少なくとも液体ターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、前記液体ターゲット物質が通過するための貫通孔が形成され、その貫通孔が前記ターゲット貯蔵部の内部と連通し、且つ、少なくとも前記貫通孔の前記ターゲット貯蔵部とは反対側且つその貫通孔周囲の領域のターゲット放出部表面が、前記液体ターゲット物質に対する接触角が90度よりも大きい物質からなるターゲット放出部と、を備えるターゲット供給装置。前記液体ターゲット物質に対する接触角が90度よりも大きい前記物質が、少なくとも前記貫通孔の出口側且つ貫通孔周囲の領域の表面にコーティングされた物質を含む、請求項1記載のターゲット供給装置。前記液体ターゲットが溶融スズを含み、前記液体ターゲット物質に対する接触角が90度よりも大きい前記物質が、炭化珪素、酸化珪素、酸化アルミニウム、窒化珪素、酸化ジルコニウム、酸化モリブデン、黒鉛、ダイアモンド、酸化タングステン、及び、酸化タンタルの内のいずれか1つを含む、請求項1記載のターゲット供給装置。前記液体ターゲットが溶融スズを含み、前記液体ターゲット物質に対する接触角が90度よりも大きい前記物質が、炭化珪素、酸化珪素、酸化アルミニウム、窒化珪素、酸化ジルコニウム、酸化モリブデン、黒鉛、ダイアモンド、酸化タングステン、及び、酸化タンタルの内のいずれか1つを含む、請求項2記載のターゲット供給装置。前記液体ターゲット物質に接触する前記ターゲット放出部の前記貫通孔の内表面が、前記液体ターゲット物質に対する接触角をθとして、0度<θ≦90度を満たす、請求項1記載のターゲット供給装置。前記液体ターゲット物質に接触する前記ターゲット放出部の前記貫通孔の内表面が、前記液体ターゲット物質に対する接触角をθとして、0度<θ≦90度を満たす、請求項2記載のターゲット供給装置。前記液体ターゲット物質が溶融スズを含み、前記貫通孔の内表面が、モリブデン、タングステン、及び、タンタルの内のいずれか1つを含む物質からなる、請求項5記載のターゲット供給装置。前記液体ターゲット物質が溶融スズを含み、前記貫通孔の内表面が、モリブデン、タングステン、及び、タンタルの内のいずれか1つを含む物質からなる、請求項6記載のターゲット供給装置。請求項1記載のターゲット供給装置を具備する極端紫外光生成装置。請求項2記載のターゲット供給装置を具備する極端紫外光生成装置。