"沈降する液体が付着した微細物を沈殿させる沈殿部を備え、前記沈殿部は、沈殿する液体が付着した微細物を収納する収納室と、前記収納室に収納される前記微細物を押圧する押圧手段と、前記押圧によって液体を外部に排出する液体排出通路と、前記液体を除去した微細物を前記収納室から排出する排出手段と、を有し、前記微細物に付着する液体を除去し、前記液体を除去した微細物を前記収納室から排出することを特徴とする微細物除去装置。前記押圧手段は、前記収納室に収納される前記微細物が所定量になると加圧し、前記液体を付着した微細物から液体を除去し、または前記液体を除去して微細物を固形化することを特徴とする請求項1に記載の微細物除去装置。前記排出手段は、前記液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で前記収納室から排出して回収することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の微細物除去装置。微細物を含む液を供給して渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて微細物を分離した液体を排出し、渦巻きを減速させて分離された液体が付着した微細物を沈降させる遠心分離部を備え、前記遠心分離部に、前記沈殿部を接続することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の微細物除去装置。微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部を備え、前記ホッパ部に、前記沈殿部を接続することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の微細物除去装置。流体を循環させる循環経路に前記請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の微細物除去装置を配置し、前記微細物除去装置により微細物に付着する液体を除去することを特徴とする微細物除去システム。前記除去した液体を前記循環経路に戻す戻し経路を有することを特徴とする請求項6に記載の微細物除去システム。前記液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で回収することを特徴とする請求項6に記載の微細物除去システム。このような装置では、沈殿カップを着脱可能に接続し、沈殿カップに微細物を沈殿させて取り外すことで、沈殿した微細物を一度に排出するようにしているが、沈殿カップに切削液も混入しており、この切削液を除去することが必要になる。また、沈殿部の沈殿カップに沈殿した微細物を排出する排出口が設けられ、排出バルブの手動操作で排出口から沈殿した微細物を排出しているが、この微細物の排出時に切削液も漏れることがあるため、同様に切削液を除去することが必要になる。この発明は、かかる実情に鑑みてなされたもので、微細物に付着する液体を除去し、微細物を固形化し、あるいは液体を除去した状態で回収することが可能な微細物除去装置及び微細物除去システムを提供することを目的としている。前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。請求項1に記載の発明は、沈降する液体が付着した微細物を沈殿させる沈殿部を備え、前記沈殿部は、沈殿する液体が付着した微細物を収納する収納室と、前記収納室に収納される前記微細物を押圧する押圧手段と、前記押圧によって液体を外部に排出する液体排出通路と、前記液体を除去した微細物を前記収納室から排出する排出手段と、を有し、前記微細物に付着する液体を除去し、前記液体を除去した微細物を前記収納室から排出することを特徴とする微細物除去装置である。請求項2に記載の発明は、前記押圧手段は、前記収納室に収納される前記微細物が所定量になると加圧し、前記液体を付着した微細物から液体を除去し、または前記液体を除去して微細物を固形化することを特徴とする請求項1に記載の微細物除去装置である。請求項3に記載の発明は、前記排出手段は、前記液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で前記収納室から排出して回収することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の微細物除去装置である。