"成分I:下記式1で表される芳香族ジアミンと、成分II:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、p-フェニレンジアミンおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテルとを反応させて得られ、該成分Iと該成分IIとの合計量に対して、該成分Iが0.1~10.0モルであり、かつ、該成分IIが99.9~90.0モルであるポリイミド:ただし、式1中、R1,R2,R3およびR4は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、含窒素原子基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ニトリル基、ニトロ基、カルボキシ基、アミド基および炭素原子数6~12の芳香族基からなる群から選ばれる。成分III:下記式2で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物と、成分II:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、p-フェニレンジアミンおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテルとを反応させて得られ、該成分IIIと該成分IIとの合計量に対して、該成分IIIが0.1~2.5モルであり、かつ、該成分IIが99.9~97.5モルであるポリイミド:ただし、式2中、R5およびR6は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、含窒素原子基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ニトリル基、ニトロ基、カルボキシ基、アミド基および炭素原子数6~12の芳香族基からなる群から選ばれる。請求項1に記載のポリイミドからなるポリイミドフィルム。請求項2に記載のポリイミドからなるポリイミドフィルム。水蒸気透過度が10~100g/m2/dayであり、50~200°Cの平均線熱膨張係数が10~25ppm/°Cであり、明確なガラス転移温度がなく、かつ、引張弾性率が5.0GPa以上である、請求項3または4に記載のポリイミドフィルム。そこで、本発明は、銅と近似した線熱膨張係数を持ち、かつ、耐熱性を損なうことなく高弾性率で水蒸気透過性の良いポリイミドおよびポリイミドフィルムを提供することを課題とする。本発明者らは、上記課題を解決すべく、鋭意研究を積み重ねた結果、フルオレンまたはフルオレン誘導体から誘導される基を持つ、特定の芳香族ジアミンまたは特定の芳香族テトラカルボン酸二無水物と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、p-フェニレンジアミンおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテルとを、特定のモル比で反応させて得られるポリイミド前駆体をイミド化して製造されるポリイミドフィルムは、銅と近似した線熱膨張係数を持ち、かつ、耐熱性を損なうことなく高弾性率で水蒸気透過性の良いポリイミドフィルムであることを知得し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下の1~5である。1成分I:下記式1で表される芳香族ジアミンと、成分II:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、p-フェニレンジアミンおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテルとを反応させて得られ、当該成分Iと当該成分IIとの合計量に対して、当該成分Iが0.1~10.0モルであり、かつ、当該成分IIが99.9~90.0モルであるポリイミド:ただし、式1中、R1,R2,R3およびR4は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、含窒素原子基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ニトリル基、ニトロ基、カルボキシ基、アミド基および炭素原子数6~12の芳香族基からなる群から選ばれる。2成分III:下記式2で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物と、成分II:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、p-フェニレンジアミンおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテルとを反応させて得られ、当該成分IIIと当該成分IIとの合計量に対して、当該成分IIIが0.1~2.5モルであり、かつ、当該成分IIが99.9~97.5モルであるポリイミド:ただし、式2中、R5およびR6は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、含窒素原子基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ニトリル基、ニトロ基、カルボキシ基、アミド基および炭素原子数6~12の芳香族基からなる群から選ばれる。3上記1に記載のポリイミドからなるポリイミドフィルム。4上記2に記載のポリイミドからなるポリイミドフィルム。5水蒸気透過度が10~100g/m2/dayであり、50~200°Cの平均線熱膨張係数が10~25ppm/°Cであり、明確なガラス転移温度がなく、かつ、引張弾性率が5.0GPa以上である、上記3または4に記載のポリイミドフィルム。本発明によれば、銅と近似した線熱膨張係数を持ち、かつ、耐熱性を損なうことなく高弾性率で水蒸気透過性の良いポリイミドフィルムを提供することができる。以下、本発明の実施の形態について詳細に説明するが、これらは本発明の実施形態の一例であり、これらの内容に限定されるものでない。[ポリイミドおよびポリイミドフィルム]本発明は、成分I:下記式1で表される芳香族ジアミンと、成分II:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、p-フェニレンジアミンおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテルとを反応させて得られ、当該成分Iと当該成分IIとの合計量に対して、当該成分Iが0.1~10.0モルであり、かつ、当該成分IIが99.9~90.0モルであるポリイミド以下、ポリイミド1という場合がある。