略半円状の一対の分割プレートの分割面を互いに突き合わせて形成される略円形板の中間プレートを検査する、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置であって、前記ツインロータリ圧縮機の圧縮部に組み込まれる前における前記中間プレートの前記一対の分割面を互いに突き合わせるための第一突き合わせ手段と、該突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面同士の隙間を測定する分割面隙間測定手段と、前記突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における分割面に垂直な方向の前記中間プレートの外径を測定する第一外径測定手段と、を具備する第一検査装置と、前記ツインロータリ圧縮機の圧縮部に組み込まれた状態における前記中間プレートの一対の分割面を互いに突き合わせるための第二突き合わせ手段と、該突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面に垂直な方向の前記中間プレートの外径を測定する第二外径測定手段と、を具備する第二検査装置と、前記分割面隙間測定手段が測定した前記分割面同士の隙間が所定の規定値未満の場合に、前記第一外径測定手段が測定した前記中間プレートの外径と、前記第二外径測定手段が測定した前記中間プレートの外径とに基づいて、前記圧縮部に組み込まれた状態における前記中間プレートの突き合わせられた一対の分割面同士の隙間を算出する制御手段と、を有することを特徴とするツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置。前記分割面隙間測定手段が、前記突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面に赤色光を照射する発光手段と、該発光手段に対応して配置され、前記分割面同士の隙間を前記赤色光が通過した場合、該通過した赤色光を検知する画像センサと、を具備し、前記画像センサがCCDカメラであって、前記通過した赤色光を検知した面積を認識して、前記分割面同士の隙間の位置および幅を測定することを特徴とする請求項1記載のツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置。前記第一突き合わせ手段が、前記中間プレートが載置される受け治具と、該受け治具に載置された前記中間プレートを該受け治具に押し付ける押し付け手段を具備することを特徴とする請求項1または2記載のツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置。前記分割プレートの外周に、前記分割面と平行な平面部が形成され、前記第一突き合わせ手段および前記第二突き合わせ手段は、前記平面部に当接する基準プレートを具備することを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置。しかしながら、特許文献1に開示された測定装置は、光源の光線を隙間に通し、この光を反対側に設置されたCCDカメラにおいて光の明暗を認識することにより、隙間の判別を行うものであるため、以下の問題があった。あ室内の照明等が隙間に入った場合、誤認識が発生するため、測定装置の周囲をカバーで覆うことで誤作動を防いでいたが、装置稼動部より入る光によって、完全に誤作動を無くすことができなかった。いまた、この測定装置をツインロータリ圧縮機の圧縮部の組み立て時の検査に使用しようとすると、圧縮部を構成する分割タイプである中間プレートの分割面に、直接光線を当てることができないため、組立後の中間プレートの分割面の隙間隙間の有無は大きさ等を測定することができなかった。うさらに、この測定装置のメンテナンス作業面については、カバーで外周を覆うため構成要素が多く、メンテナンスや作業に多くの時間が必要であった。この発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、分割タイプである中間プレートの分割片の分割面同士を突き合わせたときの分割面同士の隙間を、単純かつ精度良く検出することができる、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置を提供することにある。