"カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂と、リン含有難燃剤と、重合性化合物と、光重合開始剤とを少なくとも含有してなり、該カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂の樹脂ポリマーおよび該重合性化合物が、ともにリン原子を含有するものでなく、該カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂が、重量平均分子量が2,000~60,000であり、酸価が20mgKOH/g~120mgKOH/gであり、エチレン性不飽和基当量が0.05mmol/g~3.0mmol/gであり、かつ該カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂が、側鎖に、下記一般式1~3で表される官能基のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする感光性組成物。一般式1中、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表し、ここで、R12は、水素原子、又は置換基を表す。一般式2中、R4~R8は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表し、Yは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、前記一般式1のR12と同義である。一般式3中、R9~R11は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表す。Zは、酸素原子、硫黄原子、-NR13-、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。ここで、R13は、置換基を有してもよいアルキル基を表す。ただし、一般式1~3で表される基は、X、YまたはZがポリウレタン主鎖と連結する部分構造に、-CO2-β位またはγ位に水酸基もしくはアシルオキシ基が置換した脂肪族の基-を有することはない。ここで側に一般式1~3の部分構造が存在する。前記カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂が、ジイソシアネート化合物とジオール化合物の反応生成物であり、該ジオール化合物が、iエチレン性不飽和基を有し、少なくとも1つの水酸基が2級アルコールであり、残りの水酸基が1級または3級アルコールであるジオール化合物の少なくとも1種と、iiカルボキシル基を有するジオール化合物の少なくとも1種と、の混合物であることを特徴とする請求項1に記載の感光性組成物。前記エチレン性不飽和基を有するジオール化合物が、イソシアネート基と反応する水酸基において、1級アルコールの水酸基と2級アルコールの水酸基を有することを特徴とする請求項2に記載の感光性組成物。前記エチレン性不飽和基を有するジオール化合物が、下記一般式Gで表される化合物であることを特徴とする請求項2又は3に記載の感光性組成物。一般式G中、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は置換基を表す。前記ジイソシアネート化合物が、芳香族化合物であることを特徴とする請求項2~4のいずれか1項に記載の感光性組成物。前記ジイソシアネート化合物が、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビフェニル型、ナフタレン型、フェナントレン型、又はアントラセン型の骨格を有するジイソシアネート化合物であることを特徴とする請求項2~5のいずれか1項に記載の感光性組成物。前記リン含有難燃剤が、縮合リン酸化合物、ポリリン酸メラミン塩、フォスファゼン化合物、及びリン酸金属塩のいずれかであることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の感光性組成物。更に熱架橋剤を含有することを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の感光性組成物。前記熱架橋剤が、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート化合物にブロック剤を反応させて得られる化合物、及びメラミン誘導体から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項8に記載の感光性組成物。請求項1~9のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層を支持体上に有してなることを特徴とする感光性フィルム。基体上に、請求項1~9のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層を有することを特徴とする感光性積層体。請求項1~9のいずれか1項に記載の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とする永久パターン形成方法。請求項12に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板。本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであり、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、耐折性及び難燃性に優れ、かつ解像性、絶縁信頼性に優れ、反りが低減された感光性組成物、並びに該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板を提供することを目的とする。前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、<1>カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂と、リン含有難燃剤と、重合性化合物と、光重合開始剤とを少なくとも含有してなり、該カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂の樹脂ポリマーおよび該重合性化合物が、ともにリン原子を含有するものでなく、該カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂が、重量平均分子量が2,000~60,000であり、酸価が20mgKOH/g~120mgKOH/gであり、エチレン性不飽和基当量が0.05mmol/g~3.0mmol/gであり、かつ該カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂が、側鎖に、下記一般式1~3で表される官能基のうち少なくとも1つを含む感光性組成物である。一般式1中、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表し、ここで、R12は、水素原子、又は置換基を表す。一般式2中、R4~R8は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表し、Yは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、前記一般式1のR12と同義である。一般式3中、R9~R11は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表す。Zは、酸素原子、硫黄原子、-NR13-、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。ここで、R13は、置換基を有してもよいアルキル基を表す。ただし、一般式1~3で表される基は、X、YまたはZがポリウレタン主鎖と連結する部分構造に、-CO2-β位またはγ位に水酸基もしくはアシルオキシ基が置換した脂肪族の基-を有することはない。ここで側に一般式1~3の部分構造が存在する。<2>前記カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂が、ジイソシアネート化合物とジオール化合物の反応生成物であり、該ジオール化合物が、iエチレン性不飽和基を有し、少なくとも1つの水酸基が2級アルコールであり、残りの水酸基が1級または3級アルコールであるジオール化合物の少なくとも1種と、iiカルボキシル基を有するジオール化合物の少なくとも1種と、の混合物である<1>に記載の感光性組成物である。<3>前記エチレン性不飽和基を有するジオール化合物が、イソシアネート基と反応する水酸基において、1級アルコールの水酸基と2級アルコールの水酸基を有する<2>に記載の感光性組成物である。<4>前記エチレン性不飽和基を有するジオール化合物が、下記一般式Gで表される化合物である<2>又は<3>に記載の感光性組成物である。一般式G中、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表し、Aは2価の有機残基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は置換基を表す。<5>前記ジイソシアネート化合物が、芳香族化合物である<2>~<4>のいずれか1項に記載の感光性組成物である。<6>前記ジイソシアネート化合物が、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビフェニル型、ナフタレン型、フェナントレン型、又はアントラセン型の骨格を有するジイソシアネート化合物である<2>~<5>のいずれか1項に記載の感光性組成物である。<7>前記リン含有難燃剤が、縮合リン酸化合物、ポリリン酸メラミン塩、フォスファゼン化合物、及びリン酸金属塩のいずれかである<1>~<6>のいずれか1項に記載の感光性組成物である。<8>更に熱架橋剤を含有する<1>~<7>のいずれか1項に記載の感光性組成物である。<9>前記熱架橋剤が、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート化合物にブロック剤を反応させて得られる化合物、及びメラミン誘導体から選択される少なくとも1種である<8>に記載の感光性組成物である。<10>前記<1>~<9>のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層を支持体上に有してなることを特徴とする感光性フィルムである。<11>基体上に、前記<1>~<9>のいずれか1項に記載の感光性組成物を含む感光層を有することを特徴とする感光性積層体である。<12>前記<1>~<9>のいずれか1項に記載の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とする永久パターン形成方法である。<13>前記<12>に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板である。本発明によると、従来における諸問題を解決でき、耐折性及び難燃性に優れ、かつ解像性、絶縁信頼性に優れ、反りが低減された感光性組成物、並びに該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板を提供することができる。感光性組成物本発明の感光性組成物は、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂と、リン含有難燃剤と、重合性化合物と、光重合開始剤とを少なくとも含有してなり、熱架橋剤、熱可塑性エラストマー、更に必要に応じてその他の成分を含有してなる。<カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂>本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、ポリウレタン樹脂のポリマー中にリン原子を含有するものではない。好ましくは、炭素原子、水素原子、酸素原子および窒素原子から選択される原子で構成される。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、ポリマー側鎖に、エチレン性不飽和基として、下記一般式1~3で表される官能基のうち少なくとも1つを有する。なお、本発明において、側鎖とは、ポリウレタン樹脂の主鎖を構成する原子の鎖から分岐もしくは主鎖を構成する原子に置換して連結した鎖であり、側鎖にエチレン性不飽和基を有すとは、エチレン性不飽和基をこのような側鎖に含むか、主鎖を構成する原子にエチレン性不飽和基が直接置換している。例えば、HOCH2CH=CHCH2OHのジオールとOCNCH26NCOとの反応のみで得られるポリウレタン樹脂は主鎖にエチレン性不飽和基を含むものである。また、本発明においては、ポリウレタン樹脂の主鎖のポリマー末端にエチレン性不飽和基を有してもよいが、ポリマー末端のエチレン性不飽和基は本発明における側鎖ではない。また、エチレン性不飽和基とは、臭素価やヨウ素価の測定で消費されるエチレン結合を有する基であり、ベンゼンのような芳香族を示す基ではない。エチレン性不飽和基は置換基を有してもよいビニル基が好ましい。一般式1において、Rl~R3は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表す。ここで、置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アシルアミノ基、スルホンアミド基、アルキルもしくはアリールスルホニル基、アルキルもしくはアリールスルフィニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、アシルオキシ基、カルバモイル基、スルファモイル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、カルボキシル基、スルホ基、ウレイド基、ウレタン基などが挙げられ、これらの基はさらにこれらの置換基で置換されていてもよい。なお、以降の各一般式における置換基、各基に置換してもよい置換基も同様の基が挙げられる。R1としては、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基が好ましく、これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基がより好ましい。また、R2及びR3としては、それぞれ独立に、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基が好ましく、これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基がより好ましい。前記一般式1において、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表し、R12は、水素原子、又は置換基を表す。R12としては、置換基を有してもよいアルキル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基がより好ましい。ここで、導入し得る置換基としては、前記Rl~R3で挙げた置換基が挙げられ、好ましくはアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、アミド基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基である。