"流体入口及び流体出口に連通する凹状の弁室の底面に合成樹脂製の弁座を設けたボディと、弁座の上方に配設され、弁室の気密を保持すると共に、その中央部が上下動して直接弁座へ当接するメタルダイヤフラムと、メタルダイヤフラムの上方に昇降自在に配設され、メタルダイヤフラムの中央部を上下動させるステムと、ステムを下降若しくは上昇させるアクチュエータと、前記ステムによるメタルダイヤフラム中央部の下降若しくは上昇距離を調整するバルブストローク調整機構と、メタルダイヤフラムの外周縁部の上方に配設され、弁室の底面との間でメタルダイヤフラムを気密状に挟圧すると共に、バルブ全閉時のステムの下降を規制する押えアダプタとから構成したダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁において、前記メタルダイヤフラムを複数枚のステンレス鋼薄板とニッケルコバルト合金薄板との積層体より成り且つ中央部を上方へ膨出させた円形の逆皿形とし、前記合成樹脂製の弁座を所定の温度で加熱ベーキングした後、前記バルブストローク調整機構により当該ダイヤフラム弁の最大バルブストロークΔSをメタルダイヤフラムの最大膨出高さΔhより小さな設定値に調整固定する構成としたことを特徴とするダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁のバルブストローク調整方法。加熱ベーキング温度を80°C~200°Cとするようにした請求項1に記載のダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁のバルブストローク調整方法。流体入口及び流体出口に連通する凹状の弁室の底面に合成樹脂製の弁座を設けたボディと、弁座の上方に配設され、弁室の気密を保持すると共に、その中央部が上下動して直接弁座へ当接するメタルダイヤフラムと、メタルダイヤフラムの上方に昇降自在に配設され、メタルダイヤフラムの中央部を上下動させるステムと、ステムを下降若しくは上昇させるアクチュエータと、前記ステムによるメタルダイヤフラム中央部の下降若しくは上昇距離を調整するバルブストローク調整機構と、メタルダイヤフラムの外周縁部の上方に配設され弁室の底面との間でメタルダイヤフラムを気密状に挟圧すると共に、バルブ全閉時のステムの下降を規制する押えアダプタとから構成したダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁において、前記メタルダイヤフラムを複数枚のステンレス鋼薄板とニッケルコバルト合金薄板との積層体より成り且つ中央部を上方へ膨出させた円形の逆皿形とし、前記合成樹脂製の弁座を所定の温度で加熱し且つ所定回数当該メタルダイヤフラム弁を開閉作動させた後、前記バルブストローク調整機構により、当該ダイヤフラム弁の最大バルブストロークΔSをメタルダイヤフラムの最大膨出高さΔhより小さな設定値に調整固定する構成としたことを特徴とするダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁のバルブストローク調整方法。加熱温度を200°Cとすると共に、開閉作動回数を少なくとも10.000回とするようにした請求項3に記載のダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁のバルブストローク調整方法。メタルダイヤフラムを、外径が15mmφで膨出曲率が66~65mm、又は外径が18~20mmφで膨出曲率が62~63mm若しくは外径が24~26mmφで膨出曲率が59~61mmのメタルダイヤフラムとするようにした請求項1又は請求項3に記載のダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁のバルブストローク調整方法。メタルダイヤフラムを3枚のステンレス鋼薄板と1枚のニッケルコバルト合金薄板の円形積層体とすると共に、その外径を24~26mmφに、最大膨出高さΔhを1.2~1.3mmに及び最大バルブストロークΔSを0.65~0.8mmにするようにした請求項1又は請求項3に記載のダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁のバルブストローク調整方法。