成膜対象物を搬送する搬送経路を有する真空槽と、前記真空槽内に設けられ、前記成膜対象物に対して蒸着を行うための蒸発源と、前記真空槽内に設けられ、固体蒸発材料を収容する収容容器を有し当該固体蒸発材料を供給するための固体蒸発材料供給手段と、前記真空槽内に設けられ、前記固体蒸発材料供給手段から供給された前記固体蒸発材料を溶融するための加熱手段を有し当該溶融蒸発材料を連続的に前記蒸発源に供給する溶融蒸発材料供給手段とを備え、前記蒸発源に、前記溶融蒸発材料を収容する収容部を有する蒸発容器と、当該蒸発容器内の溶融蒸発材料を蒸発させるための加熱手段とが設けられている蒸着装置。前記固体蒸発材料供給手段は、前記固体蒸発材料を収容する収容容器を有し当該収容容器内の固体蒸発材料を所定量落下させて前記溶融蒸発材料供給手段に供給するように構成されている請求項1記載の蒸着装置。前記溶融蒸発材料供給手段の加熱手段は、当該固体蒸発材料が溶融する温度で且つできるだけ低い温度で加熱するように構成されている請求項1又は2のいずれか1項記載の蒸着装置。前記蒸発源が、蒸発材料を収容する細長形状の収容部を有し、前記固体蒸発材料供給手段が、前記蒸発源の収容部の両端部近傍に設けられた第1及び第2の固体蒸発材料供給手段を有し、前記溶融蒸発材料供給手段が、前記第1及び第2の固体蒸発材料供給手段の近傍にそれぞれ設けられた第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段を有し、前記真空槽内に、前記蒸発源の収容部の長手方向に対して交差する方向に成膜対象物を搬送する搬送経路が設けられ、前記搬送経路の両側部近傍に、前記蒸発材料の蒸発速度をそれぞれ検出する第1及び第2の膜厚センサとが設けられ、前記第1及び第2の膜厚センサにて得られた結果に基づいて前記第1及び第2の材料供給手段における蒸発材料の供給量をそれぞれ制御するように構成されている請求項1記載の蒸着装置。請求項1乃至請求項4記載の蒸着装置を用いて成膜対象物上に蒸着を行う方法であって、前記固体蒸発材料供給手段から供給された固体蒸発材料を前記溶融蒸発材料供給手段において第1の温度で加熱して溶融させて前記蒸発源の蒸発容器に連続的に供給し、当該蒸発源において前記第1の温度より高い温度で当該溶融蒸発材料を加熱して蒸発させ、複数の成膜対象物に対して搬送しつつ蒸着を行う工程を有する蒸着方法。本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、効率良く蒸着を行うとともに、蒸発材料の利用効率を向上させることにより、生産効率を向上させる蒸着技術を提供することにある。また、本発明の他の目的は、大型の成膜対象物の表面に分布が均一な膜を形成することができる蒸着技術を提供することにある。上記目的を達成するためになされた本発明は、成膜対象物を搬送する搬送経路を有する真空槽と、前記真空槽内に設けられ、前記成膜対象物に対して蒸着を行うための蒸発源と、前記真空槽内に設けられ、固体蒸発材料を収容する収容容器を有し当該固体蒸発材料を供給するための固体蒸発材料供給手段と、前記真空槽内に設けられ、前記固体蒸発材料供給手段から供給された前記固体蒸発材料を溶融するための加熱手段を有し当該溶融蒸発材料を連続的に前記蒸発源に供給する溶融蒸発材料供給手段とを備え、前記蒸発源に、前記溶融蒸発材料を収容する収容部を有する蒸発容器と、当該蒸発容器内の溶融蒸発材料を蒸発させるための加熱手段とが設けられている蒸着装置である。本発明では、前記固体蒸発材料供給手段は、前記固体蒸発材料を収容する収容容器を有し当該収容容器内の固体蒸発材料を所定量落下させて前記溶融蒸発材料供給手段に供給するように構成されている場合にも効果的である。本発明では、前記溶融蒸発材料供給手段の加熱手段は、当該固体蒸発材料が溶融する温度で且つできるだけ低い温度で加熱するように構成されている場合にも効果的である。