"基板検査装置に取り付けられ、被検査基板に設けられた配線パターンの電気的特性に関する検査に用いられる基板検査治具であって、治具本体と、略マトリクス状に配設された複数の電極部を有し、前記治具本体に交換可能に取り付けられる電極ユニットと、複数のプローブと、前記複数のプローブを保持するプローブ保持部材とを有し、その各プローブの後端部が前記電極ユニットのいずれかの前記電極部と電気的に接触するように、前記電極ユニット又は前記治具本体に交換可能に取り付けられる検査ヘッドと、を備え、前記検査ヘッドの前記プローブは、その先端部が検査対象の前記被検査基板の前記配線パターン上に設定される検査点に対応するように配置され、前記電極ユニットの前記電極部は、前記プローブの配置形態の異なる複数種類の前記検査ヘッドに対応可能なように、前記検査ヘッドの前記プローブの配設ピッチよりも小さな配設ピッチで略マトリクス状に配設されていることを特徴とする基板検査治具。請求項1に記載の基板検査治具において、前記電極ユニットは、前記プローブニットとの対向面に形成された複数の電極孔を有する絶縁性の電極基台材と、導電性の略棒状の形態を有し、前記電極基台材の前記電極孔内に配設され、前記電極部を構成する電極ヘッド部と、導電性を有するとともに略コイルバネ状の形態を有し、前記電極孔内に挿入され、その伸縮方向の一方側端部が前記電極ヘッド部の後端側に当接される導電コイルバネ材と、導電性を有し、その先端部が前記電極孔内に挿入されて前記導電コイルバネ材の前記伸縮方向の他方側端部に当接される中継接続材と、を備えることを特徴とする基板検査治具。請求項2に記載の基板検査治具において、前記電極基台材の前記電極孔内には、前記電極ヘッド部の一部と当接して前記電極ヘッド部の前記検査ヘッド側への変位を止める当接部が設けられ、前記導電コイルバネ材は、前記電極孔内において伸縮方向に圧縮された状態で前記電極ヘッド部と前記中継接続材との間に介挿されていることを特徴とする基板検査治具。請求項3に記載の基板検査治具において、前記電極ユニットの前記電極ヘッド部の前記プローブの後端部側に向いた先端部は、前記検査ヘッドの前記プローブが当接されていない状態において、前記電極基台材の前記検査ヘッドとの対向面と、実質的に揃えられた位置に配置されていることを特徴とする基板検査治具。請求項3に記載の基板検査治具において、前記電極ユニットの前記電極ヘッド部の前記プローブの後端部側に向いた先端部は、前記検査ヘッドの前記プローブが当接されていない状態において、前記電極基台材の前記検査ヘッドとの対向面に対して前記検査ヘッドと離反する方向に凹状に後退した位置に配置されていることを特徴とする基板検査治具。請求項1に記載の基板検査治具において、前記電極ユニットには、前記電極部の前記配設ピッチが異なる複数の電極形成領域が設けられていることを特徴とする基板検査治具。請求項1に記載の基板検査治具において、前記電極ユニットの前記電極部の前記プローブの前記後端部側に向いた先端部は、その中央部が略凹状に窪んだ窪み形状を有することを特徴とする基板検査治具。請求項1に記載の基板検査治具において、前記電極ユニットの前記電極部の前記プローブの前記後端部側に向いた先端部の周縁部は、前記プローブの前記後端部側に突出する複数の突起が形成されていることを特徴とする基板検査治具。請求項1に記載の基板検査治具において、前記検査ヘッドの前記プローブの前記先端部及び後端部は、前記プローブ保持部材の前記被検査基板側に向けられた先端側の端面、及び前記電極ユニット側に向けられた後端側の端面から突出していることを特徴とする基板検査治具。請求項1に記載の基板検査治具と、前記基板検査治具が取り付けられる検査装置本体とを備えた基板検査装置であって、前記検査装置本体は、前記基板検査治具を介して前記被検査基板の前記配線パターンの電気的特性を検査する検査処理部と、前記基板検査装置本体における、前記基板検査装置本体に取り付けられた前記基板検査治具の前記電極ユニットと上下方向に対向する領域から離れた位置に配置され、前記基板検査治具の前記電極部と前記検査処理部との電気的な接続関係を切り替える接続切替ユニットと、を備えることを特徴とする基板検査装置。