熱源から排出された熱交換媒体が流れる第1流路と、供給水が流れる第2流路と、前記熱交換媒体の熱を前記供給水に伝えて前記供給水を蒸発させる熱交換器と、前記熱交換器で生成された蒸気を圧縮する圧縮機とを備えた蒸気製造装置において、前記供給水の供給水量を調整する流量調整弁と、前記流量調整弁を制御する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記供給水の供給温度から蒸発温度までの顕熱と前記蒸発温度での蒸発潜熱との和に、前記供給水量と予め設定された乾き度の閾値とを乗算して必要熱量を求め、前記必要熱量と前記熱交換媒体が熱交換により失った損失熱量とを比較して、前記必要熱量が前記損失熱量を上回った場合には、前記流量調整弁を絞って前記供給水の供給水量を低減させ、前記必要熱量が前記損失熱量を下回った場合には、前記流量調整弁の開度を大きくして前記供給水の供給水量を増加させるようにしたことを特徴とする蒸気製造装置。前記第2流路の前記熱交換器上流側及び前記熱交換器と前記圧縮機との間に温度計を設けることにより、前記供給水の供給温度と蒸発温度を求めたことを特徴とする請求項1に記載の蒸気製造装置。前記供給水の供給温度と蒸発温度が予め前記制御装置に設定された設定値であることを特徴とする請求項1に記載の蒸気製造装置。熱源から排出された熱交換媒体が流れる第1流路と、供給水が流れる第2流路と、前記熱交換媒体の熱を前記供給水に伝えて前記供給水を蒸発させる熱交換器と、前記熱交換器で生成された蒸気を圧縮する圧縮機とを備えた蒸気製造装置の運転方法において、前記供給水の供給温度から蒸発温度までの顕熱と前記蒸発温度での蒸発潜熱との和に、前記供給水の供給水量と予め設定された乾き度の閾値とを乗算して必要熱量を求める必要熱量算出工程と、前記熱交換媒体が熱交換により失った熱量を求める損失熱量算出工程と、前記必要熱量算出工程で算出された必要熱量と前記損失熱量算出工程で算出された損失熱量とを比較して、前記必要熱量が前記損失熱量を上回った場合には、前記供給水の供給水量を調整する流量調整弁を絞って前記供給水の供給水量を低減させ、前記必要熱量が前記損失熱量を下回った場合には、前記流量調整弁の開度を大きくして前記供給水の供給水量を増加させる流量制御工程とを備えたことを特徴とする蒸気製造装置の運転方法。しかしながら、特許文献1に記載された蒸気製造装置では、圧縮機により得られた蒸気の一部を熱交換器に導いているため、蒸気利用施設などに利用できる蒸気量が減少してしまう問題がある。そこで、本発明の目的は、上記課題に鑑み、圧縮機に流入する蒸気に含まれる水分量を一定に保って、圧縮機の安定性を高めるとともに、圧縮機により得られた蒸気の全量を蒸気使用施設などに利用できる蒸気製造装置及びその運転方法を提供することである。上記課題を解決するため、本発明の蒸気製造装置は、熱源から排出された熱交換媒体が流れる第1流路と、供給水が流れる第2流路と、前記熱交換媒体の熱を前記供給水に伝えて前記供給水を蒸発させる熱交換器と、前記熱交換器で生成された蒸気を圧縮する圧縮機とを備えた蒸気製造装置において、前記供給水の供給水量を調整する流量調整弁と、前記流量調整弁を制御する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記供給水の供給温度から蒸発温度までの顕熱と前記蒸発温度での蒸発潜熱との和に、前記供給水量と予め設定された乾き度の閾値とを乗算して必要熱量を求め、前記必要熱量と前記熱交換媒体が熱交換により失った損失熱量とを比較して、前記必要熱量が前記損失熱量を上回った場合には、前記流量調整弁を絞って前記供給水の供給水量を低減させ、前記必要熱量が前記損失熱量を下回った場合には、前記流量調整弁の開度を大きくして前記供給水の供給水量を増加させるようにしたことを特徴とするものである。この構成により、圧縮機に流入する蒸気の水分量、即ち、圧縮機吸口側の乾き度を一定に保つことができるので、圧縮機に流入する蒸気に過剰の水分が混入して圧縮機が破損したり、圧縮機に流入する蒸気の水分量が少なくなり圧縮機により得られる蒸気の吐出量が減少してしまうことを防ぐことができる。また、圧縮機により得られた蒸気を熱交換器に導く必要もないので、得られた蒸気の全量を蒸気使用施設などで利用することができる。