対向する上面及び底面を有する本体を備えるウェハキャリアであって、前記本体は前記本体の前記上面の中に延在し、前記上面に対して開口している複数のポケットを有し、前記キャリアは、各ポケット内の前記本体の前記上面の下方に配置される上向き支持面と、前記ポケット内の前記支持面よりも低い高さにある床面とを画定し、前記キャリアは前記ポケットに関連付けられるロックを更に含み、各ロックは下向きロック面と、作動位置とを有し、該作動位置では、前記ロック面が関連する前記ポケットの中に又は該関連するポケットの上方に延在することにより、前記ポケット内に配置され前記支持面上に載置されるウェハが上方へと動くのを前記ロック面によって少なくとも部分的に抑止しており、前記ロックのうちの少なくとも幾つかは可動ロックであり、そのような各可動ロックは、そのようなロックの前記作動位置から、前記ロックが前記関連するポケットの中にウェハを装填するのを妨げない不作動位置まで前記キャリアの前記本体に対して移動可能である、ウェハキャリア。前記本体は、前記上面と前記底面との間に延在する中心軸と、該中心軸にあり、ウェハ処理装置の回転式スピンドルと係合するように構成される取付具とを有し、前記ポケットはそれぞれ中心を有し、前記ロックのうちの少なくとも幾つかは内側ロックであり、前記各内側ロックの前記ロック面は、その作動位置において、前記中心軸から前記関連するポケットの前記中心までの径方向距離よりも、前記中心軸から短い径方向距離に配置される、請求項1に記載のウェハキャリア。前記キャリアは、前記ポケット内の前記支持面の上方の高さにあり、前記上面の下方にある、各ポケット内の当接部を画定し、各ポケット内の前記当接部は、前記ポケット内に配置されるウェハのエッジと係合し、前記ウェハを水平方向に対して保持するように構成される、請求項2に記載のウェハキャリア。各ポケット内の前記当接部は、離隔して配置される複数の当接要素を含む、請求項3に記載のウェハキャリア。前記当接部は少なくとも2つの当接要素を含み、該当接要素は、前記中心軸から前記ポケットの前記中心までの前記径方向距離よりも、前記中心軸から長い径方向距離にある前記ポケットの部分内に配置される、請求項4に記載のウェハキャリア。前記ロックは、各ポケット内の前記当接要素のうちの少なくとも1つを画定している、請求項4に記載のウェハキャリア。前記ポケットは概ね円形であり、複数の前記ロックが前記各ポケットに関連付けられ、各ポケットに関連付けられる前記ロックは前記ポケットの周囲に互いに離隔して配置される、請求項6に記載のウェハキャリア。各ポケットに関連付けられる1つの前記内側ロックは、前記軸から前記ポケットの前記中心まで延在する径方向ライン上に配置されている、請求項2に記載のウェハキャリア。前記ロックは、各ポケット内の前記支持面の少なくとも一部を画定している、請求項1に記載のウェハキャリア。各ロックは、前記ロックの前記ロック面を画定する上部と、前記関連するポケット内の前記支持面の一部を画定する底部と、前記上部と前記底部との間に延在する中央部とを含み、前記ロックの前記上部及び前記底部は前記中央部から突出し、その間に間隙を画定し、それにより、前記ロックが作動位置にあるときに、ウェハが前記間隙の中に突出できるようにする、請求項9に記載のウェハキャリア。各ロックは、不作動位置と前記作動位置との間で概ね垂直なロック軸の回りを前記本体に対して枢動可能であり、前記ロックが前記作動位置にあるときには、前記ロックの前記上部及び前記底部は、前記ロック軸から前記関連するポケットの中に突出している、請求項10に記載のウェハキャリア。前記ロックは、前記ポケットを画定する前記本体の部分よりも低い熱伝導率を有している、請求項1に記載のウェハキャリア。水平方向に延在する対向する上面及び底面と、該上面の中に延在し、該上面に対して開口している複数のポケットとを有する本体を含むウェハキャリアであって、そのような各ポケットはウェハを保持するように構成され、前記ウェハの上面が前記本体の前記上面において露出しており、前記本体は第1の熱伝導率を有する第1の材料から形成される主要部分を含み、前記主要部分は前記ポケットと位置合わせされた垂直に延在する穴を有し、前記本体は、前記第1の熱伝導率よりも高い第2の熱伝導率を有する第2の材料から形成される小部分を更に含み、該小部分は前記主要部分の前記穴内に配置され、前記ポケットの床面を画定し、前記本体は、前記主要部分と各小部分との間に垂直に延在する熱障壁を有し、前記熱障壁は前記主要部分と前記小部分との間で水平方向に熱が伝導するのを阻止し、前記キャリアの前記本体の前記底面に熱を伝達することによって前記キャリアが加熱されるときに、前記主要部分及び前記小部分は、前記キャリアの前記本体の前記上面及び前記ウェハの前記上面にわたって相対的に均一な温度分布を与えるように構成されている、ウェハキャリア。