"内周に挿入した軸部材との間に楔状のラジアル軸受隙間を形成するトップフォイルと、トップフォイルの外径側に配置され、トップフォイルを弾性的に支持するバックフォイルと、トップフォイルおよびバックフォイルを内周に収容した円筒状の外方部材とを備え、ラジアル軸受隙間に生じた流体膜で軸部材と外方部材の相対回転を支持するフォイル軸受において、トップフォイルとバックフォイルを、可撓性を有する帯状の薄板で一体形成したことを特徴とするフォイル軸受。トップフォイルとバックフォイルの一体形成品は、前記薄板をその長手方向の所定位置で折り返すことによって折り返し部を形成し、この折り返し部を含めて前記薄板をその長手方向に沿って円筒状に丸めることにより形成されたものである請求項1に記載のフォイル軸受。バックフォイルが、型成形された凹凸形状部を有し、この凹凸形状部でトップフォイルが弾性的に支持される請求項1に記載のフォイル軸受。凹凸形状部を径方向に複数設け、かつ径方向に隣接する2つの凹凸形状部を相互に摺動可能とした請求項3に記載のフォイル軸受。バックフォイルの軸方向端部に径方向の突出部を設け、この突出部を、外方部材と、外方部材の軸方向外側に配置した挟持部材とで軸方向に挟持固定した請求項1に記載のフォイル軸受。バックフォイルの軸方向両端部に径方向の突出部を設け、軸方向一端側の突出部と軸方向他端側の突出部とで外方部材を軸方向に挟持した請求項1に記載のフォイル軸受。バックフォイルと外方部材の間に、バックフォイルと摺動可能にトップフォイルおよびバックフォイルと一体形成されたスペーサ部を介設した請求項1に記載のフォイル軸受。スペーサ部の軸方向端部に径方向の突出部を設け、この突出部を、外方部材と、外方部材の軸方向外側に配置した挟持部材とで軸方向に挟持固定した請求項7に記載のフォイル軸受。スペーサ部の軸方向両端部に径方向の突出部を設け、軸方向一端側の突出部と軸方向他端側の突出部とで外方部材を軸方向に挟持した請求項7に記載のフォイル軸受。トップフォイルの軸方向端部領域に、トップフォイルの軸方向中央領域よりも外径側に後退した逃げ部を設けた請求項1に記載のフォイル軸受。ガスタービンのロータの支持に使用される請求項1に記載のフォイル軸受。過給機のロータの支持に使用される請求項1に記載のフォイル軸受。内周に挿入した軸部材との間に楔状のラジアル軸受隙間を形成するトップフォイルと、トップフォイルの外径側に配置され、トップフォイルを弾性的に支持するバックフォイルと、トップフォイルおよびバックフォイルを内周に収容した円筒状の外方部材とを備え、ラジアル軸受隙間に生じた流体膜で軸部材と外方部材の相対回転を支持するフォイル軸受の製造方法において、可撓性を有する帯状の薄板を、その長手方向の所定位置で折り返すことによって折り返し部を形成し、この折り返し部を含めて前記薄板をその長手方向に沿って円筒状に丸めることにより、トップフォイルとバックフォイルの一体形成品を製作する工程と、前記一体形成品を外方部材の内周に配置する工程と、を有することを特徴とするフォイル軸受の製造方法。内周に挿入した軸部材との間に楔状のラジアル軸受隙間を形成するトップフォイルと、トップフォイルの外径側に配置され、トップフォイルを弾性的に支持するバックフォイルと、トップフォイルおよびバックフォイルを内周に収容した円筒状の外方部材とを備え、ラジアル軸受隙間に生じた流体膜で軸部材と外方部材の相対回転を支持するフォイル軸受の製造方法において、可撓性を有する帯状の薄板の長手方向一端部を外方部材の内周に配置した状態で、前記薄板の残部を外方部材の内周に徐々に挿入しながら、少なくとも、前記薄板の残部を外方部材の内周面に沿って丸めるステップ、前記薄板の残部をその長手方向の所定位置で折り返すことによって折り返し部を形成するステップ、および前記折り返し部を外方部材の内周面に沿って丸めるステップ、を実行することを特徴とするフォイル軸受の製造方法。