"回転駆動源により回転駆動される回転部とこの回転部の回転に連動して直動する直動部とを備える回転直動変換機構を、前記回転部に設けたベアリングを介してハウジング内部に支持した回転直動変換アクチュエータであって、前記回転部と前記ベアリングとの間、及び前記ハウジングと前記ベアリングとの間のいずれか一方又は両方に振動緩衝材を配置したことを特徴とする回転直動変換アクチュエータ。請求項1に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、前記回転直動変換機構は、前記回転部と前記直動部との間に遊星軸を配置した遊星差動ネジ型回転直動変換機構であって、前記回転部の内部空間にて、前記回転部、前記直動部及び前記遊星軸に設けられたネジ間の差動により、前記回転部と前記直動部との間での回転直動変換を行うことを特徴とする回転直動変換アクチュエータ。請求項1又は2に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、前記ハウジングは、外部の適用個所に取り付けるための外部取付部位が設けられていると共に、この外部取付部位から前記ベアリングの取付部位までは一体に成形されていることを特徴とする回転直動変換アクチュエータ。請求項1~3のいずれか一項に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、前記振動緩衝材はゴム状弾性材から成るオーリングであることを特徴とする回転直動変換アクチュエータ。請求項1~4のいずれか一項に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、この回転直動変換アクチュエータは、内燃機関の可変動弁機構を駆動するためのアクチュエータであることを特徴とする回転直動変換アクチュエータ。請求項5に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、この回転直動変換アクチュエータは、内燃機関の吸気弁に対する作用角を調節するためのアクチュエータであることを特徴とする回転直動変換アクチュエータ。請求項6に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、前記内燃機関は、車両に搭載されて車両を走行駆動するためのものであると共に、前記車両の走行状態に応じて自動停止制御がなされるものであることを特徴とする回転直動変換アクチュエータ。特許文献1,2では、回転直動変換アクチュエータにおいて、回転駆動源である電動モータにより回転される回転部は、ハウジング内部にベアリングを介して取り付けられている。そしてシリンダヘッドなどの内燃機関側に取り付けられるハウジングは、ハウジング内部のベアリング取付位置から、内燃機関との取付部位までは一体に成形されている。このため回転直動変換アクチュエータを駆動した場合には、この駆動に伴って生じる振動がハウジング内部の取付部位からハウジングを介して内燃機関に伝達される。このような振動伝達が生じると、内燃機関やこの内燃機関が搭載された車両に振動音を生じるおそれがある。特に内燃機関が停止している状態で回転直動変換アクチュエータが駆動されると、その振動や振動音が際立ち、車両ドライバに違和感を与えるおそれがある。車両走行駆動用の内燃機関においては、アイドリングストップなどによる自動停止時や、ハイブリッド車での間欠制御による自動停止時においては、次の自動始動のために、吸気弁を始動に適切な作用角にしておくために、回転直動変換アクチュエータを駆動することがある。このように内燃機関停止時において回転直動変換アクチュエータの駆動が生じた場合には、上述したごとくの振動や騒音により車両ドライバに違和感を与えることがある。このことは自動停止時ばかりでなく、手動停止時においても回転直動変換アクチュエータの駆動が生じれば同様に振動や騒音が生じ、車両ドライバに違和感を与えるおそれがある。本発明は、回転直動変換アクチュエータの駆動に伴う振動や騒音を防止することを目的とするものである。以下、上記目的を達成するための手段及びその作用効果について記載する。請求項1に記載の回転直動変換アクチュエータは、回転駆動源により回転駆動される回転部とこの回転部の回転に連動して直動する直動部とを備える回転直動変換機構を、前記回転部に設けたベアリングを介してハウジング内部に支持した回転直動変換アクチュエータであって、前記回転部と前記ベアリングとの間、及び前記ハウジングと前記ベアリングとの間のいずれか一方又は両方に振動緩衝材を配置したことを特徴とする。