"[イ]半導体励起レーザ1が出力する励起光を導波する励起光導波ファイバ2と、[ロ]前記励起光導波ファイバ2から出力される励起光を入力して所定の波長帯域の放出光を放出すると共に光を導波する増幅光導波ファイバ3と、[ハ]前記増幅光導波ファイバ3から出力される光を導波する出力光導波ファイバ4と、[ニ]前記励起光導波ファイバ2の出力側端面に設けられ且つ前記増幅光導波ファイバ3の入力側端面との間に入力側空隙Nを形成するか、又は、前記増幅光導波ファイバ3の入力側端面に設けられ且つ前記励起光導波ファイバ2の出力側端面との間に入力側空隙Nを形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過する入力側フィルタ膜7と、[ホ]前記出力光導波ファイバ4の入力側端面に設けられ且つ前記増幅光導波ファイバ3の出力側端面との間に出力側空隙Sを形成するか、又は、前記増幅光導波ファイバ3の出力側端面に設けられ且つ前記出力光導波ファイバ4の入力側端面との間に出力側空隙Sを形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過し、前記入力側フィルタ膜7との間で第1光共振器K1を構成する出力側ハーフミラー膜8と、[へ]前記出力光導波路ファイバ4の内部に設けられ、前記入力側フィルタ膜7との間で第2光共振器K2を構成するファイバブラッググレーティング14とを具備し、[ト]前記入力側空隙Nの距離Lnおよび前記出力側空隙Sの距離Lsが20μm以下であることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1に記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波路ファイバ3は、増幅媒体として希土類元素が添加されたコア3aと、前記コア3aの外側に設けた該コア3aより屈折率が低い内部クラッド3bと、前記内部クラッド3bの外側に設けた該内部クラッド3bより屈折率が低い外部クラッド3cとを有することを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1または請求項2に記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3の長さL3が、前記所定の波長帯域の放出光が放出されるように調整されていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項3のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記入力側フィルタ膜7は、前記励起光に対して透過率95以上で且つ前記放出光に対して反射率95以上であることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項4のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記出力側ハーフミラー膜8は、前記放出光に対して反射率4~90であることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項5のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3のコア3aと前記出力光導波路ファイバ4のコア4aの中心軸をずらせたことを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項6のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記出力光導波路ファイバ4の1カ所で切断し且つ軸ずらし融着したこと特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項7のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記出力側ハーフミラー膜8と前記ファイバブラッググレーティング14の間に、偏光分離手段13を具備することを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項8に記載の光ファイバレーザ光源100において、前記偏光分離手段13が、偏波保持光ファイバ溶融カプラ型の偏光分離素子13からなることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項9のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3および前記出力光導波ファイバ4が、偏波保持型光ファイバであることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項10に記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3と前記出力光導波ファイバ4の偏波軸同士が0°または90°であることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項11のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