電子を放出するカソードと、放出された電子を加速するアノードと、加速された電子が衝突することによってX線を発生させるターゲットと、該ターゲットの前記カソードとの対向面側の周囲を囲んで配置され、電子通過孔を介して前記電子線を前記ターゲットへと通過させるX線遮蔽部材とを備えたX線管において、前記電子通過孔の前記カソードとの対向側の開口部とは別に、前記電子通過孔の内外を連通させる排気路を有することを特徴とするX線管。前記排気路として、前記X線遮蔽部材に貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のX線管。前記貫通孔が、前記ターゲットへの電子の衝突位置から前記貫通孔を通る総ての直線が前記貫通孔の内壁面と交差するように形成されていることを特徴とする請求項2に記載のX線管。前記排気路として、前記X線遮蔽部材の前記アノードとの対向側の端部の周囲に隙間が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のX線管。前記X線遮蔽部材の周囲のアノードの上に補助X線遮蔽部材が設けられていることを特徴とする請求項4に記載のX線管。少なくとも前記電子通過孔の内壁面が導電性材料で構成されており、該内壁面を前記アノードと同電位に制御可能となっていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のX線管。前記X線遮蔽部材の内壁面及びアノードが接地されていることを特徴とする請求項6に記載のX線管。前記X線が、前記ターゲットの電子の衝突面とは反対側の面から外に向かって放出される透過型であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のX線管。前記カソードがコールドカソードであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載のX線管。ところで、X線遮蔽部材としては、ターゲットのカソードとの対向面側の周囲を囲んで配置され、電子通過孔を介して電子線をターゲットへと通過させるものを用いることができる。このようなX線遮蔽部材を設けた場合、ターゲットから発生したガス分子は、X線遮蔽部材の電子通過孔内に滞留しやすい。電子通過孔内に滞留したガス分子は、電子通過孔を通過する電子によって陽イオン化され、カソードに向かって加速され、カソードに衝突する。このイオンの衝突によってカソードは損傷を受け、電子の放出効率が低下し、アノード電流が減少し、最終的にはX線の発生量が低下することになる。本発明は、電子通過孔を介して電子線をターゲットへと通過させるX線遮蔽部材を有するX線管について、寿命を向上させることを目的とする。更に詳しくは、ターゲットから電子通過孔内に生じたガス分子に起因する陽イオンがカソードへと加速されて衝突することによるカソードの劣化を軽減し、長寿命なX線管を提供できるようにすることを目的とする。本発明は、上記目的を達成するために、電子を放出するカソードと、放出された電子を加速するアノードと、加速された電子が衝突することによってX線を発生させるターゲットと、該ターゲットの前記カソードとの対向面側の周囲を囲んで配置され、電子通過孔を介して前記電子線を前記ターゲットへと通過させるX線遮蔽部材とを備えたX線管において、前記電子通過孔の前記カソード側の開口部とは別に、前記電子通過孔の内外を連通させる排気路を有することを特徴とするX線管を提供するものである。本発明によれば、電子を通過させるための、電子通過孔のカソード側の開口部とは別に、電子通過孔内外を連通させる排気路を備えている。このため、電子の衝突によってターゲットから発生したガス分子を、排気路から電子通過孔外へと迅速に拡散排出することができる。そして、この結果、電子通過孔内を通過する電子と衝突して発生する陽イオン数を減らすことができ、陽イオンの衝突によるカソードの劣化が軽減されるので、アノード電流が長期に亘って安定化した長寿命なX線管を提供することができる。以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に参照する図面において同じ符号は同様の構成要素を示す。まず、図1に基づいて第一の例を説明する。図1に示すように、第一の例に係るX線管は、カソード101から放出させた電子を制御電極102によって制御し、所望の軌道やサイズを持つ電子線を生成する電子銃100を備えている。