"Xおよび/またはYおよびZ軸の運動を検出するためのマイクロジャイロスコープであり、特に、3D,5Dまたは6Dセンサであり、基板2と、複数の振動サンプルマス1と、アンカー3,4と、前記基板2に前記振動サンプルマス1を取り付けるために前記アンカー3,4と前記サンプルマス1との間に配置されるアンカースプリング5,6と、前記基板2が回転した時にコリオリの力を発生させるために、X-Y平面で前記サンプルマス1を振動させるドライブ要素15と、発生するコリオリの力による前記サンプルマス1の振れを検出するように、前記サンプルマス1の下に配置される電極を有するセンサ要素22と、を含み、前記サンプルマス1は、セントラルアンカー3に対して均等に配置され、しかも前記セントラルアンカー3に対して径方向に駆動されることが可能であり、前記サンプルマス1がX-Y平面内の径方向およびX-Y平面外で撓むことができるように、前記アンカースプリング5,6が設計されており、センサマス20は、センサスプリング21により、前記サンプルマス1のそれぞれに配置されており、前記センサスプリング21は、前記サンプルマス1の面またはX-Y平面、および前記サンプルマス1の径方向の駆動方向に垂直な方向での前記センサマス20の撓みを可能にすることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1に記載のマイクロジャイロスコープであって、4つのサンプルマス1は、前記セントラルアンカー3の周方向に沿って均等に配置されることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1または2に記載のマイクロジャイロスコープであって、弾力性を有するジンバルマウント7は、前記セントラルアンカー3と前記サンプルマス1の前記スプリング5,6との間に配置されることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項3に記載のマイクロジャイロスコープであって、前記弾力性を有するジンバルマウント7は、互いに距離を離したトーションバネ10,11により互いに連結される2つのリング8,9を備えることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1~4の何れかに記載のマイクロジャイロスコープであって、前記サンプルマス1および/または前記センサマス20はフレーム形状に構成されることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項5に記載のマイクロジャイロスコープであって、前記センサマス20は、前記サンプルマス1の前記フレーム内に配置されることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1~6の何れかに記載のマイクロジャイロスコープであって、前記サンプルマス1は、同期スプリング16によって互いに連結されることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1~7の何れかに記載のマイクロジャイロスコープであって、前記センサ要素22は、Z軸回転速度を検出するために、前記センサマス20に関連付けられることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1~8の何れかに記載のマイクロジャイロスコープであって、垂直なZ軸方向の個々の撓みを検出するためのセンサ要素は、前記サンプルマス1に関連付けられることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項9に記載のマイクロジャイロスコープであって、サンプルマス1のZ軸の撓みを検出するためのセンサ要素は、サンプルマス1の静電容量およびその下部で前記基板2に配置される電極で構成されることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項9または10に記載のマイクロジャイロスコープであって、2つの対向するサンプルマス1のZ軸の撓みを検出するための2つのセンサ要素のそれぞれは、一対のサンプルマス1に直交するX-Y平面の軸に対する前記基板の回転を検出するための差分センサに組み合わされることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1~11の何れかに記載のマイクロジャイロスコープであって、前記振動サンプルマス1の前記ドライブ要素15は電極であり、特にフォーク型電極であることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1~12の何れかに記載のマイクロジャイロスコープであって、前記サンプルマス1または前記センサマス20の径方向に垂直な撓みを検出するためのセンサ要素22は、前記基板2に取り付けられる対向電極25のためのシールド電極26を備える検出ボックス23に配置されることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1~13の何れかに記載のマイクロジャイロスコープであって、前記センサマス20は、Z軸回転速度を得るために、実質的に同じ周方向に同調して撓むことが可能であり、しかも、少なくとも2つのセンサマス20は、X-Y平面の前記マイクロジャイロスコープの加速度を得るために、時計回り及び反時計回り方向の周方向に互いに撓むことが可能であることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。請求項1~14の何れかに記載のマイクロジャイロスコープであって、垂直なZ軸に沿った前記マイクロジャイロスコープの加速度を得るために、前記サンプルマス1は、前記垂直方向に撓むことが可能であり、少なくとも2つのサンプルマス1は、Z軸方向に同じ方向に撓むことが可能であることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。本発明の目的は、合理的なコストで製造可能であり、高い検出精度を有し、上記の問題点が解消された3Dマイクロジャイロセンサを提供することである。さらに、マイクロジャイロセンサは、2つまたは3つの追加の加速要素が同時に検出されることができるように選択的に設計されることが可能である。当該目的は、請求項1の特徴を有するマイクロジャイロスコープにより達成される。本発明に係るマイクロジャイロスコープは、特に、Xおよび/またはYおよびZ軸の回転運動を検出するために役立つ。本発明に係るマイクロジャイロスコープは、特に、3Dセンサであるが、Xおよび/またはYおよび/またはZ軸方向の加速度を追加的に検出する5D又は6Dセンサであっても良い。該マイクロジャイロスコープは、基板と複数の振動サンプルマスとアンカーとを有し、振動サンプルマスはアンカーとサンプルマスとの間に配置されるアンカースプリングにより基板に取り付けられる。ドライブ要素を有する少なくとも個々のペアは、好適には全てのサンプルマスであり、基板が回転したときにコリオリの力を受けるように、X-Y平面の径方向で互いに対向して振動する。センサ要素は、具体的にはサンプルマスの下に配置される電極であり、Xおよび/またはY軸回転速度および選択的なZ軸の加速度により発生するコリオリの力によるサンプルマスの撓みを検出する。本発明では、サンプルマスがセントラルアンカーに対して均一に配置されており、セントラルアンカーに対して径方向に駆動されることができる。サンプルマスがX-Y平面内でセントラルアンカーに対して径方向におよびX-Y平面外で撓むことが可能なように、アンカースプリングが設計される。センサマスは、センサスプリングにより、1つのサンプルマスに配置され、具体的にはサンプルマスのそれぞれに配置される。センサスプリングは、サンプルマスを含む平面又はX-Y平面、及びサンプルマスの径方向の運動方向に直交する方向でセンサマスが撓むことを可能にする。隣り合う2つのサンプルマスは、サンプルマスペアを構成する。セントラルアンカーに配置されるトーションバネにより、サンプルマスペアはXまたはY軸を含むペア軸に垂直な傾斜軸に傾斜可能である。サンプルマスと中央サスペンションとの間およびサンプルマスとアウターアンカーとの間の適切な程度のアンカースプリングの弾性力により、各サンプルマスは垂直方向に撓むことが可能である。本発明に係るマイクロジャイロスコープは、製造が非常にシンプルであり、そのため非常に高い精度で製造され且つ動作するという優位性を有する。サンプルマスは、径方向に振動するように駆動される。コリオリの力により引き起こされるサンプルマスの撓みは、解析のために特にシンプルである。X軸回転速度又はY軸回転速度によるサンプルマスペアの複合された傾き撓み運動は、Y軸方向又はX軸方向の何れかのみに起こる。