コントローラと、トランスポートシステムであって、このトランスポートシステムは、トランスポートトラックセクションおよび少なくとも1つのトランスポートビークルとを含み、前記少なくとも1つのトランスポートビークルは、前記トランスポートトラックセクションに沿って移動すると共にキャリアをトランスポートするようになっている前記トランスポートシステムと、特定のトランスポートトラックセクションに沿って位置する少なくとも1つの識別タグリーダーであって、この少なくとも1つの識別タグリーダーは、前記少なくとも1つのトランスポートビークルによってトランスポートされているキャリアの識別タグを読み出すと共に、情報信号を前記コントローラに送るようになっている前記識別タグリーダーと、を備え、前記コントローラは、前記情報信号に基づき、前記キャリアの少なくとも1つのロケーションを証明するようになっている、マテリアルハンドリングシステム。前記トランスポートトラックセクションは、前記異なるトランスポートトラックセクションを接合するターンテーブルを備え、前記少なくとも1つの識別タグリーダーは、前記ターンテーブル内、またはその上に実質的に位置する、請求項1に記載のマテリアルハンドリングシステム。前記少なくとも1つの識別タグリーダーは、前記特定のトランスポートトラックセクションの端部に実質的に位置する、請求項1に記載のマテリアルハンドリングシステム。前記少なくとも1つの識別タグリーダーは、前記キャリアが基板処理ステーションからトランスポートされているときに、前記識別タグを読み出すようになっている、請求項1に記載のマテリアルハンドリングシステム。自動化されたオーバーヘッドマテリアルハンドリングシステムを備える、請求項1に記載のマテリアルハンドリングシステム。前記コントローラは、誤った位置にあるキャリアの検出位置が所定の位置に一致しないときに、誤った位置にあるキャリアの回収を実行するようになっている、請求項1に記載のマテリアルハンドリングシステム。前記識別タグは、無線周波数識別タグを備える、請求項1に記載のマテリアルハンドリングシステム。コントローラと、トランスポートシステムであって、このトランスポートシステムは、トランスポートトラックセクションおよび少なくとも1つのトランスポートビークルを含み、前記少なくとも1つのトランスポートビークルは、前記トランスポートトラックセクションに沿って移動すると共にキャリアをトランスポートするようになっている前記トランスポートシステムと、前記少なくとも1つのトランスポートビークルと共に、1つのユニットとして前記トランスポートトラックセクションを横断するようになっている、前記コントローラと通信する識別タグリーダーであって、この識別タグリーダーは、前記少なくとも1つのトランスポートビークルによってトランスポートされているキャリアの識別タグを読み出すと共に、情報信号を前記コントローラに送るようになっている前記トランスポートトラックセクションと、を備え、前記コントローラは、前記情報信号に基づき、前記キャリアの少なくとも1つのロケーションを証明するようになっている、マテリアルハンドリングシステム。前記識別タグリーダーは、実質的に特定のトランスポートビークルの内部またはその上に位置する、請求項8に記載のマテリアルハンドリングシステム。前記少なくとも1つの識別タグリーダーは、前記キャリアが基板処理ステーションからトランスポートされているときに前記識別タグを読み出すようになっている、請求項8に記載のマテリアルハンドリングシステム。自動化されたオーバーヘッドマテリアルハンドリングシステムを備える、請求項8に記載のマテリアルハンドリングシステム。前記コントローラは、誤った位置にあるキャリアの検出位置が所定の位置に一致しないときに、誤った位置にあるキャリアの回収を実行するようになっている、請求項8に記載のマテリアルハンドリングシステム。マテリアルハンドリングシステム内のキャリアの積み荷の位置を証明する方法であって、前記マテリアルハンドリングシステムのトランスポートビークル上でキャリアをトランスポートするステップと、前記トランスポートビークルによってトランスポートされている前記キャリアの識別タグを読み出すステップと、前記証明タグの読み出しに基づき、前記キャリアの積み荷が所定位置にあることを証明するステップと、を備える方法。前記識別タグを読み出すための識別タグリーダーは、前記マテリアルハンドリングシステムのトラックセグメントに沿って位置する、請求項13に記載の方法。前記識別タグを読み出すための識別タグリーダーは、前記マテリアルハンドリングシステムのトラックの異なるセクションを接続するターンテーブル内またはその上に実質的に位置する、請求項13に記載の方法。前記識別タグを読み出すための識別タグリーダーは、前記トランスポートビークルと共に前記マテリアルハンドリングシステムのトラックを横断するようになっている、請求項13に記載の方法。前記キャリアの前記識別タグは、前記マテリアルハンドリングシステムのトラックセグメント内で読み出されるようになっている、請求項13に記載の方法。前記識別タグは、基板処理ステーションから基板がトランスポートされているときに読み出されるようになっている、請求項13に記載の方法。誤って位置する積み荷の検出位置が所定の位置に一致しないときに、前記誤って位置する積み荷を回収するステップを更に含む、請求項13に記載の方法。上記のようなAMHSは、ロットがAMHS領域内にあるときに、ロットの識別を証明する能力に欠けている場合がある。上記のように識別タグは、人のオペレータがコンテナをシステム内に導入したとき、またはコンテナが処理ツールからAMHSの領域内に導入したされたときにしか読み取りできない。しかしながら、AMHS制御システムが不正確なロット番号でコンテナを登録するようなエラーが生じ得る。例えば、コンテナが積み込まれたときに、処理ツールがオフラインとなっていたり、またはコンテナが処理ツールで切り換えられたときに処理ツールにある識別タグリーダーがディスエーブルされることがある。更に一部の処理ツールがタグリーダーを有していない場合があり、その代わりに人がキーパッド上にロット番号をタイピングすることに依存している場合があり、この場合、結果として識別子がミスタイプされやすい。ミスが生じた場合、コンテナは誤った識別番号でAMHS内に導入され、システム内でロットが失われることがある。このようなことが起きると、ファブファシリティの効率は、明らかに影響を受け得る。失われたロットを探すのに、マニュアルサーチを行わなければならないこともある。従って、ロットが誤って識別されないことを保証する証明機能をAMHSシステムに設けることが望まれている。更に、誤って識別されたロットを効率的に探すことのできるAMHSを提供することも望まれている。