"直線部分を有するアライメントマークの位置を検出するためのアライメントマークの位置検出方法であって、前記アライメントマークの形状を形状情報として記憶する記憶工程と、アライメントマークを含む検出エリアを、前記直線部分の方向と直交する方向に微分するとともに、前記直線部分の方向に射影加算することにより、前記アライメントマークの直線部分の両端の位置を検出する両端検出工程と、前記両端検出工程で検出したアライメントマークの直線部分の両端の間の領域を端縁検出領域として設定し、この端縁検出領域を、前記直線部分の方向に微分するとともに、前記直線部分の方向と直交する方向に射影加算することにより、前記アライメントマークの先端の位置を検出する先端検出工程と、前記先端検出工程で検出したアライメントマークの先端の位置と、前記記憶工程で記憶したアライメントマークの形状情報とに基づいて、前記アライメントマークの位置を認定する位置認定工程と、を備えることを特徴とするアライメントマークの位置検出方法。請求項1に記載のアライメントマーク位置検出方法において、前記検出エリアを、前記先端検出工程で検出したアライメントマークの先端の位置において、前記直線部分の方向と直交する方向に二つの領域に分割し、これら二つの領域に対して個別に微分と射影加算を実行することにより、前記アライメントマークが前記検出エリアのうちのいずれの領域に配置されているかを判定する判定工程を、前記先端検出工程と前記位置認定工程との間に備えるアライメントマークの位置検出方法。請求項1または請求項2に記載のアライメントマーク位置検出方法において、前記アライメントマークは、2つの直交する線分から構成される十字状アライメントマークであるアライメントマークの位置検出方法。基板の位置決めを実行するためには、アライメントマークの位置を正確に検出する必要がある。このような場合に、アライメントマーク全体がアライメントマークの検出エリア内に配置されている場合にはアライメントマークの位置の検出は比較的容易ではあるが、アライメントマークの検出エリア内にアライメントマークの一部のみが配置されているような場合には、アライメントマークの位置を正確に認識することは困難となる。この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、アライメントマークの検出エリア内にアライメントマークの一部のみしか配置されていない場合においても、アライメントマークの位置を正確に認識することが可能なアライメントマークの位置検出方法を提供することを目的とする。請求項1に記載の発明は、直線部分を有するアライメントマークの位置を検出するためのアライメントマークの位置検出方法であって、前記アライメントマークの形状を形状情報として記憶する記憶工程と、アライメントマークを含む検出エリアを、前記直線部分の方向と直交する方向に微分するとともに、前記直線部分の方向に射影加算することにより、前記アライメントマークの直線部分の両端の位置を検出する両端検出工程と、前記両端検出工程で検出したアライメントマークの直線部分の両端の間の領域を端縁検出領域として設定し、この端縁検出領域を、前記直線部分の方向に微分するとともに、前記直線部分の方向と直交する方向に射影加算することにより、前記アライメントマークの先端の位置を検出する先端検出工程と、前記先端検出工程で検出したアライメントマークの先端の位置と、前記記憶工程で記憶したアライメントマークの形状情報とに基づいて、前記アライメントマークの位置を認定する位置認定工程とを備えることを特徴とする。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記検出エリアを、前記先端検出工程で検出したアライメントマークの先端の位置において、前記直線部分の方向と直交する方向に二つの領域に分割し、これら二つの領域に対して個別に微分と射影加算を実行することにより、前記アライメントマークが前記検出エリアのうちのいずれの領域に配置されているかを判定する判定工程を、前記先端検出工程と前記位置認定工程との間に備える。請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の発明において、前記アライメントマークは、2つの直交する線分から構成される十字状アライメントマークである。請求項1に記載の発明によれば、アライメントマークの検出エリア内にアライメントマークの一部のみしか配置されていない場合においても、アライメントマークの位置を認識することが可能となる。このとき、アライメントマークの直線部分の両端の間の領域を端縁検出領域として設定し、この端縁検出領域を微分および射影加算してアライメントマークの先端の位置を検出することから、アライメントマークの先端の位置を正確に検出することができる。これにより、アライメントマークの位置を正確に認識することが可能となる。請求項2に記載の発明によれば、アライメントマークが検出エリアのうちのいずれの領域に配置されているかを判定して、アライメントマークの位置を認識することが可能となる。請求項3に記載の発明によれば、2つの直交する線分から構成される十字状アライメントマークの位置を正確に特定することが可能となる。