"試料を移動する試料移動ステージが前記試料を電子ビームと直角をなすx方向に移動するxテーブルと、前記試料を前記電子ビームと直角をなし、かつ前記x方向と直角をなすy方向に移動し、前記xテーブルの上に取り付けられるyテーブルと、前記電子ビームと同じ方向のz方向に移動するzテーブルと、前記試料をxy平面と平行な面内に回転させるローテーションテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるチルトテーブルを備え、前記xテーブルは前記チルトベースの上に取り付けられ、前記xテーブルおよびyテーブルがそれぞれ試料室内に配置されたボールネジにカップリングを介して連結したモータによって移動させられ、前記試料上を電子ビームで走査し、前記試料から発生する信号を検出器により検出し、前記検出器で検出された信号により試料像表示を行う走査型電子顕微鏡において、試料移動時と停止時に前記モータへの供給電流を同じないし、前記供給電流の差を20以下とすることによりモータの熱量変化を小さくすることで、前記試料ステージの温度をコントロールして観察時の試料ドリフトを低減することを特徴とする走査型電子顕微鏡。前記温度のコントロールには、前記xテーブルないし前記yテーブルのどちらか一方の前記モータへの供給電流を小さくして、熱量変化を低減することを特徴とする請求項1記載の走査型電子顕微鏡。前記温度のコントロールには、試料移動時と停止時において、モータから発生する熱量変化を吸収する加熱装置を具備することを特徴とする請求項1記載の走査型電子顕微鏡。前記温度のコントロールには、前記走査電子顕微鏡の温度変化を測定する温度計を具備し、前記温度変化に合わせて前記試料ステージ温度変化を吸収する加熱装置を具備することを特徴とする請求項1記載の走査型電子顕微鏡。従来技術ではxおよびyテーブルを駆動するパルスモータは真空外のステージケースに取り付けられる。xパルスモータの出力軸とxボールネジの間にはxステージジョイント等の伝達系が入っているため、この部分のバックラッシュ、そしてねじり変形が発生し、x,yテーブルの特に動かし始めや逆方向に動かそうとしたときの応答性が悪い。例えばトラックボールによって操作する場合は、像が動き始めるまでにボールを空回しさせなければならず、テーブル駆動すなわち像を移動させるための操作性が悪かった。yテーブルに関しては、駆動系にさらにバックラッシュを持つ傘歯車が加わるため、xテーブルよりさらに応答性が悪くなり、操作性が悪化する。x及びyテーブルを駆動するパルスモータとボールネジの間の伝達系によりバックラッシュやねじり変形の影響による応答性を改善するために、真空内にモータを配置し、カップリングを介して直接ボールネジに連結することで応答性を改善することができる。しかしながら、モータを動作した際に発生する熱が試料ステージの温度変化となるため、走査型電子顕微鏡の観察時に試料ドリフトが起こり、観察の妨げとなっていた。また、室温等の変化による走査型電子顕微鏡の温度変化によっても試料ドリフトが起こり、観察の妨げとなっていた。上記の問題点は、試料を移動する試料移動ステージが前記試料を電子ビームと直角をなすx方向に移動するxテーブルと、前記試料を前記電子ビームと直角をなし、かつ前記x方向と直角をなすy方向に移動し、前記xテーブルの上に取り付けられるyテーブルと、前記電子ビームと同じ方向のz方向に移動するzテーブルと、前記試料をxy平面と平行な面内に回転させるローテーションテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるチルトテーブルを備え、前記xテーブルは前記チルトベースの上に取り付けられ、前記xテーブルおよびyテーブルがそれぞれ試料室内に配置されたボールネジにカップリングを介して連結したモータによって移動させられ、前記試料上を電子ビームで走査し、前記試料から発生する信号を検出器により検出し、前記検出器で検出された信号により試料像表示を行う走査型電子顕微鏡において、試料移動時と停止時に前記モータへの供給電流を同じないし、前記供給電流の差を20以下とすることによりモータの熱量変化を小さくすることで、前記試料ステージの温度をコントロールして観察時の試料ドリフトを低減することで解決できる。前記温度のコントロールは、前記xテーブルないし前記yテーブルのどちらか一方を、前記モータへの供給電流を小さくして熱量変化を低減することでも解決できる。前記温度のコントロールは、試料微動時と停止時において、モータから発生する熱量変化を吸収する加熱装置を具備することでも解決できる。前記温度のコントロールは、前記走査電子顕微鏡の温度変化を測定する温度計を具備し、前記温度変化に合わせて前記試料ステージ温度変化を吸収する加熱装置を具備することでも解決できる。