"内部に設けた流体通路に連通する貫通穴が形成されたハウジングと、前記貫通穴から前記流体通路に挿通され、前記流体通路内のバルブを駆動するバルブ軸と、前記貫通穴の内壁面に沿って形成されたくぼみに係合した環状の鍔部、当該鍔部から前記バルブ軸の軸方向に沿って前記流体通路の方向へ突出した筒状部、および当該筒状部の内周面側で前記バルブ軸の外周面に当接する摺動部からなり、ステンレス鋼のメッシュ材を骨材にしてカーボン材を押し固めて構成されたシール部材とを備えるバルブの軸シール構造。前記シール部材は、前記鍔部が前記ハウジングに接触し、前記筒状部と前記摺動部は前記ハウジングに接触しない形状であることを特徴とする請求項1記載のバルブの軸シール構造。前記シール部材は、前記鍔部の前記軸方向の厚みより、前記筒状部の径方向の厚みを薄くした形状であることを特徴とする請求項1記載のバルブの軸シール構造。前記シール部材は、前記筒状部の前記軸方向の長さを、前記鍔部の前記軸方向の厚みの2倍以上にした形状であることを特徴とする請求項1記載のバルブの軸シール構造。前記シール部材の摺動部は、ステンレス鋼のメッシュ材よりカーボン材が多く配置されたことを特徴とする請求項1記載のバルブの軸シール構造。前記シール部材は、前記鍔部と前記筒状部の接続部分に配置するステンレス鋼のメッシュ材の量を調整して撓み性を確保した構成であることを特徴とする請求項1記載のバルブの軸シール構造。従来のシール部材は一般にフッ素樹脂製260°C程度の耐熱性であるため、例えばエンジンからの排気ガスを吸気側へ循環させる排気ガス循環バルブのような、高温流体中での使用に適さなかった。これに対して、上記特許文献2ではシール部材となる軸受ブッシュを、フッ素樹脂より耐熱性のあるカーボン材で構成して、高温流体中での使用を可能にしている。しかしながら、バルブを構成するチタン材はカーボン材とは熱膨張率が異なるため、軸受ブッシュの端面とバルブとに隙間が生じてしまう。そのため、軸受ブッシュのバルブ圧接端面とは反対側の端面に、軸受ブラケットを当接してこの軸受ブラケットをスラストスプリングで付勢することで、軸受ブッシュのバルブ圧接端面をバルブに押し当てて隙間を塞ぐ構成にしていた。従って、構成が複雑で部品点数が増え、また、構成に必要なスペースが大きくなるという課題があった。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、簡易な構成で、かつ、高温でも軸漏れを抑制可能なバルブの軸シール構造を提供することを目的とする。この発明に係るバルブの軸シール構造は、内部に設けた流体通路に連通する貫通穴が形成されたハウジングと、貫通穴から流体通路に挿通され、流体通路内のバルブを駆動するバルブ軸と、貫通穴の内壁面に沿って形成されたくぼみに係合した環状の鍔部、当該鍔部からバルブ軸の軸方向に沿って流体通路の方向へ突出した筒状部、および当該筒状部の内周面側でバルブ軸の外周面に当接する摺動部からなり、ステンレス鋼のメッシュ材を骨材にしてカーボン材を押し固めて構成されたシール部材とを備えるものである。この発明によれば、高温でも使用可能なステンレス鋼のメッシュ材とカーボン材からシール部材を形成し、鍔部と貫通穴のくぼみとの係合部分および摺動部とバルブ軸との当接部分でシールするようにしたので、簡易な構成で、かつ、高温でも軸漏れを抑制することのできる軸シール構造を提供することができる。以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。実施の形態1.