一般式2において、R4~R8は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表す。R4~R8としては、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基が好ましく、これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基がより好ましい。導入し得る置換基としては、前記一般式1と同様のものが挙げられる。また、Yは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。R12は、前記一般式1のR12の場合と同義であり、好ましい例も同様である。一般式3において、R9~R11は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表す。R9としては、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基が好ましく、これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基がより好ましい。R10及びR11としては、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基が好ましく、これらの中でも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基がより好ましい。ここで、導入し得る置換基としては、前記一般式1と同様のものが例示される。また、Zは、酸素原子、硫黄原子、-NR13-、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。ここでR13は水素原子、又は置換基を表し、置換基を有してもよいアルキル基が好ましく、中でも、ラジカル反応性が高い点で、メチル基、エチル基、イソプロピル基がより好ましい。前記一般式1~3で表される官能基のうち、一般式1で表される官能基と一般式3で表される官能基が好ましく、一般式1で表される官能基がより好ましい。また具体的な基としては、架橋硬化膜形成性の点で、メタクリロイル基、アクリロイル基、スチリル基が好ましく、メタクリロイル基、アクリロイル基がより好ましく、架橋硬化膜の形成性と生保存性との両立の点で、メタクリロイル基が特に好ましい。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、カルボキシ基含有ポリウレタン樹脂と、分子内に、エポキシ基またはオキセタン基とエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させて、エチレン性不飽和基を導入したものではない。従って、上記一般式1~3で表される基は、X、YまたはZがポリウレタン主鎖と連結する部分構造に、-CO2-β位またはγ位に水酸基もしくはアシルオキシ基が置換した脂肪族の基-を有することはない。ここで側に一般式1~3の部分構造が存在する。また、β位、γ位とは上位カルボニルオキシ基の酸素原子が置換する炭素原子α位に結合する炭素原子がβ位で、このβ位の炭素原子に結合する炭素原子がγ位である。カルボキシ基含有ポリウレタン樹脂と、分子内に、エポキシ基またはオキセタン基とエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させて、エチレン性不飽和基を導入したカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、反応後に加水分解するなどして水酸基が発生しやすく、絶縁信頼性が低下する点で十分でない。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、下記一般式4で表されるジイソシアネート化合物の少なくとも1種と、下記一般式5で表されるジオール化合物の少なくとも1種と、の反応生成物で表される構造単位を基本骨格とするポリウレタン樹脂である。OCN-X0-NCO一般式4HO-Y0-OH一般式5前記一般式4及び5中、X0及びY0は、それぞれ独立に2価の有機残基連結基を表す。前記一般式4で表されるジイソシアネート化合物、又は、前記一般式5で表されるジオール化合物の少なくともどちらか一方が、前記一般式1~3で表される基のうち少なくとも1つを有していれば、当該ジイソシアネート化合物と当該ジオール化合物との反応生成物として、側鎖に前記一般式1~3で表される基が導入されたポリウレタン樹脂が生成される。かかる方法によれば、ポリウレタン樹脂の反応生成後に所望の側鎖を置換、導入するよりも、側鎖に前記一般式1~3で表される基が導入されたポリウレタン樹脂を容易に製造することができる。前記一般式4で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、トリイソシアネート化合物と、不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させて得られる生成物、などが挙げられる。前記トリイソシアネート化合物としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0034~0035に記載された化合物、などが挙げられる。前記不飽和基を有する単官能のアルコール又は前記単官能のアミン化合物としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0037~0040に記載された化合物、などが挙げられる。ここで、前記ポリウレタン樹脂の側鎖に不飽和基を導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖に不飽和基を含有するジイソシアネート化合物を用いる方法が好ましい。前記ジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、トリイソシアネート化合物と不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物1当量とを付加反応させることにより得ることできるジイソシアネート化合物であって、例えば、特開2005-250438号公報の段落0042~0049に記載された側鎖に不飽和基を有する化合物、などが挙げられる。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、重合性組成物中の他の成分との相溶性を向上させ、保存安定性を向上させるといった観点から、前記不飽和基を含有するジイソシアネート化合物以外のジイソシアネート化合物を共重合させることもできる。前記共重合させるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、下記一般式6で表されるジイソシアネート化合物である。OCN-L1-NCO一般式6一般式6中、L1は、置換基を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表す。必要に応じ、L1は、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エステル、ウレタン、アミド、ウレイド基を有していてもよい。前記一般式6で表されるジイソシアネート化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することでき、例えば、2,4-トリレンジイソシアネート、2,4-トリレンジイソシアネートの二量体、2,6-トリレンジイソシアネート、p-キシリレンジイソシアネート、m-キシリレンジイソシアネート、4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5-ナフチレンジイソシアネート、3,3’-ジメチルビフェニル-4,4’-ジイソシアネート等のような芳香族ジイソシアネート化合物;ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物;イソホロンジイソシアネート、4,4’-メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート、メチルシクロヘキサン-2,4又は2,6ジイソシアネート、1,3-イソシアネートメチルシクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート化合物;1,3-ブチレングリコール1モルとトリレンジイソシアネート2モルとの付加体等のジオールとジイソシアネートとの反応物であるジイソシアネート化合物;などが挙げられる。前記ジイソシアネート化合物は、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビフェニル型、ナフタレン型、フェナントレン型、又はアントラセン型の骨格を有するジイソシアネート化合物であることが好ましい。前記一般式5で表されるジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物、などが挙げられる。ここで、ポリウレタン樹脂の側鎖に不飽和基を導入する方法としては、前述の方法の他に、ポリウレタン樹脂製造の原料として、側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物を用いる方法も好ましい。前記側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物は、例えば、トリメチロールプロパンモノアリルエーテルのように市販されているものでもよいし、ハロゲン化ジオール化合物、トリオール化合物、アミノジオール化合物等の化合物と、不飽和基を含有する、カルボン酸、酸塩化物、イソシアネート、アルコール、アミン、チオール、ハロゲン化アルキル化合物等の化合物との反応により容易に製造される化合物であってもよい。前記エチレン性不飽和基を有するジオール化合物は、イソシアネート基と反応する2個の水酸基の両方が1級アルコールのもの、少なくとも1個の水酸基が2級アルコールのもの、水酸基の両方が2級アルコールのもの等があるが、このうち、2個の水酸基の少なくとも1個の水酸基が2級アルコールのものが好ましく、一方の水酸基が2級アルコールでかつ残りの水酸基が1級アルコールのものがより好ましい。2個の水酸基の両方が1級アルコールのジオール化合物として好ましいものは、下記一般式A1~Eで表される。一般式A1~Eにおいて、E1は単結合または2価の連結基2価の有機残基を表し、E2は単結合または-CH2-以外の2価の連結基を表す。Qは一般式1~3のいずれかの基を表す。E1、E2における2価の連結基としては、例えば、-O-、-S-、-OCHCH2-QCH2-、-CO2-CH2-、-OCH2CCH2-Q2CH2-、-O-CONHCH2CH2-、-OC=O-、-CONHCH2CH2-、-CH2CCH2-Q2CH2-、-CH2-、-NHCONHCH2CH2-、-NHCHCH2-QCH2-、-NCHCH2-QCH2-、-NHCH2CCH2-Q2CH2-、-NH-CHCH2-QCH2-、-C=O-、-CO2-CH2CH2-、-CO2-CH2CH2CH2-等が挙げられる。なお、ここで、Qは一般式1~3のいずれかの基を表す。2個の水酸基の少なくとも1個の水酸基が2級アルコールのものが好ましく、一方の水酸基が2級アルコールでかつ残りの水酸基が1級アルコールのジオール化合物として好ましいものは、下記一般式Fで表される。一般式A1~Eにおいて、RQは置換基を表し、E3は単結合または2価の連結基を表す。ここで、RQまたはE3の少なくとも一方は、前記一般式1~3で表される基もしくはこの基を有する基である。一般式Fで表される化合物のうち、RQに前記一般式1~3で表される基を有すものが好ましく、さらに好ましくは、E3が単結合で、RQが-A-Qで表される化合物である。ここでAは2価の連結基を表し、Qは前記一般式1~3で表される基を有す。一般式Fで表される化合物のうち、さらに好ましくは、下記一般式Gで表される化合物である。一般式Gにおいて、R1~R3は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を表し、Aは2価の有機残基連結基を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は-NR12-を表す。ここで、R12は、水素原子、又は置換基を表す。ここでR1~R3、Xは前記一般式1のR1~R3、Xと同義であり、好ましい範囲も同じである。前記一般式Gで表されるジオール化合物に由来するポリウレタン樹脂を用いることにより、立体障害の大きい2級アルコールに起因するポリマー主鎖の過剰な分子運動を抑制する効果により、層の被膜強度の向上が達成できるものと考えられる。なお、前記一般式A1~E、F、Gにおいて、E1、E2、Aは-CO2-β位またはγ位に水酸基もしくはアシルオキシ基が置換した脂肪族の基-を有することはない。ここで側に一般式1~3の部分構造が存在する。また、RQやE3に前記一般式1~3で表される基もしくはこれを含む基を有する場合も同様である。ただし、E1、E2、Aは-CO2-β位またはγ位に水酸基もしくはアシルオキシ基が置換した脂肪族の基-を有することはない。ここで側に一般式1~3の部分構造が存在する。前記一般式A1~Eで表される具体的な化合物は特開2005-250438号公報の段落0057~0060に記載された化合物が挙げられる。前記一般式F~Gで表される化合物は、以下のものが挙げられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、例えば、重合性組成物中の他の成分との相溶性を向上させ、保存安定性を向上させるといった観点から、前記側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物以外のジオール化合物を共重合させることができる。前記側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物以外のジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエーテルジオール化合物、ポリエステルジオール化合物、ポリカーボネートジオール化合物、などを挙げることできる。これらのジオール化合物は、質量平均分子量が、300以上であることが好ましく、さらに好ましくは400以上、より好ましくは700以上であり、最も好ましくは1000以上である。質量平均分子量の上限は、2000以下が好ましく、1800以下がさらに好ましく、1500以下が最も好ましい。質量平均分子量が、300未満であると、耐折性が十分に得られないことがあり、2,000を超えると、得られるポリウレタン樹脂のガラス転移温度Tgが低下しすぎるため、絶縁信頼性が低下してしまうことがある。このようなジオール化合物は、下記一般式I-1~I-7で表される化合物が好ましい。なお、ここで、一般式I-7はエチレン性不飽和基を有するが、これは主鎖に有するものである。一般式I-1~において、L2、Xa、L3、L4、L5およびL6は、各々独立に2価の脂肪族基または2価の芳香族基を表す。L2、L3、L4、L5およびL6は、炭素数2個~20個のアルキレン基または炭素数6個~15個のアリーレン基が好ましく、炭素数2個~10個のアルキレンまたは炭素数6個~10個のアリーレン基がより好ましい。