"電気的外部刺激を介して変形する駆動体と、この駆動体の上下面側に対向配置されて正負の電気的外部刺激を駆動体に平面的に印加する固定電極を有し、前記上下面側の固定電極のうち、少なくとも一方側の固定電極を前記駆動体が変形する側に突設させ、前記駆動体が変形したときにクーロン力により変位して当接可能な当接面を設け、非印加時に、少なくとも一方の前記当接面と前記駆動体との間に離間領域を施したことを特徴とする高分子アクチュエータ。前記離間領域に前記当接面と駆動体とが外端方向に向けて次第に相対的に離間する円弧面や放射面やテーパ面などの傾斜面を設けた請求項1に記載の高分子アクチュエータ。前記離間領域に段差領域を設けた請求項1に記載の高分子アクチュエータ。前記駆動体は、少なくとも前記当接面の反対側の表面に、この駆動体と共に変形して駆動体に電気的外部刺激を印加する可撓性電極を配設した請求項2又は3に記載の高分子アクチュエータ。請求項4における可撓性電極を介して積層駆動体を積層して駆動部材を構成し、この積層駆動体に更に固定電極を配置して前記駆動部材の応答性能を向上させた高分子アクチュエータ。前記当接面は、表面粗さを25~500とした請求項1乃至5の何れか1項に記載の高分子アクチュエータ。複数の流路を有するボデー内に、前記高分子アクチュエータを弁体として配設し、この弁体で前記流路を開閉又は流量調整するようにした請求項1乃至6の何れか1項に記載の高分子アクチュエータを用いたバルブ。前記高分子アクチュエータの駆動体をダイヤフラム式又はピストン式の主弁を開閉するためのパイロット弁とした請求項1乃至7の何れか1項に記載の高分子アクチュエータ。前記パイロット弁に設けた弁座部の円周上に複数のオリフィスを穿設し、当該複数のオリフィスを二次側の連通路に連通させた請求項8に記載の高分子アクチュエータ。複数個のオリフィスの総流路面積を前記主弁に設けた通孔の流路面積より大とし、かつ小径で複数個のオリフィスを配設して前記高分子アクチュエータの発生応力が流体圧力の負荷に作用して前記パイロット弁を駆動させた請求項8又は9に記載の高分子アクチュエータ。前記オリフィスの径をそれぞれφ0.25~φ0.5mmとし、前記弁座部に複数個のオリフィスを設けた請求項8乃至10の何れか1項に記載の高分子アクチュエータを用いたバルブ。前記オリフィスの径をそれぞれφ0.25mm以下とし、前記弁座部に複数個のオリフィスを設けた請求項8乃至10の何れか1項に記載の高分子アクチュエータを用いたバルブ。前記複数個のオリフィスは、前記弁座部の円周上に所定ピッチで配設した請求項9乃至12の何れか1項に記載の高分子アクチュエータを用いたバルブ。前記所定ピッチは、1.8~5.5mmである請求項13に記載の高分子アクチュエータを用いたバルブ。しかしながら、シール部材を用いた軸封装置は、封止領域と非封止領域とを切り換える際に動作機構の接触や摺動を伴うため、シール部材や摺動部分に摩耗が生じやすくなり、シール性を十分に確保することが難しい。このため、この軸封装置は、流路の開閉や流量制御には適していない。また、特許文献1のバルブは、流体封止時に流体圧力をEPAM全体で受けるため、EPAMの耐圧強度が必要になると共に強い封止力も必要になる。更に、本体内に別のシール機構を必要としたり弁座を設ける必要もあって内部構造が複雑になる。しかも、このバルブは、高分子膜の印加領域全面に電極を配しているため、この高分子膜をバルブの弁体や弁体のアクチュエータ等の可動部として用いる場合、印加エネルギーに対する変形量が少なくなって効率が悪くなる。このようにバルブは、比較的小口径のバルブ用であり、大流量の流れ量を制御する場合には実用的ではない。特許文献2の軸封装置は、軸封体の移動に伴う摩耗を防いで高いシール性能を維持しつつ、簡単な内部構造により所定流量の流体を流したり、外部電気信号の調整により軸封体の膨縮変形量を調節して流体の漏れ量を高精度に制御でき、電磁弁の代替やその他の各種の用途に利用可能になっている。しかし、この軸封装置により空気中で軸封体を十分に変位させるためには数kV以上の大きな印加電圧が必要になるため、流路開閉用や流量制御用として実用化する上では変位量を確保しつつ、印加電圧の低電圧化が望まれている。この場合、軸封体の変位量を維持しつつ、例えば、1kV以下の印加電圧にすることが好ましい。本発明は、上記の実情に鑑みて鋭意研究の結果、開発に至ったものであり、その目的とするところは、簡単な構造によって高いシール性を確保でき、少ない印加電圧で変位量を増大させつつ流路の開閉制御や流量制御を高精度におこなうことができ、印加電圧を変化させることによって小流量から大流量までの流量の制御を実施可能で応答性能を向上させた高分子アクチュエータと、この高分子アクチュエータを用いたバルブを提供することにある。上記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、電気的外部刺激を介して変形する駆動体と、この駆動体の上下面側に対向配置されて正負の電気的外部刺激を駆動体に平面的に印加する固定電極を有し、前記上下面側の固定電極のうち、少なくとも一方側の固定電極を前記駆動体が変形する側に突設させ、前記駆動体が変形したときにクーロン力により変位して当接可能な当接面を設け、非印加時に、少なくとも一方の前記当接面と前記駆動体との間に離間領域を施した高分子アクチュエータである。請求項2に係る発明は、離間領域に当接面と駆動体とが外端方向に向けて次第に相対的に離間する円弧面や放射面やテーパ面などの傾斜面を設けた高分子アクチュエータである。請求項3に係る発明は、離間領域に段差領域を設けた高分子アクチュエータである。請求項4に係る発明は、駆動体は、少なくとも前記当接面の反対側の表面に、この駆動体と共に変形して駆動体に電気的外部刺激を印加する可撓性電極を配設した高分子アクチュエータである。請求項5に係る発明は、請求項4における可撓性電極を介して積層駆動体を積層して駆動部材を構成し、この積層駆動体に更に固定電極を配置して前記駆動部材の応答性能を向上させた高分子アクチュエータである。請求項6に係る発明は、当接面は、表面粗さを25~500とした高分子アクチュエータである。請求項7に係る発明は、複数の流路を有するボデー内に、高分子アクチュエータを弁体として配設し、この弁体で流路を開閉又は流量調整するようにした高分子アクチュエータを用いたバルブである。請求項8に係る発明は、高分子アクチュエータの駆動体をダイヤフラム式又はピストン式の主弁を開閉するためのパイロット弁とした高分子アクチュエータである。請求項9に係る発明は、パイロット弁に設けた弁座部の円周上に複数のオリフィスを穿設し、複数のオリフィスを二次側の連通路に連通させた高分子アクチュエータである。請求項10に係る発明は、複数個のオリフィスの総流路面積を主弁に設けた通孔の流路面積より大とし、かつ小径で複数個のオリフィスを配設して高分子アクチュエータの発生応力が流体圧力の負荷に作用してパイロット弁を駆動させた高分子アクチュエータである。請求項11に係る発明は、オリフィスの径をそれぞれφ0.25~φ0.5mmとし、弁座部に複数個のオリフィスを設けた高分子アクチュエータを用いたバルブである。請求項12に係る発明は、オリフィスの径をそれぞれφ0.25mm以下とし、弁座部に複数個のオリフィスを設けた高分子アクチュエータを用いたバルブである。請求項13に係る発明は、複数個のオリフィスは、弁座部の円周上に所定ピッチで配設した高分子アクチュエータを用いたバルブである。請求項14に係る発明は、所定ピッチは、1.8~5.5mmである高分子アクチュエータを用いたバルブである。請求項1に係る発明によると、固定電極からの電気的外部刺激により駆動体を変形させるように構成したEPAMを用いることにより別の動作機構を設ける必要がなく、摺動や接触の発生を防いで高シール性を確保しながら流路を開閉制御したり流量制御することができる。上下面側の固定電極のうち、少なくとも一方側の固定電極を駆動体が屈曲変形する側に突設させて、駆動体が変形したときにクーロン力により変位して当接可能な当接面を設け、非印加時に当接面と駆動体との間に離間領域を施しているので、電圧印加時に駆動体が変形して電極との距離が短くなるごとに離間領域に大きいクーロン力が発生し、このクーロン力により駆動体と電極とが引き合って駆動体の変形が促進される。