カソード101としては、W、Re等の高融点金属、又はそれらの表面にイットリア等を塗布したフィラメント型カソード、熱電界放出型カソード、多孔質タングステンにBaを主成分として含浸させた含浸型カソードが適応可能である。更にスピント型、カーボンナノチューブ、表面伝導型で代表されるコールドカソード等の適応も可能である。電子銃100は、電流/電圧導入導体104を通してカソード101を加熱する電流や制御信号が導入されるもので、気密封止されたセラミックス等の絶縁部材を介して電子銃フランジ103に機械的に固定されている。電子銃フランジ103には、製造時にX線管内の大気を排気するための排気管105と、内部を真空排気するゲッター105が設置さている。ゲッター105としては、Ba等の蒸着型ゲッター又はZr、Ti、V、Fe、Al等の金属で構成される合金からなる非蒸着型ゲッターが使用できる。なお、図において、電子銃100から後述するターゲット108に向かう実線の矢印は電子線を示し、後述するX線窓109から外部に向かう破線の矢印はX線を示す。電子銃100のカソード101に対向してアノード107が配置されている。アノード107は金属で構成されている。アノード107の構成材料としては、隣接する部材との真空封止の観点からコバールが好適である。アノード107には、電子を加速するため、カソード101対して30kV~150kVのプラスの電圧を外部より印加する。アノード107と電子銃フランジ103は、円筒状の絶縁体113で隔てられ、電気的な絶縁が保たれている。アノード107及び電子銃フランジ103と、絶縁体113との各境界面は真空気密接合され、アノード107、電子銃フランジ103及び絶縁体113の三者は真空気密が保たれた真空外囲器を形成している。絶縁体113の材質としては、アルミナ等のセラミックス又はガラスが好適である。尚、真空気密接合としては、絶縁体113にメタライズ処理を行った後の銀ロー付けが適応可能であるが、アノード107及び電子銃フランジ103を分割し、分割した其々と絶縁体113と銀ロー付け後、分割部で真空気密溶接を行っても良い。アノード107の一部には、アノードに形成された窓穴を塞ぐように、X線を透過するX線窓109が真空気密接合されている。また、X線窓109のカソード101との対向面側にターゲット108が設置されている。電子銃100を出た電子ビームは、X線窓109上に設置されたターゲット108に衝突し、エネルギーの一部をX線として輻射する。発生したX線は、X線窓109から外部に放射され、撮影等に用いられる。X線窓109の構成材料としては、ダイヤモンド、SiC、Al、Be等が使われる。ターゲット108は、電気的にはアノード107と導通しており、その材質としては、W、Cu、Ta、Pt、Mo、Te及びそれらの合金等が好適である。本発明は、X線が、ターゲット108の電子の衝突面とは反対側の面から外に向かって放出される透過型のX線装置に対して有効である。ターゲット108のカソード101との対向側の周囲を囲んで、W、Cu、Ta等の金属で構成され、ターゲット108から電子と反対方向に輻射される不要X線を吸収するX線遮蔽部材110が設置されている。X線遮蔽部材110は、電子線をターゲット108へと通過させる電子通過孔111を備えた筒状をなしている。また、X線遮蔽部材110の周壁を貫通する貫通孔として、排気路112が形成されている。排気路112は、電子通過孔111のカソード101側の開口部とは別に、電子通過孔111の内外を連通させている。排気路112として形成された貫通孔は、ターゲット108への電子の衝突位置からこの貫通孔を通る総ての直線が当該貫通孔の内壁面と交差するように形成されていることが好ましい。このような貫通孔として排気路112を形成することで、不要なX線や反射電子が排気路112を介してX線遮蔽部材110の外へ漏洩することを防止することができる。上記X線管において、電子銃100よって生成した電子線を、アノード107に印加した電圧によって加速し、ターゲット108に衝突させ、所望のX線を放射させる。それと同時に、電子照射による脱離現象によって、ターゲット108から電子通過孔111の空間にガスが放出される。このガスは、排気路112を通して電子通過孔111の空間から外部へ拡散排気されるため、排気路112がない時に比べて電子通過孔111内の圧力が低下する。排気路112の孔径は、小さくともそれ相応の電子通過孔111の空間圧力を低減効果はある。