本明細書は、コントローラと、トランスポートシステムとを備え、このトランスポートシステムは、トランスポートトラックセクションおよび少なくとも1つのトランスポートビークルとを含み、前記少なくとも1つのトランスポートビークルは、前記トランスポートトラックセクションに沿って移動すると共にキャリアをトランスポートするようになっており、特定のトランスポートトラックセクションに沿って位置する少なくとも1つの識別タグリーダーを更に備え、前記少なくとも1つの識別タグリーダーは、前記少なくとも1つのトランスポートビークルによってトランスポートされているキャリアの識別タグを読み出すと共に、情報信号を前記コントローラに送るようになっており、前記コントローラは、前記情報信号に基づき、前記キャリアの少なくとも1つのロケーションを証明するようになっている、マテリアルハンドリングシステムを提供するものである。添付図面を参照し、次の記載で本実施形態の上記およびそれ以外の特徴について説明する。図2および3を参照すると、ここには自動化されたマテリアルハンドリングシステム200、200’の平面略図が示されている。図面に示された実施形態を参照して、開示された実施形態について説明するが、開示する実施形態は別の多くの実施形態で具現化できると理解すべきである。更に、要素または材料の適当なサイズ、形状およびタイプも使用できる。本明細書に記載の実施形態は、自動化されたマテリアルハンドリングシステムAMHSにおける積み荷の識別を考慮したものである。例えば、一実施形態では、キャリアがリーダーを通過するようにトランスポートされるとき、またはこの逆に、リーダーがキャリアを通過するようにトランスポートされるときに、リーダーが例えば、基板キャリアの適当な識別特性を識別するように、AMHS全体にわたる種々のポイントに適当な識別リーダーを設けることができる。別の実施形態では、AMHSのリーダーを移動自在としてもよい。例えば、後により詳細に説明するように、基板キャリア、トランスポートビークル、トランスポートトラックおよびトランスポートトラックを接続するターンテーブルのうちの1つ以上の内部に、またはそれらに沿って、識別リーダーを設けることができる。別の実施形態では、識別タグから識別情報を得るための任意の適当な位置に識別リーダーを設けることができる。一実施形態では、タグを無線周波数識別RFIDタグとすることができる。しかしながら、タグは任意の適当なタグまたはインデックスでよく、これらタグまたはインデックスは、識別情報を送信できたり、リーダーによって検索するために識別情報の読み出しまたは識別情報の記憶を可能にするものである。本明細書では、単なる例として、半導体の処理を参照して実施形態について説明するが、これら実施形態は任意の適当なマテリアルハンドリングシステムにおける任意の適当なアイテムのトランスポートにも同じように使用できると理解すべきである。本明細書に記載するAMHSの例は、基板キャリアをトランスポートするためのオーバーヘッドホイストトランスポートシステムも含むが、これら実施形態はマニュアルでガイドされるビークルおよび自動化された車輪付ビークルを含むがこれらに限定されない任意の適当なトランスポートシステムにも同じように使用可能であることにも留意すべきである。適当なオーバーヘッドホイストトランスポートシステムの一例として、ブルックスオートメーションインコーポレーションから販売されているエアロローダーシリーズのトランスポートがある。米国特許第7117800号および同第7040238号に、適当なオーバーヘッドトランスポートの他の例が記載されており、これら米国特許のいずれも、本明細書において全体を参考例として援用する。依然として図2および3を参照する。例示されたAMHS200、200’は、一般にイントラベイトランスポートシステムセクション215と、インターベイトランスポートシステムセクション240と、処理ベイセクション220と、ベイキューセクション235と、トランスポートサイディングまたはシャントセクション225と、加工品キャリアまたはトランスポートとを含む。このAMHSは、実質的に本願で全体を参考例として援用する、2006年11月3日に出願された、容量が低減されたキャリア、トランスポート、ロードポート、バッファシステムを発明の名称とする米国特許出願第11556584号に記載されたものに、実質的に類似する。別の実施形態では、AMHSは任意の適当なマテリアルハンドリングシステムでよい。トランスポートシステムセクション215、220、225、235は、共に入れ子状すなわち1つのトランスポートループが別のトランスポートループ内にあるようにでき、一般に処理ファシリティ内の処理ベイ220および関連する処理ツール230との間で、例えば、半導体加工品、例えば、200mmウェーハ、300mmウェーハ、450mmウェーハ、フラットディスプレイパネルおよび同様なかかるアイテムの高速移送を可能にするように配置されている。別の実施形態では、自動化されたマテリアルハンドリングシステム内で適当な材料を輸送できる。トランスポートシステム200は、1つのトランスポートセクションから別のトランスポートセクションへ加工品を向けなおすことも可能にする。本明細書で全体を参考例として援用する、自動化されたマテリアルハンドリングシステムを発明の名称とし、2003年11月30日に出願された米国特許出願第10697528号には、インターベイブランチおよびイントラベイブランチを有する加工品を運搬するための自動化されたマテリアルハンドリングシステムの一例が記載されている。図2および3に示される自動化されたマテリアルハンドリングシステム200、200’の代表的コンフィギュレーションは例示にすぎず、この自動化されたマテリアルハンドリングシステム200、200’は、処理ファシリティ内の処理ベイおよび/または処理ツールの所望するレイアウトを収納するのに適した任意のコンフィギュレーションに配置できる。図2から分かるように、イントラベイトランスポートセクション215は、任意の数の処理ベイ220の両側に位置でき、これら処理ベイによって互いに接続できる。図2のイントラベイトランスポートセクション215は、クロスシャント250によっても接続でき、このクロスシャント250は処理または製造ファブベイ220を通過させることなく、イントラベイトランスポートセクション215の間で加工品トランスポートの直接移動を可能にする。更に別の実施形態では、トランスポートセクション215は、別のイントラベイトランスポートセクション図示せずにより互いに接続させることができる。図3に示されるような他の別の実施形態では、任意の数の処理ベイ220の間にイントラベイトランスポートセクション215を位置させ、よってベイ220の間に中心アイランドを形成できる。ベイ実施形態では、イントラベイトランスポートセクションは、任意の数の処理ベイ220のまわりの周辺部を形成し、処理ベイを囲むことができる。