"ケイフッ化水素酸を含む被処理液をアニオン交換樹脂に接触させてケイフッ化水素酸イオンを該アニオン交換樹脂に吸着させて被処理液から除去する吸着工程を有するケイフッ化水素酸含有液の処理方法であって、前記アニオン交換樹脂が弱塩基性アニオン交換樹脂であり、前記吸着工程後に、ケイフッ化水素酸が吸着した弱塩基性アニオン交換樹脂に溶離剤を接触させてケイフッ化水素酸を溶離する溶離工程をさらに有し、該溶離剤は、ケイフッ化水素酸より選択性が大きく、アルカリと反応して不溶化物を生成しない化合物であることを特徴とするケイフッ化水素酸含有液の処理方法。請求項1において、アニオン交換樹脂を充填したカラムに被処理液を通液することにより前記吸着工程を行う方法であって、ケイフッ化水素酸以外の酸成分が該カラムを貫流しても被処理液の通液を継続し、ケイフッ化水素酸の貫流が検出されるまで被処理液を通液することを特徴とするケイフッ化水素酸含有液の処理方法。請求項2において、前記溶離剤が過塩素酸、チオシアン酸及びジチオン酸からなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とするケイフッ化水素酸含有液の処理方法。請求項2又は3において、前記溶離工程後に、前記弱塩基性アニオン交換樹脂にアルカリを接触させて前記弱酸性アニオン交換樹脂をOH形に再生する再生工程をさらに有することを特徴とするケイフッ化水素酸含有液の処理方法。請求項4において、前記再生工程後に、前記弱塩基性アニオン交換樹脂にフッ酸含有液を接触させて前記弱塩基性アニオン交換樹脂をF形に調整するF形調整工程をさらに有することを特徴とするケイフッ化水素酸含有液の処理方法。本発明は、簡易な設備により、ケイフッ化水素酸を含有する被処理液から、ケイフッ化水素酸を安定して分離することができるケイフッ化水素酸含有液の処理方法であって、アニオン交換樹脂に吸着されたSiF62-をケイフッ化水素酸H2SiF6として回収できる方法を提供することを目的とする。本発明のケイフッ化水素酸含有液の処理方法は、ケイフッ化水素酸を含む被処理液をアニオン交換樹脂に接触させてケイフッ化水素酸イオンを該アニオン交換樹脂に吸着させて被処理液から除去する吸着工程を有するケイフッ化水素酸含有液の処理方法であって、前記アニオン交換樹脂が弱塩基性アニオン交換樹脂であり、前記吸着工程後に、ケイフッ化水素酸が吸着した弱塩基性アニオン交換樹脂に溶離剤を接触させてケイフッ化水素酸を溶離する溶離工程をさらに有し、該溶離剤は、ケイフッ化水素酸より選択性が大きく、アルカリと反応して不溶化物を生成しない化合物であることを特徴とするものである。この吸着工程は、アニオン交換樹脂を充填したカラムに被処理液を通液することにより行うことが好ましく、ケイフッ化水素酸以外の酸成分が該カラムを貫流しても被処理液の通液を継続し、ケイフッ化水素酸の貫流が検出されるまで被処理液を通液することが好ましい。この溶離剤は、過塩素酸、チオシアン酸及びジチオン酸からなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。前記溶離工程後に、前記弱塩基性アニオン交換樹脂にアルカリを接触させて前記弱酸性アニオン交換樹脂をOH形に再生する再生工程をさらに有することが好ましい。前記再生工程後に、前記弱塩基性アニオン交換樹脂にフッ酸含有液を接触させて前記弱塩基性アニオン交換樹脂をF形に調整するF形調整工程をさらに有することが好ましい。本発明では、ケイフッ化水素酸含有被処理液を弱塩基性のアニオン交換樹脂に接触させてケイフッ化水素酸イオンを該アニオン交換樹脂に吸着させてケイフッ化水素酸を被処理液から除去し、ケイフッ化水素酸イオンを吸着したアニオン交換樹脂からケイフッ化水素酸イオンを溶離させることにより、高純度のケイフッ化水素酸を回収することができる。また、この方法では、蒸留装置のような大掛りな装置は不要である。この溶離剤として過塩素酸、チオシアン酸、ジチオン酸など、ケイフッ化水素酸より選択性が大きく、アルカリと反応して不溶化物を生成しないものを用いることにより、効率よくケイフッ化水素酸イオンを溶離させることができる。アニオン交換樹脂充填カラムにケイフッ化水素酸含有被処理液を通液する場合、ケイフッ化水素酸イオンのアニオン交換樹脂に対する吸着性が他の成分より大きいので、すでに吸着したフッ化水素酸、他の酸およびその他の成分を追出しながら、流入するケイフッ化水素酸イオンがアニオン交換樹脂に吸着する。