真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気する真空排気方法であって、前記チャンバーから排気する排気ガス流量と前記真空排気装置を駆動する電流値と前記真空排気装置から発せられる駆動音とのうち少なくとも一つの要素を監視し、監視する前記要素によって前記真空排気装置と前記チャンバーとを接続する配管に設けられたバルブの開閉を制御することにより、前記要素の値を低い値から上げて行く上昇工程と、前記要素の値を一定に保つ水平工程とを有することを特徴とする真空排気方法。真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気する真空排気方法であって、前記真空排気装置と前記チャンバーとを接続する配管に設けられたバルブの開閉を閉状態から経時的に開けて行き、前記真空排気装置の電流値、及び前記真空排気装置の駆動音のうち少なくとも一つの要素を低い値から上げて行く上昇工程と、前記要素の値を一定に保つ水平工程とを有することを特徴とする真空排気方法。しかし、従来例では、仕組みの複雑化、真空引き時間の長時間化といった問題がある。本発明の目的は、真空排気装置への負荷も少なく、低騒音で、短時間に真空引きが行える真空引き手法の提供を目的とする。[適用例1]本適用例にかかる真空排気方法は、真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気する真空排気方法であって、前記チャンバーから排気する排気ガス流量と前記真空排気装置を駆動する電流値と前記真空排気装置から発せられる駆動音とのうち少なくとも一つの要素を監視し、監視する前記要素によって前記真空排気装置と前記チャンバーとを接続する配管に設けられたバルブの開閉を制御することにより、前記要素の値を低い値から上げて行く上昇工程と、前記要素の値を一定に保つ水平工程とを有することを特徴とする。本適用例によれば、真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気している。そして、チャンバーから排気する排気ガス流量と前記真空排気装置を駆動する電流値と真空排気装置から発せられる駆動音とのうち少なくとも一つの要素を監視している。上昇工程では監視する要素によってバルブの開閉を制御することにより、要素の値を低い値から上げて行く。水平工程では要素の値を一定に保って排気している。通常、真空排気装置の排気ガス流量が増えることにより、真空排気装置の負荷が増加し、真空排気装置の電流値の増加、駆動音の増加につながる。真空引き開始時は、チャンバー内が大気状態であり、真空排気装置の排気ガス流量が一番大きくなる。そこで、真空引き開始時にモニターする要素の値を低い値となるようにバルブの開閉を制御する。つまり、バルブを閉じた状態もしくは閉じた状態に近い状態とする。これにより、真空排気装置の真空引き開始時の排気ガス流量を抑える。この状態で真空引きを継続すると真空引き時間が長くなってしまう。次に、モニターする要素の値を上げるようにバルブの開閉を制御する。この時、真空引きは継続しているので、真空チャンバー内の圧力が下がっている。これにより、バルブを開けても監視する要素の値は上がり難くなっている。次に、監視する要素の値を一定に保つ水平工程を行う。これにより、排気ガス流量が多い状態にて維持する為、排気にかかる時間を短くすることができる。その結果、真空排気装置への負荷も少なく、低騒音で、短時間に真空引きを行うことができる。[適用例2]本適用例にかかる真空排気方法は、真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気する真空排気方法であって、前記真空排気装置と前記チャンバーとを接続する配管に設けられたバルブの開閉を閉状態から経時的に開けて行き、前記真空排気装置の電流値、及び前記真空排気装置の駆動音のうち少なくとも一つの要素を低い値から上げて行く上昇工程と、前記要素の値を一定に保つ水平工程とを有することを特徴とする本適用例によれば、真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気しいている。