"一般式1で表されるシランカップリング剤。各R1はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数1~6のアルキル基を表す。アルキル基はさらに置換基を有していても良い。nは0あるいは1を表す。R2は炭素数3~30の3価の有機基を表す。R3はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、フェニル基、ヒドロキシル基、およびフェノキシ基を表す。なお、R3のこれらの基のうち、ヒドロキシル基以外はさらに置換基を有していても良い。一般式1においてn=0であることを特徴とする請求項1に記載のシランカップリング剤。少なくともA請求項1または2に記載のシランカップリング剤、Bアルカリ可溶性樹脂、C多官能アクリルモノマ、D光ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。Aアルカリ可溶性樹脂がエチレン性不飽和基を有するシロキサン樹脂であることを特徴とする請求項3に記載のネガ型感光性樹脂組成物。Aアルカリ可溶性樹脂がエチレン性不飽和基を有するアクリル樹脂であることを特徴とする請求項3に記載のネガ型感光性樹脂組成物。請求項3~5のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜。請求項6に記載の硬化膜を有するタッチパネル用部材。本発明の課題は、金属や無機物で構成される基板表面との接着性に優れ、硬度が高く、解像度に優れた硬化膜を提供することにある。さらに、本発明の別の課題は、硬化収縮率が低く平坦性の良好な硬化膜を提供することである。上記課題を解決するため、本発明は以下の構成からなる。すなわち、下記一般式1で表されるシランカップリング剤である。各R1はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数1~6のアルキル基を表す。アルキル基はさらに置換基を有していても良い。nは0あるいは1を表す。R2は炭素数3~30の3価の有機基を表す。R3はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、フェニル基、ヒドロキシル基、およびフェノキシ基を表す。なお、R3のこれらの基のうち、ヒドロキシル基以外はさらに置換基を有していても良い。本発明のシランカップリング剤を含有する硬化膜は、金属や無機物で構成される基板表面との接着性改善に優れ、硬度が高く、解像度に優れるという効果を有する。さらに、本発明のシランカップリング剤を含有する硬化膜は、硬化収縮率が低く、平坦性が良好であるという効果も有する。本発明のシランカップリング剤は下記一般式1で表される構造を有している。各R1はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数1~6のアルキル基を表す。アルキル基はさらに置換基を有していても良い。nは0あるいは1を表す。R2は炭素数3~30の3価の有機基を表す。R3はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、フェニル基、ヒドロキシル基、およびフェノキシ基を表す。なお、R3のこれらの基のうち、ヒドロキシル基以外はさらに置換基を有していても良い。ここで、R1としては、メチル基、エチル基、ブチル基が好ましく、特に原料入手の点からメチル基、エチル基が好ましい。R1はアルコキシ基、アリール基、フェノキシ基、ハロゲン基などの置換基を有していても良い。R2としては、炭素数3~30の3価の有機基が好ましく、有機溶剤への溶解性の点からは炭素数3~10の3価の有機基がより好ましい。本発明の一般式1で表されるシランカップリング剤としては、例えば、3-tert-ブチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸、2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-イソプロピルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸、2-2-イソプロピルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-イソブチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸、2-2-イソプチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-tert-ペンチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸、2-2-tert-ペンチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-tert-ブチルカルバモイル-6-トリエトキシシリルへキサン酸、2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリエトキシシリルペンタン酸、6-ジメトキシメチルシリル-3-tert-ブチルカルバモイルへキサン酸、5-ジメトキシメチルシリル-2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチルペンタン酸、3-tert-ブチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルペンタン酸、2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルブタン酸、2-tert-ブチルカルバモイル-4-2-トリメトキシシリルエチルシクロヘキサンカルボン酸、2-tert-ブチルカルバモイル-5-2-トリメトキシシリルエチルシクロヘキサンカルボン酸などが挙げられる。これらの中でも特に、上記一般式1においてn=0である化合物が、ITO接着性向上の効果が高くなる点から好ましい。具体的には、3-tert-ブチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸、2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-イソプロピルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸、3-tert-ペンチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸、2-2-tert-ペンチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-tert-ブチルカルバモイル-6-トリエトキシシリルへキサン酸、2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリエトキシシリルペンタン酸、6-ジメトキシメチルシリル-3-tert-ブチルカルバモイルへキサン酸、5-ジメトキシメチルシリル-2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチルペンタン酸、3-tert-ブチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルペンタン酸、2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルブタン酸、2-tert-ブチルカルバモイル-4-2-トリメトキシシリルエチルシクロヘキサンへキサンカルボン酸、2-tert-ブチルカルバモイル-5-2-トリメトキシシリルエチルシクロヘキサンへキサンカルボン酸が該当する。これらのシランカップリング剤をネガ型感光性樹脂に添加する際は、単独で使用してもよいし、混合しても良い。これらのシランカップリング剤の製造方法としては、酸無水物を含有するシランカップリング剤とアルキルアミンとの反応によって製造する方法が、製造の容易さから好ましい。この場合、酸無水物を含有するシランカップリング剤の構造によっては、本発明のシランカップリング剤が2種類同時に生成することになる。しかし、特にこれらを分離、精製することなく混合体として使用することが可能である。また、この合成方法では少量のオリゴマー等の複製も考えられるが、密着性改良効果に大きく影響を及ぼすものでなく、考慮する必要はない。添加量としては、ネガ型感光性樹脂組成物の樹脂成分、つまりBアルカリ可溶性樹脂、およびC多官能アクリルモノマの合計量に対して1~15質量が好ましく、3~10質量がより好ましい。