ワークを切断可能に把持するワーク吸引治具であって、前記ワークの真空吸着を行うように構成された治具と、前記治具の上に載置され、前記ワークの反り形状に対応した載置形状を形成するための貫通孔を備えたシートと、前記シートの上に載置された吸着ゴムシートと、を有し、前記治具、前記シート、及び、前記吸着ゴムシートのそれぞれに設けられた複数の吸引孔を介して前記ワークの真空吸着を行うことで、前記シートの前記貫通孔により該ワークの反り形状に対応した載置形状が形成される、ことを特徴とするワーク吸引治具。前記シートは、第1のシート及び第2のシートを備えて構成され、前記第1のシートには第1の貫通孔が形成され、前記第2のシートには第2の貫通孔が形成され、前記第1の貫通孔及び前記第2の貫通孔の組み合わせにより、前記ワークの反り形状に対応した前記載置形状を形成するための前記貫通孔が形成されることを特徴とする請求項1に記載のワーク吸引治具。前記第1の貫通孔は前記第2の貫通孔よりも小さく、前記第1のシート及び前記第2のシートを積層させることで前記貫通孔が形成されることを特徴とする請求項2に記載のワーク吸引治具。ワークを切断可能に把持するワーク把持方法であって、治具の上に、前記ワークの反り形状に対応した載置形状を形成するための貫通孔を備えたシートを載置し、前記シートの上に吸着ゴムシートを載置し、前記治具、前記シート、及び、前記吸着ゴムシートのそれぞれに設けられた複数の吸引孔を介して前記ワークの真空吸着を行うことで、前記シートの前記貫通孔により該ワークの反り形状に対応した載置形状を形成する、ことを特徴とするワーク把持方法。前記シートは、第1のシート及び第2のシートを備えて構成され、前記第1のシートには第1の貫通孔が形成され、前記第2のシートには第2の貫通孔が形成され、前記第1の貫通孔及び前記第2の貫通孔の組み合わせにより、前記ワークの反り形状に対応した前記載置形状を形成するための前記貫通孔が形成されることを特徴とする請求項4に記載のワーク把持方法。前記第1の貫通孔は前記第2の貫通孔よりも小さく、前記第1のシート及び前記第2のシートを積層させることで前記貫通孔が形成されることを特徴とする請求項5に記載のワーク把持方法。しかしながら、従来例のようにワークの反り形状に対応させた載置形状を形成するため、吸着ゴムシートに凹部を形成しようとすると、吸着ゴムシートを削りザグリ加工、ザグリ加工後の吸着ゴムシートを評価し、その評価結果により再度ザグリ加工を行うなどの工程を繰り返す必要があり、時間がかかり及び製造コストが高価なものとなっていた。そこで本発明は、ワークの反り形状に対応した載置形状を安価なシートに形成してワークを切断可能に把持するワーク吸引治具、及び、そのような吸引治具を用いたワーク把持方法を提供する。本発明の一側面としての吸引治具は、ワークを切断可能に把持するワーク吸引治具であって、前記ワークの真空吸着を行うように構成された治具と、前記治具の上に載置され、前記ワークの反り形状に対応した載置形状を形成するための貫通孔を備えたシートと、前記シートの上に載置された吸着ゴムシートとを有し、前記治具、前記シート、及び、前記吸着ゴムシートのそれぞれに設けられた複数の吸引孔を介して前記ワークの真空吸着を行うことで、前記シートの前記貫通孔により該ワークの反り形状に対応した載置形状が形成される。本発明の他の側面としてのワーク把持方法は、ワークを切断可能に把持するワーク把持方法であって、治具の上に、前記ワークの反り形状に対応した載置形状を形成するための貫通孔を備えたシートを載置し、前記シートの上に吸着ゴムシートを載置し、前記治具、前記シート、及び、前記吸着ゴムシートのそれぞれに設けられた複数の吸引孔を介して前記ワークの真空吸着を行うことで、前記シートの前記貫通孔により該ワークの反り形状に対応した載置形状を形成する。本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。本発明によれば、ワークの反り形状に対応した載置形状を安価なシートに形成してワークを切断可能に把持するワーク吸引治具、及び、そのような吸引治具を用いたワーク把持方法を提供することができる。以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。まず、本実施例におけるワーク吸引治具の構成について説明する。ワーク吸引治具は、ワークを切断可能ダイシング可能に把持するように構成される。図1は、本実施例における吸引治具に用いられるシートの構成図であり、図1a、b、cはそれぞれシート11、12、13の平面図、図1dはシート11、12、13を積層させてワーク吸引治具に搭載した状態を示す断面図である。図1に示されるように、本実施例のワーク吸引治具は、3枚のシート11、12、13を積層して用いる。シート11図1aには、ワークを吸引するための真空ポンプ不図示に繋がった複数の吸引孔30が格子状に設けられているとともに、孔21貫通孔が設けられている。