階の異なるクリーンルームC2C3間で被搬送物Aを搬送するための搬送装置であって、上方へ延びる搬送路14を内部に有する筒状に形成され、各階に対応する位置に壁部側開口部15a15aが形成される筒状壁部11と、前記壁部側開口部15aを開閉可能な壁部側扉16と、内部に被搬送物Aが収容される箱状に形成され前記搬送路14に配置される本体部51と、該本体部51に形成される出入用開口部51aを開閉可能なキャリッジ側扉52とを有するキャリッジ50と、前記キャリッジ50を前記搬送路14内で昇降させる昇降機構30と、前記キャリッジ50内及び前記搬送路14へ除菌成分を含む除菌ガスを供給するための除菌機構20と、を備えることを特徴とする搬送装置。請求項1において、前記除菌機構は、前記除菌ガスとしての過酸化水素ガスを前記キャリッジ50内及び前記搬送路14へ供給するための過酸化水素供給部20であることを特徴とする搬送装置。請求項1又は2において、流入端が前記搬送路14の排気口11bに接続され且つ流出端が前記搬送路14の給気口11aに接続される循環流路26を有し、前記搬送路14内の空気を循環させる空気循環機構25を備え、前記キャリッジ50の本体部51には、前記搬送路14のうち前記給気口11aと連通する空間に向かって開口する給気側開口部51bと、前記搬送路14のうち前記排気口11bと連通する空間に向かって開口する排気側開口部51cとが形成され、前記除菌機構20は、前記循環流路26へ前記除菌ガスを供給することを特徴とする搬送装置。請求項3において、前記給気口11aは前記搬送路14の上部に形成され、前記排気口11bは前記搬送路14の下部に形成されていることを特徴とする搬送装置。請求項1から4のうちいずれか1つにおいて、閉状態の前記壁部側扉16を前記壁部側開口部15aの周縁部に対して押圧する押圧機構17を備えることを特徴とする搬送装置。請求項3又は4において、前記搬送路14の給気口11aを覆う給気側フィルタ41と、前記搬送路14の排気口11bを覆う排気側フィルタ42とを備えることを特徴とする搬送装置。請求項4又は6において、前記キャリッジ50は、前記本体部51の給気側開口部51bを覆うキャリッジ側フィルタ54bと、該キャリッジ側フィルタ54bを通じて搬送路14の空気を前記本体部51の内部へ取り入れるためのファン54aとを有するファンフィルタユニット54を備えることを特徴とする搬送装置。請求項7において、前記給気側開口部51bは、前記本体部51の上壁部に形成され、前記排気側開口部51cは、前記本体部51の底壁部に形成され、前記キャリッジ50は、前記本体部51の排気側開口部51cから所定の隙間をおいて該排気側開口部51cに対向するように配置され該排気側開口部51cとの間に空気の流路58aを形成するプレート部57を備えることを特徴とする搬送装置。請求項7又は8において、前記壁部側扉16及び前記キャリッジ側扉52が開放されると、外周が前記壁部側開口部15a及び前記出入用開口部51aの内周面全体に亘って当接しながら挿通される筒壁45aと、該筒壁45aの内周面によって形成され、前記キャリッジ50内とクリーンルームC2C3とを連通させる連通路45bとを有する筒状部材45を備えることを特徴とする搬送装置。請求項4において、前記昇降機構30は、前記搬送路14の底部に配置され、前記キャリッジ50を駆動させる駆動機構31を備えることを特徴とする搬送装置。ところで、前記搬送装置は、装置内のクリーン度を維持することについては配慮されているものの、装置内を除菌することについては特に配慮されていない。従って、前記搬送装置を用いて、除菌状態に保つ必要のある製品を搬送した場合、製品に悪影響を及ぼす虞が生じる。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被搬送物の除菌状態を保ちつつ該被搬送物を階の異なるクリーンルームへ搬送することである。第1の発明は、階の異なるクリーンルームC2C3間で被搬送物Aを搬送するための搬送装置を対象とし、上方へ延びる搬送路14を内部に有する筒状に形成され、各階に対応する位置に壁部側開口部15a15aが形成される筒状壁部11と、該壁部側開口部15aを開閉可能な壁部側扉16と、内部に被搬送物Aが収容される箱状に形成され前記搬送路14に配置される本体部51と、該本体部51に形成される出入用開口部51aを開閉可能なキャリッジ側扉52とを有するキャリッジ50と、該キャリッジ50を前記搬送路14内で昇降させる昇降機構30と、前記キャリッジ50内及び前記搬送路14へ除菌成分を含む除菌ガスを供給するための除菌機構20と、を備えることを特徴とする。