プロトン伝導性を有する電解質膜の膜面にアノード、カソードの両電極触媒層を接合した膜電極接合体と、それぞれの前記電極触媒層にガス導入を図るガス流路とを有する燃料電池の検査方法であって、前記アノードの側の前記電極触媒層に燃料ガスを、前記カソードの側の前記電極触媒層に酸化剤ガスを、前記ガス流路を経てそれぞれ供給し、前記燃料電池の発電を検査した後に、前記アノードの側の前記ガス流路と前記カソードの側の前記ガス流路の両ガス流路の飽和水蒸気圧を低減する第1工程と、前記両ガス流路に不活性ガスを導入し、前記両ガス流路の前記燃料ガスと前記酸化剤ガスを前記不活性ガスにてパージする第2工程とを実行する燃料電池の検査方法。前記第1工程は、前記両ガス流路における飽和水蒸気圧の低減を、前記燃料電池を冷却することで行う請求項1に記載の燃料電池の検査方法。請求項1または請求項2に記載の燃料電池の検査方法であって、前記第2工程は、前記両ガス流路に加湿状態の不活性ガスを導入する第1パージと、前記両ガス流路に乾燥状態の不活性ガスを導入する第2パージとをこの順に順次実行し、前記第1パージを、前記電解質膜の湿潤が前記燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態を超える状態となるまで継続し、前記第2パージを、前記電解質膜の湿潤が前記燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態に近似するまで継続する燃料電池の検査方法。請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の燃料電池の検査方法であって、前記第2工程に続いて、前記アノードの側の前記ガス流路に残存する前記燃料ガスの消失化を図る第3工程を実行する燃料電池の検査方法。前記第3工程は、前記残存する前記燃料ガスの消失化を、前記アノードの側の前記ガス流路への不活性ガスの導入と、前記カソードの側の前記ガス流路への前記酸化剤ガスの導入とで行う請求項4に記載の燃料電池の検査方法。プロトン伝導性を有する電解質膜の膜面にアノード、カソードの両電極触媒層を接合した膜電極接合体と、それぞれの前記電極触媒層にガス導入を図るガス流路とを有する燃料電池の検査装置であって、前記アノードの側の前記電極触媒層に燃料ガスを、前記カソードの側の前記電極触媒層に酸化剤ガスを、前記ガス流路を経てそれぞれ供給して、前記燃料電池の発電状況を検査する検査部と、該検査部による検査を経た前記燃料電池を冷却することで、前記アノードの側の前記ガス流路と前記カソードの側の前記ガス流路の両ガス流路の飽和水蒸気圧を低減する冷却部と、前記飽和水蒸気圧の低減後に、前記両ガス流路に加湿状態の不活性ガスを導入して、前記両ガス流路の前記燃料ガスと前記酸化剤ガスを前記不活性ガスにてパージし、該パージを前記電解質膜の湿潤が前記燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態を超える状態となるまで継続する第1パージ部と、該第1パージ部による不活性ガスパージの後に、前記両ガス流路に乾燥状態の不活性ガスを導入して、前記両ガス流路の前記燃料ガスと前記酸化剤ガスを前記不活性ガスにてパージし、該パージを前記電解質膜の湿潤が前記燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態に近似するまで継続する第2パージ部と、該第2パージ部による不活性ガスパージの後に、前記アノードの側の前記ガス流路に不活性ガスを導入し、前記カソードの側の前記ガス流路には前記酸化剤ガスを導入することで、前記アノードの側の前記ガス流路に残存する前記燃料ガスを前記導入した前記酸化剤ガスを介して消失させる第パージ部とを備える燃料電池の検査装置。ところで、上記の検査手法では、その発電検査の際に燃料電池に供給していた燃料ガスと酸化剤ガスを、そのパージのために不活性ガスに切り換えるに過ぎないことから、不活性ガスは、燃料電池が定常の発電状態にある場合の燃料温度約60~85°Cの状況下で供給される。その一方、パージのための不活性ガス供給は、所定の期間、例えば、アノードのガス流路の残留水素が消失して燃料電池の正負端子間の電圧がゼロとなるまでの期間に亘って、通常、継続される。そうすると、燃料電池温度がある程度高い状態での不活性ガスの継続供給により、ガス流路中の水分水蒸気ばかりか電解質膜を湿潤させている水分までも持ち去れてしまい、電解質膜の湿潤が損なわれてしまうことが危惧される。そして、電解質膜が湿潤不足のままであると、不活性ガスによるパージを含む発電検査後における燃料電池の初期運転の際に、所望の発電出力を得られない可能性がある。本発明は、上記した課題を踏まえ、燃料電池の初期運転の際の性能向上をもたらす新たな発電検査手法を提供することを目的とする。上記した目的の少なくとも一部を達成するために、本発明は、以下の適用例として実施することができる。適用例1:燃料電池の検査方法プロトン伝導性を有する電解質膜の膜面にアノード、カソードの両電極触媒層を接合した膜電極接合体と、それぞれの前記電極触媒層にガス導入を図るガス流路とを有する燃料電池の検査方法であって、前記アノードの側の前記電極触媒層に燃料ガスを、前記カソードの側の前記電極触媒層に酸化剤ガスを、前記ガス流路を経てそれぞれ供給し、前記燃料電池の発電を検査した後に、前記アノードの側の前記ガス流路と前記カソードの側の前記ガス流路の両ガス流路の飽和水蒸気圧を低減する第1工程と、前記両ガス流路に不活性ガスを導入し、前記両ガス流路の前記燃料ガスと前記酸化剤ガスを前記不活性ガスにてパージする第2工程とを実行することを要旨とする。