"測定制御部により制御されるPRBS発生部と、該PRBS発生部からのPRBS信号を試験信号として試験対象部に入力し、該試験対象部から出力されたPRBS信号の正常性を検査するPRBS検出部とを備えた試験装置に於いて、前記PRBS発生部は、PRBSパターン信号にPRBSパターンのヘッダーを付加した試験信号を前記試験対象部に入力する構成を有し、前記PRBS検出部は、前記試験対象部から出力された前記試験信号の前記ヘッダーを検出し、該ヘッダーのパターンによるPRBS比較パターンを発生して、前記試験対象部から出力された前記試験信号と照合する構成を有することを特徴とする試験装置。前記PRBS発生部は、PRBSパターン生成部と、該PRBSパターン生成部を構成する各フリップフロップの出力信号をヘッダー制御イネーブル信号のタイミングにヘッダーとするヘッダー生成部と、前記PRBSパターン生成部からのPRBSパターン信号に前記ヘッダー生成部からのヘッダーを付加して、前記試験対象部に入力する試験信号とするヘッダー付加部とを備えたことを特徴とする請求項1記載の試験装置。前記PRBS検出部は、前記試験対象部から出力されたPRBSパターン信号を入力して前記ヘッダーを検出するヘッダー検出部と、該ヘッダー検出部により検出した前記ヘッダーのPRBSパターンを並列的に設定する複数のフリップフロップ構成のPRBS比較パターン生成部と、該PRBS比較パターン生成部からのPRBS比較パターンと前記ヘッダー検出部を介した前記PRBSパターン信号とを比較する比較部と、該比較部による比較不一致をエラーとしてカウントするエラーカウンタとを備えたことを特徴とする請求項1記載の試験装置。測定制御部により制御されるPRBS発生部からのPRBS信号を試験信号として試験対象部に入力し、該試験対象部から出力されるPRBS信号の正常性をPRBS検出部により検査する試験方法に於いて、前記PRBS発生部のPRBSパターン生成部からのPRBSパターンをヘッダーとして、該PRBS発生部からのPRBSパターンの先頭に付加して試験信号とし、該試験信号を前記試験対象部に入力し、該試験対象部から出力された前記PRBSパターンのヘッダーを検出して、該ヘッダーのPRBSパターンに従ったPRBS比較パターンを発生させて、前記試験対象部から出力された前記試験信号と照合する処理過程を含むことを特徴とする試験方法。PRBS信号を試験信号としてLSI等の試験対象部に入力し、その試験対象部の出力信号と入力PRBS信号とを照合し、照合一致検出により、LSI等の試験対象部の主信号疎通正常性を確認する場合、試験対象部の内部構成が大規模となるに伴って、試験に要する時間が長くなる問題がある。又PRBS信号を試験信号として試験対象部に入力し、その試験対象部の出力信号位相を、パターン比較を行う為のPRBS信号位相と一致させ、即ち、位相同期状態として、試験対象部に入力する試験信号のPRBS信号と、試験対象部からの出力信号のPRBS信号との照合を行うことにより、試験対象部の疎通試験を行う構成は、前述の先行技術文献に開示されており、シフトレジスタを構成する各フリップフロップから試験信号発生部の各フリップフロップに対して一斉にセットすることによって、試験過程の迅速化を図るものである。しかし、シフトレジスタを構成する各フリップフロップのセット出力信号の1,0が正しい試験信号パターンである保証がない問題がある。即ち、試験対象部からの出力試験データに対して、照合用試験データのパターンの正常性が保証されていないので、試験結果の信頼性が充分でない問題がある。本発明は、前述の従来の問題点を解決することを目的とし、試験対象部に対する疎通試験等の試験を正確且つ迅速に実行可能とするものである。本発明の試験装置は、測定制御部により制御されるPRBS発生部と、該PRBS発生部からのPRBS信号を試験信号として試験対象部に入力し、該試験対象部から出力されたPRBS信号の正常性を検査するPRBS検出部とを備え、前記PRBS発生部は、PRBSパターン信号にPRBSパターンのヘッダーを付加した試験信号を前記試験対象部に入力する構成を有し、前記PRBS検出部は、前記試験対象部から出力された前記試験信号の前記ヘッダーを検出し、該ヘッダーのパターンによるPRBS比較パターンを発生して、前記試験対象部から出力された前記試験信号と照合する構成を有する。