本発明に係るツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置は、略半円状の一対の分割プレートの分割面を互いに突き合わせて形成される略円形板の中間プレートを検査するものであって、前記ツインロータリ圧縮機の圧縮部に組み込まれる前における前記中間プレートの前記一対の分割面を互いに突き合わせるための第一突き合わせ手段と、該突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面同士の隙間を測定する分割面隙間測定手段と、前記突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における分割面に垂直な方向の前記中間プレートの外径を測定する第一外径測定手段と、を具備する第一検査装置と、前記ツインロータリ圧縮機の圧縮部に組み込まれた状態における前記中間プレートの一対の分割面を互いに突き合わせるための第二突き合わせ手段と、該突き合わせ手段によって突き合わせられた状態における前記分割面に垂直な方向の前記中間プレートの外径を測定する第二外径測定手段と、を具備する第二検査装置と、前記分割面隙間測定手段が測定した前記分割面同士の隙間が所定の規定値未満の場合に、前記第一外径測定手段が測定した前記中間プレートの外径と、前記第二外径測定手段が測定した前記中間プレートの外径とに基づいて、前記圧縮部に組み込まれた状態における前記中間プレートの突き合わせられた一対の分割面同士の隙間を算出する制御手段と、を有することを特徴とする。本発明に係るツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置は、圧縮部に組み込まれる前における単品の中間プレートについて、突き合わせられた状態における分割面の隙間および中間プレートの外径を測定する第一検査装置と、圧縮部に組み込まれた後の中間プレートについて、突き合わせられた状態における外径を測定する第二検査装置と、第一検査装置が測定した分割面の隙間と中間プレートの外径の値と、第二検査装置が測定した中間プレートの外径の値とを比較して、圧縮部に組み込まれた後の中間プレートにおける分割面同士の隙間を算出する制御装置とを有するため、圧縮部に組み込まれた後の中間プレートにおける分割面同士の隙間を、単純かつ精度良く知ることができるから、圧縮部の品質の維持および向上を図ることができる。[実施の形態]図1~図8は本発明の実施の形態に係る、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置を説明するものであって、図1は検査対象中間プレートが組み込まれた部材ツインシリンダタイプワークを模式的に示す正面視の断面図、図2は図1に示す検査対象中間プレートを模式的に示す平面図、図3および図4は一部第一検査装置を模式的に示す正面図および平面図、図5および図6は一部第二検査装置を模式的に示す正面図および平面図、図7は一部制御手段を示す電気配線図、図8は検査の流れを示す動作フローチャートである。なお、各図における同じ部分または相当する部分には同じ符号を付し、一部の説明を省略する。検査装置本発明の実施の形態に係る、ツインロータリ圧縮機の中間プレートの検査装置図示しない、検査装置と称する場合があるは、第一検査装置100、第二検査装置200および制御装置300を有するものであって、以下、第二検査装置200の検査対象であるツインロータリ圧縮機に搭載された圧縮部ツインシリンダタイプワークについて説明し、ついで、第一検査装置100の検査対象である前記圧縮部を形成する中間プレートについて説明する。その後、第一検査装置100および第二検査装置200を説明し、最後に、制御装置300および検査の流れを説明する。圧縮部図1において、まず、ツインロータリ圧縮機に搭載された圧縮部検査対象が組み込まれているについて説明する。圧縮部以下、ツインシリンダタイプワークと称す15は、一対の圧縮機構メカ部を有している。すなわち、一方の圧縮機構には、第一ワーク軸受1と第一ワークシリンダ2と中間プレート5とによって第一圧縮室3が形成され、第一圧縮室3に第一ピストン4が移動自在に配置され、第一圧縮室3の内周面と第一ピストン4の端面外面との間に第一圧縮室隙間Aが形成されている。また、他方の圧縮機構には、第二ワーク軸受10と第二ワークシリンダ7と中間プレート5とによって第二圧縮室8が形成され、第二圧縮室8に第二ピストン9が移動自在に配置され、第二圧縮室8の内周面と第二ピストン9の端面外面との間に第二圧縮室隙間Bが形成されている。