このため、少ない印加電圧により駆動体の変位量を増大させることができる。更に、印加電圧を調節することにより駆動体の変形量を調節することもでき、この印加電圧の変化によって高精度の開閉制御や小流量から大流量までの流量制御も可能になる。しかも、電圧を最大に印加したときには、駆動体が当接面に沿うように変形するため、この最大電圧印加時において駆動体が略一定の形状に変形して安定した流路の状態を保持することが可能となる。請求項2に係る発明によると、離間領域に傾斜面を設けることにより固定電極に印加電圧を加えて駆動体が変形するときの駆動体の変形に伴うクーロン力を比例的に増大でき、この増大したクーロン力によって少ない印加電圧により変位量を増加させながら駆動体を滑らかに変位させて開閉制御や流量制御を高精度に行なうことが可能となる。請求項3に係る発明によると、離間領域に段差領域を設けることにより高精度の加工を施すことなく当接面と駆動体とを離間させることができ、段差領域を介して当接面と駆動体との間のクーロン力を増大させて少ない印加電圧で駆動体の変位量を増加させることができる。請求項4に係る発明によると、可撓性電極を設けることにより印加領域を大きくして駆動体をより大きく変位させることが可能となる。請求項5に係る発明によると、積層した駆動体を設け、この積層駆動体に更に固定電極を配置しているので、変形の応答性能が向上し、例えば、閉時の応答速度を速くすることが可能となる。請求項6に係る発明によると、当接面に表面粗さを25以上とした面を施すことで電圧に対する駆動体の応答性が高まり、印加電圧と駆動体の変形量とを比例の関係に近づけることができる。これにより、印加電圧に対する駆動体の変形量を高精度に調整でき、微少な流量制御も可能となる。請求項7に係る発明によると、全体を簡略化できることでコンパクト化を図ることができ、しかも、高分子アクチュエータによって高精度な開閉制御と流量制御とをおこなうことができる。請求項8に係る発明によると、従来の電磁弁に比べて全体構造を簡略化してコンパクト性を向上させたバルブを設けることができ、部品点数の削減や組立易さを向上させつつ、少ない消費電力により駆動体を高精度に作動させて主弁を開閉制御することができ、従来の電磁弁の代替品として機能性に優れたパイロット式のバルブを提供することが可能になる。請求項9に係る発明によると、弁座部に複数のオリフィスを穿設することでパイロット弁の流量を増大させることができ、このオリフィスを連通路に連通することで圧力損失が低減して二次側に流れる流量を更に増大できる。請求項10に係る発明によると、オリフィス径を小さくして複数箇所に配設することにより、高分子アクチュエータの発生応力を効率良く圧力の負荷に作用させてパイロット弁の駆動において高圧で大流量を確保可能となり、このパイロット弁によりソレノイドを用いたパイロット弁と同等或はそれ以上の圧力、流量制御が可能な主弁を提供することが可能になる。請求項11に係る発明によると、φ0.25~φ0.5mmのオリフィス径の複数のオリフィスを設けた場合に、所定圧力に対して所定流量が得られるパイロット弁を設けることができる。しかも、オリフィスの総面積を一定とした場合、オリフィス径を小さくすることでより高圧で大流量のパイロット弁を設けることが可能になる。請求項12に係る発明によると、オリフィス径をφ0.25mm以下とすることで、圧力に対してほぼ比例の関係により所定の流量が得られる高精度のパイロット弁を設けることができる。この場合、圧力が変動する範囲に応じて、一定の総面積を保持しながらオリフィス数を変更することで、圧力に対して所定流量の得られるパイロット弁を提供できる。請求項13に係る発明によると、円周上に所定ピッチでオリフィスを設けることで、電圧印加時の高分子アクチュエータ全体をオリフィスに対して均等に変形させることができるため、効果的に発生応力を生じさせてパイロット弁を動作させることが可能になる。更に、請求項14に係る発明によると、所定ピッチを好適な値に設定でき、より高い精度で高分子アクチュエータを動作させることが可能になる。以下に、本発明における高分子アクチュエータとこれを用いたバルブの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1においては、本発明の高分子アクチュエータの第1実施形態を示している。高分子アクチュエータ本体以下、アクチュエータ本体という1は、駆動体2と、固定電極3、4とを有している。駆動体2は、電気的外部刺激を介して変形可能な電気刺激性高分子材料から成っている。この電気刺激性高分子材料としては、誘電体エラストマーアクチュエータに使用できるものであればよく、例えば、ポリウレタンやシリコーン、ニトリルゴムなどがある。更に、ポリウレタンなどにイオン液体、電荷移動錯体などの添加剤が添加された高分子材料を駆動体として用いるようにしてもよい。一方、固定電極3、4は、適宜の導体を材料として形成されればよく、例えば、SUS304などの材料から成っている。固定電極3、4は、それぞれ駆動体2の上面2a、下面2b側に対向配設され、図示しない外部の電源のプラス極とマイナス極にそれぞれ電気的に繋がっている。これにより、固定電極3、4は、正負の電気的外部刺激を駆動体2に平面的に印加できるようになっている。上下面側の固定電極3、4のうち、少なくとも一方側の固定電極、本実施形態においては下面側の固定電極4は、駆動体2が屈曲変形する側に突設され、駆動体2が変形したときにクーロン力により変位して当接可能な当接面5が設けられ、非印加時には、この当接面5と駆動体2との間に離間領域Tが施されるようになっている。当接面5は、後述するように上下面側の固定電極や、或は、上面側の固定電極に設けられていてもよい。当接面5には、この当接面5と当接面と対向する駆動体2とが外端方向に向けて次第に相対的に離間するように傾斜面6が設けられ、この傾斜面6は、図に示すように円弧面からなっている。前述した駆動体2は、当接面5に対向する対向面7を有している。当接面5には表面粗さが25以上の面を施すことが望ましく、この場合、固定電極3、4による電圧印加に対する駆動体2の応答性が高まる。一方、表面粗さが粗くなり過ぎると同じ変位量を得る場合に、より高い印可電圧を要するため、表面粗さは500以下が好ましい。ここで、表面粗さとは、中心線平均粗さをいう。図2の模式図において、アクチュエータ本体1の固定電極3、4に電圧を印加させる電場を加えると、駆動体2には、1誘電性ポリオール又は双極子モーメントを有するポリオールが電場により配向することにより、高分子鎖の構造が変化し、電界ベクトルが分布する応力が生じる。このとき、2固定電極3、4及びその周辺部の電場によるクーロン効果により駆動体2の厚み方向の幅が減少し、この駆動体2は、厚み方向と90°方向の長手平面方向に拡張する。また、3電荷の注入と偏在化とにより、両極側において非対称な体積変化が誘起されるために応力が発生する。駆動体2は、この1~3までの応力により、下面側の固定電極4方向に屈曲変形する。このとき、図2aに示すように、下面側の固定電極4と駆動体2との距離Lは、駆動体2が変形する側に当接形成された当接面5によって図3のアクチュエータ部材10に示した距離L1よりも短くなり、電圧を印加した際には、電極に集まったマイナス電荷と駆動体のプラス電荷とによって、駆動体2とこの駆動体2と離間している固定電極4との間に大きいクーロン力が発生する。このため、駆動体2には、下面側の固定電極4との固定部8に生じるクーロン力に、距離Lによる近接状態の当接面5との間に生じるクーロン力が加算され、図2b、図2cのように駆動体2が当接面5に当接するように屈曲変形する。一方、図3の比較例に示したアクチュエータ部材10の場合、駆動体部11には、電極部12、13への電圧印加によって電極部13と固着部14との間に生じるクーロン力のみが加わる。この結果により、駆動体2は、駆動体部11に比較して変位量が増大する。