SMA作動装置であって、支持構造体と、前記支持構造体上に可動的に支持された可動要素と、前記支持構造体と前記可動要素の間に機械的に接続された3つ以上のSMAアクチュエータワイヤの配置物であって、前記SMAアクチュエータワイヤは、それらが収縮すると前記支持構造体に対する前記可動要素の変位を駆動するように構成され、3つ以上の前記SMAアクチュエータワイヤのグループは、前記可動要素における相互接続部を有し、前記相互接続部が前記SMAアクチュエータワイヤのグループを一緒に電気的に接続する、SMAアクチュエータワイヤの配置物とを備える、SMA作動装置。駆動信号を前記SMAアクチュエータワイヤに供給するために、前記支持構造体において前記SMAアクチュエータワイヤのグループに電気的に接続された制御回路をさらに備える、請求項1に記載の装置。前記制御回路は前記SMAアクチュエータワイヤのグループに信号を供給するように構成され、前記信号の供給時に前記SMAアクチュエータワイヤのグループの両端の電圧および/または電流の測定を行いかつ測定値から各SMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさを導出するように構成された抵抗測定部をさらに備える、請求項2に記載の装置。前記信号は所定の電流値を有し、前記抵抗測定部は前記支持構造体での前記SMAアクチュエータワイヤのグループ内の各SMAアクチュエータワイヤの端部において電圧の測定を行うように構成された、請求項3に記載の装置。前記信号は所定の電圧値を有し、前記抵抗測定部は前記SMAアクチュエータワイヤのグループの両端の電流の測定を行うように構成された、請求項3に記載の装置。前記信号は可動要素における前記相互接続部の各側での前記SMAアクチュエータワイヤの異なる組み合わせを通して供給される信号からなり、前記抵抗測定部は前記SMAワイヤの異なる組み合わせにわたる測定値の関数として各SMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさを導出するように構成された、請求項3から5のいずれか一項に記載の装置。前記信号が、前記可動要素における前記相互接続部の一方の側の前記SMAアクチュエータワイヤの1つと、前記可動要素における前記相互接続部の他方の側の並列の前記グループの中の残りのSMAアクチュエータワイヤのすべてとを通して供給される信号からなる、請求項6に記載の装置。前記信号が、前記可動要素における前記相互接続部の一方の側のSMAアクチュエータワイヤの1つを通して供給される信号からなり、少なくとも1つの他の前記SMAアクチュエータワイヤを通しては信号は供給されず、それにより前記支持構造体での当該他のSMAアクチュエータワイヤの端部の電圧は前記可動要素における前記相互接続部での電圧に追随し、前記抵抗測定部は、前記SMAアクチュエータワイヤの前記1つの抵抗の大きさを、前記支持構造体での前記SMAアクチュエータワイヤの端部での電圧の測定値から導出するように構成される、請求項4に記載の装置。前記制御回路が駆動信号を、個々のSMAアクチュエータワイヤの加熱を変化させるために、前記可動要素における前記相互接続部の各側の前記グループの中のSMAアクチュエータワイヤの異なる組み合わせを通して選択的に供給するように構成された、請求項2から8のいずれか一項に記載の装置。前記制御回路が、帰還パラメータとして前記電気抵抗の大きさを用いて、個々のSMAアクチュエータワイヤの加熱を変化させるように構成された、請求項9に記載の装置。前記制御回路が、個々のSMAアクチュエータワイヤの加熱を各アクチュエータワイヤに対してそのSMAアクチュエータワイヤの目標抵抗とそのSMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさとの間の誤差に基づいて変化させるように構成された、請求項10に記載の装置。前記制御回路が駆動信号を、前記可動要素における前記相互接続部の一方の側の前記SMAアクチュエータワイヤの1つと、前記可動要素における前記相互接続部の他方の側の並列の複数のSMAアクチュエータワイヤとからなる異なる組み合わせを通して選択的に供給するように構成された、請求項9から11のいずれか一項に記載の装置。前記制御回路が駆動信号を、前記可動要素における前記相互接続部の一方の側の前記SMAアクチュエータワイヤの1つと、前記可動要素における前記相互接続部の他方の側の並列の前記グループの中の残りのSMAアクチュエータワイヤのすべてとからなる異なる組み合わせを通して選択的に供給するように構成された、請求項12に記載の装置。前記可動要素が、前記SMAアクチュエータワイヤのみによって前記支持構造体上に支持される、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。前記SMAアクチュエータワイヤはそれが収縮すると、3つ以上の自由度を有して前記支持構造体に対する前記可動要素の変位を駆動するように構成された、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。SMAアクチュエータワイヤの前記配列が、主軸の周りの4つのそれぞれの側面上に2つのSMAアクチュエータワイヤを有して、概念的主軸に対して傾斜した8個のSMAアクチュエータワイヤを備え、前記SMAアクチュエータワイヤは前記可動要素と前記支持構造体の間に機械的に接続され、それにより、収縮すると4つのSMAアクチュエータワイヤの2つの群は、主軸に沿った方向とは反対の成分で前記可動要素に対して力を生じ、各群のSMAアクチュエータワイヤは主軸の周りに2重の回転対称を有して配置された、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。前記可動要素がイメージセンサと、画像の焦点を前記イメージセンサに合わせるように構成されたカメラレンズ素子とを備えるカメラユニットである、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。前記SMA作動装置が前記支持構造体に固定されたイメージセンサをさらに備えたカメラ装置であり、前記可動要素は画像の焦点を前記イメージセンサに合わせるように構成されたカメラレンズ素子を備える、請求項1から16のいずれか一項に記載の装置。前記SMAアクチュエータワイヤの少なくとも3つの前記グループが、前記SMAアクチュエータワイヤのすべてからなる、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。本発明はこの構成を改良することに関する。本発明によれば、支持構造体と、支持構造体上に可動的に支持された可動要素と、支持構造体と可動要素の間に機械的に接続された3つ以上のSMAアクチュエータワイヤの配置物であって、SMAアクチュエータワイヤはそれが収縮すると支持構造体に対する可動要素の変位を駆動するように構成され、3つ以上のSMAアクチュエータワイヤのグループは、SMAアクチュエータワイヤのグループを一緒に電気的に接続する、可動要素における相互接続部を有する、SMAアクチュエータワイヤの配置物とを備える、SMA作動システムが提供される。国際公開第2011/104518号に開示された装置とは異なり3つ以上のSMAアクチュエータワイヤのグループは、SMAアクチュエータワイヤのグループを一緒に電気的に接続する、可動要素における相互接続部を有する。相互接続部を含むこの構成は、可動要素において行う必要がある電気的接続の数を低減しながら、各SMAアクチュエータワイヤの別々の制御を可能にすることが認識された。具体的には可動要素においては、SMAアクチュエータワイヤのグループに対して電気的接続を行う必要がない。