"真空気密ケーシングを備える種類の真空ポンプ11であって、吸引ポート及び排出ポートが設けられており、1つ又は複数のポンピングステージが前記吸引ポートから前記排出ポートまでガスを圧送するために設けられており、前記ポンピングステージのそれぞれは、該ポンピングステージを通して前記ガスを圧送するように互いに協働する複数の要素を備え、該要素は、少なくとも、前記ケーシングに締結固定されているステータ要素と、回転軸と一体に取り付けられているロータ要素1;13;33と、を含むものにおいて、前記ポンピングステージのうちの少なくとも1つのポンピングステージの前記要素のうちの少なくとも1つの要素は、強化短繊維を含有するプラスチック材料から作られることを特徴とする真空ポンプ。前記プラスチック材料は、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。前記プラスチック材料は半結晶性ポリマーであることを特徴とする請求項1又は2に記載の真空ポンプ。前記強化短繊維は、炭素短繊維又はグラファイト短繊維、ガラス短繊維又はアラミド短繊維であることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。前記プラスチック材料は、10~50の重量の前記短繊維、好ましくは、30~40の重量の前記短繊維を含有していることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。前記強化短繊維は、前記プラスチック材料中に無秩序で実質的にランダムに分散されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。前記少なくとも1つのポンピングステージの前記少なくとも1つの要素は、ロータ要素1;13;33であることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の真空ポンプ。前記少なくとも1つのポンピングステージの前記少なくとも1つの要素は、ステータ要素であることを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の真空ポンプ。前記少なくとも1つのポンピングステージは、ターボ分子ポンピングステージであり、前記少なくとも1つの要素は、ターボ分子ロータ要素1;13であることを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。前記ターボ分子ロータ要素1の本体3は、実質的にディスク状であり、該ディスクの中心から周縁にかけてテーパ状であることを特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ。前記少なくとも1つのポンピングステージは、分子ドラッグポンピングステージであり、前記少なくとも1つの要素は、分子ドラッグロータ要素33であることを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。前記分子ドラッグロータ要素33は、その少なくとも1つの表面上に少なくとも1つの螺旋状チャネル35a,35b,35c,35d;35’a,35’b,35’cを有するロータ本体を備えることを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。前記螺旋状チャネル35a,35b,35c,35d;35’a,35’b,35’cの断面積は、前記ロータ要素本体の中心から外側周縁にかけて低減することを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。前記真空ポンプのすべての前記ポンピングステージの前記ロータ要素13;33は、前記プラスチック材料で作られており、前記ロータ要素は、前記回転軸上に嵌められているとともに互いに積み重なっていることを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。前記真空ポンプのすべての前記ポンピングステージの前記ロータ要素13;33は、前記プラスチック材料で作られており、前記ロータ要素はともに、単一のモノリシックな部品として作られていることを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。真空気密ケーシングを備える種類の真空ポンプを製造する方法であって、前記真空ポンプは、吸引ポート及び排出ポートが設けられており、1つ又は複数のポンピングステージが前記吸引ポートから前記排出ポートまでガスを圧送するために設けられており、前記ポンピングステージのそれぞれは、該ポンピングステージを通して前記ガスを圧送するように互いに協働する複数の要素を備え、該要素は、少なくとも、前記ケーシングに締結固定されているステータ要素と、回転軸と一体に取り付けられているロータ要素1;13;33と、を含む真空ポンプを製造する方法において、前記ポンピングステージのうちの少なくとも1つのポンピングステージの前記要素のうちの少なくとも1つの要素を、強化短繊維を含有するプラスチック材料の射出成形によって製造するステップを含むことを特徴とする、真空ポンプを製造する方法。