"需要電力に応じて発電電力を変化させる固体酸化物型燃料電池であって、燃料電池セルスタックを備えた燃料電池モジュールと、上記燃料電池セルスタックに供給する燃料を改質する改質器と、この改質器に燃料を供給する燃料供給手段と、上記改質器に改質用の水を供給する水供給手段と、上記燃料電池セルスタックに発電用の酸化剤ガスを供給する発電用酸化剤ガス供給手段と、需要電力に応じた電力を生成するように、上記燃料供給手段、上記水供給手段、及び上記発電用酸化剤ガス供給手段を制御する制御手段と、を有し、上記制御手段は、発電電力を需要電力に追従させるべく、発電電力を増加させる場合において、水供給量、発電用酸化剤ガス供給量、及び燃料供給量を増加させた後、所定時間遅れて、増加された燃料供給量に対応する電力まで発電電力を増加させ、この制御を繰り返すことにより発電電力を需要電力に近づける第1遅延制御を実行する第1遅延制御手段と、上記第1遅延制御よりも多く水供給量、発電用酸化剤ガス供給量、及び燃料供給量を増加させた後、所定時間遅れて、増加された燃料供給量に対応する電力まで発電電力を増加させると共に、この際の発電電力の増加は、燃料供給量の増加に対して抑制されるように制限され緩やかに行われる第2遅延制御を実行する第2遅延制御手段と、を備え、これらの第1遅延制御手段及び第2遅延制御手段を切り換えて実行することを特徴とする固体酸化物型燃料電池。上記第2遅延制御手段は、燃料供給量を段階的に増加させるように構成され、上記第2遅延制御における1回の増加量は、需要電力と発電電力の差が大きい場合には、差が小さい場合よりも多くされる一方、1回の増加量は、所定の増加量以下に制限されている請求項1記載の固体酸化物型燃料電池。上記第1遅延制御手段及び上記第2遅延制御手段は、発電電力を段階的に増加させるように構成され、発電電力の1段階の増加量は、上記第1遅延制御及び上記第2遅延制御において同一であり、上記第2遅延制御における燃料供給量は、発電電力の複数段階分の増加量に対応する量を1回で増加されると共に、発電電力は1段階ずつ増加される請求項2記載の固体酸化物型燃料電池。上記第2遅延制御手段は、燃料供給量の1回の増加量が予め複数種類設定されており、燃料供給量の1回の増加量は、上記複数種類設定された増加量の中から、需要電力と発電電力の差に応じて選択される請求項3記載の固体酸化物型燃料電池。上記制御手段は、上記燃料電池モジュールの出力電圧が所定の第2遅延制御禁止電圧以下に低下した場合には、上記第2遅延制御手段の実行を禁止する請求項3記載の固体酸化物型燃料電池。上記制御手段は、需要電力と発電電力の差が所定の電力以下である場合には、上記第2遅延制御手段の実行を禁止し、上記第1遅延制御手段を実行することにより発電電力を需要電力に近づける請求項3記載の固体酸化物型燃料電池。上記制御手段は、定格発電電力と発電電力の差が所定の電力以下である場合には、上記第2遅延制御手段の実行を禁止し、上記第1遅延制御手段を実行することにより発電電力を需要電力に近づける請求項3記載の固体酸化物型燃料電池。上記第2遅延制御手段は、発電電力に応じて予め設定されている燃料利用率の所定の許容範囲を超えない範囲で燃料供給量を増加させる請求項3記載の固体酸化物型燃料電池。上記第2遅延制御手段は、水供給量と燃料供給量の比が、予め設定されている所定の許容範囲を超えないように水供給量を修正する請求項3記載の固体酸化物型燃料電池。しかしながら、需要電力が増加した後、酸化剤ガス、水、及び燃料ガスの供給量を増加させ、その後、発電量を増加させると、需要電力の増加に対する追従が遅れるという問題がある。即ち、需要電力の増加に対し、燃料電池から供給される電力の増加が遅れると、不足した電力は系統電力から供給されることになるため、系統電力の購入量が増え、燃料電池を使用しているメリットが損なわれてしまう。また、需要電力の増加に急速に追従して発電量を増加させると、燃料電池セルスタックの劣化が速くなり、著しい場合には燃料電池セルスタックを損傷してしまうという問題がある。さらに、供給する燃料を増加させた後、所定時間遅れて、燃料電池モジュールから取り出す電力を増加させることは、燃料電池セルスタックを損傷することなく発電量を増加させるために必須であるが、燃料供給量が増加された後、実際に発電量を増加させるまでの間に供給された燃料は、発電に使用されずに残る残余燃料となる。この残余燃料は、燃料電池モジュール内で燃焼され、燃料電池モジュール内の加熱に使用されるが、需要電力の増減が多く、発電電力の増減が多い場合には、残余燃料多くなりすぎ、燃料電池モジュール内の温度が過剰に上昇するという問題がある。従って、本発明は、燃料電池セルスタックの劣化を抑制しながら、需要電力に対する発電電力の追従性を向上させることができる固体酸化物型燃料電池を提供することを目的としている。上述した課題を解決するために、本発明は、需要電力に応じて発電電力を変化させる固体酸化物型燃料電池であって、燃料電池セルスタックを備えた燃料電池モジュールと、燃料電池セルスタックに供給する燃料を改質する改質器と、この改質器に燃料を供給する燃料供給手段と、改質器に改質用の水を供給する水供給手段と、燃料電池セルスタックに発電用の酸化剤ガスを供給する発電用酸化剤ガス供給手段と、需要電力に応じた電力を生成するように、燃料供給手段、水供給手段、及び発電用酸化剤ガス供給手段を制御する制御手段と、を有し、制御手段は、発電電力を需要電力に追従させるべく、発電電力を増加させる場合において、水供給量、発電用酸化剤ガス供給量、及び燃料供給量を増加させた後、所定時間遅れて、増加された燃料供給量に対応する電力まで発電電力を増加させ、この制御を繰り返すことにより発電電力を需要電力に近づける第1遅延制御を実行する第1遅延制御手段と、第1遅延制御よりも多く水供給量、発電用酸化剤ガス供給量、及び燃料供給量を増加させた後、所定時間遅れて、増加された燃料供給量に対応する電力まで発電電力を増加させると共に、この際の発電電力の増加は、燃料供給量の増加に対して抑制されるように制限され緩やかに行われる第2遅延制御を実行する第2遅延制御手段と、を備え、これらの第1遅延制御手段及び第2遅延制御手段を切り換えて実行することを特徴としている。このように構成された本発明においては、制御手段が、燃料供給手段、水供給手段及び発電用酸化剤ガス供給手段を制御して、燃料及び発電用酸化剤ガスを、燃料電池モジュールに内蔵された燃料電池セルスタックに供給し、需要電力に応じた電力を生成させる。制御手段に備えられた第1遅延制御手段は、発電電力を需要電力に追従させるべく、発電電力を増加させる場合において、水供給量、発電用酸化剤ガス供給量、及び燃料供給量を増加させた後、所定時間遅れて、増加された燃料供給量に対応する電力まで発電電力を増加させ、この制御を繰り返すことにより発電電力を需要電力に近づける第1遅延制御を実行する。また、制御手段に備えられた第2遅延制御手段は、第1遅延制御よりも多く水供給量、発電用酸化剤ガス供給量、及び燃料供給量を増加させた後、所定時間遅れて、増加された燃料供給量に対応する電力まで発電電力を増加させると共に、この際の発電電力の増加は、燃料供給量の増加に対して抑制されるように制限され緩やかに行われる第2遅延制御を実行する。制御手段は、これらの第1遅延制御手段及び第2遅延制御手段を切り換えて実行する。このように構成された本発明によれば、水供給量、発電用酸化剤ガス供給量、及び燃料供給量を多く、急激に増加させる第2遅延制御手段を備えているので、需要電力の増加に発電電力を急速に追従させることができる。また、燃料供給量を急激に増加させることにより、発電電力を需要電力の増加に追従させる際に生じる余剰燃料を減少させることができるので、燃料電池モジュール内の過剰な温度上昇を抑制することができる。