"移動体と、前記移動体を予め設定した送り軸方向に案内する案内機構部、及び前記移動体を移動させる駆動機構部を有する送り装置と、前記送り装置を支持する構造体と、前記駆動機構部の作動を制御して、予め設定した基準位置に対する前記移動体の移動位置を制御する制御装置とを備えた位置決め制御装置において、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位を導出する導出部と、前記導出部により導出された変位データを受信して、前記変位を打ち消すための修正データを、前記制御装置における前記駆動機構部を制御するための制御信号に加算する加算部とを設けて構成したことを特徴とする位置決め制御装置。前記導出部は、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位を直接または間接的に測定し、予め設定した時間間隔で出力することを特徴とする請求項1に記載の位置決め制御装置。前記導出部は、前記移動体に加えられた力または前記移動体の加速度の少なくとも一方と前記構造体の加速度とを直接または間接的に測定し、前記構造体の運動方程式に基づいて、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位を導出し、予め設定した時間間隔で出力することを特徴とする請求項1に記載の位置決め制御装置。請求項1乃至3のいずれか1項の位置決め制御装置を備え、前記移動体に工具またはワークが装着されることを特徴とする工作機械。ところで、上述した工作機械において高精度な加工を実現するためには、前記移動体の位置を、送り装置外に設定された基準位置例えば、移動体に工具が装着され、適宜構造体にワークが取り付けられる場合にはワークの位置に対して正確に位置決めしなければならない。ところが、上記従来の制御装置では、特許第4014162号公報に開示される制御装置を含め、送り装置を支持する構造体例えば、ベッドやフレームが慣性空間内で無限の強度を持つ完全剛体であるとみなし、かかる構造体に一切変形が生じないものとして、送り装置内で生じる追従誤差についてのみ補償していた。実際のところ、現実的には完全な剛体はあり得るものではなく、前記移動体を移動させる時の加減速によって生じる反力によって、前記構造体には必ず変形変位が生じる。そして、かかる変形は、工具がワークを加工する軌跡に誤差を生じさせ、その値が所望の位置決め精度例えば、数μm単位の位置決め精度を遥かに下回る程度の極僅かな変形である場合には問題ないが、所望の位置決め精度を上回る大きな変形である場合には、例え、送り装置自体の位置決め精度を高めても、前記基準位置に対する移動体の位置決め精度は不満足なものとなり、高精度な加工を行うことができない。そこで、この変形量がどの程度のものであるかを考察する。図9に、移動体50、この移動体50を移動させる送り装置51、及び送り装置51を支持する構造体60から構成される機構を物理モデルとして図示した。尚、図中、符号52は駆動モータ、符号53は駆動モータ52の出力軸に直結されるボールねじである。また、構造体60は地面65上に載置されるものとし、移動体50は地面65に対して位置決めされるべきものであるとする。また、この物理モデルにおいて、構造体60は完全な剛体ではないので地面65との間をバネ定数K2及びダンパ定数C2を介して接続された構成として近似され、移動体50と構造体60とはボールねじを介して接続される。ボールねじもまた、剛体ではないので、バネ定数K1及びダンパ定数C1が内装されているものと近似する事で、移動体50は、構造体60とバネ定数K1及びダンパ定数C1を介して接続されるものと近似する事ができる。斯くして、この物理モデルでは、移動体50の質量をM1、構造体60の質量実際の構造体の振動変形に寄与する等価質量をM2、移動体50の静的変位をx1、移動体50の加速度をx1’’、構造体60の静的変位をx2とすると、力Fの釣り合いから次式数式1及び2が導かれる。数式1及び2においてK2は弾性定数である。尚、前記定数C2の最大変位への影響は現実問題としてそれほど大きくないので、簡単化の為に省略する。また、ボールねじ側の変形分も、リニアスケール等を構造体に貼ることによる従来のフルクローズドフィードバック制御により補償されるので、省略する事とするx1は変位x1の時間による二階微分を表す。数1F=M1×x1=K2×x2数2x2=F/K2また、この物理モデルの固有角振動数ωは次式数式3で表せる。数3ω=K2/M1/2ここで、M=M1M2そして、数式3を変形すると、次式数式4となる。