"エポキシ系の光画定可能photodefinableな乾燥膜から形成された高分子層と、前記高分子層をそれぞれ貫通して延在する複数の開口と、を含むマイクロフィルタ。前記高分子層は、液体を濾過するのに十分な強度および柔軟性を有し、前記開口は、第1のタイプの体液細胞は通すが、第2のタイプの体液細胞は通さないサイズで構成される、請求項1に記載のマイクロフィルタ。前記開口の幅は、前記高分子層の厚さとほぼ同じである、請求項2に記載のマイクロフィルタ。前記高分子層の少なくとも1つの表面上に金属物質のコーティングをさらに含む、請求項1に記載のマイクロフィルタ。前記コーティング上に配された分析物認識要素をさらに含む、請求項4に記載のマイクロフィルタ。前記高分子層の少なくとも1つの表面上に分析物認識要素のコーティングをさらに含む、請求項1に記載のマイクロフィルタ。前記乾燥膜は多機能エポキシ樹脂を含む、請求項1に記載のマイクロフィルタ。エポキシ系の光画定可能photodefinableな乾燥膜から形成された第1の高分子層であって、当該高分子層を貫通して延在する第1の開口を有する高分子層と、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された第2の高分子層であって、当該高分子層を貫通して延在する第2の開口を有する高分子層と、を備え、前記第1および第2の開口は、前記第1および第2の層を貫通して延在する非線形通路を少なくとも部分的に規定する多層マイクロフィルタ。エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された第3の高分子層であって、当該高分子層を貫通して延在する第3の開口を有する高分子層をさらに含み、前記第1、第2、および第3の開口が前記第1、第2、および第3の層を通る非線形通路を規定するように、前記第3の層が前記第1および第2の高分子層間に配置される、請求項8に記載のマイクロフィルタ。前記第1および第3の開口は、それぞれ、第1および第3の細長いトレンチtrenchであり、前記第1および第3のトレンチは、互いに対して実質的に垂直である、請求項9に記載のマイクロフィルタ。前記第2の開口は、前記第1のトレンチに対して実質的に平行な第2の細長いトレンチである、請求項10に記載のマイクロフィルタ。前記第1、第2、および第3の高分子層の各々は、前記第1、第2、および第3の層を各々貫通して延在する複数の非線形通路を形成する複数の開口を含む、請求項9に記載のマイクロフィルタ。前記第1の高分子層の少なくとも1つの表面上に金属物質のコーティングをさらに含む、請求項8に記載のマイクロフィルタ。前記コーティング上に配置された分析物認識要素をさらに含む、請求項13に記載のマイクロフィルタ。前記第1の高分子層の少なくとも1つの表面上に分析物認識要素のコーティングをさらに含む、請求項8に記載のマイクロフィルタ。基板上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の第1の層を準備するステップと、乾燥膜の前記第1の層にマスクによって規定されたパターンを形成するため、前記マスクを通るエネルギーにより前記第1の層を露光するステップと、乾燥膜の前記露光された第1の層から、当該層を貫通して延在する複数の開口を有する高分子層を形成するステップであって、当該複数の開口の分布は前記パターンにより規定されるものであるステップと、前記基板から前記高分子層を除去するステップと、を含むマイクロフィルタの形成方法。前記マスクを通るエネルギーにより乾燥膜の前記第1の層を露光する前記ステップは、前記パターンを規定する光学マスクを通る紫外線UV光により乾燥膜の前記第1の層を露光するステップを含む、請求項16に記載の方法。前記マスクを通るエネルギーに乾燥膜の前記第1の層を露光する前記ステップは、前記パターンを規定するX線マスクを通るX線により乾燥膜の前記第1の層を露光するステップを含む、請求項16に記載の方法。乾燥膜の前記露光された第1の層から前記高分子層を形成する前記ステップは、乾燥膜の前記露光された第1の層を現像するステップを含む、請求項16に記載の方法。前記高分子層の少なくとも1つの表面を金属物質でコーティングするステップをさらに含む、請求項16に記載の方法。前記コーティングに分析物認識要素を付着するステップをさらに含む、請求項20に記載の方法。前記高分子層の少なくとも1つの表面を分析物認識要素でコーティングするステップをさらに含む、請求項16に記載の方法。基板上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の前記第1の層を準備する前記ステップは、前記基板上に配された乾燥膜の前記第1の層を含む乾燥膜構造体の一部分を前記乾燥膜構造体のロールから展開するステップと、前記マスクと支持体との間の位置に乾燥膜構造体の前記一部分を前進させるステップと、を含む、請求項16に記載の方法。基板上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の前記第1の層を準備する前記ステップは、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜の複数の層を互いに積層させて設けるステップを含み、乾燥膜の各層は、それぞれの基板に配される、請求項16に記載の方法。エネルギーにより前記第1の層を露光する前記ステップが、マスクを通るエネルギーにより乾燥膜の前記複数の層の各層を同時に露光して、前記マスクによって規定されたパターンを、乾燥膜の前記層の各々に形成するステップを含む、請求項24に記載の方法。複数の層を設ける前記ステップは、基板上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の層を各々が含む複数の乾燥膜構造体の各々についての乾燥膜構造体のロールから、前記乾燥膜構造体の一部分を展開するステップと、前記マスクと支持体との間の位置に前記乾燥膜構造体の各々の前記部分を前進させるステップと、を含む、請求項24に記載の方法。請求項16に記載の方法を使用して形成されるマイクロフィルタ。基板上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の第1の層から、複数の第1の開口を含む第1の高分子層を形成するステップと、前記第1の高分子層上にエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の第2の層を積層するステップと、乾燥膜の前記第2の層から、複数の第2の開口を含む第2の高分子層を形成するステップと、を含む、多層マイクロフィルタの形成方法。前記第2のマイクロフィルタ上にエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の第3の層を積層するステップと、乾燥膜の前記第3の層から、複数の第3の開口を含む第3の高分子層を形成するステップと、をさらに含む、請求項28に記載の方法。前記多層マイクロフィルタを貫通して延在する非線形通路が、前記第1の開口の1つ、前記第2の開口の1つ、および前記第3の開口の1つによって少なくとも部分的に規定される、請求項29に記載の方法。前記第1の開口の少なくとも1つは、第1の細長いトレンチであり、前記第2の開口の少なくとも1つは、前記第1の細長いトレンチに対して実質的に垂直な第2の細長いトレンチである、請求項28に記載の方法。前記第1および第2の高分子層の少なくとも一方の少なくとも1つの表面を金属物質でコーティングするステップをさらに含む、請求項28に記載の方法。前記コーティングに分析物認識要素を付着するステップをさらに含む、請求項32に記載の方法。前記第1の高分子層の少なくとも1つの表面を分析物認識要素でコーティングするステップをさらに含む、請求項28に記載の方法。請求項28に記載の方法を使用して形成された多層マイクロフィルタ。エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成されたマイクロフィルタの複数の開口を通して液体を流すステップを含み、前記マイクロフィルタは、液体を濾過するのに十分な強度および柔軟性を有し、前記開口は、第1のタイプの体液細胞は通すが、第2のタイプの体液細胞は通さないサイズで構成される、マイクロフィルタの使用方法。前記複数の開口を通して前記液体を流す前にフィルタホルダに前記マイクロフィルタを位置決めするステップと、前記複数の開口を通して前記液体を流した後、前記フィルタホルダから前記マイクロフィルタを除去するステップと、をさらに含む、請求項36に記載の方法。前記複数の開口を通して前記液体を流すステップは、前記マイクロフィルタを使用し、前記複数の開口を通して液体が引き込まれるにつれて、前記液体中に存在する循環腫瘍細胞を捕獲するステップを含む、請求項36に記載の方法。前記捕獲された循環腫瘍細胞に、細胞の同定、細胞の計数、細胞の特性調査、培養、および細胞の分離の1つ以上を実行するステップをさらに含む、請求項38に記載の方法。前記マイクロフィルタは、当該マイクロフィルタの少なくとも1つの表面上に金属物質のコーティングを含む、請求項36に記載の方法。前記マイクロフィルタは、前記コーティングに付着された分析物認識要素を含む、請求項40に記載の方法。前記マイクロフィルタは、前記マイクロフィルタの少なくとも1つの表面上に分析物認識要素のコーティングを含む、請求項36に記載の方法。したがって、体液サンプルからこのような柔軟性が大きいおよび/または小さい細胞を収集することで、収集細胞に基づいた健康状態の診断が可能になりうる。体液に存在する他の細胞より柔軟性が大きいおよび/または小さい細胞は、体液を濾過することで収集されてもよい。例えば、ある状態を示す標的細胞が、当該標的細胞が通過するには小さすぎるが他の細胞は通過できる大きさの開口を有するフィルタに、体液を通すことにより収集されてもよい。標的細胞は、収集されると、任意の回数の解析が実行されてもよい。このような解析は、例えば、収集細胞の同定、計数、特性調査および/または培養を含んでもよい。本発明の1つの態様において、マイクロフィルタが開示される。マイクロフィルタは、エポキシ系の光画定可能photo‐definableな乾燥膜から形成された高分子層と、高分子層をそれぞれ貫通して延在する複数の開口とを含む。本発明の別の態様において、多層マイクロフィルタが開示される。マイクロフィルタは、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された第1の高分子層であって、当該高分子層を貫通して延在する第1の開口を有する高分子層と、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された第2の高分子層であって、当該高分子層を貫通して延在する第2の開口とを有する高分子層とを含み、第1および第2の開口は、第1および第2の層を貫通して延在する非線形通路を少なくとも部分的に規定する。本発明のさらなる別の態様において、マイクロフィルタの製造方法が開示される。この方法は、基板上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の第1の層を準備するステップと、乾燥膜の第1の層にマスクによって規定されたパターンを形成するため、マスクを通るエネルギーにより第1の層を露光するステップと、乾燥膜の露光された第1の層から、当該層を貫通して延在する複数の開口を有する高分子層を形成するステップであって、当該複数の開口の分布は前記パターンによって規定されるものであるステップと、基板から高分子層を除去するステップと、を含む。本発明のさらなる別の態様において、多層マイクロフィルタの形成方法が開示される。この方法は、基板上に配置されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の第1の層から複数の第1の開口を含む第1の高分子層を形成方法するステップと、第1の高分子層上にエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の第2の層を貼り合わせるステップと、乾燥膜の第2の層から複数の第2の開口を含む第2の高分子層を形成するステップとを含む。