"吐出エネルギー発生素子を形成した第1基板と、前記吐出エネルギー発生素子の配置部位に対応した液体流路を形成する第2基板と、前記液体流路に連通して液滴を吐出する吐出口が形成された吐出口形成部材と、を備え、前記第2基板は、シリコンで形成された同一パターンの流路ユニットを含む複数の流路ユニットを結合して構成され、各流路ユニットには、前記流路ユニット同士の結合方向に前記液体流路が配列された液体流路列が複数形成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記各流路ユニットは、シリコンウェハを用いたリソグラフィーによるマスク形成あるいはマスク膜のエッチングによりマスクパターンを形成した後、異方性のウェットエッチングあるいはドライエッチングと異方性ウェットエッチングの両方により、前記シリコンウェハをエッチングして得た貫通溝により他の流路ユニットとの結合面を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。前記結合面を、前記液体流路内を通過して形成することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。前記結合面の位置が前記液体流路列ごとに異なるように形成することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。従来、インクジェット記録ヘッドの量産技術として、特許文献1に記載されているように数多くの方法が提示されている例えば、特開昭55-90375号公報、特開昭56-72967号公報、特開昭60-196345号公報、特開昭61-154947号公報。これらは、基本的には基板上に、吐出エネルギー発生素子をパターニングし、次いでこの基板上にインク流路、液室及び吐出口を形成する部材を設け、インクジェット記録ヘッドとするものである。これらの技術は、シリアルプリンタのインクジェット記録ヘッドのような小型のインクジェット記録ヘッドを作成するのに適している。また、ラインプリンタに用いる長尺インクジェット記録ヘッドを量産する技術としては、1前記従来技術の方法を長尺の基板に適用する方法、2短尺のインクジェット記録ヘッドユニットを多数個アレイして、1個の長尺インクジェット記録ヘッドとする方法がある。1の方法は、現在主流となっている360dpiで約3000bitに対応する吐出エネルギー発生素子を、完全無欠で基板上にパターニングしようとすると、歩留りが悪くなるという欠点がある。2の方法については、ユニットを千鳥に配列する方法特開昭55-132253号公報と、ユニットの端面を突き当てて一列に配列する方法特開平2-2009号公報、特開平3-167957号公報、特開平4-229278号公報とが提案されている。これら方法は、1の方法の欠点を補うものとして有用である。短尺ユニットの良品のみを選別して組上げれば、1の方法よりも歩留りが向上するからである。ユニットを千鳥に配列する方法は、最も実現可能性の高い方法であり、商品として市場に出ているものもある。しかしながら、個々のユニットへのインク供給系が複雑になる、あるいは高速印刷時にユニットへのインク供給が追いつかなくなる等の欠点がある。一方、ユニットの端面を突き当てて一列に配列する場合に、ユニット間にすき間を開けることにより問題を解消することが提案された特開平4-229278号公報。さらに、すき間を開けることによりユニット両端部に対応する液流路の下部からインクが漏れやすくなり、吐出の際にそのインクがすき間に入り込んで隣接するユニット端部の液流路がクロストークを起こす。ユニット端部で切断等により生じた保護膜等のすき間よりインクが侵入することにより電蝕を起こす等の問題に対して、すき間を流動性効果部材で埋めて改善しているが、各々のユニットの突き当て部で、ノズルを定められた間隔で配置するのは困難である。本発明は、長尺インクジェット記録ヘッドを量産する際に、短尺のユニットの良品のみを選別して組上げることによる歩留り向上を図り、また各ユニット形状を同一とすることによる組み立て時の選別工数を削減することにより、低コスト化を図るものである。加えて、各々のユニットの突き当て部でノズルを定められた間隔で配置するのが困難であることに鑑み、ノズルに対応する流路を形成している流路形成部材をシリコンで形成し、さらにはシリコンの異方性エッチングを用いて加工し、突き当て部での寸法精度の向上を図り、流路形成部材を組み立て精度の向上を図ることを目的とする。かかる目的を達成するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、吐出エネルギー発生素子を形成した第1基板と、前記吐出エネルギー発生素子の配置部位に対応した液体流路を形成する第2基板と、前記液体流路に連通して液滴を吐出する吐出口が形成された吐出口形成部材と、を備え、前記第2基板は、シリコンで形成された同一パターンの流路ユニットを含む複数の流路ユニットを結合して構成され、各流路ユニットには、前記流路ユニット同士の結合方向に前記液体流路が配列された液体流路列が複数形成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記各流路ユニットは、シリコンウェハを用いたリソグラフィーによるマスク形成あるいはマスク膜のエッチングによりマスクパターンを形成した後、異方性のウェットエッチングあるいはドライエッチングと異方性ウェットエッチングの両方により、前記シリコンウェハをエッチングして得た貫通溝により他の流路ユニットとの結合面を形成するようにしている。