特許文献2,3に記載のフォイル軸受では、トップフォイルと、これを弾性的に支持するバックフォイルとが個別に製作され、外方部材の内周に収容固定されている。そのため、製造工程や部品管理が煩雑となり易く、フォイル軸受の高コスト化を招く一因となっているのが実情である。そこで、本発明は、フォイル軸受を低コストに量産可能とすることを目的とする。上記の目的を達成するために創案された本発明に係るフォイル軸受は、内周に挿入した軸部材との間に楔状のラジアル軸受隙間を形成するトップフォイルと、トップフォイルの外径側に配置され、トップフォイルを弾性的に支持するバックフォイルと、トップフォイルおよびバックフォイルを内周に収容した円筒状の外方部材とを備え、ラジアル軸受隙間に生じた流体膜で軸部材と外方部材の相対回転を支持するものにおいて、トップフォイルとバックフォイルを、可撓性を有する帯状の薄板で一体形成したことを特徴とする。このように、トップフォイルとバックフォイルを一体形成すれば、トップフォイルとバックフォイルが個別に設けられていた従来品に比べ、実質的な部品点数が少なくなる分、製造工程や部品管理を簡略化することができる。これにより、フォイル軸受の低コスト化を図ることができる。また、トップフォイルとバックフォイルの一体形成品以下、フォイル部材ともいうの形成材料として、可撓性を有する帯状の薄板を用いることから、フォイル軸受に求められる種々の機能、例えばラジアル軸受隙間の隙間幅の調整機能、を適切に確保することができる。なお、薄板としては、金属、樹脂、セラミックス、又はこれらの中から選択した二種以上を積層させたもの等を使用することができ、要求特性等に応じて適宜選択可能である。フォイル部材は、上記薄板をその長手方向の所定位置で折り返すことによって折り返し部を形成し、この折り返し部を含めて上記薄板をその長手方向に沿って円筒状に丸めることにより形成されたものとすることができる。このようにすれば、フォイル部材を容易に形成することができることに加え、トップフォイルとバックフォイルを周方向で相互に摺動させることが可能となる。トップフォイルとバックフォイルが周方向で相互に摺動可能であれば、両者の摺動によってフォイル軸受の運転中に発生する振動を減衰することができるので、軸部材を安定的に支持する上で有利となる。バックフォイルは、型成形された凹凸形状部を有するものとすることができ、この凹凸形状部でトップフォイルを弾性的に支持することができる。凹凸形状部を型成形すれば、薄板に切り込みを形成した後、切り込みの周縁部を立ち上げることにより特許文献2、あるいは、薄板を複雑に折り曲げることにより特許文献3トップフォイルを弾性的に支持するための部位弾性支持部を形成する場合に比べ、弾性支持部を容易かつ精度良く形成することができる。凹凸形状部を径方向に複数設け、かつ径方向に隣接する2つの凹凸形状部を相互に摺動可能とすることができる。このようにすれば、ラジアル荷重の負荷能力を向上することができることに加え、振動の減衰効果を一層高めることができる。なお、かかる構成は、例えば、上記の折り返し部を径方向に複数設け、かつ径方向に隣接する2つの折り返し部のそれぞれに凹凸形状部を設けることによって得ることができる図2等を参照。外方部材の内周からフォイル部材が抜脱すると、フォイル軸受がその機能を果たさなくなることから、フォイル部材は外方部材の内周に固定する必要がある。但し、フォイル軸受の運転中に、外方部材の内周からフォイル部材が抜脱するのを可及的に防止することができるのであれば、外方部材に対するフォイル部材の固定方法に特段の限定はない。例えば、圧入、接着、圧入接着圧入と接着の併用、溶着等の手段でフォイル部材を外方部材に固定することができる。また、上記の各固定手段に替えて、もしくは上記の各固定手段に加えて、フォイル部材と外方部材の何れか一方に設けた凹部に、他方に設けた凸部を嵌合する、いわゆる凹凸嵌合によりフォイル部材を外方部材の内周に固定することもできる。