鋼素線を有する鋼線と、前記鋼線に固着部により固着された砥粒と、前記砥粒と前記固着部との界面に形成された金属間化合物と、を有し、前記鋼素線は、質量で、C:0.8~1.2、Si:0.02~2.0、Mn:0.1~1.0、Cr:0.5以下、P:0.015以下、S:0.015以下、及びN:0.01以下、を含有し、残部がFe及び不可避的不純物からなり、前記鋼素線の引張強度が、3500MPa以上であり、前記固着部が、Zn又はAgを含むSn系半田を含むことを特徴とするソーワイヤ。前記鋼素線は、更に、質量で、Ni:1.0以下、Cu:0.5以下、Mo:0.5以下、V:0.5以下、及びB:0.0050以下、からなる群から選択された少なくとも一種を含有することを特徴とする請求項1に記載のソーワイヤ。前記鋼線は、前記鋼素線の表面に形成され、Zn又はCuの少なくとも一方を含有するめっき層を有することを特徴とする請求項1に記載のソーワイヤ。前記めっき層が、前記鋼素線に食い込んでいることを特徴とする請求項3に記載のソーワイヤ。前記めっき層の前記鋼素線への食い込み深さが0.5μm~5μmであることを特徴とする請求項4に記載のソーワイヤ。前記砥粒の表面に形成され、Ni又はCuの層を含む被覆層を有することを特徴とする請求項1に記載のソーワイヤ。前記被覆層は、前記Ni又はCuの層よりも前記砥粒側に設けられたTi又はCrの下地層を含むことを特徴とする請求項4に記載のソーワイヤ。前記砥粒の表面に形成され、Niの層を含む被覆層を有し、前記Sn系半田が、0.5質量~5.0質量のAgを含むSn-Ag系半田であり、前記金属間化合物が、Snを含有することを特徴とする請求項1に記載のソーワイヤ。前記Sn-Ag系半田が、当該Sn-Ag系半田の母材中に分散した、1μm~2μmの厚さを有する板状又は直径が1μm~2μmの紐状の少なくとも一方のAg3Sn系金属間化合物を含むことを特徴とする請求項6に記載のソーワイヤ。前記Sn-Ag系半田が、更に、Fe:0.01質量~0.5質量又はNi:0.01質量~0.5質量の少なくとも一方を含有することを特徴とする請求項6に記載のソーワイヤ。前記金属間化合物が、更にNiを含有することを特徴とする請求項6に記載のソーワイヤ。前記金属間化合物の組成が、Ni3Sn4、Ni3Sn2又はSn1-x-yNixCuy0.1≦x≦0.7、0.01≦y≦0.5で表わされることを特徴とする請求項9に記載のソーワイヤ。前記Sn系半田が、Znを含むSn-Zn系半田であり、前記金属間化合物が、Sn又はZnの少なくとも一方を含有することを特徴とする請求項1に記載のソーワイヤ。前記Sn-Zn系半田におけるZnの含有量が、1質量~35質量であることを特徴とする請求項11に記載のソーワイヤ。前記Sn-Zn系半田の組成が、Sn-Zn-Xで表わされ、Xが、Bi、Ni、Cu、Fe、Sb、Pb、In、及びAgから選択された少なくとも一種であり、前記Xの含有量が、0.5質量~5質量であることを特徴とする請求項11に記載のソーワイヤ。前記金属間化合物が、Ni-Sn系金属間化合物、Ni-Zn系金属間化合物、Ni-Sn-Zn系金属間化合物、Cu-Sn系金属間化合物、Cu-Sn-Zn系金属間化合物、及びCu-Zn系金属間化合物からなる群から選択された少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項11に記載のソーワイヤ。前記Sn-Zn系半田が、当該Sn-Zn系半田の母材中に分散した、板状又は針状のZn析出物を含むことを特徴とする請求項11に記載のソーワイヤ。本発明は、切断性能を向上することができるソーワイヤを提供することを目的とする。固定砥粒ソーワイヤにおいて切断性能を向上させるためには、高強度の高張力鋼線を用い、この高張力鋼線に砥粒を強固に固着させることが重要である。本願発明者らは、鋭意検討を行ったところ、砥粒を細い高張力鋼線に強固に固着するためには、比較的融点が低い材料を固着部に用いることが重要であること判明した。これに対し、融点が高い材料を用いると、例えば高融点のロウ材を用いてロウ付けを行うと、既に加工によって高強度化されている高張力鋼線、例えば、スチールコード等が、ロウ付けの際に軟化してしまう。また、Ni合金等の高融点ロウ材を電解めっきにより被着する場合、直径が数十μmの砥粒を固着するためには、少なくとも10μm以上の厚さのめっき層を形成する必要があり、長時間を要する工程となり高コストとなる。また、比較的融点が低い材料を固着部に用いつつ、高張力鋼線と固着部との接合力、固着部自身の強度、固着部と砥粒との接合力も高めることが重要である。そして、本発明者らは、これらの知見に基づいて更に鋭意検討を行った結果、固着部に所定の材料を用い、固着部と砥粒との間に金属間化合物を設けることにより、ソーワイヤの切断性能を向上することができることを見出した。金属間化合物により砥粒の固着力をより高めることが可能であり、切断中における砥粒の剥離を抑制することができる。そして、本発明の要旨とするところは、以下のとおりである。1鋼素線を有する鋼線と、前記鋼線に固着部により固着された砥粒と、前記砥粒と前記固着部との界面に形成された金属間化合物と、を有し、前記鋼素線は、質量で、C:0.8~1.2、Si:0.02~2.0、Mn:0.1~1.0、Cr:0.5以下、P:0.015以下、S:0.015以下、及びN:0.01以下、を含有し、残部がFe及び不可避的不純物からなり、前記鋼素線の引張強度が、3500MPa以上であり、前記固着部が、Zn又はAgを含むSn系半田を含むことを特徴とするソーワイヤ。2前記鋼素線は、更に、質量で、Ni:1.0以下、Cu:0.5以下、Mo:0.5以下、V:0.5以下、及びB:0.0050以下、からなる群から選択された少なくとも一種を含有することを特徴とする1に記載のソーワイヤ。3前記鋼線は、前記鋼素線の表面に形成され、Zn又はCuの少なくとも一方を含有するめっき層を有することを特徴とする1又は2に記載のソーワイヤ。4前記めっき層が、前記鋼素線に食い込んでいることを特徴とする3に記載のソーワイヤ。5前記めっき層の前記鋼素線への食い込み深さが0.5μm~5μmであることを特徴とする4に記載のソーワイヤ。6前記砥粒の表面に形成され、Ni又はCuの層を含む被覆層を有することを特徴とする1~5のいずれかに記載のソーワイヤ。7前記被覆層は、前記Ni又はCuの層よりも前記砥粒側に設けられたTi又はCrの下地層を含むことを特徴とする6に記載のソーワイヤ。8前記砥粒の表面に形成され、Niの層を含む被覆層を有し、前記Sn系半田が、0.5質量~5.0質量のAgを含むSn-Ag系半田であり、前記金属間化合物が、Snを含有することを特徴とする1~7に記載のソーワイヤ。9前記Sn-Ag系半田が、当該Sn-Ag系半田の母材中に分散した、1μm~2μmの厚さを有する板状又は直径が1μm~2μmの紐状の少なくとも一方のAg3Sn系金属間化合物を含むことを特徴とする8に記載のソーワイヤ。10前記Sn-Ag系半田が、更に、Fe:0.01質量~0.5質量又はNi:0.01質量~0.5質量の少なくとも一方を含有することを特徴とする8又は9に記載のソーワイヤ。11前記金属間化合物が、更にNiを含有することを特徴とする8~10のいずれかに記載のソーワイヤ。12前記金属間化合物の組成が、Ni3Sn4、Ni3Sn2又はSn1-x-yNixCuy0.1≦x≦0.7、0.01≦y≦0.5で表わされることを特徴とする11に記載のソーワイヤ。13前記Sn系半田が、Znを含むSn-Zn系半田であり、前記金属間化合物が、Sn又はZnの少なくとも一方を含有することを特徴とする1~7に記載のソーワイヤ。14前記Sn-Zn系半田におけるZnの含有量が、1質量~35質量であることを特徴とする13に記載のソーワイヤ。