しかも、当接面5に、この当接面5と駆動体2とが外端方向に向けて次第に相対的に離間する傾斜面6を設けているので、固定電極3、4への電圧を上げたときに駆動体2と当接面5との距離Lが加速度的に短くなりながら駆動体2が変形する。その際、クーロンの法則によりクーロン力による荷電粒子間に働く力がこの距離の二乗に反比例し、軸封体2と当接面5との間のクーロン力が飛躍的に増加しながら軸封体2が屈曲変形する。しかも、駆動体2と固定電極4との間の距離が短くなるときには上記したように駆動体2のプラス電荷がマイナス電極側に集中し、より大きいクーロン力が発生して変位量が増大する。これらの結果、軸封体2の一部が当接面5に当接すると、その隣接部位のクーロン力が高まって駆動体2は当接面5に貼り付くように屈曲変形する。このように、電荷の働きの機能を向上させて駆動体2を当接面5に当接させるように変形させているので、駆動体2の変位量を大きくすることができ、しかも、当接面5に円弧面6を形成していることで、駆動体2の変形もスムーズになる。上述したように、アクチュエータ本体1は、駆動体2と固定電極3、4とを有する簡単な構造であって、電気的外部刺激により駆動体2を屈曲変形させることにより、高いシール性を確保しながら動作できるアクチュエータである。このとき、少ない印加電圧によって駆動体2を大きく変位させることが可能であるため、流路開閉用や流量制御用として実用化に適したアクチュエータを構成できる。図4においては、本発明の高分子アクチュエータの第2実施形態を示している。なお、この実施形態以降において、それ以前の実施形態と同一箇所は同一符号によって表し、その説明を省略する。この実施形態におけるアクチュエータ本体20は、下面側の固定電極21の傾斜面22をテーパ面として形成したものである。この場合にも、前記の放射面を円弧面とした場合と同様に駆動体2を変形させることができ、少ない電圧印加によって駆動体2の変位量を大きくすることができる。図5においては、本発明における高分子アクチュエータの第3実施形態を示している。この実施形態のアクチュエータ本体25においては、駆動体26の上下面側にテーパ面からなる傾斜面27、27が形成されている。この場合にも、固定電極に傾斜面を形成した場合と同様に、少ない印加電圧により駆動体26の変位量を大きくできる。このように、傾斜面は、離間領域Tにおける当接面又はこの当接面と対向する駆動体の何れか一方に形成されていればよく、或は、当接面と駆動体との双方に設けられていてもよく、この場合、当接面と駆動体とが外端方向に向けて次第に相対的に離間する形状であれば、傾斜面を円弧面や放射面やテーパ面などの各種の形状に設けることができる。また、この実施形態において、放射面27は駆動体26の上下面の双方の側に形成されているが、当接面28を有する下面側の固定電極29のみに形成されていてもよい。図6においては、本発明の高分子アクチュエータの第4実施形態を示している。この実施形態におけるアクチュエータ本体30においては、下面側の固定電極31に当接面32が形成され、離間領域Tに、無印加状態で駆動体2が離間する段差領域Gが設けられたものである。この場合にも、段差領域Gを介して駆動体2と固定電極31との間のクーロン力が増大し、少ない印加電圧で駆動体2の変位量が増大する。段差領域Gは、離間領域Tにおける当接面と駆動体との一方或は双方に形成されていればよく、例えば、図に示した以外にも、駆動体2側に形成されていてもよい。この段差領域は、駆動体と当接面とが電圧の無印加状態で離間状態を維持できれば高精度に加工される必要もない。図7においては、本発明の高分子アクチュエータの第5実施形態を示している。この実施形態におけるアクチュエータ本体40は、駆動体2、固定電極3、4に加えて、可撓性電極41、42を有している。駆動体2、固定電極3、4は前述した材料と同じで形成されていればよく、下面側の固定電極4には円弧面からなる傾斜面6が形成されている。可撓性電極41、42は、適宜の導体材料により形成され、例えば、金を材料とし、スパッタにより駆動体2に金の薄膜が形成されている。そして、可撓性電極41は、当接面5の反対側の表面対向面7に配設され、駆動体2に電気的外部刺激を印加しながらこの駆動体2と共に変形するようになっている。このようにアクチュエータ本体40は、駆動体に可撓性電極41、42を蒸着することで異なる印加領域を得るようになっており、この印加領域によって駆動体2内に生じる応力分布を正負の一方に偏在させて対向する印加領域が無い側、すなわち固定電極4側に駆動体2を屈曲変形させるような電場分布を有する構成になっている。これにより、可撓性電極を設けない場合と比較して飛躍的に印加電圧を向上させることができ、駆動体2の変位量を一層増大させることができる。図8においては、本発明の高分子アクチュエータの第6実施形態を示している。この実施形態のアクチュエータ本体45においては、駆動体2に可撓性電極41、42がスパッタ等により蒸着され、固定電極3、21のうち、下面側の固定電極21にテーパ面からなる傾斜面22が形成されている。このように、可撓性電極41、42を設ける場合にも、適宜の形状の傾斜面22を設けることが可能になっている。更に、図9においては、本発明の高分子アクチュエータの第7実施形態を示している。このアクチュエータ本体50では、駆動体26の上下面側にテーパ面からなる傾斜面27が形成され、当接面5の反対の表面に駆動体26と共に変形する可撓性電極41が設けられ、駆動体26と固定電極4との間に可撓性電極42が設けられている。図10は、本発明の高分子アクチュエータの第8実施形態を示している、この実施形態のアクチュエータ本体55においては、離間領域Tに駆動体2が無印加状態で離間する段差領域Gを設けた上で、駆動体2の当接面5の反対側の表面である対向面7と、駆動体2と固定電極31との間にそれぞれ可撓性電極41、42を設けたものである。この場合、可撓性電極を設けない場合と比較して駆動体2の変位量を増大させることができる。続いて、本発明の高分子アクチュエータを用いたバルブについて説明する。図11においては、本発明の高分子アクチュエータを用いたバルブの実施形態を示している。バルブ本体60はボデー61を有し、このボデー61には入口側流路62と出口側流路63とからなる複数の流路が形成され、ボデー61内にはアクチュエータ本体65が弁体として配設されている。アクチュエータ本体65は、駆動体66と、上下面側の固定電極67、68と、可撓性電極69、70とを有し、下面側の固定電極68には、円弧面からなる傾斜面71が形成されている。電極67、68には電源回路72が接続され、この電源回路72は電源73とスイッチ74とが設けられている。この構造により、アクチュエータ本体65が動作して流路62、63が開閉状態となったり、又は流量調整される。図11においては、スイッチ74がオフの状態を示しており、この場合、駆動体66がボデー61内に形成された座面61aに当接して流路が閉状態となる。一方、図12においては、スイッチ75がオンになった状態を示しており、この場合、駆動体66に電圧が印加されてこの駆動体66が屈曲変形して座面61aから離れて入口側流路62と出口側流路63とが連通して流路が開状態となる。バルブ本体60は、このようにアクチュエータ本体65を用いて流路を開閉制御する構造に設けられていることで、全体の簡略化とコンパクト化が図られている。この実施形態におけるバルブ本体60は、スイッチ74がオフの状態で弁閉状態となる、いわゆるノーマリークローズタイプのバルブとなっているが、スイッチ74がオフ状態で弁開状態となる、いわゆるノーマリーオープンタイプのバルブとして構成することも可能である。図13においては、本発明の高分子アクチュエータを用いたバルブの他の実施形態を示したものであり、高分子アクチュエータをバルブ本体80に内蔵したものである。この実施形態におけるバルブ本体80は、ボデー81と、ダイヤフラム弁体82と、アクチュエータ本体85とを有している。ボデー81の内部には、一次側流路91、二次側流路92が形成され、一次側流路91と二次側流路92との間には、これらを接続する接続流路93が設けられている。接続流路93は、連通路98を介して一次側流路91と連通しており、この接続流路93と二次側流路92との間に、流路開閉用弁体であるダイヤフラム弁体82が設けられている。