"被測定ガスに含まれる特定ガスの濃度を検出するガスセンサ素子であって、センサ内部に形成された配線層と、該配線層の表面を覆う絶縁層と、該絶縁層における、上記配線層とは反対側の主面に設けられ、上記配線層に電気的に接続した電極端子と、上記電極端子と上記配線層との間に介在し、上記電極端子及び上記配線層と電気的に接続した中間層とを備え、上記電極端子は第1の金属材料により形成され、上記配線層は第2の金属材料により形成され、上記第1の金属材料および上記第2の金属材料のうち、融点が低い金属材料により上記中間層が形成されていることを特徴とするガスセンサ素子。請求項1において、上記絶縁層を貫通すると共に内部に金属製の接続部材を配置してなり、上記中間層よりも小さな外径を有し、かつ上記中間層と上記電極端子とを接続する貫通ビアを備え、上記接続部材と上記電極端子とは上記第1の金属材料により形成され、上記配線層と上記中間層とは上記第2の金属材料で形成され、上記第2の金属材料の方が上記第1の金属材料よりも融点が低いことを特徴とするガスセンサ素子。請求項1において、上記絶縁層を貫通すると共に内部に金属製の第1接続部材を配置してなり、上記中間層よりも小さな外径を有し、かつ上記中間層と上記電極端子とを接続する第1貫通ビアを備え、上記絶縁層を貫通すると共に内部に金属製の第2接続部材を配置してなり、上記中間層よりも小さな外径を有し、かつ上記配線層と上記中間層とを接続する第2貫通ビアを備え、上記第1接続部材と上記電極端子とは上記第1の金属材料により形成され、上記配線層と上記第2接続部材とは上記第2の金属材料により形成され、上記第1の金属材料と上記第2の金属材料とのうち、融点が低い金属材料により上記中間層が形成されていることを特徴とするガスセンサ素子。請求項2または請求項3において、上記中間層には、該中間層とは異なる金属材料からなる上記接続部材に接触した界面の周辺に存在する周辺部分において、ボイドが形成されていることを特徴とするガスセンサ素子。請求項2~請求項4のいずれか1項において、上記貫通ビアの外径Aと、上記中間層の外径Bとの間には、B/A≧2の関係が成立し、かつ上記中間層の厚さdは0.01mm以上であることを特徴とするガスセンサ素子。請求項1~請求項5のいずれか1項に記載のガスセンサ素子を備えたガスセンサ。しかしながら、従来のガスセンサ素子91は、配線層92、中間層95、接続部材96a、電極端子94、ヒータ用接続部材911の全てを、Ptを主成分とした金属材料で形成していたため、製造コストが高いという問題があった。そのため、低コストで製造できるガスセンサ素子91が望まれている。例えば図36に示すごとく、Ptよりも安価なPdパラジウムを使って配線層92を形成することにより、ガスセンサ素子91の製造コストを下げる試みがなされている。しかしながら、ガスセンサ素子91を製造する際には、図36に示すごとく、絶縁層93、配線層92、固体電解質体97等を積層した後、焼成工程を行う必要があるため、この焼成工程において、配線層92を構成するPdと、中間層95を構成するPtとが合金化するという問題がある。PtとPdの界面99が合金化すると、この界面99に向かって周囲の金属が移動する現象が起きる。PdはPtよりも融点が低いため、焼成工程を行うと、図37に示すごとく、配線層92を構成するPdの方が、中間層95を構成するPtよりも先に移動する。その結果、配線層92にボイド90が形成され、配線層92が断線したり、電極端子94と配線層92との間の電気抵抗が高くなったりする問題がある。そのため、素子が充分に昇温しなかったりセンサの電気抵抗が上昇したりして、ガスセンサ素子の検出精度が低下もしくは検出できなくなる問題が生じる。また、電極端子および配線層の使用温度範囲は、例えば-40°C~1000°Cと広いため、熱膨張係数の異なる金属材料を使って電極端子や配線層を形成すると、熱膨張差により応力が発生し、配線層が断線したり、電極端子と配線層との間の電気抵抗が高くなったりすることがある。その結果、上記と同様に、ガスセンサ素子の検出精度が低下する問題が生じる。本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、配線層と電極端子の接続信頼性が高く検出精度が高いガスセンサ素子及び、該ガスセンサ素子を備えたガスセンサを提供しようとするものである。第1の発明は、被測定ガスに含まれる特定ガスの濃度を検出するガスセンサ素子であって、センサ内部に形成された配線層と、該配線層の表面を覆う絶縁層と、該絶縁層における、上記配線層とは反対側の主面に設けられ、上記配線層に電気的に接続した電極端子と、上記電極端子と上記配線層との間に介在し、上記電極端子及び上記配線層と電気的に接続した中間層とを備え、上記電極端子は第1の金属材料により形成され、上記配線層は第2の金属材料により形成され、上記第1の金属材料および上記第2の金属材料のうち、融点が低い金属材料により上記中間層が形成されていることを特徴とするガスセンサ素子にある請求項1。また、第2の発明は、上記ガスセンサ素子を備えたガスセンサにある請求項6。第1の発明の作用効果について説明する。本発明では、電極端子を第1の金属材料で形成し、配線層を第2の金属材料で形成した。そして、第1の金属材料と第2の金属材料のうち、融点が低い金属材料により、中間層を形成した。このようにすると、上記ガスセンサ素子を製造するにあたり、焼成工程を行った場合に、中間層を構成する金属材料と、該中間層に接触し該中間層とは異なる金属材料とが合金化する。これらの金属が合金化した場合には、融点が低い中間層の、周辺部分の金属材料が移動する。中間層の周辺部分は、電気的接続には直接寄与しない部分であるため、この周辺部分にボイドが形成されても、電気抵抗が高くなる等の不具合は生じにくい。さらに、熱膨張係数が異なる金属材料を使って電極端子や配線層を形成した際、使用環境下で熱膨張差が原因となって応力が発生しても、配線層の断線等の不具合が生じにくくなる。そのため、電極端子と配線層との接続信頼性が低下することを防止できる。また、上記ガスセンサ素子は、ヒータ側に配された配線層ヒータ側配線と電極端子との間の電気抵抗が高くなることも防止できる。そのため、ヒータ側配線に充分な電流を流すことができ、ガスセンサ素子を充分に昇温させることができる。これにより、ガスセンサ素子の検出精度を高めることが可能になる。また、第2の発明に係るガスセンサは、上記ガスセンサ素子を備えているので、配線層と電極端子の接続信頼性が高く、検出精度が高い。以上のごとく、本発明によると、配線層と電極端子の接続信頼性が高く検出精度が高いガスセンサ素子及び、該ガスセンサ素子を備えたガスセンサを提供することができる。上述した本発明における好ましい実施の形態につき説明する。本発明において、上記絶縁層を貫通すると共に内部に金属製の接続部材を配置してなり、上記中間層よりも小さな外径を有し、かつ上記中間層と上記電極端子とを接続する貫通ビアを備え、上記接続部材と上記電極端子とは上記第1の金属材料により形成され、上記配線層と上記中間層とは上記第2の金属材料で形成され、上記第2の金属材料の方が上記第1の金属材料よりも融点が低いことが好ましい請求項2。このようにすると、中間層と電極端子とが、中間層よりも外径が小さい接続部材で接続される。そのため、中間層の周辺部分には上記接続部材が接触しなくなる。したがって、焼成工程を行った場合に、中間層の周辺部分の金属材料が中央接続部材に接触している部分に移動しやすくなる。これにより、電極端子と配線層の接続信頼性をより向上させることができる。また、ヒータ側に配された配線層と電極端子との間の電気抵抗が上昇することも防止でき、ヒータに充分な電流を流すことが可能になる。そのため、ガスセンサ素子を充分に昇温させることができ、検出精度を向上させることが可能になる。