"測定物上に設けられた一つのターゲットの空間座標を求めるレーザートラッカーであって、前記ターゲットに対しレーザービームを照射するレーザー光源と、移動するターゲットに対し、前記レーザービームを直交する2軸回りにそれぞれ角度調整可能な角度調整手段と、この角度調整手段で調整した角度を検出して検出角度をパルスで出力する角度検出手段と、前記ターゲットで反射されたレーザービームの反射光の位置情報を認識する受光部と、前記ターゲットで反射されたレーザービームの反射光を受光し、前記レーザー光源の照射するレーザービームと受光した反射光とから前記ターゲットまでの距離を測定して測定距離をパルスで出力する距離測定手段と、前記角度検出手段により検出された検出角度および前記距離測定手段で測定した測定距離をそれぞれ処理する情報処理手段とを有し、この情報処理手段は、前記角度検出手段で検出された検出角度または前記距離測定手段で測定された測定距離の出力であるパルス数をカウントする複数のカウンタを含み、これら複数のカウンタをターゲットの移動速度に応じて切換可能とし、前記角度検出手段または前記距離測定手段と、情報処理手段におけるいずれかのカウンタとの間に、前記カウンタに入力するパルスを整数分の1に分周するプリスケーラを設けたことを特徴とするレーザートラッカー。請求項1において、前記情報処理手段は、複数のカウンタの同期を取るものとしたレーザートラッカー。請求項1または請求項2において、前記情報処理手段は、複数のカウンタに代えて、一つのカウンタと一つのパラレルポートを含むものとし、プリスケーラを前記カウンタに接続すると共に前記パラレルポートに接続したレーザートラッカー。請求項3において、前記情報処理手段は、ターゲットの移動速度に応じて、プリスケーラの分周比を切替可能に構成したレーザートラッカー。請求項1ないし請求項4のいずれか1項において、前記カウンタおよびプリスケーラを、測定原点でリセットするものとしたレーザートラッカー。図6に示すレーザートラッカーにおいて、ターゲットTgが高速で水平方向に移動する場合、レーザービームLbをターゲットTgに追従させるため、θ軸モータ50を高速で回転させ、エンコーダ51により高速な位置情報を得なければならない。また、ターゲットTgが高速で垂直方向に移動する場合、レーザービームLbをターゲットTgに追従させるため、ψ軸モータ52を高速で回転させ、エンコーダ53により高速な位置情報を得なければならない。さらに、ターゲットTgが高速で接近、あるいは遠ざかる場合は、レーザー測長器54により高速な位置情報を得なければならない。いずれの場合も、通常レーザートラッカーでは、位置信号をパルスで出力する場合、分解能を細かく設定している。そのため、各エンコーダ51,53やレーザー測長器54の出力パルス周波数は大きな値となる。そのため、その信号を入力する情報処理手段のカウンタの最高周波数を超えて、誤った位置情報となる場合がある。したがって、これらの3点から、ターゲットTgの移動速度は制限を受けており、測定器として使用する場合不都合となる。この発明の目的は、ターゲットが移動するとき、精度を保ちながら、レーザービームをターゲットに、より高速で追従させるレーザートラッカーを提供することである。この発明のレーザートラッカー1は、測定物W上に設けられた一つのターゲットTgの空間座標を求めるレーザートラッカー1であって、前記ターゲットTgに対しレーザービームLbを照射するレーザー光源2と、移動するターゲットTgに対し、前記レーザービームLbを直交する2軸回りにそれぞれ角度調整可能な角度調整手段3と、この角度調整手段3で調整した角度を検出して検出角度をパルスで出力する角度検出手段4と、前記ターゲットTgで反射されたレーザービームLbの反射光の位置情報を認識する受光部5と、前記ターゲットTgで反射されたレーザービームLbの反射光を受光し、前記レーザー光源2の照射するレーザービームLbと受光した反射光とから前記ターゲットTgまでの距離を測定して測定距離をパルスで出力する距離測定手段6と、前記角度検出手段4により検出された検出角度および前記距離測定手段6で測定した測定距離をそれぞれ処理する情報処理手段7とを有する。