又前記PRBS発生部は、PRBSパターン生成部と、該PRBSパターン生成部を構成する各フリップフロップの出力信号をヘッダー制御イネーブル信号のタイミングにヘッダーとするヘッダー生成部と、前記PRBSパターン生成部からのPRBSパターン信号に前記ヘッダー生成部からのヘッダーを付加して、前記試験対象部に入力する試験信号とするヘッダー付加部とを備えている。又前記PRBS検出部は、前記試験対象部から出力されたPRBSパターン信号を入力して前記ヘッダーを検出するヘッダー検出部と、該ヘッダー検出部により検出した前記ヘッダーのPRBSパターンを並列的に設定する複数のフリップフロップ構成のPRBS比較パターン生成部と、該PRBS比較パターン生成部からのPRBS比較パターンと前記ヘッダー検出部を介した前記PRBSパターン信号とを比較する比較部と、該比較部による比較不一致をエラーとしてカウントするエラーカウンタとを備えている。本発明の試験方法は、測定制御部により制御されるPRBS発生部からのPRBS信号を試験信号として試験対象部に入力し、該試験対象部から出力されるPRBS信号の正常性をPRBS検出部により検査する試験方法であって、前記PRBS発生部のPRBSパターン生成部からのPRBSパターンをヘッダーとして、該PRBS発生部からのPRBSパターンの先頭に付加して前記試験対象部に入力し、該試験対象部から出力された前記PRBSパターンのヘッダーを検出して、該ヘッダーのPRBSパターンに従ったPRBS比較パターンを発生させて、前記試験対象部から出力された前記試験信号と照合する処理過程を含むものである。PRBSパターン信号をヘッダーとして付加した試験信号をLSI等の試験対象部に入力し、この試験対象部から出力された試験信号のヘッダーを検出して、そのヘッダーのPRBSパターンを比較パターンとして発生させ、試験対象部から出力された試験信号と照合を行うことにより、PRBS発生部からの試験信号位相に同期し、且つ試験信号パターンと同一のPRBS比較パターンを直ちに発生させて試験を行うことができる。従って、試験対象部に対して、迅速且つ正確な試験が可能となる利点がある。本発明の試験装置は、図1を参照すると、測定制御部3により制御されるPRBS発生部1と、該PRBS発生部1からのPRBS信号を試験信号として試験対象部4に入力し、この試験対象部4から出力されたPRBS信号の正常性を検査するPRBS検出部2とを備え、前記PRBS発生部1は、PRBSパターン信号にPRBSパターンのヘッダーを付加した試験信号を前記試験対象部4に入力する構成を有し、前記PRBS検出部2は、前記試験対象部4から出力された前記試験信号の前記ヘッダーを検出し、該ヘッダーのパターンによるPRBS比較パターンを発生して、前記試験対象部4から出力された前記試験信号と照合する構成を有する。本発明の試験方法は、図1を参照して説明すると、測定制御部3により制御されるPRBS発生部1からのPRBS信号を試験信号として試験対象部4に入力し、この試験対象部4から出力されるPRBS信号の正常性をPRBS検出部2により検査する試験方法であって、前記PRBS発生部1のPRBSパターン生成部からのPRBSパターンをヘッダーとして、該PRBS発生部1からのPRBSパターンの先頭に付加して前記試験対象部4に入力し、該試験対象部4から出力された前記PRBSパターンのヘッダーを検出して、該PRBSパターンに従ったPRBS比較パターンを発生させて、前記試験対象部4から出力された前記試験信号と照合する処理過程を含むものである。図1は、本発明の実施例の試験装置の説明図であり、1は擬似ランダムPRBS;PseudoRandombitSequence信号を発生するPRBS発生部、2はPRBS検出部、3は測定制御部、4はLSIや各種装置等の試験対象部を示す。試験対象部4は、前述のように、半導体集積回路やこれらを含む装置等であり、PRBS発生部1とPRBS検出部2との間に試験対象部4を接続する。測定制御部3は、PRBS発生部1を制御してPRBS信号を発生させ、そのPRBS信号にヘッダー部を付加した試験信号を試験対象部4に入力し、その試験対象部4の出力信号をPRBS検出部2に入力する。PRBS検出部2は、試験対象部4の出力PRBS信号に付加したヘッダー部を検出して、試験信号に位相同期したPRBS信号を発生し、試験対象部4の出力PRBS信号と照合し、試験対象部4の正常性の試験を行う。