"反応容器内でほぼ鉛直な軸線の回りに回転すると共に上下に昇降する回転軸の下端に出発母材を同心的に支持し、前記軸線を含む面上に配置されたガラス微粒子生成用バーナを用いて、前記出発母材の下部に、多孔質ガラス層をほぼ軸線方向に成長させて光ファイバ多孔質母材を製造する光ファイバ多孔質母材の製造方法において、前記ガラス微粒子生成用バーナが配置された前記軸線を含む面に対して前記光ファイバ多孔質母材の中心軸線を中心に該母材の周方向にほぼ90°回転した位置に配置された赤外線検出手段によって前記光ファイバ多孔質母材から輻射される赤外線を検知することにより、前記ガラス微粒子生成用バーナに対向する面とは反対側の前記光ファイバ多孔質母材の輪郭線を求めて、この輪郭線を前記光ファイバ多孔質母材の中心軸線を中心に回転させることにより光ファイバ多孔質母材の輪郭を定めると共に、前記輪郭で包囲された部分の前記光ファイバ多孔質母材の所定の箇所の温度を求めることにより、前記光ファイバ多孔質母材の成長が行なわれている領域の表面温度の測定を行なうことを特徴とする光ファイバ多孔質母材の製造方法。内部窓と外部窓とを有する二重構造になっていて、前記内部窓に多数の微小な噴出孔がほぼ均一に設けられた温度測定窓を前記反応容器の容器壁に設けるとともに、前記内部窓と前記外部窓との間の空間にガスを供給するガス供給機構を設けておき、前記温度測定窓を通して前記光ファイバ多孔質母材の成長が行われている領域の表面温度を測定することを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。上記のように、光ファイバ多孔質母材を製造する際には、反応容器の容器壁に設けた温度測定窓を通して光ファイバ多孔質母材の表面温度や火炎の温度を測定する必要があるが、光ファイバ多孔質母材の表面温度を測定するための反応容器の温度測定窓は、その表面積が広くなるにしたがい、この窓の中心までガスパージするためにはパージガス流量を増やす必要がある。しかしながら、このようにすると反応容器内部の雰囲気が大きく乱され、最悪の場合には光ファイバ多孔質母材へのガラス微粒子の付着量が変化し、安定して光ファイバ多孔質母材の製造ができなくなるという問題があった。また、光ファイバ多孔質母材の表面温度やバーナの火炎の温度を測定するために、各バーナが存在する光ファイバ多孔質母材の周方向の位置で該光ファイバ多孔質母材の中心軸線に沿った面に対して、光ファイバ多孔質母材の中心軸線を中心にほぼ90°回転させた位置に赤外線カメラを配置すると、バーナに対向する光ファイバ多孔質母材の表面とは反対側の光ファイバ多孔質母材の輪郭線は容易に認識できるが、バーナに対向する光ファイバ多孔質母材の表面の輪郭線はバーナの火炎が干渉して認識することが非常に困難となり、バーナに対向する光ファイバ多孔質母材の表面の温度の測定が行ない難いという問題があった。CCDカメラを用いると、バーナに対向する光ファイバ多孔質母材の表面の輪郭線の確定は容易であるが、温度の測定を行なうことはできない。赤外線カメラとCCDカメラとを組み合わせて用いることも検討されているが、CCDカメラによる撮影位置とその位置での赤外線カメラによる温度の表示とを結合させることが難しいという問題があった。本発明の目的は、光ファイバ多孔質母材の所要の箇所の温度を、バーナの火炎に邪魔されずに、赤外線検出手段を用いて容易に求めることができる光ファイバ多孔質母材の製造方法を提供することにある。本発明の他の目的は、上記の目的を達成するために光ファイバ多孔質母材の温度測定を行うに際し、温度測定窓にガラス微粒子が付着するのを抑制することにある。請求項1に記載された発明は、反応容器内でほぼ鉛直な軸線の回りに回転すると共に上下に昇降する回転軸の下端に出発母材を同心的に支持し、前記軸線を含む面上に配置されたガラス微粒子生成用バーナを用いて、出発母材の下部に、多孔質ガラス層をほぼ軸線方向に成長させて光ファイバ多孔質母材を製造する光ファイバ多孔質母材の製造方法に適用されるものである。