酸化物半導体膜を用いた第1の電極、及びバッテリーを有する受電機器であって、前記第1の電極と、送電機器が有する第2の電極との間に発生する電界に基づいて生成された電圧によって、前記バッテリーが充電されることを特徴とする受電機器。酸化物半導体膜を用いた第1の電極、バッテリー、及び充電制御回路を有する受電機器であって前記第1の電極と、送電機器が有する第2の電極との間に発生する電界に基づいて生成された電圧によって、前記バッテリーが充電され、前記充電制御回路から前記第1の電極に正の直流電圧が印加されることによって、前記バッテリーの充電が停止されることを特徴とする受電機器。請求項1又は請求項2において、前記酸化物半導体膜のナトリウム濃度は、5×1016atoms/cm3以下であることを特徴とする受電機器。請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、前記酸化物半導体膜の水素濃度は、5×1019atoms/cm3以下であることを特徴とする受電機器。請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、前記バッテリーとして、リチウム電池、ニッケル水素電池、ニカド電池、有機ラジカル電池、鉛蓄電池、空気二次電池、ニッケル亜鉛電池、銀亜鉛電池、又はコンデンサを用いることを特徴とする受電機器。請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の前記受電機器を用いたことを特徴とする電子機器。請求項6において、前記電子機器は、携帯電話、携帯情報端末、カメラ、コンピュータ、画像再生装置、ICカード、又はICタグであることを特徴とする電子機器。容量結合方式の無線給電システムであって、酸化物半導体膜を用いた第1の電極、及びバッテリーを有する受電機器と、第2の電極を有する送電機器と、を有し、前記第1の電極と前記第2の電極との間に発生する電界に基づいて生成された電圧によって、前記バッテリーが充電されることを特徴とする無線給電システム。容量結合方式の無線給電システムであって、酸化物半導体膜を用いた第1の電極、バッテリー、及び充電制御回路を有する受電機器と、第2の電極を有する送電機器と、を有し、前記第1の電極と前記第2の電極との間に発生する電界に基づいて生成された電圧によって、前記バッテリーが充電され、前記充電制御回路から前記第1の電極に正の直流電圧が印加されることによって、前記バッテリーの充電が停止されることを特徴とする無線給電システム。請求項8又は請求項9において、前記酸化物半導体膜のナトリウム濃度は、5×1016atoms/cm3以下であることを特徴とする無線給電システム。請求項8乃至請求項10のいずれか一項において、前記酸化物半導体膜の水素濃度は、5×1019atoms/cm3以下であることを特徴とする無線給電システム。請求項8乃至請求項11のいずれか一項において、前記バッテリーとして、リチウム電池、ニッケル水素電池、ニカド電池、有機ラジカル電池、鉛蓄電池、空気二次電池、ニッケル亜鉛電池、銀亜鉛電池、又はコンデンサを用いることを特徴とする無線給電システム。請求項8乃至請求項12のいずれか一項において、前記受電機器は、携帯電話、携帯情報端末、カメラ、コンピュータ、画像再生装置、ICカード、又はICタグに設けられていることを特徴とする無線給電システム。請求項8乃至請求項13のいずれか一項において、前記送電機器は、充電シートに設けられていることを特徴とする無線給電システム。高周波ノイズを遮断するためのフィルタを給電システムの受電機器に設けると、フィルタの分だけ受電機器が厚くなり、大型化してしまう。本発明の一態様では、ノイズの影響を受けにくく、小型化された受電機器と、送電機器と、を用いた電界結合方式の無線給電システムを提供することを課題とする。または、本発明の他の一態様では、電界を利用して無線給電を行う、ノイズの影響を受けにくく、小型化された受電機器を提供することを課題とする。本発明の一態様は、酸化物半導体膜を用いた第1の電極、及びバッテリーを有する受電機器と、第2の電極を有する送電機器と、を有し、第1の電極と第2の電極との間に発生する電界に基づいて生成された電圧によって、バッテリーが充電される容量結合方式の無線給電システムである。