"平板状の基体の少なくとも一端面側に対し平板状の導電性被覆層を積層して、それら基体と導電性被覆層とを拡散接合し、その拡散接合された積層体を絞り加工によって筒状体に成形した後、その筒状体の側壁を蛇腹状に成形することを特徴とするベローズの製造方法。前記基体は、非磁性ステンレス材料から成ることを特徴とする請求項1記載のベローズの製造方法。前記導電性被覆層は、銅,銀,金のうち少なくとも一つ以上を含んだ導電性材料から成ることを特徴とする請求項1または2記載のベローズの製造方法。真空容器内を真空室と大気室とに区分し当該真空室を気密に保持するベローズの製造方法であって、外周面側と内周面側とに対し導電性被覆層が拡散接合された筒状の基体を蛇腹状に成形することを特徴とするベローズの製造方法。請求項1~4のうち何れかの方法により製造されたことを特徴とするベローズ。真空容器内を真空室と大気室とに区分し当該真空室を気密に保持するベローズであって、導電性被覆層がベローズの基体に対し拡散接合されていることを特徴とする真空容器用ベローズ。本願発明者は、前述のように円筒状基体に導電性被覆層を形成してから所望形状に成形する手法とは異なる手法を見出し、より均一な厚さの導電性被覆層を備え十分良好な特性機械的特性,電気的特性を有するベローズが得られるようにすることを課題とした。本発明は、前記の課題を解決すべく創作された技術的思想であり、具体的に、この発明によるベローズの製造方法の一態様は、平板状の基体の少なくとも一端面側に対し平板状の導電性被覆層を積層して、それら基体と導電性被覆層とを拡散接合し、その拡散接合された積層体を絞り加工によって筒状体に成形した後、その筒状体の側壁を蛇腹状に成形することを特徴とする。前記基体は、非磁性ステンレス材料から成るものでも良く、前記導電性被覆層は、銅,銀,金のうち少なくとも一つ以上を含んだ導電性材料から成るものでも良い。この発明によるベローズの製造方法の他の態様においては、真空容器内を真空室と大気室とに区分し当該真空室を気密に保持するベローズの製造方法であって、外周面側と内周面側とに対し導電性被覆層が拡散接合された筒状の基体を蛇腹状に成形することを特徴とする。また、この発明によるベローズの一態様においては、真空容器内を真空室と大気室とに区分し当該真空室を気密に保持するベローズであり、導電性被覆層がベローズの基体に対し拡散接合されていることを特徴とし、前記の方法のうち何れかにより製造されたものであっても良い。真空容器に適用されるベローズの技術分野においては、従来のように円筒状基体に対して中間メッキ処理を施したり被覆管を嵌め込んで導電性被覆層を形成する手法等は知られているものの、基体に対し導電性被覆層を拡散接合により形成したのち、それら基体と導電性被覆層との積層体を絞り加工して所望形状に成形するという技術的思想は無かった。以上、この発明に係るベローズおよびその製造方法によれば、ベローズの基体に対しより均一な厚さの導電性被覆層を備えたベローズが得られ、そのベローズにおいて十分良好な特性電気的特性,機械的特性を持たせることが可能となる。本発明の実施形態に係るベローズおよびその製造方法においては、基体と導電性被覆層とが拡散接合によって積層されるものである。このようなベローズを得る方法としては、従来のように中間メッキ処理を施したり円筒状基体に導電性被覆層を形成してから所望形状に成形するのではなく、比較的容易な方法、例えば平板状基体の少なくとも一端面側に導電性被覆層を積層して、それら基体と導電性被覆層とを拡散接合した後、その積層体を絞り加工して筒状体例えば円筒体に成形し、その筒状体の側壁を蛇腹状に成形することが挙げられる。本実施形態のようにベローズの基体に対し導電性被覆層が拡散接合によって積層された場合、例えば円筒状基体に対しメッキ処理等を施して導電性被覆層を形成する場合と比較して、当該導電性被覆層の厚さがより均一偏差が殆ど無い、少なくとも平均±1以下なものとなる。ここで、ベローズにおいて特許文献4を適用できたものと仮定した場合、当該特許文献4の技術ではシート状部材を筒状体に巻き付け端縁同士を溶接した状態で拡散接合する方法であるため、導電性被覆層はベローズの外周方向において繋ぎ目が残存してしまう。この繋ぎ目により、導電性被覆層の厚さが不均一になり繋ぎ目の厚さが当該繋ぎ目以外の部位と比較して異なる、その繋ぎ目の抵抗率に起因して電気的特性が低下してしまう。また、筒状内周側の端縁部溶接は、小径例えばΦ50以下の場合は困難である。なお、特許文献4は給電ロールに関するものであり、繋ぎ目による影響真空容器内に適用した場合の影響は何ら想定していないものと考えられる。一方、本実施形態のように拡散接合された積層体を絞り加工した場合には、前記のような繋ぎ目が残存することなく、均一な厚さの導電性被覆層を備えたベローズを得ることが可能となる。本実施形態に係るベローズおよびその製造方法においては、前述のように基体と導電性被覆層とが拡散接合された積層体を絞り加工して所望形状に成形できるものであれば良く、目的とするベローズに応じて技術常識を適宜適用した種々の形態のものが考えられる。