コンピュータ制御によりディスプレイにチェックパターンを表示して測定対象物表面に投影する投影光学系と、投影されて測定対象物表面で反射したチェックパターンの虚像を撮像素子で撮影する撮像光学系とからなり、前記撮像素子で撮影したチェックパターンの画像データをコンピュータに収得してデータ処理することにより測定対象物表面の表面性状を測定する表面性状測定装置であって、鏡面度測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの振幅に対する標準偏差を算出し、該標準偏差を所定の鏡面度評価基準値と比較して、該鏡面度評価基準値に対する相対値を、測定対象物表面の鏡面度として算出する鏡面度算出手段と、測定対象物表面を複数区画に区分けして、区画ごとに前記鏡面度を算出し、区画ごとの鏡面度の標準偏差を、測定対象物表面の鏡面度バラツキとして算出する鏡面度バラツキ算出手段と、光沢度測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの振幅に対する標準偏差と輝度値データの平均値を算出し、該標準偏差と平均値を足した値を、測定対象物表面の光沢度として算出する光沢度算出手段と、シャープネス測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像の画素毎の明暗境界部の輝度波形に対して、フィッティング処理を行い、該フィッティング処理にて算出した輝度波形のゲインの平均値を、測定対象物表面のシャープネスとして算出するシャープネス算出手段と、うねり及び形状誤差測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像の画素毎の明暗境界部の輝度波形に対して、フィッティング処理を行い、該フィッティング処理にて算出した輝度波形の変曲点位置の標準偏差を、測定対象物表面のうねり又は形状誤差として算出するうねり及び形状誤差算出手段と、コントラスト測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの輝度値データの最大値Imaxと最小値Iminをもとめ、Imax-Imin/ImaxIminの値を、測定対象物表面のコントラストとして算出するコントラスト算出手段と、白濁度測定用のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの平均値を算出し、該平均値を所定の白濁度評価基準値と比較して、該白濁度評価基準値に対する相対値を、測定対象物表面の白濁度として算出する白濁度算出手段の内の、鏡面度算出手段を含む少なくとも三つの算出手段を備えることを特徴とする表面性状測定装置。前記鏡面度算出手段、鏡面度バラツキ算出手段、光沢度算出手段、シャープネス算出手段、うねり及び形状誤差算出手段、コントラスト算出手段、および白濁度算出手段の全てを備えることを特徴とする請求項1記載の表面性状測定装置。前記鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラスト、および白濁度の内の、鏡面度を含む複数の測定項目について、自動的に順次算出を実行し、算出した全測定項目のデータを一覧表示する一覧表示手段を備えることを特徴とする請求項1または2記載の表面性状測定装置。請求項1、2または3記載の表面性状測定装置を使用して、前記鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラスト、および白濁度の内の、鏡面度を含む複数の測定項目について算出を実行し、算出したそれら複数の測定項目のデータに基く多指数解析により測定対象物表面の表面性状を総合的に評価することを特徴とする表面性状総合評価方法。鏡面度は、鏡面に近い平滑な表面の表面性状を目視検査と同様の観点で定量的に評価するのに有効な指標である。しかし、表面性状の評価といっても、例えばステンレスの場合、建材の場合、フィルムの場合、高分子材料の場合等、業界が変わり、測定対象物である製品等の種類が変わると、評価の観点が微妙に変わってくる。目視検査では、業界ごとの特有の観点で表面性状を評価している。目視の場合、業界によって観点が違い、業界によっては、例えばうねりに対する評価とか、シャープネスに対する評価とかが検査の主たる観点として頭の中に無意識に入っていて、それが評価に大きく影響している。そして、目視検査で、例えば面が悪いといった場合でも、面がうねっているから悪いと感じたのか、輝きが鈍いから悪いと感じたのか、等々、具体的に何がどう悪いのかは明確でない。また、鏡面度による表面性状の評価は、総合的な評価ではあるが、その評価は測定対象物である製品等の種類や業界ごとの特有の観点での評価とは厳密には一致しない場合がある。また、鏡面度による表面性状の評価でも、具体的に何がどう良いのか悪いのかについてまでは必ずしも明確にならない。