"カソードと、固体酸化物形の電解質膜と、前記カソードおよび前記電解質膜の厚みよりも厚肉のアノードとをもち、前記電解質膜を前記カソードおよび前記アノードにより挟むように積層されたアノード支持型固体酸化物形燃料電池の製造方法であって、前記アノードの形成にあたり、低融点有機物で形成された結合材とアノード用粉末材料とを混合した混合物と、貫通開口をもつ成形マスクとを準備する工程と、前記混合物に含まれる前記低融点有機物の融点以上に前記混合物を加熱させて前記低融点有機物を液相化させて前記混合物を流動物とし、更に、前記電解質膜の表面に設置した前記成形マスクの前記貫通開口に前記流動物を流入させて固化させることにより前記電解質膜の表面にグリーン状態の前記アノードを成形する工程と、少なくともグリーン状態の前記アノードを焼成温度領域において焼成させることにより、前記アノードを前記電解質膜の表面に形成させる工程とを含むアノード支持型固体酸化物形燃料電池の製造方法。請求項1において、前記低融点有機物の融点は40~90°Cの範囲であるアノード支持型固体酸化物形燃料電池の製造方法。特許文献1によれば、スクリーン印刷は薄膜成形に有利であるものの、厚みが厚いアノードを形成するには好ましくない。特許文献2によれば、ドクターブレード法を採用しているが、厚みが厚いアノードを形成するには好ましくない。更に原料粉末をスラリー化させるため、多量の溶剤を使用するが、成形されたアノードを焼成前に乾燥させるとき、溶剤の蒸散に伴い亀裂がアノードに生成するおそれがある。これを回避するため、雰囲気制御された長い時間の乾燥工程を必要とする問題があり、生産性が低下する。特許文献3,4はプレス型への原料の型充填性を高めるべく、原料を造粒化させる工程が必要となる。更に、型充填性を考慮すると、アノードの強度向上には限界があり、ハンドリング時にアノードに亀裂が生成し易いおそれがある。更にプレス成形では、セルの大型化に伴い、高価なプレス機の能力増加は避けられない。本発明は上記した実情に鑑みてなされたものであり、亀裂の発生を抑制させつつ、アノードの厚みがカソードの厚みおよび電解質膜の厚みよりも厚いアノード支持型の固体酸化物形燃料電池を容易に製造できるアノード支持型固体酸化物形燃料電池の製造方法を提供することを課題とする。様相1に係る本発明に係るアノード支持型固体酸化物形燃料電池の製造方法は、カソードと、固体酸化物形の電解質膜と、カソードおよび電解質膜の厚みよりも厚肉のアノードとをもち、電解質膜をカソードおよびアノードにより挟むように積層された固体酸化物形燃料電池の製造方法であって、アノードの形成にあたり、i低融点有機物で形成された結合材とアノード用粉末材料とを混合した混合物と、貫通開口をもつ成形マスクとを準備する工程と、ii混合物に含まれる低融点有機物の融点以上に混合物を加熱させて低融点有機物を液相化させて混合物を流動物とし、更に、電解質膜の表面に設置した成形マスクの貫通開口に流動物を流入させて固化させることにより電解質膜の表面にグリーン状態のアノードを成形する工程と、iii少なくともグリーン状態のアノードを焼成温度領域において焼成させることにより、アノードを電解質膜の表面に形成させる工程とを含む。グリーン状態とは、生成形体として成形されているものの、未焼成状態をいう。本様相によれば、アノードの厚みがカソードの厚みおよび電解質膜の厚みよりも厚いため、電解質膜の保持性が高く、電解質膜の厚みを薄くでき、電解質膜の厚み方向における酸素イオン伝導率を高めるのに貢献できる。本様相によれば、グリーン状態のアノードとなる混合物は、溶剤の代わりに、熱可塑性をもつ低融点有機物で形成された結合材を含む。このため、混合物に含まれる低融点有機物の融点以上に混合物を加熱させれば、低融点有機物を液相化させて混合物を流動物とすることができる。低融点有機物の融点は常温よりも高温であれば良く、200°C以下、150°C以下、更には、100°C以下、90°C以下にできる。更に、電解質膜の表面に設置した成形マスクの貫通開口に流動物を流入させて固化させることにより、電解質膜の表面にグリーン状態のアノードを形成することができる。