流体室内の流体を加圧することによって、該流体室に設けられたノズルから流体を噴射する流体噴射装置であって、前記流体室の一部を構成し、外力を受けて変形可能な変形部と、駆動信号が印加されると変形して前記変形部に外力を加える圧電素子と、前記駆動信号を出力する駆動信号出力手段と、前記流体室に連通して該流体室に流体を供給する流体供給通路と、を備え、前記流体供給通路は、前記変形部が変形する途中で、該変形部の動きによって閉鎖される通路であり、前記駆動信号は、前記流体供給通路が閉鎖されるまで前記変形部を変形させる第1信号部分と、前記流体供給通路が閉鎖された状態で前記変形部を変形させる第2信号部分とを有する信号である流体噴射装置。請求項1に記載の流体噴射装置であって、前記駆動信号は、前記第1信号部分よりも前記第2信号部分の方が、時間あたりの電圧の変化量が大きな信号である流体噴射装置。しかし、流体噴射装置はノズルの内径が小さいので、粘度の高い流体を噴射しようとすると大きな力が必要となり、流体噴射装置が大型化してしまうという問題があった。この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、粘度の高い流体であっても、流体噴射装置を大型化させることなく噴射することが可能な技術の提供を目的とする。上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の流体噴射装置は次の構成を採用した。すなわち、流体室内の流体を加圧することによって、該流体室に設けられたノズルから流体を噴射する流体噴射装置であって、前記流体室の一部を構成し、外力を受けて変形可能な変形部と、駆動信号が印加されると変形して前記変形部に外力を加える圧電素子と、前記駆動信号を出力する駆動信号出力手段と、前記流体室に連通して該流体室に流体を供給する流体供給通路と、を備え、前記流体供給通路は、前記変形部が変形する途中で、該変形部の動きによって閉鎖される通路であり、前記駆動信号は、前記流体供給通路が閉鎖されるまで前記変形部を変形させる第1信号部分と、前記流体供給通路が閉鎖された状態で前記変形部を変形させる第2信号部分とを有する信号であることを要旨とする。このような構成を有する本発明の流体噴射装置においては、流体供給通路からの流体で流体室を満たした状態で圧電素子に駆動信号を印加すると、変形部が変形して流体室内の流体が加圧されて、ノズルから流体が噴射する。また、流体供給通路は、変形部が変形する途中で、変形部の動きによって閉鎖される。従って、流体供給通路が閉鎖された後は、流体室は流体供給通路に連通していない状態で変形部によって圧縮される。尚、流体供給通路は、変形部が変形したことによって、結果として閉鎖されれば十分であり、変形した変形部が流体供給通路を直接閉鎖しても良いし、変形した変形部が他の部材を介して間接的に流体供給通路を閉鎖しても良い。また、流体供給通路が流体室に開口した部分を閉鎖しても良いし、流体供給通路の途中を閉鎖しても良い。そして、圧電素子に印加される駆動信号には、流体供給通路が閉鎖されるまで変形部を変形させる第1信号部分と、流体供給通路が閉鎖された状態で変形部を変形させる第2信号部分とが設けられている。流体供給通路が流体室に連通した状態で変形部を変形させても、流体室内の流体が流体供給通路に逃げてしまうので、流体を効率よく加圧することができない。これに対して、流体供給通路を閉鎖した状態で変形部を変形させれば、流体室内の流体が流体供給通路に逃げないので、流体を効率よく加圧することができる。このため、粘度の高い流体であっても、圧電素子の力を効率よく流体に伝えて、ノズルから噴射することが可能となる。また、流体の動きは、流体供給通路が流体室に連通した状態で変形部を変形させた場合と、流体供給通路が閉鎖した状態で変形部を変形させた場合とで、異なっている。従って、流体供給通路が閉鎖されるまでの第1信号部分と、流体供給通路が閉鎖された後の第2信号部分とを有する駆動信号を用いれば、流体室内の流体の動きに合わせて変形部を変形させることができるので、より一層効率よく流体を加圧することができる。このため、粘度の高い流体であっても、ノズルから噴射することが可能となる。