電動機で発生させた回転駆動力をウォームギヤ減速機構で減速して所定の駆動対象物に伝達し、当該駆動対象物を動作させるアクチュエータにおいて、前記電動機の出力軸における回転角速度を、前記駆動対象物の動作に係る速度指令に基づいて設定される目標速度に対し、所定範囲内で増減させ、且つ当該増減変化を繰返し生じさせる駆動制御部を備え、前記電動機が、出力軸をウォームギヤ減速機構のウォームに直結されてなることを特徴とするアクチュエータ。前記請求項1に記載のアクチュエータにおいて、前記電動機出力軸の回転状態を検出して信号として出力する回転検出器を備え、前記駆動制御部が、前記回転検出器の出力信号に基づいて電動機をサーボ制御すると共に、前記駆動対象物の動作に係る速度指令として与えられる速度指令信号に対し、所定周波数で且つ所定の微小振幅の波形となる変動信号成分を加算して、前記電動機出力軸の回転角速度の増減変化を生じさせることを特徴とするアクチュエータ。前記請求項1又は2に記載のアクチュエータにおいて、前記駆動対象物が、流体の流路を開閉するバルブであり、前記駆動制御部が、前記バルブの閉状態からの開放開始時、及び/又は閉止直前の微小開状態からの完全閉止時には、前記電動機出力軸の回転角速度を前記増減変化状態とする一方、バルブの他の開動作及び閉動作では回転角速度を前記速度指令に基づいて設定される目標速度のままとする制御を行うことを特徴とするアクチュエータ。発生させた回転駆動力が歯車機構を介して後段側の駆動対象物に伝達される、電動機の制御方法において、出力軸を歯車機構の入力側歯車に直結されてなる電動機に対し、当該電動機の出力軸における回転角速度を、前記駆動対象物の動作に係る速度指令に基づいて設定される目標速度に対し、所定範囲内で増減させ、且つ当該増減変化を繰返し生じさせることを特徴とする電動機の制御方法。ウォームギヤを減速機構として用いたアクチュエータにおいて、前記特許文献に示すようなウォームギヤに超音波振動を付与する技術を適用した場合、ウォームとウォームホイールの歯面間の摩擦係数を低減して伝動効率を向上させられることが予想されるものの、ウォーム又はウォームホイールが全体として振動することから、ウォームやウォームホイールを回動可能に軸支するラジアル軸受やスラスト軸受には常に振動が加わる状態となって負担となり、寿命の低下や異音の発生につながるという課題を有していた。また、電動機等の駆動源とは別に、ウォーム又はウォームホイールに付与する超音波振動を発生させるための超音波振動子を設ける必要があり、また、回転中のウォーム又はウォームホイールに超音波振動を伝えるために特殊な構造を採用する必要もあり、その分だけアクチュエータとしての機構が複雑化し、高コストとなってしまうという課題を有していた。本発明は前記課題を解消するためになされたもので、電動機で回転駆動されるウォームに対し、電動機から回転角速度の変動が繰返す状態を与え、ウォームをあたかも回転方向に振動するような状態で回転させて、ウォームとウォームホイールとの接触における摩擦を減らし、特別な構造を用いることなくウォームギヤの伝動効率を向上させられるアクチュエータを提供することを目的とする。本発明に係るアクチュエータは、電動機で発生させた回転駆動力をウォームギヤ減速機構で減速して所定の駆動対象物に伝達し、当該駆動対象物を動作させるアクチュエータにおいて、前記電動機の出力軸における回転角速度を、前記駆動対象物の動作に係る速度指令に基づいて設定される目標速度に対し、所定範囲内で増減させ、且つ当該増減変化を繰返し生じさせる駆動制御部を備え、前記電動機が、出力軸をウォームギヤ減速機構のウォームに直結されてなるものである。