吸着剤を充填した2基以上の吸着塔の一方に窒素と酸素を主成分とする混合ガスを加圧下で供給し、各吸着塔が吸着工程、均圧工程、排気工程、均圧工程を繰り返すことにより連続して窒素ガスを製品ガスとして分離する混合ガスの分離方法において、製品窒素ガス流量を一定周期で測定し、測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を設け、当該設けた数値を積算して吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替えることを特徴とする混合ガスの分離方法。排気工程を終了する積算値の合計が吸着工程を終了する積算値の合計よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の混合ガスの分離方法。吸着剤を充填した2基以上の吸着塔の一方に窒素と酸素を主成分とする混合ガスを加圧下で供給し、各吸着塔が吸着工程、均圧工程、排気工程、均圧工程を繰り返すことにより連続して窒素ガスを製品ガスとして分離する混合ガスの分離方法において、製品窒素ガス流量を一定周期で測定し、測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を設け、当該設けた数値を積算して吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替えるとともに、上記吸着工程を終了するための一定値が時間とともに減少することを特徴とする混合ガスの分離方法。排気工程を終了する積算値の合計が吸着工程を終了する積算値の合計よりも小さく、排気工程を終了するための一定値が時間とともに減少することを特徴とする請求項3記載の混合ガスの分離方法。吸着剤を充填した第一吸着塔および第二吸着塔と、上記第一吸着塔および第二吸着塔へ窒素と酸素を主成分とする混合ガスを導入する流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔で混合ガスから分離された窒素ガスを貯蔵する製品ガス塔と、上記第一吸着塔および第二吸着塔から製品ガス塔へ窒素ガスを供給する流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔からの排気用流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔の間を連通させる均圧用流路と、上記製品ガス塔から外部に排出する製品ガスの流量を測定する流量センサーと、制御装置とを備え、均圧用流路を開放する均圧工程の後、上記第一吸着塔および第二吸着塔の一方で吸着剤による吸着工程を行い、他方で吸着剤からガスを脱着させる脱着工程を行う吸脱着動作を、上記両吸着塔を切り換えて繰り返して行う混合ガスの分離装置において、上記流量センサーにより一定周期で測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を制御装置で積算し、吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替えるように制御装置で制御することを特徴とする混合ガスの分離装置。排気工程を終了する積算値の合計が吸着工程を終了する積算値の合計よりも小さくなるように制御装置で制御することを特徴とする請求項5記載の混合ガスの分離装置。吸着剤を充填した第一吸着塔および第二吸着塔と、上記第一吸着塔および第二吸着塔へ窒素と酸素を主成分とする混合ガスを導入する流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔で混合ガスから分離された窒素ガスを貯蔵する製品ガス塔と、上記第一吸着塔および第二吸着塔から製品ガス塔へ窒素ガスを供給する流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔からの排気用流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔の間を連通させる均圧用流路と、上記製品ガス塔から外部に排出する製品ガスの流量を測定する流量センサーと、制御装置とを備え、均圧用流路を開放する均圧工程の後、上記第一吸着塔および第二吸着塔の一方で吸着剤による吸着工程を行い、他方で吸着剤からガスを脱着させる脱着工程を行う吸脱着動作を、上記両吸着塔を切り換えて繰り返して行う混合ガスの分離装置において、上記流量センサーにより一定周期で測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を制御装置で積算し、吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替えるとともに、上記吸着工程を終了するための一定値が時間とともに減少するように制御装置で制御することを特徴とする混合ガスの分離装置。