"ピストン又は可動壁を駆動することによって容積が変更可能なポンプ室と、前記ポンプ室へ流体を流入させる入口流路と、前記ポンプ室から流体を流出させる出口流路と、前記入口流路と前記ポンプ室との間に、前記入口流路を開閉する流体抵抗要素と、を備えるポンプと、前記出口流路から前記入口流路へ流体を循環させる循環流路と、前記ポンプ室に流入する流体の圧力を調整させる第1容積調整室と、を備え、前記第1容積調整室の調整容量は、前記循環流路の流体の圧力増分をΔP、その時の該循環流路の体積増分をΔV、流体を循環させたときの該循環流路の前記出口流路側の流体の圧力をPSとしたときに、式を満たす調整容量VBであることを特徴とする冷却装置。請求項1に記載の冷却装置において、前記第1容積調整室は、該第1容積調整室の容積を調整させる圧力調整要素を備え、前記圧力調整要素は、弾性を有する部材で形成されていることを特徴とする冷却装置。請求項1又は2に記載の冷却装置において、前記循環流路の前記出口流路側に、前記ポンプ室から流出する流体の圧力を調整させる第2容積調整室をさらに備えることを特徴とする冷却装置。請求項3に記載の冷却装置において、前記第1及び第2容積調整室は、互いに連結されていることを特徴とする冷却装置。請求項3又は4に記載の冷却装置において、前記第1及び第2容積調整室は、並列あるいは直列状に配置されていることを特徴とする冷却装置。請求項3~5のいずれか一項に記載の冷却装置において、前記第1又は第2容積調整室のうち少なくとも一方は、伸縮する構造を有することを特徴とする冷却装置。請求項1~6のいずれか一項に記載の冷却装置を備えることを特徴とするプロジェクター。電子機器などに設けられる半導体モジュールを冷却する上記特許文献1のような液冷ジャケットは、冷却水の漏洩を防止するために密閉された状態で冷却水を循環する密閉系循環流路を形成されている図12A参照。しかし、密閉系循環流路は、図12Bに示すように、ポンプが動作すると密閉系循環流路の構成要素が流路の流体抵抗によって増加した圧力で変形し容積が拡大する。その拡大の度合いは上流側ポンプ出口流路側ほど下流側ポンプ入口流路側の流路抵抗の影響が加味されるため大きくなる。したがって、そのまま駆動を続けると供給側圧力が負圧となりポンプ特性が低下する。その結果、ポンプは冷却水を安定して循環させることができなくなり、発熱する機器を安定的に冷却することが困難になる虞がある。この拡大の度合いは、以下に示すとおりである。まず循環流路系全体に一定圧ΔPを印加したときの流路系全体の容積増加量をΔVとする。次に、循環流路系に所望の流量を流す場合におけるポンプ出口流路側の圧力とポンプ入口側流路の圧力差をPsとする。循環流路にそって下流に行くにしたがって循環流路内の圧力は減少し、ポンプ入口側流路ではPs=0となる。このとき、循環流路全体の流体量が一定だとすると、循環流路の上流側すなわちポンプ出口流路側では、循環流路が変形し体積がVd増加する。それに伴って、下流側では流体の不足が生じて負圧になる。この負圧を発生させずに、ポンプ入口側流路の圧力をポンプ駆動前と同じに保つには、式1のような条件を満たす容積調整室が必要である。式に1/2が乗ぜられているのは、下流側に行くにしたがって循環流路の圧力は減少し、循環流路の変形による容積の増加が少なくなるからである。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。[適用例1]ピストン又は可動壁を駆動することによって容積が変更可能なポンプ室と、前記ポンプ室へ流体を流入させる入口流路と、前記ポンプ室から流体を流出させる出口流路と、前記入口流路と前記ポンプ室との間に、前記入口流路を開閉する流体抵抗要素と、を備えるポンプと、前記出口流路から前記入口流路へ流体を循環させる循環流路と、前記ポンプ室に流入する流体の圧力を調整させる第1容積調整室を備え、前記第1容積調整室の調整容量は、前記循環流路の流体の圧力増分をΔP、その時の該循環流路の体積増分をΔV、流体を循環させたときの該循環流路の前記出口流路側の流体の圧力をPSとしたときに、式を満たす調整容量VBであることを特徴とする冷却装置。これによれば、第1容量調整室を循環流路の入口流路側に取り付けることで、入口流路と出口流路とのポンプ駆動による圧力がほぼ同一となるため、循環流路系の構成要素の変形によるポンプ前後の循環流路中の流体体積の偏りが発生しないので、安定して流体を循環させることができるため、安定して熱源を冷却することができる。