"表面改質成形体の製造方法であって、樹脂、無機材料、又はこれらの組み合わせからなる処理前成形体の表面に、気化したシランカップリング剤を含むガスを接触させる工程を含み、前記ガス中の前記シランカップリング剤濃度が、飽和濃度の20以上、100以下であり、前記接触させる工程において、前記処理前成形体の表面から5mmの高さにおける前記ガスの流速の、前記処理前成形体の前記表面に平行な成分が10cm/sec以上である、製造方法。前記接触させる工程において、前記ガスが水蒸気をさらに含む、請求項1に記載の製造方法。前記接触させる工程に先立ち、前記処理前成形体を、水蒸気に曝す工程をさらに含む、請求項1又は2に記載の製造方法。前記処理前成形体が樹脂を含み、前記樹脂が脂環式構造含有重合体を含む樹脂である、請求項1~3のいずれか1項に記載の製造方法。前記処理前成形体が無機材料を含み、前記無機材料がガラスを含む材料である、請求項1~4のいずれか1項に記載の表面処理方法。特許文献1~3において、シランカップリング剤による処理は、大気圧もしくは減圧された密閉容器をシランカップリング剤の蒸気で満たし、そこにサンプルを入れることにより行っている。しかし、このような処理は、処理完了までの時間がかかり、製造効率を向上し難いという問題がある。このような問題は、多数の材料又は寸法の大きい材料を高速で処理する製造などの、高い効率が求められる製造の工程において、特に顕著である。従って、本発明の目的は、効率的な製造を可能とする、表面改質成形体の製造方法を提供することにある。本発明者は前記の課題を解決するべく検討した結果、シランカップリング剤による処理を行うガス中のシランカップリング剤濃度を所定の範囲とし、且つ、かかるガスの流速を所定以上とすることにより、かかる課題を解決しうることを見出した。本発明は、かかる知見に基づき完成されたものである。すなわち、本発明によれば、以下の1~5が提供される。1表面改質成形体の製造方法であって、樹脂、無機材料、又はこれらの組み合わせからなる処理前成形体の表面に、気化したシランカップリング剤を含むガスを接触させる工程を含み、前記ガス中の前記シランカップリング剤濃度が、飽和濃度の20以上、100以下であり、前記接触させる工程において、前記処理前成形体の表面から5mmの高さにおける前記ガスの流速の、前記処理前成形体の前記表面に平行な成分が10cm/sec以上である、製造方法。2前記接触させる工程において、前記ガスが水蒸気をさらに含む、1に記載の製造方法。3前記接触させる工程に先立ち、前記処理前成形体を、水蒸気に曝す工程をさらに含む、1又は2に記載の製造方法。4前記処理前成形体が樹脂を含み、前記樹脂が脂環式構造含有重合体を含む樹脂である、1~3のいずれか1項に記載の製造方法。5前記処理前成形体が無機材料を含み、前記無機材料がガラスを含む材料である、1~4のいずれか1項に記載の表面処理方法。本発明の製造方法によれば、高い剥離強度を与える表面処理が施された表面改質成形体を、効率的に製造することが可能となる。以下、本発明について実施形態及び例示物等を示して詳細に説明するが、本発明は以下に示す実施形態及び例示物等に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施しうる。本発明の製造方法は、表面改質成形体の製造方法である。本願において、表面改質成形体とは、成形体の表面に、改質処理を施したものである。本願においては、かかる改質処理を施す前の成形体を、処理前成形体と呼び、かかる改質処理を施したものを表面改質成形体と呼ぶ。以降において、単なる成形体の文言は、これらを総称する用語として用いる。処理前成形体処理前成形体は、通常は平面又は曲面のおもて面及び裏面を有する板状の形状を有する。改質処理の対象となる、処理前成形体の表面は、成形体の外面の一部又は全部である。処理対象の表面は、通常、板状の処理前成形体のおもて面及び裏面の一方又は両方の一部又は全部の領域を含む。処理前成形体は、樹脂、無機材料又はこれらの組み合わせからなる。