また、燃料供給量等を急激に増加させる一方、発電電力の増加は緩やかに行われるので、急速に電流を取り出すことによる燃料電池セルスタックの劣化を抑制すると共に、燃料電池モジュールからの出力電圧の急激な降下を抑制することができる。これにより、燃料電池セルスタックの劣化を抑制しながら、需要電力に対する発電電力の追従性を向上させることができる。本発明において、好ましくは、第2遅延制御手段は、燃料供給量を段階的に増加させるように構成され、第2遅延制御における1回の増加量は、需要電力と発電電力の差が大きい場合には、差が小さい場合よりも多くされる一方、1回の増加量は、所定の増加量以下に制限されている。このように構成された本発明によれば、需要電力と発電電力の差が大きい場合には、1回に多くの燃料が増加されるので、より急速に発電電力を需要電力に近づけることができると共に、1回の増加量が所定の増加量以下に制限されているため、燃料の急激な増加による燃料電池モジュール内の過剰な温度上昇や、熱的な不安定化を防止することができる。本発明において、好ましくは、第1遅延制御手段及び第2遅延制御手段は、発電電力を段階的に増加させるように構成され、発電電力の1段階の増加量は、第1遅延制御及び第2遅延制御において同一であり、第2遅延制御における燃料供給量は、発電電力の複数段階分の増加量に対応する量を1回で増加されると共に、発電電力は1段階ずつ増加される。このように構成された本発明によれば、第2遅延制御においては、第1遅延制御よりも急激に燃料供給量を増加させる一方、発電電力の1段階の増加量は、第1遅延制御及び第2遅延制御において同一にすることにより、第2遅延制御における追従性を向上させながら、燃料電池セルスタックを劣化及び損傷から保護することができる。本発明において、好ましくは、第2遅延制御手段は、燃料供給量の1回の増加量が予め複数種類設定されており、燃料供給量の1回の増加量は、複数種類設定された増加量の中から、需要電力と発電電力の差に応じて選択される。このように構成された本発明によれば、燃料供給量の1回の増加量が複数種類設定された増加量の中から選択されるので、過剰な量の燃料を供給することによる過昇温を防止しながら、発電電力の追従性を向上させることができる。本発明において、好ましくは、制御手段は、燃料電池モジュールの出力電圧が所定の第2遅延制御禁止電圧以下に低下した場合には、第2遅延制御手段の実行を禁止する。このように構成された本発明によれば、出力電圧が第2遅延制御禁止電圧以下に低下した状態では第2遅延制御が禁止されるので、出力電圧が低下している状態において発電電力を急速に需要電力に追従させることによる急激な電圧降下や、それに伴う燃料電池セルスタックの損傷を防止することができる。本発明において、好ましくは、制御手段は、需要電力と発電電力の差が所定の電力以下である場合には、第2遅延制御手段の実行を禁止し、第1遅延制御手段を実行することにより発電電力を需要電力に近づける。このように構成された本発明によれば、需要電力と発電電力の差が所定の電力以下である場合に第2遅延制御が禁止されるので、過剰な燃料供給に伴う過昇温を防止することができる。需要電力と発電電力の差が少ない状態では、需要電力の急減により、逆潮流が発生した場合には発電電力も急減し、燃料供給量が発電電力に対して過剰な状態が発生しやすい。このような状態において、第2遅延制御により燃料供給量を急増させると、過剰な燃料供給による過昇温を発生させるリスクが高くなる。本発明によれば、このようなリスクを軽減することができる。本発明において、好ましくは、制御手段は、定格発電電力と発電電力の差が所定の電力以下である場合には、第2遅延制御手段の実行を禁止し、第1遅延制御手段を実行することにより発電電力を需要電力に近づける。このように構成された本発明によれば、定格発電電力と発電電力の差が所定の電力以下である場合に第2遅延制御が禁止されるので、過剰な燃料供給に伴う過昇温を防止することができる。定格発電電力と発電電力の差が少ない状態では、需要電力が増加しても、要求される発電電力の増加余地が少ない。このような状態において、第2遅延制御により燃料供給量を急増させると、燃料供給量が過剰になる可能性が高く、過昇温を発生させるリスクが高くなる。本発明によれば、このようなリスクを軽減することができる。本発明において、好ましくは、第2遅延制御手段は、発電電力に応じて予め設定されている燃料利用率の所定の許容範囲を超えない範囲で燃料供給量を増加させる。このように構成された本発明によれば、予め設定されている燃料利用率の許容範囲で燃料供給量が増加されるので、発電電力の増加に先行して大幅に燃料供給量を増加させる第2遅延制御においても、燃料電池モジュール内の熱的なバランスが崩れたり、燃料電池モジュールからのCO増加など排気性能が悪化するのを防止することができる。本発明において、好ましくは、第2遅延制御手段は、水供給量と燃料供給量の比が、予め設定されている所定の許容範囲を超えないように水供給量を修正する。このように構成された本発明によれば、水供給量と燃料供給量の比が、予め設定されている許容範囲内にあるように水供給量が修正されるので、燃料供給量の増加に伴う改質器内のS/C低下による炭素析出等の不具合を確実に防止することができる。本発明の固体酸化物型燃料電池によれば、燃料電池セルスタックの劣化を抑制しながら、需要電力に対する発電電力の追従性を向上させることができる。次に、添付図面を参照して、本発明の実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCを説明する。図1は、本発明の一実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCを示す全体構成図である。この図1に示すように、本発明の一実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFC1は、燃料電池モジュール2と、補機ユニット4を備えている。燃料電池モジュール2は、ハウジング6を備え、このハウジング6内部には、断熱材7を介して密封空間8が形成されている。この密閉空間8の下方部分である発電室10には、燃料と酸化剤空気とにより発電反応を行う燃料電池セル集合体12が配置されている。この燃料電池セル集合体12は、10個の燃料電池セルスタック14図5参照を備え、この燃料電池セルスタック14は、16本の燃料電池セルユニット16図4参照から構成されている。このように、燃料電池セル集合体12は、160本の燃料電池セルユニット16を有し、これらの燃料電池セルユニット16の全てが直列接続されている。燃料電池モジュール2の密封空間8の上述した発電室10の上方には、燃焼室18が形成され、この燃焼室18で、発電反応に使用されなかった残余の燃料と残余の酸化剤空気とが燃焼し、排気ガスを生成するようになっている。また、この燃焼室18の上方には、燃料を改質する改質器20が配置され、前記残余ガスの燃焼熱によって改質器20を改質反応が可能な温度となるように加熱している。さらに、この改質器20の上方には、改質器20の熱を受けて空気を加熱し、改質器20の温度低下を抑制するための空気用熱交換器22が配置されている。次に、補機ユニット4は、水道等の水供給源24からの水を貯水してフィルターにより純水とする純水タンク26と、この貯水タンクから供給される水の流量を調整する水流量調整ユニット28モータで駆動される水ポンプ等を備えている。また、補機ユニット4は、都市ガス等の燃料供給源30から供給された燃料を遮断するガス遮断弁32と、燃料ガスから硫黄を除去するための脱硫器36と、燃料ガスの流量を調整する燃料流量調整ユニット38モータで駆動される燃料ポンプ等を備えている。