本発明のさらなる別の態様において、マイクロフィルタの使用方法が開示される。この方法は、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成されたマイクロフィルタの複数の開口に液体を通すステップを含み、マイクロフィルタは、液体を濾過するのに十分な強度および柔軟性を備え、これらの開口は、第1のタイプの体液細胞は通すが、第2のタイプの体液細胞は通さないサイズで構成される。本発明の例示的な実施形態は、添付の図面を参照しながら、本明細書において記載される。本発明の態様は、一般に、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された高分子層を含むマイクロフィルタに関する。本マイクロフィルタは、高分子層をそれぞれ貫通して延在する複数の開口を含んでいる。ある実施形態において、マイクロフィルタは、マスクを通るエネルギーにより乾燥膜を露光し、露光された乾燥膜を現像することによって形成されてもよい。いくつかの実施形態において、乾燥膜は、紫外線UV光の形態のエネルギーにより露光されてもよい。他の実施形態において、乾燥膜は、X線の形態のエネルギーにより露光されてもよい。ある実施形態において、高分子層は、液体を濾過するのに十分な強度および柔軟性を有する。いくつかの実施形態において、開口は、第1のタイプの体液細胞を通し、第2のタイプの体液細胞は通さないサイズに形成される。詳細には、ある実施形態において、マイクロフィルタは、体液にアッセイ分析、assayを実行するために使用されてもよい。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタは、体液から希少細胞を隔離および検出するために使用されてもよい。ある実施形態において、マイクロフィルタは、マイクロフィルタを通過した血液から循環腫瘍細胞CTCを収集するために使用されてもよい。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタを使用して収集された細胞が、細胞の同定、計数、特性調査、培養などの下流プロセスにおいて使用されてもよい。さらに詳細には、ある実施形態において、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜の複数の層は、マイクロフィルタの大規模生産のため、エネルギーにより同時により露光されてもよい。いくつかの実施形態では、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜層の積層体が形成され、当該積層体の乾燥膜層のすべてが、エネルギーにより同時により露光される。いくつかの実施形態では、基板上に形成されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜を含む乾燥膜構造体が、ロールの形態で準備される。このような実施形態では、乾燥膜をエネルギーにより露光するため、構造体の一部分がロールから展開されてもよい。ある実施形態では、複数のロールの複数部分がエネルギーにより同時に露光されてもよい。図1A~図1Eは、本発明の実施形態に係るマイクロフィルタ120の製造プロセスにおける複数の段階を示す断面図である。図2Aは、本発明の実施形態に係るマイクロフィルタの製造プロセス200を示すフローチャートである。以下、図1A~図1Eを参照しながら、図2Aの例示的なプロセスについて説明する。また、図3A~図8Bを参照しながら、図2Aに示すプロセスの他の実施形態について後述する。図2Aのブロック220において、基板180上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜100本明細書では乾燥膜100と呼ぶこともあるの層が準備される。いくつかの実施形態では、ブロック220において、基板180上に乾燥膜100が被せlaminateられる。ある実施形態では、ブロック220において、シリコンウェハに銅のような薄い金属材料層がコーティングされ、金属材料上に乾燥膜100が被せられる。他の実施形態では、ブロック220において、基板180にすでに付着された乾燥膜100が取得され、準備されてもよい。本明細書では、エポキシ系の光画定可能な物質とは、多機能性のエポキシ樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、エポキシ化された多官能ビスフェノールAホルムアルデヒドノボラック樹脂などの光画定可能なエポキシ樹脂を含むか、またはこのようなエポキシ樹脂から形成された、物質をさす。米国特許第7,449,280号明細書、同第6,716,568号明細書、同第6,391,523号明細書および同第6,558,868号明細書に、光画定可能なエポキシ樹脂の例が示されており、同文献の内容全体は、本明細書に参照により援用されたものとする。また、米国特許出願公開第2010/0068648号明細書および同第2010/0068649号明細書にも、光画定可能なエポキシ樹脂の例が示されており、同文献の内容全体は、本明細書に参照により援用されたものとする。本明細書では、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜とは、エポキシ系の光画定可能な物質を含むか、またはこのような物質から形成された、乾燥膜である。米国特許第7,449,280号明細書、同第6,391,523号明細書および同第6,558,868号明細書、ならびに米国特許出願公開第2010/0068648号明細書および同第2010/0068649号明細書に、本発明の実施形態により使用されてもよいエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の例が示されている。加えて、DuPontのPERMX商標シリーズの高分子膜およびDJDevCorpのSUEX商標シートには、本発明の実施形態により使用されてもよいエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の例が含まれており、これらの高分子膜およびシートは、各々、2つの他の高分子層間に光画定可能な層を含む。ある実施形態において、基板180は薄い銅箔である。いくつかの実施形態において、乾燥膜が被せられる基板表面の不規則性は、乾燥膜表面に転写されてしまうため、基板は滑らかであることが好ましい。いくつかの実施形態において、比較的短い時間で基板が除去されうるように、基板として薄い銅膜が好ましい。他の実施形態において、基板180は、シリコンウェハ、Kaptonなどのポリイミド膜または任意の他の適切な材料であってもよい。図1Bおよび図1Cに示されているように、ブロック240において、乾燥膜100が、マスク199を通してエネルギーにより露光され、露光済み乾燥膜110を形成する。図1Bおよび図1Cに示す実施形態において、UV光に対して透明なマスク部分197と、UV光に対して不透明な材料の薄膜で形成されたマスクパターン198と、を有する光学マスク199を通る紫外線UV光の形態のエネルギーにより、乾燥膜100が露光される。別の実施形態では、乾燥膜100は、ブロック240において、光学マスク199を通るUV光により露光される代わりに、X線マスクを通るX線により露光されてもよい。図1A~図1Eに示す実施形態において、乾燥膜100はネガ型レジストである。ネガ型レジストとは、本明細書では、UV光やX線などのある種のエネルギーにより露光されると重合状態になる光画定可能な物質である。本発明の実施形態により使用されてもよいネガ型レジストエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の例として、DuPontのPERMX商標シリーズの高分子膜に含まれるネガ型レジスト乾燥膜、およびDJDevCorpのSUEX商標シートに含まれるネガ型レジスト乾燥膜があり、これらは、各々、2つの他の高分子層間に光画定可能な層を含む。PERMX商標3000シリーズは、Dupontによりロールで製造されており、市販されているものの厚さは、10μm、14μm、25μmおよび50μmであるが、他の厚さのものも得られる。図1Cに示されているように、マスク199を通してUV光により露光された露光済み乾燥膜110の部分は重合状態になるが、部分116は非重合状態のままである。露光済み乾燥膜100の重合化部分および非重合化部分は、光学マスク199によって画定されたパターン118を形成する。特に、露光済み乾燥膜110のパターン118は、光学マスク199のパターン198によって画定され、パターン198は、UV光に対して不透明な材料によって形成される。ある実施形態において、パターン198は、クロム薄膜など、UV光に対して不透明な材料の薄膜によって形成されてもよい。別の実施形態において、ネガ型乾燥膜の代わりに、ポジ型のエポキシ系の光画定可能な乾燥膜が使用されてもよい。このような実施形態において、ポジ型乾燥膜からマイクロフィルタを形成するプロセスは、図4A~図4Dに関連して以下に記載されているように、異なるマスクが使用されてもよい点を除いて、図1A~図2Aに関連して記載したマイクロフィルタの形成プロセスと同様である。本明細書では、ポジ型レジストとは、UV光やX線などのある種のエネルギーにより物質が露光されると、重合結合が破壊される光画定可能な物質である。ある実施形態において、ポジ型レジストは、ポリジメチルグルタルイミドMicroChemから入手可能なPMGI、LORなど、アセテートおよびキシレンフリーのレジストShipleyCorp.から入手可能なS1800登録商標シリーズのレジストなどまたは別のタイプのポジ型レジストをベースにしたレジストであってもよい。厚さが数ミクロンを超えるレジスト層の場合、ネガ型レジストは、一般に、ポジ型レジストより感応性が高い。ほとんどの高分子レジストは、ポジ型レジスト膜のカテゴリーに属する。使用されてもよい乾燥膜ポジ型レジストの例は、ポリメチルメタクリレートPMMA、メチルメタクリレートの合成高分子である。ポジ型レジストの他の例は、アクリル類、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレートPETMYLAR商標などのポリエステル類がある。ある実施形態では、本発明の実施形態に従って、エポキシ系でない光画定可能な乾燥膜からマイクロフィルタが形成されてもよい。このような実施形態において、乾燥膜は、ポジ型またはネガ型のレジストであってもよい。他の実施形態において、マイクロフィルタは、乾燥膜ではなく光画定可能な液体から形成されてもよい。このような実施形態において、光画定可能な液体は、ポジ型レジストまたはネガ型レジストであってもよい。ある実施形態において、光画定可能な液体は、液状ポリイミドであってもよい。このような実施形態において、光画定可能な液状ポリイミドは、ポジ型レジストまたはネガ型レジストであってもよい。ブロック260において、マイクロフィルタを貫通して延在する複数の開口122を有するマイクロフィルタ120が、露光済み乾燥膜110から形成される。ある実施形態において、マイクロフィルタ120は、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された高分子層と、高分子層を貫通して延在する複数の開口とを含む。本明細書に記載する本発明の実施形態の各々において、マイクロフィルタは、1つ以上の高分子層と、1つ以上の高分子層の各々を貫通して延在する1つ以上の開口とを含む。また、本明細書では、開口とは、層または他の構造体の外面間を延在する任意のタイプの通路、孔、トレンチ、ギャップ、穴などをさす。図1A~図1Eに示す実施形態において、開口122は孔122である。