以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。最初に、この発明に係るアライメントマークの位置検出方法を適用する露光装置の構成について説明する。図1は、この発明を適用する露光装置100を模式的に示す斜視図である。この露光装置100は、PDPプラズマディスプレイパネル用ガラス基板や液晶表示パネル用ガラス基板等のガラス基板2以下基板2というに対して、マスク基板3以下マスク3というのパターンを露光するためのものであり、超高圧水銀灯等の光源4と、集光ミラー5と、ダイクロイックミラー6と、フライアイレンズ複合レンズ7と、コリメートミラー1とを備える。この露光装置100においては、光源4から出射された光は、集光ミラー5により集光されてダイクロイックミラー6に入射する。ダイクロイックミラー6においては、そこに入射した光のうち、露光に必要な波長の光のみがフライアイレンズ7に向けて反射される。そして、フライアイレンズ7を通過した光は、コリメートミラー1によりコリメートされて平行光となり、マスク3を介して基板2に照射される。このとき、マスク3および基板2は、フライアイレンズ7を通過した光が互いに重畳する領域に配置されており、均一な照度分布によりパターン露光を実行することが可能となる。図2は、基板2およびマスク3の支持機構を、カメラ15とともに、模式的に示す概要図である。基板2は、その中央に開口部16が形成された支持部材13により支持されている。一方、マスク3は、その中央に開口部12が形成された支持部材11により支持されている。そして、基板2を支持する支持部材13は、移動機構14の駆動により、基板2の表面と平行な平面内で互いに直交する2方向に移動可能となっている。なお、図2に模式的に示すように、この種の露光装置100においては、基板2とマスク3とは、プロキシミティーギャップと呼称されるわずかな隙間を介して配置される。マスク3には、後述するように、X方向を向く一対の線分とY方向を向く一対の線分とから構成される矩形状の第1アライメントマーク101が、マスク材料であるクロム等の不透明な金属の薄膜により形成されている。一方、基板2には、X方向を向く線分とY方向を向く線分とから構成される十字状の第2アライメントマーク102が形成されている。マスク3と基板2との位置決めを行うときには、これら第1、第2のアライメントマーク101、102をカメラ15により撮影することにより、マスク3と基板2との相対位置を測定し、移動機構14により基板2をマスク3に対して移動させる構成となっている。図3は、第1アライメントマーク101を示す平面図であり、図4は、第2アライメントマーク102を示す平面図である。このような第1、第2アライメントマーク101、102の位置情報を取得するときには、一般的に、互いに直交するX方向およびY方向に、微分と射影加算が実行される。ここで、微分とは、画像処理における端縁部分の抽出の手法であり、特定の画像に関し、互いに隣接する画素間、あるいは、一定間隔だけ離れた画素間の輝度の差分をとることである。例えば、図3に示す第1アライメントマーク101についてX方向に差分をとるとは、Y方向の各位置において、X方向に隣り合う画素間、あるいは、一定間隔だけ離れた画素間で輝度の差分をとることである。一方、射影加算するとは、特定の画像に対して一方向に値を加算することである。図3に示す第1アライメントマーク101についてY方向に射影加算するとは、X方向の値をY方向に沿って加算することである。図3に示す第1アライメントマーク101を含む検出エリアEに対してX方向に差分をとり、この結果に対してY方向に射影加算した場合には、図3において符号H1で示す波形を得ることができる。ここで、波形H1の4個のピークは、第1アライメントマーク101におけるX方向の端縁の位置を示している。また、図4に示す第2アライメントマーク102を含む検出エリアEに対してX方向に差分をとり、この結果に対してY方向に射影加算した場合には、図4において符号H2で示す波形を得ることができる。ここで、波形H2のより高い2個のピークは、第2アライメントマーク102におけるY方向を向く直線部分のX方向の両側の端縁の位置を示し、より低い2個のピークは、第2アライメントマーク102におけるX方向を向く直線部分のX方向の端縁の位置を示している。なお、図3に示す波形H1のピーク値が図4に示す波形H2のピーク値より高いのは、第1アライメントマーク101が不透明な金属の薄膜により構成されているのに対し、第2アライメントマーク102は透明電極と同じ材質により構成されているためである。次に、これら第1、第2アライメントマーク101、102を利用して基板2およびマスク3の位置決めを行う位置決め動作について説明する。ここでは、図5に示すように、矩形状を成す第1アライメントマーク101の内側の領域に十字状の第2アライメントマーク102の中心が配置されている場合の、一般的な位置決め方法について説明する。この場合においては、第1、第2アライメントマーク101、102を含む検出エリアEをX方向に微分した後、その結果をY方向に射影加算する。