"ある厚さと高さの横断面を有する少なくとも1つのリーフ2を備え、前記リーフ2が、リーフの高さ方向に延びるとともにブリッジ5と互い違いになる複数の開口部3を含むことを特徴とするテンプ-ひげゼンマイ振動体用ひげゼンマイ。リーフ2がコイルを形成し、開口部3が少なくとも1つのコイルの全長にわたり分布する請求項1に記載のひげゼンマイ。開口部3がリーフ2の全長にわたり分布する請求項2に記載のひげゼンマイ。開口部3が細長形状を有し、リーフ2が、相互に連結されるとともに開口部3によって隔てられた2つの等間隔部分4を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のひげゼンマイ。ブリッジ5がリーフ2の長さ方向に沿って等間隔に存在する請求項1から4のいずれか一項に記載のひげゼンマイ。ブリッジ5間の角度差αが5°~360°の間から選択される請求項5に記載のひげゼンマイ。ブリッジ5間の角度差αが、内側コイル上では30°であり、外側コイル上では15°である請求項5又は6に記載のひげゼンマイ。リーフ2に沿ったブリッジ5間を隔てる直線間隔が一定である請求項1から4のいずれか一項に記載のひげゼンマイ。リーフ2が、コイルに沿って一定の全厚さe’を有する請求項1から8のいずれか一項に記載のひげゼンマイ。リーフ2が、コイルに沿って変化する全厚さe’を有する請求項1から8のいずれか一項に記載のひげゼンマイ。リーフ2がシリコン、ダイアモンドまたは石英で作製される請求項1から10のいずれか一項に記載のひげゼンマイ。リーフ2が、コア12と、コア12を覆う外部材料層13とを備え、コア12と外部材料層13の寸法の比がリーフ2に沿って一定のままである請求項1から10のいずれか一項に記載のひげゼンマイ。リーフ2のコア12がシリコン製であり、外部材料層13が二酸化ケイ素SiO2製であることを特徴とする請求項12に記載のひげゼンマイ。開口部3が円形または楕円形であることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載のひげゼンマイ。ある厚さと高さの横断面を有する少なくとも1つのリーフ2を作製する、テンプ-ひげゼンマイ振動体用ひげゼンマイの製造方法において、リーフ2の高さ方向に延びるとともにブリッジ5と互い違いになる複数の開口部3をリーフ2内に作製することを特徴とする方法。リーフ2がコイルを形成し、開口部3を少なくとも1つのコイルの全長にわたり作製する請求項15に記載の方法。リーフ2の全長にわたり分布する開口部3を有するリーフを作製する請求項16に記載の方法。リーフ2が、開口部を持たない一定の断面積の基準リーフ1の剛性と同じ剛性を有するように、開口部3およびリーフ2の厚さを寸法設定する請求項15から17のいずれか一項に記載の方法。細長形状を有する開口部3と、相互に連結され開口部3によって隔てられた2つの等間隔部分4を有するリーフ2とを作製する請求項18に記載の方法。開口部のない基準リーフ1の厚さの半分を下回る寸法の厚さeをそれぞれが有するとともに、開口部3において基準リーフ1の厚さの半分を上回る間隔だけ隔てられた、2つの等間隔部分4を作製する請求項19に記載の方法。リーフ2の2つの等間隔部分4の厚さeとしてそれぞれが基準リーフ1の厚さの1/4に等しい厚さを選択し、リーフ2の全厚さe’として基準リーフ1の厚さの1.05倍に等しい厚さを選択する請求項20に記載の方法。本発明の目的は、質量の高いひげゼンマイの剛性と同等の剛性を確保しつつ、時計部品用ひげゼンマイの質量を減らすことである。この目的のため、本発明は、ある厚さと高さの横断面を有する少なくとも1つのリーフを備え、前記リーフが、リーフの高さ方向に延びるとともにブリッジと互い違いになる複数の開口部を含むことを特徴とするテンプ-ひげゼンマイ振動体用ひげゼンマイを対象とする。このように本発明のおかげで、リーフの質量が減少し、その結果、テンプ-ひげゼンマイ調速機構の等時性が向上する。本発明の一実施形態によれば、リーフがコイルを形成し、開口部が1つのコイルの少なくとも全長にわたり分布する。本発明の別の実施形態によれば、開口部がリーフの全長にわたり分布する。