請求項4に記載の発明は、微細物を含む液を供給して渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて微細物を分離した液体を排出し、渦巻きを減速させて分離された液体が付着した微細物を沈降させる遠心分離部を備え、前記遠心分離部に、前記沈殿部を接続することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の微細物除去装置である。請求項5に記載の発明は、微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部を備え、前記ホッパ部に、前記沈殿部を接続することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の微細物除去装置である。請求項6に記載の発明は、流体を循環させる循環経路に前記請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の微細物除去装置を配置し、前記微細物除去装置により微細物に付着する液体を除去することを特徴とする微細物除去システムである。請求項7に記載の発明は、前記除去した液体を前記循環経路に戻す戻し経路を有することを特徴とする請求項6に記載の微細物除去システムである。請求項8に記載の発明は、前記液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で回収することを特徴とする請求項6に記載の微細物除去システムである。前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。請求項1に記載の発明では、微細物に付着する液体を除去し、液体を除去した微細物を収納室から排出し、微細物を固形化し、あるいは液体を除去した状態で回収し、微細物を液体の漏れがなく回収することができる。請求項2に記載の発明では、収納室に収納される微細物が所定量になると加圧し、液体を付着した微細物から液体を除去し、または液体を除去して微細物を固形化することができる。請求項3に記載の発明では、液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で収納室から排出して回収することができる。請求項4に記載の発明では、微細物を含む液を供給して渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて微細物を分離した液体を排出し、渦巻きを減速させて分離された液体が付着した微細物を沈降させる遠心分離部を備え、遠心分離部に、沈殿部を接続することで、遠心分離部から微細物を液体の漏れがなく回収することができる。請求項5に記載の発明では、微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部を備え、ホッパ部に、沈殿部を接続することで、ホッパ部から微細物を液体の漏れがなく回収することができる。請求項6に記載の発明では、流体を循環させる循環経路に前記請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の微細物除去装置を配置し、微細物除去装置により微細物に付着する液体を除去することができる。請求項7に記載の発明では、除去した液体を循環経路に戻し、液体の漏れがなく除去することができ、しかも液体を再利用し消費を抑えることができる。請求項8に記載の発明では、液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で排出することで、微細物を液体の漏れがなく回収することができる。以下、この発明の微細物除去装置及び微細物除去システムの実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明するが、この発明はこの実施形態に限定されない。この発明の微細物除去装置及び微細物除去システムは、製薬、化学、食品、飲料の原料他の微細物の回収に、また自動車、工作機、加工業の切削粉等の微細物の回収に、また各工場、水処理等の循環水、排水の濾過に、また半導体、バイオ等の不純物等の微細物の除去に、また洗浄水、溶剤等の異物である微細物の除去等に使用され、液体に含まれる微細物を分離除去するものに広く使用される。