"内部に配管経路を有し、この配管経路内の圧力を変化させることで吸着および離脱動作を行う吸着ノズルと、内部がパイプ状であり、前記吸着ノズルの先端と接触する接触部を備え、前記吸着ノズルにこの接触部を接触させることにより、内部を流れる空気の流量を計測する流量計測手段と、前記流量計測手段の計測結果により前記ノズルの詰まりを検出する検出部と、を備える吸着ノズル詰まり検出測定器。前記流量計測手段は前記吸着ノズルの下方に設置され、前記吸着ノズルが所定の距離下方に移動することにより、前記吸着ノズルの内部の配管経路と前記流量計測手段の内部とが連通することを特徴とする請求項1に記載の吸着ノズル詰まり検出測定器。前記検出部は記憶手段を備え、前記流量計測手段の計測結果を推移データとして記憶手段に記憶し、推移データを基づいて前記吸着ノズルの傾向管理をするものであることを特徴とする請求項1及び請求項2に記載の吸着ノズル詰まり検出測定器。前記記憶部は、前記吸着ノズル毎の長さを記憶するノズル長さ記憶部を備え、このノズル長さ記憶部に記憶された各ノズルの長さを考慮して各吸着ノズルの降下量を決定することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の吸着ノズル詰まり検出測定器。電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品検査装置であって、内部に配管経路を有し、この配管経路内の圧力を変化させることで吸着および離脱動作を行うことにより前記電子部品を搬送する吸着ノズルと、内部がパイプ状であり、前記吸着ノズルの先端と接触する接触部を備え、前記吸着ノズルにこの接触部を接触させることにより、内部を流れる空気の流量を計測する流量計測手段と、前記流量計測手段の計測結果により前記ノズルの詰まりを検出する検出部と、を備える電子部品検査装置。前記流量計測手段は前記吸着ノズルの下方に設置され、前記吸着ノズルが所定の距離下方に移動することにより、前記吸着ノズルの内部の配管経路と前記流量計測手段の内部とが連通することを特徴とする請求項5に記載の電子部品検査装置。前記検出部は、前記流量計測手段の計測結果を推移データとして記憶するものであり、推移データを基づいて前記吸着ノズルの傾向管理をするものであることを特徴とする請求項5及び請求項6に記載の電子部品検査装置。前記制御部は、前記吸着ノズル毎の長さを記憶するノズル長さ記憶部を備え、このノズル長さ記憶部に記憶された各ノズルの長さを考慮して各吸着ノズルの降下量を決定することを特徴とする請求項5~7のいずれか1項に記載の電子部品検査装置。しかしながら、図10のような電子部品検査装置においては、ターンテーブルTは高速で回転しているため、ターンテーブルTにセンサを取り付けることは困難である。そのため、図10の様に、センサをノズル部分から離れた台座Dと真空発生装置との間に設置していた。そのため、吸着ノズルV1とセンサとの間が長く、配管経路にマニホールドM1と台座Dとの間の擦り合わせ部分や、マニホールドM1と配管Pとの接続部などがあり、ノズル部分の微小の圧力変動や流量変動を正確に検出することは困難であった。また、特許文献1では、ノズルの流量を計測するためには、電子部品検査装置を停止する必要があり、稼働中にノズルの詰まりを検出することは困難である。さらに、特許文献1の方法では、ノズル部分の圧力を圧力計により計測するために数百msecの時間がかかっていた。そのため、稼働中にノズルでの圧力を測定できたとしても、稼働タクトに影響を与えてしまうという問題点もある。本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、電子部品Wを真空力で吸着するノズルの詰まりを高速且つ高い精度で検出するノズルの詰まり検出測定器及びそれを備えた電子部品検査装置を提供することである。上記の目的を達成するため本発明は、内部に配管経路を有し、この配管経路内の圧力を変化させることで吸着および離脱動作を行う吸着ノズルと、内部がパイプ状であり、前記吸着ノズルの先端と接触する接触部を備え、前記吸着ノズルにこの接触部を接触させることにより、内部を流れる空気の流量を計測する流量計測手段と、前記流量計測手段の計測結果により前記ノズルの詰まりを検出する検出部と、を備えることを特徴とする。前記流量計測手段は前記吸着ノズルの下方に設置され、前記吸着ノズルが所定の距離下方に移動することにより、前記吸着ノズルの内部の配管経路と前記流量計測手段の内部とが連通することも本発明の一態様である。