"一方の部材と他方の部材にそれぞれ接触するプランジャーを備え、一方の部材に接触するプランジャーを他方の部材に接触するプランジャーが挟んで、上記各部材間を電気的に導通させる接触子であって、上記他方の部材に接触する各プランジャーに個別に付勢手段を設けたことを特徴とする接触子。請求項1に記載の接触子において、上記各付勢手段が、大寸法の付勢手段と小寸法の付勢手段により構成されたことを特徴とする接触子。請求項2に記載の接触子において、上記小寸法の付勢手段により各プランシャーが支持されたことを特徴とする接触子。請求項3に記載の接触子において、上記各付勢手段が、その長さをそれぞれ異ならせたことを特徴とする接触子。請求項3又は4に記載の接触子において、上記小寸法の付勢手段が、1又は複数箇所に小径部を備え、当該小径部が上記すべてのプランジャーを摺動可能に支持することを特徴とする接触子。請求項5に記載の接触子において、上記小寸法の付勢手段が、その小径部を両側端部に備えた樽型に形成されたことを特徴とする接触子。被検査体の電極に接触して試験を行う電気的接続装置において、上記被検査体の各電極に対応する位置に配設され当該各電極に接触して通電する接触子を備え、当該接触子として上記請求項1乃至6のいずれか1項に記載の接触子を用いたことを特徴とする電気的接続装置。ところで、上記従来のコンタクトでは、1つのコイルバネユニット3で2枚のプランジャー2を付勢しているため、各プランジャー2の各接点と半田ボールとがずれてしまうと、2枚のプランジャー2のうち一方のみが半田ボールに接触し他方は浮いた状態になる。即ち、2枚のプランジャー2のうち一方が半田ボールの中央付近に接触すると、他方のプランジャー2は半田ボールの周縁付近に位置して接触せず、コイルバネユニット3は、2枚のプランジャー2のうち一方のみを付勢し、他方は宙づり状態になってしまう。このように、1枚のプランジャー2のみで検査信号等を印加したり、プランジャー2とコイルバネユニット3との接触状態を良好に保てなかったりして、検査結果に影響が生じるという問題がある。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、プランジャーと接点との位置がずれても安定して接触させることができる接触子及び電気的接続装置を提供することを目的とする。本発明に係る接触子は、一方の部材と他方の部材にそれぞれ接触するプランジャーを備え、一方の部材に接触するプランジャーを他方の部材に接触するプランジャーが挟んで、上記各部材間を電気的に導通させる接触子であって、上記他方の部材に接触する各プランジャーに個別に付勢手段を設けたことを特徴とする。また、電気的接続装置は、被検査体の電極に接触して試験を行う電気的接続装置において、上記被検査体の各電極に対応する位置に配設され当該各電極に接触して通電する接触子を備え、当該接触子として上記接触子を用いたことを特徴とする。各付勢手段で各プランジャーを個別に付勢するため、各プランジャーが個別にスライドして上記他方の部材に個別に接触する。以下、本発明の実施形態に係る接触子及び電気的接続装置について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態では、まず、電気的接続装置について説明し、次いで、この電気的接続装置に用いられる接触子について説明する。なお、本発明の特徴は接触子にある。電気的接続装置は、本発明の接触子を用いることができる装置であればよい。本発明の接触子を用いることができるすべての電気的接続装置が本発明に係る電気的接続装置である。このため、以下で説明する電気的接続装置は、本発明の接触子を用いることができる種々の電気的接続装置の一例である。本実施形態の電気的接続装置11は、図2~4に示すように、被検査体12の通電試験等に用いる装置である。被検査体12は、集積回路等の半導体デバイスである。被検査体12の下側面には複数のバンプ電極13図4、13参照が設けられている。このバンプ電極13は、被検査体12の下側面に設けられた電極である。バンプ電極13は半球状に形成されている。各バンプ電極13は、被検査体12の下側面に、一列、複数列、マトリクス状又は他の配列で備えられている。電気的接続装置11は主に、配線基板15と、下側ハウジング16と、上側ハウジング17と、フレーム18と、ガイド板19と、接触子20図5参照とを備えて構成されている。配線基板15は、下側ハウジング16、上側ハウジング17等を支持する板状の部材である。