または成分III:下記式2で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物と、成分II:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、p-フェニレンジアミンおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテルとを反応させて得られ、当該成分IIIと当該成分IIとの合計量に対して、当該成分IIIが0.1~2.5モルであり、かつ、当該成分IIが99.9~97.5モルであるポリイミド以下、ポリイミド2という場合がある。、およびポリイミド1またはポリイミド2からなるポリイミドフィルムである。ただし、式1、2中、R1,R2,R3,R4,R5およびR6は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、含窒素原子基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ニトリル基、ニトロ基、カルボキシ基、アミド基および炭素原子数6~12の芳香族基からなる群から選ばれる。上記含窒素原子基は、窒素原子を含む1価の基であれば特に限定されないが、遊離原子価が窒素原子上にあるものが好ましく、具体的には、例えば、アミノ基-NH2、モノメチルアミノ基-NHCH3、ジメチルアミノ基-NCH32等が挙げられる以下同じ。上記炭素数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基は、一般式がCnH2n1-n:1~12の自然数で表される基であれば特に限定されず、具体的には、例えば、メチル基、エチル基、1-プロピル基n-プロピル基、2-プロピル基イソプロピル基等が挙げられる以下同じ。上記炭素数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基は、一般式がCnH2n-1-n:2~12の自然数で表される基であれば特に限定されず、遊離原子価は不飽和炭素原子上にあっても飽和炭素原子上にあってもよく、具体的には、例えば、ビニル基、アリル基等が挙げられる以下同じ。上記炭素数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基は、一般式がCnH2n1O-n:1~12の自然数で表されるものであれば特に限定されず、具体的には、例えば、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる以下同じ。成分I上記成分Iは、上記式1で表される芳香族ジアミンからなる。R1,R2,R3およびR4は上記のとおり、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、含窒素原子基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ニトリル基、ニトロ基、カルボキシ基、アミド基および炭素原子数6~12の芳香族基からなる群から選ばれるが、R1,R2,R3およびR4が同時に、水素原子、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基または炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基であるのが好ましく、R1,R2,R3およびR4が同時に、水素原子またはメチル基であるのがより好ましく、R1,R2,R3およびR4が同時に、水素原子であるのがさらに好ましい。成分II上記成分IIは、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、p-フェニレンジアミンおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテルからなるものである。上記成分II中、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物のモル数MBPTCとピロメリット酸二無水物のモル数MPMDAとの量比は、特に限定されないが、MBPTC:MPMDAが、1:1.1~1:0.5であるのが好ましく、1:0.9~1:0.7であるのがより好ましく、1:0.8であるのがさらに好ましい。上記成分II中、p-フェニレンジアミンのモル数MPPDAと4,4’-ジアミノジフェニルエーテルのモル数MDAPEとの量比は、特に限定されないが、MPPDA:MDAPEが1:0.5~1:2であるのが好ましく、1:0.7~1:1.4であるのがより好ましく、1:0.9~1:1.1であるのがさらに好ましく、1:1であるのがいっそう好ましい。しかしながら、上記成分IIに含まれるテトラカルボン酸二無水物として、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物またはピロメリット酸二無水物の一部に代えて、以下に掲げるテトラカルボン酸二無水物を、1種類単独で、または2種類以上を混合して、使用してもよい:エチレンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族テトラカルボン酸二無水物;および、1,1-ビス2,3-ジカルボキシフェニルエタン二無水物、ビス2,3-ジカルボキシフェニルメタン二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルメタン二無水物、2,2,6,6-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス3,4-ジカルボキシフェニルプロパン二無水物、2,2-ビス2,3-ジカルボキシフェニルプロパン二無水物、2,2-ビス3,4-ジカルボキシフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2-ビス2,3-ジカルボキシフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルスルホン二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルエーテル二無水物、ビス2,3-ジカルボキシフェニルエーテル二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4-p-フェニレンジオキシジフタル酸二無水物、4,4-m-フェニレンジオキシジフタル酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物および/または1,2,7,8-フェナントレンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族テトラカルボン酸二無水物;等。