ガラスの加熱加圧成形に用いられるモールド本体と、前記モールド本体における可動部材に当接可能に配置され、前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に基づく応力を開放するために破断可能な支持部材と、を備えるガラス成形用の成形型。前記モールド本体は、前記支持部材の一部を挿入可能な複数の孔及び/又は複数の溝を有する、請求項1に記載のガラス成形用の成形型。前記支持部材は、加熱加圧工程で前記可動部材を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、冷却工程で前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有する、請求項1又は2に記載のガラス成形用の成形型。前記支持部材の材質は、カーボンを含む、請求項1乃至3の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。前記モールド本体は、台板と、上下動可能である天板と、前記台板上に配置され、前記台板に対して相対移動可能である、前記可動部材としての側板と、を有する、請求項1乃至4の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。ガラスインゴットを収容する中空部を有し、当該中空部を、台板と、その上に配設された側板と、該側板同士の内側を上下動可能にされた天板とで囲むように構成されたガラス成形用の成形型であって、前記台板には、前記側板の外側に当接するように支持部材が配設されていて、前記側板は、前記台板に対して、その外側方向に相対移動可能に形成されていると共に、前記支持部材により前記側板の外側から支持されており、前記支持部材は、前記中空部に収容したガラスインゴットを加熱加圧して変形させる際に、前記ガラスインゴットから前記側板を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、加熱加圧して変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際に、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有することを特徴とするガラス成形用の成形型。前記台板には、前記側板の外側に当接する位置に沿って、複数の挿入孔が形成されており、前記支持部材は、前記複数の挿入孔に挿脱可能なピンで構成されていることを特徴とする請求項6に記載のガラス成形用の成形型。前記ガラスインゴットは、石英ガラスであることを特徴とする請求項6又は7に記載のガラス成形用の成形型。前記成形型は、カーボンで構成されていることを特徴とする請求項6乃至8の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。請求項1乃至9の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型と、ガラスインゴットの加熱手段及び加圧手段とを有することを特徴とするガラス成形装置。請求項10に記載のガラス成形装置を用いたガラス成形方法であって、成形型にガラスインゴットを収容し、加熱手段及び加圧手段により前記ガラスインゴットを加熱加圧して変形させ、変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって、前記台板に対して側板がその外側方向に相対移動し、これにより支持部材に剪断力が作用し、この剪断力に応じて、前記支持部材を破断させることを特徴とするガラス成形方法。請求項11に記載のガラス成形方法を用いてガラス成形体を得る工程を有していることを特徴とするフォトマスク基板の製造方法。ここで、前記したようなガラス塊を加熱加圧成形する場合には、成形型を使用して高温下でガラス塊を加圧成形した後、当該ガラス塊の冷却を行い、それから炉外へ取り出される。この冷却の際、ガラスと成形型の間には温度降下に伴う収縮量の差が生じる。すなわち、成形対象であるガラスよりも線膨張係数が大きい成形型を使用した場合、冷却時にガラス及び成形型の収縮が起こった際に、線膨張係数の差によって内部のガラスよりも外部の成形型の収縮量の方が大きくなる。その結果、過剰な応力が掛かり、成形型が破損、またはガラスが破損する現象が生じる。なお、これらの破損を防ぐ方法として、成形型は、そのサイズが大きいほど高温時からの収縮量が大きくなるため、その収縮量を加味した隙間を型側に設ける方法がある。しかしながら、成形型に隙間を設けることで成形中、粘性体となったガラスが隙間へ入り込み、必要な形状が得られない場合がある。あるいは、成形型の連結部隙間にガラスが入り込み、成形型を破損させてしまう、または、成形型の破損を誘導させてしまう等の問題が生じる場合がある。本発明に係る態様は、ガラスや成形型本体の破損を回避し、所望の形状にガラスを成形することができる成形型、ガラス成形装置、ガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法を提供することを目的とする。