"ダイ本体と、前記ダイ本体に形成されたマニホールドと、前記ダイ本体に形成され前記マニホールドと連通するスロットと、前記スロットの先端で前記ダイ本体に形成されたリップ面と、を有する連続走行するウエブに塗布液を供給するダイコータと、前記ダイコータを支持する架台と、前記ダイコータに対しウエブ搬送方向の上流位置に配置された減圧チャンバーと、前記ダイコータから前記ウエブに塗布液を供給しない非定常状態において、前記ダイコータの前記スロットから吐出する塗布液又は溶剤を前記架台及び前記減圧チャンバーに接触させずに回収するガイド板を有する樋と、前記樋に接続され前記塗布液又は前記溶剤を前記減圧チャンバー外に排出する排液管と、を備える塗布装置。前記ガイド板を有する樋が一体的に形成される請求項1記載の塗布装置。平均剛性を、{厚み×ヤング率×熱膨張係数}の幅方向の平均値と定義するとき、前記樋が、20000N/mK以下の平均剛性を有する部材で構成される請求項2記載の塗布装置。前記樋は、前記架台、及び前記減圧チャンバーから0.5mm以上の間隔をおいて配置される請求項2又は3記載の塗布装置。前記樋は、前記ウエブの幅方向に沿って前記ダイ本体に取り付けられ、前記樋の取付部と前記樋の最下端部との距離が平均で80mm以上である請求項2から4のいずれか記載の塗布装置。前記樋と前記ダイ本体とが弾性体を介して取り付けられる請求項5記載の塗布装置。前記樋の上端において、前記樋と前記ダイ本体との隙間を覆うコーキング材を備える請求項2から6のいずれか記載の塗布装置。隣接する前記取付部は30mm以上の間隔をおいて配置される請求項5又は6記載の塗布装置。前記スロットから吐出する前記塗布液又は前記溶剤を前記樋に導くため、前記ダイ本体の前記樋の取付面に形成された溝、又は凸部を有する請求項2から8のいずれか記載の塗布装置。前記ガイド板を有する樋が、ガイド板部材と樋部材で構成される請求項1記載の塗布装置。平均剛性を、{厚み×ヤング率×熱膨張係数}の幅方向の平均値と定義するとき、前記樋部材が、20000N/mK以下の平均剛性を有する部材で構成される請求項10記載の塗布装置。前記樋部材は、前記架台、及び前記減圧チャンバーから0.5mm以上の間隔をおいて配置される請求項10又は11記載の塗布装置。前記ガイド板部材は前記ウエブの幅方向に沿って前記ダイ本体に取り付けられ、前記樋部材は前記ウエブの幅方向に沿って前記減圧チャンバーもしくは前記架台に取り付けられ、前記樋部材の取付部と前記樋部材の最下端部との距離が平均で80mm以上である請求項10から12のいずれか記載の塗布装置。前記ガイド板部材と前記ダイ本体とが弾性体を介して取り付けられる請求項13記載の塗布装置。前記樋の上端において、前記ガイド板部材と前記ダイ本体との隙間を覆うコーキング材を備える請求項10から14のいずれか記載の塗布装置。前記樋部材の隣接する前記取付部は30mm以上の間隔をおいて配置され、前記ガイド板部材の隣接する取付部は30mm以上の間隔をおいて配置される請求項13から15のいずれか記載の塗布装置。前記ガイド板部材と前記樋部材とは、物理的に分離又は一箇所のみで結合される請求項10から16のいずれか記載の塗布装置。前記スロットから吐出する前記塗布液又は前記溶剤を前記ガイド板部材に導くため、前記ダイ本体の前記樋の取付面に形成された溝、又は凸部を有する請求項10から17のいずれか記載の塗布装置。前記ガイド板部材の最下端が、前記樋部材の前記取付部より下側に位置する請求項10から18のいずれか記載の塗布装置。前記減圧チャンバーが2枚の円弧状のサイドプレートと、前記2枚のサイドプレートに接続されたバックプレートを有し、前記サイドプレートと前記ダイコータの前記リップ面との距離を0.1mm以上とする請求項1から19のいずれか記載の塗布装置。