その場合、ヘッダー部は、PRBS信号により形成されている。図2は、本発明の実施例のPRBS発生部の説明図であり、11はレジスタ、12はヘッダー制御イネーブル生成部、13はヘッダー付加部、14はヘッダー生成部、15はPRBSパターン生成部を示す。PRBS発生部1のレジスタ11に対するパラメータ設定は、例えば、測定制御部3図1参照から行い、それによってヘッダー制御イネーブル生成部12とヘッダー付加部13とにPRBSイネーブル信号を入力する。それによって、ヘッダー制御イネーブル生成部12は、ヘッダー生成部14にヘッダー制御イネーブル信号を入力する。PRBSパターン生成部15は、例えば、前述の生成多項式X15X1に従ったPRBSパターンを出力する複数のフリップフロップFFと排他的オア回路とを含む構成を備えており、排他的オア回路からの出力信号をPRBSパターンとしてヘッダー付加部13に入力し、且つ各フリップフロップFFの出力信号をヘッダー生成部14へ入力して試験信号のPRBSパターンのヘッダーとする。それにより、ヘッダー付加部13は、PRBSパターンの先頭にヘッダーを付加して出力し、試験対象部4図1参照に入力する。図3は、本発明の実施例のPRBS検出部の説明図であり、21はヘッダー検出部、22は比較部、23はPRBS比較パターン生成部、24はエラーカウンタを示す。PRBS比較パターン生成部23は、PRBS発生部1図2参照のPRBSパターン生成部15と同様な構成を有し、又PRBS検出部2のヘッダー検出部21には、試験対象部4図1参照から出力されたPRBSパターンとヘッダーと、測定制御部3図1参照からのヘッダー制御イネーブル信号とが入力される。ヘッダー検出部21は、PRBSパターンの先頭に付加されたヘッダーを検出し、PRBS比較パターン生成部23の各フリップフロップFFにヘッダー内容をセットする。それによって、PRBS比較パターン生成部23により生成されたPRBS比較パターンが比較部22に入力される。この比較部22による比較不一致のビットをエラーカウンタ24によりカウントして、エラーレートを求めることができる。この場合、ヘッダー検出部21により検出したヘッダー内容が、PRBSパターンであって、そのPRBSパターンがPRBS比較パターン生成部23に設定されるから、エラーを含まないPRBS比較パターンを即座に発生することが可能となる。更に、比較部22によるPRBSパターンの比較結果の信頼性が高いものとなる。図4は、本発明の実施例のPRBS発生部の動作説明フローチャートであり、図1及び図2を参照すると、PRBS発生部1は、測定制御部3からのヘッダー制御イネーブル信号の受信によりA1、レジスタ値を取得してヘッダー生成処理を行い、既定パターンPRBSパターンの前にヘッダーを付加し、そのヘッダーとPRBSパターンとを送信、即ち、試験対象部4に入力するA2。又測定制御部3からヘッダー制御イネーブルを受信していない場合は、自走生成パターンを送出するA3。この自走生成パターンは、任意パターンとすることができる。図5は、本発明の実施例のPRBS検出部の動作説明フローチャートであり、図1及び図3を参照すると、PRBS検出部2のヘッダー検出部21によりヘッダー受信検出か否かを判定しB1、ヘッダー受信判定の場合は、そのヘッダー情報をレジスタにロードB2、即ち、ヘッダー抽出部21から、抽出したヘッダー情報をPRBS比較パターン生成部23の各フリップフロップFFに設定する。そして、PRBSパターンとPRBS比較パターンとの比較結果が一致するか否かを判定しB3、一致した場合、正常なヘッダー受信の場合であるから、比較部22に於ける比較結果をエラーカウンタ24に入力し、エラー検出時は、エラーカウントを行うB4。又ステップB1に於けるヘッダー未受信判定の場合、エラーカウントリセット、即ち、エラーカウンタ24をリセットするB5。又ステップB3に於いて、PRBSパターンとPRBS比較パターンとの比較結果、不一致の場合は、同期状態ではないから、エラーカウントリセットとし、ステップB1に移行する。従って、エラーカウンタ24のカウント内容は、試験対象部から出力された試験信号のビット誤りを正確にカウントしたものとなり、試験の信頼性の向上を図ることができる。"