この配線基板15の配線は被検査体を試験するテスタ本体図示せずの配線に接続されている。配線基板15は、テスタ本体側の電極を構成する部材であって、接触子20の下端部が配線基板15の上面に設けられたコンタクトパッドに接触して電気的に導通される。下側ハウジング16は、上側ハウジング17と合わされた状態で接触子20を支持するための部材である。下側ハウジング16は、配線基板15の上側に重ねられている。これにより、配線基板15の上側面の各コンタクトパッドに、接触子20の下端部が押圧されて電気的に接触されるようになっている。下側ハウジング16には、ピン頭部嵌合穴23が設けられている。このピン頭部嵌合穴23は、後述するガイドピン37の頭部39が嵌合するための穴である。上側ハウジング17は、下側ハウジング16と協働して、接触子20の全体を支持するための部材である。上側ハウジング17は、下側ハウジング16に重ねられて、この下側ハウジング16と上側ハウジング17とで、接触子20を自由に伸縮できる状態で支持するようになっている。上側ハウジング17には、ピン軸部嵌合穴28が設けられている。このピン軸部嵌合穴28は、後述するガイドピン37の軸部40が嵌合するための穴である。フレーム18は、配線基板15、下側ハウジング16及び上側ハウジング17を一体的に固定して支持すると共に、ガイド板19を上下動可能に支持するための部材である。フレーム18は、外枠部31と、固定用フランジ部32と、上下動支持用フランジ部33とから構成されている。外枠部31は、下側ハウジング16、上側ハウジング17及びガイド板19の周縁部を囲うように、四角形の枠体状に形成されている。外枠部31は配線基板15に正確に位置決めされて支持されるようになっている。外枠部31の四隅には、固定ネジ35が取り付けられている。この固定ネジ35は、外枠部31の四隅の貫通穴図示せずを介して配線基板15のネジ穴図示せずにねじ込まれて、これら外枠部31と配線基板15とを固定している。上記下側ハウジング16のピン頭部嵌合穴23と、上記上側ハウジング17のピン軸部嵌合穴28と、上記各固定用フランジ部32のピン穴38とは、これらにガイドピン37が通れることで、同一軸心上に設けられている。これにより、ガイドピン37の頭部39が下側ハウジング16のピン頭部嵌合穴23に嵌合し、軸部40が上側ハウジング17のピン軸部嵌合穴28及び固定用フランジ部32のピン穴38に嵌合して、これら下側ハウジング16、上側ハウジング17及びフレーム18の位置決めを行っている。上下動支持用フランジ部33は、ガイド板19を上下動可能にフレーム18の開口内に支持するための部分である。上下動支持用フランジ部33は、四角形の枠体状のフレーム18の開口部の四隅にそれぞれ形成されている。各上下動支持用フランジ部33は、板部42と、ガイドネジ穴43と、スプリング穴44とから構成されている。板部42は、フレーム18の外枠部31の四隅に斜めに架け渡された板材である。板部42には、ガイドネジ穴43とスプリング穴44とが設けられている。ガイドネジ穴43は、ガイドネジ46をねじ込むためのネジ穴である。このガイドネジ穴43は、各板部42の中央図7参照に1つ設けられている。スプリング穴44は、スプリング47を支持するための穴である。このスプリング穴44は、各ガイドネジ穴43の両側に2つずつ設けられている。ガイドネジ46は、ガイド板19のフレーム18の開口内における位置決めをして、かつガイド板19の上下動を許容するためのネジである。ガイド部49は、ガイド板19の上下動を案内する部分である。ガイド部49は、頭部48とネジ棒部50との間に設けられ、ガイド板19のガイド穴59に嵌合して、ガイド板19の上下動を案内する。ガイド部49の長さ高さは、上記頭部48の下面がガイド板19と接触して支持された状態ガイド板19が、スプリング47で押し上げられた状態で、接触子20の上端部が、ガイド板19の挿入孔に受け入れられるように設定されている。ネジ棒部50は、板部42にガイドネジ46を固定するための部分である。ネジ棒部50は、板部42のガイドネジ穴43にねじ込まれて、ガイドネジ46を板部42に固定している。スプリング47は、ガイド板19を弾性的に支持するための部材である。スプリング47は、板部42のスプリング穴44に装着されて、ガイド板19のフランジ部54の裏面に当接されている。これにより、合計8本のスプリング47が、4本のガイドネジ46のガイド部49に上下動可能に支持されたガイド板19を下側から付勢している。