放熱基板と蓋体との間に形成された機密空間の内部に熱電素子を挟持するようにした熱電発電モジュールのケーシングにおいて、前記蓋体は、金属板を加工することにより、吸熱面部と、該吸熱面部と前記放熱基板との間の側壁を形成する枠体部と、前記放熱基板に対向するフランジ部とが一体成型により形成されたものであり、前記放熱基板に対し、前記吸熱面部あるいは前記フランジ部を圧縮した状態で、該フランジ部が前記放熱基板に気密に接合されており、かつ、前記枠体部の中間部には、前記放熱基板に対し前記吸熱面部あるいは前記フランジ部を圧縮する際、及び前記吸熱面部の加熱に伴い前記蓋体が熱膨張する際、他の部分に先んじて屈曲して圧縮力及び熱膨張を吸収し、前記放熱基板と前記吸熱面部による熱電素子に対する挟持力を保持する屈曲部が形成されていることを特徴とする熱電発電モジュールのケーシング。放熱基板の上面に複数の熱電素子を配置する工程と、前記熱電素子の上面に、金属板により吸熱面部と、中間部に屈曲部を有する枠体部と前記放熱基板に対向するフランジ部とが一体成型された蓋体を被せる工程と、前記吸熱面部あるいは前記フランジ部を前記放熱基板に対し圧縮する工程と、圧縮された状態で、前記蓋板の枠体部下端と前記放熱基板とを気密に接合する工程とからなる熱電発電モジュールのケーシングの製造方法。そこで、本発明の目的は、熱電発電モジュールのケーシングの構造を簡略化して製造コストを低減するとともに、熱負荷を柔軟な構造により吸収して、熱電発電モジュールの高寿命化を図ることにある。上記の課題を解決するため、本発明による熱電発電モジュールのケーシングは、放熱基板と蓋体との間に形成された機密空間の内部に熱電素子を挟持するようにした熱電発電モジュールのケーシングにおいて、前記蓋体は、金属板を加工することにより、吸熱面部と、該吸熱面部と前記放熱基板との間の側壁を形成する枠体部と、前記放熱基板に対向するフランジ部とが一体成型により形成されたものであり、前記放熱基板に対し、前記吸熱面部あるいは前記フランジ部を圧縮した状態で、該フランジ部が前記放熱基板に気密に接合されており、かつ、前記枠体部の中間部には、前記放熱基板に対し前記吸熱面部あるいは前記フランジ部を圧縮する際、及び前記吸熱面部の加熱に伴い前記蓋体が熱膨張する際、他の部分に先んじて屈曲して圧縮力及び熱膨張を吸収し、前記放熱基板と前記吸熱面部による熱電素子に対する挟持力を保持する屈曲部が形成されている。また、本発明による熱電発電モジュールのケーシングの製造方法は、放熱基板の上面に複数の熱電素子を配置する工程と、前記熱電素子の上面に、金属板により吸熱面部と、中間部に屈曲部を有する枠体部と前記放熱基板に対向するフランジ部とが一体成型された蓋体を被せる工程と、前記吸熱面部あるいは前記フランジ部を前記放熱基板に対し圧縮する工程と、圧縮された状態で、前記蓋板の枠体部下端と前記放熱基板とを気密に接合する工程とからなる。本発明によれば、吸熱面部、枠体部、フランジ部が一体成型された蓋体を、吸熱面部あるいはフランジ部を圧縮した状態で、放熱基板に気密に接合されており、しかもこの枠体部の中間部に、放熱基板と吸熱面部による熱電素子に対する挟持力を保持する屈曲部が形成されているので、製造時、吸熱面部あるいはフランジ部を圧縮する際にも、内部の各素子に対する押圧力を適度に抑制するとともに、熱電素子が常温から定常的な熱電発電に到る際、熱電発電モジュールの内部空間に、熱膨張に伴う圧力上昇が発生しても、蓋体と放熱基板のロー付け部、各素子の連結部に大きな応力を発生させることなく、吸収することができ、非常に低コスト且つ堅牢な構造で、熱電発電モジュールの性能を長期間にわたり維持することが可能になる。以下、図面を参照しつつ本発明の実施例について説明する。まず、熱電発電モジュールの全体構造について説明する。図1に示すように、放熱基板1の上面に形成された回路パターン2の上面に熱電素子3が複数配置されており、各熱電素子3の上端は金属連結板4で電気的に接続されている。なお、この実施例では、熱電素子としてビスマステルル素子を使用し、面積24×24mm2のモジュール上面の面積に対し、面積3.2×3.2mm2の素子を16個配置しており、各熱電素子3の上面を覆うように金属連結板4、絶縁板5及び熱導入板6が載置されている。蓋体7は、例えば平板状のSUS材をプレス加工することにより、吸熱面部8、枠体部9とフランジ部10が全周にわたり一体成型されて裁四角錘状をなすもので、図1において、フランジ部10は、枠体部9の下端から放熱基板1に対向するよう、平行に形成されている。なお、図1において、フランジ部10に連なる枠体部9の下端と、吸熱面部8側の上端部との中間部、好ましくは中央付近の中間部には、全周にわたって、円弧状の屈曲部を形成するビード部11が設けられており、このビード部11も、SUS材をプレス加工して吸熱面部6と枠体部7を一体成型する際、同時に形成されている。図2は、本実施例の熱電発電モジュールを俯瞰した状態を、図3は、その断面図を示す。後述するように、フランジ部10は、蓋体7を加圧して圧縮した状態で、放熱基板1に気密に接合されるので、各熱電素子3が、回路パターン2を介して放熱基板1と、そして、金属連結板4、絶縁板5及び熱導入板6を介して、蓋体7の吸熱面部8の下面との間で、弾性的に挟圧されて固定支持されるようになっている。