本発明では、前記蒸発源が、蒸発材料を収容する細長形状の収容部を有し、前記固体蒸発材料供給手段が、前記蒸発源の収容部の両端部近傍に設けられた第1及び第2の固体蒸発材料供給手段を有し、前記溶融蒸発材料供給手段が、前記第1及び第2の固体蒸発材料供給手段の近傍にそれぞれ設けられた第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段を有し、前記真空槽内に、前記蒸発源の収容部の長手方向に対して交差する方向に成膜対象物を搬送する搬送経路が設けられ、前記搬送経路の両側部近傍に、前記蒸発材料の蒸発速度をそれぞれ検出する第1及び第2の膜厚センサとが設けられ、前記第1及び第2の膜厚センサにて得られた結果に基づいて前記第1及び第2の材料供給手段における蒸発材料の供給量をそれぞれ制御するように構成されている場合にも効果的である。一方、本発明は、上述したいずれかの蒸着装置を用いて成膜対象物上に蒸着を行う方法であって、前記固体蒸発材料供給手段から供給された固体蒸発材料を前記溶融蒸発材料供給手段において第1の温度で加熱して溶融させて前記蒸発源の蒸発容器に連続的に供給し、当該蒸発源において前記第1の温度より高い温度で当該溶融蒸発材料を加熱して蒸発させ、複数の成膜対象物に対して搬送しつつ蒸着を行う工程を有する蒸着方法である。本発明の場合、真空槽内に、収容容器内の固体蒸発材料を例えば所定量落下させて供給する固体蒸発材料供給手段と、当該固体蒸発材料を溶融するための加熱手段を有し当該溶融蒸発材料を連続的に蒸発源に供給する溶融蒸発材料供給手段とを備え、蒸発源に蒸発容器内の溶融蒸発材料を蒸発させるための加熱手段が設けられていることから、溶融蒸発材料供給手段において溶融した溶融蒸発材料は溶融蒸発材料供給手段に留まることなく蒸発源の収容容器に供給され、この蒸発容器において溶融蒸発材料が均一に充填され均一な状態で加熱されて高速で蒸発させることができる。その結果、本発明によれば、溶融蒸発材料の無駄な蒸発が抑えられるとともに、蒸着装置のトラブルのリスクやメンテナンスの回数を減らすことができる。すなわち、本発明では、溶融蒸発材料供給手段は温度が高く表面の蒸発粒子の覆着率は低くなるため、溶融蒸発材料供給手段に膜が付き難く、蒸発材料を連続的に供給可能で、長時間、大面積の成膜対象物に対して蒸着を行うことができる。そして、溶融した蒸発材料を安定的に連続供給することができるため、蒸着速度を安定させることができ、走行方向の膜圧分布が良いという効果がある。さらに、固体蒸発材料は液体になる時、材料中のガスが脱出されるため、蒸着時におけるスプラッシュを抑制することができるという効果がある。本発明において、溶融蒸発材料供給手段の加熱手段が、当該固体蒸発材料が溶融する温度で且つできるだけ低い温度で加熱するように構成されている場合には、溶融蒸発材料供給手段において蒸発材料の蒸発を防止することができるので、よりプロセス中における蒸発材料の無駄な消費を抑えることができる。本発明において、蒸発源が、蒸発材料を収容する細長形状の収容部を有し、固体蒸発材料供給手段が、蒸発源の収容部の両端部近傍に設けられた第1及び第2の固体蒸発材料供給手段を有し、溶融蒸発材料供給手段が、第1及び第2の固体蒸発材料供給手段の近傍にそれぞれ設けられた第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段を有し、成膜対象物の搬送経路の両側部近傍において、蒸発速度をそれぞれ検出する第1及び第2の膜厚センサが設けられ、これら第1及び第2の膜厚センサにて得られた結果に基づいて第1及び第2の固体蒸発材料供給手段における固体蒸発材料の供給量をそれぞれ制御するように構成されている場合には、成膜を自動化することができるとともに、大型の成膜対象物に対して均一な膜厚で連続的な成膜を行うことができる。本発明によれば、効率良く蒸着を行うとともに、蒸発材料の利用効率を向上させることにより、生産効率を向上させる蒸着技術を提供することができる。また、本発明によれば、大型の成膜対象物の表面に分布が均一な膜を形成することができる。以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。図1aは、本発明に係る蒸着装置の実施の形態の全体構成を示す断面図、図1bは、同実施の形態における蒸発源の配置構成を示す平面図である。