連続走行するウエブに塗布液を供給し塗膜付きフィルムを製造する方法であって、請求項1から20のいずれか記載の塗布装置を準備する工程と前記ダイコータから溶剤を吐出させながら、塗布時における前記塗布装置と前記ウエブとの所定クリアランスより大きなクリアランスとなる位置で前記塗布装置を待機させる工程と、前記溶剤を前記塗布液に切り替えて、前記塗布液と吐出した状態で前記塗布装置を所定クリアランスとなる位置に移動し、前記ウエブと前記ダイコータとの間にビードを形成し、前記ウエブに塗布液を供給し、塗膜を形成する工程と、を少なくとも備える塗膜付きフィルムの製造方法。前記ウエブの接合部が塗布位置を通過する前に、前記所定クリアランスより大きくなるよう前記塗布装置を移動する工程と、前記接合部が塗布位置を通過した後、前記所定クリアランスとなるよう前記塗布装置を移動する工程とをさらに備える請求項21記載の塗膜付きフィルムの製造方法。近年、所望の機能を発現させるため、より薄い湿潤膜厚で、しかも高精度の塗膜を形成する技術が要求されている。薄膜で高精度の塗膜を形成するためには、ダイコータとウエブとのクリアランスを小さくし、クリアランスを高精度に維持する必要がある。しかしながら、そのクリアランスを高精度に位置決めしても、設定されたクリアランスの精度を維持できないという問題があった。例えば、ダイコータによる塗布における非定常状態では、ダイコータから吐出した液溶剤、及び塗布液は、減圧チャンバーに流れ込む。減圧チャンバー内の液は外に排出されるが、一部の液は減圧チャンバー内で蒸発する。蒸発潜熱により減圧チャンバーが熱変形し、その変形によりダイコータが変形する場合があった。一方、定常状態では、ダイコータからの吐出された塗布液はウエブに供給され、減圧チャンバーには流れない。減圧チャンバーの熱変形が徐々に取り除かれ、ダイコータの変形も取り除かれ、ダイコータは元の形状に戻る。減圧チャンバーだけでなく、非定常状態において、ダイコータを支える架台に液が付着する場合にも同様の問題が発生する。つまり、塗布装置を構成する部材に液が付着すると、上述の熱変形が繰り返し行われるので、ダイコータの先端とウエブとのクリアランスが変化し、高精度の塗布が困難であった。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、塗布液又は溶剤の蒸発潜熱の影響のためにダイコータの先端とウエブとのクリアランスが変化するのを抑制する塗布装置、及び塗膜付きフィルムの製造方法を提供することを目的とする。本発明の一態様によれば、塗布装置は、ダイ本体と、前記ダイ本体に形成されたマニホールドと、前記ダイ本体に形成され前記マニホールドと連通するスロットと、前記スロットの先端で前記ダイ本体に形成されたリップ面と、を有する連続走行するウエブに塗布液を供給するダイコータと、前記ダイコータを支持する架台と、前記ダイコータに対しウエブ搬送方向の上流位置に配置された減圧チャンバーと、前記ダイコータから前記ウエブに塗布液を供給しない非定常状態において、前記ダイコータの前記スロットから吐出する塗布液又は溶剤を前記架台及び前記減圧チャンバーに接触させずに回収するガイド板を有する樋と、前記樋に接続され前記塗布液又は前記溶剤を前記減圧チャンバー外に排出する排液管と、を備える。好ましくは、前記ガイド板を有する樋が一体的に形成される。好ましくは、平均剛性を、{厚み×ヤング率×熱膨張係数}の幅方向の平均値と定義するとき、樋が、20000N/mK以下の平均剛性を有する部材で構成される。好ましくは、樋は、架台、及び減圧チャンバーから0.5mm以上の間隔をおいて配置される。好ましくは、樋は、ウエブの幅方向に沿ってダイ本体に取り付けられ、前記樋の取付部と前記樋の最下端部との距離が平均で80mm以上である。好ましくは、樋とダイ本体とが弾性体を介して取り付けられる。好ましくは、樋の上端において、樋と前記ダイ本体との隙間を覆うコーキング材を備える。