"微小動物による生物処理において、生物処理槽内に設けられる微小動物保持用の揺動床担体であって、発泡プラスチック製のシート状物を有することを特徴とする揺動床担体。請求項1において、前記シート状物は、前記生物処理槽の深さ方向長手方向の長さが100~400cmで短手方向の長さが5~200cmで厚みが0.5~5cmであることを特徴とする揺動床担体。請求項1又は2において、前記シート状物は、見掛け表面積が500cm2以上の面を少なくとも2面有することを特徴とする揺動床担体。請求項1ないし3のいずれか1項において、前記シート状物は、軟質ポリウレタンフォームよりなることを特徴とする揺動床担体。有機性排水中の有機物を除去する生物処理槽において、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の微小動物保持用の揺動床担体を備えることを特徴とする有機性排水の生物処理槽。有機性排水中の有機物を除去する生物処理方法において、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の微小動物保持用の揺動床担体を設けた生物処理槽に該有機性排水を通水することを特徴とする有機性排水の生物処理方法。二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽を備え、第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水して生物処理する有機性排水の生物処理装置において、該第二生物処理槽以降の少なくとも一つの生物処理槽が請求項5に記載の生物処理槽であることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽の第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水して生物処理する有機性排水の生物処理方法において、該第二生物処理槽以降の少なくとも一つの生物処理槽として請求項5に記載の生物処理槽を用いることを特徴とする有機性排水の生物処理方法。本発明は、微小動物による捕食作用を利用した生物処理において、微小動物を保持しやすく、固液分離性の良い汚泥を形成することができる揺動床担体と、この揺動床担体を用いた有機性排水の生物処理槽、生物処理装置及び生物処理方法を提供することを課題とする。本発明者らは、上記課題を解決するべく鋭意検討した結果、微小動物の保持には、流動床担体ではなく、揺動性のある固定床担体が好ましく、この揺動性担体として発泡素材のシート状物が最適であることを見出した。本発明はこのような知見に基いて達成されたものであり、以下を要旨とする。[1]微小動物による生物処理において、生物処理槽内に設けられる微小動物保持用の揺動床担体であって、発泡プラスチック製のシート状物を有することを特徴とする揺動床担体。[2][1]において、前記シート状物は、前記生物処理槽の深さ方向長手方向の長さが100~400cmで短手方向の長さが5~200cmで厚みが0.5~5cmであることを特徴とする揺動床担体。[3][1]又は[2]において、前記シート状物は、見掛け表面積が500cm2以上の面を少なくとも2面有することを特徴とする揺動床担体。[4][1]ないし[3]のいずれかにおいて、前記シート状物は、軟質ポリウレタンフォームよりなることを特徴とする揺動床担体。[5]有機性排水中の有機物を除去する生物処理槽において、[1]ないし[4]のいずれかに記載の微小動物保持用の揺動床担体を備えることを特徴とする有機性排水の生物処理槽。[6]有機性排水中の有機物を除去する生物処理方法において、[1]ないし[4]のいずれかに記載の微小動物保持用の揺動床担体を設けた生物処理槽に該有機性排水を通水することを特徴とする有機性排水の生物処理方法。