また、本発明の他の一態様は、酸化物半導体膜を用いた第1の電極、及びバッテリーを有し、第1の電極と、送電機器が有する第2の電極との間に発生する電界に基づいて生成された電圧によって、バッテリーが充電される受電機器である。また、本発明の他の一態様は、酸化物半導体膜を用いた第1の電極、バッテリー、及び充電制御回路を有する受電機器と、第2の電極を有する送電機器と、を有し、第1の電極と第2の電極との間に発生する電界に基づいて生成された電圧によって、バッテリーが充電され、充電制御回路から第1の電極に正の直流電圧が印加されることによって、バッテリーの充電が停止される容量結合方式の無線給電システムである。また、本発明の他の一態様は、酸化物半導体膜を用いた第1の電極、バッテリー、及び充電制御回路を有し、第1の電極と、送電機器が有する第2の電極との間に発生する電界に基づいて生成された電圧によって、バッテリーが充電され、充電制御回路から第1の電極に正の直流電圧が印加されることによって、バッテリーの充電が停止される受電機器である。また、酸化物半導体膜のナトリウム濃度は、5×1016atoms/cm3以下であることが好ましい。また、酸化物半導体膜の水素濃度は、5×1019atoms/cm3以下であることが好ましい。また、バッテリーとして、リチウム電池、ニッケル水素電池、ニカド電池、有機ラジカル電池、鉛蓄電池、空気二次電池、ニッケル亜鉛電池、銀亜鉛電池、又はコンデンサを用いてもよい。また、受電機器が、携帯電話、携帯情報端末、カメラ、コンピュータ、画像再生装置、ICカード、又はICタグに設けられていてもよい。また、送電機器が、充電シートに設けられていてもよい。本発明の一態様によって、ノイズの影響を受けにくく、小型化された受電機器と、送電機器と、を用いた電界結合方式の無線給電システムを提供することができる。また、本発明の他の態様によって、電界を利用して無線給電を行う、ノイズの影響を受けにくく、小型化された受電機器を提供することができる。本発明を説明するための実施の形態の一例について、図面を参照して以下に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではないものとする。なお、図面を参照するにあたり、異なる図面間において、同じものを指し示す符号を共通して用いる場合がある。また、異なる図面間において、同様のものを指し示す際には同じハッチパターンを使用し、符号を付さない場合がある。なお、各実施の形態の内容を互いに適宜組み合わせることができる。また、各実施の形態の内容を互いに適宜置き換えることができる。実施の形態1本実施の形態では、電界結合方式の無線給電システムについて、図1を参照して説明する。電界結合方式の無線給電システムは、受電側の電極と送電側の電極とを近接させることで電極間に電界を発生させ、当該電界を利用して電力の供給を非接触で行う。ここで、電極間には容量が発生するため、電界結合方式は容量結合方式とも呼ばれている。図1に、電界結合方式の無線給電システムの構成の一例を示す。図1の無線給電システムでは、受電機器10に送電機器20から電力が供給される。受電機器10は、受電側電極102、電力変換部104、充電回路106、電源回路108、負荷110、バッテリー112、及び配線114を有する。送電機器20は、送電側電極202、発振器204、及び配線206を有する。また、図1において、受電側電極102と送電側電極202の間で発生する電界の集中する領域を領域150と示す。受電側電極102として、酸化物半導体膜を用いる。酸化物半導体膜に用いる酸化物半導体は、少なくともIn、Ga、Sn及びZnから選ばれた一種以上の元素を含有する。