"対向配置された1対の同軸状電極と、該同軸状電極内のプラズマ媒体をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備え、1対の同軸状電極間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込めるプラズマ光源であって、前記各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極の対応する先端部を一定の間隔を隔てて囲むガイド電極と、前記中心電極とガイド電極との間を絶縁する絶縁部材とからなり、対向するガイド電極の先端を互いに電気的に接続する接続部材を有し、該接続部材は、その一点において、接地されるとともに、各同軸状電極にそれぞれ対応する電圧印加装置の経路を介して接続される、ことを特徴とするプラズマ光源。前記接続部材における一点は、対向するガイド電極の先端を結ぶ中点である、ことを特徴とする請求項1記載のプラズマ光源。前記接続部材は、1対の同軸状電極の軸線に対称に複数設けられる、ことを特徴とする請求項1記載のプラズマ光源。前記放電環境保持装置は、前記1対の同軸状電極を保持するチャンバーを含み、1対の同軸状電極と前記チャンバーの間に絶縁部材が設けられている、ことを特徴とする請求項1記載のプラズマ光源。前記1対の同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔を隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、前記1対の同軸状電極の各中心電極は、前記単一の軸線上に位置し、かつ互いに一定の間隔を隔てて対称に位置する、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。前記電圧印加装置は、前記1対の同軸状電極の一方の中心電極にそのガイド電極より高い正の放電電圧を印加する正電圧源と、前記1対の同軸状電極の他方の中心電極にそのガイド電極より低い負の放電電圧を印加する負電圧源と、前記正電圧源と負電圧源をそれぞれの同軸状電極に同時に印加するトリガスイッチとを有する、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源。ところで、上記プラズマ光源においては、同軸状電極における電位の制御が困難であり、したがって各同軸状電極50間の面状放電の管状放電への繋ぎ換えの制御も困難であった。本発明は、上述した問題を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、1対の同軸状電極において面状放電を発生させ、この面状放電を各同軸状電極の対向する中間位置に単一のプラズマを形成し、次いで面状放電を1対の同軸状電極間の管状放電に繋ぎ換えてプラズマを封じ込める磁場磁気ビンを形成するプラズマ光源において、面状放電から管状放電への繋ぎ換えを容易にするようなプラズマ光源を提供することを目的とする。本発明によれば、対向配置された1対の同軸状電極と、該同軸状電極内のプラズマ媒体をプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持する放電環境保持装置と、各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置と、を備え、1対の同軸状電極間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込めるプラズマ光源であって、前記各同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極の対応する先端部を一定の間隔を隔てて囲むガイド電極と、前記中心電極とガイド電極との間を絶縁する絶縁部材とからなり、対向するガイド電極の先端を互いに電気的に接続する接続部材を有し、該接続部材は、その一点において、接地されるとともに、各同軸状電極にそれぞれ対応する電圧印加装置の経路を介して接続される、ことを特徴とするプラズマ光源が提供される。