"透明基板上に間隙を介して形成された複数の太陽電池セルを有し、各々の前記太陽電池セルは積層された透明電極と光電変換層と対向電極とからなり、隣り合う前記太陽電池セルは直列に接続され、隣り合う前記太陽電池セル間の間隙に対応して設けられた反射する光反射層が形成された太陽電池サブモジュールを有し、前記太陽電池サブモジュールのペアは、それらの透明基板の主面を一方向に対してそれぞれ正の傾きおよび負の傾きをもって非平行に傾斜させ、近接端と開口端とをもつように対向させて配置されている薄膜太陽電池モジュール。前記太陽電池セルの前記光電変換層は有機薄膜を含む請求項1に記載の薄膜太陽電池モジュール。前記光反射層は、隣り合う前記太陽電池セル間の間隙において一方の太陽電池セルの透明電極と他方の太陽電池セルの対向電極とを接続する金属膜で形成されている請求項2に記載の薄膜太陽電池モジュール。前記光反射層は、前記透明基板の前記太陽電池セルが設けられた主面と対向する主面に形成されている請求項2に記載の薄膜太陽電池モジュール。前記透明基板は樹脂を含むフレキシブルな基板であり、前記透明基板の一主面は前記光反射層とその一部を被覆する無機絶縁層によって被覆されている請求項3または請求項4に記載の薄膜太陽電池モジュール。前記太陽電池サブモジュールのペアを、前記一方向に沿って複数配置した請求項5に記載の薄膜太陽電池モジュール。前記一方向に対する前記太陽電池サブモジュールの透明電極の平均傾斜角度が40°ないし50°または55°ないし65°である請求項6の薄膜太陽電池モジュール。本発明の目的は、光電変換効率が高い薄膜太陽電池モジュールを提供することにある。実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールは、透明基板上に間隙を介して縞状に並行して形成された複数の太陽電池セルを有し、各々の前記太陽電池セルは透明電極と光電変換層と対向電極とを含み、隣り合う前記太陽電池セルは直列に接続され、隣り合う前記太陽電池セル間の間隙に対応して、前記透明基板側から前記太陽電池セルへ向かって入射する光を反射する光反射層が形成された太陽電池サブモジュールを有する。前記太陽電池サブモジュールのペアは、それらの透明基板の主面を一方向に沿ってそれぞれ正の傾きおよび負の傾きをもって非平行に傾斜させ、近接端と開口端とをもつように対向させて配置されている。以下、図面を参照しながら実施形態を説明する。図1は第1の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールの断面図である。図1において、薄膜太陽電池モジュール100は1対の太陽電池サブモジュール50で形成されている。1つの太陽電池サブモジュール50は、1枚の透明基板10上に間隙を介して縞状に並行して形成された複数の太陽電池セル30を有する。後述するように、個々の太陽電池セル30は透明電極と光電変換層と対向電極とを含み、隣り合う太陽電池セル30は直列に接続されている。また、有機薄膜太陽電池セルの光電変換層は、たとえばp型有機半導体とn型有機半導体とを含むバルクヘテロ接合型のものである。太陽電池サブモジュール50のペアは、それらの透明基板10の主面を一方向図1のx方向に沿ってそれぞれ正の傾きおよび負の傾きをもって非平行に傾斜させ、近接端E1と開口端E0とをもつように対向させて配置されている。太陽電池サブモジュール50のペアは、一方向図1のx方向に沿って複数配置されている。図1においては、各々の太陽電池サブモジュール50の透明基板10の太陽電池セル30が形成されている面以下、裏面というに、隣り合う太陽電池セル30間の間隙に対応して光反射層20が形成されている。光反射層20の光反射率は90~100の範囲であることが好ましい。後述するように、図1の光反射層20は隣り合う太陽電池セル30を接続するための配線として用いられる。光は薄膜太陽電池モジュールへ開口端E0側から入射し、各々の太陽電池サブモジュール50において透明基板10の表面側から裏面の太陽電池セル30へ向かって入射する。ここで、光反射層20がなければ、光が隣り合う太陽電池セル30間の間隙を抜けて利用されない確率が増す。これに対して、第1の実施形態においては、隣り合う太陽電池セル30間の間隙に対応して光反射層20が形成されているので、光反射層20で反射された光を対向する太陽電池サブモジュール50において利用することができる。したがって、薄膜太陽電池モジュールの開口率を実効的に高めて、光電変換効率を高めることができる。