複数のプローブを備えた検査ヘッドとともに基板検査装置に取り付けられ、被検査基板に設けられた配線パターンの電気的特性に関する検査に用いられる治具ベースユニットであって、治具本体と、略マトリクス状に配設された複数の電極部を有し、前記治具本体に交換可能に取り付けられる電極ユニットと、を備え、前記検査ヘッドが前記電極ユニット又は前記治具本体に交換可能に取り付けられるのに伴って、前記検査ヘッドの前記プローブの後端部が、前記電極ユニットのいずれかの前記電極部と電気的に接触し、前記電極ユニットの前記電極部は、前記プローブの配置形態の異なる複数種類の前記検査ヘッドに対応可能なように、前記検査ヘッドの前記プローブの配設ピッチよりも小さな配設ピッチで略マトリクス状に配設されていることを特徴とする治具ベースユニット。しかしながら、上述の従来の基板検査治具では、電極ユニットの交換が想定されていないため、プローブの配設ピッチ等が異なる検査ヘッドを設置しようとした場合には、基板検査治具全体を交換する必要があった。このため、検査対象の被検査基板の構成例えば、配線パターンの配設ピッチ等の変更に伴う基板検査治具の構成の変更の負担が大きかった。また、上記のように、接続切替ユニットが基板検査装置本体における基板検査治具の電極ユニットの下側又は上側に配置された構成では、基板検査装置における基板検査治具の電極ユニットが配置される部分及びその周辺の構成が複雑化し、基板検査治具の交換等を行い難いという問題がある。また、基板検査装置本体における基板検査治具の電極ユニットが配置される部分の下側又は上側には、基板検査治具の位置調節を行う位置調節機構が配置されることが多い。このため、上記のような構成では、接続切替ユニットが邪魔になり、位置調節機構の設置スペースを確保するのが難しい場合があった。そこで、本発明の解決すべき第1の課題は、検査対象の被検査基板の構成の変更に伴う基板検査治具の構成の変更の負担を軽減できる基板検査治具及びその関連技術を提供することである。そこで、本発明の解決すべき第2の課題は、基板検査治具及び電極ユニットの交換が容易に行えるとともに、基板検査治具の位置調節機構の設置スペース確保が容易な基板検査装置を提供することである。上記の課題を解決するため、第1の局面では、基板検査装置に取り付けられ、被検査基板に設けられた配線パターンの電気的特性に関する検査に用いられる基板検査治具であって、治具本体と、略マトリクス状に配設された複数の電極部を有し、前記治具本体に交換可能に取り付けられる電極ユニットと、複数のプローブと、前記複数のプローブを保持するプローブ保持部材とを有し、その各プローブの後端部が前記電極ユニットのいずれかの前記電極部と電気的に接触するように、前記電極ユニット又は前記治具本体に交換可能に取り付けられる検査ヘッドとを備え、前記検査ヘッドの前記プローブは、その先端部が検査対象の前記被検査基板の前記配線パターン上に設定される検査点に対応するように配置され、前記電極ユニットの前記電極部は、前記プローブの配置形態の異なる複数種類の前記検査ヘッドに対応可能なように、前記検査ヘッドの前記プローブの配設ピッチよりも小さな配設ピッチで略マトリクス状に配設されている。また、第2の局面では、第1の局面に係る基板検査治具において、前記電極ユニットは、前記プローブニットとの対向面に形成された複数の電極孔を有する絶縁性の電極基台材と、導電性の略棒状の形態を有し、前記電極基台材の前記電極孔内に配設され、前記電極部を構成する電極ヘッド部と、導電性を有するとともに略コイルバネ状の形態を有し、前記電極孔内に挿入され、その伸縮方向の一方側端部が前記電極ヘッド部の後端側に当接される導電コイルバネ材と、導電性を有し、その先端部が前記電極孔内に挿入されて前記導電コイルバネ材の前記伸縮方向の他方側端部に当接される中継接続材とを備える。また、第3の局面では、第2の局面に係る基板検査治具において、前記電極基台材の前記電極孔内には、前記電極ヘッド部の一部と当接して前記電極ヘッド部の前記検査ヘッド側への変位を止める当接部が設けられ、前記導電コイルバネ材は、前記電極孔内において伸縮方向に圧縮された状態で前記電極ヘッド部と前記中継接続材との間に介挿されている。