"アルカリ土類金属の硫化物を含有する蛍光体と表面処理液とを混合する工程1、及び、前記蛍光体の表面処理反応を行う工程2を有し、前記表面処理液は、周期律表第4~6族の元素及びケイ素から選択される少なくとも1種の特定元素とフッ素とを有するフッ化物及び水を含有し、前記表面処理液における前記フッ化物の含有量が、蛍光体の単位表面積m2に対して1.0×10-5~3.0×10-1モルであることを特徴とする表面処理蛍光体の製造方法。特定元素とフッ素とを有するフッ化物は、H、NH4又はアルカリ金属を有することを特徴とする請求項1記載の表面処理蛍光体の製造方法。特定元素とフッ素とを有するフッ化物は、R2AF6A:周期律表第4族の元素及びケイ素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属に示す構造を有することを特徴とする請求項1記載の表面処理蛍光体の製造方法。特定元素とフッ素とを有するフッ化物は、R2BF7B:周期律表第5族の元素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属に示す構造を有することを特徴とする請求項1記載の表面処理蛍光体の製造方法。特定元素とフッ素とを有するフッ化物は、R2BOF5B:周期律表第5族の元素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属に示す構造を有することを特徴とする請求項1記載の表面処理蛍光体の製造方法。特定元素とフッ素とを有するフッ化物は、R2LO2F4L:周期律表第6族の元素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属に示す構造を有することを特徴とする請求項1記載の表面処理蛍光体の製造方法。工程2は、0~60°Cの温度で行われることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の表面処理蛍光体の製造方法。工程2は、10分~5時間行われることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の表面処理蛍光体の製造方法。請求項1、2、3、4、5、6、7又は8記載の表面処理蛍光体の製造方法で製造されることを特徴とする表面処理蛍光体。純水300重量部中に、蛍光体1重量部を10分間浸漬した場合における、水の導電率が100mS/m以下であることを特徴とする請求項9記載の表面処理蛍光体。請求項9又は10記載の表面処理蛍光体と、エポキシ樹脂及び/又はシリコーン樹脂とを含有することを特徴とする蛍光体含有樹脂組成物。請求項9又は10記載の表面処理蛍光体が、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルブチラール、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレート及びポリカーボネート及び環状オレフィン共重合体からなる群より選択される少なくとも1種の樹脂に分散されてなることを特徴とする波長変換複合体。請求項12記載の波長変換複合体をシート状にしてなることを特徴とする波長変換シート。請求項12記載の波長変換複合体、又は、請求項13記載の波長変換シートを構成部材として用いることを特徴とする光電変換装置。請求項9又は10記載の表面処理蛍光体を用いてなることを特徴とする半導体発光素子。LEDチップと、前記LEDチップを囲繞する樹脂フレームと、樹脂フレームが形成する凹部に充填される蛍光体層を備えるLED発光装置であって、前記蛍光体層が請求項9又は10記載の表面処理蛍光体と封止樹脂とを含有することを特徴とするLED発光装置。温度60°C、相対湿度90、電流20mAの条件で1000時間通電した後の光度保持率が80以上であることを特徴とする請求項16記載のLED発光装置。請求項16又は17記載のLED発光装置を構成部材として用いることを特徴とする液晶表示素子バックライト。請求項16又は17記載のLED発光装置を構成部材として用いることを特徴とする画像表示装置。請求項16又は17記載のLED発光装置を構成部材として用いることを特徴とする照明装置。本発明は、蛍光特性を低下させることなく、耐湿性を大幅に改善することができ、かつ、高い分散性を有する表面処理蛍光体を簡易な製造プロセスで提供することを目的とする。