検査対象物を撮像して欠陥を検出する外観検査装置であって、照明撮像系と、画像処理装置と、欠陥判定統合パーソナルコンピューターPCと、検査対象物を移動搬送する搬送部とを備え、前記照明撮像系において、画像撮像用受光部カメラ、レンズ、照明を1系統とし、それらが、同一軸上に2系統以上配置され、移動搬送される検査対象物の同一フレームを同一条件で2回以上撮像し、その後、前記検査対象物の撮像画像の処理を画像処理装置で行い、それぞれの系統毎で前記検査対象物の欠陥検出候補を抽出し、その結果を、欠陥判定統合PCに出力し、前記の結果の組み合わせにより、検査対象物の欠陥の有無を判定する、外観検査装置。画像撮像用受光部カメラの分解能が、0.5~10μm/pixであることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。従来の手法では、一度の撮像で欠陥検出の判断が成されるため、虚報が発生した際の対処が行えない等の問題があった。また、欠陥検出を正確に行うために、複雑な画像処理を行うと、画像処理に時間を要してしまい、生産性が悪化してしまう等の問題があった。本発明の目的は、複雑な画像処理を行うことなく、虚報を減らすことで、安定的に欠陥を検出し、かつ生産性が向上する外観検査装置を提供する事である。本発明は以下の通りである。1検査対象物を撮像して欠陥を検出する外観検査装置であって、照明撮像系と、画像処理装置と、欠陥判定統合パーソナルコンピューターPCと、検査対象物を移動搬送する搬送部とを備え、前記照明撮像系において、画像撮像用受光部カメラ、レンズ、照明を1系統とし、それらが、同一軸上に2系統以上配置され、移動搬送される検査対象物の同一フレームを同一条件で2回以上撮像し、その後、前記検査対象物の撮像画像の処理を画像処理装置で行い、それぞれの系統毎で前記検査対象物の欠陥検出候補を抽出し、その結果を、欠陥判定統合PCに出力し、前記の結果の組み合わせにより、検査対象物の欠陥の有無を判定する、外観検査装置。2画像撮像用受光部カメラの分解能が、0.5~10μm/pixであることを特徴とする1記載の外観検査装置。本発明により、複雑な画像処理を行うことなく、虚報を減らすことで、安定的に欠陥を検出し、かつ生産性が向上する外観検査装置を提供できる。本発明の外観検査装置は、検査対象物を撮像して欠陥を検出する外観検査装置であって、照明撮像系と、画像処理装置と、欠陥判定統合パーソナルコンピューターPCと、検査対象物を移動搬送する搬送部とを備え、前記照明撮像系において、画像撮像用受光部カメラ、レンズ、照明を1系統とし、それらが、同一軸上に2系統以上配置され、移動搬送される検査対象物の同一フレームを同一条件で2回以上撮像し、その後、前記検査対象物の撮像画像の処理を画像処理装置で行い、それぞれの系統毎で前記検査対象物の欠陥検出候補を抽出し、その結果を、欠陥判定統合PCに出力し、前記の結果の組み合わせにより、検査対象物の欠陥の有無を判定するものである。以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図1は、実施の形態の外観検査装置の全体構成図例である。この外観検査装置は、照明撮像系、画像処理装置、欠陥判定統合PC、被検査物検査対象物を移動搬送する搬送部から成り、外観検査方法を実行する。上記照明撮像系は、画像撮像用受光部カメラ6、レンズ5、照明7を1系統とし、それを同一軸上に2系統以上配置し、移動搬送される被検査物検査対象物の同一箇所同一フレームを同一条件で2回以上撮像し、画像処理装置15で画像処理を行う。それぞれの系統で欠陥検出候補を抽出し、欠陥判定統合PC19にフィードバックする。なお、照明撮像系は、同一軸上に2系統以上配置されるが、同一軸上とは、一般的に、搬送部により移動搬送する検査対象物に対し、同方向で、かつ、略同距離に配置されている状態である。