"ロール状に巻かれた可撓性を有するフィルム基板を引き出して供給するローダと、フィルム基板を搭載する露光チャックと、マスクを保持するマスクホルダと、フィルム基板をロール状に巻き取って回収するアンローダとを備え、前記マスクホルダに保持されたマスクと前記露光チャックに搭載されたフィルム基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンをフィルム基板へ転写するフィルム基板露光装置において、前記露光チャックの前記ローダ側に設けられた前記露光チャックと同じ高さの第1の補助チャックと、前記露光チャックの前記アンローダ側に設けられた前記露光チャックと同じ高さの第2の補助チャックと、前記ローダと前記第1の補助チャックとの間に設けられた第1のフィルム基板搬送装置と、前記アンローダと前記第2の補助チャックとの間に設けられた第2のフィルム基板搬送装置と、前記マスクホルダをZ方向へ移動及びチルトして、前記マスクホルダに保持されたマスクと前記露光チャックに搭載されたフィルム基板とのギャップ合わせを行うZ-チルト機構と、前記マスクホルダをXY方向へ移動して、前記マスクホルダに保持されたマスクと前記露光チャックに搭載されたフィルム基板との位置合わせを行うマスクステージとを備え、前記第1のフィルム基板搬送装置及び前記第2のフィルム基板搬送装置は、フィルム基板の両脇を支持するアームをそれぞれ有し、各アームを上昇させて、フィルム基板を前記露光チャック、前記第1の補助チャック及び前記第2の補助チャックから持ち上げ、各アームを移動して、フィルム基板を前記第1の補助チャックから前記露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を前記露光チャックから前記第2の補助チャックへ搬送し、各アームを下降させて、フィルム基板を前記露光チャック、前記第1の補助チャック及び前記第2の補助チャックに搭載し、前記露光チャック、前記第1の補助チャック及び前記第2の補助チャックは、前記第1のフィルム基板搬送装置及び前記第2のフィルム基板搬送装置によるフィルム基板の搬送時に、気体を吹き出してフィルム基板を浮上させる複数の気体吹き出し孔を表面にそれぞれ有することを特徴とするフィルム基板露光装置。前記露光チャック、前記第1の補助チャック及び前記第2の補助チャックは、温度調節機構をそれぞれ有することを特徴とする請求項1に記載のフィルム基板露光装置。前記露光チャック、前記第1の補助チャック及び前記第2の補助チャックの各気体吹き出し孔は、温度調節された気体を吹き出すことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のフィルム基板露光装置。前記露光チャックは、表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を有し、前記露光チャックの中央部に設けられた吸着孔から周辺部に設けられた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させる空気圧回路を備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のフィルム基板露光装置。前記第1の補助チャック及び前記第2の補助チャックは、表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ有し、前記第1の補助チャック及び前記第2の補助チャックの前記露光チャック側に設けられた吸着孔から反対側に設けられた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させる空気圧回路を備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のフィルム基板露光装置。ロール状に巻かれた可撓性を有するフィルム基板を引き出して供給するローダと、フィルム基板を搭載する露光チャックと、マスクを保持するマスクホルダと、フィルム基板をロール状に巻き取って回収するアンローダとを設け、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンをフィルム基板へ転写するフィルム基板露光方法において、露光チャックのローダ側に、露光チャックと同じ高さの第1の補助チャックを設け、露光チャックのアンローダ側に、露光チャックと同じ高さの第2の補助チャックを設け、ローダと第1の補助チャックとの間に、フィルム基板の両脇を支持するアームを有する第1のフィルム基板搬送装置を設け、アンローダと第2の補助チャックとの間に、フィルム基板の両脇を支持するアームを有する第2のフィルム基板搬送装置を設け、各フィルム基板搬送装置のアームを上昇させて、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックから持ち上げ、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔から気体を吹き出して、フィルム基板を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置のアームを移動して、フィルム基板を第1の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第2の補助チャックへ搬送し、各フィルム基板搬送装置のアームを下降させて、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに搭載し、マスクホルダをZ方向へ移動及びチルトして、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板とのギャップ合わせを行い、マスクホルダをXY方向へ移動して、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との位置合わせを行うことを特徴とするフィルム基板露光方法。