微粒子を含む排出気体を導入する排気管が接続され、内部に前記微粒子捕集液が貯留された固定ケーシングと、内部に微粒子捕集用充填材が充填され、固定ケーシング内にて微粒子捕集液に前記微粒子捕集用充填材の一部が浸漬されつつ回転し、固定ケーシング内に導入された排出気体が前記微粒子捕集用充填材の表面の微粒子捕集液に接触しつつ流入し、回転中心部に設けられた開口部から流入気体が排出される回転ドラムと、回転ドラムの開口部に対面して開口し、固定ケーシングに取り付けられ、減圧ポンプに接続される接続管とで構成されたことを特徴とする減圧ポンプ用保護フィルター装置。微粒子捕集液が高粘性低蒸気圧特性を有する液体である事を特徴とする請求項1に記載の減圧ポンプ用保護フィルター装置。高粘性低蒸気圧性液体がグリセリンである事を特徴とする請求項2に記載の減圧ポンプ用保護フィルター装置。高粘性低蒸気圧性液体が高粘性低蒸気圧性油である事を特徴とする請求項2に記載の減圧ポンプ用保護フィルター装置。近年の半導体をはじめとした単結晶材料の大口径化に伴い、単結晶製造装置を始めそれ以降の製造装置もますます大型化し、ラインの停止は企業に非常に大きな損害を与えてしまう。このような点は上記単結晶製造装置に留まらず、一般の減圧利用の製造装置、化学装置、環境機器などに言える事である。本発明はこのような問題点に鑑みなされたもので、製造装置から排出され、減圧ポンプの故障原因となる排気中の微粉体を効率よく除去し、できるかぎり減圧ポンプの損傷を回避し、その長寿命化を図ることをその目的とする。請求項1に記載の減圧ポンプ用保護フィルター装置は、微粒子を含む排出気体を導入する排気管が接続され、内部に前記微粒子捕集液が貯留された固定ケーシングと、内部に微粒子捕集用充填材が充填され、固定ケーシング内にて微粒子捕集液に前記微粒子捕集用充填材の一部が浸漬されつつ回転し、固定ケーシング内に導入された排出気体が前記微粒子捕集用充填材の表面の微粒子捕集液に接触しつつ流入し、回転中心部に設けられた開口部から流入気体が排出される回転ドラムと、回転ドラムの開口部に対面して開口し、固定ケーシングに取り付けられ、減圧ポンプに接続される接続管とで構成されたことを特徴とする。請求項2は微粒子捕集液に関し、微粒子捕集液が高粘性低蒸気圧性液体であって、請求項3、4はこの高粘性低蒸気圧性液体に関し、請求項3ではこれがグリセリンであり、請求項4ではこれが高粘性低蒸気圧性油である事を特徴とする。本発明では、減圧下の排出気体から微粉体を減圧ポンプに送り込む前に微粒子捕集液に付着させて除去する事により、減圧ポンプ内部への堆積や付着を防止してこれらによる閉塞や磨耗などに起因するトラブルを解消する事が出来る。また、高粘性低蒸気圧性液体をグリセリンとした場合、捕集した微粉に毒性がない場合には、後述するように特殊な処理をすることなくそのまま廃棄することができる。以下、本発明の実施の形態を、シリコン融液から半導体シリコン単結晶を製造する場合を例として、図面に基づいて詳述するが、本発明はこれらに限定されるものではなく、対象装置が減圧を利用するものであって、その排出気体に微粒子が含まれるような場合に適用することが出来ることは言うまでもない。図1は常圧法による単結晶製造装置に本発明にかかる減圧ポンプ用保護フィルター装置を介して減圧ポンプを装着した例を表したフロー図である。図1の単結晶製造装置はシリコン単結晶や化合物半導体に用いられるGaAs単結晶などの引き上げ装置で、ここでは半導体ウエーハの最も一般的な材料である単結晶シリコンインゴットの製造を取り上げる。図1のチャンバー内に納められた石英ガラス製溶融坩堝に高純度多結晶のシリコン、目的に応じた各種ドーパントを入れ、Ar雰囲気中でこれらを溶かし、その表面に種子にあたる単結晶を浸して、次いでゆっくりとこれを引上げることによって、種子単結晶と同じ方位配列を持った単結晶を成長させ、大きな円柱状のインゴットにする。この過程で、結晶成長時に不活性のArガスを導入しつつチャンバー内を減圧ポンプで減圧し、融液の表面に発生する反応副生成物を排出させ、チャンバー内を常時清浄雰囲気とする。キャリアガスとしてArガスを流すと共にチャンバー内圧を103~104Pa15~20トールTorrに調整することで、融液から僅かではあるが生成されるSiO微粉又は煙状体主体はSiOの微粉の炉外への除去排出を容易にし、これによって単結晶インゴットの製造能力を飛躍的に高める。