ダイヤフラム弁体82は、ボデー81内に形成された弁座94に着座可能になっていると共に、ダイヤフラム弁体82の内部には貫通孔86が形成され、この貫通孔86を介して接続流路93と二次側流路92とが連通可能に設けられている。更に、貫通孔86の上端面側には弁座部87が形成されている。アクチュエータ本体85は、駆動体95と、固定電極96、97とを有し、ダイヤフラム弁体82の上部側に配設されている。駆動体95は、ダイヤフラム弁体82の弁座部87の上面側に装着され、図示しない電源のオンオフによる固定電極96、97への電圧印加によってこの弁座部87を開閉可能になっている。このように、アクチュエータ本体85は、バルブ本体80の流路内に配設され、アクチュエータ本体85をパイロット弁として作動させることによりバルブ本体80が開閉制御される。図13においては、電源オフの状態を示しており、この場合、連通路98を介して一次側流路91と接続流路93とが同じ圧力になっており、ダイヤフラム弁体82は、一次側流路91からの圧力により弁座94に着座して接続流路93と二次側流路92とが閉じられた状態となる。この状態から電源オンにして固定電極96、97に電圧を印加すると、駆動体95の外周側が弁座部87から離れるように固定電極97側に当接するように屈曲変形し、これにより、貫通孔86を介して接続流路93と二次側流路92とが連通して流路開の状態になり、一次側流路91から二次側流路92に流体を流すことが可能になる。上記のように、アクチュエータ本体85をパイロット弁としてバルブ本体80内に内蔵した場合、全体の小型化を図りつつ、このアクチュエータ本体85を少ない電圧印加で動作させてバルブ本体80を高精度に開閉制御することが可能になる。そして、従来既知のパイロット弁であれば、操作用圧力流体を一次側流体から分流して使用する内部式パイロット弁であろうと、操作用圧力流体を外部から供給する外部パイロット弁であろうと、ソレノイドコイル、鉄心、コイル等からなる電磁弁である以上、主回路のバルブとは別の構造体として設置されていたが、この高分子アクチュエータを電磁弁のソレノイドと同等の機能を発揮させるようにすれば、部品点数の削減となって、同図のようにバルブ本体内にアクチュエータ本体を内蔵し主回路と一体的な構造とすることが可能となり組立て易さ等のメリットと相まって、低コストでよりコンパクトな代替品の提供が可能になる。この実施形態におけるバルブ本体80以外にも、各種の態様のバルブ本体内にアクチュエータ本体を内蔵することも可能であり、この場合にも少ない電圧印加で高精度の開閉制御や流量制御を実施できる。この種の構造のバルブに対して2.8kPaの圧力の空気を供給したところ、ダイヤフラム弁体の閉状態では空気の漏れ量を1mL/min以下に制御し、電圧を0.75kV印加してダイヤフラムを開状態にしたときに約600mL/minの流量を確保することができた。これに対して、従来構造の固定電極を使用したアクチュエータにおいて、2倍の電圧である1.5kVを印加した場合であっても1mL/min以下の流量のまま変化が確認されず、ダイヤフラム弁体は閉状態のままであった。以上のとおり、本発明の高分子アクチュエータを内蔵したバルブは、所定流量を制御し、小流量を制御するパイロット弁としての機能を十分に果たすことが確認された。次に、本発明における高分子アクチュエータに所定の電圧を印加し、その変位量を実験により測定した。この変位量の測定には、図14に示した変位測定装置を用いた。変位測定装置100は、左右の移動式テーブル101、102を有し、一方の移動式テーブル101にはアクチュエータ本体1を固定可能な固定部103が設けられ、他方の移動式テーブル102にはレーザ変位計株式会社キーエンス製、型式LJ-G080104が取付けられている。レーザ変位計104は、アクチュエータ本体1にレーザLを照射して駆動体2の屈曲変位量を測定可能になっている。レーザ変位計104を用いてアクチュエータ本体1の屈曲変位量を測定する場合、屈曲型の駆動体2の変位量としては、図15の模式図に示すように変位量xと変位量yとが考えられるが、変位量yは変位量xに比較してその変位する量が大きく、測定の誤差の影響を受けにくいため、この変位量yをアクチュエータ本体1の変位量として定義付けてこの変位量yを測定した。この場合、アクチュエータ本体の上面側をプラス側、下面側をマイナス側とし、プラス側に変位した場合はその変位量をプラスで表し、マイナス側に変位した場合にはその変位量をマイナスで表すこととする。次に、図33はパイロット弁を用いたバルブの更に他の実施形態を示した断面図、図34は図33の一部拡大断面図、図35は図33におけるオリフィスの模式図を示している。ここで、高分子アクチュエータを用いてパイロット弁を構成しようとする場合、一般的なパイロット弁における駆動用のソレノイドに対して高分子アクチュエータの発生応力は小さいため、高分子アクチュエータを使ったパイロット弁ではソレノイドを使ったパイロット弁と同程度の圧力、流量を制御することが難しいという問題がある。さらには、耐久性や応答速度でも一般的なパイロット弁に比べて性能が劣りやすくなる。図33のパイロット弁では、これらの問題を解決するようにしたものである。図33においては、内部にパイロット弁を有するバルブ131を示している。バルブ131は、パイロット弁130と、一次側流路132aと二次側流路132bとこれらの間に設けられた環状弁座133を有し、環状弁座133に着座可能にピストン式からなる主弁134が設けられている。このように、このバルブ131では、高分子アクチュエータの駆動体2を、ピストン式の主弁134を開閉するためのパイロット弁130としたものである。この場合、主弁134がダイヤフラム式である場合にも、同様にしてバルブを構成できる。また、この実施形態では、パイロット弁130をピストン式の主弁134を開閉するために用いているが、このパイロット弁130を単体で使用することもできる。例えば、単体としてバルブを使用する場合、使用流体は粘性の低い流体が良く、特に空気などの気体流体が好適である。さらに、これらの流体を制御する開閉弁、流量調整弁に適用することができる。また、所定ピッチでオリフィス数を増やすことでより多くの流量を確保することが可能で工場配管や機械設備などに適用でき、特にシリンダ駆動用の電磁切換弁として使用することで低消費電力での駆動が可能である。パイロット弁130は、バルブ131のカバー135aとキャップ135bとにより内部に設けられる収納室136に収納され、この収納室136は、後述の通孔134aを介して一次側流路132aと連通されている。バルブ131は、この態様のパイロット弁130を有していることによって、大流量が要求される用途にも利用可能である。パイロット弁130は、バルブ131の外部に配置されていてもよい。バルブ131におけるパイロット弁130は、図示しない可撓性電極を有する駆動体2と、傾斜面6に沿うように配設される固定電極3と、固定電極3に対応する固定電極4とを有し、これらから成る高分子アクチュエータ本体により構成されている。駆動体2は、固定電極3、4の間に装着され、固定電極3は第1駆動体ホルダー137a、固定電極4は第2駆動体ホルダー137bに設けられている。各固定電極3、4は、図示しない電源に接続される。この電源から固定電極3、4を介して駆動体2に電圧が印加される。この実施形態では、第1駆動体ホルダー137a、第2駆動体ホルダー137bに別体の固定電極3、4が設けられているが、固定電極は第1駆動体ホルダー137a、第2駆動体ホルダー137bに一体に設けられていてもよい。このように、各駆動ホルダーに対して、固定電極を一体又は別体に設けることができる。このバルブ131では、内部に高分子アクチュエータにより作動するパイロット弁130を組み込むことで全体をコンパクト化でき、しかも、板状の駆動体を複数の小さいオリフィスに対して動作させて圧力制御しているため、パイロット弁130の高さ方向を低くでき、バルブ131の更なる小型化が可能になる。図33に示すように、第1駆動ホルダー137aは略円柱状に形成され、底面側には前記の傾斜面6が設けられている。