図1に示す流体制御用バルブ1は、ハウジング2と、ハウジング2に設けた流体通路3と、流体通路3に連通する貫通穴4と、流体通路3を流れる流体の流量を制御するバタフライタイプのバルブ5と、貫通穴4から流体通路3に挿通され、一端側に連結されたバルブ5と一体に回転するバルブ軸6と、貫通穴4の内壁面に沿って形成された階段部7と、この階段部7の上段に圧入された環状のプレート8と、バルブ軸6周りの隙間をシールするシール部材10とから構成されている。このバルブ軸6の一端部にはアクチュエータ等不図示が接続され、アクチュエータの回転駆動力を受けてバルブ軸6が軸方向Xを中心に回転することにより、このバルブ軸6の他端部に連結されたバルブ5が開閉する。以下、説明の便宜上、バルブ軸6の軸方向Xに沿ってアクチュエータ等接続側を上、バルブ5連結側を下と呼ぶ。本実施の形態1では、流体通路3を流れる流体がバルブ軸6の外周面とハウジング2貫通穴4との隙間を通ってアクチュエータ側へ漏れる、いわゆる軸漏れを抑制するために、シール部材10を用いた軸シール構造を設ける。図2に、流体制御用バルブ1の軸シール構造を拡大した図を示す。図中の矢印Aは軸漏れした流体の流れる方向を示す。シール部材10は、このシール部材10をハウジング2に固定するための環状の鍔部11と、軸漏れが生じる流体通路3の方向へ突出し、先端に向かうにつれすぼまる形状をした筒状部12と、筒状部12の内周面の先端側でバルブ軸6の外周面に当接する摺動部13とから構成されている。このシール部材10は、ステンレス鋼JISのSUS304、SUS310等の線材をメッシュ状に編んでなるシート状の素材以下、SUSメッシュを、図示したようなシール部材10の形状に整形して骨材とし、カーボン材を押し固めて構成する。カーボン材は650°C程度の高温まで、SUSメッシュは650°C以上の高温での使用が可能な材料であるので、このシール部材10は約650°Cの高温流体中で使用可能である。また、SUSメッシュはバネ性を有しているため、SUSメッシュの量またはメッシュ密度を調整することにより、シール部材10の撓み性を調整できる。また、SUSメッシュの隙間をカーボン材が塞いでいるので、シール部材10は流体を通さない。鍔部11は、ハウジング2の階段部7とプレート8とで構成される環状のくぼみに係合してシール部材10を支持する部位になる。そのため、鍔部11を、カーボン材よりSUSメッシュを多く配置して押し固めた構成にして、支持強度を確保する。図2に点描で示すように、鍔部11と階段部7の当接部分でシールし、また、鍔部11とプレート8の当接部分でもシールする。なお、図示例では、鍔部11を係合して固定するためのくぼみを階段部7とプレート8とで構成したが、これに限定されるものではなく、鍔部11を上下方向から挟み込んで固定する構造であればよい。摺動部13は、筒状部12の内周面の一部であり図2に点描で示す、バルブ軸6の外周面に当接してシールする。そのため、摺動部13を、摺動性の良好なカーボン材をSUSメッシュより多く配置して押し固めた構成にし、摺動性を確保する。また、カーボン材を多く配置することにより、摺動部13の腐食、固着等を抑制することができる。さらに、摺動部13のシール性を確保するために、摺動部13の内径をバルブ軸6の外径より小さく設定する。鍔部11と筒状部12の接続部分である曲げ部14は、シート状のSUSメッシュを折り曲げて整形し、カーボン材を押し固めて構成している。この曲げ部14に配置するSUSメッシュ量またはメッシュ密度を調整して筒状部12の撓み性を確保する。撓み性を確保することにより、バルブ軸6の動作時に軸ずれおよび軸の傾きが生じても、筒状部12が撓んで変形し、摺動部13がバルブ軸6に当接したまま追従するようになる。よって、摺動部13のシール性を保つことができる。傾向としてSUSメッシュ量を多くするほど撓みにくくなるので、シール部材10のうち鍔部11のSUSメッシュ量を最も多くし、曲げ部14はそれより少ない量に調整するとよい。