前記小部分も前記底面の一部を画定する、請求項13に記載のウェハキャリア。前記熱障壁は、前記小部分及び前記主要部分の当接する表面間の界面を含む、請求項13に記載のウェハキャリア。水平方向に延在する対向する上面及び底面と、該上面の中に延在し、該上面に対して開口している複数のポケットとを有する本体を含むウェハキャリアであって、そのような各ポケットはウェハを保持するように構成され、前記ウェハの上面が前記本体の前記上面において露出し、前記本体は、前記ポケットと位置合わせされた垂直に延在する穴を有する主要部分を含み、前記本体は、前記主要部分の前記穴内に配置され、前記ポケットの床面を画定する小部分を更に含み、前記本体は、前記主要部分と各小部分との間に垂直に延在する境界部分を有し、該境界部分は前記主要部分の熱伝導率とは異なる、垂直方向の熱伝導率を有し、前記キャリアの前記本体の前記底面に熱を伝達することによって前記キャリアが加熱されるときに、前記主要部分及び前記小部分は、前記キャリアの前記本体の前記上面及び前記ウェハの前記上面にわたって相対的に均一な温度分布を与えるように構成されている、ウェハキャリア。前記小部分は、前記主要部分とは異なり、前記境界部分とは異なる熱伝導率を有する、請求項16に記載のウェハキャリア。前記ポケットは円形である、請求項16に記載のウェハキャリア。請求項1に記載のウェハキャリアと、チャンバと、垂直軸の回りを回転するために前記チャンバ内に配置されるスピンドルであって、前記ウェハキャリアは該スピンドルとともに回転するために該スピンドル上に取り付けられている、スピンドルと、前記ウェハキャリアの上方に配置されるガス注入要素と、前記チャンバ内に配置され、前記ウェハキャリアの前記底面に熱を伝達するように構成されるヒータとを備えてなる、ウェハ処理装置。a軸の回りでキャリアを回転させるステップであって、該キャリアは、上面と、該上面の中に延在する関連するポケット内に配置される複数のウェハとを有し、該ウェハは上向きであり、その向きは該軸に対して平行である、回転させるステップと、b前記回転させるステップ中に、前記ポケット内に配置され、前記ポケットの床面の上方の高さにある上向き支持面上に前記ウェハを支持するステップと、c下向きロック面と、該ロック面が関連する前記ポケットの中に、又は該関連するポケットの上方に延在する作動位置とを有するロックを使用することによって、前記ウェハが前記支持面から離れて上方に動かないように抑止するステップと、d前記回転させるステップ中に前記ウェハを処理するステップとを含んでなり、各ウェハの前記底面と前記ウェハを保持する前記ポケットの前記床面との間に間隙があり、前記ウェハを処理する前記ステップは、前記キャリアから前記ウェハまで、前記間隙を通して熱を伝達することを含むものである、ウェハの処理方法。前記回転させるステップ中に前記ウェハが前記軸から離れて径方向に動かないように抑止するステップを更に含む、請求項20に記載の方法。前記ウェハが前記支持面から離れて上方に動かないように抑止する前記ステップは、前記ウェハの内側部分が上方に動かないように抑止することを含み、各ウェハの前記内側部分は前記ウェハの中心と前記軸との間に配置される、請求項20に記載の方法。前記ポケットは前記キャリアの前記上面に対して開口し、前記支持面は前記ポケット内に配置され、前記ウェハの上面は前記回転させるステップ中に前記キャリアの前記上面と概ね同一平面を成す、請求項20に記載の方法。前記ウェハは、前記回転させるステップ及び前記処理するステップ中に歪む、請求項22に記載の方法。前記熱障壁は、第3の熱伝導率を有する第3の材料から形成される少なくとも1つの挿入物を含む、請求項13に記載のウェハキャリア。前記境界部分は、前記主要部分の前記熱伝導率とは異なる、垂直方向の熱伝導率を有する少なくとも1つの挿入物を含む、請求項16に記載のウェハキャリア。そのようなシステムの最適化を設計するためにこれまでに当該技術において多大な努力がささげられてきたが、なお更なる改良が望ましい。詳細には、各ウェハの表面にわたる、より良好な温度均一性、及びウェハキャリア全体にわたるより良好な温度均一性を提供することが望ましい。