この情報処理手段7は、前記角度検出手段4で検出された検出角度または前記距離測定手段6で測定された測定距離の出力であるパルス数をカウントする複数のカウンタ23A,23B、24A,24B、25A,25Bを含み、これら複数のカウンタをターゲットTgの移動速度に応じて切換可能とし、前記角度検出手段4または前記距離測定手段6と、情報処理手段7におけるいずれかのカウンタとの間に、前記カウンタに入力するパルスを整数分の1に分周するプリスケーラ8を設けたことを特徴とする。この構成によると、レーザー光源2から発せられたレーザービームLbは、角度調整手段3を経由してターゲットTgに到達する。このターゲットTgで反射されたレーザービームLbの反射光は、略同じ経路を通り照射元のレーザートラッカー1に戻る。受光部5は、反射光の位置情報、つまり反射光の基準位置に対する位置ずれ量を認識する。角度検出手段4は、角度調整手段3で調整した角度を検出して検出角度をパルスで出力する。距離測定手段6は、レーザー光源2の照射するレーザービームLbと受光した反射光とからターゲットTgまでの距離を測定して測定距離をパルスで出力する。情報処理手段7は、前記検出角度および前記測定距離のパルスによる位置信号を処理してターゲットTgの空間座標に換算する。ここで、ターゲットTgの各軸の移動速度をv、分解能をrとすると、位置パルス周波数fはf=rvの関係にあり、移動速度vを上げると、位置パルス周波数fが大きくなる関係になる。また、制御部は一般的に最大入力周波数fmaxが決まっており、常に、f<fmaxでなければならない。ただし、移動速度vを上げるために、分解能rを落とすことは、精度が低下するため好ましくない。この問題を解決するため、この発明のレーザートラッカー1では、角度検出手段4または距離測定手段6と、情報処理手段7におけるいずれかのカウンタとの間に、パルスを分周するプリスケーラ8を設けている。プリスケーラ8の分周数をnとすると、プリスケーラ8の出力周波数は1/nとなり、情報処理手段7での信号周波数finが低下する。fin=f/nこれは、最大入力周波数fmaxがn倍になったものに相当し、最大移動速度vがn倍になる。つまりプリスケーラ8を設けることで、検出角度および測定距離の速度がそれぞれn倍になり、ターゲットTgの移動可能速度がn倍になる。換言すれば、プリスケーラ8から出力されるパルスが入力されるカウンタでは、従来の1/nの分解能、n倍の速度で処理することができる。他のカウンタでは、従来と同等の分解能、従来と同等の速度で処理することができる。前記情報処理手段7は、複数のカウンタA,Bの同期を取るものとしても良い。具体的には、一方のカウンタBにて出力されるパルスのエッジEg、つまりパルスのH1信号とL1信号との境において、カウンタAでカウントするパルス数のカウント値をリセットする。情報処理手段7が、角度検出手段4または距離測定手段6に直接接続されたカウンタAと、角度検出手段4または距離測定手段6にプリスケーラ8を介して接続されたカウンタBとを有する場合、ターゲットTgの移動速度が低速のとき、カウンタAを使用して従来と同等の分解能で処理する。ターゲットTgの移動速度が高速のときには、カウンタBを使用し、プリスケーラ8の分周数倍の速度で処理することができる。例えば、情報処理手段7は、常時、カウンタBのエッジEgを検出しておき、エンコーダ等から出力されるパルスに基づき、単位時間当たりのパルス数つまり移動速度が高速から低速に移行したとの判断により、カウンタBのエッジEgでカウンタAのカウント値をリセットする。これにより、高速時に最大入力周波数fmaxを超え、データの信頼性の無くなったカウンタAと、分解能の粗いカウンタBの同期を取り、高分解能で信頼性の高いデータとすることができる。