また、上記成分IIに含まれるジアミンとして、p-フェニレンジアミンまたは4,4’-ジアミノジフェニルエーテルの一部に代えて、以下に掲げるジアミンを、1種類単独で、または2種類以上を混合して、使用してもよい:脂肪族ジアミン;ベンゼン系芳香族ジアミノ化合物、複素芳香族ジアミノ化合物、非ベンゼン系芳香族ジアミノ化合物などの芳香族ジアミン;等。上記脂肪族ジアミンとしては、炭素数2~15の鎖式炭化水素化合物の2個の水素基をそれぞれアミノ基で置換した化合物が好ましく、具体的には、例えば、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミンなどが挙げられる。上記ベンゼン系芳香族ジアミノ化合物としては、ベンゼン核を1個または縮合もしくは非縮合のベンゼン核を2~10個有する化合物が好ましく、例えば、以下に掲げるものが挙げられる:m-フェニレンジアミンなどのフェニレンジアミン;2-メチル1,4-ジアミノベンゼンなどのフェニレンジアミンにメチル基、エチル基等のアルキル基が結合したフェニレンジアミン誘導体;3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノジエニルスルホン、3,4’-ジアミノジエニルスルホン、4,4’-ジアミノジエニルスルホン、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、3,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジエニルケトン、3,4’-ジアミノジフェニルケトン、2,2-ビスp-アミノフェニルプロパン、2,2’-ビスp-アミノフェニルヘキサフルオロプロパン、4-メチル-2,4-ビスp-アミノフェニル-1-ペンテン、4-メチル-2,4-ビスp-アミノフェニル-2-ペンテン、イミノジアニリン、4-メチル-2,4-ビスp-アミノフェニルペンタン、ビスp-アミノフェニルホスフィンオキシド、4,4’-ジアミノアゾベンゼン、4,4’-ジアミノジフェニル尿素、4,4’-ジアミノジフェニルアミドなどの、2つのアミノフェニル基が、エーテル結合、スルホニル結合、チオエーテル結合、炭素数1~6個のアルキレンもしくはその誘導体基例えば、アルキレン基の水素原子の1以上がハロゲン原子等で置換されたものによる結合、イミノ結合、アゾ結合、ホスフィンオキシド結合、アミド結合、ウレイレン結合またはその他結合基を介してフェニル基同士が結合したジアミノジフェニル化合物;1,3-ビスm-アミノフェノキシベンゼン、1,3-ビスp-アミノフェノキシベンゼン、1,4-ビスp-アミノフェノキシベンゼンなどの、2つのアミノフェニル基と1つのフェニレン基が何れも他の結合基ジアミノジフェニル化合物の項で挙げた結合基を介して結合したジアミノトリフェニル化合物;1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレンなどのジアミノナフタレン;5または6-アミノ-1-p-アミノフェニル-1,3,3-トリメチルインダンなどのアミノフェニルアミノインダン;4,4’-ビスp-アミノフェノキシビフェニル、2,2’-ビス[p-p’-アミノフェノキシフェニル]プロパンおよび2,2’-ビス[p-p’-アミノフェノキシビフェニル]プロパン、2,2’-ビス[p-m-アミノフェノキシフェニル]ベンゾフェノンなどのジアミノテトラフェニル化合物;および、これらの芳香族ジアミンの水素原子がハロゲン原子、メチル基、メトキシ基、シアノ基およびフェニル基からなる群から選択される少なくとも1種の置換基により置換された化合物;等。成分III上記成分IIIは、上記式2で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物からなる。R5およびR6は、上記のとおり、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、含窒素原子基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基、ヒドロキシ基、ニトリル基、ニトロ基、カルボキシ基、アミド基および炭素原子数6~12の芳香族基からなる群から選ばれるが、R5およびR6が同時に、水素原子、炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルキル基、炭素原子数2~12の直鎖状または分岐状アルケニル基または炭素原子数1~12の直鎖状または分岐状アルコキシ基であるのが好ましく、R5およびR6が同時に、水素原子またはメチル基であるのがより好ましく、R5およびR6が同時に、水素原子であるのがさらに好ましい。ポリイミド1成分Iと成分IIとの合計量に対して、成分Iが0.1~10.0モルであり、かつ、成分IIが99.9~90.0モルである。この範囲内であると、水蒸気透過度が必要十分な範囲となり、製膜性も確保される。成分Iと成分IIとの合計量に対する成分Iの割合は、2.0~8.0モルがより好ましく、4.5~6.5モルがさらに好ましいここで、モルの計算上、小数点第2位を四捨五入して小数点第1位までを求める。成分Iに含まれる芳香族ジアミンのモル数MFLおよび成分IIに含まれるジアミンの合計モル数MDAの合計MFLMDAと、成分IIに含まれるテトラカルボン酸無水物の合計モル数MTCとの比は、MFLMDA:MTCが、1:0.90~1:1.10であるのが好ましく、1:0.95~1:1.05であるのがより好ましく、1:0.99であるのがさらに好ましい。ポリイミド2成分IIIと成分IIとの合計量に対して、成分IIIが0.1~2.5モルであり、かつ、成分IIが99.9~97.5モルである。この範囲内であると、水蒸気透過度が必要十分な範囲となり、製膜性も確保される。成分IIIと成分IIとの合計量に対する成分IIIの量は、1.0~2.5モルがより好ましいここで、モルの計算上、小数点第2位を四捨五入して小数点第1位までを求める。