"一次純水から超純水を製造するサブシステムであって、少なくともUV装置、脱気装置、イオン交換樹脂装置、及びUF膜装置を備えた超純水製造用サブシステムにおいて、該UF膜装置の後段に、粒径1~3mmの粒状吸着体を充填した吸着装置を有し、該UF膜装置からの流出水圧によって、昇圧ポンプポンプを用いることなく該吸着装置に通水が行われることを特徴とする超純水製造用サブシステム。請求項1において、前記粒状吸着体はイオン交換基又はキレート基を有することを特徴とする超純水製造用サブシステム。請求項1又は2において、前記吸着装置の後段にさらにMF膜装置又はUF膜装置が設置されていることを特徴とする超純水製造用サブシステム。本発明は、圧力損失の低い吸着装置をUF膜装置限外濾過膜装置の後段に備えた超純水製造用サブシステムを提供することを目的とする。請求項1の超純水製造用サブシステムは、一次純水から超純水を製造するサブシステムであって、少なくともUV装置、脱気装置、イオン交換樹脂装置、及びUF膜装置を備えた超純水製造用サブシステムにおいて、該UF膜装置の後段に、粒径1~3mmの粒状吸着体を充填した吸着装置を有し、該UF膜装置からの流出水圧によって、昇圧ポンプポンプを用いることなく該吸着装置に通水が行われることを特徴とするものである。請求項2の超純水製造用サブシステムは、請求項1において、前記粒状吸着体はイオン交換基又はキレート基を有することを特徴とするものである。請求項3の超純水製造用サブシステムは、請求項1又は2において、前記吸着装置の後段にさらにMF膜装置又はUF膜装置が設置されていることを特徴とするものである。本発明のサブシステムでは、UF膜装置の後段に、粒径1mm以上の粒状吸着体を充填した吸着装置を備えており、サブシステムから得られる超純水の水質が良好である。本発明では、吸着体の粒径が1mm以上であり、吸着装置の通水圧損が小さい。従って、昇圧ポンプを用いることなく、UF膜装置の流出水圧によって、該吸着装置に通水することができ、設備コストが安価となる。また、昇圧ポンプから発生する異物が超純水に混入することもない。以下、図面を参照して実施の形態について説明する。本発明のサブシステムは、UF膜装置の後段側に、粒径1~3mmの吸着体を充填した吸着装置を設置したものである。このサブシステムを有する超純水製造装置の全体フローの一例を第1図~第3図に示す。第1図~第3図の各超純水製造装置は、いずれも前処理システム1、一次純水システム2及びサブシステム3から構成される。凝集、加圧浮上沈殿、濾過装置等よりなる前処理システム1では、原水中の懸濁物質やコロイド物質の除去を行う。逆浸透RO膜分離装置、脱気装置及びイオン交換装置混床式、2床3塔式又は4床5塔式を備える一次純水システム2では原水中のイオンや有機成分の除去を行う。なお、RO膜分離装置では、塩類除去のほかにイオン性、コロイド性のTOCを除去する。イオン交換装置では、塩類除去のほかにイオン交換樹脂によって吸着又はイオン交換されるTOC成分を除去する。脱気装置窒素脱気又は真空脱気では溶存酸素の除去を行う。第1図の超純水製造装置では、このようにして得られた一次純水通常の場合、TOC濃度2ppb以下の純水を、サブタンク11、ポンプP、熱交換器12、UV酸化装置13、触媒式酸化性物質分解装置14、脱気装置15、混床式脱イオン装置イオン交換装置16、微粒子分離用UF膜装置17及び吸着装置18に順次に通水し、得られた超純水をユースポイント19に送る。吸着装置18は、粒径1~3mm特に1~1.5mmの吸着体を充填したものであり、通水圧損が小さい。そのため、UF膜装置17と吸着装置18との間に昇圧ポンプは設置されておらず、UF膜装置17からの流出水圧によって吸着装置18に通水される。UV酸化装置13としては、通常、超純水製造装置に用いられる185nm付近の波長を有するUVを照射するUV酸化装置、例えば低圧水銀ランプを用いたUV酸化装置を用いることができる。このUV酸化装置13で、一次純水中のTOCが有機酸、更にはCO2に分解される。また、このUV酸化装置13では過剰に照射されたUVにより、水からH2O2が発生する。UV酸化装置の処理水は、次いで触媒式酸化性物質分解装置14に通水される。触媒式酸化性物質分解装置14の酸化性物質分解触媒としては、酸化還元触媒として知られる貴金属触媒、例えば、金属パラジウム、酸化パラジウム、水酸化パラジウム等のパラジウムPd化合物又は白金Pt、なかでも還元作用の強力なパラジウム触媒を好適に使用することができる。この触媒式酸化性物質分解装置14により、UV酸化装置13で発生したH2O2、その他の酸化性物質が触媒により効率的に分解除去される。そして、H2O2の分解により、水は生成するが、アニオン交換樹脂や活性炭のように酸素を生成させることは殆どなく、DO増加の原因とならない。触媒式酸化性物質分解装置14の処理水は、次いで脱気装置15に通水される。脱気装置15としては、真空脱気装置、窒素脱気装置や膜式脱気装置を用いることができる。この脱気装置15により、水中のDOやCO2が効率的に除去される。