露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに、温度調節機構をそれぞれ設けることを特徴とする請求項6に記載のフィルム基板露光方法。露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの各気体吹き出し孔から、温度調節された気体を吹き出すことを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のフィルム基板露光方法。露光チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を設け、露光チャックの中央部に設けた吸着孔から周辺部に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか一項に記載のフィルム基板露光方法。第1の補助チャック及び第2の補助チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ設け、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの露光チャック側に設けた吸着孔から反対側に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させることを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれか一項に記載のフィルム基板露光方法。フィルム基板は、可撓性を有し薄いため、しわやねじれ、自重によるたわみ等の変形が起こり易く、幅の広い大型のフィルム基板は、露光時に露光チャックに搭載して平坦に支持することが望ましい。フィルム基板を露光チャックへ供給する際、フィルム基板を露光チャック上で滑らせて移動すれば、自重によるたわみがなく、しわやねじれ等も起こりにくい。しかしながら、ポリカーボネート等のプラスチック樹脂からなるフィルム基板は、露光チャック上で滑らせて移動すると傷が付き易く、表示用フィルム基板では、裏面の傷も不良の要因となる。そのため、フィルム基板を、露光チャックから一旦持ち上げて移動した後、再び露光チャックに搭載する必要性が生じた。このとき、フィルム基板が大型になる程、フィルム基板を露光チャックに平坦に搭載するのが難しくなって、露光品質が低下するという問題がある。また、ポリカーボネート等のプラスチック樹脂からなるフィルム基板は、ガラス基板に較べて温度変化による伸縮が大きく、露光光の熱により伸びて、露光精度が低下するという問題がある。本発明の課題は、大型のフィルム基板を露光チャックに平坦に搭載して、露光品質を向上させることである。また、本発明の課題は、フィルム基板の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度を向上させることである。さらに、本発明の課題は、高品質な表示用フィルム基板を製造することである。本発明のフィルム基板露光装置は、ロール状に巻かれた可撓性を有するフィルム基板を引き出して供給するローダと、フィルム基板を搭載する露光チャックと、マスクを保持するマスクホルダと、フィルム基板をロール状に巻き取って回収するアンローダとを備え、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンをフィルム基板へ転写するフィルム基板露光装置において、露光チャックのローダ側に設けられた露光チャックと同じ高さの第1の補助チャックと、露光チャックのアンローダ側に設けられた露光チャックと同じ高さの第2の補助チャックと、ローダと第1の補助チャックとの間に設けられた第1のフィルム基板搬送装置と、アンローダと第2の補助チャックとの間に設けられた第2のフィルム基板搬送装置と、マスクホルダをZ方向へ移動及びチルトして、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板とのギャップ合わせを行うZ-チルト機構と、マスクホルダをXY方向へ移動して、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との位置合わせを行うマスクステージとを備え、第1のフィルム基板搬送装置及び第2のフィルム基板搬送装置が、フィルム基板の両脇を支持するアームをそれぞれ有し、各アームを上昇させて、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックから持ち上げ、各アームを移動して、フィルム基板を第1の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第2の補助チャックへ搬送し、各アームを下降させて、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに搭載し、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックが、第1のフィルム基板搬送装置及び第2のフィルム基板搬送装置によるフィルム基板の搬送時に、気体を吹き出してフィルム基板を浮上させる複数の気体吹き出し孔を表面にそれぞれ有するものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、ロール状に巻かれた可撓性を有するフィルム基板を引き出して供給するローダと、フィルム基板を搭載する露光チャックと、マスクを保持するマスクホルダと、フィルム基板をロール状に巻き取って回収するアンローダとを設け、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンをフィルム基板へ転写するフィルム基板露光方法において、露光チャックのローダ側に、露光チャックと同じ高さの第1の補助チャックを設け、露光チャックのアンローダ側に、露光チャックと同じ高さの第2の補助チャックを設け、ローダと第1の補助チャックとの間に、フィルム基板の両脇を支持するアームを有する第1のフィルム基板搬送装置を設け、アンローダと第2の補助チャックとの間に、フィルム基板の両脇を支持するアームを有する第2のフィルム基板搬送装置を設け、各フィルム基板搬送装置のアームを上昇させて、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックから持ち上げ、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔から気体を吹き出して、フィルム基板を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置のアームを移動して、フィルム基板を第1の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第2の補助チャックへ搬送し、各フィルム基板搬送装置のアームを下降させて、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに搭載し、マスクホルダをZ方向へ移動及びチルトして、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板とのギャップ合わせを行い、マスクホルダをXY方向へ移動して、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との位置合わせを行うものである。露光チャックのローダ側に、露光チャックと同じ高さの第1の補助チャックを設け、露光チャックのアンローダ側に、露光チャックと同じ高さの第2の補助チャックを設け、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックから持ち上げ、フィルム基板を第1の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第2の補助チャックへ搬送して、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに搭載するので、フィルム基板が、第1の補助チャック及び第2の補助チャックにより、露光チャックの前後で露光チャックと同じ高さに平坦に支持され、フィルム基板のしわやねじれ等の変形が抑制される。そして、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔から空気等の気体を吹き出して、フィルム基板を浮上させながら、第1のフィルム基板搬送装置及び第2のフィルム基板搬送装置のアームを移動して、フィルム基板を搬送するので、フィルム基板の搬送時に、各フィルム基板搬送装置のアームに両脇を支持されたフィルム基板の自重によるたわみが抑制される。従って、大型のフィルム基板が露光チャックに平坦に搭載され、露光品質が向上する。さらに、本発明のフィルム基板露光装置は、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックが、温度調節機構をそれぞれ有するものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに、温度調節機構をそれぞれ設けるものである。フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに搭載したとき、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックにより、フィルム基板の温度が調節されるので、フィルム基板の温度変化による伸縮が抑制され、露光精度が向上する。このとき、露光チャックの前後でも、第1の補助チャック及び第2の補助チャックにより、長手方向につながったフィルム基板の温度調節が行われるので、露光チャックによる露光時のフィルム基板の温度調節が効果的に行われる。また、第2の補助チャックにより露光後のフィルム基板の温度が調節されるので、アンローダによる露光後のフィルム基板の巻き取りが精度良く行われる。さらに、本発明のフィルム基板露光装置は、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの各気体吹き出し孔が、温度調節された気体を吹き出すものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの各気体吹き出し孔から、温度調節された気体を吹き出すものである。露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの各気体吹き出し孔から吹き出された温度調節された空気等の気体により、フィルム基板を搬送する際もフィルム基板の温度変化による伸縮が抑制されて、露光精度がさらに向上する。