"ケースと、発熱部が前記ケース内に配置されるように前記ケースの側壁を貫通し、先端部が前記ケースと接触するように設けられた棒状のヒータとを備え、蒸気取込口を通じて前記ケース内に取り込まれた蒸気を前記ヒータの発熱部で加熱して過熱蒸気を生成し、過熱蒸気排出口を通じて前記過熱蒸気を排出する、過熱蒸気発生装置と、前記過熱蒸気排出口の近傍に設けられ前記過熱蒸気の温度を検知するための過熱蒸気温度検知部と、を有した、過熱蒸気発生装置ユニット。ケースと、発熱部が前記ケース内に配置されるように前記ケースの側壁を貫通し、先端部が前記ケースと接触するように設けられた棒状のヒータとを備え、蒸気取込口を通じて前記ケース内に取り込まれた蒸気を前記ヒータの発熱部で加熱して過熱蒸気を生成し、過熱蒸気排出口を通じて前記過熱蒸気を排出する、過熱蒸気発生装置と、前記過熱蒸気排出口側のヒータ根元に設けた過熱蒸気温度検知部とを有した、過熱蒸気発生装置ユニット。前記過熱蒸気温度検知部は、前記ヒータの長手方向に対して水平に取り付けるように配置した請求項2記載の過熱蒸気発生装置ユニット。前記過熱蒸気温度検知部の取り付け方法は、ヒータ側に付勢される力がかかるように構成された、請求項1~3のいずれか1項に記載の過熱蒸気発生装置ユニット。請求項1~4のいずれか1項に記載の過熱蒸気発生装置ユニットを備える炊飯器。しかしながら、特許文献1の炊飯器においては、過熱蒸気の温度を高く例えば130°C以上にすることができないという課題がある。すなわち、蒸気管の周囲にヒータを配置して蒸気管内を通る蒸気を加熱する構成では、蒸気とヒータとが直接接触していないため、ヒータの熱を蒸気に伝える熱効率が低い。また、前記構成では、ヒータの熱が蒸気管体に拡散する。蒸気管は空気に触れる部分が多いため、蒸気の加熱効率が悪くなる。このため、前記構成において過熱蒸気の温度を高くするには、例えばヒータの出力仕事量を高くする必要がある。ヒータの出力を高くするには、単純にはヒータを大型化すればよい。しかしながら、炊飯器のような電化製品においては、より一層の小型化が求められており、ヒータが大型化することは、炊飯器の大型化につながる。また、蒸気温度をコントロールすることは重要であり、蒸気温度が低くなることによるご飯の加熱不足の防止や、蒸気温度が高くなることによるご飯の過加熱乾燥や焦げの防止の為に、ヒータの温度調節を精度良く行う構成が必要である。従って、本発明の目的は、前記課題を解決することにあって、過熱蒸気の温度を一層高くするとともに、装置の小型化を実現することができ、さらに、蒸気の温度を精度良くコントロールできる過熱蒸気発生装置及び当該装置を備える炊飯器を提供することにある。本発明によれば、ケースと、発熱部が前記ケース内に配置されるように前記ケースの側壁を貫通し、先端部が前記ケースと接触するように設けられた棒状のヒータとを備え、蒸気取込口を通じて前記ケース内に取り込まれた蒸気を前記ヒータの発熱部で加熱して過熱蒸気を生成し、過熱蒸気排出口を通じて前記過熱蒸気を排出する、過熱蒸気発生装置と、前記過熱蒸気排出口の近傍、もしくは、前記過熱蒸気排出口側のヒータ根元、に設けられ前記過熱蒸気の温度を検知するための過熱蒸気温度検知部とを有した、過熱蒸気発生装置ユニットを提供する。本発明にかかる過熱蒸気発生装置ユニットによれば、過熱蒸気の温度を検知する過熱蒸気温度検知部が過熱蒸気排出口の近傍、もしくは、前記過熱蒸気排出口側のヒータ根元、に設けられているので、過熱蒸気の温度を精度良く検知することができる。これにより、安定した過熱蒸気を供給することができ、食味を向上させた炊飯器を提供することができる。前記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。