また、筒状部12の撓み性を確保することにより、流体制御用バルブ1が高温~650°Cまたは低温になってバルブ軸6とシール部材10の線膨張係数差から摺動部13の締め代が変化した場合でも、摺動部13がバルブ軸6に当接したままシールできる。例えば高温下で、バルブ軸6がシール部材10よりも大きく熱膨張した場合、撓み性がないと摺動部13がバルブ軸6を締め付けて、摺動抵抗が増加することになる。これに対し、本実施の形態1のように撓み性を確保すれば、摺動抵抗の増加を抑制した状態でバルブ軸6に当接し続けることができる。また、図2に示すように、鍔部11の軸方向Xの厚みCより筒状部12の径方向の厚みDを薄くする。これにより、筒状部12がより撓みやすくなり、摺動部13によるシールをより確実にすることができる。さらに、筒状部12の径方向の厚みDを一定にせず、先端に向かうにつれ薄くなるように形成してもよい。また、図2に示すように、筒状部12の軸方向Xの長さEを、少なくとも鍔部11の軸方向Xの厚みCの2倍以上にして、撓み性を確保する。これに対し、鍔部11と筒状部12の軸方向Xの長さを同じにした場合の例を、図3に示す。軸漏れした流体の圧力がシール部材10に印加された場合図3に矢印A,Fで示す、筒状部12の反り返りが発生し、摺動部13とバルブ軸6との間に隙間が生じる。そして、流体の圧力が加わるほど摺動部13がバルブ軸6から離れて隙間が広がり、漏れ量が多くなる。一方、図2のように筒状部12の長さEを調整して撓み性を確保することによって、大きな流体圧力が印加された場合でも反り返りが起こりにくく、軸漏れを抑制できる。さらに、筒状部12の外形を先端先細りのテーパ状にして軸漏れした流体の圧力を受けやすくしているので、流体が高圧の場合、筒状部12の外周面が流体圧力を受けて内側へ撓みやすくなる図2に矢印Bで示す。そのため、高圧流体中でも、摺動部13がバルブ軸6に当接してシールし、軸漏れを抑制することができる。また、筒状部12の径方向の厚みDをさらに薄くする等によって撓み性を高めることにより、流体圧力を利用してシールさせる構成にすることもできる。なお、図2の例では、筒状部12の内周面のうちの先端部分摺動部13にカーボン材を多く配置したが、筒状部12の内周面全体にカーボン材を多く配置しておいてもよい。これにより、流体の圧力を受けて筒状部12がバルブ軸6へ押さえ付けられる状態になったとしても摺動性を確保できる。このように、シール部材10の鍔部11と階段部7およびプレート8との係合部分、ならびに摺動部13とバルブ軸6の当接部分を常にシールするので、バルブ軸6周りの軸漏れを抑制することができる。また、シール部材10をSUSメッシュとカーボン材で構成したので、高温~650°Cでも使用できる。また、先立って説明した特許文献2のような構造に比べて、部品点数が少なく、かつ、必要スペースも小さくできる。なお、シール部材10は、階段部7とプレート8とに挟み込まれて固定される鍔部11以外の部分を、ハウジング2に接触させないことが好ましい。図2では、筒状部12を先端に向かってすぼまる形状にして、筒状部12の外周面がハウジング2に接触しない構造にする。即ち、バルブ軸6がずれたり傾いたり、またはバルブ軸6とシール部材10が熱膨張したりした場合でも、ハウジング2と筒状部12が接触しない程度の隙間を設ける。図4に、鍔部11以外の部分をハウジング2に接触させた場合の例を示す。図4のように筒状部12の外周面がハウジング2に当接していると、熱膨張およびバルブ軸6の傾き等により発生した力図4に矢印Gで示すの逃げ場がない。そのため、ハウジング2からの反力が摺動部13を通してバルブ軸6に伝わり図4に矢印Hで示す、摺動抵抗が増加することになる。一方、図2のように鍔部11以外の部分をハウジング2に接触させないことにより、バルブ軸6と摺動部13との摺動抵抗の増加を回避することができる。