バックフォイルに上記の凹凸形状部が設けられている場合には、この凹凸形状部を利用した凹凸嵌合によりフォイル部材を外方部材に固定することができる。また、バックフォイルの軸方向端部一端部であるか両端部であるかは問わないに径方向の突出部を設け、この突出部を、外方部材の端面と、外方部材の軸方向外側に設けた挟持部材とで軸方向に挟持固定するようにしても良いし、バックフォイルの軸方向両端部に径方向の突出部を設け、軸方向一端側の突出部と軸方向他端側の突出部とで外方部材を軸方向に挟持するようにしても良い。このように、バックフォイルの軸方向端部に設けた突出部を利用してバックフォイルフォイル部材を外方部材に固定するようにすれば、接着や溶着等の手段でフォイル部材を外方部材に固定する場合に比べ、外方部材に対するフォイル部材の組付けを簡便に実行することができる。上記した何れの固定手段を採用する場合においても、バックフォイルは外方部材に完全に固定外方部材に対するフォイル部材の相対移動が許容されないように両者を強固に固定することができる他、バックフォイルの外方部材との対向面のうち、少なくとも一部が外方部材と摺動可能な状態で、バックフォイルを外方部材に固定することもできる。後者の構成を採用すれば、フォイル軸受の運転中に発生する振動の減衰効果を高めることができる。バックフォイルと外方部材の間には、バックフォイルと摺動可能にトップフォイルおよびバックフォイルと一体形成された筒状のスペーサ部を介設することもできる。このようにすれば、軸部材の回転中にフォイル部材内で生じる摩擦力が一層増大する分、フォイル軸受の運転中に発生する振動の減衰効果を一層高めることが可能となる。しかも、スペーサ部は、バックフォイルと一体形成されていることから、組立や部品管理に要する手間が増大することもない。上記のスペーサ部を設ける場合、スペーサ部の軸方向端部一端部であるか両端部であるかは問わないに径方向の突出部を設け、この突出部を、外方部材と、外方部材の軸方向外側に配置した挟持部材とで軸方向に挟持固定することにより、あるいは、スペーサ部の軸方向両端部に径方向の突出部を設け、軸方向一端側の突出部と軸方向他端側の突出部とで外方部材を軸方向に挟持することにより、フォイル部材を外方部材に固定することができる。ところで、トップフォイルおよびバックフォイルさらに、場合によってはスペーサ部も含まれるとなる帯状の薄板は、例えば原反ロールを所定寸法に切断することによって得ることができるが、この場合、薄板の端部エッジは切断面となる。切断面にはバリ等の先端鋭利な突起物が形成される場合があり、従って、フォイル軸受の運転中に、ミスアライメントの影響等によってトップフォイルの軸方向端部に軸部材が接触すると、軸部材の外周面にキズ等が形成されて回転精度に悪影響が及ぶ可能性がある。このような問題は、例えば、トップフォイルの軸方向端部領域に、トップフォイルの軸方向中央領域よりも外径側に後退した逃げ部を設けることによって可及的に防止することができる。以上に述べた本発明に係るフォイル軸受は、ガスタービンのロータや、過給機のロータ等の支持に好ましく用いることができる。上記した本発明に係るフォイル軸受は、可撓性を有する帯状の薄板を、その長手方向の所定位置で折り返すことによって折り返し部を形成し、この折り返し部を含めて上記薄板をその長手方向に沿って円筒状に丸めることにより、トップフォイルとバックフォイルの一体形成品を製作する工程と、上記一体形成品を外方部材の内周に配置する工程と、を有する製造工程を経ることによって得ることができる。あるいは、上記した本発明に係るフォイル軸受は、可撓性を有する帯状の薄板の長手方向一端部を外方部材の内周に配置した状態で、薄板の残部を外方部材の内周に徐々に挿入しながら、少なくとも、薄板の残部を外方部材の内周面に沿って丸めるステップ、薄板の残部をその長手方向の所定位置で折り返すことによって折り返し部を形成するステップ、および折り返し部を外方部材の内周面に沿って丸めるステップ、を実行することによって得ることもできる。