"吐出口を備えた液体貯留部に対して、少なくとも2種類の流量で前記液体を液送する圧力発生手段と、前記液体貯留部内の圧力を、少なくとも前記液体貯留部内の壁面に付着する気泡を浮遊させるのに充分な圧力変化率で目標圧力まで昇圧するように前記圧力発生手段の流量を制御する第1の流量制御手段と、前記目標圧力に到達した時点で、前記液体貯留部内を浮遊する気泡を、前記吐出口から排出するために、当該目標圧力を維持する、或いは目標圧力から前記第1の流量制御手段による圧力変化率よりも小さい圧力変化率で降圧するように前記圧力発生手段の流量を制御する第2の流量制御手段と、を有する流量制御装置。前記第1の流量制御手段と、前記第2の流量制御手段とを交互に繰り返す請求項1記載の流量制御装置。前記第2の流量制御手段による流量制御により、予め定められた圧力まで降下した時点で、当該第2の流量制御手段による流量制御の下での圧力変化率よりも大きい圧力変化率で、再度前記目標圧力まで昇圧するように圧力発生手段の流量を制御する第3の流量制御手段をさらに備え、前記第1の流量制御手段による前記目標圧力到達後、前記第2の流量制御手段と、前記第3の流量制御手段とを交互に繰り返す請求項1記載の流量制御装置。複数の前記液体貯留部が、前記液体の循環経路に対して並列に接続されている場合に、当該並列接続された液体貯留部の数に応じて、前記流量を設定する請求項1~請求項3の何れか1項記載の流量制御装置。前記液体が循環する管路の開閉制御により、相対的に粗い前記気泡を前記液体と共に前記管路へ案内し、相対的に細かい気泡を前記吐出口から排出する請求項1~請求項4の何れか1項記載の流量制御装置。前記液体が循環する管路に、当該管路内の圧力を調整するための圧力調整器が設けられている場合に、この圧力調整器の圧力調整機能を停止して、前記流量の制御を実行する請求項1~請求項5の何れか1項記載の流量制御装置。液滴を吐出する吐出口を備えた液体貯留部と、供給側圧力発生手段の駆動により前記液滴の集合である液体が貯留されたタンクから前記液体貯留部へ液体を供給する供給経路が形成された供給側管路部と、回収側圧力発生手段の駆動により前記液体貯留部に供給された液体を前記タンクへ回収する回収側管路部とを備え、待機状態では前記ノズルの背圧を負圧を維持しつつ、入力される信号に基づいて前記吐出口から液滴を吐出制御する液適吐出制御手段と、前記液体貯留部内の圧力を、少なくとも前記液体貯留部内の壁面に付着する気泡を浮遊させるのに充分な圧力変化率で目標圧力まで昇圧するように前記供給側圧力発生手段及び回収側圧力発生手段の少なくとも一方の流量を制御する第1の流量制御手段と、前記目標圧力に到達した時点で、前記液体貯留部内を浮遊する気泡を、前記吐出口から排出するために、当該目標圧力を維持する、或いは目標圧力から前記第1の流量制御手段による圧力変化率よりも小さい圧力変化率で降圧するように前記圧力発生手段の流量を制御する第2の流量制御手段と、を有する液滴吐出装置。前記第1の流量制御手段と、前記第2の流量制御手段とを交互に繰り返す請求項7記載の液滴吐出装置。前記第2の流量制御手段による流量制御により、予め定められた圧力まで降下した時点で、当該第2の流量制御手段による流量制御の下での圧力変化率よりも大きい圧力変化率で、再度前記目標圧力まで昇圧するように圧力発生手段の流量を制御する第3の流量制御手段をさらに備え、前記第1の流量制御手段による前記目標圧力到達後、前記第2の流量制御手段と、前記第3の流量制御手段とを交互に繰り返す請求項7記載の液滴吐出装置。複数の前記液体貯留部が、前記液体の循環経路に対して並列に接続されている場合に、当該並列接続された液体貯留部の数に応じて、前記流量を設定する請求項7~請求項9の何れか1項記載の液滴吐出装置。前記液体が循環する管路の開閉制御により、相対的に粗い前記気泡を前記液体と共に前記管路へ案内し、相対的に細かい気泡を前記吐出口から排出する請求項7~請求項10の何れか1項記載の液滴吐出装置。前記液体が循環する管路に、当該管路内の圧力を調整するための圧力調整器が設けられている場合に、この圧力調整器の圧力調整機能を停止して、前記流量の制御を実行する請求項7~請求項11の何れか1項記載の液滴吐出装置。コンピュータを、前記請求項1~請求項6の何れか1項記載の流量制御装置として動作させる流量制御プログラム。本発明は、液体貯留部内に発生する気泡の排出性能を向上することができる流量制御装置、液滴吐出装置及び流量制御プログラムを得ることが目的である。請求項1に記載の発明は、吐出口を備えた液体貯留部に対して、少なくとも2種類の流量で前記液体を液送する圧力発生手段と、前記液体貯留部内の圧力を、少なくとも前記液体貯留部内の壁面に付着する気泡を浮遊させるのに充分な圧力変化率で目標圧力まで昇圧するように前記圧力発生手段の流量を制御する第1の流量制御手段と、前記目標圧力に到達した時点で、前記液体貯留部内を浮遊する気泡を、前記吐出口から排出するために、当該目標圧力を維持する、或いは目標圧力から前記第1の流量制御手段による圧力変化率よりも小さい圧力変化率で降圧するように前記圧力発生手段の流量を制御する第2の流量制御手段と、を有している。請求項2に記載の発明は、前記請求項1に記載の発明において、前記第1の流量制御手段と、前記第2の流量制御手段とを交互に繰り返す。請求項3に記載の発明は、前記請求項1に記載の発明において、前記第2の流量制御手段による流量制御により、予め定められた圧力まで降下した時点で、当該第2の流量制御手段による流量制御の下での圧力変化率よりも大きい圧力変化率で、再度前記目標圧力まで昇圧するように圧力発生手段の流量を制御する第3の流量制御手段をさらに備え、前記第1の流量制御手段による前記目標圧力到達後、前記第2の流量制御手段と、前記第3の流量制御手段とを交互に繰り返す。請求項4に記載の発明は、前記請求項1~請求項3の何れか1項記載の発明において、複数の前記液体貯留部が、前記液体の循環経路に対して並列に接続されている場合に、当該並列接続された液体貯留部の数に応じて、前記流量を設定する。請求項5に記載の発明は、前記請求項1~請求項4の何れか1項記載の発明において、前記液体が循環する管路の開閉制御により、相対的に粗い前記気泡を前記液体と共に前記管路へ案内し、相対的に細かい気泡を前記吐出口から排出する。請求項6に記載の発明は、前記請求項1~請求項5の何れか1項記載の発明において、前記液体が循環する管路に、当該管路内の圧力を調整するための圧力調整器が設けられている場合に、この圧力調整器の圧力調整機能を停止して、前記流量の制御を実行する。