本発明によれば、流路基板をシリコンで形成された複数の流路ユニットで構成することにより、各々の流路ユニットが小さくなり、シリコンウェハの無駄余剰を少なくでき、コストダウンを図ることができる。また、流路ユニットをシリコンで形成することにより、複数のユニットを並べる際の精度が向上し、短尺の基材からでも精度よく長尺の流路基板を形成することが可能となる。また、各流路ユニットのパターンを同一にすることにより、異なるパターンの複数ユニットの場合に比べ、並べる際の配列順序に配慮する必要がなく、作業が簡略化される。また、不良ユニット発生時の補填を行う際には、ユニット種選定作業の必要がなく、各種ユニット数合わせによる無駄余剰ユニットの発生がなくなり、さらなるコストダウンを図ることが可能となる。また、流路ユニットの流路及びユニット分割部は、ドライエッチングと異方性ウェットエッチングを併用することで形成される。ドライエッチングのみによって形成する場合には、エッチング形状のばらつき、再現性等のエッチング特性がユニット分割部形状に顕著に影響するところであるが、異方性ウェットエッチングを併用することによって、<111>面で貫通分離面が形成されることになり、寸法制御、再現性、平面性にすぐれた分割部の形成が可能となる。また、ウェットエッチングだけで貫通させるには、パターンの制約を受けるが、ドライエッチングを併用することで、生産性に優れた流路ユニットの製造が実現できる。さらに、<111>面以外の部分をダイシングによる分離とすることにより、突き当て部が<111>面で揃った平面となり、接合時の寸法制度が向上する。本発明は、長尺インクジェット記録ヘッドを量産する際に、短尺のユニットの良品のみを選別して組上げることによる歩留り向上を図り、また各ユニット形状を同一とすることによる組み立て時の選別工数を削減することにより、低コスト化を図り、またノズルに対応する流路を形成している流路形成部材をシリコンで形成し、シリコンの異方性エッチングを用いて加工し、突き当て部での寸法精度の向上を図り、流路形成部材を組み立て精度の向上を図ることを目的とするもので、そのための構成は、吐出エネルギー発生素子を形成した第1基板と、前記吐出エネルギー発生素子の配置部位に対応した液体流路を形成する第2基板と、前記液体流路に連通して液滴を吐出する吐出口が形成された吐出口形成部材と、を備え、前記第2基板は、シリコンで形成された同一パターンの流路ユニットを含む複数の流路ユニットを結合して構成され、各流路ユニットには、前記流路ユニット同士の結合方向に前記液体流路が配列された液体流路列が複数形成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記各流路ユニットは、シリコンウェハを用いたリソグラフィーによるマスク形成あるいはマスク膜のエッチングによりマスクパターンを形成した後、異方性のウェットエッチングあるいはドライエッチングと異方性ウェットエッチングの両方により、前記シリコンウェハをエッチングして得た貫通溝により他の流路ユニットとの結合面を形成するものである。以下、本発明の液滴吐出ヘッドを実施例に基づいて説明する。図1は、本発明が適用されるインクジェットヘッドを分解して示す斜視図である。図1に示すインクジェットヘッドは、ノズル板10、液室形成部材20、振動板30、アクチュエータ部材40の各部材から構成されている。ノズル板10は、インク滴を飛翔させるための微細孔である多数のノズル11が各液室の先端部分に対応して形成されており、ノズル11の径は20-35μmである。このノズル板10は、例えば電鋳工法によって製造したNiの金属プレートを用いているが、シリコンやその他の金属、あるいはポリイミド等の樹脂フィルムを用いることができる。なお、ノズル板10には撥水性の表面処理膜を成膜している。液室形成部材20は、シリコンで形成されており、シリコン基板の面方位は<110>を使用している。<110>基板を使用することにより、ノズルのピッチ方向に対して垂直に液室を形成することができるため微細化、狭ピッチ化に有利となる。また、異方性ウェットエッチングする際のマスク寸法により各ユニットの分割部が形成されるため、精度の良い接続部の形成が可能となる。液室形成部材20には各ノズル11に連通する連通管21と液室22が形成されている。各ノズル11へ連通する連通管21は、例えばドライエッチングによる深堀と異方性エッチングにより形成されている。異方性エッチングを行うエッチング液としては、KOH水溶液、TMAH液等が使用できる。液室22は、Siの異方性エッチング法により形成されている。また液室形成部材20の表面には酸化膜が形成されている。酸化膜が形成されていることで、インクに対して溶出しにくく、また濡れ性も向上するため気泡の滞留が生じにくい構造となるが、酸化膜に限らず窒化チタンTiN膜、またはポリイミド膜でもかまわない。振動板30は、Ni電鋳工法で形成した金属プレートからなり、この振動板30の振動機能部は、圧電素子内の非駆動部に接合する梁部31と、圧電素子内の駆動部と接合する島状凸部32と、この凸部の周囲に形成した厚み2-10μm程度の最薄膜部分33ダイヤフラム領域とからなる。