上記した何れの製造方法製造手順においても、可撓性を有する帯状の薄板としては、その長手方向所定領域に、型成形された凹凸形状部を有するものを用いるのが望ましい。以上より、本発明によれば、フォイル軸受の量産コストを低廉化することができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1に、本発明の一実施形態に係るフォイル軸受1の平面図を示す。同図に示すフォイル軸受1は、例えば、ガスタービンのロータや過給機のロータ等、高温環境下で高速回転する軸部材2を回転自在に支持するためのものであり、軸部材2と、内周に軸部材2を挿入したフォイル部材4と、フォイル部材4を内周に収容した円筒状の外方部材3とを主要な構成部材として備える。軸部材2の外周面は凹凸のない平滑な円筒面に形成されている。外方部材3は、ソリッド非多孔質の金属材料や樹脂材料により周方向で無端の円筒状に形成され、図示しない静止側部材の内周に固定されている。図2にも示すように、フォイル部材4は、全領域が凹凸のない平坦面状に形成され、内周に挿入した軸部材2の外周面2aとの間に楔状のラジアル軸受隙間Cを形成する略円筒状のトップフォイル5と、トップフォイル5の外径側に配置され、トップフォイル5を弾性的に支持する略円筒状のバックフォイル6とが一体形成されたものであり、全体として周方向で有端の円筒状に形成されている。バックフォイル6は、周方向の一端部がトップフォイル5の周方向終端部に連なり、略全領域に亘って凹凸形状部A1が設けられた略円筒状の第1折り返し部7と、周方向の一端部が第1折り返し部7の周方向の他端部に連なり、略全領域に亘って凹凸形状部A2が設けられた略円筒状の第2折り返し部8とを備える。凹凸形状部A1,A2は、トップフォイル5を弾性的に支持するための弾性支持部として機能するものであり、第1折り返し部7と第2折り返し部8の周方向での相対的な摺動移動を許容した状態で互いに嵌合している。なお、軸部材2の回転方向は、トップフォイル5の周方向一端部と周方向他端部との間の周方向隙間の隙間幅が拡大する方向とされる。すなわち、図1に示す例では、軸部材2は時計回りに回転する。また、実際のラジアル軸受隙間Cの隙間幅は数十μm程度の微小なものであるが、図1においては理解の容易化のため誇張して描いている。後述する他の実施形態に係るフォイル軸受1の平面図図6および図12についても同様である。上記の構成を有するフォイル部材4は、例えば、次のようにして製作することができる。まず、図示しない原反ロールから巻き出した可撓性を有する金属薄板を所定寸法に切断し、フォイル部材4に加工される帯状長尺の金属薄板を得る。次いで、所定寸法に切断された帯状の金属薄板にプレス加工を施すことにより、金属薄板の長手方向一端領域に凹凸形状部A2を型成形すると共に、金属薄板の長手方向略中央領域に凹凸形状部A1を型成形する。これにより、図3に示すように、長手方向の一端領域および略中央領域に凹凸形状部A2,A1がそれぞれ型成形されると共に、長手方向の他端領域に凹凸のない平坦面部5’が設けられた第1中間加工体14を得る。なお、図3において、凹凸形状部A1は、図中下側に後退した凹部を、金属薄板の長手方向に所定間隔で形成することにより得られ、凹凸形状部A2は、図中上側に後退した凹部を、金属薄板の長手方向に所定間隔で形成することにより得られる。その後、第1中間加工体14のうち、凹凸形状部A2の形成領域を、両凹凸形状部A1,A2間の折り曲げ線Tを支点として反時計回りに折り返すと共に、凹凸形状部A1の形成領域を、凹凸形状部A1と平坦面部5’間の折り曲げ線Tを支点として時計回りに折り返す折り返し方向については、図3中の白抜き矢印を参照。