上記を鑑みて、プラスチック材料を用いるとともに、より低い生産コスト及び低減された重量を有する高真空ポンプが必要とされている。本発明の実施の形態によれば、アルミニウム又は他の類似の金属の代わりのプラスチック材料の使用は、生産コストを削減することを目的とする。短繊維によって強化される可能性のある熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂の使用によって、本発明の実施の形態による真空ポンプの要素を射出成形によって作ることが可能となるため、アルミニウム製の従来のロータ要素に対して抑えられ、かつ競合し得る生産コストが得られる。実際に、強化繊維として用いられる短繊維はプラスチック材料のマトリックス内にランダムに配向されており、これは、優先方向に沿って繊維を配置する必要性をなくし、生産プロセスにおいて射出成形技法を使用することができるようにする。長繊維の代わりに短繊維を使用することがより低い構造的剛性を与えるとしても、実験的試験は、短繊維によって強化された樹脂製の要素が、アルミニウム合金製の類似の要素の構造強度よりも僅かに低いものの同じオーダー桁数の構造強度を有する、ということを示している。さらに、特定の機械的強度、すなわち引張破壊応力と比重との比を考慮する場合、短繊維によって強化された樹脂製の要素は、アルミニウム合金製の類似の要素の性能と非常に類似した性能を有する。1つの実施の形態によれば、真空ポンプは、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られた少なくとも1つのロータ要素を含む。別の実施の形態によれば、真空ポンプは、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られた少なくとも1つのステータ要素を含む。別の実施の形態によれば、真空ポンプは、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られた少なくとも1つのターボ分子ロータ又はステータ要素を含む。別の実施の形態によれば、真空ポンプは、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られた少なくとも1つの分子ドラッグロータ又はステータ要素を含む。通常、真空ポンプの要素に用いられるプラスチック材料は、熱可塑性樹脂及び半結晶性ポリマー等を含む。好ましくは、真空ポンプの要素に用いられる短繊維は、炭素短繊維又はグラファイト短繊維、ガラス短繊維又はアラミド短繊維を含む。本発明の実施の形態は、小型又は中型の真空ポンプ最高約700l/s程度のポンピング速度を製造するのに特に適しており、従来の解決策と比べた場合に生産コストの大幅な削減をもたらすことができる。本発明の更なる特徴及び利点は、添付の図面を参照して非限定的な例として与えられる、本発明の実施形態の以下の詳細な説明から明らかとなるであろう。図1を参照すると、高真空ポンプ101が概略的に示されている。高真空ポンプ101は、電気モータ107が収容されているベース105上に取り付けられている、真空気密ケーシング103を含む。吸引ポート109及び排出ポート111がケーシング103内に画定される。ケーシング103の内部では、複数のポンピングステージ113、213が間に設けられている。より詳細には、吸引ポート109から排出ポート111までに、第1の複数のターボ分子ポンピングステージ113と、第2の複数の分子ドラッグポンピングステージ213と、を特定することができ、分子ドラッグポンピングステージ213はターボ分子ポンピングステージ113の下流に設けられている。詳細には、各ターボ分子ポンピングステージ113は、少なくとも、ケーシング103に締結された1つの固定リング状ステータ要素113aと、電気モータ107によって高速で10000rpmよりも高く、かつ最高100000rpmまで回転するように構成された中央回転軸115と一体に取り付けられている1つのディスク状ロータ要素113bとを備え、ステータ要素113a及びロータ要素113bは、ポンピングステージ113を通過するガスに対してポンピング効果を与えるように相互に協働する。