板状体を貼着する板状体貼着部と、前記板状体貼着部を保持する板状体保持部と、前記板状体貼着部に対向して配置され、前記板状体貼着部によって貼着される前記板状体の研磨面を研磨する研磨具と、を有する板状体の研磨装置において、前記板状体貼着部は前記研磨具の対向面に平面部分を有し、該平面部分に板状体の貼着部を備え、前記平面部分は、前記板状体保持部によって保持される板状部材から構成され、前記板状部材と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することを特徴とする板状体の研磨装置。前記平面部分は、前記板状体保持部によって保持される板状部材から構成され、前記板状部材と前記板状体保持部との間の空間に、前記板状体保持部に取り付けられた膜体が配置され、前記膜体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有する請求項1に記載の板状体の研磨装置。前記板状体保持部及び前記板状部材が接する箇所に封止部を有する請求項1又は2に記載の板状体の研磨装置。前記平面部分は、開口面を有する箱状体の平面部分から構成され、前記箱状体が前記開口面を介して前記板状体保持部で保持されている請求項1に記載の板状体の研磨装置。前記箱状体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有する請求項4に記載の板状体の研磨装置。前記箱状体と前記板状体保持部との間の空間に、前記板状体保持部に取り付けられた膜体が配置され、前記膜体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有する請求項4に記載の板状体の研磨装置。前記板状体保持部及び前記箱状体が接する箇所に封止部を有する請求項5又は6に記載の板状体の研磨装置。前記平面部分は水平に配置され、該平面部分の上方に前記研磨具が配置されている請求項1~6のいずれか一項に記載の板状体の研磨装置。前記平面部分は水平に配置され、該平面部分の下方に前記研磨具が配置されている請求項1~6のいずれか一項に記載の板状体の研磨装置。ところで、特許文献1の膜体は、加圧流体を直接受けてガラス板に研磨圧力を伝達する機能と、ガラス板の研磨中に相対的に回転しているガラス板と研磨パッドとの間に生じる研磨抵抗を受ける機能とを有している。すなわち、膜体は、加圧流体によって膨張される方向の力、及び研磨抵抗によって繰り返し引っ張り方向に伸縮される力を受ける。このため、膜体の寿命は短く、膜体の交換を頻繁に行う必要があるため、ガラス板の生産性を高めることができないという問題があった。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガラス板の生産性を高めることができる板状体の研磨装置を提供することを目的とする。本発明は、前記目的を達成するために、板状体を貼着する板状体貼着部と、前記板状体貼着部を保持する板状体保持部と、前記板状体貼着部に対向して配置され、前記板状体貼着部によって貼着される前記板状体の研磨面を研磨する研磨具と、を有する板状体の研磨装置において、前記板状体貼着部は前記研磨具の対向面に平面部分を有し、該平面部分に板状体の貼着部を備え、前記平面部分は、前記板状体保持部によって保持される板状部材から構成され、前記板状部材と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することを特徴とする板状体の研磨装置を提供する。本発明によれば、まず、板状体貼着部の平面部分に備えられた貼着部に板状体を貼着させ、次に、この板状体貼着部を板状体保持部に保持させる。そして、板状体保持部と研磨具とを相対的に近接させて、板状体を研磨具に押し付けるとともに、板状体保持部及び研磨具を板状体の研磨面に沿って相対的に移動させて板状体の研磨面を研磨する。本発明では、膜体を使用せず板状体を研磨するので、板状体の生産性を高めることができる。板状体貼着部の平面部分は、研磨抵抗によって繰り返し引っ張り方向に伸縮される力を受けるため、剛性の高い金属製であることが好ましい。また、剛性は、ヤング率などの弾性率が大きい金属を使用する、又は板厚を厚くすることで高めることができる。また、本発明によれば、板状部材と板状体保持部との間の空間に、加圧流体供給手段から加圧流体が供給されると、前記貼着部に貼着された板状体が前記加圧流体の圧力によって研磨具に押し付けられる。これにより、本発明によれば、前記加圧流体によって板状体の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、板状体を平坦に研磨しながら板状体の表面の微小凹凸を除去できる。