エラストマーと、該エラストマー中に充填されている金属フィラーと、を含み、次のAおよびBの条件を満たすことを特徴とする導電膜。A走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、膜厚方向に延びる三本の直線を膜展開方向に3μmずつ離間して描き、各々の該直線ごとに、該直線と交わる該断面写真における最長部の長さが2μm以上の該金属フィラーの個数を数えて、該個数を該直線の長さで除することにより該直線1μm当たりの基準個数を算出した場合に、三本の該直線における該基準個数の平均値が0.8個/μm以上である、または、該金属フィラーは厚さが1μm以下でアスペクト比が26以上のフレーク状フィラーを含み、該基準個数の平均値が0.4個/μm以上である。B走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、2μm四方の単位領域が100個連なって形成される測定領域を設け、該単位領域ごとに、該エラストマーが占める面積を測定した場合に、該エラストマーの面積割合が60以上である該単位領域の個数が、20個以上である。前記金属フィラーの充填量は、導電膜の体積を100volとした場合の45vol未満である請求項1に記載の導電膜。前記金属フィラーは、厚さが1μm以下のフレーク状または針状であって、膜展開方向に配向する異方性フィラーを含む請求項1または請求項2に記載の導電膜。前記金属フィラーは、さらに、平均粒子径が0.1μm以上1.5μm以下の塊状フィラーを含む請求項3に記載の導電膜。前記異方性フィラーと前記塊状フィラーとの含有割合は、質量比で2:1~50:1である請求項4に記載の導電膜。前記エラストマーは、水素結合可能な官能基を有し、ガラス転移温度Tgが-10°C以下である請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の導電膜。前記エラストマーは、アクリルゴム、ウレタンゴム、ヒドリンゴム、シリコーンゴムから選ばれる一種以上である請求項6に記載の導電膜。前記アクリルゴムは、炭素数4以上のアルキル基を有するアクリル酸エステルモノマー単位を50mol以上含む請求項7に記載の導電膜。前記エラストマーの架橋には、硫黄を含む化合物が使用されていない請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の導電膜。エラストマー製の弾性部材の表面に形成されている請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の導電膜。エラストマー製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、該電極および該配線の少なくとも一方は、請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の導電膜からなることを特徴とするトランスデューサ。配線の少なくとも一部は、請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の導電膜からなることを特徴とするフレキシブル配線板。例えば、エラストマーにカーボンブラックを充填した場合、カーボンブラックを高充填したとしても、当該エラストマーの比抵抗は、0.1~1Ωcm程度と比較的大きい。このため、カーボンブラックに、エラストマー等のバインダーを混合したペーストから電極や配線を形成すると、電気抵抗が大きくなってしまうという問題がある。電極や配線の電気抵抗が高いと、内部抵抗による発熱で、素子が劣化しやすくなる。また、電極や配線の電気抵抗が高いと、高周波領域におけるリアクタンス成分の発生により、アクチュエータの応答性が低下するおそれがある。また、検出信号に対して内部抵抗が高すぎると、センサの分解能が低下するおそれがある。一方、市販の銀ペーストから形成された電極は、柔軟性に乏しい。銀ペーストは、バインダー樹脂に銀粉末が充填されてなる。バインダー自体の弾性率が高いことに加えて、銀粉末が高充填されているため、形成された電極の弾性率は高くなる。このため、大きく伸長されると、クラックが発生し、著しく電気抵抗が増加してしまう。また、銀ペーストからアクチュエータの電極を形成した場合には、電極が誘電膜の伸縮に追従できず、誘電膜の動きを阻害するおそれがある。また、特許文献2、3に記載されたペーストにおいても、バインダー樹脂の弾性率が高い。このため、当該ペーストも、上記アクチュエータ等の柔軟な電極、配線の形成材料には適さない。また、特許文献4に記載されたペーストによると、所望の導電性を実現するには、銀粉を比較的多量に充填する必要がある。このため、形成された電極の弾性率が高くなり、電極が誘電膜の伸縮に追従しにくい。加えて、伸長時にクラックが生じやすく、電気抵抗の増加を招く。本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、軟らかく伸縮可能であって、伸長時にも電気抵抗が増加しにくい導電膜を提供することを課題とする。また、そのような導電膜を用いることにより、柔軟なトランスデューサおよびフレキシブル配線板を提供することを課題とする。1上記課題を解決するため、本発明の導電膜は、エラストマーと、該エラストマー中に充填されている金属フィラーと、を含み、次のAおよびBの条件を満たすことを特徴とする。A走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、膜厚方向に延びる三本の直線を膜展開方向に3μmずつ離間して描き、各々の該直線ごとに、該直線と交わる該断面写真における最長部の長さが2μm以上の該金属フィラーの個数を数えて、該個数を該直線の長さで除することにより該直線1μm当たりの基準個数を算出した場合に、三本の該直線における該基準個数の平均値が、0.8個/μm以上である、または、該金属フィラーは厚さが1μm以下でアスペクト比が26以上のフレーク状フィラーを含み、該基準個数の平均値が0.4個/μm以上である。B走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、2μm四方の単位領域が100個連なって形成される測定領域を設け、該単位領域ごとに、該エラストマーが占める面積を測定した場合に、該エラストマーの面積割合が60以上である該単位領域の個数が、20個以上である。