記励起光導波ファイバ2の出力側端面または前記増幅光導波ファイバ3の入力側端面のうちの前記入力側フィルタ膜7が設けられていない方に反射防止膜17が設けられていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項12のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3の出力側端面または前記出力光導波路ファイバ4の入力側端面のうちの前記出力側ハーフミラー膜8が設けられていない方に反射防止膜18が設けられていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項13のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記励起光導波ファイバ2の出力側端部がフェルール31に固定されており、前記増幅光導波ファイバ3の入力側端部がフェルール32に固定されており、前記増幅光導波ファイバ3の出力側端部がフェルール33に固定されており、前記出力光導波ファイバ4の入力側端部がフェルール34に固定されていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項14に記載の光ファイバレーザ光源100において、前記フェルール31~34が、セラミックスまたは透明ガラスからなることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項14または請求項15に記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波路ファイバ3が、増幅媒体として希土類元素が添加されたコア3aと、前記コア3aの外側に設けた該コア3aより屈折率が低い内部クラッド3bと、前記内部クラッド3bの外側に設けた該内部クラッド3bより屈折率が低い外部クラッド3cとを有する場合に、前記増幅光導波ファイバ3の出力側端部の前記フェルール33に挿入する部分の前記外部クラッド3cを除去し、前記内部クラッド3bと同じかそれよりも高い屈折率の接着剤35により前記フェルール33の挿入穴と前記内部クラッド3bの間を充填し固めたことを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項16に記載の光ファイバレーザ光源100において、前記フェルール34が透明ガラスからなる場合に、前記出力光導波ファイバ4の入力側端部を挿入する前記フェルール34のファイバ挿入口が円錐形状に加工されると共に金メッキまたは銀メッキ36がなされていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項14から請求項17のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記フェルール31の出力側端面と前記フェルール32の入力側端面の少なくとも一方に円環状の溝27を設け、前記フェルール31の出力側端面と前記フェルール32の入力側端面の前記溝27より外側の部分を接着剤37で接着し、前記フェルール33の出力側端面と前記フェルール34の入力側端面の少なくとも一方に円環状の溝28を設け、前記フェルール33の出力側端面と前記フェルール34の入力側端面の前記溝28より外側の部分を接着剤38で接着したことを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項14から請求項18のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記フェルール31および前記フェルール32を同径の円筒状とし、両者をスリーブ41で保持し、前記フェルール33および前記フェルール34を同径の円筒状とし、両者をスリーブ42で保持したことを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項19のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3と前記出力光導波ファイバ4の結合部に温調手段10を設けたことを特徴とする光ファイバレーザ光源100。請求項1から請求項20のいずれかに記載の光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3の温調手段50を設けたことを特徴とする光ファイバレーザ光源100。上記従来の光源では、空間結合部におけるレンズや波長選択素子の端面において光の反射がある。すなわち、光の反射点が複数箇所となる。このため、出力安定性に問題がある。そこで、本発明は、出力安定性が高い光ファイバレーザ光源を提供することを目的とする。