梁部材と、前記梁部材を当該梁部材の延在方向と直交する方向に駆動するモーターと、前記梁部材に支持されたキャリッジと、前記キャリッジに搭載され、前記キャリッジの速度または加速度を検出する慣性センサーと、前記慣性センサーでの検出結果がフィードバックされ、前記モーターの駆動制御を行う駆動制御部と、を有することを特徴とする直動ロボット。前記梁部材における前記キャリッジの支持位置が前記延在方向で切り換わることを特徴とする請求項1に記載の直動ロボット。前記梁部材には、前記キャリッジを支持するジョイントと、該ジョイントを前記梁部材の延在方向に駆動するモーターと、が搭載されていることを特徴とする請求項2に記載の直動ロボット。前記梁部材は、延在方向における一方の端部に前記モーターからの駆動力が伝達されることを特徴とする請求項1または2に記載の直動ロボット。前記梁部材は、延在方向における一方の端部および他方の端部の双方に前記モーターからの駆動力が伝達されることを特徴とする請求項1または2に記載の直動ロボット。前記梁部材として、第1方向に延在して当該第1方向に直交する第2方向に駆動される第1梁部材と、該第1梁部材にジョイントを介して支持され、前記第1方向および前記第2方向の双方に直交する第3方向に延在して前記キャリッジを支持する第2梁部材と、を有し、前記モーターとして、前記第1梁部材を前記第2方向に駆動する第1モーターと、前記第1梁部材に搭載され、前記ジョイントを前記第1方向に駆動する第2モーターと、を有し、前記駆動制御部として、前記第1モーターの駆動制御を行う第1駆動制御部と、前記第2モーターの駆動制御を行う第2駆動制御部と、を有し、前記第1駆動制御部および前記第2駆動制御部のうちの少なくとも一方の駆動制御部は、前記慣性センサーでの検出結果のフィードバック結果に基づいて、前記モーターの駆動制御を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の直動ロボット。前記第1駆動制御部および前記第2駆動制御部の双方が、前記慣性センサーでの検出結果のフィードバック結果に基づいて、前記モーターの駆動制御を行うことを特徴とする請求項6に記載の直動ロボット。前記第1梁部材は、延在方向における一方の端部に前記第1モーターからの駆動力が伝達されることを特徴とする請求項6または7に記載の直動ロボット。前記第1梁部材は、延在方向における一方の端部および他方の端部の双方に前記第1モーターからの駆動力が伝達されることを特徴とする請求項6または7に記載の直動ロボット。前記慣性センサーは、角速度センサーであることを特徴とする請求項1乃至9の何れか一項に記載の直動ロボット。前記駆動制御部において前記慣性センサーでの検出結果のフィードバック結果に基づいて前記モーターの駆動制御を行う際、前記慣性センサーにより検出された周速度を直線的な速度として用いることを特徴とする請求項10に記載の直動ロボット。しかしながら、特許文献1に記載の構成では、重量物の重量が変わる等、使用状況が変化した場合にはその都度、パラメータを変更する必要があるため、汎用性が低いという問題点がある。また、梁部材が延在方向と直交する方向に駆動されるとともに、キャリッジが梁部材に沿って移動するような直動ロボットの場合、キャリッジの位置が変わると、振動の形態が変動するので、特許文献1に記載の構成では対応できないという問題点がある。以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、キャリッジを支持する梁部材を梁部材の延在方向と直交する方向に駆動する直動ロボットにおいて、使用状況等が変わってもキャリッジの振動を制御することのできる構成を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明に係る直動ロボットは、梁部材と、前記梁部材を当該梁部材の延在方向と直交する方向に駆動するモーターと、前記梁部材に支持されたキャリッジと、前記キャリッジに搭載され、前記キャリッジの速度または加速度を検出する慣性センサーと、前記慣性センサーでの検出結果がフィードバックされ、前記モーターの駆動制御を行う駆動制御部と、を有することを特徴とする。