この適用例1の燃料電池の検査方法では、燃料ガスと酸化剤ガスの供給を行う発電検査の後に不活性ガスによるパージを行うに当たり、その不活性ガスパージの前に、アノードとカソードの両ガス流路の飽和水蒸気圧を低減しておく。飽和水蒸気圧の低下は、ガス流路の水分水蒸気が少なくなることと、電解質膜を湿潤させている水分が流路中に蒸発しがたい状況をもたらす。このため、上記の適用例1の燃料電池の検査方法では、両ガス流路の飽和水蒸気圧が低い状態で不活性ガスパージを行うので、不活性ガスによる水分の持ち去りを抑制でき、電解質膜の湿潤を大きく損なわないようにできる。この結果、適用例1の燃料電池の検査方法によれば、燃料電池の初期運転に際しては、所望の発電出力を得られない事態を招きがたくでき、初期運転の性能向上をもたらすことが可能となる。上記した適用例1の燃料電池は、次のような態様とすることができる。例えば、前記第1工程においては、前記両ガス流路における飽和水蒸気圧の低減を、前記燃料電池を冷却することで行うようにでき、こうすれば、ガス流路の飽和水蒸気圧を簡便に低減できる。また、前記第2工程については、これを、前記両ガス流路に加湿状態の不活性ガスを導入する第1パージと、前記両ガス流路に乾燥状態の不活性ガスを導入する第2パージとをこの順に順次実行し、その際に、前記第1パージを、前記電解質膜の湿潤が前記燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態を超える状態となるまで継続し、前記第2パージを、前記電解質膜の湿潤が前記燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態に近似するまで継続するようにできる。こうすれば、電解質膜の湿潤は、加湿不活性ガスによる第1パージにて、一旦、湿潤過多となるものの、乾燥不活性ガスによる第2パージにて、燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態に近似する。つまり、この態様では、電解質膜の乾燥をもたらさないので、膜乾燥に伴う損傷等の不具合を回避できる。この場合、第2パージ工程は、両ガス流路の燃料ガス酸化剤ガスを不活性ガスにてパージするものであることから、第1パージにて乾燥不活性ガスでパージし、第2パージでは加湿不活性ガスでパージすることも可能であるが、上記の態様では、既述したように電解質膜の乾燥に伴う損傷等の不具合を回避できる点で、有益となる。なお、第1パージを乾燥不活性ガスでのパージとし、第2パージを加湿不活性ガスでのパージとする際には、第1パージにおいて電解質膜の過度の乾燥を招かないようにすればよい。また、前記第2工程に続いて、前記アノードの側の前記ガス流路に残存する前記燃料ガスの消失化を図る第3工程を実行するようにできる。こうすれば、アノードの側のガス流路における残存燃料ガスを消失させるので、燃料電池の初期運転の際に残存していた燃料ガスがその残存箇所において電気化学反応に供されてしまうことを抑制できる。よって、この態様によれば、燃料電池の初期運転に際しては、所望の発電出力を得られない事態をより招きがたくでき、初期運転の性能向上の上から有益である。そして、前記第3工程における前記残存する前記燃料ガスの消失化については、これを、前記アノードの側の前記ガス流路への不活性ガスの導入と、前記カソードの側の前記ガス流路への前記酸化剤ガスの導入とで行うようにできる。こうすれば、アノードの側のガス流路に仮に燃料ガスが残留していても、その残留ガス中の燃料をカソードの側のガス流路に導入した酸化剤ガスにて、電気化学反応に供して消失できる。そして、この燃料消失は短時間で起きることから、検査時間の短縮化を図ることができる。適用例2:燃料電池の検査装置プロトン伝導性を有する電解質膜の膜面にアノード、カソードの両電極触媒層を接合した膜電極接合体と、それぞれの前記電極触媒層にガス導入を図るガス流路とを有する燃料電池の検査装置であって、前記アノードの側の前記電極触媒層に燃料ガスを、前記カソードの側の前記電極触媒層に酸化剤ガスを、前記ガス流路を経てそれぞれ供給して、前記燃料電池の発電状況を検査する検査部と、該検査部による検査を経た前記燃料電池を冷却することで、前記アノードの側の前記ガス流路と前記カソードの側の前記ガス流路の両ガス流路の飽和水蒸気圧を低減する冷却部と、前記飽和水蒸気圧の低減後に、前記両ガス流路に加湿状態の不活性ガスを導入して、前記両ガス流路の前記燃料ガスと前記酸化剤ガスを前記不活性ガスにてパージし、該パージを前記電解質膜の湿潤が前記燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態を超える状態となるまで継続する第1パージ部と、該第1パージ部による不活性ガスパージの後に、前記両ガス流路に乾燥状態の不活性ガスを導入して、前記両ガス流路の前記燃料ガスと前記酸化剤ガスを前記不活性ガスにてパージし、該パージを前記電解質膜の湿潤が前記燃料電池の定常の発電状態における湿潤状態に近似するまで継続する第2パージ部と、該第2パージ部による不活性ガスパージの後に、前記アノードの側の前記ガス流路に不活性ガスを導入し、前記カソードの側の前記ガス流路には前記酸化剤ガスを導入することで、前記アノードの側の前記ガス流路に残存する前記燃料ガスを前記導入した前記酸化剤ガスを介して消失させる第パージ部とを備えることを要旨とする。