その結果、X軸に配置されるサンプルマスは、X-Y平面の外でY軸回転速度とともに交互にシフトされ、同様にして、X軸回転速度が発生したときに、Y軸に配置されるサンプルマスはX-Y平面の外で交互にシフトする。仮に、Z軸方向の加速度が発生すると、サンプルマスは、同期して平面の外で動く。対向して同期する撓みは、撓みの差および和の測定により、互いに分離することができる。基板とサンプルマスとの間に配置されるセンサ要素は、基板に対するサンプルマスの距離の変化を検出し、その結果、XまたはY軸回転速度およびZ軸の加速度の検出を可能にする。仮にZ軸回転速度が発生すると、各サンプルマスにコリオリの力が発生し、サンプルマス内のセンサ要素に、径方向の駆動運動に垂直な撓みを引き起こす。当該撓みは、サンプルマス内で対向する。仮にサンプルマスペアの軸に直交する加速度が発生した場合は、2つの組み込まれたセンサ要素は、同じ方向に撓む。当該撓みの差および和の測定は、Z軸回転速度とサンプルマスペアの軸に垂直な加速要素との両方を測定するのに使用することができる。したがって、時計回りまたは反時計回り方向の全てのセンサ要素の撓みの和により回転速度を好適に測定し、サンプルマスペア内の時計回りまたは反時計回り方向の撓みの差分により加速度を好適に測定する。特に好適なマイクロジャイロスコープの実施形態では、4つのサンプルマスがセントラルアンカーの周方向に均等に配置される。その結果、マイクロジャイロスコープの対称な構造およびそれに対応する回転速度のシンプルな解析が実現される。さらに、対向する振動サンプルマスの駆動運動によりマイクロジャイロスコープに力が作用しないように、対称性は力のバランスを提供する。仮に弾力性を備えるジンバルマウントがセントラルアンカーとサンプルマスのスプリングとの間に配置されている場合は、X-Y方向からのサンプルマスの撓みは非常にシンプル且つ確実に利用されることができる。仮に該当するサンプルマスがX軸のみに撓む場合は、ジンバルマウントにより、Y軸で撓むサンプルマスには実質的な影響が無く測定可能である。このようにして、予測される撓み運動により、サンプルマスの正確な分離が達成される。ジンバルマウントは、製造することがシンプルな要素であり、マイクロジャイロスコープの精度を大幅に向上させる。ジンバルマウントの特に好適な実施形態では、オフセットトーションバネにより互いに連結された2つのリングを有する。トーションバネのそれぞれは、2つの振動サンプルマスの運動方向を合わせるように、ここでは互いに90度オフセットされている。撓み運動の正確な分離は、このようにして達成される。ここでは、シンプルなトーションバネを使うことができる。特に安定した実施形態を得るために且つ意図する方向のみの運動を可能にするために、それぞれのトーションバネは2つに分けられることが好ましく、それぞれについて、2つのトーションバネは好ましい平行又は分岐又は集束スプリングバーが使用される。サンプルマスおよび/またはセンサマスがフレーム形状に構成されていれば、特にコンパクトな構造が可能になる。サンプルマスがフレーム形状に構成されていれば、ドライブ要素を内側に配置して、サンプルマスで囲むことが可能になる。センサマスのケース内では、フレームタイプ構造がセンサ要素をセンサマス内にコンパクトに配置することを可能にする。電極で作られることが可能なセンサ要素は、基板およびセンサマスに配置される。X-Y平面又はサンプルマスの平面のZ軸回転速度によるセンサマスの運動は、基板に固定される電極とセンサマスに配置される電極との間の距離の変化を引き起こし、それによってZ軸回転速度を得るための電気的信号が生成される。サンプルマスのフレーム構造のために、センサマスの場合と同様にして、固定された電極が基板に配置され、しかも電極がサンプルマスに配置される。サンプルマスは、電極に交流電圧を供給することにより振動される。このようにして、フレーム構造は、電極の非常にコンパクトな配置を可能にし、特に、マイクロジャイロスコープの外形寸法がサンプルマスよりも実質的に大きくなることを防止する。マイクロジャイロスコープの特にコンパクトな構造を達成するために、好適には、センサマスはサンプルマスのフレーム内に配置される。本実施形態のサンプルマスは、サンプルマスの外形寸法内にあるので、マイクロジャイロスコープは非常に小さく製造される。サンプルマスの均一な振動を可能にするために、特に好適には、同期スプリングによってサンプルマスが互いに連結される。その結果、同期スプリングは、サンプルマスを径方向に振動駆動する際に発生するいかなる僅かな非同調をも調整する。