更に別の実施形態では、任意の数の入れ子状ループセクション、例えば、N個のシステム、例えば、イントラベイトランスポートセクション215の各々に直接接続するトランスポートセクションにより並列接続された、図2および3に示されるようなシステム200または200’を設けることができる。更に別の実施形態では、トランスポートセクション215、220を処理ツールは、任意の適当なコンフィギュレーションを有することができる。更に、入れ子状処理アレイを形成するような任意の適当なコンフィギュレーションに、任意の数のイントラベイ、インターベイシステムを共に接合できる。イントラベイトランスポートセクション215を、任意の適当な加工品のトランスポートの移動を可能にするモジュラー式トラックシステムとすることができる。このトラックシステムの各モジュールには、イントラベイトランスポートセクション215の設置中にモジュールを端部から端部に共に接合できるようにする適当な嵌合手段例えば、連結ファセット、機械的締結具を設けることができる。設置中の取り扱いを容易にし、コンフィギュレーションをフレキシブルにするために、これらレールモジュールを任意の適当な長さ、例えば、数フィートにしたり、または任意の適当な形状、例えば、直線状または湾曲状に設けることができる。トラックシステムが、加工品トランスポートを下方からサポートしてもよいし、または別の実施形態ではトラックシステムを懸架式トラックシステムとすることができる。このトラックシステムは、加工品トランスポート部がローラー上で実質的な抵抗を受けることなく、トラックに沿って移動できるようにローラーベアリングまたは他の任意の適当なベアリング表面を有することができる。このローラーベアリングは、加工品コンテナがトラックに沿って移動するときに、方向の安定性を更に増すよう、テーパを付けたり、トラック内のカーブまたはコーナーの内側に向けてトラックに角度を付けたりしてもよい。イントラベイトランスポートセクション215は、コンベアに基づくトランスポートシステム、ケーブルおよびプーリーまたはチェーンとスプロケットに基づくトランスポートシステム、車輪駆動システムまたは磁気誘導に基づくトランスポートシステムを含むが、これらに限定されない、任意の適当なトランスポートセクションとすることができる。トランスポートシステムを駆動するのに使用されるモータは、イントラベイトランスポートセクション215に沿って加工品コンテナを移動できる無制限のストロークを有する任意の適当なリニアモータとすることができる。このリニアモータは、移動部品を有しないソリッドステートのモータとすることができる。例えば、このリニアモータは、ブラシ付きまたはブラシのないACまたはDCモータ、リニア誘導モータまたはリニアステップモータとすることができる。このリニアモータは、イントラベイトランスポートセクション215内に組み込んでもよいし、または加工品トランスポートもしくはコンテナ自体に組み込んでもよい。別の実施形態では、イントラベイトランスポートシステムを通して加工品トランスポートを駆動するように任意の適当なドライブ手段を組み込むことができる。更に別の実施形態では、イントラベイトランスポートシステムは、トラックのない車輪付き自律トランスポートビークル用のパスウェイとすることができる。イントラベイトランスポートセクション215は、米国特許出願第11556584号に記載のような、キューセクションおよびシャントを使用することより、イントラベイトランスポートセクション215のパスに沿った加工品トランスポートの中断されない高速移動または流れを一般に可能にできる。例えば、インターベイトランスポートセクション220は、処理またはファブベイを形成でき、ベイキューセクション235を介し、イントラベイトランスポートセクション215に接続されている。ベイキューセクション235は、インターベイまたはイントラベイトランスポートセクション220、215の両側に位置でき、加工品コンテナがイントラベイトランスポートセクション215の両側に沿った材料の流れまたはインターベイトランスポートセクション220に沿った材料の流れを、停止またはスローダウンすることなく、加工品コンテナがインターベイトランスポートセクション220に進入可能にする。走行レーンの上、または走行レーンの外での選択可能なアクセスを認めるアクセスレーンおよび走行レーンを有するトランスポートシステムの一例は、本明細書で全体を参考例とするトランスポーテーションシステムを発明の名称とし、2005年8月24日に出願された米国特許出願第11211236号に記載されている。インターベイトランスポートセクション220およびベイキューセクション235は、イントラベイトランスポートセクション215のための上記システムに実質的に類似したトラックシステムを有することができる。別の実施形態では、インターベイトランスポートセクション220およびベイキューセクション235は、任意の適当なコンフィギュレーション、形状または形態にすることができ、任意の適当な態様で駆動できる。インターベイトランスポートセクション220は、任意の数の処理ツール230をトランスポートシステム200、200’に接続するコリドー回廊または通路内で延長できる。これらインターベイトランスポートセクション220は、図2に示され、これまで記載したように2つ以上のイントラベイトランスポートセクション215を互いに接続することもできる。図2および3は、インターベイトランスポートセクション220は、楕円形状に示されているが、別の実施形態では、これらセクションは、任意の適当なコンフィギュレーションまたは形状でよく、任意の製造ファシリティのレイアウトに適合できる。インターベイトランスポートセクション220は、例えば、ベイキューセクション235に実質的に類似するトランスポートサイディングまたはシャント225を通して、処理ツール230に接続できる。加工品コンテナはシャント225内にある間、処理ツールステーションの位置に対応するツールインターフェースステーション図示せずで停止できるので、加工品および/またはコンテナ自体を適当な移送手段、例えば、機器フロントエンドモジュール、ソーターまたは他の任意の適当な移送ロボットにより、処理ツール積み込みポートまたは他の任意の適当な加工品ステージングエリアに移送できる。後述するように、一実施形態では、AMHSは、各キャリアがインターベイまたはイントラベイトラックセグメントに進入するか、これから出る際に、キャリアの内容を決定するための識別リーダーも含むことができる。異なるセクション215、220、225、235からの、またはこれらの間での加工品キャリアまたはトランスポートの切り換えは、コントローラに接続された任意の適当なガイドまたはマテリアル制御システムによって制御できる。このガイドシステムは、セクション215、220、225、235、240に沿って移動するトランスポートの位置決定を考慮した位置決めデバイスを含むことができる。