第1の観点では、本発明は、[イ]半導体励起レーザ1が出力する励起光を導波する励起光導波ファイバ2と、[ロ]前記励起光導波ファイバ2から出力される励起光を入力して所定の波長帯域の放出光を放出すると共に光を導波する増幅光導波ファイバ3と、[ハ]前記増幅光導波ファイバ3から出力される光を導波する出力光導波ファイバ4と、[ニ]前記励起光導波ファイバ2の出力側端面に設けられ且つ前記増幅光導波ファイバ3の入力側端面との間に入力側空隙Nを形成するか、又は、前記増幅光導波ファイバ3の入力側端面に設けられ且つ前記励起光導波ファイバ2の出力側端面との間に入力側空隙Nを形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過する入力側フィルタ膜7と、[ホ]前記出力光導波ファイバ4の入力側端面に設けられ且つ前記増幅光導波ファイバ3の出力側端面との間に出力側空隙Sを形成するか、又は、前記増幅光導波ファイバ3の出力側端面に設けられ且つ前記出力光導波ファイバ4の入力側端面との間に出力側空隙Sを形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過し、前記入力側フィルタ膜7との間で第1光共振器K1を構成する出力側ハーフミラー膜8と、[へ]前記出力光導波路ファイバ4の内部に設けられ、前記入力側フィルタ膜7との間で第2光共振器K2を構成するファイバブラッググレーティング14とを具備し、[ト]前記入力側空隙Nの距離Lnおよび前記出力側空隙Sの距離Lsが20μm以下であることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第1の観点による光ファイバレーザ光源100では、入力側フィルタ膜7での入力側空隙Nと出力側ハーフミラー膜8での出力側空隙Sの2カ所しか空間部がなく且つ入力側フィルタ膜7と出力側ハーフミラー膜8の間で第1光共振器K1を構成する。また、入力側フィルタ膜7とファイバブラッググレーティング14の間で第2光共振器K2を構成し、2段階複合共振器構造とする。これらにより、出力安定性が高くなる。さらに、入力側空隙Nの距離Lnおよび出力側空隙Sの距離Lsを20μm以下としたため、共振波長間隔30nm以上になり、モードホップが起こりにくくなり、この点でも出力安定性が高くなる。第2の観点では、本発明は、前記第1の観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波路ファイバ3は、増幅媒体として希土類元素が添加されたコア3aと、前記コア3aの外側に設けた該コア3aより屈折率が低い内部クラッド3bと、前記内部クラッド3bの外側に設けた該内部クラッド3bより屈折率が低い外部クラッド3cとを有することを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第2の観点による光ファイバレーザ光源100では、コア3aおよび内部クラッド3bが半導体レーザからの励起光を導波し、コア3aに添加した増幅媒体が励起光で励起されて放出光を発生し、その放出光はコア3aを導波する。第3の観点では、本発明は、前記第1または第2の観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3の長さL3が、前記所定の波長帯域の放出光が放出されるように調整されていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。増幅光導波ファイバ3の放出光の波長帯域は、増幅光導波ファイバ3の長さL3に応じて変化する。そこで、上記第3の観点による光ファイバレーザ光源100では、増幅光導波ファイバ3の長さL3を調整し、所定の波長帯域の放出光が放出されるようにする。第4の観点では、本発明は、前記第1から第3のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記入力側フィルタ膜7は、前記励起光に対して透過率95以上で且つ前記放出光に対して反射率95以上であることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第4の観点による光ファイバレーザ光源100では、励起光を効率よく増幅光導波ファイバ3に入力し、増幅光導波ファイバ3で発生した放出光を効率よく反射させることが出来る。第5の観点では、本発明は、前記第1から第4のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記出力側ハーフミラー膜8は、前記放出光に対して反射率4~90であることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。第1光共振器K1の出力スペクトルは、出力側ハーフミラー膜8の反射率に応じて変化する。そこで、上記第5の観点による光ファイバレーザ光源100では、出力側ハーフミラー膜8の反射率を4~90の間で調整し、所定の波長帯域の出力光が得られるようにする。第6の観点では、本発明は、前記第1から第5のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3のコア3aと前記出力光導波路ファイバ4のコア4aの中心軸をずらせたことを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。光ファイバレーザ光源の性質として、半導体励起レーザ1のパワーが低いと、増幅光導波ファイバ3に励起されていない反転分布が不安定状態の部分が生じ、出力が不安定となり、ノイズも多くなる。例えば、蛍光分析を行う顕微鏡装置などではノイズrmsは数程度以下を要求されるが、半導体励起レーザ1のパワーが低いとこの要求を満たせない。