これにより、図5において符号H3で示す波形を得ることができる。そして、このときのピークの位置、順番、強度等の情報から、X方向における第1アライメントマーク101の端縁の位置を特定する。また、第1アライメントマーク101の内側に配置されたピークにより、X方向における第2のアライメントマーク102の端縁の位置を特定する。そして、第1アライメントマーク101の4個の端縁の位置の平均値を第1アライメントマーク101のX方向の中心位置と認定し、第2アライメントマーク102の2個の端縁の位置の平均値を第2アライメントマーク102のX方向の中心位置と認定する。第1、第2アライメントマーク101、102のX方向の中心位置が認定されれば、次に、第1、第2アライメントマーク101、102を含む領域EをY方向に微分した後、その結果をX方向に射影加算することにより、上記と同様の方法で、第1、第2アライメントマーク101、102のY方向の中心位置を認定する。これにより、第1、第2アライメントマーク101、102のX方向およびY方向の中心位置を認定することができる。以下、このような一般的な中心位置の認定方法を通常処理と呼称する。そして、第1、第2アライメントマーク101、102のX、Y方向の中心位置が一致するように、図2に示す移動機構14により基板2をX、Y方向に移動させる。以上のように、矩形状を成す第1アライメントマーク101の内側の領域に十字状の第2アライメントマーク102の中心が配置されている場合には、上述した通常処理による一般的な位置決め方法により、基板2およびマスク3の位置決めを行うことが可能となる。しかしながら、図6および図7に示すように、第2アライメントマーク102の一部のみが検出エリアE内に配置されており、他の部分が検出エリア外に配置されていた場合には、上述した通常処理では、第2アライメントマーク102の位置を正確に認識することができないという問題が生ずる。このような場合において、図6に示すように、第2アライメントマーク102におけるX方向を向く線分部分とY方向を向く線分部分の両方が検出領域E内に配置されている場合においては、次のようにして、第2アライメントマーク102の位置を認識することができる。すなわち、検出エリアE内をX方向に微分するとともに、Y方向に射影加算することにより、図6において符号H11で示す波形を得ることができる。この波形H11における一対の大きなピークの位置は第2アライメントマーク102におけるY方向を向く直線部分のX方向の両端の位置を示しており、小さなピークの位置は第2アライメントマーク102におけるX方向を向く直線部分の先端の位置を示している。また、検出エリアE内をY方向に微分するとともに、X方向に射影加算することにより、図6において符号H12で示す波形を得ることができる。この波形H12における一対の大きなピークの位置は第2アライメントマーク102におけるX方向を向く直線部分のY方向の両端の位置を示しており、小さなピークの位置は第2アライメントマーク102におけるY方向を向く直線部分の先端の位置を示している。そして、波形H11における一対のピークの位置の平均値から、第2アライメントマーク102のX方向の中心位置を認識することができ、波形H12における一対のピークの位置の平均値から、第2アライメントマーク102のY方向の中心位置を認識することができる。しかしながら、図7に示すように、第2アライメントマーク102の一つの線分部分のみが検出エリアに配置されていた場合には、このような手法では、第2アライメントマーク102の位置を検出することはできない。このため、この発明に係るアライメントマークの位置検出方法においては、予め記憶した第2アライメントマーク102の形状情報と、第2アライメントマーク102の先端の位置とに基づいて、第2アライメントマークの位置を認定するようにしている。以下、この発明に係るアライメントマークの位置検出方法の基本的な考え方をについて説明する。図8は、この発明に係るアライメントマークの位置検出方法を示すフローチャートである。なお、以下の説明においては、図7に示すように、第2アライメントマーク102におけるX方向を向く線分部分の先端が検出エリアEに配置された場合について説明する。この発明に係るアライメントマークの位置検出方法においては、予め、第2アライメントマーク102の形状情報を記憶しておくステップS11。この場合には、例えば、第2アライメントマーク102を、X、Y方向に微分および射影加算することにより、第2アライメントマーク102を構成する一対の線分部分のX、Y方向の端縁の位置に基づいて形状情報を得て、これを記憶しておく。次に、検出エリアEを、X方向に微分するとともにY方向に射影加算するステップS12。また、同様に、検出エリアEを、Y方向に微分するとともにX方向に射影加算するステップS13。図6に示すように、第2アライメントマーク102におけるX方向を向く線分部分の先端が検出エリアEに配置された場合においては、検出エリアEをX方向に微分するとともにY方向に射影加算した場合には、第2アライメントマーク102のX方向の先端を示す小さなピークを有する波形が検出される。