数4K2=ω2×M斯くして、構造体60の変位x2は、数式2及び4から次式数式5によって算出される。数5x2=F/ω2×M因みに、M1=M2と仮定して、一般的な固有周波数からfc=50Hzω=2πfc、駆動モータ52の一般的な工作機械の加速性能からx1=4m/sec2とすると、加速時の構造体60の変位x2は、上式数式5から、x2=4/2π×502×2≒20×10-6m=20μmとなる。このように、移動体50の移動に伴って生じる構造体60の変位x2は、近年求められる位置決め精度例えば、数μm単位の位置決め精度を遥かに上回る大きなものとなる。したがって、従来のように、送り装置自体の位置決め精度をいくら高めたとしても、工作機械全体としての位置決め精度、即ち、前記基準位置に対する移動体の位置決め精度は、上記構造体の変形誤差による影響を受ける事から、位置決め精度不良を免れる事は出来ない。その為、従来までは、数式5で表される変形量を抑える為に、移動加速度に制限を加えたり、構造体の剛性を上げたりする事が行われていたが、これは工作機械の加工速度を遅くし、機械自体を重く大きな構造とせざるを得ない事から、この点に対する改善が望まれていた。本発明は、以上の実情に鑑みなされたもので、移動体を駆動する送り装置の加速性能を損なうことなく、その基準位置に対する位置決め精度を高めることができる位置決め制御装置、これを備えることにより従来に増して高精度な加工を行うことができる工作機械の提供を、その目的とする。上記課題を解決するための本発明は、移動体と、前記移動体を予め設定した送り軸方向に案内する案内機構部、及び前記移動体を移動させる駆動機構部を有する送り装置と、前記送り装置を支持する構造体と、前記駆動機構部の作動を制御して、予め設定した基準位置に対する前記移動体の移動位置を制御する制御装置とを備えた位置決め制御装置において、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位を導出する導出部と、前記導出部により導出された変位データを受信して、前記変位を打ち消すための修正データを、前記制御装置における前記駆動機構部を制御するための制御信号に加算する加算部とを設けて構成した位置決め制御装置に係る。この位置決め制御装置によれば、移動体を駆動機構部により案内機構部に沿って移動させる際に、構造体の変位に起因した送り装置の変位であって、基準位置に対する送り軸方向における変位を導出部によって導出し、加算部によってこの導出された変位データに基づく変位を打ち消すための修正データを制御信号に加算する。したがって、前記制御信号は、構造体の変位が補償された制御信号となり、この制御信号により駆動機構部の作動を制御するため、構造体の変位が補償されていなかった従来の位置決め制御装置と比較して、より正確に移動体の移動位置を制御することができる。更に、構造体の変位を補償することで、移動体を移動させる際に、加速度を抑えて当該構造体の変形振動を抑制するといった制御が不要となり、送り装置の加速性能を最大に生かした運動制御を実現することができ、移動体の移動時間の短縮化を図ることができる。上記の構成において、前記導出部は、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位を直接または間接的に測定し、予め設定した時間間隔で出力することが好ましい。上記の構成によれば、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位が測定され、この測定結果に基づいて前記変位が導出される。そして、導出された前記変位が、予め設定した時間間隔で前記加算部に送信される。これにより、構造体の変位を的確に補償することができる。尚、前記導出部としては、前記送り装置の変位を直接測定する近接センサ,各種リニアエンコーダや光学的センサといった変位センサを挙げることができ、加速度センサを用いる場合には、得られた加速度を二重積分することによって間接的に位置を算出した後、得られた位置と元位置との差から変位を推定することができる。この他に、前記構造体の変形を代表する部位の部分的な変位量を測定することで、当該送り装置の変位を間接的に測定するようなものであっても良く、このようなものとしては、例えば、構造体のひずみを検出するひずみゲージを挙げることができ、この場合、検出したひずみから構造体、言い換えれば、送り装置の変位を推定する。