本発明の第1態様によれば、ケースと、発熱部が前記ケース内に配置されるように前記ケースの側壁を貫通し、先端部が前記ケースと接触するように設けられた棒状のヒータとを備え、蒸気取込口を通じて前記ケース内に取り込まれた蒸気を前記ヒータの発熱部で加熱して過熱蒸気を生成し、過熱蒸気排出口を通じて前記過熱蒸気を排出する、過熱蒸気発生装置と、前記過熱蒸気排出口の近傍に設けられ前記過熱蒸気の温度を検知するための過熱蒸気温度検知部とを有した、過熱蒸気発生装置ユニットを提供する。本発明の第2態様によれば、ケースと、発熱部が前記ケース内に配置されるように前記ケースの側壁を貫通し、先端部が前記ケースと接触するように設けられた棒状のヒータとを備え、蒸気取込口を通じて前記ケース内に取り込まれた蒸気を前記ヒータの発熱部で加熱して過熱蒸気を生成し、過熱蒸気排出口を通じて前記過熱蒸気を排出する、過熱蒸気発生装置と、前記過熱蒸気排出口側のヒータ根元に設けられ前記過熱蒸気の温度を検知するための過熱蒸気温度検知部とを有した、過熱蒸気発生装置ユニットを提供する。本発明の第3態様によれば、過熱蒸気温度検知部は、ヒータの長手方向に水平に取り付けるように配置した第2態様に記載の過熱蒸気発生装置ユニットを提供する。本発明の第4態様によれば、過熱蒸気温度検知部の取り付け方法は、ヒータ側に付勢される力がかかるように構成された、第1~3態様のいずれか1つに記載の過熱蒸気発生装置ユニットを提供する。本発明の第5態様によれば、第1~4態様のいずれか1つに記載の過熱蒸気発生装置ユニットを備える炊飯器を提供する。以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態によって、本発明が限定されるものではない。実施の形態図1又は図2を用いて、本発明の実施の形態にかかる過熱蒸気発生装置を備える炊飯器の全体構成について説明する。図1は、本発明の実施の形態にかかる過熱蒸気発生装置を備える炊飯器の模式断面図である。図2は、図1の炊飯器の蓋の一部を切り欠いた状態を模式的に示す上面図である。図1に示すように、本実施形態にかかる炊飯器は、内部に鍋収納部1aが形成された略有底筒状の炊飯器本体1と、鍋収納部1aに収納され、米と水が入れられる鍋2とを備えている。炊飯器本体1の上部には、炊飯器本体1の上部開口部を開閉可能な中空構造の蓋3が取り付けられている。蓋3の内側鍋2の開口部を覆う側には、鍋2の上部開口部を密閉可能な略円盤状の内蓋加熱板ともいう4が着脱可能に取り付けられている。炊飯器本体1の鍋収納部1aは、上枠1bとコイルベース1cとで構成されている。上枠1bは、収納された鍋2の側壁に対して所定の隙間が空くように配置される筒状部分1baと、筒状部分1baの上部から外方に突出し炊飯器本体1の上部開口部の内周部に嵌合するフランジ部1bbとを備えている。また、フランジ部1bbには、水タンク5を収納する水タンク収納部1bcが形成されている。水タンク5は、蒸気を生成するための水を入れる有底筒状の容器である。水タンク収納部1bcの外周面には、水タンク5を加熱誘導加熱する水タンク加熱装置の一例である水タンク加熱コイル6が取り付けられている。なお、水タンク加熱コイル6に代えて、ヒータにより水タンク5を加熱するように構成されてもよい。水タンク加熱コイル6が水タンク5を加熱することにより、水タンク5内の水が沸騰して、約100°Cの蒸気が生成される。また、水タンク収納部1bcの側部には開口が設けられている。当該開口部分には、水タンク5の温度を測定するための水タンク温度センサ7が、水タンク収納部1bcに収納された水タンク5の側部に当接可能に配置されている。コイルベース1cは、鍋2の下部の形状に対応して有底筒状に形成され、その上部が上枠1bの筒状部分1baの下端部に取り付けられている。