"セラミックを含む原料粉末を所定の形状に成形した成形体を作製する成形体作製工程と、前記成形体を、離型剤を含んだ液体である離型剤含有液に浸けることによって、前記成形体に前記離型剤含有液を塗布する塗布工程と、前記塗布工程において前記成形体に塗布された前記離型剤含有液のうち、余剰な前記離型剤含有液である余剰液を、前記成形体を把持する把持装置によって把持された前記成形体に対して非接触の状態で前記余剰液を除去する装置である非接触装置を使用して、前記成形体から除去する余剰液除去工程と、前記余剰液除去工程によって前記余剰液が除去された前記成形体を、成形型に装着する装着工程と、前記装着工程において前記成形型に装着された前記成形体を焼成してセラミック焼結体を形成する焼結体形成工程と、前記焼結体形成工程において形成された前記セラミック焼結体を前記成形型から離脱させる離脱工程とを備えたことを特徴とするセラミック焼結体の製造方法。前記余剰液除去工程は、前記余剰液のうちの一部を、前記非接触装置を使用して前記成形体から除去する第一除去工程と、前記余剰液のうち、前記第一除去工程において除去されなかった残りの前記余剰液である残存余剰液を、前記非接触装置を使用して前記成形体から除去する第二除去工程とを含むことを特徴とする請求項1に記載のセラミック焼結体の製造方法。前記成形体は柱状をなし、前記把持装置は当該成形体を重力方向に向けて把持するものであって、前記第一除去工程では、前記成形体の前記重力方向とは反対方向側の端部を含む第一部位から、前記余剰液が除去され、前記第二除去工程では、前記成形体の前記重力方向側の端部を含み、且つ前記第一部位より前記重力方向側の部位である第二部位に存在する前記残存余剰液が除去されることを特徴とする請求項2に記載のセラミック焼結体の製造方法。前記余剰液除去工程は、前記第一除去工程と前記第二除去工程との間に、前記非接触装置の使用を中断する中断工程を備えたことを特徴とする請求項2または3に記載のセラミック焼結体の製造方法。前記余剰液除去工程で使用される前記非接触装置は、前記成形体の周囲に気体の流動を発生させ、発生させた前記気体の流動によって前記余剰液を除去する装置であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のセラミック焼結体の製造方法。前記余剰液除去工程で使用される前記非接触装置は、前記成形体に前記気体を吹き付けることによって、前記成形体の周囲に前記気体の流動を発生させる装置であり、前記非接触装置の前記気体の吹き付け圧力は、前記吹き付け圧力を制御する圧力制御装置によって制御されることを特徴とする請求項5に記載のセラミック焼結体の製造方法。前記セラミック焼結体は、電流を流すことによって発熱する発熱抵抗体を一端に備えた柱状のセラミックヒータであることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のセラミック焼結体の製造方法。前記余剰液除去工程では、前記把持装置を使用して、前記成形体において前記発熱抵抗体が形成される第一端部とは反対側の第二端部を把持することを特徴とする請求項7に記載のセラミック焼結体の製造方法。前記セラミック焼結体は、前記発熱抵抗体に接続され、前記セラミック焼結体の内部において前記第一端部から前記第二端部に向かう方向である第一方向に延びる一対の第一導電部と、前記一対の第一導電部の各々の前記第一導電部から前記セラミック焼結体の表面に向かう方向に延びる第二導電部とを備え、前記把持装置は、前記成形体を把持する場合に、前記第二導電部が形成される部分より第一方向側を把持することを特徴とする請求項8に記載のセラミック焼結体の製造方法。前記把持装置は、前記成形体に対して点接触又は線接触する複数の接触部を有し、複数の前記接触部を前記成形体に接触させて前記成形体を把持することを特徴とする請求項1から9に記載のセラミック焼結体の製造方法。請求項7から10のいずれかに記載のセラミック焼結体の製造方法によって製造された前記セラミックヒータを使用して、グロープラグを製造するプラグ製造工程を備えたことを特徴とするグロープラグの製造方法。しかしながら、特許文献1に記載の製造方法では、複合成形体に塗布された懸濁液の液だれ等によって、複合成形体に塗布される離型剤の厚みがばらつく場合があった。成形型は所定の形状であるため、部分的に離型剤が厚くなると、複合成形体を成形型に装着し難い。このため、複合成形体を成形型に装着する際に工数がかかる場合があった。また、離型剤の厚みのばらつきを抑制するために、例えば、スポンジで余剰な懸濁液を複合成形体から除去した場合、焼成前の複合成形体にスポンジが触れることで、複合成形体の一部が欠けてしまう虞があった。本発明の目的は、離型剤の厚みのばらつきを抑制し、且つ、成形体の一部が欠けることを防止することが可能な、セラミック焼結体の製造方法及びグロープラグの製造方法を提供することである。本発明の第1の態様に係るセラミック焼結体の製造方法は、セラミックを含む原料粉末を所定の形状に成形した成形体を作製する成形体作製工程と、前記成形体を、離型剤を含んだ液体である離型剤含有液に浸けることによって、前記成形体に前記離型剤含有液を塗布する塗布工程と、前記塗布工程において前記成形体に塗布された前記離型剤含有液のうち、余剰な前記離型剤含有液である余剰液を、前記成形体を把持する把持装置によって把持された前記成形体に対して非接触の状態で前記余剰液を除去する装置である非接触装置を使用して、前記成形体から除去する余剰液除去工程と、前記余剰液除去工程によって前記余剰液が除去された前記成形体を、成形型に装着する装着工程と、前記装着工程において前記成形型に装着された前記成形体を焼成してセラミック焼結体を形成する焼結体形成工程と、前記焼結体形成工程において形成された前記セラミック焼結体を前記成形型から離脱させる離脱工程とを備えている。この場合、余剰液除去工程において余剰液が除去されるので、成形体に塗布される離型剤の厚みのばらつきを抑制することができる。このため、成形体を成形型に装着する際に装着し易くなり、装着のための工数の増加を防止することができる。また、余剰液の除去は、非接触装置を使用して行われるので、余剰液を除去するための装置が成形体に接触することがない。このため、余剰液を除去するための装置が接触して成形体の一部が欠けてしまうことを防止することができる。