帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。前記剥離手段は、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離可能に設けられ、前記切断手段は、前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を更に備え、当該調整手段が前記間隔を調整することで、前記接着シートを形成する切込の深さを変更可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。前記調整手段は、1枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも1回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられていることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載のシート貼付装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加することを特徴とするシート貼付方法。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備えていることを特徴とするシート製造装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加することを特徴とするシート製造方法。ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図2に示されるように、接着シートASは、その繰出方向先端部における当該接着シートASの繰出方向に沿った一定の間隔以下、先端縦間隔Sxというに対し、先端縦間隔Sx進んだ位置での接着シートASの繰出方向に直交する方向に沿った間隔以下、先端横間隔Syというの割合以下先端縦横比Sxyというが大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Sxyが大きくなると、巻取手段で接着シートASの繰出方向先端部の不要シートを接着シートASから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。この結果、接着シートASと不要シートとの切り離しの切っ掛けが形成され難くなり、当該接着シートASが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートASの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。このような不都合は、切断刃が劣化等で切断能力が劣っているような場合に顕著に現れる。[発明の目的]本発明の目的は、接着シートの形状に拘わらず、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備える、という構成を採っている。本発明において、前記剥離手段は、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離可能に設けられ、前記切断手段は、前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を更に備え、当該調整手段が前記間隔を調整することで、前記接着シートを形成する切込の深さを変更可能に設けられる、という構成を採ることができる。また、前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する、という構成を採ることが好ましい。更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うとよい。また、前記調整手段は、1枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも1回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられる、という構成を採ることができる。更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加する、という方法を採っている。また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加可能な振動付与手段とを備える、という構成を採っている。また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、前記切断工程において、前記カッター部及び受圧部の少なくとも一方に振動を印加する、という方法を採っている。本発明によれば、カッター部による切込形成中に、カッター刃や受圧部に振動を印加するので、切断刃が劣化等で切断能力が劣っているような場合でも、確実に帯状シートに切込を形成することができる。これにより、先端縦横比Sxyが大きくても、接着シートと不要シートとの切り離しの切っ掛けを確実に形成することができ、接着シートが不要シートと共に巻取手段で巻き取られることを回避でき、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができ、当該原反が切断刃のない特許文献1のような接着シート貼付装置に採用されたときに、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。また、カッター部と受圧部との間隔を調整する調整手段を設けた場合、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さをその他の領域に対応する切込の深さよりも深く形成できるので、接着シートと不要シートとの切り離しの切っ掛けや、接着シートと剥離シートとの剥離の切っ掛けが形成され易くなり、前述のように貼付不能になることをより良く解消可能となる。更に、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する構成とした場合、当該カッター刃の一部領域が摩耗等によって劣化しても、他の領域で接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成することができる。また、初期剥離領域での切断を複数回行うことで、接着シートの繰出方向先端部をより確実に不要シートから切り離すことができる。更に、調整手段がカッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも1回ずつ行って接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成する構成とすれば、当該繰出方向先端部に対応する切込を確実に形成でき、接着シートの不要シートからの切り離しを確実に行える。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書において、特に明示しない限り、左、右、上、下は、図1を基準として用いる。図1~図3において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWF及びリングフレームRFを吸着支持するテーブル11と、このテーブル11を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ12と、帯状の剥離シートRLと、その一方の面に仮着された帯状シートWSとにより構成された原反RSを繰り出し可能な繰出手段14と、この繰出手段14により繰り出された原反RSの帯状シートWSに切込CUを形成し、当該切込CUの内側に接着シートASを形成するとともに、当該切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、不要シートUSを巻き取り可能な巻取手段16と、剥離シートRLを折り返して接着シートASを剥離シートRLから剥離する剥離手段としての剥離板18と、この剥離板18で剥離された接着シートASをリングフレームRF及びウエハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ19とを備えて構成されている。