また、第4の局面では、第3の局面に係る基板検査治具において、前記電極ユニットの前記電極ヘッド部の前記プローブの後端部側に向いた先端部は、前記検査ヘッドの前記プローブが当接されていない状態において、前記電極基台材の前記検査ヘッドとの対向面と、実質的に揃えられた位置に配置されている。また、第5の局面では、第3の局面に係る基板検査治具において、前記電極ユニットの前記電極ヘッド部の前記プローブの後端部側に向いた先端部は、前記検査ヘッドの前記プローブが当接されていない状態において、前記電極基台材の前記検査ヘッドとの対向面に対して前記検査ヘッドと離反する方向に凹状に後退した位置に配置されている。また、第6の局面では、第1の局面に係る基板検査治具において、前記電極ユニットには、前記電極部の前記配設ピッチが異なる複数の電極形成領域が設けられている。また、第7の局面では、第1の局面に係る基板検査治具において、前記電極ユニットの前記電極部の前記プローブの前記後端部側に向いた先端部は、その中央部が略凹状に窪んだ窪み形状を有する。また、第8の局面では、第1の局面に係る基板検査治具において、前記電極ユニットの前記電極部の前記プローブの前記後端部側に向いた先端部の周縁部は、前記プローブの前記後端部側に突出する複数の突起が形成されている。また、第9の局面では、第1の局面に係る基板検査治具において、前記検査ヘッドの前記プローブの前記先端部及び後端部は、前記プローブ保持部材の前記被検査基板側に向けられた先端側の端面、及び前記電極ユニット側に向けられた後端側の端面から突出している。また、第10の局面では、第1の局面に係る基板検査治具と、前記基板検査治具が取り付けられる検査装置本体とを備えた基板検査装置であって、前記検査装置本体は、前記基板検査治具を介して前記被検査基板の前記配線パターンの電気的特性を検査する検査処理部と、前記基板検査装置本体における、前記基板検査装置本体に取り付けられた前記基板検査治具の前記電極ユニットと上下方向に対向する領域から離れた位置に配置され、前記基板検査治具の前記電極部と前記検査処理部との電気的な接続関係を切り替える接続切替ユニットとを備える。また、第11の局面では、複数のプローブを備えた検査ヘッドとともに基板検査装置に取り付けられ、被検査基板に設けられた配線パターンの電気的特性に関する検査に用いられる治具ベースユニットであって、治具本体と、略マトリクス状に配設された複数の電極部を有し、前記治具本体に交換可能に取り付けられる電極ユニットとを備え、前記検査ヘッドが前記電極ユニット又は前記治具本体に交換可能に取り付けられるのに伴って、前記検査ヘッドの前記プローブの後端部が、前記電極ユニットのいずれかの前記電極部と電気的に接触し、前記電極ユニットの前記電極部は、前記プローブの配置形態の異なる複数種類の前記検査ヘッドに対応可能なように、前記検査ヘッドの前記プローブの配設ピッチよりも小さな配設ピッチで略マトリクス状に配設されている。上記第1ないし第9の局面に係る基板検査治具によれば、電極ユニットが交換可能であるので、プローブの配設ピッチ等が異なる検査ヘッドを設置しようとした場合にも、基板検査治具全体を交換することなく、電極ユニットを交換することでそれに対応できる。このため、検査対象の被検査基板の構成例えば、配線パターンの配設ピッチ等の変更に伴う基板検査治具の構成の変更の負担を軽減できる。上記第2の局面に係る基板検査治具によれば、検査ヘッドが取り付けられ、プローブの後端部が電極ヘッド部に電気的に接触された際に、導電コイルバネ材の付勢力により電極ヘッド部がプローブの後端部に弾発的に押圧されて接触されるため、プローブと電極ヘッド部との電気的な接触状態を安定させることができる。上記第3の局面に係る基板検査治具によれば、検査ヘッドが取り付けられておらず、電極ヘッド部がプローブとの当接を待ち受けている状態では、圧縮された状態で挿入された導電コイルバネ材の付勢力により電極ヘッド部が電極孔内の上限位置に弾発的に押し付けられている。このため、待ち受け状態における電極ヘッド部の先端部の位置を正確に位置決めでき、これによって、検査ヘッドが取り付けられた際に、プローブの後端部を電極ヘッド部に確実に電気的に接触させることができる。上記第4の局面に係る基板検査治具によれば、電極ユニットの電極ヘッド部のプローブの後端部側に向いた先端部が、検査ヘッドのプローブが当接されていない状態において、電極基台材の検査ヘッドとの対向面と、実質的に揃えられた位置に配置されている。