"複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、を備えた画像計測装置において、前記水平走査方向と交差して配置された互いの相対位置が既知の複数のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材を備え、前記演算処理手段は、前記画像での前記マーカの位置を検出し、前記マーカの基準位置に対する、前記画像での前記マーカの位置の水平走査方向及び垂直走査方向のずれ量を、前記画像の行単位で求めて、前記ずれ量を打ち消すように補正した前記計測対象物の像を求めることを特徴とする画像計測装置。前記複数のマーカが垂直走査方向に沿って前記保持部材に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の画像計測装置。前記保持部材を、前記撮像素子の撮像面と平行な面内で回転させる回転部を更に備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の画像計測装置。複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、を備えた画像計測装置において、空間周波数が既知であり水平走査方向と交差して延びる正弦波状のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材を備え、前記演算処理手段は、前記画像におけるマーカの波形から前記空間周波数の1/2よりも低い値の周波数帯域の振動成分を抽出して、前記振動成分を打ち消す水平走査方向の第1の補正量を行単位で求めると共に、前記画像におけるマーカの波形を前記第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正し、補正されたマーカの波形の周波数変調成分を抽出して、前記周波数変調成分を打ち消す垂直走査方向の第2の補正量を行単位で求め、前記第1の補正量及び前記第2の補正量で補正した前記計測対象物の像を求めることを特徴とする画像計測装置。複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、を備えた画像計測装置において、空間周波数が既知であり水平走査方向と交差して延びる正弦波状の第1のマーカ及び前記第1のマーカに対して90°の位相差を有する余弦波状の第2のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材を備え、前記演算処理手段は、前記画像における第1のマーカ及び第2のマーカの波形のうちのいずれか一方のマーカの波形から前記空間周波数の1/2よりも低い値の周波数帯域の振動成分を抽出して、前記振動成分を打ち消す水平走査方向の第1の補正量を行単位で求めると共に、前記画像における第1のマーカ及び第2のマーカの波形を前記第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正し、補正された第1のマーカ及び第2のマーカの波形を用いて行毎に逆正接を求め、前記逆正接の位相値から垂直走査方向の第2の補正量を行単位で求め、前記第1の補正量及び前記第2の補正量で補正した前記計測対象物の像を求めることを特徴とする画像計測装置。複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、前記水平走査方向と交差して配置された互いの相対位置が既知の複数のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材と、を備えた画像計測装置を用いた画像計測方法であって、前記演算処理手段が、前記画像での前記マーカの位置を検出する工程と、前記演算処理手段が、前記マーカの基準位置に対する、前記画像での前記マーカの位置の水平走査方向及び垂直走査方向のずれ量を、前記画像の行単位で求める工程と、前記演算処理手段が、前記ずれ量を打ち消すように補正した前記計測対象物の像を求める工程と、を備えたことを特徴とする画像計測方法。複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、空間周波数が既知であり水平走査方向と交差して延びる正弦波状のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材と、を備えた画像計測装置を用いた画像計測方法であって、前記演算処理手段が、前記画像におけるマーカの波形から前記空間周波数の1/2よりも低い値の周波数帯域の振動成分を抽出する工程と、前記演算処理手段が、前記振動成分を打ち消す水平走査方向の第1の補正量を行単位で求める工程と、前記演算処理手段が、前記画像におけるマーカの波形を前記第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正する工程と、前記演算処理手段が、補正されたマーカの波形の周波数変調成分を抽出する工程と、前記演算処理手段が、前記周波数変調成分を打ち消す垂直走査方向の第2の補正量を行単位で求める工程と、前記演算処理手段が、前記第1の補正量及び前記第2の補正量で補正した前記計測対象物の像を求める工程と、を備えたことを特徴とする画像計測方法。複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、空間周波数が既知であり水平走査方向と交差して延びる正弦波状の第1のマーカ及び前記第1のマーカに対して90°の位相差を有する余弦波状の第2のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材と、を備えた画像計測装置を用いた画像計測方法であって、前記画像における第1のマーカ及び第2のマーカの波形のうちのいずれか一方のマーカの波形から前記空間周波数の1/2よりも低い値の周波数帯域の振動成分を抽出する工程と、前記演算処理手段が、前記振動成分を打ち消す水平走査方向の第1の補正量を行単位で求める工程と、前記演算処理手段が、前記画像における第1のマーカ及び第2のマーカの波形を前記第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正する工程と、前記演算処理手段が、補正された第1のマーカ及び第2のマーカの波形を用いて行毎に逆正接を求める工程と、前記演算処理手段が、前記逆正接の位相値から垂直走査方向の第2の補正量を行単位で求める工程と、前記演算処理手段が、前記第1の補正量及び前記第2の補正量で補正した前記計測対象物の像を求める工程と、を備えたことを特徴とする画像計測方法。請求項6乃至8のいずれか1項に記載の画像計測方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。請求項9に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。しかしながら、上記特許文献1の方法では、水平方向のずれ量については計算により求めることができたが、垂直方向のずれ量についてはジャイロセンサ等、別途外部センサが必要であった。そのため、コストやスペース上で不利な上、カメラ及び被写体の双方に別途外部センサが必要でそれらの同期を取る回路が必要となり、構成が非常に煩雑となっていた。そこで本発明は、カメラの撮像によって得られた画像を用いて計測対象物の像を求める際に、ジャイロセンサ等の外部センサを用いることなく、画像の歪みを補正した計測結果を得ることを目的とする。本発明の画像計測装置は、複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、を備えた画像計測装置において、前記水平走査方向と交差して配置された互いの相対位置が既知の複数のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材を備え、前記演算処理手段は、前記画像での前記マーカの位置を検出し、前記マーカの基準位置に対する、前記画像での前記マーカの位置の水平走査方向及び垂直走査方向のずれ量を、前記画像の行単位で求めて、前記ずれ量を打ち消すように補正した前記計測対象物の像を求めることを特徴とする。