微細物除去装置[第1の実施の形態]微細物除去装置の構造この微細物除去装置の第1の実施の形態を、図1乃至図4に示す。図1は微細物除去装置の断面図、図2は遠心分離部の平面図、図3は微細物を排出する状態を説明する断面図、図4は微細物を排出する部分の正面図である。この実施の形態の微細物除去装置10は、図1乃至図4に示すように、遠心分離部11と、沈殿部21とを備え、機器100に循環ポンプ501の駆動により切削液を貯留タンク502から供給して循環させる循環経路Tに配置される。遠心分離部11は、密閉筒12を筒体13に一体に複数段に設け、上段の密閉筒12に連通して流体入口14と流体出口15が設けられている。このように、筒体13に密閉筒12を一体に設けることで、遠心分離部11の気密性を向上させることができる。遠心分離部11は、軸芯に液体出口15を有し、軸芯から偏位した位置に液体入口14を有しており、テーパ下部12aに連通孔12bを有する密閉筒12を上下方向に2個形成しているが、2個に限定されず、1個でも、また複数個接続する構成でも良い。この密閉筒12は、断面円状であり、筒体13はアルミニウム等の金属で形成され、軽量で強度があるが、樹脂、ゴムなどでもよく特に限定されない。遠心分離部11は、液体入口14から微細物を含む液を所定流速で供給して複数の密閉筒12の内部で渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて液体出口15から微細物を分離した液体を排出し、渦巻きを減速させて分離された微細物を沈降させる。この遠心分離部11の構造は、この実施の形態に限定されず、一般的な遠心分離装置の構造でもよい。沈殿部21は、収納室23と、押圧手段24と、液体排出通路25と、排出手段30とを有し、液体が付着している微細物に圧力をかけることで微細物に付着する液体を除去し、微細物を固形化するが、固形化しないで、付着する液体を除去した状態の微細物としてもよい。沈殿部21は、シリンダ50を備え、このシリンダは分割シリンダ部50aと分割シリンダ部50bを複数の締付ボルト51により締付けて組み付ける。分割シリンダ部50aにはスリーブ26を嵌合し、スリーブ26内に収納室23が形成される。スリーブ26は金属で成形され、締付ボルト52により分割シリンダ部50aに抜け止めされている。スリーブ26が磨耗すると、締付ボルト52を緩めることで交換可能になっている。分割シリンダ部50aには、スリーブ26に連通して微細物入口部17が設けられ、この微細物入口部17は連通管16を介して遠心分離部11と連通しており、微細物入口部17は押圧手段24によって開閉される。微細物入口部17が開いたときに、遠心分離部11から連通管16を介して沈殿する液体が付着した微細物を収納室23に収納する。分割シリンダ部50bには、押圧手段24を構成するピストン24a、ロッド24b、可動壁24c、隔壁24dが組み付けられている。隔壁24dを貫通するロッド24bの先端にはピストン24aが固定され、ロッド24bの頭部には可動壁24cが固定され、可動壁24cによって第1室24e1と第2室24e2を形成する。分割シリンダ部50bには、第1室24e1と連通して第1ポートa1が形成され、第2室24e2と連通して第2ポートa2が形成され、第1ポートa1及び第2ポートa2にはピストン駆動ポンプ24fが連通されている。ピストン駆動源24fを駆動し、第1ポートa1を介して第1室24e1に圧縮空気を供給すると、可動壁24cが前進してロッド24bを介してピストン24aが前進し、第2ポートa2を介して第2室24e2に圧縮空気を供給すると、可動壁24cが後退してロッド24bを介してピストン24aが後退する。ピストン駆動源24fは、空圧装置を用いているが、油圧装置を用いてもよい。分割シリンダ部50bには、センサLS3,LS4,LS5,LS6が配置され、可動壁24cを検出することで、ピストン24aの位置を知ることができるようになっている。このセンサLS3,LS4,LS5,LS6は、電磁センサなどの非接触センサが用いられ、位置検出情報は制御装置510に送られる。制御装置510は、マイクロコンピュータで構成され、操作部511から電源入力、制御信号に基づき循環ポンプ501を制御するとともに、センサLS3,LS4,LS5,LS6からの位置検出情報に基づきピストン駆動ポンプ24fを制御する。