また本発明において、前記第2流路の前記熱交換器上流側及び前記熱交換器と前記圧縮機との間に温度計を設けることにより、前記供給水の供給温度と蒸発温度を求めることが好ましい。この構成により、供給水の供給温度と蒸発温度を測定することができるので、容易に必要熱量を算出することができるようになる。また本発明において、前記供給水の供給温度と蒸発温度が予め前記制御装置に設定された設定値であることが好ましい。この構成により、供給水の供給温度と蒸発温度を測定せずに必要熱量を算出することができるようになる。また、本発明の蒸気製造装置の運転方法は、熱源から排出された熱交換媒体が流れる第1流路と、供給水が流れる第2流路と、前記熱交換媒体の熱を前記供給水に伝えて前記供給水を蒸発させる熱交換器と、前記熱交換器で生成された蒸気を圧縮する圧縮機とを備えた蒸気製造装置の運転方法において、前記供給水の供給温度から蒸発温度までの顕熱と前記蒸発温度での蒸発潜熱との和に、前記供給水の供給水量と予め設定された乾き度の閾値とを乗算して必要熱量を求める必要熱量算出工程と、前記熱交換媒体が熱交換により失った熱量を求める損失熱量算出工程と、前記必要熱量算出工程で算出された必要熱量と前記損失熱量算出工程で算出された損失熱量とを比較して、前記必要熱量が前記損失熱量を上回った場合には、前記供給水の供給水量を調整する流量調整弁を絞って前記供給水の供給水量を低減させ、前記必要熱量が前記損失熱量を下回った場合には、前記流量調整弁の開度を大きくして前記供給水の供給水量を増加させる流量制御工程とを備えたことを特徴とするものである。本発明によれば、排熱を利用して蒸気を製造する蒸気製造装置において、圧縮機により得られた蒸気を熱交換器に導かずとも、圧縮機に流入する蒸気の水分量を一定に保ち、圧縮機の安定性を高めるとともに、圧縮機により得られた蒸気の全量を蒸気使用施設などで利用することができる蒸気製造装置を提供することができる。第1実施形態以下に、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。図1~図2は、本発明の蒸気製造装置の第1実施形態を示し、図1は第1実施形態の概略図を示している。本発明の蒸気製造装置1は、第1流路10、第2流路20、熱交換器30、圧縮機40、制御装置50などから構成される。まず、蒸気の製造についての概要を説明する。第1流路10には、図示しない工場などの熱源設備から排出された温水熱交換媒体が流れ、第2流路20には供給水が流れる。そして、熱交換器30において、熱源設備から排出された温水の熱が供給水に伝えられ供給水は蒸発する。そして、熱交換器30で生成された蒸気は圧縮機40で圧縮され、図示しない蒸気利用施設などに送られる。第1流路第1流路10は、配管10a、配管10bからなり、それぞれ両端が熱交換器30と図示しない熱源設備に接続されている。第1流路10の内部には、熱源設備から排出された温水が流れており、温水は、まず配管10aに流入し、熱交換器30をとおって、配管10bから流出する。熱交換器30の上流側にあたる配管10aには、流量計11fと温水の供給温度を測定する温度計12tが設けられ、熱交換器30の下流側にあたる配管10bには、熱交換後の温水温度を測定する温度計13tが設けられている。本実施形態では、流量計11fを配管10aに設けているが、配管10bに設けてもよい。また、熱源から排出される熱交換媒体には温水を用いているが、熱交換媒体は油や気体などであってもよい。第2流路第2流路20は、3本の配管配管20a、配管20b、配管20cからなり、配管20aは両端が熱交換器30と供給水を供給する装置とに接続され、配管20bは両端が熱交換器30と圧縮機40とに接続され、配管20cは両端が圧縮器40と図示しない蒸気利用施設などとに接続されている。第2流路20の内部には供給水が流れており、供給水は、まず配管20aに流入し、熱交換器30で蒸発した後、配管20bをとおって圧縮機40に入り昇温昇圧される。そして、昇温昇圧された蒸気は、配管20cから蒸気利用施設などに送られる。配管20aには上流側から、供給水の供給水量を制御する流量調整弁21、供給水の流量を測定する流量計22f、供給水の供給温度を測定する温度計23tが設けられ、配管20bには、供給水の蒸発温度を測定する温度計24tが設けられている。