コイルベース1cの外周面には、鍋2を加熱誘導加熱する鍋加熱装置の一例である鍋底加熱ユニット8が取り付けられている。鍋底加熱ユニット8は、底内加熱コイル8aと底外加熱コイル8bとで構成されている。底内加熱コイル8aは、コイルベース1cを介して鍋2の底部の中央部周囲に対向するように配置されている。底外加熱コイル8bは、コイルベース1cを介して鍋2の底部のコーナー部に対向するように配置されている。コイルベース1cの底部の中央部分には開口が設けられている。当該開口部分には、鍋2の温度を測定するための鍋温度検知部の一例である鍋温度センサ9が、鍋収納部1aに収納された鍋2の底部に当接可能に配置されている。鍋2の温度は鍋2内の被炊飯物の温度と略同じであるので、鍋温度センサ9が鍋2の温度を検知することで、鍋2内の被炊飯物の温度を知ることができる。蓋3は、蓋3の外郭を構成する上外郭部材3aと下外郭部材3bとを備えている。また、蓋3は、ヒンジ軸3Aを備えている。ヒンジ軸3Aは、蓋3の開閉軸であり、炊飯器本体1の上枠1bに両端部を回動自在に固定されている。蓋3には、その中央部付近を蓋3の厚み方向に貫通するように貫通穴3cが設けられ、当該貫通穴3cに蒸気筒10が着脱可能に取り付けられている。蒸気筒10の上壁及び底壁には、鍋2内の余分な蒸気を炊飯器の外部に排出できるように、蒸気逃がし孔10a,10bが設けられている。蓋3の内蓋4側の貫通穴3cの周囲には、環状のパッキン11が取り付けられている。パッキン11は、内蓋4が蓋3に取り付けられたときに、内蓋4に設けられた蒸気逃がし孔4aの周囲に密着するように設けられている。また、蓋3には、内蓋4の温度を検知する内蓋温度検知部の一例である内蓋温度センサ12が取り付けられている。蓋3の底壁となる下外郭部材3bの内面蓋内側には、内蓋4を誘導加熱する内蓋加熱装置の一例である内蓋加熱コイル13が取り付けられている。内蓋4は、誘導加熱が可能なステンレスなどの磁性体金属で構成されている。内蓋4の外周部の鍋2側の面には、環状のパッキン14が取り付けられている。パッキン14は、蓋3が閉状態にあるときに鍋2のフランジ部に密着するように設けられている。また、蓋3の内部には、鍋2内に100°Cを超える過熱蒸気を投入するための過熱蒸気発生装置15が設けられている。過熱蒸気発生装置15の取付構造については、後で詳細に説明する。過熱蒸気発生装置15は、水タンク5で発生した約100°Cの蒸気を加熱して過熱蒸気を生成可能に構成されている。過熱蒸気発生装置15には、蒸気供給管16と過熱蒸気投入管17とが接続されている。また、過熱蒸気発生装置15には、過熱蒸気発生装置15で生成された過熱蒸気の温度を検知する過熱蒸気温度検知部の一例である過熱蒸気温度センサ18が当接している。蒸気供給管16は、蓋3が閉状態にあるときに水タンク5内と連通し、水タンク5内で発生した蒸気を過熱蒸気発生装置15へ導くように設けられている。蒸気供給管16の水タンク5側の端部には、環状のパッキン19が取り付けられている。パッキン19は、蓋3が閉状態にあるときに水タンク5のフランジ部に密着するように設けられている。過熱蒸気投入管17は、蓋3が閉状態にあるときに内蓋4に設けられた過熱蒸気投入孔4bを通じて鍋2内と連通し、過熱蒸気発生装置15で生成された過熱蒸気を鍋2内へ投入するように設けられている。過熱蒸気投入管17の鍋2側の端部には、環状のパッキン20が取り付けられている。パッキン20は、蓋3が閉状態にあるときに内蓋4の過熱蒸気供給孔4bの周囲に密着するように設けられている。