排気通路に設けられたNOX選択還元触媒と、該NOX選択還元触媒の上流側排気通路に還元剤溶液を供給する還元剤供給装置とを備え、還元剤を加水分解してNH3を生成させ、NOX選択還元触媒の触媒作用の元で排気中のNOXをNH3と反応させて無害化する内燃機関の排ガス浄化装置において、前記還元剤供給装置を構成し、還元剤溶液を排気通路に噴霧する還元剤噴霧ノズルと、水蒸気を排気通路に噴霧すると共に、ノズル開口が前記還元剤噴霧ノズルのノズル開口に対面するように配置された水蒸気噴霧ノズルとを備えていることを特徴とする内燃機関の排気浄化装置。前記還元剤噴霧ノズルが前記水蒸気噴霧ノズルに対して排気流れ方向上流側に配置され、前記還元剤噴霧ノズル及び水蒸気噴霧ノズルのノズル開口の噴霧方向が互いに対面するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記還元剤噴霧ノズルのノズル開口の軸線と前記水蒸気噴霧ノズルの開口の軸線とが同一線上に位置することを特徴とする請求項1又は2に記載の内燃機関の排気浄化装置。吸気通路又は排気通路の凝縮水貯留部に溜まった凝縮水を取入れ貯留する凝縮水貯留タンクと、前記凝縮水貯留タンクと前記水蒸気噴霧ノズルとに接続された水蒸気供給路と、前記凝縮水貯留タンクに貯留された凝縮水又は前記水蒸気供給路を流れる凝縮水を加熱して水蒸気にする加熱装置と、該水蒸気供給路に介設され、水蒸気を排気通路に向けて圧送するポンプとを備え、前記水蒸気を前記NOX選択還元触媒の上流側排気通路に供給し、該水蒸気の保有熱で排気をアンモニア生成温度に加熱するようにしたことを特徴とする請求項1~3のいずれかの項に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記反応過程では、まず、尿素水溶液が排気の保有熱で100°C以上に加熱され、水が蒸発して固体尿素となり、次に、固体尿素が分解してイソシアン酸になった後で、イソシアン酸が加水分解してアンモニアが生成する。そのためには、排気、尿素水溶液及び補給水の混合撹拌が、NOX選択還元触媒の上流側で短時間のうちに促進される必要があり、かつイソシアン酸の周囲に十分な量の水が存在する必要がある。しかし、特許文献1に開示された水供給装置では、尿素水添加弁108及び水添加弁122の噴孔の向きが、共に排気流れ方向下流側に向いているため、尿素水溶液及び水の噴射領域で排気流に乱流が発生せず、十分な混合撹拌が生じない。また、尿素水溶液及び補給水の添加により排気流が増速され、短時間でNOX選択還元触媒に到達するため、前記反応過程が行われる余裕がない。本発明は、かかる従来技術の課題に鑑み、簡易かつ低コストな手段で、SCR触媒の上流側排気領域に噴射される還元剤溶液及び補給水の混合撹拌を促進し、アンモニア生成温度以下でもアンモニアを生成可能にすることを目的とする。かかる目的を達成するため、本発明の内燃機関の排ガス浄化装置は、排気通路に設けられたNOX選択還元触媒と、該NOX選択還元触媒の上流側排気通路に還元剤溶液を供給する還元剤供給装置とを備え、還元剤を加水分解してNH3を生成させ、NOX選択還元触媒の触媒作用の元で排気中のNOXをNH3と反応させて無害化する内燃機関の排ガス浄化装置において、還元剤供給装置を構成し、還元剤溶液を排気通路に噴霧する還元剤噴霧ノズルと、水蒸気を排気通路に噴霧すると共に、ノズル開口が還元剤噴霧ノズルのノズル開口に対面するように配置された水噴霧ノズルとを備えているものである。前記構成により、還元剤溶液と水蒸気とが排気流を挟んで両側からぶつかり合うので、還元剤溶液と水蒸気とによって排気流が乱され、排気、還元剤溶液及び水蒸気の三相流の混合撹拌が促進する。そのため、排気の保有熱によって生じた固体尿素の周囲に十分な水量を保持でき、排気がアンモニア生成温度以下であってもアンモニアを生成できる。また、水蒸気を水噴霧ノズルから噴霧するので、還元剤供給領域の排気温度をアンモニア生成温度に昇温できると共に、気体の水蒸気を噴霧することで、撹拌が容易になる。このように、三相流の混合撹拌効果と水蒸気の昇温効果との相乗効果で、アンモニアの生成が容易になる。なお、還元剤噴霧ノズルと水蒸気噴霧ノズルとを、排気通路の壁面に設け、排気通路に突出しないようにすれば、両ノズルが排気流の流れを妨害しないので、排気流の圧力損失を抑制できる。