減圧チャンバと、前記減圧チャンバ内に、電解液を注液するための注液口を有する二次電池を供給する電池供給部と、前記減圧チャンバ内の前記二次電池上に、前記注液口を塞ぐ封口蓋を載置する蓋載置部と、前記減圧チャンバ内の前記二次電池上の前記封口蓋にレーザ光を照射するレーザ照射部と、前記レーザ光の照射位置に向けて不活性ガスを吹き付けるガス吹付部と、前記ガス吹付部に前記不活性ガスを供給するガス供給部と、を備えることを特徴とする二次電池の製造装置。前記レーザ照射部は、前記減圧チャンバ内の前記二次電池の前記注液口の周囲に、前記電解液を除去可能な出力のレーザ光を照射することを特徴とする請求項1記載の二次電池の製造装置。電解液を注液するための注液口を有する二次電池が設けられた減圧チャンバ内を減圧し、減圧した前記減圧チャンバ内の前記二次電池上に、前記注液口を塞ぐ封口蓋を載置し、載置した前記封口蓋に向けて不活性ガスを吹き付けながらレーザ光を照射し、前記二次電池に前記封口蓋を溶接することを特徴とする二次電池の製造方法。前記封口蓋の載置前に、前記電解液を吸収可能な吸収体により、前記減圧チャンバ内の前記二次電池の前記注液口の周囲に残留した電解液を除去することを特徴とする請求項3載の二次電池の製造方法。しかしながら、前述の工程のうち2の封止溶接工程は、減圧環境下で注液口周辺をレーザ溶接しなくてはならないため、技術的難度が高いことで知られている。レーザ溶接部は大気中の酸素によって酸化されやすいため、良好な溶接継ぎ手を得るためには、酸素を排除した環境が必要である。通常、封口蓋などのパーツや電池ケースを減圧チャンバ内に供給するため、減圧チャンバの一部を大気開放する構造の製造装置が多く存在する。一度、大気開放された減圧チャンバ内には酸素が残留するため、良好な溶接継ぎ手を得るためには、例えば、不活性ガスを減圧チャンバ内に大気圧まで導入した後にその減圧チャンバ内を減圧に引くことを繰り返す、いわゆるサイクルパージと呼ばれる手法で酸素を排除する方法が用いられる。ところが、この方法は酸素を排除するために長い時間が必要となるため、生産性が低くなってしまう。本発明は上記を鑑みてなされたものであり、その目的は、高品質及び高信頼性の二次電池を効率良く生産することができる二次電池の製造装置及び二次電池の製造方法を提供することである。本発明の実施形態に係る二次電池の製造装置は、減圧チャンバと、減圧チャンバ内に、電解液を注液するための注液口を有する二次電池を供給する電池供給部と、減圧チャンバ内の二次電池上に、注液口を塞ぐ封口蓋を載置する蓋載置部と、減圧チャンバ内の二次電池上の封口蓋にレーザ光を照射するレーザ照射部と、レーザ光の照射位置に向けて不活性ガスを吹き付けるガス吹付部と、ガス吹付部に不活性ガスを供給するガス供給部とを備える。本発明の実施形態に係る二次電池の製造方法は、電解液を注液するための注液口を有する二次電池が設けられた減圧チャンバ内を減圧し、減圧した減圧チャンバ内の二次電池上に、注液口を塞ぐ封口蓋を載置し、載置した封口蓋に向けて不活性ガスを吹き付けながらレーザ光を照射し、二次電池に封口蓋を溶接する。本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。図1及び図2に示すように、本発明の実施形態に係る二次電池の製造装置1は、減圧チャンバ2と、その減圧チャンバ2内を排気する排気ポンプなどの排気部3と、減圧チャンバ2内に二次電池21を供給する電池供給部4と、二次電池21の上面に封口蓋21aを載置する蓋載置部5と、その蓋載置部5に封口蓋21aを供給する蓋供給装置6と、二次電池21の上面に残留した電解液を除去する複数の液除去部7図2参照と、レーザ光を集光して照射するレーザ照射部8と、レーザ光のパワーを測定するパワー測定部9と、レーザ光の照射位置に向けて不活性ガスを吹き付けるガス吹付部10と、そのガス吹付部10に不活性ガスを供給するガス供給部11と、各部を制御する制御装置12とを備えている。ここで、まず、前述の製造装置1に電池供給部4により供給される二次電池21について説明する。図3に示すように、二次電池21は、電極体22と、その電極体22を電解液と共に収容する容器23と、一対の正極端子24及び負極端子25とを備えている。