[適用例2]上記冷却装置であって、前記第1容積調整室は、該第1容積調整室の容積を調整させる圧力調整要素を備え、前記圧力調整要素は、弾性を有する部材で形成されていることを特徴とする冷却装置。これによれば、容積調整室の容積を弾性変形により、容易に調整することができる。[適用例3]上記冷却装置であって、前記循環流路の前記出口流路側に、前記ポンプ室から流出する流体の圧力を調整させる第2容積調整室をさらに備えることを特徴とする冷却装置。これによれば、第2容積調整室が出口流路側の脈動流を吸収するので、安定して液体を流出することができる。[適用例4]上記冷却装置であって、前記第1及び第2容積調整室は、互いに連通されていることを特徴とする冷却装置。これによれば、第1及び第2容積調整室は連通されているので、内部の流体が減ったときにも互いにバランスがとれる。[適用例5]上記冷却装置であって、前記第1及び第2容積調整室は、並列あるいは直列状に配置されていることを特徴とする冷却装置。これによれば、冷却装置内の容積調整室の配置が容易になる。[適用例6]上記冷却装置であって、前記第1又は第2容積調整室のうち少なくとも一方は、伸縮する構造を有することを特徴とする冷却装置。これによれば、伸縮する構造により容積調整室を容易に構成することができる。[適用例7]上記に記載の冷却装置を備えることを特徴とするプロジェクター。これによれば、固体発光光源を上記冷却装置で冷却することにより、固体発光光源自らの熱よる破壊を抑止できるので、固体発光光源にかける電流電圧を上げることができるようになり、その結果、スクリーン輝度を上げることができる。冷却機構により、加熱された冷却用液体の熱を効率良く外部に放熱し、冷却用液体の冷却効率の向上を図ることができる。以下、図面を参照して、本実施形態に係る冷却装置、プロジェクター、及び冷却方法の一実施形態について説明する。以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。第1の実施形態プロジェクターの構成図1は、本実施形態に係るプロジェクターの概略構成を示す模式図である。本実施形態に係るプロジェクター2は、光源から射出される光束を画像情報に応じて変調して光学像を形成し、形成した光学像をスクリーン図示略上に拡大投射するものである。このプロジェクター2は、外装筐体4と、光学装置6と、冷却システム冷却装置7とで大略構成されている。図1において、図示は省略するが、外装筐体4内において、光学装置6及び冷却システム7以外の空間には、プロジェクター2の構成部材に電力を供給する電源ユニットや、プロジェクター2全体を制御する制御装置等が配置される。外装筐体4は、光学装置6及び冷却システム7等を内部に収納配置する筐体である。図示は省略するが、この外装筐体4には、プロジェクター2外部の空気を内部に導入するための吸気口や、プロジェクター2内部で温められた空気を排出するための排気口が形成されている。光学装置6は、光源から射出された光束を光学的に処理して画像情報に対応した光学像カラー画像を形成し、形成したカラー画像を拡大投射する。この光学装置6は、図1に示すように、発熱体としての光源装置10と、光変調装置としての3つの液晶ライトバルブ12と、色合成光学装置としてのクロスダイクロイックプリズム14と、投射光学装置としての投射レンズ16等を備える。光源装置10は、前記制御装置による制御の下、点灯し、液晶ライトバルブ12に向けて光束を射出する。これら光源装置10は、図1に示すように、R色光を射出するR色光用LEDLightEmittingDiodeモジュール10Rと、G色光を射出するG色光用LEDモジュール10Gと、B色光を射出するB色光用LEDモジュール10Bとで構成される。LEDモジュール10R,10G,10Bは、略同様の構成であり、具体的な図示は省略するが、Si基板上に固体発光素子である複数のLED素子が配列形成されている。LEDモジュール10R,10G,10Bを構成するLED素子は、結晶の種類及び添加物等が異なるように形成されたものであり、それぞれR色光、G色光、B色光を発する。