これにより、図4に示すように、平坦面部5’、型成形された凹凸形状部A1を有する第1折り返し部7および型成形された凹凸形状部A2を有する第2折り返し部8が順に連なり、かつ順に積層された三層構造の第2中間加工体15が得られる。そして、第2中間加工体15の長手方向一端部と他端部とが周方向で近接配置されるように、平坦面部5’側を内径側として、第2中間加工体15を軸部材2の輪郭形状に沿って上記薄体の長手方向に丸める。これにより、周方向で有端の円筒状をなすフォイル部材4が得られる。フォイル部材4は外方部材3の内周に収容固定される。ここでは、フォイル部材4バックフォイル6の外径面を外方部材3の内周に軽圧入外方部材3に対するフォイル部材4の相対移動が許容される程度の締め代で圧入することにより、外方部材3の内周にフォイル部材4が固定される。なお、外方部材3の内周にフォイル部材4が固定された状態で、トップフォイル5とバックフォイル6の第1折り返し部7とは摺動可能に接触しており、また、第1折り返し部7に設けた凹凸形状部A1と第2折り返し部8に設けた凹凸形状部A2も摺動可能に接触している。そして、かかる態様で外方部材3の内周にフォイル部材4を固定した後、フォイル部材4の内周に軸部材2を挿入することで、図1に示すフォイル軸受1が得られる。なお、以上では、予め製作したフォイル部材4第2中間加工体15を外方部材3の内周に固定することによって図1に示すフォイル軸受1外方部材3とフォイル部材4のアセンブリを得る場合の手順について説明したが、図1に示すフォイル軸受1を得るための手順は上記のものに限られない。すなわち、図示は省略するが、平坦面部5’および凹凸形状部A1,A2からなる第1中間加工体14からフォイル部材4を製作しながら、外方部材3に対するフォイル部材4の組付けを行うことも可能である。以下にその具体的手順の一例を示す。第1中間加工体14の長手方向一端部ここでは凹凸形状部A2側の端部とするを外方部材3の内周に配置固定した状態で、第1中間加工体14の残部凹凸形状部A2を外方部材3の内周に徐々に挿入しながら、凹凸形状部A2を外方部材3の内周面に沿って丸めることでバックフォイル6を構成する第2折り返し部8を形成する。第2折り返し部8を形成した後、第1中間加工体14の残部凹凸形状部A1を外方部材3の内周に徐々に挿入しながら、折り曲げ線Tを支点として凹凸形状部A1を内径側に折り返して折り返し部第1折り返し部7を形成し、この第1折り返し部7を外方部材3の内周面に沿って丸める。これにより、フォイル部材4のうち、第1および第2折り返し部7,8からなるバックフォイル6が形成される。さらに、第1中間加工体14の残部平坦面部5’を外方部材3の内周に徐々に挿入しながら、折り曲げ線Tを支点として平坦面部5’を内径側に折り返して折り返し部を形成し、これを外方部材3の内周面に沿って丸めてトップフォイル5を形成する。これにより、図1および図2に示すフォイル部材4が完成するのと同時に、当該フォイル部材4の外方部材3に対する組付けが完了する。上記の手順では、フォイル部材4の最外径部バックフォイル6の第2折り返し部8を優先的に形成するようにしたが、フォイル部材4の最内径部トップフォイル5を優先的に形成するような手順を踏むことも可能である。また、このような製作手順は、後述するその他の実施形態においても同様に採用し得る。以上の構成からなるフォイル軸受1において、軸部材2が回転偏芯回転すると、軸部材2の外周面2aとトップフォイル5の内径面5aとの間に楔状のラジアル軸受隙間Cが形成され、このラジアル軸受隙間Cに形成される空気膜によって軸部材2がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。軸部材2の回転中には、トップフォイル5が有する可撓性により、トップフォイル5が、トップフォイル5に作用する荷重、軸部材2の回転速度、周辺温度等が変化するのに応じて任意に弾性変形するため、ラジアル軸受隙間Cの隙間幅が運転条件に応じた適切幅に自動調整される。