なお、流量調整弁21が流量計22fよりも上流側に設置されているのであれば、流量調整弁21と流量計22fは、配管20aや配管20bのどの位置に設置してあってもよい。熱交換器熱交換器30は、温水と供給水とを熱的に接続するものであり、温水の熱を供給水に伝えて供給水を蒸発させている。熱交換器30には、複数のプレートを有し、その複数のプレート間を温水と供給水とが交互に流れることで熱交換されるプレート式熱交換器が好適に用いられる。プレート式熱交換器は、他の熱交換器に比べ、伝熱面積に対して装置が小さいため、蒸気製造装置1がコンパクトになり、設置スペースの小さい蒸気利用施設にも蒸気製造装置1を設置することができる。なお、熱交換器30はプレート式熱交換器に限定されず、タンク式熱交換器や垂直短管式熱交換器等であってもよい。圧縮機圧縮機40は、第2流路20の配管20bと配管20cとの間に配置され、圧縮機40に流入した蒸気を圧縮する。圧縮機40には、スクリュ圧縮機が好適に用いられる。なお、圧縮機40はスクリュ圧縮機に限定されず、往復圧縮機、スクロール圧縮機、及び、ロータリ圧縮機等であってもよい。制御装置制御装置50は、流量計11f、22f、温度計12t、13t、23t、24t、及び流量調整弁21と電気的に接続され、これら測定器から求められる測定値と、予め制御装置50に記憶させておいた各種設定値とから後述する必要熱量と供給熱量を算出し、その算出結果を基に流量調整弁21を制御している。制御装置50は、演算処理装置であるCPUCentralProcessingUnitと、CPUが実行する制御プログラム及び制御プログラムに使用されるデータが記憶されているROMReadOnlyMemoryと、プログラム実行時にデータを一時記憶するためのRAMRandomAccessMemoryとを有している。制御装置50による制御機能は、これらハードウェアとROM内のソフトウェアとが協働して構築されている。蒸気製造装置の運転方法について次に、本実施形態における蒸気製造装置の運転方法について図2に示すフローチャートに沿って説明する。まず、蒸気製造装置1の運転を開始するS1。蒸気製造装置1の運転が開始されると、熱源設備と第1流路10との間に設けられた図示しないポンプが駆動されるなどして、熱源設備から排出された温水が第1流路10に流入する。また、圧縮機40が回転するなどして、供給水が第2流路20に流入する。なお、流量調整弁21は、全開ではないもののある程度開いた状態に制御されている。そして、温水と供給水はそれぞれ熱交換器30に入り、温水の熱が供給水に伝えられて供給水が蒸発する。さらに、蒸気は圧縮機40により昇温昇圧されて、配管20cから吐出され、蒸気利用施設に送られる。続いて、必要熱量と損失熱量の測定を開始するか否かを判断するS2。熱量測定を開始する場合S2:Yes、ステップS3に進み、熱量測定を開始しない場合S2:No、熱量測定を開始するまで待機する。ステップS3では、制御装置50の制御により、第1流路10及び第2流路20に設けられた流量計11f、22fの流量、及び、温度計12t、13t、23t、24tの温度を測定するS3。そして、損失熱量Q1を算出するS4:損失熱量算出工程。損失熱量とは、温水が熱交換により失う熱量のことであり、供給水が熱交換により得る熱量と同等とみなすことができる。損失熱量Q1は、温水の流量質量流量と、熱交換前後での温水の温度差と、温水の比熱とを乗算することで算出される。具体的には、以下の手順によって求まる。i温度計12tで測定した温水の供給温度T1と温度計13tで測定した温水の熱交換後の温度T2との温度差T2-T1を算出する。ii流量計11fでの流量F1、温水の供給温度T1から熱交換後の温度T2までの平均比熱c1を測定する。iii温度差T2-T1と、流量F1と、平均比熱c1とを全て乗算する。以上の手順により、損失熱量Q1が求まる。続いて、必要熱量Q2を算出するS5:必要熱量算出工程。必要熱量とは、圧縮機吸口側41の蒸気の乾き度を、予め制御装置50に設定された乾き度の閾値に近づけるために必要な熱量のことである。必要熱量Q2は、供給水の顕熱当圧の下で供給水の温度変化のために吸収する単位重量あたりの熱量と蒸発潜熱当圧の下で供給水の相変化のために吸収する単位重量あたりの熱量の和に、供給水の供給水量質量流量と予め制御装置50に設定された乾き度の閾値を乗算することで算出される。