"円柱状の回転面を有する被駆動手段と、前記被駆動手段の前記回転面に付勢する突起を端部に有する振動板と、前記振動板に積層される圧電体と、を有するアクチュエーターと、前記アクチュエーターを前記被駆動手段に付勢する付勢手段と、を備えるモーターであって、前記被駆動手段を駆動させる前記アクチュエーターの振動によって描かれる前記突起の楕円軌跡を、前記回転面と接するように配置し、前記楕円軌跡と前記回転面との接点を接点P、前記アクチュエーターに前記付勢手段による付勢力が作用する作用点を作用点Q、前記被駆動手段の回転中心を回転中心R、とした場合、前記付勢手段の付勢方向と、前記回転中心Rと前記接点Pとを結ぶ方向と、でなす角度θ1と、前記付勢手段の付勢方向と、前記接点Pと前記作用点Qを結ぶ方向と、でなす角度θ2と、は、θ1<θ2である、ことを特徴とするモーター。請求項1に記載のモーターを備えるロボットハンド。請求項2に記載のロボットハンドを備えるロボット。上述の特許文献1では、付勢手段は補強板の突起を被駆動手段の回転中心に向かって付勢するように、補強板を含む圧電アクチュエーターの両脇にばね部材を配置している。しかし、補強板の突起は略楕円の軌跡で動作するために、付勢力に対する被駆動体からの補強板の突起への反力は、被駆動手段の回転中心に向かう付勢力の方向に対して交差する方向に発生する。この付勢力の方向に交差する反力によって補強板の突起の動作が所望の楕円軌跡を描かなくなる、すなわちアクチュエーターの振動を被駆動手段の駆動力に変化する効率を低下させる要因となってしまう課題があった。そこで、被駆動手段からのアクチュエーターへの反力が、アクチュエーターの振動を、被駆動手段の駆動力へ変換させることの障害とならない付勢手段によって、効率の良いモーターと、そのモーターを用いたロボットハンドおよびロボットを提供する。本発明は、少なくとも上述の課題の一つを解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。適用例1本適用例のモーターは、円柱状の回転面を有する被駆動手段と、前記被駆動手段の前記回転面に付勢する突起を端部に有する振動板と、前記振動板に積層される圧電体と、を有するアクチュエーターと、前記アクチュエーターを前記被駆動手段に付勢する付勢手段と、を備えるモーターであって、前記被駆動手段を駆動させる前記アクチュエーターの振動によって描かれる前記突起の楕円軌跡を、前記回転面と接するように配置し、前記楕円軌跡と前記回転面との接点を接点P、前記アクチュエーターに前記付勢手段による付勢力が作用する作用点を作用点Q、前記被駆動手段の回転中心を回転中心R、とした場合、前記付勢手段の付勢方向と、前記回転中心Rと前記接点Pとを結ぶ方向と、でなす角度θ1と、前記付勢手段の付勢方向と、前記接点Pと前記作用点Qを結ぶ方向と、でなす角度θ2と、は、θ1<θ2であることを特徴とする。上述の適用例によれば、θ1,θ2を上述の関係にすることにより、振動板の突起を被駆動手段の回転中心に向かわせないとする被駆動手段から振動板の突起に作用する反力の分力を抑制し、アクチュエーターに励起させる振動を高い効率で被駆動手段の回転力に変換することができる。適用例2本適用例のロボットハンドは、上述の適用例のモーターを備える。本適用例のロボットハンドは、自由度を多くし、多数のモーターを備えても、小型、軽量にすることができる。適用例3本適用例のロボットは、上述の適用例のロボットハンドを備える。本適用例のロボットは、汎用性が高く、複雑な電子機器の組み立て作業や検査等を可能にすることができる。以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。第1実施形態本実施形態に係るモーター100を示す、図1は分解斜視図、図2aは組立平面図、図2bは図2aのA-A ́部の断面図である。図1および図2a,bに示すように、モーター100は、基台10に回転可能に固定される被駆動体20と、基台10に摺動可能に固定される支持体40と、支持体40を被駆動体20側に付勢する付勢手段としてのコイルばね60と、付勢される支持体40に固定され振動によって被駆動体20を駆動するアクチュエーター30と、を備えている。