[7]二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽を備え、第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水して生物処理する有機性排水の生物処理装置において、該第二生物処理槽以降の少なくとも一つの生物処理槽が[5]に記載の生物処理槽であることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。[8]二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽の第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を第二生物処理槽以降の生物処理槽に通水して生物処理する有機性排水の生物処理方法において、該第二生物処理槽以降の少なくとも一つの生物処理槽として[5]に記載の生物処理槽を用いることを特徴とする有機性排水の生物処理方法。本発明の揺動床担体を構成する発泡プラスチック製のシート状物は、水に入れると吸水して膨張するので適度なたわみ性を持ち、また生物処理槽に流入する水の流れや曝気による上向流により適度に揺れて、揺動床を形成する。この吸水して膨張した発泡プラスチック製のシート状物は、十分に大きい表面積を有し、微小動物、特に濾過捕食型微小動物を安定に保持してその生育を促進することができる。このため、本発明の揺動床担体を用いて生物処理槽内に微小動物保持用担体の揺動床を形成することにより、生物処理槽内に微小動物を高濃度に保持して生物処理効率を向上させることができる。また、この揺動床担体により、濾過捕食型微小動物を優先的に増殖させて、固液分離性の良い汚泥を形成することができることから、生物処理水を膜分離装置で固液分離する場合には、分離膜の目詰まりを防止して長期に亘り安定に膜分離を行える。また、生物処理水を凝集処理して沈殿槽などで沈降分離する場合には、凝集剤の添加量を低減することができ、また、沈殿槽において安定した汚泥界面管理を行うことが可能となる。以下に図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。[揺動床担体]まず、図1,2を参照して本発明の揺動床担体の実施の形態を説明する。図1a,bは本発明の揺動床担体の実施の形態の一例を示す斜視図であり、a図は揺動床担体の本体部となる発泡プラスチック製のシート1を示し、b図はこのシート1に固定具2を取り付けたものを示す。本発明の揺動床担体は、好ましくは、図1aに示すような発泡プラスチック製の長方形状の板状ないしは短冊状シートを備え、通常の場合、図1bに示すように、シート1の両短辺部分短手方向辺縁部にそれぞれ固定具2を取り付け、シート面が生物処理槽の深さ方向となるように直立して生物処理槽内に設置される。固定具2は金属製、布製、プラスチック製など材質は限定されず、シート1を生物処理槽に固定したとき固定箇所を引張応力に対して補強できるものであればよい。また、より機械的強度を高めるためにシート1の両短辺部分を1つまたは複数の固定具2で挟んだ上で留め具等接着剤、糸、バンド、固定ネジなどで固定することが望ましい。シート1は、微小動物の産卵、生育に適した広い見掛け表面積この見掛け表面積とは、発泡プラスチックシートの多孔質の発泡セル内表面積を含まないシートの表出外表面積をさす。のシートであることが好ましく、従って、その寸法は、この揺動床担体を設ける生物処理槽の深さ方向以下、この方向を長手方向と称す場合がある。となる長辺1aの長さL1ただし、図1bのように、シート1に固定具2を設けて用いる場合、この長さは固定具2で覆われていない、図1bのL1の長さとなる。が100~400cmで、この長辺1aに直交する短手方向の短辺1bの長さL2が5~200cmで、厚みdが0.5~5cmであることが好ましい。また、取り扱い性、生物処理槽への適用性の面から、L2:L1の長さ比は、L2:L1=1:1~80程度であることが好ましい。