また、本発明の画像計測方法は、複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、前記水平走査方向と交差して配置された互いの相対位置が既知の複数のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材と、を備えた画像計測装置を用いた画像計測方法であって、前記演算処理手段が、前記画像での前記マーカの位置を検出する工程と、前記演算処理手段が、前記マーカの基準位置に対する、前記画像での前記マーカの位置の水平走査方向及び垂直走査方向のずれ量を、前記画像の行単位で求める工程と、前記演算処理手段が、前記ずれ量を打ち消すように補正した前記計測対象物の像を求める工程と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、撮像素子の撮像により得られた画像を用いて計測対象物の像を求める際に、ジャイロセンサ等の外部センサを用いることなく、画像歪みを補正した計測結果を得ることが可能となる。以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。[第1実施形態]図1は、本発明の第1実施形態に係る画像計測装置の概略構成を示す説明図である。図2は、撮像により得られた画像を示す説明図である。画像計測装置100は、撮像装置としてのカメラ1と、計測対象物であるワーク6を保持する保持部材4と、カメラ1に接続されたコントローラ50と、を備えている。コントローラ50は、CPU50a、ROM50b、RAM50c及びHDD50d等を有するコンピュータシステムである。ROM50b又はHDD50d等の記憶装置図1ではHDD50dには、CPU50aを動作させるプログラムPが記録されており、CPU50aは、このプログラムPに基づいて動作することで、後述する機能ブロックの各部として機能する。つまり、本第1実施形態では、CPU50aが演算処理手段として機能する。RAM50cには、CPU50aによる計算結果等が一時的に格納される。カメラ1は、ローリングシャッタ方式により行単位で順次露光を行うデジタルカメラである。このカメラ1は、被写体を撮像するCMOSイメージセンサである複数の画素を有する撮像素子21と、カメラ全体を制御する制御部1aと、撮像素子21に被写体からの光を集光する不図示の光学系とを備えている。本第1実施形態で被写体は保持部材4及びワーク6である。撮像素子21の複数の画素は、2次元のマトリックス状に配置されている。そして、不図示の光学系を介して各画素に入射した光学信号が撮像素子21の各画素において電気信号に変換される。制御部1aは、撮像素子21の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光して画素信号電気信号を読み出し、コントローラ50に順次出力する。このカメラ1は、撮像素子21の撮像面と保持部材4の上面とが平行となるように、床面に立設された支柱2によってワーク6に正対させて支持されている。この撮像素子21の画素の位置が2次元座標系で定義され、撮像結果である画像における画素データもこの2次元座標系で定義される。保持部材4は、床面に固定された固定台であり、上面が平面となっている。そして、保持部材4には、連結部5によりワーク6が動かないように固定されている。この保持部材4の上面には、ワーク6の近傍にワーク6に重ならないようにマーカ群3が設けられている。マーカ群3は、複数のマーカ本第1実施形態では円形状のドット3aからなる。このマーカ群3は、保持部材4又は保持部材4に貼り付ける粘着テープにインク等で描いてもよいし、保持部材4に凹部又は凸部を形成してもよい。本実施形態では、マーカ群3は、保持部材4とは異なる色例えば黒色のインクで保持部材4に塗布されている。ここでは、ドット3aの中心が特徴点となる。そして、図2aに示すように、撮像により得られた画像データ10には、実際のマーカ群3に対応する撮像素子21の画素を基準とした2次元座標系でのマーカ群データ12が含まれている。つまり、画像データ10には、実際のドット3aに対応する2次元座標系での特徴点となるドットデータ12aが含まれている。また、画像データ10には、実際のワーク6に対応する2次元座標系でのワークデータ11、実際のワーク6上の組み付け部品に対応する2次元座標系での部品データ13,14,15が含まれている。マーカ群3の複数のドット3aは、カメラ1の撮像素子21で撮像したときに、画像10上の複数のドット12aが、垂直走査方向、即ち画像10の縦方向に分散するように、保持部材4の上面に配置されている。具体的には、マーカ群3の複数のドット3aは、カメラ1の撮像素子21で撮像したときに、画像10上の複数のドット12aが、ワーク11の垂直走査方向の範囲を包含するように、保持部材4の上面に配置されている。そして、複数のドット3aが画像上で垂直走査方向に沿うように保持部材4に設けられているのがよい。本第1実施形態では、複数のドット3aが画像上で垂直走査方向と平行となるように保持部材4に並んで配置されている。これら複数のドット3aは、互いに相対位置が既知であり、これらのドットデータ12aが記憶部記憶装置であるHDD50dに記憶される。ここで、各ドット3aは、画像10に歪みがない理想状態における2次元座標系で縦方向に分散する複数のドット12aのそれぞれの座標位置基準位置が既知であれば、ランダムに配置してもよい。本第1実施形態では、実際の複数のドット3aは、2次元座標系における仮想直線12b上に各ドット12aの中心つまり特徴点が位置するように互いに間隔をあけて保持部材4の上面に配置されている。この仮想直線12bは、垂直走査方向と平行であるのが好ましい。本第1実施形態では、マーカ群3の各ドット3aの間隔即ち、画像上のドット12aの間隔は既知であり、ここでは等間隔であるとする。次に、画像の歪みを補正するための構成について説明する前に、画像歪みが発生する原因と発生形態について説明する。図27cに示したように、本実施形態の撮像素子21では、行単位で露光タイミングが異なるので、カメラ1に対して相対的に動いているワーク6を撮像した場合、行毎に露光する時刻のワーク6の位置が異なる。そのため、得られた画像10においてワーク11が歪む。この画像10上のワーク11の歪み方は、実際のワーク6の相対運動の方向とカメラ1の垂直水平走査方向との関係で決まる。図2bはワーク6がカメラ1に対して相対的に静止している状態の画像を示している。また、図2cはワーク6がカメラ1に対して画像上で右方向へ一定速度で移動した状態の画像、図2dはワーク6がカメラ1に対して画像上で左右方向に振動した状態の画像を示している。また、図2eは図2dの一部を拡大したものである。図2eに示すように、カメラ1の撮像素子21の水平走査方向に対してワーク6が相対的に水平走査方向に振動している場合は、各行10a~10hにおいて行単位で動きに応じた水平走査方向横方向のずれが生じる。これに対して図3はカメラ1の撮像素子21の垂直走査方向に対してワーク6が相対的に平行に動いている場合に生じる歪みの形態を示している。図3aはワーク6がカメラ1に対して相対的に静止している状態の画像を示している。図3bはワーク6がカメラ1に対して画像上で上方へ一定速度で移動した状態の画像、図3cはワーク6がカメラ1に対して画像上で上下方向に振動した状態の画像を示している。図3dは図3cの一部を拡大したものである。この場合、図3bのように、画像10の垂直走査方向に対して伸縮するような変化が生じる。逆に相対運動が下方の場合は図形が伸長する。また図3c及び図3dのように運動速度に変化がある場合に一様な中間輝度のワークを撮像すると、各行10a~10hにおいて行単位で粗密が変化する。例えば、ロボットシステムによる組立作業などでは、ロボットアーム等の搬送装置により組み付け部品を搬送する必要があり、その際の振動をカメラ1や保持部材4が受けてしまう。このため、撮像画像10に、図2c~図2eあるいは図3b~図3dに示すような歪みが生じることがある。そこで、本第1実施形態では、コントローラ50が画像10を水平走査方向及び垂直走査方向に補正してワーク6の像として位置及び形状の計測を行うものである。図4は、カメラ1及びコントローラ50の機能ブロック図である。図4に示すように、カメラ1は、撮像素子21及び読み出し部22を有している。