"送信した電磁波の反射波を受信することによって、電磁波を反射した物体までの距離を検出するレーダ装置であって、予め設定された第1偏光方向の成分の前記電磁波が透過するとともに、前記第1偏光方向と直交する第2偏光方向の成分の前記電磁波が反射する機能を有する偏光分離機能部材を備えて、予め設定された所定回転軸を中心に前記偏光分離機能部材を回転させることにより、予め設定された所定走査角度範囲内で前記第2偏光方向の成分の前記電磁波を走査する走査手段と、前記走査手段の前記偏光分離機能部材に向けて前記電磁波を照射する電磁波照射手段とを備えることを特徴とするレーダ装置。前記偏光分離機能部材に向けて照射されて前記偏光分離機能部材を透過した前記電磁波を検出することができるように、前記偏光分離機能部材を挟んで前記電磁波照射手段とは反対側に配置された第1電磁波検出手段と、前記走査手段により走査された前記電磁波が通過する領域である走査通過領域の側から前記偏光分離機能部材に入射して前記偏光分離機能部材を透過した前記電磁波を反射できるように、前記偏光分離機能部材を挟んで前記走査通過領域とは反対側に配置され、入射した前記電磁波について、その偏光方向を前記第2偏光方向に変換し且つ入射方向とは逆方向に反射させる機能を有する変換反射手段とを備えることを特徴とする請求項1に記載のレーダ装置。前記走査手段により走査された前記電磁波が通過する領域である走査通過領域から前記偏光分離機能部材に入射して前記偏光分離機能部材を透過した前記電磁波を検出できるように、前記偏光分離機能部材を挟んで前記走査通過領域とは反対側に配置された第2電磁波検出手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のレーダ装置。前記偏光分離機能部材は、前記電磁波を透過可能に形成された板形状の基板と、導電性材料で形成された複数の細線を、前記電磁波の波長よりも短い間隔で且つ前記第1偏光方向に沿って平行に前記基板上に配置することにより格子状に形成された微細周期構造体とから構成されることを特徴とする請求項1~請求項3の何れか1項に記載のレーダ装置。前記基板の両面のうち少なくとも一方の面に、前記電磁波の反射を抑制する機能を有する部材を配置することを特徴とする請求項4に記載のレーダ装置。前記偏光分離機能部材は、2枚以上の前記基板を積層することにより構成されることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のレーダ装置。前記基板は、前記電磁波と異なる波長の電磁波の通過を阻止する材料で形成されることを特徴とする請求項4~請求項6の何れか1項に記載のレーダ装置。前記基板に開口が形成され、前記微細周期構造体は、前記開口の開口面上に形成されることを特徴とする請求項4~請求項6の何れか1項に記載のレーダ装置。長手方向が前記第1偏光方向と直交するように配置され、前記微細周期構造体の細線を支持する帯状の支持部材が前記開口の開口面上に形成されることを特徴とする請求項8に記載のレーダ装置。前記走査手段により走査された前記電磁波が通過する領域である走査通過領域内に配置され、直線偏光を円偏光に変換するとともに円偏光を直線偏光に変換する機能を有する偏光変換手段を備えることを特徴とする請求項1~請求項9の何れか1項に記載のレーダ装置。前記電磁波照射手段により照射された前記電磁波が前記偏光分離機能部材に到るまでの光路上に配置され、入射した前記電磁波について前記第1偏光方向の成分と前記第2偏光方向の成分との比率を変える比率変換手段を備えることを特徴とする請求項1~請求項10の何れか1項に記載のレーダ装置。しかしながら、上記特許文献1に記載のレーダ装置では、レーザ光の走査を走査部が行い、レーザ光の偏光分離を偏光分離素子が行っている。すなわち、光走査と偏光分離とをそれぞれ異なる構成要素で行っているため、走査部と偏光分離素子との間の位置関係について高精度な調整が必要となるという問題があった。本発明は、こうした問題に鑑みてなされたものであり、走査部と偏光分離素子との間の位置関係の調整を不要にすることができるレーダ装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するためになされた請求項1に記載の発明は、送信した電磁波の反射波を受信することによって、電磁波を反射した物体までの距離を検出するレーダ装置であって、走査手段が、予め設定された第1偏光方向の成分の電磁波が透過するとともに、第1偏光方向と直交する第2偏光方向の成分の電磁波が反射する機能を有する偏光分離機能部材を備えて、予め設定された所定回転軸を中心に偏光分離機能部材を回転させることにより、予め設定された所定走査角度範囲内で第2偏光方向の成分の電磁波を走査し、電磁波照射手段が、走査手段の偏光分離機能部材に向けて電磁波を照射する。このように構成されたレーダ装置では、電磁波照射手段から照射された電磁波が、偏光分離機能部材に到達すると、偏光分離機能部材に到達した電磁波のうち、第1偏光方向の成分の電磁波は偏光分離機能部材を透過する一方、第2偏光方向の成分の電磁波は偏光分離機能部材で反射し、偏光分離機能部材の走査角度に応じた方向に向けて送信される。