本発明は、鏡面に近い平滑な面であることが要求されるステンレス鋼板等の金属や、セラミックス、フィルム、プラスチック、陶器、光沢紙等の製品表面、塗装面、メッキ面、研磨面や、製品の表面性状を左右する圧延ロール、金型等の加工機械あるいは加工器具の表面の表面性状を、それぞれの製品あるいは業界に特有の感性に近い指標に基いて定量的且つ総合的に評価することができる表面性状測定装置および表面性状評価方法を提供することを目的とする。本発明の表面性状測定装置は、コンピュータ制御により液晶等のディスプレイに光学的明暗の2次元分布形状を示すチェックパターンを表示して測定対象物表面に投影する投影光学系と、投影されて測定対象物表面で反射したチェックパターンの虚像を撮像素子で撮影する撮像光学系とからなり、撮像素子で撮影したチェックパターンの画像データをコンピュータに収得してデータ処理することにより測定対象物表面の表面性状を測定する表面性状測定装置であって、鏡面度算出手段、鏡面度バラツキ算出手段、光沢度算出手段、シャープネス算出手段、うねり及び形状誤差算出手段、コントラスト算出手段、および白濁度算出手段の内の、鏡面度算出手段を含む複数の算出手段を備えることを特徴とする。鏡面度算出手段は、鏡面度測定用のチェックパターン例えば白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの振幅に対する標準偏差を算出し、該標準偏差を所定の鏡面度評価基準値と比較して、該鏡面度評価基準値に対する相対値を、測定対象物表面の鏡面度として算出するようコンピュータに算出ロジックが組み込まれてなるものである。鏡面度バラツキ算出手段は、測定対象物表面を複数区画に区分けして、区画ごとに鏡面度を算出し、区画ごとの鏡面度の標準偏差を、測定対象物表面の鏡面度バラツキとして算出するようコンピュータに算出ロジックが組み込まれてなるものである。光沢度算出手段は、光沢度測定用のチェックパターン例えば白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの振幅に対する標準偏差と輝度値データの平均値を算出し、該標準偏差と平均値を足した値を、測定対象物表面の光沢度として算出するようコンピュータに算出ロジックが組み込まれてなるものである。シャープネス算出手段は、シャープネス測定用のチェックパターン例えば白地と黒地を半々に配置したチェックパターン、あるいは白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像の画素毎の明暗境界部の輝度波形に対して、例えばシグモイド関数を使用した非線形最小二乗法などによるフィッティング処理を行い、該フィッティング処理にて算出した輝度波形のゲインの平均値を、測定対象物表面のシャープネス写像性の指標として算出するようコンピュータに算出ロジックが組み込まれてなるものである。うねり及び形状誤差算出手段は、うねり及び形状誤差測定用のチェックパターン例えば白地と黒地を半々に配置したチェックパターン、あるいは白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像の画素毎の明暗境界部の輝度波形に対して、例えばシグモイド関数を使用した非線形最小二乗法などによるフィッティング処理を行い、該フィッティング処理にて算出した輝度波形の変曲点位置中心位置の標準偏差を、測定対象物表面のうねり又は形状誤差として算出するようコンピュータに算出ロジックが組み込まれてなるものである。コントラスト算出手段は、コントラスト測定用のチェックパターン例えば白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの輝度値データの最大値Imaxと最小値Iminをもとめ、Imax-Imin/ImaxIminの値を、測定対象物表面のコントラストとして算出するようコンピュータに算出ロジックが組み込まれてなるものである。白濁度算出手段は、白濁度測定用のチェックパターン例えば白地の中心部分に黒丸を配置したチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの平均値を算出し、該平均値を所定の白濁度評価基準値と比較して、該白濁度評価基準値に対する相対値を、測定対象物表面の白濁度として算出するようコンピュータに算出ロジックが組み込まれてなるものである。この表面性状測定装置は、鏡面度算出手段、鏡面度バラツキ算出手段、光沢度算出手段、シャープネス算出手段、うねり及び形状誤差算出手段、コントラスト算出手段、および白濁度算出手段の全てを備えるものとするのが好ましい。また、この表面性状測定装置は、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり及び形状誤差、コントラスト、および白濁度の内の、鏡面度を含む複数の測定項目について、自動的に順次算出を実行し、算出した全測定項目のデータを一覧表示する一覧表示手段を備えるものとするのが好ましい。