そして、チャンバーと接続するバルブの開閉を全閉から経時的に開けている。これにより、真空排気装置の真空引き開始時の排気ガス流量を抑えることができる。そして、真空排気装置の電流値もしくは真空排気装置の駆動音とのうち少なくとも一つの要素が低い値から上がるようにバルブの開閉を制御している。従って、真空排気装置への負荷も少なく、低騒音にすることができる。さらに、バルブを開き排気すると真空チャンバー内の圧力が減少するので、バルブを開いても排気量は増えなくなる。この工程が水平工程となる。水平工程では電流値や駆動音の値を一定に保っている。これにより、真空引き開始時のポンプ負荷を抑え、尚且つ、排気ガス流量も増やすことが出来るので短時間での真空引きを実現できる。実施形態1本実施形態では、チャンバー内の気体を排気する特徴的な排気方法の例について、図1~図5に従って説明する。図1は、真空排気システムの構成を示すブロック図である。図1に示すように、真空排気システム25は、チャンバーとしての真空チャンバー4、真空排気装置5、圧力コントローラー6、圧力計1、駆動音モニター2、駆動電流値モニター3、排気口開閉バルブ7、排気配管8、排気ガス流量モニター9、装置全体の制御装置24を備えている。真空チャンバー4は扉を備え、扉をしめることにより密閉された空間を形成するチャンバーである。チャンバー内の圧力測定用に圧力計1が取り付けられている。圧力計1は圧力センサーを備え、真空チャンバー4内の圧力を検出して制御装置24に出力する。真空チャンバー4の排気口は排気口開閉バルブ7を介して排気配管8で、真空排気装置5へとつながっている。排気配管8の途中は圧力コントローラー6が設置されている。排気口開閉バルブ7はステップモーターを備え、制御装置24の制御信号を受けて開閉するバルブである。従って、真空排気システム25は制御装置24の制御信号により排気流量を制御することが可能となっている。真空排気装置5はモーターと真空ポンプとを備えている。モーターの駆動軸が真空ポンプと接続され、モーターが真空ポンプを駆動する。真空排気装置5は、ドライポンプやロータリーポンプに代表されるモーターにより回転翼等を回転させて排気する構造となっている。そして、真空ポンプは排気配管8と接続され、排気配管8を通じて真空チャンバー4内の気体を排気する。真空排気装置5には、駆動音監視用に駆動音モニター2、駆動電流監視用に駆動電流値モニター3、排気ガス流量を測定する為の排気ガス流量モニター9が取り付けられている。駆動音モニター2は真空排気装置5が発する騒音を検出するセンサーを備え、検出した騒音を信号に変換して制御装置24に出力する。駆動電流値モニター3は真空排気装置5が備えるモーターを駆動する電流値を検出する電流計を備えている。そして、駆動電流値モニター3は検出した電流値を信号に変換して制御装置24に出力する。流量モニター9は排気配管8を通じて排気される気流の流量を検出する流量計を備えている。そして、流量モニター9は検出した流量値を信号に変換して制御装置24に出力する。尚、騒音を検出するセンサー、電流計、流量計は公知の技術にて製造可能であり、詳細な説明を省略する。図2は圧力コントローラーの構成を示すブロック図である。図2に示すように圧力コントローラー6はバルブとしての圧力制御板部10、モーター駆動部11、モーター制御部12、外部信号処理部13から構成されている。外部信号処理部13は制御装置24が出力する制御信号を受信し、制御信号をモーター制御部12に出力する。モーター制御部12はモーターの回転角度、回転速度の制御を行う。モーター駆動部11はモーター制御部12の制御信号に応じて駆動軸を回転させる。圧力制御板部10はモーター駆動部11の駆動軸と接続し、回転する。このように、圧力コントローラー6は圧力制御板部10の開閉を制御する。図3は、圧力制御板部の動作を説明するための模式図である。図3に示すように、圧力コントローラー6はモーター駆動部11にて時計方向に圧力制御板部10を動作角16だけ動かし、配管抵抗を変化させて圧力をコントロールする。排気配管8に対して、圧力制御板部10が平行になっている時が圧力制御板部全開15の状態であり、全開のときに流体は一番抵抗が小さくなる。