この二次電池21としては、例えば、リチウムイオン電池などの非水電解質二次電池が挙げられる。電極体22は発電要素である正極シート及び負極シートがセパレータを介してスパイラス状に巻かれて形成されており、容器23内に電解液と共に収納されている。容器23は扁平な直方体形状の外装容器であり、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金などの金属により形成されている。この容器23は、上端図3中が開口する一端開口の容器本体23aと、その容器本体23aの開口を塞ぐ矩形板状の蓋体23bとを有しており、その蓋体23bが容器本体23aに溶接されて液密に形成されている。正極端子24は蓋体23bの長手方向の一端部に設けられており、負極端子25がその他端部に設けられている。これらの正極端子24及び負極端子25は電極体22の正極及び負極にそれぞれ接続されており、蓋体23bの上面から突出している。また、どちらか一方の端子、例えば正極端子24は蓋体23bに電気的に接続されて容器23と同電位になっている。負極端子25は蓋体23bを貫通して延伸しており、その負極端子25と蓋体23bとの間には、合成樹脂やガラスなどの絶縁体からなるシール材、例えばガスケット図示せずが設けられている。このシール材は、負極端子25と容器23との間を気密にシールすると共に電気的に絶縁している。蓋体23bの中央部には、例えば矩形状の安全弁26が設けられている。この安全弁26は蓋体23bの一部を約半分程度の厚さに薄くして形成されており、その薄い部分の上面中央部には刻印が形成されている。安全弁26は、二次電池21の異常などにより容器23内にガスが発生して容器23の内圧が所定値以上に上昇した場合、開状態となって容器23内のガスを放出し、容器23の内圧を下げて二次電池21の破裂などの不具合を防止する。また、蓋体23bには、容器23内に電解液を注液するための注液口27が形成されている。この注液口27は貫通孔であり、例えば円形状に形成されている。電解液は注液口27から容器23内に注入される。この蓋体23b上には、注液口27を塞ぐ封口蓋21aが載置され、その後、レーザ溶接により固着される。この封口蓋21aは、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金などの金属により形成されている。また、封口蓋21aは例えば円形状に形成されており、その半径が注液口27の半径より大きくされ蓋体23bに溶接可能に形成されている。この封口蓋21aが無い状態の二次電池21が前述の製造装置1に供給され、その製造装置1により封口蓋21aが二次電池21の蓋体23b上に注液口27を塞ぐように載置され、その後、レーザ溶接により二次電池21の蓋体23bに溶接される。次いで、前述の製造装置1が備える各部について詳しく説明する。図1及び図2に戻り、減圧チャンバ2は、例えば箱形状に形成されており、レーザ照射部8から出射されたレーザ光が通過する透光性を有する窓ウインドウ2aと、正面側のメインハッチを形成する正面ドア2bと、背面側のハッチを形成する背面ドア2cと、チャンバ内で四つ一組の二次電池21の上面位置を決める位置決め板2dとを具備している。窓2aは、減圧チャンバ2の上面に設けられ、その天井壁の一部として機能する。この窓2aは、例えば、樹脂やガラスなどの透光性材料により、レーザ照射部8が減圧チャンバ2内の各二次電池21上の封口蓋21aに対してレーザ光を照射可能に形成されている。正面ドア2bは、例えば矩形状に形成されており、その下端部に長手方向に延びる回転軸2b1を有しており、その回転軸2b1を回転中心として開閉可能に形成されている。また、正面ドア2bはOリングなどの密封部材M1により閉状態で減圧チャンバ2内を気密にするように形成されている。この正面ドア2bは減圧チャンバ2内のメンテナンス例えば整備や保守、清掃などを行う際に開状態にされる。背面ドア2cも、例えば矩形状に形成されており、その下端部に長手方向に延びる回転軸2c1を有しており、その回転軸2c1を回転中心として開閉可能に形成されている。