"セルと基板との間に充填材が配置された構成を有する太陽電池モジュールのセルの反りを測定する反り測定装置であって、前記基板との間にエアギャップを形成するため、前記基板の表面にエアを噴出するヘッドと、前記ヘッドに設けられたコイルと、前記コイルに接続された発振器と、前記発振器中の少なくとも一部の素子を所定の温度に保つ恒温槽と、を備えた反り測定装置。前記発振器と前記コイルを接続したときの発振周波数に応じて、前記セルの反り量を測定する制御部をさらに備える請求項1、又は2に記載の反り測定装置。前記発振器の発振周波数よりも高い動作周波数で動作するADコンバータをさらに備え、前記ADコンバータが、前記発振器の高周波電圧をデジタル信号に変換し、前記デジタル信号から前記高周波電圧の中心レベルを横切るタイミングを求め、前記タイミングに基づいて、前記発振周波数を算出する請求項1、又は2に記載の反り測定装置。前記セルと前記ヘッドとを第1の方向に相対移動させる駆動機構をさらに備え、前記第1の方向における相対移動の両端近傍において、前記コイルと前記発振器を切り離した時の発振周波数を測定し、前記両端の発振周波数によって、前記両端の間の位置において基準となる発振周波数を補間して、前記第1の方向における移動の途中において、前記コイルと前記発振器とを接続したときの発振周波数と前記補間された発振周波数との差分に基づいて、反り量を測定する請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の反り測定装置。前記コイルが設けられたヘッドが複数設けられ、前記太陽電池モジュールの上の前記複数のヘッドのうち、前記発振器と接続される1つのヘッドを選択的に切り替えるマルチプレクサが設けられている請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の反り測定装置。中心線と、外部被覆と、前記中心線と前記外部被覆との間に設けられた内部被覆と、を備えたトライアキシャルケーブルによって、前記コイルと前記発振器が接続され、前記中心線が前記コイルの一端と前記発振器の出力とを接続し、前記外部被覆が前記コイルの他端と接続し、前記内部被覆が前記発振器の出力とドライバを介して接続されている請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の反り測定装置。セルと基板との間に充填材が配置された構成を有する太陽電池モジュールのセルの反りを測定する反り測定装置であって、前記太陽電池モジュールとの間にエアギャップを形成するため前記基板の表面にエアを噴出するステップと、少なくとも一部の素子が所定の温度に保たれた発振器によって、前記ヘッドに設けられたコイルに交流磁界を発生させるステップと、前記発振器の発振周波数を求めるステップと、を備える反り測定方法。前記ヘッドと前記セルを相対移動したときの前記発振器の発振周波数分布に応じて、前記セルの反り分布を測定する請求項7に記載の反り測定方法。前記発振器の発振周波数よりも高い動作周波数で動作するADコンバータによって、前記発振器の高周波電圧をデジタル信号に変換し、前記デジタル信号から前記高周波電圧の中心レベルを横切るタイミングを求め、前記タイミングに基づいて、前記発振周波数を算出する請求項7、又は8に記載の反り測定方法。前記セルと前記ヘッドとを第1の方向に相対移動させ、前記第1の方向における相対移動の両端近傍において、前記コイルと前記発振器を切り離した時の発振周波数を測定し、前記両端の発振周波数によって、前記両端の間の位置において基準となる発振周波数を補間して、前記第1の方向における移動の途中において、前記コイルと前記発振器とを接続したときの発振周波数と前記補間された発振周波数との差分に基づいて、反り量を測定する請求項7~請求項9のいずれか1項に記載の反り測定方法。前記太陽電池モジュールの上に、前記ヘッドを複数配置して、前記太陽電池モジュールと前記複数のヘッドとを相対移動させることで走査し、前記太陽電池モジュールの上の前記複数のヘッドのうち、前記発振器と接続される1つのヘッドを選択的に切り替えて、前記発振周波数を測定する請求項7~請求項10のいずれか1項に記載の反り測定方法。中心線と、外部被覆と、前記中心線と前記外部被覆との間に設けられた内部被覆と、を備えたトライアキシャルケーブルによって、前記コイルと前記発振器が接続され、前記中心線が前記コイルの一端と前記発振器の出力とを接続し、前記外部被覆が前記コイルの他端と接続し、前記内部被覆が前記発振器の出力とドライバを介して接続されている請求項7~請求項11のいずれか1項に記載の反り測定方法。前記複数のセルを接続するインターコネクタと直交する方向に前記ヘッドと前記太陽電池モジュールを相対移動させることで、走査を行う請求項7~請求項12のいずれか1項に記載の反り測定方法。このような太陽電池モジュールでは、セルの反りによる割れなどが問題になる。例えば、反りによる応力が加わっている部分では、セルに割れが発生したり、発電性能が劣化してしまったりする。太陽電池モジュール内セルの反りを測定することで、製造工程のプロセス条件を最適化することができる。よって、割れや発電効率の劣化を防ぐことができる。しかしながら、太陽電池モジュールの反りを簡便に測定することは困難である。例えば、太陽電池モジュールのガラス表面とセルの受光面との距離を光学的に測定しようとする場合、測定時間が長くなってしまう。本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、簡便に太陽電池モジュールの反りを測定することができる反り測定装置、及び反り測定方法を提供することを目的とする本発明の第1の態様に係る反り測定装置は、セルと基板との間に充填材が配置された構成を有する太陽電池モジュールのセルの反りを測定する反り測定装置であって、前記基板との間にエアギャップを形成するため、前記基板の表面にエアを噴出するヘッドと、前記ヘッドに設けられたコイルと、前記コイルに接続された発振器と、前記発振器中の少なくとも一部の素子を所定の温度に保つ恒温槽と、を備えたものである。