開口部は、1つまたは複数のコイルの全長またはリーフの全長にわたり、ブリッジ間の間隔を一定にするか、またはブリッジ間の角ピッチを一定にするなど、等間隔に分布させても、あるいはブリッジ間の角度ピッチまたは間隔を変化させるなど、不等間隔に分布させてもよい。有利には、リーフが一定の断面積を有し開口部を持たない基準リーフの剛性と同じ剛性を有するよう、開口部ならびにリーフの厚さの寸法が決定されるので、ひげゼンマイの質量の減少を考慮した衝撃時の、ひげゼンマイの挙動にとって有利である。好ましくは、開口部が細長形状を有し、リーフが、相互に連結され開口部によって隔てられた2つの等間隔部分を含む。変形実施形態では、開口部が円形または楕円形である。一実施形態においては、2つの等間隔部分はそれぞれ、基準リーフの厚さの半分を下回る寸法の厚さを有し、開口部のレベルにおいて、開口部のない基準リーフの厚さの半分を上回る間隔だけ隔てられる。たとえば、リーフの2つの等間隔部分の厚さは基準リーフの厚さの1/4に等しく、リーフの全厚さは、開口部のない基準リーフの厚さの1.05倍に等しい。一実施形態においては、ブリッジがリーフの長さ方向に沿って等間隔に存在し、角度差が一定である。好ましくは、開口部と互い違いなブリッジ間の角度差が1°~360°の間から選択される。一実施形態においては、ブリッジ間の角度差が、内側コイル上では30°であり、外側コイル上では15°である。別の実施形態においては、ブリッジはリーフに沿って一定間隔で存在し、ブリッジ間の間隔が一定である。有利には、リーフがシリコン、ダイアモンドまたは石英で作製される。別法として、リーフは、たとえばNiベースの合金など、金属合金で作製される。一実施形態では、リーフがコイルに沿って一定の厚さを有する。別の実施形態においては、リーフがコイルに沿って変化する厚さを有する。有利には、リーフは、コアの寸法と外部材料層の寸法の比がリーフに沿って一定のままであるように構成された、コアと、このコアを覆う外部材料層とを備える。たとえばリーフのコアはシリコン製であり、外部材料層は二酸化ケイ素SiO2製である。本発明はまたそのようなひげゼンマイの製造方法にも関する。添付の図面に、本発明の対象となるひげゼンマイの一実施形態ならびにこの実施形態の変形形態を例として概略的に示す。ひげゼンマイのリーフは時計部品のテンプ図示せずに接続されるようになされており、テンプ-ひげゼンマイの振動の結果生じるリーフの伸長および収縮の間、同心的に弾性変形する。図1および図3に示すように、従来技術によるひげゼンマイのリーフ1すなわちリボンは、高さhおよび厚さeの矩形断面を有し、テンプの天真に固定するためのひげ玉図示せずに接続された内端と、ひげ持図示せずに接続された外端とを有する。シングルピースのリーフ1は開口部のない基準リーフ1と呼ばれる。好ましくは、このばねは、たとえばシリコンウエハのマスキング、エッチングおよびカットなど、複雑な形状のリーフを作製することができる微細製造技術により、シリコン、ダイアモンドまたは石英のような低密度材料で作製される。説明を簡単にするために、軸方向、径方向および角度方向は慣例的に用いられており、それぞれ、横断面の高さ、横断面の厚さ、リーフの各コイルにほぼ対応する。図2および図11に示す本発明によるひげゼンマイは、質量/剛性比を低くし、最終的にはリーフの質量を少なくするために、リーフの厚さ方向において全長にわたり等間隔で存在する開口部3を有するコイルを形成するリーフ2を含む。言い換えれば、開口部3は、図4により詳細に示すように、2つの等間隔部分4の間でその横断面の高さ方向において、リーフ2を軸方向に貫通する。開口部3は細長形状を有することが好ましい。開口部は、ブリッジ5と互い違いになるリーフ2の等間隔部分4の間に位置し、ブリッジ5が2つの等間隔部分4を連結している。図2に示す本発明による実施形態においては、ブリッジ5はリーフ2に沿って等間隔に30°の角度差αで分布し、開口部3の弦の長さは、リーフ2から外側に向かってひげゼンマイのコイルが一まわりする毎に増大する。ブリッジ5間の角度差αは1°~360°の間から選択することができる。この角度差αは、図10で示すように、内部コイルの場合と、外部コイルの場合とで異なった値を選択することができ、図では内部コイルの場合、角度差は30°に等しく、外部コイルの場合、15°に等しい。また、たとえばコイルdに沿った2点の間隔をほぼ一定に保つために、この角度差を連続的に変化させることもできる。