"閉磁路鉄心の脚鉄心に1次コイルとなる導体管を巻回し、その1次コイルの外周に前記1次コイルに流れる交流電流で発熱する2次コイルとなる導体管を巻回した第1および第2の誘導加熱器と、電磁弁と給水ポンプを順に設置した給水管とを有し、前記第1の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管の一端を前記電磁弁通過後の給水管に連結し、他端を前記第2の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管の一端に連結し、また、前記第1の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管の一端を前記電磁弁通過前の前記給水管に連結し、他端を前記第2の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管の一端に連結し、他端を給水ポンプの手前の前記給水管に連結し、前記給水ポンプで前記電磁弁を介して供給する水を前記第1の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管内に充填して飽和水蒸気を生成し、生成した飽和水蒸気を前記第2の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管内を通流加熱して過熱水蒸気を生成するとともに、前記給水ポンプで供給する水を前記第1の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管および前記第2の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管を通流させて前記給水ポンプの手前で合流させたことを特徴とする過熱水蒸気生成装置。前記脚鉄心をインボリュート形状の鉄薄板を円柱状に積層した円形とし、該脚鉄心と1次コイル導体管の間に無溶剤系絶縁接着剤を全面に途着した絶縁紙を挿入したことを特徴とする請求項1に記載の過熱水蒸気生成装置。以上のような過熱水蒸気生成装置では、水を加熱して飽和水蒸気を得る加熱器が水を充填したタンクであるため、水と接触する伝熱面積が小さく熱の伝達効率が劣り、水の温度管理が行い難い。また、飽和水蒸気を加熱する加熱器は発熱体内を直進する飽和水蒸気を加熱するため、充分な熱を伝達するには発熱体を長くする必要があり大型化するといった問題があった。発明が解決しようとする課題は、過熱水蒸気生成装置を小型コンパクトにしてかつ水および飽和水蒸気への熱伝達速度を高め、温度制御性を高めるとともに熱損失を抑制する点にある。上記の課題を解決するために、本発明は、過熱水蒸気生成装置を、閉磁路鉄心の脚鉄心に1次コイルとなる導体管を巻回し、その1次コイルの外周に前記1次コイルに流れる交流電流で発熱する2次コイルとなる導体管を巻回した第1および第2の誘導加熱器と、電磁弁と給水ポンプを順に設置した給水管とを有し、前記第1の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管の一端を前記電磁弁通過後の給水管に連結し、他端を前記第2の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管の一端に連結し、また、前記第1の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管の一端を前記電磁弁通過前の前記給水管に連結し、他端を前記第2の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管の一端に連結し、他端を給水ポンプの手前の前記給水管に連結し、前記給水ポンプで前記電磁弁を介して供給する水を前記第1の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管内に充填して飽和水蒸気を生成し、生成した飽和水蒸気を前記第2の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管内を通流加熱して過熱水蒸気を生成するとともに、前記給水ポンプで供給する水を前記第1の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管および前記第2の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管を通流させて前記給水ポンプの手前で合流させた構成としている。本発明によれば、閉磁路鉄心の脚鉄心に1次コイルとなる導体管を巻回し、その1次コイルの外周に前記1次コイルに流れる交流電流で発熱する2次コイルとなる導体管を巻回した誘導加熱器2台を1次コイルとなる導体管どうし、2次コイルとなる導体管どうしを連通連結し、その一方の誘導加熱器第1の誘導加熱器で飽和水蒸気を生成し、その飽和水蒸気を他方の誘導加熱器第2の誘導加熱器で過熱水蒸気を生成しているので、閉磁路鉄心による漏れ磁束が極めて少なくなり、効果的に2次コイルとなる導体管を発熱させることができ、また、周辺機器を誘導加熱する弊害もなく、さらには力率が高く受電容量が小さくできるとともに電力の利用効率が高くなる。