Xaは、炭素数1個~20個のアルキレン基または炭素数6個~15個のアリーレン基が好ましく、炭素数1個~10個のアルキレン基または炭素数6個~10個のアリーレン基がより好ましい。また、L2、Xa、L3、L4、L5およびL6中には、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、エーテル基、カルボニル基、エステル基、シアノ基、オレフィン基、ウレタン基、アミド基、ウレイド基、またはハロゲン原子などがあってもよい。R14、R14a~R14dは各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、シアノ基またはハロゲン原子を表す。水素原子、炭素数1個~10個のアルキル基、炭素数6個~15個のアリール基、炭素数7個~15個のアラルキル基、シアノ基またはハロゲン原子が好ましく、水素原子、炭素数1個~6個のアルキルおよび炭素数6個~10個のアリール基がより好ましく、水素原子またはメチル基が特に好ましい。R14a~R14dにおいて、R14aとR14bは、両方が水素原子であるか、もしくは一方が水素原子で他方がメチル基である場合が好ましく、R14cとR14dは、両方が水素原子であるか、もしくは一方が水素原子で他方がメチル基である場合が好ましい。R14、R14a~R14d中には、イソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、アルコキシ基、カルボニル基、オレフィン基、エステル基またはハロゲン原子などがあってもよい。R14eは、アリール基またはシアノ基を表し、炭素数6個~10個のアリール基またはシアノ基が好ましい。Zaは-O-、-S-または-CR14fR14g-を表す。ここで、R14f、R14gは各々独立に水素原子またはアルキル基を表す。m1は1~4の整数を表す。m2~m7は、各々独立に2以上の整数を表し、2~100の整数が好ましい。n1~n5は、それぞれ2以上の整数を表し、2~100の整数が好ましい。n6は0または2以上の整数を示し、0または2~100の整数が好ましい。上記一般式I-1~I-7で表される化合物のうち、一般式I-1~I-6で表される化合物がより好ましく、一般式I-1~I-3で表される化合物がさらに好ましい。一般式I-1で表される化合物のうち、m1が1~2の化合物としては、例えば、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ペンタエチレングリコール、ヘキサエチレングリコール、ヘプタエチレングリコール、オクタエチレングリコール、ジ-1,2-プロピレングリコール、トリ-1,2-プロピレングリコール、テトラ-1,2-プロピレングリコール、ヘキサ-1,2-プロピレングリコール、ジ-1,3-プロピレングリコール、トリ-1,3-プロピレングリコール、テトラ-1,3-プロピレングリコール、ジ-1,3-ブチレングリコール、トリ-1,3-ブチレングリコール、ヘキサ-1,3-ブチレングリコール、質量平均分子量1000のポリエチレングリコール、質量平均分子量1500のポリエチレングリコール、質量平均分子量2000のポリエチレングリコール、質量平均分子量3000のポリエチレングリコール、質量平均分子量7500のポリエチレングリコール、質量平均分子量400のポリプロピレングリコール、質量平均分子量700のポリプロピレングリコール、質量平均分子量1000のポリプロピレングリコール、質量平均分子量2000のポリプロピレングリコール、質量平均分子量3000のポリプロピレングリコール、質量平均分子量4000のポリプロピレングリコール等が挙げられる。一般式I-1で表される化合物のうち、m1が3の化合物としては、例えば、三洋化成工業株製、商品名PTMG650、PTMG1000、PTMG2000、PTMG3000等が挙げられる。一般式I-2で表される化合物としては、例えば、三洋化成工業株製、商品名ニューポールPE-61、ニューポールPE-62、ニューポールPE-64、ニューポールPE-68、ニューポールPE-71、ニューポールPE-74、ニューポールPE-75、ニューポールPE-78、ニューポールPE-108、ニューポールPE-128、ニューポールPE-61等が挙げられる。一般式I-3で表される化合物としては、例えば、三洋化成工業株製、商品名ニューポールBPE-20、ニューポールBPE-20F、ニューポールBPE-20NK、ニューポールBPE-20T、ニューポールBPE-20G、ニューポールBPE-40、ニューポールBPE-60、ニューポールBPE-100、ニューポールBPE-180、ニューポールBPE-2P、ニューポールBPE-23P、ニューポールBPE-3P、ニューポールBPE-5P等が挙げられる。末端に水酸基を有するエチレンオキシドとプロピレンオキシドとのランダム共重合体としては、例えば、三洋化成工業株製、商品名ニューポール50HB-100、ニューポール50HB-260、ニューポール50HB-400、ニューポール50HB-660、ニューポール50HB-2000、ニューポール50HB-5100等が挙げられる。一般式I-4~I-7で表される化合物としては、具体的には以下に示すものが挙げられる。なお、具体例中のnは2以上の整数を表す。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂中における前記側鎖に不飽和基を含有するジオール化合物以外のジオール化合物の質量比率は10~60であることが好ましく、20~55であることがより好ましい。前記質量比率が10未満であると硬化後の反り抑制が困難になることがあり、60を超えると光硬化の感度が低下しすぎて解像性が悪化してしまうことがある。更に、本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、カルボキシル基を有するジオール化合物を併用することもできる。前記カルボキシル基を有するジオール化合物としては、例えば、以下の式17~19に示すものが含まれる。前記式17~19中、R15としては、水素原子、置換基例えば、シアノ基、ニトロ基、-F、-Cl、-Br、-I等のハロゲン原子、-CONH2、-COOR16、-OR16、-NHCONHR16、-NHCOOR16、-NHCOR16、-OCONHR16ここで、前記R16は、炭素数1~10のアルキル基、又は炭素数7~15のアラルキル基を表す。などの各基が含まれる。を有していてもよいアルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基を表すものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、水素原子、炭素数1~8個のアルキル基、炭素数6~15個のアリール基が好ましい。前記式17~19中、L9、L10、L11は、それぞれ同一でもよいし、相違していてもよく、単結合、置換基例えば、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲン原子が好ましい。を有していてもよい2価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を表すものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、炭素数1~20個のアルキレン基、炭素数6~15個のアリーレン基が好ましく、炭素数1~8個のアルキレン基がより好ましい。また必要に応じ、前記L9~L11中にイソシアネート基と反応しない他の官能基、例えば、カルボニル、エステル、ウレタン、アミド、ウレイド、エーテル基を有していてもよい。なお、前記R15、L7、L8、L9のうちの2個又は3個で環を形成してもよい。前記式18中、Arとしては、置換基を有していてもよい三価の芳香族炭化水素基を表すものである限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、炭素数6~15個の芳香族基が好ましい。前記式17~19で表されるカルボキシル基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、3,5-ジヒドロキシ安息香酸、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸、2,2-ビス2-ヒドロキシエチルプロピオン酸、2,2-ビス3-ヒドロキシプロピルプロピオン酸、ビスヒドロキシメチル酢酸、ビス4-ヒドロキシフェニル酢酸、2,2-ビスヒドロキシメチル酪酸、4,4-ビス4-ヒドロキシフェニルペンタン酸、酒石酸、N,N-ジヒドロキシエチルグリシン、N,N-ビス2-ヒドロキシエチル-3-カルボキシ-プロピオンアミド、などが挙げられる。このようなカルボキシル基の存在により、ポリウレタン樹脂に水素結合性とアルカリ可溶性といった特性を付与できるため好ましい。より具体的には、前記側鎖にエチレン性不飽和結合基を有するポリウレタン樹脂が、更に側鎖にカルボキシル基を有する樹脂であり、より具体的には、側鎖のエチレン性不飽和基が、0.05mmol/g~3.0mmol/gであることが好ましく、0.5mmol/g~3.0mmol/gであることがより好ましく、0.75mmol/g~3.0mmol/gであることが特に好ましく、かつ、側鎖にカルボキシル基を有することが好ましく、酸価が、20mgKOH/g~120mgKOH/gであることが好ましく、30mgKOH/g~110mgKOH/gであることがより好ましく、35mgKOH/g~100mgKOH/gが特に好ましい。なお、ここで、エチレン性不飽和基当量は、例えば、臭素価を測定することにより求めることができる。前記臭素価は、例えば、JISK2605に準拠して測定することができる。エチレン性不飽和当量は、代表的にはビニル基当量であり、上記臭素価で得られた測定する樹脂100gに対して付加した臭素Br2のグラム数gBr2/100gから、樹脂1g当たりの付加した臭素Br2のモル数に変換した値である。酸価は、例えば、JISK0070に準拠して測定することができる。なお、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用する。なお、酸価は上記樹脂の固形分酸価である。また、本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂の合成には、上述したジオール化合物の他に、テトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物を併用することもできる。前記テトラカルボン酸二無水物をジオール化合物で開環させた化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2005-250438号公報の段落0095~0101に記載された化合物、などが挙げられる。また、前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂としては、ポリマー末端、主鎖にアルカリ現像性基を有するものも好適に使用される。ポリマー末端、主鎖にアルカリ現像性基を有することにより、更に、アルカリ現像時の現像性が向上し、優れたパターン形成性を与える。更に熱架橋剤と側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂との間で架橋反応性が向上し、硬化物強度が増す。その結果、側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂をプリント基板材料に使用した際、耐久性に優れる材料を与えることができる。ここで、アルカリ現像性基としては、希アルカリによる現像性の付与から、カルボキシル基を有することが特に好ましい。ポリマー末端にアルカリ現像性基を導入する方法としては、以下に示す方法がある。-主鎖の末端のカルボキシル基-前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を有し、2つ以上5つ以下のカルボキシル基を有することが好ましく、2つのカルボキシル基を有することが現像性に優れ、微細パターン形成性の点で特に好ましい。なお、前記ポリウレタン樹脂における主鎖の末端は、2つあるが、片末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有することが好ましく、両末端に少なくとも1つのカルボキシル基を有していてもよい。前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、下記一般式Aで表される構造を有することが好ましい-LA1-COOHn一般式A一般式Aにおいて、LA1は、n1価の有機連結鎖を表し、nは1以上の整数を示し、1~5が好ましく、2が特に好ましい。LA1で表される有機連結基は、炭素原子、水素原子、酸素原子、窒素原子、及び硫黄原子から選択される1以上の原子を含んで構成され、具体的には、LA1で表される有機連結基の主骨格を構成する原子数は、1~30が好ましく、1~25がより好ましく、1~20が更に好ましく、1~10が特に好ましい。なお、前記有機連結基の主骨格とは、後述する一般式AIにおけるLA2と末端COOHとを連結するためのみに使用される原子又は原子団を意味し、連結経路が複数ある場合には、使用される原子数が最も少ない経路を構成する原子又は原子団を指す。前記ポリウレタン樹脂の主鎖の末端に、少なくとも1つのカルボキシル基を導入する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリウレタン樹脂製造の原料として、少なくとも1つのカルボキシル基を有するカルボン酸化合物を用いる方法などが挙げられる。-カルボン酸化合物-前記カルボン酸化合物としては、カルボキシル基を1つ有するモノカルボン酸化合物、カルボキシル基を2つ有するジカルボン酸化合物、カルボキシル基を3つ有するトリカルボン酸化合物、カルボキシル基を4つ有するテトラカルボン酸化合物、カルボキシル基を5つ有するペンタカルボン酸化合物などが挙げられる。これらの中でも、カルボキシル基を2つ有するジカルボン酸化合物が、現像性に優れ、微細パターン形成性の点で特に好ましい。前記カルボン酸化合物としては、少なくとも1つのカルボキシル基を有すれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、下記一般式AIで表される化合物が好適である。一般式AIにおいて、LA1及びnは、前記一般式Aと同じ意味を表す。前記一般式AIにおけるLA2は、単結合又は置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。前記アルキレン基としては、炭素原子数1~20のアルキレン基が好ましく、炭素原子数2~10のアルキレン基がより好ましい。前記アルキレン基に導入可能な置換基としては、例えばハロゲン原子-F、-Br、-Cl、-I、置換基を有していてもよいアルキル基、などが挙げられる。前記一般式AIで表されるカルボン酸化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、乳酸、リンゴ酸、ヒドロキシへキサン酸、クエン酸、ジオール化合物と酸無水物の反応物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、リンゴ酸が特に好ましい。