本発明の第1の態様は、ガラスの加熱加圧成形に用いられるモールド本体と、前記モールド本体における可動部材に当接可能に配置され、前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に基づく応力を開放するために破断可能な支持部材と、を備えるガラス成形用の成形型としたことを特徴とする。本発明の第2の態様は、ガラスインゴットを収容する中空部を有し、当該中空部を、台板と、その上に配設された側板と、該側板同士の内側を上下動可能にされた天板とで囲むように構成されたガラス成形用の成形型であって、前記台板には、前記側板の外側に当接するように支持部材が配設されていて、前記側板は、前記台板に対して、その外側方向に相対移動可能に形成されていると共に、前記支持部材により前記側板の外側から支持されており、前記支持部材は、前記中空部に収容したガラスインゴットを加熱加圧して変形させる際に、前記ガラスインゴットから前記側板を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、加熱加圧して変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際に、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有するガラス成形用の成形型としたことを特徴とする。また、本発明の第3の態様は、前記したガラス成形用の成形型と、ガラスインゴットの加熱手段及び加圧手段とを有するガラス成形装置としたことを特徴とする。また、本発明の第4の態様は、前記したガラス成形装置を用いたガラス成形方法であって、成形型にガラスインゴットを収容し、加熱手段及び加圧手段により前記ガラスインゴットを加熱加圧して変形させ、変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって、前記台板に対して側板がその外側方向に相対移動し、これにより支持部材に剪断力が作用し、この剪断力に応じて、前記支持部材を破断させるガラス成形方法としたことを特徴とする。また、本発明の第5の態様は、前記したガラス成形方法を用いてガラス成形体を得る工程を有しているフォトマスク基板の製造方法としたことを特徴とする。本発明の態様の成形型によれば、ガラスや成形型本体の破損を回避し、ガラスを所望の形状に成形することができる。以下、この発明の実施の形態の例について説明する。図1は、本実施の形態に係るガラス成形装置を示す断面図である。図2は、図1のガラス成形装置におけるガラス成形用の成形型を示す平面図である。図3は、図2のA-A断面図である。図4は、図3のガラス成形用の成形型においてガラスインゴットを変形させた状態を示す断面図である。図5は、図4のガラス成形用の成形型においてピンが折れた状態を示す断面図である。図6~図9は、ガラス成形用の成形型の他の例を示す斜視図である。本実施の形態のガラス成形装置1は、珪素化合物を原料として製造される合成石英ガラスのインゴットから半導体用マスクなどのフォトマスク基板や液晶用マスク、光学用の大型レンズ材料などを所望の形状に加熱成形させる装置である。このガラス成形装置1は、図1に示すように、金属製の真空チャンバ2の内壁に、全面にわたって設けられた断熱材3と、当該断熱材3の壁に配設されたカーボンヒータ加熱手段5を有する。真空チャンバ2内部の中央部には、カーボングラファイト製のガラス成形用の成形型10以下、成形型10というものとするが設置され、その上部にはシリンダ加圧手段4を有している。成形型10は、ガラス成形装置1の真空チャンバ2内部で台座6の上に配置されており、図2~5に示すように、台板14及び底板17を備えた底部を有している。この台板14及び底板17を含めた成形型10モールド本体は、前記したようにカーボングラファイト製であり、ガラスインゴット20Aよりも線膨張係数が大きい材質となっている。具体的には、合成石英ガラスの線膨張係数は5×10-7/°C程度、カーボングラファイトの線膨張係数は2~5×10-6/°C程度である。また、成形型10モールド本体は、ガラスインゴット20Aを収容する中空部19を有しており、当該中空部19を、台板14及び底板17と、その上に配設された側板11と、この側板11同士の内側を上下動可能にされた天板13とで囲むように構成されている。詳述すると、成形型10モールド本体には、台板14に対して相対移動可能に形成された側板11可動部材が設置されている。この側板11とボルト等で固定された側板ガイド12が、成形対象であるガラスインゴット20Aを直接プレスする天板13の自由移動を上下方向に制限する。なお、本実施の形態では、図2に示すように、台板14にはレール18が設けられており、このレール18に側板11が乗っている。台板14に対して、このレール18の方向すなわち、側板11の外側方向に、側板11が移動可能となっている。