粒子線のエネルギーを減衰させる減衰体の厚みを変化させることにより、通過する粒子線のエネルギーを変更する第一エネルギー変更器および第二エネルギー変更器が、上記粒子線が上記第一エネルギー変更器と上記第二エネルギー変更器とを通過するよう配置されるとともに、上記第一エネルギー変更器の減衰量の最大値を、上記第二エネルギー変更器の減衰量の最大値よりも小さく設定したことを特徴とする粒子線エネルギー変更装置。上記第一エネルギー変更器の減衰量を変化させる速度の最大値は、上記第二エネルギー変更器の減衰量を変化させる速度の最大値よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の粒子線エネルギー変更装置。上記粒子線のエネルギーを変更する制御時には少なくとも上記第一エネルギー変更器の減衰量を変化させて上記粒子線のエネルギーを変更する制御を行い、当該粒子線エネルギー変更装置を通過後の上記粒子線のエネルギーが一定となる制御時には、上記第一エネルギー変更器の減衰量を変化させるとともに、上記第二エネルギー変更器の減衰量を変化させて、上記第一エネルギー変更器の減衰量と上記第二エネルギー変更器の減衰量との合計の減衰量が変化しないように、上記第一エネルギー変更器の減衰量と上記第二エネルギー変更器の減衰量との間で相互に減衰量を置換する置換制御を行うことを特徴とする請求項1に記載の粒子線エネルギー変更装置。上記粒子線に与える減衰量目標値は時系列減衰量目標値データで与えられ、上記時系列減衰量目標値データを周波数分離した二つのデータを基に、上記第一エネルギー変更器と上記第二エネルギー変更器の指令値を生成することを特徴とする請求項1に記載の粒子線エネルギー変更装置。上記粒子線のエネルギーの補正を、上記第一エネルギー変更器の減衰量を変更することにより行うことを特徴とする請求項1に記載の粒子線エネルギー変更装置。請求項1から請求項5いずれか1項に記載の粒子線エネルギー変更装置を備えたことを特徴とする粒子線治療装置。粒子線のエネルギーを減衰させる減衰体の厚みを変化させることにより、通過する粒子線のエネルギーを変化させる第一エネルギー変更器と、この第一エネルギー変更器の減衰量の最大値よりも減衰量の最大値が大きい第二エネルギー変更器とを用いて粒子線のエネルギーを変更する粒子線エネルギー変更方法であって、上記粒子線のエネルギーを変更する制御時には少なくとも上記第一エネルギー変更器の減衰量を変化させて上記粒子線のエネルギーを変更し、上記第一エネルギー変更器と上記第二エネルギー変更器とを通過後の上記粒子線のエネルギーが一定となる制御時には、上記第一エネルギー変更器の減衰量を変化させるとともに、上記第二エネルギー変更器の減衰量を変化させて、上記第一エネルギー変更器の減衰量と上記第二エネルギー変更器の減衰量との合計の減衰量が変化しないように、上記第一エネルギー変更器の減衰量と上記第二エネルギー変更器の減衰量との間で相互に減衰量を置換することを特徴とする粒子線エネルギー変更方法。特許文献1の図1a、bや、特許文献2のFig.5、Fig.6に記載された粒子線エネルギー変更装置であるレンジシフタでは、照射において必要なエネルギー変化量が大きい場合、エネルギー減衰させてエネルギー変更をもたらすためのレンジシフタ部材の厚みが必然的に大きくなる。そのため、出し入れ駆動されるレンジシフタ部材の質量も増加し、高速なエネルギー変更を難しくしていると同時に、動作した際の振動と騒音も大きくなる問題があった。本発明は、このような従来の粒子線エネルギー変更装置の問題点を解消する目的でなされ、高速動作が可能で、低騒音の粒子線エネルギー変更装置を提供することである。本発明に係る粒子線エネルギー変更装置は、粒子線のエネルギーを減衰させる減衰体の厚みを変化させることにより、通過する粒子線のエネルギーを変更する第一エネルギー変更器および第二エネルギー変更器が、粒子線が第一エネルギー変更器と第二エネルギー変更器とを通過するよう配置されるとともに、第一エネルギー変更器の減衰量の最大値を、第二エネルギー変更器の減衰量の最大値よりも小さく設定したものである。本発明の粒子線エネルギー変更装置は、低騒音かつ高速に粒子線のエネルギーを変更でき、粒子線治療装置に適用した場合、治療における全体の照射時間を短縮できる。実施の形態1.