光源装置10としては、上述したLEDモジュールに限らず、その他の構成、例えば、レーザーダイオードや、有機ELElectroLuminescence素子、シリコン発光素子の各種固体発光素子を採用してもよい。3つの液晶ライトバルブ12は、透過型の液晶パネルであり、前記制御装置からの駆動信号に基づいて、液晶セル図示略に封入された液晶分子の配列を変化させ、各LEDモジュール10R,10G,10Bから射出された各色光を、それぞれ透過若しくは遮断することにより画像情報に応じた各光学像をクロスダイクロイックプリズム14に射出する。クロスダイクロイックプリズム14は、各液晶ライトバルブ12から射出された色光毎に変調された光学像を合成してカラー画像を形成する光学素子である。このクロスダイクロイックプリズム14は、4つの直角プリズムを貼り合わせた平面視略正方形状をなし、直角プリズム同士を貼り合わせた界面には、2つの誘電体多層膜が形成されている。これら誘電体多層膜は、互いに対向する各液晶ライトバルブ12から射出された各色光を反射し、投射レンズ16に対向する液晶ライトバルブ12から射出された色光を透過する。このようにして、各液晶ライトバルブ12にて変調された各色光が合成されてカラー画像が形成される。投射レンズ16は、複数のレンズが組み合わされた組レンズとして構成される。投射レンズ16は、クロスダイクロイックプリズム14から射出されたカラー画像を図示しないスクリーン上に拡大投射する。光源装置10と液晶ライトバルブ12との間に、他の光学素子、例えば、光源装置10から射出された色光の偏光方向を略一方向の直線偏光に揃える偏光変換素子や、光源装置10から射出された色光の面内照度を均一化するロッドインテグレーターや複数の小レンズがマトリクス状に配設されたレンズアレイ等の均一照明光学素子を配設しても構わない。冷却システム7は、具体的には後述するが、冷却媒体流体Xを循環させ、該冷却媒体Xにより各LEDモジュール10R,10G,10Bを冷却する装置である。本実施形態では、LEDモジュール10R,10G,10Bを冷却する構成としているが、これに限らず、液晶ライトバルブ12等のプロジェクター2内部の他の構成部材を冷却する構成としても構わない。冷却システム7は、図1に示すように、各LEDモジュール10R,10G,10Bに対応して、3つで構成されている。3つの冷却システム7は、同様の構成であるので、以下では、1つの冷却システム7のみを説明する。冷却システムの構成図2は、本実施形態に係る冷却システム7の概略構成を示す模式図である。本実施形態の冷却システム7は、冷却媒体Xを介して発熱体Hを冷却するためのものであり、図2に示すように、流体流動部材チューブ循環流路18、ポンプ20、受熱部22、放熱部24、冷却媒体冷却部26、モーター制御部28、温度センサー30、及び温度管理部32を備えて構成されている。本実施形態の冷却媒体Xとしては、液体が用いられている。流体流動部材18は、冷却媒体Xの循環流路を形成するものであり、環状に形状設定されている。流体流動部材18の途中部位にポンプ20、受熱部22、及び放熱部24が配置されている。流体流動部材18は出口接続管路48cから入口流路50aへ流体を循環させる。ポンプ20は、流体流動部材18内の冷却媒体Xに対して流れを付与するものである。受熱部22は、発熱体Hに対して接触するように配置されるものであり、金属等の熱伝達率の高い材料によって形成されている。この受熱部22において発熱体Hの熱量が冷却媒体Xに吸熱されることで、発熱体Hが冷却される。放熱部24は、発熱体Hの熱量を吸熱することによって高温化された冷却媒体Xを放熱させるためのものであり、本実施形態においては、ラジエーターとして構成されている。冷却媒体冷却部26は、冷却媒体Xを冷却するためのものであり、本実施形態においては、ファン駆動モーター34及びファン36を備える冷却ファンによって構成されている。ファン駆動モーター34は、ファン36を駆動するためのモーターであり、このファン駆動モーター34によってファン36が回転駆動されることによって、風が生じ、放熱部24を介して冷却媒体Xの熱量が放熱されることで、冷却媒体Xが冷却される。モーター制御部28は、発熱体Hに供給される信号である所定信号に基づく信号に基づいて冷却媒体冷却部26を制御するものであり、具体的には、ファン駆動モーター34を制御することによって、ファン36の回転数を制御する。