片端が閉鎖された管であって、少なくとも外面の一部が導電体である外管と、この外管の開放端部側に設けられた絶縁シール部材と、前記外管と前記絶縁シール部材に囲まれた空間内部に、断面の外形形状が前記外管の内壁断面形状と相似な形状であって、前記外管の内壁と所定の間隙を有して配置されるとともに、少なくとも内面の一部が導電体である両端が開放された内管と、この内管の内部空間を仕切り、前記内管の導電体と電気的に接続された導電性の隔壁と、この隔壁に挿入され、前記絶縁シール部材を貫通して、前記絶縁シール部材から外部に突き出すように設けられた導電性の第一導管と、前記絶縁シール部材の外部から、前記絶縁シール部材を貫通し、前記隔壁よりも前記絶縁シール部材側の空間に突き出して設けられた第二導管と、を備えたことを特徴とするオゾン発生管。前記第二導管が金属製であって、前記第一導管が前記第二導管の内部に、前記第一導管の外面と前記第二導管の内面との間にガスが通過可能な隙間を有するように配置され、前記第一導管が前記第二導管の両端から突き出していることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生管。前記第二導管の外壁に接するように所定長さの絶縁パイプを設けたことを特徴とする請求項2に記載のオゾン発生管。前記第二導管が絶縁材料で形成され、前記第一導管が前記第二導管の内部に、前記第一導管の外面と前記第二導管の内面との間にガスが通過可能な隙間を有するように配置され、前記第一導管が前記第二導管の両端から突き出していることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生管。前記外管は金属管であり、前記内管は誘電体管であって内面に導電膜が形成されたことを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生管。前記内管は金属管であり、前記外管は誘電体管であって外面に導電膜が形成されたことを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生管。請求項1乃至6のいずれか1項のオゾン発生管の外部から酸素を含む原料ガスを前記第二導管を通じて導入し、前記原料ガスを前記間隙を通過させるとともに、前記第二導管と前記外管の導電体との間に交流電圧を印加することにより、前記間隙で放電を発生させて前記原料ガスに含まれる酸素をオゾン化し、オゾン化されたオゾン化ガスを前記第一導管から外部に取り出すように構成したことを特徴とするオゾン発生装置。一面の壁に複数の穴の開いた、内部に冷却水を流すための水槽を備え、前記複数の穴にそれぞれ前記オゾン発生管を、前記外管の外面のうち、少なくとも前記間隙の放電が発生する部分の外面が前記冷却水に接するように前記水槽に挿入して配置したことを特徴とする請求項7に記載のオゾン発生装置。複数配置された前記オゾン発生管の前記第一導管を挿入する第一配管と、複数配置された前記オゾン発生管の前記第二導管を挿入する第二配管と、を備えたことを特徴とする請求項8に記載のオゾン発生装置。前記外管の閉鎖された端部に窪み部分を有し、この窪み部分の内壁と前記内管の内壁との間に内側間隙が形成され、この内側間隙においても放電が発生するよう構成されたことを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生管。オゾン発生量が多い大容量のオゾン発生装置では、オゾン発生管を多数配置した構成にする。上記の従来のオゾン発生装置においては、オゾン発生管を多数配置した構成にするため、酸素供給室とオゾン取り出し室が必要となる。酸素及びオゾンは加圧されているため、これらは圧力容器として製作する必要がある。特に大容量のオゾナイザにおいては、大型の圧力容器となり、高コストとなるという問題がある。一方、個別に酸素供給配管とオゾン収集配管が接続されているものは、オゾン発生管の両端に酸素供給配管とオゾン収集配管が接続されていた。また、オゾン発生管は、放電による発熱を除去する必要があるので、このような構成で大容量のオゾン発生装置を構成するために、多数のオゾン発生管を並べる場合は、発生管の周囲を水冷するように構成する必要がある。従来のオゾン発生管を多数並べる方式のオゾン発生装置では、圧力容器と水冷のための水容器を兼ねた構成としていたため、組み立て性が悪かった。また、特許文献2に示される、個別の発生管から個別に酸素供給配管とオゾン収集配管が接続されているものにおいて、複数のオゾン発生管を並べたものでは、個別の発生管をそれぞれ別々に組み立てる構成になっておらず、やはり組み立て性が悪く、量産に不向きな構成となっている。