これにより、簡便に太陽電池モジュールの反りを測定することができる。本発明の第2の態様に係る反り測定装置は、上記の反り測定装置において、前記発振器と前記コイルを接続したときの発振周波数に応じて、前記セルの反り量を測定する制御部をさらに備えるものである。本発明の第3の態様に係る反り測定装置は、上記の反り測定装置において、前記発振器の発振周波数よりも高い動作周波数で動作するADコンバータをさらに備え、前記ADコンバータが、前記発振器の高周波電圧をデジタル信号に変換し、前記デジタル信号から前記高周波電圧の中心レベルを横切るタイミングを求め、前記タイミングに基づいて、前記発振周波数を算出するものである。これにより、短時間での測定が可能になる。本発明の第4の態様に係る反り測定装置は、上記の反り測定装置において、前記セルと前記ヘッドとを第1の方向に相対移動させる駆動機構をさらに備え、前記第1の方向における相対移動の両端近傍において、前記コイルと前記発振器を切り離した時の発振周波数を測定し、前記両端の発振周波数によって、前記両端の間の位置において基準となる発振周波数を補間して、前記第1の方向における移動の途中において、前記コイルと前記発振器とを接続したときの発振周波数と前記補間された発振周波数との差分に基づいて、反り量を測定するものである。これにより、正確に測定することができる。本発明の第5の態様に係る反り測定装置は、上記の反り測定装置において、前記コイルが設けられたヘッドが複数設けられ、前記太陽電池モジュールの上の前記複数のヘッドのうち、前記発振器と接続される1つのヘッドを選択的に切り替えるマルチプレクサが設けられているものである。これにより、短時間での測定が可能になる。本発明の第6の態様に係る反り測定装置は、上記の反り測定装置において、中心線と、外部被覆と、前記中心線と前記外部被覆との間に設けられた内部被覆と、を備えたトライアキシャルケーブルによって、前記コイルと前記発振器が接続され、前記中心線が前記コイルの一端と前記発振器の出力とを接続し、前記外部被覆が前記コイルの他端と接続し、前記内部被覆が前記発振器の出力とドライバを介して接続されているものであるこれにより、正確に測定することができる。本発明の第7の態様に係る反り測定方法は、セルと基板との間に充填材が配置された構成を有する太陽電池モジュールのセルの反りを測定する反り測定装置であって、前記太陽電池モジュールとの間にエアギャップを形成するため前記基板の表面にエアを噴出するステップと、少なくとも一部の素子が所定の温度に保たれた発振器によって、前記ヘッドに設けられたコイルに交流磁界を発生させるステップと、前記発振器の発振周波数を求めるステップと、を備えるものである。これにより、簡便に太陽電池モジュールの反りを測定することができる本発明の第8の態様に係る反り測定方法は、上記の反り測定方法において、前記ヘッドと前記セルを相対移動したときの前記発振器の発振周波数分布に応じて、前記セルの反り分布を測定するものである。本発明の第9の態様に係る反り測定方法は、上記の反り測定方法において、前記発振器の発振周波数よりも高い動作周波数で動作するADコンバータによって、前記発振器の高周波電圧をデジタル信号に変換し、前記デジタル信号から前記高周波電圧の中心レベルを横切るタイミングを求め、前記タイミングに基づいて、前記発振周波数を算出するものである。これにより、短時間での測定が可能になる。本発明の第10の態様に係る反り測定方法は、上記の反り測定方法において、前記セルと前記ヘッドとを第1の方向に相対移動させ、前記第1の方向における相対移動の両端近傍において、前記コイルと前記発振器を切り離した時の発振周波数を測定し、前記両端の発振周波数によって、前記両端の間の位置において基準となる発振周波数を補間して、前記第1の方向における移動の途中において、前記コイルと前記発振器とを接続したときの発振周波数と前記補間された発振周波数との差分に基づいて、反り量を測定するものである。これにより、正確に測定することができる。本発明の第11の態様に係る反り測定方法は、上記の反り測定方法において、前記太陽電池モジュールの上に、前記ヘッドを複数配置して、前記太陽電池モジュールと前記複数のヘッドとを相対移動させることで走査し、前記太陽電池モジュールの上の前記複数のヘッドのうち、前記発振器と接続される1つのヘッドを選択的に切り替えて、前記発振周波数を測定するものである。これにより、短時間での測定が可能になる。本発明の第13の態様に係る反り測定方法は、上記の反り測定方法において、中心線と、外部被覆と、前記中心線と前記外部被覆との間に設けられた内部被覆と、を備えたトライアキシャルケーブルによって、前記コイルと前記発振器が接続され、前記中心線が前記コイルの一端と前記発振器の出力とを接続し、前記外部被覆が前記コイルの他端と接続し、前記内部被覆が前記発振器の出力とドライバを介して接続されているものである。これにより、正確に測定することができる。本発明の第14の態様に係る反り測定方法は、上記の反り測定方法において、前記複数のセルを接続するインターコネクタと直交する方向に前記ヘッドと前記太陽電池モジュールを相対移動させることで、走査を行うものである。これにより、効果的に反りを測定することができる。本発明によれば、簡便に太陽電池モジュールの反りを測定することができる厚さ測定装置、及び厚さ測定方法を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施の形態を示すものであって、本発明の範囲が以下の実施の形態に限定されるものではない。以下の説明において、同一の符号が付されたものは実質的に同様の内容を示している。実施の形態1.本実施形態に係る反り測定装置の測定対象物は、太陽電池モジュールのセルである。太陽電池モジュールの構成の一例について、図1を用いて説明する。図1は、太陽電池モジュール20の構成を簡略化して示す断面図である。ここでは、多結晶等の結晶系シリコンのセル21を用いた太陽電池モジュール20が示されている。太陽電池モジュール20は、基板22と、セル21と、裏面材23とが積層された構成となっており、セル21が基板22と裏面材23の間に挟まれている。