本発明の前記平面部分は、前記板状体保持部によって保持される板状部材から構成され、前記板状部材と前記板状体保持部との間の空間に、前記板状体保持部に取り付けられた膜体が配置され、前記膜体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することが好ましい。本発明によれば、膜体と板状体保持部との間の空間に、加圧流体供給手段から加圧流体が供給されると、膜体が膨張することにより、前記貼着部に貼着された板状体が前記加圧流体の圧力によって研磨具に押し付けられる。これにより、本発明によれば、前記加圧流体によって板状体の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、板状体を平坦に研磨しながら板状体の表面の微小凹凸を除去できる。また、本発明の板状体の研磨装置は、従来の研磨装置の如く膜体を有するが、本発明の膜体は、板状体を研磨具に加圧する機能のみ備えたものである。すなわち、研磨中に生じる研磨抵抗は、板状体貼着部の平面部分板状部材が受ける。つまり本発明は、板状体を研磨具に加圧する部材膜体と、研磨抵抗を受ける部材平面部分:板状部材とを別部品としたので、膜体の長寿命化を図ることができる。本発明は、前記板状体保持部及び前記板状部材が接する箇所に封止部を有することが好ましい。本発明によれば、加圧流体供給手段から供給された加圧流体の洩れを封止部によって防止できるので、加圧流体の圧力を効率よく板状体に伝達することができる。本発明の前記平面部分は、開口面を有する箱状体の平面部分から構成され、前記箱状体が前記開口面を介して前記板状体保持部で保持されていることが好ましい。本発明によれば、まず、板状体貼着部を構成する箱状体の平面部分に備えられた貼着部に板状体を貼着させ、次に、この箱状体を板状体保持部に開口面を介して保持させる。そして、板状体保持部と研磨具とを相対的に近接させて、板状体を研磨具に押し付けるとともに、板状体保持部及び研磨具を板状体の研磨面に沿って相対的に移動させて板状体の研磨面を研磨する。本発明においても、膜体を使用せず板状体を研磨するので、板状体の生産性を高めることができる。本発明は、前記箱状体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することが好ましい。本発明によれば、箱状体と板状体保持部との間の空間に、加圧流体供給手段から加圧流体が供給されると、箱状体が研磨具に向けて移動されることにより、前記貼着部に貼着された板状体が前記加圧流体の圧力によって研磨具に押し付けられる。これにより、本発明によれば、前記加圧流体によって板状体の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、板状体を平坦に研磨しながら板状体の表面の微小凹凸を除去できる。本発明は、前記箱状体と前記板状体保持部との間の空間に、前記板状体保持部に取り付けられた膜体が配置され、前記膜体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することが好ましい。本発明によれば、膜体と板状体保持部との間の空間に、加圧流体供給手段から加圧流体が供給されると、膜体が膨張することにより、前記貼着部に貼着された板状体が前記加圧流体の圧力によって研磨具に押し付けられる。これにより、本発明によれば、前記加圧流体によって板状体の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、板状体を平坦に研磨しながら板状体の表面の微小凹凸を除去できる。また、本発明は、従来の研磨装置の如く膜体を有するが、この膜体は、板状体を研磨具に加圧するだけの機能を備えたものである。すなわち、研磨中に生じる研磨抵抗は、箱状体の平面部分が受ける。つまり本発明は、板状体を研磨具に加圧する部材膜体と、研磨抵抗を受ける部材平面部分とを別部品としたので、膜体の長寿命化を図ることができる。本発明は、前記板状体保持部及び前記箱状体が接する箇所に封止部を有することが好ましい。本発明によれば、加圧流体供給手段から供給された加圧流体の洩れを封止部によって防止できるので、加圧流体の圧力を効率よく板状体に伝達することができる。本発明の前記平面部分は水平に配置され、該平面部分の上方に前記研磨具が配置されていることが好ましい。本発明によれば、平面部分の上方に研磨具が配置された形態の研磨装置、すなわち、板状体保持部の上方に研磨具が開示された研磨装置でもよい。