また、蓋3には、炊飯コース、炊飯時間などの各種情報を表示する液晶ディスプレイなどの表示部21と、白米コースや玄米コース、白米柔らかめコースなどの複数の炊飯コースの中から特定の炊飯コースを選択可能な炊飯コース選択部の一例である操作部22とが設けられている。操作部22は、炊飯コースの選択の他、炊飯の開始、取り消し、予約などの実行を指示できるように、炊飯開始ボタンなどの複数のボタンで構成されている。使用者は、表示部21の表示内容を参照しつつ、操作部22にて特定の炊飯コースを選択し、炊飯開始を指示することができる。炊飯器本体1の内部には、炊飯制御部23が搭載されている。炊飯制御部23は、米を炊飯するための炊飯シーケンスを複数記憶する記憶部を備えている。ここで、炊飯シーケンスとは、予熱、昇温、沸騰維持、蒸らしの主として4つの工程からなり、各工程を順に行うにあたって、各工程において通電時間、加熱温度、加熱時間、加熱出力等が予め決められている炊飯の手順をいう。各炊飯シーケンスは、複数の炊飯コースのいずれかにそれぞれ対応している。炊飯制御部23は、操作部22にて選択された炊飯コース及び各温度センサ7,9,及び12の検知温度に基づいて、各部及び各装置の駆動を制御し、炊飯工程を実行する。また、炊飯制御部23は、操作部22にて選択された炊飯コース及び過熱蒸気温度センサ18の検知温度に基づいて、過熱蒸気を過熱蒸気発生装置15に生成させる。次に、図3~図9を参照しつつ、過熱蒸気発生装置15の取付構造及び内部構造について、更に詳細に説明する。図3は、過熱蒸気発生装置15に蒸気供給管16及び過熱蒸気投入管17が取り付けられた状態を示す斜視図であり、図4は、その模式断面図である。図5は、過熱蒸気発生装置15の過熱蒸気温度センサ18の取付構造を示す斜視図であり、図6は、過熱蒸気温度センサの設置場所による、ヒータと過熱蒸気の温度を熱電対で測定した温度チャートで、図7は、過熱蒸気温度センサ18の形状を示す模式断面図である。図8は、過熱蒸気発生装置15の取付構造を示す斜視図の模式断面図であり、図9は、過熱蒸気発生装置15及び固定部材の周囲にシート状の断熱部材を配置した状態を示す模式断面図である。図3及び図4に示すように、過熱蒸気発生装置15は、例えばゴムなどの弾性を有する断熱部材31,32を介して蒸気供給管16、過熱蒸気投入管17と接続されている。この構成により、過熱蒸気発生装置15内で発生した熱が蒸気供給管16及び過熱蒸気投入管17に伝達されないようになっている。過熱蒸気発生装置15は、円筒形のケース41と、棒状のヒータ42とを備えている。ヒータ42は、ケース41内においてケース41の中心軸A1と同軸に配置されている。過熱蒸気発生装置15は、ケース41内に供給された蒸気をヒータ42により加熱して、過熱蒸気を生成する。ヒータ42は、発熱部42Bがケース41内に配置されるようにケース41の一方の側壁41aを貫通し、先端部42Aがケース41の他方の側壁41bと接触嵌合するように設けられている。ケース41には、蒸気供給管16を通じて供給される蒸気を取り込む蒸気取込口41cと、過熱蒸気を過熱蒸気投入管17へ排出する過熱蒸気排出口41dとが設けられている。蒸気取込口41cと過熱蒸気排出口41dとは、ヒータ42の発熱部42B近傍に配置されている。より具体的には、蒸気取込口41cと過熱蒸気排出口41dとは、ヒータ42の発熱部42Bと対向するように配置されている。また、ヒータ42の発熱部42Bの周囲には、金属板などで構成されるフィン43が螺旋状に設けられている。図5および図8に示すように、ケース41の外周面には、係合部の一例である係合爪44が形成されている。係合爪44は、固定部材33に設けられた被係合部の一例である係合孔33aに係合している。固定部材33は、平面視においてケース41の略全体を覆うように形成された金属製好ましくは無機物の板状部材である。