基板と、当該基板の入出射面に配置された第1反射膜及び第2反射膜とを有し、前記基板の厚みdが、以下のように算出される厚みd1および厚みd2よりも小さいエタロンフィルタ。厚みd1:下記I式に対する、c、n、θ及びFSRtの代入により得られる。ただし、cは光速、nは前記基板の屈折率、θは前記基板中の屈折角度、FSRtは当該エタロンフィルタの設計上のFSRである。厚みd2:下記II式及びIII式において波長λを変数として算出される透過係数Tの極大値間の波長間隔から求められるFSRcalが、当該エタロンフィルタのFSRtに一致するように求められる。ただし、A1及びA2は前記第1反射膜及び前記第2反射膜の吸収係数、R1及びR2は前記第1反射膜及び前記第2反射膜の反射係数である。前記基板の厚みdが、前記第1反射膜及び前記第2反射膜が設けられていないと仮定した場合において前記FSRtが得られる前記基板の厚みd3よりも小さい請求項1に記載のエタロンフィルタ。前記厚みd3は、下記IV式に対するλm、λmL、nm、nmLおよびLの代入により得られる請求項2に記載のエタロンフィルタ。ただし、λmは、当該エタロンフィルタの使用波長範囲における第1ピーク波長、λmLは、当該エタロンフィルタの使用波長範囲における最終ピーク波長、nmは第1ピーク波長λmにおける前記基板の屈折率、nmLは、最終ピーク波長λmLにおける前記基板の屈折率、Lは、第1ピーク波長λmから最終ピーク波長λmLまでの波長間隔の数である。また、各ピーク波長は、前記第1反射膜及び前記第2反射膜が設けられていないと仮定した場合において前記FSRtが得られるピーク波長である。前記厚みdは、前記第1反射膜及び前記第2反射膜の合計の厚みをd4としたときに、d3-d4よりも大きい請求項2又は3に記載のエタロンフィルタ。前記第1反射膜及び前記第2反射膜それぞれは、複数の薄膜が積層されて構成されている請求項1~4のいずれか1項に記載のエタロンフィルタ。基板と、当該基板の入出射面に配置された第1反射膜及び第2反射膜とを有し、前記第1反射膜及び前記第2反射膜それぞれが、複数の薄膜が積層されて構成されているエタロンの設計方法であって、前記基板の厚みdをパラメータとして含む下記のFSR算出法によりFSRcalを算出し、算出したFSRcalと所望のFSRtとの比較に基づいて前記基板の設計上の厚みdtを決定するエタロンフィルタの設計方法。FSR算出法:前記基板及び前記複数の薄膜をm層の媒質からなる多層構造体と捉え、j番目1≦j≦mの媒質の特性行列Mjを下記V及びVI式により算出するものとする。ただし、λは波長、njはj番目の媒質の屈折率、djはj番目の媒質の厚み、θjはj番目の媒質中の屈折角、δjはj番目の媒質の位相である。前記多層構造体の特性行列Mを下記VII式により算出するものとする。そして、前記多層構造体の透過係数Tを下記VIII式により算出するものとする。ただし、n0及びnmはそれぞれ、m層の媒質のうち入射媒質及び出射媒質となる媒質の屈折率である。そして、上記V~VIII式において波長λを変数として算出される透過係数Tの極大値間の波長間隔からFSRcalを算出する。前記基板の厚みdとして所定の初期厚みdpを設定するステップと、前記初期厚みdpを用いるとともに前記第1反射膜及び第2反射膜が無いと仮定して前記FSR算出法によりFSR1を算出するステップと、前記初期厚みdpを用いるとともに前記第1反射膜及び第2反射膜が有ると仮定して前記FSR算出法によりFSR2を算出するステップと、下記IX式に対して、dp、FSRt、FSR1及びFSR2を代入して前記基板の設計上の厚みdtを算出するステップと、を有する請求項6に記載のエタロンフィルタの設計方法。dt=1FSR2-FSRt/FSR1dpIXしかし、本願発明者の鋭意検討の結果、1式に基づいて基板の厚みdを設計した場合、仮に基板の厚みdを正確に調整して基板を製造できたとしても、FSRは所望の値にはならないことが分かった。すなわち、特許文献1及び2のように、実質的に基板の厚みdを高精度に調整して厚みdを設計上の厚みに一致させたとしても、所望のFSRは得られない。本発明の目的は、より所望のFSRに近いFSRを得ることが可能なエタロンフィルタ及びその設計方法を提供することにある。