"円周方向に複数に分割された固定電極部を備えたセンサー基板と、該各固定電極部とそれぞれ対向する位置に設けた可動電極部を除いた部位を非導電性ラバー又は非導電性エラストマーで形成したセンサーラバーと、該センサーラバーの上面と間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバーとが、各中心部の位置決めと各円周方向、又は矩形方向のXY平面上で位置決めをして一体に形成したことを特徴とする静電容量式センサー。センサー基板上の同一円周方向に沿って複数に分割した固定電極部に対向する位置に可動電極部を備えたセンサーラバーであって、該センサーラバーの可動電極部を除いた部位は非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーで形成し、前記可動電極部は導電膜または柔軟に変形、伸縮する導電メッシュ層により一体に形成するとともに各可動電極部に対応する区域のセンサーラバー上面に顕出する補強用金属板を前記センサーラバーと一体に形成し、該センサーラバーの外周縁部から外側に延出する同一素材のセンサーラバー保持部の基部がセンサー基板と当接し該センサーラバー保持部の基部上に該基部の厚みより薄厚の補強用金属板を前記基部から外側に延出させて一体に形成するとともに、上記センサーラバーを内部に収納して該センサーラバー上面と距離をおいて設けるキーパッドラバーは中心部の各位置決め用穴を介して中心部の位置決めと該キーパッドラバー周縁に設けた補強用金属板が前記センサーラバーの複数箇所において位置決めした状態で周縁又はコーナーの複数個所を前記基板上にレーザー光線により一体に固定したことを特徴とする請求項1記載の静電容量式センサー。請求項1において、剛性またはフレキシブルな樹脂材からなるセンサー基板上の円周方向に沿って複数に分割された固定電極部に対向する位置で、同じ数に分割された可動電極部を備えたセンサーラバーであって、該センサーラバーの可動電極部を除いた部位は非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーで形成し、該非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーは各固定電極部と対向する可動電極部の円周方向に沿って複数に分割した区域に、導電膜6aの形成または柔軟に変形、伸縮する導電メッシュ層6bを一体に形成し、前記センサー基板がフレキシブルなセンサー基板である場合は、さらに該センサー基板の裏面に円形状金属製補強板を固着するとともに該円形状金属補強板の周縁部をセンサー基板の厚み相当に立ち上げ、さらに横方向に延出部を形成し、該延出部とセンサー基板と上記センサーラバー及びキーパッドラバーの各補強用金属板とをレーザー光線により一体に固定したことを特徴とする請求項1又は2記載の静電容量式センサー。請求項1において、前記センサー基板上の各固定電極部と対向する各可動電極部相当部位の非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーで形成した裏面が断面斜め下方に傾斜したクサビ状凸部に形成され、該クサビ状凸部表面に導電膜又は柔軟に変形、伸縮する導電メッシュ層の可動電極部を形成し、該断面斜めに傾斜したクサビ状凸部と固定電極部間で空間を形成したことを特徴とする請求項1、2又は3記載の静電容量式センサー。請求項1において、前記センサー基板上の各固定電極部と、該各固定電極部に対向する位置の可動電極部との間に形成される空間に、該センサーラバーの押圧に伴う形状復帰を維持するゲル状柔軟材の誘電体を充填したことを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の静電容量式センサー。請求項1において、センサーラバーの基部から外側に延出する補強用金属板と、該センサーラバーの天面上方に間隔を置いて配設するキーパッドラバーの周縁部に設けた補強用金属板と、硬質材からなるセンサー基板又はフレキシブルなセンサー基板の裏面に設けた補強用金属板とをレーザー光線により一体化したことを特徴とする請求項1、2、3、4又は5記載の静電容量式センサー。導電性ラバー又は導電性エラストマーからなる可動電極を備えたセンサーラバーと、該センサーラバーの上面と間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバーと、前記可動電極に対応した位置に固定電極を備えるとともに裏面に補強用金属板を設けない硬質材からなるセンサー基板又は裏面に補強用金属板を設けたフレキシブルなセンサー基板とを、各中心部に設けた透孔による位置決めと各円周方向又は矩形のXY平面上での位置決めをして一体に形成し、かつ前記センサーラバー上面に顕出する補強用金属板を前記センサーラバーと一体に形成し、該センサーラバーの外周縁部から外側に延出する同一素材のセンサーラバー保持部の基部がセンサー基板と当接し該センサーラバー保持部の基部上に該基部の厚みより薄厚の補強用金属板を前記基部から外側に延出させて一体に形成し、上記センサーラバーを内部に収納して該センサーラバー上面と距離をおいて設けるキーパッドラバーは中心部の各位置決め用穴を介して中心部の位置決めと該キーパッドラバー周縁に設けた補強用金属板が前記センサーラバーの複数箇所において位置決めした状態で周縁又はコーナーの複数個所を前記基板上にレーザー光線により一体に固定したことを特徴とする静電容量式センサー。