前記セラミック焼結体の製造方法において、前記余剰離液除去工程は、前記余剰液のうちの一部を、前記非接触装置を使用して前記成形体から除去する第一除去工程と、前記余剰液のうち、前記第一除去工程において除去されなかった残りの前記余剰液である残存余剰液を、前記非接触装置を使用して前記成形体から除去する第二除去工程とを含んでもよい。この場合、余剰液除去工程が、第一除去工程と第二除去工程とを含んでいる。このため、例えば、第一除去工程と第二除去工程とで余剰液を除去する部位を替えたり、第一除去工程で粗い除去を行い、第二除去工程で仕上げの除去を行ったりすることができる。これによって、確実に余剰液を除去することができ、離型剤の厚みのばらつきを抑制することができる。前記セラミック焼結体の製造方法において、前記成形体は柱状をなし、前記把持装置は当該成形体を重力方向に向けて把持するものであって、前記第一除去工程では、前記成形体の前記重力方向とは反対方向側の端部を含む第一部位から、前記余剰液が除去され、前記第二除去工程では、前記成形体の前記重力方向側の端部を含み、且つ前記第一部位より前記重力方向側の部位である第二部位に存在する前記残存余剰液が除去されてもよい。この場合、重力方向とは反対方向側の端部を含む第一部位に塗布された余剰液を除去した後に、残りの部位である第二部位に存在する残存余剰液が除去される。言い換えると、重力方向とは反対方向から重力方向に向かって2段階に分けて余剰液が除去される。余剰液は、成形体の表面を重力方向に垂れるので、第一除去工程で第一部位の余剰液を除去した場合、第一部位に存在していた余剰液は、第二部位に移動するか、成形体から除去されるかのいずれかである。そして、第二除去工程では、第一部位から第二部位に移動した余剰液も含めて、第二部位に存在する残存余剰液が除去される。これによって、確実に余剰液を除去することができ、離型剤の厚みのばらつきを抑制することができる。前記セラミック焼結体の製造方法において、前記余剰液除去工程は、前記第一除去工程と前記第二除去工程との間に、前記非接触装置の使用を中断する中断工程を備えてもよい。この場合、中断工程を挟むことによって、成形体上を垂れる残存余剰液の一部が、重力によって落下し、成形体から除去される。このため、第二除去工程で除去する残存余剰液の量が少なくなり、第二除去工程でより確実に残存余剰液を除去することができる。前記セラミック焼結体の製造方法において、前記余剰液除去工程で使用される前記非接触装置は、前記成形体の周囲に気体の流動を発生させ、発生させた前記気体の流動によって前記余剰液を除去する装置であってもよい。この場合、気体の流動によって余剰液を除去するので、確実に非接触装置と成形体とを非接触の状態にすることができる。このため、成形体の一部が欠けることが防止できる。前記セラミック焼結体の製造方法において、前記余剰液除去工程で使用される前記非接触装置は、前記成形体に前記気体を吹き付けることによって、前記成形体の周囲に前記気体の流動を発生させる装置であり、前記非接触装置の前記気体の吹き付け圧力は、前記吹き付け圧力を制御する圧力制御装置によって制御されてもよい。吹き付け圧力は、余剰液の除去力に影響する。圧力制御装置で吹き付け圧力を制御することによって、吹き付け圧力を常に一定に保つことができる。よって、余剰液の除去力を維持することができる。このため、確実に余剰液を除去することができる。前記セラミック焼結体の製造方法において、前記セラミック焼結体は、電流を流すことによって発熱する発熱抵抗体を一端に備えた柱状のセラミックヒータであってもよい。この場合、成形体を成形型に装着するための工数の増加を防止した上で、欠けのないセラミックヒータを製造することができる。前記セラミック焼結体の製造方法における前記余剰液除去工程では、前記把持装置を使用して、前記成形体において前記発熱抵抗体が形成される第一端部とは反対側の第二端部を把持してもよい。発熱抵抗体が形成される第一端部は、セラミックヒータの発熱性能を決定する部分である。また、把持装置で第一端部を把持すると、第一端部の離型剤の厚みが小さくなる場合がある。このため、セラミックヒータを成形型から離脱させる際に、発熱抵抗体が形成される第一端部が正常に離脱できず、セラミックヒータの発熱性能に影響を与える場合がある。本発明では、把持装置は成形体において発熱抵抗体が形成される第一端部とは反対側の第二端部を把持する。つまり、発熱抵抗体が形成される第一端部を把持しない。このため、セラミックヒータの発熱性能を確保することができる。また、セラミックヒータの発熱性能は発熱抵抗体のみならず、発熱抵抗体を含む部位の外観形状、すなわち熱容量にも左右されるところ、本製造方法によれば、把持による、或いは把持に伴う離型剤の塗布ばらつきによるセラミックヒータの外観形状の変形が発生する可能性を排除することができる。よって、セラミックヒータの熱容量を確保でき、セラミックヒータの発熱性能を確保することができる。前記セラミック焼結体の製造方法における前記セラミック焼結体は、前記発熱抵抗体に接続され、前記セラミック焼結体の内部において前記第一端部から前記第二端部に向かう方向である第一方向に延びる一対の第一導電部と、前記一対の第一導電部の各々の前記第一導電部から前記セラミック焼結体の表面に向かう方向に延びる第二導電部とを備え、前記把持装置は、前記成形体を把持する場合に、前記第二導電部が形成される部分より第一方向側を把持してもよい。この場合、把持装置は、第二導電部が形成される部分と第一端部とを把持しない。発熱抵抗体が形成される第一端部を把持しないので、セラミックヒータの発熱性能を確保することができる。また、第二導電部が形成される部分を把持しないので、把持による、或いは把持に伴う離型剤の塗布ばらつきによる第二導電部の変形が発生する可能性を排除することができる。よって、第二導電部及び第一導電部を介して発熱抵抗体に電流を供給する場合の導通性能を確保することができる。前記セラミック焼結体の製造方法において、前記把持装置は、前記成形体に対して点接触又は線接触する複数の接触部を有し、複数の前記接触部を前記成形体に接触させて前記成形体を把持してもよい。この場合、接触部は成形体に対して点接触又は線接触するので、面接触する場合に比べて、把持装置と成形体との接触面積が小さい。つまり、離型剤の厚みが小さくなりがちな、把持装置と成形体との接触面積を小さくすることができる。