"対象物を撮像対象領域にて撮像して、撮像した結果に基づいて前記対象物の形状を測定する位相シフト法を利用する部品実装装置であって、前記撮像対象領域を撮像する撮像部と、第一方向に沿って輝度が同一であり、かつ、前記第一方向と交差する第二方向の位置に応じて輝度が周期的に変化する輝度分布を有する輝度変化光を、前記第一方向および前記第二方向により規定される前記撮像対象領域に対して斜めから照射する照射部と、前記対象物に対する位置関係が一定であり、前記撮像対象領域において前記対象物と共に同方向に同量だけ移動する基準点を有し、前記撮像部および前記照射部に対し、前記対象物を前記第二方向に沿って相対的に移動させて、前記対象物および前記基準点を前記撮像対象領域に対して通過させる移動部と、前記対象物の測定部位を前記撮像対象領域にて撮像する撮像のタイミングで前記撮像部が撮像した結果である対象物データと、前記基準点を前記撮像のタイミングで前記撮像部が前記撮像対象領域にて撮像した結果である基準点データとのそれぞれを取得するデータ取得部と、前記撮像のタイミングに撮像された基準点データによって特定される前記撮像のタイミングにおける基準点位置と、前記移動部が前記基準点を前記撮像のタイミングにおいて位置ずれが生じていない場合とする基準点基位置との位置ずれを、導出する位置ずれ導出部と、前記移動部が前記対象物を当該撮像のタイミングにおいて位置ずれが生じていない場合とする対象物基位置に対して、当該撮像のタイミングにおける前記位置ずれ導出部が導出した前記位置ずれを加算することにより得られた当該撮像のタイミングにおける前記対象物の前記測定部位の位置に対応する、当該撮像のタイミングに撮像された前記対象物データの輝度値を取得する輝度値取得部と、前記輝度値取得部により取得された前記対象物データの輝度値に基づいて、位相シフト法による前記対象物の前記測定部位の前記第一方向および前記第二方向と交差する第三方向における位置の算出に用いられる波形であって、前記対象物の波形を作成する波形作成部とを備える部品実装装置。前記撮像部は、前記撮像対象領域を撮像する少なくとも一つのエリアイメージセンサを有する請求項1に記載の部品実装装置。前記データ取得部は、前記エリアイメージセンサの撮像領域の内で前記第一方向に平行で前記第二方向に並ぶ複数のライン状撮像領域により出力された出力値を前記対象物データとして取得する請求項2に記載の部品実装装置。前記データ取得部は、前記エリアイメージセンサの前記撮像領域の内で前記基準点が通過する領域である基準点撮像領域の出力値を前記基準点データとして取得する請求項2または3に記載の部品実装装置。さらに、前記基準点から第一光路に沿って直進する第一光を、反射して、前記エリアイメージセンサの撮像領域の一部へ導く反射部を備える請求項2から4のいずれか1項に記載の部品実装装置。前記移動部は、前記対象物としての部品を吸着して保持するノズルと、前記ノズルが接続されるノズル板とを有し、前記基準点は、前記ノズル板に設けられる請求項1から5のいずれか1項に記載の部品実装装置。前記基準点は、複数あり、前記データ取得部は、前記エリアイメージセンサの前記撮像対象領域の内で前記複数の基準点が前記第二方向に通過する領域である複数の基準点撮像領域の出力値を前記基準点データとしてそれぞれ取得し、前記位置ずれ導出部は、前記撮像のタイミングに撮像された複数の前記基準点データに基づいて、前記位置ずれを導出する請求項6に記載の部品実装装置。前記移動部は、前記対象物としての基板を保持する保持部材を有し、前記基準点は、前記保持部材に設けられる請求項1から5のいずれか1項に記載の部品実装装置。前記撮像部は、前記基準点を撮像する基準点撮像部と、前記基準点撮像部とは別体であって前記対象物を撮像する対象物撮像部とを有し、前記基準点撮像部と前記対象物撮像部とは共に同方向に同量だけ移動する請求項1に記載の部品実装装置。前記移動部は、前記対象物としての基板を保持する保持部材を有し、前記基準点は、前記保持部材に設けられる請求項9に記載の部品実装装置。対象物を撮像対象領域にて撮像して、撮像した結果に基づいて前記対象物の形状を測定する位相シフト法を利用する部品実装方法であって、撮像部により前記撮像対象領域を撮像する撮像ステップと、第一方向に沿って輝度が同一であり、かつ、前記第一方向と交差する第二方向の位置に応じて輝度が周期的に変化する輝度分布を有する輝度変化光を、前記第一方向および前記第二方向により規定される前記撮像対象領域に対して斜めから照射部により照射する照射ステップと、前記対象物に対する位置関係が一定であり、前記撮像対象領域において前記対象物と共に同方向に同量だけ移動する基準点を有する移動部により、前記撮像部および前記照射部に対し、前記対象物を前記第二方向に沿って相対的に移動させて、前記対象物および前記基準点を前記撮像対象領域に対して通過させる移動ステップと、前記対象物の測定部位を前記撮像対象領域にて撮像する撮像のタイミングで前記撮像部が撮像した結果である対象物データと、前記基準点を前記撮像のタイミングで前記撮像部が前記撮像対象領域にて撮像した結果である基準点データとのそれぞれを取得するデータ取得ステップと、前記撮像のタイミングに撮像された基準点データによって特定される前記撮像のタイミングにおける基準点位置と、前記移動部が前記基準点を前記撮像のタイミングにおいて位置ずれが生じていない場合とする基準点基位置との位置ずれを、導出する位置ずれ導出ステップ部と、前記移動部が前記対象物を当該撮像のタイミングにおいて位置ずれが生じていない場合とする対象物基位置に対して、当該撮像のタイミングにおける前記位置ずれ導出ステップにより導出された前記位置ずれを加算することにより得られた当該撮像のタイミングにおける前記対象物の前記測定部位の位置に対応する、当該撮像のタイミングに撮像された前記対象物データの輝度値を取得する輝度値取得ステップと、前記輝度値取得ステップにより取得された前記対象物データの輝度値に基づいて、位相シフト法による前記対象物の前記測定部位の前記第一方向および前記第二方向と交差する第三方向における位置の算出に用いられる波形であって、前記対象物の波形を作成する波形作成ステップとを含む部品実装方法。しかしながら、第1の従来技術では、物体の形状を認識するために正弦波縞パターン光を、正弦波の位相をずらしながら複数回の物体の撮像部分全体を撮像しなければならない。これは、物体の画像データにおける輝度の変化パターンが示す正弦波を推定するためには、複数の輝度が必要とされるためである。このため、この方法では、物体の形状を認識するために時間を要するという課題がある。特に、部品実装装置では、ノズルに吸着された部品を高速移動中に、当該部品の形状を認識する必要がある。このため、物体の形状を認識するために長時間を要する第1の従来技術に係る位相シフト法を利用して物体の形状を認識することは困難である。また、第2の従来技術では、物体を移動させながら物体の形状を認識することができる。しかし、特許文献3に記載の方法では、正弦波縞パターン光の輝度の変化方向と複数のラインセンサの並び方向とが異なる。このため、形状の認識処理の前に行う撮像部と正弦波縞パターン光を投影する投影部照射部との位置調整が困難であるという課題がある。つまり、位置調整においては、物体が存在しない物体を支持する基準面上に正弦波縞パターン光を投影し、基準面を撮像部で撮像する。撮像により得られる画像データが所望のパターンとなるように撮像部又は投影部の位置を変化させることにより撮像部と投影部との位置調整を行う。このような位置調整においては、輝度の変化方向とラインセンサの並び方向とが異方向となる構成では、位置調整は極めて行いづらく撮像部又は投影部の位置が少し変化しただけで、各ラインセンサ上の複数の画素の輝度が変化してしまう。よって、撮像部と投影部との位置調整が煩雑であり、正確に物体の所望の位置を投影部による所望の輝度により撮像することは困難である。また、特に、例えば0.2mm×0.4mmのような極小な部品を撮像部により撮像して位相シフト法により当該部品の形状を認識する場合に、撮像部には例えば8~25μmの高い解像度分解能が要求されることになる。このため、特に撮像部または投影部等の位置を移動させる場合や他の機器の動作による場合等に生じる振動による悪影響を受けやすく、振動等による位置ずれにより物体の所望の位置を撮像できず、物体の形状を正確に認識することが困難である。