図1aに示すように、本実施の形態の蒸着装置1は、図示しない真空排気系に接続された真空槽2を有している。真空槽2内の例えば下部には、蒸発源3が設けられている。一方、図1abに示すように、真空槽2内の蒸発源3の上方には、ローラ等の搬送機構図示せずによって構成され基板搬送方向Y軸方向に延びる搬送経路図示せずが設けられ、この搬送経路に沿って複数の基板6が連続的に蒸発源3の上方を一方向へ通過するように構成されている。図1bに示すように、蒸発源3は、基板搬送方向と直交するX軸方向に延びる細長形状の蒸発容器31を有し、この蒸発容器31には、後述する溶融した蒸発材料以下、溶融蒸発材料という。30を収容するためのX軸方向に延びる細長形状の収容部32が設けられている。蒸発容器31は、例えばセラミックス等の絶縁性材料からなり、その周囲には、例えば抵抗加熱方式の加熱手段33が設けられている。この加熱手段33は、図示しない加熱用電源に接続され、後述する固体の蒸発材料以下、固体蒸発材料という。40の蒸発温度より高い温度で加熱するように構成されている。真空槽2内の蒸発源3の上部には、固体蒸発材料40を供給する固体蒸発材料供給手段4が設けられ、この固体蒸発材料供給手段4と蒸発源3との間には、溶融蒸発材料供給手段5が設けられている。固体蒸発材料供給手段4は、下方に向って外径が小さくなるように形成された例えば漏斗状の収容容器41を有し、この収容容器41の下端部に例えば円形の開口部42が設けられている。そして、収容容器41内には固体蒸発材料40が収容されるようになっている。本発明の場合、固体蒸発材料40としては、例えば、アルミニウムAl、銀Ag、銅Cu、インジウムIn、錫Sn、リチウムLi、ビスマスBi、鉛Pb、マグネシウムMg、亜鉛Zn、バリウムBaやこれらを含む合金を好適に用いることができる。収容容器41の上方には、モータ43が設けられ、このモータ43の回転軸44が鉛直下方に向けて収容容器41の上部から収容容器41の内部に挿入されている。モータ43の回転軸44の先端部には、その表面にねじが形成された直線棒状の材料搬送部材45が取り付けられている。この材料搬送部材45は、鉛直方向に向けて配置され、その下端部が収容容器41の開口部42の内側に位置するように構成されている。そして、このような構成によって、モータ43を駆動して材料搬送部材45を所定方向に回転させることにより、収容容器41内の固体蒸発材料40が開口部42から落下するようになっている。溶融蒸発材料供給手段5は、固体蒸発材料供給手段4の収容容器41の下方に配置された溶融容器50を有し、この溶融容器50の上部には、収容容器41の開口部42の直下の位置に供給用開口部51が設けられている。溶融容器50の周囲には、図示しない電源に接続された例えば抵抗加熱方式の加熱手段52が設けられている。ここで、加熱手段52は、固体蒸発材料40が溶融する温度で且つできるだけ低い温度で加熱するように構成されている。溶融容器50の蒸発源3側の部位には、例えば筒状の供給部53が取り付けられている。この供給部53内には、内部を貫通する材料供給孔54が設けられ、供給部53は、蒸発源3側の部分を若干下方に傾斜させ、これにより材料供給孔54が蒸発源3に向って下方に傾斜するように配置構成されている。図2ab及び図3abは、本実施の形態の蒸着装置の動作を示す断面図である。本実施の形態においては、まず、溶融蒸発材料供給手段5の加熱手段52を駆動して溶融容器50を固体蒸発材料40の溶融温度以上の温度に加熱する。そして、図2aに示すように、モータ43を駆動して回転軸44及び材料搬送部材45を回転させ、固体蒸発材料40を収容容器41の開口部42から下方に落下させ供給用開口部51を介して溶融蒸発材料供給手段5の溶融容器50内に供給する。ここで、溶融容器50は既に固体蒸発材料40の溶融温度以上に加熱されているため、固体蒸発材料40は溶融容器50の底部において溶融して溶融蒸発材料30となる。さらに、モータ43を駆動して回転軸44及び材料搬送部材45を回転させると、図2bに示すように、溶融蒸発材料30の液面が上昇し、これにより供給部53の材料供給孔54を介して溶融蒸発材料30が蒸発源3の蒸発容器31内に注入される。