また、上記絶縁層を貫通すると共に内部に金属製の第1接続部材を配置してなり、上記中間層よりも小さな外径を有し、かつ上記中間層と上記電極端子とを接続する第1貫通ビアを備え、上記絶縁層を貫通すると共に内部に金属製の第2接続部材を配置してなり、上記中間層よりも小さな外径を有し、かつ上記配線層と上記中間層とを接続する第2貫通ビアを備え、上記第1接続部材と上記電極端子とは上記第1の金属材料により形成され、上記配線層と上記第2接続部材とは上記第2の金属材料により形成され、上記第1の金属材料と上記第2の金属材料とのうち、融点が低い金属材料により上記中間層が形成されていることが好ましい請求項3。このようにすると、中間層よりも小さな外径を有する第1接続部材および第2接続部材が、中間層に接続することになる。また、本発明では、融点が低い金属材料で中間層を構成した。そのため、焼成工程を行った場合、中間層の周辺部分の金属材料が中央へ移動しやすくなる。これにより、電極端子と配線層の接続信頼性をより向上させることができる。また、ヒータ側に配された配線層と電極端子との間の電気抵抗が上昇することも防止でき、ヒータに充分な電流を流すことが可能になる。そのため、ガスセンサ素子を充分に昇温させることができ、検出精度を向上させることが可能になる。また、上記中間層には、該中間層とは異なる金属材料からなる上記接続部材に接触した界面の周辺に存在する周辺部分において、ボイドが形成されていることが好ましい請求項4。この場合には、上記周辺部分にボイドが形成されているため、接続部材や配線層等にボイドが形成されにくくなる。すなわち、ボイドは、セラミック焼成時の熱によって、異なる金属材料が接触した界面が合金化し、周囲から金属原子が界面に向って移動することにより形成される。そのため、中間層の上記周辺部分から金属原子が移動して、この周辺部分にボイドが形成されるようにしておけば、接続部材や配線層から金属原子が移動しなくてすみ、これら接続部材や配線層にボイドが形成されにくくなる。また、中間層の周辺部分は電流が流れない部位であるため、この周辺部分にボイドが形成されても、電極端子と配線層との間の電気抵抗は大きく変化しない。そのため、電極端子と配線層との接続信頼性を向上させることができる。また、上記貫通ビアの外径Aと、上記中間層の外径Bとの間には、B/A≧2の関係が成立し、かつ上記中間層の厚さdは0.01mm以上であることが好ましい請求項5。この場合には、中間層の外径Aが充分大きく、かつ中間層の厚さdが充分厚いので、中間層の周辺部にのみボイドを形成させることができる。そのため、中間層と接続部材との界面にボイドが形成されることを防止できる。これにより、電極端子と配線層の電気抵抗の上昇を抑制できる。実施例1本発明の実施例にかかるガスセンサ素子につき、図1~図9を用いて説明する。図1に示すごとく、本例のガスセンサ素子1は、配線層2と、絶縁層3と、電極端子4と、中間層5とを備える。図1のガスセンサ素子1は、焼結する前の状態のものである。配線層2はガスセンサ素子1の内部に形成されている。また、絶縁層3は、配線層2の表面を覆っている。電極端子4は、絶縁層3における、配線層2とは反対側の主面に設けられ、配線層2に電気的に接続している。また、中間層5は、電極端子4と配線層2との間に介在しており、電極端子4及び配線層2と電気的に接続している。電極端子4は第1の金属材料により形成され、配線層2は第2の金属材料により形成されている。そして、第1の金属材料と第2の金属材料とのうち、融点が低い金属材料で中間層5を形成している。以下、詳説する。図3に示すごとく、本例のガスセンサ素子1は、センサ部13とヒータ部14からなる。センサ部13は、遮蔽層104、拡散抵抗層103、スペーサ層102、絶縁層3、固体電解質体7、ダクト形成層10を積層したものである。固体電解質体7の両主面には配線層2被測定ガス側配線20、基準ガス側配線21が形成されている。配線層2と電極端子4との間には、中間層5が介在している。電極端子4は、第1センサ用電極40aと、第2センサ用電極40bからなる。第1センサ用電極40aは被測定ガス側配線20に接続しており、第2センサ用電極40bは基準ガス側配線21に接続している。図3、図4に示すごとく、スペーサ層102および絶縁層3には、被測定ガスを導入するための被測定ガス室101が形成されている。また、ダクト形成層10には、基準ガス大気を導入するための基準ガス室100が形成されている。被測定ガス側配線20の先端には、被測定ガス側電極200が形成されている。また、基準ガス側配線21の先端には、基準ガス側電極210が形成されている。被測定ガス側電極200は被測定ガス室101内に露出しており、基準ガス側電極210は基準ガス室100内に露出している。上述したように、固体電解質体7は酸素イオン伝導性を有する。そのため、基準ガス側電極210と被測定ガス側電極200との間に電圧を印加すると、基準ガスと被測定ガスとの間の酸素濃度差に対応した電流が、基準ガス側電極210と被測定ガス側電極200との間に流れる。この電流値を測定することにより、被測定ガスに含まれる酸素濃度を検出できるようになっている。また、図3に示すごとく、ヒータ部14は、発熱体12と、該発熱体12に接続した配線層2ヒータ用配線22と、2枚の絶縁層3第1ヒータ基板31a、第2ヒータ基板31bと、電極端子4ヒータ用電極41とを備える。2枚の絶縁層3の間には、中間層5が介在している。図1に示すごとく、本例では、絶縁層3を貫通すると共に内部に金属製の接続部材60aを配置してなり、中間層5aよりも小さな外径を有し、かつ中間層5aと電極端子4とを接続する貫通ビア6を備える。接続部材60aと電極端子4とは第1の金属材料により形成されている。また、配線層2と中間層5とは第2の金属材料で形成されている。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。第1の金属材料と第2の金属材料は、Mg,Al,Sc,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Ga,Nb,Mo,Ru,Rh,Pd,Ag,In,Sn,W,Re,Os,Ir,Pt,Au,Pbを少なくとも一種類含有している。また、第1の金属材料と第2の金属材料は、アルミナ、ジルコニア、イットリア等のセラミックスを少なくとも1種類含有している。また、第1の金属材料と第2の金属材料のセラミックス/金属重量比は1~25wtである。また、図1に示すごとく、本例では、絶縁層31bを貫通すると共に内部に金属製の第1接続部材60bを配置してなり、中間層5bよりも小さな外径を有し、かつ中間層5bと電極端子41とを接続する第1貫通ビア6aを備える。そして、絶縁層31aを貫通すると共に内部に金属製の第2接続部材66を配置してなり、中間層5bよりも小さな外径を有し、かつ配線層22と中間層5bとを接続する第2貫通ビア6bを備える。第1接続部材60bと電極端子41とは第1の金属材料により形成されている。そして、配線層22と第2接続部材66とは第2の金属材料により形成されている。第1の金属材料と第2の金属材料とのうち、融点が低い金属材料により中間層5bが形成されている。本例では、中間層5bは、第2の金属材料により形成されている。また、図2に示すごとく、固体電解質体7にはスルーホール650が形成されており、このスルーホール650内に金属製のセンサ側第2接続部材65が配置されている。また、被測定ガス側配線20を構成する配線層2によって、接続層250が形成されている。そして、センサ側第1接続部材60c、中間層5c、接続層250、センサ側第2接続部材65によって、第2センサ用電極40bと基準ガス側配線21とが電気的に接続されている。本例では、第2センサ用電極40bとセンサ側第1接続部材60cは第1の金属材料により形成され、中間層5c、接続層250、センサ側第2接続部材65、基準ガス側配線21は第2の金属材料により形成されている。また、本例では、中間層5と貫通ビア6とは、軸線方向から見た形状が円形であり、貫通ビア6の外径A図1参照は0.01mm≦A≦1.315mm、上記中間層5の外径Bは0.02mm≦B≦2.63mm、貫通ビア6の外径Aと、中間層5の外径Bとの間には、B/A≧2の関係が成立する。また、中間層5の厚さdは0.01mm≦d≦0.1mmである。上記寸法は、以下の理由により規定した。