一方の面の中央に突出した棒状の固定軸を有する板状の取付け部材と、前記固定軸の外周に被嵌され、基部が前記取付け部材に弾性部材を介して固定された円筒体と、前記固定軸の外周と前記円筒体の内面間に介在して前記円筒体を弾性的に保持するエアパッドと、を有することを特徴とするフローティング装置。一端が有底の円筒状保持部材と、前記円筒状保持部材の内側底面に弾性部材を介して固定された円板状の可動プレートと、前記可動プレートの中央に、前記円筒状保持部材の開放端から突出させるように垂直に固定されたロッドと、中央に設けた穴に前記ロッドを遊挿させて前記円筒状保持部材の開放端側の蓋部となるリング状部材と、前記ロッドの外周と前記円筒状保持部材の内面間に介在して前記ロッドを弾性的に保持するエアパッドと、を有することを特徴とするフローティング装置。前記エアパッドの圧力が可変である請求項1又は2記載のフローティング装置。前記エアパッドの圧力が0.15~0.5MPaである請求項1乃至3のいずれか1項記載のフローティング装置。前記弾性部材がコイルスプリングである請求項1乃至4のいずれか1項記載のフローティング装置。前記円筒体又は前記ロッドの先端に測定子が固定されている請求項1乃至5のいずれか1項記載のフローティング装置。前記測定子が、エアーマイクロ測定子、電気マイクロ用測定子又は変位計測定用センサである請求項6記載のフローティング装置。前記円筒体又は前記ロッドの先端にロボットチャックが固定されている請求項1乃至5のいずれか1項記載のフローティング装置。請求項6乃至8記載のフローティング装置における、前記取付け部材又は前記円筒状保持部材を、駆動手段に固定したことを特徴とするアクチュエータ。このような軸方向への動作において、その先端に固定された測定子や各種部品は、それらを所定の位置に配置されるまで動作を継続するが、このとき、測定子は測定対象物に対して所定の配置関係で位置を調整しなければならない。ところが、通常、測定子とその測定対象物との間隔は非常に狭いため、測定子の位置合わせを厳密に行ってから軸方向への動作が行われる。すなわち、測定子の軸と測定対象の軸とが、平行かつ中心線が一致した状態にまで位置を合わせてから、軸方向へ所定の位置まで移動させている。また、部品の組み付けにおいても同様に、ロボットチャックの把持する部品と取り付けられる本体との組み付け部分の各軸が、平行で、かつ中心線が一致した状態まで位置を合わせてから、軸方向へ所定の位置まで移動させる。なお、測定子と測定対象物又は部品と本体との各軸の誤差は、1それぞれの軸が平行になっているが中心線が一致していない平行偏心、2それぞれの軸が傾いて中心線が交差している偏角、3それぞれの軸、中心線は一致しているが、軸方向に位置がずれている軸方向変位、等により生じている。このような芯出し誤差が生じてしまうと、その位置がずれたままアクチュエータ等を動作させることとなり、測定子等が測定対象物等の縁部に接触したり、角度を有して接触したり、するため、測定子自身及び/又は測定対象物等を傷つけてしまうおそれがあるし、損傷は免れたとしても測定子や部品を正確に配置できないことから、正常に測定や組み付けができないおそれがあった。そこで、本発明の目的は、測定子や部品の位置調整を行う際に、多少の位置ずれが生じていても、測定や組み付けを滞りなく行うことを可能とするフローティング装置を提供することにある。本発明のフローティング装置は、一方の面の中央に突出した棒状の固定軸を有する板状の取付け部材と、前記固定軸の外周に被嵌され、基部が前記取付け部材に弾性部材を介して固定された円筒体と、前記固定軸の外周と前記円筒体の内面間に介在して前記円筒体を弾性的に保持するエアパッドと、を有することを特徴とする。