よって、離型剤の厚みが小さくなってセラミックヒータが成形型から正常に離脱できなくなる可能性を抑えることができる。よって、セラミックヒータの歩留まり率が向上する。本発明の第2の態様に係るグロープラグの製造方法は、前記セラミック焼結体の製造方法によって製造された前記セラミックヒータを使用して、グロープラグを製造するプラグ製造工程を備えている。この場合、余剰液除去工程において余剰液が除去されるので、成形体に塗布される離型剤の厚みのばらつきを抑制することができる。このため、成形体を成形型に装着する際に装着し易くなり、装着のための工数の増加を防止することができる。また、余剰液の除去は、非接触装置を使用して行われるので、余剰液を除去するための装置が成形体に接触することがない。このため、余剰液を除去するための装置が接触して成形体の一部が欠けてしまうことを防止することができる。よって、グロープラグに使用されるセラミックヒータの一部が欠けることがなく、グロープラグの歩留まり率が向上する。以下、本発明を具体化した一実施の形態について、図面を参照して説明する。図1を参照して、一例としてのグロープラグ1の全体の構造について説明する。なお、参照する図面は、本発明が採用し得る技術的特徴を説明するために用いるものであり、記載しているグロープラグ1やセラミックヒータ2の構成等は、それのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例である。以下の説明では、軸線O方向において、セラミックヒータ2の配置された側図1における下側をグロープラグ1の先端側とする。図1に示すグロープラグ1は、例えば直噴式ディーゼルエンジンの燃焼室図示外に取り付けられ、エンジン始動時の点火を補助する熱源として利用される。グロープラグ1は、主体金具4と、保持部材8と、セラミックヒータ2と、中軸3と、接続端子5と、絶縁部材6と、Oリング7とを備える。まず、セラミックヒータ2について説明する。セラミックヒータ2は丸棒状をなし、先端部22が半球状に曲面加工された絶縁性セラミックからなる基体21を有する。基体21の内部には、導電性セラミックからなる断面略U字状の発熱素子24が埋設されている。発熱素子24は、発熱抵抗体27と、リード部28,29とからなる。発熱抵抗体27はセラミックヒータ2の先端部22に配置され、先端部22の曲面にあわせて両端が略U字状に折り返されている。一対のリード部28,29は発熱抵抗体27の両端にそれぞれ接続され、セラミックヒータ2の内部においてセラミックヒータ2の先端部22から後端部23へ向けて互いに略平行に延設されている。発熱抵抗体27の断面積は、リード部28,29の断面積よりも小さくなるように成形されており、通電時、主に発熱抵抗体27において発熱が行われる。また、セラミックヒータ2の中央より後端側において、リード部28,29のそれぞれから電極取出部25,26がセラミックヒータ2の表面に向かう方向径方向に突出されている。電極取出部25,26は、軸線O方向において互いにずれた位置にて、セラミックヒータ2の外周面に露出されている。次に、保持部材8について説明する。保持部材8は軸線O方向に延びる円筒状の金属部材からなり、自身の筒孔84内にてセラミックヒータ2の胴部分を径方向に保持する。セラミックヒータ2の先端部22及び後端部23は、保持部材8の両端からそれぞれ露出している。保持部材8の胴部81の後端側には、肉厚の鍔部82が形成されている。鍔部82の後端には、後述する主体金具4の先端部41に係合する段状の金具係合部83が形成されている。セラミックヒータ2の電極取出部25,26のうち先端側に形成された電極取出部25は、保持部材8の筒孔84内周面に接触されており、電極取出部25と保持部材8とが電気的に接続されている。また、保持部材8の金具係合部83から後端側に露出されたセラミックヒータ2の後端部23には、金属製で筒状の接続リング75が圧入によって嵌められている。セラミックヒータ2の電極取出部26は接続リング75の内周面に接触されており、電極取出部26と接続リング75とが電気的に接続されている。後述する主体金具4の先端部41が保持部材8の金具係合部83に接合されることによって、電極取出部25は、主体金具4と電気的に接続される。電極取出部26に接続された接続リング75は主体金具4内に配置されるが、保持部材8によってセラミックヒータ2と主体金具4とが位置決められ、接続リング75と主体金具4とは直接的には絶縁状態に維持される。次に、主体金具4について説明する。主体金具4は、軸線O方向に貫通する軸孔43を有する長細い筒状の金属部材である。主体金具4の先端部41は、その内周が前述した保持部材8の金具係合部83の外周に係合され、保持部材8を介してセラミックヒータ2の電極取出部25と電気的に接続されている。先端部41と金具係合部83との合わせ部位にはレーザ溶接が施されており、主体金具4と保持部材8とが一体に接合されている。主体金具4の先端部41と後端部45との間の中胴部44は軸線O方向に長く形成されており、後端側外周面に、グロープラグ1を内燃機関のエンジンヘッド図示外に取り付けるためのねじ山が形成された取付部42が設けられている。取付部42よりも後端側には、グロープラグ1をエンジンヘッドに取り付ける際に使用される工具が係合する工具係合部46がその断面形状を六角形状にして形成されている。次に、中軸3について説明する。図1に示すように、中軸3は軸線O方向に延びる棒状の金属部材であり、主体金具4の軸孔43内に挿通される。先端部31には、その先端に、接続リング75の内周に係合するため小径のリング係合部34が形成されている。リング係合部34が接続リング75に係合することで、セラミックヒータ2と中軸3とが接続リング75を介して軸線Oに沿って一体に連結される。なお、図示しないが、先端部31と接続リング75との合わせ部位にはレーザ溶接が施されており、先端部31と接続リング75とが一体に接合されている。これにより、中軸3は、接続リング75を介し、セラミックヒータ2の電極取出部26と電気的に接続されている。中軸3の後端部32は、主体金具4の後端部45から後端側に突出している。中軸3の後端部32にはOリング7と絶縁部材6とが配置される。Oリング7は、主体金具4の軸孔43内の気密性を保つため設けられ、軸孔43と中軸3の後端部32との間に配置される。