本発明では、キャリッジを支持する梁部材を梁部材の延在方向と直交する方向に駆動するにあたって、キャリッジには慣性センサーが搭載されており、駆動制御部は、慣性センサーによってキャリッジの速度または加速度を検出した結果のフィードバック結果に基づいて、モーターの駆動制御を行う。このため、梁部材の加減速を行った際でも、キャリッジの振動を抑制することができるので、キャリッジを所定位置に短時間のうちに停止させることができる。また、キャリッジに搭載した慣性センサーによってキャリッジの振動を検出するため、キャリッジに加わる荷重の大きさや、キャリッジの位置によって梁部材に荷重が加わる位置が変化する等、使用状況が変わっても、キャリッジの振動を確実に検出することができるので、キャリッジの振動を確実に制御することができる。本発明は、前記梁部材における前記キャリッジの支持位置が前記延在方向で切り換わる場合に適用すると効果的である。例えば、前記梁部材には、前記キャリッジを支持するジョイントと、該ジョイントを前記梁部材の延在方向に駆動するモーターと、が搭載されている構成を採用した場合に本発明を適用すると効果的である。かかる構成の場合、梁部材におけるキャリッジの支持位置が切り換わることによって梁部材およびキャリッジの振動の形態が変化するが、本発明では、キャリッジ自身に慣性センサーが搭載されているので、梁部材に慣性センサーを搭載した場合と違って、梁部材におけるキャリッジの支持位置が切り換わってもキャリッジでの振動を正確に検出することができる。それ故、キャリッジの振動を確実に制御することができる。本発明において、前記梁部材は、延在方向における一方の端部に前記モーターからの駆動力が伝達される構成を採用することができる。かかる構成の場合、第1梁部材においては、延在方向における他方の端部で大きな振動が発生するが、本発明によれば、キャリッジの振動を制御することができる。本発明において、前記梁部材は、延在方向における一方の端部および他方の端部の双方に前記モーターからの駆動力が伝達される構成を採用してもよい。かかる構成の場合、第1梁部材においては、複数モードの振動が発生するが、本発明によれば、キャリッジの振動を制御することができる。本発明において、前記梁部材として、第1方向に延在して当該第1方向に直交する第2方向に駆動される第1梁部材と、該第1梁部材にジョイントを介して支持され、前記第1方向および前記第2方向の双方に直交する第3方向に延在して前記キャリッジを支持する第2梁部材と、を有し、前記モーターとして、前記第1梁部材を前記第2方向に駆動する第1モーターと、前記第1梁部材に搭載され、前記ジョイントを前記第1方向に駆動する第2モーターと、を有し、前記駆動制御部として、前記第1モーターの駆動制御を行う第1駆動制御部と、前記第2モーターの駆動制御を行う第2駆動制御部と、を有し、前記第1駆動制御部および前記第2駆動制御部のうちの少なくとも一方の駆動制御部は、前記慣性センサーでの検出結果に基づいて、前記キャリッジの振動を抑制するように前記モーターの駆動制御を行うことが好ましい。かかる構成によれば、キャリッジを第1方向および第2方向に駆動する2軸の直動ロボット直交ロボットや、キャリッジを第1方向、第2方向および第3方向に駆動する3軸の直動ロボット直交ロボットにおいて、キャリッジの振動を制御することができる。本発明において、前記第1駆動制御部および前記第2駆動制御部の双方が、前記慣性センサーでの検出結果のフィードバック結果に基づいて、前記モーターの駆動制御を行うことが好ましい。かかる構成によれば、キャリッジを第1方向、第2方向および第3方向に駆動する3軸の直動ロボット直交ロボットにおいて、キャリッジの第1方向の振動および第2方向の振動を制御することができる。本発明において、前記第1梁部材は、延在方向における一方の端部に前記第1モーターからの駆動力が伝達される構成を採用することができる。