例えば、四元系金属の酸化物であるIn-Sn-Ga-Zn系酸化物、In-Hf-Ga-Zn系酸化物、In-Al-Ga-Zn系酸化物、In-Sn-Al-Zn系酸化物、In-Sn-Hf-Zn系酸化物、In-Hf-Al-Zn系酸化物や、三元系金属の酸化物であるIn-Ga-Zn系酸化物、In-Sn-Zn系酸化物、In-Al-Zn系酸化物、Sn-Ga-Zn系酸化物、Al-Ga-Zn系酸化物、Sn-Al-Zn系酸化物、In-Hf-Zn系酸化物、In-La-Zn系酸化物、In-Ce-Zn系酸化物、In-Pr-Zn系酸化物、In-Nd-Zn系酸化物、In-Sm-Zn系酸化物、In-Eu-Zn系酸化物、In-Gd-Zn系酸化物、In-Tb-Zn系酸化物、In-Dy-Zn系酸化物、In-Ho-Zn系酸化物、In-Er-Zn系酸化物、In-Tm-Zn系酸化物、In-Yb-Zn系酸化物、In-Lu-Zn系酸化物や、二元系金属の酸化物であるIn-Zn系酸化物、Sn-Zn系酸化物、Al-Zn系酸化物、Zn-Mg系酸化物、Sn-Mg系酸化物、In-Mg系酸化物や、In-Ga系酸化物や、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛などを用いることができる。また、上記酸化物にInとGaとSnとZn以外の元素、例えばSiO2を含ませてもよい。酸化物半導体膜は、水素などの不純物が十分に除去され且つ十分な酸素が供給されたものである。具体的には、酸化物半導体膜の水素濃度は、5×1019atoms/cm3以下、好ましくは5×1018atoms/cm3以下、さらに好ましくは5×1017atoms/cm3以下とする。このように、水素濃度が十分に低減され且つ十分な酸素の供給されることにより、酸素欠乏に起因するエネルギーギャップ中の欠陥準位が低減された酸化物半導体膜では、キャリア濃度が、1×1012/cm3未満、好ましくは1×1011/cm3未満、さらに好ましくは1.45×1010/cm3未満となる。このような酸化物半導体膜は、i型化真性化または実質的にi型化されている。また、酸化物半導体膜のナトリウム濃度は、5×1016atoms/cm3以下、好ましくは1×1016atoms/cm3以下、さらに好ましくは1×1015atoms/cm3以下とする。また、酸化物半導体膜のリチウム濃度は、5×1015atoms/cm3以下、好ましくは1×1015atoms/cm3以下とする。また、酸化物半導体膜のカリウム濃度は、5×1015atoms/cm3以下、好ましくは1×1015atoms/cm3以下とする。リチウム、ナトリウム、アルカリ金属及びアルカリ土類金属は、酸化物半導体にとっては悪性の不純物であり、少ない方がよい。特に、ナトリウムは、酸化物半導体に接する絶縁膜が酸化物であった場合、その中に拡散し、ナトリウムイオンNaとなる。また、酸化物半導体内において、金属と酸素の結合を分断し、あるいは結合中に割り込む。したがって、酸化物半導体膜中の水素濃度が5×1019cm-3以下、特に5×1018cm-3以下である場合には、ナトリウム濃度、リチウム濃度、及びカリウム濃度を上記の値にすることが好ましい。なお、上述の酸化物半導体膜の水素濃度、ナトリウム濃度、リチウム濃度、及びカリウム濃度は、二次イオン質量分析法SIMS:SecondaryIonMassSpectroscopyで測定されるものである。受電側電極102として酸化物半導体膜を用いることにより、受電側電極102をローパスフィルタLPF:LowPassFilterとして機能させることができる。よって、受電側電極102によって、ノイズ、または大気中に存在する電磁波から、受電機器10を保護することができるため、受電機器10の静電破壊や誤動作などを防止することができる。このように、受電側電極102が高周波を遮断するための機能を有する。よって、高周波ノイズを遮断するためのフィルタを設ける必要がない。したがって、フィルタを設ける場合と比較して受電機器10を薄くし、小型化することができる。例えば、送電機器20において静電気放電ESDが発生し、受電機器10に対するノイズになることがある。ここで、酸化物半導体膜を用いた受電側電極102によって、静電気放電から受電機器10を保護することができるため、受電機器10の静電破壊や誤動作などを防止することができる。また、大気中に存在する電磁波として、受電機器10の周辺に配置された電子機器から発生した信号に含まれる高周波成分などがある。ここで、酸化物半導体膜を用いた受電側電極102によって、当該電子機器から発生した信号から受電機器10を保護することができるため、受電機器10の静電破壊や誤動作などを防止することができる。