したがって、このように構成されたレーダ装置によれば、電磁波の偏光分離と電磁波の走査との両方を偏光分離機能部材で行っているため、電磁波の偏光分離を行う構成要素と電磁波の走査を行う構成要素との間の位置関係についての調整を不要とすることができるとともに、構成要素数の削減によりレーダ装置の小型化を容易にすることができる。また請求項1に記載のレーダ装置では、請求項2に記載のように、第1電磁波検出手段が、偏光分離機能部材に向けて照射されて偏光分離機能部材を透過した電磁波を検出することができるように、偏光分離機能部材を挟んで電磁波照射手段とは反対側に配置されるとともに、入射した電磁波について、その偏光方向を第2偏光方向に変換し且つ入射方向とは逆方向に反射させる機能を有する変換反射手段が、偏光分離機能部材を挟んで、走査手段により走査された電磁波が通過する領域である走査通過領域の側から偏光分離機能部材に入射して偏光分離機能部材を透過した電磁波を反射できるように、偏光分離機能部材を挟んで走査通過領域とは反対側に配置されるようにしてもよい。このように構成されたレーダ装置では、まず、電磁波照射手段から照射されて偏光分離機能部材に到達した電磁波のうち第1偏光方向の成分の電磁波は、偏光分離機能部材を透過し、偏光分離機能部材を挟んで電磁波照射手段とは反対側に配置された第1電磁波検出手段により検出される。一方、第2偏光方向の成分の電磁波は、偏光分離機能部材で反射し、偏光分離機能部材の走査角度に応じた方向に向けて送信される。その後、物体で反射した電磁波以下、反射電磁波ともいうが走査通過領域の側から入射して偏光分離機能部材に到達すると、到達した反射電磁波のうち第1偏光方向の成分の電磁波が偏光分離機能部材を透過する。そして、偏光分離機能部材を挟んで走査通過領域とは反対側に配置された変換反射手段が、偏光分離機能部材を透過した反射電磁波の偏光方向を第2偏光方向に変換し且つ入射方向とは逆方向に反射させる。これにより、変換反射手段で反射した反射電磁波は偏光分離機能部材に到達する。そして、この反射電磁波の偏光方向は第2偏光方向に変換されているため、偏光分離機能部材で反射して、第1電磁波検出手段により検出される。したがって、このように構成されたレーダ装置によれば、物体に反射することなく第1電磁波検出手段により検出された電磁波と、物体で反射した後に第1電磁波検出手段により検出された電磁波とを用いることができるため、周知のタイムオブフライト方式または光ヘテロダイン方式を用いて、電磁波を反射した物体までの距離を計測することが可能になる。また請求項1に記載のレーダ装置では、請求項3に記載のように、第2電磁波検出手段が、走査手段により走査された電磁波が通過する領域である走査通過領域から偏光分離機能部材に入射して偏光分離機能部材を透過した電磁波を検出できるように、偏光分離機能部材を挟んで走査通過領域とは反対側に配置されるようにしてもよい。このように構成されたレーダ装置では、電磁波照射手段から照射されて偏光分離機能部材に到達した電磁波のうち第2偏光方向の成分の電磁波は、偏光分離機能部材で反射し、偏光分離機能部材の走査角度に応じた方向に向けて送信される。その後、物体で反射した電磁波反射電磁波が走査通過領域の側から入射して偏光分離機能部材に到達すると、到達した反射電磁波のうち第1偏光方向の成分の電磁波が偏光分離機能部材を透過する。これにより、偏光分離機能部材を透過した第1偏光方向の成分の電磁波は、偏光分離機能部材を挟んで走査通過領域とは反対側に配置された第1電磁波検出手段により検出される。したがって、このように構成されたレーダ装置によれば、物体で反射した後に第2電磁波検出手段により検出された電磁波を用いて、電磁波を反射した物体までの距離を検出することができる。また、電磁波照射手段がパルス波を照射する場合には、パルス波を照射するタイミングを検出する手段を備えることで、周知のタイムオブフライト方式を用いて、電磁波を反射した物体までの距離を計測することが可能になる。また、請求項1~請求項3の何れか1項に記載のレーダ装置では、請求項4に記載のように、偏光分離機能部材は、電磁波を透過可能に形成された板形状の基板と、導電性材料で形成された複数の細線を、電磁波の波長よりも短い間隔で且つ第1偏光方向に沿って平行に基板上に配置することにより格子状に形成された微細周期構造体とから構成されるようにしてもよい。このように構成されたレーダ装置によれば、微細加工技術を用いて上記の微細周期構造体を形成することができるため、例えば直角プリズムを貼り合わせてキューブ状に形成されるプリズム型偏光ビームスプリッタなどの従来の偏光分離機能部材と比較して、偏光分離機能部材を小型化することができる。また請求項4に記載のレーダ装置では、請求項5に記載のように、基板の両面のうち少なくとも一方の面に、電磁波の反射を抑制する機能を有する部材を配置するようにしてもよい。なお、電磁波の反射を抑制する機能を有する部材以下、反射抑制機能部材ともいうとしては、誘電体多層膜、モスアイ構造が形成された部材などが挙げられる。