"固体成形品146を成形する方法において、キャビティ138を画定する実質的に剛性の表面133と実質的に剛性のコア136を含む多用途射出成形装置を提供するステップであって、前記キャビティ138とコア136がそれらの間に成形空間144を画定し、前記キャビティ138と前記コア136の少なくとも一方が、分割軸Xに沿って他方に関して移動可能であり、それによって成形後の成形品を取り外すために前記成形空間144が開き、前記キャビティ138と前記コア136の少なくとも一部が、抜き勾配θが前記分割軸Xに関して0.5度以下である小さい抜き勾配の要素136等であるようなステップと、前記小さい抜き勾配の要素136等の少なくとも一部を第一の選択温度まで加熱して、それを熱膨張させるステップと、加熱前、加熱中または加熱後に、流体成形材料146を前記成形空間144へと射出するステップと、前記流体成形材料146の少なくとも表面を前記小さい抜き勾配の要素136等に合わせて形成し、小さい抜き勾配の形成面150を画定するステップと、少なくとも前記小さい抜き勾配の形成面150を固化して、小さい抜き勾配の固体形成面150を提供するステップと、前記小さい抜き勾配の要素136等の少なくとも一部を、前記第一の選択温度より低い第二の選択平均温度まで冷却して、前記小さい抜き勾配の要素136等の少なくとも一部を、前記小さい抜き勾配の固体形成面150から離れるように十分に熱収縮させ、前記小さい抜き勾配の要素136等を前記小さい抜き勾配の形成面150から分離させるステップと、前記キャビティ138とコア136を前記分割軸Xに沿って分割するステップと、前記固体成形品146を前記成形空間144から取り外すステップと、を含む方法。前記小さい抜き勾配の要素が前記コア136の少なくとも一部である、請求項1に記載の方法。前記流体成形材料146の前記成形空間144内に射出される時の温度はそのガラス転移点より高い、請求項1または2に記載の方法。前記固化するステップは、射出された前記成形材料146の少なくとも前記形成面150をそのガラス転移点以下まで冷却することによって行われる、請求項1~3のいずれか1項に記載の方法。前記小さい抜き勾配の要素136等の抜き勾配が0°~0.5°である、請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。前記小さい抜き勾配の要素136等の抜き勾配が0°~0.25°である、請求項1~5のいずれか1項に記載の方法。前記小さい抜き勾配の要素136等の抜き勾配が0°~0.16°である、請求項1~6のいずれか1項に記載の方法。前記小さい抜き勾配の要素136等の抜き勾配が0°~0.03°である、請求項1~7のいずれか1項に記載の方法。前記小さい抜き勾配の要素136等の抜き勾配が0°~0.014°、任意選択的に0°~0.01°である、請求項1~8のいずれか1項に記載の方法。前記成形材料146がポリエチレンテレフタレート、環状オレフィンコポリマ、環状オレフィンポリマ、ポリプロピレンまたはそれらの組み合わせを含む、請求項1~9のいずれか1項に記載の方法。前記小さい抜き勾配の要素が鋼、たとえばH13工具鋼を含む、請求項1~10のいずれか1項に記載の方法。請求項1の方法で作製される注射器アセンブリ310。請求項1~12のいずれか1項に記載の方法で作製される注射器アセンブリ310。開放端326、吐出開口部344、内面315を有する外筒312と、側縁を有するピストン318であって、前記外筒内で摺動可能で、前記外筒内の前記外筒内面115と前記外筒吐出開口部344と前記ピストン318の間に捕捉された内容物をすべて吐出させるピストン318と、を含む、請求項13に記載の注射器アセンブリ310。前記外筒の前記内面115の上にSiOxバリア層をさらに含む、請求項14に記載の注射器アセンブリ310。前記注射器側縁と前記外筒の前記内面115の少なくとも一方の上に潤滑層をさらに含み、前記ピストン318を前記外筒内で前進させるのに必要な力が軽減される、請求項14または15に記載の注射器アセンブリ310。前記潤滑層がPECVDにより形成される、請求項16に記載の注射器アセンブリ310。前記潤滑層が、X線光電子分光法XPSで測定した場合に、SiwOxCyまたはSiwNxCyにおいてwが1、式中のxが約0.5~2.4、yが約0.6~約3の、少なくとも1つの原子比率を有する、請求項16または17に記載の注射器アセンブリ310。前記外筒内に捕捉された前記内容物としてのタンパク質製剤と、前記外筒の前記内面115を改質するタンパク質非改変層であって、前記タンパク質非改変層の劣化速度と比較して、前記外筒内に捕捉された前記内容物の劣化速度を低下させるタンパク質非改変層と、をさらに含む、請求項14~19のいずれか1項に記載の注射器アセンブリ310。前記潤滑層がピストン318の側縁上にある、請求項1~19のいずれか1項に記載の注射器アセンブリ310。略円筒形の側壁314を含む外筒312であって、前記側壁314は実質的に剛性の熱可塑性材料で作製され、液体を収容するための内腔316を画定し、前記内腔316の軸方向の抜き勾配θは0~0.5度、任意選択的に少なくとも実質的にゼロ度である外筒312と、前縁面320、後縁面322、側縁324を有し、前記内腔316の中に移動可能に設置されるように構成され、前記側縁324が実質的に剛性の熱可塑性材料で作製されるピストン318と、を含む注射器アセンブリ310。前記ピストン318の前記側縁24、前記内腔314またはその両方にPECVDによって堆積された潤滑剤326をさらに含む、請求項21に記載の発明。前記ピストン前縁面320が凸状である、請求項21または22に記載の発明。前記ピストン後縁面322が凹状である、請求項21~23のいずれか1項に記載の発明。前記ピストン側縁324の、前記内腔316からの半径方向の最大空隙が約15μm以下である、請求項21~24のいずれか1項に記載の発明。前記ピストン側縁324が軸方向の面において凸状である、請求項21~25のいずれか1項に記載の発明。前記外筒312が射出成形による単一の熱可塑性部品である、請求項21~26のいずれか1項に記載の発明。前記ピストン318が射出成形による単一の熱可塑性部品である、請求項21~27のいずれか1項に記載の発明。前記ピストン318を前記内腔316内で前進させるための、前記ピストン318に関連付けられるステム328をさらに含む、請求項21~28のいずれか1項に記載の発明。前記ピストン318と前記ステム328が射出成形による単一の熱可塑性部品である、請求項29に記載の発明。成形された単一の熱可塑性部品の各々が単一の均一な材料で作製される、請求項27~30のいずれか1項に記載の発明。前記ステム328が、前記ピストン318に連結された第一の端部330と、前記外筒312から突出する、反対の第二の端部332を有する、請求項29~31のいずれか1項に記載の発明。前記ステム328の管状部334がその第二の端部332に隣接する、請求項32に記載の発明。前記ステム328のその第一と第二の端部330、332の間の部分が、略十字形断面部分336を有する、請求項29~33のいずれか1項に記載の発明。前記ステム328の前記十字形断面部分336はその第一の端部330に隣接する、請求項34に記載の発明。前記ステム328の、その第一の端部30とその略十字形断面部分336の間の部分は、直径が前記内径316の直径の半分未満であるロッド部分338を有する、請求項34または35に記載の発明。前記管状部分334が開放端340と、前記注射器外筒内に配置される閉鎖端342を有する、請求項34~36のいずれか1項に記載の発明。前記管状部分334の前記閉鎖端342が前記ステム328の前記略十字形断面部分336と融合する、請求項37に記載の発明。前記成形空間は、抜き勾配が0°~0.15°、任意選択的に0°~0.1°、任意選択的に0°~0.06°、任意選択的に0°~0.03°の注射器プランジャを形成するように構成された、請求項1~11のいずれか1項に記載の方法。前記外筒312が吐出開口部344を有し、前記吐出開口部344に動作的に接続された皮下注射針346をさらに含む、請求項21~40のいずれか1項に記載の発明。プラズマ強化化学蒸着法によって注射器プランジャまたは同様の成形品を選択的にコーティングする方法において、注射器外筒の内容物と接触するように位置付けられる略円形の前部と、注射器外筒と摺動可能に接触するようになされた略円筒形の側部を有する注射器プランジャを提供するステップと、前方開口部と、前記前方開口部から延びる内部側壁を有する略管状のプランジャホルダを提供するステップと、前記プランジャを前記プランジャホルダ内に設置し、その際、前記プランジャの前記前部が前記プランジャホルダの前記前方開口部に面し、前記プランジャの前記側部が前記プランジャホルダの前記内部側壁と接触するような向きにするステップと、前記プランジャの前記前部を層形成反応ガスと接触させ、前記プランジャホルダ内の前記プランジャの前記前部付近でプラズマを発生させるステップと、プラズマ強化化学蒸着法を用いて、前記プランジャの前記前部に選択的にバリア層を堆積させるステップと、を含む方法。注射器プランジャに選択的にコーティングする方法において、注射器外筒の内容物と接触するように位置付けられる略円形の前部、注射器外筒と摺動可能に接触するようになされた略円筒形の側部、および略円形の後部を有する注射器プランジャを提供するステップと、前記注射器プランジャをプラズマ強化化学蒸着チャンバ内に設置するステップと、前記略円形の前部と前記略円形の後部の少なくとも一方をマスキングし、前記プランジャの前記略円筒形の側部の少なくとも一部には、少なくとも実質的にマスキングを行わないステップと、前記プランジャの前記側部を層形成反応ガスと接触させるステップと、前記蒸着チャンバ内の前記プランジャの前記側部付近でプラズマを発生させるステップと、プラズマ強化化学蒸着法を用いて、前記プランジャの前記側部に選択的に層を堆積させるステップと、を含む方法。前記層形成反応ガスが有機珪素ガスを含む、請求項41または42に記載の方法。前記層形成反応ガスがヘキサメチレンジシロキサンを含む、請求項41~43のいずれか1項に記載の方法。前記層形成反応ガスがオクタメチルシクロテトラシロキサンを含む、請求項41~44のいずれか1項に記載の方法。前記層形成ガスが酸素を含む、請求項41~45のいずれか1項に記載の方法。プラズマ強化化学蒸着法を用いて、略円筒形の成形品の端部に選択的に層形成する方法において、端部と略円筒形の側部を有する略円筒形の成形品を提供するステップと、第一の開口部を有し、前記第一の開口部から延びる内腔を画定するホルダを提供するステップと、前記成形品を少なくとも部分的に前記内腔内に設置し、その際、その端部が前記ホルダの前記第一の開口部に面し、その側部が前記内腔と接触するような向きにするステップと、少なくとも1つの層形成前駆体のプラズマ強化化学蒸着によって、前記成形品の前記端部に選択的に少なくとも1層を堆積させるステップと、を含む方法。前記略円筒形の成形品が注射器プランジャである、請求項47に記載の発明。前記略円筒形の成形品が注射器用ピストンである、請求項47または48に記載の発明。請求項47~49のいずれか1項に記載の方法により作製された前記略円筒形の成形品とプッシュロッドとのアセンブリ。前記プランジャが、前記少なくとも1層の堆積中にプッシュロッドに固定される、請求項50に記載の発明。前記プッシュロッドが母指押圧パッドをさらに含む、請求項50または51に記載の発明。前記母指押圧パッドが少なくとも部分的に前記内腔内に適合する大きさである、請求項52に記載の発明。前記母指押圧パッドの少なくとも一部が、前記内腔内の小さい空隙と適合する大きさである、請求項52または53に記載の発明。請求項47~54のいずれか1項にしたがって作製される前記略円筒形の成形品のアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が、前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。請求項47~55のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器外筒およびプッシュロッドとのアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が、前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。請求項47~56のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器外筒、プッシュロッドおよびエンドキャップとのアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が、前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。請求項47~57のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器外筒、プッシュロッドおよび皮下注射針とのアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が、前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。請求項47~58のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器外筒、プッシュロッド、皮下注射針および針シールドのアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が、前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。前記注射器外筒がPECVDで処理された内部を有する、請求項14~46または55~59のいずれか1項に記載の発明。前記内腔が1つの開口部を有する、請求項47~60のいずれか1項に記載の発明。前記内腔が貫通している内腔であり、第二の、遠位方向の開口部を有する、請求項47~60のいずれか1項に記載の発明。前記内腔が、その長さの少なくとも一部に沿って実質的に円筒形の部分を有する、請求項47~62のいずれか1項に記載の発明。前記内腔が、その長さ全体に沿って実質的に円筒形の部分を有する、請求項47~63のいずれか1項に記載の発明。前記内腔と前記略円筒形の成形品が実質的に同じ半径方向の断面を有する、請求項47~64のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品が、前記内腔内で摺動式シール材を形成するように構成される、請求項47~65のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層を堆積させる前に、前記ホルダの前記第一の開口部を、真空源と前駆体ガス源を有するPECVD装置と動作的な関係になるように設置するステップをさらに含む、請求項47~66のいずれか1項に記載の発明。前記成形品が少なくとも部分的に前記内腔内に設置されて、成形品と内腔のアセンブリが形成されてから、前記ホルダの前記第一の開口部が前記PECVD装置上に着座される、請求項47~67のいずれか1項に記載の発明。前記成形品と内腔のアセンブリが形成された後、前記成形品と内腔のアセンブリが前記PECVD装置に着座される前に、前記成形品と内腔のアセンブリが前記PECVD装置に搬送される、請求項47~68のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が堆積された後に、前記成形品と内腔のアセンブリが取り外され、前記PECVD装置から離される、請求項47~69のいずれか1項に記載の発明。前記成形品と内腔のアセンブリが前記PECVD装置から離された後に、前記略円筒形の成形品が前記成形品と内腔のアセンブリから取り外される、請求項47~70のいずれか1項に記載の発明。