そこで、本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、振動等による位置ずれが生じてもそれによる影響を最小限に留め、物体の形状認識を正確に、かつ、高速に行うことのできる部品実装装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明の一形態に係る部品実装装置は、対象物を撮像対象領域にて撮像して、撮像した結果に基づいて前記対象物の形状を測定する位相シフト法を利用する部品実装装置であって、前記撮像対象領域を撮像する撮像部と、第一方向に沿って輝度が同一であり、かつ、前記第一方向と交差する第二方向の位置に応じて輝度が周期的に変化する輝度分布を有する輝度変化光を、前記第一方向および前記第二方向により規定される前記撮像対象領域に対して斜めから照射する照射部と、前記対象物に対する位置関係が一定であり、前記撮像対象領域において前記対象物と共に同方向に同量だけ移動する基準点を有し、前記撮像部および前記照射部に対し、前記対象物を前記第二方向に沿って相対的に移動させて、前記対象物および前記基準点を前記撮像対象領域に対して通過させる移動部と、前記対象物の測定部位を前記撮像対象領域にて撮像する撮像のタイミングで前記撮像部が撮像した結果である対象物データと、前記基準点を前記撮像のタイミングで前記撮像部が前記撮像対象領域にて撮像した結果である基準点データとのそれぞれを取得するデータ取得部と、前記撮像のタイミングに撮像された基準点データによって特定される前記撮像のタイミングにおける基準点位置と、前記移動部が前記基準点を前記撮像のタイミングにおいて位置ずれが生じていない場合とする基準点基位置との位置ずれを、導出する位置ずれ導出部と、前記移動部が前記対象物を当該撮像のタイミングにおいて位置ずれが生じていない場合とする対象物基位置に対して、当該撮像のタイミングにおける前記位置ずれ導出部が導出した前記位置ずれを加算することにより得られた当該撮像のタイミングにおける前記対象物の前記測定部位の位置に対応する、当該撮像のタイミングに撮像された前記対象物データの輝度値を取得する輝度値取得部と、前記輝度値取得部により取得された前記対象物データの輝度値に基づいて、位相シフト法による前記対象物の前記測定部位の前記第一方向および前記第二方向と交差する第三方向における位置の算出に用いられる波形であって、前記対象物の波形を作成する波形作成部とを備える。したがって、撮像部または照射部の位置を移動させつつ対象物の像をエリアセンサにより撮像する場合に、撮像部および照射部と対象物とを第二方向に沿って相対的に移動させる移動部等の振動による影響や移動部の移動誤差により撮像される撮像のタイミングで撮像対象領域の所定の位置に対象物の測定部位が無い場合であっても、基準点の位置を把握して、その基準点は、対象物に対する位置関係が一定であり、対象物と共に同方向に同量だけ移動するため、基準点データを取得することにより、基準点が撮像された撮像のタイミングにおける対象物の位置を把握することができる。このように撮像のタイミングにおいて撮像された時の対象物の位置を正確に特定できるため、対象物の位置に対応する出力値輝度値を採用して、対象物の位置と出力値とをプロットすることにより、対象物の高さ方向第一方向および第二方向に対して交差直交する方向の寸法を位相シフト法に基づいて導出するための波形正弦波を作成することができる。このように、対象物と撮像部との位置が振動によって撮像のタイミングにおける位置ずれが生じていない場合とする位置からずれてしまっていても、正確に正弦波を作成することができるため、対象物の高さ方向の寸法を導出することができ、対象物の形状認識を正確に、かつ、高速に行うことができる。また、好ましくは、前記撮像部は、前記撮像対象領域を撮像する少なくとも一つのエリアイメージセンサを有する。これによれば、撮像部は対象物および基準点が撮像される領域としての撮像対象領域を撮像する少なくとも一つのエリアイメージセンサを有する。一つのエリアイメージセンサにより撮像されたデータの内の基準点データおよび対象物データを利用できるため、対象物例えば対象物の測定部位と、対象物に対する位置関係が一定であり、対象物と共に同方向に同量だけ移動する基準点とを、共に同一の撮像のタイミングで少なくとも一つのエリアイメージセンサで容易に撮像でき、第一方向または第二方向のずれが生じても対象物と基準点との相対的な位置は撮像のタイミングにおいて変わらないため、それぞれの撮像のタイミングにおいて基準点を撮像した結果である基準点データに基づいて、対象物を撮像した結果である対象物データが示す出力値輝度値に関連付けられる対象物の位置を補正して求めることができる。これにより、基準点データから正確に当該基準点データを撮像した撮像のタイミングにおける対象物の位置を特定することができる。また、好ましくは、前記データ取得部は、前記エリアイメージセンサの撮像領域の内で前記第一方向に平行で前記第二方向に並ぶ複数のライン状撮像領域により出力された出力値を前記対象物データとして取得する。これによれば、撮像部および照射部に対し対象物の測定部位や基準点を相対的に移動させて、複数のライン状撮像領域を構成する撮像部のエリアイメージセンサにより撮像し、その撮像結果としてデータ取得部により第一方向に平行で第二方向に並ぶ複数のライン状撮像領域によりそれぞれ出力された出力値が取得される。このように、エリアイメージセンサの撮像領域の内で、ライン状撮像領域の出力値のみを採用するため、対象物データのデータサイズをエリアイメージセンサ全体の撮像領域の出力値を採用するよりも小さくすることができる。したがって、対象物データの転送を高速に行うことができる。また、好ましくは、前記データ取得部は、前記エリアイメージセンサの前記撮像領域の内で前記基準点が通過する領域である基準点撮像領域の出力値を前記基準点データとして取得する。これによれば、基準点が通過する領域である基準点撮像領域の出力値をデータ取得部により基準点データとして取得する。基準点は、撮像部の撮像領域に対して第二方向に対象物と共に移動する。つまり、撮像領域を基準点が通過する第二方向に平行な領域のみを、基準点撮像領域とすることにより、基準点を撮像するためのエリアイメージセンサの撮像領域を第二方向に沿う基準点撮像領域に限定することができる。つまり、エリアイメージセンサにおける基準点撮像領域からの出力値のみを採用すれば、対象物の位置を把握するための基準点データを得ることができる。これにより、基準点データのデータサイズデータ量を最小限として、基準点データの転送を高速に行うことができる。また、好ましくは、さらに、前記基準点から第一光路に沿って直進する第一光を、反射して、前記エリアイメージセンサの撮像領域の一部へ導く反射部を備える。これによれば、例えば対象物を保持する基準面に対して対象物が大きく、基準面上に基準点を設けて、基準点と対象物とを同時に撮像することが難しい場合であっても、撮像部から見て対象物を保持する基準面より後方に平面視で対象物より大きく、対象物に対する位置関係が一定であり、対象物と共に同方向に同量だけ移動する反射部を設け、この反射部を介して基準点を撮像することにより、対象物の位置を把握することができる。また、好ましくは、前記移動部は、前記対象物としての部品を吸着して保持するノズルと、前記ノズルが接続されるノズル板とを有し、前記基準点は、前記ノズル板に設けられる。これによれば、対象物を吸着して保持するノズルが接続されるノズル板に基準点が設けられるため、基準点と対象物との移動方向および移動量を同一にすることができる。また、ノズルにより吸着して対象物を保持するため、対象物の保持および解放を容易に行うことができる。また、好ましくは、前記基準点は、複数あり、前記データ取得部は、前記エリアイメージセンサの前記撮像対象領域の内で前記複数の基準点が前記第二方向に通過する領域である複数の基準点撮像領域の出力値を前記基準点データとしてそれぞれ取得し、前記位置ずれ導出部は、前記撮像のタイミングに撮像された複数の前記基準点データに基づいて、前記位置ずれを導出する。これによれば、複数の基準点をデータ取得部が取得するため、例えば対象物を保持するノズルと共にノズル板が回転して対象物の第二方向に移動する向きが変化した場合であっても、対象物の位置および対象物の第二方向に対する向きを正確に把握することができる。また、好ましくは、前記移動部は、前記対象物としての基板を保持する保持部材を有し、前記基準点は、前記保持部材に設けられる。これによれば、対象物としての基板を保持する保持部材に基準点が設けられるため、基準点と対象物との移動方向および移動量を同一にすることができる。また、好ましくは、前記撮像部は、前記基準点を撮像する基準点撮像部と、前記基準点撮像部とは別体であって前記対象物を撮像する対象物撮像部とを有し、前記基準点撮像部と前記対象物撮像部とは共に同方向に同量だけ移動する。これによれば、基準点撮像部と対象物撮像部とが独立してそれぞれ基準点と対象物とを撮像できる。このため、対象物が大きくて基準点および対象物を共通の撮像部で撮像できない場合であっても、基準点および対象物のそれぞれを撮像することができる。また、好ましくは、前記移動部は、前記対象物としての基板を保持する保持部材を有し、前記基準点は、前記保持部材に設けられる。これによれば、対象物としての基板を保持する保持部材に基準点が設けられるため、基準点と対象物との移動方向および移動量を同一にすることができる。なお、本発明は、このような部品実装装置として実現することができるだけでなく、部品実装装置が備える特徴的な構成要素の動作をステップとする部品実装方法として実現することができる。また、部品実装方法をコンピュータに実行させるためのプログラムとして実現することもできる。そのようなプログラムは、CD-ROM等の記録媒体またはインターネット等の伝送媒体を介して配信することもできる。また、本発明は、各処理部の処理を行う集積回路として実現することもできる。本発明に係る部品実装装置によれば、物体の形状認識を正確に、かつ、高速に行うことができる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態に係る部品実装装置について説明する。<第一実施形態>図1は、本発明の第一実施形態における部品実装装置の構成を示す外観図である。図2は、移動部の構成を示す概略図である。図3は、エリアイメージセンサ11の撮像素子の領域である撮像領域150が対象物である物体30と基準点としての2つの蓄光シート42を撮像した時に、撮像領域150と物体30および基準点としての2つの蓄光シート42の像との位置関係について説明する図である。図4は、図1に示した部品実装装置100をY軸方向側から見た図である。