このためフッ化水素酸、他の酸およびその他の成分がリークする点、すなわちこれらの他の成分の貫流点が検出された後もさらに通液を続けて、吸着を行わせることが好ましい。このように通液を続けると、最終的にはアニオン交換樹脂全体にケイフッ化水素酸イオンが吸着して飽和した状態になる。この状態になるとケイフッ化水素酸イオンがリークするので、この点をケイフッ化水素酸イオンの貫流点として、アニオン交換樹脂の再生や交換を行うことが望ましい。これにより、アニオン交換樹脂に対しケイフッ化水素酸を効率よく吸着させることができる。溶離工程後に、ケイフッ化水素酸イオンが溶離したアニオン交換樹脂をアルカリと接触させ、溶離剤のアニオンを水酸化物イオンと交換して、アニオン交換樹脂をOH形に調整することによりアニオン交換樹脂を再生することができる。被処理液がケイフッ化水素酸とフッ酸とを含むものである場合、被処理液からケイフッ化水素酸を除去してフッ酸を回収することができる。この場合、アニオン交換樹脂としてF形アニオン交換樹脂を用いることにより、吸着工程においてフッ酸の濃度を低下させることなくフッ酸を回収することができる。アニオン交換樹脂をF形とするには、例えば、OH形に調整したアニオン交換樹脂にフッ酸含有液を接触させて水酸化物イオンとフッ化物イオンを交換してF形に調整することができる。以下、本発明についてさらに詳細に説明する。[ケイフッ化水素酸含有液]被処理液としてのケイフッ化水素酸含有液としては、半導体製造工程、ガラス表面処理工程、電解精錬工程、アセタール合成工程、繊維の媒染工程などからの排水が例示されるが、これに限定されない。これらのケイフッ化水素酸含有液中のケイフッ化水素酸濃度は、通常は100mg/L~10mg/L程度である。このケイフッ化水素酸含有液中にはケイフッ化水素酸以外のフッ化水素酸、ホウフッ化水素酸、硝酸、塩酸、硫酸などの酸成分や、アルミニウム、鉛、銅などの金属イオン、あるいはホウフッ化物などを含むことがある。このケイフッ化水素酸含有液は、そのままアニオン交換樹脂による吸着工程に供給されてもよく、アニオン交換樹脂によるホウフッ化水素酸除去などによる前処理を行った後に吸着工程に供給されてもよい。[吸着工程]吸着工程では、ケイフッ化水素酸含有液原水とアニオン交換樹脂とを接触させてアニオン交換樹脂にケイフッ化水素酸を吸着させる。原水がフッ酸を含有する場合は、ケイフッ化水素酸が除去されることにより精製フッ酸が回収される。吸着工程で用いるアニオン交換樹脂としては、一般に水処理で用いられているアニオン交換樹脂が使用できるが、本発明においては溶離工程で溶離できるように弱塩基性アニオン交換樹脂を用いる。好ましいアニオン交換樹脂としては、ジビニルベンゼンで架橋したポリスチレン系アニオン交換樹脂で、アルキルまたはアルカノールアミン型のアニオン交換基を有するものがあげられ、弱塩基性アニオン交換樹脂の場合は第1級~3級アミン型のアニオン交換基を有するものがあげられる。交換基としてはフリー形、OH形水酸化物イオン又はF形フッ化物イオンを用いることができる。被処理液とアニオン交換樹脂との接触は単なる浸漬でもよいが、一般的にはアニオン交換樹脂をカラム塔に充填してアニオン交換樹脂層を形成し、これに被処理液を通液してケイフッ化水素酸イオンを吸着させるものが好ましい。また、吸着後は再生剤を通液して再生するカラム構成となっていることが好ましい。カラムの構造は特に限定しないが、回収ケイフッ化水素酸が希釈されないようにデッドボリュームが小さい構造が望ましい。樹脂層は固定床として上向流または下向流、好ましくは下向流通液する場合と、流動床として通液する場合とがあるが、吸着工程では固定床として通液し、再生工程では流動床として通液するのが好ましい。吸着工程において被処理液中のケイフッ化水素酸イオンをアニオン交換樹脂に吸着させるに際し、前処理で他の成分を除去している場合には、前処理したケイフッ化水素酸含有液をアニオン交換樹脂層の固定床に上向流または下向流、好ましくは下向流で通液して、ケイフッ化水素酸イオンをアニオン交換樹脂に吸着させることができる。前処理していない場合、あるいは前処理してもなお他の成分が残留する場合は、ケイフッ化水素酸含有液をアニオン交換樹脂層に上記と同様に通液すると、ケイフッ化水素酸とともにフッ化水素酸、他の酸およびその他の成分がアニオン交換樹脂に吸着し、これらが除去された処理液が得られる。