"シリコン基板に形成された駆動素子上に有機EL層を形成し、その後、前記有機EL層上にカラーフィルタを形成することを特徴とする有機EL素子一体型カラーフィルタの製造方法。前記カラーフィルタを形成する方法がフォトリソ法であり、カラーフィルタを構成する着色感光性樹脂組成物を塗布、マスク露光、現像工程によりパターン形成した後、ブリーチングならびにベーキング工程を施すことを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子一体型カラーフィルタの製造方法。前記有機EL層とカラーフィルタとの間に平坦層を設けることを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL素子一体型カラーフィルタの製造方法。本発明の目的は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シリコン基板に形成した有機EL層の上に、有機EL層に損傷を与えることなくフォトリソ法により直接カラーフィルタを形成することで、画像の超高解像度、超高速応答に対応することができる有機EL素子一体型カラーフィルタの製造方法に関する。本発明の請求項1に係る発明は、シリコン基板に形成された駆動素子上に有機EL層を形成し、その後、前記有機EL層上にカラーフィルタを形成することを特徴とする有機EL素子一体型カラーフィルタの製造方法である。このようにシリコン基板に形成された駆動素子上に、直接有機EL層を形成し、かつ、さらに直接カラーフィルタを形成することで、超高解像度、超高速応答に対応することができる。また、本発明の請求項2に係る発明は、前記直接カラーフィルタを形成する方法がフォトリソ法であり、カラーフィルタを構成する着色感光性樹脂組成物を塗布、マスク露光、現像工程によりパターン形成した後、ブリーチングならびにベーキング工程を施すことを特徴とする有機EL素子一体型カラーフィルタの製造方法である。このようにカラーフィルタのパターン形成後に、高温加熱法ではなくUV紫外線によるブリーチングや低温ベーキング工程を施すことで、耐熱性の弱い有機EL層上に直接カラーフィルタを形成することができる。また、本発明の請求項3に係る発明は、前記有機EL層とカラーフィルタとの間に平坦層を設けることを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL素子一体型カラーフィルタの製造方法である。以上の発明により、シリコン基板に形成した有機EL層の上に、有機EL層に損傷を与えることなくフォトリソ法により直接カラーフィルタを形成することで、画像の超高解像度、超高速応答に対応することができる有機EL素子一体型カラーフィルタを製造することができる。以下に本発明の具体的な説明を詳述する。図1は、本発明の有機EL素子一体型カラーフィルタの一実施形態の断面図を示す。図1に示すように、本発明はシリコン基板1に白色発光有機EL層2を形成し、次に前記白色発光有機EL層2の上に、平坦層3プレーナーを介して、カラーフィルタ4を形成してなる有機EL素子一体型カラーフィルタの製造方法である。なお、平坦層プレーナー3は、必ずしも設ける必要はないが、設けた場合には、前記白色発光有機EL層の微細な凹凸面を平坦化することができる。本発明に係る前記白色発光有機EL層は、発光物質を含む有機発光単層、あるいは多層で形成することができる。多層で形成される場合は、たとえば一般的な正孔輸送層、電子輸送性有機発光層、電子輸送層が順次積層してなる3層構成、さらには正孔電子注入層、正孔電子輸送層と注入機能と輸送機能を分けた層を設けたり、あるいは正孔電子輸送をブロックする層を設けたりする多層構成でもよい。また、本発明に係る平坦層プレーナー3は、必ずしも設ける必要はないが、前記平坦層を設けた場合には、前記白色発光有機EL層の微細な凹凸面を平坦化することができ、紫外線硬化型樹脂が好ましく、必要に応じては熱硬化型樹脂を併用してもよい。前記紫外線硬化型樹脂としては特に限定するものではないが、i線波長365nmに感度を示すアクリル系樹脂が好ましい。