本発明は、アルカリ土類金属の硫化物を含有する蛍光体と表面処理液とを混合する工程1、及び、前記蛍光体の表面処理反応を行う工程2を有し、前記表面処理液は、周期律表第4~6族の元素及びケイ素から選択される少なくとも1種の特定元素とフッ素とを有するフッ化物及び水を含有し、前記表面処理液における前記フッ化物の含有量が、蛍光体の単位表面積m2に対して1.0×10-5~3.0×10-1モルである表面処理蛍光体の製造方法である。以下、本発明を詳述する。本発明者らは、アルカリ土類金属の硫化物を含有する蛍光体の耐湿性が悪化する理由は、このような蛍光体では水による加水分解反応が起こりやすく、蛍光体の組成や結晶構造が変化したり、アルカリ土類金属イオンの溶出反応が生じたりすることにあることを見出した。そして、本発明者らは、鋭意検討した結果、アルカリ土類金属の硫化物を含有する蛍光体を、特定元素とフッ素とを含有するフッ化物を含有する表面処理液を用いて表面処理することで、蛍光体の表面に水に対して安定な被覆層が形成され、その結果、蛍光特性を低下させることなく、耐湿性を大幅に改善することができ、かつ、高い分散性を有する表面処理蛍光体が得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。本発明の表面処理蛍光体の製造方法では、アルカリ土類金属の硫化物を含有する蛍光体と表面処理液とを混合する工程1を有する。上記工程1において、表面処理液と蛍光体とを混合する方法としては、蛍光体を表面処理液に分散させて混合させる方法等が挙げられる。混合条件について、蛍光体を均一に分散できる方法であれば特に限定されず、例えば、磁気スターラー攪拌、モーター付きの機械的な攪拌、ガスバーブリング、液循環、超音波分散、ボールミルやロータリーミキサーのような回転分散、又は上記方法を併用することによって行うことができる。上記表面処理液は、周期律表第4~6族の元素及びケイ素から選択される少なくとも1種の特定元素とフッ素とを有するフッ化物を含有する。上記特定元素とフッ素とを有するフッ化物を含有することで、表面処理工程が水溶液中で行われる場合でも、得られる表面処理蛍光体の蛍光特性が低下することなく、優れた耐湿性を付与することができる。上記特定元素とフッ素とを含有するフッ化物としては、H、NH4又はアルカリ金属を有するものが好ましい。また、上記フッ化物は錯塩であることが好ましい。なかでも、R2AF6に示す構造を有するフッ化物A:周期律表第4族の元素及びケイ素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属、R2BF7に示す構造を有するフッ化物B:周期律表第5族の元素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属、R2BOF5に示す構造を有するフッ化物B:周期律表第5族の元素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属、又は、R2LO2F4に示す構造を有するフッ化物L:周期律表第6族の元素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属等が挙げられる。上記特定元素とフッ素とを含有するフッ化物の具体的な例としては、例えば、フッ化ケイ酸アンモニウムNH42SiF6、フッ化ケイ酸H2SiF6、Na2SiF6、K2SiF6、NH42TiF6、Na2SiF6、NH42TiOF4、NH42ZrF6、Na2ZrF6、NH42VOF5、Na2VOF5、NH42VO2F2、NaVO2F2、NH42NbOF6、K2VF7、NH42TaF7、NH43TaOF6、NH42MoO2F4、NH42WO2F4、Rb2MoO2F4等が挙げられる。なかでも、R2AF6に示す構造を有するフッ化物A:周期律表第4族の元素及びケイ素から選択される少なくとも1種の特定元素、R:H、NH4又はアルカリ金属が特に好ましい。上記表面処理液における上記フッ化物の含有量の下限は、蛍光体の単位表面積m2に対して1.0×10-5モル、上限は3.0×10-1モルである。