15前記Sn-Zn系半田の組成が、Sn-Zn-Xで表わされ、Xが、Bi、Ni、Cu、Fe、Sb、Pb、In、及びAgから選択された少なくとも一種であり、前記Xの含有量が、0.5質量~5質量であることを特徴とする13又は14に記載のソーワイヤ。16前記金属間化合物が、Ni-Sn系金属間化合物、Ni-Zn系金属間化合物、Ni-Sn-Zn系金属間化合物、Cu-Sn系金属間化合物、Cu-Sn-Zn系金属間化合物、及びCu-Zn系金属間化合物からなる群から選択された少なくとも一種を含むことを特徴とする13~15のいずれかに記載のソーワイヤ。17前記Sn-Zn系半田が、当該Sn-Zn系半田の母材中に分散した、板状又は針状のZn析出物を含むことを特徴とする13~16のいずれかに記載のソーワイヤ。本発明によれば、簡便かつ安価に砥粒の保持力を高め、切断性能を向上することができる。以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、実施形態は、本発明に係るソーワイヤの趣旨をより良く理解させるために詳細に説明するためのものであり、本発明は実施形態に限定されるものではない。図1Aは、本発明の実施形態に係るソーワイヤを示す断面図であり、ソーワイヤの伸線方向長手方向に平行な断面を示す。図1Bは、図1A中の領域R1の拡大図であり、図1Cは、図1A中の領域R2の拡大図である。図1Dは、本発明の実施形態に係るソーワイヤを示す断面図であり、ソーワイヤの伸線方向長手方向に直交する断面を示す。本発明の実施形態に係るソーワイヤ10には、鋼線11と、鋼線11に固着部12により固着された砥粒13と、が含まれている。鋼線11には、鋼素線11aとその表面に形成されためっき層11bとが含まれている。固着部12は、Agを含むSn系の半田又はZnを含むSn系の半田からなり、この半田には、半田母材12aとその内部に分散した分散物12bが含まれている。砥粒13は、例えば被覆層14及び金属間化合物層15により覆われており、被覆層14及び金属間化合物層15も固着部12により覆われている。<鋼線11>ここで、鋼線11について説明する。鋼線11の引張強度は3500MPa以上である。マルチワイヤソー等の切断装置を用い、一度に多数の薄いウエハを切り出す場合、切り出されたウエハに反りが生じないようにすることが重要である。ウエハの反りの発生には、ソーワイヤの張力が大きく関係する。すなわち、十分な張力をかけず切断した場合、ソーワイヤのたわみが大きくなるため、ウエハの切断面の平坦度が低下し、反りが発生しやすい。このため、切断時に高い張力をかけることが重要であるが、ソーワイヤの引張強度が低い場合には、断線が生じやすくなる。そこで、本実施形態では、鋼線11の引張強度を3500MPa以上とする。このような鋼線11は価格の点からも望ましい。なお、ソーワイヤ10に要求される強度によっては、鋼線11の引張強度は3800MPa以上であることが望ましく、4000MPa以上であることがより望ましく、4500MPa以上であることが更に一層望ましい。鋼線11の鋼素線11aは、質量で、C:0.8~1.2、Si:0.02~2.0、Mn:0.1~1.0、Cr:0.5以下、P:0.015以下、S:0.015以下、及びN:0.01以下を含有し、残部がFe及び不可避的不純物からなる。[炭素C:0.8~1.2]Cは、十分な引張強度を得るために必須の元素である。しかしながら、Cの含有量が0.8未満であると、3500MPa以上の引張強度を得ることが困難である。一方、Cの含有量が1.2を超えると、初析セメンタイトがオーステナイト粒界に析出して伸線加工性が劣化する。そのため、Cの含有量は0.8~1.2とする。[シリコンSi:002~2.0]Siは、フェライトを強化させて引張強度を向上させると共に、鋼の脱酸のために必須の元素である。しかしながら、Siの含有量が0.02未満であると、上記の効果が不十分である。また、Siの含有量が2.0を超えると、伸線加工性を劣化させる硬質のSiO2系介在物が発生する。そのため、Siの含有量は0.02~2.0とする。[Mnマンガン:0.1~1.0]Mnは、脱酸及び脱硫のために必要であり、また、焼入れ性を高めて引張強度を高めるために必須の元素である。しかしながら、Mnの含有量が0.1未満であると、上記の効果が不十分である。また、Mnの含有量が1.0を超えると、上記の効果が飽和する。そのため、Mnの含有量は0.1~1.0とする。[クロムCr:0.5以下]Crは、パーライトにおけるセメンタイト間隔ラメラ間隔の微細化に寄与する有用な元素であり、強度の向上に有効である。この効果を得るために、Crの含有量は0.01以上であることが好ましく、0.03以上であることがより好ましく、0.05以上であることが更に一層好ましい。その一方で、Crの含有量が0.5を超えると、熱処理パテンティング処理時のパーライト変態終了時間が長くなり、生産性が低下する。従って、Crの含有量は0.5以下とする。ここで、パテンティング処理とは、一次伸線加工材を加熱保持して組織をオーステナイト化した後、パーライトに恒温変態させるために、速やかにパーライト変態温度に冷却保持する熱処理である。[リンP:0.015以下]Pは、伸線加工性及び延性を低下させる。このため、Pの含有量は0.015以下とする。[硫黄S:0.015以下]Sは、伸線加工性及び延性を低下させる。このため、Sの含有量は0.015以下とする。[窒素N:0.01以下]Nは、延性を低下させる。このため、Nの含有量は0.01以下とする。なお、鋼線11が、選択的元素として、以下に示す各元素の内の1種又は2種以上を含有することが、機械的特性等をさらに向上できる点からより好ましい。[ニッケルNi:1.0以下]Niは、熱処理時の変態で生成するパーライトを伸線加工性の良好なものにする作用を有する。しかしながら、Niの含有量が1.0を超えても、その含有量に見合うだけの効果が得られない。このため、コスト等の観点から、Niの含有量は1.0以下であることが好ましい。また、Niの含有量が0.05未満では、上記の効果が得られない。このため、Niの含有量は0.05以上であることが好ましい。[銅Cu:0.5以下]Cuは、析出硬化によって強度の向上に寄与する元素である。しかしながら、Cuの含有量が0.5を超えても、その含有量に見合うだけの効果が得られない。このため、Cuの含有量は0.5以下であることが好ましい。また、Cuの含有量が0.01未満では、上記の効果が十分には得られない。このため、Cuの含有量は0.01以上であることが好ましい。[モリブデンMo:0.5以下]Moは、引張強度を高める効果がある。しかしながら、Moの含有量が0.5を超えると、熱処理時のパーライト変態が遅延して処理時間が長くなり、生産性が低下する。また、その含有量に見合うだけの効果が得られない。このため、Moの含有量は0.5以下であることが好ましい。また、Moの含有量が0.05未満では、上記の効果が十分には得られない。このため、Moの含有量は0.05以上であることが好ましい。[バナジウムV:0.5以下]Vは、引張強度を高める効果がある。しかしながら、Vの含有量が0.5を超えても、その含有量に見合うだけの効果が得られない。このため、Vの含有量は0.5以下であることが好ましい。また、Vの含有量が0.05未満では、上記の効果が十分には得られない。このため、Vの含有量は0.05以上であることが好ましい。[ボロンB:0.0050以下]Bは、熱処理時のフェライトの生成を抑制する効果があり、強度の向上に有効な元素である。しかしながら、Bの含有量が0.0050を超えると、伸線加工性が低下する。このため、Bの含有量は0.0050以下であることが好ましい。