前記内腔が一方の端の前記第一の開口部およびもう一方の端の第二の開口部の両端で開かれ、前記略円筒形の成形品が、それを前記第一の開口部から押し出すことによって、前記成形品と内腔のアセンブリから取り外される、請求項47~71のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品は前記第一の開口部から、前記第二の開口部から前記内腔の中に挿入された物体によって押し出される、請求項47~72のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、前記コーティングされた端部を通じて前記略円筒形の成形品から材料が浸出するのを減少させるためのバリアを含む、請求項47~73のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、前記コーティングされた端部を通じて前記略円筒形の成形品へと材料が浸出するのを減少させるためのバリアを含む、請求項47~74のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、前記コーティングされた端部に、前記少なくとも1層が暴露される予定の材料と接触するのに所望の表面疎水性を持たせるようになされた疎水性層を含む、請求項47~75のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、前記端部が、前記少なくとも1層が暴露される予定の材料により攻撃されるのを防止するために、前記コーティングされた端部を安定化させるようになされた疎水性層を含む、請求項47~76のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、前記コーティングされた端部を通じた周辺気体または流体の進入を防止するバリアを含む、請求項47~77のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、前記コーティングされた端部を通じた材料の漏出を防止するバリアを含む、請求項47~78のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、浸出防止バリア、疎水性層、表面安定化層、周辺条件に対するバリア、内容物漏出防止バリアのうちの2つ以上を含む、請求項47~79のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、浸出防止バリア、疎水性層、表面安定化層、周辺条件に対するバリア、内容物漏出防止バリアのうちの3つ以上を含む、請求項47~80のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、浸出防止バリアと、内容物漏出防止バリアを含む、請求項47~81のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、浸出防止バリアと、疎水性層を含む、請求項47~82のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品の前記端部の全部ではない部分がコーティングされる、請求項47~83のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品の中央端部がコーティングされ、前記略円筒形の成形品の周辺端部がコーティングされないままである、請求項47~84のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品の、前記端部に隣接する側部がコーティングされる、請求項47~85のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品の、前記隣接する部分から遠位側の側部がコーティングされないままである、請求項47~86のいずれか1項に記載の発明。層を堆積させる前に、前記略円筒形の成形品の前記端部が不完全真空に暴露され、前記略円筒形の成形品から移動可能な流体材料が抽出される、請求項47~87のいずれか1項に記載の発明。複数の層が堆積される、請求項47~88のいずれか1項に記載の発明。ある組成と特性を有する第一の層が堆積され、その後、異なる組成、異なる特性、またはその両方を有する第二の層が堆積される、請求項47~89のいずれか1項に記載の発明。ある組成と特性を有する第一の層が堆積され、その後、同じ組成と特性を有する第二の層が堆積される、請求項47~90のいずれか1項に記載の発明。ある組成と特性を有する第一の層が堆積され、その後、異なる組成、特性、またはその両方を有する第二の層が堆積され、その後、前記第一の層と同じ組成と特性を有する第三の層が堆積される、請求項47~91のいずれか1項に記載の発明。ある組成と特性を有する第一の層が堆積され、その後、前記第一の層とは異なる組成、特性、またはその両方を有する第二の層の複数の層が堆積され、その後、前記第一の層と同じ組成と特性を有する第三の層が堆積される、請求項47~92のいずれか1項に記載の発明。プラズマ強化化学蒸着法を使用して略円筒形の成形品の側部を選択的に処理する方法において、相反する側にある端部と略円筒形の側部を有する略円筒形の成形品を提供するステップと、前記成形品をプラズマ強化化学蒸着チャンバの中に設置するステップと、前記端部の少なくとも一方の少なくとも一部にマスキングし、側部をマスキングしないままとするステップと、層形成前駆体のプラズマ強化化学蒸着によって、前記成形品の前記マスキングされていない側部に選択的に少なくとも1層を堆積させるステップと、を含む方法。前記略円筒形の成形品が注射器プランジャである、請求項94に記載の発明。前記略円筒形の成形品が注射器用ピストンである、請求項94または95に記載の発明。請求項94~96のいずれか1項に記載の略円筒形の成形品とプッシュロッドのアセンブリ。前記プランジャが前記少なくとも1層の堆積中にプッシュロッドに固定される、請求項94~97のいずれか1項に記載の発明。請求項94~98のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器用外筒のアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。請求項94~99のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器用外筒およびプッシュロッドのアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。請求項94~100のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器用外筒、プッシュロッドおよびエンドキャップのアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。請求項94~101のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器用外筒、プッシュロッドおよび皮下注射器のアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。請求項94~102のいずれか1項に記載の前記略円筒形の成形品と注射器用外筒、プッシュロッド、皮下注射針および針シールドのアセンブリにおいて、前記略円筒形の成形品が前記外筒内で摺動可能なプランジャとして機能するように構成されるアセンブリ。前記注射器外筒がPECVDにより処理された内部を有する、請求項94~103のいずれか1項に記載の発明。前記端部が略平坦である、請求項94~104のいずれか1項に記載の発明。前記端部に高低が付けられている、請求項94~105のいずれか1項に記載の発明。前記端に平滑表面仕上げがなされている、請求項94~106のいずれか1項に記載の発明。前記側部が略円筒形である、請求項94~107のいずれか1項に記載の発明。前記側部に高低が付けられている、請求項94~108のいずれか1項に記載の発明。前記側部に平滑表面仕上げがなされている、請求項94~109のいずれか1項に記載の発明。前記マスクが、前記略円筒形の成形品の端部と結合するように構成された部分を有する、請求項94~110のいずれか1項に記載の発明。前記マスクと前記略円筒形の成形品が実質的に同じ結合部を有する、請求項94~111のいずれか1項に記載の発明。前記ホルダが、少なくとも1層のために、複数の実質的に円筒形の成形品を受けるための開口部のパターンを有し、前記マスクが、前記マスクが前記ホルダの前記開口部と位置合わせされるようなテンプレートを形成するために連結された複数のマスクをさらに含む、請求項94~112のいずれか1項に記載の発明。前記マスクが、少なくとも1層のために、複数の略円筒形の成形品を受け、これにマスキングするように形成された複数のウェルを有する面を含む、請求項94~113のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品が、前記層形成ステップ中にプッシュロッドに固定される、請求項94~114のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品が、前記層形成ステップ中にプッシュロッドに固定され、ホルダ上に支持され、前記プッシュロッドを取り扱うことによって、前記ホルダから取り外される、請求項94~115のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品が、前記層形成ステップ中にプッシュロッドに固定され、前記マスク上に支持され、前記プッシュロッドを取り扱うことによって、前記マスクから取り外される、請求項94~116のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、前記コーティングされた端部を通じて前記略円筒形の成形品から材料が浸出するのを減少させるためのバリアを含む、請求項94~117のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、前記コーティングされた端部を通じて前記略円筒形の成形品へと材料が浸出するのを減少させるためのバリアを含む、請求項94~118のいずれか1項に記載の発明。前記側部上の前記少なくとも1層が潤滑層を含む、請求項94~119のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が浸出防止バリアと潤滑層を含む、請求項94~120のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品の前記側部の全部ではない部分がコーティングされる、請求項94~121のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品の中央側部がコーティングされ、前記略円筒形の成形品の周辺側部がコーティングされないままである、請求項94~122のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品の周辺端部がコーティングされる、請求項94~123のいずれか1項に記載の発明。前記略円筒形の成形品の中央端部がコーティングされないままである、請求項94~123のいずれか1項に記載の発明。層を堆積させる前に、前記略円筒形の成形品の前記側部が不完全真空に暴露され、前記略円筒形の成形品から移動可能な流体材料が抽出される、請求項94~125のいずれか1項に記載の発明。複数の層が堆積される、請求項94~126のいずれか1項に記載の発明。ある組成と特性を有する第一の層が堆積され、その後、異なる組成、異なる特性、またはその両方を有する第二の層が堆積される、請求項94~127のいずれか1項に記載の発明。ある組成と特性を有する第一の層が堆積され、その後、同じ組成と特性を有する第二の層が堆積される、請求項94~128のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が、プラズマ強化化学蒸着法によって形成される、厚さ1000nm未満の潤滑層または層を含む、請求項47~129のいずれか1項に記載の発明。前記潤滑層が、wが1、式中xが約0.5~2.4、yが約0.6~約3である、SiwOxCyまたはSiwNxCyの層と、前記潤滑層、前記熱可塑性プラスチック基材またはその両方の前記内腔への浸出を減少させるのに有効な量の、前記潤滑層を覆う表面処理層と、を含み、前記潤滑層と表面処理層は、押出力、摺動力、またはそれらの両方を、前記潤滑層と表面処理層がない場合に必要なそれに対応する力より小さくするために有効な組成であり、そのような相対量で存在する、請求項130に記載の発明。前記潤滑層が、以下の材料と条件、有機珪素前駆体すなわち線形シロキサン線形シラザン、単環シロキサン、単環シラザン、多環シロキサン、多環シラザン、ポリシルセスキオキサンポリシルセスキアザン、シラトラン、シルクアシラトラン、シルプロアトラン、アザシラトラン、アザシルクアシアトラン、アザシルプロアトラン、または上記のうちの2つ以上の任意の組み合わせ、酸素、キャリアガス、層形成を誘導するのに十分なプラズマ生成電力入力を使用したPECVD工程から生成され、前記材料と条件が、前記略円筒形の物体の前記摺動力または押出力をコーティングされていない注射器用外筒と比較して少なくとも25パーセント軽減させるのに有効である、請求項130または131に記載の発明。前記潤滑層が、標準体積1~6の前記前駆体、標準体積5~100のキャリアガス、標準体積0.1~2の酸化剤の標準体積比の気体反応物質またはプロセスガスを使用することによって形成される、請求項130~132のいずれか1項に記載の発明。標準体積2~4の前記前駆体を含む気体反応物質またはプロセスガスを使用するステップをさらに含む、請求項130~133のいずれか1項に記載の発明。標準体積10~70の前記キャリアガスを含む気体反応物質またはプロセスガスを使用するステップをさらに含む、請求項130~133のいずれか1項に記載の発明。標準体積0.5~1.5の前記酸化剤を含む気体反応物質またはプロセスガスを使用するステップをさらに含む、請求項130~135のいずれか1項に記載の発明。標準体積0.8~1.2の前記酸化剤を含む気体反応物質またはプロセスガスを使用するステップをさらに含む、請求項130~136のいずれか1項に記載の発明。前記酸化珪素化合物が、ヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサンドデカメチルシクロヘキサシロキサン、各RがメチルであるSST-eM01ポリメチルシルセスキオキサン、R基の90がメチル、10が水素原子であるSST-3MH1.1ポリメチル-ヒドリドシルセスキオキサンまたはこれらのうちのいずれかの2つ以上の組み合わせを含む、請求項130~137のいずれか1項に記載の発明。前記有機珪素化合物がオクタメチルシクロテトラシロキサンOMCTSを含む、請求項130~138のいずれか1項に記載の発明。前記有機珪素化合物がヘキサメチルジシロキサンを含む、請求項130~139のいずれか1項に記載の発明。前記有機珪素前駆体の流量が6sccm以下、任意選択的に2.5sccm以下、任意選択的に1.5sccm以下、任意選択的に1.25sccm以下のPECVDを使用するステップを含む、請求項130~140のいずれか1項に記載の発明。前記前駆体が、1~22ワットの電力が供給された電極を用いて前記前駆体の付近を励起することによって生成されたプラズマと接触させられる、請求項130~141のいずれか1項に記載の発明。前記前駆体が、プラズマの体積1mlあたりで、10W/ml未満の電力が供給された電極を用いて前記前駆体の付近を励起することによって生成されたプラズマと接触させられる、請求項130~142のいずれか1項に記載の発明。前記前駆体が、プラズマの体積1mlあたりで、5W/ml~0.1W/mlの電力が供給された電極を用いて前記前駆体の付近を励起することによって生成されたプラズマと接触させられる、請求項130~143のいずれか1項に記載の発明。