前記樹脂の例としては、脂環式構造含有重合体を含有する樹脂;ポリビニルアルコールなどのビニルアルコール樹脂;ポリエチレンおよびポリプロピレンなどの鎖状のポリオレフィン樹脂;ポリスチレンなどの芳香族ビニル重合体樹脂;ナイロンなどのポリアミド樹脂;ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネートおよびポリアリレートなどのポリエステル樹脂;ポリイミド樹脂;ポリメチルメタクリレートなどのアクリル樹脂;などが挙げられる。これらの中でも、ビニルアルコール樹脂および脂環式構造含有重合体を含有する樹脂が好ましく、脂環式構造含有重合体を含有する樹脂がより好ましく、分子内に三級炭素を有する脂環式構造含有重合体を含有する樹脂が特に好ましい。脂環式構造含有重合体は、脂環式構造を有する繰り返し単位を含有する重合体である。脂環式構造含有重合体を含有する樹脂は、透明性に優れ、水や有機低分子などの放出分が少ないので、本発明の製造方法により得られる表面改質成形体を、光学材料、精密機器材料等の用途に用いる場合には特に好適である。脂環式構造含有重合体の具体例としては、ノルボルネン系重合体、単環シクロアルケンの付加重合体、ビニルシクロアルカンの重合体などが挙げられる。これらのうちの一種を単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。脂環式構造としては、単環、多環縮合多環、橋架け環、これらの組み合わせ多環などが挙げられる。脂環式構造を構成する炭素原子数は、通常、4~30個、好ましくは5~20個、より好ましくは5~15個の範囲である。脂環式構造の炭素数が上記範囲であると、機械的強度、耐熱性および成形性の諸特性が高度にバランスされ好適である。脂環式構造含有重合体において、脂環式構造を有する繰り返し単位の割合は通常20~100重量、好ましくは30~100重量である。脂環式構造を有する繰り返し単位の割合が過度に少ないと、耐熱性に劣る場合がある。脂環式構造を有する繰り返し単位以外の繰り返し単位は、使用目的に応じて適宜選択される。ノルボルネン系重合体は、ノルボルネン環構造を有する単量体の付加重合体もしくは開環重合体、またはこれらの水素化物である。単環シクロアルケンの付加重合体は、単環シクロアルケン単量体もしくは脂環式共役ジエン単量体の付加重合体、またはこれらの水素化物である。ビニルシクロアルカンの重合体は、ビニルシクロアルカンもしくはビニルシクロアルケンの重合体、またはこれらの水素化物、あるいは芳香族ビニル重合体の芳香環部分の水素化物である。これらの脂環式構造含有重合体は、上記各単量体と、共重合可能な他の単量体との共重合体であってもよい。脂環式構造含有重合体はさらにヒドロキシル基、カルボキシル基、アルコキシル基、エポキシ基、グリシジル基、オキシカルボニル基、カルボニル基、アミノ基、エステル基、およびカルボン酸無水物基などの極性基を有していてもよいが、極性基を有さないものが好ましい。これらの脂環式構造含有重合体の中でも、成形性に優れ、自己蛍光が少ないので蛍光分析などの用途にも好適に用いることができ、溶出分が少ないなどの理由から、ノルボルネン環構造を有する単量体の開環重合体およびその水素化物が好ましく、分子内に三級炭素を有する、ノルボルネン環構造を有する単量体の開環重合体およびその水素化物が、プラズマ照射を行う場合その効果がより高くなるので、特に好ましい。樹脂のガラス転移温度は,特に制限されないが、好ましくは100°C以上、より好ましくは130°C以上である。脂環式構造含有重合体を得るための重合方法、および必要に応じて行われる水素化の方法は、格別な制限はなく、公知の方法に従って行うことができる。樹脂は、その主成分となる重合体に加え、各種の添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、格別限定はなく、通常の樹脂の添加剤を用いることができる。例えば、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、近赤外線吸収剤等の安定剤;滑剤、可塑剤等の樹脂改質剤;染料、顔料等の着色剤;帯電防止剤;等が挙げられる。