また、本発明に係るカラーフィルタ形成用の着色感光性樹脂組成物とは、少なくとも顔料、透明樹脂、光重合性モノマー、光開始剤および溶剤からなり、フォトリソ法によりパターン形成されるものであれば特に限定するものではない。本発明は、前記白色発光有機EL層2の上に前記カラーフィルタ4形成用の着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタ4を形成する方法を特徴としている。すなわち、カラーフィルタ形成工程での熱履歴を極力少なくして、前記白色発光有機EL層2の熱による損傷を防ぐことを特徴としている。図1に示す一実施形態を例により具体的に説明する。シリコン基板1上に形成された前記白色発光有機EL層2の上に、紫外線硬化型樹脂からなる平坦層プレーナー3を塗布し、その後、i線波長365nmを5,000J/m2~30,000J/m2照射してブリーチングを行い、さらに90°C~120°Cのベーキング加熱オーブンにて処理により平坦層を硬化する。次に、青色感光性樹脂組成物の塗布、パターンマスクを介しての露光、現像、水洗および乾燥工程を経て青色層Bを仮形成し、その後、i線波長365nmを5,000J/m2~30,000J/m2照射してブリーチングを行い、さらに90°C~120°Cのベーキング加熱オーブンにて処理により硬化を終了し、青色層B形成する。その後、青色層Bと同様にして、緑色層G、赤色層Rを形成して、本発明の有機EL素子一体型カラーフィルタを作製する。なお、本発明で云うブリーチングとは、i線波長365nmを5,000J/m2~30,000J/m2照射して紫外線硬化型樹脂を硬化させる工程であり、また、ベーキングとは、90°C~120°Cの加熱オーブン処理により樹脂をレベリングさせる工程である。以下に、実施例により具体的に説明する。シリコン基板に形成された駆動素子上に、正孔輸送層、電子輸送性有機発光層、電子輸送層を順次積層して白色発光有機EL層を形成した。次に、前記白色発光有機EL層上にアクリル系紫外線硬化型樹脂組成物富士薬品工業社製を、硬化後の膜厚が0.07μmになるようにスピンナーで塗布し、波長365nmの紫外線を12,000J/m2照射し、さらに、加熱オーブンを用いて120°C、540秒間加熱して平坦層を形成した。次に、前記平坦層の上に、アクリル系顔料レジストである青色感光性樹脂組成物を、硬化仕上がりの膜厚が1.2μmになるようにスピンナーで塗布し、パターンマスクを介して紫外線露光、アルカリ現像、水洗および乾燥工程を経てカラーフィルタの青色層Bを仮形成した。その後、波長365nmの紫外線を12,000J/m2照射してブリーチングを行い、さらに、加熱オーブンを用いて120°C、540秒間加熱して硬化して、カラーフィルタの青色層Bの形成を完了した。次に、上述のカラーフィルタの青色層Bの形成方法と同様にして、アクリル系顔料レジストである緑色感光性樹脂組成物を、硬化仕上がりの膜厚が2.0μmになるようにスピンナーで塗布し、パターンマスクを介して紫外線露光、アルカリ現像、水洗および乾燥工程を経てカラーフィルタの緑色層Gを仮形成した。その後、波長365nmの紫外線を12,000J/m2照射してブリーチングを行い、さらに、加熱オーブンを用いて120°C、540秒間加熱して硬化して、カラーフィルタの緑色層Gの形成を完了した。さらに、上述のカラーフィルタの青色層Bの形成方法と同様にして、アクリル系顔料レジストである赤色感光性樹脂組成物を、硬化仕上がりの膜厚が2.2μmになるようにスピンナーで塗布し、パターンマスクを介して紫外線露光、アルカリ現像、水洗および乾燥工程を経てカラーフィルタの赤色層Rを仮形成した。その後、波長365nmの紫外線を12,000J/m2照射してブリーチングを行い、さらに、加熱オーブンを用いて120°C、540秒間加熱して硬化して、カラーフィルタの赤色層Rの形成を完了して有機EL素子一体型カラーフィルタを作製した。上記で得られた有機EL素子一体型カラーフィルタの外観検査を行ったところ、設計通りの高精細な形状のカラーフィルタが確認できた。また、有機EL素子一体型カラーフィルタより観察される画像の損傷は確認されなかった。"