"粒子状物質を含む気体から前記粒子状物質を捕集する捕集孔を有するセラミックハニカムフィルターであって、前記捕集孔が格子をなしているセラミックハニカムフィルターを使用して、このセラミックハニカムフィルターに捕集された粒子状物質を検出する方法であって、前記セラミックハニカムフィルターに対して前記捕集孔の長手方向に対して垂直な平面内において電磁波を送信し、前記セラミックハニカムフィルターを透過した後の前記電磁波を受信し、前記電磁波の受信強度に基づいて、前記フィルターに捕集された前記粒子状物質を検出するのに際して、前記電磁波の周波数が0.294c/a以上、c/a以下でありaは前記捕集孔の格子間隔であり、cは光速である、前記粒子状物質を捕集していない前記セラミックハニカムフィルターに前記電磁波を照射し、前記電磁波の受信強度が大きくなるように前記格子に対する前記電磁波の傾斜角度を変化させることを特徴とする、粒子状物質の検出方法。前記格子間隔aが0.5mm以上、5mm以下であることを特徴とする、請求項1記載の方法。粒子状物質を含む気体から前記粒子状物質を捕集する捕集孔を有するセラミックハニカムフィルターであって、前記各捕集孔が相対向する第一の隔壁と第二の隔壁および相対向する第三の隔壁および第四の隔壁によって区画されることによって正方格子をなしているセラミックハニカムフィルターを使用して、このセラミックハニカムフィルターに捕集された粒子状物質を検出する方法であって、前記セラミックハニカムフィルターに対して前記捕集孔の長手方向に対して垂直な平面内において電磁波を送信し、前記セラミックハニカムフィルターを透過した後の前記電磁波を受信し、前記電磁波の受信強度に基づいて、前記フィルターに捕集された前記粒子状物質を検出するのに際して、a/λ≧0.294;a/λ≦0.2944.9×10-3×θ;およびa/λ≦0.735-4.9×10-3×θaは前記捕集孔の格子間隔であり、λは前記電磁波の波長であり、θは前記第一の隔壁および第二の隔壁に対して垂直な軸に対する前記電磁波の傾斜角度であるの関係を満足することを特徴とする、粒子状物質の検出方法。粒子状物質を含む気体から前記粒子状物質を捕集する捕集孔を有するセラミックハニカムフィルターであって、前記各捕集孔が相対向する第一の隔壁と第二の隔壁および相対向する第三の隔壁および第四の隔壁によって区画されることによって正方格子をなしているセラミックハニカムフィルターを使用して、このセラミックハニカムフィルターに捕集された粒子状物質を検出する方法であって、前記セラミックハニカムフィルターに対して前記捕集孔の長手方向に対して垂直な平面内において電磁波を送信し、前記セラミックハニカムフィルターを透過した後の前記電磁波を受信し、前記電磁波の受信強度に基づいて、前記フィルターに捕集された前記粒子状物質を検出するのに際して、0.4414.9×10-3×θ≦a/λ≦0.735-4.9×10-3×θ;および0≦θaは前記捕集孔の格子間隔であり、λは前記電磁波の波長であり、θは前記第一の隔壁および第二の隔壁に対して垂直な軸に対する前記電磁波の傾斜角度であるの関係を満足することを特徴とする、粒子状物質の検出方法。粒子状物質を含む気体から前記粒子状物質を捕集する捕集孔を有するセラミックハニカムフィルターであって、前記各捕集孔が相対向する第一の隔壁と第二の隔壁および相対向する第三の隔壁および第四の隔壁によって区画されることによって正方格子をなしているセラミックハニカムフィルターを使用して、このセラミックハニカムフィルターに捕集された粒子状物質を検出する方法であって、前記セラミックハニカムフィルターに対して前記捕集孔の長手方向に対して垂直な平面内において電磁波を送信し、前記セラミックハニカムフィルターを透過した後の前記電磁波を受信し、前記電磁波の受信強度に基づいて、前記フィルターに捕集された前記粒子状物質を検出するのに際して、0.882-4.9×10-3×θ≦a/λ≦0.2944.9×10-3×θ;およびθ≦90°aは前記捕集孔の格子間隔であり、λは前記電磁波の波長であり、θは前記第一の隔壁および第二の隔壁に対して垂直な軸に対する前記電磁波の傾斜角度であるの関係を満足することを特徴とする、粒子状物質の検出方法。