本発明の一態様はウェハを処理する方法を提供する。本発明のこの態様による方法は、キャリアを軸の回りで回転させるステップを含むことが望ましい。そのキャリアは、その上に配置された複数のウェハを有し、ウェハの上面は上向きであり、その向きは軸に対して平行である。その方法は、回転させるステップ中にウェハをキャリアの上向き支持面上に支持することと、回転させるステップ中にウェハが支持面から離れて上方に動かないように抑止することと、回転させるステップ中にウェハを処理することとを含むことが好ましい。処理するステップは、キャリアからウェハに熱を伝達することを含むことができる。例えば、上記のような化学気相成長プロセスは、その回転させるステップ中に実行することができる。その方法は、回転させるステップ中にウェハが軸から離れて径方向に動かないように抑止するステップを更に含むことが望ましい。本発明のこの態様による望ましい方法では、ウェハが上方に動かないように抑止することは、ウェハの歪みがキャリアとウェハとの間の伝熱に及ぼす影響を制限し、それにより、後に更に論じられるように、ウェハ表面温度の均一性を改善する。本発明の更なる態様はウェハキャリアを提供する。本発明のこの態様によるウェハキャリアは、対向する上面及び底面を有する本体を含み、本体は、本体の上面に対して開口している複数のポケットを有することが望ましい。キャリアは、各ポケット内の本体の上面下に配置される上向き支持面を画定することが好ましい。最も好ましくは、本発明のこの態様によるキャリアは、ポケットに関連付けられるロックを含む。各ロックは、下向きロック面を有することが望ましい。ロックが作動位置にあるとき、ロック面は関連するポケットの中に、又はポケットの上方に延在し、それにより、ポケット内に配置され、支持面上に載置されるウェハが、ロック面によって上方に動かないように少なくとも部分的に抑止されるようにする。本発明の更なる態様によるウェハキャリアは、水平方向に延在する対向する上面及び底面を有する本体と、上面に対して開口している複数のポケットとを含み、そのような各ポケットは、ウェハの上面が本体の上面において露出するようにしてウェハを保持するように構成される。その本体は、第1の熱伝導率を有する第1の材料から形成される主要部分を含むことが望ましい。好ましくは、主要部分はポケットと位置合わせされた垂直に延在する穴を有し、本体は主要部分の穴内に配置される小部分を更に含む。小部分は第1の熱伝導率よりも高い第2の熱伝導率を有する第2の材料から形成されることが好ましい。本体は主要部分と各小部分との間に垂直に延在する熱障壁を更に含むことができ、熱障壁は、主要部分と小部分との間で水平方向に熱が伝導するのを阻止する。本発明の更に別の態様によるウェハキャリアは、主要部分及び小部分を有する本体を含むことができ、主要部分と各小部分との間に垂直に延在する境界部分を更に有する。境界部分は、主要部分の熱伝導率とは異なる垂直方向の熱伝導率を有することが望ましい。本発明の更に別の態様は、上記のようなウェハキャリアを組み込む処理装置を提供する。本発明の1つの実施形態による化学気相成長装置が、一端にガス分配要素12が配置されている反応チャンバ10を備える。ガス分配要素12を有するチャンバ10の端は、本明細書においてチャンバ10の上top端と称される。チャンバのこの端は必ずしもではないが通常、標準の重力基準系におけるチャンバの上部topに配設されている。したがって、本明細書において用いられる下向き方向は、ガス分配要素12から離れる方向を指し、その一方で上向き方向は、ガス分配要素12に向かう、チャンバ内での方向を指す。これらの方向は、重力による上向き方向及び下向き方向と一致するalignedwithか否かには関係ない。同様に、部材の上面及び底面は、本明細書において、チャンバ10及びガス分配要素12の基準系を参照して説明される。ガス分配要素12は、キャリアガス及び反応ガスのような、CVDプロセスにおいて用いられることになるガスの供給源14に接続され、反応ガスの供給源は、例えば、III族金属、通常、金属有機化合物の供給源、及び例えば、アンモニア又は他のV族水素化物のようなV族元素の供給源である。ガス分配要素は、種々のガスを収容し、ガスの流れを概ね下方に向けるように構成される。ガス分配要素12は、動作中に要素の温度を所望の温度に保持するために、ガス分配要素の中に液体を循環させるように構成される冷却液システム16にも接続されることが望ましい。