シート状のワークを主搬送方向に沿って搬送する搬送装置におけるワークの搬入位置へワークを供給するワーク供給装置であって、シート状のワークを収納する複数の収納部を上下方向に多段に積層して配置したカセットと、上下方向について前記複数の収納部のそれぞれの位置が搬送面の位置に順次一致するように前記カセットを下降又は上昇させる昇降機構と、前記複数の収納部のうちで上下方向の位置が前記搬送面の位置に一致する収納部に収納されているワークを底面側から第1の方向に沿って搬出する第1搬出部材と、前記第1搬出部材が搬出したワークを上面側から前記第1の方向と異なる第2の方向に沿って前記搬入位置へ搬出する第2搬出部材と、を備えたワーク供給装置。前記第1搬出部材が排出したワークを回収する回収部を備え、前記第2搬出部材は前記第1搬出部材と前記回収部との間でワークを搬出する請求項1に記載のワーク供給装置。前記第1の方向は前記主搬送方向に平行であり、前記第2の方向は前記第1の方向に直交する請求項1に記載のワーク供給装置。前記第1の方向は前記主搬送方向に平行であり、前記第2の方向は前記第1の方向に直交する請求項2に記載のワーク供給装置。前記第1搬出部材はワークの底面に外周面が接触させる無端ベルトで構成され、前記第2搬出部材はワークの上面を吸着するチャックを備えた請求項1に記載のワーク供給装置。前記第1搬出部材はワークの底面に外周面が接触させる無端ベルトで構成され、前記第2搬出部材はワークの上面を吸着するチャックを備えた請求項2に記載のワーク供給装置。前記第1搬出部材はワークの底面に外周面が接触させる無端ベルトで構成され、前記第2搬出部材はワークの上面を吸着するチャックを備えた請求項3に記載のワーク供給装置。前記第1搬出部材はワークの底面に外周面が接触させる無端ベルトで構成され、前記第2搬出部材はワークの上面を吸着するチャックを備えた請求項4に記載のワーク供給装置。請求項1乃至8の何れかに記載のワーク供給装置によって搬入位置に供給されたワークを搬送する搬送装置と、前記搬送装置によって搬送されるワークに対して所定の処理を施す処理部と、を備えたワーク処理装置。カセットの各収納部にはワークを1枚ずつ収納させておく必要があるが、太陽電池用ウェハのように薄肉のワークでは誤って2枚以上のワークが単一の収納部に収納される可能性が高い。従来のワーク供給装置では、カセットの各収納部について1回の供給動作を行っており、単一の収納部に複数枚のワークが収納されている場合には、複数枚のワークが一度に搬送装置に供給され、検査工程を適正に行うことができなくなる。このような問題は、検査工程時だけでなく、搬送放置が搬送するワークに対する検査工程以外の工程に対するワークの搬送時にも同様に生じる。この発明の目的は、カセット内の単一の収納部に複数枚のワークが収納された場合でも、搬送装置に1枚ずつワークを供給することができ、搬送中のワークに対する処理を適正に行うことができるワーク供給装置、及びワーク処理装置を提供することにある。この発明に係るワーク供給装置は、カセット、昇降機構、第1搬出部材、第2搬出部材を備え、シート状のワークを主搬送方向に沿って搬送する搬送装置におけるワークの搬入位置へワークを供給する。カセットは、シート状のワークを収納する複数の収納部を上下方向に多段に積層して配置している。昇降機構は、上下方向について複数の収納部のそれぞれの位置が搬送面の位置に順次一致するようにカセットを下降又は上昇させる。第1搬出機構は、複数の収納部のうちで上下方向の位置が搬送面の位置に一致する収納部に収納されているワークを底面側から第1の方向に沿って搬出する。第2搬出機構は、第1搬出部材が搬出したワークを上面側から第1の方向と異なる第2の方向に沿って搬入位置へ搬出する。この発明によれば、カセット内の単一の収納部に複数枚のワークが収納された場合でも、搬送装置の搬入位置に1枚ずつワークを供給することができ、搬送中のワークに対する処理を適正に行うことができる。以下に、この発明の実施形態に係るワーク供給装置及びワーク処理装置について、図面を参照して説明する。図1に示すように、この発明の実施形態に係るワーク供給装置10は、ワーク処理装置100の一部を構成している。