"高周波信号を出力する固体高周波発振部と、前記固体高周波発振部から出力された前記高周波信号が入力され、入力した前記高周波信号をマイクロ波として放射する導波部と、前記導波部から放射された前記マイクロ波により発光する発光部とを有することを特徴とする光源装置。請求項1に記載の光源装置であって、前記固体高周波発振部は、前記高周波信号を発生する固体高周波発振器と、当該固体高周波発振器で発生する前記高周波信号を増幅する増幅器とを有し、前記導波部は、前記増幅器で増幅された前記高周波信号を前記マイクロ波として放射するアンテナ部と、導電性材料を含んで構成され、前記アンテナ部を収容し、かつ前記アンテナ部から放射された前記マイクロ波を反射することにより収束させる反射面に囲まれる空間を有する容器部とを有し、前記発光部は、前記容器部で前記マイクロ波を収束させる領域に設置され、前記容器部の外部に延出した部位を有し、前記マイクロ波により発光する発光物質が封入された無電極発光管部と、当該無電極発光管部の前記延出した部位を焦点または略焦点として前記無電極発光管部で発光した光束を反射させる反射部とを有することを特徴とする光源装置。請求項1または請求項2に記載の光源装置であって、前記マイクロ波が放射される対象物からの反射波が前記増幅器に戻ることを阻止する安全部を前記増幅器と前記アンテナ部との間に有することを特徴とする光源装置。請求項1~請求項3のいずれか一項に記載の光源装置であって、前記固体高周波発振器は、弾性表面波共振子を有する弾性表面波発振器を有することを特徴とする光源装置。請求項4に記載の光源装置であって、前記弾性表面波共振子は、ダイヤモンド単結晶か、または多結晶ダイヤモンドに一致または近い弾性定数を有する硬質炭素かのいずれかからなる第一の層と、前記第一の層の上に積層された圧電体層と、当該圧電体層の上に形成された櫛形電極と、当該櫛形電極の上に積層された酸化珪素層とを有することを特徴とする光源装置。請求項1~請求項5のいずれか一項に記載の光源装置であって、前記固体高周波発振部は、前記固体高周波発振器に並列に接続され前記固体高周波発振器で発生する前記高周波信号を入力する複数の前記増幅器と、当該複数の前記増幅器で増幅された高周波信号を加算して出力する加算器とを有することを特徴とする光源装置。請求項2に記載の光源装置であって、前記容器の有する前記空間は、誘電率が1以上の部材を収容することを特徴とする光源装置。請求項1~請求項7のいずれか一項に記載の光源装置であって、前記固体高周波発振部、前記導波部および前記発光部は、ユニット化されていることを特徴とする光源装置。請求項1~請求項8のいずれか一項に記載の光源装置であって、前記高周波信号は、300MHz~30GHzの周波数の信号であることを特徴とする光源装置。高周波信号を出力する固体高周波発振部と、前記固体高周波発振部から出力された前記高周波信号を入力し、入力した前記高周波信号をマイクロ波として放射する導波部と、前記導波部から放射された前記マイクロ波により発光する発光部とを有する光源装置と、前記光源装置で発光した光束を画像情報に応じて変調して光学像を形成する光変調部と、前記光変調部により形成された前記光学像を投写する投写部とを有することを特徴とするプロジェクタ。しかしながら、特開2001-155882号公報に提示されるマイクロ波放電光源装置は、マグネトロンを用いたものであり、サイズ重量ともに大きくなってしまう。また、マイクロ波放電光源装置を構成するマグネトロン発振管は、その内部にフィラメント陰極および陽極などを有する一種の真空管構造となっている。それにより、無電極光源ランプは長寿命ではあるが、マグネトロン発振管は、フィラメントの破損や電極の磨耗などにより長寿命とはならない。そして、マグネトロン発振管を駆動するには、数kVもの高電圧を陽極に印加する必要があるため、その電源回路も大きいものになってしまうなどの課題があった。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、マイクロ波を用いて、小型化および長寿命化を図った光源装置および当該光源装置を備えたプロジェクタを提供することを目的とする。本発明の光源装置は、高周波信号を出力する固体高周波発振部と、固体高周波発振部から出力された前記高周波信号が入力され、入力した高周波信号をマイクロ波として放射する導波部と、導波部から放射されたマイクロ波により発光する発光部とを有することを特徴とする。また、上記光源装置において、固体高周波発振部は、高周波信号を発生する固体高周波発振器と、固体高周波発振器で発生する高周波信号を増幅する増幅器とを有し、導波部は、増幅器で増幅された高周波信号をマイクロ波として放射するアンテナ部と、導電性材料を含んで構成され、アンテナ部を収容し、かつアンテナ部から放射されたマイクロ波を反射することにより収束させる反射面に囲まれる空間を有する容器部とを有し、発光部は、容器部でマイクロ波を収束させる領域に設置され、容器部の外部に延出した部位を有し、マイクロ波により発光する発光物質が封入された無電極発光管部と、無電極発光管部の延出した部位を焦点または略焦点として無電極発光管部で発光した光束を反射させる反射部とを有することを特徴とする。また、上記光源装置において、マイクロ波が放射される対象物からの反射波が増幅器に戻ることを阻止する安全部を増幅器とアンテナ部との間に有することを特徴とする。また、上記光源装置において、固体高周波発振器は、弾性表面波共振子を有する弾性表面波発振器を有することを特徴とする。