前記接続部材における一点は、対向するガイド電極の先端を結ぶ中点である、ことが好ましい。前記接続部材は、1対の同軸状電極の軸線に対称に複数設けられる、ことが好ましい。前記放電環境保持装置は、前記1対の同軸状電極を保持するチャンバーを含み、1対の同軸状電極と前記チャンバーの間に絶縁部材が設けられている、ことが好ましい。前記1対の同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、該中心電極を一定の間隔を隔てて囲む管状のガイド電極と、中心電極とガイド電極の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体とからなり、前記1対の同軸状電極の各中心電極は、前記単一の軸線上に位置し、かつ互いに一定の間隔を隔てて対称に位置する、ことが好ましい。前記電圧印加装置は、前記1対の同軸状電極の一方の中心電極にそのガイド電極より高い正の放電電圧を印加する正電圧源と、前記1対の同軸状電極の他方の中心電極にそのガイド電極より低い負の放電電圧を印加する負電圧源と、前記正電圧源と負電圧源をそれぞれの同軸状電極に同時に印加するトリガスイッチとを有する、ことが好ましい。上記本発明の装置によれば、対向配置された1対の同軸状電極を備え、1対の同軸状電極にそれぞれ面状の放電電流面状放電を発生させ、該面状放電により各同軸状電極の対向する中間位置に単一のプラズマを形成し、次いで前記面状放電を1対の同軸状電極間の管状放電に繋ぎ換えて前記プラズマを封じ込める磁場磁気ビンを形成するので、EUV放射のためのプラズマ光を長時間μsecオーダーで安定して発生させることができる。また、従来のキャピラリー放電や真空放電金属プラズマと比較すると、1対の同軸状電極の対向する中間位置に単一のプラズマが形成され、かつエネルギー変換効率を大幅に改善できるので、プラズマ形成中における各電極の熱負荷が小さくなり、構成機器の熱負荷によるダメージを大幅に低減できる。また、1対の同軸状電極の対向する中間位置にプラズマ光の発光源であるプラズマが形成されるので、発生したプラズマ光の有効な放射立体角を大きくできる。さらに、面状放電から管状放電への電流経路の繋ぎ替えを容易にすることにより、管状放電を確実に形成することができる。以下、本発明の好ましい実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。図2は、本発明によるプラズマ光源の実施形態図である。この図において、本発明のプラズマ光源は、1対の同軸状電極10、チャンバー20、及び電圧印加装置30を備える。1対の同軸状電極10は、対称面1を中心として対向するように、チャンバー20に配置されている。1対の同軸状電極10は、リング状の絶縁体18を介してチャンバー20に取り付けられ、チャンバー20とは電気的に絶縁されている。各同軸状電極10は、棒状の中心電極12、管状のガイド電極14及びリング状の絶縁体16からなる。棒状の中心電極12は、単一の軸線Z-Z上に延びる導電性の電極である。この例において、中心電極12の対称面1に対向する端面は円弧状になっている。なお、この構成は必須ではなく、端面に凹穴を設け、後述する面状放電2と管状放電4を安定化させるようにしてもよく、或いは平面でもよい。管状のガイド電極14は、中心電極12を一定の間隔を隔てて囲み、その間にプラズマ媒体を保有するようになっている。プラズマ媒体は、Liのガスであることが好ましいが、Xe,Snのガスであってもよい。また、ガイド電極14の対称面1に対向する端面は、円弧状でも平面でもよい。リング状の絶縁体16は、中心電極12とガイド電極14の間に位置する中空円筒形状の電気的絶縁体であり、中心電極12とガイド電極14の間を電気的に絶縁する。絶縁体16において、中心電極12とガイド電極14の間の表面には、中心電極12とガイド電極14の間との間の面状放電2によってLiがガスを生成するようにLiまたはLi化合物の薄膜17が形成されている。