好ましくは、隣接する前記取付部は30mm以上の間隔をおいて配置される。好ましくは、スロットから吐出する塗布液又は溶剤を樋に導くため、ダイ本体の樋の取付面に形成された溝、又は凸部を有する。好ましくは、ガイド板を有する樋が、ガイド板部材と樋部材で構成される。好ましくは、樋部材が、20000N/mK以下の平均剛性を有する部材で構成される。好ましくは、樋部材は、架台、及び減圧チャンバーから0.5mm以上の間隔をおいて配置される。好ましくは、ガイド板部材はウエブの幅方向に沿ってダイ本体に取り付けられ、樋部材はウエブの幅方向に沿って減圧チャンバーに取り付けられ、前記樋部材の取付部と前記樋部材の最下端部との距離が平均で80mm以上である。好ましくは、ガイド板部材とダイ本体とが弾性体を介して取り付けられる。好ましくは、樋の上端において、ガイド板部材とダイ本体との隙間を覆うコーキング材を備える。好ましくは、樋部材の隣接する取付部は30mm以上の間隔をおいて配置され、ガイド板部材の隣接する取付部は30mm以上の間隔をおいて配置される。好ましくは、ガイド板部材と樋部材とは、物理的に分離又は一箇所のみで結合される。好ましくは、スロットから吐出する塗布液又は溶剤を前記ガイド板部材に導くため、ダイ本体の樋の取付面に形成された溝、又は凸部を有する。好ましくは、ガイド板部材の最下端が、樋部材の取付部より下側に位置する。好ましくは、前記減圧チャンバーが2枚の円弧状のサイドプレートと、前記2枚のサイドプレートに接続されたバックプレートを有し、前記サイドプレートと前記ダイコータの前記リップ面との距離を0.1mm以上とする。本発明の他の態様によれば、連続走行するウエブに塗布液を供給し塗膜付きフィルムの製造方法は、塗布装置を準備する工程と、ダイコータから溶剤を吐出させながら、塗布時における前記塗布装置と前記ウエブとの所定クリアランスより大きなクリアランスとなる位置で前記塗布装置を待機させる工程と、前記溶剤を前記塗布液に切り替えて、前記塗布液と吐出した状態で前記塗布装置を所定クリアランスとなる位置に移動し、前記ウエブと前記ダイコータとの間にビードを形成し、前記ウエブに塗布液を供給し、塗膜を形成する工程と、を少なくとも備える。好ましくは、前記ウエブの接合部が塗布位置を通過する前に、前記所定クリアランスより大きくなるよう前記塗布装置を移動する工程と、前記接合部が塗布位置を通過した後、前記所定クリアランスとなるよう前記塗布装置を移動する工程とをさらに備える。本発明によれば、塗布液又は溶剤の蒸発潜熱に起因するダイコータの先端とウエブとのクリアランスの変化を抑制することができる。以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明されるが、本発明の範囲を逸脱することなく、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。第1の実施形態図1は、塗布装置の断面図を示す。塗布装置10は、エクストルージョン型のダイコータ12と、ダイコータ12を支持する架台30と、ダイコータ12に取り付けられたガイド板40aを有する樋40と、ダイコータ12に隣接して設けられる減圧チャンバー50と、を備える。塗布装置10は、連続走行するウエブに塗布液を供給し、ウエブ上に塗膜を形成する。位置に関して、ある基準点からウエブが搬送される方向を下流に向かって、下流側と称し、ある基準点からウエブが搬送される方向と逆方向を上流に向かって上流側と称する。また、ウエブの搬送方向と垂直を成すウエブの方向をウエブの幅方向と称する。ダイコータ12は、上流側ダイブロック20a、及び下流側ダイブロック20bの二つのブロックによって構成されるダイ本体20を有する。ダイコータ12は、本体の内部に設けられたマニホールド14と、マニホールド14と連通するスロット16とを有する。