プラズマを発生させるための装置であって、内部で前記プラズマが生成される容器と、前記プラズマを少なくとも維持するためにRFドライバ信号を受信するように構成され、コイル長を有するコイルと、前記容器の長手方向軸に沿って配向され、前記容器の周りを部分的に取り囲む、第1の部分的取り囲み長手方向導電性PELOCフィンガセットであって、前記コイルの第1の端部に電気的に結合されている第1のPELOCフィンガセットと、前記容器の前記長手方向軸に沿って配向され、前記容器の前記周りを部分的に取り囲む、第2の部分的取り囲み長手方向導電性PELOCフィンガセットであって、前記コイルの第2の端部に電気的に結合されている第2のPELOCフィンガセットと、を備え、前記第1のPELOCフィンガセット及び前記第2のPELOCフィンガセットは、前記第1のPELOCフィンガセットのフィンガの先端が前記第2のPELOCフィンガセットのフィンガの先端の方向を向くように配向され、前記コイル長未満のセット間距離で隔てられている、装置。請求項1に記載の装置であって、前記コイルは、前記容器の前記長手方向軸から前記第1のPELOCフィンガセットの半径よりも大きい半径の位置に配置されている、装置。請求項1に記載の装置であって、前記コイルの前記第1の端部及び前記コイルの前記第2の端の1つは、接地される、装置。請求項1に記載の装置であって、前記第1のPELOCフィンガセットのフィンガは、前記コイルが前記RFドライバ信号によって通電されるときに発生する磁力線に対して平行に配置されている、装置。請求項4に記載の装置であって、前記第2のPELOCフィンガセットのフィンガは、前記磁力線に対して平行に配置されている、装置。請求項1に記載の装置であって、前記容器は、大気圧誘導結合プラズマトーチのプラズマ生成容器である、装置。請求項1に記載の装置であって、前記コイルは、チューブインチューブ構成及び並列巻回sidebysidetubing構成のいずれかによって実現される、装置。請求項1に記載の装置であって、前記コイルの第1の端部は接地され、前記第1の端部は、また、冷却流体を注入及び排出するための端部でもある、装置。請求項1に記載の装置であって、前記RFドライバ信号は、約10MHzから約100MHzまでの間の周波数を有する、装置。プラズマを発生させるための装置であって、内部で前記プラズマが生成される円筒体と、RFドライバ信号を受信するように構成され、コイル長を有し、前記円筒の中心長手方向軸から第1の半径方向距離に配置されるコイルと、前記円筒の前記中心長手方向軸に沿って配向され、前記円筒の周囲を部分的に取り囲む、第1の部分的取り囲み長手方向導電性PELOCフィンガセットであって、前記コイルの第1の端部に電気的に結合され、前記円筒の前記中心長手方向軸から第2の半径方向距離に配置されている、第1のPELOCフィンガセットと、前記円筒の前記中心長手方向軸に沿って配向され、前記円筒の前記周囲を部分的に取り囲む、第2の部分的取り囲み長手方向導電性PELOCフィンガセットであって、前記コイルの第2の端部に電気的に結合され、前記円筒の前記中心長手方向軸から第3の半径方向距離に配置されている、第2のPELOCフィンガセットと、を備え、前記第1のPELOCフィンガセット及び前記第2のPELOCフィンガセットは、前記第1のPELOCフィンガセットのフィンガの先端が前記第2のPELOCフィンガセットのフィンガの先端の方向を向くように配向され、前記コイル長未満のセット間距離で隔てられ、前記第1の半径方向距離は、前記第2の半径方向距離及び前記第3の半径方向距離のいずれよりも大きい、装置。請求項10に記載の装置であって、少なくとも前記第1のPELOCフィンガセットの一部分及び前記第2のPELOCフィンガセットの一部分が、前記円筒の外表面と前記コイルとの間に配置されている、装置。請求項10に記載の装置であって、前記コイルの前記第1の端部及び前記コイルの前記第2の端部の1つは、接地されている、装置。請求項10に記載の装置であって、前記第1のPELOCフィンガセットのフィンガは、前記コイルが前記RFドライバ信号によって通電されるときに発生する磁力線に対して平行に配置されている、装置。請求項13に記載の装置であって、前記第2のPELOCフィンガセットのフィンガは、前記磁力線に対して平行に配置されている、装置。請求項10に記載の装置であって、前記容器は、大気圧誘導結合プラズマトーチのプラズマ生成容器である、装置。請求項10に記載の装置であって、前記コイルは、チューブインチューブ構成及び並列巻回sidebysidetubing構成のいずれかによって実現される、装置。請求項10に記載の装置であって、前記コイルの第1の端部は接地され、前記第1の端部は、また、冷却流体を注入及び排出するための端部でもある、装置。