基板を保持する基板保持部と、パターンが形成された複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、前記各マスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備え、前記基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する露光装置であって、前記マスクには少なくとも1つのアライメントマークが形成されており、各マスクの前記アライメントマークにそれぞれ対応する複数の基準マークが設けられた基準バーと、前記基準バーの基準マークと前記マスクのアライメントマークとを撮像する少なくとも1つのカメラと、を有し、前記カメラが読み取った、前記基準バーの基準マークと、前記マスクのアライメントマークと、の相対的な位置情報に基づいて、前記各マスク保持部を所定の位置に変位させることによって前記各マスクを前記基準バーに対してアライメントすることを特徴とする露光装置。前記基準バーは、所定の方向に並ぶ前記複数のマスクを跨ぐように直線状に形成され、前記複数の基準マークは、前記基準バーの長手方向に沿って所定の間隔で配置されることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。前記基準バーを駆動するバー駆動部と、前記基準バーに設けられた鏡面体と、レーザー光を前記鏡面体に照射し、前記基準バーの位置情報を検出するレーザー干渉計と、を備え、前記基準バーの位置情報に基づいて、前記バー駆動部によって前記基準バーを前記基板保持部に対して位置決めすることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。基板を保持する基板保持部と、パターンと、少なくとも1つのアライメントマークと、が形成された複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、前記各マスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備えた露光方法であって、各マスクの前記アライメントマークにそれぞれ対応する複数の基準マークが設けられた基準バーと、前記基準バーの基準マークと前記マスクのアライメントマークとを撮像する少なくとも1つのカメラと、を有し、前記カメラが読み取った、前記基準バーの基準マークと、前記マスクのアライメントマークと、の相対的な位置情報に基づいて、前記各マスク保持部を所定の位置に変位させることによって前記各マスクを前記基準バーに対してアライメントし、前記基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光することを特徴とする露光方法。ところで、特許文献1のように複数のマスクを用いる露光方法では、基板に露光を行う前に、それぞれのマスクを露光装置又は基板に対してアライメントする必要がある。しかしながら、特許文献1には、マスクのアライメントについて明示されておらず、また、特許文献2、3にも、複数マスクのアライメントに関する記載がされていない。そこで、従来用いられてきたように、レーザーを用いることによって、複数マスクをブラックマトリクスが施された基板に対してアライメントすることが考えられる。しかしながら、レーザーは露光する環境装置雰囲気によって影響を受け易いため安定性に欠け、さらに、複数マスクのアライメントにレーザーを適用した場合、それぞれのマスクに対してレーザーを設ける必要があるため、コストの増加及び安定性の欠如は避けられない。また、複数マスクをアライメントする際に、基板にアライメントの基準となるブラックマトリクスのようなマークがない場合には、基板を基準としてアライメントすることができないため、複数マスクはそれぞれ露光装置を基準としてアライメントする必要がある。本発明は、上述した課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のマスクを正確にアライメントすることが可能な露光装置及び露光方法を提供することにある。本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。