本体の一方の表面において空気流入側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流入パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気流出側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流出パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気の流れ方向の両側に沿って形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する一対のサイドパッドとを備え、かつ、前記流入パッド、前記流出パッド、及び、前記サイドパッドのコンタクト面から遠ざかる方向に段差部を介して2段階の段差面が形成されると共に、内部に記録用主磁極ヘッドと再生用磁気抵抗効果型素子、当該記録用主磁極ヘッドに近接した位置に配置された近接場光発生素子、そして、当該近接場光発生素子に外部からの光を導くための導波路を備えた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダの一方の側面に取り付けられ、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、そして、前記磁気ヘッドスライダと前記サブマウントを一体にして先端部に支持すると共に、前記磁気ヘッドスライダに荷重を負荷するディンプルをその一部に設けた支持体と、を備えた磁気ヘッドスライダ装置において、前記磁気ヘッドスライダの幅方向の長さをw、前記磁気ヘッドスライダの側面の端と前記ディンプル位置との距離をypとしたとき、これらypとwが、ypw<0.5、又は、ypw>0.5で示される条件を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。前記請求項1に記載した磁気ヘッドスライダ装置において、前記磁一対のサイドパッドの前記コンタクト面の面積をS3、S4とした時、S3<S4、又は、S3>S4で示される条件を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。前記請求項1に記載した磁気ヘッドスライダ装置において、前記一対のサイドパッドの前記コンタクト面から1段目の段差面までの深さをδs3、δs4としたとき、δs3<δs4、又は、δs3>δs4で示される条件を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。本体の一方の表面において空気流入側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流入パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気流出側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流出パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気の流れ方向の両側に沿って形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する一対のサイドパッドとを備え、かつ、前記流入パッド、前記流出パッド、及び、前記サイドパッドのコンタクト面から遠ざかる方向に段差部を介して2段階の段差面が形成されると共に、内部に記録用主磁極ヘッドと再生用磁気抵抗効果型素子、当該記録用主磁極ヘッドに近接した位置に配置された近接場光発生素子、そして、当該近接場光発生素子に外部からの光を導くための導波路を備えた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダに取り付けられ、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、そして、前記磁気ヘッドスライダと前記サブマウントを一体にして先端部に支持すると共に、前記磁気ヘッドスライダに荷重を負荷するディンプルをその一部に設けた支持体と、を備えた磁気ヘッドスライダ装置において、更に、前記サブマウントと同じ質量の部材を、当該サブマウントと一対で、前記磁気ヘッドスライダの対向する両側面に、前記磁気ヘッドスライダの質量中心との差であるオフセットがゼロ0になるように取り付けていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。前記請求項4に記載した磁気ヘッドスライダ装置において、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと同じ質量の部材とを、両側面に取り付けている前記磁気ヘッドスライダの質量がフェムトスライダ単体の質量よりも大きく0783mg以下となる条件を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ヘッドスライダ装置。磁気ヘッドスライダ装置と、前記磁気ヘッドスライダ装置の磁気ヘッドスライダに対向して回転可能に配置された磁気記録媒体と、前記磁気ヘッドスライダ装置を駆動するスライダ駆動部と、前記磁気記録媒体を回転駆動するディスク駆動部と、そして、前記磁気ヘッドスライダ装置の磁気ヘッドへの記録再生信号を処理する信号処理回路とを備えた磁気ディスク装置において、前記磁気ヘッドスライダ装置は、前記請求項1又は4に記載された磁気ヘッドスライダ装置であることを特徴とする磁気ディスク装置。しかしながら、上述した従来技術になる磁気ヘッドスライダ及びその支持体では、特に、上記のTAR方式を実用化する上での技術課題として、磁気ディスク装置の動作時に、衝撃力がスライダに作用した時、スライダ浮上走行時のロール方向の姿勢角度を表わすロール角度が大きくなり、低衝撃力でディスクと接触するという問題があった。なお、その原因としては、レーザダイオードを設けたサブマウントを側面に搭載したスライダの質量中心がスライダ幅方向に移動し、衝撃力が作用するディンプル位置と質量中心との距離に比例した慣性力が発生したためと考えられ、そこで、その慣性力を小さくすることが重要となる。