読み出し部22は、上述した制御部1aが機能する。また、コントローラ50は、画像生成部23、マーカ位置検出部24、ずれ量計算部26、補正量計算部27、画像補正部28及び計測部29を有している。具体的には、ROM50b又はHDD50d等に記憶されたプログラムPに基づいて動作するCPU50aが各部23,24,26,27,28,29として機能する。また、コントローラ50は、記憶部25を有しており、この記憶部25は、例えばHDD50dである。なお、この記憶部25は、HDD50dに限定するものではなく、不図示の書き換え可能な不揮発性メモリ例えばEEPROM等であってもよく、データを記憶保持できるものであれば、いかなる記憶装置でもよい。以下、これら各部の動作について図5~図7に示すフローチャートを参照しながら説明する。まず、ワーク6の形状測定に先立って、画像上でのマーカ12の基準位置を記憶部25に記憶させる動作について、図5のフローチャートに沿って説明する。まず、コントローラ50のCPU50aは、カメラ1及びワーク6が静止状態であるか否かを判断しS1、静止状態であれば、カメラ1に撮像動作を行うように指令を送る。この静止状態か否かの判断は、タイマによる所定時間の計時が終了したか否かにより判断してもよいし、撮像画像の歪みが収束したか否かで判断してもよい。このようにして、カメラ1及び保持部材4が十分に静止する状態になるまで待機する。次に、読み出し部22は、撮像素子21の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光して、画素信号を読み出すS2。この動作は、図27cを用いて説明した動作と同様である。なお、このステップS2では、ワーク6がない状態で保持部材4が撮像される。このとき、画像10上のマーカ12の各ドット12aは、垂直走査方向と平行に等間隔で並んでいることになる。次に、画像生成部23は、読み出し部22により読み出された画素信号から画像を生成するS3。そして、マーカ位置検出部24は、画像生成部23で生成された画像における2次元座標系でのマーカ12の各ドット12aの中心特徴点の位置を検出するS4。本実施形態では円形のドット3aを保持部材4に設けているので、既知のハフ変換等を用いた画像処理法で中心位置特徴点を容易に検出することができる。特徴点はすべてのドット12aに対して検出する。CPU50aは、このようにして検出した各ドット12aの中心特徴点の位置のデータを基準位置のデータとして記憶部25に記憶させるS5:記憶工程。ここで、本実施形態では、記憶部25には、予め画像から位置を測定してそのデータを記憶させているが、これに限らず、各ドット12aの中心の位置を示すデータを、測定せずに記憶させてもよい。また、本実施形態では、各ドット12aが、垂直走査方向と平行な仮想直線12b上に等間隔となるように配置されている。したがって、記憶部25には、複数のドット12aのうち、いずれか1つ、例えば最も画像の上部にあるドット12aの中心の座標位置と、この座標位置に対する他のドット12aの中心の相対位置関係とを記憶させてもよい。いずれにしても、記憶部25は、撮像素子21の画素を基準とする2次元座標系即ち画像上でのマーカ12のドット12aの中心である特徴点の基準位置を予め記憶したことになる。次に、実際にワーク6を置いて組み付け作業などを行う場合のワーク6の像として位置及び形状を計測する際の動作について、図6に示すフローチャートに沿って説明する。まず、コントローラ50のCPU50aは、ワーク6を保持部材4にセット完了したか否かを判断するS11。つまり、このステップS11では、ワーク6を保持部材4にセットして撮像ができる状態になるまで待機する。読み出し部22は、撮像素子21の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光して、画素信号を読み出すS12:読み出し工程。この動作は、図27cを用いて説明した動作と同様である。この撮像の際、組み付け用の治工具類その他の動きによる外乱を受けてカメラ1又は保持部材4、もしくは双方が動いていてもよい。つまり、カメラ1又は保持部材4が静止するまで待たなくてもよい。したがって、ワーク6の計測に要する時間を短縮することができる。次に、画像生成部23は、ステップS12にて読み出し部22により読み出された画素信号から画像を生成するS13:画像生成工程。そして、マーカ位置検出部24は、ステップS13にて画像生成部23で生成された画像における2次元座標系でのマーカの各ドットの中心特徴点の位置を検出するS14:マーカ位置検出工程。次に、ずれ量計算部26は、記憶部25に記憶されたマーカの各特徴点の基準位置のデータを読み出す。そして、ずれ量計算部26は、読み出した基準位置のデータと、ステップS14にてマーカ位置検出部24により検出されたマーカの各特徴点の位置のデータとの水平走査方向及び垂直走査方向の差分を各行について求める。つまり、ずれ量計算部26は、各行の差分を、水平走査方向及び垂直走査方向のベクトル量として求める。そして、ずれ量計算部26は、この差分結果を用いて、ステップS13にて画像生成部23により生成された画像10の各行のずれ量を求めるS15:ずれ量計算工程。次に、補正量計算部27は、ステップS15にてずれ量計算部26により求められたずれ量を打ち消す補正量を行単位で求めるS16:補正量計算工程。次に、画像補正部28は、ステップS16にて補正量計算部27により求められた補正量で画像生成部23により生成された画像10を行単位で補正するS17:画像補正工程。この様子を示したのが図8である。図8aは静止時にワーク6を撮像した画像であり、このとき画像10上のワーク11には歪みはない。また画像10上のマーカ12のドット12aも等間隔で垂直走査方向に並ぶ。一方、実作業時の振動状態で撮像した図8bに示す画像10では、露光したタイミングの違いにより、振動の影響をうけて行単位で左右上下方向垂直水平走査方向にワーク11の位置形状が歪んでいる。これに対して、ステップS16では、補正量計算部27が、図8cに示すように、各行10a~10eにおいて矢印で示す補正量ベクトル量を行単位で求め、ステップS17では、画像補正部28が、矢印方向に行単位で補正する。つまり、各行のピクセルの座標位置が補正量で補正されることとなる。なお、便宜上ドット12aが存在する行のみを示しているが、実際にはすべての行を補正する。この結果、図8cのように歪のない図形を再生できる。次に、計測部29は、ステップS17にて画像補正部28の補正により得られた画像10を用いて、ワーク6の像として位置及び形状を計測するS18:計測工程。具体的には、ワーク6の部品の位置及び形状を計測する。これにより、ずれ量を打ち消すように補正したワーク6の像が求められる。ここで、ステップS15及びS16におけるずれ量計算部26及び補正量計算部27の動作について図7に示すフローチャートを参照しながら、詳細に説明する。まず、ずれ量計算部26は、特徴点の画像上での位置情報を比較し差分を求めるS161。ずれ量計算部26は、補正量を求める行を最初の行から最後の行まで順次選択するよう、補正量を求める行を更新するS162。次に、ずれ量計算部26は、補正する必要がある行がすべて終わっているか否かを判断しS163、終わっている場合S163:YES、作業を終了する。ずれ量計算部26は、終わっていない場合S163:NO、現在の行に特徴点が存在するか否かを判断するS164。ずれ量計算部26は、選択した行に特徴点が存在すればS164:YES、ステップS161で求めた差分を行のずれ量とするS165。そして、補正量計算部27は、ずれ量計算部26により求められたずれ量を打ち消す補正量を計算するS166。また、ずれ量計算部26は、特徴点が存在しなければS164:NO、上下の行に存在する特徴点から2次元的に補間を行い、その行の垂直走査方向及び水平走査方向のずれ量を求めるS167。補間法としては、近接する上下1点ずつを用いてリニア補間する方法が知られている。また上下すべての特徴点を用いてスプライン補間しても良い。次いで、補正量計算部27は、ずれ量計算部26により求められたずれ量を打ち消す補正量を計算するS166。