"隔壁により仕切られると共に、この隔壁に設けられた電子ビーム通過口を介して連通する圧力の異なる2つの真空室の間のガスの流通を制限するため、絞りで前記電子ビーム通過口を塞ぐように配置する電子顕微鏡用絞り機構であって、前記絞りを保持する絞りベースと、該絞りベースを保持すると共に絞りが前記電子ビーム通過口に一致する位置と外れる位置とに選択的に配置されるよう、前記隔壁に沿って移動可能に設けられる絞りホルダと、該絞りホルダの周囲に移動方向に沿って配置されるレールとから構成され、前記絞りベースは前記レールと接するローラを備え、前記絞りホルダは、前記絞りホルダに対して独立に前記絞りベースが前記電子ビーム通過口との距離が変わる方向に移動可能に前記絞りベースを支持し且つ前記絞りベースを前記電子ビーム通過口から離れる方向に付勢する絞りベース付勢手段を備え、前記レールは、前記絞りホルダの移動に伴い前記絞りが前記電子ビーム通過口に一致する位置に来た時に、前記絞りベースが前記電子ビーム通過口の方向に移動し、その結果前記絞りが前記隔壁に接触して電子ビーム通過口を塞ぐように前記ローラに力を与える凹凸部を有する、ことを特徴とする電子顕微鏡用絞り機構。前記絞りベースは、前記絞りベースに対して独立に前記絞りが前記電子ビーム通過口との距離が変わる方向に移動可能に前記絞りを支持し且つ前記絞りを前記電子ビーム通過口に接近する方向に付勢する絞り付勢手段を備えることにより、前記絞りホルダの移動に伴い前記絞りが前記隔壁に接触して電子ビーム通過口を塞いだ時に、前記絞り付勢手段により絞りが前記隔壁に押圧されるようにしたことを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用絞り機構。前記絞りベースは、複数の絞りを前記絞りホルダの移動方向に並べて保持し、前記レールは、前記絞りホルダの移動に伴い各絞りが前記電子ビーム通過口に一致する位置に来た時に、前記絞りベースが前記電子ビーム通過口の方向に移動し、その結果前記絞りが前記隔壁に接触して電子ビーム通過口を塞ぐように前記ローラに力を与える凹凸部を有することを特徴とする請求項1又は2記載の電子顕微鏡用絞り機構。1つの絞りを保持した前記絞りベースが前記絞りホルダにその移動方向に並べて保持され、前記レールは、前記絞りホルダの移動に伴い各絞りが前記電子ビーム通過口に一致する位置に来た時に、前記絞りベースが前記電子ビーム通過口の方向に移動し、その結果前記絞りが前記隔壁に接触して電子ビーム通過口を塞ぐように前記ローラに力を与える凹凸部を有する、ことを特徴とする請求項1又は2記載の電子顕微鏡用絞り機構。しかし、前記絞りホルダ10は、前記対物レンズの上磁極8の上面側の隔壁上において、電子ビーム光軸O上にスライドしながら移動する構造であるため、隔壁と絞りホルダ10の密着度が良いと、絞りホルダ10が前記対物レンズの上磁極8の上面側の隔壁上を擦りながら移動するので、両者から微粉末が発生して放電発生の原因が形成されてしまう。また、微粉末の発生を抑えるために、前記隔壁と絞りホルダ10の間にわずかな隙間を持たせると、前記隔壁と絞りホルダ10間の密着度が十分ではなくなり、前記試料室7から、前記照射系レンズ室3に雰囲気ガスが漏れてしまい、雰囲気ガスが前記電子銃室1に達すると、前記電子銃2で放電が発生する恐れがある。このように、前記隔壁と前記絞りホルダ10の密着度と微粉末発生が、トレードオフの関係になっている。本発明は、この様な問題点を解決する新規な透過電子顕微鏡の絞り機構を提供することを目的とするものである。本発明の電子顕微鏡用絞り機構は、隔壁により仕切られると共に、この隔壁に設けられた電子ビーム通過口を介して連通する圧力の異なる2つの真空室の間のガスの流通を制限するため、絞りで前記電子ビーム通過口を塞ぐように配置する電子顕微鏡用絞り機構であって、前記絞りを保持する絞りベースと、該絞りベースを保持すると共に絞りが前記電子ビーム通過口に一致する位置と外れる位置とに選択的に配置されるよう、前記隔壁に沿って移動可能に設けられる絞りホルダと、該絞りホルダの周囲に移動方向に沿って配置されるレールとから構成され、前記絞りベースは前記レールと接するローラを備え、前記絞りホルダは、前記絞りホルダに対して独立に前記絞りベースが前記電子ビーム通過口との距離が変わる方向に移動可能に前記絞りベースを支持し且つ前記絞りベースを前記電子ビーム通過口から離れる方向に付勢する絞りベース付勢手段を備え、前記レールは、前記絞りホルダの移動に伴い前記絞りが前記電子ビーム通過口に一致する位置に来た時に、前記絞りベースが前記電子ビーム通過口の方向に移動し、その結果前記絞りが前記隔壁に接触して電子ビーム通過口を塞ぐように前記ローラに力を与える凹凸部を有することを特徴とする。