そして、第一ピストン4および第二ピストン9は、それぞれシャフト11に形成された第一偏芯部11aおよび第二偏芯部11bに取り付けられ、シャフト11の回転によって、第一圧縮室隙間Aおよび第二圧縮室隙間Bの大きさが変動するから、第一圧縮室3および第二圧縮室8において、冷媒等の流体は高温高圧の状態に圧縮される。なお、第一偏芯部11aと第二偏芯部11bとは位相が相違しているため、それぞれ第一圧縮室3および第二圧縮室8において、冷媒は交互に圧縮される。中間プレート図2において、中間プレート5は、略半円盤状の第一分割プレート以下、説明の便宜上右分割プレートと称す5aと第二分割プレート以下、説明の便宜上左分割プレートと称す5bとから構成されるものである。右分割プレート5aは、略半円弧状の右外周16aと、右外周16aの一部に形成された平面である右基準面17aと、右基準面17aに平行で、右外周16aの円弧の中心を通過する右分割面19aと、右分割面19aの一部に形成され、右外周16aと同心である半円弧状の右内周18aと、を有している。左分割プレート5bの外郭は右分割プレート5aと面対称の形状であって、左外周16bと、左基準面17bと、左分割面19bと、左内周18bと、を有している。また、後記する受け治具23との位置決めのため、右分割プレート5aおよび左分割プレート5bには、それぞれ右位置決め孔21aおよび左位置決め孔21bが形成されている。そして、右分割面19aと左分割面19bとを密着させたとき、すなわち、図2に示す分割面隙間Cが0ゼロになったとき、右内周18aと左内周18bのそれぞれの円弧の中心が一致し、右内周18aと左内周18bとによって円筒状の中心孔20が形成されるように設計されている実際は、分割面隙間Cが0ゼロにならない場合がある。なお、シャフト11の第一偏芯部11aと第一偏芯部11aとに挟まれた部分が、中心孔20内に配置され該部分が右内周18aと左内周18bとによって包囲されるものであって、配置された状態における、シャフト11の前記部分の外周面と中心孔20の内周面との間隙を、シャフト隙間Dと称す図1参照。なお、第一圧縮室3と第二圧縮室8を仕切る中間プレートが一体物一枚板である場合には、かかる中間プレートを圧縮部に配置するために、シャフト11の第一偏芯部11aまたは第二偏芯部11bを通過させる必要があるから、シャフト隙間Dを大きくする必要がある。そうすると、シャフト隙間Dが大きくなり、第一圧縮室3や第二圧縮室8からの漏れが大きくなることから、圧縮機の性能が低下する。すなわち、中間プレート5を分割された右分割プレート5aと左分割プレート5bとによって構成することによって、シャフト11を左右から挟み付ける正確には当接していないことができるから、シャフト隙間Dを小さくすることによって、圧縮機の性能が向上している。なお、右分割面19aと左分割面19bとの間に隙間が発生した場合正確には、分割面隙間Cが0ゼロであるとみなすことができない場合は、第一圧縮室3と第二圧縮室8とが連通するため、圧縮性能の低下が発生する。ツインシリンダタイプワークの組立方法次に、ツインシリンダタイプワーク15の組立方法について説明する。図1において、円周上の一方向で第一ピストン4の端面外面と第一ワークシリンダ2の内周面との間の間隙である第一圧縮室隙間Aが、シャフト11の第一偏芯部11aにおいて図面スペック設計基準値に納まるように、第一ワークシリンダ2と第一ワーク軸受1とを複数のボルト12によって接合固定する。そして、シャフト11の第一偏芯部11aに第一ピストン4を設置し、第一ピストン4が設置されたシャフト11を第一ワーク軸受1に挿入し、第一ピストン4を第一圧縮室3に配置する。また、前記と同様に、第二圧縮室隙間Bが、シャフト11の第二偏芯部11bにおいて図面スペック設計基準値に納まるように、第二ワークシリンダ7と第二ワーク軸受10とを複数のボルト14によって接合固定する。そして、シャフト11の第二偏芯部11bに第二ピストン9を設置し、第二ピストン9が設置されたシャフト11を第二ワーク軸受10に挿入し、第二ピストン9を第二圧縮室8に配置する。そこで、単品の状態において、分割面隙間Cが基準値内に納まっていることが既に確認されている中間プレート5特定の右分割プレート5aと特定の左分割プレート5bとからなるセットを、シャフト11に設置してツインシリンダタイプワーク15を組み立てる。すなわち、第一ワークシリンダ2の下面第一ワーク軸受1が当接していない面と第二ワークシリンダ7の上面第二ワーク軸受10が当接していない面との間に、シャフト11を挟み付けるように両側から、右分割プレート5aと左分割プレート5bとを挿入する。