被滅菌物を収容して密閉することができる滅菌チャンバーと、前記滅菌チャンバー内にオゾンを供給するオゾン発生装置と、前記滅菌チャンバー内を減圧するための減圧装置と、過酸化水素を気化し、前記滅菌チャンバー内に供給する過酸化水素気化装置とを備え、前記減圧装置は、前記滅菌チャンバー内のオゾンを分解するオゾン分解装置と、前記滅菌チャンバー内の過酸化水素を分解する過酸化水素分解装置とを備え、前記オゾン発生装置は、前記滅菌チャンバー内にある酸素又は前記滅菌チャンバーの外部の酸素含有物質からオゾンを変換し、前記滅菌チャンバー内に供給するが、前記滅菌チャンバー内の被滅菌物が滅菌されるときに前記滅菌チャンバー内の圧力が大気圧以上の状態になるように前記滅菌チャンバーにオゾンを供給することを特徴とする過酸化水素とオゾンとを用いて滅菌する混合滅菌装置。請求項1記載の混合滅菌装置において、滅菌工程終了後、前記滅菌チャンバー内の圧力を大気圧にまで回復させる復圧装置をさらに備えることを特徴とする混合滅菌装置。請求項1記載の混合滅菌装置において、前記オゾン発生装置は、前記滅菌チャンバーの外部の酸素含有物質からオゾンを変換し、前記滅菌チャンバー内に供給するが、前記滅菌チャンバー内の被滅菌物が滅菌されるときに前記滅菌チャンバー内の圧力が大気圧より高い状態になるように前記滅菌チャンバーにオゾンを供給することを特徴とする混合滅菌装置。しかしながら、このような過酸化水素、オゾン及びプラズマを利用する従来の滅菌装置は、いずれも滅菌過程が大気圧より低圧で行われるので、高圧で滅菌が行われる場合に比べ、滅菌力が相対的に劣るという問題がある。また、一度滅菌が始まると、滅菌が始まる前に滅菌チャンバーに既に存在していた空気粒子が滅菌剤の作用を妨害するため、滅菌効率が低下する。しかも、滅菌チャンバー内にプラズマを発生させるためには、高価のプラズマ装置を用いなければならないという事実が、医療分野において広く普及させるための障害として存在する。そこで、本発明はかかる問題を解決するため、滅菌効率を最大化しながら滅菌時間を短縮し、滅菌装置の製造コストを格段に節減するための滅菌方法を用いる装置を提供することを目的とする。本発明の滅菌方法は、密閉した滅菌チャンバー内に被滅菌物を収容した後、前記滅菌チャンバー内にオゾンを供給して、被滅菌物を滅菌する第1次滅菌工程と、前記滅菌チャンバー内のオゾンを分解する第1次分解工程と、前記滅菌チャンバー内のガスを排出し、前記滅菌チャンバー内を減圧する第1次真空化工程と、減圧した前記滅菌チャンバー内に過酸化水素を供給して被滅菌物を滅菌する第2次滅菌工程と、前記滅菌チャンバー内にオゾンを供給する第3次滅菌工程と、前記滅菌チャンバー内の過酸化水素及びオゾンを分解する第2次分解工程と、前記滅菌チャンバー内のガスを排出し、前記滅菌チャンバー内を減圧する第2次真空化工程とを備えることを特徴とする。本発明の滅菌方法において、第1次滅菌工程から第2次真空化工程までの工程は、所定の滅菌条件を満たすまで繰り返し行うことができる。より好ましくは、本発明の滅菌方法は、第2次真空化工程後、滅菌チャンバー内の圧力を大気圧にまで回復させる復圧工程をさらに備える。本発明の滅菌方法において、第1次滅菌工程で供給されるオゾンは、滅菌チャンバーの外部の酸素含有物質を変換することにより生成することができる。この場合、第1次滅菌工程は、滅菌チャンバー内の圧力が大気圧以上の条件下で行われることが好ましい。一方、第1次滅菌工程で供給されるオゾンは、滅菌チャンバー内に含まれている酸素を変換することにより生成することができる。