また、上述した本発明の流体噴射装置においては、第1信号部分よりも第2信号部分の方が、時間あたりの電圧の変化量が大きくなるようにしても良い。第1信号部分では変形部を変形させても、流体が流体室から流体供給通路に逃げてしまうので、流体室内の流体を効率よく加圧することができない。すなわち、第1信号部分で発生させた力の多くは流体を流体供給通路に逃がすために使われてしまうので、大きな力を発生させる程、無駄な力が多くなる。また、変形部を速く変形させると流体が流体供給通路に勢いよく流れるので大きな力が必要になるのに対して、変形部をゆっくりと変形させるのであれば、流体は流体供給通路に向かってゆっくりと流れるのでそれほど大きな力は必要とならない。従って、第1信号部分では、電圧をゆっくりと変化させた方が、無駄に加える力が少なくなる。これに対して第2信号部分では、流体が流体室から流体供給通路に逃げないので、流体室内の流体を効率よく加圧することができる。従って、変形部を速く変化させる程、ノズルから勢いよく流体を噴射することができる。これらのことから、第1信号部分では電圧をゆっくりと変化させることによって無駄に力を発生させることを抑制し、第2信号部分では電圧を速く変化させることによって、勢いよく流体を噴射することが可能となる。また、第1信号部分の電圧をゆっくり変化させれば、流体室内の流体はほとんど加圧されないので、流体供給通路が閉鎖される前にノズルから流体が漏れ出してしまうことも回避することができる。以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。A.装置構成:B.流体噴射装置の動作:C.駆動信号:D.変形例:A.装置構成:図1は、本実施例の流体噴射装置100の大まかな構造を示した説明図である。図1aには流体噴射装置100の外観図が示されており、図1bには分解組立図が示されている。図1aに示されるように流体噴射装置100は、金属製の第1ケース110や、同じく金属製の第2ケース120や、流体噴射装置100の動作を制御する制御部150などから構成されている。詳細には後述するが、第1ケース110と第2ケース120とは、薄い円板形状のダイアフラム111を挟み込んだ状態で互いに堅固に取り付けられており、ダイアフラム111の下面側第2ケース120側には、後述する流体室が設けられている。本実施例ではダイアフラム111が、本発明における変形部に対応する。第2ケース120の側面には入口ニップル121が立設されており、入口ニップル121内には流体室に連通する入口通路122が設けられている。また、第1ケース110の上面側には、円柱状のケース部112が立設されており、ケース部112内には積層型の圧電素子113が収納されている。制御部150は、圧電素子113に対して駆動信号を出力する。本実施例では制御部150が、本発明における駆動信号出力手段に対応する。図1bに示されるように、第2ケース120の上面側には、円形の浅い凹部123が形成されており、凹部123内には、凹部123と同心円状に土手状の凸部124が形成され、凸部124の頂部にはオーリング125が取り付けられている。凸部124の高さは、オーリング125が凹部123から突出しない高さに設定されている。また、凸部124の中心位置には、第2ケース120の底面側まで貫通する出口通路127が形成されており、出口通路127が底面側に開口した部分にノズル126が形成されている。更に、円環状の凸部124の外側には、入口ニップル121内に形成された入口通路122が開口している。ダイアフラム111は、凹部123よりも大きな外径に形成されている。このためダイアフラム111を第2ケース120の上面に載せると、凹部123全体がダイアフラム111で覆われた状態となる。またダイアフラム111は、ステンレスなどの弾性に富んだ金属材料によって形成されている。ダイアフラム111の上から第1ケース110を載せると、ダイアフラム111の外周部分が第1ケース110と第2ケース120との間で挟み込まれて固定される。また、このとき、ケース部112内の圧電素子113は、端板114を介してダイアフラム111に当接した状態となる。尚、以下では、図1bに示した部分第1ケース110や、第2ケース120、ダイアフラム111、圧電素子113などを噴射ユニット102と称することがある。