具体的には、以下の手順によって求まる。i温度計23tで測定した供給水の供給温度T3と温度計24tで測定した供給水の蒸発温度T4との温度差T4-T3を算出する。ii流量計22fでの流量供給水量F2、供給温度T3から蒸発温度T4までの供給水の平均比熱c2、蒸発温度T4における蒸発潜熱Qbを求める。iii温度差T4-T3と平均比熱c2とを乗算することにより顕熱Qaを求め、顕熱Qaとiiで求めた蒸発潜熱Qbとの和を求める。iv顕熱Qaと蒸発潜熱Qbとの和に、流量F2と、予め制御装置50に設定された乾き度の閾値X0を乗算する。以上の手順により、必要熱量Q2が求まる。なお、損失熱量Q1を算出するステップS4と必要熱量Q2を算出するステップS5は順番を入れ替えてもよい。ここで、本実施例では、乾き度圧縮機吸口側41の乾き度の閾値X0を0.9に設定している。閾値X0が、0.7~0.95の範囲内であると、圧縮機の負担が低減でき且つ圧縮機により得られる蒸気の吐出量が確保できるので好ましく、さらに0.85~0.95の範囲に設定されていれば、より圧縮機の負担が低減されるので好ましい。逆に、乾き度の閾値X0が0.7未満であると、圧縮機に流入する蒸気に過剰の水分が混入し、圧縮機40が破損してしまう恐れがある。また、乾き度の閾値X0が0.95よりも大きいと、圧縮機40に流入する蒸気の水分量が少なく、圧縮機40により得られる蒸気の吐出量が減少してしまう。続いて、必要熱量Q2と損失熱量Q1との差ΔQを測定するS6。ΔQ>0、即ち、必要熱量Q2が損失熱量Q1を上回った場合にはS6:Yes、制御装置50の制御により流量調整弁21を絞りS7、供給水の流量F2を低減させる。ΔQ>0の場合には、圧縮機吸口側41の乾き度Xが乾き度の閾値X0に近づくための熱量必要熱量Q2よりも、供給水が実際に得ている熱量即ち、損失熱量Q1と同等の熱量が小さい状態であり、供給水が得るべき熱量がΔQだけ不足して、圧縮機吸口側41の乾き度Xが、乾き度の閾値X0よりも小さい乾き度の蒸気が得られている状態である。この現象は、例えば、熱源から排出される温水の温度や流量が低下した場合等に起こり得る。したがって、圧縮機吸口側41の乾き度Xを乾き度の閾値X0近づけるためには、必要熱量Q2をΔQほど減少させる必要があるので、流量調整弁21を絞り、供給水の流量F2を減少させる。一回のステップで減少させる流量F2の量は、必要熱量Q2と損失熱量Q1との差ΔQ等を考慮して適宜選択すればよい。ΔQ=0、又はΔQ<0、即ち、必要熱量Q2が損失熱量Q1と等しい又は下回った場合にはS6:No、ステップS8に進む。ステップS8において、ΔQ<0、即ち、必要熱量Q2と損失熱量Q1を下回った場合にはS8:Yes、今度は制御装置50の制御により流量調整弁21の開度を大きくしS9、供給水の供給流量F2を増加させる。ΔQ<0の場合には、圧縮機吸口側41の乾き度Xが乾き度の閾値X0になるための熱量必要熱量Q2よりも、供給水が実際に得ている熱量即ち、損失熱量Q1と同等の熱量が大きい状態であり、供給水が得るべき熱量がΔQだけ過剰で、圧縮機吸口側41の乾き度Xが乾き度の閾値X0よりも大きい乾き度の蒸気が得られている状態である。この現象は、例えば、熱源から排出される温水の温度が上昇した場合や流量が増加した場合等に起こり得る。したがって、圧縮機吸口側41の乾き度Xを乾き度の閾値X0近づけるためには、必要熱量Q2をΔQほど増加させる必要があるので、流量調整弁21の開度を大きくして、供給水の流量F2を増加させる。ΔQ=0、即ち、必要熱量Q2と損失熱量Q1との差が等しい場合にはS8:No、圧縮機吸口側41の乾き度Xと乾き度の閾値X0が略同じ大きさの状態であることを意味しているので、流量調整弁21を制御することなく次のステップS10に進む。続いて、熱量測定を終了するか否かを判断するS10。熱量測定を続ける場合S10:No、S3に戻りS3~S9のステップを繰り返す。熱量測定を終了する場合S10:Yes、蒸気製造装置1の運転を停止するなどして蒸気の製造を終了するS11。効果次に、本実施形態により得られる効果について説明する。