1質量より少ないと接着性改良効果が十分ではなく、15質量より多いと、アルカリ現像において微細なパターンが欠落し、解像度が低下してしまう。本発明のシランカップリング剤を用いたネガ型感光性樹脂組成物は、少なくともA一般式1で表されるシランカップリング剤、Bアルカリ可溶性樹脂、C多官能アクリルモノマ、D光ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする。以下、本発明のシランカップリング剤を用いたネガ型感光性樹脂組成物の各構成成分について説明する。本発明のネガ型感光性組成物は、Bアルカリ可溶性樹脂を含有する。アルカリ可溶性樹脂を有することにより、ネガ型感光性樹脂組成物のアルカリ溶解性現像性に優れ、現像後の残さを抑制して良好なパターンを形成することできる。また、エチレン性不飽和二重結合基を有することにより、架橋密度を向上させ、硬化膜の硬度を向上させることができる。Bアルカリ可溶性樹脂としては、ポリシロキサン、アクリル樹脂、ビニルエーテル樹脂、ポリヒドロキシスチレン、ノボラック樹脂、ポリイミド、ポリアミド等が挙げられる。Bアルカリ可溶性樹脂においては、少なくとも一部にはエチレン性不飽和二重結合基が導入されていることが、硬化膜の硬度を高くするのに好ましい。これら重合体のうち、エチレン性不飽和二重結合基の導入の容易さから、ポリシロキサン、アクリル樹脂がより好ましい。また、これら重合体を2種以上含有してもよい。Bアルカリ可溶性樹脂として好ましい例を以下に挙げるが、これに限定されない。ポリシロキサンとしては、3官能性アルコキシシラン化合物を加水分解縮合反応させて得られる反応生成物が特に好ましい。3官能性アルコキシシラン化合物としては、以下のものが挙げられる。例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ナフチルトリメトキシシラン、アントラセニルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-N,N-ジグリシジルアミノプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシシプロピルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、α-グリシドキシエチルトリメトキシシラン、α-グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β-グリシドキシエチルトリメトキシシラン、β-グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、α-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリプロポキシシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリイソプロポキシシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、α-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、β-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルトリメトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルトリエトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルトリメトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルトリエトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリプロポキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリブトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリエトキシシラン、3-3,4-エポキシシクロヘキシルプロピルトリメトキシシラン、3-3,4-エポキシシクロヘキシルプロピルトリエトキシシラン、4-3,4-エポキシシクロヘキシルブチルトリメトキシシラン、4-3,4-エポキシシクロヘキシルブチルトリエトキシシラン、トリフルオロメチルトリメトキシシラン、トリフルオロメチルトリエトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリエトキシシランなどである。さらに、エチレン性不飽和二重結合基を含有する3官能性アルコキシシランを用いることにより、ポリシロキサンにエチレン性不飽和二重結合基を容易に導入することができ、硬化膜の硬度を上げることができるため、より好ましい。具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、γ-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ-アクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ-アクリロキシプロピルトリエトキシシランなどである。アクリル樹脂としては、メタアクリル酸、メタアクリル酸エステルをラジカル重合したものが好ましい。メタアクリル酸エステルとしては、メタアクリル酸メチル、メタアクリル酸エチル、メタアクリル酸プロピル、メタアクリル酸シクロプロピル、メタアクリル酸シクロペンチル、メタアクリル酸シクロヘキシル、メタアクリル酸シクロヘキセニル、メタアクリル酸4-メトキシシクロヘキシル、メタアクリル酸2-シクロプロピルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸2-シクロペンチルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸2-シクロヘキシルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸2-シクロヘキセニルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸2-4-メトキシシクロヘキシルオキシカルボニルエチル、メタアクリル酸ノルボルニル、メタアクリル酸イソボルニル、メタアクリル酸トリシクロデカニル、メタアクリル酸テトラシクロデカニル、メタアクリル酸ジシクロペンテニル、メタアクリル酸アダマンチル、メタアクリル酸アダマンチルメチル、メタアクリル酸1-メチルアダマンチル等が用いられる。スチレン、p-メチルスチレン、o-メチルスチレン、m-メチルスチレン、α-メチルスチレンなどの芳香族ビニル化合物を、上記のメタアクリル酸やメタアクリル酸エステルと共重合しても良い。また、エチレン性不飽和二重結合基を有するエポキシ化合物をメタアクリル酸に付加反応することによりエチレン性不飽和二重結合基を導入することができる。エチレン性不飽和二重結合基を有するエポキシ化合物としては、以下の化合物が挙げられる。具体的には、メタアクリル酸グリシジル、メタアクリル酸α-エチルグリシジル、メタアクリル酸α-n-プロピルグリシジル、メタアクリル酸α-n-ブチルグリシジル、メタアクリル酸3,4-エポキシブチル、メタアクリル酸3,4-エポキシヘプチル、メタアクリル酸α-エチル-6,7-エポキシヘプチル、アリルグリシジルエーテル、ビニルグリシジルエーテル、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、2,3-ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,4-ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,5-ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,6-ジグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,4-トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,5-トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,6-トリグリシジルオキシメチルスチレン、3,4,5-トリグリシジルオキシメチルスチレン、2,4,6-トリグリシジルオキシメチルスチレン等である。本発明のネガ型感光性樹脂組成物において、Bアルカリ可溶性樹脂の含有量に特に制限はなく、所望の膜厚や用途により任意に選ぶことができる。