前記ジオール化合物と酸無水物の反応物としては、例えば、下記構造式で表される化合物などが挙げられる。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、前記ジイソシアネート化合物及びジオール化合物を、非プロトン性溶媒中、それぞれの反応性に応じた活性の公知の触媒を添加し、加熱することにより合成される。合成に使用されるジイソシアネート及びジオール化合物のモル比Ma:Mbとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、1:1~1.2:1が好ましく、アルコール類又はアミン類等で処理することにより、分子量あるいは粘度といった所望の物性の生成物が、最終的にイソシアネート基が残存しない形で合成される。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂の質量平均分子量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2,000~60,000が好ましく、2,000~50,000がより好ましく、2,000~30,000が特に好ましい。特に、本発明の感光性組成物をソルダーレジストに用いた場合には、無機充填剤との分散性に優れ、クラック耐性と耐熱性にも優れ、アルカリ性現像液による非画像部の現像性に優れる。ここで、前記質量平均分子量は、例えば、高速GPC装置東洋曹達株式会社製、HLC-802Aを使用して、0.5質量のTHF溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgelHZM-M1本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25°Cで屈折率検出器又はUV検出器検出波長254nmにより測定することができる。そして、標準ポリスチレンで較正した分子量分布曲線より質量平均分子量を求めた。また、本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂としては、ポリマー末端、主鎖に不飽和基を有するものも好適に使用される。ポリマー末端、主鎖に不飽和基を有することにより、更に、感光性組成物と側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂との間、又は側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂間で架橋反応性が向上し、光硬化物強度が増す。ここで、不飽和基としては、架橋反応の起こり易さから、炭素-炭素二重結合を有することが特に好ましい。ポリマー末端に不飽和基を導入する方法としては、以下に示す方法がある。即ち、上述した側鎖にエチレン性不飽和結合を有するポリウレタン樹脂の合成の工程での、ポリマー末端の残存イソシアネート基と、アルコール類又はアミン類等で処理する工程において、不飽和基を有するアルコール類又はアミン類等を用いればよい。このような化合物としては、具体的には、先に、不飽和基を有する単官能のアルコール又は単官能のアミン化合物として挙げられた例示化合物と同様のものを挙げることができる。なお、不飽和基は、導入量の制御が容易で導入量を増やすことができ、また、架橋反応効率が向上するといった観点から、ポリマー末端よりもポリマー側鎖に導入されることが好ましい。導入されるエチレン性不飽和結合基としては、前述のように、架橋硬化膜形成性の点で、メタクリロイル基、アクリロイル基、スチリル基が好ましく、メタクリロイル基、アクリロイル基がより好ましく、架橋硬化膜の形成性と生保存性との両立の点で、メタクリロイル基が特に好ましい。また、メタクリロイル基の導入量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、エチレン性不飽和基当量ビニル基当量としては、0.05mmol/g~3.0mmol/gが好ましく、0.5mmol/g~3.0mmol/gがより好ましく、0.75mmol/g~3.0mmol/gが特に好ましい。主鎖に不飽和基を導入する方法としては、主鎖方向に不飽和基を有するジオール化合物をポリウレタン樹脂の合成に用いる方法がある。前記主鎖方向に不飽和基を有するジオール化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばcis-2-ブテン-1,4-ジオール、trans-2-ブテン-1,4-ジオール、ポリブタジエンジオール、などが挙げられる。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂の具体例としては、例えば、特開2005-250438号公報の段落0293~0310に示されたP-1~P-31のポリマー、などが挙げられる。これらの中でも、段落0308及び0309に示されたP-27及びP-28のポリマーが好ましい。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は、本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂とは異なる構造を有するポリウレタン樹脂を含むアルカリ可溶性高分子を併用することも可能である。例えば、主鎖及び/又は側鎖に芳香族基を含有したポリウレタン樹脂を併用することが可能である。ただし、併用するポリウレタン樹脂もリン原子を含有することはない。ただし、ビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂との併用する場合、これらの樹脂の固形分において、本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂は50質量以上が好ましく、70質量以上がより好ましく、90質量以上がさらに好ましく、100質量が最も好ましい。本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、5質量~80質量が好ましく、20質量~75質量がより好ましく、30質量~70質量が特に好ましい。前記含有量が、5質量未満であると、耐クラック性を良好に保つことができないことがあり、80質量を超えると、耐熱性が破綻をきたすことがある。前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好な耐クラック性と耐熱性の両立の点で有利である。<リン含有難燃剤>前記リン含有難燃剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば縮合リン酸化合物、ポリリン酸メラミン塩、フォスファゼン化合物、リン酸金属塩、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。前記縮合リン酸化合物としては、例えばレゾルシノールビス-ジフェニルホスフェート、レゾルシノールビス-ジキシレニルホスフェート、ビスフェノールAビス-ジフェニルホスフェートなどがあり、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えばCR-733S、CR-741、CR-747、PX-200以上、大八化学株式会社製、FP-600、FP-700、レオフォスRDP、レオフォスBAPP、などが挙げられる。前記ポリリン酸メラミン塩としては、例えば下記一般式で表される化合物であり、nは1以上の数を表す。市販品を用いることができる。該市販品としては、例えばAP750、AP760、OP1312以上、クラリアントジャパン社製、FP-2100J、FP-2200、ヒシガード6ME、FCP-770などが挙げられる。前記フォスファゼン化合物としては、例えば下記一般式で表される化合物が挙げられ、Rは水素原子、又は炭素数1~8のアルキル基であり、市販品を用いることができる。該市販品としては、例えばSPS-100などが挙げられる。前記リン酸金属塩としては、例えば下記一般式で表されるものであり、APおよびBPは各々独立に、アルキル基またはアリール基を表し、Mは、Mg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Zn、Fe、Zr、Ce、Bi、Sr、Mn、Ni、及びNaから選択される少なくとも1種であり、mは1~4の整数を表す。ここで、Mは、Alが好ましい。また、AおよびBは炭素数1~6のアルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。リン酸金属塩は、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えばOP-935クラリアントジャパン社製などが挙げられる。前記リン含有難燃剤の前記感光性組成物固形分中の含有量は、10質量~35質量が好ましく、15質量~30質量がより好ましい。前記含有量が、10質量未満であると、十分な難燃性が保てないことがあり、35質量を超えると、解像性の悪化、耐折性の悪化、絶縁信頼性の悪化となることがある。<重合性化合物>本発明で使用する重合性化合物は、リン原子を含有するものではない。すなわち好ましくは、炭素原子、水素原子、酸素原子、窒素原子およびイオウ原子から選択されている原子で構成されている。リン原子を有する重合性化合物の場合、樹脂マトリックス成分と反応することでリン原子の分解温度が高くなってしまい十分な難燃性を確保できない点で本発明の効果が十分発現されない。本発明で使用する重合性化合物としては、リン原子を含まなければ、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、エチレン性不飽和結合を1つ以上有する化合物が好ましい。ただし、この重合性化合物は、本発明で使用するカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂とは異なるものであり、分子量が1,000以下の低分子量の化合物であり、ポリマーではない。前記エチレン性不飽和結合としては、例えば、メタアクリロイル基、メタアクリルアミド基、スチリル基、ビニルエステル、ビニルエーテル等のビニル基;アリルエーテルやアリルエステル等のアリル基、などが挙げられる。前記エチレン性不飽和結合を1つ以上有する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、メタアクリル基を有するモノマーから選択される少なくとも1種が好適に挙げられる。前記メタアクリル基を有するモノマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレングリコールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタアクリレート、フェノキシエチルメタアクリレート等の単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタアクリレート、ペンタエリトリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタアクリレート、ヘキサンジオールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリロイルオキシプロピルエーテル、トリアクリロイルオキシエチルイソシアヌレート、トリアクリロイルオキシエチルシアヌレート、グリセリントリメタアクリレート、トリメチロールプロパンやグリセリン、ビスフェノール等の多官能アルコールに、エチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加反応した後でメタアクリレート化したもの、特公昭48-41708号、特公昭50-6034号、特開昭51-37193号等の各公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48-64183号、特公昭49-43191号、特公昭52-30490号等の各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂とメタアクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレートやメタクリレートなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタアクリレートが特に好ましい。前記重合性化合物の前記感光性組成物固形分中の含有量は、5質量~50質量が好ましく、10質量~40質量がより好ましい。前記含有量が、5質量以上であれば、現像性、露光感度が良好となり、50質量以下であれば、感光層の粘着性が強くなりすぎることを防止できる。<光重合開始剤>前記光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの、ホスフィンオキサイド、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、などが挙げられる。前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42,29241969に記載された化合物、英国特許第1388492号明細書に記載された化合物、特開昭53-133428号公報に記載された化合物、独国特許3337024号明細書に記載された化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.,29,15271964に記載された化合物、特開昭62-58241号公報に記載された化合物、特開平5-281728号公報に記載された化合物、特開平5-34920号公報に記載された化合物、などが挙げられ、前記オキサジアゾール骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、米国特許第4212976号明細書に記載された化合物、などが挙げられる。前記オキシム誘導体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0085に記載された化合物、などが挙げられる。前記ケトン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0087に記載された化合物、などが挙げられる。また、上記以外の光重合開始剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0086に記載された化合物、などが挙げられる。また、後述する感光層への露光における露光感度や感光波長を調整する目的で、前記光重合開始剤に加えて、増感剤を添加することが可能である。前記増感剤は、後述する光照射手段としての可視光線や紫外光レーザ、可視光レーザなどにより適宜選択することができる。前記増感剤は、活性エネルギー線により励起状態となり、他の物質例えば、ラジカル発生剤、酸発生剤などと相互作用例えば、エネルギー移動、電子移動などすることにより、ラジカルや酸などの有用基を発生することが可能である。前記増感剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0089に記載された化合物、などが挙げられる。前記光重合開始剤と前記増感剤との組合せとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2001-305734号公報に記載の電子移動型開始系[1電子供与型開始剤及び増感色素、2電子受容型開始剤及び増感色素、3電子供与型開始剤、増感色素及び電子受容型開始剤三元開始系]などの組合せが挙げられる。