クラス情報が付与されていない画像の集合であるフォルダを階層的に表示する未付与ペイン領域と、前記未付与ペイン領域に表示されたクラス情報が付与されていない画像を表示する画像ペイン領域と、クラス情報が付与されている画像を表示するクラスペイン領域を備え、該クラス情報が付与されていない画像に対して外部からクラス情報が入力されると、該入力されたクラス情報が表示されるGUI。請求項1記載のGUIであって、クラス情報が付与されている画像の集合であるフォルダを階層的に表示する付与ペイン領域を有することを特徴とするGUI。請求項1または2に記載のGUIであって、前記未付与ペイン領域に表示された該階層的なフォルダのうち一のフォルダに分けられている画像が所定のクラスである割合は、該一のフォルダよりも上位のフォルダに分けられている画像が該所定のクラスである割合よりも高いことを特徴とするGUI。請求項1乃至3のいずれかに記載のGUIであって、前記クラスペイン領域に表示されている画像に対応するフォルダが選択されると、該選択されたフォルダに含まれる画像を前記画像ペイン領域に表示することを特徴とするGUI。請求項1乃至4のいずれかに記載のGUIであって、前記未付与ペイン領域に表示されたフォルダを前記クラスペイン領域に移動する際に該移動するフォルダのクラス情報を入力する入力画面が表示されることを特徴とするGUI。請求項5に記載のGUIであって、該移動するフォルダのクラス情報が前記クラスペイン領域に表示されていない場合は、該移動するフォルダのクラス情報を表示することを特徴とするGUI。請求項1乃至4のいずれかに記載のGUIであって、前記未付与ペイン領域のフォルダが前記クラスペイン領域に移動する際に、該移動するフォルダに対応するクラス情報が入力されることを特徴とするGUI。請求項1乃至4のいずれかに記載のGUIであって、該クラス情報はクラスIDの情報を含むことを特徴とするGUI。請求項1乃至4のいずれかに記載のGUIであって、該クラス情報は割り当てられた入力手段の情報を含むことを特徴とするGUI。請求項1乃至9のいずれかに記載のGUIであって、前記画像ペイン領域は、前記画像ペイン領域に表示された画像を該画像の特徴量に基づいて並び替えるためのソート機能を有することを特徴とするGUI。請求項1乃至10のいずれかに記載のGUIであって、前記未付与ペイン領域に表示されたフォルダを選択すると、該選択したフォルダに接続されている下層のフォルダの代表画像を前記画像ペイン領域に表示することを特徴とするGUI。請求項1乃至11のいずれかに記載のGUIであって、前記未付与ペイン領域に表示された所定の層が選択されると、該選択された層に存在するフォルダの代表画像が表示されることを特徴とするGUI。請求項12に記載のGUIであって、前記未付与ペイン領域に表示されたフォルダを選択する際は、スライドバーまたはコンボボックスによって指定されることを特徴とするGUI。請求項1乃至13のいずれかに記載のGUIであって、前記画像ペイン領域に表示された画像が前記クラスペイン領域に移動すると、該移動した画像に対応する前記画像ペイン領域のフォルダが削除されることを特徴とするGUI。請求項1乃至14のいずれかに記載のGUIであって、前記未付与ペイン領域に表示された階層構造のフォルダに対応する画像は、外部から入力された特徴量の種類に基づいて該階層構造のフォルダに振り分けられたことを特徴とするGUI。請求項4に記載のGUIであって、前記クラスペイン領域に表示されている画像に対応するフォルダが選択されると、該選択されたフォルダの下層のフォルダを表示することを特徴とするGUI。請求項1乃至6のいずれかに記載のGUIであって、該フォルダの階層は、ADCとは異なる特徴量を用いて生成されることを特徴とするGUI。被検査対象物の表面に電子線を照射し、該被検査対象物の表面から発生した電子を検出し、検出した電子を画像に変換する画像撮像部と、前記画像撮像部にて変換した画像を処理して該画像の特徴量を算出する画像特徴算出部と、前記画像特徴算出部により算出した該画像の特徴量を用いて該画像を含むフォルダの階層構造を生成する階層構造生成部と、前記階層構造生成部で生成された階層構造のフォルダに対して外部からクラス情報が入力された場合に該フォルダの画像に対してクラス情報を付与するクラス情報付与部を備える処理部と、請求項1乃至17のいずれかに記載のGUIを備える分類装置。被検査対象物の表面に電子線を照射し、該被検査対象物の表面から発生した電子を検出し、検出した電子を画像に変換する画像撮像ステップと、前記画像撮像ステップにて変換した画像を処理して該画像の特徴量を算出する画像特徴算出ステップと、前記画像特徴算出ステップにより算出した該画像の特徴量を用いて該画像を含むフォルダの階層構造を生成する階層構造生成ステップと、前記階層構造生成ステップで生成された階層構造のフォルダに対して外部からクラス情報が入力された場合に該フォルダの画像に対してクラス情報を付与するクラス情報付与ステップを備える処理ステップと、GUIに請求項1乃至17のいずれかに記載のGUIの画面を表示する表示ステップを備える分類方法。請求項1乃至17のいずれかに記載のGUIを表示するプログラム。請求項20記載のプログラムを記憶した記憶媒体。背景技術で述べた手動分類は、撮像したSEM画像における欠陥部位の外観的な特徴や、欠陥部位あるいは周辺の回路パターンをユーザが目視にて確認し、事前に定義された複数の欠陥クラスに分類する作業である。この作業は、複数の異なるクラスの画像が混在する多数の画像の中から、ユーザが各クラスの画像を選択し、クラスを付与する必要があるため、ユーザ負荷が大きく、時間を要することが課題となっていた。また、特許文献1に開示した技術によると、前述の通り依然として手動分類は重要な位置づけにあり、特許文献2および3に開示した技術によると、分類性能の不足などにより、正しい結果が得られないことが多い。このため、ユーザによる結果確認と手動による分類結果内の画像をクラス毎に分離する作業修正作業が必要となる。しかしながら、この修正作業はユーザ負荷が大きいといった課題があった。そこで、本発明の目的は、ユーザ負担の少ないGUI、分類装置、分類方法、プログラム及びプログラムを記憶した記憶媒体を提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。1クラス情報が付与されていない画像の集合であるフォルダを階層的に表示する未付与ペイン領域と、前記未付与ペイン領域に表示されたクラス情報が付与されていない画像を表示する画像ペイン領域と、クラス情報が付与されている画像を表示するクラスペイン領域を備え、該クラス情報が付与されていない画像に対して外部からクラス情報が入力されると、該入力されたクラス情報が表示されるGUIである。