"骨格中に金属元素を含む熱硬化性樹脂から形成され、かつ、表面に複数の微細突起を有する微細凹凸部材を備え、前記微細凹凸部材の表面から内部にかけて、前記金属元素の密度が減少することを特徴とする微細構造体。前記熱硬化性樹脂は、熱硬化性シリコーンポリマーであり、前記微細凹凸部材は、表面から内部にかけてケイ素の密度が減少することを特徴とする請求項1に記載の微細構造体。前記微細突起の断面形状は、頂部から根元にかけてに徐々に断面幅が拡大する形状であり、隣接する前記微細突起同士の頂部間距離Pが380nm以下であり、前記微細突起の頂部間距離Pに対する、頂点から根元までの高さHは、H/P≧1であることを特徴とする請求項1又は2に記載の微細構造体。前記微細突起の表面に撥水層をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の微細構造体。前記撥水層が金属アルコキシド基を有する撥水剤から形成されることを特徴とする請求項4に記載の微細構造体。請求項1乃至3のいずれか一項に記載の微細構造体の製造方法であって、骨格中に金属元素を含む熱硬化性樹脂を凹凸成形型内で熱硬化させ、微細凹凸部材を形成する工程と、前記微細凹凸部材を凹凸成形型から離型させた後に、前記微細凹凸部材の表面を酸化処理する工程と、を有することを特徴とする微細構造体の製造方法。前記酸化処理は、真空紫外線照射処理又は放電処理であることを特徴とする請求項6に記載の微細構造体の製造方法。基板と、前記基板の少なくとも一方の主表面に設けられる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の微細構造体と、を備えることを特徴とする反射防止部品。基板と、前記基板の少なくとも一方の主表面に設けられる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の微細構造体と、を備えることを特徴とする撥水性部品。しかしながら、特許文献1に記載の微細構造体では、例えば車両のウインドウパネルなど各種環境条件に曝される部位に用いられた場合、降雨等による表面汚れを除去するために布拭き取りを行うと、微細構造が容易に摩耗及び損傷してしまう。そのため、短期間のうちに撥水性が損なわれてしまうという問題があった。また、特許文献1に記載の微細構造体では、材料として有機-無機ハイブリッド材料を用いている。そして、有機-無機ハイブリッド材料の硬化時の反応としては、有機部分の重合のみが起こり、無機部分同士が積極的に結合しない。そのため、有機-無機ハイブリッド材料の硬さは有機材料に近いことから、微細構造の耐摩耗性が不十分であり、容易に摩耗してしまうという問題があった。本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものである。そして、その目的は、雨の衝突、汚れの布拭き取り及びワイパーの摺動等、外部からの摩擦によって微細構造が摩耗及び損傷し難い耐摩耗性微細構造体及びその製造方法を提供することにある。本発明の微細構造体は、骨格中に金属元素を含む熱硬化性樹脂から形成され、かつ、表面に複数の微細突起を有する微細凹凸部材を備える。そして、微細凹凸部材の表面から内部にかけて、金属元素の密度が減少する。本発明の微細構造体の製造方法は、骨格中に金属元素を含む熱硬化性樹脂を凹凸成形型内で熱硬化させ、微細凹凸部材を形成する工程と、微細凹凸部材を凹凸成形型から離型させた後に、微細凹凸部材の表面を酸化処理する工程とを有する。本発明の微細構造体は、表面付近の金属元素密度が高いことから、表面近傍では非常に強固な無機薄膜が形成されている。そのため、外部からの摩擦によって微細突起が摩耗することが抑制される。さらに、微細構造体の内部は、金属元素密度が低く、主として有機材料から形成されているため、微細突起における圧縮方向の入力に対しても弾性的に変形することができ、微細突起の破損を抑制することができる。また、本発明の微細構造体の製造方法は、このような微細構造体を安価で容易に形成することができる。以下、図面を用いて本発明の耐摩耗性微細構造体及びその製造方法を詳細に説明する。なお、図面の寸法比率は説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。[微細構造体の形状]図1では、本発明の実施形態に係る微細構造体1を示す。微細構造体1は、図1aに示すように、基部10と、基部10に設けられると共に、二次元的に連続する複数個の微細突起11と有する微細凹凸部材2を備える。そして、図1bに示すように、複数個の微細突起11は二次元的に連なって配置されており、これらの連続した配置方向x,yが約90 ゚をなしている。しかし、このような直交配置に限定されるものではなく、配置方向が約60 ゚をなすいわゆる最密配置を採ることも可能である。そして、微細構造体の微細突起の形状は、一般的なモスアイMoth-eye構造の効果やハスの葉と同等の効果を示すものであれば良い。