かかる構成の場合、第1梁部材においては、延在方向における他方の端部で大きな振動が発生するが、本発明によれば、キャリッジの振動を制御することができる。本発明において、前記第1梁部材は、延在方向における一方の端部および他方の端部の双方に前記第1モーターからの駆動力が伝達される構成を採用してもよい。かかる構成の場合、第1梁部材においては、複数モードの振動が発生するが、本発明によれば、キャリッジの振動を制御することができる。本発明において、前記慣性センサーは、角速度センサーであることが好ましい。かかる構成によれば、ジャイロセンサー等、汎用のセンサーを用いることができる。この場合、前記駆動制御部において前記慣性センサーでの検出結果のフィードバック結果に基づいて前記モーターの駆動制御を行う際、前記慣性センサーにより検出された周速度を直線的な速度として用いることが好ましい。角速度センサーでの検出結果では、振動が周速度で検出されるのに対して、駆動制御部は、モーターの駆動制御を直線方向の速度として制御するため、単位が相違する。但し、狭い角度範囲であれば、角速度センサーで検出された周速度と直線的な速度とが等しい。従って、角速度センサーで検出された周速度を直線的な速度として用いれば、複雑な演算を行わなくても梁部材の振動制御を行うことができる。図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明では、互いに直交する方向をX軸方向およびY軸方向を各々第1方向および第2方向とし、X軸方向およびY軸方向に直交するZ軸方向を第3方向として説明する。また、X軸方向の一方側にはX1を付し、X軸方向の他方側にはX2を付し、Y軸方向の一方側にはY1を付し、Y軸方向の他方側にはY2を付し、Z軸方向の一方側にはZ1を付し、Z軸方向の他方側にはZ2を付して説明する。[実施の形態1]図1は、本発明の実施の形態1に係る直動ロボットの説明図であり、図1a、bは、直動ロボットの駆動機構等の説明図、および直動ロボットの制御系のブロック図である。図1aに示す直動ロボット100は、電子部品等のワークの検査工程や実装工程等においてワークの搬送に用いられる。本形態において、直動ロボット100は、ワークの検査装置に用いられており、供給エリア101、検査エリア102および排出エリア103の順にワークを搬送する。より具体的には、直動ロボット100では、キャリッジとしての吸着ヘッド4によって供給エリア101からワークをピックアップした後、ワークを検査エリア102に搬送し、良品と判定されたワークを排出エリア103の所定位置にワークを排出する。なお、検査において不具合品と判定されたワークは、別の排出エリア104に排出される。ここで、供給エリア101、検査エリア102および排出エリア103は、ガイド13や第1梁部材1より下方側Z軸方向の他方側-Zに設定されている。また、供給エリア101、検査エリア102および排出エリア103は、Y軸方向においてこの順に配置されている。また、供給エリア101と検査エリア102とはX軸方向において異なる位置に配置され、検査エリア102と排出エリア103とはX軸方向において異なる位置に配置されている。このため、直動ロボット100には、以下の駆動機構等を備えた直交ロボットして構成されている。まず、直動ロボット100には、X軸方向第1方向に直線的に延在する第1梁部材1と、Y軸方向第2方向に直線的に延在して第1梁部材1をY軸方向にガイドするガイド13と、第1梁部材1をY軸方向に駆動するY軸方向駆動機構12第1駆動機構とが設けられており、Y軸方向駆動機構12は、駆動源として、サーボモーターからなる第1モーター10を備えている。Y軸方向駆動機構12は、ベルト機構を利用した駆動機構であり、ガイド13に沿って延在する第1タイミングベルト機構14を備えている。ガイド13は、直動ロボット100の機台等に固定されている。ガイド13には、第1ジョイント2がY軸方向に移動可能な状態で支持されており、第1ジョイント2には、第1梁部材1のX軸方向の一方側X1の端部が連結されている。