中心部に位置決め用穴を穿設したフレキシブルなセンサー基板を収納し、周縁に固定用フランジを有し、中心部に位置決め用穴を穿設した補強用金属板と、前記センサー基板表面の同一円周方向に沿って複数に分割した各固定電極部と対向する位置に形成する複数に分割した可動電極部を除いた部位が非導電性シリコーンゴム又は非導電性熱可塑性エラストマーの素材でセンサーラバーを形成し、該センサーラバーの外周縁から外側に延出する同一素材のセンサーラバー保持部を備え、センサーラバーの中心部の天面に補強用金属板及び前記センサー保持部の基部に外側に延出する補強用金属板を備えるとともに前記各可動電極部を導電膜または伸縮自在な導電メッシュ層により形成し、かつ中心部に位置決め用穴を穿設したセンサーラバーと、前記センサーラバーの天面から上方に間隔をおいて配置し、前記センサーラバーと同一素材で形成し、キーパッドラバーの中心部の天面に補強用金属板を設けるとともに前記キーパッドラバーの保持部の基部に外側に延出する補強用金属板を備えるとともに中心部に位置決め用穴を穿設したキーパッドラバーとを、前記各中心部に位置決め用穴を一致させて周縁部の各補強用金属板同士を重ねた状態でレーザー光線にて一体に固定したことを特徴とする静電容量式センサーの製造方法。上記特許文献1に記載の静電容量式センサーの発明にあっては、感圧型で、静電容量変化を感知しアナログ電圧に変換後、デジタル信号化して変化量が出力されるものである。しかし、上記第1の起歪部は、導電性を有するラバーまたはエラストマーで形成されるために、非導電性のラバーに比べ繰り返し使用による復帰性能に劣り、力または加速度変化に対する静電容量の変化を安定した状態で検出することが出来ず、安定したセンサー機能を発揮し得ない。また、前記第1の起歪部は、導電性を有するラバーまたはエラストマーから構成されているために、本来のシリコーンゴムなどのラバーや非導電性のエラストマーに比べ、センサーに圧力が加わると圧縮され、形状が変化するが、該第1の起歪部への圧力を抜いたときの形状復帰に問題がある。さらに、上記導電ゴム等の使用では、通常のシリコーンゴム等の単体に比べ形状復帰が弱くなる一方、導電材であるカーボン含有量が少なくなると可動電極としての静電容量の検知が出来なくなり、逆にカーボン含有量を多くすると、可動電極の元の形状位置への復帰がしにくくなるため静電容量のゼロ点が不安定となる。上記特許文献1のセンサーラバー形状は非常に不安定な形状となっている。とくにセンサーラバーのZ軸寸法を安定させる形状になっていない。前記センサーラバーのZ軸寸法を決める部分は底部外周角部がR形状に縁取り加工されているのみである。このR形状に縁取り加工されている部分の潰れ量によって静電容量の原点出力が左右される。センサーラバーのZ軸方向の押圧はセンサーラバーの底部外周面から外側下方に向けて延出するセンサーラバー保持部に依存されるが、この部分も導電ゴムで形成されているために安定した押圧性能及びもとの位置への復帰性能は非導電性ゴム等に比べて劣る。さらに、上記特許文献1のセンサーラバーの裏面の可動電極を構成する導電性ラバーと、これに対向する基板パターンとの空間は、両者が接触した状態では断面クサビ型の傾斜した空間構造となっている。この傾斜した空間構造の変形に伴い静電容量を感知し数値を出力する。しかし、その断面クサビ型の傾斜した空間は必ずしも空気による誘電体で占有されていなくても良いことが今回の本発明者の実験により判明した。逆に、空気でその傾斜した空間を占有していると、空気の環境変化による静電容量の影響が大きいために温度、湿度によって著しく変化してしまう原因となる。しかし、従来の誘電体は電極板間に紙やガラス等の変形しない電極板間の距離が一定の誘電体を介在させているのが実情である。また、導電ゴムの場合、繰り返しキー操作をすることによりセンサーラバー裏面と基板パターンの傾斜した空間距離も安定しない結果、静電容量の安定化が図れないことも判明した。上記特許文献1において、静電容量式センサーとして重要なことは、基板の各検出電極と対向する位置に設ける起歪体の導体部の位置づれがなく両者を正確な位置で位置決めして組み立てることについては何ら言及されていないが、実はセンサーを製品化する上で基板と起歪体との位置決めは非常に重要なことである。その理由は、各分割された静電容量検出区域が各区域でずれるということは静電容量変化に伴う出力電圧の検出に当たり各検出電極の区域において出力電圧のずれが生じ、センサーとしての本来の役割を果たすことができないことを意味するからである。特に、静電容量式センサーの小型化例えば直径が10mm以下又は10mm角以下に形成する場合は、一層、センサーラバーと基板との中心部及びXY平面での位置合わせが重要となる。また、上記特許文献1には、起歪体24を内部に収容したケース50が基板22に溶接で固定されている構造であるために、基板への位置決め固定が困難である上に溶接作業のために各溶接個所をスポット的に溶接する必要上、量産化に不向きである等の難点があった。しかも、上記特許文献1の大きな欠点は、起歪体上方に該起歪体を押圧するキーパッドラバー及び又はキートップをセットメーカーが後付けで搭載する構造であるために、該キーパッドラバー及び又はキートップを搭載時に起歪体との間に常に一定の間隔をおいて設置する必要があるが、セットメーカーが後付けで搭載するときにキートップラバーを起歪体に近接し過ぎて取り付ける場合が生じる。この場合はセンサーの作動トラブルが生じる。