1基板を保持する基板保持部と、パターンが形成された複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、前記各マスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備え、前記基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する露光装置であって、前記マスクには少なくとも1つのアライメントマークが形成されており、各マスクの前記アライメントマークにそれぞれ対応する複数の基準マークが設けられた基準バーと、前記基準バーの基準マークと前記マスクのアライメントマークとを撮像する少なくとも1つのカメラと、を有し、前記カメラが読み取った、前記基準バーの基準マークと、前記マスクのアライメントマークと、の相対的な位置情報に基づいて、前記各マスク保持部を所定の位置に変位させることによって前記各マスクを前記基準バーに対してアライメントすることを特徴とする露光装置。2前記基準バーは、所定の方向に並ぶ前記複数のマスクを跨ぐように直線状に形成され、前記複数の基準マークは、前記基準バーの長手方向に沿って所定の間隔で配置されることを特徴とする1に記載の露光装置。3前記基準バーを駆動するバー駆動部と、前記基準バーに設けられた鏡面体と、レーザー光を前記鏡面体に照射し、前記基準バーの位置情報を検出するレーザー干渉計と、を備え、前記基準バーの位置情報に基づいて、前記バー駆動部によって前記基準バーを前記基板保持部に対して位置決めすることを特徴とする1又は2に記載の露光装置。4基板を保持する基板保持部と、パターンと、少なくとも1つのアライメントマークと、が形成された複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、前記各マスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、を備えた露光方法であって、各マスクの前記アライメントマークにそれぞれ対応する複数の基準マークが設けられた基準バーと、前記基準バーの基準マークと前記マスクのアライメントマークとを撮像する少なくとも1つのカメラと、を有し、前記カメラが読み取った、前記基準バーの基準マークと、前記マスクのアライメントマークと、の相対的な位置情報に基づいて、前記各マスク保持部を所定の位置に変位させることによって前記各マスクを前記基準バーに対してアライメントし、前記基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光することを特徴とする露光方法。上記1の露光装置によれば、カメラが読み取った、基準バーの基準マークと、マスクのアライメントマークと、の相対的な位置情報に基づいて、各マスク保持部を所定の位置に変位させることによって各マスクを基準バーに対してアライメントする。したがって、複数のマスクを、基準バーを基準として正確にアライメントすることが可能となる。また、上記2の露光装置によっても、同様の効果を奏することが可能である。また、上記3の露光装置によれば、レーザー干渉計によって得られた基準バーの位置情報に基づいて、バー駆動部によって基準バーを基板保持部に対して位置決めする。したがって、基準バーを基板保持部に対して正確に配置することができるとともに、当該基準バーを基準とする複数のマスクのアライメントの精度をより向上させることが可能となる。また、上記4の露光方法によれば、カメラが読み取った、基準バーの基準マークと、マスクのアライメントマークと、の相対的な位置情報に基づいて、各マスク保持部を所定の位置に変位させることによって各マスクを基準バーに対してアライメントする。したがって、複数のマスクを、基準バーを基準として正確にアライメントすることが可能となる。以下、本発明に係る露光装置及び露光方法の各実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。第1実施形態先ず、第1実施形態の近接スキャン露光装置1の構成について概略説明する。図1及び図2に示すように、本実施形態のスキャン露光装置1は、基板カラーフィルタ基板Wを浮上させて保持すると共に、所定方向図1のX方向に搬送する基板保持部としての基板搬送機構10と、複数のマスクMをそれぞれ保持し、所定方向と交差する方向図1のY方向に沿って千鳥状に二列配置された複数図1に示す実施形態において、左右それぞれ6個のマスク保持部11と、マスク保持部11を駆動するマスク駆動部12と、複数のマスク保持部11の上部にそれぞれ配置されて露光用光を照射する複数の照射部14と、スキャン露光装置1の各作動部分の動きを制御する制御部15と、を主に備える。基板搬送機構10は、基板WをX方向に搬送する領域、即ち、複数のマスク保持部11の下方領域、及びその下方領域からX方向両側に亘る領域に設けられた浮上ユニット16と、基板WのY方向一側図1において上辺を保持してX方向に搬送する基板駆動ユニット17とを備える。