"液体内に基板スタック5の形状で、送り方向に相前後して順次配置された複数の盤状基板3を分離、偏向及び搬送する装置1であって、少なくとも2つの搬送ベルト11、11’’を含む垂直方向のベルトコンベア9を備え、前記ベルトコンベア9の搬送域10が前記スタック5の一方端の前方側12に前方側12と平行に配置されており、前記ベルトコンベア9は真空装置16を有し、前記スタック5のうち最前方の基板3が前記真空装置16によって少なくとも第1の搬送ベルト11に対して吸引可能であり、垂直方向のベルトコンベア9のうち少なくとも2つの搬送ベルト11、11’’が隣接する領域で相互に同一平面上に配置されており、前記第1の搬送ベルト11と同一平面上に配置された第2の搬送ベルト11’’領域の長さが、垂直の搬送方向において基板の長さの少なくとも1/3に対応しているものにおいて、前記第2の搬送ベルト11’’はその同一平面領域に続く2つの搬送区間23,24を備えることを特徴とする装置。前記ベルトコンベア9は別の真空装置20を有し、前記第2の搬送ベルト11’’が別の真空装置20によって、前記同一平面領域に続く前記搬送区間23の領域で加圧可能であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。前記装置は、前記基板スタック5の少なくとも一部を吹き分ける分離手段28を更に備えることを特徴とする請求の範囲第1又は2項に記載の装置。前記装置は、少なくとも一方向に移動可能なキャリア装置4を更に備えることを特徴とする前記請求の範囲のいずれか1項に記載の装置。前記キャリア装置4は、相互に平行に側方に配置された2つのブラシストリップを有することを特徴とする請求の範囲第4項に記載の装置。前記ブラシストリップは、折りたたみ可能もしくは旋回可能に配置されていることを特徴とする請求の範囲第5項に記載の装置。液体内に基板スタック5の形状で、送り方向に相前後して順次配置された複数の盤状基板3を、少なくとも2つの搬送ベルト11、11’’を含む垂直方向のベルトコンベア9を用いて分離、偏向及び搬送する方法であって、前記ベルトコンベア9の搬送域10が前記スタック5の一方端の前方側12に前方側12と平行に配置されており、前記ベルトコンベア9は真空装置16を有し、前記スタック5のうち最前方の基板3が前記真空装置16によって少なくとも第1の搬送ベルト11に対して吸引可能であり、垂直方向のベルトコンベア9のうち少なくとも2つの搬送ベルト11、11’’が隣接する領域で相互に同一平面上に配置されており、前記第1の搬送ベルト11と同一平面上に配置された第2の搬送ベルト11’’領域の長さが、垂直の搬送方向において基板の長さの少なくとも1/3に対応しており、前記第2の搬送ベルト11’’はその同一平面領域に続く2つの搬送区間23,24を備えているものにおいて、A基板スタック5を、ベルトコンベア9の搬送域の前方で、液体を収容した槽内に入れる;B第1の搬送ベルト11の所定の孔パターン14を、スタック5の前方側12に隣接して位置させる;Cスタック5を第1の搬送ベルト11の方向に、吸引位置へと移動する;D第1の搬送ベルト11に近接した基板3の吸引位置及び槽内における基板のスタック5からの分離位置を検出する;E槽内の基板3を、真空によって第1の搬送ベルト11の孔パターン14に対して吸引する;F吸引された基板3を検出し、第1の搬送ベルト11の搬送シーケンスをトリガーする;G搬送ベルト11によって基板3を槽から外へ移動し、基板を第2の搬送ベルト11’’に渡す;Hスタック5の前方側12に対して基板3を旋回させる;I搬送ベルトの搬送シーケンスが終了したら、スタック5の前方側12に対して第1の搬送ベルト11の所定の孔パターン14を位置決めする;及びJスタックが完全に分離されるまで、上記工程CからIを繰り返す、工程を含むことを特徴とする方法。前記工程Hによる基板の旋回は、前記第2の搬送ベルト11’’の同一平面領域に続く搬送区分23の表面で行われることを特徴とする請求の範囲第7項に記載の方法。基板に対する付着力の形成を高めるため、前記第2の搬送ベルト11’’が加湿されることを特徴とする請求の範囲第8項に記載の方法。前記ベルトコンベア9は別の真空装置20を有し、前記第2の搬送ベルト11’’が別の真空装置20によって、前記同一平面領域に続く前記搬送区間23の領域で加圧可能であることを特徴とする請求の範囲第7から9項のいずれか1項に記載の方法。