つまり、微細突起11の頂部11aから根元部11bにかけて徐々に断面幅が拡大する形状であれば良い。具体的には、円錐台や角錐台等の錐台状、さらに円錐や角錐等の錐体状が好適に用いられる。また、微細突起11の形状としては、釣り鐘形や椎の実形等の変形円錐体状、曲面から成る側面を有する変形角錐体状、先端部を丸めた形状、中心線から傾斜した形状等、様々な形状を用いることができる。ちなみに、図1に示す微細構造体1は、微細突起11を錐台状に形成したものである。また、図2には、本実施形態に係る微細構造体の微細突起11が取り得る断面形状の例を示す。微細突起11の底面の形状としては多角形や略円形状が好適に用いられるが、その他に星形状や楕円形状等、様々な形状を用いることができる。なお、本実施形態の微細構造体は、図3に示すように、微細突起11が所定のピッチで二次元的に配列されている限り、微細突起11の間に凹部12を備えたものであっても差し支えない。なお、本明細書において微細突起11の底面とは、図3aに示すように、各凹部12の底13を通る面Aを仮定した場合、面Aのうち微細突起11の周りを囲む凹部12の底13で区画される領域をいう。また、図3bに示すように、微細突起11の根元部11bが曲面を有するような実施形態においても同様に定義することができる。つまり、微細突起11の根元部11bの間の底15を通る面Aを仮定した場合、面Aのうち微細突起11の周りを囲む根元部11bの間の底15で区画される領域を、微細突起11の底面と定める。ここで、各微細突起11の頂部間距離Pは、50μm以下であることが好ましい。互いに隣接する微細突起11の頂部間距離Pがこの範囲外であっても、本発明の効果を発揮することができる。しかし、頂部間距離Pが50μmを超えると、その微細構造体を用いた各種ウインドウパネルでは撥水機能が有効に発揮され難くなる。つまり、霧雨の水滴は50μm程度であるため、水滴が微細突起の間隙に侵入してしまい、微細構造体の表面から水滴が移動し難くなる。しかし、後述するように、微細突起11を撥水材料で処理した場合には、頂部間距離Pが50μmを超えた場合でも高い撥水性を示す。なお、頂部間距離Pとは、突起11が錐台形状の場合、頂部11aが円形のときには円の中心間の距離とし、頂部11aが多角形のときには外接円の中心間の距離とする。また、突起11が錐体形状の場合は、頂点間の距離とする。なお、微細構造体1に反射防止機能を付与し、透明材料として用いる場合には、微細突起11の頂部間距離が380nm以下であることが好ましい。つまり、微細突起11の頂部間距離は可視光線の波長380~750nm以下であることが好ましい。頂部間距離が380nmを超えると可視光の一部が微細突起11によって拡散や回折するため、光の反射率が大きくなる場合がある。なお、微細突起11の頂部間距離が150nm以下であることがより好ましい。頂部間距離が150nm以下であれば人間の爪の平均的な表面粗さ以下となるため、その微細構造体を用いた各種ウインドウパネルでは爪引っ掻きに対する耐擦傷性が向上する。また、後述するように、微細構造体の表面に微細突起11を形成することにより表面積を増加し、さらに隣接する微細突起11の間に空気をトラップする空隙を形成した場合には、高い撥水性が発揮される。このことから、微細突起11の頂部間距離は50nm以下であることが好ましい。また、微細突起11の頂部間距離Pに対する、頂点から根元までの高さHは、H/P≧1であることが好ましい。この範囲であれば、水滴と微細構造体の隙間に空気が存在するCassie状態となるため、微細構造体の表面に水が極めて付着しにくい超撥水となる。また、微細突起11の高さHは100nm以上であることが好ましい。微細突起11の高さHがこの範囲外であっても、本発明の効果を発揮することができる。しかし、微細突起11の高さHが100nm未満であると反射防止効果が低下する虞がある。また、微細突起11の高さHが低すぎる場合、微細突起11間に空気を閉じ込めることが難しくなり、撥水性が低下する可能性がある。一方、微細突起11の高さが大きすぎると折損しやすくなると共に成形性も低下する可能性があることから、600nm以下とすることが望ましい。ただ、微細突起11の表面に撥水処理等をした場合には、高さHが100nm未満の場合でも高い撥水性を示す。なお、微細突起11の高さとは、微細突起11の底根元15から突起の先端頂点までの、面Aに垂直な方向の距離をいう。また、図3aの符号Hで示すように、微細突起11間に凹部12が存在する場合には、凹部12の底最深部13から突起の先端までの、面Aに垂直な方向の距離を意味する。微細構造体1において、微細突起11が錐体状や錐台状を成し、380nm以下の頂部間距離で二次元的に配置されている場合、表面の微細な凹凸が可視光によって認識できない大きさとなる。そのため、光の干渉による発色がなくなり、透明材料として用いることができる。また、反射防止効果により景色の映り込みを減らすことができるので、車両や船舶、航空機等のウインドウパネルに好適に用いることができる。