なお、In-Ga-Zn系酸化物、In-Sn系酸化物、In-Sn-Zn系酸化物、In-Al-Zn系酸化物、Sn-Ga-Zn系酸化物、Al-Ga-Zn系酸化物、Sn-Al-Zn系酸化物、In-Zn系酸化物、Sn-Zn系酸化物、Al-Zn系酸化物、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛などの酸化物を材料として用いることにより、透明な酸化物半導体膜を得ることができる。そして、透明な酸化物半導体膜を受電側電極102として用いることにより、受電機器10の充電形態の幅を広げることができる。例えば、電界結合方式の無線給電システムを用いた電子機器の表示部に、受電機器10の受電側電極102を設けることができる。この場合、電子機器の表示部を送電機器側に近接させることによって、電子機器の充電を行うことができる。電力変換部104は、領域150に基づく交流電圧から直流電圧を生成する。電力変換部104として、例えば、整流回路を用いる。充電回路106は、電力変換部104が生成した直流電圧によってバッテリー112を充電する。また、充電回路106から電源回路108に直流電圧が供給される。電源回路108は、充電回路106から供給された直流電圧を用いて、負荷110の駆動に必要な各種電圧を生成し、当該電圧を負荷110に供給する。例えば、電力変換部104が生成した直流電圧が一定になるように調節して高電源電位Vddを生成し、当該高電源電位Vddを負荷110に供給する。なお、充電回路106から十分な電力の供給が受けられない場合は、バッテリー112から電力が供給されることによって、高電源電位Vddを生成してもよい。負荷110は、電源回路108から供給される高電源電位Vddを用いて動作する、各種機能を有する回路で構成されている。なお、負荷110の構成は受電機器10を有する電子機器の種類によって異なる。例えば、携帯電話やカメラなどにおいては、ロジック回路、増幅回路、メモリコントローラなどが負荷110に相当する。また、ICカードやICタグなどにおいては、高周波回路及びロジック回路などが負荷110に相当する。バッテリー112には、繰り返し充放電可能な電池を用いることができる。バッテリー112は、電力変換部104が生成した直流電圧が供給されることによって充電が行われ、電源回路108を介してバッテリー112に充電された電力を負荷110に供給することによって放電が行われる。バッテリー112として、例えば、シート状に形成された電池を用いることができる。具体的には、リチウム電池が挙げられる。リチウム電池の中でも、ゲル状電解質を用いるリチウムポリマー電池、リチウムイオン電池、リチウム2次電池などを用いると、装置の小型化を図ることができる。その他にも、ニッケル水素電池、ニカド電池、有機ラジカル電池、鉛蓄電池、空気二次電池、ニッケル亜鉛電池、銀亜鉛電池などの、充放電可能な電池を用いてもよい。またコンデンサを用いてもよく、コンデンサとしては、積層セラミックコンデンサ、電気二重層コンデンサが挙げられる。送電側電極202には、電極として機能する材料を用いることができる。例えば、インジウム錫酸化物ITO:IndiumTinOxide、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛ZnO、及び酸化錫SnO2などの透明な材料を用いることができる。または、アルミニウムAl、クロムCr、銅Cu、タンタルTa、チタンTi、モリブデンMo、及びタングステンWなどの金属、またはこれらを含む合金などを用いることができる。なお、送電側電極202を、薄膜を用いるなどによってフレキシブルな電極にすると、送電機器20を湾曲したものに設置して使用するなどして応用範囲を広げることができ、また、送電側電極202の取り扱いが容易になる。また、電極として機能する材料として、インジウム錫酸化物ITO:IndiumTinOxide、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物ITSO、酸化インジウム酸化亜鉛IZO:IndiumZincOxideなどの材料を用いることで、送電側電極202を透明電極にすることができる。なお、送電側電極202の面積は、受電側電極102の面積よりも大きいことが好ましい。