シート1の長さL1,L2は、担体の見掛け表面積に影響し、この見掛け表面積については、大きいほど保持する微小動物の成育数が多くなるため好ましい。ただし、この揺動床担体を設ける生物処理槽の深さ方向の長さL1については、曝気による上下流があるため、水の流動性に影響がないことから特に限定されないものの、短手方向の長さシートの幅L2については、水の流動性に影響を与えることから、シートの短手方向の長さL2については、上述の如く、5~200cm、特に5~100cmとすることが好ましい。なお、シートの幅短手方向の長さに対して、この揺動床担体を設ける生物処理槽の幅が大きい場合には、後述の如く、生物処理槽内に設けるシートの枚数を増やして短絡流を防止することが好ましい。また、シート1の厚みdが厚すぎると、シート内部の通水性が低下するため、内部で菌体が腐敗するという問題が生じやすくなる。そのため、シートの厚みdは、必要な強度を確保した上で薄くすることが好ましく、上記のように0.5~5cmとすることが好ましい。また、シート1は、同様に、微小動物の産卵、生育に適した見掛け表面積のシートとするために、見掛け表面積が500cm2以上の面を少なくとも2面有することが好ましい。即ち、例えば図1a,bに示すシート7であれば、L1×L2が500cm2以上、好ましくは1000cm2以上であることが好ましい。この見掛け表面積の上限については特に制限はないが、上述の好適なL1,L2の長さを満たすために、通常80000cm2以下である。また、発泡プラスチック製シートの発泡セルの条件としては、発泡セルの分布が均一なものが好ましい。また、発泡セル数及び発泡セルの孔径は、汚泥が付着し易く、剥れ易い、程度な値に制御することが好ましく、特に、発泡セルが多すぎたり、セル径が大きすぎたりすると、シートの機械的強度が小さくなるため、セル数/25mm25mmの長さの範囲に存在するセル数として、125個/25mm以下、特に100個/25mm以下であることが好ましい。逆に、発泡セルが少な過ぎたり、セル径が小さすぎたりすると、多孔質担体としての機能を十分に得ることができないことから、多孔質担体の機能を十分に発揮させるために、このセル数/25mmは5個/25mm以上、特に25個/25mm以上であることが好ましい。また、このような発泡セル数を実現すると共に、汚泥の付着性と剥離性を良好なものとするために、発泡セルの平均孔径は0.05~10mm、特に0.25~1mmの範囲であることが好ましい。なお、このセル数/25mmについては、走査型電子顕微鏡により撮影したシートの写真を用い、長さ方向の直線25mmに対して交差する発泡セル数を計測する作業を複数箇所について行い、計測結果の平均値を算出して求めることができる。発泡セルの孔径についても同様に計測することができる。このようなシート1を構成する発泡プラスチックとしては特に制限はないが、吸水により膨張して水流や曝気による上向流で適度にたわんで揺動することから、軟質ポリウレタンフォームであることが好ましい。上述のような寸法の薄い板状ないし短冊状の軟質ポリウレタンフォームのような発泡プラスチックのシート状担体であれば、十分な弾力性を有し、生物処理槽内の水の流れの中でたわむ形状維持しないことにより、薄くても十分な機械的強度を持ち、破損しにくい。なお、生物処理槽内に固定したときシート1の固定箇所には力が集中するため、図1bのように固定箇所に予め固定具を取り付けて機械的強度を高めておくことが望ましい。また、たわむことで生物処理槽内の通水の阻害を抑えつつ均一に混合し、シートの発泡セル内にも均等に汚泥含有液が通水されるようになる。即ち、このような、通水の阻害を抑え、また破損し難い、弾性と強度を持つ微小動物保持用担体として、本発明では好ましくは上記のような寸法の軟質ポリウレタンフォーム製シートの揺動床担体を用いる。