また、基板22とセル21との間とに充填材24が配置され、セル21と裏面材23の間に充填材25が配置されている。基板22は、例えば、透光性のガラス基板であり、裏面材23は、アルミ箔を挟持した耐候性を有するフッ素系樹脂などである。充填材24は、基板22と略同じ屈折率を有するエチレンビニルアセテートEVA等によって形成されている。充填材25も充填材24と同様のEVAである。充填材24、25によって、セル21が基板22と裏面材23に貼り合わせられている。より具体的には、EVAを均一に加熱させて、架橋することで、セル21が基板22と裏面材23とにラミネートされる。基板22、裏面材23が、セル21を保護する保護材となる。セル21には、表面電極21aと裏面電極21bが形成されている。セル21の両面に金属ペーストをスクリーン印刷方法などによりそれぞれ印刷し、焼成することによって、表面電極21aと裏面電極21bを形成することができる。表面電極21aの材料には、例えばアルミニウムが用いられ、裏面電極21bの材料には、アルミニウム、あるいは銀が用いられる。従って、表面電極21aと裏面電極21bは反磁性を有する導電面となる。表面電極21aは、インターコネクタ図示せずを介して隣接するセルの裏面電極21bと接続される。これにより、複数のセル21が直列接続される。例えば、1つのセル21の発電量が0.5V×8A=4Wとした場合、6×8のマトリクス状にセル21を配置すると、1モジュール当たりの発電量は、24V×8A=192Wとなる。なお、セル21が6インチであるとすると、6×8の太陽電池モジュール20は、約1.3m×1.0mの大きさとなる。本実施の形態に係る反り測定装置は、基板22側から導体面までの距離を測定することで、太陽電池モジュール20の反りを測定する。太陽電池モジュールの反りの原因としては、例えば、以下の1~3が挙げられる。1セルの製造工程において、表面電極として、銀パータンのメッシュが形成され、裏面電極として、アルミニウムと一部銀などが焼き付けられる。焼き縮みは裏面の方が強く起るため、表面が凸になるような反りが生じることが多い。この反りは、セル21を定盤上に置く、裏表を反対にする、縦置きにするなどによって、簡便に測定することができる。2インターコネクタの半田付けにより後天的にセルの反りが発生する。この反りは、バスライン方向に曲がるのが一般的である。基板22上に、充填材24を置き、さらに充填材24の上に配線済みのセル21を配置する。そして、後述する測定ヘッドをセル21の下に配置して、走査することで反りを測定する。反りがバスラインの方向に発生するので、バスライン方向に沿って走査することが望ましい。3複数のセルをモジュール化する工程で、EVAの熱架橋をしながらラミネートする時、EVAが軟化する速度ムラが生じる。これにより、セルの外周部から内方向にEVAが移動して、EVAの厚さにムラが生じる。このような、ラミネート工程におけるEVAの反りが発生する。特に、2、3の原因による反りが主となる。例えば、モジュール化後において、基板22の表面からセル21の導体面の距離を測定することによって、EVAの厚さ分布、すなわち、反り量を測定することができる。全体構成反り測定装置の全体構成に付いて図2を用いて説明する。図2は、反り測定装置の全体構成を模式的に示す斜視図である。図2に示すように、反り測定装置は、ステージ11とカバー12と可動部13とクランプ14と恒温槽16と制御装置17と測定アーム30とを備えている。ステージ11上には、測定対象である太陽電池モジュール20が載置される。カバー12はステージ11に対して開閉可能に設けられている。太陽電池モジュール20に対して測定を行う際は、カバー12が閉じられる。一方、太陽電池モジュール20を取り出す、又は設置する際には、カバー12が開けられる。ステージ11上に、太陽電池モジュール20が載置されている。太陽電池モジュール20は、クランプ14に把持される。すなわち、クランプ14は、太陽電池モジュール20の一端を把持する。クランプ14は、可動部13に、スライド可能に取り付けられている。クランプ14は、可動部13に対して、Y方向に移動する。また、可動部13は、ステージ11にスライド可能に取り付けられている。可動部13は、ステージ11上をX方向に移動する。クランプ14をY方向、可動部13をX方向に駆動することで、太陽電池モジュール20がXY方向に自在に移動する。なお、コンピュータ等である制御装置17によってクランプ14と可動部13を制御して、太陽電池モジュール20の移動を自動制御にしてもよい。これにより、太陽電池モジュール20の全面測定を自動で行うことができる。さらに、ステージ11には、測定アーム30が取り付けられている。測定アーム30は、ステージ11の奥側-Y側の端から、ステージ11の中央まで延設している。測定アーム30の先端部分は、太陽電池モジュール20の上に配置される。すなわち、測定アーム30に先端に設けられた測定ヘッドの直下に太陽電池モジュール20が配置される。測定ヘッドが太陽電池モジュール20に対して測定を行う。そして、クランプ14と可動部13によって太陽電池モジュール20をXY方向に移動することで、測定ヘッドと太陽電池モジュール20の相対位置が変化する。太陽電池モジュール20の任意の位置を測定することができる。測定ヘッドと太陽電池モジュール20を徐々にずらしていくことで、太陽電池モジュール20の全面を測定することができる。さらに、ステージ11の端部には、恒温槽16が取り付けられている。恒温槽16は、測定アーム30の近傍に配置されている。恒温槽16の内部には、測定を行うための発振器が収納されている。後述するように、発振器の発振周波数に応じて、反り量を測定する。ここでは、温度変化による発振周波数の温度変動が問題となるため、恒温槽16は、発振器等を所定の温度に保っている。例えば、恒温槽16は、46°Cでほぼ一定になるように温度調整している。例えば、恒温槽16は、発振器を収納する真鍮などの金属製の箱を有している。さらに、金属製の箱の周りが発泡スチロールなどの断熱材で覆われている。制御装置17は、恒温槽16を一定の温度で保つように温調する。