詳細には、各分子ドラッグポンピングステージ213は、少なくとも、ケーシング103に締結されている、1つの固定ステータ要素213aと、電気モータ107によって高速で10000rpmよりも高く、かつ最高100000rpmまで回転するように構成された中央回転軸115と一体に取り付けられている1つのロータ要素213bとを備え、ステータ要素213a及びロータ要素213bは、ポンピングステージ213を通過するガスに対してポンピング効果を与えるように相互に協働する。本発明の実施形態によれば、真空ポンプは、吸引ポートと排出ポートとの間に配置されている複数のポンピングステージを備える。各ポンピングステージは、ポンピングステージを通過するガスを圧送するように相互に協働する複数の要素を備え、該要素は、互いに協働する少なくとも1つの固定ステータ要素及び少なくとも1つの回転型ロータ要素を備え、ポンピングステージのうちの少なくとも1つのポンピングステージの要素のうちの少なくとも1つの要素は、強化短繊維を含有するプラスチック材料から作られる。好ましくは、プラスチック材料は、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂である。より好ましくは、プラスチック材料は半結晶性ポリマーであり、更により好ましくは芳香族半結晶性ポリマーである。好ましくは、強化短繊維は、プラスチック材料のマトリックス内にランダムに配向されている。好ましくは、強化短繊維は、炭素短繊維又はグラファイト短繊維、ガラス短繊維又はアラミド短繊維である。好ましくは、プラスチック材料内の短繊維含有率chargeは、材料の重量の10~50の範囲内、より好ましくは材料の重量の30~40の範囲内にある。これに関連して、用語熱可塑性樹脂は、繰返し加工及び成形することができるように、温度が上がると固体状態から粘稠状態に移行しpass、温度が下がると粘稠状態から固体状態に戻るポリマーを指し、用語熱硬化性樹脂は、温度が上がると、剛性が不可逆的に増加するため、分解を受けずには再び溶融することができないポリマーを指し、用語半結晶性ポリマーは、その鎖を折り畳むことによってそのより長い部分又はより短い部分を隣り合わせで規則的に配列することが可能であり、それにより規則的な結晶領域を形成するポリマーを指し、用語芳香族半結晶性ポリマーは、芳香族基を含む半結晶性ポリマーを指し、用語短繊維は、該繊維が導入されるプラスチック材料のマトリックスのサイズに対してごく僅かなサイズである繊維を指し、詳細には、短繊維は概して、10mmよりも短いサイズ、好ましくは1mmよりも短いサイズを有する、ということに留意されたい。短繊維は、プラスチック材料から作られた要素に対してごく僅かなサイズを有するため、プラスチック材料のマトリックス内部で優先方向に配向されているのではなく、無秩序で実質的にランダムに分散されている。有利には、本発明の教示に従って作られる真空ポンプの要素は、射出成形プロセスによって、短繊維を含有する粘稠状態のプラスチック材料の混合物から出発して生産することができる。そのようなプロセスを用いることができることにより、従来は機械加工又は放電加工によって得られるアルミニウム合金から作られた類似の要素と比べた場合、要素の生産コストを大幅に抑えることが可能になる。反対に、そのようなプロセスは、すべて優先方向に沿って配列する必要がある長繊維によって強化されたプラスチック材料から作られる類似の要素を製造するのに用いることはできず、この場合、繊維を正確に配列する複雑な作業が必要であり、材料を熱硬化させる場合、オートクレーブで行われる費用のかかるプロセスも同様に必要とされる。図2及び図3は、本発明の第1の好ましい実施形態に関するものであり、ここでは、真空ポンプの少なくとも1つのターボ分子ポンピングステージの少なくともロータ要素1は、短繊維を含有するプラスチック材料から作られる。そのような実施形態は一切限定するものではないこと、及び、例えば真空ポンプの少なくとも1つのターボ分子ポンピングステージの少なくともステータ要素が短繊維を含有するプラスチック材料から作られるそれにより本発明の範囲から逸脱することはない、真空ポンプを提供することが可能であることを理解されたい。図2及び図3を参照すると、ターボ分子ロータ要素1は、実質的にディスク状であり、実質的に平らな環状体3を備えており、また中央貫通孔5この貫通孔の中を真空ポンプの回転軸が通ると周囲にある半径方向翼7とが設けられている。ロータ要素1は、翼を伴わずとも円滑に動くことさえもできるし、異なる形状を有する翼を有することもできることが当業者には明らかであろう。好ましくは、図3に示されるように、ロータ要素1の環状体3は、中心から周縁にかけて僅かにテーパ状である。このようにして、ロータ要素1の厚みは、応力がより強い中心においてより厚く、応力がより弱い周縁においてより薄い。この点において、実験的試験によって、ターボ分子ロータ要素が受ける応力が、主に、ディスクのより中心にある部分における周方向応力と、翼が存在する部分における実質的に半径方向の応力とであるということが示されていることを理解されたい。