前記検出部は記憶手段を備え、前記流量計測手段の計測結果を推移データとして記憶手段に記憶し、推移データを基づいて前記吸着ノズルの傾向管理をするものであることを特徴とすることも本発明の一態様である。本発明によれば、ノズルに直接流量センサの吸引部を接触させノズルに流れる空気の流量を検出することができるノズルの詰まり検出ユニット及びそれを備えた電子部品検査装置を提供することができる。本発明に係るノズル詰まり検査ユニット及びそれを備える電子部品検査装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。まず、図1及び2を参照して、ノズル詰まり検査ユニット及びそれを備えた電子部品検査装置の構成について説明する。図1は、電子部品検査装置の概略構成を示す図である。図2は、ノズル詰まり検査ユニットの概略構成を示す図である。[第1の実施形態][1.構成][1-1.ノズルの詰まり検出ユニットを備えた電子部品検査装置の構成]本実施形態のノズルの詰まり検出ユニットが、電子部品検査装置に組み込まれた際の役割を、一例として図1に示す。図1に示す電子部品検査装置1は、間欠的に反時計回転図1の矢印Aの方向しながら停止するポジションPとして、8個のポジションP1~P8を備えたターンテーブルTと、このターンテーブルTの8分割した各ポジションに取り付けられた電子部品Wを吸着保持する吸着保持機構Vと、ターンテーブルTを8分割して間欠的に回転させるモータとを備える。吸着保持機構Vは、電子部品Wを吸着及び離脱させる吸着ノズルV1である。吸着ノズルV1は、ターンテーブルTの外周端に取り付けられた支持部図示せずによってターンテーブルTに対して上下動可能となっている。吸着ノズルV1の直上には、操作ロッドを備える駆動部が配置されており、操作ロッドが吸着ノズルV1の上端に当接して下方へ押し下げることにより、吸着ノズルV1は下降する。吸着ノズルV1のパイプ内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路と連通しており、吸着ノズルV1は、負圧の発生によって電子部品Wを吸着し、真空破壊によって電子部品Wを離脱させる。電子部品検査装置は、さらに、この8個の停止ポジションP1~8の直下に、以下に示すような電子部品Wに対して各種の処理を施す工程処理装置を備える。各種の工程処理は、主に、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経た後の検査工程であり、マーキング、外観検査、テストコンタクト、分類ソート、梱包及びノズル詰まり検出の工程処理が含まれる。これらの各種の工程処理機構は、ターンテーブルTを取り囲んで外周方向に等間隔離間して配置されている。配置間隔は、ターンテーブルTの1ピッチの回転角度と同一若しくは整数倍に等しい。各種の工程処理機構としては、ターンテーブルTの回転方向図1の矢印Aの方向に順に、例えば、ノズル詰まり検出ユニット10、パーツフィーダ11、マーキングユニット12、外観検査ユニット13、電気テストユニット14、不良品排出ユニット15、分類ソートユニット16、テーピングユニット17が配置されている。さらに、この電子部品検査装置1は、図示しない制御部を備え、ターンテーブルTを回転させるモータ、吸着ノズルV1を上下動させる駆動部、真空発生装置、及び各種の工程処理機構に電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。すなわち、制御部は、制御プログラムを格納するROM、CPU、及びドライバを備え、制御プログラムに従い、インターフェースを介して各駆動機構に各タイミングで動作信号を出力するように構成される。[1-2.ノズルの詰まり検出ユニットの構成]本発明の実施形態のノズルの詰まり検出ユニット10は、吸着保持機構Vの停止位置でノズルの詰まりを検出するものである。図2は、本発明の実施形態のノズルの詰まり検出ユニット10の構成を示す概略図である。本発明の実施形態の半導体検査装置1のノズルの詰まり検出ユニット10は、図2に示すように、流量検知部20、支持台30、固定金具31とから構成される。流量検知部20は、支持台30に固定金具31により固定される。支持台30は、逆L字型または略L字型のベース32と支持台台座33とからなり、支持台台座33は、ベース32のターンテーブルTと対向する部分に設けられる。支持台台座33には、流量検知部20を固定用の固定孔34が設けられる。流量検知部20は固定孔34と、ベース32に固定される固定金具31により固定される。