それぞれ微粒子検出装置が設置される複数の吸引口が一面に設けられた試験室と、前記試験室内部に微粒子を注入する注入装置と、前記複数の吸引口に沿って、前記試験室内部に光シートを形成する光シート形成装置と、前記光シートによって可視化された前記微粒子を撮影する撮影装置と、を備える、微粒子検出装置の評価システム。前記複数の吸引口のそれぞれに対応する複数の箇所で前記可視化された微粒子の量を計測する計測部を更に備える、請求項1に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記複数の箇所で計測された前記微粒子の量の分布を算出する分布算出部を更に備える、請求項2に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記複数の吸引口のそれぞれの近傍で前記可視化された微粒子の量を計測する計測部を更に備える、請求項1に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記複数の吸引口のそれぞれの近傍で計測された前記微粒子の量の分布を算出する分布算出部を更に備える、請求項4に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記光シートが、レーザ光シートである、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記光シート形成装置が、レーザ光をシリンドリカルレンズに通すことにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項6に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記光シート形成装置が、レーザ光を振動反射鏡で反射することにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項6に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記光シート形成装置が、レーザ光を回転するポリゴンミラーで反射することにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項6に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記試験室内部の気体を攪拌する攪拌装置を更に備える、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価システム。前記試験室内部の気体を清浄化する清浄化装置を更に備える、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価システム。試験室の一面に設けられた複数の吸引口のそれぞれに、微粒子検出装置を設置することと、前記試験室内部に微粒子を注入することと、前記複数の吸引口に沿って、前記試験室内部に光シートを形成することと、前記微粒子検出装置によって、前記複数の吸引口のそれぞれから、前記試験室内部の気体を吸引することと、前記光シートによって可視化された前記微粒子を撮影することと、を含む、微粒子検出装置の評価方法。前記複数の吸引口のそれぞれに対応する複数の箇所で前記可視化された微粒子の量を計測することを更に含む、請求項12に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記複数の箇所で計測された前記微粒子の量の分布を算出することを更に含む、請求項13に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記複数の吸引口のそれぞれの近傍で前記可視化された微粒子の量を計測することを更に含む、請求項12に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記複数の吸引口のそれぞれの近傍で計測された前記微粒子の量の分布を算出することを更に含む、請求項15に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記光シートが、レーザ光シートである、請求項12乃至16のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記レーザ光シートを形成することにおいて、レーザ光をシリンドリカルレンズに通すことにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項17に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記レーザ光シートを形成することにおいて、レーザ光を振動反射鏡で反射することにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項17に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