この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、組み立てが簡単で量産性が優れたオゾン発生管およびオゾン発生装置を得ることを目的とする。この発明のオゾン発生管は、片端が閉鎖された管であって、少なくとも外面の一部が導電体である外管と、この外管の開放端部側に設けられた絶縁シール部材と、外管と絶縁シール部材に囲まれた空間内部に、断面の外形形状が外管の内壁断面形状と相似な形状であって、外管の内壁と所定の間隙を有して配置されるとともに、少なくとも内面の一部が導電体である両端が開放された内管と、この内管の内部空間を仕切り、内管の導電体と電気的に接続された導電性の隔壁と、この隔壁に挿入され、絶縁シール部材を貫通して、絶縁シール部材から外部に突き出すように設けられた導電性の第一導管と、絶縁シール部材の外部から、絶縁シール部材を貫通し、隔壁よりも絶縁シール部材側の空間に突き出して設けられた第二導管とを備えたものである。本発明にかかるオゾン発生管は、以上のように構成されているため、従来大容量オゾナイザの製作コストを上げる要因となっていた圧力容器を削減でき、組み立てが簡単で、量産性に優れたオゾン発生管およびオゾン発生装置を得ることができる。実施の形態1.図1は本発明の実施の形態1によるオゾン発生装置を模式的に示す断面図である。大容量のオゾン発生装置はオゾン発生管が多数配置されているが、ここでは、本発明の要部を説明するために、オゾン発生管4を1本のみ配置した図を用いる。また、図により構造が容易に把握できるよう、縮尺は、部材によって必ずしも同一の縮尺を用いていない。実物の寸法を把握できるよう、以下の説明において、部材の寸法などを適宜説明する。片側が閉じた外管40の開放された側を、例えば耐オゾン性の高いフッ素樹脂製の絶縁シール部材5によって封止してオゾン発生管4の容器とする。外管は接地管とも称する。絶縁シール部材5の中央に、内部に同軸状に配置されたである内導管2を有する外導管3が貫通配置されている。内導管は第一導管、外導管は第二導管とも称する。ここでは、内導管2および外導管3は金属管で形成されている。外管40の内部には、この外管40と同軸状に内管6が、外管40内面と内管6外面との間に適当な間隙10が形成されるように配置されている。適当な間隙10が形成されるよう、内管6の断面の外形形状は、外管40の内壁断面形状と相似な形状となっている必要がある。断面形状自身は、好ましくは円形であるが、円形以外、角形状であっても良く、周方向に亘ってほぼ均一な間隙10が形成されていれば、形状は問わない。内管6は誘電体管6とも称し、誘電体管6の内面には例えば金属膜状の内部導体9が形成されている。誘電体管6の材料は、誘電体であれば良く、ガラスやアルミナ、ステアタイト等のセラミックが使用できる。アルミナは誘電率が高く、間隙にかかる電圧が高くなるため、性能が上がる。誘電体管6の内部には、隔壁7が設けられており、隔壁7の絶縁シール部材5側と接地管底部400側とは直接ガスが流通しないように隔壁用Oリング70などでシールされている。同時に、隔壁7は、内部導体9と電気的に接続された状態となっている。この隔壁7の中央には内導管2が挿入されており、内導管2と隔壁7も電気的に接続された状態となっている。次に動作を説明する。酸素ガスや空気など酸素を含む原料ガス1が、2重に構成された内導管2と外導管3との間を通って、オゾン発生管4の内部に導入される。オゾン発生管4の内部に導入された原料ガス1は、接地管40と誘電体管6との間の間隙10を通って接地管底部400に導かれる。一方、高電圧交流電源8より供給される高電圧が、内導管2と隔壁7を介して内部導体9に印加され、これにより内部導体9と接地管40との間に生ずる高電界により、間隙10を流れるガスが無声放電を生ずる。この際、外導管3の電位を内導管2と同電位に置くことで、内導管2と外導管3を絶縁する必要がなくなる。このため、同軸管となっている内導管2の外径と外導管3の内径の差を小さく構成でき、外導管3と内導管2の間に絶縁スペーサを配する必要がなくなるため、装置を安価に構成できる。導入された原料ガス1は、この無声放電を生じている間隙を通過する際、原料ガスに含まれる酸素の一部がオゾン化されたオゾン化ガスに変化する。このオゾン化ガスは、接地管底部400側から誘電体管6内部を通って、内導管2からオゾン化ガス100としてオゾン発生管4の外部に取り出される。ここで、無声放電による発熱のため、オゾンが分解し、オゾン濃度を下げるのを抑制するため、オゾン発生管4を冷却する必要がある。このため、冷却水12を満たし、この冷却水12を循環させる水槽11に、オゾン発生管を挿入して接地管40の外部を冷却している。