まず、条件Aについて説明する。図1に、本発明における条件Aを説明するための導電膜の断面写真の模式図を示す。図1は、条件Aの基準個数の算出手順を説明するための模式図である。図1は、金属フィラーの大きさ、形状、数、配置、および導電膜の厚さ等を含めて、本発明の導電膜を何ら限定するものではない。断面写真100は、導電膜の膜厚方向断面を走査型電子顕微鏡SEMにより撮影したものである。多数の金属フィラー102は、エラストマー101中に分散している。金属フィラー102は、左右方向導電膜の膜展開方向に配向している。隣接する金属フィラー102同士は、互いに接触している。複数の金属フィラー102が連なることにより、エラストマー101中に、導電経路が形成されている。条件Aの充足性を判断する場合は、まず、断面写真100の中央部分に、上下方向導電膜の膜厚方向に延びる三本の直線α、β、γを描く。三本の直線α、β、γの左右方向の間隔は、各々3μmである。また、三本の直線α、β、γの長さは、Lμmである。次に、三本の直線α、β、γの各々について、直線α、β、γと交わり、かつ断面写真100における最長部の長さが2μm以上の金属フィラー102の個数を数える。ここでは、当該金属フィラー102の個数を、直線αについてはx個、直線βについてはy個、直線γについてはz個とする。続いて、各個数を、直線の長さLμmで除することにより、各直線1μm当たりの基準個数を算出する。ここでは、各直線における基準個数は、x/L個/μm、y/L個/μm、z/L個/μmとなる。最後に、三つの基準個数の平均値[xyz/3L]を、算出する。そして、得られた平均値が0.8個/μm以上であるか、または0.4個/μm以上0.8個/μm未満であるか否かを、判断する。基準個数の平均値が0.4個/μm以上0.8個/μm未満の場合には、さらに、厚さが1μm以下でアスペクト比が26以上のフレーク状薄片状フィラーが含まれているか否かを判断する。このようにして、条件Aの充足性を判断する。フレーク状フィラーの厚さとしては、平均厚さを採用する。アスペクト比としては、フィラーの最大長さを平均厚さで除した値を採用するアスペクト比=最大長さ/平均厚さ。平均厚さの測定方法については、後述する。本発明のAの条件において、基準個数の平均値が0.8個/μm以上である、または、金属フィラーは厚さが1μm以下でアスペクト比が26以上のフレーク状フィラーを含み、基準個数の平均値が0.4個/μm以上であるということは、導電経路の数が多いことを示す。つまり、導電膜は導電性に優れるといえる。また、基準個数の平均値が大きくなる程、伸長されても導電経路が切断されにくい、つまり伸長されても電気抵抗の変化が小さい、と考えられる。このように、Aの条件は、導電性の指標となる。次に、条件Bについて説明する。図2に、本発明におけるBの条件を説明するための導電膜の断面写真の模式図を示す。図3に、単位領域の一つを拡大した模式図を示す。なお、説明の便宜上、図2においては、エラストマーおよび金属フィラーを省略して示す。また、図2、図3は、条件Bの単位領域および測定領域を説明するための模式図である。図2、図3は、金属フィラーの大きさ、形状、数、配置、おより導電膜の膜厚等を含めて、本発明の導電膜を何ら限定するものではない。条件Bの充足性を判断する場合は、まず、図2に示すように、導電膜の膜厚方向断面を走査型電子顕微鏡SEMにより撮影した断面写真100において、20μm四方の正方形の測定領域Mを設ける。測定領域Mは、10個×10個=100個の単位領域Eにより、区画されている。単位領域Eは2μm四方の正方形である。図3に示すように、単位領域Eにおいては、エラストマー101と金属フィラー102とが観察される。次に、単位領域Eごとに、エラストマー101が占める面積を測定する。それから、図2にハッチングで示すように、エラストマー101の面積割合が60以上である単位領域Eの個数を数える。そして、当該個数が、20個以上であるか否かを判断する。このようにして、条件Bの充足性を判断する。ここで、単位領域の配置の仕方は、特に限定されない。しかし、金属フィラーの充填状態を、膜厚方向および膜展開方向について均等に検出するという観点から、単位領域を、膜厚方向および膜展開方向に同数10個×10個配置して、測定領域を20μm四方の正方形とすることが望ましい図2参照。しかし、導電膜の厚さが20μm未満の場合等、10個の単位領域を膜厚方向に揃えて配置できない場合も考えられる。この場合には、膜厚方向に配置できない残りの単位領域を、膜展開方向に加えて配置すればよい。本発明のBの条件において、エラストマーの面積割合が60以上の単位領域の個数が20個以上あるということは、エラストマー成分が多い、あるいはエラストマー成分が連続して存在する領域が多いことを示す。つまり、導電膜は柔軟であるといえる。このように、Bの条件は、柔軟性の指標となる。以上まとめると、上記条件A、Bを充足する導電膜には、所望の導電性を得るための導電経路が、効率的に形成されているといえる。すなわち、より少量の金属フィラーで、高い導電性が確保されている。このように、上記条件A、Bを充足する金属フィラーの充填状態を実現することにより、導電経路を制御し、金属フィラーを偏在させることができる。その結果、柔軟で、導電性が高く、伸長時の電気抵抗の変化が小さい導電膜を得ることができる。2また、本発明のトランスデューサは、エラストマー製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、該電極および該配線の少なくとも一方は、上記本発明の導電膜からなることを特徴とする。トランスデューサは、ある種類のエネルギーを他の種類のエネルギーに変換する装置である。トランスデューサには、例えば、電気エネルギーと機械エネルギーとの変換を行うアクチュエータ、センサ、発電素子等が含まれる。本発明のトランスデューサによると、電極および配線の少なくとも一方が、上記本発明の導電膜からなる。よって、電極や配線が形成されている部材が変形した場合には、電極や配線が当該変形に追従して伸縮する。このため、トランスデューサの動きが、電極や配線により妨げられにくい。