吸着工程における被処理液の通液速度はSV100h-1以下が好ましく、SV1~10h-1が特に好ましい。この状態でそのまま通液を続けると、ケイフッ化水素酸イオンのアニオン交換樹脂に対する吸着性が他の成分より大きいので、すでに吸着したフッ化水素酸、他の酸およびその他の成分を追出しながら、流入するケイフッ化水素酸イオンがアニオン交換樹脂に吸着する。このためフッ化水素酸、他の酸およびその他の成分がリークする点、すなわちこれらの他の成分の貫流点が検出された後もさらに通液を続けて、吸着を行わせることが好ましい。このように通液を続けると、最終的にはアニオン交換樹脂全体にケイフッ化水素酸イオンが吸着して飽和した状態になる。この状態になるとケイフッ化水素酸イオンがリークするので、この点をケイフッ化水素酸イオンの貫流点として、アニオン交換樹脂の再生や交換を行うことが望ましい。これにより、アニオン交換樹脂に対しケイフッ化水素酸を効率よく吸着させることができる。[溶離工程と再生工程]吸着工程において用いるアニオン交換樹脂が弱塩基性であるので、溶離工程後に再生工程を行うことによってアニオン交換樹脂の再生を行うことができる。溶離工程を行わずにNaOHなどの強アルカリを用いて再生工程を行うと、SiF62-を水酸化物イオンと交換してアニオン交換樹脂をOH形に再生する際に、不溶性のSiO2が発生析出してアニオン交換樹脂の表面に付着するため、再生操作を完結することができない。溶離工程では、ケイフッ化水素酸イオンよりも選択性が大きく、化学的に安定であり、アルカリにより不溶化物を生成しない酸の水溶液を溶離剤としてアニオン交換樹脂と接触させ、ケイフッ化水素酸イオンを溶離剤のアニオンと交換してアニオン交換樹脂からケイフッ化水素酸として溶離させる。溶離工程で用いる高選択性の溶離剤としては過塩素酸HClO4、チオシアン酸、ジチオン酸が例示される。溶離剤に含まれる酸の濃度は高濃度ほど溶離効率が高いので、0.1mol/L以上が望ましく、0.5~2mol/Lが特に望ましい。再生工程では、ケイフッ化水素酸イオンが溶離したアニオン交換樹脂をアルカリと接触させ、溶離剤のアニオンを水酸化物イオンと交換して、アニオン交換樹脂をOH形に調整することによりアニオン交換樹脂を再生する。アルカリとしては水酸化ナトリウムNaOH、水酸化カリウムKOHが例示され、特にNaOHを好適に用いることができる。アルカリ濃度は特に限定されないが、高濃度の方が再生効率が高いため0.1mol/L以上が望ましく、1~10mol/Lが特に望ましい。[ケイフッ化水素酸の精製工程]溶離工程で発生したケイフッ化水素酸を含有する溶離排液には、未反応の溶離剤も混在している。この溶離排液については、予めSiF62-形に調整したアニオン交換樹脂塔に通液することにより、溶離剤中のアニオンを選択的にケイフッ化物イオンと交換して除去してケイフッ化水素酸を精製することができる。また必要に応じて蒸発濃縮などの手段をさらに用いて濃縮することもできる。なお、OH形に調整した弱塩基性アニオン交換樹脂に試薬工業薬品などのケイフッ化水素酸H2SiF6溶液を通液することにより、アニオン交換樹脂をSiF62-形に調整することができる。精製工程において精製ケイフッ化水素酸が採取できれば、以後は精製ケイフッ化水素酸を用いてアニオン交換樹脂をSiF62-形に調整することができる。なお、調整後の排液に含まれる過塩素酸ナトリウムNaClO4は電気分解することによって、水酸化ナトリウムNaOHと過塩素酸HClO4にして再利用してもよい。[F形調整工程]本発明において、被処理液がケイフッ化水素酸とフッ酸とを含むものである場合、被処理液からケイフッ化水素酸を除去してフッ酸を回収することができる。この場合、アニオン交換樹脂としてF形アニオン交換樹脂を用いることにより、吸着工程においてフッ酸の濃度を低下させることなくフッ酸を回収することができる。アニオン交換樹脂をF形とするには、例えば、OH形に調整したアニオン交換樹脂にフッ酸含有液を接触させて水酸化物イオンとフッ化物イオンを交換してF形に調整することができる。図1は本発明方法を実施するための装置の一例を示している。原水槽1内の被処理液がポンプ2、配管3及び三方弁4を介してアニオン交換塔5に下向流にて通液される。