図2は第2の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールの断面図である。図2において、図1と異なる点は、隣り合う太陽電池セル30間の間隙に対応して形成されている光反射層20が、透明基板10の裏面側ではなく、透明基板10の表面側に形成されていることである。すなわち、光反射層20は、透明基板10の太陽電池セル30が設けられた主面と対向する主面に形成されている。第2の実施形態でも、第1の実施形態と同様に、薄膜太陽電池モジュールの開口率を実効的に高めて、光電変換効率を高めることができる。実施形態に係る太陽電池サブモジュールにおいて、前記一方向x方向、または開口端面強度が最も高い光の入射方向に対して垂直な面に対する太陽電池セル30の平均傾斜角度θは40°ないし50°または55°ないし65°であることが好ましい。太陽電池セルを光の入射方向に対して傾斜させることにより、一方のセルで反射した光を対向するセルで受光して再利用することができ、光の利用率を高めることができる。角度θが40~50°である範囲は反射回数1の周辺条件であり、セル面積に対する発電効率が極大化する角度であるため、コストパフォーマンスに優れている。角度θが55~65°である範囲は反射回数2の周辺条件であり、光利用率が1に近付く条件である。これ以上の角度では光利用率は高まるものの飽和傾向にあり、一方でセル面積に対する発電効率が急激に低下するため、適切な角度は60°近辺である。反射回数2回で無効な光量は10以下になる。透明基板10が湾曲している場合には、透明基板10の接線あるいは透明基板10の太陽電池セル30が設けられた部分の接線の傾斜角度θが40°ないし50°または55°ないし65°であることが好ましい。次に、第1の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールにおける太陽電池セルの構造を図3および図4を参照して説明する。図3は第1の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールにおける太陽電池セルの一例を示す断面図である。図3に示すように、太陽電池セル30は、たとえばガラスからなる透明基板10上に形成されており、透明電極陽極11、有機薄膜からなる光電変換層12および対向電極陰極13が積層された構造を基本構造とする。図3に示すように、透明電極11と光電変換層12と対向電極13とが、一部重複するように積層されている場合には、透明電極11と光電変換層12と対向電極13とが積層された部分を太陽電池セル30と称する。ここで、隣り合う2つの太陽電池セル30のうち、一方の太陽電池セル30の透明電極11と他方の太陽電池セル30の対向電極13との間の領域が間隙ギャップGと定義される。図3では、太陽電池セル30のアレイが形成されている透明基板10の裏面に間隙Gに対応して光反射層20が形成される。すなわち、透明基板10の裏面に間隙Gに対応して光反射層20が形成され、その上にSiO2などの無機材料からなる絶縁層21が形成されている。絶縁層21にコンタクトホールが形成され、絶縁層21上にインジウム錫酸化物ITOなどのパターンからなる透明電極11と対向電極13の取り出し電極22とが形成され、光反射層20と接続されている。透明電極11上に塗布された有機薄膜からなる光電変換層12が形成されている。光電変換層12上にAlなどの金属からなる対向電極13が形成され、取り出し電極22と接続されている。このように、図3における光反射層20は、太陽電池セル30の配線として用いられている。対向電極13が取り出し電極22と接続される部分であり、光電変換層12を覆わない部分については太陽電池セル30に含まない。また、透明電極11の取り出し電極22と接続される部分であり、対向電極13に覆われない部分については太陽電池セル30に含まない。すなわち、透明電極11と光電変換層12と対向電極13とが積層された部分同士の間の領域が間隙ギャップGである。図3には図示しないが、透明電極11と光電変換層12との間に正孔輸送層を設け、光電変換層12と対向電極13との間に電子輸送層を設けるのが一般的である。また、太陽電池セルの背面には封止フィルムを設けるのが一般的である。図4は第1の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールにおける太陽電池セルの他の例を示す断面図である。