前記前駆体が、プラズマの体積1mlあたりで、4W/ml~0.1W/mlの電力が供給された電極を用いて前記前駆体の付近を励起することによって生成されたプラズマと接触させられる、請求項130~144のいずれか1項に記載の発明。前記前駆体が、プラズマの体積1mlあたりで、2W/ml~0.2W/mlの電力が供給された電極を用いて前記前駆体の付近を励起することによって生成されたプラズマと接触させられる、請求項130~145のいずれか1項に記載の発明。前記プラズマが、電磁エネルギーで反応混合物を励起することによって生成される、請求項130~146のいずれか1項に記載の発明。前記プラズマが、マイクロ波エネルギーを含むエネルギーで前記反応混合物を励起することによって生成される、請求項130~147のいずれか1項に記載の発明。前記少なくとも1層が疎水性層を含み、前記層の疎水特性が、前記気体反応物中の有機珪素前駆体に対するO2の比率を設定することによって、および/または前記プラズマの生成に使用される電力を設定することによって設定される、請求項47~148に記載の発明。前記層が、コーティングされていない面より低いぬれ張力を有する、請求項149に記載の発明。前記層のぬれ張力が20~72dyne/cmである、請求項149または150に記載の発明。前記層のぬれ張力が30~60dynes/cmである、請求項149~151のいずれか1項に記載ガラス製注射器およびその他の容器は従来、ガラスの方が未処理のプラスチックより気密性があり、事前充填された内容物に対して不活性であることから、熱化可塑性プラスチック製注射器や容器より好まれている。また、その従来の用途により、ガラスはよく受け入れられており、それは、医学的検体または医薬品調剤等と接触した時に、比較的無害であることが知られているからである。ガラス製注射器はまた、押出成形チューブから製造され、これは抜き勾配を必要としない。しかしながら、特定の塗布物をガラス容器から除去することが望ましく、それによって割れる可能性があり、製造コストが高くなるが、プラスチック容器は、通常の使用ではほとんど壊れず壊れたとしても、ガラス管のように容器の残骸から鋭利な破片ができず、多目的金型を用いた射出成形の製造コストは安価であるため、有利である。前述の問題を除去するために、抜き勾配を設けないか部分的に設けずに多用途金型で射出成形することにより形成できるプラスチック製注射が求められている。本発明の一態様は、固体成形品の成形方法である。キャビティを画定する実質的に剛性の表面と実質的に剛性のコアを含む多用途射出成型機が提供される。キャビティとコアは、それらの間に成形空間を画定する。キャビティとコアの少なくとも一方は、分割軸に沿って他方に関して移動可能であり、それによって成形後の成形品を取り出すために成形空間が開く。キャビティまたはコアの少なくとも一部は、小さい抜き勾配の要素である。小さい抜き勾配の要素は、本明細書においては、分割軸に関して抜き勾配が0.5度以下xxxの要素と定義される。分割軸に関して0.5度以下の抜き勾配は、本明細書において、小さい抜き勾配と定義される。この方法は、小さい抜き勾配の要素の少なくとも一部を第一の選択温度まで加熱して、それを膨張させるステップを含む。加熱前、加熱中または加熱後に、流体成形材料が成形空間内に射出される。第一の成形材料の少なくとも表面は、小さい抜き勾配の要素と接するように成形され、小さい抜き勾配の形成面が画定される。少なくともこの小さい抜き勾配の形成面が固化され、小さい抜き勾配の固体形成面が得られる。この方法は、小さい抜き勾配の要素の少なくとも一部を、第一の選択温度より低い第二の選択平均温度まで冷却するステップを含む。十分な冷却を行い、小さい抜き勾配の要素の少なくとも一部を小さい抜き勾配の固体形成面から離れるように十分に熱収縮させ、小さい抜き勾配の要素が小さい抜き勾配の形成面から離れるようにする。この方法では、キャビティとコアを分割軸に沿って分割するステップと、固体成形品を成形空間から取り外すステップが続く。本発明の他の態様は、上記の方法によって作製される注射器アセンブリである。本発明のまた別の態様は、外筒とピストンを含む注射器アセンブリである。外筒は、略円筒形の側壁を含む。側壁は、液体を収容するための内腔を画定する、実質的に剛性の熱可塑性材料から作製される。内腔の軸方向の抜き勾配は0~0.5度、任意選択的に少なくとも実質的にゼロ度である。ピストンは前縁面、後縁面、内腔の中に移動可能に設置されるように構成された側縁を有する。側縁は、実質的に剛性の熱可塑性材料から作製される。本発明のさらにまた別の態様は、注射器プランジャまたは同様の成形品に、プラズマ強化化学蒸着法を使用して選択的にコーティングする方法であり、この方法は、以下のように実行される。注射器外筒の内容物と接触するように位置付けられた略円形の前部と、注射器外筒と摺動可能に接触するようになされた略円筒形の側部を有する注射器が提供される。前方開口部と、前方開口部から延びる内部側壁を有する略管状のプランジャホルダが提供される。プランジャをプランジャホルダの中に設置し、その際、プランジャの前部がプランジャホルダの前方開口部に面し、プランジャの側部がプランジャホルダの内部側壁と接触するような向きとする。プランジャの前部を、層形成反応ガスと接触させ、プランジャの前部に隣接するプランジャホルダの中にプラズマを生成する。その結果、プラズマ強化化学蒸着法を用いて、プランジャの前部にバリア層が選択的に堆積する。本発明のまた別の態様は、注射器プランジャに選択的にコーティングする別の方法である。注射器外筒の内容物と接触するように位置付けられた略円形の前部と、注射器外筒と摺動可能に接触するようになされた略円筒形の側部と、略円形の後部を有する注射器プランジャが提供される。注射器プランジャを、プラズマ強化化学蒸着チャンバ内に設置する。略円形の前部と略円形の後部の少なくとも一方にマスキングする。これは、プランジャの略円筒形の側部の少なくとも一部には少なくとも実質的にマスキングしないことによって行う。プランジャの側部は、層形成反応ガスと接触させる。プランジャの側部に隣接する蒸着チャンバ内にプラズマが生成される。その結果、プラズマ強化化学蒸着法を用いて、プランジャの側部上に層が選択的に形成される。本発明のその他の態様は、下記の本発明の説明と付属の特許請求の範囲から明らかとなるであろう。本明細書においては、以下の参照番号を使用する。それぞれの図において同様の番号が付与された部品は、対応する要素を示す。上記の説明では、特定の用語は便宜のために使用されており、限定のためではない。前、後、上、底等の単語は、参照する図面の中の方向を指す。この用語は、上で具体的に示した単語、その派生形および同様の意味の単語を含む。これに加えて、不定冠詞aや1つのという単語は、特にことわりがない限り、言及されている項目の1つまたは複数を含むと定義される。2つ以上の項目の列挙、たとえばA、BまたはCにつく少なくとも~の1つという語句は、A、BまたはCの個々のいずれかの1つおよびその任意の組み合わせを意味する。図2は、成形された注射器110の一例を示す。図のように、注射器110は、注射可能な薬剤を収容するための内部116を画定する実質的に円筒形の本体114を有する外筒112を含む。外筒ハブ118が外筒112の上から延び、針120を取り付けられるようになっている。針120は、外筒ハブ118と係合する針基122を含む。カラー128は、外筒112から開放端126の付近で半径方向に外側に延び、使用者は注射器110を使用して薬剤を注射する際にこれを握る。プランジャ124は、外筒114の内部116の中に摺動可能に配置され、その開放端126から突出する。プランジャ124は、円筒形本体125と、円筒形本体125の一端を閉鎖する基底部127と、円筒形本体125から基底部127の反対の端で半径方向の外側へと延びるカラー129を含む。本発明の一態様は、その内面の抜き勾配が実質的に、または完全にない製品、たとえば注射器外筒112を成形する方法に関する。図3~6は、図2の注射器外筒112を成形するための成形作業の一実施形態を示す。まず図3を参照すると、本発明による金型130が示されている。図のように、金型130は、下型132と、上型134と、内側コア136を含む。下型132は、円筒形本体114と外筒ハブ118の外面を画定する形状の成形キャビティ138を画定する。内側コア136は、成形キャビティ138の中に適合する大きさと形状であり、円筒形本体114と外筒ハブ118の内面を画定する。上型134は下型132の上に載り、内側コア136を受ける開口部140を有する。上型134の開口部140の付近の円周方向の溝142は、カラー128を画定する形状である。図のように、下型132と上型134と内側コア136は、図3に示される構成に組み立てられると、それらの間に成形材料146を受けるための成形空間144を共同で画定する。成形空間144は実質的に、金型130を用いて製造されることになる所望の注射器外筒112の形状を有する。引き続き図3を参照すると、本発明による成形作業の第一の段階が示されている。下型132と上型134と内側コア136は、所望の注射器外筒112の形状に成形空間144を画定するように組み立てられる。内側コア136と、任意選択的に下型132と上型134は、成形材料146を成形空間144内に注入する前に加熱される。内側コア136と、任意選択的に下型132と上型134の加熱時間を短縮して、エネルギーコストを最小化し、金型のこれらの部分を形成する材料への、材料疲労の原因となりうる応力を最小化しても。図3に示される構成では、下型132と上型134と内側コア136の間の実質的な空隙だけで成形空間144を画定している。内側コア136と下型132と上型134は各々、当業界で公知のいずれの手段でも加熱できる。たとえば、これら要素は、加熱コイルを用いて誘導加熱してもよく、これはたとえば米国特許出願第2009/0239023号明細書に記載されており、同出願を、その全文がここに記載されているかのように、参照によって本願に援用する。内側コア136の外面148は、図3においては円筒形である。そのため、外面148は、成形空間144の中心軸xに平行である。したがって、内側コア136の引抜きを容易にするための抜き勾配が実質的にない。これに対して、注射器外筒112のための一般的な金型は、円筒形ではなく若干円錐形であり、直径は内側コア136の上に近づくにつれて増大し、下に向かって減少する。図1Aは、一般的な成形方式の拡大詳細図を示し、この構成では外筒の壁が注射器外筒112の中心軸xに関して角度θで配置されている。内側コア136は好ましくは、少なくとも部分的に、ゼロより大きい抜き勾配θを必要とせずに、完成した注射器外筒112を取り出すことができるように選択された熱膨張率を有する1つまたは複数の材料で形成され、これについて以下に詳しく説明する。図11は、上述の方法により注射器外筒112を成形するための内側コア136の一実施形態を示す。図のように、内側コア136は、外側膨張層160、伝導層162、内側層164および中央冷却チャネル166を含む。外側膨張160層は、その熱膨張率に基づいて選択された材料で形成される。一実施形態において、外側膨張層160は鋼、たとえばH13工具鋼で形成される。異なる材料も、外側膨張層160の厚さ、所望の空隙150、使用可能な材料の熱膨張率に応じて使用できる。伝導層162は、外側膨張層160に関して内側に配置され、その伝導特性に基づいて選択される材料で形成される。一実施形態において伝導層162は銅で形成される。伝導層162、所望の空隙150、使用可能な材料の伝導率に応じて、特定の種類の銅またはその他の材料を選択できる。内側層164は、伝導層162の内側に配置され、外側膨張層160と同じ材料または、内側コア136の加熱冷却サイクルに耐えられる他の材料で形成してもよい。中央冷却チャネル166は、内側層164の内側に、内側コア136の中央部分に沿って配置される。中央冷却チャネル166は、成形コアを冷却するための冷却剤を受けるように構成することができる。冷却チャネルには、当業界で公知の任意の適当な構成を利用でき、たとえば米国特許第5,573,787号明細書または米国特許第7,303,387号明細書により開示されたものがあり、これらの特許を、全文が記載されているかのように、参照によって本願に援用する。内側コア136は、選択された成形温度まで加熱されると、その外面148が注射器外筒112の円筒形本体114とハブ118の内面115の所望の寸法となる大きさまで膨張するような大きさである。図4では、成形材料146が成形空間144の中に注入されている。成形材料146は好ましくは熱可塑性高分子材料、たとえば環状オレフィンコポリマCOC、ポリエチレンテレフタレートPETまたはポリプロピレンPP等である。成形材料146は、その溶融点を上回るまで加熱され、成形空間144が完全に満たされるように流れる。熱は、内側コア136を加熱し、任意選択的に下型132および/または上型134を加熱して供給してもよい。任意選択的に、追加的な加熱源も使用してよい。COCまたはPPを成形材料146として使用する1つの好ましい実施形態において、内側コア136の成形温度は160°C~210°Cの間である。下型132および/または上型134もまた、任意選択的に、この温度まで加熱してもよい。あるいは、これらの部分を異なる温度まで加熱することができる。一実施形態において、内側コア136と任意選択的に下型132および/または上型134の成形温度は、成形材料146の流れを制御するように選択される。他の実施形態において、コア136を加熱する温度を、それと上型134と下型132の間のすべての空隙がなくなるようにするのに必要な最低限として、成形作業中に繰り返し行われる加熱と冷却により発生する材料の疲労を最小化する。成形作業の次の段階を図5に示す。この段階では、内側コア136が冷却される。この冷却によって、内側コア136が収縮し、その外径D1が、好ましくは実質的に等しい円筒形本体114と金型上型34の開口部140の内径D2より小さくなる図5参照。これにより今度は、内側金型コア136と円筒形本体114の内面115の間および上型134の開口部140と内側コア136の間に空隙150ができ、これは図5Aに詳しく示されている。内側コア136は好ましくは、少なくとも、内側コア136と円筒形本体114の間、または内側コア136と上型134の開口部140の間に生じる可能性のあるいずれの干渉も除くのに十分に収縮し、そこから注射器外筒114を引き抜くことができるような温度まで冷却される。一実施形態において、内側コア136は、10μmの空隙150ができる温度まで十分に冷却される。他の実施形態において、内側コア136は、15μmの空隙150ができる温度まで十分に冷却される。他の実施形態において、内側コア136は、金型130の大きさ、成形材料146の種類、最終製品の形状等の要素に応じて、より大きい、またはより小さい空隙ができる温度まで冷却できる。任意選択的に、下型132と上型134を内側コア136と同時に冷却してもよい。また、任意選択的に、内側コア136および、おそらくは下型132と上型134の冷却は、成形材料146がその溶融点またはガラス転移点Tg未満に冷却されるのに十分な程度としてもよい。成形材料146は好ましくは、引抜き前にそのガラス転移点以下に冷却される。好ましい実施形態において、内側コア136の全体を均一な速度で冷却し、成形材料146の均一な硬化を促進する。同様に、上型134と下型132の各々は、均一な速度で冷却してもよい。他の好ましい実施形態において、内側コア136、下型132、上型134のすべてを同じ均一な速度で冷却する。同様に、内側コア134、下型132、上型136のほか、含められ得る任意の他の金型部分を任意に組み合わせて均一な速度で冷却してもよい。他の実施形態において、金型部分のいずれかの冷却速度を利用して、成形材料146が硬化する速度を制御し、完成時の注射器外筒112に所望の特性を持たせる。図6は、成形作業の引抜き段階を示す。