排気工程を終了する積算値の合計が吸着工程を終了する積算値の合計よりも小さく、排気工程を終了するための一定値が時間とともに減少するように制御装置で制御することを特徴とする請求項7記載の混合ガスの分離装置。しかし、従来の運転方法1は、吸着工程中に使用する窒素ガス流量が大きく変化した場合、大きい流量に応じた吸着時間で運転を行うと、製品窒素の純度は維持されるが窒素に含まれる酸素は少なくなるが、省エネ効果は期待できない。また、小さい流量に応じた吸着時間で運転を行うと、製品窒素の純度が維持されない窒素に含まれる酸素が多くなる。従来の運転方法2は、吸着工程中に取り出し可能な窒素を取り出すことができるため、この方法は平衡分離方式には有効である。しかし、窒素ガスを製造するガス分離装置は上記のように速度分離方式であり、時間の経過とともに分離効率が低下する吸着時間が長くなると、酸素のみならず窒素も吸着剤に吸着されるようになる。そのため、使用窒素ガス流量が少ない場合、一定の値に達して吸着工程が終了するまでの時間が長くなり、製品窒素の純度を維持できなくなる。また、使用窒素ガス流量が少ない場合、一定時間経過後に吸着工程を終了させる方法もあるが、省エネ効果が期待できない。本発明は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、複数基の吸着塔で高圧吸着と低圧再生を交互に繰り返して窒素を製品ガスとして分離する混合ガスの分離方法において、使用する窒素ガス流量がガス分離装置の定格流量よりも少ない場合に好適である、経済的に有利な混合ガスの分離方法及びその分離装置を提供することにある。上記課題を解決するために、第一の発明は、吸着剤を充填した2基以上の吸着塔の一方に窒素と酸素を主成分とする混合ガスを加圧下で供給し、各吸着塔が吸着工程、均圧工程、排気工程、均圧工程を繰り返すことにより連続して窒素ガスを製品ガスとして分離する混合ガスの分離方法において、製品窒素ガス流量を一定周期で測定し、測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を設け、当該設けた数値を積算して吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替えることを特徴としている。第二の発明は、第一の発明において、排気工程を終了する積算値の合計が吸着工程を終了する積算値の合計よりも小さいことを特徴としている。第三の発明は、吸着剤を充填した2基以上の吸着塔の一方に窒素と酸素を主成分とする混合ガスを加圧下で供給し、各吸着塔が吸着工程、均圧工程、排気工程、均圧工程を繰り返すことにより連続して窒素ガスを製品ガスとして分離する混合ガスの分離方法において、製品窒素ガス流量を一定周期で測定し、測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を設け、当該設けた数値を積算して吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替えるとともに、上記吸着工程を終了するための一定値が時間とともに減少することを特徴としている。第四の発明は、第三の発明において、排気工程を終了する積算値の合計が吸着工程を終了する積算値の合計よりも小さく、排気工程を終了するための一定値が時間とともに減少することを特徴としている。第五の発明は、吸着剤を充填した第一吸着塔および第二吸着塔と、上記第一吸着塔および第二吸着塔へ窒素と酸素を主成分とする混合ガスを導入する流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔で混合ガスから分離された窒素ガスを貯蔵する製品ガス塔と、上記第一吸着塔および第二吸着塔から製品ガス塔へ窒素ガスを供給する流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔からの排気用流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔の間を連通させる均圧用流路と、上記製品ガス塔から外部に排出する製品ガスの流量を測定する流量センサーと、制御装置とを備え、均圧用流路を開放する均圧工程の後、上記第一吸着塔および第二吸着塔の一方で吸着剤による吸着工程を行い、他方で吸着剤からガスを脱着させる脱着工程を行う吸脱着動作を、上記両吸着塔を切り換えて繰り返して行う混合ガスの分離装置において、上記流量センサーにより一定周期で測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を制御装置で積算し、吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替えるように制御装置で制御することを特徴としている。