上記した適用例2の燃料電池の検査装置によれば、燃料電池の初期運転の性能向上をもたらし得る発電検査を短時間の内に簡便に行うことができる。以下、本発明の実施の形態について、その実施例を図面に基づき説明する。図1は本発明の一実施例としての燃料電池検査システムの構成を示す概略図である。この燃料電池検査システム1000は、燃料電池100の出荷に先立ちその発電性能を検査するシステムである。燃料電池検査システム1000は、燃料電池100と、制御部200と、燃料ガス供給部310と、酸化剤ガス供給部320と、冷媒供給部330と、不活性ガス供給部340と、発電検査部400と、測定用短絡抵抗430と、背圧制御部450とを備える。燃料ガス供給部310を始めとする上記機器は、燃料電池検査システム1000における燃料電池100のセット架台500の周囲に配設され、このセット架台500にセットされた燃料電池100に接続される。例えば、燃料ガス供給部310と酸化剤ガス供給部320、不活性ガス供給部340にあっては、セット架台500の側の第2水素配管312や第2酸素配管322を燃料電池100の図示しないガスマニホールドにカプラ等の接続機器にて接続する。背圧制御部450は、セット架台500の側にて、アノード排ガス配管318やカソード排ガス配管328を燃料電池100の図示しないガスマニホールドにカプラ等の接続機器にて接続する。発電検査部400や測定用短絡抵抗430にあっては、その配線を燃料電池100の図示しない接続ターミナルにて電気的に接続する。燃料電池100は、反応ガスとして水素と酸素の供給を受けて発電する固体高分子型燃料電池であり、発電体である単セル110を複数積層されたスタック構造を有する。単セル110は、図1の拡大模式図に示すように、電解質膜111の両膜面にアノード112とカソード113の両電極触媒層を接合させた膜電極接合体MembraneElectrodeAssembly/MEAを備える。また、単セル110は、電極形成済みの電解質膜111を両側から挟持するアノード側ガス拡散層114とカソード側ガス拡散層115とを備え、両ガス拡散層は、対応する電極に接合されている。この両ガス拡散層の外側には、それぞれガスセパレーターが位置し、このガスセパレーターは、該当するガス拡散層に対して水素を含有する燃料ガス、酸素を含有する酸化剤ガス本実施例では、空気を供給すると共に、セルからの集電の機能も果たす。電解質膜111は、固体高分子材料、例えばフッ素系樹脂により形成されたプロトン伝導性のイオン交換膜であり、湿潤状態で良好なプロトン伝導性を示す。アノード112およびカソード113は、触媒例えば白金、あるいは白金合金を備えており、これらの触媒を、導電性を有する担体例えば、カーボン粒子上に担持させることによって形成されている。アノード側ガス拡散層114とカソード側ガス拡散層115は、ガス透過性を有する導電性で多孔質な部材、例えば、カーボンペーパやカーボンクロスを多孔質基材として形成される。そして、この単セル110は、アノード112に水素を、カソード113に酸素含有の空気の供給を受けて発電する。単セル110は、アノード112およびカソード113においてセル内のガス流路を、上記のアノード側ガス拡散層114やカソード側ガス拡散層115の細孔、或いはこれらガス拡散層に接合した導電性の多孔質体にて構成する。制御部200は、CPUやROM、RAMを備えマイクロコンピュータとして構成され、後述の圧力センサー361等の各種センサーから入力したセンサー信号に基づいて、第1切換バルブ313等のバルブを始めとする制御機器を駆動制御する。制御部200は、こうした機器制御を後述の手順に従って実行することで、燃料ガス供給部310からの水素ガス供給や、酸化剤ガス供給部320からの空気供給、不活性ガス供給部340からの不活性ガス本実施例では、窒素ガスの供給、冷媒供給部330による冷媒循環等を行う。燃料ガス供給部310は、水素の供給源として、例えば、水素タンクや、原料を改質して水素リッチなガスを生成する改質器を備えるよう構成され、下流側に水素ガスを圧送する。燃料ガス供給部310から燃料電池100のアノード側には、第1水素配管311と第2水素配管312とで構成される流路と、第1水素配管311から分岐して第2水素配管312に合流するバイパス配管314の流路のいずれかを経て、水素ガスが供給される。第1水素配管311には、第1切換バルブ313と第2切換バルブ315が配設され、第2切換バルブ315より下流の第2水素配管312にはヒーター316が、バイパス配管314には加湿器317が配設されている。ヒーター316は、通過するガスを加熱して乾燥させて乾燥後のガスを下流に通過させ、その際のガス温度については、これを、単セル110の電解質膜111の乾燥を不用意に招かない温度、例えば、約20~30°C程度の常温とする。加湿器317は、通過するガスを加湿するよう構成され、その加湿程度は制御部200からの制御信号により調整可能である。本実施例では、後述するように、加湿器317にて約12の加湿程度とするよう、設定されている。第1切換バルブ313は、制御部200からの制御信号を受けて駆動し、燃料ガス供給部310からの第1水素配管311と不活性ガス供給部340からのアノード側接続配管341のいずれか一方を、バルブ下流の流路に繋げる。