環境における所定の物理量を検出するセンサ部と、前記センサ部に交流電圧を印加する電源部と、を備え、前記センサ部は、従来の環境センサのセンサ部よりインピーダンスが高くなるように構成されることを特徴とする環境センサ。前記センサ部は、第1の電極板と第2の電極板と前記第1の電極板と前記第2の電極板との間に配置された誘電体とを含み、前記所定の物理量に応じて前記第1の電極板と前記第2の電極板との間の静電容量が変化するように構成され、前記電源部は、前記第1の電極板と前記第2の電極板との間に前記交流電圧を印加し、前記センサ部のインピーダンスに基づいて、前記第1の電極板と前記第2の電極板との間の距離と前記第1の電極板および前記第2の電極板の面積とが設定されることを特徴とする請求項1に記載の環境センサ。前記第1の電極板の前記誘電体側の面に複数の凹凸が形成されることを特徴とする請求項2に記載の環境センサ。前記第1の電極板の前記誘電体側の面に前記誘電体を付着させるカップリング層をさらに備えることを特徴とする請求項2または3に記載の環境センサ。前記第1の電極板を支持する基材をさらに備えることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか一項に記載の環境センサ。前記電源部を間欠駆動する制御部をさらに備えることを特徴とする請求項2ないし5のいずれか一項に記載の環境センサ。前記電源部を含み、前記静電容量を検出するインターフェース回路部と、前記インターフェース回路部により検出された前記静電容量を外部に送信する通信部と、をさらに備えることを特徴とする請求項2ないし6のいずれか一項に記載の環境センサ。ところで、これらの従来の環境センサでは、一般的に、いわゆる固定電源から電力が供給されており、消費電力量の多寡多い少ないはあまり問題ではなかった。しかしながら、近年、あらゆる環境で物理量を検出したいという要求ニーズが高まっており、例えば、携帯型または可搬型の機器のように、電源の電力量が制限された機器に搭載される場合に、環境センサの消費電力量の低減が望まれていた。本実施形態のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、消費電力量を低減させることのできる環境センサを提供することを目的の1つとする。本発明に係る環境センサは、環境における所定の物理量を検出するセンサ部と、センサ部に交流電圧を印加する電源部と、を備え、センサ部は、従来の環境センサのセンサ部よりインピーダンスが高くなるように構成される。かかる構成によれば、交流電圧が印加されるセンサ部は、従来の環境センサのセンサ部よりインピーダンスが高い。これにより、従来の環境センサと比較して、センサ部における消費電力量を低減させることが可能となる。好ましくは、センサ部は、第1の電極板と第2の電極板と前述の第1の電極板と前述の第2の電極板との間に配置された誘電体とを含み、環境における所定の物理量に応じて前述の第1の電極板と前述の第2の電極板との間の静電容量が変化するように構成され、電源部は第1の電極板と第2の電極板との間に交流電圧を印加し、センサ部のインピーダンスに基づいて、第1の電極板と第2の電極板との間の距離と第1の電極板および第2の電極板の面積とが設定される。かかる構成によれば、センサ部のインピーダンスに基づいて、第1の電極板と第2の電極板との間の距離と第1の電極板および第2の電極板の面積が設定される。ここで、所定の物理量に応じて静電容量が変化する静電容量型の従来の環境センサにおいて、2つの電極板の間の距離d1、2つの電極板の面積S1、感度係数Dh、静電容量C1=Dh×S1/d1のセンサ部を有する場合、本発明の環境センサにおける第1の電極板と第2の電極板との間の距離dhを距離d1より大きく設定するdh>d1か、本発明の環境センサにおける第1の電極板および第2の電極板の面積Shを面積S1より小さく設定するSh<S1か、あるいはその両方に設定することにより、センサ部の静電容量Chが静電容量C1より小さくなりCh<C1、本発明のセンサ部のインピーダンスZkが従来の環境センサのセンサ部のインピーダンスZ1より高くなるZh>Z1。よって、センサ部のインピーダンスZhに基づいて、距離dhと面積Shとを設定することにより、本発明のセンサ部の静電容量Chを従来の環境センサのセンサ部の静電容量C1より減少させ、本発明のセンサ部のインピーダンスZhを従来の環境センサのセンサ部のインピーダンスZ1より高くすることが可能となる。