このように構成されたレーダ装置によれば、電磁波検出手段により検出される電磁波が、偏光分離機能部材における電磁波の反射のために減少するのを抑制し、レーダ装置の検出精度の低下を抑制することができる。また請求項4または請求項5に記載のレーダ装置では、請求項6に記載のように、偏光分離機能部材が、2枚以上の基板を積層することにより構成されるようにしてもよい。このように構成されたレーダ装置によれば、2枚以上の基板のそれぞれについて偏光分離機能を有するように形成することにより、1枚の基板を用いて偏光分離機能部材を構成する場合と比較して、基板の枚数分、偏光分離機能を向上させることができる。また、請求項4~請求項6の何れか1項に記載のレーダ装置では、請求項7に記載のように、基板は、電磁波と異なる波長の電磁波の通過を阻止する材料で形成されるようにしてもよい。このように構成されたレーダ装置によれば、電磁波と異なる波長の電磁波が偏光分離機能部材を透過して電磁波検出手段により検出されることによりノイズになってしまうという事態の発生を抑制し、レーダ装置の検出精度の低下を抑制することができる。また、請求項4~請求項6の何れか1項に記載のレーダ装置では、請求項8に記載のように、基板に開口が形成され、微細周期構造体は、開口の開口面上に形成されるようにしてもよい。このように構成されたレーダ装置によれば、微細周期構造体を透過する第1偏光方向の成分の電磁波は開口内を通過するため、電磁波を透過可能な材料で基板を形成する必要がなくなり、基板材料の選択の自由度が向上する。また請求項8に記載のレーダ装置では、請求項9に記載のように、長手方向が第1偏光方向と直交するように配置され、微細周期構造体の細線を支持する帯状の支持部材が開口の開口面上に形成されるようにしてもよい。このように構成されたレーダ装置によれば、微細周期構造体の細線を開口の周縁部だけではなく開口内でも支持することができるため、開口の周縁部だけで支持する場合と比較して、自身の加重で細線が切断されてしまうという事態の発生を抑制することができる。また、請求項1~請求項9の何れか1項に記載のレーダ装置では、請求項10に記載のように、偏光変換手段が、走査手段により走査された電磁波が通過する領域である走査通過領域内に配置され、直線偏光を円偏光に変換するとともに円偏光を直線偏光に変換するようにしてもよい。なお、偏光変換手段としては、例えば1/4波長板が挙げられる。このように構成されたレーダ装置では、電磁波照射手段から照射されて偏光分離機能部材に到達した電磁波のうち第2偏光方向の成分の電磁波は、偏光分離機能部材で反射し、偏光分離機能部材の走査角度に応じた方向に向けて送信される。そして、送信された電磁波は、走査通過領域内に配置された偏光変換手段により直線偏光から円偏光に変換され、円偏光に変換された電磁波が物体に到達する。このとき、物体の表面が、電磁波が反射しても電磁波の偏光方向が回転しないように形成されている場合には、物体で反射した電磁波反射電磁波が、走査通過領域内に配置された偏光変換手段により円偏光から直線偏光に変換されることにより、第1偏光方向の成分の電磁波に変換され、偏光分離機能部材に到達する。このため、この第1偏光方向の成分の電磁波は、偏光分離機能部材を透過する。したがって、このように構成されたレーダ装置によれば、電磁波が反射しても電磁波の偏光方向が回転しないように表面が形成されている物体までの距離を検出することができる。また、請求項1~請求項10の何れか1項に記載のレーダ装置では、請求項11に記載のように、比率変換手段が、電磁波照射手段により照射された電磁波が偏光分離機能部材に到るまでの光路上に配置され、入射した電磁波について第1偏光方向の成分と第2偏光方向の成分との比率を変えるようにしてもよい。なお、比率変換手段としては、例えば1/2波長板が挙げられる。このように構成されたレーダ装置によれば、電磁波照射手段から照射されて偏光分離機能部材に到達した電磁波のうち、偏光分離機能部材を透過する電磁波と偏光分離機能部材で反射する電磁波との比率を変えることができる。第1実施形態以下に本発明の第1実施形態について図面とともに説明する。図1は、第1実施形態のレーダ装置1の構成および動作を示す説明図である。レーダ装置1は、図1に示すように、レーダ波となるパルスレーザ光を照射する光源2と、レーザ光を検出する光検出器3と、光源2から照射されたレーザ光を所定方向に向けて投射する投光光学系4と、投光光学系4から投射されたレーザ光を走査する走査部5と、入射したレーザ光を光検出器3へ導く受光光学系6とを備える。なお、投光光学系4と受光光学系6とは、走査部5を間に挟んで互いに対向するように配置される。また走査部5は、偏光分離光変角素子11と、再帰性反射素子12と、1/4波長板13とから構成される。そして偏光分離光変角素子11は、レーザ光を透過可能な材料で形成された板形状の基板21と、偏光分離機能を有する構造となるように基板21の面上に形成された偏光分離構造体22とから構成される。