また、本発明の導電膜から形成された電極、配線においては、伸長時の導電性の低下は少なく、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。よって、本発明のトランスデューサは耐久性に優れる。3また、本発明のフレキシブル配線板は、配線の少なくとも一部は、上記本発明の導電膜からなることを特徴とする。本発明のフレキシブル配線板によると、基材の変形に追従して配線が伸縮する。配線が伸長しても、導電性の低下は少なく、伸縮を繰り返した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。よって、本発明のフレキシブル配線板は耐久性に優れる。以下、本発明の導電膜、およびそれを用いたトランスデューサ、フレキシブル配線板の実施形態について順に説明する。<導電膜>本発明の導電膜を構成するエラストマーは、室温でゴム状弾性を有するものであればよい。例えば、ガラス転移温度Tgが-10°C以下のエラストマーは、柔軟なため好適である。また、Tgが低くなると、結晶性が低下するため、エラストマーの破断伸びが大きくなる。つまり、より伸長しやすくなる。したがって、エラストマーのTgは、-20°C以下、さらには-35°C以下であることが望ましい。本明細書では、ガラス転移温度として、JISK71211987に準じて測定した中間点ガラス転移温度を採用する。また、エラストマーは、水素結合可能な官能基を有することが望ましい。水素結合可能な官能基は、金属フィラーに対する親和性が高い。このため、エラストマーと金属フィラーとの界面剥離が起こりにくい。したがって、伸長された場合でも、導電膜にクラックが発生しにくく、電気抵抗も増加しにくい。水素結合可能な官能基としては、例えば、エステル基、ウレタン結合、ウレア結合、ハロゲン基、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、スルホン酸基、エーテル結合等が挙げられる。なかでも、エステル基を有するものが望ましい。エラストマーは、導電膜に加わる力学的負荷、導電膜を使用する温度や湿度、基材との接着性等を考慮して選択すればよい。エラストマーとしては、一種を単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。例えば、アクリルゴム、ウレタンゴム、ヒドリンゴム、シリコーンゴム等が好適である。アクリルゴムは、結晶性が低く分子間力が弱いため、他のゴムと比較してTgが低い。よって、柔軟で伸びがよく、アクチュエータの電極等に好適である。アクリルゴムとしては、炭素数4以上のアルキル基を有するアクリル酸エステルモノマー単位を50mol以上含むものが望ましい。アルキル基が大きい炭素数が多いと、結晶性が低下するため、アクリルゴムの弾性率がより低くなる。また、ウレタンゴムは、力学的強度に優れる。このため、力学的な負荷が加わる用途に好適である。また、ヒドリンゴムおよびシリコーンゴムは、環境安定性に優れる。このため、温度や湿度等の環境変化が大きい用途に好適である。エラストマーは、可塑剤、加工助剤、架橋剤、架橋促進剤、架橋助剤、老化防止剤、軟化剤、着色剤等の添加剤を含んでいてもよい。例えば、可塑剤を添加すると、エラストマーの加工性が向上すると共に、柔軟性をより向上させることができる。可塑剤としては、公知のフタル酸ジエステル等の有機酸誘導体、リン酸トリクレジル等のリン酸誘導体、アジピン酸ジエステル、塩素化パラフィン、ポリエーテルエステル等を使用すればよい。また、架橋反応に寄与する架橋剤、架橋促進剤、架橋助剤等については、エラストマーの種類等に応じて、適宜決定すればよい。例えば、架橋剤に硫黄が含まれていると、金属フィラーが硫化されるおそれがある。これにより、金属フィラーの表面の電気抵抗が増加して、導電性が低下するおそれがある。したがって、架橋剤等としては、硫黄を含まない化合物を用いることが望ましい。エラストマーに充填されている金属フィラーの材質は、特に限定されるものではない。導電性がカーボンブラックより高く、腐食しにくいという観点から、例えば、銀、金、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、チタン、白金、鉄、およびこれらの合金等から適宜選択すればよい。なかでも銀は、電気抵抗が小さいため好適である。また、金属以外の粒子の表面を金属で被覆したものを使用してもよい。この場合、金属だけで構成する場合と比較して、フィラーの比重を小さくすることができる。よって、塗料化した場合に、金属フィラーの沈降が抑制されて、分散性が向上する。また、粒子を加工することにより、様々な形状の金属フィラーを容易に製造することができる。また、金属フィラーのコストを低減することができる。被覆する金属としては、先に列挙した金属フィラーとして好適な金属を、用いることができる。また、金属以外の粒子としては、グラファイトやカーボンブラック等の炭素材料、炭酸カルシウム、二酸化チタン、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム等の金属酸化物、シリカ等の無機物、アクリルやウレタン等の樹脂等を用いればよい。金属フィラーは、フィラー同士の接触面積を大きくして導電性を向上させるという観点から、厚さが1μm以下のフレーク状薄片状または針状であって、膜展開方向に配向する異方性フィラーを含むことが望ましい。異方性フィラーは、その長手方向が膜展開方向と略平行になるように、エラストマー中に配置されていればよい。異方性フィラーの平均粒子径は、特に限定されるものではないが、例えば2.5μm以上20μm以下であることが望ましい。平均粒子径が2.5μm未満の場合には、フィラー同士の重なり面積が小さくなるため、伸長時に電気抵抗が増加しやすい。反対に15μmより大きくなると、導電膜の柔軟性が低下する。本明細書では、金属フィラーの平均粒子径として、日機装株製マイクロトラック粒度分布測定装置UPA-EX150型により測定された値を採用する。フレーク状の異方性フィラー以下適宜、フレーク状フィラーと称すの厚さを1μm以下としたのは、以下の理由による。すなわち、フレーク状フィラーを用いて、エラストマー中に導電経路を形成するためには、エラストマーに所定の数以上のフレーク状フィラーを充填することが必要である。