従って本発明の目的は、薄くて脆い、積み重ね状態にある基板のほぼ損傷を伴わない取り出しを、比較上著しく低い機器的負担で可能とする改良された装置、その改良された装置を用いた方法を提供する。本発明で必要な構成要素並びにそれらの動作モードについては、DE102006011870B4に記載された関連技術に関する説明を、参照することで明らかとなろう。そのため、当該関連技術と比べた場合の本発明における相違点だけを、以下説明する。上記の目的は本発明によれば、請求の範囲の第1項に記載の改良装置、並びに請求の範囲の第7項に記載の、改良装置を用いた方法を用いることで達成される。本発明は、液体内に基板スタックの形状で、送り方向に相前後して順次配置された複数の盤状基板を分離、偏向及び搬送する装置であって、少なくとも2つの直接隣接して配置された搬送ベルトを含む垂直方向のベルトコンベアを備え、前記ベルトコンベアの搬送域が前記スタックの一方端の前方側に前方側と平行に配置されており、前記ベルトコンベアは真空装置を有し、前記スタックのうち最前方の基板が前記真空装置によって少なくとも第1の搬送ベルトに対して吸引可能であり、垂直方向のベルトコンベアのうち少なくとも2つの搬送ベルトが隣接する領域で相互に同一平面上に配置されている装置に係わる。本発明によれば、前記第1の搬送ベルトと同一平面上に配置された第2の搬送ベルト領域の長さが、垂直の搬送方向において基板の長さの少なくとも1/3に対応しており、前記第2の搬送ベルトはその同一平面領域に続く2つの搬送区間を備えている。DE102006011870B4に記載された装置と比べた最大の相違は、特に吸引バンドと平行に配置された搬送ベルトを含む支持バンドなど、前述した案内要素の全てを省略可能なことである。前述したように、DE102006011870B4の好ましい実施形態では、基板と搬送ベルトとの間に充分な摩擦力を発生させるために、基板に対して作用する力で基板を搬送ベルトに対して押圧する必要がある。従って、基板を効果的に挟持し、送り方向と反対の方向に落下しないように固定するため、吸引バンドもしくはその搬送ベルトと平行に配置された支持バンドもしくは支持ベルトを使用することが特に提案されている。本発明によれば、驚くべきことに、真空によって取り出され吸引バンドの第1の搬送ベルトに固定された基板は、取り出し方向に沿って第1の搬送ベルトに直接続く運搬バンドの第2の搬送ベルト上への引渡し中も、ベルトコンベアに確実に付着したままであること、及び基板は送り方向と反対の方向に落下しないように保護されることが判明した。前述したように本発明によれば、吸引バンドの一部である第1の搬送ベルトには、少なくとも1mbarの範囲の真空でなく、例えば03と05barの間の値、好ましくは約04barというより弱い負圧が与えられる。こうした弱い負圧は、基板に作用して所望の付着力を形成する力を減少させ、各基板の表面と搬送ベルトとの間に流体膜または液膜が維持されるのを可能とする。他方、DE102006011870B4に開示された装置の運搬バンドで構成された第2の搬送ベルトは、吸引バンドの搬送ベルトに直接続いているが、垂直方向の基板面に対して線接触するだけの領域しか与えず、付着力を形成するのに不十分なため、基板を送り方向と反対の方向に落下しないように固定することはできない。これが、開示の装置において提案されている支持バンドが必須である理由である。これに対し、本発明による垂直方向のベルトコンベアの少なくとも2つの搬送ベルトは、隣接する領域で相互に同一平面状に配置されており、第2の搬送ベルトの垂直部分が、付着力を維持するのに充分な面積で基板面に対して与えられる。一部の構成部品を省略して簡略化した図1及び図2に示すように、第1の搬送ベルトと同一平面上に配置された第2の搬送ベルト領域の長さが、垂直の搬送方向において基板の長さの少なくとも1/3に対応している。本発明によれば、垂直方向の搬送機能に加えて、DE102006011870B4に記載された運搬バンドの機能も果たす第2の搬送ベルトの引き続く案内は、その文献に記載されているのとほぼ同様に2つの区間23及び24を設けることによって行われ、後者の区間24はほぼ水平方向を向いている。