排気配管8に対して、圧力制御板部10が図中垂直になっている時が圧力制御板部全閉14の状態であり、全閉のときに流体は一番抵抗が大きくなる。真空排気方法次に、真空チャンバー4内の気体を排気する方法について説明する。真空排気工程は排気量等のモニター要素を上げる上昇工程と排気量等のモニター要素を一定に保つ水平工程と排気量等のモニター要素を下げる下降工程の順に行う。特徴のある上昇工程について説明する。図4は排気方法をしめすフローチャートである。フローチャートに従って、真空排気システム25における真空引き作業で圧力制御板部10を開く上昇工程の手順を説明する。図4に示すように、まず、ステップS1にて真空チャンバー4は大気状態であり扉が閉じられて排気配管8以外は密閉の状態となっている。次にステップS2において、モーター制御部12はモーター駆動部11を駆動して、圧力制御板部10を全閉状態にする。続いて、ステップS3において、排気口開閉バルブ7を開ける。次に、ステップS4において、モーター制御部12はモーター駆動部11を駆動して動作角16が1度から5度程度増加するように圧力制御板部10を動かす。この時の動作角16の角度は、予め設定された固定値とする。続いて、ステップS5において、動作角16が全開かの判断を行う。動作角16が全開のとき圧力制御板部10を開く作業は終了する。これは図中YESに相当する。また、動作角16が全開でないときステップS6に移行する。これは図中NOに相当する。ステップS6では駆動音モニター2、駆動電流値モニター3、排気ガス流量モニター9が出力する少なくともひとつの値を外部信号処理部13が入力する。モーター制御部12がどの値を入力するかは予め設定しておく。制御装置24は、入力した値が予め設定していた判定値より小さいかどうか判断を行う。この時、制御装置24は圧力計1が検出する圧力値を入力する。そして、制御装置24は排気ガス流量を排気ガス流量モニター9で直接読み取るだけでなく、圧力計1の値を用いて排気ガス流量を制御できる。これは、真空チャンバー4の圧力をP1、真空排気装置5内の圧力をP2、排気配管8の排気抵抗をR1、排気ガス流量をQ1とするとき、P1-P2=R1×Q1数1の関係式が成り立つ。ここで、P1及びQ1は真空引きにより随時変化し、P2は真空排気装置5の能力によって決まる固定値であり、R1は排気配管8によって決まる固定値である。数1において、R1は圧力コントローラー6にて制御されており、真空チャンバー4の圧力P1の減少に従い、動作角16を大きくしていくことにより、排気ガス流量Q1を制御できる。また、真空排気装置5の排気ガス流量Q1と真空排気装置の駆動音の大きさ及び駆動電流値には関係がある。真空排気装置5の排気ガス流量Q1の増加は、気体の逆流、回転翼の風切り音増加をもたらし、駆動音の増加につながる。さらに、排気ガス流量Q1の増加は回転翼の回転トルクの増加にもつながり、回転翼の駆動用モーターの電流値の増加にもつながる。さらに、排気ガス流量Q1の増加は真空排気装置5に負荷がかかる。よって、排気ガス流量Q1を制御することは、真空排気装置5の駆動音及び駆動電流値の制御にもつながっている。ステップS7において、制御装置24が入力した値が判定値よりも小さい場合は、ステップS4に移行する。これは図中YESに相当する。そして、ステップS4において再度モーター制御部12の制御信号により、モーター駆動部11は圧力制御板部10の動作角16を1度から5度程度増加させる。ステップS7において、排気ガス流量モニター9、駆動音モニター2、駆動電流値モニター3のうち制御装置24が入力した値が判定値よりも大きくなった場合は、ステップS8に移行する。これは図中NOに相当する。ステップS8において、動作角16を所定の角度だけ戻し、各モニターの値を再度読み取る。この時、真空引きは継続して行われているので、真空チャンバー4の圧力は減少し続ける。その為、動作角16を所定の角度、例えば、直近の動作で動かしたときの角度まで戻しても、真空チャンバー4の圧力P1が減少しているので数1の式により動作角16が同じでも真空排気装置5の排気ガス流量Q1は減少する。