チタンを含む酸化物系透明導電薄膜中に存在するチタン元素の分析方法であって、前記薄膜を酸水溶液に溶解させた後、不活性ガスを前記酸水溶液中に吹き流し、不活性ガスの吹き流し後、前記水溶液に配位子を添加し、チタン錯体を生成させて吸収波長および吸光度を測定することによってチタン錯体の濃度を求め、チタン原子の価数およびその割合を算出する工程を含むことを特徴とする、チタン元素の分析方法。前記酸化物が、酸化亜鉛であることを特徴とする請求項1に記載の分析方法。3価のチタン元素の割合を測定することを特徴とする請求項1または2に記載の分析方法。前記配位子が、アセチルアセトンであることを特徴とする請求項1~3のいずれかの項に記載の分析方法。前記酸水溶液が、塩酸水溶液または硫酸水溶液であることを特徴とする請求項1~4のいずれかの項に記載の分析方法。吸収測定を行う際の吸光セルの内部が、外部から密閉できる構造を有しており、セル内部を不活性ガスにより置換を行ってから配位子の添加を行うことを特徴とする請求項1~5のいずれかの項に記載の分析方法。本発明は上記問題点を解決したものであり、酸化物系透明導電薄膜中に存在するチタン原子の価数およびその割合を正確に測定する分析方法を提供する。本発明者らは、上記問題を解決すべく種々検討した結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。1チタンを含む酸化物系透明導電薄膜中に存在するチタン元素の分析方法であって、前記薄膜を酸水溶液に溶解させた後、不活性ガスを前記酸水溶液中に吹き流し、不活性ガスの吹き流し後、前記水溶液に配位子を添加し、金属錯体を生成させて吸収波長および吸光度を測定することによってチタン錯体の濃度を求め、チタン原子の価数およびその割合を算出する工程を含む、チタン元素の分析方法。2前記酸化物が、酸化亜鉛であることを特徴とする1に記載の分析方法。33価のチタン元素の割合を測定することを特徴とする1または2に記載の分析方法。4前記配位子が、アセチルアセトンであることを特徴とする1~3のいずれかの項に記載の分析方法。5前記酸水溶液が、塩酸水溶液または硫酸水溶液であることを特徴とする1~4のいずれかの項に記載の分析方法。6吸収測定を行う際の吸光セルの内部が、外部から密閉できる構造を有しており、セル内部を不活性ガスにより置換を行ってから配位子の添加を行うことを特徴とする1~5のいずれかの項に記載の分析方法。本発明によれば、酸化物系透明導電薄膜中に存在するチタン原子の価数およびその割合を正確に測定することができるという効果を有する。本発明に係るチタン元素の分析方法以下、単に本発明の分析方法と記載する場合があるは、上記のように、チタンを含む酸化物系透明導電薄膜を酸水溶液に溶解させた後、不活性ガスを前記酸水溶液中に吹き流し、不活性ガスの吹き流し後、前記水溶液に配位子を添加し、チタン錯体を生成させて吸収波長および吸光度を測定することによってチタン錯体の濃度を求め、チタン原子の価数およびその割合を算出する工程を含む。本発明の分析方法で用いられる酸化物系透明導電薄膜は、チタンがドープされたものであれば、特に限定されない。このような酸化物系透明導電薄膜は、例えば、スパッタリング法、パルスレーザーデポジション法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法など一般的な成膜方法により作製される。酸化物系透明導電薄膜としては、酸化亜鉛系、酸化錫系などの透明導電薄膜が挙げられる。本発明の分析方法は、好ましくは透明導電薄膜として一般的に使用される酸化亜鉛系透明導電薄膜に含まれるチタンの定量に適用される。本発明の分析方法では、酸化物系透明導電薄膜を酸水溶液に溶解させる。酸としては、特に限定されず、塩酸、硫酸、硝酸などが挙げられる。これらの中でも、塩酸や硫酸のような酸化力を有さない酸水溶液が好ましい。硝酸のような酸化力を有する酸を用いると、例えば、3価のチタン原子は酸化され、薄膜中のチタン原子の正確な価数が得られないおそれがある。但し、チタン原子の価数に多少の誤差が生じても問題とならない場合は例えば、価数に関係なく総チタン濃度を求める場合など、硝酸などの酸化力を有する酸を使用しても差し支えない。溶解液中のチタン濃度は特に限定されないが、成膜時のターゲット組成や膜の体積から予想されるチタンの量から想定し、104~103mol/L程度になるように溶解するのが好ましい。また、溶解後の酸水溶液のpHが上昇した場合、チタンが水酸化物となり沈殿を生成してしまうことから、pHは1以下に維持することが望ましく、また溶解後は、できる限り素早く測定を行うことが好ましい。さらに、溶存酸素による酸化を防ぐために、本発明の分析方法では、酸化物系透明導電薄膜を溶解した酸水溶液中に不活性ガスを吹き流す。例えば、アルゴンや窒素などの不活性ガスによるバブリングを行い、溶存酸素を十分に取り除く。不活性ガスを吹き流す時間バブリングの時間は、特に限定されず、好ましくは3~10分である。次に、薄膜の溶解液を吸光セルに必要量移し取る。この際、セプタムによる栓ができるなど、液を入れた後にセル内を密閉でき、さらにセル内のガス置換が可能な構造のセルを用いることが好ましい。