この傾斜面6には前記の固定電極3が設けられ、電圧印加時には駆動体2が傾斜面6に沿うように変形する。第1駆動ホルダー137aは、Oリング140を介して螺着によって上下動可能にキャップ135bに取り付けられ、駆動体2に対して傾斜面6の高さを調整可能になっている。第2電極ホルダー137bは略筒状に形成され、その上面側に駆動体2が着座する弁座部139と前記固定電極4が設けられている。弁座部139の円周上には複数のオリフィス141が穿設されている。この複数のオリフィス141は、第2電極ホルダー137bの内側に形成された二次側の連通路138に連通して形成されている。第2駆動ホルダー137bは、Oリング142を介してカバー135aに固定され、その固定後にはオリフィス141を介してパイロット弁130の一次側と二次側とが連通するようになっている。図35に示すように、オリフィス141は中心Pから等間隔で放射状に設けられ、例えば、φ0.5mmの穴径の場合、2~8個程度設けられる。図において、駆動体2の外径は、オリフィス141及び第1駆動体ホルダ137a第2駆動体ホルダ137bの外径よりも大径に形成される。これにより、電圧を印加しない状態においては、駆動体2が弁座部139を閉塞してオリフィス141が確実に塞がれ、電圧印加時においては、駆動体2が傾斜面6に沿うように変形してオリフィス141による連通流路が確実に形成される。主弁134は、略円板状の形状を呈し、カバー135aに形成された挿通穴143に上下動自在に取り付けられる。カバー135a内部には空間状の案内部144が設けられており、主弁134はこの案内部144によりガイドされながら上下移動する。そのため、流体の作用で主弁134が異中心になりにくくなっている。主弁134には、中央部位にオリフィス141と連通する通気孔134b、環状弁座133よりも外周側となる位置に通孔134aが形成されている。このバルブ131では、固定電極3、4からの電圧の印加又は電圧の印加停止によりパイロット弁130の駆動体2を動作させ、この駆動体2により弁座部139を開閉してオリフィス141を連通状態又は閉塞状態にしてパイロット弁機能を発揮するようになっている。パイロット弁130は、電圧を印加したときに駆動体2が開動作するノーマリークローズタイプとなっている。図33、図34において、電圧の印加を停止してパイロット弁130を閉状態としたときにはオリフィス141が駆動体2により閉止され、一次側流路132aが通孔134a、カバー135aに形成された穴部145、収納室136と連通し、二次側流路132bは通気孔134bと連通した状態となる。このとき、主弁134の圧力を受ける面積について下方側二次側よりも上方側一次側のほうが大きいため、主弁134が環状弁座133に押し付けられる。この動作によって、一次側流路132aと二次側流路132bとが閉止される。ついで、固定電極に電圧印加することにより駆動体2が変形してパイロット弁130が開状態となった場合、収納室の圧力がオリフィス141、通気孔134bを介して二次側流路132bに抜けるため主弁134が下方側から圧力を受け、この一次側圧力によって主弁134が案内部144に沿って押し上げられる。そのため、主弁134が環状弁座133から離間し、一次側流路132aから二次側流路132bに流体が供給される。このとき、パイロット弁130をバルブとして機能させるための条件として、通孔134aの流量をQ1、弁座部139上のオリフィス141の総流量をQ2とすると、流量Q1よりも流量Q2が大きくなければ主弁134の上部側と下部側とで差圧が発生しないためパイロット弁として機能させることができない。また、流量Q1により閉の応答速度が大きく影響を受け、流量Q2と流量Q1との差により開の応答速度が影響を受ける。そのため、流量Q2をより多くすることで、開閉の応答速度を広範囲で設定することが可能になる。このバルブ131では、図に示すように第2電極ホルダー137bの内側に連通路138を一体形成していることで弁座部139上に開口されるオリフィス141を複数設けて流量を増大させることができる。また、この一体化により、圧力損失を低減させながら二次側流路132bに流れる流量を増大できる。オリフィス141の径を小さくしながらこのオリフィスを複数配設したときには、高い圧力時においてもスムーズに開閉動作できる。バルブ131は上記のような構成であるから、パイロット弁130のオリフィス径を小さくすることで高分子アクチュエータの発生応力を効率良く圧力の負荷に作用させることが可能となる。このため、パイロット弁130の駆動時に高圧で大流量を確保可能となる。上記のパイロット弁130について、図示しない圧力計と流量計とを1次側に接続し、オリフィスの個数や穴径、及び圧力を変えながら電圧を印加して駆動体を動作させたときの1次側圧力や流量を測定した。この場合、パイロット弁部分のみを圧力や流量の測定対象とし、バルブ131の主弁134の動作による圧力、流量の影響を受けないようにするため、パイロット弁130のみから成る機構を設け、このパイロット弁機構について圧力、流量を測定した。このパイロット弁について、オリフィス141の総流路面積を一定にし、オリフィス径をφ1.0、0.5、0.25mmと変えて、同じ円周上φ14mm上に配設したときの流量と圧力とを測定した。その測定結果を図36に示す。このとき、高分子アクチュエータの条件として、駆動部に厚さ0.5mmのエステル系ポリウレタンを用い、駆動電圧を1.5kVとして傾斜電極に図33の形状のものを用いた。流量の測定については、電圧印加から10秒後とした。オリフィス141の総流路面積としては、φ1.0mm×1個のオリフィスの流路面積を基準とし、φ0.5mm×4個、φ0.25mm×16個のオリフィスを配設した。各オリフィスについて、総流路面積は一定であるため圧力損失を考慮した上でも理論上の流量はほぼ一定となるはずであるが、実際の図36の測定結果は大きく異なるものとなった。同図より、オリフィスの総流路面積が一定である場合、オリフィス径をより小さくすることで、より高圧で大流量のパイロット弁の提供が可能になることがわかった。次に、φ0.25mmのオリフィス141の数を8、16、24、48個と変えて、同一円周上φ14mm上にこのオリフィス141を配置したときの圧力と流量との関係を測定した。その測定結果を図37に示す。同図において、オリフィス数が8個と16個との場合を比較すると、何れの圧力においてもオリフィス16個の流量がオリフィス8個の流量のおよそ2倍になっており、理想的な関係になっているといえる。しかし、オリフィス16個とオリフィス48個とを比較した場合、3倍の流量が流れれば理想的ではあるが実際にはその流量を下回る結果になった。また、オリフィス24個のときに、0.2MPaを境に傾きが小さくなっている。これは、0.2MPa以下では高分子アクチュエータの発生応力が圧力による負荷より大きく、0.3MPa以上の圧力では発生応力と圧力による負荷が拮抗しているためである。図37より、たとえ同径のオリフィスの数を増やしたとしても必ずしも流量増にはならないことがわかる。同図においては、0.4MPa以上の圧力では16個以下のオリフィス141を必要な流量に合わせて配置すればよく、0.2MPa以下の圧力で24個以下のオリフィス141を必要な流量に合わせて配置すればよいことが確認できた。さらに、異なる直径の円周上や直線、その他の形状でオリフィス141を配設する場合には、0.4MPa以上のときは2つのオリフィス141、141の中心が、例えば2.7mm以上離れていればよく、0.2MPa以下では、例えば1.8mm以上離れていればよいことが確認された。更に、φ0.5mmのオリフィスについて、異なる圧力0.1、0.08、0.06MPaのときに最も多くの流量が流れる同一円周上φ14mm上の望ましいオリフィス数を調べた。異なる圧力時における流量の測定結果を図38に示す。この場合、0.08MPaでは8個のときが最も多くの流量となり、0.06MPaのときには16個の場合に多くの流量となった。このことから、φ0.5mmの比較的大きい穴径のオリフィスでは、圧力が高くなると流量が低くなる傾向にあり、穴数を増やしても流量を増やすことはできないことが確認された。