貫通ビアの外径Aの下限0.01mmは、これ以下であるとセンサの検出精度を充分に確保できないことから規定した。また、中間層の外径Bの上限2.63mmは、センサ素子幅が5.28mmであるため、中間層が短絡することなく導通を確保でき、かつガスセンサ素子1の検出精度を充分に確保できる範囲であることから規定した。これ以上だと隣り合う中間層同士が接続し短絡するためである。また、B/A≧2が必要なため、貫通ビアの外径Aの上限は中間層の外径Bの上限2.63mmより1.315mmとなり、中間層の外径Bの下限は貫通ビアの外径Aの下限0.01mmより0.02mmとなる。よって、貫通ビアの外径Aは0.01mm≦A≦1.315mm、中間層の外径Bは0.02mm≦B≦2.63mmと規定した。また、中間層5の厚さdの下限0.01mmは中間層の周辺部にのみボイドを形成させることができる厚みを規定した。上限0.1mmは素子製造上0.1mmを超えると中間層厚みによりセンサ素子形状不良となり導通の確保およびセンサ検出ができなくなるためである。以上の理由により、中間層5の厚さdは0.01mm≦d≦0.1mmと規定した。一方、図4に示すごとく、遮蔽層104、拡散抵抗層103、スペーサ層102の側面はテーパ状に形成されている。拡散抵抗層103の側面は、被測定ガスを導入するためのガス導入口105になっている。拡散抵抗層103は多孔質体からなるため、被測定ガスが内部を通ることができる。被測定ガスは、ガス導入口105から拡散抵抗層103内に入り、被測定ガス室101に導入される。本例の作用効果について説明する。本例では、図1に示すごとく、電極端子4を第1の金属材料で形成し、配線層2を第2の金属材料で形成した。そして、第1の金属材料と第2の金属材料のうち、融点が低い第2の金属材料で中間層5を形成した。このようにすると、ガスセンサ素子1を製造するにあたり、焼成工程を行った場合に、図5に示すごとく、中間層5を構成する第2の金属材料と、該中間層5に接触する第1の金属材料とが合金化する。これらの金属材料が合金化した場合には、中間層5の周辺部分50の金属材料が移動する。中間層5の周辺部分50は、電気的接続には直接寄与しない部分であるため、この周辺部分50にボイドVが形成されても、電気抵抗が高くなる不具合は生じにくい。そのため、電極端子4と配線層2との接続信頼性が低下することを防止できる。また、本例のガスセンサ素子1は、ヒータ用配線22とヒータ用電極41との間の電気抵抗が高くなることも防止できる。そのため、ヒータ用配線22に充分な電流を流すことができ、ガスセンサ素子1を充分に昇温させることができる。これにより、ガスセンサ素子1の検出精度を高めることが可能になる。また、本例では、図1に示すごとく、中間層5と電極端子4とは、中間層5よりも外径が小さい接続部材60aによって接続されている。そのため、中間層5の周辺部分50には接続部材60aが接続しなくなる。したがって、焼成工程を行った場合に、図5に示すごとく、中間層5の周辺部分50の金属材料が中央部分接続部材60aが接続している部分に移動しやすくなる。また、本例では、図1に示すごとく、ヒータ部14において、中間層5bと、該中間層5bよりも外径が小さい第1接続部材60bおよび第2接続部材66とによって、配線層22と電極端子41とが接続されている。このようにすると、中間層5bよりも小さな外径を有する第1接続部材60bおよび第2接続部材66が、中間層5bに接続することになる。そのため、焼成工程を行った場合、図5に示すごとく、中間層5bの周辺部分50の金属材料が中央へ移動しやすくなる。これにより、電極端子と配線層の接続信頼性をより向上させ、ガスセンサ素子1の検出精度を高めることが可能になる。一方、本例では、貫通ビア6の外径Aと、中間層5の外径Bとの間には、B/A≧2の関係が成立する。また、中間層5の厚さdは0.01mm以上である。このようにすると、中間層5の外径Aが充分大きく、かつ中間層5の厚さdが充分厚いので、中間層5の周辺部分50にのみボイドVを形成させることができる。そのため、中間層5と接続部材60との界面500にボイドVが形成されることを防止できる。これにより、電極端子4と配線層2の電気抵抗の上昇を抑制できる。また、本例では、第1の金属材料および第2の金属材料にセラミックスを添加している。このようにすると、絶縁層3や固体電解質体7等と、上記金属材料との密着性を向上させることができる。第1の金属材料と第2の金属材料は、PtとPdを少なくとも一種類含有し、さらに、アルミナ、ジルコニア、イットリア等のセラミックスを少なくとも1種類含有すると共に、第1の金属材料と第2の金属材料のセラミックス/金属重量比は1~25wtであることが好ましい。この理由は、上記組成にすると、第1の金属材料と第2の金属材料の融点が1500°C以上となるため、製造時にガスセンサ素子1を高温、例えば1450±50°Cで焼成した場合でも、これらの金属材料が溶融するおそれが少なくなるからである。また、上記金属材料の熱膨張係数が、固体電解質体7の熱膨張係数9.2×10-6/°Cに近くなるため、焼成時に、金属材料と固体電解質体7との間に大きな熱応力が発生することを抑制できるためである。以上のごとく、本例によると、配線層と電極端子の接続信頼性が高く検出精度が高いガスセンサ素子を提供することができる。実験例1本発明の効果を確認するための実験を行った。電極端子4、絶縁層3、中間層5等を積層し、実施例1に係る構造のサンプルを製造した。センサ用電極40と、ヒータ用電極41と、接続部材60a,60bとを、第1の金属材料Pt100、融点1774°C、線膨張係数9.1×10-6/°C、セラミック種:アルミナ、アルミナ/PtPd=10wtを使って形成し、中間層5a,5bと、配線層20,21,22と、第2接続部材66とを、第2の金属材料Pd100、融点1555°C、線膨張係数1.176×10-5/°C、セラミック種:アルミナ、アルミナ/Pd=10wtを使って形成した。電極端子440,41の厚さを0.02mm、接続部材60の高さを0.16mm、中間層5a,5bの厚さdを0.03mm、配線層20,21,22の厚さを0.01mm、0.018mm、0.03mm、接続部材60の外径A,A’を0.248mm、中間層5aの外径Bを0.6mm、中間層5bの外径B’を0.5mmにした。また、センサ部13における絶縁層3の厚さを0.2mmにした。そして、第1ヒータ基板31aの厚さを0.19mm、第2ヒータ基板31bの厚さを0.19mmにした。このようにして、本発明に係るガスセンサ素子1の、焼結前のサンプル1を製造した。また、比較例として、センサ用電極40、ヒータ用電極41、接続部材60a,60b、中間層5a,5b、第2接続部材66を上記第1の金属材料により形成し、配線層20,21,22を上記第2の金属材料により形成した、焼結前のサンプル2を製造した図37参照。サンプル2の、その他の構造は、サンプル1と同様にした。これらのサンプル1、サンプル2を1450±50°Cで120分焼結した。そして、焼結後のサンプル1及びサンプル2の、ヒータ用配線22~ヒータ用電極41までの間の顕微鏡写真を撮影した。サンプル1の顕微鏡写真を図6、図7に示す。また、サンプル2の顕微鏡写真を図8、図9に示す。図6、図7に示すごとく、本発明に係るサンプル1は、中間層5の周辺部分50の金属材料が移動し、該周辺部分50にボイドVができている。これに対し、比較例としてのサンプル2は、図8、図9に示すごとく、ヒータ用配線22にボイドVができている。次に、サンプル1、サンプル2を用いて25°C~1000°Cの間で温度変化を繰り返す冷熱サイクル試験を実施し、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間の電気抵抗変化を測定した。また、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間および、被測定ガス側配線20と電極端子40aの間および、基準ガス側配線層21と電極端子40bの間に亀裂が発生したか否か評価した。