第六の発明は、第五の発明において、排気工程を終了する積算値の合計が吸着工程を終了する積算値の合計よりも小さくなるように制御装置で制御することを特徴としている。第七の発明は、吸着剤を充填した第一吸着塔および第二吸着塔と、上記第一吸着塔および第二吸着塔へ窒素と酸素を主成分とする混合ガスを導入する流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔で混合ガスから分離された窒素ガスを貯蔵する製品ガス塔と、上記第一吸着塔および第二吸着塔から製品ガス塔へ窒素ガスを供給する流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔からの排気用流路と、上記第一吸着塔および第二吸着塔の間を連通させる均圧用流路と、上記製品ガス塔から外部に排出する製品ガスの流量を測定する流量センサーと、制御装置とを備え、均圧用流路を開放する均圧工程の後、上記第一吸着塔および第二吸着塔の一方で吸着剤による吸着工程を行い、他方で吸着剤からガスを脱着させる脱着工程を行う吸脱着動作を、上記両吸着塔を切り換えて繰り返して行う混合ガスの分離装置において、上記流量センサーにより一定周期で測定した製品窒素ガス流量に対応する数値を制御装置で積算し、吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了して均圧工程に切り替えるとともに、上記吸着工程を終了するための一定値が時間とともに減少するように制御装置で制御することを特徴としている。第八の発明は、第七の発明において、排気工程を終了する積算値の合計が吸着工程を終了する積算値の合計よりも小さく、排気工程を終了するための一定値が時間とともに減少するように制御装置で制御することを特徴としている。本発明によれば、製品窒素ガス流量に対応する数値の吸着工程開始時からの積算値の合計が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了するので、使用する窒素ガス流量がガス分離装置の定格流量よりも少ない場合、吸着工程を終了させるための一定値を使用窒素ガス流量に合わせて変更することにより、使用窒素ガス流量と製品窒素ガス流量とを対応させることができるので、省エネルギーが可能である。また、吸着工程中に使用窒素ガス流量が変動した場合、吸着工程を終了させるための一定値を変動する使用窒素ガス流量に巧みに合わせることにより、現実の窒素ガスの使用状況に即応した極めて効率的な装置の運転が可能である。また、排気工程を吸着工程よりも早く終了させることにより、排気工程中にある吸着塔から製品窒素ガスとして使用できる窒素ガスの排出を抑えることができるので、製品窒素ガスの純度を高めることができる。さらに、製品ガス中の酸素量に対する窒素量の比率が最も大きくなる時間が最適吸着時間であり、その最適吸着時間において製品窒素ガス流量は最大となる。最適吸着時間を超えて吸着を継続すると、製品窒素ガス流量は徐々に低下する。そこで、吸着工程および排気工程を終了するための一定値を、それぞれ吸着時間および排気時間とともに減少させることにより、吸着能力に適応した効率的な装置の運転が可能である。以下に、本発明の実施が可能な実施形態について説明する。当然のことながら、本発明の範囲を逸脱することなく、他の実施形態を利用することもできる。《混合ガスの分離装置》図2は、本発明の混合ガスの分離方法を実施するに好適な分離装置の概略構成図である。図2において、1は空気圧縮機、2は圧力センサー、3、4はそれぞれ吸着弁、5、6はそれぞれ排気弁、7、8はそれぞれ出口弁、9、10はそれぞれ均圧弁、11は消音器、12は第一吸着塔、13は第二吸着塔、14は製品ガス塔、15は減圧弁、16は圧力計、17は酸素濃度計、18は流量センサー、19はニードルバルブ、20は窒素ガス出口、21は制御装置、22は流量調整弁、23は間欠的に開閉する弁である。以上のように構成される混合ガスの分離装置によれば、以下に説明するように、空気から窒素を製造することができる。