ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置であって、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、前記貯留槽に取り付けられ、前記液媒体を介して前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引部とを備えたことを特徴とする付着物除去装置。ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置であって、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、前記ノズル保持部に取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引部とを備えたことを特徴とする付着物除去装置。請求項1において、前記超音波振動子は、前記ノズル保持部にも取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与えるように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。請求項1において、前記貯留槽の底面から前記ノズル本体の先端までの距離は、前記超音波振動子の振動周波数の1/4波長以下に設定されていることを特徴とする付着物除去装置。請求項1乃至4のうち何れか1つにおいて、前記吸引部は、前記ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。請求項1乃至5のうち何れか1つにおいて、前記ノズル本体の基端部には、前記ノズル孔よりも大径の凹部が形成され、前記ノズル保持部には、前記ノズル本体を保持する際に前記凹部に嵌合される筒状の嵌合部材が設けられていることを特徴とする付着物除去装置。請求項1乃至6のうち何れか1つにおいて、前記吸引部は、付着物の除去が完了した前記ノズル本体のノズル孔内に残存する前記液媒体を吸引除去して該ノズル孔を乾燥させる乾燥動作を行うように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。しかしながら、従来の超音波洗浄装置では、洗浄液中に小さな気泡を発生させて付着物を引き剥がすようにしているため、ノズル孔の孔径が小さい場合には、気泡がノズル孔内に入り込むことができず、ノズル孔の内周面に付着した付着物を十分に除去できないという問題があった。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるようにすることにある。本発明は、ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。すなわち、第1の発明は、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、前記貯留槽に取り付けられ、前記液媒体を介して前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引部とを備えたことを特徴とするものである。第2の発明は、ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。すなわち、第2の発明は、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、前記ノズル保持部に取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引部とを備えたことを特徴とするものである。第3の発明は、第1の発明において、前記超音波振動子は、前記ノズル保持部にも取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与えるように構成されていることを特徴とするものである。第4の発明は、第1の発明において、前記貯留槽の底面から前記ノズル本体の先端までの距離は、前記超音波振動子の振動周波数の1/4波長以下に設定されていることを特徴とするものである。第5の発明は、第1乃至第4の発明のうち何れか1つにおいて、前記吸引部は、前記ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるように構成されていることを特徴とするものである。第6の発明は、第1乃至第5の発明のうち何れか1つにおいて、前記ノズル本体の基端部には、前記ノズル孔よりも大径の凹部が形成され、前記ノズル保持部には、前記ノズル本体を保持する際に前記凹部に嵌合される筒状の嵌合部材が設けられていることを特徴とするものである。第7の発明は、第1乃至第6の発明のうち何れか1つにおいて、前記吸引部は、付着物の除去が完了した前記ノズル本体のノズル孔内に残存する前記液媒体を吸引除去して該ノズル孔を乾燥させる乾燥動作を行うように構成されていることを特徴とするものである。第1の発明によれば、超音波振動子によって液媒体を介してノズル本体を振動させている間に、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。さらに、例えば、銀ペーストが付着したノズル本体に対して本発明を適用すれば、ノズル本体から剥離させた銀成分を回収して再利用することもできる。第2の発明によれば、超音波振動子によってノズル本体を振動させている間に、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。