"光透過性を有する長尺状の外套管内に、長尺状のランプを挿入した光源エレメントを有する光源部と、上記光源エレメントの上記外套管の一端側から、該外套管と上記ランプの間に冷却風を導入し、上記外套管の他端側から上記冷却風を排出するランプ冷却機構と、光源エレメントから放射される光が照射されるワークが置かれるワークステージと、上記光源部と上記ワークステージの間に配置した、上記光源エレメントからの光を反射する反射面を内面に有する筒型ライトガイドとを備えた紫外線照射装置において、上記筒型ライトガイドの反射面のうち、上記光源エレメントを流れる冷却風の排出される側に設けた反射面の一部に、反射する光の量を低下させる反射光量低下手段を設けたことを特徴とする紫外線照射装置。上記反射光量低下手段は、メッキにより上記反射面を黒色化したものであることを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射装置。上記で示した紫外線照射装置を用いて、ランプ25を点灯し、ワークステージ上で、紫外線の照度分布を測定したところ、図14に示すように、矩形状の光照射領域の一部、具体的には、照射領域のある一辺に近い部分の紫外線照度が高くなるという現象が生じた。PSAなど処理のためには、光照射領域の照度均一度は±5以下、さらにはプロセスマージンを考慮すれば±2.5以下が望まれている。しかし、このように、一部の紫外線照度が高くなると、±5以下の照度均一度の要求に応えられず、面内均一性の高い紫外線を照射することが必要な工程に、本紫外線照射装置を用いることができない。以上のように上記紫外線照射装置においては、光照射領域の一部の照度が高くなり、照度均一度が悪くなるという現象が生じた。本発明は、上記問題点を解決するものであって、本発明の目的は、上記紫外線照射装置において光照射領域の照度均一度を改善し、これにより、紫外線照射装置を±5以下、望ましくは±2.5以下の面内均一性の高い紫外線を照射することが必要な工程に使用できるようにすることである。発明者らは、鋭意検討の結果、次のことを見出した。光照射領域において照度が高くなる部分は、図14に示されるように照射領域のある一辺に近い部分である。そしてその一辺は、ランプの長手方向の一端側であて冷却風が排出される側である。上記したように、冷却風は外套管の一端側から導入され、他端側から排出される。しかし、ランプは長尺であり、冷却風の温度は導入側に比べて排出側のほうが高くなる。冷却風の温度が排出側で高くなるということは、それに応じて、ランプ自体の温度も、冷却風の導入側に比べて排出側のほうが高くなる。詳細な理由は不明であるが、図2に示すように、本発明の紫外線照射装置において使用している外套管に放電ランプを挿入した光源エレメントにおいては、ランプの温度が高くなると放射する紫外線の量放射エネルギーが増加するという関係があることがわかった。なお、図2aは光源エレメント20の長手方向に沿った断面図、図2bは光源エレメント長手方向のランプの温度分布、図2cは光源エレメント長手方向の放射エネルギー分布を示す。すなわち、上記したように、ランプの温度は冷却風の入り口部と出口部の間で温度勾配が生じることで、この温度勾配に比例してランプの輝度分布が発生し、放射エネルギーにも勾配が生ずる。そして、ランプは、温度の高い冷却風排出側の紫外線の放射エネルギーが大きくなり、ランプの冷却風が排出される側に辺に近い領域の照度が高くなる。この状態で液晶基板等の被照射物に紫外線を照射すると、被照射物の照射面で照度分布に影響がでる。前記したようにライトガイド50を配置してインテグレーションさせても、ランプの持つエネルギー勾配が反映し、被照射面には均一な照度分布の紫外線を照射することはできなかった。そこで、発明者らは、この光照射領域の一部の照度が高くなることを防ぐために、装置を次のように構成することを考えた。光源部とワークステージの間に設けている筒型のライトガイドは、特許文献2に記載されているように、光源部から出射した光のうち、所望の光照射領域外に逃げていく光を、内面の反射面で折り返すことにより、光照射領域の周辺部の照度を高くする。図3は、光源エレメント20と筒型ライトガイド50の断面図であり、光源エレメント20から出射した光の一部が、筒型ライトガイド50により反射される様子を示した図である。同図に示すように、ランプ25の温度の高い部分から放射された紫外線の放射エネルギーの大きい光が、筒型ライトガイド50の冷却風排出側の板状部材52Cの反射面において反射し、このことにより光照射領域の冷却風排出側において照度が高くなる。そこで、筒型ライトガイド50の、照度が高い側光源エレメント20の冷却風排出側の板状部材52Cの反射面の反射率を、他の反射面の反射率よりも下げることにより、冷却風排出側に生じている高い照度を低くすることができるのではないかと考えた。このため、筒型ライトガイド50において、冷却風が排出される側にあたる反射面の一部に反射する光の量を低下させる反射率低下手段を設けた具体的には、例えば黒色化したところ、光照射領域において照度の高い部分がなくなり、光照射領域の照度の均一度が改善された。