熱媒体を流通させる流路が内部に形成されたプレートを有する温度調節装置において、前記プレートは、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレートと、アルミニウムまたはアルミニウム合金と異なる金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、前記ベースプレートに向けて固相状態のままで吹き付けて堆積させることにより形成され、前記流路を内部に有する本体プレートと、温度調節する対象を載置し、前記ベースプレートと同一の材料から形成され、前記本体プレートを被覆する外皮プレートと、を備えることを特徴とする温度調節装置。前記本体プレートに埋め込まれて前記流路を形成するパイプを有することを特徴とする請求項1に記載の温度調節装置。前記流路は、前記本体プレートに形成された溝と該溝を覆う蓋部により形成されることを特徴とする請求項1に記載の温度調節装置。前記本体プレートは、前記ベースプレートおよび前記外皮プレートを形成するアルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率が高い金属または合金からなることを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載の温度調節装置。前記本体プレートは円板状をなし、円板の中心部に円柱状をなす第一本体プレートと、前記第一本体プレートの外周部に設けられ、中空円柱状をなす第二本体プレートとからなり、前記第一本体プレートは前記ベースプレートおよび前記外皮プレートと同一の材料で形成され、前記第二本体プレートは前記第一本体プレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属または合金からなることを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載の温度調節装置。前記第一本体プレートの内部には第一熱媒体を流通する第一流路が形成されるとともに、前記第二本体プレートの内部には前記第一熱媒体より高温の第二熱媒体を流通する第二流路が形成されることを特徴とする請求項5に記載の温度調節装置。前記本体プレートは円板状をなし、円板の中心部に円柱状をなす第一本体プレートと、前記第一本体プレートの外周部に設けられ、中空円柱状をなす第二本体プレートとからなり、前記第二本体プレートは前記ベースプレートおよび前記外皮プレートと同一の材料で形成され、前記第一本体プレートは前記第二本体プレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属または合金からなることを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載の温度調節装置。前記第一本体プレートの内部には第一熱媒体を流通する第一流路が形成されるとともに、前記第二本体プレートの内部には前記第一熱媒体より低温の第二熱媒体を流通する第二流路が形成されることを特徴とする請求項7に記載の温度調節装置。前記第一本体プレートと前記第二本体プレートとの間に真空溝部を有することを特徴とする請求項5~8のいずれか一つに記載の温度調節装置。温度調整の対象が半導体であることを特徴とする請求項1~9のいずれか一つに記載の温度調節装置。熱媒体を流通させる流路が内部に形成されたプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレートに、アルミニウムまたはアルミニウム合金と異なる金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて本体プレートの下部を形成する本体プレート下部形成工程と、前記本体プレート下部形成工程で形成した本体プレート下部に、前記流路となる溝を形成する流路形成工程と、前記溝を覆う蓋部を前記溝の上部に配置する蓋配置工程と、前記蓋部を配置した前記本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて本体プレート上部を形成する本体プレート上部形成工程と、前記本体プレート上部に前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆して、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含むことを特徴とする温度調節装置の製造方法。熱媒体を流通させる流路が内部に形成されたプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレートに、アルミニウムまたはアルミニウム合金と異なる金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて本体プレートの下部を形成する本体プレート下部形成工程と、前記本体プレート下部形成工程で形成した本体プレート下部に、前記流路となるパイプを配置するパイプ配置工程と、前記パイプを配置した前記本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて本体プレート上部を形成する本体プレート上部形成工程と、前記本体プレート上部に前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含むことを特徴とする温度調節装置の製造方法。前記本体プレートは、前記ベースプレートおよび前記外皮プレートを形成するアルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率が高い金属または合金から形成されることを特徴とする請求項11または12に記載の温度調節装置の製造方法。