前記情報処理手段7Aは、複数のカウンタに代えて、一つのカウンタと一つのパラレルポート26を含むものとし、プリスケーラ8を前記カウンタに接続すると共に前記パラレルポート26に接続したものとしても良い。この場合、プリスケーラ8からのパルスを入力したカウンタでは、従来の1/nの分解能、n倍の速度で処理することができる。またプリスケーラ8からは、n分周した余りのパルスをパラレルデータとして出力する。このパラレルデータは、情報処理手段7Aにおけるパラレルポート26に入力される。したがって情報処理手段7Aは、必要に応じて、カウンタの値とパラレルデータとを組み合わせて、カウンタだけでは従来の1/nに低下した分解能を従来と同等の分解能にして処理することができる。前記情報処理手段7,7Aは、ターゲットTgの移動速度に応じて、プリスケーラ8の分周比を切替可能に構成しても良い。この場合、最適な分周比で運用することができる。前記カウンタおよびプリスケーラ8を、測定原点でリセットするものとしても良い。測定原点において、カウンタだけでなく、プリスケーラ8もリセットして、カウント値と余りを0にすることで、測定原点からの絶対値も相対値と同様に小さな誤差とすることができる。この発明のレーザートラッカーは、測定物上に設けられた一つのターゲットの空間座標を求めるレーザートラッカーであって、前記ターゲットに対しレーザービームを照射するレーザー光源と、移動するターゲットに対し、前記レーザービームを直交する2軸回りにそれぞれ角度調整可能な角度調整手段と、この角度調整手段で調整した角度を検出して検出角度をパルスで出力する角度検出手段と、前記ターゲットで反射されたレーザービームの反射光の位置情報を認識する受光部と、前記ターゲットで反射されたレーザービームの反射光を受光し、前記レーザー光源の照射するレーザービームと受光した反射光とから前記ターゲットまでの距離を測定して測定距離をパルスで出力する距離測定手段と、前記角度検出手段により検出された検出角度および前記距離測定手段で測定した測定距離をそれぞれ処理する情報処理手段とを有する。この情報処理手段は、前記角度検出手段で検出された検出角度または前記距離測定手段で測定された測定距離の出力であるパルス数をカウントする複数のカウンタを含み、これら複数のカウンタをターゲットの移動速度に応じて切換可能とし、前記角度検出手段または前記距離測定手段と、情報処理手段におけるいずれかのカウンタとの間に、前記カウンタに入力するパルスを整数分の1に分周するプリスケーラを設けたため、ターゲットが移動するとき、精度を保ちながら、レーザービームをターゲットに、より高速で追従させることができる。この発明の第1の実施形態を図1ないし図4と共に説明する。この実施形態に係るレーザートラッカーは、測定物上に設けられた一つのターゲットの動きに追従し、空間座標を求めるものである。以下の説明は、空間座標測定方法についての説明をも含む。図1に示すように、この例では、前記ターゲットTgは、測定物W上の一箇所に静止した状態で取り付けられるものである。ターゲットTgとして、例えば、球状のレトロリフレクターが用いられる。ただし、球状のレトロリフレクターに限定されるものではない。レーザートラッカー1は、主に、レーザー光源2、角度調整手段3、角度検出手段4、受光部5、距離測定手段6、情報処理手段7図2、プリスケーラ8図2、および制御手段9を有する。レーザー光源2は、ターゲットTgにレーザービームLbを照射させるものであり、距離測定手段6は、前記ターゲットTgで反射したレーザービームLbを用いて前記ターゲットTgまでの距離を測定するものである。距離測定手段6として、例えば、干渉計または絶対距離計等から成る測長器が使用される。前記レーザー光源2および測長器は、一体化した機器であるレーザー測長器を構成して例えば筒状のケーシング10の内部に収容される。前記角度調整手段3は、移動するターゲットTgに対し、レーザービームLbを直交する2軸回りにそれぞれ角度調整可能なものであり、θ軸モータ11、ψ軸モータ12、および光学機器であるハーフミラー13,ミラー14を有する。θ軸モータ11,ψ軸モータ12におけるθ軸Y軸,ψ軸X軸は直交する2軸であり、θ軸が筒状の前記ケーシング10の軸心と平行に配置される。回転体15は、ケーシング10の上端部において旋回軸受等を介してこのケーシング10に対し相対的にθ軸回りに角変位可能に構成されている。回転体15は、θ軸モータ11によりケーシング10に対し相対的に回転駆動可能に構成される。例えば、θ軸モータ11のモータ本体が、ケーシング10の上端部における略中央部に固定され、θ軸モータ11のモータ軸が、図示外の駆動力伝達手段等を介して回転体15の下端部に連結される。回転体15の上端部に、凹形状のフレーム16を介してψ軸モータ12が支持されている。ψ軸モータ12の軸心は、θ軸に直交するψ軸に平行であり、前記ミラー14は、このψ軸モータ12の軸に取付けられ、モータ12によって角度が変えられる。なお、ケーシング10の上端部、回転体15、およびフレーム16には、レーザービーム反射光も含むLbを通す孔hが形成されている。前記角度検出手段4は、角度調整手段3で調整した角度を検出して検出角度をパルスで出力するものであり、θ軸エンコーダ17およびψ軸エンコーダ18を有する。θ軸エンコーダ17は、ターゲットTgにおける測定原点からのθ軸回りの検出角度をパルスで出力する。ψ軸エンコーダ18は、ターゲットTgにおける測定原点からのψ軸回りの検出角度をパルスで出力する。またこの例では、θ軸エンコーダ17はθ軸モータ11に一体に設けられ、ψ軸エンコーダ18はψ軸モータ12に一体に設けられている。レーザー光源2から発せられたレーザービームLbは、ハーフミラー13を透過し、ミラー14で反射した後前記ターゲットTgに到達する。このターゲットTgで反射したレーザービームLbつまり反射光は、略同じ経路を通り照射元のレーザートラッカー1に戻り、前記ハーフミラー13で反射され、ケーシング10内に配置された受光部5に到達する。この受光部5は、レーザービームLbの反射光の位置情報を認識するものであり、例えば、半導体位置検出素子略称PSDまたは4分割フォトダイオード等により構成される。前記反射光の位置情報とは、受光部5上での直交する2軸方向におけるレーザースポットの変位量を表す。制御手段9は、この受光部5に到達した反射光が同受光部5の中心に戻るように、θ軸モータ11,ψ軸モータ12を制御する。レーザートラッカー1に戻った反射光の一部は、ハーフミラー13で反射されずに距離測定手段6に入り、この距離測定手段6は、反射光を受光しレーザー光源2の投光するレーザービームLbと受光した反射光とからターゲットTgまでの距離を測定して測定距離をパルスで出力する。図2に示すように、制御手段9は、θ軸制御部19と、ψ軸制御部20と、θ軸ドライバ21と、ψ軸ドライバ22とを有する。θ軸制御部19,ψ軸制御部20は、例えばマイクロコンピュータやその他の電子機器で構成される。θ軸制御部19,ψ軸制御部20は、それぞれ受光部5からの上記位置情報の信号に基づいて、θ軸ドライバ21,ψ軸ドライバ22に、常にレーザービームLbが受光部中心に戻るように指令する。θ軸モータ11,ψ軸モータ12は指令値に基づいてミラー14を直交するθ軸,ψ軸回りに角変位させる。これによりミラー14を常に適切な方向に向ける。θ軸制御部19、ψ軸制御部20には、それぞれ、固定されたゲインΚθ、Κψが設定されている。制御手段9は、受光部表面に到達したレーザースポットの位置情報に、ゲインΚθ、Κψを用いて、角度調整手段3による角度を制御する。図2、図3に示すように、情報処理手段7は、角度検出手段4により検出された検出角度および距離測定手段6で測定した測定距離をそれぞれ処理するものである。この情報処理手段7は、θ軸カウンタ23、ψ軸カウンタ24、および位置カウンタ25を含む。図2に示すように、θ軸カウンタ23は、θ軸エンコーダ17に電気的に接続され、このθ軸エンコーダ17で検出されたθ軸の検出角度の出力であるパルス数をカウントする。