また、上記光源装置において、弾性表面波共振子は、ダイヤモンド単結晶が、または多結晶ダイヤモンドに一致または近い弾性定数を有する硬質炭素かのいずれかからなる第一の層と、第一の層の上に積層された圧電体層と、圧電体層の上に形成された櫛形電極IDTInterdigitalTransducer電極と、櫛形電極の上に積層された酸化珪素層とを有することを特徴とする。また、上記光源装置において、固体高周波発振部は、固体高周波発振器に並列に接続され固体高周波発振器で発生する高周波信号を入力する複数の増幅器と、複数の増幅器で増幅された高周波信号を加算して出力する加算器とを有することを特徴とする。また、上記光源装置において、容器の有する空間は、誘電率が1以上の部材を収容することを特徴とする。また、上記光源装置において、固体高周波発振部、導波部および発光部は、ユニット化されていることを特徴とする。また、上記光源装置において、高周波信号は、300MHz~30GHzの周波数の信号であることを特徴とする。また、本発明のプロジェクタは、高周波信号を出力する固体高周波発振部と、固体高周波発振部から出力された高周波信号を入力し、入力した高周波信号をマイクロ波として放射する導波部と、導波部から放射されたマイクロ波により発光する発光部とを有する光源装置と、光源装置で発光した光束を画像情報に応じて変調して光学像を形成する光変調部と、光変調部により形成された光学像を投写する投写部とを有することを特徴とする。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態に係る光源装置をプロジェクタに適用した場合のプロジェクタの光学系の構成を示すブロック図である。図1を用いて、プロジェクタ1の光学系5の構成および動作を概略説明する。図1に示すように、プロジェクタ1の光学系5は、光源装置10と、照明光学系60と、光変調部70と、色合成光学系80と、投写部90とを有して構成されている。また、光源装置10は、UHF帯300MHz~3GHzやSHF帯3GHz~30GHz等の高周波信号を出力する固体高周波発振部100と、固体高周波発振部100から入力した高周波信号をマイクロ波として放射する導波部400と、導波部400から放射されたマイクロ波により発光する発光部500とを有して構成されている。なお、照明光学系60は、光源装置10から射出された光束の照度を均一化し、各色光に分離する。そして、光変調部70は、照明光学系60で分離された各色光の光束に対して画像情報に応じて変調して光学像を形成する。色合成光学系80は、照明光学系60で色分離され光変調部70で変調された各色光の光学像を合成する。投写部90は、色合成光学系80で合成された光学像を投写する。なお、光源装置10は、固体高周波発振部100と導波部400と発光部500とをユニット化して構成されている。ここでユニット化とは、いくつかの機能部が物理的に一体となっていることや、いくつかの機能部が機能的にまとまっていることを指す。図2は、光源装置の固体高周波発振部、導波部および発光部の概略構成を示すブロック図である。図2を用いて、光源装置10を構成する固体高周波発振部100、導波部400および発光部500の構成および動作を説明する。図2に示すように、固体高周波発振部100は、電源110と、固体高周波発振器200である弾性表面波SurfaceAcousticWave:SAW発振器201としてのダイヤモンドSAW発振器202と、増幅器としての第1増幅器120とを有して構成されている。導波部400は、ケーブル410とアンテナ部以下、アンテナとする420と容器部以下、容器とする430と安全器440としてのアイソレータ441とを有して構成されている。発光部500は、無電極発光管510と反射部520としてのリフレクタ530と保護ガラス540とを有して構成されている。固体高周波発振部100を詳細に説明する。電源110は、ダイヤモンドSAW発振器202と第1増幅器120とに電力を供給している。また、本実施形態では、固体高周波発振器200である弾性表面波発振器201としてダイヤモンドSAW発振器202を用いている。そして、ダイヤモンドSAW発振器202の後段は、第1増幅器120の前段に接続されている。そして、ダイヤモンドSAW発振器202から出力された高周波信号は、第1増幅器120で増幅された後に出力される。この第1増幅器120から出力される高周波信号が、固体高周波発振部100から出力される高周波信号となる。本実施形態では、固体高周波発振部100からは、無電極発光管510内に封入される後述する発光物質511を励起して発光させる高周波出力レベルに増幅された2.45GHz帯の高周波信号を出力する。なお、固体高周波発振部100を構成する固体高周波発振器200は、後述する弾性表面波共振子300を用いた弾性表面波発振器201である。また、本実施形態では、弾性表面波発振器201としてダイヤモンドSAW発振器202を用いている。よって、後述する弾性表面波共振子300としてダイヤモンドSAW共振子310を用いている。固体高周波発振器200は、ダイヤモンドSAW発振器以外の固体高周波発振器を用いても良い。また、固体高周波発振器の固体とは、マグネトロン等を用いた真空管のような気体による発振器に対する表現であり、ダイヤモンドのような固体を用いた発振器という意味である。導波部400を詳細に説明する。導波部400は、固体高周波発振部100から出力した高周波信号を導波してマイクロ波として放射するものであり、基本的にはマイクロ波を放射させるアンテナ420と、アンテナ420および後述する無電極発光管510を収容する容器430を有していれば良い。本実施形態では、アンテナ420に高周波信号を導くケーブル410と反射波対策としてアイソレータ441とを備えている。