熱媒体を流通させる流路が内部に形成された円板状のプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート上に、第一熱媒体を流通する第一流路を有し、円板の中心部に円柱状をなし、前記ベースプレートと同一の材料からなる第一本体プレートを形成する第一本体プレート形成工程と、前記ベースプレート上であって、第二熱媒体を流通する第二流路を有し、前記第一本体プレートの外周部に設けられて中空円柱状をなし、前記第一本体プレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属又は合金からなる第二本体プレートを形成する第二本体プレート形成工程と、前記本体プレートに前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含み、前記第二本体プレート形成工程は、前記ベースプレート上に、金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第二本体プレートの下部を形成する第二本体プレート下部形成工程と、前記第二本体プレート下部形成工程で形成した第二本体プレート下部に、溝を形成し蓋部で覆うことにより前記第二流路を形成、またはパイプを配置することにより前記第二流路を形成する流路形成工程と、前記第二流路を形成した前記第二本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第二本体プレート上部を形成する第二本体プレート上部形成工程と、を含むことを特徴とする温度調節装置の製造方法。熱媒体を流通させる流路が内部に形成された円板状のプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート上に、第一熱媒体を流通する第一流路を有し、円板の中心部に円柱状をなし、前記ベースプレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属又は合金からなる第一本体プレートを形成する第一本体プレート形成工程と、前記ベースプレート上であって、第二熱媒体を流通する第二流路を有し、前記第一本体プレートの外周部に設けられて中空円柱状をなし、前記ベースプレートと同一の材料からなる第二本体プレートを形成する第二本体プレート形成工程と、前記本体プレートに前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含み、前記第一本体プレート形成工程は、前記ベースプレート上に、金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第一本体プレートの下部を形成する第一本体プレート下部形成工程と、前記第一本体プレート下部形成工程で形成した第一本体プレート下部に、溝を形成し蓋部で覆うことにより前記第一流路を形成、またはパイプを配置することにより前記第一流路を形成する流路形成工程と、前記第一流路を形成した前記第一本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第一本体プレート上部を形成する第一本体プレート上部形成工程と、を含むことを特徴とする温度調節装置の製造方法。熱媒体を流通させる流路が内部に形成された円板状のプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート上に、第一熱媒体を流通する第一流路を有し、円板の中心部に円柱状をなし、前記ベースプレートと同一の材料からなる第一本体プレートを形成する第一本体プレート形成工程と、前記ベースプレート上であって、第二熱媒体を流通する第二流路を有し、前記第一本体プレートの外周部に設けられて中空円柱状をなし、前記第一本体プレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属又は合金からなる第二本体プレートを形成する第二本体プレート形成工程と、前記本体プレートに前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含み、前記第二本体プレート形成工程は、前記ベースプレート上に、金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第二本体プレートの下部を形成する第二本体プレート下部形成工程と、前記第二本体プレート下部形成工程で形成した第二本体プレート下部に、前記第二流路となるパイプを配置するパイプ配置工程と、前記パイプを配置した前記第二本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第二本体プレート上部を形成する第二本体プレート上部形成工程と、を含むことを特徴とする温度調節装置の製造方法。熱媒体を流通させる流路が内部に形成された円板状のプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート上に、第一熱媒体を流通する第一流路を有し、円板の中心部に円柱状をなし、前記ベースプレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属又は合金からなる第一本体プレートを形成する第一本体プレート形成工程と、前記ベースプレート上であって、第二熱媒体を流通する第二流路を有し、前記第一本体プレートの外周部に設けられて中空円柱状をなし、前記ベースプレートと同一の材料からなる第二本体プレートを形成する第二本体プレート形成工程と、前記本体プレートに前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含み、前記第一本体プレート形成工程は、前記ベースプレート上に、金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第一本体プレートの下部を形成する第一本体プレート下部形成工程と、前記第一本体プレート下部形成工程で形成した第一本体プレート下部に、前記第一流路となるパイプを配置するパイプ配置工程と、前記パイプを配置した前記第一本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第一本体プレート上部を形成する本体プレート上部形成工程と、を含むことを特徴とする温度調節装置の製造方法。しかしながら、このような従来の製造方法は、ロウ材のセットやロウ付時間、或いは溶接のためのフィラーのセットに多くの時間を要するという問題を有していた。また、半導体の温度調節装置として使用する場合、半導体への金属汚染防止のために金属プレートの材料がアルミニウム又はアルミニウム合金等に限定される。アルミニウム又はアルミニウム合金のみを使用した金属プレートでは、プレート温度の均一性が十分に保つことができなかった。