本発明の一態様に係るエタロンフィルタは、基板と、当該基板の入出射面に配置された第1反射膜及び第2反射膜とを有し、前記基板の厚みdが、以下のように算出される厚みd1および厚みd2よりも小さいエタロンフィルタ。厚みd1:下記I式に対する、c、n、θ及びFSRtの代入により得られる。ただし、cは光速、nは前記基板の屈折率、θは前記基板中の屈折角度、FSRtは当該エタロンフィルタの設計上のFSRである。厚みd2:下記II式及びIII式において波長λを変数として算出される透過係数Tの極大値間の波長間隔から求められるFSRcalが、当該エタロンフィルタのFSRtに一致するように求められる。ただし、A1及びA2は前記第1反射膜及び前記第2反射膜の吸収係数、R1及びR2は前記第1反射膜及び前記第2反射膜の反射係数である。好適には、前記基板の厚みdが、前記第1反射膜及び前記第2反射膜が設けられていないと仮定した場合において前記FSRtが得られる前記基板の厚みd3よりも小さい。好適には、前記厚みd3は、下記IV式に対するλm、λmL、nm、nmLおよびLの代入により得られる。ただし、λmは、当該エタロンフィルタの使用波長範囲における第1ピーク波長、λmLは、当該エタロンフィルタの使用波長範囲における最終ピーク波長、nmは第1ピーク波長λmにおける前記基板の屈折率、nmLは、最終ピーク波長λmLにおける前記基板の屈折率、Lは、第1ピーク波長λmから最終ピーク波長λmLまでの波長間隔の数である。また、各ピーク波長は、前記第1反射膜及び前記第2反射膜が設けられていないと仮定した場合において前記FSRtが得られるピーク波長である。好適には、前記厚みdは、前記第1反射膜及び前記第2反射膜の合計の厚みをd4としたときに、d3-d4よりも大きい。好適には、前記第1反射膜及び前記第2反射膜それぞれは、複数の薄膜が積層されて構成されている。本発明の一態様に係るエタロンフィルタの設計方法は、基板と、当該基板の入出射面に配置された第1反射膜及び第2反射膜とを有し、前記第1反射膜及び前記第2反射膜それぞれが、複数の薄膜が積層されて構成されているエタロンの設計方法であって、前記基板の厚みdをパラメータとして含む下記のFSR算出法によりFSRcalを算出し、算出したFSRcalと所望のFSRtとの比較に基づいて前記基板の設計上の厚みdtを決定するエタロンの設計方法。FSR算出法:前記基板及び前記複数の薄膜をm層の媒質からなる多層構造体と捉え、j番目1≦j≦mの媒質の特性行列Mjを下記V及びVI式により算出するものとする。ただし、λは波長、njはj番目の媒質の屈折率、djはj番目の媒質の厚み、θjはj番目の媒質中の屈折角、δjはj番目の媒質の位相である。前記多層構造体の特性行列Mを下記VII式により算出するものとする。そして、前記多層構造体の透過係数Tを下記VIII式により算出するものとする。ただし、n0及びnmはそれぞれ、m層の媒質のうち入射媒質及び出射媒質となる媒質の屈折率である。そして、上記V~VIII式において波長λを変数として算出される透過係数Tの極大値間の波長間隔からFSRcalを算出する。好適には、上記のエタロンフィルタの設計方法は、前記基板の厚みdとして所定の初期厚みdpを設定するステップと、前記初期厚みdpを用いるとともに前記第1反射膜及び第2反射膜が無いと仮定して前記FSR算出法によりFSR1を算出するステップと、前記初期厚みdpを用いるとともに前記第1反射膜及び第2反射膜が有ると仮定して前記FSR算出法によりFSR2を算出するステップと、下記IX式に対して、dp、FSRt、FSR1及びFSR2を代入して前記基板の設計上の厚みdtを算出するステップと、を有する。dt=1FSR2-FSRt/FSR1dpIX上記の構成又は手順によれば、より所望のFSRに近いFSRを得ることができる。エタロンフィルタの概要図1aは、本発明の実施形態に係るエタロンフィルタ1を模式的に示す側面図である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、従来技術若しくは比較例についてもエタロンフィルタ1に係る符号を付すことがある。エタロンフィルタ1は、基板3と、基板3の第1主面3aに設けられた第1反射膜5Aと、基板3の第2主面3bに設けられた第2反射膜5B以下、単に反射膜5といい、両者を区別しないことがある。