さらには、制御装置17は、パーソナルコンピュータ等の演算処理装置ではあり。発振器の発振周波数を記憶して、太陽電池モジュール20の反り分布を測定する。測定アーム次に、測定アーム30の構成に付いて、図3を用いて説明する。図3は、測定アーム30の構成を模式的に示す側面図である。測定部となる測定アーム30は、測定ヘッド31、板バネ32、ベース33、先端アーム34、ベースアーム35、高さ調整機構38、差動トランス60を備えている。ステージ11の端には、ベース33が立設されている。ベース33には、ベースアーム35が取り付けられている。すなわち、ベース33は、ベースアーム35を支持している。ベースアーム35は、ベース33からY方向に延びている。ベースアーム35よりも先端側には、Y方向に延びる先端アーム34が配置されている。そして、先端アーム34とベースアーム35は、一対の板バネ32によって連結されている。すなわち、ベースアーム35は、板バネ32を介して、先端アーム34を支持している。一対の板バネ32は、上下に離間して配置されている。そして、板バネ32は、先端アーム34の上面と下面に取り付けられている。一対の板バネ32は、板バネ式平行リンク機構を構成している。これにより、測定ヘッド31が略一定の力で太陽電池モジュール20に押し付けられる。板バネ32が撓むことで、先端アーム34が、ベースアーム35に対して、上下に変位する。先端アーム34の先端には、測定ヘッド31が取り付けられている。板バネ32は、先端アーム34と測定ヘッド31の重量等に応じて撓んでいる。もちろん、板バネ式平行リンクに限らず、太陽電池モジュール20の表面高さに応じて測定ヘッド31を上下に変位させる構造であればよい。測定ヘッド31には、測定を行うための回路が設けられている。また、測定ヘッド31には、噴出口が設けられている。噴出口からは、太陽電池モジュール20に対してエアが噴出する。エアが太陽電池モジュール20の表面に沿って流れることによって、測定ヘッド31と太陽電池モジュール20の表面との間に、エアギャップ隙間が形成される。エアギャップは、エア圧力によって変化する。また、エア圧力を一定の状態とし、太陽電池モジュール20の表面高さが変化すると、エアギャップが一定になるように、測定ヘッド31が上下する。太陽電池モジュール20の表面高さやエアギャップ長に応じて、板バネ32の撓み量が変化する。例えば、エアを停止した状態で、板バネ32の撓み量が小さくなる。エアの圧力を高くして、エアギャップが大きくなると、板バネ32の撓み量が大きくなる。一対の板バネ32は、平行板バネリンク機構を構成している。エア圧力を一定にすると、板バネ32が下方向-Z方向に向かって、略一定の弾性力を発生する。この弾性力によって測定ヘッド31が太陽電池モジュール20に押し付けられ、エアギャップが一定となる。一定のエアギャップを安定して得ることができる。さらに、エア圧力を調整することで、所望のエアギャップ長を得ることができる。従って、適当なエアギャップを保った状態で、測定ヘッド31をエア浮上させることができる。なお、測定ヘッド31の詳細な構成については、後述する。ベースアーム35には、高さ調整機構38が取り付けられている。高さ調整機構38は、例えば、マイクロメータであり、ベースアーム35を上下方向Z方向に送り出すことができる。あるいは、高さ調整機構38としてリニアガイド機構とモータを用い、ベースアーム35を自動送りするようにしてもよい。ベース33に対して、ベースアーム35がZ方向に移動する。高さ調整機構38によって、測定ヘッド31と太陽電池モジュール20との距離が変化する。太陽電池モジュール20に応じて高さを調整することで、様々な厚さの太陽電池モジュール20を評価することができる。なお、高さ調整機構38の取り付け位置は、ベースアーム35に限られるものではない。例えば、先端アーム34や測定ヘッド31に高さ調整機構38を取り付けても良い。ベースアーム35には、エアによる浮上量を測定する差動トランス60の主要部分が設けられている。具体的には、ベースアーム35には、1次コイル63と2次コイル62が取り付けられている。1次コイル63の上下両側には2次コイル62が配置されている。2次コイル62は、1次コイル63を挟んで、対称に配置されている。また、先端アーム34には、樹脂サポート39が設けられている。樹脂サポート39は、差動トランス60のコア61を支持している。コア61は、先端アーム34と連動する。高周波用差動トランスを実現するため、コア61には、例えば、フェライトコアが用いられる。コア61は、1次コイル63の内部に配置されている。同様に、コア61は、2次コイル62の内部に配置されている。コア61が基準となる高さにある場合、1次コイル63の上下両側に設けられた2次コイル62に対して、コア61が対称に配置される。1次コイル63には、励磁用のケーブル66が接続されている。なお、後述するようにケーブル66には、後述する発振器の高周波電圧がバッファアンプを介して供給されている。2次コイル62には、検出用のケーブル67が接続されている。ケーブル66、及びケーブル67は、例えば、同軸ケーブルである。ケーブル66を介して、交流電圧を供給することで、1次コイル63が励磁される。先端アーム34がベースアーム35に対して上下すると、2次コイル62に対して、コア61が上下する。コア61が基準となる高さにある場合、上下の2次コイル62に誘起される交流電圧誘起電圧は等しくなる。よって、差動電圧が0となる。コア61が基準高さから上下にずれると、2次コイル63に対するコア61の位置が対称でなくなる。よって、上下の2次コイル62の誘起電圧に差が生じ、その差に応じた交流電圧差動電圧が現れる。ケーブル67を介して差動電圧を検出することで、コア61の高さ変化を測定することができる。すなわち、ベースアーム35に対する先端アーム34の位置変化を測定することができる。先端アーム34の位置変化は、制御装置17に入力される。差動トランス60によって、エアによる浮上量を測定することができる。例えば、エアの圧力が変化すると、測定ヘッド31と太陽電池モジュール20との間のエアギャップが変化する。