請求項1に記載された発明においては、ガラス微粒子生成用バーナが配置された前記軸線を含む面に対して光ファイバ多孔質母材の中心軸線を中心に該母材の周方向にほぼ90°回転した位置に配置された赤外線検出手段によって光ファイバ多孔質母材から輻射される赤外線を検知することにより、ガラス微粒子生成用バーナに対向する面とは反対側の光ファイバ多孔質母材の輪郭線を求めて、この輪郭線を光ファイバ多孔質母材の中心軸線を中心に回転させることにより光ファイバ多孔質母材の輪郭を定めると共に、前記輪郭で包囲された部分の光ファイバ多孔質母材の所定の箇所の温度を求めることにより、光ファイバ多孔質母材の成長が行なわれている領域の表面温度の測定を行なう。なお、各バーナが存在する光ファイバ多孔質母材の周方向の位置とは、各バーナが光ファイバ多孔質母材の周方向の特定の位置にその長手方向に一列に並んでいるときには、該光ファイバ多孔質母材の周方向の特定の位置をいい、各バーナが光ファイバ多孔質母材の周方向の特定の位置にその長手方向に一列に並んでいない場合には、各バーナの光ファイバ多孔質母材の周方向の位置のうち、最も外側に存在する2本のバーナで特定される範囲の任意の位置をいう。ここで、任意の位置とは、光ファイバ多孔質母材の製造に最も都合がよくなるように適宜決定されるものであって、例えば光ファイバ多孔質母材の周方向に対する各バーナの平均的な位置である場合、各バーナのうち特定のバーナの位置である場合、特定の2本以上のバーナの光ファイバ多孔質母材の周方向の平均的な位置である場合などがある。このようにして光ファイバ多孔質母材の所定の箇所の温度を求めると、バーナに対向する側の光ファイバ多孔質母材の箇所の温度でも、該光ファイバ多孔質母材の輪郭が確定するので、各バーナの火炎に邪魔されずに、赤外線検出手段により容易に求めることができる。請求項2に記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法においては、内部窓と外部窓とを有する二重構造になっていて、内部窓に多数の微小な噴出孔がほぼ均一に設けられた温度測定窓を反応容器の容器壁に設けるとともに、内部窓と外部窓との間の空間にガスを供給するガス供給機構を設けておき、温度測定窓を通して光ファイバ多孔質母材の成長が行われている領域の表面温度を測定する。このように内部窓と外部窓との間の空間にガス供給機構からガスを供給し、内部窓にほぼ均一に設けられた多数の微小な噴出孔からガスを内向きに吹き出すと、内部窓にガラス微粒子が付着するのを防止して、光ファイバ多孔質母材等の温度測定を行うことができるため、光ファイバ多孔質母材の製造時の制御を容易に行うことができる。また、内部窓に設けられている多数の微小な噴出孔からほぼ均一にガスを内向きに吹き出させると、従来のように光ファイバ多孔質母材へのガラス微粒子の付着量を変化させることなく、安定して光ファイバ多孔質母材の製造を行うことができる。本発明においては、ガラス微粒子生成用バーナが配置された軸線を含む面に対して光ファイバ多孔質母材の中心軸線を中心に該母材の周方向にほぼ90°回転した位置に配置された赤外線検出手段によって光ファイバ多孔質母材から輻射される赤外線を検知することにより、ガラス微粒子生成用バーナに対向する面とは反対側の光ファイバ多孔質母材の輪郭線を求めて、この輪郭線を光ファイバ多孔質母材の中心軸線を中心に回転させることにより光ファイバ多孔質母材の輪郭を定めると共に、輪郭で包囲された部分の光ファイバ多孔質母材の所定の箇所の温度を求めることにより、光ファイバ多孔質母材の成長が行なわれている領域の表面温度の測定を行なうので、バーナに対向する側の光ファイバ多孔質母材の箇所の温度を各バーナの火炎に邪魔されずに容易に求めることができる。また、請求項2に記載された発明においては、内部窓と外部窓との間の空間にガス供給機構からガスを供給し、内部窓にほぼ均一に設けられた多数の微小な噴出孔からガスを内向きに吹き出すようにしたので、内部窓にガラス微粒子が付着するのを防止して、光ファイバ多孔質母材等の温度測定を行うことができ、光ファイバ多孔質母材の製造時の制御を容易に行うことができる。