とを有している。基板3は、例えば、石英等のガラス材若しくは水晶等の結晶材により構成され、また、第1主面3a及び第2主面3bが互いに平行な平板状に形成されている。その厚さdは、後述するように、FSR等の所望の光学特性に応じて適宜に設定される。第1主面3a及び第2主面3bの面粗さ及び平行度も、所望の光学特性やその精度に応じて適宜に設定されてよいが、例えば、面粗さは1nm未満であり、平行度は1分未満である。このような微小な面粗さや高精度な平行度は、例えば、第1主面3a及び第2主面3bの光学研磨により得られる。反射膜5は、複数の薄膜7が積層されることにより構成されている。複数の薄膜7は、例えば、誘電体により構成されている。誘電体は、例えば、二酸化ケイ素SiO2、屈折率=1.445、二酸化チタンTiO2、屈折率=2.3、五酸化タンタルTa2O5、屈折率=2.2である。複数の薄膜7は、屈折率が互いに異なる薄膜7が交互に積層されるように配置されている。なお、基板3の第1主面3a及び第2主面3bに重ねられる薄膜7は、基板3とは屈折率が異なる薄膜7とされている上記の例ではSiO2以外。また、複数の薄膜7は、反射膜5において所望の光学特性例えば反射率が得られるように、その材料、積層数及び厚みが設計されている。一例として、反射膜5は、サブミクロン程度の厚みの薄膜7が10層以下で積層されて構成されている。薄膜7は、例えば、蒸着により基板3に対して設けられる。エタロンフィルタ1には、光Ltが、基板3の第1主面3a及び第2主面3bに直交する光軸Axに対して平行に若しくは傾斜して入射する。なお、図1では、光Ltが傾斜してエタロンフィルタ1に入射し、基板3内を屈折角度θで透過している場合を例示している。そして、エタロンフィルタ1は、所望の波長の光の透過を許容し、それ以外の光の透過を規制する。なお、第1主面3a及び第2主面3bは、いずれが入射面若しくは出射面とされてもよいが、図1では、第1主面3aが入射面、第2主面3bが出射面とされた場合を例示している。図1bは、エタロンフィルタ1の透過特性を模式的に示す図である。図1bにおいて横軸は波長λを示し、縦軸は透過係数Tを示している。なお、透過係数Tは、光Ltの、エタロンフィルタ1への入射前における強度Iinと、エタロンフィルタ1からの出射後の強度Ioutとの比Iout/Iinである。一般に知られているように、エタロンフィルタ1は、周期的な透過波形を示し、m次のピーク波長λmピーク振動数νmにおいて透過係数Tが周期的に上昇するフィルタである。なお、通常、FSRは、ピーク振動数νmの間隔νm-νm1で表現されるが、図1bでは、理解の一助のためにFSRをピーク波長間において示している。FSR算出法ここで、本願発明者は、エタロンフィルタ1の試作品におけるFSRの測定結果から、反射膜5の構成材料、積層数、厚み等が変化すると、FSRが変化することを発見した。一方、1式に示されるように、一般に、反射膜5の構成がFSRに影響を及ぼすことは認知されておらず、当然に、反射膜5の構成を考慮して、エタロンフィルタ1の各種設計値等に基づいてFSRを算出予測する方法は知られていない。そこで、本願発明者は、反射膜5の影響を考慮に入れたFSR算出法を考案した。当該算出法は、FlorinAbeles氏の行列法に基づくものである。具体的には、以下のとおりである。基板3及び複数の薄膜7の全体をm層の媒質からなる多層構造体として考える。このとき、j番目1≦j≦mの媒質の特性行列Mjは、下記2及び3式により表わされる。ただし、λは波長、njはj番目の媒質の屈折率、djはj番目の媒質の厚み、θjはj番目の媒質中の屈折角、δjはj番目の媒質の位相である。多層構造体の特性行列Mは、下記4式に示すように、各層の行列の積によって表わされる。この多層構造体のフレネル反射係数ρとフレネル透過係数τは、下記5式及び6式により表わされる。ただし、n0及びnmはそれぞれ、m層の媒質のうち入射媒質及び出射媒質となる媒質の屈折率である。5式及び6式より、反射係数Rと透過係数Tは、下記7式及び8式により表わされる。そして、上記8式において波長λを変数として透過係数Tを計算して極大値を求め、極大値間の波長間隔からFSRを算出する。なお、屈折率nについては、波長分散波長依存性を考慮しなければならない。