このθ軸カウンタ23は2個のカウンタ23A,23Bを含み、これらのうちカウンタ23Bは、同カウンタ23Bに入力するパルスを整数分の1に分周するプリスケーラ8を介して、θ軸エンコーダ17に接続されている。カウンタ23A,23Bは、ターゲットTgのθ軸回りの移動速度に応じて切換可能に構成されている。図2に示すように、制御手段9は、θ軸エンコーダ17から出力されるパルスに基づいて、カウンタ23A,23Bのいずれか一方を選択するように切換制御する。例えば、制御手段9は、ターゲットTgの移動速度である単位時間あたりのパルス数に基づき、ターゲットTgのθ軸回りの移動速度が定められた速度閾値よりも低速であると判断したときカウンタ23Aを選択し、ターゲットTgのθ軸回りの移動速度が高速であると判断したときプリスケーラ8が介在するカウンタ23Bを選択する。例えば、単位時間あたりのパルス数が定められた値以上になったと制御手段9が判断したとき、制御手段9はカウンタ23Bを選択する。前記定められた値は任意に設定することが可能である。なお、この例では、制御手段9によりカウンタ23A,23Bの切換を制御しているが、情報処理手段7が、ターゲットTgの移動速度の判定を行うと共にカウンタ23A,23Bの切換を制御する制御部を有する構成にしても良い。図2に示すように、ψ軸カウンタ24は、ψ軸エンコーダ18に電気的に接続され、このψ軸エンコーダ18で検出されたψ軸の検出角度の出力であるパルス数をカウントする。このψ軸カウンタ24は2個のカウンタ24A,24Bを含み、カウンタ24Bはプリスケーラ8を介してψ軸エンコーダ18に接続されている。前記カウンタ24A,24Bは、ターゲットTgのψ軸回りの移動速度に応じて切換可能とされ、制御手段9は、前記と同様に、ψ軸エンコーダ18から出力されるパルスに基づいて、ターゲットTgのψ軸回りの移動速度が低速であると判断したときカウンタ24Aを選択し、移動速度が高速であると判断したときカウンタ24Bを選択する。位置カウンタ25は、前記距離測定手段6としてのレーザ測長器に電気的に接続され、このレーザ測長器で測定された測定距離の出力であるパルス数をカウントする。この位置カウンタ25も2個のカウンタ25A,25Bを含み、カウンタ25Bはプリスケーラ8を介してレーザ測長器に接続されている。カウンタ25A,25Bは、ターゲットTgがレーザートラッカー1に対し接近または遠ざかる移動速度に応じて切換可能とされ、制御手段9は、出力されるパルスに基づいて、ターゲットTgの移動速度が低速であると判断したときカウンタ25Aを選択し、移動速度が高速であると判断したときカウンタ25Bを選択する。したがって情報処理手段7は、θ軸エンコーダ17、ψ軸エンコーダ18、およびレーザ測長器からのパルスによる位置信号を処理してターゲットTgの空間座標に換算する。ここで、ターゲットTgの各軸の移動速度をv、分解能をrとすると、位置パルス周波数fはf=rvの関係にあり、移動速度vを上げると、位置パルス周波数fが大きくなる関係になる。また、制御部は一般的に最大入力周波数fmaxが決まっており、常に、f<fmaxでなければならない。ただし、移動速度vを上げるために、分解能rを落とすことは、精度が低下するため好ましくない。この問題を解決するため、この実施形態に係るレーザートラッカー1では、前述のプリスケーラ8を設けている。プリスケーラ8の分周数をnとすると、プリスケーラ8の出力周波数は1/nとなり、情報処理手段7での信号周波数finが低下する。fin=f/nこれは、最大入力周波数fmaxがn倍になったものに相当し、最大移動速度vがn倍になる。つまりプリスケーラ8を設けることで、検出角度および測定距離の速度がそれぞれn倍になり、ターゲットTgの移動可能速度がn倍になる。換言すれば、プリスケーラ8から出力されるパルスが入力されるカウンタ23B,24B,25Bこれらを総称してカウンタBと称すでは、従来の1/nの分解能、n倍の速度で処理することができる。