図1に示すように、水槽11の一面を形成する壁に穴を開け、その穴にオゾン発生管4を、少なくとも間隙10の放電が発生する部分の外面が冷却水に接するように挿入して、Oリング110で水密にすれば良い。尚、本実施の形態1で用いている絶縁シール部材5は、耐オゾン性の観点からフッ素樹脂を用いることが多いが、フッ素樹脂には僅かではあるがオゾン透過性がある。オゾンは、僅かの漏れでも刺激性の強いオゾン臭を生ずるため、図に示すように、絶縁シール部材5と接するガスが酸素になるようにガスを流すのが望ましい。さらにこの構成では、オゾン濃度が下方で高くなる。一方、冷却水循環の観点から、水は下方から上方に流した方が、空気溜まりを無くせるため望ましく、必然的に下方の温度が低くなる。オゾン発生効率を上げるためには、高温によるオゾンの分解を抑制するように、オゾン濃度が高い方を低温にするのが望ましい。この観点からも、ガスが間隙10を上方から下方に流れるように、内導管2と外導管3で構成される同軸管において、原料ガスが外側、オゾン化ガスが内側となるように流すのが望ましい。本実施の形態では以上のように外管である接地管40の一端を封止し、別の一端から酸素供給とオゾン収集を行っているため、水槽11の両側に接地管40を貫通させる必要がないため、オゾン発生管4を水槽に組み付ける組み立てが簡単である。また、酸素供給管となる外導管3とオゾン収集管となる内導管2が、接地管40と絶縁シール部材5で密閉されたオゾン発生部に接続されているため、オゾン発生部以外に圧力がかかる部位が無い。よって、多数のオゾン発生管4を設置する場合において、この多数のオゾン発生管4を圧力容器に収納する必要が無い。このため、容積の大きな圧力容器を製作する必要がなく、従来のオゾン発生装置に比べ、安価に製作できる。さらに、オゾン発生管4を単体で製造できるため、量産性に優れている。実施の形態2.図2は本発明の実施の形態2によるオゾン発生装置を模式的に示す断面図である。図2において、図1と同一符号は、同一または相当する部分を示す。本実施の形態2は、接地管40の内径が小さく、金属製の外導管3と接地管40との間の絶縁距離が十分取れない場合に、外導管3の外面に絶縁パイプ13を配し、外導管3と接地管40との沿面距離を長くして絶縁を確保する構成を示している。絶縁距離が十分ある場合でも、信頼性向上のため図2のような構成を取るのが望ましい。その理由は以下の通りである。実施の形態1のような構成では、通常、絶縁シール部材5は、シール性を持たせるため、フッ素樹脂などで構成している。シール表面の汚れなどで表面の絶縁性が低下して、沿面放電が発生した場合、この沿面放電により表面が炭化して導電性となる恐れがある。表面が導電性となった場合、さらに絶縁性が低下して最終的に絶縁を維持できなくなって、装置の故障につながる可能性がある。本実施の形態2では、金属製の外導管3に絶縁性のフッ素樹脂製の絶縁パイプ13をかぶせたのち、絶縁シール部材5に挿入し、金属製の外導管3と接地管40との間の沿面距離を長くすることで、沿面放電を抑止している。フッ素樹脂製の絶縁パイプ13は、長さが長いほど絶縁効果が大きくなる。絶縁パイプ13は、沿面放電防止の観点から、絶縁シール部材5から両側に少なくとも3cm、絶縁シール部材5の厚みが1cmの場合、絶縁パイプ13の長さ7cm以上とするのが好ましい。さらに、図2では、内導管2と外導管3で構成される同軸管の配管方法を示している。原料ガス用配管14、オゾン用配管15は、両配管とも一端が閉塞した角パイプで構成されている。ここで、オゾン用配管15を第一配管、原料ガス用配管14を第二配管とも称する。両配管における内導管2の貫通部は、原料ガス用配管14とオゾン用配管15で上部Oリング18を挟む構成により封止している。原料ガス用配管14における外導管3の貫通部は、外導管3とOリング抑え19で下部Oリング17を挟む構成により封止している。このような配管の構成は、実施の形態1、すなわち図1のオゾン発生管4においても同様に用いることができるのは言うまでもない。また、図3は、図2で示したオゾン発生管4を複数本、一本の原料ガス用配管14bおよびオゾン用配管15bに取り付けた構造を示している。図3において、図2と同一符号は、同一または相当する部分を示す。図に示されるように、内導管2が両配管14b、15bを貫通するように配置することで、配管に穴を開けるだけで、接続するオゾン発生管4を増やすことができるため、オゾン発生装置としての容量増加を安価に実施でき、量産性に優れたオゾン発生装置が得られる。実施の形態3.図4は本発明の実施の形態3によるオゾン発生装置を模式的に示す断面図である。