Bアルカリ可溶性樹脂は、ネガ型感光性樹脂組成物の固形分に対して10~60質量加えるのが好ましい。本発明のネガ型感光性組成物は、C多官能モノマを含有する。多官能モノマとは、分子中に少なくとも2つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物をいう。ラジカル重合性のしやすさを考えると、アクリル基を有する多感能モノマが好ましい。具体例としては、ビスフェノールAジグリシジルエーテルメタアクリレート、ポリメタアクリレートカルバメート、変性ビスフェノールAエポキシメタアクリレート、アジピン酸1,6-ヘキサンジオールメタアクリル酸エステル、無水フタル酸プロピレンオキサイドメタアクリル酸エステル、トリメリット酸ジエチレングリコールメタアクリル酸エステル、ロジン変性エポキシジメタアクリレート、アルキッド変性メタアクリレートのようなオリゴマー、あるいはトリプロピレングリコールジメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、トリアクリルホルマール、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタメタアクリレート、[9,9-ビス[4-2-アクリロイルオキシエトキシフェニル]フルオレンなどがあげられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、D光ラジカル重合開始剤を含有する。D光ラジカル重合開始剤は、光紫外線、電子線を含むにより分解および/または反応し、ラジカルを発生させるものであればどのようなものでもよい。硬化膜の硬度をより高くするためには、α-アミノアルキルフェノン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシムエステル化合物、アミノ基を有するベンゾフェノン化合物またはアミノ基を有する安息香酸エステル化合物を用いることが好ましい。また、これらの化合物を2種以上含有してもよい。α-アミノアルキルフェノン化合物の具体例としては、2-メチル-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルフォリン-4-イル-フェニル-ブタン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタノン-1等が挙げられる。アシルホスフィンオキサイド化合物の具体例としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキサイド、ビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-フェニルフォスフィンオキサイド、ビス2,6-ジメトキシベンゾイル-2,4,4-トリメチルペンチル-フォスフィンオキサイド等が挙げられる。オキシムエステル化合物の具体例としては、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-o-エトキシカルボニルオキシム、1,2-オクタンジオン,1-[4-フェニルチオ-2-O-ベンゾイルオキシム]、1-フェニル-1,2-ブタジオン-2-o-メトキシカルボニルオキシム、1,3-ジフェニルプロパントリオン-2-o-エトキシカルボニルオキシム、エタノン,1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-0-アセチルオキシム等が挙げられる。アミノ基を有するベンゾフェノン化合物の具体例としては、4,4-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4-ビスジエチルアミノベンゾフェノン等が挙げられる。アミノ基を有する安息香酸エステル化合物の具体例としては、p-ジメチルアミノ安息香酸エチル、2-エチルヘキシル-p-ジメチルアミノベンゾエート、p-ジエチルアミノ安息香酸エチル等が挙げられる。D光ラジカル重合開始剤の含有量は、ネガ型感光性樹脂組成物の固形分中0.01質量以上が好ましく、0.1質量以上がより好ましい。また、20質量以下が好ましく、10質量以下がより好ましい。上記範囲とすることで、ラジカル硬化を十分に進めることができ、かつ残留したラジカル重合開始剤の溶出等を防ぎ耐溶剤性を確保することができる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を含有することで、組成物の保存安定性が向上し、パターン加工を必要とする用途では現像後の解像度が向上する。重合禁止剤の具体例としては、フェノール、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、4-t-ブチルカテコール、2,6-ジt-ブチル-p-クレゾール、フェノチアジン、4-メトキシフェノール等が挙げられる。重合禁止剤の含有量は、ネガ型感光性樹脂組成物の固形分中0.01質量以上が好ましく、0.1質量以上がより好ましい。一方、硬化膜の硬度を高く保つ観点からは5質量以下が好ましく、1質量以下がより好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、熱酸発生剤を含有してもよい。熱酸発生剤によりシランカップリング剤の接着性向上効果をより高めることができる。好ましく用いられる熱酸発生剤の具体例としては、トリフェニルスルホニウム、4-ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウム、ベンジル-4-ヒドロキシフェニルメチルスルホニウム、2-メチルベンジル-4-ヒドロキシフェニルメチルスルホニウム、2-メチルベンジル-4-アセチルフェニルメチルスルホニウム、2-メチルベンジル-4-ベンゾイルオキシフェニルメチルスルホニウム、これらのメタンスルホン酸塩、トリフルオロメタンスルホン酸塩、カンファースルホン酸塩、p-トルエンスルホン酸塩等が挙げられる。またSI-60、SI-80、SI-100、SI-110、SI-145、SI-150、SI-200、SI-60L、SI-80L、SI-100L、SI-110L、SI-145L、SI-150L、SI-160L、SI-180Lいずれも、三新化学工業株製も好ましく用いられる。これらを2種以上含有してもよい。熱酸発生剤の含有量は、ネガ型感光性樹脂組成物の樹脂成分、つまりBアルカリ可溶性樹脂、C多官能アクリルモノマの合計量に対して0.1~3質量が好ましい。0.1質量より少ないと接着性向上効果は少なく、3質量より多いと、パターンがマスクパターンより大きくなってしまい、解像度が低下してしまう。本発明のシロキサン樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤を含有することで、得られる硬化膜の耐光性が向上し、パターン加工を必要とする用途では現像後の解像度が向上する。紫外線吸収剤としては特に限定はなく公知のものが使用できる。透明性、非着色性の面から、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物が好ましく用いられる。ベンゾトリアゾール系化合物の紫外線吸収剤としては、2-2Hベンゾトリアゾール-2-イルフェノール、2-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル-4,6-t-ペンチルフェノール、2-2Hベンゾトリアゾール-2-イル-4-1,1,3,3-テトラメチルブチルフェノール、22H-ベンゾトリアゾール-2-イル-6-ドデシル-4-メチルフェノール、2-2’-ヒドロキシ-5’-メタクリロキシエチルフェニル-2H-ベンゾトリアゾール等が挙げられる。ベンゾフェノン系化合物の紫外線吸収剤としては、2-ヒドロキシ-4-メトキシベンゾフェノン等が挙げられる。トリアジン系化合物の紫外線吸収剤としては、2-4,6-ジフェニル-1,3,5トリアジン-2-イル-5-[ヘキシルオキシ]-フェノール等が挙げられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、溶媒を含有してもよい。各成分を均一に溶解し、得られる塗布膜の透明性を向上させることができる点で、アルコール性水酸基を有する化合物またはカルボニル基を有する環状化合物が好ましく用いられる。これらを2種以上含有してもよい。また、大気圧下の沸点が110~250°Cである化合物がより好ましい。沸点を110°C以上とすることで、塗膜時に適度に乾燥が進み、塗布ムラのない良好な塗膜が得られる。一方、沸点を250°C以下とした場合、膜中の残存溶剤量を少なく抑えることができ、熱硬化時の膜収縮をより低減できるため、より良好な平坦性が得られる。