冷熱サイクル試験では、25°Cから1000°Cまで温度を上げ、その後25°Cに戻す処理を1サイクルとして、このサイクルを図10に示す回数、行った。図10では、横軸にサイクル数をとり、縦軸に、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間の電気抵抗の測定値を測定初期値で割った値をとった。そして、この値が急激に上昇した場合に亀裂が発生したと判定し、変化しない場合は亀裂が発生していないと判定した。判定の結果を表1に示す。亀裂のない場合を○、亀裂のある場合を×とした。図10、表1に示すごとく、サンプル1は冷熱サイクルを10000回行っても抵抗変化がなく、亀裂も発生していないことが分かる。これに対して比較例としてのサンプル2は、サイクル数5000回で電気抵抗が上昇し、亀裂が発生していることが分かる。次に、焼結後のサンプル1、サンプル2を複数個製造して、ヒータ用配線22とヒータ用電極41との間の電気抵抗を測定した。その結果を図11に示す。図11では、電気抵抗の測定値を狙い値で割った値を縦軸にとった。サンプル数は50個とした。図11から、本例に係るサンプル1は平均値が1であり、電気抵抗の測定値が狙い値と等しいことが分かる。また、ばらつきも小さいことが分かる。これに対して、比較例としてのサンプル2は、平均値が25倍の値であることが分かる。また、サンプル2は、サンプル1と比較してばらつきが大きいことが分かる。次に、上記製造したサンプル1およびサンプル2を用いて、素子狙い温度700°Cになるようにヒータに定電力9Wを与え、センサ出力の指標である大気中IL値を測定した。その結果を図12に示す。図12では、センサ部に0.4V印加した場合における出力電流の測定値を狙い値で割った値を縦軸にとった。サンプル数は50個とした。図12から、本発明に係るサンプル1は出力平均が1であり、狙い値と等しいことがわかる。また、サンプル1は出力電流のばらつきが小さいことが分かる。これに対して、比較例としてのサンプル2は、出力電流の平均が8低下し、かつばらつきが大きいことが分かる。これは、サンプル2はヒータ用配線22にボイドができたことによりサンプル1と比較して電気抵抗が上昇し、素子温度が低下したことと、被測定ガス側配線20等にもボイドができ電気抵抗が上昇したことが原因となって、0.4V印加時の電流値が低下し、センサ出力が低下したと考えられる。また、電気抵抗がばらついたためセンサ出力もばらついたと考えられる。配線層と電極端子の間の接続信頼性および、センサ出力を判定した結果を表2に示す。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表2に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。配線2等にボイドが生じず、電気抵抗の測定値が狙いの範囲内狙い値の99以上101以下となる場合または、センサ出力の測定値が狙いの範囲内狙い値の99以上101以下となる場合を○とした。なお、上記狙い値とは、ボイドが形成されなかった場合に経験的に予想される電気抵抗またはセンサ出力を意味する。表2から、サンプル1は接続信頼性及びセンサ出力が良好であり、サンプル2は良好でないことが分かる。次に、中間層5aの外径Bと接続部材60aの外径Aの比B/Aと、中間層5aの厚さdを下記表3、表4のように変更し、その他の構造はサンプル1と同じにしたサンプル3~サンプル64を作製した。そして、各サンプルの、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間の電気抵抗と、センサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表3、表4に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。配線2等にボイドが生じず、電気抵抗の測定値が狙いの範囲内狙い値の99以上101以下となる場合または、センサ出力の測定値が狙いの範囲内狙い値の99以上101以下となる場合を○とした。表3、表4から、0.01mm≦A≦1.315mm、0.02mm≦B≦2.63mm、B/A≧2で、かつ0.01mm≦d≦0.1mmの範囲であれば、接続信頼性およびセンサ出力が良好であることが分かる。次に、センサ用電極40、ヒータ用電極41、接続部材60a,60bを構成する第1の金属材料のPt/Pd組成を下記表5のように変更し、その他の材料組成および構造はサンプル1と同じにしたサンプル65~67を作製した。そして、各サンプルの、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間の電気抵抗と、各サンプルのセンサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表5に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。配線2等にボイドが生じず、電気抵抗の測定値が狙いの範囲内狙い値の99以上101以下となる場合または、センサ出力の測定値が狙いの範囲内狙い値の99以上101以下となる場合を○とした。表5から、サンプル1は、第1の金属材料のPt/Pd組成比を90/10~10/90の間で変化させても、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の接続信頼性および、センサ出力が良好であることが分かる。実施例2本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図13に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、第1接続部材60bと、中間層5aと、第2接続部材66とによって接続した。また、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。中間層5bとヒータ用配線22とは直接、接続した。そして、第1センサ用電極40aと、第1接続部材60bと、接続部材60aと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料によって形成し、中間層5a,5bと、第2接続部材66と、基準ガス側配線21と、ヒータ用配線22とを第2の金属材料によって形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。また、本例では図14に示すごとく、第2センサ用電極40bと基準ガス側配線21との間を、センサ側第1接続部材60cと、中間層5cと、センサ側第2接続部材65とによって接続した。そして、第2センサ用電極40bと、センサ側第1接続部材60cとを第1の金属材料によって形成し、中間層5cと、センサ側第2接続部材65と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料によって形成した。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例3本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図15に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、接続部材60aと、中間層5aとによって接続した。中間層5aと被測定ガス側配線20とは直接、接続した。また、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。中間層5bとヒータ用配線22とは直接、接続した。そして、第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料によって形成し、中間層5a,5bと、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21と、ヒータ用配線22とを第2の金属材料によって形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例4本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図16に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、第1接続部材60bと、中間層5aと、第2接続部材66とによって接続した。