第1の発明では、クリーンルームC2C3の被搬送物Aが、キャリッジ50内に移動される。被搬送物Aを収容したキャリッジ50は、筒状壁部11の内部に形成された搬送路14内を、昇降機構30によって上昇又は下降され、異なる階のクリーンルームC2C3に到達する。そして、キャリッジ側扉52及び壁部側扉16が開けられ、被搬送物Aが取り出される。このようにして、被搬送物Aを異なる階のクリーンルームC2C3に搬送できる。第1の発明では、除菌機構20によって、前記キャリッジ50及び搬送路14に除菌成分を含む除菌ガスが供給される。除菌ガスは、キャリッジ50及び搬送路14内の菌と反応して菌を分解する。第2の発明は、第1の発明において、前記除菌機構は、前記除菌ガスとしての過酸化水素ガスを前記キャリッジ50内及び前記搬送路14へ供給するための過酸化水素供給部20であることを特徴とする。第2の発明では、キャリッジ50内及び搬送路14が、過酸化水素ガスによって除菌される。第3の発明は、第1又は第2の発明において、流入端が前記搬送路14の排気口11bに接続され且つ流出端が前記搬送路14の給気口11aに接続される循環流路26を有し、前記搬送路14内の空気を循環させる空気循環機構25を備え、前記キャリッジ50の本体部51には、前記搬送路14のうち前記給気口11aと連通する空間に向かって開口する給気側開口部51bと、前記搬送路14のうち前記排気口11bと連通する空間に向かって開口する排気側開口部51cとが形成され、前記除菌機構20は、前記循環流路26へ前記除菌ガスを供給することを特徴とする。第3の発明では、除菌機構20からの除菌ガスが前記循環流路26へ供給される。この除菌ガスは、循環流路26を流れる空気とともに、給気口11aを通じて搬送路14へ流入する。この除菌ガス及び空気は、搬送路14を給気口11a側から排気口11b側へ向けて流れ、該排気口11bを通じて循環流路26へ戻される。また、搬送路14へ流入した除菌ガス及び空気は、キャリッジ50の本体部51に形成された給気側開口部51bを通じてキャリッジ50内に流入した後、排気側開口部51cを通じてキャリッジ50から流出して搬送路14へ流れる。このように搬送路14及びキャリッジ50内へ供給された除菌ガスは、該搬送路14及びキャリッジ50内に含まれる菌を分解して除菌する。第4の発明は、第3の発明において、前記給気口11aは前記搬送路14の上部に形成され、前記排気口11bは前記搬送路14の下部に形成されていることを特徴とする第4の発明では、搬送路14の上部に形成された給気口11aを通じて搬送路14へ流入した空気は、該搬送路14の下部に形成された排気口11bを通じて循環流路26へ流出する。これにより、空気は、搬送路14内を上から下へ向かって流れる。第5の発明は、第1から第4の発明のうちいずれか1つにおいて、閉状態の前記壁部側扉16を前記壁部側開口部15aの周縁部に対して押圧する押圧機構17を備えることを特徴とする。第5の発明では、閉状態の壁部側扉16が壁部側開口部15aの周縁部に対して押圧されるため、壁部側扉16と筒状壁部11とがより密着する。第6の発明は、第3又は第4の発明において、前記搬送路14の給気口11aを覆う給気側フィルタ41と、前記搬送路14の排気口11bを覆う排気側フィルタ42とを備えることを特徴とする。第6の発明では、循環流路26から搬送路14へ流入する空気に含まれる塵埃は、給気側フィルタ41又は排気側フィルタ42によって捕捉される。第7の発明は、第4又は第6の発明において、前記キャリッジ50は、前記本体部51の給気側開口部51bを覆うキャリッジ側フィルタ54bと、該キャリッジ側フィルタ54bを通じて搬送路14の空気を前記本体部51の内部へ取り入れるためのファン54aとを有するファンフィルタユニット54を備えることを特徴とする。第7の発明では、ファンフィルタユニット54のファン54aが駆動すると、搬送路14内の空気がキャリッジ50内に取り込まれる。