また、Bの含有量が0.0001未満では、上記の効果が十分には得られない。このため、Bの含有量は0.0001以上であることが好ましい。鋼線11のめっき層11bは、例えば、銅Cu、真鍮Cu-Zn合金又はZnのめっき層である。めっき層11bは、固着部12の半田の濡れ性を向上させる。めっき層11bの厚さは、1μm以下であることが望ましい。また、めっき層11bは、局所的に鋼素線11aに食い込んでいる。この食い込み部11cはめっき層11bを形成する前の鋼線11の酸洗処理の時間、及び、湿式伸線に使用するダイスのアプローチ角度などの伸線加工条件によって変化する。酸洗処理の時間が長くなるほど腐食ピットは深くなり、それに対応して食い込み部11cも深くなる傾向にある。また、湿式伸線に使用するダイスのアプローチ角度が大きくなるほど、鋼線11の表面が周方向に湾曲する傾向が強くなるため、食い込み部11cが深くなる傾向にある。なお、食い込み部11cが深くなると、その中に折れ込み亀裂が入ることがあり、それが破壊の起点となって、めっき層11bが剥離しやすくなり、鋼線11と固着部12との接合強度が低下することがある。また、深い食い込み部11cは鋼線11の破断強度を低下させることもある。これらを考慮すると、食い込み部11cの深さは5μm以下であることが好ましい。また、Cu、真鍮、又はZnのめっき層11bは湿式伸線中にそれ自体が潤滑能を呈する。しかし、食い込み部11cの深さが0.5μm以下とごく浅い場合は、湿式伸線中にめっき層11bが周方向に部分的に途切れることがある。そして、このような場合には、めっき層11bが形成されていない部分において、鋼線11と固着部12との間の十分な接合強度を得にくいことがある。また、めっき層11の途切れは、伸線中の発熱量の増加で、鋼線11の特性が劣化していることを示すこともある。これらを考慮すると、食い込み部11cの深さは0.5μm以上であることが好ましい。従って、食い込み部11cの深さは0.5μm乃至5μmであることが望ましく、1μm乃至2μm程度であることがより望ましい。引張強度が3500MPa以上の鋼線11は、例えば、以下に示すような方法で製造することができる。まず、上記の化学成分を有する鋼片を作製し、この鋼片に対して熱間圧延を行って線材を得る。次いで、線材に、中間伸線、及び中間熱処理パテンティング処理を行い、所定の線径に調整する。その後、最終熱処理パテンティング処理を行う。最終熱処理の条件に関し、オーステナイト化温度が950°C~1100°C、パーライト変態温度が550°C~600°Cとなることが好ましい。最終熱処理後には、最終熱処理により得られた最終熱処理材に酸洗及びめっき処理を行う。めっきの種類は特に限定されない。例えば、Cu、真鍮又はZnのめっきを行う。Cu-Sn、Ni、Ni-Sn等のめっきを行ってもよい。酸洗により、線材の表面に微細な欠陥が発生し、めっき処理により形成されるめっき層が当該欠陥に食い込む。めっき処理の後には、湿式伸線で伸線加工を行い、鋼素材11a及びめっき層11bを含む所定の線径の鋼線11に仕上げる。伸線加工により、鋼素材11a及びめっき層11bの間には強固な金属結合が存在することになる。なお、めっき処理で形成するめっき層の厚さは1μm以下とすることが望ましい。これは、固着部12との強固な結合を得るためには、ソーワイヤの製造過程において、固着部12と鋼線11のめっき層11bとの界面に、厚さが薄く均一な金属間化合物層が形成されることが望ましく、この金属間化合物層を効果的に得るためである。この金属間化合物層は、固着部12とめっき層11bとの化学結合の存在を示すものであるが、一般的に金属間化合物は脆い性質を有するため、金属間化合物層が厚すぎると、金属間化合物層での割れが発生しやすくなる。このため、金属間化合物層の厚さは薄く均一であることが望ましいのである。鋼線11の線径は、切削代損失カーフロスに直接影響する。特に、近年ではウエハの厚さが数百μmと極めて薄くなっており、切削代の割合が大きくなっている。従って、カーフロスの低減はコストの削減及び生産性の向上の観点からも重要である。このため、鋼線11の線径直径は120μm以下であることが好ましい。なお、前述したように、線径を小さくし、カーフロスを低減しようとする場合、張力を十分に維持した条件で切断しなければ、ソーワイヤのたわみが大きくなり、ウエハの反りが大きくなってしまう。また、線径を小さくした分だけ、断線しやすくなってしまう。従って、鋼線11の線径を小さくしてカーフロスの低減を図る場合、ウエハの反り及び断線を抑制するためには、鋼線11の引張強度が極めて重要である。本実施形態では、鋼線11の引張強度が3500MPa以上であるため、ウエハの反り及び断線を抑制することができる。<固着部12>次に、固着部12について説明する。上述のように、固着部12は、例えばAgを含むSn系の半田又はZnを含むSn系の半田を含み、この半田には、半田母材12a、及び半田母材12a中に分散した分散物12bが含まれている。Agを含むSn系の半田及びZnを含むSn系の半田の融点は低く、この半田が溶融する程度の加熱を行っても、鋼線11が軟化することはない。つまり、この固着部12の融点は鋼線11が軟化する温度よりも低い。固着部12は、砥粒13を鋼線11に固着する。従って、固着部12に用いられる半田の強度は高いことが望ましい。そこで、本実施形態では、高い強度を得るために、半田母材12a中に分散物12bが分散している固着部12が用いられる。[Agを含むSn系の半田Sn-Ag系半田]ここで、Sn-Ag系半田について説明する。Sn-Ag系半田は、鉛フリー半田として一般的であり、添加物の種類と量によって各種の金属間化合物を形成する。そして、各種の金属間化合物が分散物12bに該当し得る。これら金属間化合物の融点は半田母材12aの融点よりも高い。Sn-Ag系半田中に形成される金属間化合物としては、Ni-Sn系金属間化合物、Sn-Cu系金属間化合物、Sn-Ag系金属間化合物が代表的であるが、他の金属間化合物が形成されることもある。添加物としては、As、Ba、Co、Cd、Fe、Ni、Pt等が挙げられる。また、金属間化合物の形状としては、島状、粒状、板状、針状、紐状、ブロック状が挙げられる。Sn-Ag系半田の組成は特に限定されないが、Agの含有量は0.5質量~5.0質量であることが望ましい。Agの含有量が0.5質量未満でると、強度の向上に寄与するSnを含む金属間化合物が十分に形成されないことがある。一方、Agの含有量が5.0質量超であると、Snを含む金属間化合物の粗大化によって強度が低下したり、融点が高くなり過ぎたりすることがある。分散物12bとしては、特に、Sn-Ag系金属間化合物Ag3Snが望ましい。また、1μm~2μm程度の厚さを有する板状、又は、直径が1μm~2μm程度の紐状のSn-Ag系金属間化合物Ag3Snが、分散し、又はネットワークを形成していることが望ましい。つまり、Sn-Ag系金属間化合物が相互に連結した組織により、Sn-Ag系半田が強化されていることが望ましい。そして、分散物12bとしてSn-Ag系金属間化合物が用いられる場合も、Sn-Ag系半田のAgの含有量は0.5質量~5.0質量であることが望ましい。Agの含有量が0.5質量未満では、強度を維持するための十分なAg3Snが形成されないことがある。また、Agの含有量が5.0質量超では、共晶組成Sn:Ag=96.5:3.5からのずれが大きくなり、Ag3Snの粗大化によって強度が低下したり、融点が高くなり過ぎたりすることがある。また、高価なAgを必要以上に含むことは、経済的な観点からも望ましくない。さらに望ましくは、Agの含有量は1.0質量~4.5質量であり、この範囲では、ブロック状の粗大化した金属間化合物はほとんど形成されず、更に高い強度を得ることができる。