さらに、補機ユニット4は、空気供給源40から供給される酸化剤である空気を遮断する電磁弁42と、空気の流量を調整する改質用空気流量調整ユニット44及び発電用空気流量調整ユニット45モータで駆動される空気ブロア等と、改質器20に供給される改質用空気を加熱する第1ヒータ46と、発電室に供給される発電用空気を加熱する第2ヒータ48とを備えている。これらの第1ヒータ46と第2ヒータ48は、起動時の昇温を効率よく行うために設けられているが、省略しても良い。次に、燃料電池モジュール2には、排気ガスが供給される温水製造装置50が接続されている。この温水製造装置50には、水供給源24から水道水が供給され、この水道水が排気ガスの熱により温水となり、図示しない外部の給湯器の貯湯タンクへ供給されるようになっている。また、燃料電池モジュール2には、燃料ガスの供給量等を制御するための制御ボックス52が取り付けられている。さらに、燃料電池モジュール2には、燃料電池モジュールにより発電された電力を外部に供給するための電力取出部電力変換部であるインバータ54が接続されている。次に、図2及び図3により、本発明の実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCの燃料電池モジュールの内部構造を説明する。図2は、本発明の一実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCの燃料電池モジュールを示す側面断面図であり、図3は、図2のIIIIII線に沿って断面図である。図2及び図3に示すように、燃料電池モジュール2のハウジング6内の密閉空間8には、上述したように、下方から順に、燃料電池セル集合体12、改質器20、空気用熱交換器22が配置されている。改質器20は、その上流端側に純水を導入するための純水導入管60と改質される燃料ガスと改質用空気を導入するための被改質ガス導入管62が取り付けられ、また、改質器20の内部には、上流側から順に、蒸発部20aと改質部20bを形成され、これらの蒸発部20aと改質部20bには改質触媒が充填されている。この改質器20に導入された水蒸気純水が混合された燃料ガス及び空気は、改質器20内に充填された改質触媒により改質される。改質触媒としては、アルミナの球体表面にニッケルを付与したものや、アルミナの球体表面にルテニウムを付与したものが適宜用いられる。この改質器20の下流端側には、燃料ガス供給管64が接続され、この燃料ガス供給管64は、下方に延び、さらに、燃料電池セル集合体12の下方に形成されたマニホールド66内で水平に延びている。燃料ガス供給管64の水平部64aの下方面には、複数の燃料供給孔64bが形成されており、この燃料供給孔64bから、改質された燃料ガスがマニホールド66内に供給される。このマニホールド66の上方には、上述した燃料電池セルスタック14を支持するための貫通孔を備えた下支持板68が取り付けられており、マニホールド66内の燃料ガスが、燃料電池セルユニット16内に供給される。次に、改質器20の上方には、空気用熱交換器22が設けられている。この空気用熱交換器22は、上流側に空気集約室70、下流側に2つの空気分配室72を備え、これらの空気集約室70と空気分配室72は、6個の空気流路管74により接続されている。ここで、図3に示すように、3個の空気流路管74が一組74a,74b,74c,74d,74e,74fとなっており、空気集約室70内の空気が各組の空気流路管74からそれぞれの空気分配室72へ流入する。空気用熱交換器22の6個の空気流路管74内を流れる空気は、燃焼室18で燃焼して上昇する排気ガスにより予熱される。空気分配室72のそれぞれには、空気導入管76が接続され、この空気導入管76は、下方に延び、その下端側が、発電室10の下方空間に連通し、発電室10に余熱された空気を導入する。次に、マニホールド66の下方には、排気ガス室78が形成されている。また、図3に示すように、ハウジング6の長手方向に沿った面である前面6aと後面6bの内側には、上下方向に延びる排気ガス通路80が形成され、この排気ガス室通路80の上端側は、空気用熱交換器22が配置された空間と連通し、下端側は、排気ガス室78と連通している。また、排気ガス室78の下面のほぼ中央には、排気ガス排出管82が接続され、この排気ガス排出管82の下流端は、図1に示す上述した温水製造装置50に接続されている。図2に示すように、燃料ガスと空気との燃焼を開始するための点火装置83が、燃焼室18に設けられている。次に図4により燃料電池セルユニット16について説明する。図4は、本発明の一実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCの燃料電池セルユニットを示す部分断面図である。図4に示すように、燃料電池セルユニット16は、燃料電池セル84と、この燃料電池セル84の上下方向端部にそれぞれ接続された内側電極端子86とを備えている。燃料電池セル84は、上下方向に延びる管状構造体であり、内部に燃料ガス流路88を形成する円筒形の内側電極層90と、円筒形の外側電極層92と、内側電極層90と外側電極層92との間にある電解質層94とを備えている。この内側電極層90は、燃料ガスが通過する燃料極であり、-極となり、一方、外側電極層92は、空気と接触する空気極であり、極となっている。燃料電池セル16の上端側と下端側に取り付けられた内側電極端子86は、同一構造であるため、ここでは、上端側に取り付けられた内側電極端子86について具体的に説明する。内側電極層90の上部90aは、電解質層94と外側電極層92に対して露出された外周面90bと上端面90cとを備えている。内側電極端子86は、導電性のシール材96を介して内側電極層90の外周面90bと接続され、さらに、内側電極層90の上端面90cとは直接接触することにより、内側電極層90と電気的に接続されている。内側電極端子86の中心部には、内側電極層90の燃料ガス流路88と連通する燃料ガス流路98が形成されている。内側電極層90は、例えば、Niと、CaやY、Sc等の希土類元素から選ばれる少なくとも一種をドープしたジルコニアとの混合体、Niと、希土類元素から選ばれる少なくとも一種をドープしたセリアとの混合体、Niと、Sr、Mg、Co、Fe、Cuから選ばれる少なくとも一種をドープしたランタンガレードとの混合体、の少なくとも一種から形成される。電解質層94は、例えば、Y、Sc等の希土類元素から選ばれる少なくとも一種をドープしたジルコニア、希土類元素から選ばれる少なくとも一種をドープしたセリア、Sr、Mgから選ばれる少なくとも一種をドープしたランタンガレート、の少なくとも一種から形成される。外側電極層92は、例えば、Sr、Caから選ばれた少なくとも一種をドープしたランタンマンガナイト、Sr、Co、Ni、Cuから選ばれた少なくとも一種をドープしたランタンフェライト、Sr、Fe、Ni、Cuから選ばれた少なくとも一種をドープしたランタンコバルタイト、銀、などの少なくとも一種から形成される。次に図5により燃料電池セルスタック14について説明する。図5は、本発明の一実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCの燃料電池セルスタックを示す斜視図である。図5に示すように、燃料電池セルスタック14は、16本の燃料電池セルユニット16を備え、これらの燃料電池セルユニット16の下端側及び上端側が、それぞれ、セラミック製の下支持板68及び上支持板100により支持されている。