本様相によれば、低融点有機物が液相化されると、流動物は流動性を示すため、その流動物を成形マスクの貫通開口に充填させる充填性を高めることができる。また、貫通開口をもつ成形マスクを用いるため、成形マスクの厚みに応じて、グリーン状態のアノードの厚みを厚くできる。その後の冷却に伴い、液相化された低融点有機物は固化するため、グリーン状態のアノードの厚みが厚いときであっても、グリーン状態のアノードの強度が確保され、グリーン状態のアノードの保形性が維持される。固化は、マスク成形後の冷却または室温放置により実施できる。本様相によれば、低融点有機物を液相化させるものの、常温領域においても蒸散する溶剤が使用されない。このため、形成されたグリーン状態のアノードを保持または保管している状態において、成形後で焼成前のグリーン状態のアノードからの溶剤の蒸散が抑えられる。従って、成形後で焼成前において、グリーン状態のアノードを保持または保管している状態において、溶剤の蒸散に伴う亀裂がグリーン状態のアノードに発生したりアノードが変形したりすることが抑えられる。更に乾燥収縮によるグリーン状態のアノードの破損が抑えられる。このようなグリーン状態のアノードを焼成雰囲気において焼成温度領域において焼成させれば、焼成されたアノードを良好に形成できる。更に、テープ成形とは異なり、グリーン状態のアノードを厚膜化させても、材料の過剰流れが抑えられ、グリーン状態のアノードを所望の形状に成形できるため、材料ロスが抑えられる。また、混合物を加熱させた流動物が成形マスクの貫通開口に流入しきらず、余ったときであっても、余って固化した混合物を低融点有機物の融点以上に再び加熱させれば、混合物および流動物を再利用することができる。様相2に係る本発明に係る固体酸化物形燃料電池の製造方法によれば、上記様相において、低融点有機物の融点は40~90°Cの範囲である。上記した様相1の作用を容易に実現できる。本発明方法によれば、電解質膜の表面に設置した成形マスクの貫通開口に流動物を流入させて電解質膜の表面にグリーン状態のアノードを成形する。冷却に伴い、液相化された低融点有機物は速やかに固化するため、グリーン状態のアノードの厚みが厚いときであっても、グリーン状態のアノードの強度および保形性を維持できる。本発明方法によれば、常温領域においても蒸散する溶剤が使用されないため、成形されたグリーン状態のアノードを保持または保管している状態において、グリーン状態のアノードからの溶剤の蒸散が抑えられる。従って、グリーン状態のアノードを焼成前において保持または保管している状態において、溶剤の蒸散に伴う亀裂がグリーン状態で焼成前のアノードに発生することが抑えられる。このようなグリーン状態のアノードを焼成温度領域において焼成させれば、焼成されたアノードを良好に形成できる。を提供できる。固体酸化物形燃料電池は、アノード支持型の平板セルであり、焼成されている。アノードは厚肉であり、燃料電池支持体を構成するため、酸素イオン伝導性をもつ電解質膜の厚みを薄くでき、電解質膜の厚み方向のイオン伝導率を高めるのに有利である。アノード支持型の平板セルは、カソードと、固体酸化物形の電解質膜と、カソードおよび電解質膜の厚みよりも厚肉のアノードとをもつ。電解質膜はカソードおよびアノードにより挟まれる。カソードとしてはペロブスカイト型酸化物が挙げられ、具体的には、ランタンマンガナイト系、ランタンフェライト系、ランタンコバルタイト系、ストロンチウムコバルタイト系、ランタンニッケル系が挙げられる。アノードの形成にあたり、低融点有機物で形成された結合材とアノード用粉末材料とを混合した混合物と、貫通開口をもつ成形マスクとを準備する工程を実施する。混合物に流動性をもたせるように、混合物に含まれている低融点有機物を液相化させる。液相化させるのは成形マスクの貫通開口に効率よく流動させ、流動物の充填性を高めるためである。アノード用粉末材料としては安定化ジルコニア系および/またはドープドセリア系例えばGDC,SDC,LDC等を含む混合粉末や複合粉末が挙げられる。アノード用粉末材料は金属酸化物を含むことができる。金属酸化物としては酸化ニッケルが例示できる。