図2は、流体噴射装置100の噴射ユニット102の詳細な構造を示す断面図である。図1bを用いて前述したように、ダイアフラム111は、外周部分が第1ケース110と第2ケース120とによって挟み込まれた状態で固定されている。また、第2ケース120に設けられた凹部123は、ダイアフラム111によって覆われている。凹部123内には円環状の凸部124が設けられており、凸部124の上部にはオーリング125が設けられている。このため、第2ケース120の凹部123は、オーリング125よりも外側の円環形状の部分と、オーリング125よりも内側の部分とに区分される。通常の状態ダイアフラム111が変形していない状態では、オーリング125とダイアフラム111との間には隙間が形成されている。このため、入口通路122から流体を供給すると、流体は、オーリング125よりも外側に形成された円環形状の空間に供給され、続いて、オーリング125とダイアフラム111との間の隙間から、オーリング125の内側の空間に供給される。本実施例では、オーリング125よりも外側の円環形状の部分が流体供給通路123aとなり、オーリング125よりも内側の部分が流体室123bとなる。流体室123bの底面ダイアフラム111に向かい合う面は、出口通路127が開口している中心位置に向けてテーパー形状に形成されており、底面は全体として浅い漏斗形状となっている。また、漏斗形状の中心位置に開口する出口通路127も、先端のノズル126に近付くに従って内径が小さくなるテーパー形状に形成されている。もっとも、流体室123bのテーパー部分は内径が急激に小さくなるように形成されているのに対して、出口通路127は内径が少しずつ小さくなるように形成されている。一方、第1ケース110のケース部112は上端側が開口されており、ここに略円板形状の蓋板115が、ネジ止めなどによって堅固に取り付けられる。圧電素子113は、上端側が蓋板115に接着された状態でケース部112内に収納される。また、圧電素子113の下端側には端板114が接着されており、圧電素子113に駆動信号が印加されていない状態初期状態では、端板114がダイアフラム111の上面側に接触した状態となっている。尚、初期状態は、圧電素子113に電圧が印加されていない状態であってもよいし、初期電圧が印加された状態であってもよい。B.流体噴射装置の動作:本実施例の流体噴射装置100は、以上のような構造を有しているために、粘度の高い流体であってもノズル126から噴射することが可能である。以下、この点について詳しく説明する。図3は、本実施例の流体噴射装置100が流体を噴射する動作を示した説明図である。図3aには、圧電素子113に駆動信号を印加する前の状態初期状態が示されている。この状態では、オーリング125とダイアフラム111との間には隙間が形成されている。このため、流体供給通路123aおよび流体室123bは、入口通路122から供給された流体によって満たされた状態となる。尚、出口通路127も流体で満たされるが、流体が表面張力によってノズル126に界面を形成するため、ノズル126から流体が流出することはない。続いて、圧電素子113に駆動信号を印加すると、圧電素子113が伸張してダイアフラム111を下方に撓ませる。その結果、図3bに示すように、ダイアフラム111がオーリング125に当接して、流体供給通路123aと流体室123bとの間が塞がれた状態流体供給通路123aが閉鎖された状態となる。この状態から、圧電素子113に印加する駆動信号の電圧を更に増加させて圧電素子113を更に伸張させると、オーリング125に当接した部分よりも内側のダイアフラム111が下方に撓むように変形する。ダイアフラム111がオーリング125に当接して流体室123bの周囲は閉塞されているので、圧電素子113が発生する力は、ほとんど全てが流体室123b内の流体を加圧するために使われる。このため、圧電素子113を大型化しなくても、たいへんに高い圧力で流体室123bの流体を加圧することができる。その結果、粘度の高い流体であっても、図3cに示すように、ノズル126から噴射することが可能となる。