また、本発明の他のフローティング装置は、一端が有底の円筒状保持部材と、前記円筒状保持部材の内側底面に弾性部材を介して固定された円板状の可動プレートと、前記可動プレートの中央に、前記円筒状保持部材の開放端から突出させるように垂直に固定されたロッドと、中央に設けた穴に前記ロッドを遊挿させて前記円筒状保持部材の開放端側の蓋部となるリング状部材と、前記ロッドの外周と前記円筒状保持部材の内面間に介在して前記ロッドを弾性的に保持するエアパッドと、を有することを特徴とする。本発明のフローティング装置によれば、測定子又はロボットチャックが固定される円筒体又はロッドの側面がエアパッドにより弾力的に保持されているため、多少の位置ずれが生じていても通常の測定操作又は組み付け操作と同時に位置修正をも可能とする。したがって、厳密に位置調整を行う手間が省けるため、測定又は組み付け作業を効率的に進めることができる。以下、本発明のフローティング装置について図面を参照しながら詳細に説明する。第1の実施形態本発明の第1の実施形態について、図1を参照しながら説明する。図1は、第1の実施形態におけるフローティング装置の概略構成を示す側断面図である。この図1に示したフローティング装置1は、中央にホルダー穴を有する取付け部材2と、基部が取付け部材2のホルダー穴に貫通して固定された固定軸3と、固定軸3の外周に被嵌され基部が前記取付け部材2に対して弾性的に保持された円筒体4と、固定軸3の外周と円筒体4の内面間に介在して円筒体4を弾性的に保持するエアパッド5と、を有するものである。ここで、エアパッド5は、その配置位置を破線で示している。また、円筒体4は、取付け部材2及び固定軸3のそれぞれに弾性的に保持されてなり、取付け部材2に対しては、コイルスプリング6と取付け部材2に固定されたリング状の押さえ部材7によって保持され、固定軸3に対してはエアパッド5によってその内部の圧力によって保持されている。取付け部材2は、中央にホルダー穴を有し、このホルダー穴には固定軸3を貫通して固定できるようになっている。取付け部材2と固定軸3は一体的に固定できればホルダー穴に限定されずに公知の固定方法を用いることができる。また、この取付け部材2の円筒体4を設ける側と反対の側面は、図示していないアクチュエータ等の駆動装置に固定できるようになっている。駆動装置としては、ある軸に対して装置側の軸を一致させたまま移動が可能なシリンダやロボットアーム等の公知の駆動装置が挙げられる。固定軸3は、取付け部材2のホルダー穴に貫通して保持され、アクチュエータ等の駆動方向に軸を合わせて固定されている棒状の部材である。この固定軸3は取付け部材2の一方の面に突出して円柱状に設けたものである。この円柱は、常に一定の直径でなくてもよく、その直径を変えながら所望の機能を有するように設けてもよい。例えば、エアパッド5の位置を安定させる凹凸形状や、湾曲形状等を設けることが好ましい。円筒体4は、固定軸3の外周に被嵌され、上記したようにその基部が取付け部材2に対して、コイルスプリング6と取付け部材2に固定されたリング状の押さえ部材7によって弾性的に保持されたものである。この押さえ部材7は、コイルスプリング6の弾撥力に抗して円筒体4を取付け部材2に保持できるようになっている。さらに、円筒体4は、固定軸3にエアパッド5によって弾性的に保持されている。エアパッド5は、固定軸3の外周と円筒体4の内面間に介在して、固定軸3に円筒体4を弾性的に保持するものである。このエアパッド5によって、円筒体4は通常は所定の位置に保持されているが、外力が加わった際には、エアパッド5が変形する。この変形により、円筒体4と固定軸3とは保持力はそのまま維持しながら、その相対位置を円筒体4にかかる力が均一に小さくなるように微小に変わる。なお、このエアパッド5の内部には気体が封入され、その圧力により固定軸3と円筒体4の保持力が決まる。このエアパッド5は、所定の圧力となるようにして独立したパッドとして円筒体4を保持できるようにしてもよいが、エアパッド5に吸排気可能な気体の通路を設け、この通路を圧力調整弁8を有するポンプ9等と接続して、エアパッド5内の気圧を調整できるようにすることが好ましい。