浮上ユニット16は、複数のフレーム19上にそれぞれ設けられた複数の排気エアパッド20及び吸排気エアパッド21を備え、ポンプ図示せずやソレノイドバルブ図示せずを介して排気エアパッド20や吸排気エアパッド21からエアを排気或いは、吸排気する。基板駆動ユニット17は、図1に示すように、浮上ユニット16によって浮上、支持された基板Wの一端を保持する吸着パッド22を備え、モータ23、ボールねじ24、及びナット図示せずからなるボールねじ機構25によって、ガイドレール26に沿って基板WをX方向に搬送する。なお、図2に示すように、複数のフレーム19は、地面にレベルブロック18を介して設置された装置ベース27上に他のレベルブロック28を介して配置されている。また、基板Wは、ボールねじ機構25の代わりに、リニアサーボアクチュエータによって搬送されてもよい。図3に示すように、マスク駆動部12は、フレーム図示せずに取り付けられ、マスク保持部11をX方向に沿って駆動するX方向駆動部31と、X方向駆動部31の先端に取り付けられ、マスク保持部11をY方向に沿って駆動するY方向駆動部32と、Y方向駆動部32の先端に取り付けられ、マスク保持部11をθ方向X、Y方向からなる水平面の法線回りに回転駆動するθ方向駆動部33と、θ方向駆動部33の先端に取り付けられ、マスク保持部11をZ方向X、Y方向からなる水平面の鉛直方向に駆動するZ方向駆動部34と、を有する。これにより、Z方向駆動部34の先端に取り付けられたマスク保持部11は、マスク駆動部12によってX、Y、Z、θ方向に駆動可能である。なお、X、Y、θ、Z方向駆動部31、32、33、34の配置の順序は、適宜変更可能である。また、マスク駆動部12は、Z方向のチルト機構をさらに有してもよい。図2に示すように、マスク保持部11の上部に配置される照射部14は、光源6、ミラー7、オプチカルインテグレータ図示せず、シャッター図示せず等を備える。光源6としては、紫外線を含んだ露光用光ELを放射する、例えば超高圧水銀ランプ、キセノンランプ又は紫外線発光レーザーが使用される。また、図1に示すように、千鳥状に二列配置された搬入側及び搬出側マスク保持部11a、11b間には、各マスク保持部11a、11bのマスクMを同時に交換可能なマスクチェンジャ2が配設されている。マスクチェンジャ2により搬送される使用済み或いは未使用のマスクMは、マスクストッカ3、4との間でローダー5により受け渡しが行われる。なお、マスクストッカ3、4とマスクチェンジャ2とで受け渡しが行われる間に各マスクMのアライメントが行われる。図4に示すように、各マスクMの角部には、アライメントマーク45が設けられている。なお、アライメントマーク45は、露光時に影響がない部分、すなわちパターンが形成されない部分に形成されることが望ましい。また、図1に戻り、Y方向に沿って二列配置されたマスクMのZ方向上方には、これらのマスクMを跨ぐように直線状に形成され、マスクMのアライメントにおける基準となる基準バー51が2列配列されている。基準バー51は、熱による膨張の影響が少ない低膨張材料、特にガラスから構成されており、そのY方向両端部が支柱53を介してフレーム19に固定されている。図5に示すように、基準バー51には、Y方向において複数本実施形態では3つのそれぞれ異なる基準マーク55Y方向上方から55a、55b、55cと呼ぶ。が隣接することによって構成される基準マーク群57が設けられており、これらの基準マーク群57は基準バー51のY方向に沿って所定の間隔で配置される。また、図1~3に示すように、基準バー51のZ方向上方にはそれぞれのマスクMに対応するように配置され、基準バー51の基準マーク55と、マスクMのアライメントマーク45と、を撮像する複数図1に示す実施形態において、左右それぞれ6個のカメラ59が設けられている。このように構成された露光装置1は、浮上ユニット16の排気エアパッド20及び吸排気エアパッド21の空気流によって基板Wを浮上させて保持し、基板Wの一端を基板駆動ユニット17で吸着してX方向に搬送する。そして、マスク保持部11の下方に位置する基板Wに対して、照射部14からの露光用光ELが、アライメントされた複数のマスクMを介して照射され、マスクMのパターンを基板Wに塗布されたカラーレジストに転写する。なお、複数のマスクMをアライメントする際、基板Wに基準となるブラックマトリクスのようなマークがない場合には、基板Wを基準としてアライメントすることができないため、複数のマスクMは露光装置1を基準としてアライメントする必要がある。そこで、本実施形態の露光装置1は、複数のマスクMを露光装置1に設けられた基準バー51を基準としてアライメントすることによって、正確なアライメントが行われるように構成されている。