また、背面ドア2cはOリングなどの密封部材M2により閉状態で減圧チャンバ2内を気密にするように形成されている。この背面ドア2cは、蓋載置部5と蓋供給装置6との封口蓋21aの受け渡しを行う際に開状態にされる。位置決め板2dは、四個の二次電池21の各注液口27を露出させつつ減圧チャンバ2内でそれらの上面位置を決め、各二次電池21をレーザ光が照射される被照射位置に位置付ける。このとき、各二次電池21の上面は位置決め板2dの下面に当接している。なお、位置決め板2dは、減圧時などに電解液の飛散を防止するスプラッシュガードとしても機能する。排気部3は、減圧チャンバ2内にチューブやパイプなどの排気経路3aを介して接続されており、その減圧チャンバ2内を排気して減圧する。この排気部3は電気的に制御装置12に接続されており、その駆動が制御装置12により制御される。電池供給部4は、四個の二次電池21を一組として減圧チャンバ2の真下を通過するように一方向に搬送する搬送部4aと、減圧チャンバ2の真下に位置した一組の二次電池21を上下方向に昇降させる昇降部4bとを備えている。この電池供給部4は電気的に制御装置12に接続されており、その駆動が制御装置12により制御される。搬送部4aとしては、例えば、送りねじ式の移動装置やリニアモータ式の移動装置などが用いられる。また、昇降部4bとしては、例えば、テーブルリフトシザーリフトなどが用いられる。ここで、四個の二次電池21はケース4cにより一組にされている。各二次電池21は二個ずつ二列に互いにケース4cのリブを介して平行に並んでいる。また、ケース4c内には、減圧チャンバ2内の位置決め板2dに二次電池21を押し付けるための押圧部材4c1及び付勢部材4c2が一組の二次電池21の個数分だけ設けられている。付勢部材4c2としては、例えば、コイルスプリングや板バネなどの各種バネが用いられる。また、ケース4cは、昇降部4bにより一組の二次電池21と共に減圧チャンバ2に向かって上昇し、各二次電池21の上面が位置決め板2dに当接した被照射位置で、Oリングなどの密封部材M3により減圧チャンバ2内を気密とするように形成されている。蓋載置部5は、四個の封口蓋21aをエアー吸着機構図示せずにより吸着する載置アームであり、その一端部に回転軸5aを有しており、その回転軸5aを回転中心として回動可能に減圧チャンバ2内に設けられている。なお、載置アームを回動させるための駆動源は電気的に制御装置12に接続されており、その駆動が制御装置12により制御される。この蓋載置部5は、蓋供給装置6から四個の封口蓋21aを受け取る受け取り位置と、受け取った四個の封口蓋21aを四個の二次電池21の上面に一度に載置する載置位置とに回動する。蓋供給装置6は、複数の封口蓋21aを整列させるパーツフィーダ6aと、そのパーツフィーダ6aから四個の封口蓋21aをピックアップして蓋載置部5に受け渡す受け渡しアーム6bとを備えている。この蓋供給装置6は電気的に制御装置12に接続されており、その駆動が制御装置12により制御される。パーツフィーダ6aは受け渡しアーム6bにより四個の封口蓋21aをピックアップ可能に複数の封口蓋21aを整列させる。また、受け渡しアーム6bは上下及び水平移動可能に形成されており、パーツフィーダ6aから四個の封口蓋21aをピックアップするピックアップ位置と、蓋載置部5に四個の封口蓋21aを受け渡す受け渡し位置とに移動する。液除去部7は、電解液を吸収可能な吸収体7aと、その吸収体7aを保持する保持アーム7bとを備えている図2参照。この液除去部7は例えば一組の二次電池21の個数分だけ減圧チャンバ2内に設けられている。吸収体7aは、減圧チャンバ2内の位置決め板2dの貫通孔の大きさに合わせて、二次電池21の蓋体23bの表面における注液口27を含む所定領域に接触可能なサイズに形成されている。吸収体7aとしては、例えば、スポンジなどの多孔質部材が用いられる。なお、位置決め板2dの貫通孔は注液口27及び封口蓋21aより大きく形成されている。保持アーム7bは、一端部に吸収体7aを保持しており、さらに、他端部に回転軸7b1を有しており、その回転軸7b1を回転中心として回動可能に設けられている。