隣接するサンプルマスは、同期スプリングにより、連続的に均一に振動される。Z軸回転速度をとらえるために、センサマスはセンサ要素を備える。その結果、センサ要素は、Z軸回転速度に反応する。Z軸回転速度は、センサ要素にサンプルマスの運動方向に垂直な撓みを引き起こすコリオリの力を発生する。この運動は、実質的にセントラルアンカーの接線方向に近い。サンプルマスは、好適には、垂直なZ軸方向の個々の撓みをとらえるためのセンサ要素に関連する。その結果として、サンプルマスは、個々に解析が行われるので、回転速度を測定するとともに、Z軸方向の加速度を検出するために使用されることができる。好適な実施形態では、サンプルマスのZ軸の撓みを検出するためのセンサ要素は、サンプルマスのキャパシタンスおよびサンプルマスの下で基板に配置される電極により構成される。2つの電極の間の距離の変化は、静電容量の比例変化を引き起こす。2つの対向するサンプルマスのZ軸の撓みを検出するための2つのセンサ要素が、X-Y平面のペアのサンプルマスに垂直な軸に対する基板の回転を検出するための差分センサを構成するように組み合わせられる場合には、個々の測定結果は、回転速度の測定に利用されることができる。本発明の特に好適な実施形態では、振動サンプルマスのドライブ要素は、電極であり、特にフォーク型電極である。信頼性が高い駆動を実現するために、複数のフォーク電極が配置される。本発明の具体的な実施形態では、サンプルマス毎に、数百個、より具体的には約200個のフォーク型電極が特に好ましいことが発見された。いわゆるクアッドバイアス効果quad-biaseffectを防ぐために、好適には、サンプルマス又はセンサマスの径方向に垂直な撓みを検出するためのセンサ要素は、基板に取り付けられる対向電極のためのシールド電極を備える検出ボックス内に配置され、その結果、径方向の運動による浮遊容量の変化の影響が排除される。このようにして、検出ボックスはシールドを提供し、センサ要素と他の要素との間の意図的ではない接触による誤差信号が防止される。サンプルマスが垂直方向に撓むことが可能であり且つ少なくとも2つのサンプルマスが垂直なZ軸に沿って当該Z軸方向に撓むことが可能な場合には、Z軸方向のセンサの加速は単純な方法で検出されることができる。本発明の更に好適な実施形態であり、実施可能な実施形態では、四角形の4つの領域に配置される4つの同一のフレームを有する。マイクロジャイロスコープの利用可能な領域をより好適に利用するために、平面の速度検出軸であるフレームの対称軸が、基板の座標系のXおよびY軸に対して45度回転していれば、より好適である。基板の座標系のXおよびY軸に沿う速度信号の強い分離が必要な場合には、サンプルマスのフレームが基板の座標系のXおよびY軸に対して並べられて、全てのセンサが45度回転されて振動する。フレームは、中央のジンバルマウントに支持される。フレームは、基板に接続されるための4つのスプリングを有する。4つのスプリングのうちの2つは、セントラルアンカーの近くに配置されてジンバルマウントに接続される。4つのうちの残りの2つのスプリングは、サンプルマスの外端に配置され、その場所でアウターアンカーに接続される。発生するコリオリの力に追従することができるように、インナースプリングおよびアウタースプリングは、径方向のサンプルマスの撓みおよびX-Y平面外の運動を可能にする。引き起こされるX軸回転速度およびY軸回転速度による信号は、センサ要素の静電容量の変化により測定され、それは、セントラルアンカーに対して対向して配置されるサンプルマスフレームの対向する撓みにより引き起こされる。X-Y平面外で撓むセグメント又はサンプルマスのためのセンサ電極は、フレームの下に配置される。サンプルマスの対向し対応するフレームをとらえることができるように、2つの対向しフレームに対応するセンサ要素は互いに連結される。Z軸の回転速度信号は、サンプルマスに組み込まれてサンプルマスのフレームとともに径方向に動く4つのフレームによりもたらされる。Z軸回転速度がコリオリの力を引き起こした場合に、センサマスはマイクロジャイロスコープの径方向に対して適切な角度で動く。端部シールドとしてボックスの端部にシールド電極を備えるセンサおよび検出ボックスは、駆動運動の際のバウンダリ領域boundaryfieldsの変化により引き起こされるクアッドバイアス効果を排除するために使用される。Z軸回転速度を検出するためのセンサマスの撓みは、時計回り又は反時計回り方向に共通の撓みである。それらは個々に検出される。