上記フッ化物の含有量が1.0×10-5モル未満であると、被覆反応の速度が遅く、水による蛍光体の分解劣化を防げないこととなり、3.0×10-1モルを超えると、反応速度が速すぎて、蛍光体の顕著な変形が生じることと同時に、粒子の凝集も顕著となる。好ましい下限は2.0×10-5モル、好ましい上限は1.0×10-1モルである。なお、上記蛍光体の単位表面積m2当たりのフッ化物の含有量Qは、下記式により求めることができる。Q=Wr/Mr×Wp×Spただし、WrとMrはそれぞれフッ化物の添加量gと分子量であり、WpとSpはそれぞれ蛍光体の仕込量gと比表面積m2/gである。上記フッ化物の表面処理液中の濃度は、0.0005~2.0Mであることが好ましい。上記フッ化物の表面処理液中の濃度が0.0005M未満であると、表面処理反応の速度が遅く、表面処理工程中に蛍光体の加水分解による劣化を生じる恐れがある。一方、上記フッ化物の表面処理液中の濃度が2.0Mを超えると、溶液自身が不安定になるか、反応が速すぎて、良質な膜が得られにくくなることがある。より好ましくは0.001~1.5M、更に好ましくは0.005~1.0Mである。上記表面処理液のpHは、2.0~10.0とすることが好ましい。上記pHが2.0未満であると、溶液の酸性が強すぎて、処理過程中での蛍光体の分解劣化を完全に抑えることが困難となり、10.0を超えると、処理液が不安定になり、表面被覆層の形成が困難となる。本発明では、上記表面処理液に使用する溶媒として、水を用いる。これが、本発明の大きな特徴の一つである。通常、水に弱い蛍光体の表面被覆には水をできるだけ避け、アルコール等の有機溶媒を使用される。例えば、ゾル-ゲル法による被覆反応では、蛍光体をアルコールに分散させ、水は被覆物の前駆体である金属アルコキシドの加水分解に必要な最小限の量を使うのが一般的である。本発明では、水は、上記特定元素とフッ素とを有するフッ化物の溶解性だけではなく、被覆反応にも大きい影響を与える。水を用いることで、上記特定元素とフッ素とを有するフッ化物の加水分解が促進され、蛍光体が水による分解劣化の前にその表面が安定に被覆層が形成されることになる。更に、溶解性、廃液処理等の問題からも好適に使用できる。なお、上記特定元素とフッ素とを有するフッ化物及び水を含有する表面処理液を調製する方法としては、例えば、特定元素の酸化物をフッ化水素の水溶液に完全に溶解させた後に、表面被覆に適するpH範囲までアルカリ溶液で調整する方法等が挙げられる。本発明の表面処理蛍光体の製造方法に用いられる蛍光体としては、アルカリ土類金属の硫化物、即ち、アルカリ土類金属と硫黄元素を含有すればよい。具体的には例えば、CaS:Eu、SrS:Eu、BaS:Eu、CaS:Ce、SrS:Ce、BaS:Ce、CaGa2S4:Eu、SrGa2S4:Eu、BaGa2S4:Eu、CaGa2S4:Ce、SrGa2S4:Ce、BaGa2S4:Ce、SrxCa1-xGa2S4:Eu、SrxCa1-xS4:Eu等が挙げられる。これらのなかでは、ユウロピウムEuで賦活した硫化物蛍光体が特に好適である。上記蛍光体の粒子径としては特に限定されないが、中央粒径D50で通常0.1~100μm範囲内であることが好ましく、より好ましくは1.0~50μm、さらに好ましくは5.0~30μmである。上記D50が小さすぎると、輝度が低下するだけではなく、基体蛍光体自体が凝集しやくなり、均一な被覆処理が困難になる。また、D50が大きすぎると、樹脂における分散性が悪くなり、発光素子の特性に悪影響を与える恐れがある。本発明では、次いで、蛍光体の表面処理反応を行う工程2を行う。なお、工程2でも工程1に引き続き混合を行うことが好ましい。上記所定のフッ化物を含有する表面処理液で表面処理反応することで、表面処理層が形成される。このような表面処理層は水に難溶であることから、加水分解反応が起こりにくい蛍光体が得られ、その結果、蛍光体の耐湿性を著しく向上させることができる。また、本発明の表面処理蛍光体の製造方法では、処理過程中の水による蛍光体の劣化が生じることを防止することができる。一般的に、耐湿性に劣る蛍光体を処理する場合には、水溶液の使用を避ける傾向にあるが、本発明では、被覆反応が加水分解反応より早く、蛍光体の劣化が起こる前に上記表面処理層を形成することで、被覆処理を水溶液中で行うことができ、有機溶媒を使用する場合における特殊な廃液処理等の問題がなくなる。