部70を備えている。中央コントロールユニット10は、レーザ部30、レーザ移送部50及び太陽電池移送部70に命令を伝達したり、これら各装置の各種信号を受けてフィードバックをする。中央コントロールユニット10は、入力部11、格納部12、メインコントローラ13及びモーションコントローラ14を備えている。入力部11は、スクライビング情報、例えば、スクライビングする線の幅、間隔などの情報、及びマーキング情報、例えば、マーキング内容、文字の大きさなどの情報を入力するための部分である。入力部11としては、キーボード、マウス、タッチパネルなどのように情報を入力できる装置であればいずれも用いることができる。格納部12は、入力部11を用いて入力した情報などを格納する部分である。格納部12としては、ハードディスク、フラッシュメモリ、DRAMなどの公知の格納装置を用いることができる。メインコントローラ13は、格納部12に格納された情報を用いて演算を行ったり、移送装置などから受信した信号などを用いてフィードバック信号を生成する機能を行う。メインコントローラ13には、スクライビングを行えるようにするスクライビングプログラムと、マーキングを行えるようにするマーキングプログラムと、入力されたスクライビング情報とマーキング情報を用いてスクライビングが行われる領域とマーキングが行われる領域の位置情報を生成する加工―移送情報生成プログラムとがそれぞれ内蔵されている。一方、スクライビングプログラム、マーキングプログラム及び加工―移送情報生成プログラムは、格納部12に格納され、メインコントローラ13がこれらプログラムを実行させることによってそれぞれの機能を行うこともでき、メインコントローラ13が備えた別途のメモリに各プログラムを格納して実行することもできる。モーションコントローラ14は、メインコントローラ13の命令を変換して移送装置に伝達する装置である。モーションコントローラ14は、メインコントローラ13と連結されるだけでなく、レーザ移送部50及び太陽電池移送部70とも連結される。レーザ部30は、レーザビームを生成するレーザビーム生成器31と、レーザビームを屈折させることによって光経路を決定できるミラー32とを含む。レーザビーム生成器31は、各工程に応じて多様な波長のレーザビームを生成できるように複数で構成することができる。例えば、P1工程においては1064nmの波長を有するレーザビームが必要であり、P2工程においては532nmの波長を有するレーザビームが必要であるので、各波長を生成できる2つのレーザビーム生成器31が装着される。ミラー32は、入射したレーザビームを屈折させることによって光経路を変更させる役割をし、対象体である太陽電池1の表面に正確にレーザビームを照射できるように反射角の調節が可能であることが望ましい。その他にも、レーザ部30には、必要に応じて、複数のレーザビームに分割できる回折光学素子、レーザビームのエネルギー強度を調整する減衰部、及びレーザビームのスポットの大きさを調整できるレンズなどをさらに備えることができる。このような構成は公知技術であるので、これに対する別途の説明は省略することにする。レーザ移送部50は、レーザ部30の位置を移動させるレーザ移送装置51及びレーザ位置測定装置52を備えている。レーザ移送装置51は、レーザ部30が一定の平面上で移動できるようにする装置であって、レーザ部30をx軸方向に直線的に移送させる装置である。レーザ移送装置51としては、多様な種類の公知の移送装置を使用できるが、精密な位置制御のためにステップモーター及びボールスクリューを用いたステージを使用することが望ましい。また、レーザ位置測定装置52は、レーザ部30の位置を測定する装置であって、レーザ移送装置51に装着される。レーザ位置測定装置52としては、多様な種類の公知の位置測定装置、例えば、干渉計やリニアエンコーダなどを使用することができる。このようなレーザ位置測定装置52を使用すると、正確な位置制御が可能であるという長所がある。太陽電池移送部70は、太陽電池移送装置71及び太陽電池位置測定装置72を備えている。太陽電池移送装置71は、スクライビング及びマーキングの対象となる太陽電池1の位置を平面上で移動させる装置であって、太陽電池1をy軸方向に直線的に移送させる装置である。太陽電池移送装置71としては、多様な種類の公知の移送装置を使用できるが、精密な位置制御のためにステップモーター及びボールスクリューを用いたステージを使用することが望ましい。また、太陽電池位置測定装置72は、太陽電池1の位置を測定する装置であって、太陽電池移送装置71に装着される。太陽電池位置測定装置52としては、多様な種類の公知の位置測定装置、例えば、干渉計やリニアエンコーダなどを使用することができる。