以上述べたように本発明によれば、試料ドリフトを低減できる実施容易な試料ステージを提供することができる。実施例1以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。図5から図7に本発明の実施例を示す。図6は図5のC-C線矢視図を示す。試料室104にステージケース114が取り付けられ、ステージケース114に取り付けられたzテーブル系とチルトテーブル駆動系は従来技術と基本的に同じである。zテーブル115がクロスローラ軸受図示せずを介してステージケース114に連結されている。zテーブ115はバネ117で上方向に引っ張られ、zパルスモータ118によってz移動軸119を上下させることによりクロスローラ軸受に案内されてz方向に移動し、試料106をz方向に移動する。z移動軸119にはオネジが切られ、zテーブル115の上下はz移動軸119のオネジ部とzテーブル115に取り付けられたメネジ部116の作用で行う。チルトテーブル120の一端にはチルト軸121が取り付けられ、チルト軸121はころがり軸受122,123を介して回転自在にzテーブル115に連結されている。チルトテーブル120の他端はロック板124が取り付けられ、試料室104に取り付けられたステージロック機構125により押されている。チルト軸121にはウォームホィール126aが取り付けられ、これと組み合わされるウォームギヤ126bは玉軸受127,128で支持され、軸受ハウジング129,130でzテーブル115に取り付けられている。ウォームホィール126aとウォームギヤ126bを回転させるTパルスモータ131はスプライン軸132a,132bによって連結され、zテーブル115のz方向移動に追随可能となっている。Tパルスモータ131を回すことによりチルト軸121が回転し試料106を傾斜させ、一定の傾斜角に保持される。試料106をx方向に移動するxテーブル133はクロスローラガイド134を介してチルトテーブル120に取り付けられている。xテーブル133はxボールネジ135とxボールネジナット136の送り作用で駆動する。xボールネジナット136はxツギテ142を介して、xテーブル133に固定されている。xボールネジ135は両端を玉軸受137,138で支持され、軸受ハウジング139,140でチルトテーブル120に取り付けられている。xボールネジ135はxパルスモータ141とxカップリング144で連結され、xパルスモータ141はxブラケット145に取り付けられ、xブラケット145はチルトテーブル120に固定される。xテーブル133はxパルスモータ141を駆動してxボールネジ135を回転させてxボールネジナット136を移送することによりx方向に移動し、試料106をx方向に移動する。yテーブル153はクロスローラガイド154a,154bを介してxテーブル133に取り付けられている。yテーブル153はyボールネジ155とyボールネジナット156の送り作用で駆動する。yボールネジナット156はyツギテ148を介してyテーブル153に固定されている。yボールネジ155は両端を玉軸受157,158で支持され、軸受ハウジング159,160でxテーブル133に取り付けられている。yボールネジ155はyパルスモータ161とyカップリング162で連結され、yパルスモータ161はyブラケット163に取り付けられ、yブラケット163はxテーブル133に固定される。yテーブル153はyパルスモータ161を駆動してyボールネジ155を回転させてyボールネジナット156を移送することによりy方向に移動し、試料106をy方向に移動する。ローテーションテーブル166はウォームホィール167aが取り付けられ、玉軸受168によってyテーブル153に回転自在に結合されている。ウォームギヤ167bは両端を玉軸受169,170で支持され、軸受ハウジング171,172でyテーブル153に取り付けられている。ウォームギヤ167bはDCモータ173によって回転させる。ローテーションテーブル166にはDCモータ173を回してウォームギヤ167b,ウォームホィール167aを回転させることにより回転し、試料106を回転させる。試料106は試料ホルダ107に接着され、試料ホルダ107はローテーションテーブル166に取り付けられたホルダ台108に挿入,固定されている。図7に示すように、xパルスモータ141はステージケース114に設けられた電流導入端子図示せずを介して大気中に設置されたxパルスモータ電源181に、yパルスモータ161も同様にyパルスモータ電源182にそれぞれ接続されている。