このような板状ないし短冊状のシート1は、例えば、直方体形状の軟質ポリウレタンフォームを板状ないし短冊状にスライスすることにより製造することができる。本発明の揺動床担体は、これを設置する生物処理槽の容積に対して、揺動床担体のシートの見掛け表面積と生物処理槽返送ラインに生物処理槽がある場合はこの生物処理槽も含む容積との比、見掛け表面積/生物処理槽容積が1~50m-1となるように設けることが、生物処理槽の負荷に適した担体充填率で効率的な生物処理を行う上で好ましい。なお、ここで、揺動床担体の見掛け表面積とは、前述の如く、発泡プラスチックシートの発泡セル内表面積を含まないシートの表出外表面積の合計であり、図1のシート1であればL1×L2×2L1×d×2L2×d×2で算出される。また、生物処理槽に対する本発明の揺動床担体の充填率は、本発明の揺動床担体を設置する微小動物による生物処理槽以降の生物処理槽の総容積の0.5以上、特に1~10であることが、生物処理槽の負荷に適した担体充填率で効率的な生物処理を行う上で好ましい。ここで、担体充填率とは、生物処理槽の総容積に対するシートの見掛け体積の合計の割合をさす。ここでこの見掛け体積とは発泡セルの孔内容積を勘案しない体積であり、図1のシート1であればL1×L2×dで算出される。生物処理槽では、微小動物を維持するための多量の足場が必要となるが、過度に担体の充填率が多いと槽内の混合不足、汚泥の腐敗などが起こるため、添加する担体の充填率は、上記範囲とすることが望ましい。従って、本発明の揺動床担体は、1枚のシートのみでは上記充填率を満たすことができない場合には、図1bに示すように、固定具2を取り付けたシート1の複数枚をユニット化して生物処理槽内に設けることが好ましい。図2は、シート1をユニット化した担体ユニットを示す斜視図である。図2aに示す担体ユニット11は、複数枚図2aでは4枚であるが、何ら4枚に限定されない。のシート1を、各シート1をその長手方向を上下方向生物処理槽深さ方向:鉛直方向とし、かつ、シート面を面一状に揃えて、相互間に若干の隙間をあけて、図2aにおけるX方向に配列させて固定具2を介して図示しない留め具等接着剤、糸、バンド、固定ネジなどで互いに固定することにより、配列体3とし、この配列体3を複数体図2aでは5体であるが、何ら5体に限定されない。、各配列体3同士の間に若干の間隙をあけて、Y方向に並列配置し、各配列体3の固定具2を介して図示しない留め具により固定してユニット化したものである。図2bに示す担体ユニット12は、図2aに示す担体ユニット11をSUS等の材質よりなるフレーム4に図示しない留め具等により固定したものである。このように、シート1を複数枚並列配置してユニット化したものを生物処理槽内に設けることにより、揺動床担体を容易に最適な充填率となるように生物処理槽内に設けることができる。なお、図2aに示す担体ユニット11は、これを直接生物処理槽内の内壁面に留め具等で固定して設置することができる。図2bに示す担体ユニット12であれば、これを生物処理槽内に単に設置するのみでもよく、フレーム4部分を生物処理槽内壁に固定して設置してもよい。なお、揺動床担体は、シート1の長手方向が生物処理槽の深さ方向となるように生物処理槽内に設けられるが、シート1の短手方向については、生物処理槽の有機性排水原水の流入側から流出側への通水方向であっても通水方向と交差する方向でもいずれでもよい。[有機性排水の生物処理槽]本発明の有機性排水の生物処理槽は、上述のような本発明の揺動床担体を好ましくは上述の好適な担体充填率で設けたことを特徴とする。図3,4は、このような本発明の生物処理槽の実施の形態を示す斜視図であって、図3の生物処理槽21は、揺動床担体のシート1のシート面が有機性排水原水の通水方向と交差直交する方向となるように前述の配列体3を設けたものである。図3において、22は処理水流出配管である。また、図4の生物処理槽31は揺動床担体のシート1のシート面が有機性排水原水の通水方向となるように前述の配列体3をユニット化したものを設けたものであり、図4において32は処理水流出配管である。