これにより、本発明の環境センサを容易に実現構成することができる。好ましくは、第1の電極板の誘電体側の面に複数の凹凸が形成される。かかる構成によれば、第1の電極板の誘電体側の面に複数の凹凸が形成される。ここで、従来の環境センサでは、高湿度の環境に配置した場合や、使用してから所定の月日が経過した場合に、誘電体が膨潤して湿度に対する感度が低下劣化するという問題があった。また、誘電体の膨潤膨張による応力が発生し、誘電体が電極板から剥離する剥がれるおそれもあった。これに対し、本発明の環境センサは、第1の電極板の誘電体側の面に凹凸を形成することにより、第1の電極板の誘電体側の面の表面積が増加する。これにより、第1の電極板の誘電体側の面に凹凸が形成されない場合と比較して、誘電体に加わる単位面積当たりの力を緩和することができ、誘電体が剥離しにくくなるととともに、誘電体の膨潤による感度低下劣化を抑制することができ、長期期間にわたって安定して検出することができる。また、特に、センサ部のインピーダンスZhに基づいて小さく設定された第1の電極板の面積Shにおいて、静電容量Chの検出感度を向上させることができる。好ましくは、第1の電極板の誘電体側の面に誘電体を付着させるカップリング層をさらに備える。かかる構成によれば、第1の電極板の誘電体側の面に誘電体を付着させるカップリング層をさらに備える。これにより、第1の電極板と誘電体との接着性が向上し、誘電体が剥離しにくくなるととともに、誘電体の膨潤による感度低下を抑制することができる。これにより、長期期間にわたって安定して検出することができる。好ましくは、第1の電極板を支持する基材をさらに備える。かかる構成によれば、第1の電極板を支持する基材をさらに備える。これにより、第1の電極板の機械的強度を補強することができ、特に、センサ部のインピーダンスZhに基づいて第1の電極板の面積Shが小さく設定された場合に有効である。好ましくは、電源部を間欠駆動する制御部をさらに備える。かかる構成によれば、電源部を間欠駆動する制御部をさらに備える。これにより、電源部を連続的に駆動してセンサ部を常時通電する場合と比較して、環境センサの消費電力量をさらに低減させることができる。また、本発明の環境センサは、センサ部のインピーダンスZhに基づいて、静電容量Chが従来の環境センサの静電容量C1より小さく設定されるのでCh<C1、内部抵抗Rifが同一である場合、本発明の環境センサの時定数τhは従来の環境センサの時定数τ1より小さくなるτh<τ1。よって、制御部が第1の電極板と第2の電極板との間に交流電圧を印加する電源部を間欠駆動することにより、定常状態に達するまでの時間、すなわち、センサ部を起動または停止するまでの待ち時間安定時間を短くすることができる。これにより、待ち時間における消費電力量を低減することができ、従来の環境センサと比較して、本発明の環境センサの消費電力量をさらに低減させることができる。好ましくは、電源部を含み、前述の静電容量を検出するインターフェース回路部と、インターフェース回路部により検出された前述の静電容量を外部に送信する通信部と、をさらに備える。かかる構成によれば、電源部を含み、前述の静電容量を検出するインターフェース回路部と、検出された前述の静電容量を外部に送信する通信部と、をさらに備える。これにより、前述の所定の物理量に応じて変化する静電容量が外部に送信される。これにより、センサ部が検出した前述の所定の物理量を外部の機器に通知する知らせることができる。本発明の環境センサによれば、従来の環境センサと比較して、センサ部における消費電力量を低減させることが可能となる。これにより、従来の環境センサと比較して、センサ部を含む本発明の環境センサ全体の消費電力量を低減させることができる。また、本発明の環境センサは、固定電源を備える機器のみならず、移動電源またはバッテリー二次電池から電力が供給される機器、例えば、太陽発電、温度差発電、振動発電、バイオ発電、気流または風力発電、水力発電、波力発電、回転発電などの微弱エネルギーを用いて自立発電するエネルギーハーベスト環境発電機器、もしくは、携帯型燃料電池を備える機器、特に、携帯型または可搬型の有線または無線通信を行う機器に、好適に用いることができる。