アクチュエーター30は、電極が形成された矩形の圧電体からなる圧電素子32,33が、振動板31を挟持するように貼り合わされて形成される。圧電素子32,33は圧電性を有する材料、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛<PZT:PbZr,TiO3>、水晶、ニオブ酸リチウムLiNbO3などが挙げられ、特にPZTが好適に用いられる。また形成される電極は、Au,Ti,Agなどの導電性金属を蒸着、スパッタリングなどにより成膜して形成することができる。振動板31は、アクチュエーター30として支持体40に固定されコイルばね60によって被駆動体20へ付勢され、被駆動体20と接する突起31aを端部に備えている。なお、振動板31は、ステンレス、ニッケル、ゴムメタルなどで形成され、加工性の容易さからステンレスが好適に用いられる。アクチュエーター30は、振動板31に形成された支持体40へ装着するための装着部31bの孔31cを挿通し、支持体40に形成された固定部40aのねじ孔40bとねじ嵌合するねじ50によって、支持体40に固定される。被駆動体20は、円柱状の形状を成し、円柱面20aにアクチュエーター30の突起31aがコイルばね60によって付勢されて接触し、アクチュエーター30の振動によって駆動される。また、図2bに示すように被駆動体20に固定された回転軸21、および軸受け12などから構成される回転手段により基台10に固定される。回転軸21の回転力は、回転軸21に接続される図示されない減速あるいは増速装置200を介して所望の回転数、あるいは出力トルクによって被駆動装置を駆動する。支持体40は、ガイド孔40cを備え、基台10に備えるガイドピン70がガイド孔40cに挿通され、支持体40は基台10に摺動可能に固定される。ガイド孔40cの形状は、本実施形態ではトラック状の平面形状を成し、アクチュエーター30の付勢方向に支持体40が摺動可能となっており、アクチュエーター30の付勢方向に交差する方向ではガイドピン70のガイド部外径よりわずかに大きくし、アクチュエーター30の付勢方向に交差する方向のガタ量を最小にする形状となっている。また、支持体40には付勢手段としてのコイルばね60の一方の端部が、アクチュエーター30を装着する2ヵ所の固定部40aにそれぞれ装着されている。コイルばね60の他方の端部は基台10に備えるばね装着部11に装着され、支持体40が被駆動体20の方向に付勢される。支持体40には、アクチュエーター30の振動板31の装着部31bを支持体40の固定部40aに載置し、固定部40aに設けたねじ孔40bにねじ50によってアクチュエーター30が固定される。固定されたアクチュエーター30の突起31aは、支持体40を介して被駆動体20に所定の力で付勢される。なお、付勢手段としてはコイルばね60に限定されず、例えば、板ばね、弾性ゴムなどを用いても良い。次にアクチュエーター30の動作について図3を用いて説明する。図3a,bはアクチュエーター30の振動動作を示す概略平面図である。図3aに示すように、圧電素子32に形成された電極32a,32b,32c,32d,32eのうち、電極32c,32b,32dと、図示されない圧電体を挟んで反対側に形成された電極との間に交流電圧を印加することにより、電極32c,32b,32dが形成される領域の圧電体は図示矢印方向の縦振動が励振される。電極32bの領域では図示矢印方向にアクチュエーター30を縦振動させ、電極32c,32dの領域ではアクチュエーター30を形状Mで示す屈曲振動を励起し、振動板31の突起31aは楕円軌跡S1を描いて振動する。また、図3bに示すように、圧電素子32に形成された電極32a,32b,32c,32d,32eのうち、電極32a,32b,32eと、図示されない圧電体を挟んで反対側に形成された電極との間に交流電圧を印加することにより、電極32a,32b,32eが形成される領域の圧電体は図示矢印方向の縦振動が励振される。