これらの下支持板68及び上支持板100には、内側電極端子86が貫通可能な貫通穴68a及び100aがそれぞれ形成されている。さらに、燃料電池セルユニット16には、集電体102及び外部端子104が取り付けられている。この集電体102は、燃料極である内側電極層90に取り付けられた内側電極端子86と電気的に接続される燃料極用接続部102aと、空気極である外側電極層92の外周面全体と電気的に接続される空気極用接続部102bとにより一体的に形成されている。空気極用接続部102bは、外側電極層92の表面を上下方向に延びる鉛直部102cと、この鉛直部102cから外側電極層92の表面に沿って水平方向に延びる多数の水平部102dとから形成されている。また、燃料極用接続部102aは、空気極用接続部102bの鉛直部102cから燃料電池セルユニット16の上下方向に位置する内側電極端子86に向って斜め上方又は斜め下方に向って直線的に延びている。さらに、燃料電池セルスタック14の端図5では左端の奥側及び手前側に位置する2個の燃料電池セルユニット16の上側端及び下側端の内側電極端子86には、それぞれ外部端子104が接続されている。これらの外部端子104は、隣接する燃料電池セルスタック14の端にある燃料電池セルユニット16の外部端子104図示せずに接続され、上述したように、160本の燃料電池セルユニット16の全てが直列接続されるようになっている。次に図6により本実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCに取り付けられたセンサ類等について説明する。図6は、本発明の一実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCを示すブロック図である。図6に示すように、固体酸化物型燃料電池1は、制御部110を備え、この制御部110には、使用者が操作するためのONやOFF等の操作ボタンを備えた操作装置112、発電出力値ワット数等の種々のデータを表示するための表示装置114、及び、異常状態のとき等に警報ワーニングを発する報知装置116が接続されている。なお、この報知装置116は、遠隔地にある管理センタに接続され、この管理センタに異常状態を通知するようなものであっても良い。次に、制御部110には、以下に説明する種々のセンサからの信号が入力されるようになっている。先ず、可燃ガス検出センサ120は、ガス漏れを検知するためのもので、燃料電池モジュール2及び補機ユニット4に取り付けられている。CO検出センサ122は、本来排気ガス通路80等を経て外部に排出される排気ガス中のCOが、燃料電池モジュール2及び補機ユニット4を覆う外部ハウジング図示せずへ漏れたかどうかを検知するためのものである。貯湯状態検出センサ124は、図示しない給湯器におけるお湯の温度や水量を検知するためのものである。電力状態検出センサ126は、インバータ54及び分電盤図示せずの電流及び電圧等を検知するためのものである。発電用空気流量検出センサ128は、発電室10に供給される発電用空気の流量を検出するためのものである。改質用空気流量センサ130は、改質器20に供給される改質用空気の流量を検出するためのものである。燃料流量センサ132は、改質器20に供給される燃料ガスの流量を検出するためのものである。水流量センサ134は、改質器20に供給される純水の流量を検出するためのものである。水位センサ136は、純水タンク26の水位を検出するためのものである。圧力センサ138は、改質器20の外部の上流側の圧力を検出するためのものである。排気温度センサ140は、温水製造装置50に流入する排気ガスの温度を検出するためのものである。発電室温度センサ142は、図3に示すように、燃料電池セル集合体12の近傍の前面側と背面側に設けられ、燃料電池セルスタック14の近傍の温度を検出して、燃料電池セルスタック14即ち燃料電池セル84自体の温度を推定するためのものである。燃焼室温度センサ144は、燃焼室18の温度を検出するためのものである。排気ガス室温度センサ146は、排気ガス室78の排気ガスの温度を検出するためのものである。改質器温度センサ148は、改質器20の温度を検出するためのものであり、改質器20の入口温度と出口温度から改質器20の温度を算出する。外気温度センサ150は、固体酸化物型燃料電池SOFCが屋外に配置された場合、外気の温度を検出するためのものである。また、外気の湿度等を測定するセンサを設けるようにしても良い。これらのセンサ類からの信号は、制御部110に送られ、制御部110は、これらの信号によるデータに基づき、水流量調整ユニット28、燃料流量調整ユニット38、改質用空気流量調整ユニット44、発電用空気流量調整ユニット45に、制御信号を送り、これらのユニットにおける各流量を制御するようになっている。次に図7により本実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCによる起動時の動作を説明する。図7は、本発明の一実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCの起動時の動作を示すタイムチャートである。最初は、燃料電池モジュール2を温めるために、無負荷状態で、即ち、燃料電池モジュール2を含む回路を開いた状態で、運転を開始する。このとき、回路に電流が流れないので、燃料電池モジュール2は発電を行わない。先ず、改質用空気流量調整ユニット44から改質用空気を第1ヒータ46を経由して燃料電池モジュール2の改質器20へ供給する。また、同時に、発電用空気流量調整ユニット45から発電用空気を第2ヒータ48を経由して燃料電池モジュール2の空気用熱交換器22へ供給し、この発電用空気が、発電室10及び燃焼室18に到達する。この直ぐ後、燃料流量調整ユニット38からも燃料ガスが供給され、改質用空気が混合された燃料ガスが、改質器20及び燃料電池セルスタック14、燃料電池セルユニット16を通過して、燃焼室18に到達する。次に、点火装置83により着火して、燃焼室18にある燃料ガスと空気改質用空気及び発電用空気とを燃焼させる。この燃料ガスと空気との燃焼により排気ガスが生じ、この排気ガスにより、発電室10が暖められ、また、排気ガスが燃料電池モジュール2の密封空間8内を上昇する際、改質器20内の改質用空気を含む燃料ガスを暖めると共に、空気熱交換器22内の発電用空気も暖める。このとき、燃料流量調整ユニット38及び改質用空気流量調整ユニット44により、改質用空気が混合された燃料ガスが改質器20に供給されているので、改質器20において、式1に示す部分酸化改質反応POXが進行する。この部分酸化改質反応POXは、発熱反応であるので、起動性が良好となる。また、この昇温した燃料ガスが燃料ガス供給管64により燃料電池セルスタック14の下方に供給され、これにより、燃料電池セルスタック14が下方から加熱され、また、燃焼室18も燃料ガスと空気が燃焼して昇温されているので、燃料電池セルスタック14は、上方からも加熱され、この結果、燃料電池セルスタック14は、上下方向において、ほぼ均等に昇温可能となっている。この部分酸化改質反応POXが進行しても、燃焼室18では継続して燃料ガスと空気との燃焼反応が持続される。CmHnxO2→aCO2bCOcH21部分酸化改質反応POXの開始後、改質器温度センサ148により改質器20が所定温度例えば、600°Cになったことを検知したとき、水流量調整ユニット28、燃料流量調整ユニット38及び改質用空気流量調整ユニット44により、燃料ガスと改質用空気と水蒸気とを予め混合したガスを改質器20に供給する。このとき、改質器20においては、上述した部分酸化改質反応POXと後述する水蒸気改質反応SRとが併用されたオートサーマル改質反応ATRが進行する。