送電側電極202の面積を大きくすることにより、送電機器20の充電可能領域を広げることができるため、送電機器20に対する受電機器10の位置自由度を向上させることができる。ここで、位置自由度とは、送電機器20から離れる方向Z方向の自由度ではなく、送電機器20の送電側電極202上XY平面での受電機器10の配置自由度を指す。電磁誘導方式の給電システムや電磁場共鳴方式の給電システムでは、電力の供給を確実に行うために、送信側機器と受信側機器とで位置合わせを厳密に行う必要がある。一方、これらの給電システムと比較して、電界結合方式の給電システムでは、受電機器10が、送電機器20の充電可能領域送電側電極202上などの、送電側電極202と近接する位置に配置されていればよいため、厳密な位置合わせを行わなくてもよい。よって、受電機器10の充電を容易に行うことができる。また、送電側電極202の面積を大きくすることにより、1つの送電機器20に対して複数の受電機器10を対応させることができるため、1つの送電機器20を用いて複数の受電機器10を同時に充電することができる。発振器204は、交流電圧を生成する。発振器204として、例えば交流電源を用いる。また、送電側電極202と発振器204との間に、発振器204が生成した信号を増幅するための増幅器を設けてもよい。配線114及び配線206にはそれぞれ、低電源電位Vssが供給される。なお、低電源電位Vssは、高電源電位Vddに対してVss<Vddの関係を満たす。低電源電位として、例えばGND、0Vなどに設定することができる。なお、図1に示す無線給電システムの構成では、構成要素を機能ごとに分類し、互いに独立したブロックとして示しているが、実際の構成要素は機能ごとに完全に切り分けることが困難であり、一つの構成要素が複数の機能に係わることにより、給電システムとして動作することがある。以上のように、本実施の形態で説明した電界結合方式の無線給電システムでは、受電側電極102として酸化物半導体膜を用いることにより、受電側電極102をローパスフィルタLPFとして機能させることができる。そのため、受電側電極102によって、ノイズ、または大気中に存在する電磁波から、受電機器10を保護することができるため、受電機器10の静電破壊や誤動作などを防止することができる。また、受電側電極102がローパスフィルタLPFとして機能するため、高周波ノイズを遮断するためのフィルタを設ける必要がない。したがって、フィルタを設ける場合と比較して受電機器10を薄くし、小型化することができる。実施の形態2本実施の形態では、電界結合方式の無線給電システムについて、図2を参照して説明する。図2に、電界結合方式の無線給電システムの構成の一例を示す。図2の無線給電システムの受電機器12は、図1の無線給電システムの受電機器10に充電制御回路120を設けたものに相当する。充電制御回路120は、バッテリー112の充電非充電を制御する。なお、本明細書において充電を停止することを非充電という。ここで、受電側電極102として用いる酸化物半導体膜は、正の直流電圧を印加することによって絶縁体として機能する膜になる。よって、充電制御回路120から受電側電極102に正の直流電圧を印加することにより、バッテリー112の充電を停止することができる。なお、正の直流電圧とは、送電側電極202に印加される交流電圧の中心電位を基準として、正の電位を有する直流電圧を指す。そして、バッテリー112を充電する場合は、当該正の直流電圧の印加を停止することにより、酸化物半導体膜を導体として機能する膜にする。そして、受電側電極102と送電側電極202との間で電界を形成することによって、受電機器10に送電機器20から電力を供給することにより、バッテリー112の充電を行うことができる。このように、酸化物半導体膜を用いた受電側電極102に対する正の直流電圧の印加の有無により、受電機器12の充電非充電の制御を容易に行うことができる。また、バッテリー112の充電を行う必要がない場合、充電制御回路120によって、受電側電極102に用いられている酸化物半導体膜を絶縁体として機能する膜にすることにより、バッテリー112に充電された電力の漏洩を防止することができる。