部品実装装置100は、基板、基板に実装される部品、基板上の部品などである物体30の形状を対象物として認識する装置である。図1および図2に示すように、物体30は移動部40によりノズル43に吸着保持された状態でX軸方向第二方向に移動する。図1に示すように、部品実装装置100は、撮像部であるカメラ10と、照射部20と、移動部40とを備える。カメラ10は、撮像対象領域50を撮像する矩形のエリアイメージセンサ11を有する。カメラ10は、図1のように図示上方向Z軸方向を向いており、撮像対象領域50がエリアイメージセンサ11によって撮像される位置に配置されている。エリアイメージセンサ11は、例えば4000×3000pixelの画素数を有するCMOSComplementarymetaloxidesemiconductorイメージセンサである。なお、ここでは、CMOSイメージセンサの一例として画素数が4000×3000pixelのCMOSイメージセンサを挙げているが、これに限るものではなく、例えば、3280×2464pixel、4400×3316pixel等であってもよい。また、CCDChargeCoupledDeviceイメージセンサであってもよい。エリアイメージセンサ11は、検出した光強度に応じて0から例えば255の数値で示される輝度値を出力する。つまり、エリアイメージセンサ11は、256個の数値によって検出した輝度値としての光強度を出力する。カメラ10には、レンズ12が装着される。レンズ12は、対象物としての物体30が撮像されるY軸方向第一方向とY軸方向第一方向に交差直交するX軸方向第二方向とにより規定される領域である撮像対象領域50をエリアイメージセンサ11の撮像素子の領域である撮像領域150に対して導き、図示しない例えばテレセントリックレンズを含むレンズ群から構成される。照射部20は、Y軸方向第一方向に沿って輝度が同一であり、かつ、Y軸方向第一方向と直交するX軸方向第二方向の位置に応じて輝度が周期的に変化する輝度分布を有する輝度変化光を、X軸方向およびY軸方向により規定され、対象物としての物体30が撮像される領域である撮像対象領域50に対して斜めから照射する光源である。照射部20は、X軸方向およびY軸方向により規定される撮像対象領域50に向けて図1のX軸方向における図示右斜め下方の位置から左斜め上方に輝度変化光を照射する。照射部20は、プロジェクタのような投影光学系で構成され、DMDDigitalMirrorDeviceや液晶等により輝度変化光の照射を実現することができる。なお、第二方向X軸方向に変化する輝度変化光は、正弦波縞パターンを有する光である。また、照射部20は、投影光学系の代わりにライン状または面状の平行光束光源を用いる構成としても良い。ライン状又は面状の光源を用いた場合でも、物体30の撮像対象領域50へ向かって投影する光束中に格子状のパターン、DMDまたはLCD液晶等のパターン発生器を配置することで、パターン発生器を通過した光は正弦波縞パターンを有する光に変換され、撮像対象領域50に向けて輝度変化光として投影される。具体的には、図1に示すように、照射部20がX軸方向の図示斜め上方向に輝度変化光を照射しながら、移動部40のノズル43に吸着保持されて移動する対象物としての物体30が、撮像対象領域50内における物体30に輝度変化光を照射する照射部20と、対象物としての物体30を撮像するカメラ10とに対して同図のX軸方向に相対的に移動することで、照射部20は、X軸方向に沿って相対的に移動する物体30に対して輝度変化光をX軸方向の図示斜めから照射する。移動部40は、対象物としての物体30を、カメラ10および照射部20に対してX軸方向第二方向に沿って相対的に移動させて、物体30および移動部40の物体30が吸着保持されるノズル43の面状のノズル板41後述参照を撮像対象領域50に対して相対的に通過させる。つまり、カメラ10および照射部20が物体30に対して移動されるようにしてもよいし、物体30がカメラ10および照射部20に対して移動されるようにしてもよい。具体的には、移動部40の一例として、例えばカメラ10に撮像される対象物としての物体30の移動は、基板に部品を実装する移載部である装着ヘッドのノズルに吸着保持された状態の部品を対象物としての物体30として移動させることにより行われたり、搬送部としてのベルトコンベアあるいはスライドテーブル上に対象物としての物体30を載置して搬送することにより行われたりする。後者の場合は、物体30に対するカメラ10および照射部20の位置関係は、図1に示すものとZ軸方向の上下が逆の状態で配置されることとなる。つまり、ベルトコンベアあるいはスライドテーブル上に載置される物体30の上方側にカメラ10を配置し、当該物体30のX軸方向の左右斜め上方に照射部20を配置する構成となる。物体30をX軸方向に移載する移載部としての移動部40は、図2に示すように、物体30を吸着して保持するノズル43と、撮像対象領域50においてX軸方向に移動する対象物としての物体30に対する位置関係が一定物体30と共にノズル43は同方向に同量移動であり、ノズル43が接続されるノズル板41とを有する。そして、ノズル板41には、2つの基準点としての例えば円形の蓄光シート42が形成貼り付けされる。蓄光シート42は、光のエネルギーを吸収し、吸収することにより蓄えたエネルギーを可視光線に変換することで光を放出する機能を有するシート状の部材である。2つの蓄光シート42は、ノズル板41においてノズル43の接続部分のY軸方向の両側に配置される。ノズル43により吸着保持される物体30は、2つの蓄光シートの間に必ず収まるサイズに限定される。なお、基準点として機能させるものは蓄光シートに限定するものではなく、カメラ10のエリアイメージセンサ11によって常に認識できるものであればよい。つまり、自発光するLEDや有機EL素子などであってもよいし、電球などであってもよいし、ノズル板41全体が光を反射することによりノズル43の形状を浮き立たせてつまりノズル板41の輝度が大きく、ノズル43の輝度が小さい状態とさせてもよいし、一端が光源にあって他端が基準点側に配置される光ファイバなどの光を導く導光手段あってもよい。また、基準点は、光を放出する部材とは反対に光を吸収することによりその周辺に対してコントラストの差を発生させる、黒点として認識させるような部材であってもよい。これによりノズル43の先端面に吸着保持された物体30とカメラ10から見てノズル43に保持された物体30の後方に離間して、基準点として蓄光シート42等が設けられることにより、カメラ10による撮像の距離が焦点深度外であっても基準点がその周辺に対してコントラスト差が生じるような発光あるいは黒点として撮像可能である。また、カメラ10は、図4に示すように、Y軸方向に延びる複数のライン状撮像対象領域51~54の並び方向X軸方向に相対的に移動する対象物としての物体30の測定対象の部位である測定部位Pを、各ライン状撮像対象領域51~54の通過時の撮像のタイミングで順次撮像する。つまり、物体30の同一の位置の測定部位Pがカメラ10の撮像対象領域50をX軸方向に通過するまでの間に、撮像対象領域50の例えば4つの各ライン状撮像対象領域51~54の通過時の撮像のタイミングT1~T4で順次撮像されるため、同一の物体30の測定部位Pを撮像するのに少なくともカメラは4回の撮像を行うことになる。ライン状撮像対象領域51~54のX座標は、それぞれ、x1、x2、x3、x4であるとする。なお、複数のライン状撮像対象領域51~54は、撮像対象領域50内の領域である。図3に示すように、カメラ10のエリアイメージセンサ11の撮像領域150は、撮像対象領域50の複数のライン状撮像対象領域51~54に対応して撮像する撮像素子のY軸方向に沿って延びるライン状の画素群から成る複数のライン状撮像領域151~154を有する。なお、図3では、説明の便宜上、移動部40のノズル43およびノズル43のノズル板41を省略している。つまり、図3に示す基準点としての蓄光シート42の中点42cは、実際には基準点としての例えば円形状の蓄光シート42そのものが撮像されており、撮像された基準点としての蓄光シート42の画像から導出される蓄光シート42の中点42cを示す。複数のライン状撮像領域151~154は、それぞれに対してX軸方向に物体30の測定部位Pおよび基準点としての2つの蓄光シート42が通過時に撮像される撮像のタイミングTの内で、第一の撮像のタイミングT1において第一ライン状撮像領域151が物体30の測定部位Pおよび蓄光シート42を撮像し、第二の撮像のタイミングT2において第二ライン状撮像領域152が物体30の測定部位Pおよび蓄光シート42を撮像し、第三の撮像のタイミングT3において第三ライン状撮像領域153が物体30および蓄光シート42を撮像し、第四の撮像のタイミングT4において第四ライン状撮像領域154が物体30および蓄光シート42を撮像する。つまり、撮像対象領域50に対して、図3のX軸方向の図示下方向から上方向図4のX軸方向の図示右方向から左方向に基準点としての蓄光シート42と共に同方向に同量移動する物体30および基準点としての蓄光シート42を共に、エリアイメージセンサ11の撮像領域150の複数のライン状撮像領域151~154が、撮像対象領域50のライン状撮像対象領域51~54の位置X座標x1、x2、x3、x4の位置に対応して、第一~第四の撮像のタイミングT1~T4において順次撮像する。