以下に本実施形態の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。なお、以下の説明において、図面の上側を上、下側を下、左側を左、右側を右という。図1ないし図16は、本発明に係る環境センサの一実施形態を示すためのものである。本実施形態では、環境における所定の物理量を検出する環境センサの一例として、測定環境の雰囲気における湿度を検出する湿度センサについて説明する。図1は、本実施形態における湿度センサを説明するブロック図である。図1に示すように、湿度センサ100は検出対象となる環境に配置され、雰囲気大気における湿度を検出するためのものである。湿度センサ100は、センサ部10と、インターフェース回路部50と、制御部70と、通信部90と、を備える。センサ部10は、第1電極板11と、第2電極板13と、第1電極板11と第2電極板12との間に配置された感湿膜12とを含み、第1電極板11と第2電極板13との間に電荷を蓄えることが可能なコンデンサキャパシタとして機能する。なお、本実施形態における感湿膜12は、本実施形態の環境センサにおける誘電体の一例に相当する。一般に、コンデンサにおいて、2つの電極板の間の距離がd[m]、2つの電極板の面積がS[m2]、誘電体の誘電率がε[F/m]である場合、静電容量Cは、以下の式1で表される。C[F]=ε×S/d...1感湿膜12は、雰囲気中の湿度に応じて、誘電率εを含む感湿感度係数Dhが変化する。そのため、センサ部10は雰囲気中の湿度に応じて、その静電容量が変化する。よって、第1電極板11および第2電極板13の間の距離dh、第1電極板11および第2電極板13の面積Shである場合、センサ部10の静電容量Chは、感湿感度係数Dhを用いて以下の式2で表される。Ch=Dh×Sh/dh...2インターフェース回路部50は、電源部30を含む。電源部30は、第1電極板11および第2電極板13に電気的に接続しており、第1電極板11と第2電極板12との間に交流電圧を印加する。これにより、センサ部10には静電容量Chに応じた電流が流れるので、インターフェース回路部50は、この電流信号に基づいてセンサ部10の静電容量Chを検出する。また、センサ部10の静電容量Chは雰囲気中の湿度に応じて変化するので、この電流信号に基づいて雰囲気中の湿度を検出することが可能となる。交流電圧が印加されるセンサ部10において、インピーダンスZhは以下の式3で表される。Zh=1/2πfCh...3但し、fは交流電圧の周波数を示す。また、第1電極板11と第2電極板12との間に印加する電圧と、第1電極板11と第2電極板12との間を流れる電流とを、それぞれ時間tの関数としてeht、ihtと表すと、以下の式4の関係を満たす。eht=Zhiht...4前述したように、電源部30が第1電極板11と第2電極板12との間に交流電圧を印加すると、雰囲気中の湿度を検出することができる。一方、第1電極板11と第2電極板12との間に電流が流れるので、センサ部10は電力を消費する。このセンサ部10の消費電力phtは、インピーダンスZhを用いて以下の式5で表すことができる。pht=ehtiht=eht2/Zh...5式5に示すように、消費電力phtはインピーダンスZhの逆数に比例逆比例しているので、インピーダンスZhの値が増加すれば消費電力phtの値、すなわち、消費電力量が低減する。また、式3に示すように、インピーダンスZhは周波数fおよび静電容量Chの逆数に比例逆比例しているので、周波数fおよび静電容量Chのうちの少なくとも一方の値が減少すれば、インピーダンスZhの値が増加する。さらに、式2に示すように、静電容量Chは距離dhの逆数に比例逆比例するとともに、面積Shに比例しているので、距離dhが増加するか、面積Shが減少するかあるいはその両方の場合に、静電容量Chの値が減少する。本実施形態では、交流電圧が印加されるセンサ部10は、従来の環境センサのセンサ部よりインピーダンスが高くなるように構成されている。これにより、従来の環境センサと比較して、センサ部10における消費電力量を低減させることが可能となる。具体的には、第1電極板11と第2電極板12との間の距離dhと、第1電極板11および第2電極板12の面積Shとが、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて設定されている。