Oリング7は、耐熱性、絶縁性および弾性を有する部材、例えばフッ素ゴム、アクリルゴム、シリコンゴム等を材料に、円環状に形成される。絶縁部材6は、主体金具4と中軸3および接続端子5後述との接触による短絡を防止するため、例えばナイロン登録商標等、耐熱性および絶縁性を有する部材から形成され、軸線O方向に延びる円筒状に形成される。中軸3の後端部32は、Oリング7と絶縁部材6との孔を介して絶縁部材6の後端から突出している。突出した後端部32には、接続端子5が固定される。接続端子5は、後端部32に覆い被せるキャップ状の胴部52を有し、胴部52から後端側にピン状の突起部53が突設されている。胴部52の先端の開口端には、一周にわたって径方向に突設する鍔部51が形成されている。主体金具4と接続端子5とは、絶縁部材6によって絶縁状態に維持されている。また、胴部52が外周から内側方向に加締められることで、接続端子5と中軸3とが電気的に接続される。接続端子5の突起部53には、グロープラグ1がエンジンヘッド図示外に取り付けられる際に、プラグキャップ図示外が嵌められる。セラミックヒータ2の発熱素子24図1参照は、保持部材8および主体金具4を介してエンジンに接地される発熱抵抗体27の一端側と、接続端子5および中軸3を介してプラグキャップに接続される他端側との間に通電されることによって、発熱する。図2を参照して、セラミックヒータ2の製造方法及びグロープラグ1の製造方法について説明する。図2は、グロープラグ1の各製造工程を示すフローチャートである。また、図2に示すグロープラグの製造工程のうち、S1~S14の工程が、セラミックヒータ2の製造工程である。以下、フローチャートの各ステップをSと表記する。図2に示すように、まず、個体作製工程が行われるS1。個体作成工程では、素子成形体110と基体120とが作製される。詳細には、図示外の射出成形機によって、バインダ等の添加剤が添加された導電性セラミックの原料粉末を材料として射出成形することで、図3に示す素子成形体110が作製される。素子成形体110は、略U字形状の未焼成の発熱抵抗体111の両極に接続された未焼成のリード部115,116が略平行に配置され、その末端にて、リード部115,116を接続するサポート部119が形成された形状を有する。リード部115,116には、それぞれ未焼成の電極取出部117,118が形成される。焼成前のセラミックは機械的強度が弱いが、発熱抵抗体111、リード部115,116およびサポート部119で素子成形体110を環状に形成することで、素子成形体110の強度を確保している。また、バインダ等の添加剤が添加された絶縁性セラミックの原料粉末を材料としてプレス成形が行われ、図3に示す未焼成の基体120が作製される。基体120は、半割状の成形体として一対の平板に成形され、対向する合わせ面に、素子成形体110を収容するための凹部121が形成される。なお、基体120の合わせ面とは反対側の外側面では、長手方向の角部が面取りされている。素子成形体110および基体120が形成されると、図2に示すように、複合成形体作製工程が行われるS2。複合成形体作製工程では、図3に示すように、素子成形体110が基体120の凹部121に収納され、一対の基体120で挟まれる。そして、図示外のプレス機にてプレス加工が施され、基体120に素子成形体110が埋設された状態で一体となった複合成形体130図4参照が作製される。作製された複合成形体130は、柱状であり、その断面形状は基体120の合わせ線の方向図4の左右方向に長い略八角形となる図10参照。なお、断面形状が基体120の合わせ面の方向に長い楕円形になるように、複合成形体130を作製してもよい。なお、複合成形体作製工程が本発明の成形体作製工程に相当する。次に、図2に示すように、脱脂工程が行われるS3。脱脂工程では、セラミック中に含有されるバインダを取り除く処理が行われる。この処理では、例えば、複合成形体130に対し、窒素雰囲気下で800°C、1時間の脱バインダ処理が施される。次いで、把持工程が行われるS4。把持工程では、図4に示すように、把持装置90が、複合成形体130を把持する。以下の説明では、図4の紙面右側、左側、上側、下側、手前側、奥行き側を、それぞれ複合成形体130の右側、左側、上側、下側、前側、後側と定義して説明する。紙面の下方向が、重力方向である。つまり、把持装置90は、複合成形体130の軸線方向を重力方向に沿わせた状態で、複合成形体130を把持している。言い換えると、把持装置90は、柱状の複合成形体130を重力方向に向けて把持する。把持装置90は、未焼成の発熱抵抗体111が形成されている端部以下、第一端部131という。とは反対側の端部以下、第二端部132という。を把持する。このとき、把持装置90は、未焼成の電極取出部117,118より、第一端部131から第二端部132に向かう方向側紙面上側を把持する。また、把持装置90は、第一端部131が下側になるように、複合成形体130を把持する。把持装置90は、下方向に向け互いに平行に延びる2つのアーム91,92を備えている。アーム91,92には、3つの接触部93~95が備えられている。詳細には、アーム91には、1つの接触部93が、アーム91からアーム92に向けて突出するように備えられている。また、アーム92には、上下方向に互いに離間した2つの接触部94,95が、アーム92からアーム91に向けて突出するように備えられている。アーム91の接触部93の上下方向の位置は、アーム92の2つの接触部94,95の上下方向の位置の中間である。把持装置90が、複合成形体130を保持する場合、接触部93が複合成形体130の左面に接触し、接触部94,95が複合成形体130の右面に接触する。接触部93~95は、上下方向を厚み方向とする板状部材であり、その端部が、突出方向の側方図4の紙面手前側または奥側から見た場合に円弧状に形成してある。このため、接触部93~95は、複合成形体130に対して、前後方向の線で接触する。次に、図2に示すように、塗布工程が行わるS5。図4に示すように、塗布工程では、予め作成された懸濁液200に、複合成形体130が浸けられることによって、複合成形体130に懸濁液200が塗布される所謂、どぶ漬け/ディッピング。懸濁液200は、例えば、図5に示すように、離型剤71の粉末例えば、窒化硼素BNの微粉末と微量のバインダとが、分散剤と共に溶媒20例えば、エタノールに配合されることによって作成される。