反対に、起歪体とキーパッドラバーの間隔が空き過ぎるとキートップ等の作動部を押してもセンサーが直ちに作動しないためにセンサーの操作指示とセンサー指示に基づく動作との間にずれが生じセンサー本来の機能を発揮できないこととなり、操作性の悪いセンサーということになる。本発明の目的は、静電容量式センサーとしての操作性及び作動生が良く、複数に分割された各静電容量をそれぞれ正確に検出するために、各可動電極部を押してもセンサー基板の固定電極部で出力電圧を検出する際に分割した各固定電極区域において出力電圧の位置ずれによる誤差が生じないようにそれぞれの固定電極区域の同じ箇所においては均等に出力電圧が得られるようにキーパッドを含めた一体型の完成品として組み立てられた静電容量式センサー及びその製造方法を提供することにある。また、本発明の目的は、静電容量を変化させるセンサーの複数に分割された各可動電極部の上面部を除いて非導電性のラバー又はエラストマーを使用し、ラバー又はエラストマー本来の特性を活かしつつラバー又はエラストマーの繰り返し操作に対する変形防止を図るとともにセンサー基板を含めたセンサー構成部材のそれぞれの中心位置に位置決め用穴の形成と、円周方向等のXY平面上の位置ずれを防止し、分割された各固定電極部区域での出力電圧のずれが生じないようにし、各センサー構成部材の中心位置で位置決めした状態で前記センサーを内部に収納し、該センサー上面と間隔をおいて配設したキーバッドラバーの周縁をレーザー光線により一体に固定する構造に形成することにより、操作性が良く、ラバーの復帰性能の向上を図ることができ、力または加速度変化に対する静電容量の変化を出力電圧として安定した状態で出力信号を検出することが出来、安定したセンサー機能を発揮し、かつ耐久性に優れた静電容量式センサー及びその製造方法を提供することにある。さらに、本発明の目的は、非導電性ラバー又は非導電性エラストマーからなるセンサーラバーにおいて、円周方向等の平面に沿って複数に分割した各可動電極部区域に、印刷、スパッタリング等による導電膜の形成または導電メッシュ層を形成し、該分割された各可動電極部の外周縁部から外側に延出する前記非導電性ラバー又は非導電性エラストマーと同一素材のセンサーラバー保持部の基部がセンサー基板と当接し該センサーラバー保持部の基部上に一体的に形成した補強用金属板の一部が外側に延出する延出部を形成し、該延出部を基板上に位置決めしてレーザー光線で固定することによりセンサーの繰り返し使用に対して静電容量の変化を安定して検出し、かつ精度良く検出できる静電容量式センサー及びその製造方法を提供することにある。そして本発明の目的は、センサーラバーが導電性ラバー又は導電性エラストマーであっても、該導電性材料を配合したセンサーラバーと、該センサーラバーの上面と間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバーとを、中心部及び周縁部のそれぞれにおいて位置合わせした状態で一体に組み合わせることによりキーパッドラバーへの圧力を抜いたときのセンサーラバーの形状復帰は迅速に復帰し、前記キーパッドラバーにより間隔をおいて被覆保護され、かつ、キーパッドラバー及びセンサーラバーの各中心部の位置決めと円周方向又は矩形のXY平面上での位置決めをした状態で一体に形成することにより静電容量式センサーとしての操作性及び作動生が良く、複数に分割された各静電容量をそれぞれ正確に検出することができるようにしたものである。また、センサーラバーの基部から外側に延出する補強用金属板と、該センサーラバーの天面上方に間隔を置いて配設するキーパッドラバーの周縁部に設けた補強用金属板と、補強用金属板を有しない硬質材からなるセンサー基板又はフレキシブルなセンサー基板の裏面に設けた補強用金属板とを各中心部と各周縁部のXY平面上での位置合わせをした状態でレーザー光線により一体化構造とすることにより精度の高い静電容量式センサーを得ることを目的とする。本発明に係る静電容量式センサーは、円周方向に複数に分割された固定電極部を備えたセンサー基板と、該各固定電極部とそれぞれ対向する位置に設けた可動電極部を除いた部位を非導電性ラバー又は非導電性エラストマーで形成したセンサーラバーと、該センサーラバーの上面と間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバーとが、各中心部の位置決めと各円周方向、又は矩形方向のXY平面上で位置決めをして一体に形成したことを特徴とする。本発明に係る静電容量式センサーは、センサー基板上の同一円周方向に沿って複数に分割した固定電極部に対向する位置に可動電極部を備えたセンサーラバーであって、該センサーラバーの可動電極部を除いた部位は非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーで形成し、前記可動電極部は導電膜または柔軟に変形、伸縮する導電メッシュ層により一体に形成するとともに各可動電極部に対応する区域のセンサーラバー上面に顕出する補強用金属板を前記センサーラバーと一体に形成し、該センサーラバーの外周縁部から外側に延出する同一素材のセンサーラバー保持部の基部がセンサー基板と当接し該センサーラバー保持部の基部上に該基部の厚みより薄厚の補強用金属板を前記基部から外側に延出させて一体に形成するとともに、上記センサーラバーを内部に収納して該センサーラバー上面と距離をおいて設けるキーパッドラバーは中心部の各位置決め用穴を介して中心部の位置決めと該キーパッドラバー周縁に設けた補強用金属板が前記センサーラバーの複数箇所において位置決めした状態で周縁又はコーナーの複数個所を前記基板上にレーザー光線により一体に固定したことを特徴とする。