"主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する焼結磁石を用意し、この第1の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属および該第3の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーが大きくて永久磁石の保磁力を高める第2の金属を粒界相内に粒界拡散させて永久磁石を製造する永久磁石の製造方法。主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する焼結磁石を用意し、この第1の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属を粒界相内に粒界拡散させて中間体を得る第1の工程、第3の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーが大きくて永久磁石の保磁力を高める第2の金属を粒界拡散させて永久磁石を製造する第2の工程からなる請求項1に記載の永久磁石の製造方法。前記第2の工程は、前記第2の金属を中間体の表面にスパッタリングで形成し、熱処理することによって粒界拡散させる工程である請求項2に記載の永久磁石の製造方法。前記第2の工程は、第2の金属の蒸気を中間体の表面に当てて粒界拡散させる工程である請求項2に記載の永久磁石の製造方法。主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する焼結磁石の表面に、この第1の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属の層を形成すること、前記第3の金属の層の上に、第3の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーが大きくて永久磁石の保磁力を高める第2の金属の層を形成すること、第2の金属の層と第3の金属の層によって覆われた焼結磁石を熱処理して第2の金属と第3の金属を粒界拡散させることからなる請求項1に記載の永久磁石の製造方法。前記第2の金属の層と前記第3の金属の層をスパッタリングで形成する請求項5に記載の永久磁石の製造方法。主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する焼結磁石の表面に、この第1の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属と、この第3の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーが大きくて永久磁石の保磁力を高める第2の金属との合金の層を形成すること、熱処理して前記合金を粒界拡散させることからなる請求項1に記載の永久磁石を製造する永久磁石の製造方法。前記合金をスパッタリングで形成する請求項7に記載の永久磁石の製造方法。前記第1の金属がネオジムもしくはプラセオジムからなる請求項1~8のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。前記第1の金属がネオジムもしくはプラセオジムからなり、前記第2の金属がジスプロシウム、テルビウムもしくはホルミウムのいずれか一種からなり、前記第3の金属がイットリウムもしくはスカンジウムのうちのいずれか一種からなる請求項1~9のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。前記永久磁石内の酸素量が0.2質量以下である請求項1~10のいずれかに記載の永久磁石の製造方法。主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する永久磁石であって、永久磁石の内部には、永久磁石の保磁力を高める第2の金属と、第1の金属および第2の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属が拡散されており、この第3の金属が粒界相中で酸化物を形成している永久磁石。前記第1の金属がネオジムもしくはプラセオジムからなる請求項12に記載の永久磁石。前記第1の金属がネオジムもしくはプラセオジムからなり、前記第2の金属がジスプロシウム、テルビウムもしくはホルミウムのいずれか一種からなり、前記第3の金属がイットリウムもしくはスカンジウムのうちのいずれか一種からなる請求項12または13に記載の永久磁石。主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する永久磁石であって、永久磁石の内部には、永久磁石の保磁力を高める第2の金属と、第1の金属および第2の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属を含み、この第2の金属および第3の金属が主相よりも粒界相に濃化しており、第3の金属が粒界相中で酸化物を形成している永久磁石。