《第一吸着塔で吸着工程、第二吸着塔で排気工程》空気圧縮機1で空気を圧縮し、第一吸着塔12に原料空気を供給する吸着弁3を開にし、第一吸着塔12から製品ガス塔14に窒素を供給する出口弁7を開にし、第二吸着塔13の内部ガスを排気するために排気弁6を開にし、消音器11を開にして排気する。このとき、吸着弁4、排気弁5、出口弁8、均圧弁9、10は閉である。排気工程終了条件が成立すると、排気弁6が閉になる。吸着工程と排気工程が同時に終了するのが一般的であるが、排気工程を吸着工程よりも早く終了させることもできる。この場合、第一吸着塔12は吸着中であるが、第二吸着塔13は待機状態にある。《均圧工程》吸着工程終了条件が成立すると、吸着弁3および出口弁7を閉にする。上記の待機状態がない場合、吸着工程と同時に排気工程も終了し、排気弁6が閉になる。第一吸着塔12の吸着工程と第二吸着塔13の排気工程が終了すると、加圧状態の第一吸着塔12から大気圧に近い状態の第二吸着塔13に第一吸着塔12内のガス主として窒素ガスを移送するために、均圧弁9と10が開になる。均圧工程終了条件第一吸着塔12と第二吸着塔13の内部圧力が等しくなるが成立すると、均圧弁9と10が閉になる。《第二吸着塔で吸着工程、第一吸着塔で排気工程》第二吸着塔13に原料空気を供給する吸着弁4を開にし、第二吸着塔13から製品ガス塔14に窒素を供給する出口弁8を開にし、第一吸着塔12の内部ガスを排気するために排気弁5を開にし、消音器11を開にして排気する。このとき、吸着弁3、排気弁6、出口弁7、均圧弁9、10は閉である。排気工程終了条件が成立すると、排気弁5が閉になる。吸着工程と排気工程が同時に終了するのが一般的であるが、排気工程を吸着工程よりも早く終了させることもできる。この場合、第二吸着塔13は吸着中であるが、第一吸着塔12は待機状態にある。《均圧工程》吸着工程終了条件が成立すると、吸着弁4および出口弁8を閉にする。上記の待機状態がない場合、吸着工程と同時に排気工程も終了し、排気弁5が閉になる。第二吸着塔13の吸着工程と第一吸着塔12の排気工程が終了すると、加圧状態の第二吸着塔13から大気圧に近い状態の第一吸着塔12に第二吸着塔13内のガス主として窒素ガスを移送するために、均圧弁9と10が開になる。均圧工程終了条件が成立すると、均圧弁9と10が閉になる。第一および第二吸着塔で上記の吸着、均圧、排気、均圧の各工程を繰り返すことにより、原料空気から窒素を分離し、製品ガス塔14に窒素ガスを貯蔵し、貯蔵された窒素ガスは減圧弁15で圧力を調整され、ニードルバルブ19で流量を制御して、窒素ガス出口20から各使用箇所に供給される。以下に、本発明の実施例を説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものでないことは言うまでもなく、本発明の技術的範囲を逸脱しない範囲において、適宜変更や修正が可能である。《試験条件》第一吸着塔12と第二吸着塔13には、それぞれ40kgの分子ふるい炭素を充填した。空気圧縮機1から原料空気として0.9MPaに圧縮した空気を600NLminの流量で供給した。空気圧縮機1は圧力センサー2で測定した圧力が0.9MPaを超えると停止し、0.8MPa以下になると再起動するように制御装置21で制御した。本明細書において、NLはnormalliterを意味する。製品ガス塔14に貯蔵された窒素ガスの圧力を減圧弁15で0.5MPaに調整し、この圧力における流量が100NLminになるようにニードルバルブ19で流量を調整し、このときの酸素濃度が100ppmになるように機器を調整した。上記の圧力、流量および酸素濃度は、それぞれ圧力計16、流量センサー18、酸素濃度計17で測定した。また、5秒ごとに開閉を繰り返す弁23による間欠運転時の窒素ガス流量は100NLminとした。また、均圧工程は、以下のすべての運転条件で3秒間とした。そして、以下の各運転条件での酸素濃度ppmと、空気圧縮機を含む図1の全構成設備の消費電力kwhとを測定した。酸素濃度の値は、酸素濃度計17で計測された値を制御装置21で積分したものの平均値である。なお、各運転条件どうしの比較を適切に行うため、すべての運転条件における窒素ガス流量が100NLminのときの消費電力を6.4kwhに合わせるように運転した。また、同一運転条件において、窒素ガス流量が異なる場合と間欠運転の場合の各運転時間の長さは同じにした。その結果を以下の表1に示す。《通常の運転条件従来技術》第一吸着塔12と第二吸着塔13のそれぞれの吸着工程は60秒、排気工程は60秒、均圧工程は3秒とした。すなわち、第一および第二吸着塔で、60秒の吸着工程、3秒の均圧工程、60秒の排気工程、3秒の均圧工程を繰り返した。