この位置決めデバイスは、任意の適当なタイプ、例えば、連続デバイスまたは分散デバイス、例えば、光、磁気、バーコード、もしくはセクション215、220、225、235、240に沿って横断するように延びる基準ストリップとすることができる。分散デバイスは、コントローラがセクション215、220、225、235、240上のトランスポートの位置だけでなく、トランスポートの運動状態も設定できるように、トランスポート上に位置する適当な読み出しデバイスによって読み出すか、または他の方法で問い合わせることができる。これとは異なり、デバイスは位置、運動状態を識別するために、トランスポート上のセンサーアイテムを検出および/または問い合わせすることができる。この位置決めデバイスは移動するトランスポートの位置を検出できるディスクリート位置決めデバイス例えば、レーザー距離測定デバイス、超音波距離測定デバイス、または内部GPSに類似する内部位置決めシステム、または内部リバースGPSを単独で、または分散デバイスと組み合わせて含むこともできる。コントローラがガイドシステムからの情報とトランスポートからの位置フィードバック情報とを組み合わせ、セクション215、220、225、235、240に沿った、かつこれらの間の、トランスポートのトランスポートパスを設定し、維持することができる。別の実施形態では、ガイドシステムは加工品トランスポート上の機械的なガイド特徴部と協働するための構造的または機械的ガイド表面を形成する溝、レール、トラックまたは他の任意の適当な構造体を含むか、または有することができる。更に別の実施形態では、セクション215、220、225、235、240は、加工品トランスポートのための電子的ガイドを行うプリントストリップまたは導線のような電気ライン例えば、トランスポート上の適当なガイドシステムによって検出される適当な電磁信号を送る電気ラインも含むことができる。本明細書で説明する識別リーダーは、誤って識別されるか、または誤った位置にある基板キャリアを、後述するようにAMHSを通して向きを直すか、またはその他の方法で処理するための任意の適当な態様で、ガイドシステムに接続できる。別の実施形態では、誤って識別されるか、または誤った位置にある基板キャリアを任意の適当な態様で、向きを直すか、または他の方法で処理することができる。AMHSは、本願で全体を参考例として援用する米国特許第6990721号に記載されているように、トランスポートセグメントの各々内に多数のトランスポートパスを有するように構成することもできる。後により詳細に説明するように、例えば、基板キャリアが処理ベイに進入したとき、または処理ベイから出たときの、基板キャリアの内容を識別するように、各トランスポートパスの開始点および/または終了点に識別リーダーを設けてもよい。一例として、次に図4を参照すると、各イントラベイトランスポートセグメント422A~422Cは、ビークルがセグメントを横断できるようにする、トランスポートビークル図示されずのための適当なテーブル手段によって提供される多数のトランスポートパス423A~424A、423B~424B、423C~424Cを有することができる。トランスポートビークルを、任意の適当なトランスポートビークル、例えば、米国特許出願第10697528号に記載されているトランスポートビークルとすることができる。各セグメントのトランスポートパスは、矢印X1、X2が示す方向にセグメント上のトランスポートビークルの実質的に同時の双方向の走行を可能にするように配置できる。図4から分かるように、矢印X1が示す一方向に走行するよう、例えば、423A、423B、423Cのような1つのパスをトランスポートビークルによって使用でき、矢印X2が示す反対方向に走行するよう、別のパス424A、424B、424Cを使用できる。これら走行パスは、所定の走行方向専用としてもよいし、トランスポート積み込み条件に合うよう、トランスポートアルゴリズムに従って所望するように走行方向を切り換えてもよい。例えば、専用でないケースでは、まず最初、図4内の矢印X1が示す方向にビークルを走行させるよう、セグメント422Aのトランスポートパス423Aを使用することができる。このとき、パス424Aは、方向X2の走行を可能にしたものとなっている。しかしながら、その後にファシリティ内に、ある数のトランスポートビークルがあり、方向x2にパス423Aを移動させるほうがより効率的となる位置へトランスポートビークルが向かっていると予想される場合、パス423Aの走行方向を方向X2に変更することができ、この場合、パス424AはX1の走行に使用される状態となる。AMHSの双方向の性質に適合するよう、各トラックセグメントの開始点および終了点に後述する識別リーダーを設けることができる。別の実施形態では、双方向のトランスポートパスに対して任意の適当な位置に識別リーダーを設けてもよい。図4に示されるように、各セグメント422A~422Cは、このセグメントの対応する両端にジャンクションまたはターンテーブル430、432、434、436を有することができる。例えば、図4に示された実施形態では、セグメント422Aは、一端部426Aにジャンクション430を有し、他端部428Aに別のジャンクション432を有する。セグメント422B、422Cは、これらセグメントの対応する反対の端部426B~426Cおよび428B~428Cにあるそれぞれのジャンクション432、434、436に類似する。各セグメント422A~422Cのそれぞれの走行パス423A~423C、424A~424Cは、トランスポートビークルがあるセグメントから別のセグメントに移ることができるように、対応する各ジャンクション430、432、434、436で実質的に交差している。例えば、ジャンクション430、432、434、436は、キャリアを処理ツール403にトランスポートさせるために、トランスポートビークルがイントラベイセクション422A~422Cからインターベイセクション471~474へ移動できるようにする。図4から分かるように、インターベイセクション471~474の1つ以上は、ジャンクションまたはターンテーブル417、460、461、462A、462Bだけでなく、米国特許第6990721号に記載されているような双方向のトラックも含むことができる。より詳細に後述するように、一実施形態では、ジャンクションまたはターンテーブルのうちの1つ以上は、キャリアの内容をトラッキングするための識別リーダーを含むことができる。次に図5および6を参照する。これら図には、一実施形態の特徴を含むAMHSのセクションが示されている。この実施形態では、AMHSは保管エリア515A、515B、515C、620、621を含むことができ、これら保管エリアは、それぞれのイントラベイまたはインターベイトランスポートセグメント515、520、522B、522A、510、640、641の下に懸架されるように取り付けられている。