回転直動変換アクチュエータは、回転部に設けたベアリングを介してハウジング内部に支持されている。このため回転直動変換アクチュエータの駆動により生じた振動はベアリングを介してハウジングに伝達される。そしてハウジングからハウジングが取り付けられている外部に伝達されて、振動や騒音が外部に漏れる原因となる。本発明の構成では、振動緩衝材が、回転部とベアリングとの間、及びハウジングとベアリングとの間のいずれか一方又は両方に配置されている。振動緩衝材が、回転部とベアリングとの間に配置されている構成では、回転直動変換アクチュエータが発生する振動は回転部からベアリングへの伝達が抑制される。このためベアリングからハウジングへ伝達される振動が抑制される。このことによりハウジングが取り付けられている外部への振動伝達も抑制される。同様に振動緩衝材が、ハウジングとベアリングとの間に配置されている構成では、回転直動変換アクチュエータが発生する振動は回転部からベアリングへ伝達されても、ベアリングからハウジングへの伝達が抑制される。このためハウジングが固定されている外部への振動伝達も抑制される。こうして回転直動変換アクチュエータの駆動に伴う振動や騒音を防止することができる。請求項2に記載の回転直動変換アクチュエータでは、請求項1に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、前記回転直動変換機構は、前記回転部と前記直動部との間に遊星軸を配置した遊星差動ネジ型回転直動変換機構であって、前記回転部の内部空間にて、前記回転部、前記直動部及び前記遊星軸に設けられたネジ間の差動により、前記回転部と前記直動部との間での回転直動変換を行うことを特徴とする。このように回転直動変換機構として遊星差動ネジ型回転直動変換機構を用いる構成では、駆動時の振動発生個所が多数となる。しかし本発明のごとく振動緩衝材を上述の位置に配置したことにより、外部への振動伝達が抑制される。このことにより回転直動変換アクチュエータの駆動に伴う振動や騒音を防止することができる。請求項3に記載の回転直動変換アクチュエータでは、請求項1又は2に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、前記ハウジングは、外部の適用個所に取り付けるための外部取付部位が設けられていると共に、この外部取付部位から前記ベアリングの取付部位までは一体に成形されていることを特徴とする。ハウジングが、外部取付部位からベアリングの取付部位までは一体に成形されている構成では、ハウジング自体は振動を伝達しやすい構成となっている。しかし本発明の構成では、回転部とベアリングとの間、及びハウジングとベアリングとの間のいずれか一方又は両方に、振動緩衝材を配置していることから、上述したハウジング自体の構成に関係なく、外部への振動伝達を抑制できる。請求項4に記載の回転直動変換アクチュエータでは、請求項1~3のいずれか一項に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、前記振動緩衝材はゴム状弾性材から成るオーリングであることを特徴とする。振動緩衝材としてはゴム状弾性材から成るオーリングを用いることができる。このようなオーリングを、回転部とベアリングとの間、及びハウジングとベアリングとの間のいずれか一方又は両方に配置した構成とすることにより、ゴム状弾性材であるオーリングが振動を吸収する。このため外部への振動伝達が抑制されて、回転直動変換アクチュエータの駆動に伴う振動や騒音を防止することができる。請求項5に記載の回転直動変換アクチュエータでは、請求項1~4のいずれか一項に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、この回転直動変換アクチュエータは、内燃機関の可変動弁機構を駆動するためのアクチュエータであることを特徴とする。このように本発明の回転直動変換アクチュエータを、内燃機関の可変動弁機構駆動に適用することにより、内燃機関駆動時や非駆動時にかかわらず、その振動や騒音を防止することができる。請求項6に記載の回転直動変換アクチュエータでは、請求項5に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、この回転直動変換アクチュエータは、内燃機関の吸気弁に対する作用角を調節するためのアクチュエータであることを特徴とする。