前述のように、Sn及びAg以外の添加元素の種類及び量により、種々の金属間化合物が分散物12bとして半田母材12a中に分散して形成される。Agを0.5質量~5.0質量含むSn系半田の添加物としては、As、Ba、Co、Cd、Fe、Ni、Pt等が挙げられる。これらの中でも、0.01質量~0.5質量のFe及び/又は0.01質量~0.5質量のNiが含有されていることが望ましい。Fe及びNiはSn中に僅かに固溶し、固溶したFe及びNiは半田母材12aの強度を向上させる。つまり、固溶強化によって固着部12の強度が向上する。但し、Feの含有量が0.01質量未満の場合、この効果を十分には得にくい。また、Niの含有量が0.01質量未満の場合も、この効果を十分には得にくい。一方、Feの含有量が0.5質量超の場合、金属間化合物であるFeSn2等が凝集粗大化し、破壊の起点になり、強度の低下が進むことがある。また、Niの含有量が0.5質量超の場合、金属間化合物であるNi3Sn4等が凝集粗大化し、破壊の起点になり、強度の低下が進むことがある。このようなSn-Ag系半田を固着部12に用いると、半田の冷却及び凝固時の組織の微細化、すなわち、分散物12bである金属間化合物の微細化及びSn結晶粒の微細化に繋がり、固着部12の強度が増し、ソーワイヤの切断性能が向上する。鋼線11の線径直径は上述のように120μm以下であることが望ましいが、組織の微細化の観点から、100μm以下であることが更に望ましい。[Znを含むSn系の半田Sn-Zn系半田]次に、Sn-Zn系半田について説明する。上述のように、固着部12に用いられる半田の強度は高いことが望ましい。そして、Sn-Zn系半田が固着部12に用いられる場合には、半田母材12a中に1μm~2μm程度の厚さを有する板状又は直径が1~2μm程度の針状のZnが分散した組織により、Sn-Zn系半田が強化されていることが望ましい。このとき、Znは分散物12bに該当し得る。特に上記の板状又は針状のZnの機械的強度は高く、このようなZnが分散物12bとして半田母材12a中に分散した半田は複合材料として機能する。従って、このような半田からなる固着部12は、強度及び粘り靭性に優れており、砥粒13を保持する能力が高い。このため、砥粒13が鋼線11から脱落し難く、Sn-Zn系半田が用いられた固着部12で砥粒13を鋼線11に固着したソーワイヤは、高い切断性能を示す。Sn-Zn系半田を溶融及び凝固させると、Sn-Zn系半田中のZnは、母材中にほとんど固溶せずに析出する。このとき、Znを1μm~2μm程度の厚さを有する板状又は直径が1~2μm程度の針状の形状に確実に析出させるために、Znの含有量は1質量以上であることが望ましい。また、Znの含有量が高いほど、板状又は針状のZnの量及び半田の強度が向上する。但し、Znの含有量が35質量超であると、半田が固化し始める温度が、約320°Cとなり、Znの酸化が進みやすくなる。従って、Znの含有量は35質量以下であることが望ましい。なお、Sn-Zn合金の共晶点の温度は198.5°Cであり、共晶点の組成は、Sn:91.2質量、Zn:8.8質量である。また、Znの微細化による強度の向上の観点及び鋼線11の強度の劣化の抑制の観点から、Sn-Zn系半田の融点は低いことが望ましい。このため、他の添加元素の種類及び量によっても若干変化するが、Sn-Zn系半田の組成は共晶点を中心とした前後約4質量の範囲内にあることがより望ましい。すなわち、Sn-Zn系半田の組成は、Sn:96質量、Zn:4質量からSn:88質量、Zn:12質量までの範囲にあることがより望ましい。Znが酸化しやすいため、Sn-Zn系半田の表面には酸化皮膜が形成され易く、Sn-Zn系半田は、Sn-Pb系半田、Sn-Ag系半田、Sn-Bi系半田系等の他の半田と比べて、濡れ性が劣る。このため、Sn-Zn系半田には、濡れ性を向上する添加元素が含有されていることが好ましい。Sn-Zn系半田への添加元素、即ち、半田の組成がSn-Zn-Xで示される場合のXとしては、Bi、Ba、B、Cd、Ni、Cu、Fe、Sb、Pb、In、Ag、Mo、Co等が挙げられる。この中で濡れ性の改善に効果的な元素は、Bi、Ni、Cu、Fe、Sb、Pb、In、及びAgであり、この中でもBiが最も効果的である。そして、本実施形態では、Sn-Zn系半田に、Bi、Ni、Cu、Fe、Sb、Pb、In、及びAgからなる群から選択された少なくとも一種が総計で0.5質量~5質量含有されていることが好ましい。添加元素Xの含有量が0.5質量未満では、効果が不十分である。添加元素Xの含有量が5質量超では、添加元素とSn又はZnとの粗大化した金属間化合物が形成されることがある。このようなSn-Zn系半田を固着部12に用いると、半田の冷却及び凝固時の組織の微細化、すなわち、分散物12bである針状Znの微細化及びSn結晶粒の微細化に繋がり、固着部12の強度が増し、ソーワイヤの切断性能が向上する。鋼線11の線径直径は上述のように120μm以下であることが望ましいが、組織の微細化の観点から、100μm以下であることが更に望ましい。<砥粒13>次に、砥粒13について説明する。砥粒13の素材としては、アルミナAl2O3、SiC、SiO2、及びダイヤモンド等が挙げられる。この中で、ダイヤモンドは硬度及び熱伝導の点で最も優れている。本実施形態では、砥粒13が被覆層14により覆われている。被覆層14は、固着部12と砥粒13との間の接合力を向上するために設けられている。被覆層14には、例えば、固着部12の半田の濡れ性の向上の観点から、Ni又はCuの層が含まれていることが好ましい。Ni又はCuの層は、砥粒13にめっき等を施すことにより形成することができる。但し、砥粒13がダイヤモンド砥粒である場合、Ni又はCuの原子とダイヤモンドとの化学的な結合は生じず、Ni又はCuの層はダイヤモンド砥粒を物理的又は機械的に包み込むだけとなる。従って、この場合には、被覆層14に、ダイヤモンド砥粒との化学的な結合が可能な金属層として、Tiチタン又はCrクロムの下地層が含まれていることが望ましい。つまり、被覆層14に、ダイヤモンド砥粒と化学結合した下地層と、この金属皮膜と金属結合したNi又はCuの層とが含まれていることが望ましい。なお、Ti及びCrは半田の濡れ性が悪いため、金属層の外側にNi又はCuの層が形成されていることが重要である。Ti又はCrとNi又はCuとの間の結合は金属結合であるため、このような被覆層14は、ダイヤモンド砥粒に強く結合され、半田の濡れ性が良好なものとなる。砥粒13の平均径が大きいほど、ソーワイヤを用いた切断時に目詰まりが生じにくくなるため、切断速度を向上することが可能となるが、その一方で、カーフロスが大きくなる。このような切断速度の向上及びカーフロスの低減を考慮すると、砥粒13の平均径直径は鋼線11の直径の1/12~2/5程度であることが望ましく、1/6~2/5程度であることがより望ましい。なお、ダイヤモンド砥粒の材料としては、晶癖面が綺麗な対称性を有する、いわゆる単結晶ダイヤモンドよりも、むしろ、鋼線11との接合面積の増大の観点から、破砕ダイヤモンドの方が望ましい。被覆層14の厚さは、1μm~5μmであることが望ましい。被覆層14の厚さが1μm未満では、詳細は後述するが、十分な金属間化合物層15が形成されずに、砥粒13が鋼線11に十分に固着されないことがある。一方、被覆層14の厚さが5μm超であると、ダイヤモンド砥粒等の砥粒13の刃先を分厚く被覆層14が覆うことになり、砥粒13の刃先がワーク切断対象物に到達しにくくなって切断性能が低下することがある。このような砥粒13は、線径が細い鋼線11に好適である。