記レーザ光シートを形成することにおいて、レーザ光を回転するポリゴンミラーで反射することにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項17に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記試験室内部の気体を攪拌することを更に含む、請求項12乃至20のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記試験室内部に前記微粒子を注入することの前に、前記試験室内部の気体を清浄化することを更に含む、請求項12乃至21のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。本発明は、微粒子検出装置を正確に評価可能な微粒子検出装置の評価システム及び微粒子検出装置の評価方法を提供することを目的の一つとする。本発明の態様によれば、aそれぞれ微粒子検出装置が設置される複数の吸引口が一面に設けられた試験室と、b試験室内部に微粒子を注入する注入装置と、c複数の吸引口に沿って、試験室内部に光シートを形成する光シート形成装置と、d光シートによって可視化された微粒子を撮影する撮影装置と、を備える、微粒子検出装置の評価システムが提供される。また、本発明の態様によれば、a試験室の一面に設けられた複数の吸引口のそれぞれに、微粒子検出装置を設置することと、b試験室内部に微粒子を注入することと、c複数の吸引口に沿って、試験室内部に光シートを形成することと、d微粒子検出装置によって、複数の吸引口のそれぞれから、試験室内部の気体を吸引することと、e光シートによって可視化された微粒子を撮影することと、を含む、微粒子検出装置の評価方法が提供される。本発明によれば、微粒子検出装置を正確に評価可能な微粒子検出装置の評価システム及び微粒子検出装置の評価方法を提供可能である。以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。図1及び図2に示す実施の形態に係る微粒子検出装置の評価システムは、それぞれ微粒子検出装置20A、20B、20C、20Dが設置される複数の吸引口120A、120B、120C、120Dが一面に設けられた試験室1と、試験室1内部に微粒子を注入する注入装置2と、複数の吸引口120A-120Dに沿って、試験室1内部に光シート51を形成する光シート形成装置50と、光シート51によって可視化された微粒子を撮影する撮影装置70と、を備える。試験室1は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなすポリカーボネート製の透明パネルと、を備えるチャンバである。ただし、試験室1の形状は、ダクト等であってもよい。試験室1内部の体積は、例えば3m3であるが、これに限定されない。試験室1には、例えば給気装置11A、11Bが設けられている。給気装置11A、11Bは、HEPAHighEfficiencyParticulateAirFilter及びULPAUltraLowPenetrationAirFilter等の超高性能エアフィルタを通して、試験室1内部に清浄な空気を送り込む。試験室1の側壁には、扉が設けられていてもよい。注入装置2は、例えばジェット式ネブライザであり、所定の濃度で微粒子を含む流体を保管する。流体に含まれる微粒子とは、例えば、細菌、真菌、ウイルス、及びアレルゲン物質等の微生物である。あるいは、流体に含まれる微粒子とは、例えば、無害又は有害な化学物質である。また、あるいは、流体に含まれる微粒子とは、例えば、ごみ、ちり、及び埃等のダストである。注入装置2は、所定の流量で圧縮ガス等の気流を供給され、気流を、微粒子を含む流体に吹きつけることによってエアロゾルを発生させ、試験室1内部に微粒子を含む流体をミスト状にして噴霧する。なお、図1及び図2においては、注入装置2は試験室1内部に配置されているが、注入装置2を試験室1の外部に配置し、注入装置2が噴霧したエアロゾルを、配管等で試験室1内部に誘導してもよい。図2に示すように、実施の形態に係る微粒子検出装置の評価システムは、圧縮ガスを貯蔵する貯蔵槽5と、注入装置2に供給される気流の流量の計測値を計測する流量計3と、計測値に基づき、注入装置2に供給される気流の流量を制御する流量制御装置4と、をさらに備える。貯蔵槽5、流量計3、流量制御装置4、及び注入装置2は、例えばパイプ12で接続されている。また、貯蔵槽5と、流量計3と、の間には、圧縮ガスに含まれ得る微粒子等を除去するための、例えばHEPA等の超高性能エアフィルタが設けられている。なお貯蔵槽5は、コンプレッサーやポンプなどの圧縮ガス供給源でもよい。流量計3は、マスフローメータ等が使用可能であり、貯蔵槽5から供給される圧縮ガスの流量の計測値を計測する。図3に示すように、流量計3は、パイプ12と連通するパイプ状の流路31が設けられた筐体32と、流路31を流れる圧縮ガスの流量を検出するための流れセンサ38と、を備える。