その結果、マイクロジャイロスコープの加速の影響を排除するために、対向するセンサ要素が解析される。Z軸回転速度の精密測定のために、好適には、センサマス毎の複数のボックスが使用される。センサ要素毎に約12個の複数のボックスが特に好適であることが分かった。マイクロジャイロスコープは、好適には、X,Yおよび/またはZ軸の回転速度を測定するための3Dジャイロスコープとして使用される。マイクロジャイロスコープは、特に付加的に、Xおよび/またはYおよび/またはZ軸方向の加速を測定するためにも用いられる。センサマスは、Z軸回転速度を測定するために、同じ周方向に実質的に同調して撓むことができる。その結果、全てのセンサマスは、セントラルアンカーに対して、同じ時計回り又は反時計回り方向に動く。X-Y平面のマイクロジャイロスコープの加速度を測定するために、少なくとも2つのセンサマスは、周方向に対して、互いに向き合って撓むことができる。これは、2つの向き合うセンサマスが、ジャイロスコープの周方向に対して、同じ運動方向に互いに向き合って動くことを意味する。その結果、向き合うセンサマスが反時計回り方向に移動する際に、第1のセンサマスが時計回り方向に移動する。このようにして、基板の運動方向について、プラスのX方向の運動により、対応するセンサマスがマイナスのX方向に撓む。その結果、各センサ要素は、センサマスの運動を示す。本発明の更なる優位性は、以下の実施形態にて説明される。図1は、4つのフレームを有する3Dジャイロスコープを示し、フレームはサンプルマス1で形成されている。サンプルマス1は、基板2上の平面に配置される。該サンプルマス1は、1つのサンプルマス1ごとにセントラルアンカー3および1つのアウターアンカー4により、基板2に接続される。アウターアンカー4への接続は、2つのアウターアンカースプリング5により成される。2つのインナーアンカースプリング6およびジンバルマウント7は、サンプルマス1とセントラルアンカー3との間に配置される。アウターアンカースプリング5およびインナーアンカースプリング6は、図中の平面内、すなわちX-Y平面内でアウターアンカー4とセントラルアンカー3との間で振動運動が可能なように設計される。さらに、アンカースプリング5および6は、それらが図中の平面に対して直交する方向に撓むことができるように設計され、その結果、発生するコリオリの力によるXまたはY軸回転速度を示す。運動軸の傾きに対するサンプルマス1の一定水準の安定性を実現するために、インナーアンカースプリング6は、サンプルマス1上で互いに比較的に距離を離して配置される。アウターアンカースプリング5は、アウターアンカー4の領域で互いに比較的に近づいてサンプルマス1に取り付けられる。安定且つ容易なサンプルマス1のスプリング5,6およびアンカー3,4への取り付けは、このようにして達成される。XおよびY軸回転速度による撓みの相互作用を防止するとともに、大きな反動力を発生させず且つシンプルに撓むことを可能にするために、ジンバルマウント7がインナーアンカースプリング6とセントラルアンカー3との間に配置され、コリオリの力により引き起こされるサンプルマスペアの傾き運動を支持する。ジンバルマウント7は、インナーリング8およびアウターリング9を含む。インナーリング8およびアウターリング9は、2つのトーションバネ10により、それぞれが連結される。トーションバネ10は、2つの対向するサンプルマス1の駆動方向に沿って配置される。2つの更なるトーションバネ11は、トーションバネ10から、90度傾けられており、インナーリング8をセントラルアンカー3に接続する。当該スプリングは、他の2つのサンプルマス1の駆動運動の方向に沿って配置される。X-Y平面外での2つの対向するサンプルマス1の旋回または傾きは、それらの間に配置され且つそれらから90度傾けられた2つのサンプルマス1に実質的に影響することなく実現される。トーションバネ10,11は、別の態様で実装されても良い。たとえば、それらのそれぞれは、平行に並ぶ2つのスプリングバーで構成されても良い。それらはそれらの長手軸に沿って回転運動可能であり、しかも他の方向には可能な限り動かないように配置されることが重要である。したがって、2つのスプリングバーの分岐配置または収束配置が考えられる。サンプルマス1の安定した支持は、2つのアウターアンカースプリング5および2つのインナーアンカースプリング6の使用により実現される。これにより、運動方向または運動軸に対するサンプルマス1の回転が防止される。