"液体が通過する液体流路を内部に形成してなるセラミックスから構成された流路部品であって、前記液体流路の一つの端部であり前記液体流路内の液体を前記流路部品の外部に流出させる流出開口、が形成されている前記流路部品の外壁面に同流路部品とは別の部材であって前記流出開口と連通する貫通孔を備えた部材が接合されるように構成された流路部品において、前記液体流路を構成する流路壁面がパラキシリレン系のポリマーの保護膜により覆われ、且つ、前記保護膜はその膜厚が前記流出開口に近づくほど小さくなるように形成された流路部品。請求項1に記載の流路部品において、前記保護膜は、前記流出開口から前記流路壁面に沿って所定の距離だけ上流に遡った位置に端部を有するように形成された流路部品。請求項2に記載の流路部品において、前記流出開口は、前記外壁面における前記流出開口の開口面積が前記外壁面における前記貫通孔の開口面積よりも大きくなるように、形成され、前記貫通孔を備えた部材は前記外壁面に接着剤により接合される流路部品。以下、本発明の実施形態に係る流路部品を含む流路形成装置について説明する。図1は、この流路形成装置10の平面図である。図2は、図1の1-1線に沿った平面にて流路形成装置10を切断した断面図である。流路形成装置10は、流路部品20と、ノズル板30と、を備えている。流路形成装置10は、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸のそれぞれに平行な辺を有する直方体形状を備える。従って、図1に示したように、流路形成装置10の平面視Z軸正方向からZ軸に沿って流路形成装置10を見た場合における形状は長方形である。この長方形の長辺及び短辺は、X軸及びY軸にそれぞれ平行である。流路形成装置10の高さ方向はZ軸に平行である。なお、以下において、説明の便宜上、Z軸正方向を上方向と定義し、Z軸負方向を下方向と定義する。流路部品20は、複数のセラミックスの薄板体以下、セラミックスシートと称呼する。21乃至24と、圧電素子25と、を含む。図3乃至図6は、セラミックスシート21乃至24のそれぞれの平面図である。セラミックスシート21乃至24は、この順に上方に積層且つ圧着され、後に焼成により一体化される。圧電素子25は、セラミックスシート24の上面に配設固定される。このように構成される流路部品20は、流路R1第1流路部R1、流路R2第2流路部R2、流路R3第3流路部R3、流路R4第4流路部R4及び流路R5第5流路部R5から構成される一つの液体流路をその内部に形成している。流路R1はZ軸に平行な中心軸を有する中空の円柱状である。流路R1は、流路部品20のY軸方向の中央部であってX軸正方向端部近傍に形成されている。流路R5はZ軸に平行な中心軸を有する中空の円柱状である。流路R5は、流路部品20のY軸方向の中央部であってX軸負方向端部近傍に形成されている。換言すると、セラミックスシート21は、図3に示したように、流路R1及び流路R5に対応する位置に流路R1及び流路R5をそれぞれ形成するための貫通孔を備えている。流路R1は、液体を流路部品20内液体流路内に流入させるための流入開口をセラミックスシート21の下面従って、流路部品20の下面に形成している。同様に、流路R5は、液体を流路部品20液体流路から流出させるための流出開口をセラミックスシート21の下面従って、流路部品20の下面に形成している。流路R2は中空の四角柱状直方体形状である。流路R2は、流路部品20のY軸方向の中央部であってX軸正方向端部近傍流路R1の直上部に形成されている。流路R4は中空の四角柱状直方体形状である。流路R4は、流路部品20のY軸方向の中央部であってX軸負方向端部近傍流路R5の直上部に形成されている。換言すると、セラミックスシート22は、図4に示したように、流路R2及び流路R4に対応する位置に流路R2及び流路R4をそれぞれ形成するための貫通孔を備えている。流路R3は中空の四角柱状直方体形状である。流路R3は、流路部品20のY軸方向の中央部であってX軸方向中央部流路R2と流路R4の直上部及びそれらの間に対応する部位に形成されている。