図4及び図5に示す流れセンサ38は、流量センサ又は流速センサであり、キャビティ66が設けられた基板60、及び基板60上にキャビティ66を覆うように配置された絶縁膜65を備える。基板60の厚みは、例えば0.5mmである。また、基板60の縦横の寸法は、例えばそれぞれ1.5mm程度である。絶縁膜65のキャビティ66を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。さらに流れセンサ38は、絶縁膜65のダイアフラムの部分に設けられた発熱素子61と、発熱素子61を挟むように絶縁膜65のダイアフラムの部分に設けられた第1の測温素子62及び第2の測温素子63と、基板60上に設けられた保温素子64と、を備える。発熱素子61は、キャビティ66を覆う絶縁膜65のダイアフラムの部分の中心に配置されている。発熱素子61は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、発熱素子61に接する圧縮ガスを加熱する。第1の測温素子62及び第2の測温素子63は、例えば抵抗器等の受動素子等の電子素子であり、圧縮ガスの温度に依存した電気信号を出力する。第1の測温素子62は発熱素子61より流路31の上流側の温度を検出するために用いられ、第2の測温素子63は発熱素子61より流路31の下流側の温度を検出するために用いられる。図3に示す流路31中のガスが静止している場合、図4及び図5に示す発熱素子61から圧縮ガスに加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に伝播する。したがって、第1の測温素子62及び第2の測温素子63の温度は等しくなり、白金等からなる第1の測温素子62及び第2の測温素子63の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図3に示す流路31中の圧縮ガスが上流から下流に流れている場合、図4及び図5に示す発熱素子61から圧縮ガスに加えられた熱は、圧縮ガスによって下流方向に運ばれる。したがって、上流側の第1の測温素子62の温度よりも、下流側の第2の測温素子63の温度が高くなる。そのため、第1の測温素子62の電気抵抗と、第2の測温素子63の電気抵抗と、に差が生じる。第2の測温素子63の電気抵抗と、第1の測温素子62の電気抵抗と、の差は、図3に示す流路31中の圧縮ガスの速度と相関する。そのため、第2の測温素子63の電気抵抗と、第1の測温素子62の電気抵抗と、の差から、流路31を流れる圧縮ガスの流速及び流量が求められる。図4及び図5に示す保温素子64は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、基板60の温度を一定に保つ。基板60の材料としては、シリコンSi等が使用可能である。絶縁膜65の材料としては、酸化ケイ素SiO2等が使用可能である。キャビティ66は、異方性エッチング等により形成される。また発熱素子61、第1の測温素子62、第2の測温素子63、及び保温素子64のそれぞれの材料には白金Pt等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。流れセンサ38は、流れセンサ38の底面に配置されたガラス等からなる断熱部材68を介して、図3に示す流路31に固定される。断熱部材68を介して流れセンサ38を流路31に固定することにより、流れセンサ38の温度が、流路31の内壁の温度変動の影響を受けにくくなる。図2に示す流量制御装置4は、流量計3によって計測された流量の計測値に基づいて、パイプ12を流れる圧縮ガスの流量を、所定の値に制御する。図6に示すように、流量制御装置4は、例えば、流路43と、流路44と、流路43及び流路44の間に設けられた弁室45と、が設けられた弁座42を備える。さらに流量制御装置4は、磁性体のプランジャ47と、通電されてプランジャ47を上下させるソレノイドコイル48と、弁室45に収納され、プランジャ47に接続され、流路44を開閉する弁体46と、を備える。例えば、流量計3によって計測された圧縮ガスの流量の計測値が所定の値よりも大きい場合、流量制御装置4は、ソレノイドコイル48に通電して弁体46と、弁座42と、の間を狭め、圧縮ガスの流量を減少させる。また、流量計3によって計測された圧縮ガスの流量の計測値が所定の値よりも小さい場合、流量制御装置4は、ソレノイドコイル48に通電して弁体46と、弁座42と、の間を広げ、圧縮ガスの流量を増加させる。これにより、パイプ12を流れ、噴霧装置2に供給される圧縮ガスの流量が、所定の値の近傍に制御される。なお、図2においては、流量制御装置4は、流量計3の下流に配置されているが、流量制御装置4を、流量計3の上流に配置してもよい。試験室1内には、攪拌装置としての攪拌ファン10A、10B、10C、10Dが配置されている。攪拌ファン10A-10Dは、試験室1内部の空気等の気体を攪拌し、試験室1内部に散布された微粒子の自重による自然沈降を防止する。また、試験室1内には、清浄化装置としてのエアクリーナー6が配置されている。