なお偏光分離構造体22は、導電性材料例えば、Al,Au,Ag,Cu等で形成された複数の細線を、光源2から照射されるレーザ光の波長よりも短い間隔で予め設定された方向以下、格子方向というに沿って平行に配置することにより格子状に構成される。また偏光分離光変角素子11は、投光光学系4から投射されたレーザ光が走査部5で反射されることなく受光光学系6に直接到達する光路上に配置されている。そして偏光分離光変角素子11は、不図示の駆動源から駆動力の供給を受けて、基板21に設けられた回転軸23を中心にして振動し、投光光学系4から投射されたレーザ光の1次元走査を所定走査角度範囲で行う。なお走査機構は、MEMS、ガルバノ等により構成される。また再帰性反射素子12は、入射光をその入射方向とは逆方向に反射する機能を有し、偏光分離光変角素子11を挟んで、偏光分離光変角素子11により走査されたレーザ光が通過する側とは反対側に配置され、偏光分離光変角素子11を通過した反射レーザ光を反射する。再帰性反射素子12は、その表面に、例えばコーナーキューブアレイ、ビーズアレイ、およびプリズムアレイの何れかを形成することにより構成される。また1/4波長板13は、直線偏光を円偏光に変換するとともに円偏光を直線偏光に変換する機能を有し、偏光分離光変角素子11と再帰性反射素子12との間に配置される。なお本実施形態では、再帰性反射素子12として、レーザ光が反射してもレーザ光の偏光方向が回転しない素子を用いている。次に、このように構成されたレーダ装置1において、レーダ波を反射した物体を検知する方法を説明する。まず、光源2から照射されたレーザ光が投光光学系4を通過して偏光分離光変角素子11に到達すると光L1を参照、偏光分離光変角素子11に到達したレーザ光のうち、上記格子方向に平行な偏光方向を有する成分以下、TM成分というは、偏光分離光変角素子11を透過し、受光光学系6を通過した後に光検出器3に到達する光L2を参照。一方、上記格子方向に垂直な偏光方向を有する成分以下、TE成分というは、偏光分離光変角素子11で反射し、偏光分離光変角素子11の走査角度に応じた方向に向けてレーダ波として照射される光L3,L13を参照。その後、物体Bで反射したレーザ光以下、反射レーザ光ともいうが偏光分離光変角素子11に到達する光L4,L14を参照。なお、偏光分離光変角素子11で反射してレーダ波として照射されたレーザ光は主にTE成分で構成されているが、物体Bでランダムに反射することにより、反射レーザ光は、TE成分だけでなくTM成分も含んだ状態となる。このため、偏光分離光変角素子11に到達した反射レーザ光のうち、TM成分が偏光分離光変角素子11を透過する光L5,L15を参照。さらに、偏光分離光変角素子11を透過したTM成分の反射レーザ光は、1/4波長板13を通過する。これにより反射レーザ光は、直線偏光から円偏光に変換され、再帰性反射素子12に到達する光L6,L16を参照。そして、再帰性反射素子12に到達した反射レーザ光が、再帰性反射素子12で入射方向とは逆方向に反射すると、1/4波長板13を再度通過する光L7,L17を参照。これにより反射レーザ光は、TE成分の反射レーザ光に変換され、偏光分離光変角素子11に到達する光L8,L18を参照。さらに、偏光分離光変角素子11に到達したTE成分の反射レーザ光は、偏光分離光変角素子11で反射し、受光光学系6に向けて照射される光L9,L19を参照。これにより、反射レーザ光が光検出器3に到達し、レーダ波を反射した物体を検知することができる。また、光源2がパルスレーザ光を照射した時刻と、反射レーザ光を光検出器3が検出した時刻との差に基づいて、レーザ光を反射した物体までの距離を計測することができる。このように構成されたレーダ装置1によれば、レーザ光の偏光分離とレーダ波の走査との両方を偏光分離光変角素子11で行っているため、レーザ光の偏光分離を行う構成要素とレーザ光の走査を行う構成要素との間の位置関係についての調整を不要とすることができるとともに、構成要素数の削減によりレーダ装置1の小型化を容易にすることができる。また偏光分離光変角素子11は、導電性材料で形成された複数の細線を所定の配置間隔で予め設定された方向格子方向に沿って平行に配置することにより構成される。これにより、微細加工技術を用いて格子状の構造を形成することができるため、例えば直角プリズムを貼り合わせてキューブ状に形成されるプリズム型偏光ビームスプリッタなどの従来の偏光分離機能部材と比較して、偏光分離光変角素子11を小型化することができる。以上説明した実施形態において、偏光分離光変角素子11は本発明における走査手段、光源2は本発明における電磁波照射手段、基板21および偏光分離構造体22は本発明における偏光分離機能部材、回転軸23は本発明における所定回転軸、TM成分は本発明における第1偏光方向の成分、TE成分は本発明における第2偏光方向の成分である。また、光検出器3は本発明における第1電磁波検出手段、再帰性反射素子12および1/4波長板13は本発明における変換反射手段、偏光分離構造体22は本発明における微細周期構造体である。第2実施形態以下に本発明の第2実施形態について図面とともに説明する。図2は、第2実施形態のレーダ装置41の構成および動作を示す説明図である。