このため、半導体励起レーザ1のパワーを上げてやらなければならない。しかし、半導体励起レーザ1のパワーを上げると出力光のパワーも大きくなってしまい、例えば出力光が入力されるSHG素子の寿命を短くしてしまうなどの問題を生じる。そこで、上記第6の観点による光ファイバレーザ光源100では、増幅光導波ファイバ3のコア3aと出力光導波路ファイバ4のコア4aの中心軸をずらせて、出力光のパワーを減衰させる。これにより、半導体励起レーザ1のパワーを上げて出力を安定させることが出来ると共に出力光のパワーが強くなり過ぎることを防止できる。第7の観点では、本発明は、前記第1から第6のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記出力光導波路ファイバ4の1カ所で切断し且つ軸ずらし融着したこと特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。光ファイバレーザ光源の性質として、半導体励起レーザ1のパワーが低いと、増幅光導波ファイバ3に励起されていない反転分布が不安定状態の部分が生じ、出力が不安定となり、ノイズも多くなる。例えば、蛍光分析を行う顕微鏡装置などではノイズrmsは2程度以下を要求されるが、半導体励起レーザ1のパワーが低いとこの要求を満たせない。このため、半導体励起レーザ1のパワーを上げてやらなければならない。しかし、半導体励起レーザ1のパワーを上げると出力光のパワーも大きくなってしまい、例えば出力光が入力されるSHG素子の寿命を短くしてしまうなどの問題を生じる。そこで、上記第7の観点による光ファイバレーザ光源100では、出力光導波路ファイバ4の1カ所で切断し且つ軸ずらし融着して、出力光のパワーを減衰させる。これにより、半導体励起レーザ1のパワーを上げて出力を安定させることが出来ると共に出力光のパワーが強くなり過ぎることを防止できる。第8の観点では、本発明は、前記第1から第7のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記出力側ハーフミラー膜8と前記ファイバブラッググレーティング14の間に、偏光分離手段13を具備することを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第8の観点による光ファイバレーザ光源100では、第2光共振器K2内に偏光分離手段13を設置することにより、直線偏波出力が可能となるので、直線偏波成分のみを波長変換するSHG素子への光源として好適となる。第9の観点では、本発明は、前記第8の観点による光ファイバレーザ光源100において、前記偏光分離手段13が、偏波保持光ファイバ溶融カプラ型の偏光分離素子13からなることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第9の観点による光ファイバレーザ光源100では、偏波保持光ファイバ溶融カプラ型の偏光分離素子13を使用したので、偏光子を挟むような偏光分離手段と比較して、空間伝播部がなく、内部反射点に起因する出力光のノイズ増大の影響を受けない。第10の観点では、本発明は、前記第1から第9のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3および前記出力光導波ファイバ4が、偏波保持型光ファイバであることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第10の観点による光ファイバレーザ光源100では、直線偏波出力を行うことが出来るので、直線偏波成分のみを波長変換するSHG素子への光源として好適となる。第11の観点では、本発明は、前記第10の観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3と前記出力光導波ファイバ4の偏波軸同士が0°または90°であることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。増幅光導波ファイバ3と出力光導波ファイバ4の偏波軸同士が0°または90°でないと、第2光共振器K2内を往復する光の直線偏波が保持されなくなる。そこで、上記第11の観点による光ファイバレーザ光源100では、増幅光導波ファイバ3と出力光導波ファイバ4の偏波軸同士を0°または90°に調整する。第12の観点では、本発明は、前記第1から第11のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記励起光導波ファイバ2の出力側端面または前記増幅光導波ファイバ3の入力側端面のうちの前記入力側フィルタ膜7が設けられていない方に反射防止膜17が設けられていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。励起光導波ファイバ2の出力側端面または増幅光導波ファイバ3の入力側端面のうちの入力側フィルタ膜7が設けられていない方の面に反射防止膜17を設けない場合、該面での反射に起因してモードホップ発生し、発振波長が変動することがある。上記第12の観点による光ファイバレーザ光源100では、反射防止膜17を設けているため、モードホップが起こらず、発振波長の変動を抑制できる。