標本の共役位置近傍に配置され、光源からの光束を複数の光束に分割するとともに回転可能に配置された光束分割手段を含み、前記複数の光束を標本面近傍で干渉させることにより空間変調した照明光を照射する照明光学系と、前記標本から発生する回折光を、撮像装置の撮像面上に結像させる結像光学系と、前記空間変調された照明光の位相を変化させる度に、前記撮像装置により撮像された複数の画像を演算処理することにより標本像を生成する画像処理装置と、を備えた構造化照明顕微鏡装置であって、前記光源と前記光束分割手段との間に配置され、前記光源からの光の偏光方向に対して速い軸の方向が相対的に固定された第1の14波長板と、前記第1の14波長板と前記光束分割手段との間に配置され、前記光束分割手段の回転軸と同軸で、かつ、同一回転角で回転できるように配置された第2の14波長板とを有する構造化照明顕微鏡装置。標本の共役位置近傍に配置され、光源からの光束を光軸の周りで分割方向が異なる複数群の光束に分割する光束分割手段、及び前記複数群の光束から、任意の1群の光束のみを選択して透過させる光束選択素子を有し、かつ、前記1群の光束に含まれる複数の光束を標本面近傍で干渉させることにより空間変調した照明光を照射する照明光学系と、前記標本から発生する回折光を、撮像装置の撮像面上に結像させる結像光学系と、前記空間変調された照明光の位相を変化させる度に、前記撮像装置により撮像された複数画像を演算処理することにより標本像を生成する画像処理装置と、を備えた構造化照明顕微鏡装置であって、前記光源と前記光束分割手段との間に配置され、前記光源からの光の偏光方向に対して速い軸の方向が相対的に固定された第1の14波長板と、前記光束分割手段と前記光束選択素子の間に配置され、前記光束選択素子に対して、前記光軸に対する回転角度が相対的に固定された第2の14波長板とを有する構造化照明顕微鏡装置。前記第1の14波長板は、入射する前記照明光の偏光方向に対して、速い軸の方向が45°±57°とされている請求項1又は請求項2に記載の構造化照明顕微鏡装置。前記第2の14波長板の速い軸の方向は、前記光束分割手段の刻線の方向に対して-45°±57°とされている請求項1又は請求項2に記載の構造化照明顕微鏡装置。前記第2の14波長板の直後に、前記光束分割手段の刻線の向きに平行な透過偏光方向を有する偏光板を有する請求項1又は請求項2に記載の構造化照明顕微鏡装置。前記第2の1/4波長板の後であって、前記光束選択素子前又は後に、前記光束選択素子と光軸に対する回転角度が相対的に固定された、光軸のまわりに回転可能な偏光板を有する請求項2に記載の構造化照明顕微鏡装置。前記第1の14波長板、第2の14波長板を透過した常光線と異常光線の位相差が、それぞれ90°±5°以内である請求項1又は請求項2に記載の構造化照明顕微鏡装置。第1の構造化照明方向がθ1であり、前記第1の14波長板が発生する位相差の90度14波長からの差がφ1であるとき、前記第2の14波長板が発生する位相差の90度14波長からの差をφ2とすると、020φ1×sin≦φ2≦030φ1×sinの関係が成り立つ請求項1又は請求項2に記載の構造化照明顕微鏡装置。標本の共役位置近傍に配置され、光源からの光束を複数の光束に分割するとともに回転可能に配置された光束分割手段を含み、前記複数の光束を標本面近傍で干渉させることにより空間変調した照明光を照射する照明光学系であって、前記光源と前記光束分割手段との間に配置され、前記光源からの光の偏光方向に対して速い軸の方向が相対的に固定された第1の14波長板と、前記第1の14波長板と前記光束分割手段との間に配置され、前記光束分割手段の回転軸と同軸で、かつ、同一回転角で回転できるように配置された第2の14波長板とを有する照明光学系。標本の共役位置近傍に配置され、前記光源からの光束を光軸の周りで分割方向が異なる複数群の光束に分割する光束分割手段、及び前記複数群の光束から、任意の1群の光束のみを選択して透過させる光束選択素子を含み、前記1群の光束に含まれる複数の光束を標本面近傍で干渉させることにより空間変調した照明光を照射する照明光学系であって、前記光源と前記光束分割手段との間に配置され、前記光源からの光の偏光方向に対して速い軸の方向が相対的に固定された第1の14波長板と、前記光束分割手段と前記光束選択素子の間に配置され、前記光束選択素子に対して、前記光軸に対する回転角度が相対的に固定された第2の14波長板とを有する照明光学系。