このように、生物処理槽の幅や長さに応じて揺動床担体の数を増やして短絡流を防止することが、処理を確実に行う上で好ましい。なお、シート1をユニット化しない場合は例えば槽内のシート設置場所に複数の棒状部材を設置し、各配列体3の固定具2を留め具結束バンド、金属製フック、ピアノ線等で複数の棒状部材に固定することにより、生物処理槽にシート1を設置することができる。[有機性排水の生物処理装置及び生物処理方法]本発明の有機性排水の生物処理装置及び生物処理方法は、上述のような本発明の生物処理槽を用いて生物処理を行うことを特徴とするものである。以下に、図5~7を参照して本発明の有機性排水の生物処理装置及び生物処理方法の実施の形態を詳細に説明する。図5~7は本発明の有機性排水の生物処理装置及び方法の実施の形態を示す系統図である。図5~7において、41は第一生物処理槽、42は第二生物処理槽、43は膜分離装置、44は無酸素槽、41A,42Aは散気管、50は微小動物保持担体、44Aは攪拌手段であり、図5~7において同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。図5の態様では、原水有機性排水は第一生物処理槽41に導入され、分散性細菌非凝集性細菌により、有機成分の70以上、望ましくは80以上、さらに望ましくは85以上が酸化分解される。この第一生物処理槽41のpHは6以上、望ましくは8以下とする。ただし、原水中に油分を多く含む場合や電子産業排水、液晶排水、溶剤排水を処理する場合にはpHは8以上としても良い。また、第一生物処理槽41への通水は、通常一過式とされ、第一生物処理槽41のBOD容積負荷は1kg/m3/d以上、例えば1~20kg/m3/d、HRT原水滞留時間は24h以下、好ましくは8h以下、例えば0.5~8hとすることで、分散性細菌が優占化した処理水を得ることができ、また、HRTを短くすることでBOD濃度の低い排水を高負荷で処理することができる。第一生物処理槽41には、後段の生物処理槽からの汚泥の一部を返送したり、この第一生物処理槽41を二槽以上の多段構成としたり、担体を添加したりすることにより、BOD容積負荷5kg/m3/d以上の高負荷処理も可能となる。第一生物処理槽41に担体を添加する場合、担体の形状は、球状、ペレット状、中空筒状、糸状、板状等の任意であり、大きさも0.1~10mm程度の径において任意である。また、担体の材料も天然素材、無機素材、高分子素材等任意であり、ゲル状物質を用いても良い。また、第一生物処理槽41に添加する担体の充填率が高い場合、分散菌は生成せず、細菌は担体に付着するか、糸状性細菌が増殖する。そこで、第一生物処理槽41に添加する担体の充填率を20以下、望ましくは10以下とすることで、濃度変動に影響されず、捕食しやすい分散菌の生成が可能になる。また、この第一生物処理槽41は溶存酸素DO濃度を1mg/L以下、好ましくは0.5mg/L以下として、糸状性細菌の増殖を抑制しても良い。なお、第一生物処理槽41で溶解性有機物を完全に分解した場合、第二生物処理槽42ではフロックが形成されず、また、微小動物増殖のための栄養も不足し、圧密性の低い汚泥のみが優占化した生物処理槽となる。従って、第一生物処理槽41での有機成分の分解率は100ではなく、95以下、望ましくは85~90となるようにすることが好ましい。第一生物処理槽41の処理水第一生物処理水は、後段の第二生物処理槽42に通水し、ここで、残存している有機成分の酸化分解、分散性細菌の自己分解及び微小動物の捕食による余剰汚泥の減量化を行う。本発明において、この第二生物処理槽42には、前述の本発明の揺動床担体が微小動物保持担体50として、前述の好適な充填率で設けられている。第二生物処理槽42では、細菌に比べ増殖速度の遅い微小動物の働きと細菌の自己分解を利用するため、微小動物と細菌が系内に留まるような運転条件及び処理装置を用いる必要がある。