更に、微細突起11間の間隙部が細長くなり、水滴衝突による水の浸入が抑制されるので、材料の選択によっては、雨等の水滴が全く付着しないほどの超撥水性を示す。なお、本実施形態の微細構造体における微細突起11の大きさは、上述のようにナノメートルオーダーである。そのため、微細突起11の形状やピッチは、製造上の制約から、完全な幾何学的形状ではなく、ある程度ばらつきが発生してしまう。しかし、たとえ微細突起の形状やピッチにばらつきが発生したとしても、本発明の技術的範囲は何ら限定されるものではない。[微細構造体の材料]本実施形態の微細構造体1は、骨格中に金属元素を含む熱硬化性樹脂から形成される微細凹凸部材2を備える。そして、微細凹凸部材2は、表面から内部かけて、金属密度が減少している。つまり、本実施形態の微細構造体1では、微細凹凸部材2の最表面、具体的には微細突起11の表面で金属密度が最も高く、微細凹凸部材2の表面から内部に行くに従って、金属密度が連続的に減少している。微細構造体1の微細凹凸部材2をこのような有機-無機ハイブリッド材料で形成することにより、金属元素の密度が高い表面ほど弾性率が高く硬い構造となる。そのため、微細構造体1の耐久性を向上させることができる。より詳細に説明すると、微細凹凸部材2の最表面、つまり微細突起11の表面では、当該金属元素の無機材料が主成分となる。その結果、微細突起11の表面の硬度が上昇し、微細突起11の耐摩耗性が向上する。さらに、微細凹凸部材2の内部では、当該金属元素の有機材料金属元素の熱硬化性樹脂が主成分となるため、表面に比べ硬度が低く、柔軟性を有している。その結果、微細突起11に荷重が集中したとしても微細凹凸部材2の内部が変形し、微細突起11に掛かる荷重が分散されるため、微細突起11が押し潰されるのを防止することができる。微細凹凸部材2を構成する熱硬化性樹脂としては、樹脂の骨格に金属元素を含有するものであれば良い。また、熱硬化性樹脂としては、後述する予備硬化により、微細突起11を形成できるものであれば良い。そして、樹脂の骨格に含有される金属元素としては、例えばケイ素Si,アルミニウムAl,ジルコニウムZr,チタンTi及びゲルマニウムGeを挙げることができる。特に、微細凹凸部材2は、金属元素としてケイ素を用い、シリコーンポリマーを主成分とすることがことが好ましい。微細凹凸部材2の材料としてシリコーンポリマーを用いることにより、後述するように、表面を容易に無機化することが可能となる。また、熱硬化性シリコーンポリマーは、微細突起に対応した成形型に流入可能な流動性を有し、且つ、成形型からの離型性に優れる性質を有するため、特に好ましい。なお、本明細書において、主成分とは含有量が50重量パーセント以上の成分のことをいう。本実施形態で使用できる熱硬化性シリコーンポリマーとしては、市販の縮合型及び付加型のいずれであっても良い。つまり、熱硬化性シリコーンポリマーとしては、加熱による脱水縮合反応や、紫外線及び電子線による重合反応により、三次元架橋構造を取るものを用いることができる。また、必要に応じて、無機充填剤を添加しても良く、他の熱硬化性樹脂などと共重合体を形成していても良い。例えばシリコーンポリマーとポリメチルメタクリレートPMMAの共重合体を、微細凹凸部材の構成材料としても良い。本実施形態の微細構造体の弾性率は、10GPa~50GPaであることが好ましく、20Gpa~40Gpaであることがより好ましい。弾性率がこの範囲であることにより、微細突起の先端に水平方向の応力が加わったとしても、微細構造体全体で応力を緩和することから、耐久性が向上する。なお、本明細書における弾性率は、ナノインデンテーション法により測定したものを採用する。具体的には、本実施形態の微細構造体と同じ条件で平滑面を有する試験片を作成し、その平滑面の表面に正三角錐形バーコビッチ型の圧子を100nm押し込んだときの値から求めたものを本明細書の弾性率とする。本実施形態の微細構造体1の効果について、さらに詳細に説明する。上述のように、本実施形態の微細構造体1における微細凹凸部材2は、表面から内部にかけて、金属元素の密度が減少することを特徴とする。そのため、金属元素の密度、つまり金属元素の含有量により、微細凹凸部材2は大きく3つの層に分けることができる。具体的には図4に示すように、微細凹凸部材2は、表層31、中間層32及び内層33に分けることができる。そして、表層31、中間層32及び内層33における金属元素の含有量は、表層31が最も多く、逆に内層33が最も少ない。そのため、表層31は金属元素に由来する無機材料的性質を有し、内層33は原材料の金属元素含有ポリマーに由来する有機材料的性質を有する。その結果、表層31の弾性率をE1、中間層32の弾性率をE2、内層33の弾性率をE3とするとき、E1>E2>E3の関係を有する。このような関係を有することによって、微細突起11の破壊、すなわち摩耗及び損傷を抑制することができる。つまり、布拭き取り等の外部入力は、表層31の表面にほぼ沿ったせん断方向の入力と、表面にほぼ垂直な圧縮方向の入力とに大きく分けられる。