上述した金属プレートの温度分布の不均一を改善するために、異なる材料をろう付け等により接合して金属プレートを製造することも提案されているが、異なる材料をろう付けなどで接合することにより、接合温度が高いため異なる材料間の熱膨張差によるひずみが蓄積してしまうといった問題が生じていた。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、金属プレートの製造に要する時間を短縮するとともに、異なる材料を接合する際のひずみや界面間での剥離、クラックを抑制しながら金属プレートの温度分布の均一性を改善することができる温度調節装置および温度調節装置の製造方法を提供することを目的とする。上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる温度調節装置は、熱媒体を流通させる流路が内部に形成されたプレートを有する温度調節装置において、前記プレートは、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレートと、アルミニウムまたはアルミニウム合金と異なる金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、前記ベースプレートに向けて固相状態のままで吹き付けて堆積させることにより形成され、前記流路を内部に有する本体プレートと、温度調節する対象を載置し、前記ベースプレートと同一の材料から形成され、前記本体プレートを被覆する外皮プレートと、を備えることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、前記本体プレートに埋め込まれて前記流路を形成するパイプを有することを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、前記流路は、前記本体プレートに形成された溝と該溝を覆う蓋部により形成されることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、前記本体プレートは、前記ベースプレートおよび前記外皮プレートを形成するアルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率が高い金属または合金からなることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、前記本体プレートは円板状をなし、円板の中心部に円柱状をなす第一本体プレートと、前記第一本体プレートの外周部に設けられ、中空円柱状をなす第二本体プレートとからなり、前記第一本体プレートは前記ベースプレートおよび前記外皮プレートと同一の材料で形成され、前記第二本体プレートは前記第一本体プレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属または合金からなることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、前記第一本体プレートの内部には第一熱媒体を流通する第一流路が形成されるとともに、前記第二本体プレートの内部には前記第一熱媒体より高温の第二熱媒体を流通する第二流路が形成されることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、前記本体プレートは円板状をなし、円板の中心部に円柱状をなす第一本体プレートと、前記第一本体プレートの外周部に設けられ、中空円柱状をなす第二本体プレートとからなり、前記第二本体プレートは前記ベースプレートおよび前記外皮プレートと同一の材料で形成され、前記第一本体プレートは前記第二本体プレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属または合金からなることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、前記第一本体プレートの内部には第一熱媒体を流通する第一流路が形成されるとともに、前記第二本体プレートの内部には前記第一熱媒体より低温の第二熱媒体を流通する第二流路が形成されることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、前記第一本体プレートと前記第二本体プレートとの間に真空溝部を有することを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置は、上記発明において、温度調整の対象が半導体であることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置の製造方法は、熱媒体を流通させる流路が内部に形成されたプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレートに、アルミニウムまたはアルミニウム合金と異なる金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて本体プレートの下部を形成する本体プレート下部形成工程と、前記本体プレート下部形成工程で形成した本体プレート下部に、前記流路となる溝を形成する流路形成工程と、前記溝を覆う蓋部を前記溝の上部に配置する蓋配置工程と、前記蓋部を配置した前記本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて本体プレート上部を形成する本体プレート上部形成工程と、前記本体プレート上部に前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆して、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置の製造方法は、熱媒体を流通させる流路が内部に形成されたプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレートに、アルミニウムまたはアルミニウム合金と異なる金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて本体プレートの下部を形成する本体プレート下部形成工程と、前記本体プレート下部形成工程で形成した本体プレート下部に、前記流路となるパイプを配置するパイプ配置工程と、前記パイプを配置した前記本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて本体プレート上部を形成する本体プレート上部形成工程と、前記本体プレート上部に前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置の製造方法は、上記発明において、前記本体プレートは、前記ベースプレートおよび前記外皮プレートを形成するアルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率が高い金属または合金から形成されることを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置の製造方法は、熱媒体を流通させる流路が内部に形成された円板状のプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート上に、第一熱媒体を流通する第一流路を有し、円板の中心部に円柱状をなし、前記ベースプレートと同一の材料からなる第一本体プレートを形成する第一本体プレート形成工程と、前記ベースプレート上であって、第二熱媒体を流通する第二流路を有し、前記第一本体プレートの外周部に設けられて中空円柱状をなし、前記第一本体プレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属又は合金からなる第二本体プレートを形成する第二本体プレート形成工程と、前記本体プレートに前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含み、前記第二本体プレート形成工程は、前記ベースプレート上に、金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第二本体プレートの下部を形成する第二本体プレート下部形成工程と、前記第二本体プレート下部形成工程で形成した第二本体プレート下部に、溝を形成し蓋部で覆うことにより前記第二流路を形成、またはパイプを配置することにより前記第二流路を形成する流路形成工程と、前記第二流路を形成した前記第二本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第二本体プレート上部を形成する第二本体プレート上部形成工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置の製造方法は、熱媒体を流通させる流路が内部に形成された円板状のプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート上に、第一熱媒体を流通する第一流路を有し、円板の中心部に円柱状をなし、前記ベースプレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属又は合金からなる第一本体プレートを形成する第一本体プレート形成工程と、前記ベースプレート上であって、第二熱媒体を流通する第二流路を有し、前記第一本体プレートの外周部に設けられて中空円柱状をなし、前記ベースプレートと同一の材料からなる第二本体プレートを形成する第二本体プレート形成工程と、前記本体プレートに前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含み、前記第一本体プレート形成工程は、前記ベースプレート上に、金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第一本体プレートの下部を形成する第一本体プレート下部形成工程と、前記第一本体プレート下部形成工程で形成した第一本体プレート下部に、溝を形成し蓋部で覆うことにより前記第一流路を形成、またはパイプを配置することにより前記第一流路を形成する流路形成工程と、前記第一流路を形成した前記第一本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第一本体プレート上部を形成する第一本体プレート上部形成工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置の製造方法は、熱媒体を流通させる流路が内部に形成された円板状のプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート上に、第一熱媒体を流通する第一流路を有し、円板の中心部に円柱状をなし、前記ベースプレートと同一の材料からなる第一本体プレートを形成する第一本体プレート形成工程と、前記ベースプレート上であって、第二熱媒体を流通する第二流路を有し、前記第一本体プレートの外周部に設けられて中空円柱状をなし、前記第一本体プレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属又は合金からなる第二本体プレートを形成する第二本体プレート形成工程と、前記本体プレートに前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含み、前記第二本体プレート形成工程は、前記ベースプレート上に、金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第二本体プレートの下部を形成する第二本体プレート下部形成工程と、前記第二本体プレート下部形成工程で形成した第二本体プレート下部に、前記第二流路となるパイプを配置するパイプ配置工程と、前記パイプを配置した前記第二本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第二本体プレート上部を形成する第二本体プレート上部形成工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明にかかる温度調節装置の製造方法は、熱媒体を流通させる流路が内部に形成された円板状のプレートを有する温度調節装置の製造方法において、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート上に、第一熱媒体を流通する第一流路を有し、円板の中心部に円柱状をなし、前記ベースプレートを形成する