図4に関してこれまで説明したように、図5のAMHSは、トランスポートセグメント515、520、522B、522A、510、640、641の1つ以上を接合するターンテーブル570、571を含むことができる。より詳細に後述するように、モバイル識別リーダーは、例えば、保管エリア内に保管されている基板キャリアの各々の内容を識別するように、保管エリアに沿って移動するように構成できる。図5に示された実施形態における例では、保管セクション515Aは、トランスポートセグメント522Bのトランスポートパス523の下に位置する材料保管コンパートメント551を有する。一実施形態では、材料保管コンパートメントは基板キャリアまたはコンテナ、例えば、フロントオープニング統一ポッドFOUPSまたは他の任意の適当な基板キャリア/コンテナを保持するように構成できる。別の実施形態では、材料保管コンパートメントは、適当な材料または基板がキャリア内にあるか否かにかかわらず、任意の適当な材料または基板を保持するように構成できる。別の実施形態では、材料保管コンパートメントは、AMHSによりアンダートラック保管エリアからコンパートメントを除くことができるように構成できる。理解できるように、アンダートラック保管システムは、ワークインプロセスWIPロットを保持するための保管容量を提供し、よって処理ツールのためのバッファを提供できるが、ストッカーによって占有されるようなファシリティのフロアスペースを占有しないという点で有利である。次の点も理解できるように、AMHSトラックの任意の適当な部分は、例えば、米国特許第6990721号に記載されているように、アンダートラック保管部を有することができる。依然として図6を参照し、更に図7も参照し、識別/トラッキングシステムを有するAMHSの一実施形態について説明する。AMHSは、ビークルトラック631、トランスポートビークル710、キャリア720、識別リーダー730およびコントローラ760を含む。このAMHSは、統一されたAMHSでもよいし、または分離されたAMHSでもよいと理解できよう。AMHSのトラック631は、例えば、図4~6を参照してこれまで説明したトラックに実質的に類似したものでよい。別の実施形態では、AMHSトラックは任意の適当なトラックでもよい。コントローラ760は、AMHSを作動させるように構成された任意の適当なコントローラとすることができる。このコントローラ760は、例えば、メモリ765およびAMHSを作動させるための任意の適当なソフトウェアまたはハードウェア、例えば、マテリアル制御システム770を含むことができる。このコントローラは、任意の適当な接続部、例えば、AMHS通信ネットワーク750を通して、トランスポートビークル710および識別リーダー730に適当に接続できる。AMHS通信ネットワーク750は、イーサネット登録商標ローカルエリアネットワークLAN、ワイドエリアネットワークWAN、携帯電話ネットワーク、無線周波数ネットワークまたは他の任意の適当な短距離または長距離通信ネットワークを含むが、これらに限定されない任意の適当な有線または無線ネットワークとすることができる。上記のように、トランスポートコンテナ720は、フロントオープニング統一ポッドFOUPSおよび標準的機械式インターフェースSMIFポッドを含むが、これらに限定されない任意の適当な積み荷を搬送するための任意の適当なトランスポートコンテナとすることができる。この実施形態の例では、AMHSのトランスポートコンテナ720の各々に、例えば、RFIDタグ721を装備することができる。このRFIDタグは、例えば、RFIDリーダー730により、タグの読み取りを可能にするキャリアのエリア内、またはエリア上に適当に位置させることができる。理解できるように、別の実施形態では、RFIDの代わりに、一次元または多次元バーコード、赤外線タグ、人が読み取りできるマークの光学的文字認識OCR、もしくは他の任意の適当な技術を含むがこれらに限定されない任意の適当な識別技術を利用できる。このRFIDタグ721は、受動的タグ、能動的タグまたは半受動的タグを含むが、これらに限定されない任意の適当なRFIDタグとすることができる。別の実施形態では、このRFIDタグは、位置決めシステムがGPSで可能なタグの識別を読み取るためのリーダーを含む場合、GPSシステムに類似するが、製造ファシリティ内のアイテムをトラッキングできる製造ファシリティ位置決めシステムによってトラッキングできるGPSで可能なタグに実質的に類似したものでよい。RFIDタグ721は、例えば、キャリアがWIPとして製造ストリーム内におかれたときに、それぞれのキャリア720の積み荷または内容に関連付けできる。別の実施形態では、所定の時間の任意の適当なポイントにおいて、キャリアの内容とそれぞれのRFIDタグとを関連付けてもよい。このRFIDタグとキャリアとの関連付けは、例えば、オペレータによってマニュアルで行ってもよいし、または例えば、キャリアの1つ以上のコンテント上のRFIDタグ識別子およびインデックスをセンサが読み取ることによって自動的に行ってもよい。別の実施形態では、RFIDタグとキャリアの内容との関連付けを任意の適当な態様で設定してもよい。識別データベース内に内在させるよう、コントローラのマテリアル制御システム770に、内容およびタグ識別子の記述を送ることができる。この識別データベースは、例えば、コントローラ760のようなコントローラのメモリ765内に記憶できる。別の実施形態では、コントローラ760および/またはマテリアル制御システム770により遠隔的にアクセスできるリモートロケーション内に、識別データベースを記憶してもよい。別の実施形態では、コンテントの記述および関連するタグ識別子を記録のために任意の適当なロケーションへ送ってもよい。例えば、キャリアが半導体基板を含む場合、識別データベースはキャリア内の基板のサイズ、基板の数および基板がどの処理ステージを経過したかに関する任意の適当な情報を含むことができる。理解できるように、このデータベースはAMHS内でトランスポートされている任意の適当な材料に対する任意の適当な情報を含むように構成できる。一実施形態の例では、例えば、より詳細に後述するように、キャリア720がRFIDリーダーを通過するときのキャリア720のコンテントの製造ステータスに関してデータベースを自動的に送信することができる。別の実施形態では、任意の適当な態様でデータベース内の任意の適当な情報を更新できる。図6および7から理解でき、これまで記載したように、RFIDリーダー680、681、682、683、684は、AMHSのトラックに沿って位置していてもよいし、AMHSのターンテーブルに位置していてもよい。これらRFIDリーダー680、681、682、683、684は、リーダーがタグを通過したとき、または逆にタグがリーダーを通過したときにタグ情報を捕捉するようになっている任意の適当なリーダーとすることができる。