さらに、本発明のフィルム基板露光装置は、露光チャックが、表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を有し、露光チャックの中央部に設けられた吸着孔から周辺部に設けられた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させる空気圧回路を備えたものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、露光チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を設け、露光チャックの中央部に設けた吸着孔から周辺部に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させるものである。露光チャックの中央部とフィルム基板との間に空気が残ってフィルム基板がたわむのが防止される。従って、大型のフィルム基板が露光チャックにさらに平坦に搭載され、露光品質がさらに向上する。さらに、本発明のフィルム基板露光装置は、第1の補助チャック及び第2の補助チャックが、表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ有し、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの露光チャック側に設けられた吸着孔から反対側に設けられた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させる空気圧回路を備えたものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ設け、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの露光チャック側に設けた吸着孔から反対側に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させるものである。露光チャックと第1の補助チャックとの間、及び露光チャックと第2の補助チャックとの間でフィルム基板がたわむのが防止され、第1のフィルム基板搬送装置及び第2のフィルム基板搬送装置によるフィルム基板の搬送時に、フィルム基板の搬送が円滑に行われる。本発明によれば、露光チャックのローダ側に、露光チャックと同じ高さの第1の補助チャックを設け、露光チャックのアンローダ側に、露光チャックと同じ高さの第2の補助チャックを設け、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックから持ち上げ、フィルム基板を第1の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第2の補助チャックへ搬送して、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに搭載することにより、フィルム基板を、第1の補助チャック及び第2の補助チャックにより、露光チャックの前後で露光チャックと同じ高さに平坦に支持して、フィルム基板のしわやねじれ等の変形を抑制することができる。そして、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔から気体を吹き出して、フィルム基板を浮上させながら、第1のフィルム基板搬送装置及び第2のフィルム基板搬送装置のアームを移動して、フィルム基板を搬送することにより、フィルム基板の搬送時に、各フィルム基板搬送装置のアームに両脇を支持されたフィルム基板の自重によるたわみを抑制することができる。従って、大型のフィルム基板を露光チャックに平坦に搭載して、露光品質を向上させることができる。さらに、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに、温度調節機構をそれぞれ設けることにより、フィルム基板を露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックに搭載したとき、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックにより、フィルム基板の温度を調節することができるので、フィルム基板の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度を向上させることができる。このとき、露光チャックの前後でも、第1の補助チャック及び第2の補助チャックにより、長手方向につながったフィルム基板の温度調節を行うことができるので、露光チャックによる露光時のフィルム基板の温度調節を効果的に行うことができる。また、第2の補助チャックにより露光後のフィルム基板の温度を調節することができるので、アンローダによる露光後のフィルム基板の巻き取りを精度良く行うことができる。さらに、露光チャック、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの各気体吹き出し孔から、温度調節された気体を吹き出すことにより、フィルム基板を搬送する際もフィルム基板の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度をさらに向上させることができる。さらに、露光チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を設け、露光チャックの中央部に設けた吸着孔から周辺部に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させることにより、露光チャックの中央部とフィルム基板との間に空気が残ってフィルム基板がたわむのを防止することができる。