なお、絶縁体16の形状はこの例に限定されず、中心電極12とガイド電極14の間を電気的に絶縁する限りで、その他の形状であってもよい。リング状の絶縁体18は、1対の同軸状電極10のガイド電極14とチャンバー20間に位置する中空円筒形状の電気的絶縁体であり、ガイド電極14とチャンバー20の間を電気的に絶縁する。なお、絶縁体18の形状はこの例に限定されず、各同軸状電極10のガイド電極14とチャンバー20の間を電気的に絶縁する限りで、その他の形状であってもよい。上述した1対の同軸状電極10は、各中心電極12が同一の軸線Z-Z上に位置し、かつ互いに一定の間隔を隔てて対称に位置する。この実施形態において、1対の同軸状電極10は、各ガイド電極14の先端が金属性の接続部材19によって電気的に接続結線されている。接続部材19は、1対の同軸状電極10の軸線Z-Z周囲に複数設けられている。接続部材19は、軸線Z-Zに回転対称に3方向、4方向などに取り付けることができる。図2においては、説明の便宜上、1個の接続部材19のみを示している。接続部材19は、その中点Mにおいて接地されるとともに、後述する正電圧源32及び負電圧源33を介して対応する同軸状電極10に接続している。中点Mと正電圧源32及び負電圧源33を結ぶ経路は、各同軸状電極10からの電流を帰還させる経路であることから、便宜上、正電圧源電流帰還路38、負電圧源電流帰還路39と呼ぶことにする。前記中点Mは、接続部材19が対称面1と交わる中点Mである。なお、接続部材19において、接地するとともに、正電圧源電流帰還路38及び負電圧源電流帰還路39に接続する位置は、接続部材19上における中点M以外の一点とすることもできる。また、接続部材19は、1対の中心電極12間で発生するプラズマ光8EUVを取り出すことができるように、その形状と配置が定められる。チャンバー20は、放電環境保持装置を構成し、同軸状電極10内にプラズマ媒体を供給し、かつプラズマ発生に適した温度及び圧力に同軸状電極10を保持する。チャンバー20は、排気管22によって真空ポンプに接続され、所定の圧力に維持されている。チャンバー20は、金属からなることが好ましい。また、チャンバー20には、プラズマ光8EUVを取り出すために、所定の開口窓を設けることが好ましい。チャンバー20には、接続部材19を接地するとともに、正電圧源32及び負電圧源33を介して対応する同軸状電極に10に接続する配線を引き出す開口部が設けられている。この開口部は、配線をチャンバー20と絶縁するとともにチャンバー20内の真空環境を維持するようにセラミックなどで構成することができる。図2においては、便宜上、この開口部は破断線により示されている。チャンバー20は、リング状の絶縁体18によって同軸状電極10とは絶縁されている。電圧印加装置30は、各同軸状電極10に極性を反転させた放電電圧を印加する。電圧印加装置30は、正電圧源32、負電圧源33及びトリガスイッチ36からなる。この例では、正電圧源32及び負電圧源33は、それぞれ高電圧充電器HVChargingDeviceとコンデンサからなる。トリガスイッチ36は、遅延パルス生成器DelayPulseGenerator、高圧パルス発生器HVPulser及びギャップスイッチからなる。なお、この例では、遅延パルス生成器は、遅延のないトリガパルスを発生している。正電圧源32は、一方この例では右側の同軸状電極10の中心電極12にそのガイド電極14より高い正の放電電圧を印加する。負電圧源33は、他方この例では左側の同軸状電極10の中心電極12にそのガイド電極14より低い負の放電電圧を印加する。なお、正電圧源32及び負電圧源33には、中心電極12に供給される電流をオシロスコープOscilloscopeで観察するため、誘導結合された線路が設けられている。トリガスイッチ36は、正電圧源32と負電圧源33を同時に作動させて、それぞれの同軸状電極12に同時に正負の放電電圧を印加する。この構成により、本発明のプラズマ光源は、1対の同軸状電極10間に管状放電後述するを形成してプラズマを軸方向に封じ込めるようになっている。図3は、図2のプラズマ光源の作動説明図である。