脱気装置15の処理水は次いで混床式イオン交換装置16に通水される。混床式イオン交換装置16としては、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とをイオン負荷に応じて混合充填した非再生型混床式イオン交換装置を用いる。この混床式イオン交換装置16により、水中のカチオン及びアニオンが除去され、水の純度が高められる。混床式イオン交換装置16の処理水は次いでUF膜装置17に通水される。このUF膜装置17で水中の微粒子、例えば混床式イオン交換装置16からのイオン交換樹脂の流出微粒子等が除去され、次いで吸着装置18に通水される。吸着装置18は、カラム内に粒径1~3mmの粒状吸着体、好ましくはイオン交換樹脂又はキレート樹脂が充填されたものである。この吸着装置18によって吸着処理されることにより、TOC、CO2、DO、H2O2、イオン性物質及び微粒子が高度に除去された高純度の超純水が得られる。また、吸着装置18は、充填粒子の粒径が大きく、通水圧損が小さいので、UF膜装置17と吸着装置18との間に昇圧ポンプが不要であり、設備コストが低く、また、昇圧ポンプからの異物混入もない。なお、吸着体は、イオン除去を目的としたものである場合、イオン交換樹脂を用いる。イオン交換基としては、スルホン基、カルボキシル基、1~4級アンモニウム基を挙げることができる。また、吸着体が中性溶質や有機物除去を目的としたものである場合、非荷電性官能基を付与した樹脂を用いる。イオン交換樹脂及びキレート樹脂を混合して用いることもできる。樹脂の基材としては、ポリスリスチレン、ポリオレフィン、ポリスルホンなどを挙げることができ、構造としてはゲル状、ポーラス状のものを挙げることができる。第1図の構成は本発明の超純水製造装置の一例であり、本発明の超純水製造装置は、従来の装置と同様に前処理システム、一次純水システム、サブシステムから構成され、その一連の構成単位装置のうちのサブシステムにおいて、UF膜装置17の後段に吸着装置18が設置されている限り、各種の機器を組み合わせることができる。例えば、第2図のように、UV酸化装置13からのUV照射処理水をそのまま混床式脱イオン装置16に導入してもよい。第3図のように、触媒式酸化性物質分解装置14の代わりにアニオン交換塔19を設置してもよい。図示はしないが、混床式イオン交換装置の後にRO膜分離装置を設置しても良い。また、原水をpH4.5以下の酸性下、かつ、酸化剤存在下で加熱分解処理して原水中の尿素及び他のTOC成分を分解した後、脱イオン処理する装置を組み込むこともできる。UV酸化装置や混床式イオン交換装置、脱気装置等は多段に設置されても良い。また、前処理システム1や一次純水システム2についても、何ら図に示すものに限定されるものではなく、他の様々な装置の組み合せを採用し得る。吸着装置18の下流に分離膜装置として、MF膜装置、UF膜装置を設置してもよい。粒子除去性能を高くする場合、膜の孔径は0.02~1μm、好ましくは0.05~0.1μmとする。厚さは0.01~1mmであることが好ましい。材質は、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリスルホン、ポリエステル、ポリアミド、セルロース系、ポリビニリデンフロライド、ポリテトラフルオロエチレンなどを挙げることができる。次に、吸着装置18の粒状吸着体の粒径を1mm以上としたことにより通水圧損が小さくなる計算例を示す。第4図a,bは粒子充填体のモデルであり、aは円筒状、bは円柱状である。aでは水は外周面から内周面に向って通水され、内孔を通って取り出される。Lは外径半径と内径半径との差、Dsは内孔直径、Dcは充填体直径である。bでは水は一端面から他端面に通水される。Lcは円柱の高さを示す。図1に示すような粒子充填体と通水方向の純水装置において、粒子径と圧力損失の関係を検討した。一般に、粒子充填体の抵抗R[1/m]はコズニーカルマンの式から求めることができる。記号は、粒子充填体の空隙率ε[-]、流路長L[m]、粒径d[m]である。R=1801-ε2L/ε3d21圧力損失ΔP[Pa]は、抵抗と水の粘度μ[Pas]、流量Q[m3/s]、断面積A[m2]により次の式で求めることができる。ΔP=Q/AμR2式1、2に基づいて、第4図のa、bの2通りの通水方式で粒子径と圧力損失を計算した結果を表1に示す。水温は25°C、流量は20L/minとし、標準的な充填体のサイズを直径8cm、長さ22.4cmとした。aの通り外周面から中心に通水する場合は、粒子径を130μmにしても圧力損失50kPa以下を保つことができる。しかし、構造的に流路長を4cm以上にすることができず、表面積が大きいことで、寿命や偏流が起こると処理水質が低下するという課題がある。一方、bのように端面から他端面に通水する場合は、流路長を22.4cmにすることができ、寿命の点で有利となる。その際、圧力損失を50kPa以下にするためには粒径1mm以上が必要となることが分かる。なお、粒子の粒径が3mm以上であると、圧力損失は低くなるが、接触面積が減少して不純物の除去効率が低下する。