電極32bの領域では図示矢印方向にアクチュエーター30を縦振動させ、電極32a,32eの領域ではアクチュエーター30を形状Nで示す屈曲振動を励起し、振動板31の突起31aは楕円軌跡S2を描いて振動する。上述のアクチュエーター30の振動によって生じる突起31aの楕円軌跡S1,S2が、付勢力によって被駆動体20に付勢されて接触し、被駆動体20を図示矢印s1,s2方向に駆動する。この楕円軌跡S1,S2と、被駆動体20と、付勢手段としてのコイルばね60および支持体40と、の関係について図4を用いて説明する。図4aは、図3aに示す楕円軌跡S1を用いた説明概念図である。図2に示すように被駆動体20の回転中心をR、コイルばね60が支持体40の固定部40aを付勢する付勢点をQR,QLとした場合、被駆動体20とアクチュエーター30とは図4aに示すような関係にすることが好ましい。図4に示すように、アクチュエーター30の突起31aが描く楕円軌跡S1は、被駆動体20の外形の円柱面20aに対して図示ハッチング部のオーバーラップBを形成した軌跡を描く。オーバーラップBは、モーター100の駆動の際には、コイルばね60の変位、アクチュエーター30および被駆動体20の素材の変形、などにより実態的には重なるものではない。この楕円軌跡S1を、楕円軌跡S1の中心と被駆動体20の回転中心Rとを結ぶ直線LCに沿って、被駆動体20の円柱面20aと楕円軌跡S1の軌跡図形が接するまで移動したときの楕円軌跡図形を、楕円軌跡S1 ́とする。この楕円軌跡S1 ́と被駆動体20の円柱面20aとの接点を接点Pと定義する。被駆動体20の回転中心Rと接点Pとを結ぶ直線を直線L1、接点Pと付勢点QRとを結ぶ直線を直線L2、とし、付勢手段としてのコイルばね60による付勢力Fの図示する付勢方向に平行で接点Pを通る直線L3と直線L1とでなす角度θ1と、直線L3と直線L2とでなす角度θ2と、が次の関係であることが好ましい。θ1<θ21図4bは、接点Pにおける付勢力Fと、被駆動体20の円柱面20aからアクチュエーター30の突起31aに作用する反力FRによる力の関係を説明する概念図である。図4bに示すように、付勢力Fは直線L2に沿った分力と直線L3に直交する分力f1とに分解できる。また、反力FRは直線L3の分力と付勢方向に直交する分力fR1に分解できる。θ1およびθ2が式1の関係にあることから、f1>fR1となり、コイルばね60による付勢力Fを、突起31aを被駆動体20の回転中心R方向側に付勢するようにf1とfR1との差分が作用する。すなわち式1に示すθ1,θ2の関係を備えることにより、反力FRによって生じる突起31aを回転中心Rに向かわせない付勢力の分力fR1を抑制し、アクチュエーター30に励起させる振動を高い効率で被駆動体20の回転力に変換することができる。図4cは、θ1 ́>θ22の関係の場合を説明する概念図である。なお、図4cおよび式2におけるθ1 ́は、図4bおよび式1に示すθ1に相当する。図4cに示すように、式2で表されるθ1 ́,θ2の関係の場合、反力FR ́の直線L3に直交する分力fR1 ́は、f1<fR1 ́となり、式2に示すθ1 ́,θ2の関係になってしまうと、反力FR ́によって生じる突起31aを回転中心R方向に向かわせない付勢力の分力fR1 ́を付勢力Fの分力f1によって抑制できず、アクチュエーター30に励起させる振動を被駆動体20の回転力に変換する効率を大きく損なうこととなる。なお、図3bに示す楕円軌跡S2の場合であっても、上述と同様に、付勢点QRを図2に示す付勢点QLに置き換えるだけのため、説明は省略する。上述の楕円軌跡S1,S2は、次の方法によって計測することができる。本実施形態に係るモーター100を駆動させ、測定装置300光ヘテロダイン微小振動測定装置MLD-103A:ネオアーク株式会社製によって、突起31aに図2bに示す方向に照射されたレーザー光Kの反射光を測定装置300に受光し、測定装置300によって計測されたデータをオシロスコープYOKOGAWADL-716:横河電気株式会社製に波形表示、またはコンピューターによりデータ処理して楕円軌跡S1,S2を計測することができる。