SMAアクチュエータワイヤのグループはすべてのSMAアクチュエータワイヤからなるものとすることができ、その場合は可動要素において電気的接続を行う必要は全くない。可動要素において行う必要がある電気的接続を減らすまたは無くすことは有利であり、なぜなら支持構造体と可動要素の間の追加的な電気的接続はまた、支持構造体に対する可動要素の運動を妨げ得る機械的特性を必然的にもつことになるからである。電気的接続は、その機械的特性が運動に及ぼす影響を最小にするように設計することができるが、実際にこれを達成するのは難しく、コストおよび設計の複雑さが増すことになる。したがってSMAアクチュエータワイヤ以外には、可動要素と支持構造体の間に追加的な接続はないことが望ましい。このような電気的接続がなくても、群の中の個々のSMAアクチュエータワイヤの加熱は、駆動信号を、可動要素における相互接続部の各側で群の中のSMAアクチュエータワイヤの異なる組み合わせを通して選択的に供給することによって達成できることが認識された。例示的であるが非限定的な一例では、駆動信号は、可動要素における相互接続部の一方の側でSMAアクチュエータワイヤの1つと、可動要素における相互接続部の他方の側で並列の複数のSMAアクチュエータワイヤ、たとえば残りのSMAアクチュエータワイヤのすべてとからなる異なる組み合わせを通して、選択的に供給することができる。この場合は、複数のSMAアクチュエータワイヤは並列に構成されるので、1つのSMAアクチュエータワイヤが主に加熱される。1つのSMAアクチュエータワイヤを通って流れる電流は、複数のSMAアクチュエータワイヤの間で分割される。さらに並列構成がそれらの全体の抵抗を減少させることにより、複数のSMAアクチュエータワイヤの両端の電圧は減少される。装置はさらに、駆動信号をSMAアクチュエータワイヤに供給するために、支持構造体においてSMAアクチュエータワイヤのグループに電気的に接続された制御回路を備えることができる。さらに個々のSMAアクチュエータワイヤの加熱は、電気抵抗を帰還パラメータとして用いて制御することができる。これは各SMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさを導出することを必要とし、これは実際に、可動要素においてSMAアクチュエータワイヤのグループへの電気的接続を行う必要なしに達成できることが認識された。可動要素においてSMAアクチュエータワイヤのグループへの電気的接続がない場合は、各SMAアクチュエータワイヤの抵抗を直接測定することはできないが、各SMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさは間接的に得られることが認識された。具体的にはこれは、SMAアクチュエータワイヤのグループに信号を供給し、前記信号の供給時にSMAアクチュエータワイヤのグループの両端の電圧および/または電流の測定を行い、測定値から各SMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさを導出することによって達成することができる。例示的であるが非限定的ないくつかの例は次の通りである。一例では信号は、可動要素における相互接続部の各側でのSMAアクチュエータワイヤの異なる組み合わせを通して供給される信号からなる。この場合は各SMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさは、SMAワイヤの異なる組み合わせにわたる測定値の関数として導出される。たとえば信号は、可動要素における相互接続部の一方の側のSMAアクチュエータワイヤの1つと、可動要素における相互接続部の他方の側の並列のグループの中の残りのSMAアクチュエータワイヤのすべてとに供給される信号とすることができる。異なる組み合わせは、個々のSMAアクチュエータワイヤの抵抗の異なる関数である全体の抵抗を有する。したがって異なる組み合わせの測定値は、各SMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさを導出することを可能にする。他の例では信号は、可動要素における相互接続部の一方の側のSMAアクチュエータワイヤの1つを通して供給される信号からなり、少なくとも1つの他のSMAアクチュエータワイヤを通しては信号は供給されず、それにより支持構造体での当該他のSMAアクチュエータワイヤの端部の電圧は可動要素における相互接続部での電圧に追随する。この場合はSMAアクチュエータワイヤの1つの抵抗の大きさは、支持構造体でのSMAアクチュエータワイヤの端部での電圧の測定値から直接導出される。したがって制御回路はさらに、前記信号の供給時にSMAアクチュエータワイヤのグループの両端の電圧および/または電流の測定を行うように構成された抵抗測定部を備えることができ、SMAアクチュエータワイヤのグループに信号を供給して、測定値から各SMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさを導出するように構成することができる。次いで制御回路は、たとえば、個々のSMAアクチュエータワイヤの加熱を各アクチュエータワイヤに対してそのSMAアクチュエータワイヤの目標抵抗とそのSMAアクチュエータワイヤの抵抗の大きさとの間の誤差に基づいて変化させることにより、電気抵抗の大きさを帰還パラメータとして用いて個々のSMAアクチュエータワイヤの加熱を制御することができる。次により良く理解できるように本発明の実施形態について、添付の図面を参照して非限定的な例によって説明する。図1にはSMA作動装置10が示され、次に説明する。可動要素11は、8個のSMAアクチュエータワイヤ1~8によって支持構造体12上に支持される。SMAアクチュエータワイヤ1~8の配列は変わり得るが、共通の要素は共通の参照番号を有する。可動要素11は一般に任意のタイプの要素とすることができる。可動要素11は主軸Pに沿って見ると正方形の形状を有するが、より一般には任意の形状を有し得る。支持構造体12は概略的に示されるが、一般には可動要素11を支持するための任意のタイプの要素とすることができる。支持構造体12は、支持構造体に対する可動要素11の動きを可能にするように可動要素を支持する。可動要素11はSMAアクチュエータワイヤ1~8のみによって支持構造体12上に支持されるが、原理上はSMA作動装置10は支持構造体12上に可動要素11を追加的に支持する懸架システムを備えることができる。各SMAアクチュエータワイヤ1~8は、場合により中間構成要素を介して、可動要素11および支持構造体12のそれぞれの1つに各端部において接続された1つのSMAワイヤを備える。機械的接続をもたらす任意の適切な手段、たとえば任意選択で接着剤を用いて強化されたクリンプ部材を用いることができる。さらにたとえばクリンプ部材が用いられる場合はそれによって、各端部においてSMAアクチュエータワイヤ1~8に電気的接続がなされる。支持構造体12においてSMAアクチュエータワイヤ1~8の端部では、SMAアクチュエータワイヤ1~8は以下で述べる制御回路20に電気的に接続される。可動要素11においてSMAアクチュエータワイヤ1~8の端部では、SMAアクチュエータワイヤ1~8は相互接続部13によって一緒に電気的に接続される。相互接続部13は任意の導電性材料の導電性要素、典型的には金属によって形成することができる。相互接続部13は一般に任意の形状を有することができる。相互接続部13は、SMAアクチュエータワイヤ1~8を通して以外は、支持構造体または制御回路20への電気的接続を有しない。