これは、線径が細い鋼線11ほど周方向の曲率が大きくなるため、砥粒13の粒径及び密度が等しければ、線径が細いほど、削り屑が出やすくなって目詰まりが生じにくくなるため、切断性能が向上するからである。つまり、このような砥粒13は、線径直径が180μm程度の太い鋼線11に用いるよりも、線径直径が120μm以下、好ましくは100μm以下の鋼線11に用いることが好ましい。[金属間化合物層15]次に、金属間化合物層15について説明する。本実施形態では、上述のように、被覆層14が金属間化合物層15により覆われている。すなわち、被覆層14と固着部12との間に金属間化合物層15が存在する。金属間化合物層15は、被覆層14の最表面の層と固着部12の半田との化学結合により形成されたものである。つまり、例えば、Ni又はCuと、Ag又はZnを含むSn系半田との化学結合により金属間化合物層15が形成されている。このことから、固着部12と砥粒13との間に強固な結合が存在するということができる。また、金属間化合物層15の融点は固着部12の融点よりも高い。なお、金属間化合物層15を構成する金属間化合物は、複数の金属元素からなる合金であり、この金属間化合物の概念には、各元素の構成比率が整数比でない合金をも含まれる。しかしながら、上述のように、一般的に金属間化合物は脆い性質を有するため、金属間化合物層15が厚すぎると、金属間化合物層15での割れが発生しやすくなり、砥粒13を固着する力が低下することがある。そのため、金属間化合物層15の厚さはより均一で、より薄いことが望ましい。従って、固着部12の半田の材料と被覆層14の表層の材料とをどのように組み合わせるかは重要な事項である。この点で、固着部12の半田の材料としてSn-Zn系半田を用い、被覆層14の表層の材料としてNiを用いた場合には、比較的薄く均一な金属間化合物層15が形成されやすい。従って、この組み合わせは極めて好ましい。また、固着部12の半田の材料としてSn-Ag系半田を用い、被覆層14の表層の材料としてNiを用いた場合にも、比較的薄く均一な金属間化合物層15が形成されやすい。従って、この組み合わせも好ましい。一方、固着部12の半田の材料としてSn-Ag系半田例えば、Agの含有量が0.5質量~5.0質量の半田を用い、被覆層14の表層の材料としてCuを用いた場合には、金属間化合物層15として厚さが3μm~5μmの比較的厚い不均一なCu6Sn5、Cu3Snの層が形成され、割れが発生しやすい。従って、固着部12の半田の材料としてSn-Ag系半田を用いる場合には、被覆層14の表層の材料としてNiを用いることが重要である。また、固着部12の半田の材料としてSn-Ag系半田を用いる場合、特にAgの含有量が0.5質量~5.0質量のSn-Ag系半田を用いる場合、金属間化合物層15として、厚さが2μm以下の薄いNi3Sn4又はNi3Sn2の層が存在することが望ましい。例えば、このようなSn-Ag系半田に1.5質量以上のCuが含まれる場合には、Sn1-x-yNixCuy0.1≦x≦0.7、0.0<y≦0.8の金属間化合物層15が形成される。また、例えば、0.5質量程度のCuが含まれる場合には、Cuが固溶したSn1-x-yNixCuy0.1≦x≦0.7、0.0<y≦0.5の金属間化合物層15が形成される。後者の場合、Cuの割合を示すyの値が0.5超であると、金属間化合物層15が厚くなりすぎることがあるため、望ましくない。そして、金属間化合物層15としては、Ni3Sn4、Ni3Sn2又はSn1-x-yNixCuy0.1≦x≦0.7、0.0<y≦0.5の層が更に望ましく、その厚さが1μm以下であることが望ましい。また、Cuを含む金属間化合物層15としては、上記の他、Cu-Sn-Zn系の金属間化合物層、Cu-Zn系の金属間化合物層等が挙げられる。固着部12の半田としてSn-Zn系半田が用いられた場合、Sn-Zn系半田への添加元素によっては、Sn-Ba系、Sn-Ni-Zn系、Sn-Ni系又はNi-Zn系、Sn-Mo系等の種々の金属間化合物層15が形成され、強固な結合が得られる。この中でも、特に2μm以下の薄いSn-Ni-Zn系、Sn-Ni系、Ni-Zn系の1種以上の金属間化合物層が、金属間化合物層15として形成されていることが望ましい。更に、金属間化合物層15は、厚さが1μm以下のSn-Ni-Zn系の金属間化合物層であることが更に望ましい。このような金属間化合物層15の存在により、固着部12の半田と被覆層14との界面に強固な結合が得られる。なお、これらの金属間化合物の組成は、必ずしも、化学量論組成である必要はない。[ソーワイヤの製造方法]次に、ソーワイヤの製造方法の概要について説明する。先ず、上述のような方法により、鋼線11を作製する。なお、鋼線11としては、固着部12の半田の濡れ性の観点から、鋼素線11a及びめっき層11bを含むものを用いることが望ましいが、めっき層11bを含まないものを用いてもよい。つまり、鋼素線11aをそのまま鋼線11として用いてもよい。また、半田により被覆された鋼線11を用いてもよい。この場合にも、固着部12の半田の良好な濡れ性を得ることができる。次いで、被覆層14が形成された砥粒13を準備し、この砥粒13に、Sn-Ag系半田又はSn-Zn系半田、及びフラックスを混合してペースト状の混合物を作製する。Sn-Ag系半田又はSn-Zn系半田としては、微小なボール形状の微小半田を用いることが望ましい。これは、混合物の均一性を高めるためである。ボール形状の微小半田の直径は、鋼線11の直径の1/5~1/3であることが望ましい。これは、次に述べるノズルからの引き出し時の均一性を確保するためである。そして、鋼線11、例えば予め半田により被覆された鋼線11を、上記のペースト状の混合物が入った容器内を通過させ、その後、所定の径の穴を有するノズル先から引き出す。この結果、鋼線11の表面に所定の厚さでペースト状の混合物が塗布される。続いて、ペースト状の混合物が塗布された鋼線11を、加熱された電気炉中を通過させることにより、半田を溶融させる。次いで、電気炉外で冷却すると、半田が凝固し、砥粒13が鋼線11に固着される。その後、鋼線11を洗浄槽内を通過させて余分なフラックス成分を除去する。このようにして、ソーワイヤを製造することができる。製造後のソーワイヤは、例えばリールで巻き取ればよい。なお、電気炉内での熱処理の際に、鋼線11中のFeが半田中に僅かに溶け出し、半田の強度が向上する。このような観点からも、Agを0.5質量~5.0質量含むSn-Ag系半田を固着部12に用い、Niを含む被覆層14により覆われた砥粒13を鋼線11に固着させたソーワイヤは、極めて望ましい組み合わせであるといえる。このように、本実施形態に係るソーワイヤ10では、Agを含むSn系の半田又はZnを含むSn系の半田からなる半田母材12a及び分散物12bを含む固着部12により、砥粒13が鋼線11に固着されているので、簡便かつ安価に砥粒13の保持力を高め、優れた切断性能を得ることができる。そして、このソーワイヤ10は、特に半導体等の精密加工に適しているので、その工業的効果は絶大である。特に、Agを0.5質量~5.0質量含むSn-Ag系半田が固着部12に含まれ、分散物12bがSnを含む金属間化合物であり、被覆層14がNiを含む場合には、顕著な効果が得られる。また、Sn-Zn系半田が固着部12に含まれ、分散物12bがSn又はZnを含む金属間化合物である場合にも、顕著な効果が得られる。なお、分散物12bは、砥粒13の周囲、ソーワイヤ10の表面、及び、高張力の鋼線11の表面のうちの1ヶ所以上に存在することが望ましい。また、分散物12bの融点は700°C以上であることが望ましい。いずれも、切断中の砥粒13の固着力を更により高めることができるためである。次に、本発明者らが行った実験について説明する。