このように計測された楕円軌跡S1,S2を確認しながら、アクチュエーター30の圧電素子32,33の各寸法、駆動電圧、コイルばね60の付勢力、アクチュエーター30の配置位置、圧電素子32,33の材料、被駆動体20の材料や円柱面20aの表面仕上げ、などを変えながら式1の条件を満たすモーター100を製作する。また、図5a,bに示すような付勢手段の配置によって、式1におけるθ2を大きくすることができ、容易に図4および式1に示すθ1の自由度を高めることができる。図5aに示すモーター110では、支持体41の固定部41aがアクチュエーター30Aの突起31Aaに近い位置に配置、すなわちC寸法を、図2に示すモーター100より小さくして配置されている。これにより、θ2に近似する角度αがより大きくなり、大きなθ2を得ることができることで、θ1の自由度を拡大することができる。また図5bに示すモーター120では、コイルばね60の支持体42の固定部42aに対する付勢点をアクチュエーター30Aの突起31Aa位置より被駆動体20の回転中心側のC ́位置に配置した。このように配置することで、図4に示すθ1を決めるためのアクチュエーター30Aの圧電素子の各寸法、駆動電圧、コイルばね60の付勢力、アクチュエーター30Aの配置位置、圧電素子の材料、被駆動体20の材料や円柱面20aの表面仕上げ、などに対する制約は大幅に緩和することができる。第2実施形態図6は、第2実施形態に係るモーター100を備えたロボットハンド1000を示す外観図である。ロボットハンド1000は基部1100と、基部1100に接続された指部1200とを備えている。基部1100と指部1200との接続部1300と、指部1200の関節部1400とには、モーター100が組み込まれている。モーター100が駆動することによって、指部1200が屈曲し、物体を把持することができる。超小型モーターであるモーター100を用いることによって、小型でありながら多数のモーターを備えるロボットハンドを実現することができる。第3実施形態図7は、ロボットハンド1000を備えるロボット2000の構成を示す図である。ロボット2000は、本体部2100、アーム部2200およびロボットハンド1000等から構成されている。本体部2100は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定される。アーム部2200は、本体部2100に対して可動に設けられており、本体部2100にはアーム部2200を回転させるための動力を発生させる図示しないアクチュエーターや、アクチュエーターを制御する制御部等が内蔵されている。アーム部2200は、第1フレーム2210、第2フレーム2220、第3フレーム2230、第4フレーム2240および第5フレーム2250から構成されている。第1フレーム2210は、回転屈折軸を介して、本体部2100に回転可能または屈折可能に接続されている。第2フレーム2220は、回転屈折軸を介して、第1フレーム2210および第3フレーム2230に接続されている。第3フレーム2230は、回転屈折軸を介して、第2フレーム2220および第4フレーム2240に接続されている。第4フレーム2240は、回転屈折軸を介して、第3フレーム2230および第5フレーム2250に接続されている。第5フレーム2250は、回転屈折軸を介して、第4フレーム2240に接続されている。アーム部2200は、制御部の制御によって、各フレーム2210~2250が各回転屈折軸を中心に複合的に回転または屈折し動く。アーム部2200の第5フレーム2250のうち第4フレーム2240が設けられた他方には、ロボットハンド接続部2300が接続されており、ロボットハンド接続部2300にロボットハンド1000が取り付けられている。ロボットハンド接続部2300にはロボットハンド1000に回転動作を与えるモーター100が内蔵され、ロボットハンド1000は対象物を把持することができる。小型、軽量のロボットハンド1000を用いることによって、汎用性が高く、複雑な電子機器の組み立て作業や検査等が可能なロボットを提供することができる。"