レーダ装置41は、図2に示すように、レーダ波となるレーザ光を照射する光源42と、レーザ光を検出する光検出器43a,43bと、光源42から照射されたレーザ光を所定方向に向けて投射する投光光学系4と、投光光学系4から投射されたレーザ光を走査する走査部5と、投光光学系4と走査部5との間に配置された1/2波長板46と、入射したレーザ光を2方向に分割する光分割部47と、光分割部47から入射したレーザ光を光検出器43a,43bへ導く受光光学系48a,48bと、光検出器43a,43bからの検出信号を入力する差動増幅器49とを備える。これらのうち走査部5は、偏光分離光変角素子11と、再帰性反射素子12と、1/4波長板13とから構成される。走査部5の構成は第1実施形態と同じであるため説明を省略する。また1/2波長板46は、その基準軸を、偏光分離光変角素子11から入射するレーザ光の偏光方向に対して傾けた状態で配置されており、その傾斜角度に応じて、入射したレーザ光のTE成分とTM成分との割合を任意に変更することができる機能を有する。このため1/2波長板46は、基準軸の傾斜角度に応じたTE成分とTM成分との割合を有するレーザ光を偏光分離光変角素子11に向けて投射する。また光分割部47は、1/2波長板61と、偏光ビームスプリッタ62とから構成される。そして1/2波長板61は、1/2波長板46と同様に、入射したレーザ光のTE成分とTM成分との割合を基準軸の傾斜角度に応じて変更する。また偏光ビームスプリッタ62は、偏光分離光変角素子11と同様に、レーザ光を透過可能な材料で形成された板形状の基板71と、偏光分離機能を有する構造となるように基板21の面上に形成された偏光分離構造体72とから構成され、1/2波長板61から入射したレーザ光を2方向に分割する。すなわち、1/2波長板61から入射したレーザ光のうち、偏光分離構造体72の格子方向に平行な偏光方向を有する成分TM成分は、偏光ビームスプリッタ62を透過し、格子方向に垂直な偏光方向を有する成分TE成分は、偏光ビームスプリッタ62で反射する。また、受光光学系48aは、偏光ビームスプリッタ62を透過したレーザ光を光検出器43aへ導き、受光光学系48bは、偏光ビームスプリッタ62で反射したレーザ光を光検出器43bへ導く。次に、このように構成されたレーダ装置41において、レーダ波を反射した物体を検知する方法を説明する。まず、光源42から照射されたレーザ光が投光光学系4を通過して偏光分離光変角素子11に到達すると光L1を参照、偏光分離光変角素子11に到達したレーザ光のうち、上記格子方向に平行な偏光方向を有する成分TM成分は、偏光分離光変角素子11を透過して、1/2波長板61に到達する光L2を参照。その後、1/2波長板61を通過したレーザ光は、TM成分とTE成分の両方を有する状態に変換され光L31,L32を参照、TM成分のレーザ光は偏光ビームスプリッタ62を透過して、受光光学系48aに向けて照射される光L33を参照とともに、TE成分のレーザ光は偏光ビームスプリッタ62で反射して、受光光学系48bに向けて照射される光L34を参照。これにより、レーザ光が光検出器43a,43bに到達する。一方、上記格子方向に垂直な偏光方向を有する成分TE成分は、偏光分離光変角素子11で反射し、偏光分離光変角素子11の走査角度に応じた方向に向けてレーダ波として照射される光L3,L13を参照。その後、物体Bで反射したレーザ光反射レーザ光が偏光分離光変角素子11に到達する光L4,L14を参照。なお、偏光分離光変角素子11で反射してレーダ波として照射されたレーザ光は主にTE成分で構成されているが、物体Bでランダムに反射することにより、反射レーザ光は、TE成分だけでなくTM成分も含んだ状態となる。このため、偏光分離光変角素子11に到達した反射レーザ光のうち、TM成分が偏光分離光変角素子11を透過する光L5,L15を参照。さらに、偏光分離光変角素子11を透過したTM成分の反射レーザ光は、1/4波長板13を通過する。これにより反射レーザ光は、直線偏光から円偏光に変換され、再帰性反射素子12に到達する光L6,L16を参照。そして、再帰性反射素子12に到達した反射レーザ光が、再帰性反射素子12で入射方向とは逆方向に反射すると、1/4波長板13を再度通過する光L7,L17を参照。これにより反射レーザ光は、TE成分の反射レーザ光に変換され、再帰性反射素子12に到達する光L8,L18を参照。さらに、偏光分離光変角素子11に到達したTE成分の反射レーザ光は、偏光分離光変角素子11で反射し、1/2波長板61に向けて照射される光L9,L19を参照。その後、1/2波長板61を通過した反射レーザ光は、TM成分とTE成分の両方を有する状態に変換され光L41,L42,L51,L52を参照、TM成分のレーザ光は偏光ビームスプリッタ62を透過して、受光光学系48aに向けて照射される光L43,L53を参照とともに、TE成分のレーザ光は偏光ビームスプリッタ62で反射して、受光光学系48bに向けて照射される光L44,L54を参照。これにより、反射レーザ光が光検出器43a,43bに到達し、レーダ波を反射した物体を検知することができる。