このように本発明によれば、駆動源となる電動機及びその駆動制御部が、ウォームギヤからなる減速機構と共に配設され、本来は駆動対象物の動作に係る速度指令に基づいて駆動対象物の状況に応じた目標の回転角速度で出力軸が回転するよう制御される電動機に対し、駆動制御部が、電動機出力軸の回転角速度を、駆動対象物の動作に係る速度指令に基づく目標速度に対し、所定範囲内で増減する変化が繰返す状態に制御し、電動機出力軸に直結するウォームを回転させる中、その回転角速度に細かなぶれを与えることにより、ウォームが回転方向に微小振動していると見なせる状態を伴いつつ回転することとなり、こうした略振動状態の発生に伴ってウォームとウォームホイールとの歯面同士の接触状態を改善し、歯面のすべり接触における摩擦を低減してウォームギヤとしての伝動効率を向上させられ、アクチュエータとして駆動対象物に与えられる駆動力やトルクを、同等の電動機や減速機構を用いた従来のものより増大させられ、仮に電動機や減速機構を小型化したとしても、実際の駆動力やトルクを増大させられる分、定格性能の高いより大型のアクチュエータを要求されていた状況でも使用でき、性能低下を招くことなくアクチュエータ全体の小型化が図れる。また、駆動制御部による電動機制御でウォームに略振動状態を生じさせられることで、振動を付加する手段を特別に設ける必要がなく、性能強化を図りながら従来同様の構造を維持して高コスト化を避けられる。また、本発明に係るアクチュエータは必要に応じて、前記電動機出力軸の回転状態を検出して信号として出力する回転検出器を備え、前記駆動制御部が、前記回転検出器の出力信号に基づいて電動機をサーボ制御すると共に、前記駆動対象物の動作に係る速度指令として与えられる速度指令信号に対し、所定周波数で且つ所定の微小振幅の波形となる変動信号成分を加算して、前記電動機出力軸の回転角速度の増減変化を生じさせるものである。このように本発明によれば、駆動制御部が回転検出器を併用して電動機のサーボ制御を行いつつ、駆動対象物の動作に係る速度指令として与えられる速度指令信号に変動信号成分を加算して、制御結果として電動機出力軸の回転角速度の増減変化を生じさせ、ウォームを回転方向への略振動状態で回転させることにより、駆動対象物に対応させて電動機を適切に回転させる中で、速度指令信号に変動成分を加えるのみで、容易にウォームの略振動状態が得られることとなり、摩擦低減によるウォームギヤの伝動効率向上を簡略な制御で実現して、低コストでアクチュエータとしての性能強化が図れる。また、本発明に係るアクチュエータは必要に応じて、前記駆動対象物が、流体の流路を開閉するバルブであり、前記駆動制御部が、前記バルブの閉状態からの開放開始時、及び/又は閉止直前の微小開状態からの完全閉止時には、前記電動機出力軸の回転角速度を前記増減変化状態とする一方、バルブの他の開動作及び閉動作では回転角速度を前記速度指令に基づいて設定される目標速度のままとする制御を行うものである。このように本発明によれば、駆動対象物を流路開閉用のバルブとし、バルブの駆動において最もトルクを必要とする開放開始時や閉止終了時に、電動機出力軸の回転角速度を増減変化状態に制御し、ウォームを回転方向への略振動状態で回転させるようにすることにより、必要時にウォームギヤ減速機構における摩擦を減らして伝動効率を高め、必要十分なトルクを発生させ、バルブを問題なく駆動して動作させられると共に、トルクをそれほど必要としない中間負荷の状態では電動機を定格運転させれば済むこととなり、必要なトルクを定格で発生させられることを基準として従来選定されていた電動機や減速機構を、必要時にのみ要求に見合う最大トルクを与えられるものとすれば足り、ウォームを略振動状態としない定格状態での出力を抑えた小型の電動機等を採用でき、コストダウンが図れると共に、アクチュエータ全体の構造をコンパクト化できる。また、本発明に係る電動機の制御方法は、発生させた回転駆動力が歯車機構を介して後段側の駆動対象物に伝達される、電動機の制御方法において、出力軸を歯車機構の入力側歯車に直結されてなる電動機に対し、当該電動機の出力軸における回転角速度を、前記駆動対象物の動作に係る速度指令に基づいて設定される目標速度に対し、所定範囲内で増減させ、且つ当該増減変化を繰返し生じさせるものである。