"75~95mol、好ましくは85~95molの純度で、絶対圧5barabs以下、好ましくは25barabs以下の気体酸素を生産するために空気の深冷蒸留のためのプロセスであって、x補助カラム5、中圧カラム3及び低圧カラム7を含む3つのカラムを有し、xi第1のデフレグメータによって完全にまたは一部が熱的に前記低圧カラムに接続された前記中圧カラムと、xii前記中圧カラムに送られる空気と、xiii前記低圧カラムの頂部および任意に前記中圧カラムの頂部へ前記補助カラムから送られる缶出物液体と、xiv中圧カラムから補助カラムの底部へ送られたオーバヘッドガスと、xv低圧カラムの頂部に送られる補助カラムからの缶出物液体と、xvi低圧カラムの頂部で取り出されたガスと、xvii75~95molの酸素を含んだ流れは、低圧カラムから缶出物として取り出され、xviii交換器によって低圧カラムと部分的に熱的に接続される前記補助カラムと、を備え、前記補助カラムは高圧カラムであって、前記オーバヘッドガスは中圧カラムから高圧カラムの頂部にコンプレッサを介して送られ、前記中圧カラムは前記低圧カラムの中部に完全にまたは部分的に前記第1のデフレグメータによって熱的に結合され、前記高圧カラムは前記低圧カラムの底部と完全にまたは部分的に第2のデフレグメータによって熱的に結合されることを特徴とする深冷蒸留のためのプロセス。前記第1のデフレグメータは、前記第2のデフレグメータが熱交換するところの上で前記低圧カラム7領域と熱交換する、請求項1に記載されているプロセス。前記中圧カラム3からの前記オーバヘッドガスは、前記高圧カラム5に送られる前に冷間過給機17において少なくとも部分的に圧縮される、請求項1または2に記載されているプロセス。前記冷間圧縮ガスは、高圧カラム5の唯一の供給を構成する、請求項3に記載されているプロセス。前記高圧カラム5は、全還流で運転される、上述の請求項の1つに記載されているプロセス。前記中圧カラム3からの前記缶出物液体は、前記高圧カラム5の頂部および/または前記低圧カラム7の中部、好ましくは、熱カップリング領域の上に送られる、上述の請求項の1つに記載されているプロセス。補助カラム5と、中圧カラム3及び低圧カラム7と、前記低圧カラムと前記高圧カラムの間の熱交換を確実にする第1のデフレグメータと、前記中圧カラムと前記低圧カラムの間の熱交換を確実にする第2のデフレグメータと、前記中圧カラムに供給する空気ラインと、前記中圧カラムの頂部と前記高圧カラムの底部を接続するライン11,15と、前記中圧カラム及び前記コンプレッサの間に接続される非再加熱手段と、前記低圧カラムの頂部および任意に前記中圧カラムの頂部へ前記高圧カラムから缶出物液体を送るためのラインと、前記中圧カラムから低圧カラムの中間領域に缶出物液体を送るためのラインと、前記低圧カラムからオーバヘッドガスを取り出すためのライン29と、前記低圧カラムから缶出物液体を取り出すためのラインと、を含む熱伝導蒸留ユニットであって、前記補助カラムは高圧カラムであって、コンプレッサ17は前記中圧カラムの頂部及び前記高圧カラムの底部を接続し、前記第1のデフレグメータは前記低圧カラムの底部と高圧カラムの間の熱交換を確実にし、前記第2のデフレグメータは前記中圧カラムと前記低圧カラムの上側領域との間の熱交換を確実にする、ことを特徴とする熱伝導蒸留ユニット。前記低圧カラムの底部に接続されたポンプ25を含む、請求項7に記載されたユニット。空気で前記高圧カラムを満たす手段を持たない、請求項7または8に記載されたユニット。前記高圧カラム5の頂部から窒素富化ガスを取り出すためのライン19を備える、請求項7,8または9に記載されたユニット。前記カラムは、蒸留塔である、請求項7から10のいずれか1つに記載されたユニット。"