これらの添加剤は、そのいずれか一種を単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。これらの添加剤の添加量は、本発明の目的を損ねない範囲で適宜選択される。前記無機材料の例としては、ガラス、単結晶サファイヤ、石英、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化マグネシウムを挙げることができる。ガラスとしては、より具体的には、ソーダガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、化学強化ガラスを挙げることができる。処理前成形体は、1種類の樹脂又は無機材料からなる1層のものであってもよく、これらの2種類以上の組み合わせからなっていてもよい。例えば、複数の層を有するものであってもよい。この場合、複数の層を構成する材料樹脂及び/又は無機材料は、同一であってもよく、異なっていてもよい。処理前成形体の処理に際し、処理前成形体は、樹脂及び無機材料以外の部材と結合された複合材料とされていてもよい。この場合、複合材料の表面の層が処理前成形体で構成されていることにより、かかる複合材料上の処理前成形体を本発明の方法に供することができる。例えば、おもて面が露出し、裏面を介して樹脂及び無機材料以外の部材に貼合されてなる、処理前成形体を含む複合部材を、シランカップリング剤による処理に供し、かかる複合部材のおもて面に処理を施し、本発明の製造方法を行うこともできる。処理用ガス本発明の製造方法は、処理前成形体の表面に、気化したシランカップリング剤を含むガス以下、処理用ガスと呼ぶ場合がある。を接触させる工程を含む。シランカップリング剤としては、公知のシランカップリング剤をいずれも用いることができる。シランカップリング剤の具体的としては、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどのビニル基を有するもの;2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシランなどのエポキシ基を有するもの;p-スチリルトリメトキシシランなどのスチリル基を有するもの;3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシメチルジエトキシシラン、3-メタクリロキシトリエトキシシランなどのメタクリロキシ基を有するもの;3-アクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのアクリロキシ基を有するもの;N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-トリエトキシシリル-N-1,3-ジメチルブチリデンプロピルアミン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-ビニルベンジル-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩、特殊アミノシラン信越化学社製、KBM-6135などなどのアミノ基を有するもの;3-ウレイドプロピルトリエトキシシランなどのウレイド結合を有するもの;3-クロロプロピルトリメトキシシランなどのハロゲン原子を含有するもの;3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシランなどのメルカプト基を有するもの;ビストリエトキシシリルプロピルテトラスルフィドなどのスルフィド結合を有するもの;3-イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどのイソシアネート基を有するもの;等が挙げられる。これらのうちの一種を単独で用いることもでき、二種以上を組み合わせて用いることもできる。処理用ガスは、シランカップリング剤に加えて、キャリアガスを含有することができる。かかるキャリアガスとしては、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスを用いることができる。