"p型又はn型のドーパントを含むシリコン基板をエッチング液中に浸漬してエッチングするエッチング装置であって、前記エッチング液を貯留するエッチング槽と、前記エッチング液中に溶出した陽イオンを吸着して収集する陽イオン除去手段と、を備えたことを特徴とするエッチング装置。前記エッチング槽と前記陽イオン除去手段とをつなげ前記エッチング槽と前記陽イオン除去手段との間で前記エッチング液を循環させる循環配管および循環ポンプを備え、前記循環配管は、前記エッチング液を前記陽イオン除去手段を介して循環させる主経路と、前記エッチング液を前記陽イオン除去手段を介さずに前記エッチング槽に戻す副経路と、前記エッチング液が前記主経路を通るか前記副経路を通るかを切り換えるバルブとを含むことを特徴とする請求項1に記載のエッチング装置。前記陽イオン除去手段は、前記循環配管を循環する前記エッチング液を一時的に貯留する陽イオン除去槽と、前記陽イオン除去槽の外部に接続されて前記陽イオン除去槽内の前記エッチング液を循環させる外部配管およびポンプと、前記外部配管に設けられ前記外部配管を循環する前記エッチング液中の陽イオンを吸着する陽イオン吸着材とを有していることを特徴とする請求項1または2に記載のエッチング装置。前記循環配管の前記主経路に複数の前記陽イオン除去手段が直列に配設されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のエッチング装置。前記シリコン基板を搭載し前記エッチング槽内に保持するウェハカセットが、前記陽イオン除去手段を兼ねることを特徴とする請求項1に記載のエッチング装置。前記ウェハカセットは、陽イオン吸着材が表面に配置した板状部材を、一部の前記シリコン基板と入れ替えて搭載することを特徴とする請求項5に記載のエッチング装置。前記陽イオン吸着材は、イオン交換樹脂、イオン交換体、およびキレート樹脂のうち1つ又は複数を含むことを特徴とする請求項3または6に記載のエッチング装置。請求項1から7に記載のエッチング装置でシリコン基板からテクスチャ基板を製造するテクスチャエッチング工程と、前記テクスチャ基板の表面に、前記テクスチャ基板に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層、前記反転層上に設けられた反射防止膜、前記反射防止膜上に設けられた受光面側電極、及び前記テクスチャ基板の受光面と反対側の面である裏面に裏面側電極を形成する工程を含むことを特徴とする太陽電池セルの製造方法。請求項1から7に記載のエッチング装置でシリコン基板から製造したテクスチャ基板と、前記テクスチャ基板の表面に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層と、前記反転層上に設けられた反射防止膜と、前記反射防止膜上に設けられた受光面側電極と、テクスチャ基板の受光面と反対側の面である裏面に形成された裏面側電極とを有することを特徴とする太陽電池セル。しかしながら、エッチング液に混入する陽イオンは、シリコン基板のドーパントn型シリコンならリン、p型シリコンならボロン以外に、シリコンインゴットをウェハ状にスライスする時に使用する溶剤の残渣や、エッチング装置の構成材料からの溶出物、使用する薬液、使用する純水、さらにバッチ式のエッチング装置の場合はウェハを充填するカセットなどからの溶出物がある。このように不純物の混入経路が多数あり、混入タイミングが不確定の場合、陽イオン濃度が時間的に非線形に増加するため、特許文献1のように槽の配管にイオン交換樹脂を取り付ける手法の場合、急激な液汚染の進行に対応ができなかったり、イオン交換樹脂が破過してイオン交換樹脂に捕獲されていたイオンを吐き出すことでエッチング液の陽イオン濃度を増加させたり、さらには、循環機構を有しない装置の場合、適用不可という問題がある。また、エッチング液に含まれる陽イオンが、十分洗浄されずにテクスチャ基板上に残存した場合、テクスチャエッチング工程より後にある熱処理の工程で、陽イオンがシリコン内部に拡散してキャリアライフタイムを低下させることにより、太陽電池セルの特性劣化につながるという問題がある。