この保持アーム7bは、二次電池21上の注液口27の周囲に吸収体7aを押し付けて電解液を拭き取る拭き取り位置と、レーザ照射部8による二次電池21に対するレーザ照射を妨げない退避位置とに回動する。また、保持アーム7bは、その内部に液吸引経路7b2を有しており、吸引ポンプなどによる吸引力により吸収体7aに吸収された電解液を液吸引経路7b2に流して回収する。液吸引経路7b2は液回収部図示せずに接続されており、電解液は液回収部に溜められる。なお、保持アーム7bを回動させるための駆動源や吸引ポンプは電気的に制御装置12に接続されており、その駆動が制御装置12により制御される。レーザ照射部8は、減圧チャンバ2の窓2aに対向させてその上方に設けられており、減圧チャンバ2内の各二次電池21上の封口蓋21aに対してレーザ光を照射可能に構成されている。このレーザ照射部8は、本溶接時、封口蓋21aの表面上に金属が溶ける出力のレーザ光を集光し、円環状に走査して照射する。これにより、レーザ光が注液口27の外縁に沿う円環状に照射され、封口蓋21aは二次電池21の容器23の蓋体23bに溶接される。ここで、レーザ光を走査する走査方式としては、ガルバノスキャナなどのスキャナを用いて走査する方法を用いることが、高速にレーザ光を走査することができるため望ましい。ただし、二次電池21のワーク本体を回転させる方法や、光学系をロボットなどの移動機構を用いて移動させる方法を用いても良い。パワー測定部9は、レーザ照射部8から出射されたレーザ光のパワーを測定する測定部であり、レーザ光のパワーを測定する測定位置とケース4cの昇降移動を妨げない退避位置とに移動可能に形成されている。このパワー測定部9は電気的に制御装置12に接続されており、測定位置で測定したレーザ光の強さを制御装置12に送信する。なお、パワー測定部9を測定位置及び退避位置に移動させる移動装置図示せずも電気的に制御装置12に接続されており、その駆動が制御装置12により制御される。移動装置としては、例えば、送りねじ式の移動装置やリニアモータ式の移動装置などが用いられる。ガス吹付部10は、レーザ光の照射位置に向けて不活性ガスを吹き付けるノズルヘッドであり、レーザ照射部8による各二次電池21に対するレーザ照射を妨げないように位置付けられ、レーザ光の照射位置に向けて不活性ガスを吹き付け可能に減圧チャンバ2内に設けられている。ガス供給部11は、その内部に不活性ガスを収容するタンクであり、ガス吹付部10にチューブやパイプなどの供給経路11aを介して接続されており、その供給経路11aを介して、収容している不活性ガスをガス吹付部10に供給する。供給経路11aの途中には、電磁弁などの調整弁11bが設けられている。この調整弁11bは電気的に制御装置12に接続されており、その駆動が制御装置12により制御される。これにより、不活性ガスの吹付量供給量を調整することが可能である。不活性ガスとしては、例えば、N2ガス窒素ガスが用いられるが、その他にも、アルゴンガスやヘリウムガス、あるいは、それら窒素ガスやアルゴンガス、ヘリウムガスなどの混合ガスが用いられても良い。制御装置12は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、各種情報や各種プログラムなどを記憶する記憶部といずれも図示せずを備えている。各種情報としては、レーザ光の照射パターンや出力などの照射情報などがあり、その情報はあらかじめ記憶部に記憶されている。記憶部としては、メモリやハードディスクドライブHDDなどが用いられる。この制御装置12は、目標の低酸素濃度の減圧環境下で、レーザ溶接により二次電池21の蓋体23bに封口蓋21aを固着するように各部を制御する。次に、前述の製造装置1が行う製造工程製造方法について説明する。なお、製造装置1の制御装置12が各種プログラム及び各種情報に基づいて製造処理を実行する。図4に示すように、まず、制御装置12は、電解液が注液された注液済みの二次電池21を電池供給部4により減圧チャンバ2内の被照射位置に供給するステップS1。