最大曲げ応力が100MPa以上であり、ガリウム濃度のばらつきが1モル以内であり、ガリウム濃度がモル濃度で20~40であり、残部がCuおよび不可避の不純物からなる銅ガリウム合金。請求項1記載の銅ガリウム合金からなるスパッタリングターゲット。ガリウム濃度がモル濃度で20~40で、残部がCuおよび不可避の不純物からなる銅ガリウム合金を、500°C~650°Cの温度で加熱処理する工程、および当該加熱処理の温度から300°Cまで35°C/分以下の速度で冷却する工程を含む銅ガリウム合金の製造方法。請求項3記載の方法を含むスパッタリングターゲットの製造方法。本発明は、Ga濃度が20モルを越える銅ガリウム合金をターゲット材として使用する場合、ひび割れが発生しにくい銅ガリウム合金およびその製造方法を提供することを目的とするものである。すなわち、本発明は、以下の好適な態様を包含する。1最大曲げ応力が100MPa以上であり、ガリウム濃度のばらつきが1モル以内であり、ガリウム濃度がモル濃度で20~40であり、残部がCuおよび不可避の不純物からなる銅ガリウム合金。2前記1記載の銅ガリウム合金からなるスパッタリングターゲット。3ガリウム濃度がモル濃度で20~40で、残部がCuおよび不可避の不純物からなる銅ガリウム合金を、500°C~650°Cの温度で加熱処理する工程、および当該加熱処理の温度から300°Cまで35°C/分以下の速度で冷却する工程を含む銅ガリウム合金の製造方法。4前記3記載の方法を含むスパッタリングターゲットの製造方法。本発明の方法で得られる銅ガリウム合金は、ガリウム濃度がモル濃度で20~40と高濃度でありながら、ひび割れが発生しにくい。このため、優れたターゲット材として適用することができる。本発明の銅ガリウム合金は、ガリウム濃度がモル濃度で20~40で、残部がCuおよび不可避の不純物からなる銅ガリウム合金であり、最大曲げ応力が100MPa以上で、ガリウム濃度のばらつきが1モル以内である。本発明の銅ガリウム合金が含有する不可避の不純物としては、P、SおよびAgなどが挙げられる。上記最大曲げ応力は、公知の3点曲げ試験機を用いて、クロスヘッドスピードを1mm/分として、3点曲げ試験を行ったときの最大応力である。上記最大曲げ応力として好ましくは150MPa以上である。また、上記最大曲げ応力として好ましくは500MPa以下であり、より好ましくは300MPa以下である。上記のガリウム濃度のばらつきは、図1に示すように測定試料である合金隗の表裏3か所計6か所について、蛍光X線分析装置を用いてガリウム濃度を測定し、得られた測定値の最大値と最小値との差である。本発明の銅ガリウム合金のガリウム濃度は、上記6か所の測定結果の平均であり、好ましくは25~40である。かかる銅ガリウム合金は、ガリウム濃度がモル濃度で20~40好ましくは25~40で、残部がCuおよび不可避の不純物からなる銅ガリウム合金を、500°C~650°Cの温度で加熱処理した後、その加熱処理の温度から300°Cまで35°C/分以下、好ましくは30°C/分以下の速度で冷却することにより得ることができる。本発明において上記の加熱処理に供する銅ガリウム合金は公知の方法で製造したものを用いることができる。その主な方法としては溶解鋳造法、粉末冶金焼結、熔結法などが挙げられるが、入手の容易性、熱処理効果の発現性の点より、溶解鋳造法で得られた銅ガリウム合金が好ましく用いられる。銅ガリウム合金塊の加熱処理は、通常約500°C~約650°Cの温度で行う。ガリウム濃度が約20~約30の場合は好ましくは550°C~約650°Cで、ガリウム濃度が約30~約35の場合は好ましくは約500°C~約600°Cで、該加熱処理を行う。加熱処理の上限温度は、加熱処理に供する銅ガリウム合金の固相線より低い温度で行なう。固相線を越える場合にはガリウム濃度のばらつきが大きくなる。加熱処理は、目的とする温度まで合金が加熱された後、その温度で保持して行ってもよい。保持している時間も含めた加熱処理の時間は、加熱処理の温度や加熱処理に供する銅ガリウム合金塊の大きさに依存し、作業性、製造コスト等の観点から、通常約1日以内、好ましくは約1時間~約12時間、より好ましくは約2時間~約12時間である。加熱処理の雰囲気は特に制限されるものではなく、大気雰囲気でよい。本発明においては、加熱処理後の銅ガリウム合金を特定の温度までは特定の温度条件で冷却する。具体的には加熱処理の温度から300°Cまでの冷却を、35°C/分以下の速度で冷却する。冷却速度としては5°C/分~35°C/分、好ましくは5°C/分~30°C/分である。冷却速度が上記範囲を外れると、得られた銅ガリウム合金がひび割れやすくなる。上記加熱処理後の銅ガリウム合金の冷却方法としては、特に制限されないが、例えば、加熱炉内で温度調整をしながら、送風もしくは放冷により冷却すればよい。本発明における銅ガリウム合金塊の加熱処理や冷却処理に用いる装置としては、上記加熱処理条件や冷却条件を満足し得る装置であれば特に制限されないが、通常、電気炉が適用し得る。以下本発明を実施例によりさらに詳しく説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。[実施例1]溶解温度930°Cの銅ガリウム合金溶湯ガリウム濃度が32モルを黒鉛鋳型の中央部にある湯口から流し込む方式の溶解鋳造法にて得られた厚さ50mm、幅250mm、長さ500mmの銅ガリウム合金塊から、ワイヤー放電加工により厚さ10mm、幅40mm、長さ140mmのサイズに切断して、銅ガリウム合金を試験片として作製した。この試験片を電気炉中で約2°C/分の速度で表1に記載の加熱処理温度まで昇温し、次いで2時間、該加熱処理温度で保持した。このようにして加熱処理した試験片を電気炉内に保持したまま、冷却用空気を導入し、表1に示す冷却速度で試験片の温度が300°Cとなるまで冷却し、その後、大気中に取り出しで自然放冷した。このようにして得られた加熱処理前と加熱処理後の試験片のガリウム濃度を、蛍光X線分析装置島津製作所EDX-700Lにて測定した。測定点は図1に示す如く表裏3点、計6点を実施し、その中での最大値と最小値の差をばらつきとした。また、上記方法で得た試験片を用いて、以下に示すような方法による3点曲げ試験を行った。その結果を表1に示す。ここで示す最大曲げ応力とは、試験片を一定距離に配置された2支点上に置き、支点間の中央の1点に荷重を加えたときの最大曲げ応力である。図2に示す如く3点曲げ試験における試験片の大きさは40mm×140mm×10mm、クロスヘツドスピードは1mm/分、支持棒と支点棒はそれぞれ12.7mmφ×50mmであつた。[比較例1]~[比較例3]加熱処理温度、冷却速度を表1に記載の条件に変えた以外は実施例1と同一方法で試験片を作成し、試験片のひび割れ状態、曲げ強度、Ga濃度のばらつきを調べた。その結果を表1に記載する。表1比較例1は、高温で加熱処理した結果、加熱処理後の最大曲げ応力は大きくなったが、ガリウム濃度のばらつきが大きく、スパッタリング時にひび割れが発生しやすい。比較例2は、低温で加熱処理した結果、加熱処理後の最大曲げ応力は十分に大きくならず、スパッタリング時にひび割れが発生しやすい。比較例3は、冷却速度を大きくした結果、冷却を終えた時点ですでにひび割れを起こしていた。