請求項7に記載の発明は、液滴を吐出する吐出口を備えた液体貯留部と、供給側圧力発生手段の駆動により前記液滴の集合である液体が貯留されたタンクから前記液体貯留部へ液体を供給する供給経路が形成された供給側管路部と、回収側圧力発生手段の駆動により前記液体貯留部に供給された液体を前記タンクへ回収する回収側管路部とを備え、待機状態では前記ノズルの背圧を負圧を維持しつつ、入力される信号に基づいて前記吐出口から液滴を吐出制御する液適吐出制御手段と、前記液体貯留部内の圧力を、少なくとも前記液体貯留部内の壁面に付着する気泡を浮遊させるのに充分な圧力変化率で目標圧力まで昇圧するように前記供給側圧力発生手段及び回収側圧力発生手段の少なくとも一方の流量を制御する第1の流量制御手段と、前記目標圧力に到達した時点で、前記液体貯留部内を浮遊する気泡を、前記吐出口から排出するために、当該目標圧力を維持する、或いは目標圧力から前記第1の流量制御手段による圧力変化率よりも小さい圧力変化率で降圧するように前記圧力発生手段の流量を制御する第2の流量制御手段と、を有している。請求項8に記載の発明は、前記請求項7に記載の発明において、前記第1の流量制御手段と、前記第2の流量制御手段とを交互に繰り返す請求項7記載の液滴吐出装置。請求項9に記載の発明は、前記請求項7に記載の発明において、前記第2の流量制御手段による流量制御により、予め定められた圧力まで降下した時点で、当該第2の流量制御手段による流量制御の下での圧力変化率よりも大きい圧力変化率で、再度前記目標圧力まで昇圧するように圧力発生手段の流量を制御する第3の流量制御手段をさらに備え、前記第1の流量制御手段による前記目標圧力到達後、前記第2の流量制御手段と、前記第3の流量制御手段とを交互に繰り返す。請求項10に記載の発明は、前記請求項7~請求項9の何れか1項記載の発明において、複数の前記液体貯留部が、前記液体の循環経路に対して並列に接続されている場合に、当該並列接続された液体貯留部の数に応じて、前記流量を設定する。請求項11に記載の発明は、前記請求項7~請求項10の何れか1項記載の発明において、前記液体が循環する管路の開閉制御により、相対的に粗い前記気泡を前記液体と共に前記管路へ案内し、相対的に細かい気泡を前記吐出口から排出する。請求項12に記載の発明は、前記請求項7~請求項11の何れか1項記載の発明において、前記液体が循環する管路に、当該管路内の圧力を調整するための圧力調整器が設けられている場合に、この圧力調整器の圧力調整機能を停止して、前記流量の制御を実行する。請求項13に記載の発明は、コンピュータを、前記請求項1~請求項6の何れか1項記載の流量制御装置として動作させる流量制御プログラムである。請求項1、請求項7、請求項13記載の発明によれば、第1の流量制御手段と第2の流量制御手段を有しない場合に比べて、液体貯留部内に発生する気泡の排出性能を向上することができる。請求項2、請求項8に記載の発明によれば、本構成を有しない場合に比べ、気泡の流動性を向上することができる。請求項3、請求項9記載の発明によれば、気泡の状況にあわせて、第1の流量制御手段とは別に、第3の流量制御手段を設定することができる。請求項4、請求項10記載の発明によれば、必要充分の流量を確保することができる。請求項5、請求項11に記載の発明によれば、気泡の大きさにより排出先を振り分けることができる。請求項6、請求項12に記載の発明によれば、圧力調整器による圧力緩和を回避することができる。[第1の実施の形態]全体構成本実施の形態では、液滴を吐出する液滴吐出装置の一例として、インク滴を吐出して記録媒体に画像を記録するインクジェット記録装置について説明する。なお、液滴吐出装置としては、インクジェット記録装置に限定されるものではない。液滴吐出装置としては、例えば、フィルムやガラス上にインク等を吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置、有機EL溶液を基板上に吐出してELディスプレイパネルを形成する装置、溶解状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成する装置、金属を含む液体を吐出して配線パターンを形成する装置及び液滴を吐出して膜を形成する各種の成膜装置であってもよく、液滴を吐出するものであればよい。図16は、本実施の形態に係るインクジェット記録装置の構成を示す概略図である。図16に示すように、インクジェット記録装置1010は、用紙等の記録媒体Pが収容される記録媒体収容部1012と、記録媒体Pに画像を記録する画像記録部1014と、記録媒体収容部1012から画像記録部1014へ記録媒体Pを搬送する搬送手段1016と、画像記録部1014によって画像が記録された記録媒体Pが排出される記録媒体排出部1018と、を備えている。画像記録部1014は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの一例として、インク滴を吐出して記録媒体に画像を記録する液滴吐出装置以下、インクジェットヘッドという10Y、10M、10C、10Kを備えている。なお、インクジェットヘッド10Y、10M、10C、10Kを総称する場合に、インクジェットヘッド10Y~10Kと示す場合がある。また、このインクジェットヘッド10Y~10Kとインクを循環させる配管を含め、インクジェットヘッド10という場合がある。このインクジェットヘッド10は、インク供給制御装置110により、インクの吐出が制御されるようになっている。インクジェットヘッド10Y~10Kは、それぞれ複数の液滴吐出部としてのインクヘッドモジュール12図1参照を備えており、当該インクヘッドモジュール12は、ノズル図示省略が形成されたノズル面1022Y~1022Kをそれぞれ有している。このノズル面1022Y~1022Kは、インクジェット記録装置1010での画像記録が想定される記録媒体Pの最大幅と同程度か、又はそれ以上の記録可能領域を有している。さらに、インクジェットヘッド10Y~10Kは、記録媒体Pの搬送方向の下流側から、イエローY、マゼンタM、シアンC、ブラックKの色の順で並列に並べられており、その各色に対応したインク滴を、圧電方式によって、複数のノズルから吐出し、画像を記録する構成となっている。なお、インクジェットヘッド10Y~10Kにおいて、インク滴を吐出させる構成は、サーマル方式等の他の方式によって吐出させる構成であっても良い。インクジェット記録装置1010には、液体を貯留する貯留部として、各色のインクを貯留するインクタンク1021Y、1021M、1021C、1021K以下、1021Y~1021Kと示すが設けられている。このインクタンク1021Y~1021Kから、各インクジェットヘッド10Y~10Kへインクが供給される。なお、インクジェットヘッド10Y~10Kへ供給されるインクとしては、水性インク、油性インク、溶剤系インク等、各種インクの使用が可能である。