第13の観点では、本発明は、前記第1から第12のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3の出力側端面または前記出力光導波路ファイバ4の入力側端面のうちの前記出力側ハーフミラー膜8が設けられていない方に反射防止膜18が設けられていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。増幅光導波ファイバ3の出力側端面または出力光導波ファイバ4の入力側端面のうちの出力側ハーフミラー膜8が設けられていない方の面に反射防止膜18を設けない場合、該面での反射に起因してモードホップ発生し、発振波長が変動することがある。上記第13の観点による光ファイバレーザ光源100では、反射防止膜18を設けているため、モードホップが起こらず、発振波長の変動を抑制できる。第14の観点では、本発明は、前記第1から前記第13のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記励起光導波ファイバ2の出力側端部がフェルール31に固定されており、前記増幅光導波ファイバ3の入力側端部がフェルール32に固定されており、前記増幅光導波ファイバ3の出力側端部がフェルール33に固定されており、前記出力光導波ファイバ4の入力側端部がフェルール34に固定されていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第14の観点による光ファイバレーザ光源100では、フェルール31により励起光導波ファイバ2の出力側端部の取り扱いが容易になる。また、フェルール32により増幅光導波ファイバ3の入力側端部の取り扱いが容易になる。また、フェルール33により増幅光導波ファイバ3の出力側端部の取り扱いが容易になる。また、フェルール34により出力光導波ファイバ4の入力側端部の取り扱いが容易になる。第15の観点では、本発明は、前記第14の観点による光ファイバレーザ光源100において、前記フェルール31~34が、セラミックスまたは透明ガラスからなることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第15の観点による光ファイバレーザ光源100では、セラミックスの場合、光コネクタに使用されているジルコニアをそのまま流用できる利点がある。透明ガラスの場合、紫外線を良く透過させられるので、ファイバ2,3,4とフェルール31,32,33,34の接合に紫外線硬化型接着剤を使用できる利点がある。第16の観点では、本発明は、前記第14または前記第15の観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波路ファイバ3が、増幅媒体として希土類元素が添加されたコア3aと、前記コア3aの外側に設けた該コア3aより屈折率が低い内部クラッド3bと、前記内部クラッド3bの外側に設けた該内部クラッド3bより屈折率が低い外部クラッド3cとを有する場合に、前記増幅光導波ファイバ3の出力側端部の前記フェルール33に挿入する部分の前記外部クラッド3cを除去し、前記内部クラッド3bと同じかそれよりも高い屈折率の接着剤35により前記フェルール33の挿入穴と前記内部クラッド3bの間を充填し固めたことを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第16の観点による光ファイバレーザ光源100では、増幅光導波ファイバ3の出力側端部の外部クラッド3cを除去し、内部クラッド3bと同じかそれよりも高い屈折率の接着剤35でフェルール33の挿入穴と内部クラッド3bの間を充填し固めるため、内部クラッド3bを伝播してきた残留励起光を効率よく外部に漏れ出させることが出来る。従って、増幅光導波ファイバ3の出力側端部とフェルール33の接合部分に残留励起光で熱がこもることを抑制できる。なお、熱がこもると、接合部分の劣化が早まる。また、熱膨張により接合状態が変動し、出力特性が劣化する。第17の観点では、本発明は、前記第16の観点による光ファイバレーザ光源100において、前記フェルール34が透明ガラスからなる場合に、前記出力光導波ファイバ4の入力側端部を挿入する前記フェルール34のファイバ挿入口が円錐形状に加工されると共に金メッキまたは銀メッキ36がなされていることを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第17の観点による光ファイバレーザ光源100では、増幅光導波ファイバ3から漏れ出す残留励起光および前記第6の観点による軸ずらし接続を行った際に損失となった光を金メッキまたは銀メッキ36で外部へ反射散乱させることが出来る。これにより、残留励起光および前記第6の観点による軸ずらし接続を行った際に損失となった光がフェルール34の接着剤溜りの部分に入射し発熱させることを防止でき、信頼性の向上が図れる。第18の観点では、本発明は、前記第14から前記第17のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記フェルール31の出力側端面と前記フェルール32の入力側端面の少なくとも一方に円環状の溝27を設け、前記フェルール31の出力側端面と前記フェルール32の入力側端面の前記溝27より外側の部分を接着剤37で接着し、前記フェルール33の出力側端面と前記フェルール34の入力側端面の少なくとも一方に円環状の溝28を設け、前記フェルール33の出力側端面と前記フェルール34の入力側端面の前記溝28より外側の部分を接着剤38で接着したことを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第18の観点による光ファイバレーザ光源100では、接着剤37が光路に入り込むことを溝27で防止することが出来る。