この研磨装置であって、箱状体が開口面を介して板状体保持部に保持される研磨装置の場合、箱状体の開口面雌に板状体保持部雄が嵌合される入れ子式の嵌合部を備えた構造となる。この場合、板状体の研磨に使用された研磨液は、そのまま落下するので、前記入れ子式の嵌合部から板状体保持部の内側に研磨液が浸入することを防止できる。本発明の前記平面部分は水平に配置され、該平面部分の下方に前記研磨具が配置されていることが好ましい。本発明によれば、平面部分の下方に研磨具が配置された形態の研磨装置、すなわち、板状体保持部の下方に研磨具が開示された研磨装置でもよい。本発明の板状体の研磨装置によれば、板状体の生産性を高めることができる。以下、添付図面に従って本発明に係る研磨装置の好ましい実施の形態を詳説する。図1は、実施の形態の研磨装置10の全体構造を示す平面図である。図2は、キャリア52とキャンバス14の組立斜視図である。図3は、研磨ステージの実施の形態を示す側面図である。図1に示す実施の形態の研磨装置10は、例えば一辺が1000mmを超え、厚みが0.2mm~0.7mmの大型のガラス板Gの研磨面を液晶ディスプレイ用ガラス板に必要な平坦度に研磨する研磨装置である。研磨対象のガラス板Gの大きさは、一辺の長さが1000mm超が好ましく、2000mm以上2200mm×2500mm以上がより好ましく、2800mm以上2800mm×3000mm以上がさらに好ましい。研磨装置10は、研磨前のガラス板Gを搬入するガラス板搬入用コンベア12、ガラス板Gをキャンバス板状体貼着部14に貼着するガラス板貼着ステージ16、第1の研磨ステージ18、第2の研磨ステージ20、研磨完了したガラス板Gをキャンバス14から取り外すガラス板取り外しステージ22、ガラス板搬出用コンベア24、キャンバス洗浄ステージ26、キャンバス乾燥ステージ28、及びキャンバス返送コンベア30を主として備えている。以下、説明を簡略するために、ガラス板貼着ステージ16、第1の研磨ステージ18、第2の研磨ステージ20、ガラス板取り外しステージ22、キャンバス洗浄ステージ26、及びキャンバス乾燥ステージ28については、単にステージ16、18、20、22、26、28と記載する。研磨装置10には、ステージ16からステージ18にキャンバス14を搬送する搬送装置150、ステージ18からステージ20にキャンバス14を搬送する搬送装置152、及びステージ20からステージ22にキャンバス14を搬送する搬送装置154が設けられている。これらの搬送装置150、152、154は、同一構成であって研磨装置10を統括制御する制御部200によってその動作が制御されており、図1上で左右方向に同期して往復移動される。ガラス板搬入用コンベア12によって搬入されてきた研磨前のガラス板Gは、ロボット32のアーム33に設けられた吸着パッド34に吸着保持される。そして、アーム33の回転動作によってガラス板搬入用コンベア12からコンベア36に移載され、コンベア36によってステージ16に搬送される。ステージ16において、研磨前のガラス板Gがキャンバス14に貼着される。この貼着方法について説明すると、キャンバス14はステージ16において、不図示の昇降装置に保持されており、キャンバス14の下方にガラス板Gが位置したところで、キャンバス14が昇降装置により下降移動され、図2に示すキャンバス14のバックプレート平面部分:板状部材38に取り付けられた発泡ポリウレタン製の吸着シート貼着部39がガラス板Gの非研磨面に押し付けられる。この押圧力によってガラス板Gの非研磨面がバックプレート38に吸着シート39を介して着脱自在に貼着される。その後、キャンバス14が図1の搬送装置150に保持されて、図3のステージ18に搬送され、ここで研磨ヘッド50のキャリア板状体保持部52に保持される。図2に示すように、キャンバス14は、矩形状のバックプレート38を、同じく矩形状の上枠40と下枠42との間で張設した後、上枠40と下枠42とを不図示のボルトによって締結することによって構成される。バックプレート38、上枠40、及び下枠42は、研磨時における研磨圧力及びガラス板Gの研磨抵抗に十分に耐え得る材質、例えばアルミニウム等の金属で構成されている。また、バックプレート38の厚さは、2~4mm程度が好適である。バックプレート38の厚さが2mm以上であれば、前記研磨圧力及び前記研磨抵抗に十分に耐えることができる。バックプレート38の厚さが4mm以内であれば、後述する圧縮空気加圧流体による研磨圧力をガラス板Gに伝達し易くなる。次に、図3に示した研磨ヘッド50について説明する。なお、ステージ18の研磨ヘッド50及びステージ20の研磨ヘッド50は同一構造なので、同一の符号を付して説明する。