粒子状物質を含む気体から前記粒子状物質を捕集する捕集孔を有するセラミックハニカムフィルターであって、前記各捕集孔が相対向する第一の隔壁と第二の隔壁および相対向する第三の隔壁および第四の隔壁によって区画されることによって正方格子をなしているセラミックハニカムフィルターを使用して、このセラミックハニカムフィルターに捕集された粒子状物質を検出する方法であって、前記セラミックハニカムフィルターに対して前記捕集孔の長手方向に対して垂直な平面内において電磁波を送信し、前記セラミックハニカムフィルターを透過した後の前記電磁波を受信し、前記電磁波の受信強度に基づいて、前記フィルターに捕集された前記粒子状物質を検出するのに際して、0.782-4.9×10-3×θ≦a/λ≦0.882-4.9×10-3×θ;および10°≦θ≦30°aは前記捕集孔の格子間隔であり、λは前記電磁波の波長であり、θは前記第一の隔壁および第二の隔壁に対して垂直な軸に対する前記電磁波の傾斜角度であるの関係を満足することを特徴とする、粒子状物質の検出方法。粒子状物質を含む気体から前記粒子状物質を捕集する捕集孔を有するセラミックハニカムフィルターであって、前記各捕集孔が相対向する第一の隔壁と第二の隔壁および相対向する第三の隔壁および第四の隔壁によって区画されることによって正方格子をなしているセラミックハニカムフィルターを使用して、このセラミックハニカムフィルターに捕集された粒子状物質を検出する方法であって、前記セラミックハニカムフィルターに対して前記捕集孔の長手方向に対して垂直な平面内において電磁波を送信し、前記セラミックハニカムフィルターを透過した後の前記電磁波を受信し、前記電磁波の受信強度に基づいて、前記フィルターに捕集された前記粒子状物質を検出するのに際して、0.3434.9×10-3×θ≦a/λ≦0.4414.9×10-3×θ;および60°≦θ≦80°aは前記捕集孔の格子間隔であり、λは前記電磁波の波長であり、θは前記第一の隔壁および第二の隔壁に対して垂直な軸に対する前記電磁波の傾斜角度であるの関係を満足することを特徴とする、粒子状物質の検出方法。粒子状物質を含む気体から前記粒子状物質を捕集する捕集孔を有するセラミックハニカムフィルターであって、前記各捕集孔が相対向する第一の隔壁と第二の隔壁および相対向する第三の隔壁および第四の隔壁によって区画されることによって正方格子をなしているセラミックハニカムフィルターを使用して、このセラミックハニカムフィルターに捕集された粒子状物質を検出する方法であって、前記セラミックハニカムフィルターに対して前記捕集孔の長手方向に対して垂直な平面内において電磁波を送信し、前記セラミックハニカムフィルターを透過した後の前記電磁波を受信し、前記電磁波の受信強度に基づいて、前記フィルターに捕集された前記粒子状物質を検出するのに際して、0.784≦a/λ≦0.98;および35°≦θ≦55°aは前記捕集孔の格子間隔であり、λは前記電磁波の波長であり、θは前記第一の隔壁および第二の隔壁に対して垂直な軸に対する前記電磁波の傾斜角度であるの関係を満足することを特徴とする、粒子状物質の検出方法。前記セラミックハニカムフィルターの材質の比誘電率が1.5以上、10以下であることを特徴とする、請求項1~8のいずれか一つの請求項に記載の方法。前記セラミックハニカムフィルターの材質がコージェライト、チタン酸アルミニウムまたは炭化珪素であることを特徴とする、請求項9記載の方法。以下、適宜図面を参照しつつ、本発明を更に詳細に説明する。図1に排ガス浄化装置を模式的に示す。ディーゼルエンジン1の排気マニホールドの排出管2が上流側配管3を介して容器5に連結されている。容器5の下流側に下流側配管4が設けられている。図2に示すように、容器5は、セラミックハニカムフィルターを収容する内径一定の収容部5b、上流側連結部5aおよび下流側連結部5cを備えている。