"被駆動体の位置に応じて互いに異なる位相差を有する出力信号を出力するn個の検出素子と、前記n個の検出素子に対して前記出力信号を逐次出力させて、前記n個の前記出力信号によって信号の1周期を構成された第1の検出信号を出力する出力部と、前記出力部から出力された前記第1の検出信号の1周期の周波数である基本周波数を含む所定の通過周波数帯域を有し、前記第1の検出信号のうちの前記所定の通過周波数帯域を通過させて位相変調された第2の検出信号を出力するフィルタ部と、前記フィルタ部から出力された前記第2の検出信号に基づいて、前記被駆動体の位置情報を検出する位置検出部と、を備え、前記検出素子の個数を示す前記nの値は、前記出力部から出力された前記第1の検出信号に含まれる前記出力信号の誤差成分のうちの少なくとも所定次数の誤差成分を低減するように定められていることを特徴とする位置検出装置。前記n個の検出素子は、前記被駆動体の移動に伴って得られる前記第1の検出信号の1周期に応じて互いに等間隔に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。前記n個の検出素子は、前記互いに異なる位相差が前記出力信号の1周期に対して等間隔になるように、配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の位置検出装置。前記n個の検出素子は、前記被駆動体の位置の変位に対する前記出力信号の1周期分の変位範囲を等分割する位置に、それぞれ配置されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記被駆動体は回転子であり、前記n個の検出素子は、前記回転子の一回転を等分割する位置に、それぞれ配置されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記所定次数の誤差成分は、3次以上の誤差成分であって、前記出力部から出力された前記第1の検出信号に含まれる前記誤差成分のうちのm×n±1次の誤差成分ただしmは1以上の自然数を除く次数成分であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記n個の検出素子は、5個以上の検出素子であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記フィルタ部は、前記所定次数の誤差成分を低減するように、前記所定の通過周波数帯域の幅が定められていることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記検出素子の個数を示す前記nの値は、前記検出素子の出力信号に含まれる誤差成分のうちのn±1次の誤差成分が所定の値以下になるように定められていることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の位置検出装置。前記検出素子の出力信号に含まれる誤差成分は、予め測定された前記検出素子の出力における前記被駆動体の位置に対応する誤差を周波数領域信号に変換した誤差特性として算出され、前記検出素子の個数を示す前記nの値は、前記誤差特性に基づいて、前記n±1次の誤差成分が前記所定の値以下になるように定められていることを特徴とする請求項9に記載の位置検出装置。前記フィルタ部は、前記被駆動体の位置の変位速度に応じて、前記変位速度により変動した前記基本周波数の周波数成分を通過させて、前記変位速度により前記基本周波数の周波数成分から分離された前記n±1次の誤差成分を低減するように、前記所定の通過周波数帯域の幅が定められていることを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の位置検出装置。前記検出素子は、前記検出素子を駆動する駆動電圧が供給される駆動端子と、前記出力信号を出力する出力端子とを有し、前記出力部は、前記駆動端子と前記出力端子とを切り替える切り替え部を備えることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか一項に記載の位置検出装置。請求項1から請求項12のいずれか一項に記載の位置検出装置と、前記被駆動体を駆動する駆動部と、を備えることを特徴とする駆動装置。しかしながら、上述のような位置検出装置は、例えば、生成した位相変調された検出信号に正弦波からの歪みが生じている場合に、生じた歪みがそのまま位置情報の誤差として検出される。このような場合、上述のような位置検出装置は、高精度に位置情報を検出することが困難であるという問題があった。本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、高精度に位置情報を検出することができる位置検出装置、及び駆動装置を提供することにある。上記問題を解決するために、本発明の一実施形態は、被駆動体の位置に応じて互いに異なる位相差を有する出力信号を出力するn個の検出素子と、前記n個の検出素子に対して前記出力信号を逐次出力させて、前記n個の前記出力信号によって信号の1周期を構成された第1の検出信号を出力する出力部と、前記出力部から出力された前記第1の検出信号の1周期の周波数である基本周波数を含む所定の通過周波数帯域を有し、前記第1の検出信号のうちの前記所定の通過周波数帯域を通過させて位相変調された第2の検出信号を出力するフィルタ部と、前記フィルタ部から出力された前記第2の検出信号に基づいて、前記被駆動体の位置情報を検出する位置検出部と、を備え、前記検出素子の個数を示す前記nの値は、前記出力部から出力された前記第1の検出信号に含まれる前記出力信号の誤差成分のうちの少なくとも所定次数の誤差成分を低減するように定められていることを特徴とする位置検出装置である。また、本発明の一実施形態は、上記に記載の位置検出装置と、被駆動体を駆動する駆動部と、を備えることを特徴とする駆動装置である。本発明によれば、高精度に位置情報を検出することができる。以下、本発明の一実施形態による位置検出装置について、図面を参照して説明する。[第1の実施形態]本実施形態では、位置検出装置の一例として、磁気式のエンコーダについて説明する。図1は、第1の実施形態によるエンコーダ1の構成の一例を示す概略構成図である。図1において、エンコーダ1は、磁石5を有する回転子6と、この回転子6の近傍に配置された複数例えば、5個の磁気検出素子11~15と、その磁気検出素子11~15やその他の制御部品を搭載した基板組9とを備えている。ここで、回転子6の近傍とは、例えば、この回転子6の周囲、又は、回転子6の円周上のことである。磁石5は、例えば、永久磁石である。本実施形態では、一例として、磁石5は、磁極数が1の永久磁石である。ここで、磁極数とは、Sエス極とNエヌ極との対の数を示す。すなわち、磁石5は、1対のSエス極とNエヌ極とを有する永久磁石である。磁気検出素子11~15検出素子は、例えば、それぞれホール素子である。以降、磁気検出素子11,12,13,14,15を、ホール素子11HS1,12HS2,13HS3,14HS4,15HS5と称して以下説明する。また、ホール素子11HS1,12HS2,13HS3,14HS4,15HS5のうちの任意のホール素子、又は単にエンコーダ1が備えるホール素子を示す場合には、ホール素子10検出素子と称して以下説明する。この図1において、回転子6被駆動体が紙面に対して垂直となる回転軸を中心として回転すると、回転子6の回転に伴い磁石5が回転し、ホール素子11~15で検出される磁石5からの磁界が変化する。エンコーダ1は、この磁界の変化を、ホール素子11~15の5個のホール素子によりそれぞれ検出し、この検出した磁界の変化量から回転子6の回転位置を検出する。ここで、本実施形態における回転位置とは、回転角度、回転位置や回転角度などを示す位置情報のことである。なお、図1を用いて説明した5個のホール素子11~15は、例えば、それぞれが同様の検出感度を有しており、それぞれが同様の出力レベルを有している。また、5個のホール素子11~15は、例えば、それぞれ基板組9の平面上であって、回転子6の回転軸と法線ベクトルの方向を同一とする平面上に配置されており、回転子6の回転軸から等距離となる円周上に配置されている。また、ホール素子11~15は、それぞれ回転子6の円周上に等間隔この場合は、回転子6の回転軸を中心として72度の等角度に配置されている。ホール素子11~15は、回転子6の位置回転位置に応じて互いに異なる位相差を有する出力信号を出力する。図2は、第1の実施形態におけるホール素子11~15の出力波形を示す図である。図2において、縦軸は、ホール素子10の出力レベルを示し、横軸は回転角度θを示している。また、波形W11~W15は、ホール素子11~15の出力波形にそれぞれ対応する。波形W11~W15が示すように、各ホール素子11~15は、回転子6の回転によって、疑似正弦波信号例えば、台形波形状の波形を出力する。本実施形態では、各ホール素子11~15は、回転子6が1回転1周した場合に、1周期の出力信号を出力する。