また、台板14における側板11の外側には、当該側板11に当接するようにピン支持部材15が配設されている。そして、このピン15は、側板11を外側から支持しかつ拘束する。特に、本実施の形態では、図2に示すように、台板14に、側板11の外側に当接する位置に沿って、複数の挿入孔16が形成されている。ピン15は、その複数の挿入孔16に挿脱可能なものとなっている。さらに、本実施の形態では、ピン15は、平面視略方形状に配置された成形型10における4つの側板11それぞれに対して、複数本ずつ配置されるようになっている。ここでは、各側板11に2本ずつピン15が配置されている。また、ピン15は、同じ種類のものを複数配置するようになっていても良い。あるいは、ピン15は、必要な強度等に応じて、異なる材質や形、径のものを組み合わせて配置するようになっていても良い。複数の挿入孔16は、その全ての挿入孔16が異なる形や径に対応可能例えば、孔の径が表面側から段階的に小さくなるような構成になっている等に構成されていても良い。あるいは、複数の挿入孔16は、挿入可能な形や径が互いに異なるように構成されていても良い。あるいは、それぞれの側板11毎に、配置するピン15の数を変化させるようになっていても良いすなわち、ある側板11と別の側板11との間でピン15の数が異なってもよい。ピン15は、中空部19に収容したガラスインゴット20Aを加熱加圧して変形させる際に、ガラスインゴット20Aから側板11を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、加熱加圧して変形させたガラスインゴット20Bを冷却する際に、成形型10の線膨張係数とガラスインゴット20Aの線膨張係数との差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有している。なお、本実施の形態では成形型10を構成する部材の線膨張係数は全て等しいものとする。この場合、台板14の横幅が最も大きいため、冷却時に生じる剪断力の大きさは台板14とガラスインゴット20Aの線膨張係数の差によって実質的に決定される。すなわち、ピン15は、中空部19に収容したガラスインゴット20Aを加熱加圧して変形させる際に、変形したガラスインゴット20Aから側板11に対して作用する圧力には、破断しないで耐えられる強度を有している。変形させたガラスインゴット20Bが冷却される際に、そのガラスインゴット20Bよりもカーボングラファイト製の成形型10の台板14の方が線膨張係数が大きいことにより、その横方向の縮み量が台板14の方が大きい。その結果、縮み量の小さいガラスインゴット20Bが縮み量の大きい台板14の上に配置された側板11を外側に向かって相対的に押す荷重が発生する。ピン15はこのときの負荷される荷重によって生じる剪断力により折れるような強度を有する。ガラスインゴット20Bの冷却時の成形型10の台板14との線膨張係数の差により荷重が負荷され、該荷重によって生じる剪断力でピン15が折れるようになっている。その結果、当該ガラスや成形型10が破損することを防止できる。また、ガラス成形装置1の上部には、前記したように、天板13を直接プレスするシリンダ加圧手段4が設置されている。このシリンダ4により、ガラスインゴット20Aを任意の厚さまで加圧して成形する。次に、この成形型10及び成形型10を備えたガラス成形装置1によるガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法について説明する。まず、図1及び図3に示すように、ガラス成形装置1における真空チャンバ2内部の台座6の上に、台板14、底板17、側板11、側板ガイド12を組み合わせて配置する。さらに、所定のピン15ここでは、1つの側板11に対してピン15を2つずつ配置を台板14に形成された挿入孔16に挿入する。これにより、側板11を外側からピン15で支持した状態にセットされた成形型10を形成する。また、この成形型10に対して、ガラスインゴット20Aを成形型10の中空部19に配置し、その上部に天板13を配置し、さらに天板13の上面にシリンダ4を当接させる。次に、前記したようにセットされたガラス成形装置1の真空チャンバ2内部の排気を行った後、真空チャンバ2内部を不活性ガスで充填する。さらに、カーボンヒータ5により成形型10の中空部19内のガラスインゴット20Aを加熱して、結晶化温度以上軟化点以下に昇温する。このとき、ガラスインゴット20Aの内部が均一の温度となるまで一定の温度で保持させても良い。所定の温度に到達したら、シリンダ4を作動させて天板13を下方に移動させて、ガラスインゴット20Aを加圧成形していく。なお、この加圧成形開始時点で、成形型10は環境温度に準じた膨張を示している。また、ガラスインゴット20Aの加圧プロセスの進行に伴い、ガラスインゴット20Aは徐々に扁平形状となり、側板11に実質的に隙間なく密着した状態となる。天板13によりガラスインゴット20Aを加圧していくに連れて、側板11には、ガラスインゴット20Aを介して天板13の押圧力が外周方向外方向の応力として作用する。