各SMAアクチュエータワイヤ1~8は、主軸Pの半径の概念的な線に垂直な主軸Pの1つの側面に沿って延び、主軸に対して傾斜する。各SMAアクチュエータワイヤ1~8は張力を有して保持され、それによって主軸Pに沿った方向の力の成分と、主軸Pに垂直な横方向の力の成分とを印加する。SMA材料は加熱すると、SMA材料を収縮させる固体相変化を受けるという特性を有する。低温度ではSMA材料はマルテンサイト相に入る。高温度ではSMAはオーステナイト相に入り、これは変形を誘起しSMA材料を収縮させる。相変化は、SMA結晶構造における転移温度の統計的広がりによりある範囲の温度にわたって起きる。したがってSMAアクチュエータワイヤ1~8を加熱することは、それらの長さの減少を引き起こす。SMAアクチュエータワイヤ1~8は任意の適切なSMA材料、たとえばニチノールまたは他のチタン合金SMA材料から作製することができる。SMAアクチュエータワイヤ1~8の材料組成および前処理は、通常動作時に予想周囲温度より高く、位置制御の程度を最大化するためにできるだけ広い温度の範囲にわたって相変化を生じるように選ぶことが有利である。SMAアクチュエータワイヤ1~8の1つが加熱すると、その中で応力が増加し収縮する。これは可動要素11の動きを引き起こす。SMA材料のマルテンサイト相からオーステナイト相への転移が起きる温度の範囲にわたってSMAの温度が上昇するのに従って、ある範囲の動きが生じる。逆に言えばSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つが冷却しそれによりその中の応力が減少すると、SMAアクチュエータワイヤ1~8の対向するものからの力を受けて膨張する。これにより可動要素11が反対方向に動くことが可能になる。光軸Oに沿った支持構造体12に対する可動要素11の位置は、SMAアクチュエータワイヤ1~8の温度を変化させることによって制御される。これは、抵抗加熱を生じる駆動信号をSMAアクチュエータワイヤ1~8に通過させることによって達成される。加熱は駆動信号によって直接行われる。冷却は、その周囲への伝導によってSMAアクチュエータワイヤ1~8が冷えるのを可能にするように駆動信号を低減または停止することによって行われる。主軸Pの周りの4つのそれぞれの側面上に、SMAアクチュエータワイヤ1~8の2つが配置される。各側面上のSMAアクチュエータワイヤ1~8の2つ、たとえばSMAアクチュエータワイヤ1および2は、主軸Pから垂直に見て、互いに対して反対の方向に傾斜し、互いに交差する。SMAアクチュエータワイヤ1~8がその上に配置された4つの側面は、主軸Pの周りを環状に囲んで延びる。この例では諸側面は直交し、したがって主軸Pに沿って見ると正方形となるが、別法として諸側面は異なる四辺形形状を有することもできる。この例ではSMAアクチュエータワイヤ1~8は、可動要素11の外面に平行であり、それによりSMA作動装置10が好都合にパッケージされるがこれは本質的ではない。各側面上のSMAアクチュエータワイヤ1~8の2つは、可動要素11と支持構造体12とに接続されて、主軸Pに沿って同じ方向の成分を有して可動要素11に対する力を生じ、これは連続する側面上で交替する。したがって対向する側面上のSMAアクチュエータワイヤ1~4は一方の方向図1では下向きに力を生じるグループを形成し、他の対向する側面上のSMAアクチュエータワイヤ5~8は反対方向図1では上向きに力を生じるグループを形成する。SMAアクチュエータワイヤ1~8は、長さおよび傾斜角が同じである対称配置を有し、それによりSMAアクチュエータワイヤ1~4の群とSMAアクチュエータワイヤ5~8の群の両方は、主軸Pの周りに2重の回転対称を有してそれぞれ配置される。SMAアクチュエータワイヤ1~4の群と、SMAアクチュエータワイヤ5~8の群は、主軸Pに沿って同じ位置に設けられる。この対称配置の結果として、SMAアクチュエータワイヤ1~8の異なる組み合わせは選択的に作動されたときに、以下のように複数の自由度を有して可動要素11の動きを駆動することができる。SMAアクチュエータワイヤ1~4の群およびSMAアクチュエータワイヤ5~8の群は共通して作動されたときは、主軸Pに沿った動きを駆動する。各群内で、対向する側面上のSMAアクチュエータワイヤたとえば一方でSMAアクチュエータワイヤ1~2、および他方でSMAアクチュエータワイヤ3~4は差動的に作動されたときは、主軸Pに垂直な横軸の周りの傾きを駆動する。2つの横軸の周りの傾きの線形結合として、任意の方向の傾きを得ることができる。各群内で平行な2つのSMAアクチュエータワイヤたとえば一方でSMAアクチュエータワイヤ1と4、他方でSMAアクチュエータワイヤ2と3は共通して作動されたときは、主軸Pに垂直な横軸に沿った動きを駆動する。2つの横軸に沿った動きの線形結合として、主軸Pに垂直な任意の方向の動きを得ることができる。相互接続部13を除いて図1に示されるSMA作動装置10の構成は、参照され参照により本明細書に組み込まれる国際公開第2011/104518号で述べられているSMA作動装置の第1の構成と同じであるが、代わりに国際公開第2011/104518号で述べられているSMA作動装置の第2から第5の構成のいずれかと同じとすることができる。しかしこれらの構成は限定するものではなく、一般に本発明は、支持構造体と可動要素の間に機械的に接続された3つ以上のSMAアクチュエータワイヤの配置が、それらが収縮すると支持構造体に対する可動要素の変位を駆動するように構成された任意のSMA作動システムに応用することができる。次にSMAアクチュエータワイヤ1~8の制御についてさらに述べる。図2に示される制御回路20は、SMAアクチュエータワイヤ1~8のそれぞれに対する駆動信号を発生する。制御回路20は、動き信号21によって表される所望の動きから駆動信号を導出する。1つの動き信号21は主軸Pに沿った所望の動きxを表す。別の動き信号21は主軸Pに垂直な横軸に沿った所望の動きy、zを表す。別の動き信号21は所望の傾きθ1、θ2を表す。動き信号21は、プロセッサにまたはハードウェアに実装されるマトリックスコントローラ22に供給される。マトリックスコントローラ22は、動き信号21に基づいてSMAアクチュエータワイヤ1~8のそれぞれに対する目標信号23を発生する。各目標信号23はSMAアクチュエータワイヤ1~8のそれぞれに対する目標抵抗を表す。マトリックスコントローラ22は、それぞれの自由度での動きを達成するために、各SMAアクチュエータワイヤ1~8の必要な収縮を関係付けるマトリクス計算を用いる。したがってマトリクス計算は、SMA作動装置10におけるSMAアクチュエータワイヤ1~8の実際の構成を表す。第1から第5の構成のそれぞれに対して上述したように、それぞれの自由度での動きに対して、収縮すると反対の方向の動きを駆動するSMAアクチュエータワイヤ1~8の組がある。目標信号23は、動き信号21のそれぞれに対してこれらの組の差動収縮をもたらす。したがって動き信号21の1つによって表されるいずれかの自由度において反対のSMAアクチュエータワイヤの2組に対する目標信号23が発生されてその自由度での差動の変位を生じる。実効的にこれは、これらの組に対する目標信号23は、その自由度での要求された動きを表す差動成分を有することを意味する。異なる動き信号21によって表される異なる自由度を有する動きから生じる、SMAアクチュエータワイヤ1~8の異なる組の差動収縮を表す差動成分は、組み合わせることができる。このようにして任意の自由度を含む任意の動きを、SMAアクチュエータワイヤ1~8の適切な組み合わせを選択的に作動させるための制御信号に変換することができる。