これらの実験における条件等は、本発明の実施可能性及び効果を確認するために採用した例であり、本発明は、これらの例に限定されるものではない。以下の種々の実施例において用いた鋼素線の組成、線径直径、引張強度、及びめっき層の食い込み部の深さを下記表1に示す。上述のように、めっき層の食い込み部の深さは0.5μm以上、5μm以下のものが好ましく、その中でも1μm以上、2μm以下のものが特に好ましい。実施例1実施例1では、鋼素線の表面が、厚さが約50nmの真鍮で被覆された鋼線を用いた。鋼素線としては、鋼素線No.S7を用いた。表1に示すように、鋼素線No.S7の引張強度は4509MPaである。真鍮の組成は、mol比でCu:Zn=2:1である。鋼線の直径は120μmとした。砥粒としては、内側にTiめっき層が位置し、外側にNiめっき層が位置する被覆層により覆われたダイヤモンド砥粒を用いた。Tiめっき層の厚さは50nmとし、Niめっき層の厚さは3μmとした。ダイヤモンド砥粒の平均粒径は25μmとした。固着部の半田としては、0.05質量のFe及び0.05質量のNiを含むSn-Ag系半田を用いた。Sn-Ag系半田のSn含有量は96.5質量、Ag含有量は3.4質量とした。Sn-Ag系半田としては、平均粒径が30μmの半田ボールを用いた。ソーワイヤの製造に際しては、上記のダイヤモンド砥粒及びSn-Ag系半田、並びにハロゲン化亜鉛を含むフラックスを混ぜ合わせて攪拌し、ペースト状の混合物を作製した。ここで、Sn-Ag系半田、砥粒及びフラックスの割合は、質量比でSn-Ag系半田:砥粒:フラックス=3:2:4とした。また、鋼線には、アセトン洗浄を行った後、厚さが約3μmの半田コーティング処理を行った。この半田コーティング処理では、鋼線を、250°Cで溶融したSn:96.5質量、Ag:3.4質量、Fe:0.05質量、及びNi:0.05質量を含むSn-Ag系半田中を50cm/秒の速さで通過させ、余分なSn-Ag系半田を拭き取った。そして、半田コーティング処理後の鋼線を上記のペースト状の混合物が入った容器内を通過させ、その後、直径が約200μmの穴を有するノズル先から引き出した。このようにして、鋼線の表面に所定の厚さでペースト状の混合物を塗布した。続いて、ペースト状の混合物が塗布された鋼線を、270°Cに加熱された均熱帯長さが約40cm管状電気炉中を0.1m/分の速さで通過させることにより、半田を溶融させた。次いで、管状電気炉外で冷却することにより、半田を凝固させ、砥粒を鋼線に固着させた。その後、鋼線を洗浄槽内を通過させて余分なフラックス成分を除去した。このようにして、ソーワイヤを製造した。なお、製造後のソーワイヤはリールで巻き取った。得られたソーワイヤの砥粒周辺の組織を観察した。この組織の模式図を図2A~図2Cに示す。図2Bは、図2A中の領域R1の拡大図であり、図2Cは、図2A中の領域R2の拡大図である。元素解析を行ったところ、ダイヤモンド砥粒23の周辺に厚さが1μm~2μmのNiめっき層24が存在し、その周囲に1μm~2μmの厚さでSn-Ni系金属間化合物の層25が分布していた。固着部22の半田母材22a中にもSn-Ni系の金属間化合物が点在していた。また、半田母材22a中に、1μm~2μm程度の厚さを有する板状、又は、直径が1μm~2μm程度の紐状のSn-Ag系金属間化合物22bが、分散又はネットワーク状に連結した組織が確認された。また、Sn-Ni系の金属間化合物の組成を分析したところ、この金属間化合物にCuが僅かに含まれ、この金属間化合物の組成はモル比でSn:Ni:Cu=55:42:3であった。また、Sn-Ag系の金属間化合物の組成を分析したところ、この金属間化合物の組成はモル比でSn:Ag=25:75であった。Feを含む金属間化合物は半田中に存在せず、Feの濃度はソーワイヤの表面で高く、表面からの距離の増加と共に減少していた。また、砥粒を覆うNiめっき層の表面でもFeの濃化が観察された。このことから、Feは半田中に固溶し、半田の強度を高める作用を発現していたと考えられる。更に、このようなソーワイヤの切断性能の評価を行った。この評価では、ソーワイヤの長さを30mとし、ソーワイヤにかかる張力を20N、ソーワイヤの移動速度を400m/分、加工荷重ワークをソーワイヤに押し付けるための錘の重さを100g重とし、ソーワイヤを往復させて、直径が20mmのシリコン単結晶を切断した。また、水を冷却溶媒に用いた。この時の切断速度は、9.9mm/分と十分な速度であった。また、シリコン単結晶の切断の際に、ソーワイヤからの砥粒の脱落はほとんど確認されなかった。これらの結果から、実施例1の条件により、切断性能に優れた半田固着型ソーワイヤが得られることが明らかである。実施例2実施例2では、鋼素線の表面が、厚さが約50nmのCuで被覆された鋼線を用いた。鋼素線としては、鋼素線No.S4を用いた。表1に示すように、鋼素線No.S4の引張強度は3835MPaである。鋼線の直径は120μmとした。砥粒としては、内側にCrめっき層が位置し、外側にNiめっき層が位置する被覆層により覆われたダイヤモンド砥粒を用いた。Crめっき層の厚さは50nmとし、Niめっき層の厚さは3μmとした。ダイヤモンド砥粒の平均粒径は25μmとした。固着部の半田としては、0.05質量のNiを含むSn-Ag-Cu系半田を用いた。概ね、Sn-Ag-Cu系半田のSn含有量は96.5質量、Ag含有量は3.0質量、Cu含有量は0.5質量とした。Sn-Ag-Cu系半田としては、平均粒径が30μmの半田ボールを用いた。ソーワイヤの製造に際しては、上記のダイヤモンド砥粒及びSn-Ag-Cu系半田、並びにハロゲン化亜鉛を含むフラックスを混ぜ合わせて攪拌し、ペースト状の混合物を作製した。ここで、Sn-Ag-Cu系半田、砥粒及びフラックスの割合は、質量比でSn-Ag-Cu系半田:砥粒:フラックス=3:2:3とした。また、鋼線には、アセトン洗浄を行った後、厚さが約3μmの半田コーティング処理を行った。この半田コーティング処理では、鋼線を、250°Cで溶融したSn:96.5質量、Ag:3.0質量、Cu:0.5質量、及びNi:0.05質量を含むSn-Ag-Cu系半田中を50cm/秒の速さで通過させ、余分なSn-Ag-Cu系半田を拭き取った。そして、半田コーティング処理後の鋼線を上記のペースト状の混合物が入った容器内を通過させ、その後、直径が約200μmの穴を有するノズル先から引き出した。このようにして、鋼線の表面に所定の厚さでペースト状の混合物を塗布した。続いて、ペースト状の混合物が塗布された鋼線を、270°Cに加熱された均熱帯長さが約40cm管状電気炉中を0.1m/分の速さで通過させることにより、半田を溶融させた。次いで、管状電気炉外で冷却することにより、半田を凝固させ、砥粒を鋼線に固着させた。その後、鋼線を洗浄槽内を通過させて余分なフラックス成分を除去した。このようにして、ソーワイヤを製造した。なお、製造後のソーワイヤはリールで巻き取った。得られたソーワイヤの砥粒周辺の組織を観察した。元素解析を行ったところ、ダイヤモンド砥粒の周辺に厚さが1μm~2μmのNiめっき層が存在し、その周囲に2μm~3μmの厚さでSn-Ni-Cu系金属間化合物が分布していた。固着部の半田母材中にもSn-Ni-Cu系の金属間化合物が点在していた。また、半田母材中に、1μm~2μm程度の厚さを有する板状、又は、直径が1μm~2μm程度の紐状のSn-Ag系金属間化合物、及び、直径が1μm~2μm程度の粒状のSn-Cu系金属間化合物が分散した組織が確認された。また、Sn-Ni-Cu系の金属間化合物の組成を分析したところ、この金属間化合物の組成はモル比でSn:Ni:Cu=40:26:34であった。