上記工程2における反応温度は、形成する表面処理層の厚みに応じて適宜調整すればよいが、通常、0~90°C、好ましいは5~70°C、より好ましいのは10~60°Cである。上記温度が0°C未満であると、反応に時間が掛かり、90°Cを超えると、処理過程中に蛍光体の劣化が起こる恐れがある。上記工程2における反応時間は、目的とする表面処理層の厚み、表面処理液の濃度、温度等の反応条件に応じて適宜調整すればよく、通常、5分~20時間程度、好ましくは10分~10時間程度、より好ましくは20分~5時間程度である。一般には、仕込みの蛍光体の量が一定であれば、反応時間が長くなるほど表面処理層の厚みが厚くなる。反応時間が短すぎると表面処理層の形成が不完全となる。一方、反応時間が長すぎると非経済的である。上記工程2を行った後は、ろ過、洗浄、乾燥工程を経て回収する。乾燥は常圧乾燥でもよく、減圧乾燥でもよい。乾燥時の温度は室温~150°Cが好適である。また、本発明の表面処理蛍光体の製造方法では、上記乾燥した蛍光体を200~600°Cの温度で更に熱処理してもよい。本発明の表面処理蛍光体の製造方法を用いることで、耐湿性が著しく改善された表面処理蛍光体が得られる。このような表面処理蛍光体もまた本発明の1つである。このような表面処理蛍光体では、上記表面処理層にアルカリ土類金属のフッ化物と特定元素の酸化物、又は、酸フッ化物が形成されていると推測される。このような物質は水に難溶であることから、加水分解反応が起こりにくい蛍光体が得られ、その結果、蛍光体の耐湿性を著しく向上させることができる。また、表面処理蛍光体の使用時の耐湿性についても向上されることができる。上記表面処理層はシリケート蛍光体に比べ、水に対する安定性が高いので、使用時の耐湿性改善にも寄与する。本発明による表面被覆層の形成機構は必ずしも明らかではないが、下記のように考えられる。特定元素とフッ素とを有するフッ化物は、水溶液中に下記6式のような加水分解の反応が徐々に進行する。通常、この反応の進行速度は遅く、溶液を数日から数ヶ月間放置しても溶液中に特定元素の酸化物の析出が見られない溶液が透明のまま。ところが、アルカリ土類金属を含有する蛍光体が存在すると、短時間にAO2酸化物が蛍光体の表面に優先的に析出することが本発明者らの実験から分かった。これは、アルカリ土類金属を含有する蛍光体が存在すると、溶液中に遊離したフッ素イオンF-が蛍光体表面のアルカリ土類金属イオンと反応し、水に難溶のアルカリ土類金属のフッ化物例えば、SrF2を形成し、その結果、6式の反応が促進されたためだと考えられる。本発明の表面被覆方法によって処理した蛍光体の断面をFE-TEMで観察したところ、被覆層の表面側には特定元素と酸素のリッチ区域が、その内側蛍光体母体側にフッ素とストロンチウムのリッチ区域が観察された。また、本発明では、被覆処理液に、フッ素イオンと安定な錯体を作りうる元素例えば、ホウ素B又はアルミニウムAlを含有する化合物を添加してもよい。本発明では、このようなホウ素又はアルミニウムを含有する化合物は遊離のフッ素イオンの濃度を調節する調整剤として使う。ホウ素を含有する化合物及びアルミニウムを含有する化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。上記ホウ素を含有する化合物としては、例えば、酸化ホウ素、四ホウ酸ナトリウム、ホウ酸H3BO3等が挙げられる。これらの中では、ホウ酸が好ましい。上記アルミニウムを含有する化合物としては、例えば、AlCl3、AlBr3、水酸化アルミニウムAlOH3等が挙げられる。上記AF62-錯体イオンに対する加水分解促進剤の量は特に限定されないが、通常、1モルのAF62-錯体イオンに対して加水分解促進剤の量が5倍以下、より好ましくは4倍以下である。上記表面処理層の厚みは0.5~5000nmであることが好ましい。より好ましくは1.0~3000nm、更に好ましくは5.0~1000nm、特に好ましくは10~500nmである。表面処理層の厚みが薄すぎると、耐湿性が不足となることがあり、厚すぎると、表面処理蛍光体の蛍光特性が低下することがある。また、上記表面処理層は、単層であることが好ましいが、2層以上であってもよい。更に、上記表面処理層の上に、水に対してより安定な酸化物層を被覆することにより、長期間使用時における耐湿性を更に向上することもできる。