例えば、下記9式により屈折率nが波長λに基づいて算出されることが好ましい。ただし、A0~A6は分散係数である。なお、基板あるいは薄膜に吸収がある場合は、屈折率のみならず消衰係数とその波長依存性も考慮する必要がある。また、FSRは、一般には、1式に例示したように、次数mを考慮せずに求められる。ただし、次数mに応じたばらつきを考慮してFSRを求めるのであれば、FSRは、エタロンフィルタ1が使用される振動数範囲に含まれる、ピーク振動数の間隔の数、最大のピーク振動数及び最小のピーク振動数をそれぞれ、L、νm、νmLとして、FSR=νm-νmL/Lにより求められてもよい。なお、以上に説明したFSR算出方法が、各媒質において屈折率が不均一でない限り、高精度にFSRを算出できることは、その理論から明らかである。また、以下では、当該FSR算出法を本実施形態のFSR算出法と呼んで参照することがある。実施例及び比較例等の条件以下では、具体的な材料や寸法を設定した実施例及び比較例等に関して、FSRの算出値や実測値を求めた結果を参照し、反射膜がFSRに及ぼす影響等について説明する。なお、この場合において、特に断りがない限り、入射角度は0°であり、波長範囲は1530~1610nmであり、基板3は、水晶Zカット板により構成されているものとする。反射膜がFSRに及ぼす影響調査図2は、反射膜5の複数の構成例複数の薄膜7の組み合わせの複数の例を示す図である。図2において、各列縦の欄は、各構成例に対応し、各行は、各構成例の特徴を示している。具体的には、以下のとおりである。図2の第1行No.は、構成例に対して便宜的に付した番号を示している。そして、図2では、No.1~No.15までの15種類の構成例が示されてる。図2の第2行Rは、各構成例における反射膜5の反射率を示している。そして、図2では、いずれの構成例も、反射膜5の反射率が20になるように、その材料、積層数、厚みが設定されている。図2の中央付近の行dは、基板3の厚みd単位:nmを示している。そして、図2では、全ての構成例は、厚みdが互いに同一とされている。図2において、dの上下の行SiO2及びTa2O5は、薄膜7の材料毎の厚み単位:nmを、基板3に対する積層順に合わせて示している。すなわち、図2の構成例では、基板3の一方の主面に対して、その主面側から順に、Ta2O5、SiO2、Ta2O5、SiO2、Ta2O5及びSiO2の6層が積層され、また、他方の主面においても同様に、その主面側から順に、Ta2O5、SiO2、Ta2O5、SiO2、Ta2O5及びSiO2の6層が積層されている。そして、複数の構成例は、互いに薄膜7の厚さが異なっている。なお、No.11~15において薄膜7の厚みが0とされているのは、その材料の薄膜が設けられなかったことを意味している。また、No.1~N.13までは、第1反射膜5A及び第2反射膜5Bは互いに同一の構成であるのに対し、No.14及びN.15は、第1反射膜5A及び第2反射膜5Bは互いに異なる構成となっている。図3aは、No.1~No.15の構成例におけるFSRを上述した本実施形態のFSR算出法により算出した結果を示す図であり、図3bは、No.1~No.15の構成例におけるΔFSRを示す図である。図3a及び図3bにおいて、横軸は、エタロンフィルタの厚みD図1aを示している。図3aにおいて縦軸はFSRを示し、図3bにおいて縦軸はΔFSRを示している。ここで、ΔFSRは、以下の10式により求められる。ΔFSR=FSR2-FSR110ただし、FSR1は、厚みdの基板3に第1反射膜5A及び第2反射膜5Bが設けられていない場合におけるFSR、FSR2は、上記の厚みdの基板に第1反射膜5A及び第2反射膜5Bが設けられている場合におけるFSRである。上述のように、No.1~No.15の構成例は、基板3の厚みdが互いに同一である。従って、図3a及び図3bから、基板3の厚みdが互いに同一であっても、FSRが互いに異なることが確認された。換言すれば、いかに精度良く基板3の厚みdを調整しても、FSRが基板3の厚みdのみによって決定されるものとしてエタロンフィルタ1を設計している限り、FSRを高精度に調整することができないことが確認された。また、図3a及び図3bから、反射膜5の構成が異なれば、FSRも異なることが確認された。