側板11はピン15によって外方向に移動する自由を拘束されているため移動が困難である。この際、ガラスの成形により発生する応力が、ガラスインゴット20A及び側板11を通じてピン15に伝えられる。ここで、前記した応力によりピン15が折れた場合、側板11は拘束が解かれると同時にガラスインゴット20Aから受ける力によって、ガラスインゴット20Aが流動する外周方向へ移動する。その結果、ガラスインゴット20Aが側板11に囲まれたエリア外に流出し、側板11の内側面に倣った形状が得られないこととなる。このため、ピン15は、ガラスの成形により発生する応力に耐え得る強度が必要であり、これを有するように構成されている。次に、図4に示すように、前記した加熱加圧成形によってガラスインゴット20Aを、成形型10の底板17、天板13及び側板11に密着する状態まで加圧して薄板状のガラスインゴット20Bとした後、冷却工程を行う。この冷却に伴い成形型10とガラスインゴット20Bは環境温度に準じた収縮を示す。ここで、成形型10は、ガラスインゴット20Bに比べ線膨張係数が大きい。さらに、成形型10のうち特に台板14は側板11に比べて横方向の大きさが大きい。そのため、台板14の収縮量が側板11に対して相対的に大きくなり冷却に伴う収縮が顕著になる。従って、相対的に見れば、冷却に従ってガラスインゴット20Bが膨張する方向に、すなわち側板11を外周方向外方向へ押し出す方向に荷重が発生する。側板11が受ける荷重は、側板11の外側に設置されているピン15に伝わる。側板11から与えられる収縮によって発生する応力がピン15の強度限界を超えると、図5に示すように、ピン15は外側に向かって破断する。そして、ピン15の破断と共に側板11は拘束が解かれ、同時に側板11はガラスインゴット20Bが流動される外周方向外方向へ移動し応力が開放される。このとき、ガラスインゴット20Bは冷却により既に固化しているため、側板11に囲まれたエリア外へ流出することはない。その後、室温程度まで空冷し真空チャンバ2内から成形型10を取り出し、ガラスの成形が完了する。その後、前記したようなガラス成形方法を用いて得たガラス成形体に対し、所定のサイズに加工するための研削加工やスライス加工、端面部をR形状にするための面取り加工、研磨剤等を使用して表面を仕上げ加工するための研磨工程等の加工を適宜行う。その結果、所望のフォトマスク基板を得ることができる。以上のように、本実施の形態のガラス成形用の成形型10、ガラス成形装置1、ガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法によれば、成形後の冷却によって生じる応力により破断するピン支持部材15を設置することで、成形対象であるガラスに過剰な応力を加えることなく、また、成形対象であるガラスを破損させることなく応力を開放することができ、また、成形対象であるガラスと成形型10の台板14との線膨張係数差によって生じる応力による成形型10への負荷を最小限に抑えることができ、ガラスを所望の形状に成形できる。また、本実施の形態では、支持部材としてピン15ピン状部材、棒状部材を使用し、このピン15を、台板14に複数形成された挿入孔16に挿脱可能としている。そのため、配置するピン15の数や種類を変えれば簡単にその強度を変えることができる。例えば、本実施の形態では、1つの側板に対して同じ種類のピン15を2つずつ配置している。配置するピンの数を増やせば、ピン全体としての強度を上げることができる逆に配置するピンの数を減らせば、ピン全体としての強度を下げることができる。また、複数のピンを配置する際、径の太いもののみを複数使用したり、径の細いもののみを複数使用したり、径の太いものと細いものを混在させて使用したり、さらには径や形の異なる複数種類のものを混在させたりすることで、その強度を変化させることができる。なお、複数のピンを配置する際には、荷重がそれぞれのピンに均等に掛かるように、側板に対して略一列で当接するように配置しても良い。また、複数のピンは、荷重がそれぞれのピンに均等に掛かるように、できるだけ等間隔に配置しても良い。追加的及び/又は代替的に、ピンを非一列配置、又は非等間隔配置にできる。また、前記したように本実施の形態では、支持部材として、台板14に形成された挿入孔16に挿脱可能としたピン15を使用している。そのため、ピン15が折れた後の処理を簡単にすることができる。例えば、ガラスの成形後、折れたピン15を挿入孔16から抜き、新しいピン15を挿入孔16に挿入し直すだけで良い。そのため、ガラス及びフォトマスク基板の製造効率を向上できる。なお、ピンの強度を決定する際は、例えば、予め力学シミュレーションによって側板にかかる荷重及びピンに生じる剪断力を求め、成形時の荷重によって生じる剪断力では破断せず、冷却時の荷重によって生じる剪断力で破断するようにピンの強度を決定できる。このようにしてピンに必要な強度を決定すれば、あらかじめ強度を測定しておいた種々のピンの内から必要な強度を有するものを選択して使用できる。