アルコール性水酸基を有し、大気圧下の沸点が110~250°Cである化合物の具体例としては、アセトール、3-ヒドロキシ-3-メチル-2-ブタノン、4-ヒドロキシ-3-メチル-2-ブタノン、5-ヒドロキシ-2-ペンタノン、4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペンタノンジアセトンアルコール、乳酸エチル、乳酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノn-プロピルエーテル、プロピレングリコールモノn-ブチルエーテル、プロピレングリコールモノt-ブチルエーテル、3-メトキシ-1-ブタノール、3-メチル-3-メトキシ-1-ブタノール等が挙げられる。これらの中でも、保存安定性の観点からはジアセトンアルコールが好ましく、段差被覆性の点からはプロピレングリコールモノt-ブチルエーテルが好ましい。カルボニル基を有し、大気圧下の沸点が110~250°Cである環状化合物の具体例としては、γ-ブチロラクトン、γ-バレロラクトン、δ-バレロラクトン、炭酸プロピレン、N-メチルピロリドン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノン等が挙げられる。これらの中でも、γ-ブチロラクトンが好ましい。また、本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、上記以外のアセテート類、ケトン類、エーテル類などの各種溶媒を含有してもよい。溶媒の含有量に特に制限はなく、塗布方法などに応じて任意の量用いることができる。例えば、スピンコーティングにより膜形成を行う場合には、溶媒量をネガ型感光性樹脂組成物全体の50~95質量とするのが一般的である。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、樹脂組成物の硬化を促進させる、あるいは硬化を容易にする各種の硬化剤を含有してもよい。硬化剤としては特に限定はなく公知のものが使用できる。具体例としては、窒素含有有機物、シリコーン樹脂硬化剤、各種金属アルコレート、各種金属キレート化合物、イソシアネート化合物およびその重合体、メチロール化メラミン誘導体、メチロール化尿素誘導体などがある。これらを2種以上含有してもよい。なかでも、硬化剤の安定性、得られた塗布膜の加工性などから、金属キレート化合物、メチロール化メラミン誘導体、メチロール化尿素誘導体が好ましく用いられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、塗布時のフロー性向上のために、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤の種類に特に制限はなく、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ポリアルキレンオキシド系界面活性剤、ポリメタアクリレート系界面活性剤などを用いることができる。これらを2種以上用いてもよい。フッ素系界面活性剤の市販品としては、メガファック登録商標F142D、同F172、同F173、同F183、同F445、同F470、同F475、同F477以上、大日本インキ化学工業株製、NBX-15、FTX-218株ネオス製が好ましく用いられる。シリコーン系界面活性剤の市販品としては、BYK-333、BYK-301、BYK-331、BYK-345、BYK-307ビックケミージャパン株製が好ましく用いられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物の代表的な製造方法について説明する。例えば、A一般式1で表されるシランカップリング剤、Bアルカリ可溶性樹脂、C多官能アクリルモノマ、D光ラジカル重合開始剤、および必要によりその他の添加剤を任意の溶媒に加え、撹拌して溶解させた後、得られた溶液を濾過し、ネガ型感光性樹脂組成物が得られる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の形成方法について、例を挙げて説明する。本発明のネガ型感光性樹脂組成物を、マイクログラビアコーティング、スピンコーティング、ディップコーティング、カーテンフローコーティング、ロールコーティング、スプレーコーティング、スリットコーティングなどの公知の方法によって下地基板上に塗布し、ホットプレート、オーブンなどの加熱装置でプリベークする。プリベークは、50~150°Cの範囲で30秒~30分間行い、プリベーク後の膜厚は、0.1~15μmとすることが好ましい。プリベーク後、ステッパー、ミラープロジェクションマスクアライナーMPA、パラレルライトマスクアライナーPLAなどの露光機を用いて露光する。露光強度は10~4000J/m2程度波長365nm露光量換算で、この光を所望のマスクを介してあるいは介さずに照射する。露光光源に制限はなく、i線、g線、h線等の紫外線や、KrF波長248nmレーザー、ArF波長193nmレーザー等を用いることができる。次に、現像により露光部を溶解させ、ネガ型のパターンを得ることができる。現像方法としては、シャワー、ディッピング、パドルなどの方法で現像液に5秒~10分間浸漬することが好ましい。現像液としては、公知のアルカリ現像液を用いることができる。具体例としてはアルカリ金属の水酸化物、炭酸塩、リン酸塩、ケイ酸塩、ホウ酸塩などの無機アルカリ、2-ジエチルアミノエタノール、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン等のアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、コリン等の4級アンモニウム塩を1種あるいは2種以上含む水溶液等が挙げられる。現像後、水でリンスすることが好ましく、つづいて50~150°Cの範囲で乾燥ベークを行うこともできる。その後、この膜をホットプレート、オーブンなどの加熱装置で150~450°Cの範囲で20分~1時間程度加熱する。本発明のネガ型感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜は、タッチパネル保護膜、タッチパネル絶縁膜、各種ハードコート材、反射防止フィルム、光学フィルターとして用いられる。また、ネガ型感光性を有することから、液晶や有機ELディスプレイのTFT用平坦化膜、絶縁膜、反射防止膜、カラーフィルター用オーバーコート、柱材などに好適に用いられる。これらの中でも、特に、ITOやモリブデンなど、Siを有しない基板と熱処理後および薬品処理後の接着性が求められるタッチパネル保護膜やタッチパネル絶縁膜として好適に用いることができる。タッチパネルの方式としては、抵抗膜式、光学式、電磁誘導式、静電容量式等が挙げられる。静電容量式タッチパネルは特に高い硬度が求められることから、本発明の硬化膜を好適に用いることができる。本発明の硬化膜をタッチパネル用保護膜として用いる場合、膜厚1.5μmの際に硬度が4H以上、透過率が95以上、解像度は、20μm以下であることが好ましい。硬度や透過率は、露光量、熱硬化温度の選択によって調整することができる。以下、実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。本発明はこれら実施例に限定されない。合成例および実施例に用いた化合物のうち、略語を使用しているものについて、以下に示す。PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートDAA:ジアセトンアルコール。合成例1シランカップリング剤混合溶液a-1の合成PGMEA200gに3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物41.97g160mmolとt-ブチルアミン11.70g160mmolを加えてしばらく室温にて撹拌した後、40°Cにて2時間撹拌した。その後、80°Cまで昇温し、6時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が20になるようにPGMEAで希釈し、3-tert-ブチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸、2-2-tert-ブチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸の混合溶液a-1を得た。