本発明において、還元剤噴霧ノズルが水噴霧ノズルに対して排気流れ方向上流側に配置され、還元剤噴霧ノズル及び水蒸気噴霧ノズルのノズル開口の噴霧方向が互いに対面する方向に配置されているとよい。水蒸気噴霧ノズルを排気流の上流側に向けることで、水蒸気の撹拌効果を向上できる。還元剤噴霧ノズルから噴霧される還元剤溶液の量は、水噴霧ノズルから噴霧される水の量より多い。そのため、還元剤噴霧ノズルのノズル開口を排気流上流側に向けると、排気の流れを妨害し、排気流の圧力損失が増加し、内燃機関の性能低下につながる。従って、還元剤噴霧ノズルを水蒸気噴霧ノズルより上流側に配置し、還元剤噴霧ノズルのノズル開口を排気流の下流側に向けることで、排気流の圧力損失を抑制し、内燃機関の性能低下をなくすことができる。なお、還元剤溶液及び水蒸気を排気流に対して斜めに噴霧するようにすれば、排気通路の横断面方向の還元剤溶液及び水蒸気の噴霧領域を広げることができる。これによって、三相流の混合撹拌をさらに促進できる。さらに、還元剤噴霧ノズル及び水蒸気噴霧ノズルのノズル開口の軸線が同一線上にあるようにするとよい。これによって、還元剤溶液と水蒸気とが排気流の両側から排気流を挟んで正面から衝突するので、三相流の混合撹拌がさらに促進される。本発明において、吸気通路又は排気通路の凝縮水貯留部に溜まった凝縮水を取入れ貯留する凝縮水貯留タンクと、凝縮水貯留タンクと水蒸気噴霧ノズルとに接続された水蒸気供給路と、凝縮水貯留タンクに貯留された凝縮水又は水蒸気供給路を流れる凝縮水を加熱して水蒸気にする加熱装置と、水蒸気供給路に介設され、水蒸気を排気通路に向けて圧送するポンプとを備え、水蒸気をNOX選択還元触媒の上流側排気通路に供給し、該水蒸気の保有熱で排気をアンモニア生成温度に加熱するようにするとよい。これによって、吸気通路又は排気通路に溜まった凝縮水をアンモニア生成のための補給水として利用できる。そのため、水貯留タンクなど、補給水を外部から供給するための設備が不要となる。また、ポンプにより水蒸気を水蒸気噴霧ノズルに圧送するようにしているので、水蒸気噴霧ノズルから水蒸気を高圧で噴霧でき、水蒸気の撹拌効果を向上できる。さらに、水蒸気を排気通路に供給することで、還元剤供給領域付近の排気温度をアンモニア生成温度以上にすることができる。そのため、水蒸気による排気の加熱効果と三相流の混合撹拌効果との相乗効果により、アンモニアの生成とNOX選択還元触媒によるNOXの還元反応とを確実に生起させることができる。本発明によれば、還元剤噴霧ノズル及び水蒸気噴霧ノズルの両ノズル開口が互いに対面するように配置されているので、排気、還元剤溶液及び水蒸気の三相流の混合撹拌を促進できる。そのため、排気の保有熱によって生じた固体尿素の周囲に十分な水量を確保でき、排気温度がアンモニア生成温度以下であっても、アンモニアの生成とNOXの無害化とを可能にする。また、水蒸気注入による撹拌効果及び昇温効果によって、アンモニアの生成が容易になる。以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではない。本発明装置を車載用ディーゼルエンジン10に適用した一実施形態を図1及び図2に基づいて説明する。図1において、車載用ディーゼルエンジン10のシリンダブロック12の上部にシリンダヘッド14が設けられ、シリンダヘッド14に吸気管16及び排気管18が接続されている。排気管18は、過給機20の排気タービン20aに接続されている。排気タービン20aより下流側の排気管18には、酸素濃度センサー22が設けられている。酸素濃度センサー22の下流側には、酸化触媒24が設けられ、酸化触媒24の下流側にDPF装置26が設けられている。排気タービン20aからDPFフィルタ装置26が設けられた排気管18の領域は上下方向に配置され、垂直部18aの下流側では、曲折部18cを経てほぼ水平方向に配置されている。曲折部18c付近の水平部18bに、凝縮水が溜まりやすく、曲折部18c付近の水平部18bの底面に凝縮水取出管42の開口42aが開口している。開口42a付近の凝縮水取出管42に逆止弁44が設けられ、曲折部18cから凝縮水取出管42に取り出した凝縮水cが、排気管18側へ逆流するのを防止している。水平部18bには、排気流れ方向上流側から順に、排気温度を検出する温度センサー28、排気中のNOX濃度を検出するNOXセンサー30、尿素水溶液を排気管18に供給する尿素水供給装置32、及び触媒コンバータ34が設けられている。