"被検査対象を搭載するための少なくとも1つのソケットと、前記ソケットを有し、被検査対象を試験するための複数の回路基板と、複数の前記回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備え、複数の前記回路基板は相互に電気的に接続され、各前記回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第1回路部と、被検査対象の共用の回路となる第2回路部の一部と、を有し、複数の前記回路基板における前記第2回路部の前記一部は、相互に電気的に接続されることにより1つのパフォーマンスボードとして機能することを特徴とする検査装置。複数の前記回路基板として、第1回路基板及び第2回路基板を備え、前記第1回路基板の回路と前記第2回路基板の回路とは、線対称の関係にあることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。複数の前記回路基板として、第1回路基板及び第2回路基板を備え、前記第1回路基板の回路と前記第2回路基板の回路とは、点対称の関係にあることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。複数の前記回路基板において、前記第1回路部と前記第2回路部の一部とは、異なる層に形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の検査装置。被検査対象を搭載するための少なくとも1つのソケットと、被検査対象を試験するための複数の回路基板と、複数の前記回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備え、複数の前記回路基板のうち一部の回路基板は前記ソケットを有し、残部の回路基板は前記ソケットを有さず、複数の前記回路基板は相互に電気的に接続され、前記ソケットを有する前記回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第1回路部と、被検査対象の共用の回路となる第2回路部の一部と、を有し、前記ソケットを有さない前記回路基板は、被検査対象の共用の回路となる第2回路部の一部を有し、複数の前記回路基板における前記第2回路部の前記一部は、相互に電気的に接続されることにより1つのパフォーマンスボードとして機能することを特徴とする検査装置。前記ソケットを有する前記回路基板は、被検査対象毎に交換可能に構成されていることを特徴とする請求項5に記載の検査装置。以下の分析は、本発明の観点から与えられる。ICIntegratedCircuitやLSILargeScaleIntegratedcircuit等の被検査対象DUT;DeviceUnderTestを検査するための検査装置においては、特許文献1に記載のテストボード装置のように、被検査対象に共通の回路基板であるパフォーマンスボードと、被検査対象個別の回路基板であるDUTテストボードとが別個に設けられている。この場合、パフォーマンスボードとDUTテストボードとは、ケーブル等で電気的に接続する必要がある。したがって、パフォーマンスボードとDUTテストボードとの間の配線長のために両者間の電気的信号の損失や劣化が生じてしまう。また、特許文献1に記載のテストボード装置においては、パフォーマンスボードは分割されておらず、大きいままであるので、開発設計に時間及び労力を要すると共に、製造時において加工精度の低下や反りの発生により検査装置の品質が低下することになる。本発明の第1視点によれば、被検査対象を搭載するための少なくとも1つのソケットと、ソケットを有し、被検査対象を試験するための複数の回路基板と、複数の回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備える検査装置が提供される。複数の回路基板は相互に電気的に接続される。各回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第1回路部と、被検査対象の共用の回路となる第2回路部の一部と、を有する。複数の回路基板における第2回路部の一部は、相互に電気的に接続されることにより1つのパフォーマンスボードとして機能する。本発明の第2視点によれば、被検査対象を搭載するための少なくとも1つのソケットと、被検査対象を試験するための複数の回路基板と、複数の回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備える検査装置が提供される。複数の回路基板のうち一部の回路基板はソケットを有し、残部の回路基板はソケットを有さない。複数の回路基板は相互に電気的に接続される。ソケットを有する回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第1回路部と、被検査対象の共用の回路となる第2回路部の一部と、を有する。