このように、従来技術においては、十分に清浄なエッチング液を提供できないために、テクスチャ基板に、安定的に面内均一なテクスチャを形成することができないことに加え、陽イオンの残渣による歩留まりの低下を招いていた。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、太陽電池セル製造のテクスチャエッチング工程において、エッチング液中の陽イオンを除去することでテクスチャ形成不良の抑制とテクスチャ基板表面への陽イオンの残渣を抑制し、これにより特性ばらつきが少なく、発電効率が高い太陽電池セルを高歩留まりで製造することができるエッチング装置及び太陽電池セルの製造方法を提供することを目的とする。また、このようなエッチング装置や製造方法により製造した太陽電池セルを提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のエッチング装置は。p型又はn型のドーパントを含むシリコン基板をエッチング液中に浸漬してエッチングするエッチング装置であって、エッチング液を貯留するエッチング槽と、エッチング液中に溶出した陽イオンを吸着して収集する陽イオン除去手段とを備えたことを特徴とする。さらに、本発明の太陽電池セルの製造方法によれば、上記エッチング装置でテクスチャ基板を製造する工程と、テクスチャ基板の表面に、テクスチャ基板に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層、反転層上に設けられた反射防止膜、反射防止膜上に設けられた受光面側電極、及びテクスチャ基板の受光面と反対側の面である裏面に裏面側電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする。さらにまた、本発明の太陽電池セルによれば、上記エッチング装置で製造したテクスチャ基板と、テクスチャ基板の表面に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層と、反転層上に設けられた反射防止膜と、反射防止膜上に設けられた受光面側電極と、テクスチャ基板の受光面と反対側の面である裏面に形成された裏面側電極とを有することを特徴とする。本発明のエッチング装置によれば、p型又はn型のドーパントを含むシリコン基板をエッチング液中に浸漬してエッチングするエッチング装置であって、エッチング液を貯留するエッチング槽と、エッチング液中に溶出した陽イオンを吸着して収集する陽イオン除去手段とを備えているので、テクスチャ形成不良を抑制することができる。また、本発明の太陽電池セルの製造方法によれば、上記エッチング装置でテクスチャ基板を製造する工程と、テクスチャ基板の表面に、テクスチャ基板に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層、反転層上に設けられた反射防止膜、反射防止膜上に設けられた受光面側電極、及びテクスチャ基板の受光面と反対側の面である裏面に裏面側電極を形成する工程を含むので、発電効率が高い太陽電池セルを高歩留まりで製造することができる。さらに、本発明の太陽電池セルによれば、上記エッチング装置で製造したテクスチャ基板と、テクスチャ基板の表面に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層と、反転層上に設けられた反射防止膜と、反射防止膜上に設けられた受光面側電極と、テクスチャ基板の受光面と反対側の面である裏面に形成された裏面側電極とを有するので発電効率が高く高歩留まりの太陽電池セルとすることができる。本発明者等が、テクスチャエッチング工程において研究したところ、陽イオンが溶出したエッチング液を使用してエッチングした場合と、陽イオンを含まないエッチング液を使用してエッチングした場合とで、テクスチャ基板に形成されるテクスチャの出来栄えと作製された基板の光の反射率に大きな差があることが判明した。この点について、以下に説明する。図1aとbはそれぞれ、陽イオンを含まないエッチング液を使用した場合のテクスチャ基板の表面aと、陽イオンが溶出したエッチング液を使用して作製したテクスチャ基板の表面bのSEM観察結果である。