液剤塗布装置のカバー上部にHEPAフィルターを設けダウンブローしている。液剤供給部と接合されている塗布関連ヘッド部が保持支柱に取り付けられている。塗布関連ヘッド部の下方には水平方向に移動可能なX-Yテーブル部があり、このテーブル部の上には塗布部材が載置されている。液剤塗布時においては、塗布関連ヘッド部と塗布部材との隙間を最適に保ち、液剤塗布可能とするために、塗布関連ヘッド部が取り付けられている保持支柱を上下動させ液剤塗布をする。この塗布関連ヘッド部の上下駆動部や、X-Y位置決めテーブル部の駆動部や摺動部が、塗布面より下方に位置するように構成したことを特徴とする液剤塗布装置。前記塗布関連ヘッド部には、液剤塗布ヘッドの塗布ノズル先端と塗布面との隙間を検出するユニットや、液剤塗布状態を検出するユニットを搭載可能としたことを特徴とする請求項1記載の液剤塗布装置。半導体分野や医療分野の装置を見ると、カバー上部にはHEPAフィルターが取り付いているその下方には、薬液の注入ヘッドや半導体部品装着においてもHEPAフィルターの下方にヘッドを上下動させる駆動ユニットや摺動部がトレイや回路基板の上を移動している。このためクリーン度が低下したエアーが塗布部材上にダウンブローされていることになる。塗布装置のベースプレート近辺より、ダウンブローされたエアーは排出されるようにする。このように、理想的には塗布面より上方に駆動部や摺動部がなく、クリーンエアーがダウンブローされる構成が好ましい。液剤塗布装置において、液剤塗布関連ヘッド部は、当然液剤塗布部材の上方に位置することになる。また液剤塗布部材を塗布位置に位置決めするため、X-Yテーブル上に塗布部材を載置している。これら装置内駆動部のX-Yテーブル部を含め、塗布関連ヘッド部を上下動させる駆動部や摺動部を、塗布部材の塗布面より下方に位置するように構成させるため、塗布関連ヘッド部を取り付けている保持支柱を、塗布面より下方で上下動させるようにしたものである。本発明によれば、装置カバー上部に取り付けているHEPAフィルターからのクリーンなエアーをダウンブローさせ、塗布部材の塗布面までは装置内における駆動部や摺動部は塗布面より下方に位置させる構成とすることにより、クリーン度の高い状態で液剤塗布が可能となる。次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1において本発明の全体構成をあらわしたものである。塗布装置1の前後には、塗布部材2を搬出入するためのクリーントンネルやクリーンストッカー等、詳細に図示していないが供給部3から排出部4に取り出されていく。5は塗布装置1の制御部である。塗布装置1は、上部にクリーンフィルターであるHEPAフィルター6が、装置カバー上部7に取り付けられクリーンエアーがダウンブローされている。その下方には液剤タンク8と結合されている液剤塗布ヘッド9が、ヘッド取り付けプレート11に取り付けられている。10は液剤供給チューブである。12は塗布面高さ検出センサーであり、ブラケット13に取り付けられ、ヘッド取り付けプレート11に固定されている。ヘッド取り付けプレート11は保持支柱14に取り付けられ、保持支柱昇降駆動部15により液剤塗布ヘッド9を上下動させる。本発明の例では、トレイ供給の塗布部材2の部品に対して塗布面の高さを塗布面高さ検出センサー12で検出し、それに対応した塗布ノズル16の高さが維持できるようにして液剤を塗布する。17のポジションはメンテナンス用のポジションである。駆動は図示していないが、シリンダーとかボールネジ等で駆動させることにより、装置の前面方向でメンテナンスを容易にさせるためのものである。保持支柱14は軽量かつ剛性の高い炭素繊維等で軽量化をすればよい。保持支柱昇降駆動部15については図2で説明する。塗布装置1の本体ベースプレート18またその近傍には、HEPAフィルター6の風量に対してクリーンエアーが最適な方向に流れ排出できるように排気口19を設ける。また本体ベースプレート18上には、塗布部材2を水平方向の任意の位置に位置決めを行うX-Yテーブル部20があり、塗布部材2を載置している。X-Yテーブル部20は、Y軸フレーム21とY軸モータ22およびY軸ボールネジ23でY方向の位置決めをし、X方向駆動は、X軸フレーム24とX軸モーター25およびX軸ボールネジ26によりX方向の位置決めを行うことにより、塗布部材2に対して水平方向の位置決めを行っている。図2は塗布装置1の右側面概略図である。カバー上部にはHEPAフィルター6があり、その下方には液剤塗布ヘッド9がヘッド取り付けプレート11に固定され、保持支柱14に取り付けられている。その下方にはX-Yテーブル部20が本体ベースプレート18上に取り付けられ、X-Yテーブル部20には塗布部材2が載置されている。保持支柱昇降駆動部15は、リニアガイド27がブラケット28に取り付けられ上下の案内をし、上下駆動はブラケット29に取り付けられたZ軸モータ30とZ軸ボールネジ31により駆動される。保持支柱昇降駆動部15は、前後2箇所に構成することにより上下の駆動をスムースに動作可能とし、Z軸モータ30に対しては同期制御方式で上下動に対する安定性を保たせている。32はZ軸ボールネジ31のナットホルダーであり、保持支柱14に取り付けられている。以上の様に塗布部材2の塗布面H-Hより下方に、X軸駆動部33、Y軸駆動部34および保持支柱昇降駆動部15の駆動部と摺動部は位置する構成とし、HEPAフィルター6のダウンブローするクリーンエアーのクリーン度をできるだけ高く維持できるような構成としている。図3は、保持支柱14を上下させるための別の駆動構成を図である。カムを用いた上下駆動方式で装置前後に一対の構成としている。リニアガイド27がブラケット28に取り付けられ、上下動させる板カム36を回転駆動させるZ軸モーター30はブラケット37に取り付けられている。板カム36に対応するカムフォロアー35は、保持支柱14に取り付けられ、前後のモータを同期制御させることにより上下駆動させている。図4は、一つの昇降駆動部で上下動させるようにしたものである。塗布装置1の上部にはHEPAフィルター6があり、下方には液剤塗布ヘッド9がヘッド取り付けプレート11に取り付けられている。その下方には塗布部材2を搭載したX-Yテーブル部20が本体ベースプレート18上に取り付けられている。ヘッド取り付けプレート11を取り付けている一体型の矩形保持ブロック38は、本体ベースプレート18を挟むように構成しており、矩形保持ブロック38の下部の中央部にはカムフォロアー39を取り付け、このカムフォロアー39に対応する位置で、液剤塗布ヘッド9を上下動させる板カム40がモータ41により上下駆動される。図5は、ヘッド取り付けプレートを、X-Yテーブルをまたいだ門型でなく、片方から上下駆動可能な構造としたものである。装置上部にはHEPAフィルター6があり、その下方には液剤塗布ヘッド9があり、その下方には塗布部材2を搭載したX-Yテーブル部20が本体ベースプレート18上に取り付けられている。この本体ベースプレート18上にはヘッド取り付けプレート11を保持するスタンドフレーム42が、リニアガイド27により上下方向に摺動可能な様にブラケット28に取り付けられている。上下の駆動はブラケット43に取り付けられたモーター30とボールネジ31により駆動される。ボールネジナット44は、スタンドフレーム42に取り付けられている。