アクチュエータ部材40は、セラミックス基板、例えばチタン酸バリウム、アルミナ、フォルステライト等の絶縁性の基板上に電気機械変換素子である複数の積層型圧電素子を列状に2列配列して接合し、これら2列の各圧電素子をダイシングにより切断を行っている。なお、各列の複数の圧電素子はチャンネル方向で駆動波形を印加する駆動部41を構成している。ここで、圧電素子は厚さ10-50μm/層のチタン酸ジルコン酸PZTと厚さ数μm/層の銀パラジゥムAgPdからなる内部電極とを交互に積層したものである。圧電素子を厚さ10-50μm/層の積層型とすることによって低電圧駆動を可能としている。なお、電気機械変換素子はPZTに限られるものではない。そして、この圧電素子の内部電極を交互に端面に取り出して端面電極として一方基板上に共通電極パターン及び個別電極パターンを駆動部となる圧電素子の端面電極に導電性接着剤等を介して電気的に接続し、共通電極パターン及び共通電極パターンに接続したFPCケーブルを介してPCB基板と接続して駆動部41に駆動波形を印加することによって積層方向の伸びの変位を発生させる。図2は、本発明の実施例1によるインクジェットヘッドを分解して示す斜視図である。実施例1のインクジェットヘッドは、図1に示すインクジェットヘッドにおいて、液室形成部材20が2列の連通管列を横断するように分割された例であって、液室形成部材20a,20bは各々シリコンからなる流路ユニットであって、各々側面を突き当てて接合される。なお、図2では2分割の例を示すが、分割数は2に限るものではない。図3は、液室形成部材の第1の分割例を液室面側から見た平面図である。第1の分割例は、液室形成部材20両端部20c,20f、及び内部を20d,20eという4種の流路ユニットからなる例である。この場合、端部1部材に対し、内部は分割数により必要数を考慮して母材に配置し製作する必要がある。さらに、内部の分割数自体も考慮の必要がある。不良発生数を考慮すると、さらに1母材での必要数、配置の考慮は複雑となる。図4は、液室形成部材の第2の分割例を液室面側から見た平面図である。第2の分割例は、液室形成部材20が両端部20g,20i、及び内部を20h,20hという3種内部は1種の流路ユニットからなる例である。このように内部を1種にすることにより、分割数の自由度が増し、端部に対し内部の必要数の考慮も簡便となり、不良発生時の余剰流路ユニット製作数も少なくなる。図5は、液室形成部材の第3の分割例を液室面側から見た平面図である。第3の分割例では、液室形成部材が両端部20j,20j図5中の点線部の液室は不使用、及び内部を20j,20jという1種の流路ユニットとした例である。このように1種の流路ユニットにすることにより、分割数は自由に選択可能となり、不良発生時の余剰流路ユニットはなくなる。さらには、接合数を変更することにより設計変更することなく、同一母材から、ヘッド長さの異なるヘッド組み立てが可能となる。第1~3の分割例では、液室部,非液室部の区別なく分割している例を示したが、さらなる精度向上のため、シリコンの異方性エッチング法の適用をすると、各種補正パターンを適用して補正可能ではあるが、液室部で分割が行われる際の液室分割界面のパターンが非液室部の液室とは異なる形状となる。図6は、液室形成部材の第4の分割例を液室面側から見た平面図である。第1~3の分割例に対して第4の分割例では、液室部で分割することを避け、非液室部のみの分割を液室ノズル千鳥配置のパターンで行う。これにより、図5に示す第3の分割例と同様に、1種類の流路ユニットとした例である。高次面相当部23の掘り込み部が現れるが、このエリアは補正パターンを適用することにより、液室に干渉しない設計が可能となる。図7は、シリコンウェハにおいて流路形成部材を分割する際の各部材のレイアウト例を示す図で、図7Aは100mm長の流路形成部材を9分割する例を示し、図7Bは100mm長の流路形成部材を16分割する際の流路ユニットが得られるように163分割する例を示す。図7A,図7Bの場合の取れ数比較は、図7Aのように100mm長の流路形成部材に分割がない場合の取れ数9個に対し、図7Bのように16分割の場合は、取れ数10.2個163/16となる。ウェハ内のビットが良品の場合は、分割することにより取れ数の増率は1.13倍であるが、ウェハ内に1ビット不良が存在する場合、取れ数の増率は1.27倍となる。欠陥数が増加するとさらに増率は増加する。図7Bの太線部が分割接合面のスリットエリアを示し、細線部をダイシング等により切断して各部材を分割する。このように、スリット断面が突き当て部となるように加工する。図8は、図7Bの太線部近傍を示す拡大図で、図8Aは液室部、非液室部の区別なくスリットを設けて分割する例を示し、図8Bは非液室部にスリットを設けて分割する例を示す。スリット断面を異方性エッチングで実施する際には、図8A,図8Bに示す太線部の形が崩れるため、補正パターンによる改善は実施されるが、液室部で断面した際の形が非液室部で断面した際の形とは異なるため、液室を同一の形にしようとすると、図8Bに示すように非液室部液室以外部に太線部20sを設ける。以下、本発明の実施例2による液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。図9~図11は、実施例2の流路ユニットの製造方法における一連の工程を示す図で、図10は図9の工程から続く工程を示し、図11は図10の工程から続く工程を示す。