研磨ヘッド50は、本体ケーシング51を備えており、本体ケーシング51には不図示の公転駆動機構部が内蔵されている。この公転駆動機構部は、プラネタリーギア機構部とモータとによって構成され、このモータで駆動されるプラネタリーギア機構部の出力軸が、鉛直方向に垂下されたスピンドル56に連結されている。また、このスピンドル56にキャリア52が連結されている。したがって、前記プラネタリーギア機構部が駆動されると、キャリア52及びキャンバス14は所定の公転中心を中心に公転される。更に、本体ケーシング51は、スライダ158を介して昇降機構156に連結されている。この昇降機構156によって本体ケーシング51がスライダ158に対して昇降されることにより、キャリア52がステージ18の円形の研磨パッド研磨具58、及びステージ20の円形の研磨パッド研磨具60に対し進退移動されるとともに、図4の如くバックプレート38の吸着シート39に貼着されたガラス板Gの研磨面が、図3の研磨パッド58、60に所定の研磨圧力で押圧される。なお、研磨装置10からスライダ158を取り外し、本体ケーシング51が昇降機構156に直接連結されてもよい。研磨パッド58は、図5の如く研磨定盤62の上面に貼り付けられる。この研磨定盤62は、研磨テーブル64に軸受65を介して回転自在に支持されており、その回転中心は研磨パッド58の中心軸と同軸上に設定されている。また、研磨定盤62の側面にはギヤ部66が設けられ、このギヤ部66に、モータ68によって回転されるギヤ67が噛合されている。更に、ギヤ部66は、研磨パッド58の中心軸を中心とする円弧状に構成されている。したがって、モータ68を駆動することにより、研磨パッド58がその中心軸を中心に回動自転される。また、研磨テーブル64は、平行に配置された一対のガイドレール69、69にスライド移動自在に支持されている。研磨テーブル64をガイドレール69、69に沿って往復動作させる駆動部不図示を備えることにより、研磨パッド58が必要時において水平方向に揺動される。研磨パッド58の揺動方向は、図1の搬送装置150による搬送方向に対して直交する方向でもよく、この搬送方向に平行な方向でもよい。すなわち、研磨パッド58を水平方向に揺動させる方向であればよい。なお、図5の研磨定盤62には、研磨パッド58の裏側にスラリを供給するための多数のホース不図示が連結されている。これらのホースを絡めさせないために、研磨パッド58は所定の基準位置から所定の角度範囲で旋回するようにその回転が規制されている。前記ホースから研磨パッド58の裏側に供給されたスラリは、研磨パッド58の内部を貫通するスラリ供給孔を通過して研磨パッド58の表面に供給される。また、研磨パッド58の旋回角度の範囲、旋回速度等の旋回動作、単位時間当たりの公転回転数等の公転動作は、図1の制御部200によって独立して制御されている。研磨パッド60の各部構成については、上述した研磨パッド58の構成と同一なので、ここではその説明を省略する。一方、図3の如くステージ18のスライダ158には、直動ガイド70、70が取り付けられている。直動ガイド70、70はガイドレール72、72に嵌合されている。このガイドレール72、72は、図1の破線の如くステージ18のスピンドル56やキャリア52をメンテナンスするメンテナンスステージ74に向けて配設されている。また、図3の如くステージ20のスライダ158にも同様に、直動ガイド70、70が取り付けられ、直動ガイド70、70はガイドレール160、160に嵌合されている。このガイドレール160、160は、図1の破線の如くステージ20のスピンドル56やキャリア52をメンテナンスするメンテナンスステージ76に向けて配設されている。なお、研磨装置10からスライダ158を取り外し、直動ガイド70、70が昇降装置156に直接取り付けられてもよい。次に、図2、図4に示すキャリア52について説明する。図4は、キャリア52に対するキャンバス14の取付構造を示した要部拡大断面図である。キャリア52の4辺部には、キャリア52にキャンバス14を保持させるための複数の保持部80、80...が設けられている。保持部80は、図4の如くキャリア52の4辺部の端部52Aを押圧する円盤82と、キャンバス14の上枠40の4辺部の端部40Aを押圧する円盤84と、円盤82と円盤84とを連結するピン86とから構成される。円盤82及び円盤84を前記の如く押圧させる押圧手段は、キャリア52に内設されており、例えばシリンダのピストンをピン86に連結し、ピストンを収縮させることにより、円盤82及び円盤84を引き寄せて円盤82を端部52Aに押圧させるとともに、円盤84を端部40Aに押圧させる。