また、検出エリアEをY方向に微分するとともにX方向に射影加算した場合には、第2アライメントマーク102のX方向を向く線分部分のY方向の両端の位置を示すピークを有する波形H14が検出される。なお、第2アライメントマーク102におけるY方向を向く線分部分の先端が検出エリアEに配置された場合においては、検出エリアEをX方向に微分するとともにY方向に射影加算した場合には、第2アライメントマーク102のY方向を向く線分部分のX方向の両端の位置を示すピークを有する波形H14が検出される。また、検出エリアEをY方向に微分するとともにX方向に射影加算した場合には、第2アライメントマーク102のY方向の先端を示す小さなピークを有する波形が検出される。このため、検出エリアEをX方向に微分するとともにY方向に射影加算する工程と、検出エリアEをY方向に微分するとともにX方向に射影加算する工程とにより、第2アライメントマーク102におけるどの部分が検出領域に配置されているかを認識することが可能となる。以下、図7に示すように、第2アライメントマーク102におけるX方向を向く線分部分の先端が検出エリアEに配置された場合について説明を続ける。次に、端縁検出領域を設定するステップS14。すなわち、検出エリアEをX方向を向く第2アライメントマーク102の直線部分と直交する方向であるY方向に微分するとともに、Y方向を向く第2アライメントマーク102の直線部分の方向であるY方向に射影加算することにより、第2アライメントマーク102のX方向を向く線分部分のY方向の両端の位置を示すピークを有する波形H14が検出されているステップS13。検出エリアEのうち、この両端検出工程で検出した第2アライメントマーク102の直線部分の両端の間の領域を端縁検出領域E3として設定するステップS14。そして、この端縁検出領域E3を、第2アライメントマーク102直線部分の方向であるY方向に微分するとともに、直線部分の方向と直交する方向であるX方向に射影加算することにより、第2アライメントマーク102の先端の位置に対応するピークを有する波形H13得ることができるステップS15。以上の工程により、第2アライメントマーク102の先端の位置を特定することができるが、第2アライメントマーク102が、X方向に対してその先端の位置のどちら側にあるのかを特定することはできない。このため、検出エリアEを、先に検出した第2アライメントマーク102の先端の位置において、第2アライメントマーク102の直線部分の方向と直交するY方向に二つの領域E1、E2に分割する。そして、これら二つの領域E1およびE2に対して個別に微分と射影加算を実行する。しかる後、これらの領域E1、E2のいずれの領域に第2アライメントマーク102の端縁が配置されているかを認定することにより、第2アライメントマーク102が二つの検出エリアE1、E2のうちのいずれの領域に配置されているかを判定するステップS16。次に、先の先端検出工程。以上のように、この発明に係るアライメントマークの位置検出方法によれば、予め記憶した第2アライメントマーク102の形状情報と、第2アライメントマーク102の先端の位置とに基づいて、第2アライメントマークの位置を認定することから、検出エリアE内に第2アライメントマーク102の一部のみしか配置されていない場合においても、第2アライメントマーク102の位置を認識することが可能となる。このとき、第2アライメントマーク102の直線部分の両端の間の領域を端縁検出領域として設定し、この端縁検出領域を微分および射影加算して第2アライメントマーク102の先端の位置を検出することから、第2アライメントマーク102が透明に近く、コントラストが低い場合等においても、第2アライメントマーク102の先端の位置を正確に検出することができる。これにより、第2アライメントマーク102の位置を、より正確に認識することが可能となる。次に、第1、第2アライメントマーク101、102を利用して基板2およびマスク3の位置決めを行う位置決め動作を実行するときに、この発明に係るアライメントマークの位置検出方法を適用する場合の実施形態について説明する。図9および図10は、第1、第2アライメントマーク101、102を利用した位置決め動作を説明するための説明図である。ここで、図9および図10に示す実施形態においては、矩形状を成す第1アライメントマーク101の外側に十字状をなす第2アライメントマーク102が配置されている場合を示している。すなわち、図9は、矩形状を成す第1アライメントマーク101の右側および上側に対応する領域E11、E14に第2アライメントマーク102が配置されている場合を示している。また、図10は、矩形状を成す第1アライメントマーク101の右側の領域E14のみに十字状の第2アライメントマーク102が配置されている場合を示している。なお、図9および図10においては、説明の便宜上、各アライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14の両端の位置をわずかにずらせて表現しているが、これらの各アライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14の両端の位置は、実際には、互いに一致している。