温度センサー30は、発熱体Hの近傍に配置され、発熱体Hの温度を測定可能に配置されており、温度管理部32に接続されている。そして、温度管理部32は、温度センサー30から供給される測定信号に基づいて、信号としてモーター制御部28に供給する。次に、上述のように構成された本実施形態に係る冷却システム7の動作冷却方法について説明する。本実施形態に係る冷却システム7においては、ポンプ20が一定駆動されており、一定の流速で冷却媒体Xが流体流動部材18内を循環しているものとする。冷却媒体Xは、流体流動部材18内を循環する過程で、受熱部22において発熱体Hから熱量を吸熱し、放熱部24において発熱体Hから吸熱した熱量を放熱することによって冷却された後、再び循環して、受熱部22において発熱体Hから熱量を吸熱する。温度管理部32には、発熱体Hの現在の温度状況が温度センサー30を介して入力される。そして、信号としてモーター制御部28に供給される。ポンプの構成図3は、本実施形態に係わるポンプ20を示す断面図及び平面図である。積層型圧電素子の保持部材であるケース38の下部には、図3Aに示すように、底板40が溶接によって堅固に固定されている。ポンプの駆動源である積層型圧電素子42の上面には補強板44が予め接着され、積層型圧電素子ユニットを構成し、前記ケース38内部に固定される。この固定は、積層型圧電素子42の下面と前記底板40上面の接着による。積層型圧電素子42の固定後、ケース38の上面と補強板44の上面は研削加工によって、同一平面に加工している。この加工の際に、積層型圧電素子42には、駆動時における積層型圧電素子42の駆動電圧の中心値が印加される。したがって、積層型圧電素子42と補強板44との上面には、積層型圧電素子42への電圧がかけられていない状態では段差が発生する。研削加工後、補強板44とケース38との双方に、ダイアフラム46が接着される。ダイアフラム46は、厚さ20μmのステンレス鋼薄板で形成されているが、補強板44とケース38とに接着した下面とは反対側にあたる上面は樹脂皮膜を付けてある。このダイアフラム46をケース38との間に挟む形でポンプ室部材48が取り付けられている。ケース38とポンプ室部材48のダイアフラム46の外周固定部の内周部の形状とは、ケース38の方が若干大きくなっている。ポンプ室部材48は、ポンプ室48a、細管部48b、出口接続管路出口流路48cがその内部に形成されている。ケース38とポンプ室部材48との固定は、図示しないビスで行われている。ポンプ室部材48の上部には、入口流路部材50が嵌合され、図示しないビスによって固定されている。ポンプ室48aはダイアフラム46が駆動されることによって容積が変更される。出口接続管路48cはポンプ室48aから流体を流出させる。開放されている入口流路部材50の上面は、柔軟かつガスバリア性の高い圧力調整板圧力調整要素52によって封止されている。圧力調整板52は大容量バッファーである容積調整室第1容積調整室50bの容積を調整させる。圧力調整板52はその表面積を変化させることで容積調整室50bの容積を調整させる。圧力調整板52は、弾性を有する部材で形成されている。圧力調整板52の材質としては、柔軟性とガスバリア性とを両立するために、金属例えばステンレス、アルミニウム等薄膜と樹脂との複合材料等が好ましい。金属膜であってもよい。PVCフィルムを容積調整室50bの天井に貼り付けたもの又はシリコン樹脂等、柔らかいチューブでもよい。圧力調整板52の表面は伸縮自在な折り目或いは同心円状の波状が付いていてもよいし、蛇腹構造に形成されていてもよい。蛇腹構造は螺旋状であっても夫々が独立した蛇腹であってもよい。容積調整室50bは、入口流路50aに備えられている。容積調整室50bは、ポンプ室48aに流入する流体の圧力を調整させる。容積調整室50bの調整容量は、流体流動部材18全体の流体の圧力増分をΔP、その時の流体流動部材18全体の体積増分をΔV、流体を循環させたときの流体流動部材18の出口接続管路48c側の流体の圧力をPSとしたときに、式を満たす調整容量VBである。容積調整室50bは、ポンプ室48aに安定的に冷却媒体Xを供給する働きをする。容積調整室50bは、上記調整容量VBを満たせば、その断面はダイアフラム46に接着する補強板44の直径より大きくてもよい。平面視形状は、逆止弁54を中心に略円状が好ましい図3B参照。