複数の離間したるつぼ120による反応性堆積プロセスのために構成されたガスランスユニットであって、空間が前記るつぼ間に設けられ、前記ガスランスユニットは、前記反応性堆積プロセス用のガス4を供給するための1つまたは複数の出口30を有するガス案内管130と、凝縮液、特に、アルミニウム凝縮液を前記空間の上方の1つまたは複数の位置に案内するための凝縮液案内要素140とを含む、ガスランスユニット。前記凝縮液案内要素が、前記1つまたは複数の位置に突起141、341を含む、請求項1に記載のユニット。前記凝縮液案内要素が1つまたは複数の突起を有する排出シートを含み、特に、前記排出シートは、前記突起を形成する三角形区間を持つ排出シート、前記突起を形成する波状区間を持つ排出シート、前記突起を形成するピーク区間を持つ排出シート、および区間がそれらの組合せである排出シートからなる群から選択される、請求項1または2に記載のユニット。前記凝縮液案内要素140は、前記ガス案内管が前記凝縮液案内要素上に支持されるためのガス案内管支持体142をさらに含む、請求項1ないし3のいずれか一項に記載のユニット。前記ガス案内管支持体が、前記ガス案内管を凹部に少なくとも部分的に埋め込ませるための凹部を有する、請求項4に記載のユニット。反応性堆積プロセスのための蒸発装置100であって、複数の離間したるつぼ120のための複数の支持体であり、空間が前記るつぼ間に設けられる、複数の支持体と、堆積表面上に設けられた基板上に材料を堆積させるための前記堆積表面と、請求項1ないし5のいずれか一項に記載のガスランスユニットであり、前記堆積表面の下方に設けられ、第1の方向に延びる長さを有する、ガスランスユニットとを含む、装置。前記堆積表面が、本質的に前記第1の方向に延びる回転軸を有する被覆ドラム28の表面であり、前記1つまたは複数の位置が、本質的に前記第1の方向に沿って設けられる、請求項6に記載の装置。前記ガスランスユニットが、前記第1の方向に関して前記ガスランスユニットの中央区域に設けられる、特に、本質的に前記第1の方向に関して前記ガスランスユニットの中心に設けられる、取付け支持体144で支持される、請求項6または7に記載の装置。前記1つまたは複数の位置のうちの1つまたは複数が、前記対応する空間に関して室温でオフセットされ、動作温度で前記空間の上方にある、請求項6ないし8のいずれか一項に記載の装置。前記複数の離間したるつぼのための前記複数の支持体の下方に設けられ、滴る凝縮液を動作中に収集するように構成された凝縮液ボックス150をさらに含む、請求項6ないし9のいずれか一項に記載の装置。蒸発装置を動作させる方法であって、複数の離間したるつぼ120中の材料を堆積表面の方に蒸発させることであり、空間が前記るつぼ間に設けられる、蒸発させることと、前記るつぼと堆積領域との間でガス案内管130によりガス4を蒸気2に案内することと、前記蒸気の凝縮液を前記空間の上方の位置に案内することとを含む、方法。前記空間内または前記空間の下方の位置で、下向きに滴る凝縮液を収集することをさらに含む、請求項11に記載の方法。次に、本発明の種々の実施形態が詳細に参照され、それらの1つまたは複数の例が図に示される。図面の以下の説明の中で、同じ参照番号は同じ構成要素を参照する。全体的に、個々の実施形態に対する差のみが説明される。各例は本発明の説明のために提供され、本発明の限定を意図しない。さらに、1つの実施形態の一部として図示または説明される特徴は、他の実施形態で使用して、または他の実施形態と共に使用して、さらなる実施形態をさらにもたらすことができる。本説明はそのような変形および改変を含むことが意図される。いくつかの実施形態によれば、基板上、例えばフレキシブル基板上への層堆積のための蒸発プロセスおよび蒸発装置が提供される。それに関して、フレキシブル基板は、とりわけ、プラスチック材料、金属、または他の材料のフィルム、箔、ウエブ、細片を含むと考えることができる。一般に、ウエブ、箔、細片、基板などの用語は同義語として使用される。いくつかの実施形態によれば、本明細書で説明する実施形態による蒸発プロセスのための構成要素、蒸発プロセスのための装置、および蒸発プロセスを、上述のフレキシブル基板のために提供することができる。しかし、それらは、蒸発源による反応性堆積プロセスが施されるガラス基板などのような非フレキシブル基板に関連して提供することもできる。図1は、チャンバ102を有する蒸発装置100を示す。