"光源と、前記光源により照射され測位方向の細周期パターンおよび粗周期パターンを1つのトラック内に備えるスケールと、前記細周期パターンと前記粗周期パターンに共通であって前記光源から出た前記スケールからの透過光または反射光を検出する受光素子アレイと、前記受光素子アレイからの位置検出信号を生成するための第1の初段増幅手段を含む信号処理手段と、を有し、前記細周期パターンを検出するために前記受光素子アレイを測位方向に第1の周期で構成する高分解能検出モードと、前記粗周期パターンを検出するために前記受光素子アレイを測位方向に第2の周期で構成する低分解能検出モードと、を備える光学式エンコーダにおいて、前記光源の光量変動を制御するために前記第1の初段増幅手段からの出力信号を用いる制御手段を有し、前記制御手段は、前記高分解能検出モードおよび前記低分解能検出モードの少なくとも一方において位置検出に未使用の受光素子がある場合に前記未使用の受光素子の出力を入力する第2の初段増幅手段を備え、前記未使用の受光素子がある場合に前記第1の初段増幅手段と前記第2の初段増幅手段からの出力信号の和信号を基に前記光源の光量変動を制御することを特徴とする光学式エンコーダ。前記第1の初段増幅手段は、前記受光素子アレイからの4相出力に対応して4個の初段増幅手段より構成されることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。前記高分解能検出モードまたは前記低分解能検出モードにおいて前記未使用の受光素子が存在し、前記未使用の受光素子の各出力が前記第2の初段増幅手段に入力することを特徴とする請求項1または2に記載の光学式エンコーダ。前記高分解能検出モードおよび前記低分解能検出モードにおいて前記未使用の受光素子が存在し、前記未使用の受光素子の各出力が前記第2の初段増幅手段に入力することを特徴とする請求項1または2に記載の光学式エンコーダ。上記従来例に加えて、本願の発明者による研究によれば、複数の変調周期を含むスケールを介してセンサ面上で受光される像には、以下の不要な空間周波数成分が存在することが分かってきた。即ち、回折光同士の干渉によって発生する不要な空間周波数成分や、スケール透過率あるいは反射率分布に含まれる不要な空間周波数成分である。この影響によって、理想的な正弦波からの誤差が生じ、その結果、逆正接演算によって位置信号に変換する際に、位置検出誤差になるという問題が顕在化した。高精度な位置検出を行うためには、センサ面上で受光される像の、回折光同士の干渉によって発生する不要な空間周波数成分や、スケール透過率または反射率分布に含まれる不要な空間周波数成分を低減し、検出波形の誤差成分を低減する必要がある。この問題を解決する方法の一例として、全体概略構成が図2に示されるような光学式エンコーダが考えられている。即ち、例えば図3に示されるようなスケールと、図6乃至図8に示されるような受光面配置とセンサの信号処理回路を用いて、検出分解能の切り替えを行って信号を取得する方法である。この方法に関して、以下に本発明に対する比較例として説明する。比較例1トラック内に細周期パターンと粗周期パターンを備えたスケール例えば図3に示されるスケール2を用い、共通のセンサであるフォトダイオードアレイにて細周期パターン検出と粗周期パターン検出とを検出分解能を切り替えて行う。受光素子アレイであるフォトダイオードアレイ209の受光面配置の一例を図6、図7に示し、エンコーダの出力信号に関して説明する。図6及び図7中、フォトダイオードアレイ209にはフォトダイオードがX軸方向に50μmピッチで28個並んでいる。一つのフォトダイオードはX方向幅X_pdが50μmであり、Y方向幅Y_pdは800μmである。フォトダイオードアレイ209の全幅X_totalは1400μmである。なお、ここでは、Y方向幅Y_pdは800μmの場合について説明を行うが、これに限るものではなく、Y_pdがスケールトラック8のY方向幅Y0の2×n倍nは自然数であれば構わない。