容積調整室50bの形状としては、特に限定されず、例えば、平面視形状が、三角形、四角形等の多角形をなしていてもよい。図示しないが容積調整室50bはリング状に形成されていてもよい。これによれば、リング状の間から外部に細管部48b及び出口接続管路48cを出すことができる。リング状の容積調整室50bの直径は、ダイアフラム46に接着する補強板44の直径より大きくてもよい。例えば、その大きさは2倍以上あってもよい。逆止弁54は入口流路50aとポンプ室48aとの間に設けられ、入口流路50aを開閉させる。入口流路50aはポンプ室48aへ流体を流入させる。入口流路50aが設けられた入口流路部材50の突出部には図示しない入口管路が接続され、同様にポンプ室部材48の突出部には図示しない出口管路が接続される。この入口管路と出口管路とは、適当な柔軟性を持った樹脂チューブ等で構成されている。チューブは耐熱性があるものでもよい。次に、本実施形態のポンプ内部の流路について説明する。図示しない入口管路から流入した流体は、容積調整室50bからポンプ室48aに流入する。容積調整室50bのポンプ室48aへの流路は、徐々に縮小され約φ0.5mmの穴となりポンプ室48aへ連通している。この容積調整室50bとポンプ室48aとの境界部には、15μmのステンレス鋼薄板で形成された逆止弁流体抵抗要素54がチェック弁として設置され、ポンプ室48aから容積調整室50bへの逆流を防止している。ポンプ室48aは、細管部48bが開口する接続部分と、ダイアフラム46上部の扁平形状の圧縮部分で構成される。ポンプ室48aから出た流体は、細管部48b、出口接続管路48cを通り、図示しない接続管路に送出される。ポンプの動作次に、本実施形態のポンプ20の動作について説明する。流路のイナータンス値Lを定義する。イナータンス値Lは、流路の断面積をS、流路の長さをl、作動流体の密度をρとした場合に、L=ρ×l/Sで与えられる。流路の差圧をΔP、流路を流れる流量をQとした場合に、イナータンス値Lを用いて流路内流体の運動方程式を変形することで、ΔP=L×dQ/dtという関係が導き出される。つまりイナータンス値Lとは、単位圧力が流量の時間変化に与える影響度合いを示しており、イナータンス値Lが大きいほど流量の時間変化が小さく、イナータンス値Lが小さいほど流量の時間変化が大きくなる。複数の流路の並列接続や、複数の形状が異なる流路の直列接続に関する合成イナータンス値は、個々の流路のイナータンス値を、電気回路におけるインダクタンスの並列接続、直列接続と同様に合成して算出すればよい。具体的には、複数の流路を並列接続した場合の合成イナータンス値は、電気回路におけるインダクタンスの並列接続と同様に合成して求められる。複数の形状が異なる流路の直列接続した場合の合成イナータンス値は、電気回路におけるインダクタンスの直列接続と同様に合成して求められる。流路に柔軟部等の圧力調整要素がある場合は、合成イナータンス値は圧力調整要素まで考慮すればよい。したがって本実施形態のポンプにおいて、入口流路の合成イナータンス値は、圧力調整要素である圧力調整板52から逆止弁54までの合成イナータンス値となる。一方、出口流路の合成イナータンス値は、細管部48bと出口接続管路48cのイナータンス値の合計となる。出口流路は入口流路に比較して、流路の長さも長く、流路の断面積も小さいため、出口流路の合成イナータンス値は入口流路よりはるかに大きくなっている。第2の実施形態冷却システムの構成図4は、本実施形態に係る冷却システム8の概略構成を示す模式図である。本実施形態の説明においては第1の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。入口流路側容積調整室第1容積調整室19は、流体流動部材18の入口流路50a側に設けられている。入口流路側容積調整室19は、ポンプ室48aに流入する冷却媒体Xの圧力を安定させる。入口流路側容積調整室19は、伸縮を有する構造を有する。入口流路側容積調整室図5は、本実施形態に係る入口流路側容積調整室19を示す断面図である。入口流路側容積調整室19は、伸縮自在に構成される。入口流路側容積調整室19は、金属等の部材から構成され、伸縮方向図5中、上下方向に沿う中心軸に対して回転対称形状を有する。入口流路側容積調整室19は、図5に示すように、内部に冷却液体Xを流通可能とし、流体流動部材18に接続される。