これらの差動成分は、SMA材料でのヒステリシスなどの非線形効果を補償するように、様々な補償アルゴリズムによって修正することができる。さらに目標信号23は、SMAアクチュエータワイヤ1~8における所望の応力を表す共通成分を含む。それぞれのSMAアクチュエータワイヤ1~8は互いに応力を加えるので、この応力はSMAアクチュエータワイヤ1~8の加熱を変化させることによって制御することができる。これはSMAアクチュエータワイヤ1~8の応力サイクルの能動的制御をもたらす。SMA作動装置10は、応力範囲を最小にしながら、SMAアクチュエータワイヤ1~8に相対的に高い応力を生じるように構成される。高い応力は、SMA材料内の応力が収縮を引き起こすのに十分となる温度を引き上げる。したがって共通成分は、それ自体は温度センサ図示せずによってまたはSMAアクチュエータワイヤ1~8の測定した電気的パラメータから確定することができる周囲温度に応答して、変化させることができ、周囲温度の上昇と共に増加される。逆に言えば歪みの大きな変化に対して応力範囲を小さく保つことは、疲労効果を最小にするという利点がある。応力範囲を最小にすることはまた、SMA材料の相を変化させてそれが収縮できるようにするのに必要な駆動電力を最小にするという効果がある。各目標信号23はそれぞれの誤差検出器24に供給され、誤差検出器24にはまた抵抗測定回路26から抵抗信号25が供給される。抵抗信号25は、SMAアクチュエータワイヤ1~8の対応するものの抵抗の大きさを表し、帰還パラメータとして用いられる。抵抗測定回路26は、以下にさらに述べるように抵抗信号25を導出する。各誤差検出器24は、SMAアクチュエータワイヤ1~8の1つに対して、そのSMAアクチュエータワイヤ1~8に対する目標信号23によって表される目標抵抗と、そのSMAアクチュエータワイヤ1~8に対する抵抗信号25によって表される抵抗の大きさとの間の誤差を表す誤差信号27を検出する。誤差検出器24は誤差信号27を制御ユニット28に供給する。誤差信号27に基づいて制御ユニット28は、SMAアクチュエータワイヤ1~8を通って供給されるべき駆動信号を表す制御信号29を駆動回路30に対して発生する。駆動回路30は、制御信号29によって表される駆動信号を、SMAアクチュエータワイヤ1~8を通して供給する。駆動回路30は、支持構造体においてSMAアクチュエータワイヤ1~8に接続され、SMAアクチュエータワイヤ1~8は相互接続部13によって可動要素12において一緒に接続されるので、駆動信号は、相互接続部13の各側でSMAアクチュエータワイヤ1~8の異なる組み合わせを通して供給される。具体的には駆動信号は、異なるSMAアクチュエータワイヤ1を通して相互接続部13におよび相互接続部13から供給される。用いられるSMAアクチュエータワイヤ1~8の各組み合わせに対して、駆動信号はパルス幅変調PWM信号として供給される。選択された組み合わせに応じて、異なるSMAアクチュエータワイヤ1~8は、異なる電力の、したがって個々のSMAアクチュエータワイヤに程度の異なる加熱を引き起こす駆動信号を受ける。一例では駆動信号はそれぞれが、相互接続部13の一方の側でSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つ1と、相互接続部13の他方の側で並列に複数の他のSMAアクチュエータワイヤ2~8好ましくは残りのSMAアクチュエータワイヤ2~8のすべてとからなる、8通りの異なる組み合わせを通して選択的に供給される。この場合は複数の他のSMAアクチュエータワイヤ2~8は並列に構成されるので、1つのSMAアクチュエータワイヤ1が主に加熱される。具体的には、相互接続部13の一方の側の1つのSMAアクチュエータワイヤ1を通って流れる電流は、相互接続部13の他方の側の他のSMAアクチュエータワイヤ1~8の間で分割される。これは他のSMAアクチュエータワイヤ2~8を流れる電流は、1つのSMAアクチュエータワイヤ1を通って流れる電流の1/7であることを意味する。同様に他のSMAアクチュエータワイヤ2~8の両端の電圧は減少され、なぜならそれらの全体の抵抗はそれらの並列構成によって減少されるからでる。これは他のSMAアクチュエータワイヤ2~8の両端の電圧は、1つのSMAアクチュエータワイヤ1の両端の電圧の1/7であることを意味する。これら2つの要因は相まって、SMAアクチュエータワイヤ2~8において発生される電力は、1つのSMAアクチュエータワイヤ1において発生される電力の1/49またはより一般的には1/n-12、ただしnは駆動信号が並列にそれらを通って流れるSMAアクチュエータワイヤの数であることを意味する。制御ユニット28は、誤差信号27に従って個々のSMAアクチュエータワイヤ1~8の加熱を変化させるように、SMAアクチュエータワイヤ1~8の異なる組み合わせ、およびPWMデューティサイクルを選択する制御信号29を出力する。したがって抵抗測定回路26によって測定された抵抗は、動き信号21から導出された目標信号23によって表される要求を満たすように個々のSMAアクチュエータワイヤ1~8の加熱を制御するための、閉ループ制御アルゴリズムにおける帰還信号として用いられる。閉ループ制御は比例制御でよく、またはより複雑な制御アルゴリズムたとえば比例積分制御を実装することもできる。位置に関係する帰還パラメータとしてSMAアクチュエータワイヤ1の電気抵抗を用いることにより、機能的な動きの範囲にわたってSMA材料の収縮および膨張は、その電気抵抗に対してほぼ線形となる。ヒステリシスおよびクリープを含む非線形性はある程度生じる。これらは無視し得るが、より良い線形性のためにこれらを閉ループ制御アルゴリズムにおいて考慮に入れることもできる。どのSMAアクチュエータワイヤ1~8が加熱されるかを制御するように、SMAアクチュエータワイヤ1~8の異なる組み合わせが選択される。組み合わせが、相互接続部13の一方の側でSMAアクチュエータワイヤ1~8のそれぞれ1つ1と、相互接続部の他方の側で他のすべてのSMAアクチュエータワイヤ2~8とである上記の例では、制御回路28によって実施される1つの制御アルゴリズムは、1つのSMAアクチュエータワイヤとして順に各SMAアクチュエータワイヤ1~8を通して、そのSMAアクチュエータワイヤ1~8に対する誤差信号27にのみに従って選択された駆動信号を供給することである。その駆動信号はまた他のSMAアクチュエータワイヤ1~8の並列組み合わせも通過するが、それらによって引き起こされる加熱は比較的小さく、単なるクロストークと見なすことができる。制御回路30の構成のいくつかのためのこのような制御アルゴリズムの例示の実装形態を示すタイミング図は、図4、図5、および図10に示され以下で説明する。別法としてすべての誤差信号27を考慮に入れたより複雑な制御アルゴリズムを用いることもできる。この例では駆動信号は、相互接続部13の一方の側でSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つ1を通して選択的に供給されるが、他の例では駆動信号は、相互接続部13の両側でSMAアクチュエータワイヤ1~8の異なる並列組み合わせを通して供給することができる。一般に組み合わせおよびPWMデューティサイクルは、全体としての1組の誤差信号27に基づいて選択することができる。次に駆動回路30の6つの代替構成について図3から図10を参照して説明する。これらの構成は限定するものではなく、どのように制御信号29が、相互接続部13の各側のSMAアクチュエータワイヤ1~8の異なる組み合わせで駆動信号を発生するか、さらにどのように抵抗測定回路26が、個々のSMAアクチュエータワイヤ1~8の抵抗の大きさを表す抵抗信号25を導出するかを示すのに役立てるためものである。