本発明の滅菌方法において、第3次滅菌工程は、滅菌チャンバー内の圧力が大気圧以上の条件下で行われるようにすることが好ましい。本発明に係る滅菌方法を用いる混合滅菌装置は、被滅菌物を収容して密閉することができる滅菌チャンバーと、前記滅菌チャンバー内の酸素をオゾンに変換し、再度前記滅菌チャンバー内に供給するオゾン発生装置と、前記滅菌チャンバー内を減圧するための減圧装置と、過酸化水素を気化し、前記滅菌チャンバー内に供給する過酸化水素気化装置とを備え、前記減圧装置は、前記滅菌チャンバー内のオゾンを分解するオゾン分解装置と、前記滅菌チャンバー内の過酸化水素を分解する過酸化水素分解装置とを備えることを特徴とする。本発明の滅菌方法を用いる他の混合滅菌装置として、被滅菌物を収容して密閉することができる滅菌チャンバーと、前記滅菌チャンバー内の酸素をオゾンに変換し、再度前記滅菌チャンバー内に供給するオゾン発生装置と、前記滅菌チャンバー内を減圧するための減圧装置と、過酸化水素を気化し、前記滅菌チャンバー内に供給する過酸化水素気化装置とを備えるものであって、前記減圧装置は、前記滅菌チャンバー内のオゾンを分解するオゾン分解装置と、滅菌チャンバー内の過酸化水素を分解する過酸化水素分解装置とを備えることを特徴とする。本発明の混合滅菌装置は、滅菌工程が終わった後、前記滅菌チャンバー内の圧力を大気圧にまで回復する復圧装置をさらに備えることが好ましい。さらに、滅菌チャンバー内における滅菌は、滅菌チャンバー内の圧力が大気圧以上の条件下で行われることが好ましい。本発明によれば、滅菌チャンバー内にオゾンを供給して被滅菌物を先に滅菌する第1次滅菌工程を行うことになるので、本格的な滅菌工程である第2次滅菌工程及び第3次滅菌工程によって一層効果的に滅菌が行われ、滅菌時間が短縮される。また、滅菌チャンバー内において過酸化水素及びオゾンを分解するために、滅菌チャンバー内にプラズマ装置等のような高価の装備を備えなくてもよいので、滅菌装置の製造コストを格段に節減することができる。一方、本発明に係る滅菌工程は大気圧以上、または少なくとも実質的に大気圧と同じ圧力で行われるので、大気圧以下の圧力で滅菌工程が行われる従来の滅菌装置及び滅菌方法に比較して一層効果的に滅菌することができる。さらに、オゾンを供給する際に、滅菌チャンバーの外部にある酸素含有物質を使わなくてもオゾンの生成が可能であるので、他の装置の具備にかかる費用を節減できる。また、滅菌チャンバー内の酸素をオゾンに変換することによって、滅菌チャンバー内において滅菌剤以外のガスが滅菌剤の作用を妨害することを最小限にすることができる。次に、本発明の好適な実施例を、図面を用いて説明する。図1は、本発明の過酸化水素及びオゾンを用いる混合滅菌装置1の一実施例を示す斜視図である。混合滅菌装置1は、被滅菌物を収容する滅菌チャンバー2と、滅菌チャンバー2内にオゾンを供給するオゾン用コンプレッサ3と、滅菌チャンバー2内に存在するガスを吸引し、滅菌チャンバー2内を減圧するための減圧装置4と、滅菌チャンバー2内に過酸化水素を気化させて供給するための過酸化水素用コンプレッサ5と、滅菌工程が終了した後、滅菌チャンバー2内の圧力を大気圧にまで回復する復圧装置8とを備える。滅菌チャンバー2は、チャンバードア21を介して、医療機器等滅菌が必要な被滅菌物を収容し、チャンバードア21を閉めた後、外部からガスが流入しないよう密閉される。滅菌チャンバー2の一側には、オゾン用コンプレッサ3が連通している。オゾン用コンプレッサ3は、滅菌チャンバー2の外部から供給される酸素をオゾンに変換し、滅菌チャンバー2内に供給する。滅菌チャンバー2の外部から供給される酸素は、一般的な酸素含有物質として供給される。