このうち、せん断方向の入力に対しては、表層31が中間層32よりも高い弾性率E1を有することで摩耗し難くなり、さらに中間層32へ伝播するせん断入力を緩和し、分散する。また、中間層32が表層31よりも低い弾性率E2を有することで、微細突起11へのせん断入力を柔軟に緩和する。一方、圧縮方向の入力に対しては、中間層32よりも低い弾性率E3を有する内層33がこの入力を主に受けて弾性的に変形することで、微細突起11の破壊を抑制する。微細突起に対する圧縮方向及びせん断方向の入力の影響について、さらに詳細に説明する。図5のa~cでは、仮に表層31が存在しない場合の微細構造体を示している。さらに図5bでは、仮に内層33の弾性率E3と中間層32の弾性率E2の関係がE3>E2となっている場合の微細構造体を示し、図5cでは、内層33の弾性率E3と中間層32の弾性率E2の関係がE2>E3となっている場合の微細構造体を示す。この状態で図5bに示すように圧縮方向の荷重Wが掛かった場合、内層33の弾性率E3は中間層32の弾性率E2より大きいことから、中間層32が主として変形し、内層33が変形し難い状態となる。そのため、微細突起11に荷重Wが集中し、微細突起11が押し潰されてしまう符号B参照。しかし、図5cに示すように、内層33の弾性率E3が中間層32の弾性率E2より小さい場合には、中間層32だけでなく内層33も変形し、微細突起11に掛かる荷重Wが分散される。その結果、微細突起11が押し潰されるのを防止することができる。ただ、微細構造体に表層31が存在しない場合には、特に中間層32がせん断方向の連続入力に対して先端から摩耗しやすい。しかし、本実施形態の微細構造体では、弾性率が高く硬直な表層31が存在しているため、耐摩耗性が向上している。ただ、たとえ硬直な表層31が存在していたとしても、内層33の弾性率E3が中間層32の弾性率E2より大きい場合、または内層33が存在しない場合には、図5dに示すように、微細突起11が折れやすくなる。つまり、表層31の表面が剛直であるため、せん断方向水平方向の入力に対し、微細突起11の稜線の一部Cにモーメントが集中し、折れやすくなってしまう。また、荷重Wが表層の表面に均一に接地した状態で摺動した場合には、表層の表面が硬いため摩耗し難いが、不均一に接地した状態で摺動すると、局部的に入力が大きくなり、微細突起11が表層31の脆性により折れてしまう。しかし、上述のように、内層33の弾性率E3が中間層32の弾性率E2より小さい場合には、内層33が変形し、微細突起11に掛かる荷重Wが分散される。その結果、微細突起11へのモーメントの集中を防止し、微細突起11を折れ難くすることができる。以上のように、微細構造体1の微細凹凸部材2における表層31、中間層32及び内層33が布拭き取り等の外部入力に対する機能を分担し合うことができるため、微細突起11の破壊を抑制することができる。なお、上述のように、微細構造体1の微細凹凸部材2としては、骨格に金属元素を含有する熱硬化性樹脂を用いることが好ましい。しかし、後述する予備硬化により微細突起11を形成できるものであれば、骨格に金属元素を含有する光硬化性樹脂や電子線硬化性樹脂を用いることも可能である。[微細構造体の製造方法]次に、本実施形態の微細構造体の製造方法について説明する。本製造方法は、骨格中に金属元素を含む熱硬化性樹脂を凹凸成形型内で熱硬化させ、微細凹凸部材を形成する工程と、微細凹凸部材を凹凸成形型から離型させた後に、微細凹凸部材の表面を酸化処理する工程とを有する。つまり、本実施形態の微細構造体における微細突起は、通常のナノインプリント法とは異なり、予備硬化と本硬化の2段階で硬度を高くしていくことを特徴とする。予備硬化まず、一般的な微細凹凸構造の作成方法により、骨格中に金属元素を含む樹脂からなる微細凹凸部材を形成する。具体的には、図6aに示すように、まず、エレクトロンビームによるリソグラフィー等により、所望の凹凸構造を有する転写型凹凸成形型40を作成する。この転写型40は、アルミニウムやシリコン等の金属製であっても良く、また柔軟性を持たせるためにポリエチレンテレフタレートPET等の樹脂製であっても良い。次に、ナノインプリントとして、転写型40上に、微細凹凸部材を構成する樹脂41を基板42を介して任意の圧力で所定時間押し当て、所望の凹凸構造を樹脂41に転写する。この際、樹脂41として光硬化性樹脂を用いる場合は、基板42に石英板等の紫外線透過性を有するものを用い、紫外線を樹脂41に照射することで硬化させる。また、熱硬化性樹脂を用いる場合は、熱伝導性の良い金属性基板42を用いて加熱することで硬化させる。ただ、予備硬化の段階では、樹脂41は形成された微細突起の形状を保てるだけの硬度があれば良い。樹脂41が硬化した後、図6bに示すように転写型40から離型して、次の本硬化を行う。なお、転写型40及び基板42は平板状に限らず、ロール状にすることで連続性を向上させたものや、大面積に対応したものを用いることも可能である。