筒状部材の外周に、少なくとも2個の歯車を軸方向に隣接して形成する歯車構造体の製造方法であって、前記筒状部材の外周に、前記2個の歯車のうちの一方の歯車を組み込むための溝を形成する第1工程と、前記筒状部材の外周に、前記2個の歯車のうち、他方の歯車を、該他方の歯車の軸方向両端部での歯底円径が異なるように形成する第2工程と、前記溝の外周に、前記一方の歯車の歯車本体を軸方向に沿って押し込み、該歯車本体を塑性流動によって前記溝の外周に固定することによって当該一方の歯車を形成する第3工程と、を含むことを特徴とする歯車構造体の製造方法。請求項1において、前記第1工程における溝も、該溝の軸方向両端部での当該溝の底部の径が異なるように形成されることを特徴とする歯車構造体の製造方法。請求項1又は2において、前記溝の前記他方の歯車側の端部における山部の高さが、該他方の歯車の前記一方の歯車側の端部の歯高よりも低く形成されていることを特徴とする歯車構造体の製造方法。請求項1~3のいずれかにおいて前記第1工程の前記溝と、前記第2工程の前記他方の歯車の歯部とを、同一の工具によって連続的に加工することを特徴とする歯車構造体の製造方法。筒状部材の外周に設けられた溝に、歯車本体が塑性流動によって結合された第1の歯車と、該第1の歯車に軸方向に隣接して形成される第2の歯車とを有する歯車構造体を製造するために使用する中間構造体であって、前記溝と、自身の軸方向両端部での歯底円径が異なるように形成された前記第2の歯車とが、軸方向に隣接して形成された歯車構造体の中間構造体。しかしながら、この特許文献1にて開示された生産手法は、必然的に隣接して形成した歯車が形成された後に塑性結合を行うことになることから、軸部材が中空の筒状部材であった場合には、該筒状部材が塑性結合の際に変形してしまい、とりわけ塑性結合を行う歯車と隣接して設けられている歯車の形成精度を正確に保てないことがある、という問題があった。この問題は、該筒状部材の肉厚が外径に対して薄いときほど、顕著になる傾向がある。換言するならば、この問題は、筒状部材の肉厚を増大することによってある程度回避することができる。しかしながら、筒状部材の肉厚の増大は、単に歯車構造体ひいては歯車構造体が組み込まれた動力伝達装置の重量増大、コストの増大を招くだけでなく、確保したい中空部の空間がそれだけ小さくなってしまうことを意味し、デメリットが大きい。本発明は、このような従来な問題を解消するためになされたものであって、筒状部材の外周に複数の歯車を軸方向に隣接して形成した歯車構造体を精度よく製造することのできる歯車構造体の製造方法、及び、該製造方法を実施するのに好適な歯車構造体の中間構造体を提供することをその課題としている。本発明は、筒状部材の外周に、少なくとも2個の歯車を軸方向に隣接して形成する歯車構造体の製造方法であって、前記筒状部材の外周に、前記2個の歯車のうちの一方の歯車を組み込むための溝を形成する第1工程と、前記筒状部材の外周に、前記2個の歯車のうち、他方の歯車を、該他方の歯車の軸方向両端部での歯底円径が異なるように形成する第2工程と、前記溝の外周に、前記一方の歯車の歯車本体を軸方向に沿って押し込み、該歯車本体を塑性流動によって前記溝の外周に固定することによって当該一方の歯車を形成する第3工程と、を含むことにより、上記課題を解決したものである。発明者の観察によれば、筒状部材の外周に2個以上の歯車を軸方向に隣接して形成する歯車構造体において、少なくとも一方の歯車を塑性結合によって形成する場合、特に塑性結合する歯車と隣接した歯車他方の歯車が、該筒状部材の変形の影響を受けて筒状部材の軸心に対して傾いてしまう傾向がある。本発明は、この知見に基づき、少なくともこの隣接した歯車他方の歯車を、その軸方向両端部の歯底円径が異なるように形成する。これは、換言するならば、該他方の歯車を、基準ピッチ及びモジュールは不変であるがピッチ円が軸方向の一端側と他端側とで異なるように形成することを意味している。