そこで第二生物処理槽42には、汚泥返送を行う活性汚泥法又は膜式活性汚泥法を用いることが望ましい。また、この第二生物処理槽42は二槽以上の多段構成としても良い。膜式活性汚泥法の場合、膜分離装置は槽内型生物処理槽内浸漬型、生物処理槽/膜浸漬槽別置型、槽外型のいずれでもよいが、生物処理槽/膜浸漬槽別置型や槽外型とすることにより、高負荷時に捕食が遅れた分散菌による膜の目詰まりを防止することができる。本発明においては、この第二生物処理槽42内に微小動物保持担体50を設けることにより、微小動物、特に分散菌を効率的に捕食して汚泥の固液分離性と処理水質向上に寄与する固着性の濾過捕食型微小動物の槽内保持量を高める。即ち、前述の如く、第二生物処理槽42では、分散状態の菌体を捕食する濾過捕食型微小動物だけでなく、フロック化した汚泥を捕食できる凝集体捕食型微小動物も増殖する。後者は遊泳しながら、フロックを捕食するため、優先化した場合、汚泥は食い荒らされ、固液分離性の悪い微細化したフロック片が散在する汚泥となる。そこで、本発明では、この第二生物処理槽42において、槽汚泥を定期的に入れ替える、即ち、微小動物や糞を間引くため、SRT固形分滞留時間を望ましくは60日以下、より望ましくは45日以下、さらに望ましくは10日以上45日以下の範囲内で一定に制御する。ただし、第二生物処理槽42内の汚泥濃度MLSSが2000mg/L以下となる場合は、SRT>60日としてもよい。ここで、SRT=槽内汚泥濃度×曝気槽容積÷であり、槽内汚泥濃度MLSSは浮遊汚泥の濃度を指し、担体付着汚泥分は含めない。その上で、分散状態の菌体を捕食する濾過捕食型微小動物を第二生物処理槽42内に十分に維持するために、第二生物処理槽42内に微小動物保持担体50を設ける。即ち、この種の微小動物は汚泥フロックに固着し、系内に維持されるが、汚泥は一定の滞留時間で系外へ引き抜かれるため、供給源を系内に設ける必要がある。この時、担体を粒状や角型の流動床とすると、流動のための剪断力で、高濃度での安定保持ができないだけでなく、流動床で有機物が完全に処理され、汚泥フロックの微細化、これによる膜の閉塞につながる。そこで、本発明では、第二生物処理槽42に設ける担体として、前述の本発明の揺動床担体を用いて微小動物を安定に保持させる。本発明において、第二生物処理槽42へ投入する第一生物処理水中に有機物が多量に残存した場合、その酸化分解は後段の処理槽で行われることになる。微小動物が多量に存在する第二生物処理槽42で細菌による有機物の酸化分解が起こると、微小動物の捕食から逃れるための対策として、捕食されにくい形態で増殖することが知られており、このように増殖した細菌群は微小動物により捕食されず、これらの分解は自己消化のみに頼ることとなり、汚泥発生量低減の効果が下がってしまう。そこで、前述のように、第一生物処理槽41では有機物の大部分、すなわち70以上、望ましくは85~90を分解し、菌体へと変換しておく必要がある。しかし、一方で、二段目以降への有機物負荷が極端に低いと、槽内に定着していた菌は減少し、微小動物や細菌の保持が困難になる。よって、二段目以降の生物処理槽への有機物汚泥負荷が適切な範囲内になるよう制御する必要がある。ここで、指標をBODとすると、第一生物処理槽41で除去し切れなかった難分解性有機物を低く見積もる場合がある。そこで、指標としては溶解性TOC汚泥負荷を適用することが最も有効であり、第二生物処理槽42への溶解性TOC汚泥負荷が0.005~0.05kg-溶解性TOC/kg-MLSS/dとなるように運転することが望ましい。ここでは、MLSSは浮遊汚泥と担体付着汚泥を示す。図5において、第二生物処理槽42からの処理水は、槽外型の膜分離装置43に送給し、膜分離装置43の透過水を処理水として取り出すと共に、濃縮水を第二生物処理槽42の上流に返送し、余剰汚泥を第二生物処理槽42から直接引き抜く。