第2切換バルブ315は、制御部200からの制御信号を受けて駆動し、ヒーター316をバイパスしたバイパス配管314へのガスの分岐流入と、第2水素配管312へのガス流入とを切り換える。このため、第1切換バルブ313と第2切換バルブ315の制御状況によって、燃料電池100のアノード側には、ヒーター316にて乾燥された水素ガス或いは加湿器317にて加湿された水素ガスのいずれか、または、ヒーター316にて乾燥された窒素ガス或いは加湿器317にて加湿された窒素ガスのいずれかのガスが供給可能となる。上記両バルブの制御の様子と燃料電池100に供給されるガスについては、後述する。この他、第1水素配管311には、水素の供給量供給圧力を制御するためのレギュレータや逆止弁、インジェクタが設けられているが、その図示および説明は省略する。第2水素配管312には、圧力センサー361が設けられており、その計測結果アノード入口側圧力は制御部200へと送信される。酸化剤ガス供給部320は、酸素の供給源として、例えば、高圧空気を出力するエアコンプレッサを備える構成、或いは高圧酸素を貯蔵するタンクを備える構成とされ、下流側に空気を圧送する。この酸化剤ガス供給部320にあっても、既述した燃料ガス供給部310と同様の流路構成を備え、燃料電池100のカソード側に到る第1酸素配管321と第2酸素配管322とで構成される流路と、第1酸素配管321から分岐して第2酸素配管322に合流するバイパス配管324の流路とを有する。第1酸素配管321には、第1切換バルブ323と第2切換バルブ325が配設され、第2切換バルブ325より下流の第2酸素配管322には通過するガスを加熱して乾燥するヒーター326が、バイパス配管324には通過するガスを加湿する加湿器327が配設されている。この場合、ヒーター326は、既述したヒーター316と同様の構成であり、加湿器327にあっても加湿器317と同様である。第1切換バルブ323は、制御部200からの制御信号を受けて駆動し、酸化剤ガス供給部320からの第1酸素配管321と不活性ガス供給部340からのアノード側接続配管341のいずれか一方を、バルブ下流の流路に繋げる。第2切換バルブ325は、制御部200からの制御信号を受けて駆動し、ヒーター326をバイパスしたバイパス配管324へのガスの分岐流入と、第2酸素配管322へのガス流入とを切り換える。このため、第1切換バルブ323と第2切換バルブ325の制御状況によって、燃料電池100のカソード側には、ヒーター326にて乾燥された空気或いは加湿器327にて加湿された空気のいずれか、または、ヒーター326にて乾燥された窒素ガス或いは加湿器327にて加湿された窒素ガスのいずれかのガスが供給可能となる。上記両バルブの制御の様子と燃料電池100に供給されるガスについては、後述する。この他、第1酸素配管321には、燃料電池100への酸素含有の空気の供給を制御するための開閉バルブが設けられているが、その図示および説明は省略する。第2酸素配管322には、圧力センサー362が設けられており、その計測結果カソード入口側圧力を制御部200へと送信される。燃料電池100のアノードおよびカソードの排気側では、図示しない排出用マニホールドにアノード排ガス配管318とカソード排ガス配管328とが接続される。アノード、カソードの両排ガス配管は、各単セル110を通過したガス、詳しくはセル内流路を通過したガスを流路途中の背圧制御部450を経て外部に排出する。背圧制御部450は、アノード排ガス配管318とカソード排ガス配管328の各排ガス配管ごとの圧力調整バルブ319、329や背圧計測のための図示しない圧力センサー等を備え、上記排ガス配管ごとにその背圧を調整する。不活性ガス供給部340は、不活性ガスとしての窒素ガスを貯蔵するタンクと、ガス圧送用のポンプとを備え、下流側に窒素ガスを圧送する。また、この不活性ガス供給部340は、アノード側接続配管341を介して、第1水素配管311の第1切換バルブ313に接続されるとともに、カソード側接続配管342を介して、第1酸素配管321の第1切換バルブ323に接続されている。よって、不活性ガス供給部340から燃料電池100には、上記の切換バルブ操作を経て窒素ガスが供給される。冷媒供給部330は、冷媒供給用配管331と冷媒排出用配管332とを有し、両配管を燃料電池100の図示しない冷媒マニホールドに接続させて、燃料電池100を含む冷媒循環系を構成する。冷媒供給部330は、冷媒と外気とを熱交換させるための図示しない熱交換器と、燃料電池100を含む冷媒循環系において冷媒を循環させるための図示しない駆動ポンプとを備える。冷媒供給用配管331および冷媒排出用配管332には、冷媒の温度を計測するイン側温度センサー365とアウト側温度センサー366が設けられている。制御部200は、2つのセンサー計測値の差から燃料電池100の運転温度を計測する。そして、制御部200は、冷媒供給部330における駆動ポンプの回転数を制御することにより、燃料電池100への冷媒循環量を制御し、燃料電池100の温度を制御する。測定用短絡抵抗430は、スイッチ432を介して燃料電池100の図示しない正負極の出力ターミナルと電気的に接続され、制御部200からの制御信号に基づいたスイッチ432の回路閉動作にて、燃料電池100の発電電力を消費する。