従って、大型のフィルム基板を露光チャックにさらに平坦に搭載して、露光品質をさらに向上させることができる。さらに、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ設け、第1の補助チャック及び第2の補助チャックの露光チャック側に設けた吸着孔から反対側に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させることにより、露光チャックと第1の補助チャックとの間、及び露光チャックと第2の補助チャックとの間でフィルム基板がたわむのを防止して、第1のフィルム基板搬送装置及び第2のフィルム基板搬送装置によるフィルム基板の搬送時に、フィルム基板の搬送を円滑に行うことができる。図1は、本発明の一実施の形態によるフィルム基板露光装置の概略構成を示す図である。フィルム基板露光装置は、ローダ3、アンローダ4、露光チャック10、補助チャック11,12、マスクホルダ20、マスクステージ21、Z-チルト機構22、フィルム基板搬送装置30,40、及び恒温空気供給装置51,52を含んで構成されている。フィルム基板露光装置は、これらの他に、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。ローダ3は、供給ロール3a、及びローラ3b,3c,3d,3eを含んで構成されている。供給ロール3aには、露光前のフィルム基板1が巻かれている。ローラ3b,3c,3d,3eは、露光前のフィルム基板1を、供給ロール3aから引き出して、フィルム基板搬送装置30へ供給する。アンローダ4は、回収ロール4a、及びローラ4b,4c,4d,4eを含んで構成されている。ローラ4b,4c,4d,4eは、露光後のフィルム基板1を、フィルム基板搬送装置40から回収ロール4aへ案内する。回収ロール4aは、露光後のフィルム基板1を巻き取って回収する。図2は、供給ロールから引き出されたフィルム基板の一部の平面図である。フィルム基板1は、例えば、幅が数百mm、長さが数十m~数百m、厚さが数十μm~数百μmの帯状のシートであって、ポリカーボネート等の可撓性を有する透明なプラスチック樹脂からなる。フィルム基板1の表面には、複数の露光領域1aが長手方向に並べて配置されており、各露光領域1aに渡って、感光樹脂材料フォトレジストが塗布されている。各露光領域1aの四隅の外側には、マスク2とフィルム基板1との位置合わせを行うためのアライメント用孔1bが設けられている。また、露光領域1aの外側のフィルム基板1の両脇には、フィルム基板1を長手方向へ搬送するための搬送用孔1cが、長手方向に所定の間隔で設けられている。図1において、フィルム基板搬送装置30とフィルム基板搬送装置40との間には、露光チャック10が設置されている。露光チャック10のローダ3側には、露光チャック10と同じ高さの補助チャック11が設置され、露光チャック10のアンローダ4側には、露光チャック10と同じ高さの補助チャック12が設置されている。図3は、露光チャック及び補助チャックの斜視図である。図1のローダ3から供給されたフィルム基板1は、フィルム基板搬送装置30及びフィルム基板搬送装置40の働きにより、まず補助チャック11へ搬送され、次に補助チャック11から露光チャック10へ搬送され、続いて露光チャック10から補助チャック12へ搬送される。フィルム基板搬送装置30は、アーム31、昇降テーブル32、及びガイド33を含んで構成されている。また、フィルム基板搬送装置40は、アーム41、昇降テーブル42、及びガイド43を含んで構成されている。図4aはフィルム基板搬送装置の上面図、図4bはフィルム基板搬送装置の側面図である。図4a,bにおいて、フィルム基板搬送装置30のアーム31は、昇降テーブル32に設けたガイド33に搭載され、ガイド33に沿って図面横方向へ移動する。図4aにおいて、アーム31は、上方から見てコの字型の形状をしており、コの字の上下の横棒の部分で、フィルム基板1の両脇を支持する。この上下の横棒の部分の上面には、複数のピン31aが設けられている。図4bにおいて、昇降テーブル32は、上下に移動して、アーム31を昇降させる。フィルム基板搬送装置30は、昇降テーブル32によりアーム31を上昇させて、各ピン31aをフィルム基板1の両脇に設けられた搬送用孔1cに下方から挿入して、アーム31によりフィルム基板1を保持する。また、フィルム基板搬送装置30は、昇降テーブル32によりアーム31を下降させて、各ピン31aをフィルム基板1の搬送用孔1cから下方へ抜き、アーム31をフィルム基板1から離す。なお、図4a,bはフィルム基板搬送装置30を示しているが、フィルム基板搬送装置40は、フィルム基板搬送装置30と同様な構成であって、フィルム基板搬送装置30と左右対称に設置されている。図5は、フィルム基板搬送装置の動作を説明する図である。図5aにおいて、フィルム基板搬送装置30,40の各昇降テーブル32,42は、各アーム31,41を下降させた状態にある。フィルム基板搬送装置30のアーム31は、補助チャック11よりローダ3側にあり、フィルム基板搬送装置40のアーム41は、補助チャック12を挟む位置にある。この状態から、まず、フィルム基板搬送装置30,40は、図5bに示す様に、各昇降テーブル32,42により各アーム31,41を上昇させて、フィルム基板1を露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12から持ち上げる。