また、カメラ10の撮像素子であるエリアイメージセンサ11の撮像領域150は、物体30を保持するノズル43のノズル板41に貼り付けられている基準点としての2つの蓄光シート42が通過する領域を撮像する基準点撮像領域155、156を有する。エリアイメージセンサ11の基準点撮像領域155、156は、それぞれ2つの蓄光シート42の通過領域に対応しており、一方の蓄光シート42が基準点撮像領域155により撮像され、他方の蓄光シート42が基準点撮像領域156により撮像されることになる。基準点撮像領域155、156は、2つの蓄光シート42が通過する方向であるX軸方向に対して平行な方向に設定される。つまり、基準点撮像領域155、156は、Y軸方向に平行な複数のライン状撮像領域151~154に直交する領域に設定される。次に、照射部20が撮像対象領域50に対して照射する輝度変化光について、詳細に説明する。照射部20は、図4においてX軸方向の図示右斜下方向から、撮像対象領域50内の対象物としての物体30の高さを0とした場合のZ軸方向の基準高さとしての仮想の面である基準面60に対して輝度変化光を照射する。この輝度変化光は、輝度分布の位置変化が正弦波で示すことのできる光正弦波縞パターンを有する光である。例えば、輝度変化光の輝度分布は、図5に示すように、撮像対象領域50の複数のライン状撮像対象領域51~54における基準面60上の輝度分布を、横軸をX座標、縦軸を輝度で示される輝度曲線とした場合に、その輝度分布の波形は正弦波で示される。X座標がx1、x2、x3およびx4の例えば4つのライン状撮像対象領域ライン状撮像対象領域51、52、53および54において、正弦波の位相は、0ラジアン、π/2ラジアン、πラジアンおよび3π/2ラジアンとなる。このように、それぞれのライン状撮像対象領域群内のライン状撮像対象領域のラインの数ライン状撮像領域の数がNこの場合はN=4であるとした場合に、輝度変化光の輝度分布の位相は、隣接するライン状撮像対象領域間で2π/Nラジアン異なる。なお、仮想の面としての基準面60への輝度変化光の照射調整およびそのテストは、実験調整用として基準治具プレート等を基準面60として撮像対象領域50内に配置して予め行なってもよい。図6は、対象物としての物体30が存在しない状態における物体30の高さを0とした場合のZ軸方向の基準高さの面としての基準面60に照射された輝度変化光の一例を示す図である。同図に示すように、Y軸方向には輝度が変化せずX軸方向に輝度が周期的に変化する輝度変化光は、例えばX座標がx1の第二ライン状撮像対象領域52において最も明るくなり、X座標がx4の第四ライン状撮像対象領域54において最も暗くなる。なお、輝度変化光は、撮像対象領域50に配置された基準面60に対してX軸方向の斜め下方から照射部20図示せずにより照射されている。このため、輝度変化光は、X軸方向およびY軸方向で規定される基準面60に対して垂直な方向Z軸方向に正弦波で示される輝度変化の輝度分布を有するとともに、複数のライン状撮像対象領域51~54の並び方向X軸方向に正弦波で示される輝度分布を有する。また、輝度変化光は、Y軸方向に延びるライン状撮像対象領域51~54内においてそれぞれ同一の一様な輝度となる輝度分布を有する。ここで、図3の物体30の撮像の領域である撮像対象領域50を撮像するカメラ10のエリアイメージセンサ11の撮像素子の領域である撮像領域150の説明に戻る。撮像領域150の複数のライン状撮像領域151~154は、カメラ10および照射部20を設置する際つまり、初期設定の際に、撮像対象領域50に予め調整用として設定された基準面60に照射部20により照射される輝度変化光の輝度値が所望の輝度値となるX座標の位置がライン状の画素群から成るライン状の撮像領域としてそれぞれ設定される。具体的には、物体30がX軸方向に通過する際の撮像の対象物としての物体30の高さが0とした場合におけるZ軸方向の高さ基準としての面である基準面60に照射される輝度変化光をカメラ10のエリアイメージセンサ11により撮像した後で、撮像されたエリアイメージセンサ11のX軸方向の画像データに基づいて、輝度変化光の正弦波縞パターンの位相が0ラジアンに対応する輝度を撮像したY軸方向に平行なライン状の画素群を第一ライン状撮像領域151として設定し、位相が1/2πラジアンに対応する輝度を撮像したY軸方向に平行なライン状の画素群を第二ライン状撮像領域152として設定し、位相がπラジアンに対応する輝度を撮像したY軸方向に平行なライン状の画素群を第三ライン状撮像領域153として設定し、位相が3/2πラジアンに対応する輝度を撮像したY軸方向に平行なライン状の画素を第四ライン状撮像領域154として設定する。これらのライン状撮像領域151~154は、移動部40やカメラ10等の振動を考慮してX軸方向に対して、例えばそれぞれ10画素分の幅を持った領域に設定される。なお、移動部40やカメラ10等の移動方向であるX軸方向の振動ずれを考慮したX軸方向の画素幅は、部品実装装置100の構成により異なり、予め、部品実装装置100によるカメラ10のエリアイメージセンサ11により撮像される画像データのテストを行うことにより定まることになる。つまり、上記振動による位置ずれを考慮した画素幅は、部品実装装置100の構成により異なるが、予め定められた画素幅を超えることは、部品実装装置100に何らかの不具合が無い限りは起こりにくいと言える。また、撮像対象領域50における基準点が通過する領域を撮像するエリアイメージセンサ11の撮像領域150の基準点撮像領域155、156は、移動部40によりノズル43に吸着して保持された物体30をカメラ10に対してX軸方向に対して移動させつつ、カメラ10のエリアイメージセンサ11により物体30と共にX軸方向に移動するノズル43のノズル板41を基準点として撮像させた画像データの領域に基づいて設定される。具体的には、このときに撮像された画像データの内でX軸方向に撮像対象領域50を通過するノズル板41が有する基準点としての2つの蓄光シート42が撮像されたエリアイメージセンサ11の画素群が少なくとも基準点撮像領域155、156として設定される。基準点撮像領域155、156は、図3の破線で示すX軸方向に対して平行な1つの領域としてのライン状の領域としてもよいが、X軸方向において、ライン状撮像領域151~154の短辺側の幅に対して相対的に基準点としての蓄光シート42の径がX軸方向の振動とのずれが生じても十分に撮像できる程度に小さければ、エリアイメージセンサ11のライン状撮像領域151~154と、基準点がX軸方向に通過する図3の破線で示される基準点撮像領域155、156とが重複する領域つまり、図3における網掛けのハッチングの領域155a~155d、156a~156dのみに設定されてもよい。また、X軸方向に対して平行なライン状の領域とする場合の基準点撮像領域155、156は、移動部40やカメラ10等のY軸方向の振動ずれを考慮してY軸方向の幅は、例えば発光する蓄光シート42の外径あるいは発光するその光の径である発光径に対して10画素分程度の幅を加えた領域に設定される。次に、部品実装装置100が、図4に示した各部を制御する機能構成について、図4および図7を用いて詳細に説明する。図7は、本発明の第一実施形態における部品実装装置100の機能構成を示すブロック図である。同図に示すように、部品実装装置100は、図4に示した照射部20およびカメラ10の他に、各部を制御する制御部101を備えている。なお、この制御部101は、部品実装装置100に組み込まれた各部を制御するコンピュータであるが、パーソナルコンピュータ等の汎用のコンピュータシステムがプログラムを実行することによって実現されることにしてもよい。制御部101は、照射処理部102、撮像処理部103および認識部104を備えている。照射処理部102は、照射部20を制御する。具体的には、照射処理部102は、照射部20により撮像対象領域50の基準面60に対して、輝度変化光を照射させる。撮像処理部103は、移動処理部103aと、データ取得部103bと、位置ずれ導出部103cと、輝度値取得部103dと、波形作成部103eとを有する。移動処理部103aは、移動部40を制御して、撮像対象領域50における互いに平行に配置された複数のライン状撮像対象領域51~54の並び方向であるX軸方向に相対的に物体30を例えば一定の速度で移動させる。撮像処理部103は、移動する物体30内の少なくとも同一の測定部位Pを、撮像対象領域50の各ライン状撮像対象領域51~54を通過する際に順次撮像する予め定められた撮像のタイミングT1~T4で撮像させる。データ取得部103bは、基準点としての蓄光シート42を撮像した結果である基準点データと対象物としての物体30を撮像した結果である対象物データとをカメラ10のエリアイメージセンサ11の撮像領域150から取得する。基準点データは、移動部40のノズル43のノズル板41に配置された基準点としての2つの蓄光シート42を物体30の測定部位Pが撮像される撮像のタイミングでカメラ10のエリアイメージセンサ11が撮像した結果である。つまり、データ取得部103bは、エリアイメージセンサ11の基準点撮像領域155、156においてX軸方向の基準点としてのノズル43のノズル板41の蓄光シート42が撮像された結果を基準点データとして取得する。対象物データは、ノズル43に保持された物体30の測定部位Pが各ライン状撮像対象領域51~54を通過する毎に順次撮像するタイミングである撮像のタイミングT1~T4でカメラ10が撮像した結果である。つまり、データ取得部103bは、複数のライン状撮像対象領域51~54にそれぞれ対応するカメラ10のエリアイメージセンサ11の複数のライン状撮像領域151~154において撮像した結果を物体30の対象物データとして取得する。