固定部材33は、蓋3の下外郭部材3bに立設された複数のボス3dにネジなどの締結部材34により固定されている。すなわち、過熱蒸気発生装置15は、上外郭部材3bと下外郭部材3bとに直接接しないように固定部材33を介して蓋3の下外郭部材3bに取り付けられている。また、過熱蒸気発生装置15は、係合爪44でのみ固定部材33と接触し、固定部材33により懸架されている。本実施の形態によれば、過熱蒸気発生装置15と蒸気供給管16及び前記過熱蒸気発生装置15と過熱蒸気投入管17とが弾性を有する断熱部材31,32を介して接続されているので、過熱蒸気発生装置15で発生した熱が蒸気供給管16及び過熱蒸気投入管17の全体に拡散することを抑えることができる。また、過熱蒸気発生装置15が上外郭部材3bと下外郭部材3bとに直接接しないように固定部材33を介して下外郭部材3bに取り付けられているので、過熱蒸気発生装置15で発生した熱の一部を固定部材33で拡散して、下外郭部材3bに伝達される熱量を減少させることができる。従って、蓋3の外郭部材の変形等を抑えて、過熱蒸気の温度を一層高く例えば200°C以上にすることができる。また、本実施の形態によれば、過熱蒸気発生装置15が係合爪44でのみ固定部材33と接触するようにしているので、固定部材33と過熱蒸気発生装置15との接触面積を減らすことができる。また、固定部材33により過熱蒸気発生装置15を懸架するように構成しているので、ケース41の外周面からも熱を拡散させることができる。これにより、固定部材33が過剰に温度上昇することを抑え、蓋3の外郭部材の変形等を一層抑えることができる。また、本実施の形態によれば、平面視においてケース41の略全体を覆うように固定部材33を形成しているので、過熱蒸気発生装置15で発生した熱が上外郭部材3aに伝達されるのを抑える遮蔽板として固定部材33を機能させることができる。これにより、炊飯中であっても使用者が触れることができる上外郭部材3aが高温になることを抑えることができる。従って、火傷の危険性を一層抑えることができる。また、本実施の形態によれば、100°Cの蒸気の生成を過熱蒸気発生装置15とは別の装置で行うようにしているので、ヒータ42の出力を低くすることができ、過熱蒸気発生装置15の小型化を実現することができる。また、過熱蒸気発生装置15のケース41内には、水を供給する必要がないので、ケース41内に水垢が付着して熱効率が低下することも抑えることができる。ここで、図6を用いて、過熱蒸気温度センサ18の設置場所によるヒータ42と過熱蒸気の挙動を説明する。チャートは、過熱蒸気温度センサ18を、過熱蒸気投入管17の過熱蒸気温度センサ設置部先端部17aや過熱蒸気投入管17の過熱蒸気温度センサ設置部17bやヒータ42の根元過熱蒸気温度センサ設置部42aに設置させ、鍋2内に200°Cスチームを投入する為に、過熱蒸気温度センサ18の検知温度によりヒータ42の通電を温調制御させた時のヒータ42の発熱部42Bと過熱蒸気の温度を熱電対で測定したものである。過熱蒸気投入管17の過熱蒸気温度センサ設置部先端部17aに設置した場合、過熱蒸気温度センサ18の温度が上がるのは、過熱蒸気が過熱蒸気投入管17を通り、過熱蒸気によって過熱蒸気投入管17が温められる時であり、過熱蒸気温度センサ18が温調温度本実施例では、約200°Cに設定に達する時には、ヒータ42が過加熱になってしまい、ヒータ42の腐食が発生しやすい温度500°C以上を超えてしまい、また、ヒータ42の過加熱によって過熱蒸気も過加熱になってしまい、ご飯が過加熱になることで、ご飯の乾燥と焦げを発生させてしまう。また、ヒータ42の温度バラツキも大きく、過熱蒸気の温度バラツキも大きい結果となる。