尚、本実施例では、オーリング125が硬質ゴムなどの比較的硬い材料で形成されているため、ダイアフラム111がオーリング125に当接した後は、オーリング125に当接した部分よりも内側のダイアフラム111が変形するものとして説明した。しかし、オーリング125を柔らかいゴム材料で形成してもよい。こうすれば、ダイアフラム111がオーリング125に当接した後も、オーリング125を変形させることによってダイアフラム111全体が変形する。このため、ダイアフラム111の中心付近で大きな変位を確保することが容易となり、ダイアフラム111に局所的に大きな応力が発生することを回避することができる。また、流体室123b内の流体をノズル126へ導く出口通路127は、ノズル126に近付くほど内径が小さくなる形状に形成されている。このため、流体室123bから押し出された流体は、出口通路127内を進むにつれて加速されて勢いよくノズル126から噴射される。加えて、流体室123bとノズル126とは出口通路127を介して直接接続されているので、流体室123bの流体がノズル126から噴射されるまでの間に受ける通路抵抗が抑制されている。このため、たとえ粘度の高い流体であっても、勢いよく流体を噴射することができる。更に、オーリング125の内側から出口通路127にかけての流体室123bの形状は、ダイアフラム111が撓んだときの形状にほぼ倣う角度のテーパー形状に形成されている。このため、圧電素子113を用いてダイアフラム111を撓ませることによって、流体室123b内のほとんど全ての流体を押し出すことができる。図4は、本実施例の流体噴射装置100が流体を噴射した後の動作を示した説明図である。図4aには、ノズル126から流体を噴射した直後の状態が示されている。この状態から、圧電素子113に印加した駆動信号の電圧を低下させると、伸張していた圧電素子113が収縮し、それに伴ってダイアフラム111が元の形状に戻ろうとする。ここで、図3を用いて前述したように流体を噴射する際には、ダイアフラム111を撓ませてオーリング125に当接させ、その状態から、オーリング125に当接している部分よりも内側のダイアフラム111を更に撓ませて、流体室123b内の流体を加圧することによって噴射している。従って、流体を噴射した後に圧電素子113が少し収縮した程度では、オーリング125に当接している部分よりも内側のダイアフラム111の撓みが戻るだけで、ダイアフラム111がオーリング125から離れることはない。このため、流体室123bは、流体供給通路123aから流体の供給を受けることができないまま容積が増加することになり、その結果、流体室123bの容積が増加した分だけ、出口通路127内の流体が引き戻される。図4bには、流体を噴射した後に駆動信号の電圧を低下させた直後の状態が示されている。図4aに示した駆動信号の電圧を低下させる前の状態と比較すると、電圧が低下したことによって圧電素子113が収縮し、それに伴って流体室123bの容積が増加して、出口通路127内の流体が引き込まれている。更に駆動信号の電圧を低下させると、やがてはダイアフラム111がオーリング125から離間して、流体室123bと流体供給通路123aとが連通する。図4cには、ダイアフラム111がオーリング125から離間した状態が示されている。この状態から更に駆動信号の電圧を低下させると、ダイアフラム111の撓みは更に小さくなり、流体室123bの容積は更に増加する。もっとも、この状態では流体供給通路123aの閉鎖は解除されて、流体室123bと流体供給通路123aとが連通しているので、流体室123bの容積が増加した分の流体が流体供給通路123aから流体室123bに供給される。尚、ダイアフラム111がオーリング125から離間して暫くの期間は、ダイアフラム111とオーリング125との間に形成される隙間は、決して大きなものではない。しかしこの隙間は、ダイアフラム111とオーリング125とが接触していた円形の全周に亘って形成されて、この全周から流体が流れ込む。このため、流体室123bの容積を急激に増加させるのでない限り、流体室123bの容積増加分に相当する流体を供給することができる。図4c中には、流体供給通路123aから流体室123bに流体が供給される様子が、破線の矢印で示されている。