換言すれば、溶融シリコンが石英坩堝内で溶融している間は単結晶製造装置からの排出気体中には僅かながらSiOが含まれている。特に、SiOは排気系の内面に付着堆積するため、これらが運転開始時の炉内排気時や運転中に剥離又は遊離して減圧ポンプ内に入り込むと減圧ポンプの可動部分を損傷することになる。減圧ポンプ用保護フィルター装置は例として図2に実施例1、図3に第2実施例を示す。以下、実施例1について説明する。実施例2については実施例1と同じ部分については実施例1の記載を援用する。単結晶製造装置から導出され、微粒子を含む排出気体を保護フィルター装置に導入する排気管は保護フィルター装置の固定ケーシングに接続されている。固定ケーシングは横向き円筒状のもので、両側面の中心部に外方に突出した軸受収納部が突設されており、一方の軸受収納部の上方にて側面に前記排気管が接続されている。固定ケーシングの上面には給液管部が取り付けられており、底面には排液管部が設けられている。固定ケーシングはベースに立設された脚部に支持されている。回転ドラムは、その両端が固定ケーシングの両軸受収納部間に架設され、両軸受収納部内に設けられた軸受及びシールとで支持された回転円筒部と、回転円筒部の回りに設けられた円筒状の籠部とで構成されている。回転円筒部は一端が開口この部分を開口部とする。しており、他端が閉塞され、該閉塞端の外面に回転軸が突設されている。そして、籠部内に開口する複数のスリット状或いは図示しないが丸孔の通孔が回転円筒部の側面に周方向にて一定間隔で穿設されている。通孔の口径は後述する微粒子捕集用充填材が内部に入り込まないような大きさとなっている。勿論、図示していないが、開口部にネットを張り、開口部から微粒子捕集用充填材が出ないようにするなどの工夫を行えば、微粒子捕集用充填材を回転円筒部内まで充填することは可能である。籠部は回転円筒部の側面に所定間隔を設けて取り付けられた一対の円形側板、円形側板の内面側外縁間に一定間隔で取り付けられた複数の柱材、柱材の内側に張られた円筒状ネットとで構成されている。そして、円筒状ネット内には微粒子捕集用充填材が充填されている。微粒子捕集用充填材は中空金属球、樹脂製球体、市販のラシヒリング、金網や樹脂網の束、樹脂ラバーなどで形成され、固定ケーシングに供給される微粒子捕集液をその表面に担持して、籠部を通過する流入気体との気-液接触面積を増大させる部材である。中空金属球、樹脂製球体などを用いる場合には、表面に凹凸或いは後者の場合、粗い連続気泡とすることが好ましい。また、樹脂製の微粒子捕集用充填材を使用する場合は、プラズマによる表面改質処理を行ったものを使うことにより充填材表面での微粒子捕集液の濡れ状態を持続させることが出来るので、微粒子の粘着捕捉効果が向上する。微粒子捕集液はフッ素系オイル、シリコン系オイル或いは鉱物オイルなど高粘性低蒸気圧性油、更には前記油だけでなく、植物から抽出した低蒸気圧特性を持つグリセリンのような液体を使用することも可能である。この液体を使用すれば使用済み液体を水で希釈してSiOを沈殿させた上澄み液を下水処理することが出来、環境にやさしい。微粒子捕集液は固定ケーシング内において、接続管の開口より下がったレベルまで溜められ、籠部の下部が常時浸漬するようになっている。微粒子捕集液の循環は、排液管部に接続された回収ポンプから捕集液溜め容器へ送られ、捕集液溜め容器から循環ポンプにて微粒子捕集液を吸引し、給液管部に給液するように行われる。一部は新規な微粒子捕集液と置換される。ここで捕捉の対象となる微粒子は、前述のようなSiO微粉又は煙状体主体はSiOの微粉、或いはこれに随伴するSiO2微粉や反応生成物微粒子であり、一般的には各種製造装置から排出される排出気体に随伴される粉塵などである。回転円筒部の回転軸は隣接して設けられた変速機付きモーターにカップリングを介して接続されている。変速機付きモーターはベースに立設されたモーター支持脚に支持されている。回転ドラムの回転円筒部の一端に設けられた開口部には、これに近接対面してその一端が開口する接続管が固定ケーシングに取り付けられ、他端が減圧ポンプに接続されている。