帯状シートWSは、基材シートBSと、この基材シートBSの一方の面に積層された接着剤層ADとを備え、当該接着剤層ADを介して剥離シートRLに仮着されている。なお、ウエハWFの下面には保護シートPSが貼付されている。前記繰出手段14は、原反RSを支持する支持軸25と、この支持軸25から繰り出されて切断手段15を通過する前の原反RSを挟み込む第1駆動ローラ27及び第1ピンチローラ28と、剥離板18を経た後の剥離シートRLを挟み込む第2駆動ローラ31及び第2ピンチローラ32と、これらを通過した後の剥離シートRLを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸34とを備えている。各駆動ローラ27、31は、駆動機器としての回動モータDM1、DM2を介して回転可能に設けられている。前記切断手段15は、繰り出される原反RSの帯状シートWS側に配置され、駆動機器としての回動モータDM3によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ36と、原反RSを間に挟んでダイカットローラ36と対向配置され、ダイカットローラ36の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ37と、ダイカットローラ36に振動を印加可能な超音波振動子や偏心モータ等の振動付与手段38とを備えている。なお、プラテンローラ37は、図示しない機構によりダイカットローラ36と連動して回転可能に設けられている。前記ダイカットローラ36は、回動モータDM3と共にブラケット39を介して振動付与手段38に支持されている。ダイカットローラ36は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃40を備え、帯状シートWSにリングフレームRFの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込CUを形成可能に設けられている。また、切断刃40は、例えば、ダイカットローラ36の回転方向に270°の範囲に亘って設けられ、当該回転方向での先端を図3中符号40aで示し、後端を同図中符号40bで示す。なお、切断刃40の高さは、450μmに設定されている。ここで、切断刃40によって形成された接着シートASは、帯状シートWSの繰出方向原反RSが支持軸25から巻取軸34に向かう方向先端領域が切断刃40の先端40aにより形成される。この先端40aにより形成された接着シートAS部分が、剥離板18によって剥離シートRLから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Saとなり、この初期剥離領域Saに対応する切込CU部分が初期切込CU1とされる。また、初期剥離領域Saの剥離の次に剥離される領域、つまり、接着シートASにおいて初期剥離領域Sa以外の全領域が、接着シートの内側領域としての次期剥離領域Sbとなり、この次期剥離領域Sbに対応する切込CU部分が次期切込CU2とされ、接着シートの繰出方向後端部は、切断刃40の後端40bにより形成される。なお、次期剥離領域Sbは、初期剥離領域Sa以外の全領域に限られず、初期剥離領域Saに隣接して当該初期剥離領域Saの剥離の次に剥離される接着シートASの一部領域としてもよい。前記振動付与手段38は、ブラケット39に連結された出力軸38Aを備え、当該出力軸38Aに振動を付与可能な機能と、主力軸38Aを図3A中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に出力軸38Aを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸38Aを図3A中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ36を同図中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に180°回転駆動することで、ダイカットローラ36の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、初期切込CU1を形成する領域を切断刃40の後端40bに変更可能となり、切断刃40の先端40a及び後端40bの何れでも初期剥離領域Saに対応する初期切込CU1を形成可能となり、先端40a及び後端40bの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用して初期切込CU1を形成することが可能となる。なお、変位手段は、振動付与手段38から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。また、振動付与手段38の振動数は特に限定されることはないが、5~200000Hz等の振動数とすることができ、それ以上の振動数でもよいしそれ以下の振動数でもよい。また、振動の方向としては、特に限定されず、左右方向、上下方向、図3中紙面直交方向、矢印R1方向の少なくとも1方向の成分を含む方向とすることができ、その振幅は、特に限定されることはない。ここで、切断手段15には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反RSにエネルギーを付与しながら切込CUを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ36、37から離れた位置から切込CUの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。前記巻取手段16は、切断手段15により切込CUを形成した後の不要シートUSに掛け回されて当該不要シートUSを剥離シートRLから剥離する剥離ローラ50と、剥離ローラ50を経た後の不要シートUSを巻き取る巻取軸51とを備えて構成されている。巻取軸51は、駆動機器としての回動モータDM4を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートUSを巻き取り可能となっている。次に、本実施形態における接着シートASの貼付方法について説明する。まず、支持軸25に支持された原反RSを第1駆動ローラ27と第1ピンチローラ28との間、及び、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との間を通過させる。そして、剥離シートRLから帯状シートWSを剥離し、当該帯状シートWSを剥離ローラ50に掛け回した後、そのリード端を巻取軸51に固定する。また、剥離シートRLは、剥離板18の先端で折り返して第2駆動ローラ31と第2ピンチローラ32との間を通過させ、そのリード端を巻取軸34に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートWSの厚みは100μm、剥離シートRLの厚みは25μmのものが採用されている。また、調整手段38によって、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との相対間隔を調整する。本実施形態では、図3Aに示す位置から、ダイカットローラ36を同図中左回りに45°回転した状態、つまり、ダイカットローラ36の回転方向における切断刃40が形成されていない90°の範囲の中央をダイカットローラ36のスタート位置Stとし、当該スタート位置Stがプラテンローラ37に再接近した状態で、ダイカットローラ36の回転を停止させておく。そして、回動モータDM1~DM4を連動させて原反RSを繰り出すと、切断刃40により基材シートBS側から剥離シートRL側に向かって切込CUが形成され、帯状シートWSは、切込CUの内側の接着シートASと、切込CUの外側の不要シートUSとに区分される。