真空チャンバ内で処理対象物に対して所定処理を施す真空処理装置において、真空チャンバの壁面に覗き窓が設けられ、この覗き窓が、内部に導線が埋め込まれた透光性板材を備え、透光性板材の中心からその周囲に向かう方向を径方向とし、この透光性板材の中心と、当該中心から径方向の距離が最短となる透光性板材の周囲までの距離の中点とを結ぶ線を半径とする仮想円領域内で透光性板材の中央領域を除く領域に、前記導線が蛇行させて配置され、その自由端を透光性板材外表面に延出させてなることを特徴とする真空処理装置。前記透光性板材は、2枚の石英製の板材を、導線を埋め込んだ状態で溶着して構成され、前記導線が、Pt、Au、W及びMoの中から選択された材料製であることを特徴とする請求項1記載の真空処理装置。本発明は、以上の点に鑑み、内部で行われる処理の状況を把握するといった機能は損なわれることなく、真空雰囲気に接する覗き窓表面を効果的に加熱して生成ガスの付着、堆積を効果的に抑制できるようにした低コストの真空処理装置を提供することをその課題とするものである。上記課題を解決するために、本発明は、真空チャンバ内で処理対象物に対して所定処理を施す真空処理装置において、真空チャンバの壁面に覗き窓が設けられ、この覗き窓が、内部に導線が埋め込まれた透光性板材を備え、透光性板材の中心からその周囲に向かう方向を径方向とし、この透光性板材の中心と、当該中心から径方向の距離が最短となる透光性板材の周囲までの距離の中点とを結ぶ線を半径とする仮想円領域内で透光性板材の中央領域を除く領域に、前記導線が蛇行させて配置され、その自由端を透光性板材外表面に延出させてなることを特徴とする。本発明によれば、覗き窓のうち、内部で行われる処理の状況を把握するために必要な中央領域の周囲に電線をその略全周に亘るように蛇行して内蔵し、これに直流電流を通電して加熱する構成を採用したため、真空チャンバへの熱引けが抑制され、少ない通電電流で覗き窓のうち真空雰囲気に接する表面であってその中央領域を効果的に所定温度200°C以上まで昇温することができる。これにより、真空処理装置内で行われる処理に応じて覗き窓への生成ガスの付着、堆積を効果的に抑制できる。しかも、この中央領域には配線がないため、内部で行われる処理の状況を把握するといった機能は損なわれない。ここで、本発明にいう中央領域とは、例えば、当該中央領域を通したプラズマ終点検知、温度測定や目視確認等、内部で行われる処理の状況を把握するために必要な領域をいい、目的に応じてその面積が設定される。前記透光性板材は、2枚の石英製の板材を、導線を埋め込んだ状態で溶着して構成され、前記導線が、Pt、Au、W及びMoの中から選択された材料製であることが好ましい。これにより、内部の所定領域に導線が埋め込まれた覗き窓を実現できる。この場合、導線をPt、Au、W及びMoの中から選択されたものとしたため、熱電伝導がよく、しかも、2枚の石英製の板材を、導線を埋め込んだ状態で溶着する際に導線が破損する等の不具合も生じない。以下、図面を参照して、真空処理装置をICP型ドライエッチング装置とした場合を例に本発明の実施形態を説明する。図1は本実施形態のドライエッチング装置EMを示す、ドライエッチング装置EMは、真空雰囲気を形成可能な真空チャンバ1を備える。真空チャンバ1の天板11は、石英やセラミックスなどの誘電体材料で形成され、天板11上方には、径の異なる2本のアンテナコイル2a、2bが同心に配置されている。導電率が高い金属製のアンテナコイル2a、2bにはマッチングボックス3aを介して第1の高周波電源3が接続されている。真空チャンバ1の底板上にはシリコンウエハ等の処理対象物Sが保持される基板ステージ4が設けられている。この場合、基板ステージ4上面には、図示省略の基板電極が設けられ、ブロッキングコンデンサ5aを介して第2の高周波電源5に接続され、エッチング中、処理対象物Sに対して所定のバイアス電位を印加できる。真空チャンバ1の底板にはまた、複数の排気口12が開設され、各排気口12には、図示省略したターボ分子ポンプやロータリーポンプ等からなる真空排気手段に通じる排気管6が接続されている。真空チャンバ1の側壁には、マスフローコントローラ4aが介設されたガス導入管4が接続され、処理対象物Sに応じて所定のエッチングガス例えば、CF4等のフッ素系ガスが一定の流量で真空チャンバ1内に導入できるようになっている。真空チャンバ1の側壁にはまた、透孔13が開設され、覗き窓8が気密保持した状態で取り付けられている。覗き窓8は、図2及び図3に示すように、内部に導線Wが埋め込まれた透光性部材81とこの透光性部材81を保持する真空フランジ82とを備える。透光性部材81は、同一の輪郭を備えた2枚の板材81a、81bを、気密保持されるように相互に溶着により接合して構成される。本実施形態では、両板材81a、81bは石英製でかつ平面視円形である。一方の板材81aのうち他方の板材81bとの接合面片面には、板材81aの中心Cpと、当該板材81aの半径の中点Mpとを結ぶ線を半径Rvとする仮想円領域内で板材81aの中央領域を除く領域に、周方向略全体に亘るように蛇行させて所定形状の溝部811が形成されている。この場合、溝部811の両自由端が幅広となるように形成されている。ここで、溝部811の形状は、導線Wを収納できるものであれば、特に限定はなく、また、径方向外方に見た溝部811の数は、加熱温度または後述の配線の材質や径を考慮して適宜設定される。上記溝部811には所定径の導線Wが埋設される。この場合、溝部811の自由端に板状電極W1を埋設し、板状電極W1に導線Wの両自由端を接続している。