以上、本第1実施形態によれば、撮像素子21の撮像により得られた画像を用いてワーク6の像として位置及び形状を計測する際に、ジャイロセンサ等の外部センサを用いることなく、画像歪みを補正することが可能となる。したがって、画像歪みを補正した画像を用いてワーク6の位置及び形状を求めるので、ワーク6の計測精度が向上する。また、外部センサを用いずに画像の補正をすることができるので、外部センサを省略した分、コストダウンを図ることができ、外部センサを省略した分、省スペース化を図ることができる。そして、カメラ1及び保持部材4の双方に外部センサを設ける必要がなく、更にこれら外部センサに必要な同期回路も不必要となり、構成を簡略化することができる。[第2実施形態]次に、本発明の第2実施形態に係る画像計測装置について説明する。図9は、本発明の第2実施形態に係る画像計測装置のカメラ及びコントローラの機能ブロック図である。なお、この図9において、上記第1実施形態の画像計測装置の構成と同様の構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本第2実施形態のコントローラ50Aは、上記第1実施形態と同様、画像生成部23、マーカ位置検出部24、記憶部25、ずれ量計算部26、補正量計算部27及び計測部29を有しており、更に補正部30を有している。コントローラ50Aは、上記第1実施形態と同様、図1に示すCPU50a、ROM50b、RAM50c、HDD50d等を備えている。そして、CPU50aが、画像生成部23、マーカ位置検出部24、ずれ量計算部26、補正量計算部27、計測部29及び補正部30として機能する。つまり、本第2実施形態では、CPU50aが演算処理手段として機能する。図10は、カメラ1及びコントローラ50Aによるワーク6の位置及び形状を計測する際の動作を示すフローチャートである。この図10において、ステップS21~S23の処理動作は、図6のステップS11~S13の処理動作と同様である。本第2実施形態では、計測部29は、ステップS23にて画像生成部23により生成された画像を用いて、ワーク6の位置及び形状を計測するS24:計測工程。また、ステップS25~S27における処理動作は、図1のステップS14~S16における処理動作と同様である。補正部30は、ステップS24にて計測部29により計測されたワーク6の位置及び形状のデータを、ステップS27にて補正量計算部27により求められた補正量を用いて補正するS28:補正工程。この計測部29により求めた計測データは、行毎に補正量で補正される。これにより、ずれ量を打ち消すように補正したワーク6の像が求められる。以上、本第2実施形態によれば、上記第1実施形態と同様の効果を奏する。つまり、外部センサを用いることなく、画像歪みを補正したワーク6の位置及び形状の計測結果を得ることができる。したがって、ワーク6の位置及び形状の計測精度が向上する。また、外部センサを用いずに画像の補正をすることができるので、外部センサを省略した分、コストダウンを図ることができ、外部センサを省略した分、省スペース化を図ることができる。そして、カメラ1及び保持部材4の双方に外部センサを設ける必要がなく、更にこれら外部センサに必要な同期回路も不必要となり、構成を簡略化することができる。また、画像の再構成をする手間が省けるので、計算速度の点で有利となる。なお、上記第1及び第2実施形態では、複数のドット3aが画面上で垂直走査方向に平行となるように配置される場合について説明したが、これに限定するものではない。複数のドット3aが水平走査方向に平行となるように配置される場合には、本第1実施形態の効果は期待できないため、複数のドット3aが画面上で水平走査方向に平行とならなければよい。具体的には、複数のドット3aが画面上で水平走査方向と交差するように配置されていればよい。その際、これら複数のドット3aは、一直線上に並んで配置されている必要はなく、垂直走査方向に点在していれば、水平走査方向にずれるように配置されていてもよい。[第3実施形態]次に、本発明の第3実施形態に係る画像計測装置について説明する。図11は、本発明の第3実施形態に係る画像計測装置の概略構成を示す説明図である。なお、この図11において、上記第1実施形態の画像計測装置の構成と同様の構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本第3実施形態では、上記第1実施形態と同様、カメラ1の撮像素子21の2次元座標系でマーカ群の複数のドットが仮想直線上に配置されるように、マーカ群3が保持部材4に設けられている。本第3実施形態における画像計測装置100Cは、保持部材4を、2次元座標系で仮想直線が垂直走査方向と平行となるように撮像素子21の撮像面と平行な面内で回転させる回転部としての回転テーブル7を備えている。図12は、ワークの形状測定の前にカメラ1及びコントローラ50Cにより予め行われる動作を示すフローチャートである。この図12において、ステップS31~S34の処理動作は、図5のステップS1~S4の処理動作と同様である。本第3実施形態では、コントローラ50CのCPU50aは、ステップS34にて撮像素子21の2次元座標系における特徴点の座標位置を検出した後、撮像素子21の2次元座標系基準で垂直走査方向とマーカが平行になっているか否かを判断するS35。CPU50aは、平行になっていないときにはステップS35で平行になる方向にマーカを移動するよう回転テーブル7を回転させるS36。以上のステップS31~S36の動作を、撮像素子21の2次元座標系において垂直走査方向とマーカが所定の基準より平行となるまで繰り返す。この処理をおこなうことによって、マーカの初期姿勢を記録することを省略することができる。すなわちマークの特徴点の垂直水平方向の変化から直接、補正値を決めることができる。また、本第3実施形態では、上記第1実施形態と同様、撮像素子21の撮像により得られた画像を用いてワーク6の位置及び形状を計測する際に、ジャイロセンサ等の外部センサを用いることなく、画像歪みを補正することが可能となる。したがって、ワーク6の位置及び形状の計測精度が向上する。また、外部センサを用いずに画像の補正をすることができるので、外部センサを省略した分、コストダウンを図ることができ、外部センサを省略した分、省スペース化を図ることができる。そして、カメラ1及び保持部材4の双方に外部センサを設ける必要がなく、更にこれら外部センサに必要な同期回路も不必要となり、構成を簡略化することができる。なお、回転部は回転テーブル7である場合について説明したが、これに限定するものではなく、例えば保持部材がロボットハンドであり、このロボットハンドにより把持したワークをカメラの軸線まわりに回転させるように動作するロボットアームであってもよい。[第4実施形態]次に、本発明の第4実施形態に係る画像計測装置について説明する。図13は、本発明の第4実施形態に係る画像計測装置を説明するための図であり、図13aは、保持部材の説明図、図13bは、保持部材を撮像した画像を示す説明図である。なお、この図13において、上記第1実施形態の画像計測装置の構成と同様の構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本第4実施形態では、保持部材は、固定部4bと、固定部4bに対して互いに近接又は離間する可動部である一対のフィンガ4a,4cと、を有するロボットハンド4Dである。このロボットハンド4Dは不図示のロボットアームの先端に取り付けられていて自在に位置や姿勢を変えられるようになっている。なお、カメラ1は、床面に固定された不図示の取り付け部材に固定されている。このロボットハンド4Dのフィンガ4aには互いに間隔をあけて配置された複数のドット3a1からなるマーカ群31が設けられており、フィンガ4cには互いに間隔をあけて配置された複数のドット3a3からなるマーカ群33が設けられている。固定部4bには互いに間隔をあけて配置された複数のドット3a2からなるマーカ群32が設けられている。つまり、ロボットハンド4Dには、マーカ群が複数設けられている。図13bには、このロボットハンド4Dをカメラ1に正対する位置に移動させて撮像により得られた画像10Dが図示されている。この画像データ10Dには、実際のマーカ群31~33に対応する撮像素子21を基準とした2次元座標系でのマーカ群データ121~123が含まれている。