通常、同一箇所同一フレームを同一条件で撮像すれば同一の結果が得られるが、本発明の外観検査装置の検査対象は、主に10μm程度の微小な欠陥を対象としており、この大きさに合わせた分解能で撮像を行うと、風等の些細な外乱の影響が撮像画像に影響を及ぼし、撮像画像に違いを及ぼす事があり、それが虚報の原因となることがある。従って、本発明では、照明撮像系は3系統以上だと虚報低減が図れ、好ましいが、5系統以上だと統合処理に時間を要し、検査時間が多くなってしまう事で生産性が悪化するおそれがある。そのため、3系統、又は、4系統がより好ましい。被検査物検査対象物は、例えば、リール状に巻き取られたフィルム状の製品や、枚葉の板状の製品である。本発明の外観検査装置は、上記被検査物検査対象物中に含まれる微小な大きさの欠陥を検出するものである。本発明の外観検査装置で対象とする欠陥は、一般的に、被検査物検査対象物表面上に存在する異物、傷、凹み、変色、形状異常、クラック、ボイド、バリ、さらに被検査物検査対象物が透明である場合の被検査物検査対象物内にある異物、ボイド等で、主に3~20μm程度の大きさの欠陥を対象とする。例えば、3μm程度の大きさの欠陥を検出する場合、カメラは、一般に、存在するラインセンサ方式、エリアセンサ方式で、素子のサイズが10μm以下の物とし、100万pix以上のカメラとするのが好ましい。レンズは、光学倍率が10~15倍のレンズを使用し、分解能が0.5~1μm/pixを実現する高解像度の撮像系であることが好ましい。この分解能は、通常、カメラの素子サイズ/レンズの光学倍率により計算される。本発明では、対象とする欠陥に合わせ、分解能を決める事とし、カメラの分解能を0.5~10μm/pixとすることが好ましい。搬送部は、例えば、被検査物検査対象物が、フィルムでリール状に巻かれた状態の場合、照明撮像系上でフィルムが重なった状態とならないように被検査物検査対象物をリール状から剥がし、1枚の状態にした上で、フィルムを移動させ、外観検査装置の終点で再び巻き取るとい機構を含む。さらに、照明撮像系の部分にはドラムを配置し、被検査物検査対象物が、風等の外乱から影響を受けにくく安定している構造を有することが好ましい。本発明の外観検査装置において、欠陥検出手段は、撮像画像に対して様々な画像処理を施し、欠陥候補を検出する。具体的には画像に重畳したノイズを除去するためにガウシアンフィルタ等のローパスフィルタ、或いはミディアンフィルタ等を施し、次にソーベルフィルタやラプラシアンフィルタ等でエッジを強調して、適当な閾値で2値化し、連結成分毎にラベリングして、連結成分を欠陥候補とする等の処理が一般的である。欠陥検出の手法は、様々な方法が提案されており、対象撮像画像に応じて適切な手法を用いれば良く、本発明の外観検査装置において、欠陥検出の手法を限定するものではない。しかし、一般的に、微小で複雑な欠陥を検出する場合には、虚報を避けるため、上記処理を組み合わせ、複雑なアルゴリズムを構成する事が多い。そのため、画像処理に時間を要してしまう事で、生産性が悪化してしまうおそれがある。本発明の外観検査装置は、この複雑なアルゴリズムを避け、なおかつ虚報を低減させる目的で、2系統以上で撮像を行うため、この画像処理を2系統以上で行う。図2は、本発明に関わる欠陥検出アルゴリズムのフロー例を表している。例えば、カラーカメラで撮像を行った場合、欠陥検出アルゴリズムは、H色相、S彩度、V明度、それぞれのパラメータで2値化を行った後、膨張処理、収縮処理を行い、面積が30~50pix以上を欠陥候補として検出するというフローを3系統で行う。1系統で欠陥候補が検出された場合、その情報を統合PCにフィードバックし、他のフローでの結果と比較する。その結果、他の系統全てで同一フレームの同一座標の欠陥候補が検出されている場合を欠陥検出として出力し、1系統でも欠陥候補が検出されていなければ、欠陥検出としての出力は行わない。欠陥検出の出力の際には、欠陥検出位置、欠陥検出サイズを出力し、後で再検査を可能とする。本検出アルゴリズムを実現する画像処理装置として、例えば、KEYENCEXG-7500株式会社キーエンス製商品名等がある。