よって、ベースアーム35に対する測定ヘッド31及び測定ヘッド31を支持する先端アーム34の位置が上下に変化する。すなわち、先端アーム34を支持する板バネ32の撓み量が変化する。従って、2次コイル62に対するコア61の位置が、上下に変化する。コア61の位置変化を2次コイル62の差動電圧によって測定する。このようにすることで、エア圧力とエアによる浮上量の関係を求めることができる。例えば、エアの噴出を停止させて、太陽電池モジュール20と測定ヘッド31を接触させた状態として、差動トランス60での測定を行う。さらに、所定の圧力のエアを噴出させてエア浮上させた状態で、差動トランス60で測定を行う。この2つの測定値を比較することで、あるエア圧力におけるエア浮上量を測定することができる。このエア浮上量が、太陽電池モジュール20と測定ヘッド31とのエアギャップ長となる。さらには、エア圧力を徐々に変えていくことで、エア圧力と、エア浮上量との関係を求めることができる。差動トランス60では、先端アーム34側のコア61と、ベースアーム35側のコイルが接触していない。すなわち、差動トランス60は、測定対象に非接触で測定することができる非接触式のセンサである。非接触式のセンサを用いることで、エアギャップに対する影響を抑制することができる。すなわち、非接触式センサである差動トランス60を用いているため、差動トランス側から、板バネ32に力が加わらない。板バネ32を柔らかくすることができ、動作をしなやかにすることができる。よって、エアギャップを一定に保つことができる。もちろん、差動トランス60以外のセンサで、ベースアーム35に対する測定ヘッド31の上下位置を測定しても良い。さらに、測定対象の太陽電池モジュール20をステージ11上に載置した場合、高さ調整機構38で測定ヘッド31を下げていく。測定ヘッド31が太陽電池モジュール20の表面に対して十分離れた状態では、エア浮上していない。そして、測定ヘッド31を下げていき、測定ヘッド31が太陽電池モジュール20に対してある距離まで近づくと、エア浮上する。すると、ベースアーム35に対する測定ヘッド31の高さが変化する。従って、差動トランス60によって、エア浮上する高さを確認することができる。なお、モータ等で高さを自動制御する場合、接点などで、エア浮上する高さを検知しても良い。例えば、先端アーム34やベースアーム35に接点などを設ける。こうすることで、エア浮上したことを検知することができる。そして、エア浮上を検知した時点から、所定量だけ測定ヘッド31を下降させる。こうすることで、板バネ32の平行リンクによるエアギャップへの圧力を一定にし、エアギャップ長を正確に制御することができる。測定ヘッド31が、太陽電池モジュール20に対する測定を行う。測定ヘッド31の直下の位置で、太陽電池モジュール20に対する測定を行うことができる。その位置での測定が終了したら、太陽電池モジュール20を所定量だけ、XY方向に変位させる。すなわち、図2で示したように、太陽電池モジュール20をXY方向に移動する。そして、移動後の位置で、同様に測定を行う。これを繰り返すことで、太陽電池モジュール20の全体に対して測定を行うことができる。測定ヘッド次に、測定ヘッド31の構成について、図4と図5を用いて説明する。図4は、測定ヘッド31の構成を模式的に示す側面図であり、図5は下面図である。測定ヘッド31は、本体部40とコイル41と噴出口42を有している。本体部40は、例えば、略円筒状の部材であり、プラスチック材料によって形成されている。本体部40の下側には、円筒状の凸部44が設けられている。凸部44は、下側に突出しており、その突出量は、0.5mm程度である。XY平面において、凸部44は、本体部40の中央に配置されている。凸部44は直径3mm~5mm程度の円筒状となっている。さらに、測定ヘッド31には、エアの噴出口42が設けられている。本体部40に設けられた貫通孔がエアの噴出口42となる。噴出口42は、本体部40の中心を通っている。噴出口42から下方にエア空気が噴出される。すなわち、図3の矢印方向にエアが噴出される。このエアは、太陽電池モジュール20の表面に沿って、外側に流れていく。これにより、測定ヘッド31の凸部44と、太陽電池モジュール20との間に、エアギャップが形成される。すなわち、測定ヘッド31が太陽電池モジュール20の上でエア浮上する。例えば、エアギャップが10μmとなるような、圧力でエアを噴出する。なお、噴出口42から噴出する気体は、エア空気に限らず、窒素などの他の気体であってもよい。円筒状の本体部40の外周には、コイル41が巻き付けられている。例えば、コイルは75ターン程度で巻かれている。後述するように、コイル41には、発振器からの高周波電圧が供給されている。よって、コイル41は、交流磁界を生成する。コイル41に電流が流れると、コイル41の中心ではZ方向に磁力線が発生する。すなわち、XY面における測定ヘッド31の中心では、太陽電池モジュール20に向かっていく方向、又はその反対方向に磁力線が発生する。そして、図4及び図5に示した測定ヘッド31は、図6に示すようにケーブル51を介して発振器50に接続される。また、ケーブル51の途中には、発振器50とコイル41の接続をON/OFFするリレースイッチ53が設けられている。測定ヘッド31は、太陽電池モジュール20に対向配置され、コイル41は、太陽電池モジュール20と直交する方向に磁力線を発生させる。測定ヘッドの回路構成次に、測定ヘッド31の回路構成に付いて図7を用いて説明する。図7は、測定ヘッド31に接続された発振器と温度調整回路の構成を示す回路図である。なお、図7に示す構成は、回路の構成例を示すものであり、測定回路は図7の構成に限定されるものではない。セル21の導体面26はグランドに接続されている。なお、導体面26は、上述の通り、セル21に設けられた表面電極や裏面電極、あるいはインターコネクタの反磁性材料によって構成される。測定ヘッド31には、上述のように、コイル41が設けられている。コイル41は、導電線であるケーブル51を介して、発振器50に接続されている。すなわち、発振器50で生成される高周波電圧は、ケーブル51を介して、コイル41に供給される。