つまり、画像データ10Dには、実際のドット3a1~3a3に対応する2次元座標系での特徴点となるドットデータ12a1~12a3が含まれている。マーカ群31は、複数のドット3a1のそれぞれに対応する撮像素子21の2次元座標系でのそれぞれのドット12a1が仮想直線12b1上に互いに間隔をあけて配置されるよう、ロボットハンド4Dのフィンガ4aに設けられている。マーカ群33は、複数のドット3a3のそれぞれに対応する撮像素子21の2次元座標系でのそれぞれのドット12a3が仮想直線12b3上に互いに間隔をあけて配置されるよう、ロボットハンド4Dのフィンガ4cに設けられている。また、マーカ群32は、複数のドット3a2のそれぞれに対応する撮像素子21の2次元座標系でのそれぞれのドット12a2が仮想直線12b2上に互いに間隔をあけて配置されるよう、ロボットハンド4Dの固定部4bに設けられている。そして、撮像した画像10Dにおいて、互いの仮想直線12b1,12b2が交差図13bでは直交しており、互いの仮想直線12b2,12b3が交差図13bでは直交している。なお、実の各マーカ群31~33は、マーカ同士が重ならないように配置されている。図14は、カメラ1及びコントローラ50Dの機能ブロック図である。本第4実施形態では、上記第1実施形態と同様、カメラ1が撮像素子21及び読み出し部22を有している。また、コントローラ50Dは、画像生成部23、マーカ位置検出部24、マーカ選択部31、記憶部25、マーカ抽出部32、ずれ量計算部26、補正量計算部27、画像補正部28及び計測部29を有している。コントローラ50Dは、上記第1実施形態と同様、図1に示すCPU50a、ROM50b、RAM50c、HDD50d等を備えている。そして、CPU50aが、画像生成部23、マーカ位置検出部24、マーカ選択部31、マーカ抽出部32、ずれ量計算部26、補正量計算部27、画像補正部28及び計測部29として機能する。つまり、本第4実施形態では、CPU50aが演算処理手段として機能する。図15は、ワークの形状測定の前にカメラ1及びコントローラ50Dにより予め行われる動作を示すフローチャートである。まず、この図15において、ステップS41~S43の処理動作は、図5のステップS1~S3の処理動作と同様である。マーカ位置検出部24は、ステップS43にて画像生成部23により生成された画像における撮像素子21基準の2次元座標系での複数全てのマーカ121~123の位置を検出するS44。次にマーカ選択部31は、ステップS44にてマーカ位置検出部24により検出された複数のマーカ121~123のうち、1つのマーカを選択するS45:マーカ選択工程。その際、マーカ選択部31は、2次元座標系で垂直走査方向に延びる直線に対して最も平行度の低い仮想直線に配置された複数の特徴点を有するマーカを選択する。つまり、カメラの垂直走査方向、即ち画像の縦方向に最も平行に近い仮想直線に位置するマーカを選択する。図13では、画像10D上、仮想直線12b1に位置する複数のドット12a1からなるマーカ121が選択される。この仮想直線が撮像素子21の垂直走査方向と大きくずれていると、補正できる範囲が狭くなり、各行の補正条件が変わってくる可能性があるが、仮想直線が垂直走査方向と平行なほど、広い範囲で行間差が少なくより正確に補正結果を得ることができる。すなわち、複数のマーカから最良のマーカが選択される。次に、コントローラ50DのCPU50aは、ステップS45にて選択されたマーカ及びステップS45にて選択されたマーカの各特徴点の基準位置を記憶部25に記憶させるS46:記憶工程。なお、本第4実施形態では、撮像画像上のマーカ及びマーカの各特徴点の基準位置のデータを記憶部25に記憶させているがこれに限定するものではない。撮像動作を行わずに直接記憶部25に撮像素子21を基準とする2次元座標系でのマーカ及びこのマーカの各特徴点の基準位置を記憶させてもよい。また、マーカの姿勢をロボットアームで調整できるので、教示時にいずれかのマーカの姿勢をカメラの垂直走査方向、すなわち画像の縦方向に最も平行にするように調整しても良い。この場合はマーカの初期姿勢を記録することを省略することができる。すなわち行間の相対変化のみで補正値を決めることができる。図16は、カメラ1及びコントローラ50Dによるワーク6の位置及び形状を計測する際の動作を示すフローチャートである。この図16において、ステップS51~S53の処理動作は、図6のステップS11~S13の処理動作と同様である。ただしこの場合、不図示のロボットアームは振動していてもよいが、ロボットハンド4Dのフィンガ4a,4cは静止していてワーク6はフィンガ4a,4cに対しては固定されている必要がある。次に、マーカ位置検出部24は、ステップS53にて生成された画像における2次元座標系での複数全てのマーカの位置を検出するS54:マーカ位置検出工程。次に、マーカ抽出部32は、ステップS54にてマーカ位置検出部24により検出された複数のマーカのデータのうち記憶部25に記憶されているマーカのデータと一致するマーカのデータを抽出するS55:マーカ抽出工程。つまり、ステップS55では、検出されたマーカが記録されたマーカと同一であるかを比較する。マーカの絶対位置やあらかじめ定めた情報この場合マーカの形状や大きさをマーカごとに変えるなどから判定することができる。もし検出したマーカと記録されているマーカが異なる場合は再度ステップS55を繰り返す。なおあらかじめマーカ同士が明らかに分離できる場合はステップS54を省略できる。次にずれ量計算部26は、記憶部25に記憶されたマーカの各特徴点の基準位置とマーカ抽出部32により抽出されたマーカの各特徴点の位置との水平走査方向及び垂直走査方向の差分から、画像生成部23により生成された画像の各行のずれ量を求めるS56。なお、このステップS56の処理動作は図6のステップS15の処理動作と同様である。また、次のステップS57~S59の処理動作も、図6のステップS16~S18の処理動作と同様である。以上、本第4実施形態では、上記第1実施形態と同様、撮像素子21の撮像により得られた画像を用いてワーク6の位置及び形状を計測する際に、ジャイロセンサ等の外部センサを用いることなく、画像歪みを補正することが可能となる。したがって、画像歪みを補正した画像を用いてワーク6の位置及び形状を求めるので、ワーク6の計測精度が向上する。また、外部センサを用いずに画像の補正をすることができるので、外部センサを省略した分、コストダウンを図ることができ、外部センサを省略した分、省スペース化を図ることができる。そして、カメラ1及び保持部材4の双方に外部センサを設ける必要がなく、更にこれら外部センサに必要な同期回路も不必要となり、構成を簡略化することができる。更に、本第4実施形態では、ロボットハンド4Dのフィンガ4a,4cのみ停止していて、ワーク6がフィンガ4a,4cに対して固定されていれば、ロボットアームやカメラ1の取り付け部材が振動していても、ワークの計測が可能となる。したがって、作業時間を短縮することができる。なお、上記第1~第4実施形態では、マーカ群として、円形のドットが直線状に連なった例を示したが、これに限定されない。複数の特徴点が特定できるものであり、カメラの垂直走査方向に対する姿勢を特定できるものであればいかなるマーカでもよい。例えば、図17aに示すような、縦横の直線を組み合わせた形状の複数のマーカからなるマーカ群3Aであってもよい。この場合、の交点が特徴点となる。また、図17bに示すような、複数の直線形状のマーカが断続的に連なる破線状のマーカ群3Bであってもよい。この場合、各直線マーカの端部が特徴点となる。また、図17cに示すような、のこぎり波状に交差する複数の直線マーカからなるマーカ群3C、図17dに示すような濃淡の繰り返しの複数のマーカからなるマーカ群3Dでも複数の特徴点が得られ、同じ効果が得られる。[第5実施形態]図18は、本発明の第5実施形態に係る画像計測装置の概略構成及び撮像により得られた画像を示す説明図である。画像計測装置100Eは、撮像装置としてのカメラ1と、計測対象物であるワーク6を保持する保持部材4と、カメラ1に接続されたコントローラ50Eと、を備えている。コントローラ50Eは、CPU50a、ROM50b、RAM50c、HDD50d、フェーズロックループ回路PLL回路50e及びローパスフィルタ回路LPF回路50f等を有するコンピュータシステムである。