この図において、Aは面状放電の発生時、Bは面状放電の移動中、Cはプラズマの形成時、Dは面状放電と管状方円の繋ぎ換え時、Eはプラズマ封込み磁場の形成時を示している。以下、この図を参照して、本発明のプラズマ光源の動作を説明する。本発明のプラズマ光源は、上述した1対の同軸状電極10を対向配置し、放電チャンバー20により同軸状電極10内にプラズマ媒体を供給しかつプラズマ発生に適した温度及び圧力に保持し、電圧印加装置30により各同軸状電極10に極性を反転させた放電電圧を印加する。図3Aに示すように、この電圧印加により、1対の同軸状電極10に絶縁体16の表面でそれぞれ面状の放電電流以下、面状放電2と呼ぶが発生する。面状放電2は、2次元的に広がる面状の放電電流であり、後述する実施例では電流シートとも呼ぶ。このような面状放電2により、各同軸状電極10、10において、絶縁体16表面に形成されたLiまたはLi化合物薄膜17の表面が蒸発し、Liガスを発生する。なおこの際、右側の同軸状電極10の中心電極12は正電圧、ガイド電極14は負電圧-に印加され、左側の同軸状電極10の中心電極12は負電圧-、そのガイド電極14は正電圧に印加されている。図3Bに示すように、面状放電2は、自己磁場によって電極から排出される方向図で中心に向かう方向に移動する。図3Cに示すように、面状放電2が1対の同軸状電極10の先端に達すると、1対の面状放電2の間に挟まれたプラズマ媒体6が高密度、高温となり、各同軸状電極10の対向する中間位置中心電極12の対称面1に単一のプラズマ3が形成される。図3Dに示すように、面状放電2はさらに移動し、中心電極12の先端と接続部材19の中点の間Mに形成される。単一のプラズマ3は、1対の同軸状電極10の軸線Z-Z方向に複数設けられた接続部材19の中点Mと中心電極12の先端との間に形成された面状放電20によって軸方向に囲まれ、保持されている。さらに、この状態において、対向する1対の中心電極12は、正電圧と負電圧-であり、対向する1対のガイド電極14の接続点Mは同電位接地電位であるので、図3Eに示すように、面状放電2は対向する1対の中心電極12同士、及び対向する1対のガイド電極14の間で放電する管状放電4に繋ぎ換えられる。ここで、管状放電4とは、軸線Z-Zを囲む中空円筒状の放電電流を意味する。この管状放電4が形成されると、図に符号5で示すプラズマ封込み磁場磁気ビンが形成され、プラズマ3を半径方向及び軸方向に封じ込むことができる。すなわち、磁気ビン5はプラズマ3の圧力により中央部は大きくその両側が小さくなり、プラズマ3に向かう軸方向の磁気圧勾配が形成され、この磁気圧勾配によりプラズマ3は中間位置に拘束される。さらにプラズマ電流の自己磁場によって中心方向にプラズマ3は圧縮Zピンチされ、半径方向にも自己磁場による拘束が働く。この状態において、プラズマ3の発光エネルギーに相当するエネルギーを電圧印加装置30から供給し続ければ、高いエネルギー変換効率で、プラズマ光8EUVを長時間安定して発生させることができる。図4は、本発明のプラズマ光源における電流の分布を説明する図である。この図は、図1のガイド電極14及び接続部材19の中点M付近を拡大して模式的に示すものである。横方向に延びる線路はガイド電極14及び接続部材19を示し、中点MからV字状に延びる線路は正電圧源電流帰還路38及び負電圧源電流帰還路39を示す。中点Mを接地する経路は、省略されている。図4Aは、1対の同軸状電極10の中心電極12とガイド電極14または接続部材19間に面状放電2が形成された状態である図3B及び図3Cが相当する。。この状態においては、正電圧源32から供給された電流I1は、図2の右側の同軸状電極10において、中心電極12、面状放電2、ガイド電極14及び接続部材19、中点M、正電圧源電流帰還路38の経路以下、正電源電流経路という。を流れる。一方、負電圧源33から供給された電流I2は、図2の左側の同軸状電極10において、中心電極12、面状放電2、ガイド電極14及び接続部材19、中点M、負電圧源電流帰還路39の経路以下、負電源電流経路という。を流れる。