このファン54aの回転速度を一定に保つことで、キャリッジ50内において、該キャリッジ50の昇降に関係なく概ね一定の速度で空気が供給される。これにより、キャリッジ50内における気流の乱れが抑制される。また、搬送路14の空気はキャリッジ側フィルタ54bを通じてキャリッジ50へ流入するため、キャリッジ50内の空気を搬送路14の空気よりも高い清浄度で保つことができる。第8の発明は、第7の発明において、前記給気側開口部51bは、前記本体部51の上壁部に形成され、前記排気側開口部51cは、前記本体部51の底壁部に形成され、前記キャリッジ50は、前記本体部51の排気側開口部51cから所定の隙間をおいて該排気側開口部51cに対向するように配置され該排気側開口部51cとの間に空気の流路58aを形成するプレート部57を備えることを特徴とする。第8の発明では、搬送路14からの空気は、キャリッジ50内を上から下へ向かって流れる。また、キャリッジ50が昇降機構30によって下降する場合、下方からの空気はプレート部57に衝突して側方へ流れる。そして、この空気は、プレート部57と排気側開口部51cとの間に形成される空気の流路58aを通じて、キャリッジ50内へ流入する。すなわち、下方からの空気は、プレート部57に衝突して減速した後にキャリッジ50内へ流入するため、該空気と、給気側開口部51bを通じてキャリッジ50内へ流入する空気との衝突による気流の乱れが抑制される。第9の発明は、第7又は第8の発明において、前記壁部側扉16及び前記キャリッジ側扉52が開放されると、外周面が前記壁部側開口部15a及び前記出入用開口部51aの内周面全体に亘って当接しながら挿通される筒壁45aと、該筒壁45aの内周面によって形成され、前記キャリッジ50内とクリーンルームC2C3とを連通させる連通路45bとを有する筒状部材45を備えることを特徴とする。被搬送物Aの出し入れを行う際に、壁部側扉16及びキャリッジ側扉52が開放されると、搬送路14と、キャリッジ50内及びクリーンルームC2C3とが連通する。そうなると、比較的高い清浄度で保たれるキャリッジ50内及びクリーンルームC2C3に、やや清浄度の低い搬送路14の空気が流入してしまう。これに対して、第9の発明では、壁部側扉16及びキャリッジ側扉52が開放されると、筒状部材45の筒壁45aの外周面が、壁部側開口部15a及び出入用開口部51aの内周面全体に亘って当接しながら挿通される。これにより、搬送路14とキャリッジ50内及びクリーンルームC2C3とを筒壁45aで遮断した状態で、キャリッジ50内とクリーンルームC2C3とが連通する。第10の発明は、第4の発明において、前記昇降機構30は、前記搬送路14の底部に配置され、前記キャリッジ50を駆動させる駆動機構31を備えることを特徴とする。第10の発明では、駆動機構31が駆動することにより該駆動機構31の摺動部から塵埃が発生した場合であっても、該駆動機構31は、搬送路14の底部すなわち、搬送路14における空気の流れの下流側に配置されているため、前記塵埃が舞い上がるのが抑制される。上記第1の発明によれば、キャリッジ50内及び搬送路14を除菌することができる。こうすると、被搬送物Aの除菌状態を保ちつつ、該被搬送物Aを階の異なるクリーンルームC2C3へ搬送することができる。また、上記第2の発明によれば、キャリッジ50内及び搬送路14を過酸化水素ガスで除菌できる。このように、過酸化水素を使用することで、比較的毒性の強いホルマリン等の他の除菌ガスを用いずに、比較的取り扱いの容易な過酸化水素でキャリッジ50及び搬送路14を除菌できる。また、上記第3の発明によれば、キャリッジ50内及び搬送路14を循環する空気とともに、除菌ガスを該キャリッジ50内及び搬送路14へ供給できる。こうすると、キャリッジ50内へ除菌ガスを供給するための流路を別途形成する必要がなくなるため、搬送機構の構造を簡素化できる。また、上記第4の発明によれば、搬送路14内を上から下へ空気が流れるため、塵埃が搬送路14内で舞い上がって搬送路14内で拡散してしまうのを抑制できる。また、上記第5の発明によれば、筒状壁部11と閉状態における壁部側扉16との密着性が向上するため、キャリッジ50内及び搬送路14を流れる除菌ガスがクリーンルームC2C3へ漏洩してしまうのを抑制できる。