従って、再度動作角16を1度から5度程度の所定の角度減少させた場合、例えば、同じ動作角16の角度に戻したときでも排気ガス流量Q1は小さくなる。そして、排気ガス流量Q1の減少に伴い、駆動音及び駆動電流値は以前の値よりも小さくなる。ステップS6~ステップS8の動作をモニター値が判定値以下になるまで繰り返し行う。以上のように動作角16を動作させて、全開状態になるまで動かして行く。図5は、真空排気工程の時間と排気量/駆動音/駆動電流の関係を示した図である。横軸が真空引き開始時からの経過時間を示しており、縦軸がその時の排気ガス流量及び真空排気装置5のアイドリング状態からの駆動音増加量及び排気装置のアイドリング状態からの駆動電流増加量を示している。ここで、0時間は排気口開閉バルブ7が閉まっている状態を示している。図5において、新排気シーケンス線17は、本実施形態の排気ガス流量及び駆動音増加量及び駆動電増加量の真空引き時の経時変化を示している。通常排気シーケンス線18は、一般的に行われている、排気ガス流量の調整を行わないで真空引きを行った時の経時変化を示している。小流量排気シーケンス線19は、排気抵抗が大きい状態のまま真空引きを行った時の経時変化を示している。新排気シーケンス線17において、真空引き開始時は排気口開閉バルブ7が閉まっている。従って、配管抵抗が大きいので、排気ガス流量及び騒音増加量及び駆動電流増加量の総てにおいて、低い値となっている。次に、圧力制御板部10の動作角16を開けて行き、排気ガス流量及び騒音増加量及び駆動電流増加量は増加していく。この工程が上昇工程20である。次に、排気ガス流量及び駆動音増加量及び駆動電流増加量のうちモニターする少なくともひとつが判定値23に達するとき、上昇工程20を終了する。そして、モニターする要素の値を維持するように圧力制御板部10の動作角の角度調整に入る。この工程が水平工程21である。水平工程21中、真空チャンバー4内の圧力が減少していくので、圧力コントローラー6が全開状態になっても新排気シーケンス線17が判定値23より下降する。このとき、水平工程21を終了する。そして、モニターする要素の値が下降する下降工程22に移行する。そして、真空チャンバー4の圧力が所定の判定値より低くなったとき真空排気工程を終了する。比較例1通常排気シーケンス線18は、真空引き開始時に真空チャンバー4は大気状態にある。尚且つ、圧力制御板部10が全開になっているので、真空引き開始時の排気ガス流量及び真空排気装置5の駆動音増加量及び駆動電流増加量は最大になる。従って、真空引き開始時は真空排気システム25から発生する駆動音や、真空排気装置5の駆動電流値が大きくなる。その後、時間の経過に従い真空チャンバー4の圧力が減少していく。これにより、排気ガス流量及び駆動音増加量及び駆動電流増加量は減少していく。つまり、通常排気シーケンス線18の場合は、下降工程22のみで排気シーケンスが構成されている。排気ガス流量及び駆動音増加量及び駆動電流増加量の最大値を比較する。通常排気シーケンス線18では真空チャンバー4が大気状態の時に、圧力制御板部10を全開で真空引きを行う。これに対して、新排気シーケンスの場合、圧力制御板部10を全閉で開始し、徐々に動作角16を大きくし、排ガス流量及び駆動音及び駆動電流値を判定値23まで大きくしていく。これにより、新排気シーケンス線17は真空チャンバー4を減圧した状態で排気ガス流量及び駆動音増加量及び駆動電流増加量の最大値となる。この為、通常排気シーケンス線18よりも新排気シーケンス線17の方が排気ガス流量及び駆動音増加量及び駆動電流増加量の最大値を抑えることができる。比較例2小流量排気シーケンス線19は、圧力コントローラー6が排気抵抗を大きくしている。これにより、真空引き開始時でも排気ガス流量が大きくなることはない。従って、真空引き開始時は真空排気システム25から発生する音や、真空排気装置5の消費電流は小さい。しかし、排気抵抗が大きく排気ガス流量が少ない排気条件で真空引きを行っているので、真空チャンバー4の排気には非常に時間がかかる。つまり、小流量排気シーケンス線19は、水平工程21と下降工程22から構成されている。小流量排気シーケンス線19の場合では、常に排気ガス流量が少ない状態で真空引きを行うので、排気ガス流量及び駆動音及び駆動電流値は新排気シーケンスより小さく値に抑えることができる。