本発明に係る静電容量式センサーは、請求項1において、剛性またはフレキシブルな樹脂材からなるセンサー基板上の円周方向に沿って複数に分割された固定電極部に対向する位置で、同じ数に分割された可動電極部を備えたセンサーラバーであって、該センサーラバーの可動電極部を除いた部位は非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーで形成し、該非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーは各固定電極部と対向する可動電極部の円周方向に沿って複数に分割した区域に、導電膜6aの形成または柔軟に変形、伸縮する導電メッシュ層6bを一体に形成し、前記センサー基板がフレキシブルなセンサー基板である場合は、さらに該センサー基板の裏面に円形状金属製補強板を固着するとともに該円形状金属補強板の周縁部をセンサー基板の厚み相当に立ち上げ、さらに横方向に延出部を形成し、該延出部とセンサー基板と上記センサーラバー及びキーパッドラバーの各補強用金属板とをレーザー光線により一体に固定したことを特徴とする。本発明に係る静電容量式センサーは、請求項1において、前記センサー基板上の各固定電極部と対向する各可動電極部相当部位の非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーで形成した裏面が断面斜め下方に傾斜したクサビ状凸部に形成され、該クサビ状凸部表面に導電膜又は柔軟に変形、伸縮する導電メッシュ層の可動電極部を形成し、該断面斜めに傾斜したクサビ状凸部と固定電極部間で空間を形成したことを特徴とする。本発明に係る静電容量式センサーは、請求項1において、前記センサー基板上の各固定電極部と、該各固定電極部に対向する位置の可動電極部との間に形成される空間に、該センサーラバーの押圧に伴う形状復帰を維持するゲル状柔軟材の誘電体を充填したことを特徴とする。本発明に係る静電容量式センサーは、請求項1において、センサーラバーの基部から外側に延出する補強用金属板と、該センサーラバーの天面上方に間隔を置いて配設するキーパッドラバーの周縁部に設けた補強用金属板と、硬質材からなるセンサー基板又はフレキシブルなセンサー基板の裏面に設けた補強用金属板とをレーザー光線により一体化したことを特徴とする。本発明に係る静電容量式センサーは、導電性ラバー又は導電性エラストマーからなる可動電極を備えたセンサーラバーと、該センサーラバーの上面と間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバーと、前記可動電極に対応した位置に固定電極を備えるとともに裏面に補強用金属板を設けない硬質材からなるセンサー基板又は裏面に補強用金属板を設けたフレキシブルなセンサー基板とを、各中心部に設けた透孔による位置決めと各円周方向又は矩形のXY平面上での位置決めをして一体に形成し、かつ前記センサーラバー上面に顕出する補強用金属板を前記センサーラバーと一体に形成し、該センサーラバーの外周縁部から外側に延出する同一素材のセンサーラバー保持部の基部がセンサー基板と当接し該センサーラバー保持部の基部上に該基部の厚みより薄厚の補強用金属板を前記基部から外側に延出させて一体に形成し、上記センサーラバーを内部に収納して該センサーラバー上面と距離をおいて設けるキーパッドラバーは中心部の各位置決め用穴を介して中心部の位置決めと該キーパッドラバー周縁に設けた補強用金属板が前記センサーラバーの複数箇所において位置決めした状態で周縁又はコーナーの複数個所を前記基板上にレーザー光線により一体に固定したことを特徴とする。本発明に係る静電容量式センサーの製造方法は、中心部に位置決め用穴を穿設したフレキシブルなセンサー基板を収納し、周縁に固定用フランジを有し、中心部に位置決め用穴を穿設した補強用金属板と、前記センサー基板表面の同一円周方向に沿って複数に分割した各固定電極部と対向する位置に形成する複数に分割した可動電極部を除いた部位が非導電性シリコーンゴム又は非導電性熱可塑性エラストマーの素材でセンサーラバーを形成し、該センサーラバーの外周縁から外側に延出する同一素材のセンサーラバー保持部を備え、センサーラバーの中心部の天面に補強用金属板及び前記センサー保持部の基部に外側に延出する補強用金属板を備えるとともに前記各可動電極部を導電膜または伸縮自在な導電メッシュ層により形成し、かつ中心部に位置決め用穴を穿設したセンサーラバーと、前記センサーラバーの天面から上方に間隔をおいて配置し、前記センサーラバーと同一素材で形成し、キーパッドラバーの中心部の天面に補強用金属板を設けるとともに前記キーパッドラバーの保持部の基部に外側に延出する補強用金属板を備えるとともに中心部に位置決め用穴を穿設したキーパッドラバーとを、前記各中心部に位置決め用穴を一致させて周縁部の各補強用金属板同士を重ねた状態でレーザー光線にて一体に固定したことを特徴とする。本発明に係る静電容量式センサーは、複数に分割された固定電極部を備えたセンサー基板と、該各固定電極部とそれぞれ対向する位置に可動電極部を備え、かつ該センサー基板の上方に配置するセンサーラバーと、該センサーラバーと間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバーとをそれぞれに設けた中心部の位置決め用穴に合わせるとともに周縁部もレーザー光線にて一体に形成したので、静電容量式センサーとしての操作性及び作動生が良く、複数に分割された各静電容量をそれぞれの箇所で正確に検出することができる。