ここで、湿度に応じて静電容量が変化する静電容量型の従来の湿度センサにおいて、2つの電極板の間の距離d1、2つの電極板の面積S1、感湿感度係数Dh、静電容量C1=Dh×S1/d1のセンサ部を有する場合、本実施形態の湿度センサ100の距離dhを距離d1より大きく設定するdh>d1か、本実施形態の湿度センサ100の面積Shを面積S1より小さく設定するSh<S1か、あるいは適切な値で、その両方に設定することにより、センサ部10の静電容量Chが静電容量C1より小さくなりCh<C1、本実施形態のセンサ部10のインピーダンスZhが従来の湿度センサのセンサ部のインピーダンスZ1より高くなるZh>Z1。よって、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて、距離dhと面積Shとを設定することにより、本実施形態のセンサ部10の静電容量Chを従来の湿度センサのセンサ部の静電容量C1より減少させ、本実施形態のセンサ部10のインピーダンスZhを従来の湿度センサのセンサ部のインピーダンスZ1より高くすることが可能となる。制御部70は、インターフェース回路部50に電気的に接続しており、所定の時間間隔ごとに駆動信号を出力して電源部30を含むインターフェース回路部50を間欠駆動する起動させまたは停止させる。これにより、電源部30を連続的に駆動してセンサ部10を常時通電する場合と比較して、湿度センサ100の消費電力量をさらに低減させることができる。一般に、電気回路では意図しない内部抵抗Rifが存在するので、これを抵抗成分として考慮すると、センサ部10のインピーダンスZifは以下の式6で表される。Zif=RifZh...6また、センサ部10の電圧ehtは以下の式7で表される。但し、Eexは電圧の実効値を示す。よって、式7から、センサ部10の時定数τhは以下の式8で表される。τh=ChRif...8時定数は、電気回路における応答の速さを表す指標であって、電圧信号または電流信号が定常状態の約63.2[]または約36.8[]に達するまでの時間である。このため、制御部70がインターフェース回路部50を間欠駆動する際に、時定数τhが小さいほど、センサ部10はより速く定常状態に達する。図2は間欠駆動における電圧の時間変化の一例を示すグラフであり、図3は間欠駆動における電流の時間変化の一例を示すグラフである。なお、図2および図3において、実線は本実施形態の湿度センサ100であって、静電容量Chは数十[pF]の場合を示し、一点鎖線は従来の静電容量型の湿度センサであって、静電容量C1は数百[pF]の場合を示す。また、比較を容易にするために、いずれの場合も内部抵抗Rifは極力小さくなるように設定した上で同一とした。図2および図3に示すように、静電容量Chが数十[pF]の場合の方が、静電容量C1が数百[pF]の場合と比較して、間欠駆動の起動時における立ち上がり、および停止時の立ち下がりが速いことが分かる。なお、図2および図3では、間欠動作の時間間隔が数十μsの場合を示したが、これに限定されない。間欠動作の時間間隔は、用途により、数秒または数分、あるいはそれ以上の時間であってもよい。ここで、本実施形態の湿度センサ100は、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて、静電容量Chが従来の湿度センサの静電容量C1より小さく設定されるのでCh<C1、内部抵抗Rifが同一である場合、本実施形態の湿度センサ100の時定数τhは従来の湿度センサの時定数τ1より小さくなるτh<τ1。よって、制御部70が電源部30を含むインターフェース回路部50を間欠駆動することにより、定常状態に達するまでの時間、すなわち、センサ部10を起動または停止するまでの待ち時間安定時間を短くすることができる。図1に示す通信部90は制御部70に電気的に接続しており、インターフェース回路部50により検出されたセンサ部10の静電容量Chが制御部70を介して入力される。通信部90は、入力された静電容量Chを無線通信方式または有線通信方式で外部の機器に送信する。これにより、雰囲気中の湿度に応じて変化する静電容量Chが外部に送信される。次に、図1に示したセンサ部10の構成を詳細に説明する。