バルブストローク調整機構を、弁室の上方に配設されてその下方部が弁室内へねじ込み固定されると共に内部にステムを上下動自在に収容するボンネットと、ボンネットの上壁へねじ込みすることによりアクチュエータをボンネットに固定すると共に、内部にアクチュエータの駆動軸を上下動自在に収納するのアクチュエータ支持用筒部と、前記アクチュエータ支持用筒部に螺着され、その締め込みにより前記ねじ込み長さを調整してボンネットへねじ込みしたアクチュエータ支持用筒部を固定するロックナットとから成るバルブストローク調整機構とした請求項1又は3に記載のダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁のバルブストローク調整方法。本発明は、従前のメタルダイヤフラム弁における上述の如き問題、即ち、イ.厚子層蒸着法等を処理プロセスに用いる半導体製造設備等にあっては、メタルダイヤフラム弁の開閉頻度が大幅に増加するため、従前の連続開閉動作回数で表した耐久性が100万~250万回程度のメタルダイヤフラム弁では、弁の取替え頻度が増加して、補修コストや補修の手数が増加すること及びロ.弁座形状の経年変化によりCv値が変化することになり、弁の流量特性が安定しないこと等の問題を解決せんとするものであり、従前と同一の構成のメタルダイヤフラム弁を用いて、弁の流量特性の低下を招くことなしに即ち、Cv値の大幅な低下を招くことなしに、連続開閉動作で表したバルブの耐久性を大幅に高めると共に、流量特性を安定化させてCv値の経年変化をより少なくすることを可能とした、ダイレクトタッチ型のメタルダイヤフラム弁を提供することを発明の主目的とするものである。本願発明者等は、メタルダイヤフラム弁の耐久性連続開閉動作回数がバルブストロークΔSと深い関係にあり、しかもバルブストロークΔSは流量係数CvCv値に直接関係するものであることに着目して、各種のメタルダイヤフラム弁について、耐久性とバルブストロークΔSと流量係数Cvとの相関関係の調査検討を、前記図8に示したCv値測定試験装置を用いて行った。後述する表1、図6、図7及び表2、表3、図9はその一例を示すものであり、当該各種の試験を通して、従前のメタルダイヤフラム弁に於いては、バルブストロークΔSが一定値を越えれば、Cv値の増加が飽和するため、所定のCv値を得るには、バルブストロークΔSをメタルダイヤフラム22の最大膨出高さΔhに相当するフルストロークΔSとする必要は無く、最大高さΔhの約55~70の寸法のバルブストロークΔSでもって、0.55~0.7を越えるCv値が得られることを知得した。本願発明は上記知見に基づいて創作されたものであり、請求項1の発明は、流体入口及び流体出口に連通する凹状の弁室の底面に合成樹脂製の弁座を設けたボディと、弁座の上方に配設され、弁室の気密を保持すると共に、その中央部が上下動して直接弁座へ当接するメタルダイヤフラムと、メタルダイヤフラムの上方に昇降自在に配設され、メタルダイヤフラムの中央部を上下動させるステムと、ステムを下降若しくは上昇させるアクチュエータと、前記ステムによるメタルダイヤフラム中央部の下降若しくは上昇距離を調整するバルブストローク調整機構と、メタルダイヤフラムの外周縁部の上方に配設され、弁室の底面との間でメタルダイヤフラムを気密状に挟圧すると共に、バルブ全閉時のステムの下降を規制する押えアダプタとから構成したダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁において、前記メタルダイヤフラムを複数枚のステンレス鋼薄板とニッケルコバルト合金薄板との積層体より成り且つ中央部を上方へ膨出させた円形の逆皿形とし、前記合成樹脂製の弁座を所定の温度で加熱ベーキングした後、前記バルブストローク調整機構により当該ダイヤフラム弁の最大バルブストロークΔSをメタルダイヤフラムの最大膨出高さΔhより小さな設定値に調整固定する構成としたことを発明の基本構成とするものである。請求項2の発明は、請求項1の発明において、加熱ベーキング温度を80°C~200°Cとするようにしたものである。請求項3の発明は、流体入口及び流体出口に連通する凹状の弁室の底面に合成樹脂製の弁座を設けたボディと、弁座の上方に配設され、弁室の気密を保持すると共に、その中央部が上下動して直接弁座へ当接するメタルダイヤフラムと、メタルダイヤフラムの上方に昇降自在に配設され、メタルダイヤフラムの中央部を上下動させるステムと、ステムを下降若しくは上昇させるアクチュエータと、前記ステムによるメタルダイヤフラム中央部の下降若しくは上昇距離を調整するバルブストローク調整機構と、メタルダイヤフラムの外周縁部の上方に配設され弁室の底面との間でメタルダイヤフラムを気密状に挟圧すると共に、バルブ全閉時のステムの下降を規制する押えアダプタとから構成したダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁において、前記メタルダイヤフラムを複数枚のステンレス鋼薄板とニッケルコバルト合金薄板との積層体より成り且つ中央部を上方へ膨出させた円形の逆皿形とし、前記合成樹脂製の弁座を所定の温度で加熱し且つ所定回数当該メタルダイヤフラム弁を開閉作動させた後、前記バルブストローク調整機構により、当該ダイヤフラム弁の最大バルブストロークΔSをメタルダイヤフラムの最大膨出高さΔhより小さな設定値に調整固定する構成としたことを発明の基本構成とするものである。