この時点において、蒸発源3の加熱手段33は既に駆動し、蒸発容器31の温度を固体蒸発材料40の蒸発温度以上の温度に加熱しておく。その後、材料搬送部材45の回転を継続することにより、溶融蒸発材料供給手段5の溶融容器50内への供給を継続し、これにより、図3aに示すように、蒸発容器31内への溶融蒸発材料30の供給が継続される。そして、蒸発容器31内において溶融蒸発材料30が十分に供給され、図示しない膜厚モニターによる測定によって蒸発速度が安定した時点で、図3bに示すように、基板6を順次水平方向へ移動して各基板6上への蒸着を行う。以上述べた本実施の形態にあっては、真空槽2内に、収容容器41内の固体蒸発材料40を供給する固体蒸発材料供給手段4と、当該固体蒸発材料40を溶融するための加熱手段52を有し当該溶融蒸発材料30を連続的に蒸発源3に供給する溶融蒸発材料供給手段5とを備え、蒸発源3に蒸発容器内の溶融蒸発材料30を蒸発させるための加熱手段33が設けられていることから、溶融蒸発材料供給手段5において溶融した溶融蒸発材料30は溶融蒸発材料供給手段5に留まることなく蒸発源3の蒸発容器31に供給され、この蒸発容器31において溶融蒸発材料30が均一に充填され均一な状態で加熱されて高速で蒸発させることができる。その結果、本実施の形態によれば、溶融蒸発材料30の無駄な蒸発が抑えられるとともに、蒸着装置1のトラブルのリスクやメンテナンスの回数を減らすことができる。また、本実施の形態では、溶融蒸発材料供給手段5は温度が高く表面の蒸発粒子の覆着率は低くなるため、溶融蒸発材料供給手段5に膜が付き難く、蒸発材料を連続的に供給可能で、長時間、大面積の基板6に対して蒸着を行うことができる。そして、溶融蒸発材料30を安定的に連続供給することができるため、蒸着速度を安定させることができ、基板走行方向の膜圧分布が良いという効果がある。さらに、固体蒸発材料40は液体になる時、材料中のガスが脱出されたため、蒸着時におけるスプラッシュを抑制することができるという効果がある。さらに、本実施の形態では、溶融蒸発材料供給手段5の加熱手段53が、固体蒸発材料40が溶融する温度で且つできるだけ低い温度で加熱するように構成されており、溶融蒸発材料供給手段5において溶融蒸発材料30の蒸発を防止することができるので、プロセス中における蒸発材料の無駄な消費を抑えることができる。図4は、本発明の他の実施の形態の全体構成を示す断面図であり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。図4に示すように、本実施の形態の蒸着装置1Aは、モータ43の回転軸44に連結された材料搬送部材45が、水平方向に向けて配置されるとともに固体蒸発材料供給手段4の収容容器41を貫通するように構成されている。ここで、モータ43の回転軸44及び材料搬送部材45は、例えばパイプ状の供給部材46内に配置され、この供給部材46の先端部の開口部47が、溶融蒸発材料供給手段5の溶融容器50に設けた供給用開口部51の上方に位置するようになっている。本実施の形態では、蒸発源3の上方に、基板搬送方向に延びる搬送経路図示せずが設けられ、この搬送経路に沿って複数の基板6が連続的に蒸発源3の上方を往復移動するように構成されている。図5ab及び図6abは、本実施の形態の蒸着装置の動作を示す断面図である。本実施の形態においては、まず、溶融蒸発材料供給手段5の加熱手段52を駆動して溶融容器50を固体蒸発材料40の溶融温度以上の温度に加熱する。そして、図5aに示すように、モータ43を駆動して回転軸44及び材料搬送部材45を回転させることにより、固体蒸発材料40を供給部材46の開口部47から下方に落下させ、供給用開口部51を介して溶融蒸発材料供給手段5の溶融容器50内に供給する。ここで、溶融容器50は既に固体蒸発材料40の溶融温度以上に加熱されているため、固体蒸発材料40は溶融容器50の底部において溶融して溶融蒸発材料30となる。