また、上述したように、ホール素子11~15は、回転子6の円周上に等間隔例、72度の等角度に配置されているため、ホール素子11~15の出力波形W11~W15は、回転子6の位置回転位置に応じて互いに異なる位相差例、72度の位相差を有している。すなわち、5個のホール素子11~15は、互いに異なる位相差が出力信号の1周期に対して等間隔例、72度間隔になるように配置されている。例えば、5個のホール素子11~15は、回転子6の一回転を等分割する位置に、それぞれ配置されている。このように、出力信号1周期が得られる位置に5個のホール素子11~15を等間隔に配置しているため、各ホール素子11~15の出力は、同じ疑似正弦波形状の出力が一定間隔で位相のずれた信号となる。図3は、本実施形態におけるエンコーダ1の構成を示すブロック図である。図3において、エンコーダ1位置検出装置は、ホール素子11~15、切り替え部20、電源回路25、抵抗26、差動アンプ27、フィルタ回路3、及び信号処理部4を備えている。ここで、切り替え部20と、電源回路25と、抵抗26と、差動アンプ27と、信号処理部4の後述する切り替え制御部42とが、出力部2に対応する。ホール素子11~15検出素子は、それぞれ4つの端子を有している。また、ホール素子11~15は、ホール素子11~15を駆動する駆動電圧が供給される入力端子駆動端子と、出力信号を出力する出力端子とをそれぞれ有している。この4つの端子には、入力端子in及びin-と、出力端子out及びout-とが含まれている。ホール素子11~15のそれぞれの入力端子inには、切り替え部20アナログSW21を介して電源回路25の電源出力線が接続される。また、ホール素子11~15のそれぞれの入力端子in-には、切り替え部20アナログSW24及び抵抗26を介してグランドが接続される。なお、ホール素子11~15のそれぞれの入力端子in-は、抵抗26を介さずにグランドに接続される形態でもよい。また、ホール素子11~15のそれぞれの出力端子outには、切り替え部20アナログSW22を介して差動アンプ27の入力端子非反転入力端子端子が接続される。また、ホール素子11~15のそれぞれの出力端子out-には、切り替え部20アナログSW23を介して差動アンプ27の入力端子反転入力端子-端子が接続される。出力部2は、例えば、5個のホール素子11~15に対して出力信号疑似正弦波信号を逐次出力させて、5個5つの出力信号によって信号の1周期を構成された第1の検出信号信号Aを出力する。すなわち、出力部2は、5個のホール素子11~15の出力信号を逐次出力させて、図3の波形W4に示すような1周期が波形W3セレクト信号S2は後述の周期となる第1の検出信号信号Aを出力する。なお、逐次出力とは、例えば、ホール素子11~15の各出力信号を順次逐次出力させることである。本実施形態では、出力部2は、一例として、ホール素子11の出力信号からホール素子15の出力信号の順に順番に、出力信号を切り替えて、上述の第1の検出信号信号Aを出力する。ここで、順に又は順次逐次又は順番にとは、時系列的に、または、複数の中から1つずつ選択的にという意味である。切り替え部20は、ホール素子11,12,13,14,15と電源回路25との間の接続、及び、ホール素子11,12,13,14,15と差動アンプ27との間の接続を、ホール素子11,12,13,14,15に対して順に切り替える。切り替え部20は、アナログSW21~24の4つのスイッチアナログスイッチを備えている。アナログSW21、アナログSW22、アナログSW23、及びアナログSW24は、それぞれ、少なくとも5つの第1の端子と、1つの第2の端子とを備えている。アナログSW21の第1の端子には、ホール素子11~15の入力端子inが、それぞれ対応して接続されている。アナログSW21の第2の端子には、電源回路25が接続されている。また、アナログSW21には、セレクト信号アナログSWのドライブ信号S0~S2が入力されている。アナログSW21においては、このセレクト信号S0~S2の組み合わせにより、5つの第1の端子のうちのいずれか1つの端子が選択され、この選択された第1の端子と、第2の端子とが接続される。このアドレスセレクト信号S0~S2は、後述する切り替え制御部42から供給される選択信号であり、5つの第1の端子のうちのいずれか1つの端子を選択する選択信号である。アナログSW21は、このセレクト信号S0~S2の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の入力端子inを電源回路25に接続する。同様に、アナログSW22は、このセレクト信号S0~S2の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の出力端子outを差動アンプ27の入力端子端子に接続する。同様に、アナログSW23は、このセレクト信号S0~S2の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の出力端子out-を差動アンプ27の入力端子-端子に接続する。同様に、アナログSW24は、このセレクト信号S0~S2の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の入力端子in-を、抵抗26を介して接地させる。電源回路25は、セレクト信号S0~S2の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10に、上述したようにアナログSW21とアナログSW24とを介して、電流または電圧を供給する。抵抗26は、セレクト信号S0~S2の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の入力端子-端子を、上述したようにアナログSW24を介して接地する。差動アンプ27は、例えば、差動増幅回路であり、セレクト信号S0~S2の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の出力端子outと出力端子out-からの信号が、上述したアナログSW22とアナログSW23とを介して供給される。そして、この差動アンプ27は、供給されたホール素子10の出力端子outの信号と出力端子out-の信号とを差動増幅して第1の検出信号信号Aとして、フィルタ回路3に出力する。このように、出力部2は、セレクト信号S0~S2の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子に対して電流または電圧を供給し、この選択され、電流または電圧が供給された1つのホール素子からの出力を差動増幅して第1の検出信号を出力する。なお、本実施形態では、一例として、切り替え制御部42は、ホール素子11,12,13,14,15の順にホール素子を選択するように、セレクト信号S0~S2を出力する。ホール素子11~15は、互いに異なる位相差が出力信号の1周期に対して等間隔例えば、72度間隔になるように配置されているので、出力部2の出力信号である第1の検出信号信号Aは、セレクト信号S2と同じ周期を構成する信号になる。なお、この1周期の第1の検出信号は、回転子6の位置回転位置に応じて位相が変動する位相変調された検出信号である。また、本実施形態では、この第1の検出信号における1周期の周波数を基本周波数fキャリア周波数として説明する。なお、この基本周波数fは、セレクト信号S2の周波数に対応する。ここで、ホール素子10の個数である5個は、後述する原理により、出力部2から出力された第1の検出信号に含まれるホール素子10の出力信号の歪成分誤差成分のうちの少なくとも所定次数の歪成分誤差成分を低減するように定められている。ホール素子10の出力信号の歪成分誤差成分、及び所定次数の歪成分誤差成分の詳細については、後述する。フィルタ回路3フィルタ部は、所定の通過周波数帯域を有する、例えば、ロウパスフィルタ回路、バンドパスフィルタ回路などである。フィルタ回路3は、出力部2から出力された第1の検出信号のうちの所定の通過周波数帯域を通過させて位相変調された第2の検出信号信号Bを信号処理部4に出力する。ここで、所定の通過周波数帯域には、出力部2から出力された第1の検出信号信号Aの1周期の周波数である上述した基本周波数fが含まれる。フィルタ回路3は、例えば、第1の検出信号に含まれる基本周波数fの成分を通過させて、基本周波数f以外の成分を低減する。また、フィルタ回路3は、後述する所定次数の歪成分誤差成分を低減するように、所定の通過周波数帯域の幅が定められている。信号処理部4は、エンコーダ1の信号処理を実行する。信号処理部4は、位置検出部41と、切り替え制御部42とを備えている。位置検出部41は、フィルタ回路3から出力された第2の検出信号信号Bに基づいて、回転子6の位置情報を検出する。位置検出部41は、例えば、同期検波位相同期回路の手法を用いて、フィルタ回路3から出力された第2の検出信号信号Bに基づいて、回転子6の位置情報を検出する。切り替え制御部42は、切り替え部20のアナログSW21~24に供給するセレクト信号S0~S2を生成する。