振動体に備えられた電気-機械エネルギー変換素子に交番電圧を印加して振動波を発生させて対象物を駆動する際、該振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置であって、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子は、異なる相転移温度を有する第一の電気-機械エネルギー変換素子と第二の電気-機械エネルギー変換素子とを備え、前記第一の電気-機械エネルギー変換素子は、前記相転移温度が使用温度範囲内にあり、前記第二の電気-機械エネルギー変換素子は、前記相転移温度が使用温度範囲外にある、ことを特徴とする振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置。前記第一の電気-機械エネルギー変換素子は、静電容量が使用温度範囲内で温度ヒステリシスを有することを特徴とする請求項1に記載の振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置。前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子からの検出信号を用い、前記振動体の温度情報を得る温度検出装置を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置。前記温度検出装置は、前記検出信号を用いて振動体の温度情報と、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子の相転移温度に相当する温度とを検出することを特徴とする請求項3に記載の振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置。前記電気-機械エネルギー変換素子は、チタン酸バリウムを主成分とする圧電材料で構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置。請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を有する塵埃除去装置であって、前記振動体の制御装置によって所定の方向に塵埃を移動させて除去する際に、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子によって検出された温度に基づいて前記振動体を制御することを特徴とする塵埃除去装置。請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を有する振動型アクチュエータであって、前記振動体の制御装置によって所定の方向に塵埃を移動させて除去する際に、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子によって検出された温度に基づいて前記振動体を制御することを特徴とする振動型アクチュエータ。上記従来例の特許文献3や特許文献4によると温度センサを用いずに振動体の温度を検出することができるが、圧電素子の静電容量の温度特性に基づき温度を推測するものであるため、つぎのような課題を有している。すなわち、圧電素子の静電容量の温度特性によるものでは、実際には温度領域によって静電容量は非線形特性を有しており、容量変化もなだらかであるので、精度良く検出することが難しい。また、温度の絶対値はある基準値に基づいてテーブルデータ又は計算式を用いて算出するので、直接的に検出する温度センサと違い、精度が低下してしまうこととなる。本発明は、上記課題に鑑み、温度センサを用いず、駆動性能に影響を及ぼすことなく精度良く振動体の温度検出が可能となる振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置の提供を目的とする。また、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を有する塵埃除去装置及び振動型アクチュエータの提供を目的とする。本発明は、振動体に備えられた電気-機械エネルギー変換素子に交番電圧を印加して振動波を発生させて対象物を駆動する際、該振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置であって、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子は、異なる相転移温度を有する第一の電気-機械エネルギー変換素子と第二の電気-機械エネルギー変換素子とを備え、前記第一の電気-機械エネルギー変換素子は、前記相転移温度が使用温度範囲内にあり、前記第二の電気-機械エネルギー変換素子は、前記相転移温度が使用温度範囲外にある、ことを特徴とするとする。