換言すると、セラミックスシート23は、図5に示したように、流路R3に対応する位置に流路R3を形成するための貫通孔を備えている。ノズル板30はSUS等の金属からなる薄板体である。ノズル板30は、図2及び図7に示したように、流路R1に対応する位置に液体流入孔31を備え、流路R5に対応する位置に液体流出孔32を備えている。液体流入孔31及び液体流出孔32のそれぞれは、ノズル板30を貫通する貫通孔である。液体流入孔31の直径は、流路R1の直径と等しいか、流路R1の直径よりも大きい。液体流出孔32は中空円柱状である。液体流出孔32の直径は、流路R5の直径よりも小さい。ノズル板30は、セラミックスシート21の下面従って、流路部品20の流出開口が形成されている外壁面に接着剤により接着接合される。液体流入孔31は流路R1と同軸的に配設される。液体流出孔32は流路R5と同軸的に配設される。圧電素子25はセラミックスシート24の上面に固定されている。図1及び図2に示したように、圧電素子25は流路R3の直上部に配設されている。圧電素子25は、図示しない上部電極及び下部電極を備えている。これらの電極間に駆動電圧が印加されると、圧電素子25はセラミックスシート24を変形させ、流路R3の容積を変化させる。これにより、液体流路内の液体が加圧され、流路R4、流路R5及び液体流出孔32を通って流路形成装置10の外部へ送り出される。図2に示したように、液体流路流路R1乃至流路R5を構成する流路壁面には、パラキシリレン系のポリマーの保護膜パリレン膜40が形成されている。圧電素子25によって変形させられるセラミックスシート24振動板は薄板体であるので強度が不足する虞があるが、本例においてはセラミックスシート24の強度をパリレン膜40により増すことができる。更に、セラミックスシート24等の欠陥を埋めることもできる。このパリレン膜40の膜厚tは大部分において略一定t0である図8を参照。。但し、図8に拡大して示したように、パリレン膜40は、その膜厚が流出開口流路R5の下端面に相当するセラミックスシート21の下面に形成されている開口に近づくほど小さくなるように形成されている。換言すると、流出開口近傍の液体流路流路R5の形状は中空円柱状であることから、その流路壁面を覆うパリレン膜40は、そのパリレン膜40の表面露呈面、内表面により画定する流路が前記流路の軸線に沿って前記流出開口に近づくほど拡径するように形成されている。加えて、パリレン膜40は、流出開口から流路壁面に沿って所定の距離Dだけ上流に遡った位置に端部を有するように形成されている。同様に、図2に示したように、パリレン膜40は、その膜厚が流入開口流路R1の下端面に相当するセラミックスシート21の下面に形成されている開口に近づくほど小さくなるように形成されている。加えて、パリレン膜40は、流入開口から流路壁面に沿って所定の距離Dだけ上流に遡った位置に端部を有するように形成されている。これにより、図8に矢印により示したように、液体が流出開口及び液体流出孔32を介して外部へと流出させられるとき、その液体の一部はノズル板30によって遮られるので、流路壁面近傍において逆流する。その逆流した液体はパリレン膜40を流路壁面に押し付ける。更に、その流れに沿ってパリレン膜40の膜厚は次第に増大するから、パリレン膜40の膜厚が段差状に大きくなる場合に比較して、その液体はパリレン膜40に沿ってスムーズに流れる。その結果、パリレン膜40が流路壁面から剥離する可能性をより小さくすることができる。次に、流路形成装置10の製造方法について説明する。流路部品積層体形成工程先ず、焼成前のセラミックスシートセラミックスグリーンシート21乃至24を準備する。これらのシートの材料は、セラミックス材料であれば特に限定されないが、高い強度を有するという観点から、部分安定化ジルコニア又は安定化ジルコニアを主成分とするセラミックスであることが好ましい。次いで、金型パンチ及びダイを用いた打ち抜き加工により、セラミックスグリーンシートに前述した流路R1~R5に対応する貫通孔を形成する図3乃至図6を参照。。