図4の太陽電池セルは、図3のそれと同じ構造を有する。透明基板10の表面には、間隙Gに対向する位置に光反射層としての光拡散反射層23が形成され、太陽電池セル30に対向する位置に無反射膜24が形成されている。図5は第2の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールにおける太陽電池セルの一例を示す断面図である。透明基板10の裏面に間隙Gに対応して光反射層20を形成した図3と異なり、図5においては透明基板10の裏面に透明電極陽極11、有機薄膜からなる光電変換層12および対向電極陰極13が順次積層されている。透明基板10の表面には、間隙Gに対向して光反射層としての光拡散反射層23が形成されている。光拡散反射層23の材料としては、高反射率かつ低コストであることから、たとえば発泡PETフィルムが用いられる。図示していないが、さらに透明基板10の表面全面を覆うように無反射膜を形成してもよい。図6は第2の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールにおける太陽電池セルの他の例を示す断面図である。図6の太陽電池セルでは、透明基板10の表面に間隙Gに対向して光反射層20および光透過拡散層23が光反射層として積層されて形成されている。それ以外は図5と同様な構造を有する。図7は第2の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールにおける太陽電池セルの他の例を示す断面図である。図7の太陽電池セルでは、透明基板10の表面全面に無反射膜24が形成され、その上に間隙Gに対向して光反射層20が積層されて形成されている。それ以外は図5と同様な構造を有する。図7の構造は、無反射フィルム上にストライプパターンを形成するように金属を蒸着したストライプフィルムを透明基板20に貼り付けることによって作製することができる。なお、光反射層と無反射層とを交互に一体化して作製したフィルムを、透明基板10の光入射面に付加した構造も有効である。たとえば、後述するモスアイフィルムを代表とする無反射フィルム上に、蒸着またはスパッタリングにより銀またはアルミニウムの薄膜をストライプ状に形成したフィルムを、それぞれセルおよび間隙に対向する位置に配置されるように貼り付けることによって所望の構造を作製することができる。以下、実施形態に係る有機薄膜太陽電池セルの各構成部材について説明する。透明基板透明基板10は、他の構成部材を支持するためのものである。この透明基板10は、電極を形成し、熱や有機溶剤によって変質しないものが好ましい。透明基板10の材料としては、たとえば、無アルカリガラス、石英ガラスなどの無機材料、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどのプラスチック、高分子フィルムなどが挙げられる。基板の厚さは、その他の構成部材を支持するために十分な強度があれば、特に限定されない。透明基板10の光入射面には、たとえばモスアイ構造の反射防止膜を設置することで光を効率的に取り込み、セルのエネルギー変換効率を向上させることが可能である。モスアイ構造は表面に100nm程度の規則的な突起配列を有する構造をしており、この突起構造により厚み方向の屈折率が連続的に変化する。無反射フィルムを媒介させることで屈折率の不連続的な変化面がなくなるため光の反射が減少し、セル効率が向上する。透明電極透明電極陽極11は、透明基板10の裏面に形成される。透明電極陽極の材料としては、導電性を有するものであれば特に限定されない。通常は、透明の導電性を有する材料を、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、メッキ法、塗布法などで成膜する。透明の電極材料としては、導電性の金属酸化物膜、半透明の金属薄膜などが挙げられる。具体的には、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、およびそれらの複合体であるインジウムスズオキサイドITO、フッ素ドープ酸化スズFTO、インジウム亜鉛オキサイドなどからなる導電性ガラスを用いて作製された膜NESAなどや、金、白金、銀、銅などが用いられる。特に、ITOまたはFTOが好ましい。また、電極材料として、有機系の導電性ポリマーであるポリアニリンおよびその誘導体、ポリチオフェンおよびその誘導体などを用いてもよい。