並列接続された複数の電源回路、前記複数の電源回路のからの出力電圧を充電する充電回路、前記充電回路に充電された電圧を閃光放電ランプに印加するためのイグナイタ回路、前記複数の電源回路及び前記イグナイタ回路を制御する制御回路、及び前記充電される電圧を検出して検出充電電圧を前記制御回路に出力する充電電圧検出部を備えた閃光放電ランプ点灯装置であって、前記制御回路が、前記充電回路の充電が開始されてからの前記検出充電電圧の上昇速度が所定範囲を外れた場合に前記複数の電源回路の保護動作を行うように構成された閃光放電ランプ点灯装置。請求項1に記載の閃光放電ランプ点灯装置であって、さらに、前記複数の電源回路の各々の出力電圧を検出して各検出出力電圧を前記制御回路に出力する出力電圧検出部を備え、前記保護動作として、前記制御回路が、前記複数の電源回路のうち前記検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となった異常電源回路の動作を停止させるとともに、前記検出充電電圧の上昇速度が前記所定範囲内である限りは該異常電源回路以外の電源回路の動作を継続し、前記検出充電電圧の上昇速度が該所定範囲以下となった場合に前記複数の電源回路の全てを停止させるように構成された閃光放電ランプ点灯装置。請求項1に記載の閃光放電ランプ点灯装置であって、さらに、前記複数の電源回路の各々の出力電圧を検出して各検出出力電圧を前記制御回路に出力する出力電圧検出部を備え、前記保護動作として、前記制御回路が、前記複数の電源回路のうち前記検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となった異常電源回路の動作を停止させるとともに、該異常電源回路以外の電源回路の出力を上昇させ、該異常電源回路数が所定数を超えた場合に前記複数の電源回路の全てを停止させるように構成された閃光放電ランプ点灯装置。請求項1に記載の閃光放電ランプ点灯装置であって、さらに、前記検出充電電圧の上昇速度が前記所定範囲以上であるのか該所定範囲以下であるのかを示す判別信号を前記制御回路から受けて、該判別信号に基づいて異常を報知する報知手段を備えた閃光放電ランプ点灯装置。請求項2又は3に記載の閃光放電ランプ点灯装置であって、さらに、現在適用されている保護動作を示す保護動作信号を前記制御回路から受けて、該保護動作信号に基づいて異常を報知する報知手段を備えた閃光放電ランプ点灯装置。請求項1に記載の閃光放電ランプ点灯装置であって、さらに、前記複数の電源回路の各々の出力電圧を検出して各検出出力電圧を前記制御回路に出力する出力電圧検出部、及び前記制御回路からの信号に応じて異常を報知する報知手段を備え、前記制御回路が、前記検出出力電圧の上昇速度が前記検出充電電圧の上昇速度に等しくかつ下限値以下の場合には前記充電回路側のリーク故障と判断して充電側故障信号を出力し、該検出出力電圧の上昇速度が該検出充電電圧の上昇速度よりも所定量以上低い場合には前記複数の電源回路のうちのいずれかが故障したと判断して電源側故障信号を出力し、前記報知手段が前記充電側故障信号及び前記電源側故障信号に応じて異なる態様で異常を報知するように構成された閃光放電ランプ点灯装置。請求項6に記載の閃光放電ランプ点灯装置において、前記電源側故障信号が前記複数の電源回路のうちのいずれの電源回路が異常なのかを示す異常電源特定信号であり、前記報知手段が前記異常電源特定信号に応じて、いずれの電源回路が異常であるかを報知するように構成された閃光放電ランプ点灯装置。請求項1から7いずれか一項に記載の閃光放電ランプ点灯装置において、前記検出充電電圧の上昇速度が、前記充電回路の充電が開始されてから前記充電電圧が設定電圧に到達するまでの時間によって決定されることを特徴とする閃光放電ランプ点灯装置。請求項1から8いずれか一項に記載の閃光放電ランプ点灯装置、該閃光放電ランプ点灯装置に接続される閃光放電ランプ、及び該閃光放電ランプが設置される照射器本体を備えた光照射器。