本発明は、上述した従来技術における問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、サブマウントを備えることにより近接場発生器を用いて高記録密度化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスク装置の動作時に、衝撃力がスライダに作用した時、ロール角度の変化を小さくさせ、かつロール角度を小さくさせた状態で安定浮上させることが可能な構造の磁気ヘッドスライダ装置、更には、それを利用した磁気ディスク装置を提供することをその目的とする。上述した本発明の目的は、まず、本体の一方の表面において空気流入側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流入パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気流出側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流出パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気の流れ方向の両側に沿って形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する一対のサイドパッドとを備え、かつ、前記流入パッド、前記流出パッド、及び、前記サイドパッドのコンタクト面から遠ざかる方向に段差部を介して2段階の段差面が形成されると共に、内部に磁気ヘッドと記録再生素子、当該磁気ヘッドの主磁極に近接した位置に配置された近接場光発生素子、そして、当該近接場光発生素子に外部からの光を導くための導波路を備えた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダの一方の側面に取り付けられ、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、そして、前記磁気ヘッドスライダと前記サブマウントを一体にして先端部に支持すると共に、前記磁気ヘッドスライダに荷重を負荷するディンプルをその一部に設けた支持体とを備えた磁気ヘッドスライダ装置において、前記磁気ヘッドスライダの幅方向の長さをw、前記磁気ヘッドスライダの側面の端と前記ディンプル位置との距離をypとしたとき、これらypとwが、ypw<0.5、又は、ypw>0.5で示される条件を満たす範囲にある磁気ヘッドスライダ装置により達成される。また、本発明では、前記に記載した磁気ヘッドスライダ装置において、前記磁一対のサイドパッドの前記コンタクト面の面積をS3、S4とした時、S3<S4、又は、S3>S4で示される条件を満たす範囲にあることが好ましく、又は、前記一対のサイドパッドの前記コンタクト面から1段目の段差面までの深さをδs3、δs4としたとき、δs3<δs4、又は、δs3>δs4で示される条件を満たす範囲にあることが好ましい。更に、本発明では、本体の一方の表面において空気流入側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流入パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気流出側に形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する流出パッドと、前記スライダ本体の一方の表面において空気の流れ方向の両側に沿って形成され、ディスク停止時に媒体面と接触する一対のサイドパッドとを備え、かつ、前記流入パッド、前記流出パッド、及び、前記サイドパッドのコンタクト面から遠ざかる方向に段差部を介して2段階の段差面が形成されると共に、内部に磁気ヘッドと記録再生素子、当該磁気ヘッドの主磁極に近接した位置に配置された近接場光発生素子、そして、当該近接場光発生素子に外部からの光を導くための導波路を備えた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダに取り付けられ、前記近接場光発生素子への光を発光する発光素子を含むサブマウントと、そして、前記磁気ヘッドスライダと前記サブマウントを一体にして先端部に支持すると共に、前記磁気ヘッドスライダに荷重を負荷するディンプルをその一部に設けた支持体とを備えた磁気ヘッドスライダ装置において、更に、前記サブマウントと同じ質量の部材を、当該サブマウントと一対で、前記磁気ヘッドスライダの対向する両側面に、前記磁気ヘッドスライダの質量中心との差であるオフセットがゼロ0になるように取り付けている磁気ヘッドスライダ装置が提供される。加えて、本発明によれば、磁気ヘッドスライダ装置と、前記磁気ヘッドスライダ装置の磁気ヘッドスライダに対向して回転可能に配置された磁気記録媒体と、前記磁気ヘッドスライダ装置を駆動するスライダ駆動部と、前記磁気記録媒体を回転駆動するディスク駆動部と、そして、前記磁気ヘッドスライダ装置の磁気ヘッドへの記録再生信号を処理する信号処理回路とを備えた磁気ディスク装置において、前記磁気ヘッドスライダ装置は、前記に記載された磁気ヘッドスライダ装置である磁気ディスク装置が提供される。上述した本発明によれば、サブマウントを備えることにより近接場発生器を用いて高記録密度化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスク装置の動作時に、衝撃力がスライダに作用した時、ロール角度の変化を小さくさせ、かつロール角度を小さくさせた状態で安定浮上させることが可能な構造の磁気ヘッドスライダ装置、更には、それを利用した磁気ディスク装置を提供することが可能となるという優れた効果を発揮する。以下、本発明の実施例1になる磁気ディスク装置の詳細について、添付の図面を参照しながら説明する。