この場合、アノード用粉末材料を100とするとき、質量比で、安定化剤を含む安定化ジルコニア系は30~50、触媒となる金属の酸化物酸化ニッケル等は70~50にできる。安定化剤としては、イットリアY2O3、カルシアCaO、マグネシアMgO、セリアCeO2、スカンジアSc2O3のうちの少なくとも1種が挙げられる。安定化剤としてはモル比で0.1~15の範囲、0.2~13の範囲、0.5~10が挙げられるが、これに限定されるものではない。貫通開口をもつ成形マスクを使用する理由は、アノードの厚みが電解質膜およびカソードよりもかなり厚いため、スクリーン印刷よりもマスク印刷が好ましいためである。アノードの厚みは電解質膜の厚みの5~200倍、または、10~100倍が例示される。このため電解質膜の厚みを薄くさせるのに有利である。成形マスクの厚みはアノードの厚みに対応するため、成形マスクの厚みを調整すれば、アノードの厚みを調整できる。低融点有機物の融点は30~150°C、40~90°Cの範囲、50~80°Cの範囲であることが好ましい。融点の上限値としては120°C、90°C、85°C、80°Cのいずれかが例示できる。その上限値と組み合わせ得る融点の下限値としては常温よりも高温であれば良く、40°C、45°C、50°Cのいずれかが例示できる。融点とは、融点温度の幅が有るときには、昇温により液相の生成を開始させる温度と定義できる。低融点有機物は次の性質を有することが好ましい。1炭素、酸素、水素、窒素などからなり、熱分解性が良く、金属、硫黄、ハロゲンを含まないことが好ましい。2低融点有機物の融点については50~90°Cであることが好ましい。3低融点有機物の揮発性については、常温から融点近くまで著しい揮発性がないことが好ましい。グリーン状態のアノードにおける亀裂発生を抑えるためである。4低融点有機物の結晶性については、凝固固化時に結晶化しないことが好ましい。5低融点有機物の分散性については、結合材が液相状態または固化状態であっても、アノード粉末材料が偏在しないことが好ましい。6低融点有機物の粘度については、マスク印刷を考慮すると、液相時に糸引き等の現象がないことが好ましい。7低融点有機物の膨張収縮性については、液相および固相間の相転移時において体積変化が少ないことが好ましい。8水酸基、カルボキシル基、エーテル基、エステル基等の極性基を有することにより、電解質膜との密着性を向上できることが好ましい。上記した結合材となる低融点有機物としては、ポリマー、直鎖炭化水素、エステル、高級アルコール、脂肪酸、混合系が挙げられ、融点は40~90°Cの範囲内が好ましい。融点が低温すぎると、室温で固化せず形状を維持できない、融点が高温過ぎると、溶融温度が高くなり大がかりな加熱保温機構が必要となる。融点は、融点幅が存在するときには、昇温に伴い液化が開始される温度とすることができる。ポリマーとしてはポリエチレングリコールが挙げられる。ポリエチレングリコールとしては、ポリエチレングリコール2000融点:45~55°C、ポリエチレングリコール1000融点:30~40°C、ポリエチレングリコール6000融点:50~65°Cが挙げられる。2000等の数字は平均分子量を意味する。直鎖炭化水素としてはパラフィン融点:56~58°Cが挙げられる。エステルとしては蜜ろう融点:60~66°Cが挙げられる。高級アルコールとしてはヘキサデカノール1-ヘキサデカノール融点:49~53°C、オクタデカノール1-オクタデカノール融点:57~60°Cが挙げられる。脂肪酸としてはヒドロキシステアリン酸12-ヒドロキシステアリン酸融点:74~79°C、ミリスチン酸融点:53~56°C、パルミチン酸融点:60~63°C、ステアリン酸融点:56~72°Cが挙げられる。低融点有機物の混合系としては、複数の低融点有機物を混合させたものである。低融点有機物の混合系としては、蜜ろう融点:60~66°Cとパラフィン融点:56~58°Cとを混合させた材料が挙げられる。この場合、蜜ろうおよびパラフィンの混合比率は適宜設定できる。質量比で、蜜ろう:パラフィン=1~5:1にできる。例えば、蜜ろう:パラフィン=3:1にできる。本発明方法によれば、混合物に含まれる低融点有機物の融点以上に混合物を加熱させて低融点有機物を液相化させて混合物を流動物とさせる。