前記増感剤の含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物中の全成分に対し、0.05質量~30質量が好ましく、0.1質量~20質量がより好ましく、0.2質量~10質量が特に好ましい。前記含有量が、0.05質量未満であると、活性エネルギー線への感度が低下し、露光プロセスに時間がかかり、生産性が低下することがあり、30質量を超えると、保存時に前記感光層から前記増感剤が析出することがある。前記光重合開始剤は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の特に好ましい例としては、後述する露光において、波長が405nmのレーザ光に対応可能である、前記ホスフィンオキサイド類、前記α-アミノアルキルケトン類、前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物と増感剤としてのアミン化合物とを組合せた複合光開始剤、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、あるいは、チタノセン、などが挙げられる。前記光重合開始剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.5質量~20質量が好ましく、0.5質量~15質量がより好ましく、1質量~10質量が特に好ましい。前記含有量が0.5質量未満であると、露光部が現像中に溶出する傾向があり、20質量を超えると、耐熱性が低下することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好なパターン形成ができ、耐熱性も良好になる点で有利である。<熱架橋剤>前記熱架橋剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、前記感光性フィルムを用いて形成される感光層の硬化後の膜強度を改良するために、現像性等に悪影響を与えない範囲で、例えば、エポキシ化合物を含む化合物、例えば、1分子内に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物、1分子内に少なくとも2つのオキセタニル基を有するオキセタン化合物を用いることができ、特開2007-47729号公報に記載されているようなオキシラン基を有するエポキシ化合物、β位にアルキル基を有するエポキシ化合物、オキセタニル基を有するオキセタン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート又はその誘導体のイソシアネート基にブロック剤を反応させて得られる化合物などが挙げられる。また、前記熱架橋剤として、メラミン誘導体を用いることができる。前記メラミン誘導体としては、例えば、メチロールメラミン、アルキル化メチロールメラミンメチロール基を、メチル、エチル、ブチル等でエーテル化した化合物などが挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、保存安定性が良好で、感光層の表面硬度あるいは硬化膜の膜強度自体の向上に有効である点で、アルキル化メチロールメラミンが好ましく、ヘキサメチル化メチロールメラミンが特に好ましい。前記熱架橋剤の前記感光性組成物固形分中の含有量は、1質量~50質量が好ましく、3質量~30質量がより好ましい。前記含有量が1質量以上であれば、硬化膜の膜強度が向上され、50質量以下であれば、現像性、露光感度が良好となる。前記エポキシ化合物としては、例えば、1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物、β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも1分子中に2つ含むエポキシ化合物などが挙げられる。前記1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物としては、例えば、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂YX4000、ジャパンエポキシレジン社製等又はこれらの混合物、イソシアヌレート骨格等を有する複素環式エポキシ樹脂TEPIC;日産化学工業株式会社製、アラルダイトPT810;チバスペシャルティケミカルズ社製等、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾ-ルノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂例えば低臭素化エポキシ樹脂、高ハロゲン化エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂など、アリル基含有ビスフェノールA型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジフェニルジメタノール型エポキシ樹脂、フェノールビフェニレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂HP-7200,HP-7200H;大日本インキ化学工業株式会社製等、グリシジルアミン型エポキシ樹脂ジアミノジフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジグリシジルアニリン、トリグリシジルアミノフェノール等、グリジジルエステル型エポキシ樹脂フタル酸ジグリシジルエステル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエステル等ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3’,4’-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアジペート、ジシクロペンタジエンジエポキシド、GT-300、GT-400、ZEHPE3150;ダイセル化学工業株式会社製等、、イミド型脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、グリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、4官能ナフタレン型エポキシ樹脂、市販品としてはESN-190,ESN-360;新日鉄化学株式会社製、HP-4032,EXA-4750,EXA-4700;大日本インキ化学工業株式会社製等、フェノール化合物とジビニルベンゼンやジシクロペンタジエン等のジオレフィン化合物との付加反応によって得られるポリフェノール化合物と、エピクロルヒドリンとの反応物、4-ビニルシクロヘキセン-1-オキサイドの開環重合物を過酢酸等でエポキシ化したもの、線状含リン構造を有するエポキシ樹脂、環状含リン構造を有するエポキシ樹脂、α-メチルスチルベン型液晶エポキシ樹脂、ジベンゾイルオキシベンゼン型液晶エポキシ樹脂、アゾフェニル型液晶エポキシ樹脂、アゾメチンフェニル型液晶エポキシ樹脂、ビナフチル型液晶エポキシ樹脂、アジン型エポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂CP-50S,CP-50M;日本油脂株式会社製等、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートとの共重合エポキシ樹脂、ビスグリシジルオキシフェニルフルオレン型エポキシ樹脂、ビスグリシジルオキシフェニルアダマンタン型エポキシ樹脂などが挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。また、1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有する前記エポキシ化合物以外に、β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも1分子中に2つ含むエポキシ化合物を用いることができ、β位がアルキル基で置換されたエポキシ基より具体的には、β-アルキル置換グリシジル基などを含む化合物が特に好ましい。前記β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも含むエポキシ化合物は、1分子中に含まれる2個以上のエポキシ基のすべてがβ-アルキル置換グリシジル基であってもよく、少なくとも1個のエポキシ基がβ-アルキル置換グリシジル基であってもよい。前記オキセタン化合物としては、例えば、1分子内に少なくとも2つのオキセタニル基を有するオキセタン化合物が挙げられる。具体的には、例えば、ビス[3-メチル-3-オキセタニルメトキシメチル]エーテル、ビス[3-エチル-3-オキセタニルメトキシメチル]エーテル、1,4-ビス[3-メチル-3-オキセタニルメトキシメチル]ベンゼン、1,4-ビス[3-エチル-3-オキセタニルメトキシメチル]ベンゼン、3-メチル-3-オキセタニルメチルアクリレート、3-エチル-3-オキセタニルメチルアクリレート、3-メチル-3-オキセタニルメチルメタクリレート、3-エチル-3-オキセタニルメチルメタクリレート又はこれらのオリゴマーあるいは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタン基を有する化合物と、ノボラック樹脂、ポリp-ヒドロキシスチレン、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、シルセスキオキサン等の水酸基を有する樹脂など、とのエーテル化合物が挙げられ、この他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキルメタアクリレートとの共重合体なども挙げられる。また、前記ポリイソシアネート化合物としては、特開平5-9407号公報記載のポリイソシアネート化合物を用いることができ、該ポリイソシアネート化合物は、少なくとも2つのイソシアネート基を含む脂肪族、環式脂肪族又は芳香族基置換脂肪族化合物から誘導されていてもよい。具体的には、2官能イソシアネート例えば、1,3-フェニレンジイソシアネートと1,4-フェニレンジイソシアネートとの混合物、2,4-及び2,6-トルエンジイソシアネート、1,3-及び1,4-キシリレンジイソシアネート、ビス4-イソシアネート-フェニルメタン、ビス4-イソシアネートシクロヘキシルメタン、イソフォロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等、該2官能イソシアネートと、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、グリセリン等との多官能アルコール;該多官能アルコールのアルキレンオキサイド付加体と、前記2官能イソシアネートとの付加体;ヘキサメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレン-1,6-ジイソシアネート又はその誘導体等の環式三量体;などが挙げられる。前記ポリイソシアネート化合物にブロック剤を反応させて得られる化合物、すなわちポリイソシアネート及びその誘導体のイソシアネート基にブロック剤を反応させて得られる化合物における、イソシアネート基ブロック剤としては、アルコール類例えば、イソプロパノール、tert-ブタノール等、ラクタム類例えば、ε-カプロラクタム等、フェノール類例えば、フェノール、クレゾール、p-tert-ブチルフェノール、p-sec-ブチルフェノール、p-sec-アミルフェノール、p-オクチルフェノール、p-ノニルフェノール等、複素環式ヒドロキシル化合物例えば、3-ヒドロキシピリジン、8-ヒドロキシキノリン等、活性メチレン化合物例えば、ジアルキルマロネート、メチルエチルケトキシム、アセチルアセトン、アルキルアセトアセテートオキシム、アセトオキシム、シクロヘキサノンオキシム等などが挙げられる。これらの他、特開平6-295060号公報記載の分子内に少なくとも1つの重合可能な二重結合及び少なくとも1つのブロックイソシアネート基のいずれかを有する化合物などを用いることができる。前記メラミン誘導体としては、例えば、メチロールメラミン、アルキル化メチロールメラミンメチロール基を、メチル、エチル、ブチルなどでエーテル化した化合物などが挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、保存安定性が良好で、感光層の表面硬度あるいは硬化膜の膜強度自体の向上に有効である点で、アルキル化メチロールメラミンが好ましく、ヘキサメチル化メチロールメラミンが特に好ましい。<熱可塑性エラストマー>前記熱可塑性エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、及びシリコーン系エラストマー、などが挙げられる。これらのエラストマーは、ハードセグメント成分とソフトセグメント成分から成り立っており、一般に前者が耐熱性、強度に、後者が柔軟性、強靭性に寄与している。前記エラストマーは、特開2007-199532号公報の段落0197~0207に記載された通りである。<その他の成分>前記その他の成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、フィラー、熱硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑剤、着色剤着色顔料又は染料などが挙げられ、更に基材表面への密着促進剤及びその他の助剤類例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤などを併用してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、目的とする感光性フィルムの安定性、写真性、膜物性などの性質を調整することができる。前記フィラーについては、例えば特開2008-250074号公報の段落0098~0099に詳細に記載されている。前記熱重合禁止剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0101~0102に詳細に記載されている。前記熱硬化促進剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0093に詳細に記載されている。前記可塑剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0103~0104に詳細に記載されている。前記着色剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0105~0106に詳細に記載されている。前記密着促進剤については、例えば特開2008-250074号公報の段落0107~0109に詳細に記載されている。感光性フィルム本発明の感光性フィルムは、少なくとも、支持体と、該支持体上に本発明の感光性組成物からなる感光層を有してなり、更に必要に応じてその他の層を有してなる。-支持体-前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光層を剥離可能であり、かつ光の透過性が良好であるものが好ましく、更に表面の平滑性が良好であることがより好ましい。