また、上記第6の発明によれば、搬送路14へ流入する空気を、給気側フィルタ41及び排気側フィルタ42によって清浄化できる。また、上記第7の発明によれば、キャリッジ50内へ一定の速度で空気が流入するため、キャリッジ50内の気流の乱れが抑制される。その結果、塵埃が舞い上がることによる清浄度の低下を抑制できる。さらに、搬送路14の空気をキャリッジ側フィルタ54bを通じて取り込めるため、キャリッジ50内の清浄度を搬送路14の清浄度よりも高めることができる。また、上記第8の発明によれば、キャリッジ50内における空気の流れが安定化するため、キャリッジ50内の清浄度を維持できる。また、上記第9の発明によれば、被搬送物Aをキャリッジ50内に出し入れする際に搬送路14をキャリッジ50内及びクリーンルームC2C3と遮断できるため、搬送路14の空気がキャリッジ50内及びクリーンルームC2C3に入り込むのを抑制できる。これにより、キャリッジ50内及びクリーンルームC2C3の清浄度を維持できる。また、上記第10の発明によれば、駆動機構31から発生した塵埃が搬送路14内で舞い上がるのを抑制できるため、搬送路14の清浄度を維持できる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。《発明の実施形態》本実施形態に係るクリーンリフター1は、階の異なるクリーンルームC2C3間で被搬送物としての製品Aを移動させるためのものである。本実施形態に係るクリーンリフター1では、製品Aを、2階のクリーンルームC2と3階のクリーンルームC3との間で搬送できる。クリーンルームC2C3内は、HEPAフィルタHighEfficiencyParticulateAirフィルタ、図示省略を通じて空気が循環されることにより、ISOクラス5程度の清浄度に保たれている。更に、クリーンルームC2C3内は、無菌状態での取扱が必要な薬品等を取り扱えるように、必要に応じて除菌が行われる。なお、ISOクラスとは、ISOInternationalOrganizationforStandardization、国際標準化機構によって規定された、空気清浄度に関する規格である。クリーンリフター1は、2階のクリーンルームC2と3階のクリーンルームC3とに跨るように設置されている。クリーンリフター1は、図1及び図2に示すように、リフター本体10と、キャリッジ50とを備えている。リフター本体10は、垂直方向に細長い筒状壁部11と、筒状壁部11内に形成される搬送路14内の空気を循環させるための空気循環機構25と、前記筒状壁部11内に配置され、キャリッジ50を昇降させるための昇降機構30とを備えている。筒状壁部11は、ステンレスで構成された複数のフレームが縦方向に細長い直方体状に組まれた枠体12と、該枠体12に取り付けられる複数のパネル13とを備えている。該パネル13によって覆われた内部空間には、キャリッジ50の搬送路14が形成される。前記複数のパネルのうちの前側パネル15には、2階のクリーンルームC2及び3階のクリーンルームC3に向かって開口する四角い穴状の壁部側開口部15a15aが形成される。また、筒状壁部11の天面には搬送路14の給気口11aが形成され、筒状壁部11の側面の下部には搬送路14の排気口11bが形成されている図2参照。空気循環機構25は、図2及び図3に示すように、循環流路26と、ファン27とを備えている。循環流路26の流出端は、給気口11aを覆う給気側HEPAフィルタ41を介して筒状壁部11の天面に取り付けられ、該循環流路26の流入端は、排気口11bを覆う排気側HEPAフィルタ42を介して筒状壁部11の側面の下部に取り付けられている。ファン27は、循環流路26に接続されている。ファン27は、循環流路26の流入端側から流出端側図2及び図3の白抜き矢印方向へ向かって空気を搬送するためのものである。昇降機構30は、搬送路14内でキャリッジ50を昇降させるためのものである。昇降機構30は、駆動機構としてのモータ31と、定滑車32と、該定滑車32に巻かけられた状態でモータ31とキャリッジ50を繋ぐチェーン33と、を備えている。モータ31は、搬送路14の底部に設置されている。