すなわち、切り替え制御部42は、セレクト信号S0~S2に基づいて、アナログSW21~24の接続を例えば、時計回りの順に切り替えることにより、ホール素子11~15の各出力信号を順次出力逐次出力させる。次に、本実施形態におけるエンコーダ1の動作、及び原理について説明する。まず、切り替え制御部42は、例えば、図3の波形W1~W3に示すようなセレクト信号S0~S2を生成し、切り替え部20に供給する。このセレクト信号S0~S2は、例えば、等しい時間間隔によって、[信号S2、信号S1、信号S0]の組が示す2進カウント値を0~5に切り替えるような信号である。これにより、切り替え部20アナログSW21~24は、ホール素子11~15の各出力信号を順次切り替えて、差動アンプ27に供給する。差動アンプ27は、供給されたホール素子10の出力信号を差動増幅して第1の検出信号信号Aとして、フィルタ回路3に出力する。ここで、第1の検出信号信号Aは、例えば、図3及び図4の波形W4に示すような信号である。例えば、現在の回転子6の角度回転位置をθとした場合に、ホール素子11~15の各出力信号は、下記の式1によって表される。但し、各ホール素子11~15の検出感度は同等とする。ここで、変数φは、ホール素子11~15のそれぞれの配置に伴う位相差位相間隔を示しており、本実施形態において、位相間隔φ=72度となる。図4は、本実施形態における出力部2の出力波形の一例を示す図である。この図において、波形W4は、回転子6の角度θ=10度とした場合における出力部2の出力信号である第1の検出信号信号Aを示している。また、波形W4において、波形W41は、ホール素子11の出力信号に対応し、波形W42は、ホール素子12の出力信号に対応し、波形W43は、ホール素子13の出力信号に対応している。また、波形W44は、ホール素子14の出力信号に対応し、波形W45は、ホール素子15の出力信号に対応している。このように、出力部2は、互いに位相間隔φ=72度ずれているホール素子11~15の各出力信号により1周期ここでは、周期1/fとなる階段状の波形信号を第1の検出信号信号Aとして出力する。また、波形W4として示される第1の検出信号信号Aを時間tの関数Ftとし、基本周波数f周期1/fとしてフーリエ級数展開すると、波形W4Ftは、以下の式2によって表される。ここで、変数ω=2πf角周波数を示す。図5は、本実施形態における出力部2の出力信号のフーリエ級数展開結果を示す図である。この図において、横軸は、基本周波数fの次数を示し、縦軸は、フーリエ級数展開結果の振幅を示している。また、棒線B1は基本周波数f成分の振幅に対応し、棒線B2は基本周波数fの4次成分の振幅に対応し、棒線B3は基本周波数fの6次成分の振幅に対応する。また、同様に、棒線B4は基本周波数f成分の9次成分の振幅に対応し、棒線B5は基本周波数fの11次成分の振幅に対応する。また、同様に、棒線B6は基本周波数f成分の14次成分の振幅に対応し、棒線B7は基本周波数fの16次成分の振幅に対応する。式2及び、図5に示すように、波形W4Ftは、基本周波数fの成分棒線B1、及び5m±1次の成分棒線B2~B7から構成されている。ここで、mは1以上の自然数であり、5m±1における5は、ホール素子11~15の個数を示している。すなわち、波形W4Ftには、基本周波数fの成分棒線B1、及び5m±1次の周波数成分棒線B2~B7が含まれているが、5m±1次の周波数成分以外の他の次数成分例えば、2次成分や3次成分などは含まれない。なお、ホール素子10の個数をn個とした場合には、出力部2は、基本周波数fの成分及びm×n±1次の周波数成分を含む第1の検出信号を出力する。また、図5において、周波数範囲R1は、フィルタ回路3の上述した所定の通過周波数帯域の範囲を示している。すなわち、フィルタ回路3は、出力部2から出力された第1の検出信号に含まれる周波数成分のうちの、所定の通過周波数帯域周波数範囲R1の成分を通過させて、所定の通過周波数帯域周波数範囲R1以外の成分を低減させる。そのため、フィルタ回路3は、第1の検出信号に含まれる所定の通過周波数帯域周波数範囲R1以外の成分を低減させた、図4に示す波形W5のような第2の検出信号信号Bを出力する。すなわち、フィルタ回路3は、出力部2から出力された第1の検出信号のうちの基本周波数fの高次成分を除去して、基本周波数fの成分を位相変調された第2の検出信号として出力する。なお、この第2の検出信号波形W5は、下記の式3により表される。この第2の検出信号は、基本周波数fの位相項に角度情報回転位置情報θが組み込まれた位相変調信号である。信号処理部4の位置検出部41は、同期検波位相同期回路の手法を用いて、フィルタ回路3から出力された第2の検出信号信号Bに基づいて、回転子6の角度情報回転位置情報θを検出する。なお、波形W5として出力される第2の検出信号信号Bは、時間tに応じて変化する基本周波数fの正弦波信号キャリア信号であり、図2に示されるホール素子10の出力信号波形W11~W15である正弦波信号のとは異なる。ホール素子10の出力信号波形W11~W15は、回転子6の回転位置回転角度θに応じて正弦波状に変化する。次に、本実施形態におけるエンコーダ1が、第1の検出信号に含まれる歪成分誤差成分を低減する動作、及び原理について説明する。ここで、歪成分誤差成分とは、ホール素子10の理想的な出力信号である正弦波信号に対するホール素子10の出力信号の歪誤差のことであり、正弦波歪とも称する。なお、この正弦波歪は、ホール素子10の出力信号から生成される第1の検出信号にも含まれている。そのため、この正弦波歪は、第2の検出信号に位相のずれとして現れ、その結果、角度情報回転位置情報θの検出誤差の要因となる。図6は、本実施形態におけるホール素子10の出力における歪特性誤差特性の一例を示す図である。図6aは、ホール素子10例えば、ホール素子11の出力信号と歪特性誤差特性の一例を示すグラフを示している。図6aに示されるグラフにおいて、横軸は、回転子6の角度位置を示し、左縦軸は、ホール素子11の出力信号のレベルを示し、右縦軸は、歪の歪量ずれ量を示している。また、波形W6は、ホール素子11の出力信号を示している。ホール素子11の出力信号は、例えば磁石5とともに回転子6を1周360度回転させた場合に、ホール素子11によって得られる信号である。ホール素子11の出力信号波形W6は、磁石5の材質及び形状などによる磁気特性の歪成分を含んでいる。また、波形W7は、歪成分を含まない理想的な正弦波形を示しており、波形W8は、波形W6と波形W7とのずれ量歪量を示している。波形W8に示すように、ホール素子11の出力信号に含まれる歪成分誤差成分は、波形W7を基本波基準波とした場合の高次成分である奇数次成分例えば、特に3次の歪成分を含んでいる。また、図6bは、波形W8を周波数領域信号に変換例えば、フーリエ解析した結果を示すグラフである。図6bにおいて、縦軸は、規格化された振幅:パーセントを示し、横軸は周波数成分次数を示している。また、図6bにおいて、第1サンプル、第2サンプル、及び第3サンプルは、磁石5の異なる3つのサンプルにおけるフーリエ解析結果誤差特性を示している。ここで、棒線B11~B19は、それぞれ、波形W8に含まれる2次の歪成分2次の誤差成分~10次の歪成分10次の誤差成分に対応する。図6bに示す例では、ホール素子11の出力信号波形W6に含まれる歪成分誤差成分のうち、例えば、3次の歪成分3次の誤差成分が特に大きいことを示している棒線B12。このことは、例えば、基本波成分を1で規格化した場合の3次の歪成分の振幅が40.04だった場合に、一般に、1つのホール素子11と磁石5とにより角度位置情報を検出した誤差の最大値が、0.04radラジアン=2.3度となることを示し、非常に大きい誤差が発生する。そこで、本実施形態では、この3次の歪成分3次の誤差成分による影響を低減するように、ホール素子10の個数nを、例えば、5に定めている。また、後に説明するが、出力部2によってホール素子11~15の出力信号を逐次出力した第1の検出信号信号Aの基本周波数f成分には、m×n±1次の歪成分が含まれる。すなわち、ホール素子10の個数をn個とした場合には、出力部2は、基本周波数fの成分及びm×n±1次の歪成分を含む第1の検出信号を出力する。この場合、ホール素子10の個数を示すn個は、低減したい所定次数の歪成分に基づいて定められる。例えば、所定次数の歪成分として3次の歪成分を低減したい場合には、m×n±1次の次数が3次と重ならないように、nの値を定めることにより、出力部2が出力する第1の検出信号から3次の歪成分を低減することができる。また、m×n±1次の歪成分のうち、高い次数になるほど歪成分の振幅が低減する傾向にある。そのため、例えば、m×n±1次の歪成分のうち、最も低い次数となるm=1であるn±1次の歪成分の振幅が小さい、ホール素子10の個数を示すnの値が定められている。本実施形態では、ホール素子10の個数を示すnの値例えば、5は、例えば、ホール素子10の出力信号に含まれる誤差成分のうちのn±1次の歪成分誤差成分が所定の値以下になるように定められている。