チャンバ102は、チャンバ分離ブラケットなどのチャンバ分離ユニット108によって、堆積チャンバ106とさらなるチャンバ104とに分離される。さらなるチャンバは、フレキシブル基板1の巻取りおよび巻戻しのために構成された巻取りチャンバとすることができる。図1に示すように、フレキシブル基板1は巻戻しローラ22から供給することができ、巻取りローラ24に巻き付けることができる。基板は、処理ドラム28の上の複数のさらなるローラ26によって案内される。典型的な実施形態によれば、処理ドラム28は冷却ドラムとすることができ、基板1は、堆積チャンバ106内の処理区域での処理の間冷却される。基板を処理するためのシステムおよび方法の例示の実施形態を以下で詳細に説明する。システムおよび方法は本明細書で説明する特定の実施形態に限定されず、むしろ、システムの構成要素および/または方法のステップは、本明細書で説明する他の構成要素および/またはステップから独立して別々に利用することができる。例えば、STSローラおよびスプレッダローラなどのウエブ案内ローラの様々な組合せを、第1のローラおよび処理ドラムの上流に配設することができる。処理チャンバ内の真空チャンバ部分は、その中に真空状態を維持しながら、チャンバに基板を導入しやすくするように構成された入口を備えることができる。代替として、巻戻しローラおよび巻取りローラを含むロールツーロールシステム全体が真空チャンバに含まれてもよい。例示的な実施形態では、被覆ユニットは、被覆材料の膜でフレキシブル基板を被覆するために設けられ、その結果、フレキシブル基板を製造することができる。本明細書で説明する実施形態のいずれかと組み合わせることができる様々な実施形態によれば、被覆は熱蒸発または電子ビーム蒸発とすることができる。被覆ユニットは、例えば、被覆層の均一性を改善しやすくするために、互い違いに配置されたボート蒸発器からなることができる。処理チャンバ106内に、複数のるつぼ120が、アルミニウム、ビスマス、亜鉛、スズ、インジウム、銀、これらの材料の合金などのような材料を蒸発させるために設けられる。図1では、るつぼ120は、るつぼが図1に示された断面には設けられていないことを示すために破線で示されている。これは、以下で図2に関してさらに詳細に説明される。ガス案内管130は、その処理ドラム28の下方で、かつるつぼ120の上方に設けられる。それによって、酸素などの反応性ガス4は、材料蒸気が供給される処理区域に直接案内することができる。一般に、ガス案内管は、材料が基板1に堆積される堆積区域の方に反応性ガスを導く1つまたは複数の開口を有する。しかし、ガス案内管130は、一般に、堆積されるべき材料の蒸発温度よりも低い温度であり、したがって、堆積されるべき材料の凝縮液がガス案内管130において生じることがある。しばらく動作した後、蒸発材料の凝縮液は滴り落ち始めることになる。一般に、複数のるつぼが利用される蒸発プロセスでは、凝縮液がるつぼ中に滴ると、蒸発速度の望ましくない逸脱、したがって、基板に堆積される層の層厚さの望ましくない逸脱がもたらされる。ガス案内管での凝縮は、他の堆積プロセスでも生じることがある。しかし、堆積されるべき材料の大きいリザーバを用いる堆積プロセスでは、一般に、液体アルミニウムなどのより大量の液体材料のために蒸発速度の逸脱がほとんどない。その結果、ガス案内管での凝縮液の形成および凝縮液の滴りは、限られた量のアルミニウムがるつぼごとに蒸発される複数のるつぼからの蒸発プロセスでは特に避けられなければならない。上述に照らして、本明細書で説明する実施形態によれば、ガス案内管130と凝縮液案内要素140とを有するガスランスが設けられる。凝縮液案内要素140は、ガス案内管130の下方に少なくとも部分的に設けられる。例えば、凝縮液案内要素140は、ガス案内管130とるつぼ120との間に部分的にまたは完全に設けることができる。図1に示されるように、ガス案内管支持体142が設けられる。それによって、ガスランスユニットはバー144により保持部材146で支持することができる。その結果、バー144および/またはガスランスユニットは、チャンバ102の位置を基準にして支持することができる。図2に示す側面図は、凝縮液案内要素140のさらなる詳細を示す。凝縮液案内要素140は、ガス案内管130の下方に全面的にまたは少なくとも部分的に設けられ、突起141を有する。それによって、ガス案内管130および凝縮液案内要素140に形成された凝縮液は、突起141の方に案内される。