また、本発明の塵埃除去装置は、上記した振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を有する塵埃除去装置であって、前記振動体の制御装置によって所定の方向に塵埃を移動させて除去する際に、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子によって検出された温度に基づいて前記振動体を制御する。また、本発明の振動型アクチュエータは、上記した振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を有する振動型アクチュエータであって、前記振動体の制御装置によって所定の方向に塵埃を移動させて除去する際に、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子によって検出された温度に基づいて前記振動体を制御することを特徴とする。本発明によれば、温度センサを用いず、駆動性能に影響を及ぼすことなく精度良く振動体の温度検出が可能となる振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を実現することができる。また、前記振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を有する塵埃除去装置及び振動型アクチュエータを実現することができる。本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。[実施例1]実施例1として、本発明の振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を用いて構成された塵埃除去装置の構成例について説明する。なお、本実施例ではこの塵挨除去装置カメラに搭載した構成例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。これ以外にも、ファクシミリ装置、スキャナ、プロジェクタ、複写機、レーザビームプリンタ、インクジェットプリンタ、レンズ、双眼鏡および画像表示装置のいずれかの光学機器に備えられた塵埃除去装置等に適用が可能である。本実施例に用いられる振動体の制御装置は、つぎのように振動体に振動波を発生させ、該振動波により対象物を駆動させる際の制御装置として構成されている。すなわち、振動体に備えられた電気-機械エネルギー変換素子に交番電圧を印加して振動波を発生させて対象物を駆動する際、該振動体の温度を検出して制御するための振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置として構成されている。以下、これらについて更に具体的に図を用いて説明する。図2aは、本実施例における塵挨除去装置が装備可能に構成されたデジタル一眼レフカメラを被写体側より見た正面側斜視図であり、撮影レンズを外した状態を示すものである。図2bはカメラを撮影者側より見た背面側斜視図である。カメラ本体201内には、不図示の撮影レンズを通過した撮影光束が導かれるミラーボックス202が設けられており、ミラーボックス202内にメインミラークイックリターンミラー203が配設されている。塵埃除去装置を備えた撮像部は、不図示の撮影レンズを通過した撮影光軸上に設けられている。メインミラー203は、撮影者がファインダ接眼窓204から被写体像を観察するために撮影光軸に対して45°の角度に保持される状態と、撮像素子の方向へ導くために撮影光束から退避した位置に保持される状態と、を取り得る。カメラ背面には、塵埃除去装置を駆動するためのクリーニング指示スイッチ205が設けられており、撮影者がクリーニング指示スイッチ205を押すと、塵埃除去装置を駆動するようコントローラに指示する。つぎに、図3aを用いて、本実施例の塵埃除去装置の構成について説明する。本実施例におけるカメラ本体201の撮像部には、図3aに示すものと基本的に同じ構成の塵埃除去装置が装備可能に構成されている。このカメラ本体201の撮像部では、受光した被写体像を電気信号に変換して画像データを作成するCCDやCMOSセンサ等の受光素子である撮像素子307が設けられている。また、撮像素子307の表おもて面の空間が密封されるように、矩形の板状を有する振動体103が取り付けられる。振動体103は、矩形の板状を有する光学部材306、及びその両端部に接着によって固着された電気-機械エネルギー変換素子である1対の圧電素子101a、101bから構成される。