容器5の収容部5b内には、酸化触媒10、フィルター11が収容されている。フィルター11は、多数の細孔が規則的に形成された多孔質セラミックスのハニカム構造体である。この細孔の一部は排ガス下流側で目詰めされ、流入側セルを形成しており,残りは、排ガス上流側で目詰めされ、流出側セルを形成している。流入側セルと流出側セルとは交互に隣接するように形成されており、これによってハニカム形状のウォールフロー構造をなしている。容器1の側面側には複数の送信手段が設けられており、ライン6を介して、制御部8の送信制御部8aと連結されている。複数の送信手段は、上流から下流に向かって配列されている。また、容器1の側面側には複数の受信手段が設けられており、ライン7を介して、制御部8の受信制御部8bと連結されている。複数の受信手段は、上流から下流に向かって配列されている。各送信手段は、対応する各受信手段と、フィルターを挟んで対向する位置に設けられている。エンジン1からの排ガスは、上流側配管3を矢印Aのように通過し、容器5内に入り、まず酸化触媒10を通過する。次いで、排ガスは、フィルター11を通過して下流側配管4の流路内を流れ、矢印Bのように排出される。フィルター11内には粒子状物質が捕集され、堆積する。ここで、各孔における粒子状物質の堆積量にはバラツキの出る傾向がある。例えば、フィルター周縁部分の捕集堆積量が多くなり、中央部分の堆積量が少なくなっている。このため、制御装置8の送信制御部8aからの信号Dによって、各送信手段からそれぞれ電磁波を送信する。ここで、隣接する送信手段から送信される各電磁波は互いに干渉しにくいように、それぞれコリメートする。好適な実施形態においては、各電磁波の周波数f1、f2、f3を互いに異ならせる。また、図2に示すように、各電磁波を時分割によって送信することが好ましい。この場合、各送信手段には特定の周波数のみを透過するバンドパスフィルターを有しており、各送信手段からはそれぞれ周波数f1、f2、f3のみを送信することができる。各送信手段から送信された各電磁波は、フィルター11を横断し、フィルター材質および粒子状物質による吸収減衰を受け、対応する各受信手段で受信される。各受信手段からの各受信信号f1、f2、f3を、配線7を介して制御部8の受信制御部8bに送り、処理する。そして、矢印Gのように、各送信電磁波の情報と各受信電磁波の情報とを演算装置9に送信する。演算装置9では、送信電磁波の情報、例えば強度を、受信電磁波の情報,例えば強度と比較すると共に、電磁波強度と堆積量との関係を示す検量線の情報を参照し、堆積量を演算する。得られた堆積量の演算結果を矢印Hのように出力することで利用可能とする。例えば、堆積量がしきい値を超えた時点でフィルター11を再生燃焼したり、交換の信号を出すことができる。ここで、粒子状物質の分布から、電磁波f1は粒子状物質による減衰量が相対的に少なくなり、電磁波f3は粒子状物質による減衰量が相対的に多くなる。従って、各電磁波f1、f2、f3の受信情報を演算することによって、フィルター11の各領域における各堆積量を知ることができる。本例では、フィルター11の上流側領域、中流側領域、下流側領域における各堆積量を知ることができる。好適な実施形態においては、主導波管と、この主導波管に接続された複数の送信側導波管とを備えており、各送信側導波管に各送信手段が設けられており、主導波管に互いに周波数の異なる複数種の電磁波を時分割で伝搬させる。各送信側導波管においては、複数の電磁波の中から選択して導波させ、送信手段から送信する。この形態によれば、複雑なシステムを必要とすることなく、導波管を利用してフィルターの堆積量の空間分布を測定できる。各送信側導波管において電磁波の周波数を選択するには、例えば導波管の半径を調製することによってカットオフ周波数を選択し、このカットオフ周波数から外れた周波数の電磁波をカットし、それ以外の周波数を導波させればよい。図3においては、粒子状物質12の堆積量の空間分布を測定できる。