例えば、これらリーダー680、681、682、683、684は、RFIDリーダー730に実質的に類似したものでよい。RFIDリーダー730は、RFIDタグ712からの情報を受信するための任意の適当なアンテナ731およびトランスポートビークル710、RFIDタグ721および/またはキャリア720の存在を検出するためのセンサ732を含むことができる。一実施形態では、センサ732は、動きセンサ、近接センサおよび光センサを含むが、これらに限定されない、任意の適当なセンサとすることができる。別の実施形態では、リーダーは、RFIDタグから情報を収集し、RFIDタグを含む物体またはRFIDタグ自体が存在することを検出するための任意の適当なハードウェアおよび/またはソフトウェアを含むことができる。更に別の実施形態では、リーダーは、任意の適当な識別タグ、マーキングまたはインデックスから情報を収集するための光リーダーまたは他の任意の適当なリーダーとすることができる。図6から分かるように、RFIDリーダー680~684は、AMHS内の任意の適当なロケーションに置くことができる。この実施形態の例では、RFIDリーダー680~684は、AMHSのトラックに沿って、例えば、トラックセグメント630および631に沿って位置させることができる。一実施形態の例では、リーダー680~684を、トラックセグメントの下方に位置させてもよいが、別の実施形態では、リーダーはトラックセグメントと任意の適当な位置関係を有することができる。この例では、キャリアがそれぞれのトラックセグメント630、631またはそれぞれの処理ツール403から離間するときに、各キャリア720から識別情報を収集するように、各トラックセグメントの端部にRFIDリーダー683、684が位置している。別の実施形態の例では、キャリアがそれぞれのトラックに進入するかまたはトラックから離間したときに識別情報を収集できるよう、異なるAMHSトラックを接続しているターンテーブル670~672内/上および/または開始点に、RFIDリーダー680~682を位置させてもよい。別の実施形態では、リーダーはトラックセグメントの開始点を含むが、これに限定されないトラックセグメントの任意の適当なエリアにリーダーを位置させてもよい。図8も参照する。次に実施形態に従って本明細書に記載する識別リーダーを有するAMHSの作動例について説明する。この実施形態の例では、トランスポートビークル、例えば、ビークル710が処理ステーション430のうちの1つからキャリア720をピックアップする図8、ブロック800。ビークル710は、識別リーダー、例えば、リーダー684を通過するように、例えば、トラックセグメント630に沿ってキャリア720を搬送できる図8、ブロック805。ビークル710がリーダー684を通過する際に、ビークルセンサ734はビークル710を検出し、例えば、リーダーのアンテナ731を通してキャリア識別の読み取りをトリガーする図8、ブロック810。アンテナは、RFIDタグ721からのキャリア720の識別を読み取り、タグ識別子に関する信号をコントローラ760へ送る図8、ブロック815、820。このコントローラ760は、リーダーが読み取った識別情報に基づき、AMHS内の所望するロケーション内にキャリア720およびその内容があるかどうかを判断するすなわちピックアップされているキャリアが、例えば、所定の時間およびロケーションで、ビークルによってピックアップされるようなスケジュールが定められたキャリアであるかどうかを証明することができる図8、ブロック825。例えば、コントローラ760のマテリアル制御システム770は、例えば、相関化データベース内のリーダーによって読み出された識別情報に対応するキャリア720の内部をルックアップできる。所定の処理動作のために、キャリアの内容および/または識別情報が例えば、データベース内の所定の識別情報/キャリア内容と一致する場合例えば、キャリアがピックアップされるようにスケジュールの定められたキャリアである場合、マテリアル制御システム770は処理ステーションおよび保管エリアを含むがこれらに限定されない所定のロケーションにビークル710がキャリア720をトランスポートするようにすることができる図8、ブロック830。キャリアの内容および/または識別情報が所定の識別情報/キャリアの内容と一致しない場合、マテリアル制御システム770は、誤った位置にあるキャリア/積み荷の自動回収を行うことができる。例えば、マテリアル制御システム770は、AMHSのトランスポートビークルに対してキャリア720をAMHSの適当な任意のエリア、例えば、再コンフィギュレーションステーションへトランスポートすることを命令でき、この再コンフィギュレーションステーションにて、キャリア720の内容が、再識別され、および/またはキャリアの識別子と再関連付けできる。この再コンフィギュレーションステーションは、任意の適当なステーションでよい。一実施形態では、この再コンフィギュレーションステーションは、オペレータがキャリア720の内容を検査し、キャリア720の内容とキャリアの識別とを再関連付けするようなマニュアル操作式ステーションとすることができる。別の実施形態では、再コンフィギュレーションステーションは、自動化されたステーションとすることができ、このステーションでは、例えば、適当な任意のセンサによりロボットがキャリア720の内容を検査し、内容とキャリアの識別とを再関連付けするようになっている。別の実施形態では、キャリアの内容は任意の適当な態様で検査/再関連付けできる。更に別の実施形態では、再コンフィギュレーションステーションにおいてキャリアの内容をWIPに戻すように再導入するための任意の適当な作業を実施してもよい。例えば、不一致が発見された場合、マテリアル制御システム770はキャリア720の内容を新しい識別子を有する新しいロットとして扱い、例えば、リアルタイムの処理によりキャリアの内容に基づき、キャリアの所望する目的地を決定するか、または所定のロケーションにおいてWIP内にキャリア720を再挿入することにより、ロットの扱いを繰り返すことができる図8、ブロック835、845。別の実施形態では、誤った位置にあるキャリアおよびそれぞれの内容、すなわち積み荷が、所望する処理ステージで挿入されるよう任意の適当な態様でこれらをWIPに再導入することができる。次に図9を参照する。別の実施形態に従い、識別リーダーについて説明する。図5から分かるように、この識別リーダー900は、トランスポートビークル710’内に組み込むことができる。このトランスポートビークル710’は、図7を参照してこれまで説明したトランスポートビークル710と実質的に類似するものでよいし、別リーダー900の図7を参照してこれまで説明した識別リーダー730と実質的に類似するものでよい。