電池供給部4は、搬送部4aにより四個の二次電池21を一組とするケース4cを減圧チャンバ2の真下まで搬送し、減圧チャンバ2の真下に位置したケース4cを昇降部4bにより上昇させ、そのケース4c内の四個の二次電池21の各々の蓋体23bの表面を減圧チャンバ2の位置決め板2dに当接させ、レーザ光が照射される被照射位置まで移動させる。次いで、排気部3により減圧チャンバ2内を排気して減圧するステップS2。これにより、減圧チャンバ2内の密閉空間の雰囲気は、例えば、20kPaに減圧される。なお、排気部3は減圧チャンバ2内が絶対圧力で1kPaから50kPaの間の減圧環境下になるように制御される。減圧後、各液除去部7により各二次電池21の注液口27周辺の電解液を除去するステップS3。各液除去部7は、保持アーム7bを退避位置から拭き取り位置まで回動させ、二次電池21上の注液口27の周囲に吸収体7aを押し付けて電解液を拭き取る。このとき、注液口27の周囲に付着した電解液は吸収体7aにより吸収されて除去される。特に、その付着した電解液は液吸引経路7b2を介する吸引力により確実に吸収体7aに吸収される。ここで、注液口27の周囲に電解液が付着したままの状態で二次電池21に封口蓋21aをレーザ溶接すると、電解液中に含まれる電解質または溶媒の影響により穴あきなどの溶接欠陥が生じてしまう。なお、電解液で注液口27付近を汚染させることなく電解液の注液を行うことは非常に困難であり、どんなに注意を払って注液しても、必ずというほど、極微量の電解液が注液口27近傍に付着してしまう。このため、前述の電解液除去工程が必要となる。なお、前述の吸収体7aによる拭き取り以外にも、レーザ照射部8により注液口27の周囲に、電解液を除去可能な出力のレーザ光を照射するようにしても良い。例えば、金属が溶融する出力のレーザ光を照射した場合には、レーザ光により金属が溶融するときの熱によって、注液口27の周囲に付着した電解液を蒸発させて除去することができる。ステップS3の電解液の除去後、蓋載置部5により、各二次電池21の蓋体23b上に、各々の注液口27を塞ぐように四個の封口蓋21aを載置しステップS4、その載置状態で、レーザ照射部8を用いて各封口蓋21aの外縁上の二箇所平面視上下二点にレーザ光を照射し、各蓋体23bに各々の封口蓋21aを仮溶接するステップS5。これにより、封口蓋21aは二箇所で蓋体23bに溶接される。なお、蓋載置部5には、減圧開始前に四個の封口蓋21aが蓋供給装置6から供給されている。すなわち、蓋供給装置6の受け渡しアーム6bは、ピックアップ位置でパーツフィーダ6aから四個の封口蓋21aをピックアップし、減圧チャンバ2の背面ドア2cが開けられた状態で受け渡し位置まで回動し、受け取り位置にいる蓋載置部5に四個の封口蓋21aを受け渡す。その後、蓋載置部5は、受け取り位置から載置位置まで回動し、受け取った四個の封口蓋21aを四個の二次電池21の上面に一度に載置する。ステップS5の二箇所の仮溶接後、蓋載置部5を退避させステップS6、レーザ照射部8を用いて各封口蓋21aの外縁上の二箇所平面視左右二点にレーザ光を照射し、各蓋体23bに各々の封口蓋21aを仮溶接するステップS7。これにより、封口蓋21aは、ステップS5の二箇所に加え、合計四箇所で蓋体23bに溶接される。ここで、ステップS6の蓋載置部5の退避前に、ステップS5において二箇所の仮溶接を行っているが、その二箇所の仮溶接前に蓋載置部5を退避させると、その蓋載置部5の退避動作により蓋体23b上の封口蓋21aが移動して所定位置からずれてしまうことがある。これを防止するため、前述のように蓋載置部5の退避前に二箇所の仮溶接が実行される。なお、ステップS5及びステップS7の仮溶接は、本溶接時のレーザ照射により封口蓋21aが移動することを防止するために実行される。ステップS7の仮溶接後、レーザ照射部8を用いて、各蓋体23bに各々の封口蓋21aをレーザ溶接する本溶接を行うステップS8。なお、本溶接後、電池供給部4は、昇降部4bにより被照射位置から搬送部4aまでケース4cを下降させ、その後、搬送部4aにより減圧チャンバ2の真下から左方向図2中に移動させ、次の検査工程に搬送する。ここで、ステップS8の本溶接においては、図5に示すように、レーザ照射部8は、封口蓋21aの表面上に金属が溶ける出力のレーザ光を集光し、円環状に走査して照射する。