チャンバ10は排気システム18も備えており、排気システム18は、ガス分配要素から下方にガスを連続して流すことができるようにするために、チャンバの底部に、又は底部付近にあるポート図示せずを通してチャンバの内部から使用済みのガスを除去するように構成される。スピンドルの中心軸22が上方及び下方に延在するように、スピンドル20がチャンバ内に配置される。スピンドルは、その上端部、すなわち、ガス分配要素12に最も近いスピンドルの端部において取付具24を有する。図示される特定の実施形態では、取付具24は概ね円錐形の要素である。スピンドル20は電気モータドライブのような回転ドライブ機構26に接続され、その機構は、軸22の回りでスピンドルを回転させるように構成される。加熱要素28がチャンバ内に取り付けられ、取付具24の下方でスピンドル20を包囲する。チャンバはウェハキャリアの挿入及び取出しのための開閉式ポート30も設けられる。上記の要素は従来の構造からなることができる。例えば、適切な反応チャンバは、本出願の譲受人である、VeecoInstrumentsInc米国ニューヨーク州プレーンビューからTURBODISCの商標で市販されている。図1に示される動作条件において、ウェハキャリア32がスピンドルの取付具24に取り付けられる。ウェハキャリアは、上面及び底面に対して垂直に延在する中心軸25を有する、概ね円板形の本体を含む構造を有する。ウェハキャリアの本体は、本明細書において上面34と呼ばれる第1の主面と、本明細書において底面36と呼ばれる第2の主面とを有する。ウェハキャリアの構造は、スピンドルの取付具24に係合し、スピンドル上にウェハキャリアの本体を保持するように構成される取付具39も有し、上面34がガス分配要素12に向かって上向きになり、底面36が加熱要素28に向かって、ガス分配要素から離れて下向きになるように保持される。一例にすぎないが、ウェハキャリア本体は直径が約465mmとすることができ、上面34と底面36との間のキャリアの厚みは概ね15.9mmとすることができる。図示される特定の実施形態では、取付具39は本体32の底面内に切頭円錐の凹部として形成される。しかしながら、その開示が引用することにより本明細書の一部をなすものとする、同じ譲受人に譲渡された同時係属の米国特許出願公開第2009-0155028号において記述されるように、その構造は、本体とは別に形成されたハブを含むことができ、取付具はそのようなハブ内に組み込むことができる。また、取付具の構成は、スピンドルの構成にもよる。本体は主要部分38を含むことが望ましく、この主要部分は、例えば、炭化シリコン、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化アルミニウム、アルミナ、サファイア、石英、グラファイト、及びそれらの組み合わせからなる群から選択された材料のような非金属、耐火性の第1の材料のモノリシックスラブとして形成され、例えば、炭化物、窒化物又は酸化物のような耐火物コーティングを有する場合、有しない場合がある。キャリアの本体は上面に対して開口している複数の円形ポケット40を画定する。図1及び図3に最もわかりやすく示されるように、本体の主要部分38は概ね平坦な上面34を画定する。主要部分38は、主要部分を貫通して、上面34から底面36まで延在する穴42を有する。小部分44が各穴42内に配置される。各穴内に配置される小部分44は、ポケット40の床面46を画定し、床面は上面34から下方に後退している。小部分44は、第2の材料、好ましくは、例えば、炭化シリコン、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化アルミニウム、アルミナ、サファイア、石英、グラファイト、及びそれらの組み合わせからなる非金属耐火性材料から形成され、例えば、炭化物、窒化物又は酸化物のような耐火物コーティングを有する場合、有しない場合がある。第2の材料は、主要部分を構成する第1の材料とは異なることが望ましい。第2の材料は、第1の材料の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有することが最も好ましい。例えば、主要部分がグラファイトから形成される場合、小部分は炭化シリコンから形成することができる。小部分44及び主要部分38は共同で本体の底面36を画定する。図3に示される特定の実施形態では、主要部分38の底面は平坦であり、小部分44の底面は主要部分の底面と同一平面を成すので、底面36は平坦である。