そして、第一ワークシリンダ2に形成された複数のボルト孔にボルト13を挿入し、第二ワークシリンダ7に形成された雌ネジにボルト13を螺合し、中間プレート5を緩んだ状態で挟圧するボルト13を仮締めする。最後に、第一ワーク軸受1と第二ワーク軸受10との芯出しを行い、複数のボルト13を締め付ける本締めする。このとき、中間プレート5の分割面隙間Cを0ゼロにすれば、右内周18aの円弧の中心と左内周18bの円弧の中心とは一致し、中心孔20は円筒になる。そこで、中間プレート5の外径をクランプし右分割プレート5aと左分割プレート5bとを挾持して、右分割面19aと左分割面19bとを当接させ、右分割面19aと左分割面19bと隙間を検査する。そして、その値が所定の規定値未満である分割面隙間Cが0ゼロあるいは0ゼロとみなせるものが、良品合格品とされる。第一検査装置次に第一検査装置の構成について説明する。図3正面図において、第一検査装置100は、下フレーム44に支持されたベースプレート26と、ベースプレート26に設置された各部材から構成されている。ベースプレート26の中心部分装置中心部分に同じに、中間プレート5がセットされる受け治具23が複数のボルト22によって固定されている。そして、中間プレート5が受け治具23に確実に着座していることを検知する複数の近接センサ24が、受け治具23にボルト25によって固定されている。LED光源さらに、ベースプレート26の中心部分には貫通孔が形成され、該貫通孔を囲むようにベースプレート26の下面に複数の六角支柱31が固定され、六角支柱31にはボルト30によって光源用プレート29が固定されている。そして、光源用プレート29にはLED光源27がボルト28によって設置されている。LED光源27の一部先端部は、前記貫通孔を通過し、ベースプレート26の上面に突出し、受け治具23に載置される中間プレート5の右分割面19aと右分割面19aとの突き当て部に向けて、赤色光が照射可能になっている。画像センサまた、ベースプレート26の上面には上フレーム32が立設され、上フレーム32に上プレート34が固定されている。そして、上プレート34には画像センサCCDカメラに同じ36が複数のボルト35によって固定されている。すなわち、画像センサ36は、LED光源27が発した赤色光が入射する位置に配置され、かかる赤色光を検知することができる。すなわち、CCDカメラ36の画素1個を単位面積として、赤色に見える波長610nm~750nmが当たっている画素の数を数えて面積に変換することによって、分割面隙間Cを求めている。このとき、室内の照明等、例えば蛍光灯の光は、その中に赤色が含まれるものの、色で見た場合白で判断されるため、LED光源27が発する赤色光と混同されることはない。つまり、外乱にならないため、CCDカメラ36への入射を防止するためのカバー等が不要になっている。なお、LED光源27が発する光線は、赤色光に限定するものではなく、周囲の照明の影響を受けない色であれば何れであってもよい。すなわち、本発明において分割面隙間測定手段は、LED光源27およびは画像センサCCDカメラに同じ36を具備している。プッシャさらに、ベースプレート26の上面で受け治具23の近傍にはクランプシリンダ43が設置されている。クランプシリンダ43の軸部稼働部先端には、複数のプッシャガイド40が形成されたクランプアーム38がボルト37によって固定されている。そして、プッシャガイド40にはプッシャ42が昇降移動自在に挿入され、プッシャ42は、ボルト39によって、プッシャガイド40から抜け出し不能に保持されると共に、プッシャスプリング41によって下方に付勢されている。このとき、複数のプッシャ42は受け治具23の上方に位置している。したがって、クランプシリンダ43がクランプアーム38を引き下げたとき、プッシャ42の下端面は、受け治具23に載置された中間プレート5の上面に当接し、中間プレート5を受け治具23の上面に押し付ける。このとき、プッシャ42は、プッシャスプリング41によって下方に付勢されているから、中間プレート5は受け治具23の上面に、複数の箇所において均等に押し付けられ、浮き上がりが防止される。すなわち、後記する右基準プレート52aと左基準プレート52bとによって中間プレートが挟圧される際、右分割面19aと左分割面19bとが確実に押し合う右分割面19aおよび左分割面19bの一方が他方からずれて相対的に移動して、当接が外れることが防止される。さらに、上フレーム32には、装置内への侵入を検知するエリアセンサ33が固定されている。