また、Sn-Ag系の金属間化合物の組成を分析したところ、この金属間化合物の組成はモル比でSn:Ag=25:75であった。更に、実施例1と同様の条件で、このようなソーワイヤの切断性能の評価を行った。この時の切断速度は、9.1mm/分と十分な速度であった。また、シリコン単結晶の切断の際に、ソーワイヤからの砥粒の脱落はほとんど確認されなかった。これらの結果から、実施例2の条件によっても、切断性能に優れた半田固着型ソーワイヤが得られることが明らかである。実施例3実施例3では、鋼素線の表面が、厚さが約50nmの真鍮で被覆された鋼線を用いた。鋼素線としては、鋼素線No.S1を用いた。表1に示すように、鋼素線No.S1の引張強度は3817MPaである。真鍮の組成は、mol比でCu:Zn=2:1である。鋼線の直径は100μmとした。砥粒としては、内側にTiめっき層が位置し、外側にNiめっき層が位置する被覆層により覆われたダイヤモンド砥粒を用いた。Tiめっき層の厚さは50nmとし、Niめっき層の厚さは4μmとした。ダイヤモンド砥粒の平均粒径は30μmとした。固着部の半田としては、0.05質量のFeを含むSn-Ag-Cu系半田を用いた。概ね、Sn-Ag-Cu系半田のSn含有量は94.0質量、Ag含有量は5.0質量、Cu含有量は1.0質量とした。Sn-Ag-Cu系半田としては、平均粒径が30μmの半田ボールを用いた。ソーワイヤの製造に際しては、上記のダイヤモンド砥粒及びSn-Ag-Cu系半田、並びにハロゲン化亜鉛を含むフラックスを混ぜ合わせて攪拌し、ペースト状の混合物を作製した。ここで、Sn-Ag-Cu系半田、砥粒及びフラックスの割合は、質量比でSn-Ag-Cu系半田:砥粒:フラックス=2:2:3とした。また、鋼線には、アセトン洗浄を行った後、厚さが約3μmの半田コーティング処理を行った。この半田コーティング処理では、鋼線を、250°Cで溶融したSn:94.0質量、Ag:5.0質量、Cu:1.0質量を含むSn-Ag-Cu系半田中を50cm/秒の速さで通過させ、余分なSn-Ag-Cu系半田を拭き取った。そして、半田コーティング処理後の鋼線を上記のペースト状の混合物が入った容器内を通過させ、その後、直径が約250μmの穴を有するノズル先から引き出した。このようにして、鋼線の表面に所定の厚さでペースト状の混合物を塗布した。続いて、ペースト状の混合物が塗布された鋼線を、280°Cに加熱された均熱帯長さが約40cm管状電気炉中を0.15m/分の速さで通過させることにより、半田を溶融させた。次いで、管状電気炉外で冷却することにより、半田を凝固させ、砥粒を鋼線に固着させた。その後、鋼線を洗浄槽内を通過させて余分なフラックス成分を除去した。このようにして、ソーワイヤを製造した。なお、製造後のソーワイヤはリールで巻き取った。得られたソーワイヤの砥粒周辺の組織を観察した。元素解析を行ったところ、ダイヤモンド砥粒の周辺に厚さが1μm~2μmのNiめっき層が存在し、その周囲に2μm~3μmの厚さでSn-Ni-Cu系金属間化合物が分布していた。固着部の半田母材中にもSn-Ni-Cu系の金属間化合物が点在していた。また、半田母材中に、1μm~2μm程度の厚さを有する板状、又は、直径が1μm~2μm程度の紐状のSn-Ag系金属間化合物、及び、直径が1μm~2μm程度の粒状のSn-Cu系金属間化合物が分散した組織が確認された。また、Sn-Ni-Cu系の金属間化合物の組成を分析したところ、この金属間化合物の組成はモル比でSn:Ni:Cu=43:25:32であった。また、Sn-Ag系の金属間化合物の組成を分析したところ、この金属間化合物の組成はモル比でSn:Ag=25:75であった。また、Sn-Cu系の金属間化合物の組成を分析したところ、この金属間化合物の組成はモル比でSn:Cu=45:55であった。更に、実施例1と同様の条件で、このようなソーワイヤの切断性能の評価を行った。この時の切断速度は、8.4mm/分と十分な速度であった。また、シリコン単結晶の切断の際に、ソーワイヤからの砥粒の脱落はほとんど確認されなかった。これらの結果から、実施例3の条件によっても、切断性能に優れた半田固着型ソーワイヤが得られることが明らかである。実施例4実施例1~実施例3に準じて、下記表2、表3、及び表4に示す種々の条件でソーワイヤを作製し、切断性能を比較した。表2には、鋼線及び砥粒の構成を示す。表3には、固着部に用いたボール状球形の半田、及びこの半田を含むペースト状の混合物の構成を示す。表4には、管状電気炉を用いた半田を溶融させる熱処理の条件、シリコン単結晶を切断する際の条件、及び砥粒の脱落状況の評価結果を示す。表4中のGCはグリーンシリコンカーバイドを示す。砥粒の脱落状況の評価では、切断性能の試験の後、つまりシリコン単結晶の切断後に、ソーワイヤの表面を観察し、砥粒の残存状態を以下の基準で判定した。そして、△以上の評点を実用に耐えると判断した。◎:脱落がほとんど観察されなかった○:僅かに脱落が観察された△:明らかに脱落箇所が確認できた×:全体的に脱落が進んでいたまた、得られたソーワイヤの砥粒周辺の組織を観察したところ、試験No.4-1~No.4-18では、砥粒の周辺に厚さが1μm~2μmのNiめっきの金属層が存在し、その周囲に1μm~2μmの厚さでSn-Ni系の金属間化合物が分布していた。また、試験No.4-10では、SnBaO3の分散が観察された。試験No.4-11では、Sn-B系の金属間化合物が観察された。試験No.4-12では、NiMoO4が砥粒の周辺で観察された。なお、表2~表4中の試験No.1、No.2、及びNo.3は、それぞれ、上記の実施例1、実施例2、実施例3である。これらの結果から、試験No.4-1~No.4-22の条件では、実施例1~実施例3と同様に、切断性能に優れた半田固着型の固定砥粒式ソーワイヤが得られることが明らかである。一方、比較例である試験No.No.4-23~No.4-26、No.4-29、No.4-31、及びNo.4-32では、鋼素材の引張強度が低いため、切断速度が低かった。なお、試験No.4-29のInconelはスペシャルメタライズ社の商標である。比較例である試験No.4-23~No.4-26、No.4-29、及びNo.4-30では、砥粒を覆う被覆層の外側のめっき金属がCuであるため、半田と被覆層のCuとの界面にCuを含む金属間化合物が厚く形成され、この金属間化合物の近傍で割れやすくなって、切断性能が低くなったと考えられる。比較例であるNo.4-27、No.4-28、No.4-30では、鋼線の引張強度は高いものの、半田にAgが含まれていないため、適切な高融点金属が分散物として形成されず、固着部の強度が低く、砥粒が脱落して、切断速度及び切断性能が低くなったと考えられる。実施例5実施例5では、鋼素線の表面が、厚さが約50nmの真鍮で被覆された鋼線を用いた。鋼素線としては、鋼素線No.S7を用いた。表1に示すように、鋼素線No.S7の引張強度は4509MPaである。真鍮の組成は、mol比でCu:Zn=2:1である。鋼線の直径は120μmとした。砥粒としては、内側にTiめっき層が位置し、外側にNiめっき層が位置する被覆層により覆われたダイヤモンド砥粒を用いた。Tiめっき層の厚さは50nmとし、Niめっき層の厚さは3μmとした。ダイヤモンド砥粒の平均粒径は25μmとした。固着部の半田としては、Sn-Zn-Bi系半田を用いた。Sn-Zn-Bi系半田のSn含有量は89質量、Zn含有量は8質量、Bi含有量は3質量とした。Sn-Zn-Bi系半田としては、平均粒径が30μmの半田ボールを用いた。ソーワイヤの製造に際しては、上記のダイヤモンド砥粒及びSn-Zn-Bi系半田、並びにハロゲン化亜鉛を含むフラックスを混ぜ合わせて攪拌し、ペースト状の混合物を作製した。