この実施形態においては、第1アライメントマーク101の内側のアライメントマーク検出領域E21と、第1アライメントマーク101の各辺の外側の4個のアライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14との5個のアライメントマーク検出領域に対して、X方向およびY方向に微分および射影加算を行うことにより、第2アライメントマーク102を検出して第2アライメントマーク102の位置情報を取得するようにしている。図11は、この実施形態に係る基板の位置決め方法を示すフローチャートである。この基板の位置決め方法を実行するに当たっても、予め、第2アライメントマーク102の形状情報を記憶しておく。この場合には、上述した場合と同様、例えば、第2アライメントマーク102のサイズを予め設定して記憶することとする。また、第2アライメントマーク102を、X、Y方向に微分および射影加算することにより、第2アライメントマーク102の形状情報を得て、これを記憶するようにしてもよい。この基板の位置決め方法においては、最初に、第1アライメントマーク101の内側のアライメントマーク検出領域21を含む領域をX方向およびY方向に微分および射影加算することにより、第1アライメントマーク101の内側の領域に第2アライメントマーク102の中心が配置されているか否かを判定する第1判定工程を実行するステップS21。このときには、図5に示すように、矩形状を成す第1アライメントマーク101におけるX、Y方向の端縁の位置を示す二対の波形のピークの内側の領域に、十字状の第2アライメントマーク102におけるX、Y方向を向く直線部分のX方向の両側の端縁の位置を示す一対の波形のピークが配置されているか否かをX、Y両方向について判定することにより、第1アライメントマーク101の内側の領域に第2アライメントマーク102の中心が配置されているか否かを判定する。そして、第1アライメントマーク101の内側の領域に第2アライメントマーク102の中心が配置されている場合には、上述した通常処理と同様の処理により第2アライメントマーク102の中心位置を演算するステップS22。すなわち、この場合においては、第1アライメントマーク101の内側のアライメントマーク検出領域E21を含む領域をX方向に微分した後、その結果をY方向に射影加算するとともに、第1アライメントマーク101の内側のアライメントマーク検出領域E21を含む領域をY方向に微分した後、その結果をX方向に射影加算する。そして、第1アライメントマーク101の内側の領域E21に対応する領域に配置された十字状の第2アライメントマーク102におけるX、Y方向を向く直線部分のX方向の両側の端縁の位置を示す波形のピークに基づいて、第2アライメントマーク102の端縁の位置を認定し、X、Y方向における第2アライメントマーク102の2個の端縁の位置の平均値を、第2アライメントマーク102のX方向およびY方向の中心位置と認定する。第1アライメントマーク101の内側の領域に第2アライメントマーク102の中心が配置されていないと判定された場合には、第1アライメントマーク101の各辺の外側に設定された4個のアライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14のうち、第1アライメントマーク101におけるX方向を向く一対の線分と隣接するアライメントマーク検出領域E11、E12に対してはX方向の微分とY方向の射影加算を実行し、第1アライメントマーク101におけるY方向を向く一対の線分と隣接するアライメントマーク検出領域E13、E14に対してはY方向の微分とX方向の射影加算を実行することにより、第2アライメントマーク102の端縁の位置を示すピーク値を検出することで、これら4個のアライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14のいずれの領域に、第2アライメントマーク102が配置されているかを判定する第2判定工程を実行する。そして、この第2判定工程において、4個のアライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14のうち、第1アライメントマーク101におけるX方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E11、E12のうちの少なくとも1箇所の領域と第1アライメントマーク101におけるY方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E13、E14のうちの少なくとも1箇所の領域との少なくとも2箇所の領域に第2アライメントマーク102が配置されていると判定されたときにはステップS23、先に実行した第1アライメントマーク101におけるX方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E11、E12に対するX方向の微分とY方向の射影加算との結果と、第1アライメントマーク101におけるY方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E13、E14に対するY方向の微分とX方向の射影加算との結果を利用して、第2アライメントマーク102におけるX方向を向く線分とY方向を向く線分の交点の位置を認定することにより、第2アライメントマーク102の中心の位置を特定するステップS24。