なお、流路R5の直径は100μmとし、流路R5のZ軸方向長さは100μmとした。その後、セラミックスシート21乃至24を積層し、互いに圧着する。最後に、積層された複数のセラミックスシートを焼成し、一体化する。以上により、図9に示したセラミックス積層体20Aが形成される。カップリング処理工程次に、液体流路の壁面流路壁面に対してカップリング処理を施す。これにより、後にパリレン膜が流路壁面に良好に密着した状態にて形成され易くなる。このカップリング処理には一般的な方法を用いることができる。本例においては、カップリング剤モメンティブパフォーマンスマテリアルズ社製、品番:A-174を水:IPA=1:1の溶液に1溶解させた液体を室温で15分間維持し、その液体を液体流路内に流し込むことにより、カップリング剤を液体流路の流路壁面に塗布する。なお、カップリング剤の蒸気を発生させ、その蒸気中にセラミックス積層体20Aを曝すことにより、カップリング処理を行ってもよい。パリレン膜形成成膜工程次に、パリレン膜をセラミックス積層体20Aの表面に形成する。このようなパリレン膜の成膜処理方法としては、固体のジパラキシリレンダイマーを蒸着源とする公知のCVDChemicalVaporDeposition,気相合成法を採用することができる。この方法によれば、ジパラキシリレンダイマーが気化熱分解して発生したジラジカルパラキシリレンが、セラミックス積層体20Aの露出面液体流路の流路壁面を含む。に吸着して重合反応が発生する。その結果、図10に示したように、液体流路の流路壁面のみならず、セラミックス積層体20Aの表面全体にパリレン膜40が形成される。なお、パリレン膜40の成膜方法については、上記特許文献1及び2の他、例えば、特開2006-159858号公報にも詳細に開示されている。また、パリレン膜40の材料としては、ポリモノクロロパラキシリレン、ポリジクロロパラキシリレン及びポリパラキシリレン等の一以上を用いることができる。パリレン膜除去工程流路形成装置10においては、流路部品20の下面にノズル板30が接着される。更に、流路部品20の上面に圧電素子25が接合される。一方、パリレン膜40は、接着剤等との密着性が良好ではない。従って、液体流路以外の部分に形成されているパリレン膜40を除去する。パリレン膜40の除去は、研磨及びブラスト等の一般的な除去方法により行うことができる。パリレン膜40を除去した後、更に、吐出開口近傍の流路壁面に斜め方向から砥粒を投射するブラスト加工を行う。このブラスト加工中、砥粒は、吐出開口から所定の距離にまで進入し、砥粒が吐出開口近傍のパリレン膜40を除去する。この結果、図8に示したように、パリレン膜40の膜厚tが吐出開口に近づくほど小さくなるように形成される。加えて、吐出開口近傍の流路壁面に形成されているパリレン膜40が除去されるので、パリレン膜40は吐出開口から流路壁面に沿って所定の距離Dだけ上流に遡った位置に端部を有するように形成される。ところで、パリレン膜40は比較的硬い膜である。従って、SiC等のセラミックスの砥粒を用いることにより、ブラスト加工の加工速度を上昇させることができる。この場合、流入開口及び流出開口よりも小さい径を有する砥粒を研磨剤として用いると、ブラスト加工中において液体流路内に砥粒が進入し、パリレン膜40にダメージを与える場合がある。更に、液体流路内に進入した研磨剤を除去する必要があるが、その除去も容易ではない。これに対し、流入開口及び流出開口よりも大きい径を有する砥粒を研磨剤として用いると、流入開口の縁部のセラミックス部及び流出開口の縁部のセラミックス部が削れてしまう。一方、例えば特開2006-159402号公報等に開示されたブラスト方法が知られている。このブラスト方法は、比較的大径の弾性体である母材内に小径の砥粒が固定された研磨材を噴射又は投射する方法である。そこで、比較的大径即ち、流入開口及び流出開口の径よりも大きい径の弾性体である母材にSiC等の小径の砥粒が埋め込まれている研磨材を噴射又は投射するブラスト加工方法は、パリレン膜40を除去する方法として好適に用いられる。