そして、ダイアフラム111が元の形状に戻ると、ダイアフラム111とオーリング125との間には十分な大きさの隙間が形成される。このため、入口通路122から供給された流体が、流体供給通路123a、流体室123b、および出口通路127を満たして、図3aに示した初期状態に復帰する。このように、本実施例の流体噴射装置100では、流体室123b内の流体を加圧してノズル126から噴射するためにダイアフラム111を変形させると、ダイアフラム111によって流体供給通路123aが閉鎖されて、流体供給通路123aと流体室123bとが非連通となる。その状態から更にダイアフラム111が変形して流体室123b内の流体を加圧するので、加圧された流体が流体供給通路123aに逃げることが無く、効率よく流体を加圧することができる。このため、粘度の高い流体を噴射する場合でも、流体を十分に加圧してノズル126から噴射することが可能となる。また、ダイアフラム111を変形させて流体供給通路123aを閉鎖した状態で、更にダイアフラム111を変形させることによって流体を噴射しているので、流体の噴射後にダイアフラム111の変形をある程度戻すまでの間は、流体供給通路123aは閉鎖されたままの状態となっている。このため、流体室123bの容積を増加させると、増加分に相当する体積の流体が出口通路127から流体室123b内に引き戻される。その結果、流体の噴射直後に出口通路127内に残っていた流体が、噴射後もノズル126から流出する事態を確実に防止することが可能となる。もちろん、圧電素子113に印加していた駆動信号の電圧を低下させるまでは、出口通路127内の流体が流体室123bに引き戻されることはない。しかし、流体を噴射した直後の状態では、流体供給通路123aがダイアフラム111によって閉鎖されている。このため、圧電素子113に印加した駆動信号の電圧を低下させることなく暫くの間維持していても、流体供給通路123aから流入した流体に押し出されて出口通路127内の流体が流出することがない。C.駆動信号:以上に説明したように、本実施例の流体噴射装置100は、圧電素子113に駆動信号を印加するとダイアフラム111が変形し、流体室123b内の流体を加圧してノズル126から噴射させるが、その途中で、ダイアフラム111によって流体供給通路123aを閉鎖することで、流体室123b内の流体を効率よく加圧している。このような流体噴射装置100で圧電素子113に印加する駆動信号としては、種々の駆動信号を用いることができる。例えば最も単純な駆動信号としては、図5に例示したように、初期電圧Voから最高電圧Vmaxまで単調に増加し、その後、初期電圧Voまで単調に減少する山型の波形あるいは、最高電圧Vmaxで暫くの間電圧を維持する台形型の波形の駆動信号を用いることができる。このような駆動信号を圧電素子113に印加すると、駆動信号が最高電圧Vmaxに達するまでの何れかのタイミングで、ダイアフラム111がオーリング125に当接して流体供給通路123aが閉鎖され、その後は、駆動信号が最高電圧Vmaxに達するまで流体室123b内の流体が加圧されて、ノズル126から流体が噴射される。また、駆動信号が低下する場合は、最高電圧Vmaxから初期電圧Voに達するまでの何れかのタイミングでダイアフラム111がオーリング125から離間する。それまでの間は、流体供給通路123aが閉鎖されたまま流体室123bの容積が増加するので、出口通路127内の流体が流体室123bに引き戻される。また、ダイアフラム111がオーリング125から離間した後は、流体室123bの容積が増加するに従って、流体供給通路123aから流体が供給され、最終的には駆動信号を印加する前の状態初期状態に復帰する。従って、山型あるいは台形型のように単純な波形の駆動信号を用いた場合でも、流体室123b内の流体が効率よく加圧されるので、粘度の高い流体であってもノズル126から噴射することができる。また、上述したように本実施例の流体噴射装置100では、流体供給通路123aが閉鎖される前と後とでダイアフラム111の働きが違うので、これを考慮した駆動信号としてもよい。図6は、流体供給通路123aが閉鎖される前後でのダイアフラム111の働きの違いを考慮して設定された駆動信号を例示した説明図である。