図1aに見られるように、陽イオンを含まないエッチング液を使用した場合では均一なテクスチャが得られるのに対して、図1bに見られるように、陽イオンを含む液を使用した場合は、細かいテクスチャが増加してテクスチャの大きさが不均一となる。上記の試験を繰り返し行い結果をまとめると図1cのようになる。図1cに見られるように、陽イオンを含むエッチング液を使用した場合では、反射率が高いことから、基板内部への光の吸収効率が悪く、このようなテクスチャ基板を用いて太陽電池セルを作製しても高い特性を期待できない。この現象の原因として、陽イオンや陽イオンとエッチングにより溶出するシリコンなどとの化合物、または、それらの両方が基板表面に付着してアルカリによるシリコンのエッチングの邪魔をしていると考えられる。このことから、エッチング液中に存在する陽イオンを除去することによりエッチング液中の陽イオン濃度を低下させる、つまり溶出する陽イオン濃度をテクスチャエッチング反応に影響を与えない状態に保持することで、より良好なテクスチャエッチングを実現することができた。すなわち、反射率が低く抑制された均一なテクスチャ基板を製造することができた。また、陽イオンがテクスチャ基板表面に残存した場合は、テクスチャエッチング工程より後の熱工程による陽イオンの基板内部への拡散によりキャリアライフタイムが低下して、太陽電池セルの特性を低下させるという問題に対しても、エッチング液中に存在する陽イオンを除去することによりエッチング液中の陽イオン濃度を低下させる。つまり溶出する陽イオン濃度をテクスチャエッチング反応に影響を与えない状態に保持することで、キャリアライフタイムの低下を防止できることを見出した。本実施の形態により、上記問題点を改善した、高い発電効率を有する太陽電池セルの製造歩留まりを向上させることが可能となった。以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、以下の実施の形態で用いられるテクスチャエッチング装置の図は模式的なものであり、サイズや長さの比率などは現実のものとは異なる。実施の形態1.図2は、本発明の実施の形態1にかかるテクスチャエッチング装置の構成を説明するための概念的な構成図である。本実施の形態のテクスチャエッチング装置エッチング装置100は、まず、エッチング液9が貯えられたエッチング槽1を備えている。このエッチング液9中に複数枚のシリコン基板8がウェハカセット7にセットされて浸漬されている。そして、この複数枚のシリコン基板8に対してエッチング液9により同時にテクスチャエッチングが施される。エッチング槽1からエッチング液を流出させるための配管がエッチング槽1の側壁面に形成された穴に接続されている、また、エッチング槽1内にエッチング液を流入させるための配管がエッチング槽1の底面に形成された穴に接続されている。両配管はループ状に接続され循環配管6を構成している。循環配管6は、エッチング槽1から延出した後、分岐位置にて主経路6Aと副経路6Bとに分岐し、その後エッチング槽1に戻る手前の集合位置で再び1本に集合している。主経路6Aには、第一の陽イオン除去装置第一の陽イオン除去手段4Aと第二の陽イオン除去装置第二の陽イオン除去手段4Bとが設けられている。副経路6Bは、循環するエッチング液9が第一の陽イオン除去装置4Aと第二の陽イオン除去装置4Bとを通らないでエッチング槽1に戻るようにバイパス経路を構成している。エッチング槽1と配管の分岐位置との間の循環配管6に循環ポンプ2Aが配設されている。配管の集合位置と分岐位置との間の循環配管6に循環ポンプ2Bが配設されている。主経路6Aの第一の陽イオン除去装置4Aと第二の陽イオン除去装置4Bとの間に循環ポンプ2Cが配設されている。分岐位置と第一の陽イオン除去装置4Aとの間にバルブ3Aが配設されている。第二の陽イオン除去装置4Bと集合位置との間にバルブ3Bが配設されている。第一の陽イオン除去装置4Aと循環ポンプ2Cとの間にバルブ3Cが配設されている。副経路6Bにバルブ3Dが配設されている。各々のバルブ3A,3B,3C,3Dは、以下に説明するエッチング液9の循環のさせ方により適宜開閉される。