2被検査対象物の表面に電子線を照射し、該被検査対象物の表面から発生した電子を検出し、検出した電子を画像に変換する画像撮像部と、前記画像撮像部にて変換した画像を処理して該画像の特徴量を算出する画像特徴算出部と、前記画像特徴算出部により算出した該画像の特徴量を用いて該画像を含むフォルダの階層構造を生成する階層構造生成部と、前記階層構造生成部で生成された階層構造のフォルダに対して外部からクラス情報が入力された場合に該フォルダの画像に対してクラス情報を付与するクラス情報付与部を備える処理部と、請求項1乃至15のいずれかに記載のGUIを備える分類装置である。本発明によれば、ユーザ負担の少ないGUI、分類装置、分類方法、プログラム及びプログラムを記憶した記憶媒体を提供することができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。本実施例ではSEMを備えた画像撮像装置で撮像した欠陥画像を分類する場合を対象に説明するが、本発明に関わる欠陥分類システムの入力はSEM画像以外でも良く、光学式の手段やイオン顕微鏡などを用いて撮像した欠陥画像でも良い。図1は、本発明の実施の形態1に係る分類装置の構成を示す構成図である。本分類装置は、画像撮像装置102が通信手段103を介して接続される構成となっている。画像撮像装置102は、該当部位の画像を取得する装置である。画像撮像装置102の詳細は、図2を用いて後ほど説明する。分類装置101は、画像撮像装置102で得られた画像に対してクラス情報付与するための情報を、入出力部104に出力し、ユーザが104に入力した情報に基づいて画像にクラス情報を付与する機能を持つ。入出力部104は、操作者に対するデータの提示及び操作者からの入力を受け付ける為のキーボードマウスディスプレイ装置などから構成される。この分類装置101の詳細を以下に説明する。分類装置101は、装置の動作を制御する全体制御部105、画像撮像装置102から入力された画像や付与されたクラス情報などを記憶する記憶部106、ユーザに提示する情報を作成したり、ユーザ入力に基づいて各画像にクラス情報を付与する処理部107、入出力部104や通信手段103を介したデータ転送のための入出力I/F部108、プログラムなどを記憶するメモリ109、記憶部106や処理部107やメモリ109や全体制御部105や入出力I/F108のデータ通信を行うバス116からなる。記憶部106には、画像撮像装置101から撮像された画像を記憶する画像記憶部110、本装置101によって画像記憶部110に記憶された画像毎に付加されたクラス情報を保存するクラス情報記憶部111、入出力部104に表示する階層構造の情報を記憶する階層構造記憶部112が含まれる。また、処理部107は、画像記憶部110に記憶されている画像の特徴を定量値特徴量として算出する画像特徴算出部113、画像特徴算出部113で算出された特徴量から、階層構造記憶部112に保存する階層構造の情報を生成する階層構造生成部114、入出力部104に入力されたユーザ入力に基づいて画像にクラス情報を付与するクラス情報付与部115が含まれる。なお、階層構造の詳細ついては、図3、4を用いて後述する。処理部107の処理の手順や方法については後述する。分類装置101の入出力部104へは記録媒体図示せずが接続可能となっており、分類装置101で実行されるプログラムをこの記録媒体から読み出し、分類装置101にロードできる構成となっている。画像撮像装置102より出力された画像データは、入出力I/F108及び全体制御部105を介して画像記憶部110に送られ、画像記憶部110内で読み出し可能なように記憶される。手動分類容易化プログラムは全体制御部105により、メモリ109あるいは前記記憶媒体から読み出される。全体制御部105はプログラムに従い処理部107を制御し、記憶部106に記憶されている画像などの情報や、メモリ109に記憶されている中間データを入出力I/F108を介して入出力部104に図8で示すGUIを表示し、入出力部104にてユーザからの入力を受け付ける。また、入出力部104に入力されたユーザ入力は、入出力I/F108を介して全体制御部105に送られる。全体制御部105はプログラムに従い処理部107にて記憶部106に記憶されている画像などの情報や、メモリに記憶されている中間データを処理することで画像にクラス情報を付与する。分類装置101内のデータの送受信はバス116を介して行われる。図2は、本発明の実施の形態1に係る分類装置の画像撮像装置の構成を示す構成図である。画像撮像装置101は、SEMカラム201、SEM制御部208、入出力I/F209、記憶部211、付随情報作成部214が通信手段215を介して接続される構成となっている。入出力I/F209には、入出力部210が接続され、操作者に対するデータの入出力が行われる。SEMカラム201は、電子源202、試料ウェーハ207と載せるステージ206、電子源202から試料ウェーハ207に対して1次電子ビームを照射した結果発生する2次電子や後方散乱電子を検出する複数の検出器203、204、205を備える。なお、この他、1次電子ビームを試料ウェーハ207の観察領域に走査するための偏向器図示せずや、検出電子の強度をデジタル変換してデジタル画像を生成する画像生成部図示せず等も含まれる。なお、検出器203によって2次電子を検出した画像をSE像、検出器204及び205によって後方散乱電子を検出した画像をL像、R像と呼ぶ。記憶部211は、SEM撮像条件である、加速電圧やプローブ電流、フレーム加算数同一箇所の画像を複数枚取得し、それらの平均画像を作成することでショットノイズの影響を低減する処理に用いる画像の数、視野サイズなどを記憶する撮像レシピ記憶部212と取得画像データを保存する画像メモリ213を含む。付随情報生成部214は、各画像データに対し付随する情報、例えば、撮像時の加速電圧、プローブ電流、フレーム加算数などの撮像条件、撮像装置を特定するID情報、画像生成のために用いた検出器203~205の種類や性質、ウェーハのIDおよび工程、画像を撮像した日付や時間などの情報を作成する機能を持つ。ウェーハのIDや工程の情報は入出力部210などからユーザによって入力されても良いし、ウェーハの表面などから読み込んだり、ウェーハが格納されている箱図示せずなどから読み出してきても良い。作成された付随情報は、入出力I/F209を介して画像データが転送される際に、その画像データとあわせて転送される。SEM制御部208は、画像取得などの、この画像撮像装置102にて行う全ての処理を制御する部位である。SEM制御部208からの指示により、試料ウェーハ207上の所定の観察部位を撮像視野に入れるためのステージ206の移動、試料ウェーハ207への1次電子ビームの照射、試料から発生した電子の検出器203~205での検出、検出した電子の画像化及び画像メモリ213への保存、付随情報作成部214での撮像画像に対する付随情報の作成等が行われる。操作者からの各種の指示や撮像条件の指定などは、キーボード、マウスやディスプレイなどから構成される入出力部210を通して行われる。