このように本発明によれば、歯車列からなる歯車機構と共に配設され、本来は駆動対象物の動作に係る速度指令に基づいて駆動対象物の状況に応じた目標の回転角速度で出力軸が回転するよう制御される電動機に対し、その電動機出力軸の回転角速度を、駆動対象物の動作に係る速度指令に基づく目標速度に対し、所定範囲内で増減する変化が繰返す状態に制御し、電動機出力軸に直結する入力側歯車を回転させる中、その回転角速度に細かなぶれを与えることにより、入力側歯車が回転方向に微小振動していると見なせる状態を伴いつつ回転することとなり、こうした略振動状態の発生に伴って入力側歯車とこれに噛合う歯車との歯面同士の接触状態を変化させられ、特に歯車機構が、入力側歯車をウォームとしたウォームギヤ減速機構の場合、歯面のすべり接触における摩擦を低減してウォームギヤとしての伝動効率を向上させられ、駆動対象物に与えられる駆動力やトルクを、同等の電動機や減速機構を用いた従来のものより増大させられ、仮に電動機や減速機構を小型化したとしても、実際の駆動力やトルクを増大させられる分、定格性能の高いより大型の電動機や減速機構を要求されていた状況でも使用でき、性能低下を招くことなく電動機や減速機構の小型化が図れる。また、電動機の制御で入力側歯車に略振動状態を生じさせられることで、振動を付加する手段を特別に設ける必要がなく、性能強化を図りながら従来同様の構造を維持して高コスト化を避けられる。本発明の第1の実施形態以下、本発明の第1の実施形態に係るアクチュエータを、図1及び図2に基づいて説明する。前記各図において本実施形態に係るアクチュエータは、前記駆動対象物としてのバルブ70と一体に回動可能として支持される支持軸71にバルブ動作用の駆動力を伝達するウォームギヤ減速機構10と、このウォームギヤ減速機構10に連結され、ウォームギヤ減速機構10を介してバルブ70に駆動力を与える電動機20と、この電動機20の出力軸21の回転情報を検出する回転検出器30と、この回転検出器30の出力信号に基づいて電動機20を制御する駆動制御部40と、外部からバルブ70の所定開度までの動作指令を受けて駆動制御部40への速度指令信号を出力するコントローラ部50とを備える構成である。前記ウォームギヤ減速機構10は、電動機20の出力軸21に連結されて回動するウォーム11と、このウォーム11と噛合う状態で配設され、前記バルブ70の支持軸71と連結されて一体に回動可能とされるウォームホイール12とを備え、電動機20から得た回転駆動力をウォーム11からウォームホイール12に伝える過程で減速しつつ支持軸71に伝え、バルブ70を支持軸71と共に所定角度回転させてバルブ70を開閉動作させる公知の機構であり、詳細な説明を省略する。なお、このウォームギヤ減速機構10については、バルブ70に連結する支持軸71をウォームホイール12とも連結させてこれを回動させ、バルブ70を開閉する機構としているが、こうしたバルブ70を回動させて開閉を行うバタフライ弁や玉型弁等の機構に限らず、電動機の回転を利用してバルブの開閉を行うものであれば、仕切弁等、バルブ70を上下動などスライドさせて開閉する機構など、他方式の機構でもかまわない。例えば、バルブが仕切弁等の場合、支持軸は雄ねじ部分を備え、この雄ねじ部分に対してウォームホイールと連結した雌ねじ部を螺合させ、この雌ねじ部をウォームギヤ減速機構を介して電動機で回転駆動することで支持軸を直線移動させ、バルブを開閉する機構となる。前記電動機20は、その出力軸21をウォームギヤ減速機構10のウォーム11に直結されるサーボモータであり、駆動制御部40と電気的に接続され、その制御下で回転する構成である。この電動機20で発生させた回転駆動力は、ウォームギヤ減速機構10で減速して前記駆動対象物であるバルブ70の支持軸71に伝達され、バルブ70を所定角度回転させる仕組みである。