図1A~図1Eに示す実施形態において、非重合化部分116を除去して、孔122を有するマイクロフィルタ120を形成するために、露光済み乾燥膜110が現像される。ある実施形態において、露光済み乾燥膜110は、乾燥膜110に現像剤を適用して非重合化部分116を溶解することによって現像される。いくつかの実施形態において、現像剤は、露光済み乾燥膜110が現像剤に浸漬されると、非重合化部分116を溶解する水溶液である。ブロック280において、孔122を有するマイクロフィルタ120は、図1Eに示すように、独立したマイクロフィルタ120を形成するように基板180から除去される。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタは、構造体の外面間を延在する1つ以上の開口を含む1つ以上の高分子層の構造体であり、この構造体は、1つ以上の開口を通過する液体を濾過するのに十分な強度および柔軟性を有する。ある実施形態において、マイクロフィルタは、体液または体液を含む液体がフィルタを通過するとき、体液細胞の1つ以上のタイプが開口を通過できないような小さな寸法を有する開口を含んでいてもよく、開口の寸法はまた、体液細胞の1つ以上の他のタイプがフィルタを通過できないほど小さいものである。本明細書では、体液細胞とは、赤血球や白血球、あるいはCTCや胎児細胞などの希少細胞を含む、患者の体液中に見られる任意の細胞をさす。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタは、多数の赤血球を通過させ、多数のCTCを通過させないサイズの開口を含む。ある実施形態において、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜の1つ以上の層から形成されたマイクロフィルタは、高分子マイクロフィルタであってもよい。以下、図2B~図8Bとの関係において、図2Aに示すプロセスのさまざまな実施形態について説明する。上述したように、ある実施形態では、基板180は銅箔であってもよい。このような実施形態では、ブロック280の1つの変形例として、硝酸、塩化鉄ま、たは別の既知の試薬を用いて、マイクロフィルタ120から銅基板180が除去されてもよい。ある実施形態において、試薬は、銅基板180をマイクロフィルタ120から除去する目的で、銅基板180をエッチング除去するために使用されてもよい。他の実施形態において、基板180は、アルミニウムなどの別のタイプの金属箔であってもよく、ブロック280において、既知の方法で除去されてもよい。図2Bは、本発明の実施形態に係る、図2Aに示すブロック260において露光済み乾燥膜からマイクロフィルタを形成するプロセスを示すフローチャートである。ある実施形態において、マイクロフィルタの形成プロセス260は、露光済み乾燥膜から、複数の開口を含む高分子層を形成するステップを含む。図2Bの実施形態では、ブロック262において、基板180上に配された露光済み乾燥膜110に、ポストベークプロセスが実行される。ある実施形態において、ポストベークプロセスは、乾燥膜110をポストベークするために、乾燥膜110を比較的高い温度にさらすステップを含む。ブロック264において、乾燥膜110は、図1A~図1Eに対して上述した如く、現像剤を乾燥膜110に適用することによって現像される。ブロック266において、現像済み乾燥膜110に、ハードベークプロセスが実行される。ある実施形態において、ハードベークプロセスは、乾燥膜110を比較的高い温度にさらすステップを含む。図2Bに示すプロセスのいくつかの実施形態において、ブロック266のハードベークプロセスは省略されてもよい。このような実施形態では、ブロック262において露光済み乾燥膜110をポストベークし、ブロック264において乾燥膜110を現像することにより、マイクロフィルタ120が形成される。図2Bに関連して説明した上記プロセスは、本明細書に記載した任意の実施形態について使用することができる。さらに、本明細書に記載した本発明の任意の実施形態において、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜からマイクロフィルタの高分子層を形成するプロセスは、上述したように、乾燥膜をエネルギーにより露光するステップ、ポストベークプロセスを実行するステップ、露光済み乾燥膜を現像するステップ、および/または、露光済み乾燥膜をポストベークするステップを含むことができる。図3A~図3Eは、本発明の実施形態に係る、マイクロフィルタ120の製造プロセスにおける複数の段階を示す断面図である。図3A~図3Eに示す実施形態において、基板はポリイミド膜181である。ブロック220において、ポリイミド膜181上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜100の層には、乾燥膜100の部分とポリイミド膜181との間に配置されたセパレータ182が設けられる。図3Aに示す実施形態では、乾燥膜100の縁に沿って、乾燥膜100の部分とポリイミド膜181との間にセパレータ182が形成されている。ある実施形態では、セパレータ182は、乾燥膜100の1つ以上の縁に沿って、または乾燥膜100とポリイミド膜181との間の他の場所に、設けられるものとしてもよい。セパレータ182は、ポリイミド膜KAPTON膜などにより形成することもできるし、あるいは乾燥膜100に積層できてハードベークプロセスの温度に耐えられる他の任意の適切な材料により形成することもできる。図3B~図3Cに示すように、図1B~図1Dに関連して上述した如く、ブロック240および260において、乾燥膜100がエネルギーにより露光され、マイクロフィルタ120が露光済み乾燥膜110から形成される。ある実施形態においては、マイクロフィルタ120は、複数の開口が貫通した高分子層を含む。図3A~図3Eに示す実施形態では、セパレータ182の露出端部を把持し、セパレータ182を用いてマイクロフィルタ120をポリイミド膜181から引き剥がすことにより、マイクロフィルタ120をポリイミド膜181から除去する。図3Dに示すようにポリイミド層181から乾燥膜100を除去した後、図3Eに示すように、セパレータ182を乾燥膜100から除去して、独立したマイクロフィルタ120を得る。層181からマイクロフィルタ120を除去するステップ、およびマイクロフィルタ120からセパレータ182を除去するステップは、本発明の実施形態に係るブロック280の、1つの変形例において実行される2つのステップである。図2Aに示すプロセスの別の実施形態において、乾燥膜100の代わりに、液体レジストが使用されてもよい。このような実施形態では、ブロック210の1つの変形例として、金属物質の薄い層で基板をコーティングし、当該金属物質にエポキシ系液体フォトレジストをスピンコーティングして、基板上に配されたエポキシ系の光画定可能な物質の層を準備する。ある実施形態では、基板はシリコンウェハであってもよく、金属物質は銅であってもよく、液体フォトレジストはエポキシ系の光画定可能な液体であってもよい。いくつかの実施形態において、エポキシ系の光画定可能な液体は、SU-8などの液体ネガ型レジストである。図1B~図1Dに対して上述したように、ブロック240および260において、エポキシ系の光画定可能な物質の層は、エネルギーにより露光され、露光済み層からマイクロフィルタ120が形成される。上述したように、ブロック280の1つの変形例として、従来のプロセスを用いて金属物質をエッチング除去することにより、基板からマイクロフィルタ120が剥離される。ある実施形態において、液体レジストは、SU-8またはMicroChemCorp.から入手可能なKMPR登録商標などの、液体ネガ型レジストであってもよい。図2Aに示すプロセスの他の代替的な実施形態では、乾燥膜100の代わりに液体ネガ型レジストが使用されてもよく、剥離層としてネガ型レジストと基板との間にポジ型レジストが使用されてもよい。このような実施形態では、ブロック210の1つの変形例として、基板上にエポキシ系の光画定可能な物質の層を形成するため、基板上に液体ポジ型レジストがスピンコーティングされ、当該ポジ型レジストがコーティングの厚さに応じた適切な照射量のエネルギーUV光などにより露光され、次に当該ポジ型レジスト上に液体エポキシ系ネガ型レジストがスピンコーティングされる。ある実施形態において、ポジ型レジストは、マスクを使用することなくエネルギーにより露光されてもよい。エポキシ系の光画定可能な物質の層は、エネルギーにより露光され、図1B~図1Dに対して上述したように、マイクロフィルタ120が、ブロック240および260において露光済み層から形成される。このような実施形態では、ブロック280の1つの変形例として、ポジ型レジストを現像することによって、基板からマイクロフィルタ120が剥離される。ある実施形態において、同じ現像剤が、ポジ型レジストとネガ型レジストの両方を現像するために使用されてもよい。他の実施形態において、1つの現像剤が、マイクロフィルタ120に孔を形成するために使用され、別の現像剤が、基板からマイクロフィルタを剥離するために使用されてもよい。別の実施形態において、液体ポジ型レジストの代わりに、剥離層として乾燥膜ポジ型レジストが使用されてもよい。使用されてもよい乾燥膜ポジ型レジストの例として、ポリメチルメタクリレートPMMAおよびメチルメタクリレートの合成高分子がある。他の実施形態において、ポジ型レジスト剥離層と組み合わせて、ネガ型エポキシ系の光画定可能な乾燥膜100が使用されてもよい。このような実施形態は、ブロック210において液体ネガ型レジストのスピンコーティングをするのではなくスピンコーティングされたポジ型レジスト上にネガ型乾燥膜100の層を被せてもよい点を除き、ポジ型レジスト剥離層を利用した上述の実施形態と同様である。図4A~図4Dは、本発明の実施形態に係る、マイクロフィルタ420の製造プロセスにおける複数の段階を示す断面図である。図4A~図4Dに示す実施形態では、ブロック220において、基板180上に配されたポジ型エポキシ系の光画定可能な乾燥膜400本明細書において乾燥膜400と呼ぶこともあるの層が準備される。ある実施形態では、ブロック220において、基板180上にポジ型乾燥膜400が被せられる。図4Bに示すように、図1Bおよび図1Cに対して上述した如く、ブロック240において、ポジ型乾燥膜400がエネルギーにより露光される。ただし、乾燥膜400の露光された部分が重合状態になるのではなく、マスク499を通過したエネルギー例えば、UV光により露光される部分416において乾燥膜400の重合結合が破壊される点が異なる。露光済み部分416と非露光部分とで構成されるパターン418が、露光済み乾燥膜410に形成される。図4Bに示すように、マスク499は、透明部分497と、不透明部分498とを含む。上述したように、図1Bのマスク199は、ネガ型レジストとともに使用され、乾燥膜100のうち孔が形成されることとなる部分を覆うように構成されている。図4A~図4Dに示す実施形態では、マスク499の不透明部分498は、ポジ型乾燥膜400の、開口が形成されることとなる場所を除く全ての部分を覆うように構成されており、これにより、UV光は、ポジ型乾燥膜400のうち開口が形成されるべき部分へとマスク499を通過することができる。図4A~図4Dに示す実施形態におけるブロック260の1つの変形例として、重合結合が破壊された乾燥膜400の部分416を溶解する現像剤を使用して乾燥膜410を現像することによって、露光済み乾燥膜410からマイクロフィルタ420が形成される。図4Dに示すように、ブロック280において、独立した高分子マイクロフィルタ420を形成するため、開口422を有するマイクロフィルタ420が基板180から除去される。いくつかの実施形態では、マイクロフィルタ420は、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された高分子層を含み、高分子層を貫通して延在する複数の開口を含む。