請求項10に記載の装置であって、前記RFドライバ信号は、約10MHzから約100MHzまでの間の周波数を有する、装置。プラズマによってプラズマ基板を処理するように構成されている大気圧誘導結合プラズマトーチであって、前記プラズマを閉じ込めるための手段であって、プロセスガスを受け取るための少なくとも1つの入口と、前記プラズマを排出するための少なくとも1つの開口端とを有する手段と、前記円筒に巻き付けられ、RFドライバ信号を受信するように構成され、コイル長を有するコイルと、前記コイルに電気的に結合され、コイル電圧が降下する距離を効果的に短くして前記コイル長未満にするために前記円筒の周りを少なくとも部分的に取り巻くように配置される手段であって、前記コイル電圧は、前記コイルが前記ドライバRF信号によって通電されるときに生じること、を備えるプラズマトーチ。次に、添付の図面に例示される幾つかの実施形態を参照にして、本発明が詳細に説明される。以下の説明では、本発明の完全な理解を与えるために、数々の具体的詳細が明記されている。しかしながら、当業者ならば、本発明が、これらの詳細の一部または全部を伴わずとも実施可能であることが明らかである。また、本発明が不必要に不明瞭にされないように、周知のプロセス工程及び/又は構造の詳細な説明は省略されている。総じて、プラズマの点火は、所定の気柱に印加される電場の強さに依存する。より具体的な事例として、ソレノイドコイルでは、点火は、ソレノイド内部の電場の強さに依存する。電場は、一般的に、次式1によって支配される。E=V/L式1ここで、Vはコイルの端部間における誘起電圧であり、Eは電場の強さであり、Lはコイルの長さである。L、コイルの長さとは、コイルを巻くために使用されるワイヤの長さではなく、コイルソレノイドの長さを意味することに留意されるべきである。発明者らは、コイルの有効長Lを短くすることができれば、コイルにかかる誘起電圧が同じでも、より強い電場Eが得られることを認識している。あるいは又は加えて、誘起電圧Vが例えばドライバRF周波数の減少ゆえに低くなっても、コイルの有効長を短くすることによって、依然として、プラズマを成功裏に点火することができる電場が形成されるだろう。1つ以上の実施形態では、コイルの有効長を効果的に短くする、部分的に取り囲む長手方向の導電性PELOCフィンガが提供される。PELOCフィンガは、その名が示唆するとおり、大気圧誘導結合プラズマトーチの石英円筒の外側に配され該円筒の長手方向軸に沿って方向付けられた導電性の帯状片又は突端又は歯又は突出ここでは総じてフィンガと称されるである。2セットのフィンガが提供され、各セットのフィンガは、異なるコイル端部につながれる。第1のセットのフィンガが空間的に隔てられた形で第2のセットのフィンガの方を指しているそして、逆もまた同様であるのと同様に、各セットのフィンガは、円筒に対して長手方向に配置されている。本発明の実施形態は、また、大気圧誘導結合プラズマトーチのこれらの強化を製造する、用意する、動作させる、及び維持するための技術にも関する。図2は、発明の一実施形態にしたがう、PELOCフィンガセット202の導電性フィンガが円筒210の長手方向軸220に対して長手方向に配置される一構成例を示している。同様に、PELOCフィンガセット204の導電性フィンガも、円筒210の長手方向軸220に対して長手方向に配置される。PELOCフィンガセット202及びPELOCフィンガセット204は、PELOCフィンガセット202のフィンガの先端がPELOCフィンガセット204のフィンガの先端の方向を向く方向を指し示すように配置される。図からわかるように、PELOCフィンガセット202及びPELOCフィンガセット204の導電性フィンガは、円筒210の長手方向軸220に沿ってセット対セット間隔Aで空間的に隔てられている。PELOCフィンガセット202の導電性フィンガは、円筒210の周りを部分的にのみ取り囲み、その結果、図に示されるようなセット内間隔Bを有している。同様に、PELOCフィンガセット204の導電性フィンガもやはり、円筒210の周りを部分的にのみ取り囲み、その結果、図に示されるようなセット内間隔Cを有している。これらの特性及び間隔は、以下で更に詳しく論じられる。本明細書で説明されるような形で長手方向の導電性フィンガを使用することによって、コイルから発する磁力線は、更に内方向に進んで石英管210を貫通することが可能となり、プラズマを維持する循環電流をトーチの内部に誘発させる。これは、上記のフィンガが磁力線の方向に基本的に平行な向きであるゆえに可能である。セット内間隔Bは、PELOCフィンガ内部に電流加熱を発生させるため必要以上に電力を消費するだろうPELOCフィンガの根元における循環電流の発生を、大幅に低減させる。