なお、それぞれの図の左図は図8Bに示すC1-C2断面の片側ビットを示し、右図は図8Bに示すB1-B2断面の一部を示す。まず、図9Aに示すように、厚さ400μmのシリコン基板<110>101を用意し、厚さ1.0μmのシリコン酸化膜102、及び0.2μmのLP-CVD窒化膜103を形成した。次に、図9Bに示すように、ノズル接合面に連通管形成パターン105と余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン106及びスリットパターン104を加えた形状にレジストのパターニングを行う。その後、窒化膜103にドライエッチングにてパターニングを行った。次に、図9Cに示すように、レジストのパターニングを行い、その後シリコン酸化膜102を連通管形成パターン107及びスリットパターン108の形状にドライエッチングにてパターニングを行った。その後、図10Dに示すように、液室のパターン109及びスリットパターン110を加えた形状にレジストのパターニングを行い、その後、窒化膜103のパターニングをノズル面と同様にドライエッチングにて行った。次に、図10Eに示すように、レジストのパターニングを行い、その後シリコン酸化膜102を連通管形成パターン111及びスリットパターン112の形状にドライエッチングにてパターニングを行った。その後、図10Fに示すように、ICPドライエッチャーを使用して連通管113及びスリット114のエッチングを行った。この際、ICPエッチャーを使用してのドライエッチングは300μmの深さまで行った。その後、図11Gに示すように、レジストを除去して水酸化カリウム水溶液によりシリコンの異方性エッチングを行い、連通管115及びスリット116を貫通させた。水酸化カリウム水溶液による連通管115の貫通工程では、ノズル面側、振動板側両面よりエッチングを行った。連通管貫通直後は異方性エッチングによる傾斜部が発生するが、本実施例では該傾斜部をこの連通管貫通工程にて後退させて傾斜部全てのエッチングを行った。その後、図11Hに示すように、窒化膜103をマスクとして希ふっ酸により酸化膜102のウェットエッチングを行った。その後、図11Iに示すように、再度水酸化カリウム水溶液によりシリコンの異方性エッチングを行い、液室部118、肉抜き部119及びスリット120の形成を行った。液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは水酸化カリウム水溶液濃度30、処理温度85°Cで行った。最後に、図11Jに示すように、窒化膜103及び酸化膜102の除去を行い、その後、耐インク接液膜としてシリコン酸化膜121を1μmの厚さで形成してインクジェット用液室形成部材の形成を行った。以上の実施例では連通管形成工程で、本発明の突き当て面を形成するため、連通管と同じ精度で接合時の突き当て面形成が可能となる。以下、本発明の実施例3による液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。図12~図14は、実施例3の流路ユニットの製造方法における一連の工程を示す図で、図13は図12の工程から続く工程を示し、図14は図13の工程から続く工程を示す。なお、それぞれの図の左図は図8Bに示すC1-C2断面の片側ビットを示し、右図は図8Bに示すB1-B2断面の一部を示す。まず、図12Aに示すように、厚さ400μmのシリコン基板<110>201を用意し、150μmのLP-CVD窒化膜202を形成した。次に、図12Bに示すように、ノズル接合面にノズル面側連通管パターン204と接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン205及びスリットパターン203を加えた形状にレジストのパターニングを行い、その後、窒化膜202をドライエッチングにてパターニングを行った。次に、図12Cに示すように、液室のパターン209及びスリットパターン208を加えた形状にレジストのパターニング及び窒化膜のパターニングを行った。次に、図13Dに示すように、高温酸化膜210を250μmの厚さで窒化膜202及びシリコン201を覆うように形成し、さらに高温酸化膜210の上に150μmのLP-CVD窒化膜211の形成を行った。次に、図13Eに示すように、ノズル面及び振動板面の窒化膜211及び酸化膜210を連通管の形状及びスリットパターンをドライエッチングにより形成した。その後、図13Fに示すように、ICPドライエッチャーを使用して連通管形状213及びスリットパターン212のパターニングを行った。この際のレジスト膜厚は8μmにて行った。その後、図14Gに示すように、レジストを除去して水酸化カリウム水溶液によりシリコンの異方性エッチングを行い連通管215及び本発明のパターン214を貫通させた。その後、図14Hに示すように、上層の窒化膜211を熱燐酸により除去を行った。高温酸化膜210は上層の窒化膜211を除去する際のストップ層として使用している。続いて高温酸化膜210を希ふっ酸により除去を行った。その後、図14Iに示すように、再度水酸化カリウム水溶液によりシリコンの異方性エッチングを行い、液室部216、ノズル接合面肉抜き部217及びスリットパターン218を形成した。加圧液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは水酸化カリウム水溶液濃度30、処理温度85°Cで行った。