案内面を備えたベース上に、負圧ポケットと支持用の静圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブルを、前記案内面と前記案内部が係合するように搭載するスライドテーブル装置において、前記負圧ポケットを囲むように前記静圧ポケットを設け、前記負圧ポケットと前記静圧ポケットを区分する突起である負圧ランドと前記案内面の隙間が、前記静圧ポケットの外側を囲む突起である静圧ランドと前記案内面の隙間より小さいスライドテーブル装置。非特許文献1に記載の従来技術では、案内面の両端部に備えた静圧ポケットで保持してその中間を負圧ポケットにより吸引するので、静圧ポケットを支持点とする支持スパンの中央に負圧ポケットによる負荷が作用することになる。支持スパンが長いのでテーブルに作用する曲げ力も大きくなる。負圧ポケットに作用する負圧力が変動すると曲げ力も変動し曲げによるテーブルの変形量も変動する。また、負圧ポケットの外周から空気を吸引して負圧力が低下する恐れがある。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、負圧ポケットに作用する負圧力の変動に対するテーブルの曲げによる変形量を小さくし、さらに負圧ポケットへの空気の吸引を防止することで容易に負圧力を大きくできるスライドテーブル装置を提供する。上記の課題を解決するため、請求項1に係る発明の特徴は、案内面を備えたベース上に、負圧ポケットと支持用の静圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブルを、前記案内面と前記案内部が係合するように搭載するスライドテーブル装置において、前記負圧ポケットを囲むように前記静圧ポケットを設け、前記負圧ポケットと前記静圧ポケットを区分する突起である負圧ランドと前記案内面の隙間が、前記静圧ポケットの外側を囲む突起である静圧ランドと前記案内面の隙間より小さいことである。請求項1に係る発明によれば、静圧ポケットに作用する支持力と負圧ポケットに作用する吸引力はポケットの外部に曲げ力を及ぼさないので、吸引するための負圧力が変動しても、曲げによるテーブルの変形量の変動が小さなスライドテーブル装置を提供できる。さらに、負圧ポケットの周りの負圧ランドと案内面の隙間が、静圧ランドと案内面の隙間より小さいので、負圧ポケットの密閉性が高く大きな負圧を発生できる。以下、本発明の実施の形態をV-平型の静圧案内面を備えたスライドテーブル装置の事例に基づき説明する。図1に示すように、スライドテーブル装置1は、V型案内面2aと平型案内面2bを備えたベース2と、ベース2上に往復可能でリニアモータ4で駆動されるテーブル3を備えている。図2に示すように、テーブル3は下面にV型案内部3Aと平型案内部3Bを備え、ベース4のV型案内面2aとV型案内部3Aが係合し、ベースの平型案内面2bと平型案内部3Bが係合する。V型案内部3Aは案内面静圧ランド3eに1対の複合ポケット3a、3bを備え、平型案内部3Bは案内面静圧ランド3fに複合ポケット3c、3dを備えている。複合ポケット3aはV型案内部3Aに設けた窪みである負圧ポケット3a1、負圧ポケット3a1を囲んで設けた溝である静圧ポケット3a2、及び負圧ポケット3a1と静圧ポケット3a2の間を区分し案内面3eよりも大きく突き出た突起部である負圧ランド3a3で構成される。同様にして、複合ポケット3bは負圧ポケット3b1、静圧ポケット3b2、及び案内面3eよりも大きく突き出た突起部である負圧ランド3b3で構成される。複合ポケット3cは平型案内部3Bに設けた窪みである負圧ポケット3c1、負圧ポケット3c1を囲んで設けた溝である静圧ポケット3c2、及び負圧ポケット3c1と静圧ポケット3c2の間を区分し案内面3fよりも大きく突き出た突起部である負圧ランド3c3で構成される。