処理用ガスにおけるシランカップリング剤濃度は、飽和濃度の20以上であり、40以上であることが好ましく、60以上であることがより好ましく、且つ、100以下であり、95以下であることが好ましく、90以下であることがより好ましい。シランカップリング剤濃度を飽和濃度の20以上とすることにより、効率的な改質処理が可能となる。処理用ガスは、さらに、必要に応じて、水蒸気を含むことができる。水蒸気を含むことにより、高い剥離強度を与えるシランカップリング処理を、さらに効率的に達成することができる。処理用ガスにおける水蒸気の含有割合は、飽和濃度の5~100とすることができる。処理用ガスは、さらに、必要に応じて、任意の気体成分を含むことができる。かかる任意の気体成分としては、メタノール、エタノールなどを挙げることができる。処理用ガスにおける任意の気体成分の含有割合は、飽和濃度の0.1~10とすることができる。処理用ガスの接触処理前成形体に処理用ガスを接触させる工程においては、処理前成形体の表面から5mmの高さにおける処理用ガスの流速の、処理前成形体の表面処理の対象となる表面に平行な成分は、10cm/sec以上、好ましくは100cm/sec以上、より好ましくは500cm/sec以上とする。かかる速度での接触を行うことにより、高い剥離強度を与えるシランカップリング処理を、効率的に達成することができる。一方、速度の上限は、特に限定されないが5000cm/sec以下としうる。処理用ガスの流速の、処理前成形体の表面に平行な成分を、図1を参照して説明する。図1は、処理用ガスを接触させる工程における処理前成形体の側面図である。図1において、処理前成形体11は、表面11Sを有し、この表面11Sが、処理用ガスにより処理される。この場合、表面11Sより5mmの高さ図1においては矢印hで示されるの位置の面13破線で示されるにおける、処理用ガスの速度が検討される。この例において、面13上の点14における処理用ガスの風向が、矢印A11で示される通り面13と平行即ち表面11Sとも平行な方向である場合、処理用ガスの流速の、処理前成型体の表面に平行な成分は、処理用ガスの流速に等しい。他の一例として、面13上の点14における処理用ガスの風向が、矢印A12で示される通り面13と角θをなす場合、処理用ガスの流速の、処理前成形体の表面に平行な成分は、v1=vcosθここで、vは処理用ガスの流速、v1は処理用ガスの流速の処理前成形体の表面に平行な成分の式で求められる。θの範囲としては60°~90°が好ましい。処理前成形体に処理用ガスを接触させる工程の、具体的な態様を、図2~図5を参照して説明する。図2に示す例において、容器21は、導入口22及び排出口23を有する。容器21内の内側底面に、処理前成形体11が、処理対象の表面11Sを上側にして載置される。処理用ガスは、矢印A21で示す通り、導入口22から容器21内に導入され、容器21内を流通し、排出口23から排出される。容器21内の表面11Sより5mmの高さにおける処理用ガスの流速は、風速計24によりモニターし、流速が所望の速度となるよう、導入口22から導入する処理用ガスの速度を調節することができる。これにより、処理前成形体11の表面11Sに、所望の流速で処理用ガスを接触させることができる。図3に示す例において、容器31は、送風機33を備える。送風機33により、容器31内の気体を矢印A31に示す方向に循環することができる。容器33内に、シランカップリング剤を気化させる装置32を載置し、シランカップリング剤を気化させることにより、容器31内に処理用ガスを、所望の流速で循環させることができる。流速は、必要に応じて、処理前成形体の近傍に設置した風速計不図示でモニターすることができる。このような容器31内に、処理前成形体11を載置することにより、処理前成形体11の表面11Sに、所望の流速で処理用ガスを接触させることができる。図4に示す例においては、処理前成形体11の表面11Sに、ノズル41により処理用ガスを吹き付けており、それにより、矢印A41~A42に示す通りガスを流している。