液体に基づく付着で基板を支持するため、第2の搬送ベルトは液体によって加湿もしくは濡れ状態にされるのが好ましく、その加湿は例えば、連続状のベルトのうち、幾何学的な配置上基板との接触面とならない領域で行われる。特に好ましくは、第2の搬送ベルトの区間24に続く垂直の部分で加湿を行い、第2の搬送ベルトのうち第1の搬送ベルトと同一平面上を走行する領域において、付着をもたらす液膜が基板に与えられるようにする。最も好ましくは、バネなどによって圧力を調整可能な拭き取りロールを第2の搬送ベルトに作用させ、この拭き取りロールは加湿手段と第2の搬送ベルトの垂直な同一平面領域に配置され、加湿液体の精確な投与、ひいては付着にとって望ましい液膜の精確な調整を可能とする。取り出すべき基板を、吸引バンドの一部である第1の搬送ベルトに確実に固定するためには、動的な方法ポンプなど、静的な方法低圧容器またはその他の方法によって、装置の内部または外部に発生可能な能動的低圧を備える必要がある。究極的に第1の搬送ベルトと基板が直接接触して、非常に薄い流体膜数ナノメータから50マイクロメータだけがベルトコンベアと基板との間に存在する状態になれば、付着力が狭い隙間に形成され、それ以後は自己作用による付着、つまり搬送ベルトに対する基板の付着が可能となる。従って、能動的低圧の維持はそれ以後必要なくなる。別の実施形態によれば、基板を更に接近させて基板間から流体を搾り出すことで、所望の付着を行うこともでき、本発明では両方の実施形態の組み合わせも考えられる。こうした付着力は後に続く基板に対する付着力よりも格別大きいため、分離すべき基板の搬送ベルトによる抜き出しを、後に続く基板の面方向と平行に行える。その場合、分離すべき基板に対し、せいぜいわずかなせん断力だけが作用するので、破損率は著しく減少する。引張力または圧縮力は回避される。面接触が充分に大きいと、付着力は一時的な低圧によって発生される力よりも大きくなる。基板を、基板スタックから高頻度で抜き出すことが可能になる。更に接着力は、搬送ベルトの幾何学的設計及び基板の重量に応じ、特に基板が基板スタックを取り囲む液体の外に位置するとき、能動的低圧を発生させなくとも基板をベルトコンベアに付着可能とする大きさになる。別の実施形態によれば、特に第1の搬送ベルトは、例えばプラスチックなど適切な素材からなるフレキシブルバンドとして設計可能であり、このバンドは表面が流体を透過可能に設計され、流体が吸収及び放出さらには移動可能であることが最も好ましい。その目的のため、穿孔の形状及び多孔性基材の形状で開口を設けることもできる。本発明によれば、低圧は抜き出し段階の始めに発生される。この低圧は、基板と第1の搬送ベルトの接触領域との間の前記流体膜が得られるまでは維持されねばならないが、基板が第2の搬送ベルトのほぼ水平な部分上に位置するまで維持してもよい。好ましい実施形態によれば、本発明におけるベルトコンベアは別の真空装置を有し、第2の搬送ベルトが別の真空装置によって、前記同一平面領域に続く搬送区間23の領域で加圧可能である。このようにすれば、スタックの前方側に対する基板の旋回または偏向、及び搬送方向と反対側への基板の傾斜が排除される。この最後に述べた効果は、搬送区間23が傾斜していることでかなりの程度保証されている。この実施形態によれば、第2の搬送ベルトは第1の搬送ベルトと同じ特性を有するのが好ましい。キャリア装置は、複数の基板またはウェハからなる少なくとも1つの基板スタックを収容可能に設計されている。さらにキャリア装置は、特に側方に配置されたブラシストリップなどの手段を備え、個々の基板はその手段により、場合によってはそれぞれが取り出されるまで、所定位置に保持可能である。好ましくは、ブラシストリップはキャリア装置に蝶番開閉または旋回可能に取り付けられ、一時的にだけでも使用可能とされる。キャリア装置は、少なくとも一方向に移動可能である。より詳しくは、キャリア装置は送り方向に次のように移動可能であるのが好ましい。まずキャリア装置は、基板スタック中の分離すべき第1の基板がオプションで設けられる位置検出装置に達するまで移動可能である。その後キャリア装置は、例えばステップ単位で移動可能であり、ステップの幅は通常スタック全体にわたり一定の各基板の厚さに対応するのが好ましい。すなわちこのステップ移動は、最終的にスタック中の最後の基板が抜き出し装置に至るまで行われる。あるいは、キャリア装置を静止したままとするように設計してもよい。