このオートサーマル改質反応ATRは、熱的に内部バランスが取れるので、改質器20内では熱的に自立した状態で反応が進行する。即ち、酸素空気が多い場合には部分酸化改質反応POXによる発熱が支配的となり、水蒸気が多い場合には水蒸気改質反応SRによる吸熱反応が支配的となる。この段階では、既に起動の初期段階は過ぎており、発電室10内がある程度の温度まで昇温されているので、吸熱反応が支配的であっても大幅な温度低下を引き起こすことはない。また、オートサーマル改質反応ATRが進行中も、燃焼室18では燃焼反応が継続して行われている。式2に示すオートサーマル改質反応ATRの開始後、改質器温度センサ146により改質器20が所定温度例えば、700°Cになったことを検知したとき、改質用空気流量調整ユニット44による改質用空気の供給を停止すると共に、水流量調整ユニット28による水蒸気の供給を増加させる。これにより、改質器20には、空気を含まず燃料ガスと水蒸気のみを含むガスが供給され、改質器20において、式3の水蒸気改質反応SRが進行する。CmHnxO2yH2O→aCO2bCOcH22CmHnxH2O→aCO2bCOcH23この水蒸気改質反応SRは吸熱反応であるので、燃焼室18からの燃焼熱と熱バランスをとりながら反応が進行する。この段階では、燃料電池モジュール2の起動の最終段階であるため、発電室10内が十分高温に昇温されているので、吸熱反応が進行しても、発電室10が大幅な温度低下を招くこともない。また、水蒸気改質反応SRが進行しても、燃焼室18では継続して燃焼反応が進行する。このようにして、燃料電池モジュール2は、点火装置83により点火した後、部分酸化改質反応POX、オートサーマル改質反応ATR、水蒸気改質反応SRが、順次進行することにより、発電室10内の温度が徐々に上昇する。次に、発電室10内及び燃料電池セル84の温度が燃料電池モジュール2を安定的に作動させる定格温度よりも低い所定の発電温度に達したら、燃料電池モジュール2を含む回路を閉じ、燃料電池モジュール2による発電を開始し、それにより、回路に電流が流れる。燃料電池モジュール2の発電により、燃料電池セル84自体も発熱し、燃料電池セル84の温度も上昇する。この結果、燃料電池モジュール2を作動させる定格温度、例えば、600°C~800°Cになる。この後、定格温度を維持するために、燃料電池セル84で消費される燃料ガス及び空気の量よりも多い燃料ガス及び空気を供給し、燃焼室18での燃焼を継続させる。なお、発電中は、改質効率の高い水蒸気改質反応SRで発電が進行する。次に、図8により本実施形態による固体酸化物型燃料電池SOFCの運転停止時の動作を説明する。図8は、本実施形態により固体酸化物型燃料電池SOFCの運転停止時の動作を示すタイムチャートである。図8に示すように、燃料電池モジュール2の運転停止を行う場合には、先ず、燃料流量調整ユニット38及び水流量調整ユニット28を操作して、燃料ガス及び水蒸気の改質器20への供給量を減少させる。また、燃料電池モジュール2の運転停止を行う場合には、燃料ガス及び水蒸気の改質器20への供給量を減少させると同時に、改質用空気流量調整ユニット44による発電用空気の燃料電池モジュール2内への供給量を増大させて、燃料電池セル集合体12及び改質器20を空気により冷却し、これらの温度を低下させる。その後、改質器20の温度が所定温度、例えば、400°Cまで低下したとき、燃料ガス及び水蒸気の改質器20への供給を停止し、改質器20の水蒸気改質反応SRを終了する。この発電用空気の供給は、改質器20の温度が所定温度、例えば、200°Cまで低下するまで、継続し、この所定温度となったとき、発電用空気流量調整ユニット45からの発電用空気の供給を停止する。このように、本実施形態においては、燃料電池モジュール2の運転停止を行うとき、改質器20による水蒸気改質反応SRと発電用空気による冷却とを併用しているので、比較的短時間に、燃料電池モジュールの運転を停止させることができる。次に、図9乃至図14を参照して、本発明の実施形態による固体酸化物型燃料電池1の制御を説明する。図9は、需要電力の変化と、燃料供給量、及び燃料電池モジュールから実際に取り出される電流の関係を模式的に示したグラフである。図9に示すように、燃料電池モジュール2は、図9の最上段に示す需要電力に応じた電力を生成できるように制御される。制御手段である制御部110は、需要電力に基づいて、燃料電池モジュール2が生成すべき目標の電流である燃料供給電流値Ifを、図9の2段目のグラフに示すように設定する。燃料供給電流値Ifは、概ね需要電力の変化に追従するように設定されるが、燃料電池モジュール2の応答速度は需要電力の変化に対して極めて緩慢であるため、需要電力の短周期の急激な変化には追従せず、需要電力に緩やかに追従するように設定される。また、需要電力が固体酸化物型燃料電池の定格発電電力を超えた場合には、燃料供給電流値Ifは定格発電電力に対応する電流値まで追従し、それ以上の電流値に設定されることはない。制御部110は、図9の3段目のグラフに示すように、燃料供給手段である燃料流量調整ユニット38を制御して、燃料供給電流値Ifに対応する電力が生成できる流量の燃料供給量Frを燃料電池モジュール2に供給する。なお、燃料供給量に対する実際に発電に使用される燃料の割合である燃料利用率が一定であるとすれば、燃料供給電流値Ifと燃料供給量Frは比例する。図9のグラフは、燃料供給電流値Ifと燃料供給量Frが比例するものとして描かれているが、実際には、燃料利用率は運転状態に応じて変更される。さらに、図9の最下段のグラフに示すように、制御部110は、燃料電池モジュール2から取り出すことができる電流値である取出可能電流Iinvをインバータ54に対して指示する信号を出力する。インバータ54は、時々刻々急激に変化する需要電力に応じ、取出可能電流Iinvの範囲内で燃料電池モジュール2から電流電力を取り出す。需要電力が取出可能電流Iinvを上回る部分については、系統電力から供給され、これが買電力となる。ここで、図9に示すように、制御部110がインバータ54に指示する取出可能電流Iinvは、電流が増加傾向にある場合、燃料供給量Frの変化に対して所定時間遅れて変化するように設定される。例えば、図9の時刻t10においては、燃料供給電流値If及び燃料供給量Frが上昇を始めた後、遅れて、取出可能電流Iinvの増加が開始される。また、時刻t12においても、燃料供給電流値If及び燃料供給量Frの増加の後、遅れて、取出可能電流Iinvの増加が開始される。このように、燃料供給量Frを増加させた後、実際に燃料電池モジュール2から取り出す電力を増加させるタイミングを遅らせることにより、燃料電池モジュール2に供給された燃料が改質器20等を通って燃料電池セルスタック14に到達するまでの時間遅れや、燃料が電池セルスタック14に到達した後、実際の発電反応が可能になるまでの時間遅れに対処している。これにより、各燃料電池セルユニット16において燃料枯れが発生し、燃料電池セルユニット16が損傷されるのを確実に防止している。なお、図9は、燃料供給量Frの増加と、取出可能電流Iinvの増加のタイミングをマクロ的、概略的に示したものであり、詳細については後述する。次に図10乃至図14を参照して、制御部による燃料、発電用空気、水供給量、及び取出可能電流の制御の詳細を説明する。図10は、制御部による燃料、発電用空気、及び水供給量制御のフローチャートである。図11は制御部による第1遅延制御の一例を示すタイムチャートであり、図12は制御部による第2遅延制御の一例を示すタイムチャートである。