材料より熱伝導率が高い金属又は合金からなる第一本体プレートを形成する第一本体プレート形成工程と、前記ベースプレート上であって、第二熱媒体を流通する第二流路を有し、前記第一本体プレートの外周部に設けられて中空円柱状をなし、前記ベースプレートと同一の材料からなる第二本体プレートを形成する第二本体プレート形成工程と、前記本体プレートに前記ベースプレートと同一の金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて前記本体プレートを被覆し、温度調節する対象を載置する外皮プレートを形成する被覆工程と、を含み、前記第一本体プレート形成工程は、前記ベースプレート上に、金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第一本体プレートの下部を形成する第一本体プレート下部形成工程と、前記第一本体プレート下部形成工程で形成した第一本体プレート下部に、前記第一流路となるパイプを配置するパイプ配置工程と、前記パイプを配置した前記第一本体プレート下部に、さらに金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて第一本体プレート上部を形成する本体プレート上部形成工程と、を含むことを特徴とする。本発明によれば、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレートに、アルミニウムまたはアルミニウム合金と異なる金属又は合金の粉体をガスと共に加速し、前記外皮プレートに向けて固相状態のままで吹き付けて堆積させることにより本体プレートを形成するため、異なる材料を接合する際のひずみや界面間での剥離、クラックを抑制しながら金属プレートの温度分布を効果的に改善することが可能となる。以下に、本発明に係る温度調節装置および該温度調節装置の製造方法を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、これらの実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一の符号を付している。図面は模式的なものであり、各部材の厚みと幅との関係、各部材の比率等は、現実と異なることに留意する必要がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。さらに、以下の説明における上下等の方向を示す用語は、図面の記載に対応するものであることに留意する必要がある。実施の形態1図1は、本発明の実施の形態1に係る温度調整装置100の構造を示す断面図である。図2は、図1に示す温度調整装置100のA-A断面図である。実施の形態1にかかる温度調節装置100は、熱媒体ガス又は液体を流通させる流路5が設けられた金属プレート1と、金属プレート1を支持するシャフト2とを備える。図1および2では、円板状の金属プレート1を例として説明しているが、金属プレート1は円板状に限られるものではなく、温度調節する対象物の形状に合わせて矩形等であってもよい。金属プレート1は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなり、シャフト2と接合されるベースプレート41と、熱媒体を流通させる流路5を内部に備える本体プレート3と、本体プレート3を被覆して温度調節する対象を載置し、ベースプレートと同一の材料で形成される外皮プレート42と、からなる。図2に示すように、流路5は本体プレート2内に渦巻状に形成される。流路5には、流入口7から熱媒体が導入され、熱媒体が流路5内を流通して対象物を温度調節し、流出口8から熱媒体は外部に導出される。本体プレート3は、ベースプレート41および外皮プレート42の材料であるアルミニウムまたはアルミニウム合金よりも熱伝導率が高い材料、例えば、銅または銅合金から形成されることが好ましい。次に、図3および図4A~図4Eを参照して、実施の形態1に係る温度調節装置100の製造方法を説明する。図3は、本発明の実施の形態1に係る温度調節装置100の製造に使用されるコールドスプレー装置50の概要を示す説明図である。図4A~図4Eは、本発明の実施の形態1に係る温度調節装置100の製造工程を説明する一部拡大断面図である。図3に示すように、コールドスプレー装置50は、ガス供給源からヘリウムHeや窒素N2等の不活性ガスや空気等のガス作動ガスを導入するガス導入管51と、原料である材料粉末PMを供給する粉末供給部52と、ガス導入管51から導入されたガスを所望の温度まで加熱するヒータ53と、材料粉末PMとガスとを混合して噴射するチャンバ54と、材料粉末PMを噴射するノズル55と、を備えている。ここで、材料粉末PMは、本体プレート3を構成する材料の粉末である。粉体供給部52には、微小な材料粉末PM例えば、粒径10μm~100μm程度が収容されている。材料粉末PMは、ガス導入管51に設けられたバルブ51aを操作して所望流量のガスを粉体供給部52に導入することにより、ガスと共に粉体供給管52aを通ってチャンバ54内に供給される。ヒータ53は、導入されたガスを、例えば、50°C~700°C程度まで加熱する。この加熱温度の上限は、材料粉末PMを固相状態のままでベースプレート41に吹き付けるため、材料の融点未満とする。より好ましくは、上限温度を、摂氏で融点の約60以下に留める。これは、加熱温度が高くなるほど、材料粉末PMが酸化する可能性が高くなるからである。ヒータ53において加熱されたガスは、ガス用配管53aを介してチャンバ54に導入される。なお、チャンバ54に導入されるガスの流量は、ガス導入管51に設けたバルブ51bによって調節される。加熱された圧縮ガスは先細末広形状のノズル55により超音速流約340m/s以上にされ、チャンバ54に供給された材料粉末PMは、このガスの超音速流の中への投入により加速され、固相状態のまま基材、本実施の形態1ではベースプレート41に高速で衝突して皮膜を形成する。図3に示すように、ノズル55を図中矢印X方向及び矢印Y方向に移動させながら材料粉末を堆積させて、ベースプレート41に本体プレート3を形成する。なお、材料粉末を基材に固相状態で衝突させて皮膜を形成できる装置であれば、本実施の形態1に係る温度調整装置100の製造に使用可能であり、図3のコールドスプレー装置50に限定されるものではない。