容器5の側面側には複数の導波管25A、25B、25Cが設けられており、各導波管が主導波管6Aに連結されている。各導波管25A、25B、25Cは、フィルターの上流から下流に向かって配列されている。また、容器5の側面側には複数の導波管26A、26B、26Cが設けられており、各導波管が主導波管7Aに連結されている。各導波管26A、26B、26Cは、フィルターの上流から下流に向かって配列されている。各導波管25A、25B、25Cは、受信側の各導波管26A、26B、26Cと、フィルターを挟んで対向する位置に設けられている。エンジン1からの排ガスは、上流側配管3を矢印Aのように通過し、容器5内に入り、まず酸化触媒10を通過する。次いで、排ガスは、フィルター11を通過して下流側配管4の流路内を流れ、矢印Bのように排出される。フィルター11内には粒子状物質が捕集され、堆積する。セラミックハニカムフィルターの格子と電磁波との位置関係を図4、図5に示す。フィルター11の各捕集孔11dが、相対向する第一の隔壁11eと第二の隔壁11gおよび相対向する第三の隔壁11fおよび第四の隔壁11hによって区画されている。これによって、捕集孔11dが正方格子をなしている。各捕集孔11dは、フィルター11の一方の端面11bと他方の端面11cとの間に延びている。セラミックハニカムフィルター11の各捕集孔11dの長手方向をPとする。ここで、長手方向Pに対して垂直な平面内図4bおよび図5の平面内において、電磁波Xを送信し、フィルター11を透過した後の電磁波Eを受信し、電磁波の受信強度に基づいて、フィルターに捕集された粒子状物質を検出する。ここで、電磁波の周波数が0.294c/a以上、c/a以下でありaは捕集孔の格子間隔であり、cは光速であるの高周波数で、粒子状物質を捕集していないフィルター11に電磁波Xを照射し、電磁波Eの受信強度が大きくなるように、第一の隔壁11eおよび第二の隔壁11gに対して垂直な軸Qに対する電磁波Xの傾斜角度θを変化させる。ここで,捕集孔の格子間隔aは、限定はされないが、分布計測を行うという観点では、0.5mm以上、5mm以下が好ましい。aが0.5mmより小さいときは、電磁波の周波数が600GHzより大きくなるため、セラミックフィルタによる吸収が大きくなり、分布計測ができない。また、aが5mmより大きくなると、電磁波の周波数が17GHzよりも小さくなり空間分解能が悪くなること、さらに電磁波ビーム径が拡がり隣合う電磁波受信器が干渉するため、分布計測ができない。使用周波数範囲は、aによって異なり、例えば、a=5mmの場合には、周波数は17.64GHz以上、60GHz以下の範囲である。この範囲内で使用する場合には、透過率の入射角度が発生し、透過可能な角度がこの周波数範囲内で異なり、最適範囲が存在することがわかった。この場合、格子間隔一定で壁厚rを変化させても、入射角度依存性、および上記最適範囲に変化はなかった。周波数が17.64GHzより小さくなると、入射角度による依存性が少なくなる。周波数が60GHzより大きくなると、入射角度によるばらつきが大きくなり、温度など環境変化によって透過電磁波出力が不安定になる。同様に、a=0.5mmの場合には、周波数は176.4GHz以上、600GHz以下の範囲となる。この場合も、入射角度依存性、および上記最適範囲はa=5mmと同じである。更に、フィルター材質の気孔率を変化させても、セラミック部の実効屈折率は変化するが、図6の特性は変化しないことを確認した。送信素子は限定されないが、以下のものが好ましい。周波数30GHz~100GHzGaAsやSiGeなどのMMICやガンダイオード。30GHz~10THzLN変調器により高次の光側帯波を発生させ所望の次数の側帯波を取り出し、フォトミキサによりそのビート信号を取り出すことにより上記電磁波を発生する光逓倍方式。この場合、LN変調器はマッハツェンダー型光変調器や位相変調器、またはこれらの集積型変調器が使用可能である。