このように気圧を調整可能としておくと、用途に応じて任意の気圧に随時変更、調整でき好ましい。例えば、その保持する先端部分の重さここでは、円筒体4とそこに取り付けられる測定子やロボットチャック等の部材や先端部分に加わる外力に応じてエアパッド5内の気圧を所望の圧力へと調節すればよい。なお、図1では、エアパッド5とポンプ9との間の気体の通路を、円筒体4の内部に設けた例を示している。このエアパッド5の圧力は、例えば、アクチュエータにより測定子を用いる場合、0.15~0.5MPaとすることが好ましい。0.15MPa未満であると、先端部分の重みでその位置が変化してしまい、装置としての正確性が確保できない。また、0.5MPaを超えると、測定対象物に接触して外力が加わった場合でも、保持力が強すぎるため、位置調整機能がうまく働かず、部品や測定子等を損傷するおそれが生じてしまう。このとき先端部分の重さは、約30g~4kgである。このエアパッド5は、円筒体4を内部に注入した気体の圧力により弾性的に保持することができるものであれば、その形状、素材は問わないが、固定軸3の外周をその軸の周囲を一周する円環状のチューブが好ましい。この円環状のチューブとしては、弾性素材を用いて形成すればよく、例えば、天然ゴムNR、クロロプレンゴムCR、ブタジエンゴムBR、ニトリルブタジエンゴムNBR、スチレンブタジエンゴムSBR、ブチルゴムIIR、エチレンプロピレンゴムEPDM、シリコーンゴムSIC、フッ素ゴムFRM、ハイパロンゴムCSM等の素材が挙げられる。円環状のチューブは、強化繊維を埋め込んで補強して強度を高め、長寿命のものとすることもできる。ここで用いる強化繊維としては、カーボン繊維、ナイロン繊維、ポリエステル繊維、アラミド等のポリアミド繊維等が挙げられる。このエアパッド5は、図1では、ロッドの先端部寄りと基部寄りの2箇所に設けているが、その構成によっては1箇所に設けてもよいし、3箇所以上に設けるようにしてもよい。このエアパッド5の数は、一般に、エアパッド5の固定軸3と円筒体4との接触面積と、固定軸3の長さと円筒体4の長さとの関係に応じて決定すればよい。このように円筒体4は、アクチュエータ等の駆動方向の軸に対して、前後方向にはコイルスプリング6により、左右上下方向にはエアパッド5により、弾性的に保持されており、外力が加わった際には、いずれの方向にも微小に移動して位置調整できるようになっている。そして、円筒体4の先端底部の外側面には、測定子やロボットチャック等の各種部材を取り付けることができるように固定台4aが設けられている。このとき円筒体4に固定される測定子やロボットチャックは、通常、固定軸3と同様にアクチュエータの動作方向とその軸とが合わせて設けられる。また、これら測定子やロボットチャックは、円筒体4と一体となって、取付け部材2及び固定軸3に対して揺動可能となっている。ここで用いる測定子としては、公知の種々の測定子が例示でき、例えば、エアーマイクロ用測定子、電気マイクロ用測定子、変位計測用センサ等が挙げられる。また、ロボットチャックも公知のロボットチャックを用いることができる。次に、円筒体4の先端に測定子10を設けたフローティング装置1を動作させたときの位置調整について、図2及び図3を参照しながら説明する。図2及び図3は、棒状の測定子10を円筒体4の先端に固定したフローティング装置1を用いて、測定子10を測定対象物30の測定箇所である孔部30aに挿入する場合の例である気圧調整の装置構成は省略している。ここで、測定子10は円筒体4の中心部に固定されており、フローティング装置1の軸と測定子10の軸とは一致するように設けられている。また、測定対象物の孔部30aの入口には面取り等をして傾斜を設け、さらに測定子の先端側にも傾斜をつけて、仮に測定子10の先端が孔部30aとずれていて接触しても、孔部30a側に測定子10を移動させるようにして挿入可能な状態へ導く形状とすることが好ましい。