すなわち、図9に示すように、第2アライメントマーク102が第1アライメントマーク101におけるX方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E11と第1アライメントマーク101におけるY方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E14との2箇所の領域に配置されていた場合には、アライメントマーク検出領域E11、E12に対してX方向の微分とY方向の射影加算を実行し、アライメントマーク検出領域E13、E14に対してY方向の微分とX方向の射影加算を実行した場合には、図9において符号H23で示す波形と、符号H24で示す波形を得ることができる。ここで、波形H23は、第2アライメントマーク102におけるY方向を向く線分部分の両端の位置を示す一対のピークを有しており、波形H24は、第2アライメントマーク102におけるX方向を向く線分部分の両端の位置を示す一対のピークを有している。このため、これらのピークの位置に基づいて、第2アライメントマーク102の中心の位置を特定することができる。一方、第2判定工程において、4個のアライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14のうち、第1アライメントマーク101におけるY方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E13またはE14にのみ第2アライメントマーク102が配置されていると判定されたときにはステップS25、この発明に係るアライメントマークの位置検出方法を適用する。すなわち、この場合には、当該アライメントマークが配置されていると判定されたアライメントマーク検出領域と第1アライメントマーク101の内側のアライメントマーク検出領域E21とに対して、第2アライメントマーク102の端縁を検出するための端縁検出領域E22、E23を設定する。この端縁検出領域の設定は、以下のようにして実行される。すなわち、図10に示すように、第1アライメントマーク101におけるY方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E14にのみ第2アライメントマーク102が配置されていると判定されたときには、アライメントマーク検出領域E14について、第2アライメントマーク102の直線部分の方向と直交する方向であるY方向に微分するとともに、直線部分の方向であるX方向に射影加算することにより、図10において符号H22で示す波形を得て、第2アライメントマーク102の直線部分の両端の位置を検出する。そして、アライメントマーク検出領域E14と第1アライメントマーク101の内側のアライメントマーク検出領域E21とにおける第2アライメントマーク102の直線部分の両端の位置の間の領域を、第2アライメントマーク102の終端を検出するための端縁検出領域E22、E23として設定する。なお、図10においては、説明の便宜上、端縁検出領域E22、E23のX方向の両端の位置と、アライメントマーク検出領域E14、21のX方向の両端の位置とを異ならせて図示しているが、これらは一致しているものとする。なお、これらの境界部分での干渉等による測定ミスを防止するため、端縁検出領域E22、E23のX方向の両端の位置と、アライメントマーク検出領域E14、21のX方向の両端の位置とを、わずかな距離だけ異ならせるようにしてもよい。端縁検出領域E22、E23が設定されれば、これらの端縁検出領域E22、E23を利用して、第2アライメントマーク102のX方向の端縁の位置を特定するステップS26すなわち、これらの端縁検出領域E22およびE23をX方向に微分するとともに、Y方向に射影加算することにより、図10において符号H21で示す波形を得ることができる。この波形H21は、第2アライメントマーク102の端縁の位置にピークを有している。このため、この波形から第2アライメントマーク102の端縁の位置を特定することが可能となる。この場合においては、第2アライメントマーク102の直線部分の両端の位置の間に設定された端縁検出領域E22、E23のみを微分および射影加算して第2アライメントマーク102の端縁の位置を特定していることから、第2アライメントマーク102の端縁の位置をより正確に特定することが可能となる。そして、第2アライメントマーク102のX方向の端縁の位置を特定することができればステップS26、その端縁の位置と予め記憶した第2アライメントマーク102の形状情報とに基づいて、第2アライメントマーク102の中心の位置を演算するステップS27。