近年の閃光放電ランプの高出力化に伴い、点灯装置も大型化する傾向にある。閃光放電ランプの1回の点灯当たりの電力即ち、照度を増加させるためには、蓄電コンデンサ90に充電するエネルギーを大きくする必要がある。その場合、入力フィルタ10、PFC回路20、平滑コンデンサ30、フルブリッジインバータ回路40、昇圧トランス50及び整流回路60からなる電源回路部の電流容量も大きくする必要がある。この場合、図9の構成において1つの電源回路部を大型化するのではなく、電流容量の小さい複数の電源回路を並列接続することが点灯装置のサイズ、コスト、冷却の容易性等の観点から有利となる。ところで、複数の電源回路を並列接続した場合、一部の電源回路が故障しても他の電源回路が正常であれば蓄電コンデンサへの充電は可能である。しかし、故障した電源回路のために充電速度が遅くなった状態で使用し続けると、充電完了を待ってから点灯を行う場合には、所定サイクルで充電及び点灯を反復することができなくなってしまう。また、固定周期で点灯を行う場合には、充分なエネルギーが蓄えられない状態で点灯を行うことになり、1回の点灯あたりの所望の照度が得られなくなる。さらに、故障した電源回路を他の正常な電源回路と同様に通電し続けるのは安全上好ましくない。そこで、本発明は、閃光放電ランプの点灯装置において、複数並列接続された電源回路の一部が故障した場合でも適切な制御を行うことができる点灯装置及び光照射器を提供することを目的とする。本発明の第1の側面は、並列接続された複数の電源回路、複数の電源回路のからの出力電圧を充電する充電回路、充電回路に充電された電圧を閃光放電ランプに印加するためのイグナイタ回路、複数の電源回路及びイグナイタ回路を制御する制御回路、並びに充電される電圧を検出して検出充電電圧を制御回路に出力する充電電圧検出部を備えた閃光放電ランプ点灯装置であって、制御回路は、充電回路の充電が開始されてからの検出充電電圧の上昇速度が所定範囲を外れた場合に複数の電源回路の保護動作を行うように構成された閃光放電ランプ点灯装置である。さらに、複数の電源回路の各々の出力電圧を検出して各検出出力電圧を制御回路に出力する出力電圧検出部を備え、保護動作として、制御回路は、複数の電源回路のうち検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となった異常電源回路の動作を停止させるとともに、検出充電電圧の上昇速度が所定範囲内である限りは異常電源回路以外の電源回路の動作を継続し、検出充電電圧の上昇速度が所定範囲以下となった場合に複数の電源回路の全てを停止させるように構成してもよい。また、複数の電源回路の各々の出力電圧を検出して各検出出力電圧を制御回路に出力する出力電圧検出部を備え、保護動作として、制御回路は、複数の電源回路のうち検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となった異常電源回路の動作を停止させるとともに、異常電源回路以外の電源回路の出力を上昇させ、異常電源回路数が所定数を超えた場合に複数の電源回路の全てを停止させるように構成してもよい。さらに、検出充電電圧の上昇速度が所定範囲以上であるのか所定範囲以下であるのかを示す判別信号を制御回路から受けて、判別信号に基づいて異常を報知する報知手段を備えるようにしてもよい。あるいは、現在適用されている保護動作を示す保護動作信号を制御回路から受けて、保護動作信号に基づいて異常を報知する報知手段を備えるようにしてもよい。また、複数の電源回路の各々の出力電圧を検出して各検出出力電圧を制御回路に出力する出力電圧検出部、及び制御回路からの信号に応じて異常を報知する報知手段を備え、制御回路は、検出出力電圧の上昇速度が検出充電電圧の上昇速度に等しくかつ下限値以下の場合には充電回路側のリーク故障と判断して充電側故障信号を出力し、検出出力電圧の上昇速度が検出充電電圧の上昇速度よりも所定量以上低い場合には複数の電源回路のうちのいずれかが故障したと判断して電源側故障信号を出力し、報知手段が充電側故障信号及び電源側故障信号に応じて異なる態様で異常を報知するように構成してもよい。