そして、データ取得部103bは、基準点データと対象物データとのそれぞれが同一の組になるようなそれぞれの撮像のタイミングT1~T4で撮像された結果つまり基準点データおよび対象物データを同一の予め定められた撮像のタイミングで撮像した結果として取得する。位置ずれ導出部103cは、撮像のタイミングT1~T4に撮像された基準点データによって特定される基準点位置X軸方向の振動ずれ後の位置、および、Y軸方向の振動ずれ後の位置と、基準点としての蓄光シート42がX軸方向に移動させて撮像される撮像のタイミングT1~T4において位置ずれが生じてないとする場合の位置である基準点基位置との位置ずれを、導出する。輝度値取得部103dは、対象物としての物体30をそのときの撮像のタイミングT1~T4において位置ずれが生じてないとする場合の位置である対象物基位置に対して、位置ずれ導出部103cが導出した撮像のタイミングT1~T4における位置ずれを加算することにより得られたそれぞれの撮像のタイミングT1~T4における物体30の測定部位Pの補正された位置に対応する、撮像のタイミングT1~T4に撮像された物体30の対象物データの輝度値を取得する。具体的には、輝度値取得部103dでは、例えば、撮像された画像データの内で基準点としての2つの蓄光シート42の中点42c同士を結んだ線の中間点を、物体30内における測定対象の部位である測定部位Pに対応する位置基準点による基準位置、または、X軸方向およびY軸方向の振動ずれの基準となる基準位置に対応する画素の出力値輝度値をとして取得する。なお、精度上の悪影響がなければ1つの蓄光シート42の形状に出力された1つの画像から求まる点例えば画像の中心の位置を物体30の測定部位Pに対する基準点による基準位置として導出してもよい。なお、ここで撮像のタイミングで位置ずれが生じてないとする場合の基準点の位置である基準点基位置、および、位置ずれが生じてないとする場合の対象物の位置である対象物基位置は、予め実験等により求めてもよいし、計算上の理論値から求めてもよい。波形作成部103eは、輝度値取得部103dによって取得された対象物データの輝度値に基づいて、位相シフト法による対象物としての物体30の測定部位PのX軸方向第二方向およびY軸方向第一方向と交差するZ軸方向第三方向における位置高さ形状の算出に用いられる波形であって、対象物としての物体30の波形を作成する。具体的には、波形作成部103eは、位置ずれ導出部103cにより導出された基準点の基準位置の位置ずれ量に基づいて、物体30の測定部位Pと同方向に同量移動する基準点の基準位置から定まる物体30の測定部位Pの位置を導出し、当該測定部位Pの位置に対応する対象物データの輝度値出力値をプロットすることにより、物体30のZ軸方向の高さ寸法を位相シフト法に基づいて導出するための波形である正弦波を作成する。認識部104は、カメラ10のエリアイメージセンサ11で撮像されて波形作成部103eにより作成された正弦波の波形を用いて、位相シフト方式に従い物体30の形状を認識する。具体的には、認識部104は、物体30が撮像された対象物データと基準点が撮像された基準点データとに基づき位置ずれ量が考慮されて、波形作成部103eにより作成された輝度変化光の輝度値の正弦波の波形と、照射部20により物体30のZ軸方向の高さを0とした場合の基準面60に照射された基準となる正弦波物体の高さを0とした場合に相当との位相差から物体30の高さを検出することで、物体30の形状を認識する。なお、制御部101は、CRTCathodeRayTubeやLCDLiquidCrystalDisplay等の表示部や、キーボードやマウス等の入力部等を備えていてもよい。次に、部品実装装置100が物体の形状を認識する処理について、説明する。図8は、本発明の第一実施形態における部品実装装置100の動作の一例を示すフローチャートである。照射部20は、照射処理部102の指示に従って、X軸方向の位置に応じて輝度が周期的に変化する輝度変化光を、撮像対象領域50に対して照射するS101。つまり、図4に示すように、照射部20は、カメラ10および照射部20に対して、撮像対象領域50においてX軸方向に相対的に移動する物体30に輝度変化光をX軸方向の図示右斜下方向から照射する。カメラ10のエリアイメージセンサ11は、撮像処理部103の指示に従って、撮像対象領域50における仮想の面である基準面60上に互いに平行に配置された複数のライン状撮像対象領域51~54の並び方向X軸方向に相対的に移動する物体30の測定部位Pを、各ライン状撮像対象領域51~54の通過時に順次撮像するS102。つまり、例えば図4に示すように、物体30がX軸方向に沿って移動するZ軸方向の仮想の基準の面物体30の高さを0とした場合の基準面である基準面60上を、同図のX軸方向の図示右方向から左方向に相対的に移動する物体30の高さとしての測定対象の部位である測定部位Pを、エリアイメージセンサ11の撮像領域150のライン状撮像領域151~154が、X座標x1、x2、x3、x4の位置を物体30の測定部位Pが通過する時に撮像するそれぞれの撮像のタイミングT1~T4で、順次撮像する。例えば、物体30上の測定部位Pは、X座標x1の位置においては、位置31として物体30上で反射された輝度変化光の光輝度値が第一ライン状撮像領域151によって受光される。データ取得部103bは、基準点の基準点データと物体30の測定部位Pの対象物データとをエリアイメージセンサ11から取得するS103。位置ずれ導出部103cは、撮像のタイミングT1~T4に撮像された基準点データによって特定される基準点位置X軸方向の振動等による位置ずれ後の位置、および、Y軸方向の振動ずれ後の位置と、移動部40が基準点としての蓄光シート42が撮像のタイミングT1~T4において位置ずれが生じてないとする場合の位置である基準点基位置との位置ずれを、導出するS104。図9は、各撮像のタイミングT1~T4において撮像した場合の、対象物としての物体30の測定部位Pおよび基準点としての蓄光シート42の中点42cと、エリアイメージセンサ11の撮像素子の領域である撮像領域150との位置関係においてX軸方向にずれが生じた場合を示す図である。図9では、基準点としての蓄光シート42の位置を説明するために、基準点としての蓄光シート42の中点42cを記載し蓄光シート42自体は省略している。対象物としての物体30の測定部位Pは、図9に示すように、X軸方向の図示下方向から上方向の白抜き矢印方向に移動しており、エリアイメージセンサ11の撮像領域150の各ライン状撮像領域151~154によってそれぞれの撮像のタイミングT1~T4で順次撮像される。移動部40は、ノズル43のノズル板41に形成される基準点としての蓄光シート42を、カメラ10のエリアイメージセンサ11の撮像領域150の各ライン状撮像領域151~154に対して、X軸方向に相対的に例えば一定の速度で移動させるため、X軸方向またはY軸方向に振動等による位置ずれが無いと仮定した場合の理想的な状態では、それぞれの撮像のタイミングT1~T4において対象物としての物体30の測定部位Pと同方向に同量だけ移動する基準点としての蓄光シート42の中点42cは、その位置に位置ずれが生じてないとする場合の位置である基準点基位置Xbi11、Ybi11~Xbi14、Ybi14にが順次移動される。なお、ここでは、2つある基準点としての蓄光シート42の一方のみを代表して説明し、他方についての説明は一方の場合と同様であるため省略する。移動部40は、また、対象物としての物体30に対する位置関係が一定であり、ノズル43のノズル板41に形成される基準点としての蓄光シート42を、対象物としての物体30と共に同方向に同量だけ移動させているため、基準点としての蓄光シート42の中点42cと同様に対象物としての物体30を、位置ずれが生じないとした場合の対象物基位置Xpi1、Ypi1~Xpi4、Ypi4に順次移動させる。つまり、移動部40は、上記の仮定のもとでは、第一の撮像のタイミングT1において蓄光シート42の中点42cを第一基準点基位置Xbi11、Ybi11に、かつ、物体30の測定部位Pを第一対象物基位置Xpi1、Ypi1に移動させており、第二の撮像のタイミングT2において蓄光シート42の中点42cを第二基準点基位置Xbi12、Ybi12に、かつ、物体30の測定部位Pを第二対象物基位置Xpi2、Ypi2に移動させており、第三の撮像のタイミングT3において蓄光シート42の中点42cを第三基準点基位置Xbi13、Ybi13に、かつ、物体30の測定部位Pを第三対象物基位置Xpi3、Ypi3に移動させており、第四の撮像のタイミングT4において蓄光シート42の中点42cを第四基準点基位置Xbi14、Ybi14に、かつ、物体30の測定部位Pを第四対象物基位置Xpi4、Ypi4に移動させる。なお、ここで言う第一~第四基準点基位置Xbi11、Ybi11~Xbi14、Ybi14および第一~第四対象物基位置Xpi1、Ypi1~Xpi4、Ypi4は、エリアイメージセンサ11における撮像領域150を構成する各画素の座標を示す。上記のことから、例えばXbiN=Xpi1NN=1、2、3、4とする。しかしながら、移動部40が位相シフト法による撮像を行うためにカメラ10のエリアイメージセンサ11および、対象物としての物体30の少なくとも一方を実際に移動させている状態の場合、カメラ10のエリアイメージセンサ11および、対象物としての物体30の少なくとも一方が振動する場合において、予め定められた各撮像のタイミングT1~T4毎に対象物としての物体30を撮像するエリアイメージセンサ11の画素に対応する位置は、一定ではなく、当該画素の位置ずれを例えば移動部40の移動の速度などから正確に予測することは難しい。