酸素含有物質は、例えば、水、空気、過酸化水素等である。本実施例においては、酸素含有物質として滅菌チャンバー2の外部の空気を用いる。本実施例のオゾン用コンプレッサ3は、オゾン発生装置31と、空気供給ポンプ32と、フィルター33とを備える。空気供給ポンプ32は、滅菌チャンバー2の外部の空気をフィルター33を介して吸引する。オゾン発生装置31は、吸引された空気中の酸素をオゾンに変換し、滅菌チャンバー2に供給する。オゾン発生装置31は、例えば、プラズマ装置等である。滅菌チャンバー2には、減圧装置4が連通している。減圧装置4は、滅菌チャンバー2内で滅菌工程が始まる前から存在する空気等の残留ガス、又は滅菌工程中に滅菌チャンバー2に流入した過酸化水素、オゾン及び残留ガス等を滅菌チャンバー2から吸引し、外部に排出するためのものである。滅菌チャンバー2内に残留しているガスを外部に排出し、滅菌チャンバー2内を減圧することは、新しく流入するオゾン又は過酸化水素による滅菌力を最大化するためである。減圧装置4は、真空弁41及び真空ポンプ42を備える。また、減圧装置4の真空弁41と真空ポンプ42の間に、過酸化水素分解装置6及びオゾン分解装置7が設けられている。過酸化水素分解装置6及びオゾン分解装置7は、滅菌チャンバー2内において、滅菌工程の間に用いられた過酸化水素及びオゾンを滅菌チャンバーから外部に排出する工程の間に、過酸化水素及びオゾンを無害なガスに分解する。過酸化水素の分解には、プラズマ発生装置等を用いることができる。オゾンの分解には、加熱装置や触媒装置等を用いることができる。滅菌チャンバー2は、過酸化水素を気化させ、滅菌チャンバー2内に供給するための過酸化水素用コンプレッサ5が連通されている。過酸化水素用コンプレッサ5は、過酸化水素気化装置51と過酸化水素供給装置52とを備える。最後に、滅菌チャンバー2は、滅菌チャンバー2内の圧力を大気圧にまで回復させる復圧装置8を備える。滅菌工程が完了した後、滅菌チャンバー2内に保管した医療機器等の被滅菌物を取り出すためには、滅菌チャンバー2内の圧力が大気圧と少なくとも実質的に同一になって始めて滅菌チャンバー2のチャンバードア21を開放することができる。このような機能をすることが復圧装置8である。復圧装置8は、復圧弁81とフィルター82とを備え、滅菌チャンバー2に連通している。図1に係る本発明の混合滅菌装置を用いた滅菌工程を、図2を用いて説明する。まず、滅菌しようとする医療機器等の被滅菌物を滅菌チャンバー2のチャンバードア21を介して収容する。その後、チャンバードア21を閉鎖して滅菌チャンバー2を密閉する。続いて、オゾン用コンプレッサ3を駆動して滅菌チャンバー2内にオゾンを供給する。その後、滅菌チャンバー2内に供給されたオゾンにより被滅菌物の第1次滅菌工程が開始する。上述したように、オゾン用コンプレッサ3は、滅菌チャンバー2の外部にある酸素含有物質に含まれる酸素をオゾンに変換し、滅菌チャンバー2内に供給する。本実施例においては、滅菌チャンバー2の外部の空気に含まれている酸素をオゾンに変換し、該オゾンを滅菌チャンバー2内に供給する。滅菌チャンバー2を密閉した後、外部の酸素含有物質から変換して得たオゾンを、滅菌チャンバー2内に供給するため、第1次滅菌工程における滅菌チャンバー2内の圧力は大気圧以上に形成される。本実施例の第1次滅菌工程においては、滅菌チャンバー2内の圧力が大気圧の略2倍、すなわち1500torrになるようにオゾンを供給した。滅菌チャンバー2内の圧力が大気圧以上になるように滅菌剤を供給することによって、被滅菌物の滅菌効率を目的の水準まで高めることができる。