基材の表面にNi-Al合金層を形成した半導体液晶製造装置からの排ガス処理装置用部材であって、前記基材の材質がNi-Cr-Mo合金またはNi-Cr-Fe合金であり、前記Ni-Al合金層が厚さ:10~200μmであり、組成:Al;10~60重量で、CoとMoとFeとWの含有量の合計が25重量以下で、残部:Niと不可避不純物であることを特徴とする排ガス処理装置用部材。前記Ni-Al合金層の直下にCr濃縮層を有していることを特徴とする請求項1に記載の排ガス処理装置用部材。ところが、フッ化物系ガスPFCガスによる高温腐食には、アルミナなどのセラミックスがすぐれることは前述のように周知であるが、セラミックスは脆く、機械的強度の点で問題がある。また、ハステロイ登録商標合金にセラミックスをコーティングすることも前述のように知られているが、セラミックスコーティングは部分的に剥離しやすいとともに、セラミックスの剥離箇所からハステロイ登録商標合金にも腐食が見られたとの事例もある。さらに、排ガス処理装置を軽量化小型化するためにも、排ガス処理装置用部材には金属材料を採用したいというニーズがある。そこで、本発明が解決しようとする技術的課題、すなわち、本発明の目的は、PFCガスによる高温腐食に対して、すぐれた耐食性を有し、かつ、排ガス処理装置を軽量化小型化する排ガス処理装置用部材を提供することにある。前記の課題を解決すべく、本発明者らが鋭意研究したところ、高温強度や高温HFガスにすぐれた耐食性を有する等の特性を持つNi-Cr-Mo合金またはNi-Cr-Fe合金を基材として用い、Ni-Al合金層を前記基材表面に形成することにより、Ni-Al合金層の表面は、Alが酸素との親和性が高いため、極低分圧の酸素含有環境であっても高温環境におけるアルミナを形成する。これにより、高温フッ化物系ガスに対する耐食性を発揮できる。また、いわゆるセラミックスのコーティングとは異なり、合金から形成したものであるため、密着性が非常に高く簡単に剥離しない。さらに、Ni-Al合金層と基材は、拡散による金属結合のため一体化しており、剥離しない。したがって、このような構成を有する排ガス処理装置用部材は、基材が金属であるため軽量化小型化が図れるとともに、高温強度、高温フッ化物系ガスに対する耐食性にもすぐれており、排ガス処理装置用部材としてすぐれた特性を備えているという新規な知見を得た。本発明は、この知見に基づき完成されたものであって、1基材の表面にNi-Al合金層を形成した半導体液晶製造装置からの排ガス処理装置用部材であって、前記基材の材質がNi-Cr-Mo合金またはNi-Cr-Fe合金であり、前記Ni-Al合金層が厚さ:10~200μmであり、組成:Al;10~60重量で、CoとMoとFeとWの含有量の合計が25重量以下で、残部:Niと不可避不純物であることを特徴とする排ガス処理装置用部材。2前記Ni-Al合金層の直下にCr濃縮層を有していることを特徴とする1に記載の排ガス処理装置用部材。に特徴を有するものである。以下に、本発明について、より具体的かつ詳細に説明する。本発明は、基材の最表面にPFCガスCF4、C2F6、C3F8等に対する耐食性にすぐれたアルミナを形成する。このとき、通常のセラミックスコーティングによりアルミナを形成すると剥離しやすいため、本発明においては、まず、それ自身が、高温強度、PFCガスに対する耐食性にすぐれたNi-Al合金層を形成する。Ni-Al合金層中のAlは酸素との親和性が高いため、極低分圧の酸素含有環境であっても高温環境においてアルミナを形成する。これにより、高温状態のフッ化物系ガスPFCガスに対する耐食性を発揮できる。この方法により形成されたアルミナは、通常のセラミックスコーティングとは異なり、合金から形成したものであるため、密着性が高く簡単に剥離しない。ここで、Ni-Al合金層の厚さとしては、10μm未満であると高温での保護性の高い緻密なアルミナを形成するのには不十分である。一方、200μmを超えると基材との熱膨張差などにより、高温での繰り返し使用中にNi-Al合金層に亀裂などが発生しやすくなるため好ましくない。したがって、Ni-Al合金層の厚さは、10~200μmと定めた。また、Ni-Al合金層の組成は、Alが10重量未満だと、保護性の高い緻密なアルミナを形成するのには不十分である。一方、60重量を超えるとアルミニウムに近い挙動となり、高温環境で溶融してしまうので好ましくない。アルミニウム以外は、ニッケルであるが、基材成分に含まれるクロムモリブデン鉄タングステンの合計値が25重量以下含有することは許容される。基材の材質は、Ni-Cr-Mo合金またはNi-Cr-Fe合金を用いる。Ni-Cr-Mo合金は、固溶強化元素であるMoを含有しているため、高温強度を重視する場合に適している。また、湿潤なHFに対しても耐食性がすぐれている。Ni-Cr-Mo合金の具体例としては、重量でCr:18.0~20.0、Mo:18.0~20.0、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、商品名MAT登録商標21UNSN06210や、Cr:14.5~16.5、Mo:15.0~17.0、W:3.0~4.5、Fe:4.0~7.0、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、C-276合金UNSN10276や、Cr:20.0~22.5以下、Mo:12.5~14.5、W:2.5~3.5、Fe:2.0~6.0、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、22合金UNSN06022などがある。