まず、添付の図1には、本発明の実施例1になるスライダを備えた磁気ディスク装置5が示されており、特に、図1aは、磁気記録媒体53の表面に浮上した状態でスライダ1が走行し、かつ、ディスク外周側から内周側にシーク動作をしている状態の平面摸式図を、そして、図1bはその側面摸式図を示している。図からも明らかなように、磁気ディスク装置5は、本発明が適用されるスライダ1とその支持体2、磁気記録媒体53とこれを回転させるスライダ駆動部56、位置決めする支持ア-ム58とそのディスク駆動部59、スライダ1に搭載された磁気ヘッドの記録再生信号を処理する信号処理回路99等から構成されている。なお、スライダ1及びその支持体2は、磁気記録媒体53の上下の表面において、それぞれ、浮上した状態で走行している。図2は、上記磁気ディスク装置のうち、特に、本発明が適用されるスライダ1とその支持体2を示す立体斜視図であり、この図からも明らかなように、支持体2は、荷重用ビーム部21とその下面に取り付けられたジンバル部22とを備えており、更に、荷重用ビーム部21の先端の開口部付近には、所謂、付加用突起部であるディンプル23が取り付けられている。また、ジンバル部22の先端には、以下に詳細に説明するが、近接場発生器を用いるスライダ1が取り付けられている。図3は、本発明の実施例1になる磁気ヘッドスライダ1の立体斜視図である。即ち、スライダ1は、上記磁気記録媒体53との対向表面には、空気の流入側に形成された空気軸受面になりうる一対のパッド以後、流入パッドとも言う11と、当該一対のサイドパッド13により囲まれた負圧ポケット部14と、空気の流出側に形成された空気軸受面になりうるパッド流出パッドとも言う12と、そして、空気の流れ方向の両側に沿って形成された空気軸受面になりうる一対のパッドサイドパッドとも言う13とから構成し、各パッド面に空気軸受面になりうる微小なステップ浮上面を設けている。なお、このスライダ1では、上記流出パッド12の流出端に、近接場光発生素子と記録用主磁極ヘッドと再生用磁気抵抗効果型素子の露出部とから構成する記録再生素子1b、が設けられており、更に、スライダ1の流出端面には、磁気ヘッド1cや接続端子1d等が設けられている。そして、図に破線で示すように、スライダ1の一方の側面には、近接場発生器として、端面発光型のレーザダイオード30を設けたサブマウント3が搭載される。レーザダイオード30の長手方向の長さは、サブマウント3の短手方向の長さとほぼ同じ長さである。なお、図4には、このサブマウント3を含めた磁気ヘッドスライダ1の構造の一例を示す断面が示されており、図において、サスペンションのフレキシャ10の表面には、上記磁気ヘッドスライダ1と共にサブマウント3が搭載されており、当該サブマウント3上にはレーザダイオード30が形成され、そして、当該レーザダイオード30から出射されるレーザ光は、スライダ1内に形成された導波路コア15を通って、磁気ヘッドの主磁極の近傍に配置すると共に、スライダ1の表面近傍に設けられた近接場光発生素子16である金属構造体に導かれる。これにより、記録の瞬間に、近接場光発生素子16より発生する近接場光により磁気記録媒体53を加熱すると同時に、主磁極から発生する記録磁界を磁気記録媒体53に印加することで、磁気記録媒体53の記録層に記録マークを書き込む。また、この図中の符号31は、活性層を示しており、符号33は電極を、符号37は導電性接着剤を示している。また、図中の符号90は、反射防止膜を示しており、そして、図中の符号17、19は、それぞれ、導波路入口とスポットサイズコンバータを示している。即ち、上記のスライダ1は、空気力学的に正圧力Q1が発生する2つの流入パッド11と、上記一対のサイドパッド13により囲まれた負圧ポケット部14に負圧力Q2が発生する、所謂、負圧力利用型ステップスライダである。負圧力Q2が発生するメカニズムは、ディスクが回転し、空気がスライダ/ディスク間に流れ込むと、負圧ポケット部14で急激に体積が増えるためである。また、正圧力Q1は浮上量を増加させる方向に作用し、負圧力Q2は浮上量を低下させる方向に作用する。上記について、添付の図5及び図6を参照しながら、より詳細に説明する。なお、図5は、実施例1の磁気ヘッドスライダの側面図であり、そして、図6a~cは、それら流入パッド11、流出パッド12、サイドパッド13を、それぞれ、取り出して示す一部斜視図である。これらの図にも示すように、これらは、ディスク停止時に媒体面と接触するパッド面112コンタクト面とも言うと、そして、空気流入側に設けた1段目の段差面114浅溝面と、段差部113及び115を介して設けた2段目の段差面116深溝面とからなる、所謂、2段ステップ面から構成される。即ち、図5において、δs3、δs4は、それぞれ、両側に沿って形成された一対のサイドパッド13のコンタクト面112に対する段差面114浅溝面の深さを示す。また、これらの図のS3、S4は、それぞれ、両側に沿って形成された一対のサイドパッド13のコンタクト面112の面積を示す。磁気ディスク装置5に使用する磁気ヘッドスライダ1は従来の動圧気体軸受理論を適用したもので、特に負圧力利用型ステップスライダは、流入側に形成された一対の流入パッド11、流出側に形成された流出パッド12、両側に沿って形成された一対のサイドパッド13の5パッドから構成し、各パッド面に空気軸受面になりうる微小なステップ浮上面を設けている。その空気軸受面になりうるメカニズムは、磁気記録媒体53表面の回転によって引きずり込まれた空気が微小なステップ浮上面に堰き止められることで、その反作用によって流入パッド流出端近傍、流出パッド流出端近傍、サイドパッド流出端近傍の5パッドに空気力学的に浮上力となる正圧力ピークが発生する。この5つの正圧力ピークが磁気ヘッドスライダ1を保持し、磁気記録媒体53との距離が微小でかつ一定に保ちながら安定浮上する。したがって、コンタクト面112と磁気記録媒体53との隙間を小さくすること、コンタクト面112に対する段差面114の深さを大きくすること、コンタクト面112の面積を大きくすることによって、各ステップ浮上面に発生する正圧浮上力を大きくすることができる。そして、本発明の実施例1になる磁気ヘッドスライダでは、上記面積が、S3<S4、又は、S3>S4で示される条件を満足するように設定している。