出力するレーザ光のスペクトル線幅を変更可能であり、少なくとも1つの縦モードを含むレーザ光を出力するマスタオシレータと、前記マスタオシレータに対して下流側の光路上に配置された少なくとも1つの増幅器と、前記増幅器に対して下流側の光路上に配置された波長変換部と、前記レーザ光のスペクトルを検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて前記マスタオシレータから出力される前記レーザ光のスペクトル線幅を制御する制御部と、を備える固体レーザ装置。前記マスタオシレータは、光共振器と、前記光共振器中に配置されたゲイン媒体と、前記光共振器中に配置され、前記スペクトル線幅を変更可能な狭帯域化部と、前記狭帯域化部を駆動する駆動部と、を備え、前記制御部は、前記駆動部を制御することで前記スペクトル線幅を制御する、請求項1記載の固体レーザ装置。前記ゲイン媒体は、チタンサファイア結晶を含む、請求項2記載の固体レーザ装置。前記狭帯域化部は、複屈折フィルタ、エタロン、および回折格子のうち少なくとも1つを含む、請求項2記載の固体レーザ装置。前記狭帯域化部は、前記レーザ光の入射面および出射面の少なくとも一方に反射膜がコーティングされたエタロンを備え、前記エタロンは、前記レーザ光の光路と異なる方向に移動可能に配置され、前記反射膜の反射率は、前記入射面または前記出射面の位置に依存して変化し、前記制御部は、前記駆動部を介して前記エタロンの前記レーザ光の光路に対する位置を制御する、請求項2記載の固体レーザ装置。前記マスタオシレータは、少なくとも1つの縦モードを含むシード光を出力するシードレーザと、前記シードレーザに対して下流側の光路上に配置された光変調器と、前記光変調器を駆動する駆動部と、を備え、前記制御部は、前記駆動部を制御することで前記スペクトル線幅を制御する、請求項1記載の固体レーザ装置。前記光変調器は、電気光学素子を含む、請求項6記載の固体レーザ装置。前記光変調器は、光音響素子を含む、請求項6記載の固体レーザ装置。前記マスタオシレータは、少なくとも1つの縦モードを含むシード光をそれぞれ出力する複数のシードレーザと、前記複数のシードレーザから出力されたシード光の光路を実質的に一致させる光路調節器と、前記シードレーザを制御するシードレーザ制御部と、を含み、前記複数のシードレーザのうち少なくとも1つは、他のシードレーザと異なる中心波長の縦モードを含むシード光を出力し、前記制御部は、前記シードレーザ制御部を制御することで前記スペクトル線幅を制御する、請求項1記載の固体レーザ装置。前記シードレーザ制御部は、前記シードレーザの出力強度を制御する、請求項9記載の固体レーザ装置。前記シードレーザ制御部は、前記シードレーザの発振波長を制御する、請求項9記載の固体レーザ装置。前記シードレーザは、半導体レーザである、請求項9記載の固体レーザ装置。前記増幅器は、ゲイン媒体としてチタンサファイア結晶を含む、請求項1記載の固体レーザ装置。前記増幅器は、光共振器と、該光共振器中に配置されたゲイン媒体とを含む、請求項1記載の固体レーザ装置。前記波長変換部は、前記マスタオシレータから出力された前記レーザ光を当該レーザ光の高次高調波光に変換する少なくとも1つの非線形光学結晶を含む、請求項1記載の固体レーザ装置。前記少なくとも1つの非線形光学結晶は、BBO結晶、LBO結晶、CLBO結晶、KBBF結晶のうち少なくとも1つを含む、請求項15記載の固体レーザ装置。請求項1~16のいずれか一つに記載の固体レーザ装置と、前記固体レーザ装置に対して下流側の光路上に配置された少なくとも1つの増幅装置と、を備える、レーザシステム。前記検出部は、前記少なくとも1つの増幅装置に対して下流側の光路上に配置されている、請求項17記載のレーザシステム。前記増幅装置は、ゲイン媒体を含む、請求項17記載のレーザシステム。前記増幅装置は、前記ゲイン媒体としてKrガス、Arガス、F2ガス、Neガス、およびXeガスのうち少なくとも1つを含む、請求項19記載のレーザシステム。前記増幅装置は、光共振器と、該光共振器中に配置されたゲイン媒体とを含む、請求項17記載のレーザシステム。