このように移動部40が振動すると、第一~第四の撮像のタイミングT1~T4において、基準点としての蓄光シート42は、振動等により位置ずれが生じていない場合とする第一~第四基準点基位置Xbi11、Ybi11~Xbi14,Ybi14からずれた位置に位置し、同様に、振動等により位置ずれが生じていない場合とする第一~第四の撮像のタイミングT1~T4において、対象物としての物体30の測定部位Pは、第一~第四対象物基位置Xpi1、Ypi1~Xpi4、Ypi4から、蓄光シート42がずれた方向に、蓄光シート42がずれた量と同じ量だけずれた位置に位置する。ここで、実際に、蓄光シート42の中点42cが第一~第四の撮像のタイミングT1~T4で撮像される位置としての基準点位置を、それぞれ第一~第四基準点位置Xbr11、Ybr11~Xbr14、Ybr14とし、対象物としての物体30の測定部位Pが第一~第四の撮像のタイミングT1~T4で撮像される位置としての対象物位置を、それぞれ第一~第四対象物位置Xpr1、Ypr1~Xpr4、Ypr4とする。図9では、例えば、第三の撮像のタイミングT3のみの場合に、X軸方向の白抜き矢印方向に相対的に移動する移動部40に振動が生じることにより、基準点としての蓄光シート42および対象物としての物体30がX軸方向に対して位置ずれ量Δxだけ図示上方向白抜き矢印方向に位置ずれした場合を示している。また、第一の撮像のタイミングT1、第二の撮像のタイミングT2および第四の撮像のタイミングT4では、移動部40は、振動していなく位置ずれしていないものとする。このため、図9では、撮像のタイミングでの基準点が撮像される位置としての第一基準点位置Xbr11、Ybr11、第二基準点位置Xbr12、Ybr12および第四基準点位置Xbr14、Ybr14は、それぞれ、第一基準点基位置Xbi11、Ybi11、第二基準点基位置Xbi12、Ybi12および第四基準点基位置Xbi14、Ybi14と同じ位置となり、基準点の基準点位置と共に同方向に同量移動する対象物の撮像のタイミングでの対象物が撮像される位置としての第一対象物位置Xpr1、Ypr1、第二対象物位置Xpr2、Ypr2および第四対象物位置Xpr4、Ypr4は、それぞれ、第一対象物基位置Xpi1、Ypi1、第二対象物基位置Xpi2、Ypi2および第四対象物基位置Xpi4、Ypi4と同じ位置となる。図9のように第三の撮像のタイミングT3における基準点としての蓄光シート42の中点42cの位置である第三基準点位置Xbr13、Ybr13は、第三の撮像のタイミングT3において移動部40が振動していなく位置ずれが生じてないとした場合の位置である第三基準点基位置Xbi13、Ybi13からX軸方向に対して位置ずれ量Δxだけずれた位置となり、振動により位置ずれが生じている位置としての第三基準点位置Xbr13、Ybr13と位置ずれが生じていないとした場合の位置である第三基準点基位置Xbi13、Ybi13との関係は例えば次のような式1として表される。Xbr13-Xbi13=Δx式1撮像領域150において、基準点としての蓄光シート42の中点42cと対象物としての物体30の測定部位Pとの位置関係は一定であることから、第三の撮像のタイミングT3において式1のような関係は、対象物としての物体30の測定部位Pに対しても同様のことが言え、第三の撮像のタイミングT3における物体30の測定部位Pの位置を示す第三対象物位置Xpr3、Ypr3は、移動部40が振動していなく位置ずれが生じてないとした場合の位置である第三対象物基位置Xpi3、Ypi3からΔxだけずれた位置となる。したがって、振動により位置ずれが生じている位置としての第三対象物位置Xpr3、Ypr3と位置ずれが生じていないとした場合の位置である第三対象物基位置Xpi3、Ypi3との関係は例えば次のような式2のように表される。Xpr3-Xpi3=Δx式2そして、式1および式2から例えば次のような式3を導出することができる。Xpr3=Xpi3Xbr13-Xbi13式3このように、第三の撮像のタイミングT3において、対象物としての物体30に加えて、対象物としての物体30と一定の位置関係にある基準点としての蓄光シート42を設けて、基準点としての蓄光シート42を対象物としての物体30と同じ撮像のタイミングで同時に撮像することにより、移動部40に振動が生じる場合であっても、基準点の基準点基位置より位置ずれ量Δxを導出し、その位置ずれ量Δxと基準点基位置と同方向に同量移動する対象物基位置とにより、基準点としての蓄光シート42の中点42cの位置を識別できるため対象物としての物体30の測定部位Pの位置を正確に導出することができる。また、式3は、第三の撮像のタイミングT3においてのみ導出したものであるが、第一の撮像のタイミングT1、第二の撮像のタイミングT2および第四の撮像のタイミングT4においても同様のことが言えるため、例えば次のような式4を導出することができる。XprN=XpiNXbr1N-Xbi1NN=1,2,3,4式4図10に示すような撮像のタイミングT1~T4におけるY軸方向に対する振動による位置ずれに対しても同様のことが言えるため、例えば次のような式5を導出することができる。なお、図10は、各撮像のタイミングT1~T4において撮像した場合の、対象物としての物体30および基準点としての蓄光シート42の中点42cと、撮像領域150との位置関係においてY軸方向に位置ずれが生じた場合を示す図である。YprN=YpiNYbr1N-Ybi1NN=1,2,3,4式5さらに、式4および式5を組み合わせることにより、X軸方向およびY軸方向に対して同じ撮像のタイミングにおいて同時にずれが発生する場合についても同様のことが言える。そして、輝度値取得部103dは、移動部40によりX軸方向に相対的に移動され、対象物としての物体30が移動されて撮像される撮像のタイミングT1~T4において位置ずれが生じてないとした場合の位置である対象物基位置に対して、位置ずれ導出部103cが導出した撮像のタイミングT1~T4における位置ずれを加算することにより得られた撮像のタイミングT1~T4における対象物としての物体30の測定部位Pの補正された位置に対応する、撮像のタイミングT1~T4に撮像された対象物データの輝度値を取得するS105。波形作成部103eは、輝度値取得部103dにより取得された対象物データの輝度値に基づいて、位相シフト法による対象物としての物体30の測定部位PのX軸方向第二方向およびY軸方向第一方向と交差するZ軸方向第三方向における位置高さ形状の算出に用いられる波形であって、対象物としての物体30の波形を作成するS106。図4に示すように、X座標x4の位置においては、位置34として物体30の測定部位Pで反射された輝度変化光の光輝度値がライン状撮像領域154によって受光される。例えば、仮想の面であり、対象物としての物体30のZ軸方向の高さを0とした場合の基準の面である基準面60上のX座標x4の位置に照射された輝度変化光の位相は3π/2ラジアンである。しかし、同じX座標x4の物体30の測定部位P上に位置34として照射される輝度変化光の位相は3π/2ラジアンではなく、0π、2πラジアンに近づいている。図11に、例えば物体30のZ軸方向の高さが0の基準面60上での輝度変化光の輝度分布の位置変化を示し、物体30の高さを0とする時の基準波形である正弦波81と、物体30を撮像し、位置を正確に導出した際の物体30の高さ位置である測定部位Pでの輝度変化光の輝度分布の位置変化を示す正弦波82とを示す。なお、グラフの縦軸および横軸は図5に示したグラフと同じである。図11からわかるように、物体30の高さを0とした場合の基準波形の正弦波81と対象物として物体30を実際に撮像した対象物の撮像波形の正弦波82とでは位相がΔφだけシフトしていることが分かる。実際に撮像された物体30の高さが0であれば、位相差Δφは0であるが、物体30の高さが高くなるにつれ、位相がシフトし位相差Δφの値が大きくなる。位相シフト法では、この位相差Δφから物体30の高さ形状を求めるものである。そして、位相シフト法では、輝度変化光のうちで異なる少なくとも3つ以上で本実施形態では4つ輝度つまり、4つの異なるX座標の位置において物体30の同一の測定位置測定部位Pを撮像することにより、対象物の撮像波形の正弦波82を求めることができる。認識部104は、エリアイメージセンサ11により撮像された物体30の測定部位Pの画像データを用いて、位相シフト法に従い物体30の形状を認識するS107図8参照。具体的には、撮像対象領域50を通過する際のX座標Xpr1、Xpr2、Xpr3およびXpr4に位置する対象物としての物体30の測定部位Pの画像データの輝度を、それぞれ、a、b、cおよびdとした場合に、認識部104は、正弦波82を図10のようにプロットすることにより描く算出する。このとき描かれる正弦波82は、正弦波81と同じ周期となる。認識部104は、このようにして算出した正弦波82の位相φから位相φに対応する物体30の高さを0とした時の基準波形の正弦波81の位相φ’との位相差Δφを算出し、算出した位相差Δφから物体30の測定部位Pにおける物体30の高さを算出することにより、物体30の形状を認識する。さらに物体30上の測定点測定部位Pを複数個所測定するほどより詳細な物体30の形状を認識することが可能である。