モータ31は、インバータ回路図示省略によってインバータ駆動されることにより、所望の回転速度で、正逆の双方向に回転する。上述のようにモータ31を搬送路14の底部すなわち搬送路14内における空気の流れの下流側に配置することで、該モータ31の摺動部が擦れて塵埃が発生した場合であっても、該塵埃が搬送路14内で舞い上がるのを抑制できる。その結果、搬送路14の清浄度の悪化を抑制できる。定滑車32は、筒状壁部11の天面付近に配置され、筒状壁部11に取り付けられている。チェーン33は、定滑車32に巻かけられた状態で、一端がモータ31に巻かけられる一方、他端がキャリッジ50の天面に取り付けられている。チェーン33は、ステンレス鋼によって構成されている。リフター本体10は、壁部側扉16と、該壁部側扉16を開閉するためのスライド機構図示省略と、該壁部側扉16を前側パネル15側へ押圧する押圧機構17とを備えている。壁部側扉16は、各階本実施形態の場合、2階と3階に形成される壁部側開口部15aに対応して設けられている。壁部側扉16は、壁部側開口部15aよりもやや大きい四角い板状に形成され、壁部側開口部15aを内側から覆っている。壁部側扉16は、壁部側開口部15aに対して上下動可能なように前側パネル15に取り付けられていて、スライド機構によって上昇すると搬送路14とクリーンルームC2C3とが連通する一方、下降すると壁部側開口部15aが覆われることにより該壁部側開口部15aが閉じられる。押圧機構17は、各壁部側扉1616に対応して設けられ、各壁部側扉16の背面側に配置されている。押圧機構17は、例えばエアシリンダで構成される。押圧機構17は、シリンダ及びピストンを備えている。シリンダは、筒状壁部11の前側パネル15に対して固定されている。押圧機構17は、ピストンがシリンダから進出することにより壁部側扉16を前側パネル15へ向けて押圧する一方、ピストンがシリンダへ入り込むことにより、壁部側扉16への押圧を中止する。キャリッジ50は、筒状壁部11内の搬送路14に配置されている。キャリッジ50は、箱状に形成される本体部51と、キャリッジ側扉52と、キャリッジ側扉駆動機構図示省略とを備えている。キャリッジ50は、キャリッジ側扉52が前側パネル15に対向するように搬送路14に配置されている。本体部51の上壁部には、昇降機構30のチェーン33が取り付けられている。キャリッジ50は、搬送路14内でチェーン33に吊り下げられた状態で保持される。本体部51は、3つの開口部を有する箱状に形成されている。具体的には、本体部51の側壁には、製品Aを出し入れするための出入用開口部51aが形成され、上壁部には、搬送路14からの空気を取り入れるための給気側開口部51bが形成され、底壁部には、本体部51内の空気を排出するための排気側開口部51cが形成されている。出入用開口部51aは、筒状壁部11の壁部側開口部15aと概ね同じ大きさの四角い穴状に形成されている。キャリッジ側扉52は、出入用開口部51aよりもやや大きい四角い板状に形成され、出入用開口部51aを外側から覆っている。キャリッジ側扉52は、本体部51に対して上下方向にスライド可能なように、該本体部51に取り付けられている。キャリッジ50の本体部51及びキャリッジ側扉52は、キャリッジ側扉52が閉じられた状態で両者5152の間のクリアランスが狭くなるように形成されている。これにより、キャリッジ50の密閉性が向上する。キャリッジ側扉52は、キャリッジ側扉駆動部によって上下方向にスライドされる。キャリッジ側扉52が上方向へスライドされると、出入用開口部51aが開けられてキャリッジ50内と搬送路14とが連通する一方、キャリッジ側扉52が下方向へスライドされると、出入用開口部51aが閉じられる。キャリッジ50は、ファンフィルタユニット54と、下部フィルタ55と、カバー部材56とを備えている。ファンフィルタユニット54は、キャリッジ50の給気側開口部51bを覆うように、本体部51の上壁部に取り付けられている。ファンフィルタユニット54は、ファン54aと、キャリッジ側フィルタとしてのHEPAフィルタ54bと、整流板54cとを備えている。ファンフィルタユニット54のファン54aは、搬送路14内の空気をHEPAフィルタ54bを通じてキャリッジ50内へ取り込むためのものである。ファン54aは、比較的低速且つ一定速度で回転する。