以下、図3、4を用いて、入出力部104にてユーザに表示する階層構造について説明する。図3は発明の実施の形態1に係る分類装置の階層構造の説明図である。図3はGUIに表示される階層構造の表示例である。301は画像の集合以下、フォルダを示し、これらフォルダが階層的に配置接続されている。なお、最上層のフォルダはルートフォルダと呼ぶ。302はフォルダ名及びフォルダに含まれる画像数などの情報以下、ラベルを示している。各フォルダに含まれる画像は、特徴が類似する即ち、特徴量が似た値となる画像とする。図3の例では、ルートフォルダであるラベルALLのフォルダの下層にラベルAのフォルダとラベルBのフォルダが接続され、ラベルAの下層にラベルA-AとラベルA-Bのフォルダが接続される構造である。ここで、ラベルA-AとラベルA-Bのフォルダは同じ層であるとする。なお、ラベルAとラベルBのフォルダも同様に同じ層のフォルダである。図3ではフォルダA内の下位フォルダの階層の深さは同じであるが、階層の深さは同一フォルダ内で異なっていても良い。図4は図3で示したフォルダに含まれる画像の特徴量空間上の各クラスの画像における特徴量の分布の説明図である。ここでは、説明のため特徴量空間を2次元で表現しているが、2次元の特徴量空間に限定するものではない。図4で示す様に、上層のフォルダは下層のフォルダの特徴量空間を含むとする。例えば、ラベルAのフォルダは、下層のラベルA-AとラベルA-Bのフォルダの特徴量空間を含む。即ち、上層のフォルダには、下層フォルダの画像が含まれる。図4のラベルA及びBのフォルダに含まれる画像401の特徴空間上における分布の一例も合わせて示す。なお、説明のため、画像401の右上部にクラス名クラス1~3を示している。ラベルAのフォルダにはクラス1とクラス2の画像が混在している。しかし、下層のラベルA-A及びA-Bのフォルダにはそれぞれクラス1、クラス2の単一クラスの画像のみが含まれる。ラベルBのフォルダには、クラス3の単一クラスの画像のみが含まれる。以上で述べたとおり、階層構造は、階層が深くなる程、フォルダ301内にそのフォルダに含まれる1枚以上の画像に占める特定のクラスの画像の割合が高くなる構造となる。ここで、特定のクラスの画像の割合とは、教師なし分類により特定のクラスに割り当てられた画像のクラスの割合を指す。なお、画像特徴算出部113で算出する特徴量は、分類したいクラスの判定基準分類の目的に合わせて変更するのも良い。例えば、画像中の欠陥の種類をクラスとして付与したい場合には、欠陥部位における輝度値や欠陥の大きさ、円形度、凹凸の程度など、人間が欠陥を判定する上で判断の基準とする特徴を定量値として算出したものとすればよい。また、画像中の回路パターンに基づいてクラスを付与したい場合には、回路パターンの密度や、形状、立体構造などを定量化した値を用いても良い。回路パターンに基づいてクラスを付与する場合、回路パターンの密度や、形状、立体構造などの情報として設計データを用いても良い。他には、一般物体認識で用いられるSURFSpeededUpRobustFeaturesなどの局所特徴量を用いるのも良い。また、分類の目的分類したいクラスの判定基準をユーザがGUIにより決定すると、予め定めた条件に基づきどの特徴を用いるかは自動的に決定されるようになっていても良く、また、用いる特徴自体をユーザが選択するようになっていても良い。ADCの分類レシピ作成時のMDCを目的とする場合、ADCの分類処理で使用する特徴量を利用する方法も考えられる。また、ADCと異なる特徴量を利用しても良い。一般にADCの特徴量は、高精度な自動分類を行うため、特徴量算出前に特徴量算出パラメータの厳密な調整を行うことが前提となっている場合が多い。上述の局所特徴量などを用いることで、事前に厳密な特徴量算出パラメータ調整を必要としなくなる。また、以上で述べた特徴量を組み合わせて用いても良い。使用する特徴量はGUI上などでユーザに指定させる、テキストファイルなどに定義しておくなどの方法で指定すれば良い。上述の階層構造は、画像撮像装置102により撮像された画像を用いて図1に記載の階層構造生成部114にて生成され、階層構造の情報が階層構造記憶部112に記憶される。階層構造の情報とは、フォルダに含まれる画像の情報やフォルダの接続関係上層、下層、同じ層などの情報など、階層構造を表示するために必要な情報のことである。以下、階層構造生成部114の処理について説明する。階層構造は、教師なし分類手法の一種である階層的クラスタリングなどの手法を用いて最下層から作成する方法が考えられる。図5は本発明の実施の形態1に係る分類方法において、下層から階層構造を作成する場合のフロー図である。S501では、画像特徴算出部113にて、図1の画像撮像装置102で撮像された各画像について特徴量を算出する。ここでは画像の一部を用いて特徴量算出を行っても良いし、全部を用いて行っても良い。S502では、最下層のフォルダを画像数分生成し、各画像に最下層のフォルダを割り当てる。なお、ここでは画像一枚に対して最下層のフォルダを一つ割り当てる方法を説明したが、画像同士を教師なし分類によって特徴の近い複数画像を集合としてまとめておき、各集合の複数画像を最下層のフォルダ一つにまとめて割り当てても良い。ここで、予め画像同士を教師なし分類により複数画像の集合としてまとめておいた場合は、各画像に割り当てるフォルダ数が少なくて済むため、メモリの大きさが少なくてよい。また、後述のS504にて行うフォルダ特徴量の距離の計算量が少なくてすむ。S503は処理のループであり、S504~S506の処理が、S506の判定条件が満たされるまで繰返し実行される。S504では、最上層のフォルダの全ての組合せについてフォルダ特徴量の距離を計算する。距離は特徴量のユークリッド距離などとして計算すれば良い。なお、以下では、フォルダの組合せを二つのフォルダの組合せとして説明するが、三つ以上のフォルダの組合せについても同様に処理することが可能である。ここで、最上層のフォルダとは、S505で接続したフォルダの中で最上層のフォルダのことである即ち、下層に接続されたフォルダは距離計算の対象外とする。なお、S505の処理が実行されていない未接続のフォルダは最上層のフォルダとして扱い、距離計算の対象とする。また、フォルダ特徴量とはフォルダ内にある画像の特徴量から算出したフォルダを代表する特徴量である。例えば、フォルダに含まれる画像における特徴量の平均値や、特徴量の平均値に一番近い画像の特徴量をフォルダ特徴量とすれば良い。フォルダ特徴量の距離が近いということは、フォルダに含まれる画像が類似することを意味する。S505では、フォルダ特徴量の距離が最も近いフォルダの組合せの上層に新しいフォルダを生成し、それらのフォルダを接続する。この際、距離が最も近いフォルダの組合せにおける二つのフォルダを同じ層として、生成した新しいフォルダの下層に接続する。ここでは、距離が最も近い二つのフォルダを同じ層とすることとしたが、生成する新たしいフォルダの個数は一つに限らず、予め定めた複数組のフォルダ組を同じ層として新しいフォルダを生成することとしても良い。