駆動回路30の構成のいくつかは共通の参照番号が付けられた共通の要素を利用し、以下のように構成される。各構成においてSMAアクチュエータワイヤ1~8は、可動要素11において相互接続部13に、支持構造体12において駆動回路30に接続される。抵抗R1~R8はSMAアクチュエータワイヤ1~8の抵抗である。以下では並列抵抗を表すために記号∥が用いられる。たとえばR1∥R2は並列のR1とR2の抵抗を表す。電流I1~I8はそれぞれのSMAアクチュエータワイヤ1~8を通って流れる電流を表す。電圧V1~V8は支持構造体12でのそれぞれのSMAアクチュエータワイヤ1~8の端部での電圧である。構成のいくつかでは電圧V1~V8は、抵抗測定回路26によって測定される。他の実施形態ではSMAアクチュエータワイヤ1~8の両端の電流が抵抗測定回路26によって測定される。各構成において駆動回路30は、駆動回路30の諸要素がそれらの間に配置される正電源レールVccと負電源レールGNDとを含む。異なる構成では、電流I1~I8および電圧V1~V8は、aそれぞれのSMAアクチュエータワイヤ1~8の端部に接続された電流源S1~S8、および/またはbそれぞれのSMAアクチュエータワイヤ1~8の端部に接続されたスイッチデバイスQ1~Q8の、様々な組み合わせによって制御される。電流源S1~S8およびスイッチデバイスQ1~Q8は、それらが存在する場合は制御信号29によって制御される。電流源S1~S8は、それらが存在する場合は所定の電流値の電流I1~I8を供給する。これらは適切な高出力インピーダンスを有する任意の従来のタイプの電流源によって実装することができる。構成のいくつかでは、所定の電流値の電流を用いることにより電流の値が既知であるので、抵抗測定回路26によって測定された電圧V1~V8が抵抗の大きさとなることが可能になる。スイッチデバイスQ1~Q8は、それらが存在する場合は任意の適切なスイッチングデバイス、たとえばMOSFET金属酸化物半導体電界効果トランジスタなどのFET電界効果トランジスタによって実装することができる。図3には駆動回路30の第1の構成が示される。この構成では電流源S1~S8は正電源レールVccとそれぞれのSMAアクチュエータワイヤ1~8の端部との間に接続され、スイッチデバイスQ1~Q8は負電源レールGNDとそれぞれのSMAアクチュエータワイヤ1~8の端部との間に接続される。図4は時分割多重化を用いた、駆動回路30の第1の構成に供給される制御信号29に対する第1の方式のタイミング図である。図4では、上側の8個のトレースはスイッチデバイスQ1~Q8に供給される制御信号29を示し、下側の8個のトレースは電流源S1~S8に供給される制御信号29を示す。具体的には、ハイレベルはそれぞれのスイッチデバイスQ1~Q8または電流源S1~S8をオンにし、ローレベルはそれぞれのスイッチデバイスQ1~Q8または電流源S1~S8をオフにする。図4は抵抗測定がインターリーブされながら、SMAアクチュエータワイヤ1~8に駆動信号を供給する典型的な手法を示す。具体的には制御信号29は、それぞれがサブスロットT1からT8に再分割された一連のタイムスロットにおいて印加される。図4は見やすいように、各8個のタイムスロットサイクルの最初の4個のタイムスロットだけを示す。各タイムスロットは、その間に順にSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つが主に加熱される8個のサブスロットT1からT8に分割される。各タイムスロットのサブスロットT1~T8の1つにおいて、SMAアクチュエータワイヤ1~8の異なる1つの抵抗が測定される。各サブスロットT1~T8では、SMAアクチュエータワイヤ1~8の1つに接続された単一の電流源S1~S8はオンにされ、SMAアクチュエータワイヤ1~8のその1つに接続されたスイッチデバイスQ1~Q8はオフにされる。各タイムスロット内の1つのサブスロットでは、他の1つのスイッチデバイスQ1~Q8がオフにされ、他のすべてのSMAアクチュエータワイヤ1~8に接続されたスイッチデバイスQ1~Q8はオンにされる。たとえば第1のタイムスロットのサブスロットT1では、電流源S1だけがオンで、スイッチデバイスQ1およびQ2はオフで、スイッチデバイスQ3~Q8はオンとなる。各タイムスロットの他のサブスロットでは、他のすべてのSMAアクチュエータに接続されたスイッチデバイスはオンにされる。たとえば第1のタイムスロットのサブスロットT2では、電流源S2だけがオンで、スイッチドライブQ2はオフ、スイッチデバイスQ1、Q3~Q8はオンとなる。結果として1つのサブスロットT1~T8では駆動信号は、相互接続部13の一方の側でSMAアクチュエータワイヤの1つと、相互接続部13の他方の側で並列に1つを除く他のすべてのSMAアクチュエータワイヤとを通して供給される。したがって、各サブスロットT1~T8では1つのSMAアクチュエータワイヤが主に加熱され、他のサブスロットでは駆動信号は、相互接続部13の一方の側でSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つと、相互接続部13の他方の側で並列に他のすべてのSMAアクチュエータワイヤとを通して供給される。たとえば第1のタイムスロットのサブスロットT1では駆動信号は、相互接続部13の一方の側でSMAアクチュエータワイヤ1と、相互接続部13の他方の側で並列にSMAアクチュエータワイヤS3~S8SMAアクチュエータワイヤS2でなくとを通して供給され、第1のタイムスロットのサブスロットT2では駆動信号は、SMAアクチュエータワイヤ2と、並列のSMAアクチュエータワイヤ1、3~8とを通して供給される。図4内の差し込み図に示されるようにサブスロットT1~T8のそれぞれの中では、電流源S1~S8のPWMデューティサイクルは、主に加熱されているSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つに対して誤差信号27に従って変化される。たとえばサブスロットT1ではPWMデューティサイクルは、SMAアクチュエータワイヤ1の抵抗の大きさに従って変化される。このようにしてSMAアクチュエータワイヤ1~8のそれぞれの加熱は、それらのそれぞれのサブスロットT1~T8において、その測定した抵抗を閉ループ制御ループにおける帰還信号として用いて変化される。また任意選択で、ワイヤに送られる電力を制御する他の手段として電流パルスの振幅を調整することもできる。これは典型的には負荷に、より少ない電力を送りながら依然として抵抗を測定することが必要な高温度動作において有用である。この閉ループ制御内では1つの可能なことは、並列に接続されたときにSMAアクチュエータワイヤに生じる加熱を単なるクロストークとして無視することである。もう1つの可能なことは制御回路が、既知のそれらの抵抗と、既知の駆動信号の電流とから、並列に接続されたときのSMAアクチュエータワイヤに生じる加熱の大きさを導出することである。次いでこの加熱は、それに従ってPWMデューティサイクルを低減することによって考慮に入れることができる。2つのスイッチデバイスがオフにされる各タイムスロットのサブスロットT1~T8では、抵抗測定回路26は主に加熱されるSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つに対する抵抗の大きさを、SMAアクチュエータワイヤ1~8のその1つ、およびそのスイッチデバイスQ1~Q8がオフにされた当該他のSMAアクチュエータワイヤ1~8の電圧の測定値から導出する。たとえばサブスロットT1ではSMAアクチュエータワイヤ1に対する抵抗の大きさは、電圧V1およびV2の測定値から導出される。