そして、本発明の表面性状総合評価方法は、上記構成の表面性状測定装置を使用して、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラスト、および白濁度の内の、鏡面度を含む複数の測定項目について算出し、算出したそれら複数の測定項目のデータに基く多指数解析により測定対象物表面の表面性状を総合的に評価することを特徴とする。本発明の表面性状測定装置および表面性状総合評価方法は上記のとおりであって、これにより、鏡面に近い平滑な面について、表面性状に係る複数の測定項目を一台の装置で一度に測定することができ、それら複数の測定項目を指標として、いろいろな観点から表面性状を定量的且つ総合的に評価することができ、また、測定対象物に係るそれぞれの製品あるいは業界に特有の感性に近い指数を選んで表面性状を評価するができ、ステンレス鋼板等の金属や、セラミックス、フィルム、プラスチック、陶器、光沢紙等の製品表面、塗装面、メッキ面、研磨面や、製品の表面性状を左右する圧延ロール、金型等の加工機械あるいは加工器具の表面の表面性状の評価を、それぞれの製品あるいは業界における特有の感性での目視検査に近づけることができる。そして、自動的にチェックパターンの切り換え、投影ならびに画像データの収得および算出を実行し、算出した測定項目のデータを一覧表示することにより、測定現場にて直ちに表面性状を評価することができる。本発明の表面性状測定装置は、コンピュータ制御により液晶等のディスプレイ画面でチェックパターンを形成するので、チェックパターンの切り換えが容易である。コンピュータ制御により液晶等のディスプレイ画面でチェックパターンを形成することによって初めて、複数の測定項目を簡便に一台の装置で一度に測定できる。以上の説明で明らかなように、本発明によれば、鏡面に近い平滑な面であることが要求されるステンレス鋼板等の金属や、セラミックス、フィルム、プラスチック、陶器、光沢紙等の製品表面、塗装面、メッキ面、研磨面や、製品の表面性状を左右する圧延ロール、金型等の加工機械あるいは加工器具の表面の表面性状を、それぞれの製品あるいは業界に特有の感性に近い指標に基いて定量的且つ総合的に評価することができる。図1は本発明の実施形態に係る表面性状測定装置のシステム構成の一例を示している。図において、1は表面性状測定装置の装置本体を構成する鏡面計、2は測定対象物、3はコンピュータを示している。鏡面計1は、コンピュータ3により制御可能なチェックパターンを表示し投影するディスプレイ11と、チェックパターンの反射像を撮影する撮影装置撮像素子12とからなり、それらが、光学的明暗の2次元分布形状を示す例えば白黒縞状等の任意のチェックパターンをディスプレイ11に表示して、該チェックパターンを被測定面測定対象物表面21に投影する投影光学系と、投影光学系により投影されて被測定面21で反射したチェックパターンの虚像を撮影装置12で撮影する撮像光学系を構成している。ディスプレイ11は、例えば液晶ディスプレイである。その他、プラズマ、有機無機EL等のディスプレイであってもよい。ディスプレイ11により形成するチェックパターンは、コンピューター3の操作により自在に設定でき、例えば図2のaに示すような白黒縞状のチェックパターン、図2のbに示すような、白地の中心部分に黒丸丸以外の形状であってもよいを配置したチェックパターン、図2のcに示すような、白地と黒地を半々に配置したチェックパターン、その他、任意の態様に設定でき、切り換えも簡単に行える。撮影装置12は、撮像素子として例えばCCD、CMOS、デジタルカメラ等のエリアイメージセンサを備えたものである。撮像素子の焦点は、被測定面21で反射するチェックパターンが像を結ぶ虚像面4の位置に合わせる。その焦点合わせは、撮像素子の焦点距離は固定しておいて、鏡面計1の位置高さか、測定対象物2を載せる台の高さのいずれかまたは両方を調整することで行う。そして、鏡面計1とコンピュータ3とで表面性状測定装置が構成されている。この表面性状測定装置を使用して、コンピュータ制御により、ディスプレイ11に光学的明暗の2次元分布形状を示すチェックパターンを表示し、ディスプレイ11自体が光源となってチェックパターンを被測定面21に斜めに投影して、被測定面21に写ったチェックパターンを撮影装置12により撮影しハーフミラーを使用して、チェックパターンをハーフミラーで反射させて被測定面21に略垂直に投影し、ハーフミラーを透過させて撮影するよう構成することもできる。、撮影したチェックパターンの画像データを収得してコンピュータ3でデータ処理し、鏡面に近い平滑な面の表面性状を測定する。白黒縞模様のチェックパターンを鏡面である評価基準面に投影したときのチェックパターン画像の輝度分布は、例えば図3のaに示すように矩形波の形状を示すものとなる。それに対し、同じ白黒縞模様のチェックパターンを通常の製品等の表面に投影したときのチェックパターン画像の輝度分布は、例えば図3のbに示すように、立ち上がり及び立ち下がりの形状が矩形波に比して崩れるとともに、振幅が小さいものとなる。