更に、電解質膜の表面に設置した成形マスクの貫通開口に流動物を流入させて電解質膜の表面にグリーン状態のアノードを成形する。グリーンとは、未焼成の生成形体という意味である。低融点有機物の融点以上に混合物を加熱させるとき、成形マスクが過剰に変形したり軟質化したりしないように、成形マスクは耐熱性をもつ。耐熱性を考慮すると、マスクとしては、樹脂マスクよりもメタルマスク、セラミックスマスクが好ましい。場合によっては、耐熱性が低融点有機物の融点以上に高い樹脂で成形されたマスクとしても良い。更に、少なくともグリーン状態のアノードを焼成温度領域において焼成させることにより、アノードを電解質膜の表面に形成させる工程を実施する。焼成時の加熱により、低融点有機物がアノードから除去される。加熱制御により低融点有機物をアノードから良好に除去できる。焼成は、単数の焼成工程で実施しても良いし、あるいは、複数の焼成工程を実施しても良い。即ち、予備焼成と本焼成とを連続して実施しても良いし、あるいは、予備焼成と本焼成とを分けて不連続状態で実施しても良い。焼成温度領域はグリーン状態のアノードの材質に応じて相違するが、一般的には1000~1500°C、1100~1400°Cが例示される。焼成雰囲気としては酸化雰囲気が例示される。酸化雰囲気は、酸素を含んでいるガス雰囲気であり、大気雰囲気でも、酸素富化雰囲気でも、不活性ガスと酸素との混合ガス雰囲気でも良く、結合材として用いた低融点有機物が分解し、固形物が残存しない、または、残存しにくい雰囲気である。実施形態1図1は実施形態1を模式的に示す。本実施形態によれば、図1のAに示すように、テーブル50の設置面50uの上の離型用のフィルム53例えばPETフィルムに設置し、フィルム53の上にグリーン状態の反応防止層1厚み:trとグリーン状態の電解質膜2厚み:teとからなる2層構造をもつグリーン状態の積層体3を成形する。また、低融点有機物で形成された結合材とアノード用粉末材料とを混合させた混合物を予め準備しておく。同様に、厚み方向に貫通する貫通開口40をもつメタルマスク4材質:アルミニウム,成形マスクを予め準備しておく。メタルマスク4の上面4u,下面4dは平坦面である。メタルマスク4の厚みtmは、グリーン状態の反応防止層1の厚みtr、グリーン状態の電解質膜2の厚みteよりも厚く設定されており、例えば0.5~3ミリメートル、0.5~2ミリメートルにできるが、これに限定されるものではない。低融点有機物としては、上記した低融点有機物のうちの少なくとも1種を用いることができる。即ち、ポリエチレングリコール、パラフィン、蜜ろう、高級アルコール1-ヘキサデカノール、1-オクタデカノール、ヒドロキシステアリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸のうちの少なくとも1種を用いることができる。なお、複数の低融点有機物を混合させれば、低融点有機物の融点を調整でき、流動物の流動性を調整できることを期待できる。アノード用粉末材料としては、安定化剤を含有する安定化ジルコニア系が挙げられ、更に触媒となるニッケル等の金属の化合物酸化物を含む。上記した安定化剤イットリアY2O3、カルシアCaO、マグネシアMgO、セリアCeO2、スカンジアSc2O3等のうちの少なくとも1種を上記の割合で含むジルコニア粉末が挙げられる。上記した混合物において、混合物を100とするとき、質量比で、アノード用粉末材料アノード触媒となる酸化ニッケルなども含むは70~95、殊に80~90が好ましく、低融点有機物で形成された結合材は5~30、殊に10~20が好ましい。次に、図1のBに示すように、メタルマスク4をグリーン状態の電解質膜2の表面に接触させた状態で設置する。そして、混合物に含まれる低融点有機物の融点Tm以上の温度領域TwTw=45~90°Cの範囲内に混合物を加熱要素で加熱させた状態で、スキージ55掻き取り部材を横方向矢印H方向に沿って移動させる。これによりメタルマスク4の貫通開口40に流動物を流入させてグリーン状態の電解質膜2に載せ、グリーン状態のアノード6を成形する。ここで、低融点有機物の融点をTmとするとき、混合物の加熱温度TはT=TmΔTとする。