しかし、排気路112の孔径は、電子通過孔111のコンダクタンスガスの流れやすさを示す係数に比べ、排気路112のコンダクタンスが概ね半分以上となる径であることが好ましい。排気路112を設けておくことにより、電子通過孔111内の圧力が低下し、電子通過孔111内を走行する電子と衝突して発生する正イオンも減少する。正イオンは、アノード107に印加された正電圧によって電子と逆方向にカソード101に向かって加速され、最終的にカソード101に衝突するが、カソード101に衝突する正イオンも当然減少する。その結果、正イオンの衝突によるカソード101の損傷が軽減されて、電子の放出効率の低下を抑制することができ、電子ビームを構成する電子即ちアノード電流も減少せず、最終的に放射するX線量は長時間に亘って減少せずに維持される。尚、発生したガスは最終的にはゲッター105に吸着されて除去される。X線遮蔽部材110は、少なくとも電子通過孔111の内壁面が導電性材料で構成されており、該内壁面をアノード107と同電位に制御可能となっていることが好ましい。本例のX線遮蔽部材110は、金属から成る導電性部材で構成され、アノード107と接続された状態で取り付けられているので、全体がアノード107と同電位になっている。電子通過孔111の内壁面アノード107と同電位になっていると、電子通過孔111内の電界をゼロにすることができる。このため、前述のようにして電子通過孔111内で発生した正イオンはどの方向にも加速されることがなくなる。電子通過孔111内で発生した正イオンがカソード101に衝突する場合でも、拡散によってのみ電子線通過孔111を出て衝突するだけであるので、より大きなカソード101の損傷低減効果を得ることができる。また、X線遮蔽部材110の少なくとも内壁面と、アノード107を接地しておくと、上記利益を容易に得られるので好ましい。次に、第二の例について図2を参照して説明する。図2において、X線遮蔽部材201は、前記第一の例におけるX線遮蔽部材110と同様に、電子線をターゲット108へと通過させる電子通過孔111を備え、前記第一の例におけるX線遮蔽部材110と同様の材料で形成されている。本第二の例におけるX線遮蔽部材201の排気路202は、第一の例におけるX線遮蔽部材110の周壁を貫通する貫通孔ではなく、X線遮蔽部材201のアノード107との対向側の端部周囲の隙間として形成されている。具体的には、アノード107に、X線遮蔽部材201の径より大きな窓穴を形成し、X線遮蔽部材201のアノード107との対向側の端部と、アノード107及びターゲット108との間に隙間を形成してある。そして、この隙間が電子通過孔111のアノード107側の開口部を電子通過孔111の外部と連通させる排気路202となっている。本例においても、電子銃100図1参照で発生させた電子線をアノード107に電圧を印加して加速し、ターゲット108に衝突させてX線を発生させると、電子照射脱離現象によりターゲット108から電子通過孔111の空間にガスが放出される。本例におけるこのガスは、ターゲット108及びアノード107と、X線遮蔽部材201の端部との間の隙間である排気路202を通して、電子通過孔111の内部空間から外部へ排気される。そして、第一の例での説明と同様にして、カソード101から放出される電子の減少を抑制でき、最終的に放射するX線量を長時間に亘って良好な状態に維持することが可能となる。本例においては、X線遮蔽部材201の周囲窓穴周囲のアノード107上に、環状の補助X線遮蔽部材203を設けておくことが好ましい。補助X線遮蔽部材203は、X線遮蔽部材201と同様に、W、Cu、Ta等の不要電子やX線を吸収できる材料で構成されている。この補助線遮蔽部材203を設けることにより、上記排気路202として設ける隙間を広げた場合にも不要なX線や反射電子の漏洩を防止することが可能となる。尚、X線遮蔽部材201の支持は、例えばアノード107上に立てた支柱に保持させること等で行うことができる。また、この支柱を介してアノード107とX線遮蔽部材201を電気的に接続することで、電子通過孔111の内壁面とアノード107とを同電位とすることもできる。また、図1の第一の例における排気路112と、図2の第二の例における排気路202の両者を備えたX線管とすることで、電子通過孔111内のガス分子を更に電子通過孔111外へ放出させやすくすることもできる。