図のように、成形材料146は完全に固化されて、完成後の注射器外筒112が画定されている。内側コア136は、それをDの方向に移動させることによって、円筒形本体114の内部116から容易に引き抜かれる。上型134は同様に、それをDの方向に移動させることによって下型132から取り外され、その後、外筒112は、それをDの方向に移動させることによって下型132の成形キャビティ138から引き抜くことができる。一実施形態において、成形キャビティ138と上型134の開口部140に、注射器外筒112をそこから引き抜くことができるように、抜き勾配θをつける。あるいは、下型132および/または上型134を複数の部品として形成できる。図7は他の実施形態サイドドローの引抜き段階を示しており、下型132と上型134の各々が、2つの部品132A、132B、134A、134Bとして形成されている。本発明の他の態様は、その外面に実質的に抜き勾配をつけない製品、たとえば注射器プランジャ124を成形する方法に関する。図12~15は、図2の注射器プランジャ124のための成形作業のある実施形態を示す。まず図12を参照すると、本発明による金型230が示されている。図のように、金型230は下型232、上型234、内側コア236を含む。下型232は、円筒形本体125と基底部127の外面を画定する形状とされた成形キャビティ238を画定する。内側コア236は、成形キャビティ238の中に適合する大きさと形状であり、円筒形本体125と基底部127の内面を画定する。上型234は下型232の上に載り、内側コア236を受ける開口部240を含む。上型234の開口部240付近の円周方向の溝242は、カラー129を画定する形状である。図のように、下型232、上型234、内側コア236は、図12に示される構成に組み立てられると、それらの間に、成形材料246を受けるための成形空間244を共同で画定する。成形空間244は実質的に、金型230を使用して製造される予定の所望の注射器プランジャ124の形状を有する。引き続き図12を参照すると、本発明による成形作業の第一の段階が示されている。下型232、上型234、内側コア236を組み立て、所望の注射器プランジャ124の形状に成形空間244を画定する。下型232と、任意選択的に内側コア236と上型234を、成形材料246を成形空間244に注入する前に加熱する。下型232と、任意選択的に内側コア236と上型234の加熱時間を短縮して、エネルギーコストを最小化し、金型のこれらの部分を形成する材料への、材料疲労の原因となりうる応力を最小化してもよい。図12に示される構成では、下型232、上型234、内側コア236の間の実質的な空隙だけで金型空間244が画定される。内側コア236、下型232、上型234の各々は、当業界で公知のいずれの手段でも加熱できる。たとえば、これら要素は、加熱コイルを用いて誘導加熱してもよく、これはたとえば米国特許出願公開第2009/0239023号明細書に記載されており、同出願を、その全文がここに記載されているかのように、参照によって本願に援用する。下型232の内面233は、図12においては円筒形である。そのため、内面233は成形空間244の中心軸に平行である。したがって、完成したプランジャ124を成形空間244から抜き出しやすくするための角度は実質的につけられていない。これに対して、図2に示される種類の注射器プランジャのための一般的な金型の同様の下型の内面は、円筒形ではなく若干円錐形であり、直径は下型の上に近づくにつれて増大し、下に向かって減少するであろう。図1Bは、一般的な成形方式の拡大詳細図を示しており、図中、プランジャの壁はプランジャ124の中心軸xに関して角度Φで配置されている。下型232は好ましくは、少なくとも部分的に、抜き勾配をつけることなく完成したプランジャ124を取り出すことができるように選択された熱膨張率を有する1つまたは複数の材料から形成され、これについて以下に詳しく説明する。たとえば、下型232は鋼、たとえばH13工具鋼で形成し、または部分的に形成することができる。下型232にはさらに、その伝導性に基づいて選択された材料、たとえば銅を含めることができる。下型232は、選択された形成温度まで加熱されると、その内面233がプランジャ124の円筒形本体125と基底部127の外面223の所望の寸法となる大きさまで膨張するような大きさである。図13では、成形材料246が成形空間244に注入されている。成形材料246は好ましくは、熱可塑性高分子材料、たとえばPPまたはCOCである。成形材料246は、その融点を超えるまで加熱され、成形空間244を完全に満たすように流れる。熱は、下型232を加熱し、任意選択的に内側コア236および/または上型234を加熱することによって供給してもよい。任意選択的に、追加的な加熱源も使用してよい。COCまたはPPを成形材料146として使用する1つの好ましい実施形態において、下型232の成形温度は160C~210Cの間である。内側コア236および/または上型234もまた、任意選択的に、この温度まで加熱してもよい。あるいは、これらの部分を異なる温度まで加熱することができる。一実施形態において、下型232と任意選択的に内側コア236および/または上型234の成形温度は、成形材料246の流れを制御するように選択される。他の実施形態において、下型232を加熱する温度を、それと上型234の間のすべての空隙がなくなるようにするのに必要な最低限として、成形作業中に繰り返し行われる加熱と冷却により発生する材料の疲労を最小化する。成形作業の次の段階を図14に示す。この段階では、下型232が冷却される。この冷却により、下型232が収縮し、その内径D3は円筒形本体125の外径D4より大きくなる。これによって今度は、下型232と円筒形本体125の外面123の間に空隙250ができ、それが図14Aに詳しく示されている。下型232は好ましくは、少なくとも、下型232と円筒形本体125の間で発生しうる干渉のすべてがなくなるように十分に収縮し、それゆえ、注射器プランジャ124を成形キャビティ238から引き抜くことができるような温度まで冷却する。一実施形態において、下型232は、10μmの空隙250ができる温度まで十分に冷却される。他の実施形態において、下型232は、15μmの空隙250ができる温度まで十分に冷却される。他の実施形態において、下型232は、金型230の大きさ、成形材料の種類、最終製品の形状等の要素に応じて、より大きい、またはより小さい空隙ができる温度まで冷却することができる。任意選択的に、内側コア236と上型234は、下型232と同時に冷却してもよい。また、任意選択的に、下型232と、おそらくは内側コア236と上型234の冷却は、成形材料246がその溶融点またはガラス転移点未満に冷却されるのに十分な程度としてもよい。成形材料246は好ましくは、引き抜く前にそのガラス転移点Tg未満に冷却される。好ましい実施形態において、下型232の全体を均一な速度で冷却して、成形材料246の均一な硬化を促進する。同様に、内側コア236と上他234の各々は、均一な速度で冷却してもよい。他の好ましい実施形態において、内側コア236、下型232、上型234のすべてを、同じ均一な速度で冷却する。同様に、内側コア234、下型232、上型236のほか、含められ得るいずれの追加的成形部分を任意に組み合わせて均一な速度で冷却してもよい。他の実施形態において、金型部分のいずれかの冷却速度を利用して、成形材料246が硬化する速度を制御し、完成後の注射器プランジャ124に所望の特性を持たせる。図15は、成形作業の引抜き段階を示す。図のように、成形材料246は完全に固化され、完成後の注射器プランジャ124が画定されている。上型234は、それをDの方向に移動させることによって、下型232から取り外し、プランジャ124は、それを方向Dに移動させることによって、下型232の中に画定された成形キャビティ238から容易に引き抜かれる。一実施形態において、上型234の開口部240には、それをプランジャのカラー129から取り外せるように、抜き勾配がつけられる。あるいは、上型234は、図7の注射器外筒112を成形するための上型の実施形態と同様に、複数の部品として形成することができる。本発明の他の態様は、その外面に部分的に抜き勾配がつけられていない製品、たとえば注射器プランジャ424の成形方向に関する。図16は、図15に示される引抜き段階と同様の、このような実施形態の成形作業の引抜き段階を示す。図のように、中型437が下型432と上型434の間に設置されている。下型432は、円筒形のプランジャ本体425の下側部分のみを形成するものであり、中心軸xに平行な内面433を有し、完成したプランジャ424を引き抜くためにその内面433につける抜き角度が最小化されるか、不要となる程度に十分に収縮できるように選択された熱膨張率を有する材料で形成される。中型437は、そのように選択された熱膨張率を有する材料で形成しなくてもよい。図16に示される実施形態において、中型437は完成後のプランジャ424を取り外しやすいように、2つの部分437A、437Bとして形成される。あるいは、中型437には、抜き角度をつけるか、または取り外しやすくするためのその他の方法で構成してもよい。図16の実施形態には、成形機のうち、選択された熱膨張率を有する材料を用いて形成される相対的割合が最小化し、したがってコストが削減されるという利点がある。この点において、任意選択的に、下型432の大きさを最小化することにより、コストを最小化することができる。一実施形態において、下型432は交換可能な構成要素として、材料が疲労し、成形中に確実に接触するまで膨張できなくなったら廃棄し、交換できるように構成される。この実施形態によれば、下型432の大きさを最小化して、下型432の交換時のコストを最小化できる。図17は、図15と16に示される引抜き段階と同様の、本発明による注射器プランジャ524の成形作業の別の実施形態の引抜き段階を示す。図のように、図17のプランジャ524は上記のものとは、それがカラーを持たない点で異なる。下型532は、図16の下型432と同様に構成され、円筒形本体525の下側部分のみを形成する。下型532の内面533は、中心軸xに平行であり、完成したプランジャ524を引き抜くためにその内面533につける抜き角度が最小化されるか不要となる程度に十分に収縮できるように選択された熱膨張率を有する材料で形成される。図17の成形作業は図16のそれと、中型がないという点で異なり、また図16で単一の部品として形成されている上型534は下方に延びて下型532の上部と接触し、図16の実施形態の上および中型の両方に代わるものとなっている。上型534の内面535は、中心軸xに関して抜き勾配Φで設置され、プランジャ524の本体525は上方向に向かって内側に先細となっている。上型534はそれゆえ、図17に示されるように、方向Dに移動させることによって、完成したプランジャ524から取り外すことができる。この実施形態にはまた、成形機のうち、選択された熱膨張率を有する材料で形成される相対的な割合が最小化され、それゆえコストが削減されるという利点がある。この点において、任意選択的に、下型532の大きさを縮小することによって、なるべくコストを低く抑えることができる。一実施形態において、下型532は交換可能な構成要素として、材料が疲労し、成形中に確実に接触するまで膨張できなくなったら廃棄し、交換できるように構成される。この実施形態によれば、下型532の大きさを最小化して、下型532の交換時のコストを最小化できる。図16と17のプランジャ424、524は、他のすべての点において、図12~15と同様に構成し、製造することができる。本発明の他の態様は、上述の外筒112および/またはプランジャ124、424、524のための成形方法の1つまたは複数を使用して、注射器110を製造する方法に関する。一実施形態において、外筒112とプランジャ124、424、524の各々を上述の方法の1つにしたがって成形し、組み立てて、注射器110、たとえば図2に示されるものを製造する。一実施形態によれば、図3~7の外筒112を図12~15のプランジャ124と組み立てて、注射器を製造する。このような実施形態によれば、円筒形外筒本体114の内径とプランジャの円筒形本体125の外径は実質的に等しくてもよい。円筒形の外筒本体114の内面115とプランジャの円筒形本体125の外面123の各々には、実質的に抜き勾配がつけられず、プランジャ124を外筒112内で容易に摺動させることができる。他の実施形態によれば、図3~7の外筒112を図16のプランジャ424または図17のプランジャ524と組み立てて、注射器を製造する。このような実施形態によれば、下型432、523により形成されるプランジャの円筒形本体425、525の外面423、523の第一の部分423A、523Aは、実質的に抜き勾配と継ぎ目がつけられておらず、外筒の円筒形本体114の内面115と接触する。円筒形の外筒本体414の外面の第一の部分423A、523Aの内径とプランジャの円筒形のプランジャ本体125の外径は実質的に等しい。プランジャ424、524は外筒112の内部で容易に摺動できる。図16の実施形態では中型437によって、または図17の実施形態では上型534によって形成されるプランジャの円筒形本体425、525の外面423、523の第二の部分423B、523Bの直径は第一の部分423A、523Aより小さいため、これは外筒の円筒形本体414の内面115と接触せず、外筒112の中でのプランジャ424の摺動を妨害しない。一実施形態によれば、注射器110は、潤滑剤コーティングを設けずに、上述の実施形態のいずれかにおいて説明したように組み立てられる。外筒の円筒形本体114とプランジャの円筒形本体125、425、525の直径が合致し、そこに抜き勾配がつけられていないことから、プランジャ124、424、524は外筒112の内部で摺動しやすいため、潤滑剤コーティングは不要である。本発明の他の実施形態において、潤滑コーティングを設けて、さらに摺動しやすくすることができる。本発明の他の実施形態によれば、複数の外筒112と複数のプランジャ124、424、524を組み立てることによって、複数の注射器を製造する。外筒の円筒形本体114の各々の内径と各プランジャの円筒形本体125、425、525の各々またはプランジャの円筒形本体425、525の外面423、523の第一の部分423A、523Aのみの外径を成形後に測定し、各外筒112を、外筒の円筒形本体125、425、525の内径に実質的に最も近い外径を有する円筒形本体125、425、525を有するプランジャ124、424、524とマッチさせる。これによって、外筒112内でのプランジャ124、424、524の摺動能力が最適化される。一実施形態において、外筒112とプランジャ124、424、524は、金型130、430、530からロボット制御で取り外される。これによって、手作業で取り外す場合に生じる可能性のある傷その他の欠陥の発生が防止され、外筒112の中でのプランジャ124、424、524の摺動能力がさらに最適化される。本発明の他の態様は注射器に関し、これは、上述の方法の1つまたは複数にしたがって製造される充填済み注射器であってもよい。注射器は、さまざまな構成とすることができる。一実施形態において、注射器は、米国特許出願第61/359,434号明細書において開示されているように構成および/または製造される。本発明による注射器は充填済み注射器として使用するのに特に有利であり、これは、上で詳しく述べたように、プランジャ124、424、524の外径と外筒112の内径を実質的に等しくすることができ、漏れの原因となりうるそれらの間の空隙を完全になくすことができるからである。本発明による充填済み注射器の一実施形態を図18と19に示す。図の注射器110は、図3~7にしたがって製造された外筒112と図17にしたがって製造されたプランジャ524を含む。図18は、プランジャ524が外筒112内に収容された、組立後の充填済み注射器110を示す。箔または薄いプラスチック層として形成できるシール材170が外筒112の開放端126を覆うように取り付けられ、充填済み注射器110の中に収容される製品が滅菌状態に保持される。