本発明の表面処理蛍光体は、純水100重量部中に、蛍光体1重量部を10分間浸漬した場合における、水の導電率が100mS/m以下であることが好ましい。上記水の導電率が100mS/m以下であることで、蛍光体が水による分解劣化が少なく、優れた耐湿性を示すこととなる。なお、上記水の導電率は、例えば、導電率計等によって測定することができる。本発明の表面処理蛍光体は、エポキシ樹脂及び/又はシリコーン樹脂に添加することで、蛍光体含有樹脂組成物として使用することができる。なお、上記蛍光体含有樹脂組成物は公知の形態で使用され、例えば、ペーストとしてディスペンサーで充填されたり、テープ、シート状に加工され積層されたりしても良い。上記エポキシ樹脂としては、公知の物が使用しても良いが、例えば、ヒドロキシル、カルボキシル又はアミン含有化合物を、金属水酸化物のような塩基性触媒水酸化ナトリウム等の存在下で、エピクロロヒドリンと反応させて製造できるもの等が挙げられる。また、1以上、好ましくは2以上の炭素-炭素二重結合を有する化合物と過酸化物過酸等との反応で製造されるエポキシ樹脂等も挙げられる。上記エポキシ樹脂としては、例えば、脂肪族エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ビスフェノール-Aエポキシ樹脂、ビスフェノール-Fエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾール-ノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルエポキシ樹脂、4,4’-ビフェニルエポキシ樹脂、多官能性エポキシ樹脂、ジビニルベンゼンジオキシド及び2-グリシジルフェニルグリシジルエーテルが挙げられる。なかでも、脂環式エポキシ樹脂及び脂肪族エポキシ樹脂が好ましい。これらのエポキシ樹脂は単独で使用してもよいし、2種類以上を併用してもよい。上記脂肪族エポキシ樹脂としては、1以上の脂肪族基と1以上のエポキシ基を有する化合物が挙げられ、具体例としては、ブタジエンジオキシド、ジメチルペンタンジオキシド、ジグリシジルエーテル、1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル及びジペンテンジオキシド等が挙げられる。上記脂環式エポキシ樹脂としては、1以上の脂環式基と1以上のオキシラン基を有する化合物が挙げられ、具体例としては、2-3,4-エポキシシクロヘキシル-5,5-スピロ-3,4-エポキシシクロヘキサン-m-ジオキサン、3,4-エポキシシクロヘキシルアルキル-3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ビニルシクロヘキサンジオキシド、ビス3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアジペート、ビス3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキシルメチルアジペート、exo-exoビス2,3-エポキシシクロペンチルエーテル、endo-exoビス2,3-エポキシシクロペンチルエーテル、2,2-ビス4-2,3-エポキシプロポキシシクロヘキシルプロパン、2,6-ビス2,3-エポキシプロポキシシクロヘキシル-p-ジオキサン、2,6-ビス2,3-エポキシプロポキシノルボルネン、リノール酸ダイマーのジグリシジルエーテル、リモネンジオキシド、2,2-ビス3,4-エポキシシクロヘキシルプロパン、ジシクロペンタジエンジオキシド、1,2-エポキシ-6-2,3-エポキシプロポキシヘキサヒドロ-4,7-メタノインダン、p-2,3-エポキシシクロペンチルフェニル-2,3-エポキシプロピルエーテル、1-2,3-エポキシプロポキシフェニル-5,6-エポキシヘキサヒドロ-4,7-メタノインダン、o-2,3-エポキシシクロペンチルフェニル-2,3-エポキシプロピルエーテル、1,2-ビス[5-1,2-エポキシ-4,7-ヘキサヒドロメタノインダノキシル]エタン、シクロペンチルフェニルグリシジルエーテル、シクロヘキサンジオールジグリシジルエーテル及びジグリシジルヘキサヒドロフタレート等が挙げられる。