各フィンガセットの長手方向の導電性フィンガが、同じサイズで隙間の無い導電性の帯で置き換えられたならば、その隙間の無い導電性の帯の内部には、望ましくない循環電流が形成されるだろう。更に、本明細書で説明されるような形で長手方向の導電性フィンガを使用すれば、コイル電圧が降下する物理的距離が、コイルの長さであるLから、セット対セット間隔であるAに減少される。この長さの減少は、所定の誘起電圧に対し、おおよそL/Aの比率で電場強度を増加させる。ゆえに、コイルにかかる誘起電圧が小さくても、プラズマの点火が可能になる。上記のように、各PELOCフィンガセットは、例えば図2ではリード230及び232を通じて異なるコイル端部につながれ、フィンガの先端同士は、コイルの電圧降下が生じる物理的距離を短くするために、コイル長Lよりも短い近接距離Aを有している一例として、図2には、長さLの5巻きのコイルが示されている。繰り返すが、これは、PELOCフィンガセットが円筒の外側に、部分的に取り囲む形で互いに接近して配されているからである。この有効コイル長を最短にするためには、セットとセットの間隔Aセットとセット又はセット間という用語は、円筒の長手方向軸に沿った、一方のフィンガセットから別のフィンガセットまでの、フィンガの先端どうしの間の間隔を示しているは、可能な限り小さいことが好ましい。しかしながら、一般的に、セットとセットの間隔Aは、PELOCフィンガセット202のフィンガとPELOCフィンガセット204のフィンガとの間にアーク放電を引き起こすほどには小さくはないことが望ましい。更に、セットとセットの間隔Aは、円筒の外側で、PELOCフィンガセット202のフィンガとPELOCフィンガセット204のフィンガとの間に望ましくないプラズマ発生を引き起こすほどには小さくはないことも望ましい。一実施形態では、特定のトーチの場合のセットとセットの間隔Aを決定するために、経験的方法が用いられる。先ず、2つのPELOCフィンガセットが円筒に部分的に巻き付けられ、円筒の長手方向軸に沿って並べられる。この時点で、フィンガセットは、円筒のサイズによって課される形状因子制約を依然として満足しながら尚且つ円筒の内側でプラズマを依然として点火可能でありながら、互いから遠く離されるように位置決めされるただし、この間隔距離の場合にコイルが有する大きい有効長は、プラズマの点火に必須の電場E場を発生させるために高いコイル電圧を必要とする。これは、セットとセットの間隔Aの大きさに対する上限を設ける。PELOCフィンガセットは、次いで、チャンバの長手方向軸に沿って互いに向かって前進するように動かされる。どこかの地点で、セットとセットの間隔Aは、アーク放電が発生するほどに又はアーク放電の可能性が許容不可能なほどに高くなるほどに小さくなる。更に、セットとセットの間隔A内に作り出される電場が十分に高いならば、セットとセットの間隔Aが小さくされるにつれて、周囲空気のプラズマ点火が発生するリスクがある。このような、制御されない円筒外側における周囲空気のプラズマ点火は、望ましくないものである。アーク放電又は望ましくない周囲空気の点火を発生させない最短のセットとセットの間隔Aは、セットとセットの間隔Aの大きさに対する下限を確立する。セットとセットの間隔Aについて確立された上限と下限との間の窓は、適切な動作窓である。好ましい一実施形態では、セットとセットの間隔Aは、アーク放電又は円筒の外側における望ましくないプラズマ点火が回避されうる限り、可能な限り短く設定される。セットとセットの間隔Aのこの最短間隔距離は、アーク放電又は望ましくないプラズマ点火が発生しないことを保証しつつコイルの有効長が最短に維持されることを保証する。好ましくは、どのPELOCフィンガセットのどのフィンガも、互いに電気的に結合されている。各PELOCフィンガセットについて、個々のフィンガは、電気的に相互に接続されている一方で、前述のように、円筒の長手方向軸に沿って長手方向に揃えられている。各PELOCフィンガセットのフィンガが円筒の外周又は例えば円筒が丸くない場合はその外周りを部分的にのみ取り囲むように、セット内間隔B図2を参照せよが提供される。この間隔は、ここではセット内間隔と称され、部分的に取り囲む特性を実現するためにPELOCフィンガセットの電気的に接続されたフィンガどうしの間に設けられた断絶の寸法を定めている。セット内間隔Bの存在は、各PELOCフィンガセットのフィンガ同士の間で循環電流が最小に抑えられることを保証する。セット内間隔Bの寸法は、セットとセットの間隔Aの設計と同様の検討事項例えばアーク放電の回避で設計される。1つ以上の実施形態では、セット内間隔Bは、生成される電場及び誘起される磁場における不均一性を最小限に抑えるために、可能な限り小さいことが好ましい。