また、接着剤38が光路に入り込むことを溝28で防止することが出来る。第19の観点では、本発明は、前記第14から前記第18のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記フェルール31および前記フェルール32を同径の円筒状とし、両者をスリーブ41で保持し、前記フェルール33および前記フェルール34を同径の円筒状とし、両者をスリーブ42で保持したことを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第19の観点による光ファイバレーザ光源100では、励起光導波ファイバ2の出力側端部と増幅光導波ファイバ3の結合部をスリーブ41によって保護することが出来る。また、増幅光導波ファイバ3の出力側端部と出力光導波ファイバ4の結合部をスリーブ42によって保護することが出来る。なお、熱伝導性熱容量が大きいスリーブを用いれば、結合損失による熱や残留励起光の漏れ出しによる熱を結合部から効率的に放熱させることが出来る。第20の観点では、本発明は、前記第1から前記第19のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3と前記出力光導波ファイバ4の結合部に温調手段10を設けたことを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第20の観点による光ファイバレーザ光源100では、結合損失による熱や残留励起光の漏れ出しによる熱を温調手段10で吸収することが出来る。また、結合部の温度を制御することで、出力側空隙Sの距離Lsを制御できる。なお、出力側空隙Sの距離Lsが変化すると、出力特性波長,パワー,ノイズが変化する。第21の観点では、本発明は、前記第1から前記第20のいずれかの観点による光ファイバレーザ光源100において、前記増幅光導波ファイバ3の温調手段50を設けたことを特徴とする光ファイバレーザ光源100を提供する。上記第21の観点による光ファイバレーザ光源100では、増幅光導波ファイバ3の温度を制御することで、発振波長を制御できる。すなわち、増幅光導波ファイバ3を加熱することで発振波長を長波長側にシフトし、増幅光導波ファイバ3を冷却することで発振波長を短波長側にシフトすることが出来る。本発明の光ファイバレーザ光源100によれば、出力安定性を向上することが出来る。以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。-実施例1-図1は、実施例1に係る光ファイバレーザ光源100の構成説明図である。この光ファイバレーザ光源100は、次の構成要素を備えている。[イ]マルチモード光ファイバであり、半導体励起レーザ1が出力する励起光を導波する励起光導波ファイバ2、[ロ]偏波保持型光ファイバであり、励起光導波ファイバ2から出力される励起光を入力して所定の波長帯域の放出光を放出すると共に光を導波する増幅光導波ファイバ3、[ハ]偏波保持型光ファイバであり、増幅光導波ファイバ3から出力される光を導波する出力光導波ファイバ4、[ニ]励起光導波ファイバ2の出力側端面に設けられ且つ増幅光導波ファイバ3の入力側端面との間に入力側空隙Nを形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過する入力側フィルタ膜7、[ホ]増幅光導波ファイバ3の出力側端面に設けられ且つ出力光導波ファイバ4の入力側端面との間に出力側空隙Sを形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過し、入力側フィルタ膜7との間で第1光共振器K1を構成する出力側ハーフミラー膜8、[へ]出力光導波路ファイバ4の内部に設けられ、入力側フィルタ膜7との間で第2光共振器K2を構成するファイバブラッググレーティング14、[ト]入力側空隙Nの距離Lnおよび出力側空隙Sの距離Lsが20μm以下である、[チ]ファイバブラッググレーティング14より前段の出力光導波路ファイバ4の途中に設けられた偏波保持光ファイバ溶融カプラ型の偏光分離素子13、[リ]増幅光導波ファイバ3と出力光導波ファイバ4の結合部を温調する温調器10、[ヌ]増幅光導波ファイバ3を温調する温調器50、[ル]出力光導波ファイバ4から出力される出力光の一部を分岐するビームスプリッタ21、[ヲ]ビームスプリッタ21で分岐された出力光を受光する受光素子22,[ワ]受光素子22で出力光を監視し、半導体励起レーザ1を帰還制御する制御部23。なお、[ニ]の入力側フィルタ膜7の代わりに、増幅光導波ファイバ3の入力側端面に設けられ且つ励起光導波ファイバ2の出力側端面との間に入力側空隙Nを形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過する入力側フィルタ膜を用いてもよい。