この場合には、基板スタックをキャリア装置上で送り方向に移動可能とする適切な手段が設けられる。上記に代えてもしくは上記に加えて、搬送ベルト及びオプションで設けられる位置検出装置の配置により大きな自由度をもたせ、それらが送り方向と反対に、スタックの始端の方向に移動可能であるようにしてもよい。設けられるのが好ましい位置検出装置は、分離すべき基板の姿勢及び位置を検出するための装置である。あるいは、例えばタッチセンサーなど、対応する信号を発生して、分離すべき基板をベルトコンベアが分離及び搬送可能とするセンサー素子の使用も可能である。別の視点に基づく本発明によれば、液体内に基板スタックの形状で、送り方向に相前後して順次配置された複数の盤状基板を、少なくとも2つの搬送ベルトを含む垂直方向のベルトコンベアを用いて分離、偏向及び搬送する方法であって、前記ベルトコンベアの搬送域が前記スタックの一方端の前方側に前方側と平行に配置されており、前記ベルトコンベアは真空装置を有し、前記スタックのうち最前方の基板が前記真空装置によって少なくとも第1の搬送ベルトに対して吸引可能であり、垂直方向のベルトコンベアのうち少なくとも2つの搬送ベルトが隣接する領域で相互に同一平面上に配置されており、前記第1の搬送ベルトと同一平面上に配置された第2の搬送ベルト領域の長さが、垂直の搬送方向において基板の長さの少なくとも1/3に対応しており、前記第2の搬送ベルトはその同一平面領域に続く2つの搬送区間23,24を備えた方法が開示される。本方法は以下の工程を含む:A基板スタックを、ベルトコンベアの搬送域の前方で、液体を収容した槽内に入れる;B第1の搬送ベルトの所定の孔パターンを、スタックの前方側に隣接して位置させる;Cスタックを第1の搬送ベルトの方向に、吸引位置へと移動する;D第1の搬送ベルトに近接した基板の吸引位置及び槽内における基板のスタックからの分離位置を検出する;E槽内の基板を、真空によって第1の搬送ベルトの孔パターンに対して吸引する;F吸引された基板を検出し、第1の搬送ベルトの搬送シーケンスをトリガーする;G搬送ベルトによって基板を槽から外へ移動し、基板を第2の搬送ベルトに渡す;Hスタックの前方側に対して基板を旋回させる;I搬送ベルトの搬送シーケンスが終了したら、スタックの前方側に対して第1の搬送ベルトの所定の孔パターンを位置決めする;及びJスタックが完全に分離されるまで、上記工程CからIを繰り返す。好ましい実施形態によれば、前記工程Hによる基板の旋回は、前記第2の搬送ベルトの同一平面領域に続く搬送区分23の表面で行われる。また、基板に対する付着力の形成を高めるため、前記第2の搬送ベルトは加湿されることが好ましい。さらに、前記ベルトコンベアは別の真空装置を有し、前記第2の搬送ベルトがこの別の真空装置によって、前記同一平面領域に続く前記搬送区間23の領域で加圧可能であることが好ましい。更なる有利な実施形態は、以下の説明、請求の範囲、並びに図面から明らかとなろう。本発明によれば、驚くべきことに、真空によって取り出され吸引バンドの第1の搬送ベルトに固定された基板は、取り出し方向に沿って第1の搬送ベルトに直接続く運搬バンドの第2の搬送ベルト上への引渡し中も、ベルトコンベアに確実に付着したままであること、及び基板は送り方向と反対の方向に落下しないように保護されることが判明した。前述したように本発明によれば、吸引バンドの一部である第1の搬送ベルトには、少なくとも1mbarの範囲の真空でなく、例えば03と05barの間の値、好ましくは約04barというより弱い負圧が与えられる。こうした弱い負圧は、基板に作用して所望の付着力を形成する力を減少させ、各基板の表面と搬送ベルトとの間に流体膜または液膜が維持されるのを可能とする。図1に、DE102006011870B4に開示された関連技術による装置が、概略的に示してある。この装置は、盤状の基板を分離し搬送するのに適する。分離装置1は槽2を備え、分離すべき板状の基板3、例えばシリコン板が、キャリア装置4内に直立して収容され、直立スタック5を形成している。槽2は、その上縁6に至るまで、液体7で満たされている。槽2は駆動装置8に装着されており、駆動装置8が槽2を移動することで、キャリア装置4をベルトコンベア9に送って基板の分離及び搬送を行う。液体7は洗浄液であり、槽2は洗浄浴である。ベルトコンベア9は搬送域スパン10を有し、その搬送ベルト11がスタック5の前方側12に対向して且つ前方側12と平行に配置されている。