測定用短絡抵抗430の抵抗値は、後述の発電検査の際の発電電力に合わせて予め調整されており、燃料電池100の出力規格に応じてその抵抗値は種々設定可能である。発電検査部400は、後述の発電検査の際の単セル110のそれぞれの発電電力出力を制御部200からの制御信号を経て検査すると共に、単セル110のそれぞれの湿潤状態を、セルごとのインピーダンスmΩ/セルとして計測するよう構成されている。次に、燃料電池100についてその出荷前に行う検査手順について説明する。図2は燃料電池検査システム1000を用いて行う出荷前検査の手順を示すフローチャートである。図示するように、まず、燃料電池100が図1に示した燃料電池検査システム1000のセット架台500にセットされるステップS10。このステップS10では、作業員にて燃料電池100の全てのマニホールドに既述した第2水素配管312等が接続される。この配管接続については、これを、配管接続治具により行うようにすることもできる。燃料電池100のセットに続き、燃料電池100についての発電検査を実行するステップS20。このステップS20では、制御部200は、水素ガスおよび空気を供給すべく、次の機器制御を行う。ガス供給側では、制御部200は、水素ガス側の第1切換バルブ313と空気側の第1切換バルブ323とを切換制御して、第1水素配管311と第1酸素配管321とをバルブ下流流路に繋ぎ、不活性ガス供給部340からのアノード側接続配管341およびカソード側接続配管342とについては、流路を閉鎖する。制御部200は、このバルブ制御と同時に、第2切換バルブ315と第2切換バルブ325とについて、ガスの通過流路をバイパス配管314、324に切換制御する。ガス排出側では、制御部200は、背圧制御部450の圧力調整バルブ319、329のバルブ調整を介して、排出ガスの背圧を調整する。加えて、制御部200は、スイッチ432を回路閉鎖制御して、測定用短絡抵抗430を燃料電池100に接続する。この場合、制御部200は、ステップS20の発電検査の終了と共に、スイッチ432を回路開放制御して、測定用短絡抵抗430の接続を絶つ。なお、上記したバルブ位置がイニシャルバルブ位置である。上記したバルブ制御により、燃料電池100を構成するそれぞれの単セル110のアノード112には、燃料ガス供給部310からの水素ガスが加湿状態で供給され、カソード113には、冷媒供給部330からの空気が加湿状態で供給され、燃料電池100は、こうしたガス供給を受けて発電する。この発電電力は、測定用短絡抵抗430にて消費される。制御部200は、水素と空気のそれぞれのガス供給量を、燃料電池100が定常の規定電力で発電することを想定した場合の供給量規定供給量に調整する。また、制御部200は、イン側温度センサー365やアウト側温度センサー366のセンサー信号を入力しつつ冷媒供給部330を制御して冷媒循環を調整し、燃料電池100が定常の規定電力で発電することを想定した場合の運転温度、例えば、65~80°Cの温度に制御する。なお、燃料電池100が定常の規定電力で発電する状況を、以下、単に燃料電池100の通常運転とも称する。発電検査部400は、上記したステップS20において、制御部200からの制御信号を受けて、燃料電池100に含まれる単セル110のそれぞれの発電電力出力を検査する。この検査結果は、制御部200に送信され、制御部200は、この検査結果を記憶する。なお、制御部200にて発電適否を判定するようにして、仮に、発電不適であれば、その発電不適の燃料電池100をセル交換に回すようにできる。つまり、単セル110ごとの検査が可能なため、発電不適のセルを特定できるので、そのセルを交換すればよい。上記した発電検査に続き、燃料電池100の冷却を図るステップS30。このステップS30では、制御部200は、ステップS20で制御したガス供給側および排出側のバルブを流路閉鎖側に切り換えてガス供給を停止する。その上で、制御部200は、イン側温度センサー365やアウト側温度センサー366のセンサー信号を入力しつつ冷媒供給部330を電池冷却側に制御して、燃料電池100を室温まで冷却し、燃料電池100の温度を室温に維持制御する。この冷却制御により、燃料電池100の単セル110では、セル内流路の飽和水蒸気圧が下がることになる。なお、燃料電池100の室温維持は、後述する全てのガスパージ工程においても継続される。燃料電池100の冷却に続き、加湿不活性ガスでのバージを図るステップS40。このステップ30で、制御部200は、次の機器制御を行う。ガス供給側では、制御部200は、水素ガス供給側の第1切換バルブ313と空気供給側の第1切換バルブ323とを切換制御して、不活性ガス供給部340からのアノード側接続配管341およびカソード側接続配管342とをバルブ下流流路に繋ぎ、燃料ガス供給部310からの第1水素配管311および酸化剤ガス供給部320からの第1酸素配管321とについては、流路を閉鎖する。制御部200は、このバルブ制御と同時に、第2切換バルブ315、325について、ガスの通過流路をバイパス配管314、324に切換制御する。ガス排出側では、制御部200は、背圧制御部450の圧力調整バルブ319、329のバルブ調整を介して、排出ガスの背圧調整を継続する。なお、第2切換バルブ315と第2切換バルブ325およびガス排出側のバルブ操作は、ステップS20と同じであることから、これらバルブについては、ステップS20でのバルブ制御が継続されることになる。