それ故、プローブの後端部の電極ヘッド部への当接に伴う押圧力により、電極ヘッド部の先端部が電極基台材の前記対向面に対して検査ヘッドから離反する方向に凹状にやや後退することとなり、これによって、プローブの後端部の電極ヘッド部の先端部からの位置ずれが防止され、プローブと電極ヘッド部との当接状態を安定させることができる。上記第5の局面に係る基板検査治具によれば、電極ユニットの電極ヘッド部のプローブの後端部側に向いた先端部が、検査ヘッドのプローブが当接されていない状態において、電極基台材の検査ヘッドとの対向面に対して検査ヘッドと離反する方向に凹状に後退した位置に配置されている。それ故、プローブの後端部が電極ヘッド部に当接した後だけでなく、当接する際にも、プローブの後端部を位置ずれさせることなく電極ヘッド部の上端部に確実に当接させることができ、プローブと電極ヘッド部との当接状態をより安定させることができる。上記第6の局面に係る基板検査治具によれば、電極ユニットには、電極部の配設ピッチが異なる複数の電極形成領域が設けられているため、検査ヘッドのプローブの配設ピッチが部分的に異なっている場合にも対応できる。その結果、配線パターンの配設ピッチ等が異なる複数の領域を有する被検査基板についても、1つの基板検査治具を用いて一度に検査できる。上記第7の局面に係る基板検査治具によれば、電極ユニットの電極部のプローブの後端部側に向いた先端部の中央部が略凹状に窪んだ窪み形状を有している。それ故、プローブの後端部が電極部の先端部の窪み内に嵌り込むようにして電極部と電気的に接触するため、プローブと電極部との電気的な接触態を安定させることができる。上記第8の局面に係る基板検査治具によれば、電極ユニットの電極部の前記プローブの後端部側に向いた先端部の周縁部は、プローブの後端部側に突出する複数の突起が形成されている。それ故、プローブの後端部が、電極部の先端部の周縁部に設けられた複数の突起の内側に嵌り込むようにして電極部と電気的に接触するため、プローブと電極部との電気的な接触状態を安定させることができる。上記第10の局面に係る基板検査装置によれば、接続切替ユニットが、基板検査装置本体における、基板検査装置本体に取り付けられた基板検査治具の電極ユニットと上下方向に対向する領域から離れた位置に配置されている。それ故、基板検査装置における基板検査治具の電極ユニットが配置される部分及びその周辺の構成を簡単化でき、電極検査治具及び電極ユニットの交換作業等が容易になる。また、基板検査治具の位置調節機構の設置スペース確保も容易になる。上記第11の局面に係る治具ベースユニットによれば、電極ユニットが交換可能であるので、プローブの配設ピッチ等が異なる検査ヘッドを設置しようとした場合にも、基板検査治具全体を交換することなく、電極ユニットを交換することでそれに対応できる。このため、検査対象の被検査基板の構成例えば、配線パターンの配設ピッチ等の変更に伴う基板検査治具の構成の変更の負担を軽減できる。図1ないし図5を参照して、本発明の一実施形態に係る基板検査治具が適用された基板検査装置について説明する。この基板検査装置1は、図1に示すように、基板検査治具2と、その基板検査治具2が取り付けられる検査装置本体3とを備えており、図示しない被検査基板に設けられた配線パターンの電気的特性に関する検査に用いられる。具体的な検査としては、例えば配線パターンの導通検査、及び配線パターン間の絶縁検査等が挙げられる。基板検査治具2は、図1に示すように、治具本体6、電極ユニット7及び検査ヘッド8を備えている。なお、治具本体6と電極ユニット7とを合わせて治具ベースユニット9と呼ぶ場合もある。治具本体6は、基板検査治具2の基台部分を構成するものであり、図1に示すように、略板状の基台部材61と、その基台部材61の貫通窓部61aに取り付けられたコネクタ62とを備えている。貫通窓部61a及びコネクタ62は、基台部材61における電極ユニット7が取り付けられる取付部61aから基台部材61の延設方向である横方向に離れた位置に配置されている。このように構成される治具本体6は、検査装置本体3の図示しない治具取付部に着脱可能に取り付けられる。