このような隙間幅の自動調整機能により、軸部材2の回転が安定的に支持される。また、トップフォイル5がバックフォイル6の第1および第2折り返し部7,8に設けられた凹凸形状部A1,A2によって弾性的に支持されていること、フォイル部材4が外方部材3の内周に軽圧入され、フォイル部材4が外方部材3に対して摺動可能であること、などの理由から、ラジアル軸受隙間Cの隙間幅の自己調整能力が強化されると共に、軸部材2の回転に伴って発生する振動を効果的に減衰することができる。特に、本実施形態では、トップフォイル5の弾性支持部として機能する凹凸形状部が径方向に2つ設けられ、かつ2つの凹凸形状部A1,A2第1および第2折り返し部7,8が摺動可能に嵌合しているため、ラジアル荷重の負荷能力および振動の減衰効果を有効に高めることができる。そのため、高温高速回転といった過酷な運転条件でもラジアル軸受隙間Cの隙間幅を適正範囲内に管理することができ、軸部材2の回転が一層安定的に支持される。そして、本発明に係るフォイル軸受1においては、トップフォイル5とバックフォイル6の一体形成品であるフォイル部材4を軸部材2と外方部材3の間に介在させたことから、トップフォイルとバックフォイルが個別に設けられていた従来のフォイル軸受に比べて実質的な部品点数が少なくなる。そのため、製造工程や部品管理を簡略化し、フォイル軸受1の量産コストを低廉化することができる。また、このようなフォイル部材4を、可撓性を有する帯状の金属薄板で形成することから、上述のとおり、フォイル軸受1に求められる種々の機能ラジアル軸受隙間Cの隙間幅の自動調整機能等を適切に確保することができる。しかも、フォイル部材4を、金属薄板をその長手方向の所定位置で折り返すことによって折り返し部7,8を形成し、この折り返し部7,8を含めて金属薄板をその長手方向に沿って円筒状に丸めることにより形成したことから、所望のフォイル部材4を容易に形成することができる。また、弾性支持部として機能する凹凸形状部A1,A2をプレス加工で型成形したので、従来品に比べ、弾性支持部を容易にかつ精度良く形成することができるという利点もある。以上で説明したフォイル軸受1では、トップフォイル5と、凹凸形状部を径方向に二つ有するバックフォイル6とを一体形成したフォイル部材4を用いているが、フォイル部材4は、凹凸形状部が径方向に一つのみ設けられたものであっても構わない。このようなフォイル部材4は、例えば、平坦面部5’および凹凸形状部A1からなる第1中間加工体14図5を参照を用いて得ることができる。このように、凹凸形状部が径方向に一つのみ設けられた構成、すなわち、バックフォイル6が一層構造とされた構成は、以下に述べる他の実施形態にも同様に適用することができる。また、図示は省略するが、凹凸形状部は、径方向に三つ以上設けるバックフォイル6を三層以上の多層構造とすることも可能である。図6に、本発明の他の実施形態に係るフォイル軸受1を示す。同図に示すフォイル軸受1が図1に示すものと異なる主な点は、バックフォイル6と外方部材3の間に、バックフォイル6に対して摺動可能にバックフォイル6と一体形成された略円筒状のスペーサ部9を介設した点にある。このような構成は、フォイル部材4として、図7にも示すような、第2折り返し部8の外側に略円筒状のスペーサ部9が連結されたものを用いることで得ることができる。スペーサ部9は、その全領域が凹凸のない平坦面状に形成されている。なお、その他の構成は、以上で説明したものと実質的に同一であるから、共通の参照番号を付して重複説明を省略する。図7に示すフォイル部材4は、図8に示すように、長手方向の一端側から他端側に向けて、平坦面部5’、凹凸形状部A1、凹凸形状部A2、および凹凸のない平坦面部9’が順に設けられた帯状の第1中間加工体14から得ることができる。