請求項4の発明は、請求項3の発明において、加熱温度を200°Cとすると共に、開閉作動回数を少なくとも10.000回とするようにしたものである。請求項5の発明は、請求項1又は請求項3の発明において、メタルダイヤフラムを、外径が15mmφで膨出曲率が66~65mm、又は外径が18~20mmφで膨出曲率が62~63mm若しくは外径が24~26mmφで膨出曲率が59~61mmのメタルダイヤフラムとするようにしたものである。請求項6の発明は、請求項1又は請求項3の発明において、メタルダイヤフラムを3枚のステンレス鋼薄板と1枚のニッケルコバルト合金薄板の円形積層体とすると共に、その外径を24~26mmφに、最大膨出高さΔhを1.2~1.3mmに及び最大バルブストロークΔSを0.65~0.8mmにするようにしたものである。請求項7の発明は、請求項1又は請求項3の発明において、バルブストローク調整機構を、弁室の上方に配設されてその下方部が弁室内へねじ込み固定されると共に内部にステムを上下動自在に収容するボンネットと、ボンネットの上壁へねじ込みすることによりアクチュエータをボンネットに固定すると共に、内部にアクチュエータの駆動軸を上下動自在に収納するのアクチュエータ支持用筒部と、前記アクチュエータ支持用筒部に螺着され、その締め込みにより前記ねじ込み長さを調整してボンネットへねじ込みしたアクチュエータ支持用筒部を固定するロックナットとから成るバルブストローク調整機構としたものである。本発明においては、メタルダイヤフラムの最大膨出高さΔhを、バルブのフルストロークΔSとすることなしに、所望の流量係数Cvを得るのに最低限必要な最大膨出高さΔhの55~70の寸法距離を、最大バルブストロークΔSとするようにしているため、弁の開閉動作時にメタルダイヤフラムにかかる歪量や歪応力をより小さくできると同時に、必要とする所定の流量係数Cv値を完全に確保することができる。その結果、メタルダイヤフラム弁の耐久性を示す連続開閉動作の可能回数を従前の可能回数の約20~30倍に高めることが可能となる。また、本発明においては、ストローク調整機構を設けて、最大バルブストロークΔSをメタルダイヤフラムの最大膨出高さΔhより小さくすると共に、合成樹脂製の弁座を80°C~200°Cの温度下でベーキングしたあとバルブのフルストロークΔSを調整したり、或いは、弁の出荷前に200°Cの温度下で約3000~10000回の連続開閉動作を行って合成樹脂製弁座の馴らしを行ない、その形態をより安定化させてからバルブストロークΔSを調整するようにしている。その結果、所謂弁座の経時変化が大幅に減少することになり、これにより流量係数CvCv値もより安定した値となる。以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。図1は、本発明に係るダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁以下、メタルダイヤフラム弁と云うをNC常時閉鎖型とした場合の断面概要図である。また、図2及び図3は、図1のバルブにおいて、バルブストロークΔS=1.5mmとした場合のメタルダイヤフラムの閉弁時と開弁時の変形状態を示す拡大図である。更に、図4及び図5は、図1のバルブにおいて、バルブストロークΔSを0.7mmとした場合のメタルダイヤフラムの閉弁時と開弁時の変形状態を示す拡大図である。図1において、1はボディ、2はメタルダイヤフラム、3は押えアダプタ、4はボンネット、5はねじ部、6はスプリング、7はダイヤフラム押え、8はステム、9はアクチエータ、10は流体入口、11は流体出口、12は弁室、13は弁座、14は駆動軸、15はストローク調整機構、16は電磁弁、17は近接スイッチある。前記ボディ1はステンレス鋼により略十字状に形成されており、両側に流体入口10及び流体出口11が、上部に流体入口10及び流体出口11に連通する上方が開放された凹状の弁室12が形成されている。