すなわち、本発明では、この筒状部材の変形によって他方の歯車が傾くことを見越して、この他方の歯車を筒状部材に対して、予め逆に傾けた状態で形成しておくものである。これにより、筒状部材の外周の溝に歯車本体を強い荷重にて押し込むことによって塑性結合する際に、筒状部材の一部が変形したとしても、他方の歯車は変形後において正しい固定状態形成状態を結果として維持できるようになり、精度の高い歯車構造体を製造することができる。本発明によれば、歯車構造体の歯車を塑性流動によって固定する際に、筒状部材の外形の一部が変形したとしても、該筒状部材に形成される歯車の形成精度を高く維持することができる。以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。図2は、本発明の実施形態の一例に係る歯車構造体の製造方法によって製造しようとする歯車構造体が組み込まれている産業用ロボットの関節駆動用の減速装置を示す。図2のAはその全体断面図、BはAのIIB-IIB断面図、CはAのIIC-IIC断面図、DはAのIID部分の拡大断面図である。減速装置G1は、入力部12、減速比調整部14、及び主減速機構部16を備える。前記入力部12は、図示せぬモータからの回転を受ける部分であり、この実施形態では入力軸18及び該入力軸18と一体化されたピニオン20を有している。前記減速比調整部14は、歯車構造体22によって構成されている。この歯車構造体22は、中空軸筒状部材24の外周に、第1歯車26及び第2歯車28の計2個の歯車が軸方向に隣接して形成されている。この歯車構造体22のより具体的な構成については、後に該歯車構造体22の製造方法を説明する際に詳述する。前記主減速機構部16は、揺動内接噛合型の遊星歯車機構で構成されている。主減速機構部16は、歯車構造体22の第1歯車26と噛合する第3歯車30を入力歯車として備える。第3歯車30は、偏心体軸32に固定されている。図2においては、第3歯車30及び偏心体軸32は、1セットのみ描写されているが、この第3歯車30及び偏心体軸32は、実際には3セット配備されている。偏心体軸32には、2個の偏心体34が一体的に形成されており、ころ36を介して外歯歯車38が偏心揺動回転可能に組み付けられている。外歯歯車38は、内歯歯車40に内接噛合している。内歯歯車40は、ケーシング42と一体化されており、その歯数は外歯歯車38の歯数よりも僅かだけ例えば1だけ多い。前記偏心体軸32は、一対の第1、第2キャリヤ43、44に円錐ころ軸受46、47を介して回転自在に支持されている。第1、第2キャリヤ43、44はボルト48によって一体化され、一対のアンギュラ玉軸受50、51を介してケーシング42に回転自在に支持されている。主減速機構部16の作用を簡単に説明すると、例えば、ケーシング42内歯歯車40を固定した場合には、偏心体軸32の回転によって外歯歯車38が内歯歯車40に内接しながらゆっくりと自転し、この自転が偏心体軸32の軸心O1周りの公転、すなわち第1キャリヤ43及び第2キャリヤ44の回転自転として取り出される。一方、第1キャリヤ43及び第2キャリヤ44を固定した場合には、偏心体軸32の公転が拘束されるため、外歯歯車38は自転しないできない。このため、公転の拘束された偏心体軸32の回転自転によって外歯歯車38が内歯歯車40に内接しながら揺動のみを行う。この揺動により、内歯歯車40が回転し、該内歯歯車40と一体化されているケーシング42が回転するいわゆる枠回転。この実施形態に係る減速装置G1は、産業用ロボットにその関節駆動用として組み込まれ、ケーシング42及び第1キャリヤ43のうちの一方が前段アーム側の部材に、他方が後段アーム側の部材いずれも図示略にそれぞれ固定されている。これにより、後段アームを前段アームに対して相対的に回転させることができる。