"ベースに対する均衡位置で物体を支持し、支持バネおよび負生成装置が前記物体と前記ベースとの間の振動運動の伝達を抑制するために低軸方向剛性を結合して生成することを許可する軸方向における負剛性を生成する負剛性生成装置に動作可能に接続された前記軸方向における性能を支持する剛性および力を提供する前記支持バネを含む軸方向運動分離装置の温度感受性を調整する受動調整装置であって、前記分離装置と動作可能に結合された熱応答素子であって、前記分離装置および前記熱応答素子上で動作する熱変動は、前記熱応答素子に該均衡位置またはその近くで前記分離装置を維持するために前記分離装置上で動作する復元力を適用させる、熱応答素子を備える、受動調整装置。非拘束熱応答素子は、温度変化を受けると長さが変化する、請求項1に記載の受動調整装置。前記熱応答素子は、拘束時に、非拘束の前記熱応答素子の長さの変化に依存して特定の復元力を生成する、請求項2に記載の受動調整装置。前記熱応答素子は、熱応答バネである、請求項1に記載の受動調整装置。前記熱応答バネは、複数の二元金属梁を含む、請求項4に記載の受動調整装置。前記熱応答バネは、前記二元金属梁の対の間に配置された複数のスペーサを含む、請求項5に記載の受動調整装置。前記熱応答バネは、三元金属梁を含む、請求項4に記載の受動調整装置。物体とベースとの間の振動の伝達を抑制する間、前記ベースに対して均衡位置において前記物体を支持するための軸方向運動分離装置であって、前記ベースに対する前記均衡位置で前記物体を支持するための軸方向における支持性能の力を有する支持バネと、前記支持バネに動作可能に結合された負剛性を生成する機構であって、前記支持バネおよび負剛性生成機構は、前記物体と前記ベースとの間の振動の伝達を抑制するために低軸方向剛性を結合性して生成する、機構と、前記分離装置と動作可能に結合された熱応答素子であって、前記分離装置および熱応答素子で動作する熱変動は、前記熱応答素子に該均衡位置またはその近くで前記分離装置を維持する前記分離装置で動作する復元力を適用させる、熱応答素子と、を備える、軸方向運動分離装置。非拘束熱応答素子は、温度変化を受けると長さが変化する、請求項8に記載の軸方向運動分離装置。前記熱応答素子は、非拘束の前記熱応答素子の長さの変化に依存して特定の復元力を生成する、請求項9に記載の軸方向運動分離装置。前記熱応答素子は、熱応答バネである、請求項8に記載の軸方向運動分離装置。前記熱応答バネは、複数の二元金属梁を含む、請求項11に記載の軸方向運動分離装置。前記熱応答バネは、前記二元金属梁の対の間に配置された複数のスペーサを含む、請求項12に記載の軸方向運動分離装置。前記熱応答バネは、三元金属梁を含む、請求項11に記載の受動調整装置。ベースに対する均衡位置で物体を支持し、支持バネおよび負剛性生成装置に前記物体と前記ベースとの間の振動の伝達を抑制する低軸方向剛性を結合して生成することを許可する軸方向における負剛性を生成するための負剛性生成装置に動作可能に接続された前記軸方向における剛性および支持する性能の力を提供する支持バネを含む軸方向運動分離装置の温度感受性を調整するための方法であって、前記分離装置と熱応答素子を動作可能に結合することを含み、前記分離装置および前記熱応答素子で動作する熱変動は、前記熱応答素子にその均衡位置またはその近くで前記分離装置を維持するために前記分離装置で動作する復元力を適用させる、方法。前記熱応答素子は、前記分離装置がその均衡位置に当初配置され、前記分離装置がその均衡位置に配置された時から温度変化がない場合に、前記熱応答素子が圧縮も伸張もされないように前記支持バネと動作可能に結合される、請求項15に記載の方法。前記熱応答素子は、前記支持バネと並列に配置される、請求項15に記載の方法。前記熱応答素子は、熱応答バネである、請求項15に記載の方法。非拘束熱応答素子は、温度変化を受けると長さが変化する、請求項15に記載の方法。前記熱応答素子は、二元金属梁または三元金属梁を含む、請求項18に記載の方法。参照によってその全体が本明細書に援用される本発明者の米国特許第5,794,909号は、分離装置の手動調整の必要性を実質的になくすか、または大幅に低減させるそのような電気機械自動調整装置を開示する。