このような、両側に沿って形成された一対のサイドパッド13のコンタクト面112の面積差大きくさせる構成により、両側に沿って形成された一対のサイドパッドの正圧浮上力差が大きくなり、スライダ1の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となる。次に、図7は、レーザダイオードを設けたサブマウント3を搭載した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダが磁気記録媒体53の表面に浮上走行する様子を、ピッチ方向スライダの前後方向から見た側面図を示す。また、図8は、レーザダイオードを設けたサブマウント3を搭載した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダが磁気記録媒体53を挟んで対向して浮上走行する様子を、接続端子1dが設けられた流出側の端面を手前にして、即ち、ロール方向シーク方向から示した図である。上部のスライダ1をダウンタイプ、下部のスライダ1をアップタイプという。また、スライダ1の2つの側面を、内周側にある側面と外周側にある側面とに区別する。したがって、この図8は、レーザダイオードを設けたサブマウント3を、スライダ1の外周側の側面に搭載している状態を示した側面図である。さらに、図9は、レーザダイオードを設けたサブマウント3を、スライダ1の内周側の側面に搭載している状態を示す図である。これらの図において、ディンプル23は、荷重用ビーム部21から押し付けられた荷重Fを、スライダに作用させる荷重作用点として設けている。また、そこを支点として、スライダを並進上下、ピッチ前後、ロールシーク方向の3自由度の運動に対して、復元力が作用するように設けられる。荷重作用点であるディンプル23の位置は、ピッチ方向に対してはXp=xpL、ロール方向に対してはYp=ypw、のように無次元化した値として表わす。ただし、xpはスライダの流入端との距離、ypはスライダ1の内周側の側面の端との距離、Lはスライダの長手方向の長さ、wはスライダの短手幅方向の長さである。スライダ1は、ディンプル23の位置で押付荷重Fと空気力学的に発生する正圧力Q1と負圧力Q2>0との合力である浮上力Qとが、F=Qの関係式で釣り合い、ピッチ方向の浮上姿勢を表わすピッチ角度θp、ロ-ル方向の浮上姿勢を表わすロ-ル角度θr、流出端浮上量h2、記録再生素子1bにおける浮上量hrを一定に保ちながら、動的に安定浮上している。図中のMpはディンプル位置の周りに作用する初期ピッチングモーメントである。なお、ここでは、ロ-ル方向の浮上姿勢を表わすロ-ル角度θrの頂点をスライダ1の内周側の側面の端とし、時計の針が動く方向と同じ方向を正とする。レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心131は、スライダ単体の質量中心130からスライダ幅方向あるいはサブマウント方向に移動し、そのオフセット量をbとする。このオフセットbの符号は、スライダ1の外周側の側面方向にオフセットした場合は正とする。したがって、図9のオフセットbは、スライダ1の内周側の側面方向にオフセットしているため、負となる。サブマウントの材質は、レーザダイオードの発熱を考慮して、熱伝導率の大きい窒化アルミ、シリコン等を使用する。オフセット量bを決定する方法は、レーザダイオードを設けたサブマウントを搭載したスライダの質量中心とスライダ単体の質量中心を求め、それらのスライダ幅方向の差を計算することによって決定できる。そのオフセット量bはレーザダイオード及びサブマウントの質量、材質、形状に依存し、例えば、レーザダイオード、サブマウントの材質がそれぞれヒ化ガリウム、窒化アルミ、レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅がそれぞれ0179mg、500μmの場合は、b0138mmとなる。レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、形状が大きくなると、オフセット量bも大きくなる。これらの関係式を求めることによって、容易にサブマウントの形状を決定できる。また、荷重作用点であるディンプル23の位置132と、スライダ1の浮上力の圧力中心位置と、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心131と同じ位置とを一致させるように、一直線上に並べている。そして、本発明の実施例1になる磁気ヘッドスライダは、両側に沿って形成された一対のサイドパッド13のコンタクト面112の面積差大きくさせる構成により、両側に沿って形成された一対のサイドパッドの正圧浮上力差が大きくなり、スライダ1の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となっている。即ち、以上の構成によれば、レーザダイオードを設けたサブマウント3を搭載したスライダ1のディンプル23の位置132に、磁気ディスク装置の動作時に、衝撃力が作用した時、レーザダイオードを設けたサブマウント3を搭載したスライダの質量中心131とディンプル23の位置132との距離に比例した慣性力が小さくできるため、ロール角度が大きくならず、高衝撃力でもディスクと接触しない。更には、小さいロール姿勢角度で浮上することが可能となる。図10a及びbに、本発明の実施例1になる磁気ヘッドスライダの支持体サスペンションともいうの平面図を示す。上記の支持体2は、荷重用ビーム部21、ジンバル部22、荷重用突起部ディンプルとも言う23などから構成されており、特に、図10aは、スライダ1の内周側の側面方向にオフセットした場合の支持体であり、レーザダイオードを設けたサブマウント3を内周側側面に搭載したスライダ用の支持体2を示している。また、図10bは、スライダ1の外周側の側面方向にオフセットした場合の支持体で、レーザダイオードを設けたサブマウント3を外周側側面に搭載したスライダ用の支持体2を示している。