ケーブル51は、例えば、同軸ケーブルであり、中心導体51aがコイル41の一端に接続され、外部被覆51cがコイル41の他端に接続されている。外部被覆51cが接地されている。また、発振器50とケーブル51の間には、リレースイッチ53が設けられている。中心導体51aは、リレースイッチ53を介して、発振器50に接続されている。リレースイッチ53は、発振器50とコイル41との接続をON/OFF制御する。測定ヘッド31から導体面26までの距離を測定する場合には、制御装置17がリレースイッチ53をオンすることで、コイル41と発振器50を接続する。発振器50は、LC発振回路であり、具体的には、コルピッツ型発振回路である。発振器50は、1つのコイルLoscと、2つのコンデンサC1,C2とを有している。発振器50の出力とグランドの間には、2つのコンデンサC1、C2が直列に接続されている。コンデンサC1、C2は、それぞれ220pFであり、合成キャパシタンスは110pFとなる。また、3.8μHのコイルLoscは、2つのコンデンサC1,C2と並列に接続されている。発振周波数を求めるため、発振器50の出力側では、同軸端子が周波数カウンタ等に接続される。また、同軸端子は、差動トランス60を励磁するための1次コイル63に接続されている。後述するように、温度変化による発振周波数の変動が問題となるため、コンデンサC1、C2には、温度係数の小さい、すなわち温度変化に対する特性変動の少ない低誘電率系セラミックコンデンサを用いている。また、コイル41やコイルLoscとしては、温度係数の小さい空芯コイルを用いることができる。もちろん、空芯コイルの代わりにフェライトのコイルを用いてもよい。制御装置17がリレースイッチ53をオンすることで、コイル41と発振器50が接続する。従って、コイル41と発振器50のコイルLoscの合成インダクタンスに応じて、発振周波数が変化する。ここで、測定ヘッド31と導体面26に距離に応じて、コイル41のインダクタンスが変化する。よって、発振器50の発振周波数を測定することで、導体面26までの距離を測定することができる。この原理について、以下に説明する。リレースイッチ53が発振器50をコイル41に接続する。これにより、コイル41が、交流磁界を発生する。太陽電池モジュール20には、アルミニウムや銀等からなる表面電極21aや裏面電極21bが反磁性を示す導体面26となる。反磁性体である導体面26の近傍で交流磁界が発生する。すなわち、導体面26と直交する方向に磁力線が発生する。すると、導体面26の表面に渦電流が生じて、磁力線が減る。すなわち、コイル磁界の変化を打ち消す方向に、渦電流が発生する。磁力線の数が減るので、インダクタンスが小さくなる。そして、インダクタンスの減少量は、導体面26とコイル41の距離に応じて変化する。すなわち、導体面26とコイル41が設けられた測定ヘッド31とが近づくほど、インダクタンスが大きく減少する。一方、噴出口42から噴出するエアを一定圧力とすることで、エアギャップ長は略一定になっている。すなわち、基板22の表面と測定ヘッド31との距離は略一定になっている。従って、充填材24が薄くなると、導体面26と測定ヘッド31との距離が小さくなり、充填材24が厚くなると導体面26と測定ヘッド31との距離が大きくなる。このように、充填材24の厚さに応じて、導体面26と測定ヘッド31との距離が変化する。従って、発振周波数を測定することで、例えば、充填材24の厚さムラに起因する反り量を測定することができる。ここで、発振周波数fは以下の式1で表される。f=1/2πLC1/22例えば、発振器50のインダクタンスをLosc、キャパシタンスC1,C2の合成容量をCoscとする。ここでは、Losc=3.8μH、Cosc=110pFとしている。ケーブル51のインダクタンスLcableを、キャパシタンスをCcableとする。ここで、ケーブル51のキャパシタンスCcableは25pF程度である。測定回路全体の合成インダクタンスをL、測定ヘッド31のコイル41のインダクタンスをLheadとする。なお、コイル41単体でのインダクタンスは、61μHとなっており、Lheadはコイル41から導体面26までの距離によって変化する。リレースイッチ53が発振器50をコイル41に接続したときの、回路全体の合成インダクタンスLと合成キャパシタンスCは以下の式2、3で表される。1/L=1/Losc1/LcableLhead2C=CoscCcable3このように、コイル41のインダクタンスLheadに応じて発振周波数が変化する。換言すると、発振周波数に応じて、導体面26までの距離、すなわち、セル21の反り量が変化する。ここで、基板22と充填材24の厚さを考慮すると、発振器50の発振周波数が7~8MHz程度となる。そして、発振器50の発振周波数が1Hz変化すると、インダクタンスが0.0004μHだけ変化する。0.0004μHのインダクタンス変化は、測定ヘッド31から導体面26までの距離が0.75μm変化したことに相当する。換言すると、μm程度の分解能で測定を行う場合、発振周波数の1Hzの変化を検出する必要がある。従って、回路素子の温度変動による発振周波数の変動を0.1ppm程度以下に抑える必要がある。そこで、本実施の形態では、恒温槽16内に発振器50を配置して、温度変化に起因する発振周波数の変動を抑制している。恒温槽16には、温度調整回路70が設けられている。温度調整回路70は、温度センサ71と、発熱体72、ブリッジ回路73と、アンプ74とを有している。温度センサ71と発熱体72は、例えば恒温槽16に設けられた真鍮の箱に取り付けされている。温度センサ71は、温度によって抵抗が変化するサーミスタである。発熱体72としては、例えば、コレクタ損失によって発熱するトランジスタを用いることでき、ここでは、発熱体72としてトランジスタC1398を用いている。2つの12kΩの抵抗と、1500Ωの抵抗と、温度センサ71とでブリッジ回路73が構成されている。従って、1500Ωの抵抗と温度センサ71の抵抗の差をアンプ74が増幅する。アンプ74の出力が発熱体72に入力されている。これにより、トランジスタC1398のコレクタ損失が発生し、恒温槽16が加熱される。