なお、前記押圧手段は、前記シリンダに限定されるものではなく、また、保持部80の形態も本例に限定されるものではない。すなわち、キャリア52にキャンバス14を着脱自在に保持できる構成であれば、如何なるものでもよい。一方、キャリア52の下面の周縁の内側には、周縁に沿ったマウント88が形成されており、そのマウント88の下面にシール部材封止部90が取り付けられている。キャリア52にキャンバス14が保持部80に保持されて、ガラス板Gが研磨パッド58、60に押圧された際に、バックプレート38の上面がシール部材90に圧接される。これにより、キャリア52とキャンバス14との間に気密性のよい空気室空間54が形成される。気密性のよい空気室54が形成されると、ガラス板Gの各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、ガラス板Gを平坦に研磨しながらガラス板Gの表面の微小凹凸を除去できる。キャリア52には、空気室54に圧縮空気加圧流体を噴出する噴射口98、98...が開口されている。これらの噴射口98、98...は、キャリア52の上面に備えられた空気室100を介して、図3上の破線で示す空気供給路102に連通される。空気供給路102は、研磨ヘッド50に取り付けられた不図示のロータリジョイントを介して研磨ヘッド50の外部に延設され、バルブ104を介して空気ポンプ加圧流体供給手段106に接続されている。したがって、バルブ104を開放すると、空気ポンプ106からの圧縮空気が空気供給路102、図4の空気室100、及び噴射口98を介して空気室54に供給される。これにより、圧縮空気の圧力がバックプレート38を介してガラス板Gに伝達され、この圧力によってガラス板Gの研磨面が図3の研磨パッド58、60に押し付けられて研磨される。また、空気室54に供給された圧縮空気は、シール部材90によって空気室54が密閉されているので、空気室54からの洩れが抑えられている。これによって、圧縮空気の圧力が効率よくガラス板Gに伝達される。図1に示したステージ20でガラス板Gの研磨が終了すると、ここでキャンバス14がキャリア52から取り外されて搬送装置154によりステージ22に搬送される。そして、ステージ22では、キャンバス14から、研磨終了したガラス板Gを取り外す。取り外されたガラス板Gは、コンベア138によって搬送され、そして、ロボット140のアーム142に取り付けられた吸着ヘッド144に吸着され、ロボット140の動作によってガラス板搬出用コンベア24に移載され、研磨装置10の外部に搬出される。また、ガラス板Gが取り外されたキャンバス14はコンベア146によってステージ26に搬送され、ここで水洗浄される。洗浄終了したキャンバス14は、コンベア148によってステージ28に搬送され、ここで加熱されて乾燥される。そして、乾燥終了したキャンバス14は、キャンバス返送コンベア30によってステージ16に搬送され、ガラス板Gの貼着に再使用される。以上が研磨装置10の全体構成である。なお、研磨ステージは、用途により一つであっても、二つ以上であってもよい。効率やコストを考慮すると、粗研磨ステージと仕上研磨ステージの二つのステージを備えることが好ましいが、場合によって高品質目的のために仕上研磨ステージを追加してもよい。次に、前記の如く構成された研磨装置10の作用について説明する。まず、ステージ16において、キャンバス14のバックプレート38に貼り付けられた吸着シート39にガラス板Gを貼着させる。次に、このキャンバス14をステージ18に搬送し、キャリア52に水平に保持させる。次いで、キャンバス14と研磨パッド58、60とを相対的に近接させて、ガラス板Gを研磨パッド58、60に圧縮空気の圧力によって押し付けるとともに、キャンバス14及び研磨パッド58、60をガラス板Gの研磨面に沿って相対的に移動させてガラス板Gの研磨面を研磨する。図4は、ステージ18、20に設置された研磨部の構成を示した一部断面図である。前記研磨部は、キャリア52の空気室54に供給された圧縮空気の圧力を、キャンバス14のバックプレート38及び吸着シート39を介してガラス板Gに伝達し、ガラス板Gの研磨面を研磨パッド58、60によって研磨する。実施の形態の研磨装置10では、膜体を使用せずキャンバス14を使用してガラス板Gを研磨するので、ガラス板Gの生産工程から膜体の交換工程を省くことができる。これにより、ガラス板Gの生産性が向上する。なお、実施の形態では、圧縮空気の圧力によってガラス板Gを研磨する例を示したが、これに限定されるものではなく、研磨パッド58、60に対するキャリア52の進出力によってガラス板Gに研磨圧力を与える研磨装置にも適用することができる。