このときには、第2アライメントマーク102のX方向の端縁の位置から、予め記憶した第2アライメントマーク102のX方向のサイズの半分の距離だけ第2アライメントマークの中心方向に移動した位置が、第2アライメントマークの中心の位置となる。同様に、第2判定工程において、4個のアライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14のうち、第1アライメントマーク101におけるX方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E11またはE12にのみ第2アライメントマーク102が配置されていると判定されたときにはステップS28、当該アライメントマークが配置されていると判定されたアライメントマーク検出領域と第1アライメントマーク101の内側のアライメントマーク検出領域E21とに対して、第2アライメントマーク102の端縁を検出するための端縁検出領域を設定する。この端縁検出領域の選択は、上記と同様の方法により実行される。すなわち、第1アライメントマーク101におけるX方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E11またはE12にのみ第2アライメントマーク102が配置されていると判定されたときには、このアライメントマーク検出領域E11またはE12について、第2アライメントマーク102の直線部分の方向と直交する方向であるX方向に微分するとともに、直線部分の方向であるY方向に射影加算することにより、第2アライメントマーク102の直線部分の両端の位置を検出する。そして、アライメントマーク検出領域E11またはE12と第1アライメントマーク101の内側のアライメントマーク検出領域E21とにおける第2アライメントマーク102の直線部分の両端の位置の間の領域を、第2アライメントマーク102の終端を検出するための端縁検出領域として設定する。端縁検出領域が設定されれば、これらの端縁検出領域を利用して、第2アライメントマーク102のY方向の端縁の位置を特定するステップS29すなわち、これらの端縁検出領域をY方向に微分するとともに、X方向に射影加算することにより、第2アライメントマーク102の端縁の位置にピークを有する波形を得て、第2アライメントマーク102の端縁の位置を特定することが可能となる。そして、第2アライメントマーク102のY方向の端縁の位置を特定することができればステップS29、その端縁の位置と予め記憶した第2アライメントマーク102の形状情報とに基づいて、第2アライメントマーク102の中心の位置を演算して特定するステップS30。以上の各工程ステップS22、ステップS24、ステップS27およびステップS30により第2アライメントマーク102の中心の位置を特定することができれば、第2アライメントマーク102の中心の位置と第1アライメントマーク101の中心の位置とが一致するように、移動機構14により基板2をマスク3に対して移動させ、基板2とマスク3との位置決めを実行するステップS32。なお、4個のアライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14のいずれにも第2アライメントマーク102が配置されていない場合には、エラー表示を行いステップS31処理を終了する。ところで、図10に示すように、第2判定工程において、4個のアライメントマーク検出領域E11、E12、E13、E14のうち、第1アライメントマーク101におけるY方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域E13、E14にのみ第2アライメントマーク102が配置されていると判定された場合においてステップS25、第2アライメントマーク102の端縁が、第1アライメントマーク101におけるY方向を向く線分部分と重複していたときには、端縁検出領域E22、E23を設定して第2アライメントマーク102の端縁を検出しようとしても、端縁を示すピーク値を得ることができない。このような場合には、第2アライメントマーク102の端縁が、第1アライメントマーク101におけるY方向を向く線分部分の、X方向の中央部分に配置されているものと仮定して、第2アライメントマーク102の中心位置を演算する。なお、上述した位置決め動作は、第1アライメントマーク101と第2アライメントマーク102との中心の位置ずれ量が所定の値以下になるまで繰り返される。なお、上述した実施形態においては、いずれも、第1、第2アライメントマーク101,102の端縁部分を抽出するために、微分を実行した後に射影加算を実行しているが、先に射影加算を実行し、その後に微分を実行するようにしてもよい。また、上述した実施形態においては、液晶表示パネル等のガラス基板に対して焼付を行う露光装置にこの発明を適用した場合について説明したが、この発明を半導体用やLED用の露光装置に適用してもよい。さらに、この発明の適用対象は露光装置に限定されるものではなく、2以上の部材の位置合わせを行う装置であれば、露光装置以外の装置にこの発明を適用してもよい。"