陽極11の膜厚は、ITOの場合、30~300nmであることが好ましい。30nmより薄くすると、導電性が低下して抵抗が高くなり、光電変換効率低下の原因となる。300nmよりも厚くすると、ITOに可撓性がなくなり、応力が作用するとひび割れてしまう。陽極11のシート抵抗は可能な限り低いことが好ましく、10Ω/□以下であることが好ましい。陽極11は、単層であってもよく、異なる仕事関数の材料で構成される層を積層したものであってもよい。正孔輸送層正孔輸送層は、任意に、透明電極11と光電変換層12との間に配置される。正孔輸送層の機能は、下部の電極の凹凸をレベリングして太陽電池素子の短絡を防ぐこと、正孔のみを効率的に輸送すること、光電変換層12の界面近傍で発生した励起子の消滅を防ぐことなどである。正孔輸送層の材料としては、PEDOT/PSSポリ3,4-エチレンジオキシチオフェン-ポリスチレンスルホネートなどのポリチオフェン系ポリマー、ポリアニリン、ポリピロールなどの有機導電性ポリマーを使用することができる。ポリチオフェン系ポリマーの代表的な製品としては、たとえば、スタルク社のCleviosPH500、CleviosPH、CleviosPVPAl4083、CleviosHIL1.1が挙げられる。無機物では、酸化モリブテンが好適な材料である。正孔輸送層の材料としてCleviosPH500を使用する場合、膜厚は20~100nmであることが好ましい。薄すぎる場合は、下部電極の短絡を防止する作用がなくなり、ショートが発生する。厚すぎる場合は、膜抵抗が大きくなり、発生した電流を制限するため、光変換効率が低下する。正孔輸送層の成膜方法は、薄膜を形成できる方法であれば特に限定されないが、たとえばスピンコート法などで塗布することが可能である。正孔輸送層の材料を所望の膜厚に塗布した後、ホットプレートなどで加熱乾燥する。140~200°Cで数分~10分間程度加熱乾燥することが好ましい。塗布する溶液は、予めフィルターでろ過したものを使用することが望ましい。光電変換層光電変換層12は、透明電極11と対向電極13との間に配置される。バルクヘテロ接合型の太陽電池セルは、p型半導体とn型半導体が光電変換層中で混合してミクロ層分離構造をとる。バルクへテロ接合型は、混合されたp型半導体とn型半導体が光電変換層内でナノオーダーのサイズのpn接合を形成し、接合面において生じる光電荷分離を利用して電流を得る。p型半導体は、電子供与性の性質を有する材料で構成される。一方、n型半導体は、電子受容性の性質を有する材料で構成される。実施形態においては、p型半導体およびn型半導体の少なくとも一方が有機半導体であってよい。p型有機半導体としては、たとえば、ポリチオフェンおよびその誘導体、ポリピロールおよびその誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、オリゴチオフェンおよびその誘導体、ポリビニルカルバゾールおよびその誘導体、ポリシランおよびその誘導体、側鎖または主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ポリアニリンおよびその誘導体、フタロシアニン誘導体、ポルフィリンおよびその誘導体、ポリフェニレンビニレンおよびその誘導体、ポリチエニレンビニレンおよびその誘導体などを使用することができ、これらを併用してもよい。また、これらの共重合体を使用してもよく、たとえば、チオフェン-フルオレン共重合体、フェニレンエチニレン-フェニレンビニレン共重合体などが挙げられる。好ましいp型有機半導体は、π共役を有する導電性高分子であるポリチオフェンおよびその誘導体である。ポリチオフェンおよびその誘導体は、優れた立体規則性を確保することができ、溶媒への溶解性が比較的高い。ポリチオフェンおよびその誘導体は、チオフェン骨格を有する化合物であれば特に限定されない。ポリチオフェンおよびその誘導体の具体例としては、ポリ3-メチルチオフェン、ポリ3-ブチルチオフェン、ポリ3-ヘキシルチオフェン、ポリ3-オクチルチオフェン、ポリ3-デシルチオフェン、ポリ3-ドデシルチオフェンなどのポリアルキルチオフェン;ポリ3-フェニルチオフェン、ポリ3-p-アルキルフェニルチオフェンなどのポリアリールチオフェン;ポリ3-ブチルイソチオナフテン、ポリ3-ヘキシルイソチオナフテン、ポリ3-オクチルイソチオナフテン、ポリ3-デシルイソチオナフテンなどのポリアルキルイソチオナフテン;ポリエチレンジオキシチオフェンなどが挙げられる。