排出手段30は、ゲート30a、ロッド30b、可動壁30c、シリンダ30dを有する。ゲート30aにロッド30bの先端が固定され、ロッド30bの頭部に可動壁30cが固定され、シリンダ30cの内部は可動壁30cによって第1室30e1と第2室30e2を形成する。シリンダ30dには、第1室30e1と連通して第1ポートb1が形成され、第2室30e2と連通して第2ポートb2が形成され、第1ポートb1及び第2ポートb2にはゲート駆動源30fが連通されている。ゲート駆動源30fを駆動し、第1ポートb1を介して第1室30e1に圧縮空気を供給すると、可動壁30cが前進してロッド30bを介してゲート30aが前進し、第2ポートb2を介して第2室30e2に圧縮空気を供給すると、30cが後退してロッド30bを介してゲート30aが後退する。ゲート駆動源30fは、空圧装置を用いているが、油圧装置を用いてもよい。シリンダ30dには、センサLS1,LS2が配置され、可動壁30cを検出することで、ゲート30aの位置を知ることができるようになっている。このセンサLS1,LS2は、電磁センサなどの非接触センサが用いられ、位置検出情報は制御装置510に送られる。この制御装置510は、センサLS1,LS2からの位置検出情報に基づきゲート駆動源30fを制御する。液体排出通路25は、スリーブ26の開口部26aの端面26bに円弧状に形成された排出溝26cと、分割シリンダ部50aのガイド面50cに円弧状に形成された排出溝50dと、ゲート30aのスライド面30a1とから構成される。排出溝26cと排出溝50dは、複数個所に形成され、それぞれの排出溝26cと排出溝50dは連通しているが、この連通した排出溝26cと排出溝50dは、1箇所でもよく、場所も下部に限定されない。液体排出通路25の下方位置に、排出液受け部27が配置され、この排出液受け部27には排出管28が接続されている。ゲート30aがスリーブ26の開口部26aを閉じた状態では、ゲート30aのスライド面30a1が排出溝26cと排出溝50dを覆うことで液体排出通路25が形成され、ゲート30aがスリーブ26の開口部26aを開いた状態では、ゲート30aのスライド面30a1が排出溝26cと排出溝50dを覆うことがなく、液体排出通路25が開放される。したがって、液体排出通路25に排出される液体とともに微細物が入り込むことがあっても、ゲート30aのスライド面30a1が排出溝26cと排出溝50dを覆うことがなくなると液体排出通路25が開放され、微細物が液体排出通路25に詰まることなく落下して排出液受け部27へ排出される。ゲート30aがスリーブ26の開口部26aを閉じ、ピストン24aが後退して微細物入口部17が開いたときに、遠心分離部11から連通管16を介して沈殿する液体が付着した微細物を収納室23に収納され、ピストン24aが前進して微細物を押圧し液体を除去し、この液体は液体排出通路25から排出液受け部27に排出され、排出管28を介して貯留タンク502へ戻される。そして、固形化し、または付着する液体を除去した状態の微細物は、ゲート30aが後退してスリーブ26の開口部26aを開き、ピストン24aが排出位置へ前進することで、スリーブ26の開口部26aから押し出されて落下し、回収容器80に回収する。微細物除去装置の作動次に、微細物除去装置の作動を、図5乃至図7に基づいて説明する。図5は微細物除去装置の制御の構成図、図6は微細物除去装置の作動を示すタイムチャート、図7は微細物除去装置の作動を示す断面図である。原点復帰作動この微細物除去装置10が作動後、あるいは停電などで停止状態であると、ゲート30aがスリーブ26の開口部26aを開き、可動壁24cがセンサLS3~LS6の間のいずれかの位置にある。操作部511から電源を入力すると、この電源入力信号により制御装置510は、ピストン駆動源24fを制御して第1ポートa1を介して第1室24e1に圧縮空気を供給し、可動壁24cを前進させる。このため、ロッド24bを介してピストン24aが前進し、センサLS6が可動壁24cを検出すると、ピストン駆動源24fを制御して第2ポートa2を介して第2室24e2に圧縮空気を供給し、可動壁24cを後退させる。このため、ロッド24bを介してピストン24aが後退し、センサLS4が可動壁24cを検出すると、ピストン駆動ポンプ24fの制御を停止し、ピストン24aが微細物入口部17を閉じて連通管16を介して沈殿する液体が付着した微細物が収納室23に収納されることを規制する。