このように本発明の回転直動変換アクチュエータは内燃機関の吸気弁に対する作用角を調節するためのアクチュエータとして適用できる。したがって内燃機関駆動時や非駆動時にかかわらず、吸気弁の作用角を変更する際において、振動や騒音を防止することができる。請求項7に記載の回転直動変換アクチュエータでは、請求項6に記載の回転直動変換アクチュエータにおいて、前記内燃機関は、車両に搭載されて車両を走行駆動するためのものであると共に、前記車両の走行状態に応じて自動停止制御がなされるものであることを特徴とする。このように自動停止制御がなされる車両では、自動停止時に回転直動変換アクチュエータが駆動されると、その振動や騒音が際立つおそれがあるが、本発明の構成により、外部への振動伝達が抑制されるので、そのような振動や騒音を防止することができる。したがって車両ドライバに違和感を与えるおそれがない。[実施の形態1]構成図1に上述した発明が適用された回転直動変換アクチュエータ以下アクチュエータと称する2の縦断面を示す。このアクチュエータ2は、外部、ここでは内燃機関EGのシリンダヘッドあるいはカムキャリアに対して、その外面に取り付けられ、シリンダヘッド上の可変動弁機構を駆動するために、可変動弁機構に設けられたコントロールシャフトを軸方向に駆動するものである。尚、本実施の形態の内燃機関EGは、車両に搭載されて車両を走行駆動するためのものであると共に、車両の走行状態に応じて自動停止制御されるものである。例えば、アイドリングストップ等の制御により内燃機関EGは自動停止される。アクチュエータ2は、ハウジング4と、このハウジング4の背面側を閉塞するように配置された制御部6とを主要な外郭構成としている。ハウジング4の前面側には、内燃機関EGへの取付部4aが平面状に形成されている。アクチュエータ2全体はこの取付部4aを内燃機関EGに密着させてボルト締結される。更に取付部4aの中央部分には突出状に先端部4bが形成されている。この先端部4bの中央部にはスプライン貫通孔4cが形成されている。このスプライン貫通孔4cには、アクチュエータ2内部から出力用のサンシャフト8が自身のスプライン8aにて嵌合した状態でその先端部8bをハウジング4外部へ突出させている。ハウジング4の内周面側にはベアリングシート部4dが設けられている。このベアリングシート部4dにベアリング10が配置される。このベアリング10を介して、ベアリングシート部4dは、遊星差動ネジ型回転直動変換機構12を、ナット12aの位置で回転可能に支持している。尚、ベアリング10の外輪10aは、ベアリングシート部4dの先端側面4eとリング状プレート14との間に配置されている。リング状プレート14はボルト14aにてハウジング4の内面に締結され、ベアリング10の外輪10aを先端側面4eとの間で挟持している。このことによりハウジング4内でベアリング10を固定している。ベアリング10は、その内輪10bにて、ナット12aの外周面に周方向に形成されている段差部12fと、同じく外周面に周方向に形成されている止め輪用溝12bとの間に配置されている。止め輪用溝12bに止め輪16が嵌め込まれることにより、ベアリング10はナット12a上での軸方向位置が固定されている。このことにより、ベアリング10を介して、遊星差動ネジ型回転直動変換機構12はハウジング4内での軸方向位置が基準位置に設定された状態で支持されている。尚、ベアリング10よりも先端側図1の右側には、オイルシール18がハウジング4の内周面とナット12aの外周面との間に配置されている。このことにより先端部4b側から後方図1の左側への潤滑油浸入を防止している。更にナット12aの外周にはロータ20が固定されている。このロータ20に対向してハウジング4内にはコイル22aを有するステータ22が配置されている。このステータ22を制御部6が電磁駆動することにより、ロータ20とステータ22とが電動モータ回転駆動源に相当として機能して、ナット12aはロータ20と共に回転駆動される。遊星差動ネジ型回転直動変換機構12は、円筒状のナット12a回転部に相当と、サンシャフト8直動部に相当、及びナット12aとサンシャフト8との間に配置された複数本のプラネタリシャフト24遊星軸に相当を主体として構成されている。図1では、ナット12aは一点鎖線の位置で紙面に垂直に破断して内部の構成を示している。ナット12aとプラネタリシャフト24とは、ナット12aの内部空間においてギヤ12c,12d,24a,24bとネジ12e,24cとで噛み合う。