本発明は上記する問題に鑑みてなされたものであり、永久磁石の保磁力性能を向上させる金属粒が永久磁石の深部に効果的に粒界拡散されている永久磁石と、この永久磁石を製造する方法を提供することを目的とする。前記目的を達成すべく、本発明による永久磁石の製造方法は、主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する焼結磁石を用意し、この第1の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属および該第3の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーが大きくて永久磁石の保磁力を高める第2の金属を粒界相内に粒界拡散させて永久磁石を製造するものである。本発明の製造方法で製造された永久磁石は、その内部に、粒界相を形成する主たる金属である第1の金属と永久磁石の保磁力を高める第2の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属が拡散されていることにより、この第3の金属が粒界相中で酸化物を形成し、したがって、第2の金属が酸化物を形成することなく粒界相の深部にまで拡散浸透され、保磁力性能に優れたものである。なお、本発明の製造方法で製造された永久磁石は、上記特許文献1で開示される永久磁石のように、焼結磁石の主相が上記第3の金属に相当する金属で形成されるものでないことから、その主相内に第3の金属は存在しておらず、したがって特許文献1で開示される永久磁石に比して磁化特性にも優れたものとなっている。ここで、酸化物生成標準自由エネルギーとは、酸化物を個別の金属と酸素に分解するために必要なエネルギーのことであり、いったん酸化物として形成された後にどの程度安定的に存在できるかを示す指標であって、この値が負に大きい程すなわち、小さいほど安定した酸化物と言える。本発明の永久磁石は、希土類磁石を対象としており、この希土類磁石としては、ネオジムに鉄とボロンを加えた3成分系のネオジム磁石Nd-Fe-B系焼結永久磁石を挙げることができる。この希土類磁石はフェライト磁石やアルニコ磁石に比して最大エネルギー積BHmaxが高いことから、高出力が要求されるハイブリッド車等の駆動用モータへの適用に好適である。また、本発明による永久磁石の製造方法の他の実施の形態は、主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する焼結磁石を用意し、この第1の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属を粒界相内に粒界拡散させて中間体を得る第1の工程、第3の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーが大きくて永久磁石の保磁力を高める第2の金属を粒界拡散させて永久磁石を製造する第2の工程からなるものである。上記製造方法において、焼結磁石の粒界相内に第3の金属を粒界拡散させる方法としては、たとえばネオジムからなる焼結磁石の表面に、第3の金属であるイットリウム等の層をスパッタリング等で形成し、熱処理する方法などがある。この第1の工程により、イットリウム等が粒界拡散して粒界相内で酸化物を形成してなる中間体が製造される。この中間体の表面に、第1の工程と同様に今度は第2の金属であるジスプロシウム等の層をスパッタリング等で形成し、熱処理することによってジスプロシウム等が粒界相内の深部にまで粒界拡散された永久磁石を製造することができる第2の工程。なお、この第2の工程では、ジスプロシウム等の層をスパッタリング等で形成して熱処理することに代えて、ジスプロシウム等の蒸気を中間体の表面に当てて粒界拡散させることにより、より一層優れた保磁力性能と磁化特性を有する永久磁石が得られることが本発明者等によって実証されている。また、本発明による永久磁石の製造方法の他の実施の形態として、たとえばネオジムからなる焼結磁石の表面に、第3の金属であるイットリウム等の層をスパッタリング等で形成し、このイットリウム等の層の上に第2の金属であるジスプロシウム等の層を形成した後に、加熱してイットリウム等とジスプロシウム等を一気に粒界拡散させて永久磁石を製造する方法もある。さらに、本発明による永久磁石の製造方法のさらに他の実施の形態として、焼結磁石の表面に、第3の金属であるイットリウム等と第2の金属であるジスプロシウム等の合金の層をスパッタリング等で形成し、熱処理することによってこれらの合金を粒界相内に粒界拡散させて永久磁石を製造する方法もある。また、製造される永久磁石内の酸素量が0.2質量以下であってもよい。上記するいずれの製造方法によっても、粒界相を形成する主金属第1の金属と永久磁石の保磁力を高める金属第2の金属の双方よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属が焼結磁石の粒界相に粒界拡散されることにより、これが酸素を固定することで、粒界拡散された第2の金属の酸素固定が解消される。そのため、第2の金属は粒界相の深部にまで粒界拡散され、主相を形成する粒界相近傍領域の金属たとえばネオジムと置換されて結晶磁気異方性を高めることになる。