治具本体6と検査装置本体3との固定のための固定構造には、例えば簡単なワンタッチ操作等により固定及び固定解除が可能な構造、あるいはボルト固定等が用いられる。電極ユニット7は、図1及び図2に示すように、電極基台材71と、その電極基台材71によって保持される複数組の電極ヘッド部72、導電コイルバネ材73及び中継接続材74とを備えて構成される。このうち、電極ヘッド部72が本発明に係る電極部に相当している。電極基台材71は、図2に示すように、絶縁性を有する複数の板状部材を重ね合わせて構成されており、電極ヘッド部72、導電コイルバネ材73及び中継接続材74が挿入されて保持される複数の電極孔711が形成されている。電極孔711は、電極基台材71をこの基板検査治具2の軸方向である上下方向に貫通しており、その検査ヘッド8側であるヘッド側端部711a、及び検査ヘッド8側と反対側である底部側端部711bの部分の内径がその中間部711cの内径よりも狭く絞られている。また、電極孔711のヘッド側端部711aは、電極基台材71における検査ヘッド8との対向面712に開口している。なお、変形例として電極基台材71を1枚の板状体により構成してもよい。電極ヘッド部72は、導電性例えば、金属製の略棒状の形態を有し、先端側小径部721、中間大径部722及び後端側小径部723を有している。中間大径部722の外径は、先端側小径部721及び後端側小径部723よりも大きいとともに、電極基台材71の電極孔711の中間部711cの内径よりも小さく、かつヘッド側端部711aの内径よりも大きい。また、先端側小径部721の外径は、電極孔711のヘッド側端部711aの内径よりも小さい。このような電極ヘッド部72は、先端側小径部721が電極孔711のヘッド側端部711a内に底部側から挿入されるようにして、電極孔711内に挿入され、後述する導電コイルバネ材73の付勢力により検査ヘッド8側に弾発的に押圧された状態で保持される。この状態において、図4に示すように、電極ヘッド部72の先端側小径部721と中間大径部722との間の段差部724が、電極孔711内のヘッド側端部711aと中間部711cとの間の段差部711d本発明に係る当接部に相当と当接することにより、電極ヘッド部72の検査ヘッド8側への変位が止められている。このとき、図4に示すように、電極ヘッド部72の検査ヘッド8側に向いた先端部図4の図示例では、先端面725は、電極基台材71の検査ヘッド8との対向面712と実質的に面一に揃えられた位置に位置するように設定されている。あるいは、この図4に示す構成の変形例として、図5に示すように、電極ヘッド部72の先端部図4の図示例では、先端面725を、電極基台材71の対向面712に対して検査ヘッド8と離反する方向に凹状に後退した位置に位置するように設定してもよい。導電コイルバネ材73は、導電材料例えば、金属により形成された略コイルバネ状の形態を有し、電極孔711内においてその伸縮方向に圧縮された状態で電極ヘッド部72と後述する中継接続材74との間に介挿されている。そして、導電コイルバネ材73の伸縮方向の一方側端部が電極ヘッド部72の後端側に当接するとともに、その他方側端部が中継接続材74の先端部に当接し、これによって電極ヘッド部72と中継接続材74とが導電コイルバネ材73を介して電気的に接続される。なお、本実施形態では、導電コイルバネ材73の前記一方側端部が電極ヘッド部72の後端側小径部723に外嵌された状態で、後端側小径部723と中間大径部722との間の段差部に当接して電極ヘッド部72を検査ヘッド8側に押圧している。中継接続材74は、導電性を有し、電極ヘッド部72を後述する接続切替ユニット32に電気接続する。そして、中継接続材74の先端部が、底部側端部711bから電極孔711内に挿入され、導電コイルバネ材73を介して電極ヘッド部72と電気接続されている。中継接続材74の具体的構成としては、例えば導電性のワイヤ741と、そのワイヤ741の先端に接合された導電性を有するバネ当接部742とを備えて構成されている。ワイヤ741の線径は、電極孔711の底部側端部711bの内径よりも小さく設定されている。バネ当接部742の外径は、ワイヤ741の線径、及び電極孔711の底部側端部711bの内径よりも大きく、かつ中間部711cの内径よりも小さく設定されている。