ROM50b又はHDD50d等の記憶装置図18ではHDD50dには、CPU50aを動作させるプログラムPが記録されており、CPU50aは、このプログラムPに基づいて動作することで、後述する機能ブロックの各部として機能する。RAM50cには、CPU50aによる計算結果等が一時的に格納される。PLL回路50eは、入力した波形データから波形の基準周波数に対する周波数変調成分を抽出する。LPF回路50fは、PLL回路50eからの出力波形データから必要な帯域成分のみ取り出す。つまり、本第5実施形態では、CPU50a、PLL回路50e及びLPF回路50fが演算処理手段として機能する。カメラ1は、ローリングシャッタ方式により行単位で順次露光を行うデジタルカメラである。このカメラ1は、被写体を撮像するCMOSイメージセンサである複数の画素を有する撮像素子21と、カメラ全体を制御する制御部1aと、撮像素子21に被写体からの光を集光する不図示の光学系とを備えている。本第5実施形態で被写体は保持部材4及びワーク6である。撮像素子21の複数の画素は、2次元のマトリックス状に配置されている。そして、不図示の光学系を介して各画素に入射した光学信号が撮像素子21の各画素において電気信号に変換される。制御部1aは、撮像素子21の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光して画素信号電気信号を読み出し、コントローラ50Eに順次出力する。このカメラ1は、撮像素子21の撮像面と保持部材4の上面とが平行となるように、床面に立設された支柱2によってワーク6に正対させて支持されている。この撮像素子21の画素の位置が2次元座標系で定義され、撮像結果である画像における画素データもこの2次元座標系で定義される。保持部材4は、床面に固定された固定台であり、上面が平面となっている。そして、保持部材4には、連結部5によりワーク6が動かないように固定されている。この保持部材4の上面には、ワーク6の近傍にワーク6に重ならないようにマーカ3Eが設けられている。マーカ3Eは、水平走査方向に振幅をもつ正弦波形状の曲線である。このマーカ3Eは、保持部材4又は保持部材4に貼り付ける粘着テープにインク等で描いてもよいし、保持部材4に溝又は突起を形成してもよい。本実施形態では、マーカ3Eは、保持部材4とは異なる色例えば黒色のインクで保持部材4に塗布されている。そして、図18bに示すように、撮像により得られた画像データ10Eには、実際のマーカ3Eに対応する撮像素子21の画素を基準とした2次元座標系でのマーカデータ12Eが含まれている。また、画像データ10Eには、実際のワーク6に対応する2次元座標系でのワークデータ11、実際のワーク6上の組み付け部品に対応する2次元座標系での部品データ13,14,15が含まれている。マーカ3Eは、カメラ1の撮像素子21で撮像したときに、垂直走査方向、即ち画像10Eの縦方向と平行に延びるように、保持部材4の上面に配置されている。具体的には、マーカ3Eは、カメラ1の撮像素子21で撮像したときに、画像10E上のマーカ12Eが、ワーク11の垂直走査方向の範囲を包含するように、保持部材4の上面に配置されている。ここで、マーカ3Eは、画像10に歪みがない理想状態における2次元座標系で垂直走査方向に延びるように、保持部材4の上面に配置されている。また、マーカ3Eは、撮像素子21の2次元座標系基準で水平走査方向を正弦波の振幅方向となる形状となっている。そして、マーカ3Eの空間周波数が既知であるものとする。即ち、記憶部記憶装置であるHDD50dにマーカ3Eの空間周波数のデータが記憶されている。このマーカ3Eの空間周波数は補正により除去しようとする画像上の歪周波数より2倍以上高い周波数となるように選ばれる。まず、本第5実施形態のマーカ3Eがカメラ1と撮像物である保持部材4との間で相対運動がある場合どのような変化が生じるかを説明する。図19は、画像上のマーカの波形を説明するための図である。図19aは振動がない状態で撮像された画像上のマーカ12Eの波形を示しており、図19bはカメラの水平走査方向と同一方向に相対振動があった場合の画像上のマーカ12Eの波形を示している。また、図19cはカメラの水平走査方向と同一方向に相対振動があった場合の振動周波数成分を示す波形を示している。これら図19bに示すマーカ12Eの波形は、図19aに示すマーカ12Eの波形に図19cに示す振動周波数成分の波形を足し合わせたものとなる。この図19bに示す波形から図19cに示す波形を抽出し、図19aに示す波形に復元できれば補正できたことになる。また、図19dは振動がない状態で撮像された画像上のマーカ12Eの波形を示しており、図19eはカメラの垂直走査方向と同一方向に相対振動があった場合の画像上のマーカ12Eの波形を示している。また、図19fはカメラの垂直走査方向と同一方向に相対振動があった場合の振動周波数成分を示す波形を示している。図19eに示すマーカ12Eの波形は、図19dに示すマーカ12Eの波形が図19fの周期で粗密となる形、すなわち図19dに示す波形を、図19fに示す振動波形で周波数変調した形となる。この場合も図19eに示す波形から図19fに示す波形を抽出して図19dに示す波形を復元できれば補正できたことになる。さらに、図19gは振動がない状態で撮像された画像上のマーカ12Eの波形を示しており、図19hはカメラの水平走査方向及び垂直走査方向の双方向に相対振動があった場合の画像上のマーカ12Eの波形を示している。また、図19iはカメラの水平走査方向及び垂直走査方向の双方向に相対振動があった場合の振動周波数成分を示す波形を示している。撮像される変化後の波形は横方向の変化と粗密を組み合わせた形となる。この図19hの波形から図19gの波形を再現できれば、どのような場合でも補正が可能となる。ここで、実際のマーカ波形の空間周波数をf、除去しようとする想定される歪振動の最大の空間周波数をfvであるとする。なお空間周波数fは空間周波数fvより2倍以上高い周波数に設定される。除去すべき図19cの水平走査方向の振動成分の周波数fv以下なのに対して、図19fの除去すべき周波数変調成分はf-fv~ffvである。したがってf-fv>2fv-fv=fvであるために空間周波数fを空間周波数fvに対して2倍以上大きな値に取っておけば、垂直走査方向、水平走査方向それぞれを分離して影響を抽出できる。これを図示したのが図19jである。この図19jは、マーカの波形の計測時の周波数分布を示す図である。この図19jにおいて、縦軸は振動成分の振幅、横軸は周波数を示す。水平走査方向の歪成分は領域周波数帯域B1に含まれ,垂直走査方向の歪成分は領域周波数帯域B2に含まれるので容易に分離することができる。図20は、カメラ1及びコントローラ50Eの機能ブロック図である。図20に示すように、カメラ1は、撮像素子21及び読み出し部22を有している。読み出し部22は、上述した制御部1aが機能する。また、コントローラ50Eは、画像生成部23、マーカ検出部33、第1の抽出部34、第1の補正量計算部35、マーカ波形補正部36、第2の抽出部37、第2の補正量計算部38、画像補正部39及び計測部40を有している。具体的には、第2の抽出部37は、図18aに示したPLL回路50eと、このPLL回路50eの出力に対して必要な帯域成分のみ取り出すLPF回路50fとで構成される。また、ROM50b又はHDD50d等に記憶されたプログラムPに基づいて動作するCPU50aが各部23~35,37~39として機能する。以下、これら各部の動作について図21に示すフローチャートを参照しながら説明する。読み出し部22は、撮像素子21の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光して、画素信号を読み出すS61:読み出し工程。この動作は、図27cを用いて説明した動作と同様である。この撮像の際、組み付け用の治工具類その他の動きによる外乱を受けてカメラ1又は保持部材4、もしくは双方が動いていてもよい。つまり、カメラ1又は保持部材4が静止するまで待たなくてもよい。したがって、ワーク6の計測に要する時間を短縮することができる。次に、画像生成部23は、ステップS61にて読み出し部22により読み出された画素信号から画像を生成するS62:画像生成工程。