ファン54aによってキャリッジ50内に取り込まれた空気は、整流板54cによって整流される。これにより、キャリッジ50内には、上から下へ向かう、比較的低速の気流が生成される。この気流は、層流に近い状態となる。下部フィルタ55は、排気側開口部51cを覆うように、本体部51の底壁部に取り付けられている。カバー部材56は、本体部51の底壁部の下側に取り付けられている。カバー部材56は、図2に示すように、本体部51の排気側開口部51cから所定の隙間をおいて該排気側開口部51cに対向するように配置されるプレート部57と、該プレート部57に一体形成され、該プレート部57を底壁部に取り付けるための取付部58とを備えている。これにより、前記プレート部57と排気側開口部51cとの間に隙間が形成される。この隙間が、空気の流路58aを形成する。リフター本体10は、筒状部材45と、該筒状部材45を駆動させる筒状部材駆動部46とを備えている。筒状部材45及び筒状部材駆動部46は、各階のクリーンルームC2C3の壁部側扉1616に対応して配置される。筒状部材45は、四角い筒状に形成される筒壁45aと、該筒壁45aの内周面によって形成される連通路45bとを備えている。筒状部材45の外周面は、キャリッジ50の出入用開口部50aの内周面、及び筒状壁部11の壁部側開口部15aの内周面よりも僅かに小さくなるように形成されている。筒状部材45は、壁部側開口部15aが壁部側扉16によって閉じられた状態において、外周面の一端側図2における左側が壁部側開口部15aの内周面に当接している。筒状部材駆動部46は、筒状部材45を軸方向に移動させるための駆動機構である。筒状部材駆動部は、例えばエアシリンダで構成されている。筒状部材駆動部46は、シリンダ46aと、該シリンダ46aに対して往復動するピストン46bとを備えている。シリンダ46aは、詳しくは後述するスライドフォーク60に固定されている。筒状部材駆動部46は、ピストン46bがシリンダ46aから突出するように進出することにより筒状部材45をキャリッジ50内へ挿通させる一方、ピストン46bがシリンダ46aへ入り込むことにより、筒状部材45をクリーンルームC2C3側へ移動させる。製品Aは、スライドフォーク60によってキャリッジ50内に出し入れされる。スライドフォーク60は、クリーンルームC2C3に設置される本体部61と、該本体部61によって支持されるベース62と、該ベース62に対して水平方向にスライド可能なスライドガイド63と、該スライドガイド63に対して水平方向にスライド可能な置き台64と、を備えている。本体部61には、前記筒状部材駆動部46のシリンダ46aが固定されている。スライドガイド63及び置き台64は、本体部61に収容されるモータ図示省略によって移動される。-過酸化水素供給部-クリーンリフター1は、過酸化水素供給部20を更に備えている。過酸化水素供給部20は、除菌成分を含む除菌ガスを搬送路14及びキャリッジ50内へ供給する除菌機構を構成している。過酸化水素供給部20は、図3に示すように、過酸化水素発生器21と、過酸化水素供給路22とを備えている。過酸化水素供給部20は、循環流路26と繋がっている。過酸化水素発生器21は、過酸化水素水から過酸化水素ガスを生成するように構成されている。具体的には、この過酸化水素発生器21は、過酸化水素ガスを生成する生成部21aと、該生成部21aへ過酸化水素水を供給する供給部21bとを備えている。生成部21aは、供給部21bから滴下されて供給される過酸化水素水を熱により微細化して気化することにより、過酸化水素ガスを生成するように構成されている。供給部21bは、循環流路26やキャリッジ50内における過酸化水素ガスの濃度に応じて、生成部21aに供給する過酸化水素水を増減するように構成されている。なお、過酸化水素ガスの生成は、循環流路26やキャリッジ50内における過酸化水素ガスの濃度に関係なく、操作パネル図示省略等によって行うこともできる。過酸化水素供給路22は、過酸化水素発生器21で発生した過酸化水素ガスを、循環流路26へ供給するための供給路である。過酸化水素供給路22は、流入端が過酸化水素発生器21に繋がり、流出端が循環流路26に繋がっている。