すなわち、本発明においては、次のようにして前記課題を解決する。1光透過性を有する長尺状の外套管内に、長尺状のランプを挿入した光源エレメントを有する光源部と、上記光源エレメントの上記外套管の一端側から、該外套管と上記ランプの間に冷却風を導入し、上記外套管の他端側から上記冷却風を排出するランプ冷却機構と、光源エレメントから放射される光が照射されるワークが置かれるワークステージと、上記光源部と上記ワークステージの間に配置した、上記光源エレメントからの光を反射する反射面を内面に有する筒型ライトガイドとを備えた紫外線照射装置において、上記筒型ライトガイドの反射面のうち、上記光源エレメントを流れる冷却風の排出される側に設けた反射面の一部に、反射する光の量を低下させる反射光量低下手段を設ける。2上記反射光量低下手段としてメッキにより上記反射面を黒色化したものを用いる。本発明においては、筒型ライトガイドの、冷却風が排出される側にあたる反射面の一部に、反射する光の量を低下させる反射率低下手段を設けたので、光照射領域の照度均一度を改善することができた。これにより、面内均一性の高い紫外線を照射することが必要なPSAなどの処理に、本紫外線照射装置を用いることが可能となった。図1に、本発明の実施例の紫外線照射装置の構成を断面図で示す。図8により示した従来の装置と構成の異なる構成は、筒型ライトガイド50に反射率低下手段55を設けたことであり、その他の構成は基本的に同一である。すなわち、前記したように紫外線照射装置は、光源部10、ランプ冷却機構40、筒型ライトガイド51反射率低下手段55を設けた筒型ライトガイドを本実施例では筒型ライトガイド51という、ワークステージ60を有する。光源部10は、光源エレメント20を備え、光源エレメント20は、紫外線を放射する複数の長尺状のランプ25を、同図の手前から奥に平行に等間隔で並列配置することにより構成されている。光源エレメント20は、前記図2に示すように、光透過性を有する長尺状の外套管24内に、長尺状のランプ25を挿入したものであり、外套管24の内面とランプ25の外面との間には冷却風が流れる冷却風流通路24Aを構成する。ランプ25は、後述する例えば図6に示すエキシマランプであり、内壁に塗布された蛍光体が、封体内で誘電体バリヤ放電により励起したキセノンガスから発生した紫外光により励起して、波長領域が300nm~400nmの紫外線を放射する。ランプの冷却機構40は、前記図8で説明したものと同様であり、冷却風を作る軸流ファンなどの冷却ファン42、第1の導風路43A、第2の導風路43B、水冷ラジエータなどの熱交換器43を備え、第1の導風路43A、第2の導風路43Bは、光源部10の側壁31と紫外線照射装置の外装カバー30と、光源部10とワークステージ60側を仕切る隔壁32とにより形成される。冷却ファン42によって作られた冷却風は、第1の導風路43Aにより導かれて、外套管24の一端側から、光源エレメント20の冷却風流通路24Aに導入され、ランプ25を冷却しながら冷却風流通路24Aを図1の右から左に流れて、外套管24の他端側から排出される。排出された冷却風は、第2の導風路43Bにより、熱交換器43に導かれて冷却されて冷却フアン42に送られ、再度ランプ25の冷却に使われる。図4、図5に本発明の実施例の紫外線照射装置の筒型ライトガイド51を示す。図4は光源エレメントと筒型ライトガイドを示し、ランプ25の長手方向に沿った断面図である。図5は筒型ライトガイド51を模式的に示した斜視図である。なお、図5において、光源エレメント20の外套管24は1本のみ示している。筒型ライトガイド51は、前記したように、光源部10とワークステージ60の間に、光源エレメント20を取り囲むように、すなわち、光源エレメントからの光が照射される光照射領域を取り囲むように配置され、高輝アルミからなる光反射性部材からなる4つの板状部材52A、52B、52C、52Dを、それぞれ四角形の一辺になるように組み合わせて構成している。筒型ライトガイド51の大きさは、図5に示すように、Xランプ長手方向=約2800mm、Yランプを並べている方向=約2400mm、Z高さ=約450mmであり、光源エレメントを流れる冷却風が排出される側の、板状部材52Cの反射面の一部の反射率を低くし、反射率低下手段55を形成した。本実施例における反射率を低くするための具体的な手段は、耐熱性対紫外線性を有する濃黒色無電界ニッケルメッキである。以下このメッキを施した部分を黒色化した部分と呼ぶ。反射面の黒色化した部分は、板状部材52Cの光源エレメント20側上側端から、a=130mmの幅で、板状部材52CのY方向の幅いっぱい約2400mmである。ランプ25の長さ約3000mmで、図1において手前奥の方向に32本、長手方向をそろえて並べている。