マーカ検出部33は、ステップS62にて画像生成部23により生成された画像におけるマーカの波形を検出するS63:マーカ検出工程。次に、第1の抽出部34は、ステップS63にてマーカ検出部33により検出されたマーカの波形から空間周波数fの1/2よりも低い値の周波数帯域B1の振動成分図19jを抽出するS64:第1の抽出工程。具体的に説明すると、マーカ波形の空間周波数fは、想定される振動の最大の空間周波数fvの2倍以上の値に設定即ち、HDD50dに記憶されている。したがって、図19jに示すように、空間周波数fvは、マーカ波形の空間周波数fの1/2より低いところにある。つまり、水平走査方向に振動する振動成分は、周波数帯域B1にあり、この周波数帯域B1の振動成分を抽出することとなる。この周波数帯域B1の上限は空間周波数fvであり、下限は0である。次に、第1の補正量計算部35は、ステップS64にて第1の抽出部34により抽出された振動成分を打ち消す水平走査方向の第1の補正量を行単位で計算するS65:第1の補正量計算工程。この第1の補正量は、CPU50aにより記憶部HDD50dに記憶される。次に、マーカ波形補正部36は、ステップS63にてマーカ検出部33により検出されたマーカの波形を第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正するS66:マーカ波形補正工程。このように、検出したマーカ波形を補正することで、図19hに示すようなマーカ波形が、水平走査方向の振動成分が除去されて、図19eに示すようなマーカ波形となる。次に、第2の抽出部37は、ステップS66にてマーカ波形補正部36により補正されたマーカの波形の周波数変調成分を抽出するS67:第2の抽出工程。つまり、マーカ波形補正部36により補正されたマーカの波形には、基準周波数である空間周波数fの波形に、周波数変調成分が垂直走査方向の振動成分として重畳しているので、この重畳している垂直走査方向の振動成分が抽出される。この第2の抽出部37は、周波数変調成分を復調するために必要なPLL回路50e及びLPF回路50fからなるハードウエアで構成されている。これらハードウエアが波形データをデジタル量で取り込んでいるので、ソフトウエアで既知の方法で処理を実行する。次に、第2の補正量計算部38は、ステップS67にて第2の抽出部37により抽出された周波数変調成分を打ち消す垂直走査方向の第2の補正量を行単位で計算するS68:第2の補正量計算工程。この第2の補正量は、CPU50aにより記憶部HDD50dに記憶される。次に、画像補正部39は、画像生成部23により生成された画像を、第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正すると共に、第2の補正量で垂直走査方向に行単位で補正するS69:画像補正工程。次に、計測部40は、ステップS69における画像補正部39の補正により得られた画像を用いて、ワーク6の像として位置及び形状を計測するS70:計測工程。これにより、第1の補正量及び第2の補正量で補正したワーク6の像が求められる。以上、本第5実施形態では、上記第1実施形態と同様、撮像素子21の撮像により得られた画像を用いてワーク6の像として位置及び形状を求める際に、ジャイロセンサ等の外部センサを用いることなく、画像歪みを補正することが可能となる。したがって、画像歪みを補正した画像を用いてワーク6の位置及び形状を求めるので、ワーク6の計測精度が向上する。また、外部センサを用いずに画像の補正をすることができるので、外部センサを省略した分、コストダウンを図ることができ、外部センサを省略した分、省スペース化を図ることができる。そして、カメラ1及び保持部材4の双方に外部センサを設ける必要がなく、更にこれら外部センサに必要な同期回路も不必要となり、構成を簡略化することができる。なお本第5実施形態では、水平走査方向に振幅を持つマーカ3Eの例を示したが、垂直走査方向に正弦波状の粗密変化をもつマーカを用いても同様の効果を得ることができる。[第6実施形態]次に、本発明の第6実施形態に係る画像計測装置について説明する。図22は、本発明の第6実施形態に係る画像計測装置のカメラ及びコントローラの機能ブロック図である。なお、この図22において、上記第5実施形態の画像計測装置の構成と同様の構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本第6実施形態のコントローラ50Fは、上記第5実施形態と同様、画像生成部23、マーカ検出部33、第1の抽出部34、第1の補正量計算部35、マーカ波形補正部36、第2の抽出部37、第2の補正量計算部38及び計測部40を有している。更に、コントローラ50Fは、補正部41を有している。コントローラ50Fは、上記第5実施形態と同様、図18aに示すCPU50a、ROM50b、RAM50c、HDD50d、PLL回路50e及びLPF回路50f等を備えている。そして、CPU50aが、画像生成部23、マーカ検出部33、第1の抽出部34、第1の補正量計算部35、マーカ波形補正部36、第2の補正量計算部38、計測部40及び補正部41として機能する。また、PLL回路50e及びLPF回路50fが、第2の抽出部37として機能する。本第6実施形態では、CPU50a、PLL回路50e及びLPF回路50fが演算処理手段として機能する。図23は、カメラ1及びコントローラ50Fによるワーク6の位置及び形状を計測する際の動作を示すフローチャートである。この図23において、ステップS71,S72の処理動作は、図21のステップS61,S62の処理動作と同様である。本第6実施形態では、計測部40は、ステップS72にて画像生成部23により生成された画像を用いて、ワーク6の位置及び形状を計測するS73:計測工程。また、ステップS74~S79における処理動作は、図21のステップS63~S68における処理動作と同様である。次に、ステップS38の処理の終了後、補正部41は、ステップS73にて計測部40により計測された位置及び形状のデータを、第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正すると共に、第2の補正量で垂直走査方向に行単位で補正するS80:補正工程。これにより、第1の補正量及び第2の補正量で補正したワーク6の像が求められる。以上、本第6実施形態によれば、上記第5実施形態と同様の効果を奏する。つまり、外部センサを用いることなく、画像歪みを補正したワーク6の位置及び形状の計測結果をえることができる。したがって、ワーク6の位置及び形状の計測精度が向上する。また、外部センサを用いずに画像の補正をすることができるので、外部センサを省略した分、コストダウンを図ることができ、外部センサを省略した分、省スペース化を図ることができる。そして、カメラ1及び保持部材4の双方に外部センサを設ける必要がなく、更にこれら外部センサに必要な同期回路も不必要となり、構成を簡略化することができる。また、画像の再構成をする手間が省けるので、計算速度の点で有利となる。また、サブピクセルの精度で補正が可能であるのでより高精度な補正が可能となる。なお、上記第5及び第6実施形態では、マーカ5Eが画像上で垂直走査方向に平行に延びる場合について説明したが、これに限定するものではなく、水平走査方向に平行とならなければよい。具体的には、マーカ5Eが画面上で水平走査方向と交差するように配置されていればよい。[第7実施形態]次に、本発明の第7実施形態に係る画像計測装置について説明する。図24は、本発明の第7実施形態に係る画像計測装置の概略構成及び撮像により得られた画像を示す説明図である。なお、この図24において、上記第5実施形態の画像計測装置の構成と同様の構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。図24aに示すように、画像計測装置100Gは、撮像装置としてのカメラ1と、計測対象物であるワーク6を保持する保持部材4と、カメラ1に接続されたコントローラ50Gと、を備えている。コントローラ50Gは、CPU50a、ROM50b、RAM50c及びHDD50d等を有するコンピュータシステムである。