この状態では、正電源電流経路と負電源電流経路は、接続部材19の中点Mの一点で接するだけであるので、正電源電流経路を流れる電流I1と負電源電流経路を流れる電流I2は互いに干渉することはない。ここで、後述する管状放電4を形成して維持するためには、電流I1とI2は等しいことが望ましいので、以下では便宜上I1=I2=Iとして説明する。図4Bは、1対の同軸状電極10間で面状放電2が衝突し図3Dが相当する。、管状放電4が形成された状態である図3Eが相当する。。面状放電2が各同軸状電極10の先端に向けて進展し、対称面1にある中点Mにおいて衝突すると、この中点M付近の面状放電2において、一方の中心電極12から中点Mに向う電流と、中点Mから他方の中心電極12に向う電流が互いにキャンセルすることになる。これによって、中心電極12と接続部材19及びガイド電極14間を流れる面状放電2による電流Iは消失する。代わって、対向する中心電極12間を電流Iが流れるようになり、管状放電4が形成される。これに対応して、ガイド電極14及び接続部材19に沿って流れる電流Iは消失し、負電圧源電流帰還路39からの電流Iは、接続部材19の中点Mを介して正電圧源電流帰還路38に流れ込むようになる。上述した本発明のプラズマ光源によれば、対向配置された1対の同軸状電極10を備え、1対の同軸状電極10にそれぞれ面状の放電電流面状放電2を発生させ、面状放電2により各同軸状電極10の対向する中間位置に単一のプラズマ3を形成し、次いで面状放電2を1対の同軸状電極10間の管状放電4に繋ぎ換えてプラズマ3を封じ込めるプラズマ封込み磁場5磁気ビン5を形成するので、EUV放射のためのプラズマ光を長時間μsecオーダーで安定して発生させることができる。また、従来のキャピラリー放電や真空光電金属プラズマと比較すると、1対の同軸状電極10の対向する中間位置に単一のプラズマ3が形成され、かつエネルギー変換効率を大幅10倍以上に改善できるので、プラズマ形成中における各電極の熱負荷が小さくなり、構成機器の熱負荷によるダメージを大幅に低減できる。また、1対の同軸状電極10の対向する中間位置にプラズマ光の発光源であるプラズマ3が形成されるので、発生したプラズマ光の有効な放射立体角を大きくできる。さらに、本発明によると、正電源電流経路と負電源電流経路は、接続部材19の中点Mの一点で接するだけであるので、面状放電2から管状放電4への繋ぎ換えは、この中点Mにおける電流経路の繋ぎ換えで足りる。また、この中点Mが接地されているので、中点Mが電位が変動することはなく、繋ぎ換えを確実に行うことができる。したがって、1対の同軸状電極10間における面状放電2から管状放電4への繋ぎ換えが容易になり、管状放電4を確実に提供することができる。比較例1図5は、第1の比較例を示す。第1の比較例は、図2に示した実施形態において、絶縁体18を除き、1対の同軸状電極10を直接にチャンバー20に取り付けた。さらに、接続部材19、接続部材19の中点Mの接地、正電圧源電流帰還路38、負電圧源電流帰還路39を除き、正電圧源32及び負電圧源33を、それぞれ正電圧源電流帰還路38及び負電圧源電流帰還路39に換えて1対の同軸状電極10のガイド電極14に接続されたチャンバー20のフランジ部に接続するとともに、このチャンバー20のフランジ部を接地したものである。他の構成は、図1に示した実施形態と同様であるので、同一の指示符号を付して説明を省略する。図中の面状放電2は、模式的に、中心電極12からガイド電極14へ電流が流れる方向を矢印で示したものである。図6は、第1の比較例における、1対の同軸状電極10に面状放電2が形成されている状態図3B及び図3Cが相当する。での電位分布を示す図である。正電圧源32の正側電位点P1における電位V1から、中心電極12の放電発生位置P2における電位V2、ガイド電極14の放電発生位置P3における電位V3を介して、チャンバー20の接地点P4における電位V4に至るまで、電位V1、V2、V3、V4は次第に低下している。