ある実施形態では、開口422は孔422である。いくつかの実施形態では、ブロック280において、上述したようにポジ型レジストを現像することによりマイクロフィルタ420が基板から剥離されてもよい。図5A~図5Dは、本発明の実施形態に係る、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜の複数の層から複数のマイクロフィルタを製造するプロセスにおける複数の段階を示す断面図である。図2Aに示すプロセスについてのある実施形態では、ブロック220において、基板580上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜500本明細書において乾燥膜500と呼ぶこともあるの層をそれぞれ含む、複数の乾燥膜構造体501が準備される。図5A~図5Dに示す実施形態では、図5Aに示すように、支持体590上に構造体501を積層することにより、ブロック220において基板580上に配された乾燥膜500が準備される。ある実施形態では、図5Aに示すように、構造体501の積層体に含まれる複数の乾燥膜500が、図2Aのブロック240において、X線マスク599を通るX線の形態のエネルギーにより同時に露光される。いくつかの実施形態では、X線はUV光よりかなり深く浸透する。X線は、UV光とは異なり、5mm未満の厚さを有する材料内であれば1ミクロンより著しく小さい形状に対しても発散しない。いくつかの実施形態では、典型的に、シンクロトロンのビームライン上でX線リソグラフィが実行されてもよい。また、X線リソグラフィは、ネガ型およびポジ型の両方のレジストに対しても使用されうる。図5A~図5Dに示す実施形態において、乾燥膜500はそれぞれネガ型レジストである。他の実施形態において、乾燥膜500は、ポジ型レジストであってもよい。このような実施形態では、図4Bのマスク499に関して上述したのと同様に、ポジ型レジストに開口を形成するよう構成されたマスクを使用することができる。さらに、乾燥膜500がポジ型レジストである実施形態では、乾燥膜500は、そのそれぞれを各基板上に配するのではなく、支持体290上に付着させて互いに直接積層することができる。図5Bに示すように、各乾燥膜500のうちマスク599を通してX線に露光される部分は重合状態になり、乾燥膜500の部分516は重合されないまま残る。各乾燥膜500の重合化部分および非重合化部分は、光学マスク599のパターン598によって規定されたパターン518を形成する。いくつかの実施形態では、マスク599は、X線に対し透明な部分597と、X線を実質的にブロックするよう構成されたパターン598とを含む。ある実施形態において、パターン598は金goldにより形成される。また、いくつかの実施形態において、X線に対し透明な部分597は、薄いグラファイトシートまたはシリコンウェハであってもよい。図5A~図5Dに示す実施形態において、基板580は、それぞれ、当該基板に入射されたX線エネルギーのほとんどを透過する。ある実施形態では、基板580は金属箔により形成される。このような実施形態では、金属箔が十分に薄い場合、基板580は、それぞれ、当該基板に入射されたX線エネルギーのほとんどを透過する。いくつかの実施形態では、積層され、同時に露光されてもよい構造体501の数は、金属箔を通過するX線に生じるX線の照射量の減衰に基づいて定められる。ある実施形態では、ブロック260の1つの変形例として、複数の露光済みの乾燥膜510は、図1A~図1Eに関連して上述したのと同様の方法で、各々が開口522を有する複数のマイクロフィルタ520を形成するように現像される。ある実施形態では、開口522は孔522である。いくつかの実施形態では、図5Bおよび図5Cに示すプロセスは、ブロック260の1つの変形例において実行されてもよい。このような実施形態では、構造体501は、図5Bに示すように互いから分離され、ブロック262の1つの変形例において、それぞれの基板580上に配された露光済み乾燥膜510に対しポストベーク処理が実行される。ある実施形態では、露光済み乾燥膜510の各々は、図5Cに示すように、乾燥膜500の各々に孔522を形成するために、ブロック264の1つの変形例において、上述したように現像される。いくつかの実施形態では、孔522を有するマイクロフィルタ520を形成するために、ブロック266の1つの変形例において、それぞれの基板580上に配された乾燥膜510に対しハードベーク処理が実行される。他の実施形態において、ハードベーク処理は省略されてもよい。ある実施形態では、ブロック280の1つの変形例において、図5に示す如く、孔522を有する独立したマイクロフィルタ520を得るため、上述したようにマイクロフィルタ520から基板580が化学的に除去される。ある実施形態では、マイクロフィルタ520はそれぞれ、開口522を含む高分子層である。上述したように、ある実施形態では、基板580の各々は、金属箔から形成されてもよい。別の実施形態において、基板580は、基板に適用されるX線のほとんどを透過し、かつ、乾燥膜500のポストベーク温度より高い融点を有する、高分子系の基板であってもよい。例えば、ある実施形態において、基板580は、ポジ型レジストから形成されてもよい。このような実施形態では、基板580は、図2Aのブロック280において、現像液により基板580が化学的に除去されるように、ポジ型レジストの重合結合を破壊するのに十分なエネルギー、例えば、UV光やX線などにより露光されてもよい。他の実施形態において、基板580はポリイミド膜であってもよく、当該基板は、ブロック280においてマイクロフィルタ520からポリイミド基板580を剥離することによって、除去されてもよい。別の実施形態では、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜500本明細書において乾燥膜500と呼ぶこともあるの複数の層は、各層がそれぞれの基板上に配され積層されることなく、同時に露光されてもよい。このような実施形態では、乾燥膜500は、ブロック220の1つの変形例において、隣接する乾燥膜500間に基板を配置せずに支持体590上に積層される。積層された乾燥膜500は、ブロック240の1つの変形例において露光される。いくつかの実施形態において、図2Bに示すプロセスは、ブロック260において実行されてもよい。このような実施形態では、露光済み乾燥膜510は分離されて個別の基板上に置かれ、ブロック262の1つの変形例において、これら個別の基板上の露光済み乾燥膜510に対してポストベークプロセスが実行される。このような実施形態では、使用される基板は、ポストベーク温度に耐えることができ、かつ、水または1つ以上の化学物質によって溶解できるものとする。露光済み乾燥膜510は、それぞれの基板に付着された状態で、ブロック264において現像され、ブロック266においてハードベーク処理されるものとしてもよい。ブロック280において、基板580は、露光済み乾燥膜510から形成されたマイクロフィルタ520から除去される。ある実施形態において、構造体501は、接着剤、クランプまたは任意の他の適切な機構や方法を用いて、支持体590に付着されてもよい。いくつかの実施形態において、構造体501は、静電チャックによって支持体に保持される。図6Aおよび図6Bは、本発明の実施形態に係るマイクロフィルタの形成プロセスにおける、静電チャック装置600を使用して支持体に乾燥膜構造体501を付着するプロセスの複数の段階を示す断面図である。図6Aおよび図6Bに示す実施形態において、複数の乾燥膜構造体501は、その各々が基板580上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜500の層を含んでおり、図6Aに示すように、支持体690上に積層されて準備される。図6Aに示すように、支持体690は、ダクト693を有する水冷フレーム692と、フレーム692上に配された絶縁体664と、絶縁体664上に配された導電層662とを含む。また、図6Aに示すように、構造体501の積層体上に透明導電層660が配され、導電層660と662との間に構造体501の積層体が配される。また、図6Aに示すように、導電層間を接続する回路は開状態であり、導電層に印加される電圧665はゼロとなっている。図6Bに示すように、導電層間の回路を閉じ、ゼロでない電圧665が導電層660と662との間に印加されると、装置600は、導電層660と662との間で構造体501を押圧することとなる。装置600によって構造体501が押圧された状態において、図5A~図5Dに関連して上述した如く、X線マスク599を介して乾燥膜500にX線を照射してもよい。ある実施形態では、図6Aおよび図6Bに関連して上述した如く、装置600上で構造体501を積層し、装置600を使用して構造体501を押圧することは、図2Aのブロック220の1つの変形例において実行されてもよい。各基板上に配された乾燥膜からマイクロフィルタを形成することに関連して静電チャック装置の使用について上述したが、別の実施形態では、静電チャックを同様に用いて、各基板上に配されていない独立した乾燥膜のような、独立した高分子膜の積層体を押圧してもよい。このような独立した複数の乾燥膜は、複数の乾燥膜から複数のマイクロフィルタを形成するプロセス中において、互いに積層され押圧されてもよい。図7Aおよび図7Bは、本発明の実施形態に係る、乾燥膜構造体のロールからマイクロフィルタを製造するプロセスにおける複数の段階を示す断面図である。図7Aおよび図7Bに示す実施形態では、乾燥膜構造体785は、当該乾燥膜構造体785のロール702の形態で準備される。乾燥膜構造体785は、除去可能な基板782上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜700本明細書において乾燥膜700と呼ぶこともあるの層を含む。いくつかの実施形態において、基板782は、化学的に溶解可能な金属箔であってもよい。ある実施形態において、金属箔は、アルミニウムまたは銅を含んでもよく、上述したようにエッチング除去されてもよい。図7Aおよび図7Bに示す実施形態において、ローラ774にロール702の一方が配置され、ローラ775に他方が配置される。乾燥膜構造体785の作業部分787は、ローラ774と775との間で延伸され、ローラ770によって実質的に平坦に保持されて、マスク199を通るエネルギーにより露光される。図2Aに示すプロセスのある実施形態では、ブロック220の1つの変形例において、ロール702から乾燥膜構造体785の一部分を展開して矢印772の方向に構造体785の当該部分を前進させ、支持体791とマスク199との間に構造体785の作業部分787を設けることにより、基板782上に配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜700の層が準備される。いくつかの実施形態において、ブロック220において設けられる作業部分787は、マスクを介したエネルギーの露光によるパターン化が行われていない乾燥膜700の部分を含んでいる。ある実施形態において、支持体791およびマスク199は、構造体785が前進されるときは、構造体785から離れる方向に移動される。図7Aおよび図7Bに示す実施形態では、図2Aのブロック240の1つの変形例において、図7Bに示すように、マスク199および支持体791は、構造体785に隣接した位置に移動され、乾燥膜700は、マスク199を介してエネルギーにより露光される。図7Aおよび図7Bに示す実施形態において、マスク199は光学マスクであり、エネルギーはUV光であるが、上述したように、異なるマスクとともに、異なるタイプのエネルギーが使用されてもよい。図7Aおよび図7Bに示す実施形態において、乾燥膜700はネガ型レジストである。他の実施形態において、乾燥膜700はポジ型レジストであってもよい。