前記回転検出器30は、電動機20の端部近傍等に配設され、電動機出力軸21の回転変位を電気的信号の変化に変換し、この信号を出力するエンコーダやレゾルバ等の公知のセンサである。この回転検出器30は、駆動制御部40やコントローラ部50に対し信号出力可能に接続され、駆動制御部40やコントローラ部50による電動機20のサーボ制御に用いられるが、この他、回転検出器30の出力信号からバルブの開度を別途演算して把握可能とすることもできる。なお、この回転検出器30は、電動機20の構成部品としてはじめから電動機20と一体に設けられて外部にサーボ制御用の信号を出力するセンサ類を、そのまま回転検出器として利用するようにしてもかまわない。前記駆動制御部40は、回転検出器30の出力信号に基づいて電動機20をサーボ制御すると共に、電動機20における出力軸21の回転角速度を、バルブ70の動作に係る速度指令に基づいて設定される目標速度に対し、所定範囲内で増減させ、且つこの増減変化を繰返し生じる状態に制御する構成である。具体的には、サーボモータである電動機20のサーボ制御における、速度制御やフィルタ制御、電流制御等を行いつつ電動機に電流を供給する制御ドライブ手段41の前段側における、回転検出器30での実際の検出に基づく速度情報のフィードバックがなされるより前の過程で、駆動対象物であるバルブ70の動作に係る速度指令としてコントローラ部50から与えられる速度指令信号に対し、変動付加手段42により所定の高い周波数で且つ所定の微小振幅の連続波形例えば、正弦波状となる変動信号成分を加算することで、制御結果として電動機出力軸21の回転角速度の増減変化を得ることとなる。通常、駆動制御部40に対し、バルブ70の動作に係る電動機20への速度指令信号は電流として与えられるため、この指令電流に対し、駆動制御部40は、所定の変動する電流成分を加算した上で、電動機20を制御することとなる。こうした駆動制御部40での制御に伴い、電動機20の出力軸21は、速度指令に基づく回転方向と同じ方向の回転を維持しながら、その回転角速度が目標速度から所定の範囲内で少しだけ速くなったり遅くなったりする増減変化がごく短い周期で繰返し生じる、すなわち回転角速度が細かくぶれる変動状態となる。出力軸21は、この回転角速度のぶれで、回転方向に微小振動していると見なせ、出力軸21と一体に回転するウォーム11にもこの回転方向への略振動状態が生じているため、通常の単純な振動が加わる場合と同様に、ウォーム11とウォームホイール12の各歯面間の接触状態が改善され、歯面間の摩擦が低減する。このような、電動機20の出力軸21及びウォーム11において、実際の回転角速度を速度指令に基づく目標の速度に対し増減変化させる状態は、測定の容易な回転数を基準として言換えると、速度指令に基づく目標の回転数に対し増減変動する回転差を生じさせつつ出力軸21及びウォーム11を回転させる、と言える。駆動制御部40で速度指令信号に対し加算される変動信号成分の振幅は、実際の出力軸の回転における目標回転数からの回転差の取り得る範囲、すなわち、出力軸の回転角速度の増減変化の範囲増減変動波形の振幅を規定するものである。また、変動信号成分の周波数は、出力軸における回転角速度の増減変化の周波数を規定するものである。そして、この駆動制御部40では、速度指令信号に対し加算する変動信号成分の振幅と、実際に出力軸の回転に生じる目標回転数からの最大の回転差との関係、及び、前記変動信号成分の周波数と、実際の出力軸における回転角速度の増減変化する周波数との関係をそれぞれあらかじめ取得した上で、実際の出力軸及びウォームで所望の略振動状態に相当する回転角速度の増減変化が生じるように、変動付加手段42で適切な振幅と周波数の波形に設定された変動信号成分を速度指令電流に加算する。例えば、電動機20の目標回転数定格回転数が3000rpmの場合、出力軸21における回転角速度の増減変化の周波数は1~10kHz、目標回転数からの最大回転差オフセット回転数は250rpmとするのが好ましく、駆動制御部40は、こうした制御結果が得られることをあらかじめ確認済の所定振幅及び周波数を有する変動信号成分を速度指令信号に加算することとなる。