また、中心部及び周縁部での位置決めが正確にされているので、各可動電極部のどの位置を押してもセンサー基板の固定電極部で出力電圧を検出する際に分割した各固定電極区域において出力電圧の位置ずれによる誤差を生じることが無く、それぞれの固定電極区域の同じ箇所においては均等に出力電圧が得られる。本発明に係る静電容量式センサーは、可動電極部を除いた部位を非導電性のラバー又はエラストマーで形成し、圧縮、収縮、原形復帰の繰り返し操作に対し、非導電性のラバー又はエラストマーとセンサーラバーの可動電極部位相当のラバーの天面に形成したことが相俟って繰り返し使用に十分耐え、かつ繰り返し操作に対するセンサーラバーの原形復帰が確実に行われる。またセンサーラバーの繰り返し使用に対する変形防止が図られる。またセンサーラバーの原形復帰性能の向上を図ることができ、力または加速度変化に対する静電容量の変化を安定した状態で検出することが出来る。本発明に係る静電容量式センサーは、センサーラバーの可動電極部相当部位の天面に顕出する補強用金属板と、センサーラバーの外周縁部から延出したセンサーラバー保持部と、該センサーラバー保持部の補強用金属板と、可動電極部が同一金型内で一体に成形され、かつ中心部に位置決め用穴を形成するので、360度どの方向でも均一にZ方向にテンションをかけることができる。また、センサーラバーの底面と補強用金属板底面は一体成形されるので該補強用金属板を、中心部に位置決め用穴を形成した基板の金属部又は補強用金属板にレーザー光線溶接したときにセンサーラバーの位置がずれることが無く補強用金属板底面が基板上又は補強用金属板に安定して設置される。さらに、従来のセンサーラバーと補強用金属板とは個別に製作された後に組み立てるので、組み立て時の位置決め精度が良くないのに対して本発明では、センサーラバーの外周縁の一部を外側に突出させたセンサーラバー保持部の基部と補強用金属板とを一体成形により固着せしめる構成としたので、センサーラバーと補強用金属板との位置決め精度が格段に向上し、センサーラバーがセンサー基板上で360度の方向に位置ずれすることが解消された。本発明は、断面斜めに傾斜した凸部の表面に形成した可動電極部とこれに対向する固定電極部との空間にセンサーラバーの形状復帰を維持するゲル状柔軟剤の誘電体が一体成形時に形成されるので、センサーラバー叩打部の補強用金属板と相俟ってセンサーラバーの形状復帰が維持される。本発明は、センサーラバー保持部を保護する補強用金属板は前記センサーラバーと一体に成形したので、センサーラバー底面、センサーラバー保持部の基部底面及び補強用金属板はレーザー光線溶接時に同一面に形成されるので、センサーラバーをセンサー基板又は補強用金属板に固定するときに組み立て精度が大幅に向上し、センサー出力の安定性に寄与する。特に、前記センサーラバーの外周縁底部の一部を外側に突出させてセンサーラバー保持部の基部上に補強用金属板を一体成形により形成するので、センサーラバーがセンサー用基板に対してXY平面のずれや、XY平面上で回転する方向へのずれが解消され、センサー出力の安定性に寄与する。また、本発明はセンサーラバーが導電性ラバー又は導電性エラストマーであっても、該導電性材料を配合したセンサーラバーと、該センサーラバーの上面と間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバーとを一体に組み合わせることによりキーパッドラバーへの圧力を抜いたときのセンサーラバーの形状復帰は迅速に復帰し、前記キーパッドラバーによる所定の距離を置いた状態で設置されることによる被覆による補完作用が発揮され、繰り返し使用によるセンサーラバーの形状復帰性能を向上させることができる。さらに、キーパッドラバー及びセンサーラバーの各中心部の位置決めと各円周方向又は矩形のXY平面上で位置決めをして一体に形成することにより静電容量式センサーとしての操作性及び作動生が良く、複数に分割された各静電容量をそれぞれ正確に検出することができる。さらにまた、センサーラバーの基部から外側に延出する補強用金属板と、該センサーラバーの天面上方に間隔を置いて配設するキーパッドラバーの周縁部に設けた補強用金属板と、補強用金属板を有しない硬質材からなるセンサー基板又はフレキシブルなセンサー基板の裏面に設けた補強用金属板とをレーザー光線により一体定期固定することにより精度の高い静電容量式センサーを得ることができる。図1は本発明の一実施例を示す縦、横の長さがそれぞれ8mmの長さのセンサーを透視的に見た場合の拡大平面図である。すなわち、フレキシブルなセンサー基板1aと、その上に配置されるセンサーラバー3と、そのセンサーラバー3の上に配置されるキーパッドラバー14とが一体に組み込まれた状態を示す図面である。1はセンサー基板である。本実施例ではセンサー基板1として、フレキシブルなセンサー基板FlexiblePWB1aを採用した場合を示す。このフレキシブルなセンサー基板1aは薄いポリイミドやポリエステルなどのフィルムで出来たベースの上に、薄い銅箔の配線パターンを備えている配線基板である図1~図4参照。フレキシブルなセンサー基板1aを採用する場合、図3及び図4に示すようにフレキシブルなセンサー基板1aの裏面に接着剤1b又は両面接着テープを介して該基板1aを安定して保持するためのステンレス板などの補強用金属板2を使用する。図14~図16に示すように、補強用金属板2の周縁である各コーナーはフレキシブルなセンサー基板1aの端部近傍からその基板1aの厚み相当分だけ立ち上げた平坦な立ち上がり部2aを形成し、その立ち上がり部2aの端縁から上方に向けて突出部2bを形成する。