したがって、従来構造の永久磁石の製造方法に比して安価な製造コストで、保磁力性能と磁化特性の双方に優れた永久磁石を製造することができる。ここで、第1の金属がネオジムからなる永久磁石ネオジム磁石の形態において、前記第2の金属がジスプロシウムもしくはテルビウムのいずれか一種からなり、前記第3の金属がイットリウムもしくはスカンジウムのうちのいずれか一種からなる形態を挙げることができる。イットリウムやスカンジウムは、ネオジムやジスプロシウム、テルビウムよりも酸化物生成標準自由エネルギーが小さいことから、たとえばイットリウムが粒界相内に粒界拡散されることでこれが粒界相内でその主成分であるネオジムの酸化物と置換されて全率固溶体をつくって混じり合い酸素を固定する。また、鉄とも広範囲で共晶を形成して粒界拡散される。その一方で、イットリウムは粒界相から主相に入り難く、したがって磁化特性を劣化させることがない。イットリウム等が酸素を固定することにより、ジスプロシウム等を粒界拡散させた際にはこれが酸素に固定されることなく、粒界相の深部にまで粒界拡散される。そして、時間の経過とともに永久磁石の表層から深部に亘って、各深度における主相の粒界相近傍領域におけるネオジムがジスプロシウム等で置換され、異方性磁界の高い相が形成されることによって結晶磁気異方性が高められ、永久磁石の保磁力性能が向上する。上記する本発明の永久磁石の製造方法によれば、従来の永久磁石の製造方法に比して格段に少ない量のジスプロシウム等で、すなわち、従来の永久磁石の製造方法に比して格段に安価な材料コストの下で、保磁力性能と磁化特性の双方に優れた永久磁石を製造することができる。なお、第1の金属がネオジムからなる永久磁石の形態において、前記第2の金属と前記第3の金属にホルミウムを適用する実施の形態などもある。また、本発明による永久磁石は、主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する永久磁石であって、永久磁石の内部には、永久磁石の保磁力を高める第2の金属と、第1の金属および第2の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属が拡散されており、この第3の金属が粒界相中で酸化物を形成しているものである。さらに、本発明による永久磁石の他の実施の形態は、主相と粒界相からなり、粒界相を形成する主たる金属が第1の金属である金属組織を有する永久磁石であって、永久磁石の内部には、永久磁石の保磁力を高める第2の金属と、第1の金属および第2の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さな第3の金属を含み、この第2の金属および第3の金属が主相よりも粒界相に濃化しており、第3の金属が粒界相中で酸化物を形成しているものである。上記するいずれの実施の形態であっても、本発明の永久磁石がハイブリッド車の駆動用モータに適用されることにより、ハイブリッド車の高出力化と製造コストの削減を図ることができる。以上の説明から理解できるように、本発明の永久磁石とその製造方法によれば、永久磁石の保磁力を高めるジスプロシウム等と、粒界相を形成する主たる金属であるネオジム等の双方よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さなイットリウム等が粒界相に拡散され、このイットリウム等が粒界相中で酸化物を形成していることによって可及的に少ない量のジスプロシウム等でその深部にまでジスプロシウム等を粒界拡散させることができる。したがって、その表層から深部に亘って、各深度における主相の粒界相近傍領域におけるネオジム等がジスプロシウム等で置換されて異方性磁界の高い相が形成されることで結晶磁気異方性が高められ、材料コストを低減しながら、保磁力性能と磁化特性の双方に優れた永久磁石を得ることができる。以下、図面を参照して本発明の永久磁石とその製造方法を説明する。なお、図示する永久磁石はネオジム磁石であるが、本発明の永久磁石はこれ以外にも、サマリウムコバルト磁石、サマリウム鉄窒素磁石、プラセオジム磁石など、少なくとも主相と粒界相を組織として有する永久磁石の全般をその対象とするものである。図1は、永久磁石の金属組織を使用して図1a、b、cの順で本発明の永久磁石の製造方法の一実施の形態を説明した図である。また、図2~5はそれぞれ、本発明の永久磁石の製造方法の実施の形態を説明したフロー図である。図1で示す焼結磁石はNd-Fe-B系焼結永久磁石であり、その粒界相Rの主たる金属はネオジムであり、その主相Sはネオジム、鉄、ボロンが主たる成分となっている。図1aで示すように、ネオジムを主成分とする粒界相Rのうち、3つの粒界相Rが交わる3重点においては、Nd2O3やNdOxなどネオジム酸化物OX1が存在している。この焼結磁石に対し、図1aで示すように、焼結磁石の表面にイットリウムもしくはスカンジウムの層を形成し、熱処理することでイットリウム等を粒界相Rを介して粒界拡散させるZ1方向。