このような実施形態では、図4Bのマスク499に関連して上述した如く、ポジ型レジストに孔を形成するように構成されたマスクが使用されてもよい。他の実施形態に関連して上述したように、マスクを介してエネルギーにより乾燥膜700を露光すると、乾燥膜700にパターンが形成される。ある実施形態において、支持体791は、図7Bに示すように、構造体785を押圧し、露光プロセスに備えて乾燥膜700を引き伸ばし、これにより乾燥膜700に対し露光プロセス中にさらなる張力と安定性を与える。いくつかの実施形態では、乾燥膜700を露光した後、構造体785は、ブロック220において露光されていない新しい作業部分787を準備するように、上述した如く再び前進されてもよく、新しい作業部分787は、上述した如くブロック240において露光されてもよい。ある実施形態において、構造体785を前進させて乾燥膜700を露光するこのプロセスは、継続的に繰り返されてもよい。いくつかの実施形態において、本プロセスは、乾燥膜700のほとんどまたはすべての部分が露光プロセスを受けるまで、繰り返されてもよい。いくつかの実施形態では、ブロック260の1つの変形例において、他の実施形態に関連して上述した如く、露光部分を現像することにより乾燥膜700の露光部分から開口を有するマイクロフィルタが形成される。このような実施形態では、乾燥膜700の露光部分は、ローラ775に巻かれる前に現像されてもよく、または乾燥膜700のすべての所望の部分が露光された後に現像されてもよい。いくつかの実施形態において、図2Bに示すプロセスは、ブロック260において実行されてもよい。このような実施形態では、乾燥膜700の露光部分は、ブロック262においてポストベーク処理用の炉を通って前進されてもよく、乾燥膜700の露光部分は、ブロック264において現像された後、ブロック266においてハードベーク処理を受けてもよい。他の実施形態において、ブロック262、264、および266での処理は、乾燥膜700のすべての所望の部分が露光された後に実行されてもよい。ある実施形態において、ハードベーク処理は省略されてもよい。いくつかの実施形態において、露光済み乾燥膜700を現像した後、基板782は、他の実施形態に関連して上述した如く、ブロック280において除去される。ある実施形態では、基板782を除去した後、マイクロフィルタを形成した乾燥膜のロールから、個々のマイクロフィルタが切り出される。ある実施形態では、ロールとして準備された乾燥膜からマイクロフィルタを形成することで、本発明の実施形態に係るマイクロフィルタの製造が単純化され、製造プロセスの自動化が可能になりうる。図8Aおよび図8Bは、本発明の実施形態に係る、乾燥膜構造体の複数のロールからマイクロフィルタを製造するプロセスにおける複数の段階を示す断面図である。図8Aおよび図8Bに示す実施形態は、複数のロール702のエポキシ系の光画定可能な乾燥膜700の層がエネルギーにより同時に露光される点以外、図7Aおよび図7Bに示す実施形態と同様である。このような実施形態では、矢印772の方向に各ロール702の構造体785を前進させて支持体891とマスク899との間に構造体785の積層体887を供給することにより、ブロック220の1つの変形例において、各基板782上にそれぞれ配されたエポキシ系の光画定可能な乾燥膜700の複数の層が準備される。図8Aおよび図8Bに示す実施形態において、マスク899および支持体891は、積層体887に隣接する位置へ移動され、マスク899と支持体891との間に配された積層体887の乾燥膜700の部分は、図2Aのブロック240の1つの変形例において、図8Bに示すように、マスク899を通してエネルギーにより同時に露光される。図8Aおよび図8Bに示す実施形態において、乾燥膜700の各々はネガ型レジストである。他の実施形態において、乾燥膜700はポジ型レジストであってもよい。このような実施形態では、図4Bのマスク499に関連して上述した如く、ポジ型レジストに開口を形成するように構成されたマスクが使用されてもよい。乾燥膜700からマイクロフィルタを形成するさらなるプロセスは、図7Aおよび図7Bに示す実施形態に関連して上述したプロセスと同様である。図8Aおよび図8Bに示す実施形態において、ダクト693を含む水冷フレーム692上に支持体891が配される。また、図8Bに示すように、構造体785の作業部分887は、クランプ860によって支持体891とマスク899との間の適所に確実に保持されてもよい。別の実施形態において、積層体887は、他の実施形態に関連して上述した如く、静電チャックを使用して確実に保持されてもよい。いくつかの実施形態において、同時に露光される乾燥膜700の数は、特定の数の膜の積層体を露光するときに生じる精度に基づいて決定されてもよい。ある実施形態では、上述したように複数のロールとして準備された複数の乾燥膜からマイクロフィルタを形成することで、マイクロフィルタの製造が単純化され、および/または、マイクロフィルタの大量生産が容易になりうる。非エポキシ系乾燥膜が使用される実施形態においては、乾燥膜は、基板がないロールの形態で準備されてもよい。このような実施形態では、各ロール702は、乾燥膜のみを含み、基板を含まない。エポキシ系乾燥膜が使用される実施形態では、各ロール702は、乾燥膜700上にさらなる被覆層を含んでもよい。このような実施形態では、基板782は、乾燥膜700の第1の面に配され、被覆層は、乾燥膜700の反対側の面に配される。ある実施形態では、本発明の実施形態に係るリソグラフィをベースにした微細加工により、高度に均一な精度のマイクロフィルタの効率的な大量生産が可能になりうる。ある実施形態では、本発明の実施形態に従ってマイクロフィルタを作製することにより、生産されるマイクロフィルタの多孔性および孔の均一性が高まりうる。図9A~図9Dは、本発明の実施形態に係る種々のマイクロフィルタの、開口の分布を示す部分平面図である。ある実施形態において、異なるサイズ、形状、および分布を有する開口を備えたマイクロフィルタが作製されてもよい。いくつかの実施形態では、マイクロフィルタの特定の応用に関しては、開口のサイズ、形状、および分布の或る組み合わせが、他の組み合わせより有益なものとなりうる。例えば、血中の循環腫瘍細胞や胎児細胞などの希少細胞を精密濾過するために、ある実施形態では、各々の直径が7~8ミクロンの円形孔を有するマイクロフィルタが好ましい場合がある。いくつかの応用においては、各々の直径が7~8ミクロンの円形孔を有するマイクロフィルタが、非常にわずかな比率の血球を保持しながら、希少細胞を捕獲しうる。図9Aおよび図9Bに示す実施形態では、マイクロフィルタ910および912は、均一な分布の孔920および922を、それぞれ有する。また、孔920は、孔922と同様に、サイズが均一である。図9Cに示す実施形態では、マイクロフィルタ914は均一な孔924を含み、孔924はいくつかの群に分かれてマイクロフィルタ914内に分布している。図9Dに示す実施形態において、マイクロフィルタ916は、第1のサイズの複数の孔926と、第2のサイズの複数の孔928とを含む。他の実施形態では、孔920、922、924、926、および928のいずれか任意のものが、任意の他のタイプの開口であってもよい。マイクロフィルタ910、912、914、および916のいずれか任意のものは、本発明の実施形態に係る上述したマイクロフィルタ製造プロセスの任意のものを使用して製造されてもよい。また、本発明の実施形態に係る上述したマイクロフィルタ製造プロセスの任意のものは、複数の異なる断面形状の開口を形成するために使用されてもよい。例えば、ある実施形態においては、円形、三角形、正方形、長方形、長円形、楕円形、台形、平行四辺形などの断面形状を有する開口が形成されてもよい。さまざまな厚さを有し、かつ、さまざまな形状、サイズ、および分布の開口を有するマイクロフィルタは、本明細書に記載する本発明の実施形態により製造されてもよい。図10A~図10Dは、本発明の実施形態に係る、さまざまな厚さを有し、かつ、さまざまな形状、サイズ、および分布をもつ開口を備えた、マイクロフィルタの断面図である。図10Aおよび図10Bは、それぞれ本発明の実施形態に係る上述したプロセスの1つにより形成されたマイクロフィルタ1010および1012を示している。マイクロフィルタ1010は、各々が幅1040を有する複数の孔1020を含む。マイクロフィルタは、孔1020の幅1040に対してほぼ垂直な厚さ1030を有する。図10Aに示す実施形態において、厚さ1030は、幅1040より著しく大きいものではない。ある実施形態において、マイクロフィルタの厚さは、サンプルが孔を通過するのに必要な圧力を低減するために、マイクロフィルタの1つ又は複数の孔の幅とほぼ同じものであることが好ましい。いくつかの用途では、マイクロフィルタの厚さがいくつかの孔の幅または全ての孔の幅より著しく大きいと、マイクロフィルタの厚さがいくつかの又は全ての孔の幅とほぼ同じである場合に比べ、サンプルをマイクロフィルタを通過させるため当該マイクロフィルタに非常に大きな圧力をかけることとなる場合がある。比較的大きな圧力でサンプルをフィルタに押し通すと、1つ以上の孔の形状を変形させたり、マイクロフィルタを破損させる危険が生じ得る。例えば、血中のCTCや胎児細胞などの希少細胞を精密濾過するために、ある実施形態では、厚さが8~14ミクロンのマイクロフィルタが好ましい場合がある。ある実施形態では、このような用途のためのマイクロフィルタは、直径が7~8ミクロンで厚さが8~14ミクロンの孔を有してもよい。他の実施形態において、このような用途のためのマイクロフィルタは、5~7ミクロンの幅および7ミクロンを超える長さを有する長方形の開口を含んでもよい。ここで、開口の長さおよび幅は、共にマイクロフィルタの厚さに対してほぼ垂直に測った長さである。ある実施形態において、長方形の開口は細長いトレンチ溝、trenchであってもよい。ある実施形態では、マイクロフィルタに設けられた開口の幅は、そのサイズがマイクロフィルタの厚さに近いことが好ましい場合がある。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタの厚さは、一部又は全部の孔の幅の10倍未満である。他の実施形態において、マイクロフィルタの厚さは、孔の一部またはすべての幅である10ミクロンの範囲内である。本発明の実施形態に従って形成されたマイクロフィルタは、血液から循環腫瘍細胞を捕獲する以外の応用において使用されてもよい。いくつかの実施形態において、所望の開口の幾何学的形状、開口寸法、開口分布、マイクロフィルタの材料、マイクロフィルタの厚さ、マイクロフィルタのサイズなどは、用途に応じて異なるものであってもよい。いくつかの実施形態において、開口についての所望の幾何学的形状、寸法、および分布は、光学マスクまたはX線マスクなどの適切なマスクを用いることで実現することができる。ある実施形態では、フィルタ材料の破損または開口形状の変形を防ぐため、マイクロフィルタの素材強度が重要となり得る。図10Bに示すように、マイクロフィルタ1012は、各々が幅1042を有する複数の孔1022を有する。マイクロフィルタ1012は、また、孔1022の幅1042に対してほぼ垂直な厚さ1032を有する。マイクロフィルタ1012の厚さ1032は、マイクロフィルタ1010の厚さより大きい。図10Bに示す実施形態において、孔1022は、サイズが均一であり、各々が、マイクロフィルタ1012の第1の表面1050および第2の表面1052に対してほぼ垂直である。図10Cに示す実施形態では、マイクロフィルタ1014は、第1の幅1044を有する孔1024と、第1の幅1044より小さい第2の幅1046を有する孔1026とを有する。また、マイクロフィルタ1014は、厚さ1034を有する。図10Dに示す実施形態では、マイクロフィルタ1016は、不均一の断面形状を有する孔1028を有する。各孔1028は、マイクロフィルタ1016の第1の表面1054にある第1の開口部と、マイクロフィルタ1016の第2の表面1056にある第2の開口部とを有する。