このことより、反射膜5の構成に応じて、基板3の厚みdを調整する必要があることが分かる。また、図3bにおいて、ΔFSRは全て負の値となっている。すなわち、反射膜5が設けられることにより、FSRは小さくなることが分かる。一方、1式に例示したように、一般に、基板3の厚みdが小さくなると、FSRは大きくなる。従って、所望のFSRを得るためには、反射膜5の影響を考慮せずに決定された基板3の厚みdよりも小さくされなければならないことが分かる。また、図3a及び図3bのプロットのばらつきから、巨視的には、エタロンフィルタの厚みDが大きくなると、FSRが小さくなる傾向があるものの、必ずしも、厚みDを大きくすることにより、FSRを小さくすることができるとは限らないことが分かる。すなわち、反射膜5の厚みの増加分だけ基板3の厚みを薄くするような単純な手法により基板3の厚みdを決定しても、必ずしも所望のFSRが得られるとは限らないことが分かる。なお、図3aの相関係数の2乗は0.28である図3bも同様。なお、一般には、1式において例示したように、FSRは、基板3の厚みdによってのみ決定されるとされており、反射膜5の構成がFSRに影響を及ぼすことや、厚みDを調整するだけではFSRを高精度に調整することができないことは認知されていない。すなわち、上記の知見は、本願発明者の鋭意検討によって得られたものである。エタロンフィルタの基板の厚み以上の知見を踏まえ、本実施形態では、以下のような基板3の厚みdを提案する。上述のように、従来の1式は、反射膜5の影響を一切考慮していない。また、図3bを参照して説明したように、所望のFSRを得るためには、基板3の厚みdは、反射膜5を考慮せずに決定される厚みdよりも小さくされなければならない。従って、まず、実施形態の基板3の厚みdは、所望のFSRtを得ようとする場合において、1式を変形して得られる下記11式により決定される厚みd1よりも小さいことが好ましい。なお、実際の製品のFSR、特に、従来の設計方法により設計された製品のFSRは、実際のFSRrが所望のFSRtと異なっていることが考えられる。すなわち、必ずしも、イ号製品自体から設計上のFSRであるFSRtを特定することはできない。しかし、エタロンフィルタは、カタログや仕様書等にFSRtを特定可能な情報があるはずであり、FSRtを用いて本実施形態のエタロンフィルタ1を特定することは、本実施形態のエタロンフィルタ1とイ号製品との区別を不明確にするものではない。次に、一般に、透過係数Tは、下記12式及び13式により求められるとされている。ただし、Rは反射膜5の反射係数である。従って、従来においては、上記の12式及び13式において、波長λを変数として透過係数Tを算出し、透過係数Tのピーク間の波長間隔からFSRを求めることも可能であった。しかし、当該12式及び13式においては、反射膜5の反射係数が考慮されているものの、反射膜5の構成複数の薄膜7の組み合わせについては考慮されていない。一方、図2、図3a及び図3bに示した反射膜5の複数の構成例は、反射係数は互いに同一であるものの、FSRは互いに異なっている。すなわち、12式及び13式に基づいて正確にFSRを算出することはできない。また、12式及び13式は、反射膜5の厚みを考慮していない。一方、図3a及び図3bに示したように、巨視的には、反射膜5の厚みD-dが大きくなると、FSRは小さくなる。従って、実施形態の基板3の厚みdは、所望のFSRtを得ようとする場合において、12式及び13式において波長λを変数として算出される透過係数Tの極大値間の波長間隔から求められるFSRcalが、所望のFSRtに一致するように求められる厚みd2よりも小さいことが好ましい。なお、第1反射膜5A及び第2反射膜5Bは、一般には、互いに同一の構成とされることから、12式においても、反射係数Rは、第1反射膜5Aと第2反射膜5Bとで区別されていない。第1反射膜5A及び第2反射膜5Bの構成が異なる場合においても12式と同様の計算をするためには、下記の14式を用いればよい。ただし、R1及びR2は第1反射膜5A及び第2反射膜5Bの反射係数である。また、14式では、第1反射膜5A及び第2反射膜5Bの吸収係数A1、A2も考慮している。以上の条件により、本実施形態の基板3の厚みdからは、従来の設計方法により得られる可能性のある厚みdが排除される。