搬送手段1016は、記録媒体収容部1012内の記録媒体Pを1枚ずつ取り出す取出ドラム1024と、画像記録部1014のインクジェットヘッド10Y~10Kへ記録媒体Pを搬送しその記録面表面をインクジェットヘッド10Y~10Kに対面させる搬送体としての搬送ドラム1026と、画像が記録された記録媒体Pを記録媒体排出部1018へ送り出す送出ドラム1028と、を有している。そして、取出ドラム1024、搬送ドラム1026、送出ドラム1028は、それぞれ記録媒体Pがその周面に静電的吸着手段、或いは吸引や粘着などの非静電的吸着手段によって保持されるように構成されている。また、取出ドラム1024、搬送ドラム1026、送出ドラム1028には、それぞれ記録媒体Pの搬送方向下流側端部を挟んで保持する保持手段としてのグリッパー1030が、例えば2組ずつ備えられており、これら3個のドラム1024、1026、1028は、それぞれその周面に記録媒体Pを、グリッパー1030によってこの場合は2枚まで保持可能に構成されている。そして、グリッパー1030は、各ドラム1024、1026、1028の周面に2つずつ形成された凹部1024A、1026A、1028A内に設けられている。具体的には、各ドラム1024、1026、1028の凹部1024A、1026A、1028A内の予め定められた位置に、各ドラム1024、1026、1028の回転軸1032に沿って回転軸1034が支持されており、この回転軸34には、その軸方向に間隔をおいて複数のグリッパー30が固定されている。したがって、回転軸1034が、図示しないアクチュエーターによって正逆両方向に回転することにより、グリッパー1030が各ドラム1024、1026、1028の周方向に沿って正逆両方向に回転し、記録媒体Pの搬送方向下流側端部を挟んで保持したり、離したりするようになっている。つまり、グリッパー1030は、その先端部が各ドラム1024、1026、1028の周面から若干突出するように回転することで、取出ドラム1024の周面と搬送ドラム1026の周面とが対面する受渡位置36において、取出ドラム1024のグリッパー1030から搬送ドラム26のグリッパー30へ記録媒体Pを受け渡すようになっており、搬送ドラム26の周面と送出ドラム28の周面とが対面する受渡位置38において、搬送ドラム1026のグリッパー1030から送出ドラム1028のグリッパー1030へ記録媒体Pを受け渡すようになっている。また、インクジェット記録装置1010は、インクジェットヘッド10Y~10Kをメンテナンスするメンテナンスユニット図示省略を備えている。メンテナンスユニットは、インクジェットヘッド10Y~10Kのノズル面を覆うキャップ、予備吐出空吐出された液滴を受ける受け部材、ノズル面を清掃する清掃部材、ノズル内のインクを吸引するための吸引装置等を有しており、メンテナンスユニットがインクジェットヘッド10Y~10Kに対向する対向位置に移動し、各種のメンテナンスを行う。次に、インクジェット記録装置10の画像記録動作について説明する。記録媒体収容部1012から取出ドラム1024のグリッパー1030により1枚ずつ取り出されて保持された記録媒体Pは、取出ドラム1024の周面に吸着されつつ搬送され、受渡位置1036において、取出ドラム1024のグリッパー1030から搬送ドラム1026のグリッパー1030へ受け渡される。搬送ドラム1026のグリッパー1030により保持された記録媒体Pは、その搬送ドラム26に吸着されつつインクジェットヘッド10Y~10Kの画像記録位置まで搬送され、そのインクジェットヘッド10Y~10Kから吐出されるインク滴により、記録面に画像が記録される。記録面に画像が記録された記録媒体Pは、受渡位置1038において、搬送ドラム26のグリッパー1030から送出ドラム1028のグリッパー1030へ受け渡される。そして、送出ドラム1028のグリッパー1030により保持された記録媒体Pは、その送出ドラム1028に吸着されつつ搬送され、記録媒体排出部1018へ排出される。以上のように、一連の画像記録動作が行われる。配管構成図1には、本実施の形態に係る液滴吐出装置の一例としてのインクジェットプリンタのインクジェットヘッド10の配管図が示されている。本実施の形態のインクジェットヘッド10には、複数のヘッドモジュール12が取り付けられ、それぞれのヘッドモジュール12へインクを供給するためのインク循環用配管路が形成されている。図1に示される如く、ヘッドモジュール12には、供給動作によりインクが流入する入力ポート12Aと、回収動作によりインクを排出する出力ポート12Bとが設けられている。入力ポート12Aには、供給側マニホールド14から分岐した供給側分岐管16の先端が取り付けられ、出力ポート12Bには、回収側マニホールド18から分岐した回収側分岐管20の先端が取り付けられている。すなわち、供給側マニホールド14及び回収側マニホールド18には、前記ヘッドモジュール12の設置数分の分岐管供給側分岐管16及び回収側分岐管20が設けられ、供給側マニホールド14に供給されるインクを予め定められた圧力Pin、かつ予め定められた流量でそれぞれのヘッドモジュール12へ供給し、さらには、ヘッドモジュール12へ供給されたインクを予め定められた圧力Pout、かつ予め定められた流量でそれぞれヘッドモジュール12から回収側マニホールド18へ回収する構造となっている。すなわち、前記供給側マニホールド14の圧力Pinと回収側マニホールド18の圧力Poutにより、ヘッドモジュール12部で差圧ΔPを発生させ、この結果、ヘッドモジュール12内では、入力ポート12Aと出力ポート12Bの間にインクの流れが生じ、この流れにより、常にフレッシュなインクがヘッドモジュール12に供給されることになる。インク吐出口であるノズル面には、当該前記供給側マニホールド14の圧力Pinと回収側マニホールド18の圧力Poutの高低差の影響を考慮した総和の平均の圧力である背圧Pnzlを付与している。供給側分岐管16には、それぞれ供給側バルブ22と緩衝器24とが介在されている。また、回収側分岐管20には、それぞれ回収側バルブ26と緩衝器24とが介在されている。供給側バルブ22及び回収側バルブ26は、ヘッドモジュール12を個別に動作させる必要があるときに開閉操作されるものであり、緩衝器24は、供給側マニホールド14から供給されるインク、或いは回収側マニホールド18へ回収されるインクの流動時の圧力変動等を緩和する役目を有している。供給側マニホールド14は、その長手方向一端部図1の右端部にインク循環配管系の供給管28の一端部が取り付けられ、一方回収側マニホールド18は、その長手方向一端部図1の右端部にインク循環配管系の回収管30の一端部が取り付けられている。また、供給側マニホールド14と回収側マニホールド18のそれぞれの他端部図1の左端部の間には、第1の連通流路32と第2の連通流路34とが設けられている。第1の連通流路32には、第1の連通バルブ36が介在されている。