合成例2シランカップリング剤混合溶液a-2の合成PGMEA200gに3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物41.97g160mmolとt-ペンチルアミン9.45g160mmolを加えてしばらく室温にて撹拌した後、40°Cにて2時間撹拌した。その後、80°Cまで昇温し、6時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が20になるようにPGMEAで希釈し、2-2-t-ペンチルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-tert-ペンチルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸の混合溶液a-2を得た。合成例3シランカップリング剤混合溶液a-3の合成PGMEA200gに3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物41.97g160mmolとイソプロピルアミン9.45g160mmolを加えてしばらく室温にて撹拌した後、40°Cにて2時間撹拌した。その後、80°Cまで昇温し、6時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が20になるようにPGMEAで希釈し、2-2-イソプロピルアミノ―2-オキソエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-tert-イソプロピルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸の混合溶液a-3を得た。合成例4シランカップリング剤混合溶液a-4の合成PGMEA200gに3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物41.97g160mmolとn-プロピルアミン9.45g160mmolを加えてしばらく室温にて撹拌した後、40°Cにて2時間撹拌した。その後、80°Cまで昇温し、6時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が20になるようにPGMEAで希釈し、2-2-オキソ-2-プロピルアミノエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-プロピルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸の混合溶液a-4を得た。合成例5シランカップリング剤混合溶液a-5の合成PGMEA200gに3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物41.97g160mmolとアニリン14.90g160mmolを加えてしばらく室温にて撹拌した後、40°Cにて2時間撹拌した。その後、80°Cまで昇温し、6時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が20になるようにPGMEAで希釈し、2-2-オキソ-2-フェニルアミノエチル-5-トリメトキシシリルペンタン酸、3-フェニルカルバモイル-6-トリメトキシシリルへキサン酸の混合溶液a-5を得た。合成例6シランカップリング剤混合溶液a-6の合成PGMEA200gに3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物41.97g160mmolとエタノール7.37g160mmolを加えてしばらく室温にて撹拌した後、40°Cにて2時間撹拌した。その後、80°Cまで昇温し、6時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が20になるようにPGMEAで希釈し、4-エトキシ-4-オキソ-2-トリメトキシシリルブタン酸、4-エトキシ-4-オキソ-3-トリメトキシシリルブタン酸の混合溶液a-6を得た。合成例7シランカップリング剤溶液a-7の合成PGMEA400gに3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物41.97g160mmolとt-ブチルアミン11.70g160mmolを加えてしばらく室温にて撹拌した後、60°Cにて2時間撹拌した。その後、140°Cまで昇温し、PGMEAと水を共沸しながら6時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が20になるようにPGMEAで希釈し、1-tert-ブチル-3-トリメトキシシリルピロリジン-2,5-ジオン溶液a-7を得た。合成例8シロキサン樹脂溶液b-1の合成メチルトリメトキシシラン13.62g01モル、フェニルトリメトキシシラン118.98g0.6モル、3-トリメトキシシリルプロピルコハク酸39.39g0.15モル、γ-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン35.16g、DAA140.87gを500mlの三口フラスコに加えた。その後、混合液を室温で攪拌しながら、水59.4gにリン酸0.106g仕込みモノマに対して0.05質量を溶かしたリン酸水溶液を30分かけて添加した。その後、フラスコを40°Cのオイルバスに浸けて30分攪拌した後、オイルバスを30分かけて115°Cまで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100°Cに到達し、さらに45分加熱攪拌した内温は100~110°C。反応中に副生成物であるメタノール、水が合計89g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に対し、ポリマー濃度が40質量となるようにDAAを加えてシロキサン樹脂溶液b-1を得た。得られたポリマーの重量平均分子量は7500であった。合成例9アクリル樹脂溶液b-2の合成500mlのフラスコに22’-アゾビスイソブチロニトリルを3g、PGMEAプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を30g、スチレンを22.48g、シクロヘキシルメタクリレートを25.13g加えた。その後、混合液を室温でしばらく攪拌し、フラスコ内を窒素置換した後、70°Cで5時間加熱攪拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを15g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90°Cで4時間加熱攪拌した。得られたアクリル樹脂溶液の固形分濃度が40質量になるようにPGMEAを加え、アクリル樹脂溶液b-2を得た。アクリル樹脂の重量平均分子量は13500、酸価は100mgKOH/gであった。合成例10キノンジアジド化合物q-1の合成乾燥窒素気流下、TrisP-PA商品名、本州化学工業株製21.23g0.05molと5-ナフトキノンジアジドスルホニル酸クロリド37.62g0.14molを1,4-ジオキサン450gに溶解させ、室温にした。この溶液に、1,4-ジオキサン50gと混合したトリエチルアミン15.58g0.154molを、系内が35°C以上にならないように滴下した。滴下終了後、30°Cで2時間攪拌した。トリエチルアミン塩を濾過し、濾液を水に投入した。その後、析出した沈殿を濾過で集めた。この沈殿を真空乾燥機で乾燥させ、キノンジアジド化合物q-1を得た。各実施例比較例における評価方法を以下に示す。1硬度の測定5cm角のガラス基板上に作製した膜厚1.5μmの硬化膜について、JISK5600-5-41999年に準拠して鉛筆硬度を測定した。ただし、負荷加重を500gとした。2ITO接着性の評価無アルカリガラス基板ガラス厚み0.7mm上にITOを膜厚200オングストローム、抵抗値100Ω/□となるように基板を形成した。この基板以下、ITO基板と記載する上に作製した膜厚1.5μmの硬化膜について、JISK54008.5.21990年碁盤目テープ法に準じてITOと硬化膜の接着性を評価した。ガラス基板上の硬化膜表面に、カッターナイフでガラス板の素地に到達するように、直交する縦横11本ずつの平行な直線を1mm間隔で引いて、1mm×1mmのマス目を100個作製した。切られた硬化膜表面にセロハン粘着テ-プ幅=18mm、粘着力=3.7N/10mmを張り付け、消しゴムJISS6050合格品で擦って密着させた。そして、テープの一端を持ち、板に直角に保ち瞬間的に剥離した際のマス目の残存数を目視によって評価した。マス目の剥離面積により以下のように判定した。5:剥離面積04:剥離面積0~<53:剥離面積5~152:剥離面積15~351:剥離面積35~650:剥離面積65~100。