注射器110の中に収容される製品を投与する前に、図19に示されるように、シール材170を取り外す。図18と19に示される注射器110のプランジャ524は、プランジャ524を押す際の助けとなるカラーを含んでいないため、押し具172を別の要素として提供することができる。シール材170を取り外した後に、図19に示されるように、押し具172をプランジャ524の中に挿入する。押し具172は、図19に示されるように組み立てた場合に、注射器の端から突出するカラー174を含み、これによって注射器110の使用者はプランジャ524を、それを圧迫することによって方向Pに押して、注射器110の中に収容された製品を投与することができる。他の実施形態において、注射器110は、図18と19に示されるものと同様に、充填済みの密閉された器材として提供できるが、押し具172は省くことができる。本発明によるプランジャの、図12~16に示されるような他の実施形態を、図18と19に示されるプランジャの代わりに使用することができる。本発明の方法は、上では注射器の外筒とプランジャに関して説明したが、内側コア部分を有する金型を使用して形成される他のさまざまな製品にも利用できる。たとえば、管状の形状または中空の内部を有する他の製品を、上述のものと同様の方法によって形成できる。当業者であれば、上記の説明に基づき、成形機の構成への改変を思いつくであろう。図2は、上述のものと同様の工程を用いて形成される試験管610を示す。図のように、試験管610は、内部616を画定する円筒形本体614を有する。図9は、このような試験管610のための、本発明による成形作業の1段階を示し、その中で、完成した試験管610が成形機630から取り外される。図のように、金型630は図3~6に関して上述したものと同様であるが、成形空間644の形状が試験管610のそれに対応しており、丸い閉鎖した底部652が含まれ、これに対して図3~6の底部652は注射器10を使って投与される薬剤の通路となる開口部を画定する。他の実施形態において、下型632および/または上側の位置634は、図7の実施形態のそれと同様の方法で、2つ以上の部品として提供することができる。本発明の他の態様は、注射器110図1~9および18~19、310図20~25または1282図35に関し、各々、任意選択的に上記にしたがって成形される。本発明の発明者は、上述の成形方法がいずれのタイプの注射器の作製にも有益であると明確に考えている。図20~25を参照すると、注射器アセンブリ310は、略円筒形の側壁314を含む外筒312を有する。側壁314は、この実施形態においては実質的に剛性の熱可塑性材料で作製されるが、側壁314はあるいは、熱硬化性材料、ガラス、金属、その他の材料または材料の任意の組み合わせによって作製でき、これらに限定されない。側壁314は、液体を収容する内腔316を画定する。注射器アセンブリ310は、前縁面320、後縁面322、内腔316の中に移動可能に設置されるように構成された側縁324を有するピストン318図21~23に示されるを含む。図の実施形態において、ピストン318は、その側縁324を含め、実質的に剛性の熱可塑性材料で作製されるが、ピストン318はあるいは、熱硬化性材料、ガラス、金属、その他の材料または材料の任意の組み合わせによって作製でき、これらに限定されない。特に、実質的に剛性の材料で作製する代わりに、少なくとも側縁324を弾性材料で作製し、ピストン318の残りの部分の材料と共成形するか、別の部品として提供し、組み立ててもよい。別の弾性ピストン表面またはプランジャ先端324をより剛性のコアまたはプランジャ本体と組み立てたものを提供することが当業界で知られている。好ましくは、潤滑剤326をピストン318の側縁324、内腔314またはその両方に堆積させる。特に好ましい実施形態において、潤滑剤326は、たとえば本明細書で説明するように、PECVDにより堆積させる。図の実施形態において、ピストン前縁面320は凸状である。外筒312の、吐出開口部344の付近の部分の形状と相補的な形状を有する凸状の前縁面320が特に想定され、それによってピストンの前縁面320が吐出開口部344に向かって奥まで進められた時に、これらの部品の間に囲まれる容積が小さくなり、吐出が完了した後に注射器310の中に残っている吐出材料の量が限定される。図の実施形態において、ピストンの後縁面322は凹状である。後縁面322はあるいは、どのような形状でもよいが、凹状のピストン後縁面を凸状の前縁面320と組み合わせ、またピストン318を比較的薄くすることによって、ピストン318の作製に使用される材料の量を削減することが有利となることもある。さらに、比較的薄く、湾曲したピストン318は、より厚い円筒形のピストンより柔軟性が高く、外筒312の中でより移動しやすく、外筒内で前進する際に、外筒312またはピストン318の真円度のわずかな凹凸に適合できることが想定される。図の実施形態において、ピストンの側縁324には内腔316からの空隙がある。空隙は、注射器アセンブリ310の内容物が側縁324の外に漏れるのを防止するのに十分に小さくなくてはならないが、ピストン318が注射器外筒の中で滑らかに摺動するのに十分に大きくするべきである。この半径方向の空隙は好ましくは、比較的剛性の側縁324については、一般的に締り嵌めの状態となる部品が組み立てられた時の空隙が略ゼロである弾性のプランジャ先端にとって一般的なものより大きい。弾性のプランジャ先端は、プランジャ先端が外筒内で前進できるように撓まなければならず、この撓みによってピストン318と外筒312の間の摩擦が増大する。この実施形態では、プランジャと注射器外筒の間の空隙は、好ましくは約10~約15μmマイクロメートルである。外筒312の内腔316につけられる軸方向の抜き勾配θシータは好ましくは、図1Aに示されるように0°~0.5°すなわち、ゼロ~30分角、任意選択的に0°~0.25°、任意選択的に0°~0.16°、任意選択的に0°~0.06°、任意選択的に0°~0.03°、任意選択的に0°~0.014°、任意選択的に0°~0.01°、任意選択的に実質的または正確にゼロ度である。受け入れられる抜き勾配はひとつには、引込長さ、すなわち注射器の形状によって可能なかぎり内容物を完全に吐出させる時の注射器外筒に沿ったピストン318の移動長さに依存する。公称の抜き勾配θとその誤差は、ピストン318と注射器外筒の間の空隙が、引込長さ、すなわち注射器外筒312に沿ったピストン318の移動長さにわたり、10μm~15μmの間となるような大きさとすることができる。それゆえ、空隙の変化は、引込長さにわたって5μmとすることができる。たとえば、上記の抜き勾配によって、ピストン318と外筒318の各々の側の空隙は、引込長さの表に示されるように変化する。それゆえ、たとえば、抜き勾配θが均一に0.16°である時、引込長さにわたるピストン318と外筒312の間の空隙の変化は14μmである。抜き勾配θの正接は、空隙の変化を引込長さで割ったものと等しい。長い引込長さにわたって抜き勾配が大きいと、最小空隙は、ピストンの移動開始時に、比較的大きな量だけ増大する抜き勾配が正であり、流体を引き込む場合と反対に、シリンジから吐出させるものと仮定。それゆえ、引込長さが長ければ、抜き勾配は小さい方が望ましい。また、抜き勾配がゼロであることはどの引込長さにも適当であり、それによってピストン318と外筒312の間の空隙は均等となる。注射器外筒の内部には抜き勾配が正またはゼロであることが好まれるが、同じ数値と範囲の負の抜き勾配でも、抜き勾配が吐出開始時に最少となることを除き、吐出中の空隙の変化は同じとなる。外筒312のうち、ピストン318が移動する部分は、注射器310により供給される内容物の量に依存するであろう。一般に、外筒312のうち、ピストン318が移動する部分は、外筒312の全長より実質的に小さくなるであろう。使い捨ての充填済み注射器の場合、製造者は、供給するべき内容物を外筒312のどの程度まで充填するかに応じて、外筒312のうち、ピストン318が移動する部分を有効に決定するであろう。充填済み注射器の、完全に引き込んだピストン318の後方では、空隙が前述のものより大きい場合がある。実際、完全に引き込んだピストンの後方の空隙を大きくすることは、外筒312の後部を開くことによって組み立て中にピストン318を外筒312の中に挿入しやすくするために望ましい。その結果、抜き勾配は、完全に引き込まれたピストン318の後方において、その側方または前方より大きくすることができる。任意選択的に、ピストンの側縁324は、これらの図面、特に図21に示されているように、軸方向の面において凸状である。側縁324のこの湾曲によって、側縁324と外筒312の間の接触面積が小さくなり、それゆえ、摺動摩擦が減少し、または側縁324と外筒312の一部がその一方または両方の表面の凹凸により引っかかる可能性が減少する。図の実施形態において、外筒312は射出成形による単一の熱可塑性部品任意の潤滑層またはその他の層は別とするである。これは、製造しやすさの点で有利であるが、不可欠ではなく、その代わりに2部式または多部式の外筒もまた想定される。たとえば、皮下注射針346を取り付けるためのハブを別の部品として提供することができ、あるいはルア、ルアロック、またはその他のタイプの連結手段を皮下注射針346と外筒312の間に設けることもできる。任意選択的に、成形された単一の熱可塑性部品の各々は、1つの均一な材料で作製される。しかしながら、ここでもまた、部品の1つまたは複数を複合、異種または層状材料で作製する別の実施形態も想定される。特に図21~23を参照すると、任意選択的に、ピストン318を、ピストン318を内腔316の中で前進させるためのステムまたはプッシュロッド328と組み合わせる。任意選択的に、ピストン318とステム328は射出成形による単一の熱可塑性部品であるが、これらは任意選択的に、2つ以上の部品として提供することもできる。任意選択的に、成形された単一の熱可塑性部品の各々は、1つの均一な材料で作製される。しかしながら、ここでもまた、部品の1つまたは複数を複合、異種または層状材料で作製する別の実施形態も想定される。たとえば、ピストン318とステム328を画定する熱可塑性材料の成形では、より滑りやすい材料をまず注入して、外筒312の中でピストン318を前進させやすくすることができる。図の実施形態において、ステム328は、ピストン318に連結された第一の端部330と、それと反対の、外筒312から突出する第二の端部332を有する。ステム328の、その第一と第二の端の間の部分は、管状部334を有し、その内腔316からの最大の半径方向の空隙は1mm未満である。図の実施形態において、ステム328の管状部334は、その第二の端部332に隣接している。管状部334は、ピストン318が外筒312の中で前進する際に、ステム328とピストン318が歪まないような大きさとし、そのように位置付けることができる。これに加えて、図の実施形態において、ステム328の、その第一と第二の端部330、332の間の部分は、略十字形断面部分336を有する。この実施形態では、ステム328の十字形断面部分336は、その第一の端部330に隣接する。図の実施形態において、管状部334の閉鎖端342は、ステム328の略十字形断面部分336と融合する。ステム328の、その第一の端部330とその略十字形断面部分336の間の部分は、内腔316の直径の半分より小さい直径を有するロッド部338を有する。しかしながら、この直径の制限は重要ではなく、直径をこれより大きく、または小さくすることができる。管状部334は開放端340と、注射器外筒の中に配置される閉鎖端342を有する。図の実施形態において、外筒312は吐出開口部344を有し、注射器アセンブリはさらに、吐出開口部344に動作的に連結される皮下注射針346を含む。注射器外筒とピストンは、PECVDプラズマ強化化学蒸着法によって処理し、1外筒および/またはプランジャのバリアコーティング、2外筒および/またはプランジャの潤滑コーティング、または3たんぱく質の吸着を抑制するための外筒またはプランジャの表面改質を提供することができる。注射器外筒のPECVD処理は、2010年11月25日に米国特許出願公開第2010/0298738A1号明細書として公開され、2011年7月26日に発行された米国特許第7,985,188号明細書に記載されており、これらを参照によって本願に援用する。注射器プランジャのPECVD処理を以下に説明する。ここで図26~35を参照し、部分的または全体的に管中において気密状態で摺動可能な注射器用ピストンまたはその他の構造上にPECVD層を提供するための実施形態を説明する。これらの実施形態は、図2の124などのピストンまたはプランジャ、図10A~10Cのプランジャ、図18~19のプランジャ524、図20~25のピストン318、図26~30のプランジャまたは略円筒形の成形品1258、図31、32、34、35のストッパ1282、または図33のセプタム1310のいずれに層を設けるのにも適している。図26と28を参照すると、本発明を実施できる一般的な注射器1252は、内面1254、開放端1256、プランジャ1258、前端1260を有する注射器外筒1250を含む。注射器外筒1250には、任意選択的に、内容物1264を充填することができる。注射器プランジャまたはプランジャ1258は、略円形の前部1262、略円筒形の側部1266、略円形の後部1268、およびプランジャロッドを有する。図の実施形態は、任意選択的に、この実施形態においては側部1266の一部である隆起した、任意選択的に一体構造とされたピストンリング1274と1276と、この実施形態においては周辺前部1262である面取り部1278を有する。前部1262は、プランジャ1258の中の、注射器の内容物1264があれば通常それと接触している部分として定義される。プランジャの前部1262にはバリア層1280を設けて、特に充填済み注射器1252の場合に、プランジャ1258の成分が注射器の内容物1264の中に浸出すること、またはその逆を防止することが望ましい。一般的なSiOxのバリア層1280とその形成方法は、たとえば、2010年11月25日に米国特許出願公開第2010/0298738A1号明細書として公開され、2011年7月26日に発行された米国特許第7,985,188号明細書に詳しく説明されている。この公開公報と特許を、適当なバリアおよび潤滑層とそれを形成できる方法を示すために、参照によって本願に援用する。しかしながら、場合により、側部1266にSiOx層を設けないことが望ましいこともある。同様に、側部1266に滑りやすい層、または潤滑層を設けて、注射器1252の内容物を吐出させる時のように、外筒1250の中でプランジャ1258を前進させるために必要な押出力と摺動力を軽減させることが望ましい。しかしながら、場合により、プランジャ1258の前部1262には滑りやすい層を設けないままとして、その層の成分が注射器1252の内容物の中に漏出するのを防止することが望ましいこともある。したがって、この方法により、どの実施形態においても、加工物、たとえばプランジャ1258に形成される層をカスタマイズし、コーティングしたい部分にコーティングし、コーティングするべきでない部分には層を設けないようにすることができる。プラズマ強化化学蒸着法を用いて注射器プランジャ1258に選択的に層を形成するための本発明の実施形態による方法を図27と28に示す。注射器外筒1250の内容物1264と接触するように位置付けられた略円形の前部1262と、注射器外筒1250と摺動可能に接触するようになされた略円筒形の側部1266を有する注射器プランジャ1258が提供される。前方開口部1082と、前方開口部1082から延びる内部側壁1088を有する略管状のプランジャホルダ1080が提供される。注射器プランジャ1258をプランジャホルダ1080の中に設置し、その際、注射器プランジャ1258の前部がプランジャホルダ1080の全方開口部1082に面し、注射器プランジャ1258の側部1266がプランジャホルダ1080の内部側壁1088と接触するような向きとする。