ここで、フレーク状フィラーの厚さを薄くすると、同じ数だけフレーク状フィラーを使用しても、充填されるフレーク状フィラーの総質量は減少する。また、エラストマー中に占めるフレーク状フィラーの体積割合も低下する。したがって、その分、エラストマーの体積割合が増加して、導電膜の柔軟性を向上させることができる。このような理由から、フレーク状フィラーの厚さを、1μm以下とした。より好適には、0.5μm以下である。なお、フレーク状フィラーの厚さは、一つのフィラーの平均厚さである。フレーク状フィラーとしては、アスペクト比が26以上のフィラーを含むことが望ましい。アスペクト比が大きい程、フィラー同士が重なりやすく、導電経路が形成されやすい。アスペクト比は、フレーク状フィラーの最大長さを平均厚さで除して算出されるアスペクト比=最大長さ/平均厚さ。ここで、導電膜中のフレーク状フィラーの最大長さは、次のようにして測定することができる。まず、導電膜からポリマー分を除去し、金属フィラーフレーク状フィラーを含むを取り出す。そして、取り出した金属フィラーのSEM写真を撮影し、当該SEM写真からフレーク状フィラーの最大長さを測定する。また、導電膜中のフレーク状フィラーの平均厚さは、次のようにして測定することができる。まず、導電膜から取り出した金属フィラーを、エポキシ樹脂で包埋する。次に、包埋した試料を、金属フィラーの厚さ方向に切断し、試料断面のSEM写真を撮影する。そして、当該SEM写真におけるフレーク状フィラーの断面像を画像解析することにより、平均厚さを算出する。金属フィラーとしては、上記異方性フィラーに加えて、形状や大きさの異なる種々のフィラーを用いることができる。なかでも、平均粒子径が0.1μm以上1.5μm以下の塊状フィラーを併用することが望ましい。ここで、塊状には、球状、略球状楕円球状、長円球状一対の対向する半球を円柱で連結した形状等の他、表面に凹凸のある不定形状が含まれる。例えば、異方性フィラーのみを使用した場合には、接触している異方性フィラー同士が、伸長時に接触面で剪断される。このため、導電膜の柔軟性が低下するおそれがある。この点、異方性フィラーと塊状フィラーとを併用した場合には、塊状フィラーが異方性フィラー間に入り込む。そして、異方性フィラーを偏在させる。これにより、異方性フィラー同士の剪断が少なくなり、柔軟性の低下が抑制される。塊状フィラーの平均粒子径は、0.1μm以上1.5μm以下であることが望ましい。平均粒子径が0.1μm未満の場合には、比表面積が大きくなるため補強性が大きくなり、導電膜の柔軟性が低下する。0.3μm以上がより好適である。反対に1.5μmより大きくなると、異方性フィラーの隙間に入り込みにくくなる。また、塊状フィラーによる柔軟性の向上効果を発揮させるには、異方性フィラーと、塊状フィラーと、の含有割合を、質量比で2:1~50:1とすることが望ましい。上述したように、本発明の導電膜は、次のAおよびBの条件を満たす。A走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、膜厚方向に延びる三本の直線を膜展開方向に3μmずつ離間して描き、各々の直線ごとに、該直線と交わる断面写真における最長部の長さが2μm以上の金属フィラーの個数を数えて、該個数を該直線の長さで除することにより該直線1μm当たりの基準個数を算出した場合に、三本の直線における基準個数の平均値が、0.8個/μm以上である、または、該金属フィラーは厚さが1μm以下でアスペクト比が26以上のフレーク状フィラーを含み、該基準個数の平均値が0.4個/μm以上である。B走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、2μm四方の単位領域が100個連なって形成される測定領域を設け、単位領域ごとに、エラストマーが占める面積を測定した場合に、エラストマーの面積割合が60以上である単位領域の個数が、20個以上である。上記条件AおよびBを満たすように、金属フィラーが充填されている本発明の導電膜は、金属フィラーの充填量が比較的少なくても、高い導電性を有する。例えば、金属フィラーの充填量は、導電膜の体積を100volとした場合の45vol未満であることが望ましい。より好適には42vol未満、さらには38vol未満であることが望ましい。本発明の導電膜は、例えば、エラストマー分のポリマー適宜添加剤を含むと金属フィラーとを、ニーダー、バンバリーミキサー等の加圧式混練機、二本ロール、三本ロール等により混練してなる導電材料を、金型成形や押出成形することにより製造することができる。あるいは、まずエラストマー分のポリマーを、所定の添加剤と共に溶剤に溶解した溶液に、金属フィラーを添加して、攪拌、混合して導電塗料を調製する。次に、調製した導電塗料を基材等に塗布し、加熱により乾燥させて製造することができる。この場合、加熱時に、エラストマー分の架橋反応を進行させてもよい。また、導電膜中の金属フィラーの配向性を向上させるため、導電塗料の塗布時に、配向方向に流動させたり、成膜された導電膜に対して、ホットプレス、延伸等の加工を施してもよい。導電塗料の塗布方法は、既に公知の種々の方法を採用することができる。例えば、インクジェット印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷、パッド印刷、リソグラフィー等の印刷法の他、ディップ法、スプレー法、バーコート法等が挙げられる。例えば、印刷法を採用すると、塗布する部分と塗布しない部分との塗り分けを、容易に行うことができる。また、大きな面積、細線、複雑な形状の印刷も容易である。印刷法の中でも、高粘度の導電塗料が使用でき、塗膜厚さの調整が容易であることや、金属フィラーが配向しやすいという理由から、スクリーン印刷法が好適である。本発明の導電膜の厚さは、用途に応じて適宜決定すればよい。例えば、本発明の導電膜を、エラストマーセンサやアクチュエータの電極や配線として用いた場合、エラストマーセンサやアクチュエータの小型化、および誘電膜の変形に対する影響をできるだけ小さくするという観点から、導電膜の厚さは薄い方が望ましい。例えば、導電膜の厚さを、4μm以上1000μm以下とすることが望ましい。10μm以上50μm以下とするとより好適である。