また、光源42から照射されて偏光分離光変角素子11で反射されることなく光検出器43a,43bに到達したレーザ光と、物体Bで反射した後に光検出器43a,43bに到達したレーザ光とが光検出器43a,43bで合成されてビート信号が生成される。そして、光検出器43aから出力されるビート信号と光検出器43bから出力されるビート信号とが差動増幅器49に入力する。これにより、周知の光ヘテロダイン方式を用いて例えば、特開平10-300421号公報を参照、レーザ光を反射した物体までの距離を計測することができる。このように構成されたレーダ装置41によれば、レーザ光の偏光分離とレーダ波の走査との両方を偏光分離光変角素子11で行っているため、レーザ光の偏光分離を行う構成要素とレーザ光の走査を行う構成要素との間の位置関係についての調整を不要とすることができるとともに、構成要素数の削減によりレーダ装置1の小型化を容易にすることができる。また、光源42により照射されたレーザ光が偏光分離光変角素子11に到るまでの光路上に1/2波長板46が配置されているため、偏光分離光変角素子11を透過するレーザ光と偏光分離光変角素子11で反射するレーザ光との比率を変えることができる。以上説明した実施形態において、1/2波長板46は本発明における比率変換手段である。第3実施形態以下に本発明の第3実施形態について図面とともに説明する。図3は、第3実施形態のレーダ装置81の構成および動作を示す説明図である。レーダ装置81は、図3に示すように、レーダ波となるパルスレーザ光を照射する光源82と、レーザ光を検出する光検出器83と、光源82から照射されたレーザ光を所定方向に向けて投射する投光光学系4と、偏光分離光変角素子11と、入射したレーザ光を光検出器3へ導く受光光学系86と、1/4波長板87とを備える。これらのうち光源82は、レーザ光を連続的に発生するレーザ発生装置不図示と、光源82から投光光学系4までの光路上に配置されたシャッタ例えば、オプティカルシャッタ。不図示とにより構成され、シャッタの開閉を繰り返すことによってパルスレーザ光を照射する。また偏光分離光変角素子11は、第1実施形態と同様に、基板21と偏光分離構造体22とから構成され、回転軸23を中心にして振動し、投光光学系4から投射されたレーザ光の1次元走査を所定走査角度範囲で行う。また受光光学系86は、偏光分離光変角素子11を挟んで、偏光分離光変角素子11により走査されたレーザ光が通過する側とは反対側に配置され、偏光分離光変角素子11を通過した反射レーザ光を光検出器3へ導く。また1/4波長板87は、偏光分離光変角素子11を挟んで、受光光学系86とは反対側に配置され、偏光分離光変角素子11により走査されたレーザ光が1/4波長板87内を通過する位置以下、レーザ通過位置というと、偏光分離光変角素子11により走査されたレーザ光が1/4波長板87内を通過しない位置以下、レーザ非通過位置というとの間で移動可能に構成されている矢印Y1を参照。さらに1/4波長板87は、レーザ通過位置に配置された状態でレーザ光を走査した結果、物体を検知できなかった場合に、レーザ通過位置からレーザ非通過位置に移動し、逆に、レーザ非通過位置に配置された状態でレーザ光を走査した結果、物体を検知できなかった場合に、レーザ非通過位置からレーザ通過位置に移動するように制御される。次に、このように構成されたレーダ装置81において、レーダ波を反射した物体を検知する方法を説明する。まず、光源82から照射されたレーザ光が投光光学系4を通過して偏光分離光変角素子11に到達すると光L1を参照、偏光分離光変角素子11に到達したレーザ光のうち、上記格子方向に垂直な偏光方向を有する成分TE成分は、偏光分離光変角素子11で反射し、偏光分離光変角素子11の走査角度に応じた方向に向けてレーダ波として照射される光L3,L13を参照。そして、1/4波長板87がレーザ通過位置に配置されている場合には、走査されたレーザ光が1/4波長板87を通過し、これにより直線偏光から円偏光に変換されて物体Bに到達する光L61,L71を参照。このとき、物体Bの表面が、レーザ光が反射してもレーザ光の偏光方向が回転しない材料で形成されている場合には例えばキャッツアイ、物体Bで反射したレーザ光反射レーザ光が1/4波長板87を再度通過する光L62,L72を参照ことにより、反射レーザ光がTM成分の反射レーザ光に変換され、偏光分離光変角素子11に到達する光L63,L73を参照。さらに、偏光分離光変角素子11に到達したTM成分の反射レーザ光は、偏光分離光変角素子11を透過し光L64,L74を参照、受光光学系86を通過した後に光検出器3に到達する光L65,L75を参照。これにより、レーダ波を反射した物体を検知することができる。一方、1/4波長板87がレーザ非通過位置に配置されている場合には、偏光分離光変角素子11で走査されたレーザ光は、第1実施形態と同様に、物体Bで反射された後に偏光分離光変角素子11に到達する図1のL3,L4,L13,L14を参照。