図10Dに示すように、第1の表面1054にある孔1028の幅1048は、第2の表面1056にある孔1028の幅1049より大きい。また、マイクロフィルタ1016は、厚さ1036を有する。図12A~図12Kは、本発明の実施形態に係る多層マイクロフィルタ1270の製造プロセスにおける複数の段階を示す断面図である。図12Lは、本発明の実施形態に係る多層マイクロフィルタ1270の平面図である。図11は、本発明の実施形態に係る多層マイクロフィルタ1420の製造プロセス1100を示すフローチャートである。図14Aおよび図14Bは、本発明の実施形態に係る多層マイクロフィルタ1420の断面図である。図14Cは、図14Aおよび図14Bに示す多層マイクロフィルタ1420の平面図である。以下、図12A~図12Fおよび図14A~図14Cを参照しながら、図11の例示的なプロセスについて説明する。図13Aおよび図13Bは、図11に示すプロセスにおける複数の段階を示す平面図である。図11のブロック1120において、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜の層から、基板180上に第1のマイクロフィルタ120が形成される。図12A~図12Lに示す実施形態において、第1のマイクロフィルタ120は、ブロック280における基板180からのマイクロフィルタ120の除去を省略する上述の図2Aのプロセス200と同様のプロセスによって、基板180上に形成されてもよい。ある実施形態において、マイクロフィルタ120は、複数の開口を含む高分子層で構成される。プロセス1100のある実施形態において、乾燥膜100に複数の孔を形成するよう構成されたパターン198を有するマスク199の代わりに、乾燥膜100に複数の細長いトレンチを形成するよう構成されたパターンを有するマスクが使用されてもよい。このような実施形態では、マスクは、細長い金属ストリップを含むパターンを有するものとすることができ、これにより、乾燥膜100が当該マスクを通して露光されると、対応する細長いトレンチが乾燥膜100に形成される。図13Aは、本発明の実施形態に係る、ブロック1120において形成されたマイクロフィルタ120の平面図である。図13Aに示すように、マイクロフィルタ120は、複数の細長いトレンチ1222を含み、トレンチ1222を通して露光される基板180上に配される。図12Aは、図13Aの線12Aに沿って切り取ったマイクロフィルタ120の断面図であり、図12Bは、図13Aの線12Bに沿って切り取ったマイクロフィルタ120の断面図である。図示のように、線12Bは、線12Aに対して垂直である。図11のブロック1140において、図12Cに示すように、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜1210本明細書において乾燥膜1210と呼ぶこともあるの層をマイクロフィルタ120上に被せる。ある実施形態において、乾燥膜1210は、その下の表面に形成された構造物をつなぐbridgingことができる。このような実施形態では、乾燥膜1210は、マイクロフィルタ120上に被せられる際には、トレンチ1222にほとんど入り込まない。後述するように、ブロック1160において、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜1210の層から第2のマイクロフィルタ1230が形成される。ある実施形態において、マイクロフィルタ1230は、複数の開口を含む高分子層により構成される。図12Dに示すように、図2Aのブロック240に関連して上述した如く、乾燥膜1210は、マスク1290を通してエネルギーにより露光され、重合化されたパターン1218と重合化されていない部分1216を有する露光済み乾燥膜1212を形成する。図12A~図12Lに示す実施形態において、乾燥膜1210はネガ型レジストである。他の実施形態では、乾燥膜1210は、ポジ型レジストであってもよく、ポジ型レジストとともに使用するように構成された異なるマスクが使用されてもよい。図12A~図12Lに示す実施形態において、乾燥膜1210は、UV光に対して透明なマスク部分1295とUV光に対して不透明な複数の細長いストリップとを含むマスクパターン1293を有した光学マスク1290を通して、紫外線UV光の形態のエネルギーにより露光される。別の実施形態において、乾燥膜1210は、光学マスク1290を通してUV光により露光される代わりに、X線マスクを通してX線により露光されてもよい。図12A~図12Lに示す実施形態では、図2Aおよび図2Bのブロック260に関連して上述した如く、ブロック1160の1つの変形例において、露光済み乾燥膜1212から、複数のトレンチ1232を有する高分子マイクロフィルタ1230が形成される。ここで、上記複数のトレンチ1232は、高分子マイクロフィルタ1230を通って延在している。図13Bは、本発明の実施形態に係る第1および第2のマイクロフィルタ120および1230の平面図である。図13Bに示すように、マイクロフィルタ1230は、複数の細長いトレンチ1232を含み、トレンチ1232を通って露光される第1のマイクロフィルタ120上に配される。図13Bに示すように、マイクロフィルタ1230のトレンチ1232は、マイクロフィルタ120のトレンチ1222に対してほぼ垂直に形成される。図12Eは、図13Bの線12Eに沿って切り取られたマイクロフィルタ120および1230の断面図であり、図12Fは、図13Bの線12Fに沿って切り取ったマイクロフィルタ120および1230の断面図である。図示のように、線12Fは、線12Eに対して垂直である。ある実施形態では、第2のマイクロフィルタ1230を形成した後、図2Aのブロック280に関連して上述した如く、基板180がマイクロフィルタ120から除去されて、図14A~図14Cに示す多層マイクロフィルタ1420が形成されるものとしてもよい。図14A~図14Cに示す実施形態において、多層マイクロフィルタ1420は、第1のマイクロフィルタ120上に形成された第2のマイクロフィルタ1230を含む。図14Cに示すように、多層マイクロフィルタ1420は、開口1240を含む。この開口1240は、多層マイクロフィルタ1420の、トレンチ1222および1232が交差する部分に延在する。ある実施形態において、マイクロフィルタ1240は、複数の開口を含む高分子層により構成される。図14Aは、図14Cの線14Aに沿って切り取られたマイクロフィルタ1420の断面図であり、図14Bは、図14Cの線14Bに沿って切り取られたマイクロフィルタ1420の断面図である。図示するように、線14Bは、線14Aに対して垂直である。ある実施形態では、マイクロフィルタ1420が形成される代わりに、図12G~図12Lに示す如く、非線形通路1280を有するマイクロフィルタ1270が形成されてもよい。このような実施形態では、図12Lに示す多層マイクロフィルタ1270は、第1および第2のマイクロフィルタ120および1230上に第3のマイクロフィルタ1240を形成し、基板180を除去することによって形成される。また、このような実施形態では、図12Fに示すように、第1のマイクロフィルタ120および基板180の上に第2のマイクロフィルタ1230を形成した後、図12Gに示すように、第2のマイクロフィルタ1230上に、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜1215の層が被せられる。続いて、第2のマイクロフィルタ1230の形成ならびに図2Aおよび図2Bのブロック240および260のプロセスに関連して上述した如く、乾燥膜1215から第3のマイクロフィルタ1240が形成される。図12Hに示すように、第3のマイクロフィルタ1240は、トレンチ1232に対してほぼ垂直でトレンチ1222とほぼ平行な複数の細長いトレンチ1242を含んでいる。また、ある実施形態において、トレンチ1242は、図12Hに示すように、トレンチ1242がトレンチ1222の真上に配されないように、トレンチ1222の位置からずらして形成される。ある実施形態では、第3のマイクロフィルタ1240を形成した後、図2Aのブロック280に関連して上述した如く、マイクロフィルタ120から基板180を除去して多層マイクロフィルタ1270を形成してもよい。図12Lは、多層マイクロフィルタ1270の平面図である。図12Jは、図12Lの線12Jに沿って切り取られた多層マイクロフィルタ1270の断面図であり、図12Kは、図12Lの線12Kに沿って切り取られた多層マイクロフィルタ1270の断面図である。図示するように、線12Kは、線12Jに対して垂直である。図12Lに示すように、多層マイクロフィルタ1270は、マイクロフィルタ1240、1230および120の各々を通って延在する非線形通路1280を含む。この非線形通路1280は、多層マイクロフィルタ1270の第1の表面1272から第2の表面1274図12Jを参照まで延在している。ある実施形態では、各非線形通路1280は、トレンチ1242および1232の交点にある第1の開口1282と、トレンチ1232および1222の交点にある第2の開口1284と、第1および第2の開口を接続するトレンチ1232の部分と、によって規定される。多層マイクロフィルタ1270が1つ又は複数の非線形通路1280を有する実施形態では、濾過経路は、多層マイクロフィルタ1270が線形開口のみを含んでいる場合よりも長い。明確にするために、図12Lには、選択されたトレンチ1232及び1222と選択された非線形通路のみが示されている。いくつかの実施形態では、各非線形開口1280は、トレンチ1232を介して多くの他の非線形通路1280と相互接続される。多層マイクロフィルタ1270のある実施形態では、マイクロフィルタ120、1230および1240のそれぞれの厚さは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。また、マイクロフィルタのトレンチは、すべて同じサイズおよび/または形状を有していなくてもよく、多層マイクロフィルタの異なるマイクロフィルタのトレンチがすべて、同じサイズおよび/または形状を有していなくてもよい。いくつかの実施形態において、細長いトレンチ1242は、5~7ミクロンの幅と、7ミクロンより大きい長さとを有してもよい。ここで、長さおよび幅は、マイクロフィルタの厚さに対して垂直であるものとする。代替的に、又は更に、マイクロフィルタの厚さのトレンチは非線形であってもよく、隣接するマイクロフィルタのトレンチは、互いに対して90度以外の角度方向に配されてもよい。代替的に、又は更に、マイクロフィルタ120、1230および1240の1つ以上は、トレンチの代わりに、図9A~図9Dに示すいずれかの孔と同様の孔を含んでもよく、いくつかの実施形態において、多層マイクロフィルタ1270は、互いの上に形成された4つ以上のマイクロフィルタを含んでもよい。また、ある実施形態において、マイクロフィルタ120、1230、および1240の各々は、同じタイプのエポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成されてもよい。図15は、本発明の実施形態に係る、マイクロフィルタおよび支持構造体を含む精密濾過構造体の断面図である。図15に示す実施形態において、精密濾過構造体1510は、孔1522を有するマイクロフィルタ1520を有し、マイクロフィルタ1520は、当該マイクロフィルタに構造的強度を与えるよう構成された支持構造体1530上に配されている。ある実施形態において、支持構造体1530は、マイクロフィルタ1520と一体化されていてもよい。いくつかの実施形態において、支持構造体1530は、グリッド状の支持構造体である。ある実施形態において、精密濾過構造体1510は、図12A~図12Fおよび図14A~図14Cに関連して上述したプロセスと同様のプロセスによって形成されてもよい。