スロット16の先端側にリップ面18が形成される。エクストルージョン型のダイコータ12では、スロット16から吐出された塗布液とウエブ間にビードを形成し、塗布液をウエブに供給する。マニホールド14、及びスロット16は、キャビティが形成された上流側ダイブロック20aと下流側ダイブロック20bを対向配置することにより形成される。このように、ダイコータ12を多ブロック構造とすることで、ダイコータ12の加工精度を高めることができる。上流側ダイブロック20a、及び下流側ダイブロック20bは、高剛性のSUS等の材料で構成される。これらの材料を使用するのは耐腐食性が高いことや加工精度が高い理由からである。ダイ本体20を上流側ダイブロック20aと下流側ダイブロック20bとで構成する例を示したが、ダイ本体20を一体的に形成することもできる。供給された塗布液を塗布幅方向ウエブ幅方向へ広げるため、ダイコータ12のマニホールド14には塗布液が溜められる。本実施の形態のマニホールド14は断面が例えば円形、楕円形、半円形、略半円形、あるいは台形、略台形の形状を有する。マニホールド14はウエブ幅方向に沿って略同一の断面形状をもつ空洞部を構成する。塗布液の種類、ウエブに形成する塗膜の厚さ等の条件に応じて、リップ面18の形状が適宜選択される。リップ面18の形状や大きさ等を上流側ダイブロック20aと下流側ダイブロック20bとで異ならせることもできる。ダイコータ12の変形の原因となる温度変化を防止するため、上流側ダイブロック20aと下流側ダイブロック20bとの内部に温調流路22が設けられる。温調流路22に保温液を循環させることにより、ダイコータ12の温度制御が行われる。温調流路22は、ダイコータ12の幅方向に延びる円筒状の開口により構成される。保温液として、例えば、水、オイル等を用いることができる。ダイコータ12の上流側に減圧チャンバー50が設置される。ウエブとダイコータ12との間に架設される塗布液のビードの状態を安定化させるため、減圧チャンバー50はビードの近傍の圧力状態を理想的な状態に保つ。上流側ダイブロック20aのリップ面18の近傍にガイド板40aを有する樋40が固定される。樋40は、ガイド板40aの部分で弾性体46を介してビス60により上流側ダイブロック20aに固定される。本実施の形態では、ビス60の頭部が樋40のガイド板40aから実質的に突出しない。ビス60はニューライトやPEEKやPPSなどの耐溶剤性樹脂、SUS304やSUS316などの耐食性金属等の材料で構成されることが好ましい。弾性体46として、例えば、ニトリルゴムNBR、カルレッツフッ素系ゴム等が使用される。弾性体46を介して樋40を固定することで、弾性体46がシール部材として機能し、溶剤が樋40と上流側ダイブロック20aとの間に入り込まないようにできる。さらに、ダイコータ12から吐出した塗布液、又は溶剤が樋40と上流側ダイブロック20aとの間に入り込まないように、樋40の上端にはコーキング材52が設けられる。コーキング材52としては、パーフロンペイント二液混合性などの耐溶剤性コーキング剤、等を使用することができる。樋40は、上流側ダイブロック20aを越えて、さらに下側の減圧チャンバー50内に延びる。樋40の下端部は、U字形状で構成され、樋40を全体で見ると略J字形状で構成される。樋40は、ガイド板40aに沿って流れる塗布液、又は溶剤を回収する。回収した塗布液、又は溶剤を外部に排出するため、排液管48が樋40に接続される。樋40は、ダイコータ12からウエブに塗布液を供給しない非定常状態において、ダイコータ12のスロット16から吐出する塗布液又は溶剤を、架台30及び減圧チャンバー50に接触させずに回収する。非定常状態とは、ウエブに塗布液を供給する定時状態以外の状態で、ダイコータ12から塗布液又は溶剤を吐出させている状態をいう。