また、第2の連通流路34には、第2の連通バルブ38が介在されている。この第1の連通流路32及び第2の連通流路34は、供給側マニホールド14と回収側マニホールド18との間の圧力、流量調整等に用いられる。例えば、通常の循環供給側マニホールド14から回収側マニホールド18への流れは、第1の連通バルブ36が閉止、第2の連通バルブ38が開放されており、第2の連通流路38のみが連通されている。さらに、供給側マニホールド14と回収側マニホールド18の他端部には、それぞれ供給側圧力センサ40及び回収側圧力センサ42が取り付けられており、供給側マニホールド14と回収側マニホールド18内を流れるインクの圧力を監視している。前記供給側マニホールド14に連結された前記供給管28の他端部は、供給側サブタンク44に連結されている。供給側サブタンク44は、二室構造で、弾性力を有する薄膜部材44Aで仕切られており、その1つがインク用サブタンク室44B、他の1つの空気室44Cとなっている。インク用サブタンク室44Bには、インクをバッファタンク46から引き込むための供給側主管48の一端部が連結されている。供給側主管48の他端の開口はバッファタンク46に貯留されたインクに浸漬されている。供給側主管48には、バッファタンク46から供給側サブタンク44にかけて順番に、脱気モジュール50、一方向弁52、供給側ポンプ54圧力発生手段の一例、供給側フィルタ56、インク温度調整器58がそれぞれ介在されており、前記供給側ポンプ54の駆動力で、バッファタンク46に貯留されているインクを供給側サブタンク44へ供給する途中で、インク内から気泡を取り除き、かつインクの温度を管理している。なお、供給側ポンプ54の入側は、供給主管48とは別に分岐管53の一端部が連通され、この分岐管53の他方の開口は、一方向弁55を介して、バッファタンク46に貯留されたインクに浸漬されている。また、本実施の形態で適用される供給側ポンプ54は、ステッピングモータを用いたチューブポンプ弾性力を持つチューブをステッピングモータによる回転駆動でしごきながらチューブ内のインクを供給するであるが、特にこのようなポンプに限定されるものではない。なお、以下で、ポンプ回転数を示す場合、ステッピングモータの回転数と同等とする。前記供給側サブタンク44の空気室44Cには、開放管60が取り付けられている。開放管60には、供給側エアバルブ66が介在されている。また、インク用サブタンク室44Bは、ドレイン管68の一端が連結されている。ドレイン管68の他端の開口は、バッファタンク46に貯留されたインクに浸漬されている。ドレイン管68には、供給側ドレインバルブ70が介在されている。上記供給側サブタンク44は、空気室44Cと薄膜部材44Aにより、インク用サブタンク室44B内の圧力を負圧に維持する役目を有している。次に、前記回収側マニホールド18に連結された前記回収管30の他端部は、回収側サブタンク72に連結されている。回収側サブタンク72は、二室構造で、弾性力を有する薄膜部材72Aで仕切られており、その1つがインク用サブタンク室72B、他の1つが空気室72Cとなっている。インク用サブタンク室72Bには、インクをバッファタンク46から引き込むための回収側主管74の一端部が連結されている。回収側主管74には、一方向弁76が介在されており、回収側ポンプ80圧力発生手段の一例の駆動力で、回収側サブタンク72内のインクをバッファタンク46へ回収している。前記回収側サブタンク72の空気室72Cには、開放管82が取り付けられている。開放管82には、回収側エアバルブ88が介在されている。また、インク用サブタンク室72Bは、ドレイン管90の一端が連結されている。ドレイン管90の他端は、回収側ドレインバルブ92を介して前記供給側サブタンク44のドレイン管68と連通している。上記回収側サブタンク72は、空気室72Cと薄膜部材72Aにより、インク用サブタンク室72B内の圧力を負圧に維持する役目を有している。ところで、本実施形態では、供給側ポンプ54及び回収側ポンプ80による圧力は、供給側マニホールド14の圧力Pin>回収側マニホールド18の圧力Poutであるが、それぞれ負圧供給となっている。すなわち、供給側ポンプ54の供給圧力が負圧であるが、回収側ポンプ80の回収圧力がさらに負圧であるため、インクは、供給側マニホールド14から回収側マニホールド18へ流れ、かつヘッドモジュール12のノズルの背圧Pnzlが負圧{PinPout/2ρg/2}ここでρ:インク密度、hinはノズル面から供給側マニホールド14までの高さ、houtはノズル面から回収側マニホールド18までの高さであるに維持されるようになっている。なお、本実施の形態では、回収側ポンプ80の入側と、前記供給側主管48における脱気モジュール50の出側との間が連通された、ヘッドモジュール12内の加圧パージ用配管94が設けられている。加圧パージ用配管94には、脱気モジュール50から回収側ポンプ80にかけて順番に、一方向弁96、回収側フィルタ98が介在されている。すなわち、ヘッドモジュール12内を加圧して、一気にインクを排出することで気泡等を排除するとき、供給側ポンプ54の駆動に加え、回収側ポンプ80の駆動方向を通常時に対して逆転させ、バッファタンク46から回収側マニホールド18へインクを供給するようにしている。なお、排出時は、ドレイン管68、90を用いる。前記バッファタンク46は、メインタンク100と連通している。すなわち、バッファタンク46には、インクを循環させるために必要なインク量が貯留されており、インク消費に応じて、メインタンク100からインクが補充される構成となっている。すなわち、メインタンク100に貯留されたインクに補充管102の一端部が浸漬されている。この補充管102の浸漬された一端開口にはフィルタ104が取り付けられている。補充管102は、補充ポンプ106の入側に連結されている。補充ポンプ106の出側は、バッファタンク46へ配管された、前記ドレイン管90の途中に連通されている。ここで、補充ポンプ106が駆動することで、バッファタンク46へインクが補充される。なお、バッファタンク46とメインタンク100との間には、オーバーフロー管108が設けられ、過剰補充時にインクがメインタンク100へ戻されるようになっている。制御系構成図2には、本実施の形態に係るインクジェットヘッド10における動作を制御するためのインク供給制御装置110のブロック図が示されている。インク供給制御装置110は、マイクロコンピュータ112を含んで構成されている。マイクロコンピュータ112は、CPU114、RAM116、ROM118、I/O120及びこれらを接続するデータバスやコントロールバス等のバス122を備えている。I/O120には、ハードディスクドライブHDD124が接続されている。