また、異なる直径の円周上や直線、その他の形状にオリフィス141を配設する場合には、0.08MPa以上のときには2つのオリフィス141、141の中心が、例えば5.5mm以上離れていればよく、0.06MPa以下では、例えば2.7mm以上離れていればよいことが確認された。続いて、上記の測定結果を考慮しつつ、オリフィスを介して高分子アクチュエータ駆動体を駆動させて圧力、流量を制御する態様のパイロット弁をバルブ内に組み込む際に、このパイロット弁の望ましいオリフィスの穴径、間隔を検討する。この検討として、パイロット弁の内部に所定圧力の負荷が加わった場合に、駆動体によってオリフィスを開状態にできないときの限界のオリフィスの穴径及び間隔を述べる。先ず、オリフィスの穴径が駆動体の動作に与える影響を説明する。図39においては、図34におけるオリフィス141周辺を模式的に表したものであり、パイロット弁130の駆動体2に電圧が印加されておらず、この駆動体2でオリフィス141が塞がれた状態を示している。このようなオリフィス141を開動作できない状態において、高分子アクチュエータに発生する応力と、図34の収納室136内における圧力の負荷との関係は、高分子アクチュエータの発生応力<圧力による負荷式1となる。その際、収納室136内には所定圧力が満たされ、二次側流路132bの圧力がゼロになっている。二次側流路132bの圧力がゼロでない場合には、図39の矢印に示した収納室136とオリフィス141とに挟まれた領域で駆動体2にかかる圧力Q1は、収納室136と二次側流路132bとの差圧となる。図40においては、図39の高分子アクチュエータに所定の電圧を印加したときに、式1の状態が維持されて、パイロット弁130が開状態まで動作しない場合を表している。ここで、式1から、高分子アクチュエータに働く力M1とは、図40において下向きの矢印で示した圧力の負荷Wに対して、電圧印加時に変形領域R1における面積S1で上向き矢印で示した発生応力σ1と、変形領域R1の面積S1との積になる。変形領域R1の面積S1とは、固定電極3、4の当接面3a、4aに接していないオリフィス141周辺の駆動体2の面積であり、当接面3a、4aに接している駆動体2の部分変形領域R1の外側の部分による発生応力は、圧力の負荷Wに作用しないことは明らかである。駆動体2の圧力の負荷Wが加わる部分に関して、オリフィス141上に密着している部分には下向きのみの圧力の負荷がかかる。式1の状態のときには、オリフィス141上の駆動体2が固定部位になり、この固定部位以外の部分が自由端部に近い状態となり発生応力σ1により弾性力を発揮できる状態となる。この場合、電圧印加時には、駆動体2の自由端部に当接面3a方向への応力が発生し、図40に示すように駆動体2は当接面3a側に張り付くこととなる。この状態において、駆動体2の自由端部側に働く発生応力をσ1、この発生応力σ1の負荷が作用する変形領域R1の間隔J1における前記面積をS1、オリフィス141部分に加わる圧力をQ1、この圧力Q1が加わるオリフィス面積をDとし、これらを式1に代入すると、パイロット弁130が開状態でないときの関係は、発生応力σ1×面積S1<圧力Q×オリフィス面積D式2で表わされる。上記の発生応力σ1は、面積S1のうち、図41に示すオリフィス141上の駆動体2が平らになる部分の間隔J1bにおける面積S1bと、この面積S1b周辺の駆動体2が傾斜する部分の間隔J1aにおける面積S1aとに働くことになる。このように、オリフィスの発生応力σ1が働く部分を面積S1a、面積S1bに分けた場合、それぞれに対して平均距離H1、平均距離H2を介して発生応力σ1による力が働く。このとき、図41に示すように、平均距離H2は当接面3aから駆動体2の平らな部分まで、平均距離H1は当接面3aから駆動体2の傾斜部分の距離の平均値までとなり、この平均距離H1は、平均距離H2のおよそ1/2になる。すなわち、平均距離H2>平均距離H1の関係となることから、駆動体2の平らな部分に働く発生応力をσ1b、傾斜部分に働く発生応力をσ1aとすると、クーロンの法則より荷電粒子間に働く力は距離の二乗に反比例するため、発生応力σ1b<発生応力σ1aの関係になる。発生応力σ1として、これらの発生応力σ1a、σ1bを式2に代入すると、以下の式3となる。発生応力σ1a×面積S1a発生応力σ1b×面積S1b<圧力Q1×オリフィス面積D式3この場合、傾斜部分に働く力発生応力σ1a×面積S1aは、発生応力σ1aや駆動体2自体が有する弾性力などに影響を受ける。式3において、圧力Q1が加わるオリフィス面積Dは発生応力σ1bが加わる面積S1bと等しくなる。すなわち、式3は、発生応力σ1a×面積S1a発生応力σ1b×面積S1b<圧力Q1×面積S1b式4となる。式4において、面積S1bを小さくしてゼロに近づけた場合には、式4は、発生応力σ1a×面積S1a<0式5の関係に近づくことになる。式5より、電圧印加時における高分子アクチュエータに働く力は、発生応力σ1aと面積S1aとの積によってその大小関係が大きく左右される。また、式4において、発生応力σ1aと圧力Q1とが一定である場合にパイロット弁が開状態でないときには、オリフィス面積D面積S1bを小さくすることで式3又は式4における発生応力σ1b×面積S1bの値が相対的に大きくなって式3、式4の関係が満たされなくなる。このように、オリフィス141が開動作しない条件である式3、式4が満たされないことで、パイロット弁が開動作する。例えば、オリフィス径をφ0.25mm以下にした場合、オリフィス面積Dがφ0.25の時より小さくなるので、図37より0.4MPa以上の圧力であってもパイロット弁が開状態になりやすい。また、図37の電圧印加時の発生応力より低い場合でも0.4MPaの圧力が開閉できる。ようするに発生応力と印加電圧は密接な関係にあるので低電圧化できる。上記のことから、パイロット弁130のオリフィス141を開状態にできない場合を式3、式4で表わしたときには、オリフィス面積D面積S1bを小さくした場合にパイロット弁が開状態になりやすくなり、すなわち、オリフィス141が小径である場合にパイロット弁としての機能を向上できるといえる。次いで、オリフィスの間隔が高分子アクチュエータの動作に与える影響を検討する。図42においては、間隔の異なるオリフィス141に対して駆動体2が動作した状態を示したものである。図中、間隔K1aを介してオリフィス141、141が設けられている。一方、間隔K1aよりも距離の短い間隔K1bでオリフィス141、141が設けられている。電圧印加時に駆動体2が変形する際には、駆動体2は弁座部139側で間隔K1aで接触したときにこの間隔K1aの中間位置で固定電極3に接する形状になる。このように間隔K1aは、隣り合うオリフィス141、141の間で、駆動体2の一部が固定電極3の当接面3aに当接するために必要な最低限の距離になっている。この間隔K1aがオリフィス141、141同士の最小間隔になる。一方、間隔K1bを介して設けられたオリフィス141、141は、当接面3aに接することができない状態になっている。間隔K1aにおける駆動体2から当接面3aまでの平均距離をH3、間隔K1bにおける駆動体2から当接面3aまでの平均距離をH4とすると、平均距離H3<平均距離H4の関係になり、前述したクーロンの法則から間隔K1aにおける発生応力のほうが間隔K1bにおける発生応力よりも大きくなる。このため、仮にオリフィス141を間隔K1aで駆動体2に配設した場合のパイロット弁が開動作しないときには、同じ駆動体2でオリフィス141を間隔K1bに設けたとしてもパイロット弁が駆動することはない。また、間隔K1aよりも広い間隔でオリフィス141を配設した場合、駆動体2の傾斜部分に働く発生応力は変わることがないため、オリフィス141を複数設ける場合には間隔K1aのピッチで配設することが望ましい。例えば、オリフィス径がφ0.25の場合、図37からオリフィスのピッチK1aを2.7mmとすれば、ピッチを2.7mmで配設さえすればパイロット弁を0.4MPaの圧力で駆動することができる。ようするに、オリフィスを配設する円周を大きくしてピッチ2.7mmでオリフィスを配設した場合、オリフィス数が多くなり総流路面積が大きくなるのでより多くの流量を確保できる。