非定常状態としては、1ダイコータ12のマニホールド14に気泡が入るのを避けるため、ダイコータ12をウエブから離した状態非定常状態で、ダイコータ12から溶剤を流しっぱなしにする状態、2ウエブ同士を接続する接合部がダイコータ12に近づいたときに、塗布液を吐出しながらダイコータをウエブから退避させた状態等がある。架台30及び減圧チャンバー50に塗布液又は溶剤が接触しないので、架台30及び減圧チャンバー50は塗布液又は溶剤の蒸発潜熱の影響を受けない。したがって、架台30及び減圧チャンバー50は熱変形せず、ダイコータ12が変形するのを抑制することができる。樋40は蒸発潜熱により熱変形する。しかしながら、架台30及び減圧チャンバー50と樋40とは物理的に接続していないので、樋40の熱変形は架台30及び減圧チャンバー50には伝わらない。樋40とダイコータ12とが物理的に接続されている。ダイコータ12に温調流路22が形成されており、実質的に樋40も温度制御される。樋40の熱変形を抑制することができる。樋40の最下端と樋40のビス60取付部とが80mm以上の間隔をあけることが好ましい。樋40の最下端と樋40の取付部との距離をあけることで、樋40の剛性が低くなる。たとえ、樋40が熱変形しても、ダイコータ12が変形するのをより抑制することができる。また、樋40は、架台30、及び減圧チャンバー50の内壁と0.5mm以上の間隔をあけて配置されることが好ましい。0.5mm以上の間隔をあけるのは、樋40と架台30及び減圧チャンバー50との熱伝達の影響を小さくするためであり、組立の作業性を容易にするためである。さらに、樋40が、20000N/mK以下の平均剛性を有する部材で構成されることが好ましい。樋40の部材として、SUS304やSUS316などの耐食性金属、ニューライトやPEEKやPPSなどの耐溶剤性樹脂等を使用することができる。ここで、平均剛性とは、厚み×ヤング率×熱膨張係数の幅方向の平均値である。この値を、FEM有限要素法シミュレーションを使用して、ダイコータ全体の熱変形解析を行い求めた。図7Aはダイコータ先端のリップの変形量と樋の厚みとの関係を示し、図7Bはダイコータ先端のリップの変形量と樋の熱膨張係数との関係を示し、図7Cはダイコータ先端のリップの変形量と樋の熱膨張係数との関係を示す。図7A~Cに示すように、樋の厚み、樋のヤング率、及び樋の熱熱膨張係数はダイコータ先端のリップの変形量と比例関係にある。したがって、樋の厚み、ヤング率、及び熱熱膨張係数を所定の関係とすることで、ダイコータ先端のリップの変形量を抑制することを見出した。発明者は、ダイコータ先端のリップの変形量に検討したところ、厚み×ヤング率×熱膨張係数を20000N/mK以下の平均剛性とすることで、ダイコータ先端のリップの変形量を20μm以下に抑制することができることを見出した。図2は、塗布装置10の斜視図を示す。減圧チャンバー50は図示していない。樋40は、ダイコータ12の幅方向に亘り、上流側ダイブロック20aにビス60により取り付けられる。樋40の幅方向の長さは、ダイコータ12の幅方向の長さより短い。ダイコータ12から吐出する塗布液又は溶剤を樋40に導くため、上流側ダイブロック20aの樋40の取付面に樋40に向けて案内部材54を設けることが好ましい。案内部材54は溝又は0.1mm以上の幅、及び0.1mm以上の高さの凸部のいずれでもよい。隣接するビス60同士の間隔を30mm以上とすることが好ましい。隣接するビス60同士の間隔をあけることで、樋40の熱変形に起因するダイコータ12の変形をより抑制することができる。第2の実施形態図3は、塗布装置の断面図を示す。塗布装置10は、エクストルージョン型のダイコータ12と、ダイコータ12を支持する架台30と、ダイコータ12に取り付けられた樋40と、ダイコータ12に隣接して設けられ減圧チャンバー50と、を備える。