前記第1の14波長板は、入射する前記照明光の偏光方向に対して、速い軸の方向が45°±57°とされている請求項9又は請求項10に記載の照明光学系。前記第2の14波長板の速い軸の方向は、前記光束分割手段の刻線の方向に対して-45°±57°とされている請求項9又は請求項10に記載の照明光学系。前記第2の14波長板の直後に、前記光束分割手段の刻線の向きに平行な透過偏光方向を有する偏光板を有する請求項9又は請求項10に記載の照明光学系。前記第2の1/4波長板の後であって、前記光束選択素子前又は後に、前記光束選択素子と光軸に対する回転角度が相対的に固定された、光軸のまわりに回転可能な偏光板を有する請求項10に記載の照明光学系。前記第1の14波長板、第2の14波長板を透過した常光線と異常光線の位相差が、それぞれ90°±5°以内である請求項9又は請求項10に記載の照明光学系。第1の構造化照明方向がθ1であり、前記第1の14波長板が発生する位相差の90度14波長からの差がφ1であるとき、前記第2の14波長板が発生する位相差の90度14波長からの差をφ2とすると、020φ1×sin≦φ2≦030φ1×sinの関係が成り立つ請求項9又は請求項10に記載の照明光学系。前記照明光学系は、対物レンズを有し、前記対物レンズの瞳近傍に位相部材が配置された請求項9記載の照明光学系。前記光束分割手段は所定の方向に並進移動可能に構成されてなる請求項10記載の照明光学系。以下、本発明の実施例について図を用いて説明するが、この説明は発明の範囲を制限するものではない。図1は、本発明の第1の実施例である構造化照明顕微鏡装置の光学系の概要を示す図である。可干渉な光源LSからの光は光ファイバ1にて導かれ、コレクタレンズ2によって平行光に変換される。光ファイバ1の出射端からの照明光は、その偏光方向に対して速い軸を45度傾けて固定された14波長板51第1の14波長板を通過する。ここで、14波長板の速い軸とは、偏光している光が、14波長板を通過した場合に位相遅れが最も小さくなるときの偏光の方向をいう。その結果、照明光はほぼ円偏光となる。なお、速い軸の傾きは正確に45°でなくても±57°程度の誤差は許される。この許容誤差は、強度変化1に対応する。この円偏光は、回折格子3に固定され、回折格子3と共に回転することのできる14波長板52第2の14波長板を通過し、直線偏光となる。この14波長板52の速い軸の方向を、回折格子3の刻線の方向に対して-45度となるように決めれば、回折格子の回折方向に対してS偏光となる直線偏光に変換することができる。なお、速い軸の方向は正確に45°でなくても±57°程度の誤差は許される。このようにしてほぼ完全なS偏光が得られるが、残されたP偏光をさらに除去したい場合には、回折格子3の刻線の向きに平行な透過偏光方向を持つ偏光板53を設けるとよい。光源としては、照明光が可干渉光であることが必要なため、レーザーが利用される。そのため、特にスクランブリングなどを行わない光ファイバ1の出射端での偏光状態はほぼ直線偏光であるが、14波長板51、52の角度誤差、位相誤差によるわずかに残ったP偏光成分を除去するために偏光板53に通すことが望ましい。本実施例では、光ファイバ1として、偏波面保存のシングルモードファイバを用いている。回折格子3は光束分割手段としての役割を果たしている。光分割手段としては、光の可干渉性を阻害するものでなければ、プリズム等の他の光学素子も使用できる。なお、本実施例においては、回折格子3を回転させることによって、発生する回折光の長さ方向の向きを変えることができる。レンズ4とレンズ7により、回折格子3の像が標本共役面に形成されるようにし、回折格子3の像が形成される位置に視野絞り8を設ける。又、レンズ4により、対物レンズ12の瞳共役面を形成して各次数の光を収束させ、その近傍に位相板5及び遮光板6を配置する。回折格子3は図1の紙面の垂直方向に1次元の周期構造を持っている。周期構造は濃度透過率で構造をつけても、段差位相差で構造を持たせても良いが、位相差で構造を持たせた方が±1次光の回折効率が高いので好ましい。