"可撓性を有する検出部と、この検出部に設けられた検出電極部と、前記検出部に実装されて前記検出電極部からの出力信号を電気的に処理する処理回路と、これらを収納する筺体とを備え、前記検出電極部の少なくとも一部を前記筺体の表面に露出させるべく前記検出電極部の一部を前記筺体の表面に引き出して前記筐体の表面に接合する構造において、前記検出部を厚み方向において融点が異なるポリフェニレンサルファイドフィルム以下、PPSフィルムと称するで構成するとともに、前記筺体の表面に引き出した前記検出部において、前記PPSフィルムにおける低融点側を前記筐体側に接合したことを特徴とするセンサ装置。筐体を、ケース、ホルダ及び少なくとも1つの開口部を有するカバーとから構成し、前記ケース上に前記処理回路が設けられた検出部の一部を配置し、このケース上に配置された検出部上に前記ホルダを配置し、前記ホルダに沿って前記検出部を折り曲げて前記検出電極部の少なくとも一部を前記ホルダの上面に配置し、このホルダの上面に配置された検出電極部が前記開口部から露出するように前記カバーを前記ケース上に接続することを特徴とした請求項1に記載のセンサ装置。検出部が接合される筐体の上面において、検出電極部と対峙する部分に凹部または貫通孔を設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセンサ装置。しかしながら、上記した従来のセンサ装置においては、第1の測定電極部材12Aの電極15,16間の静電容量値および第2の測定電極部材12Bの電極15,17間の静電容量値の変化の両方を正確に測定する必要があるために、処理回路と第1、第2の測定電極部材12A,12Bとの接続線路長が長い場合には、電極15,16間の静電容量値および電極15,17間の静電容量値に接続線路間の静電容量が付加されることにより測定精度が低下したり、接続線路に電源ノイズ等が乗ることによる誤動作が発生したりするという問題点を有していた。また、従来のセンサ装置においては、現像剤容器7の側面の形状が変更する場合にはそれに対応して基板13の形状を変更する必要があるとともに、現像剤中のキャリアにより第1の測定電極部材12Aの電極15,16および第2の測定電極部材12Bの電極15,17が磨耗、損傷することにより、現像剤量の測定が困難になるという問題点をも有していた。本発明は上記従来の問題点を解決するもので、容器の形状にかかわらず適用可能で、粉体量の測定精度と耐ノイズ性を向上できるとともに、測定電極部の電極の磨耗、損傷を防止することで信頼性の高いセンサ装置を提供することを目的とするものである。そして、この目的を達成するために本発明は、可撓性を有する検出部と、この検出部に設けられた検出電極部と、検出部に実装されて検出電極部からの出力信号を電気的に処理する処理回路と、これらを収納する筺体とを備え、検出電極部の少なくとも一部を筺体の表面に露出させるべく検出電極の一部を筺体の表面に引き出して接合する構造において、検出部を厚み方向において融点が異なるポリフェニレンサルファイドフィルム以下、PPSフィルムと称するで構成するとともに、筺体の表面に引き出した検出部において、PPSフィルムにおける低融点側の表面を筐体に接合した構造とした。この構造により本発明は、容器の形状にかかわらず適用可能で、粉体量の測定精度と耐ノイズ性を向上できるとともに、測定電極部の電極の磨耗、損傷を防止することで信頼性の高いセンサ装置を提供することが出来る。以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1aは本発明の一実施の形態におけるセンサ装置の検出部の正面図を示したもので、この図1aにおいて、21は厚さが約75μmの左右に延びる長方形状のポリフェニレンサルファイドフィルムPPSフィルムからなる検出部で、この検出部21の主面側には右端部から左端部にかけて厚さが約15μmでカーボン、銀等により構成された検出電極部22,23および処理回路24が設けられている。検出電極部22は所定の間隔で略平行に対峙する櫛歯形状の分岐部を有する電極25,27からなり、同様にして検出電極部23も所定の間隔で略平行に対峙する櫛歯形状の分岐部を有する分岐部を有する電極26,27からなる。