なお、ケーブル410とアンテナ420は、同軸ケーブルを用いて、芯線をアンテナ420として使用しても良い。アイソレータ441は、固体高周波発振部100の第1増幅器120の後段で、アンテナ420との間に設置されている。そのため、アンテナ420からマイクロ波を放射した結果として、対象物となる容器430や無電極発光管510などからの反射波が固体高周波発振部100に戻ることを阻止し、第1増幅器120などの故障を防止している。ここで阻止とは、反射波をアイソレータ441の内部の抵抗体により熱として消費することで、反射波により第1増幅器120などが故障することない範囲にまで、第1増幅器などに戻る反射波を低減することを言う。容器430は、導電性材料を含む部材により構成されており、容器430の内部には、マイクロ波を反射させる一対のマイクロ波反射面431,432と、このマイクロ波反射面431,432に囲まれた空間433を有して構成されている。そして、導波部400のアンテナ420が、マイクロ波反射面431の略中心に所定の距離だけ空間433内部に突出する形態で設置されている。また、発光部500の無電極発光管510が、マイクロ波反射面432の略中心に所定の距離だけ空間433内部に突出する形態で設置されている。ここで、マイクロ波反射面431,432は、アンテナ420から放射したマイクロ波が、マイクロ波反射面431,432で反射し、空間433内部に突出する無電極発光管510に収束するようにそれぞれ形成されている。また、アンテナ420と無電極発光管510とは、対向する位置関係となっている。このように構成された容器430において、アンテナ420からマイクロ波が空間433内に放射されると、放射されたマイクロ波は、放射状に広がり、マイクロ波反射面431,432で反射され、設置された無電極発光管510の突出した部分に収束される。ここで、空間433は、マイクロ波反射面431,432に囲まれ、アンテナ420で放射されたマイクロ波を外部に漏らさず効率よく閉じ込めることができる。なお、空間433には、本実施形態では、大気が収容されている。また、空間433は、マイクロ波反射面431,432によって完全に囲むことによって、マイクロ波を空間433の外部に漏らすことを防ぐことができる。発光部500を詳細に説明する。発光部500は、無電極発光管510で発光した光束を反射させ、光変調部70側に光束を射出するものである。発光部500を構成する無電極発光管510は、フィラメントや電極構造を有さず、ガラス等の光を透過する材料によって管状形状を有して形成されている。本実施形態では、石英ガラスを用いている。また、無電極発光管510に封入される発光物質511は、例えばネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ハロゲン等の希ガスや、これらのガスと共に水銀やナトリウム等の金属や金属化合物等を封入しても良い。本実施形態では、水銀、希ガスおよび少量のハロゲンが封入されている。また、無電極発光管510は、上述した管状形状を有しており、一方の端部が容器430の空間433内部に突出して設置され、他方の端部が、容器430の外部に延出している。この延出した部位となる先端側は、反射部520としてのリフレクタ530の内面側に突出してリフレクタ530に設置される。そして、容器430の空間433の内部に突出して設置される無電極発光管510の一部は、マイクロ波が収束される領域に対応しており、この収束したマイクロ波により、無電極発光管510内部に封入される発光物質511は励起されて発光することになる。また、これにより、無電極発光管510の内部全域が発光することになり、リフレクタ530の内面側に突出する部分も発光する。リフレクタ530は、石英ガラスで形成され内面側が放物面形状をなしている。放物面形状は、リフレクタ530の内面側に突出して設置される無電極発光管510の先端側が焦点または略焦点となるように形成されている。無電極発光管510の先端側が焦点となるのが望ましいが、略焦点でもよい。また、リフレクタ530の内面側には、可視光の反射率を向上させる誘電体の膜がコートされ反射面531が形成されている。これにより、リフレクタ530の内面側に突出する無電極発光管510で発光した光束は、放射状に広がり、反射面531で反射し、略平行光束となり光変調部70側に射出することになる。なお、リフレクタ530の内面側の形状は楕円面形状でも良く、その場合には、楕円面で反射した光束を略平行光束とするための平行化凹レンズを配置した構成とすることでも良い。保護ガラス540は、リフレクタ530の先端側に設置されており、プロジェクタ1から光源装置10を取外した場合などによる発光部500への粉塵の進入防止や、落下などにより発光部500が破壊した場合の破片などの飛散防止を図っている。また、光源装置10は、光源装置用筐体11図7に図示を有しており、固体高周波発振部100、導波部400および発光部500を収容してユニット化されている。以上の構成および動作により、光源装置10は発光し光束を光変調部70側に射出する。図3は、固体高周波発振部を構成する固体高周波発振器の概略構成を示すブロック図である。図3を用いて固体高周波発振器200の構成および動作を説明する。固体高周波発振器200本実施形態では、弾性表面波発振器201としてのダイヤモンドSAW発振器202は、移相回路210、弾性表面波共振子300としてのダイヤモンドSAW共振子310、第2増幅器220および電力分配器230でループ回路240を構成し、電力分配器230の一方の出力側にバッファ回路250を接続した構成となっている。