それぞれのフォトダイオードからの出力は、図6、図7に示されるスイッチ210と図示しないスイッチ回路を介して切り替えられる。それぞれのフォトダイオードからの出力は、以下に述べる4相正弦波出力生成のために選択的に後段の4つの初段増幅器に接続されている。図8中、4つの初段増幅器24、25、26、27はIV変換アンプであり、その出力は、SA、SB、-SA-、-SB-の4相正弦波出力のそれぞれに対応する。検出分解能を切り替えるためのスイッチ回路は、スイッチ210への外部からの入力によって接続を切り替えることができる。入力がハイレベルの場合は図6に示すようにスケールパターン周期P=100μm反射像周期200μmの検出ピッチとなる。また、入力がローレベルの場合は図7に示すようにスケールパターン周期X0=700μm反射像周期1400μmの検出ピッチとなる。このように、検出分解能が切り替え可能な構成となっている。なおスケール位置が光源とフォトダイオードアレイの中間位置にあることから、フォトダイオードアレイ上の反射像周期はスケールパターン周期の2倍となっている。ここで、図6に示すように、100μmの検出ピッチにおいては、信号に関わるフォトダイオードの全幅が1400μmとなり、スケールパターン700μm周期=X0の変調成分の反射像周期と一致する。また、図7に示すように、700μmの検出ピッチにおいては、未使用のフォトダイオードを残しつつ、それぞれ4つの隣接するフォトダイオードが電気的に接続される。これらの技術的意義については、後に詳述する。4相正弦波の相対位相はそれぞれの検出ピッチに対し、SAを基準とすると、SBは約90度SA-は約180度SB-は約270度の関係にある。これらの出力に対して、信号処理回路101で2相正弦波状信号SA、SBを生成し、さらにこれらの逆正接演算を行うことで位相信号を得る。SA=SA-SA-SB=SB-SB-比較例におけるAPCここで、上記分解能切り替え構成を備える比較例において、光源光量を制御するAPCオートパワーコントロールを一般的に考えると、図8に示すセンサの信号処理回路部を備えることとなる。即ち、4相正弦波出力形成のための4つの初段増幅器24、25、26、27をAPC制御信号用にも兼用させる構成となる。図8に示される信号処理回路において、位置検出用に4相正弦波出力SA、SB、SA-、SB-がA相用差動アンプ29、B相用差動アンプ30を介して演算され、2相正弦波信号SA、SBが得られる。この時、分解能切り替えにより4相正弦波出力生成において未使用となるフォトダイオードは、GNDグラウンドに接続されている図8。光源光量の制御を行うAPCは、基本的に4つのIV変換アンプ24、25、26、27の出力を用いて行う。このような構成の場合、検出分解能の切り替えにより4相正弦波出力に使用されるフォトダイオードの数が異なるため、APCに用いるフォトダイオードの数も異なることになり、検出分解能の切り替えによって光源光量が変動する。そのため、以下のような問題が存在する。まず、APCにより検出分解能の切り替え後に光源光量が減少する場合には、APC応答時間までの間、過渡的に2相正弦波A相、B相の振幅が所望の値よりも大きくなり、信号振幅が飽和することが懸念される。また、APCにより検出分解能の切り替え後に光源光量が増加する場合には、APC応答時間までの間、過渡的に2相正弦波A相、B相の振幅が所望の値まで達しない。さらに、検出分解能切り替えの際に信号振幅が飽和しないレベルまで信号振幅を抑えておくと、検出分解能の切り替え後に光源光量が増加する場合には、APC応答時間後の信号振幅を大きく取ることができず、高いS/Nを確保することが難しい。以上、検出分解能の切り替えによるAPCに用いるフォトダイオード数が変化すること、すなわちAPC対象の光量が変化することは、切り替え時の信号振幅の飽和やダイナミックレンジ確保のためのS/N低下が位置検出誤差の要因となる。このため、切り替え前後の分解能を複合的に使用する位置検出を、高精度に行うことが難しいという問題があった。