本実施例では、光学部材306はカバーガラス、赤外線カットフィルタ、あるいは、光学ローパスフィルタ等の透過率の高い光学部材で構成されており、撮像素子307には、この光学部材306を透過した光が入射するように構成されている。ここで、光学部材306の両端部に配置された圧電素子101a、101bの厚み方向図中、上下方向の寸法は、振動に対する曲げ変形の発生力が大きくなるように、光学部材306の厚み方向図中、上下方向の寸法と同じ値である。なお、以下の説明において圧電素子101a、101bを特に区別する必要がないときは、単に駆動用圧電素子101と記す。図1は、本実施例における振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を用いて構成された塵挨除去装置を示すものである。この制御装置は、コントローラ304から駆動装置308に指令信号が入力されると、所望の駆動信号が振動体103に印加されて振動が励起される。振動体103に設けられた検出用の電気-機械エネルギー変換素子102からの検出信号は、温度検出装置108で静電容量に換算されて、温度情報を得るための各種演算が行われる。温度検出装置108で検出された振動体の温度情報は、コントローラ304にフィードバックされることにより、駆動電圧の調整や過熱を回避する制御が行われる。以下に、これらについて更に詳細に説明する。コントローラ304から交番電圧信号のパラメータとなる周波数情報、位相情報、パルス幅情報がパルス発生回路303a及び303bに送られる。パルス発生回路には、例えば一般的なデジタル発振器などが用いられる。周波数は、振動体103に発生させる2つの面外曲げ振動の共振周波数の中間値近傍に設定され、同じ周波数がパルス発生回路303a及び303bに各々設定される。位相は、互いに異なる値をパルス発生回路303a及び303bに入力し、出力される各交番電圧信号の位相差が90°となるように設定される。パルス幅パルスデューティ比は所望の電圧振幅が得られるよう適宜調整され、パルス発生回路303a及び303bに個別に設定される。パルス発生回路303から出力されたデジタルの交番電圧信号はスイッチング回路302a及び302bに入力され、不図示の電源回路より供給される電圧に基づいてアナログの交番電圧Viとして出力される。電源回路には、一般的な直流電源回路、DC-DCコンバータ回路などが用いられる。また、スイッチング回路には、一般的なHブリッジ回路が用いられる。交番電圧Viは駆動回路301a及び301bに各々入力されて、電圧振幅が昇圧、且つSIN波形に変換されてから交番電圧Voとして出力される。交番電圧Voは圧電素子101a及び101bに各々印加され、振動体103に2つの面外曲げ振動が同時に発生する。この合成振動が進行波となり、光学部材306の表面の塵埃を所望の方向に移動させることができる。振動体103には、第一の電気-機械エネルギー変換素子と第二の電気-機械エネルギー変換素子とによる振動体の温度を検出する2つの電気-機械エネルギー変換素子検出用圧電素子102aと102bが設けられている。以下の説明において圧電素子102a、102bを特に区別する必要がないときは、単に検出用圧電素子102と記す。検出用圧電素子102は一方の電極がグランドに接続され、もう一方の電極が温度検出装置108に接続されている。振動体103に励起された振動は検出用圧電素子102によって電気的に変換されて、振動振幅に相当する電圧を検出することができる。検出用圧電素子102からの検出信号は、温度検出装置108に各々入力される。圧電素子102aからの検出信号は容量検出回路104aで容量値が検出されてから、昇温/降温判定器105に入力される。昇温/降温判定器105では容量値の時間的な変化を演算し、その符号に基づいて振動体の温度が上昇、又は降下しているかを判定する。これと並行して、圧電素子102bからの検出信号は容量検出回路104bで容量値が検出されてから、閾値検出回路106に入力される。閾値検出回路106では、圧電素子102bの相転移温度における静電容量に準じた閾値が設定され、検出した静電容量が閾値をクロスしたかどうかを出力する。次に、相転移温度検出器107では、昇温/降温判定器105からの出力と、閾値検出回路106の出力とによって、昇温/降温の判定と同時に、圧電素子102bの相転移温度を振動体の温度情報として、出力する。コントローラ304では、温度検出装置108からの温度情報に基づいて、制御パラメータが適宜調整される。図4は、振動体103に設けられた、駆動用圧電素子101と検出用圧電素子102の構成を示すものである。本実施例における特徴は、2つの検出用圧電素子102に異なる相転移温度以下、Trと称するを有する圧電素子が用いられる点にある。