例えば生成するフォルダ数を3とした場合、フォルダ特徴量の距離が近い方から3つのフォルダ組について新しいフォルダを生成する。生成する新たなフォルダの個数はユーザが設定することとしても良いし、予めフォルダ特徴量の距離の閾値を定めておいて閾値よりも距離の短いフォルダ組については全て新しいフォルダを生成することとしても良い。S506では、階層構造生成の終了判定処理であり、終了と判定された場合、S503のループ1から抜ける。終了判定の方法としては、最上層のフォルダの数が既定数以下かどうかなどから終了を判定すれば良い。なお、規定数はあらかじめユーザによって設定されていても良い。S507では、ルートフォルダを生成し、ルートフォルダの下層に最上層のフォルダを互いに同じ層のフォルダとして接続する。また、S505において、特徴量の分布から、更に上層フォルダを生成するか否かの判定を行っても良い。例えば、上層フォルダ生成前と生成後の評価値を比較し、値が改善する場合に上層フォルダを生成し、改善しない場合には上層フォルダを生成しないなどの方法で行えば良い。フォルダに含まれる特徴量の分散の平均値やベイズ情報量基準などを評価値とすれば良い。また、評価値の増分が予め定めた閾値以上の場合に上層フォルダを生成することとしても良い。ここで、上層フォルダを生成しないと判断された場合、上層のフォルダは生成せず、フォルダ特徴量が最も近いフォルダの組合せにおける二つのフォルダを直接ルートフォルダに接続する。その場合、それらのフォルダはS504において距離計算の対象外とする。また、S506の終了判定では、S504において距離計算の対象とするフォルダの数が1、あるいは既定数以下になった場合に終了する様にすれば良い。また、生成されたフォルダの個数や各フォルダの画像数をユーザがGUIなどにより確認し、更なる上位フォルダを生成するか決定することができるようにしてもよい。なお、上記の説明ではS501にて、画像それぞれに対して特徴量を算出し、S504にて各フォルダにおける特徴量を算出し、フォルダ特徴量の距離を算出する方法を一例として述べた。しかし、各画像における特徴量算出及びフォルダ特徴量の算出は必須ではなく、S504にてフォルダ特徴量の距離が得られば本フローは実行可能である。例えば、画像特徴算出部113にて、フォルダ特徴量の距離の計算対象である二つのフォルダにおける代表画像に対して正規化相互相関NCC:NormalizedCross-Correlationなどを計算し、その値から距離を計算しても良い。この場合、距離はNCCの絶対値が大きいほど近いとすれば良い。また、画像それぞれに対して特徴量を算出してフォルダ特徴量を算出しなくても、各フォルダの代表画像の特徴量をフォルダ特徴量として用いても良い。ここで、代表画像は、各フォルダに分類されている複数画像のうち、尤もらしい画像や平均的な画像を選択すればよい。また、教師なし分類手法の一種であるk-meansなどの手法を用いてルートフォルダから順に階層構造を生成する方法も考えられる。図6及び図12に、上層から階層構造を作成する場合のフロー図の一例を示す。図6は、本発明の実施の形態1に係る分類方法において、上層から階層構造を作成する場合のフロー図、図12は、本発明の実施の形態1に係る分類方法において、上層から階層構造を作成する場合の再起処理部のフロー図である。S601では、S501と同様、画像特徴算出部113にて各画像について特徴量を算出する。S602では、ルートフォルダを生成し、対象とする画像をルートフォルダに割り当てる。S603は下層のフォルダ作成を行う再起処理であり、詳細は図12に示す。以下、図12のS604~S607の処理について説明する。S604では、下層フォルダ生成を行う対象とするフォルダ上層フォルダ内の画像に対して教師なし分類を行う。分類は、k-meansなどの手法によって行えばよい。k-meansでは分類数をあらかじめ指定する必要があるが、ユーザによって予め設定するなどによって指定しても良いし、特徴量の分布などから分類数を自動決定しても良い。また、分類数の設定が必要ない手法としてx-meansなどの手法を用いても良い。S605では、S604の分類数分のフォルダを生成し、各分類に対応させ、各画像を分類の対応するフォルダに割り当てる。S606は、S607及びS603の処理をS604の分類数分実行するループであり、各分類に対応するフォルダそれぞれについて処理を実行する。処理を実行する各分類に対応するフォルダを対象フォルダと呼ぶ。S607は、対象フォルダの下層フォルダを生成するか否かを判断する処理である。判断方法として、対象フォルダに含まれる画像数が既定数以下であったり、対象フォルダに含まれる画像の類似度画像間の距離が閾値以下であったら下層フォルダを生成しないなどの方法や、対象フォルダに含まれる画像をユーザがGUI等で確認し、下層フォルダを生成するか否かを判断する方法が考えられる。S607にて下層フォルダを生成すると判定した場合はS603の処理即ち、図12の処理を対象フォルダに対して実行する。つまり、全てのフォルダについてこれ以上下層フォルダを生成しないという判断がなされるまで繰り返す。以上で述べた方法によって、フォルダの階層構造を生成し、ユーザに表示することが可能となる。一般に、教師なし分類ではクラスの基準が存在しないため、分類結果に異なるクラスの画像が混在する場合が多い。特許文献2及び3で述べられている手法では、教師なし分類の分類結果に対して一括でクラスを付与するものであり、分類結果内の画像をクラス毎に分離する作業修正作業が必要である。対して本発明の階層構造では、フォルダに異なるクラスの画像が混在していた場合、ユーザに下層のフォルダに含まれる画像を確認させ、単一クラスの画像のみを含むフォルダを探索指定させることが可能である。単一クラスの画像のみを含むフォルダにクラス情報を一括付与することにより、正確なクラス情報付与を行うことが可能である。また、単一クラスの画像のみを含むフォルダを探索する作業によって修正作業が完了するため、修正作業を短時間、かつ容易に実現可能である。図8は本発明の実施の形態1に係る分類装置のGUIの一例である。図8の例では、未付与ペイン801、画像ペイン802、クラスペイン803の三つのペインがGUI画面内に表示されている。以下、各ペインについて説明する。未付与ペイン801には、図3及び図4で説明した階層構造が表示されている。階層構造は、図3及び4を用いて説明したように、階層が深くなる程、フォルダ301内にそのフォルダに含まれる1枚以上の画像に占める特定のクラスの画像の割合が高くなる構造である。なお、フォルダ301には各フォルダに含まれる画像例えば代表画像などを表示しても良い。また、ユーザ指示によって、フォルダ301を任意の階層に追加しても良いし、削除しても良い。画像ペイン802には、ユーザが未付与ペイン上で選択したフォルダに含まれる画像401の一覧を表示する。