たとえばイットリウムが粒界拡散された場合において、これが3重点のネオジム酸化物OX1位置に到達すると、イットリウムはネオジムに比して酸化物生成標準自由エネルギーが小さいことから、図1bで示すようにNd酸化物OX1と置換されて酸素を固定し、Y2O3やYOXなどのイットリウム酸化物OX3を生成し、吐き出されたネオジムがイットリウム酸化物OX3の周りを包囲することになるネオジム層R1。このイットリウムは鉄とも広範囲で共晶を形成して粒界拡散される一方で、粒界相Rから主相Sには入り難く、したがって焼結磁石の磁化特性を劣化させることはない。粒界相R内にイットリウム酸化物OX3が生成されたら、次いで、図1cで示すように、焼結磁石の表面から磁石の保磁力を高めるジスプロシウムもしくはテルビウムを粒界拡散させるZ2方向。これらジスプロシウムやテルビウムは、イットリウムよりも酸化物生成標準自由エネルギーが大きいことから、粒界拡散によってイットリウム酸化物OX3位置に到達した際にジスプロシウム等がイットリウム酸化物OX3と置換されることはなく、さらに深部へと粒界拡散することができる。そして、焼結磁石の表面から粒界拡散されたその深部に亘って、各深度における主相の粒界相近傍領域におけるネオジムがジスプロシウム等で置換され、異方性磁界の高い主相置換相S’が形成されてなる本発明の永久磁石が製造される。ここで、本発明の永久磁石の製造方法を図2~5のフロー図を参照して概説する。まず、図2で示す製造方法MT1は、ネオジム焼結磁石の表面に、その粒界相の主金属であるネオジム第1の金属よりも酸化物生成標準自由エネルギーの小さなイットリウム第3の金属の層を形成するステップS1。次に、上記焼結磁石を熱処理することにより、イットリウムを粒界相内に粒界拡散させて中間体を形成するステップS2。この中間体では、粒界相内で存在していたネオジム酸化物がイットリウムに置換されてイットリウム酸化物が形成され、ネオジムがイットリウム酸化物の周囲に吐き出された状態となっている。次に、中間体を炉内に置き、イットリウムよりも酸化物生成標準自由エネルギーが大きくて永久磁石の保磁力を高めるジスプロシウム第2の金属の蒸気を炉内に充満させることにより、ジスプロシウムが中間体の粒界相を介して粒界拡散するステップS3。粒界拡散するジスプロシウムはイットリウム酸化物と置換されることなく、永久磁石の深部にまで拡散され、各深度における主相の粒界相近傍領域におけるネオジムと置換されて異方性磁界の高い主相置換相を形成する。ここで、上記するステップS3のように、ジスプロシウムの蒸気を中間体の表面から粒界拡散させることにより、ジスプロシウムの層を中間体の表面にスパッタリング等で形成し、熱処理して粒界拡散させる方法に比して、ジスプロシウムが主相へ浸透するのを低減し、粒界相へ浸透する割合を高めることができるため、可及的に少量のジスプロシウムにて保磁力を効果的に高めることが可能となる。また、図3で示す製造方法MT2は、ネオジム焼結磁石の表面にイットリウム第3の金属の層を形成しステップS1、熱処理してイットリウムを粒界相内に粒界拡散させて中間体を形成したステップS2後に、中間体の表面にジスプロシウム第2の金属の層を形成しステップS3、熱処理してジスプロシウムを粒界拡散させる方法であるステップS4。また、図4で示す製造方法MT3は、ネオジム焼結磁石の表面にイットリウム第3の金属の層を形成しステップS1、イットリウムの層の上にジスプロシウム第2の金属の層を形成しステップS2、熱処理してイットリウムとジスプロシウムを一気に粒界拡散させる方法である。さらに、図5で示す製造方法MT4は、ネオジム焼結磁石の表面にイットリウム第3の金属とジスプロシウム第2の金属の合金の層を形成しステップS1、熱処理して合金を粒界相内に粒界拡散させる方法であるステップS2。上記するいずれの製造方法によっても、粒界相内に存在しているネオジム酸化物がイットリウムで置換されてイットリウム酸化物を生成し、ジスプロシウムをイットリウム酸化物と置換されることなく永久磁石の深部に粒界拡散させることができる。したがって、その表層から深部中心部に亘って、主相の粒界相近傍領域におけるネオジムがジスプロシウムで置換され、異方性磁界の高い主相置換相が形成された永久磁石を得ることができる。実施例および比較例の各永久磁石を試作し、VSM振動試料型磁力計でその残留磁化と保磁力を測定した実験とその結果本発明者等は、本発明の製造方法で製造された永久磁石実施例1~実施例4と、従来の製造方法で製造された永久磁石比較例1~比較例4を試作し、それぞれの永久磁石の残留磁化と保磁力をVSM振動試料型磁力計にて測定した。ここで、実施例1~実施例4および比較例1,2の焼結磁石は、5mm×5mm×5.5mmの直方体を呈したNd2Fe14B磁石であり詳細の金属組成は以下の表1、スパッタリング前に油研磨を実施している。なお、表1における単位は質量である。また、比較例3,4は、既述する特許文献1に順じて製造し、5mm×5mm×5.5mmの直方体を呈したNd2Fe14B磁石であり詳細の金属組成は以下の表2、スパッタリング前に油研磨を実施している。なお、表2における単位は質量である。