上記したバルブ制御により、燃料電池100を構成するそれぞれの単セル110のアノード112には、不活性ガス供給部340からの窒素ガスが加湿状態で供給され、カソード113には、同じく不活性ガス供給部340からの窒素ガスが加湿状態で供給される。こうして供給される窒素ガスは、発電に関与しないことから、ステップS40の以前に単セル110のそれぞれに残留していた水素ガスおよび空気を電池外に排出するので、燃料電池100、詳しくは単セル110のそれぞれのアノード112およびカソード113は、加湿窒素ガスでパージされる。こうしたバージは、既述したガス拡散層や多孔質体にて構成されたセル内ガス流路にて行われるが、単にアノード或いはカソードがパージされるとして、以下説明する。本実施例では、ステップS40にて加湿状態の窒素ガスをアノードおよびカソードに供給するに当たり、不活性ガス供給部340および加湿器317、327の制御を経て、水蒸気を12以上含む加湿窒素ガスを、単セル110の各セル単位で300ml/minの流量でアノードおよびカソードに供給する。このような加湿窒素ガスでのパージを図ることで、燃料電池100の単セル110では、その有する電解質膜111を湿潤させつつ、残留水素ガスおよび残留空気を電解質膜111の乾燥を抑制した上で電池外に排出できる。また、パージガスが不活性な窒素ガスであるため、アノードにおいては水素の燃焼を起こさないので、パージ過程での水分生成を回避できる。制御部200は、上記した加湿窒素ガスでのパージの間において、発電検査部400の計測した単セル110のセルごとのインピーダンスmΩ/セルを入力する。その一方、制御部200は、単セル110の湿潤状態とインピーダンスmΩ/セルとの相関関係を予め記憶しており、計測したセルごとのインピーダンスmΩ/セルを、記憶した上記の相関関係に照合する。そして、制御部200は、こうした照合を経て、上記した加湿窒素ガスでのパージを、それぞれの単セル110の電解質膜111の湿潤が燃料電池100の通常運転時の湿潤状態を超える程度まで継続する。本実施例では、それぞれの単セル110における電解質膜111の湿潤が約0.1mΩ/セルのインピーダンスに対応する湿潤状態となるまで、加湿窒素ガスでのパージを継続することとした。このように湿潤化を図ることでも、単セル110の電解質膜111の乾燥を抑制できる。なお、燃料電池100の通常運転時の電解質膜111の湿潤状態は、通常、0.14~0.54mΩ/セルである。加湿窒素ガスによるパージに続き、乾燥不活性ガスでのバージを図るステップS50。このステップ40で、制御部200は、第1切換バルブ313、323についてはバルブ位置を維持した上で、第2切換バルブ315、325については、ガスの通過流路をバイパス配管314、324から第2水素配管312、第2酸素配管322に切り換える。ガス排出側では、バルブ制御が継続される。上記したバルブ制御により、燃料電池100のアノードには、不活性ガス供給部340からの窒素ガスが乾燥状態で供給され、カソードには、同じく不活性ガス供給部340からの窒素ガスが乾燥状態で供給される。こうして供給される乾燥窒素ガスは、ステップS40で供給された加湿窒素ガスを電池外に排出するので、燃料電池100、詳しくは単セル110のそれぞれのアノードおよびカソードは、乾燥窒素ガスでパージされる。本実施例では、ステップS50にて乾燥状態の窒素ガスをアノードおよびカソードに供給するに当たり、不活性ガス供給部340およびヒーター316、326の制御を経て、水蒸気をほぼ含まずその温度も約20~30°C程度の乾燥窒素ガスを、単セル110の各セル単位で300ml/minの流量でアノードおよびカソードに供給する。このような乾燥窒素ガスでのパージを図ることで、燃料電池100の単セル110では、電解質膜の湿潤を後述するように徐々に緩和しつつ、それ以前に残留していた加湿窒素ガスを電池外に排出する。制御部200は、上記した乾燥窒素ガスでのパージの間においても、発電検査部400の計測した単セル110のセルごとのインピーダンスmΩ/セルを入力して、既述した相関関係に照合する。そして、制御部200は、こうした照合を経て、上記した乾燥窒素ガスでのパージをそれぞれの単セル110の電解質膜111の湿潤状態が燃料電池100の通常運転時の湿潤状態に近づくまで継続する。一般に、燃料電池100の通常運転時には、単セル110の電解質膜111の湿潤状態は、0.14~0.54mΩ/セルのインピーダンスに対応する湿潤状態であることが望ましいとされている。つまり、ステップS40では、電解質膜111の乾燥を抑制しつつ残留水素ガスおよび残留空気を電池外に排出するものの、約0.1mΩ/セルのインピーダンスに対応する湿潤状態では湿潤過多となる。よって、これを解消すべく、本実施例では、ステップS50にて、それぞれの単セル110における電解質膜111の湿潤状態が約0.3mΩ/セルのインピーダンスに対応する湿潤状態となるまで、乾燥窒素ガスでのパージを継続することとし、それぞれの単セル110の電解質膜111の湿潤状態を徐々に緩和して燃料電池100の通常運転時の湿潤状態に近づける。このことは、ステップS40で湿潤過多とした単セル110の電解質膜111を、燃料電池100の通常運転時の湿潤状態に近づくよう乾燥窒素ガスパージにより徐々に乾燥させることを意味する。その後、アノードについては乾燥窒素ガスでのパージを継続した上で、カソードについては乾燥状態の空気でのパージを図るステップS60。