突起141は、動作の間、るつぼ120間の空間の上方に、または空間の中間に位置づけられる。一般に、ガス案内管および凝縮液案内要素は、動作の間、材料の溶融温度より上で蒸発温度より下の温度を有することになる。その結果、材料の凝縮液は突起141の方に流れることができる。したがって、堆積されるべき材料の凝縮液はるつぼ間に滴り、例えば、凝縮液ボックス150に収集されうる。それによって、堆積される材料の凝縮液の滴りが、るつぼ120およびその中の溶融した材料に入ることがない。その結果、るつぼの堆積速度は影響を受けず、かつ/または液体材料のはねかけが避けられうる。図2に見ることができるように、処理ドラム28は、堆積領域を通して基板を移送するために処理の間シャフト29のまわりで回転することができ、るつぼ120からの蒸気材料2は、ガス案内管130からのガスと反応した後、基板に供給される。典型的な実施形態によれば、処理ドラムの長さは、基板幅の少なくとも105である。典型的な実施形態によれば、フレキシブル基板は、限定はしないが、CPPフィルムすなわち、無延伸ポリプロピレンフィルム、OPPフィルムすなわち、二軸延伸ポリプロピレンフィルム、またはPETフィルムすなわち、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを含む。代替として、フレキシブル基板は、プレコート紙、ポリプロピレンPPフィルム、PENフィルム、ポリラクターゼアセテートPLAフィルム、またはPVCフィルムとすることができる。典型的な実施形態によれば、フレキシブル基板は、50μm未満、またはより具体的には5μm、またはさらにより具体的には2μmの厚さを有する。例えば、フレキシブル基板は、20μmのOPP基板または12μmのPET基板とすることができる。本明細書で説明する実施形態がさらに意図するところによれば、フレキシブル基板は、2μm以下、例えば、0.7μmの厚さを有する極薄フィルムである。典型的な実施形態によれば、システムの要素はフレキシブル基板に応じて適切に構成され、その結果、基板は本明細書で説明するように処理することができる。典型的な実施形態によれば、アルミニウムをるつぼ120に供給することができる。アルミニウムは、例えば、熱蒸発によって、または電子ビーム蒸発によって蒸発させることができる。アルミニウム蒸気は参照番号2で示される。ガス案内管130および凝縮液案内要素140の温度がアルミニウムの蒸発温度より下であることに照らして、アルミニウムはガスランスユニットで凝縮することになる。さらに、ガスランスユニットの温度が溶融温度より上であることに照らして、アルミニウムは凝縮液案内要素の三角形部分の突起の方に流れることができ、その結果、凝縮液は凝縮液ボックス150中に滴ることができる。突起はるつぼ120間の空間の上方に位置づけられる。それによって、凝縮液の滴りは、るつぼ120内の蒸発に影響を及ぼさない。本明細書で説明する典型的な実施形態によれば、ガスランスユニット130は蒸気雲内に設けられる。それによって、酸素などの反応性ガスのかなりの部分をプロセスに結びつけることができる。したがって、比較的低いプロセス圧力をチャンバ内で実現することができる。本明細書で説明する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態によれば、1×10-3mbar以下、例えば、1×10-4mbar以下のプロセス圧力を実現することができる。比較可能な低いチャンバ圧力は、例えば、包装用途などのための透明層の堆積中に、バリアの性質の改善をもたらすことができる。したがって、本明細書で説明する実施形態は、例えば、400nmから700nmの波長で10と100との間の光透過率をもつ透明バリア層のために利用することができる。図3Aから3Fは、本明細書で説明するガスランスユニットの典型的な実施形態を示す。図3Aおよび3Bに示すように、ガス案内管130は、処理領域内に、または処理領域の方に反応性ガスを案内するための開口30をもつ本質的に丸い断面を有することができる。本明細書で説明する他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態によれば、反応性ガスは、酸素、窒素、NH3、およびそれらの組合せからなる群から選択することができる。さらなる実施形態によれば、追加のガス、典型的にはアルゴンなどの不活性ガスを、反応性ガスを含む混合ガスに加えることができる。それによって、一般に、反応性ガスの量をより容易に制御することができる。