さらに、モータ43を駆動して回転軸44及び材料搬送部材45を回転させると、図5bに示すように、溶融蒸発材料30の液面が上昇し、これにより供給部53の材料供給孔54を介して溶融蒸発材料30が蒸発源3の蒸発容器31内に注入される。この時点において、蒸発源3の加熱手段11を既に駆動し、蒸発容器31の温度を固体蒸発材料40の蒸発温度以上の温度に加熱しておく。その後、材料搬送部材45の回転を継続することにより、溶融蒸発材料供給手段5の溶融容器50内への供給を継続し、これにより、図6aに示すように、蒸発容器31内への溶融蒸発材料30の供給が継続される。そして、蒸発容器31内において溶融蒸発材料30が十分に供給され、図示しない膜厚モニターによる測定によって蒸発速度が安定した時点で、図6bに示すように、基板6を順次水平方向へ往復移動して各基板6上への蒸着を行う。以上述べたように本実施の形態によれば、上記実施の形態と同様の効果を奏することができる。その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。図7は、本発明の他の実施の形態を示すものであり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。図7に示すように、本実施の形態の蒸着装置1Bは、蒸発源3Bが、高抵抗の導電材料からなり細長形状の収容部32Bを有する蒸発容器31Bを有している。蒸発容器31Bは、両端部にそれぞれ設けられた電極17、18を介して例えば交流電源からなる蒸発用電源14に接続され、これにより蒸発容器31B自体が加熱手段として発熱するように構成されている。なお、蒸発容器31Bは、後述する固体蒸発材料29a、29bが溶融する温度より高く、溶融蒸発材料30が蒸発する温度まで加熱されるようになっている。蒸発源3Bの両側部近傍には、第1及び第2の固体蒸発材料供給手段固体蒸発材料供給手段21、22がそれぞれ設けられている。本実施の形態の場合、第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22は、同一の構成を有している。第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22は、基板搬送方向と平行方向の回転軸23、24をそれぞれ有するリール部材25、26をそれぞれ有している。各リール部材25、26には、それぞれ細長い形状に形成された固体蒸発材料29a、29bが巻き付けられている。各リール部材25、26は、それぞれ隣接して配置されたモータ27、28によって回転するように構成されている。モータ27、28は、制御手段15に接続され、この制御手段15からの命令に基づいて後述するようにそれぞれの回転が制御されるようになっている。第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22の近傍で、蒸発源3Bの蒸発容器31Bの両端部の上方近傍には、固体蒸発材料29a、29bを溶融する第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段溶融蒸発材料供給手段61、62がそれぞれ配置されている。第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62は、耐熱材料からなる例えば筒状の本体部63、64をそれぞれ有し、各本体部63、64内には、それぞれ内部を貫通する材料供給孔63a、64aが設けられている。これら本体部63、64は、それぞれ蒸発源3B側の部分を若干下方に傾斜させ、これにより材料供給孔63a、64aが蒸発源3Bに向って下方に傾斜するように配置されている。そして、第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62の本体部63、64の蒸発源3B側の端部が、蒸発容器31Bの収容部32Bの両端部の上方近傍にそれぞれ配置されている。