また、充電制御回路120は、バッテリー112の充電状況を監視する機能を有していてもよい。例えば、充電制御回路120は、バッテリーの電圧値をモニタリングすることができる。そして、バッテリー112の電圧値が所定の値を下回っている場合、充電制御回路120はバッテリー112の充電を行う。また、バッテリー112の電圧値が所定の値以上である場合、充電制御回路120はバッテリー112の充電を停止する。このように、バッテリー112の充電状況に応じて、充電制御回路120を用いてバッテリー112の充電非充電を制御することによって、バッテリー112の充電を行う際に過充電となるのを防ぐことができる。また、1つの送電機器20に対して複数の受電機器12を対応させる場合、1つの送電機器20を用いて複数の受電機器12を同時に充電することができる。ここで、複数の受電機器12のうち、充電の必要がない受電機器に対して、個別に充電を停止させることもできる。よって、充電の必要がある受電機器に対して、効率的に給電を行うことができる。以上のように、本実施の形態で説明した電界結合方式の無線給電システムでは、酸化物半導体膜を用いた受電側電極102に正の直流電圧を印加することによって、酸化物半導体膜を絶縁体として機能する膜にして、バッテリー112への充電を停止することができる。そのため、バッテリー112への充電非充電を容易に制御することができる。実施の形態3本実施の形態では、実施の形態1及び実施の形態2で説明した電界結合方式の無線給電システムに用いられる、受電機器を有する電子機器及び送電機器を有する電子機器について、図3A~図3F、及び図4を参照して説明する。受電機器を有する電子機器として、携帯電話、携帯情報端末携帯型コンピュータ、携帯型ゲーム機、及び電子書籍など、カメラデジタルビデオカメラ、及びデジタルカメラなど、コンピュータ、記録媒体を備えた画像再生装置具体的には、DVDDigitalVersatileDiscなどの記録媒体を再生し、その画像を表示する表示部を備えた装置、ICカード、ICタグなどが挙げられる。受電機器を有する電子機器の一例を、図3A~図3Fを参照して説明する。図3A及び図3Bは、携帯電話652の一例である。なお、図3Bは図3Aの裏側を示す図である。携帯電話652は、本体611、音声出力部612、音声入力部613、表示部614、操作キー615、アンテナ616、電極617などで構成される。また、本体611にはバッテリーが内蔵されている。音声出力部612、音声入力部613、表示部614、及び操作キー615などの電子部品が、実施の形態1及び実施の形態2で説明した受電機器が有する負荷に対応する。また、電極617が、受電機器が有する受電側電極に対応する。そして、送電側電極を有する送電機器に携帯電話652を近接させることによって、電極617と送電側電極との間に電界を発生させ、送電機器から携帯電話652に電力を供給することができる。ここで、電極617として酸化物半導体膜を用いることにより、ノイズの影響を受けにくく、小型化された携帯電話652を得ることができる。図3C及び図3Dは、携帯型コンピュータ654ノート型コンピュータともいう。の一例である。なお、図3Dは図3Cの裏側を示す図である。携帯型コンピュータ654は、本体621、筐体622、表示部623、キーボード624、外部接続ポート625、ポインティングデバイス626、電極627などで構成される。また、本体621にはバッテリーが内蔵されている。表示部623、キーボード624、外部接続ポート625、及びポインティングデバイス626などの電子部品が、実施の形態1及び実施の形態2で説明した受電機器が有する負荷に対応する。また、電極627が、受電機器が有する受電側電極に対応する。そして、送電側電極を有する送電機器に携帯型コンピュータ654を近接させることによって、電極627と送電側電極との間に電界を発生させ、送電機器から携帯型コンピュータ654に電力を供給することができる。ここで、電極627として酸化物半導体膜を用いることにより、ノイズの影響を受けにくく、小型化された携帯型コンピュータ654を得ることができる。なお、図3Dにおいて、電極627を本体621に設けることによって、携帯型コンピュータ654を充電しながら操作することができる。または、電極627を筐体622に設けてもよい。