間欠運転の場合、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間の操作を繰り返した。この場合の吸着時間は60秒となるように制御した。また、窒素ガス流量の調整は流量調整弁22で行った。《窒素ガス流量によって吸着時間を変化させる運転条件比較例1》流量センサー18で測定された窒素ガス流量が0NLmin、25NLmin、50NLmin、75NLmin、100NLminの場合、それぞれの吸着時間を160秒、135秒、110秒、85秒、60秒とした。例えば、窒素ガス流量が50NLminの場合、第一および第二吸着塔で、110秒の吸着工程、3秒の均圧工程、110秒の排気工程、3秒の均圧工程を繰り返した。また、窒素ガス流量の調整は流量調整弁22で行った。間欠運転の場合、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間の操作を繰り返した。この場合の吸着時間は60秒となるように制御した。《窒素ガス流量の積算値によって吸着時間を変化させる運転条件比較例2》流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値を制御装置21で積算し、その積算値が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了させるように制御した。流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値の積算は1秒周期で行い、流量が100NLmin、75NLmin、50NLmin、25NLmin、0NLminの場合、それぞれの流量に対応する数値を100カウント、75カウント、50カウント、25カウント、0カウントとし、この数値が6000カウントを超えると吸着工程を終了させた。この場合、流量が0NLminの場合、吸着工程は終了しなくなるので、160秒経過すると吸着工程を終了させた。例えば、窒素ガス流量が50NLminの場合、1秒ごとに50カウントされるため、120秒で吸着工程が終了する。従って、窒素ガス流量が50NLminの場合、第一および第二吸着塔で、120秒の吸着工程、3秒の均圧工程、120秒の排気工程、3秒の均圧工程を繰り返した。また、窒素ガス流量の調整は流量調整弁22で行った。間欠運転の場合、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間の操作を繰り返すので、10秒ごとに500カウントされ、120秒で6000カウントされる。すなわち、120秒で吸着工程が終了する。《本発明の方法1による運転条件》流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値を制御装置21で積算し、その積算値が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了させるように制御した。流量センサー19で測定された窒素ガス流量に対応する数値の積算は1秒周期で行い、流量が100NLmin、0NLminの場合、それぞれの流量に対応する数値を100カウント、37.5カウントとし、この数値が6000カウントを超えると吸着工程を終了させた。流量が0NLminの場合、37.5カウントとしたのは、吸着工程の時間を600037.5=160秒とするためである。というのは、流量センサー18で測定される窒素ガス流量がゼロの場合、第一または第二吸着塔での吸着時間を160秒とすることで、酸素濃度計17で計測される酸素濃度を十分低くするためである。また、流量センサー18で測定される窒素ガス流量が0NLminと100NLminの間のものは、37.5カウントと100カウントの間で比例配分した。すなわち、窒素ガス流量が25NLminのものは、37.5100-37.5×25/100≒53.0カウント、窒素ガス流量が50NLminのものは、37.5100-37.5×50/100≒68.5カウント、窒素ガス流量が75NLminのものは、37.5100-37.5×75/100≒84.0カウントされる。従って、窒素ガス流量が50NLminの場合、1秒ごとに68.5カウントされるため、87秒600068.5≒87で吸着工程が終了する。間欠運転の場合、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間の操作を繰り返すので、10秒ごとに687.537.5×5100×5カウントされ、87秒6000687.5×10で吸着工程が終了する。