米国特許第5,794,909号に開示された装置は、分離装置の位置における任意の変化を感知する電子センサおよびその最適均衡位置に戻るように分離装置を動かす圧縮された制御バネ上の負荷を調整する構成部品に信号を適用する電子制御を必要とするアクティブシステムである。しかしながら、分離装置が真空室内、吸音筐体の内側、または遠隔位置に位置する場合に、分離装置が接近可能なまたは容易に接近可能である状況が存在する。一部の用途において、分離装置垂直位置の非常に厳しい精度および固有振動数は、望ましく、時に、よくある手動調節を、特に複数の分離システムにおいて、行うことが現実的でない。多くの手動調整は、また、特定の用途対し有害である分離システムにおいて力学的擾乱を引き起こし得る。これらの状況により、負剛性分離の固有の温度の感受性を自動的に補償する受動的な手段を有することが望ましい。本発明は、これらおよび他の必要性を満たす。本発明は、温度変化に対する負剛性振動分離装置の軸方向垂直位置および軸方向垂直固有振動数の感受性を解消または実質的に減少させる新規の受動手段を提供する。本発明は、基本的に、分離装置と動作可能に結合する熱応答素子TREから成り、TREは、この追加した素子なしで分離装置の固有の温度感受性を補償する。好ましい一実施形態において、TREは、均衡位置を制御し、また、負剛性振動分離装置の低固有振動数特性を維持するためにその理想的な均衡動作位置またはその近くで分離装置を維持するための温度変化に応じた力を生成する熱応答バネの形である。分離装置の固有温度感受性を受動的に補償し、最適な垂直位置および低固有振動数を維持するために、TREは、分離装置と並列に配置することによって分離装置に動作可能に結合される。本発明の特定の一実施形態において、分離装置は、主支持バネ、分離装置の飛び出たまたは浮動の部分およびグラウンドとして動作する分離装置の一部を含む。TREは、分離装置の飛び出たまたは浮動の部分とグラウンドとして動作する分離装置の一部との間でそれを結合することによってこの分離装置に動作可能に結合される。TREは、主支持バネのそれに小さい剛性のみを追加する。本発明は、分離装置の効果的な剛性が支持バネの剛性、一般に数パーセントのみ、で小さく比較されるように、比較的堅い支持バネが通常そのような分離装置および分離装置に関連する負剛性機構がこの合成の多くを除去することで使用されるので、実用的である。TREが既存の分離装置を加増するために追加される場合、その追加した剛性は、分離装置の手動負剛性調整機能を通していくつかの負剛性を追加することによって除去し得る。従って、TREは、軸方向垂直位置における変化を補償するための比較的小さい力を適用しなければならず、これは、熱応答素子などの実用的なTREによって達成し得る。最適性能を達成するために、垂直運動分離装置は、ゼロ位置または最適均衡位置と呼ばれる位置、またはその近く、その運動の中央に位置すべきである。本発明の好ましい一実施形態において、温度変化に応じた力を生成する二次的熱応答バネの形である、TREは、主支持バネと並列に位置する。この好ましい実施形態において、TREは、分離装置がその均衡位置にあり、特定の気温を受けると圧縮されず、伸張されないように、設置されるべきである。分離装置が気温における変動にさらされる場合、分離装置の効果的な合成は、わずかに変化し、TREなしで、その好ましい最適均衡位置の外に分離装置を動かす。しかしながら、同様に温度変化に応じるTREは、温度における変動に反応し、分離装置の剛性における変化に対抗し、その好ましい均衡位置において分離装置を維持する力の少量を提供する。全てにおいて、本発明は、分離装置に容易に組み込まれ、または既存の分離装置に改造し得る小型および比較的簡素な配置において軸方向垂直運動分離装置を連続して調整する新規の受動装置を提供する。装置は、分離装置に気温における変化によって誘発される以下のバリエーションを連続して調整することを許可する。本発明の好ましい実施形態において、TREは、二元金属バネなどの熱応答バネの形態をとってよい。バネの大きさおよび形状は、所望の特性に近づけるために多くの方法を変化し得る。