-運転動作-《清浄動作》循環流路26に接続されるファン27が駆動されると、循環流路26内の空気が、該循環流路26の始端側から終端側へ向かって図2及び図3の白抜き矢印方向へ向かって搬送される。この空気は、給気側HEPAフィルタ41を通じてリフター本体10の搬送路14へ流入する。この際、空気に含まれる塵埃は、給気側HEPAフィルタ41によって除去されるため、搬送路14へは清浄化された空気が流入する。このように清浄化された空気は、搬送路14内を下方へ流れた後、排気側HEPAフィルタ42を通じて循環流路26へ戻される。その結果、搬送路14には、該搬送路14の上部から下部へ向かう空気の流れが形成されるため、搬送路14内の塵埃が舞い上がって搬送路14内で浮遊するのを抑制できる。搬送路14内の空気の清浄度は、ISOクラス7程度に保たれる。搬送路14を流れる空気は、比較的低速で回転するファン54aによって、キャリッジ50内に取り込まれる。これにより、キャリッジ50内には比較的低速の空気の流れが生成されるため、キャリッジ50内における気流の乱れによる清浄度の悪化を抑制できる。また、搬送路14の空気はファンフィルタユニット54のHEPAフィルタ54bを通じてキャリッジ50に流入する。これにより、キャリッジ50内は、搬送路14よりも高い清浄度で保たれる。具体的には、搬送路14内の清浄度が上述のようにISOクラス7程度に保たれているのに対し、キャリッジ50内の清浄度は、ISOクラス5程度に保たれている。なお、キャリッジ50が昇降機構30によって下降する場合などは、キャリッジ50の底壁部に形成された排気側開口部51cからキャリッジ50内へ空気が流入する。しかし、この空気は、カバー部材56のプレート部57に衝突した後に側方へ流れ、空気の流路58aを通じてキャリッジ50内へ流入する。すなわち、この空気は、プレート部57に衝突して減速した後にキャリッジ50内へ流入するため、該空気と、ファンフィルタユニット54のファン54aによって取り入れられる上方からの空気との衝突による乱気流が抑制される。従って、キャリッジ50内の空気の流れが安定化する。《除菌動作》過酸化水素発生器21が起動されると、過酸化水素水が、過酸化水素発生器21の供給部21bから生成部21aへ滴下される。滴下された過酸化水素水は、生成部21aで発生する熱風により微細化されて気化される。このように生成された過酸化水素ガスは、過酸化水素供給路22を通じて循環流路26へ流入する。このように循環流路26に供給された過酸化水素ガスは、循環流路26、搬送路14及びキャリッジ50内を流れる空気とともに、これら132650の内部を流れる。そして、過酸化水素ガスは、空気中に含まれる菌と反応して菌を分解する。これにより、循環流路26、搬送路14及びキャリッジ50内が除菌される。《搬送動作》クリーンリフター1における搬送動作について、2階のクリーンルームC2の製品Aを3階のクリーンルームC3へ搬送する場合を例として、図2及び図4から図6を用いて説明する。クリーンリフター1は、停止状態においては、壁部側扉16及びキャリッジ側扉52が閉じられた状態となっている図4参照。このとき、壁部側扉16は、押圧機構17によって前側パネル15側へ押圧されている。これにより、壁部側扉16が筒状壁部11に対してより密着するため、搬送路14を流れる過酸化水素ガスがクリーンルームC2C3へ漏洩するのを防止できる。キャリッジ側扉52及び2階のクリーンルームC2の壁部側扉16は、キャリッジ50が2階に位置する状態で開かれる。具体的には、壁部側扉16は、押圧機構17による押圧が中止されて上下方向にスライド可能となった状態で、スライド機構によって上方へスライドされる。これと同時に、キャリッジ側扉52がキャリッジ側扉駆動機構によって上方へスライドされる。これにより、壁部側扉16及びキャリッジ側扉52が開けられる。壁部側扉16及びキャリッジ側扉52が開けられると、高い清浄度に保たれるキャリッジ50内及びクリーンルームC2内に、やや清浄度の低い搬送路14内の空気が流入してしまう。これに対して、本実施形態では、壁部側扉16及びキャリッジ側扉52が開けられると、筒状部材駆動部46のピストン46bがシリンダ46aから突出するように進出する。