測定対象物は、例えば、ステンレス鋼板等の金属や、セラミックス、フィルム、プラスチック、陶器、光沢紙等の製品表面、塗装面、メッキ面、研磨面や、製品例えば平面円筒複雑形状製品の表面性状を左右する圧延ロール、金型等の加工機械あるいは加工器具である。この実施形態では、鏡面計1とコンピュータ3とからなる表面性状測定装置を使用し、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラスト、および白濁度を測定項目として、各測定項目を一台の装置で自動的に順次測定し、それら複数の測定項目を指標として、表面性状を定量的且つ総合的に評価する。コンピュータ3は、鏡面度算出ロジック、鏡面度バラツキ算出ロジック、光沢度算出ロジック、シャープネス算出ロジック、うねり及び形状誤差算出ロジック、コントラスト算出ロジック、および白濁度算出ロジックのそれぞれの処理手順を含むコンピュータソフト5が組み込まれ、制御部が、鏡面度算出手段、鏡面度バラツキ算出手段、光沢度算出手段、シャープネス算出手段、うねり及び形状誤差算出手段、コントラスト算出手段、および白濁度算出手段として機能するよう構成されている。この実施形態における表面性状の測定および評価の手順フローは、例えば図4に示すとおりである一例であって、これに限定されるものではない。。まず、初期設定として、各測定項目の測定に使用するチェックパターンをコンピュータにより設定し、コンピュータ内蔵のメモリーに記憶する。例えば、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、およびコントラストの測定用シャープネスの測定、うねり又は形状誤差の測定に使用する場合もある。として、図2のaに示す白黒縞状のチェックパターンを設定記憶し、白濁度測定用として、図2のbに示す白地の中心部分に黒丸を配置したチェックパターンを設定記憶し、シャープネス、うねり又は形状誤差の測定用として、図2のcに示す白地と黒地を半々に配置したチェックパターンを設定記憶する。なお、チェックパターンは、各測定項目毎に異なるものとしてもよい。そして、鏡面度および白濁度測定の基準面評価基準面とする評価基準物の表面に、各チェックパターンを投影し、チェックパターン毎に、基準面評価基準面に写ったチェックパターンを撮影してチェックパターンの画像データを収得する。また、測定対象物表面被測定面に、各チェックパターンを投影し、チェックパターン毎に、被測定面に写ったチェックパターンを撮影してチェックパターンの画像データを収得する。そして、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラスト、白濁度の順に、順次各測定項目の算出を実行する。鏡面度の算出では、鏡面度測定用のチェックパターン例えば白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの振幅に対する標準偏差例えば図3のbにおけるH-L/2の値に相当を算出し、該標準偏差を、鏡面度評価基準値評価基準面の場合の標準偏差で、例えば図3のaにおけるH-L/2の値に相当と比較して、該鏡面度評価基準値に対する相対値例えば基準値を1000としたときの相対値を、測定対象物表面の鏡面度として算出する。鏡面度バラツキの算出では、測定対象物表面を複数区画に区分けして、区画ごとに上記手順で鏡面度を算出する。そして、区画ごとの鏡面度の標準偏差を、測定対象物表面の鏡面度バラツキとして算出する。光沢度の算出では、光沢度測定用のチェックパターン例えば白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの振幅に対する標準偏差例えば図3のbにおけるH-L/2の値に相当と輝度値の平均値例えば図3のbにおけるaの値に相当を算出し、該標準偏差と平均値を足した値を、測定対象物表面の光沢度として算出する。なお、本発明における光沢度は、従来の光沢度計鏡面反射の受光量で光沢度を計測する鏡面光沢度計で計測する光沢度に近いが、従来の光沢度計で計測した光沢度とは一致しない場合もある。従来の定義による光沢度と区別する必要がある場合、本発明における光沢度は、例えば光沢感と言い換えてもよい。シャープネスの算出では、シャープネス測定用のチェックパターン例えば白地と黒地を半々に配置したチェックパターン、あるいは白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像の画素毎の明暗境界部の輝度波形に対して、例えば下記数1に示すシグモイド関数を使用した非線形最小二乗法によるフィッティング処理他の方法によるフィッティング処理であってもよい。を行い、該フィッティング処理にて算出した輝度波形のゲインaの平均値を、測定対象物表面のシャープネスとして算出する。正反射鏡面反射するときに、表面に凹凸による傾斜角の分布があると、完全な正反射とならないで、ぶれた方向に反射する。そのため、輝度波形の暗いところから明るいところへいく立ち上がりのエッジがだれる。