画像と一緒に画像のIDや特徴量などの情報804を一緒に表示しても良い。フォルダ選択は、ユーザがマウスで未付与ペインのフォルダ301をクリックするなどの入力によって行われれば良い。807はユーザが選択したフォルダを判別できるようにするための枠である。枠を表示することに限定せず、フォルダの背景色を変更する、フォルダのアイコンを変更するなどによってユーザが選択したフォルダを判別できるようにしても良い。ここでは、一のフォルダのみ選択しているが、複数フォルダを選択し、画像ペイン802には選択した複数フォルダごとに画像が表示されるようになっていても良い。複数フォルダの画像を一度に表示することで、ユーザが複数フォルダの画像を見比べて、更なる下位フォルダを生成するかを決定したり、例えばフォルダAの画像をフォルダBに移動するなど、フォルダの変更を行うことができるようになっていても良い。また、フォルダAとフォルダBのように別フォルダとして分けられていた画像を一つのフォルダに纏めることができるようになっていても良い。また、各フォルダの代表画像を表示できるようにして、これに基づき新規フォルダの作成や既にあるフォルダの削除を行うかどうかを決定してもよい。クラスペイン803には、付与済みのクラス情報クラス名、クラスID、クラス情報が付与された画像数などが表示されたクラスラベル805と各クラス情報が付与された代表的な画像806が表示される。代表的な画像とは、クラス情報が付与された画像を代表する画像であり、例えば、クラス1の代表画像は、クラス1のクラス情報が付与された画像における特徴量の平均に一番近い特徴量の画像とすれば良い。クラス情報が付与された画像を確認する手段をユーザに提供するため、クラスペイン803の代表画像806をクリックするなどの操作によって、代表画像806に対応するクラス情報が付与された画像を画像ペイン802に一覧で表示しても良い。また、ユーザが希望した場合には、クラスペイン803に表示されている画像を該クラスの別の画像に変更することができてもよい。808はクラス情報付与を終了するボタンである。809は、画像ペイン802に表示されている画像を並び替えるボタンである。画像ペイン上に表示された画像を選択しておき、その選択された画像に類似する順に画像ペイン802上の画像を並び替えても良い。類似する画像順に並び替えるには、選択された画像と画像ペイン802上の画像それぞれに対する特徴量の距離を計算し、距離が近い順に並び替えればよい。また、選択は複数画像でも良く、その場合は選択された画像の平均特徴量や、代表画像の特徴量と画像ペイン802上の画像それぞれに対する特徴量の距離を計算し、距離が近い順に並び替えればよい。また、いずれの画像も選択せず、該フォルダ内の画像の特徴量の平均値に近い画像から順に表示するようにしてもよい。また、クラスペイン806上のクラス情報付与済みクラスの代表画像806などを選択しておき、クラス付与済みクラスの画像と類似する順に、画像ペイン802の画像を並び替えても良い。なお、類似する順ではなく、類似しない順に並び替えても良い。また、未付与ペイン上のフォルダ301を選択しておき、選択されたフォルダ内画像を、フォルダ内画像に類似しない順に並び替えても良い。例えば、フォルダ内の画像の特徴量の平均値に最も遠い画像から順に並び替えればよい。これによって、フォルダ内に混在するクラスが異なる画像はずれ画像をまとめて近い領域に表示することができる。これにより、ユーザが更なる下位フォルダを生成するかどうか決めてもよい。以上、画像を並び替えるボタン809によって、類似した画像即ち、同一クラスの画像、あるいは、はずれ画像即ち、異なるクラスの画像がまとまって近くに表示されるため、同一クラスの画像、あるいははずれ画像の一括選択を容易化する機能をユーザに提供する。810は、画像ペイン802やクラスペイン803に表示する画像の種類が選択可能なコンボボックスである。SE像、L像、R像などを選択可能とする。なお、SE像、L像、R像などの混合画像も選択可能とし、混合画像を画像ペイン802やクラスペイン803などに表示しても良い。811は画像ペイン802に代表画像を表示するためのチェックボックスである。チェックボックスにチェックが入っている場合、選択中のフォルダ807の下層フォルダの代表画像が画像ペイン802に一覧で表示される。代表画像を表示している場合は、画像の背景色を変更するなどして、代表画像を表示していることをユーザに提示しても良い。フォルダの代表画像は、フォルダに含まれる画像の平均特徴量に一番近い特徴量の画像などとすれば良い。また、階層構造の特定の層の代表画像を一覧で画像ペイン802に表示しても良い。例えば、図8の例にて第2層を表示する場合は、フォルダラベルA、B、Cなどの代表画像を表示すれば良い。第3層の場合は、フォルダラベルA、B、Cの下層のフォルダの代表画像を一覧で表示する。表示する層指定はコンボボックス図示せずや、スライドバー図示せずなどで行えばよい。ここで、一度に表示する画像の層の深さは互いに異なっていてもよく、ユーザ等により任意に選択できる。812は各ペインにおけるスクロールバーである。各ペインの画面内に表示しきれない画像や階層構造は、スクロールバー812などを使って表示すれば良い。813は階層構造を生成したり、ソートボタン809によって画像を並び替えるのに使用する、一つ以上の特徴量から成る特徴量の組合せ特徴量セットを選択するコンボボックスである。特徴量セットは分類の目的に応じて変更される。図8の例では、欠陥分類を目的とした特徴量が選択されている。また、どの特徴量を使用するかを設定可能なチェックボックス図示せずを特徴量毎に用意し、ユーザに選択させることで、チェックされた特徴量の組合せを特徴量セットとして用いても良い。S504の距離計算の手法を選択できるようにしてよい。ここで、選択できるのは特徴量の組み合わせだけでなく、分類の目的をユーザが選択することで適当な特徴量の組合せが自動的に選択されるようになっていてもよい。814は対象とするフォルダ301の下層のフォルダについて表示非表示を切り替えるフォルダ表示ボタンである。フォルダ表示ボタン814はフォルダ301毎に対応するフォルダの近くに配置される。ボタンが押されることで、対応するフォルダの下層に接続するフォルダが未付与ペイン801に表示される。対応するフォルダの下層に接続するフォルダが未付与ペイン801に表示済みの場合には、対応するフォルダの下層に接続するフォルダを非表示にする。下層に表示されたフォルダよりも更に下層のフォルダが表示されている場合、更に下層のフォルダも非表示にする。下層のフォルダが表示中か否かをフォルダ表示ボタン814のアイコンを変更して表示しても良い。図8の例では、アイコンが表示なっているラベルB及びラベルCのフォルダの下層のフォルダは表示されていないが、アイコンが-表示になっているラベルAのフォルダの下層のフォルダは表示されている。フォルダ301がクリックされるなどによって選択された際、フォルダ表示ボタンが押された場合と同様の動作をしても良い。