図13は、各発電電流に対して決定され得る燃料利用率の値の範囲を示すグラフである。図14は、各発電電流に対して決定され得る空気利用率の値の範囲を示すグラフである。本実施形態において、制御部110は、第1遅延制御を実行する第1遅延制御手段110aと、第2遅延制御を実行する第2遅延制御手段110bと、を備えている図6。第1遅延制御は、図10に示すフローチャートのステップS22において実行される制御である。また、第2遅延制御は、図10に示すフローチャートのステップS6以下、又はステップS14以下で実行される制御であって、第1遅延制御よりも需要電力に対する追従性を高めた制御モードである。まず、図11を参照して、第1遅延制御手段110aにより実行される第1遅延制御を説明する。図11に示すタイムチャートは、その上段に需要電力、中段に買電力、下段に燃料、発電用空気、水供給量、及び取出可能電流Iinvを示している。まず、図11の時刻t21において需要電力が増加し始めるが、取出可能電流Iinvは、この増加に直ちに追従することはないため、燃料電池モジュール2から取り出される電力に変化はなく、需要電力の増加分は全て系統電力により賄われるため、需要電力と共に買電力も増加する。次いで、時刻t22において、燃料電池モジュール2による発電電力を増加させるべく、制御部110に内蔵されている第1遅延制御手段110aは、水供給手段である水流量調整ユニット28に信号を送り、水供給量を増加させる。この時点においても、取出可能電流Iinvは増加されていないため、需要電力と共に買電力が増加する。次に、時刻t22から5秒後の時刻t23において、第1遅延制御手段110aは、発電用酸化剤ガス供給手段である発電用空気流量調整ユニット45に信号を送り、空気供給量を増加させる。この時点においても、取出可能電流Iinvは増加されていないため、需要電力の増加分は全て買電力により賄われている。さらに、時刻t23から5秒後の時刻t24において、第1遅延制御手段110aは、燃料供給手段である燃料流量調整ユニット38に信号を送り、燃料供給量を増加させる。この時点においても、取出可能電流Iinvは増加されていないため、需要電力の増加分は全て買電力により賄われている。次いで、時刻t24から10秒後の時刻t25において、第1遅延制御手段110aは、インバータ54に信号を送り、取出可能電流Iinvを20mA増加させる。取出可能電流Iinvの増加と共に、燃料電池モジュール2から実際に取り出される電流も増加するため、需要電力の増加分の一部が固体酸化物型燃料電池1により賄われ、買電力が減少する。このように、時刻t25において取出可能電流Iinvを増加させるために、前もって、水、発電用空気、燃料の各供給量を増加させ、その後所定時間遅延して取出可能電流Iinvを増加させている。これにより、増加された燃料が改質器2内で改質され、燃料電池セルスタック14に行き渡った後に、取出可能電流Iinvが増加され、燃料電池モジュール2から実際に取り出される電流も増加される。なお、時刻t22、t23、t24における水、発電用空気、燃料の各増加量は、発電電流20mAの増加に対応した量に設定されている。さらに、時刻t25においては、取出可能電流Iinvを更に増加させるべく、水供給量が、もう1段階増加される。同様に、時刻t26、t27において、発電用空気、燃料の供給量が夫々増加され、時刻t28において、取出可能電流Iinvが更に20mA増加される。これにより買電力が減少する。このように、取出可能電流Iinvは、20秒間に1回、20mAずつ5段階増加されることにより、時刻t29において、取出可能電流Iinvが需要電力の増加分に追いつき、買電力は、時刻t21におけるレベルまで低下する。このように、第1遅延制御においては、水供給量、発電用空気供給量、及び燃料供給量を増加させた後、所定時間遅れて、増加された燃料供給量に対応する電力まで取出可能電流Iinv発電電力を増加させ、この制御を繰り返すことにより取出可能電流Iinvを需要電力に対応する電流に近づける。なお、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1においては、系統電力への逆潮流等を防止するため、燃料電池モジュール2による発電電力は、需要電力が少ない場合でも常に需要電力よりも100W少なく設定されるので、買電力が0になることはない。次に、図10乃至図14を参照して、第1遅延制御と第2遅延制御の切り換えについて説明する。まず、図10のステップS1においては、制御部110は、買電力検出手段である電力状態検出センサ126より買電力量QWを読み込む。次に、ステップS2においては、燃料電池モジュール2の現在の発電電力が、定格発電電力よりも何W少ないかが判断される。この差が200Wよりも少ない場合にはステップS22に進み、200W以上の場合にはステップS3に進む。本実施形態においては、定格発電電力=700Wであるため、燃料電池モジュール2発電電力が500W以上である場合にはステップS22に進む。ステップS22においては、図11により説明した第1遅延制御が実行され、図10のフローの1回の処理を終了する。これは、燃料電池モジュール2による現在の発電電力が定格発電電力に近い状態においては、発電電力増加の余地が少なく、第2遅延制御により追従性を高める必要性が少ないためである。次に、ステップS3においては、制御部110により、燃料電池モジュール2の出力電圧が第2遅延制御禁止電圧である100V以下であるか否かが判断される。100V以下である場合にはステップS22に進み、100Vよりも高い場合にはステップS4に進む。即ち、燃料電池モジュール2の出力電圧が100V以下に電圧降下している状態において、第2遅延制御により追従性を高めると、燃料電池セルスタック14の劣化を進行させてしまう虞があるため、そのような場合には燃料電池セルスタック14に負担をかけにくい第1遅延制御が選択される。さらに、ステップS4においては、制御部110により、買電力量QWが200W以下であるか否かが判断される。200W以下である場合にはステップS22に進み、200Wよりも多い場合にはステップS5に進む。ステップS22においては第1遅延制御が実行され、図10のフローの1回の処理を終了する。これは、買電力量QWが200W以下である状態においては、発電電力増加の余地が少なく、第2遅延制御により追従性を高める必要性が少ないためである。次いで、ステップS5においては、制御部110により、買電力量QWが400W以上であるか否かが判断される。400W以上である場合にはステップS14に進み、400Wよりも少ない場合200~400Wの場合にはステップS6に進む。ステップS6以下においては2倍速第2遅延制御が実行され、ステップS14以下においては3倍速第2遅延制御が実行される。ここで、2倍速第2遅延制御においては、第1遅延制御における2段階分の燃料供給量等の増加量が1段階で増加され、3倍速第2遅延制御においては、第1遅延制御における3段階分の燃料供給量等の増加量が1段階で増加される。このように、第2遅延制御では、燃料電池モジュール2による現在の発電電力と需要電力の差である買電力量が多い場合には、少ない場合よりも1段階の増加量が多くされ、追従性の高い制御が選択される。ただし、第2遅延制御手段110bが実行する第2遅延制御は、2倍速第2遅延制御及び3倍速第2遅延制御の2種類が予め設定されており、これらの何れかが選択される。従って、第2遅延制御においても、1段階での増加量は、第1遅延制御における3段階分の増加量以下に制限されている。ステップS14においては、第2遅延制御手段110bにより、3倍速第2遅延制御による、水、発電用空気、燃料の各供給量が計算される。