図4は図1に示したセンサ部10の一例を説明する斜視図であり、図5は図4に示したセンサ部10の分解斜視図である。図4および図5に示すように、第1電極板11は、基材14の上面に設置されており、基材14によって支持される。これにより、第1電極板11の機械的強度を補強することができ、特に、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて第1電極板11の面積Shが小さく設定された場合に有効である。基材14は、例えば、シリコン、ガラス、セラミックス、サファイア、または石英などの絶縁性を有する材料で構成される。基材14の上面には、第1接続用端子11aを含む第1電極板11と、第1電極板11から離間して配置された下部電極15と、が設置される。第1電極板11は、例えば、白金/金/ニオブPt/Au/Nb、白金/クロムPt/Cr、白金/ニオブPt/Nb、白金/チタンPt/Ti、ニッケルNi、アルミAl、または銅Cuなどの少なくとも1層からなる金属層から構成される。第1電極板11は、例えば、蒸着法またはスパッタリング法などの方法により、前述した金属層を基材14の上に付着させ、パターニングもしくはリフトオフ、またはメタルマスクを用いて形成される。このように形成された第1電極板11の厚さは、例えば、数百[nm]または数千[Å]から1[μm]以下である。図6は図4に示したII-II線矢視方向断面図であり、図7は図4に示したIII-III線矢視方向断面図である。図6および図7に示すように、第1電極板11の平面状の上面に複数の凸部11bが設けられ、感湿膜12と接する面に複数の凹凸が形成される。複数の凸部11bは、例えば、化学エッチング法、反応性イオンエッチング法を含むドライエッチング法、またはリフトオフ法などの微細加工技術MEMS技術を用いて、形成される。図6および図7では、第1電極板11の上面に複数の凸部11bを設ける例を示したが、これに限定されない。結果として、第1電極板11の感湿膜12側の面に複数の凹凸が形成されていれば、他の構成であってもよい。図8および図9は、図4に示したセンサ部10の変形例を説明する断面図である。なお、図8は、図6と同様に、図4に示したII-II線矢視方向断面図であり、図9は、図7と同様に、図4に示したIII-III線矢視方向断面図である。図8および図9に示すように、第1電極板11の上面に複数の凸部11bを設けるとともに、基材14の上面に複数の凸部14aを設けるようにしてもよい。凸部14aは、基材14の材料に応じて、例えば、化学エッチング法、ドライエッチング法、反応性イオンエッチングRIE法、またはレーザー加工法などの微細加工技術MEMS技術、サンドブラスト法などの加工技術、エピタキシャル成長などの薄膜成長技術、もしくは、蒸着法またはスパッタリング法などの成膜技術などの方法により、形成される。図10および図11は、図4に示したセンサ部10の他の例を説明する断面図である。なお、図10は、図6と同様に、図4に示したII-II線矢視方向断面図であり、図11は、図7と同様に、図4に示したIII-III線矢視方向断面図である。図10および図11に示すように、第1電極板11の上面に、凸部11bに代えて複数の凹部11cを設けるようにしてもよい。この場合も同様に、第1電極板11の感湿膜12側の面に凹凸が形成される。凹部11cは、凸部11bを形成する場合と同様に、例えば、化学エッチング法、ドライエッチング法、反応性イオンエッチングRIE法、またはリフトオフ法などの微細加工技術MEMS技術を用いて、形成される。図12および図13は、図10および図11に示したセンサ部10の変形例を説明する断面図である。なお、図12は、図6と同様に、図4に示したII-II線矢視方向断面図であり、図13は、図7と同様に、図4に示したIII-III線矢視方向断面図である。図12および図13に示すように、第1電極板11の上面に複数の凹部11cを設けるとともに、基材14の上面に複数の凹部14bを設けるようにしてもよい。凹部14bは、凸部14aを形成する場合と同様に、例えば、化学エッチング法、ドライエッチング法、反応性イオンエッチングRIE法、またはレーザー加工法などの微細加工技術MEMS技術、サンドブラスト法などの加工技術、エピタキシャル成長などの薄膜成長技術、もしくは、蒸着法またはスパッタリング法などの成膜技術などの方法により、形成される。