なお、本発明においては、歯車構造体が組み込まれる装置この実施形態では歯車構造体22が組み込まれる減速装置G1の具体的な構成については、特に限定されない。次に、歯車構造体22の詳細な構成を説明する。歯車構造体22は、前述したように、中空軸筒状部材24の外周に、第1歯車26及び第2歯車28を軸方向に隣接して形成したものである。このうち第1歯車26は基礎歯溝26Aに対して歯車本体26Bを塑性結合することによって形成される。ここで、本実施形態においては、第1歯車26を組み込むための溝を、第2歯車28と同一の工具で歯切りすることによって形成するため、基礎歯26Aと称しているが、この基礎歯26Aは、いわゆる歯車の歯である必要はなく、第1歯車26の内周が塑性流動できる溝であればよい。歯車本体26Bは、外周に歯部26B1を有すると共に、半径方向中央部に中空部26B2を有したリング状の部材である。第2歯車28は中空軸24に一体的に形成される。中空軸24は、一対の軸受25、27を介して第2キャリヤ44及び前段側の部材図示略に回転自在に支持されている。この実施形態に係る歯車構造体22では、第2歯車28が入力部12のピニオン20と噛合しており、第1歯車26が主減速機構部16の入力軸である第3歯車30と噛合している。ピニオン20と第2歯車28との噛合は減速、第1歯車26と第3歯車30との噛合は増速である。各歯車、特に第1歯車26の歯数及び該第1歯車26と噛合する第3歯車30の歯数を調整することにより、減速装置G1全体の減速比を調整可能である。この歯車構造体22は、以下のようにして製造される。先ず、図1Aに示されるように、第1、第2突部54、56が一体形成されたギヤブランク歯切り前の素材58が準備される。第1突部54は、第1歯車26の基礎歯26Aの歯高26hに相当する高さ54hを有すると共に、該基礎歯26Aの歯幅26wに相当する軸方向幅54wを有している。ここで、基礎歯26Aの歯高とは、基礎歯溝26Aの山部の高さに相当し、具体的には中空軸24の内周と基礎歯26Aの歯先溝の山部の頂点との間の距離を意味している。なお、この基礎歯26Aの歯高は、中空軸24の軸心から歯先までの距離と定義してもよい。また、第2突部56は、第2歯車28の歯高28hに相当する高さ56hを有すると共に、該第2歯車28の歯幅28wに相当する軸方向幅56wを有している。なお、第2歯車28の歯高とは、先と同様に、第2歯車28の山部の高さに相当し、具体的には中空軸24の内周と第2歯車28の歯先との間の距離を意味している。なお、この第2歯車28の歯高についても、中空軸24の軸心から歯先までの距離と定義してもよい。第1突部54と第2突部56の間には、隙間δ1が設けられている。この第1、第2突部54、56間の隙間δ1は、歯切り後において第1歯車26の基礎歯26Aと第2歯車28間の隙間δ2として残存することになる。図1Aから明らかなように、この実施形態では、第1、第2突部54、56の高さ54h、56hは、歯車本体26Bを挿入する側の方が高くなっており、軸方向において一定ではない。その結果として、第1、第2歯車26、28の歯高26h、28hも、歯車本体26Bを挿入する側の方が高く形成されている。但し、この第1、第2突部54、56の高さ54h、56hの傾斜は、後述する歯底円径が軸方向で一定でないこととは、直接的には関係していない。次に、図1Bに示されるように、第1突部54に対して第1歯車26の基礎歯26Aを形成すると共に第1工程、そのまま同一の工具によって連続的に第2突部56に対して第2歯車28の歯部を形成する第2工程。このとき、少なくとも第2歯車28の歯部は、軸方向両端部での歯底円径28dが異なるように形成する。すなわち、第2歯車28の第1歯車側の歯底円径は、28d1であり、反第1歯車側の歯底円径は、28d2であって、第1歯車側の歯底円径28d1の方が大きい28d1>28d2。これは、基準ピッチ及びモジュールは同一であるが、ピッチ円28pが第1歯車側程、大きくなっていることを意味している。