シャープネスというのは、その輝度波形の暗いところから明るいところへいく立ち上がりのエッジや明るいところから暗いところへの立ち下がりのエッジの部分が、いかに鋭く変化しているかという、エッジの鋭さを評価する指標である。本発明では、例えばシグモイド関数を、輝度波形の暗いところから明るいところへいく立ち上がりのところや、明るいところから暗いところへの立ち下がりのところの波形に近似させるフィッテイング処理をして、そのときの関数の一つのパラメータであるゲインaの平均値でもってシャープネスを定義しているのである。うねり又は形状誤差の算出では、うねり及び形状誤差測定用のチェックパターンシャープネスの場合と同様の例えば白地と黒地を半々に配置したチェックパターン、あるいは白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像の画素毎の明暗境界部の輝度波形に対して、例えばシグモイド関数を使用した非線形最小二乗法によるフィッティング処理を行い、該フィッティング処理にて算出した輝度波形の中心位置変曲点位置の標準偏差を、測定対象物表面のうねり又は形状誤差として算出する。その場合、輝度波形の中心位置変曲点位置データを使用することにより、最大うねり、算術平均うねりも算出できる。輝度波形の暗いところから明るいところへいく立ち上がりのところや、明るいところから暗いところへの立ち下がりのエッジのところに例えばシグモイド関数をフィッティングして当てはめたときに、その立ち上がりのところや、立ち下がりのところの、中心位置変曲点位置を結ぶ線が、画像上、真直ぐな直線であるか、だらだらとうねっているかというのがこれで判定できる。真直ぐな直線であるということは、被測定面がフラットであるということであり、だらだらとうねっているということは被測定面がフラットでないということである。コントラストの算出では、コントラスト測定用のチェックパターン例えば白黒縞模様のチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの輝度値データの最大値Imaxと最小値Iminをもとめ、下記数2に示す算出式によりコントラストを算出する。コントラストは、ImaxとIminの差輝度波形の振幅を、ImaxとIminの和平均的な明るさの2倍で割って、無次元化したもので、反射率が高いか低いかに依存しない評価が可能である。白濁度の算出では、白濁度測定用のチェックパターン例えば白地の中心部分に黒丸を配置したチェックパターンを測定対象物表面に投影して収得したチェックパターン画像から、輝度値データの平均値を算出し、該平均値を白濁度評価基準値評価基準面の場合の平均値と比較して、該白濁度評価基準値に対する相対値を、測定対象物表面の白濁度として算出する。白濁度は、加工痕等の傷に起因する測定対象物表面の白濁度合である。表面に傷等があると、反射光の殆どは正反射して撮像素子に入ってくるが、傷面の傾斜角によっては、周辺からの光が撮像素子に入ってきて、傷のあるところが全体にボーと明るくなる。それが白濁で、その白濁の度合を白濁度として測るのである。例えば白地の中心部分に黒丸を配置したチェックパターンを使用した場合、測定対象物表面21に白濁の要因となるような傷があると、チェックパターンの黒丸の部分が投影される位置では、正反射する光よりも、周りから入ってくる光の乱反射の影響が強くなり、画像の中心部に位置する黒丸の中央部分で計測した輝度値が、評価基準面鏡面の場合の輝度値よりも全体に高くなり、その差が顕著に現れる。その輝度値の平均値を比較することで、白濁の度合の定量的な評価を行うことができる。なお、算出の順序はこれに限定されるものではなく、任意の順序に変更可能である。また、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラスト、および白濁度の全てを測定することは必ずしも必要でない。必要に応じて鏡面度を含む複数の測定項目を測定すればよい。そして、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラスト、および白濁度の内の、鏡面度を含む複数の測定項目好ましくはこれら測定項目の全ての算出したデータを、コンピュータ3のディスプレイ画面に表示し、また、コンピュータ3に接続したプリンター図示せずにて出力可能とする。この算出データの画面表示およびプリント出力は、項目毎の表示とすることもでき、全項目の一覧表示とすることもできるようにする。そして、この画面表示あるいはプリント出力に基いて、測定対象物の表面性状を総合的に評価する。以上、実施形態の一例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、様々な実施形態が可能である。測定項目は、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラスト、白濁度以外にも、適宜付け加えることができ、入れ換えることもできる。