これにより、筒状部材45の筒壁45aの外周が壁部側開口部15a及び出入用開口部51aの内周面全体に亘って当接しながら、該壁部側開口部15a及び出入用開口部51aに挿通される図5参照。このように筒状部材45がキャリッジ50内へ挿通された状態では、キャリッジ50内及びクリーンルームC2は、搬送路14に曝されることなく、連通路45bを介して互いに連通する。これにより、搬送路14と比べて清浄度の高いキャリッジ50内及びクリーンルームC2を、やや清浄度の低い搬送路14から遮断しつつ互いに連通させることができる。その後、スライドフォーク60によって製品Aがキャリッジ50内へ収容される。具体的には、製品Aが置き台64に載置されている状態で、スライドガイド63及び置き台64が、キャリッジ50側に向かってスライドする。これにより、製品Aがキャリッジ50内に収容される図6参照。このとき製品Aは、やや清浄度の低い搬送路14に曝されることなく、クリーンルームC2からキャリッジ50内へ移送される。キャリッジ50内に製品Aが収容されると、スライドガイド63及び置き台64は本体部61側へ戻される。その後、筒状部材45がクリーンルームC2C3側へ移動され、壁部側扉16及びキャリッジ側扉52が閉じられる。壁部側扉16は、再び押圧機構17によって前側パネル15側へ押圧される。その後、キャリッジ50は、3階のクリーンルームC3へ向けて移送される。具体的には、昇降機構30のモータ31が回転してチェーン33が巻き上げられることにより、3階まで上昇する。それから、キャリッジ側扉52及び3階のクリーンルームC3の壁部側扉16が開かれ、筒状部材45が壁部側開口部15a及び出入用開口部51aに挿通される。このようにしてキャリッジ50内を搬送路14と遮断した状態で、キャリッジ50内の製品Aがスライドフォーク60によって取り出される。これにより、製品Aが3階へ搬送される。上述のように、製品Aは、内部が除菌されたキャリッジ50によって2階から3階へ搬送される。従って、製品の除菌状態を保ちつつ、異なる階のクリーンルームへ搬送できる。しかも、製品Aは、クリーンルームC2C3やキャリッジ50内と比べてやや清浄度の低い搬送路14に曝されずに搬送されるため、製品Aを高い清浄度で保つことができる。-実施形態の効果-以上のように、本実施形態に係るクリーンリフター1では、過酸化水素ガスでキャリッジ50内及び該キャリッジ50の搬送路14を除菌している。これにより、製品Aの除菌状態を保ちつつ、該製品Aを階の異なるクリーンルームC2C3間で搬送できる。また、本実施形態では、除菌ガスとして過酸化水素ガスを用いている。これにより、比較的毒性の強いホルマリンガス等を使用する必要がなくなり、比較的取扱の容易な過酸化水素を用いてキャリッジ50内及び搬送路14を除菌できる。また、本実施形態では、閉状態における壁部側扉16が壁部側開口部15aの周縁部に対して押圧されるため、搬送路14内の過酸化水素ガスがクリーンルームC2C3へ漏洩するのを防止できる。また、本実施形態では、搬送路14内の空気は上から下へ向かって流れるため、塵埃や菌が搬送路14内で舞い上がるのを抑制できる。その結果、搬送路14内の清浄度を維持できる。しかも、キャリッジ50を昇降させるためのモータ31を、搬送路14を流れる空気の下流側である、搬送路14の底部に配置したため、モータ31から発生する塵埃が舞い上がるのを抑制できる。また、本実施形態では、製品Aをキャリッジ50内に出し入れする際、筒状部材45によって、比較的清浄度の高いキャリッジ50内及びクリーンルームC2C3と、やや清浄度の低い搬送路14とを遮断できるため、製品Aを高い清浄度で維持できる。また、本実施形態では、キャリッジ50の排気側開口部51cと所定の距離を置いて、該キャリッジ50の排気側開口部51cに対向するようにプレート部57を配置したため、下方からの空気は、プレート部57に衝突して減速した後、キャリッジ50内に流入する。これにより、キャリッジ50内における上側から流れる空気と下側から流れる空気との衝突による気流の乱れを抑制でき、キャリッジ50内における空気の流れを安定化できる。その結果、キャリッジ50内の清浄度が維持される。-その他の実施形態-上記実施形態では、除菌ガスとして過酸化水素ガスを用いているが、この限りでなく、例えばホルマリンガス等、その他の除菌ガスを用いることもできる。