例えば、バネの特定の一実施形態において、二元金属片持ち梁のアセンブリは、所望の剛性、熱膨張性能、偏向性能および分離装置を補完するために必要とされる強度を有するバネを取得するためにスペーサを使用して互いに結合され、積み重ねられ得る。特定の一実施形態において、二元金属梁の二層は、複合構造を形成する多くの二元梁を変化可能であるが、使用され得る。様々な二元金属梁を分離するスペーサは、複合構造のための所望の置換性能を取得するために使用され、分離装置が動作のその通常範囲内で動作することを許可し得る。二元金属梁は、互いに交差して位置合わせされ、または互いに対して交差位置に位置し得る。所望の剛性、熱膨張性能、偏向性能および二元金属バネアセンブリの強度を取得するために実行し得る多くの異なる積み重なった配置が存在する。いくつかの場合、熱的素子を利用する熱応答バネは、二元金属素子上の利点を提示し得る。特定の一実施形態において、熱応答バネは、温度が上がると高さが高くなる。温度が低下すると、バネは高さが低くなる。バネを形成する構成要素は、また、それらが温度の増加で高さが縮小するように、反転し得る。スペーサは、金属、プラスチック、機などの様々な材料から作製され、様々な接着剤で溶接または接着するなどの異なる方法で接合され得る。二元金属または三元金属アセンブリの所望の特性は、二元金属または三元金属構成要素を形成するために使用される材料、構造、二元金属または三元金属梁の長さ、幅および厚さ、堆積の多くの層およびスペーサの大きさおよび位置を含むが、これらに限定されない、多くのパラメータを変更することによって取得され得る。従って、TREの所望の特性は、気温の変化を通して分離装置を連続して調整することをTREに正確に許可されるように生成され得る。本発明の他の特徴および利点は、本発明の原理を、例として、説明する添付の図面と併せて、以下の詳細な説明から明らかになるであろう。例示目的のための図面に示すように、本発明で採用される特定の素子は、図1に示す複合分離装置の特定の実施形態に記載される。特定の発明が図1に示す特定の分離装置に適用されて詳細に記載されるように、本発明が、また、他の分離装置もどうように併せて使用され得ることは、当業者に明らかであろう。以下、本発明を詳細に説明する。図1は、特定の負剛性分離装置20と、気温の変動によって誘発される構造上の変化に応じて振動分離装置20を調整する熱応答バネ24の形で一形態のTRE22を示す。分離装置20は、独立部または積載量と土台26との間の全方向性の振動の伝達を減らすための土台26に対する積載量を支持する振動分離システムの一部であり得る。図1の分離装置で使用される特定の熱応答バネ24は、図6~9により明確に示される。バネ24は、多くの積み重なった二元金属梁28およびスペーサ30から構成されるアセンブリから形成され、以下でより詳細に記載している。分離装置20は、積載量および支持バネ32から剛性を除去する負バネとして動作する圧縮された水平方向に配向された屈曲36を含む負剛性機構34の重量を支持する主支持バネ32から成り、それにより、積載重量を支持する間に低垂直剛性および低垂直固有振動数を提供する。分離装置の運動の垂直範囲を定義する一般に上部と下部の停止の間の中間に、分離装置の最適均衡位置が存在する。位置が温度変化によるこの最適均衡位置から変化する場合、分離装置の剛性および垂直固有振動数は、分離装置の性能に影響し得ると同様に変化する。図1に示す分離装置20は、本発明者の米国特許第5,669,594号および米国特許第5,833,204号に記載の分離装置に非常に類似している。分離装置20は、傾斜運動分離装置と直列に垂直に動作可能に接続される水平運動分離装置と直列に垂直に動作可能に接続された垂直運動分離装置を基本的に含む。垂直運動、水平運動および傾斜運動分離装置は、一般に、米国特許第5,669,594号および第5,833,204号に示す構成と同じ構成に配置される。従って、分離装置を形成するこれらの独立した分離装置の特定の動作が上記特定の米国特許に記載され得るので、垂直運動、水平運動および傾斜運動分離装置を構成にする特定の素子のみについて言及するにとどめる。垂直運動分離装置は、中央ハブアセンブリ38および3本の水平調節ねじ41によって土台26に接続されたベースプレート40に動作可能に接続された主支持バネ32を含む。