求めた位相差Δφから物体30の高さを算出する具体的な方法については、位相シフト法として公知の技術であり、本願発明の主眼ではないため、その詳細な説明を省略する。以上により、部品実装装置100が物体の形状を認識する処理は終了する。以上説明したように、第一実施形態に係る部品実装装置100によれば、照射部20により、輝度変化光がカメラ10のエリアイメージセンサ11の撮像領域150が撮像するX軸方向およびY軸方向により規定される撮像対象領域50に照射され、またX軸方向およびY軸方向により規定される撮像する物体30がX軸方向に沿って通過するZ軸方向の基準である撮像対象領域50内の仮想の基準面60に対して斜めから照射される。輝度変化光は、Y軸方向に沿って輝度が同一であり、かつ、X軸方向の位置に応じて輝度が周期的に変化する輝度分布を有する。そして、移動部40により、対象物としての物体30と共に同方向に同量だけ移動する基準点としての蓄光シート42および物体30が撮像対象領域50を通るように、カメラ10と照射部20とに対し物体30をX軸方向に沿って相対的に移動させる。つまり、蓄光シート42および物体30が同時にカメラ10のエリアイメージセンサ11の撮像領域150により撮像されるように、カメラ10および照射部20に対し物体30の少なくとも一方が移動部40によりX軸方向により移動される。カメラ10のエリアイメージセンサ11が撮像した結果の内で、基準点としての蓄光シート42が撮像された結果を基準点データとして、物体30が撮像された結果を対象物データとしてデータ取得部103bが取得する。このときデータ取得部103bにより取得される基準点データと対象物データとは、複数の撮像のタイミングT1~T4で順次撮像された結果である。そして、これらの基準点データおよび対象物データは、基準点としての蓄光シート42および対象物としての物体30の測定部位Pが同一の撮像のタイミングT1~T4で撮像された結果のそれぞれの組が存在する。基準点としての蓄光シート42が撮像対象領域50をX軸方向に通過する時に、撮像領域150のうちのX軸方向に沿う方向の基準点撮像領域155、156により撮像することになるため、基準点撮像領域155、156により撮像された結果が基準点データとして取得され、撮像対象領域50のうちの蓄光シート42が通過した領域以外の対象物としての物体30が通過した領域が撮像された結果が対象物データとして取得される。基準点データと対象物データとが同一の撮像のタイミングT1~T4で撮像された結果のそれぞれの組の内における、基準点データに基づいて位置ずれ導出部103cが当該撮像のタイミングT1~T4で撮像された物体30のX軸方向の振動等による位置ずれΔxを導出する。そして、輝度値取得部103dが、位置ずれΔxを考慮することにより、対象物としての物体30がX軸方向に相対的に移動部40にて移動されて撮像される撮像のタイミングT1~T4において位置ずれが生じていない場合の位置である対象物基位置に対して、位置ずれ導出部103cが導出したそれぞれの撮像のタイミングT1~T4における位置ずれΔxを加算することにより得られた当該撮像のタイミングT1~T4で撮像された対象物データの内の物体30の位置Xpr1~Xpr4に対応するX軸方向に周期的に変化する輝度変化光の輝度値としての出力値を採用することにより、波形作成部103eが位相シフト法による正弦波の波形を作成する。したがって、振動等によるずれの影響や移動部40による物体30の移動誤差により物体30が撮像のタイミングT1~T4で撮像対象領域50のX軸方向に振動ずれがないという仮定に基づく理想的な位置x1~x4に無い場合であっても、基準点としての蓄光シート42の位置を把握することにより、対象物としての物体30と共に基準点としての蓄光シート42は常に物体30と同方向に同量だけ移動するため、基準点データを取得することにより、基準点としての蓄光シート42が撮像された撮像のタイミングにおける基準点データに基づく位置ずれ量Δxを導出することにより物体30の測定箇所である測定部位PのX軸方向およびY軸方向の位置を正確に把握することができる。このように撮像のタイミングにおいて撮像された時の物体30の測定部位Pの位置を正確に特定できるため、対象物としての物体30の測定部位Pの位置に対応する出力値輝度値を採用して、対象物としての物体30の測定部位Pの位置と出力値輝度値とをプロットすることにより、対象物としての物体30の測定部位PのZ軸方向の高さ寸法を位相シフト法に基づいて導出するために正弦波を作成することができる。このように、対象物としての物体30の測定部位Pとカメラ10のエリアイメージセンサ11および照射部20との相対位置が振動によって移動部40が移動させるべき撮像のタイミングの上記理想的な座標の位置x1~x4から例えばX軸方向およびY軸方向にずれてしまっていても、正確に対象物として物体30を撮像した対象物の撮像波形の正弦波82を作成することができる。これにより、物体30の測定部位PのZ軸方向X軸方向およびY軸方向に対して直交する方向の高さ寸法を導出することができ、物体30の形状認識を正確に、かつ、高速に行うことができる。また、第一実施形態に係る部品実装装置100によれば、カメラ10は対象物としての物体30および基準点としての蓄光シート42が撮像される領域としての撮像対象領域50を撮像する少なくとも一つのエリアイメージセンサ11を有する。撮像対象領域50に対応して撮像する一つのエリアイメージセンサ11の撮像領域150により撮像されたデータの内の基準点データおよび対象物データを利用できるため、対象物としての物体30の測定部位Pと、物体30と共に同方向に同移動量で移動する基準点としての蓄光シート42とを同一のそれぞれの撮像のタイミングで容易に一つのエリアイメージセンサ11で撮像でき、対象物としての物体30を吸着保持するノズル43のノズル板41に基準点としての蓄光シート42が設けられ、X軸方向またはY軸方向のずれが生じても物体30の測定部位Pと基準点の蓄光シート42の相対位置はそれぞれの撮像のタイミングでかわらないため、それぞれの撮像のタイミングでの基準点の基準点データの位置ずれ量に基づいて物体30の測定部位Pの撮像の出力値輝度値を補正して求めることができる。これにより、基準点データから正確に当該基準点データを撮像したタイミングにおける物体30の位置を特定することができる。また、第一実施形態に係る部品実装装置100によれば、データ取得部103bによりY軸方向に平行な複数のライン状撮像領域151~154により出力された出力値が取得される。このように、対象物データとしてエリアイメージセンサ11の撮像領域150の出力値の内で、ライン状撮像領域151~154の出力値のみを採用するため、対象物データのサイズをエリアイメージセンサ11全体の出力値を採用するよりも小さくすることができる。したがって、対象物としての物体30の対象物データの転送を高速に行うことができる。また、第一実施形態に係る部品実装装置100によれば、データ取得部103bにより基準点としての蓄光シート42が通過する基準点撮像領域155、156の出力値を基準点データとして取得する。蓄光シート42は物体30と共にカメラ10に対してX軸方向に移動するため、撮像対象領域50のY軸方向における蓄光シート42と物体30との相対位置が変動せずにX軸方向に移動する。つまり、蓄光シート42は撮像対象領域50のX軸方向に平行な領域において撮像される。このため、蓄光シート42を撮像するためのエリアイメージセンサ11の撮像領域150のライン状撮像領域151~154の長手方向Y軸方向に交差直交するX軸方向に平行な基準点撮像領域155、156に限定することができる。つまり、基準点データとしてエリアイメージセンサ11の撮像領域150の出力値の内で基準点撮像領域155、156からの出力値のみを採用すれば、基準点データを得ることができ、物体30の位置を把握することができる。これにより、基準点データのデータ量を最小限として、基準点データの転送を高速に行うことができる。また、第一実施形態に係る部品実装装置100によれば、物体30を吸着することにより保持するノズル43が接続されるノズル板41に基準点としての蓄光シート42が設けられるため、蓄光シート42と物体30との移動方向および移動量を同一にすることができる。また、ノズル43により吸着することにより物体30を保持するため、物体30の保持および解放を容易に行うことができる。また、第一実施形態に係る部品実装装置100によれば、複数2つの蓄光シート42をデータ取得部103bが取得するため、例えばノズル板41が回転して物体30のX軸方向に対する向きが変化したり、物体30を吸着するノズル43を有してX軸方向に移動する移動部40に振動や反り等によりずれが生じたりする場合であっても、物体30の位置および物体30のX軸方向に対する向きを正確に把握することができる。また、第一実施形態に係る部品実装装置100によれば、対象物としての物体30は、基準点としての蓄光シート42とはX軸方向における位置およびY軸方向における位置の少なくとも一方が重ならない位置に配置される。このため、基準点と対象物とは、撮像部の撮像領域に内で異なる領域において、それぞれを同時に撮像可能である。上記実施形態では、ノズル板41に設置される基準点としての蓄光シート42は、2つであるが、2つに限定されず物体30の位置が把握できればよいため1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。