又、弁室12の底面には合成樹脂PFA、PA、PI、PCTFE等製の弁座13が嵌合固定されている。尚、本実施例では、所謂かしめ加工により弁座13が弁挿着溝内に固定されている。前記メタルダイヤフラム2は、弁座13の上方に配設されており、弁室12の気密を保持すると共に、その中央部が上下動して弁座13に当離座する。本実施例では、メタルダイヤフラム2は、特殊ステンレス鋼インコネルやスプロン商標名等の金属製薄板厚さ0.1~0.2mm及びニッケルコバルト合金薄板厚さ0.1~0.2mmの中央部を上方へ膨出させることにより円形の逆皿形に形成し、この逆皿形の特殊ステンレス鋼薄板3枚とニッケルコバルト合金薄板1枚とを密着状に積層することにより逆皿形に形成されている。また、このメタルダイヤフラム2は、その周縁部が弁室12の内周面の突部上に載置され、弁室12内へ挿入したボンネット4の下端部をボディ1のねじ部5へねじ込むことにより、ステンレス鋼製の押えアダプタ3を介してボディ1の突部側へ押圧され、気密状態で挾持固定されている。尚、ニッケルコバルト合金薄膜は、接ガス側に配置されている。より具体的には、メタルダイヤフラム2は、流体通路内径9.52mmφのバルブ用の場合には、外径26mm、膨出部の曲率60mmに形成されており、前記膨出部の最大膨出高さΔh後述する図3のΔhは1.2mmとなる。尚、メタルダイヤフラム2の実施例としては、6.35mmφのバルブ用の外径20mm、曲率62.6mmのもの、及び6.35mmφの小型バルブ用の外径15mm、曲率62.6mmのもの等が存在する。前記ボンネット4は、筒形状に形成されており、ボディ1の弁室12内に挿入され、弁室12の内周面に設けたねじ部5へ締め込みされることにより、ボディ1側に固定されている。前記ステム8は、ボンネット4の下端部内ヘ昇降自在に挿入されており、下端面にはメタルダイヤフラム2の中央部上面に当接する合成樹脂製のダイヤフラム押え7が嵌着されている。より具体的には、ステム8は、下端面に取付けしたポリイミド製のダイヤフラム押え7がメタルダイヤフラム2に当接すべくボンネット4内に昇降自在に挿着されており、スプリング6の弾性力にダイヤフラム押え7を介して下方へ押し圧され、メタルダイヤフラム2の中央部を弁座13に当座させる。又、ステム8の上端部にはステム操作用のアクチュエータ9の駆動軸14が固定されている。尚、前記ステム8の下方部には鍔部8aが設けられており、バルブの全閉時メタルダイヤフラム2の中央部が弁座13に当座したときには、当該鍔部8aが前記押えアダプタ3の上面へ当接することにより、ステム8の無理な下降が規制されている。前記ストローク調整機構15は、ボンネット4の上面にねじ込み固定したアクチュエータ9の支持用筒部9aに螺着したロックナット15aと、支持用筒部9aの外周面に設けたロックナット15aの螺着用ねじ9b等から構成されており、支持用筒部9aのボンネット4内へのねじ込み高さ位置を調整することにより、バルブストロークΔSの大きさを調整する。前記電磁弁16は、アクチェエータ9の上面に直接固定されており、アクチュエータ9内へ供給する駆動用流体空気Aの流通を制御する。尚、電磁弁16にアクチュエータ9を直付けするのは、後述するように駆動用流体通路の空間部をより少なくして、バルブ開閉作動の応答性を高めるためである開閉作動時間の短縮。また、前記近接スイッチ17はバルブ開閉作動時のバルブストロークΔSの変化の状態やバルブストロークΔS自体を検出するためのものであり、アクチュエータ9の上面側に固定されていて、ピストン9cとの間隙ΔGの測定することにより、前記ストロークΔSを検出する。次に、本発明に係るメタルダイヤフラム弁の作動について説明する。図1に示したバルブは所謂NC常時閉型に構成されており、常時はスプリング6の弾力によりステム8を介してメタルダイヤフラム2が下方へ押圧され、その下側面接ガス面のニッケルコバルト合金薄板が弁座3へ当接している。尚、ステム8の押圧力はスプリング6により調整され、またステム8の下降量は押えアダプタ3により規制されている。アクチュエータ9へ駆動用流体Aが供給されると、ピストン9cを介して駆動軸14が上方へバルブストロークΔSだけ引上げられる。これにより、メタルダイヤフラム2はその弾性力により元の中央部が上方へ膨出した形態に復元し、バルブが開弁されることになる。また、前記バルブストロークΔSは、ストローク調整機構15のロックナット15aにより所定の値に調整される。