入口流路側容積調整室19は、気密性が高く、内部の冷却液体Xが揮散しない材質が望ましい。入口流路側容積調整室19は、流体流動部材18と接続する端部と逆の端部側が封止された状態でばね23に接続される。入口流路側容積調整室19は、流体流動部材18内の圧力により伸縮駆動する。ばね23は、入口流路側容積調整室19における流体流動部材18と接続する端部と逆の端部側に接続され、図5中、上下に伸縮可能に構成され伸縮することで入口流路側容積調整室19を加圧する部材である。ばね23は、図5中、上下方向に伸縮する。そして、ばね23は、変位方向の一方の端部がプロジェクター2内部に固定され、他方の端部が入口流路側容積調整室19に接続される。流体流動部材18は、冷却液体Xが流通可能に入口流路側容積調整室19を接続する。この流体流動部材18は、プロジェクター2内部に固定された状態で配設される。入口流路側容積調整室19は、流体流動部材18と接続することで、図5に示すように、例えば中心軸が上下方向に向いた状態となる。入口流路側容積調整室19の調整容量は、流体流動部材18全体の流体の圧力増分をΔP、その時の流体流動部材18全体の体積増分をΔV、流体を循環させたときの流体流動部材18の出口接続管路48c側の流体の圧力をPSとしたときに、式を満たす調整容量VBである。次に、上述した入口流路側容積調整室19の動作を説明する。図6は、本実施形態に係る容積調整室の動作を説明するための断面図である。具体的に、図6A及びBは、入口流路側容積調整室19が移動終端位置まで移動した状態を示している。例えば、流体流動部材18内部の容積が増加した場合には、図6Aに示すように、入口流路側容積調整室19の収縮により、入口流路側容積調整室19内部の冷却液体Xが流体流動部材18内に流入する。冷却液体Xは、流体流動部材18内部を、図6中、矢印A方向の順方向に流れ、ポンプ21に流入する。流体流動部材18内部の容積が減少初期状態した場合には、図6Bに示すように、入口流路側容積調整室19の伸長により、流体流動部材18内部の冷却液体Xが入口流路側容積調整室19内部に流入する。上記実施形態では、入口流路側容積調整室19は、夫々1つのベローズで構成されていたが、ベローズの数は1つに限らず、2つ以上であってもよい。ポンプの構成図7は、本実施形態に係わるポンプ21を示す断面図である。積層型圧電素子の保持部材であるケース38の下部には、底板40が溶接によって堅固に固定されている。ポンプの駆動源である積層型圧電素子42の上面には補強板44が予め接着され、積層型圧電素子ユニットを構成し、前記ケース38内部に固定される。この固定は、積層型圧電素子42の下面と前記底板40上面の接着による。積層型圧電素子42の固定後、ケース38の上面と補強板44の上面は研削加工によって、同一平面に加工している。この加工の際に、積層型圧電素子42には、駆動時における積層型圧電素子42の駆動電圧の中心値が印加される。したがって、積層型圧電素子42と補強板44との上面には、積層型圧電素子42への電圧がかけられていない状態では段差が発生する。研削加工後、補強板44とケース38との双方に、ダイアフラム46が接着される。ダイアフラム46は、厚さ20μmのステンレス鋼薄板で形成されているが、補強板44とケース38とに接着した下面とは反対側にあたる上面は樹脂皮膜を付けてある。このダイアフラム46をケース38との間に挟む形でポンプ室部材48が取り付けられている。ケース38とポンプ室部材48のダイアフラム46の外周固定部の内周部の形状とは、ケース38の方が若干大きくなっている。ポンプ室部材48は、ポンプ室48a、細管部48b、出口接続管路出口流路48cがその内部に形成されている。ケース38とポンプ室部材48との固定は、図示しないビスで行われている。ポンプ室部材48の上部には、入口流路部材50が嵌合され、図示しないビスによって固定されている。ポンプ室48aはダイアフラム46が駆動されることによって容積が変更される。出口接続管路48cはポンプ室48aから流体を流出させる。開放されている入口流路部材50の上面は、柔軟かつガスバリア性の高い振動板圧力調整要素52によって封止されている。振動板52はバッファー室50cの容積を調整させる。振動板52はその形状を変化させることでバッファー室50cの容積を調整させる。