3解像度1対1の幅のラインアンドスペースパターンマスクを使用し、最小パターンを形成可能なマスクパターンの幅を測定した。4平坦化性能の評価前記1記載の方法でシリコンウエハ上に作製した硬化膜について、キュア前後の硬化収縮率を算出した。この値が0~15の場合、平坦化性能は良好といえる。硬化収縮率は以下の式に従って算出した。硬化収縮率=1-キュアで得られた硬化膜の膜厚÷現像後の膜厚×100ただし、非感光性樹脂組成物の硬化収縮率を算出する場合は、現像工程を行わないため、現像後の膜厚をプリベーク後の膜厚として算出した。膜厚測定にはラムダエースSTM-602商品名大日本スクリーン製造株製を用いた。屈折率は測定物によらず1.52とし、プリベーク後の膜厚、現像後の膜厚、およびキュアで得られた硬化膜の膜厚を測定した。実施例1黄色灯下にて2-メチル-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン商品名イルガキュア907チバスペシャリティケミカル株社製、以下、IC907と記載する。1.557g、4,4-ビスジエチルアミノベンゾフェノン以下、EKと記載する。0.173gをDAA21.618g、PGMEA34.489gに溶解させた。この溶液に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート商品名カヤラッドDPHA新日本化薬株社製以下、DPHAと記載する。10.382g、シランカップリング剤混合溶液a-14.326g、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1質量溶液8.652g、シロキサン樹脂溶液b-117.303g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-333ビックケミージャパン株製のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-1を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-1をガラス基板、およびITO基板にそれぞれスピンコーターミカサ株製1H-360Sを用いて任意の回転数でスピンコートした。その後、これらの基板をホットプレート大日本スクリーン製造株製SCW-636を用いて110°Cで2分間プリベークし、膜厚1.5μmの膜を作製した。作製した膜をパラレルライトマスクアライナーキヤノン株製PLA-501Fを用いて超高圧水銀灯を光源とし、5、10、20、30、40、50μm幅の1対1の幅を持つマスクを用い、露光量200mJi線、マスクギャップ100μmで露光した。その後、自動現像装置AD-2000、滝沢産業株製を用いて、0.4質量水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液ELM-D三菱ガス化学株製で90秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。最後に、オーブンエスペック株製IHPS-222を用いて空気中220°Cで1時間キュアして硬化膜を作製した。得られた硬化膜について、前記方法で硬度、接着性、解像度を評価した。実施例2シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-2を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-2を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-2を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例3シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-3を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-3を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-3を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例4シランカップリング剤混合溶液a-1の添加量を0.433gに、およびPGMEAの添加量を38.382gに変更する以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-4を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-4を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例5シランカップリング剤混合溶液a-1の添加量を1.730gに、およびPGMEAの添加量を37.085gにする以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-5を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-5を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例6シランカップリング剤混合溶液a-1の添加量を10.382gに、およびPGMEAの添加量を28.433gにする以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-6を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-6を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例7シランカップリング剤混合溶液a-1の添加量を14.708gに、およびPGMEAの添加量を24.107gにする以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-7を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-7を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例8ネガ型感光性樹脂組成物N-130.000gにトリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホン酸塩商品名WPAG-281ビックケミージャパン株社製以下、WPAG-281と記載する。を0.052g添加し、攪拌することで、ネガ型感光性樹脂組成物N-8を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-8を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例9ネガ型感光性樹脂組成物N-130.000gにWPAG-281を0.208g添加し、攪拌することで、ネガ型感光性樹脂組成物N-9を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-9を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例10黄色灯下にて、IC9071.557g、EK0.173gをDAA32.000g、PGMEA21.629gに溶解させた。この溶液に、DPHA8.652g、シランカップリング剤混合溶液a-14.326g、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1質量溶液8.652g、アクリル樹脂溶液b-221.629g、BYK-333のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-10を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-10を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例11シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-2を用いる以外は実施例10と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-11を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-11を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例12シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-3を用いる以外は実施例10と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-12を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-12を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例13黄色灯下にて、IC9071.557g、EK0.173gをDAA32.000g、PGMEA24.108gに溶解させた。