"ケイ素およびフッ素を含むフッ酸排水を処理する方法であって、前記フッ酸排水を、pH値が6未満の状態で膜分離装置に通水して、フッ酸水溶液の透過水とケイ素が濃縮された非透過水とに分離する膜分離ステップを備えるフッ酸排水の処理方法。前記膜分離ステップは、前記フッ酸排水にアルカリ成分を添加することなく前記膜分離装置に通水する請求項1に記載のフッ酸排水の処理方法。前記透過水を加熱蒸発させてフッ酸含有蒸気を生成する蒸発ステップを更に備える請求項1または2に記載のフッ酸排水の処理方法。前記膜分離装置は、NF膜を用いて膜分離を行う請求項1から3のいずれかに記載のフッ酸排水の処理方法。前記膜分離装置は、RO膜を用いて膜分離を行う請求項1から3のいずれかに記載のフッ酸排水の処理方法。そこで、本発明は、フッ酸排水に含まれるケイ素を効率良く除去して、再利用可能なフッ酸を容易に回収することができるフッ酸排水の処理方法を提供することを目的とする。本発明の前記目的は、ケイ素およびフッ素を含むフッ酸排水を処理する方法であって、前記フッ酸排水を、pH値が6未満の状態で膜分離装置に通水して、フッ酸水溶液の透過水とケイ素が濃縮された非透過水とに分離する膜分離ステップを備えるフッ酸排水の処理方法により達成される。このフッ酸排水の処理方法において、前記膜分離ステップは、前記フッ酸排水にアルカリ成分特に、カルシウム成分を添加することなく前記膜分離装置に通水することが好ましい。前記膜分離装置は、NF膜を用いて膜分離を行うことが好ましく、或いは、RO膜を用いて膜分離を行うことが好ましい。また、上記の膜分離ステップに加えて、前記透過水を加熱蒸発させてフッ酸含有蒸気を生成する蒸発ステップを更に備えることが好ましい。本発明によれば、フッ酸排水に含まれるケイ素を効率良く除去して、再利用可能なフッ酸を容易に回収することができるフッ酸排水の処理方法を提供することができる。以下、本発明の一実施形態について添付図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るフッ酸排水の処理方法に用いられる装置の概略構成図である。図1に示すフッ酸排水の処理装置は、原液タンク10と膜分離装置20とが配管11で接続されており、原液タンク10に貯留されたフッ酸排水が膜分離装置20に供給されて膜分離されるように構成されている。膜分離装置20は、ケーシング21の内部が分離膜22により仕切られて一次室23および二次室24が形成されている。原液タンク10からポンプ図示せずの作動により膜分離装置20の一次室23に供給されたフッ酸排水は、分離膜22を透過して二次室24に流入する透過水と、分離膜22を透過しない非透過水とに分離されて、それぞれ配管25,26を経て排出される。分離膜22としては、フッ酸排水に含まれるケイ素を溶存状態で効果的に除去できるものが好ましく、具体的には、RO膜ReverseOsmosisMembraneやNF膜NanofiltrationMembraneを用いることができる。一次室23から排出される非透過水の一部は、還流配管27を通過させて、配管11を流れるフッ酸排水に合流させることができる。上記の装置を用いた本実施形態のフッ酸排水の処理方法は、例えば半導体や液晶などの電子部品の製造工程で発生した、ケイ素およびフッ素を含むフッ酸排水を、原液タンク10から膜分離装置20に加圧供給して行われる。分離膜22に通水するフッ酸排水は、アルカリ成分を添加せずにpH値が6未満に維持されており、含有するケイ素成分の多くは溶解してイオンの状態で存在しているが、イオンの分子量が大きいために膜を透過しない。このため、膜分離装置20の一次室23においては、ケイ素の大部分が分離膜22を透過せずに濃縮されて、非透過水として排出される。一方、フッ酸排水に含まれるフッ素はフッ酸水溶液としてその殆どは分離膜22を透過するため、膜分離装置20の二次室24からはケイ素が低減されたフッ酸が排出される。ケイ素の濃縮倍率を上げて少量の非透過水にしたい場合には、非透過水の一部を還流配管27により還流させることが好ましく、バルブ28の開度を調整することにより、透過水の回収率を制御することができる。このように、本実施形態のフッ酸排水の処理方法は、フッ酸排水にカルシウム等のアルカリ成分を添加することなくケイ素を除去することができるので、透過水を高純度のフッ酸水溶液としてそのまま再利用することができる。したがって、フッ酸排水にカルシウム成分を添加してフッ化カルシウムを回収する従来技術のように、得られたフッ化カルシウムからフッ素を製造する工程が不要であり、回収効率を高めることができる。