振動板52は、柔軟性を有する部材で形成されている。振動板52の材質としては、柔軟性とガスバリア性とを両立するために、金属例えばステンレス、アルミニウム等薄膜と樹脂との複合材料等が好ましい。PVCフィルムをバッファー室50cの天井に貼り付けたもの又はシリコン樹脂等、柔らかいチューブでもよい。圧力調整板52の表面は伸縮自在な折り目或いは同心円状の波状が付いていてもよいし、蛇腹構造に形成されていてもよい。蛇腹構造は螺旋状であっても夫々が独立した蛇腹であってもよい。リード弁53は入口流路50aとポンプ室48aとの間に設けられ、入口流路50aを開閉させる。入口流路50aはポンプ室48aへ流体を流入させる。入口流路50aが設けられた入口流路部材50の突出部には図示しない入口管路が接続され、同様にポンプ室部材48の突出部には図示しない出口管路が接続される。この入口管路と出口管路とは、適当な柔軟性を持った樹脂チューブ等で構成されている。次に、本実施形態のポンプ内部の流路について説明する。図示しない入口管路から流入した流体は、バッファー室50cからポンプ室48aに流入する。バッファー室50cのポンプ室48aへの流路は、徐々に縮小され約φ0.5mmの穴となりポンプ室48aへ連通している。このバッファー室50cとポンプ室48aとの境界部には、15μmのステンレス鋼薄板で形成されたリード弁流体抵抗要素53がチェック弁として設置され、ポンプ室48aからバッファー室50cへの逆流を防止している。ポンプ室48aは、細管部48bが開口する接続部分と、ダイアフラム46上部の扁平形状の圧縮部分で構成される。ポンプ室48aから出た流体は、細管部48b、出口接続管路48cを通り、図示しない接続管路に送出される。ポンプの動作次に、本実施形態のポンプ21の動作について説明する。流路のイナータンス値Lを定義する。イナータンス値Lは、流路の断面積をS、流路の長さをl、作動流体の密度をρとした場合に、L=ρ×l/Sで与えられる。流路の差圧をΔP、流路を流れる流量をQとした場合に、イナータンス値Lを用いて流路内流体の運動方程式を変形することで、ΔP=L×dQ/dtという関係が導き出される。つまりイナータンス値Lとは、単位圧力が流量の時間変化に与える影響度合いを示しており、イナータンス値Lが大きいほど流量の時間変化が小さく、イナータンス値Lが小さいほど流量の時間変化が大きくなる。複数の流路の並列接続や、複数の形状が異なる流路の直列接続に関する合成イナータンス値は、個々の流路のイナータンス値を、電気回路におけるインダクタンスの並列接続、直列接続と同様に合成して算出すればよい。具体的には、複数の流路を並列接続した場合の合成イナータンス値は、電気回路におけるインダクタンスの並列接続と同様に合成して求められる。複数の形状が異なる流路の直列接続した場合の合成イナータンス値は、電気回路におけるインダクタンスの直列接続と同様に合成して求められる。流路に柔軟部等の圧力調整要素がある場合は、合成イナータンス値は圧力調整要素まで考慮すればよい。したがって本実施形態のポンプにおいて、入口流路の合成イナータンス値は、圧力調整要素である圧力調整板52からリード弁53までの合成イナータンス値となる。一方、出口流路の合成イナータンス値は、細管部48bと出口接続管路48cのイナータンス値の合計となる。出口流路は入口流路に比較して、流路の長さも長く、流路の断面積も小さいため、出口流路の合成イナータンス値は入口流路より大きくなっている。第3の実施形態冷却システムの構成図8は、本実施形態に係る冷却システム9の概略構成を示す模式図である。本実施形態の説明においては第1の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。本実施形態の冷却システム冷却装置9は、冷却媒体Xを介して発熱体Hを冷却するためのものであり、図8に示すように、流体流動部材チューブ循環流路18、ポンプ2021、及び受熱部22を備えて構成されている。これは第1の実施形態における放熱部、冷却媒体冷却部、モーター制御部、温度センサー、及び温度管理部を省略した構成である。すなわち、発熱体Hを冷却した後の冷却媒体Xの熱は、冷却媒体Xが流体流動部材18を介して、流体流動部材18外に供与されるものである。この場合には、流体流動部材18の長さを調節することにより、発熱体Hを冷却した後の冷却媒体Xを、所望の温度にすることができる。