なお、この実施例においては、照明光として±1次回折光のみを使用しており、0次回折光及び2次以上の回折光は遮光板6によりカットされるようになっている。従って実線で示される0次回折光は、実際には遮光板6より後側では存在しないが、図1においては、光線の進路を分かりやすくするため、光軸のみ便宜上図示している。対物レンズ12の瞳共役面近傍に配置された位相板5は、入射する光束±1次光の一方あるいは両方に適当な位相の遅れが生じるような透明基板の厚みとなっているか、または膜厚を制御した薄膜を蒸着してある。これにより、1次光と-1次光の間に位相差が発生する。視野絞り8を透過した光は、フィールドレンズ9により、平行光に変換されて、励起フィルタ10、ダイクロイックミラー11を経て、対物レンズ12の瞳面P上に各回折次数ごとに集光する。各光束が対物レンズ12から射出する際には、平行光束となって標本13面を照射する。このとき各光束は可干渉であるため等間隔の干渉縞の構造をもって標本13面を照射する。この、縞構造を持った照明光を構造化照明光と呼び、こうした照明方法を構造化照明と呼ぶ。この構造化照明光で標本13を照明すると、照明光の周期構造と標本13の周期構造が干渉してモアレ干渉縞を生成するが、そのモアレ干渉縞は標本の高周波の形状情報を含んでいながら、もとの周波数より低周波であるため、対物レンズ12に入射することができる。標本13の表面から発生したこの光蛍光は、対物レンズ12で平行光に変換された後、ダイクロイックミラー11とバリアフィルタ14を透過して、第2対物レンズ15によってCCDカメラなどの撮像手段21の撮像面16上に標本像を形成する。この標本像を画像記憶演算装置22によって取得する。取得画像は、先にも述べたように変調された照明光で照明された結果の画像であるから、画像記憶演算装置22によって公知の画像演算手段により画像処理され逆の変調をかけて復元することで標本像を得て、画像表示装置23に標本の超解像画像を表示することができる。画像処理で元画像を復元する際には、同じ標本に対して、照明の干渉縞の位相を3回以上変調させて撮影するとよい。それは、変調画像には標本の周波数成分が構造化照明によって回折された情報のうち0次成分、1次成分、-1次成分の3つの未知のパラメータがあるからで、演算処理で未知数を求めるためには、未知数の数以上の情報が必要になるからである。このような撮像、演算復元、可視化技術は従来の構造化照明顕微鏡装置において周知のものであり、本発明と直接の関係がないのでその説明を省略する。本実施例の場合は、位相板5を回転することにより位相変調を行っているが、回折格子3をその回折の生じる方向に並進駆動して位相変調を行ってもよい。その場合位相板5は不要である。図2は、この実施例における各光学素子の軸の方向と、光束の偏光状態を示す図である。図2において、○で囲まれたものは光束を示し、その中の矢印は偏光の方向を示す。□で囲まれたものは光学素子を示し、その中の矢印は軸方向を示す。光ファイバ1射出時の偏光は、第1の14波長板51を通すことによって、前述のように円偏光とされる。14波長板51の速い軸と書かれているものは、前述のように、偏光している光が、14波長板を通過した場合に位相遅れが最も小さくなるときの偏光の方向をいう。14波長板52の速い軸と書かれているものも同様である。光ファイバ1射出時の偏光の方向と第1の14波長板51の速い軸の方向とは、前述のように、光ファイバ1射出時の偏光方向に対して、第1の14波長板51の速い軸が45度傾けられている。第2の14波長板52に入射した円偏光はS偏光である直線偏光に変換される。前述のように、この14波長板52の速い軸の方向は、回折格子3の刻線の方向に対して-45度となるようにされている。偏光板53の軸は、S偏光を透過させる方向とされている。直線偏光となった光は、偏光板53により、僅かに残存するP偏光を除去されるが、偏光板53は、必ずしも必要がない。偏光板53を透過した光は、回折格子3により、回折光に分割される。ところで、14波長板51、及び14波長板52は、光源の波長が変化すると位相差が本来の14波長板からずれた波長特性を持つようになるため、光源の波長に応じたものを利用することが望ましいが、広い波長に対して14波長に対する位相変化量が小さな広帯域波長板を利用してもよい。