ソケットを有さない回路基板は、被検査対象の共用の回路となる第2回路部の一部を有する。複数の回路基板における第2回路部の一部は、相互に電気的に接続されることにより1つのパフォーマンスボードとして機能する。本発明は、以下の効果のうち少なくとも1つを有する。本発明においては、回路基板に、テストボードとして機能する第1回路部とパフォーマンスボードとして機能する第2回路部とが集約されている。これにより、テスタヘッドとソケット間の電気的配線長を短くすることができ、被検査対象の検査時における電気的信号の損失や劣化を抑制することができる。また、本発明によれば、1つの回路基板の大きさを縮小することができる。これにより、回路基板の設計開発に要する時間及び労力を削減することができる。また、1つの回路基板の加工精度を高めると共に、発生する反りの程度を抑制することができ、検査装置の品質を高め、歩留まりを向上させることができる。さらに、本発明においては、第2回路部が複数の回路基板において共用されているので、装置の大型化及び複雑化を防止することができると共に、製造コスト及び開発コストを削減することができる。上記第1視点及び第2視点の好ましい形態を実施形態の概要として以下に記載する。上記第1視点の好ましい形態によれば、検査装置は、複数の回路基板として、第1回路基板及び第2回路基板を備える。第1回路基板の回路と第2回路基板の回路とは、線対称の関係にある。上記第1視点の好ましい形態によれば、検査装置は、複数の回路基板として、第1回路基板及び第2回路基板を備える。第1回路基板の回路と第2回路基板の回路とは、点対称の関係にある。上記第1視点の好ましい形態によれば、複数の回路基板において、第1回路部と第2回路部の一部とは、異なる層に形成されている。上記第2視点の好ましい形態によれば、ソケットを有する回路基板は、被検査対象毎に交換可能に構成されている。以下に、本発明の第1~第3実施形態について、図面を参照しながら説明する。本発明の第1実施形態に係る検査装置について説明する。図1に、本発明の第1実施形態に係る検査装置の概略平面図を示す。図2に、図1のII-II線における概略断面図を示す。検査装置10は、被検査対象を搭載するための少なくとも1つのソケット11と、被検査対象を試験するための回路配線14を有する複数の回路基板12a,12bと、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッド13と、を備える。図1及び図2に示す形態においては、複数の回路基板として、第1回路基板12a及び第2回路基板12bが示されている。ソケット11と各回路基板12a,12bとは電気的に接続されている。回路基板12a,12bとテスタヘッド13とは電気的に接続されている。複数の回路基板12a,12bは、ケーブル15を介して相互に電気的に接続されている。図1及び図2に示す形態においては、複数の回路基板12a,12bは、ケーブル15を介して電気的に接続したが、ケーブル15を設けずにテスタヘッド13中の配線を介して相互に電気的に接続してもよい。検査装置10は、回路基板12a,12bの他に、パフォーマンスボードに相当する基板を別個に有していない。その代わり、各回路基板12a,12bは、被検査対象毎の個別の回路となる第1回路部不図示と、被検査対象の共用の回路となる第2回路部の一部不図示と、を有する。図1及び図2に示すように回路基板が2つの形態である場合、第1回路基板12aの第2回路部の一部と、第2回路基板12bの第2回路部の一部とは、相互に電気的に接続されることにより、1つの第2回路部となる。仮想的な1つの第2回路部は、1つのパフォーマンスボードに相当する機能を有する。すなわち、第1回路基板12aの第2回路部は、パフォーマンスボードの機能の一部を有し、第2回路基板12bの第2回路部は、パフォーマンスボードの機能の残部を有し、第1回路基板12aと第2回路基板12bとを電気的に接続することにより、第1回路基板12a及び第2回路基板12bはパフォーマンスボードに相当する回路を有することになる。一方、各回路基板12a,12bの第1回路部は、それぞれ、テストボードに相当する機能を有する。1つの回路基板において、第1回路部と第2回路部とは、好ましくは、異なる配線層として分離させ、相互に電気的な影響を及ぼさないようにする。第1回路基板12a及び第2回路基板12bは、被検査対象毎にそれぞれ交換可能に構成すると好ましい。パフォーマンスボードに相当する基板を別途設けず、テストボードとパフォーマンスボードとを1つの回路基板に組み込むことにより、テスタヘッド13とソケット11間、特に第1回路部と第2回路部間の配線長を短くすることができ、電気的信号の損失や劣化を抑制することができる。また、検査装置10の小型化を実現することができると共に、検査装置の簡素化を実現することができる。検査装置10が有する回路基板の数が2つである場合、第1回路基板12aの回路と第2回路基板12bの回路とは、図1に示すような平面投影上において、第1回路基板12aと第2回路基板12b間の仮想上の線Xに対して線対称一方が他方をミラー反転した形態であると好ましい。