つまり、水平工程21を設けることにより、安定した真空引きを行い、排気ガス流量及び駆動音増加量及び駆動電流増加量を抑えることが可能となる。次に、真空引き時に希望の圧力まで真空チャンバー4を真空引きする時間を考える。小流量排気シーケンス線19の場合、排気ガス流量が少ないので、このまま真空引きを行うと、非常に時間がかかってしまう。これに対して、新排気シーケンス線17は真空引き時に排気抵抗を変化させて行き、排気ガス流量を増やしていくので、小流量排気シーケンス線19より短時間に希望の圧力までの真空引きが可能となる。また、通常排気シーケンス線でも開始時より排気ガス流量が大きいので、短時間に希望の圧力までの真空引きが可能となる。つまり、上昇工程20を設けるか、もしくは開始から排気ガス流量を大きくしておくか、によって短時間に希望の圧力までの真空引きが可能となる。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、新排気シーケンスのように上昇工程20、水平工程21、下降工程22を設けることにより、真空引き時の、排気ガス流量及び駆動音及び駆動電流値の最大値を抑えながら、より短時間に真空チャンバー4の圧力を希望の圧力まで減圧することが可能となる。実施形態2次に、チャンバー内の気体を排気する特徴的な排気方法の例について、図6及び図7に従って説明する。本実施形態が実施形態1と異なるところは、圧力制御板部10を時間の推移に応じて制御する点にある。尚、実施形態1と同じ点については説明を省略する。図6は真空排気システムの構成を示すブロック図である。図6に示すように、真空排気システム26は真空チャンバー4、真空排気装置5、圧力コントローラー27、圧力計1、排気口開閉バルブ7、排気配管8、装置全体の制御装置24を備えている。真空チャンバー4の排気口は排気口開閉バルブ7を介して排気配管8により真空排気装置5へと接続されている。排気配管8の途中には圧力コントローラー27が設置されている。図7は圧力コントローラーの構成を示すブロック図である。図7に示すように、圧力コントローラー27は圧力制御板部10、モーター駆動部11、モーター制御部28、から構成されている。モーター制御部28はプロセッサーとして各種の演算処理を行うCPU演算処理装置と各種情報や動作プログラムを記憶するメモリーとを有する。そして、モーター制御部28は動作プログラムをメモリーに予め記憶しておく。まず、真空チャンバー4が大気状態にある時、モーター制御部28はモーター駆動部11を駆動して圧力制御板部10を全閉状態にする。その後、モーター制御部28は排気口開閉バルブ7を開ける。圧力制御板部10をモーター制御部28に予め入力しておいた動作プログラムにより動かす。この時、真空チャンバー4の圧力は大気状態に近いので、圧力制御板部10を動かして行くと排気ガス流量は増加していく。この工程が上昇工程20となる。動作角16と排気開始後の経過時間との関係は予め実験により適切なシーケンス条件を設定しておくのが好ましい。このとき、真空排気装置5の電流値、駆動音が低い値から上げるシーケンス条件にする。そして、上昇工程20では全閉から経時的に開けていく。さらに、動作角16を広げて真空引きを進めると真空チャンバー内の圧力が減少するので、動作角を広げても、真空排気装置5の排ガス流量は増えなくなる。そして、真空排気装置5の電流値、駆動音が一定に保つようにシーケンス条件を設定する。この工程が水平工程21となる。さらに、真空引きを継続すると、真空チャンバー内の圧力がさらに減少し、真空排気装置5の排ガス流量は減少していく。この工程が下降工程22となる。上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。1本実施形態によれば、電流値、駆動音が低い値から上げるシーケンス条件にて上昇工程20の排気を行っている。そして、水平工程21、下降工程22を設けることにより、真空引き時の、排気ガス流量及び駆動音及び駆動電流値の最大値を抑えながら、より短時間に真空チャンバー4の圧力を希望の圧力まで減圧することが可能となる。