前記支持体は、合成樹脂製で、かつ透明であるものが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セルロース、二酢酸セルロース、ポリメタアクリル酸アルキルエステル、ポリメタアクリル酸エステル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリスチレン、セロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合体、ポリアミド、ポリイミド、塩化ビニル酢酸ビニル共重合体、ポリテトラフロロエチレン、ポリトリフロロエチレン、セルロース系フィルム、ナイロンフィルム等の各種のプラスチックフィルムが挙げられ、これらの中でも、ポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。前記支持体の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、2μm~150μmが好ましく、5μm~100μmがより好ましく、8μm~50μmが特に好ましい。前記支持体の形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、長尺状が好ましい。前記長尺状の支持体の長さは、特に制限はなく、例えば、10m~20,000mの長さのものが挙げられる。-感光層-前記感光層は、感光性組成物からなる層であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。また、前記感光層の積層数としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、1層であってもよく、2層以上であってもよい。前記感光層の形成方法としては、前記支持体の上に、本発明の前記感光性組成物を、水又は溶剤に溶解、乳化又は分散させて感光性組成物溶液を調製し、該溶液を直接塗布し、乾燥させることにより積層する方法が挙げられる。前記感光性組成物溶液の溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール、エタノール、ノルマル-プロパノール、イソプロパノール、ノルマル-ブタノール、セカンダリーブタノール、ノルマル-ヘキサノール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジイソブチルケトン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸-ノルマル-アミル、硫酸メチル、プロピオン酸エチル、フタル酸ジメチル、安息香酸エチル、及びメトキシプロピルアセテート等のエステル類;トルエン、キシレン、ベンゼン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;四塩化炭素、トリクロロエチレン、クロロホルム、1,1,1-トリクロロエタン、塩化メチレン、モノクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類;テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、1-メトキシ-2-プロパノール等のエーテル類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、スルホラン等が挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。また、公知の界面活性剤を添加してもよい。前記塗布の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スピンコーター、スリットスピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーター等を用いて、前記支持体に直接塗布する方法が挙げられる。前記乾燥の条件としては、各成分、溶媒の種類、使用割合等によっても異なるが、通常60°C~110°Cの温度で30秒間~15分間程度である。前記感光層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、1μm~100μmが好ましく、2μm~50μmがより好ましく、4μm~30μmが特に好ましい。<その他の層>前記その他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、保護フィルム、熱可塑性樹脂層、バリア層、剥離層、接着層、光吸収層、表面保護層等の層が挙げられる。前記感光性フィルムは、これらの層を1種単独で有していてもよく、2種以上を有していてもよい。<<保護フィルム>>前記感光性フィルムは、前記感光層上に保護フィルムを形成してもよい。前記保護フィルムとしては、例えば、前記支持体に使用されるもの、紙、ポリエチレン、ポリプロピレンがラミネートされた紙、などが挙げられ、これらの中でも、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが好ましい。前記保護フィルムの厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、5μm~100μmが好ましく、8μm~50μmがより好ましく、10μm~30μmが特に好ましい。前記支持体と保護フィルムとの組合せ支持体/保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート/ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレン、ポリ塩化ビニル/セロファン、ポリイミド/ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレンテレフタレートなどが挙げられる。また、支持体及び保護フィルムの少なくともいずれかを表面処理することにより、層間接着力を調整することができる。前記支持体の表面処理は、前記感光層との接着力を高めるために施されてもよく、例えば、下塗層の塗設、コロナ放電処理、火炎処理、紫外線照射処理、高周波照射処理、グロー放電照射処理、活性プラズマ照射処理、レーザ光線照射処理などを挙げることができる。また、前記支持体と前記保護フィルムとの静摩擦係数は、0.3~1.4が好ましく、0.5~1.2がより好ましい。前記静摩擦係数が、0.3以上であれば、滑り過ぎによって、ロール状にした場合に巻ズレが発生することを防止でき、1.4以下であれば、良好なロール状に巻くことができる。前記感光性フィルムは、例えば、円筒状の巻芯に巻き取って、長尺状でロール状に巻かれて保管されることが好ましい。前記長尺状の感光性フィルムの長さは、特に制限はなく、例えば、10m~20,000mの範囲から適宜選択することができる。また、ユーザーが使いやすいようにスリット加工し、100m~1,000mの範囲の長尺体をロール状にしてもよい。なお、この場合には、前記支持体が一番外側になるように巻き取られることが好ましい。また、前記ロール状の感光性フィルムをシート状にスリットしてもよい。保管の際、端面の保護、エッジフュージョンを防止する観点から、端面にはセパレーター特に防湿性のもの、乾燥剤入りのものを設置することが好ましく、また梱包も透湿性の低い素材を用いることが好ましい。前記保護フィルムは、前記保護フィルムと前記感光層との接着性を調整するために表面処理してもよい。前記表面処理は、例えば、前記保護フィルムの表面に、ポリオルガノシロキサン、弗素化ポリオレフィン、ポリフルオロエチレン、ポリビニルアルコール等のポリマーからなる下塗層を形成させる。該下塗層の形成は、前記ポリマーの塗布液を前記保護フィルムの表面に塗布した後、30°C~150°Cで1~30分間乾燥させることにより形成させることができる。前記乾燥の際の温度は50°C~120°Cが特に好ましい。感光性積層体前記感光性積層体は、少なくとも基体と、前記基体上に設けられた感光層と、を有してなり、目的に応じて適宜選択されるその他の層を積層してなる。前記感光層は、上述の製造方法で作製された前記感光性フィルムから転写されたものであり、上述と同様の構成を有する。<基体>前記基体は、感光層が形成される被処理基体、又は本発明の感光性フィルムの少なくとも感光層が転写される被転写体となるもので、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、表面平滑性の高いものから凸凹のある表面を持つものまで任意に選択できる。板状の基体が好ましく、いわゆる基板が使用される。具体的には、公知のプリント配線板製造用の基板プリント基板、ガラス板ソーダガラス板など、合成樹脂性のフィルム、紙、金属板などが挙げられる。<感光性積層体の製造方法>前記感光性積層体の製造方法として、本発明の感光性フィルムにおける少なくとも感光層を加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら転写して積層する方法が挙げられる。感光性積層体の製造方法は、前記基体の表面に本発明の感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層する。なお、前記感光性フィルムが前記保護フィルムを有する場合には、該保護フィルムを剥離し、前記基体に前記感光層が重なるようにして積層するのが好ましい。前記加熱温度は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、15°C~180°Cが好ましく、60°C~140°Cがより好ましい。前記加圧の圧力は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、0.1MPa~1.0MPaが好ましく、0.2MPa~0.8MPaがより好ましい。前記加熱の少なくともいずれかを行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ラミネータ例えば、大成ラミネータ株式会社製、VP-II、ニチゴーモートン株式会社製、VP130などが好適に挙げられる。本発明の感光性フィルム及び前記感光性積層体は、膜厚が均一でピンホールやハジキ等の面状欠陥の発生割合が極端に低いため、絶縁信頼性に優れ、高精細な永久パターン保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンなどを効率よく形成可能である。したがって、電子材料分野における高精細な永久パターンの形成用として広く用いることができ、特に、プリント基板の永久パターン形成用に好適に用いることができる。永久パターン形成方法本発明の永久パターン形成方法は、露光工程を少なくとも含み、更に、必要に応じて適宜選択した現像工程等のその他の工程を含む。<露光工程>前記露光工程は、本発明の感光性積層体における感光層に対し、露光を行う工程である。本発明の感光性積層体については上述の通りである。前記露光の対象としては、前記感光性積層体における感光層である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、上述のように、基材上に感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層して形成した積層体に対して行われることが好ましい。前記露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、デジタル露光、アナログ露光等が挙げられるが、これらの中でもアナログ露光が好ましい。<その他の工程>前記その他の工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材の表面処理工程、現像工程、硬化処理工程、ポスト露光工程などが挙げられる。<<現像工程>>前記現像としては、前記感光層の未露光部分を除去することにより行われる。前記未硬化領域の除去方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像液を用いて除去する方法などが挙げられる。前記現像液としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤などが挙げられる。これらの中でも、弱アルカリ性の水溶液が特に好ましい。前記弱アルカリ水溶液の塩基成分としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム、硼砂などが挙げられる。前記弱アルカリ性の水溶液のpHは、8~12が好ましく、9~11がより好ましい。前記弱アルカリ性の水溶液としては、例えば、0.1質量~5質量の炭酸ナトリウム水溶液又は炭酸カリウム水溶液などが挙げられる。前記現像液の温度は、前記感光層の現像性に合わせて適宜選択することができるが、例えば、約25°C~40°Cが好ましい。前記現像液は、界面活性剤、消泡剤、有機塩基例えば、エチレンジアミン、エタノールアミン、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド、ジエチレントリアミン、トリエチレンペンタミン、モルホリン、トリエタノールアミン等や、現像を促進させるため有機溶剤例えば、アルコール類、ケトン類、エステル類、エーテル類、アミド類、ラクトン類等などと併用してもよい。また、前記現像液は、水又はアルカリ水溶液と有機溶剤を混合した水系現像液であってもよく、有機溶剤単独であってもよい。<<硬化処理工程>>前記硬化処理工程は、前記現像工程が行われた後、形成されたパターンにおける感光層に対して硬化処理を行う工程である。前記硬化処理工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、全面露光処理、全面加熱処理などが好適に挙げられる。前記全面露光処理の方法としては、例えば、前記現像後に、前記永久パターンが形成された前記積層体上の全面を露光する方法が挙げられる。該全面露光により、前記感光層を形成する感光性組成物中の樹脂の硬化が促進され、前記永久パターンの表面が硬化される。前記全面露光を行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、超高圧水銀灯などのUV露光機が好適に挙げられる。前記全面加熱処理の方法としては、前記現像の後に、前記永久パターンが形成された前記積層体上の全面を加熱する方法が挙げられる。該全面加熱により、前記永久パターンの表面の膜強度が高められる。前記全面加熱における加熱温度は、120°C~250°Cが好ましく、120°C~200°Cがより好ましい。前記加熱温度が120°C以上であれば、加熱処理によって膜強度が向上し、250°C以下であれば、前記感光性組成物中の樹脂の分解が生じ、膜質が弱く脆くなることを防止できる。前記全面加熱における加熱時間は、10分間~120分間が好ましく、15分間~60分間がより好ましい。前記全面加熱を行う装置としては、特に制限はなく、公知の装置の中から目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ドライオーブン、ホットプレート、IRヒーターなどが挙げられる。前記永久パターンの形成方法が、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかを形成する永久パターン形成方法である場合には、プリント配線板上に前記永久パターン形成方法により、永久パターンを形成し、更に、以下のように半田付けを行うことができる。即ち、前記現像により、前記永久パターンである硬化層が形成され、前記プリント配線板の表面に金属層が露出される。