注射器プランジャ1258の前部を、層形成反応ガスと接触させる。プラズマを、プランジャホルダ1080の中の、注射器プランジャ1258の前部1262の付近で生成する。条件は、プラズマ強化化学蒸着法を用いて、注射器プランジャ1258の前部1262に選択的にバリア層1280を堆積させるような条件とする。このようにしてコーティングされた成形品を他の構成要素と組み立てることができ、たとえばいずれかの実施形態による略円筒形の成形品1258とプッシュロッド1270とのアセンブリがある。一代替形態として、プランジャ1258を、少なくとも1層1280の堆積中にプッシュロッド1270に固定することができる。略円筒形の成形品1258と、注射器外筒1250およびプッシュロッド1270とのアセンブリも想定される。略円筒形の成形品1258と、注射器外筒1250、プッシュロッド1270およびエンドキャップ1260とのアセンブリも想定される。略円筒形の成形品1258と、注射器外筒1250、プッシュロッド1270、および皮下注射針とのアセンブリも想定される。略円筒形の成形品1258と、注射器外筒1250、プッシュロッド1270、皮下注射針および針シールドとのアセンブリも想定される。上記のいずれのアセンブリにおいても、略円筒形の成形品1258は外筒1250の中で摺動可能なプランジャとして機能するように構成できる。注射器外筒1250は、任意選択的に、その内部もPECVDで処理する。この方法を実行するための代表的な装置が図27に示されており、これは、容器ホルダ1050、対電極1108、外部電極1160、電源1162を含むPECVD装置を提供する。プランジャ1258を所定の位置に置かれるように容器ホルダ1050にセットされたプランジャホルダ1080は、プラズマ反応チャンバを画定し、これは任意選択的に、真空チャンバとすることができる。プランジャ1258が下方に引っ張られないように、母指押圧部1272を、任意選択的に、プランジャホルダ180の開放端126、プランジャホルダ1080の内部段差、または突起と引掛けるか、その他の方法でホルダに関して拘束することができる。真空源1098と反応ガス源1144を提供してPECVDを促進することができる。いずれの実施形態のPECVD装置も、その代わりに大気圧PECVD用に使用でき、この場合、プラズマ反応チャンバが真空チャンバとして機能する必要はない。図27に示される実施形態において、容器ホルダ1050は、容器ポートに設置された容器の中にガスを供給するためのガス取入ポート1104を含む。ガス取入ポート1104は摺動シール材1106を有し、これは、円筒形プローブ1108がガス取入ポート1104から挿入された時に、プローブ1108と接するように設置できる。プローブ1108は、その遠位端1110がガス供給ポートまで延びるガス取入管とすることができる。図の実施形態の遠位端1110をプランジャホルダ1080の中に挿入し、1つまたは複数のPECVD反応物質およびその他のプロセスガスを供給することができる。図18と19はそれゆえ、プラズマ強化化学蒸着法を用いて、略円筒形の成形品1258の端部1262に選択的に層を形成する方法を実行するための装置を示す。この方法にはいくつかのステップを含めることができる。端部1262と略円筒形の側面部1266を有する略円筒形の成形品1258が提供される。第一の開口部1298を有し、第一の開口部1298から延びる内腔1300を画定するホルダ1080が提供される。成形品1258は、少なくとも部分的に内腔1300の中に設置され、その際、その端部1262がホルダ1080の第一の開口部1298に面し、その側部1266が内腔と接触する向きとする。1280等の少なくとも1層が、供給源1144により供給される少なくとも1つの層形成前駆体のプラズマ強化化学蒸着によって、成形品1258の端部1262に選択的に形成される。任意選択的に、プッシュロッド1270はさらに、母指押圧パッド1272を含む。母指押圧パッド1272は、少なくとも部分的に内腔1300の中に、たとえば内腔1300内の空隙が小さくなるように適合する大きさとすることができる。プラズマ強化化学蒸着法は、たとえば、特に図27および同様の図31と35に関して実行でき、そのためにホルダ1080の第一の開口部1298を、真空源1098と前駆体ガスの供給源1144を含むPECVD装置に動作的な関係でセットしてから、その少なくとも1層1280を堆積させる。任意選択的に、成形品1258を少なくとも部分的に内腔1300の中に設置して、成形品と内腔のアセンブリを形成してから、ホルダ1080の第一の開口部1298をPECVD装置の上に設置する。成形品と内腔のアセンブリは、内腔の中に収容された成形品1258を保護し、コーティングされるべき表面が成膜前に汚染されるのを予防し、成膜後に部品を扱う際に層1280に損傷が及ぶことを予防する。成形品と内腔のアセンブリを形成した後、成形品と内腔のアセンブリをPECVD装置の上に設置する前に、成形品と内腔のアセンブリをPECVD装置に搬送することができ、そのような搬送中に成形品を保護することができる。少なくとも1層を堆積した後に、成形品と内腔のアセンブリを、任意選択的に組み立てた状態のまま取り外し、PECVD装置から搬送することができる。任意選択的に、略円筒形の成形品1258は、成形品と内腔のアセンブリをPECVD装置から搬送した後に、成形品と内腔のアセンブリから取り外すことができる。内腔が一方の端で第一の開口部1298において、他方の端で第二の開口部1314において開放している場合、略円筒形の成形品1302は、それを第一の開口部1298から押し出すことによって、成形品と内腔のアセンブリから取り外すことができる。これは、たとえば物体を第二の開口部から内腔1300の中に挿入して行うことができる。図29~30に示される本発明の他の態様は、注射器プランジャ1258の側部に選択的に層を形成する方法である。組み立てられた注射器1252の中で注射器外筒1250の内容物と接触するようになされた略円形の前部1262を有する注射器プランジャ1258が提供される。プランジャ1258は、注射器外筒1250図26と摺動可能に接触するようになされた略円筒形の側部1266と、略円形の後部1268を有する。図29はまた、略円筒形の成形品1258が任意選択的に、プッシュロッド1270に固定され、層形成ステップ中にホルダ1294に支持され、任意選択的に、プッシュロッドを扱うことによってホルダ1294から取り外すことができることを示している。注射器プランジャは小さな部品であり、層形成および組立作業中には、これらを取り扱わないことが望ましい。プッシュロッド1270には層形成や特別な取り扱いが不要であるため、加工中にプランジャ1258を取り扱うために便利に使用される。注射器プランジャ1258は、プラズマ強化化学蒸着チャンバ1290の中に設置することができる。略円形の前部1262と略円形の後部1268の少なくとも一方ここでは両方に、図29に示されるマスク1292またはシート1294と同様にマスキングし、注射器プランジャ1258の少なくとも略円筒形の側部1266には、少なくとも実質的にマスキングを施さない。注射器プランジャ1258の側部1266を、層形成反応ガスと接触させる。プラズマが、蒸着チャンバ1290の中の注射器プランジャ1258の側部1266の付近で生成される。層1296が、プラズマ強化化学蒸着法を用いて、注射器プランジャ1258の側部1266に選択的に堆積される。図29はそれゆえ、プラズマ強化化学蒸着法を用いて、略円筒形の成形品1302の側部1266に選択的に層形成するための方法を実行するのに有益な装置を示している。この方法にはいくつかのステップを含めることができる。相反する側にある端部1262、1268と略円筒形の側部1266を有する略円筒形の成形品1258が提供される。成形品1258を、プラズマ強化化学蒸着チャンバ1290の中に設置する。端部1262と1268の少なくとも一方、ここでは両方の少なくとも一部にマスキングし、側部1266はマスキングしないままとする。少なくとも1つの層1296が、層形成前駆体のプラズマ強化化学蒸着によって成形品1258のマスキングされていない側部1266に選択的に堆積される。任意選択的に、略円筒形の成形品1258の端部1262の全部でない部分をコーティングすることができる。これは、これは、たとえば端部1262のいくつかの部分を覆わないマスク1292を設けることによって実行できる。たとえば、マスク292を適当に選択し、設置することにより、略円筒形の成形品1258の中央端部をコーティングすることができ、略円筒形の成形品1258の周辺端部1278をコーティングしないままとすることができる。図29~30の実施形態において、装置は、略円筒形の成形品1258の、端部1262に隣接する側部1266をコーティングするように構成されている。しかしながら、任意選択的に、装置は、マスク1292からスカートを下方に延ばすことによって、側部1266の隣接部すなわち上部である側部にマスキングするか、あるいは側部1266の全体をマスキングするように構成することができる。他の変形形態では、略円筒形の成形品1258の、隣接部から遠位側の、図29の方向では下方の側部1296をコーティングしないまま残すことができる。これは、たとえばマスクとサポート1294を側部1266の下側部分1296と接するように、または側部1266の全部と接するように上方に延ばすことによって実行できる。次に、図31と32の実施形態を参照すると、他のタイプの容器閉鎖栓、ここでは、尿検体採取管またはバイアルに使用されるような単純なストッパ1302に層形成するための、図27のそれと同様の装置が示されている。図33は、薬剤バイアルまたはその他の容器を永久的に封止するための特定用途ストッパであるセプタム1310の側部1316に選択的に層形成するための装置を示す。この例では、略円筒形の成形品1310が容器のセプタムである。セプタム1310は、その端部1312と1320には高低がつけられ、容器を開封することなく、皮下注射針で穿刺して容器の内部を吸引できるようになされた薄い膜1322を有する。膜1322は針によって穿刺可能であり、その後、針を抜くと穿刺された部分は元のように閉じて、容器は再度密閉される。側部1316は、中央端部1312を覆うマスク1324、端部1320および隣接する側部1330を覆うマスク1326、周辺端部1332を覆うマスク1328の1つまたは複数でマスキングした状態でこれに対してPECVDを実行することにより、選択的にコーティングされる。中央端部1312に隣接し、周辺端部1332から遠い側部1316の覆いを取り、図33に示される構造を取り囲むPECVD装置のチャンバ内でコーティングすることができる。従来通りに、換気用通路を、たとえば換気通路1334または多孔質マスクとして設け、コーティングするべき成形品とマスクの間に捕捉されたエアポケットが、マスキングされた成形品に真空をかけた時に排出されるようにすることができる。マスク1324は、セプタムまたはその他の略円筒形の成形品1310の端部1312と結合するように構成された部分1336を有する。同様に、マスク1326は、セプタムまたは略円筒形の成形品1310の端部1320と結合するように構成された部分1336を有する。マスク1326と略円筒形の成形品1310の端部1320は、全体が接触する実質的に同じ形状の結合部を有する。しかしながら、マスク1324は、端部1312と比較して実質的に同じ形状の結合部を持たず、これは端部1312が環状で、陥凹部を取り囲んでおり、これはマスク1324に追従しない、またはそれと結合しないからである。任意選択的に、ホルダまたはマスク1326には、複数または多数の略円筒形の成形品を受けるための、1336などの2つ以上の部分または開口部を設けることができるため、すべてをPECVD装置の中で一度にコーティングできる。マスク1326には、少なくとも1層、たとえば1318のために、複数の略円筒形の成形品1310を受け、それにマスキングするように構成された複数のウェル1336を有する表面1340を設けることができる。複数のウェルまたは開口部は、少なくとも1層のために、複数の略円筒形の成形品を受けるためのパターンを形成することができる。任意選択的に、1324と1328などのマスクは繰り返し設置でき、また、任意選択的に、合体させてホルダ内の開口部と位置合わせされたマスクを有するテンプレートを形成することもできる。同様に、図29のマスク1292とホルダ1294を増やして、1回の蒸着ステップで同時に複数の略円筒形の成形品1258を処理することができる。図31と32は、略円筒形の成形品1282が容器ストッパとすることができ、これらがストッパホルダ1080の中に保持され、その肩部により、真空をかけた時にストッパ1282がその着座位置図の通りより先まで進むのが防止されることを示している。略円筒形の成形品1282と容器のアセンブリが想定される。略円筒形の成形品1282は、容器のストッパとして機能するように構成される。図34~35は、医療用検体採取管、たとえば真空採血管の実施形態を示しており、その中で、略円筒形の成形品1282は容器閉鎖栓1302のストッパ、たとえば容器ストッパ1282とシールド1304のアセンブリである。この実施形態において、任意選択的に、容器ストッパとシールドのアセンブリ1302は、ストッパ端部1306が内腔1300図35の中にあり、シールド1304が少なくとも部分的に内腔1300の外部にある状態で設置することができる。図35に示されるように、略円筒形の成形品1282と容器1308およびシールド1304のアセンブリが想定され、その場合、略円筒形の成形品1282は、容器1308のストッパとして機能するように構成される。容器1308は、任意選択的に、PECVDで処理された内部1408をさらに有する。あるいは、容器はバイアルまたはキュベットとすることができる。バイアルまたはキュベットはさらに、PECVDにより処理された内部を含むことができる。いずれの実施形態においても、層を堆積させる前に、略円筒形の成形品の、コーティングするべき部分に部分真空をかけて、略円筒形の成形品から置換可能な流体材料を抽出するか、硬化させることができる。また、あるいはその代わりに、略円筒形の成形品の、コーティングするべき部分に、たとえば酸素を用いてPECVDによる前処理を行って、コーティングするべき表面を酸化させるか、他の処理を行い、または略円筒形の成形品から除去された移動可能な流体材料を酸化させることができる。この処理は、コーティングするべき領域に限定でき、または、略円筒形の成形品をマスキングするか内腔の中に設置する前に行う、より全体的な処理とすることができる。いずれの実施形態においても、どのような所望の種類または条件のPECVD層も使用し、または形成できる。たとえば、その少なくとも1層は、たとえば以下に定義するSiOxのバリア層を含むか、その機能を果たして、略円筒形の成形品からコーティングされた部分を通じて材料が浸出するのを減少させることができる。その少なくとも1層は、たとえば後述のSiOxのバリア層を含むか、その機能を果たして、材料がコーティングされた端部を通じて略円筒形の成形品の中へと浸出するのを減少させることができる。その少なくとも1層は、以下に定義するようなSiwOxCyのSi対O対Cの原子比率を有する疎水性層1280とすることができ、これは、コーティング部分に、その少なくとも1層が暴露される材料と接触するのに望ましい表面疎水性を持たせるようになされる。たとえば、疎水性層は、プランジャ1258、ストッパ1282またはセプタム1310の、薬剤に暴露されることになる部分に使用して、たとえばコーティング表面を安定化させ、または注射器またはストッパの装着された容器の内容物がコーティング表面に付着または凝結することなく、より十分に除去されるようにすることができる。疎水性層の他の用途は、ストッパ1282の露出面上の真空採血管1308の中に受けられた血液の凝集または凝固活性化を阻止することである。