図1は本発明の実施の形態1による粒子線エネルギー変更装置の構成を示すブロック図である。図1において、1は粒子線加速器図示せずから得られる所定の粒子エネルギーを有する粒子線を示し、2は第一エネルギー変更器、3は第二エネルギー変更器、21は第一エネルギー変更器2を制御する第一エネルギー変更制御器、31は第二エネルギー変更器3を制御する第二エネルギー変更制御器を示す。また、10は上記第一エネルギー変更制御器2及び第二エネルギー変更制御器3に指令を出すエネルギー変更置換制御器である。エネルギー変更置換制御器10は、エネルギー変更指令部12からの信号により、第一エネルギー変更制御器21および第二エネルギー変更器31に指令を出す。第一エネルギー変更器2は、2枚の楔形のウェッジブロックから構成されており、2枚のウェッジブロックの相対位置を変更することによって、粒子線1が通過する位置の合計厚みが変化し、通過する粒子線のエネルギー減衰量を変更できる。第二エネルギー変更器3も第一エネルギー変更器2と同様な構成となっている。但し、第二エネルギー変更器3は、第一エネルギー変更器2より、ウェッジ板厚が大きく、その長さも大きいため、第一エネルギー変更器2に比べ、粒子線のエネルギーをより大きく変化させることが可能である。第一エネルギー変更器2や第二エネルギー変更器3のウェッジはエアーシリンダーや油圧シリンダー、或いは電磁アクチュエーターと呼ばれる装置で駆動され、必要な位置に移動されて、通過する粒子線に所定のエネルギー減衰を与える。ただし、ウェッジを駆動させるには、他の手段を用いてもよい。また、第一エネルギー変更器2のウエッジの質量は第二エネルギー変更器3のウエッジの質量よりも小さい。したがって、第一エネルギー変更器2の厚みを変化させる速度の最大値は、第二エネルギー変更器3の厚みを変化させる速度の最大値よりも大きく、第一エネルギー変更器2の方が第二エネルギー変更器3よりも減衰量を高速に変化させることができる。第一エネルギー変更器2、および第二エネルギー変更器3を通過した後の、エネルギーを変更された粒子線11は、被照射体に向かう。図1では、粒子線が通過する順番が、まずエネルギー減衰量の最大値が小さい第一エネルギー変更器2を通過し、次にエネルギー減衰量の最大値が第一エネルギー変更器2よりも大きい第二エネルギー変更器3を通過する構成を示したが、通過させる順番は逆でも良い。次に、本発明の実施の形態1による粒子線エネルギー変更装置の動作を、図1および図2を用いて説明する。図2Aは、第一エネルギー変更器2が粒子線に与えるエネルギーの減衰量Δe1、図2Bは、第二エネルギー変更器3が粒子線に与えるエネルギーの減衰量Δe2、図2Cは、第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3が粒子線に与えるエネルギーの減衰量の和Δe1Δe2、のそれぞれ時間変化を示す線図である。図2Cには、破線で第一エネルギー変更器2の減衰量Δe1と第二エネルギー変更器3の減衰量Δe2も示している。図示しない粒子線加速器などから得られるエネルギーE0の粒子線1が、まず、第一エネルギー変更器2を通過し、その後第二エネルギー変更器3を通過する。粒子線1が第二エネルギー変更器3を通過して受ける減衰量の合計Δe1Δe2は、通過した第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3の合計厚に比例する。通過した後の粒子線11のエネルギーはE0-Δe1-Δe2となる。図2に示すように、時刻t0において、第一エネルギー変更器2の減衰量がE1、第二エネルギー変更器3の減衰量がE2であったとする。この時、第二エネルギー変更器3を通過後の粒子線11のエネルギーはE0-E1-E2となる。その後、エネルギー変更置換制御器10の指令により、第一エネルギー変更制御器21は第一エネルギー変更器2の減衰量を減少させながら、第二エネルギー変更制御器31は第二エネルギー変更器3の減衰量を増加させる制御を行う。この間、時刻t1まで、Δe1Δe2=E1E2となるよう、すなわち、第一エネルギー変更器2の減衰量と第二エネルギー変更器3の減衰量失の和が常に一定となるように、第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3の厚みを変化させる制御を行う。