該プリント配線板の表面に露出した金属層の部位に対して金メッキを行った後、半田付けを行う。そして、半田付けを行った部位に、半導体や部品などを実装する。このとき、前記硬化層による永久パターンが、保護膜あるいは絶縁膜層間絶縁膜、ソルダーレジストとしての機能を発揮し、外部からの衝撃や隣同士の電極の導通が防止される。プリント基板本発明のプリント基板は、少なくとも基体と、前記永久パターン形成方法により形成された永久パターンと、を有してなり、更に、必要に応じて適宜選択した、その他の構成を有する。その他の構成としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材と前記永久パターン間に、更に絶縁層が設けられたビルドアップ基板などが挙げられる。以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。なお、以下の実施例において、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂の酸価、重量平均分子量、及びビニル基当量は、以下のようにして測定した。<酸価の測定>前記酸価は、JISK0070に準拠して測定した。ただし、サンプルが溶解しない場合は、溶媒としてジオキサン又はテトラヒドロフランなどを使用した。<重量平均分子量の測定>前記重量平均分子量は、高速GPC装置東洋曹達株式会社製、HLC-802Aを使用して測定した。即ち、0.5質量のTHF溶液を試料溶液とし、カラムはTSKgelGMH62本を使用し、200μLの試料を注入し、前記THF溶液で溶離して、25°Cで屈折率検出器により測定した。次に、標準ポリスチレンで較正した分子量分布曲線より重量平均分子量を求めた。<エチレン性不飽和基当量の測定>前記エチレン性不飽和基当量は、臭素価をJISK2605に準拠して測定することにより求めた。合成例1-カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U1の合成-コンデンサー、及び撹拌機を備えた500mLの3つ口丸底フラスコ内に、グリセロールモノメタクリレートGLM10.24g0.065モルとリンゴ酸2.61g0.019モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA7.38g0.055モルとポリプロピレングリコール分子量700PPG70015.87g0.023モルをシクロヘキサノン102mLに溶解した。4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI32.65g0.130モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI5.51g0.032モル、2,6-ジ-t-ブチルヒドロキシトルエン0.1g、及び触媒として、商品名:ネオスタンU-600日東化成株式会社製0.2gを添加し、75°Cにて、5時間加熱撹拌した。その後、メチルアルコール9.75mLにて希釈して30分間撹拌し、190gのポリウレタン樹脂U1溶液固形分40質量を得た。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U1は、固形分酸価が41.5mgKOH/gであり、重量平均分子量ポリスチレン標準が12,000であり、エチレン性不飽和基当量が0.87mmol/gであった。合成例2-カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U2の合成-合成例1において、グリセロールモノメタクリレートGLM10.24g0.065モルとリンゴ酸2.61g0.019モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA7.38g0.055モルとポリプロピレングリコール分子量700PPG70015.87g0.023モルを、グリセロールモノメタクリレートGLM7.66g0.048モルとリンゴ酸2.17g0.016モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA5.77g0.043モルとポリプロピレングリコール分子量1000PPG100026.93g0.027モルに変更し、さらに、合成例1の4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI32.65g0.130モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI5.51g0.032モルを4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI27.14g0.108モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI4.58g0.027モル代えた以外は、合成例1と同様にして、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U2溶液固形分濃度40質量を合成した。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U2は、固形分酸価が32.5mgKOH/gであり、重量平均分子量が14,000であり、エチレン性不飽和基当量が0.65mmol/gであった。合成例3-カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U3の合成-合成例1において、グリセロールモノメタクリレートGLM10.24g0.065モルとリンゴ酸2.61g0.019モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA7.38g0.055モルとポリプロピレングリコール分子量700PPG70015.87g0.023モルを、グリセロールモノメタクリレートGLM8.63g0.055モルとリンゴ酸2.17g0.016モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA5.77g0.043モルとポリプロピレングリコール分子量1500PPG150027.31g0.018モルに変更し、さらに、合成例1の4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI32.65g0.130モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI5.51g0.032モルを4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI26.22g0.104モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI4.42g0.026モル代えた以外は、合成例1と同様にして、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U3溶液固形分濃度40質量を合成した。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U3は、固形分酸価が31.4mgKOH/gであり、重量平均分子量が15,000であり、エチレン性不飽和基当量が0.74mmol/gであった。合成例4-カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U4の合成-合成例1において、グリセロールモノメタクリレートGLM10.24g0.065モルとリンゴ酸2.61g0.019モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA7.38g0.055モルとポリプロピレングリコール分子量700PPG70015.87g0.023モルを、グリセロールモノメタクリレートGLM8.70g0.055モルとリンゴ酸2.11g0.016モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA6.33g0.047モルとポリプロピレングリコール分子量2000PPG200026.22g0.013モルに変更し、さらに、合成例1の4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI32.65g0.130モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI5.51g0.032モルを4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI26.43g0.105モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI4.46g0.026モル代えた以外は、合成例1と同様にして、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U4溶液固形分濃度40質量を合成した。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U4は、固形分酸価が35.6mgKOH/gであり、重量平均分子量が16,000であり、エチレン性不飽和基当量が0.74mmol/gであった。合成例5-比較のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U5の合成-合成例1において、グリセロールモノメタクリレートGLM10.24g0.065モルとリンゴ酸2.61g0.019モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA7.38g0.055モルとポリプロピレングリコール分子量700PPG70015.87g0.023モルを、グリセロールモノメタクリレートGLM0.36g0.002モルとリンゴ酸1.85g0.014モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA8.30g0.062モルとポリプロピレングリコール分子量1000PPG100036.71g0.037モルに変更し、さらに、合成例1の4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI32.65g0.130モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI5.51g0.032モルを4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI23.13g0.092モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI3.90g0.023モル代えた以外は、合成例1と同様にして、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U5溶液固形分濃度40質量を合成した。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U5は、固形分酸価が46.7mgKOH/gであり、重量平均分子量が16,000であり、エチレン性不飽和基当量が0.03mmol/gであった。合成例6-比較のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U6の合成-合成例1において、グリセロールモノメタクリレートGLM10.24g0.065モルとリンゴ酸2.61g0.019モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA7.38g0.055モルとポリプロピレングリコール分子量700PPG70015.87g0.023モルを、グリセロールモノメタクリレートGLM6.44g0.041モルとリンゴ酸1.82g0.014モルと2,2-ビスヒドロキシメチルブタン酸DMBA3.04g0.023モルとポリプロピレングリコール分子量1000PPG100036.25g0.036モルに変更し、さらに、合成例1の4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI32.65g0.130モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI5.51g0.032モルを4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI22.84g0.091モル、ヘキサメチレンジイソシアネートHMDI3.85g0.023モル代えた以外は、合成例1と同様にして、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U6溶液固形分濃度40質量を合成した。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U6は、固形分酸価が17.1mgKOH/gであり、重量平均分子量が13,500であり、エチレン性不飽和基当量が0.55mmol/gであった。合成例7-比較のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U7の合成-コンデンサー、及び撹拌機を備えた500mLの3つ口丸底フラスコに、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸DMBA32.00g0.216モルと、ポリプロピレングリコール分子量1,000PPG10009.00g0.009モルをプロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテート118mLに溶解した。これに、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI37.54g0.15モル、2,6-ジ-t-ブチルヒドロキシトルエン0.1g、触媒として商品名:ネオスタンU-600日東化成株式会社製0.2gを添加し、75°Cで5時間撹拌した後、メチルアルコール9.61g添加した。その後、エチレン性不飽和基含有エポキシとしてのグリシジルメタクリレートGMA17.91g0.126モルと触媒のトリフェニルフォスフィン5,000ppmとを更に添加し、110°Cで5時間撹拌した後、室温まで冷却し、214gのカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U7溶液固形分濃度40質量を合成した。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U7は、固形分酸価が75mgKOH/gであり、重量平均分子量が12,000であり、エチレン性不飽和基当量が1.3mmol/gであった。