そして、偏光分離光変角素子11に到達した反射レーザ光のうち、TM成分が偏光分離光変角素子11を透過し図1の光L5,L15を参照、受光光学系86を通過した後に光検出器3に到達する光L65,L75を参照。これにより、レーダ波を反射した物体を検知することができる。また、光源82のシャッタが開放された時刻と、反射レーザ光を光検出器83が検出した時刻との差に基づいて、レーザ光を反射した物体までの距離を計測することができる。このように構成されたレーダ装置81によれば、レーザ光の偏光分離とレーダ波の走査との両方を偏光分離光変角素子11で行っているため、レーザ光の偏光分離を行う構成要素とレーザ光の走査を行う構成要素との間の位置関係についての調整を不要とすることができるとともに、構成要素数の削減によりレーダ装置81の小型化を容易にすることができる。また、1/4波長板87が上記レーザ通過位置に配置されるため、レーダ波が反射してもレーダ波の偏光方向が回転しないように表面が形成されている物体までの距離を検出することができる。以上説明した実施形態において、光検出器83は本発明における第2電磁波検出手段、1/4波長板87は本発明における偏光変換手段である。第4実施形態以下に本発明の第4実施形態について図面とともに説明する。なお第4実施形態では、第1実施形態と異なる部分のみを説明する。第4実施形態におけるレーダ装置1は、偏光分離光変角素子11の構成が変更された点以外は第1実施形態と同じである。図4aは、第4実施形態における偏光分離光変角素子11の構成を示す側面図である。第4実施形態における偏光分離光変角素子11は、図4aに示すように、光源2から照射されるレーザ光に対して反射抑制機能を有する構造体25以下、反射抑制構造体25というが追加された点以外は第1実施形態と同じである。反射抑制構造体25は、その表面にモスアイ構造が形成された部材であり、偏光分離構造体22上に形成されるとともに、基板21における偏光分離構造体22が形成されていない側の面上において偏光分離構造体22と対向するように形成される。すなわち反射抑制構造体25は、基板21の両面において、偏光分離構造体22と同様にして格子状に構成される。このように構成されたレーダ装置1によれば、光検出器3により検出されるレーザ光が、偏光分離光変角素子11におけるレーザ光の反射のために減少するのを抑制し、レーダ装置1の検出精度の低下を抑制することができる。第5実施形態以下に本発明の第5実施形態について図面とともに説明する。なお第5実施形態では、第4実施形態と異なる部分のみを説明する。第5実施形態におけるレーダ装置1は、偏光分離光変角素子11の構成が変更された点以外は第4実施形態と同じである。図4bは、第5実施形態における偏光分離光変角素子11の構成を示す側面図である。第5実施形態における偏光分離光変角素子11は、図4bに示すように、1/4波長板の機能を有する構造体26以下、1/4波長板構造体26というが追加された点以外は第4実施形態と同じである。1/4波長板構造体26は、光源2から照射されるレーザ光の波長よりも短い格子間隔で形成された回折格子であり、基板21における偏光分離構造体22が形成されていない側の面上において、基板21と反射抑制構造体25との間に形成される。すなわち1/4波長板構造体26は、偏光分離構造体22と同様にして格子状に構成される。第6実施形態以下に本発明の第6実施形態について図面とともに説明する。なお第6実施形態では、第5実施形態と異なる部分のみを説明する。第6実施形態におけるレーダ装置1は、偏光分離光変角素子11の構成が変更された点以外は第5実施形態と同じである。図4cは、第6実施形態における偏光分離光変角素子11の構成を示す側面図である。第6実施形態における偏光分離光変角素子11は、図4cに示すように、基板27と偏光分離構造体28と反射抑制構造体29が追加された点以外は第5実施形態と同じである。基板27は、基板21と同様にレーザ光を透過可能な材料で板形状に形成されており、反射抑制構造体25上において基板21と対向するように配置される。偏光分離構造体28は、偏光分離構造体22と同様の材料で形成され、基板27における基板21と対向していない側の面上において、反射抑制構造体25と対向するように形成される。反射抑制構造体29は、その表面にモスアイ構造が形成された部材であり、偏光分離構造体28上に形成される。すなわち反射抑制構造体29は、反射抑制構造体25と同様にして格子状に構成される。このように構成されたレーダ装置1では、基板21,27のそれぞれについて偏光分離機能と反射抑制機能を有するように形成されているため、1枚の基板21を用いて偏光分離光変角素子11を構成する場合と比較して、基板の枚数が多い分、偏光分離機能と反射抑制機能を向上させることができる。第7実施形態以下に本発明の第7実施形態について図面とともに説明する。なお第7実施形態では、第1実施形態と異なる部分のみを説明する。第7実施形態におけるレーダ装置1は、偏光分離光変角素子11の構成が変更された点以外は第1実施形態と同じである。図5aは、第7実施形態における偏光分離光変角素子11の構成を示す平面図である。