なお、本実施例は、チタン酸バリウムBaTiO3を主成分する圧電材料圧電セラミックスによる圧電素子を用いるものとする。本材料を用いた圧電素子の静電容量は温度ヒステリシスを有し、主成分にカルシウムを添加することによってTrを調整することができる。まず、駆動用圧電素子101にはカルシウムが添加されており、Trが-30°C以下になるよう添加量が調整されている。これによって、通常の動作温度範囲では温度ヒステリシスが生じないので、駆動性能を阻害することはない。次に、図面左側の検出用圧電素子102aにも同様にカルシウムが添加されており、Trが-30°C以下になるよう添加量が調整されている。これに対して、図面右側の検出用圧電素子102bにはカルシウムが添加されておらず、Trは昇温時は55°C、降温時は45°Cであり、温度ヒステリシスを有するように設計されている。図5は、カルシウムの添加量を調整した場合における、チタン酸バリウムを主成分とする圧電素子の静電容量の温度特性の測定データ例を示すものである。カルシウムを添加しない場合、Trは昇温時55°Cと降温時45°Cであり、静電容量は使用温度範囲内で温度ヒステリシスを有する。ここで、使用温度範囲は例えば0°C~65°Cとする。0°Cから65°Cまで圧電素子を昇温すると、55°Cで静電容量は大きく変化し、逆に65°Cから0°Cまで圧電素子を降温すると、45°Cで静電容量は再び大きく変化する。通常、このような温度特性を有する圧電素子は駆動電圧が大きく変動してしまうので駆動性能を阻害してしまうが、温度検出用として用いれば静電容量の変化が大きいので、SN比が十分に確保され、精度良く検出することができる。一方、Trが-30°C以下の使用温度範囲外になるようにカルシウム添加量が調整された圧電素子は、温度が高いほど静電容量がなだらかに低下していく特性を示す。また、昇温時と降温時で温度特性に変化はなく、温度ヒステリシスは生じないので、温度の絶対値を精度良く検出することは難しいが、静電容量の増減方向の検出によって昇温又は降温の判定に用いることができる。図6は、本実施例で用いる2つの検出用圧電素子の静電容量の温度特性を示すものである。この図は説明上、簡略化されている。図6aにおいて、検出素子aのプロットは検出用圧電素子102aの温度特性を示し、Trは-30°C以下である。検出素子bのプロットは、検出用圧電素子102bの温度特性を示し、昇温時のTrは55°CこれをTr1とする、降温時のTrは45°CこれをTr2とするであり、温度ヒステリシスを有する。本実施例は、検出素子aからの検出信号を用いて振動体103の昇温又は降温を判定し、且つ、検出素子bの検出信号を用いて振動体103の相転移温度Trを温度情報として検出する。図6bは、昇温時の温度特性を示したものである。検出素子aの静電容量は低下していくので、このマイナス方向の変化を検出することで昇温と判定できる。また、検出素子bの静電容量はTr1付近で急激に増加し、その後低下する。検出素子bの静電容量に対して図のように閾値を設け、これを超えた場合、且つ、検出素子aが昇温と判定されている場合に、Tr1を検出することができる。図6cは、降温時の温度特性を示したものである。検出素子aの静電容量は増加していくので、このプラス方向の変化を検出することで降温と判定できる。また、検出素子bの静電容量はTr2付近で急激に低下する。検出素子bの静電容量に対して図のように閾値を設け、これを下回った場合、且つ、検出素子aが降温と判定されている場合に、Tr2を検出することができる。図7は、振動体の温度が変化した場合における、昇温/降温の判定と相転移温度の検出を説明するタイミングチャートである。横軸は時間である。ここで、使用温度範囲は例えば0°C~65°Cとする。図7aは、振動体の温度の時間変化を示し、説明を簡略化する為、温度は線形に上昇及び降下するものと仮定した。まず、図7bに示す検出素子aの容量値が検出される。図7cは得られた検出素子aの容量値を時間微分し、容量変化を求めたものである。昇温時はマイナス、降温時はプラスの変化を示す。図7dは容量変化の符号から昇温/降温を判定し、不図示のコントローラに出力される。これと並行して、図7eに示す検出素子bの容量値を検出する。検出素子bの容量値を検出する場合、図のように閾値が設けられ、図7fに示すように閾値検出が行われる。ここで、図7gに示すように、図7dの昇温/降温判定の結果に基づいて、閾値のエッジ検出が行われる。すなわち、昇温判定時は閾値検出の立ち上りエッジ図中、Posと表示を検出し、降温判定時は立ち下がりエッジ図中、Negと表示を検出する。これによって、図7hに示すように相転移温度Trを検出することができる。