塗布工程において、複合成形体130に懸濁液200が塗布された場合、懸濁液層203図9参照、後述を形成するために必要な量以上に懸濁液200が塗布される。このため、複合成形体130に塗布された離型剤71の塗布厚がばらつく。複合成形体130に塗布された離型剤71の塗布厚の均一化を図るため、後述する第一除去工程S6、中断工程S7、及び第二除去工程S8が行われる。なお、第一除去工程と第二除去工程では、使用されるノズル190後述を異ならせることができる。これにより、第一除去工程が行われた後、複合成形体130を第二除去工程が行われる場所に移動させ、移動した複合成形体130に対して第二除去工程が行われている間に、他の複合成形体130に対して第一除去工程を行うことができる。このように、複数の複合成形体130に対して順次、第一除去工程、中断工程、及び第二除去工程が行われる。第一除去工程S6では、余剰な懸濁液200である余剰液201の一部が複合成形体130から除去される。第一除去工程で除去されなかった残りの余剰液201を残存余剰液202図8参照と呼ぶこととする。なお、本実施形態では、第一除去工程と後述する第二除去工程とでは、余剰液201を除去する複合成形体130の部位を異ならせることができる。詳細には、第一除去工程では、把持装置90に把持された複合成形体130における重力方向とは反対側つまり、上側の第二端部132を含む複合成形体130の部位である第一部位134から、余剰液201を除去する。第二除去工程では、複合成形体130における重力方向側の第一端部131を含み、且つ第一部位134より重力方向側の部位である第二部位135に存在する残存余剰液202図8参照が除去される。説明のため、図6~図9では、把持装置90の図示は省略している。また、図6~図9の複合成形体130は、図4のI-I線矢視方向断面図で表わしている。また、図6~図9には、便宜上、第一部位134と第二部位との境界線133を示している。本実施形態では、境界線133の位置は、複合成形体130の上下方向の中央よりもやや上側であるとする。なお、境界線133の位置は限定されず、例えば、複合成形体130の中央にあってもよい。余剰液201の除去には、複合成形体130に対して非接触の状態で余剰液201を除去する装置である非接触装置が用いられる。本実施形態では、一例として、非接触装置は複合成形体130に気体を吹き付けるノズル190であるとする。また、吹き付ける気体は、空気であるとする。図6に示すように、ノズル190は、上部で円弧を描くように屈曲しており、その先端部である気体の吹き出し口191は、後斜め下方向図6の紙面左斜め下方向に向けられている。また、ノズル190は、圧力制御装置192に接続されている。圧力制御装置192は、気体をノズル190に供給するポンプである。圧力制御装置192は、ノズル190から吹き出される気体の圧力が一定になるように制御する。ノズル190からの気体の吹き出し圧力は、例えば0.05~0.3MPaである。図6に示すように、第一除去工程では、ノズル190の吹き出し口191の後斜め下方に複合成形体130が位置するようにノズル190が移動される。つまり、吹き出し口191の上下方向の位置は、複合成形体130の第一部位134より上方である。また、複合成形体130と吹き出し口191との前後方向の距離図6の左右方向の距離は、15~30mmである。次いで、ノズル190からの気体の吹き出しが開始される。ノズル190は、複合成形体130に気体を吹き付けながら下方に移動し、吹き出し口191が境界線133よりやや下方に移動した所で停止する。このときのノズル190の移動範囲は、図6の矢印231が示す範囲である。ノズル190が第一部位134の上方から下方まで移動するのは、第一部位134全体に対して気体を吹き付けて、第一部位134の上部と下部とに余剰液201が残ることを防止し、確実に第一部位134から余剰液201を除去するためである。ノズル190から気体が吹き出されることによって、複合成形体130の周囲に気体の流動が発生する。第一部位134に存在する余剰液201は、発生した気体の流動によって吹き飛ばされて第一部位134から除去されるか、気体の流動に押されて下方の第二部位135に移動する。なお、ノズル190は、複合成形体130の前方から気体を吹き付けているが、発生した気体の流動は、複合成形体130の背面側にも回りこみ、背面側の余剰液201も、吹き飛ばされるか、第二部位135に移動する。これによって、第一部位134から余剰液201が除去される。この結果、図7に示すように、第一部位134の表面には、厚さが均一な懸濁液200の層である懸濁液層203が形成される。懸濁液層203の厚みは、例えば0.025mmである。また、第二部位135に残った余剰液201が残存余剰液202である。次いで、中断工程が行われるS7。中断工程では、ノズル190による吹き付けが中断される。この中断工程が行われる時間は、例えば3秒間である。図7に示すように、中断工程の間に、第二部位135に存在する残存余剰液202は、重力によって下方に落下する。このため、第二部位135に存在する残存余剰液202の量が減少する。残存余剰液202の量が減るので、後述する第二除去工程S8において、より確実に残存余剰液202を除去することができる。また、中断工程が行われている間に、複合成形体130は、第一除去工程が行われる場所から、第二除去工程が行われる場所に移動する。つまり、中断工程を行う時間を利用して、複合成形体130が、第一除去工程が行われる場所から第二除去工程が行われる場所に移動するので、中断工程と移動とを別途行う必要がない。このため、生産時間を短縮できる。なお、第一除去工程と第二除去工程とを同じ場所で行う場合は、移動しなくてもよい。次いで、第二除去工程が行われるS8。第二除去工程では、第二部位135から残存余剰液202が除去される。本実施形態の場合、第二除去工程で使用されるノズル190及び圧力制御装置192図8参照は、第一除去工程で使用されるノズル190及び圧力制御装置192図6参照と異ならせることができるが、本実施形態の説明では同じ符号で示す。また、吹き付け圧力は、第一除去工程及び第二除去工程で同一であるとする。なお、第一除去工程と第二除去工程とが同じ場所で行われる場合は、第一除去工程と第二除去工程とで、同一のノズル190と圧力制御装置192とを使用してもよい。