エリアセンサ33は上フレーム32の対向する柱脚部分に設置された、一対の縦に長い箱によって形成され、一方の箱に設置された発光素子から等ピッチで光が照射され、他方の箱に設置された受光素子が、かかる光を検知するようになっている。したがって、装置内に何らかの侵入物例えば、作業者の手等がある場合には、かかる光は遮られるから、その状況が検知される。したがって、侵入物の検知によって装置の作動を停止するようにすれば、装置の安全性が確保される。スライドプレート図4平面図において、第一検査装置100を構成する各機器について説明する。第一検査装置100のベースプレート26には中央部を挟んで、互いに並行な一対のベースレール54a、54cが複数のボルト55a、55cによって固定されている。ベースレール54a上には一対のガイドブロック以下、説明の便宜上それぞれを、右ガイドブロック56a、左ガイドブロック56bと称すが移動自在に設置され、ベースレール54c上には一対のガイドブロック以下、説明の便宜上それぞれを、右ガイドブロック56c、左ガイドブロック56dと称すが移動自在に設置されている。そして、右ガイドブロック56aおよび右ガイドブロック56cとが、それぞれ右スライドプレート57aの端部に固定され、左ガイドブロック56bおよび左ガイドブロック56dとが、それぞれ左スライドプレート57bの端部に固定されている。なお、本発明において、部材を形容する右、左という表現は、説明上の便宜であるため、それぞれの左右が入れ替わって視認されたり、それぞれが重なって視認されたりすることがある。右スライドプレート57aには右スライドシリンダ47aが右コネクタ49aを介して接続され、左スライドプレート57bには左スライドシリンダ47bが左コネクタ49bを介して接続されている。なお、右スライドシリンダ47aは右スペーサ46aを介して複数のボルト48aによって、左スライドシリンダ47bは左スペーサ46bを介して複数のボルト48bによって、それぞれベースプレート26に固定されている。したがって、右スライドプレート57aおよび左スライドプレート57bは、右スライドシリンダ47aおよび左スライドシリンダ47bの伸縮によって、それぞれ独立にベースレール54a、54cと平行に移動する。また、右スライドプレート57aおよび左スライドプレート57bの対向した面には、受け治具23に載置された中間プレート5の右基準面17aおよび左基準面17bに当接させるための右基準プレート52aおよび左基準プレート52bが、それぞれ複数のボルト53aおよびボルト53bによって固定されている。さらに、右スライドプレート57aには、右基準プレート52aを挟んで、ベースレール54a、54cに平行に移動自在な右Vプレート58aが配置され、右Vプレート58aは複数の右スプリング59aによって付勢されている。そして、右スプリング59aは、右スライドプレート57aに設置された右カバープレート50aによって、散逸飛び出し不能に保持されている。同様に、左スライドプレート57bには複数の左スプリング59bによって付勢された左Vプレート58bが設置され、左スライドプレート57bに左カバープレート50bが設置されている。なお、本発明において、第一突き合わせ手段は、右基準プレート52aが設置された右スライドプレート57a、右スライドプレート57aを移動させる右スライドシリンダ47aを、少なくとも具備している。リニアセンサ受け治具23の上面には位置決めのための右位置決めピン68aおよび左位置決めピン68bが立設され、受け治具23に中間プレート5が載置された際、それぞれ右位置決め孔21aおよび左位置決め孔21bに侵入する。そこで、右スライドプレート57aおよび左スライドプレート57bを前進互いに近づく方向に移動すると、右基準プレート52aは右基準面17aに、左基準プレート52bは左基準面17bにそれぞれ当接し、中間プレート5は受け治具23上で位置決めされる。したがって、右スライドプレート57aと左スライドプレート57bが中間プレート5を両側から挟み付けた状態で、右基準面17aと左基準面17bとの間隔、すなわち、右スライドプレート57aの先端左端面と左スライドプレート57bの先端右端面との基準面隙間E中間プレートの外径に相当する、図2参照が測定される。すなわち、右スライドプレート57aの左スライドプレート57bに対向する面には、複数のセンサプレート60が固定され、センサプレート60にリニアセンサ距離測定手段に同じ61が設置されている。一方、左スライドプレート57bの右スライドプレート57aに対向する面には、複数のリニアストッパ64が設置されている。