即ち、フォルダ301が選択されることで、フォルダの下層に接続するフォルダが未付与ペイン801に表示される。また、フォルダの下層に接続するフォルダが未付与ペイン801に既に表示されていた場合には、フォルダの下層に接続するフォルダを非表示にするなどしても良い。ユーザが単一クラスの画像のみを含むフォルダを探索する作業では、ユーザは任意のフォルダを選択し、画像ペイン802にてフォルダに含まれる画像を確認する。選択したフォルダが単一クラスのみを含むフォルダではない場合即ち異なるクラスの画像が混在している場合、下層のフォルダを確認し単一クラスのみを含むフォルダを指定する。初期状態で、ルートフォルダと第2層のフォルダ図8の例では、ラベルA、B、Cのフォルダのみを表示しておき、フォルダに含まれる画像の確認が完了したフォルダの下層のフォルダを表示させる。これにより、ユーザがフォルダ内の画像を確認したフォルダあるいはその下層フォルダまでを表示する手段を提供可能である。また、未付与ペイン801に表示された階層構造のうち、不必要なフォルダを非表示にすることで、階層構造表示に必要な領域を最小化することができる。以上で述べた様に、下層フォルダの表示非表示を任意のタイミングで切り替えることを可能とする機能を提供することで、ユーザの使い勝手を向上させることが可能である。図9は本発明の実施の形態1に係る分類装置のGUIの一例である。901は、ユーザによるクラス名の入力を受け付けるテキストボックス、902はクラスIDの入力を受け付けるテキストボックスである。901及び902のクラス名やクラスIDはクラス情報記憶部111に記憶されているクラス情報を読み出し、ユーザが選択できるようにしても良い。また、テキストファイルなどで定義されているクラス情報を読み出し、選択肢として表示しても良い。903は、901及び902に入力されたクラス情報を受け付けるボタンであり、904は入力をキャンセルするボタンである。なお、図9では、独立したウィンドウ上に901や902が配置されているGUI例を示したが、901や902は図8のウィンドウ上の一部に配置されていても良いし、クラス名の入力作業がクラスペインや未付与ペイン画面上で行えるようになっていても良い。図7は本発明の実施の形態1に係る分類方法において、各画像にクラス情報を付与する処理フロー図である。以下、図7を用いて、本発明にかかる分類装置において、画像記憶部110に記憶された各画像に対してクラス情報を付与し、クラス情報記憶部111に記憶する方法を説明する。図7に本発明にかかる分類装置において、画像記憶部110に記憶された各画像に対してクラス情報を付与する処理フローを示す。図7の処理は図8及び9を用いて説明したGUI上で実行される。S701では、図5や図6のフローで説明した手法を用いて、クラス情報未付与の画像に対して階層構造を生成し、入出力部104に表示する。階層構造は、図8のGUIにおける未付与ペイン801に表示される。S702は、S703~S708の処理を、S708にて、クラス情報付与終了と判定されるまで繰り返すループである。S703では、S701で表示した階層構造の中のフォルダから、ユーザによるフォルダ指定を受け付ける処理である。この際、ユーザに、フォルダの中に含まれる画像を確認させ、単一クラスのみを含むフォルダを指定させる。単一クラスのみを含むフォルダを指定させるには、前述のとおり、ユーザにフォルダの画像を確認させ、単一クラスのみを含むフォルダではない場合即ち異なるクラスの画像が混在している場合には、下層のフォルダを確認させて単一クラスのみを含むフォルダを指定させる。ユーザによるフォルダの指定は、未付与ペイン801のフォルダ301がクラスペインに移動されることによって行われれば良い。移動はドラッグアンドドロップされることなどに実行されれば良い。また、代表画像表示チェックボックス811によって画像ペイン802にフォルダの代表画像が表示されている場合、画像ペイン802の代表画像がクラスペインに移動されることによって、移動された代表画像に対応するフォルダがクラスペインに移動されたとしても良い。この場合、対応するフォルダが指定される。ここでは、単一クラスのみを含むフォルダを指定することを前提として説明したが、ユーザの判断次第で複数クラスの画像を含むフォルダを指定することができるようになっていても良い。S704では、指定フォルダ内の画像に付与するクラス情報の入力を受け付ける。クラス情報とは、クラス名やクラスIDなどクラスを識別するための情報である。S703にて入力を受け付けたフォルダがクラスペインに移動された際、図9のGUIが表示され、クラス情報の入力を受け付ければ良い。S705では、S704で入力を受け付けたクラスはS706の新クラス追加処理で追加済みかどうかを判定し、追加済みでなければS706を実行する。追加済みならば、S706の処理をスキップする。S706では、S704で入力を受け付けたクラスを新クラスとしてクラスペイン803に追加し、クラス情報をクラス情報記憶部111に記憶する。クラスペインに新クラスを追加するには、追加した付与済みクラスの代表画像及びクラスラベルを、クラスペイン803に追加表示すれば良い。これにより、付与済みクラス情報や対応する画像を確認する手段を提供可能となる。ここで、クラスが追加済みの場合、元々ある画像と追加した画像とを合わせて再度代表画像を算出し、必要に応じてクラスペインに表示する画像を変更することができても良い。S707では、S703で入力を受け付けた指定フォルダ内の画像それぞれに対してS704で入力を入力を受け付けたクラス情報を付与する。各画像に付与されたクラス情報は、クラス情報記憶部111に記憶される。例えば、画像のIDと対応するクラス情報をリストとして記憶すればよい。なお、S707にてクラス情報を付与した画像が含まれる指定フォルダ及び、その指定フォルダの下層のフォルダはクラス情報付与済みであることをユーザに表示する。例えば、指定フォルダ及び、その指定フォルダの下層のフォルダを階層構造から削除してもよいし、フォルダに色をつけてクラス情報付与済みであることを表示しても良い。なお、S703にて未付与ペイン801のフォルダ301がクラスペイン803のクラス情報付与済みクラスに移動された場合例えば、フォルダがドラッグアンドドロップによって代表画像806やクラスラベル805にドロップされた場合、S704~S706の処理をスキップし、移動先のクラス情報を移動されたフォルダ内の画像に付与しても良い。S708では、画像に対するクラス情報付与の終了判定を行う処理である。クラス情報付与を終了すると判定した場合はS702のループ1を抜けて処理を終了し、終了しないと判定した場合はS702のループ1の繰返しを継続する。判定方法の例として、ユーザによる終了入力を808の終了ボタンが押されることによって受け付ける方法や、全画像に対してクラス情報が付与された場合に終了と判定するなどの方法が考えられる。