続いて、図11a及びbに、上述した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00313mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000721mm2、δs3が018μm、δs4が018μmとなる浮上面形状を用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が25型装置の中周条件を一定とした条件で、オフセットが0、35μm、70μmと変化した時の素子位置浮上量、最小浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度を計算した結果を示す。図より、オフセットが大きくなると、素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度はほぼ変化しないが、ロール浮上姿勢角度がほぼゼロ0になり、最小浮上量が増加することが分かる。なお、押付荷重Fは209mN、ディンプル位置Xpは05である。また、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したダウンタイプのスライダの内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4は、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3に比べて大きく設定している。図12a及びbには、上記図11a及びbの計算結果を用いて、本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダの効果のメカニズムを説明する。スライダの内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4を、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3に比べて大きく設定すると、オフセットがゼロの時、ロール角度が560μradと大きい値で浮上するが、オフセットが70μmの時、ロール角は63μradとほぼゼロ0で浮上する。このように、本発明の実施例1のスライダ1の、両側に沿って形成された一対のサイドパッド13のコンタクト面112の面積差を大きくする構成によれば、内周側のサイドパッドの正圧力浮上力Qinと外周側のサイドパッドの正圧力浮上力Qoutとの正圧力浮上力差が大きくなり、スライダ1の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となる。更に、図13a、b、d及びdに、上述した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00313mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000721mm2、δs3が018μm、δs4が018μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpmを一定とした条件で、半径位置が25型装置の最内周から最外周まで変化した時の素子位置浮上量、最小浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度を計算した結果を示す。図より、本発明の実施例1のスライダ1の最内周から最外周まで変化した時の素子位置浮上量、最小浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度は、従来技術のスライダ1とほぼ同等に一定であることが分かった。また、図14a及びbに、上述した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000721mm2、δs3が018μm、δs4が018μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpmを一定とした条件で、半径位置が25型装置の最内周から最外周まで変化した時のスライダの固有振動数、対数減衰率を計算した結果を示す。図より、本発明の実施例1のスライダ1の最内周から最外周まで変化した時の固有振動数、対数減衰率は、従来技術のスライダ1に比べてそれぞれ増加、減少することが分かった。本発明の実施例1の浮上面の対数減衰率は減少するが特に悪い値でなく、別な方法で改善可能な値である。図15a及びbに、上述した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000721mm2、δs3が018μm、δs4が018μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が25型装置の中周条件を一定とした条件で、媒体面うねり上をスライダが走行した時の、媒体面うねり周波数に対するピッチモード、ロールモードの空気膜の剛性、減衰係数を計算した結果を示す。図より、本発明の実施例1のスライダ1の媒体面うねり周波数に対するピッチモード、ロールモードの空気膜の剛性は、従来技術のスライダ1に比べてそれぞれ減少、増加することが分かった。ロールモードの空気膜の剛性が増加する理由は、浮上面を大きくして、正圧力が増加したためと考えられる。減衰係数は減少するが特に悪い値でない。図16a及びbに、上述した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000721mm2、δs3が018μm、δs4が018μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が25型装置の中周条件を一定とした条件で、媒体面うねり上をスライダが走行した時の、媒体面うねり周波数に対する素子位置浮上量変動Δhrを、媒体面うねり振幅aとの比として計算した結果を示す。図より、本発明の実施例1のスライダ1の媒体面うねり周波数に対する素子位置浮上量変動は、従来技術のスライダ1に比べて増加するが、特に悪い値でなく、別な方法で改善可能な値である。