また近年では、カルバゾール、ベンゾチアジアゾールおよびチオフェンからなる共重合体であるPCDTBTポリ[N-9-ヘプタ-デカニル-2,7-カルバゾール-アルト-5,5-4’,7’-ジ-2-チエニル-2’,1’,3’-ベンゾチアジアゾール]などの誘導体が、優れた光電変換効率を得られる化合物として知られている。これらの導電性高分子は、溶媒に溶解させた溶液を塗布することにより成膜可能である。従って、大面積の有機薄膜太陽電池を、印刷法などにより、安価な設備にて低コストで製造できるという利点がある。n型有機半導体としては、フラーレンおよびその誘導体が好適に使用される。ここで使用されるフラーレン誘導体は、フラーレン骨格を有する誘導体であれば特に限定されない。具体的には、C60、C70、C76、C78、C84などを基本骨格として構成される誘導体が挙げられる。フラーレン誘導体は、フラーレン骨格における炭素原子が任意の官能基で修飾されていてもよく、この官能基同士が互いに結合して環を形成していてもよい。フラーレン誘導体には、フラーレン結合ポリマーも含まれる。溶剤に親和性の高い官能基を有し、溶媒への可溶性が高いフラーレン誘導体が好ましい。フラーレン誘導体における官能基としては、たとえば、水素原子;水酸基;フッ素原子、塩素原子などのハロゲン原子;メチル基、エチル基などのアルキル基;ビニル基などのアルケニル基;シアノ基;メトキシ基、エトキシ基などのアルコキシ基;フェニル基、ナフチル基などの芳香族炭化水素基、チエニル基、ピリジル基などの芳香族複素環基などが挙げられる。具体的には、C60H36、C70H36などの水素化フラーレン、C60、C70などのオキサイドフラーレン、フラーレン金属錯体などが挙げられる。上述した中でも、フラーレン誘導体として、60PCBM[6,6]-フェニルC61酪酸メチルエステルまたは70PCBM[6,6]-フェニルC71酪酸メチルエステルを使用することが特に好ましい。未修飾のフラーレンを使用する場合、C70を使用することが好ましい。フラーレンC70は、光キャリアの発生効率が高く、有機薄膜太陽電池に使用するのに適している。光電変換層におけるn型有機半導体とp型有機半導体の混合比率は、n型有機半導体の含有率をp型半導体がP3HT系の場合、およそn:p=1:1とすることが好ましい。またp型半導体がPCDTBT系の場合、およそn:p=4:1とすることが好ましい。有機半導体を塗布するためには、溶媒に溶解する必要があるが、それに用いる溶媒としては、たとえば、トルエン、キシレン、テトラリン、デカリン、メシチレン、n-ブチルベンゼン、sec-ブチルベンゼン、tert-ブチルベンゼンなどの不飽和炭化水素系溶媒、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼンなどのハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒、四塩化炭素、クロロホルム、ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロブタン、ブロモブタン、クロロペンタン、クロロヘキサン、ブロモヘキサン、クロロシクロヘキサンなどのハロゲン化飽和炭化水素系溶媒、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピランなどのエーテル類が挙げられる。特に、ハロゲン系の芳香族溶剤が好ましい。これらの溶剤を単独、もしくは混合して使用することが可能である。溶液を塗布し成膜する方法としては、スピンコート法、ディップコート法、キャスティング法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、スプレー法、スクリーン印刷、グラビア印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、グラビアオフセット印刷、ディスペンサー塗布、ノズルコート法、キャピラリーコート法、インクジェット法などが挙げられ、これらの塗布法を単独で、もしくは組み合わせて用いることができる。電子輸送層電子輸送層は、任意に光電変換層12と対向電極13との間に配置される。電子輸送層は、正孔をブロックして電子のみを効率的に輸送する機能、および光電変換層12と電子輸送層との界面で生じたエキシトンの消滅を防ぐ機能を有する。電子輸送層の材料としては、金属酸化物、たとえばゾルゲル法にてチタンアルコキシドを加水分解して得たアモルファス性の酸化チタンなどが挙げられる。