図示した例では、駆動信号が電圧Vaに達した付近でダイアフラム111がオーリング125に当接し、その後、最高電圧Vmaxまで増加する。尚、電圧Vaは、ダイアフラム111がオーリング125に当接する瞬間の電圧である必要はない。例えば、駆動信号が電圧Vaの状態では、ダイアフラム111が未だオーリング125に当接する前であっても良いし、あるいはダイアフラム111が既にオーリング125に当接して少し変形した状態であっても良い。図示されているように、駆動信号を初期電圧Voから電圧Vaまで増加させる期間この期間の駆動信号を第1信号部分と呼ぶでは、電圧をゆっくりと増加させる。電圧Vaから最高電圧Vmaxまで増加させる期間この期間の駆動信号を第2信号部分と呼ぶでは、第1信号部分よりも速く電圧を増加させる。また、駆動信号を最高電圧Vmaxから電圧Vaまで減少させる期間この期間の駆動信号を第3信号部分と呼ぶでは、電圧を比較的速やかに減少させ、電圧Vaから初期電圧Voまで減少させる期間この期間の駆動信号を第4信号部分と呼ぶでは、第3信号部分よりも電圧をゆっくりと減少させる。図3を用いて前述したように、駆動信号のうちの第1信号部分は、ダイアフラム111をオーリング125に当接させて流体供給通路123aを閉鎖するために、圧電素子113に印加される。換言すれば、第1信号部分では、ノズル126から流体を噴射することは想定されていない。ところが第1信号部分でも圧電素子113が伸張してダイアフラム111を撓ませるので、流体室123bの容積は減少する。従って、容積が減少する速度が速すぎると、流体室123b内の流体が加圧されてノズル126から漏れ出してしまうことが起こり得る。また、ノズル126から流体が流出しない場合でも、流体室123bの容積が減少しているので、容積減少分の流体は流体供給通路123aに押し戻される。この流体を押し戻すために要する力は、流体室123bの容積が減少する速度が速くなるほど大きくなる。流体を噴射していないのに大きな力が必要となるのは無駄であり、エネルギー効率を低下させる。これに対して、図6に示したように、第1信号部分では比較的ゆっくりと電圧が増加するようにしておけば、ノズル126から流体が漏れ出すことがなく、また、流体室123bから流体供給通路123aに流体を押し戻すために大きな力が必要となることもない。また、第2信号部分では、流体室123bの流体を加圧してノズル126から噴射する。この段階では、流体室123bの容積を速く減少させる程、勢いよく流体を噴射することができるので、第1信号部分よりも速く電圧を増加させる。もちろん、流体室123bの容積を速く減少させるためには、圧電素子113で大きな力を発生させる必要がある。しかし、第2信号部分では流体供給通路123aが閉塞されているので、流体室123bから流体供給通路123aに流体が逃げることがなく、圧電素子113が発生した力の大部分が流体室123bの流体を加圧するために使われる。このため、第1信号部分とは異なり、圧電素子113が発生した力が無駄に使われることはない。更に、第3信号部分では、流体供給通路123aを閉鎖したままの状態で流体室123bの容積が増加し、その結果、出口通路127内に残っていた流体が、流体室123bに引き戻される。出口通路127内の流体は慣性によってノズル126に向かって流れようとしているので、第3信号部分では比較的速やかに電圧を減少させる。こうすれば、出口通路127内の流体を強い力で引き戻すことができるので、慣性によって流体がノズル126から漏れ出してしまうことを確実に防止することができる。そして第4信号部分では、閉鎖されていた流体供給通路123aが開放されて、流体供給通路123aから流体室123bの流体が供給される。流体が供給される速度にも限界がある。そこで、第4信号部分では、流体供給通路123aから流体室123bへ流体が供給される速度に合わせて、比較的ゆっくりと電圧を減少させる。こうすれば、第3信号部分で流体が引き戻されることによって出口通路127内で後退していた界面が、第4信号部分でほぼ元の位置まで前進する。その結果、第4信号部分が終了したら比較的短時間で再び駆動信号を印加して流体を噴射することが可能となる。尚、図6に例示した駆動信号では、第1信号部分と第2信号部分との境の電圧電圧Vaと、第3信号部分と第4信号部分との境の電圧電圧Vaとが一致している。