前記導出部は、前記移動体に加えられた力または前記移動体の加速度の少なくとも一方と前記構造体の加速度とを直接または間接的に測定し、前記構造体の運動方程式に基づいて、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位を導出し、予め設定した時間間隔で出力することが好ましい。上記の構成において、前記移動体に加えられた力については、作用反作用の関係として、前記移動体が加減速する際に前記構造体にかかる反力と同じ大きさになるので、前者に代えて後者を測定してもよい。上記の構成によれば、前記移動体に加えられた力または前記移動体の加速度の少なくとも一方と前記構造体の加速度とが直接または間接的に測定され、これら測定値と前記構造体の運動方程式に基づいて、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位が簡便かつ精度良く導出される。すなわち、前記移動体に加えられた力または前記移動体の加速度の少なくとも一方と前記構造体の加速度とを直接または間接的に測定するだけで、前記構造体の変位に起因した前記基準位置に対する前記送り装置の前記送り軸方向における変位が導出される。そして、導出された前記変位が、予め設定した時間間隔で前記加算部に送信される。これにより、構造体の変位を的確に補償することができる。また、上記課題を解決するための本発明は、前記位置決め制御装置を備え、前記移動体に工具またはワークが装着されることを特徴とする工作機械に係る。上記の構成によれば、前記位置決め制御装置の作用効果により、工作機械において、より正確に移動体の移動位置を制御することができるとともに、送り装置の加速性能を最大に生かした運動制御を実現することができ、移動体の移動時間の短縮化を図ることが可能となる。以上のように、本発明に係る位置決め制御装置、これを備えた工作機械によれば、従来と比較して、送り装置による位置決めをより高精度に行うことができる。更に、送り装置の加速性能を最大に生かした運動制御を実現することができ、移動体の移動時間の短縮化を図ることができる。1,第一の実施形態以下、本発明の第一の実施の形態につき、図面を参照しつつ説明する。図1及び図2に示すように、本例の工作機械1は、上辺部2a,下辺部2b,左垂辺部2c及び右垂辺部2dからなる正面視ロの字状を有し、その下辺部2bの上面にワークWが載置される構造体2と、この構造体2の上辺部2aの上面に配設された送り装置3と、前記送り装置3によりその送り軸方向図1の矢示方向に移動される移動体12と、前記送り装置3の作動を制御する制御装置20と、前記左垂辺部2cの外方側面に設けられ、当該構造体2の上端部即ち、前記上辺部2aの矢示方向における変位以下、単に変位というを間接的に検出する変位検出器11と、この変位検出器11によって検出されたデータを基に送り装置3の変位量を算出する変位算出部28と、変位算出部28によって算出されたデータを基に、当該変位を打ち消すような修正データを前記制御装置20の制御信号に加算する位置加算部27と、位置加算部27からの出力を速度制御部25に入力するときに微分処理を行う微分器29とから構成される。尚、図2では、変位算出部28からのデータを基に、当該変位を打ち消すような修正データを前記制御装置20の制御信号に加算する位置加算部27の構成を説明しているが、これに代えて、図3に示すように、変位算出部28からのデータを基に、当該変位を打ち消すような修正データを、位置生成部23にフィードバックするとともに、前記位置生成部23で生成される指令値に加算するようにして位置補償を行ってもよい。図1は、本実施形態に係る工作機械1位置決め制御装置を簡易的なモデルとして表したものであり、また、本例では、前記移動体12に工具またはワークが装着されることを想定しているが、以下では特に工具が装着されたいわゆる工具主軸を例に挙げて説明する。また、本実施形態においては、前記変位検出器11と変位算出部28とから導出部が構成される。前記送り装置3は、前記移動体12を矢示方向に移動自在に支持する案内機構部4と、前記移動体12を移動させる駆動機構部6とからなる。前記案内機構部4は、前記構造体2の上辺部2aの上面に、前記矢示方向に沿って平行に配設された2本のガイドレール5aと、このガイドレール5aにそれぞれ係合され、これに案内されて移動する2つのスライダ5bとから構成され、各スライダ5b上に載置,固定された前記移動体12の矢示方向への移動を案内する。