本発明によれば、絞りを保持する絞りベースを電子ビーム通過口との距離が変わる方向に移動可能に絞りホルダに支持させると共に、凹凸部を有するレールに絞りベースが備えるローラを接触させるようにしたので、絞りホルダの移動に伴い絞りが前記電子ビーム通過口に一致する位置に来た時に、レールの凹凸に従って前記絞りベースが前記電子ビーム通過口の方向に移動し、その結果前記絞りが前記隔壁に接触して電子ビーム通過口を塞ぎ、絞りが他の位置にある時には常に前記電子ビーム通過口から離れた位置に維持されることになる。このため、電子ビーム通過口と絞りの接触に基づく微粉末の発生を十分に抑制することができ、併せて、絞りが前記電子ビーム通過口に一致する位置に来た時に絞りを電子ビーム通過口に十分に密着させることができる。以下、添付図面に従って、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図2は本発明の電子顕微鏡の絞り機構の主要部を構成する絞りホルダの一概略例を示したもの、図3,図4はその断面を表したもので、図3はQQ線断面図、図4はPP線断面図である。図中31は略直方体状に形成された絞りホルダ30の本体以後、絞りホルダ本体と称すで、一方の端部根元側の部分が固定ネジ32で絞りホルダ駆動機構図示せずに取付けられている。該絞りホルダ本体の他方の端部先端側の部分から中央部分にかけ、二段構えの直方体状の凹部33上段の直方体状凹部を33A,下段の直方体状凹部を33Bが形成されており、ここに、該二段構えの直方体状の凹部より僅かに一回り小さい二段構えの直方体状の絞りベース34が嵌入されている。該絞りベースの両端部各々には、段差を有する孔段差の上部の孔径<段差の下部の孔径が二つ設けられており、該各孔内に、段差の上部の孔径より大きく、段差の下部の孔径より少し小さい径のバネ35A,35B,35C,35Dを外周に配置した、段差の上部の孔径より少し小さい径のネジ36A,36B,36C,36Dが挿入され、前記絞りホルダ本体31の下段差の上段面即ち、上段差の下段面に捻じ込まれている。従って、前記絞りベース34は前記バネ35A,35B,35C,35Dによって前記絞りホルダ本体31の下段差の上段面即ち、上段差の下段面から上方へ押圧されて浮き上がり、前記ネジ36A,36B,36C,36Dのネジ頭により抑えられた状態に成っている。尚、前記絞りホルダ本体31の四つの孔の近傍には、それぞれ、二つのガイド孔Ghが開けられ、又、前記絞りベース34の該各ガイド孔に対向する位置にガイド棒Gbが取付けられており、該各ガイド棒が前記ガイド孔内で上下に動ける様に成っている。前記絞りベース34の中央部には直方体状の凹部37が形成されており、且つ、同中央部には、該凹部の底面に開口部を有する三つの絞り体装着孔38A,38B,38Cが同一間隔を隔てて穿たれている。該絞り体装着孔は二段構えの孔から成り、段差上部孔より段差下部孔の径が大きく成っており、段差下部孔内には、互いに絞り径の異なる絞り39A,39B,39Cが装着されており、落下しない様に絞り押さえ40が絞りベース34の下面に取付けられている。尚、各絞りの中心軸間隔は等しく成っている。又、前記段差上部孔内には、該孔の径より小さい径の鍔を備えたパイプ41A,41B,41Cが装着されており、該各パイプの外周で前記鍔の上にはバネ42A,42B,42Cが挿入されている。そして、前記凹部37には、前記絞り体装着孔の各開口に対向する位置に前記パイプ41A,41B,41Cの径と同一径の孔43A,43B,43Cが形成されたプレート44がはめ込まれ、前記絞りベース34にネジ止めされている。従って、前記バネ42A,42B,42Cは前記プレート44の下面と前記各パイプの鍔の間にあって該パイプを介して前記絞り39A,39B,39Cを下方に押圧する様に成っている。尚、図示しなかったが、前記プレート44には、前記絞り39A,39B,39Cに対応させて孔43A,43B,43Cが設けられているが、これらの孔から離れた位置にこれらの孔の径より遥かに大きい径を有する通常観察用孔が設けられており、該孔に応じて前記絞りべース34にも前記各絞りより径の遥かに大きい通常観察用孔が開けられている。前記ホルダ本体31の、前記凹部33より先端に近い側部と、該凹部より根元に近い側部の一部に段差が形成されており、両部分の段差下段面に上面規制ローラ45U,46Uと下面規制ローラ45D,46Dがそれぞれ取り付けられている。尚、上面規制ローラ45U,46Uは、そのローラの最上点が前記絞りホルダ本体31の上面と同じライン上にある様に、下面規制ローラ45D,46Dは、そのローラの最下点が前記絞りホルダ本体31の下面と同じライン上にある様に、該上面規制ローラと下面規制ローラは取り付けられている。