このように固液分離手段として膜分離装置43を用いた場合、本発明によれば、凝集体捕食型微小動物の増殖が抑制されるために、従来の活性汚泥の膜分離処理におけるような膜の目詰りの問題が軽減され、膜フラックスを安定させて薬品洗浄頻度を低減することができると共に、突発的な汚泥の分散化を防ぐことができ、膜分離装置の運転管理を容易にすることができる。槽外型の膜分離装置43としては特に制限はなく、限外濾過UF膜分離装置、精密濾過MF膜分離装置等を用いることができる。図6に示す態様は、原水の一部、例えば、5~50程度を、第一生物処理槽41を経ることなく直接第二生物処理槽42に導入する点が図5に示す態様と異なり、その他は同様の構成とされている。このように、原水の一部を直接第二生物処理槽42に導入することにより、原水変動時負荷低下時の第二生物処理槽の負荷不足を回避できるという効果が奏される。なお、生物処理槽が三段以上の多段の場合も、二段目以降の有機物負荷が低いときは、例えば図6のように有機性排水の一部をバイパスして一段目の生物処理槽を経ることなく二段目以降の生物処理槽に導入することにより二段目以降の生物処理においても好ましい汚泥負荷に維持することができる。図7に示す態様は、微小動物を保持する第二生物処理槽42内の汚泥の一部を引き抜いて無酸素槽44で処理した後返送することにより、微小動物保持生物処理槽42内で、凝集体捕食型微小動物の増殖を更に抑制して濾過捕食型微小動物を優先的に増殖させるようにしたものであり、その他は、図5の態様と同様の構成とされている。即ち、このように、無酸素槽44を設け、この無酸素槽44に第二生物処理槽42から引き抜いた汚泥を所定時間滞留させることにより、遊泳性の微小動物の増殖を阻害することで、生物相の安定化を図る。この場合、第二生物処理槽42には微小動物保持担体50が設けられており、濾過捕食型微小動物は担体50側に一定量が保持されるため、濾過捕食型微小動物の増殖が阻害されることはない。第二生物処理槽42から引き抜かれ、無酸素槽44で処理された汚泥は第二生物処理槽42に返送される。第二生物処理槽42から無酸素槽44へ引き抜く汚泥量、及び無酸素槽44での汚泥の滞留時間は、処理状況に応じて適宜決定されるが、通常汚泥の引き抜き量は槽容量に対して1/30倍量/日以上、また、無酸素槽44での汚泥の滞留時間は0.5時間以上とすることが好ましい。本発明において、無酸素槽44では、微小動物の増殖を阻害するため、ORPを0mV以下とする必要がある。そのため、無酸素槽44では曝気は行わず、機械攪拌のみとすることが望ましい。また、ORPの低下を促進するために第一生物処理水や原水の一部を通水し、酸生成反応や脱窒反応によりORPを下げるようにしても良い。また、無酸素槽44でのORP低下脱窒反応、酸生成反応を安定して進行させるため、無酸素槽44に担体を添加しても良い。無酸素槽44でのORPが低ければ、遊泳性微小動物の活性低下は促進されるため、無酸素槽44での第二生物処理槽汚泥の滞留時間を短くでき、無酸素槽44を小型化することができる。添加する担体の形状は流動床の場合は球状、ペレット状、中空筒状、糸状の任意であり、大きさも0.1~10mm程度の径で任意である。固定床を用いても良く、その場合の担体の形状は、糸状、板状等任意である。更に、材料についても天然素材、無機素材、高分子素材等任意で、ゲル状物質を用いても良い。無酸素槽44に担体を添加する場合、その充填率は流動床、固定床の形式の違いや材質により異なるが、0.5~40とすることが望ましい。図5~7は、本発明の実施の形態の一例を示すものであり、本発明は何ら図示のものに限定されない。例えば、第一生物処理槽、第二生物処理槽は、前述の如く、二段以上の多段構成としてもよく、従って、本発明では、生物処理槽を三段以上に設けてもよい。また、生物処理水の固液分離は、膜分離装置に限らず、沈殿槽を用いて凝集、沈降分離を行ってもよく、また、この固液分離は浮上分離であってもよい。