図8に示すように、第二除去工程では、ノズル190の吹き出し口191が複合成形体130の前方に位置するようにノズル190が移動される。このとき、吹き出し口191の上下方向の位置は、境界線133より上方である。そして、第一除去工程の場合と同様に、圧力制御装置192によって圧力が制御されつつ、ノズル190から気体が吹き出される。ノズル190は、複合成形体130に気体を吹き付けながら下方に移動する。第一除去工程と同様に、複合成形体130の周囲の気体の流動が発生し、第二部位135に存在する残存余剰液202は、気体の流動によって吹き飛ばされるか、気体の流動に押されて下方に落下する。これによって、第二部位135に存在する残存余剰液202が除去される。ノズル190は、第二部位135よりやや下方に移動した所で停止する。ノズル190の移動範囲は、図8の矢印232が示す範囲である。ノズル190が第二部位135の上方から下方まで移動するのは、第二部位135全体に対して気体を吹き付けて、第二部位135の上部と下部とに残存余剰液202が残ることを防止し、確実に第二部位135から残存余剰液202を除去するためである。以上のように、第二除去工程が実施されると、図9に示すように、複合成形体130の第一部位134及び第二部位135には、厚さが均一な懸濁液層203が形成される。言い換えると、複合成形体130に塗布された離型剤71の厚みが均一となる。次いで、把持装置90から複合成形体130が取り外された後、図2に示すように、装着工程が実施されるS9。装着工程では、余剰液201が除去された複数の複合成形体130が、図10に示す焼成用の治具である成形型210に装着される。成形型210には、図10の紙面の左右方向に複合成形体130を、例えば40本並べることができる。以下、この40本の並びを1列という。成形型210は、成形型210の上側を形成する第一成形型211と、成形型210の下側を形成する第二成形型212との上下一対で構成されている。第一成形型211と第二成形型212とには、焼成工程S10、後述を行いながら複合成形体130のII-II線図9参照断面形状が略正八角形になるように強制するための凹部213が設けられている。装着工程では、複合成形体130のII-II線断面における長手方向すなわち、基体120の合わせ面の方向が、第一成形型211と第二成形型212とが対向する方向図10の紙面上下方向と同一になるように、複合成形体130が凹部213に装着される。複合成形体130が凹部213に装着された場合、複数の複合成形体130は、それぞれの複合成形体130の懸濁液層203が互いに接するように左右方向に配置される。このため、複合成形体130相互間に、余分な空間が存在せず、より多くの複合成形体130を成形型210に装着することができる。よって、一回の焼成工程S10、後述で形成される焼結体140後述の取り数を多くすることができる。なお、複合成形体130が装着された状態では、第一成形型211と第二成形型212とは互いに離間しており、直接接触していない。次いで、図2に示すように、焼成工程が行われるS10。焼成工程では、公知のホットプレス法によるセラミックの焼成が行われ、成形型210に装着された複合成形体130が焼成されて焼結体140が形成される。より詳細には、焼成工程では、図10に示すように、装着工程で複合成形体130が装着された成形型210が、焼成炉220に設置され、加熱される。このとき、第一成形型211と第二成形型212とが、それぞれ複合成形体130に向かう方向に加圧される。このため、第一成形型211と第二成形型212とが徐々に近づき、焼成工程終了時には、図11に示すように、第一成形型211と第二成形型212とが、互いに接触する。このため、形成される焼結体140は、焼成開始時の複合成形体130の形状図10参照から圧縮変形され、成形型210の凹部213の形状になじんだ形となる図11参照。また、複合成形体130の表面に形成されていた懸濁液層203が加熱されることで、エタノールや微量のバインダ等が除去され、離型剤層72が形成される。なお、ここで形成される焼結体140を、後述するS12~S14で所定の形状に加工することによって、セラミックヒータ2が製造される。このため、焼結体140は、広義の意味でセラミックヒータ2である。また、焼成工程が本発明の焼結体形成工程に相当する。次いで、図2に示すように、離脱工程が行われるS11。離脱工程では、図12に示すように、焼結体140が、成形型210から離脱される。このとき離型剤層72が形成されているため、焼結体140が、成形型210や、隣り合う焼結体140に固着することがない。よって、焼結体140を成形型210から容易に離脱させることができる。次いで、図2に示すように、端面切断工程が行われるS12。端面切断工程では、焼結体140のサポート部119側の端部が軸線断面で切断され、焼成されてなる基体21に保持されたサポート部119が除去される。次いで、センタレス研磨工程が行われるS13。センタレス研磨工程では、公知のセンタレス研磨機を用い、焼結体140の外周を研磨する。これによって、焼結体140の八角形の外周が、円形になる。また、電極取出部25,26が外周面から露出される。さらに、R研磨工程が行われるS14。R研磨工程では、焼結体140の先端部22が研磨され曲面状に加工されることにより、図1に示すセラミックヒータ2の完成体が得られる。次いで、プラグ製造工程が行われるS15。プラグ製造工程では、以下のようにして、図1に示すグロープラグ1が製造される。ステンレス等の鋼材をパイプ状に成形した接続リング75に、セラミックヒータ2が圧入により嵌められて、接続リング75と電極取出部26とが導通される。同様に、所定の形状に成形された保持部材8に、セラミックヒータ2が圧入により嵌められて、保持部材8と電極取出部25とが導通される。中軸3のリング係合部34を、セラミックヒータ2に嵌められた接続リング75に係合させた状態で、合わせ部位がレーザ溶接されて、中軸3とセラミックヒータ2とが一体に接合される。S55C等の鉄系素材から筒状の主体金具4が形成され、取付部42にネジ山が転造される。主体金具4の軸孔43内に、セラミックヒータ2等と一体となった中軸3が挿通される。主体金具4と保持部材8との合わせ部位がレーザ溶接され、両者が一体に接合される。主体金具4の後端部45から突出する中軸3の後端部32にOリング7が嵌められ、主体金具4の軸孔43と中軸3の後端部32との間に配置される。