この状態で、他の板材81bを重ね合わせて溶着される。板材81aの他面には板状電極W1に通じる孔図示せずが夫々穿設され、当該孔を通して接続ピンW2が板状電極W1に夫々接続する。この場合、接続ピンW2が板材81aの外側まで延出する導線Wの自由端を構成する。なお、板状電極W1や接続ピンW2を用いることなく、導線Wの自由端を直接板材81aの外側まで延びるようにしてもよい。そして、後述のように、透光性部材81を真空フランジ82に保持させた後、真空チャンバ1の壁面に取り付けるのに際しては、一方の板材81aが真空チャンバ1外側に配置され、一方の板材81aから外側に突出する両接続ピンW2には、AC電源が接続されて通電できるようになっている。上記により、透光性板材81の中心Cpと、中心Cpから半径の中点Mp径方向の距離が最短となる透光性板材の周囲までの距離の中点とを結ぶ線を半径Rvとする仮想円領域内で透光性板材81の中央領域を除く領域に、周方向略全長に亘って導線Wが蛇行させて配置される構成となる。透光性板材81の中心Cpから半径Rcの領域たる中央領域は、例えば、当該中央領域を通したプラズマ終点検知、温度測定や目視確認等、内部で行われる処理の状況を把握するために必要を確保できるように、目的に応じて適宜設定される。また、導線Wとしては、熱伝導の良く、しかも、板材81a、81b相互を溶着する際に特性が変化する等の不具合が生じ難いPt、Au、W及びMoの中から選択された材料製のものが用いられる。一方、真空フランジ82は、透光性部材81の輪郭より僅かに大きな径の中央開口82aを備えた金属製のものである。また、中央開口82aのうち、真空チャンバ1と背向する側の内縁部には、径方向内側に向かって延出する、透光性板材81用の保持部82bが形成されている。そして、真空チャンバ1の壁面平坦面に形成した環状溝1aに嵌合したOリング9に透光性板材81の外周縁部をその全面に亘って当接させ、この状態で、保持部82bにより透光性板材81の外周縁部がOリング9に押圧されるように、真空フランジ82に形成した複数の透孔82cを夫々挿通するボルトBにより真空フランジ82が取り付けられる。これにより、透光性板材81が真空チャンバ1の壁面に気密保持された状態で固定される。上記実施形態によれば、覗き窓8のうち、内部で行われる処理の状況を把握するために必要な中央領域の周囲に電線Wを周方向略全体に亘り配置し、これに直流電流を通電して加熱する構成を採用したため、真空チャンバ1への熱引けが抑制され、少ない通電電流で覗き窓8のうち真空雰囲気に接する表面であってその中央領域を効果的に所定温度200°C以上まで昇温することができる。これにより、ドライエッチング装置EMによりフッ素含有ガスにて処理対象物Sをエッチングする際に、生成ガスが覗き窓8に付着、堆積することを効果的に抑制できる。しかも、この中央領域には導線Wがないため、内部で行われる処理の状況を把握するといった機能は損なわれない。次に、以上の効果を確認するために、図1に示すドライエッチング装置EMを用いて次の実験を行った。この場合、透光性板材81として、石英製でφ66mm、板厚9mmと1mmの2枚の板材を用い、径方向7.5mm~15.5mmの範囲に、全長430mmのPt製の導線を周方向全体に跨るように蛇行させて配置したものとした。そして、ドライエッチング装置EMを所定圧力10-5Paまで真空引きした後、AC電源より電圧30.1V、電流0.74Aの条件で通電し、透光性板材81の中央領域うち真空雰囲気に接する表面を熱電対にて温度測定したところ、約200°Cに加熱されることが確認された。比較実験として、透光性板材として、石英製でφ66mm、板厚10mmの板材を用い、これを真空チャンバ1に取り付け、透光性板材の外表面に、電熱ヒータを設けて加熱することとした。この場合、AC電源より電圧5.2V、電流6.7Aの条件で通電し、電熱ヒータの透光性板材の大気側温度を200°Cまで加熱した。このとき、透光性板材の中央領域うち真空雰囲気に接する表面を熱電対にて温度測定したところ、146°Cであり、200°Cにまで加熱するには、AC電源より電圧6.1V、電流7.9A以上の条件で通電する必要があることが確認された。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態では、真空処理装置としてドライエッチング装置に適用したものを例に説明したが、内部で行われる処理に応じて覗き窓に何らかの生成物が付着、堆積し、これを加熱することで抑制したり、または、除去できるものであれば、本発明の覗き窓は広く適用できる。また、上記実施形態では、石英製の2枚の板材を接合して透光性部材を構成したものを例に説明したが、導線を埋め込むことができるものであれば、その形態は特に問わず、また、導線Wを配置するパターン等も上記に限定されるものではない。例えば、インクジェット装置により、透光性部材81表面に直接電線を形成するようにしてもよい。更に、上記実施形態では、覗き窓の透光性部材81が円形の輪郭を有するものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、矩形等種々のものを用いることができる。この場合、透光性板材の中心からその周囲に向かう方向を径方向とし、この透光性板材の中心と、当該中心から径方向の距離が最短となる透光性板材の周囲までの距離の中点Mpとを結ぶ線を半径Rvとする仮想円領域内で中央領域を除く範囲に上記同様に導線を蛇行して配置すればよい。