また図5に示す例においては、処理前成形体11の表面11Sに、シャワーヘッド51により処理用ガスを吹き付けており、それにより、矢印A51~A54に示す通りガスを流している。このような態様によっても、処理前成形体11の表面11Sに、所望の流速で処理用ガスを接触させることができる。前処理処理前成形体に処理用ガスを接触させる工程に先立ち、処理前成形体に、任意の前処理を行うことができる。かかる前処理の例としては、プラズマ照射、エキシマ紫外線照射、コロナ放電、及び水蒸気処理を挙げることができる。均一に表面処理を行うことが可能であることから、プラズマ照射が好ましく、常圧プラズマ照射がより好ましい。常圧プラズマ照射は、例えば、常圧プラズマ表面処理装置製品名AP-T03-L、積水化学社製を用いて行うことができる。常圧プラズマ照射は、水素、ヘリウム、窒素、酸素、アルゴンから選択される1種以上のガス雰囲気下で行うことが好ましく、窒素と乾燥空気または酸素とを混合して用いることがより好ましい。窒素の流量は好ましくは50~150NL/分、乾燥空気または酸素の流量は好ましくは0.1~5NL/分である。プラズマ照射の出力は0.5~2kWであることが好ましい。プラズマ照射の周波数は出力に対応した共振周波数であることが好ましく、具体的には10~100KHzの範囲が好ましい。プラズマ照射の照射速度は1~100cm/分で行うことが好ましい。プラズマ発生源と処理対象の表面との距離は1~10mmの間が好ましい。また、プラズマ照射を常圧下ではなく減圧下で行うときは、0.001~10kPa絶対圧の低圧ガスアルゴンガス、酸素ガス、窒素ガス、またはこれらの混合ガスなどを用いてプラズマ処理を行うことが好ましい。低圧ガスとしては、窒素と酸素との混合ガスを用いることが特に好ましい。窒素と酸素との混合比は体積比で10:1~1:10であることが好ましく、混合ガスの流量は0.1~10NL/分であることが好ましい。プラズマ照射の出力は好ましくは50~500Wである。エキシマ紫外線照射は、窒素と乾燥空気又は酸素との混合気体を流しながらエキシマ紫外線ランプを用いてエキシマ紫外線照射することが好ましい。該混合気の酸素濃度は、通常1~15、好ましくは3~5である。混合気の流量は好ましくは3~7リットル/分である。ランプと処理対象の表面との距離は10mm以下が好ましく、1~5mmがより好ましい。照射の強度は、好ましくは20~100mW、より好ましくは30~50mWである。コロナ放電は、乾燥空気雰囲気下で行うことが好ましく、乾燥空気の流量は10~100NL/分であることが好ましい。コロナ放電の出力は好ましくは250~1000W、放電電量は好ましくは20~550W分/m2である。水蒸気処理とは、処理前成形体を、水蒸気に曝す処理である。かかる処理を行うことにより、処理前成形体の表面に、水分を付着させることができる。このように水分を付着させることにより、高い剥離強度を与えるシランカップリング処理を、さらに効率的に達成することができる。水蒸気処理は、超音式加湿器、スチーム式加湿器等で発生させた水蒸気に、処理前成形体を接触させることによって行うことが出来る。前処理として水蒸気処理を行う場合、かかる処理は、処理前成形体に処理用ガスを接触させる工程の直前に行うことが好ましい。それにより、有効な量の水分が表面に付着した状態で、処理前成形体を接触工程に供することができる。従って、前処理として、水蒸気処理及びそれ以外の処理プラズマ照射、エキシマ紫外線照射、コロナ放電を含む1種以上の処理の両方を行う場合、水蒸気処理の工程を後に行うことが好ましい。製造物の用途処理前成形体に処理用ガスを接触させる工程により処理された成形体は、そのまま、又は必要に応じて加熱処理等の任意の処理を施した後、表面改質成形体として用いることができる。本発明の製造方法により得られた表面改質成形体の用途は、特に限定されないが、他の部材と貼合して積層体として用いることができる。例えば、表面改質成形体を、表面改質ガラス基板又は表面改質樹脂フィルムとして得て、このシランカップリング剤により処理された表面を、他の部材のシランカップリング処理された面と貼付して、積層体を構成することができる。