ランプを冷却するために流す冷却風の風量は、170m3/分、外套管1本に流れる流量は5.3m3/分、外套管の導入部分での冷却風温度は約35°Cで、排出部分での温度は約50°Cである。また、ランプの表面温度は冷却風導入側の部分で約65°C、冷却風排出側の部分で130°Cである。本発明の紫外線照射装置のランプはエキシマランプと呼ばれるランプであり、その一構成例を図6に示す。同図aは斜視図、同図bはランプの長手方向に垂直な断面を示す断面図である。ランプエキシマランプ25は、内部に放電空間Sが形成された断面矩形状の中空長尺状の放電容器封体26を備えており、この封体26の内部には、放電用ガスとして、キセノンガスが封入されている。封体26は石英ガラスよりなる。封体26における上壁26Aおよび下壁26Bの各々の外表面には、一対のメッシュ状の電極27Aと27Bが長手方向に伸びるよう互いに対向して配置されている。電極27Aは高電圧給電電極として機能し、電極27Bは接地電極として機能する。封体26の内部の光出射部を形成する下壁26Bの内表面には、ガラス粉末層28bおよび蛍光体層28cが積層された状態で設けられている。また、封体26の内部の下壁26Bを除く壁の内表面には、外面側から順に、反射材層28a、ガラス粉末層28bおよび蛍光体層28cが積層された状態で設けられている。反射材層28aは、例えば、シリカとアルミナの混合物により構成されている。ガラス粉末層28bを構成するガラスとしては、例えば、ホウケイ酸ガラスSi-B-O系ガラスおよびアルミノケイ酸ガラスSi-Al-O系ガラス、バリウムケイ酸ガラス、または、これらいずれかの組成を元にアルカリ土類酸化物やアルカリ酸化物、金属酸化物を添加したガラスなどがある。蛍光体層28cを構成する蛍光体としては、例えばユーロピウム付活ホウ酸ストロンチウム蛍光体、セリウム付活アルミン酸マグネシウムランタン蛍光体、ガドリニウム、プラセオジム付活リン酸ランタン蛍光体などがある。図7は、本発明の紫外線照射装置による光照射領域の紫外線放射照度分布照度分布を示す図である。同図において、横軸は光照射領域のランプ長手方向X方向:図5参照の距離mmであり、縦軸は光照射領域における紫外線の放射照度mW/cm2である。同図において、右側が冷却風導入側、左側が冷却風排出側である。また、照度分布は、光照射領域のY方向ランプを並べている方向:図5参照の中間位置での値を示している。なお、光源エレメント20から光照射面までの距離は、筒型ライトガイド51の高さZ方向距離:図5参照とほぼ等しい450mmである。すなわち、光源部から光照射面までの距離は、筒型ライトガイド51の高さZとほぼ等しい。図7において、◇同図Aは筒型ライトガイドの反射面に黒色化を施さない従来の装置における照度分布である。図からわかるように、左側冷却風排出側の放射照度が全体的に高くなっている。このデータに基づき照度分布を計算すると±5であった。この値は、上記した課題の要求を満たすものの、プロセスマージンを考慮すると、さらに良好な均一度が望まれる。これに対して、、×、□同図D,C,Bは、板状部材52Cの反射面の黒色化を行った場合の照度分布である。従来に比べて左側冷却風排出側の放射照度が低くなっている。同図Dのは、板状部材52Cの反射面の上から約130mmを黒色化した場合の照度分布である。左側冷却風排出側の放射照度の高かった部分が低くなり、照度分布は左右でほぼ対称になっている。これにより、照度分布の均一度を±5よりも良好な値にすることができた。同図Bの□は板状部材52Cの反射面の上から約200mmを、同図Dのは上記したように約130mmを、同図Cの×は約100mmを黒色化した場合の照度分布である。それぞれの照度分布は、□黒色化幅約200mmは±4.1、黒色化幅約130mmは±2.5、×黒色化幅約100mmは±2.8である。本実施例においては、黒色化幅を約130mmにした場合に、照度均一度が最も良くなり、望ましいとされる照度分布±2.5を達成することができた。同図に示されるように、反射板の黒色化のZ高さ方向の幅を広くすれば、放射照度の低下の割合は大きくなり、幅を狭くすれば低下の割合は少なくなる。したがって、板状部材52Cに形成する黒色化のZ高さ方向の幅を変えることにより、放射照度の低下の割合を変化させ、光照射領域の照度分布を調整することができる。このように、筒型ライトガイド51に、冷却風排出側の反射面の反射率を低下させる反射率低下手段55を設けることにより、光照射領域の照度分布の面内均一度を良くすることができる。反射面の反射率を低下させる部分の位置や大きさは、光照射領域の照度分布を測定しながら、またシミュレーションにより適宜設定する。筒型ライトガイドの反射面で反射する光の量を低下させる反射光量低下手段としては、上記に例示したメッキによる黒色化の他に以下のようなものが考えられる。1黒色の耐熱性、耐紫外線性を備える塗料を塗布する。2反射面を摺り面などにする。または、セラミック板を貼り付けて紫外線を拡散させる。3反射面にフッ素樹脂板を貼り付けて紫外線を吸収する。4反射面に切り欠き部を設ける。"