このピストン24aが微細物入口部17を閉じた状態で、ゲート駆動源30fを制御して第1ポートb1を介して第1室30e1に圧縮空気を供給すると、可動壁30cが前進してロッド30bを介してゲート30aが前進し、ゲート30aがスリーブ26の開口部26aを閉じる。このスリーブ26の開口部26aを閉じると、センLS2が可動壁30cを検出することで、センサLS2からの位置検出情報に基づき制御装置510のタイマー1が作動し、原点復帰が行われる図7a。微細物加圧作動制御装置510は、原点復帰が行われると、タイマー1が作動し、このタイマー1で設定された時間が経過すると、循環ポンプ501を駆動して切削液を貯留タンク502から遠心分離部11を介して機器100に供給して循環させる。この循環ポンプ501の駆動とともに、ピストン駆動源24fを制御して第2ポートa2を介して第2室24e2に圧縮空気を供給し、可動壁24cを後退させる。このため、ロッド24bを介してピストン24aが後退し、ピストン24aが微細物入口部17を開き、微細物入口部17から連通管16を介して遠心分離部11から沈殿する液体が付着した微細物を収納室23に収納する図7b。センサLS3が可動壁24cを検出すると、ピストン駆動源24fを制御し、第1ポートa1を介して第1室24e1に圧縮空気を供給するように切り替えると、可動壁24cが前進してロッド24bを介してピストン24aが前進し、ピストン24aが微細物入口部17を閉じ、センサLS4が可動壁24cを検出する。さらに、前進してセンサLS5が可動壁24cを検出すると、ピストン駆動源24fを制御し、第2ポートa2を介して第2室24e2に圧縮空気を供給するように切り替える。これにより、可動壁24cを後退し、ロッド24bを介してピストン24aが後退し、ピストン24aが微細物入口部17を開き、微細物入口部17から連通管16を介して沈殿する液体が付着した微細物を収納室23に収納する。センサLS3が可動壁24cを検出すると、再度ピストン駆動源24fを制御し、第1ポートa1を介して第1室24e1に圧縮空気を供給するように切り替える。これにより、再度可動壁24cが前進してロッド24bを介してピストン24aが前進し、ピストン24aが微細物入口部17を閉じ、センサLS4が可動壁24cを検出し、さらに前進してセンサLS5が可動壁24cを検出すると、ピストン駆動源24fを制御し、第2ポートa2を介して第2室24e2に圧縮空気を供給するように切り替える。これにより、再度可動壁24cを後退し、ロッド24bを介してピストン24aが後退し、ピストン24aが微細物入口部17を開き、微細物入口部17から連通管16を介して沈殿する液体が付着した微細物を収納室23に収納することを繰り返す。これにより、所定量の微細物が収納室23に溜まりピストン24aの前進距離が短くなる。ピストン24aの前進したときに、センサLS4が可動壁24cを検出し、センサLS5が可動壁24cを検出しないと、タイマー2が作動し、ピストン駆動源24fを制御し、第1ポートa1を介して第1室24e1に圧縮空気を供給し続けてピストン24aにより微細物を加圧する。ピストン24aが前進と後退を繰り返すことがなく、所定量の微細物が収納室23に溜まることがある場合にもセンサLS5が可動壁24cを検出しないと、タイマー2が作動し、ピストン駆動源24fを制御し、第1ポートa1を介して第1室24e1に圧縮空気を供給し続けてピストン24aにより微細物を加圧する。タイマー2の設定した加圧作動時間が経過すると、ピストン駆動源24fを制御し、第2ポートa2を介して第2室24e2に圧縮空気を供給し、これにより可動壁24cが後退し、ロッド24bを介してピストン24aが後退する。センサLS4が可動壁24cを検出すると、制御装置510は、ゲート駆動源30fを駆動する図7c。微細物排出作動制御装置510は、センサLS4が可動壁24cを検出した位置検出情報に基づきゲート駆動源30fを制御し、第2ポートb2を介して第2室30e2に圧縮空気を供給すると、可動壁30cが後退してロッド30bを介してゲート30aが後退し、ゲート30aがスリーブ26の開口部26aを開ける。