ブリッジ5の配置、開口部3の寸法および部分4の厚さは、図2のリーフ2において、開口部のない基準リーフ1の剛性と同じ剛性が確保されるように構成される。図3に示すように、開口部がなく横断面6が所定の矩形であるこの基準リーフ1は、高さh、厚さeのビームとみなすことができる。そのようなビームの剛性はI=he3/12に等しいその慣性モーメントIに比例することが知られている。図4に示すように、第一近似においてブリッジ5の影響を無視した場合、本発明によるひげゼンマイのリーフ2は、厚さeの等間隔かつ対称的な2つの部分4で形成され部分4の2つの対向平面7を横断する開口部3によって隔てられた、高さh’、全厚さe’のビームとみなすことができる。2つの部分4間の間隔はe’-2eである。そのようなビームの剛性はI=he’3-he’-2e3/12に等しいその慣性モーメントIに比例することが知られている。リーフ2の各部分4の厚さeがe=0.25eに等しい場合、言い換えればリーフ1の質量が50少なくなった場合ブリッジ5の質量は第一近似では無視する、同じ剛性を、したがって同じ慣性モーメントを維持するためには、つまりI’=Iを得るためには、リーフ2の全厚みe’はe’=1.05eに等しくなければならない。一般的に、剛性が一定であるとき、すなわちI=I’を得るためには、リーフ2の2つの等間隔部分4それぞれの厚さeを少なくするほど、その全厚さe’は大きくする。例として、図5の等時性図のグラフを実現するために、半径3.3mmのコイルを17.25回巻いたひげゼンマイのリーフ1が用いられ、コイルの厚さは一定でeはe=45μmに等しく、コイル間のピッチは100μmであり、外側コイルの終端曲線はe’=1.5eに等しい余肉e’を有する。例として、図6の等時性図のグラフを実現するために、先のリーフ1と同じ剛性を有する本発明によるひげゼンマイのリーフ2が用いられた。さらにリーフ2は、内側コイル上では30°毎に、外側コイル上では15°毎にブリッジ5が存在するように、また2つの等間隔部分4の厚さeがe=0.25eに等しく、リーフ2の全厚さe’がe’=1.05eに等しくなるように作製された開口部3を含む。次により詳細に図5および図6を参照すると、上記特徴を有するひげゼンマイのリーフ1およびリーフ2の2つの等時性図上で、テンプ-ひげゼンマイのその平衡位置に対する振動の振幅A単位は度を横座標に取り、使用したひげゼンマイで得られた歩度差M単位は一日あたりの秒を縦座標に示した。これら2つの等時性図は、テンプ-ひげゼンマイ発振器の通常の6つの異なる測定位置において、第一の図ではリーフ1で得られた歩度差を、第二の図ではリーフ2で得られた歩度差を表す、6本の曲線を示す。図5における位置間の歩度差は、振幅が200°~300°の間では典型的には3~4秒/日であり、リーフ1では250°で3.62秒/日の値であるが、図6においては、振幅が200°~300°の間では典型的には1~2秒/日であり、リーフ2では250°で1.82秒/日の値である。したがって本発明によるひげゼンマイのリーフ2により、調速機構の歩度差を著しく減らすことができ、この例では半分にすることができる。図7は、直径5mm、一定厚さ44μmおよびピッチ136μmの14回巻き14コイル熱補償ひげゼンマイのリーフ1曲線を1と称すると、リーフ1を用いたひげゼンマイと同等の巻き数、同等の直径、同等の剛性を有するが、そのひげゼンマイの質量のそれぞれ0.5倍、0.75倍の質量を有する熱補償ひげゼンマイのリーフ2とで得られた最大歩度差ΔMを示す。この図は、リーフの質量を少なくすることにより最大歩度差がほぼ線形に減少することを示している。実際、3本の曲線はほぼ同じ形状を示している。リーフの質量が25減少する毎に、ひげゼンマイの最大歩度差は200°の振幅でほぼ0.5秒/日減少し、これは、テンプ-ひげゼンマイ振動体の振幅の如何に関わらず同様な歩みの減少を示している。本発明によるひげゼンマイのリーフ2の開口部3の形状は、可変厚さリーフの熱補償にとっても有利である。熱補償を行う場合、すなわち、ひげゼンマイを具備するテンプ-ひげゼンマイ振動体の歩度の熱変位を最小限にするためには、ケイ素Siの場合には、特許文献2に記載されているような、たとえば無定形二酸化ケイ素SiO2製の外部材料層11で覆われたケイ素のコア10を含む、開口部のない基準リーフ1を使用できることがわかっている。