なお、n±1次の歪成分誤差成分は、上述した所定次数の歪成分誤差成分に含まれる。一例として、エンコーダ1における角度位置の誤差を0.25度以下にしたい場合に、磁石5が上述の図6bの第3サンプルにおいて、例えば、棒線B13に示すように4次の歪成分、及び棒線B15に示すように6次の歪成分は、それぞれ約0.2であり、エンコーダ1における角度位置の誤差は、それぞれ約0.11度である。この場合、ホール素子10の個数を示すnの値を5に定めることにより、エンコーダ1における角度位置の誤差を0.25度以下にすることができる。このように、本実施形態では、歪成分誤差成分は、予め測定されたホール素子10例えば、ホール素子11の出力における回転子6の位置に対応する誤差を周波数領域信号B11~B19に変換した歪特性誤差特性として算出される。ホール素子10の個数を示すnの値は、歪特性誤差特性に基づいて、n±1次の歪成分誤差成分が所定の値以下になるように定められている。次に、出力部2によってホール素子11~15の出力信号を逐次出力した第1の検出信号信号Aの基本周波数f成分に含まれる歪成分について説明する。例えば、ホール素子11~15の出力信号に上述のような歪成分誤差成分が含まれている場合に、回転子6の角度回転位置をθとすると、ホール素子11~15の各出力信号は、下記の式4によって表される。ここで、変数kは、歪成分の次数を示し、変数δは、歪成分の振幅を示し、変数ηは、位相を示している。また、上記式4に基づいて、ホール素子11~15の各出力信号を逐次出力した場合の第1の検出信号信号Aをgtとし、基本周波数f成分のフーリエ係数を産出した場合、下記の式5及び式6として表される。ここでは、2次以上の高次成分は、フィルタ回路3によって、除去低減されるため、検討しない。また、位相差位相間隔φは、式1と同様に72度である。cosωtのフーリエ係数a1は、下記の式5として示される。但し、0.936δsinkθηの項が値を取る条件は、歪成分の次数k=5m±1の場合である。また、sinωtのフーリエ係数b1は、下記の式6として示される。但し、0.936δcoskθηの項が値を取る条件は、歪成分の次数k=5m±1の場合である。上記の式5及び式6より得られた各次数の歪成分に対する第1の検出信号における基本周波数fの振幅は、図7aにように示される。なお、図7aにおいて、振幅は、0.936によって規格化されている。図7aに示すように、ホール素子11~15の各出力信号を逐次出力した第1の検出信号信号Aに含まれる歪成分は、5m±1次の歪成分誤差成分である4次、6次、9次、11次、14次、及び16次の歪成分である。上記の結果から第1の検出信号信号Aにおける基本周波数f成分の信号は、次数kの条件により以下のように表される。<第1の条件>次数kが2以上で、且つ、次数k≠5m±1である場合但し、mは、1以上の自然数には、基本周波数f成分の信号gtは、下記の式7として表される。この場合、式7に示すように、基本周波数f成分の信号gtは、基本周波数f成分のみとなり、k次の歪成分を含まない。すなわち、第1の条件を満たす次数kの歪成分は、第1の検出信号信号Aから除外低減される。<第2の条件>また、次数k=5m-1である場合には、基本周波数f成分の信号gtは、下記の式8として表される。この場合、式8に示すように、基本周波数f成分の信号gtは、基本周波数f成分の他に、k次の歪成分を含んでいる。<第3の条件>また、次数k=5m1である場合には、基本周波数f成分の信号gtは、下記の式9として表される。この場合、式9に示すように、基本周波数f成分の信号gtは、基本周波数f成分の他に、k次の歪成分を含んでいる。このように、式7~式9は、ホール素子10の個数nを5にした場合に、第1の検出信号信号Aに基本周波数f成分には、5m±1次の歪成分が混入することを示している第2及び第3の条件。このことは、逆に、ホール素子10の個数nを5にした場合に、第1の検出信号信号Aに基本周波数f成分から、5m±1次以外の歪成分を除去低減することができることを示している第1の条件。すなわち、ホール素子10の個数をnとした場合には、第1の検出信号信号Aに基本周波数f成分には、m×n±1次の歪成分が含まれ、第1の検出信号信号Aに基本周波数f成分から、m×n±1次以外の歪成分を除去低減することができる。また、上記の式7~式9においては、第1の検出信号信号Aの基本周波数f成分に含まれる歪成分を算出したが、ホール素子10の個数を5とした場合に基本周波数fの2次以上2倍以上の周波数成分に含まれる歪成分は、図7bのように示される。但し、フィルタ回路3は、基本周波数fを通過させ、基本周波数f以外の周波数成分を除去低減させて、位相変調された第2の検出信号を出力する。そのため、図7bにおいて、基本周波数f成分範囲F1以外の周波数成分は除去低減され、基本周波数f成分範囲F1以外の周波数成分は、エンコーダ1の精度の影響を与えない。このように、歪成分の次数kが5m±1の場合、位相変調された第2の検出信号には、5m±1次の歪成分の影響が基本周波数f成分として出現するが、5m±1次以外の歪成分は基本周波数fの帯域外となる。そのため、位相変調された第2の検出信号は、歪に伴う誤差の影響を受けない。すなわち、本実施形態におけるエンコーダ1は、正弦波の歪成分として問題となる3次の歪成分図6bの棒線B12参照の影響を低減することができる。さらに、本実施形態におけるエンコーダ1は、5m±1次以外の歪成分の影響を受けないため、5次の歪成分図6bの棒線B14参照の影響も受けない。以上説明したように、本実施形態におけるエンコーダ1は、n個例えば、5個のホール素子10が、回転子6の位置に応じて互いに異なる位相差例えば、72度を有する出力信号を出力する。出力部2は、n個のホール素子10に対して出力信号を逐次出力させて、n個の出力信号によって信号の1周期所定の周期を構成された第1の検出信号を出力する。フィルタ回路3は、出力部2から出力された第1の検出信号信号Aの1周期の周波数である基本周波数fを含む所定の通過周波数帯域R1を有し、第1の検出信号のうちの所定の通過周波数帯域を通過させて位相変調された第2の検出信号信号Bを出力する。位置検出部41は、フィルタ回路3部から出力された第2の検出信号に基づいて、回転子6の位置情報を検出する。そして、ホール素子10の個数を示すnの値は、出力部2から出力された第1の検出信号に含まれるホール素子10の出力信号の歪成分誤差成分のうちの少なくとも所定次数の歪成分誤差成分を低減するように定められている。これにより、n個のホール素子10が第1の検出信号に含まれるホール素子10の出力信号の歪成分誤差成分のうちの少なくとも所定次数の歪成分誤差成分を低減し、さらに、フィルタ回路3が基本周波数fを含む所定の通過周波数帯域以外の周波数成分を低減させる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ1は、高分解能であって高精度に位置情報を検出することができる。また、本実施形態では、n個例えば、5個のホール素子10は、互いに異なる位相差が出力信号の1周期に対して等間隔例えば、72度間隔になるように配置されている。例えば、n個のホール素子10は、回転子6の一回転を等分割する位置に、それぞれ配置されている。これにより、切り替え部20が等時間間隔でn個のホール素子10の出力を切り替えることにより、出力部2は、位相変調された適切な第2の検出信号正弦波信号を得るために適切な第1の検出信号例えば、波形W4のような検証信号を出力する。よって、出力部2は、切り替え部20を等時間間隔で切り替えるという簡易な手段により、適切な第1の検出信号を出力することができる。また、本実施形態では、ホール素子10をn個例えば、5個に定めることにより低減する所定次数の歪成分誤差成分は、3次以上の歪成分誤差成分であって、出力部2から出力された第1の検出信号に含まれる歪成分誤差成分のうちのm×n±1次の歪成分ただしmは1以上の自然数を除く次数成分である。例えば、n個のホール素子10は、5個以上のホール素子10である。これにより、出力部2は、エンコーダ1の精度を低下させる要因となるホール素子10の出力信号における3次以上の歪成分であり、且つ、m×n±1次の歪成分以外の次数成分を低減除外した第1の検出信号を出力することができる。例えば、5個以上のホール素子である場合、第1の検出信号には、4次=5×1-1以上の歪成分が含まれ、3次の歪成分を低減除外することができる。このように、第1の検出信号に含まれるm×n±1次の歪成分以外の次数成分を低減除外できるので、本実施形態におけるエンコーダ1は、高精度に位置情報を検出することができる。また、本実施形態では、ホール素子10の個数を示すnの値は、ホール素子10の出力信号に含まれる誤差成分のうちのn±1次の歪成分誤差成分が所定の値以下になるように定められている。例えば、誤差成分は、予め測定されたホール素子10の出力における回転子6の位置に対応する誤差を周波数領域信号に変換した誤差特性例えば、フーリエ解析結果として算出される。そして、ホール素子10の個数を示すnの値は、この誤差特性歪特性に基づいて、n±1次の誤差成分が所定の値以下になるように定められている。