本実施の形態では、第1の実施形態と異なり、樋40が、ガイド板部材42と樋部材44とにより構成される。ガイド板部材42と樋部材44とは物理的に結合しない、又は一箇所のみで結合される。ガイド板部材42と樋部材44とは物理的に結合しない、又は一箇所のみで結合されるので、樋40全体の剛性は高くない。たとえ、樋40が熱変形しても、ダイコータ12が変形するのをより抑制することができる。なお、第1の実施形態と実質的に同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する場合がある。ガイド板部材42が、リップ面18の近傍において、ビス60により上流側ダイブロック20aに弾性体46を介して固定される。本実施の形態では、ビス60の頭部がガイド板部材42から実質的に突出しない。ダイコータ12から吐出した塗布液、又は溶剤がガイド板部材42上流側ダイブロック20aとの間に入り込まないように、ガイド板部材42の上端にはコーキング材52が設けられる。ガイド板部材42は、上流側ダイブロック20aを越えて、さらに下側の減圧チャンバー50内に伸びる。ガイド板部材42の下端には、樋部材44が設置される。樋部材44は、ガイド板部材42に沿って流れる塗布液又は溶剤を回収する。樋部材44は塗布液又は溶剤を回収するため略U字形状、又は略J字形状で構成される。回収した塗布液、又は溶剤を外部に排出するため、排液管48が樋部材44に接続される。樋部材44は、スペーサ64を介してビス60により減圧チャンバー50内に固定される。スペーサ64は、SUS304やSUS316などの耐食性金属、ニューライトやPEEKやPPSなどの耐溶剤性樹脂等の部材で構成されることが好ましい。ガイド板部材42と樋部材44とにより構成される樋40は、ダイコータ12からウエブに塗布液を供給しない非定常状態において、ダイコータ12のスロット16から吐出する塗布液又は溶剤を、架台30及び減圧チャンバー50に接触させずに回収する。架台30及び減圧チャンバー50に塗布液又は溶剤が接触しないので、架台30及び減圧チャンバー50は塗布液又は溶剤の蒸発潜熱の影響を受けない。したがって、架台30及び減圧チャンバー50は熱変形せず、ダイコータ12が変形するのを抑制することができる。ガイド板部材42と樋部材44とは蒸発潜熱により熱変形する。ガイド板部材42とダイコータ12とが物理的に接続されている。ダイコータ12に温調流路22が形成されており、実質的にガイド板部材42も温度制御される。ガイド板部材42の熱変形を抑制することができる。樋部材44と減圧チャンバー50とが物理的に接続されている。しかしながら、樋部材44は比較的剛性の低い材料で構成される。熱変形してもその力は弱く実質的には減圧チャンバー50を変形させない。樋部材44の最下端と樋部材44のビス60取付部とが80mm以上の間隔をあけていることが好ましい。樋部材44の最下端と樋部材44の取付部との距離をあけると、樋部材44の剛性が低くなる。したがって、たとえ、樋40が熱変形しても、ダイコータ12が変形するのをより抑制することができる。また、樋部材44は、減圧チャンバー50の内壁と0.5mm以上の間隔をあけて配置されることが好ましい。0.5mm以上の間隔をあけるのは、樋部材44と減圧チャンバー50との熱伝達の影響を小さくするためであり、組立の作業性を容易にするためである。さらに、ガイド板部材42及び樋部材44が、20000N/mK以下の平均剛性を有する部材で構成されることが好ましい。ガイド板部材42及び樋部材44の部材として、SUS304やSUS316などの耐食性金属、ニューライトやPEEKやPPSなどの耐溶剤性樹脂等を使用することができる。ガイド板部材42及び樋部材44を20000N/mK以下の平均剛性とすることにより、ダイコータ先端のリップの変形量を20μm以下に抑制することができる。