まず、図2を参照しながら、測定対象物の孔部30aの軸と挿入する測定子10の軸が平行ではあるが、中心線が一致していない平行偏心の場合の挿入動作を説明する。このとき、図2aに示したように、挿入前の測定子10と測定対象物の孔部30aとのそれぞれの軸が互いに平行ではあるが、一致しておらず、ずれて配置されている。このような場合、フローティング装置が設けられていないと、孔部30aと測定子10が接触してそれ以上挿入ができず、再度、位置調整を行って、正確に互いの軸を一致させてからでなければ測定ができない。一方、本発明のフローティング装置1を設けた場合には、そのまま測定子10をフローティング装置1と共に下降させていくと、測定子10の先端部と測定対象物の孔部30aの入口外周部が接触するが、その接触により測定子10は孔部30aの軸側に動こうとする力が生じ、本発明では、その力が測定子10の固定されている円筒体4を介してエアパッド5にまで伝わり、このときエアパッド5が円筒体4から受ける力が均等になるように変形する。このエアパッド5の変形により、円筒体4及び測定子10の軸が孔部30aの軸と一致するようになるまで移動し、測定子10は孔部30aにそのまま挿入できる図2b。このとき、アクチュエータ等に固定されている取付け部材2及び固定軸3は、挿入の前後において水平方向の位置は変化しておらず上下に動作したのみ、円筒体4及び測定子10が水平方向にずれ分だけ平行移動して、円滑に測定子10が孔部30aに挿入される。また、図3を参照しながら、測定対象物の孔部30aの軸と挿入する測定子10の軸がそれぞれ傾いて交差している偏角の場合の挿入動作を説明する。このとき、図3aに示したように、挿入前の測定子10と測定対象物の孔部30aとのそれぞれの軸は、互いに平行ではなく、角度を有して交差した状態で、ずれて配置されている。このような場合、フローティング装置が設けられていないと、孔部30aと測定子10が接触してそれ以上挿入ができず、再度、位置調整を行って、正確に互いの軸を一致させてからでなければ測定ができない。一方、本発明のフローティング装置1を設けた場合には、そのまま測定子10をフローティング装置1と共に下降させていくと、測定子10の先端部は、測定対象物の孔部30aの入口から内部へ挿入されるが、孔部30aの内壁と角度をもって接触し、その接触により測定子10は、その軸を孔部30aの軸方向に倣うように動こうとする力が生じ、本発明では、その力が測定子10が固定されている円筒体4を介してエアパッド5にまで伝わり、このときエアパッド5が円筒体4から受ける力が均等になるように変形する。このエアパッド5の変形により、円筒体4及び測定子10の軸が孔部30aの軸と一致するようになるまで移動し、測定子10は孔部30aにそのまま挿入できる図3b。このとき、アクチュエータ等に固定されている取付け部材2及び固定軸3は、挿入の前後において水平方向の位置は変化しておらず上下に動作したのみ、円筒体4及び測定子10が水平方向にずれ分だけ回転移動して、円滑に測定子10が孔部30aに挿入される。ここで、ずれ分を吸収する回転移動によって、円筒体4と取付け部材2及び固定軸3との軸もそれぞれ傾くことになるが、その際の円筒体4と取付け部材2とのずれをコイルスプリング6で吸収可能であるため、円滑に測定子10の位置調整を行うことができる。なお、図1~3において、固定軸3の先端には、ガイドピン3aが設けられているが、これは設けていなくてもよい。ガイドピン3aを設ける場合には、円筒体4の固定軸3に対向する面円筒体4の内部底面において、そのガイドピン3aに相当する形状に凹部を設けたり、円筒体4の内部底面と固定軸3との間が離れている場合には、円筒体4の内部底面に凸部を設け、ガイドピン3aの周囲を囲ったりする等して、ガイドピンと円筒体のずれが一定以上大きくなったときにガイドピン3aが円筒体4の凹部又は凸部と接触する構成としておけば、円筒体4のずれを所望の大きさで規制することができ、想定以上のずれを生じないようにできる。