従って、粒子径は1~3mmが望ましく、さらには1.0~1.5mmであることが望ましい。次に、吸着装置18の構造の一例について第5図を参照して説明する。第5図aは、流入口31及び流出口32を有した円筒状ハウジング30内に複数個この場合は2個の充填体吸着体の充填体20を支持体21を介して同軸状に配設した吸着装置18の断面図、同bは支持体21の分解断面図、同cは支持体21の分解平面図である。第5図では充填体20が2個設けられているが、3個以上であってもよく、通常は1~5個程度が好適である。支持体21は、多数の孔22aを有し、外周面にOリング22bが装着された多孔板22と、この多孔板22に重なるメッシュ23と、このメッシュ23に重なる精密濾過膜24と、精密濾過膜24に重なるOリング25とを有している。精密濾過膜24としては、孔径0.02~0.45μmのものが好適である。Oリング22b、25によって支持体21の位置が固定されると共に、ハウジング30の内周面と支持体21の外周面との間からの漏水が防止される。精密濾過膜24によって微粒子を除去すると共に、支持体21よりも上流側の充填体20を通過する水の流量を制御し、ショートパスや偏流を防止ないし抑制する。ハウジング30内に複数の充填体20を直列に設置しているので、1つの充填体20に水の流れやすい部分と流れ難い部分ができることによって、ショートパス偏流が発生した場合でも、下流側の充填体20に流入する前に水の合流が起こるため、ショートパス偏流が吸着装置18の全長に及ばない。また、充填体20の前後に支持体21を設置することで、水を混合し整流すると共に、支持体21の通水の抵抗により水の流量を制御することができる。これにより、ショートパス、偏流をさらに軽減することができる。多孔板22の材質としては、ポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレンなどを挙げることができる。メッシュ23としては、ポリオレフィン、ポリエステルなどが好適であり、厚さは0.05mm~3mm、特に0.1~2mm、細孔径10μm以上の範囲であることが望ましい。精密濾過膜24の材質としては、ポリビニリデンフロライド、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスルホン、ポリアミド、セルロース系を挙げることができる。精密濾過膜24の厚さは0.05mm~0.5mm、好ましくは0.1~0.3mm、細孔径0.02~1μm特に0.02~0.45μmの範囲であることが望ましい。第6図aのように、上記吸着装置18のハウジング30の流入側のエンドプレートを省略した吸着装置18’の設置例を第6図bに示す。なお、ハウジング30’は、流入側エンドプレートを省略した他はハウジング30と同一構成を有する。吸着装置18’のその他の構成は吸着装置18と同一であり、同一符号は同一部分を示している。第6図bの通り、この吸着装置18’を耐圧容器40内に配置し、流出口32を耐圧容器出口部42に接続する。そして、耐圧容器40の供給口41から耐圧容器40内に水を流入させ、吸着装置18’の処理水を出口部42から取り出す。吸着装置18’の充填体30の数は1個でも複数個でもよい。充填体20のサイズとしては、直径8cm、長さ22.4cmが一つの目安となる。このサイズは、既存のプリーツ型イオン交換フィルターと同等であり、既存のフィルター容器を用いることができる。このサイズよりも、直径を大きくすると圧力損失は低下し、長さを長くすると圧力損失は上昇するため、バランスを考慮して決定する必要がある。吸着装置18’に流入する水は、比抵抗として、10MΩcm以上、さらには比抵抗15MΩcm以上の超純水であることが好ましい。以下、実験例について説明する。実験No.1第5図の吸着装置に粒子径0.5mmのカチオン交換樹脂ピュロライト製を充填し、超純水を通水して圧力損失を計測した。粒子充填体サイズは直径8cm、長さ22.4cm支持板含むである。通水条件は、水温25°C、流量20L/min、Na濃度1pptである。その結果、圧力損失は175kPaであった。通水2時間後の処理水Na濃度は0.1ppt以下であり、1ヶ月以上維持された。実験No.2実験No.1において、粒子径1.0mmのカチオン交換樹脂ピュロライト製を充填したこと以外は同様にして圧力損失を計測した。圧力損失は45kPaであった。通水2時間後の処理水Na濃度は0.1ppt以下であり、1ヶ月以上維持された。実験No.3実験No.1において、粒子径1.5mmのカチオン交換樹脂ピュロライト製を充填したこと以外は同様にして圧力損失を計測した。圧力損失は22kPaであった。通水2時間後の処理水Na濃度は0.1ppt以下であり、1ヶ月以上維持された。実験No.4実験No.1において、粒子径3.0mmのカチオン交換樹脂ピュロライト製を充填したこと以外は同様にして圧力損失を計測した。圧力損失は7kPaであった。通水2時間後の処理水Na濃度は0.1ppt以下であったが、1ヶ月後には0.15pptとなった。これは内部拡散の問題で破過したものと考えられる。"