負剛性機構34は、支持バネ32から剛性を相殺する中央ハブアセンブリ38に接続される。負剛性機構は、中央ハブアセンブリ38および主支持バネ32に負剛性を提供する放射状に圧縮された屈曲36を含む。簡単に、水平運動分離装置は、下部円柱板44と上部円柱板46との間で動作可能に接続された細い円柱ロッドの形で3つの可撓性を有する梁柱42図1に示される1つのみが含まれる。梁柱42は、ねじまたは他の締結装置を利用して下部円柱板44と上部円柱板46に取り付けられる端部取付け具43に圧入される。下部円柱板44は、中央ハブアセンブリ38の一部を形成する上部バネ支持50に順に接続される硬支持シャフト48に接続される。この特定の硬支持シャフト48は、垂直運動分離装置の上部と水平運動分離装置の底部との間の比較的固い接続を提供する。水平運動分離装置の上部を形成する上部円柱板46は、傾斜運動分離装置として動作する傾斜パッド54を通って上部取付け板52に接続される。図1に示す分離装置20において、傾斜パッド54は、可撓性を有するゴム状の材料から作製され得る。回転防止装置は、底部バネ支持56が分離装置の重量負荷の変化に対応するために持ち上げられたり下げられたりするような、主支持バネ32のねじり変形を防止する。回転防止装置は、ベースプレートの凹部に含まれる推力軸受63に支持されるねじ支持筒60に取り付けられる下部バネ支持56に固定される板58を含む。回転防止板58は、下部バネ支持56が持ち上げられたり下げられたりするような、板58と支持バネ32の回転を防止するポスト61を係合するスロットを有する。ウォームギアアセンブリ図1に詳細に示されていないは、ベースプレート40に取り付けられる筐体に見られる調節ねじシャフト62に取り付けられるウォームを係合する支持筒60に取り付けられたウォームギアを含んで提供される。ウォームは、ピンまたは同様の留め具で調節ねじシャフト62に固定される。ねじシャフト62の回転は、分離装置の重量負荷における変化に対応するために下部バネ支持56を持ち上げたり下げたりする。さらに図1を参照すると、本発明の特徴を採用するTRE22は、分離装置20に取り付けられるように示される。TRE22は、図6~9により詳細に示され、以下でより詳細に説明する熱応答バネ24として具体的に示される。分離装置の固有の温度感受性を受動的に補償し、最適垂直位置および低固有振動数を維持するために、熱応答バネは、例えば、分離装置の飛び出たまたは浮いている部分と、グラウンドとして動作する分離装置の一部との間にそれを挿入することによって分離装置と並列に配置される。図1に示す特定の実施形態において、この熱応答バネは、分離装置の主支持バネ32と並列になるように分離装置に動作可能に結合される。従って、このバネ24は、垂直のみに移動するように拘束される、分離装置の浮動部、すなわち、下部円柱板44およびグラウンドを示すベースプレート40に結合される。本発明は、比較的堅い支持バネが使用され、負剛性機構が分離装置の効果的な剛性が一般に数パーセントのみの支持バネの剛性と小さく比較されるようにこの剛性の多くを除去するので実用的である。TREが既存の分離装置を改造するために追加される場合、その追加された剛性は、分離装置の手動負剛性調整特性を通して負剛性を追加することによって除去され得る。従って、TREは、分離装置の剛性における変化を補償するために比較的小さい力を適用しなければならず、これは、二元金属および三元金属バネなど、限定されないが、熱応答バネなどの実用的なTREによって達成され得る。本発明の基本的な原理およびTRE機能の形態は、図2~5の参照によってより例示され得る。最初に図2および3を参照すると、停止重量Wを示す分離装置のモデルを示す模式図が開示される。このモデルにおいて、TREは、熱変動を補償するためのシステムに追加されてこなかった。主支持バネ32は、支持バネ剛性KSを有して示され、負剛性機構は、-KNによって示される負バネ剛性を生成し、KNは、負剛性の大きさである。図2に示すように、分離装置は、ΔT=0として示される、分離装置が初期の気温である場合に、その最適均衡位置にある。