したがって、本発明の実施例1のスライダ1の媒体面うねり周波数が3kHzまでの低周波数のランアウト、媒体面うねり周波数が10kHzから200kHzまでの高周波数の微小うねりに対する素子位置浮上量変動は従来技術のスライダ1とほぼ同等であることが分かる。図17a及びbに、上述した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000721mm2、δs3が018μm、δs4が018μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が25型装置の最内周、最外周条件を一定とした条件で、スライダが固有振動数で振動した時の1次のピッチモード、2次のピッチモード、ロールモードのスライダ回転軸を計算した結果を示す。図より、最内周、最外周条件共に、本発明の実施例1のスライダ1のロールモードの回転軸は、従来技術のスライダ1に比べて変化しているが、記録再生素子位置の流出端の変化は小さいため、図16の結果と同様に、素子位置浮上量変動は大きくないことが分かった。図18a~cに、上述した本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダにおいて、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00175mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000721mm2、δs3が018μm、δs4が018μmとなる浮上面形状と、従来技術のスライダを用いて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が25型装置の最外周条件を一定とした条件で、スライダがアンロードした時のピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度、最小浮上量を計算した結果を示す。アンロードした時は、押付荷重が小さくなるため、押付荷重の変化としてモデル化した。図より、本発明の実施例1のスライダ1の押付荷重が減少した時のピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度、最小浮上量は、従来技術のスライダ1に比べてほぼ同等であることが分かった。したがって、アンロードした時のスライダ挙動は特に悪くない。続いて、本発明の実施例2になるスライダと、それを備えた磁気ディスク装置について詳細に説明する。添付の図19a及びbには、本発明の実施例2になる磁気ヘッドスライダ1の立体斜視図とその側面図が、それぞれ、示されている。即ち、図19aに示すように、スライダ1は、流入側に形成された空気軸受面になりうる一対の流入パッド11と、流出側に形成された空気軸受面になりうる流出パッド12と、両側に沿って形成された空気軸受面になりうる一対のサイドパッド13とから構成される。また、図19bにおけるδs3、δs4は、それぞれ、空気の流れ方向の両側に沿って形成された一対のサイドパッド13のコンタクト面112に対する段差面114浅溝面の深さを示す。さらに、本実施例では、サイドパッド13の浅溝深さδs3とδs4の差異をより大きくしている。即ち、上記の本発明の実施例1になる磁気ヘッドスライダでは、δs3<δs4、又は、δs3>δs4で示される条件を満足するように設けてはいるが、むしろ、コンタクト面112の面積差大きくさせる構成であるが、本実施例2のような、空気の流れ方向の両側に沿って形成された一対のサイドパッド13の浅溝深さの差を更に大きくさせる構成によっても、両側に沿って形成された一対のサイドパッドの正圧浮上力差が大きくなり、スライダ1の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となる。また、荷重作用点であるディンプル23の位置132と、スライダ1の浮上力の圧力中心位置と、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心131と同じ位置とを一致させるように、一直線上に並べている。このように、本発明の実施例2になるスライダにおける以上の構成により、レーザダイオードを設けたサブマウントを搭載したスライダのディンプル23の位置132に、衝撃力が磁気ディスク装置の動作時に作用した時、レーザダイオードを設けたサブマウントを搭載したスライダの質量中心131とディンプル23の位置132との距離に比例した慣性力が小さくできるため、ロール角度が大きくならず、高衝撃力でもディスクと接触しない。さらに、小さいロール姿勢角度で浮上することとなる。図20には、本発明の実施例2になる磁気ヘッドスライダにおいて、高度0m、回転数5400rpm、半径位置が25型装置の中周条件を一定とした条件で、両側のサイドパッドの浅溝深さの差δs4δs3に対するロール浮上姿勢角度を計算した結果を示す。なお、押付荷重Fは209mN、ディンプル位置Xpは05である。レーザダイオードを設けたサブマウント3を内周側側面に搭載したダウンタイプのスライダの内周側にあるサイドパッドの浅溝深さδs4を、外周側にあるサイドパッドの浅溝深さδs3に比べて大きく設定されている。この図より、両側のサイドパッドの浅溝深さの差δs4δs3を大きくすると、ロール角度が大きくなり、最大値をもつ。これは、内外周のサイドパッドの正圧浮上力差が最大となる浅溝深さの差が存在することを意味し、存在する理由は、それらの浅溝深さで浮上力が飽和していると考えられる。更に、本発明の実施例3になるスライダと、それを備えた磁気ディスク装置について詳細に説明する。添付の図21a及びbには、本発明の実施例3になる磁気ヘッドスライダの立体斜視図と側面図を、それぞれ、示している。図21aからも明らかなように、スライダ1は、流入側に形成された空気軸受面になりうる一対の流入パッド11と、流出側に形成された空気軸受面になりうる流出パッド12と、両側に沿って形成された空気軸受面になりうる一対のサイドパッド13とから構成される。