このような不均一性は、発生するプラズマの均一性に影響を及ぼす恐れがあり、発明の1つ以上の実施形態では、可能な限り最小に抑えられる。一実施形態では、各PELOCフィンガセットのフィンガを電気的に及び構造的に接続するために、導電性材料の帯状片、すなわち導電性のスパインが提供される。2つのスパインは、それぞれ、コイル端部図2では230及び232で表示されているの1つに接続される。この構成では、フィンガは、櫛の歯に類似している。この構成における2つのPELOCフィンガセットは、大気圧誘導結合プラズマトーチの円筒の周囲に配されたときに、歯が互いに向き合うとともに歯の先端同士がセットとセットの間隔で隔てられた2本の櫛に見えるだろう。各櫛は、部分的に取り囲むという特性ゆえに1本の櫛の2つの端部同士が接触せずに間隔Bで隔てられたセット内間隔が存在するように、大気圧誘導結合プラズマトーチの円筒に部分的に巻き付いている。この櫛の実施形態は、例えば、図2に見ることができる。一般的に、隣り合うフィンガ間の間隔は、誘起磁場が円筒を貫通して円筒内のプラズマに到達することを可能にするので、フィンガは、必要なだけ細く又は長く/短く作成することができる。導電性フィンガ材料は、銅、銅合金、又は同様に適切な材料であってよい。電磁場を発生させるためのコイルは、フィンガの外側にすなわち、円筒の中心長手方向軸からより大きな半径距離に配置することができる。各櫛には、十分な本数のフィンガが提供されることが望ましく、これらのフィンガは、印加される電磁場の方位角方向における不均一性を回避するために、石英円筒の周囲に等間隔で配置されることが望ましい。導電性フィンガは、機械的に安定するのに十分な幅である必要があるが、しかしながら、一般的に、できる限り多くの磁力線が石英円筒の内側に進むことを可能にするために、フィンガ間の間隔の幅よりも狭く維持されることが望ましい金属製のフィンガ自体は、時変磁場に対して不透過であり、間隔のみが、磁場を更に内方向に進ませる。コイルから発する磁力線は、石英円筒の内側でプラズマを維持する役割を担う。総じて、PELOCフィンガは、主に、プラズマ点火に寄与すると考えられる。プラズマの維持は、主に、コイルによって駆動されると考えられる。したがって、プラズマ均一性は、コイルの巻き線ピッチがどれだけ均一であるか、及びコイルが石英円筒とどれだけ同軸に揃えられるかに依存する傾向がある。1つ以上の実施形態において、非常に低いRFドライバ周波数が望まれる又は非常に低い誘起コイル電圧が望まれるならば、本明細書で開示される技術及び装置は、本出願と同じ発明者らによって同日に出願され、あらゆる目的のために参照によって本明細書に組み込まれる、発明の名称をMETHODANDAPPARATUSFORIGNITINGANDSUSTAININGPLASMAプラズマを点火及び維持するための方法と装置とする共同所有の同時係属特許出願の、新規のコイル巻き線技術及び装置と組み合わせることができる。コイルの有効長を短くする本技術/装置と、コイル巻き数の増加を通じてコイルのインダクタンスを増加させる技術/装置とを組み合わせれば、非常に低いRFドライバ周波数によって及び/又は非常に低い誘起コイル電圧によって円筒の内側でプラズマを点火することができる電場を発生させることが可能である。一部の実施形態では、円筒の内側でプラズマを点火するために、数千ボルトの範囲内の誘起コイル電圧が適切だと予想される。これら2つの技術は、大気圧誘導結合プラズマトーチにおける電場形成のための異なるメカニズムを有利に操作するものであり、互いに干渉し合うことはない。1つ以上の実施形態において、これらの組み合わされた技術及び装置は、固有の新しい考えを表わしている。以上からわかるように、発明の実施形態は、大気圧誘導結合プラズマトーチにおけるプラズマ点火電磁場の利用を強化する。本明細書で開示される技術及び装置を用いれば、例えばドライバRF周波数の低下ゆえに誘起コイル電圧がたとえ下がったとしても、大気圧誘導結合プラズマトーチにおけるプラズマ点火が可能である。所要の誘起コイル電圧及び/又はドライバRF周波数が下がれば、RF発生器はもちろん、大気圧誘導結合プラズマトーチのための構成要素も、より安価に作成することができるうえに、格段に容易にシステム間で一致させることが可能になり、これは、半導体製品の生産コストの低下に寄与する。これらの技術/装置は、大気圧誘導結合プラズマトーチとの関連のもとで論じられてきたが、同じ技術及び装置は、プラズマの点火を向上させるために、並びにその他の誘導結合プラズマツール及びチャンバのなかでプラズマを維持するために用いることも可能であると考えられる。代表的な実施形態及び最良の形態が開示されてきたが、これらの開示された実施形態には、特許請求の範囲に定められた発明の主題及び趣旨の範囲内にとどまりつつ変更及び変形をなすことが可能である。