また、図2に示すように、階段部7の内径より鍔部11の外径を小さく設定しておき、鍔部11と階段部7との間に隙間を設けておくことが好ましい。鍔部11は上下方向から挟み込まれているのでその方向には熱膨張できないため、この隙間が逃げ場となる。なお、図2に示すシール部材10は、筒状部12の内周面をテーパ形状にしてその先端部分を摺動部13としてバルブ軸6に当接させる構成としたが、これに限定されるものではない。例えば図5に示すように、内周面をストレート形状にして、筒状部12の内周面全体を摺動部13としてバルブ軸6に当接させる構成にしてもよい。この構成の場合には、シール面積が大きくなるので、軸漏れをさらに抑制することができる。もちろん図2および図5に例示した以外の構成にしてもよい。摺動部13の面積は、このシール部材10を適用する流体制御用バルブ1のアクチュエータ駆動力、軸漏れの許容量、および流体圧力等に応じて適宜設定すればよい。以上より、実施の形態1によれば、流体制御用バルブ1は、内部に設けた流体通路3に連通する貫通穴4が形成されたハウジング2と、貫通穴4から流体通路3に挿通され、流体通路3内のバルブ5を駆動するバルブ軸6と、貫通穴4の内壁面に沿って形成された階段部7と圧入されたプレート8とで形成されたくぼみに係合した環状の鍔部11、この鍔部11から軸方向Xに沿って流体通路3の方向へ突出した筒状部12、およびこの筒状部12の内周面側でバルブ軸6の外周面に当接する摺動部13からなり、SUSメッシュを骨材にしてカーボン材を押し固めて構成されたシール部材10とを備えるように構成した。このため、簡易な構成で、かつ、低温から高温~650°Cまで軸漏れを抑制することができる。また、実施の形態1によれば、シール部材10は、鍔部11がハウジング2に接触し、筒状部12と摺動部13はこのハウジング2に接触しない形状にしたので、摺動部13とバルブ軸6との当接部分において摺動抵抗を少なくすることができる。また、実施の形態1によれば、シール部材10は、鍔部11の軸方向Xの厚みCより、筒状部12の径方向の厚みDを薄くしたので、鍔部11の強度を確保すると共に、筒状部12と摺動部13の撓み性を確保することができる。また、流体圧力を受けて筒状部12がバルブ軸6の方向へ変形しやすい構造になり、流体圧力が高い場合でも摺動部13がバルブ軸6に密着して軸漏れを抑制できる。また、実施の形態1によれば、シール部材10は、筒状部12の軸方向Xの長さEを、鍔部11の軸方向Xの厚みCの2倍以上にしたので、筒状部12と摺動部13の撓み性を確保することができる。また、流体圧力を受けても、筒状部12の反り返りが起こりにくい構造にできる。また、実施の形態1によれば、シール部材10の摺動部13に、SUSメッシュよりカーボン材を多く配置したので、摺動部13の摺動性を確保することができる。また、実施の形態1によれば、シール部材10は、鍔部11と筒状部12の接続部分である曲げ部14に配置するSUSメッシュの量を調整して撓み性を確保したので、バルブ軸6の動作時または熱膨張の影響でバルブ軸6と摺動部13との間の締め代または隙間が変化した場合でも摺動部13がバルブ軸6に当接でき、軸漏れを抑制することができる。なお、上記説明では軸方向Xを中心に回転するバルブ軸6に対してシール部材10を適用した例を挙げたが、これに限定されるものではなく、軸方向Xに沿って直動するバルブ軸に対してシール部材10を適用することもできる。また、バルブ5の形状もバタフライタイプに限定されるものではなく、ポペットタイプ、フラップタイプ等、任意の形状でよい。これ以外にも、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。"