孔21は、ワークの反り形状に対応した載置形状を形成するための段差部として機能する。同様に、シート12図1b及びシート13図1cには、複数の吸引孔30が格子状に設けられているとともに、孔22、23貫通孔がそれぞれ設けられている。各シートの材質は、厚さが0.05~0.1mm程度のステンレスや耐熱プラスチックにより構成されている。また各シートの孔21、22、23貫通孔は、レーザ切断やウォータージェット切断などの公知の加工方法を用いて形成される。レーザ切断やウォータージェット切断などの方法により貫通孔である孔21、22、23を安価に形成することが可能である。ただし、本実施例はこれらの切断方法に限定されるものではなく、他の切断方法を用いて貫通孔を形成してもよい。本実施例において、シート11の孔21は、シート12の孔22及びシート13の孔23よりも小さい。また、シート12の孔22はシート11の孔21よりも大きくシート13の孔23よりも小さい。そして、シート13の孔23はシート11の孔21及びシート12の孔22よりも大きい。このように、3つの異なる種類大きさ、形状のシートをシート11、12、13の順に積層させることで、図1dの下向きに順に広がる開口を有する孔が形成される。ただし本実施例は、積層されるシートの数は3枚に限定するものではなく、少なくとも1枚のシートを用いればよい。また、積層されるシートの順番は各シートに形成された孔の大きさに決定されるものではない。また、各シートは異なる大きさや形状などの種類に限定されるものではなく、複数の同一のシートを積層させてもよい。なお、各シートは積層配置されていれば接着剤などを用いて固定する必要はないが、各シートの間を接着剤などで固定してもよい。複数のシートが用いられる場合、これら複数のシートは、少なくとも、第1の貫通孔例えば孔21が形成された第1のシート例えばシート11、及び、第2の貫通孔例えば孔22が形成された第2のシート例えばシート12を備えて構成される。そして、第1の貫通孔及び第2の貫通孔の組み合わせにより、ワークの反り形状に対応した載置形状を形成するための貫通孔が形成される。このとき、例えば第1の貫通孔は第2の貫通孔よりも小さく、第1のシート及び第2のシートを積層させることで貫通孔ザグリが形成される。なお、シート11、12、13に設けられている複数の吸引孔30は、互いに対応する位置に配置されており、これらのシート11、12、13を積層させてワーク吸引治具に取り付けたときに、複数の吸引孔30のそれぞれが貫通した一つの孔を形成し、真空ポンプ不図示へと繋がることになる。図1dに示されるように、3枚の積層されたシート11、12、13は治具の上に載置され、積層されたシート11、12、13の上には吸着ゴムシート40が配置される。吸着ゴムシート40には、ワークを吸引するための真空ポンプ不図示に繋がった複数の吸引孔41が格子状に設けられ、シート11、12、13の吸引孔30と繋がっている。なお、吸引孔41は切断後の個片となったワークを個片ワークごとに吸引するために設けられており、個片ワークごとに孔が形成されている。本実施例の吸着ゴムシート40は、ウレタンゴムシートであるが、これに限定されるものではない。吸着ゴムシート40は、押さえプレート63、64によりワーク吸引治具に固定される。また、吸着ゴムシート40の上には切断ダイシングの対象となるワークが載置される。図2は、本実施例におけるワークの概略構成図であり、図2aはワークの平面図、図2bはワークの側面図をそれぞれ示す。図2に示されるように、本実施例のワーク50は、リードフレーム51とリードフレーム51の少なくとも一部を覆う樹脂パッケージ52とを備えて構成される。なお本実施例では、リードフレームの代わりに樹脂基板やセラミック基板などの多層配線基板を用いてもよい。以下の説明では、これらをまとめてリードフレームというものとする。リードフレーム51の上には複数の半導体チップ不図示が搭載されており、これらの半導体チップは樹脂パッケージ52により覆われている。樹脂パッケージ52は、例えばトランスファモールドによりリードフレーム51上に形成される。なお、本実施例のワーク50は図2に示される構造に限定されるものではなく、本発明は他の構造を有するワークにも適用可能である。図1dに示されるように、ワーク50は、通常、平面状ではなくある程度の反りが生じている。図1dではワーク50がU字状の反りを有するワークの両端が上側に反っているが、逆U字状の反りを有するワークの両端が下側に反っている場合もある。本実施例のワーク吸引治具では、積層した3つのシート11、12、13が互いに異なる大きさの孔21、22、23を有しており、孔21、22、23が形成されていることにより、反ったワーク50をワーク吸引治具に搭載したときにワーク50の反り形状に対応した形状が形成される。なお、本実施例のワーク50は、樹脂パッケージ52側半導体チップ搭載側を吸着ゴムシート40に向けて載置される。