このとき、時刻t1において、第一エネルギー変更器2の減衰量が0となるように制御する。つまり、時刻t0からt1の間に、第一エネルギー変更器2の減衰量を第二エネルギー変更器3の減衰量に置き換える置換制御を行う。この状態にて、粒子線の照射が完了した際、エネルギー変更置換制御器10が第一エネルギー変更制御器21にエネルギー変更指令を出して、第一エネルギー変更器2のウェッジ位置を高速に移動させて、時刻t2までの短い時間で所定の厚み変化をもたらす。これによって、第一エネルギー変更器2におけるエネルギー減衰量をδE1となるようにする。時刻t2において、第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3を通過した粒子線11はそのエネルギーがE0-E1-E2-δE1に減少する。そして、このエネルギーにて、粒子線11が被照射体図示せずに所定粒子数だけ照射される。この照射期間は粒子線治療装置の場合で約1秒におよぶ場合がある。ここで、時刻t1から時刻t2までの間、第二エネルギー変更器3の減衰量は変化しなくても、変化しても良い。いずれの場合においても、時刻t2において、第一エネルギー変更器2の減衰量と第二エネルギー変更器3の減衰量の合計が、時刻t1における減衰量の合計よりもδE1だけ大きくなっていれば良い。すなわち、粒子線のエネルギーを変更する制御時には、少なくとも減衰量を高速に変化することができる第一エネルギー変更器2の減衰量を変化させて粒子線のエネルギーを変更する制御を行うのである。エネルギーE0-E1-E2-δE1の状態で照射が行われている間に、すなわち時刻t2から時刻t3の間に、エネルギー変更置換制御器10は、第一エネルギー変更制御器21と第二エネルギー変更制御器31を制御して、第一エネルギー変更器2による減衰量Δe1を減らし、同時に第二エネルギー変更器3の減衰量Δe2を増加させる置換制御を行う。この置換制御の間、第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3による合計の減衰量がE1E2δE1となるように制御する。図2Aに示すように、時刻t3において、第一エネルギー変更器2のエネルギー減衰量は0とならなくても良く、時刻t3においてΔe1Δe2=E1E2δE1となっていれば良い。エネルギーE0-E1-E2-δE1における照射が完了し、エネルギー変更指令部12からエネルギー変更の指令が出され、例えば、更にδE2だけ、ビームエネルギーを下げて、次の照射を行う。この際、先と同様に、第一エネルギー変更器2は高速に駆動されて、時刻t4において第一エネルギー変更器2による減衰量がδE2だけ大きくなるようにする。ここで、時刻t3において第一エネルギー変更器2の減衰量が0となっていなかった例えばその時の減衰量をE3とするので、第一エネルギー変更器2の減衰量はδE2よりも大きい減衰量δE2E3となっている。第一エネルギー変更器2の減衰量の最大値がδE2E3よりも大きい必要があるが、上述のように、時刻t3において、第一エネルギー変更器2のエネルギー減衰量は0となっていなくても良い。このようにして、時刻t4において、粒子線のエネルギーはE0-E1-E2-δE1-δE2に変更されて、このエネルギーによる照射が直ちに開始できる。そして、先と同様に、このビームエネルギーにおいて、照射が行われている間に、第一エネルギー変更器2の減衰量を減らし、第二エネルギー変更器3の減衰量を大きくし、この間、粒子線のエネルギーはE0-E1-E2-δE1-δE2一定となるよう制御する。図2で示すように、時刻t5において置換制御が終了し、第二エネルギー変更器3の減衰量がE1E2δE1δE2になった後も、第二エネルギー変更器3による減衰のみで粒子線のエネルギーをE0-E1-E2-δE1-δE2として照射を続けても良い。このように、エネルギー一定で照射する時間以下の時間で第一エネルギー変更器2の減衰量の全てあるいは一部を第二エネルギー変更器3の減衰量に置換する制御を行う。その後、粒子線のエネルギーを変更するときは、まずエネルギー減衰量の最大値が小さく、高速に駆動できる第一エネルギー変更器2の減衰量を変更して粒子線のエネルギーを変更する。ただし、粒子線のエネルギーを変更するときに、第二エネルギー変更器3の減衰量は変化させなくても、変化させてもどちらでも良い。