上述したように、この実施形態におけるバルブ131では、複数個のオリフィス141の総流路面積を主弁134に設けた通孔134aの流路面積より大とし、かつ小径で複数個のオリフィス141を配設して、高分子アクチュエータの発生応力が流体圧力の負荷に作用してパイロット弁130を駆動させるようになっている。このように構成することで、パイロット弁130による機能を確実に発揮させながらバルブ131を駆動でき、高分子アクチュエータによる発生応力が向上することでソレノイドを利用した一般的なパイロット弁と同程度或はそれ以上の圧力、流量を制御することが可能になる。更に、耐久性、応答速度の点においても、一般的なパイロット弁に比べて性能の高いものを提供できる。また、オリフィス141の径をより小さくすることで、オリフィス141への流量を最大にできる隙間となる高分子アクチュエータのストローク量もしくはリフト量を小さくできるため、応答速度がより向上する。例えば、オリフィス141の流量が最大になる隙間として、φ0.5mmの径のオリフィスの場合には、このオリフィスの上部側の隙間が0.125mm必要になるのに対して、φ0.25mmの径のオリフィスの場合には、その上部側の隙間が0.0625mmとなるので、高分子アクチュエータの変形速度が一定であるときに、オリフィスの流量が最大になるまでの時間を半分に抑えることができる。固定電極3の当接面3aと駆動体2との離間距離を短くできるので、クーロンの法則によって発生応力をより大きくでき高圧の流体を制御できる。高分子アクチュエータのストローク量が小さくなるので、駆動体2や通常柔軟性を有している電極の作動時の負荷が小さくなって作動耐久性が向上する。また、前述したオリフィスの径を変えたときの流量、圧力の測定結果から、オリフィス141の径をそれぞれφ0.25~φ0.5mmとし、弁座部139に複数個のオリフィス141を設けるとよい。更に、オリフィス141の径をそれぞれφ0.25mm以下とし、弁座部139に複数個のオリフィス141を設けることがより望ましい。この場合、オリフィス141を弁座部139の同一円周上に所定ピッチで配設することで、高分子アクチュエータ全体をこのオリフィス141に対して均等に変形させて効果的な発生応力でパイロット弁を動作できる。その際、所定ピッチは、1.8~5.5mmであることが好ましい。更に、弁座部の同一円周上以外の所定ピッチにオリフィスを設けるようにしてもよく、異なる径の複数の円周上にオリフィスを配設してオリフィス同士のピッチをより細かく設定したり、或は、オリフィスを円周上以外の位置に並べるように配してもよい。図33~図42に示した高分子アクチュエータは、パイロット弁の一例を示したが、これに限定されることなく、図33~図42を複数の流路を有するボデー内に、高分子アクチュエータを弁体として配設し、この弁体で流路を開閉又は流量調整するようにした高分子アクチュエータを用いたバルブに応用できることは勿論である。図43においては、内部にパイロット弁を有するバルブの他例を示したものである。このバルブ111は、一次側流路112a、二次側流路112b、環状弁座113を有し、環状弁座113に着座可能に通孔114aを有するダイヤフラム114が設けられ、パイロット弁110を動作させたときにダイヤフラム114を流路開閉用弁体として動作させて押圧閉止する構造である。図44においては図43の一部拡大図を示しており、図45は、同上に示すパイロット弁を用いた流量測定装置の概念図である。前述した図13のバルブでは、2.8kPaの空気を開閉制御できる例を示しているが、この実施形態のバルブでは、20kPaの空気の開閉制御を、図13の実施形態と同等の電圧0.75kVで制御することが可能になっている。パイロット弁110は、カバー115aとキャップ115bから成る収納室116に収納され、この収納室116は、連通孔112c及び通孔114aを介して一次側流路112aと連通されている。バルブ111は、前記のバルブ131と同様に、パイロット弁110により大流量を流す場合に適している。パイロット弁110は、バルブ111の外部に配置された構造であってもよい。パイロット弁110は、可撓性電極41を有する駆動体2に傾斜面6を有する固定電極3とこれと対応する固定電極4より成る高分子アクチュエータ本体で構成されている。図中、117aは第1駆動体ホルダー、117bは第2駆動体ホルダーであり、これらの間に駆動体2が装着され、固定電極3、4を介して電圧が印加される。117cは固定電極3、4に電圧を印加する電源である。118は二次側流路112bとダイヤフラム114の通気孔114bを介して連通する連通路である。このバルブ111においては、固定電極3、4からの電圧の印加又は電圧の印加停止により連通路118の一端に設けた弁座部119に対して駆動体2を開閉駆動するように設けてパイロット弁機能を発揮させている。その際、パイロット弁110は、電圧印加時に駆動体2が開動作するノーマリークローズタイプとなっている。図44において、距離Aは、異なる電極の固定電極3、4の間の放電を防ぐために必要であり、印加する電圧が高ければ高いほどその距離Aを長くする必要がある。図43、図44において、パイロット弁110が閉状態のときには、弁座113は収納室116の圧力によって閉止され、一次側流路112aは連通孔112c、通孔114a、収納室116と連通し、二次側流路112bは通気孔114b、連通路118と連通した状態になっている。このとき、ダイヤフラム114の圧力を受ける面積に関して、一次側よりも二次側のほうが大きいため、ダイヤフラム114は弁座113に押し付けられる。これにより、一次側流路112aと二次側流路112bとが閉止される。ついで、固定電極3、4に電圧を印加することにより駆動体2が変形してパイロット弁110が開状態となった場合、収納室116内の圧力が連通路118、通気孔114bを介して二次側流路112bに抜けるので、ダイヤフラム114は下方側からのみ圧力を受け、この二次側圧力によりダイヤフラム114が押し上げられる。そして、弁座113からダイヤフラム114が離間して一次側流路112aから二次側流路112bに流体が供給される。この場合、図45に示す測定装置で電圧印加時の流量を測定した結果を示す。図45は、図43に示すバルブ111の二次側に流量計120を設けて、パイロット弁110への電圧印加時の流量を測定する状態を示す測定装置の概念図である。このとき、20kPaの圧力をバルブ111に供給した場合、パイロット弁110に電圧を0.75kV印加してパイロット弁110が開状態になったとき、約25L/minの流量を確保することができた。このように、高分子アクチュエータをパイロット弁として作動させることで大流量を流すことが可能になっている。このときのバルブ111の電圧と流量との関係を図46のグラフに示している。この場合、電圧の印加を停止したとき、流量の閉時の応答速度が遅いことが確認できる。バルブ111を繰り返し開閉させたときの電圧と流量との関係を図47に示す。このとき、電圧を印加してから流量が流れる開状態への応答速度は、約0.5Sで、電圧の印加を停止して流量が流れなくなる閉状態への応答速度は約2.0Sである。この応答速度の違いは、電圧印加時は分子の配向、クーロン力、電荷への注入、偏在化などでパイロット弁110の駆動体2が屈曲するのに対して、電圧印加を停止したときは、駆動体2の弾性により旧位に戻ることが大きな要因と考えられる。その他、電圧印加時に発生した応力の残留や駆動体2の粘着性により電極に駆動体2が貼り付いているため応答速度が遅いと考えられる。なお、ここで応答速度とは、電圧をオンオフしてから最終値25L/minの63.2時定数の値に達するまでの時間をいう。図48と図49は、高分子アクチュエータの他の実施形態を示したものであり、これによると、図46と図47に示した流量の閉時の応答速度が遅い状態を解消することが可能となる。この解消するための手段を以下に説明する。同図において、駆動体2に可撓性電極41を介して積層駆動体9aを積層して駆動部材9を構成し、この積層駆動体9aに更に固定電極3aを配置して駆動部材9の閉時の応答性能を向上させるようにしている。