そこで、本発明は上記問題点に鑑み、分解能切り替えによって位置検出信号生成において未使用となる受光素子が存在しても、光源光量の変動を抑えることができる光学式エンコーダを提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本出願に係る発明は、光源と、前記光源により照射され測位方向の細周期パターンおよび粗周期パターンを1つのトラック内に備えるスケールと、前記細周期パターンと前記粗周期パターンに共通であって前記光源から出た前記スケールからの透過光または反射光を検出する受光素子アレイと、前記受光素子アレイからの位置検出信号を生成するための第1の初段増幅手段を含む信号処理手段と、を有し、前記細周期パターンを検出するために前記受光素子アレイを測位方向に第1の周期で構成する高分解能検出モードと、前記粗周期パターンを検出するために前記受光素子アレイを測位方向に第2の周期で構成する低分解能検出モードと、を備える光学式エンコーダにおいて、前記光源の光量変動を制御するために前記第1の初段増幅手段からの出力信号を用いる制御手段を有し、前記制御手段は、前記高分解能検出モードおよび前記低分解能検出モードの少なくとも一方において位置検出に未使用の受光素子がある場合に前記未使用の受光素子の出力を入力する第2の初段増幅手段を備え、前記未使用の受光素子がある場合に前記第1の初段増幅手段と前記第2の初段増幅手段からの出力信号の和信号を基に前記光源の光量変動を制御することを特徴とする。本発明によれば、分解能切り替えによって位置検出信号生成において未使用となる受光素子が存在しても、全ての受光素子で受光した光量の和信号からAPCをかけることができる。このため、分解能切り替え前後での光源光量の変動を抑えることができる。《第1の実施形態》本実施形態における光学式エンコーダの構成を図2に示す。このエンコーダは、測位方向が紙面垂直方向であって、可動部に取り付けられるスケール2、固定部に取り付けられるセンサユニット7を備える。センサユニット7は、LEDからなる光源1、受光素子アレイであるフォトダイオードアレイ9を有する受光素子3、信号処理回路部を内蔵したフォトICチップからなる半導体素子を備える。更に、及びそれらを実装したプリント基板4等が同一パッケージ内に実装された受発光一体型のセンサユニットである。スケール2は、ガラス基板上にクロム反射膜がとしてパターニングされたスケールトラック8を備えている。センサユニット7内の光源1から出射した発散光束はスケール2のスケールトラック8に照射される。1つのトラック内に細周期パターンと粗周期パターンを備えるスケールトラック8から反射した光束は、センサユニット7内で細周期パターン検出と粗周期パターン検出に共通に用いられるフォトダイオードアレイ9に向けて反射される。光源1とフォトダイオードアレイ9はスケールトラック8の平面と平行な同一平面上にあって、光源1から出てスケールトラック8で反射されてフォトダイオードアレイ9に至る。即ち、光源1からフォトダイオードアレイ9に至る光路の丁度中間位置にスケールトラック8が存在する関係となる。これより、スケールトラック8の反射率分布が2倍拡大された像としてフォトダイオードアレイ9上で受光される。フォトダイオードアレイ9によって受光された反射光束は電気信号に変換され、エンコーダ信号として図2に示す信号処理回路101に送られる。信号処理回路101は、センサユニット7で得られたエンコーダ信号の内挿処理や、記憶装置102への信号の書き込み、および、読み出し、位置信号の出力等を行う。細周期パターンと粗周期パターンを備えたスケール1つのトラック内に細周期パターンと粗周期パターンを備えるスケール2のスケールトラック8の一部の拡大図を図3に示す。スケールトラック8は、単位ブロックパターン10を測位方向である移動方向X軸方向と移動方向に垂直な方向Y軸方向にそれぞれ周期的に並べたパターンとなっている。スケールトラック8の単位ブロックパターン10は、X方向幅X0が700μm、Y方向幅Y0が50μmである。