ここで、Sn-Zn-Bi系半田、砥粒及びフラックスの割合は、質量比でSn-Zn-Bi系半田:砥粒:フラックス=3:2:3とした。また、鋼線には、アセトン洗浄を行った後、厚さが約3μmの半田コーティング処理を行った。この半田コーティング処理では、鋼線を、290°Cで溶融したSn:89質量、Zn:8質量、及びBi:3質量を含むSn-Zn-Bi系半田中を50cm/秒の速さで通過させ、余分なSn-Zn-Bi系半田を拭き取った。そして、半田コーティング処理後の鋼線を上記のペースト状の混合物が入った容器内を通過させ、その後、直径が約300μmの穴を有するノズル先から引き出した。このようにして、鋼線の表面に所定の厚さでペースト状の混合物を塗布した。続いて、ペースト状の混合物が塗布された鋼線を、280°Cに加熱された均熱帯長さが約40cm管状電気炉中を0.1m/分の速さで通過させることにより、半田を溶融させた。次いで、管状電気炉外で冷却することにより、半田を凝固させ、砥粒を鋼線に固着させた。その後、鋼線を洗浄槽内を通過させて余分なフラックス成分を除去した。このようにして、ソーワイヤを製造した。なお、製造後のソーワイヤはリールで巻き取った。得られたソーワイヤの砥粒周辺の組織を観察した。この組織の模式図を図3A~図3Cに示す。図3Bは、図3A中の領域R1の拡大図であり、図3Cは、図3A中の領域R2の拡大図である。元素解析を行ったところ、ダイヤモンド砥粒33の周辺に厚さが1μm~2μmのNiめっき層34が存在し、その周囲に1μm程度の厚さでSn-Ni-Zn系金属間化合物の層35が分布していた。また、半田母材32a中に、1μm~2μm程度の厚さを有する板状、又は、直径が1μm~2μm程度の針状のZn32bが分散した組織が確認された。更に、このようなソーワイヤの切断性能の評価を行った。この評価では、ソーワイヤの長さを30mとし、ソーワイヤにかかる張力を20N、ソーワイヤの移動速度を400m/分、加工荷重を100g重とし、ソーワイヤを往復させて、直径が20mmのシリコン単結晶を切断した。また、水を冷却溶媒に用いた。この時の切断速度は、12.8mm/分と十分な速度であった。また、シリコン単結晶の切断の際に、ソーワイヤからの砥粒の脱落はほとんど確認されず、良好な固着状態であった。これらの結果から、実施例5の条件により、切断性能に優れた半田固着型ソーワイヤが得られることが明らかである。実施例6実施例6では、鋼素線の表面が、厚さが約50nmの銅で被覆された鋼線を用いた。鋼素線としては、鋼素線No.S1を用いた。表1に示すように、鋼素線No.S1の引張強度は3817MPaである。鋼線の直径は100μmとした。砥粒としては、内側にTiめっき層が位置し、外側にNiめっき層が位置する被覆層により覆われたダイヤモンド砥粒を用いた。Tiめっき層の厚さは50nmとし、Niめっき層の厚さは4μmとした。ダイヤモンド砥粒の平均粒径は20μmとした。固着部の半田としては、Sn-Zn系半田を用いた。Sn-Zn系半田のSn含有量は91質量、Zn含有量は9質量とした。Sn-Zn系半田としては、平均粒径が30μmの半田ボールを用いた。ソーワイヤの製造に際しては、上記のダイヤモンド砥粒及びSn-Zn系半田、並びにハロゲン化亜鉛を含むフラックスを混ぜ合わせて攪拌し、ペースト状の混合物を作製した。ここで、Sn-Zn系半田、砥粒及びフラックスの割合は、質量比でSn-Zn系半田:砥粒:フラックス=2:2:3とした。また、鋼線には、アセトン洗浄を行った後、厚さが約3μmの半田コーティング処理を行った。この半田コーティング処理では、鋼線を、250°Cで溶融したSn:91.0質量、及びZn:9.0質量を含むSn-Zn系半田中を50cm/秒の速さで通過させ、余分なSn-Zn系半田を拭き取った。そして、半田コーティング処理後の鋼線を上記のペースト状の混合物が入った容器内を通過させ、その後、直径が約350μmの穴を有するノズル先から引き出した。このようにして、鋼線の表面に所定の厚さでペースト状の混合物を塗布した。続いて、ペースト状の混合物が塗布された鋼線を、280°Cに加熱された均熱帯長さが約40cm管状電気炉中を0.15m/分の速さで通過させることにより、半田を溶融させた。次いで、管状電気炉外で冷却することにより、半田を凝固させ、砥粒を鋼線に固着させた。その後、鋼線を洗浄槽内を通過させて余分なフラックス成分を除去した。このようにして、ソーワイヤを製造した。なお、製造後のソーワイヤはリールで巻き取った。得られたソーワイヤの砥粒周辺の組織を観察した。元素解析を行ったところ、ダイヤモンド砥粒の周辺に厚さが1μm~2μmのNiめっき層が存在し、その周囲に1μm程度の厚さでSn-Ni-Cu系金属間化合物が分布していた。また、半田母材中に、1μm~2μm程度の厚さを有する板状、又は、直径が1μm~2μm程度の針状のZnが分散した組織が確認された。更に、実施例5と同様の条件で、このようなソーワイヤの切断性能の評価を行った。この時の切断速度は、12.4mm/分と十分な速度であった。また、シリコン単結晶の切断の際に、ソーワイヤからの砥粒の脱落はほとんど確認されず、良好な固着状態であった。これらの結果から、実施例6の条件によっても、切断性能に優れた半田固着型ソーワイヤが得られることが明らかである。実施例7実施例5及び実施例6に準じて、下記表5、表6、及び表7に示す種々の条件でソーワイヤを作製し、切断性能の比較を行った。表5には、鋼線及び砥粒の構成を示す。表6には、固着部に用いたボール状球形の半田、及びこの半田を含むペースト状の混合物の構成を示す。表7には、管状電気炉を用いた半田を溶融させる熱処理の条件、シリコン単結晶を切断する際の条件、及び砥粒の脱落状況の評価結果を示す。表7中のGCはグリーンシリコンカーバイドを示し、WAは白色アルミナを示す。砥粒の脱落状況の評価は、実施例4と同様にして行った。また、得られたソーワイヤの砥粒周辺の組織を観察したところ、試験No.7-6及びNo.7-25を除く各本発明例では、砥粒の周辺に厚さが1μm~2μmのNiめっきの金属層が存在し、その周囲に1μm程度の厚さでSn-Ni-Zn系の金属間化合物が分布していた。また、試験No.7-18では、BaSnO3で示される金属間化合物が砥粒の周囲に観察された。試験No.7-19では、Pt-Sn-Ni系の金属間化合物が砥粒の周囲に観察された。試験No.7-4では、Sn-Ni-In系の金属間化合物が確認された。試験No.7-6及びNo.7-25では、ダイヤモンド砥粒の周辺に1μm~2μmの厚さのCuめっきの金属層が存在し、その周囲に2μm~3μm程度の厚さでSn-Cu-Zn系の金属間化合物が分布していた。なお、表5~表7中の試験No.5及びNo.6は、それぞれ、上記の実施例5、実施例6である。これらの結果から、試験No.7-1~No.7-29の条件では、実施例5及び実施例6と同様に、切断性能に優れた半田固着型の固定砥粒式ソーワイヤが得られることが明らかである。比較例である試験No.7-35は、特許文献4特許第4008660号公報の実施例3に記載された製法と類似の方法によって試作したソーワイヤである。比較例である試験No.No.7-39は、市販のダイヤモンドNi電着ワイヤDiamondwiretechnology社製、公称φ200μmを用いたソーワイヤである。表5~表7に示すように、本発明例であるSn-Zn系半田を用いた試験No.1~No.7-29の砥粒固着型ソーワイヤは、比較例である試験No.7-30~No.7-39のソーワイヤに比べて、切断性能に優れていることが明らかである。これら実施例の結果から、本発明に係るソーワイヤが、砥粒の脱落が少なく、切断速度、切断損出カーフロス、ウエハの反り等が生じるのが抑制され、切断性能に優れていることが明らかである。