これにより、ガイド板19のフランジ部54がガイドネジ46の頭部48の下面に接触するまで上方へ押し上げられて、コンタクト前の待機状態になっている。ガイド板19は、被検査体12を電気的接続装置11に装着する際に、この被検査体12を位置決めして支持すると共に、被検査体12の各バンプ電極13と各接触子20とを整合させるための部材である。ガイド板19は、受入凹部53と、フランジ部54とから構成されている。受入凹部53は、被検査体12を受け入れて支持する部分である。受入凹部53は、ほぼ四角形の皿状に形成されている。受入凹部53の内側底部は、四角形に形成され、その寸法は被検査体12よりも僅かに大きく設定されている。なおここでは、被検査体12が四角形のために、受入凹部53の内側底部も四角形に形成されているが、被検査体12が他の形状の場合は、受入凹部53の内側底部も被検査体12に合わせた形状になる。これにより、被検査体12が受入凹部53の内側底部に装着された状態で、被検査体12の位置決めがなされるようになっている。受入凹部53の底板部55には、多数のガイド穴が設けられている。このガイド穴は、被検査体12の各バンプ電極13を案内して受け入れるための開口である。各ガイド穴は、バンプ電極13よりも僅かに大きく形成され、バンプ電極13を容易に受け入れられるようになっている。即ち、被検査体12が受入凹部53に受け入れられることで、被検査体12の各バンプ電極13が、各ガイド穴にその上側から容易に嵌り込むことができるようになっている。受入凹部53の上側開口53Aの下側には、傾斜面53Bが形成されている。この傾斜面53Bは、被検査体12を案内して受入凹部53の底部に導くための面である。フランジ部54は、受入凹部53の4角の、フレーム18の上下動支持用フランジ部33に対応する位置に形成されている。各フランジ部54には、ガイドネジ46の頭部48が当接するザグリ部58が設けられている。このザグリ部58には、ガイドネジ46のガイド部49に上下動可能に嵌合するガイド穴59が設けられている。これにより、フランジ部54のガイド穴59がガイドネジ46のガイド部49に嵌合して上下動可能にされ、スプリング47でガイド板19が上方へ付勢されている。この状態で、被検査体12を受入凹部53に装着して下方へ押すことで、ガイド板19が押し下げられ、被検査体12のバンプ電極13と、接触子20の上端部が接触して検査が行われるようになっている。接触子20は、一方の電極等ここでは配線基板15のコンタクトパッドと他方の電極等ここでは被検査体12のバンプ電極13にそれぞれ接触して、これらの間を電気的に導通させるための部材である。以下では、最初に接触子20の概略構成を説明し、次いで具体的構成を説明する。まず、接触子20の概略構成を説明する。接触子20は、図5,6に示すように、第1プランジャー62と、2つの第2プランジャー63と、二重コイルスプリング64とから構成されている。第1プランジャー62は、一方の部材としての電極等配線基板15のコンタクトパッドに接触するための板状のプランジャーであり、導電性の材料により切削加工、プレス加工等により、または、フォトリソ技術を用いたメッキ等により製作される。第1プランジャー62は1つ設けられている。第2プランジャー63は、第1プランジャー62と協働して一方の部材配線基板15のコンタクトパッドと他方の部材バンプ電極13との間を電気的に導通させるための板状のプランジャーであり、導電性の材料により切削加工、プレス加工等により、またはフォトリソ技術を用いたメッキ等により製作される。第2プランジャー63は、長プランジャー63A図10参照と、短プランジャー63B図11参照とから構成されている。この長プランジャー63Aと、短プランジャー63Bとの間に、第1プランジャー62が挟まって組み付けられている。二重コイルスプリング64は、これら第1プランジャー62と、長プランジャー63Aと、短プランジャー63Bとを一体的に支持すると共に、長プランジャー63Aと短プランジャー63Bを個別に付勢するための弾性手段である。二重コイルスプリング64は、2つの付勢手段で構成されている。即ち、二重コイルスプリング64は、内側コイルスプリング部64Aと、外側コイルスプリング部64Bとから構成されている。内側コイルスプリング部64Aは、上記長プランジャー63Aと、短プランジャー63Bと、第1プランジャー62とを一体的に支持すると共に、長プランジャー63Aを付勢する。外側コイルスプリング部64Bは、短プランジャー63Bを付勢する。