<基体>例えば、基体は、一般的な真空コンデンサ等のベローズに適用されているもののうち絞り加工できるものを利用でき、具体例としては非磁性ステンレス材料SUS304,SUS316,各種SS材等から成るものが挙げられるが、これに限定されるものではない。<導電性被覆層>導電性被覆層は、前記の基体に対して拡散接合できるものであれば、種々の導電性材料を適用することができ、例えば高導電率である銅,銀,金等を含んだ導電性材料が挙げられるが、基体が耐腐食性の低い材料から成る場合には、耐腐食性を有する導電性材料を適用することが好ましい。また、導電性被覆層の厚さは、例えば当該導電性被覆層に通電され得る周波数を想定して適宜設定することが挙げられ、近年の市場で存在している周波数100MHz,60MHz,13MHzの真空コンデンサ製品の場合には、それぞれ導電性被覆層の厚さを7μm以上,9μm以上,18μm以上に設定することが考えられる。なお、比較的低周波の設備への適用を想定すると、導電性被覆層を更に厚く設定数MHz~数百kHzレベルに対し数十μm~数百μmレベルに設定、例えば周波数1MHz,100kHzに対し70μm,210μmに設定することが考えられる。<拡散接合>拡散接合は、前記の基体と導電性被覆層とを互いに密着させて両者を原子拡散により接合する方法であれば良い、例えば平板状基体の一端面側に導電性材料を被覆して導電性被覆層を形成し、その積層体を平板状基体と導電性被覆層との界面方向に加圧しながら、基体の融点以下の温度で加熱処理して接合する方法が挙げられる。なお、基体の一端面側のみに導電性被覆層を形成した場合、その両者における熱膨張率の差異なる材質であることに起因する差、すなわちベローズの内周側と外周側とに熱膨張率の差が生じ、その差が大きい場合には反りが生じる可能性がある。そのため、例えば図1に示すように、基体2の内周側および外周側に対しそれぞれ同種の導電性被覆層2a,2bを備えたベローズ1を構成し、前記熱膨張率の差に起因する反り現象を抑制することが好ましい。なお、前記の導電性被覆層2a,2bは、単層構造に限定されるものではなく、それぞれ多層構造であっても良い。<成形>前記の基体と導電性被覆層とから成る積層体を絞り加工して筒状体を得た後、その筒状体の側壁を蛇腹状に成形できる方法であれば、種々の方法が適用できる。例えば、図2に示すように、平板状基体2の両端面にそれぞれ導電性被覆層2a,2bを形成して積層体1aを得て、その積層体を絞り加工して円筒体を形成する。この円筒体の側壁を蛇腹状に成形伸縮自在に成形することにより、図1に示すようなベローズが得られる。<適用例>前記のようなベローズは、例えば図3中の符号1で示すように、真空容器10内に固定電極4と可動電極5を配置した真空コンデンサ30に適用され、真空容器10内を真空室10aと大気室10bとに区分し当該真空室10aを気密に保持して伸縮自在に設けられる。図3において、真空容器10は、絶縁筒体3aの各開口端側に対しそれぞれ絶縁性材料から成る封止部材3aa,3abを設け封止して成る。固定電極4は、径が異なる複数の略円筒状の電極部材4aを略同心円状に配置例えば、略一定間隔を隔てて配置して構成され、前記各封止部材のうち一方図3では封止部材3aaにおける真空容器10内周側に設けられる。可動電極5は、固定電極4と同様に径が異なる複数の略円筒状の電極部材5aを略同心円状に配置例えば、略一定間隔を隔てて配置して構成され、それら各電極部材5aが固定電極4と非接触状態で該固定電極4に挿出入電極部材4a間に挿出入して互い違いに交叉できるように真空室10a内側に配置される。この可動電極5は、真空容器10の軸方向に可動固定電極4に対する挿出入の程度を調整できるように可動する可動電極軸6によって支持される。前記可動電極軸6は、可動電極5を支持するための支持部材6aと、その支持部材6aの背面側から封止部材3abを突出するように延設された可動ロッド6bとから成る。符号7は、スラストベアリング等から成る支持体図示省略を介し真空容器10に対して回動自在に支持されモータ等の駆動源により回転運動する静電容量操作部を示すものであり、可動ロッド6bにおける封止端部3abから突出した端部に対し螺合例えば、静電容量操作部に形成された雌螺子部が、可動ロッド6bの一端側に形成された雄螺子部に螺合して接続される。符号8は、絶縁性のガイドを示すものであり、可動電極5と固定電極4とが互いに接触しないように当該可動電極5を案内するものである。ベローズ1においては、真空容器10内を真空室10aと大気室10bとに区分し当該真空室10aを気密に保持するように、一端側の縁が封止部材3abの内壁側に接合され、他端側の縁は支持部材6aに接合される。このベローズ1の接合においては、例えば真空ロー付けが挙げられる。以上、本発明において、記載された具体例に対してのみ詳細に説明したが、本発明の技術思想の範囲で多彩な変更等が可能であることは、当業者にとって明白なことであり、このような変更等が特許請求の範囲に属することは当然のことである。例えば、ベローズの適用例として真空コンデンサを挙げたが、真空容器を備えた真空スイッチ,真空リレー,真空インタラプタ等にも適用できる。"