流量検知部20は、ノズルV1の先端部と接触し、このノズルV1を流れる空気の流量を計測する。この流量検知部20は、制御部40と接続され、流量検知部20での計測結果を制御部40に送信する。制御部40は表示部24に接続され、制御部40での結果は表示部24に出力される。以下、流量検知部20及び制御部40の構成について詳述する。[1-3.流量検知部20の構成]流量検知部20は、パイプ部20a、センサ部21、接触部22、開放部23及び表示部24とを備える。センサ部21は内部が中空のセンサであり、中空部を流れる空気を直接計測するするセンサである。このセンサ部21の中空部はパイプ部20aと接続され、センサ部21は、パイプ部20aを流れる空気を中空部に流入させ内部を流れる空気の流量を計測するものである。センサ部21のセンサとしては、パイプ内部に設けられた、熱線ヒータ部と温度センサにより流量測定を行う熱式の流量計を使用する。この熱式の流量計は、センサ部21の一例であり、内部を流れる流量を計測できる気体用の流量センサであれば、電気式、機械式、超音波式のセンサを利用してもよい。センサ部21は、制御部40と接続され、制御部40に対して計測した検出データを出力する。パイプ部20aのノズルV1と対向する側には、接触部22が設けられる。この接触部22は、ノズルV1が降下した際にノズルV1の先端部分と接触部22の先端部分が接触する位置に配置される。接触部22の先端部分は、降下したノズルV1の先端部分と接触した際に密着し、ノズルV1内部及び流量検知部20内部を流れるエアが外部に漏れないような構成となっている。例えば、接触部22の先端部分の素材として、ゴムやシリコンなどを用い、ノズルV1が降下した場合に先端部分が接触部22を押し込むことにより、密着する構成としても良い。一方、パイプ部20aの接触部22と反対側には、開放部23が設けられる。この開放部23は、パイプ部20a内部に空気を取り込むためのものであり、開放部23に設けられた孔はパイプ部20a内部と連通するように構成される。[1-4.制御部の構成]制御部40では、センサ部21から出力される検出データAに基づいて、ノズルの詰まりを検出する。図3を参照して、制御部40の構成について説明する。図3は、制御部40の構成を示す図である。図3に示すように、制御部40は、検出部41、信号生成部42、RAM43、ROM44から構成される。制御部40は、センサ部21、操作部50、表示部24と接続される。操作部50は、キーボード、つまみダイヤル、スイッチなどの入力装置を備え、ユーザが希望する閾値の値を制御部40に対する入力を受け付ける。表示部24は、検出部41での検出結果を表示する。検出部41では、センサ部21で計測した検出データAに基づいてノズルの詰まりを検出する。RAM43は、検出部41で検出した流量データAを一時的に記憶する。ROMは、ノズル詰まり検出の判定の基準となる閾値を記憶する。信号生成部42では、検出部41での検出結果を報知信号に変え出力する。検出部41は、閾値判定部45を備える。閾値判定部45では、センサ部21からの検出データAを入力し、検出データAとROM44に記憶されている閾値とを比較することにより、ノズルの詰まり検出を行う。閾値判定部45での判定結果は、検出部41と接続している表示部24に出力されると共に、信号生成部42に出力される。信号生成部42では、閾値判定部45での判定結果が入力された場合には、その結果に対応した報知信号に変えて報知手段に出力する。[2.作用]以上のような構成を有する本実施形態の作用について、図4及び図5を参照して説明する。図4は、ノズルV1と流量検知部20の位置関係を示す図であり、図5は、本実施形態における電子部品検査装置1の動作を示すフローチャートである。本実施形態では、ノズルV1が降下し流量検知部20の接触部22と接続した状態でノズルV1の吸着動作をする。この際の流量検知部20を流れる空気の流量を基にノズルV1の詰まりを検出する。以下、本実施形態の電子部品検査装置1におけるノズル詰まり検出ユニット10の動作を図5のフローチャートにより説明する。電子部品検査装置1のターンテーブルTが1ピッチ正転することにより、ノズル詰まり検出ユニット10の前工程を終えたノズルV1が、ノズル詰まり検出ユニット10の流量検知部20の接触部22の垂直軸上の停止位置に停止するS01。次に、吸着ノズルV1の直上に設けられた操作ロッド図示せずが駆動部により下方らに押し下げられることにより、吸着ノズルV1は停止位置より垂直に下降する。ノズルV1の下降距離は、ノズルV1の先端部と流量検知部20の接触部22の先端との間の距離LとするS02。