また、内部窓に設けられている多数の微小な噴出孔からほぼ均一にガスを内向きに吹き出させるので、従来のように光ファイバ多孔質母材へのガラス微粒子の付着量を変化させることなく、安定して光ファイバ多孔質母材の製造を行うことができる。図1A,Bは本発明に係る光ファイバ多孔質母材の製造装置の実施の形態の第1例を示した縦断側面図及び縦断背面図である。この光ファイバ多孔質母材の製造装置は、石英ガラス等よりなる反応容器1を備えている。この反応容器1は、上部が開口して底部が閉じられた有底筒状をなしていている。該反応容器1内にはその上部から回転軸2が垂下されていて、該回転軸2は図示しない回転昇降駆動手段によりほぼ鉛直な軸線の回りに回転すると共に上下に昇降されるようになっている。反応容器1内で回転軸2の下端には、出発母材3が同心的に支持されていて、回転軸2と一緒に回転し、昇降するようになっている。この反応容器1の容器壁を気密に貫通して少なくとも第1層合成用バーナとしてのコアバーナ4と第2層合成用バーナとしてのクラッドバーナ5とが配置されている。これらコアバーナ4とクラッドバーナ5とは、これらの先端が出発母材3の下部または該出発母材3の下部に形成された光ファイバ多孔質母材6の下部に対向して、これらバーナ4,5の先端の火炎7,8の中で生成したガラス微粒子を出発母材3の下部または該出発母材3の下部に堆積させて所要の長さの光ファイバ多孔質母材6を製造するようになっている。コアバーナ4とクラッドバーナ5を貫通させている側とは反対側で反応容器1の容器壁には、排気管9が接続されていて不要ガス等の排気を行うようになっている。コアバーナ4とクラッドバーナ5を貫通させている側とは90度周方向に離れた位置の反応容器1の容器壁には、光ファイバ多孔質母材6の成長が行われている領域の温度とバーナ4,5の火炎7,8の温度を対応箇所からの赤外線を検出することにより測定するために、1対の温度測定窓10が設けられている。反応容器1の外には、温度測定窓10に対向させて、熱画像測定器あるいは赤外線カメラ11が設置されている。この熱画像測定器あるいは赤外線カメラ11の出力は解析装置12に入力されて解析され、モニタ13に表示されると共に制御装置14に入力され、各バーナ4,5への各種のガス等の制御や、回転軸2を回転,昇降させる回転昇降機構の制御を行うようになっている。図2A~Cは本例で用いている温度測定窓10の構成を示したもので、図2Aは該温度測定窓10の内側より見た背面図、図2Bは該温度測定窓10の縦断面図、図2Cは図2AのC部の拡大図である。この温度測定窓10は、反応容器1の容器壁を気密に貫通して取付けられる環状枠体15を備え、この環状枠体15には内部窓16と外部窓17とが気密に取付けられて二重構造になっている。内部窓16には、例えば10mm2に1個の割合等で直径が1mm程度の微小な噴出孔18が多数、ほぼ均一に設けられている。また、環状枠体15には、該環状枠体15で内部窓16と外部窓17との間の空間19にパージガスを供給するガス供給機構の配管20が接続されている。図3ABは本例で温度の測定を行なう場合の構成を示したもので、図3Aは側面図、図3Bは平面図である。この例では、光ファイバ多孔質母材6のコア部6aにコアバーナ4を対向させ、クラッド部6bにクラッドバーナ5を対向させて配置して、光ファイバ多孔質母材6の製造を行っている場合について示している。各バーナ4,5は、光ファイバ多孔質母材6の外周の一箇所に図示のように上下に並べて配置されている。これらバーナ4,5が存在する垂直面に対して光ファイバ多孔質母材6の中心軸線21を中心にほぼ90°回転させた位置には、温度測定窓10を介して赤外線カメラ11が配置されている。かかる構成で、光ファイバ多孔質母材6の温度の測定は、次のようにして行なう。