貼合は、例えば、表面改質成形体と他の部材とを重ね、ラミネーターを用いて加熱圧着することにより行うことができる。加熱圧着の条件は、使用する材料等に応じて適宜選択しうるが、圧力は、0.1~5MPaとすることができ、温度は80°C~150°Cとすることができる。表面改質成形体を含む積層体の用途は、特に限定されないが、例えば、ディスプレイ装置、照明装置などの光学装置において、基板、光学的機能を有する層、ディスプレイ表面の保護等の機械的機能を有する層、又はこれらの機能を併せ持つ複合体として用いることができる。以下、実施例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明は以下に示す実施例に限定されるものではない。なお、以下の実施例の説明において、量を表す及び部は、別に断らない限り、重量基準である。さらに、以下に説明する操作は、別に断らない限り、常温及び常圧の条件において行った。<実施例1>1-1.ガラス基板の前処理ガラス基板厚さ0.7mm、コーニング社製、商品名イーグルXGを50mm角の正方形に切り出した後、両面に、常圧プラズマ表面処理装置製品名AP-T03-L、積水化学社製を用いて出力1.5kw、周波数25kHz、窒素ガス流量50L/分、照射速度30cm/分で大気圧プラズマ照射を行ない、前処理済みのガラス基板を得た。1-2.ガラス基板のシランカップリング剤処理気化装置VU-550:リンテック社製を用いて気化した3-アミノプロピルトリメトキシシラン製品名KBM-903、信越化学社製と、窒素とを混合して、3-アミノプロピルトリメトキシシランの濃度が、飽和濃度の90になるようにした処理用ガス1を発生させた。この処理用ガス1を、図2に示す容器21の導入口22から導き、排出口23から排出することにより、容器21内を流通させた。この状態で、容器21の中に、工程1-1で得た前処理済みのガラス基板を入れ、ガラス基板の一方の面図においては、処理前成形体11の上側の面11Sに相当に処理用ガス1を所定時間接触させることにより、シランカップリング剤処理を行ない、表面改質ガラス基板を得た。処理に際し、処理用ガス1の流速は、基板11の面11Sから5mmの高さにおいて風速計24トーニック株式会社製:貼付型風速風温プローブQB-5、デジタル1CH風速計GeY-10DAを用いてモニターし、500cm/secになるように調節した。また、処理時間は、多数のガラス基板のそれぞれにおいて異なる時間を設定した。処理時間は、3秒、5秒、10秒、15秒、20秒、30秒、及びさらにこれ以降10秒間隔で増える値を適宜設定した。1-3.評価用の、表面改質樹脂フィルムの作製環式構造含有重合体製品名ゼオノア1430R、ガラス転移温度138°C、日本ゼオン株式会社製のペレットを、温度240°Cの短軸押出機で溶融し、温度240°CのT型ダイから溶融押出しして、厚さ100μmの樹脂フィルムを得た。この樹脂フィルムを、常圧プラズマ表面処理装置製品名AP-T03-L、積水化学社製を用いて出力1.5kw、周波数25kHz、窒素ガス流量50L/分、照射速度30cm/分で処理し、前処理済みの脂環式構造含有重合体フィルムを得た。3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン製品名KBM-403、信越化学社製を密閉容器内に少量入れ、容器内をシランカップリング剤の蒸気で飽和状態にした。ここに、上で得た前処理済みの脂環式構造含有重合体フィルムを入れ、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシランの液面がフィルム試料に触れないようにして、25°Cで15分間保持し、ベーパー処理法による処理を行なった。これを適宜切断し、60mm角の正方形とした、多数の表面改質樹脂フィルムを得た。1-4.表面改質ガラス基板の評価工程1-2で得た表面改質ガラス基板の処理面と、工程1-3で得られた表面改質樹脂フィルムの処理面とを合わせた後、ラミネータ株式会社MCK社製、ML-300Tを用いて圧着貼合した。ラミネーションの条件は、圧力0.4MPa、及び温度130°Cとした。