単位ブロックパターン10は、細周期パターンとしてX軸方向50μmの幅でピッチP100μmごとに等間隔に配置されたパターン列からなる領域領域Aと、粗周期パターンとして700μm周期の変調パターン列からなる領域領域Bよりなる。領域Aと領域BのY軸方向の幅は共に25μmである。領域Aは、さらにY方向12.5μmごとに分割されており、パターン列が単位ブロックパターンの中心基準線に対しX軸方向に±100/12μmそれぞれシフトしている。このような構成にすることで、スケール反射像の強度分布がセンサ受光面領域で積分されることにより、100μm周期の3倍周期成分がキャンセルされ、理想的な正弦波からの歪が抑えられる。なお、本実施形態では、3倍周期成分のみの対策を行っているが、これに限るものではなく、他の周期成分をキャンセルするために多段のシフトにしたり、連続的なシフトにしてももちろん構わない。領域Bには、X方向幅50μmの11個の反射パターン列が並べられている。それぞれ反射パターンのY軸方向の幅は、W1=5μm、W2=9μm、W3=16μm、W4=20μm、W5=25μm、W6=25μm、W7=25μm、W8=20μm、W9=16μm、W10=9μm、W11=5μmである。また、本実施形態では、スケールのパターンとして、領域Aが100μmピッチ、領域Bが700μmピッチの場合について説明を行うが、本発明はこれに限るものではない。即ち、不要な周期成分をキャンセルするために2つの領域のパターンのピッチの比が奇数倍であれば構わない。検出分解能の切り替え可能なフォトダイオードアレイおよび信号処理回路続いて、図1および図4乃至図5を用いて、本実施形態における検出分解能の切り替えと、信号処理回路について説明する。図1は本実施形態におけるセンサの信号処理回路部について説明する図である。図4は細周期パターンを検出する高分解能検出モード時のフォトダイオードアレイ9の受光面配置、図5は粗細周期パターンを検出する低分解能検出モード時のフォトダイオードアレイ9の受光面配置である。ここで図4、図5のフォトダイオードアレイ9は、図6、図7と同様に、フォトダイオードがX軸方向に50μmピッチで28個並んでおり、一つのフォトダイオードはX方向幅X_pdが50μmであり、Y方向幅Y_pdは800μmである。そして、フォトダイオードアレイ9の全幅X_totalは1400μmとなる。それぞれのフォトダイオードからの出力は、図4、図5に示すスイッチ10と不図示のスイッチ回路を介して切り替えられ、選択的に後段の4つの初段増幅器に接続されている。4個の初段増幅器アンプからの出力は、SA、SB、SA-、SB-の4相出力にそれぞれに対応する。4相正弦波出力を用いるのは、直流成分を除去して振幅を2倍に拡大した信号を得て、移動方向の判別を行うことができるようにするためである。ここで、細周期パターン検出用のフォトダイオードアレイの測位方向の全受光幅は、粗周期パターンの周期に対応した低分解能検出用のフォトダイオードアレイの測位方向の受光幅の整数倍ここでは1倍である1400μmとされる。また粗周期パターン検出用の測位方向の受光幅は、スケールの細周期パターンの周期に対応した細周期パターン検出用フォトダイオードアレイの測位方向の各受光幅の整数倍ここでは1倍である200μmとされる。分解能の切り替えスイッチ回路への入力がハイレベルの場合は、高分解能検出モードとして図4に示すように、スケールパターン100μm第1の周期である反射像周期200μmの検出ピッチとなる。一方、スイッチ回路への入力がローレベルの場合は、低分解能検出モードとして図5に示すようにスケールパターン700μm第2の周期である反射像周期1400μmの検出ピッチとなる。低分解能検出モード低分解能検出モード時の700μmの検出ピッチにおいては、各々4つの隣接するフォトダイオードが電気的に接続される。これにより、図5のA、B、A-、B-夫々がスケールパターン100μm周期の変調成分の反射像周期と一致する200μmの幅で加算されることになり、100μm周期の変調成分が出力に与える影響を低減することができる。