ΔTは適宜設定できるが、5~20°Cとすることが好ましい。ΔTが高いと、Twが高くなり、加熱および保温が大がかりとなる。ΔTが低いと、温度ばらつきによる部分的な固化が問題となる。混合物を加熱させる加熱タイミングとしては、メタルマスク4をグリーン状態の電解質膜2の表面に設置する前でも良いし、あるいは、メタルマスク4をグリーン状態の電解質膜2の表面に設置した後でも良いし、あるいは、メタルマスク4をグリーン状態の電解質膜2の表面に設置させる途中でも良い。加熱要素としては、混合物に含まれる低融点有機物の融点Tm以上の温度領域に加熱できるものであれば、何でも良い。スキージ55およびメタルマスク4のうちの少なくとも一方を融点Tm以上の温度領域に加熱させて実施しても良い。上記した操作を加熱炉において実施することにしても良い。これにより低融点有機物を液相化させて混合物を流動物100とさせる。上記したように成形マスク4の貫通開口40に流動物を100流入させる。その後の冷却に伴い、温度は低融点有機物の融点Tm未満となるため、メタルマスク4の貫通開口40内における流動物100は固化される。これによりグリーン状態の電解質膜2電解質膜の表面にグリーン状態のアノード6を成形する図1のC参照。メタルマスク4の厚み、つまり、貫通開口40の深さによって、グリーン状態のアノード6の厚み、ひいては焼結後アノード6の厚みを制御できる。その後、グリーン状態のアノード6の固化が進行する前に、成形マスク4を電解質膜2上のアノード6から取り外すと共に、余剰の部分を切断させる。この場合、流動物100は、冷却に伴い固化する低融点有機物を含むものの、常温領域においても蒸散し易い溶剤を含んでいないため、グリーン状態のアノード6が厚肉であっても、グリーン状態のアノード6は高い強度および保形性を有する。更に、流動物100は流動性を有するものの、溶剤を含んでおらず、常温領域における溶剤の蒸散が無いため、グリーン状態のアノード6においては、焼成前において亀裂が生成することは抑えられる。これにより3層構造をもつグリーン状態の積層体8が形成される図1のD参照。図1のCDに示すように、グリーン状態の積層体8は、これの厚み方向において順に、グリーン状態の反応防止層1と、グリーン状態の電解質膜2と、グリーン状態のアノード6とをもつ。グリーン状態のアノード6の厚みtaは、グリーン状態の反応防止層1の厚みtr、グリーン状態の電解質膜2の厚みteよりも厚肉とされている。例えば、グリーン状態のアノード6の厚みtaは200~2000マイクロメートル、殊に400~700マイクロメートルにできる。グリーン状態の反応防止層1の厚みtrは5~40マイクロメートル、殊に10~20マイクロメートルにできる。グリーン状態の電解質膜2の厚みteは5~40マイクロメートル、殊に10~20マイクロメートルにできる。ta/te=10~400の範囲、殊に、20~100の範囲が挙げられる。但し、これらに限定されるものではない。次に、グリーン状態の積層体8を大気雰囲気酸化雰囲気の焼成炉において焼成温度領域1300~1400°Cにおいて一体的に焼成させる。これにより、3層構造をもつ焼成積層体9が形成される図1のE参照。焼成積層体9は、図1のEに示すように、これの厚み方向において順に、焼成された反応防止層1と、焼成された電解質膜2と、焼成されたアノード6とをもつ。焼成されたアノード6は、焼成された反応防止層1、焼成された電解質膜2の厚みよりも厚肉とされている。その後、焼成積層体9のうちアノード6と反対側にグリーン状態のカソード7を形成し、大気雰囲気において一体的に焼成する。これにより燃料電池セル10が形成される図1のF。なお、アノードガスとして水素ガス水素含有ガスが供給される発電運転により、セル10は還元処理される。以上説明したように本実施形態によれば、グリーン状態のアノード6となる混合物は、常温領域においても蒸散する溶剤の代わりに、低融点有機物で形成された結合材を含む。このため、混合物に含まれる低融点有機物の融点以上に混合物を加熱させれば、低融点有機物を液相化させて混合物を流動物100とすることができる。