このステップ50で、制御部200は、水素ガス供給側の第1切換バルブ313と第2切換バルブ315、および空気供給側の第2切換バルブ325についてはバルブ位置を維持する。その上で、制御部200は、空気供給側の第1切換バルブ323を切換制御して、酸化剤ガス供給部320からの第1酸素配管321をバルブ下流流路に繋ぎ、不活性ガス供給部340からのカソード側接続配管342については、流路を閉鎖する。ガス排出側では、制御部200は、背圧制御部450の圧力調整バルブ319、329のバルブ調整を介して、排出ガスの背圧調整を継続する。上記したバルブ制御により、燃料電池100を構成するそれぞれの単セル110のアノードには、乾燥窒素ガスの供給が継続され、カソードには、酸化剤ガス供給部320からの空気が乾燥状態で供給される。こうしてアノードでは、乾燥窒素ガスによるパージが継続され、カソードでは、ステップS50で供給された乾燥窒素ガスが電池外に排出されて、単セル110のそれぞれのカソードは、乾燥空気でパージされる。本実施例では、ステップS60にてアノードに乾燥窒素ガスを、カソードに乾燥空気を供給するに当たり、燃料ガス供給部310と不活性ガス供給部340、およびヒーター316、326の制御を経て、水蒸気をほぼ含まずその温度も約20~30°C程度の乾燥窒素ガスと乾燥空気を、単セル110の各セル単位で300ml/minの流量でアノードおよびカソードに供給する。このような乾燥窒素ガス或いは乾燥空気でのパージを図ることで、燃料電池100の単セル110では、電解質膜111の湿潤を既述したように徐々に緩和しつつ、アノードでは乾燥窒素ガスのパージが、カソードでは、それ以前に残留していた乾燥窒素ガスを電池外に排出して乾燥空気によるパージがなされる。制御部200は、上記した乾燥窒素ガスおよび乾燥空気でのパージの間においても、発電検査部400の計測した単セル110のセルごとのインピーダンスmΩ/セルを入力して、既述した相関関係に照合する。そして、制御部200は、こうした照合を経て、上記した乾燥窒素ガスおよび乾燥空気でのパージをそれぞれの単セル110における電解質膜111の湿潤状態が燃料電池100の通常運転時の湿潤状態にほぼ一致するまで継続する。つまり、ステップS60では、それぞれの単セル110の電解質膜111の湿潤状態が約0.4mΩ/セルのインピーダンスに対応する湿潤状態となるまで、乾燥窒素ガスおよび乾燥空気でのパージを継続することとし、それぞれの単セル110における電解質膜111の湿潤状態を燃料電池100の通常運転時の湿潤状態により近づける。乾燥空気によりパージが完了すると、燃料電池100の取り外しがなされステップS70、出荷前検査が全て終了する。このステップS70では、制御部200は、次回の出荷前検査に備えて、燃料ガス供給部310、酸化剤ガス供給部320および不活性ガス供給部340について、ガス圧送を停止した上で、既述した各バルブをイニシャルバルブ位置に復帰させる。その後、作業員にて燃料電池100の全てのマニホールドにおける配管接続が解かれ、燃料電池100がセット架台500から取り外される。配管接続の解除については、これを、配管接続治具により行うようにすることもできる。この配管接続の解除に続き、作業員の手作業もしくはキャップ装着治具の自動装着動作にて、取り外し済みの燃料電池100の供給側および排出側のマニホールドにキャップが装着される。キャップ装着済みの燃料電池100は、燃料電池100を用いたシステム、例えば、燃料電池相殺車両に搭載すべく、或いは、燃料電池発電システムに組み込むべく出荷される。以上説明したように、本実施例の燃料電池検査システム1000では、燃料電池100が定常の規定電力で発電することを想定した発電検査ステップS20を行った後に不活性ガス窒素ガスによるアノードおよびカソードのパージを行うに当たり、窒素ガスパージの前に、冷媒供給部330を制御して燃料電池100を室温まで冷却し、燃料電池100を室温に維持するステップS30。こうすることで、燃料電池検査システム1000は、窒素ガスパージに先立ち、燃料電池100を構成する単セル110のそれぞれにおいて、アノードおよびカソードのセル内流路の飽和水蒸気圧を低減させ、飽和水蒸気圧の低下状況下で、窒素ガスにてアノードおよびカソードをパージするステップS40~40。このため、飽和水蒸気圧の低下により単セル110のアノードおよびカソードのセル内流路の水分水蒸気が少なく、電解質膜111を湿潤させている水分についてもセル内流路中に蒸発しがたい状況において、窒素ガスはパージされることになる。このため、本実施例の燃料電池検査システム1000では、窒素ガスパージによる水分の持ち去りを抑制でき、電解質膜111の湿潤を大きく損なわないようにできる。しかも、本実施例の燃料電池検査システム1000では、電池冷却後の窒素ガスパージを、加湿窒素ガスによるパージ加湿パージ:ステップS40と、乾燥窒素ガスによるパージ乾燥パージ:ステップS50に分けてこの順に実行する。加湿パージでは、水蒸気を12以上含む加湿窒素ガスをパージすることから、この加湿パージの間において、単セル110の電解質膜111を湿潤させつつ、アノードの残留水素ガスおよびカソードの残留空気を、電解質膜111の乾燥を抑制した上で電池外に排出できる。この加湿パージに続く乾燥パージでは、乾燥窒素ガスをパージするものの、その窒素ガスは水蒸気をほぼ含まず約20~30°C程度の温度であるため、パージによる電解質膜111の乾燥過多を招かない。