なお、この実施形態では、第1歯車26の基礎歯26Aについても、その軸方向両端部での歯底円径溝の底部の径:すなわち、中空軸24の軸心と溝の底部との距離26dが異なるように形成している。すなわち、この実施形態では、第1歯車26の基礎歯26Aの反第2歯車側の歯底円径は、26d1であり、第2歯車側の歯底円径は26d2であって、反第2歯車側の歯底円径26d1の方が大きい26d1>26d2。また、前述したように、この実施形態では、第1、第2突部54、56の高さ54h、56hが軸方向に一定でなかったことに起因して、第1歯車26の基礎歯26Aの歯高26h及び第2歯車28の歯高28hも軸方向に一定ではなく、それぞれ歯底円径26d、28dの傾斜に沿った傾斜を有している。また、この実施形態では、第1歯車26の基礎歯26Aの第2歯車28側の歯高26hが、第2歯車28の第1歯車26側の歯高28hよりもΔhだけ低く形成されている。この歯高差Δhに起因して生じる段差部60は、第1歯車26の歯車本体26Bを基礎歯26Aに押し込む際の止め部として機能する。この図1Bの状態の歯車構造体22の中間構造体62は、これ自体を歯車構造体22の中間製品として、在庫管理或いは流通の対象とすることができる。それは、この中間構造体62をベースとし、押し込む歯車本体26Bを適宜選択することによって、さまざまな減速比の調整が可能な歯車構造体22を容易に製造することができるためである。最後に、図1Cに示されるように、第1歯車26の基礎歯26Aの外周に、該第1歯車26の歯車本体26Bを軸方向に沿って第2歯車28の段差部60に当接するまで押し込み荷重する第3工程。これにより、歯車本体26Bを塑性流動による結合によって基礎歯26Aの外周にバックラッシ無しで固定することができ、塑性結合による第1歯車26の形成が完了する。この実施形態では、このような構成の歯車構造体22を、このような製造方法によって製造することにより、以下のような作用効果を得ることができる。なお、この説明をする前に、理解を容易にするために、先ず、比較例として従来の歯車構造体、あるいはその製造方法において発生していた不具合について図3を参照しながら説明する。図3では、便宜上図1と同一の番号の末尾にrの付された符号を振っている。図3Aを参照して、従来の歯車構造体22rの製造方法にあっては、第1歯車26rの基礎歯26Ar及び第2歯車28rの歯高26Ahr、28hr、ピッチ円26Apr、28pr、及び歯底円径26Adr、28dr等は、それぞれの軸方向の各位置で同一であった。そのため、この状態で第1歯車26rの基礎歯26Arの外周に該第1歯車26の歯車本体26Brを軸方向に沿って押し込み荷重すると、図3Bに誇張して示されるような状態が形成される。すなわち、とりわけ塑性結合しない方の隣接して形成された第2歯車28rが、中空軸24rの変形の影響を直接的に受けてしまい、軸方向において同一であるべきピッチ円26Apr、28pr等が軸心O1に対して傾いてしまう。この状態は、結果として第2歯車28rとその相手方歯車上記実施形態においてはピニオン20との噛合に、いわゆる片当たりを発生させ、円滑な動力の伝達が阻害される。これに対し、上記実施形態における歯車構造体22の製造方法によれば、図1ABに示されるように、塑性結合時の中空軸24の変形を予め想定し、歯車構造体22の中間構造体62における第2歯車28の軸方向両端部での歯底円径28d1、28d2が異なるように28d1>28d2該第2歯車28が形成されている。このため、図1Cに示されるように、塑性結合した後において、結果として第2歯車28のピッチ円28pのほか、歯底円径28d及び歯高28h等も軸方向の各位置で同一とすることができ、片当たりを防止できる。また、第1歯車26では、仮に中空軸24が多少変形したとしても歯車本体26Bの持つ剛性により、軸方向の各位置においてピッチ円26Bpを同一に維持することができるため、結局、第1、第2歯車26、28の双方とも、中空軸24の軸心O1に対して精密な形成精度を維持することができる。