また、前記駆動機構部6は、前記2本のガイドレール5a間にこれに沿って配設されたボールねじ7と、前記上辺部2aの上面に固設され、前記ボールねじ7の両端部をそれぞれ回転自在に支持する支持部材8と、同じく前記上辺部2aの上面に固設され、前記ボールねじ7をその軸中心に回転させる駆動モータ9と、前記ボールねじ7に螺合し且つ前記移動体12の下面に固設されたナット13と、前記移動体12の矢示方向における位置を検出する位置検出器10とから構成される。このような前記案内機構部4と前記駆動機構部6とからなる送り装置3の構成を上面からみると、図4のようになる。同図において、移動体12は、ボールねじ7の回転に従って図中矢印方向に摺動することができる。前記位置検出器10は、例えば、前記駆動モータ9に取り付けたロータリエンコーダから構成され、逐次、即ち、予め設定された時間間隔サンプリング間隔で検出した移動体12の位置データを後述する位置加算部27に送信するとともに、検出した位置データを微分して得られる速度データを同じサンプリング間隔で後述する速度指令信号に加算する。尚、前記位置データを検出する手段としては、上記のロータリエンコーダに限られるものではなく、例えば、移動体12の位置を直接検出するリニアエンコーダなどでも良い。前記制御装置20は、図2に示すように、加工プログラム記憶部21,プログラム解析部22,位置生成部23,位置制御部24,速度制御部25、電流制御部26、微分器29から構成され、前記移動体12の矢示方向における移動位置を制御する。前記加工プログラム記憶部21は、予め作成された加工プログラムを記憶する機能部であり、記憶された加工プログラムを前記プログラム解析部22へ送信する。前記プログラム解析部22は、前記加工プログラム記憶部21から受信した加工プログラムを解析して、前記送り装置3の送り速度や移動位置などに関する指令を抽出し、抽出した指令を前記位置生成部23へ送信する。前記位置生成部23は、プログラム解析部22から受信した信号を基に予め定められた時定数を加味して送り装置3の時間あたり予め設定された時間あたりの移動目標位置に関する信号制御信号たる動作指令信号を生成し、これを前記位置制御部24へ逐次送信する。前記位置制御部24は、前記位置生成部23から送信される動作指令信号と、前記位置加算部27から送信される位置データとの偏差即ち、位置生成部23からの動作指令信号に位置加算部27からの位置データ修正データを加算して得られる動作指令信号に基づいて速度指令信号を生成し、生成した速度指令信号を前記速度制御部25へ送信する。前記速度制御部25は、前記位置制御部24から送信される速度指令信号と、前記位置検出器10から送信フィードバックされる実際の速度データとの偏差に基づいて電流指令信号を生成し、生成した電流指令信号を前記電流制御部26へ送信する。また、前記電流制御部26は、前記速度制御部25から送信される電流指令信号と、フィードバックされる実際の電流信号との偏差に基づいた駆動電流信号を前記駆動モータ9に送信する。そして、かかる駆動電流によって駆動モータ9の作動が制御される。前記変位検出器11はひずみゲージから構成される。この変位検出器11は、前記移動体12が移動することにより生じる構造体2の左垂辺部2cのひずみを、前記サンプリング間隔で検出し、検出したひずみに関するデータを前記変位算出部28に送信する。前記変位算出部28は、前記変位検出器11から送信されたひずみデータを基に、前記構造体2の上辺部2aの変位を算出し、算出した変位データを位置加算部27へ送信する。この変位を算出する手法は特に限られるものではないが、例えば、構造力学上の理論を基に前記ひずみデータから算出することができる。複雑な形状のときには、有限要素法等を用いたシミュレーションに基づいた関係式を定義しても良いし、実験データに基づいた関係式を定義しても良い。また、前記変位は、構造体2の下辺部2bに対する上辺部2aの変位であり、本例では、ワークWが下辺部2bに載置され、送り装置3が上辺部2aに配設されていることから、ワークWを基準位置とした送り装置3の矢示方向の変位とみなされる。図5には、一例として、構造体2の上端部が矢示A方向にΔxだけ変位した、つまり、基準位置に対してΔxだけ変位した場合を示した。同図によれば、構造体2の矢示A方向における変位Δxによって、移動体12とワークWとの位置関係がΔxだけずれる様子がわかる。前記位置加算部27は、前記位置検出器10から送信フィードバックされた移動体12の実際の位置データと、変位算出部28から送信された構造体2の変位データ即ち、送り装置3の変位データとを加算して修正データを算出し、算出した修正データを、上記位置生成部23から出力される動作指令信号に加算する処理を行なう。