そして、検出電極部22,23の検出部21の長手方向に平行な方向の寸法長さはこれに垂直な方向の寸法幅よりも大きくしている。電極25,27間の静電容量および電極26,27間の静電容量はIC、コンデンサ、抵抗等からなる処理回路24で電気的に処理され、現像剤量に対応する電圧信号が出力端子28に出力される。29,30は各々処理回路24に電気的に接続された電源端子、グランド端子である。このように検出電極部22,23と処理回路24とを検出部21に一体に形成することにより、検出電極部22,23と処理回路24との接続線路長をきわめて短くすることができるため、接続線路間の静電容量は検出電極部22,23の静電容量に比べて無視できるほど小さくなって現像剤量の測定精度が向上するとともに、耐ノイズ性能も向上でき、これにより、小形で信頼性の高いセンサ装置を提供することができる。図2aは本発明の一実施の形態におけるセンサ装置の斜視図、図2bは図2aにおけるB-B線断面図を示す。図2a、図2bにおいて、31はケース31aと、ホルダ31bと、カバー31cから構成された筐体であり、検出部21と同種のPPS等の樹脂で成形している。検出部21はケース31aとホルダ31bとカバー31cとの間で挟持されている。検出部21に形成された検出電極部23は、ケース31aとホルダ31bとの間に挟持されるとともに、ケース31aには検出電極部23に対向する位置に凹部32または開口部図示せずが設けられているため、検出電極部23は現像剤等の粉体と接触せず、センサ装置が設置される周囲の雰囲気に曝されることになる。これにより、検出電極部23で検出される静電容量は現像剤の量には依存せず周囲の温度や湿度等の雰囲気で決まることになる。なお、特に図示していないが、ホルダ31bの検出電極部23に対向する位置に凹部を形成しても、あるいはケース31aおよびホルダ31bの検出電極部23に対向する位置の両方に凹部を形成しても同様の効果が得られるものである。また検出部21上に形成された検出電極部22はホルダ31bの上部と、このホルダ31bの上部に伸びるカバー31cの庇部31c1,31c2との間に挟持圧接されるとともに、カバー31cには検出電極部22に対向する位置に開口部33が設けられているため、検出電極部22は現像剤等の粉体と接触できるようになっている。これにより、検出電極部22で検出される静電容量は現像剤の粉体の組成または量で決まることになる。そして、検出電極部22,23で検出される静電容量はカバー31cとケース31aとで構成される内部空間に収納された処理回路24で処理され、現像剤等の粉体の組成または量に対応する電圧信号が外部端子34に出力される。次に、本発明の一実施の形態におけるセンサ装置の製造方法を、図3ab、図4cd、図5efを参照しながら詳しく説明する。図3aはケース31aの斜視図である。図3aにおいて、ケース31aは検出部21の検出電極部23に対向する位置に設けられた凹部または開口部32と、検出部21とホルダ31bおよびカバー31cの位置決めとして機能する突起35と、外部端子34が挿入される貫通孔36とを有す。図3bはケース31a上の突起35で位置決めされた位置に検出部21を載置した後、上方より、3つの外部端子34における鳩目38の筒部37を検出部21の処理回路24に接続された出力端子28、電源端子29、グランド端子30およびケース31aの貫通孔36に挿通し、筒部37の先端をケース31aの下面でカシメることにより、外部端子34および検出部21をケース31aに固着する工程を示している。これにより、ケース31aに、外部端子34および薄いフィルム製の検出部21を確実にかつ容易に取り付けることができる。また、検出電極部22が形成されている検出部21の先端と左右には厚み方向に折り曲げ可能な部位39a,39b,39cが設けられている。図4cはケース31a上の突起35を利用して、検出部21の検出電極部23上にホルダ31bを位置決めし載置する工程を示している。図4dは検出部21をホルダ31bの側面に沿って上方に折り曲げることにより、検出電極部22をホルダ31bの上面に配置する工程を示している。この時、検出部21の先端と左右に設けた厚み方向に折り曲げ可能な部位39a,39b,39cをホルダ31bの他の側面に沿って下方に折り曲げている。