最後に、図14Jに示すように、窒化膜202の除去を行い、その後耐インク接液膜としてシリコン酸化膜219を1μmの厚さで形成してインクジェット用加圧液室形成部材の形成を行った。以上の実施例3の製造方法では、本発明の突き当て面を連通管形成工程と同工程で作製することにより、連通管と同じ精度で接合時の突き当て面形成が可能となる。以下、本発明の実施例4による液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。図15、図16は、実施例4の流路ユニットの製造方法における一連の工程を示す図で、図16は図15の工程から続く工程を示す。なお、それぞれの図の左図は図8Bに示すC1-C2断面の片側ビットを示し、右図は図8Bに示すB1-B2断面の一部を示す。まず、図15Aに示すように、厚さ400μmのシリコン基板<110>301を用意し、150μmのLP-CVD窒化膜302を形成した。次に、図15Bに示すように、ノズル接合面にノズル面側連通管パターン304と接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン305及びスリットパターン303を加えた形状にレジストのパターニングを用い、窒化膜302をドライエッチングにてパターニングを行った。次に、図15Cに示すように、液室のパターン307及びスリットパターン306形状にレジストのパターニングおよび窒化膜のパターニングを行った。次に、図16Dに示すように、ICPドライエッチャーによるシリコンエッチングのためのマスク形成を行った。この際のレジスト膜厚は8μmにて行った。本実施例ではICPエッチングを振動板接合面側より行っているが、ノズル接合面側より行ってもかまわない。次に、図16Eに示すように、ICPドライエッチャーを使用して連通管形状311及びスリットパターン310のパターニングを行った。その後、図16Fに示すように、レジストを除去して水酸化カリウム水溶液によりシリコンの異方性エッチングを行い、連通管313及びスリットパターン312の貫通、及び液室部314、ノズル接合肉抜き部315を形成した。液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは水酸化カリウム水溶液濃度30、処理温度85°Cで行った。最後に、図16Gに示すように、窒化膜302の除去を行い、その後、耐インク接液膜としてシリコン酸化膜を1μmの厚さで形成してインクジェット用加圧液室形成部材の形成を行った。実施例4の製造方法では、本発明の突き当て面を連通管形成工程と同工程で作製することにより、連通管と同じ精度で接合時の突き当て面形成が可能となる。また、窒化膜のみを液室形成時のマスクとしているため、より高精度の寸法制御が可能となった。さらには短工程のプロセスであり、低コストの液室形成部材を形成することが可能となった。以上、製造方法に関し3通りの実施例2~4について説明したが、いずれの場合にも連通管と同時形成することにより、同じ精度で接合時の突き当て面形成が可能となる。次に、本発明の実施例5のインクカートリッジについて説明する。図17は、実施例5のインクカートリッジを示す全体斜視図である。実施例5のインクカートリッジ51は、インク吐出口53等を有する実施例1のインクジェットヘッド52と、このインクジェットヘッド52に対してインクを供給するインクタンク54とを一体化したものである。このようなインクタンク一体型のインクジェットヘッドの場合、ヘッドの歩留まり不良は直ちにインクカートリッジ全体の不良につながるので、前記したようにヘッドの高熱による吐出不良を低減することで、インクカートリッジの歩留まりが向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図ることができる。次に、本発明の液滴吐出ヘッドを搭載した実施例6のインクジェット記録装置について説明する。図18は、実施例6のインクジェット記録装置の要部を示す斜視図、図19は、同インクジェット記録装置の機構部を示す側面図である。実施例6のインクジェット記録装置は、記録装置本体61の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ73、キャリッジ73に搭載され本発明の液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッド74、インクジェットヘッドへインクを供給するインクカートリッジ75等で構成される印字機構部62等を収納し、装置本体61の下方部には前方側から多数枚の用紙63を積載可能な給紙カセットあるいは、給紙トレイ64を抜き差し自在に装着することができ、また用紙63を手差しで給紙するための手差しトレイ65を開倒することができ、給紙カセット64あるいは手差しトレイ65から給送される用紙63を取り込み、印字機構部62によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ66に排紙する。