具体的には、後述するように、9.52φ用バルブのメタルダイヤフラム2外径26mmφ、曲率60mm、膨出部の最大高さΔh=1.2mm、0.15mm特殊ステンレス鋼板3枚と0.15mmニッケルコバルト合金薄板1枚以下、実施例1の金属ダイヤフラムと呼ぶの場合には、バルブストロークΔSは0.65~0.8mm好ましくは0.7mmに設定される。次に、本発明におけるメタルダイヤフラム2のバルブストロークΔSの決定について説明する。図2を参照して、図2は前記実施例1のメタルダイヤフラム2を用いたバルブの閉弁状態を示す部分拡大図であり、図3は、バルブストロークΔSを1.5mmとしたときの実施例1のメタルダイヤフラム2を用いたバルブの開弁状態を示す部分拡大図である。図2及び図3においては、バルブストロークΔSが1.5mmに選定されており、メタルダイヤフラム2の膨出部の最大高さΔh=1.2mmよりバルブストロークΔSの方が大きいため、金属ダイヤフラム2は元の形態に完全に復元されることになる。これに対して、図4及び図5は、実施例1のメタルダイヤフラム2を用いた弁において、バルブストロークΔSを0.7mmとした場合の閉弁状態図4及び開弁図5状態を示す部分拡大図であり、閉弁時に於いてもメタルダイヤフラム2は、図3の如き完全な原状態に復元せず、若干変形した状態となる。即ち、バルブストロークΔSを小さくした場合には、メタルダイヤフラム2のメタルダイヤフラム2にかかる歪み応力が相対的に小さくなる。ところで、バルブストロークΔS=1.5mmとした場合とΔS=0.7mmとした場合とでは、メタルダイヤフラム2の形態には前述の通り大きな差異が見られるものの、弁座3とメタルダイヤフラム2の内表面との間隙Gの方は、あまり大きな変化をしていないことが判る。図6及び図7は、実施例1のメタルダイヤフラム2を用いた図1のメタルダイヤフラム弁について、前記図8のCv値測定試験装置を用いて流量測定をすると共に、前記2式を用いてCv値を求めた結果を示すものであり、また、表1は前記リフトと流量とCv値との一覧表である。但し、試験は、作動用空気圧0.55MPa、弁座の突出高さ0.128mm80°Cベーキング後の高さの条件下で行われたものである。図6及び図7からも明らかなように、バルブストロークΔS=0.65~0.8位で、当該バルブに必要とするCv値=0.55~0.6が達成されることが判る。即ち、望ましくは、バルブストロークΔS=0.7mmとすることにより、Cv値0.6を達成することが可能となり、バルブストロークΔS=1.3mm最大値にまでしてメタルダイヤフラム2を最大限に変形させる必要の無いことが判る。表2は、実施例1のメタルダイヤフラム2に於ける表1と同じダイヤフラム仕様で接続のみ6.35mmφにしたバルブについて、表1と同じ試験を行った結果を示すものである。但し、供試バルブとして三種のバルブを製作し、No1バルブは弁座3の突出高さ0.174mm、No2バルブは0.176mm、No3バルブは0.068mmとした。即ち、No3バルブにあっては、予め弁の開閉動作を10000回行い、弁座面をたたいて当り付けを行ったものである。また、作動用空気圧は0.55MPa上限値とした。図9は、表2の結果を図示したものであり、実施例1のメタルダイヤフラムの場合と同様にバルブストロークΔS=0.65~0.7位で、必要なCv値0.5~0.6を得ることが出来ることが判る。表3及び表4は、弁座形態の経年変化によるCv値の変化を示すものであり、予め200°Cの高温条件下で弁の開閉作動を行って弁座をたたいた場合の開閉作動回数とCv値との関係を示すデータである。尚、表3は200°Cの高温使用条件下で、また、表4は常温下でCv値の測定を行ったものである。上記表3及び表4の結果から、弁を約10,000回以上予め連続開閉作動させることにより、弁座13の形状の変化が収まって、Cv値が上昇すると共に、Cv値の上昇がほぼ飽和することになる。表5は、実施例1のメタルダイヤフラム2を用いた弁を用いて連続的に開閉作動を行った場合のストロークΔSと、メタルダイヤフラムに破損が生ずるまでの開閉作動回数耐久開閉作動回数との関係を示すものである。但し、弁の開閉作動速度は3回/秒~4回/秒である。上記表5からも明らかなように、最大膨出高さΔhが1.2前後の外径20~26mmφのメタルダイヤフラムを用いたダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁においては、バルブストロークΔSを最大膨出高さΔhの55~70の値とすることにより、必要なCv値を保持しつつ且つ耐久連続開閉動作回数を大幅に増加し得ることが判る。"