また、本発明の導電膜は、用途に応じて、基材や誘電膜等の表面に形成すればよい。基材としては、例えばポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN等からなる屈曲性を有する樹脂フィルム等が挙げられる。なお、本発明の導電膜を、エラストマー製の弾性部材の表面に形成した場合には、柔軟性が高く、伸長時にも電気抵抗が増加しにくいという効果を、より発揮させることができる。ここで、弾性部材には、アクチュエータ等における誘電膜が含まれる。薄膜状の弾性部材は、例えば、弾性部材を形成するための塗料を、離型性を有する基材上に塗工した後、所望の形状に切り取って剥離することにより、製造することができる。本発明の導電膜は、トランスデューサの電極や配線、フレキシブル配線板の配線等に好適である。以下、まず、本発明の導電膜を用いたトランスデューサの例として、エラストマーセンサ、アクチュエータ、および発電素子の実施形態を説明し、次に、フレキシブル配線板の実施形態を説明する。なお、本発明のトランスデューサおよびフレキシブル配線板においても、上述した本発明の導電膜の好適な態様を採用することが望ましい。<エラストマーセンサ>本発明の導電膜を電極および配線に使用したエラストマーセンサの一例として、静電容量型センサの実施形態を説明する。まず、本実施形態の静電容量型センサの構成について説明する。図4に、静電容量型センサの上面図を示す。図5に、図4のV-V断面図を示す。図4、図5に示すように、静電容量型センサ1は、誘電膜10と、一対の電極11a、11bと、配線12a、12bと、カバーフィルム13a、13bと、を備えている。誘電膜10は、ウレタンゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。誘電膜10の厚さは、約300μmである。電極11aは、長方形状を呈している。電極11aは、誘電膜10の上面に、スクリーン印刷により三つ形成されている。同様に、電極11bは、長方形状を呈している。電極11bは、誘電膜10を挟んで電極11aと対向するように、誘電膜10の下面に三つ形成されている。電極11bは、誘電膜10の下面に、スクリーン印刷されている。このように、誘電膜10を挟んで、電極11a、11bが三対配置されている。電極11a、11bは、本発明の導電膜からなる。配線12aは、誘電膜10の上面に形成された電極11aの一つ一つに、それぞれ接続されている。配線12aにより、電極11aとコネクタ14とが結線されている。配線12aは、誘電膜10の上面に、スクリーン印刷により形成されている。同様に、配線12bは、誘電膜10の下面に形成された電極11bの一つ一つに、それぞれ接続されている図4中、点線で示す。配線12bにより、電極11bとコネクタ図略とが結線されている。配線12bは、誘電膜10の下面に、スクリーン印刷により形成されている。配線12a、12bは、本発明の導電膜からなる。カバーフィルム13aは、アクリルゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。カバーフィルム13aは、誘電膜10、電極11a、配線12aの上面を覆っている。同様に、カバーフィルム13bは、アクリルゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。カバーフィルム13bは、誘電膜10、電極11b、配線12bの下面を覆っている。次に、静電容量型センサ1の動きについて説明する。例えば、静電容量型センサ1が上方から押圧されると、誘電膜10、電極11a、カバーフィルム13aは一体となって、下方に湾曲する。圧縮により、誘電膜10の厚さは薄くなる。その結果、電極11a、11b間のキャパシタンスは大きくなる。このキャパシタンス変化により、圧縮による変形が検出される。次に、本実施形態の静電容量型センサ1の作用効果について説明する。本実施形態の静電容量型センサ1によると、誘電膜10、電極11a、11b、配線12a、12b、カバーフィルム13a、13bは、いずれもエラストマー材料からなる。このため、静電容量型センサ1の全体が柔軟であり、伸縮可能である。また、電極11a、11bおよび配線12a、12bは、誘電膜10の変形に追従して変形することができる。さらに、電極11a、11bおよび配線12a、12bについては、導電性が高く、伸長されても電気抵抗の増加が小さい。このため、静電容量型センサ1の応答性は良好である。なお、本実施形態の静電容量型センサ1には、誘電膜10を狭んで対向する電極11a、11bが、三対形成されている。しかし、電極の数、大きさ、配置等は、用途に応じて、適宜決定すればよい。<アクチュエータ>本発明の導電膜を電極に使用したアクチュエータの実施形態を説明する。図6に、本実施形態のアクチュエータの断面模式図を示す。aはオフ状態、bはオン状態を各々示す。図6に示すように、アクチュエータ2は、誘電膜20と、電極21a、21bと、配線22a、22bと、を備えている。誘電膜20は、ウレタンゴム製である。電極21aは、誘電膜20の上面の略全体を覆うように、配置されている。同様に、電極21bは、誘電膜20の下面の略全体を覆うように、配置されている。電極21a、21bは、各々、配線22a、22bを介して電源23に接続されている。電極21a、21bは、いずれも本発明の導電膜からなる。オフ状態からオン状態に切り替える際は、一対の電極21a、21b間に電圧を印加する。電圧の印加により、誘電膜20の膜厚は薄くなる。その分だけ、誘電膜20は、図6b中白抜き矢印で示すように、電極21a、21b面に対して平行方向に伸長する。これにより、アクチュエータ2は、図6中横および上下方向の駆動力を出力する。本実施形態によると、電極21a、21bは、柔軟で伸縮可能である。このため、誘電膜20の変形に追従して変形することができる。すなわち、誘電膜20の動きが、電極21a、21bにより妨げられにくい。したがって、アクチュエータ2によると、より大きな力および変位量を得ることができる。さらに、電極21a、21bについては、伸長されても電気抵抗の増加が小さい。よって、内部抵抗による発熱が少なく、電極21a、21bは、劣化しにくい。すなわち、アクチュエータ2は耐久性に優れる。