分離装置の効果的な剛性は、Keff=KS-KNである。図3は、ΔT≠0、すなわち、気温が変化した場合に、この同じ分離装置を示す。図3に示すように、重量Wは、下向きに配向した量δIを有する。支持バネは、重量の上向きの力ΔFSで変化を発揮し、負剛性機構は、重量の下向きの力ΔFNで変化を発揮する。そして、システムは、ΔFS=ΔFNで均衡する。分離装置の温度感受性は、δI/ΔTである。ΔT≠0である場合、分離装置は、その初期の最適均衡位置からその低固有振動数に沿って分離装置の剛性を変化させる位置へ移動させる。分離装置の振動分離特性は、従って、温度変化が分離装置に影響する場合に変化する。図4は、TREが温度感受性を相殺するために追加された分離装置のモデルを示す。TRE、例えば、二元金属バネは、剛性Kbを有し、分離装置の負剛性は、分離装置の効果的な剛性Keffが変化することないように、Kbを相殺するために増大してきた。モデル化された分離装置は、ΔT=0の場合にその初期の最適均衡位置で示される。新しい負剛性の大きさは、均衡KN’=KNKbで定義される。TREは、ΔT=0の場合、分離装置の均衡位置において圧縮も伸張もされないように組み込まれてきた。図5は、図3で偏向δIが同じ温度変化ΔTにさらされる場合の分離装置を示すが、分離装置の偏向は、温度感受性がTREの存在によって除去されてきたので変化されない。重量の力における変化の結果が示される。これは、どのようにしてTREの剛性および熱的偏向要件が決定され得るかを示す。Fbは、TREにより生成される上向き力であり、KeffδIは、ΔT=0の場合に、偏向δIを反転し、その初期の均衡またはその近くで維持するために必要とされる、略下向きの反力である。システムが均衡にあるので、Fb=KeffδIである。Fbは、その熱膨張が拘束時に、すなわち、Fb=Kbδbの場合、TREによって生成された力であり、Kbは、TREの剛性であり、δbは、非拘束された熱膨張である。これは、Kbδb=KeffδIまたはδb/δI=Keff/Kbの関係となる。例えば、0.4Hzの垂直固有振動数を有する1000Ibの容量の分離装置と仮定する。効果的な剛性は、Keff=16.4Ib/inである。さらに、温度変化ΔT=10°Fが分離装置に下向きにδI=0.06inの量を移動させると仮定する。テストまたは分析は、温度感受性のタイプを決定し得る。垂直位置の変化は、温度における与えられた変化を測定し得る。温度感受性は、有限要素モデルまたは他の分析モデルを使用し、構成要素および温度変化のある分離装置の性質の機構特性を調整して予測され得る。TREの熱偏向とTREの剛性Kbとの間の関係は、上記の式から決定され得る。例えば、Kb=Keff/2=8.2Ib/inである場合、δb=2δI=0.120inが分離装置の熱偏向である。代わりにある場合、Kb=Keff=16.4Ib/inが分離装置の効果的な剛性であり、δb=δI=0.060inが分離装置の熱偏向である。この場合、支持バネの剛性は、負剛性生成機構によって生成された負剛性によって取り消される。上記例に基づいて、TREの必要な剛性および熱偏向は、二元金属または三元金属バネで実際に達成し、様々設計が可能である。様々な適切な二元金属素子は、入手可能であり、様々な構成は、必要とされる剛性および熱膨張特性を達成するために、片持ち梁、U字梁、ディスクなどのアセンブリが使用され得る。一般的な負剛性分離装置の使用のため、二元金属または三元金属バネが必要な力を生成し、構造的完全性を維持する間に必要な偏向を維持し得ることは、重要である。実施例において使用されるような一般に1000Ibの容量の分離装置に対して、運動の範囲は、/-0.15inまたはそれ以上である。また、分離装置を動きのマイクロインチなど極めて小さい振動を分離することから防ぐTREにおいて摩擦または吸着が無いことは、重要である。図6、7A、8および9を参照すると、TRE22の好ましい一実施形態は、その初期の変形されない非拘束の形状において熱応答バネ24の形で示され、初期の最適均衡位置における分離装置に結合される。図7Bは、温度変化を受けると、その非拘束の、拡張された構成で明らかなようにTRE22を示す。