また、上述のように、予備硬化で用いる転写型の材料は、金型や樹脂型など特に限定されない。ただ、曲面を有する車両のウインドウパネルなどに直接インプリントする場合には、樹脂や紙などをベースとしたフレキシブルな転写型を使用することが好ましい。さらに、樹脂41を熱硬化させる場合には、転写型の透明度は特に限定されない。本硬化次に、予備硬化により所望の微細突起が形成された樹脂41微細凹凸部材の表面を酸化処理することにより、樹脂41の表面から内部にかけて、金属元素の密度を減少させる。具体的には、図6cに示すように、微細凹凸部材の表面をオゾンO3で処理する。微細凹凸部材を構成する金属元素の樹脂41をオゾンと反応させることにより、樹脂中の有機分炭素及び水素は二酸化炭素と水に酸化され、微細凹凸部材の外部に放出される。そして、残った金属元素は供給されたオゾンと反応し、金属-酸素-金属結合を形成することにより、硬度が高くなる。また、この本硬化では、微細凹凸部材の表面からオゾンと反応させるため、金属元素の密度は表面から内部に行くに従い減少し、逆に有機分の密度は表面から内部に行くに従い増加する。その結果、微細凹凸部材の表面の硬度が最も高く、内部に行くに従い低くなる。本硬化で使用する酸化処理は、真空紫外線照射処理又は放電処理であることが好ましい。具体的には、真空紫外線のような高エネルギーの電磁波により、空気中の酸素を一重項酸素オゾンに変換する方法を用いることができる。また、コロナやプラズマなどの高エネルギーな放電を用いて空気を電離し、一重項酸素オゾンを発生させる方法も使用できる。ここで、微細凹凸部材の樹脂41として、熱硬化性シリコーンポリマーを使用した場合について詳述する。上述のように、微細凹凸部材として熱硬化性シリコーンポリマーを用いる場合には、まず、基板42上にシリコーンポリマーの前駆体シリコーンモノマーを塗布する。次に、前記前駆体に転写型40を所定時間押し当て、所望の凹凸構造を転写した後、加熱して前駆体を重合させ、硬化した後、転写型40を離型する。次に、形成されたシリコーンポリマーからなる微細凹凸部材の表面をオゾンにて酸化処理する。このとき、次の化学式1に示す反応が進行し、微細凹凸部材の内部から表面に行くに従い、無機成分たるシリカSiO2の割合が増加する。つまり、シリコーンポリマーの有機成分、例えば有機基Rが酸化され、二酸化炭素及び水として除去されることにより、シリコーンポリマーの内部でシラノール結合Si-O-Si結合が増加する。そして、さらに酸化反応が進行することにより、シリカSiO2が生成する。その結果、表面のケイ素の密度が最も高く、内部に行くに従いケイ素の密度が減少した微細凹凸部材を得ることができる。このような製法により形成された微細構造体は、金属元素の密度が高い表面ほど弾性率が高く硬い構造となることから、耐久性を向上させることができる。なお、微細構造体の表面の撥水性をさらに向上させるため、次に説明する撥水層を設けても良い。[撥水層]上述のように、本実施形態の微細構造体1は、複数の微細突起11を備えているため、高い撥水性を示す。しかし、更なる撥水性を得るために、図7に示すように、微細構造体1の微細凹凸部材2の表面に撥水層20を設けることが好ましい。具体的には、微細凹凸部材2の微細突起11を覆うように撥水層20を設けることが好ましい。撥水層20としては、平滑な面に塗布した場合、水滴に対する接触角が90°以上である材料を用いることが好ましい。このような材料を用いた場合には、微細構造体1の表面積の増大と、隣接する微細突起11の間隙21における空気の閉じこめ効果とによって、微細凹凸部材2の材料自体の接触角をはるかに越える超撥水状態になるCassieの理論。さらに、超撥水状態を効果的に発現するためには、撥水層20の材料自体の水滴に対する接触角が100°以上であることが好ましく、110°以上であればより好ましい。特に110°以上の材料を撥水層20に用いれば、微細突起11により接触角が増幅されて接触角が150°以上となり、表面に水滴がほとんど付着しない程度にまで撥水性が向上する。このような撥水層20は、金属アルコキシド基を有する撥水剤から形成されることが好ましい。具体的には、微細凹凸部材2の表面に強固に付着できる金属アルコキシド基を持つフッ素化合物や炭化水素化合物が好ましい。特にパーフルオロアルキルアルコキシシランやパーフルオロエーテルアルコキシシランなどのシラン系フッ素化合物が、微細凹凸部材2の表面との反応性が良く、特に好ましい。このほかに、撥水層20としては、アルミニウムやチタンなどの金属アルコキシドからなるものも用いることが可能である。より詳細に説明すると、撥水層20は、ケイ素を含有する化合物シランカップリング剤からなるものが好ましい。この化合物が突起11の表面に化学結合することにより、撥水層20が形成される。このケイ素を有する化合物としては、代表的には、シラン化合物、特に含フッ素シラン化合物を挙げることができ、市販のシラン化合物及び含フッ素シラン化合物を広く用いることができる。