同様に、負電圧源33の負側電位点P1 ́における電位V1 ́から、中心電極12の放電発生位置P2における電位V2 ́、ガイド電極14の放電発生位置P3 ́における電位V3 ́を介して、チャンバー20の接地点P4 ́における電位V4 ́に至るまで、電位V1 ́、V2 ́、V3 ́、V4 ́は次第に上昇している。チャンバー20の接地点P4、P4 ́における電位V4、V4 ́は、接地電位となっている。ここで、1対の同軸状電極10のガイド電極14先端の電位1対のガイド電極14の放電発生位置P3、P3 ́における電圧V3、V3 ́が相当する。については、第1の同軸状電極10のガイド電極14先端の電位V3が第2の同軸状電極10 ́のガイド電極14先端の電位V3 ́より高くなっている。このような1対の同軸状電極10のガイド電極14先端の電位配置は、管状放電4が形成された状態における、負電圧源33側の同軸状電極10のガイド電極14から正電圧源32側の同軸状電極10のガイド電極14へ電流が向う流れにおけるものとは逆方向である。すなわち、管状放電4が形成された状態においては、正電圧源32側の同軸状電極10のガイド電極14の先端の電位は、負電圧源33側の同軸状電極10のガイド電極14の先端の電位より低くなる必要がある。したがって、第1の比較例においては、面状放電2図3C及び図3Dが相当する。から管状放電4図3Eが相当する。への繋ぎ換えは、このような逆方向の電位配置のため困難である。比較例2図7は、第2の比較例を示す。第2の比較例は、図2に示した実施形態において、絶縁体18を除き、1対の同軸状電極10を直接にチャンバー20に取り付けた。さらに、接続部材19の中点Mの接地、正電圧源電流帰還路38、負電圧源電流帰還路39を除き、正電圧源32及び負電圧源33を、正電圧源電流帰還路38及び負電圧源電流帰還路39に換えてそれぞれ1対の同軸状電極10のガイド電極14に接続されたチャンバー20のフランジ部に接続するとともに、このチャンバー20のフランジ部を接地したものである。他の構成は、図2に示した実施形態と同様であるので、同一の指示符号を付して説明を省略する。図中の面状放電2は、模式的に、中心電極12からガイド電極14へ電流が流れる方向を矢印で示したものである。図8は、第1の比較例における、1対の同軸状電極10に面状放電2が形成されている状態図3B及び図3Cが相当する。での電位分布を示す図である。正電圧源32の正側電位点P1における電位V1から、中心電極12の放電発生位置P2における電位V2、ガイド電極14の放電発生位置P3における電位V3を介して、チャンバー20の接地点P4における電位V4に至るまで、電位V1、V2、V3、V4は次第に低下している。同様に、負電圧源33の負側電位点P1 ́における電位V1 ́から、中心電極12の放電発生位置P2 ́における電位V2 ́、ガイド電極14の放電発生位置P3 ́における電位V3 ́を介して、チャンバー20の接地点P4における電位V4 ́に至るまで、電位V1 ́、V2 ́、V3 ́、V4 ́は次第に上昇している。第2の比較例では、チャンバー20を接地点P4、P4 ́で接地したのみならず、1対の同軸状電極10のガイド電極14の先端を接続部材19で接続したため、第1の比較例より電位配置は複雑になっている。すなわち、1対の同軸状電極10のガイド電極14における放電発生点P3、P3 ́間の電位差は第1の比較例よりも縮小したが、正電圧源32側の同軸状電極10を通る経路におけるチャンバー20の接地点P4での電位V4は、負電圧源33側の同軸状電極10 ́を通る経路におけるチャンバー20の接地点P4 ́での電位V4 ́より低下している。第2の比較例においても、1対の同軸状電極10のガイド電極14先端の電位ガイド電極14の放電発生位置P3、P3 ́における電圧V3、V3 ́が相当する。については、第1の比較例よりも電位差は小さくなったものの、正電圧源32側の同軸状電極10のガイド電極14先端の電位V3が負電圧源33側の同軸状電極10のガイド電極14先端の電位V3 ́より高くなっている。