図5eはケース31a上の突起35を利用して、カバー31cをケース31a上に載置するとともに、検出電極部22が設けられた検出部21の周辺をホルダ31bの上部と、このホルダ31bの上部に伸びるカバー31cの庇部31c1,31c2とで挟持圧接して検出電極部22がカバー31cの開口部33を通して現像剤等の粉体と接触できるようにする工程を示している。このときのように、検出部21の先端と左右に設けた厚み方向に折り曲げ可能な部位39a,39b,39cをホルダ31bの他の側面に沿って下方に折り曲げているために、現像剤等の粉体が筐体31の内部に進入することを防止できる。次に図5fのように、カバー31cとケース31aとを熱溶着等によりあるいは接着剤を用いて固着することにより、本発明の実施の形態2におけるセンサ装置を得る。このように、処理回路24と検出電極部23を1つの筺体31内にコンパクトに収納するとともに、検出電極部22と現像剤等の粉体とが接触し、かつ検出電極部23と現像剤等の粉体とが接触することのないようにしているため、現像剤容器等の形状にかかわらず適用可能であるとともに、処理回路24と検出電極部22,23との接続線路長をきわめて短くすることができるため、粉体の量やその成分変化の測定精度と耐ノイズ性を向上でき、これにより、小形で信頼性の高いセンサ装置を容易に提供することができるという効果を有するものである。なお、PPSフィルムからなる検出部21は、厚み方向において融点が異なるものを用いている。具体的には、図1bに示すように、検出電極部22,23が設けられる検出部21の下側25μmの下部PPSフィルム層21bの融点が、検出部21の上側50μmの上部PPSフィルム層21aの融点に比べて低いものを用いている。そして、上述した検出部21をホルダ31bの表面に接合する際に、この厚み方向において融点が異なる検出部21の低融点側の下部PPSフィルム層21bの表面を当接させることで、これらの接合が熱融着により実現できるようになり、ここのセンサ装置における検出バラツキを抑制することが出来るのである。すなわち、通常、このようなホルダ31bと検出部21の接合には接着剤が用いられるが、接着剤を用いた場合、接着剤の塗布量がバラツクことで、検出部21とホルダ31bとの間隔がバラツキ、この部分の検出電極部22,23における静電容量が変化してしまい、個々のセンサ装置における検出精度のバラツキに繋がってしまう。しかしながら、これらの接合手段とする低融点の下部PPSフィルム層21bは、検出部21全体でのフィルム膜厚として管理されたもので、その一部を構成する低融点側の下部PPSフィルム層21bも高い精度、つまり、接着剤の塗布厚に比べ格段の厚み精度を有することと、また、その厚みが非常に薄く熱融着時の厚みバラツキが非常に小さいことから、接合による静電容量のバラツキを抑制することが出来るのである。なお、熱融着においては接合部分を加熱圧接するため、接合部分全体を均一に接合でき、接着剤の塗布ムラによる非接合部による気密性の劣化も抑制できるものである。また、検出部21を構成するPPSフィルムは、通常、コロナ処理が施されているが、その際PPSフィルムの表面にOH基やCO基といった官能基が出現することが確認されている。そして、現像剤などの粉体を検出するセンサ装置において検出部21の表面に官能基が存在することで、粉体が付着しやすくなるという問題が生じる。しかしながら、このPPSフィルムの表面に存在する官能基は熱処理により排除できることから、上述したように検出部21とホルダ31bの接合を熱融着により行うことで、その際の熱により官能基を除去することができ、官能基を除去する為の工程を別途設ける必要がなくなり生産性を向上できるのである。また、個々のセンサ装置において、検出部21における静電容量を安定させるためには、ホルダ31bの検出電極部22と対峙する部分に凹部40を設け、検出電極部22とホルダ31bとの間隔を確保して、ホルダ31b自体が持つ誘電率の影響を抑えることが効果的であり、この場合、この凹部40の内部に粉体が侵入すると、その分体の持つ誘電率が検出精度に影響するため、この凹部40の気密性を確保することが望ましく、上述した検出部21の熱融着による気密性の確保が有効となる。なお、このホルダ31bに設けた凹部40は、ホルダ31bを貫通する貫通孔特に図示せずであっても同様の効果を得ることができる。"