小部分44は穴40の壁と摩擦係合する。例えば、小部分は穴に圧入することができるか、又は主要部分を高温に上げて、冷たい小部分を穴に挿入することによって締まりばめすることができる。全てのポケットが均一な深さからなることが望ましい。この均一性は、全ての小部分を均一な厚みに形成することによって、例えば、小部分を研削又は研磨することによって容易に達成することができる。各小部分44と、主要部分38の包囲している材料との間に熱障壁48が存在する。熱障壁は、キャリアの上面及び底面に対して平行な水平方向において熱伝導率を有する領域であり、その熱伝導率は主要部分のバルク材料の熱伝導率よりも低い。図3に示される特定の実施形態では、熱障壁は、例えば、穴42を画定する主要部分38の壁内の溝によって形成される約100マイクロメートル厚以上の間隙のような、肉眼視できる程度の間隙48を含む。この間隙は、空気又は動作中に存在するプロセスガスのようなガスを含み、それゆえ、隣接する固体材料よりもはるかに低い熱伝導率を有する。小部分44及び主要部分38の当接する表面も熱障壁の一部を画定する。これらの表面は互いに肉眼視できる程度で当接するが、いずれの表面とも完全に平滑ではない。それゆえ、当接する表面の部分間には、ガスが充填された非常に小さな間隙が存在することになる。これらの間隙も、小部分44と主要部分38との間の熱伝導を妨げることになる。図3及び図4に最もわかりやすく示されるように、キャリアは、ポケットと関連付けられるロック50も更に含む。ロック50は、小部分44の熱伝導率よりも低く、好ましくは主要部分38の熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する耐火性材料から形成されることが好ましい。例えば、ロックは石英から形成することができる。各ロックは、垂直な円柱形シャフトの形の中央部52図3と、中央部と同軸を成し、中央部の軸から離れるように外側に突出する円板形の底部54とを含む。各ロックの底部は上向き支持面56を画定する。各ロックは、中央部の軸に対して横切るように突出する上部58を更に含む。上部は中央部52の軸の回りで対称ではない。各ロックの上部58は、ロックの支持面56の上方にあるが、支持面から離隔して配置される下向きロック面60を画定する。したがって、各ロック面は、表面56と60との間で間隙62を画定する。各ロックはウェハキャリアに固定される。図3及び図5に最もわかりやすく示されるように、各ロックの中央部52は、主要部分内の穴42の壁に当接している。底部54は、穴の壁内のアンダーカット64図3の中に延在し、それにより、ロックはウェハキャリアの本体に対して垂直に動かないように保持され、底部54はポケットの床面46上に載置されるようになる。図5に示されるように、主要部分38は、ロックが水平方向に動かないように保持するために、穴42の壁からポケットの中に延在する突出部66を有することができる。ロックが図3及び図4に示される作動位置にある場合、各ロックの上部58はポケットの中心68に向かって内側に突出する。各ロックは不作動位置に回すことができ、不作動位置では、上部が図5の58’において破線で示されるように回転し、それにより、上部はポケットの中心に向かって内側に突出しなくなる。各ポケット40に対して3つのロック50が設けられる。本明細書において内側ロックと呼ばれるロック50aは、キャリア本体の中心軸25から距離D50A図4にある場所に配置され、その距離は、ポケットの中心68から中心軸25までの距離DLよりも短い。ロック50b及び50cは外側ロックであり、中心軸からポケットの中心68までの距離DLよりも、キャリアの中心軸25から離れた距離に配置される。図示される特定の構成では、ロックはポケット40の周辺を囲むように互いに離隔して配置され、隣接するロック間の間隔は等しい。内側ロック50aはキャリアの中心軸25及びポケットの中心68を通って延在する径方向ラインR上にあるのに対して、2つの外側ロック50b及び50cは、この径方向ラインの両側に配置される。動作時に、キャリアは円板形のウェハ70を装填される。各ポケットに関連付けられるロック50のうちの1つ又は複数が不作動位置にある場合、ウェハの底面72がロックの支持面56上に載置されるように、ウェハがポケット内に配置される。ロックの支持面は共同でウェハの底面72をポケットの床面46の上方に支持し、それにより、ウェハの底面とポケットの床面との間の間隙73が生じ図3、ウェハの上面74はキャリアの上面34と同一平面を成すか、又は概ね同一平面を成す。