また、第1ジョイント2は、第1タイミングベルト機構14のベルト140に連結されている。このため、第1モーター10によって第1タイミングベルト機構14を駆動すると、第1ジョイント2がガイド13に沿ってY軸方向に直動するので、第1梁部材1および吸着ヘッド4は、ガイド13に沿ってY軸方向に直動する。本形態において、第1梁部材1のX軸方向の他方側X2の端部は、直動ロボット100の機台等に支持されておらず、第1梁部材1は、第1ジョイント2によって片持ち状態で支持されている。また、第1モーター10の駆動力は、第1ジョイント2を介して第1梁部材1のX軸方向の一方側X1の端部のみに伝達される。第1梁部材1には、第2ジョイント3と、第2ジョイント3をX軸方向に駆動するX軸方向駆動用の第2モーター20を備えたX軸方向駆動機構22第2駆動機構とが搭載されており、第2モーター20はサーボモーターからなる。X軸方向駆動機構22は、ベルト機構を利用した駆動機構であり、第1梁部材1に沿って延在する第2タイミングベルト機構24を備えている。第2タイミングベルト機構24のX軸方向の一方側X1の端部は、第1ジョイント2に支持されている一方、第2タイミングベルト機構24のX軸方向の他方側X2の端部は、第1梁部材1のX軸方向の他方側X2の端部に支持部材29を介して支持されている。このため、第2タイミングベルト機構24は、第1梁部材1と一体となってY軸方向に移動可能である。ここで、第2ジョイント3は、第1梁部材1にX軸方向に移動可能な状態で支持されているとともに、第2タイミングベルト機構24のベルト240に連結されている。このため、第2モーター20によって第2タイミングベルト機構24を駆動すると、第2ジョイント3および吸着ヘッド4は、第1梁部材1に沿ってX軸方向に直動する。第2ジョイント3には、キャリッジとしての吸着ヘッド4と、吸着ヘッド4をZ軸方向第3方向に駆動するZ軸方向駆動用の第3モーター30を備えたZ軸方向駆動機構34第3駆動機構とが搭載されており、第3モーター30はサーボモーターからなる。Z軸方向駆動機構34は、例えば、送りネジ機構を利用した駆動機構であり、第3モーター30の出力軸スクリュー軸からなる第2梁部材31と、吸着ヘッド4側に搭載されたナット32と、吸着ヘッド4の伴回りを防止するガイド33からなる。このため、第3モーター30が作動すると、吸着ヘッド4は、第2梁部材31に沿ってZ軸方向に直動する。従って、吸着ヘッド4は、第3モーター30によってZ軸方向に駆動されながら、供給エリア101との間、検査エリア102との間、供給エリア101との間でワークの受け渡しを行うことができる。図1bに示すように、本形態の直動ロボット100では、第1モーター10、第2モーター20、および第3モーター30の角度位置をエンコーダーによって検出し、その検出結果を駆動制御部にフィードバックして第1モーター10、第2モーター20、および第3モーター30の駆動制御を行う。より具体的には、第1モーター10には第1エンコーダー16が設けられており、第1モーター10の角度位置を第1エンコーダー16によって検出し、その検出結果を第1駆動制御部15にフィードバックして第1モーター10の駆動制御を行う。第2モーター20には第2エンコーダー26が設けられており、第2モーター20の角度位置を第2エンコーダー26によって検出し、その検出結果を第2駆動制御部25にフィードバックして第2モーター20の駆動制御を行う。第3モーター30には第3エンコーダー36が設けられており、第3モーター30の角度位置を第3エンコーダー36によって検出し、その検出結果を第3駆動制御部35にフィードバックして第3モーター30の駆動制御を行う。なお、第1駆動制御部15、第2駆動制御部25および第3駆動制御部35は、上位の制御部40によって制御されており、制御部40は、直動ロボット100が搭載された機器全体の制御を行う。吸着ヘッド4キャリッジで発生する振動の説明図2は、本発明の実施の形態1に係る直動ロボット100における第1梁部材1等の構成を模式的に示す説明図である。