移相回路210は、電源110から制御電圧を入力してループ回路240の位相を可変させるものである。これら各ブロックは、一定の特性インピーダンス、例えば50ohmに全て整合接続されている。なお、ダイヤモンドSAW共振子310は、第2増幅器220が飽和状態となる入力電圧が供給されるように第2増幅器220の入力側に接続することができる。これにより、ダイヤモンドSAW共振子310を用いてGHz帯での高周波信号をダイレクト発振させることが可能となる。また、整合を保ったまま第2増幅器220の出力パワーを電力分配器230からバッファ回路250を介して外部に出力することができる。また、この回路構成により、ダイヤモンドSAW共振子310に印加する電力を最小限として連続発振状態を継続することが可能となる。また、移相回路210により、高周波信号に周波数変調をかけることが可能となり、無電極発光管510に対して、マイクロ波周波数を可変調整することが可能になる。なお、本実施形態では、ダイヤモンドSAW共振子310は、2.45GHz帯の高周波信号を出力する。また、移相回路210は用いなくても良く、その場合には、固体高周波発振器200はダイヤモンドSAW共振子310の特性により一意的に決まる周波数で発振する固定発振器となる。図4は、弾性表面波共振子の概略構成を示す断面図である。図4を用いて、弾性表面波共振子300の構造および製造方法を説明する。図4に示すように、本実施形態では、弾性表面波共振子300としてダイヤモンドSAW共振子310を用いている。そして、珪素基板311をベースとして、上面にダイヤモンド単結晶層312が積層される。そして、ダイヤモンド単結晶層312の上には、圧電体層313本実施形態では、酸化亜鉛ZnOの薄膜が積層される。そして、この圧電体層313の上には、弾性表面波を励振するIDT電極314が設けられると共に、弾性表面波を反射する反射器電極図示省略が設けられている。また、IDT電極314は、互いにかみ合うように配置された1組の櫛形電極で構成されている。そして、IDT電極314および反射器電極の上には、酸化珪素層315が積層されている。酸化珪素層315は、動作周波数の温度依存性が、圧電体層313、IDT電極314、ダイヤモンド単結晶層312と反対の特性を示すことから動作周波数の温度特性改善のために積層している。なお、ダイヤモンド単結晶層312は、気相合成法により形成される。これ以外に、多結晶ダイヤモンドに一致または近い弾性定数を有する硬質炭素層を用いることもできる。また、圧電体層313は、ZnO以外に、AlN、PbZr,TiO2等をスパッタ法や気相合成法などにより形成することができる。固体高周波発振器200の発振特性がよりよくするにはダイヤモンド単結晶層312を用いるのが好ましいが、上述のように硬質炭素膜層を用いるようにしても良い。上述したように、弾性表面波共振子300としてのダイヤモンドSAW共振子310は、積層構造をしており、半導体製造における微細加工技術を利用して製造されチップ化されている。また、チップ化された弾性表面波共振子300やその他素子を実装し、固体高周波発振器200を有する固体高周波発振部100が形成され製造される。従って、固体高周波発振部100はサイズが小型なものとなる。図5は、ダイヤモンドSAW発振器から出力される信号の周波数と強度との関係を示す模式図である。ここで図5の横軸は周波数を示し、縦軸は強度を示している。上述したダイヤモンドSAW共振子310の構成により、図5に示すように、ダイヤモンドSAW発振器202から出力される信号は、特定周波数f1の高周波信号GHz帯のみを出力する。また、急峻なダイレクト発振ができる。本実施形態では、特定周波数f1は、2.45GHz帯の高周波信号を出力する。図6は、プロジェクタの回路ブロック図である。図6を用いて、プロジェク1の回路構成と動作を説明する。プロジェクタ1は、制御部800、信号変換部810、画像処理部820、液晶パネル駆動部830、操作受付け部840、電源部850、記憶部860およびファン駆動部870などを有して構成される。また、各部は、バスラインBにより互いに接続されている。そして、光学系5として、光源装置10固体高周波発振部100、導波部400、発光部500、光変調部70および投写部90などが構成される。次に、各部の動作を説明する。信号変換部810は、プロジェクタ1の本体外面に設置される画像入力端子815と接続されている。そして、画像入力端子815に接続された外部の画像信号供給装置図示省略から供給される例えばアナログ画像信号を受取る。なお、アナログ画像信号として、例えば、パーソナルコンピュータから出力されたコンピュータ画像を表すRGB信号や、ビデオレコーダやテレビジョン受像機から出力された動画を表すコンポジット画像信号などの画像信号が、画像入力端子815に供給される。そして、信号変換部810は、画像入力端子815から入力したアナログ画像信号をAD変換して、デジタル画像信号として画像処理部820に出力する。画像処理部820は、入力したデジタル画像信号を後述する光変調部70を構成する液晶パネル71図7参照で表示するのに適した信号とするために、画像データを画像メモリいずれも図示省略に書き込み、所定の条件で読み出すなどの画像処理を施した後、再度アナログ画像信号に変換して画像信号として液晶パネル駆動部830に出力する。また、画像処理とは、画像信号で表される画像を拡大および縮小することにより液晶パネル71図7参照の持つ解像度に合わせるスケーリング処理や、画像信号の有する階調値を液晶パネル71で表示するのに適した階調値に変換するγ補正処理などが含まれる。