成分IIに含まれるジアミンの合計モル数MDA ́と、成分Iに含まれる芳香族テトラカルボン酸無水物のモル数MFL ́および成分IIに含まれるテトラカルボン酸無水物の合計モル数MTC ́の合計MFL ́MTC ́との比は、MDA ́:MFL ́MTC ́が、1:0.90~1:1.10であるのが好ましく、1:0.95~1:1.05であるのがより好ましく、1:0.99であるのがさらに好ましい。引張弾性率本発明のポリイミドフィルムの引張弾性率は、ASTMD882に準ずる測定方法によって測定した値で、5.0GPa以上であることが好ましい。この範囲であると、引張り強さが十分なものとなる。引張弾性率は大きいほどよく、5.8GPa以上がより好ましく、6.0GPa以上がさらに好ましく、6.3GPa以上がいっそう好ましく、6.5GPa以上がよりいっそう好ましい。線熱膨張係数本発明のポリイミドフィルムの線熱膨張係数は、TMA法により、荷重0.5g、昇温速度5.0°C/分における試験片の伸びより50°C~200°Cの範囲での平均値として求めた値で、10~25ppm/°Cの範囲内であることが好ましい。この範囲内であると、銅の線熱膨張係数である17ppm/°Cに近いため、ポリイミド/銅基板積層体として用いたときにの熱応力の低減を図ることができる。ガラス転移温度本発明のポリイミドフィルムのガラス転移温度は、示差走査熱量計DSCを用いて、窒素雰囲気中、昇温速度20°C/分の条件で加熱し、比熱の変化点より測定したものである。本発明のポリイミドフィルムには、明確なガラス転移温度がないことが好ましい。水蒸気透過度本発明のポリイミドフィルムの水蒸気透過度は、JISK7129:2008A法に準拠した測定方法により、測定温度40°C、測定面積50cm2、相対湿度90、高湿側100、低湿側10、測定下限値0.2g/m2/dayとして測定した値で、10~100g/m2/dayであることが好ましい。この範囲内であると、水蒸気透過度が必要十分であり、発泡を起こしにくくなるため、安定製造のために有利である。水蒸気透過度は25~100g/m2/day以上がより好ましく、40~100g/m2/day以上がさらに好ましく、50~100g/m2/day以上がいっそう好ましい。[ポリイミドおよびポリイミドフィルムの製造方法]本発明のポリイミドを製造する手段としては、低い線熱膨張係数並びに高弾性率を確保する為に、面内配向性を高める手段として、触媒を用いて脱水環化イミド化をする化学イミド化法を用いるのが好ましい。例えば、有機溶媒中で酸、ジアミン成分を5~40°Cで3~10時間で重合し、その後、0°C以下の温度で脱水剤と脱水触媒を混合して、ガラス板上に製膜し、不活性ガス雰囲気または減圧下に通常200°C~400°C、好ましくは250°C~350°Cの温度で0.5~15時間、好ましくは1~5時間熱処理をする方法を用いる。この際に用いられる溶媒としてはN,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン等の非プロトン系極性溶媒、クレゾール類等のフェノール系溶媒、ジグライム等のグリコール系溶媒が挙げられる。これらの溶媒は単独あるいは2種以上混合して用いる事ができる。溶媒使用量に特に制限はないが、生成するポリイミドの含有量が5~40質量とするのが望ましい。化学的に脱水閉環させる為の脱水剤、脱水触媒としては、無水酢酸とピコリンとの組合せ、トリフルオロ無水酢酸とピコリンとの組合せ等が例示できる。以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。測定方法実施例および比較例のポリイミドフィルムの線熱膨張係数、機械的靱性、ガラス転移温度および水蒸気透過度は、下記の方法により測定した。1引張弾性率引張弾性率は、島津製オートグラフAGS-J500Nを用い縦90mm×横10mmの短冊状試験片を使用して、ASTMD882に準じ、チャック間距離50mm、引張り速度50.8mm/min、23°Cで測定した。2線熱膨張係数TMA法により、荷重0.5g、昇温速度5.0°C/分における試験片の伸びより50°C~200°Cの範囲での平均値として線熱膨張係数を求めた。3ガラス転移温度ガラス転移温度Tgは、示差走査熱量計DSCを用いて、窒素雰囲気中、昇温速度20°C/分の条件で加熱し、比熱の変化点より測定した。明確なガラス転移温度がなかったものを検出なしとした。4水蒸気透過度Lyssy製L80シリーズ水蒸気透過度計を用いJISK7129:2008A法に準ずる手法により測定した。測定条件は、測定温度40°C、測定面積50cm2、相対湿度90、高湿側100、低湿側10、測定下限値0.2g/m2/dayとした。[実施例1]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、9,9-ビス4-アミノフェニルフルオレンBAFL17.4g0.05モル、p-フェニレンジアミン48.6g0.45モルおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテル100g0.50モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc1932gを投入して完全に溶解した。その後、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物161.7g0.55モルを投入し、室温下で重合させ、さらに、ピロメリット酸二無水物PMDA96.36g0.442モルを加えて、粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調整した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の実施例1の欄に示す。[実施例2]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、9,9-ビス4-アミノフェニルフルオレンBAFL34.8g0.10モル、p-フェニレンジアミン43.2g0.40モルおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテル100g0.50モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc1986gを投入して完全に溶解した。その後、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物161.7g0.55モルを投入し、室温下で重合させ、さらに、ピロメリット酸二無水物PMDA96.36g0.442モルを加えて、粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調整した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の実施例2の欄に示す。