次に、フィルム基板搬送装置30,40は、各アーム31,41を同期させながら、図5cに示す様に、アーム31を補助チャック11を挟む位置へ移動し、アーム41を補助チャック12よりアンローダ4側へ移動する。これにより、フィルム基板1が補助チャック11から露光チャック10へ搬送され、またフィルム基板1が露光チャック10から補助チャック12へ搬送される。続いて、フィルム基板搬送装置30,40は、図5dに示す様に、各昇降テーブル32,42により各アーム31,41を下降させて、フィルム基板1を露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12に搭載する。そして、フィルム基板搬送装置30,40は、各アーム31,41を下降させたまま図5aの位置へ戻す。図6aは露光チャック及び補助チャックの上面図、図6bは図6aのA-A部の断面図である。本実施の形態の露光チャック10及び補助チャック11,12は、アルミニウム等の熱伝導性の高い材料で構成され、フィルム基板1を搭載する表面に、微細な孔を多数有するセラミック等の多孔質材料が張られている。図6a,bにおいて、露光チャック10及び補助チャック11,12の内部には、流体通路13が設けられている。流体通路13には、図示しない恒温流体供給装置から、温度調節された水等の液体又は空気等の気体が供給される。露光チャック10及び補助チャック11,12は、流体通路13内を流れる温度調節された流体により温度が一定に保たれ、フィルム基板1が搭載されたとき、フィルム基板1に接触してフィルム基板1の温度を調節する。露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12により、フィルム基板1の温度が調節されるので、フィルム基板1の温度変化による伸縮が抑制され、露光精度が向上する。このとき、露光チャック10の前後でも、補助チャック11及び補助チャック12により、長手方向につながったフィルム基板1の温度調節が行われるので、露光チャック10による露光時のフィルム基板1の温度調節が効果的に行われる。また、補助チャック12により露光後のフィルム基板1の温度が調節されるので、アンローダ4による露光後のフィルム基板1の巻き取りが精度良く行われる。図6aにおいて、露光チャック10及び補助チャック11,12の表面には、複数の気体吹き出し孔14が設けられている。図6bにおいて、各気体吹き出し孔14は、露光チャック10又は補助チャック11,12内に設けられた気体通路15に接続されており、気体通路15には、図示しないイオン化恒温気体供給装置から、イオンを含む温度調節された空気等の気体が供給される。図7は、気体吹き出し孔の動作を説明する図である。フィルム基板搬送装置30及びフィルム基板搬送装置40がフィルム基板1を搬送するとき、露光チャック10及び補助チャック11,12の各気体吹き出し孔14は、矢印で示す様に、イオンを含む温度調節された空気等の気体を吹き出して、フィルム基板1を、露光チャック10及び補助チャック11,12から浮上させる。露光チャック10のローダ3側に、露光チャック10と同じ高さの補助チャック11を設け、露光チャック10のアンローダ4側に、露光チャック10と同じ高さの補助チャック12を設け、フィルム基板1を露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12から持ち上げ、フィルム基板1を補助チャック11から露光チャック10へ搬送し、またフィルム基板1を露光チャック10から補助チャック12へ搬送して、フィルム基板1を露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12に搭載するので、フィルム基板1が、補助チャック11及び補助チャック12により、露光チャック10の前後で露光チャック10と同じ高さに平坦に支持され、フィルム基板1のしわやねじれ等の変形が抑制される。そして、露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12の表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔14から気体を吹き出して、フィルム基板1を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置30,40のアーム31,41を移動して、フィルム基板1を搬送するので、フィルム基板1の搬送時に、各フィルム基板搬送装置30,40のアーム31,41に両脇を支持されたフィルム基板1の自重によるたわみが抑制される。従って、大型のフィルム基板1が露光チャック10に平坦に搭載され、露光品質が向上する。また、露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12の各気体吹き出し孔14から吹き出された温度調節された気体により、フィルム基板1を搬送する際もフィルム基板1の温度変化による伸縮が抑制されて、露光精度がさらに向上する。さらに、各気体吹き出し孔14から吹き出された気体は、イオンを含んでいるため、フィルム基板1を露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12の表面から引き離す際、静電気の発生がイオンにより抑制される。図1において、フィルム基板搬送装置30及び補助チャック11の上空には、恒温空気供給装置51が設けられている。また、フィルム基板搬送装置40及び補助チャック12の上空には、恒温空気供給装置52が設けられている。