このため、電極孔711内において、バネ当接部742が底部側端部711bの検査ヘッド8側の開口部に係合し、これによって中継接続材74の電極孔711内に挿入された部分が電極孔711に抜け止めされている。電極孔711から引き出されたワイヤ741は、コネクタ62に電気接続される。なお、ワイヤ741は、導体芯の周囲を樹脂等の絶縁材により被覆しているものが好ましい。また、ワイヤ741は、電極孔711からコネクタ62まで連続したものであってもよいし、途中で他の中継ワイヤに電気接続し、その中継ワイヤを介してコネクタ62と電気接続されてもよい。また、バネ当接部742としては、例えば半田ボール等の金属製のボールが用いられる。この電極ユニット7の電極孔711及び電極ヘッド部72は、プローブ81の配置形態の異なる後述する複数種類の検査ヘッド8に対応可能なように、検査ヘッド8のプローブ81の配設ピッチよりも小さな配設ピッチで略マトリクス状に配設されている。そして、検査ヘッド8が電極ユニット7に取り付けられるのに伴って、検査ヘッド8のプローブ81の後端部81bが、電極ユニット7の略マトリクス状に配設されたいずれかの電極ヘッド部72と電気的に接触するようになっている。このとき、電極ヘッド部72は、プローブ81との当接に伴うプローブ81からの押圧力により、導電性コイルバネ材73の付勢力に抗して電極孔711の内方にやや押し込まれた状態となる。これ伴い、電極ヘッド部72の先端部725が電極基台材71の対向面712に対して検査ヘッド8から離反する方向に凹状にやや後退した状態となり、これによって、プローブ81の後端部81aの電極ヘッド部72の先端部725からの位置ずれが防止され、プローブ81と電極ヘッド部72との当接状態が安定する。このような電極ユニット7は、治具本体6の基台部材61の取付部61aに交換可能に取り付けられる。電極ユニット7と治具本体6の基台部材61との固定のための固定構造には、例えば簡単なワンタッチ操作等により固定及び固定解除が可能な構造、あるいはボルト固定等が用いられる。検査ヘッド8は、図3に示すように、導電性を有する細長い略針状の形態を有する複数のプローブ81と、その複数のプローブ81を保持するプローブ保持部材82とを備えて構成されている。プローブ保持部材82は、検査対象の図示しない被検査基板側に位置する先端側保持部材821と、電極ユニット7側に配置される後端側保持部材822と、先端側保持部材821と後端側保持部材822とを連結固定する連結部材823とを備えている。先端側保持部材821と後端側保持部材822とは、上下方向に間隔をあけた状態で連結部材823により連結されている。また、先端側保持部材821及び後端側保持部材822には、プローブ81が挿通されて保持される複数の保持孔が形成されており、先端側保持部材821の保持孔にはプローブ81の先端側が挿通されて保持され、後端側保持部材822の保持孔にはプローブ81の後端側が挿通されて保持される。このプローブ81の保持状態において、プローブ81の先端部81a及び後端部81bは、先端側保持部材821の被検査基板側に向けられた先端側の端面821a、及び後端側保持部材822の電極ユニット7側に向けられた後端側の端面822aから突出している。そして、プローブ81の先端部81aが検査対象の被検査基板の配線パターン上に設けられた検査点に電気的に接触され、後端部81bが電極ユニット7の電極ヘッド部72に電気的に接触される。なお、図3の図示例では、先端側保持部材821及び後端側保持部材822は、絶縁性を有する複数の板状部材を重ね合わせてそれぞれ構成されているが、単一の板状部材により構成してもよい。このような検査ヘッド8は、電極ユニット7に交換可能に取り付けられる。検査ヘッド8と電極ユニット7との固定のための固定構造には、例えば簡単なワンタッチ操作等により固定及び固定解除が可能な構造、あるいはボルト固定等が用いられる。変形例として、検査ヘッド8を電極ユニット7に対してではなく、治具本体2の基台部材61の取付部61aに対して直接取り付けるようにしてもよい。検査ヘッド8のプローブ81は、その先端部81aが検査対象の被検査基板の配線パターン上に設定される検査点に対応するように配置されている。