これを、温度23°C、剥離速度50mm/分、剥離角度180°の条件で剥離し、ピール強度kg/mm2を求めた。接合強度0.1kg/mm2以上の値が得られたもののうち、最も処理時間が短かったものの処理時間を、表1に示す。<実施例2~5及び比較例1~2>工程1-2において、処理用ガス1中の3-アミノプロピルトリメトキシシランの濃度飽和濃度を100とした百分率、又は容器21内の処理用ガス1の流速を、表1に示す通り変更した他は、実施例1と同様にして、表面改質ガラス基板を作製し評価した。結果を表1に示す。<実施例6>気化装置VU-550:リンテック社製を用いて気化した3-アミノプロピルトリメトキシシラン製品名KBM-903、信越化学社製と、窒素と、水蒸気とをを混合して、処理用ガス2を発生させた。この処理用ガス2において、3-アミノプロピルトリメトキシシランの濃度は飽和濃度の90であり、水蒸気濃度は飽和濃度の80であった。工程1-2において、処理用ガスとして、処理用ガス1に代えて上で得た処理用ガス2を用いた。さらに、容器21内の処理用ガス1の流速を、100cm/secとした。以上の点の他は、実施例1と同様にして、表面改質ガラス基板を作製し評価した。結果を表1に示す。<実施例7>7-1.水蒸気処理実施例1の工程1-1で得た前処理済みのガラス基板を、スチーム式加湿器等で発生させた水蒸気に接触させることにより、水蒸気処理し、前処理及び水蒸気処理済みのガラス基板を得た。7-2.表面改質ガラス基板の作製及び評価工程1-1で得た前処理済のガラス基板に代えて、工程7-1で得た前処理及び水蒸気処理済みのガラス基板を、水蒸気処理後直ちに用いた。さらに、容器21内の処理用ガス1の流速を、100cm/secとした。以上の点の他は、実施例1の工程1-2~1-4と同様にして、表面改質ガラス基板を作製し評価した。結果を表1に示す。<実施例8>ガラス基板に代えて、単結晶サファイヤ基板厚さ1.0mm、京セラ製を用いた。さらに、容器21内の処理用ガス1の流速を、100cm/secとした。以上の点の他は、実施例1と同様にして、表面改質ガラス基板を作製し評価した。結果を表1に示す。<実施例9>9-1.樹脂フィルムの作製及び前処理脂環式構造含有重合体製品名ゼオノア1430R、ガラス転移温度138°C、日本ゼオン株式会社製のペレットを、温度240°Cの短軸押出機で溶融し、温度240°CのT型ダイから溶融押出しして、厚さ100μmの樹脂フィルムを得た。この樹脂フィルムを60mm角の正方形に切り出した後、その一方の面に、常圧プラズマ表面処理装置製品名AP-T03-L、積水化学社製を用いて出力1.5kw、周波数25kHz、窒素ガス流量50L/分、照射速度30cm/分で大気圧プラズマ照射を行ない、前処理済みの樹脂フィルムを得た。9-2.樹脂フィルムのシランカップリング剤処理気化装置VU-550:リンテック社製を用いて気化した3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン製品名KBM-403、信越化学社製と、窒素とを混合して、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシランの濃度が、飽和濃度の90になるようにした処理用ガス3を発生させた。この処理用ガス3を、図2に示す容器21の導入口22から導き、排出口23から排出することにより、容器21内を流通させた。この状態で、容器21の中に、工程9-1で得た前処理済みの樹脂フィルムを入れ、樹脂フィルムの一方の面図においては、処理前成形体11の上側の面11Sに相当に処理用ガス3を所定時間接触させることにより、シランカップリング剤処理を行ない、表面改質樹脂フィルムを得た。処理に際し、処理用ガス3の流速は、基板11の面11Sから5mmの高さにおいて風速計24トーニック株式会社製:貼付型風速風温プローブQB-5、デジタル1CH風速計GeY-10DAを用いてモニターし、100cm/secになるように調節した。また、処理時間は、多数の樹脂フィルムのそれぞれにおいて異なる時間を設定した。