その少なくとも1層は、コーティングされた部分からの常圧気体または流体の進入を阻止するバリアまたは、コーティングされた部分からの材料の漏出を阻止するバリアとすることができる。このようなバリア層は一般に、以下に定義するようにSiOxで形成される。その少なくとも1層は、浸出防止バリア、疎水性層、表面安定化層、周辺条件に対するバリア、または内容物漏出防止バリアのうちの2つ以上を含んでいてもよく、異なる特性を有する2つ以上の層を設けてもよい。たとえば、充填済み注射器または閉鎖された容器ストッパまたはセプタムで閉鎖されるの場合、以下の1つまたは複数を形成することが有益であることもある、すなわち、注射器または閉鎖された容器または他の層の内容物がプランジャの中に浸出すること、またはその逆を防止するための浸出防止バリア、注射器内の材料からの揮発性成分の損失を防止する、内容物漏出防止バリア、注射器または閉鎖された容器の内容物に対する凝結やその他の不利な影響を防止する疎水性層。それゆえ、複数の層を堆積させることができる。たとえば、ある組成および特性を有する第一の層を堆積させ、その後、異なる組成、異なる特性またはその両方を有する第二の層を堆積させることができる。あるいは、ある組成および特性を有する第一の層を堆積させることができ、その後、同じ組成と特性を有する第二の層を堆積させることができる。あるいは、ある組成と特性を有する第一の層を堆積させることができ、その後、異なる組成、特性またはその両方を有する第二の層を堆積させることができ、その後、第一の層と同じ組成と特性を有する第三の層を堆積させることができる。また別の選択肢として、ある組成と特性を有する第一の層を堆積させることができ、その後、第一の層とは異なる組成、特性またはその両方を有する複数の第二の層を堆積させることができ、その後、第一の層と同じ組成と特性を有する第三の層を堆積させることができる。潤滑層は、以下のプロセスガスと入力電力を用いたPECVD工程によって生成される、すなわち、反応して層を形成する前駆体ガス、任意選択的に、酸素またはその他の酸化剤、アルゴンまたはヘリウム等のキャリアガス、層形成を誘導するのに十分なプラズマ生成電力。使用される材料と条件は、略円筒形の物体の摺動力または押出力を、コーティングされていない注射器外筒と比較して少なくとも25パーセント減少させるのに有効なものとすることができる。いずれの実施形態においても、PECVDに使用される層形成反応ガスは、有機金属前駆体ガスとすることができる。本発明のPECVD層の前駆体は、広義では、有機金属前駆体と定義される。有機金属前駆体は、本明細書では、周期表のIII族および/またはIV族に属し、有機残渣、たとえば炭化水素、アミノカーボンまたはオキシカーボン残渣を有する金属元素の包括的な化合物と定義される。ここで定義される有機金属化合物には、珪素またはその他のIII/IV族の金属原子に直接結合される、または任意選択的に、酸素または窒素原子を通じて結合される有機構成成分を有するいずれかの前駆体が含まれる。周期表のIII族の中で関係する元素は、硼素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、スカンジウム、イットリウム、ランタナムであり、アルミニウムと硼素が好ましい。周期表のIV族の中で関係する元素は、珪素、ゲルマニウム、錫、鉛、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、トリウムであり、珪素と錫が好ましい。他の揮発性有機成分も想定できる。しかしながら、本発明の実行には有機珪素化合物が好ましい。有機珪素前駆体が想定され、有機珪素前駆体は本明細書全体を通じて、最も広義に、以下の結合の少なくとも1つを有する化合物と定義される。上記の第1の構造は、酸素原子と有機炭素原子有機炭素原子は、少なくとも1つの水素原子と結合した炭素原子であるに連結された四価珪素原子である。上記の第2の構造は、-NH-結合と有機炭素原子有機炭素原子は、少なくとも1つの水素原子と結合した炭素原子であるに連結された四価珪素原子である。任意選択的に、有機珪素前駆体は、線状シロキサン、単環シロキサン、多環シロキサン、ポリシルセスキオキサン、線形シラザン、単環シラザン、多環シラザン、ポリシルセスキアザンおよび、これらの前駆体のいずれかの2つ以上の組み合わせからなる群から選択される。また、前駆体としては、上記の2つの化学式には当てはまらないが、アルキルトリメトキシシランが考えられる。酸素含有前駆体シロキサン等が使用される場合、疎水性または潤滑層を形成する条件下でのPECVDによって得られる代表的な予想される実験組成物は、SiwOxCyのSi対O対Cの原子比率で、wが1、式中のxが約0.5~2.4、yが約0.6~約3となり、その一方で、バリア層を形成する条件下でのPECVDによって得られる代表的な予想される実験組成物はSiOxとなり、式中のxは約1.5~約2.9である。窒素含有前駆体シラザン等が使用される場合、予想組成はSiwNxCyとなり、すなわちSiwOxCyの中でOがNに置換され、Oと比較してNがより高原子価となるように適合される2ではなく3。後者の適応では一般に、シロキサンのw、x、yの比率をそのアザ等価体の中の対応する原子数に当てはめる。本発明の特定の態様において、SiwNxCy、ここでw、x、yが、水素原子の数を任意選択的に変えられることを除き、そのシラキサン等価体のw、x、yと同じと定義される。上記の実験式を有する前駆体開始材料の種類の1つは線形シロキサン、たとえば下の化学式を有する材料である。式中、Rの各々はアルキル、たとえばメチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、t-ブチル、ビニル、アルキンまたはその他から個別に選択され、nは1、2、3、4以上で、任意選択的に2以上である。想定される線形シロキサンのいくつかの例としては、以下がある、すなわち、ヘキサメチルジシロキサンHMDSO、オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン、ドデカメチルペンタシロキサン、または上記のうちの2つ以上の組み合わせ。上記の構造の中で酸素原子が-NH-に置換される類縁シラザンも、同様の層を形成するために有益である。想定される線形シラザンのいくつかの例は、オクタメチルトリシラザン、デカメチルテトラシラザンまたはこれらのうちの2つ以上である。V.C.前駆体開始材料の他の種類は単環シロキサン、たとえば下の構造式、を有し、式中、Rは線形構造に関して定義され、aは3~約10である材料または、類縁単環シラザンである。想定されるヘテロ置換および非置換単環シロキサンとシラザンのいくつかの例として、以下が挙げられる、すなわち、1,3,5-トリメチル-1,3,5-トリス3,3,3-トリフルオロプロピルメチル]シクロトリシロキサン、2,4,6,8-テトラメチル-2,4,6,8-テトラビニルシクロテトラシロキサン、ペンタメチルシクロペンタシロキサン、ペンタビニルペンタメチルシクロペンタシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、ヘキサフェニルシクロトリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサンOMCTS、オクタフェニルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、ドデカメチルシクロヘキサシロキサン、メチル3,3,3-トリフルオロプロピルシクロシロキサン、たとえば以下のような環状有機シラザンも想定される。オクタメチルシクロテトラシラザン、1,3,5,7-テトラビニル-1,3,5,7-テトラメチルシクロテトラシラザンヘキサメチルシクロトリシラザン、オクタメチルシクロテトラシラザン、デカメチルシクロペンタシラザン、ドデカメチルシクロヘキサシラザン、または上記のうちの2つ以上の組み合わせ。V.C.前駆体開始材料の他の種類は多環シロキサン、たとえば下の構造式の中の1つを有する材料である、すなわち、式中、Yは酸素または窒素とすることができ、Eは珪素であり、Zは水素原子または有機置換基、たとえばメチル、エチル、プロプル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、t-ブチル、ビニル、アルキンまたはその他等のアルキルである。各Yが酸素である場合、それぞれの構造は左から右に、シラトラン、シルクアシラトラン、シルプロアトランである。Yが窒素の場合、それぞれの構造はアザシラトラン、アザシルクアシアトラン、アザトルプロアトランである。V.C.多環シロキサン前駆体開始材料の他の種類はポリシルセスキオキサンであり、その実験式はRSiO15、構造式は以下のとおりである、すなわち、式中、各Rは水素原子または有機置換基、たとえば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、t-ブチル、ビニル、アルキンまたはその他のアルキルである。市販されているこの種の2つの材料は、各RがメチルのT8立方体と、R基の90がメチルで10が水素原子のT8立方体である。この材料は、たとえばテトラヒドロフラン中の10溶液として入手できる。上記のうちの2つ以上の組み合わせも想定される。想定される前駆体のその他の例としては、各Yが酸素、ZがメチルであるメチルシラトランのCASNo.2288-13-3、メチルアザシラトラン、各Rを任意選択的にメチルとすることのできるSST-eM01と称するポリメチルシルセスキオキサン、R基の90がメチルで10が水素原子のSST-3MH1.1と称するポリメチル-ヒドリドシルセスキオキサン、または上記のうちのいずれか2つ以上の組み合わせがある。V.C.上記の構造の中で-NH-を酸素原子と置換した類縁ポリシルセスキアザンもまた、同様の層を形成するのに有益である。想定されるポリシルセスキアザンの例としては、各Rがメチルのポリメチルシルセスキアザンと、R基の90がメチル、10が水素原子のポリメチル-ヒドリドシルセスキアザンがある。これらのうちの2つ以上の組み合わせも想定される。V.C.本発明による潤滑層用として特に想定される1つの前駆体は単環シロキサンであり、たとえばオクタメチルシクロテトラシロキサンである。本発明によるバリア層用として特に想定される1つの前駆体は線形シロキサンであり、たとえばHMDSOである。潤滑層または層は、厚さ1000nm未満とし、プラズマ強化化学蒸着法により形成できる。これは、注射器の使用時または容器へのストッパの着脱時に隣接する容器壁または注射器壁と接して摺動するプランジャまたはストッパの摺動面において有益である。1つの選択肢として、潤滑層は以下を含む、すなわち、SiwOxCyまたはSiwNxCyのSi対O/N対Cの原子比率で、wが1、式中のxが約0.5~2.4、yが約0.6~約3の層、潤滑層、容器の熱可塑性の基材、またはその両方の内腔への浸出を減少させるのに有効な量の、潤滑層を覆う表面処理層。潤滑層と表面処理は、押出力静止しているプランジャまたはストッパを動き出させるための力、摺動力移動しているプランジャまたはストッパを移動させ続けるために必要な力またはその両方が、潤滑層と表面処理がない場合に必要な、それに対応する力より小さくて済むようにするのに有効に構成し、そのような相対量で存在させることができる。潤滑層はまた、表面処理なしに形成することもできる。潤滑層は、以下の標準体積比を有する気体反応物質またはプロセスガスを用いることによって形成できる、すなわち、標準体積1~6の前駆体、標準体積5~100のキャリアガス、標準体積0.1~2の酸化剤。あるいは、標準体積たとえば、標準立方センチメートル毎分、すなわちsccm2~4の前駆体をプロセスガス中に使用できる。あるいは、標準体積10~70のキャリアガスをプロセスガス中に使用できる。あるいは、標準体積0.5~1.5の酸化剤をプロセスガス中に使用できる。あるいは、標準体積0.8~1.2の酸化剤をプロセスガス中に使用できる。2010年11月12日出願の米国特許出願第61/413,334号明細書または2011年5月11日出願の国際/米国特許出願第11/36097号明細書に明記されているいずれの気体組成物も使用できる。これらの出願の全体を参照によって本願に援用する。PECVD中の有機珪素前駆体の流量は、6sccm以下、任意選択的に2.5sccm以下、任意選択的に1.5sccm以下、任意選択的に1.25sccm以下とすることができる。プラズマは、反応混合物を電磁エネルギーで励起することによって生成でき、エネルギーの2つの例としては無線周波エネルギーまたはマイクロ波エネルギーとし得る。図26の注射器、図34のものなどの医療用検体採取管、または注射可能な薬品を収容したバイアル等、内容物の体積が一般的に1mLの何分の1~10mLの小さな容器の場合、PECVDはたとえば、所望の結果が得られるように設定された、たとえば1~22ワットの電力が供給された電極で前駆体の付近を励起することによってプラズマを生成して実行できる。前駆体は、プラズマの体積1mlあたりで、10W/ml未満、あるいは5W/ml~0.1W/ml、あるいは4W/ml~0.1W/ml、あるいは2W/ml~0.2W/mlの電力が供給された電極で前駆体の付近を励起することによって生成されたプラズマと接触させることができる。V.C.本発明による層形成方法のいずれにおいても、層形成ステップは、任意選択的に、前駆体を蒸発させ、それを基板付近に供給することによって実行できる。たとえば、OMCTSは通常、それを約50°Cまで加熱することによって蒸発させてから、それをPECVD装置に供給する。本発明の文脈において、次のPECVD方法が一般に適用され、これには以下のステップが含まれる。a本明細書で定義する前駆体、任意選択的に有機珪素前駆体、任意選択的にO2を含む気体反応物質を基板表面の付近に供給するステップと、b気体反応物質からプラズマを生成させ、それゆえ、プラズマ強化化学蒸着法PECVDによって基板表面上に層を形成するステップ。この方法において、層の特性は、以下の条件のうちの1つまたは複数によって有利に設定される。プラズマの特性、プラズマを供給する圧力、プラズマ生成のために供給される電力、気体反応物質内のO2の存在および相対量、プラズマ体積、有機珪素前駆体。任意選択的に、層の特性は、気体反応物質中のO2の存在および相対量および/またはプラズマ生成のために供給される電力によって設定される。本発明のすべての実施形態において、プラズマは、ある任意選択的な態様として、ノンホローカソードプラズマである。別の好ましい態様において、プラズマは減圧下周辺または大気圧と比較してで生成される。任意選択的に、減圧は300mTorr未満、任意選択的に200mTorr未満、さらに任意選択的に100mTorr未満である。PECVDは任意選択的に、マイクロ波の周波数または無線周波数、任意選択的に無線周波数で電源供給された電極で前駆体を含む気体反応物質を励起することによって行われる。本発明のある実施形態を実施するために好ましい無線周波数はまた、RF周波数とも呼ばれる。本発明を実行するための一般的な無線周波数範囲は、10kHz~300MHz未満、任意選択的に1~50MHz、任意選択的に10~15MHzの周波数である。13.56MHzの周波数が最も好ましく、これはPECVD工程を実行するために政府が認定した周波数である。マイクロ波源と比較してRF源を使用することはいくつかの点で有利である。すなわち、RFの動作電力の方が低いことから、基板/容器が加熱される程度が低い。本発明の焦点は、プラスチック基板上にプラズマ層を形成することであるため、基板の溶融/歪曲を防止するために、加工温度は低い方が望ましい。マイクロ波PECVDを使用した場合の基板の過熱を防止するために、マイクロ波PECVDは、電力をパルス状にして短時間だけ行われる。電力をパルス状にすると層形成のサイクルタイムが長くなり、これは本発明においては望ましくない。より高周波数のマイクロ波はまた、プラスチック基板内の残留水、オリゴマおよびその他の材料の揮発性物質を放出させる原因となりうる。