アニオン交換塔5には弱塩基性アニオン交換樹脂が充填されている。ケイフッ化水素酸の吸着を行う場合には、アニオン交換塔5の流出液は三方弁6、配管7、三方弁8、配管9を通って系外に排出される。原水がフッ酸とケイフッ化水素酸を含有し、アニオン交換塔5でケイフッ化水素酸を除去してフッ酸を回収する場合には、この系外排出液がフッ酸回収液として回収される。アニオン交換塔5内のアニオン交換樹脂に吸着されたケイフッ化水素酸を溶離させる場合には、溶離剤タンク10内の溶離剤が配管11、三方弁12、配管13、三方弁4を介してアニオン交換塔5に通液され、アニオン交換塔5の流出液溶離液が三方弁6、配管14を介してケイフッ化水素酸回収槽15に導入される。このケイフッ化水素酸回収槽15内のケイフッ化水素酸溶液は、ポンプ16、配管17、三方弁18を介して精製用アニオン交換塔19に通液される。この精製用アニオン交換塔19内には、予めSiF62-形に調製されたアニオン交換樹脂が充填されており、溶離液ケイフッ化水素酸溶液中のケイフッ化水素酸以外のアニオンがケイフッ化物イオンとイオン交換して吸着除去され、ケイフッ化水素酸溶液が精製される。精製されたケイフッ化水素酸溶液は、三方弁20、配管21を介して精製ケイフッ化水素酸回収槽22に導入される。アニオン交換塔5を再生するときには、タンク23内のNaOH溶液が配管24、三方弁12、配管13、三方弁4を介してアニオン交換塔5に通液される。再生廃液は、三方弁6、配管7、三方弁8、配管9を介して系外へ排出される。精製用アニオン交換塔19を再生するときには、タンク23内のNaOH溶液を配管25、三方弁26、配管27、三方弁18を介して精製用アニオン交換塔19に通液し、再生廃液を三方弁20,8、配管9を介して系外に排出し、アニオン交換樹脂をまずOH形に再生する。次いで、精製ケイフッ化水素酸回収槽22内のケイフッ化水素酸を配管28、三方弁26、配管27、三方弁18を介して精製用アニオン交換塔19に通液し、アニオン交換樹脂をSiF62-形に調製する。この際のアニオン交換塔19からの調整廃液も、三方弁20,8、配管9を介して系外に排出される。なお、アニオン交換塔5のアニオン交換樹脂をF形に調整するときは図示しないフッ酸タンクからフッ酸をアニオン交換塔5に通液し、アニオン交換塔の流出液が三方弁6、配管7、三方弁8、配管9を介して系外に排出されるようにすればよい。実施例1図1に示すフローに従って、H2SiF6を含む合成廃水のアニオン交換樹脂処理と、該処理によりSiF62-を吸着したアニオン交換樹脂の再生、H2SiF6の回収精製を行った。<試験条件>廃水組成:H2SiF61.0w/v、HNO35w/v、HF2.0w/vアニオン交換樹脂:三菱化学株製ダイヤイオンWA-301通水による吸着工程アニオン交換樹脂3Lを充填したアニオン交換塔5を使用した。合成廃液をSV5で4h通水した。2溶離工程アニオン交換塔5内の残留液を排出し、溶離剤として1mol/LのHClO4溶液5LをSV1で通液した。流出液はH2SiF6回収液として採取した。3H2SiF6精製工程別途用意したOH形アニオン樹脂に1mol/LのH2SiF6溶液を通液倍率2BVで通液し、純水を通液倍率5BVで通液して洗浄して、SiF6形樹脂に調整した。このSiF6形樹脂に、前記2のH2SiF6回収液をSV1で通液して、ClO4イオンを除去し、精製H2SiF6液を得た。4アニオン交換樹脂再生工程上述の溶離後のアニオン交換塔5内のアニオン交換樹脂に、2N-NaOH溶液をSV2で4BV通液、純水5BVで洗浄して、OH形アニオン交換樹脂を調整した。5繰り返し上記の1~4工程を繰り返した。ただし、2回目以降にあっては、3工程のSiF6形樹脂の調整操作には3の操作で得られた精製H2SiF6溶液を用いた。<試験結果>i通水試験アニオン交換塔5内のアニオン交換樹脂のアニオン吸着量を図2に示す。図2の通り、通水量6L/L-樹脂の時点でF-、NO3-は押し出され、SiF62-のみが吸着した状態となった。ii溶離試験溶離液の組成はH2SiF650g/L、HClO41g/Lであった。iii精製試験精製H2SiF6液中のClO4-は不検出であり、回収されたH2SiF6溶液の純度は98.0以上であった。iv繰り返し試験3サイクル行った結果、樹脂へのSiF62-吸着性能や回収精製純度に変化がないことが認められた。"