次に、上記第1プランジャー62、2つの第2プランジャー63及び二重コイルスプリング64の具体的な構成を説明する。第1プランジャー62は、図10に示すように、結合部66と、バネ受け部67と、接触片68とから構成されている。結合部66は、第1プランジャー62と2つの第2プランジャー63とが互いに結合される際に直接重ね合わされて、第1プランジャー62と第2プランジャー63とを電気的に接触するための部分である。結合部66は、結合棒部69と、先端挿入部70と、抜け止部71とから構成されている。結合部66は、長い板状に形成され、第2プランジャー63と安定して接触させることができるようになっている。結合棒部69は、後述する内側コイルスプリング部64A図5参照に支持されるための部分である。結合棒部69の幅寸法は、図9に示すように、内側コイルスプリング部64Aの内径とほぼ同じ寸法か僅かに小さく設定されている。即ち、結合棒部69の断面形状の四隅部分が内側コイルスプリング部64Aの内径部に接する状態であり、その内径部が結合棒部69の外接円となって僅かに締め付ける状態に組み付けられる。さらに、長プランジャー63A及び短プランジャー63Bの結合棒部80の寸法も同様に、上記結合棒部69を両側から挟んで、その断面形状の外側の四隅部分が内側コイルスプリング部64Aの内径部に接する状態であり、その内径部が2つの結合棒部80の外接円となって僅かに締め付ける状態に組み付けられる。先端挿入部70は、図10に示すように、組立時に結合棒部69の内側コイルスプリング部64A内への挿入を案内するための部分である。先端挿入部70は、結合棒部69の先端部に形成されている。先端挿入部70は、差し入れる方向に対して、障害にならないように、なだらかに湾曲した傾斜面を有し、内側コイルスプリング部64A内に容易に挿入できるようになっている。さらに、結合部66の厚さ寸法は、組み付けられた時に先端挿入部70が後述する2つの第2プランジャー63の接触片77Aの間に位置して、各突起77Bの間隔を安定させるように設定されている。抜け止部71は、先端挿入部70が内側コイルスプリング部64A内に挿入されたとき、この先端挿入部70が内側コイルスプリング部64Aから抜けないようにするための部分である。抜け止部71は、先端挿入部70の基端部結合棒部69と先端挿入部70の境界部分に設けられている。抜け止部71は、先端挿入部70の基端部を両側に突起させて形成されている。この両側に突起した抜け止部71の幅は、内側コイルスプリング部64Aの端部の密着小径部84図7,8参照の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。バネ受け部67は、二重コイルスプリング64を受けるための部分である。バネ受け部67は、結合部66と接触片68との境界部分に設けられている段差である。結合部66の幅に比べて接触片68は幅を広く形成され、これらの境界の段差部分がバネ受け部67になっている。このバネ受け部67に二重コイルスプリング64の端部が当接することで、この二重コイルスプリング64によって第1プランジャー62が弾性的に支持されるようになっている。接触片68は、一方の部材配線基板15のコンタクトパッドに接触して電気的に接続するための部材である。接触片68は、結合部66の基端側図10の下側に続いて一体的に設けられている。接触片68の先端部は湾曲して形成され、平坦面状の配線基板15のコンタクトパッドに安定して接触するようになっている。接触片68には下側支持肩部73が形成されている。この下側支持肩部73は、下側ハウジング16側に引っかかることで、接触片68が下側ハウジング16から抜け落ちないようになっている。下側支持肩部73が下側ハウジング16側に引っかかった状態で、接触片68の下端部が下方へ突出するようになっている。第2プランジャー63の長プランジャー63Aと短プランジャー63Bは、ほぼ同様の構成になっている。具体的には、バネ受け部76の位置と接触片77A,77Dの幅図11,12参照が異なっており、これ以外の構成は長プランジャー63Aと短プランジャー63Bとで同様である。このため、以下では、長プランジャー63Aを中心に説明し、短プランジャー63Bについては、長プランジャー63Aと同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。長プランジャー63A及び短プランジャー63Bは、第1プランジャー62を挟んで組み付けられている。