同様にプラネタリシャフト24とサンシャフト8とについてもナット12aの内部空間においてギヤ24a,24b,8c,8dとネジ24c,8eとで噛み合っている。ナット12aが前述したごとくの電動モータにより回転駆動されると、プラネタリシャフト24はナット12a内にてサンシャフト8の周りを公転し、ネジ24c,8eの噛み合いによる差動機能によりサンシャフト8が軸方向に移動する。このサンシャフト8の軸方向移動により、内燃機関EGのシリンダヘッドに存在する可変動弁機構のコントロールシャフトが連動して軸方向に移動する。この移動により内燃機関EGの各気筒において吸気バルブのバルブリフト量が連続的に変更される。ここでベアリング10配置部分の拡大断面を図2に示す。ベアリングシート部4dに配置されているベアリング10の外輪10aには、その外周面10cに周方向に環状に形成された2つの溝10d,10eが平行に設けられている。この溝10d,10e内には、振動緩衝材として、ゴム状弾性材から成るオーリングOリング26,28が、径方向に圧縮された状態でそれぞれ配置されている。したがって遊星差動ネジ型回転直動変換機構12は、ベアリング10を介してハウジング4内部に支持されていると共に、ハウジング4とベアリング10との間に振動緩衝材オーリング26,28を配置した構成とされている。作用このようにハウジング4内に遊星差動ネジ型回転直動変換機構12を配置しているアクチュエータ2の作用について説明する。遊星差動ネジ型回転直動変換機構12のサンシャフト8には、可変動弁機構のコントロールシャフトが結合している。このコントロールシャフトにより、図1に一点鎖線の矢線で示すごとく、常時、ハウジング4から先端側図1の右側に引き出される方向の力Ffがサンシャフト8に働いている。車両に搭載された内燃機関EGが、アイドリングストップ等の制御により停止される場合に、次回の内燃機関EG始動が円滑となるように吸気バルブの作用角を適切な状態にしている。例えば高温停止時には始動時のノッキングを防止するために大作用角にして内燃機関EGを停止している。しかし内燃機関EGの低温化により適切な作用角は小さくなる。このため内燃機関EG停止時においてアクチュエータ2を駆動することで吸気バルブの作用角を小さくする場合がある。この場合、ステータ22とロータ20とからなる電動モータによりナット12aを回転させ、このことによりプラネタリシャフト24を転動させて、サンシャフト8を、力Ffの方向に移動させることになる。このような遊星差動ネジ型回転直動変換機構12の駆動時には、駆動に伴う振動が遊星差動ネジ型回転直動変換機構12に発生する。そしてこの振動はベアリング10を介してハウジング4に伝達される。この振動の伝達は、主として、図2に一点鎖線の矢線で示す方向F1図2では斜め右上に向かう矢線でなされる。この振動伝達方向F1上に位置するハウジング4とベアリング10との間の領域には、前述したごとく振動緩衝材としてゴム状弾性材のオーリング26,28が配置されている。このためハウジング4とベアリング10との間で、遊星差動ネジ型回転直動変換機構12の駆動振動はオーリング26,28により吸収される。したがってアクチュエータ2が遊星差動ネジ型回転直動変換機構12を駆動することにより発生する振動は、ハウジング4への伝達が抑制される。このことにより、更にハウジング4から、このハウジング4が固定されている内燃機関EGのシリンダヘッドあるいはカムキャリアへの振動伝達が抑制される。効果1上述したごとくの作用により、アクチュエータ2の駆動に伴う振動や騒音を防止することができる。2アイドリングストップ等の制御により内燃機関EGが停止される場合には、アクチュエータ2の振動や騒音が際立ちやすいが、このような場合にも外部への振動伝達を十分に抑制できるので、振動や騒音が際立たないようにすることができる。このため車両ドライバに違和感を与えるおそれがない。3ハウジング4は、内燃機関EGに対する取付部位からベアリング10の取付部位まで一体に成形されている。このような構成では、ハウジング4自体は振動を伝達しやすい。しかしハウジング4とベアリング10との間に振動を緩衝するオーリング26,28が配置されていることにより、ハウジング4自体の構成に関係なく、アクチュエータ2から外部への振動伝達を抑制できる。[実施の形態2]構成本実施の形態は、前記実施の形態1とはオーリングの配置位置が異なる例である。