《本発明の方法2による運転条件》流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値を制御装置21で積算し、その積算値が予め決められた一定値を超えると吸着工程を終了させるように制御した。流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値の積算は1秒周期で行い、流量が100NLmin、75NLmin、50NLmin、25NLmin、0NLminの場合、それぞれの流量に対応する数値を100カウント、70.6カウント、54.5カウント、44.4カウント、37.5カウントとし、この数値が6000カウントを超えると吸着工程を終了させた。このようなカウント数とするのは、各カウント数での吸着工程の時間が60秒、85秒、110秒、135秒、160秒となり、そのような吸着時間を採用することにより、流量センサー18で測定される各窒素ガス流量に対応する、酸素濃度計17で計測される酸素濃度が100ppm以下となるからである。間欠運転の場合、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間の操作を繰り返すので、10秒ごとに687.537.5×5100×5カウントされ、87秒6000687.5×10で吸着工程が終了する。《本発明の方法3による運転条件》本発明の方法1と2は、吸着工程と排気工程の時間が同じであるが、本発明の方法3は排気工程が吸着工程よりも早く終了する。すなわち、上記したような待機工程を有する場合である。流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値の積算は1秒周期で行い、それぞれの流量に対応する数値が5000カウントを超えると、排気工程を終了させた以外は、本発明の方法2と同じ方法を実行した。すなわち、流量センサー18で測定された窒素ガス流量が100NLmin、75NLmin、50NLmin、25NLmin、0NLminの場合、それぞれ50秒、71秒、92秒、113秒、133秒で排気工程が終了し、待機状態になる。間欠運転の場合、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間の操作を繰り返すので、10秒ごとに687.537.5×5100×5カウントされ、87秒6000687.5×10で吸着工程が終了する。このように、排気工程を吸着工程よりも早く終了させるのは以下の理由による。吸着工程中の吸着剤例えば、分子ふるい炭素は窒素よりも酸素を早く吸着し、排気工程中の吸着剤は窒素よりも酸素を早く脱着する。吸着工程中の吸着塔内の圧力は比較的ゆっくりと上昇するが、排気工程中の吸着塔内の圧力は一気に低下するので、分子ふるい炭素によるガスの脱着時間は吸着時間よりもかなり短くなる。そのため、吸着工程の時間と排気工程の時間が同じであれば、酸素ガスが吸着剤から脱着して塔外に排出された後に窒素ガスが吸着剤から脱着して塔外に排出されてしまうという不都合がある。そこで、排気工程を吸着工程よりも短くすることで、排気工程中の吸着塔から製品窒素ガスとして使用できる窒素の排出を抑えることができるので、製品窒素ガスの純度が高くなるという効果が期待できる。《本発明の方法4による運転条件》流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値を制御装置21で積算し、その積算値が予め決められた一定値時間とともに減少するを超えると、吸着工程を終了させるように制御した。流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値の積算は1秒周期で行い、流量が100NLmin、75NLmin、50NLmin、25NLmin、0NLminの場合、それぞれの流量に対応する数値を100カウント、75カウント、50カウント、25カウント、0カウントとし、この数値が一定値を超えると吸着工程を終了させた。吸着工程を終了させるためのカウント数は、運転開始から60秒を経過するまでは6000カウントとしたが、運転開始から60秒を経過すると、1秒ごとに60カウント減少するように制御した。従って、窒素ガス流量が100NLminの場合のカウント数が100カウントであるから、運転開始から60秒を経過すると6000カウントに達するので、この場合の吸着時間は60秒である。しかし、100NLmin以外の窒素ガス流量では、以下のような吸着時間となる。[窒素ガス流量が75NLminの場合]吸着時間をtとすれば、6000-60t-60=75tとなる。従って、t≒71となり、吸着時間は71秒となる。[窒素ガス流量が50NLminの場合]吸着時間をtとすれば、6000-60t-60=50tとなる。