ここで、電源側故障信号が複数の電源回路のうちのいずれの電源回路が異常なのかを示す異常電源特定信号であり、報知手段が異常電源特定信号に応じて、いずれの電源回路が異常であるかを報知するように構成してもよい。なお、検出充電電圧の上昇速度を、充電回路の充電が開始されてから充電電圧が設定電圧に到達するまでの時間によって決定するようにしてもよい。本発明の第2の側面は、上記第1の側面の閃光放電ランプ点灯装置、閃光放電ランプ点灯装置に接続される閃光放電ランプ、及び閃光放電ランプが設置される照射器本体を備えた光照射器である。実施例1.図1は本発明の閃光放電ランプ点灯装置以下、点灯装置というのブロック図である。点灯装置は、並列接続された第1の系統の電源回路1、第2の系統の電源回路2、電源回路1及び2のからの出力電圧をそれぞれ整流して合流するための整流素子81及び82、蓄電コンデンサ90充電回路、蓄電コンデンサ90に充電されたエネルギーをランプ150に印加するためのイグナイタ回路110、電源回路1、2及びイグナイタ回路110を制御する制御回路100、並びに蓄電コンデンサ90の充電電圧を検出して検出充電電圧を制御回路100に出力する充電電圧検出部95を備える。なお、蓄電コンデンサ90、充電電圧検出部95、イグナイタ回路110及び外部トリガ115は図9に示した従来の構成のものと同様である。電源回路1は、入力フィルタ11、PFC回路21、平滑コンデンサ31、フルブリッジインバータ回路41、昇圧トランス51及び整流回路61を備え、その出力電圧が整流素子81を介して蓄電コンデンサ90に充電される。電源回路2も同様に、入力フィルタ12、PFC回路22、平滑コンデンサ32、フルブリッジインバータ回路42、昇圧トランス52及び整流回路62全て不図示を備えるものとする。なお、整流素子81及び82は電源回路1及び2にそれぞれ含まれるようにしてもよいし、入力フィルタ11及び12は電源回路1及び2の外部に存在するようにしてもよい。また、図1では2個の電源回路を図示しているが、3個以上の電源回路を並列接続することもできる。なお、図を明瞭にするため、電源回路2のグランドラインは図示していない。PFC回路21は一般に昇圧チョッパ回路からなる力率改善回路からなり、交流入力の脈流と連動したPWM制御を行う。本明細書では、PFC回路21と平滑コンデンサ31をまとめて直流出力回路というものとする。なお、本実施例では、直流出力回路としてPFC回路を用いているが、チョークインプット型の回路を用いてもよい。フルブリッジインバータ回路41交流変換回路は、対角配置された4個のトランジスタのうちの対角接続されたトランジスタの対を交互にオンオフすることによって、直流出力回路の直流出力を交流変換する。この交流出力を昇圧トランス51によって昇圧し、ダイオードブリッジ等の整流回路61によって整流する。制御回路100は点灯装置の外部から動作開始指令を受けると充電開始指令を出力して、電源回路1及び2各PFC回路及び各フルブリッジインバータ回路を動作させ、蓄電コンデンサ90の充電を開始する。制御回路100は、充電電圧検出部95によって検出される充電電圧に基づいて充電速度即ち、充電電圧の上昇速度を監視する。本実施例では、充電速度は、充電開始指令が出力されてから充電電圧が設定電圧に到達するまでの所要時間によって決定される。なお、充電速度を、予定充電終了時t1における充電電圧によって決定してもよいし、充電終了時t1以前の充電電圧の上昇の傾斜によって決定してもよい。図2は充電電圧の上昇速度を説明する図である。同図に図示するように、正常動作においては、制御回路100によってt0に充電開始指令が発せられると、t1で充電が終了し、ランプ点灯準備期間を経てt2でイグナイタ回路110が起動されて放電が開始され、t3に点灯が終了する。