一方、Ni-Cr-Fe合金は、特に高温HFガスにすぐれた耐食性を有している。Ni-Cr-Fe合金の具体例としては、重量で、Cr:15.5、Fe:7、残部Niおよび不可避不純物の化学組成をもつ、いわゆる600合金OLELINK1OLELINK2UNSN06600OLELINK1OLELINK2や、Cr:23、Fe:14、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、いわゆる601合金UNSN06601や、Cr:30、Fe:9.5、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、いわゆる690合金UNSN06690などがあげられる。また、基材に上述したようなCrを含有したNi基合金を用い、基材表面にカロライジング処理によりNi-Al合金層を形成すると基材中のCrが表面近傍に濃縮してきてNi-Al合金層と基材との間にCrリッチなNi-Cr合金層が形成される。このNi-Cr合金層が、Ni-Al合金層のバッファー層として作用し、Ni-Al合金層が破壊された場合のバックアップ機能を持たせることができる。本発明によれば、基材の表面にNi-Al合金層を形成した半導体液晶製造装置からの排ガス処理装置用部材であって、基材の材質がNi-Cr-Mo合金またはNi-Cr-Fe合金であり、Ni-Al合金層が厚さ:10~200μmであり、組成:Al;10~60重量で、残部:Niと不可避不純物であることによって、Ni-Al合金の持つすぐれた高温フッ化ガス、特にPFCガスに対する耐食性にすぐれ、基材を金属とすることによって軽量化小型化が図られるので、排ガス処理装置の軽量化小型化長寿命化を図ることが可能である。以下に、本発明について、実施例を用いて説明する。表1に基材として示した各種のNi合金製パイプ外径25.4mm、厚さ3mm、長さ1000mmの内外面にNi-Al合金層を形成することにより、加熱反応管を模擬する本発明1~14および比較品1~5の排ガス処理装置用部材を作成した表1。また、Ni-Al合金層を形成しない前述した化学組成を有するハステロイ登録商標C-276UNSN10276製パイプを従来品とした表1。なお、表1中でMAT21と示した基材は、前述したように重量でCr:18.0~20.0、Mo:18.0~20.0、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、商品名MAT登録商標21と表されるNi-Cr-Mo合金を意味しており、C-276と示した基材は、Cr:14.5~16.5、Mo:15.0~17.0、W:3.0~4.5、Fe:4.0~7.0、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、C-276と表されるNi-Cr-Mo合金を意味しており、22合金と示した基材は、Cr:20.0~22.5以下、Mo:12.5~14.5、W:2.5~3.5、Fe:2.0~6.0、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、22合金と表されるNi-Cr-Mo合金を意味している。また、表1中で600合金と示した基材は、前述したように重量で、Cr:15.5、Fe:7、残部Niおよび不可避不純物の化学組成をもつNi-Cr-Fe合金を示しており、601合金と示した基材は、Cr:23、Fe:14、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つNi-Cr-Fe合金を示しており、690合金と示した基材は、Cr:30、Fe:9.5、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つNi-Cr-Fe合金を示している。Ni-Al合金層の形成は、カロライジング処理を用いた。カロライジング処理は、被処理物基材にアルミニウムを拡散浸透させる処理で、具体的には、基材をFe-Al合金粉末およびNH4Cl粉よりなる調合剤とともに鋼製ケース内に埋め込み、ケースを密閉し、それを炉内にて900~1050°Cに加熱することによって基材の表面にNi-Al合金層を得た。温度や処理時間を変量にすることにより、所定の厚さ組織の合金層とした。図1に示すように各反応管を管状炉電気炉に挿入し、管内にN21O23000ppmC2F6混合ガスを1L/mimの流量で通気して、1000°Cに100時間保持した。電気炉から外側に位置する反応管の両端は水冷ジャケットにより冷却した。試験後、反応管を炉から取り出し、中央部となる端から500mm付近の肉厚を測定し、最大減肉量を記録した。肉厚測定は、端から500mm付近を長手方向に直角となるように切断し、バリ取りを行った後、水洗しながらステンレス鋼製のワイヤーブラシを用いて付着物を十分に除去し、さらに水洗乾燥を行って、測定接触部が球型のマイクロメータを用いて肉厚測定を円周上の5点について実施した。5点にうち最小値を選定し、初期肉厚よりこの試験後の肉厚を引いた値を減肉量として記録した。なお、初期厚さは、同様の方法で予め端部の肉厚を測定しておき、この肉厚を初期厚さとみなした。この試験結果を表1に示す。表1から明らかなように、基材の表面に所定のNi-Al合金層を形成した本発明品は、最大減肉量が比較品に比べて小さく、排ガス処理装置用部材として適していることが分かる。