このブラスト方法によれば、研磨材母材の径が大きいので、ブラスト加工中に研磨材が流入開口及び流出開口から液体流路内に進入し難い。従って、このブラスト加工により、流路壁面振動板であるセラミックスシート14を含む。を保護しているパリレン膜40はダメージを受けない。加えて、このブラスト加工中、研磨材Tは、図12に示したように、流出開口から所定の距離にまで進入し、研磨材Tの母材に埋め込まれている砥粒が流出開口近傍のパリレン膜40を除去する。この結果、このブラスト加工を実施することのみにより、流路壁面以外の部分のパリレン膜40が除去される。同時に、図7及び図11に示したように、パリレン膜40は吐出開口から流路壁面に沿って所定の距離Dだけ上流に遡った位置に端部を有するように形成される。しかも、パリレン膜40は、パリレン膜40の膜厚が吐出開口に近づくほど小さくなるように形成される。なお、流入開口近傍のパリレン膜40も同様に除去される。即ち、パリレン膜40は流入開口から流路壁面に沿って所定の距離Dだけ下流に移動した位置に端部を有するように形成され、且つ、その膜厚が流入開口に近づくほど小さくなるように形成される。更に、このブラスト加工において、研磨剤の噴射又は投射方向は90度でない方向加工対象の壁面であるセラミックス積層体20Aの下面等の法線と相違する方向、加工対象の壁面に対して直交しない方向であることが望ましい。また、パリレン膜40の膜厚の流出開口又は流入開口に近づく方向の単位長さあたりの減少量即ち、パリレン膜40の薄くなる程度及び上記距離Dは、ブラスト投射の角度、ブラスト投射時間及びブラスト投射圧力等を適宜設定することにより、調整することができる。圧電素子形成及びノズル板接着工程その後、図13に示したように、圧電素子25の前駆体をセラミックスシート24の上面に配設し、焼成する。更に、ノズル板30をセラミックスシート21の下面に接着剤を用いて接着する。以上により、図1及び図2に示した流路形成装置10が完成する。<実施例>上記実施形態に従って以下に述べるように種々の流路部品20の実施例を実際に作成した。なお、これらの実施例において、流路R5の直径流出開口の直径は50μm、セラミックスシート21の厚さ即ち、流路R5の軸方向長さは100μmであった。更に、これらの実施例においては、流路壁面のパリレン膜は、その膜厚が流出開口に近づくほど小さくなるように形成されていることが確認された。<実施例1>実施例1は、以下に述べる条件方法にてパリレン膜を除去して作成された。方法:ブラスト方法研磨剤:母材の大きさ=直径600μm母材の材質=エチレンプロピレンジエン系ゴム弾性体砥粒=SiC2000圧力:0.1MPa投射角度入射角度θ:25度加工対象壁面の法線に対して65度時間:5分投射距離3cm実施例1の表面粗さは43nm、上記距離Dは5μmであった。<実施例2>実施例2は、以下に述べる条件方法にてパリレン膜を除去して作成された。方法:ブラスト方法研磨剤:母材の大きさ=直径1000μm母材の材質=エチレンプロピレンジエン系ゴム弾性体砥粒=SiC2000圧力:0.1MPa投射角度入射角度θ:15度加工対象壁面の法線に対して75度時間:2分投射距離3cm実施例2の表面粗さは43nm、上記距離Dは0μmであった。<実施例3>実施例3は、以下に述べる条件方法にてパリレン膜を除去して作成された。方法:ブラスト方法研磨剤:母材の大きさ=直径1000μm母材の材質=エチレンプロピレンジエン系ゴム弾性体砥粒=SiC2000圧力:0.1MPa投射角度入射角度θ:25度加工対象壁面の法線に対して65度時間:5分投射距離3cm実施例3の表面粗さは43nm、上記距離Dは2μmであった。<実施例4>実施例4は、以下に述べる条件方法にてパリレン膜を除去して作成された。方法:ブラスト方法研磨剤:母材の大きさ=直径1000μm母材の材質=エチレンプロピレンジエン系ゴム弾性体砥粒=SiC2000圧力:0.1MPa投射角度入射角度θ:40度加工対象壁面の法線に対して50度時間:5分投射距離3cm実施例4の表面粗さは43nm、上記距離Dは10μmであった。