なお、このような画像処理部820によるスケーリング処理およびγ補正処理などの画像処理は、記憶部860に記憶されている画像処理手順を規定したファームウエアを実行することにより行われる。液晶パネル駆動部830は、画像処理部820から出力した画像信号と、画像信号に基づく駆動電圧などを液晶パネル71に供給し駆動する。制御部800は、CPUCentralProcessingUnitであり、バスラインBを介して、各部と信号の送受信を行い、プロジェクタ1の動作を統括制御する。記憶部860は、例えば、プロジェクタ1を起動させる場合の処理の手順と内容を指示する起動プログラムなど、プロジェクタ1の動作を指示および制御するための様々な制御プログラムや、ファームウエア、および付随するデータが記憶されている。操作受付け部840は、プロジェクタ1の本体外面に設置される操作部841またはリモコン842に対し、使用者が操作を行うと、その操作入力を受付け、各種動作のトリガとなる操作信号を制御部800に出力する。ファン駆動部870は、制御部800からのファン駆動コマンドに従い、駆動回路図示せずによりファン875を駆動回転させる。また、ファン875は、プロジェクタ1の内部に複数設置され、回転することにより、プロジェクタ1の外部から外気を吸気して、空気の流れを起し、発光部500、光変調部70および電源部850などで発生する熱を放熱させて、温まった空気をプロジェクタ1の外部に排気することにより冷却している。電源部850は、外部電源880からの交流電力をプラグから導き、内蔵するAC/DC変換部いずれも図示省略で変圧、整流および平滑などの処理を行い、安定化させた直流電圧をプロジェクタ1の各部に供給する。光源装置10の固体高周波発振部100は、制御部800からの制御コマンドに従い、発光部500を発光点灯および非発光消灯を行う。図7は、図1に示したプロジェクタの光学系の各構成部を具体的に示す図である。図7を用いて、プロジェクタ1の光学系5の構造および動作を説明する。光学系5は、図1で記述したように、光源装置10と照明光学系60と光変調部70と色合成光学系80と投写部90とから構成されている。そして、光源装置10から射出された光束を光変調部70で画像情報に応じて変調して光学像を形成し、投写部90を介して、形成した光学像をスクリーンS図6に図示上に投写するものである。なお、光源装置10において、固体高周波発振部100および導波部400の駆動により、マイクロ波が、発光部500の無電極発光管510の内部に封入する発光物質511を励起し発光させるまでの構成および動作に関しては、図2を用いて説明しているため、ここでは、それ以降の光学系5の構成および動作を説明する。光学系5は、図7に示すように、光源装置10に加えて、照明光学系60を構成するインテグレータ照明光学系61と色分離光学系62とリレー光学系63と、光変調部70と、色合成光学系80と、投写部90を構成する投写レンズ91とから構成される。また、光学部品用筐体65により、照明光学系60と光変調部70と色合成光学系80とを構成する各部品が収容され、一体にユニット化されている。なお、本実施形態での光学系5を構成する照明光学系60は、使用する光学系により、適宜変更や省略など行うことができる。照明光学系60を構成するインテグレータ照明光学系61は、光源装置10から射出された光束を照明光軸一点鎖線で図示に直交する面内における照度を均一にするための光学系である。このインテグレータ照明光学系61は、光源装置10、第1レンズアレイ611、第2レンズアレイ612、偏光変換素子613、および重畳レンズ614を備えて構成される。第1レンズアレイ611は、照明光軸方向から見て略矩形形状の輪郭を有する小レンズがマトリクス状に配列された構成を有している。各小レンズは、光源装置10から射出された光束を部分光束に分割し、照明光軸方向に射出する。第2レンズアレイ612は、第1レンズアレイ611と略同様の構成であり、小レンズがマトリクス状に配列された構成を有する。この第2レンズアレイ612は、重畳レンズ614とともに、第1レンズアレイ611の各小レンズの像を後述する液晶パネル71上に結像させる機能を有する。偏光変換素子613は、第2レンズアレイ612からの光を略1種類の偏光光に変換するものであり、これにより、光変調部70での光の利用効率が高められている。詳細には、偏光変換素子613によって略1種類の偏光光に変換された各部分光束は、重畳レンズ614によって最終的に光変調部70の後述する液晶パネル71上にほぼ重畳される。偏光光を変調するタイプの液晶パネル71を用いたプロジェクタでは、1種類の偏光光しか利用できないため、ランダムな偏光光を発する無電極発光管510からの光束の略半分が利用されない。このため、偏光変換素子613を用いることにより、無電極発光管510から射出された光束を略1種類の偏光光に変換し、光変調部70における光の利用効率を高めている。色分離光学系62は、2枚のダイクロイックミラー621,622と、反射ミラー623とを備える。インテグレータ照明光学系61から射出された複数の部分光束は、2枚のダイクロイックミラー621,622により赤R、緑G、青Bの3色の色光に分離される。リレー光学系63は、入射側レンズ631と、一対のリレーレンズ633と反射ミラー632,635とを備えている。このリレー光学系63は、本実施形態では、色分離光学系62で分離された色光である青色光を光変調部70の後述する青色光用の液晶パネル71Bまで導く機能を有している。この際、色分離光学系62のダイクロイックミラー621では、インテグレータ照明光学系61から射出された光束のうち、緑色光成分と青色光成分とは透過し、赤色光成分は反射する。