ロックを含む、キャリアの寸法は、ウェハのエッジ又は外周面76と、ロックの中央部52との間に非常に小さなクリアランスが存在するように選択される。したがって、ロックの中央部によって、ウェハはポケット内の中央に配置され、それにより、ウェハのエッジとポケットの壁との間の距離DWは、ウェハの外周の回りで概ね均一である。ロックは作動位置に動かされ、それにより、各ロックの上部58、及び下向きロック面60図3がポケット上の内側に、それゆえ、ウェハの上面74上に突出する。ロック面60は支持面56よりも高い垂直高に配置される。それゆえ、ウェハは支持面56とロック面との間に係合し、キャリアに対して上下方向に動かないように抑止される。ロックの上下の要素は、これらの要素が各ウェハの周辺に隣接してウェハ表面のわずかな部分のみと接触するように、実用可能な限り小さいことが望ましい。例えば、ロック面及び支持面は、ウェハ表面の数平方ミリメートルのみと係合することができる。通常、キャリアが反応チャンバの外部にあるときに、ウェハがキャリア上に装填される。キャリアは、その上にあるウェハとともに、従来のロボット装置図示せずを用いて反応チャンバ内に装填され、それにより、キャリアの取付具39がスピンドルの取付具24と係合し、キャリアの中心軸25がスピンドルの軸22と一致するようになる。スピンドル及びキャリアはこの共通の軸の回りを回転する。用いられる特定のプロセスに応じて、そのような回転は、毎分数百回転、又はそれ以上にすることができる。ガス供給源14が作動して、プロセスガス及びキャリアガスをガス分配要素12に供給し、それにより、これらのガスがウェハキャリア及びウェハに向かって下方に流れ、その後、キャリアの上面34にわたって、ウェハの露出した上面74にわたって概ね径方向外側に流れる。ガス分配要素12及びチャンバ10の壁は相対的に低い温度に保持され、これらの表面においてガスが反応するのを阻止する。ヒータ28が作動して、キャリア及びウェハを所望のプロセス温度まで加熱し、その温度は或る化学気相成長プロセスの場合に概ね500°C~1200°Cとすることができる。熱は主に放射伝熱によってヒータからキャリア本体の底面36に伝達される。その熱は伝導によってキャリア本体の主要部分38を通って本体の上面34まで上方に流れる。また、熱は、ウェハキャリアの小部分44を通り、ポケットの床面とウェハの底面との間の間隙73を横切って、ウェハを通ってウェハの上面74まで上方に流れる。熱は放射によって本体及びウェハの上面からチャンバ10の壁に、ガス分配要素12まで伝達され、プロセスガスにも伝達される。プロセスガスは、ウェハの上面において反応し、ウェハを処理する。例えば、化学気相成長プロセスでは、プロセスガスはウェハ上面上に堆積物を形成する。通常、ウェハは結晶材料から形成され、その堆積プロセスはウェハ材料の格子間隔に類似の格子間隔を有する結晶材料のエピタキシャル堆積である。プロセスを均一にするために、各ウェハの上面の温度はウェハの上面全体にわたって一定に、キャリア上の他のウェハの温度に等しくすべきである。これを果たすために、各ウェハの上面74の温度は、キャリア上面34の温度に等しくすべきである。キャリア上面の温度は、本体の主要部分38を通しての伝熱速度によって決まるのに対して、ウェハ上面の温度は、小部分44、間隙73及びウェハ自体を通しての伝熱速度によって決まる。小部分44の熱伝導率が高く、結果として熱抵抗が低いことが、間隙73の高い熱抵抗を補償し、それにより、ウェハ上面がキャリア上面の温度に概ね等しい温度に保持される。これは、ウェハのエッジとキャリアの包囲する部分との間の伝熱を最小限に抑え、それにより、各ウェハの上面全体にわたって均一な温度を保持するのを助ける。この効果を与えるために、ポケット46の床面は主要部分38の隣接する部分よりも高い温度でなければならない。小部分44と本体の主要部分38との間の熱障壁48は、小部分44から主要部分への熱損失を最小限に抑え、それにより、この温度差を保持するのを助ける。動作中に、キャリアの回転によって引き起こされる遠心力に起因して、各ウェハはキャリアの中心軸25から離れるように動く傾向がある。各ウェハはロックの中央部52によってポケット内の中心に位置するように正確に保持される。遠心力は、各ウェハを外側ロック50b及び50cの中央部52に対して押し付けるように作用する。これらの部分は当接要素としての役割を果たし、ウェハが外側に動かないように抑止する。