図1に示す回路配線14は、第1回路基板12aの回路と第2回路基板12bの回路の関係を示すための例示である。この場合、本発明のように回路基板を複数に分割せずに1つの回路基板として設計する場合、及び回路基板を分割する場合でも複数の回路基板を同じ向きで並列に並べる場合と比較して、本発明によれば、同一の回路を2つ作製すればよいので、すなわち半分の回路設計で済むので回路基板の開発期間及び労力を削減することができる。また、1つの回路基板の大きさも半分になるので、開発期間及び労力をさらに削減することができる。1つの回路基板の大きさが半分になることの別の効果として、配線の加工精度を高めることができると共に、基板の反りの程度を抑制することができ、製品の歩留まりを向上させることができる。さらに、第1回路基板12aと第2回路基板12bとは同一回路となるので、電気的な特性差の発生を抑制することができる。また、これらに伴い、回路基板の歩留まり向上、開発期間短縮、試験回数の低減等により、開発コストや製造コストを低減することもできる。次に、本発明の第2実施形態に係る検査装置について説明する。図3に、本発明の第2実施形態に係る検査装置の概略平面図を示す。図3において、図1及び図2の同じ要素には同じ符号を付してある。概略断面図については図2と同様である。第1実施形態においては、第1回路基板12aの回路と第2回路基板12bの回路とは、第1回路基板12aと第2回路基板12b間の仮想の線Xに対して線対称であったが、第2実施形態に係る検査装置20においては、第1回路基板12aの回路と第2回路基板22bの回路とは、図3に示すような平面投影上において、第1回路基板12aと第2回路基板22b間の仮想上の点Yに対して点対称一方が他方を180°回転した形態となっている。これによっても第1実施形態と同様の効果を得ることができる。第2実施形態における上記以外の形態は第1実施形態と同様である。次に、本発明の第3実施形態に係る検査装置について説明する。図4に、本発明の第3実施形態に係る検査装置の概略平面図を示す。図4において、図1~図3の同じ要素には同じ符号を付してある。概略断面図については図2と同様である。第3実施形態においては、複数の回路基板のうち少なくとも1つの回路基板には第1回路部が形成されていない。検査装置30は、第1実施形態と同様にして、少なくとも1つのソケット11と、被検査対象を検査するための回路配線14を有する複数の回路基板32a,12bと、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッド13と、を備える。図4に示す形態においては、複数の回路基板として、第1回路基板32a及び第2回路基板12bが示されている。検査装置30は、回路基板32a,22bの他に、パフォーマンスボードに相当する基板を有していない点は第1実施形態と同様である。第1実施形態と異なる点は、第1回路基板32aが、ソケット及び第1回路部を有していないことである。第1回路基板32aは、第2回路部の一部を有しており、第2回路基板22bは、第2回路部の残部を有している。第1回路基板32aの第2回路部の一部と、第2回路基板22bの第2回路部の残部とを電気的に接続することにより、第1実施形態と同様にして、1つのパフォーマンスボードに相当する機能を有する第2回路部が得られる。ソケット11を有する第2回路基板12bは、被検査対象毎に交換可能に構成すると好ましい。検査対象30においては、第1回路部を有さない第1回路基板32aは、被検査対象によらず使用することができる。異なる種類の被検査対象を検査する場合、第1回路部を有する第2回路基板12bのみを交換すればよい。これにより、汎用性を有する検査装置を実現することができると共に、装置の簡素化を実現することができる。また、本実施形態によれば、開発生産が終了した被検査対象用の回路基板例えば、第1実施形態における第1回路基板12aに相当するものを本実施形態における第1回路基板32aとして再利用することができるなお、この場合、第1回路基板32aは、実質的には機能させないソケット及び第1回路部を有することになる。これにより、第1回路基板32aの製造コストを削減することができると共に、回路基板の再利用によって廃棄処理コストも削減することができる。第3実施形態における上記以外の形態は第1実施形態と同様である。本発明の検査装置は、上記実施形態に基づいて説明されているが、上記実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において、かつ本発明の基本的技術思想に基づいて、上記実施形態に対し種々の変形、変更及び改良を含むことができることはいうまでもない。また、本発明の請求の範囲の枠内において、種々の開示要素の多様な組み合わせ置換ないし選択が可能である。本発明のさらなる課題、目的及び展開形態は、請求の範囲を含む本発明の全開示事項からも明らかにされる。"