図示するように、電源回路が全て正常な場合実線に比べて、電源回路のいずれかが故障して出力低下している場合又は出力していない場合破線では、上昇速度が低くなり、充電開始指令が出力されてから充電電圧が設定電圧に到達するまでの所要時間は長くなる。制御回路100はこの充電時間の遅延を異常発生と判断し、点灯装置の保護動作を行う。なお、本実施例の保護動作は全ての電源回路1及び2の停止を意味するが、実施例2以降では種々の態様の保護動作が行われる。また、図2は、異常の発生を充電速度の低下によって判断する例を示しているが、充電速度の増加によって異常発生を判断する処理を加えてもよい。具体的には、充電速度の低下の要因としては、少なくとも1つの電源回路の故障例えば、フルブリッジインバータ回路41を構成するトランジスタが開放故障した場合等、充電回路における絶縁性の低下に起因するリーク故障、ランプ150の短絡故障等が想定される。一方、充電速度の増加の要因としては、蓄電コンデンサ90の劣化による容量の低下等が想定される。従って、充電開始指令を出力してからの充電速度が所定範囲以下となった場合だけでなく所定範囲以上となった場合にも、制御回路100が電源回路1及び2の出力を停止するようしてもよい。充電速度の低下及び増加の双方を検出する場合は、点灯装置にインジケータ等の報知手段不図示を設け、制御回路100から、検出充電電圧が所定範囲以上であるのか、あるいは所定範囲以下であるのかを示す判別信号を報知手段に出力し、判別信号に基づいて報知手段が異常を報知するようにしてもよい。これにより、ユーザは、どのような種類の故障が発生したのかをある程度知ることができる。図3に本実施例のフローチャートを示す。点灯装置の動作が開始されると、ステップS100において、制御回路100は繰返し点灯回数のカウンタnを0にセットする。ステップS101図2のt0において、制御回路100が各電源回路に充電開始指令を出力し、電源回路は充電動作を開始する。ステップS102図2のt1~t2において、制御回路100は、充電電圧検出部95からの検出充電電圧の上昇速度が所定範囲以上であるか、即ち、上限値以上であるか否かを判断する。充電速度が上限値以上Yesの場合例えば、蓄電コンデンサ90の劣化による容量低下等の場合、ステップS104において制御回路100が点灯装置を停止させる。それ以外Noの場合には、処理はステップS103に進む。ステップS103図2のt1~t2において、制御回路100は、充電電圧検出部95からの検出充電電圧の上昇速度が所定範囲以下であるか、即ち、下限値以下であるか否かを判断する。充電速度が下限値以下Yesの場合例えば、ランプ150の短絡故障、少なくとも1つの電源回路の故障等の場合、ステップS104において制御回路100は点灯装置を停止させる。それ以外Noの場合には、処理はステップS120に進む。なお、蓄電コンデンサ90の容量を適切に管理できるのであれば、ステップS102は省略してもよい。また、ステップS102とS103をほぼ同時に行ってもよいし、順序を入れ替えてもよい。さらに、ステップS102又はS103のどちらで異常を検知したのかを、報知手段によってユーザに報知するステップをステップS102及びS103の後に設けてもよい。ステップS120図2のt2において、制御回路100はイグナイタ回路110を動作させてランプ150をフラッシュ点灯させる。点灯が終了すると図2のt3、制御回路100は、ステップS121で繰返し点灯回数のカウンタnを1増分し、ステップ122で繰返し点灯回数nが設定値Xに達したか否かを判断する。点灯回数nが設定値Xに達していれば点灯装置の動作は終了し、達していなければステップS101に戻る。このように、蓄電コンデンサ90における充電速度に基づいて電源回路、充電回路又はランプの故障発生時に点灯装置を停止させ、安全を確保することができるとともに、故障箇所をある程度特定することができる。実施例2.実施例1においては、複数の電源回路のうちの一部の電源回路が故障した場合に点灯装置全体を停止させる構成を示したが、本実施例では、故障した電源回路を停止させるとともに正常な電源回路によって動作を継続する構成を示す。