ウェハの正確な中心合わせによって、ウェハのエッジとポケットの包囲壁との間の均一な距離DWが保持され、ウェハとポケット壁が直接接触するのが避けられる。これはウェハとキャリアとの間の伝熱を最小限に抑え、伝熱があっても、ウェハの中心に対して径方向に概ね対称に生じるのを確実にするのに有効である。動作中に、ウェハは平坦な円板からドーム形に歪む場合がある。例えば、ウェハの結晶材料の歪みのない格子間隔とはわずかに異なる歪みのない格子間隔を有する結晶材料のエピタキシャル堆積は、ウェハの上面に引張応力又は圧縮応力を加え、そのような応力を緩和するためにウェハが歪む。図6は、図3に示されるのと同じウェハ及びポケットを示すが、ウェハ70はドーム形に歪んでいる。そのような歪みによって、ウェハの中心がポケットの床面46に向かって、又は床面から離れるように弓状に曲がり、それにより、ウェハ底面72と床面46との間の間隙73の高さが変化する。ウェハのエッジがロック50によって上方に動かないように抑止されている場合、間隙の高さの差ΔHは相対的に小さい。それは以下の式によって与えられる。ΔH=Kd2/8ここで、Kはウェハ曲率であり、dはウェハの直径である。図7に示される従来のウェハキャリアでは、ポケットはアンダーカットされた周壁142及び円形の支持面156を有する。ウェハは、キャリアの中心軸から最も離れている周壁の外側部分142aに当接して載置されるようになる。アンダーカットされた周壁は支持面156に当接するようにウェハの外側部分101を押下する。しかしながら、キャリアの中心軸に最も近い、ウェハの内側部分103はキャリアに対して上方に動かないように抑止されないので、ウェハが曲がると、内側部分103は、支持面156から離れるように上方に持ち上がる。これにより、ウェハの底面172とポケットの床面146との間の間隙173の高さの差ΔH’が大きくなる。従来のウェハキャリアを用いるとき、以下の式が成り立つ。ΔH’=Kd2/2別の言い方をすると、ウェハのエッジがロックによって抑止されている図3場合の差ΔHは、従来のキャリアの場合の差ΔH’の4分の1にすぎない。間隙を横切る伝熱速度は間隙の高さに比例して変化するので、間隙高の差の劇的な減少は、それに応じて、ウェハの種々の部分に対する伝熱の差を減少させる。さらに、ウェハがロックによって抑止されている場合図3、間隙高、それゆえ、伝熱は、ウェハの中心に対して径方向に対称なパターンにおいて変化する。ウェハが抑止されるとき、ウェハエッジの内側部分は持ち上がらないので、ウェハキャリア上面及びウェハ上面にわたるガスの流れにおいて、ウェハのエッジがキャリアの上面から上方に突出することによって引き起こされる外乱は生じないであろう。ロック自体がガスの流れに小さな局所的外乱を引き起こす場合がある。この現象は、ロック、特にロックの上部58をできる限り小さく、できる限り薄くすることによって最小限に抑えられる。また、ロックの上部は流線形を有することが好ましい。ロックを通しての伝導によって或るわずかな量の伝熱が生じることになるが、この影響はロックとウェハとの間の接触面積が小さいことによって、ロックの熱伝導率が低いことによって制限される。上記の構成は変更することができる。例えば、上記のようなロックは、上記の小部分を用いない単一の本体を有するウェハキャリアとともに用いることができる。また、ロック、支持面及び当接要素の構成を上記の構成から変更することができる。図8~図10に示されるウェハキャリアは、ポケット240を画定する単一の本体232を有する。各ポケット内の上向き支持面が、ポケットの床面246上に載置される円板状のボタン形の複数の小さな支持要素254によって画定される。これらの支持要素は、ポケットの周辺を囲むように分散配置される。各ポケットはロック250も有する。そのロックは、キャリアの中心軸225に対して近接離反する方向に動かすために、キャリア本体にスライド可能に取り付けられる。ロックはウェハ係合面260図8及び図10に示されるを有し、ウェハ係合面は、ポケットの中心268から離れるように下方に傾斜する。別の言い方をすると、表面260の下側部分ほど、同じ表面の上側部分よりも、ポケットの中心268から離れ、キャリアの中心軸225に近づくように位置する。したがって、表面260は、床面246に向かって下向きであり、ポケットの中心に向かって内向きである。キャリアは溝202を有し、溝は図9に断面で示されるように、ハトの尾の形状又は概ね台形の形状を有する。ロック250は、対応する形状を有する。