実施例1は図2の製造方法MT1による方法で製造されており、まず、磁石表面にYをマグネトロンスパッタリングにて3μmの厚みの層に形成した。これを粒界拡散させる際の熱処理条件は、10-5Paの真空雰囲気下、Arを挿入して1.33kPa10Torrとし、1時間かけて850°Cの温度雰囲気としてこれを5時間継続させ、30分で温度を常温まで低下させる温度条件にて中間体を得た。次に、中間体に対するDyの粒界拡散においては、真空炉の下方にDyを20g収容し、その上方のMo製金網上にYが粒界拡散された上記永久磁石を載置し、これを粒界拡散させる際の炉内条件は、10-4Paの真空雰囲気下、1時間かけて850°Cの温度雰囲気としてこれを24時間継続させ、30分で温度を常温まで低下させ、これに続いて500°Cを1時間継続する最適化熱処理をおこなう炉内条件にておこなった。なお、この条件では、Dyは昇華して炉内はDyの蒸気で充満する。実施例2は図3の製造方法MT2による方法で製造されており、中間体を得るまでの条件は実施例1と同様であり、これに続いて中間体を酸洗いし、10硝酸溶液に3分浸漬した後にこれを即乾燥した。次いで、磁石表面にDyをマグネトロンスパッタリングにて5μmの厚みの層に形成した。これを粒界拡散させる際の熱処理条件は、10-5Paの真空雰囲気下、Arを挿入して1.33kPa10Torrとし、1時間かけて850°Cの温度雰囲気としてこれを10時間継続させ、30分で温度を常温まで低下させ、これに続いて500°Cを1時間継続する最適化熱処理をおこなう条件にておこなった。実施例3は図4の製造方法MT3による方法で製造されており、まず、磁石表面にYをマグネトロンスパッタリングにて3μmの厚みの層に形成し、次いでDyをその上に5μmの厚みの層に形成した。これらを粒界拡散させる際の熱処理条件は、10-5Paの真空雰囲気下、Arを挿入して1.33kPa10Torrとし、1時間かけて850°Cの温度雰囲気としてこれを10時間継続させ、30分で温度を常温まで低下させ、これに続いて500°Cを1時間継続する最適化熱処理をおこなう条件にておこなった。実施例4は図5の製造方法MT4による方法で製造されており、Dy-40atY合金をターゲットとしたマグネトロンスパッタリングにて磁石表面に8μmの厚みのDy-40atY合金の層を形成した。これを粒界拡散させる際の熱処理条件は、10-5Paの真空雰囲気下、Arを挿入して1.33kPa10Torrとし、1時間かけて850°Cの温度雰囲気としてこれを10時間継続させ、30分で温度を常温まで低下させ、これに続いて500°Cを1時間継続する最適化熱処理をおこなう条件にておこなった。一方、比較例1は実施例1の製造方法において中間体を得るまでの工程がない製造方法、すなわち、Yが粒界拡散されていない永久磁石に対してDyを実施例1と同様の条件で粒界拡散する方法で製造されたものである。比較例2は実施例3の製造方法で磁石表面にYをマグネトロンスパッタリングにて3μmの厚みの層に形成するステップが省略された方法にて製造されたものである。比較例3,4は、表2の成分組成の焼結磁石を使用して、実施例3の製造方法で磁石表面にYをマグネトロンスパッタリングにて3μmの厚みの層に形成するステップが省略された方法にて製造されたものである。VSM振動試料型磁力計にて測定した測定結果を以下の表3、図6,7に示す。表3および図6,7より、実施例1は残留磁化、保磁力がともに他の実施例および比較例に比して高くなることが実証されている。これは、ジスプロシウムの蒸気を中間体の表面から粒界拡散させることにより、ジスプロシウムが主相に浸透するのを低減でき、その代わりにジスプロシウムが粒界相を浸透する割合が高くなっているためである。また、比較例1~4に比して実施例1~4は残留磁化が高く、処理前からの低下の割合は格段に低くなっている。さらに、保磁力は15~30程度も向上する結果となっており、NdやDyに比して酸化物生成標準自由エネルギーの小さなYを粒界相内に粒界拡散させることによる効果が顕著に現れている。永久磁石内部における酸素量と保磁力の関係に関する実験とその結果本発明者等はさらに、永久磁石内部の酸素量を変化させ、上記する実施例1酸素量は0.08質量と、実施例1と製造方法は同一であって酸素量のみが相違する実施例5~9の永久磁石を試作し、それらの保磁力を測定した。測定結果を以下の表4と図8に示す。既述する特許文献1で開示する永久磁石においては、予め主相内に存在するYを粒界相へ浸透させる駆動力は酸素であり、その濃度が2000ppm以上に設定されているが、本発明の永久磁石やその製造方法では永久磁石内の酸素を必要としていない。そして、表4や図8からも明らかなように、酸素量が多いとYで固定しきれない酸素が出てくる割合が増加することで保磁力性能が低下することが理解できる。本発明者等によれば、永久磁石内の酸素量は少ないのが好ましく、永久磁石が高い保磁力性能や磁化特性を有するためには酸素量が2000ppm以下であるのがよいとの知見が得られている。以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。"