エアクリーナー6は、試験室1内部の空気等の気体に含まれる微粒子を除去して、気体を清浄化する。例えば、注入装置2から試験室1内に微粒子を含む流体を噴霧する前に、エアクリーナー6を運転することによって、噴霧装置2が噴霧する微粒子以外の微粒子をあらかじめ試験室1内部から除去することが可能である。なお、図1及び図2においては、エアクリーナー6は試験室1内部底面に配置されているが、エアクリーナー6を試験室1の壁面または天井部に配置してもよい。微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれは、試験室1内部の空気を吸引して微粒子を捕捉し、試験室1内部を飛散する微粒子の数、密度、又は濃度等の量を計測する。光シート形成装置50は、例えばレーザ光を発するレーザと、レーザが発したレーザ光を拡げる球面レンズと、球面レンズを通ったレーザ光を一方向のみに屈折させ、レーザ光シート51にするシリンドリカルレンズと、を備える。レーザとしては、ヘリウムネオンHe-Neレーザ、アルゴンイオンレーザ、銅蒸気レーザ、Nd:YAGレーザ、エキシマレーザ、及び半導体レーザ等が使用可能である。ここで、光シート形成装置50がレーザ光シート51を形成しない場合、通常の光は散乱光であるため、試験室1内部を飛散する微粒子は、多方面から反射される光によって、周囲の明るさより明るくならない。そのため、微粒子は、光に埋もれてしまい、観察することができない。これに対し、周囲を暗くし、光シート形成装置50によってレーザ光シート51を形成すると、レーザ光シート51を横断する微粒子を観察することが可能となる。レーザ光シート51は、例えば、複数の吸引口120A-120Dが設けられた試験室1の側面と平行に形成される。光シート51によって可視化された微粒子を撮影する撮影装置70としては、写真カメラ又はビデオカメラ等が使用可能である。図2に示すように、撮影装置70には、コンピュータ100が接続されている。コンピュータ100は、レーザ光シート51によって可視化され、撮影装置70によって撮影された微粒子の数、密度、又は濃度等の量を計測可能な計測部を有する。具体的には、計測部は、吸引口120Aの近傍等の、レーザ光シート51上の吸引口120Aに対応する一定面積の箇所における微粒子の量と、吸引口120Bの近傍等の、レーザ光シート51上の吸引口120Bに対応する一定面積の箇所における微粒子の量と、吸引口120Cの近傍等の、レーザ光シート51上の吸引口120Cに対応する一定面積の箇所における微粒子の量と、吸引口120Dの近傍等の、レーザ光シート51上の吸引口120Dに対応する一定面積の箇所における微粒子の量と、を、撮影装置70が撮影した画像を用いて計測する。コンピュータ100は、計測部が吸引口120Aの近傍で計測した微粒子の量と、吸引口120Bの近傍で計測した微粒子の量と、吸引口120Cの近傍で計測した微粒子の量と、吸引口120Dの近傍で計測した微粒子の量の分布を算出する分布算出部をさらに備える。従来、日本工業規格JISK3836に規定されているように、微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれを評価する際には、事前に、試験室1内部の複数箇所で、光散乱式自動粒子計数器によって粒子の濃度を計測し、試験室1内部で濃度の分布が所定の範囲内になっているか確認している。しかし、本発明者らは、従来の方法によって、事前に試験室1内部において微粒子の濃度が一様であることを確認しても、複数の吸引口120A-120Dを介して複数の微粒子検出装置20A-20Dが試験室1内部の気体の吸引を開始すると、試験室1内部において微粒子の濃度にばらつきが生じることを見出した。この場合、複数の吸引口120A-120Dのそれぞれの近傍において、微粒子の濃度が一様であるとの前提のもとで、微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれの微粒子の捕捉性能を評価すると、評価結果に誤差が生じ得る。これに対し、実施の形態に係る微粒子検出装置の評価システムによれば、複数の微粒子検出装置20A-20Dが試験室1内部の気体の吸引を開始した後も、複数の吸引口120A-120Dのそれぞれの近傍において、微粒子の濃度が一様であるか否かを確認することが可能となる。その他の実施の形態上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、図1では、微粒子検出装置20A-20Dが試験室1の側面に設置されている例を示したが、微粒子検出装置20A-20Dは、試験室1の底面に設置されていてもよい。また、光シート形成装置50は、レーザ光を振動反射鏡で反射することにより、レーザ光シート51を形成してもよい。あるいは、光シート形成装置50は、レーザ光を回転するポリゴンミラーで反射することにより、レーザ光シート51を形成してもよい。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。