更に、電解質膜2の表面に設置したメタルマスク4の貫通開口40に流動物100を流入させて電解質膜2の表面にグリーン状態のアノード6を成形することができる。冷却に伴い、液相化された低融点有機物は固化するため、グリーン状態のアノード6の強度および保形性を維持できる。このような本実施形態によれば、流動部100は溶剤を含有していない。このため成形されたグリーン状態のアノード6を焼成前に保持または保管している状態において、グリーン状態のアノード6からの溶剤の蒸散が抑えられる。従って、グリーン状態のアノード6を焼成前に保持または保管している状態において、溶剤の蒸散に伴う亀裂がグリーン状態で焼成前のアノード6に発生することが抑えられる。このようなグリーン状態のアノード6を大気雰囲気において焼成温度領域温度:例えば1300~1400°C,時間:例えば2~5時間において焼成させれば、焼成されたアノード6を良好に形成できる。焼成されたアノード6は、低融点有機物が除去されて形成された多数の細孔をもつ多孔質体とされている。低融点有機物の配合形態によって、焼成されたアノード6における細孔を制御できる。実施形態2図2は実施形態2を模式的に示す。本実施形態によれば、図2のAに示すように、グリーン状態の電解質膜2厚み:te2を成形する。また、低融点有機物で形成された結合材とアノード用粉末材料とを混合させた混合物を準備しておく。同様に、貫通開口40をもつメタルマスク4材質:アルミニウム,成形マスクを準備しておく。低融点有機物、アノード用粉末材料、それらを混合させた混合物としては、実施形態1と同様のものを使用する。次に、図2のAに示すように、テーブル50の設置面50uに設置された離型用のフィルム53上に、グリーン状態の電解質膜2を成形する。次に、図2のBに示すように、メタルマスク4をグリーン状態の電解質膜2の表面に設置する。そして、混合物に含まれる低融点有機物の融点Tm以上の温度領域TwTw=例えば45~90°Cの範囲内に混合物を加熱要素で加熱させた状態で、スキージ55掻き取り部材を移動させる。これによりメタルマスク4の貫通開口40に流動物100を流入させてグリーン状態の電解質膜2に載せ、グリーン状態のアノード6を成形する。ここで、低融点有機物の融点をTmとするとき、混合物の加熱温度TはT=TmΔTとする。ΔTは適宜設定できるが、5~20°Cとすることが好ましい。前述同様に、加熱タイミングとしては、メタルマスク4をグリーン状態の電解質膜2の表面に設置する前でも良いし、あるいは、メタルマスク4をグリーン状態の電解質膜2の表面に設置した後でも良いし、あるいは、メタルマスク4をグリーン状態の電解質膜2の表面に設置させる途中でも良い。加熱要素としては、混合物に含まれる低融点有機物の融点Tm以上の温度領域に加熱できるものであれば、何でも良い。スキージ50およびメタルマスク4のうちの少なくとも一方を融点Tm以上の温度領域に加熱させて実施しても良い。これにより低融点有機物を液相化させて混合物を流動物100とさせる。上記したようにメタルマスク4の貫通開口40に流動物100を流入させる。その後の冷却に伴い、温度は低融点有機物の融点Tm未満となるため、メタルマスク4の貫通開口40内における流動物100は固化される。固化したら、メタルマスク4を取り外す。これによりグリーン状態の電解質膜2の表面にグリーン状態のアノード6を成形する図2のC参照。その後、余剰の部分を切断させる。この場合、流動物100は、冷却に伴い固化する低融点有機物を含むものの、常温領域においても蒸散し易い溶剤を含んでいないため、グリーン状態のアノード6は高い強度および保形性を有する。更に、常温領域における溶剤の蒸散が無いため、グリーン状態のアノード6においては、焼成前における亀裂生成は抑えられる。これにより2層構造をもつグリーン状態の積層体8が成形される。図2のDに示すように、グリーン状態の積層体8は、これの厚み方向において順に、グリーン状態の電解質膜2と、グリーン状態のアノード6厚み:ta2とをもつ。グリーン状態のアノード6は、グリーン状態の電解質膜2の厚みよりもかなり厚肉とされている。次に、グリーン状態の積層体8を大気雰囲気酸化雰囲気の焼成炉において焼成温度領域1300~1400°Cにおいて一体的に焼成させる。