また、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと、中間層5bと、第2接続部材66とによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料によって形成した。また、中間層5a,5bと、第2接続部材66と、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21と、ヒータ用配線22とを第2の金属材料によって形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例5本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図17に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、接続部材60aと中間層5aとによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと、中間層5bと、第2接続部材66とによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21と、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、ヒータ用配線22と、第2接続部材66と、中間層5bとを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実験例2次に、実施例5に係るガスセンサ素子1の効果を確認するための実験を行った。電極端子4、絶縁層3、中間層5等を積層し、図17に示す構造のサンプルを製造した。第1センサ用電極40a、接続部材60a、中間層5a、被測定ガス側配線20、基準ガス側配線21、第1接続部材60b、ヒータ用電極41は第1の金属材料により形成した。また、ヒータ用配線22、第2接続部材66、中間層5bを第2の金属材料により形成した。第1の金属材料および第2の金属材料は、実験例1と同一の組成にした。さらに、電極端子4、接続部材60、中間層5a,5b、配線層20,21,22、絶縁層3、第1ヒータ基板31a、第2ヒータ基板31bの寸法を、実験例1のサンプル1と同一にした。このようにして、実施例5に係るサンプル68とした。また、実験例1のサンプル2と同一の構成を備える、比較例としてのサンプル69を製造した。これらのサンプル68、69を1450±50°Cで120分焼結し、焼結後のサンプル68、69を複数個、作製した。そして、実験例1と同一の条件で、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間の電気抵抗を測定すると共に、大気中IL値を測定した。測定したサンプルの数は、それぞれ50個であった。この測定結果を用いて、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間の接続信頼性および、センサ出力を判定した。その結果を表6に示す。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表6に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は実験例1と同一にした。表6から、サンプル68は接続信頼性及びセンサ出力が良好であり、サンプル69は良好でないことが分かる。次に、中間層5bの外径Bと接続部材60aの外径Aの比B/Aと、中間層5bの厚さdを下記表7、表8のように変更し、その他の構造はサンプル68と同じにしたサンプル70~サンプル131を作製した。そして、各サンプルの、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間の電気抵抗と、センサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表7、表8に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は、実験例1と同一にした。表7、表8から、0.01mm≦A≦1.315mm、0.02mm≦B≦2.63mm、B/A≧2で、かつ0.01mm≦d≦0.1mmの範囲であれば、接続信頼性およびセンサ出力が良好であることが分かる。次に、第1の金属材料のPt/Pd組成を下記表9のように変更し、その他の材料組成および構造はサンプル68と同じにしたサンプル132~134を作製した。そして、各サンプルの、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間の電気抵抗と、各サンプルのセンサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表9に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は、実験例1と同一にした。表9から、サンプル68は、第1の金属材料のPt/Pd組成比を90/10~10/90の間で変化させても、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の接続信頼性および、センサ出力が良好であることが分かる。実施例6本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図18に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、接続部材60aと中間層5aとによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21と、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、ヒータ用配線22と中間層5bを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例7本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図19に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、第1接続部材60bと中間層5aと第2接続部材66とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと中間層5bと第2接続部材66とによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、第1接続部材60bと、中間層5aと、測定ガス側の第2接続部材66aと、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21と、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、ヒータ用配線22と、ヒータ側の第2接続部材66bと、中間層5bとを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例8本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図20に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、第1接続部材60bと中間層5aと第2接続部材66とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、第1接続部材60bと、中間層5aと、第2接続部材66と、