なお、所定の値は、エンコーダ1に要求される精度に基づいて定められる値である。これにより、ホール素子10と磁石5との対応関係による誤差成分歪成分を考慮して、エンコーダ1に要求される精度に基づいて、ホール素子10の個数が定められている。そのため、本実施形態におけるエンコーダ1は、要求される精度を満たす高精度により位置情報を検出することができる。図8は、比較のために、従来技術による位相変調された検出信号の一例を示している。従来技術では、例えば、検出素子の数n=4の信号和算により、擬似的にn=8として位置情報を検出する処理回路を備えている。このような構成では、検出素子の出力信号に歪成分誤差成分が含まれている場合、図8に示すように、例えば、0度の検出信号波形W21と90度の検出信号波形W22とを信号和算して45度の検出信号波形W23を生成しても、45度の位置における検出信号とは異なる。すなわち、従来技術では、位相変調された検出信号に基づいて位置情報を検出するため、位置情報の分解能を向上させることができるが、擬似的にn=8として位置情報を検出したとしても、検出素子の数n=4と同値の精度となり、歪成分は除去低減できない。これに対して、本実施形態におけるエンコーダ1は、上述したようにホール素子10の出力信号に含まれる歪成分のうちのm×n±1次の歪成分誤差成分以外の次数成分を低減するように、ホール素子10の数nを定めている。さらに、予め測定されたホール素子10の出力における誤差特性に基づいて、m×n±1次の歪成分誤差成分が低減されるように、ホール素子10の数nを定めている。そのため、ホール素子10の出力信号に含まれる歪成分を適切に除去できるので、本実施形態におけるエンコーダ1は、高精度に位置情報を検出することができる。また、本実施形態におけるエンコーダ1は、位相変調された検出信号に基づいて、位置情報を検出するため、位置情報の高分解能を維持しつつ、高精度に位置情報を検出することができる。さらに、本実施形態におけるエンコーダ1は、磁気特性が悪い安価な磁石5を使用した場合でも、磁気特性が悪い安価な磁石5による誤差特性歪特性に基づいてホール素子10の数nを定めているので、高精度に位置情報を検出することができる。また、本実施形態におけるエンコーダ1は、位置情報を高精度に検出できるため、検出精度を向上させるための補正回路及び補正テーブルを備える必要がないという利点がある。次に、第2の実施形態について、図を参照して説明する。[第2の実施形態]本実施形態におけるエンコーダ1の構成は、図1及び図3に示される第1の実施形態の構成と同様である。本実施形態では、回転子6が等速回転するようなアプリケーション用途において、位置情報の検出精度を向上させる場合について説明する。なお、本実施形態において、フィルタ回路3は、回転子6の位置の回転速度変位速度に応じて、回転速度により変動した基本周波数の周波数成分を通過させて、回転速度により基本周波数の周波数成分から分離されたn±1次の誤差成分を低減するように、所定の通過周波数帯域の幅が定められている。ここで、回転速度には、単位時間当りの回転子6の回転数、角速度などが含まれる。次に、本実施形態における本実施形態におけるエンコーダ1の動作、及び原理について説明する。エンコーダ1の動作、及び原理の説明を理解し易くするために、まず、回転子6が等速回転する場合で、且つ、ホール素子1011~15の出力信号に正弦波歪歪成分がない場合について説明する。正弦波歪が無い場合もしくは正弦波歪の影響を受けない場合、出力部2が出力する位相変調された第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分は、下記の式10により表される。なお、式10において、振幅は、1で規格化している。また、正弦波歪が無い場合、位相変調された第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分は、フィルタ回路3が出力する位相変調された第2の検出信号に対応する。ここで、回転子6が、例えば、1秒間に回転数fvで回転例えば、等速回転している場合、上記の式10は、下記の式11に置き換えられる。ここで、1秒間に回転する回転数fvにより、角速度は、2πfv[rad/S秒]として表され、回転子6の角度θ=2πfvtとして表される。なお、式11において、便宜上、初期位相は、0としている。式11に示すように、回転子6が1秒間に回転数fvで回転している場合、フィルタ回路3が出力する位相変調された第2の検出信号信号Bの周波数は、ffvとなるfvはマイナスの値も取り得る。すなわち、この場合、フィルタ回路3は、回転に伴い基本周波数fが回転数fv分シフトした第2の検出信号を出力する。次に、式10に基づいて、出力部2が出力する位相変調された第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分に、次数k=5m-1の正弦波歪歪成分がある場合、且つ、回転子6が回転していない場合を考える。この場合、出力部2が出力する位相変調された第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分は、下記の式12により表される。なお、式12において、振幅は、1で規格化されている。また、回転子6が、例えば、1秒間に回転数fvで回転例えば、等速回転している場合、上記の式12は、下記の式13に置き換えられる。なお、式13において、便宜上、初期位相は、0としている。式13に示すように、次数k=5m-1の正弦波歪がある場合、且つ、回転子6が1秒間に回転数fvで回転している場合、位相変調された第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分は、シフトした基本周波数成分ffvとシフトした歪成分f-kfvとに分離される。なお、回転数fvはマイナスの値も取り得る。すなわち、この場合、出力部2は、回転に伴い基本周波数f成分が回転数fv分シフトした基本周波数成分ffvと、回転に伴い基本周波数fから分離された歪成分f-kfvとを含む第1の検出信号を出力する。また、同様に、出力部2が出力する位相変調された第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分に、次数k=5m1の正弦波歪歪成分がある場合、且つ、回転子6が回転していない場合を考える。この場合、出力部2が出力する位相変調された第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分は、下記の式14により表される。なお、式14において、振幅は、1で規格化されている。また、回転子6が、例えば、1秒間に回転数fvで回転例えば、等速回転している場合、上記の式14は、下記の式15に置き換えられる。なお、式15において、便宜上、初期位相は、0としている。式15に示すように、次数k=5m1の正弦波歪がある場合、且つ、回転子6が1秒間に回転数fvで回転している場合、位相変調された第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分は、シフトした基本周波数成分ffvとシフトした歪成分fkfvとに分離される。なお、回転数fvはマイナスの値も取り得る。すなわち、この場合、出力部2は、回転に伴い基本周波数f成分が回転数fv分シフトした基本周波数成分ffvと、回転に伴い基本周波数fから分離された歪成分fkfvとを含む第1の検出信号を出力する。図9は、本実施形態における歪成分の周波数分布を示す図である。図9aは、式12及び式14に示すように、第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分に、次数k=5m±1の正弦波歪歪成分がある場合、且つ、回転子6が回転していない場合の周波数分布を示している。図9aにおいて、棒線B20は、基本周波数f成分の大きさ振幅を示している。棒線B20には、図7bの範囲F1に示したように、5m±1次の歪成分が含まれており、例えば、棒線B22は4次の歪成分を示し、棒線B23は、6次の歪成分を示している。また、例えば、棒線B24は9次の歪成分を示し、棒線B25は、11次の歪成分を示している。なお、棒線B21は、歪成分を除いた基本周波数f成分を示している。また、周波数P1は、基本周波数fを示している。周波数範囲R2は、フィルタ回路3の所定の通過周波数帯域を示しており、所定の通過周波数帯域は、例えばf±2fvの範囲である。図9aにおいて、回転子6が回転していないため、出力部2は、棒線B22~B25の歪成分を含む第1の検出信号を出力する。図9bは、第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分に、次数k=5m±1の正弦波歪歪成分がある場合、且つ、回転子6が回転している場合例えば、時計回りに回転数fvの場合における周波数分布を示している。図9bにおいて、棒線B21aは、回転に伴いシフトした基本周波数成分を示しており、周波数P2は、シフトした基本周波数ffvを示している。