また、2次コイルは導体管を巻回しているので、その長さが長く取れ、伝熱面積が大きくなり導体管の温度とその内部を通流する水や飽和水蒸気との温度差が小さくなるため、水や飽和水蒸気の温度検出が容易になるとともに、総じて小型コンパクト化することができる。さらに、1次コイルとなる導体管内に水を通流して鉄心を冷却し、鉄心の熱で加熱された水の一部を第1の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管に補給しているので、補給する水を予熱している分、その2次コイルとなる導体管による消費電力を削減することができ、熱の利用効率を高めることができる。本発明の実施例を図によって説明する。まず、実施例で使用する誘導加熱器について、図3および図4を参照して説明する。図3において、1は継鉄心1bで閉磁路を構成する脚鉄心、2は脚鉄心に巻回した銅からなる導体管1次コイル、図示例は断面外形四角形の導体管、3は鉄心に巻回したSUSなどからなる導体管2次コイル、図示例は断面外形円形の導体管、4は機械的電気的に接続固定したロー付け溶接部である。2次コイルとなる導体管3は隣接の導体管どうしをTIG溶接により機械的電気的に接続固定され、電気的には2次コイルを短絡した1巻の2次コイルとなっている。5は絶縁紙、6は無溶剤系絶縁接着剤層である。脚鉄心1は、図4に示すように屈曲部1bとこの屈曲部に連続してインボリュート曲線状に湾曲した曲率部1cを有する薄い珪素鋼板以下、鉄薄板という。を円周方向に積み重ねて円筒とされ、この円筒を複数図示例はABCの3個同心で径方向に順次積層して円形鉄心以下、インボリュート脚鉄心という。としている。このインボリュート脚鉄心は鉄損の少ないほぼ真円で、外周部分の隙間が少なく、有効面積が大きく、かつ、鉄薄板の平面部が外周に露出することがない利点がある。誘導加熱器は、脚鉄心1の外周に、両面に無溶剤系絶縁接着剤6を途着した絶縁紙5を巻回し、その無溶剤系絶縁接着剤層6に密着して、1次コイルとなる導体管2を巻回する。無溶剤系絶縁接着剤層6を両面に塗着した絶縁紙5は断熱効果が低く、熱伝導性が高いので脚鉄心1で発生した鉄損による熱は効果的に1次コイルとなる導体管2に伝達される。これにより脚鉄心1は冷却され、1次コイルとなる導体管2は加熱されることとなる。1次コイルとなる導体管2を断面外形四角形としているのは伝熱面を広くするためである。そして、1次コイルとなる導体管2を巻回した外周に絶縁紙5を介して2次コイルとなる導体管4を捲回して形成されている。過熱水蒸気生成装置は、このように形成した誘導加熱器を2台、水から飽和水蒸気を生成する誘導加熱器第1の誘導加熱器と飽和水蒸気から過熱水蒸気を生成する誘導加熱器第2の誘導加熱器をとして組み合わせて構成する。すなわち、第1の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管と第2の誘導加熱器の1次コイルとなる導体管とを管内が連通するように必要に応じて絶縁性の継ぎ手を介して連結し、第1の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管と第2の誘導加熱器の2次コイルとなる導体管とを管内が連通するように必要に応じて絶縁性の継ぎ手で連結して組み合わせる。そして、図1に示すように、第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3の一端を電磁弁10通過後の配管給水管11に連結し、第1の誘導加熱器7の1次コイルとなる導体管2の一端を、給水ポンプ9と電磁弁10との間で分岐した配管給水管15に連結する。第2の誘導加熱器8の2次コイルとなる導体管3の一端は過熱水蒸気の出力口とし、第2の誘導加熱器8の1次コイルとなる導体管2の一端は給水ポンプ9の手前から分岐した配管16に連結する。過熱水蒸気を生成するときは、第1の誘導加熱器7の1次コイルとなる導体管2および第2の誘導加熱器8の1次コイルとなる導体管2を、それぞれ電圧制御器を介して交流電源に接続する。その接続により第1の誘導加熱器7の1次コイルとなる導体管2および第2の誘導加熱器8の1次コイルとなる導体管2に交流電流が流れ、第1の誘導加熱器7の脚鉄心1および第2の誘導加熱器8の脚鉄心1にそれぞれ交番磁束が発生し、この交番磁束と交鎖する第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3および第2の誘導加熱器8の2次コイルとなる導体管3にそれぞれ電流が誘起され、その導体管3はそれぞれジュール発熱する。同時に誘導加熱器7および8の脚鉄心1が鉄損により発熱する。また、給水ポンプ9を駆動し、電磁弁10を経由して第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3に水を充填する。この充填はレベルスイッチ12で検出される位置まで行われる。