なお、熱導入板6は、枠体部9の下端を放熱基板1に気密に接合する際、その外周が、枠体部9の内周に全周にわたり接触するよう形状が定められており、各部品の位置決めを確実に行い、各部の寸法誤差を吸収するのに適しているが、寸法精度を確保できる場合には、熱導入板6を使用せず、蓋体7の吸熱面部8下面で絶縁板5を直接挟圧するようにしてもよい。さて、本実施例においては、熱電発電モジュールは、次のような手順で製造される。まず、回路パターン2を備えた放熱基板1を加工盤に位置決め固定し、その上面に設けたマーカーに合わせて、複数の熱電素子3を載置し、さらにその上面に金属連結板4、絶縁板5、熱導入板6を順次位置決めして載置する。また、熱電素子3、金属連結板4、絶縁板5、熱導入板6は、単にそれぞれを順次位置決めして載置してもよいが、ハンダ等の金属ロー材を用いたロー付けや焼結等により予め接合しておいてもよい。次に、予め、平板状のSUS材をプレス加工などにより成形した蓋体7を、放熱基板1に対して位置決めして熱導入板6の上方から被せると、その吸熱面部8が、全面にわたり熱導入板6に接した状態となる。その状態で、上方から蓋体7の吸熱面部8をプレス機により押圧すると、金属連結板4、絶縁板5、熱導入板6等が圧縮され、枠体部9の下端のフランジ部10が放熱基板1に接し、ビード部11の両端部を支点とした曲げモーメントが作用して他の部分に先んじて屈曲し、枠体部9全体が下方に収縮して蓋体7が圧縮された状態となる。あるいは、吸熱面部8を押圧するのに換え、上方からフランジ部10の全周のみを押圧する押圧子を備えたプレス機によりフランジ部10を押圧すると、ビード部11が伸展し、熱電素子3、金属連結板4、絶縁板5、熱導入板6にかかる押圧力が適度に抑制された状態で、フランジ部10が放熱基板1に接することとなる。その状態で枠体部9下端のフランジ部10を電気溶接、レーザー溶接あるいはロー付けなどを用いて、接合して放熱基板1に気密に接合する。接合後、プレス機による圧縮力を解除すると、蓋体7を構成するSUS材の弾性力により、ビード部11の両端部を支点として元の状態に戻ろうとするが、枠体部9下端のフランジ部10が放熱基板1に気密に接合されているため、内部が所定の負圧になった状態でバランスすることになる。なお、回路パターン2、熱電素子3、金属連結板4、絶縁板5及び熱導入板6を含めた各部品の総合的な高さは、プレスによる圧縮時において、これら各部品を破壊することがないように設定されている。そして、圧縮力解除後は、熱電発電を行っている際の高温状態でも、あるいは発電休止時の常温状態でも各部品が破壊することなく、しかも、放熱基板1と蓋体7の吸熱面部8下面との間で、熱電発電モジュールの内部の負圧に維持されて、各部品に対し常に十分な弾性的な挟圧力が確保できるよう、ビード部11の両端部を支点とした屈曲に伴う圧縮代あるいは伸展代が予め設定されている。すなわち、各部品のうち、圧縮に伴い破損する可能性が高いものは、熱電素子3であるが、熱電素子3としてビスマステルル素子を使用した場合、通常50~100MPaで圧縮すると破損が起きるので、プレス機により、これ以下の圧力で圧縮する必要がある。一方、プレス機による圧縮力解除後に、熱電発電モジュールの内圧が0.5×105Pa以下の負圧となるよう圧縮すれば、熱電発電を行う高温状態でも、熱電発電モジュールの内部の圧力を常時負圧に維持することができる。したがって、蓋体の吸熱面部6を圧縮するプレス機は、圧縮力を高精度に調整できるものを使用することが好ましい。発明者らの実験によると、蓋体7を構成するSUS材の板厚が0.05mmで圧縮力解除後の内圧が0.5×105Paとなるように、蓋体7の吸熱面部8をプレス機により圧縮力する場合でも、熱電素子1個当たりに加わる圧力は0.18~0.36MPa程度であり、破損を生じるおそれはない。このように、熱電素子3を破壊することのない範囲で、プレス機により蓋体7の吸熱面部8を圧縮した状態で枠体部9の下端を放熱基板1に気密に接合すれば、ビード部11の作用により、蓋体が圧縮した状態から、SUSの弾性力で元の状態に戻ろうとする作用により、熱電発電を行う高温状態を含めて熱電発電モジュールの内圧を常に負圧に維持することが可能となる。したがって、熱電発電に伴う蓋体7等の熱膨張、熱電発電停止時における冷却に伴う収縮が繰り返されても、ビード部11がこれを吸収し、放熱基板1及び蓋体7による押圧力が維持され、熱電素子3のとの密着性を常時最適に維持することができる。その結果、熱伝導率を高め、接触抵抗を低減することができ、しかも、熱電素子3と金属連結板4との剥離を確実に防止できるので、熱電発電モジュールの耐久性を飛躍的に高めることができる。なお、上記の実施例に限らず、様々な変更が可能である。すなわち、実施例では、蓋体7を裁四角錘状としたが、吸熱面部、枠体部及びフランジ部を裁円錘状に一体成形してもよい。また、蓋体7を構成する板材は、SUS材に限らず、銅やアルミニウムを含有する合金材でもよい。さらに、ビード部11に換え、V字状の窪みを複数設けたり、蛇腹等の屈曲部を設けてもよい。