例えば、識別リーダーは、アンテナ902と、キャリア720を検出し、例えば、キャリア720のRタグ721から識別情報を読み出すためのセンサ901を有することができる。この例では、キャリア720がトランスポートされるときに識別情報を収集できるよう、トランスポートビークル内、またはそのまわりの任意の適当なロケーションに識別リーダー900のコンポーネントを位置させることができる。例えば、図9Aを参照すると、キャリアをトランスポートできるようにトランスポートビークルはキャリア720に係合または他の方法でキャリア720を安定化するためのアーム930、931を有することができる。一実施形態では、リーダーの電子回路900、センサ901および/またはアンテナ902を、アーム930、931のうちの1つ以上に内蔵または実装することができる。別の実施形態では、センサ901および/またはアンテナ902は、アーム930、931の1つ以上に位置できるセンサの電子回路900は、トランスポートビークルの電子回路内にリーダーが組み込まれるように、トランスポートビークル電子回路940と共に位置できる。別の実施形態では、センサ電子回路900、アンテナ902および/またはセンサ901は、任意の適当なロケーションに別々に、または共に位置することができる。センサ900は、任意の適当な態様でAMHS通信ネットワーク750およびコントローラ760に適当に接続できる。例えば、この実施形態におけるセンサは、任意の適当な有線または無線通信リンク910により、コントローラに接続できる。例えば、通信リンク910は、赤外線、携帯電話、無線周波数、LAN、WANまたは他の任意の適当な短距離または長距離通信リンクとすることができる。次に図10を参照し、図9の識別リーダーの作動例について説明する。この実施形態の例では、トランスポートビークル710’は、任意の適当なロケーション、例えば、処理ステーション403図6参照からキャリア720をピックアップする図10、ブロック1000。キャリアセンサ901は、キャリア720を検出し、RFIDタグ721から識別情報を読み出すようにアンテナ902をトリガーする図10、ブロック1010。別の実施形態では、任意の適当な態様で、識別情報を読み出すように、アンテナ902をトリガーできる。例えば、ビークル710’のアーム930、931がキャリアに係合したときに、識別情報の読み出しをトリガーできる。この識別リーダー電子回路900は、キャリア720から読み出された識別情報に対応する信号をコントローラ760に送り図10、ブロック1020、ここでコントローラは図8のブロック825~845に関してこれまで説明した態様と実質的に類似する態様で、キャリア720の識別/内容と所定のキャリアの識別/内容との間の不一致があるかどうかを判断する。次に図11を参照し、一実施形態に係わる別の識別リーダーについて説明する。この実施形態の例では、以下、本明細書で単なる例として診断キャリア1120と称すキャリア内に識別リーダーを組み込むことができる。この実施形態では、リーダー1100、アンテナ1102およびリーダーセンサ1101は、図7を参照してこれまで説明したものと実質的に類似したものでよい。キャリア720A、720BのRFIDタグ721A、721Bを読み出すことができるように、リーダー100は、キャリア内の適当な位置に位置できる。別の実施形態では、キャリア1120内に、RFIDタグ721A、721Bを読み出すことができる任意の適当なデバイスを挿入できる。このデバイスは、タブレットパソコンおよびパーソナルデジタルアシスタントを含むことができるが、これらだけに限定されない。これらデバイスは、キャリア720A、720Bからの識別情報が存在することも検出し、これら情報を読み出すために、任意の適当なセンサおよびアンテナを有することができる。識別リーダー1100は、例えば、図9を参照してこれまで説明した態様と実質的に類似した態様で、任意の適当な接続部1140を通してコントローラに適当に接続できる。別の実施形態では、キャリアは、診断キャリア1120を取り上げたときに、トランスポートビークル710の対応するインターフェースまたはコネクタに係合するインターフェースまたはコネクタを有することができる。この別の実施形態では、ビークル710と診断キャリア1120の間のインターフェースを通して、コントローラ760との通信を確立できる。更に別の実施形態では、任意の適当な態様で、診断キャリア1120とコントローラ760との間の通信を確立できる。この実施形態の例では、WIPキャリア、例えば、キャリア720A、720Bが走査されていないときには、任意の適当なオフライン位置に診断キャリア1120を保管してよい。別の実施形態では、この診断キャリアはオンライン位置に保管できる。この診断キャリアの保管位置は、処理ファシリティを通る作業のフローを妨害しない任意の適当な位置とすることができる。例えば、オフライン位置として、ストッカー、アンダートラック保管位置およびトラックセグメントのシャントまたはバッファが挙げられるこれらだけに限定されない。別の実施形態では、オペレータによりビークル710へマニュアルで診断キャリア1120を供給できる。更に別の実施形態では、任意の適当な位置から任意の適当な態様で、診断キャリア1120をトランスポートビークル710に供給できる。この実施形態におけるWIPキャリア720A、720Bも、任意の適当なロケーション、例えば、図6に示されるアンダートラック保管部620、621に保管することもできる。別の実施形態では、識別すべきキャリアは、例えば、処理ツールの積み込みポート内またはトランスポートビークル710がアクセスできる他の任意の適当なロケーションに位置することができる。次に、図2を参照し、診断キャリア1120の作動について説明する。トランスポートビークル710は、適当な位置、例えば、上記オフライン位置から診断キャリア1120をピックアップする図12、ブロック1200。診断キャリア1120は、所望するWIPキャリア、例えば、図6に関してこれまで説明したアンダートラック保管部内に位置できるキャリア720A、720Bを通過するように図12、ブロック1210、AMHSトランスポートビークル710により、製造ファシリティを通過するように診断キャリアをトランスポートできる。別の実施形態では、例えば、診断キャリア1120のRFIDリーダー1100の検出距離内でトランスポートビークルがアクセスできるRFIDタグを有する適当なWIPにより、診断キャリアをトランスポートできる。この実施形態では、診断キャリア1120が、例えば、キャリア720Aを通過する際に、リーダー1100のキャリアセンサ1101は、リーダー110のアンテナ1102により、タグ7210の識別情報の読み取りをトリガーする図12、ブロック1220。