成膜方法は、薄膜を形成できる方法であれば特に限定されないが、たとえば、スピンコート法が挙げられる。電子輸送層の材料として酸化チタンを使用する場合、膜厚は5~20nmの厚さに成膜する事が望ましい。膜厚が上記範囲より薄い場合は、ホールブロック効果が減少するため、発生したエキシトンが電子とホールに解離する前に失活してしまい、効率的に電流を取り出すことができない。膜厚が厚すぎる場合は、膜抵抗が大きくなり、発生した電流を制限するため光変換効率が低下する。塗布溶液は、あらかじめフィルターで濾過したものを使用することが望ましい。規定の膜厚に塗布した後、ホットプレートなどを用いて加熱乾燥する。50°C~100°Cで数分~10分間程度、空気中にて加水分解を促進しながら加熱乾燥する。無機物では蒸着法で形成した金属カルシウム膜などが好適である。対向電極対向電極陰極13は、光電変換層12または電子輸送層の上に積層される。導電性を有する材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、メッキ法、塗布法などで成膜する。電極材料としては、導電性の金属薄膜、金属酸化物膜などが挙げられる。透明電極11を仕事関数の高い材料を用いて形成した場合、対向電極13には仕事関数の低い材料を用いることが好ましい。仕事関数の低い材料としては、たとえば、アルカリ金属、アルカリ土類金属などが挙げられる。具体的には、Li、In、Al、Ca、Mg、Sm、Tb、Yb、Zr、Na、K、Rb、Cs、Ba、およびこれらの合金を挙げることができる。対向電極13は、単層であってもよく、異なる仕事関数の材料で構成される層を積層したものであってもよい。また、前記仕事関数の低い材料のうちの1つ以上と、金、銀、白金、銅、マンガン、チタン、コバルト、ニッケル、タングステン、錫などとの合金でもよい。合金の例としては、リチウム-アルミニウム合金、リチウム-マグネシウム合金、リチウム-インジウム合金、マグネシウム-銀合金、マグネシウム-インジウム合金、マグネシウム-アルミニウム合金、インジウム-銀合金、カルシウム-アルミニウム合金などが挙げられる。対向電極13の膜厚は、1nm~500nm、好ましくは10nm~300nmである。膜厚が上記範囲より薄い場合は、抵抗が大きくなりすぎ、発生した電荷を十分に外部回路へ伝達できない。膜厚が厚い場合には、対向電極13の成膜に長時間を要するため材料温度が上昇し、有機層にダメージを与えて性能が劣化する。さらに、材料を大量に使用するため、成膜装置の占有時間が長くなり、コストアップに繋がる。光反射層太陽電池セルと一体化させて裏面に形成される光反射層20は、銀もしくは銀合金、アルミニウムなど高反射率の金属膜を、透明基板のセル形成面の最下層に、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなどの方法で形成する。Ag合金薄膜からなる光反射層は高い導電性を有するため、セル間の配線に兼用することができる。セル間の短絡を防ぐためにその一部をアルミナ、シリカ、チッ化珪素を代表とする無機物の透明絶縁体で被覆することが好ましい。透明基板10の表面に形成される光反射層は反射率の高い表面を有する材質で、たとえば表面が良く研磨されたアルミニウムや、クロムなどの金属、ガラスや樹脂などの表面に銀メッキなどで反射膜を設けた鏡状の反射板、ガラスや樹脂などの表面にアルミを蒸着した反射板、各種金属箔、屈折率を調整した有機反射シートなどを用いることができる。具体的な有機反射シートには、たとえば3M社製の反射フィルムビキュイティESRや麗光社のルイルミラーなどを選択することで97以上の反射率を有する反射膜を作製できる。また、高反射率の散乱体光拡散反射層として光反射層よりも光反射率が低く光散乱性を有する材料を用いることができる。例えば、古川電工のMCPETを代表とするマイクロ発泡フィルム98以上の拡散反射を適用することもできる。無反射膜としてはモスアイ構造を有するフィルムやフッ化マグネシウムの単層膜などを用いることができる。例えば一枚のフィルムで光反射層を形成する場合には、モスアイ構造を代表とする無反射膜とマイクロ発泡構造を代表とする光散乱完全反射層をフィルム上に交互に形成したストライプフィルムを、太陽電池セルと間隙の位置に合わせてセル位置に無反射膜、間隙位置に完全反射膜を配置して基板裏面に貼り付けてもよい。さらに異なる反射層構成として、反射鏡面の上に光拡散シートを積層してもよい。