短繊維の無秩序で実質的にランダムな分布は、有利には、応力が様々な向きである場合でも、ディスク中心における応力及びディスク周縁における応力の双方に対して良好な抵抗で対抗することを可能にし、これは、単一の優先方向に沿って配列される長繊維が使用される場合には可能ではないであろう。通常、様々な向きである応力に耐えるためには、異なって配向されている繊維を有する部分を結合するための複雑で費用のかかるシステムを伴う。ターボ分子ロータ要素1は、短繊維を含有するプラスチック材料から全体的に作られている。詳細には、30~40の量の炭素短繊維を適切に含有する、Victrex商標社によって市販されている材料PEEK商標、又はSolvay商標社によって市販されている材料Torlon商標は、ロータ要素1のようなロータ要素を作ることを特に促進する性能を示し、またそのような材料が動作することになる高真空環境に適合する。この点において、以下に、30の炭素短繊維を含有するPEEK商標の主な特徴のいくつかがアルミニウムの特徴と比較されている表が含まれる。詳細には、以下の表において、比重PS、引張破壊応力S、特定の機械的強度RMS=S/PS、熱放射率EMTが報告されている。上記の表を分析することによって、当業者は、PEEK商標を用いることによって、アルミニウムを用いる場合よりもはるかに軽い要素を取得することが可能になり、PEEK商標の引張破壊応力はアルミニウムの引張破壊応力よりも低いが、それでも同じ桁であり、PEEK商標の比重に対する構造強度の比は、アルミニウムの比重に対する構造強度の比と実質的に同じであり、PEEK商標から作られたロータの極慣性モーメントはアルミニウムから作られたロータの極慣性モーメントよりも低く、これは遷移相におけるランプ時間を低減させることを可能にし、PEEK商標の熱放射率はアルミニウムの熱放射率よりも大幅に高く、これは、真空ポンプ内部の熱交換が主に放射によって行われることを考慮して、熱効率を際立って高める、ということを即座に推測するであろう。射出成形プロセスを利用することによって、PEEK商標のロータ要素の生産コストは、機械加工又は放電加工によって形成されるアルミニウムのロータ要素の生産コストよりも大幅に低い。さらに、PEEK商標のようなプラスチック材料の使用によって、アルミニウム製の要素に対して、耐腐食性を際立って高めることが可能になる。ここで図4を参照すると、本発明の第1の実施形態によるターボ分子真空ポンプ11が部分的に示されており、ここでは、すべてのターボ分子ポンピングステージのロータ要素13は、図2及び図3に示された種類のものである。すなわち、ロータ要素13は、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られている。図4において、ターボ分子真空ポンプ11は、真空気密ケーシング及び該ケーシングに締結されるステータ要素を伴わない状態で示される。ロータ要素13は、ロータの平衡を保つダボdowelを含む底部プレート17を介装してターボ分子真空ポンプ11のベース15に取り付けられている。ロータ要素13は、ターボ分子真空ポンプ11の回転軸19これは要素内に形成された中央貫通孔の中を通る上に嵌められており、互いに積み重なって真空ポンプロータを形成する。ロータ要素13の積層体は次いで、ナット21を軸19の上端部上にねじ留めすることによって軸方向に締め付けられcompressed、上端部にはその目的のためにネジ山が付けられている。ロータの平衡を保つダボdowelを含む上部プレート23が、最上のロータ要素13とナット21との間に介装されている。8個のポンピングステージを備える、図4に示されるポンプのような小型のポンプでは、短繊維によって強化されたプラスチック材料、例えば30の炭素短繊維によって強化されたPEEK商標からなる8個のロータ要素13を射出成形によって作ることによって、アルミニウム合金からなる従来のロータの作製に対して生産コストを約75削減することができる。図4に示されるものに関する代替的な実施形態では、複数のロータ要素13を備えるターボ分子真空ポンプのロータを、例えば射出成形によって単一のモノリシックな部品として製造することができる。この点において、長繊維はすべて優先方向に沿って配列される必要があるため、長繊維によって強化されたプラスチック材料から作られるロータは射出成形によってモノリシックな部品として製造することができない、ということに留意されたい。反対に、短繊維が無秩序で実質的にランダムに配列されている本発明の実施形態によるロータ要素における場合のように、複数のロータ要素を備えるロータを単一のモノリシックな部品として製造することが可能であるため、非常に安価なプロセスでロータを製造することが可能になる。