また、棒線B22aは、回転に伴いシフトした4次の歪成分を示し、棒線B23aは、回転に伴いシフトした6次の歪成分を示している。また、棒線B24aは、回転に伴いシフトした9次の歪成分を示し、棒線B25aは、回転に伴いシフトした11次の歪成分を示している。なお、式13に示すように、シフトした4次の歪成分の周波数は、f-4fvであり、シフトした9次の歪成分の周波数は、f-9fvである。また、式15に示すように、シフトした6次の歪成分の周波数は、f6fvであり、シフトした11次の歪成分の周波数は、f11fvである。このように、回転子6が、時計回りに回転数fvで回転している場合、且つ、第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分に正弦波歪がある場合には、出力部2は、回転に伴いシフトした基本周波数ffvの成分棒線B21aと、回転に伴い基本周波数fから分離された歪成分棒線B22a~B22aとを含む第1の検出信号を出力する。また、フィルタ回路3は、所定次数の歪成分誤差成分を低減するように、所定の通過周波数帯域の幅が定められている。例えば、フィルタ回路3は、周波数範囲R2に示すように、所定の通過周波数帯域f±2fvを有しており、出力部2が出力した第1の検出信号に含まれる棒線B21aを通過させて、棒線B22a~25aを通過させない。すなわち、フィルタ回路3は、第1の検出信号に含まれる歪成分誤差成分を低減させた第2の検出信号信号Bを出力する。なお、本実施形態では、フィルタ回路3の通過周波数帯域R2は、回転数fvにより基本周波数の周波数成分から分離されたn±1次の誤差成分を低減するように定められている。例えば、第1の検出信号の基本周波数成分に含まれる歪成分の次数において、最も小さい次数は4次である。そのため、フィルタ回路3の通過周波数帯域R2は、例えば、シフトした4次の歪成分f-4fvを除去低減できるように、f±2fvに定められている。なお、エンコーダ1が使用される用途において、回転速度に対応する回転数fvが所定の範囲を有している場合には、最大の回転数の値に基づいて、フィルタ回路3の通過周波数帯域R2を定めてもよい。同様に、図9cは、第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分に、次数k=5m±1の正弦波歪歪成分がある場合、且つ、回転子6が回転している場合例えば、反時計回りに回転数fvの場合における周波数分布を示している。なお、反時計回りにおける回転数fvは、時計回りにおける回転数-fvに対応する。図9cにおいて、棒線B21bは、回転に伴いシフトした基本周波数成分を示しており、周波数P3は、シフトした基本周波数f-fvを示している。また、棒線B22bは、回転に伴いシフトした4次の歪成分を示し、棒線B23bは、回転に伴いシフトした6次の歪成分を示している。また、棒線B24bは、回転に伴いシフトした9次の歪成分を示し、棒線B25bは、回転に伴いシフトした11次の歪成分を示している。なお、式13に示すように、シフトした4次の歪成分の周波数は、f4fvであり、シフトした9次の歪成分の周波数は、f9fvである。また、式15に示すように、シフトした6次の歪成分の周波数は、f-6fvであり、シフトした11次の歪成分の周波数は、f-11fvである。このように、回転子6が、反時計回りに回転数fvで回転している場合、且つ、第1の検出信号に含まれる基本周波数f成分に正弦波歪がある場合には、出力部2は、回転に伴いシフトした基本周波数f-fvの成分棒線B21bと、回転に伴い基本周波数fから分離された歪成分棒線B22b~B22bとを含む第1の検出信号を出力する。また、フィルタ回路3は、例えば、周波数範囲R2に示すように、所定の通過周波数帯域f±2fvを有しており、出力部2が出力した第1の検出信号に含まれる棒線B21aを通過させて、棒線B22a~25aを通過させない。すなわち、フィルタ回路3は、第1の検出信号に含まれる歪成分を低減させた第2の検出信号信号Bを出力する。以上説明したように、本実施形態では、回転子6が回転している場合に、出力部2が出力した第1の検出信号に含まれる歪成分誤差成分は、回転速度に応じて周波数がシフトし、基本周波数成分と異なる周波数帯域に分離される。フィルタ回路3は、所定次数の歪成分誤差成分を低減するように、所定の通過周波数帯域の幅が定められている。これにより、フィルタ回路3は、所定の通過周波数帯域の周波数成分を通過させることにより、所定次数の歪成分誤差成分を低減除去した位相変調された正弦波信号第2の検出信号を出力する。そのため、本実施形態におけるエンコーダ1は、高精度に位置情報を検出することができる。また、本実施形態では、フィルタ回路3は、回転子6の位置の回転速度に応じて、回転速度により変動した基本周波数の周波数成分を通過させて、回転速度により基本周波数の周波数成分から分離されたn±1次の歪成分誤差成分を低減するように、所定の通過周波数帯域の幅が定められている。これにより、出力部2が出力した第1の検出信号に含まれる歪成分例えば、4次以上の歪成分は、フィルタ回路3の所定の通過周波数帯域例えば、f±2fvの外になる。そのため、フィルタ回路3は、第1の検出信号に含まれる歪成分を低減して、基本周波数f±fv成分を得ることができる。よって、本実施形態におけるエンコーダ1は、回転子6が回転している場合に、高精度に位置情報を検出することができる。[第3の実施形態]第2の実施形態では、回転子6の回転速度回転数fvに応じて、フィルタ回路3の所定の通過周波数帯域を設定する一実施形態を説明したが、回転子6の回転状態に応じて、通過周波数帯域の異なる複数のフィルタ回路を切り替えて使用する形態でもよい。そこで、第3の実施形態では、一例として、回転子6の回転数fvが所定の閾値以上の場合と、所定の閾値未満の場合とで、2つのフィルタ回路図10の31,32を切り替えて使用する一実施形態について説明する。図10は、本実施形態のエンコーダ1の構成を示すブロック図である。図10において、エンコーダ1は、ホール素子11~15、切り替え部20、電源回路25、抵抗26、差動アンプ27、フィルタ部3a、及び信号処理部4aを備えている。この図において、図3と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。フィルタ部3aは、出力部2から出力された第1の検出信号のうちの所定の通過周波数帯域を通過させて位相変調された第2の検出信号信号Bを信号処理部4aの位置検出部41に出力する。ここで、所定の通過周波数帯域には、出力部2から出力された第1の検出信号信号Aの1周期の周波数である上述した基本周波数fが含まれる。フィルタ部3aは、例えば、第1の検出信号に含まれる基本周波数fの成分を通過させて、基本周波数f以外の成分を低減する。また、フィルタ部3aは、2つのフィルタ回路31,32、及び切り替えSW33を備えている。2つのフィルタ回路31,32は、互いに異なる通過周波数帯域を有する、例えば、ロウパスフィルタ回路、バンドパスフィルタ回路などである。フィルタ回路31第1のファイルタ回路は、例えば、回転子6の停止状態を含む所定の閾値未満の回転速度回転数の場合に選択され、フィルタ回路32より狭い第1の通過周波数帯域を有している。フィルタ回路31は、第1の検出信号に含まれる第1の通過周波数帯域の周波数成分を通過させて、第1の通過周波数帯域以外の周波数成分を低減し、切り替えSW33に出力する。フィルタ回路32第2のファイルタ回路は、例えば、回転子6の回転速度回転数が所定の閾値以上である場合に選択され、エンコーダ1の用途において想定される最大回転数fv_maxに対応した、フィルタ回路31より広い第2の通過周波数帯域を有している。ここで、第2の通過周波数帯域は、例えば、f±2fv_maxの範囲である。フィルタ回路32は、第1の検出信号に含まれる第2の通過周波数帯域の周波数成分を通過させて、第2の通過周波数帯域以外の周波数成分を低減し、切り替えSW33に出力する。切り替えSW33は、後述するフィルタ制御部43から供給される切り替え信号に基づいて、フィルタ回路31の出力信号と、フィルタ回路32の出力信号の出力信号とを切り替えて信号処理部4aの位置検出部41に出力する。このように、フィルタ部3aは、通過周波数帯域の異なる2つのフィルタ回路31,32を有し、回転子6の回転速度に基づいて、2つのフィルタ回路31,32のうちのいずれかの出力信号を第2の検出信号として、信号処理部4aの位置検出部41に出力する。信号処理部4aは、位置検出部41と、切り替え制御部42と、フィルタ制御部43とを備えている。フィルタ制御部43は、位置検出部41が検出した回転子6の回転位置に基づいて、1秒当りの回転数回転速度を算出する。フィルタ制御部43は、算出した回転数に基づいて、2つのフィルタ回路31,32のうちのいずれかを使用するか選択する選択信号をフィルタ部3aに出力する。例えば、フィルタ制御部43は、算出した回転子6の回転数が所定の閾値以上である場合に、フィルタ回路32を選択する選択信号をフィルタ部3aに出力する。