なお、リニアセンサ61およびリニアストッパ64の設置形態は、図示するものに限定するものではなく、リニアセンサ61を左スライドプレート57bに、リニアストッパ64を右スライドプレート57aにそれぞれ設置してもよい。また、リニアセンサ61およびリニアストッパ64の数は限定するものではない。したがって、本発明において、第一外径測定手段はリニアセンサ61を具備している。また、リニアセンサ61を保護するために、右スライドプレート57aに、リニアセンサ61と平行に、保護ストッパ62が設置され、一方、左スライドプレート57bには、保護ストッパ62が当接可能な位置に、保護センサ63が設置されている。そして、通常の検査時には、保護センサ63に保護ストッパが当接することはなく、右スライドプレート57aおよび左スライドプレート57bのストローク移動量、右スライドシリンダ47aおよび左スライドシリンダ47bの圧力に同じを制御している。すなわち、異常時にのみ、保護センサ63に保護ストッパが当接するから、かかる当接が通常の検査に影響することはない。また、中間プレート5が右Vプレート58aおよび左Vプレート58bに当接した場合、右Vプレート58aを付勢する右スプリング59aおよび左Vプレート58bを付勢する左スプリング59bによって後退するため、通常の検査に影響することは少ない。なお、保護ストッパ62および保護センサ63の設置形態は、図示するものに限定するものではなく、保護ストッパ62を左スライドプレート57bに、保護センサ63を右スライドプレート57aにそれぞれ設置してもよい。また、保護ストッパ62および保護センサ63の数は限定するものではない。第一検査装置100は以上の構成であるから、装置を覆うカバーが不要であるため、メンテナンスや作業が簡素で迅速になる。また、LED光源27から発射させた光線赤色光が画像センサCCDカメラ36に確実に入射するから、装置可動部から入る光によって誤作動をすることがない。第二検査装置次に第二検査装置の構成について説明する。図5および図6において、第二検査装置200は、ツインシリンダタイプワーク15に組み立てられた状態における中間プレート5の基準面隙間E右基準面17aと左基準面17bとの距離、中間プレート5の外径に相当する。図2参照を測定するためのものであって、ツインシリンダタイプワーク15が載置される受け治具73を有している。すなわち、第二検査装置200は、第一検査装置100からLED光源27、画像センサ36およびプッシャ42並びにこれらをベースプレート26に設置するための部材を撤去して、受け治具23を受け治具73に変更したものであって、これを除く構成は第一検査装置100に同じであるから、第一検査装置100と同じ部分または相当する部分には同じ符号を付し、一部の説明を省略する。すなわち、右基準プレート52aが設置された右スライドプレート57a、右スライドプレート57aを移動させる右スライドシリンダ47a等を具備する第二突き合わせ手段と、リニアセンサ61を具備する第二外径測定手段を有している。受け治具73は、ツインシリンダタイプワーク15の第二ワークシリンダ7の下面が当接する当接面73aと、第二ワーク軸受10が貫通する貫通孔73bと、位置決めのための位置決めピン73cと、を有している。なお、ツインシリンダタイプワーク15の第二ワーク軸受10を貫通孔73bに挿入して、第二ワークシリンダ7の下面を当接面73aに当接載置した状態で、右基準プレート52a、右Vプレート58a、左基準プレート52bおよび左Vプレート58bは、第一ワークシリンダ2の下面と第二ワークシリンダ7の上面とに挟まれた隙間に侵入自在な位置に位置している。したがって、第一検査装置100と同様に、右スライドプレート57aと左スライドプレート57bが中間プレート5を両側から挟み付けた状態において、右基準面17aと左基準面17bとの間隔、すなわち、右スライドプレート57aの先端左端面と左スライドプレート57bの先端右端面との基準面隙間Eを測定することができる。すなわち、組み立てられた状態において、分割面隙間Cを直接測定することはできないものの、基準面隙間Eを測定することによって、組み立て前後における分割面隙間Cの変化を知ることができるこれについては、以下に説明する。制御手段図7は、第一検査装置100および第二検査装置200を制御する制御装置300を示す電気配線図である。図7において、制御装置300は、第一検査装置100を制御する第一制御部以下、第一シーケンサと称す310と、第二検査装置200を制御する第二制御部以下、第二シーケンサと称す320と、第一シーケンサ310および第二シーケンサ320に接続された統合制御部以下、統合シーケンサと称す330と、を有している。