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21と、接続部材60aと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、ヒータ用配線22と、中間層5bとを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例9本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図21に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、接続部材60aと中間層5aとによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと、中間層5bと、第2接続部材66とによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、ヒータ用配線22と、第2接続部材66と、中間層5bと、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実験例3実施例9に係るガスセンサ素子1の効果を確認するための実験を行った。電極端子4、絶縁層3、中間層5等を積層し、図21に示す構造のサンプルを製造した。第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、ヒータ用配線22と、第2接続部材66と、中間層5bと、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料により形成した。第1の金属材料および第2の金属材料は、実験例1と同一の組成にした。さらに、電極端子4、接続部材60、中間層5a,5b、配線層20,21,22、絶縁層3、第1ヒータ基板31a、第2ヒータ基板31bの寸法を、実験例1のサンプル1と同一にした。このようにして、実施例9に係るサンプル135とした。また、実験例1のサンプル2と同一の構成を備える、比較例としてのサンプル136を製造した。これらのサンプル135、136を1450±50°Cで120分焼結し、焼結後のサンプル135、136を複数個、作製した。そして、実験例1と同一の条件で、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間の電気抵抗を測定すると共に、大気中IL値を測定した。測定したサンプルの数は、それぞれ50個であった。この測定結果を用いて、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間の接続信頼性および、センサ出力を判定した。その結果を表10に示す。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表10に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は実験例1と同一にした。表10から、サンプル135は接続信頼性及びセンサ出力が良好であり、サンプル136は良好でないことが分かる。次に、中間層5aの外径Bと接続部材60aの外径Aの比B/Aと、中間層5aの厚さdを下記表11、表12のように変更し、その他の構造はサンプル135と同じにしたサンプル137~サンプル198を作製した。そして、各サンプルの、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間の電気抵抗と、センサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表11、表12に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は、実験例1と同一にした。表11、表12から、0.01mm≦A≦1.315mm、0.02mm≦B≦2.63mm、B/A≧2で、かつ0.01mm≦d≦0.1mmの範囲であれば、接続信頼性およびセンサ出力が良好であることが分かる。次に、第1の金属材料のPt/Pd組成を下記表13のように変更し、その他の材料組成および構造はサンプル135と同じにしたサンプル199~201を作製した。そして、各サンプルの、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間の電気抵抗と、各サンプルのセンサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表13に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は、実験例1と同一にした。表13から、サンプル135は、第1の金属材料のPt/Pd組成比を90/10~10/90の間で変化させても、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20の接続信頼性および、センサ出力が良好であることが分かる。実施例10本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図22に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、接続部材60aと中間層5aとによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、ヒータ用配線22と、中間層5bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例11本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図23に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、第1接続部材60bと中間層5aと第2接続部材66とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと中間層5bと第2接続部材66とによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、第1接続部材60bと、ヒータ用配線22と、ヒータ側の第2接続部材66bと、中間層5bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5aと、測定ガス側の第2接続部材66aと、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例12本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図24に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、第1接続部材60bと中間層5aと第2接続部材66とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、第1接続部材60bと、ヒータ用配線22と、中間層5bと、接続部材60aと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5aと、第2接続部材66と、被測定ガス側配線20と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例13本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図25に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、接続部材60aと中間層5aとによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと、中間層5bと、第2接続部材66とによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、基準ガス側配線21と、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、ヒータ用配線22と、第2接続部材66と、中間層5bとを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。