LN変調器は、特に限定はないが、特許文献5特開2007-79466記載の薄板構造を用いることにより半波長電圧を低減でき、低駆動電圧で電磁波を発生できる。さらに、ドメイン反転構造QPM:Quasi-Phase-Matchingを形成したPPLNPeriodicallyPoledLithiumNiobate素子やPPLTPeriodicallyPoledLithiumTantalate素子、または、角度位相整合やチェレンコフ放射を利用した光導波路スラブ構造を含む素子が使用できる。受信素子は限定されないが、GaAs、InAs、GaNなどのショットキーダイオード、ボロメータ、焦電効果を利用した素子を例示できる。粒子状物質とは、気体中に浮遊する性質を持つ物質であればよく、粒径は限定されないが、典型的には10nm~10μmである。粒子状物質を構成する物質は特に制限はなく、カーボンを主とするPMパティキュレートマター、ハイドロカーボンHC、フェライト粉などの磁性体粉末、硫酸塩、硝酸塩を例示できる。好適な実施形態においては、複数の送信手段から送信される各電磁波の周波数を互いに異ならせる。これによって、各領域に照射された電磁波の担う情報を周波数ごとに分離して処理することができるので、電磁波の干渉によって堆積量の計測値が狂うことを防止できる。この実施形態においては、電磁波の干渉による測定誤差を防止するという観点からは、各電磁波の周波数の差は、30GHz以上とすることが好ましく、80GHz以上とすることが更に好ましい。また、好適な実施形態においては、複数の送信手段から各電磁波を時分割で切り換えて発信する。これは、同じ時間帯に複数の送信手段から同時に電磁波が発信されないようにすることを意味する。これによって、各電磁波の干渉による測定誤差を防止できる。セラミックハニカムフィルターは、粒子状物質を含む気体が流通する容器中に配置されるものである。フィルターの材質はの比誘電率は、1.5以上、10以下が好ましい。また、コージェライト、チタン酸アルミニウム、窒化ケイ素、アルミナ、炭化珪素、酸化チタンなどが好ましい。また、これらの混合材であってもよい。電磁波周波数fは、70GHz~200GHzとすることが好ましく、80GHz~170GHzとすることが一層好ましい。配管の内径は限定されないが、通常は10~300mmであることが多い。また、容器の内径最大値は、20mm以上であることが好ましく、1000mm以下であることが好ましい。容器は、フィルターを収容する収容部、上流側連結部、下流側連結部を備えていることが好ましい。この場合には、収容部の内径が配管の内径よりも大きい。また、上流側連結部の内径は、収容部から上流側配管へと向かって小さくなっていることが好ましい。また、下流側連結部の内径は、収容部から下流側配管へと向かって小さくなっていることが好ましい。本発明では、受信手段で受信した電磁波の強度を検出し、この強度に基づいて、フィルターに捕集された粒子状物質の堆積量を演算する。この具体的方法は限定されないが、好ましくは、予め決められた強度と堆積量との関係式に対して、電磁波受信手段で検出された電磁波強度を代入し、粒子状物質の堆積量を演算する。フィルターそれ自体が電磁波をある程度吸収することから、ブランクとして、粒子状物質が捕集されていない状態で受信強度を測定しておく。そして、粒子状物質が捕集された状態における受信強度との差および電磁波吸収係数から、粒子状物質の堆積量を算出する。なお、電磁波吸収係数は、電磁波透過率の対数で表され、透過率は、受信強度の送信強度に対する割合である。本発明では、排ガス浄化装置に、フィルターの上流側で排ガス中に還元剤を供給する還元剤供給手段をさらに備えることが好ましい。このとき、排ガス中に還元剤を直接的に供給してよく、気筒内に還元剤をポスト噴射することで排ガス中に還元剤を間接的に供給することもできる。フィルターの温度が還元剤の発火温度より高くなっていれば、還元剤がフィルター内で燃焼し、燃焼熱によってフィルターが例えば600°C以上の高温となることで、フィルターを再生することができる。