触媒コンバータ34には、SCR触媒36が内蔵されている。尿素水供給装置32から排気中に尿素水溶液が噴霧され、噴霧された尿素水溶液中の尿素は、排気がアンモニア生成温度以上である場合、排気温度によってアンモニアに分解する。ここで生成したアンモニアは、下流側のSCR触媒36に吸着されたNOXと反応し、窒素と水を生成する。触媒コンバータ50の下流側排気管18には、触媒コンバータ通過後の排気中のNOX濃度を検出するNOXセンサー38が設けられ、NOXセンサー38の下流側に、排気圧力を制御する圧力制御弁40が設けられている。圧力制御弁40は、その開閉度を調整することで排気圧力を高め、排気中に含まれる水蒸気の凝縮を促進する機能をもつ。逆止弁44の下流側凝縮水取出管42に、凝縮水貯留タンク46が設けられている。凝縮水貯留タンク46の内周面には、凝縮水貯留タンク46に貯留された凝縮水を加熱する電熱ヒータ48と、加熱された凝縮水の温度を検出する温度センサー49とが設けられている。また、凝縮水貯留タンク46には、水蒸気供給管50が接続され、水蒸気供給管50の他端は、触媒コンバータ34の上流側であって、尿素水供給装置32の直ぐ下流側の排気管18に接続されている。水蒸気供給管50には、凝縮水貯留タンク46内の凝縮水を排気管18に圧送するポンプ52が設けられ、ポンプ52の下流側に流量調整弁54が設けられている。前記各センサーの検出値は制御装置56に入力される。制御装置56は、これらの検出値に基づいて、電熱ヒータ48の電源装置48aを制御し、電熱ヒータ70の加熱量を調整したり、ポンプ52の吐出量を制御したり、あるいは流量調整弁54又は圧力制御弁40の開度を調整する。かかる構成において、車載用ディーゼルエンジン10の運転によって、シリンダヘッド14から排気eが排出され、排気管18に排気された排気eは、過給機20の排気タービン20aによって排気管18の下流側に送られる。排気中のNOは酸化触媒24でNO2に転換され、DPFフィルタ装置26に捕獲された粒子状物質は、NO2の酸化作用で燃焼除去される。DPFフィルタ装置26の下流側に設けられた触媒コンバータ34では、アンモニアによってSCR触媒36に吸着されたNOXが還元され、無害化される。車載用ディーゼルエンジン10の停止中、排気管18の垂直部18aから流下して曲折部18cに貯留した凝縮水cは、曲折部18cの下面に開口した開口42aから凝縮水取出管42に取り出される。凝縮水取出管42は、上下方向に配置されているので、凝縮水cは、重力の作用で凝縮水取出管42を落下し、凝縮水貯留タンク46に流入する。車載用ディーゼルエンジン10の始動時又は低速低負荷走行時等に、触媒コンバータ34の上流側排気がアンモニア生成温度に達しない場合がある。そこで、温度センサー28で排気温度を検出し、この検出値がアンモニア生成温度に達していない時、制御装置56によって、電熱ヒータ48をオンにし、凝縮水貯留タンク46に貯留された凝縮水cを加熱し水蒸気にする。次に、制御装置56によって流量調整弁54を開動作させると共に、ポンプ52を稼働させ、水蒸気を水蒸気供給管50から触媒コンバータ34の上流側排気管18に供給する。図2により、尿素水供給装置32付近の排気管18の構成を説明する。尿素水供給装置32は、排気管18に設けられた尿素水噴霧ノズル58を備えている。尿素水噴霧ノズル58によって排気中に尿素水溶液が噴霧される。尿素水溶液供給部のやや下流側に水蒸気噴霧ノズル60が設けられ、水蒸気噴霧ノズル60に水蒸気供給管50が接続されている。水蒸気噴霧ノズル60から水蒸気sが排気中に噴霧される。尿素水噴霧ノズル58は、水平部18bの上壁に装着され、排気下流側に向けて斜めに配置されている。一方、水蒸気噴霧ノズル60は、水平部18bの底壁に装着され、排気上流側に向けて斜めに配置されている。即ち、尿素水噴霧ノズル58と水蒸気噴霧ノズル60とは、水平部18bの上壁と底壁とに排気通路を挟んで、互いに対面している。また、両ノズルのノズル開口の軸線xが一致するように、両ノズル開口の位置及び方向が設定されている。そのため、排気中に噴霧された尿素水溶液と水蒸気とは、互いに両側から排気流を巻き込みながら正面衝突する。従って、排気、尿素水溶液及び水蒸気の三相流の混合撹拌が促進される。