"テストチャンバの接続のためのテスト入口10、テストガス検出器11に接続された高真空ポンプ12、及び少なくとも2つのポンプステージ22,23を含むプレ真空ポンプ20を備える漏れ検出装置において、前記プレ真空ポンプの前記ポンプステージ22,23間にタップ25が設けられ、かつ、前記ポンプステージは直列で、または並列で選択的に操作可能であることを特徴とする漏れ検出装置。弁装置V2は前記プレ真空ポンプ20の前記ポンプステージ22,23間に設けられ、前記弁装置は、第1状態にあるとき、前記第1ポンプステージ22の出口を前記第2ポンプステージ23の入口に接続し、第2状態にあるとき、前記第1ポンプステージ22の出口を前記第2ポンプステージ23の出口に接続することを特徴とする請求項1に記載の漏れ検出装置。バイパス弁V4は、前記テスト入口10を前記第2ポンプステージ23の入口に接続するために動作可能であり、かつ、前記バイパス弁V4は、前記弁装置V2が前記弁装置V2の第2状態にあるとき開弁していることを特徴とする請求項2に記載の漏れ検出装置。前記漏れ検出装置は、前記テスト入口10が前記高真空ポンプ12の中間コネクタ29に接続された逆流漏れ検出器であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の漏れ検出装置。前記プレ真空ポンプ20の前記2つのポンプステージ22,23は共通の駆動部35によって同期して駆動され、かつ、前記駆動部は、前記テストチャンバに含まれるガスを排気するために高回転数が設定され、排気プロセスが終了した後、低回転数が設定されるように制御されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の漏れ検出装置。前記各回転数は、前記テスト入口10の圧力PEに依存して選択されることを特徴とする請求項5に記載の漏れ検出装置。図1は、本発明にかかる漏れ検出装置の概略図である。ここで図示された漏れ検出装置は、逆流漏れ検出器である。この検出装置は、テストの検査サンプルが配置される図示されていないテストチャンバの接続用のテスト入口10を備えている。漏れ気密性がテストされる検査サンプルは、例えばヘリウムのようなテストガスで満たされ、テストチャンバは、排気プロセスによって真空排気される。高真空を生成した後、テストガスが検査サンプルからテストチャンバに漏れたかテストガス検出器11を用いて検出される。前記テストガス検出器11は、第1ポンプステージ13及び第2ポンプステージ14を備える高真空ポンプ12に接続されている。第1ポンプステージは、望ましくはターボ分子ポンプであり、第2ポンプステージ14は、分子ポンプである。両ポンプステージは、直列で操作される。第2ポンプステージ14の出口は、切り替え可能な弁V1を介してプレ真空ポンプ20の入口21に接続されている。プレ真空ポンプ20は、第1ポンプステージ22及び第2ポンプステージ23からなっている。第2ポンプステージ23の出口は、大気に通じるプレ真空ポンプ20の出口24を形成する。テスト入口10は、導入管26に接続されている。この導入管から、入口弁V5が設けられた第1支管27が、高真空ポンプ12の第1ポンプステージ13の中間コネクタ29につながっている。流入した量の流れにテストガスを放出するようになっている校正されたテストガス源を含むテストリーク28も前記中間コネクタに接続されている。導入管26からの第2支管30は、遮断弁V3を介してプレ真空ポンプ30の第1ポンプステージ22の入口につながっている。第3支管31は、導入管26からバイパス弁V4を介して第2ポンプステージ23の入口につながっている。第1ポンプステージ22と第2ポンプステージ23との間には、内部でコネクタ1,2,3を有する三方弁として形成された弁装置V2が配置されている。コネクタ3は、ポンプステージ22,23間の中間コネクタ29を形成する。弁装置は、通過位置1-2とブランチオフ位置1-3との間で切り替えることができる。弁装置V2が前記通過位置1-2にあるならば、バイパス弁V4は閉じられる。弁装置V2がブランチオフ位置1-3にあるならば、バイパス弁V4は開いた状態にある。この方法で、ポンプステージ22,23は、直列操作と並列操作との間で切り替えることができる。直列操作では、弁装置V2は、通過位置1-2にある。並列操作では、弁装置V2は、ブランチオフ位置1-3にある。並列操作で作り出した流路は、32及び33によって記されている。これらの流路の一方である32は、ポンプステージ22を通り、並列路34を通って第2ポンプステージ23の近傍で出口24につながっている。他方の並列路33は、導入管26から第1ポンプステージ22を越えて、バイパス弁V4につながり、バイパス弁V4から第2ポンプステージ23につながっている。2つのポンプステージ22,23は、例えばロータリーベーン真空ポンプのような変位ポンプである。ポンプステージは、共通のハウジングブロックを有することができる。必要な弁は、外部に配置することもできるし、あるいはハウジングブロックに一体化することもできる。ポンプステージ22,23は、回転数が制御されたエンジンとして実現された共通の駆動部35によって駆動される。前記駆動部は、圧力センサ36によって得られるテスト入口10の圧力PEに依存して制御される。テスト入口10の圧力が制限値を超える限り、プレ真空ポンプ20のポンプステージ22,23は、並列操作で作動される。圧力が制限値以下に低下すると、ポンプステージは、直列操作で作動される。圧力センサ36は、駆動部35の回転数を制御する。別の圧力センサ37がこの位置に広がる圧力を測定するために高真空ポンプ12の出口に配置されている。この圧力は、通常、10mbar未満である。高真空ポンプ12のポンプステージ13の中間コネクタ29での圧力は、通常、0.1mbar未満であり、テストガス検出器11の圧力は、10-4mbar未満である。導入管26は、導入管26に接続された通気弁V0を有している。したがって、操作終了後、真空領域に通気できる。"