また、例えば、フィルタ制御部43は、算出した回転子6の回転数が所定の閾値未満である回転子6が停止している場合も含む場合に、フィルタ回路31を選択する選択信号をフィルタ部3aに出力する。また、本実施形態におけるエンコーダ1の動作、及び原理は、上述した2つのフィルタ回路31,32のうちのいずれかを選択して使用する点を除き、第1及び第2の実施形態と同様である。以上説明したように、本実施形態では、フィルタ部3aは、通過周波数帯域の異なる2つのフィルタ回路31,32を有する。フィルタ制御部43は、回転子6の回転速度に基づいて、2つのフィルタ回路31,32のうちのいずれかの出力信号を第2の検出信号として信号処理部4aの位置検出部41に出力させる。なお、フィルタ回路31は、フィルタ回路32より狭い通過周波数帯域第1の通過周波数帯域を有し、回転子6の回転速度が所定の閾値未満である場合に選択される。また、フィルタ回路32は、フィルタ回路31より広い通過周波数帯域第2の通過周波数帯域を有し、回転子6の回転速度が所定の閾値以上の場合に選択される。これにより、フィルタ部3aは、回転子6が停止状態を含む所定の閾値未満の回転速度である場合に、回転子6が所定の閾値以上の回転速度である場合より狭い通過周波数帯域により第2の検出信号を生成する。また、フィルタ部3aは、回転子6が所定の閾値以上の回転速度である場合に、回転子6が所定の閾値未満の回転速度である場合より広い通過周波数帯域により第2の検出信号を生成する。そのため、本実施形態におけるエンコーダ1は、回転子6が停止状態を含む所定の閾値未満の回転速度である場合における位置情報の検出精度を低下させずに、回転子6が所定の閾値以上の回転速度である場合における位置情報の検出を向上させることができる。なお、本実施形態では、一例として、フィルタ部3aは、2つのフィルタ回路31,32を備える形態を説明したが、回転速度に応じて、2つ以上の通過周波数帯域を有する複数のフィルタ回路を備える形態でもよい。また、フィルタ部3aは、例えば、CPUCentralProcessingUnitやDSPDigitalSignalProcessingなどの制御部を備え、予め定められたフィルタ係数に基づいて、デジタル信号処理により上述のフィルタ機能を実現する形態でもよい。この場合、フィルタ部3aは、複数のフィルタ係数を有していて、回転速度に応じて複数のフィルタ係数のうちのいずれかを選択して使用する形態でもよい。この場合、フィルタ回路を複数備える必要はなく、フィルタ部3aの構成を簡略化することができる。さらに、この場合では、エンコーダ1は、回転速度に応じて、適切なフィルタ係数を選択して使用するので、位置情報の検出精度を低下させずに、第2の実施形態より広い範囲の回転速度に対応させることができる。[第4の実施形態]通常、ホール素子10は出力端子out及びout-の非対称性により不平衡電圧オフセット電圧が存在し、これが温度の変動に伴って出力信号の変動を起こす場合がある。第4の実施形態においては、この不平衡電圧を補償する形態について説明する。本実施形態では、一例として、図3に示す構成に不平衡電圧を補償する構成を追加する形態について説明する。図11は、本実施形態のエンコーダ1の構成を示すブロック図である。図11において、エンコーダ1は、ホール素子11~15、切り替え部20a、電源回路25、抵抗26、差動アンプ27、フィルタ回路3、及び信号処理部4aを備えている。ここで、切り替え部20aと、電源回路25と、抵抗26と、差動アンプ27と、信号処理部4bの切り替え制御部42aとが、出力部2aに対応する。この図において、図3と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。なお、ホール素子1011~15は、後述するように、入力端子in及びin-と、出力端子out及びout-とを逆にして使用することが可能である。本実施形態では、切り替え部20aは、ホール素子11~15と電源回路25との間の接続、及び、ホール素子11~15と差動アンプ27との間の接続を、ホール素子11~15に対して順に切り替える。さらに、切り替え部20aは、入力端子駆動端子と出力端子とを切り替える。切り替え部20aは、アナログSW21a~24aの4つのスイッチを備えている。アナログSW21a~24aは、それぞれ、少なくとも10個の第1の端子と、1つの第2の端子とを備えている。アナログSW21aの第1の端子には、ホール素子11~15の入力端子in及び出力端子out-が、それぞれ対応して接続されている。アナログSW21aの第2の端子には、電源回路25が接続されている。また、アナログSW21aには、セレクト信号S0~S3が入力されている。アナログSW21aにおいては、このセレクト信号S0~S3の組み合わせにより、10個の第1の端子のうちのいずれか1つの端子が選択され、この選択された第1の端子と、第2の端子とが接続される。このアドレスセレクト信号S0~S3は、切り替え制御部42aから供給される選択信号であり、10個の第1の端子のうちのいずれか1つの端子を選択する選択信号である。アナログSW21aは、このセレクト信号S0~S3の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の入力端子in又は出力端子out-を電源回路25に接続する。同様に、アナログSW22aは、このセレクト信号S0~S3の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の出力端子out又はinを差動アンプ27の入力端子端子に接続する。同様に、アナログSW23aは、このセレクト信号S0~S3の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の出力端子out-又はin-を差動アンプ27の入力端子-端子に接続する。同様に、アナログSW24aは、このセレクト信号S0~S3の組み合わせに基づいて、ホール素子11~15のうちから選択されたいずれか1つのホール素子10の入力端子in-又はoutを、抵抗26を介して接地させる。信号処理部4bは、位置検出部41と、切り替え制御部42aとを備えている。切り替え制御部42aは、切り替え部20aのアナログSW21a~24aに供給するセレクト信号S0~S3を生成する図11の波形W1a~W3a、及びW9参照。切り替え制御部42aは、セレクト信号S0~S2に基づいて、アナログSW21a~24aの接続を例えば、時計回りの順に切り替えることにより、ホール素子11~15の各出力信号を順次出力逐次出力させる。また、切り替え制御部42aは、セレクト信号S3に基づいて、ホール素子11~15の入力端子駆動端子と出力端子とを切り替える。切り替え制御部42aは、セレクト信号S3に基づいて、切り替え部20aに対して、次の2つの接続状態を切り替えさせる。切り替え部20aアナログSW21a,24aは、第1の接続状態として、ホール素子11~15の入力端子inに電源回路25から電圧又は電流を供給し、入力端子in-に抵抗26を介して接地させる。また、切り替え部20aアナログSW22a,23aは、第1の接続状態として、出力端子out及びout-を差動アンプ27の入力端子に接続する。また、切り替え部20aアナログSW21a,24aは、第2の接続状態として、ホール素子11~15の出力端子out-に電源回路25から電圧又は電流を供給し、出力端子outに抵抗26を介して接地させる。また、切り替え部20aアナログSW22a,23aは、第2の接続状態として、入力端子in及びin-を差動アンプ27の入力端子に接続する。なお、セレクト信号S0~S3に基づいて、切り替え部20aが切り替えられることにより、差動アンプ27は、図11の波形W4aに示すような第1の検出信号信号Aを出力する。このように、各ホール素子10の入力端子と出力端子とを切り替えて使用することにより、各ホール素子10の出力が平均化されるため、各ホール素子10の不平衡電圧が低減される。以上説明したように、本実施形態におけるエンコーダ1は、ホール素子10は、ホール素子10を駆動する駆動電圧又は電流が供給される駆動端子入力端子と、出力信号を出力する出力端子とを有する。そして、出力部2aは、駆動端子と出力端子とを切り替える切り替え部20aを備えている。これにより、ホール素子10の不平衡電圧が低減されるので、本実施形態におけるエンコーダ1は、温度が変動しても、高精度に位置情報を検出することができる。[第5の実施形態]次に、上述の実施形態におけるエンコーダ1を備える駆動装置モータ装置、アクチュエータについて説明する。図12は、本実施形態における駆動装置DRの概略図である。本実施形態における駆動装置DRは、入力軸IAXを回転させるモータMTRと、入力軸IAX回転子6に設けられたエンコーダ1と、を備える。すなわち、駆動装置DRは、エンコーダ1と、入力軸IAX被駆動体を駆動するモータMTR駆動部と、を備えている。