中軸3の後端部32が絶縁部材6に挿通される。接続端子5の胴部52が中軸3の後端部32に被せられる。胴部52が加締られることで、接続端子5が中軸3の後端部32に固定されて、グロープラグ1が完成する。以上説明したように、セラミックヒータ2が製造され、製造されたセラミックヒータ2が使用されてグロープラグ1が製造される。本実施形態では、第一除去工程S6、中断工程S7、及び第二除去工程S8において、余剰液201が複合成形体130から除去される。このため、複合成形体130に塗布される離型剤71の厚みのばらつきを抑制することができる。また、離型剤71の厚みのばらつきを抑制することができるので、装着工程S9において、所定の形状に形成された成形型210の凹部213に複合成形体130を装着し易くなり、装着のための工数を減らすことができる。また、第一除去工程S6及び第二除去工程S8では、ノズル190が使用されることによって気体の流動が発生し、非接触の状態で余剰液201が除去される。つまり、余剰液201を除去するための装置が複合成形体130に接触することがない。よって、余剰液201を除去するための装置が複合成形体130に接触して複合成形体130の一部が欠けてしまうことを防止することができる。このように、本実施形態では、工数を減らしつつ、複合成形体130の一部が欠けることを防止することで、欠けのないセラミックヒータ2を効率よく製造することができるので、グロープラグの歩留まり率が向上する。また、第一除去工程S6で第一部位134に塗布された余剰液201が除去された後、第二除去工程S8で第二部位135に存在する残りの余剰液201つまり、残存余剰液202が除去される。これによって、確実に余剰液201を除去することができ、離型剤71の厚みのばらつきを抑制することができる。また、吹き出し口191は、気体を後斜め下方向に吹き出す。このため、ノズル190から吹き出される気体には、余剰液201が垂れる方向である重力方向下方向と同じ成分が含まれている。よって、気体の流動の力だけでなく、重力も利用しながら余剰液201を除去することができる。よって、効率的に余剰液201を除去することができる。また、本実施形態では、ノズル190は、複合成形体130の上側から重力方向下方向移動しながら、余剰液201を除去する。このため、一度余剰液201を除去した部分に、重力の影響で余剰液201が移動してくることはない。よって、一度余剰液201を除去した部分について、再度余剰液201を除去する必要がなく、効率的に、余剰液201を除去することができる。また、仮に、ノズル190によって吹き出される気体が、いわゆる流量制御であり、気体を送りだすポンプが他の設備と共用されているとする。この場合、第一除去工程と第二除去工程以外の工場内の他の設備で、気体の吹き出しが行われると、第一除去工程と第二除去工程での気体の吹き出し圧力が弱まる場合がある。このため、余剰液201の除去力が弱まる場合がある。本実施形態では、圧力制御装置192が吹き付け圧力を制御するので、吹き付け圧力を一定に保つことができる。よって、余剰液201の除去力を維持することができ、確実に余剰液201を除去することができる。また、把持装置90は、第二端部132を把持する図4参照。言い換えると、セラミックヒータ2の発熱性能を決定する部分である発熱抵抗体27が形成される第一端部131を把持しない。このため、第一端部131の離型剤71の塗布厚を確保でき、焼結体140を成形型210から離脱させる場合に、第一端部131周辺を正常に離脱できる。よって、セラミックヒータ2の発熱性能を確保することができる。また、セラミックヒータ2の発熱性能は、発熱抵抗体27のみならず、発熱抵抗体27を含む部位の外観形状、すなわち熱容量にも左右されるところ、本実施形態によれば、把持による、或いは把持に伴う離型剤71の塗布ばらつきによるセラミックヒータ2の外観形状の変形が発生する可能性を排除することができる。よって、セラミックヒータ2の熱容量を確保でき、セラミックヒータ2の発熱性能を確保することができる。また、把持装置90は、未焼成の電極取出部117,118より、第一端部131から第二端部132に向かう方向側を把持する図4参照。この場合、把持装置は、第一端部131と未焼成の電極取出部117,118が形成される部分つまり、焼成後の焼成後の電極取出部25,26が形成される部分とを把持しない。このため、把持による、或いは把持に伴う離型剤71の塗布ばらつきによって、電極取出部25,26の変形が発生する可能性を排除することができる。よって、電極取出部25,26とリード部28,29とを介して発熱抵抗体27に電流を供給する場合の導電性能を確保することができる。また、把持装置90が、複合成形体130を把持する場合、接触部93~95は、複合成形体130に対して線接触する。このため、面接触する場合に比べて、把持装置90と複合成形体130との接触面積が小さい。つまり、複合成形体130に塗布される離型剤71の厚みが小さくなりがちな、把持装置90と複合成形体130との接触面積を小さくすることができる。よって、離型剤71の厚みが小さくなって焼結体140が成形型210から正常に離脱できなくなる可能性を抑えることができる。よって、セラミックヒータ2の歩留まり率が向上する。上記実施形態において、懸濁液200が本発明の離型剤含有液に相当し、ノズル190が本発明の非接触装置に相当する。第一除去工程S6、中断工程S7、及び第二除去工程S8が本発明の余剰液除去工程に相当し、セラミックヒータ2と焼結体140とが本発明のセラミック焼結体及びセラミックヒータに相当する。リード部28,29と未焼成のリード部115,116とが本発明の第一導電部に相当し、電極取出部25,26と未焼成の電極取出部117,118とが本発明の第二導電部に相当する。なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。例えば、第一除去工程と第二除去工程におけるノズル190からの気体の吹き付け圧力は同一であったが、これに限定されない。例えば、ノズル190からの気体の吹き付け圧力は、第一除去工程と第二除去工程とで異なっていてもよい。また、ノズル190から吹き付けられる気体は、空気であったが、これに限定されない。例えば、不活性ガスなど、他の気体であってもよい。