シラン化合物自体は撥水性を有するが、化学構造にフッ素を含むことで、表面を低エネルギー化することができ、高い静止接触角を実現することができる。また、シラン化合物であることにより、突起や基部との密着性を向上でき、撥水性等の諸性能の耐久性を向上させることが可能となる。なお、シラン化合物としては、加水分解によりシラノール基となる置換基を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えば、クロロシラン化合物、アルコキシシラン化合物、アシロキシシラン化合物、シラザン化合物等を用いることができる。また、前記置換基の一分子当たりの個数は特に限定されず、分子の両末端や途中に複数あっても良い。但し、副生成物の安全性や環境への影響、さらにコストを考慮した場合、アルコキシシラン化合物が特に好ましい。また、単官能、二官能及び三官能性化合物のいずれでも良く、これらの混合物でも良いが、基部との密着性を考慮すると三官能性化合物を用いることがより好ましい。加水分解によりシラノール基となる置換基を分子中に少なくとも1個有する化合物としては、例えば、下記のようなものが挙げられる。CH3-CH2-CH2-CH2-On-SiOCH33:n=2~40CH3-CH2-CH2-CH2-On-SiOCH2CH33:n=2~40[CH3-CH2-CH2-CH2-On]2-SiOCH32:n=2~40[CH3-CH2-CH2-CH2-On]3-SiOCH3:n=2~40CH3-CH2n-SiOCH33:n=8~100CH3-CH2n-SiOCH2CH33:n=8~100[CH3-CH2n]2-SiOCH32:n=8~100[CH3-CH2n]2-SiOCH2CH32:n=8~100[CH3-CH2n]3-SiOCH3:n=8~100[CH3-CH2n]3-SiOCH2CH3:n=8~100CH3-CH2-CH2-CH2-On-SiCl3:n=2~40[CH3-CH2-CH2-CH2-On]2-SiCl2:n=2~40[CH3-CH2-CH2-CH2-On]3-SiCl:n=2~40CH3-CH2n-SiCl3:n=8~100[CH3-CH2n]2-SiCl2:n=8~100[CH3-CH2n]3-SiCl:n=8~100更に、加水分解によりシラノール基となる置換基を有する化合物の中で、パーフルオロアルキル基又はパーフルオロエーテル基を有する化合物としては、例えば、下記のようなものが挙げられる。CF3-CF2-CF2-CF2-On-SiOCH33:n=2~40CF3-CF2-CF2-CF2-On-SiOCH2CH33:n=2~40[CF3-CF2-CF2-CF2-On]2-SiOCH32:n=2~40[CF3-CF2-CF2-CF2-On]3-SiOCH3:n=2~40CF3-CF2n-SiOCH33:n=8~100CF3-CF2n-SiOCH2CH33:n=8~100[CF3-CF2n]2-SiOCH32:n=8~100[CF3-CF2n]2-SiOCH2CH32:n=8~100[CF3-CF2n]3-SiOCH3:n=8~100[CF3-CF2n]3-SiOCH2CH3:n=8~100CF3-CF2-CF2-CF2-On-SiCl3:n=2~40[CF3-CF2-CF2-CF2-On]2-SiCl2:n=2~40[CF3-CF2-CF2-CF2-On]3-SiCl:n=2~40CF3-CF2n-SiCl3:n=8~100[CF3-CF2n]2-SiCl2:n=8~100[CF3-CF2n]3-SiCl:n=8~100また、微細構造体に超親水性を付与するためには、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基、アンモニウム基、-COONa基、-SO3Na基、-SO3NH4基、-COONH4基、-PO3Na2基又は-PO3NH42基及びこれらの組み合わせに係る極性基を有することが好ましい。形成される撥水層20の厚さは特に限定されるものではないが、1~20μmが好ましい。この範囲内であることにより、微細突起11との相乗効果で高い撥水性を得ることができる。また、撥水層に亀裂が入り難いため、高い膜強度を得ることができる。微細凹凸部材2の表面に撥水層20を形成する方法としては、微細凹凸部材2の表面に上記金属アルコキシド基を有する撥水剤を塗布した後、熱処理を行うことにより形成する。撥水剤を塗布する方法としては、スプレー塗布、バーコーター塗布、スピン塗布、浸漬塗布、ロールコート塗布、グラビアコート塗布、カーテンフロー塗布、バーコート塗布、ブレードコート塗布、ダイコート塗布、リバースロールコート塗布及びスリットコート塗布などの通常のコーティング作業で用いられる方法が挙げられる。この際、被覆し易くするためや撥水層の膜厚を調整するために、撥水剤を各種溶剤で任意の濃度に希釈しても構わない。溶剤としては、具体的にはパーフルオロエーテル、ハイドロフルオロエーテル、パーフルオロポリエーテル及びハイドロフルオロポリエーテルなどを用いることができる。そして、微細凹凸部材2の表面に撥水剤を塗布した後、熱処理を行う。