さらに、本実施例3では、流入パッド11とサイドパッド13が連結している構成である。また、図21bにも示すように、δs3、δs4は、それぞれ、両側に沿って形成された一対のサイドパッド13のコンタクト面112に対する段差面114浅溝面の深さを示す。また、S3、S4は、それぞれ、空気の流れ方向の両側に沿って形成された一対のサイドパッド13のコンタクト面112の面積を示す。さらに、本発明の実施例3になる磁気ヘッドスライダでは、S3<S4あるいはS3>S4で示される条件または、δs3<δs4あるいはδs3>δs4で示される条件を満足するように設けている。最後に、本発明の実施例4になる磁気ディスク装置について詳細に説明する。添付の図22には、レーザダイオードを設けたサブマウント3を、スライダ1の内周側の側面に搭載した実施例4の磁気ヘッドスライダが、磁気記録媒体53の表面に浮上走行する様子を、ロール方向シーク方向から示した側面図である。更に、本実施例4の磁気ヘッドスライダでは、スライダ1の外周側の側面に、レーザダイオードを設けたサブマウント3と同じ質量の部材39を搭載している。この構成により、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心131とスライダ単体の質量中心130と同じになり、それらの質量中心位置の差であるオフセットbはゼロ0になる。あるいは、オフセットbがゼロ0になるように、スライダ1の外周側の側面に前記部材39を搭載する。このような構成によれば、スライダ1の浮上力の圧力中心位置とスライダ幅の方向に移動したディンプル位置とを一致させるように、一直線上に並べることが可能となる。また、荷重作用点であるディンプル23の位置132と、スライダ1の浮上力の圧力中心位置と、レーザダイオードを設けたサブマウントを内周側側面に搭載したスライダの質量中心131と同じ位置とを一致させるように、一直線上に並べていることが容易にでき、レーザダイオードを設けたサブマウントを搭載したスライダのディンプル23の位置132に、衝撃力が磁気ディスク装置の動作時に作用した時、ロール角度が大きくならず、高衝撃力でもディスクと接触しない。さらに、小さいロール姿勢角度で浮上することとなる。図23、図24を用いて、本発明の、レーザダイオードを設けたサブマウント3を、ダウンタイプのスライダ1の内周側の側面に搭載した実施例1の磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。スライダの大きさは、スライダ長、幅、厚さが、それぞれ850μm、700μm、230μmのフェムトサイズである。スライダの材質、質量は、それぞれアルミナチタンカーバイト、0582mgである。1レーザダイオード、サブマウントの材質がそれぞれヒ化ガリウム、窒化アルミを使用し、レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅、レーザダイオード長がそれぞれ0101mg、280μm、280μmの場合は、オフセット量b70μmとなる。レーザダイオードを設けたサブマウント3を搭載した実施例1の磁気ヘッドスライダの質量は0683mgである。2現行のリソグラフィ技術を用いて、スライダの浮上面をイオンビームエッチング装置でエッチング加工する。加工する浮上形状は、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00156mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000721mm2、δs3が018μm、δs4が018μmである。以後、この浮上面形状をABS1と言う。浮上面形状ABS1の圧力中心位置は、スライダ中心位置からスライダ幅の方向に70μmオフセットさせている。3図10に示すような、ディンプル位置23を支持体の中心線からスライダ幅の方向に70μmオフセットさせた支持体を製造する。ロードアンロードを容易にするために、図23に示すような、ディンプル位置23とフック24を支持体2の中心線からスライダ幅の方向に70μmオフセットさせた支持体も製造する。4前記の方法で加工したスライダと図10に示すような支持体を接着及び配線させる。5レーザダイオードを設けたサブマウントを製造する。スライダ厚さ230μmの場合、サブマウントの厚さを150μmにする。サブマウントの加工バラツキ、ロール姿勢角度が大きくなっても、浮上面とサブマウント表面との距離を10μm以上にして、サブマウントに接触しないようにするためである。6図24に示すように、製造したレーザダイオード30を設けたサブマウント3を上記の方法で加工したスライダの内周側の側面に、レーザダイオード30の活性層31からレーザ光が出射される入口と、導波路入口17とを一致させて、接着させる。また、浮上面とサブマウント表面との距離を10μm以上に接着させる。図25に、前記1~6に示す方法で、本発明の実施例1の磁気ヘッドスライダを5スライダ試作し、ヨー角度0degを一定とした条件で、周速を1188msから2199msまで変化した時の記録再生素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度を測定した結果を示す。図より、素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度の測定値は、計算値に比べてそれぞれ2nm、6μrad、6μrad低いことが分かった。この結果は、従来技術のスライダの測定浮上量と計算浮上量との関係と一致しており、本発明の実施例1のスライダは十分良好な浮上量の周速依存性が得られていることを確認した。さらに、浮上量測定時の浮上面に形成される干渉縞の明暗から安定浮上していることが分かった。また、各1~5スライダ内での加工組立バラツキ起因による素子位置浮上量変化も±2nmとなり、従来技術のスライダと同傾向の妥当な値になった。図26に、前記1~6に示す方法で、本発明の実施例1の別な磁気ヘッドスライダを3スライダ試作し、ヨー角度0degを一定とした条件で、周速を1188msから2199msまで変化した時の記録再生素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度を測定した結果を示す。