すなわち、図8に示す第1中間加工体14のうち、凹凸形状部A1、凹凸形状部A2および平坦面部9’を同図中白抜き矢印で示す方向に折り返して四層構造の第2中間加工体図示せずを形成し、この第2中間加工体の長手方向一端部と他端部とが周方向で近接配置されるように、平坦面部5’側を内径側として第2中間加工体をその長手方向に丸めれば、図6,7に示す有端円筒状のフォイル部材7が得られる。このように、バックフォイル6に対して摺動可能なスペーサ部9をさらに設ければ、軸部材2の回転中にフォイル部材4内で生じる摩擦力を一層増大させることができる分、フォイル軸受1の運転中に発生する振動の減衰効果が一層高まり、軸部材2を一層安定的に支持することが可能となる。しかも、スペーサ部9は、トップフォイル5およびバックフォイル6と一体形成されていることから、組立や部品管理に要する手間が増大することもない。以上で説明したフォイル軸受1では、運転中に発生する振動の減衰効果を向上させるべく、外方部材3に対するフォイル部材4の固定手段として軽圧入を採用したが、振動の減衰効果は、例えば、フォイル部材4の周方向一部領域を接着や溶着等の手段で外方部材3の内周に固定した場合にも同様に得ることができる。振動の減衰効果が十分に確保されるのであれば、フォイル部材4と外方部材3の相対的な摺動移動が許容されないように両者を強固に固定しても良い。また、図示は省略するが、互いに対向する外方部材3の内周面およびフォイル部材4の外径面のうち、何れか一方に設けた凹部に、他方に設けた凸部を嵌合させるいわゆる凹凸嵌合によって外方部材3の内周にフォイル部材4を固定することもできる。なお、上述した実施形態のように、フォイル部材4の外径面が凹凸形状部で構成される場合には、凹凸形状部を利用した凹凸嵌合によりフォイル部材4を外方部材3の内周に固定することができる。この凹凸嵌合は、フォイル部材4を外方部材3の内周に接着、圧入、圧入接着、溶着等の手段で完全固定する場合にも追加的に採用することができる。外方部材3に対するフォイル部材4の固定方法は、外方部材3の内周からフォイル部材4が抜脱するのを可及的に防止することができるのであれば、上記のものに限られない。例えば、フォイル部材4の軸方向端部一端部であるか両端部であるかを問わないに径方向の突出部10を設け、この突出部10を利用してフォイル部材4を外方部材3に固定することもできる。図9は、最外径部がスペーサ部9で構成されたフォイル部材4図6,7を参照に突出部10を設けた場合を示すものであり、スペーサ部9の軸方向両端部に径方向の突出部10を設けている。このように、フォイル部材4の軸方向端部に径方向の突出部10を設けた場合、突出部10を、図10に示すように、外方部材3の端面と外方部材の軸方向外側に設けた円筒状の挟持部材11とで挟持固定することができる。なお、図9では、径方向の突出部10を周方向の一箇所のみに設けているが、突出部10は、周方向の複数箇所に設けても良いし、全周に亘って設けても略円環状に形成しても良い。図示は省略するが、かかる構成を図1等に示すフォイル軸受1最外径部が凹凸形状部A2を有する第2折り返し部8、すなわち、バックフォイル6で構成されたフォイル部材4を備えるものに適用することももちろん可能である。このような取付構造を採用すれば、接着や溶着等の手段でフォイル部材4を外方部材3に固定する場合に比べて組付け工程を簡略化しつつ、外方部材3の内周からフォイル部材4が抜脱するのを効果的に防止することができる。この場合、突出部10は、外方部材3とフォイル部材4の相対的な摺動移動が許容される程度の力で挟持しても良いし、外方部材3とフォイル部材4の相対的な摺動移動が許容されないように強固に挟持することもできる。また、例えば、フォイル部材4の軸方向両端部に径方向の突出部10を設け、軸方向一端側の突出部10と、軸方向他端側の突出部10とで外方部材3を軸方向に挟持するようにしても良い。