加算後の指令信号は、元の速度指令信号に、高い周波数で且つ小振幅の正弦波状の変動波形が重畳した状態となる。特に、電動機がACサーボモータの場合は、図2に示すように、交流波形となる速度指令信号に、この速度指令信号の周波数より極めて高く且つその振幅より極めて小さい振幅の波形が重畳して、出力軸に回転角速度の増減変化による略振動状態を与えつつも、目標回転数付近の回転数を維持するサーボ制御には影響を与えない状態とする。なお、駆動制御部40の電動機20に対するサーボ制御は、回転検出器30の出力信号から得られる電動機出力軸21の回転の速度の情報をフィードバックで受け、これと速度指令信号に基づいて電動機20の回転を制御する公知のものであり、詳細な説明を省略する。前記コントローラ部50は、外部の操作、指示制御手段等から電線や光ケーブルによる有線通信、もしくは無線通信等によりバルブ70の所定開度までの動作指令を受け、また回転検出器30の出力信号からバルブの開度位置情報を取得し、位置制御等を行った上で駆動制御部40に速度指令信号を出力するものである。このコントローラ部50と駆動制御部40により電動機20を作動させ、バルブ70を開閉動作させて所定の開度に到達させた後、電動機20を停止させるまでの、一連の基本的な動作制御については、公知のバルブ開度調整に係るサーボ制御であり、詳細な説明を省略する。なお、コントローラ部50では、内部に記憶保持している、設定データや、動作回数などの履歴情報といったデータを、外部での管理や分析のために、メモリカード等の汎用の記録媒体を介して外部の機器に移行させられるように、こうした媒体の入出力手段を設けるなどすることもでき、アクチュエータの運用により蓄積されたデータを容易に取得して有効に活用できることとなる。次に、本実施形態に係るアクチュエータの動作について説明する。前提として、外部からバルブ70の開又は閉動作の指令信号がコントローラ部50に入力され、コントローラ部50から駆動制御部40に速度指令信号が伝達されると、駆動制御部40は電動機20を起動状態とし、電動機20は回転を開始し、ウォームギヤ減速機構10を介してバルブ70の支持軸71に駆動力を与えるものとする。電動機20が回転すると、回転検出器30から出力された信号に基づいて駆動制御部40がコントローラ部50と共にサーボ制御を実行する一方、駆動制御部40は、バルブ70の動作に係る電動機20への速度指令信号に対し、あらかじめ設定された適切な振幅と周波数をもつ波形の変動信号成分を加算する。加算後の指令信号による制御の結果として、電動機20の出力軸21は、速度指令に基づく回転方向に回転しつつ、その回転角速度が目標速度から前記変動信号成分の振幅から想定される範囲内で増減し、且つこの増減変化が前記変動信号成分の周波数から想定される周波数で繰返される状態となっている。なお、出力軸21の回転角速度の増減を回転数を基準として言換えると、出力軸21の実際の回転数が目標回転数から前記変動信号成分の振幅から想定される回転差の範囲内で増減する、となる。出力軸21で、回転角速度の増減変化が繰返し生じている状態、すなわち回転角速度が高速側と低速側に細かくぶれる状態は、出力軸21が回転方向に微小振動しているといえ、こうした出力軸21の略振動状態は、出力軸21と一体のウォーム11においても生じていることから、ウォームギヤ減速機構10では、通常の単純な振動が加わる場合と同様に、ウォーム11とウォームホイール12の各歯面同士の摩擦が低減し、伝動効率が向上する。また、出力軸21とウォーム11の回転方向における略振動状態となっていることで、出力軸21やウォーム11の軸受に、スラスト方向やラジアル方向への不要な力が加わりにくく、悪影響を抑えられる。