第一の陽イオン除去装置4Aは、循環配管6を循環するエッチング液9を一時的に所定量貯留する陽イオン除去槽4aと、陽イオン除去槽4aの外部に接続されて陽イオン除去槽4a内のエッチング液9を循環させる外部配管6aおよびポンプ2aと、外部配管6aに配設され外部配管6aを循環するエッチング液9中の陽イオンを吸着する陽イオン吸着材5aとから構成されている。第二の陽イオン除去装置4Bは、第一の陽イオン除去装置4Aと同じように、陽イオン除去槽4b、外部配管6b、ポンプ2bおよび陽イオン吸着材5bから構成されている。エッチング液9の加熱は、エッチング槽1に備え付けられた図示しないヒータ加熱機構や循環配管6に巻きつけられた図示しないヒータ加熱機構により実施される。また、エッチング液9の拡散が必要な場合、エッチング槽1内に図示していない拡散機構を装備して、エッチング液9の拡散を行う場合もある。陽イオン除去槽4aは、エッチング槽1により1回または複数回シリコン基板をテクスチャエッチング処理したエッチング液9に溶出した陽イオンを除去するためのエッチング液の浄化槽である。エッチング槽1より循環ポンプ2Aを用いて陽イオン除去槽4aに導かれて一時的に貯留されたエッチング液9は、第一の陽イオン除去装置4Aに備え付けられたポンプ2aにより外部配管6aに配設された陽イオン吸着材5aを介して循環する。これにより、エッチング液9に溶出した陽イオンが、陽イオン吸着材5aに吸着させて収集され、エッチング液9から取り除かれる。第一の陽イオン除去装置4Aにより陽イオンが十分に除去された後、エッチング液9は、第二の陽イオン除去装置4Bの陽イオン除去槽4bに循環ポンプ2Cにより導かれる。そして、ここでもポンプ2bにより外部配管6bに備え付けられた陽イオン吸着材5bを介してエッチング液9を循環させることで、陽イオン吸着材5bでさらに陽イオンの収集を行い、エッチング液9に含まれる陽イオン濃度を低下させる。陽イオン除去槽4bはエッチング槽1への薬液供給のために、薬液の待機槽としての役割も兼ねている。エッチング液9が1回または複数回のテクスチャエッチング処理を行い、エッチング液9を陽イオン除去槽4aに導いた後に、次のテクスチャエッチング処理のために陽イオン除去槽4bから循環ポンプ2Bを使用し、循環配管6を通して陽イオン濃度を十分下げたエッチング液9をエッチング槽1に供給し、シリコン基板8のエッチング液9として使用する。薬液や純水から新しくエッチング液9を作り出す際は、薬液と純水の混合をエッチング槽1にて行ってもいいが、薬液や純水に混合した陽イオンを除去する目的で、薬液と純水の混合は陽イオン除去槽4a,4bにおいて行う方が好ましい。本実施の形態の陽イオン除去槽は4a、4bの2つが直列に設けられているが、これに限らず3つ以上設けてもよい。本実施の形態のエッチング装置100では、エッチング液9に含まれる陽イオンを陽イオン吸着材5a,5bに吸着させることでエッチング液9内から取り除くことができるため、陽イオンによって引き起こされていたテクスチャの面内不均一性を防止することができると共に、テクスチャ基板表面の陽イオン残渣が無く、後の熱工程でもキャリアライフタイムの低下を防止できるため、高発電効率の太陽電池セルの製造を高い歩留まりで実現できる。上記の陽イオン吸着材5a,5bは、イオン交換樹脂、イオン交換体、およびキレート樹脂の1つ又は複数から成り、これら物質にエッチング液9に溶出した陽イオンを吸着させることができる。陽イオン吸着材5a,5bの量については、エッチング液9に溶出する陽イオン濃度は通常数十ppm程度の濃度を考慮して、エッチング槽の槽容量、吸着剤の種類、吸着剤の交換頻度等を決定すればよい。そして、本実施の形態で示された製造方法、エッチング装置によって製造されたテクスチャ基板を用いて、テクスチャ基板の表面に、該テクスチャ基板に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層と反転層上に設けられた反射防止膜と、反射防止膜上に設けられた受光面側電極と、シリコン基板の受光面とは反対側の面である裏面に設けられた裏面側電極を形成することで太陽電池セルを製造することができる。