すなわち、立ち上りエッジ検出時にTr1に相当する55°Cを振動体の温度として検出できる。その後の昇温判定期間は55°C以上であると検出される。次に、立ち下がりエッジが検出されるまでの降温判定期間は45°C以上であると検出される。最後に、立ち下がりエッジ検出時にTr2の45°Cを振動体の温度として検出できる。図8は、容量検出回路の具体的な構成例を示すものである。検出用圧電素子102に並列に既知のコンデンサ109が接続されており、検出用圧電素子102の振動から変換された電圧信号は分圧用抵抗111によって分圧される。分圧された電圧信号は整流回路112によって交流信号から直流信号に変換され、A/D変換器113によってアナログ信号からデジタル信号に変換される。静電容量演算器114では、検出された電圧値Vと既知のコンデンサ109の容量値を用いて、検出用圧電素子102の静電容量を演算によって算出する。ここで、演算に用いる電圧Vは、2つの場合によって検出される。すなわち、既知のコンデンサ109が並列接続された場合と、そうでない場合とによって検出される。既知のコンデンサ109が並列接続された場合は、2つの静電容量の合成値に基づく電圧が検出され、これをV1とする。既知のコンデンサ109が接続されない場合は、検出用圧電素子102の静電容量だけで決まる電圧が検出され、これをV2とする。V1とV2の選択は、既知のコンデンサ109に直列に接続されたスイッチング素子110の開閉によって行う。なお、スイッチング素子110の開閉は、コントローラ304からの指令によって行う。V1とV2の関係から、検出用圧電素子102の静電容量をCs、既知のコンデンサ109の静電容量をCとすると、次式が導かれる。Cs=V2/V1-V2×Cここで、Cの値は既知であるので、検出用圧電素子102の静電容量Csを算出することが可能となる。[実施例2]実施例2として、本発明の振動体の温度を検出する電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を用いて構成された振動型アクチュエータの構成例について説明する。図9は、上記制御装置を備えた振動型アクチュエータを示したものである。速度偏差検出器401には、エンコーダ等の速度検出器407で得られた速度信号と、コントローラ304からの目標速度と、が入力され、速度偏差信号が出力される。速度偏差信号はPID補償器402に入力され、制御信号として出力される。PID補償器402から出力された制御信号は、駆動周波数パルス発生器403に入力される。駆動周波数パルス発生器403から出力された駆動周波数パルス信号は、駆動回路404に入力され、位相が90°異なる2相の交番電圧が出力される。交番電圧は、位相が90°ずれた2相の交番信号である。駆動回路404から出力された交番電圧は振動型アクチュエータ405の不図示の駆動用の電気-機械エネルギー変換素子に入力され、振動型アクチュエータ405の移動体は一定速度で回転する。振動型アクチュエータ405の移動体に連結された被駆動体406ギヤやスケール、シャフト等は回転駆動され、前記速度検出器407によって回転速度が検出され、回転速度が常に目標速度に近づくようにフィードバック制御される。一方、振動型アクチュエータ405には2つの検出用の圧電素子408aと408bが設けられており、これらの検出信号を温度検出装置108に入力し、静電容量を検出することで、振動体の温度情報が得られる。前記検出用の圧電素子408は、各々異なる相転移温度Trを有するものとする。図10は、振動型アクチュエータの構成例を示すものである。振動型アクチュエータは、発生する振動の種類によって定在波型と進行波型とに分けられる。同図aは進行波型の振動型アクチュエータを示す斜視図である。振動型アクチュエータは、電気-機械エネルギー変換素子である圧電素子901と弾性体801とから成る振動体903と、移動体802と、を備える。ハウジングに固定された弾性体801は振動振幅を拡大する為の複数の突起部803が設けられており、突起部803は移動体802の駆動部として作用する。移動体802はゴムを介して加圧バネとディスクによって図面下側方向に加圧接触されている。各部材は円環形状を為している。圧電素子901に2相の交番電圧が印加されると、振動体903に進行波が発生し、振動体903に接触する移動体802は摩擦駆動によって振動体と相対的に回転する。ハウジングと転がり軸受を介して接続された出力軸は移動体802に固定されており、移動体802の回転に伴って回転する。本実施例の別の構成例の一つとして、円環型の圧電素子が用いられた上記進行波型の振動型アクチュエータの制御装置について、図11を用いて説明する。