図2から分かるように、接続管の固定ケーシングとの取付部位は、接続管の開口端全周が軸受収納部に溶接され、接続管の開口端とこれに近接対面する回転円筒部の開口端との間の僅かな隙間から漏れ出した流入気体が、回転円筒部に摺接して設けられたシールによって籠部側に漏れ出さないようになっている。同様に、モーター側の軸受収納部側でも回転円筒部に摺接して設けられたシールによって外部に流入気体が漏れ出さない。単結晶引上装置及び減圧ポンプを稼動させると、前述のように排気管を通って微粒子を含む排出気体が固定ケーシング内に流入する。フィルター装置ではモーターによって所定回転数で回転ドラムが回転しているため、微粒子捕集用充填材は固定ケーシングの下部に溜められている微粒子捕集液内を順次浸漬通過し、その表面に微粒子捕集液を付着させた状態で微粒子捕集液の液面から上に出て行く。固定ケーシングに流入した流入気体は減圧ポンプの吸引作用により籠部の柱材の間、円筒状ネットの網目を通過し、その内側において充填された微粒子捕集用充填材の表面の微粒子捕集液に気-液接触してその微粒子を微粒子捕集液に付着させ、微粒子を大幅に減じた状態で回転円筒部の通孔を通って回転円筒部に入り、接続管を介して減圧ポンプに供給される。回転ドラムが回転すると充填された微粒子補修用充填材は回転ドラム内で攪拌される状態になり、表面に付着していた微粒子捕集液の一部は補修した微粒子と共に微粒子捕集液の溜まりの中で洗い落とされ、新たな微粒子捕集液が付着し、微粒子捕集を継続することになる。ここで、微粒子捕集用充填材が樹脂製で表面改質処理が行われているものであれば、充填材表面での微粒子捕集液の濡れ状態を持続させることが出来、高い微粒子粘着捕捉効果を維持することが出来る。また、ここで行われる上記気-液接触は、通常の水との気-液接触のようなものでなく、回転ドラムの回転に伴って充填材が回転ドラム内を自由に転動すること、微粒子捕集液は高粘性であることから充填材間の隙間を埋めるように薄い膜を形成したり、多数の糸を引くように充填材の表面上を流れるため単なる通常の水のようなものと異なり、気-液接触のチャンスが遥かに大きくしかも微粒子の付着性が非常に高いため高効率で除去することが出来る。しかも、低蒸気圧特性を有しているので、減圧下で使用される装置側にその蒸気が逆流するようなことがなく、装置を汚染するようなことがない。そして、捕集された微粒子は高粘性の微粒子捕集液内に巻き込まれてしまうため、微粒子同士が微粒子捕集液によって隔離されてしまうため、発火の連鎖が防止されて粉塵爆発のようなものを起こすこともない。減圧ポンプに供給された気体は微粒子を大幅に減じた状態で供給されるから、減圧ポンプの微粒子を原因とする故障は大幅に減少する。微粒子捕集液は使用に連れて次第に捕集微粒子量が増加するため、次第に粘度が上昇するが、その一部は常時新しい微粒子捕集液に交換され、安定した状態で微粒子捕集が行われる。図3は減圧ポンプ用保護フィルター装置の第2実施例で、回転ドラムをモーター駆動のローラで回転させ、充填材を疎な樹脂マットとした場合である。微粒子捕集液は樹脂マット製の充填材の表面に付着し、効果的な微粒子捕集が行われる。これにより、例えば、シリコン単結晶引上装置ではアルゴンガスを用いた減圧雰囲気で単結晶をインゴットに育成しつつ引き上げる際に、溶融シリコンと石英ルツボの反応により装置内でSiOやSiO2が発生し、これが排気されるアルゴンガスに含まれて減圧ポンプに送り込まれる。従来例で述べたように、このSiOやSiO2は減圧ポンプの内壁または回転するロータ表面に付着してロータ同士の狭いギャップに入り込んでロータの齧りトラブルやポンプ構成部品の磨耗損傷の発生原因となっていたが、これが大幅に軽減される。また、SiOやSiO2を含んだ気体を大気に放出すると公害問題となるし、減圧装置後段でフィルター捕獲排気する場合には捕獲されたSiOが粉塵爆発を起す危険があるが、SiOの予めの除去によって粉塵爆発を未然に防止できるし、公害発生防止が可能となる。なお、本発明装置ではSiOやSiO2微粉体を捕集した微粒子捕集液はCp5000程度まで使用でき、粘性がこれ以上高くなれば、新液Cp500程度または使用済み再生液体と一部交換して使用を継続する。使用済み液体の再生は沈殿法或いは遠心分離法などを応用して行うこともできる。