搬送域10は、搬送ベルト11に加えて、他の2つの搬送ベルト11’及び11’’を備え、これらの搬送ベルトは、図には示してないがsylomere登録商標などを塗布して被覆してもよく、シリコン板3を搬送ベルト11から受け取って、それらを更に搬送する。吸引バンド13の一部をなす搬送ベルト11は所定の孔パターン14を有し、この所定の孔パターン14を通して、液体7が真空装置16の一部をなすポンプ15により、槽2から吸引プレート17を介し吸引可能である。位置センサー19が、スタック5の前方側12に位置したシリコン板3の初期位置18を検出するために設けられている。この位置センサー19が、線形軸として設計された駆動装置8を停止させると共に、吸引バルブを作動させ、液体を吸引バンド13の搬送ベルト11を通して吸引させる。それにより、スタック5のうち最前方のシリコン板3が、吸引バンド13の搬送ベルト11へと吸引される。圧力スイッチ21が、シリコン板3の吸引を認識し、吸引バンド13の搬送シーケンスを開始する。圧力スイッチ21は、吸引プレート17内に示してある。圧力スイッチ21はT字状片図示せずにより、吸引プレート17へと延びる真空装置16の吸引ダクトに接続可能である。シリコン板3は、負圧によってシリコン板が付着する吸引搬送ベルト11の動きに伴い、スタック5の前方側12から取り出される。搬送ベルト11の回動中、シリコン板3が相互に平行に配置された吸引バンド13と支持バンド13’との間の隙間29内へと上方に搬送されるまで、吸引プレート17内に位置した吸引ダクト22によってシリコン板3は吸引バンド13の搬送ベルト11に吸引されたままである。あるいは、搬送ベルト11は連続駆動も可能である。この場合搬送ベルト11の駆動は、搬送ベルト11の孔パターン14上の取り上げ位置にシリコン板3が存在しないときだけ中断される。取り上げ位置にシリコン板3が存在しないことは、圧力スイッチ21によって検出される。シリコン板3が孔パターン14の前方に存在するようになると直ちに、搬送ベルト11は再始動される。搬送ベルト11の孔パターン14が吸引ダクト22を有する吸引プレート17の領域から移動した後、シリコン板3は、支持バンド13’と吸引バンド13及び/又は吸引バンド13に続く運搬バンド13’’との間に挟持され、上方に搬送される。図示した実施形態では、支持バンド13’の搬送ベルト11’及び運搬バンド13’’の搬送ベルト11’’は、孔パターン及び真空装置どちらも有していない。吸引バンド13と支持バンド13’は垂直方向に走行する直線搬送式のバンドで、両バンドは相互にわずかな距離だけ離して配置されている。それらのバンドは両者間に、隙間29を形成している。シリコン板3を吸引バンド13から受け取る運搬バンド13’’は、屈曲搬送式に設計されている。吸引バンド13と接する運搬バンド13’’の傾斜区間23は、典型例として45の傾斜角を有する一方、フリー区間24は水平方向に配置されている。つまり、キャリア装置4内に直立して収容されていたシリコン板3は、分離プロセス中にその横方向軸を中心として90の角度だけ旋回され、ベルトコンベア9の搬送域10の終端において横になった姿勢で与えられる。シリコン板3を確実に搬送する上で45の傾斜角が大きすぎる場合には、運搬バンド13’’と想像水平線との間の角度を、例えば30に減少してもよい。その場合、シリコン板3は当初の垂直姿勢から水平姿勢へと、45づつ2度旋回される代わりに、まず60旋回され、次に30旋回されて、その後搬送される。搬送ベルト11、11’’は、共通の駆動装置を有することも可能である。各搬送ベルトがそれぞれ個々の駆動装置を有する場合は、異なるベルト速度に設定することで、または両搬送ベルト11、11’’のうち一方を停止し、他方の搬送ベルト11’’、11の駆動を継続することで、分離されたシリコン板3を相互に離間調整、すなわちシリコン板間の距離を増減可能である。偏向器26が支持バンド13’の上端25に配置され、偏向器26は支持バンド13’と協働してベルトコンベア9の案内要素13’、26を形成し、これらの案内要素は、吸引バンド13の搬送ベルト11に対してシリコン板3がもはや負圧で保持されなくなった後、シリコン板3に作用する。