これら長プランジャー63A及び短プランジャー63Bの各結合部75が対向する状態で、第1プランジャー62の結合部66図5,6,10参照を挟み込んでいる。これにより、1つの第1プランジャー62と、第2プランジャー63の長プランジャー63A及び短プランジャー63Bとが電気的に接続して導通された状態で、各プランジャー62,63がコンタクトパッドとバンプ電極13にそれぞれ接触して、これらの間を電気的に導通させる。長プランジャー63A及び短プランジャー63Bは、上記第1プランジャー62を挟んだ状態で互いに独立してスライドするようになっている。これは、接触する部材バンプ電極13がずれていたり図13参照、形状が不均一であったりする場合等において、その形状に追従して電気的接触を確実に行うようにするためである。長プランジャー63Aと短プランジャー63Bとは、上述のようにほぼ同様の形状になっているため、長プランジャー63Aを中心に説明して、短プランジャー63Bは、長プランジャー63Aとの相違点のみを説明する。長プランジャー63Aは、図11に示すように、結合部75と、バネ受け部76と、接触片77Aとから構成されている。結合部75は、長い板状に形成され、結合棒部80と、先端挿入部81と、抜け止部82とから一体的に構成されている。さらに、結合部75は、第1プランジャー62の結合部66と、長プランジャー63Aの結合部75とが短プランジャー63Bの結合部75と共に重ね合わされて、これら第1プランジャー62と長プランジャー63A及び短プランジャー63Bとを電気的に接触するための部分である。結合棒部80は、第1プランジャー62の結合部66と重なり合わさって内側コイルスプリング部64Aに支持されるための部分である。結合棒部80の断面寸法幅、厚さ寸法は、2つの結合棒部80そのうちの1つは短プランジャー63Bの結合棒部80が第1プランジャー62の結合棒部69を両側から挟んだ状態で、1つの結合棒部69とそれを挟む2つの結合棒部80の断面形状が、内側コイルスプリング部64Aの密着小径部84の内径部に接する状態の寸法とされている。即ち、内側コイルスプリング部64Aの密着小径部84の内径が結合棒部80,69,80が結合された断面形状の外接円となる寸法に設定され僅かに締め付ける状態に組み付けられている。接触片77Aは、他方の部材バンプ電極13に接触して電気的に接続するための部材である。接触片77Aは、結合部75の基端側図11の上端側に続いて一体的に設けられている。接触片77Aは、ほぼ長方形板状部に形成されている。接触片77Aには、上側支持肩部79が形成されている。この上側支持肩部79は、上側ハウジング17に引っかかって、接触片77Aが抜け出ないようになっている。上側支持肩部79が上側ハウジング17に引っかかった状態で、接触片77Aの上端部が上側ハウジング17から上方へ突出するようになっている。接触片77Aの幅は、内側コイルスプリング部64Aの外径よりも大きく、外側コイルスプリング部64Bの内径よりも小さく設定されている。これにより、接触片77Aは、外側コイルスプリング部64B内に挿入されて、この接触片77Aのバネ受け部76が、内側コイルスプリング部64Aの端部に当接して支持されるようになっている。各接触片77Aの上端部は、2つの突起状に形成されている。即ち、接触片77Aの上端部の中央がV字状に窪ませて形成され、その両側に2つの突起77Bが形成されている。さらに、突起77Bには、テーパ面77C図7,8参照が形成されている。これにより、2つの突起77Bは、2つの切っ先状に形成されている。長プランジャー63Aの2つのテーパ面77Cと、短プランジャー63Bの2つのテーパ面77Cとが作る空間は、バンプ電極13の頂部を受け入れる空間として働く。これにより、半球状のバンプ電極13と、長プランジャー63A及び短プランジャー63Bとの接触時に、バンプ電極13の頂部は、上記空間に受け入れられ長プランジャー63A及び短プランジャー63Bの先端面に接触して押しつぶされることが防止される。このテーパ面77Cは、長プランジャー63A及び短プランジャー63Bが第1プランジャー62を挟んで向き合ったときに、上方へ向けて互いに開く方向に配設される図10参照。これにより、上方へ向けて互いに開く方向に配設された2つずつの突起77Bが、バンプ電極13に確実に接触して、4つの接触点でバンプ電極13にそれぞれ刺さって、又はテーパ面77Cがバンプ電極13に圧接して、電気的に確実に接触するようになっている。さらに、テーパ面77Cは、以下の機能を発揮するようになっている。