図3E及び図3Fは、デジタルカメラ656の一例である。なお、図3Fは図3Eの裏側を示す図である。デジタルカメラ656は、筐体631、表示部632、レンズ633、操作キー634、操作キー635、電極636などで構成される。また、筐体631にはバッテリーが内蔵されている。なお、デジタルカメラ656にアンテナなどを設け、アンテナで映像信号や音声信号などの信号を受信することにより、表示部632をテレビ受像機などの表示媒体として機能させてもよい。表示部632、操作キー634、及び操作キー635などの電子部品が、実施の形態1及び実施の形態2で説明した受電機器が有する負荷に対応する。また、電極636が、受電機器が有する受電側電極に対応する。そして、送電側電極を有する送電機器にデジタルカメラ656を近接させることによって、電極636と送電側電極との間に電界を発生させ、送電機器からデジタルカメラ656に電力を供給することができる。ここで、電極636として酸化物半導体膜を用いることにより、ノイズの影響を受けにくく、小型化されたデジタルカメラ656を得ることができる。次に、送電機器を有する電子機器の一例を、図4を参照して説明する。送電機器を有する電子機器として、例えば、充電シート及びテーブルクロスなどのシート状のものが挙げられる。その他にも、テーブル及び棚などの家具、床及び壁などの建物の一部に、送電機器を組み込んでもよい。図4は、充電シート650を用いて、受電機器を有する電子機器を充電する状態を示す。充電シート650には、実施の形態1及び実施の形態2で説明した送電機器が組み込まれている。また、図4では、受電機器を有する電子機器として、携帯電話652、携帯型コンピュータ654、及びデジタルカメラ656を示す。なお、携帯電話652などは、受電機器を有する電子機器の一例であって、これに限定されない。携帯電話652、携帯型コンピュータ654、及びデジタルカメラ656は、充電シート650の上に配置することによって、同時に充電を行うことができる。なお、受電機器を有する電子機器の全てが、常に同時に充電が行われている必要はない。例えば、実施の形態2で説明したように、複数の受電機器を有する電子機器のそれぞれが、充電制御回路によって充電非充電が制御されており、充電シート650上に配置された複数の受電機器を有する電子機器の中に充電を行わないものがあってもよい。充電シート650の全面に送電側電極を設けた場合、充電シート650の少なくとも一部と受電機器を有する電子機器の受電側電極とが近接することにより、充電シート650から受電機器を有する電子機器に電力を供給することができる。例えば、図4の携帯型コンピュータ654に設けられた電極627と、充電シート650とが近接することにより、充電シート650から携帯型コンピュータ654に電力が供給される。このように、充電シート650の全面に送電側電極を設けることにより、受電機器を有する電子機器の充電を行う際は、受電側電極が充電シート650に近接すればよい。よって、受電機器を有する電子機器の充電シート650に対する位置自由度を大きくすることができる。例えば、図4に示すように、電極627が充電シート650の上に配置されていればよく、携帯型コンピュータ654の全てが充電シート650の上に配置される必要はない。なお、充電シート650の全面に送電側電極を設けるのではなく、充電シート650の少なくとも一つの任意の領域に送電側電極を設ける構成としてもよい。この場合、当該任意の領域と受電機器を有する電子機器の受電側電極とが近接するように、受電機器を有する電子機器を配置することによって、充電シート650から受電機器を有する電子機器に電力を供給することができる。このように、充電シート650の任意の領域に送電側電極を設けることにより、充電シート650から受電機器を有する電子機器に効率よく電力を供給することができる。また、送電側電極の面積を減らすことができるため、充電シート650の消費電力を低減することができる。本実施例では、評価用素子TEGともいう。を用いて、容量値の周波数特性及びC-V特性を測定した結果について、図6A~図7Bを参照して説明する。評価用素子として、TEG-1及びTEG-2を用いた。