例えば、図2において、時刻t2や時刻t4でΔe1Δe2が、エネルギー変更後の所定の減衰量になっていれば良い。図3は、エネルギー変更装置の、図2とは別の動作を示す図である。図3Aは、第一エネルギー変更器2が粒子線に与える減衰量Δe1、図3Bは、第二エネルギー変更器3が粒子線に与える減衰量Δe2、図3Cは、第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3が粒子線に与える減衰量の和Δe1Δe2、のそれぞれ時間変化を示す線図である。図2の動作では、粒子線エネルギー変更装置の減衰量を高速に減少させる、すなわち粒子線のエネルギーを高速に増加させることができなかった。図3に示すように、第一エネルギー変更器2の減衰量Δe1を、1回の変更について第一エネルギー変更器2の減衰量の最大値の半分以下の値で変更することで、粒子線のエネルギーを高速に増大/減少させることが可能となる。第一エネルギー変更器2の減衰量Δe1が最大値E1maxであった時刻t0から時刻t1の間に、第一エネルギー変更器の減衰量Δe1をE1maxから0.5E1maxに変化させる。その間、第二エネルギー変更器3の減衰量Δe2を、Δe1Δe2=E1maxE2となるよう増加させる。時刻t1から時刻t2の短い時間で第一エネルギー変更器の減衰量を0にまで下げることで、第一エネルギー変更器の減衰量Δe1と第二エネルギー変更器3の減衰量Δe2の合計値を0.5E1maxE2に減少させることができ、粒子線のエネルギーを0.5E1maxだけ増加させることができる。次に、時刻t2から時刻t3の間に、第一エネルギー変更器2の減衰量を、0.5E1maxまで増加させる。その間、第二エネルギー変更器3の減衰量Δe2を、Δe1Δe2=0.5E1maxE2となるよう減少させる。時刻t3から時刻t4の短い時間で第一エネルギー変更器の損失をその最大値以下の、例えば0.9E1maxにまで上げることで、第一エネルギー変更器2の減衰量Δe1と第二エネルギー変更器3の減衰量Δe2の合計値を0.9E1maxE2に増加させることができ、粒子線のエネルギーを0.4E1maxだけ減少させることができる。次に、時刻t5までの間にΔe1Δe2=0.9E1maxE2を保持し、時刻t5に第一エネルギー変更器2の減衰量が0.5E1maxとなるように、第一エネルギー変更器2および第二エネルギー変更器3の減衰量を制御する。このように、第一エネルギー変更器2を第一エネルギー変更器2の減衰量の最大値の2分の1を中心にして変更することで、第一エネルギー変更器2の減衰量の最大値の2分の1を限度として、粒子線のエネルギーを高速に増大/減少させることが可能となる。すなわち、エネルギーを高速に変化させる開始時には、第一エネルギー変更器2が第一エネルギー変更器2の減衰量の最大値の2分の1の減衰量となっているのが望ましい。ただし、粒子線のエネルギー変更のパターンによっては、第一エネルギー変更器2の減衰量の変更を、その減衰量の最大値の2分の1を中心にして変更するのではなく、次のエネルギー変更の差分を考慮して、第一エネルギー変更器2の減衰量の変更量を決定しても良い。以上のように、実施の形態1による粒子線エネルギー変更装置においては、第一エネルギー変更器2の減衰量の最大値を、第二エネルギー変更器3の減衰量の最大値よりも小さく設定したので、相対的に質量が大きく、高速移動に不向きな第二エネルギー変更器3は高速に動作しなくても、粒子線のエネルギーを高速に変更させて、粒子線を照射することが可能になる。これにより、質量が大きな第二エネルギー変更器3を高速に動作させる必要が無いため、機械的な高速移動が抑制されエネルギー変更を静かに行うことができ、しかも粒子線照射の総時間を短縮することができる。また、粒子線エネルギー変更装置を通過後の粒子線のエネルギーが一定となる制御時には、第一エネルギー変更器2の減衰量と第二エネルギー変更器3の減衰量との間で相互に減衰量を置換する置換制御を行うようにしたので、エネルギー変更時にはより高速にエネルギーを変更することができる。実施の形態2.図4は本発明の実施の形態2による粒子線エネルギー変更装置の構成を示すブロック図である。図4において、図1と同じ符号は同一または相当する部分を示す。図4において、偏向器23は偏向器用電源24で駆動される電磁石などで構成され、入射する粒子線1の進行方向を変える。