また、[ホ]の出力側ハーフミラー膜8の代わりに、出力光導波ファイバ4の入力側端面に設けられ且つ増幅光導波ファイバ3の出力側端面との間に出力側空隙Sを形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過し、入力側フィルタ膜との間で第1光共振器K1を構成する出力側ハーフミラー膜を用いてもよい。図2は、光ファイバレーザ光源100を含む光ファイバレーザ光源200の構成説明図である。この光ファイバレーザ光源200は、光ファイバレーザ光源100の構成要素[イ]~[ヌ]および次の構成要素を備えている。[カ]出力光導波ファイバ4から出力される出力光の高調波光を出力するSHG素子51、[ヨ]SHG素子51から出力される出力光の一部を分岐するビームスプリッタ21、[タ]ビームスプリッタ21で分岐された出力光を受光する受光素子22,[レ]受光素子22で出力光を監視し、半導体励起レーザ1を帰還制御する制御部23。図3は、増幅光導波ファイバ3の断面図である。増幅光導波路ファイバ3は、増幅媒体として希土類元素が添加されたコア3aと、コア3aの外側に設けた該コア3aより屈折率が低い内部クラッド石英クラッド3bと、内部クラッド3bの外側に設けた該内部クラッド3bより屈折率が低い外部クラッド樹脂クラッド3cとを有するダブルクラッドYbファイバである。図4は、増幅光導波ファイバ3のパラメータを示す図表である。増幅光導波ファイバ3の長さL3は、例えば1~15mである。増幅媒体として添加された希土類元素は、例えばイッテルビウムのイオンであり、波長915nmの励起光により励起され、1000nm~1200nmの波長帯域の放出光を発生する。出力光導波ファイバ4は、980PANDAファイバである。図5は、励起光導波ファイバ2と増幅光導波ファイバ3の結合部の拡大断面図である。励起光導波ファイバ2の出力側端部は、樹脂被覆が除去され、円筒状のフェルール31に挿入され、クラッドの外周面がフェルール31に例えばUV硬化樹脂で接着されている。フェルール31は、セラミックスまたは透明ガラスからなる。入力側フィルタ膜7は、励起光導波ファイバ2の出力側端部をフェルール31に挿入した後、フェルール31ごと励起光導波ファイバ2の出力側端面を研磨し、その研磨面に誘電体多層膜を形成して設けられる。入力側フィルタ膜7は、励起光に対して透過率95以上で且つ放出光に対して反射率95以上である。例えば波長915nmに対しては透過率95以上で且つ波長900nm~1200nmに対して反射率95以上である。増幅光導波ファイバ3の入力側端部は、円筒状のフェルール32に挿入され、外周面がフェルール32に例えばUV硬化樹脂で接着されている。フェルール32は、セラミックスまたは透明ガラスからなる。フェルール32の入力側端面には、円環状に溝27が形成されている。増幅光導波ファイバ3の入力側端部をフェルール32に挿入した後、フェルール32ごと増幅光導波ファイバ3の入力側端面を研磨し、その研磨面の溝27より内側に反射防止膜17が設けられる。反射防止膜17は、例えば波長950nm~1150nmに応じたARコートである。励起光導波ファイバ2の出力側端部を挿入したフェルール31は、金属製のスリーブ41の中程までスリーブ41に挿入される。他方、増幅光導波ファイバ3の入力側端部を挿入したフェルール32は、溝27より外側の入力側端面に接着剤37を塗布され、スリーブ41に挿入され、フェルール31に接着される。図6は、増幅光導波ファイバ3と出力光導波ファイバ4の結合部の拡大断面図である。増幅光導波ファイバ3の出力側端部は、外部クラッド3cが除去され、円筒状のフェルール33に挿入され、内部クラッド3bの外周面がフェルール33に接着剤35で接着されている。この接着剤35は、内部クラッド3bと同じかそれよりも高い屈折率の接着剤であり、例えば屈折率を調整したUV硬化樹脂である。フェルール33は、セラミックスまたは透明ガラスからなる。フェルール33の出力側端面には、円環状に溝28が形成されている。出力側ハーフミラー膜8は、増幅光導波ファイバ3の出力側端部をフェルール33に挿入した後、フェルール33ごと増幅光導波ファイバ3の出力側端面を研磨し、その研磨面の溝28より内側に設けられる。出力光導波ファイバ4の入力側端部は、樹脂被覆が除去され、円筒状のフェルール34に挿入され、クラッドの外周面がフェルール34に例えばUV硬化樹脂で接着されている。フェルール34は、セラミックスまたは透明ガラスからなる。フェルール34が透明ガラスからなる場合、出力光導波ファイバ4の入力側端部を挿入するフェルール34のファイバ挿入口が円錐形状に加工される。出力光導波ファイバ4の入力側端部をフェルール34に挿入した後、フェルール34ごと出力光導波ファイバ4の入力側端面を研磨し、その研磨面に反射防止膜18が設けられる。フェルール34が透明ガラスからなる場合、円錐形状に加工されたファイバ挿入口に金メッキまたは銀メッキ36が施される。出力光導波ファイバ4の入力側端部を挿入したフェルール34は、金属製のスリーブ42の中程までスリーブ42に挿入される。他方、増幅光導波ファイバ3の出力側端部を挿入したフェルール33は、溝28より外側の入力側端面に接着剤38を塗布され、スリーブ42に挿入され、フェルール34に接着される。