試作したレーザダイオード、サブマウントの材質はそれぞれヒ化ガリウム、窒化アルミを使用し、レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅、レーザダイオード長がそれぞれ0072mg、200μm、200μmの場合は、オフセット量b48μmとなる。試作した浮上形状は、内周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S4が00156mm2、外周側にあるサイドパッドのコンタクト面112の面積S3が000118mm2、δs3が018μm、δs4が018μmである。以後、この浮上面形状をABS2と言う。浮上面形状ABS2の圧力中心位置は、スライダ中心位置からスライダ幅の方向に48μmオフセットさせている。また、ディンプル位置を、スライダ中心位置からスライダ幅の方向に48μmオフセットさせた支持体を製造する。図より、素子位置浮上量、ピッチ浮上姿勢角度、ロール浮上姿勢角度の測定値は、計算値に比べてそれぞれ2nm、6μrad、6μrad低いことが分かった。この結果は、従来技術のスライダの測定浮上量と計算浮上量との関係と一致しており、本発明の実施例1のスライダは十分良好な浮上量の周速依存性が得られていることを確認した。さらに、浮上量測定時の浮上面に形成される干渉縞の明暗から安定浮上していることが分かった。また、各1~3スライダ内での加工組立バラツキ起因による素子位置浮上量変化も±2nmとなり、従来技術のスライダと同傾向の妥当な値になった。図27を用いて、本発明の、レーザダイオードを設けたサブマウント3を、ダウンタイプのスライダ1の内周側の側面に搭載した実施例4の磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。スライダの大きさはフェムトサイズである。スライダの材質、質量は、それぞれアルミナチタンカーバイト、0582mgである。1レーザダイオード、サブマウントの材質がそれぞれヒ化ガリウム、窒化アルミ、レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅、レーザダイオード長がそれぞれ0101mg、280μm、280μmの場合を使用する。2現行のリソグラフィ技術を用いて、スライダの浮上面をイオンビームエッチング装置でエッチング加工する。浮上面の圧力中心位置は、スライダ中心位置である。3ディンプル位置、フックがスライダ中心位置の支持体を製造する。4前記の方法で加工したスライダと上記の方法で加工した支持体を接着及び配線させる。5レーザダイオードを設けたサブマウントを製造する。スライダ厚さ230μmの場合、サブマウントの厚さを150μmにする。サブマウントの加工バラツキ、ロール姿勢角度が大きくなっても、浮上面とサブマウント表面との距離を10μm以上にして、サブマウントに接触しないようにするためである。6前記の方法で製造したレーザダイオードを設けたサブマウントを前記の方法で加工したスライダの内周側の側面に、レーザダイオードの活性層31からレーザ光が出射される入口と、導波路入口17とを一致させて、接着させる。また、浮上面とサブマウント表面との距離を10μm以上に接着させる。7レーザダイオードを設けたサブマウントと同じ質量0101mgのダミーサブマウント39を製造する。ダミーサブマウントの材質を窒化アルミとする。レーザダイオードとサブマウントとの材質が違うため、同じ質量、同じ質量中心にするために、形状を変える必要がある。ダミーサブマウントの幅、厚さを280μm、150μmにして、質量0101mgになるように長さを734μmとする。レーザダイオードを含めたサブマウントの質量、幅、レーザダイオード長がそれぞれ0072mg、200μm、200μmの場合は、ダミーサブマウントの幅、厚さを200μm、150μmにして、質量0072mgになるように長さを734μmとする。8図25に示すように前記7の方法で製造したダミーサブマウントをスライダの内周側のもう片側の側面に接着させる。レーザダイオードを設けたサブマウント3とダミーサブマウントを搭載した実施例4の磁気ヘッドスライダの質量は0783mgとなり、フェムトスライダ単体の質量0582mgに比べて12倍に増加する。図26に、それぞれ、前記1~8に示す方法で、本発明の実施例4のレーザダイオード長が280μmの磁気ヘッドスライダを5スライダ試作し、押付荷重を測定した結果と、従来技術のスライダの押付荷重を測定した結果を示す。図より、本発明の実施例4のスライダと従来技術のスライダとの押付荷重の違いはなく、レーザダイオードを設けたサブマウントとダミーサブマウントを搭載したことによる押付荷重に対する影響はないことが分かった。以下の表1に、前記1~8に示す方法で、本発明の実施例4のレーザダイオード長が280μmの磁気ヘッドスライダを試作した後、磁気ディスク装置に実装し、動作時のスライダが飛び跳ねる状態を高速度カメラで観察した結果を示す。また、この表1には、従来技術のスライダを磁気ディスク装置に実装し、動作時のスライダが飛び跳ねる状態を高速度カメラで観察した結果も示す。スライダが飛び跳ねる時がNG飛び跳ねていない時がOKである。表より、動作時のスライダが飛び跳ねる限界の加速度は、本発明の実施例4のスライダと従来技術のスライダ共に、2940ms2であることが分かった。したがって、レーザダイオードを設けたサブマウントとダミーサブマウントを搭載したことによる耐衝撃性に対する影響はないことが分かった。または、レーザダイオードを設けたサブマウントとダミーサブマウントを搭載した実施例4のスライダの質量が0783mgと、フェムトスライダ単体の質量0582mgに比べて12倍に増加しても、耐衝撃性に影響がないことが分かった。その理由として、耐衝撃性には、スライダと支持体全体の等価質量が影響するが、スライダの質量が12倍に増加しても、スライダと支持体全体の等価質量の増加は小さいため、耐衝撃性に対しても影響は小さいと考えられる。