これにより、2層構造をもつ焼成積層体9が形成される図2のE参照。焼成積層体9は、図2のEに示すように、これの厚み方向において順に、焼成された電解質膜2と、焼成されたアノード6とをもつ。焼成されたアノード6は、焼成された電解質膜2の厚みよりも厚肉とされている。次に、焼成された電解質膜2のうちアノード6と反対側の表面に、グリーン状態のカソード7を成形し、一体的に焼成させる。これにより3層構造の燃料電池セル10が形成される図2のF参照。以上説明したように本実施形態によれば、グリーン状態のアノード6となる混合物は、常温領域においても蒸散する溶剤の代わりに、低融点有機物で形成された結合材を含む。このため、混合物に含まれる低融点有機物の融点以上に混合物を加熱させれば、低融点有機物を液相化させて混合物を流動物100とすることができる。更に、電解質膜2の表面に設置したメタルマスク4の貫通開口40に流動物100を流入させて電解質膜2の表面にグリーン状態のアノード6を成形することができる。その後の冷却に伴い、液相化された低融点有機物は固化するため、グリーン状態のアノード6の強度および保形性は維持される。このような本実施形態によれば、溶剤が使用されないため、成形されたグリーン状態のアノード6を焼成前に保持または保管している状態において、グリーン状態のアノード6からの溶剤の蒸散が抑えられる。従って、グリーン状態のアノード6を焼成前に保持または保管している状態において、溶剤の蒸散に伴う亀裂がグリーン状態のアノード6に発生することが抑えられる。このようなグリーン状態のアノード6を酸化雰囲気において焼成温度領域温度:例えば1300~1400°C,時間:例えば2~5時間において焼成させれば、焼成されたアノード6を良好に形成できる。試験例1アノード触媒となる酸化ニッケルの粉末とジルコニアの粉末とを混合してアノード用粉末材料とした。即ち、酸化ニッケルNiOと8YSZ[Y2O30.08ZrO20.92]を混合してアノード用粉末材料とした。数字はモル比を示す。これに、結合材として低融点有機物ポリエチレングリコール2000,融点45~55°Cを添加して混合物を成形した。混合物を100とするとき、質量比で、アノード用粉末材料が84、低融点有機物が16とした。上記した混合物を80°C低融点有機物の融点以上,低融点有機物の融点プラス25~35°Cの温度に加熱して結合材を溶融させた状態で、混合物を攪拌脱泡してスラリー状の流動物を成形した。そして、貫通開口をもつメタルマスク、テーブル、スキージが70°Cに加熱された状態で、離型剤が塗布されたフィルムPET上にメタルマスクを載せた状態とする。この状態で、スキージをメタルマスクに沿って横方向に移動させて流動物を貫通開口に流入させてメタルマスク印刷を実施する。これによりグリーン状態のアノードをフィルム上に成形した。ここで、メタルマスクの厚みは1ミリメートル、貫通開口の直径は43ミリメートルとした。メタルマスク印刷後にグリーン状態のアノードを速やかに冷却させた。これによりグリーン状態のアノードの形状および強度は維持された。この場合、厚み1ミリメートルのグリーン状態のアノードが成形された。グリーン状態のアノードを酸化雰囲気において1300°C×5時間焼成して焼成積層体を形成した。焼成後のアノードについて、その断面をSEM観察したところ、均質な内部構造が得られていたことが確認された。焼成後のアノードは、低融点有機物が除去された多数の細孔をもつ多孔質体であった。試験例2試験例2について図2を参照しつつ説明する。アノード触媒となる酸化ニッケルの粉末とジルコニアの粉末とを混合してアノード用粉末材料とした。即ち、酸化ニッケルNiOと8YSZ[Y2O30.08ZrO20.92]を混合してアノード用粉末材料とした。これに、結合材として低融点有機物蜜ろうとパラフィンとの混合系の低融点有機物,融点70°Cを添加して混合物を成形した。この場合、低融点有機物を100とすると、蜜ろうを12、パラフィンを4とした。この混合物を95°C低融点有機物の融点以上に加熱して結合材を溶融させた状態で、混合物を攪拌脱泡してスラリー状の流動物を成形した。