すなわち、温度センサ71であるサーミスタの抵抗に応じて、発熱体72が恒温槽16を加熱する。恒温槽16が一定の温度になるように、温度が調整される。このようにすることで、温度変化に起因する発振周波数の変動を抑制することができるため、正確な測定が可能となる。恒温槽16は、例えば、46°C±0.1°C程度の安定度を持っている。また、発振器50中に温度係数が大きい素子、例えばトランジスタが設けられている場合、これらの素子も温度変化によって特性が変化して、発振周波数に影響を与えてしまう。従って、コイルLoscやコンデンサC1,C2のみでなく、これらの素子についても恒温槽16内に配置することが好ましい。図7に示すように測定回路中のトランジスタ素子などを恒温槽16内に設置している。このように、発振器50の少なくとも一部の素子を恒温槽16内に配置することで、温度を一定にすることができ、正確な測定を行うことができる。また、コイル41自身も温度係数を持つため。コイル41の影響を低減することが好ましい。そこで、コイル41のみのインダクタンスを61μHとして、発振器50のインダクタンスL3.8μHよりも大きくしている。ここで、合成インダクタンスLは、2式で決まる。このため、コイル41を発振器50のインダクタンスLよりも十分大きくすれば、合成インダクタンスLは、発振器50のインダクタンスの影響を大きく受ける。すなわち、温度変化に起因するインダクタンスLheadの変動の影響が十分小さくなるように、コイル41のインダクタンスを発振器50のインダクタンスよりも十分大きくする。こうすることで、より正確な測定を行うことができる。さらに、ケーブル51も温度係数を持つため、ケーブル51の影響を低減することが好ましい。そこで、ケーブル51としてトライアキシャルケーブルを用いている。すなわち、ケーブル51は、中心導体51aと、中心導体51aを覆う中間被覆51bと、中間被覆51bを覆う外部被覆51cとを備えている。中心導体51aと外部被覆51cとの間に、中間被覆51bが配置されている。中心導体51aと外部被覆51cと中間被覆51bとは、それぞれ導体であり、互いに絶縁されている。中心導体51aは、中間被覆51bによってシールドされ、中間被覆51bは外部被覆51cによってシールドされる。ここで、中心導体51aが発振器50の出力とコイル41の一端を接続し、外部被覆51cがコイル41の他端とグランドを接続している。さらに、発振器50の出力を分岐して、ドライバ52を介して、中間被覆51bに接続している。すなわち、分岐された発振器50の出力の一方がリレースイッチ53を介して中心導体51aに接続され、他方がドライバ52の入力に接続されている。ドライバ52の出力は、中間被覆51bに接続されている。ドライバ52は増幅率が1倍の電圧バッファである。従って、中間被覆51bは、発振器50の高周波電圧と同振幅かつ同位相で駆動される。こうすることで、中心導体51aと中間被覆51bに発生する静電容量をほぼ0にすることができる。すなわち、ケーブル51が発振によって充放電されないため、静電容量の発生を抑制することができる。これにより、温度変化による特性変動の影響を低減することができる。よって、正確に測定することができる。発振周波数の補正上記のように恒温槽16を用いて、46°C±0.1°Cを越えないように制御したとしても、長時間1Hzの安定度を保つことができないおそれがある。上記の回路では、ピークツーピークで0.05°C程度、周期2~5分程度で恒温槽16の温度がハンチングしてしまうことがある。この場合、温度変化によって、発振周波数が数Hz程度変化する。そこで、図8を用いてより正確に測定するための測定手法を説明する。図8は、反り測定のための走査経路を模式的に示す図であり、太陽電池モジュール20を上から見た模式図である。図2で示したように、可動部13によるX走査とクランプ14によるY走査によって、太陽電池モジュール20に対する測定ヘッド31の相対位置がXY方向に変化することで、図8に示すように走査している。ここでは、主走査方向をX方向左右方向とし、副走査方向をY方向上下方向としているとして説明する。例えば、太陽電池モジュール20上の測定ヘッド31をX方向に相対移動しながら測定を行う。これにより、X方向に沿った1ライン分の測定が行われる。そして、X方向の一端まで移動したら、1測定点分だけ-Y方向にずらす。そして、-X方向に相対移動しながら測定を行う。X方向の他端まで移動したら、さらに一測定点分だけ-Y方向にずらす。これを繰り返すことで、ラスタスキャンすることができ、太陽電池モジュール20の全体、あるいは所定の領域に対して測定を行うことができる。なお、図8では、主走査方向をX方向、副走査方向をY方向としているが、反対に主走査方向をY方向、副走査方向をX方向としてもよい。X方向を主走査方向とした場合、X方向の両端近傍は、相対移動方向を反転するために加減速が行われるテークバック区間となる。すなわち、主走査方向の両端のテークバック区間では、副走査方向に1測定点分だけY方向移動するとともに、加減速が行われる。テークバック区間において、図7に示したリレースイッチ53をオフして、発振器50とコイル41との接続を切り離す。そして、両端のそれぞれにおいて、切り離した状態の発振周波数を検出する。ここで、-X方向の端のa点で検出した発振周波数をfaとし、X方向の端のb点で検出した発振周波数をfbとする。そして、発振周波数fa、fbを用いて、基準となる発振周波数を補間する。ここでは、1ラインの主走査中において、一定速度で周波数が変化していたものとして、基準となる発振周波数をリニアに補間している。具体的には、図9に示すように、横軸を時間として、基準となる発振周波数faと発振周波数fbとを結ぶ補間直線を求める。そして、補間直線から、1ラインの主走査中に検出した発振周波数を引いた差分値をデータとする。すなわち、発振周波数を検出した時間における補間直線の値と、検出した発振周波数の値の差分を求める。予め差分値と導体面26まで距離との関係を求めておけば、容易に反り量を測定することができる。なお、X方向における1ラインの走査は、例えば5秒程度であり、温度変動の周期よりも十分速くなっている。