ロックは、250’において破線で示される不作動位置と、実線で示される作動位置との間で動くことができるように、溝内に係合する。作動位置では、係合面260を有するロックの端部がポケットの垂直壁242を越えてポケットの中に延在し、それによってその表面260がポケット内に収容されるウェハ270の上側エッジを押すようになる。キャリアの回転によって引き起こされる遠心力は、ロックが中心軸225から離れるように、それゆえ、ポケットの中心268に向かうように作用する。したがって、キャリアが回転すると、ロック250がウェハの内側部分253を押下し、ウェハを支持体254に強制的に係合させる。ロックの寸法は、明確に図示するために誇張されている。実際には、ウェハと接触するロックのそれらの部分は、実用可能な限り小さくして、ロックを通しての伝熱を最小限に抑えるべきである。各ポケットは当接要素252も有する。当接要素は、ポケットの中心268よりも、キャリアの中心軸225から離れた距離に配置される。当接要素は、中心軸225から離れるように下方に傾斜する表面269を有する。動作時に、ウェハにかかる遠心力は、ウェハを表面269に押し付ける傾向があり、それにより、当接要素はウェハの外側部分251を支持体254に当接するように押下する。当接要素は、キャリア本体と別に形成することができるか、又はキャリア本体と一体に形成することができる。更なる変形形態図11では、石英、又は主要部分及び小部分の熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する別の材料から形成されたブッシング348によって、キャリア本体の小部分344を主要部分338に取り付けることができる。ここで再び、小部分は主要部分よりも高い熱伝導率を有することが望ましい。ブッシングは、小部分と主要部分との間の熱障壁の一部としての役割を果たす。ブッシングと小部分との間、及びブッシングと主要部分との間の固体間の界面も、更なる熱障壁を提供する。この変形形態では、ブッシングはポケットの垂直壁342を画定する。図12の実施形態は、図1~図6を参照しながら上記で論じられた実施形態に類似であるが、各小部分444が主要部分438内の対応する穴442よりも小さな直径の本体443を含み、それにより熱障壁として間隙448が設けられることが異なる。小部分と穴442との同心性を保持するために、各小部分は、主要部分438内に間隙なく嵌め込まれるヘッド445も含む。図13のウェハキャリアは、図1~図6を参照しながら上記で論じられたキャリアに類似の主要部分及び小部分544を含む。しかしながら、図13のキャリア本体は、小部分を取り囲み、各小部分と主要部分との間に配置される環状の境界部分502を含む。境界部分502は、主要部分及び小部分の熱伝導率とは異なる熱伝導率を有する。図示されるように、境界部分は、各ポケットの周辺部の下方に位置合わせされる。更なる変形形態では、境界部分は、各ポケットを包囲する上面534の一部の下方に位置合わせすることができる。境界部分の熱伝導率は、ウェハのエッジへの/からの伝熱を相殺するように独立して選択することができる。例えば、上面534の部分がウェハよりも熱い傾向がある場合には、境界部分の熱伝導率を主要部分の熱伝導率よりも低くすることができる。上記のウェハキャリア及び装置はウェハの表面にわたる温度差を著しく小さくすることができる。しかしながら、上記の特徴を用いる場合であっても、或る温度不均一性が生じる可能性がある。その温度分布は各ウェハの中心の回りで径方向において概ね対称であるので、温度差を抑制する傾向がある他の措置を容易に適用することができる。例えば、その開示が引用することにより本明細書の一部をなす、同じ譲受人に譲渡された同時係属の米国特許出願公開第2010-0055318号において記述されているように、ウェハキャリアの熱伝導は、その厚みを変更することによって変更することができる。例えば、図6に示されるように、ウェハが、ポケットの中心において、ポケットの床面に向かって弓状に曲がる傾向がある場合、ポケットの中心における間隙の熱伝導はポケットのエッジ付近の間隙の熱伝導よりも高いであろう。これは、ポケットの中心の下方の本体の領域において熱伝導を低減できるように、このエリアにおいてキャリア本体の厚みを増すことによって相殺することができる。上述した特徴の他の変形及び組合せを利用することができるため、好ましい実施形態の上述した説明は、本発明の範囲の限定としてではなく例示として解釈されるべきである。