図6および図7に示すように、感湿膜12は、第1電極板11の上面に設けられる。ここで、従来の湿度センサでは、高湿度の環境に配置した場合や、使用してから所定の月日が経過した場合に、感湿膜が膨潤して湿度に対する感度が低下劣化するという問題があった。また、感湿膜の膨潤膨張による応力が発生し、感湿膜が電極板から剥離する剥がれるおそれもあった。これに対し、本実施形態の湿度センサ100は、第1電極板11の上面に凹凸を形成することにより、第1電極板11の感湿膜12側の面の表面積が増加する。感湿膜12は、例えば、メタクリル酸メチル樹脂PMMA、架橋したメタクリル酸メチル樹脂、ポリイミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、またはフッ素含有ポリイミドなどの有機高分子樹脂で構成される。感湿膜12の厚さは、例えば、1[μm]以上から10[μm]以下である。また、感湿膜12の形成方法として、例えば、最初に、スピンコート法、ディップ法、またはスプレーコーティング法などの方法により、前述した有機高分子樹脂を、基材14、第1電極板11、および下部電極15の上に塗布し、加熱処理を施して乾燥させる。次に、気相中の反応性イオンエッチング法、スパッタリング法、大気圧プラズマエッチング法、または、電極板に損傷を与えずに物理的に除去する方法などの方法により、第1接続端子11aおよび下部電極15の上の有機高分子樹脂を選択的に除去する。これにより、感湿膜12が形成されるとともに、第1接続端子11aおよび下部電極15が露出する。第2電極板13は、第2接続用端子13aを含み、感湿膜12の上に設置される。第2接続用端子13aは、基材14の上の下部電極15に接触するように形成される。第2電極板13は、例えば、白金Pt、金Au、クロムCr、またはパラジウムPdなどの金属膜で構成される。第2電極板13の厚さは、例えば、数百[nm]または数千[Å]から1[μm]以下である。また、第2電極板13の形成方法として、例えば、最初に、蒸着法またはスパッタリング法などの成膜方法によりパターニング法、リフトオフ法、またはメタルマスク法などを用い、前述した金属膜を感湿膜12および基材14の上に付着させる。付着した金属の膜は、多孔質構造または微細なクラックを有する構造となる。また、第1接続端子11aの上などは、第2電極板13の金属膜が選択的に付着しないように、あらかじめパターンで保護される。これにより、第2電極板13が形成されるとともに、第1接続端子11aが露出する。露出した第1接続端子11aには第1電極パッド17が設けられ、露出した第2接続端子13aには第2電極パッド18が設けられる。第1電極パッド17および第2電極パッド18は、例えば、リフトオフ法、蒸着法、またはスパッタリング法などの方法により、パターニングまたはメタルマスクを用いて形成される。電極パットの材料は、金Au、白金Pt、アルミAl、銅Cu、金/ニオブAu/Nb、金/クロムAu/Cr、金/チタンAu/Ti、白金/ニオブPt/Nb、白金/クロムPt/Cr、白金/チタンPt/Ti、白金/金/ニオブPt/Au/Nb、白金/金/クロムPt/Au/Cr、または、白金/金/チタンPt/Au/Tiなどの少なくとも一層からなる金属膜である。また、第1電極パッド17および第2電極パッド18には、それぞれリード線図示省略が接続される。これにより、第1電極板11と第2電極板12との間を流れる電流を検出信号として取り出す出力することが可能となる。図14は、図4に示したセンサ部10の要部拡大断面図である。図14に示すように、カップリング層19は、第1電極板11と感湿膜12との間に配置され、第1電極板11の上面に感湿膜12を付着させる。カップリング層19は、例えば、シラノール基-SiOHとアミノ基-NH3とを有するシランカップリング剤で構成される。また、カップリング層19の形成方法として、例えば、第1電極板11の上面に複数の凸部11bを形成した後、シランカップリング剤を、スピンコート法、ディップ法、またはスプレーコーティング法などの方法により、基材14、第1電極板11、および下部電極15の上に滴下する。これにより、カップリング層19が形成される。シランカップリング剤のシラノール基-SiOHは、第1電極板11の表面のシラノール基-SiOHと脱水縮合反応し、共有結合-Si-O-Si-を形成する。