なお、複数の誘電膜と電極とを交互に積層させた積層構造とすると、より大きな力を発生させることができる。これにより、アクチュエータの出力が大きくなり、駆動対象部材をより大きな力で駆動させることができる。<発電素子>本発明の導電膜を電極に使用した発電素子の実施形態を説明する。図7に、本実施形態の発電素子の断面模式図を示す。aは伸長時、bは収縮時を各々示す。図7に示すように、発電素子3は、誘電膜30と、電極31a、31bと、配線32a~32cと、を備えている。誘電膜30は、ウレタンゴム製である。電極31aは、誘電膜30の上面の略全体を覆うように、配置されている。同様に、電極31bは、誘電膜30の下面の略全体を覆うように、配置されている。電極31aには、配線32a、32bが接続されている。すなわち、電極31aは、配線32aを介して、外部負荷図略に接続されている。また、電極31aは、配線32bを介して、電源図略に接続されている。電極31bは、配線32cにより接地されている。電極31a、31bは、いずれも本発明の導電膜からなる。図7aに示すように、発電素子3を圧縮し、誘電膜30を電極31a、31b面に対して平行方向に伸長すると、誘電膜30の膜厚は薄くなり、電極31a、31b間に電荷が蓄えられる。その後、圧縮力を除去すると、図7bに示すように、誘電膜30の弾性復元力により誘電膜30は収縮し、膜厚が厚くなる。その際、蓄えられた電荷が配線32aを通して放出される。本実施形態によると、電極31a、31bは、柔軟で伸縮可能である。このため、誘電膜30の動きが、電極31a、31bにより妨げられにくい。また、電極31a、31bについては、伸長されても電気抵抗の増加が小さい。このため、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。したがって、発電素子3は耐久性に優れる。<フレキシブル配線板>本発明の導電膜を配線に使用したフレキシブル配線板の実施形態を説明する。図8に、本実施形態のフレキシブル配線板の上面透過図を示す。なお、図8中、裏側の配線については細線で示す。図8に示すように、フレキシブル配線板4は、基材40と、表側電極01X~16Xと、表側電極01X~16Xと、表側配線01x~16xと、裏側配線01y~16yと、表側配線用コネクタ41と、裏側配線用コネクタ42と、を備えている。基材40は、ウレタンゴム製であって、シート状を呈している。表側電極01X~16Xは、基材40の上面に、合計16本配置されている。表側電極01X~16Xは、各々、帯状を呈している。表側電極01X~16Xは、各々、X方向左右方向に延在している。表側電極01X~16Xは、Y方向前後方向に、所定間隔ごとに離間して、互いに略平行になるように、配置されている。表側電極01X~16Xの左端には、各々、表側接続部01X1~16X1が配置されている。同様に、裏側電極01Y~16Yは、基材40の下面に、合計16本配置されている。裏側電極01Y~16Yは、各々、帯状を呈している。裏側電極01Y~16Yは、各々、Y方向に延在している。裏側電極01Y~16Yは、X方向に、所定間隔ごとに離間して、互いに略平行になるように、配置されている。裏側電極01Y~16Yの前端には、各々、裏側接続部01Y1~16Y1が配置されている。図8にハッチングで示すように、基材40を挟んで、表側電極01X~16Xと裏側接続部01Y1~16Y1とが交差する部分重複する部分により、荷重等を検出する検出部が形成されている。表側配線01x~16xは、基材40の上面に、合計16本配置されている。表側配線01x~16xは、各々、線状を呈している。表側配線用コネクタ41は、基材40の左後隅に配置されている。表側配線01x~16xは、各々、表側接続部01X1~16X1と、表側配線用コネクタ41と、を接続している。また、基材40の上面、表側電極01X~16X、表側配線01x~16xは、上方から、表側カバーフィルム図略により覆われている。表側配線01x~16xは、本発明の導電膜からなる。裏側配線01y~16yは、基材40の下面に、合計16本配置されている。裏側配線01y~16yは、各々、線状を呈している。裏側配線用コネクタ42は、基材40の左前隅に配置されている。裏側配線01y~16yは、各々、裏側接続部01Y1~16Y1と、裏側配線用コネクタ42と、を接続している。また、基材40の下面、裏側電極01Y~16Y、裏側配線01y~16yは、下方から、裏側カバーフィルム図略により覆われている。裏側配線01y~16yは、本発明の導電膜からなる。表側配線用コネクタ41、裏側配線用コネクタ42には、各々、演算部図略が電気的に接続されている。演算部には、表側配線01x~16xおよび裏側配線01y~16yから、検出部におけるインピーダンスが入力される。これに基づいて、面圧分布が測定される。本実施形態によると、表側配線01x~16xおよび裏側配線01y~16yは、各々、柔軟で伸縮可能である。このため、基材40の変形に追従して変形することができる。また、表側配線01x~16xおよび裏側配線01y~16yについては、伸長されても電気抵抗の増加が小さい。このため、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。したがって、フレキシブル配線板4は耐久性に優れる。次に、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。<導電膜の製造>[実施例1~4]まず、二種類のモノマーを懸濁重合して、アクリルゴムポリマーを製造した。モノマーとしては、n-ブチルアクリレートBAと、アリルグリシジルエーテルAGEと、を用いた。モノマーの配合割合は、BAを98質量、AGEを2質量とした。得られたアクリルゴムポリマーの重量平均分子量を、ゲル浸透クロマトグラフィーGPCにより測定したところ、約90万であった。また、アクリルゴムポリマーのTgは、-46°Cであった。次に、製造したアクリルゴムポリマー100質量部と、加工助剤のステアリン酸花王株製ルナック登録商標S301質量部と、架橋剤の安息香酸ナトリウム大内新興化学工業株製バルノック登録商標AB-S1質量部と、をロール練り機にて混合し、エラストマー組成物を調製した。