以上のように構成された本実施形態の工作機械1においては、まず、加工プログラム記憶部21に格納された加工プログラムがプログラム解析部22によって読み出され、当該プログラム解析部22により加工プログラム中の送り速度や移動位置などに関する指令が抽出され、抽出された指令が位置生成部23へ送信される。そして、位置生成部23は、プログラム解析部22から送信された信号を基に、動作指令信号を生成して、これを位置制御部24に送信する。ついで、位置制御部24は、受信した動作指令信号を基に速度指令信号を生成して速度制御部24に送信し、速度制御部24は受信した速度指令信号を基に電流指令信号を生成して電流制御部26に送信し、電流制御部26は受信した電流指令信号を基に駆動指令信号を生成して駆動モータ9に送信し、かかる駆動指令信号によって駆動モータ9が駆動,制御される。そして、その際、位置検出器10からフィードバックされる現在速度データによって、速度に関する追従誤差が補償され、実電流信号のフィードバックによって、電流に関する追従誤差が補償される。また、位置加算部27では、位置検出器10からフィードバックされたモータ位置データと、変位算出部28から送信された変位データとを加算した修正データが算出され、算出された修正データが、前記位置生成部23から出力される動作指令信号に加算される。位置生成部23から出力される動作指令信号と、位置検出器10からフィードバックされるモータ位置データとの偏差は、送り装置3内における移動体12の追従誤差に相当するものであり、また、変位算出部28から送信される変位データは、送り装置3全体の基準位置本例では、ワークWの位置に対する矢示方向送り軸方向の変位である。したがって、これら追従誤差と変位とを合算した値が、前記基準位置に対する指令位置と実際の位置との誤差となる。斯くして、前記位置加算部27は、移動体12の追従誤差と、送り装置3全体の基準位置に対する変位とを合算することで、基準位置に対する指令位置と実際の位置との誤差を算出し、この誤差を打ち消すべく、算出した誤差データを修正データとして、前記位置生成部23から出力される動作指令信号に加算する。そして、このように修正データを加算することで、送り装置3内における移動体12の追従誤差と、送り装置3全体の基準位置に対する変位が補償される。上述したように、送り装置3を支持する構造体2は、現実的に見て、完全な剛体ではなく、前記移動体12を移動させることによって、加速度を落として動作させない限りにおいては、近年の要求位置決め精度例えば、数μmを遥かに越える大きな変形変位を生じる。本例では、かかる構造体2言い換えれば、送り装置3の送り軸方向の変位を測定して、この変位を打ち消すべく移動体12の位置決め位置を補償しているので、前記基準位置に対する移動体12の位置決めを、従来に増してより高精度に位置決めすることができ、より高精度な加工を実現することができる。また、構造体2の変形による送り装置3の変位を補償するようにしたことで、移動体12を移動させる際に、加速度を抑えて構造体2の変形を抑制するといった制御が不要となり、送り装置3の加速性能を最大に生かした運動制御を実現することができ、移動体12の移動時間の短縮化を図ることができる。本例の工作機械1においては、前記構造体2の上端部、つまり送り装置3に極めて近い箇所の変位を送り装置3の変位とみなして、これを間接的に測定する構成としたが、例えば、送り装置3の一部例えば、駆動モータ9などの変位を近接センサや加速度センサなどによって直接測定する構成としても良い。また、前記変位検出器11としてひずみゲージを例示したが、これに限られるものではなく、加速度センサ,近接センサ,各種リニアエンコーダや光学的センサなどを用いても良い。加速度センサを用いる場合には、得られた加速度を二重積分することによって位置を算出することができ、更に、得られた位置と元位置との差から変位を推定することができる。また、送り装置3が複数の構造体、例えば3つの構造体2,2’,2によって複合的に支持され、その送り軸方向において、前記基準位置に対する当該送り装置3の位置が、各構造体2,2’,2の変位によって変動する場合には、図6に示すように、前記送り軸方向における各構造体2,2’,2の変位をそれぞれ変位検出器11,11’,11によって検出し、検出された変位データを前記変位算出部28に送信して、当該変位算出部28において、これら変位を総合して前記送り軸方向における前記送り装置3の変位を算出し、算出した変位データを前記位置加算部27に送信して、当該送り装置3の変位を補償するようにすると良い。