この積層構造には鏡面表面に直接的に積層する構成と、透明基板を挟んで鏡面と光拡散シートとを対向させて形成する構成がある。透明基板が樹脂ベースのフレキシブル透明基板である場合、光電変換層を構成する有機薄膜の劣化を抑制するために、外界の酸素や水を遮蔽する遮蔽膜防湿防酸素膜として無機絶縁材料からなる表面被覆層または中間層を形成する。透明基板の裏面に形成される反射層および無機絶縁層は、酸素や水に対して遮蔽膜の機能を有するため、フレキシブル透明基板の補助遮蔽膜として有効である。一般的に有機薄膜太陽電池モジュールの保存安定性を上げるためには、10-4オーダーより良好な防湿防酸素特性が望まれる。図8は、バルクへテロ接合型の太陽電池の動作メカニズムを説明する図である。図8において、参照符号1および2は、それぞれ、p型半導体およびn型半導体を表している。また、参照符号CPおよびCEは、それぞれ、正孔および電子を表している。有機薄膜太陽電池の光電変換プロセスは、a有機分子が光を吸収してエキシトンを発生する過程、bエキシトンの移動および拡散の過程、cエキシトンの電荷分離の過程、d両極への電荷輸送の過程に大きく分けられる。ステップaでは、p型有機半導体又はn型有機半導体が光を吸収することによりエキシトンが発生する。この発生効率をη1とする。ステップbでは、発生したエキシトンがp/n接合面へ拡散により移動する。この拡散効率をη2とする。エキシトンには寿命があるため、拡散長程度しか移動できない。ステップcでは、p/n接合面に到達したエキシトンがエレクトロンと正孔に分離される。このエキシトンの分離の効率をη3とする。ステップdでは、それぞれの光キャリアはp/n材料中を通じて電極へ輸送されて外部回路に取り出される。この輸送効率をη4とする。照射された光子に対する発生したキャリアの外部取り出し効率は、次の式で表すことができる。この値が太陽電池の量子効率に相当する。ηEQE=η1η2η3η4。光電変換効率を向上させるには、前記a~dの特性に鑑みて有機薄膜太陽電池素子を作製すればよい。すなわち、ステップaにおいては、光電変換層が入射してくる光子を100吸収すること;ステップbおよびcにおいては、有機半導体材料の移動度か高く、p/n接合が確実に行われていること;ステップdにおいては、両極へのキャリアパスが形成され、電極までの距離が短く、トラップになるような欠陥がないことに留意すればよい。このような前提に基づいて有機薄膜太陽電池を作製すれば、高効率な素子を実現できるが、現状の材料や製膜法ではこの理想の形には程遠い。有機薄膜太陽電池は、従来の無機系太陽電池に比べ、エキシトンの解離確率が低く、エキシトンの拡散長が短く、さらにキャリアの移動度が低いという問題がある。有機半導体には、純度や分子量分布、配向性など、制御が困難なパラメータが多いためである。前記ステップaを改善するために、光電変換層を厚くして光子の吸収率を向上させる手段が考えられる。光電変換層を厚くすることにより光路長が長くなるため、光子の吸収率は高まるが、光電変換層の厚さの増加に伴い電気抵抗が増大し、キャリアがトラップされやすくなる。そのため、発生したキャリアは電極へ到達することができず、光電変換効率が低下する。また、前記ステップdを改善するために、光電変換層を薄くして電極間の距離を短くする手段が考えられる。電極間の距離を短くすることにより、発生したキャリアは電極に到達しやすくなり、膜の電気抵抗も低下する。そのため、光電変換効率が向上するようにも思われる。しかし、光電変換層の膜厚が薄いと、前記ステップaにおいて発生するエキシトンの量が低下する。光電変換層に用いられる材料は光吸収性があまり高くないため、膜厚が薄いと光子は光電変換層に全て吸収されず外部へ逃げてしまうからである。このため、キャリア数が少なくなり、電流が減少する。その結果として、光電変換効率が低下する。このように光電変換層の膜厚が厚くなると、発生するエキシトンの数は増加するが、キャリアの電極への輸送能力が劣化する。一方、光電変換層の膜厚が薄くなると、キャリアの電極への輸送性には優れるのであるが、発生するエキシトンが少なくなってしまう。従って、どちらの条件においても最終的には光電変換効率が低下する。図9は、第3の実施形態に係るフレキシブル透明基板を用いて作製した薄膜太陽電池モジュールの断面図である。基板10として樹脂を含むフレキシブルな基板を用いている。この薄膜太陽電池モジュール100は、収納時には折り畳み、使用時には左右に開いて展開させて受光する。