第3の発明によれば、貯留槽とノズル保持部とにそれぞれ取り付けられた超音波振動子によってノズル本体を振動させることができ、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動をさらに大きくして、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。第4の発明によれば、貯留槽の底面からノズル本体の先端までの距離を、超音波振動子の振動周波数の1/4波長以下となるように設定したから、振動のプラスとなる強い振動波のみをノズル本体の先端に伝達させることが可能となり、ノズル本体の振動効率をさらに高めることができて、ノズル孔から付着物を効率的に剥離することができる。第5の発明によれば、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるようにしたから、常に吸引動作を行う場合に比べて、ノズル孔の内周面に付着した付着物の剥離効果が向上し、付着物を確実に除去することができる。第6の発明によれば、ノズル本体の基端部に形成された凹部に液媒体が残存するのを抑制することができる。具体的に、ノズル本体の基端部には、マウンタヘッドに取り付けるための接続口としての凹部が開口している。この凹部は、ノズル孔よりも大径であるため、凹部とノズル孔との間には段差部が形成されることとなる。そして、吸引部によってノズル本体の基端側から液媒体を吸引すると、この段差部に液媒体が残存するおそれがある。これに対し、本発明では、ノズル本体の凹部に筒状の嵌合部材を嵌合するようにしたから、ノズル孔から吸引された液媒体は、段差部を通ることなく嵌合部材の内部を通過することとなり、ノズル孔と凹部との段差部に液媒体が残存するのを抑制することができる。第7の発明によれば、付着物の除去が完了した後、引き続き吸引部を作動させることで、ノズル本体のノズル孔内に残存する液媒体を吸引除去してノズル孔を乾燥させることができる。これにより、1つの吸引部で、付着物の除去作業とノズル本体の乾燥作業とを行うことができる。以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。《全体構成》図1は、本発明の実施形態に係る付着物除去装置の構成を示す正面図、図2は平面図である。図1及び図2に示すように、付着物除去装置10は、本体架台11を備え、本体架台11の上部には、貯留槽20、ノズル保持部30、及び吸引部40が配設されている。本体架台11内の下部には、電源ON/OFFや各種設定を行うための複数のスイッチ等が設けられた制御ボックス12が収容されている。また、本体架台11の下面の4隅には、本体架台11を支持する支持脚13が取り付けられている。本体架台11の奥側図2における上側には、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する回収タンク15が配設されている。本実施形態では、液媒体として強アルカリ水や電解水を用いている。回収タンク15には、吸引ポンプ24と、給水ポンプ25とが接続されている。具体的に、吸引ポンプ24は、ポンプ配管24aを介して回収タンク15に接続され、回収タンク15内の空気を吸引することで、回収タンク15内を負圧とする。その結果、後述する排水管27及び吸引管44を介して回収タンク15内に液媒体が回収される。給水ポンプ25は、給水管26を介して回収タンク15に接続され、回収タンク15から汲み上げた液媒体を貯留槽20に供給する。図3は、貯留槽の構成を示す平面図、図4は側面図である。図3及び図4に示すように、貯留槽20は、回収タンク15から供給された液媒体を貯留するものであり、その底板裏面の中央位置には、超音波振動子21が取り付けられている。超音波振動子21は、貯留槽20の底板を振動させることで、液媒体に振動を与える。なお、本実施形態では1個の超音波振動子21を用いた構成について説明しているが、個数は特に限定するものではなく、貯留槽20の大きさ等に応じて適宜設定可能である。貯留槽20には、給水孔21a、排水孔21b、及びオーバーフロー孔21cが形成されている。給水孔21aと回収タンク15とは、給水管26を介して接続されている。給水ポンプ25図2参照によって回収タンク15から汲み上げられた液媒体は、給水管26及び給水孔21aを介して貯留槽20に供給される。貯留槽20内における給水孔21aの上方には、遮蔽板22が配設されている。遮蔽板22は、給水孔21aから貯留槽20内に供給される液媒体が勢いよく吹き出した際に、液媒体が貯留槽20外にこぼれないように給水孔21aの上方を覆っている。排水孔21bと回収タンク15とは、排水管27を介して接続されている。ここで、貯留槽20内に給水される液媒体の給水量と、排水管27から排水される液媒体の排水量とは、略同じ流量となるように設定されている。これにより、貯留槽20における液媒体の液深を一定に保つとともに、貯留槽20内において給水孔21aから排水孔21bに向かう液媒体の循環流路を形成することができる。オーバーフロー孔21cと回収タンク15とは、排水管27を介して接続されている。オーバーフロー孔21cには、貯留槽20内で上方に延びる筒状部材23が取り付けられている。筒状部材23は、貯留槽20から液媒体がオーバーフローするのを防止するためのものであり、液媒体の水位が筒状部材23の上端よりも高くなったときに、筒状部材23及びオーバーフロー孔21cを介して液媒体が排水されるようになっている。図5は、ノズル保持部及び吸引部の構成を示す正面断面図である。