続いて、調製したエラストマー組成物を、溶剤のエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートに溶解させ、エラストマー溶液を調製した。このエラストマー溶液に、金属フィラーとして、所定の銀粉末を添加し、三本ロールにて混練りして導電塗料とした。銀粉末については、以下の三種類を適宜使用した。銀粉末A:福田金属箔粉工業株製ナノメルト登録商標Ag-XFフレーク状、平均粒子径約5μm、厚さ約0.2μm、アスペクト比25銀粉末B:DOWAエレクトロニクス株製FA-D-4フレーク状、平均粒子径約15μm、厚さ約0.9μm、アスペクト比16.7。銀粉末C:DOWAエレクトロニクス株製AG2-1C球状、平均粒子径約0.5μm、アスペクト比1。製造した導電塗料を、アクリル樹脂製の基材表面にバーコート法により塗布した。その後、塗膜が形成された基材を、約150°Cの乾燥炉内に約30分間静置して、塗膜を乾燥させると共に、架橋反応を進行させて、導電膜を得た。得られた導電膜の厚さは、約20μmであった。[実施例5]アクリルゴムに替えてウレタンゴムを用いた以外は、実施例1と同様にして、導電膜を製造した。ウレタンゴムとしては、日本ポリウレタン工業株製ニッポラン登録商標5230を用いた。また、架橋剤および加工助剤を配合せずに、ウレタンゴムポリマーを溶剤に溶解させて、エラストマー溶液を調製した。[実施例6]アクリルゴムに替えてヒドリンゴムを用いた以外は、実施例1と同様にして、導電膜を製造した。ヒドリンゴムとしては、ダイソー株製エピクロマー登録商標CG102を用いた。また、架橋剤としては、トリアジンチオール和光純薬工業株製0.5質量部を用い、加工助剤を配合せずに、エラストマー組成物を調製した。[実施例7]アクリルゴムに替えてシリコーンゴムを用いた以外は、実施例1と同様にして、導電膜を製造した。シリコーンゴムとしては、モメンティブパフォーマンスマテリアルズジャパン合同会社製TSE-3351を用いた。また、架橋剤および加工助剤を配合せずに、シリコーンゴムポリマーを溶剤に溶解させて、エラストマー溶液を調製した。[実施例8]銀粉末の種類および配合量を変更した以外は、実施例1~4と同様にして、導電膜を製造した。銀粉末としては、上記銀粉末Cと、化学還元法により作製された平均粒子径2μmの球状銀粒子を、ボールミルを用いて扁平化して作製された銀粉末Dと、の二種類を使用した。銀粉末Dの粒子形状はフレーク状、平均粒子径は約13μm、厚さは約0.2μm、アスペクト比は65である。[実施例9]実施例8と同じ二種類の銀粉末を使用した以外は、実施例5と同様にして、導電膜を製造した。[実施例10]実施例8と同じ二種類の銀粉末を使用した以外は、実施例6と同様にして、導電膜を製造した。[実施例11]実施例8と同じ二種類の銀粉末を使用した以外は、実施例7と同様にして、導電膜を製造した。[比較例1]市販の銀ペースト藤倉化成株製ドータイト登録商標FA-353Nから、厚さ約20μmの導電膜を形成した。[比較例2~4]銀粉末の種類および配合量を変更した以外は、上記実施例1~4と同様にして、導電膜を製造した。表1、表2に、実施例および比較例について、使用したエラストマー、金属フィラーの種類および配合量等を示す。<条件A、Bの充足性>実施例および比較例の導電膜について、膜厚方向断面のSEM写真を撮影し、AおよびBの条件を満たすか否かを調べた。まず、各導電膜をエポキシ樹脂で包埋し、ミクロトームにより膜厚方向の断面を切り出した。次に、当該断面のSEM写真を撮影した倍率1000~5000倍。SEM写真の例として、図9に、実施例1の導電膜の膜厚方向断面のSEM写真を示す。図10に、比較例1の導電膜の膜厚方向断面のSEM写真を示す。図13に、実施例8の導電膜の膜厚方向断面のSEM写真を示す。図9に示すように、実施例1の導電膜については、エラストマー中のフレーク状フィラー銀粉末A、Bが、膜展開方向左右方向に配向していることが確認された。また、図13に示すように、実施例8の導電膜においては、実施例1の導電膜図9と比較して、膜展開方向の長さが大きくアスペクト比が大きいフレーク状フィラー銀粉末Dが確認できる。[条件A]まず、SEM写真の略中央部分に、膜厚方向に延びる長さ10μmの三本の直線を、3μm間隔で描いた。次に、各々の直線ごとに、直線と交わり、かつ最長部の長さが2μm以上の金属フィラーの個数を数えた。続いて、得られた個数を直線の長さで除して、各々の直線ごとに、基準個数を算出した。そして、三つの基準個数の平均値を算出した。実施例および比較例の導電膜における、基準個数の平均値を、上記表1、表2にまとめて示す。[条件B]まず、SEM写真に、20μm四方の正方形の測定領域を設けた。次に、測定領域を、2μm四方の正方形の単位領域100個10個×10個に分割した。続いて、バイナリ画像解析ソフトを用いて、各単位領域を白黒のビットマップに変換した。そして、単位領域ごとに、エラストマーおよび金属フィラーの画素数から、エラストマーの占める面積割合を算出した。実施例および比較例の導電膜における、エラストマーの面積割合が60以上の単位領域の個数を、上記表1、表2にまとめて示す。<評価方法>実施例および比較例の導電膜について、柔軟性および導電性を評価した。以下、各々の評価方法について説明する。[柔軟性]導電膜について、JISK71271999に準じた引張試験を行った。試験片の形状は、試験片タイプ2とした。得られた応力-伸び曲線から、導電膜の弾性率を算出した。[導電性]導電膜の体積抵抗率を、JISK62712008の平行端子電極法に準じて測定した。この際、導電膜試験片を支持する絶縁樹脂製支持具として、市販のブチルゴムシートタイガースポリマー株製を用いた。体積抵抗率の測定は、伸長の有無により二種類行った。すなわち、一つは、自然状態伸長なしで測定し、もう一つは、伸長率100で伸長した状態で測定した。ここで、伸長率は、次式Iにより算出した値である。伸長率=ΔL0/L0×100I[L0:試験片の標線間距離、ΔL0:試験片の標線間距離の伸長による増加分]<評価結果>実施例および比較例の導電膜の評価結果を、上記表1、表2にまとめて示す。表1、表2に示すように、実施例1~7の導電膜は、いずれも、条件A[基準個数の平均値が0.8個/μm以上]、およびB[エラストマーの面積割合が60以上である単位領域の個数が20個以上]の両方を満たしていた。