恒温空気供給装置51,52は、矢印で示す様に、温度調節された空気を、フィルム基板1の表面へ供給する。恒温空気供給装置51,52から供給された温度調節された空気により、フィルム基板1の表面の温度調節がさらに効果的に行われ、フィルム基板1の温度変化による伸縮がさらに抑制される。露光チャック10の上空には、マスク2を保持するマスクホルダ20が設置されている。マスクホルダ20には、露光光が通過する開口が設けられており、開口の下方には、マスク2が装着されている。マスクホルダ20の下面の開口の周囲には、吸着溝が設けられており、マスクホルダ20は、吸着溝により、マスク2の周辺部を真空吸着して保持している。マスクホルダ20に保持されたマスク2の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク2を透過してフィルム基板1へ照射されることにより、マスク2のパターンがフィルム基板1の表面に転写され、フィルム基板1上にパターンが形成される。マスクホルダ20は、マスクステージ21に取り付けられており、マスクステージ21には、複数のZ-チルト機構22が設けられている。各Z-チルト機構22は、マスクホルダ20が取り付けられたマスクステージ21をZ方向図1の図面上下方向へ移動及びチルトすることにより、マスクホルダ20に保持されたマスク2と露光チャック10に搭載されたフィルム基板1とのギャップ合わせを行う。マスクステージ21は、マスクホルダ20をXY方向へ移動し、またθ方向へ回転することにより、マスクホルダ20に保持されたマスク2と露光チャック10に搭載されたフィルム基板1との位置合わせを行う。図8aは露光チャックの上面図、図8bは図8aのB-B部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。図8aにおいて、露光チャック10の表面には、複数の吸着孔16が設けられている。各吸着孔16は、図8bに示す様に、露光チャック10の表面から裏面へ抜ける貫通孔である。図8bにおいて、露光チャック10の中央部に設けられた吸着孔16は、露光チャック10の裏面で配管17aに接続されている。露光チャック10の中央部より外側に設けられた吸着孔16は、露光チャック10の裏面で配管17bに接続されている。露光チャック10の周辺部に設けられた吸着孔16は、露光チャック10の裏面で配管17cに接続されている。配管17aには、電磁弁17dを介して、真空設備が接続されている。配管17bには、電磁弁17eを介して、真空設備が接続されている。配管17cには、電磁弁17fを介して、真空設備が接続されている。電磁弁17d,17e,17fを開いて、各吸着孔16からフィルム基板1と露光チャック10との間の空気を抜くことにより、フィルム基板1が露光チャック10に真空吸着される。このとき、電磁弁17d,17e,17fをその順番に開いて、露光チャック10の中央部に設けられた吸着孔16から、露光チャック10の周辺部に設けられた吸着孔16へ向けて、フィルム基板1の真空吸着を段階的に順番に行うことにより、露光チャック10の中央部とフィルム基板1との間に空気が残ってフィルム基板1がたわむのが防止される。従って、大型のフィルム基板1が露光チャック10にさらに平坦に搭載され、露光品質がさらに向上する。図9aは補助チャック11の上面図、図9bは図9aのC-C部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。図9aにおいて、補助チャック11の表面には、複数の吸着孔16が設けられている。各吸着孔16は、図9bに示す様に、補助チャック11の表面から裏面へ抜ける貫通孔である。図9bにおいて、補助チャック11の露光チャック10側図面右側に設けられた吸着孔16は、補助チャック11の裏面で配管18aに接続されている。補助チャック11の中央部に設けられた吸着孔16は、補助チャック11の裏面で配管18bに接続されている。補助チャック11の露光チャック10と反対側図面左側に設けられた吸着孔16は、補助チャック11の裏面で配管18cに接続されている。配管18aには、電磁弁18dを介して、真空設備が接続されている。配管18bには、電磁弁18eを介して、真空設備が接続されている。配管18cには、電磁弁18fを介して、真空設備が接続されている。電磁弁18d,18e,18fを開いて、各吸着孔16からフィルム基板1と補助チャック11との間の空気を抜くことにより、フィルム基板1が補助チャック11に真空吸着される。露光チャック10がフィルム基板1を真空吸着した後、電磁弁18d,18e,18fをその順番に開いて、補助チャック11の露光チャック10側図面右側に設けられた吸着孔16から、補助チャック11の露光チャック10と反対側図面左側に設けられた吸着孔16へ向けて、フィルム基板1の真空吸着を段階的に順番に行うことにより、露光チャック10と補助チャック11との間でフィルム基板1がたわむのが防止され、フィルム基板搬送装置30,40によるフィルム基板1の搬送時に、補助チャック11から露光チャック10へのフィルム基板1の搬送が円滑に行われる。図10aは補助チャック12の上面図、図10bは図10aのD-D部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。図10aにおいて、補助チャック12の表面には、複数の吸着孔16が設けられている。各吸着孔16は、図10bに示す様に、補助チャック12の表面から裏面へ抜ける貫通孔である。図10bにおいて、補助チャック12の露光チャック10側図面左側に設けられた吸着孔16は、補助チャック12の裏面で配管19aに接続されている。