図6~9の特定の熱応答バネ24は、バネ24が温度変化を受けると、異なる構成に移動できる二元金属構成部品を利用する。この点において、バネ24は、図7Aに示すΔT=0の場合の非伸張位置と図7Bに示すΔT≠0の場合の伸張位置との間で移動する機能を有する。同じバネ24は、温度における特定の変化によるより短い高さに圧縮する機能を有する。熱応答バネ24は、お互いの上部に積み重なる上部二元金属梁28aおよび底部二元金属梁28bを含む。これらの二元金属梁28aおよび28bは、梁の端部の近くに位置した一対のスペーサ30を使用して互いに取り付けられる。これらの二元金属梁28aおよび28bならびにスペーサ30は、熱応答バネ24の所望の剛性、熱膨張性能、偏向性能およびの強度を共同して達成する。各二元金属梁28aおよび28bは、当業者によく知られる高膨張構成要素64および低膨張構成要素66から構成される。各二元金属梁28aおよび28bは、温度変化を受けると4つの片持ち梁として効果的に動作する。具体的に図7Aおよび7Bを参照すると、温度変化を受けた場合の二元金属梁28aおよび28bの挙動が、より詳細に説明され得る。片持ち梁の長さは、図7AでLとして特定される。底部二元金属梁28bは、同様に、高膨張構成要素64および低膨張構成要素66から構成される。底部二元金属梁28bは、上部二元金属梁28aとして同様の効果的片持ち長さLを有して示される。これらの効果的な片持ち梁の長さが実質的に同様の長さLを有するように示されるが、二元金属梁28aおよび28bの示す様々な長さが、所望の場合、熱応答バネ24の必要な特性を達成するために偏向され得ることは、理解される。図7Bを具体的に参照すると、上部二元金属梁28aが温度変化を受けた場合に、どのように上方に移動するかを示す。底部二元金属梁28bは、温度変化を受けると、順に下方に移動する。従って、図6~9の複合バネ24は、温度が上がると、図7Bに示すように高くなる。同様に、温度の減少は、底部二元金属梁28bが上部に曲がり、バネ24に高さを縮めさせる間に上部二元金属梁28aに下方に曲げさせる。これらの高伸張および低膨張構成要素64および66の配置が、二元金属梁28aおよび28bが、温度が上がると高さが低くなり、温度が下がると高さが伸びるように、容易に入れ替えることができることが、理解されるべきである。スペーサ30は、これらの梁を互いに維持するために上部二元金属梁28aと底部二元金属梁28bとの間に配置される。これらの図面で見られるように、スペーサ30は、二元金属梁の外側端部の近くに配置される。これらの図面に示す特定の実施形態において、支持ブロック31は、上部二元金属梁28aの中心70および底部二元金属梁28bの中心72に配置される。これらの支持ブロック31は、分離装置で熱応答バネ24を動作可能に結合する分離装置に、順に、取り付けられる。図1に示す分離装置の特定の実施形態において、上部および底部支持ブロック31は、下部円柱板44およびベースプレート40のそれぞれに取り付けられ、高伸張および低膨張構成要素64および66は、二元金属梁28aおよび28bが温度が上がると高さが低くなり、温度が下がると高さが伸びるように、入れ替えられてもよい。二元金属梁を形成する材料の選択および配置は、温度変動にさらされると、特定の長さで伸張または収縮する熱応答バネを生成する。温度変化に応じて、バネの長さにおける変化は、その均衡位置においてそれを維持するために分離装置で動作する、所望の大きさおよび方向の復元力を生成する。図10~13を参照すると、熱応答バネ24の形でTRE22の別の実施形態が示される。この特定の実施形態において、2つの梁よりもむしろ、4つの二元金属梁28a、28b、28cおよび28dは、熱応答バネ24を生成するために利用される。4つの二元金属梁28a、28b、28cおよび28dのそれぞれは、図6~9の実施形態について上記記載の二元金属梁のように構成され、そのように動作する。従って、これら同様の構成要素が温度変化に対応する方法を記載する必要が無い。図10~13のこの特定の実施形態において、スペーサ30は、二元金属梁28a、28b、28cおよび28dを接続する様々な位置に配置される。この特定の実施形態において、単一スペーサ30は、二元金属梁28aおよび28bに取り付けられる。