実施例1図1に示した構成のX線管を以下のようにして作製した。カソード101としては、多孔質タングステンにBa化合物を含浸させた含浸型を用い、φ2mmの開口を持つ制御電極102と共に電子銃100を形成した。電流/電圧導入導体104及び、電子銃フランジ103はコバール製である。ゲッター105は、サエスゲッターズエスピーエー製のST172を使った。アノード107はコバール製で、X線窓109は厚さ1mmのダイヤモンドで、ターゲット108はスパッタ法で成膜した厚さ10μmのタングステンである。X線遮蔽部材110は、タングステン製の10mmφ×15mmの円筒形で、その円筒軸の中心に2mmφの電子通過孔111をあけ、円柱軸と直角方向に4mmφの貫通孔を排気路112として8ヶ所形成した。排気路112としての貫通孔は、いずれも外側の開口部が、電子線の衝突位置であるターゲット108の中心位置から直視できない位置と角度で形成した。本実施例における外部空間とのコンダクタンスは、排気路112がない場合に比べて2桁以上大きくなった。アノード107と絶縁体103は銀ロー付けと溶接を行い、最終的に電子銃フランジ103、絶縁体113と共に真空気密な外囲器を形成した。上述したX線管の銅製の排気管106を真空排気系不図示に接続後真空排気しながら全体を400°Cにベーキングした後、ゲッター105を通電活性化し、その後カソード101を活性化した。最終的に排気管106を圧着封止し、動作可能なX線管を作製した。その後本X線管の電子銃100及びアノード107と、外部の駆動電源不図示との電気的な接続を行った。絶縁油による放電耐圧向上と冷却を行い、アノード電圧として80kVを印加し、制御電極102にパルス幅5ms、繰り返し周波数10Hzのパルスを印加し、アノード107に10mAの電流を流し、X線量の経時変化を測定した。その結果、1000時間後X線量は初期に比べに比10減少し、その減少率は仕様値以下であった。比較例11比較例1として、実施例1と同じX線遮蔽部材110であるが、排気孔112を開けず、それ以外は実施例1と全く同様に作製し、同一の測定条件で発生させたX線量の経時変化を測定した。その結果、1000時間後のX線量は初期に比べに比45減少し、実施例1に比べて減少率が大きくなった。これにより本発明の効果が確認された。実施例2実施例2として、カソード101として、図3に示したスピント型のコールドカソードを用い、また図2に示したX線発生部の構造を採用し、それら以外は実施例1と同一の部材を使ってX線管を作製した。図3において、301は不純物をドープし導電性を持たせた単結晶Siからなる基板、その上にスパッタ成膜法とリソグラフィ法によって電子を放出するコーン状のMo製のエミッター302と、SiO2の絶縁層303とを形成した。更に絶縁層303の上にはエミッター302との間に電子の電界放出及び制御に必要な電界を発生するためのMo製のゲート304を形成した。エミッター302は2mmφの範囲内に10μm間隔で格子状に作製し、基板301から切り出して電子銃100のカソード101図1参照とした。図2おいてX線遮蔽部材201は、10mmφ×15mmの円筒形で、その円筒軸の中心に2mmφの電子通過孔111をあけ、ターゲット108から3mm離し、アノード107には、X線遮蔽体201と同軸で、20mmφ、深さ7mmのザグリを入れた。このザグリにより、X線遮蔽部材201のアノード107との対向側の端部の周囲に、排気路202として隙間を形成した。本実施例における外部空間とのコンダクタンスは、排気路202がない場合に比べ2桁以上大きくなった。X線遮蔽部材201としてタングステンを使用した。それら以外は第1の実施例と同様に作製し、真空排気等を行い動作可能なX線管をとした。ゲート電極304にパルス幅5ms、繰り返し周波数10Hzのパルスを印加し、制御電極102にアノード電流として電流値10mAとなる電圧を加え、それ以外は第1の実施例と同一の測定条件でX線を発生させ、X線量の経時変化を測定した。その結果、1000時間後X線量は初期に比べ10減少し、仕様値以下であった。比較例2比較例2として、実施例2と同じX線遮蔽部材110であるが、一方をターゲット108に接触させて隙間をなくし、それ以外は実施例2と全く同様に作製し、同一の測定条件で発生させたX線量の経時変化を測定した。その結果、1000時間後X線量は、初期に比べて55減少し、実施例2に比べて減少率が大きくなった。これにより本発明の効果が確認された。