そして、本実施例の燃料電池検査システム1000では、上記した加湿パージを、それぞれの単セル110の電解質膜111の湿潤が燃料電池100の通常運転時の湿潤状態を超える程度まで継続し、これに続く乾燥パージの際の乾燥窒素ガスにて、電解質膜111の湿潤を徐々に緩和する。この乾燥パージは、電解質膜111の湿潤が燃料電池100の通常運転時の湿潤状態に近似するまで継続されるので、電解質膜111の湿潤を、加湿パージにて、一旦、湿潤過多とするものの、加湿パージに続く乾燥パージにて、燃料電池100の通常運転の湿潤状態に近似させる。このため、本実施例の燃料電池検査システム1000によれば、発電検査の後に行う窒素ガスパージ加湿パージおよび乾燥パージにおいて電解質膜111の乾燥をもたらさないので、膜乾燥に伴う損傷等の不具合を高い実効性で回避できる。本実施例の燃料電池検査システム1000は、発電検査後の窒素ガスパージ加湿パージおよび乾燥パージに続いて、アノードでは乾燥窒素ガスでのパージを継続し、カソードでは乾燥空気でのパージを図るステップS60。よって、本実施例の燃料電池検査システム1000によれば、アノードに仮に水素ガスが残存していても、その残存水素ガスの水素をカソードに供給パージした空気の酸素との電気化学反応に供して消失させる。このため、燃料電池100の初期運転の際にアノードに残存していた水素ガスの水素がその残存箇所においてのみ電気化学反応に供されてしまうような事態を回避できる。この結果、本実施例の燃料電池検査システム1000による発電検査を受けた燃料電池100は、既述した電解質膜111の湿潤維持と相まって、その初期運転に際して所望の発電出力を得られないといった事態を起こしがたい。よって、本実施例の燃料電池検査システム1000によれば、燃料電池100の初期運転の性能向上をもたらすことができる。また、燃料電池100を構成するそれぞれの単セル110は、ステップS60でのパージを経た後において、それぞれの単セル110の電解質膜111を燃料電池100の通常運転時の湿潤状態に近似した湿潤状態としている。よって、燃料電池100のそれぞれの単セル110の発電性能が揃うことになるので、ある単セル110が出力低下となって燃料電池100としての出力も低下するような事態を回避できる。また、本実施例の燃料電池検査システム1000では、アノードおよびカソードのセル内流路の飽和水蒸気圧低減を、冷媒供給部330の制御を経た冷媒循環量の調整で簡便に行うことができる。また、本実施例の燃料電池検査システム1000では、アノードにおける残留水素ガスの水素の消失を、カソードへの空気乾燥空気の供給パージにて図るので、短時間のうちに水素消失を図ることができる。よって、検査時間の短縮化を図ることができる。この場合、乾燥空気パージを単セル110のそれぞれの電解質膜111の湿潤状態が燃料電池100の通常運転時の湿潤状態にほぼ一致するまで継続するので、検査完了後の燃料電池100を、その単セル110における電解質膜111の湿潤状態を燃料電池100の通常運転時の湿潤状態により近づける。よって、この点からも初期運転の性能向上に有益となる。また、本実施例の燃料電池検査システム1000では、セット架台500からの燃料電池100の取り外しに際して、燃料電池100の供給側および排出側のマニホールドにキャップを装着する。よって、それぞれの単セル110のセル内流路におけるパージの状況、即ちステップS60の終了時点のパージ状況は、出荷の際の搬送期間、車両への搭載や発電システムへの組み込みがなされるまでの期間に亘って維持される。このため、燃料電池100は残留水素が消失状態でガス供給を受けるので、初期性能の向上により有益となる。以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこのような実施の形態になんら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内において種々なる態様での実施が可能である。例えば、上記の実施例では、燃料電池検査システム1000は、背圧制御部450を含む背圧系機器と冷媒供給部330を含む冷却系機器とを有するが、これらを有しない構成とできる。燃料電池100を用いるシステム、例えば燃料電池搭載車両では、燃料電池100に加えて上記の背圧系機器および冷却系機器と同等の機器を車両に必然的に搭載する。よって、燃料電池100と背圧系機器と冷却系機器とを車両搭載のサブアッシー品として構成し、このサブアッシー品を、燃料電池検査システム1000が有する発電検査部400や測定用短絡抵抗430、およびガス供給系の第2水素配管312等の配管に接続すればよい。また、アノードにおける残留水素の消失をカソードへの乾燥空気パージにて図ったがステップS60、水素消失を次のようにすることもできる。既述した乾燥窒素ガスのパージステップS50に続き、この乾燥窒素ガスパージを継続した上で燃料電池100の正負の出力端子を測定用短絡抵抗430に接続する。そして、この乾燥窒素ガスパージを、正負端子間の電圧がゼロとなるまで継続する。こうしても、アノードにおける残留水素の消失を図ることができる。また、本実施例では、窒素ガスパージを、加湿パージステップS40、乾燥パージステップS50の順に行ったが、乾燥パージ、加湿パージの順とすることもできる。この場合には、先に行う乾燥窒素ガスによるパージにて、電解質膜111を過度に乾燥させないようにすればよい。