第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3に充填した水はその導体管3の発熱により加熱され、たとえば130°Cの飽和水蒸気を生成し、その飽和水蒸気を第2の誘導加熱器8の2次コイルとなる導体管3へ送出する。その送出により第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3内の水位は低下するが、その低下分は電磁弁10の制御により補給する。第2の誘導加熱器8の2次コイルとなる導体管3に送出された飽和水蒸気は第2の誘導加熱器8の2次コイルとなる導体管3の発熱で加熱され、たとえば500°Cの過熱水蒸気を生成して出力する。なお、第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3をオーバフローした水は、セパレータ13で分離され配管14を通流して給水ポンプ9へ戻される。一方、給水ポンプ9が駆動すると、水が電磁弁10の手前で分岐した給水管15、第1の誘導加熱器7の1次コイルとなる導体管2、第2の誘導加熱器8の1次コイルとなる導体管2および配管16を経由して給水ポンプ9に戻される。第1の誘導加熱器7の1次コイルとなる導体管2および第2の誘導加熱器8の1次コイルとなる導体管2を通流する水は各導体管2の熱主に脚鉄心1の鉄損により発生した熱で加熱され、その加熱された水が給水ポンプ9に戻される。第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3内の水位が低下し、その低下分を補給するときは、この加熱された水を混合した水、つまり予熱された水が補給される。すなわち、過熱水蒸気生成中は第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3内へ補給する水は、配管15、第1の誘導加熱器7の1次コイルとなる導体管2、第2の誘導加熱器8の1次コイルとなる導体管2および配管16ならびに給水ポンプ9からなる循環路を流して予熱している。この予熱した水を第1の誘導加熱器7の2次コイルとなる導体管3内へ補給するので、その予熱している分第1の誘導加熱器7の1次コイルに供給する電力を節約することができる。なお、図1に示す符号17は安全弁、18は圧力スイッチである。なお、第1および第2の誘導加熱器7、8の2次コイルとなる導体管3はコイル状にしているので、延べ長さが長く取れ、伝熱面積が大きくなり導体管3の温度とその内部の飽和水蒸気や過熱水蒸気との温度差が小さく、飽和水蒸気例えば130°Cや過熱水蒸気例えば500°Cの温度の検出は導体管3の温度を検出することでもできる。ところで、工場設備の大きな受電は、三相交流電源を使用しなければならい。図2はこの場合の2台の誘導加熱器を三相交流電源の三相U、V、W間の電流に大きなアンバランスを発生させることなく接続できるようにした回路を示している。図2において、19は三相交流電源、20は三相電圧制御器、21はスコット結線変圧器、22は単相変圧器、23は単相電圧制御器である。水から飽和水蒸気を生成する第1の誘導加熱器の1次コイル導体管2は、スコット結線変圧器21のT座変圧器21aの1次コイル2とされ、飽和水蒸気から過熱水蒸気を生成する第2の誘導加熱器の1次コイル導体管2は単相変圧器22の1次コイル2とされている。そして、スコット結線変圧器21の3個の入力端子U1,V1,W1は、三相電圧制御器20を介して三相交流電源19の各相U、V、Wにそれぞれ接続され、単相変圧器22の1次コイル2の入力端子V2,W2は、単相電圧制御器23を介して三相交流電源の図示例ではV相とW相にそれぞれ接続されている。この接続により第1の誘導加熱器の1次コイルに流す電流と、第2の誘導加熱器の1次コイルに流す電流を個別に制御することができる。ここで、T座変圧器21aと主座変圧器21bがスコット結線され、主座変圧器のV-W間の巻き数をNとすると、V-O結線部間の巻数およびW-O間の巻数はN/2でT座変圧器のU-O間の巻数は√3N/2であり、この条件を満たす限りT座変圧器と主座変圧器を単相変圧器で構成してもよく、三相一体型としてもよい。三相一体型の場合は三脚鉄心中の、T座および主座変圧器巻線を施す両端脚断面積をSとすれば、中央脚断面積は√2Sとなる。いま、第1の誘導加熱器で130°Cの飽和水蒸気を得、第2の誘導加熱器で500°C過熱水蒸気を得るとすると、その熱量比は約2:1となる。第1の誘導加熱器の1次コイルを三相電源のU-V間に、第2の誘導加熱器の1次コイルをV-W間に接続すると、その電流比はU:V:W=1:1.323:0.5となり最大電流と最小電流との比は2.65倍となり、三相間の電流に大きいアンバランスを発生することなり、このような接続では受電設備容量が大きくなってしまう。しかし、第1の誘導加熱器の1次コイルをスコット結線変圧器のT座変圧器の1次コイルとすれば、その電流比はU:V:W=1:0.661:0.661となり最大電流と最小電流との比は1.51倍となり、その大きなアンバランスを抑制することができ、受電設備の大容量化を抑制することができる。"