第2実施形態本発明の第2の実施形態について、図4を参照しながら説明する。図4は、第2の実施形態におけるアクチュエータの概略構成を示す側断面図である。この図4に示されたフローティング装置11は、底部に取付けねじ穴を有する有底の円筒状保持部材12と、円筒状保持部材12の底面12aに弾性部材を介して固定された円板状の可動プレート13と、可動プレート13の中央に垂直に固定されたロッド14と、中央に設けた穴にロッド14を遊挿させて円筒状保持部材12の蓋部となるリング状部材15と、ロッド14の外周と円筒状保持部材12の内面間に介在してロッド14を弾性的に保持するエアパッド16と、を有するものである。ここで、エアパッド16は、ロッド14の外周を覆うように設けられており、そのエアパッド16の外周は円筒状の台座17の内面に固定されている。図4ではエアパッド16の断面形状の輪郭半楕円に類似したかまぼこ形状と配置位置を破線で示している。円筒状保持部材12は、その円筒内部に後述するロッド14の基部を収容し保持できるようになっており、その一端は閉じられて底部となっており、他端側は解放されており、その開放端からロッド14が突出されるようになっている。また、この円筒状保持部材12の底部には、アクチュエータの駆動装置等に取付け可能とする取付けねじ穴等の取付け部を設ける。可動プレート13は、円筒状保持部材12の底面に弾性部材であるコイルスプリング18を介して固定されており、そのコイルスプリング18と接する面の反対の面には、先に説明したロッド14が垂直に固定されている。このロッド14は、可動プレート13の中央に固定されており、その先端には測定子やロボットチャックが固定できるようになっている。このロッド14は、リング状蓋15の中央に設けられた穴を通って外部に突出されている。また、ロッド14の外周面と円筒状保持部材12の内面間には、エアパッド16が設けられている。このエアパッド16は、ロッド14の軸周りの外周の一部又は全部を帯状に覆って保持できるチューブ状の形状である。エアパッド16は、ロッド14の外周と円筒状保持部材12の内面間に介在してロッド14を弾性的に保持するものである。このエアパッド16によって、ロッド14は通常は所定の位置に保持されているが、外力が加わった際には、エアパッド16が変形する。この変形により、ロッド14と円筒状保持部材12との相対位置が変わってロッド14にかかる力が小さくなるように動作する。なお、リング状蓋15は、このエアパッド16を固定するため、エアパッド16の台座17を円筒状保持部材12の内周面とで挟んで所定の位置にエアパッドが固定されるようになっている。エアパッド16は、第1の実施形態と同様に、所定の圧力となるようにして独立したパッドとしてロッド14を保持できるようにしてもよいが、エアパッド16に吸排気可能な気体の通路を設け、この通路を圧力調整弁19を有するポンプ20等と接続して、エアパッド16内の気圧を調整できるようにすることが好ましい。このように気圧を調整可能としておくと、用途に応じて任意の気圧に随時変更、調整でき好ましい。ロッド14の先端部に固定される測定子及びロボットチャックは、第1の実施形態と同一のものが挙げられる。そして、ロッド14に固定された測定子又はロボットチャックは、第1の実施形態で説明したのと同様の動作によって位置調整を行うことができ、効率的に作業を行うことができる。すなわち、この第2の実施形態では、装置として固定される部分は、円筒状保持部材12であり、ロッド14が円筒状保持部材12に対してエアパッド14により平行移動が可能で、コイルスプリング17によって偏角による修正動作におけるずれの吸収も可能となっており、第1の実施形態と同様に位置調整を容易に、かつ簡便な装置構成で達成できる。