このような太陽電池位置測定装置72を使用すると、正確な位置制御が可能であるという長所がある。一方、本実施例では、レーザ移送部50と太陽電池移送部70がいずれも位置測定装置52、72を備えると表現したが、これら2つのうちいずれか1つのみに位置測定装置が装着されても構わない。特に、太陽電池の上部に位置しなければならないという制約が伴うレーザ移送部50を移動させることがより難しいので、太陽電池移送部70のみに位置測定装置72を装着することが望ましい。以下、図3~図5を参照して、前記のように構成されたスクライビング装置の作動原理を説明する。本発明に係るスクライビング装置は、スクライビングモードとマーキングモードを有し、2つのモードからいずれか1つを選択して作業を行う。スクライビングモードとマーキングモードを行う命令はメインコントローラ13で生成され、メインコントローラ13には、各モードに合う命令を生成するプログラム、すなわち、スクライビングプログラムとマーキングプログラムが内蔵される。作業遂行者は、入力部11を通してスクライビングモード及びマーキングモードを行うために情報を入力し、このような情報は格納部12に格納される。スクライビングモードのための情報は、工程の種類例えば、P1工程のみで十分であり、マーキングモードのための情報は、刻む文字の内容、大きさ、位置などになり得る。入力されたスクライビングモードのための情報とマーキングモードのための情報を用いて、メインコントローラ13に内蔵された加工―移送情報生成プログラムは、スクライビングが行われる領域とマーキングが行われる領域の位置情報を生成する。このような位置情報は、マーキングが行われる領域が、図4に示すように、スクライビングが行われる直線移送経路とは関係なく位置するように生成することもでき、図5に示すように、スクライビングが行われる直線移送経路上に位置するように生成することもできる。その後、レーザ移送部50と太陽電池移送部70を用いて太陽電池1やレーザ部30を移送させ、生成された位置情報に合う太陽電池1の位置にレーザビームを照射する。この場合、スクライビングが行われる領域ではスクライビングプログラムを用いてスクライビング工程を行い、マーキングが行われる領域ではマーキングプログラムを用いてマーキングを行う。まず、スクライビング工程について説明する。入力部11を通して入力されて格納部12に格納されたスクライビング情報を用いて生成された位置情報によって、スクライビングプログラムは、太陽電池1の移送速度、移送距離、レーザビームの強さ、レーザビームのオンオフ時刻などのようなスクライビング工程を行うための情報を生成し、モーションコントローラ14及びレーザ部30に命令を下す。モーションコントローラ14は、このような命令を各移送部50、70に伝達し、それによって、各移送部50、70が作動して作業を行う。通常、P1、P2、P3などの工程に適した移送速度などが決定されているので、工程の種類のみを入力することによって、自動的に工程遂行のための情報を生成することが望ましい。次に、マーキング工程について説明する。入力部11を通して入力されて格納部12に格納されたマーキング情報を用いて生成された位置情報によって、マーキングプログラムは、太陽電池1の移送速度、移送距離、レーザビームの強さ、レーザビームのオンオフ時刻などのようなマーキング工程を行うための情報を生成し、モーションコントローラ14及びレーザ部30に命令を下す。モーションコントローラ14は、このような命令を各移送部50、70に伝達し、それによって、各移送部50、70が作動して作業を行う。スクライビングモードは、膜を一列に剥がす工程を行うモードであって、各移送部50、70が直線移動のみを行う。より詳細に説明すると、y軸と平行な絶縁線6を形成するためには、レーザ部30が固定され、太陽電池移送部70がy軸方向に一定の速度で直線的に移動し、太陽電池1を移動させることによってスクライビングが行われ、1列の絶縁線6が形成された後は、レーザ移送部50によってレーザ部30をx軸方向に一定間隔だけ移動させ、太陽電池1をy軸方向に一定の速度で再び直進移送させる。このようなスクライビング工程では、移送装置、特に、太陽電池移送装置71の直進度が重要であり、薄い線幅で絶縁という目的を達成しなければならないので、移送速度を一定に維持することが重要である。直進度と移送速度は、装備の製作時に予め決定され、工程時に繰り返して行うようになるので、位置測定を通した制御システムは必要でなく、単純に適当な時点でレーザをオンオフすることで十分である。その一方、マーキングモードにおいては、直進度と移送速度よりは、所望の位置に所望の形状の文字や図形などを刻まなければならないので、位置制御が重要である。