従って、t≒87となり、吸着時間は87秒となる。[窒素ガス流量が25NLminの場合]吸着時間をtとすれば、6000-60t-60=25tとなる。従って、t≒113となり、吸着時間は113秒となる。[窒素ガス流量が0NLminの場合]吸着時間をtとすれば、6000-60t-60=0tとなる。従って、t=160となり、吸着時間は160秒となる。[間欠運転の場合]窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間、窒素ガス流量がゼロで5秒間、窒素ガス流量が100NLminで5秒間の操作を繰り返すので、10秒ごとに500カウントされる。吸着時間をtとすれば、6000-60t-60=500/10tとなる。従って、t≒87となり、吸着時間は87秒となる。《本発明の方法5による運転条件》本発明の方法5は本発明の方法4の運転条件において、以下の点が異なる。すなわち、本発明の方法4は、吸着工程と排気工程の時間が同じであるが、本発明の方法5は排気工程が吸着工程よりも早く終了する。すなわち、上記したような待機状態を有する場合である。流量センサー18で測定された窒素ガス流量に対応する数値の積算は1秒周期で行い、それぞれの流量に対応する数値が5000カウントを超えると、排気工程を終了させるとともに、排気工程を終了させるためのカウント数は、運転開始から50秒経過するまでは5000カウントとしたが、運転開始から50秒を経過すると、1秒ごとに60カウント減少するように制御した。すなわち、窒素ガス流量が100NLminの場合のカウント数は100カウントであるから、運転開始から50秒を経過すると5000カウントに達するので、この場合の排気時間は50秒である。しかし、100NLmin以外の窒素ガス流量では、以下のような排気時間となる。[窒素ガス流量が75NLminの場合]排気時間をtとすれば、5000-60t-50=75tとなる。従って、t≒59となり、排気時間は59秒となる。[窒素ガス流量が50NLminの場合]排気時間をtとすれば、5000-60t-50=50tとなる。従って、t≒73となり、排気時間は73秒となる。[窒素ガス流量が25NLminの場合]排気時間をtとすれば、5000-60t-50=25tとなる。従って、t≒94となり、排気時間は94秒となる。[窒素ガス流量が0NLminの場合]排気時間をtとすれば、5000-60t-50=0tとなる。従って、t≒133となり、排気時間は133秒となる。このように、吸着工程と排気工程を終了させるための一定値を時間とともに減少させるのは以下の理由による。空気から窒素ガスを分離する圧力スイング吸着方式ガス分離装置は速度分離方式であり、吸着速度の速い酸素を優先的に吸着剤に吸着させて窒素ガスを分離して取り出す装置である。すなわち、図3に示すように、吸着初期においては吸着剤による窒素の吸着量は少なく、吸着時間の増加とともに吸着剤への窒素の吸着量は徐々に増加する。この吸着初期においては吸着剤への窒素の吸着量が少ないだけでなく、酸素の吸着量もそれほど多くないので、分離して取り出されるガス中の窒素純度が低く酸素濃度が高い。例えば、100ppm超、そのような低純度の窒素ガスは工業用途としては好ましくない。やがて、吸着時間が長くなると、吸着剤への酸素の吸着量がどんどん増えて、分離して取り出されるガス中の窒素純度も満足できるレベルとなる酸素濃度≦100ppm。分離して取り出されるガス中の窒素濃度が最も高くなるときが吸着塔からの窒素ガス取出量が最大となる吸着時間に相当し、これを最適吸着時間といい、図3に例示する。しかし、図4に示すように、吸着時間が長くなると、吸着剤に吸着される窒素量も増えるので、吸着塔から取り出される窒素ガス量は少なくなる。このような理由により、吸着工程と排気工程を終了させるための一定値を時間とともに減少させることにより、吸着塔の吸着能力に適応した効率的な運転が可能になるのである。表1より、以下のことが明らかである。1比較例1では、間欠運転時の消費電力の低減が見られない。2比較例2では、窒素ガス流量が25NLminの場合、酸素濃度が90ppmであり、窒素ガス流量が変化した場合、酸素濃度が100ppmを超えることが考えられるため、好ましい運転条件とは言えない。3本発明1ないし4の運転条件は従来技術に対して明らかに消費電力が低下している。特に、本発明2ないし4の運転条件における消費電力の低下が顕著である。本発明3と5の運転条件は排気工程を吸着工程よりも短くしているので、その結果、酸素濃度が低くなっており、窒素純度の向上に有効な運転条件であると言える。