このような方法で太陽電池セルを製造することにより、テクスチャエッチング工程において、従来装置では、シリコン基板やウェハカセット、装置の構成材料、使用する薬液、および使用する純水などから溶出する陽イオンの溶出量が増大し、テクスチャ基板表面のテクスチャ形成不良や、テクスチャ基板表面の陽イオン残渣によって、太陽電池セルの製造歩留まりを低下させていたのに対し、本実施の形態ではエッチング液9中の陽イオン濃度を低く抑えることができるため、高い発電効率を有する太陽電池セルの製造歩留まりを高めることができる。一方で、エッチング液9の寿命が伸びるため、エッチング液9の交換頻度を低減しエッチング液使用量を削減することができ、薬液コスト、製造コストを削減できる効果がある。また、エッチング液9の交換時間のロスによる太陽電池セルの製造効率の低下も回避することができる。以上のように、本実施の形態のテクスチャエッチング装置100によれば、p型又はn型のドーパントを含むシリコン基板8をエッチング液9中に浸漬してエッチングするエッチング装置であって、エッチング液9を貯留するエッチング槽1と、エッチング液9中に溶出した陽イオンを吸着して収集する第一および第二の陽イオン除去装置4A,4Bとを備えているので、エッチング液9中から陽イオンが除去され、テクスチャ形成不良を抑制することができる。また、本実施の形態のテクスチャエッチング装置100によれば、エッチング槽1と第一および第二の陽イオン除去装置4A,4Bとをつなげ3者間にエッチング液9を循環させる循環配管6および循環ポンプ2A,2B,2Cを備え、循環配管6は、エッチング液9を第一および第二の陽イオン除去装置4A,4Bを介して循環させる主経路6Aと、エッチング液9を第一および第二の陽イオン除去装置4A,4Bを介さずにエッチング槽1に戻す副経路6Bと、エッチング液9が主経路6Aを通るか副経路6Bを通るかを切り換えるバルブ3A~3Cとを含む。そのため、バルブ3A~3Cの開閉動作により、エッチング液9の循環を第一および第二の陽イオン除去装置4A,4Bを介して行ったり、第一および第二の陽イオン除去装置4A,4Bを介さずに行ったり、さらにエッチング液9を循環させずにエッチングを実施したり、エッチング液9の循環の有無を選択することができる。さらに、本実施の形態のテクスチャエッチング装置100によれば、第一および第二の陽イオン除去装置4A,4Bは、循環配管6を循環するエッチング液9を一時的に貯留する陽イオン除去槽4a,4bと、陽イオン除去槽4a,4bの外部に接続されて陽イオン除去槽4a,4b内のエッチング液9を循環させる外部配管6a,6bおよびポンプ2a,2bと、外部配管6a,6bに設けられ外部配管6a,6bを循環するエッチング液9中の陽イオンを吸着する陽イオン吸着材5a,5bとを有しているので、エッチング液9中から陽イオンが効果的に除去され、テクスチャ形成不良をさらに抑制することができる。さらにまた、本実施の形態のテクスチャエッチング装置100によれば、循環配管6の主経路6Aに2つの第一および第二の陽イオン除去装置4A,4Bが直列に配設されているので、エッチング液9中から陽イオンが確実に除去され、テクスチャ形成不良をさらに抑制することができる。本実施の形態のテクスチャエッチング装置100によれば、陽イオン吸着材5a,5bは、イオン交換樹脂、イオン交換体、キレート樹脂のうち1つ又は複数を含む。そのため、イオン交換樹脂、イオン交換体、キレート樹脂のいずれかにて陽イオンを効率的に捕獲することができる。また、本実施の形態の太陽電池セルの製造方法によれば、上記テクスチャエッチング装置100でテクスチャ基板を製造する工程と、テクスチャ基板の表面に、いずれも図示しないがテクスチャ基板に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層、反転層上に設けられた反射防止膜、反射防止膜上に設けられた受光面側電極、及びテクスチャ基板の受光面と反対側の面である裏面に裏面側電極を形成する工程を含むので、発電効率が高い太陽電池セルを高歩留まりで製造することができる。