また、シランカップリング剤のアミノ基-NH3は、感湿膜3と反応する。このように、第1電極板11の上面に感湿膜12を付着させるカップリング層19を備えることにより、第1電極板11と感湿膜12との接着性が向上し、感湿膜12が剥離しにくくなるととともに、感湿膜12の膨潤による感度低下を抑制することができる。図15は相対湿度と感湿感度係数との関係を示すグラフであり、図16は相対湿度と消費電力との関係を示すグラフである。なお、図15および図16において、実線は本実施形態の湿度センサ100であって、一点鎖線は従来の湿度センサの場合を示す。また、比較を容易にするために、実験では、湿度制御可能な高温槽の中に本実施形態の湿度センサ100および従来の湿度センサを設置し、一定温度で相対湿度を変化させ、インピーダンス計測器を用いて交流電圧および周波数を所定の値に設定固定した。また、図15は、本実施形態の湿度センサ100および従来の湿度センサの静電容量の値の変化を測定し、前述の式2に基づいて感湿感度係数Dhに換算したものである。図15に示すように、本実施形態の湿度センサ100および従来の湿度センサは、30[RH]から80[RH]までの湿度変化に対し、同様の感湿感度係数Dhであり、感湿特性として同一または同一とみなせる略同一であることが分かる。一方、図16に示すように、従来の湿度センサは、30[RH]から80[RH]までの湿度変化に対し、消費電力が約35[μW]から約38[μW]まで増加する傾向を有することが分かる。これは、湿度増加とともに図15で示す誘電膜の感湿度係数が増加することで静電容量C1が増加し、前述の式3で示したセンサ部のインピーダンスが減少して2つの電極板の間に流れる電流が増加するためと考えられる。これに対し、本実施形態の湿度センサ100は、相対湿度が30[RH]から80[RH]までの湿度変化に対し、消費電力が約2[μW]を中心に数十百nW程度の増減を示す。この結果から、本実施形態の湿度センサ100は、相対湿度が30[RH]から80[RH]の範囲において、従来の湿度センサと比較して、消費電力量を1/15以下に低減することができるといえる。本実施形態では、環境における所定の物理量を検出する環境センサとして、測定環境の雰囲気における湿度を検出する湿度センサについて説明したが、これに限定されない。所定の物理量として、例えば、温度、圧力、輻射温度、照度、気流、振動、傾斜、位置、環境ガス、粉塵などの他の物理量を検出する環境センサであってもよい。このように、本実施形態における湿度センサ100によれば、交流電圧が印加されるセンサ部10は、従来の湿度センサのセンサ部よりインピーダンスが高くなるように構成されている。これにより、従来の湿度センサと比較して、センサ部10における消費電力量を低減させることが可能となる。これにより、従来の湿度センサと比較して、センサ部10を含む本発明の湿度センサ100全体の消費電力量を低減させることができる。また、本実施形態の湿度センサ100は、固定電源を備える機器のみならず、移動電源またはバッテリー二次電池から電力が供給される機器、例えば、太陽発電、温度差発電、振動発電、バイオ発電、気流または風力発電、水力発電、波力発電、回転発電などの微弱エネルギーを用いて自立発電するエネルギーハーベスト環境発電機器、もしくは、携帯型燃料電池を備える機器、特に、携帯型または可搬型の有線または無線通信を行う機器に、好適に用いることができる。また、本実施形態における湿度センサ100によれば、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて、第1電極板11と第2電極板13との間の距離dhと第1電極板11および第2電極板13の面積Shとが設定される。ここで、湿度に応じて静電容量が変化する静電容量型の従来の湿度センサにおいて、2つの電極板の間の距離d1、2つの電極板の面積S1、感湿感度係数Dh、静電容量C1=Dh×S1/d1のセンサ部を有する場合、本実施形態の湿度センサ100の距離dhを距離d1より大きく設定するdh>d1か、本実施形態の湿度センサ100の面積Shを面積S1より小さく設定するSh<S1か、あるいはその両方に設定することにより、センサ部10の静電容量Chが静電容量C1より小さくなりCh<C1、本実施形態のセンサ部10のインピーダンスZhが従来の湿度センサのセンサ部のインピーダンスZ1より高くなるZh>Z1。