この突出部2bの内面のそれぞれに後述するセンサーラバー3の周縁部に形成した補強用金属板4bの端部の切欠き部4c及びキーパッドラバー14の周縁部に形成した補強用金属板8の端部の切欠き部8bがそれぞれ当接するので、補強用金属板2の立ち上がり部2a、補強用金属板4bの端部及び補強用金属板8の端部を重ねた状態で位置決めがされ、レーザー光線により固定することで、円周方向のずれが確実に防止される。また、従来の溶接作業に比べ位置決めした状態で瞬時にレーザー光線により溶接され、正確性及びスピード性において作業性に優れている。なお、本例ではフレキシブルなセンサー基板1aを採用した場合を示したが、用途によって硬い通常のセンサー基板1が適用される。硬い通常のセンサー基板1を採用した場合は、基板の裏面にステンレス板などの補強用金属板2を必ずしも設ける必要はないが、一体的に収納を図るために設けても良い。3はセンサー基板1上に固定したセンサーラバーで、センサー基板1上に4つに分割した固定電極部1cのそれぞれに対応した上方位置に可動電極部5をそれぞれ備えている。本例では4つに分割した場合を示したが、用途により分割の数を適宜増減できる。センサーラバー3で検出した静電容量の変化を電圧に変化させるCV変換器図示せずで、センサーラバー3と対向する固定電極部1cと電気的に接続され、さらにCV変換器はA/D変換器図示せずに接続し、外部に数値が出力される。本発明に係る静電容量式センサーを構成するセンサーラバー3は、シリコーンゴム等の非導電性ラバーまたはエチレン酢酸ビニルエラストマーなどの非導電性エラストマーで形成され、センサー基板1上の同一円周方向に沿って複数に分割本例では4分割の場合を示すが用途により分割等に分割されるされた固定電極部1cに対向する位置に、可動電極部5を同一円周方向に4つに分割して形成する。センサーラバー3の中心部の天面に設ける円形の補強用金属板4aと、センサーラバー3の可動電極部5に対応する位置のセンサーラバー3上面が顕出する補強用金属板4と、センサーラバー保持部7の基部7aの上面に設け、かつ基部7aの端部から下方に折り曲げ、さらに外側に延出する補強用金属板4bとをそれぞれ同一金型図示せず内に充填し、非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーの材料を前記金型内に装填し、かつ該当する箇所に可動電極部5の導電材料を装填して全体を前記金型内で一体に成形する。なお、補強用金属板4bは図20に示すように端部を折り曲げることなく平坦であっても良い。固定電極部1cと対向する4つに分割された可動電極部5に導電膜6または柔軟に変形、伸縮する導電メッシュ層6aを形成する。導電膜6は非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーと同一金型内で一体に形成されるが、接着性を考慮して例えばシリコーンゴムと溶融接着する同一素材であるシリコーンゴムにカーボンを充填して導電性を形成する。また、導電メッシュ層6aについても伸縮自在な素材を選定し、非導電性ラバーまたは非導電性エラストマーと接着性の良好な素材を選定する。図3及び図4に示すようにキーパッドラバー14の基部17a上に位置する補強用金属板8と、センサーラバー3の基部7a上に位置する補強用金属板4bと、補強用金属板2の立ち上がり部2aとによってフレキシブルなセンサー基板1aを介在させた状態でそれぞれの中心部の位置決め用穴16を共通にした状態で、センサー構成部材の各中心部の位置決めを行うとともに、同一円周方向のずれを防ぐために補強用金属板8、4b及びセンサー基板1のそれぞれに穿設した透孔図示せずを治具図示せずに設けたピン図示せずに差し込んだ状態でセンサー構成部材の円周方向のずれが解消される。補強用金属板8、4b及びセンサー基板1をレーザー光線により上記周縁を位置決め固定することにより可動電極部5を備えたセンサーラバー3の操作中において円周方向及びラジアル方向に力が作用しようとも位置ずれがなく正確、かつ確実に作動する。図中、17はキーパッドラバー保持部を示す。図8及び図9は本発明の一実施例を示す縦、横のそれぞれの長さが8mmの角型形状のセンサーとして使用するセンサーラバー3の表面及び裏面をそれぞれ示す拡大斜視図である。センサー基板1を基板上に同一円周方向に沿って4つの固定電極部1cのパターンに分けた場合に対向して設けるセンサーラバー3の概略を示す説明図であるが、必ずしも4つのパターンに限定されるものではなく、たとえば8つパターンその他の数のパターンに用途に応じて分けることができる。図9に示すように、本例では左右の左側の円弧状エリアをX-感知用パターン9、左右の右側の円弧状エリアをX感知用パターン10、上下の上側の円弧状エリアをY感知用パターン11、上下の下側の円弧状エリアをY感知用パターン12、そのエリアをZ感知用パターンすなわちZ軸方向感知用パターン13をそれぞれ示す。センサーラバー3は可動電極部5相当部位のラバー上面の4と、センサーラバー保持部7の上面の補強用金属板4bと、非導電性ラバー又は非導電性エラストマー材料が金型内で同時成形により形成される。例えば、センサーラバー3のXが押された時は、X出力はになる。X-が押された時は、X出力は-になる。Yが押された時は、Y出力はになる。Y-が押された時は、Y出力は-になる。Z出力はどの方向が押されてもになる。例えばY円弧状エリアを押したときの出力は、シーソーキーと同じ原理で、Y部はほぼ沈まない。