すなわち、検査ヘッド8は、検査対象の被検査基板の種類ごとに複数種類用意されており、検査対象の被検査基板の種類が変更されるのに伴って適宜交換されるようになっている。これに対し、電極ユニット7の方は、プローブ81の配設形態の異なる複数種類の検査ヘッド8に対応可能なように電極孔711及び電極ヘッド部722等の構成が設定されている。このため、検査対象の被検査基板の種類が変更された際に、検査ヘッド81のプローブ81の配設形態の変更度合いが電極ユニット7の対応可能な範囲内例えば、プローブ81の配設ピッチの大きな変更がない場合等であれば、検査ヘッド8のみを交換すれば、電極ユニット7は交換しなくても済むようになっている。また、本実施形態に係る電極ユニット7は容易に交換可能であるので、仮に被検査基板の種類変更に伴う検査ヘッド81のプローブ81の配設形態の変更度合いが電極ユニット7の対応可能な範囲外例えば、プローブ81の配設ピッチが大きく変更された場合等であっても、電極ユニット7を交換すれば治具本体6は交換しなくても済むようになっている。次に、検査装置本体2の構成について説明する。検査装置本体2は、図1に示すように、検査処理部31と、接続切替ユニット32とを備えている。検査処理部31は、基板検査治具2を介して被検査基板の配線パターンの電気的特性を検査する。接続切替ユニット32は、複数のスイッチング素子例えば、半導体スイッチング素子を備えて構成され、基板検査治具2の電極ヘッド部72と検査処理部31との間を電気接続する配線に介挿され、電極ヘッド部72と検査処理部31との電気的な接続関係を切り替える。このような接続切替ユニット32は、基板検査装置本体3における、基板検査装置本体3に取り付けられた基板検査治具2の電極ユニット7と上下方向に対向する領域から横方向に離れた位置に配置されている。本実施形態では、接続切替ユニット32は、基板検査治具2の治具本体6の基台部材61の電極ユニット7と反対側に配置される。また、接続切替ユニット32の基板検査治具2側に向いた面にはコネクタ部321が設けられている。そして、そのコネクタ部321をコネクタ62に接続することにより、接続切替ユニット32が、コネクタ62、及びワイヤ741を含む中継接続材74を介して電極ヘッド部72と電気接続されている。すなわち、本実施形態では、電極ヘッド部72と接続切替ユニット32との電気接続は、まず治具本体6の基台部材61の電極ユニット7側において、電極ヘッド部72とコネクタ62との間が導電コイルバネ材73等を介してワイヤ741によって行われる。続いて、そのワイヤ741と基台部材61の電極ユニット7と反対側に配置された接続切替ユニット32とが、コネクタ62を介して電気接続される。このような基板検査装置1による検査では、まず基板検査治具2の各プローブ81の先端部81aが、被検査基板の配線パターンの各検査点に電気的に接触される。そして、接続切替ユニット32により、プローブ81の後端部81bが電気的に接触している電極ヘッド部72のうちから、検査対象となっている配線パターンの組み合わせに対応する電極ヘッド部72が選択的に検査処理部31と電気接続される。そして、検査処理部31による検査用の電力が、その選択された電極ヘッド部72及びプローブ81を介して検査対象の配線パターンに供給される。それに伴って、導通性又は絶縁性等に関する検査のための信号が、検査対象の配線パターンから、プローブ81及びその選択された電極ヘッド部72を介して検査処理部31により検出され、その検出結果に基づいて検査対象の配線パターンの導電性又は絶縁性等が良否判定される。1つの配線パターンの組み合わせに対する検査が終了すると、次の配線パターンの組み合わせについての検査が行われる。以上のように、本実施形態に係る基板検査治具2及びそれを用いた基板検査装置1によれば、電極ユニット7が交換可能であるので、プローブ81の配設ピッチ等が異なる検査ヘッド8を設置しようとした場合にも、基板検査治具2全体を交換することなく、電極ユニット7を交換することでそれに対応できる。このため、検査対象の被検査基板の構成例えば、配線パターンの配設ピッチ等の変更に伴う基板検査治具2の構成の変更の負担を軽減できる。