そして、図2に示すように、貫通開口40をもつメタルマスク4、テーブル50、スキージ55が90°C低融点有機物の融点以上に加熱された状態で、離型剤が塗布されたフィルム53PET上に電解質膜2を載せた。その電解質膜2にメタルマスク4を載せた状態で、スキージ55をメタルマスク4に沿って横方向に移動させた。これにより流動物100をメタルマスク4の貫通開口40に流入させて充填し、メタルマスク印刷を実施した。これによりグリーン状態のアノード6を電解質膜2の表面に積層させた図2C参照。ここで、メタルマスク4の厚みtmは1ミリメートル、貫通開口40の直径dは43ミリメートルとした。ここで、上記したグリーン状態の電解質膜2については、市販の8YSZ粉末[Y2O30.08ZrO20.92]に、溶剤エタノール、分散剤マリアリム,日本油脂株式会社、可塑剤フタル酸ベンジルブチル、結合材ポリビニルブチラールを添加し、ドクタブレード法により成形した。得られたアノード6および電解質2が積層されたグリーン状態の2層積層体8を酸化雰囲気において1300°C×5時間の条件で共焼成し、焼成積層体9を形成した。焼成積層体9の焼成後のアノード6についてその断面をSEM観察したところ、均質な内部構造が得られていたことが確認された。焼成後のアノード6は、低融点有機物が除去された多数の細孔をもつ多孔質体であった。この細孔にはアノードガスが流入できる。この共焼成した焼成積層体9の上に、市販のLSM粉末La0.8Sr0.2MnO3にポリエチレングリコール400を添加してスラリー状の第2流動物を形成した。この第2流動物を電解質膜のうちアノード6と反対側にスクリーン印刷してカソード7を成形し、積層体を形成した。この積層体を酸化雰囲気において所定の焼成条件1100°C×2時間で焼成することにより、アノード支持型の燃料電池セル10を形成した。このように形成した燃料電池セル10のアノード6に水素ガスアノードガスをカソード7に空気カソードガスを供給させつつ発電試験を実施した。作動温度を700°Cにおいて最大出力は0.20W/cm2が得られた。なお、燃料電池セル10において、焼成後のアノード6の厚みは、焼成後の電解質膜2の厚みの50倍であった。試験例3試験例3について図1を参照しつつ説明する。試験例3は試験例2と基本的には同一である。但し、試験例2に係る電解質膜の代わりに、2層積層シートを用いた。2層積層シートは、1層目に相当する反応防止層1と、2層目に相当する電解質膜2とからなる図1のA参照。反応防止層はGDC[Gd2O3XCeO21-XX=0.1~0.2]である。電解質膜は8YSZ[Y2O30.08ZrO20.92]である。数字はモル比を意味する。試験例3では、貫通開口40をもつメタルマスク4を用いて、2層積層シート上にアノード6をマスク印刷した積層体8を形成した図1のD。その積層体を共焼成し、焼成積層体9を形成した図1のE。焼成積層体9の焼成後のアノード6についてその断面をSEM観察したところ、均質な内部構造が得られたことが確認された。その後、カソード7としてLSCFLa0.6Sr0.4Co0.2Fe0.8O3を焼成積層体9にスクリーン印刷して焼成することにより、燃料電池セル10を形成した図1のF。このように形成した燃料電池セル10のアノード6に水素ガスアノードガスをカソード7に空気カソードガスを供給させつつ発電試験を実施した。作動温度を700°Cにおいて最大出力は0.47W/cm2が得られた。なお、燃料電池セル10において、焼成後のアノード6の厚みは、焼成後の電解質膜2の厚みの50倍であった。その他本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施できる。メタルマスク4については、貫通開口40の数および形状に特に限定されるものではなく、適宜選択できる。成形マスクの材質もメタルに限定されるものではない。なお、本発明に係るアノードが支持基体となるアノード支持型燃料電池セルにおいて、焼成後のアノードの厚みは焼成後の電解質膜およびカソードよりも厚いものであり、例えば、焼成後の電解質膜の厚みの3~300倍の範囲内、5~200倍の範囲内に納めることができる。"