図6は、研磨圧力をガラス板Gに伝達する部材として膜体92を使用した他の研磨部の形態が示されている。前記研磨部は、キャリア52の空気室54に供給された圧縮空気の圧力によって膜体92を膨張させ、膨張した膜体92の押圧力を、キャンバス14のバックプレート38及び吸着シート39を介してガラス板Gに伝達し、ガラス板Gの研磨面を研磨パッド58、60によって研磨する。この研磨部においても、圧縮空気の圧力によってガラス板Gの各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、ガラス板Gを平坦に研磨しながらガラス板Gの表面の微小凹凸を除去できる。本例では膜体92を有するが、本例の膜体92はキャリア52に取り付けられたものであり、ガラス板Gを研磨パッド58、60に加圧する機能のみ備えたものである。すなわち、ガラス板Gの研磨中に生じる研磨抵抗は、キャンバス14のバックプレート38が受ける。つまり本例は、ガラス板Gを研磨パッド58、60に加圧する部材膜体92と、研磨抵抗を受ける部材バックプレート38とを別部品としたので、特許文献1の膜体よりも、その寿命を延ばすことができる。図6に示した形態においても、キャリア52のマウント88に図4に示したシール部材90を設けてもよい。これにより、空気室54の気密性が向上する。なお、図1~図6に示した形態では、水平に配置されたバックプレート38の下方に研磨パッド58、60が配置された研磨装置10を例示したが、バックプレート38の上方に研磨パッド58、60が配置された研磨装置にも適用できる。図7は、箱体箱状体94を使用した研磨部の他の構成を示した模式図である。同図に示す研磨部は、水平に配置されたバックプレート38の上方に研磨パッド58、60が配置されている。バックプレート38は、下面に開口面を有する箱体94の上面平面部分に取り付けられている。このバックプレート38の上面に吸着シート39が接着され、吸着シート39の上面にガラス板Gの非研磨面が貼着されている。箱体94の開口面から箱体94の内部空間部に、キャリア52が入れ子式に嵌合される。そして、キャリア52の上面縁部にはシール部材90が取り付けられており、このシール部材90は、箱体94の上壁の内側面に接触される。これにより、キャリア52と箱体94との間に空気室54が形成される。この空気室54に圧縮空気を供給すると、箱体94が研磨パッド58、60に向けて上昇し、吸着シート39に貼着されたガラス板Gが圧縮空気の圧力によって研磨パッド58、60に押し付けられる。これにより、この研磨部においても、圧縮空気によってガラス板Gの各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、ガラス板Gを平坦に研磨しながらガラス板Gの表面の微小凹凸を除去できる。なお、キャリア52に二点鎖線で示す膜体92を取り付けて、膜体92とキャリア52との間の空気室54に圧縮空気を供給してもよい。また、圧縮空気を使用せず、キャリア52の上昇力によって研磨圧力を得るようにしてもよい。また、図7の研磨部は、箱体94の開口面雌にキャリア52の上部雄が嵌合される入れ子式の嵌合部を備えた構造である。この場合、ガラス板Gの研磨に使用されたスラリ研磨液は、そのまま落下するので、前記入れ子式の嵌合部からキャリア52の内側の空気室54にスラリが浸入することを防止できる。なお、本例の研磨部は、水平に配置されたバックプレート38の上方に研磨パッド58、60を配置したが、バックプレート38の下方に研磨パッド58、60が配置された研磨装置にも本例を適用することができる。ステージ18、20の仕様の一例を下記に示す。研磨圧力:2kPa~25kPa研磨スラリ:酸化セリウムを水に分散させた研磨スラリを研磨定盤のスラリ供給孔から供給研磨パッド58:発泡ポリウレタン製で表面にスラリを流す溝有り溝ピッチ4.5mm、溝幅1.5mm、溝深さ1~5mm研磨パッド60:軟質ウレタン製スエード状で表面にスラリを流す溝有り溝ピッチ4.5mm、溝幅1.5mm、溝深さ1~5mmガラス板Gの厚み:0.2mm~0.7mmガラス板Gの形状:一辺が1000mmを超えた矩形状ガラス板ガラス板Gの非研磨面:キャンバス14のバックプレート38に貼り付けられたポリウレタン製の吸着パッドにて密着保持キャンバス14のバックプレート38は、長期間の使用においても劣化、損傷とも無く、よって、キャンバス14の交換作業を激減できることを実験にて確認できた。これにより、ガラス板の生産性が向上することも把握できた。