なお、図2a、b、c、dは、第1梁部材1がY軸方向に移動する様子を示す説明図、第1梁部材1がY軸方向に移動した際に第1梁部材1に発生しようとするY軸方向の振動の説明図、第1梁部材1がY軸方向に移動した際に第2梁部材31に発生しようとするY軸方向の振動の説明図、および第2梁部材31がX軸方向に移動した際に第2梁部材31に発生しようとするX軸方向の振動の説明図である。本形態の直動ロボット100において、ワークを保持する吸着ヘッド4をY軸方向に移動させてワークを供給エリア101、検査エリア102および排出エリア103の順に搬送するには、図2aに示すように、第1モーター10によって第1梁部材1をY軸方向に移動させる。また、吸着ヘッド4による供給エリア101でワークの保持、検査エリア102でのワークの検査、排出エリア103で吸着ヘッド4からワークの解放を行うには、第1梁部材1を供給エリア101、検査エリア102および排出エリア103で停止し、Y軸方向で位置決めすることになる。従って、第1梁部材1は、第1モーター10によって加減速されながらY軸方向に駆動されることになる。その際、図2bに矢印B1や点線B11で示すように、第1梁部材1において、第1モーター10の駆動力が伝達されるX軸方向の一方側X1の端部を中心にして他方側X2の端部が揺動するY軸方向の振動が発生すると、吸着ヘッド4を短時間のうちにY軸方向の定位置で停止させることができない。また、図2cに矢印B5や点線B51で示すように、第2梁部材31において、第2ジョイント3を中心にしてZ軸方向の他方側Z2の端部が揺動するY軸方向の振動が発生すると、吸着ヘッド4を短時間のうちにY軸方向の定位置で停止させることができない。このため、第1モーター10の駆動力が伝達される位置第1ジョイント2をY軸方向の所定位置に停止させても、吸着ヘッド4をY軸方向の所定位置に位置決めできないことになる。また、本形態の直動ロボット100においては、ワークを保持する吸着ヘッド4をY軸方向に移動させてワークを供給エリア101、検査エリア102および排出エリア103の順に搬送するとともに、図2dに示すように、第2モーター20によって第2梁部材31をX軸方向に移動させる。また、吸着ヘッド4による供給エリア101でワークの保持、検査エリア102でのワークの検査、排出エリア103で吸着ヘッド4からワークの解放を行うには、第2梁部材31を供給エリア101、検査エリア102および排出エリア103で停止し、X軸方向で位置決めすることになる。従って、第2梁部材31は、第2モーター20によって加減速されながらY軸方向に駆動されることになる。その際、図2dに矢印B6や点線B61で示すように、第2梁部材31において、第2モーター20の駆動力が伝達されるZ軸方向の一方側Z1の端部第2ジョイント3を中心にして他方側Z2の端部が揺動するX軸方向の振動が発生すると、吸着ヘッド4を短時間のうちにX軸方向の定位置で停止させることができない。このため、第2モーター20の駆動力が伝達される位置第2ジョイント3をX軸方向の所定位置に停止させても、吸着ヘッド4をX軸方向の所定位置に位置決めできないことになる。そこで、本形態では、図1および図2に示すように、直動ロボット100には、速度または加速度を検出する慣性センサーとして2軸の慣性センサー5が搭載されており、かかる慣性センサー5で検出したY軸方向の角速度の検出結果を、図1bに示す第1駆動制御部15にフィードバックするとともに、慣性センサー5で検出したX軸方向の角速度の検出結果を、図1bに示す第2駆動制御部25にフィードバックするようになっている。本形態では、慣性センサー5としてジャイロセンサーが用いられており、慣性センサー5は、キャリッジとしての吸着ヘッド4に搭載されている。第1駆動制御部15での処理内容図3は、本発明の実施の形態1に係る直動ロボット100の第1駆動制御部15でのサーボ内容を示すブロック線図である。図4は、図3に示す単位変換の内容を示す説明図である。