図9に示されるように、このモジュールは、左右に開いて側面を見た形状に基づいてY字モジュールと呼ばれる。隣接する太陽電池サブモジュール50は、一方向x方向に沿って交互に谷折と山折の折り加工が施されてつながっている。太陽電池サブモジュール50のペアを、直列接続することが好ましいが、並列接続も可能である。図9では、谷折部において、フレキシブル透明基板10Fの裏面の電極を高導電性の導電テープ54で接続しているので、折り加工による断線などのアセンブリトラブルは発生しにくい。谷折部におけるフレキシブル透明基板10Fの接着面を両面接着テープで接着することにより、谷の底部にまで発電領域が達するモジュールを構成することができる。山折部において、フレキシブル透明基板の表面を3M社製のビキュイティフィルムやアルミフィルムのような反射テープ55で接続している。山折部におけるフレキシブル透明基板10Fの裏面には、電極タブ線を接着するための高導電性両面接着テープを配置して、サブモジュール間の導通を確保しながら山折部の反射領域の厚みを低減させる。図10は第3の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールにおける太陽電池セルの一例を示す断面図である。図10の太陽電池セル30のアレイは、樹脂シートからなるフレキシブル透明基板10Fを用いていることを除けば、図3に示した構造と同等である。図10には図示していないが、太陽電池セルアレイの背面には、無機絶縁材料からなる防湿防酸素層を形成した封止シートフィルムが被覆されている。フレキシブル透明基板10Fの裏面に形成されている反射層20および無機材料からなる絶縁層21も酸素と水に対する遮蔽性を有するが、これらによる遮蔽性が十分でない場合は、フレキシブル透明基板10Fの表面または中間層に透明無機材料からなる遮蔽層を形成してもよい。次に、図11~図16を参照して、第3の実施形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法アセンブリプロセスの一例を説明する。図11~図15は薄膜太陽電池モジュールを太陽電池セルが形成されている裏面から見た図である。図16は薄膜太陽電池モジュールの斜視図である。図11に示すように、1枚の樹脂シートからなるフレキシブル透明基板の裏面に、太陽電池サブモジュール50に対応する太陽電池セルアレイ51と陰極取り出し電極52および陽極取り出し電極53を形成する。この図には6枚の太陽電池サブモジュール50が含まれる。この樹脂シートを、谷折Vおよび山折Mのそれぞれの予定位置で正確に切断して並列させる。図12に示すように、太陽電池サブモジュール50の谷折位置Vの裏面に導電テープ54高導電性の銅箔テープまたは太陽電池用のタブ線接続テープを貼り付け、隣り合う太陽電池サブモジュール50間で陰極取り出し電極52と陽極取り出し電極53とを接着して直列接続する。図13に示すように、太陽電池サブモジュール50の山折位置Mの表面に反射テープ55たとえばアルミ箔接着テープや3Mのビキュイティ接着シートを貼り付け、隣り合う太陽電池サブモジュール50を接着する。図14に示すように、太陽電池サブモジュール50の山折位置Mの裏面に両面接着導電テープ56高導電性の銅箔テープまたは太陽電池用のタブ線接続テープを貼り付け、隣り合う太陽電池サブモジュール50間で陰極取り出し電極52と陽極取り出し電極53とを接着して直列接続する。図15に示すように、太陽電池サブモジュール50の谷折位置Vの表面に両面接着テープ57を貼り付け、隣り合う太陽電池サブモジュール50を接着する。図16に示すように、谷折と山折を繰り返して、折畳んだ薄膜太陽電池モジュール100を製造する。この薄膜太陽電池モジュール100を左右に広げ、図9に示したY字モジュールの形態で使用して光起電力を得る。このようにフレキシブル透明基板を用いて作製した薄膜太陽電池モジュールは、たとえば非常用持ち出し袋に入れて災害時の充電電源として用いることができる。折り畳んだフレキシブル太陽電池モジュールは防湿梱包に窒素封止しておく。これにより比較的遮蔽性の低いフィルムを使用したモジュールでも、数年以上にわたって僅かな特性劣化を招くだけで太陽電池を保存できる。開封後は徐々に発電効率が低下するので、2~3ヶ月の使用でモジュールを廃棄することもあるが、それでも非常時に必要最小限の電源を確保する用途に十分使える。本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。"