これは、例えばワーク50のリードフレーム51側には半田で構成された複数のボール状電極BGAが配列されているため、このようなBGAを吸着ゴムシート40に接触させることが望ましくない場合もあるためである。ただし、本実施例はこれに限定されるものではなく、リードフレーム51側を吸着ゴムシート40に向けてワーク50を載置してもよい。図3は、本実施例におけるワーク吸引治具の構成図であり、図3aはワーク吸引治具の平面分解図、図3bはワーク吸引治具の断面図をそれぞれ示す。60は治具であり、ワークの真空吸着を行うように構成されている。治具60には、ワークを吸引するための真空ポンプ不図示に繋がった複数の吸引孔65が設けられている。14は、治具60の上に載置されるように構成されたシートであり、ステンレスや耐熱プラスチックの材料から構成される。シート14には、複数の吸引孔30が設けられているとともに、ワークの反り形状に対応した載置形状を形成するための4つの孔24貫通孔が設けられている。図3に示される治具60は、4つの樹脂パッケージが形成されたワークを切断することを想定しており、シート14には各樹脂パッケージに対応する位置に同じ大きさ及び形状の孔24が形成されている。ただし、それぞれの反りに対応した孔24が異なる大きさ及び形状を有するように構成してもよい。なお、図3では、1枚のシート14のみが用いられるが、複数枚のシートを積層させて用いることもできる。40は、シート14の上に載置されるように構成された吸着ゴムシートである。吸着ゴムシート40には、複数の吸引孔41が設けられている。治具60の上にシート14及び吸着ゴムシート40を順に載置した後、押さえプレート61、62、63、64を用いて吸着ゴムシート40の4つの端を押さえる。そして図3bに示されるように、ネジ67、68を用いて押さえプレート63、64をそれぞれ治具60に固定する押さえプレート61、62も同様にネジで固定される。治具60の上にシート14及び吸着ゴムシート40が順に載置されて吸引孔65、30、41が重なることにより、吸着ゴムシート40の上に載置されるワークが真空ポンプで吸引され、安定した切断が可能となる。このように、治具60、シート14、及び、吸着ゴムシート40のそれぞれに設けられた複数の吸引孔65、30、41を介してワークの真空吸着を行うことで、シート14の孔24によりワークの反り形状に対応した載置形状が形成される。図4は、本実施例におけるワークの反りとシートとの関係図であり、図4aはワークが下向きに反っている状態下反り、図4bはワークが上向きに反っている状態上反りをそれぞれ示す。図4aに示されるように孔25を設けたシート15を用いてワークを真空吸着すると、吸着ゴムシート40の中央部は孔25に嵌まり込むように下向きに吸引される。このとき、吸着ゴムシート40の上側表面には、下反り状態のワークの表面に対応した形状が形成される。このようにワークが下向きに反っている場合、中央部に比較的大きな孔25を設けたシート15を用いてワークの下反りに対応した載置形状を形成することができる。図4bに示されるように孔26a、26bを設けたシート16を用いてワークを真空吸着すると、吸着ゴムシート40の中央部を除いた左右の位置において、吸着ゴムシート40は孔26a、26bに嵌まり込むように下向きに吸引される。このとき、吸着ゴムシート40の上側表面には、上反り状態のワークの表面に対応した形状が形成される。このようにワークが上向きに反っている場合、中央部を除いた左右の位置に孔26a、26bを設けたシート16を用いてワークの上反りに対応した載置形状を形成することができる。図5は、本実施例における3つの樹脂パッケージを備えたワークの側面図であり、図5aは下反り状態のワーク50aリードフレーム51a上に3つの樹脂パッケージ52aが設けられている、図5bは平面状態反りのない状態のワーク50bリードフレーム51b上に3つの樹脂パッケージ52aが設けられているをそれぞれ示す。図5bに示されるように反りのないワーク50bを切断する際には、上述のシートに反りに対応した孔を形成する必要はない。一方、図5aに示されるように反りのあるワーク50aを切断する際には、3つの樹脂パッケージ52aのそれぞれに対応する位置において、シートに適切な大きさ及び形状を有する孔を形成ことにより、ワーク50aの反り形状に対応した載置形状を形成することができる。本実施例によれば、ステンレスや耐熱プラスチックにより構成されたシートに、レーザ切断やウォータージェット切断などの方法を用いて貫通孔を形成する。また、複数のシートを積層して用いることで、ワークの種々の反り状態に簡易に対応可能である。このため、従来のように吸着ゴムシートに凹部等の複雑な形状を形成する場合に比べて、安価なものとなる。従って、本実施例によれば、ワークの反り形状に対応した載置形状を安価なシートに形成してワークを切断可能に把持するワーク吸引治具、及び、そのような吸引治具を用いたワーク把持方法を提供することができる。以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。