コンピュータプリンター装置の駆動原理と同様に、入力部11によって入力された文字や図形などの情報を、メインコントローラ13に内蔵された加工―移送位置情報プログラムによって刻まなければならない太陽電池1上の位置情報に変換した後、このような位置に太陽電池1を位置させ、レーザビームを照射しなければならない。また、このような位置は、スクライビング工程とは異なって、予め決定されるものではないので、入力された文字や図形の形状に対応した位置制御を通してその位置を決定しなければならない。そして、スクライビング工程とは異なって、マーキング工程では膜を完全に剥がすことが必須ではないので、移送速度が重要な要素ではない。ただし、セルを絶縁させると同時に、外部に文字や図形などを表示する必要がある場合は、移送速度の制御も必要であろう。このようなマーキングモードのためには位置制御のためのフィードバックが必要であり、このためには、リニアエンコーダなどのレーザ部位置測定装置52と太陽電池位置測定装置72が必要である。各位置測定装置52、72の情報はリアルタイムでメインコントローラ13に伝送され、このような情報に基づいて意図した正確な位置に太陽電池1やレーザ部30を移送してマーキングすることができる。ただし、このような閉ループフィードバックを使用せずに開ループフィードバックを使用する場合は、各位置測定装置52、72が必要でない。上述したように、本発明に係るスクライビング装置は、スクライビングモードとマーキングモードを行うことができる。このようなスクライビングモードとマーキングモードは、図4に示した太陽電池の製作のように別途に行うこともでき、図5に示した太陽電池の製作のように同時に行うこともできる。特に、スクライビングモードとマーキングモードを同時に行う場合、スクライビングのための移送中に、マーキング位置ではレーザビーム生成器31をオンオフにして所望の形状にマーキングすることによって、1回の移送中にスクライビングとマーキングを同時に行うことができる。このとき、人の目で認識可能なマーキング又は機械ビジョンmachine―readingのためのマーキングを行うことができ、これは、レーザビーム生成器31の高速オンオフを通してドットマトリックス形態で具現することができる。また、P1、P2、P3位の工程のスクライビングが互いに一定の間隔を置いて行われる点を用いて、別途の移送を追加せずに2次元形態でマーキングすることが可能である。図5は、スクライビング工程中にレーザビーム生成器31をオンオフする方式でOをマーキングした太陽電池1を示した図である。図5を参照すると、P1スクライビング線6―1、P2スクライビング線6―2及びP3スクライビング線6―3を生成するそれぞれのP1、P2、P3スクライビング工程時に刻み込む文字などを表示するためにレーザビーム生成器31をオンオフし、ドット形態の不連続的な点を作ってマーキングすることができる。このようなマーキングは、加工―移送位置情報プログラムで各工程ごとにレーザビームを照射する位置を別途に生成し、各工程時にこのような位置情報によって高速でレーザビーム生成器31をオンオフすることによって行うことができる。各スクライビング工程が全て完了すると、統合的なマーキング結果を有することができ、このようにマーキングした太陽電池1は、外部に文字などを表示できるので、ビルの壁体に装着する場合は広告の目的としても使用が可能であるという長所を有する。一方、電流を引き出すために、基板の縁部から数mmの領域は実際の発電領域から除外される部分であって、特に、この部分をマーキング領域と指定してマーキングすることもできる。この場合も、スクライビング工程中に基板の縁部でレーザビーム生成器31をオンオフし、ドット形態で表示することによってマーキングすることもできる。図5は、基板の縁部に2010という文字8をドット形態で表示したことを示している。このようなマーキング実施方法は、別途のマーキングのための動きをせずに、スクライビング工程のための移送中にマーキングを行えるという長所を有する。もちろん、図4に示すように連続的な線でマーキングすることもできる。一方、不連続的な線や点をマーキングする場合は、レーザビーム生成器31の電源部をメインコントローラ13と連結し、電源をオンオフする方法で制御できるが、レーザビーム生成器31の寿命を延長するために、レーザビーム生成器31の電源は常にオンにしておき、レーザビームの光経路上に開閉可能な遮蔽膜図示せずを設置し、これを制御することも可能であろう。以上、本発明を好適な実施例に基づいて詳細に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野で通常の知識を有する者によって多様な変形が可能であることは明白である。