合成例8-比較のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U8の合成-合成例7において、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI37.54g0.15モルを、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI30.03g0.12モルとヘキサメチレンジイソシアナートHMDI5.05g0.03モルとの組合せに代え、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸DMBA32.00g0.216モルと、ポリプロピレングリコール分子量1,000PPG10009.00g0.009モルとの組合せを、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸DMPA28.17g0.21モルと、ポリプロピレングリコール分子量400PPG4006.00g0.015モルとの組合せに代え、エチレン性不飽和基含有エポキシとしてのグリシジルメタクリレートGMA17.91g0.126モルを、商品名:サイクロマーM100ダイセル化学株式会社製0.126モルに代え、プロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテート118mLを112mLに代えた以外は、合成例7と同様にして、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U8溶液固形分濃度40質量を合成した。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U8は、固形分酸価が90mgKOH/gであり、重量平均分子量が15,000であり、エチレン性不飽和基当量が1.1mmol/gであった。合成例9-比較のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U9の合成-合成例7において、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI37.54g0.15モルを、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI30.03g0.12モルとヘキサメチレンジイソシアナートHMDI5.05g0.03モルとの組合せに代え、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸DMBA32.00g0.216モルと、ポリプロピレングリコール分子量1,000PPG10009.00g0.009モルとの組合せを、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸DMPA22.13g0.165モル、ポリプロピレングリコール分子量400PPG40012.00g0.03モルとの組合せに代え、エチレン性不飽和基含有エポキシとしてのグリシジルメタクリレートGMA17.91g0.126モルを、商品名:サイクロマーA400ダイセル化学株式会社製0.126モルに代え、プロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテート118mLを101mLに代えた以外は、合成例7と同様にして、カルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U9溶液固形分濃度40質量を合成した。得られたカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U9は、固形分酸価が60mgKOH/gであり、重量平均分子量が9,000であり、エチレン性不飽和基当量が0.8mmol/gであった。合成例10-比較のカルボキシル基含有感光性エポキシ樹脂U10の合成-YDF2001東都化成株式会社製、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、下記一般式IIにおいて、X=グリシジル基、R=H475質量部、アクリル酸72質量部、ハイドロキノン0.5質量部、及びカルビトールアセテート120質量部を仕込み、90°Cに加熱、撹拌して反応混合物を溶解した。次に、60°Cに冷却し、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム2質量部を仕込み、100°Cに加熱して、酸価が1mgKOH/gになるまで反応させた。次に、無水マレイン酸98質量部と、カルビトールアセテート85質量部を仕込み、80°Cに加熱し、約6時間反応し冷却し、固形分濃度が40質量になるようにカルビトールアセテートで希釈して、合成例U10の酸変性エチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂を合成した。実施例1-感光性フィルムの製造-支持体としての厚み16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム東レ株式会社製、16FB50上に、下記の組成からなる感光性組成物溶液を塗布し、乾燥させて、前記支持体上に厚み30μmの感光層を形成した。前記感光層上に、保護層として、厚み20μmのポリプロピレンフィルム王子特殊紙株式会社製、アルファンE-200を積層し、感光性フィルムを製造した。-感光性組成物溶液の組成-合成例1のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U1溶液固形分濃度40質量46.8質量部重合性化合物DCP-A、共栄社化学株式会社製7.7質量部熱架橋剤エポトートYDF-170、東都化成株式会社製、ビスフェノールF型エポキシ樹脂4.18質量部下記構造式で表される光重合開始剤商品名:IRGACURE907、チバジャパン社製0.8質量部リン酸金属塩OP-935、クラリアントジャパン社製8.4質量部着色顔料HELIOHGENBLUED7086、BASF社製0.03質量部着色顔料PariotolYellowD0960、BASF社製0.009質量部硬化剤メラミン0.23質量部増感色素DETX-S、BASF社製0.008質量部反応助剤EAB-F、保土ヶ谷化学株式会社製0.028質量部エラストマーエスペル1612、日立化成工業株式会社製11.8質量部塗布助剤メガファックF-780F、大日本インキ化学工業株式会社製3.3質量部シクロヘキサノン16.7質量部-基体への積層-前記基体として、銅張積層板スルーホールなし、銅厚み12μmの表面に化学研磨処理を施して調製した。該銅張積層板上に、前記感光性フィルムの感光層が前記銅張積層板に接するようにして前記感光性フィルムにおける保護フィルムを剥がしながら、真空ラミネータニチゴーモートン株式会社製、VP130を用いて積層させ、前記銅張積層板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム支持体とがこの順に積層された積層体を調製した。圧着条件は、真空引きの時間40秒、圧着温度70°C、圧着圧力0.2MPa、加圧時間10秒とした。得られた積層体について、以下のようにして、耐折性及び難燃性の評価を行った。結果を表1に示す。<耐折性>耐折性は、18μmの厚みの銅箔をポリイミド基材に積層したフレキシブルプリント配線板用基板にドライフィルムレジストをラミネートし、200mJで露光した後、0.15MPa/90sの条件で現像することにより、L/S=100/100μmのラインパターンを作製した。そこで得られた銅箔ラインパターン付きポリイミドに作製した感光層を銅箔ラインパターン側にラミネートし、1,000mJで露光することにより評価用積層体を得た。得られた評価用積層体のラインパターン側を外側にして、180°折り曲げ、折り曲げた部分に100g、200gのおもりを載せ、下記基準で耐折性を評価した。評価基準◎:250gに耐えられるもの○:200gに耐えられ、250gに耐えられないもの△:100gに耐えられ、200gに耐えられないもの×:100gに耐えられないもの<難燃性>ポリイミド基材に積層したフレキシブルプリント配線板用基板をエッチングし銅箔を取り除くことにより、厚み12.5μmのポリイミド基材を得た。このポリイミド基材の両面に作製した厚み38μmの感光性フィルムをラミネートにより接着した。得られたポリイミド基材と感光性フィルムを20cm×5cmの大きさにカットすることにより、複合体サンプルを得た。得られた複合体サンプルを径1cmφ×20cmの円筒状棒に巻きつけ、複合体サンプルの片方を耐熱テープでとめた後、棒を抜くことで長さ20cm、径1cmの難燃性試験用サンプルを得た。得られた難燃性試験用サンプルをクランプで吊るし、3cmの炎を3秒間接炎することにより難燃性の試験を行った。評価基準◎:全く燃えなかったサンプル○:燃えるが3秒以内に消炎したサンプル△:燃えるが3秒を超え、5秒以内に消炎したサンプル×:燃えるが5秒を超え、10秒以内に消炎したサンプルNOT:完全に燃え尽きてしまうサンプル<解像性>前記感光性積層体を室温23°Cで55RHにて10分間静置した。得られた感光性積層体のポリエチレンテレフタレートフィルム支持体上から、前記パターン形成装置を用いて、丸穴パターンを用い、丸穴の直径の幅80μm~200μmの丸穴が形成できるよう露光を行った。この際の露光量は、前記感度の評価における前記感光性フィルムの感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量である。室温にて10分間静置した後、前記感光性積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム支持体を剥がし取った。銅張積層板上の感光層の全面に、前記現像液として30°Cの1質量炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.15MPaにて前記最短現像時間の2倍の時間スプレーし、未硬化領域を溶解除去した。このようにして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面を光学顕微鏡で観察し、パターン部の捲くれ剥がれなどの異常が無く、かつスペース形成可能な最小の丸穴パターン幅を測定し、これを解像度とし、下記基準で評価した。該解像度は数値が小さいほど良好である。評価基準◎:直径100μm以下の丸穴が解像可能で、解像性に優れている○:直径100μmを超え、150μm以下の丸穴が解像可能で、解像性が良好である△:直径150μmを超え、200μm以下の丸穴が解像可能で、解像性がやや劣る×:丸穴が解像不可で、解像性が劣る<絶縁信頼性>厚み12μmの銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント基板の銅箔にエッチングを施して、ライン幅/スペース幅が50μm/50μmであり、互いのラインが接触しておらず、互いに対向した同一面上の櫛形電極を得た。この基板の櫛形電極上にソルダーレジスト層を定法にて形成し、最適露光量100mJ/cm2~800mJ/cm2で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、30°Cの1質量炭酸ナトリウム水溶液にて60秒間スプレー現像を行い、更に80°Cで10分間加熱乾燥した。続いて、オーク製作所製紫外線照射装置を使用して1J/cm2のエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。更に感光層を120°Cで60分間加熱処理の後、さらに160°Cで60分間加熱処理を行うことにより、ソルダーレジストを形成した評価用基板を得た。加熱後の評価用積層体の櫛形電極間に電圧が印加されるように、ポリテトラフルオロエチレン製のシールド線をSn/Pbはんだによりそれらの櫛形電極に接続した後、評価用積層体に5Vの電圧を印可した状態で、該評価用積層体を85°Cで85RHの超加速高温高湿寿命試験HHBT槽内に300時間静置した。その後の評価用積層体のソルダーレジストのマイグレーションの発生程度を100倍の金属顕微鏡により観察した。評価基準◎:マイグレーションの発生が確認できず、絶縁性に優れる○:マイグレーションの発生が銅上僅かに確認されるが、絶縁性が良好である△:マイグレーションの発生が確認され、絶縁性にやや劣る×:電極間が短絡し、絶縁性に劣る<反り>10cm×10cmで厚み25μmのポリイミドにソルダーレジスト層を定法にて形成し、最適露光量100mJ/cm2~800mJ/cm2で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、30°Cの1質量炭酸ナトリウム水溶液にて60秒間スプレー現像を行い、更に80°Cで10分間加熱乾燥した。続いて、オーク製作所製紫外線照射装置を使用して1J/cm2のエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。更に感光層を120°Cで60分間加熱処理の後、さらに160°Cで60分間加熱処理を行うことにより、ソルダーレジストを形成した評価用基板を得た。加熱処理前後の基板の反りを測定した。なお、反りは、評価用基板の凸面側を水平な測定台側に向けて、この凸面が測定台に接するように置き、評価用基板の凹面において、測定台から最も離れた部分評価基板の端の距離を測定した。評価基準◎:反りの幅が1cm未満である○:反りの幅が1cm以上2cm未満である△:反りの幅が2cm以上5cm未満である×:反りの幅が5cm以上である実施例2~4実施例1において、合成例1のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U1溶液固形分濃度40質量を、合成例2~4のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U2~U4溶液にそれぞれ代えた以外は、実施例1と同様にして、実施例2~4の各感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。得られた各積層体について、実施例1と同様にして各評価を行った。結果を表1に示す。比較例1~6実施例1において、合成例1のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U1溶液固形分濃度40質量を、合成例5~9の比較のカルボキシル基含有感光性ポリウレタン樹脂U5~U9溶液にそれぞれ代えた以外は、実施例1と同様にして、比較例1~6の各感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。得られた各積層体について、実施例1と同様にして各評価を行った。結果を表1に示す。実施例5~7実施例2において、リン酸金属塩OP-935、クラリアントジャパン社製を、下記表2に示すフォスファゼン化合物SPS-100、大塚化学株式会社製、芳香族縮合リン酸エステルCR-733S、大八化学工業株式会社製、ポリリン酸メラミン塩FCP-770、鈴裕化学株式会社製にそれぞれ代えた以外は、実施例2と同様にして、実施例5~7の各感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。得られた各積層体について、実施例2と同様にして各評価を行った。結果を表2に示す。比較例7実施例2において、リン酸金属塩OP-935、クラリアントジャパン社製を添加しなかった以外は、実施例2と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。得られた積層体について、実施例2と同様にして各評価を行った。結果を表2に示す。なお、表1、2において、C=C当量はエチレン性不飽和基当量である。上記表1および2から明らかなように、本発明の試料は、比較の試料と比べ、いずれも耐折性および難燃性がともに優れ、しかも解像性、絶縁信頼性、反りのいずれにも優れることがわかる。"