当該他のSMAアクチュエータワイヤたとえばサブスロットT1でのSMAアクチュエータワイヤS2を通って供給される信号はないので、支持構造体12での当該他のSMAアクチュエータワイヤの端部電圧は、可動要素11での相互接続部13での電圧に追随する。したがって主に加熱されるSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つの両端の電圧は、2つの測定した電圧の差たとえばサブスロットT1でのV1-V2となる。電流源S1~S8によって供給される電流I1~I8は所定の値であるので、測定した電圧はSMAアクチュエータワイヤ1~8のその1つの抵抗の大きさである。任意選択で、抵抗が測定されるサブスロットT1~T8の1つの間での駆動電流は低減することができ、これはより高い精度をもたらすが本質的ではない。図4のタイミング図に示される第1の方式の代替の変更形態は次の通りである。この変更形態では各サブスロットT1~T8では、SMAアクチュエータワイヤ1~8の1つに接続されたスイッチデバイスQ1~Q8だけがオンにされ、他のすべてのSMAアクチュエータワイヤ1~8に接続されたスイッチデバイスQ1~Q8はオフにされる。結果として各タイムスロットでは駆動信号は、相互接続部13の一方の側でSMAアクチュエータワイヤの1つと、相互接続部13の他方の側で並列の他のすべてのSMAアクチュエータワイヤとを通して供給される。上述のように1つのSMAアクチュエータワイヤが主に加熱される。たとえばサブスロットT1では電流源S1だけがオンで、スイッチデバイスQ1はオフ、スイッチデバイスQ2~Q8はオンであるので、駆動信号は、相互接続部13の一方の側でSMAアクチュエータワイヤ1と、相互接続部13の他方の側で並列のSMAアクチュエータワイヤS2~S8とを通して供給される。サブスロットT1~T8のそれぞれの中では、上述のようにPWMデューティサイクルは変化される。しかし抵抗測定回路26は、各SMAアクチュエータワイヤ1~8に対する抵抗の大きさを、各サブスロットT1~T8での電圧V1~V8の測定値の関数として導出する。各サブスロットT1~T8では、SMAアクチュエータワイヤ1~8によって形成される回路網の全体の抵抗は、1相互接続部13の一方の側のSMAアクチュエータワイヤの1つの抵抗と、2相互接続部13の他方の側の他のSMAアクチュエータワイヤの並列抵抗との和である。たとえばサブスロットT1では、全体の抵抗は、R1R2∥R3∥R4∥R5∥R6∥R7∥R8に等しく、抵抗R1~R8の関数となる。SMAアクチュエータワイヤ1~8によって形成される全体の回路網の両端の電圧は、各サブスロットT1~T8において測定される。たとえばサブスロットT1では、測定される電圧V1は全体の回路網の両端の電圧であるこれは開いたスイッチデバイスQ2~Q8の両端の電圧降下をゼロと仮定しているが、より精度を得るには電圧V1-V2を測定することもできる。電流源S1~S8によって供給される電流I1~I8は所定の値であるので、測定した電圧は全体の抵抗の大きさである。各サブスロットT1~T8での全体の抵抗の大きさ測定した電圧によって表されるは、抵抗R1~R8の組み合わせの異なる関数である。したがって抵抗測定回路26は、各SMAアクチュエータワイヤ1~8の抵抗の大きさを、1組のサブスロットT1~T8内で取得した全体の抵抗の大きさの関数として導出する。測定値の組み合わせは反復的なやり方で行うことができ、そこでは各サブスロットT1~T8において、前の測定値から前のサブスロットT1~T8において導出された他のSMAアクチュエータワイヤに対する抵抗の大きさを用いて、そのサブスロット内で主に加熱されるSMAアクチュエータワイヤ1~8の更新された抵抗の大きさが導出される。たとえばサブスロットT8では、SMAアクチュエータワイヤ8の更新された抵抗R8の大きさは次式から導出される。R8≒V8/I8-1/1/R11/R21/R31/R41/R51/R61/R7ただしI8は所定の値を有し、R2、R3、R4、R5、R6、R7、およびR8は前のサブスロットにおいて導出された値である。R2、R3、R4、R5、R6、R7、およびR8のそれぞれがR1の値に及ぼす影響は小さいので、R1での誤差は、R2、R3、R4、R5、R6、R7、およびR8での誤差より小さくなる。これは、各SMAアクチュエータワイヤ1~8に対してこの計算が順次的に行われ、次いでこのプロセスが繰り返された場合は、各SMAアクチュエータワイヤ1~8の抵抗R1~R8の大きさの正確な値を得ることができることを意味する。図5は時分割多重化を用いた、駆動回路30の第1の構成に供給される制御信号29に対する第2の方式のタイミング図である。図4aでは、上側の8個のトレースはスイッチデバイスQ1~Q8に供給される制御信号29を示し、下側の8個のトレースは電流源S1~S8に供給される制御信号29を示す。具体的には、ハイレベルはそれぞれのスイッチデバイスQ1~Q8または電流源S1~S8をオンにし、ローレベルはそれぞれスイッチデバイスQ1~Q8または電流源S1~S8をオフにする。図5は抵抗測定がインターリーブされながら、SMAアクチュエータワイヤ1~8に駆動信号を供給する別の手法を示す。具体的には制御信号29は、それぞれがサブスロットT1からT8に再分割された一連のタイムスロットにおいて印加される。図5は見やすいように、各8個のタイムスロットサイクルの最初の4個のタイムスロットだけを示す。各タイムスロットは、その間に順にSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つが主に加熱される8個のサブスロットT1からT8に分割され、SMAアクチュエータワイヤ1~8のその1つの抵抗が測定される。各サブスロットT1~T8では、SMAアクチュエータワイヤ1~8の1つに接続された単一のスイッチデバイスQ1~Q8がオンにされる。たとえばサブスロットT1~T8では、スイッチデバイスQ1~Q8はそれぞれ単独でオンとなる。ほとんどのサブスロットT1~T8では、SMAアクチュエータワイヤ1~8のその1つに接続された電流源S1~S8はオフにされ、他のすべての電流源S1~S8はオンにされる。たとえば第1のタイムスロットのサブスロットT2~T8では電流源S2~S8はそれぞれオフであり、他のすべての電流源S1~S8はオンにされる。しかし各タイムスロット内の1つのサブスロットT1~T8では、もう1つの電流源がオフにされる。たとえば第1のタイムスロットのサブスロットT1では、電流源S1およびS8がオフにされるが電流源S2~S7はオンにされ、第2のタイムスロットのサブスロットT2では、電流源S2およびS8はオフにされるが電流源S1、S3~S7はオンにされる。結果として各サブスロットT1~T8では駆動信号は、相互接続部13の一方の側のSMAアクチュエータワイヤの1つと、相互接続部13の他方の側の並列の1つを除く他のすべてのSMAアクチュエータワイヤとを通して供給される。したがって各サブスロットT1~T8では、1つのSMAアクチュエータワイヤが主に加熱される。たとえば第1のタイムスロットのサブスロットT1では駆動信号は、相互接続部13の一方の側のSMAアクチュエータワイヤ1と、相互接続部13の他方の側の並列のSMAアクチュエータワイヤS2~S3SMAアクチュエータワイヤS8ではなくとを通して供給され、第1のタイムスロットのサブスロットT2では駆動信号は、相互接続部13の一方の側のSMAアクチュエータワイヤ2と、相互接続部13の他方の側の並列のSMAアクチュエータワイヤS1、S3~S7を通して供給される。