[実施例3]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、9,9-ビストルイジンフルオレンBTFL37.6g0.10モル、p-フェニレンジアミン43.2g0.40モルおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテル100g0.50モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc1988gを投入して完全に溶解した。その後、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物161.7g0.55モルを投入し、室温下で重合させ、さらにピロメリット酸二無水物PMDA96.36g0.442モルを加えて、粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調整した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の実施例3の欄に示す。[実施例4]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、p-フェニレンジアミン54.0g0.50モルおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテル100g0.50モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc1983gを投入して完全に溶解した。その後、4,4’-フルオレン-9,9-ジイルビス無水フタル酸23g0.05モルおよび3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物147.0g0.50モルを投入し、室温下で重合させ、さらにピロメリット酸二無水物PMDA96.36g0.442モルを加えて、粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調整した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の実施例4の欄に示す。[実施例5]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、9,9’-ビスフルオロアニリンフルオレンBFAF38.4g0.10モル、p-フェニレンジアミン43.3g0.40モルおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテル100g0.50モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc1995gを投入して完全に溶解した。その後、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物161.75g0.55モルを投入し、室温下で重合させ、さらにピロメリット酸二無水物PMDA96.36g0.442モルを加えて、粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調製した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の実施例5の欄に示す。[実施例6]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、9,9-ビスフェニルアニリンフルオレンBPAF50.1g0.10モル、p-フェニレンジアミン43.3g0.40モルおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテル100g0.50モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc2050gを投入して完全に溶解した。その後、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物161.75g0.55モルを投入し、室温下で重合させ、さらにピロメリット酸二無水物PMDA96.36g0.442モルを加えて、粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調製した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の実施例6の欄に示す。[実施例7]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、p-フェニレンジアミン54.0g0.50モルおよび4,4’-ジアミノフェニルエーテル100g0.50モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc1950gを投入して完全に溶解した。その後、4,4’-フルオレン-9,9’-ジイルビス無水フタル酸46g0.10モルおよび3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物132.1g0.45モルを投入し、室温下で重合させ、さらにピロメリット酸二無水物PMDA96.36g0.442モルを加えて、粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調製した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の実施例7の欄に示す。[比較例1]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、p-フェニレンジアミン54g0.50モルおよび4,4’-ジアミノジフェニルエーテル100g0.50モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc1877gを投入して完全に溶解した。その後、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物161.7g0.55モルを投入し、室温下で重合させ、さらにピロメリット酸二無水物PMDA96.36g0.442モルを加えて粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調整した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の比較例1の欄に示す。