図3に示すように、直動ロボット100において、第1駆動制御部15は、第1エンコーダー16からフィードバックされた速度フィードバック信号、および慣性センサー5からフィードバックされた速度フィードバック信号を利用したサーボ機構を構成している。このため、第1駆動制御部15には、第1エンコーダー16からフィードバックされた速度フィードバック信号に基づいて第1モーター10を駆動制御するための位置制御部151および速度制御部152に加えて、第1エンコーダー16からフィードバックされた速度フィードバック信号に振動制止用の速度フィードバック信号を加算する振動情報フィードバック部153が設けられている。このため、第1駆動制御部15は、第1エンコーダー16からフィードバックされた信号に基づいて、第1モーター10に供給する電流を設定するとともに、慣性センサー5からフィードバックされた信号に基づいて第1モーター10に供給する電流を設定する。それ故、吸着ヘッド4でのY軸方向の振動を抑制することができる。ここで、位置制御部151は、角度指令Intと第1エンコーダー16からの位置フィードバック信号との差Perrに基づいて位置偏差を求める位置偏差演算部Kppを備えており、速度制御部152は、積分部1/s、速度積分ゲインKvi、および速度偏差演算部Kvpを備えている。G2はアンプであり、速度制御部152で設定された速度に基づいて第1モーター10に供給する電流値トルクを設定する。速度制御部152において、Kwは、速度フィードバック係数であり、速度制御部152で算出された速度に対して、振動制止用の速度フィードバック信号が加算された速度フィードバック信号を反映させる。振動情報フィードバック部153は、帯域フィルタBEF、ハイパスフィルタHPF、およびゲインG1に加えて、単位変換部D1を備えており、慣性センサー5として用いたジャイロセンサーが検出した速度の単位をY軸方向の直線的な速度の単位に変換する。このため、慣性センサー5として用いたジャイロセンサーでは、速度が角速度として検出された場合でも、Y軸方向の直線的な速度として処理することができる。より具体的には、本形態では、ジャイロセンサーからなる慣性センサー5は、t秒制御周期ごとにたわみ振動の角速度ω1、ω2を検出する。一方、第1梁部材1をY軸方向に駆動する第1モーター10の角度位置は、第1梁部材1のY軸方向の直線的な位置に対応することから、Y軸方向の直線的な速度しか制御できず、慣性センサー5で求めた角速度とは単位が相違する。そこで、本形態では、図4を参照して以下に説明するように、角速度をX軸方向の速度とY軸方向の速度とに分解した際、慣性センサー5で求めた周速度は、第1梁部材1のY軸方向の直線的な速度に近似することができることから、第1梁部材1の振動を速度に換算してフィードバックする際、単位変換部D1は、慣性センサー5で求めた周速度を第1梁部材1のY軸方向の直線的な速度に単位換算する。まず、振動の速度ねじれ速度は、V=LωL=ねじれ回転の半径ω=角速度で表されることから、Lω1=V1Lω2=V2とする。ここで、振動の際の角速度は、検証実験よりω1<500[degsec]ω2<500[degsec]であり、制御周期は125μsecであるので、t=125μsecである。よって、ω1t<0.0625[deg]ω2t<0.0625[deg]が成り立つ。従って、以下の式V1=V1x2V1y212V1x=V1cos90-ω1t≒0V1y=V1sin90-ω1t≒V1V2=V212V22212V21=V2cos90-ω2t≒0V22=V2sin90-ω2t≒V2V2′=V2′x2V2′y212V2′x=V2′cos90-ω1t≒0V2′y=V2′sin90-ω1t≒V2′より、下式が導かれる。周速度Lω1=V1y周速度Lω2=V2′yよって、慣性センサー5で検出された周速度Lω1、Lω2は、Y軸方向の直線的な速度V1y、V2′yとして近似することができる。なお、厳密には、上記の単位変換では差異が発生するが、ゲインG1で増幅するため問題にならない。