なお、以上説明した実施の形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。例えば、前記した実施の形態では、成形するガラスとして石英ガラスを例に挙げ、成形型の材質としてカーボンカーボングラファイトを例に挙げて説明したが、本発明は、これに限るものではない。例えば、成形する他のガラスとしては、ホウケイ酸ガラスやソーダ石灰ガラスなどが挙げられる。成形型の材質としては、アルミナ酸化アルミニウム等の高温で使用可能な他の材質であっても良い。ここで、ガラスと成形型の材質を選択するに当たっては、ガラスの組成や成形条件等を考慮して決定すれば良い。ガラスの線膨張係数が、成形型特には台板の材質の線膨張係数よりも相対的に小さいもの支持部材が破断して本発明の成形型の機能が発揮される条件である組み合わせとなっていれば本実施の形態の効果を得ることができる。但し、成形型モールド本体の材質としては、アルミナよりカーボンの方が強度、耐熱衝撃性が優れているため、カーボンの使用が好ましい場合が多い。また、本実施の形態では、ピン15の材料としてカーボングラファイトを用いている。ピン15の材料として、カーボングラファイト以外の材料を用いても良く、例えば、アルミナ酸化アルミニウム等の高温でも使用できる材料を用いても良い。また、前記した実施の形態では、支持部材としてピン15ピン状部材、棒状部材を使用していたが、本発明はこれに限るものではない。必要な強度を有していて所定の荷重で破断する構成の部材であれば、ピン15以外のものを使用しても良い。ピン15以外の支持部材としては、例えば、図6に示すような、長板状部材115aの下方に、台板114に複数形成された挿入孔116に挿脱可能な複数の挿入部材115bが形成された挿入部材付長板状部材115が挙げられる。この挿入部材付長板状部材115を用いた成形型では、側板111に当接する長板状部材115aが冷却時に外周方向外方向に押圧されることで、当該長板状部材115aと挿入部材115bの間の部分が破断可能である。また、ピン15以外の他の支持部材としては、図7に示す形態が挙げられる。図7において、挿入孔16の代わりに、台板214における側板211に沿った位置に溝216が形成されており、この溝216に挿脱可能な薄板状部材215が支持部材として用いられる。この薄板状部材215を用いた成形型では、薄板状部材215の一部当接部が側板211に当接していて、これが冷却時に外周方向外方向に押圧される。また、薄板状部材215の別の一部挿入部が溝216に挿入されて実質的に固定される。その結果、薄板状部材215の当接部と挿入部との間の部分が破断可能である。また、ピン15以外の他の支持部材としては、図8に示す形態が挙げられる。図8において、略L字状部材315が支持部材とされる。一例において、略L字状部材315のL字の底辺部分315bがその長手方向を外周方向外方向として台板314に固定される。例えば、台板314にこの底辺部分315bを固定する凹み316が形成されている。また、L字の上部分315aに側板311が当接している。換言すると、一例において、略L字状部材315は、台板314に設けられた凹み316に挿入されて台板314に実質的に固定される底辺部分315bと、底辺部分315bの一端を基部として底辺部分315bの延在方向と直交する方向に延在する上部分315aとを有し、上部分315aの一面が側板311に当接される。この略L字状部材315を用いた成形型では、冷却時に当該略L字状部材315の上部分315aを側板311が押圧することで、L字の上部分315aと底辺部分315bとの間の部分が破断可能である。また、ピン15以外の他の支持部材としては、図9に示す形態が挙げられる。図9において、略L字状長板状部材415を支持部材とし、当該略L字状棒状部材415のL字の底辺部分415bが台板414に固定されている。例えば、台板414にこの底辺部分415bを固定する凹み416が形成されている。また、L字の上部分415aに側板411が当接している。換言すると、一例において、略L字状長板状部材415は、台板414に設けられた凹み416に挿入されて台板414に実質的に固定される底辺部分415bを有する。底辺部分415bは、側板411に沿って延在する長辺を有する。また、略L字状長板状部材415は、底辺部分415bの1つの長辺を基部として延在する上部分415aを有し、上部分415aの一面が側板411に当接される。底辺部分415bと上部分415aとの間の角度は例えば90°である。この略L字状長板状部材415を用いた成形型では、冷却時に当該略L字状長板状部材415の上部分415aを側板411が押圧することで、上部分415aと底辺部分415bとの間の部分が破断可能である。なお、本実施の形態では、結晶化温度以上軟化点温度以下の温度でガラスインゴット20Aを成形する例について説明したがこれに限定されない。成形温度は、ガラスインゴット20Aの結晶化温度以上であればよい。例えば、ガラスインゴット20Aの軟化点より高い温度で成形しても良い。