ただし、物体30の位置だけでなく振動等による位置ずれを考慮して物体30の向きつまり、物体30のX軸方向にそって移動する面である基準面60に平行に回転した場合の向きを特定するために、基準点は複数有ることが好ましい。上記実施形態では、Y軸方向の振動についてより詳細に言及していないが、Y軸方向に対する位置ずれについては、輝度変化光がY軸方向に同一の輝度分布であることから、物体30の端部を特定しやすい。具体的には、物体30の特定のX座標におけるY軸方向の幅以下、所定幅とする。は変化しないため、それぞれの撮像のタイミングでY軸方向に対して振動による位置ずれがある場合には、物体30の所定幅が一定のままで測定される位置がずれる。つまり、エリアイメージセンサ11の撮像領域150により出力される輝度が周囲と異なる所定幅の部分のY軸方向のずれ量を物体30の位置として、あるいは基準点としての蓄光シート42のY軸方向の幅のY軸方向の位置ずれ量を基準点の蓄光シート42の幅径として認識することにより、Y軸方向のずれを補正することができる。上記実施形態では、各ライン状撮像領域151~154は、X軸方向に対する振動を考慮してそれぞれがX軸方向に10画素分を有しているが、X軸方向に対する各ライン状撮像領域151~154の幅は、予め、第一~第四の撮像のタイミングT1~T4において基準点としての蓄光シート42を移動部40がカメラ10のエリアイメージセンサ11に対してX軸方向に相対的に移動させつつ撮像することを複数回繰り返すことにより、基準点としての蓄光シート42が振動する際に得られる第一~第四基準点基位置Xbi1、Ybi1~Xbi4,Ybi4を中心とした時のX軸方向に対する振幅の最大値から求めるようにしてもよい。つまり、位置ずれが無いとした場合の各第一~第四基準点基位置Xbi1、Ybi1~Xbi4,Ybi4を中心として、このとき振動等により生じる位置ずれ量の求められる振幅の最大値の2倍の領域を少なくとも含むようにX軸方向に対して各ライン状撮像領域を決定すればよい。このとき得られる基準点としての蓄光シート42を撮像した結果から、同様にして、基準点撮像領域が持つY軸方向に対する幅として、基準点としての蓄光シート42が振動する際に得られる第一~第四基準点基位置Xbi1、Ybi1~Xbi4,Ybi4を中心とした時のY軸方向に対する振幅の最大値から求めるようにすればよい。つまり、位置ずれが無いとした場合の各第一~第四基準点基位置Xbi1、Ybi1~Xbi4,Ybi4を中心として、このとき振動等により生じる位置ずれ量の求められる振幅の最大値の2倍の領域を少なくとも含むようにY軸方向に対して各基準点撮像領域を決定すればよい。<第二実施形態>第一実施形態にかかる部品実装装置100によれば、対象物としてノズル43に吸着保持された対象物としての物体30に対して下方から照射部20が輝度変化光を照射することにより、その象を下方からカメラ10により撮像しているが、この形態に限らない。例えば、図12に示すように、対象物が基板130であっても良い。以下に図12を用いて、対象物が基板130である場合の形態の部品実装装置200について説明する。図12に示すように、部品実装装置200は、部品実装装置100と比較して、カメラ10および照射部20が対象物である基板130の上方に配置されることが異なるが、カメラ10および照射部20の構成は、部品実装装置100と同一であるため詳細な説明を省略する。また、部品実装装置200は、移動部140が部品実装装置100の移動部40と異なるため、移動部140について説明する。移動部140は、レール141と、基板130を移載するトレー143テーブルであってもよいとから構成される。レール141は、2本がX軸方向に平行に延びている。トレー143は、2本のレールの間に配置され、基板130を載せた状態でX軸方向にレール141に沿って移動する。撮像対象領域50より撮像の対象物としての基板130が大きい場合に、基板130とともにX軸方向に移動するトレー143はまた、基準点としてのX軸方向に並び、対象物の基準点となる複数の光を放出または反射する放出部位を構成する目盛142を有する。撮像対象領域50より撮像される対象物が小さければ上述の実施形態のようにX軸方向に1つの並びの基準点の構成にしてもよい。目盛142は、トレー143のX軸方向の位置つまりX座標を意味する。目盛142は、撮像対象領域50を基板130と共に通過する位置に配置される。目盛142は、蓄光塗料で印刷される。なお、目盛142は、蓄光塗料で構成されることに限らずに、トレー143にスリット状の孔を複数空けてトレー143の裏側から光源を照射することにより、光を放出するようにしてもよいし、LEDなどの自発光素子そのものによって構成してもよい。つまり、目盛142は光を放出あるいは反射することにより、エリアイメージセンサ11により目盛142として認識されるような形態であればどんな形態あってもよい。この移動部140により基板130は例えば一定の速度でX軸方向にカメラ10及び照射部20に対して相対的に移動する。つまり、カメラ10のエリアイメージセンサ11は、対応する撮像対象領域50の第一~第四ライン状撮像対象領域51~54を基板130の測定対象の部位である測定部位がX軸方向に通過する撮像のタイミングで順次基板130とトレー143の目盛142とを同時に撮像する。これにより、エリアイメージセンサ11により撮像された画像データには、基板130と目盛142とが同時に撮像されることになる。このように、目盛142によるX座標基準点データと基板130を撮像した対象物データとに基づいて第一実施形態のような物体の形状を認識する処理を行うことにより、基板130の形状を認識することができる。また、対象物としての基板130を保持し、共に、X軸方向に移動可能なトレー143に基準点としての目盛142が設けられるため、X軸方向に基準点と対象物は共に移動することにより基準点と対象物との移動方向および移動量を同一にすることができる。ここでトレー143は、対象物の基板130と共にX軸方向に移動するテーブルの構成であってもよい。<第三実施形態>第一実施形態および第二実施形態にかかる部品実装装置100、200によれば、撮像部としてのカメラ10は1台で構成されており、基準点と対象物とを1台のカメラにより撮像しているがこれに限らずに、図13に示すように、基準点と対象物とを別々のカメラにより撮像する構成としても良い。なお、この場合においては、撮像部210がカメラ10と、カメラ10とは別体の基準点用カメラ220とにより構成されることが第一実施形態および第二実施形態と異なる。また、移動部を図示していないが、第三実施形態の部品実装装置300では、撮像部210および照射部20がX軸方向に移動し、基板230は基板保持部241によって固定されている。基板230を保持する基板保持部241のY軸方向の端部側には、X軸方向に延びる複数の光の放出部位を構成する基準点としての目盛242が例えば蓄光塗料により印刷され設けられている。基準点用カメラ220は、基準点を撮像するエリアイメージセンサ221を有しており、レンズ222が装着される。基準点用カメラ220は、基板保持部241の一方に印刷される目盛242をエリアイメージセンサ221により撮像する。カメラ10および基準点用カメラ220は、およびX軸方向の斜めから対象物としての基板230を撮像する領域の撮像対象領域50に向かってX軸方向に周期的に変化する輝度変化光を照射する照射部20は、基板保持部241に保持された基板230に対してX軸方向に同方向に同量だけ相対的に移動する。つまり、移動部は、撮像部210および照射部20をX軸方向に対して例えば一定の速度で移動させる。第三実施形態の部品実装装置300によれば、基準点データを基準点用カメラ220が撮像し、対象物データをカメラ10が撮像する。このような構成とすることで、カメラ10と基準点用カメラ220とが独立してそれぞれ対象物と基準点とを撮像できる。このため、基板230のようにY軸方向に対して対象物が大きくて基準点および対象物を共通の撮像部で撮像できない場合であっても、基準点および対象物のそれぞれを撮像することができる。<第四実施形態>第三実施形態に係る部品実装装置300によれば、例えば対象物としての基板230がY軸方向に対して大きい場合に基準点としての目盛142と基板230とを2台のカメラでそれぞれ撮像しているが、図14に示すように、基準点用カメラ220の代わりに反射部360を利用することにより、1台のカメラ10で撮像する形態の部品実装装置400としてもよい。この場合には、図15に示すように、例えばエリアイメージセンサ11の撮像領域150の一部であってライン状撮像領域151~154とは異なる基準点撮像領域161~164に、反射部360により反射されて目盛142の像が導かれる。反射部360は、目盛142からZ軸方向の第一光路371に沿って直進する第一光をY軸方向に反射する第一反射部材361と、第一反射部材361により反射されてY軸方向に沿って延びるZ軸方向の第二光路372に沿って直進する第一光をエリアイメージセンサ11の撮像領域150に向かってに延びる第三光路373に沿って直進させるように反射させる第二反射部材362とにより構成される。このようにして、基準点としての目盛142の像をエリアイメージセンサ11の基準点撮像領域161~164に導くことにより、対象物としての基板230と基準点としての目盛142とを同時に撮像できるようにしてもよい。なお、基準点として、第二~第四の実施形態では複数の光の放出部位を構成する基準点として目盛242を採用したが、第一の実施形態のように蓄光シート等による基準点を複数設ける構成としてもよい。"