図11は、進行波型の振動型アクチュエータに用いられる、駆動用圧電素子901と検出用圧電素子408の構成例を示すものである。駆動用圧電素子901aと901bは図のような位相でプラスとマイナス方向に交互に分極されており、各々駆動用の電極が接続されている。それぞれ位相が90°異なる交番電圧が印加されることで、進行波が円環の周方向に励起される。また、検出用圧電素子408aと408bには、一端がグランドに接続され、もう一端が温度検出装置108に接続されている。したがって、検出用圧電素子408の振動を電圧信号として検出することができる。本実施例の特徴である、2つの検出用圧電素子408には異なる相転移温度Trを有する圧電素子が用いられる。なお、本実施例は、チタン酸バリウムBaTiO3を主成分する圧電素子を用いるものとする。本材料を用いた圧電素子の静電容量は温度ヒステリシスを有し、カルシウムの添加量によってTrを調整することができる。まず、駆動用圧電素子901にはカルシウムが添加されており、Trが-30°C以下になるよう添加量が調整されている。これによって、動作温度範囲では温度ヒステリシスが生じないので、駆動性能を阻害することはない。次に、検出用圧電素子408aにも同様にカルシウムが添加されており、Trが-30°C以下になるよう添加量が調整されている。これに対して、検出用圧電素子408bにはカルシウムが添加されておらず、Trは昇温時は55°C、降温時は45°Cであり、温度ヒステリシスを有するように設計されている。相転移温度での静電容量の変化は急峻であるので、精度良く温度情報を検出することができる。検出用圧電素子408からの検出信号は温度検出装置108に入力されて、各々静電容量が検出される。検出用圧電素子408aからの検出信号を用いて振動体の昇温/降温を判定し、検出用圧電素子408bからの検出信号を用いて相転移温度を検出する。温度検出装置108の具体的な構成やタイミングチャートは実施例1と基本的に同じであるので、説明は省略する。本実施例の制御装置を用いれば、振動体の昇温/降温の判定と同時に、検出用の圧電素子408bの相転移温度を振動体の温度情報として検出できる。得られた温度情報に基づいて、コントローラ304は適宜制御パラメータを調整する。これによって、過度な温度上昇の抑制や、制御性能の向上を図ることができる。また、下記の振動型アクチュエータにも本発明の制御装置を同様に適用することができる。図10bは、定在波型の振動型アクチュエータの基本的な構成を示す斜視図である。図に示すように、この振動型アクチュエータの振動子は、矩形の板状に形成された金属材料から成る弾性体801を備え、弾性体801の裏面には圧電素子901が接合されている。弾性体801の上面の所定位置には、複数の突起部803が設けられている。この構成によれば、圧電素子901に交番電圧を印加することにより、弾性体801の長辺方向における2次の屈曲振動と、弾性体801の短辺方向における1次の屈曲振動とが同時に発生し、突起部803に楕円運動が励起される。そして、突起部803に移動体802を加圧接触させることにより、移動体802を突起部803の楕円運動によって直線的に駆動することができるようになっている。つまり、突起部803がこの振動体の駆動部として作用する。図10cは、カメラレンズのオートフォーカス駆動などに用いられる、棒状の振動型アクチュエータの分解斜視図である。振動型アクチュエータは、振動体903と、移動体802と、を備えている。振動体903には、摩擦材料を兼ねた第1の弾性体801a、電気-機械エネルギー変換素子である圧電素子901への給電用のフレキシブルプリント基板804、第2の弾性体801bが設けられている。これらの部材は、シャフト805の突き当てフランジ部805aとシャフト805下部のネジ部805bに嵌る下ナット806で挟み、加圧締結されている。移動体802は、接触ばね807がロータ808に接着固定されている。これにより、移動体802は、フランジ809の軸受部によって回転自在に支持された出力ギア810と加圧ばね811によって振動体903の摩擦面812に加圧接触されている。移動体802の接触ばね807は、下端面が移動体の摩擦面として振動体の第1の弾性体の摩擦面812と当接している。フレキシブルプリント基板804を介して、不図示の電源から圧電素子901に交番電圧を印加する。それにより、第1の弾性体801aの摩擦面には直交する2方向の1次の曲げ振動が励起され、時間位相π/2を持って重ね合せることによって、摩擦面812に回転楕円運動を生じさせる。これによって、摩擦面に加圧接触する接触ばね807を振動体903に対して相対移動させることができる。