ダイクロイックミラー621によって反射した赤色光は、反射ミラー623で反射し、フィールドレンズ619を通って、赤色光用の液晶パネル71Rに到達する。このフィールドレンズ619は、第2レンズアレイ612から射出された各部分光束をその中心軸主光線に対して平行な光束に変換する。青色光および緑色光用の液晶パネル71B,71Gの光入射側に設けられたフィールドレンズ619も同様である。また、ダイクロイックミラー621を透過した青色光と緑色光のうち、緑色光は、ダイクロイックミラー622によって反射し、フィールドレンズ619を通って、緑色光用の液晶パネル71Gに到達する。一方、青色光は、ダイクロイックミラー622を透過してリレー光学系63を通り、さらにフィールドレンズ619を通って、青色光用の液晶パネル71Bに到達する。なお、青色光にリレー光学系63が用いられているのは、青色光の光路の長さが他の色光の光路の長さよりも長いため、光の発散等による光の利用効率の低下を防止するためである。すなわち、入射側レンズ631に入射した部分光束をそのまま、フィールドレンズ619に伝えるためである。なお、リレー光学系63には、3つの色光のうちの青色光を通す構成としたが、これに限らず、例えば、赤色光を通す構成としても良い。光変調部70は、入射された光束を画像情報に応じて変調してカラー画像を形成する。この光変調部70は、色分離光学系62で分離された各色光が入射される3つの入射偏光板72赤色光用を赤色光入射偏光板72R、緑色光用を緑色光入射偏光板72G、青色光用を青色光入射偏光板72Bとするを備える。また、各入射偏光板72の後段に設置される光変調装置としての3つの液晶パネル71赤色光用を赤色光液晶パネル71R、緑色光用を緑色光液晶パネル71G、青色光用を青色光液晶パネル71Bとするを備える。また、各液晶パネル71の後段に設置される3つの射出偏光板73赤色光用を赤色光射出偏光板73R、緑色光用を緑色光射出偏光板73G、青色光用を青色光射出偏光板73Bとするを備える。色合成光学系80は、1つのクロスダイクロイックプリズム81を備える。液晶パネル7171R,71G,71Bは、例えば、ポリシリコンTFTThinFilmTransistorをスイッチング素子として用いたものであり、対向配置される一対の透明基板内に液晶が密封封入されている。そして、この液晶パネル71は、入射偏光板72を介して入射する光束を画像情報に応じて変調して射出する。入射偏光板72は、色分離光学系62で分離された各色光のうち、一定方向の偏光光のみ透過させ、その他の光束を吸収するものであり、サファイアガラス等の基板に偏光膜が貼付されたものである。また、射出偏光板73も、入射偏光板72と略同様に構成され、液晶パネル71から射出された光束のうち、所定方向の偏光光のみ透過させ、その他の光束を吸収するものであり、透過させる偏光光の偏光軸は、入射偏光板72における透過させる偏光光の偏光軸に対して直交するように設定されている。クロスダイクロイックプリズム81は、射出偏光板73から射出され、色光毎に変調された光学像を合成してカラー画像を形成するものである。このクロスダイクロイックプリズム81には、赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが、4つの直角プリズムの界面に沿って略X字状に設けられ、これらの誘電体多層膜により3つの色光が合成される。クロスダイクロイックプリズム81によって合成された色光は、投写部90を構成する投写レンズ91の方向に射出される。そして、クロスダイクロイックプリズム81から射出された映像光は、投写レンズ91により、スクリーンS上に投写される。なお、上述した液晶パネル7171R,71G,71B、射出偏光板7373R,73G,73Bおよびクロスダイクロイックプリズム81は、一体となるようにユニット化されている。上述した、第1実施形態によれば以下の効果が得られる。1本実施形態の光源装置10によれば、固体高周波発振部100と導波部400と発光部500とにより、フィラメントや真空管構造を有し、サイズの大きいマグネトロン発振管を用いることなく、マイクロ波を放射させて、発光部500無電極発光管510を発光させる。そして、発光部500で発光した光束を光変調部70で画像情報に応じて変調して光学像を形成し、投写部90を介して形成された光学像を投写する。これにより、固体高周波発振部100の小型化および長寿命化と、発光部500の長寿命化を図ることができる。従って、この光源装置10を用いるプロジェクタ1の小型化および長寿命化を図ることが可能となる。2本実施形態の光源装置10によれば、アンテナ420は、導電性材料を含んで構成される容器430の空間433内でマイクロ波を放射することなどにより、マイクロ波の漏れを抑制することが可能となるため、ISM帯で使用されているBluetooth登録商標、Zigbee登録商標、HomeRF、WLAN等の無線通信機器や医療機器などに対する悪影響を抑制することができる光源装置10を提供できる。また、この光源装置10を用いるプロジェクタ1は、ISM帯で使用されているBluetooth登録商標、Zigbee登録商標、HomeRF、WLAN等の無線通信機器や医療機器に対する悪影響を抑制することができる。3本実施形態の光源装置10によれば、安全器440としてのアイソレータ441は、固体高周波発振部100の第1増幅器120の後段で、アンテナ420との間に設置されている。