図5に示すように、ノズル本体50は、基板上にICチップ等の電子部品を搭載するマウンタ装置に取り付けられ、電子部品を吸着保持するマウンタノズルである。なお、ノズル本体50は、半田や銀ペーストを供給するディスペンサ装置に取り付けられるディスペンサノズルであってもよい。ノズル本体50には、軸方向に貫通するノズル孔50aが形成されている。ノズル本体50の基端部図5で上側には、マウンタ装置に取り付けるための接続口として、ノズル孔50aよりも大径の凹部50bが形成されている。ノズル本体50の軸方向の中央位置には、径方向に拡がるフランジ部51が設けられている。本実施形態に係る付着物除去装置10では、このノズル孔50aの内周面に付着した半田や銀ペースト等の付着物を除去することを目的としている。ノズル保持部30は、ノズル本体50のフランジ部51を挟み込んで保持する一対のベース板31及び保持板32を備えている。図6にも示すように、ベース板31には、ノズル本体50のフランジ部51を収容する複数の収容凹部31aが形成されている。具体的に、収容凹部31aは、左右方向に間隔をあけて4つ形成された列が、奥行方向図2で上下方向に間隔をあけて5列形成され、合計20個のノズル本体50を収容できるようになっている。なお、収容凹部31aの個数や配置はあくまでも一例であり、この形態に限定するものではない。収容凹部31aの中央位置には、挿通孔31bが形成されている。ノズル本体50の先端部を挿通孔31bに挿通させることで、ベース板31の下面からノズル本体50の先端部が突出した状態となる。保持板32には、ノズル本体50の基端部に嵌合する嵌合孔32aが形成されている。嵌合孔32aの上下両端部は、テーパー状に形成されている。ノズル本体50は、そのフランジ部51がベース板31と保持板32とに挟まれて保持される。保持板32の上部には、チューブ保持板33が取り付けられる。チューブ保持板33には、ベース板31に形成された複数の収容凹部31aの配置つまり、ノズル本体50の配置に対応して、複数の嵌合チューブ35嵌合部材が埋め込まれている。具体的に、保持板32には、左右方向に間隔をあけて4つ形成された列が、奥行方向図2で上下方向に間隔をあけて5列形成され、合計20個の嵌合チューブ35が設けられている。嵌合チューブ35の下端部は、ノズル本体50の凹部50b内に嵌合されている。チューブ保持板33は、吸引部40の下部に取り付けられている。このとき、ノズル保持部30に保持されたノズル本体50の先端部は、貯留槽20に貯留された液媒体に浸漬されている。これにより、超音波振動子21から液媒体に与えられた振動は、液媒体を介してノズル本体50に伝達され、ノズル本体50が振動するようになっている。ノズル本体50の先端部は、貯留槽20の底面と所定の間隙を存して対向している。具体的に、貯留槽20の底面からノズル本体50の先端までの距離は、超音波振動子21の振動周波数の1/4波長以下となるように設定されている。このようにすれば、振動のプラスとなる強い振動波のみをノズル本体50の先端に伝達させることが可能となり、ノズル本体50の振動効率をさらに高めることができて、ノズル孔50aの内周面に付着した付着物を効率的に剥離することができる。吸引部40は、内部に負圧室45を有する吸引タンク41と、吸引ポンプ24図2参照とを備えている。吸引タンク41は、上方が開口した箱状に形成された本体部43と、本体部43の上方開口を覆う透明板46とを備えている。本体部43の上方開口の周縁には、フランジ面43aが形成されている。フランジ面43aと透明板46との間にはシール材48が挟み込まれてシールされている。透明板46は、取付板47によって本体部43のフランジ面43aに取り付けられている。具体的に、取付板47は、透明板46の4辺にそれぞれ沿って延びる4枚の板状部材で構成され、締結ボルト図示省略で締結されている。このように、吸引タンク41の上部に透明板46を取り付けることで、負圧室45内の様子を透明板46から視認することができる。吸引タンク41の底板には、矩形状の開口孔41aと、吸引孔41bとが形成されている。開口孔41aは、チューブ保持板33によって塞がれている。チューブ保持板33と開口孔41aの周縁との間にはシール材48が挟み込まれてシールされている。吸引孔41bと回収タンク15とは、吸引管44を介して接続されている。回収タンク15内は、吸引ポンプ24によって負圧とされている。そのため、吸引タンク41の負圧室45内の空気が回収タンク15内に吸引され、負圧室45内が負圧とされる。ここで、ノズル保持部30で保持されたノズル本体50の先端部は、貯留槽20の液媒体に浸漬している。また、ノズル本体50は、超音波振動子21で発生させた超音波振動により、液媒体を介して振動している。つまり、吸引タンク41の負圧室45内には、ノズル本体50が振動している間に、ノズル本体50のノズル孔50a及び嵌合チューブ35を介して貯留槽20内の液媒体が吸引される。このようにすれば、ノズル本体50を伝搬する振動と、ノズル孔50a内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔50aの内周面に付着した付着物が剥離して除去される。吸引タンク41の負圧室45内に吸引された液媒体及び付着物は、吸引孔41b及び吸引管44を介して回収タンク15内に回収される。なお、ノズル本体50の内周面に付着する付着物が銀ペーストであれば、ノズル本体50から剥離させた銀成分を回収タンク15内に堆積させて回収して、銀成分を再利用することもできる。-付着物除去動作-次に、ノズル本体50のノズル孔50aの内周面に付着した付着物を付着物除去装置10で除去するための動作手順について説明する。