さらに、本実施の形態の太陽電池セルによれば、上記テクスチャエッチング装置100で製造したテクスチャ基板と、テクスチャ基板の表面に含まれるp型又はn型のドーパントとは逆の導電性を有する反転層と、反転層上に設けられた反射防止膜と、反射防止膜上に設けられた受光面側電極と、テクスチャ基板の受光面と反対側の面である裏面に形成された裏面側電極とを有するので発電効率が高く高歩留まりの太陽電池セルとすることができる。なお、本実施の形態のテクスチャエッチング装置100は、循環配管6および循環ポンプ2A,2B,2Cによりエッチング液9を循環させているが、エッチング液9の循環は必ずしもさせなくともよい。実施の形態2.図3は、本発明の実施の形態2にかかるテクスチャエッチング装置の構成を説明するための概念的な構成図である。本実施の形態のテクスチャエッチング装置エッチング装置101は、実施の形態1と同じようにエッチング液9が貯えられたエッチング槽1を備えている。このエッチング液9中に複数枚のシリコン基板8が陽イオン吸着機能付ウェハカセット11にセットされて浸漬されている。そして、この複数枚のシリコン基板8に対してエッチング液9により同時にテクスチャエッチングが施される。エッチング槽1からエッチング液を流出させるための配管がエッチング槽1の側壁面に形成された穴に接続されている、また、エッチング槽1内にエッチング液を流入させるための配管がエッチング槽1の底面に形成された穴に接続されている。両配管はループ状の循環配管6を構成している。循環配管6には循環ポンプ2が配設されており、エッチング液9を同図中の矢印の方向に循環する。エッチング液9の加熱機構は図示していないが、エッチング槽1に備え付けられたヒータまたは、配管に巻きつけられたヒータにより実施される。さらに、エッチング液9の拡散が必要な場合、エッチング槽1に図示していない拡散機構を持たせることで、エッチング液9の拡散を行うこともある。本実施の形態のテクスチャエッチング装置101は、実施の形態1のようなイオン除去槽を備えてない代わりに、エッチング液中の陽イオンの除去を陽イオン吸着機能付ウェハカセット11にて行う。ウェハカセットはウェハに隣接しているため、ウェハから発生する陽イオンを即座に捕獲することが可能となる。本実施の形態では、エッチング液9に含まれる陽イオンを陽イオン吸着機能付ウェハカセット11に吸着させることでエッチング液9内から取り除くため、陽イオンによって引き起こされていたテクスチャの面内不均一性を防止することができると共に、テクスチャ基板表面の陽イオン残渣が無く、後の熱工程でもキャリアライフタイムの低下を防止できるため、高発電効率の太陽電池セルの製造を高い歩留まりで実現できる。上記の陽イオン吸着機能付ウェハカセット11は、膜状の陽イオン吸着剤をウェハカセットに貼り付けたり、数十ミクロンの粒子状の陽イオン吸着剤をウェハカセットに設けた孔にはめ込んだり、多孔質物質の孔に吸着させたりして、作製される。また、ウェハカセットに搭載されるシリコン基板の数枚を、たとえばステンレス板などに陽イオン吸着剤を貼り付けた板状のものと入れ替えることで、ウェハカセットに吸着機能を付加させることもできる。上記の陽イオン吸着材は、イオン交換樹脂やイオン交換体、およびキレート樹脂の1つ又は複数から成り、この物質に前記エッチング液に溶出した陽イオンを吸着させる。吸着材の量については、エッチング液に溶出する陽イオン濃度は通常数十ppm程度の濃度であることを考慮して、エッチング槽の槽容量、吸着剤の種類、吸着剤の交換頻度等を決定すればよい。以上のように、本実施の形態のテクスチャエッチング装置101によれば、シリコン基板8を搭載しエッチング槽1内に保持するウェハカセットが、陽イオン除去手段を兼ねる陽イオン吸着機能付ウェハカセット11である。そのため、シリコン基板8の周囲のエッチング液9中の陽イオン濃度を効果的に低下することができる。また、本実施の形態のテクスチャエッチング装置101によれば、陽イオン吸着機能付ウェハカセット11は、陽イオン吸着材が表面に配置した図示しない板状部材を、一部のシリコン基板8と入れ替えて搭載する。そのため、製作が容易でコストダウンを図ることができる。なお、本実施の形態のテクスチャエッチング装置101は、循環配管6および循環ポンプ2によりエッチング液9を循環させているが、必ずしもエッチング液9の循環はさせなくともよい。"