このような実施形態では、マイクロフィルタ1520および支持構造体1530の各々は、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜の層から形成され、適切なマスクを用いて形状が決定される。このような実施形態では、マイクロフィルタ1520が支持構造体1530上に形成されるか、又は支持構造体1530がマイクロフィルタ1520上に形成される。ある実施形態では、高分子マイクロフィルタ表面への機能付与により、当該マイクロフィルタの表面に、マイクロフィルタの特定の用途に対し望ましい表面性質を与えることができる。高分子マイクロフィルタの表面に修正を加えるための1つの技術は、化学化合物および/または有機物を表面に付着させることができるように、マイクロフィルタの表面にプラズマ処理を実行することである。いくつかの実施形態で用いられる他の表面修正技術は、金属物質の薄層でマイクロフィルタをコーティングすることである。図16は、本発明の実施形態に係る、コーティングされたマイクロフィルタの断面図である。マイクロフィルタ120は、図1A~図1E、図2A、および図2Bに関連して上述した如く、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜の層から形成される。図16に示す実施形態において、マイクロフィルタ120は、当該マイクロフィルタ120の表面1650上にコーティング1600を含む。ある実施形態において、コーティング1600は、金属物質、ナノ粒子コロイド物質、または有機物質から形成されてもよい。このような実施形態では、これらの表面コーティングは、分析物認識要素analyterecognitionelement、DNA、アプタマーaptamer、表面ブロック試薬surfaceblockingreagentなどを付着するために使用されうる。他の実施形態において、コーティング1600は、分析物認識要素、DNA、アプタマー、表面ブロック試薬などを含んでもよい。ある実施形態において、表面コーティングは、例えば、ポリペプチド類、核酸類、炭水化物類、脂質類などの巨大分子を付着させるために使用されてもよい。分析物認識要素として使用されてもよいポリペプチド類の例は、例えば、抗体、抗体分析物antibodyanalyteの抗原標的、受容体細胞受容体を含む、結合タンパク質、配位子または標的分析物に対する他の親和性試薬を含む。分析物認識要素として使用されてもよい核酸類の例は、例えば、十分な結合特異性を許容する任意の長さのDNA、cDNA、またはRNAを含む。このような実施形態では、分析物認識要素としてポリヌクレオチド類およびオリゴヌクレオチド類の両方が使用されうる。他の実施形態において、分析物認識要素として、ガングリオシド類、アプタマー、リボザイム、酵素類、抗生物質または他の化学化合物が使用されてもよい。ある実施形態において、分析物認識コーティングまたは分析物認識要素は、例えば、細胞、細胞片、ウイルス、バクテリオファージ、または組織などの、生物学的粒子を含んでもよい。いくつかの実施形態において、分析物認識コーティングまたは分析物認識要素は、導波路に付着させることができ、かつ、標的分析物に対して選択的結合活性を呈する、化学リンカーchemicallinkerその他の化学物質断片chemicalmoietiesを含んでもよい。いくつかの実施形態において、コーティング1600は、金、ニッケルなどを含む金属物質から形成されてもよい。ある実施形態において、コーティング1600は、クロムにコーティングされた金を含む。ある種の化学化合物および有機物は金に容易に付着するため、いくつかの実施形態では、コーティング1600を金から形成することが好ましい場合がある。他の実施形態において、コーティング1600は、カーボンナノチューブから形成されてもよい。図16に示す実施形態において、コーティング1600は、マイクロフィルタ120の一の表面の上に形成される。他の実施形態では、マイクロフィルタ120の1つ以上の表面が、コーティング1600により被覆されてもよい。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタ120は、コーティング1600で完全に被覆されてもよい。コーティング1600は、多層マイクロフィルタを含む、本明細書に記載した本発明の実施形態に係るマイクロフィルタの、任意のものの1つ以上の表面上に形成されてもよい。ある実施形態において、コーティング1600は、多層マイクロフィルタ1420の1つ以上の表面上に配されてもよい。他の実施形態において、コーティング1600は、多層マイクロフィルタ1270の1つ以上の表面上に配されてもよい。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタの表面上に堆積されたときにアッセイ分析、assayに有用でありうる化学化合物および有機物の例は、アミン基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、エポキシ基、アルデヒド基およびポリエチレングリコールPEG基を含む、広範な機能性を備えた自己組織化単分子層selfassembledmonolayerを含む。これらの化合物および材料は、溶液浸漬や蒸着により、シラン化学silanechemistryを用いてマイクロフィルタの表面上に堆積されてもよい。ある実施形態では、例えば、PEG-トリエトキシシランPEGtriethoxysilaneを酸化重合体にグラフトgraftすることにより、制御された方法で表面に親水性が与えられる。他の実施形態において、高分子マイクロフィルタの表面が、アビジン、ビオチン、タンパク質A、タンパク質G、抗体などで機能化されうる。ある実施形態では、マイクロフィルタの表面を金属物質でコーティングすると、化学化合物および/または有機物の付着を容易にすることができるほか、他の利益が得られうる。いくつかの実施形態では、例えば、適切な厚さを有する金属物質層を設けることで、マイクロフィルタ内への光の透過を阻止しうる。ある実施形態では、光の透過を阻止するのに十分な厚さは約40nmである。他の実施形態において、この厚さは、使用する物質に応じて異なるものとすることができる。また、金属物質は、一般に、導電性である。いくつかの実施形態では、金属物質が導電性である場合、コーティングによりマイクロフィルタ表面の帯電を低減または除去することができる。別の実施形態において、マイクロフィルタは、PARYLENEの薄膜層でコーティングされてもよい。他の実施形態において、マイクロフィルタは、フッ素化エチレンプロピレンFEP、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、ペルフルオロアルコキシPFAまたは他の同様の材料の薄膜層でコーティングされてもよい。このような実施形態では、これらの材料の1つを用いてマイクロフィルタをコーティングすると、非特異的結合nonspecificbindingを低減しうるが、これらの材料は蛍光性を有することから、マイクロフィルタを顕微鏡像により解析する場合には不利になることもある。上述した本発明の実施形態において、マイクロフィルタは、1~500μmの厚さを有するエポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成されうる。ある実施形態において、このようなマイクロフィルタは、乾燥膜を露光するためのUV光を用いてすなわち、UVリソグラフィを用いて形成されうる。いくつかの実施形態では、比較的厚い乾燥膜の露光や、複数の積層乾燥膜の同時露光、あるいは比較的高い照射量を必要とするレジストへの露光の場合には、X線すなわち、X線リソグラフィが好ましいことがある。ある実施形態では、比較的厚いマイクロフィルタは、より薄いマイクロフィルタよりも高い構造的強度を有し得るが、濾過の際に、より高い圧力を用いなければならない場合もあり得る。上述したように、ある実施形態では、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜は、本発明の実施形態に係るマイクロフィルタを形成するための好ましい材料である。いくつかの実施形態において、医療診断用途のマイクロフィルタを形成するのに適切な材料となるエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の特性として、UV光による光画定が可能なこと、クリアclearなこと、75Mpaの高い引張強度をもつこと、貼り合わせ可能なこと、基板上に直接コーティングが可能なこと、可視光波長で自家蛍光autofluorescenceがないこと、が挙げられる。また、本発明の実施形態に係る上述したプロセスは、マイクロフィルタの形成に用いることができる一方、他の種類の、独立した、パターンニングされた高分子膜を製造するのにも使用することもできる。本発明の実施形態により形成されたマイクロフィルタは、多くの用途に用いることができる。いくつかの実施形態では、このようなマイクロフィルタの用途の例として、医療用途、水の濾過用途、ビールやワインの濾過用途、病原体検出への応用などが含まれる。図17Aは、本発明の実施形態に係る、マイクロフィルタを使用する濾過プロセス1700を示すフローチャートである。図17Aのブロック1720において、上述した実施形態のいずれかに従ってエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の層から形成された複数の開口を有するマイクロフィルタに、液体が流されてもよい。ある実施形態において、液体は、マイクロフィルタに押し通されてもよい。他の実施形態において、液体は、マイクロフィルタを通して引き込まれてもよい。いくつかの実施形態において、液体は、マイクロフィルタを一回以上前後に行き来して通過するように流されてもよい。ある実施形態において、図17Aに示すプロセスは、マイクロフィルタを使用するアッセイを実行するために使用されてもよい。ある実施形態において、このプロセスは、患者の体液を含む溶液から、CTCなどの細胞を濾過するために使用されてもよい。いくつかの実施形態において、濾過プロセス1700は、2つ以上のフィルタの間に比較的小さなギャップを持たせて、それらフィルタを互いに積層させて実行されてもよい。このような実施形態では、各層の開口の幾何学的形状および分布は同じであってもよいし、または開口の幾何学的形状および/または分布は異なるものであってもよい。図17Bは、本発明の実施形態に係る、マイクロフィルタを使用する濾過プロセス1701を示すフローチャートである。図17Aのブロック1730において、上述した実施形態のいずれかに従ってエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の層から形成されたマイクロフィルタが、フィルタホルダに位置決めされる。ある実施形態において、フィルタホルダは、入口、出口を含み、フィルタの外周でマイクロフィルタを確実に保持する。いくつかの実施形態において、液体は、出口を通してフィルタホルダ内に投入されてもよい。ブロック1750において、液体は、マイクロフィルタを通して流される。ある実施形態において、液体は、体液または体液を含む溶液である。ある実施形態において、液体のすべてまたはほぼすべてがマイクロフィルタの孔を通して引き込まれるように、当該液体は、フィルタホルダの出口に負の圧力をかけることによりマイクロフィルタを通して引き込まれる。他の実施形態において、液体は、マイクロフィルタに押し通されてもよい。ブロック1770において、フィルタホルダからマイクロフィルタが取り外される。いくつかの実施形態では、その後に、マイクロフィルタによって収集された任意の細胞または他の材料、物質などを解析するため、当該フィルタは、処理およびまたは解析を受けてもよい。以下、本発明の実施形態に係るこのプロセスの例示的な応用について説明する。