その一方、第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62の本体部63、64の材料供給孔63a、64aには、第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22側から固体蒸発材料29a、29bが挿入され、それぞれの先端部が材料供給孔63a、64aの内壁に接触するように位置決めされている。第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62の本体部63、64には、溶融用電源16に接続された加熱手段65、66がそれぞれ設けられている。また、第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62の本体部63、64には、これら本体部63、64の温度を測定するための温度センサ67、68がそれぞれ設けられている。そして、溶融用電源16及び温度センサ67、68は、上述した制御手段15に接続され、温度センサ67、68にて得られた結果に基づいて各加熱手段65、66の温度を制御するように構成されている。なお、第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62は、固体蒸発材料29a、29bが溶融する温度で且つできるだけ低い温度で加熱するように構成されている。さらに、蒸発源3Bの上方で、基板6を搬送する搬送経路7の両側部近傍には、溶融蒸発材料30の蒸発速度をそれぞれ検出する第1及び第2の膜厚センサ71、72が設けられている。第1及び第2の膜厚センサ71、72は、制御手段15に接続され、後述するように、第1及び第2の膜厚センサ71、72にて得られた結果に基づいて第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22における固体蒸発材料29a、29bの供給量をそれぞれ制御するように構成されている。図8ab及び図9は、本実施の形態の蒸着装置の動作を示す断面図である。本実施の形態では、まず、溶融用電源16を駆動し加熱手段65、66に通電して第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62の本体部63、64を加熱する。この場合、温度センサ67、68にて得られた結果に基づいて各加熱手段65、66を制御することにより、第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62の本体部63、64を所定の温度に制御する。そして、図8aに示すように、リール部材25、26をそれぞれ蒸発源3B側に回転させて第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62の材料供給孔63a、64a内に固体蒸発材料29a、29bを挿入し、それぞれの先端部を材料供給孔63a、64aの内壁に接触させる。これにより、第1及び第2の溶融蒸発材料供給手段61、62の材料供給孔63a、64a内において各固体蒸発材料29a、29bが溶融し、溶融蒸発材料30が材料供給孔63a、64aからあふれ出して蒸発容器31Bの収容部32Bの両端部内にそれぞれ連続的に注入される。そして、溶融蒸発材料30が蒸発容器31Bの収容部32B内に充填された後は、リール部材25、26の回転速度を遅くして例えば同一の一定速度に保持するとともに、基板6の搬送を開始し、基板6上への蒸着を行う図8b参照。蒸着中においては、第1及び第2の膜厚センサ71、72の測定結果を常時モニターしておき、その結果に応じて例えば以下のような制御を行う。すなわち、第1及び第2の膜厚センサ71、72にて得られた蒸発速度の差が所定値を超えた場合に第1及び第2の膜厚センサ71、72のうち蒸発速度の大きい方の側の固体蒸発材料供給手段を動作させるように予め制御手段15に記憶させておく。例えば、第1及び第2の膜厚センサ71、72のうち第1の膜厚センサ71にて得られた蒸発速度が第2の膜厚センサ72にて得られた蒸発速度より大きい場合には、第1の固体蒸発材料供給手段21を動作させる。この場合は、図9に示すように、制御手段15からの命令により、第1の固体蒸発材料供給手段21のモータ27の回転速度を大きくしてリール部材25の回転速度を大きくし、固体蒸発材料29aの供給量を増加させる。