増幅光導波ファイバ3と出力光導波ファイバ4の結合部を温調する温調器10は、ペルチェ素子10aとサーミスタ10bとからなる。図示しないが、増幅光導波ファイバ3を温調する温調器50は、ペルチェ素子とサーミスタとを備えると共に増幅光導波ファイバ3を収容するケースからなる。図7に示すように、増幅光導波ファイバ3と出力光導波ファイバ4の偏波軸同士が0°または90°になるように調整する。図8は、出力側ハーフミラー膜8の反射率-波長特性図である。出力側ハーフミラー膜8の反射率Rsは、励起光の波長範囲を含み且つ放出光の波長帯域の中心の前後100nm以上を含む範囲を含むブロードな波長範囲波長900nm~1200nmに対して約50である。ファイバブラッググレーティング14の波長は、所望の出力光の波長とする。図9は、ファイバブラッググレーティング14の波長を例えば波長1112nmとした構成における光ファイバレーザ光源100の出力スペクトル図である。図10に示すように増幅光導波ファイバ3の出力側端部を無反射端末8’とした場合、増幅光導波ファイバ3の出力側端部からは図11に示すように波長915nmの励起光eと波長1050nm~1100nmのブロードな放出光rが出力される。図12に示すようにように増幅光導波ファイバ3の出力側端部に出力側ハーフミラー膜8を設けて第1共振器K1を構成した場合、出力側ハーフミラー膜8の出力は図13に示すようなスペクトルとすることが出来る。すなわち、第1共振器K1を設けたことによって、1100nmよりも長い波長帯域でも出力の安定化ノイズ低減が可能となる。図14のaは、平行平板共振器ファブリペローエタロンにおける空隙の距離dを10μmとしたときの透過率-波長特性図である。空隙の距離dが10μmのとき、透過率のピーク間隔は約60nmになる。図14のbは、平行平板共振器における空隙の距離dを20μmとしたときの透過率-波長特性図である。空隙の距離dが20μmのとき、透過率のピーク間隔は約30nmになる。図14のcは、平行平板共振器における空隙の距離dを30μmとしたときの透過率-波長特性図である。空隙の距離dが30μmのとき、透過率のピーク間隔は約20nmになる。光ファイバレーザ光源100における入力側空隙Nと出力側空隙Sが平行平板共振器における空隙と同様の機能を奏するため、入力側空隙Nの距離Lnと出力側空隙Sの距離Lsを20μm以下とすることで、透過率のピーク間隔が約30nm以上となり、モードホップが起こりにくくなり、出力の安定性を向上できる。図15のaは、増幅光導波ファイバ3の長さL3を15mとしたときの第1共振器K1の出力-波長特性図である。図15のbは、増幅光導波ファイバ3の長さL3を14mとしたときの第1共振器K1の出力-波長特性図である。増幅光導波ファイバ3の長さL3は、所望の波長帯域の放出光を放出させるために調整される。図16のaは、出力側ハーフミラー膜8の反射率Rsを約50としたときの第1共振器K1の出力-波長特性図である。図16のbは、出力側ハーフミラー膜8の反射率Rsを約40としたときの第1共振器K1の出力-波長特性図である。出力側ハーフミラー膜8の反射率Rsは、所望の波長帯域の放出光を放出させるために4~90の範囲で調整される。図17は、図2の光ファイバレーザ光源200におけるSHG光ノイズrms-励起LD電流特性図である。励起LD電流を増やすと、Yb3の励起状態反転分布状態が安定することで、ノイズが低下する。SHG光ノイズrmsを例えば2.5以下に抑えたい場合、励起LD電流を3.3A以上にする必要がある。しかし、励起LD電流を3.3A以上にすると、出力光のパワーも大きくなってしまい、SHG素子51の寿命を短くしてしまうなどの問題を生じる。そこで、図18に示すように、フェルール33とフェルール34のファイバ挿入穴の中心軸をずらせておく。すると、増幅光導波ファイバ3のコア3aと出力光導波路ファイバ4のコア4aの中心軸がずれて、出力光のパワーを減衰させることが出来る。また、図19に示すように、出力光導波路ファイバ4の1カ所で切断し、軸ずらし融着すれば、出力光のパワーを減衰させることが出来る。偏波分離素子13は、増幅光導波ファイバ4に980PANDAファイバ4’を隣接するように置いて、応力付与部の方向を互いに直角になるよう配置し、火炎等であぶり柔らかくして、増幅光導波ファイバ4と980PANDAファイバ4’を融着させ、延伸して製作される。偏波分離素子13において、縦波は出力光導波ファイバ4を通過し、横波は隣接した980PANDAファイバ4’に乗り移り、出て行く。この結果、縦波のみを通過させることが出来る。増幅光導波ファイバ3と出力光導波ファイバ4の結合部では、結合損失による熱や残留励起光の漏れ出しによる熱を冷却すると共に温度変動による出力特性の変動を防ぐために、温調器10で一定温度に温調する。増幅光導波ファイバ3は、加熱すると波長が長くなる側に発振波長がシフトし、冷却すると波長が短くなる側に発振波長がシフトする。所望の発振波長が得られるように温調器50で温調する。実施例1の光ファイバレーザ光源100によれば、第1光共振器K1と第2光共振器K2の2段階複合共振器構造とするため、出力安定性が高くなる。さらに、入力側空隙Nの距離Lnおよび出力側空隙Sの距離Lsを20μm以下としたため、モードホップが起こりにくくなり、この点でも出力安定性が高くなる。"