図4に本実施例による点灯装置のブロック図を示す。本実施例の電源回路1~5は、それぞれ図1の電源回路1の構成に加えて、各電源回路の出力電圧を検出して検出出力電圧を制御回路100に出力する出力電圧検出部71~75を備える。充電電圧検出部95と出力電圧検出部71~75の検出結果を組み合わせることにより、故障箇所を特定することができる。なお、図4では5個の電源回路を図示しているが、複数個の電源回路であれば4個以下又は6個以上の電源回路を並列接続する場合にも本発明を適用できる。なお、図を明瞭にするため、電源回路2~5のグランドライン及び各制御配線は図示していない。制御回路100は、電源回路1~5のうち検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となった異常電源回路の動作を停止させるとともに、検出充電電圧の上昇速度が所定範囲以下である限りは残りの電源回路の動作を継続する。その後、他の電源回路も故障して検出充電電圧の上昇速度が所定範囲以下となった場合に、複数の電源回路の全てを停止させる。なお、各電源回路と充電回路の間に整流素子81~85が接続されているので、常に、各電源回路の出力電圧≦充電回路の充電電圧となる整流素子であるダイオードの電圧降下及び故障の可能性は無視している。従って、検出出力電圧の上昇速度が検出充電電圧の上昇速度よりも所定量以上低くなった場合に、検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となったと判断してもよいし、検出出力電圧の上昇速度が、予め設定された固定の下限値以下となった場合に、検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となったと判断してもよい。例えば、電源回路1が故障して出力低下又は不動作状態となった場合、即ち、出力電圧検出部71からの検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となった場合、制御回路100は電源回路1の動作を停止させる。ここで、充電電圧の上昇速度は低下するが、充電電圧設定値への到達時t1 ́がランプ点灯準備期間内即ち、t1 ́≦t2であれば、所望のサイクルの点灯動作を行うことができるので、他の電源回路2~5の動作を継続する。そして、例えば、次に電源回路5も故障して出力がなくなった場合、制御回路は電源5の動作も停止させ、電源回路2~4の動作を継続する。このとき、充電電圧の充電電圧設定値への到達時t1′′がt2を超える場合に、制御回路100は全ての電源回路を停止させる。本実施例では、点灯装置は故障の発生及び故障箇所をユーザに報知する報知手段120を備えていてもよい。即ち、制御回路100が報知手段120に、現在適用されている保護動作を示す保護動作信号を出力し、報知手段120が保護動作信号に基づいてユーザに異常の詳細を報知するようにすればよい。報知手段120は、視覚的ランプ表示、液晶表示等、聴覚的音声等又はその組合せによって上記の情報を報知することができるものとする。なお、図4においては、制御回路100と報知手段120を有線で接続しているが、無線で通信するようにしてもよい。図5に本実施例のフローチャートを示す。ステップS200~S204は実施例1図3のステップS100~S104と同様であるので説明を省略する。ステップS210において、制御回路100は出力電圧検出部71~75によって電源回路1~5のいずれかの出力の上昇速度が下限値以下であるか否か、即ち、異常であるか否かを検出する。制御回路100は、ステップS210で電源回路1~5のいずれかが異常であると判断した場合Yes、ステップS211において、その異常電源回路を停止させるとともにどの電源回路が異常であるかを記憶して再動作しないようにした上でステップS220に進む。それ以外Noの場合、処理はステップS220に進む。ステップS220~S222は実施例1図3のステップS120~S122と同様であるので説明を省略する。