補助チャック12の中央部に設けられた吸着孔16は、補助チャック12の裏面で配管19bに接続されている。補助チャック12の露光チャック10と反対側図面右側に設けられた吸着孔16は、補助チャック12の裏面で配管19cに接続されている。配管19aには、電磁弁19dを介して、真空設備が接続されている。配管19bには、電磁弁19eを介して、真空設備が接続されている。配管19cには、電磁弁19fを介して、真空設備が接続されている。電磁弁19d,19e,19fを開いて、各吸着孔16からフィルム基板1と補助チャック12との間の空気を抜くことにより、フィルム基板1が補助チャック12に真空吸着される。露光チャック10がフィルム基板1を真空吸着した後、電磁弁19d,19e,19fをその順番に開いて、補助チャック12の露光チャック10側図面左側に設けられた吸着孔16から、補助チャック12の露光チャック10と反対側図面右側に設けられた吸着孔16へ向けて、フィルム基板1の真空吸着を段階的に順番に行うことにより、露光チャック10と補助チャック12との間でフィルム基板1がたわむのが防止され、フィルム基板搬送装置30,40によるフィルム基板1の搬送時に、露光チャック10から補助チャック12へのフィルム基板1の搬送が円滑に行われる。以上説明した実施の形態によれば、露光チャック10のローダ3側に、露光チャック10と同じ高さの補助チャック11を設け、露光チャック10のアンローダ4側に、露光チャックと同じ高さの補助チャック12を設け、フィルム基板1を露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12から持ち上げ、フィルム基板1を補助チャック11から露光チャック10へ搬送し、またフィルム基板1を露光チャック10から補助チャック12へ搬送して、フィルム基板1を露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12に搭載することにより、フィルム基板1を、補助チャック11及び補助チャック12により、露光チャック10の前後で露光チャック10と同じ高さに平坦に支持して、フィルム基板1のしわやねじれ等の変形を抑制することができる。そして、露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12の表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔14から気体を吹き出して、フィルム基板1を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置30,40のアーム31,41を移動して、フィルム基板1を搬送することにより、フィルム基板1の搬送時に、各フィルム基板搬送装置30,40のアーム31,41に両脇を支持されたフィルム基板1の自重によるたわみを抑制することができる。従って、大型のフィルム基板1を露光チャック10に平坦に搭載して、露光品質を向上させることができる。さらに、露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12に、温度調節機構をそれぞれ設けることにより、フィルム基板1を露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12に搭載したとき、露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12により、フィルム基板1の温度を調節することができるので、フィルム基板1の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度を向上させることができる。このとき、露光チャック10の前後でも、補助チャック11及び補助チャック12により、長手方向につながったフィルム基板1の温度調節を行うことができるので、露光チャック10による露光時のフィルム基板1の温度調節を効果的に行うことができる。また、補助チャック12により露光後のフィルム基板1の温度を調節することができるので、アンローダ4による露光後のフィルム基板1の巻き取りを精度良く行うことができる。さらに、露光チャック10、補助チャック11及び補助チャック12の各気体吹き出し孔14から、温度調節された気体を吹き出すことにより、フィルム基板1を搬送する際もフィルム基板1の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度をさらに向上させることができる。さらに、露光チャック10の表面に、フィルム基板1を真空吸着する複数の吸着孔16を設け、露光チャック10の中央部に設けた吸着孔16から周辺部に設けた吸着孔16へ向けて、段階的に各吸着孔16を動作させることにより、露光チャック10の中央部とフィルム基板1との間に空気が残ってフィルム基板1がたわむのを防止することができる。従って、大型のフィルム基板1を露光チャックにさらに平坦に搭載して、露光品質をさらに向上させることができる。さらに、補助チャック11及び補助チャック12の表面に、フィルム基板1を真空吸着する複数の吸着孔16をそれぞれ設け、補助チャック11及び補助チャック12の露光チャック10側に設けた吸着孔16から反対側に設けた吸着孔16へ向けて、段階的に各吸着孔16を動作させることにより、露光チャック10と補助チャック11との間、及び露光チャック10と補助チャック12との間でフィルム基板1がたわむのを防止して、フィルム基板搬送装置30,40によるフィルム基板1の搬送時に、フィルム基板1の搬送を円滑に行うことができる。"