還元剤供給手段としては、ポンプ、インジェクタなどがある。フィルターの上流側に酸化触媒を配置したり、フィルターに触媒層を形成することもできる。還元剤供給手段を用いた場合には、フィルターに捕集された粒子状物質の堆積量の検出値に基づいて還元剤供給手段の駆動を制御する、制御手段を設けることが望ましい。これにより最適なタイミングで還元剤供給手段を駆動できるので、燃費が向上する。実施例1図1、3、4、5を参照しつつ説明した方法に従い、粒子状物質を捕集していないセラミックハニカムフィルターの電磁波透過率を測定した。具体的には、DPFフィルター11を用いた。フィルター11の外径はφ144mmであり、長さは152mmである。フィルターの材質はコージェライトであり、比誘電率は1.7である。壁厚rは340μmであり、各捕集孔の寸法は縦横ともに1130μmであり、格子間隔aは1470μmである。テラヘルツ時間領域分光分析装置:THz-TDSTime-DomainSpectrometryを用い、傾斜角度θを種々変更し、受信強度を測定した。電磁波周波数と傾斜角度との関係を図7に示す。フィルターからの透過電磁波の受信強度は、図7においてA~Fの領域内においてのみ、測定可能であった。A、B、Cでは損失が10dB以下であり、D、E、Fでは20dB以下であった。他の領域では受信されなかった。ここで、図8、図9は、それぞれ、本測定で受信されたTHz-TDSスペクトルを周波数解析して得られた、周波数90GHz、120GHzにおける各透過特性を示すグラフである。図8は、図7において90GHzのときの入射角度θ依存性に対応する。本周波数では領域Aが測定可能領域となるが、角度θが30°から60°の領域で透過損失が10dB以下となり、入射された電磁波が効率よく伝搬できることを確認できた。図9は、図7において120GHzのときの入射角度θ依存性に対応する。本周波数では領域B、Cが測定可能領域となるが、角度θが0°から30°、および60°から90°の領域で透過損失が10dB以下となり、入射された電磁波が効率よく伝搬できることを確認できた。なお、ここでは図示しないが、90、120GHz以外の周波数についても、本測定で受信された図7のTHz-TDSスペクトルを周波数解析することで、図8、図9と同様の透過損失と入射角度との関係を示すグラフが得られている。実施例2実施例1と同様にして、電磁波周波数fと傾斜角度θを図10に示すように変更し、フィルターからの電磁波の受信強度を測定した。ただし、壁厚rを340μmとし、格子間隔aを5000μmとした。電磁波周波数と傾斜角度との関係を図10に示す。フィルターからの透過電磁波の受信強度は、図10においてA~Fの領域内においてのみ、測定可能であった。A、B、Cでは損失が10dB以下であり、D、E、Fでは20dB以下であった。他の領域では受信されなかった。なお、本測定で受信された図10のTHz-TDSスペクトルを周波数解析することで、図8、図9と同様の透過損失と入射角度との関係を示すグラフが得られたことは言うまでもない。実施例3実施例1と同様にして、電磁波周波数fと傾斜角度θを図11に示すように変更し、フィルターからの電磁波の受信強度を測定した。ただし、壁厚rを30μmとし、格子間隔aを500μmとした。電磁波周波数と傾斜角度との関係を図11に示す。フィルターからの透過電磁波の受信強度は、図11においてA~Fの領域内においてのみ、測定可能であった。A、B、Cでは損失が10dB以下であり、D、E、Fでは20dB以下であった。他の領域では受信されなかった。なお、本測定で受信された図11のTHz-TDSスペクトルを周波数解析することで、図8、図9と同様の透過損失と入射角度との関係を示すグラフが得られたことは言うまでもない。本発明の特定の実施形態を説明してきたけれども、本発明はこれら特定の実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲の範囲から離れることなく、種々の変更や改変を行いながら実施できる。"