上記シリコーン樹脂としては、公知の物を使用しても良いが、例えば、-SiR1R2-O-nポリシロキサン骨格を持つ物が挙げられる。上記R1R2としては、炭素数2~10、特に2~6のものが好ましく、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基等のアルケニル基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基等が挙げられる。上記R2としては、炭素数1~10、特に1~6のものが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、シクロヘキシル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、ベンジル基等のアラルキル基などが代表的なものとして挙げられる。本発明の表面処理蛍光体を用いて蛍光体層を形成することで半導体発光素子を製造することができる。このような半導体発光素子もまた本発明の1つである。また、LEDチップと、前記LEDチップを囲繞する樹脂フレームと、樹脂フレームが形成する凹部に充填される蛍光体層を備えるLED発光装置において、前記蛍光体層を本発明の表面処理蛍光体と封止樹脂とを含有する構成とすることで、耐湿性に優れたLED発光装置とすることができる。このようなLED発光装置もまた本発明の1つである。本発明のLED発光装置の用途は特に制限されず、通常のLED発光装置が用いられる各種の分野に使用することが可能である。また、単独で、又は複数個を組み合わせて用いても良い。具体的には、例えば、液晶表示素子バックライト、画像表示装置、照明装置等に使用することができる。本発明の表面処理蛍光体の製造方法によれば、空気中の水蒸気や水による表面の分解劣化を防止でき、長時間又は高温高湿環境での使用においても光度の低下や色調の変化が起こることのない、耐湿性に優れた表面処理蛍光体を得ることができる。また、本発明の表面処理蛍光体の製造方法によれば、高価な反応装置を必要とせず、被覆処理を水溶液中にて短時間で行うことができるので、目的の表面処理蛍光体を効率的、経済的に製造することができる。以下に実施例を掲げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。[実施例1]中央粒径D5020μm、比表面積0.240m2/gのSrGa2S4:Eu蛍光体1.0gを、蛍光体の単位表面積m2当たり2.0×10-5モルのフッ化チタン酸アンモニウムNH42TiF6を含有する水溶液250mlに添加した。なお、蛍光体の比表面積は、全自動高速比表面積細孔分布測定装置ASAP-2000、島津製作所社製を用いて、窒素ガス吸着法によって測定した。測定に用いた蛍光体量は0.5gであった。続いて、上記蛍光体を添加した混合液をモーター付き攪拌羽根で攪拌回転数:250rpmすることによって分散しながら、35°Cで30分間を反応させた。反応後に、メンブレンフィルタを介して減圧ろ過し、さらに純水で3回洗浄することによって蛍光体を回収した。回収した蛍光体を120°Cで1時間真空乾燥することにより、表面処理蛍光体を得た。[実施例2]中央粒径D5020μm、比表面積0.240m2/gのSrGa2S4:Eu蛍光体1.0gを、蛍光体の単位表面積m2当たり4.5×10-3モルのフッ化チタン酸アンモニウムNH42TiF6を含有する水溶液250mlに添加した。なお、蛍光体の比表面積は、全自動高速比表面積細孔分布測定装置ASAP-2000、島津製作所社製を用いて、窒素ガス吸着法によって測定した。測定に用いた蛍光体量は0.5gであった。続いて、上記蛍光体を添加した混合液をモーター付き攪拌羽根で攪拌回転数:250rpmすることによって分散しながら、35°Cで30分間を反応させた。反応後に、メンブレンフィルタを介して減圧ろ過し、さらに純水で3回洗浄することによって蛍光体を回収した。回収した蛍光体を120°Cで1時間真空乾燥することにより、表面処理蛍光体を得た。[実施例3]中央粒径D5020μm、比表面積0.240m2/gのSrGa2S4:Eu蛍光体1.0gを、蛍光体の単位表面積m2当たり2.5×10-1モルのフッ化チタン酸アンモニウムNH42TiF6を含有する水溶液250mlに添加した。