ROM50b又はHDD50d等の記憶装置図24ではHDD50dには、CPU50aを動作させるプログラムPが記録されており、CPU50aは、このプログラムPに基づいて動作することで、後述する機能ブロックの各部として機能する。RAM50cには、CPU50aによる計算結果等が一時的に格納される。本第7実施形態では、CPU50aが演算処理手段として機能する。本第7実施形態の保持部材4の上面には、空間周波数fが既知である正弦波状の第1のマーカ3G1及び第1のマーカ3G1に対して90°の位相差を有する余弦波状の第2のマーカ3G2が設けられている。そして、図24bに示すように、撮像により得られた画像データ10Gには、実際のマーカ3G1,3G2に対応する撮像素子21の画素を基準とした2次元座標系でのマーカデータ12G1,12G2が含まれている。また、画像データ10Gには、実際のワーク6に対応する2次元座標系でのワークデータ11、実際のワーク6上の組み付け部品に対応する2次元座標系での部品データ13,14,15が含まれている。これらマーカ3G1,3G2は、撮像素子21の2次元座標系で垂直走査方向に平行に延びるように、即ち、図24bの画像10Gでマーカ12G1,12G2が垂直走査方向縦方向に平行に延びるように、保持部材4に配置されている。また、これらマーカ3G1,3G2は、撮像素子21の2次元座標系基準で水平走査方向横方向が振幅方向となる形状となっている。またマーカ3G1,3G2の正弦波,余弦波の空間周波数は同一であり、あらかじめ既知であるとする。即ち、記憶部記憶装置であるHDD50dにマーカ3G1,3G2の空間周波数のデータが記憶されている。図25は、画像計測装置100Gのカメラ1及びコントローラ50Gの機能ブロック図である。コントローラ50Gは、画像生成部23、マーカ検出部33、抽出部34、第1の補正量計算部35、マーカ波形補正部36、逆正接計算部42、第2の補正量計算部43、画像補正部39及び計測部40を有している。つまり、CPU50aが、画像生成部23、マーカ検出部33、抽出部34、第1の補正量計算部35、マーカ波形補正部36、逆正接計算部42、第2の補正量計算部43、画像補正部39及び計測部40として機能する。図26は、カメラ1及びコントローラ50Gによるワーク6の位置及び形状を計測する際の動作を示すフローチャートである。以下、カメラ1及びコントローラ50Gの各部の動作について図26に示すフローチャートを参照しながら説明する。図26において、ステップS81,S82の処理動作は、図21のステップS61,S62の処理動作と同様である。マーカ検出部33は、ステップS82にて画像生成部23により生成された画像10Gにおける第1のマーカ12G1及び第2のマーカ12G2の波形を検出するS83:マーカ検出工程。次に、抽出部34は、ステップS83にてマーカ検出部33により検出された第1のマーカ12G1の波形から空間周波数fの1/2よりも低い値の周波数帯域B1図19jの振動成分を抽出するS84:抽出工程。なお、このステップS84では、第1のマーカ12G1の波形から振動成分を抽出したが、第2のマーカ12G2の波形から振動成分を抽出してもよい。つまり、いずれか一方のマーカの波形から振動成分を抽出すればよい。次に、第1の補正量計算部35は、ステップS84にて抽出部34により抽出された振動成分を打ち消す水平走査方向の第1の補正量を行単位で計算するS85:第1の補正量計算工程。この第1の補正量は、CPU50aにより記憶部HDD50dに記憶される。次に、マーカ波形補正部36は、ステップS83にてマーカ検出部33により検出された第1のマーカ及び第2のマーカの波形を第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正するS86:マーカ波形補正工程。次に、逆正接計算部42は、ステップS86にてマーカ波形補正部36により補正された第1のマーカ及び第2のマーカの波形を用いて行毎に逆正接を求めるS87:逆正接計算工程。この逆正接の演算結果は、水平走査方向の振動成分を取り除いた画像上の第1のマーカ及び第2のマーカの波形の各行の位相値である。つまり、演算対象の行における第1のマーカの波形の振幅値をX、演算対象の行における第2のマーカの波形の振幅値をYとしたとき、その行の位相値θは、θ=tan-1X/Yで求まる。したがって、逆正接計算部42は、この演算式を用いて位相値θを求める。このとき逆正接計算部42は、±180°の位相を計測できるように正弦波、余弦波の正負を考慮して位相を求める。次に、第2の補正量計算部43は、ステップS87にて逆正接計算部42により求められた逆正接の位相値から垂直走査方向の第2の補正量を行単位で計算するS88:第2の補正量計算工程。具体的に説明すると、第2の補正量計算部43は、逆正接計算部42で計算した各行の位相値が、振動のない場合のマーカの波形の位相値の行へ垂直走査方向にずらす量を計算する。例えば、ある行L1において逆正接計算部42で計算した位相値が90°であった場合、振動のない場合の逆正接の演算で求められる位相値90°の行をL2とすれば、この行L1の画素データを行L2にずらすための補正量第2の補正量を計算する。次に、画像補正部39は、ステップS82にて画像生成部23により生成された画像を、第1の補正量で水平走査方向に行単位で補正すると共に、第2の補正量で垂直走査方向に行単位で補正するS89:画像補正工程。これにより、ワーク11の歪みが解消された画像が得られる。次に、計測部40は、ステップS89における画像補正部39の補正により得られた画像を用いて、ワーク6の位置及び形状を計測するS90:計測工程。これにより、補正されたワーク6の像が求められる。以上、本第7実施形態によれば、上記第5実施形態と同様の効果を奏する。つまり、外部センサを用いることなく、画像歪みを補正することが可能となる。したがって、画像歪みを補正した画像を用いてワーク6の位置及び形状を求めるので、ワーク6の計測精度が向上する。また、外部センサを用いずに画像の補正をすることができるので、外部センサを省略した分、コストダウンを図ることができ、外部センサを省略した分、省スペース化を図ることができる。そして、カメラ1及び保持部材4の双方に外部センサを設ける必要がなく、更にこれら外部センサに必要な同期回路も不必要となり、構成を簡略化することができる。また、本第7実施形態では、逆正接を求めることにより直接、行ごとの位相の進み遅れを検出しているので、上記第6実施形態で周波数変調成分を抽出する場合よりも、更なる高速化が期待できる。なお、この第7実施形態の場合も元の画像で計測点を求めておいて、計測点のみ垂直水平方向の補正を行っても良い。また、マーカ3G1,3G2が画像上で垂直走査方向に平行に延びる場合について説明したが、これに限定するものではなく、水平走査方向に平行とならなければよい。具体的には、マーカ5Eが画面上で水平走査方向と交差するように配置されていればよい。以上、上記第1~第7実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。上記第1~第7実施形態では、コンピュータ読み取り可能なプログラムが記録される記録媒体が、ROM又はHDDである場合について説明したが、CD,DVD等の各種記録メディア、USBメモリやメモリカード等の不揮発性メモリであってもよい。つまり、コンピュータにプログラムを読み取り可能に記録されるものであればいかなる記録媒体でもよく、これらに限定するものではない。そして、上記第1~第7実施形態の機能をコンピュータに実現させるプログラムを、ネットワーク又は各種記録媒体を介してコンピュータに供給し、そのコンピュータがプログラムコードを読み出して実行するようにすればよい。この場合、そのプログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は本発明を構成することになる。また、上記第5及び第6実施形態では、第2の抽出部37が、PLL回路50e及びLPF回路50fで構成されている場合について説明したが、これに限定するものではない。第2の抽出部37としての機能を、プログラムに基づいて動作するコンピュータとしてのCPU50aが有していてもよい。また、上記第1~第7実施形態では、画像生成部の機能をCPU50aが有する場合について説明したが、カメラ1が画像生成部の機能を有していてもよい。"