ここでは、温度センサ67にて得られた結果に基づいて加熱手段65を制御することにより、第1の溶融蒸発材料供給手段61の本体部63を固体蒸発材料29aが溶融する温度に制御する。これにより、第1の固体蒸発材料供給手段21から蒸発容器31Bの収容部32Bへ注入される溶融蒸発材料30の量が増加する符号30Bで示す。第1の固体蒸発材料供給手段21から蒸発容器31Bの収容部32Bへ注入される溶融蒸発材料30の温度は、収容部32B内において蒸発している溶融蒸発材料30の温度より低いため、溶融蒸発材料30を注入した部分の近傍において溶融蒸発材料30の温度が低下し、その結果、第1の固体蒸発材料供給手段21側の溶融蒸発材料30の蒸発量が減少し、第1の固体蒸発材料供給手段21側の蒸発速度が小さくなる。そして、第1及び第2の膜厚センサ71、72にて得られた蒸発速度の差が所定値以内になった時点において、第1の固体蒸発材料供給手段21のモータ27の回転速度をそのまま保持する。その後、蒸着が終了するまで第1及び第2の膜厚センサ71、72の測定結果を常時モニターしておき、その結果に応じて上述した制御を行う。以上述べた本実施の形態によれば、第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22が、固体蒸発材料29a、29bを溶融するための加熱手段65、66をそれぞれ有するとともに、溶融蒸発材料30を連続的に蒸発源3Bに供給するように構成され、さらに、蒸発源3Bの蒸発容器31Bによって当該溶融蒸発材料30を蒸発させるように構成されていることから、第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22において溶融した溶融蒸発材料30は第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22に留まることなく蒸発源3Bの収容部32Bに注入され、蒸発源3Bの収容部32Bに溶融蒸発材料30が均一に充填されるので、均一な状態で高速に蒸発する。このように、本実施の形態によれば、第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22において溶融蒸発材料30が留まらないため、溶融蒸発材料30の無駄な蒸発が抑えられるとともに、蒸着装置1Bのトラブルのリスクやメンテナンスの回数を減らすことができる。また、本実施の形態によれば、基板6の搬送経路7の両側部近傍において、蒸発速度をそれぞれ検出する第1及び第2の膜厚センサ71、72が設けられ、これら第1及び第2の膜厚センサ71、72にて得られた結果に基づいて第1及び第2の固体蒸発材料供給手段21、22における固体蒸発材料29a、29bの供給量をそれぞれ制御するようにしたことから、成膜を自動化することができるとともに、大型の基板6に対して均一な膜厚で連続的な成膜を行うことができる。その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。例えば、図7に示す実施の形態においては、リール部材25、26に細長形状の固体蒸発材料29a、29bを巻き付け、モータ27、28によってリール部材25、26を回転させることにより固体蒸発材料29a、29bを移動させて蒸発源に供給するようにしたが、本発明はこれに限られず、固体蒸発材料を蒸発源に向って移動させることができれば、他の機構を採用することもできる。ただし、簡易な構成で所定量の蒸発材料を蒸発源の収容部に供給することができ、また、成膜対象物の搬送方向の両側において蒸発速度の調整を容易に行うことができる観点からは、上記実施の形態のように構成することが好ましい。さらに、図7に示す実施の形態においては、蒸発源、第1及び第2の材料供給手段並びに第1及び第2の膜厚センサを搬送方向に複数配置することもできる。このような構成によれば、成膜対象物上に共蒸着膜を形成することができる。加えて、本発明は、金属材料のみならず、有機材料についても適用することができるものである。