図11により説明した第1遅延制御においては、1段階20mAずつ取出可能電流Iinvが増加され、水、発電用空気、燃料の各供給量も、増加後の取出可能電流Iinvに対応した供給量に前もって変更されていた。一方、図12に示すように、3倍速第2遅延制御においては、第1遅延制御における3段階分に相当する20mAの取出可能電流Iinvの増加に対応する水、発電用空気、燃料が1回に増量される。ステップS14においては、3段階分増加された取出可能電流Iinvに対応した水、発電用空気、燃料の各供給量が計算される。次に、ステップS15においては、買電力量QWの急減が発生しているか否かが判断される。買電力量QWが急激に減少している場合にはステップS22に進み、急激に減少していない場合にはステップS16に進む。買電力量QWは、需要電力が急激に減少することにより、これに伴って急激に減少する。従って、3倍速第2遅延制御を実際に開始する前に買電力量QWが急激に低下している場合には、買電力量QWが更に低下することが予想されるため、取出可能電流Iinvを急激に増加させるための3倍速第2遅延制御は中止され、第1遅延制御が実行される。ステップS16においては、ステップS14において計算された発電用空気、燃料の各供給量が、許容される各利用率の範囲内にあるか否かが判断される。まず、燃料については、各発電電流に対して許容される燃料利用率の範囲が図13に示すように予め設定されている。燃料利用率とは、発電電流を出力するために必要な燃料供給量を、実際に供給される燃料供給量で除した値である。この燃料利用率は高いほど高効率で発電できることになるが、高すぎる場合には燃料枯れが発生し、また、燃料電池モジュール2が熱自立できなくなり、燃料電池セルスタック14の温度が低下する。逆に、燃料利用率が低い場合には発電効率が低下し、また、低すぎる場合には、発電に利用されずに燃焼室18内で燃焼される燃料が増えるために、燃料電池モジュール2内の温度が過剰に上昇する。このため、燃料利用率には予め許容範囲が設定されている。従って、ステップS16においては、図12の時刻t34における取出可能電流Iinvに対し、時刻t34において増加された燃料供給量が、図13のように規定されている燃料利用率の許容範囲内にあるか否かが判断される。さらに、時刻t38における、3段階増加された後の取出可能電流Iinvに対し、時刻t34において増加された燃料供給量が、燃料利用率の許容範囲内にあるか否かが判断される。同様に、発電用空気についても、各発電電流に対して許容される空気利用率の範囲が図14に示すように予め設定されている。空気利用率とは、取出可能電流Iinvを出力するために必要な発電用空気供給量を、実際に供給される発電用空気供給量で除した値である。この空気利用率が高すぎる場合には空気枯れが発生し燃料電池セルスタック14を損傷してしまうことがある。逆に、空気利用率が低い場合には、必要以上の空気が燃料電池モジュール2内を通過することになるため、空気によって燃料電池セルスタック14の熱が奪われ、この熱を補うために燃料が消費されるので発電効率が低下する。このため、空気利用率には予め許容範囲が設定されている。従って、ステップS16においては、図12の時刻t33における取出可能電流Iinvに対し、時刻t33において増加された発電用空気供給量が、図14のように規定されている空気利用率の許容範囲内にあるか否かが判断される。さらに、時刻t38における3段階増加された後の取出可能電流Iinvに対し、時刻t33において増加された発電用空気給量が、空気利用率の許容範囲内にあるか否かが判断される。燃料利用率及び空気利用率が各許容範囲内にある場合には、ステップS18に進み、許容範囲内にない場合にはステップS17に進む。ステップS17においては、ステップS14において計算された燃料供給量、発電用空気が修正される。即ち、ステップS16において判断された燃料利用率が、許容されている燃料利用率よりも高くなった場合には、燃料利用率が許容範囲内に入るように、燃料が増量補正される。逆に、ステップS16において判断された燃料利用率が、許容されている燃料利用率よりも低くなった場合には、燃料利用率が許容範囲内に入るように、燃料が減量補正される。同様に、ステップS16において判断された各空気利用率も許容範囲内に入るように修正される。次に、ステップS18においては、ステップS14において計算された水供給量と、ステップS14において計算され、又はステップS17において修正された燃料供給量から計算されるS/C水蒸気量と炭素量の比が許容範囲内にあるか否かが判断される。ここで、水蒸気量と炭素量の比S/C=1とは、供給された燃料に含まれる炭素の全量が、供給された水水蒸気により化学的に過不足なく水蒸気改質される状態を意味する。本実施形態においては、S/Cの許容範囲は2.5乃至3.5に設定されている。従って、水蒸気量と炭素量の比S/C=2.5とは、燃料を水蒸気改質するために化学的に必要最小限の水蒸気量の2.5倍の水蒸気水が供給されている状態を意味する。なお、実際には、S/C=1となる水蒸気量では改質器20内において炭素析出が発生してしまうため、S/C=2.5程度となる水蒸気量が燃料を水蒸気改質するための適量である。また、ステップS18においては、燃料供給量を増加させた前後におけるS/Cが許容範囲内にあるか否かが判断される。即ち、図12の時刻t32において、水供給量が増加された後、時刻t34において燃料供給量が増加されるまでの間のS/C、及び、水供給量、燃料供給量とも増加された時刻t34~t35の間のS/Cの両方について、2.5乃至3.5の範囲内にあるか否かが判断される。両方のS/Cが許容範囲内にある場合にはステップS20に進み、許容範囲内にない場合にはステップS19に進む。ステップS19においては、各S/Cが許容範囲内に入るように、水供給量が修正される。即ち、S/Cが2.5よりも小さい場合には、水供給量が増量補正され、S/Cが3.5よりも大きい場合には、水供給量が減量補正される。ステップS20においては、ステップS14において計算され、又は、ステップS17又はS19で修正された量の水、発電用空気、燃料が順次供給される。即ち、図12の時刻t31において需要電力が増加した後、時刻t32において、水供給量が増加される。次に、時刻t32から5秒後の時刻t33において、第2遅延制御手段110bは、空気供給量を増加させる。さらに、時刻t33から5秒後の時刻t34において、第2遅延制御手段110bは、燃料供給量を増加させる。このように、3倍速第2遅延制御では、第1遅延制御における3回分程度の増加量が1回で増加されるため、第1遅延制御よりも急激に水、発電用空気、燃料の供給量が増加される。次に、図10のステップS21においては、取出可能電流Iinvが1段階ずつ3回、増加される。即ち、時刻t34から10秒後の時刻t35において、第2遅延制御手段110bは、インバータ54に信号を送り、取出可能電流Iinvを20mA増加させる。さらに、時刻t35から0.5秒後の時刻t36において、取出可能電流Iinvは更に20mA増加され、その0.5秒後の時刻t37において、取出可能電流Iinvは更に20mA増加される。これにより、取出可能電流Iinvは、時刻t32において水供給量が増加された後、21秒で、第1遅延制御における3段階分の60mA増加される。このように、3倍速第2遅延制御における取出可能電流Iinv発電電力の1段階の増加量は、第1遅延制御における1段階の増加量と同じである。しかしながら、3倍速第2遅延制御においては、水、発電用空気、燃料の供給量は、取出可能電流Iinvの3段階分の増加量を1回で増加させている。