流体流動部材18及びポンプ2021をプロジェクター内部における通風状態の良いところに設置することが好ましい。変形例1図9は、本変形例に係る容積調整室を示す断面図である。本変形例は、上記実施形態において、出口流路側容積調整室第2容積調整室25を追加した構成である。出口流路側容積調整室25は、流体流動部材18の出口接続管路出口流路48c側に設けられている。出口流路側容積調整室25は、ポンプ21から流出する冷却液体Xの脈動吸収用である。入口流路側容積調整室19と出口流路側容積調整室25とは、ポンプ21に対して並列に配置されている。出口流路側容積調整室25は、ベローズ状に形成された伸縮管である。入口流路側容積調整室19及び出口流路側容積調整室25は、天秤27を介して1つのばね23と接続されている。天秤27のばね23の位置を変化させることによって入口流路側容積調整室19及び出口流路側容積調整室25にバランスよく力を伝えることができる。入口流路側容積調整室19及び出口流路側容積調整室25は、力学的に連結されていて内部の冷却液体Xが減ったときにも互いにバランスがとれる。入口流路側容積調整室19は、出口流路側容積調整室25より柔らかい材料で柔軟に変形させてもよい。変形例2図10は、本変形例に係る容積調整室を示す断面図である。本変形例は、上記変形例において、入口流路側容積調整室19と出口流路側容積調整室25とを、ポンプ21に対して直列に配置している。入口流路側容積調整室19と出口流路側容積調整室25とは、1つのばね23と接続されている。ポンプ21は、入口流路側容積調整室19と出口流路側容積調整室25とに挟まれることで振動が外部に伝わりにくくなり、静穏化が可能である。変形例3図11は、本変形例に係る容積調整室を示す断面図である。本変形例は、上記変形例において、ポンプ2021は、入口流路側容積調整室19と出口流路側容積調整室25とに覆われるように配置している。底付き円筒型のベースユニット60の上面に入口流路側容積調整室19、入口流路側容積調整室側密封ケース62、出口流路側容積調整室側密封ケース64、出口流路側容積調整室25の順で重ねられ、それぞれの縁部をリング部材66によって押さえられている。リング部材の固定には複数のボルト68を用いている。入口流路側容積調整室側密封ケース62と出口流路側容積調整室側密封ケース64で形成されるポンプユニット格納室70にはポンプ2021及びポンプ駆動回路72が固定されている。入口流路側容積調整室側密封ケース62及び出口流路側容積調整室側密封ケース64にはそれぞれポンプ2021と連通する流路74,76が設けられている。その他変形例上記実施形態では、透過型の液晶パネル液晶ライトバルブ12を採用していたが、これに限らず、反射型の液晶パネルを採用してもよく、あるいは、ディジタルマイクロミラーデバイステキサスインスツルメント社の商標を採用してもよい。上記実施形態では、液晶ライトバルブ12を3枚設けた構成としていたが、これに限らず、1枚のみの液晶ライトバルブ12を設ける構成としてもよい。上記実施形態では、スクリーンを観察する方向から投射を行うフロントタイプのプロジェクターの例のみを挙げたが、本発明は、スクリーンを観察する方向とは反対側の投射を行うリアタイプのプロジェクターにも適用可能である。上記実施形態では、プロジェクターを採用したが、これに限らず、その他の電子機器、例えばCPUCentralProcessingUnit等を備えたパーソナルコンピューター、プリンター、あるいは医療機器例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置に本実施形態に係る冷却システムを採用してもよい。上記実施形態においては、冷却媒体冷却部26がファン駆動モーター34及びファン36から構成されているものとして説明した。しかしながら、本実施形態はこれに限定されるものではなく、冷却媒体冷却部26としてペルチェ素子等を用いることもできる。入口流路側容積調整室19及び出口流路側容積調整室25は、エアシリンダー、ダイアフラム、あるいは一般的に合成樹脂やアルミ箔を積層加工ラミネート加工したフィルムの容器であってもよい。入口流路側容積調整室19及び出口流路側容積調整室25は、エアー圧力を推力に変換する装置であれば、特に制限はない。"