測定する物体の表面に接触するように構成された先端のプローブチップを備えたプローブヘッドを有する表面走査測定装置を制御する方法であって、法線ベクトルを有する表面上の名目初期接触点を選択するステップと、先端のプローブチップを、接近経路に沿って名目初期接触点に向かって動かすステップと、を含み、接近経路は、名目初期接触点から、表面から離れたある非接触点へ全般的に直線状に延びる全般的に直線状な領域を有し、全般的に直線状な領域は、法線ベクトルと約20度及び約60度の間の角度を形成する、方法。更に、先端のプローブチップを、オフセット経路に沿って、名目初期接触点に関連する接触点から初期走査点へ動かすステップと、先端のチップを、走査経路に沿って、初期走査点から物体の表面に沿って動かすステップと、を含み、先端のプローブチップが、接近経路、オフセット経路及び走査経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、請求項1に記載の方法。全般的に直線状な領域が、法線ベクトルと約20度から約55度の間の角度を形成する、請求項1に記載の方法。更に、先端のプローブチップを、走査経路の後から始まり、物体の表面との接触から離れる離脱経路に沿って動かすステップを含み、先端のプローブチップが、走査経路及び離脱経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、請求項1に記載の方法。更に、第2の法線ベクトルを有する表面上の第2の名目初期接触点を選択するステップと、先端のプローブチップを離脱経路から動かした後、先端のプローブチップを、第2の接近経路に沿って第2の名目初期接触点に接触するように動かすステップと、を含み、第2の接近経路は、第2の名目初期接触点から、表面から離れたある第2の非接触点へ全般的に直線状に延びる第2の全般的に直線状な領域を有し、第2の全般的に直線状な領域は、第2の法線ベクトルと約20及び約59度の間の角度を形成する、請求項4に記載の方法。先端のプローブチップが、離脱経路及び第2の接近経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、請求項5に記載の方法。更に、先端のプローブヘッドを名目初期接触点に関連する接触点に接触するように動かした後、先端のプローブヘッドを下側に動かして、オフセット位置で走査可能状態にするステップを含み、オフセット位置で走査可能状態になる前に、プローブヘッドがオフセット位置をオーバーシュートする、請求項1に記載の方法。更に、先端のプローブヘッドを名目初期接触点に関連する接触点に接触するように動かした後、先端のプローブヘッドを下側に動かして、オフセット位置で走査可能状態にするステップを含み、オフセット位置で走査可能状態になる前に、プローブヘッドがオフセット位置の上下に動く、請求項1に記載の方法。測定する物体の表面に接触するように構成された先端のプローブチップを備えたプローブヘッドを有する表面走査測定装置を制御する方法であって、法線ベクトルを有する表面上の名目初期接触点を選択するステップと、先端のプローブチップを、接近経路に沿って名目初期接触点に向かって動かすステップと、先端のプローブチップを、オフセット経路に沿って、初期走査点へ動かすステップと、を含み、接近経路は、名目初期接触点から、表面から離れたある非接触点へ全般的に直線状に延びる全般的に直線状な領域を有し、全般的に直線状な領域は、法線ベクトルと約60度未満の角度を形成し、先端のプローブチップが、接近経路及びオフセット経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、方法。全般的に直線状な領域が、法線ベクトルと約0度及び約5度の間の角度を形成する、請求項9に記載の方法。更に、先端のプローブチップを、表面上の実際の接触点に接触するように動かすステップを含み、実際の接触点が名目初期接触点に関連し、オフセット経路が、実際の接触点から開始する、請求項9に記載の方法。更に、プローブチップを、実際の接触点と接触させずに、名目初期接触点を通過して動かすステップと、プローブチップが、名目初期接触点を通過した後であって実際の接触点に接触する前に、接近経路の法線ベクトルに対する角度を減じるステップと、を含む、請求項11に記載の方法。接近経路が、名目初期接触点を通過した後であって実際の接触点に接触する前に、接近経路が対数の形状を有する、請求項12に記載の方法。測定する物体の表面に接触する表面走査測定装置であって、先端のプローブチップを備えたプローブヘッドと、法線ベクトルを有する表面上の名目初期接触点を選択するように構成される、プローブヘッドに動作可能に接続されたコントローラと、コントローラに動作可能に接続された駆動装置と、を備え、駆動装置がコントローラと協働して、先端のプローブチップを接近経路に沿って名目接触点に向けて動かすように構成され、接近経路は、名目初期接触点から、表面から離れたある非接触点へ全般的に直線状に延びる全般的に直線状な領域を有し、全般的に直線状な領域は、法線ベクトルと約20度及び約60度の間の角度を形成する、装置。駆動装置がコントローラと協働して、先端のプローブチップを、オフセット経路に沿って、名目初期接触点に関連する実際の接触点から初期走査点へ動かし、駆動装置がコントローラと協働して、先端のチップを、走査経路に沿って、初期走査点から物体の表面に沿って動かし、先端のプローブチップが、接近経路、オフセット経路及び走査経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、請求項14に記載の装置。