このスリーブ26の開口部26aを開けると、センLS1が可動壁30cを検出し、センサLS1からの位置検出情報に基づき制御装置510は、ピストン駆動源24fを制御し、第1ポートa1を介して第1室24e1に圧縮空気を供給し、可動壁24cが前進してロッド24bを介してピストン24aが前進し、センサLS6が可動壁24cを検出すると、ピストン24aが加圧された微細物をスリーブ26の開口部26aから押し出し、加圧された微細物が回収容器80に回収される図7d。センサLS6が可動壁24cを検出すると、センサLS6からの位置検出情報に基づき制御装置510は、ピストン駆動源24fを制御し、第2ポートa2を介して第2室24e2に圧縮空気を供給し、これにより可動壁24cが後退し、ロッド24bを介してピストン24aが後退する。センサLS4が可動壁24cを検出すると、制御装置510は、ゲート駆動源30fを制御する。制御装置510は、センサLS4が可動壁24cを検出した位置検出情報に基づき、ゲート駆動源30fを制御し、第1ポートb1を介して第1室30e1に圧縮空気を供給すると、可動壁30cが前進してロッド30bを介してゲート30aが前進し、ゲート30aがスリーブ26の開口部26aを閉じる。このようにして、ゲート30aがスリーブ26の開口部26aを閉じることで、微細物加圧作動のピストン24aの後退から微細物排出作動の1サイクルが完了し図7a、再度微細物加圧作動のピストン24aの後退から微細物排出作動のサイクルを循環ポンプ501が停止するまで繰り返す。[第2の実施の形態]微細物除去装置の構造この微細物除去装置の第2の実施の形態を、図8に示す。図8は微細物除去装置の断面図である。この実施の形態の微細物除去装置10は、図8に示すように、遠心分離部11と、沈殿部21とを備え、沈殿部21の押圧手段24の構成が、図1乃至図7の実施の形態と異なるが、その他の構成は同じであり、同じ符号を付して説明を省略する。押圧手段24は、ピストン24gと、ロッド24h、駆動ギヤ24i、ピストン駆動モータ24jなどで構成される。ピストン24gの後端部にロッド24hが固定され、ロッド24hのギヤに駆動ギヤ24iが噛み合っている。ピストン駆動モータ24jによって駆動ギヤ24iが正転すると、ロッド24hを介してピストン24gが前進し、駆動ギヤ24iが逆転すると、ロッド24hを介してピストン24gが後退する。制御装置504は、ピストン駆動モータ24jを制御し、ピストン24gが前進し、液体が付着した微細物を押圧し、この押圧によって液体が液体排出通路25から外部に排出され、微細物に付着する液体を除去し、微細物を固形化し、または付着する液体を除去した状態の微細物とし、加圧された微細物はスリーブ26の開口部26aから押し出して回収容器80に回収される。微細物除去装置の作動この実施の形態の微細物除去装置では、制御装置504が、ピストン駆動モータ24jを制御し、図1乃至図7の実施の形態と同様に初期作動、微細物加圧作動、微細物排出作動を行う。[第3の実施の形態]微細物除去装置の構造この微細物除去装置の第3の実施の形態を、図9に示す。図9は微細物除去装置の断面図である。この第3の実施の形態は、図1乃至図7の第1の実施の形態と同様に構成されるが、押圧手段24に移送手段40を備える。移送手段40は、駆動ロッド40aと、移送ロッド40bと、トレイ40cとを有する。駆動ロッド40aは、可動壁24cに固定され、分割シリンダ部50bに移動可能に連通されている。分割シリンダ部50bの連通部50b1は、気密構造になっている。移送ロッド40bの後端は、レバー40dを介して駆動ロッド40aに連結され、移送ロッド40bは駆動ロッド40aとともに移動する。移送ロッド40bの先端には、プレート40eが固定されている。トレイ40cは、分割シリンダ部50aの下方に配置され、回収容器80の上方位置まで伸びており、トレイ40cによって回収容器80を任意の位置に配置することができる。微細物除去装置の作動次に、微細物除去装置10の作動を、図10に基づいて説明する。図10は微細物除去装置の作動を示す図である。この第3の実施の形態は、図1乃至図7の第1の実施の形態と同様に作動し、ピストン24aを前進させて微細物をピストン24aによって押圧し、微細物に付着する液体を除去し、微細物を固形化し、または付着する液体を除去した状態の微細物とし、ピストン24aが加圧された微細物をスリーブ26の開口部26aから押し出し、加圧された微細物がトレイ40c上に排出される図10a。