Si以外の材料の熱補償を行う手段は当業者にとって公知である。ところで、たとえばコイルのピッチおよび厚さが変化するひげゼンマイの場合のように、ひげゼンマイのリーフ1の断面積が変化すると、図8に示すように、コア10と外部材料層11の寸法の比もまた変化し、それにより、熱補償が最適化されなくなる。ブリッジ5により連結された一定厚さeの2つの等間隔部分4から形成される全厚さe’が可変なリーフ2の場合、コア12と外部材料層13の寸法の比は、図9に示すように、たとえ、全厚さe’の著しい変化を示すリーフ2の部分内でも、ひげゼンマイの全長にわたり一定であることが有利である。これにより、リーフ2について、最適化された熱補償を行うことが可能になる。さらに、開口部のあるリーフ2の場合、酸化された表面がより広くなるので、熱補償を行うのに必要なSiO2の厚さは、開口部のない基準リーフ1の場合に必要な厚さに比べて少なくなる。本発明によるリーフ2は、開口部のない基準リーフ1の剛性と同じ剛性を確保しつつ、質量がより少ないので、衝撃による影響を受けにくくなる。本発明は、特許文献3に記載されているような、コイルのピッチおよび厚さが可変のひげゼンマイにも適用できる。リーフに沿って部分の厚さおよびそれらの部分間の間隔を変えることも考えられる。また、2つの部分が異なる厚さを有するようにするか、2つ以上の部分をブリッジで連結して使用することも可能である。またブリッジ間の間隔を変えることもできる。さらに、間隔と全く同様に、リーフの2つの部分それぞれの厚さをリーフに沿って変えることも可能である。さらにまた、2つのリーフが異なる厚さを有するようにし、これらの厚さの比がリーフに沿って変化するようにすることもできる。これらの変形形態により、リーフに沿って剛性を変化させること、および/または生じるトルクとともに変化する剛性を得ることが可能になる。図12aから図12eで示すように、ひげゼンマイの刻時特性をさらに最適化するために、その他のパラメータを変更することもできる。図12aは、リーフの部分の厚さがブリッジ間で変化するひげゼンマイを示すが、これは同部分の断面内で最大応力を一定に保つこと、およびリーフの破断のリスクを最小に抑えることを狙いとする。図12bは多角形を表し、図12cは波状の形状を表す。これらの形状は、内側部分の、つまり屈曲時に圧縮変形する側の圧縮性を調節し、それにより弾性挙動の線形性に影響を与えることを狙いとする。これは、下部の座屈による強い非線形効果を避けることを目的とするものである。もちろんこれらの形状および変化はリーフに沿って変化可能であり、2つのブリッジ間のリーフの各部分は独自の構造を持つことができる。ブリッジの形状および向きを変更すること、および図12dに示す傾斜ブリッジのようにリーフに対し直角方向に向いていないブリッジを使用すること、および/または、図12eに示す波状ブリッジのように、リーフの2つの部分間で厚さおよび/または向きが可変なブリッジを設けることも可能である。最後に、図12fまたは図12gに示すように、リーフに対して直角な方向に向かず、リーフの剛性を上げる効果を有するブリッジを使用することも考えられる。このように、ブリッジの形状、寸法および向きがリーフの剛性に対し多少とも大きな影響を及ぼすことがある。ひげゼンマイの同心的展開およびテンプ-ひげゼンマイの良好な刻時性能を得る目的で、リーフの形状の最適化をはかるために、これらのパラメータをケースバイケースで考慮すべきこともあろう。本発明によるひげゼンマイは、Si、石英、またはダイアモンドについては、DRIE法DeepReactiveIonEtchingのような微細製造技術により、また、NiまたはNiPタイプの合金については、UV-LiGA法Lithographie,Galvanoformung,Abformungにより作製するのが有利である。また、要素の寸法および要求公差上、可能であれば、レーザ切削、ウォータージェット、電気腐食のような従来の方法を用いることもできる。本出願において示さなかったその他の変形実施形態においては、本発明によるひげゼンマイは、特許文献4に記載され図示されているような中間リングによって潜在的に相互に連結可能な、角度的に変位した複数のリーフ2を有することもできる。"