TEG-1は、上記実施の形態で説明した無線給電システムに対応する。TEG-1として、ゲート電極上にゲート絶縁膜を介して酸化物半導体層を形成した。TEG-1においては、ゲート電極及び酸化物半導体層によって、容量が構成される。そして、酸化物半導体層に接する金属層を形成した。TEG-1は、ゲート電極として厚さが100nmのタングステンW層、ゲート絶縁膜として厚さ100nmの酸化窒化シリコン膜を用いた。また、酸化物半導体層として、厚さが25nm、面積が1000μm×1000μmの酸化亜鉛からなる酸化物IGZO:IndiumGalliumZincOxide膜を用いた。また、金属層はチタンTi層上にアルミニウムAl層を設けた積層構造を用いた。TEG-2は、TEG-1に対する比較用として作製したものである。TEG-2として、ゲート電極上にゲート絶縁膜を介して半導体層を形成し、半導体層上に金属層を形成した。TEG-2においては、ゲート電極、半導体層、及び金属層によって、容量が構成される。TEG-2は、ゲート電極として厚さが100nmのタングステンW層、ゲート絶縁膜として厚さ300nmの酸化窒化シリコン膜を用いた。また、半導体層は、厚さが25nmの微結晶半導体膜を成膜した後、表面付近の領域に一導電型を付与する不純物元素としてリンPを添加することで形成した。半導体層の面積は1000μm×1000μmとした。また、金属層はチタンTi層上にアルミニウムAl層を設けた積層構造を用いた。<容量値の周波数特性>容量値の周波数特性の評価方法として、TEG-1及びTEG2に印加する交流電圧の周波数f単位はHzを60Hz~1MHzの間で変化させたときの、容量C単位はpFを測定した。ここで、測定条件として、TEG-1及びTEG-2の金属層に印加する直流電圧を-30V~5Vの間で変化させた。容量値の周波数特性を測定した結果を以下に説明する。図6AはTEG-1の測定結果、図6BはTEG-2の測定結果である。図6Aに示すように、TEG-1では、周波数fが一定の値を超えると、容量Cが低下した。そして、周波数fが1MHzの高周波数になると、TEG-1が容量としての機能を殆ど果たさなくなることが確認された。なお、周波数fは、ゲート電極に印加する直流電圧の大きさに依存することが確認された。図6Aでは、TEG-1が容量として機能するためには、直流電圧が-5V以下であることが必要であると考えられた。なお、TEGが容量として機能するために必要な直流電圧の値は、酸化物半導体層の特性に依存するものである。一方、図6Bに示すように、TEG-2では、周波数fが1MHzの高周波数になっても容量として機能することが確認された。以上により、上記実施の形態で説明した無線給電システムに対応するTEG-1は、印加する交流電圧の周波数が高周波になると容量として機能しなくなることが確認された。これより、電極として酸化物半導体層を用いたことによって、当該酸化物半導体層が高周波を遮断するローパスフィルタLPFとして機能することが確認された。<C-V特性>C-V特性の評価方法として、TEG-1及びTEG-2のゲート電極に印加する直流電圧V単位はVを-20V~20Vの間で変化させたときの、容量C単位はpFを測定した。ここで、測定条件として、TEG-1及びTEG-2に印加する交流電圧の周波数を60Hz~1MHの間で変化させた。C-V特性を測定した結果を以下に説明する。図7AはTEG-1の測定結果、図7BはTEG-2の測定結果である。図7Aに示すように、TEG-1では、ゲート電極に正の直流電圧を印加すると、容量としての機能を有さない素子になることが確認された。これは、正の直流電圧を印加することにより、電極として用いている酸化物半導体層に蓄積されたキャリアが消失し、酸化物半導体層が絶縁体として機能する膜になるためであると考えられた。一方、図7Bに示すように、TEG-2では、正の直流電圧を印加しても、容量として機能することが確認された。以上により、上記実施の形態で説明した無線給電システムに対応するTEG-1は、正の直流電圧を印加すると容量として機能しなくなることが確認された。これより、電極として酸化物半導体層を用いたことによって、直流電圧を印加することで当該酸化物半導体層を絶縁体として機能する膜にすることができることが確認された。