本実施形態の蒸気製造装置1は、第2流路20に設けられた供給水の流量を調整する流量調整弁21と、流量調整弁21を制御する制御装置50とを有し、圧縮機40に流入する蒸気の乾き度Xが乾き度の閾値X0になるために必要な熱量必要熱量Q2と温水が熱交換により失う熱量損失熱量Q1とを比較して、必要熱量Q2が損失熱量Q1を上回った場合には、流量調整弁21を絞って供給水の供給水量を低減させ、必要熱量Q2が損失熱量Q1を下回った場合には、流量調整弁21の開度を大きくして供給水の供給水量を増加させるようにしている。この構成により、流量や温度が常に変動している排熱を利用して蒸気を製造する場合であっても、つまり、損失熱量Q1が常に変動している場合であっても、必要熱量Q2と損失熱量Q1とを比較して、供給水の流量を制御しているので、実際の乾き度Xを乾き度の閾値X0に近づけることができ、圧縮機吸口側41の乾き度を理想の状態に保つことができる。このように、圧縮機吸口側41の乾き度を一定に保つことができるので、圧縮機40に流入する蒸気に過剰の水分が混入し圧縮機40が破損したり、圧縮機40に流入する蒸気の水分が少なくなり得られる蒸気の吐出量が減少してしまうことを防ぐことができる。また、圧縮機40により得られた蒸気を熱交換器30に導く必要もないので、圧縮機40により得られた蒸気の全量を蒸気使用施設に供給することができる。また、蒸気製造装置1の第1流路10及び第2流路20には、流量計11f、22f、及び温度計12t、13t、23t、24tが設けられているので、これら測定器から得られた測定値から必要熱量Q2と損失熱量Q1を簡単に算出することができる。変形例次に本発明の変形例について、図3を用いて説明する。図3は、変形例の概略図を示している。本変形例は、第1実施形態から温度計23t、24tを取り除き、代わりに、供給水の供給温度T3’と蒸発温度T4’とを設定値として、予め制御装置50に設定しておいたものである。変形例に係る蒸気製造装置の運転方法について続いて、変形例における蒸気製造装置の運転方法について説明する。ここでは、第1実施形態における蒸気製造装置の運転方法と異なる箇所についてのみ説明し、第1実施形態における蒸気製造装置の運転方法と同様の箇所は説明を割愛する。図2に示すフローチャートのステップS3における温度測定においては、変形例では、第1実施形態から温度計23t、24tを取り除いているため、第1流路10に備えた温度計12t、13tでの温度のみを測定する。また、ステップS5において、変形例では、必要熱量Q2を以下の手順によって算出する。i予め制御装置50に設定しておいた供給水の供給温度T3’と同じく制御装置50に設定しておいた供給水の蒸発温度T4’との温度差T4’-T3’を算出する。ii流量測定器22fでの流量F2、供給温度T3’から蒸発温度T4’までの供給水の平均比熱c2’、蒸発温度T4’における蒸発潜熱Qb’を測定する。iii温度差T4’-T3’と平均比熱c2’とを乗算することにより顕熱Qa’を求め、顕熱Qa’とiiで求めた蒸発潜熱Qb’とのを和を求める。iv顕熱Qa’と蒸発潜熱Qb’との和に、流量F2と、予め制御装置50に設定された乾き度の閾値X0を乗算する。以上の手順により必要熱量Q2は求まる。ここで、供給水の供給温度の設定値T3’は、実際の供給温度に近い温度に設定することが好ましい。ただし、供給水の供給温度T3’は顕熱Qa’を求める際に必要であるが、顕熱Qa’は蒸発潜熱Qb’に比べて大きさが10分の1程度であるので、顕熱Qa’による影響は小さい。したがって、供給温度T3’と実際の供給温度との誤差が20°C程度あったとしても問題はない。また、供給水の蒸発温度T4’も、実際の蒸気の温度に近い温度にすることが好ましい。ただし、蒸発温度T4’と実際の蒸発温度との誤差が例えば20°Cあったとしても、その場合の乾き度Xの計算上の誤差は0.02程度であり、圧縮機40に影響が出ることはない。したがって、蒸発温度T4’と実際の蒸発温度との誤差が20°C程度あったとしても問題はない。効果本変形例による効果について説明する。本変形例において、供給水の供給温度T3’と蒸発温度T4’を予め制御装置50に設定された設定値とした。この構成により、温度測定器にて供給水の供給温度と蒸発温度を測定する必要がなく、蒸気製造装置を簡素化することができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々に変更して実施することができるものである。