シリコン板3は偏向器26に接触すると、運搬バンド13’’の傾斜区間23上へと倒れ、傾斜区間23に沿ってさらに搬送され、傾斜区間23の終端において運搬バンド13’’の水平区間24上へ自重によって倒れる。シリコン板3を支持バンド13’から確実に引き離すため、及びシリコン板3を運搬バンド13’’上へ倒すために、図示した偏向器26に代え、図示しないが1個または数個のブラシストリップを偏向手段として、支持バンド13’の上端の領域に配置してもよい。吸引バンド13は図面には示してないペース制御式の駆動装置を備え、この駆動装置が運搬バンド13’’及び支持バンド13’を直接的もしくは間接的に駆動可能である。つまり、例えば運搬バンド13’’の搬送ベルト11’’に対する吸引バンド13の搬送ベルト11による摩擦接触を利用し、搬送ベルト11’’で支持バンド13’の搬送ベルト11’を両者間に挟持されたシリコン板3を介して駆動することも可能である。搬送ベルト11の孔パターン14の位置は孔パターンセンサー27によって検出され、図示の実施形態において孔パターン14は2箇所に存在する。従って、吸引バンド13の搬送シーケンスは搬送ベルト11の半回転に対応する。孔パターンセンサー27は吸引バンド13の戻り側に配置され、孔パターン14がスタック5の前方側12に隣接した吸引ダクト22上にくると搬送ベルト11を停止する。シリコン板3が搬送域10に接近し、初期位置18にあることが真空装置16を制御する位置センサー19によって認識され、且つシリコン板3が真空装置16によって吸引されるまで、搬送ベルト11は上記の位置に留まる。最前方のシリコン板3のスタック5からの分離を容易化するため、液体7がノズル28及び図面には示してないポンプによって槽2から、孔パターン14に最も近接した2つのシリコン板3間に、それらが分離されるように射出される。図2及び図3に、本発明によってさらに発展された、基板スタック5の分離を行う装置1の好ましい実施形態が示してある。この例示としての実施形態では、基板3が基板スタック5として配され、基板スタック5はキャリア装置図示せずに載置されている。個々の基板3は、すでに保持装置から取り外されている。装置1が流体内にあるときは、個々の基板3が不用意にキャリア装置から浮揚もしくは離脱する可能性があるため、キャリア装置は搬送方向に相互に平行に延びた2つの側方ブラシストリップを有するのが好ましく、それらのブラシストリップが各基板をそれぞれが取り出されるまで、例えばキャリア装置を分離装置に搬送する間、側方から一時的に支持する。特に好ましくは、ブラシストリップがキャリア装置に対し取り外し可能もしくは旋回可能に配置される。上記に代えてもしくは上記に加えて、各基板ひいては基板スタックを、キャリア装置内の送り方向または搬送方向に対し、わずかに傾斜させて配置することも可能である。個々の平板状基板3は、それぞれの面が相互に接触するように、相前後して位置している。接触する基板間には、両基板間における非常に小さい隙間や例えば先行するソーイング工程で生じる可能性のある汚染物に基づく付着力が作用する。このように配置された基板3が、所定の送り方向を決定する。さらに本発明によれば、搬送域10を備えたベルトコンベア9と、吸引バンド13及び運搬バンド13’’それぞれの一部を形成する搬送ベルト11及び11’’が設けられている。吸引バンド13の少なくとも1つの孔パターン14が図3に示してあり、この孔パターンは図1を参照した上記の説明と最大範囲で対応している。搬送ベルト11の垂直経路に延長して、搬送ベルト11’’が搬送ベルト11に連結しており、搬送ベルト11’’の垂直走行区分は、搬送方向における基板の長さの少なくとも1/3に対応するのが好ましい。この垂直走行区分に続いて、搬送ベルト11’’は例えば45の角度で傾斜して走行し、その後第3の区分で水平方向に案内される。別の真空装置20が、搬送傾斜区間23である第2の区分において、第2の搬送ベルト11’’の下方に配置されるのが好ましい。装置のうち少なくとも一定の部分、すなわちキャリア装置、基板スタック5、及びベルトコンベア9の一部は、流体内に配置されるのが好ましい。そうすることで、基板は処理手順の全体を通して、もしくは少なくとも各基板が完全に分離されるまで、乾燥することはない。以上本発明を、シリコンウェハの処理に関連して説明した。プラスチックなどその他の素材からなる盤状基板も、本発明に従い処理可能であることは勿論である。"