このウォームギヤ減速機構10における伝動効率の向上に伴い、同じ電動機や減速機構を用いつつも、ウォーム11の略振動状態を生じさせない従来同様のサーボ制御を行う場合と比べて、アクチュエータの出力トルクを増大させた状態でバルブ70の駆動を実行することができる。なお、通常のバルブ開閉制御と同様、あらかじめ指令された開度位置までバルブ70が動いたら、電動機20が停止して開閉動作は完了となる。このように、本実施形態に係るアクチュエータにおいては、駆動源となる電動機20及びその駆動制御部30が、ウォームギヤからなる減速機構10と共に配設され、バルブ動作に係る速度指令に基づいてバルブ70の状況に応じた目標の回転角速度で出力軸21が回転するよう制御される電動機20に対し、駆動制御部40が、電動機出力軸21の回転角速度を、バルブ70の動作に係る速度指令に基づく目標速度に対し、所定範囲内で増減する変化が繰返す状態に制御し、電動機出力軸21に直結するウォーム11を回転させる中、その回転角速度に細かなぶれを与えることから、ウォーム11が回転方向に微小振動していると見なせる状態を伴いつつ回転することとなり、こうした略振動状態の発生に伴ってウォーム11とウォームホイール12との歯面同士の接触状態を改善し、歯面のすべり接触における摩擦を低減してウォームギヤとしての伝動効率を向上させられ、アクチュエータとしてバルブに与えられる駆動力やトルクを、同等の電動機や減速機構を用いた従来のものより増大させられ、仮に電動機や減速機構を小型化したとしても、実際の駆動力やトルクを増大させられる分、定格性能の高いより大型のアクチュエータを要求されていた状況でも使用でき、性能低下を招くことなくアクチュエータ全体の小型化が図れる。さらに、従来のウォームギヤでは、通常、ウォームとウォームホイールの材質を異ならせるなどして、歯面のすべり接触における摩擦を適切な状態となるようにしており、例えば、ウォームには鋼、ウォームホイールにはリン青銅などの銅合金といった比較的コストの高い材質を用いて、適切な摩擦係数を得るようにしていた。これに対し、本実施形態の場合、電動機20の制御で、回転するウォーム11の回転角速度に細かなぶれを与えて、ウォーム11とウォームホイール12との歯面同士の接触状態を改善し、歯面のすべり接触における摩擦を低減できることから、ウォームギヤを摩擦の小さい特殊な材質製とせずに済み、特にウォームホイールの材質には、入手しやすい鉄などを用いることができ、ウォームギヤの機構について大幅に低コスト化が図れることとなる。加えて、こうした歯面同士の摩擦を低減できることにより、潤滑条件も緩和され、従来のウォームギヤのように、歯面がすべり接触する厳しい潤滑条件下で摩擦を抑えるための特殊な潤滑剤、例えば極圧添加剤を用いた潤滑剤等を使用する必要がなくなり、潤滑の面でもコストを低減できると共に、環境負荷の大きい物質からなることの多い極圧添加剤を使用せずに済むことで、環境への影響もより小さくできる。本発明の第2の実施形態なお、前記第1の実施形態に係るアクチュエータにおいては、バルブ70の動作に係る指令に基づいて電動機20が回転する間、駆動制御部40は常に電動機20の出力軸21の回転角速度を増減変化状態に制御し、出力軸21及びウォーム11の回転方向への略振動状態を生じさせる構成としているが、これに限らず、第2の実施形態として、バルブの開度によって、駆動制御部40が電動機20の出力軸21の回転角速度を増減変化状態に制御する場合と、この制御を実行せず出力軸21の回転角速度を速度指令に基づいて設定される目標速度のままとする場合とを切換える構成とすることもできる。バルブの場合、バルブの閉状態からの開放開始時には始動トルク、閉止直前の微小開状態からの完全閉止時には締切りトルクとして、これら以外のバルブ開度において必要となる定格のトルクよりも大きいトルクが、バルブ動作に必要であることが知られているが、こうした特性に対応して、図3に示すように、バルブ70の閉状態からの開放開始時や、閉止直前の微小開状態からの完全閉止時にのみ、駆動制御部40が電動機20の出力軸21の回転角速度を増減変化状態に制御し、これら以外のバルブ70の開動作及び閉動作においては、駆動制御部40は制御状態を切換え、出力軸21の回転角速度を速度指令に基づいて設定される目標速度のままとする制御を実行する。