実施の形態1にかかる温度調節装置100は、まず、図4Aに示すように、コールドスプレー装置50により、ベースプレート41に本体プレート3を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、本体プレート下部31を形成する。ベースプレート41は、切削加工等によりあらかじめ所定形状に形成したものを使用すればよい。積層した本体プレート下部31の上面を平滑にした後、図4Bに示すように、切削加工等により流路5となる溝9を形成すると共に、該溝9の開口縁部を切り欠くことにより支持部10を形成する。この支持部10の幅は、蓋部6を支持できる程度であれば良い。また、支持部10の深さは、蓋部6と同程度であれば良い。なお、流路6の断面形状は長方形に限定されず、任意の形状例えば、角が丸い長方形や、台形や、三角形や、半円形や、半楕円形等に形成しても良い。続いて、図4Cに示すように、支持部10に蓋部6を載置して流路5を形成する。その後、図4Dに示すように、コールドスプレー装置50により、蓋部6を支持部10に載置した本体プレート下部31に、本体プレート3を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、本体プレート上部32を形成する。積層した本体プレート上部32の上面を平滑にした後、図4Eに示すように、コールドスプレー装置50により、本体プレート上部32に、外皮プレート42を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、外皮プレート42を形成して本体プレート3を被覆し、外皮プレート42を平滑にし、流入口7および流出口8を切削により形成することにより、金属プレート1を製造する。温度調節装置100は、このようにして製造した金属プレート1にシャフト2を接合して製造する。このようにして製造された温度調節装置100は、材料粉体PMが下層の表面に高速に衝突して食い込むと共に、自身を変形させて下層に付着するので、下層に強く密着した金属皮膜の積層体となる。本実施の形態1にかかる温度調節装置100は、異なる材料の界面であるベースプレート41と本体プレート下部31、および本体プレート上部32と外皮プレート42との界面において、金属皮膜が食い込む現象アンカー効果と呼ばれるを観察することができ、温度調節装置100は、異種の金属によって形成されたベースプレート41と本体プレート下部31、および本体プレート上部32と外皮プレート42との間に隙間を生じさせることなく密に接合している。実施の形態1にかかる温度調節装置100は、ベースプレート41および外皮プレート42の材料と異なる材料熱伝導率が大きい材料で形成した本体プレート3とを、例えばろう付けで接合した場合におこりうる、界面間での剥離やクラックの発生を抑制することが可能となる。また、実施の形態1にかかる温度調節装置100は、本体プレート3を、熱伝導率が高い材料、例えば、銅または銅合金で形成し、その外周はアルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベースプレート41および外皮プレート42で覆われているため、温度調節する対象物、たとえば、半導体への銅汚染等を防止しながら、金属プレート1の温度分布を改善することが可能となる。本実施の形態1にかかる温度調節装置100の製造方法の一例を説明したが、コールドスプレー装置50等を使用して、異なる材料を密に接合し、金属プレート1の温度分布を改善することができれば、本発明の要旨を満たすものである。したがって、たとえば、あらかじめ切削加工等により、バルク材から本体プレート下部31を形成するとともに、溝9および支持部10を形成した後、蓋部6を載置してコールドスプレー装置50で本体プレート上部32を形成し、さらにベースプレート41および外皮プレート42をコールドスプレー装置50により形成してもよい。さらに、本実施の形態1の変形例にかかる温度調整装置として、図5に示す温度調整装置100Aが例示される。温度調整装置100Aは、流路5がパイプ11により形成される点で、実施の形態1の温度調節装置100と異なる。温度調節装置100Aは、ベースプレート41上に、コールドスプレー装置50で本体プレート下部31を形成した後、パイプ11を配置し、パイプ11の上部からコールドスプレー装置50で本体プレート上部32を堆積させて形成する。パイプ11は、図5に示すように、断面円形のほか、長方形等であってもよい。パイプ11を流路5とすることにより、本体プレート1の温度分布を改善しながら、使用する熱媒体に応じて、パイプ11の材料を選択することも可能となる。実施の形態2温度調整する対象物の各部の温度を異なる温度に調節する温度調節装置が知られており、通常、金属プレート内に、2つの流路を形成し、該流路に2つの異なる温度に調整された熱媒体をそれぞれ流通させることにより対象物の各部の温度を異なる温度に調節する。このような温度調節装置では、1つのプレート内に2つの流路が形成され、各流路が形成されたプレート部間での熱伝導を抑制するために、各流路を隔てるように真空溝等を形成して各部の温度を所望の温度に調整している。しかしながら、真空溝を形成するためにさらに製造に要する時間が増えるだけでなく、真空溝の形成だけでは温度制御が不十分な場合があった。本実施の形態2にかかる温度調節装置は、本体プレートを、コールドスプレー装置により異なる金属材料を使用して形成することにより、金属プレートの製造に要する時間を短縮するとともに、金属プレートの各部の温度調整を容易に行うことができる。以下、図面を参照して、実施の形態2にかかる温度調節装置200について説明する。図6は、本発明の実施の形態2に係る温度調整装置200の構造を示す断面図である。図7は、図6に示す温度調整装置200のB-B断面図である。実施の形態2にかかる温度調節装置200の金属プレート201は、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成されるベースプレート41と、ベースプレート41上にベースプレート41と異なる材料から形成され、円板状をなす本体プレート202と、温度調整する対象を載置し、ベースプレート41と同一の材料から形成される外皮プレート42とを備える。