なお、ステップS211で1個でも電源回路が故障した即ち、異常であると判断された場合には、その後はステップS202をバイパスするようにしてもよい。これにより、電源回路の一部の故障と蓄電コンデンサ90の劣化が同時に起こった結果として充電電圧の上昇速度が所定範囲内に入ってしまう事象を回避することができる。また、蓄電コンデンサ90の容量を適切に管理できるのであれば、ステップS202は省略してもよい。さらに、ステップS202、S203又はS210のうちのどのステップで異常を検知したのかを、報知手段120によってユーザに報知するステップを設けてもよい。以上の構成により、実施例1における効果に加えて、点灯装置全体の保守間隔を長くすることができる。また、ランプ点灯の繰返しの途中で電源回路の一部が故障した場合でも即座に上記の対処を行う構成とすることにより、故障前後で同じ点灯動作を行うことができ、点灯繰返しの連続性が確保される。実施例3.本実施例では、故障した電源回路を停止させるとともに正常な電源回路によって動作を継続する構成として、実施例2の別法を示す。なお、本実施例の回路構成は実施例2の図4と同様であるが、故障発生時の動作が異なる。制御回路100は、複数の電源回路1~5のうち検出出力電圧の上昇速度が下限値以下となった異常電源回路の動作を停止させるとともに残りの電源回路の出力を上昇させ、制御回路100の不揮発性メモリ101に現在までの電源回路の故障数を記憶しておき、異常電源回路数が所定数を超えた場合に前記複数の電源回路の全てを停止させる。例えば、電源回路1が故障して出力低下又は不動作状態となった場合、即ち、検出出力電圧の上昇速度が所定値以下となった場合、制御回路100は電源回路1の動作を停止させるとともに、残りの電源回路2~5の出力を約1.25倍上昇させる。具体的には、故障していない4個の電源回路の各PFC回路の昇圧比を上昇させればよい。また、故障していない4個の電源回路の各フルブリッジインバータ回路のオンデューティを増加させるようにしてもよい。但し、この場合には、全ての電源回路が正常に動作している間のオンデューティを減少させておく必要がある。これにより、複数の電源回路の一部が故障しても充電速度は低下せず、通常通りの充電及び点灯の繰返しを行うことができる。その後、次に電源回路5か故障した場合、制御回路100は電源回路5の動作を停止させる。そして、制御回路100の不揮発性メモリ101に記憶された現在までの故障数本例では、2が所定数本例では、1を超えた時点で、制御回路100は全ての電源回路を停止する。本実施例でも、実施例2と同様に、点灯装置は故障の発生及び故障箇所をユーザに報知する報知手段120を備えていてもよい。即ち、制御回路100が報知手段120に、現在適用されている保護動作を示す保護動作信号を出力し、報知手段120が保護動作信号に基づいてユーザに異常の詳細を報知するようにすればよい。図6に本実施例のフローチャートを示す。ステップS300~S304は実施例1図3のステップS100~S104と同様であるので説明を省略する。ステップS310において、制御回路100は出力電圧検出部71~75によって電源回路1~5のいずれかの出力の上昇速度が所定値以下であるか否かを検出する。ステップS310で制御回路100が電源回路1~5のいずれかが異常であると判断した場合Yes、ステップS311において、その異常電源回路を停止させるとともにどの電源回路が異常であるかを記憶して再動作しないようにする。ステップS312において、制御回路は電源回路の故障数が所定値を超えているか否かを判断し、超えていると判断した場合Yes、ステップS313において制御回路100は全ての電源回路を停止させる。それ以外Noの場合、処理はステップS314に進む。ステップS314において、制御回路100は異常電源回路以外の電源回路の出力設定値を上昇させる。これにより、次回の充電動作における充電速度が確保される。ステップS320~S322は実施例1図3のステップS120~S122と同様であるので説明を省略する。