また、I/O120には、供給側圧力センサ40、回収側圧力センサ42が接続されている。さらに、I/O120には、図示は省略したが、ヘッドモジュール12のノズルからインクを吐出して画像形成する際の画像データが入力されるようになっている。なお、画像データは、インク吐出位置や吐出量が定められた状態ラスターデータであってもよいし、JPEG等の圧縮されたデータ等であってもよく、この場合はCPU114においてインク吐出用のデータラスタデータに変換される。CPU114では、ROM118に記憶されたインク循環系プログラムが読み出されて実行される。ROM118には、インク循環モードとして、少なくとも以下のような制御プログラムが記憶されている。第1のインク循環モードインクをバッファタンク46内のインクを、供給側マニホールド14から回収側マニホールド18方向へ流動させ循環させる循環制御プログラムであるプログラム1。第2のインク循環モードヘッドモジュール12内に発生する気泡を排出するパージするための循環制御プログラムであるプログラム2なお、上記第1のインク循環モード及び第2のインク循環モードを実行するためのプログラムは、ROM118に限らず、HDD124或いは外部記憶媒体に記憶しておき、当該外部記憶媒体を装填することで情報を読み取るリーダーやLAN等のネットワーク共に図示省略から取得するようにしてもよい。前記CPU114では、前記インク循環制御プログラムを読み出し、当該読み出したインク循環制御プログラムに基づいて、前記I/O120に接続されたヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128、ドレイン制御部130、ポンプ駆動制御部132、温度制御部134が動作する。ヘッドモジュール循環系制御部126には、ヘッドモジュール12に内蔵されたノズル吐出デバイス例えば、圧電素子等への通電制御による圧力室の振動でインク滴をノズルから吐出する動作をするデバイス12dev.、供給側バルブ22,回収側バルブ26、第1の連通バルブ36、第2の連通バルブ38が接続されている。圧力調整制御部128には、供給側エアバルブ66、回収側エアバルブ88が接続されている。ドレイン制御部130には、供給側ドレインバルブ70、回収側ドレインバルブ92が接続されている。なお、以下において、前記供給側バルブ22,回収側バルブ26、第1の連通バルブ36、第2の連通バルブ38、供給側エアバルブ66、回収側エアバルブ88、供給側ドレインバルブ70、回収側ドレインバルブ92を総称する場合、各バルブと言う場合がある。ポンプ駆動制御部132には、供給側ポンプ54、回収側ポンプ80、補充ポンプ106が接続されている。なお、本実施の形態では、供給側ポンプ54、回収側ポンプ80、補充ポンプ106の回転速度を回転数rpmで表現するが、線速度、角速度等、別の表現であってもよい。温度制御部134には、インク温度調整器58が接続されている。図3は、この差圧ΔP、並びに背圧Pnzlの概要を示している。図3に示される如く、ヘッドモジュール12を基準として、供給側マニホールド14の高さ位置と、回収側マニホールド18の高さ位置との間には、差がある。従って、ヘッドモジュール12のノズル面との水頭差も異なる。ここでは、供給側マニホールド14のノズル面との水頭差をhinmmとし、回収側マニホールド18のノズル面との水頭差をhoutmmとする。供給側マニホールド14には、前記供給側ポンプ54の駆動力で所定の圧力Pinでインクが供給されており、回収側マニホールド18には、前記回収側ポンプ80の駆動力で所定の圧力Poutでインクが回収されている。このときの圧力Pinと圧力Poutはそれぞれ負圧であり、かつ、圧力Poutの方が圧力Pinよりもさらに負圧となっている。上記条件の下で、ヘッドモジュール12のノズル面における背圧Pnzlは、以下の1式で表される。また、上記条件の下で、供給側と回収側との差圧ΔPは、以下の2式で表される。Pnzl=Pinhin×g×ρPouthout×g×ρ/21ΔP=Pouthout×g×ρ-Pinhin×g×ρ2ここで、Pnzl:ヘッドモジュール12のノズル面における圧力背圧Pin:供給側マニホールド14内の圧力Pout:回収側マニホールド18内の圧力g:重力加速度ρ:インク密度である。上記1式、及び2式において、水頭差hin、hout、重力加速度gは定数として考えてよく、インクの変更が無い場合は、インク密度ρも定数と考えてよい。従って、差圧ΔPや背圧Pnzlの調整は、供給側マニホールド14内の圧力Pinと、回収側マニホールド18内の圧力Poutとに依存されることになる。ところで、上記構成のヘッドモジュール12に設けられる内方空間以下、貯留空間、ヘッドモジュール内という場合がある。には、インクが充填されるが、このインクに気泡が混入する場合がある。気泡は貯留空間内の圧力を変化させる原因となり、例えば、ノズルからの液滴吐出制御時の液滴量が変化する場合があるため、取り除く必要がある。このため、本実施の形態では、インク循環用配管路に対して、加圧パージ機能を備えている。加圧パージの基本制御は、ヘッドモジュール12内の貯留空間を急激に加圧することで、ノズルから気泡を排出せしめるものである。本実施の形態では、特に、急激な加圧後の急激な圧力低下が及ぼす気泡排出性能低下の影響を抑制するための貯留空間での圧力制御を行っている。すなわち、供給側ポンプ54及び回収側ポンプ80の駆動時の流量制御によって、少なくとも2種類の圧力変化率を設定している。その基本手順は以下のとおりである。手順1急激な圧力変化率で目標圧力まで昇圧する。手順2目標圧力に到達後、手順1よりも緩やかな圧力変化率で降圧する。前記手順1は、主として、前記ヘッドモジュール12の貯留空間の内壁に付着している気泡を浮遊させる役目を有する。また、前記手順2は、主として、浮遊した気泡をヘッドモジュール12のノズルから排出する役目を有する。すなわち、本実施の形態では、気泡の特性を考慮した、上記少なくとも2段階の圧力調整流量制御により、円滑な加圧パージ気泡排出機能を実現した。図4には、インク供給制御装置110における、加圧パージ機能を実行するための機能ブロック図が示されている。なお、この機能ブロック図は、機能別にブロック化して示したものであり、ハード構成を限定するものではない。例えば、本実施の形態では、主としてインク供給制御装置110のマイクロコンピュータ112によるソフトプログラムにより実行される。図4に示される如く、加圧パージ指示信号は、加圧パージ用バルブ初期設定部150に入力されるようになっている。加圧パージ用バルブ初期設定部150は、バルブ開閉パターン決定部152に接続されており、前記加圧パージ指示信号が入力されるとバルブ開閉パターン決定部152へ起動信号を出力する。