"イオンゲルと、複数のナノ粒子と、を含み、前記イオンゲル内部に前記複数のナノ粒子が分散されていることを特徴とするナノ粒子分散イオンゲル。前記イオンゲルは、イオン液体をゲル化したものであることを特徴とする請求項1に記載のナノ粒子分散イオンゲル。イオンゲル内部に複数のナノ粒子を形成する第1の工程を含み、前記第1の工程は、内部気圧を大気圧よりも減圧させた蒸着装置を用いて行うことを特徴とするナノ粒子分散イオンゲルの製造方法。更に、前記イオンゲルを生成する第2の工程と、を含み、前記第2の工程は、イオン液体とゲル化剤とを含む混合液を攪拌する工程と、攪拌させた前記混合液を乾燥させる工程と、を含むことを特徴とする請求項3に記載のナノ粒子分散イオンゲルの製造方法。ナノ粒子を用いることで様々な応用が広がるものであるが、ナノ粒子を用いた加工においてナノ粒子表面の修飾物が加工の邪魔になる場合があると考えられる。また、該修飾物を分離してナノ粒子を用いる場合でも、修飾物を分離してしまった後のナノ粒子の活性が高いことから、ナノ粒子の取り扱いが難しくなる場合があると考えられる。本発明は、上述した問題若しくは課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例若しくは実施形態をとることができる。[適用例1]本適用例にかかるナノ粒子分散イオンゲルは、イオンゲルと、複数のナノ粒子と、を含み、前記イオンゲル内部に前記複数のナノ粒子が分散されていることを特徴とする。この構成によれば、イオンゲル内部に複数のナノ粒子を分散させることで、ナノ粒子分散イオンゲル内部にナノ粒子の表面に修飾物を形成しない状態でのナノ粒子を保存することが可能となる。また、ナノ粒子分散イオンゲルの状態でもナノ粒子としての特性を現すことから、ナノ粒子分散イオンゲルそのものを検査装置などのセンサー若しくはセンサーの一部として使用することができる。[適用例2]上記適用例にかかるナノ粒子分散イオンゲルにおいて、前記イオンゲルは、イオン液体をゲル化したものであることを特徴とする。この構成によれば、イオンゲルがイオン液体をゲル化したものであることから、複数のナノ粒子を分散させるために用いるイオンゲルを容易に構成することができる。イオン液体は融点が低く常温では液体で存在するが、化学反応後の分離が容易であり、不燃性を有する。また、イオン液体は、支持電解質を加えなくても電流を流すことができ、イオンの種類の選択によっては様々な特性を持たせることができる。イオン液体を用いることで用途の幅が広がるとともに、ゲル化することで固体として扱うことができるため取り扱いが容易となる。[適用例3]本適用例にかかるナノ粒子分散イオンゲルの製造方法は、イオンゲル内部に複数のナノ粒子を形成する第1の工程を含み、前記第1の工程は、内部気圧を大気圧よりも減圧させた蒸着装置を用いて行うことを特徴とする。この方法によれば、イオンゲル内部に複数のナノ粒子を分散させる工程を、内部気圧を大気圧よりも減圧させた蒸着装置を用いて行うことにより、容易に行うことができる。また、蒸着先がイオンゲルであることから、蒸着装置内部における蒸着源ターゲットと呼ばれることがあると蒸着先との位置関係の自由度が高いことから使用できる装置の幅を広くすることができる。たとえば、蒸着先を蒸着源よりも高い位置に配置して行う蒸着装置でも使用することができる。蒸着装置としては、一般的なスパッタ蒸着装置や抵抗加熱蒸着装置などを用いることでよい。尚、以降の実施形態において、蒸着源をナノ粒子前駆体と記載することがある。[適用例4]上記適用例にかかるナノ粒子分散イオンゲルの製造方法において、更に、前記イオンゲルを生成する第2の工程と、を含み、前記第2の工程は、イオン液体とゲル化剤とを含む混合液を攪拌する工程と、攪拌させた前記混合液を乾燥させる工程と、を含むことを特徴とする。この方法によれば、イオンゲルの作製をイオン液体とゲル化剤とを含む混合液を攪拌し乾燥させて行うことができることから、イオンゲルの作製を容易に行うことができる。以下、図を用いて本発明の実施例について説明する。下記のようにして作製したイオンゲルにスパッタリングを行うことでナノ粒子分散イオンゲルを形成した。イオンゲルの作製材料として次に挙げたイオン液体、ゲル化剤及び有機溶剤を使用した。イオン液体:EMIBF41-ethyl-3-methylimidazoliumtetrafluoroborateゲル化剤:フッ化ビニリデン-6フッ化プロピレン重合体PVdF-HFP有機溶剤1:PropyleneCarbonate有機溶剤2:MethylPentanoneイオン液体100mgとゲル化剤100mgとを混合する。これを、有機溶剤1360mgと有機溶剤21mlの混合液に溶かし、80°Cで5時間攪拌する。攪拌した混合液を乾燥させることによりイオンゲルが作製される。作製されたイオンゲルの写真を図2として示す。イオンゲル内部へのナノ粒子の分散上記イオンゲルをスパッタ蒸着装置JFC-1500、日本電子株式会社製内に設置し、ターゲット材ナノ粒子前駆体として金板を装着して、金のスパッタリングを5分間行った。作製されたナノ粒子分散イオンゲルの写真を図3として示す。本実施例におけるイメージを図1に示す。図1には、スパッタ蒸着装置100を示している。