従って、リニア補間で十分である。もちろん、非線形の補間を行っても良い。このように、リレースイッチ53により、発振器50とコイル41を切り離した時の発振周波数を基準の周波数とし、両端の測定値から補間処理を行う。こうすることで、より正確に測定することができる。発振周波数の高速読み取り測定時間を短縮するためには、ある測定点での発振周波数をより短い時間で読み取る必要がある。通常、1Hzの分解能で周波数を読み取るには、1秒程度必要となる。これは、1測定点での測定時間が1秒程度となることを意味している。この場合、多数の測定点で測定しようとすると測定時間が長くなってしまう。本実施形態では、以下に示すような測定手法を用いて、1Hzの分解能で発振周波数を高速に読み取っている。まず、図10に示すように、発振器50の高周波電圧をADコンバータ18に入力する。ADコンバータ18は、発振周波数よりも高い動作周波数で動作している。ADコンバータ18として、例えば、12ビット分解能、40MHz動作のADコンバータを用いることができる。ADコンバータ18で高周波電圧をデジタル信号に変換して、制御装置17に出力する。制御装置17は、入力されたデジタル信号に基づいて、発振周波数を求める。具体的には、制御装置17は、正弦波のピークとボトムから中心レベルを求め、中心レベルを跨ぐ2つの測定点を抽出する例えば、図11の測定点A、測定点B。そして、測定点Aと測定点Bをリニアで結び、中心レベルを超えるタイミングを算出する。こうすることで、測定点の位相を求めることができる。0.5msecの間に、1Hz分解能での周波数測定を行うことができる。すなわち、1秒間に2000点ものデータを読み取ることができる回路を実現することができる。よって、測定時間を短縮することができる。このような演算処理を行う測定回路は、例えば、FPGAField-ProgrammableGateArrayによって実現することができる。実際に測定した反り分布を図12に示す。図12は反り量の分布を示す平面図である。図12に示すようにインターコネクタバスラインの近辺で反り量が大きくなっているのが分かる。実施の形態2.実施の形態1に示す測定装置では、反り方向の分解能が1μm程度で、2000測定点/秒の測定を実現することができる測定回路を実現している。仮に、反り方向の分解能を10μm程度でよいとすれば、20000測定点/秒での測定が可能となる。例えば、XY方向における空間分解能を1mmとする場合、2000測定点/秒の速度は、2m/secの走査速度となり、20000測定点/秒の速度は、20m/secの走査速度となる。このような場合、高速走査を行うための駆動機構を実現することが困難となる。そこで、本実施の形態では、測定時間を短縮するため、複数の測定ヘッド31を有するマルチヘッドの反り測定装置を用いている。マルチヘッドの反り測定装置について、図13を用いて説明する。図13は、マルチヘッドの装置構成を模式的に示す上面図である。なお、反り測定装置の基本構成、及び測定原理は、実施の形態1と同様であるため、適宜説明を省略する。図13では、複数設けられた測定ヘッド31を測定ヘッド31a~測定ヘッド31nとして示している。例えば、10個~20個の測定ヘッドをインターコネクタ27と平行な方向Y方向に沿って配列する。複数の測定ヘッド31a~測定ヘッド31nは、マルチプレクサ75を介して、発振器50に接続されている。マルチプレクサ75は、測定ヘッド31a~測定ヘッド31の内の1つの測定ヘッドを選択的に発振器50に接続する。そのため、マルチプレクサ75は、測定ヘッド31a~測定ヘッド31nに対応するリレースイッチ53a~53nを有している。すなわち、マルチプレクサ75のリレースイッチ53aがオンすることで、測定ヘッド31aと発振器50が接続される。同様に、測定ヘッド31bと発振器50を接続する場合は、リレースイッチ53bをオンする。このように、マルチプレクサ75は、制御装置17からの選択信号によって、リレースイッチ53a~リレースイッチ53nのうちの一つをON状態にする。これにより、測定ヘッド31a~測定ヘッド31nが一定時間間隔で切り替えられる。よって、測定ヘッド31a~測定ヘッド31nが順次発振器50に接続されて、発振周波数の測定が行われる。また、発振器50とマルチプレクサ75との間のケーブルを上記のトライアキシャルケーブルとし、マルチプレクサ75から測定ヘッド31a~測定ヘッド31nまでのケーブルをそれぞれ同じ長さのトライアキシャルケーブルとすることが好ましい。リレースイッチ53a~リレースイッチ53nとしては、リードスイッチリードリレーを用いることが好ましい。リードスイッチでは、0.1~0.5msecの短時間で開閉動作を行う。よって、1測定点の測定時間5msecよりも十分速い時間で、切替動作が行われる。なお、リードスイッチを用いた場合、磁石等を含む動作部分をシールドしても良い。もちろん、リードスイッチ以外のリレー、例えば、フォトMOSリレーやフォトFETリレーなどをリレースイッチ53a~53nとして用いてもよく、特に高速切替が可能なリレースイッチを用いることが好ましい。そして、測定ヘッド31a~31nと太陽電池モジュール20とを一斉に相対移動させて、走査する。太陽電池モジュール20上を測定ヘッド31a~31nが相対移動している間に、マルチプレクサ75が測定ヘッド31~測定ヘッド31nを順番に切り替えていく。こうすることで、X方向における1回のスキャンでの測定点を、測定ヘッド数倍に増やすことができる。なお、隣接する測定ヘッド同士のインダクタンスが影響を及ぼさない程度、離間させる。このようにすることで、走査のための相対移動速度を遅らせても、所望の分解能を実現することができる。また、効率よく測定することができ、測定時間を短縮することができる。そして、X方向に1スキャンしたら、Y方向にずらして、逆方向のスキャンを行う。なお、上記の説明では、太陽電池モジュール20を移動することで、測定位置を変えたが、測定ヘッド31を移動することで測定位置を変えても良い。さらには、太陽電池モジュール20と測定ヘッド31の両方を移動して、測定位置を変えても良い。"