すなわち、図4aの位置に移動した吸着ノズルV1は、図4bの位置に下降することにより、ノズルV1の先端部分と接触部22の先端部分は接触する。このとき、ノズルV1内部の流路及び流量検知部20の接触部22及びパイプ部20aが1つの流路を形成する。次に、吸着ノズルV1のパイプ内部に接続された真空発生装置により、パイプ内部に負圧を発生させて吸着動作を開始するS03。吸着ノズルV1と接触部22は接続し、当該接続部分の気密も保たれる。そのため、吸着ノズルV1内部の負圧は流量検知部20の接触部22及びパイプ部20a内部にかかる。パイプ部20aには開放部23が設けられているため、内部に負圧がかかると開放部23より空気が流入する。流量検知部20では、開放部23よりパイプ部20aに流入しセンサ部21を通過した空気の流量をセンサ部21により計測するS04。流量の計測は、センサ部21内部を流れる空気の量を直接計測するため10msec~20msecの短時間で測定することができる。センサ部21で計測した結果は、検出データAとして制御部40に出力される。制御部40では、センサ部21から出力された検出データAに基づいてノズルの詰まりを検出を行うS05。すなわち、検出データAは検出部40の閾値判定部45に入力される。閾値判定部45では、予めROM44に記憶されている閾値と検出データAとを比較することによりノズルV1の詰まりを検出する。すなわち、流量データAが閾値以上であれば、ノズル内を流れる空気量は正常であり、ノズル内に詰まりが生じていないとするS05のYES。一方、流量データが閾値のデータ以下であれば、ノズル内を流れる空気量を低下する要因があるとし、ノズルに詰まりが生じているとするS05のNO。ノズルに詰まりが生じているとした場合S05のNOは、信号生成部42にその情報が出力される。信号生成部42では、その情報を報知信号に変え出力するS06。ノズルの詰まりの検出を判定後S05、吸着ノズルV1の直上に設けられた操作ロッド図示せずが駆動部により上方に押し上げられることにより、吸着ノズルV1は降下位置より停止位置に上昇する。これにより、ノズルV1の先端部と流量検知部20の接触部22の先端の接続が解除されるS07。その後、ノズルの詰まり検出の継続または終了が判定されS08、継続の場合S08のYESは電子部品検査装置1のターンテーブルTが1ピッチ正転することにより、新たなノズルV1の詰まりの検出を行うS08のNO。[3.効果]開放以上のような本実施形態では、電子部品検査装置1を構成する1ユニットとしてノズル詰まり検出ユニット10を設けると共に、吸着ノズルV1の先端部分と流量検知部20の接触部22とを接続し、ノズルの詰まりを検出の判定を行うので、次に挙げる1~5の効果を奏することが可能である。1電子部品検査装置1のターンテーブルTが1ピッチ正回転するごとに、ターンテーブルTに備わった吸着ノズルV1のうち1つの吸着ノズルV1の詰まりの検出を行うことができる。このため、電子部品検査装置1の稼働を止めノズルV1の詰まりの検出する方法に比べて、ノズルの吸着力の低下を早期に発見することができ、製品の落下や位置ズレによる運搬不良を未然に防止することができる。2電子部品検査装置1を稼働させながらノズルの詰まりを検出することができるので、電子部品検査装置1の稼働を止めノズルの詰まりを検出する方法に比べて、装置の稼働率が上昇する。3吸着ノズルV1の先端部分と流量検知部20の接触部22の先端部分とを接続しノズルの詰まりを検出するので、吸着ノズルV1の配管経路にセンサを設けて検出する方法に比べて、吸着ノズルV1の微小の圧力変動や流量変動を正確に検出することができる。4本実施形態のノズルの詰まり検出ユニット10は簡易な構成であるため、吸着ノズルV1を有する既存の電子部品検査装置にも搭載することが可能である。すなわち、新規に検出機構のユニットを追加することなく実施することもできる。5本実施形態のノズルの詰まり検出ユニット10は、吸着ノズルV1の詰まりの検出の他にノズル摩耗管理にも有効である。すなわち、ノズルV1の先端部分が、片減りしたり、吸着面に粗さが発生した場合には、吸着ノズルV1の先端部分と流量センサの接触部22との接続部分の気密が保てなくなり、流量検知部20で流量の低下を検出することが可能である。[第2の実施形態]第2の実施形態は、第1の実施形態におけるノズルの詰まり検出ユニット10の制御部40の構成を変更したものである。以下、本実施形態におけるノズルの詰まり検出ユニットを図6を参照して説明する。