そのため、アンテナ420からマイクロ波を放射した結果として、対象物となる容器430や無電極発光管510などからの反射波が固体高周波発振部100に戻ることを阻止し、第1増幅器120などの故障を防止できる。従って、この光源装置10を用いるプロジェクタ1は、更に安全性が向上する。4本実施形態の光源装置10によれば、固体高周波発振部100を構成する固体高周波発振器200は、弾性表面波共振子300を有する弾性表面波発振器201を備えている。そのため、GHz帯での動作周波数付近での急峻なダイレクト発振が可能で、低位相ノイズ特性を持たせることが可能となると共に、高精度で高性能な基本周波数の発振信号を得ることができる。よって、光源装置10は、マイクロ波の出力周波数を安定的に維持し、無電極発光管510内で安定して発光する。従って、この光源装置10を用いるプロジェクタ1は、安定した輝度を維持して投写することが可能となる。5本実施形態の光源装置10によれば、弾性表面波共振子300は、ダイヤモンド単結晶層312または、多結晶ダイヤモンドに一致または近い弾性定数を持つ硬質炭素層の上に積層された圧電体層、圧電体層313、IDT電極314および酸化珪素層315の積層構造となっている。これにより、弾性表面波の伝達速度を高速化することができ、より高い周波数まで発振させることが可能となる。そして、他の基板材料と比較して弾性表面波共振子300の電極幅を広くすることができるため、耐電力特性を向上させることができる。また、弾性表面波共振子300の積層構造により、温度変動に対する周波数変動を小さくすることができるため、周波数温度特性が向上する。そして、温度変動に起因する弾性表面波発振器201の周波数変動を抑制することができ、マイクロ波出力を安定化させることができる。それにより、無電極発光管510内で安定して発光物質511を発光させることが可能となる。従って、この光源装置10を用いるプロジェクタ1は、更に安定した輝度を維持して投写することが可能となる。6本実施形態の光源装置10によれば、固体高周波発振部100、導波部400および発光部500は、光源装置10としてユニット化されているため、取扱い易さが向上する。また、この光源装置10を用いるプロジェクタ1は、プロジェクタ1への光源装置10の組込みや取外しなどの作業性が向上する。7本実施形態の光源装置10によれば、弾性表面波共振子300は、積層構造をしており、半導体製造における微細加工技術を利用して製造されるため、小型化でき、軽量化も図れる。これにより、弾性表面波共振子300を用いる固体高周波発振部100は小型化でき、軽量化も図れる。従って、この光源装置10を用いるプロジェクタ1の小型化軽量化が図れる。8本実施形態の光源装置10によれば、弾性表面波共振子300としてのダイヤモンドSAW共振子310は、積層構造をしており、半導体製造における微細加工技術を利用して製造されている。それにより、共振子毎の共振周波数のバラツキが無い。また、弾性表面波共振子300としてのダイヤモンドSAW共振子310は、移相回路210から信号を入力すると直ちに基板に弾性表面波を励起して、この弾性表面波の周波数に応じた高周波信号本実施形態では2.45GHz帯を出力する。よって、弾性表面波共振子300を備えた固体高周波発振部100から、電源投入すると直ちに高周波信号を出力することができるため、直ちに導波部400のアンテナ420からマイクロ波を放射でき、直ちに発光部500の無電極発光管510を発光させることができる。従って、この光源装置10を用いるプロジェクタ1は、電源投入すると発光部500の無電極発光管510が直ちに発光し、光変調部70で形成された光学像を直ちに投写することができる。従来の高圧水銀ランプなどの放電ランプを用いた場合には、プロジェクタの電源を投入しても、放電ランプの特性上、徐々に発光して輝度が上がるため、所定の輝度に達するまでには、数分かかっていた。しかし、本発明のマイクロ波を用いたプロジェクタ1においては、プロジェクタ1の電源を投入すると、直ちに所定の輝度となる発光を行うことができるため、待つことなくプロジェクタ1を使用でき、プロジェクタ1の利便性が向上する。9従来の高圧水銀ランプなどの放電ランプを用いるプロジェクタの場合には、放電ランプを発光させるための、電源となるバラストなどが必要であり、300W程度の電力を供給するには、プロジェクタ1の電源部850とほぼ同等の大きさ体積が必要であり、プロジェクタの小型化のネックとなっていた。これに対し、本発明の光源装置10を用いたプロジェクタ1によれば、固体高周波発振部100のみで放電ランプの発光が可能となり、バラストが不必要となるため、プロジェクタ1の小型化が図れる。第2実施形態図8は、本発明の第2実施形態に係る光源装置の固体高周波発振部の別の構成を示すブロック図である。図8を用いて、固体高周波発振部900の構成および動作を説明する。なお、第1実施形態と同様の構成部分には同番号を付す。図8に示すように、第2実施形態の固体高周波発振部900は、第1実施形態での固体高周波発振部100と比較して、複数の第1増幅器120と加算器910とを用いる構成となることが異なる。固体高周波発振部900は、固体高周波発振器200としてのダイヤモンドSAW発振器202と複数の第1増幅器120と加算器910と電源110とを備えて構成される。電源110は、ダイヤモンドSAW発振器202と、各第1増幅器120に電力を供給している。またダイヤモンドSAW発振器202と加算器910との間に複数の第1増幅器120が並列接続されている。そしてダイヤモンドSAW発振器202から出力された高周波信号は、各第1増幅器120に入力される。各第1増幅器120は、ダイヤモンドSAW発振器202から入力した高周波信号を増幅して、加算器910に出力する。