2つずつの突起77Bがバンプ電極13に接触しようとすると、突起77Bはバンプ電極13の球面上を滑って、互いに相離れる方向へ移動する力押し開く力が働く。その力は結合部75、特に先端挿入部81を、第1プランジャー62に押しつける力として作用する。このとき、各突起77Bがバンプ電極13に押しつけられることで、長プランジャー63A及び短プランジャー63Bは下方にずれる。これにより、第1プランジャー62と長プランジャー63A及び短プランジャー63Bとは、互いに結合部66、75において相対的に押し付けられながら擦れて滑り、確実に接触するようになっている。短プランジャー63Bは、図12に示すように、結合部75と、バネ受け部76と、接触片77Dとから構成されている。結合部75は、第1プランジャー62の結合部66と、長プランジャー63Aの結合部75及び短プランジャー63Bの結合部75とが重ね合わされて、これら第1プランジャー62と長プランジャー63A及び短プランジャー63Bとを電気的に接触するための部分である。結合部75は、長い板状に形成され、第1プランジャー62の結合部66と接触させるようになっている。結合部75は、結合棒部80と、先端挿入部81と、抜け止部82とから構成されている。これら結合棒部80、先端挿入部81及び抜け止部82は、長プランジャー63Aも同様に構成されている。そして、短プランジャー63Bは、バネ受け部76の位置と接触片77Dの幅が長プランジャー63Aと異なっている。即ち、接触片77Dが長プランジャー63Aの接触片77Aよりも、縦方向の寸法が短くなるように、バネ受け部76が突起77Bよりの位置に設けられている。これにより、長プランジャー63Aと異なる位置で、外側コイルスプリング部64Bによって支持される。バネ受け部76は、外側コイルスプリング部64Bを受けるための部分である。バネ受け部76は、結合部75と接触片77Dとの境界部分に設けられた段差である。結合部75の幅に比べて接触片77Dは幅を広く形成され、これらの境界の段差部分がバネ受け部76になっている。このバネ受け部76に外側コイルスプリング部64Bの端部が当接することで、外側コイルスプリング部64Bによって短プランジャー63Bが弾性的に支持されるようになっている。このとき、長プランジャー63Aの接触片77Aは、外側コイルスプリング部64Bの内径よりも小さく設定されているため、外側コイルスプリング部64Bには係止せずにその内部に挿入されて、内側コイルスプリング部64Aの端部の密着小径部84が当接する。さらに、接触片77Dの幅は、外側コイルスプリング部64Bの外径よりも大きく設定されている。これにより、バネ受け部76は、外側コイルスプリング部64Bの端部に当接して、短プランジャー63Bが外側コイルスプリング部64Bに支持されるようになっている。これにより、長プランジャー63Aが外側コイルスプリング部64Bの内部に挿入されて内側コイルスプリング部64Aで弾性的に支持された状態で、短プランジャー63Bが外側コイルスプリング部64Bによって弾性的に支持されるようになっている。短プランジャー63Bの他の構成は長プランジャー63Aと同様である。二重コイルスプリング64の内側コイルスプリング部64Aは、図5~9に示すように、上記第1プランジャー62及び第2プランジャー63の長プランジャー63A及び短プランジャー63Bの結合棒部69、80の外周を覆い、かつ第1プランジャー62の各バネ受け部67と、長プランジャー63A及び短プランジャー63Bのバネ受け部76とにそれぞれ当接して、第1プランジャー62と第2プランジャー63とを弾性的に支持しかつ上記第1プランジャー62と第2プランジャー63との間を電気的に導通させるための部材である。内側コイルスプリング部64Aは、その全長に亘って同一外径のほぼ円筒状に形成されている。内側コイルスプリング部64Aの内径は、第1プランジャー62の結合棒部69と、それを挟み込む2つの第2プランジャー63長プランジャー63A及び短プランジャー63Bの結合棒部80の作る断面形状に外接する外接円の径よりも僅かに小さく設定されている。なお、内側コイルスプリング部64Aは、その中間部を大径に端部を小径にして樽型にしてもよい。即ち、第1プランジャーのバネ受け部67と長プランジャーのバネ受け部76が、内側コイルスプリング部64Aと当接し端部を受け止めるため、端部に小径部密着小径部84を、中間部に大径部を設ける構造にしてもよい。