このような1対の同軸状電極10のガイド電極14先端の電位配置は、管状放電4が形成された状態における、負電圧源33側の同軸状電極10のガイド電極14から正電圧源32側の同軸状電極10のガイド電極14へ電流が向う流れにおけるものとは逆方向である。すなわち、管状放電4が形成された状態においては、正電圧源32側の同軸状電極10のガイド電極14の先端の電位は、負電圧源33側の同軸状電極10のガイド電極14の先端の電位より低くなる必要がある。したがって、第2の比較例においても、第1の比較例と同様に、面状放電2図3C及び図3Dが相当する。から管状放電4図3Eが相当する。への繋ぎ換えは、このような逆方向の電位配置のため困難である。比較例3図9は、第3の比較例を示す。第3の比較例は、図2に示した実施形態において、正電圧源電流帰還路38、負電圧源電流帰還路39を除き、正電圧源32及び負電圧源33を、正電圧源電流帰還路38及び負電圧源電流帰還路39に換えてそれぞれ1対の同軸状電極10のガイド電極14に接続されたチャンバー20のフランジ部に接続したものである。他の構成は、図2に示した実施形態と同様であるので、同一の指示符号を付して説明を省略する。図中の面状放電2は、模式的に、中心電極12からガイド電極14へ電流が流れる方向を矢印で示したものである。図10は、第1の比較例における、1対の同軸状電極10に面状放電2が形成されている状態図3B及び図3Cが相当する。での電位分布を示す図である。正電圧源32の正側電位点P1における電位V1から、中心電極12の放電発生位置P2における電位V2、ガイド電極14の放電発生位置P3における電位V3を介して、チャンバー20の接地点P4における電位V4に至るまで、電位V1、V2、V3、V4は次第に低下している。同様に、負電圧源33の負側電位点P1 ́における電位V1 ́から、中心電極12の放電発生位置P2 ́における電位V2 ́、ガイド電極14の放電発生位置P3 ́における電位V3 ́を介して、チャンバー20の接地点P4における電位V4 ́に至るまで、電位V1 ́、V2 ́、V3 ́、V4 ́は次第に上昇している。第3の比較例においては、1対の同軸状電極10のガイド電極14先端の電位ガイド電極14の放電発生位置P3、P3 ́における電圧V3、V3 ́が相当する。は、等しいものとなっている。図11は、第3の比較例における電流の分布を示す図である。図11Aに示すように、面状放電2が形成された直後図3Aが相当する。に、ガイド電極14及び接続部材19を電流I12が流れ始める。この電流I12は、図3Eに示すような管状放電4が形成されたときにガイド電極14及び接続部材19を流れる電流とは逆向きである以下、逆方向という。図11Bに示すように、面状放電20が対称面1に向って進んだ状態図3Cが相当する。においては、ガイド電極14及び接続部材19においては、逆方向の電流I12が流れる領域と、管状放電4が形成されたときにガイド電極14及び接続部材19を流れる電流の向き以下、順方向という。の電流I-I12が流れる領域が生じる。本来、管状放電4を形成するための電流Iのみを順方向に流すことが望ましいが、短パルス現象であるので、このような逆方向の電流I12を抑制することは困難である。他方、このような逆方向の電流I12の帰還電流がガイド電極14及び接続部材19の一部を順方向に流れる。これによって、ガイド電極14及び接続部材19における電流の分布は、不均一で複雑になる。このような不均一な電流分布により、面状放電2に及ぼす電位の影響も不均一なものとなる。これによって、面状放電2の対称面1に向けた加速均一性に影響を与え、フォーカス、衝突条件等の制御が困難になる。また、面状放電2を管状放電4に繋ぎ換える際には、ガイド電極14及び接続部材19において、逆方向の電流I12を順方向の電流に切り換える必要がある。しかしながら、衝突時図3Dが相当する。における逆方向の電流I12が大きく、これを順方向に切り換えるには電流の時間変化値が大きくなり、逆方向の大きな誘導起電力が発生する。したがって、電流の繋ぎ換えは困難である。なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。"