全般に直線状な領域が、法線ベクトルと約20度及び約55度の間の角度を形成する、請求項14に記載の装置。駆動装置がコントローラと協働して、先端のプローブチップを、走査経路の後から始まり、物体の表面との接触から離れる離脱経路に沿って動かし、先端のプローブチップが、走査経路及び離脱経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、請求項14に記載の方法。駆動装置がコントローラと協働して、1第2の法線ベクトルを有する表面上の第2の名目初期接触点を選択し、2先端のプローブチップを離脱経路から動かした後、先端のプローブチップを、第2の接近経路に沿って第2の名目初期接触点に関連する点に接触するように動かす、用に構成され、第2の接近経路は、第2の名目初期接触点から、表面から離れたある第2の非接触点へ全般的に直線状に延びる第2の全般的に直線状な領域を有し、第2の全般的に直線状な領域が、第2の法線ベクトルと約20及び約59度の間の角度を形成する、請求項17に記載の装置。先端のプローブチップが、離脱経路及び第2の接近経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、請求項18に記載の装置。駆動装置がコントローラと協働して、先端のプローブヘッドを名目初期接触店に関連する接触点に接触するように動かした後、先端のプローブヘッドを下側に動かして、オフセット位置で走査可能状態にし、オフセット位置で走査可能状態になる前に、プローブヘッドがオフセット位置をオーバーシュートする、請求項14に記載の装置。駆動装置がコントローラと協働して、先端のプローブヘッドを名目初期接触店に関連する接触点に接触するように動かした後、先端のプローブヘッドを下側に動かして、オフセット位置で走査可能状態にし、オフセット位置で走査可能状態になる前に、プローブヘッドがオフセット位置の上下に動く、請求項14に記載の装置。コンピュータ読み込み可能コードを有する具体的なコンピュータ使用可能媒体を含み、測定する物体の表面に接触するように構成された先端のプローブチップを備えたプローブヘッドを有する表面走査測定装置を制御するコンピュータシステムで用いられるコンピュータプログラム製品であって、法線ベクトルを有する表面上の名目初期接触点を選択するプログラムコードと、先端のプローブチップを、接近経路に沿って名目初期接触点と接触するように動かすプログラムコードと、を含み、接近経路は、名目初期接触点から、表面から離れたある非接触点へ全般的に直線状に延びる全般的に直線状な領域を有し、全般的に直線状な領域は、法線ベクトルと約20度及び約60度の間の角度を形成する、プログラム製品。更に、先端のプローブチップを、オフセット経路に沿って、名目初期接触点に関連する実際の接触点から初期走査点へ動かすプログラムコードと、先端のチップを、走査経路に沿って、初期走査点から物体の表面に沿って動かすプログラムコードと、を含み、先端のプローブチップが、接近経路、オフセット経路及び走査経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、請求項22に記載のプログラム製品。全般に直線状な領域が、法線ベクトルと約20度及び約55度の間の角度を形成する、請求項22に記載のプログラム製品。更に、先端のプローブチップを、走査経路の後から始まり、物体の表面との接触から離れる離脱経路に沿って動かすプログラムコードと、先端のプローブチップが、走査経路及び離脱経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動く、請求項22に記載のプログラム製品。更に、第2の法線ベクトルを有する表面上の第2の名目初期接触点を選択するプログラムコードと、先端のプローブチップを離脱経路から動かした後、先端のプローブチップを、第2の接近経路に沿って第2の実際の接触点に接触するように動かすプログラムコードと、を含み、第2の接近経路は、第2の名目初期接触点から、表面から離れたある第2の非接触点へ全般的に直線状に延びる第2の全般的に直線状な領域を有し、第2の全般的に直線状な領域は、第2の法線ベクトルが約20度以上であって、約59度未満の角度を形成する、請求項25に記載のプログラム製品。プログラムコードにより、先端のプローブチップを、離脱経路及び第2の接近経路に沿って、及びそれらの間で連続的に動かす、請求項26に記載のプログラム製品。更に、先端のプローブヘッドを名目初期接触点に関連する実際の接触点に接触するように動かした後、先端のプローブヘッドを下側に動かして、オフセット位置で走査可能状態にするプログラムコードを含み、オフセット位置で走査可能状態になる前に、プローブヘッドがオフセット位置をオーバーシュートする、請求項22に記載のプログラム製品。更に、先端のプローブヘッドを名目初期接触点に関連する接触点に接触するように動かした後、先端のプローブヘッドを下側に動かして、オフセット位置で走査可能状態にするプログラムコードを含み、オフセット位置で走査可能状態になる前に、プローブヘッドがオフセット位置の上下に動く、請求項22に記載のプログラム製品。更に、先端のチップを、走査経路に沿って、物体の表面に沿って動かすステップと、表面から離れた複数のゾーンを規定するステップと、操作経路に沿った物体表面の複数の点に対してタグを割り当てるステップと、を含み各タグが、タグ付けられた点及び複数のゾーンの機能として割り当てられる、請求項1に記載の方法。