微細物を収納室23からトレイ40c上へ排出した後に、ピストン24aをさらに前進させると、駆動ロッド40aを介して移送ロッド40bが前進する。この移送ロッド40bの前進によってトレイ40cに排出された固形化した微細物、または付着する液体を除去した状態の微細物がプレート40eにより押され、トレイ40cに沿って移送されて回収容器80に回収される図10b。[第4の実施の形態]この微細物除去装置の第4の実施の形態を、図11に示す。図11は微細物除去装置の断面図である。この第4の実施の形態は、微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部60を備え、ホッパ部60に、沈殿部21を接続した構成である。ホッパ部60は、上部と下部を開口したじょうご状であり、下部に沈殿部21が接続される。ホッパ部60の上部から微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物が供給され、ホッパ部60に収納された液体が付着した微細物はじょうご状によって沈降して下部から沈殿部21に供給される。沈殿部21は、図1乃至図7の第1の実施の形態のものを用いたが、これに限定されることなく、第2の実施の形態及び第3の実施の形態のものも同様に用いることができる。このように、ホッパ部60に、沈殿部21を接続することで、ホッパ部60から微細物を液体の漏れがなく回収することができる。微細物除去システム[第1の実施の形態]この微細物除去システムの第1の実施の形態を、図12に示す。図12は微細物除去システムを示す構成図である。この微細物除去システムAは、工作機、加工機などの機器の切削粉等の微細物の回収に用いる場合であり、機器に切削液を供給して循環させる循環経路Tを有する加工システムBに備えられる。この循環経路Tは、機器100に切削液を貯留タンク101から供給する供給経路108と、機器100からの切削液を貯留タンク101に戻す戻し経路102から構成する。この循環経路Tには、切替弁105,106が配置され、切替弁106を閉じ、切替弁105を開放することで、機器100と連通し、一方切替弁105を閉じ、切替弁106を開放することで、貯留タンク101と連通する。この循環経路Tの供給経路108にポンプ107を配置し、このポンプ107の駆動により貯留タンク101に貯留する切削液を、供給経路108から切替弁106を閉じた状態で、切替弁105を介して機器100へ供給し、切削に用いた切削液は戻し経路102を介して貯留タンク101に戻し循環させる。切削液を機器100へ供給しないときは、切替弁105を閉じた状態で、切替弁106を介して貯留タンク101に戻し循環させる。この実施の形態では、液体として切削液に含まれる微粉末状クズの微細物を除去する場合について用いているが、微細物であればよく、微粉末状クズに限定されない。この実施の形態の微細物除去システムAは、流体の切削液をポンプ107により機器に供給して循環させる循環経路Tに微細物除去装置10を配置する。この微細物除去装置10は、第1の実施の形態のものを用いているが、第1の実施の形態のものに限定されず、第2の実施の形態のものを用いてもよく、また第3の実施の形態のものを用いてもよく、沈殿部21において微細物を押圧し、微細物に付着する切削液を除去し、液体排出通路25から排出液受け部27に排出され、排出管28を介して排出タンク90に回収される。遠心分離部11では、液体入口14から微細物を含む切削液を所定流速で供給して渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて液体出口15から微細物を分離した切削液を排出し、渦巻きを減速させて分離された微細物を沈降させる。遠心分離部11の液体出口15は、切替弁105と切替弁106の間に接続され、循環ポンプ107の駆動により循環経路108を介して液体入口14に供給し、遠心分離部11により微細物を分離した切削液は、液体出口15から切替弁106を閉じた状態で切替弁105を介して機器100へ供給され、切削に用いた切削液は戻し経路102を介して貯留タンク101に戻し循環させる。また、切削液を機器100へ供給しないときは、液体出口15から切替弁105を閉じた状態で切替弁106を介して貯留タンク101に戻し循環させる。この微細物除去システムAでは、流体を循環させる循環経路Tに微細物除去装置10を配置することで、微細物除去装置10により微細物に付着する切削液を除去することができる。