また、実施例8~11の導電膜は、厚さ0.2μm、アスペクト比65のフレーク状フィラー銀粉末Dを含む。このため、実施例8~11の導電膜は、条件A[金属フィラーは厚さが1μm以下でアスペクト比が26以上のフレーク状フィラーを含み、基準個数の平均値が0.4個/μm以上]、およびB[エラストマーの面積割合が60以上である単位領域の個数が20個以上]の両方を満たしていた。したがって、実施例1~11の導電膜は、いずれも柔軟で、高い導電性を有する。また、伸長しても電気抵抗の増加は小さい。例えば、実施例1、2、4の導電膜については、自然状態における導電性が高くなった。また、実施例1、2、4を比較すると、この順に、条件Bの個数が小さくなっている。これに伴い、実施例1、2、4の順に、弾性率が高くなった。言い換えると、柔軟性が低下した。このため、実施例2、4については、実施例1と比較して、自然状態の体積抵抗率は小さいが、伸長後の体積抵抗率は大きくなった。また、実施例3の導電膜は、厚さが非常に薄いフレーク状フィラー銀粉末A:約0.2μmのみを含む。実施例3の導電膜については、金属フィラーの充填量体積割合が少ないにも関わらず、導電性は確保されている。このように、厚さの薄い異方性フィラーを用いると、充填量が少なくても、エラストマー中に効率良く導電経路を形成することができる。また、アクリルゴムを使用した実施例1の導電膜の弾性率は、ウレタンゴム等を使用した実施例5~7の導電膜の弾性率と比較して、低くなった。弾性率の違いは、実施例8と実施例9~11とを比較した場合にも明らかである。また、実施例8~11の導電膜は、アスペクト比が大きなフレーク状フィラー銀粉末Dを含む。アスペクト比が大きいため、フィラー同士が接触しやすい。これにより、エラストマー中に効率良く導電経路を形成することができる。したがって、実施例8~11の導電膜については、金属フィラーの充填量が少なくても、導電性は高くなった。一方、比較例の導電膜のなかには、条件AおよびBの両方を満たすものはなかった。例えば、比較例1は、条件A、Bのいずれも満たしていない。比較例1の弾性率は非常に高い。このため、自然状態の体積抵抗率は小さいものの、伸長時にクラックが生じて、体積抵抗率が著しく増加した。また、比較例2は、二つの条件のうち、Bを満たしているがAを満たしていない。すなわち、比較例2については、柔軟性は高いが、導電性が充分ではない。この点は、体積抵抗率の値からも明らかである。比較例2は、実施例3と比較して、厚さが厚いフレーク状フィラー銀粉末B:約0.9μmを使用した。このため、金属フィラーの充填量が31volでは、充分な導電経路を形成することができず、体積抵抗率が大きくなったと考えられる。また、比較例3は、二つの条件のうち、Aを満たしているがBを満たしていない。すなわち、比較例3については、導電性は高いが、柔軟性に乏しい。よって、自然状態の体積抵抗率は小さいものの、伸長時にクラックが生じて、体積抵抗率が著しく増加した。また、比較例4は、条件A、Bのいずれも満たしていない。比較例4については、自然状態の体積抵抗率は小さいものの、伸長時に体積抵抗率が増加した。また、実施例および比較例の導電膜について、フレキシブル配線板への適用性を評価した。すなわち、伸長率100で伸長した状態の導電膜の体積抵抗率が、1×10-2Ωcm以下の場合には、適用可能表1、表2中、○印で示す、1×10-2Ωcmを超えた場合には、適用不可同、×印で示す、と評価した。その結果、表1、表2に示すように、実施例の導電膜は、いずれもフレキシブル配線板に好適であることが確認された。<アクチュエータへの適用>実施例および比較例の導電膜を電極に用いたアクチュエータを作製し、アクチュエータの応答性を評価した。まず、実験装置について説明する。アクリルゴム製の誘電膜の厚さ方向両面に、実施例および比較例の導電膜を貼り付けて、アクチュエータを作製した。図11に、作製したアクチュエータの上面図を示す。図12に、図11のXII-XII方向断面図を示す。図11、図12に示すように、アクチュエータ5は、誘電膜50と一対の電極51a、51bとを備えている。誘電膜50は、直径70mm、厚さ50μmの円形薄膜状を呈している。誘電膜50は、延伸率50で二軸方向に延伸された状態で配置されている。ここで、延伸率は、次式IIにより算出した値である。延伸率={√S2/S1-1}×100II[S1:延伸前自然状態の誘電膜面積、S2:二軸方向延伸後の誘電膜面積]一対の電極51a、51bは、誘電膜50を挟んで上下方向に対向するよう配置されている。電極51a、51bは、直径約27mm、厚さ20μmの円形薄膜状を呈しており、各々、誘電膜50と略同心円状に配置されている。電極51a、51bは、実施例または比較例の導電膜からなる。電極51aの外周縁には、拡径方向に突出する端子部510aが形成されている。端子部510aは矩形板状を呈している。同様に、電極51bの外周縁には、拡径方向に突出する端子部510bが形成されている。端子部510bは矩形板状を呈している。端子部510bは、端子部510aに対して、180°対向する位置に配置されている。端子部510a、510bは、各々、導線を介して電源52に接続されている。電極51a、51b間に電圧を印加すると、電極51a、51b間に静電引力が生じて、誘電膜50を圧縮する。これにより、誘電膜50の厚さは薄くなり、拡径方向に伸長する。この時、電極51a、51bも、誘電膜50と一体となって拡径方向に伸長する。電極51aには、予め、マーカー530が取り付けられている。マーカー530の変位を、変位計53により測定し、アクチュエータ5の変位量とした。次に、アクチュエータの応答性の評価方法について説明する。まず、電界強度40V/μmの電圧を印加して、変位量を測定した。電界強度は、印加電圧を誘電膜の厚さで除した値である。次に、測定された変位量から、次式IIIにより変位率を算出した。変位率=変位量/電極の半径×100IIIそして、変位率が4以上の場合には、応答性は良好表1、表2中、○印で示す、4未満の場合には、応答性は不良同、×印で示す、と評価した。評価結果を、上記表1、表2にまとめて示す。表1、表2に示すように、実施例の導電膜を用いたアクチュエータについては、いずれも応答性は良好であることが確認された。