偏向器23により粒子線1の進行方向を変えることにより、楔形のウェッジブロックなど異なる厚み部を有するエネルギー減衰素子22を通過する粒子線の位置が変わり、粒子線1に与えるエネルギー減衰量を変更する構成となっている。本実施の形態2による粒子線ビームエネルギー変更装置は、その減衰量の変更についての基本動作は前述した実施の形態1による粒子線エネルギー変更装置と同じである。異なる点は、第一エネルギー変更器2が、偏向器23、偏向器用電源24、およびエネルギー減衰素子22から構成されている点である。エネルギー変更指令部12のエネルギー変更指令を受けて、偏向器用電源24が偏向器23の励磁量を変化させることにより、粒子線1の軌道を移動させ、エネルギー減衰素子22における粒子線の通過位置を変更し、エネルギー減衰量を高速に変化させる。その後、エネルギー変更後の粒子線エネルギーによる粒子線照射が開始される。照射中では、第二エネルギー変更器3は第二エネルギー変更制御器31に制御されて、その厚みが増加し、一方、第一エネルギー偏向制御器21の指令にて、偏向器23の励磁量を変化させることにより、粒子線1がエネルギー減衰素子22のより薄い位置を通過するように制御される。このとき、エネルギー偏向置換制御器10の指令により、第一エネルギー変更器2の減衰量と第二エネルギー変更器3の減衰量の合計が一定となるよう制御される。このようにして、エネルギー一定での照射中に、第一エネルギー変更器2による減衰量は第二エネルギー変更器3の減衰量に置換される。本実施の形態2による新たな効果としては、第一エネルギー変更器2を、偏向器23と、厚み勾配を有するエネルギー減衰素子22により構成したため、機械的な移動が必要なく、電磁操作のみによって、高速に第一エネルギー変更器2のエネルギー減衰量を変化させることができる。その結果、より高速に粒子線のエネルギーを変更して、粒子線を照射することが可能である。第一エネルギー変更器2の高速な機械制御が不要になるため、騒音がさらに減少するとともに、信頼性が向上する。実施の形態3.図5は本発明の実施の形態3による粒子線エネルギー変更装置の構成を示すブロック図である。図5において、図1および図4と同じ符号は同一または相当する部分を示す。本実施の形態3は、実施の形態2に比較して、偏向器23が粒子線の軌道を平行移動させるように構成されている点で異なる。すなわち、第一偏向器231に入射した粒子線1が進行方向を変更させられる。その後、粒子線の軌道は、第二偏向器232によって第一偏向器23に入射する粒子線の進行方向と平行な軌道に戻される。偏向器用電源241は、第一エネルギー変更制御器21からの指令に基づいて、エネルギー減衰素子22の所定の厚みの部分を粒子線1が通過するように第一偏向器231および第二偏向器232を制御する。元の軌道に対して平行移動された粒子線がエネルギー変更素子22を通過した後、第二エネルギー変更器3を通過する。その後、軌道修正用第一偏向器233および軌道修正用第二偏向器234で構成される軌道修正用偏向器20により、偏向器23とは逆の軌道修正を行い、軌道修正用偏向器20から出射される粒子線11の軌道を、第一エネルギー変更器2に入射する粒子線1の軌道の延長上の軌道に戻す。本実施の形態3の新たな効果として、粒子線を常に、同じ角度に保ちながら、そのエネルギーのみを高速に変更することができるため、精度が高いエネルギー変更を行うことができる。また、粒子線エネルギー変更装置から出射される粒子線11の軌道が変化しないため、照射精度の低下が防止できる。尚、図5で図示されている実施の形態3において、第一エネルギー変更器2の構成メンバーであるエネルギー減衰素子22および偏向器23を、粒子線の輸送路中の粒子線の軌道と粒子線のエネルギーとの相関係数粒子線加速器分野ではηと呼ばれるが小さい位置に配置することが好ましい。このように配置することで、例え、第一エネルギー変更器2に入る粒子線1のエネルギーが若干変動したとしても、粒子線1の入射軌道は大きくずれることがなく、偏向器23の制御だけによって移動後粒子線の位置が決まり、指令に対応した位置でエネルギー源衰素子22に入射される。その結果、粒子線1のエネルギーが若干変動しても、第一エネルギー変更器2が予定通りに、粒子線1のエネルギーを変更することができる。