さらに好適には、基板3の厚みdは、以下のように設定される。図3bにおいてΔFSRは負の値となった。すなわち、エタロンフィルタ1のFSRは、反射膜5が無く、基板3のみと仮定されて高精度に算出されたFSRよりも小さくなった。また、反射膜5の厚みが0に近づくと、所望のFSRtが得られる基板3の厚みdは、反射膜5が無く、基板3のみにより所望のFSRtが得られる場合における基板3の厚みd3に近づく。従って、基板3の厚みdは、厚みd3未満であることが好ましい。当該厚みd3は、そのような基板3を試作して実測により求められてもよいし、高精度にFSRを算出可能な本実施形態のFSR算出法に基づいて求められてもよい。本実施形態のFSR算出法に基づいて厚みd3を求める方法とは、12式に基づく方法と同様に、波長λを変数として算出される透過係数Tの極大値間の波長間隔から求められるFSRcalが、当該エタロンフィルタのFSRtに一致する厚みd3を求める方法である。厚みd3は、透過特性から算出されてもよい。例えば、エタロンフィルタの使用波長範囲における第1ピーク波長をλm、エタロンフィルタの使用波長範囲における最終ピーク波長をλmL、第1ピーク波長λmにおける基板3の屈折率をnm、最終ピーク波長λmLにおける基板3の屈折率をnmL、第1ピーク波長λmから最終ピーク波長λmLまでのピーク波長の数をLとすると、厚みd3は、以下の15式により求められる。なお、15式は、ピーク波長間の位相差と透過波形の周期性より得られる式であり、屈折率nの波長分散を考慮せずに、nm=nmLとすると、1式が得られる。以上においては、厚みdの上限について述べたが、厚みdの下限は、例えば、第1反射膜5A及び第2反射膜5Bの合計の厚みをd4としたときにd3-d4である。反射膜5の屈折率が基板3の屈折率に近づくと、所望のFSRtが得られる基板3の厚みdはd3-d4に近づくことからである。実施形態の妥当性以下では、実施形態の製造方法の妥当性について説明する。図4aは、比較例のエタロンフィルタの設計条件及びFSR等の実測値を示す図である。図4aにおいて、各行は、各比較例に対応しており、図4aでは、4種類の比較例が示されている。反射膜の列は、各比較例における反射膜の条件を示しており、反射膜の相違を示す事項として、反射膜5の合計の厚みD-dを代表して示している。4つの比較例は、反射膜5が互いに異なる構成とされている。なお、4種の反射膜5は、いずれも、反射率が25になるように構成されている。設計値の列は、所望のFSRであるFSRt、及び、当該FSRtに対応する、11式によって求められる厚みd1を示している。4つの比較例は、互いにFSRtが互いに同一である。そして、11式は、反射膜5の影響を考慮していないことから、4つの比較例の厚みd1は互いに同一となっている。実測値の列は、厚みd1の比較例を試作して得られたFSRの実測値FSRrを示している。この列に示されているように、実測されたFSRrは、所望のFSRtに比較して小さくなっている。また、4つの比較例のFSRrは、反射膜5の構成の相違に起因して、互いに異なっている。従って、反射膜5の構成によってFSRが変化することが実測においても確認された。また、基板3の厚みdが厚みd1未満とされることにより、従来よりもFSRが所望のFSRtに近づくことが期待されることが確認された。図4bは、実施例のエタロンフィルタの設計条件及びFSR等の実測値を示す図4aと同様の図である。図4bでは、図4aの4つの比較例と同様の構成の反射膜5が設けられた4つの実施例が示されている。ただし、設計値の列の厚みdは、本実施形態のFSR算出法に基づいて決定されたものであり、比較例の厚みd1よりも小さくなっているとともに、反射膜5の構成の相違に起因して、実施例間で互いに異なっている。そして、実測値の列に示されているように、実測されたFSRrは、基板3の厚みdがd1よりも小さくされていることにより、比較例に比較して、所望のFSRtに近い値となっている。さらには、本実施形態のFSR算出法に基づいて厚みdが好適に求められていることから、実測されたFSRrは、所望のFSRtに略一致している。図5a及び図5bは、他の実施例の条件を示す図2と同様の図である。