なお、本発明において、カルシウム等のアルカリ成分を添加しないのは、上記のように、フッ酸排水のpH値を6未満に維持して、分離膜22を透過したフッ酸をそのまま再利用可能にするためであり、この目的を達成できる程度の微量のアルカリ成分がフッ酸排水に含まれていてもよい。分離膜22に通水するフッ酸排水のpH値が6以上に上昇すると、例えばアルカリ成分が存在する場合、フッ素がフッ化物塩例えば、NaF等となることで、透過するフッ素イオンが低下し、分離膜22のフッ酸透過率が減少する。したがって、フッ酸排水は、pH値が6未満の状態で分離膜22に通水する必要がある。このpH値は、フッ素イオンの透過率をより高めるために、5.5以下が好ましく、5以下であることがより好ましい。フッ酸排水のpH値の下限は、特に限定されないが、例えば2以上である。分離膜22は、RO膜またはNF膜のいずれであってもよいが、フッ酸水溶液の透過率をより高める観点からは、NF膜を好ましく用いることができる一方、ケイ素の除去率をより高める観点からは、RO膜を好ましく用いることができる。本発明のフッ酸排水の処理方法は、図2に示す装置を用いて行うこともできる。図2に示すフッ酸排水の処理装置は、図1に示す原液タンク10および膜分離装置20に加えて、膜分離装置20を透過したフッ酸水溶液を加熱して蒸発させることによりフッ酸含有蒸気を生成する蒸発装置30と、生成されたフッ酸含有蒸気を冷却して凝縮する凝縮器40とを備えている。蒸発装置30の構成は特に限定されないが、例えば、フッ酸水溶液を加熱器で加熱して過飽和状態にした後、蒸発缶内に減圧下で散布して蒸発させる公知のフラッシュ式蒸発濃縮装置を使用することができる。蒸発装置30で生成されたフッ酸含有蒸気は、配管31を経て凝縮器40に導入されて凝縮水となり、配管32から回収される。一方、蒸発装置30で濃縮された濃縮水は、配管33から排出される。図2に示すフッ酸排水の処理装置によれば、ケイ素およびフッ素を含むフッ酸排水が膜分離装置20で透過水と非透過水とに膜分離された後、透過水が蒸発装置30でフッ酸含有蒸気となって回収される。フッ酸排水に含まれるケイ素は、膜分離装置20で大部分が除去された後、蒸発装置30において他の不純物と共に更に低減することができ、より純度の高いフッ酸水溶液を得ることができる。図2に示すフッ酸排水の処理装置を用いた物質収支の一例を示すと、次のとおりである。ケイ素Siおよびフッ酸HFをそれぞれ47mgkg、約1含むフッ酸排水15092kgdayが、原液タンク10から膜分離装置20に供給されることにより、ケイ素Siおよびフッ酸HFをそれぞれ10mgkg、約1含む透過水12074kgdayが得られる。すなわち、フッ酸排水の約8割をフッ酸水溶液として回収できると共に、このフッ酸水溶液のフッ酸濃度が、フッ酸排水のフッ酸濃度と同じ1wt程度であるのに対し、ケイ素濃度は47mgkgから10mgkgに低減され、フッ酸水溶液に混入するケイ素を十分に低減可能である。また、この透過水は、ケイ素Siおよびフッ酸HFをそれぞれ121gday、120kgday含んでおり、これが蒸発装置30および凝縮器40に供給されることにより、ケイ素Siおよびフッ酸HFをそれぞれ57gday、108kgday含む凝縮水11940kgdayが得られる。すなわち、透過水と略同量の凝縮水を回収し、フッ酸HFについては約90を回収することができる。回収した凝縮水のフッ酸濃度は0.91wtと若干低下するものの、他の不純物を低減するとともにケイ素濃度を10mgkgから5mgkgに更に低減可能であり、高純度のフッ酸水溶液を回収することができる。図2に示すフッ酸排水の処理装置は、フッ酸排水を膜分離装置20で膜分離した後に蒸発装置30に導入することにより、高純度のフッ酸水溶液を回収可能に構成しているが、フッ酸排水を先に蒸発装置30に導入してフッ酸含有蒸気を生成した後に、この凝縮水を膜分離装置20で膜分離するように構成することも可能である。本発明のフッ酸排水の処理方法は、図3に示す装置を用いて行うこともできる。図3に示すフッ酸排水の処理装置は、図2に示す原液タンク10、膜分離装置20、蒸発装置30および凝縮器40に加えて、蒸発装置30から配管33を経て排出される一次濃縮水と膜分離装置20から配管26を経て排出される非透過水との混合水を貯留する付加タンク50と、付加タンク50から配管51により供給される混合水を加熱して蒸発させる付加蒸発装置60とを備えている。なお、図3において図2と同様の構成部分には、同一の符号を付している。付加蒸発装置60で生成した蒸気は、膜分離装置20を透過しなかった少量のフッ酸および蒸発装置30で蒸発しなかった少量のフッ酸を含んでいるため、この蒸気を配管61により原液タンク10に戻すことで、フッ酸の回収率をより高めることができる。一方、付加蒸発装置60で濃縮された二次濃縮水は、配管62から排出される。"