また、本例では図26に示すごとく、第2センサ用電極40bと基準ガス側配線21との間を、センサ側第1接続部材60cと中間層5cと接続層250とセンサ側第2接続部材65とによって接続した。そして、第2センサ用電極40bと、センサ側第1接続部材60cと、中間層5cと、接続層250と、センサ側第2接続部材65と、基準ガス側配線21とを第1の金属材料により形成した。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実験例4実施例13に係るガスセンサ素子1の効果を確認するための実験を行った。電極端子4、絶縁層3、中間層5等を積層し、図25、26に示す構造のサンプルを製造した。第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、基準ガス側配線21と、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41と、第2センサ用電極40bと、センサ側第1接続部材60cと、中間層5cと、接続層250と、センサ側第2接続部材65とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、ヒータ用配線22と、第2接続部材66と、中間層5bとを第2の金属材料により形成した。第1の金属材料および第2の金属材料は、実験例1と同一の組成にした。さらに、電極端子4、接続部材60、中間層5a,5b、配線層20,21,22、絶縁層3、第1ヒータ基板31a、第2ヒータ基板31bの寸法を、実験例1のサンプル1と同一にした。このようにして、実施例13に係るサンプル202とした。また、実験例1のサンプル2と同一の構成を備える、比較例としてのサンプル203を製造した。これらのサンプル202、203を1450±50°Cで120分焼結し、焼結後のサンプル202、203を複数個、作製した。そして、実験例1と同一の条件で、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間の電気抵抗を測定すると共に、大気中IL値を測定した。測定したサンプルの数は、それぞれ50個であった。この測定結果を用いて、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間の接続信頼性および、センサ出力を判定した。その結果を表14に示す。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表14に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は実験例1と同一にした。表14から、サンプル202は接続信頼性及びセンサ出力が良好であり、サンプル203は良好でないことが分かる。次に、中間層5aの外径Bと接続部材60aの外径Aの比B/Aと、中間層5aの厚さdを下記表15、表16のように変更し、その他の構造はサンプル202と同じにしたサンプル204~サンプル265を作製した。そして、各サンプルの、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間の電気抵抗と、センサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表15、表16に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は、実験例1と同一にした。表15、表16から、0.01mm≦A≦1.315mm、0.02mm≦B≦2.63mm、B/A≧2で、かつ0.01mm≦d≦0.1mmの範囲であれば、接続信頼性およびセンサ出力が良好であることが分かる。次に、第1の金属材料のPt/Pd組成を下記表17のように変更し、その他の材料組成および構造はサンプル202と同じにしたサンプル266~268を作製した。そして、各サンプルの、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間の電気抵抗と、各サンプルのセンサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表17に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は、実験例1と同一にした。表17から、サンプル202は、第1の金属材料のPt/Pd組成比を90/10~10/90の間で変化させても、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との接続信頼性および、センサ出力が良好であることが分かる。実施例14本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図27に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、第1接続部材60bと中間層5aと第2接続部材66とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと中間層5bと第2接続部材66とによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、第1接続部材60bと、基準ガス側配線21と、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5a,5bと、第2接続部材66と、被測定ガス側配線20と、ヒータ用配線22とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例15本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図28に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、接続部材60aと中間層5aとによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、基準ガス側配線21と、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5a,5bと、被測定ガス側配線20と、ヒータ用配線22とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例16本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図29に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、第1接続部材60bと中間層5aと第2接続部材66とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、第1接続部材60bと、基準ガス側配線21と、接続部材60aと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5a,5bと、第2接続部材66と、被測定ガス側配線20と、ヒータ用配線22とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例17本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図30に示すごとく、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間を、接続部材60aと中間層5aとによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと、中間層5bと、第2接続部材66とによって接続した。