ガイド板部材42を固定する隣接するビス60同士の間隔を30mm以上とすることが好ましい。隣接するビス60同士の間隔をあけることで、ダイコータ12が、ガイド板部材42の熱変形の影響を受けて変形するのをより抑制することができる。同様に、樋部材44を固定する隣接するビス60同士の間隔を30mm以上とすることが好ましい。隣接するビス60同士の間隔をあけると、減圧チャンバー50が樋部材44の熱変形の影響を受けて変形するのを抑制でき、結果として、減圧チャンバー50の変形に起因するダイコータ12の変形をより抑制することができる。ガイド板部材42の最下端は、樋部材44を固定する隣接するビス60より下方であることが好ましい。ガイド板部材42を流れ落ちる塗布液又は溶剤が、樋部材44と減圧チャンバー50との間に入り込まないようにするためである。第1の実施形態と同様に、ダイコータ12から吐出する塗布液又は溶剤をガイド板部材42に導くため、上流側ダイブロック20aのガイド板部材42の取付面にガイド板部材42に向けて案内部材54を設けることが好ましい。案内部材54は溝又は0.1mm以上の高さの凸部の何れでもよい図2。次に、第2の実施形態の塗布装置10を利用した塗膜付きフィルムの製造方法について、図4を参照して説明する。塗布装置10は架台30に設置される。架台30は、図示しない移動手段により、ウエブWに近づいたり、ウエブWから遠ざかったり、いわゆる前後に移動する。移動手段により、ウエブWと塗布装置10とのクリアランスが調整される。塗布装置10により塗布を行う場合、塗布液の供給が安定するように、塗布前の準備作業が行われる。塗布前の準備作業、いわゆる非定常状態では、ウエブWと塗布装置10とのクリアランスが塗布時におけるクリアランスより広くなるよう、塗布装置10はウエブWに対し設置される。非定常状態では、マニホールド14内の気泡を排出するため、ダイコータ12から溶剤が吐出される。リップ面18からの溶剤は、上流側ダイブロック20aを流れ、ガイド板部材42に達する。溶剤はガイド板部材42に沿って下端部に流れる。溶剤は樋部材44により回収され、排液管48を介して排出される図4A。塗布前の準備が完了した後、バックアップローラ32に支持されたウエブWと所定のクリアランス、例えば0.03~0.15mmとなるまで、塗布装置10が前方に移動させられる。移動は相対的な移動を意味し、ウエブWが塗布装置10に近づく場合であってもよい。ウエブWは20m/分以上の速度で搬送される。溶剤から塗布液に切り替えられ、ダイコータ12は、連続走行するウエブWに、塗布液をビード24aにして塗布する。これにより、ウエブW上に10μm以下の湿潤膜厚Tを有する塗膜24bが形成される図4B。塗布準備における非定常状態について説明したが、接合部の通過に伴う非定常状態にも同様に適用できる。次に、図5を参照して、ダイコータと減圧チャンバーのサイドプレートとの位置関係を説明する。減圧チャンバー50は、2枚のサイドプレート50aと、2枚のサイドプレート50aに接続されるバックプレート不図示とを備える。サイドプレート50aはダイコータ12の端部とほぼ接触するように配置される。バックプレートはダイコータ12に対向する位置に配置される。サイドプレート50aのスロット16に対応する面に窪み56が形成される。例えば、サイドプレート50aはt=10mmの厚さを有し、窪み56はd=0.1mm程度の深さを有する。窪み56の深さはサイドプレート50aの厚さより小さいので、窪み56はサイドプレート50aを貫通しない。したがって、サイドプレート50aにより減圧チャンバー内の圧力が維持される。窪み56により、スロット16とサイドプレート50aと間に所定の距離が形成される。スロット16から塗布液が流出しとしても、サイドプレート50aに塗布液が到達することがない。つまり、塗布液が減圧チャンバー50と接触しないので、減圧チャンバー50が熱変形するのを抑制することができる。