この作用効果から明らかなように、本発明の第2工程における他方の歯車実施形態では第2歯車28の軸方向両端部での歯底円径が異なるように形成するとあるのは、あくまで、第1歯車の歯車本体を塑性結合した後において、結果として第2歯車の特にピッチ円を、軸方向の各位置で同一とすることを意図するものである。このようにして製造された歯車構造体22を利用することで、第1歯車26の歯車本体26B、及び該歯車本体26Bと噛合する主減速機構部16の第3歯車30の歯数をそれぞれ適宜に選択することにより、減速装置G1の減速比をある範囲内で任意に調整することができる。第1歯車26及び第2歯車28は、共に中空軸24とバックラッシ無しで完全に一体化されているため、本歯車構造体22は、例えばこの実施形態で例示した産業用ロボットの減速装置G1のようなバックラッシを嫌う用途に特に好適である。なお、本発明では、歯車本体が塑性結合される一方の歯車実施形態では第1歯車26を組み込むための溝については、必ずしも中間構造体の段階で予め軸方向両端部で歯底円径が異なるように製造することは要求しない。それは、塑性結合される方の歯車は、歯車本体自体の剛性を利用できるため塑性結合後においても、ある程度精度の高いピッチ円を軸方向の各位置において維持できるためである。しかしながら、上記実施形態で示されるように、本発明では、塑性結合される方の歯車の溝についても、このような変形を見越した構成を採用するようにすることを禁止するものではなく、この場合には、図3B及び図1Cの描写の比較から明らかなように、溝と歯車本体との塑性結合をより良好に行うことができるようになるという効果が得られる。また、上記実施形態においては、第1歯車の基礎歯溝の第2歯車側端部の歯高が第2歯車の第1歯車側端部の歯高よりも低く形成されるように構成し、これによって生じる段差部を第3工程の塑性結合の際の歯車本体の止め部として機能させるようにしていたが、本発明においては、例えば、止め部として機能する別途の部材等が利用できるならば、この構成は必ずしも必要ではない。更に、上記実施形態においては、第1工程の基礎歯溝と、第2工程の第2歯車の歯部とを、同一の工具によって連続的に加工するようにしていたが、本発明においては、第1工程の溝と、第2工程の第2歯車の歯部は、必ずしも同一の工具によって連続的に加工する必要はなく、例えば、別の加工工具を用いて独立した工程で別々に加工してもよい。このように独立した工程で別々に歯部を形成するようにすると、筒状部材の変形のメカニズムをより正確に反映させることができ、結果としてより高い形成精度を有する歯車構造体を得ることができる。また、第2歯車については、上記実施形態においては、筒状部材に形成されたものをそのまま第2歯車として利用するようにしていたが、本発明では、この第2歯車を、溝として第2歯車の歯車本体を塑性流動によって結合してもよいし、その他の方法によって固定してもよい。つまり、本発明における歯車を形成とは、筒状部材に直接形成するものだけでなく、別体の歯車本体を筒状部材に固定する構成も含む。この場合でも、第2歯車を形成固定した後に、第1歯車の歯車本体を塑性結合した後における第2歯車の傾きを低減できるという同様な効果が得られる。また、溝基礎歯26Aについても、筒状部材に直接形成するものに限られるものではなく、溝の形成されたリング状部材を筒状部材に固定することによって形成してもよい。また、上記実施形態においては、筒状部材に第1、第2歯車の2個のみの歯車が形成される例が示されていたが、本発明においては、筒状部材に更に他の歯車が軸方向に隣接して形成されている場合にも適用できる。この場合、当該他の歯車を本発明の範疇から外して設計してもよく、また、当該他の歯車も本発明の第2の歯車として歯底円径を考慮した設計にて形成するようにしてもよい。