なお、dの行の厚みは、本実施形態のFSR算出法に基づいて設計されている。また、図5aの条件は、FSRtが100GHzのものを示し、図5bの条件は、FSRtが50GHzのものを示している。また、図5aのNo.21~No.28と、図6aのNo.29~No.36とは、互いに反射膜5の構成が同一であり、基板3の厚みdのみが互いに異なる。図6a及び図6bは、図5a及び図5bの条件でエタロンフィルタ1を試作し、FSRを計測した結果を示す図である。これらの図において、各行は、図4bと同様に、各実施例に対応している。また、D-d、d、FSRrの列も、図4bと同様である。これらの欄に示されているように、実施例においては、反射膜5の構成に応じて厚みdを適切に設定することにより、実測されたFSRrが所望のFSRt100GHz又は50GHzに近い値となっている。さらに、図6a及び図6bでは、上述した上限値としての厚みd3及び下限値としての厚みd3-d4の値も示している。いずれの実施例においても、厚みd3>d>d3-d4となっていることが確認された。厚みdの簡便な算出法上述のように、基板3の厚みdは、本実施形態のFSR算出法に基づいてFSRを算出し、算出されたFSRcalと所望のFSRtとに基づいて好適な値が求められる。ここで、厚みdを種々変化させて最もFSRcalがFSRtに近い厚みdを求めることもできるが、より簡便な方法を以下では説明する。図7は、厚みdの算出法の手順を示すフローチャートである。ステップST1では、基板3の初期厚みdpを決定する。この厚みdpは、経験等に基づいて大雑把に設定されてよい。ステップST2では、上記の厚みdpの基板に反射膜5が設けられていないと仮定した場合のFSR1を本実施形態のFSR算出法に基づいて算出する。ステップST3では、B=FSR1/dpを算出する。ステップST4では、上記の厚みdpの基板に反射膜5が設けられていると仮定した場合のFSR2を本実施形態のFSR算出法に基づいて算出する。なお、反射膜5は、反射率等の所望の光学特性が得られるようにその構成が予め設計されている。ステップST5では、E=FSR2-FSRt/Bを算出する。ステップST6では、dt=Edpを算出する。dtは、反射膜5の構成を考慮した、所望のFSRtを好適に得ることができる設計上の厚みdである。なお、上述したステップを順次進めることは、上記のdtの式にE及びBを順次代入して得られる下記の16式を計算することと等価である。dt=1FSR2-FSRt/FSR1dp16また、dtを新たなdpとし、上述した手順を繰り返し行ってもよい。エタロンフィルタの応用例図8は、エタロンフィルタ1の応用例を示すブロック図である。エタロンフィルタ1は、レーザシステム11の光の波長を一定に保つための波長ロッカ13に組み込まれている。波長ロッカ13は、例えば、レーザシステム11からドロップされた光が入射するビームスプリッタ15と、ビームスプリッタ15を透過した光が入射するエタロンフィルタ1と、エタロンフィルタ1を透過した光が入射する第1光検出器17Aと、ビームスプリッタ15を反射した光が入射する第2光検出器17Bとを有している。そして、制御装置19は、第1光検出器17Aの検出した光の強度と、第2光検出器17Bの検出した光の強度とを比較して光の波長を検出し、その検出波長が一定に保たれるようにレーザシステム11の制御を実行する。本実施形態のFSRが高精度に調整されたエタロンフィルタ1が、このような波長ロッカ13に用いられることによって、光の波長を高精度にモニタすることが可能となる。本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。実施例では、基板が水晶Zカット板により構成されているものとしたが、石英ガラスを用いても同様な結果が得られる。また、基板は、異なる材料を接合した状態となっていてもよい。換言すれば、エタロンフィルタは、複合型のエタロンフィルタであってもよい。基板の厚みdが上述のように算出される厚みd1及びd2よりも小さいエタロンフィルタは、本実施形態のFSR算出法により設計されたものに限定されない。例えば、反射膜の種々の構成と、厚みdの補正値Δdとを対応付けたデータベースを構築しておき、データベースに基づいて厚みd1から補正値Δdを差し引いて基板の厚みdを決定してもよい。