よって、より精度の高いエネルギー変更が可能である。実施の形態4.図6は本発明の実施の形態4による粒子線エネルギー変更装置の構成を示すブロック図である。図6において、図1、図4、および図5と同一符号は同一または相当する部分を示す。本実施の形態4は、エネルギー変更器の減衰体として水などの液体を用いた実施の形態である。第一エネルギー変更器2は、水などの液体を格納する容器201と、その容器の両側にある粒子線の出入り板202および203により構成されている。容器201と出入り板202および203で囲まれた領域が、水など粒子線を減衰させる液体で満たされている。ここで、容器201は、変形可能な材料で形成されている。液体厚調整器204が出入り板202と203の間隔を変化させることにより、粒子線が通過する領域の厚みを変化させて粒子線に与える減衰量を変更する。また、第二エネルギー変更器3も同様に、水などの液体を格納する容器301と、その容器の両側にある粒子線の出入り板302および303により構成され、液体厚調整器304が出入り板302と303の間隔を変化させる。本実施の形態4によるエネルギー変更装置の、減衰量を変化させる動作は基本的に実施形態1と同じである。異なるところは、第一エネルギー変更器2および第二エネルギー変更器3における減衰量の変更は、ウェッジの移動ではなく、液体の厚みの変化によって得られる。第一エネルギー変更器2に対応する容器201の最大高さは第二エネルギー変更器3に対応する容器301の最大高さよりも低く、すなわち、第一エネルギー変更器2の減衰量の最大値は第二エネルギー変更器3の減衰量の最大値よりも小さく、第一エネルギー変更器2はより高速にその厚み変化が可能である。本実施の形態4による新たな効果は、ウェッジ板よりも、小型にエネルギー変更器を構成できることである。上記では、出入り板202と203の間隔や、出入り板302と303の間隔を変化させることで、液体のエネルギー減衰体の厚みを変化させるようにした。この他、ゴムのように弾性のある容器に水などの液体を格納して、圧力を変化させることにより充填される液体の厚みを変化させて、粒子線が通過する部分の厚みを変化させるようにしても、上記と同じ効果が得られる。実施の形態5.図7は、この発明の実施の形態5による粒子線エネルギー変更装置を示すブロック図である。本実施の形態5は、第一エネルギー変更制御器21および第二エネルギー変更制御器31への指令値を作成する一実施の形態である。エネルギー変更指令部12から、例えば粒子線1に与えるエネルギー減衰量の時間変化のデータがエネルギー変更置換制御器100に送付される。エネルギー変更置換制御器100は、周波数分離部101と指令値変換部102で構成されている。図8に実施の形態5による、周波数分離部101のブロック図を示す。エネルギー変更指令部12から送られてくるエネルギー減衰量目標値は、時系列に、時間に対応した目標減衰量が並べられたデータである。すなわち減衰量目標値は、例えば図8の左側に示したような時系列信号である。この減衰量目標値は、所定のエネルギーを一定時間連続して照射した後、エネルギーを変更して一定時間連続して照射する、という動作を繰り返して照射する例である。この減衰量目標値に対して、第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3の減衰量指令値を得るために、第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3の特性を考慮して以下のことを行う。周波数分離部101の入力である図8の左側に示した減衰量目標値の信号を、フィルタを用いて第一エネルギー変更器2用と第二エネルギー変更器3用とに分離する。第一エネルギー変更器2は小型で高速であり、より高周波の応答特性を有するから、減衰量目標値の高周波成分を担当するようにする。第二エネルギー変更器3は大型でエネルギー変更幅大であり、より低周波の応答特性を有するから、低周波成分を担当するようにする、等である。図8は、減衰量目標値の信号を、フィルタを用いて分離することを示したものである。ここで、第一エネルギー変更器2と第二エネルギー変更器3との合計で得られる目標減衰量は、当初に計画されたものにならなければいけない。したがって、図8に示したように、ここで用いるフィルタは、相補的FsGs=1なものを用いる。