その場合でも、常光線と異常光線の位相差が90度±5度14波長±172波長以内となるようにすべきである。その理由を図3を用いて説明する。図3は、横軸単位は°に14波長板52によって形成される位相差の90度からの差をとり、14波長板51によって形成される位相差の90度からの差のいくつかに対して、そこから直線偏光を取り出したときの光強度がどのように変化するかをプロットしたものである。図中の線が、14波長板51によって形成される位相差の90度からの差単位は°を示す。図3を見ると、いずれの14波長板においても、90度からの差が大きくなるにつれて光強度は小さくなるが、両方の14波長板において位相誤差を5°以内とすることで、直線偏光を取り出した際の光強度変化を1以内とすることができることがわかる。従って、直線偏光を取り出した際の光強度変化を1以内とするためには、いずれの位相板においても、それらを透過した常光線と異常光線の位相誤差が±5°以内であるようにすればよい。しかしながら、直線偏光を取り出した際の光強度変化は、小さければ小さいほど好ましい。そこで、シミュレーションにより、直線偏光を取り出した際の光強度変化を最低にする、2つの14波長板の位相の関係を求めた。その結果を図4を用いて説明する。図4において、横軸は構造化照明の第1の方向構造化照明顕微鏡装置においては、一般に多方向からの構造化照明を行うが、その最初の方向θ1単位は°を示し、図中の各線は第1の14波長板51の位相差の90度からの差ずれφ1単位は°に対応している。縦軸は、第2の14波長板53の位相差の90度からの差ずれφ2単位は°を示している。各線は、それぞれのパラメータを変化させたとき、直線偏光を取り出した際の照明光強度低下を最低にする各パラメータの関係の軌跡を示している。例えば、第1の構造化照明方向θ1が45°であるとき、φ1=10°とすると、φ2=-25°とすれば、直線偏光を取り出した際の光強度変化を最低にできる。同様、第1の構造化照明方向θ1が35°であるとき、φ1=6°とすると、φ2=-007°とすれば、直線偏光を取り出した際の光強度変化を最低にできる。このようなグラフから回帰式によりθ1、φ1、φ2の関係式を作ると、φ2=025φ1×sinが得られる。最適値からのずれを多少許すとすると、020φ1×sin≦φ2≦030φ1×sin...1が成り立つようにθ1、φ1、φ2の関係を定めればよい。これにより、直線偏光を取り出した際の光強度変化は、05以内に抑えられる。1式のようなφ1とφ2の関係を実現させるためには、広帯域波長板を使用するとよい。図5に広帯域波長板色消し波長板の特性の例を示す。横軸は波長単位はnmであり、縦軸は位相差を示す。図5を見ると分かるように、色消し波長板は一般に位相差が最大となる波長よりも短波長側で波長に対する位相差の傾きが大きく、長波長側で緩やかとなっている。よって、図6に示すように、設計波長の異なる2枚の14波長板を製造し、図6における縦軸と横軸の単位は図5と同じである、波長板1太線の特性を波長板51、波長板2細線の特性を波長板52として使用すれば、波長がほぼ460nm~560nmの間において、1式に近い関係を持たせることが容易である。よって、1式に近い関係を満足させるような広帯域波長板を製造して、組み合わせて使用すれば、広い波長帯域において、構造化照明光の明るさの減衰を防止することができる。図7は、本発明の第2の実施例である構造化照明顕微鏡装置の光学系の概要を示す図である。第2の実施例は、第1の実施例とは、回折格子3、103の構造と、14波長板52、152の位置、および光束選択素子106が用いられていることが異なるのみであるので、第1の実施例を示す図1に示された構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付し、作用が同じ部分についてはその説明を省略することがある。第2の実施例は、第1の実施例の回折格子3の代わりに、図8aに示すような構造を持つ回折格子103を使用する。これは互いに60度ずつ向きを変えた3方向の周期構造を持っていて、三角柱が凹凸に並んだ格好をしている。