理解できるように、診断キャリア1120が、例えば、アンダートラック保管エリア内の連続する各WIPキャリアを通過する際に、センサ1101はそれぞれの識別情報の読み取りをトリガーする。別の実施形態では、タグリーダーは任意の適当な態様でWIPキャリア720A、720BのRFIDタグ721A、721Bに問い合わせできる。例えば、別の一実施形態では、リーダー1100は、センサ1101が問い合わせをトリガーすることなく、リーダーが通過したRFIDタグを附勢するための信号を連続的に出力するように構成できる。診断キャリア1120のリーダー1100が、診断キャリア1200がそれぞれのWIPキャリアを通過する際に、診断キャリア1120のリーダー1100は、WIPキャリアの識別情報を読み出す図12、ブロック1230。この識別リーダー1100は、リーダー1100が読み出した識別情報に対応する信号をコントローラ760へ送り図12、ブロック1240、ここで、例えば、コントローラ760のマテリアル制御システム770は、図8のブロック825~845に関してこれまで説明したように、スキャンされたWIPキャリアのロケーションおよび/または積み荷とリーダー1100がスキャンした識別情報に対応するそれぞれのキャリアの所定のロケーションとの間に不一致があるかどうかを判断する。理解できるように、リーダー1100によって各WIPキャリアの識別情報が読み出されると、AMHS内のそれぞれのWIPキャリアのロケーションを決定できる。例えば、診断キャリア1120がWIPキャリア720A、720Bのそれぞれの1つを通過する際に、診断キャリア1120を搬送するトランスポートビークル710の位置が記録され、WIPキャリア720A、720Bのそれぞれの1つの識別データに相関化することができる。更に理解できるように、コントローラ760およびこのコントローラ760のマテリアル制御システム770は、任意の適当な態様でトランスポートビークルの位置を記録するように構成できる。例えば、一実施形態では、リーダー100のセンサ1101は、センサ1101がWIP記録を検出するときのトランスポートビークル710の位置を記録するように、コントローラ760をトリガーできる。一実施形態では、識別リーダー1100がリーダー1100の読み出した識別情報に対応する信号をコントローラ760に送るとき、それぞれのWIPキャリアの位置を記録するように構成できる。このコントローラは、トランスポートビークルがWIPキャリアを通過した実際の時間とは異なる、信号受信の遅れ時間を補償するように構成できる。例えば、コントローラはビークルの速度および情報信号がコントローラに達するまでかかる時間に関する情報を使用して、トランスポートビークルの位置を決定するための適当なアルゴリズムを含むことができる。別の実施形態では、情報信号を受信したときから、トランスポートビークルの位置を記憶したときまでのタイムラグは、適当な態様で補償できる。上記のように、例えば、マテリアル制御システム770は、識別情報とそれぞれの各WIPキャリアに対するトランスポートビークルの記録位置とをマージすることにより、識別されたWIPキャリアをそれぞれの各WIPキャリアに対する所定の位置との間に不一致があると判断できる。理解できるように、この実施形態の例では、任意の適当な時間に診断キャリア1120は、AMHSトラックの1つ以上のセクションを横断するようにスケジュールを定めることができる。例えば、AMHSは、毎日適当な回数例えば、一日に1回、一日に2回、一日に3回など、診断キャリア1120をピックアップし、このキャリアが任意の適当なWIPを通過するようにトランスポートするよう構成できる。別の実施形態の例では、適当な回数、診断キャリア1120をマニュアルでピックアップし、これをトランスポートし、AMHSを通過できるようにAMHSを構成できる。別の実施形態では、適当な回数、AMHSを通過するように任意の適当な数の診断キャリアをトランスポートできる。別の実施形態の例では、本明細書に記載のような不一致が見つかり、この不一致により、他のWIPキャリアが所定の位置にあることが証明された場合、例えば、トラックセグメント内のWIPキャリアの各々により、診断キャリア1120をトランスポートできる。別の実施形態の例では、診断キャリア1120は、失われた積み荷の検出も可能にできる。例えば、WIPキャリアの間で不一致が発見され、AMHS内で1つのWIPキャリアが失われたと判断された場合、例えば、この失われた積み荷を見つけるために、エリア620、621のようなアンダートラック保管エリアを自動的に、またはマニュアルでスキャンするように、診断キャリアを配備できる。別の実施形態では、診断キャリア1120は、アンダートラック保管部、積み込みポートまたは失われた積み荷の識別を可能にするよう、AMHSにアクセスできる新の他の適当なエリアを含むが、これらに限定されない、任意の適当な保管ロケーションを診断キャリア1120がスキャンできる。AMHS内またはAMHSによって取り扱われる材料または積み荷を識別できる能力を有する上記AMHSは、迅速かつ効率的な態様で、誤った位置にあるキャリア/積み荷の識別を識別できるようにするので、この結果、積み荷が失われるのを防止できる。上記識別読み取り能力は、トランスポートビークルを含むが、これに限定されない、AMHSの任意の適当なエリアに組み込むことができるので、トランスポートビークルはリーダーにより、キャリア内の積み荷として駆動できるか、またはAMHSのトランスポートビークルによってトランスポートできるキャリア内に組み込むことができる。更に、失われた積み荷を効率的に識別するよう、積み荷が失われた場合に、AMHS全体にわたって診断キャリアをトランスポートできる。コントローラのマテリアル制御システムは、WIP内に再挿入するための所定の位置へ、誤った位置にあるキャリア/積み荷を自動的に戻すように構成できる。理解できるように、マテリアル制御システムにより、失われた積み荷/キャリアの再挿入をマニュアルで行ってもよい。更に理解できるように、AMHS内でのトランスポート中、および/または基板カセットが、例えば、アンダートラック保管エリア内にある間に基板カセットを識別するので、処理ツールが、ツールによってインターフェースされた基板の識別を読み出すことなく、更に、キャリアが正しくないキャリアとして識別された場合にキャリアを除くことなく、更に、正しいキャリアをAMHS内のある場所から得ることなく、処理ツールが基板を処理するため、製造回数を少なくすることが可能となる。本明細書に記載の実施形態は、別々に、または組み合わせて使用できると理解すべきである。更に上記記載は実施形態の単なる説明であることも理解すべきである。当業者であれば、実施形態から逸脱することなく、種々の代替例および変更例を想到できよう。従って、実施形態は特許請求の範囲に入るかかるすべての代替例、変更例および変形例を含むものである。