まず、図6に示すように、ノズル本体50の先端部をベース板31の挿通孔31bに挿通させるとともに、ノズル本体50のフランジ部51をベース板31の収容凹部31aに嵌め込む。そして、ノズル本体50の基端部を保持板32の嵌合孔32aに嵌合させ、ノズル本体50のフランジ部51をベース板31と保持板32とで挟み込んで保持する。次に、図7に示すように、吸引部40の吸引タンク41の下部にノズル保持部30を取り付ける。このとき、ノズル本体50の凹部50b内に、チューブ保持板33に埋め込まれた嵌合チューブ35を嵌合する。このように、ノズル本体50の凹部50bに嵌合チューブ35を嵌合すれば、凹部50b内に液媒体が残存するのを抑制することができる。具体的に、凹部50bは、ノズル孔50aよりも大径であるため、凹部50bとノズル孔50aとの間には段差部が形成されることとなる。そして、吸引部40によってノズル本体50の基端側から液媒体を吸引すると、この段差部に液媒体が残存するおそれがある。これに対し、本実施形態では、ノズル本体50の凹部50bに嵌合チューブ35を嵌合するようにしたから、ノズル孔50aから吸引された液媒体は、段差部を通ることなく嵌合チューブ35の内部を通過することとなり、ノズル孔50aと凹部50bとの段差部に液媒体が残存するのを抑制することができる。そして、図1及び図2に示すように、給水ポンプ25を作動させ、回収タンク15内の液媒体を給水管26を介して貯留槽20内に供給する。貯留槽20内に液媒体が貯留されると、ノズル保持部30で保持されているノズル本体50の先端部が液媒体に浸漬される。貯留槽20に液媒体が貯留された後、貯留槽20の底板裏面に取り付けられた超音波振動子21を作動させ、貯留槽20の底板を厚さ方向に振動させる。このとき、超音波振動子21で発生させた振動が液媒体を介してノズル本体50に向かって伝達され、ノズル本体50が超音波振動する。そして、ノズル本体50を振動させている間に、吸引ポンプ24を作動させることで、吸引部40の負圧室45内を負圧にする。これにより、ノズル本体50のノズル孔50aを介して貯留槽20の液媒体が負圧室45内に吸引される。このようにすれば、ノズル本体50を伝搬する振動と、ノズル孔50a内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔50aの内周面に付着した半田や埃等の付着物が剥離される。ここで、吸引ポンプ24は、その作動又は停止を所定の周期で繰り返すように制御される。つまり、ノズル本体50のノズル孔50aを介して液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるようにしている。このようにすれば、常に吸引動作を行う場合に比べて、ノズル孔50aの内周面に付着した付着物の剥離効果が向上し、付着物を確実に除去することができる。そして、ノズル孔50aの内周面から剥離された付着物は、液媒体とともに吸引タンク41の負圧室45内に吸引される。負圧室45内に吸引された液媒体及び付着物は、吸引孔41b及び吸引管44を介して回収タンク15に回収される。付着物は、回収タンク15の底面に堆積して分離される。液媒体は、給水ポンプ25によって汲み上げられて再び貯留槽20に供給される。このような処理を繰り返すことにより、ノズル孔50aの内周面に付着する付着物の除去が完了する。そして、付着物の除去が完了した後、給水ポンプ25を停止させることで、貯留槽20内の液媒体を排水する。そして、吸引ポンプ24を引き続き作動させたままとすることで、ノズル本体50の乾燥動作を行う。具体的に、貯留槽20に液媒体が貯留されていない状態で、吸引ポンプ24によってノズル本体50のノズル孔50aを介して空気を吸引する。これにより、ノズル孔50a内に残存する液媒体を吸引除去して、ノズル孔50aを乾燥させることができる。なお、この乾燥動作を行う際にも、吸引ポンプ24の作動又は停止を所定の周期で繰り返すように制御してもよい。以上のように、本実施形態に係る付着物除去装置10によれば、超音波振動子21によって液媒体を介してノズル本体50を振動させている間に、ノズル本体50のノズル孔50aを介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体50を伝搬する振動と、ノズル孔50a内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔50aの内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。《変形例》図8は、本変形例に係る付着物除去装置の構成を示す図である。図8に示すように、本変形例では、ノズル保持部30にも超音波振動子21が取り付けられている。そして、貯留槽20とノズル保持部30とにそれぞれ取り付けられた超音波振動子21によってノズル本体50を振動させている間に、ノズル本体50のノズル孔50aを介して液媒体を吸引するようにしている。このような構成とすれば、ノズル本体50を伝搬する振動と、ノズル孔50a内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動をさらに大きくして、ノズル孔50aの内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。なお、本変形例では、貯留槽20とノズル保持部30とにそれぞれ超音波振動子21を取り付けた構成について説明したが、例えば、ノズル保持部30にのみ超音波振動子21を取り付け、貯留槽20に超音波振動子21を取り付けない構成としてもよい。