スパッタ蒸着装置100は、試料処理室10を有し、試料処理室10内の上部には陰極12が、下部には陽極13が取り付けられている。陰極12には高電圧部11が接続されている。また、試料処理室10内部を減圧するために排出管15には真空ポンプ図示していないが取り付けられている。また、Arガスなどを導入するための導入管14が設けられている。ナノ粒子前駆体17は陰極12に取り付けられ、イオンゲル18は陽極上に置かれる。本実施例においては、ナノ粒子前駆体17は金板である。この状態で陰極12に高電圧を印加するとナノ粒子前駆体17から金の原子が飛び出して放電プラズマ領域19を形成し、金の原子がイオンゲル18内部に入り込んでナノ粒子を形成し保持される。これによりナノ粒子分散イオンゲルが作製される。作製されたナノ粒子分散イオンゲルの透過型電子顕微鏡写真を図4~図6に示す。図4は、イオンゲルとイオンゲル内部に分散された金のナノ粒子の像である。黒く見える粒子が金のナノ粒子である。図5に、ナノ粒子単体の高分解透過型電子顕微鏡写真を示す。図5のナノ粒子の粒径は約25nmであり、金のfcc構造の111面における面間隔0.235nmに帰属する格子縞が見て取れる。また、図6はナノ粒子分散イオンゲルの電子線回折パターンであり,この回折パターンからもイオンゲル中の金ナノ粒子の結晶構造はバルク結晶と同じfcc構造であることがわかる。図7に示したのは、作製されたナノ粒子分散イオンゲルにおける光吸収スペクトルの測定結果である。540nm付近に金のナノ粒子の表面プラズモンに由来するピークを見ることができる。これは、生成された金のナノ粒子の粒子径の多くが25nm程度であることに符合する測定結果である。以上、透過型電子顕微鏡による観察結果および光吸収スペクトルの測定結果から、イオンゲルに金板をターゲットナノ粒子前駆体としてスパッタリングを行うことで、金のナノ粒子を有するナノ粒子分散イオンゲルが作製されたことが確認された。本実施例は、イオンゲル内部へのナノ粒子の分散の工程に電子線加熱蒸着装置を用いた場合の例である。図8に、本実施例のイメージ図を示す。尚、イオンゲルは実施例1と同じであり、ナノ粒子前駆体として金を用いることも実施例1と同じである。電子線加熱蒸着装置200は試料処理室21を有し、試料処理室21内には電子線放出部22、蒸着源保持部24及び試料を保持する台座25が設けられている。蒸着源保持部24は凹部を有し、該凹部に蒸着源金26ナノ粒子前駆体が保持される。電子線放出部22は、蒸着源金26から飛び出した粒子の蒸着がないように、蒸着源保持部24の下方向に設けられている。また、台座25は蒸着源保持部24の上方向に設けられ、イオンゲル28は蒸着源保持部24の方向に保持される。尚、試料処理室21内部を減圧するために、排出管23は真空ポンプ図示していないに接続されている。電子線放出部22における電子線の放出は、熱フィラメントに電流を通して加熱することにより行われる。放出された電子線は、4~10kV程度の高電圧により加速され、磁場によって収束されて電子線放出部22の出力である電子線30として出力される。電子線放出部22から出力された電子線30は、磁場をかけて偏向させられ、蒸着源金26に照射される。電子線30が照射された蒸着源金26は局所的に高温になり蒸発する図8の矢印31。蒸発した蒸着源金27がイオンゲル28に入り込み金のナノ粒子が形成され、ナノ粒子分散イオンゲルを作製することができる。本実施例は、イオンゲル内部へのナノ粒子の分散の工程に抵抗加熱蒸着装置を用いた場合の例である。抵抗加熱蒸着装置図示せずは、図8を流用して簡単に説明すると、電子線放出部22を取り除き、台座25を加熱させることで蒸着源を加熱し蒸発させるタイプの蒸着装置である。蒸着源に金を用い、蒸着先を上述したイオンゲルとすることで、金のナノ粒子分散イオンゲルを作製することができる。以上、本発明にかかるふたつの実施例の説明を行ったが、ナノ粒子分散イオンゲル内部に分散保持されているナノ粒子は、ナノ粒子表面にナノ粒子の活性を妨げるための修飾はなされていない。このため、ナノ粒子分散イオンゲルはナノ粒子を保存することに利用することができ、また、ナノ粒子分散イオンセルは固体として扱うことが可能であることからこれ自身の保存運搬も容易に行えるようになる。また、ナノ粒子分散イオンゲルの内部に分散されたナノ粒子は、ナノ粒子特有の振る舞いをすることから、ナノ粒子分散イオンゲルそのままの状態でセンサーなどの各種の装置に用いることが可能である。ナノ粒子分散イオンゲルは、ナノ粒子の取り扱いを非常に簡便にするものであるといえる。尚、上述した実施例においてはイオン液体としてEMIBF4を用いたが、本発明に適応可能は親水性であっても疎水性であってもよく、その種類は特に限定されるものではない。たとえば、使用可能なイオン液体としては、脂肪族系イオン液体、イミダゾリウム系イオン液体、若しくは、ピリジニウム系イオン液体などが挙げられる。また、ナノ粒子前駆体は、純物質であってもよいし混合物でもよい。純物質は単体であっても化合物でもよい。ナノ粒子前駆体の種類も限定するものではない。また、イオンゲルは固体して扱うことができることから、蒸着装置における扱いが容易である。上記の本発明は上記の内容に限定されるものでなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で広く適用可能である。"