電源からパルスモータへと供給される試料移動時と停止時の電流を同じか、差が20以下になるように設定する。移動時と停止時の電流変化を小さくすることにより、モータの温度変化が小さくなるため、試料ステージのモータからの熱による温度変化が無くなり試料ドリフトが低減できる。本実施例では、微動時と停止時の電流を同じに設定したが、試料ドリフトが小さくなるようにモータ電源の供給電流を設定してあればよく、この範囲に限定されるものではない。発明者らの実験によれば、ドリフト測定として、ある場所で目標物を走査型電子顕微鏡の画面中心付近に移動させる。その場所からx座標,y座標共に40mmずつ移動、移動完了後すぐに元の目標物のあった座標に戻るために逆方向に再び40mmずつ移動させる。移動完了後に目標物のドリフトを測定する。パルスモータの試料移動時と停止時で供給電流の差が50異なる状態と電流が同じ状態の試料ドリフトを比較して、本実施例に従い供給電流を同じにすることにより2/5まで軽減できることが確認できた。実施例2実施例1と同様の構成の試料ステージにおいて、xテーブル133の上にyテーブル153が取り付けられているため、xパルスモータ141と比べてyパルスモータ161の方がモータの回転トルクが少なくてもyテーブル153を同じ応答性で移動することができる。このため、yパルスモータ電源182からyパルスモータ161への供給電流をxパルスモータ電源181からの電流と比較して小さくすることができる。発明者らの実験では、yパルスモータ電源182の設定をxパルスモータ電源181の設定と比較して同じか2/3まで低くしても動きに問題ないことがわかっているが、トルクにあわせてxとyのパルスモータ電源の電流設定を変更してもよく、2つの電源の設定に差があれば、この範囲に限定されるものではない。本実施例では実施例1と同様の移動を行った後の試料ドリフトが、yパルスモータ電源の設定をxパルスモータ電源の2/3とし、微動時と停止時の電流を同じにして実施することで、電源設定を同じで移動時と停止時の電流が異なる状態で温度変化が起こる場合と比べて、1/3まで軽減できることが確認できた。実施例3実施例1と同様の構成の試料ステージであるが、xパルスモータ141の部分に図8に示すようにx加熱装置183を、yパルスモータ161の部分に図9に示すようにy加熱装置184をそれぞれ具備した試料ステージを用いた。本実施例では、パルスモータ電源181と182の微動時に対する停止時の供給電流を50に設定し、試料移動時と停止時のパルスモータ141と161からの発熱量変化を吸収するように加熱装置を用いて温度変化を吸収するように、加熱装置183と184には5Wのヒータを用いた。供給電流の移動時と停止時の差の設定や、加熱装置の発熱量は温度変化に合わせて設置してもよく、加熱装置が具備してあれば能力を限定するものではない。発明者らの実験によれば、観察のために停止した直後から加熱装置による発熱を開始するようにして実験を行ったところ、本実施例に従うことで2/5まで軽減できることが確認できた。実施例4図10に示すように、実施例3と同様の構成の試料ステージであるが、加熱装置183のみ20Wのヒータに変更し、加熱装置184は取り外した構成である。試料室部に温度変化を検出する温度計185を具備した構成である。本実施例では、温度計185にはクロメル-アルメル熱電対を用いたが、温度を検出できる機能を設けてあれば温度計の材質や方式を限定するものではない。また、加熱装置としてxパルスモータ部分に加熱装置183を設けたが、設置位置をモータ部分に限定するものではなく、xテーブル133,yテーブル153,チルトテーブル120,Zテーブル115、など試料ステージに取り付けられていてもよく、温度検出できる機能を設け、試料ステージに取り付けた加熱装置の部位を特定するものではない。発明者らの実験によれば、温度計185の温度Tの変化に対して加熱装置の出力PがP=002×2なる関係式に従い変化するよう設定することで温度ドリフトを低減できることを確認したが、出力Pと温度Tの関係式は加熱装置の設置位置や能力によるため、この式に限定するものではなく、温度変化に合わせて試料ドリフトを低減する構造であればよい。発明者らの実験によれば、本実施例を用いない場合と比べて、試料室部の温度変化による試料ドリフトを1/5に低減できることが確認できた。その他、本発明の実施の形態として上述した試料ステージの温度をコントロールして観察時の試料ドリフトを低減する方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施しうる全ての試料ステージも、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。"