エンコーダ1は、入力軸IAX被駆動体の回転位置角度位置を検出し、駆動装置DRを制御する上位のコントローラに対して回転位置を含む情報をエンコーダ信号として出力する。上位のコントローラは、エンコーダ1から受信したエンコーダ信号をもとに、駆動装置DRを制御する。本実施形態におけるエンコーダ1は回転位置を高精度に検出することができるため、本実施形態における駆動装置DRはモータMTRの入力軸IAXを高精度に位置制御することができる。なお、本実施形態における駆動装置DRは、図13に示すように、モータMTRの入力軸IAXに減速機RG例、遊星歯車式機構を設ける構成としてもよい。この場合、本実施形態におけるエンコーダ1は、その減速機RGの出力軸OAXに配置するようにしてもよいし、モータMTRの入力軸IAXと減速機RGの出力軸OAXとの両方に配置するようにしてもよい。なお、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。例えば、ホール素子10の配置は、図1に示される配置に限定されるものではなく、以下のような形態でもよい。<第1の変形例>図14は、本実施形態におけるエンコーダ1の構成の第1の変形例を示す図である。図14において、エンコーダ1は、磁石5aを有する回転子6と、5個のホール素子11a~15aと、基板組9とを備えている。この図において、図1と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。なお、ホール素子11a~15aのうちの任意のホール素子、又は単にエンコーダ1が備えるホール素子を示す場合には、ホール素子10と称して以下説明する。磁石5aは、例えば、永久磁石である。第1の変形例では、一例として、磁石5aは、磁極数が2の永久磁石である。すなわち、磁石5aは、2対のSエス極とNエヌ極とを有する永久磁石である。ホール素子11a~15aは、回転子6における回転の半周の間に、等間隔に配置されている。ホール素子11a~15aは、磁石5aの磁極数が2であるため、それぞれ回転子6における回転の半周により、1周期となる出力信号を出力する。したがって、出力部2は、回転子6における回転の1周により2周期1周期を繰り返す複数の周期となる出力信号を出力する。例えば、5個のホール素子11a~15aは、回転子6の移動に伴って得られる第1の検出信号の1周期に応じて互いに等間隔に配置されている。また、5個のホール素子11a~15aは、回転子6の位置の変位に対する出力信号の1周期分の変位範囲を等分割する位置に、それぞれ配置されている。ここで、各ホール素子11a~15aの回転角度間隔は、36度となる。このように、出力部2は、逐次出力させた出力信号によって信号の1周期を構成させた第1の出力信号を出力する。また、この場合における各ホール素子11a~15aは、図15の波形W11a~W15aに示すような出力信号を出力する。なお、図15において、波形W11a~W15aは、ホール素子11a~15aの出力波形にそれぞれ対応する。ホール素子11a~15aは、回転子6の回転角度が360度変位することにより2周期の擬似正弦波を出力し、互いに36度の位相差位相角シフト量を有する出力信号を出力する。なお、ホール素子10の数n、磁極数aとした場合に、この位相差Δθは、下記の式16により示される。出力部2は、このように配置されたホール素子11a~15aを、ホール素子11a~15aの順に出力させることにより、図1の場合と同様の第1の検出信号信号Aを出力する。なお、第1の検出信号には、上述の2周期のうちの1周期を360度に対応するように、各ホール素子11a~15aの出力信号が出力されるため、第1の検出信号において、各ホール素子11a~15aの出力信号における位相差は、それぞれ72度に対応する。そのため、この第1の変形例においても、エンコーダ1は、第1~第4の実施形態と同様に、位置情報を高精度に検出することができる。また、磁石5aの磁極数が2であるため、磁極数が1である場合に比べて、回転子6の回転角度の変位に対して、位相変調された検出信号が大きく変動する。そのため、第1の変形例におけるエンコーダ1は、第1~第4の実施形態に比べて、位置情報の検出における分解能を向上させることができる。なお、第1の検出信号には、上述の2周期のうちの1周期を360度に対応するように、各ホール素子11a~15aの出力信号が出力されるため、第1の検出信号において、各ホール素子11a~15aの出力信号における位相差は、それぞれ72度に対応する。<第2の変形例>第2の変形例では、図16に示すように、エンコーダ1は、ホール素子11~15の配置は、図1の形態と同一であるが、磁極数2の磁石5aを備えている。すなわち、5個のホール素子11~15は、回転子6の一回転を等分割する位置に、それぞれ配置されている。この場合、例えば、出力部2は、ホール素子11,ホール素子14,ホール素子12,ホール素子15,ホール素子13の順に出力させることにより、回転子6における回転の半周により図1の場合と同様の第1の検出信号信号Aを出力する。したがって、出力部2は、逐次出力させた出力信号によって信号の1周期を構成させた第1の出力信号を出力する。したがって、図16に示す場合においても、エンコーダ1は、第1~第4の実施形態と同様に、位置情報を高精度に検出することができる。<第3の変形例>上記の各実施形態では、磁気式、且つロータリー式のエンコーダに適用する形態を説明したが、光学式やリニア式のエンコーダに適用する形態でもよい。第3の変形例では、一例として、光学式、且つリニア式のエンコーダに適用した形態について説明する。図17は、第3の変形例によるエンコーダ7の構成を示す図である。図17において、エンコーダ7は、光源部71、非球面レンズ72、インデックス格子73基準目盛、スケール74移動目盛、及び受光素子部8を備えている。光源部71は、非球面レンズ72を介して、インデックス格子73及びスケール74に照射光を照射し、受光素子部8は、インデックス格子73及びスケール74を透過した照射光を受光して検出信号を出力する。スケール74の位置に応じて、受光素子部8に照射される照射光の強度分布が変動する。受光素子部8は、例えば、波形W30のような強度分布を示す照明光を受光する。また、受光素子部8は、複数の受光素子検出素子を有している。この受光素子部8上の照射光の強度分布は測定可能であるので、上記第1の実施形態と同様に、測定した強度分布と理想的な正弦波との歪量をフーリエ解析したフーリエ解析結果に基づいて、受光素子の個数nは、n±1次の誤差成分が所定の値以下になるように定められている。例えば、9次の歪成分と、11次の歪成分が所定の値以下である場合に、受光素子部8の受光素子の数は、10個に定められている。すなわち、本変形例における受光素子部8は、10個の受光素子80~89を有している。この場合、10個の受光素子80~89は、互いに異なる位相差を有する出力信号を出力する。すなわち、上記の各実施形態と同様に、受光素子80~89の各出力信号を逐次出力することにより、1周期となる検出信号第1の検出信号が得られ、第1の検出信号に含まれる誤差成分のうちの少なくとも所定次数の誤差成分を低減することができる。このように、光学式、且つリニア式のエンコーダ7においても、第1~第4の実施形態と同様に、位置情報を高精度に検出することができる。なお、上述の受光素子80~89は、リニアセンサのような受光素子アレイアレイセンサであってもよい。なお、上記の各実施形態において、各ホール素子10の出力信号における位相差は、等間隔である形態について説明したが、各ホール素子10は、異なる位相差の間隔の出力信号を出力する形態であってもよい。この場合、切り替え制御部4242aは、ホール素子10の各出力信号における位相差の間隔に応じて、切り替えタイミングを変更して出力部2に第1の検出信号を出力させる。また、上記の各実施形態において、ホール素子10の数nが5である形態を説明したが、これに限定されずに、エンコーダ1は、5個以上のホール素子10を備える形態でもよい。また、上記の第4の実施形態において、一例として、図3の構成に適用する形態を説明したが、図10の構成に適用する形態でもよい。また、上記の各実施形態において、位置検出装置の一例として、エンコーダ17に適用する形態を説明したが、レゾルバ装置などの他の位置検出装置に適用する形態でもよい。また、例えば、本実施形態における駆動装置DRは、アームなどを有する多関節ロボットや自動車例、電気自動車などのロボット装置に設けられる。また、上記の各実施形態において、エンコーダ1の各部は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、メモリ及びCPUを備えて、プログラムによって実現されてもよい。上述のエンコーダ1は内部に、コンピュータシステムを有している。そして、上述したエンコーダ1の処理過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、CD-ROM、DVD-ROM、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしてもよい。"