図5内の差し込み図に示されるようにサブスロットT1~T8のそれぞれの中では、電流源S1~S8のPWMデューティサイクルは、主に加熱されているSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つに対して誤差信号27に従って変化される。たとえばサブスロットT1ではPWMデューティサイクルは、SMAアクチュエータワイヤ1の抵抗の大きさに従って変化される。このようにしてSMAアクチュエータワイヤ1~8のそれぞれの加熱は、それらのそれぞれのサブスロットT1~T8において、その測定した抵抗を閉ループ制御ループにおける帰還信号として用いて変化される。この閉ループ制御内では1つの可能なことは、並列に接続されたときにSMAアクチュエータワイヤに生じる加熱を単なるクロストークとして無視することである。もう1つの可能なことは制御回路が、既知のそれらの抵抗と、既知の駆動信号の電流とから、並列に接続されたときのSMAアクチュエータワイヤに生じる加熱の大きさを導出することである。次いでこの加熱は、それに従ってPWMデューティサイクルを低減することによって考慮に入れることができる。他の1つのスイッチデバイスがオフにされる各タイムスロットのサブスロットT1~T8では、抵抗測定回路26は主に加熱されるSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つに対する抵抗の大きさを、SMAアクチュエータワイヤ1~8のその1つ、およびその電流源S1~S8がオフにされた当該他のSMAアクチュエータワイヤ1~8の電圧の測定値から導出する。たとえば第1のタイムスロットのサブスロットT1ではSMAアクチュエータワイヤ1に対する抵抗の大きさは、電圧V1およびV8の測定値から導出される。当該他のSMAアクチュエータワイヤたとえばサブスロットT1でのSMAアクチュエータワイヤS8を通って供給される信号はないので、支持構造体12での当該他のSMAアクチュエータワイヤの端部電圧は、可動要素11での相互接続部13での電圧に追随する。したがって主に加熱されるSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つの両端の電圧は、2つの測定した電圧の差たとえばサブスロットT1でのV1-V2となる。電流源S1~S8によって供給される電流I1~I8は所定の値であるので、測定した電圧はSMAアクチュエータワイヤ1~8のその1つの抵抗の大きさである。第1の方式に対する第2の方式の利点は、電流源S1からS8のうちの6個が並列に電流を供給するので、電流源S1からS8の単一の1つに対する電流要件が軽減され、それらのコストが低減されることである。第2の方式は第1の方式と同じ方法で、各サブスロットT1~T8において1つの電流源だけがオフにされ、各SMAアクチュエータワイヤ1~8に対して抵抗の大きさが、各サブスロットT1~T8での電圧V1~V8の測定値の関数として導出されるように変更することができる。図4および図5に示されるタイミング図は限定するものではなく、電流源S1~S8およびスイッチデバイスQ1~Q8を変調する代替の手法がある。1つの手法ではスイッチデバイスQ1~Q8の幅を変調し、相全体で電流源をオンにすることができる。これは実際的な電流源は、実際的なスイッチデバイスよりも遅く切り換わるので、スイッチング性能の改善をもたらすことができる。駆動回路30の第2の構成は図6に示される。この構成では、電流源S1~S4は正電源レールVccと4つのSMAアクチュエータワイヤ1~4の端部との間に接続され、スイッチデバイスQ5~Q8は負電源レールGNDと他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8の端部との間に接続される。この場合は駆動信号は、1相互接続部13の一方の側のSMAアクチュエータワイヤ1~4と、2相互接続部13の他方の側の他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8との異なる組み合わせを通過する。制御信号29は、第1の構成と同様なやり方で時分割多重化を用いて駆動回路30の第2の構成に供給されるが、駆動信号は最大で並列の4つのSMAアクチュエータワイヤ、すなわち4つのSMAアクチュエータワイヤ1~4または他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8のいずれかを通過するという点が異なる。駆動回路30の第3の構成は図7に示される。この構成ではスイッチデバイスQ1~Q4は、それ自体が正電源レールVccに接続された共通の電流源S0と、4つのSMAアクチュエータワイヤ1~4の端部との間に接続され、スイッチデバイスQ5~Q8は負電源レールGNDと他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8の端部との間に接続される。この場合は駆動信号は、1相互接続部13の一方の側のSMAアクチュエータワイヤ1~4と、2相互接続部13の他方の側の他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8との異なる組み合わせを通過する。制御信号29は、第1の構成と同様なやり方で時分割多重化を用いて駆動回路30の第3の構成に供給されるが、駆動信号は最大で並列の4つのSMAアクチュエータワイヤ、すなわち4つのSMAアクチュエータワイヤ1~4または他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8のいずれかを通過するという点が異なる。駆動回路30の第4の構成は図8に示される。この構成では、電流源S1~S4は正電源レールVccと4つのSMAアクチュエータワイヤ1~4の端部との間に接続され、電流源S5~S8は負電源レールGNDと他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8の端部との間に接続される。この場合は駆動信号は、1相互接続部13の一方の側のSMAアクチュエータワイヤ1~4と、2相互接続部13の他方の側の他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8との異なる組み合わせを通過する。制御信号29は、第1の構成と同様なやり方で時分割多重化を用いて駆動回路30の第4の構成に供給されるが、駆動信号は最大で並列の4つのSMAアクチュエータワイヤ、すなわちSMAアクチュエータワイヤ1~4または他の4つのSMAアクチュエータワイヤ5~8のいずれかを通過するという点が異なる。駆動回路30の第5の構成は図9に示される。この構成では駆動信号は所定の電圧値を有し、抵抗測定回路26は抵抗の大きさをもたらすために、SMAアクチュエータワイヤ1~8を通る電流の測定を行う。具体的にはスイッチデバイスQ1~Q8は、それ自体が負電源レールGNDに接続された検出抵抗器Rsenseと、SMAアクチュエータワイヤ1~8の端部との間に接続され、さらに他のスイッチデバイスQ9~Q16は正電源レールVccとSMAアクチュエータワイヤ1~8の端部との間に接続される。抵抗測定回路26は、抵抗器Rsenseを通って流れるしたがってSMAアクチュエータワイヤ1~8を通る電流の大きさである、抵抗器Rsenseの両端の電圧を測定する。スイッチデバイスQ1~Q8および追加のスイッチデバイスQ9~Q16は、第1の構成でのスイッチデバイスQ1~Q8および電流源S1~S8と同じやり方で制御される。これは第1の構成の場合に上述したのと同じ動作を生じるが、駆動信号が所定の電流値ではなく所定の電圧値すなわち正電源レールVccと負電源レールGNDの電圧の差であるという点が異なる。