過熱蒸気投入管17の過熱蒸気温度センサ設置部17bに設置した場合、過熱蒸気温度センサ18の温度が上がるのは、過熱蒸気が過熱蒸気投入管17を通り、過熱蒸気によって温められる時と、ヒータ42からの熱伝導による加熱である。過熱蒸気温度センサ18が温調温度本実施例では、約220°Cに設定に達する時は、ヒータ42の腐食が発生しやすい温度500°C以上近くまで発熱してしまい、また、過熱蒸気温度が200°C下回ってしまうが、過熱蒸気温度センサ設置部先端部17aに設置するよりも、ヒータ42と過熱蒸気の温度を安定させることができる。ヒータ42の根元過熱蒸気温度センサ設置部42aに設置させた場合、過熱蒸気温度センサ18の温度は、ヒータ42からの熱伝導により上昇し、過熱蒸気温度センサ18が温調温度本実施例では、約180°Cに設定に達する時には、ヒータ42の温度は450°C位までしか上昇せず、また、過熱蒸気の温度も安定して200°C以上を生成することができる。ヒータ42の根元過熱蒸気温度センサ設置部42aに設置させた場合、過熱蒸気投入管17の過熱蒸気温度センサ設置部17bに設置した場合に比べて、ヒータ42の過加熱は最も少なく、温度バラツキも小さく、ヒータ42の制御が出来ており、また、蒸気温度も安定して200°C付近を供給することが出来る。また、本実施の形態によれば、図7に示すように、ヒータ42の先端部42Aがケース41の側壁41bと接触するように設けているので、ヒータ42の熱がケース41に直接伝達され、ケース41内の蒸気を、ヒータ42とケース41の内面の両方から効率良く加熱することができる。これにより、過熱蒸気の温度を一層高くするとともに装置の小型化を実現することができる。なお、ヒータ42の先端部42Aとケース41の側壁41bとを接触させた場合、それらを接触させない場合と比べて、例えば70~80°C程度、ケース41の温度を上昇させることができる。なお、ヒータ42とケース41とは、互いに形状が異なるので、熱が冷えたときの熱応力による膨張又は収縮より、ヒータ42とケース41との接続部分が壊れることが起こり得る。このため、ヒータ42の先端部42Aは、ケース41の側壁41bに一体的に固定するのではなく嵌合又は当接させることが好ましい。これにより、ヒータ42とケース41との接続部分が壊れることを抑えることができる。また、本実施の形態によれば、蒸気取込口41cがヒータ42の発熱部42Bの近傍に配置されているので、蒸気取込口41cから取り込まれた蒸気と発熱部42Bとの温度差が大きいことによって効率良く熱交換がなされる。これにより、蒸気の温度を素早く上昇させることができ、蒸気の加熱効率を向上させることができる。また、ヒータ42を小型化することも可能になる。また、本実施の形態によれば、ヒータ42の周囲にフィン43を螺旋状に設けているので、フィン43に沿って螺旋状に蒸気を移動させることができ、蒸気の移動経路を長くすることができる。また、蒸気は、ヒータ42の熱が伝達されたフィン43からも加熱されることになるので、蒸気と熱源ヒータ42及びフィン43との接触面積が大きくなる。従って、ヒータ42の熱を効率良く蒸気に与えることができ、蒸気の加熱効率を一層向上させることができる。また、ヒータ42を小型化することも可能になる。なお、ケース41とフィン43とが接触するように構成した場合、量産時において、特にケース41とフィン43との接触部分に寸法バラツキが生じやすい。この場合、過熱蒸気排出口41dから排出される過熱蒸気の温度にバラツキが生じる。このため、ケース41とフィン43とは非接触であることが好ましい。但し、ケース41とフィン43との隙間を大きくすると、フィン43に沿って流れずに当該隙間を通じて流れる蒸気の量が多くなり、蒸気の加熱効率が低下する。