なお、第1の実施形態と同一または類似の構成部分には、共通の符号を付し、重複する説明は省略する。[1.制御部の構成]図6に示すように、制御部40では、第1の実施形態と同様にセンサ部24から出力される検出データAに基づいて、ノズルの詰まりを検出する構成である。さらに、本実施形態では、制御部の検出部41は、閾値判定部45に加えてA/D変換器46、ノズル個別データ取得部47、ノズル個別データ判定部48を備える。RAM43には、ノズル毎の流量データDを記憶するノズル個別データ記憶部49を備える。[2.作用]以上のような構成を備えるノズルの詰まり検出ユニット10では、流量検知部20で検出した検出データAをA/D変換器46に入力する。A/D変換器46では、アナログデータであるセンサ部からの検出データAを入力し、デジタルデータである流量データDに変換する。このとき、検出部41は、検出データAがA/D変換器46で流量データDに変換される毎に、RAM43のノズル個別データ記憶部49に、流量データDをノズル毎に記憶する。また、ノズル個別データ記憶部49は、各ノズルの流量データDを計測ごとの推移データとして記憶する。このノズル毎に記憶された流量データD及びノズル毎の流量データDの推移を示した推移データD1に基づいてノズルの詰まり検出及びノズルの傾向管理を行う。ノズル詰まり検出本実施形態のノズル詰まり検出としては、ノズル個別データ取得部47が、ノズル個別データ記憶部49に記憶された流量データDからノズル毎の計測時の流量データDを取得する。ノズル個別データ取得部47は、ノズル毎の流量データDを、閾値判定部45に出力する。閾値判定部45では、流量データDを入力し、ROM44に記憶されている閾値とを比較する。閾値判定部45では、予めROM44に記憶されている閾値と検出データDとを比較することによりノズルの詰まりを検出する。すなわち、流量データが閾値以上であれば、ノズル内を流れる空気量は正常であり、ノズル内に詰まりが生じていないとする。一方、流量データが閾値のデータ以下であれば、ノズル内を流れる空気量を低下する要因があるとし、ノズルに詰まりが生じているとする。ノズルに詰まりが生じているとした場合は、信号生成部42にその情報が出力される。信号生成部42では、その情報を報知信号に変え出力する。ノズルの傾向管理本実施形態のノズル傾向管理としては、ノズル個別データ取得部47が、ノズル個別データ記憶部49に記憶されたノズル毎の推移データD1を取得する。推移データD1とは、流量データDの時間毎の値の推移を表したデータである。図7は、流量データDの時間毎の値の推移を表した推移データD1を示した図である。ノズル個別データ取得部47は、ノズル毎の推移データD1をノズル個別データ判定部48に出力する。ノズル個別データ判定部48では、ノズル毎の推移データD1に基づいて、各ノズルの傾向管理の判定を行う。傾向管理の方法としては、ノズル毎の推移データD1の移動平均値の変化量を利用した方法を利用することができる。移動平均値とは、所定時間を定め、この所定時間における流量データDの平均の値である。例えば、図7に示すように、推移データD1の所定時間t1、t2、t3を定め、各所定時間における推移データD1中の流量データDの平均値を求める。この平均値が、所定時間t1、t2、t3における移動平均値となる。また、傾向管理には、移動平均値以外の推移データD1の定時間当たりの変化量を利用した方法を利用することができる。定時間当たりの変化量とは、所定時間を定め、この所定時間経過後の流量データDの変化量である。例えば、図8に示すように、推移データD1の所定時間ta1、ta2、ta3を定め、各所定時間後における推移データD1中の流量データDの変化量を求める。この変化量が、所定時間ta1、ta2、ta3当たりの変化量となる。本実施形態では、この移動平均値の変化量または移動平均値の差により各ノズルの傾向管理を行う。傾向管理に、移動平均値の変化量または差を利用することにより、推移データD1に不規則な変動が合った場合にも、平均を取ることによりある程度ならされるため、正確な傾向管理を行うことができる。この他に、傾向管理の方法としては、推移データを利用した既存の方法を用いることができる。傾向管理の判定の結果は、信号生成部42に出力され、信号生成部42では、その情報を報知信号に変え出力する。[3.効果]以上のようなノズルの詰まり検出ユニット10では、第1の実施形態の効果に加えて、ノズル毎に、ノズル詰まり検出動作毎の流量データDを抽出することができる。これにより、ノズル個別毎の詰まり判定を行うことができる。