凝縮液案内要素140は、突起を形成する三角形状要素の複数個を有することができる。典型的には、三角形部分は二等辺三角形とすることができる。図3Aは、図3Bの位置A-Aでの断面である。ガス案内管支持部材142は、その中にガス案内管130が支持されるように形成される。さらに、ガス案内管は、ガスランスユニットの1つまたは複数の位置で固定要素342によりガスランスユニットに固定することができる。ガス案内管130において、開口30は、酸素などの反応性ガスをガス案内管130に沿った様々な位置に供給するために設けられる。図3Aおよび3Bと比較して、図3Cに示すガスランスユニットは、ガス案内管130の長方形の断面を有する。凝縮液案内要素140は複数の突起141を含み、突起141は、例えば、凹形区間によって形成されたいくつかの凹部の先端部分とすることができる。突起は波状形状の部分とすることもできる。ガスランスユニットは、ガス案内管130が支持されるガス案内管支持体142を含む。動作中に形成された凝縮液を先端部分141の方に案内することができる。凝縮液は、るつぼ間の空間の上方に位置づけられるように構成された先端部分から、凝縮液がるつぼに滴らないようにされた状態で、下向きに滴ることができる。るつぼに滴ると、蒸発速度の変動、および/または装置内での液体アルミニウムの飛び散りがもたらされることがある。図3Dおよび3Fに関して示したガスランスユニットは、ピーク区間341が突起を形成する凝縮液案内要素140を有する。凝縮液案内要素は、ガス案内管130の下部部分に固定される。本明細書で説明するいくつかの実施形態によれば、ガスランスユニットは管またはパイプを有することによって形成することができる。ガスランスユニットの下部区間に、突起をもつ凝縮液案内要素が設けられる。凝縮液案内要素は、液体の形態の凝縮液を所定の位置に案内するための排出シートとして設けることができる。排出シートの突起またはピークは、動作中に、複数のるつぼのそれぞれのものの間に形成される空間の上方に、またはその空間内に位置を有するように構成される。動作中、ガスランスユニットの温度は、一般に、蒸発されるべき材料、例えばアルミニウムの溶融温度より上にあるので、液体材料は、るつぼの上方に位置する中心、したがって、それぞれのるつぼの蒸気雲の中心位置から離れたところに案内される。過剰材料は、液滴がるつぼの動作に影響を与えないようにされた状態で、るつぼ間の空間に、例えば、るつぼより下の凝縮液ボックスに滴ることができる。本明細書で説明するように、ガスランスユニットは、一般に、ガス案内管と、凝縮液が蒸発るつぼに滴らないようにする、材料の凝縮液を所定の位置の方に案内するための排出シートなどの凝縮液案内要素とを含む。典型的には、凝縮液案内要素および管支持部材は、一体化して形成する、例えば、一緒に溶接することができる。ガス案内管は支持体要素で支持することができ、例えば、固定部材例えば、固定部材342を参照で保持することができ、固定部材は管支持部材に溶接することができる。溶接以外の固定手段を、代替としてまたは追加として、用意することができる。しかし、定期的保守を簡単にすべきであることが考慮されなければならない。例えば、アルミニウムが蒸発される場合、アルミニウム蒸気は非常に攻撃的であり、ガス管は数日から数週のライフサイクルを有することになる。例えば、ガス案内管は、0.5週から2週ごとに、例えば毎週取り替える必要があることがある。さらに、排出シートは、約1週から4週ごとに、例えば、2週ごとに取り替える必要がある。固定手段は、少なくとも対応する期間持ちこたえるように準備する必要がある。保守中、ガスランスユニットは、例えば、処理チャンバから取り外されることがある。固定部材342は非溶接とすることができ、ガス案内管はガス案内管支持体から取り外すことができる。その後、新しいガス案内管は、ガス案内管支持体と、排出シートを含むガスランスユニットとに固定することができ、支持体およびガス案内管は堆積チャンバに再挿入することができる。後続の保守ステップ中に、ガス案内管および排出シートは共に取り替えることができる。蒸発区域の荒々しい動作条件に照らして、ガス案内管、排出シート、すなわち凝縮液案内要素、およびガス案内管用支持体は、鋼鉄、ステンレス鋼、銅、チタン、タンタル、ニオブ、およびそれらの組合せからなる群から選択された材料から製作することができる。本発明の実施形態のさらなる態様が図4Aおよび4Bに関して示される。