[比較例2]攪拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた反応容器に、p-フェニレンジアミン108g1.0モルを仕込み、N,N’-ジメチルアセトアミドDMAc1821gを投入して完全に溶解した。その後、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物291.60.992モルを投入し、室温下で重合させ、粘度約1500ポイズのポリイミド前駆体を調整した。この前駆体に無水酢酸およびβ-ピコリンを加え、平滑なガラス板にキャストし、キュアすることで、膜厚30μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムについて、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度を、上記した測定方法によって、測定した。測定結果は表1の比較例2の欄に示す。実施例1の説明実施例1は、成分Iとして、9,9-ビス4-アミノフェニルフルオレンを0.05モル、成分IIとして、p-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロメリット酸二無水物を合計1.942モル、使用するものである。成分Iと成分IIとの合計に対して、成分Iは2.5モル、成分IIは97.5モルであった。表1から明らかなように、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度のいずれも良好であった。実施例2の説明実施例2は、成分Iとして、9,9-ビス4-アミノフェニルフルオレンを0.10モル、成分IIとして、p-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロメリット酸二無水物を合計1.892モル、使用するものである。成分Iと成分IIとの合計に対して、成分Iは5.0モル、成分IIは95.0モルであった。表1から明らかなように、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度のいずれも良好であった。実施例3の説明実施例3は、成分Iとして、9,9-ビストルイジンフルオレンを0.10モル、成分IIとして、p-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロメリット酸二無水物を合計1.892モル、使用するものである。成分Iと成分IIとの合計に対して、成分Iは5.0モル、成分IIは95.0モルであった。表1から明らかなように、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度のいずれも良好であった。実施例4の説明実施例4は、成分IIIとして、4,4’-フルオレン-9,9-ジイルビス無水フタル酸を0.05モル、成分IIとして、p-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロメリット酸二無水物を合計1.942モル、使用するものである。成分IIIと成分IIとの合計に対して、成分IIIは2.5モル、成分IIは97.5モルであった。表1から明らかなように、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度のいずれも良好であった。実施例5の説明実施例5は、成分Iとして、9,9’-ビスフルオロアニリンフルオレンBFAFを0.10モル、成分IIとして、p-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロメリット酸二無水物を合計1.892モル、使用するものである。成分Iと成分IIとの合計に対して、成分Iは5.0モル、成分IIは95.0モルであった。表1から明らかなように、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度のいずれも良好であった。実施例6の説明実施例6は、成分Iとして、9,9’-ビスフェニルアニリンフルオレンBPAFを0.10モル、成分IIとして、p-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロメリット酸二無水物を合計1.892モル、使用するものである。成分Iと成分IIとの合計に対して、成分Iは5.0モル、成分IIは95.0モルであった。表1から明らかなように、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度のいずれも良好であった。実施例7の説明実施例7は、成分IIIとして、4,4’-フルオレン-9,9-ジイルビス無水フタル酸を0.10モル、成分IIとして、p-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびピロメリット酸二無水物を合計1.892モル、使用するものである。成分IIIと成分IIとの合計に対して、成分IIIは5.0モル、成分IIは95.0モルであった。表1から明らかなように、引張弾性率、線熱膨張係数、ガラス転移温度および水蒸気透過度のいずれも良好であった。比較例1の説明比較例1は、成分Iまたは成分IIIに相当する成分を使用せず、成分IIに相当する成分のみによってポリイミドが合成されるものである。ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とのモル比は、1.00:0.992であった。引張弾性率、線熱膨張率およびガラス転移温度は良好であったが、水蒸気透過度が十分ではなかった。比較例2の説明比較例2は、成分I、成分IIおよび成分IIIに相当する成分のいずれも使用せず、ジアミンとしてp-フェニレンジアミンを1.0モル、テトラカルボン酸二無水物として3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を0.992モル使用して、ポリイミドが合成されるものである。ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とのモル比は、1.00:0.992であった。引張弾性率、線熱膨張率およびガラス転移温度は良好であったが、水蒸気透過度が不十分であった。"