X、X-部は若干沈む。X部とX-の境界部を押したときの出力は、X、Yは約半分沈む。X、Y部はほぼ沈まない。XY出力の機構的作用を考えると、X、Y各軸の相殺出力でどの部分が押されているのかが分かる。例えば、Y部の中央を押した場合、X20,X--20で相殺は0となる。Y50,Y--5で相殺は45となる。他方、X円弧状エリアとX-円弧状エリアの境界部を押した場合、X35,X--10で相殺は25となる。Y10,Y--35で相殺は-25となる。Z出力に関しては、すべて出力であるため、すべての方向を足した出力になる。各場所のZ感知センサーラバー形状は、XY軸方向を中心に山形になっている。これはどの方向を同じ力で押してもセンサーラバーの潰れ量の合計が同じになるようにするためである。例えば、A部を押した場合、X部15,X-部15,Y部25,Y-部5で合計は60である。他方、B部を押した場合、X部20,X-部10,Y部10,Y-部20で合計は60である。図8、図9はセンサーラバー3の表面、裏面をそれぞれ示す斜視図である。金型内に予め加工したステンレス等の補強用金属板4及び補強用金属板4bを装填してセンサーラバー3の非導電性部材と一緒に一体成形する。すなわち、補強用金属板4bはシリコーンゴム等の非導電性のラバー又は非導電性のエラストマーからなるセンサーラバー3の外周縁部に同一素材で形成したセンサーラバー保持部7の基部7a上に設け、かつ基部7aより外側に水平に張り出す。図9はセンサーラバー3の裏面を示す斜視図で、その表面に可動電極部が形成される前の状態を示す。センサーラバー3はその外周縁から外側下方に向けて延出するセンサーラバー保持部7とそのセンサーラバー保持部7を支持する基部7aを備えている。センサーラバー保持部7の基部7aには外形が略矩形状の補強用金属板4bを形成し、その各コーナーは切欠き部4cを形成する。この切欠き部4cの端面が、センサー基板1の裏面に固定した補強用金属板2のコーナーに設けた突出部2bの内面に当接して組み立て時の円周方向の位置ずれが規制される図1、図2a、図2b、図20、図21参照。センサーラバー3の中心部は確定キー等として使用される。センサーラバー3は、確定キー図示せずと一体型ではなくセンサーキー3単独使用の場合であっても良い。センサーラバー3はシリコーンゴム等の非導電性ゴム又は非導電性エラストマーにより形成し、繰り返し叩打に伴う永久歪を極力小さくする。センサーラバー3と、センサーラバー3の中央部の天面に形成する補強用金属板4と、センサーラバー保持部7の基部7a上に形成する補強用金属板4bとは一体成形されるため、センサーラバー3をセンサー基板2上に設置したときは、補強用金属板4bをセンサー基板1上の金属部とレーザー光線により溶接をすることによりセンサーラバー3がセンサー基板1で円周方向に回転して位置ずれするのが防止される。センサーラバー3は指等による上からの圧力に対し圧縮され、形状が変化するが、圧力を抜いた時の形状復帰が重要である。従来の導電性ゴムでは通常の非導電性シリコーンゴムに比べて形状復帰が弱い。しかし、シリコーンゴム中に導電性を有するカーボン含有量が少ないと、静電容量を検出できなくなり、逆にカーボンを多くすると、形状復帰がしにくくなるためゼロ点が不安定になる。従来の導電シリコーンは高度が70度以上と高いが、本例では非導電性のシリコーンゴム例えば東レSE4706U59度、東レSE4705U51度、信越KE961TU62度等の材料を使用する。非導電性のシリコーンゴムは、硬度も導電性シリコーンゴムより低いものを採用する。非導電性のシリコーンゴムで形成したセンサーラバー3の裏面は非導電性のシリコーンゴムと接着性の良好な導電シリコーンゴム膜シートなどの導電膜6又は導電メッシュ層6aにより形成する。センサーラバー3の裏面に形成される可動電極部5となる導電膜6または導電メッシュ層6aはセンサー基板1の上面の固定電極部1cと対向する位置に形成される。センサーラバー3の裏面に断面クサビ形状の突部を形成し、両導体部間に空間部が形成される。また、センサー基板2のPL面上の補強用金属板8の外周部底面と、センサーラバー保持部7の基部7a底面とは金型内でフラットに成形されるため、レーザー光線による溶接を用いれば、センサー基板1のパターンとの圧着精度は格段に向上する。また、センサーラバー保持部7と補強用金属板4bは一体成形されているため、従来のようにセンサーラバー3及びセンサーラバー保持部7だけがセンサー基板2に取り付けた後に円周方向や前後方向に動いてしまうという現象が解消される。センサーラバー3はシリコーンゴム等の非導電性ゴム又は非導電性エラストマーで形成し、繰り返し叩打等の使用に対しセンサーラバー3の永久歪を極力小さくする構造とした。導電膜6は導電印刷ウレタンゴムシート、導電シリコーンゴムシート等で形成される。センサーラバー3の裏面に可動電極部5となる金属製メッシュなどの導電メッシュ層6aの形成は同一金型内にセンサーラバー3とともに装填する。導電メッシュ層6aの形成は導電インク図示せずを浸透させた伸縮自在なネット等を採用して得られる。このように導電メッシュ層6aをインサートした可動電極部5の形成は、成形時の追従性に優れ、又シリコーンゴムの欠点でもある引き裂き強度を補うこともできる。すなわち、金属製メッシュ等の採用により平面方向の伸びも規制でき、可動電極であるセンサー部の位置も安定する。センサーラバー3を形成する非導電性シリコーンゴムの選定にあたっては、永久歪が小さいグレードのシリコーンゴムを選定することが肝要である。