S703において、キーボードの任意のキーをそれぞれクラス情報付与済みのクラスに割り当てておき、入力されたキーによって対応するクラスペイン上のクラスに移動した即ち、クラス付与する情報の入力を受け付けたとしても良い。割り当てられたキーボードの情報は、クラス情報の一部としてクラス情報記憶部111に記憶しておけば良い。例えば、クラス1、クラス2のクラス情報が画像に付与済みな場合を想定し即ち、クラスペイン803にクラス1とクラス2の代表画像が表示されている、クラス1にキーボードのF1、クラス2にキーボードのF2を割り当てたとする。ユーザによって、クラス1の画像のみを含むのフォルダが選択され、F1が押されることによって、S704~S706をスキップし、選択されたフォルダの画像にクラス1のクラス情報を付与する。クラス2のクラス情報付与についても同様にF2ボタンが押されることによって行われる。キーの割り当ては予めテキストファイル等に定義されていても良いし、ユーザがクラス情報を入力する際に一緒に入力しても良い。また、S706にて新クラスが追加された際に自動的に順番にキーが割り当てられても良い。キーの割り当てによって、ドラッグアンドドロップの作業が不要となり、S703~S707の処理に要する時間が短縮可能となる。また、未付与ペインのフォルダ選択後にクラスIDやクラス名をキーボードから入力した場合に対応するクラスペイン上のクラスに移動した即ち、クラス付与する情報の入力を受け付けたとしても良い。例えば、クラス1のIDが001である場合、ユーザによるクラス1のみ含まれるフォルダが選択された後、キーボードにて001が入力されることによって、S704~S706をスキップし、選択されたフォルダの画像にクラス1のクラス情報を付与する。キーの割り当てと同様、ドラッグアンドドロップの作業が不要となり、S703~S707の処理に要する時間が短縮可能となる。また、ユーザが未付与ペイン801のフォルダを選択した際、選択したフォルダ内の画像の特徴量に近い特徴量を有する画像を含むフォルダやクラスをユーザに提示しても良い。例えば、フォルダ内の画像の特徴量の平均とクラスペイン803に表示された各クラスの画像の特徴量の平均を比較し、特徴量が一番近いクラスの背景色を変更するなどすれば良い。上記では、フォルダ301がクラスペイン803に移動されることで、S703~S707の処理によってフォルダ内の画像にクラス情報が付与される例を示した。S703~S707を図11で示すフローに置き換えることで、画像ペイン802で指定された一枚以上の画像にクラス情報を付与しても良い。図11は本発明の実施の形態1に係る分類方法において、画像ペインで指定された一枚以上の画像にクラス情報を付与する処理フロー図である。S1101~S1105はそれぞれS703~S707に対応する。S1101では、画像ペイン802に表示されている画像401の中から、ユーザによる一枚以上の画像の指定を受け付ける処理である。ユーザによる一枚以上の画像の指定は、画像ペイン802の画像401がクラスペインに移動されることによって行われれば良い。移動はドラッグアンドドロップされることなどに実行されれば良い。S1102では、指定した一枚以上の画像に付与するクラス情報の入力を受け付ける。S1101にて入力を受け付けた一枚以上の画像がクラスペインに移動された際、図9のGUIが表示され、クラス情報の入力を受け付ければ良い。S1103では、S1102で入力を受け付けたクラスがS706あるいはS1104の新クラス追加処理で追加済みかどうかを判定し、追加済みでなければS1104を実行する。追加済みならば、S1104の処理をスキップする。S1104では、S1102で入力を受け付けたクラスを新クラスとしてクラスペイン803に追加し、クラス情報をクラス情報記憶部111に記憶する。S1105では、S1101で入力を受け付けた一枚以上の画像それぞれに対してS1102で入力を入力を受け付けたクラス情報を付与する。各画像に付与されたクラス情報は、クラス情報記憶部111に記憶される。なお、S1105にてクラス情報を付与した一枚以上の画像はクラス情報付与済みであることをユーザに表示する。例えば、指定された一枚以上の画像を階層構造から削除してもよいし、画像の背景色を変更しクラス情報付与済みであることをクラスペインに表示しても良い。なお、S1101にて画像ペイン802の一枚以上の画像401がクラスペイン803のクラス情報付与済みクラスに移動された場合例えば、一枚以上の画像がドラッグアンドドロップによって代表画像806やクラスラベル805にドロップされた場合、S1102~S1104の処理をスキップし、移動先のクラス情報を移動された一枚以上の画像に付与しても良い。S703にて、フォルダの中に少数の異なるクラスの画像が混在している場合、S703の処理の前に、それらの画像を他のフォルダに移動させるなどの修正指示を受け付け、対象のフォルダを単一クラスの画像のみ含むフォルダに修正しても良い。修正は、移動対象とする画像ペイン802の画像が移動先のフォルダにドラッグアンドドロップされるなどによって行われれば良い。移動された画像は、移動元のフォルダから削除され、移動先のフォルダに追加される。複数の画像が選択され、移動されることで、複数画像が別のフォルダに移動されても良い。移動対象とする画像を選択する際、809の画像ペイン802の画像を並び替えるボタンを利用することで、選択が容易になる。例えば、ユーザが多数のクラス1の画像と少数のクラス2の画像が混在したフォルダに対して修正を行う場合、一枚以上のクラス1の画像を選択し、809によって類似しない順に並び替えることによって、クラス1に類似しない画像即ち、クラス2の画像が順に並ぶことになる。並んだクラス2の画像は、近くにまとまって表示されるため、マウスによる範囲確定などによって一括で選択されれば良い。S703にて、フォルダや画像がドラッグされている際、ドラッグ中のフォルダ内の画像やドラッグ中の画像を別のウィンドウやペインなどに表示しても良い。また、ドラッグ中のフォルダ内の画像や画像におけるIDなどの情報、ドラッグ中の画像などを半透明にして表示するのも良い。以上によってドラッグ中のフォルダ内の画像やドラッグ中の画像を確認する手段をユーザに提供する。また、フォルダや画像がドラッグされている際、フォルダ301上にマウスカーソルを移動させることによって、フォルダ301に含まれる画像を画像ペイン802や別のウィンドウ、別のペインなどに自動表示しても良い。また、同様にマウスカーソルをクラスペイン803の代表画像806上に移動させた際、代表画像806に対応するクラス情報が付与された画像を画像ペイン802や別のウィンドウ、別のペインなどに自動表示しても良い。これにより、ユーザがドロップ先のフォルダや代表画像に対応するクラス付与済み画像を確認する手段をユーザに提供する。また、画像が異なるフォルダに移動されるなどによってフォルダ内の画像が変化した際、図5や図6の手法を用いてユーザによって選択されたフォルダをルートフォルダとして、階層構造を再生成しても良い。