又、前記ホルダ本体31の、前記絞り体装着孔38A,38Bの真ん中に当たる両側部には、それぞれ、上下ローラ47A,47Bが取付けられている。さて、この様に構成されたホルダ30が取付けられる透過電子顕微鏡の対物レンズ上磁極側の隔壁は以下の様な構造を成している。図5は透過電子顕微鏡の対物レンズ上磁極側の隔壁の主要部概略例を示している。図中48は透過電子顕微鏡の対物レンズ上磁極側の隔壁で、該隔壁の電子ビーム通過口49上側、即ち、照射系レンズ室側の電子ビーム通過口を49A、下側、即ち、試料室側の電子ビーム通過口を49Bとするの中心軸電子ビーム光軸Oをその中心軸が交差する様に絞りホルダ挿入空間50が設けられている。前記照射系レンズ室側の電子ビーム通過口49A内には、図6に示す様に、中心部に電子ビーム通過口O ́を有し、前記ホルダ30を前記絞りホルダ挿入空間50に挿入した時に、前記上下ローラ47A,47Bがそれぞれ接触するレール51A,51Bが絞りホルダ挿入方向に沿って形成された上下ローラ接触フランジ52が取付けられている。前記レール51A,51Bは、山凸の部分MAa,MAb,MAc,MBa,MBb,MBcと谷凹の部分VAa,VAb,VAc,VBa,VBb,VBcと山と谷を結ぶ坂傾斜部から成り、山凸の数は前記絞りの個数と同一に成っており、山と山との距離及び谷と谷との距離は、前記絞りと絞りとの距離に等しく成っている。この様に形成された絞り機構を図1に示す如き試料室にガスを供給する手段を備えた透過電子顕微鏡に組み入れ、試料室内に導入される雰囲気ガスの量試料室内の圧力に対応に応じ、該ガスを導入する前に、電子ビーム光軸O上に前記絞りホルダ30の何れかの絞りが位置する様に、前記試料ホルダ駆動機構12により該絞りホルダ30を移動駆動する場合の動作について以下に説明する。前記絞りホルダ挿入空間50に挿入された前記絞りホルダ30を絞りホルダ駆動機構図1の12により移動させた場合、前記絞りホルダ本体31に取付けられている上下ローラ47A,47Bが、それぞれ、前記上下ローラ接触フランジ52のレール51A,51Bに接触する。この時、図7のa及びbaの一部拡大図に示す様に、前記上下ローラ47A,47Bが前記レール51A,51Bの谷凹部分に接触した場合図では、上下ローラ47Aとレール51Aの谷の部分VAbが接触していることを示しているが、実際には、上下ローラ47Bとレール51Bの谷の部分VBbも接触している、該各上下ローラは該各レールから下方への押圧力を受けないので、前記絞りベース34は、前記バネ35A,35B,35C,35Dによって前記絞りホルダ本体31の下段差の上段面即ち、上段差の下段面から上方へ付勢されて浮き上がり、前記ネジ36A,36B,36C,36Dのネジ頭により抑えられた状態にあり、前記各絞り39A,39B,39Cは、図7のaの一部詳細図である図7のcに示す様に、前記絞りホルダ挿入空間50の下面から僅かに離れた状態になる。一方、図8のa及びbaの一部拡大図に示す様に、前記上下ローラ47A,47Bが前記レール51A,51Bの山凸部分に接触した場合図では、上下ローラ47Aとレール51Aの山の部分MAbが接触していることを示しているが、実際には、上下ローラ47Bとローラ接触部51Bの山の部分MBbも接触している、該各上下ローラは該各レールから下方への押圧力を受けるため、前記絞りベース34も該押し圧力を受け、それにより前記バネ35A,35B,35C,35Dが圧縮され、前記各絞り39A,39B,39Cは図8のcに示す様に、前記絞りホルダ挿入空間50の下面に密着する状態になる。尚、前記試料室側の電子ビーム通過口49Bの中心軸に対向する前記対物レンズ上磁極側の隔壁48の部分が照射レンズ系室側に僅かに飛び出るように形成されているので、実際には、前記上下ローラが接触する前記レールの山に対応した絞りのみが絞りホルダ挿入空間50の下面に密着する図8のcでは絞り39Bが密着している。この様に、前記絞りホルダ挿入空間50に挿入された前記絞りホルダ30を絞りホルダ駆動機構により移動させ、前記絞りホルダ本体31に取付けられている上下ローラ47A,47Bを、それぞれ、上下ローラ接触フランジ52のレール51A,51Bの何れかの山凸部に接触させることにより、任意の絞りを電子ビーム光軸O上に持って来ることが出来る。尚、前述した様に、前記絞り39A,39B,39Cは前記パイプ41A,41B,41Cを介して前記バネ42A,42B,42Cにより下方に押圧されているので、前記絞りホルダ挿入孔50の下面に対する絞りの密着度はより確実になる。尚、本発明は上記例に限定されない。例えば、前記例では絞りの数が3個であったが、2個でも、4個以上でも良い。但し、該絞りの個数に応じた数、上下ローラ接触フランジ52に山と谷が、及び、プレート44に孔が、それぞれ形成される。"