この接着シートASの形成においては、先ず、振動付与手段38により、ダイカットローラ36に振動を印加した状態で、ダイカットローラ36が図3A中矢印方向に回転し、スタート位置Stから45°回転した時点で初期切込CU1の形成が開始される。そして、初期切込CU1の形成が開始されてから、設定角度α1として例えば5°回転した時点で振動付与手段38による振動の印加を停止させて初期切込CU1が形成される。その後、切断刃40により次期切込CU2が形成されて次期剥離領域Sbが形成される。これにより、初期切込CU1が確実に形成され、初期剥離領域Saが不要シートUSと切り離され易くなる。切込CUの形成後、繰り出された原反RSは、剥離ローラ50で剥離シートRLから不要シートUSが剥離され、不要シートUSが巻取軸51に巻き取られる。このとき、剥離領域Saが不要シートUSと切り離され易くなっているので、接着シートASが不要シートUSと共に巻取軸51方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートUSが巻き取られた原反RSの接着シートASが剥離板18の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートASの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、初期切込CU1が確実に形成されているので、初期剥離領域Saが剥離シートRLと共に第2駆動ローラ31方向に巻き取れてしまうことなく、剥離シートRL部分を確実に接着シートASから剥離することができる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ36は、図1に示されるように、スタート位置Stがプラテンローラ37に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートASの間隔を任意に調整することができる上、接着シートASの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームRFとウエハWFとがテーブル11上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ12を介してテーブル11が剥離板18の下方を右側から左側に搬送される。テーブル11が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル11の搬送に同期して第1及び第2駆動ローラ27、31が回転して原反RSが繰り出され、剥離板18の先端で接着シートASが剥離される。そして、剥離された接着シートASが押圧ローラ19による押圧力を受け、リングクレームRF及びウエハWFの各上面に貼付され、接着シートASを介してウエハWFとリングクレームRFとが一体化される。このとき、初期剥離領域Saに対応する剥離シートRL部分が確実に接着シートASから剥離されているので、剥離シートRL部分が付随した状態の接着シートASが被着体に貼付されるようなことはない。従って、このような実施形態によれば、切断刃40に振動が印加されるので、例えば、切断刃40が劣化等で切断能力が劣っているような場合でも、確実に帯状シートWSに切込CUを形成することができる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、前記巻取手段16を省略し、剥離シートRLから不要シートUSを剥離せずに、剥離板18で接着シートASを剥離し、剥離シートRLと不要シートUSとを巻取軸34で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板18で初期剥離領域Saが剥離できず、接着シートASが不要シートUSと共に第2駆動ローラ31方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。また、切込Cの形成にあっては、各回動モータDM1~DM4を連動させて原反RSを繰り出し方向に往復動させ、1枚の接着シートAS形成に対し、初期剥離領域Saでの切断を複数回行ってもよい。更に、上記実施形態において、スタート位置Stから45°回転した時点で調整手段38を作動させ、切込CUから切断刃40を一旦引き抜き、再度切込CUに切断刃40を差し込み1枚の接着シートASの形成に対し、切断刃40とプラテンローラ37との離間動作と接近動作とを少なくとも1回ずつ行って初期剥離領域Saに対応する切込SUを形成するようにしてもよい。このとき原反RSの繰り出しを停止させてもよい。また、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との間隔を調整可能な駆動機器としての直動モータ等の調整手段を設け、当該調整手段が間隔を調整することで、接着シートAS形成する切込CUの深さを部分的又は全体的に変更できるようにしてもよい。これにより、例えば、初期切込CU1を次期切込CU2に比べて深く形成すれば、初期剥離領域Saが不要シートUSと切り離され易くなる上、剥離シートRLから剥離され易くなる。なお、調整手段は、ダイカットローラ36が左右方向に移動可能なものや、プラテンローラ37が左右方向に移動可能なものや、それら両方が左右方向に移動可能なものを採用することができる。更に、プラテンローラ37にも振動付与手段38と同様の振動付与手段を取り付け、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との両方に振動を印加したり、プラテンローラ37だけに振動を印加したりしてもよい。また、前記実施形態では、ダイカットローラ36の外部に振動付与手段を設けたが、ダイカットローラ36の内部に振動付与手段設けてもよい。更に、設定角度α1は、0°~270°の範囲で変更してもよい。また、前記シート貼付装置10の剥離板18及び押圧ローラ19を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段15によって接着シートASを形成した後、当該接着シートASが剥離シートRLに仮着された原反RSが巻取軸34に巻き取られる。巻取軸34に巻き取られた原反RSは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸34に巻き取られた原反RSをその状態のまま切断手段を有しないシート貼付装置等で利用する場合、繰出手段14の繰出方向後端部が当該シート貼付装置等の初期剥離領域Saとなるので、少なくとも接着シートASにおける繰出手段14の繰出方向後端部の切込CUを形成するときにダイカットローラ36やプラテンローラ37に振動を印加するようにすればよい。更に、切断刃40の平面形状は、帯状シートWSに切込CUを形成して当該切込CUの内側を接着シートASとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。また、切断刃40は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。更に、繰出手段14や剥離板18、押圧ローラ19は、種々の設計変更が可能である。また、原反RSを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。更に、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよい。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。更に、被着体は、ウエハWFやリングフレームRFに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームRFに代えて、C字状やU字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームRFなしで単独の被着体を接着シートASの貼付対象としてもよい。