したがって、コリオリの力が発生したときに、サンプルマス1は、X-Y平面で非常に安定に駆動され、運動軸に垂直な軸に対して回転する。運動軸に対する回転運動は、サンプルマス1の懸架により発生しない。サンプルマス1の振動駆動は、ドライブ要素15により発生する。ドライブ要素15は、各サンプルマス1に対して配置される。本実施形態では、当該要素は、フォーク型電極であり、交流電圧の使用によってサンプルマス1に振動性の線形運動を引き起こす。サンプルマス1の一定な駆動を達成するために、複数のフォーク型電極、好ましくは、数百個のフォーク型電極が、各サンプルマス1に対して配置される。また、サンプルマス1の一定な駆動を実現するために、同期スプリング16が2つの隣接するサンプルマス1の間に配置される。サンプルマス1がセントラルアンカー3とアウターアンカー4との間で同期して振動しない場合に、同期スプリング16のバネ力がサンプルマス1に作用する。同期駆動は、たった1つの駆動回路の使用を可能にする。また、同期駆動は、解析の際にエラーを引き起こすマイクロジャイロスコープの相互反作用力を防止することを実現する。各サンプルマス1は、フレーム状に提供される。センサマス20は、フレーム内に配置される。センサマス20は、4つのスプリング21により、サンプルマス1に取り付けられる。スプリング21は、センサマス20のコーナーでサンプルマス1に取り付けられる。スプリング21は、サンプルマス1内でのセンサマス20の振動運動を可能にする。スプリング21は、サンプルマス1の平面の外またはX-Y平面の外での撓みの大部分を防止する。Z軸回転速度が与えられないときに、センサマス20は、サンプルマス1とともに移動する。これは、XまたはY軸回転速度が発生したときに、センサマスがX-Y平面でのサンプルマス1の駆動運動に関連すること、およびセンサマス20がX-Y平面の外側でサンプルマス1とともにサンプルマス1と同じ態様で移動することを意味する。マイクロジャイロスコープにZ軸回転速度が加えられた場合には、センサマス20は、サンプルマス1に対して、サンプルマス1の運動方向に直交する方向に移動する。当該方向は、スプリング21が可能にする運動の方向のみである。Z軸回転速度および関連するコリオリの力によるセンサマス20の運動を検出するために、センサマス20もフレームとして提供される。センサ要素はフレームに配置されており、センサ要素のいくつかは基板2に固定され、また、いくつかのセンサ要素はセンサマス20に配置される。固定される電極とセンサマス20上の電極との間の距離は、サンプルマス1および基板2に対するセンサマス20の運動により変化し、当該距離は、静電容量の変化により決定されることが可能である。各センサマス20は、複数のセンサ要素22を有する。センサ要素22は、いわゆる検出ボックス23に配置される。各センサマス20は、図示の実施形態の例では、12個のそのような検出ボックス23を有する。仮に、対向するセンサマス20が、X-Y平面のマイクロジャイロスコープの直線加速方向とは逆に撓んだ場合には、当該撓みは、センサ要素22により検出される。その一方で、センサマス20は、Z軸回転速度を測定するために、同じ周方向に実質的に同調して撓む。このように、マイクロジャイロスコープは、5Dセンサとして又はサンプルマスの同期するZ軸の撓みの測定とともに6Dセンサとして使用されることができる。図2は、ある実施形態の検出ボックス23を示す。各検出ボックス23は内壁を有し、移動するセンサマス20の電極24を構成する。電極24は、基板に固定され且つ基板と絶縁された対向電極25に対向し、サンプルマス1の駆動方向に垂直なセンサの動きの方向の検出ボックス23の動きは、測定される静電容量の変化を引き起こす。ボックス23内での変動バウンダリ領域におけるサンプルマス1の右左の径方向初期運動の影響を防止するために、移動するマス20と同電位のシールド電極26を使用することが可能であり、その結果、安定バウンダリ領域を保証する。本発明は、図示の実施形態の例に限定されない。たとえば、同様の原理に基づいて2Dセンサを構成することが可能であり、たとえば、Z軸回転速度を検出するために、振動駆動する2つのサンプルマス1を備え、センサマス20はその中に配置される。センサマス20が、サンプルマス1内に配置されることも必要とされない。それらは、サンプルマス1の外側に配置されることも可能であるが、この場合には、マイクロジャイロスコープのコンパクトな構造に係る優位性は、もはや提供されていない。"