電動機20が動作してバルブ70が開閉動作している場合、回転検出器30からは電動機20の回転変位に対応した信号が出力され、この信号からバルブの開度を演算取得できるため、バルブ70の開度を監視し、例えば閉動作の際に、前記締切りトルク等の大きいトルクが必要となった開度に達した場合に、駆動制御部40で出力軸21の回転角速度を目標速度とする制御状態から、回転角速度を増減変化状態に制御する状態に切換えることとなる。また、逆に開動作の際に、前記始動トルク等の大きいトルクが必要な状態から定格以下のトルクで済む開度に達した場合には、駆動制御部40で出力軸21の回転角速度を増減変化状態とする制御から、回転角速度を目標速度とする制御に切換える。こうして、バルブの駆動において最もトルクを必要とする開放開始時や閉止終了時に、駆動制御部40で電動機20の出力軸21の回転角速度を増減変化状態に制御し、ウォーム11を回転方向への略振動状態で回転させるようにすることにより、必要時にウォームギヤ減速機構10における摩擦を減らして伝動効率を高め、必要十分なトルクを発生させ、バルブ70を問題なく駆動して動作させられると共に、トルクをそれほど必要としない中間負荷の状態では電動機20を定格運転させれば済むこととなり、必要なトルクを定格で発生させられることを基準として従来選定されていた電動機やウォーム減速機構を、必要時にのみ要求に見合う最大トルクを与えられるものとすれば足り、ウォームを略振動状態としない定格状態での出力を抑えた小型の電動機等を採用でき、コストダウンが図れると共に、アクチュエータ全体の構造をコンパクト化できる。またこの場合、バルブの閉状態からの開放開始時と、閉止直前の微小開状態からの完全閉止時の両方で、電動機の出力軸の回転角速度を前記増減変化状態に制御するようにしているが、この他、前記バルブの閉状態からの開放開始時、又は閉止直前の微小開状態からの完全閉止時のいずれか一方のみで、電動機出力軸の回転角速度を前記増減変化状態とする制御を行う構成とすることもできる。また、前記各実施形態に係るアクチュエータにおいては、電動機20からの駆動力をウォームギヤ減速機構10を介してバルブ70の支持軸71に伝達し、バルブ70を開閉する機構としているが、こうしたバルブの他、板状のゲートを上下方向又は横方向に移動させて流路の開閉を行うゲート開閉機構に適用する構成とすることもできる。さらに、バルブやゲートを支持するものが支持軸でなくチェーンやワイヤ等の支持部材である場合には、ウォームホイールとこれらチェーンやワイヤ等の支持部材との間の駆動力を伝える中間部品を、それぞれに対応した適切なものとして用いられることは言うまでもない。さらに、前記各実施形態に係るアクチュエータとしては、電動機20からウォームギヤ減速機構10を介して、駆動対象物としてのバルブ70と一体の支持軸71に駆動力を伝える構成のみ示しているが、この他、ウォームギヤ減速機構に対して、人の駆動操作、例えば手動用ハンドルを回転させる操作など、に基づく駆動力の入力と、電動機からの駆動力の入力とを切換えられるアクチュエータ構成とすることもでき、通常の通電状態でない停電時に、電動機に代る人の駆動操作で、ウォームギヤ減速機構を介してバルブ等の支持軸を回転させられることとなる。こうした切換可能な構成の場合も、電動機の動作時における、ウォームギヤ減速機構のウォームの略振動状態を得るために、電動機出力軸とウォームが一体となっており、手動動作状態においてはウォームを介して手動用ハンドル等の操作部と電動機が連動状態となる。