処理時間は、3秒、5秒、10秒、15秒、20秒、30秒、及びさらにこれ以降10秒間隔で増える値を適宜設定した。9-3.評価用の、表面改質ガラス基板の作製ガラス基板厚さ0.7mm、コーニング社製、商品名イーグルXGを50mm角の正方形に切り出した後、両面に、常圧プラズマ表面処理装置製品名AP-T03-L、積水化学社製を用いて出力1.5kw、周波数25kHz、窒素ガス流量50L/分、照射速度30cm/分で大気圧プラズマ照射を行ない、前処理済みのガラス基板を得た。3-アミノプロピルトリメトキシシラン製品名KBM-903、信越化学社製を密閉容器内に少量入れ、容器内をシランカップリング剤の蒸気で飽和状態にした。ここに、上で得た前処理済みのガラス基板を入れ、3-アミノプロピルトリメトキシシランの液面がガラス基板に触れないようにして、25°Cで15分間保持し、ベーパー処理法による処理を行ない、多数の表面改質ガラス基板を得た。9-4.表面改質ガラス基板の評価工程9-2で得た表面改質樹脂フィルムの処理面と、工程9-3で得られた表面改質ガラス基板の処理面とを合わせた後、ラミネータ株式会社MCK社製、ML-300Tを用いて圧着貼合した。ラミネーションの条件は、圧力0.4MPa、及び温度130°Cとした。これを、温度23°C、剥離速度50mm/分、剥離角度180°の条件で剥離し、ピール強度kg/mm2を求めた。接合強度0.1kg/mm2以上の値が得られたもののうち、最も処理時間が短かったものの処理時間を、表1に示す。<比較例5及び6>工程9-2において、処理用ガス3中の3-グリシドキシプロピルトリメトキシシランの濃度飽和濃度を100とした百分率、又は容器21内の処理用ガス3の流速を、表1に示す通り変更した他は、実施例9と同様にして、表面改質樹脂フィルムを作製し評価した。結果を表1に示す。<実施例10>樹脂フィルムとして、脂環式構造含有重合体のフィルムに代えて、ポリカーボネートフィルム恵和株式会社製、商品名オプコン、厚さ110μmを用いた他は、実施例9と同様にして、表面改質樹脂フィルムを作製し評価した。結果を表1に示す。<比較例7及び8>樹脂フィルムとして、脂環式構造含有重合体のフィルムに代えて、ポリカーボネートフィルム恵和株式会社製、商品名オプコン、厚さ110μmを用いた。さらに、工程9-2において、処理用ガス3中の3-グリシドキシプロピルトリメトキシシランの濃度飽和濃度を100とした百分率、又は容器21内の処理用ガス3の流速を、表1に示す通り変更した。以上の点の他は、実施例9と同様にして、表面改質樹脂フィルムを作製し評価した。結果を表1に示す。<実施例11~13>工程1-2において処理用ガス1に加えるシランカップリング剤として、3-アミノプロピルトリメトキシシランに代えて、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン実施例11、製品名KBM-803、信越化学社製、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン実施例12、製品名KBE-9007、信越化学社製、又はビニルトリメトキシシラン実施例13、製品名KBM-803、信越化学社製を用いた。さらに、容器21内の処理用ガス1の流速を、100cm/secとした。以上の点の他は、実施例1と同様にして、表面改質ガラス基板を作製し評価した。結果を表1に示す。表中の略号は、それぞれ以下のものを示す。COP:脂環式構造含有重合体製品名ゼオノア1430RPC:ポリカーボネートフィルム商品名オプコン1:処理用ガスが、シランカップリング剤に加えて、水蒸気を含む。2:シランカップリング剤処理に先立ち、水蒸気処理を施した。表1に示す通り、処理用ガス中のシランカップリング剤濃度及び処理用ガスの流速が本発明の規定の範囲内である実施例では、対応する比較例に比べて、短時間で必要な密着力が得られるという顕著な効果が得られる。特に、処理用ガスに水蒸気を加えた実施例6及びガラス基板に水蒸気処理を施した実施例7においては、流速をあまり高めなくても、より流速の高い実施例1と同程度に短い時間で必要な密着力を得ることができた。"