いずれの態様においても、本発明によれば、第二生物処理槽以降の生物処理槽に微小動物保持担体として本発明の揺動床担体を設けるとことにより、濾過捕食型微小動物を安定に維持することで、汚泥減量と処理水水質の向上とを両立させることができ、この第二生物処理槽以降の生物処理水を膜分離装置で固液分離することにより、膜分離装置の膜の閉塞を防止して、安定した高負荷処理が可能となる。また、第二生物処理槽以降の生物処理水を凝集沈降分離する場合においては、凝集剤の添加量を低減することができ、また、沈殿槽において安定した汚泥界面管理を行うことが可能となる。以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。[実施例1]図5に示す如く、容量が36Lの第一生物処理槽41と、容量が150Lの第二生物処理槽42と、UF膜分離装置43とを連結させた実験装置を用いて、本発明による有機性排水の処理を行った。原水は、CODCr:1000mg/L,BOD:640mg/Lの人口基質を含むものである。各生物処理槽の処理条件は次の通りとした。<第一生物処理槽>DO:0.5mg/LBOD容積負荷:3.85kg-BOD/m3/dHRT:4hpH:7.0<第二生物処理槽>DO:4mg/L担体充填率:2HRT:17hSRT:30日pH:7.0溶解性TOC汚泥負荷:0.01kg-溶解性TOC/kg-MLSS/dなお、第二生物処理槽42の担体50としてはシート状の軟質ポリウレタンフォーム長さ100cm×幅30cm×厚み1cm/1枚;発泡セルの平均孔径0.1mm;セル数50個/25mm1枚を用い、槽内に縦長に配置した担体の長手方向を槽の深さ方向とする。。なお、このとき揺動床担体の見掛け表面積m2/第二生物処理槽容積m3=4.1m-1、揺動床担体の充填率は2であった。担体50は、上下両端をフレームに固定し、このフレームを第二生物処理槽の内壁面に留め付けて固定した。装置全体でのBOD容積負荷は0.73kg-BOD/m3/dであり、装置全体でのHRTは21hであった。その結果、第二生物処理槽42内の汚泥フロック、担体50には固着性の濾過捕食型微小動物ツリガネムシ、ヒルガタワムシが優先化し、汚泥転換率は0.1kg-MLSS/kg-CODCrとなった。処理水膜分離装置43の透過水水質は、溶解性CODCr濃度が20mg/L未満と、試験期間中、常時良好な状態を維持していた。また、膜分離装置43の膜間差圧の上昇はほとんど無く、1ヶ月以上薬品洗浄を行わなくても、安定したフラックスを維持することができた。[比較例1]第二生物処理槽42の担体50として紐状物1mのポリエステルの縦糸に横糸を1cm間隔に2本ずつ固定したものを2本用い紐状物の延伸方向が深さ方向になるようにしてそれぞれ上端と下端を固定具を用いて槽内に固定して形成した揺動床を用いたことを除いて実施例1と同じ条件で処理を行った。その結果、汚泥フロック、担体には濾過捕食型微小動物と凝集体捕食型微小動物が混在し、汚泥もやや解体していた。汚泥転換率は0.12kg-MLSS/kg-CODCrで、処理水水質は溶解性CODCr濃度が30mg/L未満だったが、膜分離装置43の差圧上昇は実施例1より大きく1週間に一度の薬品洗浄が必要となった。[参考例1]第二生物処理槽42の担体50として用いたシート状の軟質ポリウレタンフォームの寸法を、長さ100cm×幅5cm×厚み1cm最も広い面の見掛け表面積:500cm2とし、揺動床担体の見掛け表面積m2/第二生物処理槽容積m3=0.8m-1としたこと以外は実施例1と同じ条件で処理を行った。その結果、汚泥フロック、担体には濾過捕食型微小動物と凝集体捕食型微小動物が混在し、汚泥もやや解体していた。汚泥転換率は0.11kg-MLSS/kg-CODCrで処理水水質は溶解性CODCr濃度が30mg/L未満だったが、膜分離装置43の差圧上昇は実施例1より大きく2週間に一度の薬品洗浄が必要となった。"