ワーク処理装置100は、シート状のワークとして例えば太陽電池用ウェハを搬送する搬送装置110と、搬送装置110が搬送するワークに対し、例えば撮像装置121が撮像した画像データに基づく検査処理を行う処理部120を備えている。搬送装置110は、一例として複数のローラに張架された無端ベルトで構成されている。なお、搬送装置110は、複数のローラ又はチェーン等で構成することもできる。また、処理部120が行う処理は、撮像装置121を用いた検査処理に限るものではない。図1及び図2に示すように、ワーク供給装置10は、搬送装置110の搬入部111に近接して配置されており、ワークを1枚ずつ搬入部111に供給する。このため、ワーク供給装置10は、カセット1、昇降機構2、第1搬出機構3、第2搬出機構4、回収トレイ5を備えている。カセット1は、複数の収納部11を上下方向に多段に積層して備えている。複数の収納部11のそれぞれは、シート状のワークを原則として1枚ずつ収納する。昇降装置2は、上下方向における複数の収納部11のそれぞれの位置が搬送装置110の搬入部111における搬送面の位置に順次一致するように、カセット1を昇降させる。第1搬出機構3は、一例として複数のローラに張架された無端ベルト31で構成されている。第1搬出機構3は、複数の収納部11のうちで上下方向の位置が搬送面の位置に一致している収納部11に収納されているワークを底面側から第1の方向Xに沿って回収トレイ5に向けて搬出する。即ち、第1搬出機構3は、無端ベルト31の上面にワークを載置して搬出する。第1の方向Xは、搬送装置110の搬送方向に平行にされている。第2搬出機構4は、一例として真空チャック41及びスライド機構42を備えている。第2搬出機構4は、第1搬出機構3が搬出したワークを、第1搬出機構3と回収トレイ5との間で、上面側から第1の方向Xに直交する第2の方向Yに沿って搬入部111へ搬出する。このため、スライド機構42は、真空チャック41を第2の方向Yに沿って第2搬出機構4の上方と搬送装置110の搬入部111との間に往復移動させる。昇降機構2によってカセット1内に配置された複数の収納部11の何れかの上下方向の位置が搬送面の位置に一致すると、その収納部11に収納されているワークが第1搬出機構3によって底面側から第1の方向Xに沿って搬出される。第1の方向Xに搬出されたワークは、第2搬出機構4により、上面側から第2の方向Yに沿って搬送装置110の搬入部111へ搬出される。単一の収納部11に誤って複数枚のワークが収納されている場合、複数枚のワークの全てが第1の方向Xに沿って搬出された後、第2搬出機構4の真空チャック41は最上部に位置する1枚のワークのみを吸着し、他のワークは自重によって第1搬出機構3上に停まる。したがって、最上部に位置する1枚のワークのみが第2の方向Yに沿って搬送装置110の搬入部111に搬出される。単一の収納部11に誤って複数枚のワークが収納されている場合でも、搬入部111には1枚のワークのみが供給され、ワーク処理装置100におけるワークに対する処理を正確に行わせることができる。最上部に位置する1枚のワーク以外のワークは、第1搬出機構3によって回収トレイ5に搬送される。回収トレイ5は、この発明の回収部であり、未処理のワークを収容する。単一の収納部11内に収納された複数枚のワークのうち、最上部に位置するワーク以外のワークが不要である場合には、回収トレイ5を省略できる。なお、図1に示す例では、カセット1、昇降機構2、第1搬出機構3及び回収トレイ5は、搬入部111を挟んで両側のそれぞれに配置されているが、これらは搬入部111の少なくとも一方に配置されていればよい。但し、これらを搬入部111を挟んで両側のそれぞれに配置することで、一方のカセット1に収納されているワークの全てを供給した後、他方のカセット1からワークの供給を継続し、この間に一方のカセット1を新たなカセット1と交換することができる。また、第1の方向Xを搬送装置100の搬送方向に平行にし、第2の方向Yを第1の方向Xに直交させることで、ワーク供給装置10の設置スペースを最小にできるが、これに限るものではない。上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。