図1で以前に示したように、ガスランスユニットはバー144で支持することができ、バー144は保持部材146に固定される。保持部材は、チャンバハウジング部分に、またはチャンバ内のフレームに配置することができる。典型的な実施形態によれば、堆積領域の温度は400°Cから1000°Cの範囲となることがある。したがって、動作中のガスランスユニットの温度は400°Cから800°Cの範囲となることがある。それによって、ガスランスユニットの伸長が生じることがある。典型的な実施態様によれば、伸長は1から4となることがある。それにより、約2.5mのガスランスユニットは約3cmから10cmだけ長さが変化することがある。図4Aは、蒸発装置の一部を示す。処理ドラム28の下部部分が見える。さらに、るつぼ120は、処理ドラム28の下方のチャンバ102内に設けられる。ガス案内管130および凝縮液案内要素140は、処理ドラムの下方で、かつるつぼの上方に設けられる。図4Aは第1の保持部材144およびさらなる保持部材444を示す。第1の保持部材は、本質的に中心位置に配置される。典型的な実施形態によれば、第1の保持部材はガスランスユニットの長さの中心の第3の部分に配置することができる。矢印445で示すように、外側保持部材は、ガスランスユニットのより長い軸の方向に移動することができる。図1に関して説明したように、保持部材は、典型的には、バーと、バーをハウジング部分またはフレーム部分に固定するための部材とを有することができる。図4A内では、装置は動作状態下で示されている。そのために、突起は、複数のるつぼ120のそれぞれの2つの間の空間の、本質的に上方に位置づけられている。図4Bは、ガスランスユニットが室温で準備されている状態のシステムを示す。そのために、ガスランスユニットは高温動作状態と比較して短く、その結果、突起のうちのいくつかは、冷えた状態で実際にはるつぼの上方に位置づけられることがある。この影響を最小にするために、ガスランスユニットの中心の近くに固定支持体を設け、ユニットの長さの方向に沿って移動可能な外側支持体を有することが有用である。上述の実施形態は、主として、フレキシブル基板のロールツーロール処理を参照しており、反応性蒸発プロセスが処理ドラムの下方で行われる。蒸発の温度に照らして、一般に、冷却処理ドラムを利用することができる。それによって、例えばAl2Oxのバリア層を、箔、ウエブ、フィルム、コート紙、または他のフレキシブル基板上に施すことができる。これは、一般に、インラインバリア被覆、例えば、包装用途にとって有用である。しかし、本発明による実施形態は他の反応性堆積プロセスに適用することもできる。例えば、ガラス基板または他の基板を蒸発材料の酸化物、窒化物、酸素窒化物で被覆することにも本明細書で説明した実施形態を利用することができる。典型的には、実施形態は金属のような材料の蒸発で使用することができ、反応性ガスはガスアセンブリにより蒸気の雲に供給される、すなわち、ガスアセンブリは蒸発器の上方に位置づけられる。さらなる実施形態によれば、特に反応性蒸発プロセスのために蒸発装置を動作させる方法が提供される。例示の流れ図が図5に示される。ステップ502において、基板に堆積されるべき材料が蒸発される。具体的には、材料が複数の離間したるつぼで、すなわち、蒸発ゾーン間に間隔があるように堆積させることができる。ステップ504において、反応性ガス、例えば、酸素が、蒸発材料と反応させるために反応ゾーンに案内される。反応性ガスはガス案内管で案内され、ガス案内管はるつぼの上方に少なくとも部分的に位置づけられる。ステップ506において、ガス案内管、またはガス案内管に対応する別の構成要素、すなわち、ガスランスユニットの要素に形成される凝縮液が、蒸発ゾーン間の空間に対応する位置に案内される。凝縮液は、蒸発ゾーンへの滴りが生じることがないように、または蒸発ゾーンへの滴りが低減されるように案内される。典型的には、滴りのための突起は、るつぼ間の空間の上方に設けられる。他の実施形態によれば、突起は、空間の中間で下向きに延びることもでき、またはさらにるつぼより下に延びることもできる。本明細書で説明した実施形態によれば、蒸発ゾーンでの凝縮液の滴りを避けるか、または低減することができるような位置に蒸発材料の凝縮液を案内する。前述は本発明の実施形態に関するが、本発明の基本範囲から逸脱することなく本発明の他のおよびさらなる実施形態を考案することができ、本発明の範囲は以下の特許請求の範囲によって決定される。