以下に、複数のマスクMのアライメント方法について詳述する。まず、カメラ59は、マスクMのアライメント時に、基準バー51の基準マーク55とマスクMのアライメントマーク45との相対的な位置情報を読み取る。そして、この位置情報に基づいて、各マスクMを所定の位置に変位させることによって各マスクMを基準バー51に対してアライメントする。より具体的には、図6に示すように、各マスクMのアライメントマーク45が当該アライメントマーク45に対応する基準バー51の基準マーク55cとZ方向において対向するように、マスク保持部11をマスク駆動部12によって変位させることによって、マスクMを基準バー51に対してアライメントする。ここで、図5に示すように、Y方向上部から12NNは整数番目の基準マーク群57の基準マーク55cが、マスクMのアライメントマーク45に対応するように構成されている。したがって、複数のマスクMは、Y方向に所定の間隔で配置されるように、基準バー51を基準としてアライメントされる。なお、各マスクMのアライメントマーク45と基準バー51の基準マーク55との対応は上述の構成に限定されず、基板Wに転写するマスクパターンのピッチによって、各マスクMのアライメントマーク45を、どの基準マーク群57のどの基準マーク55a、55b、55cに対応させるか任意に設定すればよい。また、基準マーク群57を構成する基準マーク55の数は任意である。以上のように、本実施形態の露光装置1及び露光方法によれば、カメラ59が読み取った、基準バー51の基準マーク55と、マスクMのアライメントマーク45と、の相対的な位置情報に基づいて、各マスク保持部11を所定の位置に変位させることによって各マスクMを基準バー51に対してアライメントする。したがって、複数のマスクMを、基準バー51を基準として正確にアライメントすることが可能となる。第2実施形態次に、本発明の第2実施形態に係る露光装置について説明する。なお、本実施形態の露光装置は、第1実施形態と基本的構成を同一とするので、図面において同一部分には同一符号を付すことで説明を省略し、相違部分について詳述する。本実施形態の露光装置1においては、図7に示すように、基準バー51のX方向端部のY方向両側とY方向端部とに、それぞれ鏡面体としてのミラー61、62、63が取り付けられ、さらに、これらのミラー61、62、63のそれぞれX方向及びY方向には離間して3台のレーザー干渉計64、65、66が設けられている。これにより、レーザー干渉計64、65、66からレーザー光をミラー61、62、63に照射し、これらのミラー61、62、63により反射されたレーザー光を受光して、レーザー光とミラー61、62、63により反射されたレーザー光との干渉を測定して基準バー51の位置情報を検出する。なお、鏡面体としては、レーザー干渉計64、65、66から照射されたレーザー光を反射するものである限り、ミラー61、62、63に限定されず、例えば反射膜であってもよい。基準バー51は、検出された基準バー51の位置情報に基づいて、不図示のバー駆動部によって駆動され、基板Wを保持する基板搬送機構10に対して位置決めされる。これによって、基準バー51を基板搬送機構10に対して、すなわち基板Wに対して正確に配置することができるとともに、当該基準バー51を基準とする複数のマスクMのアライメントの精度をより向上させることが可能となる。なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものでなく、適宜、変更、改良等が可能である。例えば、上述の実施形態においては、各マスクMにはそれぞれ1つアライメントマーク45が設けられていたが図4参照、これに限定されず、各マスクMに複数のアライメントマーク45を設けることによって、アライメント精度の向上を図ってもよい。また、基準バー51は、熱による膨張の影響を防ぐために、低膨張材料から構成されるとしたが、さらに、内部を冷却空冷又は水冷するように構成してもよい。また、上記実施形態においては、基板搬送機構10は、浮上ユニット16と基板駆動ユニット17によって基板Wを浮上して保持しながら搬送する場合について述べたが、これに限らず、基板を上面に載置しながら保持及び搬送するものであってもよい。また、本発明では、所定方向にステップ移動される基板に対してステップ毎に繰り返し露光を行う、所謂ステップ式近接露光装置にも適用可能であり、露光方法を限定するものではない。そして、上記実施形態においては、基板Wがカラーフィルタ基板である場合について述べたが、これに限られず、所定の露光パターンを形成するものであれば半導体基板等如何なるものであってもよい。