本体プレート202は、本体プレート202の円板の中心部に円柱状をなす第一本体プレート203と、第一本体プレート203の外周部に設けられ、中空円柱状をなす第二本体プレート204とからなる。第一本体プレート203はベースプレート41および外皮プレート42と同一の材料で形成され、第二本体プレート204は第一本体プレート203より熱伝導度の高い材料により形成される。温度調整装置200は、異なる温度にそれぞれ調節した熱媒体を、各プレート内の流路にそれぞれ流通させることにより各プレートの温度を調節し、対象物の各部を異なる温度に調整することができる。温度調整装置200は、第一本体プレート203は、ベースプレート41および外皮プレート42と同一の材料であるアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成され、第二本体プレート204は、第一本体プレート203を形成する材料より熱伝導率が高い金属または合金、例えば、銅または銅合金から形成されることが好ましい。図6および図7に示すように、第一本体プレート203内部には第一流路210が形成され、第一流路210には、流入口206から第一熱媒体が導入され、第一熱媒体が第一流路210内を流通して対象物を温度調節し、流出口207から第一熱媒体は外部に導出される。第二本体プレート204内部には第二流路211が形成され、第二流路211には、流入口208から第二熱媒体が導入され、第二熱媒体が第二流路211内を流通して対象物を温度調節し、流出口209から第二熱媒体は外部に導出される。第二本体プレート204が第一本体プレート203より熱伝導率の高い金属または合金で形成される温度調節装置200は、通常、第二本体プレート204の温度第二熱媒体の温度を第一本体プレート203の温度第一熱媒体の温度より高く調節する。次に、図8A~図8Gを参照して、実施の形態2に係る温度調節装置200の製造方法を説明する。図8A~図8Gは、本発明の実施の形態2に係る温度調節装置200の製造工程を説明する断面図である。実施の形態2にかかる温度調節装置200は、まず、図8Aに示すように、ベースプレート41と第一本体プレート下部203bとを一体として切削加工等により形成した後、第一本体プレート下部203b上に、切削加工等により第一流路210となる溝を形成する。あるいは、第一流路210となる溝も鋳造等により一体として形成してもよい。続いて、図8Bに示すように、第一本体プレート下部203b上にろう付け等により第一本体プレート上部203aを接合する。あるいは、先の工程で、第一流路210となる溝と共に、該溝の開口縁部を切り欠くことにより支持部を形成して、蓋部で覆うことにより第一流路210を形成し、第一本体プレート下部203bに、コールドスプレー装置50で第一本体プレート203を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、第一本体プレート上部203aを形成してもよい。第一本体プレート203形成後、図8Cに示すように、ベースプレート41に第二本体プレート204を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、第二本体プレート下部204bを形成する。積層した第二本体プレート下部204bの上面を平滑にした後、図8Dに示すように、切削加工等により第二流路211となる溝213を形成すると共に、該溝213の開口縁部を切り欠くことにより支持部214を形成し、図8Eに示すように、支持部214に蓋部212を載置して第二流路211を形成する。その後、図8Fに示すように、コールドスプレー装置50により、蓋部212を支持部214に載置した第二本体プレート下部204bに、第二本体プレート204を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、第二本体プレート上部204aを形成する。積層した第二本体プレート上部204aの上面を平滑にした後、図8Gに示すように、コールドスプレー装置50により、第一本体プレート上部203aおよび第二本体プレート上部204aに、外皮プレート42を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、外皮プレート42を形成して本体プレート202を被覆する。その後、外皮プレート42を平滑にし、流入口206および208、流出口207および209を切削により形成して金属プレート201を製造する。温度調節装置200は、このようにして製造した金属プレート201にシャフト2を接合して製造する。本実施の形態2にかかる温度調節装置200は、本体プレート202を、円板の中心部に円柱状に形成される第一本体プレート203と、第一本体プレート203の外周部に中空円柱状に形成され、第一本体プレート203を形成する材料より熱伝導度が高い金属または合金からなる第二本体プレート204とにより構成し、各プレートにそれぞれ形成した流路に、異なる温度に調節した熱媒体をそれぞれ流通させて各プレートの温度を調節することにより、各プレートの温度分布を改善することができる。また、本実施の形態2にかかる温度調節装置200は、本体プレート202を構成する第二本体プレート204、および本体プレート202を被覆する外皮プレート42をコールドスプレー装置50により製造するため、異なる金属または合金を接合した場合であっても、隙間を生じさせることなく密に接合するとともに、ろう付けの際に生じるひずみや界面間での剥離、クラックを抑制することができる。本実施の形態2にかかる温度調節装置200は、上記のような構成とすることにより、各プレートの温度調節を効果的に行うことができるが、各プレートの接合面に真空溝を形成してもよい。本実施の形態2にかかる温度調節装置200の第一本体プレート203と第二本体プレート204との間に真空溝を形成することにより、第一本体プレート203と第二本体プレート204の温度分布の均一性をさらに改善することができる。実施の形態3以下、図面を参照して、実施の形態3にかかる温度調節装置300について説明する。図9は、本発明の実施の形態3に係る温度調整装置300の構造を示す断面図である。図10は、図9に示す温度調整装置300のC-C断面図である。