所定の時間、第1次滅菌工程を行った後、第1次滅菌工程で供給されたオゾンを滅菌チャンバー2外に排出する。オゾンを排出するに先立って、滅菌チャンバー2で用いられたオゾンを無害な物質に変換するため、外部の空気へ排出するオゾンを、オゾン分解装置7を通過させる。オゾン分解装置7を通して無害な物質に分解されたガスは、減圧装置4を駆動することにより、滅菌チャンバー2の外部に完全に排出される。そして、滅菌チャンバー2内の圧力は次第に低くなり、実質的に真空にされる。図2において、滅菌チャンバー2で用いられたオゾンが分解されて滅菌チャンバー2内の圧力を減少させる工程を、オゾン分解工程と示す。滅菌チャンバー2内に残留するガスの排出、及び滅菌チャンバー2内の減圧は、続いて供給される滅菌剤、すなわちオゾンまたは過酸化水素による滅菌力を最大化する。次に、所定の時間、過酸化水素用コンプレッサ5を駆動することにより過酸化水素を気化し、滅菌チャンバー2内に供給する。これによって、第2次滅菌工程が行われる。第2次滅菌工程は、従来の他の滅菌装置のように、滅菌チャンバー2内の圧力が大気圧以下にある条件下で行われる。第2次滅菌工程を所定の時間行った後、オゾン用コンプレッサ3を駆動して、すでに過酸化水素が供給されている滅菌チャンバー2内にオゾンを供給する。これによって、過酸化水素とオゾンが共に滅菌チャンバー2内で滅菌作用をする第3次滅菌工程が行われる。オゾンを供給するための各装置の作動は第1次滅菌工程でオゾンを供給する過程と同様である。なお、第1次滅菌工程のように、第3次滅菌工程は、滅菌チャンバー2内が大気圧より高い圧力で滅菌が行われる。本実施例では、前記圧力は1500torrである。従って、チャンバー内が大気圧より低い圧力で滅菌工程が形成される従来の滅菌装置に比較して、被滅菌物の滅菌効率を最大化することができる。第3次滅菌工程を所定の時間行った後、滅菌工程で用いられた過酸化水素及びオゾンを滅菌チャンバー2の外部に排出する。オゾンを外部に排出する前に、滅菌チャンバー2内で用いられた過酸化水素及びオゾンは、無害な物質に分解する必要がある。このため、減圧装置4により滅菌チャンバー2内の過酸化水素及びオゾンを外部に排出する際に、過酸化水素及びオゾンを過酸化水素分解装置6及びオゾン分解装置7に通過させて無害な物質に分解する。無害な物質に分解されたガスは、減圧装置4の作動によって、滅菌チャンバー2の外部に完全に排出され、滅菌チャンバー2内の圧力は実質的に真空になるまで減圧される。図2において、第3次滅菌工程における過酸化水素及びオゾンを分解して滅菌チャンバー2内の圧力を減少させる工程を、過酸化水素オゾン分解工程と示す。上述したように、滅菌チャンバー2内に残留するガスを排出して滅菌チャンバー2内を減圧することは、続いて供給される滅菌剤、すなわちオゾンまたは過酸化水素による滅菌力を最大化する。滅菌チャンバー2内に収容した被滅菌物が十分に滅菌されるように、上述した第2次滅菌工程から過酸化水素オゾン分解工程までの工程は所望の回数繰り返すことができる。図2においては、第2次滅菌工程、第3次滅菌工程及び過酸化水素オゾン分解工程を2回繰り返している。必要により、第1次滅菌工程及びオゾン分解工程までを含めて、第1次滅菌工程から過酸化水素オゾン分解工程までの工程を繰り返すことができる。所望の回数滅菌を行った後、過酸化水素オゾン分解工程に続いて、使用者が被滅菌物を滅菌チャンバー2内から取り出すとき、滅菌チャンバー2のチャンバードア21を容易に開放できるように、滅菌チャンバー2内の圧力を大気圧にまで回復させる復圧工程を行う。