この溶液に、DPHA10.382g、シランカップリング剤混合溶液a-14.326g、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1質量溶液8.652g、アクリル樹脂溶液b-217.303g、BYK-333のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-13を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-13を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例14ネガ型感光性樹脂組成物N-1330.000gにWPAG-281を0.052g添加する以外は実施例13と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-14を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-14を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例15黄色灯下にて、IC9071.557g、EK0.173gをDAA32.000g、PGMEA18.917gに溶解させた。この溶液に、DPHA6.921g、シランカップリング剤混合溶液a-14.326g、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1質量溶液8.652g、アクリル樹脂溶液b-225.955g、BYK-333のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-15を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-15を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。実施例16黄色灯下にてキノンジアジド化合物q-11.730gをDAA6.045g、PGMEA43.141gに溶解させた。この溶液に、シランカップリング剤混合溶液a-14.326g、シロキサン樹脂溶液b-143.258g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-333ビックケミージャパン株製のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ポジ型感光性樹脂組成物P-1を得た。得られたポジ型感光性樹脂組成物P-1をガラス基板、およびITO基板にそれぞれスピンコーターミカサ株製1H-360Sを用いて任意の回転数でスピンコートした。その後、これらの基板をホットプレート大日本スクリーン製造株製SCW-636を用いて110°Cで2分間プリベークし、膜厚1.5μmの膜を作製した。作製した膜をパラレルライトマスクアライナーキヤノン株製PLA-501Fを用いて超高圧水銀灯を光源とし、5、10、20、30、40、50μm幅の1対1の幅を持つマスクを用い、露光量200mJi線、マスクギャップ100μmで露光した。このとき、硬度および接着測定に十分な広さの未露光部を確保するようにした。その後、自動現像装置AD-2000、滝沢産業株製を用いて、0.4質量水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液ELM-D三菱ガス化学株製で90秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。次に、パラレルライトマスクアライナーキヤノン株製PLA-501Fを用いて超高圧水銀灯を光源とし、露光量6000mJi線で露光した。最後に、オーブンエスペック株製IHPS-222を用いて空気中220°Cで1時間キュアして硬化膜を作製した。得られた硬化膜について、前記方法で硬度、接着性、解像度を評価した。実施例17DAA6.045g、PGMEA44.871gに溶解させた。この溶液に、シランカップリング剤混合溶液a-14.326g、シロキサン樹脂溶液b-143.258g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-333ビックケミージャパン株製のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、熱硬化性樹脂組成物U-1を得た。得られた熱硬化性樹脂組成物U-1をガラス基板、およびITO基板にそれぞれにスピンコーターミカサ株製1H-360Sを用いて任意の回転数でスピンコートし膜厚1.5μmの膜を作製した。その後、ホットプレート大日本スクリーン製造株製SCW-636を用いて110°Cで2分間プリベークした。最後に、オーブンエスペック株製IHPS-222を用いて空気中260°Cで1時間キュアして硬化膜を作製した。前記方法で硬化収縮率を算出し、硬度、接着性を評価した。比較例1黄色灯下にて、IC9071.557g、EK0.173gをDAA21.618g、PGMEA38.815gに溶解させた。この溶液に、DPHA10.382g、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1質量溶液8.652g、シロキサン樹脂溶液b-117.303g、シリコーン系界面活性剤であるBYK-333ビックケミージャパン株製のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-16を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-16を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例2シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-4を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-17を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-17を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例3シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-5を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-18を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-18を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例4ネガ型感光性樹脂組成物N-1730.000gにWPAG-281を0.208g添加し、攪拌することで、ネガ型感光性樹脂組成物N-19を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-19を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例5ネガ型感光性樹脂組成物N-1630.000gにWPAG-281を0.208g添加し、攪拌することで、ネガ型感光性樹脂組成物N-20を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-20を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例6黄色灯下にて、IC9071.557g、EK0.173gをDAA32.000g、PGMEA25.955gに溶解させた。