図8におけるFsは第二エネルギー変更器3用のフィルタでありローパスフィルタ103、Gs=1-Fsは第一エネルギー変更器2用のフィルタでありハイパスフィルタ104である。これらのフィルタで分離された減衰量目標値の信号が図8の右側に示す2つの信号である。またローパスフィルタ103のみを設けて、ハイパスフィルタを設けずに、演算器により入力信号である減衰量目標値の信号からローパスフィルタ103で分離した低周波成分の信号を差し引くことで高周波成分を得るようにしても良い。逆に、ハイパスフィルタのみを設けて、ローパスフィルタを設けずに、入力信号である減衰量目標値の信号からハイパスフィルタで分離した高周波成分の信号を差し引くことにより低周波成分を得るようにしても良い。指令値変換部102では、それぞれのエネルギー変更器による減衰量がそれぞれの減衰量目標値の指令値になるように、それぞれのエネルギー変更器の駆動手段に対応した指令値として出力し、第一エネルギー変更器2および第二エネルギー変更器3を制御する。以上のように構成することで、エネルギー変更指令部12から送られてくる減衰量目標値の時系列変化のデータから、自動的に第一エネルギー変更器2および第二エネルギー変更器3を制御するための信号を作成することができ、構成が簡単になる。実施の形態6.図9は本発明の粒子線エネルギー変更装置を用いた粒子線治療装置の構成を示すブロック図である。加速器51から出射された粒子線1は、粒子線輸送系52を通って粒子線エネルギー変更装置50によりエネルギーを変更される。エネルギーを変更された粒子線11は、粒子線照射装置53により被照射体55に照射される。ここで、被照射体55は癌など人間の患部であり、加速器51、粒子線エネルギー変更装置50、粒子線照射装置53などが治療計画装置54からの指示により制御されて、患部の形状に合わせて3次元の領域に粒子線の線量分布を形成する。被照射体55に照射される粒子線のエネルギーを変えると、ブラッグピークの位置が変化することから、粒子線のエネルギーを変化させて被照射体55に照射することにより、3次元の領域に計画した線量分布を形成することができる。このエネルギー変更は粒子線エネルギー変更装置50のエネルギー変更動作で実現される。具体的に、実施の形態1から実施の形態5のいずれかの粒子線エネルギー変更装置を用いて、粒子線のエネルギーを変化させて、被照射体55に照射する。本発明の粒子線エネルギー変更装置を用いることで、粒子線のエネルギーを低騒音で、高速に変化させることができるので、静かで照射時間が短い粒子線治療装置が得られる。実施の形態7.粒子線治療装置などでは、照射中に標的が呼吸運動などに伴って周期的に動く場合がある。その際、計画で照射予定されていた標的の所定位置に粒子線を正確に照射するには、計画したエネルギー値から少しずらし、補正したエネルギーの粒子線を照射する場合がある。また、呼吸運動は一定期間内では、周期的な再現がある。このため、粒子線のエネルギーを、この周期的な呼吸運動に同期して変調することで、粒子線を計画したとおりに所定の患部位置に照射することが可能になる。本実施の形態7では、実施の形態1から実施の形態5で説明した置換制御に加えて、相対的に動きが速い第一エネルギー変更器2に対して、上記周期的な運動に同期してエネルギーを補正するための減衰量の変化を重畳する制御を行う。これにより、患部に周期的な位置変動がある場合でも、精度よく粒子線を計画通りの位置に照射できる効果が得られる。また、粒子線のエネルギー自身が予測可能な変動を有する場合がある。予測可能な変動の例として、例えば加速器から出射される粒子線エネルギーの周期的な変動がある。実施の形態1から実施の形態5で説明した置換制御に加えて、相対的に動きが速い第一エネルギー変更器2に対して、上記した予測可能なエネルギー変動を補正してエネルギー変動を減少させるように減衰量の変化を重畳する制御を行う。これにより、粒子線の予測可能なエネルギー変動に影響されることがなく、計画したとおりに粒子線を患部などに照射することが可能になる。その結果、より精度が高い照射ができる効果がある。以上のように、粒子線エネルギーの補正が必要な場合、この補正を、より高速に減衰量の変更ができる第一エネルギー変更器2により行うことで、精度の高い照射が可能となる。