このように、図10のステップS14以下で実行される3倍速第2遅延制御により、約3倍の速さで、取出可能電流Iinvは需要電力に追従し、これにより買電力量QWが減少される。また、3倍速第2遅延制御では、第1遅延制御における3回分程度の増加量が1回で増加され、第1遅延制御よりも急激に供給量が増加されるのに対して、取出可能電流Iinv発電電力の増加は、1回で3段階分の取出可能電流Iinvを増加させることはなく、0.5秒ずつ間隔をあけて3回で増加される。このように、取出可能電流Iinvの増加は、燃料供給量等の増加よりも緩やかに行われる。次いで、図12の時刻t37においては、買電力量QWが200Wを超え、400W未満となっているため、図10のステップS6以下の、2倍速第2遅延制御が実行される。ステップS6乃至S13により実行される2倍速第2遅延制御は、ステップS6において計算される水、発電用空気、燃料の1回の増加量が、第1遅延制御における増加量の2倍にされていることを除き、上述した3倍速第2遅延制御と同様である。即ち、ステップS12においては、ステップS6において計算され、又は、ステップS8又はS11で修正された量の水、発電用空気、燃料が順次供給される。即ち、図12の時刻t37において、水供給量が増加される。次に、時刻t37から5秒後の時刻t38において、第2遅延制御手段110bは、空気供給量を増加させる。さらに、時刻t38から5秒後の時刻t39において、第2遅延制御手段110bは、燃料供給量を増加させる。次に、ステップS13においては、取出可能電流Iinvが1段階ずつ2回、増加される。即ち、時刻t39から10秒後の時刻t40において、第2遅延制御手段110bは、取出可能電流Iinvを20mA増加させる。さらに、時刻t40から0.5秒後の時刻t41において、取出可能電流Iinvは更に20mA増加される。これにより、取出可能電流Iinvは、時刻t37において水供給量が増加された後、20.5秒で、第1遅延制御における2段階分の40mA増加される。このように、図10のステップS6以下で実行される2倍速第2遅延制御により、約2倍の速さで、取出可能電流Iinvは需要電力に追従し、これにより買電力量QWが減少される。本発明の実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、水供給量、発電用空気供給量、及び燃料供給量を急激に増加させる第2遅延制御手段110bを備えているので図10のステップS6以下、ステップS14以下、及び図12、需要電力の増加に発電電力を急速に追従させることができる。また、燃料供給量を急激に増加させる図12の時刻t34、t39ことにより、発電電力を需要電力の増加に追従させる際に生じる余剰燃料を減少させることができるので、燃料電池モジュール2内の過剰な温度上昇を抑制することができる。また、燃料供給量等を急激に増加させる一方、発電電力の増加は緩やかに行われる図12の時刻t36、t37、t41ので、急速に電流を取り出すことによる燃料電池セルスタック14の劣化を抑制すると共に、燃料電池モジュール2からの出力電圧の降下を抑制することができる。これにより、燃料電池セルスタック14の劣化を抑制しながら、需要電力に対する発電電力の追従性を向上させることができる。また、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、需要電力と発電電力の差が大きい場合には、1回に多くの燃料が増加される図12の時刻t34ので、より急速に発電電力を需要電力に近づけることができると共に、1回の増加量が所定の増加量以下に制限されているため、燃料の急激な増加による燃料電池モジュール2内の過剰な温度上昇や、熱的な不安定化を防止することができる。さらに、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、第2遅延制御図10のステップS6以下、ステップS14以下、及び図12においては、第1遅延制御図10のステップS22、及び図11よりも急激に燃料供給量を増加させる一方、発電電力の1段階の増加量は、第1遅延制御及び第2遅延制御において同一例えば、図11の時刻t25と図12の時刻t35にすることにより、第2遅延制御における追従性を向上させながら、燃料電池セルスタック14を劣化及び損傷から保護することができる。また、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、燃料供給量の1回の増加量が複数種類図10のステップS6以下、及びステップS14以下設定された増加量の中から選択されるので、過剰な量の燃料を供給することによる過昇温を防止しながら、発電電力の追従性を向上させることができる。さらに、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、出力電圧が第2遅延制御禁止電圧以下に低下した状態では第2遅延制御が禁止される図10のステップS3ので、出力電圧が低下している状態において発電電力を急速に需要電力に追従させることによる急激な電圧降下や、それに伴う燃料電池セルスタック14の損傷を防止することができる。また、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、需要電力と発電電力の差が所定の電力以下である場合に第2遅延制御が禁止される図10のステップS4ので、過剰な燃料供給に伴う過昇温を防止することができる。需要電力と発電電力の差が少ない状態では、需要電力の急減により燃料供給量が発電電力に対して過剰な状態が発生しやすい。このような状態において、第2遅延制御により燃料供給量を急増させると、過剰な燃料供給による過昇温を発生させるリスクが高くなる。本実施形態によれば、このようなリスクを軽減することができる。さらに、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、定格発電電力と発電電力の差が所定の電力以下である場合に第2遅延制御が禁止される図10のステップS2ので、過剰な燃料供給に伴う過昇温を防止することができる。定格発電電力と発電電力の差が少ない状態では、需要電力が増加しても、要求される発電電力の増加余地が少ない。このような状態において、第2遅延制御により燃料供給量を急増させると、燃料供給量が過剰になる可能性が高く、過昇温を発生させるリスクが高くなる。本実施形態によれば、このようなリスクを軽減することができる。また、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、予め設定されている燃料利用率の許容範囲で燃料供給量が増加される図10のステップS9、S17、及び図13及び14ので、発電電力の増加に先行して大幅に燃料供給量を増加させる第2遅延制御においても、燃料電池モジュール2内の熱的なバランスが崩れたり、燃料電池モジュール2からの排気性能が悪化するのを防止することができる。さらに、本実施形態の固体酸化物型燃料電池1によれば、水供給量と燃料供給量の比が、予め設定されている許容範囲内にあるように水供給量が修正される図10のステップS11、S19ので、燃料供給量の増加に伴う改質器20内のS/C低下による炭素析出等の不具合を確実に防止することができる。以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、上述した実施形態に種々の変更を加えることができる。特に、上述した実施形態においては、燃料供給量、発電用空気供給量、及び水供給量は、ステップ状に上昇されていたが、これらのうちの少なくとも1つをランプ波状に上昇するように、本発明を構成することもできる。"