したがって抵抗測定回路26は電圧V1~V8の測定を行う代わりに、SMAアクチュエータワイヤ1~8の両端の電流の測定を行う。測定した電流は、SMAアクチュエータワイヤのグループ1~8の全体の抵抗を表す。図10は時分割多重化を用いた、駆動回路30の第5の構成に供給される制御信号29に対する方式のタイミング図である。図10では、上側の8個のトレースはスイッチデバイスQ1~Q8に供給される制御信号29を示し、下側の8個のトレースはスイッチデバイスQ9~Q16に供給される制御信号29を示す。具体的には、ハイレベルはそれぞれのスイッチデバイスQ1~Q16をオンにし、ローレベルはそれぞれスイッチデバイスQ1~Q16をオフにする。タイミング図によれば駆動信号は、第1の方式の代替の変更形態として、SMAアクチュエータワイヤ1~8の同じ組み合わせを通して供給される。したがって上述の第1の方式の代替の変更形態と同じやり方で、抵抗測定回路26は、各SMAアクチュエータワイヤ1~8に対する抵抗の大きさを、各サブスロットT1~T8での電流の測定値の関数として導出する。より高度の精度を得るために抵抗検出回路26は、SMAアクチュエータワイヤ1~8の両端の電圧および電流の両方を測定し、それらの比として抵抗の大きさを導出することができる。駆動回路30のこれらの構成要素のいずれか、または実際に他の構成は、コストと性能のトレードオフに従って選択することができる。上述の実施形態ではSMAアクチュエータワイヤ1~8のすべてが、移動要素11において相互接続部13に電気的に接続される。3つ以上のSMAアクチュエータワイヤ1~8の1つまたは複数の群が移動要素11において電気的に接続される場合は、同様な技法を適用することができる。SMA作動装置10は、広範囲のタイプの可動要素11の位置制御をもたらすために用いることができる。次にSMA作動装置10がカメラ装置であるいくつかの非限定的な例について述べる。これらの例は国際公開第2011/104518号により詳しく述べられており、その開示はSMA作動装置10にも応用することができ、これは参照により本明細書に組み込まれる。第1の例ではSMA作動装置10は、断面図である図11に概略的に示されるようにOISを行うように構成されたカメラ装置であり、断面はカメラ装置の光軸である主軸Pに沿って取られたものである。カメラ装置は、携帯電話、メディアプレーヤ、または携帯情報端末などの携帯用電子機器に組み込まれるためのものである。したがって小型化は重要な設計基準である。可動要素11は、機能的なカメラであるカメラユニットであり、イメージセンサ35およびカメラレンズ素子31を備え、支持構造体12は、制御回路20が実装されたIC集積回路チップ34がその上にあるカメラ支持体である。可動要素11はその底面上にプリント回路基板PCB32を有し、それにはイメージセンサ35が搭載され接続される。カメラレンズ素子31は金属製容器缶状体33によってPCB32上に支持され、画像の焦点をイメージセンサ35に合わせるように構成される。イメージセンサ35は画像を捕捉し、任意の適当なタイプの、たとえばCCD電荷結合素子またはCMOS相補型金属酸化物半導体デバイスとすることができる。カメラユニットは、カメラレンズ素子31が最大でも10mmの直径の1つまたは複数のレンズを有する小型カメラである。以下でさらに述べるようにOISは、可動要素11全体を動かすことによってもたらされ、この目的にためにカメラユニットの内部構造を適合させる必要がないという利点を有する。したがってOIS機能に関わらず、カメラユニットは機能的に標準のカメラでよく、たとえば単一のレンズまたは複数のレンズを備え、固定焦点または可変焦点の、所望の光学的性能をもたらすように任意の所望の構造を有することができる。この例ではOISは可動要素11を傾けることによってもたらされるが、光軸である主軸Pに垂直な横軸に沿って可動要素11を動かすことによってももたらされる。したがってSMA作動装置は、傾けることのみによってOISを行うカメラよりも利点をもたらす。これは小型カメラ用のOISシステムは、より大きなデジタルスチルカメラ用に用いられるものとは異なるやり方で用いられるようになるとの認識に基づく。したがって通常の2軸ではなく、3つの直交軸光軸を含むにおいて傾きを補償するので有利である。SMA作動装置10は、この所見を用いて、3つの直交軸でのカメラの動的な傾きを能動的に補償することができるアクチュエータ構成を実現する。この場合はSMA作動装置10の制御回路20は、支持構造体12の角速度を表す信号を出力しそれによってSMA作動装置10が経験する振動を検出する振動センサとして動作するジャイロスコープセンサ27を含むように適合される。制御回路20はジャイロスコープセンサ27からの出力信号を分析して、SMA作動装置10の全体としての動きを補償するのに必要な可動要素11の動きを表す動き信号21を導出する。一般にこれは、所望の傾きθ1、θ2を表し主軸Pに垂直な横軸に沿った所望の動きy、zを表す動き信号21を含む。この例では主軸Pに沿った動きは必要ないので、主軸Pに沿った所望の動きxを表す動き信号21は実効的に固定されるかまたは使用しなくてもよい。ジャイロスコープセンサ27は支持構造体12上に搭載されているので、出力信号は支持構造体12の振動を表す。このような振動は常に存在し、OISは可動要素11を反対に傾けることによってもたらされる。したがってOISコントローラ28は、ジャイロスコープセンサ27によって測定された実際の傾きとは反対の所望の動きを生じる動き信号21を発生する。第2の例ではSMA作動装置10は、断面図である図12に概略的に示されるように、OISおよび光軸に沿ったレンズ素子の動きを行うように構成されたカメラ装置であり、断面は光軸である主軸Pに沿って取られたものである。カメラ装置は、携帯電話、メディアプレーヤ、または携帯情報端末などの携帯用電子機器に組み込まれるためのものである。したがって小型化は重要な設計基準である。支持構造体12は、制御回路20が実装されたIC集積回路チップ42がその上にあるイメージセンサ40を支持するカメラ支持体である。可動要素11は、画像の焦点をイメージセンサ40に合わせるように構成されたカメラレンズ素子41を備える。イメージセンサ40は画像を捕捉し、任意の適当なタイプの、たとえばCCD電荷結合素子またはCMOS相補型金属酸化物半導体デバイスとすることができる。カメラ装置は、カメラレンズ素子41が最大でも10mmの直径の1つまたは複数のレンズを有する小型カメラである。この例ではOISは、カメラレンズ素子41を光軸の横方向に移動することによってもたらされる。前の場合のようにSMA作動装置10の制御回路20は、支持構造体12の角速度を表す信号を出力しそれによってSMA作動装置10が経験する振動を検出する振動センサとして動作するジャイロスコープセンサ27を含むように適合される。制御回路20はジャイロスコープセンサ27からの出力信号を分析して、SMA作動装置10の全体としての動きを補償するのに必要な可動要素11の動きを表す動き信号21を導出する。この例では動き信号21は、ジャイロスコープセンサ27によって測定された実際の傾きとは反対の、主軸Pに垂直な横軸に沿った所望の動きy、zを表す。さらに制御回路20はたとえば、ユーザ入力による選択、または自動焦点アルゴリズムによる導出に従って視野を変化させるためまたは焦点合わせを行うために、光軸に沿ったカメラレンズ素子41の所望の動きxを表す動き信号21を発生する。したがってSMA作動装置10内で、OIS機能および移動たとえば焦点合わせ機能は組み合わされる。この例では傾く動きは必要ないので、所望の傾きθ1、θ2を表す動き信号21は実効的に固定されるかまたは使用しなくてもよい。