複数の例をそれぞれ図3~8に示す。各例において、オーリング以外の構成については、オーリングの配置に適合して溝の形状や位置を変更した以外は、前記実施の形態1と同じである。図3では、ベアリング110の内輪110bが接触するナット112aの外周面112bの中央に、周方向に環状の溝112cが形成されている。そして、この溝112c内にゴム状弾性材のオーリング126が圧縮状態で配置されている。図4では、ベアリング210の内輪210bにおいて、ナット212aの外周面212bと接触する内周面210cには環状の溝210dが形成されている。この溝210dは、内輪210bの後端側図示左側の角部に形成されている。この溝210d内にゴム状弾性材のオーリング226が圧縮状態で配置されている。図5では、ベアリング310の外輪310aが接触するハウジング304のベアリングシート部304aに、2本の環状の溝304b,304cが周方向に形成されている。この溝304b,304c内に、ゴム状弾性材のオーリング326,328がそれぞれ圧縮状態で配置されている。図6では、ベアリング410の内輪410bにおいて、その内周面410cの中央に、環状の溝410dが周方向に形成されている。この溝410d内にゴム状弾性材のオーリング426が圧縮状態で配置されている。図7では、ナット512aの外周面512bにおいて、ベアリング510の内輪510bが接触している領域の後端側図示左側には、段差部512cが形成されている。この段差部512cは、止め輪516と共に内輪510bを挟持してベアリング510の位置決めをするものである。この段差部512cの端面512dに、環状の溝512eが周方向に形成されている。この溝512e内にゴム状弾性材のオーリング526が圧縮状態で配置されている。図8では、ハウジング604のベアリングシート部604aにおいて、ベアリング610の外輪610aが接触している領域の先端側図示右側には、段差部604bが形成されている。この段差部604bは、リング状プレート614と共に外輪610aを挟持してベアリング610とこのベアリング610が取り付けられている遊星差動ネジ型回転直動変換機構612全体の位置決めをするものである。この段差部604bの端面604cに、環状の溝604dが周方向に形成されている。この溝604d内にゴム状弾性材のオーリング626が圧縮状態で配置されている。作用図3の構成では、遊星差動ネジ型回転直動変換機構112の駆動振動は、遊星差動ネジ型回転直動変換機構112のナット112aとベアリング110の内輪110bとの間で、オーリング126により吸収される。したがってアクチュエータが遊星差動ネジ型回転直動変換機構112を駆動することにより発生する振動は、ベアリング110への伝達が抑制される。このことからハウジング104への振動伝達も抑制される。図4の構成では、遊星差動ネジ型回転直動変換機構212のナット212aとベアリング210の内輪210bとの間にオーリング226が配置されているが、特にオーリング226の配置は内輪210bの後端側とされている。ナット212aから内輪210bへの振動伝達は、前記図2において説明したごとく方向F1でなされる。したがって特にオーリング226は振動による伸縮を受けやすい位置に存在する。このためナット212aとベアリング210との間で、遊星差動ネジ型回転直動変換機構212の駆動振動はオーリング226により吸収される。したがってアクチュエータが遊星差動ネジ型回転直動変換機構212を駆動することにより発生する振動は、ベアリング210への伝達が抑制される。このことからハウジング204への伝達も抑制される。図5の構成では、前記図2とは、ハウジング304のベアリングシート部304a側の溝304b,304cにオーリング326,328が配置されている点が異なるが、ベアリング310とハウジング304との間にオーリング326,328が配置されている点では同じである。このためベアリング310とハウジング304との間で、遊星差動ネジ型回転直動変換機構312の駆動振動はオーリング326,328により吸収される。したがってアクチュエータが遊星差動ネジ型回転直動変換機構312を駆動することにより発生する振動は、ハウジング304への伝達が抑制される。図6の構成では、前記図3とは、ベアリング410の内輪410b側に設けた溝410d内にオーリング426が配置されている点が異なるが、ナット412aとベアリング410との間にオーリング426が配置されている点では同じである。