よって、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて、距離dhと面積Shとを設定することにより、本実施形態のセンサ部10の静電容量Chを従来の湿度センサのセンサ部の静電容量C1より減少させ、本実施形態のセンサ部10のインピーダンスZhを従来の湿度センサのセンサ部のインピーダンスZ1より高くすることが可能となる。これにより、本実施形態の湿度センサ100を容易に実現構成することができる。また、本実施形態における湿度センサ100によれば、第1電極板11の感湿膜12側の面、すなわち、上面に複数の凹凸が形成される。ここで、従来の湿度センサでは、高湿度の環境に配置した場合や、使用してから所定の月日が経過した場合に、感湿膜が膨潤して湿度に対する感度が低下劣化するという問題があった。また、感湿膜の膨潤膨張による応力が発生し、感湿膜が電極板から剥離する剥がれるおそれもあった。これに対し、本実施形態の湿度センサ100は、第1電極板11の上面に凹凸を形成することにより、第1電極板11の感湿膜12側の面の表面積が増加する。これにより、第1電極板11の上面に凹凸が形成されない場合と比較して、感湿膜12に加わる単位面積当たりの力を緩和することができ、感湿膜12が剥離しにくくなるととともに、感湿膜12の膨潤による感度低下劣化を抑制することができ、長期期間にわたって安定して検出することができる。また、特に、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて小さく設定された第1電極板11の面積Shにおいて、静電容量Chの検出感度を向上させることができる。また、本実施形態における湿度センサ100によれば、第1電極板11の感湿膜12側の面、すなわち、上面に感湿膜12を付着させるカップリング層19をさらに備える。これにより、第1電極板11と感湿膜12との接着性が向上し、感湿膜12が剥離しにくくなるととともに、感湿膜12の膨潤による感度低下を抑制することができる。これにより、長期期間にわたって安定して検出することができる。また、本実施形態における湿度センサ100によれば、第1電極板11を支持する基材14をさらに備える。これにより、第1電極板11の機械的強度を補強することができ、特に、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて第1電極板11の面積Shが小さく設定された場合に有効である。また、本実施形態における湿度センサ100によれば、電源部30を間欠駆動する制御部70をさら備える。これにより、電源部30を連続的に駆動してセンサ部10を常時通電する場合と比較して、湿度センサ100の消費電力量をさらに低減させることができる。また、本実施形態の湿度センサ100は、センサ部10のインピーダンスZhに基づいて、静電容量Chが従来の湿度センサの静電容量C1より小さく設定されるのでCh<C1、内部抵抗Rifが同一である場合、本実施形態の湿度センサ100の時定数τhは従来の湿度センサの時定数τ1より小さくなるτh<τ1。よって、制御部70が電源部30を間欠駆動することにより、定常状態に達するまでの時間、すなわち、センサ部10を起動または停止するまでの待ち時間安定時間を短くすることができる。これにより、待ち時間における消費電力量を低減することができ、従来の湿度センサと比較して、本実施形態の湿度センサ100の消費電力量をさらに低減させることができる。また、本実施形態における湿度センサ100によれば、電源部30を含み、センサ部10の静電容量Chを検出するインターフェース回路部50と、インターフェース回路部50により検出された静電容量Chを送信する通信部90と、を備える。これにより、雰囲気中の湿度に応じて変化する静電容量Chが外部に送信される。これにより、センサ部10が検出した雰囲気中の湿度を外部の機器に通知する知らせることができる。なお、前述した実施形態の構成は、組み合わせたり、あるいは一部の構成部分を入れ替えたりしたりしてもよい。また、本実施形態の構成は前述した実施形態のみに限定されるものではなく、本実施形態の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。