これによって、尿素水噴霧ノズル46付近及びその下流側の排気は、急速昇温し、アンモニア生成温度に達する。制御装置56には、温度センサー28及び温度センサー49の検出値が入力される。制御装置56は、温度センサー28の検出値が200°C以上の設定値となるように、凝縮水貯留タンク46内の凝縮水の加熱量又は流量調整弁54の開度を調整し、水蒸気噴霧ノズル60から噴霧される水蒸気sの温度及び流量を調整する。これによって、尿素水溶液供給部付近の排気温度が設定値に維持されるので、尿素からアンモニアが確実に生成される。そのため、触媒コンバータ50でのNOXの還元反応を促進して、NOXを無害化できる。本実施形態によれば、排気に含まれる凝縮水を取り出し、この凝縮水を排気通路に供給するようにしているので、外部から水を供給する必要がなく、外部水の供給設備を不要にできる。また、この凝縮水を加熱し水蒸気として、尿素水溶液供給部付近の排気管18に供給しているので、該領域の排気をアンモニア生成温度に昇温できる。そのため、排気温度がアンモニア生成温度に達していない時でも、排気温度を上昇させてアンモニアを生成できる。これによって、車載用ディーゼルエンジン10に運転中、アンモニアの生成を常に確実に行うことができる。さらに、ポスト噴射のような早期昇温運転に頼ることなく、排気温度を上昇できるので、燃費や排気性状が悪化しない。また、温度センサー28及び49の検出値から、制御装置56によって、電熱ヒータ48の加熱量及び流量調整弁54の開度を調整し、排気管18に噴霧される水蒸気sの温度及び流量を調整しているので、尿素水溶液供給部付近の排気温度が200°C以上の設定値となるように制御しているので、凝縮水を過不足なく加熱でき、省エネを達成できる。また、凝縮水貯留タンク46の上流側で、凝縮水取出管42に逆止弁44を設けているので、水蒸気が水平部18bに逆流するおそれがなくなる。また、水蒸気をポンプ52で水蒸気噴霧ノズル60に圧送しているので、水蒸気噴霧ノズル60から高圧で水蒸気を噴霧でき、排気e及び尿素水溶液との混合撹拌を促進できる。また、尿素水噴霧ノズル58のノズル開口と水蒸気噴霧ノズル60のノズル開口とは、排気流を挟んで互いに対面するように配置され、かつ両ノズル開口の軸線xが一致しているので、尿素水溶液と水蒸気とは排気流を挟んで正面衝突する。これによって、排気、尿素水溶液及び水蒸気の三相流の混合撹拌が促進される。また、尿素水噴霧ノズル58及び凝縮水噴霧ノズル60が排気通路の壁面に配置されて排気通路に突出しておらず、かつ噴霧量が多い尿素水溶液を排気流の下流側に向かって噴霧しているので、排気の流れを大きく乱さなくて済む。これによって、排気流の圧力損失を抑制できる。また、尿素水溶液及び水蒸気を排気流に対して斜め方向に噴霧しているので、排気管18の横断面方向の噴霧領域を広げることができる。また、水蒸気噴霧ノズル60から水蒸気を排気流の上流側に向けて噴霧しているので、水蒸気の撹拌効果を向上できる。このように、水蒸気による排気の昇温効果と三相流の混合撹拌効果との相乗効果により、尿素水溶液噴霧域及びその下流側の排気を急速に200°C以上に昇温できる。従って、アンモニアの生成とSCR触媒36によるNOXの還元反応とを確実に生起させることができる。さらに、触媒コンバータ34の下流側排気管18に圧力制御弁40を設けているので、曲折部18cに溜まった凝縮水が少量のとき、圧力制御弁40の開度を調整して排気圧力を高めることで、排気中水蒸気の凝縮を促進し、凝縮水を増加できる。これによって、排気管18に送る凝縮水量を確保できる。なお、本実施形態において、凝縮水貯留タンク46に電熱ヒータ48を設ける代わりに、水蒸気供給管50に電熱ヒータ48、あるいは他の加熱装置を設け、水蒸気供給管50を流れる凝縮水を加熱して水蒸気にするようにしてもよい。なお、尿素水溶液噴霧域及びその下流側の排気温度が十分高いときは、必ずしも水蒸気を噴霧する必要がなく、凝縮水のまま噴霧しても、アンモニアの生成が可能である。また、本発明では、排気通路で生じた凝縮水でなく、吸気通路で生じた凝縮水を利用しするか、あるいは外部から補給水を供給するようにしてもよい。また、尿素水噴霧ノズルと水噴霧ノズルとを排気通路の横断面上に設けると共に、該横断面上の相対面する排気通路壁に設け、尿素水溶液及び水蒸気を排気通路の軸方向に対し直角方向に向けて噴霧するようにしてもよい。