以上により、複数の電源回路の一部が故障しても充電速度は低下せず、通常通りの充電及び点灯の繰返しを行うことができる。また、複数の電源回路のうちの一部を予備用としておき、現用の電源回路が故障した場合に予備用の電源回路が動作を開始するような冗長構成を採用してもよい。以上の構成により、点灯装置全体の保守間隔を長くすることができる。また、ランプ点灯の繰返しの途中で電源回路の一部が故障した場合でも即座に他の電源回路の出力を上昇させることにより、故障前後で同じ点灯動作を行うことができ、点灯繰返しの連続性が確保される。実施例4.実施例1~3においては、故障の態様に応じて種々の保護動作を行う構成を示したが、本実施例ではさらに、故障箇所をより細かく特定してそれをユーザに報知する構成を示す。なお、本実施例の回路構成は実施例2又は3図4と同様である。本実施例では、制御回路100は、検出出力電圧の上昇速度が検出充電電圧の上昇速度に等しくかつ下限値以下の場合には、整流素子81~85よりも充電回路側のリーク故障例えば、ランプ150の短絡故障が発生したと判断して充電側故障信号を出力し、一方、検出出力電圧の上昇速度が検出充電電圧の上昇速度よりも所定量以上低い場合例えば、検出出力電圧の上昇速度が検出充電電圧の上昇速度の半分以下である場合等には、電源回路1~5のうちのいずれかが故障したと判断して電源側故障信号を出力し、報知手段120は充電側故障信号又は電源側故障信号に応じて異なる態様で異常を報知する。また、検出出力電圧の上昇速度が検出充電電圧の上昇速度に等しくかつ上限値以上の場合には蓄電コンデンサ90の劣化と判断して蓄電コンデンサ劣化信号を出力するようにしてもよい。図7に本実施例のフローチャートを示す。なお、本フローチャートは、報知手段120によってどのような報知を行うかに焦点を当てているため、点灯装置の停止等の保護動作については記載していないが、実際には実施例1~3で示したような保護動作が行われるものとする。また、ステップS401充電開始より前及びステップS420点灯より後は上記実施例1~3と同様の処理が行われるものとする。ステップS401において、制御回路100が各電源回路に充電開始指令を出力し、電源回路は充電動作を開始する。ステップS402において、制御回路100は、充電電圧検出部95からの検出充電電圧の上昇速度が所定範囲以上であるか、即ち、上限値以上であるか否かを判断する。充電速度が上限値以上Yesの場合、ステップS404において制御回路100は、蓄電コンデンサ90の劣化と判断して蓄電コンデンサ劣化信号を報知手段120に出力する。それ以外Noの場合には、処理はステップS403に進む。なお、蓄電コンデンサ90の容量を適切に管理できるのであれば、ステップS402及びS404は省略してもよい。ステップS403において、制御回路100は、充電電圧検出部95からの検出充電電圧の上昇速度が所定範囲以下であるか否か、即ち、下限値以下であるか否かを判断する。充電速度が下限値以下Yesの場合、処理はステップS405に進む。それ以外Noの場合には、処理はステップS420に進み、点灯動作を行う。なお、ステップS402とS403は順序を入れ替えてもよい。ステップS405において、制御回路100は、全ての出力電圧検出部71~75からの検出出力電圧が検出充電電圧に等しいか即ち、全ての検出出力電圧が下限値よりも低いかを判断し、Yesの場合にはステップS406に進み、充電側故障信号を報知手段120に出力し、Noの場合には電源回路1~5の一部が故障したものと判断してステップS407に進み、電源側故障信号を報知手段120に出力する。ステップS407において、より好ましくは、制御回路100は、電源回路1~5のうちのどれが故障したのかを示す異常電源特定信号を報知手段120に出力する。ステップS408において、報知手段120は、入力された信号充電側故障信号、電源側故障信号、異常電源特定信号に応じて異なる態様で異常を報知する。