図4において、図1と同一符号は、同一または相当する部分を示す。本実施の形態3は、第二導管である外導管を、金属ではなく、絶縁体の絶縁外導管30で構成した実施の形態である。内導管2は金属製であり、この内導管2から隔壁7を介して高電圧を内部導体9に給電する構成は、実施の形態1や実施の形態2と同様である。このように構成すると、図2に示す金属製の外導管3、及びフッ素樹脂製の絶縁パイプ13の二重構造とせずに沿面距離を長くできるため、安価に構成できるという効果がある。絶縁外導管30の材料として安価な樹脂を選択する場合、金属管とは異なり、圧入のみでは十分なシール性が得られない場合がある。このため、絶縁外導管30と絶縁シール部材5を適当な接着剤で接着するか、昇温して融着させた方がよい。本実施の形態3によるオゾン発生管4を用いたオゾン発生装置にあっても、オゾン発生装置としての容量増加を安価に実施でき、量産性に優れたオゾン発生装置が得られる。実施の形態4.図5は、本発明の実施の形態4によるオゾン発生装置を模式的に示す断面図である。図5において、図1と同一符号は、同一または相当する部分を示す。図5に示すように、本実施の形態4によるオゾン発生管4は、酸素導入のための第一導管、およびオゾン排出のための第二導管として、これまでの実施の形態のような2重管ではなく、酸素導入管21と、オゾン排出管31を並列に配置している。この構成を取ることができるのは、2本の管を端部に差し込んでも十分な絶縁距離を確保できるぐらい接地管40の径が大きい場合に限られるが、2重管と比べ細い径の管が利用できるため、配管コストが小さくなる。尚、この場合でも片側の配管を上部に設けた下側角パイプを貫通させて配管することで、多数のオゾン発生管4を設置することができ、オゾン発生装置全体の容量を容易に増加できることはいうまでもない。実施の形態5.図6は、本発明の実施の形態5によるオゾン発生装置を模式的に示す断面図である。図6において、図1と同一符号は、同一または相当する部分を示す。本実施の形態5によるオゾン発生管4は、誘電体管の外面と金属管の内面の間に放電空間を形成するのではなく、接地導電膜42を外面に形成した外側誘電体管41を外管として、内管である高電圧金属管90の外側に配置する構成としている。高電圧金属管90と接地導電膜42との間に高電圧を印加することにより、外側誘電体管41内面と高電圧金属管90外面に形成されている間隙10に無声放電を形成する。この構成では、給電線を兼ねた内導管2と外導管3に印加される高電圧がガラス管を介して水槽11などの接地電位と接するため、外導管3と接地電位が短絡することが無く、信頼性が向上するという効果がある。外側誘電体管41を外側に配置した構成で高電圧を印加する場合には、図1、2に示した配線に加えて、接地導電膜42と水槽11との間を接続する配線91が必要である。実施の形態6.図7は、本発明の実施の形態6によるオゾン発生装置を模式的に示す断面図である。図7において、図1と同一符号は、同一または相当する部分を示す。本実施の形態では、外管を、その閉鎖された端部に窪み部分45を設けた2重接地管44としている。さらに、内管として、内部導体9を包み込むように作成された内側2重誘電体管61を設けた。このように構成することで、内側2重誘電体管61の外側の間隙10だけでなく、内側にも放電空間となる間隙を内側間隙20として形成し、オゾン発生管一本当たりのオゾン生成量を大きくしている。図8は、本発明の実施の形態6による別の構成のオゾン発生装置を模式的に示す断面図である。図8において、図7と同一符号は、同一または相当する部分を示す。図8に示すオゾン発生管4は、閉鎖された端部に窪み部分450を設けた外側2重誘電体管410を外管とし、窪み部分450の外面に内側接地導電膜43を形成することにより、図7の構成と同様に、放電空間となる内側間隙20を形成している。図7、図8どちらの構成においても、外管が内側に入り込んでいる窪み部分にある冷却水の循環が悪い。このため、ここに冷却水を吐出するパイプを挿入し、冷却を強化することでより効率的なオゾン生成が可能となる。これらの構成では、オゾン発生管一本当たりのオゾン発生量が大きくなるため、全体のオゾン発生管の量を減らすことができ、装置を小型化出来る。なお、図7に示すように、高濃度オゾン側となる内側の間隙20の間隙寸法を低濃度側である外側の間隙10の間隙寸法より狭くすることで、高濃度オゾン側の放電密度が上がり、より高濃度のオゾンを生成できる。誘電体管を外側に配置した図8の構成で高電圧を印加する場合には、図1、2に示した配線に加えて、外側の接地導電膜42および内側接地導電膜43と水槽11との間を電気的に接続するため、配線92、および配線93が必要である。