そのため、各ノズルに個体差がある場合などでも、ノズル毎の個体差を吸収してノズルの詰まりを正確に検出することができる。また、流量データDを推移データとして取得することで、吸着ノズルの傾向管理をすることができるので、ノズルの吸着力の低下を予測することができ、ノズルの吸着力の低下の早期に発見につながる。[第3の実施形態]第3の実施形態は、第2の実施形態におけるノズルの詰まり検出ユニット10の制御部40の構成を変更したものである。以下、本実施形態におけるノズルの詰まり検出ユニットを図9を参照して説明する。なお、第2の実施形態と同一または類似の構成部分には、共通の符号を付し、重複する説明は省略する。[1.制御部の構成]図9に示すように、制御部40では、第2の実施形態と同様にセンサ部24から出力される検出データAを流量データDとて記憶し、この流量データDに基づいてノズルの詰まりを検出する構成である。さらに、制御部40のROM44には、吸着ノズルV1毎の長さを記憶するノズル長さ記憶部44aを備える。このノズル長さ記憶部44aに記憶する吸着ノズルV1毎の長さは、事前に各ノズルの長さを外観検査で測定し、その測定結果を吸着ノズルV1の長さとする。ノズルを下降させて基準となる剛体へ接触した時のモータのエンコーダの値から算出し、その算出結果に基づいて吸着ノズルV1の長さを決める。このとき、ノズルが接触したかどうかの判定は、モータトルクのトルクの変化により判定する。ノズルを下降させてノズル詰まり検出ユニット10の吸着ノズルV1の先端と流量検知部20の接触部22の先端部分とを接触させ、流量センサのセンサ部がONとなるノズルV1の位置データをモータのエンコーダ値から算出する。そして、その算出結果に基づいて吸着ノズルV1の長さを決める。[2.作用]以上のような構成を備えるノズルの詰まり検出ユニット10では、ノズル長さ記憶部44aに記憶された各吸着ノズルV1の長さは、信号生成部42において、各吸着ノズルV1の長さに基づいた各ノズルの降下量情報として、ノズルV1の下降機構に出力される。このとき、各ノズルの降下量情報はパルスとして出力される。[3.効果]以上のようなノズルの詰まり検出ユニット10では、第1,2の実施形態の効果に加えて、各ノズルの長さのバラツキを考慮することが可能になるため、ノズル長の個体差による検出精度への影響をなくすことができる。すなわち、吸着ノズルの長さにバラツキがあった場合にも、吸着ノズルV1の先端と流量検知部20の接触部22の先端部分とを正確に接触させることができ、ノズル詰まり検出を行った際にも正確にノズル毎の個体差を吸収してノズルの詰まりを正確に検出することができる。[4.他の実施形態]以上のように本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この新規な実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。例えば、次の1~3のような変更をすることも可能である。1ノズルV1の下降距離は、接触部22の先端部分の材質により、距離Lよりも大きくすることもできる。これにより、ノズルV1の先端部分と接触部22の先端部分は密着度が増し、ノズルV1の吸引動作時の吸引量が大きくても、接続部分の密着度が保たれる。これにより、ノズルV1を流れる空気とセンサ部21を流れる空気は等しくなるため、正確にノズルの詰まりを検出することができる。2信号生成部42が検出結果を出力する報知手段は、CPUなどの制御装置を備えたものでも良い。制御装置を備えることにより、ノズルの詰まりを検出した場合には、警報を発するようにすることもできる。また、電子部品検査装置1を制御する制御部に対して報知信号を送信することにより、電子部品検査装置1の稼働を停止するようにすることも可能である。3第3の実施形態では、各吸着ノズルV1の長さをノズル長さ記憶部44aに記憶したが、他の方法を用いて、吸着ノズルV1の先端と流量検知部20の接触部22の先端部分とを接触させてもよい。一例として、ノズルを下降させた際の吸着ノズルV1の先端と流量検知部20の接触部22の先端部分が接触した際の荷重を測定する方法を用いることができる。すなわち、ノズルV1を降下させるためのモータトルクの荷重を監視し、ノズルV1に荷重がかかっていると判定した場合に、ノズルを下降させた吸着ノズルV1の先端と流量検知部20の接触部22の先端部分が接触したと判定することもできる。4各種の工程処理機構は、上記した種類に限られず、各種の工程処理機構と置き換えることが可能であり、また配置順序も適宜変更可能である。"