バルブ開閉パターン決定部152では、起動信号を受けると、工程-開閉パターンテーブルメモリ154から各バルブの初期開閉パターン情報を読み出す図8参照。前記加圧パージ用バルブ初期設定部150は、工程管理制御部156に接続されている。加圧パージ用バルブ初期設定部150では、バルブ開閉パターン決定部152へ起動信号を出力すると共に、工程管理制御部156へも既読信号を出力する。これにより、工程管理制御部156は、加圧パージの工程管理が始動する。前記工程管理制御部156は、基本的にタイマ158による時間管理で工程を進行させる役目を有し、各工程の実行時に、前記バルブ開閉パターン決定部152に対して工程実行を指示する。本実施の形態では、工程1~工程6まで設定されている。バルブ開閉パターン決定部152では、工程管理制御部156から入力される工程番号情報に基づき、工程-開閉パターンテーブルメモリ154に記憶された工程-開閉パターンテーブルから各工程のバルブ開閉パターンを決定する。前記バルブ開閉パターン決定部152は、バルブ開閉指示/監視部160に接続されており、前記決定された各バルブの開閉パターンとなるように、ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128、ドレイン制御部130へ開閉指示信号を出力する。ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128、ドレイン制御部130では、指示された開閉パターンに基づき、それぞれに接続されたバルブを開閉する。また、ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128、ドレイン制御部130では、バルブ開閉動作が完了すると、当該完了を示す信号をバルブ開閉指示/監視部160へ返信する。バルブ開閉指示/監視部160は、前記工程管理制御部156に接続されており、バルブの開閉動作完了をこの工程管理制御部156へ通知する。前記工程管理制御部156は、圧力値取得指示部162,検出圧力値取得部164に接続されている。検出圧力値取得部164には、供給側圧力センサ40、回収側圧力センサ42が接続されている。工程管理制御部156では、工程4の段階で、予め定めた流量1に対して目標圧録に到達すると、流量2に変更するようになっている。このため、目標圧力を検出するべく、工程4の実行中、圧力値取得指示部162へ圧力値取得指示信号を出力する。この圧力値取得指示信号に応じて、圧力値取得指示部162では、検出圧力値取得部164に対して、供給側圧力センサ40、回収側圧力センサ42から入力される検出圧力値を取得し、前記工程管理制御部156へ送出する。工程管理制御部156では、工程4の間より詳しくは、目標圧力までの間、目標圧力と検出圧力値とを比較する。前記工程管理制御部156には、ポンプ選択部166、ポンプ流量設定部168が接続されており、各工程に適したポンプの選択、かつ、流量設定がなされ、その結果をポンプ駆動制御部132へ送出する。ポンプ駆動制御部132では、ポンプ選択部166、ポンプ流量設定部168から受けた情報ポンプ選択情報、流量設定情報に基づき、供給側ポンプ54及び/又は回収側ポンプ80の駆動を制御する。なお、このとき、流量制御部170では、選択された供給側圧力ポンプ54及び/又は回収側圧力ポンプ80の流量を、設定された流量に維持するように制御する例えば、流量センサ等を設置することによるフィードバック制御。以下に本実施の形態の作用を説明する。図5A、図5Bは、加圧パージ制御ルーチンを示すフローチャートである。図5Aに示される如く、ステップ172では、加圧パージの指示があったか否かを判断し、否定判定された場合はこのルーチンは終了する図5B参照。ステップ172で肯定判定されるといステップ173へ移行して、工程N図5AでのN値は1又は2を1にセットしてステップ174へ移行する。ステップ174では、各バルブの開閉パターンをパターンテーブルメモリ154から読み出し、次いでステップ175へ移行して、ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128,ドレイン制御部130に対して、各バルブ開閉指示を出す。これにより、ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128,ドレイン制御部130は、各バルブを、指示された開閉パターンに基づき開閉する。次のステップ176では、各バルブの開閉が完了したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ177へ移行して、工程1に適合するポンプ加圧駆動し、ステップ178へ移行する。ステップ178では、所定圧力に達したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ179へ移行して、ポンプ駆動を停止し、ステップ180へ移行する。ステップ180では、工程N図5AでのN値は1又は2を2にセットしてステップ181へ移行する。ステップ181では、各バルブの開閉パターンをパターンテーブルメモリ154から読み出し、次いでステップ182へ移行して、ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128,ドレイン制御部130に対して、各バルブ開閉指示を出す。これにより、ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128,ドレイン制御部130は、各バルブを、指示された開閉パターンに基づき開閉する。次のステップ183では、各バルブの開閉が完了したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ184へ移行して、工程2に適合するポンプ加圧駆動し、ステップ185へ移行する。ステップ185では、所定圧力に達したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ186へ移行して、ポンプ駆動を停止し、図5Bのステップ202へ移行する。図5Bに示される如く、ステップ202では、工程番号を示す変数Nの値を3にセットして、ステップ210へ移行する。ステップ210では、工程N図5BでのN値は3~8の各バルブの開閉パターンをパターンテーブルメモリ154から読み出し、次いでステップ212へ移行して、ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128,ドレイン制御部130に対して、各バルブ開閉指示を出す。これにより、ヘッドモジュール循環系制御部126、圧力調整制御部128,ドレイン制御部130は、各バルブを、指示された開閉パターン図5Bでは、工程3~8の開閉パターンの何れかに基づき開閉する。