このようにすれば、送り装置3が複雑な支持構造によって支持される場合でも、その基準位置に対する位置を正確に位置決めすることができ、高精度な加工を実現することができる。図7を用いて、工作機械30の工具側とワーク側とのそれぞれに変位検出器を設ける例を示す。同図は工作機械30の側面を模式的に示した図である。同図において、工作機械30は、基台31、ワークを支持するワーク支持部32、工具が取り付けられる主軸33、主軸33を駆動する駆動モータ34、支持アーチ35からなっており、ワーク支持部32には図略の送り装置が設けられている。図7において、工具側の代表位置として主軸33の任意の点に、ワーク側の代表位置としてワーク支持部32の任意の点に、それぞれ変位検出器を設けるものとする。そうすると、この2つの変位検出器からの検出結果を比較することにより、工具とワークとの相対変位を求めることが可能となる。工具とワークとの間には、モータ駆動による振動等の外乱成分に起因する相対変位が生じうるが、上記のように工具側とワーク側とのそれぞれに変位検出器を設け、得られた相対変位の値を用いて、前記送り装置の変位補償を行えば、このような外乱成分がある場合においても的確に前記送り装置におけるモータ指令値を補償することが可能となる。また、複数の送り装置を備えた工作機械については、各送り装置について、その送り軸方向の変位をそれぞれ変位検出器によって測定し、各送り装置によって駆動される各移動体の前記基準位置に対する位置をそれぞれ補償するようにするとよい。また、図8に示すように、前記位置検出器10から出力される移動体12の位置データを、前記位置生成部23から出力される動作指令信号に直接フィードバックするとともに、前記変位算出部28から出力される変位データ修正データを、前記位置加算部27を介して、前記位置生成部23で生成される指令値に加算するようにしても良い。この場合、前記位置生成部23では、構造体2の変位を補償した動作指令信号が生成され、上例と同様の効果が奏される。また、上例では、前記変位検出器11におけるひずみの検出時間間隔を、前記位置検出器10の検出時間間隔と同じ時間間隔としたが、これに限られるものではなく、これより短い間隔や、長い間隔としても良い。短い間隔とする場合には、変位算出部28において平均化処理などを施して算出した変位データを位置加算部27に送信するようにすれば良く、長い間隔とする場合には、変位算出部28において補間処理などを施して算出した変位データを位置加算部27に送信するようにすると良い。また、上例では、位置加算部27及び変位算出部28を制御装置20とは別の構成としたが、これら位置加算部27及び変位算出部28を制御装置20内に組み込んだ構成としても良い。2,第二の実施形態次に、本発明に係る第二の実施形態として、変位算出部28導出部は、構造体2の変位に起因した基準位置に対する送り装置3の送り軸方向における変位を直接測定せず前記変位検出器11を用いず、前記移動体に加えられた力または前記移動体の加速度の少なくとも一方と前記構造体の加速度とを測定し、この測定結果と構造体2の運動方程式とに基づいて、前記変位を導出することもできるので、この態様について以下説明する。まず、送り装置3を含む構造体2の系を質量M2,弾性定数K2として考えると、構造体2の運動方程式は、数式6で表されるx2’は変位x2の時間による一階微分を表し,x2は変位x2の時間による二階微分を表す。数6M2x2Cx2’Kx2=fここで、構造体2の変位は、前記実施形態と同様、構造体2の下辺部2bに対する上辺部2aの変位であり、本例では、ワークWが下辺部2bに載置され、送り装置3が上辺部2aに配設されていることから、ワークWを基準位置とした送り装置3の矢示方向図1参照の変位とみなされる。数式6において、fは移動体を移動させる時の加減速の力が構造体に作用する反力、Cは粘性減衰係数を示している。式の簡略化のために、数式6においてCを0とおくと、数式7が得られる。数7M2x2’’Kx2=fそして、数式7をx2について解くと、次の数式8を得る。数8x2=f/K-x2/ω2数式8において、ω=K/M21/2であり、これは系の固有角振動数である。数式8のうち、第2項の構造体2の加速度x2は、変位検出器11を構造体2に設ける代わりに、構造体2に加速度センサを設けることによって簡便に測定できる。構造体2の変位x2は、前述の通り、加速度センサの出力を二階積分することによっても得られるが、積分計算は誤差が累積するため、加速度センサの出力をそのまま利用する数式8を用いる方が、積分計算より精度よく計算できる。尚、ωは固有角振動数なので一定値であり、どのような方法により求めてもよい。