各バーナ4,5が上下に並んで存在する垂直面に対して光ファイバ多孔質母材6の中心軸線21を中心にほぼ90°回転させた位置に存在する赤外線検出手段としての赤外線カメラ11により光ファイバ多孔質母材6及び各バーナ4,5から輻射されるされる赤外線を検知することにより、各バーナ4,5に対向する面とは反対側の光ファイバ多孔質母材6の輪郭線6Aを求める。この輪郭線6Aを光ファイバ多孔質母材6の中心軸線21を中心に180°回転して該光ファイバ多孔質母材6の各バーナ4,5に対向する面の輪郭線6Bを求め、該光ファイバ多孔質母材6の輪郭6Rを定める。次に、この光ファイバ多孔質母材6の輪郭6Rで包囲された部分の光ファイバ多孔質母材6の所定の箇所の温度を求める。このようにして光ファイバ多孔質母材6の所定の箇所の温度を求めると、各バーナ4,5に対向する側の光ファイバ多孔質母材6の箇所の温度でも、光ファイバ多孔質母材6の輪郭6Rが確定するので、各バーナ4,5の火炎7,8に邪魔されずに、赤外線カメラ11により得られた情報を解析装置12により処理することで容易に求めることができる。次に、上記の如き光ファイバ多孔質母材の製造装置を用いての光ファイバ多孔質母材の製造方法の第1例について説明する。VAD法による光ファイバ多孔質母材の製造を行うに際しては、出発母材3の下部にコアバーナ4とクラッドバーナ5の先端を対向させて、これらバーナ4,5の先端の火炎7,8の中で生成したガラス微粒子を該出発母材3の下部に堆積させる。未堆積のガラス微粒子等は排気管9から排出させ、図示しない廃ガス処理装置で処理する。この光ファイバ多孔質母材の製造装置を立ち上げる場合は、出発母材3が成長するステップをふんだ後、コアバーナ4とクラッドバーナ5を一定の条件にして光ファイバ多孔質母材6の形状を安定させる。光ファイバ多孔質母材6の形状が安定した後の部分が光ファイバ多孔質母材6の製品部分となる。光ファイバ多孔質母材6の屈折率分布の調整は、一般に該光ファイバ多孔質母材6の形状が安定した後に、火炎7,8の光ファイバ多孔質母材6へのあたり方、火炎7,8の形や色、火炎7,8の干渉状態を見ながら、各バーナ4,5の位置やガス条件を調整する。本例では、熱画像測定器あるいは赤外線カメラ11を用いて、光ファイバ母材6の先端側の成長領域の温度情報を計測し、それを解析し、所望の条件となるようにバーナ4,5の位置やガス条件を調節する。次に、具体的にどのように調節するかについて、図4を参照して説明する。この図4は、光ファイバ多孔質母材6のコア部6aとクラッド部6bとからなる成長領域を、温度測定窓10を通して熱画像測定器あるいは赤外線カメラ11で撮影し、その出力を解析装置12で解析したときの解析結果を示すモニタ13での表示画像である。この図4における光ファイバ多孔質母材6の先端部下端部は、温度に応じた色で疑似カラー表示されている。この図4では、光ファイバ多孔質母材6の鉛直方向に座標をとり、コアバーナ4の火炎7と上部バーナ本例では、クラッドバーナ5の火炎8との干渉部における最低温度を示す点をH点、コア部6aの先端部をA点とし、A点からH点までの区間であるAH間でA点から1/3の距離にある点をP点とし、A点とP点との間の距離をZpとし、A点とK点との間の距離をZkとし、A点とH点との間の距離をZhとしている。この解析により、屈折率分布と、K点における最高温度Tk及びA点からのK点の高さZkとが強い相関があることがわかった。この表1は、K点における最高温度Tkについての条件と、A点からK点までの鉛直座標軸上の距離Zkと、A点からH点までの鉛直座標軸上の距離Zhとの比Zk/Zhについての条件を示したものである。最高温度Tkが350~420°Cであって、13≦Zk/Zh≦12の場合には、図5Aのような屈折率分布が得られた。この屈折率分布は、コア/クラッド間の境界部の屈折率が急峻に変化しているため、波長13μm付近に零分散波長をもつシングルモード光ファイバ以下、SMFという。としては理想的なものに近い。一方、最高温度Tkが420~460°Cであって、12<Zk/Zh≦34の場合には、図5Bのような屈折率分布が得られた。