他のカウンタ23A,24A,25Aこれらを総称してカウンタAと称すでは、従来と同等の分解能、従来と同等の速度で処理することができる。したがって、ターゲットTgの移動速度が低速の場合、プリスケーラ8の介在しないカウンタAを使用して従来と同等の分解能とし、ターゲットTgの移動速度が高速の場合、カウンタBを使用して従来よりもn倍の速度で処理することができる。図4は、このレーザートラッカーにおいて、各軸カウンタおよび位置カウンタにつき、それぞれプリスケーラ8と、2つのカウンタA,Bを用いる例のタイミングチャートである。各プリスケーラ8は、前記のようにカウンタBに接続されるものとする。ターゲットTgの移動速度が高速から低速に移行した場合、同図4に示すように、カウンタBにて出力されるパルスのエッジEg、つまりパルスのH1信号とL1信号との境において、カウンタAでカウントするパルス数のカウント値をリセットする。この場合、例えば、情報処理手段7に設けた制御部により、常時、カウンタBのエッジEgを検出する。エンコーダ等から出力されるパルスに基づき移動速度が高速から低速に移行したとの前記制御部の判断により、前記制御部は、カウンタBのエッジEgでカウンタAのカウント値をリセットする。これにより、高速時に最大入力周波数fmaxを超え、データの信頼性の無くなったカウンタAと、分解能の粗いカウンタBの同期を取り、高分解能で信頼性の高いデータとすることができる。カウンタAのカウント値をm、カウンタBのカウント値をLとすれば、総合したカウント値Kは、分周数nにカウント値Lを乗じたnLに、カウント値mを加えた値となる、K=nLmと表せる。また、カウンタBの立ち上がりエッジで、カウンタAのカウント値をリセットする代わりに、カウンタAに、分周数nにカウント値Lを乗じたnLをプリセットすれば、ターゲットTgの移動速度が低速時や停止時に、カウンタAの信号はKとなり、カウンタBのエッジEgでカウンタAのカウント値をリセットした場合と同様の作用効果を奏する。この発明の他の実施形態を図5と共に説明する。情報処理手段7Aは、複数のカウンタに代えて、一つのカウンタAと一つのパラレルポート26を含むものとし、プリスケーラ8を前記カウンタAに接続すると共に前記パラレルポート26に接続した構成としても良い。この場合、プリスケーラ8からのパルスを入力したカウンタAでは、従来の1/nの分解能、n倍の速度で処理することができる。またプリスケーラ8からは、n分周した余りのパルスをパラレルデータとして出力する。このパラレルデータは、情報処理手段7Aにおけるパラレルポート26に入力される。したがって情報処理手段7Aは、必要に応じて、カウンタAの値とパラレルデータとを組み合わせて、カウンタAだけでは従来の1/nに低下した分解能を従来と同等の分解能にして処理することができる。パラレルデータをp、カウンタAのカウント値をLとすれば、総合したカウント値Kは、分周数nにカウント値Lを乗じたnLに、パラレルデータpを加えた値となる、K=nLpと表せる。また、測定原点で、カウンタAだけでなく、プリスケーラ8もリセットして、カウント値およびパラレルデータをそれぞれ0にすれば、測定原点からの絶対値も相対値と同様に小さな誤差とすることができる。さらに、2個のカウンタを使用する代わりに、1個のカウンタAをプリスケーラ8に接続し、ターゲットTgの移動速度によって分周比nを情報処理手段側から切換え、最適な分周比で運用できるようにすることもできる。簡単には、分周比をnと1で切換える。図2の例では、各軸エンコーダおよびレーザ測長器の次段にそれぞれプリスケーラ8を設けたが、この例に必ずしも限定されるものではない。例えば、θ軸,ψ軸エンコーダおよびレーザ測長器のいずれか一つの次段にプリスケーラ8を設けても良い。各軸カウンタおよび位置カウンタにつき、3個以上のカウンタを設け、ターゲットTgの移動速度に応じてこれらのカウンタを切換えるようにしても良い。"