例えば、スクリューキャップ付セルなどを用いることができる。送液後、セプタムを通してセル内に不活性ガスを吹き流すことにより、セル内雰囲気を不活性ガス雰囲気に置換する。上記の溶存酸素除去バブリングを、この工程と一緒に行ってもよい。本発明の分析方法では、薄膜の溶解液に配位子を添加する。配位子としては、水または水と混和する溶媒に溶解し、生成するチタン錯体が吸収を示し、また、その吸収波長がチタンの価数によって異なるものであれば特に限定されない。このような配位子としては、例えば、アセチルアセトン、シュウ酸などが挙げられる。特に、アセチルアセトンを用いた場合、3価のチタン錯体で特徴的な吸収を示し、錯体の安定性も比較的良好なため好ましい。また、価数に関係なく総チタン濃度を求める場合などは、配位子として過酸化水素などを用いてもよい。用いる配位子が、アセチルアセトンのように単体で液体であればそのまま用いても良いし、溶媒により希釈を行ってもよい。固体の場合は溶媒に溶解させ、溶液として用いる。配位子を含む液体は、吸光セルのセプタムを通して注射器などを用いて添加する。配位子の添加量は、成膜時のターゲット組成や膜の体積から予想されるチタンの量の10倍程度で十分である。多すぎると、配位子を含む液体中の溶存酸素による影響が無視できなくなるおそれがある。なお、配位子の添加後、必要に応じて、不活性ガスでバブリングを行ってもよい。次いで、溶液に含まれるチタン錯体の吸収波長および吸光度を測定して濃度を求める。例えば、395nmもしくは490nm付近にピークを有する吸収が現れた場合、この吸収の吸光度から3価のチタン濃度を求めることができる。検量線は、市販の三塩化チタン溶液を適当な濃度に希釈し、薄膜の溶解液と同様の操作を行って作成する。総チタン濃度を求める場合は、例えば、過酸化水素水を加えるとTiが酸化され、またチタンペルオキシ錯体を形成し、415nmにピークを有する吸収が現れる。この吸収の吸光度から総チタン濃度を求めることができる。以下、実施例および比較例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例1亜鉛元素とチタン元素との物質量比が93:7である酸化亜鉛ZnOおよび酸化チタンTiO2からなる焼結ターゲットを用い、RFスパッタリング法により、径が4インチの基板上に膜厚が980nmになるように成膜を行った。製膜条件を以下に示す。スパッタリング電力:75Wスパッタリング圧力:0.5Pa雰囲気:100Ar薄膜が付着したガラス基板を1.2mol/Lの塩酸水溶液20gに浸漬させて、薄膜を溶解させた。この溶液2mLを、1cm角のスクリューキャップつきガラスセルアズワン株製に入れ、セプタム付きキャップアズワン株製にて栓をした。次いで、このセプタムを通し、毎分0.3Lのアルゴンガスで5分間バブリングを行うことにより、セル内を不活性ガスにより置換した。この溶解液に30μLのアセチルアセトン和光純薬工業株をセプタムを通して注入した。セルを振ることにより軽く攪拌すると、溶液は淡い赤紫色を呈した。この溶液を、分光光度計株日立ハイテクノロジーズ製U-4100で測定した。なお、所定の濃度になるように三塩化チタン溶液和光純薬工業株を塩酸水溶液により希釈し、上記と同様の手順により測定液を調製して検量線を作成した。検量線は、良好な直線性を有していた。この検量線を用いて薄膜の溶解液中の3価のチタン元素の濃度を求めたところ62ppmであった。次に、液中の総チタン元素量を測定するために、まず薄膜を溶解させた塩酸水溶液2mLをガラスセルに注入した。次に市販の過酸化水素水30質量品、和光純薬工業株を0.3質量に希釈し、0.5mLをガラスセルに加えた。ガラスセル内の液は黄色を呈した。上記と同様の手順で検量線を作成し、この検量線を用いて薄膜中の総チタン濃度を求めたところ、58ppmであった。全チタン濃度の方が低くなったが、これは誤差の範囲内であると考えられる。したがって、この薄膜中に含まれるTi元素は、ほぼすべて3価であることがわかる。参考例120の三塩化チタン溶液を1.2mol/Lの塩酸水溶液で希釈し、Ti原子の濃度を62ppmとしたTi溶液を2mLガラスセルに入れ、セプタム付きキャップでふたをした。次いで、毎分0.3Lの流量のArにより5分間セル内のガス吹き流し置換を行ってから、アセチルアセトンを30μL注入した。この水溶液における395nmの吸光度の時間変化を900秒間測定したが、吸光度の変化は無かった。参考例220の三塩化チタン溶液を1.2mol/Lの塩酸水溶液で希釈し、Ti原子の濃度を62ppmとしたTi溶液を2mLガラスセルに入れ、セプタム付きキャップをした。次いで、Arによるセル内のガス置換を行わずに、アセチルアセトンを30μL注入した。この水溶液における395nmの吸光度の時間変化を測定すると、580秒程度で吸光度が半分となり、測定までの時間により吸光度が減少する結果となった。参考例1および2に示すように、試料の調製後、Arなどの不活性ガスでバブリングを行い、溶存酸素を取り除く必要があることがわかる。