第一シーケンサ310には、ブレーカ96を通し、第二シーケンサ320はブレーカ97を通して、統合シーケンサ330にはブレーカ98を通し、それぞれ電源が供給される。なお、第一シーケンサ310および第二シーケンサ320において、同じ部分または相当する部分には、同じ符号を付し、一部の説明を省略する。また、第一シーケンサ310、第二シーケンサ320および統合シーケンサ330は、説明を容易にするため別個のものであるように記載しているが、一方の機能を他方に取り込んで、1または2のシーケンサに集約してもよい。第一シーケンサ310は、演算プログラムが登録され、数値演算を行うシーケンサCPU300bと、各ユニットに電源を供給するシーケンサ電源300aと、近接センサ24中間プレート5が受け治具23に確実に着座していることを検知するからの信号を受け取る入力ユニット300cと、エアーバルブユニット99に信号を送る出力ユニット300dと、リニアセンサ61のアナログデータをデジタルデータに変換するAD変換ユニット300eと、が組み込まれている。なお、エアーバルブユニット99は、クランプシリンダ43、右スライドシリンダ47aおよび左スライドシリンダ47bのそれぞれに供給する圧縮空気の量を調整するものである。すなわち、それぞれのユニットから入力されるデータをもとに、シーケンサCPU300b内に組み立てられたプロゴラムにおいて各部材を動作させる。第二シーケンサ320は、第一シーケンサ310と略同じであるが、第二検査装置200には、クランプシリンダ43プッシャ42を昇降移動させるが設置されていないため、エアーバルブユニット99は、クランプシリンダ43に供給する圧縮空気の量を調整することはない。統合シーケンサ330には、第一シーケンサ310のシーケンサCPU300bと第二シーケンサ320のシーケンサCPU300bとが接続され、前者から入力される単体隙間合計値E5と、後者から入力される組立隙間合計値E15とが比較されるこれについては、後記する。動作次に第一検査装置100および第二検査装置200を用いた検査の流れについて、制御装置300の制御を図8に示す動作フローチャートに沿って説明する。中間プレート単体における基準面隙間Eの測定第一検査装置100において、装置中央の受け治具23の上面に中間プレート5を載置するS1。このとき、右位置決め孔21aおよび左位置決め孔21bに、右位置決めピン68aおよび左位置決めピン68bがそれぞれ侵入している。続いて、右スライドシリンダ47aおよび左スライドシリンダ47b右スライドプレート57aおよび左スライドプレート57bに同じを前進させS2、右基準プレート52aの先端および左基準プレート52bの先端を、それぞれ中間プレート5の右基準面17aおよび左基準面17bに当接させるS3。このとき、右スライドシリンダ47aの圧力左スライドシリンダ47bの圧力に同じは、第二検査装置200における組立隙間値を測定する際S23参照の右スライドシリンダ47aの圧力に同じである。また、右Vプレート58aは中間プレート5の右外周16aを、左Vプレート58bは中間プレート5の左外周16bをそれぞれ規制しS4、クランプシリンダ43に押し下げられたプッシャ42が、中間プレート5を上から押さえつけ、浮き上がりを防止しているS5。そして、保護ストッパ62が保護センサ63に当たるON場合はS6、リニアセンサ61の測定範囲を超える可能性があるため測定を中断し、装置アラーム図示しないが発生されるS7。一方、保護ストッパ62が保護センサ63に当たらないOFF場合はS6、中間プレート5は正常にクランプされたと判断し、LED光源27を点灯させるS8。そうすると、中間プレート5の下から投光された赤色光は、右分割面19aと左分割面19bとの間に分割面隙間Cが発生している場合C≠0、分割面隙間Cを通って画像センサ36によって検知されるS9。画像センサ36において検知された赤色光は、その色面積が演算され、演算された色面積の値が所定の規定値以上である場合、中間プレート5は単体として分割面隙間Cが過大であるから、不良品NG品と判定し、装置アラームが発生されるS7。一方、演算された色面積の値が所定の規定値以下の場合、分割面隙間Cが無い正確には、無いに等しいと判断し、リニアセンサ61の数値が入力されS10、それを合計した値以下、単体隙間合計値E5と称すを記憶するS11。この記憶した単体隙間合計値E5は、この後、第二検査装置において使用する。