また、第一除去工程S6及び第二除去工程S8では、ノズル190が、下方向に移動しながら余剰液201を除去していたが、これに限定されない。例えば、ノズル190が移動しなくてもよい。この場合、吹き出し圧力を保った上で、吹き出し口191の大きさを大きくする。これによって、気体の流動を発生させる空間が大きくなり、ノズル190を移動させなくても、第一除去工程で第一部位134の余剰液201を除去し、第二除去工程で第二部位135の残存余剰液202を除去することができる。また、第一除去工程S6及び第二除去工程S8において、ノズル190を移動させるのではなく、ノズル190を固定して、複合成形体130を移動させてもよい。また、ノズル190の吹き出し口191が、二股、三股など、複数に分かれていてもよい。また、第一除去工程及び第二除去工程において、それぞれ複数のノズル190を使用して、余剰液201の除去を行ってもよい。また、ノズル190の吹き出し口191は、後斜め下方向を向いていたが、これに限定されず、例えば、吹き出し口191が後方向を向いていてもよい。また、第一除去工程S6と第二除去工程S8とで、余剰液201を除去する複合成形体130の部位が異なっていたが、これに限定されない。例えば、第一除去工程S6で、第一部位134と第二部位135との余剰液201つまり、複合成形体130全体の余剰液201の荒い除去を行い、第二除去工程S8で、複合成形体130全体に残った余剰液201つまり、残存余剰液202の除去を行ってもよい。また、第一除去工程S6と第二除去工程S8との2段階に分けて、余剰液201が除去されていたが、これに限定されない。例えば、一回の除去工程で、全ての余剰液201を除去してもよい。また、複合成形体130は、第一端部131が下になるように把持装置90に把持されていたが図4参照、これに限定されない。例えば、第一端部131が上になるように把持装置90に把持されてもよい。この場合、第一端部131を含む部位を第一部位134として、第一除去工程S6で第一部位134から余剰液201を除去し、第二端部132を含む部位を第二部位135として、第二除去工程S8で第二部位135から残存余剰液202を除去してもよい。また、把持装置90は、3つの接触部93~95を複合成形体130に接触させて、複合成形体130を把持していたが図4参照、これに限定されない。例えば、把持装置90に4つ以上の接触部を設けてもよいし、2つの接触部を設けてもよい。なお、2つの接触部で複合成形体130を把持した場合は、複合成形体130の位置の固定が不安定になる場合がある。また、4つ以上の接触部で複合成形体130を把持した場合は、3つの接触部93~95で把持する場合に比べて、複合成形体130と接触する部分が増え、離型剤71の塗布厚が小さくなる部分が増える。このため、本実施形態のように、3つの接触部93~95を使用して、複合成形体130を確実に保持し、且つ複合成形体130と接触する部分を少なくすることが望ましい。また、接触部93~95は、複合成形体130に対して線接触していたが、これに限定されない。例えば、接触部93~95が、棒状の突起からなり、その先端が丸められることによって、複合成形体130に点接触してもよい。この場合でも、複合成形体130に対する接触面積が小さくなるので、離型剤の厚みが小さくなってセラミックヒータ2が成形型210から正常に離脱できなくなる可能性を抑えることができる。よって、セラミックヒータ2の歩留まり率が向上する。また、把持装置90が、第二端部132を把持していたが、これに限定されない。例えば、把持装置90は、第一端部131と第二端部132との間の中央を把持してもよい。また、把持装置90は、端面切断工程S12において切断される部分を把持してもよい。この場合、成形型210から正常に離脱できなくなる可能性のある部分が、セラミックヒータ2の完成体には残存しないので望ましい。また、本発明のセラミック焼結体が、セラミックヒータ2焼結体140であり、本発明の成形体が複合成形体130であったが、これに限定されない。例えば、セラミック焼結体が、セラミック製の他の物品であってもよし、成形体が、他の物品を製造するためのセラミックの成形体であってもよい。この場合でも、非接触で第一除去工程S6、第二除去工程S8を行って余剰液201を除去することで、成形型に装着するための工数の増加を防止しつつ、欠けのない物品を製造することができる。また、第一除去工程S6及び第二除去工程S8では、ノズル190から気体を吹き付けることによって、非接触の状態で余剰液201を除去していたがこれに限定されない。例えば、他の方法で、非接触の状態で余剰液201を除去してもよい。例えば、他の方法には、静電気を発生させて余剰液201を吸い付けて除去させる方法や、空気の流動を利用して余剰液201を吸い取ることで余剰液201を除去する方法などがある。余剰液201を吸い取ることで余剰液201を除去した場合、吸い取った余剰液201を容易に一箇所に集めることができる。このため、集めた余剰液201を、容易に塗布工程S5で再利用することができる。なお、吹き付けることによって余剰液201を除去した場合でも、複合成形体130の下方に余剰液201を受ける容器を設けることで余剰液201を集めて、塗布工程S5で再利用することができる。余剰液201を再利用できるので、再利用しない場合に比べて、消費される余剰液201の量を削減することができる。この結果、グロープラグ1の生産コストを低減することができる。また、静電気や吸い取り等の方法を使用する場合でも、複合成形体130の重力方向に余剰液201を除去していくことすなわち、除去力に重力方向の成分を持たせることで、効率的に余剰液201を除去することができる。なお、余剰液201の除去方法として望ましい方法は、上記実施形態の場合のように、除去力に重力方向の成分を持たせつつ、気体の吹き付けを行う方法である。また、中断工程S7を行っていたがこれに限定されない。例えば、中断工程S7を行わなくてもよい。だだし、中断工程によって除去される残存余剰液202の量は、懸濁液200の溶媒20が低揮発性の溶媒である場合の方が、溶媒20が高揮発性の溶媒である場合より多くなる。溶媒20が揮発し難いので、複合成形体130の表面に残る溶媒20が多くなり、重力方向に垂れやすくなるからである。このため、溶媒20が低揮発性の溶媒である場合に中断工程を行えば、残存余剰液202の除去量が多くなるので効果的である。"