この屈折率分布は、図5Aと比較すると、コア/クラッド間の境界部の屈折率がややなだらかに変化しているため、SMFとしては理想的とはいえない。また、最高温度Tkが460~500°Cであって、34<Zk/Zh≦1の場合には、図5Cのような屈折率分布が得られた。この屈折率分布は、図5Aや図5Bと比較すると、コア/クラッド間の境界部の屈折率がなだらかに変化し、且つコア部の屈折率分布に平坦な箇所がないため、SMFとしては望ましくないが、分散シフト光ファイバ以下、DSFという。や分散補償光ファイバ以下、DCFという。等のコア部分としては適している。なお、最高温度Tkが350°C未満の場合は、光ファイバ多孔質母材6のコア部6aの嵩密度が低下するため、コア部6aとクラッド部6bとの長手方向の温度差による熱応力等により、コア部6aにクラックが発生するおそれがある。また、コア部6aの最低温度が300°C未満となると、その部分の嵩密度がさらに低下し、クラック発生率が急激に高まるため、コア部6aの最低温度は300°C以上である必要がある。このため本例では、コア部6aにおける最高温度点であるK点を、P点とH点との間の領域であるPH間領域に存在させつつ光ファイバ多孔質母材6の製造を行う。このようにすると、コア部6aにクラックが発生するのを防止しつつ光ファイバ多孔質母材6の製造を行うことができる。もし、コア部6aにおける最高温度点であるK点を、P点とA点との間のPA間領域に存在させた場合は、PH間領域の温度が相対的に低下した状態になり、PH間領域の光ファイバ多孔質母材6の嵩密度が低下する。その結果、光ファイバ多孔質母材6のPH間領域にクラックが発生し易くなる。この表2は、図5Aの屈折率分布をもつ光ファイバ多孔質母材6を製造する際のPA間の最高温度T1と、PH間の最高温度T2との関係を示したものである。ここで、T1よりT2が20°C以上高くなると、即ち、T1-T2<-20°Cとすると、図6Aに示すようにコア/クラッド間の境界部の屈折率が急峻に変化した屈折率分布を得ることができる。しかしながら、T2-T1が60°Cを超えると、換言すればT1-T2が-60°Cより負方向に大きくなるとT1-T2<-60°Cとなると、PA間の嵩密度が低下するため、コア部6aにクラックが発生するおそれがある。これら図6ABに示す屈折率分布で、屈折率△1と△2とをそれぞれ一定の値とした時の半径R1,R2と、半径R1 ́,R2 ́とを求め、コア/クラッド間の境界部の屈折率の傾きDを求めると、次のようになる。図6Aの場合のDは、D=△1-△2/R2-R1である。図6Bの場合のDは、D=△1-△2/R2 ́-R1 ́である。これらの式では、R2-R1<R2 ́-R1 ́であるので、コア/クラッド間の境界部の屈折率の傾きDは、図6Aの場合の方が大きく、急峻である。一方、T2-T1が20°C未満の場合は、図6Bに示すようにコア/クラッド間の境界部の屈折率がなだらかに変化した屈折率分布となる。なお、T1がT2より20°C以上高くなるとT1-T2>20°Cとなると、PH間の嵩密度が低下するため、コア部6aにクラックが発生するおそれがある。即ち、コア部6aにクラックを発生させないためには、P点とA点との間のPA間領域の最高温度T1単位:°CとP点とH点との間のPH間領域の最高温度T2単位:°Cとの間に、-60≦T1-T2≦20の関係が成立する必要がある。またコア部にクラックを発生させることなく、コア/クラッド間の境界部で屈折率が急峻に変化する屈折率分布を得るためには、-60≦T1-T2≦-20の関係が成立する必要がある。このため本例では、光ファイバ多孔質母材6のPH間領域の最高温度を、光ファイバ多孔質母材6のPA間の領域の最高温度より20°C以上高くして光ファイバ多孔質母材6の製造を行う。このようにして光ファイバ多孔質母材6の製造を行うと、光ファイバ多孔質母材6のコア部6aの屈折率分布の調節を容易に短時間に行うことができる。図7は、本発明に係る光ファイバ多孔質母材の製造方法の第2例を示す光ファイバ多孔質母材と各バーナとの関係を示す側面図である。