なお、蛍光体の比表面積は、全自動高速比表面積細孔分布測定装置ASAP-2000、島津製作所社製を用いて、窒素ガス吸着法によって測定した。測定に用いた蛍光体量は0.5gであった。続いて、上記蛍光体を添加した混合液をモーター付き攪拌羽根で攪拌回転数:250rpmすることによって分散しながら、35°Cで30分間を反応させた。反応後に、メンブレンフィルタを介して減圧ろ過し、さらに純水で3回洗浄することによって蛍光体を回収した。回収した蛍光体を120°Cで1時間真空乾燥することにより、表面処理蛍光体を得た。[実施例4]中央粒径D5020μm、比表面積0.240m2/gのSrGa2S4:Eu蛍光体1.0gを、蛍光体の単位表面積m2当たり4.0×10-3モルのフッ化チタン酸アンモニウムNH42SiF6を含有する水溶液250mlに添加した。なお、蛍光体の比表面積は、全自動高速比表面積細孔分布測定装置ASAP-2000、島津製作所社製を用いて、窒素ガス吸着法によって測定した。測定に用いた蛍光体量は0.5gであった。続いて、上記蛍光体を添加した混合液をモーター付き攪拌羽根で攪拌回転数:250rpmすることによって分散しながら、35°Cで30分間を反応させた。反応後に、メンブレンフィルタを介して減圧ろ過し、さらに純水で3回洗浄することによって蛍光体を回収した。回収した蛍光体を120°Cで1時間真空乾燥することにより、表面処理蛍光体を得た。[実施例5]中央粒径D5020μm、比表面積0.240m2/gのSrGa2S4:Eu蛍光体1.0gを、蛍光体の単位表面積m2当たり1.3×10-4モルのフッ化チタン酸アンモニウムNH42ZrF6を含有する水溶液250mlに添加した。なお、蛍光体の比表面積は、全自動高速比表面積細孔分布測定装置ASAP-2000、島津製作所社製を用いて、窒素ガス吸着法によって測定した。測定に用いた蛍光体量は0.5gであった。続いて、上記蛍光体を添加した混合液をモーター付き攪拌羽根で攪拌回転数:250rpmすることによって分散しながら、35°Cで30分間を反応させた。反応後に、メンブレンフィルタを介して減圧ろ過し、さらに純水で3回洗浄することによって蛍光体を回収した。回収した蛍光体を120°Cで1時間真空乾燥することにより、表面処理蛍光体を得た。[実施例6]中央粒径D5020μm、比表面積0.240m2/gのSrGa2S4:Eu蛍光体に代えて、中央粒径D5015μm、比表面積0.530m2/gのCaS:Eu蛍光体を用いた以外は実施例2と同様な方法で被覆処理を行った。[比較例1]表面未処理のSrGa2S4:Eu蛍光体[中央粒径D5020μm、比表面積0.240m2/g]を用いた。[比較例2]蛍光体の単位表面積m2あたりのフッ化チタン酸アンモニウムの含有量を1.0×100モルとした以外は実施例1と同様にして表面処理蛍光体を得た。得られた表面処理蛍光体は、変色が顕著であった。[比較例3]蛍光体の単位表面積m2あたりのフッ化チタン酸アンモニウムの含有量を5.0×10-6モルとした以外は実施例1と同様にして表面処理蛍光体を得た。[比較例4]表面未処理のCaS:Eu蛍光体[中央粒径D5015μm、比表面積0.530m2/g]を用いた。評価方法<蛍光体の発光強度評価>表面被覆処理前後の蛍光体の発光強度は、一定量の蛍光体粉体を石英窓を有するサンプルホルダにセットし、450nmの励起光で測定した蛍光体光度計:日立製作所社製。本発明では、未処理の蛍光体の発光強度を1.00とし、その他の蛍光体は未処理蛍光体の場合と比較してその発光強度を評価した。<蛍光体の耐湿性評価-水中浸漬試験>実施例及び比較例で得られた表面処理蛍光体又は蛍光体1gを、攪拌しながら純水300gに添加し、添加後10分経過した時点における分散液の導電率を導電率計ES-51、堀場製作所社製を用いて測定した。<蛍光体の分散性評価>蛍光体の樹脂における分散性は遠心沈降光透過方式の分散安定性分析装置L.U.M社製LUMiSizer612を用いて評価した。具体的には、シリコーン樹脂に対して蛍光体を8重量の割合で分散した蛍光体-シリコーン樹脂組成物約1mlをガラス製分析セルに入れ、その上澄み液に光を照射し、1時間あたりの透過する光量の変化量の積分値を求め、分散性を評価した。本発明では、未処理の蛍光体-樹脂組成物の透過光量の変化量を1.00とし、その他の蛍光体は未処理蛍光体の場合と比較してその分散性を評価した。"