同様にして、複合ポケット3dは負圧ポケット3d1と静圧ポケット3d2、及び負圧ポケット3d1と静圧ポケット3d2の間を区分し案内面3fよりも大きく突き出た突起部である負圧ランド3d3で構成される。図3に示すように、テーブル3は負圧ポケット3a1、3c1に連通する吸引流路3gを備え、吸引流路3gは吸引管路5に連通している。吸引管路5はエジェクタ6の吸引口6aに接続している。エジェクタ6の噴出口6bには供給管路8が接続し、供給管路8にはポンプ7が接続している。エジェクタ6の排出口6cには排出管路9が接続し、回収用のタンク11へ連通している。同様にして、負圧ポケット3b1、3d1も図示しない吸引管路を経由してエジェクタ6の吸引口6aに接続している。図4に示すように、テーブル3は静圧ポケット3a2、3c2に絞り3iを経由して連通する供給流路3hを備え、供給流路3hは供給管路10を経由してポンプ7に連通している。同様にして、静圧ポケット3b2、3d2も図示しない供給管路を経由してポンプ7に連通している。スライドテーブル装置1の作動について説明する。ポンプ7が起動するとポンプ7で昇圧された潤滑油が供給管路8を経由してエジェクタ6の噴出口6bに供給され、高速の潤滑油が噴出口6bから排出口6cに流入し吸引口6aには負圧力が発生する。この負圧力により、吸引管路5、吸引流路3gを経由して負圧ポケット3a1、3b1内の潤滑油を吸引することで、負圧ポケット3a1、3c1が負圧力となる。同様にして負圧ポケット3b1、3d1も負圧力となる。これにより、負圧ポケット3a1、3b1、3c1、3d1に吸引力が発生しテーブル3をベース2に引き寄せる。同時に、ポンプ7で昇圧された潤滑油が供給管路10、供給流路3h、絞り3iを経由して静圧ポケット3a2、3c2に供給される。同様にして、昇圧された潤滑油が3b2、3d2に供給される。これにより、静圧ポケット3a2、3b2、3c2、3d2にテーブル3を浮上せる支持力が発生する。図5に、静圧ポケット3a2、3b2、3c2、3d2の浮上力によりテーブル3が浮上した状態の複合ポケット3cの詳細を示す。負圧ランド3c3が案内面3fより突出しているので、負圧ランド3c3とベース2の案内面2bの隙間t1は案内面3fと案内面2bの隙間t2より小さい。このため、静圧ポケット3c2から流出する潤滑油は主にポケット外周の隙間t2から流出し、内側の負圧ポケット3c1へ流入する量は少ない。さらに静圧ポケット3c2により負圧ポケット3c1への空気の流入は遮断されるので、負圧ポケット3c1から少量の潤滑油を吸引するだけで負圧ポケット3c1内は大きな負圧力となる。同様にして、他の負圧ポケットにおいても少量の潤滑油を吸引するだけで負圧ポケット内は大きな負圧力となる。この結果、エジェクタ6の吸引量を大きくしなくても、テーブル3を大きな吸引力でベース2に引き寄せることができる。テーブル3に作用する曲げ力の説明をする。テーブル3の重量は重心位置から各静圧ポケットの距離に応じて各静圧ポケットに重量負荷として配分され、重心位置と静圧ポケットの距離に応じた所定の曲モーメントが発生しテーブルは曲がる。テーブル3の重量は一定であるため、これに起因する曲げ変形も一定である。一方、負圧ポケットの吸引力と静圧ポケットの支持力は各複合ポケット内で釣り合うため、複合ポケットの外部に及ぶ曲げ変形は少ない。以上のように、本発明によればエジェクタ6の吸引量を大きくしなくても、テーブル3を大きな吸引力でベース2に引き寄せることができ、テーブル3の上下方向の運動を規制して安定した送り運動が可能となる。さらに、負圧ポケットの吸引力と静圧ポケットの支持力により発生する曲げ変形を小さくできる、このため、エジェクタ6の流速変動などによる負圧ポケットの吸引力の変動が生じても、テーブルの曲げ変形量の変動を小さくできる。