なお、低分解能検出モード時に位置検出に用いられないフォトダイオードアレイ311,312の未使用のセンサは位置検出用の初段増幅器には入力されない。高分解能検出モード高分解能検出モード時の100μmの検出ピッチにおいては、信号に関わるフォトダイオードの全幅が1400μmとなり、スケールパターン700μm周期の変調成分の反射像周期と一致する。このため、700μm周期の変調成分によって出力振幅が変動する影響を低減することができる。即ち、図4において離散して配置されるA、B、A-、B-夫々がスケールパターン700μm周期の変調成分の反射像周期と一致する1400μmの範囲で加算されることになり、700μm周期の変調成分が出力に与える影響を低減することができる。位相信号の形成図1に示すように、4相正弦波出力SA、SB、SA-、SB-の位置検出信号生成に用いられる初段増幅器第1の初段増幅器として、4つのIV変換アンプ34、35、36、37が構成されている。4相正弦波の相対位相はそれぞれの検出ピッチに対し、SAを基準とすると、SBは約90度、SA-は約180度、SB-は約270度の関係にある。これらの出力は、図2中の信号処理回路401において、以下の演算を行う。SA=SA-SA-SB=SB-SB-上記の演算を行って、直流分が除去された2相正弦波状信号SA、SBを生成し、さらにこれらの逆正接演算を行うことで位相信号を得る。各周波数成分の発生メカニズムと不要成分の除去ここで、各周波数成分の発生メカニズムと不要成分の除去について説明する。スケールパターンからの回折角度分布は、反射率分布のフーリエ変換によって得られる。本実施形態のスケールトラック8では反射率の測位方向X方向分布が、一定振幅の100μm周期の反射率変調と、一定振幅の700μm周期の反射率変調との和になっている。これにより、主要な回折成分は、0次光に加え、粗周期700μm周期による±1次回折光と、細周期100μm周期による±1次回折光の5成分となる。これらの回折光に関して回折光同士の干渉による干渉縞の空間周波数は、干渉し合う回折光の回折角の差分によって決定される。粗周期が細周期の7倍であることから、細周期による回折角度は粗周期による回折角度の7倍となる。これより、粗周期の2倍拡大像の空間周波数を1f1fの空間周波数成分は、0次光と粗周期による±1次回折光の干渉によって発生するとすると、0次光と細周期による±1次回折光の干渉によって7fの空間周波数成分が発生する。検出されるべき1fの空間周波数成分と7fの空間周波数成分の他に、以下の不要な空間周波数成分2f、6f、8f、14fが発生する。即ち、空間周波数成分2fは、粗周期による±1次回折光同士の干渉によって発生し、空間周波数成分6fは、細周期による1次-1次回折光と粗周期による1次-1次回折光の干渉によって発生する。また空間周波数成分8fは、細周期による1次-1次回折光と粗周期による-1次1次回折光の干渉によって発生し、空間周波数成分14fは、細周期による±1次回折光同士の干渉によって発生する。低分解能検出モードでは、スケールからの反射回折像に含まれる空間周波数成分に関し、以下に示すように、不要な周波数成分は低減され、空間周波数成分1fのみが存在し、ほぼ理想的な正弦波が得られる。不要成分の除去に関しては、以下に示す通りである。低分解能検出モードでは、隣接する4つのフォトダイオード図5のA、B、A-、B-の出力が加算される。即ち、スケールパターン100μm周期の変調成分の反射像周期と一致する200μmの幅が加算されることになり、100μm周期の変調成分が出力に与える影響を低減することができる。これにより、不要周波数成分7fが除去できる。更に不要周波数成分2f、6f、8f、14fといった偶数次成分は、センサアレイに接続される信号処理回路で、SA=SA-SA-によって除去される。その結果、不要な周波数成分は低減され、1fに関してほぼ理想的な正弦波が得られる。高分解能検出モードでは、図4に示すA、B、A-、B-の夫々7つの離散するフォトダイオードの出力が加算される。