次に、このように作成される流路部品20のパリレン膜の密着性についての信頼性評価を行った。評価方法は次の通りである。上述した製造工程において、パリレン膜除去方法のみを次のように変更した比較例を作成した。<比較例におけるパリレン膜除去方法>方法:研磨ブラスト加工なし研磨材:砥粒=SiC2000この方法により表面粗さが40nmとなるまで研磨した。また、パリレン膜の厚さはその端部まで一定であり、上記距離Dは0μmであった。即ち、流路壁面のパリレン膜は、流入開口から流出開口までの流路全域に渡り一定であった。次に、直径20μmの円柱状の2つの貫通孔を流路R1及び流路R5に対応する位置に備えるSUSからなる板板厚=50μmを準備した。そして、そのSUS板をエポキシ接着剤を用いて実施例のセラミックス積層体20Aと比較例のセラミックス積層体の下面に接着した。このとき、SUS板の貫通孔の中心を流路R1及び流路R5の中心に一致させた。イオン交換水を、流量0.1ml/分にて100時間、液体流路を通過させた。その後、パリレン膜40の剥離の有無を画像により検査した。その際、流出開口及び流入開口の穴の形状を判断する対象とした。上述したイオン交換水の通過によって、パリレン膜が剥離すれば、穴にバリ等が発生し、穴はその初期形状から変化するはずである。そこで、初期形状からの直径の変化量の最大値が1μm以上であるものは、パリレン膜40が剥離していると判断した。より具体的に述べると、穴の円周に沿って所定の数例えば、100点の座標位置を測定し、そのデータからその穴を真円と仮定した場合の円の中心と半径を算出する。次いで、中心から各座標位置までの距離と、半径と、の誤差を求める。その誤差が所定値例えば、0.5μm以上であると、円の一部が大きく変形している即ち、バリ等が発生していると判定し、パリレン膜40が剥離していると判断した。評価結果は次のとおりである。実施例1:50穴について不良の穴数は0であった。実施例2:50穴について不良の穴数は0であった。実施例3:50穴について不良の穴数は0であった。実施例4:50穴について不良の穴数は0であった。比較例:50穴について不良の穴数は12であった。以上、説明したように、本発明の実施形態に係る流路部品20は、液体が通過する液体流路を内部に形成してなるセラミックスから構成された流路部品20であって、前記液体流路の一つの端部であり前記液体流路内の液体を前記流路部品の外部に流出させる流出開口流路R5の下端が形成されている前記流路部品の外壁面即ち、流路部品20の下面、セラミックスシート21の下面に、流路部品20とは別の部材であって前記流出開口と連通する貫通孔32を備えた部材ノズル板30が接合されるように構成されている。更に、この流路部品20においては、前記液体流路を構成する流路壁面がパラキシリレン系のポリマーの保護膜40により覆われ、且つ、前記保護膜40はその膜厚が前記流出開口に近づくほど小さくなるように形成されている図8を参照。。従って、図8を参照しながら説明したように、パリレン膜40が流路壁面から剥離する可能性をより小さくすることができる。換言すると、パリレン膜40とセラミックスからなる流路壁面との密着性が向上するので、流路部品20の信頼性を向上させることができる。更に、図8に示した例においては、前記外壁面流出開口が形成されたセラミックスシート21の下面における流出開口の開口面積が前記外壁面における貫通孔32の開口面積よりも大きくなるように流出開口が形成されている。更に、パリレン膜40は、前記流出開口から前記流路壁面に沿って所定の距離Dだけ上流に遡った位置に端部を有するように形成されているその位置から形成され始めている。従って、接着剤との密着性が良好でないパリレン膜40が流出開口に到達していないので、流出開口が形成されている流路部品20の外壁面に、ノズル板30流路部品20とは別の部材を強固に接着することができる。なお、流入開口についても同様である。なお、本発明は上記実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。"