図の白い三角形を凹部とすれば、黒い三角形は凸部である。この三角形の頂角は正確に60度でなくてもよいが、概ね60度である方が好ましい。そして、この回折格子103によって生じた0次光と±1次光とが、図7においてレンズ4を介して瞳共役位置でそれぞれ集光する様子を表したのが図8bである。図8bの110は0次回折光集光部を、111a~111fは±1次光集光部を表している。第2の実施例では、前述の第1の実施例の遮光板6の代わりに図9に示すような構造を持つ光束選択素子106を使用している。光束選択素子106はその中心106aを回転中心として回転する機構を有する。領域106bと106cは中空あるいは透過率の高いガラス等で素通しになっている。光束選択素子106が回転する毎に、図8bに示す111aと111d、111bと111e、111cと111fの対の光束のうち、1対の光束のみが領域106bと106cを、それぞれ透過し、これらの対以外の光束は遮光部で遮断される。光束選択素子106は、図7に示す回転ステージ142によって回転させることにより、回折格子103で生じた3組の±1次光のうち1組ずつを選択して透過させ、構造化照明に使用することができる。こうして選択された7光束のレンズ7以降のふるまいは、第1の実施例と全く同じである。なお、0次回折光は光束選択素子106で遮蔽され、それ以後には存在しないが、光線の進行を分かりやすくするために図示してあるのは図1と同じである。そして領域106bと106cが光束を選択するタイミングと、撮像手段の画像取り込みタイミングを同期させれば、光束選択素子106は一旦停止をせず、一定速度で連続的に回転させることができる。例えば、図9に示すごとく、光束選択素子の外周部の形状を領域106b、106cと対応させておき、タイミングセンサでエッジ検出をするタイミングを測る方法がある。第1の実施例では、回折格子3を一定角度回転させた後、停止して画像取得を行うため、静定に時間がかかる場合があるが、第2の実施例では連続回転が可能なため、画像取得が高速に行える利点がある。次に第2の実施例の偏光制御について、図7と図10を用いて説明する。図10は、第1の実施例おける図2に対応した図であり、各光学素子の軸の方向と、光束の偏光状態を示す図である。光ファイバ1の出射端からの照明光はその偏光方向に対して、速い軸を45傾けて固定された1/4波長板151を通過するとほぼ円偏光となる。本実施例では、照明光を円偏光のまま回折格子103に入射させる。すると照明光はそれぞれ円偏光のまま回折作用を受ける。そして第2の1/4波長板152は、その速い軸を、選択する2光束がS偏光となる偏光方向に対して-45傾けた状態で、前述の光束選択素子106と一体で回転するよう配置する。そうすることで、常に選択する2光束がS偏光となるような直線偏光に変換することができる。第2の実施例の位相変調は、図7のアクチュエータ141で行う。アクチュエータ141は図11に示すように、回折格子103を1軸図ではx方向に並進駆動する。図11bは格子線方向と駆動方向の拡大図である。格子の周期ピッチをpとし、格子線の駆動方向に対する角度をそれぞれθ1、θ2、θ3とすると、駆動方向の換算ピッチp1、p2、p3はそれぞれ、p1p/cosθ1p2p/cosθ2p3p/cosθ3である。したがって、画像処理に必要な位相変調はそれぞれの方向について、換算ピッチの1/3ずつまたはその整数倍駆動すればよい。本実施例では、偏光板を使用していないが、最終的な直線偏光度をより高めるために、第1の実施例と同様に偏光板を追加することもできる。その場合は第2の1/4波長板152の後であって、光束選択素子106の前又は後に配置して、光束選択素子106と一体で回転するようにするか、あるいは光ファイバ1の出射端直後に配置することができる。偏光板の偏光方向は、前者の場合の2光束がS偏光となる方向であり、後者の場合は光ファイバ1の偏光方向と平行な方向である。以上説明したように、ノイズとしてのP偏光を除去する目的のためにオプションとして使用する場合は別として、本発明においては、構造化照明光を形成するのに偏光板を使用していないので、光源からの光のほとんどをS偏光の構造化照明光として使用することができ、光の使用効率を高くすることができる。