また、切削液を除去した微細物を固形化し、または切削液を除去した状態で排出することで、微細物を切削液の漏れがなく回収容器80に回収することができる。[第2の実施の形態]この微細物除去システムの第2の実施の形態を、図13に示す。図13は微細物除去システムを示す構成図である。この実施の形態では、第1の実施の形態と同じ構成は、同じ符号を付して説明を省略する。この実施の形態では、沈殿部21において微細物を押圧し、微細物に付着する切削液を除去し、排出管28から除去するが、この排出管28は、機器100に供給して循環させる循環経路Tに接続され、微細物に付着する切削液を除去して循環経路Tに戻す戻し通路とすることで再度切削液として使用する。この切削液を吸引して循環経路Tに戻す箇所は、貯留タンク101に戻しているが、戻し経路102に戻してもよい。また、循環経路108を介して微細物除去装置10に供給し、微細物除去装置10により再度遠心状態で微細物を外側へ移動させて液体出口15から微細物を分離した切削液を戻し経路102に戻してもよい。この微細物除去装置10は、第1の実施の形態のものを用いているが、第1の実施の形態のものに限定されず、第2の実施の形態のものを用いてもよく、また第3の実施の形態のものを用いてもよい。[第3の実施の形態]この微細物除去システムの第3の実施の形態を、図14に示す。図14は微細物除去システムを示す構成図である。この実施の形態では、機器100に切削液を貯留タンク201から供給する供給経路208と、機器100からの切削液を貯留タンク201に戻す戻し経路202から循環経路Tを構成する。この供給経路208には、ポンプ209が配置されている。この循環経路Tには、遠心分離装置300が配置され、この遠心分離装置300によってポンプ209の駆動により供給経路208から供給される切削液に含まれる微粉末状クズ等の微細物を分離して除去する。分離した微細物は回収タンク120に切削液とともに供給され、微細物を除去した切削液は循環経路Tを介して機器100に供給される。遠心分離装置300は、周知のものが用いられるが、微細物除去装置10の遠心分離部11のように構成してもよい。回収タンク120に貯留される微細物には、切削液が付着していることで、切削液が溜まる。回収タンク120には、ベルトコンベア121が配置され、モータ122によりベルトコンベア121を駆動し、回収タンク120の底部に沈殿する微細物をかきあげて微細物除去装置10に供給する。なお、この実施の形態では、ベルトコンベア121を用いているが、スクリュウコンベアなどを用いてもよい。回収タンク120に溜まる切削液は、排出口125からオーバーフローして戻し通路126を介して貯留タンク201に戻される。回収タンク120には、バッフルプレート127が遠心分離装置300からの微細物が切削液とともに落下して供給される位置と、排出口125との間に配置され、浮遊した微細物が排出口125から排出されることを防ぎ、かつ沈殿した微細物をベルトコンベア121によってかきあげるようにする。この微細物除去装置10は、第4の実施の形態のものが用いられ、ホッパ部60の上部から微細物を含む切削液から分離された切削液が付着した微細物が供給され、ホッパ部60に収納された切削液が付着した微細物はじょうご状によって沈降して下部から沈殿部21に供給される。このように、ホッパ部60に、沈殿部21を接続することで、ホッパ部60から微細物を切削液の漏れがなく回収することができ、除去した切削液を循環経路Tに戻し、切削液の漏れがなく除去することができ、しかも切削液を再利用し消費を抑えることができる。この実施の形態では、ホッパ部60において除去した切削液を戻し通路130を介して循環経路Tの貯留タンク201に戻している。[第4の実施の形態]この微細物除去システムの第4の実施の形態を、図15に示す。図15は微細物除去システムを示す構成図である。この実施の形態の循環経路Tは、第3の実施の形態と同様に構成されるが、この循環経路Tには、遠心分離装置が配置されないで、ポンプ219の駆動により貯留タンク201の切削液を、供給経路218から機器100に供給し、機器100で加工に用いられた切削液は、が貯留され、切削液に含まれる微細物は回収タンク120の底部に溜まり、戻し経路212を介して貯留タンク201に戻される。"