即ち、スケールパターン700μm周期の変調成分の反射像周期と一致する1400μmの範囲でA、B、A-、B-の夫々が加算されることで、700μm周期の変調成分が出力に与える影響を低減することができる。これにより、不要周波数成分1fが除去できる。更に不要周波数成分2f、6f、8f、14fといった偶数次成分は、センサアレイに接続される信号処理回路で、SA=SA-SA-によって除去される。その結果、不要な周波数成分は低減され、7fに関してほぼ理想的な正弦波が得られる。APC制御スケール2のスケールトラック8を照射する光源1の光量変動は、フォトダイオードアレイ9の各出力の和を基に常時一定となるようにAPCオートパワーコントロール制御回路により制御される。ここでAPC制御回路は、位置検出用のIV変換アンプ34、35、36、37を第1の初段増幅手段とし、その出力信号を用いる。即ち、IV変換アンプ34、35、36、37は位置検出用および光源光量制御用に兼用される増幅手段となり、APC制御回路では、位置検出に用いられるフォトダイオードアレイ9の各素子からの出力を全て初段増幅回路に入力して光源光量を制御する。ここで、高分解能検出モードおよび/または低分解能検出モードにおいて、位置検出に用いられない未使用の受光素子が存在する場合がある。この場合、未使用の受光素子があれば、位置検出に用いられるフォトダイオードアレイ9の各素子からの出力の和が減少することとなる。未使用の受光素子は、上述したような低分解能検出モードのみで発生する場合の他、高分解能検出モードのみで発生する場合、高分解能検出モードおよび低分解能検出モードで発生する場合がある。後者の例としては、図4において28個の受光素子の内、左側から1番目、6番目乃至8番目、13番目乃至15番目、20番目乃至22番目、27番目乃至28番目を位置検出に未使用の受光素子とし、図5の配置に類した配置とした場合である。前者の例としては、図4において、28個の受光素子の内、左側から、A相は3、11、19番目、B相は5、13、21番目、A-相は7、15、23番目、B相は9、17、25番目を位置検出に用いる受光素子とする。そして、これら以外を位置検出に未使用の受光素子とした場合である。そこで、本実施形態では、APC用に第1の初段増幅器である4つのIV変換アンプ34、35、36、37の他に、第2の初段増幅器として5つ目の初段増幅器であるIV変換アンプ38を備える。そして、検出分解能の切り替えにより4相正弦波出力生成において未使用となるフォトダイオードに対し、5つ目の初段増幅器であるIV変換アンプ38に接続する。これにより、スイッチ回路に外部からの入力を行うことで検出分解能を切り替える場合、4相正弦波出力SA、SB、SA-、SB-とともに、5つ目のIV変換アンプを介したSCが出力される。そして、第1の初段増幅手段からの出力と第2の初段増幅手段からの出力である5つのIV変換アンプを介した出力全てSA、SB、SA-、SB-、SCの和信号を用いて光源1のAPCオートパワーコントロールを行う。このことにより、分解能切り替え前後の光源光量の変化を回避することができる。以上説明したように、分解能切り替えによって位置検出信号生成に未使用となるフォトダイオードが存在しても、全てのフォトダイオードで受光した光量の和信号から常時APCオートパワーコントロールを行うことができる。このため、切り替え時の光源光量の変動を回避できる。その結果、APC本来の光源特性変化等の長期的経時変化への光源光量安定性を維持したまま、切り替え後の分解能での検出信号をAPC応答時間に依存することなく高速高精度で取得することが可能となる。また、切り替え前後の分解能を複合的に使用する位置検出がAPC応答時間に依存することなく高速高精度で可能となる。変形例以上、スケールからの反射光をフォトダイオードアレイで検出するものとしたが、反射光の替わりにスケールからの透過光を検出するようにしても良い。また、本発明の技術思想の下で上述した各実施形態に記載した技術事項を適宜組み合わせて用いることも勿論可能である。"