図11は、かかる構成を適用したフォイル軸受1の一構成例を示すものであり、図1や図2に示すフォイル部材4の軸方向両端部の周方向三箇所に径方向の突出部10を設け、軸方向一端側の突出部10と、軸方向他端側の突出部10とで外方部材3を軸方向に挟持したものである。このような構造を採用すれば、図10に示す構造と同様に、接着や溶着等の手段でフォイル部材4を外方部材3に固定する場合に比べて組付け工程を簡略化しつつ、外方部材3の内周からフォイル部材4が抜脱するのを効果的に防止することができる。なお、図示は省略するが、かかる構成を図6に示すフォイル軸受1に適用することももちろん可能である。この場合、径方向の突出部10は、フォイル部材4の最外径部を構成するスペーサ部9の軸方向両端部に設けることもできる。ところで、トップフォイル5およびバックフォイル6さらに、場合によってはスペーサ部9が帯状の金属薄板で一体形成される以上で説明したフォイル軸受1において、帯状の金属薄板は、上述のとおり、例えば原反ロールを所定寸法に切断することによって得ることができるが、この場合、金属薄板の端部エッジは切断面となる。切断面にはバリ等の先端鋭利な突起物が形成される場合があり、この突起物がフォイル軸受の運転中にミスアライメントの影響等によって軸部材2に接触すると、軸部材2の外周面にキズ等が形成されて回転精度に悪影響が及ぶ可能性がある。このような問題は、例えば図12に概念的に示すように、トップフォイル5の軸方向端部領域に、トップフォイル5の軸方向中央領域よりも外径側に後退した逃げ部12を設けることによって可及的に防止することができる。逃げ部12は、図示例のようにトップフォイル5の軸方向端部領域を湾曲させることによって形成することができる他、トップフォイル5の軸方向端部領域を屈曲させる折り曲げることによって形成することもできる。以上では、可撓性を有する帯状の金属薄板に適当な加工を施すことにより、トップフォイル5およびバックフォイル6が一体的に設けられたフォイル部材4を得るようにしたが、この種のフォイル部材4は、可撓性を有する帯状の樹脂製薄板、セラミックス製薄板、あるいは金属、樹脂およびセラミックスの群から選択される二種以上を積層させてなる薄板等から得ることもできる。但し、フォイル部材4を樹脂製薄板、あるいは樹脂層を含む積層薄板から得る場合には、特に耐熱性の観点から適当なベース樹脂を選択する必要がある。すなわち、薄板を構成するベース樹脂としては、例えば、ポリエチレンPE、ポリプロピレンPP等の汎用プラスチック、ポリアセタールPOM、ポリブチレンテレフタレートPBT、ポリエチレンテレフタレートPET等のエンジニアリングプラスチック、およびポリフェニレンサルファイドPPS、ポリエーテルエーテルケトンPEEK等のスーパーエンジニアリングプラスチックから選定された一または複数種混合したものを使用することができるが、フォイル軸受1が前述のように300°C程度の高温環境下で用いられることを考慮すると、スーパーエンジニアリングプラスチックの中でも特に高い耐熱性融点が300°C以上や機械的強度を具備するもの、具体的にはポリエーテルエーテルケトンPEEKや熱硬化性ポリイミドをベース樹脂とするのが望ましい。ベース樹脂には、強化材、潤滑剤、導電化材、寸法安定材等の各種充填材を一又は複数種配合することができる。以上で説明したフォイル軸受1は、軸部材2を回転側、外方部材3およびフォイル部材4トップフォイル5およびバックフォイル6を静止側としたものであるが、本発明は、軸部材2を静止側、外方部材3およびフォイル部材4を回転側としたフォイル軸受1にも好ましく適用することができる。但しフォイル部材4が回転側となるので、遠心力によるトップフォイル5およびバックフォイル6の変形を加味して両部材の設計を行う必要がある。また、本発明は、以上で説明したように、圧力発生流体として空気を用いるフォイル軸受1のみならず、圧力発生流体として潤滑油を用いるフォイル軸受1にも好ましく適用することができる。"