ある実施形態において、上述した実施形態のいずれかに従ってエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の層から形成されたマイクロフィルタが、医療診断diagnosticsおよび/または予測診断prognosticsに使用されてもよい。ある実施形態において、マイクロフィルタは、細胞のサイズに基づいて体液からあるタイプの細胞を収集するために使用されてもよい。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタは、他のタイプの細胞を含む生体サンプルから希少細胞を分離および検出するために使用されうる。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタは、流体サンプルを濾過するために使用でき、収集された細胞は、細胞の同定、計数細胞の数を数えること、収集細胞の特性調査、収集細胞の培養、個々の細胞もしくは細胞群への分離、または他の方法での細胞の使用などの下流プロセスにおいて使用されうる。最終的にその濃度が高められた標的細胞は、染色や免疫蛍光によるマーカ、細胞計数、DNA解析、mRNA解析、マイクロRNA解析、蛍光in-situハイブリダイゼーションFISH、fluorescenceinsituhybridization、免疫組織化学、フローサイトメトリー法、免疫細胞化学、画像解析、酵素アッセイ、遺伝子発現プロファイリング解析、シークエンシング、治療効果試験、濃厚細胞の培養および濃厚希少細胞の治療使用など、種々の特性調査および操作を受けうる。また、欠乏した血漿タンパク質および白血球は、随意的に回復recoverされ、炎症研究、遺伝子発現プロファイリングなどの他の解析を受けうることができる。ある実施形態において、マイクロフィルタは、医療診断および/または予測診断のためにフィルタホルダに保持されうる。いくつかの実施形態において、フィルタホルダは、マイクロフィルタのための組み込み支持体を含んでもよい。ある実施形態において、フィルタホルダは、フィルタの上方及び下方にガスケットを有してもよい。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタは、血中の循環腫瘍細胞CTCを収集するために使用されてもよい。このような実施形態では、典型的に、1~10mlの範囲の血液サンプルが患者から採取される。その後、血液サンプルは、吸引力などの負の圧力をかけることで、マイクロフィルタを通して引き込まれる。ある実施形態において、血液は、出口を介してマイクロフィルタに引き込まれる。いくつかの実施形態では、血液をフィルタへ押し込んで通過させると、非常に低圧または低速で行う場合を除き、細胞破壊を生じさせてしまう場合がある。ある実施形態において、マイクロフィルタの1つ以上の孔の幅より大きな寸法を有するほとんどの細胞は、保持される。ほとんどの白血球は、変形することができ、白血球の寸法より狭い幅の孔を通過してしまう。ある実施形態では、赤血球はマイクロフィルタ上にほとんど保持されない。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタは、循環腫瘍細胞および胎児細胞の濃度を高めるため7~8μmの直径の孔を含むものとすることができるが、これらの用途に応じて、マイクロフィルタの孔のサイズおよび形状も変更することができる。いくつかの実施形態において、マイクロフィルタによって収集されたCTCは、マイクロフィルタ上で計数することができる。マイクロフィルタの捕獲効率を決定するために行われる1つの実験では、腫瘍細胞株が用いられた。濾過効率の実証に用いられたマイクロフィルタは、20ミクロンの間隔で直径9mmの範囲内に配置された直径7~8ミクロンの孔を有するマイクロフィルタである。このマイクロフィルタは、フィルタホルダ内に設置された。着色MCF-7細胞株を、7.5mlの全血に加えた。生CTCを捕獲するため、血液を緩衝液で1:1に希釈した。1つの例示的な緩衝液は、リン酸緩衝生理食塩水PBSである。サンプルは、負の圧力を使用して約10ml/分でマイクロフィルタに引き込まれた。その後、フィルタは、緩衝液内で2回洗浄された。マイクロフィルタは、ホルダから除去され顕微鏡スライドに載せられて、計数が行われた。生MCF-7細胞の回収率は、85±3であった。血液をパラホルムアルデヒドにより軽く固定すると、MCT-7細胞の捕獲効率は98±2に増加する。ある実施形態において、収集されたCTCは、免疫蛍光法、細胞計数、PCR、蛍光in‐situハイブリダイゼーションFISH法、免疫組織化学、フローサイトメトリー法、免疫細胞化学、画像解析、酵素アッセイ、遺伝子発現プロファイリング解析、治療効果試験、濃厚細胞の培養、および濃厚希少細胞の治療使用など、種々の解析および操作を受けうる。また、いくつかの実施形態において、欠乏した血漿タンパク質および白血球は、随意的に回復され、炎症研究、遺伝子発現プロファイリングなどの他の解析を受けうる。ある実施形態において、マイクロフィルタは、生CTCの収集をさらに向上させるため、CTCの表面マーカーに対する抗体でコーティングされうる。いくつかの実施形態において、有益な抗体は、EpCAM、HER2、EGFRおよびMUC-1に対する抗体を含んでもよいが、これらの表面マーカーに限定されるものではない。マイクロフィルタが上述したような抗体でコーティングされる実施形態では、サイズによる選別と同時に表面マーカーを利用してCTCを捕獲できる。このような実施形態では、生CTCの捕獲効率が向上して、7.5mlの血液のアッセイ時間が数時間から数分に短縮されうる。他の実施形態において、本発明の実施形態に従って形成されたマイクロフィルタは、腫瘍マーカー認識試薬によりコーティングされ、サイズ分離および表面マーカーに基づいて癌患者の末梢血からCTCを収集する。いくつかの実施形態において、捕獲された生CTCは、CTCの数を増加させてCTCの特性を評価するために、マイクロフィルタ上で直接培養されうる。他の実施形態において、CTCは、培養または分類の前に逆洗backwashが行われうる。ある実施形態において、捕獲されたCTCは、遺伝情報を得るために、着目する標的のDNA、mRNA、マイクロRNA発現が解析されうる。いくつかの実施形態において、CTCの遺伝子の配列も特定されうる。他の実施形態において、本発明の実施形態に従ってエポキシ系の光画定可能な乾燥膜の層から形成されたマイクロフィルタは、癌患者の血液から循環腫瘍細胞を除去する治療応用において使用されてもよい。循環腫瘍細胞は、腫瘍が原発部位から脳、肺および肝臓などの他の場所に拡散する原因である。ほとんどの癌患者は、転移性癌が原因で死亡する。ある実施形態において、本発明の実施形態により形成されたマイクロフィルタを使用する精密濾過は、濾過速度が高速であり、かつ、血液を濾過するために当該マイクロフィルタを使用した場合には白血球はわずかしか保持されず赤血球もをほとんど保持されないため、患者の血流から循環腫瘍細胞を除去するための適切な方法である。血中の循環腫瘍細胞の精密濾過により、診断、予測、および研究への用途が広がりうる。循環腫瘍細胞を収集するため、以前の研究報告では、孔が直孔でなく孔位置がランダムで孔同志が重なり合った部分をも含むトラックエッチフィルタtracketchfilterと、反応性イオンエッチングによって作られ規則的に配置された孔を有するマイクロフィルタと、が用いられている。本発明のある実施形態では、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された、正確な配置の孔を有するマイクロフィルタが、血中の循環腫瘍細胞を収集するために使用される。本発明の実施形態により製造されるマイクロフィルタの別の例示的な応用は、妊娠11~12週の間に母体の血液中にある循環胎児細胞を捕獲することである。このような胎児細胞は、未熟な胎児有核赤血球を含むことがある。妊婦の末梢血に循環する胎児細胞は、非侵襲性の遺伝解析における標的として用いることができる。胎児細胞は、末梢血白血球より大きな、直径14~60μmの上皮栄養膜細胞を含む。DNA標的のPCR解析または遺伝子の蛍光in‐situハイブリダイゼーションFISH解析を用いた、遺伝性疾患についての非侵襲性の出生前診断では、遺伝子診断を行う前に循環胎児細胞の高濃度化が行われうる。本発明の実施形態に従って製造されるマイクロフィルタの他の例示的な用途は、間質細胞、間葉細胞、内皮細胞、上皮細胞、幹細胞、非造血細胞などを血液サンプルから収集しまたは高濃度化し、尿中の腫瘍または病原性細胞を収集して、髄液および脳脊髄液中の腫瘍細胞を収集することである。他の例示的な用途は、本マイクロフィルタを用いて髄液の腫瘍細胞を収集することである。他の例示的な用途は、ラテックスビーズに結合された分析物または抗原起因の粒子凝集物を本マイクロフィルタを用いて捕獲して、分析物/ラテックスビーズまたは凝集クラスタを、膜表面上に捕獲することである。本発明の実施形態に従って形成されたマイクロフィルタの他の例示的な用途は、赤血球変形能試験である。赤血球は、柔軟性の高い細胞であり、その形状を容易に変形して孔を通過してしまう。鎌状赤血球貧血、糖尿病、敗血症、何らかの心血管の病気などの病気によっては、当該細胞は堅くなり、小さな孔をもはや通過できなくなる。健康な赤血球は、典型的に、7.5μmであり、3μm孔の膜を容易に通過するのに対して、これらのいずれかの症状を持つ細胞は通過しない。変形能試験では、5μmの開口を有するマイクロフィルタが、スクリーニング障壁として使用される。血液サンプルが注入され、一定の減圧がかかるように膜が配置される。次に、細胞の濾過率が測定され、濾過率の低下が変形能の低下を示唆する。本発明の実施形態に従って形成されたマイクロフィルタの他の例示的な用途は、白血球/赤血球の分離である。白血球leukocyte、whitebloodcellsの濃度が高い血球個体群は、研究や治療での使用に望ましい場合が多い。典型的な白血球源は、全末梢血、白血球除去療法、又は成分除法の生成物を含み、臍帯血などの他の一般的ではない発生源をも含む。血中の赤血球は溶解されうる。その後に、血液は、白血球を保持すべく小さな孔を有するマイクロフィルタに流される。他の例示的な応用は、走化性に関する用途にマイクロフィルタを用いることである。膜を用いて毒素に対する白血球の反応が調査され、全血の自然免疫性が特定される。免疫性は移行することができるので、この分析法は、白血球に関するワクチンや薬剤の開発に使用される。他の例示的な用途は、血液濾過および/または輸血用に、マイクロフィルタを使用することである。このような用途では、マイクロフィルタを用いて大きな塞栓、血小板凝集物、およびその他の破片を除去することができる。本発明の実施形態に従って形成されたマイクロフィルタの他の例示的な用途は、マイクロフィルタを用いて細胞を捕獲した後、フィルタホルダまたはカートリッジ内で細胞を培養するか、または逆洗によりマイクロフィルタから細胞を洗い落した後に当該細胞を培養することである。また、上述した本発明の実施形態に従い、高分子レジストのロールに高精度の微細孔のアレイを作製することができる。このようなアレイは、ウェハサイズのマイクロフィルタが適さない用途に用いることがdきる。このような用途の例として、水濾過、腎臓透析などがある。以上、さまざまな実施形態について説明したが、これらの実施形態は例として示したものであり、発明を限定するものではない。当業者にとり、本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく、その形態および詳細についてのさまざまな変更が可能であることは明らかであろう。このように、本発明の範囲は、上述した例示的な実施形態の任意のものによって限定されるべきではなく、以下の特許請求の範囲およびその均等物によってのみ規定されるできである。したがって、本発明の実施形態は、例示的なものとして非制約的にすべての点で考慮されるべきである。さらに、異なる例示的な実施形態に関して上述した任意の特徴、コンポーネント、要素などが組み込まれてもよいことを認識されたい。"