第2駆動制御部25での処理内容また、図示を省略するが、直動ロボット100において、第2駆動制御部25は、第1駆動制御部15と同様、第2エンコーダー26からフィードバックされた速度フィードバック信号、および慣性センサー5からフィードバックされた速度フィードバック信号を利用したサーボ機構を構成している。このため、第2駆動制御部25は、第2エンコーダー26からフィードバックされた信号に基づいて、第2モーター20に供給する電流を設定するとともに、慣性センサー5からフィードバックされた信号に基づいて第2モーター20に供給する電流を設定する。それ故、吸着ヘッド4でのX軸方向の振動を抑制することができる。本形態の主な効果以上説明したように、本形態の直動ロボット100では、吸着ヘッド4キャリッジを支持する第1梁部材1をY軸方向に駆動するとともに、吸着ヘッド4を支持する第2梁部材31をX軸方向に駆動するにあたって、吸着ヘッド4に慣性センサー5が搭載されている。このため、第1駆動制御部15および第2駆動制御部25は、慣性センサー5によって吸着ヘッド4の振動を検出した結果に基づいて、第1モーター10および第2モーター20の駆動制御を行う。このため、第1梁部材1および第2梁部材31の加減速を行った際でも、吸着ヘッド4の振動を抑制することができるので、吸着ヘッド4を所定位置に短時間のうちに停止させることができる。また、吸着ヘッド4に搭載した慣性センサー5によって吸着ヘッド4の振動を検出するため、吸着ヘッド4に加わる荷重の大きさや、吸着ヘッド4の位置によって第1梁部材1や第2梁部材31に荷重が加わる位置が変化する等、使用状況が変わっても、吸着ヘッド4の振動を確実に検出することができるので、吸着ヘッド4の振動を確実に制御することができる。また、本形態では、第1駆動制御部15および第2駆動制御部25の双方が、慣性センサー5での検出結果に基づいて、吸着ヘッド4の振動を抑制するように第1モーター10および第2モーター20の駆動制御を行うため、3軸の直動ロボット100直交ロボットにおいて、吸着ヘッド4のX軸方向の振動およびY軸方向の振動を制御することができる。また、本形態において、第1梁部材1は、延在方向X軸方向における一方側X1の端部のみに第1モーター10からの駆動力が伝達されるため、他方側X2の端部で大きな振動が発生するが、かかる構成でも、本形態によれば、吸着ヘッド4の振動を制御することができる。また、慣性センサー5が、角速度センサーであるため、ジャイロセンサー等、汎用のセンサーを用いることができる。また、第1駆動制御部15および第2駆動制御部25は、慣性センサー5で検出された周速度をY軸方向の直線的な速度、あるいはX軸方向の直線的な速度として用いて第1モーター10および第2モーター20の駆動制御を行う。このため、複雑な演算を行わなくても吸着ヘッド4の振動制御を行うことができる。[実施の形態1の変形例]図5は、本発明の実施の形態1の変形例に係る直動ロボット100の説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。上記実施の形態1では、第1梁部材1のX軸方向の他方側X2の端部が一切、支持されていない構成であったが、本形態では、図5に示すように、第1梁部材1のX軸方向の他方側X2の端部を支持部材29を介して下側Z軸方向の他方側Z2から支持するガイド18が設けられている。このため、第1梁部材1は、X軸方向の一方側X1および他方側X2の両端部が支持されている。但し、第1モーター10の駆動力は、第1ジョイント2を介して第1梁部材1のX軸方向の一方側X1の端部のみに伝達されるため、図2を参照して説明したように、第1梁部材1を第1モーター10によって加減速しながらY軸方向に駆動した際、第1梁部材1のX軸方向の他方側X2の端部にY軸方向の振動が発生しようとする。そこで、本形態でも、実施の形態1と同様、吸着ヘッド4には、第1梁部材1のY軸方向の振動を検出する慣性センサー5が搭載されており、かかる慣性センサー5での検出結果を、図1bに示す第1駆動制御部15にフィードバックする。