熱処理としては、撥水材と微細凹凸部材との間に化学結合、典型的には共有結合を生じさせることができれば限定されるものではない。また、かかる熱処理を行う雰囲気は空気中でも良く、アルゴンガス等の不活性ガス中でも良い。さらに、熱処理温度は、微細凹凸部材2が熱変形及び熱劣化しない温度であれば特に限定されるものではないが、80~130°C程度が好ましい。熱処理時間は、熱処理温度にもよるが、5分~120分程度とすることが好ましい。なお、本実施形態の微細凹凸部材2は、上述のようにオゾン処理が施されているため、微細凹凸部材2の表面には多数のヒドロキシル基が存在している。そのため、熱処理により微細凹凸部材2のヒドロキシル基と撥水材との縮合反応が容易に起こり、撥水材が微細凹凸部材2の表面に保持される。[反射防止部品及び撥水性部品]本発明の微細構造体を備えた成形品部品としては、基板と、基板の少なくとも一方の主表面に設けられる上記微細構造体とを備える反射防止部品や撥水性部品を挙げることができる。具体的には、例えば、自動車やバイクのメーターパネル、ウインドウパネルを挙げることができる。さらに、携帯電話や電子手帳などのモバイル機器や看板、時計など、最前面での反射防止機能を必要とし、雨などの水や油汚れに曝される可能性がある表示装置も挙げることができる。また、本発明の微細構造体をウインドウパネルに用いる場合には、基板としてウインドウパネルを用い、上述の製造方法により直接表面に形成することができる。また、上述のように、その際にはフレキシブルな転写型を用いることが好ましい。さらに、本発明の微細構造体は、フィルム上に付与することも可能である。フィルム上に付与する場合には、フィルムの弾性率を微細構造体の弾性率よりも低くすることが好ましい。これにより、微細突起への応力を緩和して、更に耐摩耗性を向上させることができる。なお、これらの成形品は、主に光に曝される場所で用いられるので、光による劣化を防止するために、微細凹凸部材に紫外線吸収剤や酸化防止剤、ラジカル補足剤などを添加しておくことができる。また、樹脂の劣化による黄変を補うためのブルーイング剤や蛍光発色顔料を用いることもできる。以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。[凹凸成形型の作製]最初に、実施例及び比較例で用いる凹凸成形型転写型を次の方法で作成した。まず、2光束干渉露光法により表面に所望の微細凹凸を有する樹脂型を作成した。次に、前記樹脂型の凹凸表面に、ニッケル電鋳によってニッケルを析出させ、微細凹凸を転写したマスター型を作成した。そして、このマスター型を用いてポリエチレンテレフタレートPET樹脂上へナノインプリントを行い、マスター型の微細凹凸を転写した、フレキシブルな転写型を作製した。[実施例1]まず、透明樹脂板としてグリーンガラスを準備した。次に、このグリーンガラスにスピンコーティング法により、約10μmの膜厚の熱硬化性シリコーンポリマーを塗布した。熱硬化性シリコーンポリマーとしては、サーコートNP-720株式会社動研製を用いた。そして、グリーンガラス上に塗布したシリコーンポリマーに上記転写型を押し当て、微細突起を転写した。その後、130°Cで1時間加熱することにより、シリコーンポリマーを重合させた予備硬化。重合したシリコーンポリマーから転写型を離型することにより、微細突起が形成された微細凹凸部材を得た。次いで、上記微細凹凸部材の表面に対し、波長157nmのF2レーザーを、照射面積が約25mm×25mm、エネルギー密度が約20mJ/cm2で60秒間照射した本硬化。なお、F2レーザーの照射は空気中で行い、生成したオゾンをシリコーンポリマーの表面に反応させた。このようにして本実施例の微細構造体を得た。[実施例2及び3]実施例2及び3の微細構造体は、微細突起を表1に示す形状にし、さらに本硬化での照射時間を変更した以外は実施例1と同様に作成した。[実施例4]実施例4の微細構造体は、微細突起を表1に示す形状にし、本硬化での照射時間を変更した以外は実施例1と同様にして微細凹凸部材を形成し、さらに撥水層を付与した。撥水層の付与は、まず、オゾン処理直後の微細凹凸部材における微細突起表面に、パーフルオロアルキルトリメトキシシランの0.1パーフルオロエーテル溶液を塗布した。パーフルオロアルキルトリメトキシシランの塗布は、ディップ法により行った。その後、110°Cにて10分間乾燥させることにより、撥水層を付与した。[実施例5]実施例5の微細構造体は、微細突起を表1に示す形状にし、さらに本硬化の方法を変更した以外は実施例4と同様にして作成した。なお、実施例5の本硬化は、空気中で1000Wmin/m2のエネルギー密度のプラズマ処理を10分間施すことにより行った。[実施例6]実施例6の微細構造体は、材料としてPMMA-シリコーンポリマー共重合体を用い、微細突起を表1に示す形状にした以外は実施例1と同様にして微細凹凸部材を作成した。次に、空気中で1000Wmin/m2のエネルギー密度のコロナ処理を施すことにより、本硬化を行った。