次のステップ214では、各バルブの開閉が完了したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ216へ移行して、工程Nに適合するポンプ供給側ポンプ54及び/又は回収側ポンプ080を選択し、ステップ219へ移行する。ステップ219では、選択されたポンプを設定された流量に基づいて駆動する制御を開始して、ステップ220へ移行する。ステップ220では、現在の変数Nの値が6か、すなわち工程4の開始か否かが判断される。このステップ220で否定判定された場合は、工程3~5,7,8の何れかであると判断し、ステップ222へ移行する。一方、ステップ220で肯定判定された場合は、工程4であると判断し、ステップ224へ移行する。本実施の形態では、工程6以外工程3~5,7,8は、タイマ管理で選択されたポンプの駆動が制御され、かつ流量はの範囲内となるように制御される。一方、工程6は、タイマ駆動に加え、当初の流量流量1で選択されたポンプを駆動し、予め定めた目標圧力に到達すると、流量1から流量2流量1>流量2に変更することで、図9に示す圧力パターンの推移を実現している。すなわち、ステップ220で否定判定され、ステップ222へ移行した場合、このステップ222では、ステップ216と、ステップ218で設定したポンプ駆動制御を維持しつつ、工程Nの所定時間が経過したか否かが判断される。このステップ222で肯定判定されると、ステップ226へ移行して現在が工程8か否かが判断され、否定判定された場合はステップ228へ移行して、変数NをインクリメントN←N1して、ステップ210へ戻り、上記を繰り返す。また、ステップ226で肯定判定されると、全工程が終了したと判断され、このルーチンは終了する。次に、前記ステップ220で肯定判定され、ステップ224へ移行した場合、このステップ224では、供給側圧力センサ40、回収側圧力センサ42からの検出圧力値を取得し、ステップ230へ移行する。ステップ230では、取得した検出圧力値が予め設定した目標圧力値に到達したか否かが判断される。このステップ230で否定判定された場合は、ステップ218で設定した流量を維持し流量1、ステップ224へ戻り、上記を繰り返す。また、ステップ230で肯定判定されると、取得した検出圧力値が目標圧力に到達したと判断し、ステップ234へ移行して、前記ステップ210で設定した流量1から流量2流量1>流量2へ変更し、ステップ222へ移行する。以下、工程6の後半目標圧力に到達後は、タイマ制御でポンプの駆動が制御される。図9は、上記図5のフローチャートに従って制御された圧力推移特性図である。以下、工程毎にその状態の詳細を図6及び図7に従い説明する。[工程1]図6AAに示される如く、初期開閉パターンの状態から、圧力調整制御部128の管理下である供給側エアバルブ66、回収側エアバルブ88を、加圧パージ実行前に全て開放する。供給側ポンプ54および回収側ポンプ80を加圧駆動させる。供給側マニホールド14の圧力および回収側マニホールド18の圧力がそれぞれ所定値に達したら、供給側ポンプ54および回収側ポンプ80を停止させる。[工程2]図6ABに示される如く、工程1の状態から、供給側エアバルブ66、回収側エアバルブ88を閉止し、供給側ドレインバルブ70を開放し、供給側マニホールド14の圧力を解除する。[工程3]図6BAに示される如く、工程2の状態から、供給側ドレインバルブ70を閉止する。その他の供給側バルブ22、回収側バルブ26、第1の連通バルブ36、第2の連通バルブ38、回収側ドレインバルブ92は閉止した状態で、回収側ポンプ80が予め定めた流量本実施の形態では、一例として4mLsecで駆動を開始するので、回収側マニホールド18内の圧力は急激に高くなる。一方、供給側マニホールド14の圧力は変化しない例えば、常圧1気圧回収側マニホールド18内の圧力が所定値本実施の形態では、一例として40kPaを越えたら、回収側ポンプ80を停止させる。[工程4]図6BBに示される如く、工程3の状態から、加圧された状態で供給側バルブ22が開放するが、回収側マニホールド18との連通はなく、回収側マニホールド18は、工程3での圧力値が維持される。[工程5]図6BCに示される如く、工程4の状態から第1の連通バルブ36、第2の連通バルブ38が開放され、回収側マニホールド18に充填されたインクの一部が、供給側マニホールド14へ流動し、この結果、供給側マニホールド14と回収側マニホールド18との内部圧力が予め定めた許容誤差の範囲内で同一となる。なお、この工程5までは、加圧パージの準備段階であり、この状態で工程6へ移行することになる。[工程6]図7Aに示される如く、工程5のバルブ状態が維持されたまま、前記回収側ポンプ80の駆動を継続しつつ、供給側ポンプ54の駆動を開始する。このときの流量は、供給側マニホールド14と回収側マニホールド18との内圧が上昇する圧力変化率本実施の形態では、一例として30~50kPasecとなる流量1本実施の形態では、一例として4mLsecである。この昇圧している圧力は、開放されているヘッドモジュール12の供給側バルブ22を通過して、ヘッドモジュール12内の貯留室の圧力を高める。この結果、貯留室の内壁に付着している気泡が剥がれ、インク内を浮遊する状態となる。この状態は、ノズルから排出されやすい状態である。この昇圧は、予め定めた目標圧力値本実施の形態では、一例として30kPaまで継続され、当該目標圧力値になると、供給側ポンプ54、回収側ポンプ80の駆動制御により流量を流量1本実施の形態では、一例として4mLsecよりも小さい流量2本実施の形態では、一例として01mLsecに変更する。この結果、供給側マニホールド14と回収側マニホールド18との内圧は、昇圧時の変化率よりも小さい、下降する圧力変化率となる。言い換えれば、工程6は、相対的に急激に圧力変化率で目標圧力まで上昇させ、その後、相対的に緩やかな圧力変化率本実施の形態では、一例として2~6kPasecで下降させる制御となる。このような圧力制御により、圧力が徐々に低下するため、ヘッドモジュール12のノズルから空気が逆流するような現象を回避しつつ、ヘッドモジュール12の貯留室内を浮遊する気泡がノズルから排出される。[工程7]図7Bに示される如く、工程6の状態から、ポンプの駆動を停止して、第1の連通バルブ36、第2の連通バルブ38を閉止し、かつ供給側ドレインバルブ70を開放することで、供給側マニホールド14、ヘッドモジュール12内の貯留室の圧力が、常圧例えば、1気圧となるまで自然低下する。一方、回収側マニホールド18は、工程4の終了時の圧力がそのまま維持される。[工程8]図7Cに示される如く、供給側バルブ22を閉止すると共に、工程57で開放した供給側ドレインバルブ70を閉止し、加圧パージ制御は終了する。圧力は工程57の終了時を維持する。