具体的には、内側コイルスプリング部64Aの両端部付近を小径にして、第1プランジャー62の結合棒部69と2つの第2プランジャー63の結合棒部80とを支持する小径部と、中間部を上記小径部より大径にしそれぞれのプランジャーを支持しない大径部とを設ける構造である。また、上記の他に、小径部を端部以外に設ける構造や、小径部と大径部を交互に複数箇所設ける構造にしてもよい。これにより、1つの第1のプランジャー62と2つの第2のプランジャー63長プランジャー63A及び短プランジャー63Bとが、互いに重ね合わされて、内側コイルスプリング部64Aの小径部により一体的に支持されて、互いにスライド可能に組み立てられている。外側コイルスプリング部64Bは、図5~9に示すように、その全長に亘って外径が同一のほぼ円筒状に形成されている。外側コイルスプリング部64Bの内径は、内側コイルスプリング部64Aの外径よりも大きく形成されている。即ち、外側コイルスプリング部64Bが大寸法に、内側コイルスプリング部64Aが小寸法に形成されて、外側コイルスプリング部64Bの内径が小寸法の内側コイルスプリング部64Aの外径よりも大きく形成されている。これにより、外側コイルスプリング部64Bと内側コイルスプリング部64Aとが組み付けられたとき、互いに接触しないようになっている。なお、内側コイルスプリング部64Aと外側コイルスプリング部64Bとの間に、円筒状のスペーサやリング状のスペーサを設けてもよい。これによっても互いの接触を防ぐことができる。さらに、外側コイルスプリング部64Bは、内側コイルスプリング部64Aより長く形成されている。これにより、長プランジャー63Aが外側コイルスプリング部64B内に挿入されて、長プランジャー63Aのバネ受け部76が内側コイルスプリング部64Aの当接し、短プランジャー63Bのバネ受け部76が外側コイルスプリング部64Bに当接する。これにより、長プランジャー63A及び短プランジャー63Bが、内側コイルスプリング部64A及び外側コイルスプリング部64Bに個別に付勢されて支持されている。以上のように構成された接触子20は、電気的接続装置11の下側ハウジング16と上側ハウジング17とで支持された状態で、装着される。被検査体12を電気的接続装置11に装着して押圧すると、被検査体12の複数のバンプ電極13が接触子20の突起77B及びテーパ面77Cに接触する。これにより、長プランジャー63A及び短プランジャー63Bが押し縮められて、被検査体12の複数のバンプ電極13と、配線基板15の上面のコンタクトパッドとが電気的に接続される。このとき、図13に示すように、各突起77Bとバンプ電極13とがずれた状態で接触すると、長プランジャー63Aの突起77Bと短プランジャー63Bの各突起77Bが、上下にずれた状態で電極13に接触することになる。この場合、長プランジャー63Aと短プランジャー63Bがバンプ電極13に対して上下にずれて接触しても、内側コイルスプリング部64A及び外側コイルスプリング部64Bが長プランジャー63A及び短プランジャー63Bを個別に付勢しているため、安定して各突起77B及びテーパ面77Cをバンプ電極13に接触させることができ、検査精度を向上させることができる。変形例上記実施形態では、第1プランジャー62を1つ、第2プランジャー63を2つ設けた例を説明したが、第1プランジャー62を2以上、第2プランジャー63を第1プランジャー62よりも1つ多い3以上設けてもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。また、一方の第1プランジャー62及び他方の第2プランジャー63を2つ以上設けると共に、直径の異なる付勢手段としてのコイルスプリングを同軸上に2つ以上重ねて設けて、各コイルスプリングの一方の端部が上記一方の各第1プランジャー62を個別に付勢すると共に、上記各コイルスプリングの他方の端部が上記他方の各第2プランジャー63を個別に付勢するようにしてもよい。これらは、独立した複数の部材として構成してもよく、これらの下端部第1プランジャー62のバネ受け部67に当接する側の端部を互いに一体的に取り付けてもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。上記実施形態では、二重コイルスプリング64をほぼ円筒状に形成したが、多角形筒状に形成してもよい。例えば、三角形筒状、四角形筒状又は五角形以上の多角形筒状に形成してもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。"