パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、前記マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光を増幅する増幅装置と、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光のタイミングを検出する第1のタイミング検出器と、前記増幅装置の放電タイミングを検出する第2のタイミング検出器と、前記第1のタイミング検出器と前記第2のタイミング検出器との検出結果に基づいて、前記パルスレーザ光が前記増幅装置の放電空間内を通過する際に該増幅装置が放電するように、前記マスタオシレータが前記パルスレーザ光を出力するタイミングおよび前記増幅装置が放電するタイミングのうち少なくとも一方を制御するコントローラと、を備えるレーザシステム。前記コントローラは、前記第1のタイミング検出器で検出された前記パルスレーザ光のタイミングと、前記第2のタイミング検出器で検出された前記放電タイミングとの差を算出し、算出した前記差に基づいて、前記マスタオシレータが前記パルスレーザ光を出力するタイミングおよび前記増幅装置が放電するタイミングのうち少なくとも一方を制御する、請求項1記載のレーザシステム。前記マスタオシレータは、励起光を出力するポンピングレーザと、前記励起光によってレーザ発振するシードレーザと、前記シードレーザから出力されたパルスレーザ光を前記励起光によって増幅する増幅器と、を含み前記第1のタイミング検出器は、前記シードレーザから出力された前記パルスレーザ光が所定の位置を通過するタイミングを前記パルスレーザ光のタイミングとして検出し、前記コントローラは、前記第1のタイミング検出器と前記第2のタイミング検出器との検出結果に基づいて、前記ポンピングレーザを発振させるタイミングおよび前記増幅装置が放電するタイミングのうち少なくとも一方を制御する、請求項1記載のレーザシステム。前記マスタオシレータは、励起光を出力するポンピングレーザと、前記励起光によってレーザ発振するシードレーザと、前記シードレーザから出力されたパルスレーザ光を前記励起光によって増幅する増幅器と、前記シードレーザと前記増幅器との間の光路上に設置された少なくとも1つの光シャッタと、を含み前記第1のタイミング検出器は、前記光シャッタを通過した前記パルスレーザ光が所定の位置を通過するタイミングを前記パルスレーザ光のタイミングとして検出し、前記コントローラは、前記第1のタイミング検出器と前記第2のタイミング検出器との検出結果に基づいて、前記光シャッタを開状態とするタイミングおよび前記増幅装置が放電するタイミングのうち少なくとも一方を制御する、請求項1記載のレーザシステム。前記第2のタイミング検出器は、前記増幅装置の放電空間に発生した放電による放電光を前記放電タイミングとして検出する、請求項1記載のレーザシステム。前記増幅装置は、磁気スイッチを含み、放電空間に放電を発生させる回路と、を含み、前記第2のタイミング検出器は、前記磁気スイッチのオン/オフを前記放電タイミングとして検出する、請求項1記載のレーザシステム。前記第2のタイミング検出器は、前記増幅装置の放電空間に発生した放電による放電項を前記放電タイミングとして検出する、請求項1記載のレーザシステム。前記シードレーザは、前記コントローラが前記光シャッタを開状態とする期間よりも長いパルス幅の前記パルスレーザ光を出力する、請求項4記載のレーザシステム。前記光シャッタは、電気光学素子と、前記電気光学素子の光入力端側に配置される第1の光フィルタと、前記電気光学素子の光出力端側に配置される第2の光フィルタと、前記電気光学素子に接続され、前記電気光学素子に電圧を印加する電源と、を備える、請求項4記載のレーザシステム。前記電気光学素子は、ポッケルスセルである、請求項9記載のレーザシステム。前記第1および第2の光フィルタは、それぞれ少なくとも1つの偏光子を含む、請求項9記載のレーザシステム。パルスレーザ光を出力するマスタオシレータ、前記マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光を増幅する増幅装置と、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光のタイミングを検出する第1のタイミング検出器と、前記増幅装置の放電タイミングを検出する第2のタイミング検出器と、を備える装置のレーザ生成方法であって、前記第1のタイミング検出器と前記第2のタイミング検出器との検出結果に基づいて、前記パルスレーザ光が前記増幅装置の放電空間内を通過する際に該増幅装置が放電するように、前記マスタオシレータが前記パルスレーザ光を出力するタイミングおよび前記増幅装置が放電するタイミングのうち少なくとも一方を制御する、レーザ生成方法。