加算器910は、各第1増幅器120から入力した高周波信号を加算して、この加算された高周波信号を出力する。この加算器910から出力される高周波信号が、固体高周波発振部900から出力される高周波信号となる。上述した、第2実施形態によれば、第1実施形態での効果に加えて、以下の効果が更に得られる。1本実施形態の固体高周波発振部900によれば、ダイヤモンドSAW発振器202から入力した高周波信号を各第1増幅器120で増幅し、加算器910で合成しているので、高周波信号をより高出力化することができる。この固体高周波発振部900をプロジェクタ1に用いると固体高周波発振部100に比べて、更に高出力のマイクロ波を放射することが可能となり、発光部500の無電極発光管510は、より高輝度で発光する。従って、この光源装置10をプロジェクタ1に用いることにより、高輝度な光学像を投写するプロジェクタ1を提供できる。なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、種々の変更や改良等加えることが可能である。変形例を以下に述べる。変形例1前記実施形態での、発光部500のリフレクタ530の反射面531は放物面形状を用いており、無電極発光管510からの光束を反射させて略平行光束にしているが、これは、発光部500以降のプロジェクタ1の光学系5の構成がレンズアレイインテグレータの方式を用いているからである。これに対し、ロッドインテグレータの方式を用いる場合には、反射した光束が集光してロッドに入射するように、リフレクタ530の反射面の形状を適宜形成することで対応できる。変形例2前記実施形態でのプロジェクタ1は、光変調装置として液晶パネル71を用いている。しかし、これに限らず、一般に、入射光を画像情報に応じて変調するものであればよく、マイクロミラー型光変調装置などを使用しても良い。なお、マイクロミラー型光変調装置としては、例えば、DMDDigitalMicromirrorDeviceを用いることができる。なお、マイクロミラー型光変調装置を用いた場合には、入射偏光板や射出偏光板などは不要とすることができ、偏光変換素子も不要とすることができる。変形例3前記実施形態での光源装置10は、透過型液晶方式のプロジェクタ1に用いられている。しかし、これに限らず、反射型液晶方式であるLCOSLiquidCrystalOnSilicon方式などを採用したプロジェクタに用いられても同様の効果を奏することが可能である。変形例4前記実施形態での光変調部70は、液晶パネル71を3枚使用する3板方式を用いている。しかし、これに限らず、液晶パネルを1枚使用する単板方式を用いても良い。なお、単板方式を用いた場合には、照明光学系60の色分離光学系62や色合成光学系80などは不要とすることができる。変形例5前記実施形態での光源装置10は、外部に設置されるスクリーンSに光学像の投写を行うフロントタイプのプロジェクタ1に適用している。しかし、これに限らず、プロジェクタの内部にスクリーンを有して、そのスクリーンに光学像を投写するリアタイプのプロジェクタにも適用可能である。変形例6前記実施形態での導波部400の容器430に形成される空間433内は、大気が収容されているが、誘電率1以上の部材として、例えば高分子材料を収容しても良い。このような構造にすることで、大気に比べ、更にアンテナの長さを短くすることができるため、容器430の小型化が図れる。従って、光源装置10の小型化が更に図られ、プロジェクタ1の小型化を更に向上することができる。変形例7前記実施形態でのプロジェクタ1に電圧調整部を設け、固体高周波発振部100の第1増幅器120の増幅度を可変とすることでも良い。このような構成にすることで、マイクロ波の出力パワーを可変できるため、無電極発光管510の発光する光束の輝度を可変できる。従って、投写する映像のシーン例えば、明るいシーンや暗いシーンに合わせて、増幅度を調整することにより、プロジェクタ1から投写される映像光の輝度を映像のシーンに合わせて調整を行うことができる。変形例8前記実施形態での導波部400は、安全器440としてアイソレータ441を有しているが、反射波の影響がない場合には、アイソレータ441を用いなくても良い。また、その他のノイズなどによる固体高周波発振部100への影響がある場合には、適宜安全器440の構成内容を変更または追加しても良い。変形例9前記実施形態での光源装置10は、固体高周波発振部100で2.45GHz帯の高周波信号を出力し、導波部400のアンテナ420からマイクロ波として放射しているが、これに限らず、容器430からマイクロ波が漏れないことを前提に、弾性表面波共振子300の構成を適宜変更することにより、色々な高周波信号を出力し、マイクロ波として放射して、無電極発光管510を発光させることも可能となる。また、このようにすることで、無電極発光管510に封入する発光物質511の種類や発光具合発光色の具合に合わせるマイクロ波を放射させることも可能となる。変形例10前記実施形態での光源装置10は、プロジェクタ1の光源として適用している。しかし、これに限らず、小型軽量の光源装置10は、他の光学機器に適用しても良い。また、航空、船舶、車輌などの照明機器や、屋内照明機器などへも好適に適用することができる。以上説明したように、本発明の光源装置によれば、固体高周波発振部と導波部とにより、フィラメントや真空管構造を有し、サイズの大きいマグネトロン発振管を用いることなく、マイクロ波を放射させて、発光部を発光させる。これにより、固体高周波発振部の小型化および長寿命化と、発光部の長寿命化を図ることができる。"