このため、ケース41とフィン43との隙間は、出来る限り小さく例えば1.5mm以下にすることが好ましい。また、蒸気に塩化カルシウムや塩化マグネシウムなどの成分が含まれている場合、それらの成分がケース41やフィン43に付着して堆積すると、蒸気が流れ難くあるいは流れなくなる。このため、蒸気に触れる部分であるフィン43及びケース41の材質としては、蒸気による酸化、腐蝕、応力腐蝕割れ等が発生しないように、オールステナイト系の高耐食の材質を選定することが好ましい。また、ケース41内で過熱蒸気を生成した場合、ケース41内は高圧1.02気圧程度になる。このため、ケース41とヒータ42との接続部分などの各接続部分をシールする部材は、一般に使用されるシリコンやフッ素などのゴム部材ではなく、ニッケル蝋などを用いて蝋付けすることが好ましい。過熱蒸気温度センサ18の形状は、図7aのようにヒータ42根元に線で接触するようにした場合ヒータ42の長手方向に対して水平に配置するは、図7bのようにヒータ42根元に点で接触させた場合に比べて、前者の方が、過熱蒸気温度センサ18とヒータ42との接触面積が大きくなるので、過熱蒸気温度センサ18の検知精度は10°C程度良化する。なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、前記では、過熱蒸気発生装置15に供給する蒸気を、水タンク5内の水を加熱することにより生成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、炊飯中に鍋2内で発生した蒸気を過熱蒸気発生装置15に供給するようにしてもよい。また、前記では、ケース41と下外郭部材3bとの間を空気層としたが、本発明はこれに限定されない。例えば、ケース41と下外郭部材3bとの間に、空気よりも熱伝導率が低いシート状好ましくは無機物性の断熱部材、例えばシリカ性断熱部材を設けてもよい。また、図9に示すように、ケース41及び固定部材33の全体を覆うようにシート状の断熱部材35を設けてもよい。この場合、ケース41と上外郭部材3a、及びケース41と下外郭部材3bの間に断熱部材35が配置されるので、上外郭部材3a及び下外郭部材3bの変形等を一層抑えることができる。従って、過熱蒸気の温度を一層高くすることができる。また、過熱蒸気発生装置15は固定部材33に懸架されているので、断熱部材35には過熱蒸気発生装置15の自重がかからない。従って、断熱部材35が過熱蒸気発生装置15の自重により圧縮されて断熱性能が低下するようなことがない。また、前記では、固定部材33を上外郭部材3aと下外郭部材3bとの間にのみ配置したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図10に示すように、過熱蒸気発生装置15の外周面を覆う略筒状部分33Aを有するように固定部材33を構成してもよい。この場合、過熱蒸気発生装置15から上外郭部材3a及び下外郭部材3bに伝達される熱の一部を、略筒状部分33Aで遮蔽することができるので、上外郭部材3a及び下外郭部材3bの変形等を一層抑えることができる。また、前記では、小型化の為、固定部材33をケース41の形状に沿わせるように形成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、固定部材33は、平板状であってもよい。ここで、図11に示すように、過熱蒸気温度センサ18の固定は、ヒータ42に付勢されるように、過熱蒸気温度センサ押さえ45で構成している。この過熱蒸気温度センサ押さえにより、ヒータ42に付勢された過熱蒸気温度センサ18の検知精度はあがり、ヒータ42の温度を安定的に制御することにより、ヒータ42の過加熱、加熱蒸気の温度を安定して供給することができる。"