一対のスペーサ30は、二元金属梁28cに二元金属梁28bを取り付けるために使用される。一対の支持ブロック31は、分離装置に結合するために上部二元金属梁28aおよび底部二元金属梁28bの端部に取り付けられる。この特定の実施形態は、また、TREの異なる形態が本発明に従って形成および分離装置に取り付けられ得ることを示す。図14~18は、さらに、複数の二元金属梁28a、28b、28cおよび28dを利用して作製され得るバネアセンブリのバネを示す。これらの図面で見られるように、二元金属梁28aおよび28dのいくつかは、十字構造を生成するために他の二元金属梁28bおよび28cから90度の角度で配置される。スペーサ30は、再び、複合バネを形成するために互いに二元金属梁を接続する様々な位置に配置される。支持ブロック31は、受オブ梁28aおよび底部28dの中央に位置する。この特定の複合バネは、これら上部および底部支持ブロックを介して分離装置に動作可能に接続される。再び、このハイチは、二元金属バネが取り得る多くの構成の1つを示す。図18および19は、上部三元金属梁100aおよび底部三元金属梁100bを利用して作製され得る熱応答バネ24の形で作製される。二元金属梁のような、これらの三元金属梁は、特定の温度変化に必要な特定の曲げ特性を取得するために選択され得る。これらの図面で見られるように、各三元金属梁100aおよび100bは、第3の金属102に沿って、高膨張材料64および低膨張材料66を含む。これらの三元金属梁は、図6~17で示す二元金属28と同じ方法で形成される。上記記載の二元金属梁のように、図18および19の三元金属梁100aおよび100bは、4つの片持ち梁として機能する構造を生成する。三元金属梁100aおよび100b、スペーサ30および支持ブロック31の特定の硬性および位置は、図6~9で示す構造と同様であり得る。二元金属梁のように、三元金属梁は、同じまたはほぼ同じ効果的長さLで作製され得る。若しくは、効果的な長さは、熱応答バネ24の所望の特性を生成するために各三元金属梁で異なる。場合によっては、温度感受性により、三元金属構成要素は、二元金属構成要素上の利点を提示してよい。スペーサは、金属、プラスチック、木などの様々な材料から作製され、様々な接着剤で溶接または接着などの異なる方法で接合し得る。二元金属または三元金属バネアセンブリの所望の特性は、二元金属または三元金属構成要素を形成するために使用される材料、構造、二元金属または三元金属梁の長さ、幅および厚さ、堆積の多くの層およびスペーサの大きさおよび位置を含むが、これらに限定されない、多くのパラメータを変更することによって取得され得る。従って、TREの所望の特性は、気温の変化を通して分離装置を連続して調整することをTREに正確に許可されるように生成され得る。二元金属および三元金属梁を上記の実施形態に開示したが、適切なTREを生成するために多くの異なる形状を使用することが可能である。TREの大きさまたは形状は、また、書房の物理的特性を達成し、分離装置の形状内で適するのに必要に変更し得る。高拡張および低膨張構成要素は、当業者によく知られる多くの異なる材料から選択され得る。例えば、高膨張材料は、一般に、高柔軟性および低膨張構成要素と比較して熱郷長の高係数を有する。適切な一高膨張材料は、約72のマグネシウム、約18の銅および約10のニッケルから作製される合金である。適切な低膨張構成要素は、約36のニッケルおよび64の鉄から作製されるインバーなどの合金で作製される。適切な三元金属梁は、商業的に購入し得る。さらに他の材料がTREの所望の特性を取得するために使用され得ることが理解されるべきである。熱応答バネを作製する部品は、一般に、商業的に入手可能であり、Polymetallurgical社、NorthAttleboro社、MAandEngineeredMATERIALSSolutions社、Attleboro社、MA社などの商業的企業から購入することができる。本発明の特定の形態が示され記載されてきたが、本発明の精神と範囲から逸脱することなく、様々な改良がなされ得ることは理解される。従って、本発明は、添付の特許請求の範囲による以外は、限定するものではない。"