第7実施形態における偏光分離光変角素子11は、図5aに示すように、レーザ光を通過させるための開口121aが設けられた板形状の基板121と、偏光分離機能を有する構造となるように基板121上に形成された偏光分離構造体122と、偏光分離構造体122を支持するために基板121上に形成された支持部材123とから構成される。基板121に設けられた開口121aは円形状に形成されている。そして偏光分離構造体122は、開口121aの開口面上において、第1実施形態と同様に、導電性材料で形成された複数の細線を所定の配置間隔で予め設定された方向格子方向に沿って平行に配置することにより格子状に構成される。また支持部材123は、レーザ光を透過可能な材料で帯状に形成され、開口121aの開口面上において、その長手方向が上記格子方向と直交するようにして配置される。このように構成されたレーダ装置1によれば、偏光分離構造体122を透過するTM成分のレーザ光は開口121a内を通過するため、光源2から照射されるレーザ光を透過可能な材料で基板を形成する必要がなくなり、基板材料の選択の自由度が向上する。また、支持部材123により、偏光分離構造体122の細線を開口121aの周縁部だけではなく開口内でも支持することができるため、開口131aの周縁部だけで支持する場合と比較して、自身の加重で細線が切断されてしまうという事態の発生を抑制することができる。第8実施形態以下に本発明の第8実施形態について図面とともに説明する。なお第8実施形態では、第1実施形態と異なる部分のみを説明する。第8実施形態におけるレーダ装置1は、偏光分離光変角素子11の構成が変更された点以外は第1実施形態と同じである。図5bは、第8実施形態における偏光分離光変角素子11の構成を示す平面図である。第8実施形態における偏光分離光変角素子11は、図5bに示すように、レーザ光を通過させるための開口131aが設けられた板形状の基板131と、偏光分離機能を有する構造となるように基板131上に形成された偏光分離構造体132とから構成される。基板131に設けられた開口131aは矩形状に形成されている。そして偏光分離構造体132は、開口121aの開口面上において、第1実施形態と同様に導電性材料で形成された複数の細線を、開口131aを構成する4辺のうち互いに対向する2辺の間で掛け渡すようにして、所定の配置間隔で予め設定された方向格子方向に沿って平行に配置することにより格子状に構成される。このように構成されたレーダ装置1によれば、偏光分離構造体132を透過するTM成分のレーザ光は開口131a内を通過するため、光源2から照射されるレーザ光を透過可能な材料で基板を形成する必要がなくなり、基板材料の選択の自由度が向上する。以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採ることができる。例えば上記第1実施形態では、偏光分離光変角素子11が回転軸23を中心にして振動することによってレーザ光の1次元走査を行うものを示したが、偏光分離光変角素子11が2次元走査を行うようにしてもよい。また上記第1実施形態では、レーザ光が反射してもレーザ光の偏光方向が回転しない素子を再帰性反射素子12として用いたが、レーザ光が反射するとレーザ光の偏光方向が90°回転する素子が再帰性反射素子12として用いられている場合には、1/4波長板13は不要である。また上記第1実施形態では、光源2から照射されたレーザ光を透過可能な材料で形成された基板21を用いた偏光分離光変角素子11を示したが、光源2から照射されたレーザ光と異なる波長の電磁波の通過を阻止する材料で形成された基板を用いるようにしてもよい。このように構成されたレーダ装置1によれば、光源2から照射されたレーザ光と異なる波長の電磁波が偏光分離光変角素子11を透過して光検出器3により検出されることによりノイズになってしまうという事態の発生を抑制し、レーダ装置1の検出精度の低下を抑制することができる。また上記第3実施形態では、受光光学系86を介してレーザ光を光検出器3へ導くものを示したが、図6に示すように、受光光学系86を省略するようにしてもよい。但し、この場合には、偏光分離光変角素子11の走査角度範囲に応じて、上記第3実施形態よりも、光検出器3の検出面の面積を大きくする必要がある。また上記第4実施形態では、反射抑制機能部材としてモスアイ構造が形成された部材を用いたものを示したが、反射抑制機能を有するものであればこれに限定されるものではなく、例えば誘電体多層膜を反射抑制機能部材として用いてもよい。また上記第6実施形態では、2枚の基板を積層して偏光分離光変角素子11を構成するものを示したが、3枚以上の基板を積層して偏光分離光変角素子11を構成するようにしてもよい。また上記第7実施形態では、基板121に設けられた開口121aが円形状に形成されているものを示したが、開口121aの形状はこれに限定されるものではなく、任意の形状を採用することができる。また上記第8実施形態では、基板131に設けられた開口131aが矩形状に形成されているものを示したが、開口131aの形状はこれに限定されるものではなく、任意の形状を採用することができる。"