かかる記憶の後、各部材は元の位置に戻り、単品良品として終了とするS12。ツインシリンダタイプワークにおける基準面隙間Eの測定次に、第二検査装置200おいて、ツインシリンダタイプワーク15に組み込まれている中間プレート5の基準面隙間Eを測定する。すなわち、第一検査装置100におけると略同様に、装置中央の受け治具73の上面にツインシリンダタイプワーク15を載置するS21、正確には、当接面73aに第二ワークシリンダ7の下面を当接する。続いて、右スライドシリンダ47aおよび左スライドシリンダ47b右スライドプレート57aおよび左スライドプレート57bに同じを前進させS22、右基準プレート52aの先端および左基準プレート52bの先端を、それぞれ中間プレート5の右基準面17aおよび左基準面17bに当接させるS23。このとき、右スライドシリンダ47aの圧力左スライドシリンダ47bの圧力に同じは、第一検査装置100における組立隙間値を測定する際S3参照の右スライドシリンダ47aの圧力に同じである。また、右Vプレート58aは中間プレート5の右外周16aを、左Vプレート58bは中間プレート5の左外周16bをそれぞれ規制しているS24。そして、保護ストッパ62が保護センサ63に当たるON場合はS25、リニアセンサ61の測定範囲を超える可能性があるため測定を中断し、装置アラーム図示しないが発生されるS26。一方、保護ストッパ62が保護センサ63に当たらないOFF場合はS25、リニアセンサ61の数値が入力されS27、それを合計した値以下、組立隙間合計値E15と称すを記憶するS28。さらに、第一検査装置100において計測した中間プレート5単体における基準面隙間Eについての単体隙間合計値E5と、第二検査装置200において計測したツインシリンダタイプワーク15に組み込まれている中間プレート5の基準面隙間Eについての組立隙間合計値E15とを比較しS29、両者の差が所定の基準値以下である場合S30には、各部材は元の位置に戻り、組み立て良品として終了とするS31。なお、単体隙間合計値E5および組立隙間合計値E15の保管や送信の要領は限定されるものではなく、例えば、中間プレート5自体または中間プレート5が載置されるパレット図示しないに識別表示ICタグ等を付しておき、第二検査装置200の検査を開始する際に、該識別表示を読み取って、これを元に、制御手段に記憶された第一検査装置100における検査結果を呼び出すようにしてもよい。また、識別表示ICタグ等自体に第一検査装置100における検査結果を登録してもよい。以上のように、本発明の検査装置図示しないは、ツインロータリ圧縮機図示しないの組立工程において分割された中間プレート5の右分割プレート5aと左分割プレート5bとが突き合わせた状態における分割面隙間Cを単純かつ精度良く検出すると共に、中間プレート5の基準面隙間Eを測定する第一検査装置100と、ツインシリンダタイプワーク15に組み立てられた状態における中間プレート5の基準面隙間Eを測定する第二検査装置200と、両者を制御すると共に、両者が測定した基準面隙間E単体隙間合計値E5、組立隙間合計値E15とを比較する制御装置300と、を有しているから、組み込み前の中間プレート5の良否判断と、良品と判断された中間プレート5のツインシリンダタイプワーク15に組み立てられた状態における良品が判断される。このとき、LED光源27に赤色光を使用し、画像センサCCDカメラ36では赤色面積で判定を行う事により、周囲の照明の影響を押さえ、精度良く隙間の測定が出来る。また、ツインシリンダタイプワーク15に組み立てられる前に、分割面隙間Cが無い状態で正確には無い状態にするように中間プレート5の外周をクランプして、基準面隙間Eを測定し、組立後に、再度クランプする事により組立前の測定値との差を演算して、基準面隙間Eの変化量ΔEΔE=E15-E5を測定しているから、組立後に、分割面隙間Cが拡大したか否か中心孔20が真円のままであるか否かを検査することができる。よって、第一圧縮室3および第二圧縮室8の液密度が向上するから、ツインシリンダタイプワーク15の圧縮性能を良好にすることができる。すなわち、単品の中間プレート5について、分割面隙間CがC5で基準面隙間EがE15であると測定され、組み立て後の中間プレート5について、基準面隙間EがE15であると測定された場合、組み立て前後の中間プレート5の外径の拡大量ΔEはΔE=E15-E5であるから、組み立て後の中間プレート5の分割面隙間C15は、C15=C5ΔEとして演算することができる。