また、検査ヘッド8が電極ユニット7に取り付けられ、プローブ81の後端部81bが電極ヘッド部72に電気的に接触された際に、導電コイルバネ材73の付勢力により電極ヘッド部72がプローブ81の後端部81bに弾発的に押圧されて接触されるため、プローブ81と電極ヘッド部72とが電気的な接触状態を安定させることができる。また、検査ヘッド8が取り付けられておらず、電極ヘッド部72がプローブ81との当接を待ち受けている状態では、圧縮された状態で挿入された導電コイルバネ材73の付勢力により電極ヘッド部72が電極孔711内の上限位置に弾発的に押し付けられている。このため、待ち受け状態における電極ヘッド部72の先端部725の位置を正確に位置決めでき、これによって、検査ヘッド8が取り付けられた際に、プローブ81の後端部81bを電極ヘッド部72に確実に電気的に接触させることができる。また、電極ヘッド部72の先端部725が、図4に示すように、検査ヘッド8のプローブ81の当接を待ち受けている状態において、電極基台材71の対向面712と実質的に揃えられた位置に配置されている。それ故、プローブ81の後端部81bの電極ヘッド部72への当接に伴う押圧力により、電極ヘッド部72の先端部725が電極基台材71の対向面712に対して検査ヘッド8から離反する方向に凹状にやや後退することとなり、これによって、プローブ81の後端部81bの電極ヘッド部72の先端部725からの位置ずれが防止され、プローブ81と電極ヘッド部72との当接状態を安定させることができる。また、図5に示す変形例に係る構成では、電極ヘッド部72の先端部725が、プローブ81との当接を待ち受けている状態において、電極基台材71の対向面712に対して検査ヘッド8と離反する方向に凹状に後退した位置に配置されている。それ故、プローブ81の後端部81bが電極ヘッド部72に当接した後だけでなく、当接する際にも、プローブ81の後端部81bを位置ずれさせることなく電極ヘッド部72の上端部725に確実に当接させることができ、プローブ81と電極ヘッド部72との当接状態をより安定させることができる。本実施形態に係る基板検査装置1によれば、図1に示すように、接続切替ユニット32が、基板検査装置本体3における、基板検査装置本体3に取り付けられた基板検査治具2の電極ユニット7と上下方向に対向する領域から横方向に離れた位置に配置されている。それ故、基板検査装置1における基板検査治具2の電極ユニット2が配置される部分及びその周辺の構成を簡単化でき、基板検査治具2及び電極ユニット2の交換作業等が容易になる。また、基板検査治具1の図示しない位置調節機構の設置スペース確保も容易になる。以下では、上述の実施形態に係る構成の変形例について説明する。上述の実施形態に係る電極ユニット7では、電極ユニット7の電極基台材71の対向面712に設けられる電極孔711及び電極ヘッド部72等を、対向面712の略全面において一様な配設ピッチで設けることを想定していた。この点に関する変形例として、図6に示すように、対向面712に、電極孔711及び電極ヘッド部72等の配設ピッチが異なる複数の電極形成領域712a,712bを設けてもよい。これにより、検査ヘッド8のプローブ81の配設ピッチが部分的に異なっている場合にも対応できるようになり、配線パターンの配設ピッチ等が異なる複数の領域を有する被検査基板についても、1つの基板検査治具2を用いて一度に検査できるようになる。また、電極ヘッド部72の先端部725の構成に関する変形例としては、図7に示す構成、及び図8a、図8bに示す構成が挙げられる。図7に示す構成では、電極ヘッド部72の先端部725が、その中央部が略凹状に窪んだ窪み形状を有している。この図7の構成によれば、プローブ81の後端部81bが電極ヘッド部72の先端部725の窪み726内に嵌り込むようにして電極ヘッド部72と電気的に接触するため、プローブ81と電極ヘッド部72との電気的な接触態を安定させることができる。また図8a及び図8bに示す構成では、電極ヘッド部72の先端部725の周縁部に、プローブ81の後端部81b側に突出する複数の突起727が形成されている。それ故、プローブ81の後端部81bが、電極ヘッド部72の先端部725の周縁部に設けられた複数の突起727の内側に嵌り込むようにして電極ヘッド部72と電気的に接触するため、プローブ81と電極ヘッド部72との電気的な接触状態を安定させることができる。"