このため、本形態でも、実施の形態1と同様、第1梁部材1の加減速を行った際でも、第1梁部材1のY軸方向の振動を抑制することができるので、第1梁部材1によって支持した吸着ヘッド4をY軸方向の所定位置に短時間のうちに停止させることができる。[実施の形態2]図6は、本発明の実施の形態2に係る直動ロボット100の説明図であり、図6a、bは、直動ロボット100の駆動機構等の説明図、および第1梁部材1等の平面的な構成を示す説明図である。図7は、本発明の実施の形態2に係る直動ロボット100において、第1梁部材1に発生しようとする振動の説明図であり、図7a、b、cは、第1梁部材1の中央が振動する様子を示す説明図、第1梁部材1のX軸方向の他方側X2の端部が振動する様子を示す説明図、および第1梁部材1のX軸方向の一方側X1の端部が振動する様子を示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。上記実施の形態1、2では、第1モーター10の駆動力は、第1ジョイント2を介して第1梁部材1のX軸方向の一方側X1の端部のみに伝達される構成であったが、図6に示すように、本形態では、第1モーター10の駆動力は、第1梁部材1のX軸方向の一方側X1の端部および他方側X2の端部の双方に伝達される。より具体的には、第1梁部材1のX軸方向の一方側X1の端部および他方側X2の端部の双方に第1ジョイント2および第1ジョイント6が連結されており、第1ジョイント6に対しても、第1ジョイント2と同様、ガイド18および第1タイミングベルト機構19が設けられている。また、第1モーター10の駆動力は、第1タイミングベルト機構14と同様、第1タイミングベルト機構19にも伝達されるようになっている。かかる構成の直動ロボット100において、第1梁部材1を第1モーター10によって加減速しながらY軸方向に駆動した際、図7aに矢印B2や点線B21で示すように、第1梁部材1の中央部にY軸方向の振動が発生すると、吸着ヘッド4を短時間のうちに定位置で停止させることができない。なお、第1梁部材1を第1モーター10によって加減速しながらY軸方向に駆動した際、図7b、cに矢印B3、B4や点線B41、B42で示すように、第1梁部材1の端部もY軸方向の振動が発生しようとするが、かかる振動は、図7aに示すような第1梁部材1の中央部での振動に比較すると小さい。そこで、本形態でも、実施の形態1と同様、吸着ヘッド4には、第1梁部材1のY軸方向の振動を検出する慣性センサー5が搭載されており、かかる慣性センサー5での検出結果を、図1bに示す第1駆動制御部15にフィードバックする。このため、本形態では、図7を参照して説明したように、複雑な振動が発生するが、実施の形態1と同様、第1梁部材1の加減速を行った際でも、第1梁部材1のY軸方向の振動を抑制することができるので、第1梁部材1によって支持した吸着ヘッド4をY軸方向の所定位置に短時間のうちに停止させることができる。[他の実施の形態]上記実施の形態1では、第1梁部材1や第2梁部材31の駆動にベルト機構を用いたが、送りねじ機構等、他の直動機構を用いた直動ロボットに本発明を適用してもよい。また、上記実施の形態では、第1駆動制御部15および第2駆動制御部25の双方が、慣性センサー5での検出結果に基づいて、吸着ヘッド4の振動を抑制するように第1モーター10および第2モーター20の駆動制御を行ったが、第1駆動制御部15および第2駆動制御部25の一方のみにおいて、慣性センサー5での検出結果に基づいて、吸着ヘッド4の振動を抑制するような駆動制御を行ってもよい。上記実施の形態では、吸着ヘッド4をX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向の3軸に駆動する直動ロボット100に本発明を適用したが、吸着ヘッド4をX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向のうちの1軸あるいは2軸に駆動する直動ロボット100に本発明を適用してもよい。上記実施の形態では、2軸の慣性センサー5を用いたが、1軸の角速度センサーを2つ用いてX軸方向の振動およびY軸軸の振動を検出してもよい。