NOx化合物が形成されるシリコン基板の湿式化学的処理の間に、硝酸とフッ化物含有化合物とを含有する水性媒体中の硝酸の濃度を測定する方法であって、硝酸イオンの濃度を、硝酸イオンのUV吸収スペクトルにおけるNOxを原因とする妨害を排除する少なくとも1種の剤の存在下で又は前記剤の使用下で、UV分光分析法/測光法によって測定することによって行う、前記測定方法。少なくとも1種の排除剤が、1アンモニア及びアミド;2アミノ酸及び第一級アミン;3還元剤;4水素;5ギ酸及びギ酸塩;6通電する電極;及び7それらの混合物からなるグループから選択されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。排除剤として尿素を使用することを特徴とする、請求項1又は2に記載の方法。UV分光分析法/測光法を、330nm以下の波長領域で行うことを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法。UV分光分析法/測光法のために、サファイア製の測定セル又は紫外光を透過するプラスチック製の測定セルを使用することを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法。