この場合、選択されたフォルダに含まれる画像のみを対象として階層構造を生成すれば良い。階層構造の再生成は、フォルダに含まれる画像が変化した場合に自動で実行されても良いし、ユーザ指示によって行われても良い。以上述べた機能を有するGUIはコンピュータで実行されるプログラムにより実現可能であり、また、このプログラムはメモリ、外部記憶媒体などの記憶媒体に記録され、憶媒体から読み出されることで、実行される。図7を用いて述べた、クラス情報付与の処理手順を、図1で示した分類装置101上で実施する方法について以下に述べる。図1に示した画像撮像装置102によって撮像された画像を通信手段103を介して分類装置101内の画像記憶部110に記憶する。画像意記憶部110に記憶された画像は画像特徴算出部113及び階層構造生成部114を用いて、図5及び図6を用いて説明した階層構造生成手順を実行するコンピュータ用のプログラムにより処理され、階層構造は階層構造記憶部112に記憶される。全体制御部105は、入出力I/F108を介して図8で説明したGUIを入出力部114のディスプレイ上に上に表示する。階層構造記憶部112に記憶された階層構造は、入出力I/F108を介して入出力部114のディスプレイ上に表示されたGUI上に表示される。全体制御部105は、GUIからのフォルダ指定を入出力I/F108を介して受け付けメモリ109に記憶する。その後、入出力I/F108を介して入出力部114のディスプレイ上に図9で示したクラス情報入力GUIを表示する。全体制御部105は、GUIからクラス情報の入力を入出力I/F108を介して受け付け、メモリ109に記憶する。メモリ109に記憶された指定フォルダとクラス情報をクラス情報付与部115に送信し、クラス情報と指定フォルダ内の画像の情報をクラス情報記憶部111に転送する。クラス情報記憶部111に記憶されたクラス情報と指定フォルダ内の画像の情報は、入出力I/F108を介してGUI上に表示される。プログラムは分類装置101あるいは入出力部104に接続されている外部記憶媒体図示せず、または分類装置101あるいは入出力部104に接続されている通信手段103やバス116になどを介して入力され、メモリ116、あるいはメモリ116内の不揮発性メモリ図示せずに記憶され、次回以降はプログラムをメモリ116内の不揮発性メモリ図示せずに記憶されているプログラムをメモリ116に読み出し実行する。以上、本実施例では、階層構造をユーザに提示することによって、ユーザによるフォルダの指定入力を受け付け、指定フォルダ内の画像に対して一括でクラス情報付与を行うことで、ユーザクラス付与作業を容易かつ短時間で行うことを可能とするGUI、装置、プログラム及びプログラムを記憶した記憶媒体について述べた。本発明にかかる実施例2として、実施例1と同じ装置及び処理フローにより、画像に対してクラス情報の付与を容易化するGUI及び装置を述べる。実施例1との違いは、GUIにクラス付与済みのクラスに対して階層構造を表示する付与ペインを有することであり、以下、GUIについて説明する。本実施例では実施例1と同様にSEMを備えた観察装置で撮像した画像を分類する場合を対象に説明するが、本実施例にかかる画像自動分類装置の入力はSEM画像以外でも良く、光学式の手段やイオン顕微鏡などを用いて撮像した画像でも良い。図10は本発明の実施の形態2に係る分類装置のGUIの一例である。1001は、クラス情報付与済みのクラスについて階層構造を表示する付与ペインである。1002は、クラスペイン803に表示された各クラス情報付与済みのクラスに対応するクラスフォルダである。クラスフォルダ1002は、フォルダ301と同様、画像の集合を意味し、対応するクラス情報が付与された画像の集合である。S706によって新クラスが追加され、S707によって指定フォルダ内の画像にクラス情報が付与された際、新クラスに対応するクラスフォルダが生成され、付与ペイン1001上に表示される。1003は、対応するクラスフォルダ1002のクラス情報や、クラス情報が付与された画像の枚数を表示するクラスフォルダラベルである。このクラスフォルダラベルについて、図9と同様にクラス名を変えることができる。S703にて、未付与ペイン801上のフォルダ301や、画像ペイン802上の画像401が付与ペイン1001にドラッグアンドドロップなどによって移動された際に、移動されたフォルダの指定を受け付けても良い。また、移動先が付与ペイン1001上のクラスフォルダ1002の場合、S704~S706の処理をスキップし、移動先のクラスフォルダに対応するクラス情報を、移動されたフォルダに付与しても良い。また、S707にて、指定フォルダ内の画像にクラス情報を付与した際、指定フォルダを、付与したクラス情報に対応するクラスフォルダの下層に接続しても良い。また、指定フォルダの下の層の階層構造を維持したままクラスフォルダの下層に接続しても良い。付与ペイン1001上のフォルダ301やクラスフォルダ1002をクリックするなどによって、画像ペイン802にフォルダやクラスフォルダに含まれる画像を表示しても良い。これにより、フォルダに含まれる画像や、クラス情報が付与された画像を確認する手段をユーザに提供する。付与ペイン1001上のフォルダ301やクラスフォルダ1002に含まれる画像が変化した際、図5や図6の手法を用いてユーザによって選択されたフォルダあるいはクラスフォルダをルートフォルダとして、階層構造を再生成しても良い。この場合、選択されたフォルダあるいはクラスフォルダに含まれる画像のみを対象として階層構造を生成すれば良い。階層構造の再生成は、フォルダやクラスフォルダに含まれる画像が変化した場合に自動で実行されても良いし、ユーザ指示によって行われても良い。クラスフォルダに対して階層構造を再生成し、ユーザに提示することにより、ユーザのクラス情報付与間違い画像の検出作業を容易化する。以上述べた機能を有するGUIはコンピュータで実行されるプログラムにより実現可能であり、また、このプログラムはメモリ、外部記憶媒体などの記憶媒体に記録され、憶媒体から読み出されることで、実行される。プログラムは分類装置101あるいは入出力部104に接続されている外部記憶媒体図示せず、または分類装置101あるいは入出力部104に接続されている通信手段103やバス116になどを介して入力され、メモリ116、あるいはメモリ116内の不揮発性メモリ図示せずに記憶され、次回以降はプログラムをメモリ116内の不揮発性メモリ図示せずに記憶されているプログラムをメモリ116に読み出し実行する。以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。ここで述べた実施形態は、レビューSEMで撮像した画像に対してクラス情報付与の容易化を可能とするGUI及び装置を述べたが、画像に対してクラス情報を付与する必要のある他の欠陥観察装置検査装置から得られた画像に対しても、本発明を適用可能である。