実施の形態3にかかる温度調節装置300の金属プレート301は、実施の形態2にかかる温度調整装置200と同様に、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成されるベースプレート41と、円板状をなす本体プレート302と、本体プレート302を覆い、温度調節する対象を載置する外皮プレート42とを備える。本体プレート302は、本体プレート302の円板の中心部に円柱状をなす第一本体プレート303と、第一本体プレート303の外周部に中空円柱状をなす第二本体プレート304とからなる。温度調節装置300の本体プレート302は、ベースプレート41および外皮プレート42と同一の材料で形成した第二本体プレート304と、第二本体プレート304より熱伝導度の高い材料により形成した第一本体プレート303とからなる。第一本体プレート303と第二本体プレート304に、異なる温度にそれぞれ調節した熱媒体を流通させることにより、各プレートの温度を調節し、対象物の各部を異なる温度に調整することができる。温度調整装置300の第二本体プレート304は、ベースプレート41および外皮プレート42と同一の材料のアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成され、第一本体プレート303は第二本体プレート304を形成する材料より熱伝導率が高い金属または合金、例えば、銅または銅合金から形成されることが好ましい。図9および図10に示すように、第一本体プレート303内部には第一流路310が形成され、第一流路310には、流入口306から第一熱媒体が導入され、第一熱媒体が第一流路310内を流通して対象物を温度調節し、流出口307から第一熱媒体は外部に導出される。第二本体プレート304内部には第二流路312が形成され、第二流路312には、流入口308から第二熱媒体が導入され、第二熱媒体が第二流路312内を流通して対象物を温度調節し、流出口309から第二熱媒体は外部に導出される。第一本体プレート303が第二本体プレート304より熱伝導率の高い金属または合金で形成される温度調節装置300は、通常、第一本体プレート303の温度第一熱媒体の温度を第二本体プレート304の温度第二熱媒体の温度より高く調節する。次に、図11を参照して、実施の形態3に係る温度調節装置300の製造工程を説明する。図11は、本発明の実施の形態3に係る温度調節装置300の製造工程を説明するフローチャートである。実施の形態3にかかる温度調節装置300は、まず、ベースプレート41と第二本体プレート下部304bとを一体として切削加工等により形成した後、第二本体プレート下部304b上に、切削加工等により第二流路312となる溝を形成するステップS101。あるいは、第二流路312となる溝も鋳造等により一体として形成してもよい。続いて、第二本体プレート下部304b上にろう付け等により第二本体プレート上部304aを接合するステップS102。あるいは、先の工程で、第二流路312となる溝と共に、該溝の開口縁部を切り欠くことにより支持部を形成して、蓋部で覆うことにより第二流路312を形成し、第二本体プレート下部304bに、コールドスプレー装置50で第二本体プレート304を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、第二本体プレート上部304aを形成してもよい。第二本体プレート304形成後、ベースプレート41に第一本体プレート303を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、第一本体プレート下部303bを形成するステップS103。積層した第一本体プレート下部303bの上面を平滑にした後、切削加工等により第一流路310となる溝を形成すると共に、該溝の開口縁部を切り欠くことにより支持部を形成しステップS104、支持部に蓋部311を載置して第一流路310を形成するステップS105。その後、コールドスプレー装置50により、蓋部311を支持部に載置した第一本体プレート下部303bに、第一本体プレート303を形成する金属または合金の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、第一本体プレート上部303aを形成するステップS106。積層した第一本体プレート上部303aの上面を平滑にした後、コールドスプレー装置50により、第一本体プレート上部303aおよび第二本体プレート上部304aに、外皮プレート42の材料粉末PMを吹き付けて堆積させることにより、外皮プレート42を形成して本体プレート302を被覆するステップS107。その後、外皮プレート42を平滑にし、流入口306および308、流出口307および309を切削により形成して金属プレート301を製造する。温度調節装置300は、このようにして製造した金属プレート301にシャフト2を接合して製造する。本実施の形態3にかかる温度調節装置300は、本体プレート302を、円板の中心部に円柱状に形成され、ベースプレート41および外皮プレート42を形成する材料より熱伝導率の高い材料で形成される第一本体プレート303と、第一本体プレート303の外周部に中空円柱状に形成され、ベースプレート41および外皮プレート42と同一の材料で形成される第二本体プレート304とにより構成し、各プレートにそれぞれ形成した流路に、異なる温度に調節した熱媒体をそれぞれ流通させて各プレートの温度を調節することにより、各プレートの温度分布の均一性を改善することができる。また、本実施の形態3にかかる温度調節装置300は、本体プレート302を構成する第一本体プレート303、および本体プレート302を被覆する外皮プレート42をコールドスプレー装置50により製造するため、異なる金属または合金を接合した場合であっても、隙間を生じさせることなく密に接合するとともに、ろう付けの際に生じるひずみや界面間での剥離、クラックを抑制することができる。本実施の形態3にかかる温度調節装置300は、上記のような構成とすることにより、各プレートの温度調節を効果的に行うことができるが、各プレートの接合面に真空溝を形成してもよい。本実施の形態3にかかる温度調節装置300の第一本体プレート303と第二本体プレート304との間に真空溝を形成することにより、第一本体プレート303と第二本体プレート304の温度分布の均一性をさらに改善することができる。