センサーラバー3の裏面に形成される可動電極部5と固定電極部1cとの間に形成されるセンサーラバー3の空間部は、センサー基板1上の固定電極部1cと該固定電極部1cに対向する可動電極部5との間に形成される断面クサビ形状の空間に存在する静電容量の変化を感知し、数値を出力するものであるため、空間は空気でなくても良い。逆に、空気の場合は、環境変化による静電容量の影響が大きいため温度、湿度によって著しく変化してしまう。又、従来構造ではセンサー基板1のパターンとの距離空間も安定しない。本発明は上記課題を考慮して、静電容量を感知する空間にゲル状柔軟剤の誘電体を充填し、環境変化に左右されにくい構造とした。また、空間にゲル状柔軟剤の誘電体を充填することにより、形状復帰に伴う寸法精度も向上し静電容量の変化を検出する数値出力の安定性も確保できる結果、センサーラバー3の品質も格段に向上させることができる。本発明で使用する誘電体であるゲル状柔軟剤は加圧に対し収縮し、加圧を止めればゲル状柔軟剤はもとの形状に復帰する。センサーラバー3の裏面と、センサー基板1のパターンとの空間部に軟質剤による充填部図示せずを形成することにより接地面を大きくして形状復帰の安定性を向上させることができる。また、環境変化からの静電容量出力のバラツキを抑えることができる。ゲル状柔軟剤の誘電体としては、例えばシリコーンゲル、ウレタンゲル、エラストマーゲル等の収縮と原形復帰が容易な柔軟剤が選定される。図11~図13は縦、横の長さがそれぞれ8mmである角型センサーに適用される配線基板を示す。図13の配線基板の板厚が0.2mmのセンサー基板1である場合の基板構成を上から順次説明すると、一番上が厚さ50μmのポリイミドフィルム1a、次が厚さ37.5μmの銅箔パターン1b、次に厚さ25μmのポリイミドフィルム1c、次が37.5μmの銅箔パターン1d、次が厚さ50μmのポリイミドフィルム1e、最後が厚さ50μmの弱粘着テープ1fをそれぞれ示す。図14~16はフレキシブルプリント配線基板を保持する補強用金属板を示す拡大斜視図である。中心の位置決め用穴16は0.5mmに形成した場合を示すがこの数値に限定されるものではない。図17はセンサー基板1と、センサーラバー3と、キーパッドラバー14とを一体に組み立てた状態を示す概略拡大断面図である。図18~19はセンサーラバー3の可動電極部5の態様を示す拡大断面図である。図5は本発明の一実施例を示す縦、横がそれぞれ8mmの長さの角型センサーに設置するキーパッドラバーの表面を示す拡大斜視図、図6は本発明の一実施例を示す縦、横がそれぞれ8mmの長さの角型センサー基板に設置するキーパッドラバーの裏面を示す拡大斜視図である。キーパッドラバー保持部17の基部17aには外形が略矩形状の補強用金属板8を形成し、その各コーナーは切欠き部8bを形成する。この切欠き部8bの端面が、センサー基板1の裏面に固定した補強用金属板2のコーナーに設けた突出部2bの内面に当接して組み立て時の円周方向の位置ずれが規制される図1、図2a、図2b、図21参照。図22は本発明の他の実施例を示し、硬質材からなるセンサー基板で、センサーラバーが導電性ラバー又は導電性エラストマーからなる場合を示す一体構造型の静電容量式センサーの拡大断面図である。図23は本発明の他の実施例を示し、センサーラバー3aが導電性ラバー又は導電性エラストマーから成り、キートップ15を備えた場合を示す一体構造型の静電容量式センサーの拡大断面図である。図22及び図23はいずれもセンサーラバー3aが導電性ラバー又は導電性エラストマーからなる場合を示すものであるが、センサーラバー3aの繰り返し使用による復帰性能の低下は、導電性材料を配合したセンサーラバー3aと、該センサーラバー3aの上面と間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバー14とを一体に組み合わせることによりキーパッドラバー3aへの圧力を抜いたときのセンサーラバーの形状復帰は迅速に復帰し、前記キーパッドラバー3aによる所定の距離を置いた状態で設置されることによる被覆による補完作用が発揮され、繰り返し使用によるセンサーラバー3aの形状復帰性能を向上させることができる。図22及び図23におけるその他の構成は、既に述べた上記発明を実施するための形態で述べた構成と変わるものではない。図24は本発明の他の実施例を示し、フレキシブルなセンサー基板を使用し、センサーラバーが導電性ラバー又は導電性エラストマーからなる場合を示す一体構造型の静電容量式センサーの拡大断面図である。図25は本発明の他の実施例を示し、フレキシブルなセンサー基板を使用し、センサーラバーが導電性ラバー又は導電性エラストマーから成り、キートップを備えた場合を示す一体構造型の静電容量式センサーの拡大断面図である。図24及び図25はいずれもセンサーラバー3aが導電性ラバー又は導電性エラストマーからなる場合を示すものであるが、センサーラバー3aの繰り返し使用による復帰性能の低下は、導電性材料を配合したセンサーラバー3aと、該センサーラバー3aの上面と間隔をおいて上方に配置するキーパッドラバー14とを一体に組み合わせることによりキーパッドラバー14への圧力を抜いたときのセンサーラバー3aの形状復帰は迅速に復帰し、前記キーパッドラバー14による所定の距離を置いた状態で設置されることによる被覆による補完作用が発揮され、繰り返し使用によるセンサーラバー14の形状復帰性能を向上させることができる。図24及び図25におけるその他の構成は、既に述べた上記発明を実施するための形態で述べた構成と変わるものではない。"