この場合、電源73に電源回路72a、72b、72cを介して固定電極4、固定電極3並びに固定電極3aに接続し、電源回路の途中にスイッチ74,74aを配置している。図48は、下方への屈曲状態を示し、図49は上方への屈曲を示している。下方に屈曲する場合は、図48に示すように、スイッチ74を入れ、スイッチ74aを切り、固定電極4にプラスと固定電極3を介して可撓性電極41にマイナスの電圧を印加し、一方、上方へ屈曲させる場合は、図49に示すようにスイッチ4aを入れ、スイッチ74を切り、固定電極3aにプラスと固定電極3を介して可撓性電極にマイナスの電圧を印加すると、開閉両方の応答速度が約0.5Sになり、したがって、閉時の応答速度が遅い状態を解決することができる。同図に示すように、積層駆動体9aを積層して駆動部材9を構成することによって、旧位に戻るときも、積層駆動体9aを高分子アクチュエータとしての機能を発揮させることもできるので、分子の配向、クーロン力、電荷の注入、偏在化によって旧位に強制的に変位するため、駆動部材9は上下の両方向への高い応答性能を得ることができる。なお、図48、49に示した高分子アクチュエータを図11、図12並びに図13に示したバルブに適用でき得ることは勿論である。図1に示した円弧面6を有する固定電極4を備えたアクチュエータ本体1を図16の寸法に形成し、このアクチュエータ本体1を供試品Aとして駆動体2の変位量を上記の変位測定装置100により測定した。一方、このアクチュエータ本体1との比較用として、図3に示したアクチュエータ部材10を図17に示した寸法に形成し、これを比較品aとして駆動体部11の変位量を同様に測定した。図16の供試品Aにおける駆動体2は、テトラブチルアンモニウムクロリドを0.5wt添加したエステル系ポリウレタンからなり、直径20mm、厚さ0.1mmに形成されている。一方、マイナス側の固定電極4には傾斜面6が形成され、プラス側の固定電極3は全体が駆動体2に固着されている。供試品Aに2kVの電圧を所定時間印加したときの電圧の印加状態を図18a、電圧印加時の駆動体2の変位量の測定結果を図18b、比較品aに2kVの電圧を所定時間印加したときの電圧の印加状態を図19a、電圧印加時の駆動体部11の変位量の測定結果を図19bに示す。この測定結果より、図18bに示した供試品Aの場合には約0.35mmの変位量、図19bに示した比較品1の場合には約0.1mmの変位量となった。よって、供試品Aは、比較品aよりも変位量が大きくなることが実験により確認された。図7に示した円弧面6を有する駆動体2に可撓性電極41、42を形成したアクチュエータ本体40を図20の寸法に形成したものを供試品Bとした。供試品Bにおける駆動体2は、テトラブチルアンモニウムクロリドを0.5wt添加したエステル系ポリウレタンからなり、直径20mm、厚さ0.1mmに形成されている。この駆動体2には、マイナス側において金の薄膜が直径16mm以下にスパッタで形成され、プラス側においては金の薄膜が全面にスパッタで形成されている。一方、マイナス側の固定電極4には傾斜面として前記円弧面6が形成され、プラス側の固定電極3は全体が駆動体2に固着されている。図21においては、図3のアクチュエータ部材に対して可撓性電極部14、15を形成したアクチュエータ部材16である比較品bを示している。比較品bにおける駆動体部11は、固定電極部13が当接面を有しない従来構造であり、駆動体部11のマイナス側に金の薄膜が直径16mm以下にスパッタで形成されて可撓性電極部15が構成され、プラス側には金の薄膜が全面にスパッタで形成されて可撓性電極部14が構成されている。供試品Bに1kVの電圧を所定時間印加したときの電圧の印加状態を図22a、電圧印加時の駆動体2の変位量の測定結果を図22b、比較品bに1kVの電圧を所定時間印加したときの電圧の印加状態を図23a、電圧印加時の駆動体部11の変位量の測定結果を図23bに示す。この測定結果より、1kVの印加電圧を加えたときに、図20の供試品Bの場合には図22bに示すように約0.65mmの変位量、図21の比較品bの場合には図23bに示すように約0.05mmの変位量が確認された。よって、供試品Bは、比較品bよりも変位量が大きくなり、しかも、前述した実施例1の実験の場合と比較して、供試品の変位量と比較品の変位量との割合の差が大きくなることが確認された。このことから、固定電極が当接面を有し、駆動体に可撓性電極を設けた供試品Bは、より大きな変位量が得られることが確認された。また、図8におけるアクチュエータ本体45を図24の寸法に設けたものを供試品Cとした。この供試品Cに0.3kVの電圧を所定時間印加したときの電圧の印加状態を図25a、電圧印加時の駆動体2の変位量の測定結果を図25bに示す。この測定結果より、供試品Cは、図21の比較品bの測定結果である図23と比べて少ない印加電圧で、より大きい変位量が得られることが確認された。なお、当接面の外端部と駆動体との距離は、アクチュエータとして必要な変位量から設定することができ、前記の図16のような円弧形状の場合はR5以下の円弧形状が望ましく、図24のようなテーパ形状の場合は当接面の傾斜面が45度以下が望ましい。また、アクチュエータとして必要な変位量から当接面の外端部と駆動体との距離を決定するため、設計や加工性の点から円弧形状よりテーパ形状の方が良い。図10に示したアクチュエータ本体55を図26の寸法に設けたものを供試品Dとした。この供試品Dに1kVの電圧を所定時間印加したときの電圧の印加状態を図27a、電圧印加時の駆動体2の変位量の測定結果を図27bに示す。この測定結果より、供試品Dを図21の比較品bの測定結果である図23と比べた場合、同じ印加電圧で、より大きい変位量が得られることが確認された。続いて、図7のアクチュエータ本体40を図28の寸法に形成したものを供試品Eとし、この供試品Eに対して0.1kV刻みでステップ状に印加電圧を上げて駆動体2の変形部分を屈曲変形させて固定電極4の円弧面6と接するまで変位させ、その後、0.1kV刻みでステップ状に印加電圧を下げるようにした。このときの電圧の変化と駆動体の変位量の変化とを図29に示す。図29の測定結果より、同じ印加電圧であっても、印加電圧を上げたときと下げたときでは変位量が異なる場合があり、変位量の変化の軌跡は、電圧の上昇と下降とで異なっている。すなわち、印加電圧を0.7kVまで上げたときには変位量が大きくなるが、印加電圧を0.7kVまで下げたときには旧位まで形状が戻らず、0.4kVまで下げたときに大きく旧位まで変形する。このことから、このアクチュエータ本体40は、電圧上昇時と下降時とにおいて、印加電圧とその変位量とがほぼ比例関係にあった従来のアクチュエータに比べて、印加電圧の上昇により大きく変位させた変位量を、この電圧上昇時よりも低い印加電圧により維持することが可能であると言える。次いで、図28のアクチュエータ本体40の駆動体2における当接面5の表面粗さを25としたものを供試品Fとし、この供試品Fに供試品Eの場合と同様に0.1kV刻みでステップ状に印加電圧を上昇下降させた。このときの電圧の変化と駆動体2の変位量とを図30に示す。また、このときの印加電圧と変位量とを横軸と縦軸としたグラフを図32に示し、このグラフと同様に供試品Eの印加電圧に対する変位量の変化を図31のグラフに示す。なお、前述した供試品Eにおける表面粗さは、1.6である。また、表面粗さとは、中心線平均粗さをいう。図30と図29とを比較すると、図30の供試品Fは、印加電圧に対して変位量がより比例するように変化していると言える。すなわち、図31のグラフよりも図32のグラフのほうがより直線的であり、表面粗さを25にすることで印加電圧と変位量との関係が比例の関係に近づいていることが確認された。このように、供試品Fは、印加電圧の変化に対して変位量が比例的に変化するため、特にリニア制御に適しており、微少流量の制御にも適していると言える。また、この供試品Fや供試品Eは、特定の印加電圧に対して特定の変位量が得られるため、この応答を利用したオンオフ制御に適しており、図29や図30の所定の印加電圧に対して異なる変位量が得られることを利用して、各種の制御機器などへの利用が可能になる。"