この点を考慮して、駆動力入力の手動側への切換に伴って動作して、電動機への電力供給が行われない状態とする、機械的なスイッチ機構であるインタロックスイッチを設けて、手動ハンドルの操作中に電動機が回転動作するのを防ぐ構成が必要となるが、仮に、こうしたスイッチ機構が破損した場合、停電状態から通常の通電状態に復帰した際に、誤って電動機に電力が供給される状態に陥り、手動ハンドルの操作中に電動機が動作して、作業者に危険が及ぶような事故の発生に繋がるおそれもある。このため、通常のインタロックスイッチとは別に、電動機出力軸が外部からの電力供給ではなく、手動操作によるウォームの回転に伴って回転している場合には、電動機への電力供給を行わないようにして、二重のインタロックを施すようにすることが好ましい。例えば、手動操作の際には手動ハンドルと電動機出力軸が連動する状態となっているため、手動ハンドルを回すことで電動機出力軸が回転し、電動機は一種の発電機となって電力を発生し、この発生した電力が駆動制御部側へ入力されることとなる。駆動制御部がこうした電力の入力を検知している場合、アクチュエータは手動操作状態にあるとして、電動機に電力供給を行わない制御を実行すると、手動ハンドルの操作中に電動機が動作することを確実に阻止でき、安全を確保できる。上記の、電動機出力軸の回転角速度を繰返し増減変化する状態に制御する方法は、前記各実施形態のようなアクチュエータにおける電動機だけでなく、歯車機構を用いる減速装置や動力伝達装置等を駆動する電動機にも適用でき、電動機に直結する歯車機構の入力側歯車と、これに噛合う歯車との歯面同士の接触状態を調整して、歯面のすべり接触における摩擦係数を減少させ、また歯面の面圧を緩和して、許容ヘルツ応力を高くすることも期待できる。こうしたすべり接触状態の調整による摩擦係数の減少については、歯車機構がウォームギヤ以外の歯車の場合にも起こり得、歯車の滑りの面で設計に影響を与えることとなる。本発明のアクチュエータで、電動機出力軸を回転方向に略振動状態とする制御を行った場合のトルクを測定し、伝動効率を求めて、比較例としての制御を行わない場合の測定結果等と比較評価した。まず、本発明のアクチュエータにおける電動機単体について、電動機出力軸を回転方向に略振動状態とする制御を行った場合のトルクを測定した。電動機の目標回転数定格回転数は3000[rpm]、出力軸における回転角速度の増減変化の周波数は2500Hz、目標回転数からの最大回転差オフセット回転数は250[rpm]となるように制御した。また、比較例として、電動機単体について前記制御を行わない場合のトルク測定も行った。電動機の回転数等の条件は前記制御を行った場合と同様である。続いて、本発明のアクチュエータの、電動機をウォームギヤ減速機構と連結した本来の状態で、電動機出力軸を回転方向に略振動状態とする制御を行った場合、並びに比較例としての前記制御を行わない場合のそれぞれについて、アクチュエータの出力端ウォームホイールにおけるトルクを測定した。アクチュエータにおけるウォームギヤ減速機構の減速比は、1/40である。さらに、上記各測定で得られた電動機単体でのトルク電動機出力トルクと、アクチュエータ全体としてのトルクアクチュエータ出力トルクと、減速比とを用いて、制御を行った場合と行わない場合のそれぞれについて、ウォームギヤの効率を求めた。このウォームギヤの効率算出式は、下記の通りとなる。効率=アクチュエータ出力トルク÷電動機出力トルク×減速比上記の各トルク測定結果、及び算出したウォームギヤの効率を、表1に示す。表1から、電動機単体でのトルクは、前記制御を行うことで若干低下するものの、アクチュエータ全体としてのトルクは、前記制御を行うことで、制御を行わない場合より増大している。また、トルクから求めた効率は、前記制御を行うことで約40ほど向上している。これらから、本発明のアクチュエータで電動機出力軸を回転方向に略振動状態とする制御を行っていることで、ウォームギヤ減速機構における伝動効率を向上させ、アクチュエータとして駆動対象物に与えられるトルクを、前記制御を行わない場合より増大させられることは明らかである。