これにより、レーザ光が注液口27の外縁に沿う円環状に照射され、封口蓋21aは二次電池21の蓋体23bに溶接される。この本溶接の間、ガス供給部11の調整弁11bが所定開度まで開かれており、ガス吹付部10がレーザ光の照射位置、すなわち封口蓋21a上のレーザ溶接部に向けて不活性ガスを吹き付けている。これにより、この不活性ガスの吹き付け状態でレーザ溶接が行われることになる。なお、不活性ガスの吹付量、すなわち不活性ガスの流量は、例えば、1lリットル/minから50lリットル/minの範囲で調整される。このように、二次電池21上の封口蓋21aに向けて不活性ガスを吹き付けながらレーザ光を照射し、封口蓋21aを二次電池21に溶接することによって、レーザ溶接部周辺に局所的に目標とする低酸素濃度の雰囲気を形成しつつレーザ溶接を行うことが可能となる。これにより、良好な溶接継ぎ手を得ることができ、その結果、高品質及び高信頼性の二次電池21を製造することができる。なお、レーザ溶接では、その溶接品質を確保するために減圧チャンバ2内の酸素濃度を低くする必要がある。通常のようにサイクルパージと呼ばれる手法で減圧チャンバ2内の酸素を排除する場合、目標オーダーの酸素濃度にまで酸素を排除するためには、長い時間が必要である。例えば、減圧チャンバ容量が30リットルである場合、酸素濃度を1ppmにするためには、約30分の排気時間が必要である。このように長い時間が必要となるため、生産性が低くなってしまう。これに対して、前述の製造工程におけるレーザ溶接では、ガス吹付部10によりレーザ溶接部周辺に不活性ガスを供給しながら排気部3により減圧チャンバ2内を排気して減圧する。この場合には、サイクルパージを用いなくても、目標オーダーの低酸素濃度の雰囲気をレーザ溶接部周辺に局所的に形成することが可能となる。局所的に不活性ガスを供給するため、例えば、前述と同じ条件として減圧チャンバ容量が30リットルである場合、酸素濃度を1ppmにする時間は1分以内となる。このように短時間で目標とする低酸素濃度の減圧環境を形成することが可能となるので、高い生産性と低酸素濃度の良好な減圧環境を両立させることができる。以上説明したように、本実施形態によれば、レーザ光の照射位置に向けて不活性ガスを吹き付けるガス吹付部10と、そのガス吹付部10に不活性ガスを供給するガス供給部11とを設け、レーザ照射により二次電池21に封口蓋21aを溶接する場合、ガス吹付部10によりレーザ光の照射位置に向けて不活性ガスを吹き付ける。これにより、レーザ溶接部周辺に局所的に目標とする低酸素濃度の雰囲気を形成することが可能となる。このため、サイクルパージなどの減圧チャンバ2内の全体を低酸素濃度にする場合に比べ、短時間で目標とする低酸素濃度の減圧環境を形成することが可能となるので、高品質及び高信頼性の二次電池21を効率良く生産することができる。また、電解液を吸収可能な吸収体7aにより、減圧チャンバ2内の二次電池21の注液口27の周囲に残留した電解液を除去する液除去部7を設けることによって、残留した電解液が吸収体7aに吸収されて除去され、その電解液の除去後に封口蓋21aが二次電池21に溶接されることになる。これにより、注液口27近傍に残留した電解液起因の欠陥発生を抑止して注液口27封止溶接の品質を向上させ、高品質及び高信頼性の二次電池21を製造することができる。さらに、高い歩留りで二次電池21を製造することも可能となる。また、減圧チャンバ2内の二次電池21の注液口27の周囲に、電解液を除去可能な出力のレーザ光を照射する場合には、注液口27の周囲に残留した電解液がレーザ照射による熱により蒸発して除去され、その電解液の除去後に封口蓋21aが二次電池21に溶接されることになる。これにより、注液口27近傍に残留した電解液起因の欠陥発生を抑止して注液口27封止溶接の品質を向上させ、高品質及び高信頼性の二次電池21を製造することができる。さらに、高い歩留りで二次電池21を製造することも可能となる。以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。