なお、上記では、1つのヘッドモジュール12のみを対象として説明したが、上記工程を順次繰り返すことで、全て任意の数のヘッドモジュール例えば、17個のヘッドモジュール12があればそのうちの1~17個が加圧パージされる。また、流量1、流量2は単一のヘッドモジュール12を対象として設定したが、例えば、2個以上のヘッドモジュール12を同時に加圧パージする場合は、単一のヘッドモジュール12で設定した流量1、流量2に個数分を積算すればよい流量1←流量1×個数、流量2←流量2×個数。また、上記実施の形態では、工程6において、流量1と流量2流量1>流量2を設定し、相対的に急激な圧力変化率で昇圧し、目標圧力到達後、相対的に緩やかな圧力変化率で降圧することで、昇圧時にヘッドモジュール12の貯留室の内壁に付着する気泡を剥がしてインク内を浮遊させ、その後、降圧時にヘッドモジュール12のノズルから気泡を排出するようにしたが、工程6に関しては、以下に示す変形例1、変形例2に示す圧力推移パターンとしてもよい。この圧力推移は、供給側ポンプ54と回収側ポンプ80の流量制御によって全て実現可能である。また、以下に示す変形例1、2の工程数は、上記実施の形態の工程数と同一であり、かつ工程1~5、7,8はその制御も同一であるため、工程6の圧力推移を説明し、その他の説明は省略する。変形例1図10に示される如く、変形例1の工程6では、目標圧力まで昇圧後、流量制御流量2の設定により、目標圧力を維持するようにした。目標圧力に維持することで、ヘッドモジュール12内の貯留室からノズルを通って、気泡と共にインクが流出しても目標圧力を維持しているため、徐々に気泡の排出能力が低下するといった不具合が発生しない。変形例2図11に示される如く、変形例2では、流量1と流量2の制御に加え、流量3≒流量1>流量2を設定し、所謂のこぎり状に圧力を変化させるようにした。圧力が小刻みに変化することで、ヘッドモジュール12内の貯留室の気泡の動きを活発にすることで、排出を促すことになる。なお、流量3は、流量1と予め定めた許容範囲内で同一であってもよく、要するに相対的に急激な昇圧、緩やかの降圧が実現されればよい。また、昇圧と降圧との間に目標圧力を維持する期間を設けるようにしてもよい。変形例3図12、図13、図14に示される如く、変形例3は、6工程の加圧パージ制御となっている。図12は、各工程の各バルブの開閉パターンである。[工程1]図12AAに示される如く、初期開閉パターンの状態から、圧力調整制御部128の管理下である供給側エアバルブ66、回収側エアバルブ88を、加圧パージ実行前に全て開放する。供給側ポンプ54および回収側ポンプ80を加圧駆動させる。供給側マニホールド14の圧力および回収側マニホールド18の圧力がそれぞれ所定値に達したら、供給側ポンプ54および回収側ポンプ80を停止させる。[工程2]図12ABに示される如く、工程1の状態から、供給側エアバルブ66、回収側エアバルブ88を閉止し、供給側ドレインバルブ70、回収側ドレインバルブ92を開放し、供給側マニホールド14および回収側マニホールド18の圧力を解除する。図12BAに示される如く、工程3においては、供給側バルブ22と回収側バルブ26を開放する。次いで、図12BBに示される如く、工程4では、工程3の各バルブ開閉状態を維持しつつ、供給側ポンプ54、回収側ポンプ80を上記実施の形態の流量1と同等の流量1で駆動する。この結果、供給側マニホールド14、回収側マニホールド18、並びにヘッドモジュール12の貯留室の圧力が相対的に急激な圧力変化率本実施の形態では、一例として30~50kPasecで昇圧される。その後、目標圧力に到達した時点で、供給側ポンプ54、回収側ポンプ80による流量を流量1本実施の形態では、一例として4mLsecから流量2本実施の形態では、一例として01mLsec<流量1での駆動に変更することで、供給側マニホールド14、回収側マニホールド18、並びにヘッドモジュール12の貯留室の圧力が相対的に緩やか圧力変化率本実施の形態では、一例として2~6kPasecで降圧される。この変形例3の工程4は、本実施の形態で説明した工程6と同様の機能を有することになる。次に、図12BCに示される如く、工程5では、供給側ドレインバルブ70、回収側ドレインバルブ92を開放することで、供給側マニホールド14、回収側マニホールド18、並びにヘッドモジュール12の貯留室の圧力は常圧まで低下し、図12BDに示される如く、工程6で供給側ドレインバルブ70、回収側ドレインバルブ92を閉止することで、当該常圧が維持される。変形例4図15A、図15B、図16、図17に示される如く、変形例4は、6工程の加圧パージ制御となっている。図15は、各工程の各バルブの開閉パターンである。図15AAの工程1および図15ABの工程2は、上記変形例3の形態の工程と同じであるため、工程3以降を説明し、その他の説明は省略する。図15BAに示される如く、工程3においては、供給側バルブ22と回収側バルブ26、並びに回収側ドレインバルブ92を開放する。次いで、図15BBに示される如く、工程4では、工程3の各バルブ開閉状態を維持しつつ、供給側ポンプ54を上記実施の形態の流量1と同等の流量1で駆動する。この結果、供給側マニホールド14→ヘッドモジュール12の貯留室→回収側マニホールド18の順にインクが流れる。このとき、ヘッドモジュール12の貯留室の上流側である供給側マニホールド14の圧力は、ヘッドモジュール12の貯留室の下流側である回収側マニホールド18の圧力よりも大きくなり、圧力差が生じ、この結果、ヘッドモジュール12の貯留室内のインクが、回収側マニホールド18を介して、バッファタンク46へ排出されていく。この流動により、ヘッドモジュール12の貯留室内における相対的に大径の気泡がバッファタンク46ヘ回収されることになる。その後、目標圧力に到達した時点で、供給側ポンプ54による流量を流量1から流量2<流量1での駆動に変更することで、供給側マニホールド14、回収側マニホールド18、並びにヘッドモジュール12の貯留室の圧力が相対的に緩やか圧力変化率で降圧される。この変形例3の工程4は、本実施の形態で説明した工程6と同様の機能を有することになる。次に、図15BCに示される如く、工程5では、供給側ドレインバルブ70を開放することで、供給側マニホールド14、回収側マニホールド18、並びにヘッドモジュール12の貯留室の圧力は常圧まで低下し、図15BDに示される如く、工程6で供給側ドレインバルブ70、回収側ドレインバルブ92を閉止することで、当該常圧が維持される。この変形例4の特徴は、気泡に相対的に大径と小径が存在することを予測し予め定められた基準径をしきい値とすればよい、大径の気泡をバッファタンク46へ戻し、小径の気泡をノズルから排出することとしたため、本実施の形態や変形例1~3に比べて、ノズルからのインク排出量が軽減される。"