このためナット412aとベアリング410との間で、遊星差動ネジ型回転直動変換機構412の駆動振動はオーリング426により吸収される。したがってアクチュエータが遊星差動ネジ型回転直動変換機構412を駆動することにより発生する振動は、ベアリング410への伝達が抑制される。このことからハウジング404への伝達も抑制される。図7の構成では、前記図4とは、ナット512a側の段差部512cの端面512dに形成された溝512eにオーリング526が配置されている点が異なるが、オーリング526が前記図4にて示したごとくの振動伝達方向F1に対して特に伸縮を受けやすい位置に存在する点については同じである。このためナット512aとベアリング510との間で、遊星差動ネジ型回転直動変換機構512の駆動振動はオーリング526により吸収される。したがってアクチュエータが遊星差動ネジ型回転直動変換機構512を駆動することにより発生する振動は、ベアリング510への伝達が抑制される。このことからハウジング504への伝達も抑制される。図8では、前記図7とは、ハウジング604の段差部604bにある溝604d内にオーリング626が配置されている点が異なるが、前記図2にて示したごとくの振動伝達方向F1に対して特に伸縮を受けやすい位置に存在する点については同じである。このため遊星差動ネジ型回転直動変換機構612の駆動振動は、ベアリング610とハウジング604との間で、オーリング626により吸収される。したがってアクチュエータが遊星差動ネジ型回転直動変換機構612を駆動することにより発生する振動は、ハウジング604への伝達が抑制される。効果図3~8の各例において前記実施の形態1の効果と同様な効果を生じる。[その他の実施の形態]前記各実施の形態でのオーリング配置を任意に組み合わせた構成としても良い。組み合わせとすることにより、遊星差動ネジ型回転直動変換機構からハウジングへの振動伝達の抑制効果が高まり、アクチュエータの駆動に伴う振動防止や騒音防止により効果的なものとなる。前記各実施の形態においては、振動緩衝材としてはゴム状弾性材のオーリングを用いたが、振動緩衝材であれば、形状はオーリングに限らない。例えば、前記各実施の形態においてオーリングを収納していた溝内に、断片状のゴム状弾性材を、間隔を開けて配置しても良い。あるいは化学反応によりゴム状弾性体となるペースト状樹脂配合物を、前記溝内に注入し、その後の化学反応により硬化させても良い。このようなペースト状樹脂配合物を用いることにより、硬化しない状態でアクチュエータを組み立てることが可能となることから、アクチュエータや遊星差動ネジ型回転直動変換機構の組み立て作業が容易となる。あるいは、溝内に通じる孔部を別途形成しておき、アクチュエータや遊星差動ネジ型回転直動変換機構を組み立てた後に、前記孔部からペースト状樹脂を溝内に注入するようにしても良く、更にアクチュエータや遊星差動ネジ型回転直動変換機構の組み立て作業が容易となる。前記各実施の形態においては、オーリングなどの振動緩衝材は、天然ゴムや合成ゴムなどを用いたゴム状弾性材であったが、振動緩衝性能があればゴム状弾性を示さない材質の振動緩衝材を用いても良い。例えば高分子ゲルなどのゲル化素材を用いても良い。前記各実施の形態では、ハウジングは、外部取付部位前記図1では取付部4aからベアリングの取付部位前記図1ではベアリングシート部4dまでは一体に成形されていたが、別体であっても良い。別体であっても、前述した各実施の形態にて示した効果により、遊星差動ネジ型回転直動変換機構からハウジングへの振動伝達は抑制されるので、アクチュエータの駆動に伴う振動や騒音を防止することができる。前記各実施の形態では、遊星差動ネジ型回転直動変換機構におけるサンシャフトは常時、ハウジングから先端側に引き出される方向の力前記図1の力Ffが働いている構成であったが、逆に先端側からハウジング内に押し込まれる方向の力がサンシャフトに働いている構成も存在する。このような構成では、前記図2に示したごとく、振動伝達は方向F1ではなく方向F2となる。この場合でも、前記図2,3,5,6の構成ならば、振動伝達を抑制して、アクチュエータの駆動に伴う振動や騒音を防止することができる。又、図4,7,8においても、その溝とオーリングとの配置を、先端側と後端側とで入れ替えた位置に変更すれば、サンシャフトに先端側からハウジング内に押し込まれる方向の力が働いていても、効果的に振動伝達を抑制して、アクチュエータの駆動に伴う振動や騒音を防止することができる。"