ウエブWに塗布される塗布液としては、光学補償フィルム用塗布液、反射防止フィルム用塗布液、視野角拡大用塗布液のように低粘度薄膜塗布が必要な有機溶剤塗布液を好適に使用できる。例えば、メチルエチルケトン等が使用される。ウエブWとしては公知の各種ウエブを用いることができる。一般的にはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン-2,6-ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等の公知の各種プラスチックフィルム、紙、紙にポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が2~10のα-ポリオレフィン類を塗布、又はラミネートした各種積層紙、アルミニウム、銅、スズ等の金属箔等、帯状基材の表面に予備的な加工層を形成させたもの、あるいはこれらを積層した各種複合材料が含まれる。図6は、塗膜付きフィルムである光学フィルムの製造ラインの一例を示す図である。図中の矢印はウエブWの走行方向を示す。なお、ウエブWを搬送する複数のパスローラ68については、代表的な位置に配置されるパスローラ68のみが図示されている。本実施の形態の製造ライン100では、上流側から下流側に向かって、送り出し機66、除塵機74、バックアップローラ32、塗布装置10、乾燥装置76、加熱装置78、紫外線照射装置80、及び巻き取り機82が順次設置されている。塗布装置10は第1の実施形態に係る塗布装置、第2の実施形態に係る塗布装置のいずれでもよい。送り出し機66は、ポリマー層が予め形成された透明な支持体であるウエブWを、下流側へ順次送り出す。除塵機74は、ウエブWに付着する塵等の異物を除去する。バックアップローラ32によって搬送、支持されるウエブWに向かってダイコータ12から塗布液が吐出され、ウエブW上に塗膜が形成される。ダイコータ12の上流側に減圧チャンバー50が配置される。減圧チャンバー50は2枚のサイドプレートとバックプレートと有する。減圧チャンバー50で減圧することにより、ビードを精度よく形成できる。乾燥装置76、及び加熱装置78は、ウエブW上に形成された塗膜を乾燥させるゾーンを形成する。乾燥装置76は、塗膜に含まれる溶媒を蒸発させる。加熱装置78は、必要により加熱して溶剤を除去したり、膜硬化させたりするのに用いられることもある。なお、乾燥装置76、及び加熱装置78による溶媒の乾燥は、カバーで覆った状態で行われることが好ましい。乾燥風として、整流した風、均質な風、等を用いることができる。蒸発した溶媒を、塗膜面に対向して設置された冷却凝縮板により、凝縮させて取り除いてもよい。紫外線照射装置80は、紫外線ランプによって塗膜に紫外線を照射する。紫外線により塗膜のモノマー等を架橋させて、所望のポリマーを形成する。巻き取り機82は、ポリマー化された塗膜が積層されているウエブWを、ロール状に巻き取って回収する。なお、塗膜の成分に応じて、塗膜を熱により硬化させるための熱処理ゾーンをさらに設けることもでき、所望の塗膜の硬化、及び架橋を行ってもよい。また、製造ライン100と別の工程で、ウエブW上の塗膜に対して熱処理等の他の処理を施してもよい。各機器類の間にはパスローラ68が複数設けられる。ウエブWは、これらのパスローラ68によって上流側から下流側へ送られる。パスローラ68の位置、及び数、隣接するパスローラ68の回転中心の相互間距離、等は必要に応じて適宜調整される。また、バックアップローラ32、及びパスローラ68が、ウエブWを搬送するガイドローラとして機能する。また、必要に応じて他の機器類を製造ライン100に導入することもできる。例えば、光学補償フィルムでは、塗膜の液晶部の配向を調整するためのラビング処理装置を除塵機74の前後に設置することもできる。"