この例では、光ファイバ多孔質母材6のコア部6aにコアバーナ4を対向させ、クラッド部6bに2本のクラッドバーナ5A,5Bを上下に位置をずらせて対向させて配置して、光ファイバ多孔質母材6の製造を行っている。コアバーナ4とクラッドバーナ5A,5Bとは、上下方向に並んで配置されている。この図において、B,B,Bはそれぞれバーナ4,5A,5Bの中心線と光ファイバ多孔質母材6の表面との交点、22は光ファイバ多孔質母材6の表面に沿って交点B,B,Bを順に結んでできる光ファイバ多孔質母材6上の線分、S,S,Sは線分22上の温度の極小点、D,D,Dは極小点S,S,Sとその次の極小点との間の温度勾配の最大値である。極小点の温度と温度勾配との関係が、複数本のバーナのうち下から数えてm番目のバーナの中心線を延長した線分と光ファイバ多孔質母材6との交点Bmを順に結んでできる光ファイバ多孔質母材6の表面の線分22上の温度の測定値単位:°Cが、下記の式Dn≦011×Tsn-244...aここで、Tsnは線分22上の下から数えてn番目の温度極小値、Dnは温度極小値Tsnを示す温度極小点Snと次の温度極小点Sn1との間の温度勾配の最大値である。n=mの場合は、温度極小点Snと交点Bmとの間の温度勾配の最大値をDnとする。から外れた場合、例えば図7の極小点Sの温度より温度勾配Dが大きい場合は、クラッドバーナ5Bを上に離すことで温度勾配を緩めることができる。また、クラッドバーナ5Aの酸水素量を上げ、極小点Sの温度を上げることで、式aを満たすことができる。但し、この場合、極小点Sと温度勾配Dの関係が式aを満たす範囲で制御する。また、本発明においては、熱画像測定器あるいは赤外線カメラ11と、バーナ4,55A,5Bと、光ファイバ多孔質母材6特に、先端と中心軸との相対位置は、温度勾配や、バーナ4,55A,5Bの中心線と光ファイバ多孔質母材6の表面との交点を決める上で重要であるため、実測したデータと画像から得られたデータとを比較することによって、測定の精度を高めることが望ましい。図8は、光ファイバ多孔質母材6の表面の軸方向位置を横軸に、光ファイバ多孔質母材6の表面の温度を縦軸にとり、光ファイバ多孔質母材6の表面の図7で定義した線分22上の温度分布図を示している。図9は、極小点の温度を横軸に、温度勾配を縦軸にとり、クラックが発生した光ファイバ多孔質母材6について、クラックが発生した箇所に最も近い極小点Snの温度Tsnと温度勾配Dnを×印でプロットしてある。これから、前述した式aの直線より下では、プロットがなくクラックが発生していないことがわかる。また式aから、極小点の下限値を温度勾配が0°C/mmとなる温度として計算すると、2218°Cとなる。このため極小点の温度をこの温度に近付けていくと、クラックの発生を抑えて製造することは非常に困難となる。上記の如くして光ファイバ多孔質母材6の製造を行うに際し、該光ファイバ多孔質母材6の温度を、前述した図2A~Cに示す温度測定窓10を用いて測定した。この際に、内部窓16と外部窓17との間の空間19にパージガスを供給し、このパージガスを内部窓16の各噴出孔18から噴出させた。実験によると、パージガスの流量を5l/minにすれば、内部窓16の全面を一様にパージすることができた。パージガスの流量は、各噴出孔18の径を更に細くすることで減らすことができる。噴出孔18の密度は、窓の強度が許容できるかぎり、高い方がよいが、目視確認用の窓として共用する場合は、噴出孔18が目視の妨げとなることがあるが、本例の場合には目視確認に支障がなかった。内部窓16に多孔質ガラスを用いても、この多孔質ガラスは一様に多数の噴出孔18が分布しているので、同様の効果が期待できる。この場合、パージガスが水分を含んでいると、多孔質ガラスに水分が吸着されて赤外線の透過率が低下していくので、パージガス中の水分を取り除く必要がある。また、多孔質ガラスを使用した場合は、光ファイバ多孔質母材6の目視確認が不可能になるため、温度測定用の窓と目視確認用の窓とは別にする必要がある。"