この溶液に、DPHA8.652g、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1質量溶液8.652g、アクリル樹脂溶液b-221.629g、BYK-333のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-21を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-21を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例7黄色灯下にて、IC9071.557g、EK0.173gをDAA32.000g、PGMEA28.434gに溶解させた。この溶液に、DPHA10.382g、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1質量溶液8.652g、アクリル樹脂溶液b-217.303g、BYK-333のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-22を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-22を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例8黄色灯下にて、IC9071.557g、EK0.173gをDAA32.000g、PGMEA23.243gに溶解させた。この溶液に、DPHA6.921g、4-t-ブチルカテコールのPGMEA1質量溶液8.652g、アクリル樹脂溶液b-225.955g、BYK-333のPGMEA1質量溶液1.500gを加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-23を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-23を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例9シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-4を用いる以外は実施例10と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-24を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-24を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例10シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-5を用いる以外は実施例10と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-25を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-25を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例11シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-6を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-26を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-26を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例12シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-7を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物N-27を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物N-27を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。比較例13シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-7を用いる以外は実施例16と同様に行い、ポジ型感光性樹脂組成物P-2を得た。得られたポジ型感光性樹脂組成物P-2を用いて、実施例16と同様にして評価を行った。比較例14シランカップリング剤混合溶液a-1の代わりにシランカップリング剤混合溶液a-7を用いる以外は実施例17と同様に行い、熱硬化性樹脂組成物U-2を得た。得られた熱硬化性樹脂組成物U-2を用いて、実施例17と同様にして評価を行った。本発明のシランカップリング剤を添加する樹脂組成物の種類によって、硬化収縮率と平坦化能にどのような差があるかを比較するため、以下の参考実験を行った。参考例1ネガ型感光性樹脂組成物N-1シランカップリング剤a-1を使用をシリコンウエハ基板にスピンコーターミカサ株製1H-360Sを用いて任意の回転数でスピンコートした。その後、ホットプレート大日本スクリーン製造株製SCW-636を用いて110°Cで2分間プリベークし、膜厚1.5μmの膜を作製した。作製した膜をパラレルライトマスクアライナーキヤノン株製PLA-501Fを用いて超高圧水銀灯を光源とし、露光量200mJi線で露光した。その後、自動現像装置AD-2000、滝沢産業株製を用いて、0.4質量水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液ELM-D三菱ガス化学株製で90秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。最後に、オーブンエスペック株製IHPS-222を用いて空気中220°Cで1時間キュアして硬化膜を作製した。前記方法で硬化収縮率を算出し、平坦化能を評価した。その結果、硬化収縮率は11で、平坦化能は良好であった。ネガ型感光性樹脂組成物N-1の代わりにN-27を用いる以外は、上記と同様にして評価を行った。その結果、硬化収縮率は9で、平坦化能は良好であった。すなわち、ネガ型感光性樹脂組成物に対しては、従来のシランカップリング剤に代えて本発明のシランカップリング剤a-1を添加することにより、硬化収縮率、平坦化能とも、ほとんど低下させることはなかった。参考例2ポジ型感光性樹脂組成物P-1シランカップリング剤a-1を使用をシリコンウエハ基板にスピンコーターミカサ株製1H-360Sを用いて任意の回転数でスピンコートし、膜厚1.5μmの膜を作製した。その後、ホットプレート大日本スクリーン製造株製SCW-636を用いて110°Cで2分間プリベークした。自動現像装置AD-2000、滝沢産業株製を用いて、0.4質量水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液ELM-D三菱ガス化学株製で90秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。次に、パラレルライトマスクアライナーキヤノン株製PLA-501Fを用いて超高圧水銀灯を光源とし、露光量6000mJi線で露光した。最後に、オーブンエスペック株製IHPS-222を用いて空気中220°Cで1時間キュアして硬化膜を作製した。前記方法で硬化収縮率を算出し、平坦化能を評価した。その結果、硬化収縮率は16で、平坦化能は不良であった。ポジ型感光性樹脂組成物P-1の代わりにP-2を用いる以外は、上記と同様にして評価を行った。その結果、硬化収縮率は13で、平坦化能は良好であった。すなわち、ポジ型感光性樹脂組成物に対しては、従来のシランカップリング剤に代えて本発明のシランカップリング剤a-1を添加することにより、特に平坦化性能を低下させる傾向が見られた。参考例3熱硬化性樹脂組成物U-1シランカップリング剤a-1を使用をシリコンウエハ基板にスピンコーターミカサ株製1H-360Sを用いて任意の回転数でスピンコートし膜厚1.5μmの膜を作製した。その後、ホットプレート大日本スクリーン製造株製SCW-636を用いて110°Cで2分間プリベークした。最後に、オーブンエスペック株製IHPS-222を用いて空気中260°Cで1時間キュアして硬化膜を作製した。前記方法で硬化収縮率を算出し、平坦化能を評価した。その結果、硬化収縮率は18で、平坦化能は不良であった。熱硬化性樹脂組成物U-1の代わりにU-2を用いる以外は上記と同様にして評価を行った。その結果、硬化収縮率は14で、平坦化能は良好であった。すなわち、熱硬化性樹脂組成物に対しては、従来のシランカップリング剤に代えて本発明のシランカップリング剤a-1を添加することにより、硬化収縮率および平坦化性能を低下させる傾向が見られた。"