固有角振動数ωを求める具体的な方法としては、例えば、送り装置3において、移動体12を固設していたナット部図4のナット13の締結を外し、移動体12を構造体2と切り離した状態としたうえで、構造体2に力を加えて自由振動させる事により、その固有角振動数ωを計測することが可能である。数式8のうち、第1項は、前述の通り、移動体12の加減速時の反力によって生じる変形量である。移動体12の加減速時の反力は、移動体12の加減速の為に加えられた力であり、駆動モータ9のトルク値すなわち駆動電流信号iに比例するので、数式8の第1項は、駆動モータ9の駆動電流信号iに比例することになる。したがって、両者の比例係数さえ事前に確定しておけば、駆動モータ9の駆動電流信号iから、数式8構造体2の変位の第1項の値を求めることができる。上記比例係数を求める具体的な方法としては、例えば、移動体12を一定加速度一定トルク、すなわち一定駆動電流信号で加速し、その時の構造体2の実変位x2を計測し、平均化処理により第2項の振動成分を取り除く事により、上記比例係数を求める事ができる。以上のように、構造体2の固有角振動数ωや駆動モータ9の駆動電流信号iとの比例関係をあらかじめ調べておくことにより、構造体2の加速度センサや駆動電流信号iの値から簡便に構造体2の変位xを導出することができる。尚、上記では、数式8のfを求めるために、駆動モータ9の駆動電流信号iを用いたが、他の方法で構造体2が受ける力fを計測してもよい。例えば、fの値の他の求め方としては、移動体12に加速度センサを取り付け、fM1×x1の関係により、その加速度センサの出力x1に移動体12の質量M1を乗じて求める方法がある。M1は実測してもよいし、前述と同じく実験によりx1とfの比例係数として計測してもよい。また、実測によらない場合には、Kの値はCAE解析により計算することも可能である。また、前述の通り、ω=K/M21/2は、系の固有角振動数の値に該当するので、停止後の残留振動の周波数測定を実測することやCAE解析によって求めることができる。しかしながら、停止後の残留振動の周波数測定を実測する場合、構造体の振動を考慮しない従来の制御系での測定では、前述のωの値は低く計測される。構造体2の変位を補償すると、理想的には、移動体はまったく振動しない状態となる。すなわち、振動残留時で考えると、構造体2の変位を補償すると移動体は動かず、構造体2だけが残留振動している状態になる。この場合の構造体2の振動を考えると、移動体の質量が構造体2の振動に関与していない分だけ固有角振動数ωは高くなる。なぜなら、前述のように、移動体の質量をM1,構造体2の振動に対する等価質量をM2とするとω=K/M21/2において、構造体の振動を考慮しない従来の制御系においては、M2の部分がM=M1M2に置き換わるため、ω=K/M1/2として計測され、ωの値は小さく計測されるからである。したがって、停止後の残留振動を用いて、補償に用いる構造体2の変位xを正しく導出するためには、前述の残留振動実測によって求められたωの代わりに、上記の分だけ高くなった共振周波数ωを用いる必要がある。本発明を工作機械に適用する場合において、ワークも構造体2に支持されている場合移動体に工具が装着され、適宜、構造体にワークが取り付けられる場合、ワークも構造体2の下部と一緒に振動しているので、移動体の位置に加えるべき補償量は、数式8による変位xの値より小さくてよい例えば、補償量は変位xの30程度でもよい。補償量を変位xの何程度とすべきかは、残留振動時のワークの振幅と構造体2の振幅の比とを計測する事により最適化することができる。以上のように、本実施形態においては、変位算出部28導出部は、前記変位検出器11を用いず、前記移動体に加えられた力または前記移動体の加速度の少なくとも一方と前記構造体の加速度とを測定し、この測定結果と構造体2の運動方程式とに基づいて、構造体2の変位を計算し、この変位によって移動体12の位置誤差を補償するものである。具体的補償方法としては、前記実施形態1と同様であり、変位算出部28からのデータを基に、当該変位を打ち消すような修正データを前記制御装置20の制御信号に加算してもよいし図2参照、変位算出部28からのデータを基に、当該変位を打ち消すような修正データを、位置生成部23にフィードバックするとともに、前記位置生成部23で生成される指令値に加算するようにして位置補償を行ってもよい図3参照。以上、本発明の第一および第二の実施形態について説明したが、本発明の採り得る具体的な態様は、何らこれに限定されるものではない。"