しかし、第3信号部分と第4信号部分との境の電圧は、必ずしも、第1信号部分と第2信号部分との境の電圧と一致している必要はない。例えば、図7に例示したように、電圧Vaよりも高い電圧Vbで、第3信号部分から第4信号部分に切り換えてもよい。こうすれば、第3信号部分で出口通路127の界面が引き戻される距離を短くすることができるので、第4信号部分で出口通路127内の界面の位置を元の位置まで復帰させることが容易となる。その結果、短時間で再び駆動信号を印加して流体を噴射することが可能となる。また、図6に例示した駆動信号では、最高電圧Vmaxから初期電圧Voまで電圧が減少する部分が、第3信号部分と第4信号部分とに分かれているものとした。しかし簡易的には、図8に例示したように、電圧が減少する部分については第3信号部分と第4信号部分とに分けずに、直線的に電圧を減少させても良い。こうすれば駆動信号が単純な波形となるので、制御部150を簡素な構成とすることができる。D.変形例:上述した実施例では、第2ケース120の凹部123内に凸部124が設けられており、凸部124のオーリング125にダイアフラム111が当接することによって、オーリング125の外側の流体供給通路123aと、オーリング125の内側の流体室123bとが、非連通状態になるものとして説明した。しかし、ダイアフラム111が変形することによって流体供給通路123aと流体室123bとが非連通状態になるのであれば、このような形態に限らず、どのような形態であってもよい。例えば、図9に例示したように、ダイアフラム111の一部に弁体128を取り付けておき、圧電素子113によってダイアフラム111が下方に撓むと、弁体128が入口通路122の開口部分を閉鎖するようにしても良い。図9aには、ダイアフラム111が下方に撓む前の状態が示されており、図9bには、ダイアフラム111が下方に撓んで入口通路122が閉鎖された状態が示されている。この第1変形例では、第2ケース120に設けられた凹部123の全体が流体室123bに対応し、入口通路122が流体供給通路123aに対応する。そして、図9bに示したように、弁体128で流体供給通路123aを閉鎖した状態から、更にダイアフラム111を変形させれば、流体室123b内の流体を加圧してノズル126から噴射することができる。このような第1変形例においても、流体供給通路123aを閉鎖した状態で流体室123bの容積を減少させているので、流体室123b内の流体を効率よく加圧することができる。その結果、粘度の高い流体であってもノズル126から噴射することが可能となる。また、弁体128は、入口通路122流体供給通路123aに対して位置がずれなければ十分であり、必ずしもダイアフラム111あるいは凹部123に取り付けなくても良い。例えば、図10に例示したように、入口通路122流体供給通路123aが凹部123に開口した部分から弁体129の一部を差し込んだ状態で、ダイアフラム111を取り付けることによって、弁体129が上下方向に移動することはできるが、入口通路122流体供給通路123aから外れないようにしておく。図10aには、弁体129が組み付けられた状態が示されている。この状態から、圧電素子113によってダイアフラム111が下方に撓むと、図10bに示したように、弁体129が入口通路122流体供給通路123aの開口部分を閉鎖する。この第2変形例でも、第2ケース120に設けられた凹部123の全体が流体室123bに対応する。そして、弁体129で入口通路122流体供給通路123aを閉鎖した状態から、更にダイアフラム111を変形させることによって、流体室123b内の流体をノズル126から噴射することができる。このような第2変形例においても、流体供給通路123aを閉鎖した状態で流体室123bの容積を減少させているので、流体室123b内の流体を効率よく加圧することができる。その結果、粘度の高い流体であってもノズル126から噴射することが可能となる。以上、本実施例および変形例の流体噴射装置100について説明したが、本発明は上記すべての実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。