印字機構部62は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド71と従ガイドロッド72とでキャリッジ73を主走査方向図19で紙面垂直方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ73にはイエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出するインクジェットヘッド74を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ73にはインクジェットヘッド74に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ75を交換可能に装着している。インクカートリッジ75は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッド74へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとして、ここでは各色のインクジェットヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。ここで、キャリッジ73は後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド71に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド72に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ73を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ77で回転駆動される駆動プーリ78と従動プーリ79との間にタイミングベルト80を張装し、このタイミングベルト80をキャリッジ73に固定しており、主走査モータ77の正逆回転によりキャリッジ73が往復駆動される。一方、給紙カセット64にセットした用紙63をインクジェットヘッド74の下方側に搬送するために、給紙カセット64から用紙63を分離給装する給紙ローラ81及びフリクションパッド82と、用紙63を案内するガイド部材83と、給紙された用紙63を反転させて搬送する搬送ローラ84と、この搬送ローラ84の周面に押し付けられる搬送コロ85及び搬送ローラ84からの用紙63の送り出し角度を規定する先端コロ86とを設けている。搬送ローラ84は副走査モータ87によってギヤ列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ73の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ84から送り出された用紙63をインクジェットヘッド74の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材89を設けている。この印写受け部材89の用紙搬送方向下流側には、用紙63を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ91、拍車92を設け、さらに用紙63を排紙トレイ66に送り出す排紙ローラ93及び拍車94と、排紙経路を形成するガイド部材95,96とを配設している。記録時には、キャリッジ73を移動させながら画像信号に応じてインクジェットヘッド74を駆動することにより、停止している用紙63にインクを吐出して1行分を記録し、用紙63を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号、または用紙63の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙63を排紙する。また、キャリッジ73の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、インクジェットヘッド74の吐出不良を回復するための回復装置97を配置している。回復装置97はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ73は印字待機中にはこの回復装置97側に移動されて、キャッピング手段でインクジェットヘッド74をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中等に記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でインクジェットヘッド74の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜不図示に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、高熱によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。また、本発明は長尺のインクジェットへッドを低コストで製造することができることから、用紙幅に対応するような長尺に形成したインクジェットへッドを記録装置本体に用紙搬送方向に交差するように固定して設置するライン型インクジェット記録装置とすることができる。このライン型インクジェット記録装置においては、用紙がインクジェットへッド下方に搬送されてきたときにインクジェットヘッドを駆動して、停止している用紙にインクを吐出して1行分を記録し、用紙を所定量搬送後、次の行の記録を行うことにより低騒音で高速の画像形成を行うことができるラインプリンタ等の画像形成装置が低コストで容易に製造することが可能となる。"