その後、実施例4と同様にして撥水層を形成することにより、本実施例の微細構造体を得た。なお、PMMA-シリコーンポリマー共重合体としては、アクリルシリコーンKP-543を用いた。また、実施例4及び5のパーフルオロアルキルトリメトキシシランは、パーフルオロアルキル基の炭素数が8のものを用い、実施例6は炭素数が6のものを用いた。[比較例1]実施例1と同様に、まず、透明樹脂板としてグリーンガラスを準備した。次に、このグリーンガラスにスピンコーティング法により、約10μmの膜厚のPMMAを塗布した。そして、グリーンガラス上に塗布したPMMAに転写型を押し当て、微細突起を転写した後、130°Cで1時間加熱することにより、PMMAを重合させた。重合したPMMAから転写型を離型することにより、微細突起が形成された比較例1の微細構造体を得た。[比較例2]比較例2の微細構造体は、材料としてPMMAとシリカの複合体を用い、微細突起を表1に示す形状にし、さらに予備効果の方法を変更した以外は比較例1と同様にして、比較例2のを得た。なお、PMMAとシリカの複合体としては、レイクイーン登録商標、三菱レイヨン株式会社製を用いた。各実施例及び比較例の微細構造体における微細突起の断面形状、頂部間距離ピッチ及び高さ、並びに微細凹凸部材及び撥水材の材料を表1に示す。なお、微細突起の頂部間距離及び高さは、走査型電子顕微鏡SEMを用いて測定した。また、表2には、各実施例及び比較例の微細構造体を作成する際の予備硬化及び本硬化の条件を示す。そして、実施例1~6及び比較例1~2の微細構造体の微細突起が形成された面の弾性率及び反射率を以下の方法で測定し、その結果を表3に示す。さらに、実施例4~6の微細構造体の微細突起が形成された面における接触角を以下の方法で測定し、その結果も表3に示す。[弾性率測定]実施例及び比較例の微細構造体における微細突起が形成された面の弾性率を、ナノインデンテーション法により測定した。具体的には、実施例及び比較例の微細構造体と同様の条件で平滑面を有する試験片を作成し、その平滑面の表面に正三角錐形バーコビッチ型の圧子を100nm押し込んだときの値から弾性率を求めた。[接触角測定]接触角計CA-10型、協和界面科学株式会社製を使用し、室温下で10μlの純水を針先に作り、これを測定試料の表面に触れさせて液滴を作った。このときに生ずる液滴と面との角度を測定し、三点プロットθ/2方で5点測定し、これらの値の平均値を接触角静止接触角とした。[反射率測定]実施例及び比較例の微細構造体について、変角分光光度計大塚電子株式会社製を用いて0度における可視光線反射率を測定した。さらに、実施例1~6及び比較例1~2の微細構造体の耐摩耗性を、以下のテーバー摩耗試験及び布摩耗試験により評価した。テーバー摩耗試験及び布摩耗試験の結果も表3に示す。[テーバー摩耗試験]テーバー摩耗試験とは、レコード盤のような回転台に取り付けられた試験片の上を2個の摩耗輪が転がり、連続的に摩擦することで試験片を摩耗させる試験である。実施例1~6及び比較例1~2の微細構造体を、日本工業規格JISK7204に準拠して、テーバー摩耗試験を行った。そして、テーバー摩耗試験の前後における、実施例及び比較例の微細構造体のヘイズ値の差分ΔHを求めた。なお、ヘイズ値は、JISK7361に準拠して測定した。[布摩耗試験]実施例1~6及び比較例1~2の微細構造体をトラバース式摩耗試験機を用いて、以下の条件で5000往復させた。そして、布摩耗試験の前後における、実施例及び比較例の微細構造体のヘイズ値の差分ΔHを求めた。なお、ヘイズ値は、上述と同様に、JISK7361に準拠して測定した。摩擦布:キャンバス布JISL3102荷重:10kPaストローク長:100mm摩擦速度:30往復/分表3に示すように、実施例1~6の微細構造体ではヘイズ値の差分ΔHが比較例に比べて大幅に減少している。ヘイズ値の差分ΔHが大きいほど、試験後の微細突起の損傷が多く、耐摩耗性が低いことを示しているため、実施例の微細構造体は比較例に比べ耐摩耗性に優れていることがわかる。また、図8では、実施例1の微細構造体を走査型電子顕微鏡SEMにより観察した結果を示す。図8に示すように、実施例1の微細構造体の突起11は、表面と内部でコントラストに差が生じている。つまり、無機物たるシリカと有機物たるシリコーンポリマーとでは電子反射が異なるため、コントラストに差が生じる。このため、SEMの観察結果からも内部から表面に行くに従い、無機物たるシリカの含有量が多くなっていることがわかる。なお、上述のように、低加速電圧のSEM画像から、無機物と有機物を判別することができる。また、電界放射型透過電子顕微鏡FE-TEMとエネルギー分散型X線分光法EDXによるナノメートルオーダーの局所元素分析により、微細構造体の金属元素密度を判別することができる。以上、実施形態及び実施例に沿って本発明の内容を説明したが、本発明はこれらの記載に限定されるものではなく、種々の変形及び改良が可能であることは、当業者には自明である。"