このような放出は、PECVD層の障害となる。PECVDにマイクロ波を使用した場合の大きな問題は、基板からの層の剥離である。剥離が発生するのは、マイクロ波により、層が形成される前の基板表面が変化するからである。剥離の可能性を抑制するために、層と基板をより確実に結合するために、マイクロ波PECVDのための界面層層が開発されている。RFPECVDの場合は、剥離の危険性がないため、このような界面層は不要である。最後に、本発明による潤滑層と疎水性層は、有利な態様としては、より低電力で形成される。RF電力によれば、マイクロ波電力より動作電力が低く、PECVD工程をよりよく制御できる。それでもなお、マイクロ波電力は、好ましさの程度で劣るが、適当な工程条件下であれば利用可能である。さらに、本明細書に記載のすべてのPECVD方式について、プラズマの生成に使用される電力ワットとプラズマを生成させる内腔の容積に特定の相関関係がある。一般に、内腔は本発明によりコーティングされる容器の内腔である。RF電力は、同じ電極システム使用した場合、容器の容積に応じた大きさとするべきである。気体反応物質の組成、たとえば前駆体とO2の比率およびPECVD層形成方法の、電力を除く他のすべてのパラメータが設定されると、これらは一般に、容器の形状が保持され、その容積だけが変化する場合、変化しない。この場合、電力は容積に正比例する。それゆえ、本明細書で説明する電力対容積の比率から、同じ形状であるが大きさの異なる容器の内部に同じまたは同様の層を形成するために供給する必要のある電力は容易に求めることができる。容器の形状が供給するべき電力に与える影響を、注射器外筒の実施例と比較した採取管の実施例の結果により説明する。本発明のいずれの層に関しても、プラズマは、基板表面上に層を形成するのに十分な電力が供給された電極を用いて生成される。潤滑層または疎水性層の場合、本発明のある実施形態による方法において、プラズマは任意選択的に、i0.1~25W、任意選択的に1~22W、任意選択的に3~17W、さらに任意選択的に5~14W、任意選択的に7~11W、たとえば8Wの電力が供給される電極を用いて生成され、および/またはii電極電力対プラズマ体積の比率は10W/ml未満、任意選択的に5W/ml~0.1W/ml、任意選択的に4W/ml~0.1W/ml、任意選択的に2W/ml~0.2W/mlとなる。バリア層すなわちSiOx層の場合、プラズマは任意選択的に、i8~500W、任意選択的に20~400W、任意選択的に35~350W、さらに任意選択的に44~300W、任意選択的に44~70Wの電力が供給される電極を用いて生成され、および/またはii電極電力対プラズマ体積の比率は5W/ml以上、任意選択的に6W/ml~150W/ml、任意選択的に7W/ml~100W/ml、任意選択的に7W/ml~20W/mlとなる。PECVDに使用される電力ワットは、層の特性に影響を与える。一般に、電力が大きくなると層のバリア特性が高くなり、電力が小さくなると層の潤滑性と疎水性が高まる。たとえば、容積が約3mlの注射器外筒の内壁上の層の場合、電力が30W未満であると、主としてバリア層となる層が形成され、電力が30Wを超えると、主として潤滑層となる層が形成される。層の特性を決定する別のパラメータは、プラズマの生成に使用される気体反応物質中のO2または他の酸化剤対前駆体有機珪素前駆体等の比率である。一般に、気体反応物質中のO2の比率が大きくなると層のバリア特性が高くなり、O2の比率が小さくなると層の潤滑性と疎水性が高くなる。潤滑層が望まれる場合、O2は任意選択的に、気体反応物質に対する体積-体積比で0:1~5:1、任意選択的に0:1~1:1、さらに任意選択的に0:1~0.5:1、またはさらに0:1~0.1:1で含められる。他方で、バリアすなわちSiOx層が望まれる場合、O2は任意選択的に、気体反応物質に対する体積:体積比で、珪素含有前駆体に関して1:1~100:1、任意選択的に5:1~30:1の比、任意選択的に10:1~20:1の比、さらに任意選択的に15:1の比で含められる。想定される疎水性層は、同じ加工装置と成分を使用し、異なる条件下で、任意選択的に、潤滑層に関して前述したものから選択された同じ前駆体または異なる前駆体を使用して形成できる。層の疎水特性は、気体反応物質中のO2対有機珪素前駆体の比を設定することによって、および/またはプラズマ生成に使用される電力を設定することによって設定される。結果として得られる層は、任意選択的に、コーティングされていない表面よりぬれ張力が低い。たとえば、この層のぬれ張力は20~72dyne/cm、あるいは30~60dynes/cm、あるいは30~40dynes/cm、あるいは34dyne/cmとすることができる。この層は、任意選択的に、コーティングのない面より疎水性を高くすることができる。この少なくとも1層は、任意選択的に、バリア層を含む。想定されるバリア層または層は、前述のものと同じ加工装置と成分を使用して、異なる条件下で、任意選択的に、同じ前駆体または、潤滑層について前述したものから選択される異なる前駆体で形成できる。層のバリア特性は、気体反応物質中のO2対有機珪素前駆体比を設定することによって、および/またはプラズマ生成に使用される電力を設定することによって設定される。適当なバリア層の1例は、SiOxの1つまたは複数の層であり、xは1.5~2.9、厚さ5~200nmである。一般に、電力を大きくすると層のバリア特性が高くなる。容積が約3mlの注射器外筒の内壁上の層の場合、電力が30Wを超えると、主として潤滑層となる層が形成される。層の特性を決定する別のパラメータは、プラズマ生成に使用される気体反応物質中のO2またはその他の酸化剤対前駆体有機珪素前駆体等の比である。一般に、気体反応物質中のO2の比が大きくなると層のバリア特性が高くなる。バリアすなわちSiOx層が望まれる場合、O2は任意選択的に、気体反応物質に対する体積:体積比で、珪素含有前駆体に関して1:1~100:1、任意選択的に5:1~30:1の比、任意選択的に10:1~20:1の比、さらに任意選択的に15:1の比で含められる。V.A.ある具体的な実施形態はSiOxのバリア層を形成する方法であり、これは本明細書において特定の例において別に明記されていないかぎり、珪素、酸素および、任意選択的にその他の元素を含む層と定義され、xは珪素原子に対する酸素の比で、約1.5~約2.9または1.5~約2.6または約2である。xのこのような別の定義は、本明細書の中で使用されるいずれのSiOxという用語にも当てはめられる。V.A.反応混合部中で生成されるプラズマは好ましくは、実質的にホローカソードプラズマを含まない。容器の壁は反応混合物と接触し、SiOxの層が容器の壁の少なくとも一部に堆積される。V.A.特定の実施形態において、容器のうちコーティングするべき部分全体を通じて均一なプラズマを生成することが想定され、これは、場合により、SiOx層を生成することによって酸素に対してよりよいバリアができることがわかっているからである。均一なプラズマとは、実質的な量のホローカソードプラズマこれは、一般的なプラズマより発生強度が高く、局所的に強度がより高くなり、それによってより均一な通常のプラズマの強度が不均一となるを含まない一般的なプラズマを意味する。V.A.ホローカソード効果は、共通の陽極に関して同じ負電位を有する、相互に対向する1対の導電面により発生する。間隔が圧力と気体の種類に応じて、空間電荷シースが重複するように作られると、相対する壁シースの反射電位間で電子が振動し始め、その結果、シース領域にわたる電位勾配によって電子が加速すると、複数の衝突が起こる。電子は空間電荷シースの重複部内に制限されて、非常に高いイオン化が可能となり、イオン密度の高いプラズマが得られる。この現象は、ホローカソード効果と呼ばれる。当業者であれば、処理条件、たとえば電源レベル、ガスの供給速度または圧力等を変化させて、全体に均一なプラズマを生成し、またはさまざまな程度のホローカソードプラズマを含むプラズマを生成することができる。他の適当なバリア層は、異なる層の複合体であり、たとえば、これには以下が含まれる、すなわち、xが1.5~2.9、厚さ5~200nm、内腔に面する内面と、外面を有するSiOxの内層と、厚さ100nm~3mm、内面と外面を有し、内面がSiOxの内層に面するスペーサ層と、xが1.5~2.9、厚さ5~200nm、スペーサ層に面する内面と、外面を有するSiOxの外層。SiOxの外層は、前述の有機珪素化合物の前駆体、たとえばヘキサメチルジシロキサンから、バリア層または層に関して前述したPECVD条件により形成できる。スペーサ層は、前述の有機珪素化合物の前駆体、たとえばヘキサメチルジシロキサンから、酸化ガス:前駆体の体積流量比sccm、4:1~8:1を用いて形成できる。スペーサ層は、10~50ワット、好ましくは20~40ワット、好ましくは25~35ワットのRF電力レベルでの、有機珪素前駆体と酸化ガスを含む反応混合物の無線周波数RFPECVDにより形成できる。ホルダまたは容器の容積に合わせて、RF電力は内腔空隙容積1mLあたりで、1~10、好ましくは2~7、好ましくは3~5ワットで供給することができる。スペーサ層は、PECVDにより形成された少なくとも2層の複合体とすることができ、これらは逐次的に形成され、略円筒形の成形品の歪曲を防止するために、層間を冷却するのに十分な時間がかけられる。たとえば、スペーサ層は、PECVDで形成された少なくとも10層、あるいはPECVDにより形成された少なくとも20層の複合体とすることができる。プラズマ層蒸着本明細書に記載されている新規なプラズマ成膜法は、プラズマ強化化学蒸着法PECVDに基づく。この工程は珪素を含む蒸気を利用するものであり、これを採血管または注射器の中で減圧してmTorrの範囲、大気圧は760Torr酸素と結合させることができる。次に13.56MHz[無線周波数範囲]で生成された電界を外部電極と内部の接地されたガス取入口との間に印加して、プラズマを発生させる。採血管と注射器にコーティングするために使用する圧力と電力で、プラズマ工程は電子衝撃イオン化により駆動され、これは工程中の電子が化学反応を起こす駆動力であることを意味する。具体的には、プラズマが珪素を含む材料[ヘキサメチルジシロキサンHMDSOと、オクタメチルシクロテトラシラロキサンOMCTS等の他の反応物質]の電子衝撃イオン化を通じて化学反応を駆動し、その結果、二酸化珪素、すなわちSiOxCy層が採血管または注射器の内面に成膜される。これらの層の厚さはおよそ20ナノメートル以上である。HMDSOは、珪素原子に6つのメチル基が付いたSi-O-Siバックボーンからなる。工程によってSi-C結合が分離され、採血管または注射器の表面において酸素と反応して二酸化珪素が生成される。層は原子ベースで成長するため、厚さ20~30ナノメートルの高密度の共形層に有意なバリア特性を持たせることができる。酸化珪素は気体、水分および微細な有機分子に対する物理的バリアとして機能し、民生用ガラスより純度が高い。OMCTSにより、潤滑性または付着防止特性を有する層が得られる。この新規な技術はいくつかの点で特異である、すなわち、1.この工程は、真空チャンバとして剛性の容器、たとえば容器ホルダ1050を利用する。PECVDは従来、第二の真空容器を使用し、その中に部品を入れてコーティングする。容器を真空チャンバとして利用することによって、加工装置は有意に簡素化され、サイクル/処理時間が短縮し、それゆえ製造コストと資金が削減される。この方法はまた、設備拡張の問題も軽減させるが、それは設備拡張がスループットの要求を満たすのに必要な採血管または注射器の数を複製していくのと同様に単純に行えるからである。2.無線周波数を用いたプラズマ励起によって、部品をほとんど加熱することなく、イオン化ガスにエネルギーを付与することができる。一般的にPECVDに用いられるマイクロ波の励起によるエネルギーの場合、部品自体の水分子に有意なエネルギーが付与されるが、それとは異なり、無線周波数は高分子の採血管や注射器を優先的に加熱しない。熱吸収の制御は、基板温度上昇がプラスチックのガラス転移点に達し、寸法保全性が損なわれる真空下で崩壊のを防止するのに重要である。3.単層ガスバリア層-この新規な技術は、部品の内面上に直接形成される単層の二酸化珪素を利用する。他のバリア技術薄膜のほとんどが、少なくとも2層を必要とする。4.複合的なバリア-潤滑層-この新規な技術は、複合的な二酸化珪素/SiOxCy層を利用して、複数の性能属性バリア/潤滑性を提供する。5.ガス取入口/電極構成-対称性の低い設計により、ガス取入口の寿命が延びる。プラズマ蒸着法は、単純な製造装置を利用する。そのシステムは、パック、すなわち、たとえば図27に示される容器ホルダ1050に基づき、これは採血管、注射器およびプランジャホルダ1080を層形成ステーションに搬入し、かつそこから搬出するために使用される。器材とパックの連結部2010年11月25日に米国特許出願公開第2010/0298738号明細書として公開され、2011年7月26日に発行された米国特許第7,985,188号明細書の図1、2を参照のこと。これらの公開公報と特許を参照によって本願に援用する。が有益であり、それは、試作段階で層/特徴付け条件が確定されると、本格生産に移行する際に、設備拡張の問題が発生せず、同じ工程でパックの数を単純に増やせばよいからである。パックは、高分子材料Delrin商標等から製造され、電気的に絶縁されたベースが提供される。採血管と注射器をパック内に取り付け、最大の開口部がOリングパック自体に取り付けられているにより密閉されるようにする。Oリングによって部品とパックが真空密閉され、空気主として窒素と酸素および幾分かの水蒸気を除去し減圧、プロセスガスを供給できるようにする。パックはOリングによる密閉以外に、いくつかの重要な特徴を有する。パックは、真空ポンプ空気と二酸化珪素反応の副産物を排出するとの連結手段、部品内でガス取入口を正確に位置付ける手段、パックとガス取入口の間を真空密閉する手段となる。SiOx層体積の場合、次にHMDSOと酸素ガスを、部品の中へと延びる接地されたガス取入口からプランジャホルダ1080の中へと供給する。この時点で、パックとプランジャホルダ1080を電極領域内へ移動させる。電極は導電性材料たとえば銅で構成し、トンネルを作り、その中を部品が通過する。電極はプランジャホルダ1080またはパックと物理的に接触せず、単独で支持される。RFインピーダンス整合ネットワークと電源を電極に直接接続する。電源からはエネルギーが13.56MHzでインピーダンス整合ネットワークに供給される。RF整合ネットワークは、電源の電力インピーダンスをイオン化されたガスの複素容量性および誘導性インピーダンスに整合させる役割を果たす。整合ネットワークは、イオン化ガスに最大のパワーを供給し、これによって二酸化珪素の層が確実に形成される。プランジャホルダ1080がパックがプランジャホルダ1080を静止している電極通路の中で移動させる間にコーティングされたら、ガスを停止し、常圧気体または純窒素がパック/プランジャホルダ1080の内部に入るようにして、これを大気圧に戻す。この時点で、プランジャホルダ1080をパックから取り外し、次の処理ステーションに移動させることができる。以上、採血管、注射剤バイアルまたはアンプルのほか、プランジャ1258、ストッパ1282、セプタム1310またはその他の成形品への層形成手段を明瞭に説明した。注射器の場合は、パックへの装填前後に追加のステップが必要となる。注射器には両側に開口部があるため一方は針を取り付けるため、他方はプランジャを取り付けるため、層形成前に針端を密閉しなければならない。上記の工程によって、反応気体をプラスチック部品の内部に供給し、電流を部品内部のガスに流し、プラズマを部品内部で発生させることができる。プラズマHMDSOまたはOMCTSのイオン化組成物と酸素ガスが化学反応とプラズマ層の堆積を駆動する。本発明の好ましい実施形態を上で詳しく説明したが、本発明は説明された具体的な実施形態に限定されず、これらは単なる例とみなすべきである。"