上記実施例により、点灯装置及びランプ150のうちのいずれの箇所が故障したかを報知することができるので、点灯装置のユーザは故障箇所のみを修理交換することができる。特に、ステップS406において異常電源特定信号を用いることにより、修理又は交換すべき電源回路を指示することができき、保守が容易となる。ここで、上記実施例1~4において、点灯装置を構成する各電源回路を全て同じ構成の電源ユニットで構成してもよい。即ち、各電源ユニットが、入力フィルタに接続される入力端子、整流回路に接続される出力端子、並びに制御回路100とフルブリッジインバータ回路、PFC回路及び出力電圧検出部との間の制御配線が接続される各制御端子を備え、各電源ユニットが相互に同一の入力端子、出力端子及び制御端子を有して着脱可能となる構成としてもよい。これにより、故障発生時のメンテナンスが容易となる。なお、直流出力回路としてチョークインプット型の回路を用いる場合には、制御回路100から電源ユニットへの配線及びその接続端子は不要である。また、実施例1のように出力電圧検出部を用いない場合には、関連する配線及びその接続端子は不要である。実施例5.図8A及び8Bを用いて本発明の光照射器を説明する。まず、図8Aにランプ150及び外部トリガ115の具体的構成を示す。ランプ150は、石英発光管151、石英発光管151の一端内部に配置された陽極152、石英発光管151の他端内部に配置された陰極153、石英発光管151の両端部を封止するシール部154、石英発光管に近接配置されたトリガワイヤ155外部トリガ、並びに陽極152及び陰極153にそれぞれ接続された電極芯棒156からなる。陽極152はタングステン製であり、陰極153はタングステン製電極の先端に焼結電極を溶接したものである。なお、焼結電極とはタングステンに酸化バリウムBaOや酸化アルミニウムAL203をドープし、焼き固めたものである。図8Bは本発明の光照射器を示すものであり、上段が上面図、下段が側面図である。光照射器は、上記実施例1~4いずれかの点灯装置200、点灯装置200に不図示の配線によって接続されるランプ150、ランプ150を内包する照射器本体301、ランプ150、反射板302、及びダクト303を備える。照射対象となる半導体ウェハー等の基板304がランプ150及び反射鏡302に対して対向配置される。また、上述のイグナイタ回路110からの高圧パルスが減衰しないように、ランプ150に付されるトリガワイヤとイグナイタ回路115との間の配線は短い方が好ましい。従って、照射器301にイグナイタ回路110が設けられるものとする。反射板302はランプ150からの放電光を被照射物に対して効率よく反射させるためのものであり、ダクト303はランプ150を冷却空冷するための吸気用又は排気用のダクトである。なお、図は実施例を模擬的に図示したものであり、寸法、配置などは図面通りではなく、他の部材も含む場合もある。上記実施例の点灯装置を用いたことにより、点灯装置における電源回路の一部が故障しても確実に保護動作を行い、故障箇所を報知することができ、繰返し点灯の連続性を確保し、かつ保守性のよい光照射器を提供することができる。上記実施例では最も好適な例を示したが、実施例は以下のように変形可能である。1上記実施例では、電源回路の出力部に出力電圧検出部を設けたが、さらにPFC回路の出力部に出力電圧検出部を設けて、電源回路内の故障箇所をより細分化して特定する構成としてもよい。2上記実施例では、昇圧回路としてフルブリッジインバータと昇圧トランスの組合せを用いているが、ハーフブリッジインバータと昇圧トランスの組合せ、フライバックコンバータ、フォワードコンバータ等を用いてもよい。また、昇圧トランスとして1つの2次巻線を持つものを示しているが、複数の2次巻線を設け、2次巻線のそれぞれに整流回路を設けてその出力を直列接続して多段化してもよい。また、昇圧トランスの1次巻線を複数設け、それらの1次巻線を並列使用してもよい。またさらに、フルブリッジインバータの駆動方法はハードスイッチング回路でもソフトスイッチング回路であってもよい。