ここで図5を参照すると、真空ポンプの少なくとも1つの分子ドラッグポンピングステージの少なくともロータ要素33が短繊維を含有するプラスチック材料から作られる、本発明の第2の好ましい実施形態が示される。そのような実施形態は一切限定するものではないこと、及び、例えば、真空ポンプの少なくとも1つの分子ポンピングステージの少なくともステータ要素が短繊維を含有するプラスチック材料から作られる、真空ポンプを提供することが可能であることを理解されたい。図5を参照すると、図示の実施形態によれば、ロータ要素33は、実質的にディスク状であり、使用時に、対応するステータ要素の滑らかな表面と対向して配置される、分子ポンピングステージを通してガスを圧送するように滑らかな表面と協働する第1の表面上の少なくとも1つの螺旋状チャネル35a、35b、35c、35dを有するロータ本体を備える。好ましくは、ロータ要素33は、第1の表面上に少なくとも1つの螺旋状チャネルと、その反対の表面上に少なくとも1つの更なる螺旋状チャネルとを有するロータ本体を備え、ロータ表面の各々は、2つの異なるポンピングステージを得るようにそれぞれのステータ要素の滑らかな表面と協働し、ロータ要素33の第1の表面の螺旋状チャネルにおいて、ガスは第1の方向すなわち中心に向かうか又は外側に向かうに流れ、一方で、ロータ33の第2の表面の螺旋状チャネルにおいて、ガスは第1の方向とは反対の第2の方向すなわち外側に向かうか又は中心に向かうに流れる。有利には、図示の実施形態において、ガスがチャネルを通って中心に向かう方向に流れるか又は外側に向かう方向に流れるかにかかわらず、螺旋状チャネルの断面積は、ロータ本体の中心から外側周縁へと低減する。そのようにして、チャネル断面積と該断面積に対して垂直なnormaltoロータ速度との積すなわち内部ガス流速を有利には一定のまま維持することができる。そのような実施形態は一切限定するものではないこと、及び、ロータの螺旋状チャネルの異なる幾何学的構成を代替的に選択することができることを理解されたい。さらに、例えば従来のシーグバーンポンピングステージのような他の異なる種類の分子ポンピングステージ。ここで図6及び図7を参照すると、本発明の第2の実施形態による真空ポンプのロータ31が示されており、ロータは、対応するターボ分子ポンピングステージを得るようにそれぞれのステータ要素と協働することが意図される第1の複数のターボ分子ロータ要素13と、ターボ分子ポンピングステージの下流に配置された、対応する分子ドラッグポンピングステージを得るようにそれぞれのステータ要素と協働することが意図される第2の複数の分子ドラッグロータ要素33とを備える。ロータ31において、すべてのターボ分子ロータ要素13は、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られた、図2及び図3に示される種類のものである。すべての分子ドラッグロータ要素33は、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られた、図5に示される種類のものである。ターボ分子ロータ要素13及び分子ドラッグロータ要素33は、それらのロータ要素内に形成された中央貫通孔の中を通る真空ポンプの回転軸図示されない上に嵌められており、互いに積み重なって真空ポンプロータ31を形成する。図6に示されるように、分子ドラッグロータ要素33は、有利には、第1の表面上に複数の螺旋状チャネル35a,35b,35cと、反対の表面上に複数の更なる螺旋状チャネル35’a,35’b,35’cとを備え、この場合ロータ表面の各々は、それぞれのステータ要素の滑らかな表面と協働するのに適している。図6及び図7に示されるものに関する代替的な実施形態において、複数のターボ分子ロータ要素13と複数の分子ドラッグロータ要素33とを備える真空ポンプのロータは、例えば射出成形によって単一のモノリシックな部品として製造することができるため、非常に安価なプロセスでロータを製造することが可能になる。前述の詳細な説明は一切限定するものではないこと、及び、添付の特許請求の範囲に規定されるような本発明の範囲から逸脱することなく、いくつかの変形及び変更が可能であることも明らかである。詳細には、図示の実施形態において、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られる1つ又は複数のターボ分子ロータ要素及び/又は分子ドラッグロータ要素に言及した場合であっても、真空ポンプは、代替的に又は付加的に、短繊維によって強化されたプラスチック材料製、又はステータが受ける応力がより低い場合に非強化プラスチック材料製でさえある、ターボ分子ロータ要素及び/又は分子ドラッグロータ要素と、1つ又は複数のターボ分子ステータ要素及び/又は分子ドラッグステータ要素とを備えることを想定することが可能である。"