復圧工程は、上述のように、復圧装置8を駆動させることによって行われる。本発明の他の実施形態の混合滅菌装置1及び滅菌方法を、図3及び図4を用いて説明する。本発明の混合滅菌装置1は、図3に示すように、オゾン用コンプレッサ3を除いて、図1に示す混合滅菌装置1と同一である。従って、図1の混合滅菌装置1と同一の構成に対しては同じ符号を付し、具体的な説明は省略する。図3のオゾン用コンプレッサ3は、滅菌チャンバー2に供給するオゾンを滅菌チャンバー2の外部の酸素含有物質から変換して発生させるのではなく、滅菌チャンバー2内に存在している空気に含まれる酸素をオゾンに変換して、再度滅菌チャンバー2内に供給するように構成される。従って、図3のオゾン用コンプレッサ3は、図1のオゾン用コンプレッサ3のように、外部の酸素含有物質から酸素を吸引するための空気供給ポンプ32及びフィルター33等の構成が不要となる。単にオゾン発生装置31の入口と出口を滅菌チャンバー2に連通することによって構成される。図3に係る本発明の混合滅菌装置1の滅菌工程を、図4を用いて説明する。図4に示すように、滅菌工程は、各滅菌工程が、大気圧又は大気圧と実質的に同じ圧力で行われる点を除き、図2に示す滅菌工程と同様である。被滅菌物を滅菌チャンバー2に収容して密閉した後、第1次滅菌工程を開始する。第1次滅菌工程では、オゾン用コンプレッサ3が滅菌チャンバー2内の空気中の酸素をオゾンに変換して、滅菌チャンバー2内に再度供給する。この時、滅菌チャンバー2内の圧力は、大気圧と実質的に同一に維持されるが、第1次滅菌工程を長時間持続する場合には、大気圧よりやや下がることもある。第1次滅菌工程の終了後、オゾン分解工程、第2次滅菌工程、第3次滅菌工程、及び過酸化水素オゾン分解工程は、図2を用いて説明した工程と同様にして行われる。ただし、上述したように、第3次滅菌工程は滅菌チャンバー2内の圧力が大気圧と実質的に同じにして行われる。図5は、図1の混合滅菌装置1の滅菌チャンバー2を2つに増設したものを示す。図6は、図3の混合滅菌装置1の滅菌チャンバー2を2つに増設したものを示す。滅菌チャンバー2は、図5及び図6に示すように、2以上備えるようにしてもよい。図5及び図6に示すように、オゾン用コンプレッサ3、減圧装置4、過酸化水素用コンプレッサ5、過酸化水素分解装置6、オゾン分解装置7、及び復圧装置8は、2つの滅菌チャンバー2において共通に用いられる。上記構成のいくつかは、滅菌チャンバー2の個数だけ設け、各滅菌チャンバー2に対して別個に用いられるようにすることができる。通常、滅菌装置は、少なくとも20~30分間の滅菌時間を必要とする。複数の滅菌チャンバーを用いる場合、1つの滅菌チャンバーを用いる場合に比較して、滅菌時間を短縮することができる。例えば、1つの滅菌チャンバーにおいて滅菌工程が行われている間にも、滅菌が必要な他の医療機器を他の滅菌チャンバーを用いて滅菌工程を始めることができる。そのため、滅菌中である滅菌チャンバーの使用が終るまで待つ必要なく、他の医療機器の滅菌を開始することができる。なお、複数の滅菌チャンバーを用いても、滅菌チャンバーに連通して用いられる各構成、すなわち減圧装置、滅菌剤供給装置、滅菌剤分解装置、復圧装置等を、共通に用いることができるので、滅菌時間を短縮する効果を奏しながら、滅菌装置の製造コストを格段に節減することができる。上記の実施例は、本発明の理解のために例を挙げたに過ぎず、本発明の思想及び範囲を上記の実施例に限定するものではない。また、上記の実施例から様々な変更及び改変が可能だということは、当業者にとって自明である。