そして、第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、基準ガス側配線21と、ヒータ用配線22と、第2接続部材66と、中間層5bとを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。また、本例では図31に示すごとく、第2センサ用電極40bと基準ガス側配線21との間を、センサ側第1接続部材60cと中間層5cと接続層250とセンサ側第2接続部材65とによって接続した。そして、第2センサ用電極40bと、センサ側第1接続部材60cとを第1の金属材料により形成し、中間層5cと、接続層250と、センサ側第2接続部材65と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料により形成した。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実験例5実施例17に係るガスセンサ素子1の効果を確認するための実験を行った。電極端子4、絶縁層3、中間層5等を積層し、図30、31に示す構造のサンプルを製造した。第1センサ用電極40aと、接続部材60aと、中間層5aと、被測定ガス側配線20と、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41と、第2センサ用電極40bと、センサ側第1接続部材60cとを第1の金属材料により形成した。また、基準ガス側配線21と、ヒータ用配線22と、第2接続部材66と、中間層5b,5cと、接続層250と,センサ側第2接続部材65とを第2の金属材料により形成した。第1の金属材料および第2の金属材料は、実験例1と同一の組成にした。さらに、電極端子4、接続部材60、中間層5a,5b、配線層20,21,22、絶縁層3、第1ヒータ基板31a、第2ヒータ基板31bの寸法を、実験例1のサンプル1と同一にした。このようにして、実施例17に係るサンプル269とした。また、実験例1のサンプル2と同一の構成を備える、比較例としてのサンプル270を製造した。これらのサンプル269、270を1450±50°Cで120分焼結し、焼結後のサンプル269、270を複数個、作製した。そして、実験例1と同一の条件で、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間の電気抵抗を測定すると共に、大気中IL値を測定した。測定したサンプルの数は、それぞれ50個であった。この測定結果を用いて、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間の接続信頼性および、センサ出力を判定した。その結果を表18に示す。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表18に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は実験例1と同一にした。表18から、サンプル269は接続信頼性及びセンサ出力が良好であり、サンプル270は良好でないことが分かる。次に、中間層5aの外径Bと接続部材60aの外径Aの比B/Aと、中間層5aの厚さdを下記表19、表20のように変更し、その他の構造はサンプル269と同じにしたサンプル271~サンプル332を作製した。そして、各サンプルの、ヒータ用配線22とヒータ用電極41の間の電気抵抗と、センサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表19、表20に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は、実験例1と同一にした。表19、表20から、0.01mm≦A≦1.315mm、0.02mm≦B≦2.63mm、B/A≧2で、かつ0.01mm≦d≦0.1mmの範囲であれば、接続信頼性およびセンサ出力が良好であることが分かる。次に、第1の金属材料のPt/Pd組成を下記表21のように変更し、その他の材料組成および構造はサンプル269と同じにしたサンプル333~335を作製した。そして、各サンプルの、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との間の電気抵抗と、各サンプルのセンサ出力を調査した。接続信頼性およびセンサ出力が良好なサンプルには表21に○を付し、良好でないサンプルに×を付す。○×の判定基準は、実験例1と同一にした。表21から、サンプル269は、第1の金属材料のPt/Pd組成比を90/10~10/90の間で変化させても、第1センサ用電極40aと被測定ガス側配線20との接続信頼性および、センサ出力が良好であることが分かる。本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図32に示すごとく、第2センサ用電極40bと基準ガス側配線21との間を、センサ側第1接続部材60cと、中間層5cと、センサ側第2接続部材65とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、第1接続部材60bと、中間層5bと、第2接続部材66とによって接続した。そして、第2センサ用電極40bと、センサ側第1接続部材60cと、第1接続部材60bと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料によって形成し、中間層5b,5c、センサ側第2接続部材65、基準ガス側配線21、ヒータ用配線22、第2接続部材66を第2の金属材料によって形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。また、第1センサ用電極40a図示しないと被測定ガス側配線20との接続構造は、実施例14と同様にした。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例19本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図33に示すごとく、第2センサ用電極40bと基準ガス側配線21との間を、センサ側第1接続部材60cと中間層5cと接続層250とセンサ側第2接続部材65とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。そして、第2センサ用電極40bと、センサ側第1接続部材60cと、ヒータ用配線22と、中間層5bと、接続部材60aと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5cと、接続層250と、センサ側第2接続部材65と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。また、第1センサ用電極40a図示しないと被測定ガス側配線20との接続構造は、実施例10と同様にした。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。実施例20本例は、電極4と配線2の接続構造を変更した例である。本例では、図34に示すごとく、第2センサ用電極40bと基準ガス側配線21との間を、センサ側第1接続部材60cと中間層5cとセンサ側第2接続部材65とによって接続すると共に、ヒータ用電極41とヒータ用配線22との間を、接続部材60aと中間層5bとによって接続した。そして、第2センサ用電極40bと、センサ側第1接続部材60cと、ヒータ用配線22と、中間層5bと、接続部材60aと、ヒータ用電極41とを第1の金属材料により形成した。また、中間層5cと、センサ側第2接続部材65と、基準ガス側配線21とを第2の金属材料により形成した。第2の金属材料の方が第1の金属材料よりも融点が低い。また、第1センサ用電極40a図示しないと被測定ガス側配線20との接続構造は、実施例12と同様にした。その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。"