"フォトレジストが塗布された被検査体の基板を被検査体テーブルの支持ピン上に保持した状態で、前記被検査体の検査位置を基板流動方向に走査可能に移動する前記検査位置に対して真下の位置に配置された透過光源部から検査光を当て、前記被検査体を透過した透過光を、前記透過光源部と同じ方向に一体的に移動する前記検査位置に対して真上の位置に配置された撮像カメラで受光してその輝度変化を検出する塗布膜の検査装置において、前記被検査体テーブルの基板流動方向の両端部に外乱光遮断用のシャッターが設けられ、該シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にむけてその遮光領域を可変に制御する機構を具備していることを特徴とする塗布膜の検査装置。前記シャッターは基板流動方向端部で上下駆動し、このシャッターの被検査体側の上部に遮光板が可動可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載する塗布膜の検査装置。前記シャッターに前記遮光板は蝶番にて取り付けられ、前記遮光板の前記蝶番から離れた位置にはワイヤーが繋がれており、検査装置上部にワイヤーを巻き取り巻き出し可能な電動制御式モーターが取り付けられていることを特徴とする請求項1または2に記載する塗布膜の検査装置。前記電動制御式モーターのワイヤー巻き取り巻き出し駆動により、前記遮光板を円弧状の軌跡で制御することで、前記シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にその遮光領域を可変に制御することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載する塗布膜の検査装置。前記被検査体が大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付けの余白が生じて基板流動方向の基板端から表示領域を画定するカラーフィルタのブラックマトリックス額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていないカラーフィルタ基板を含むことを特徴とする請求項1に記載する塗布膜の検査装置。しかしながら、基板流動方向の基板端から面付けされた画面サイズのカラーフィルタ額縁部近傍までの幅、所謂前記した余白部分においてフォトレジストが塗布されていない基板を対象に検査する場合、上記した従来の検査機ではフォトレジストが塗布されていない素ガラス基板箇所からの透過光が有効画面のパターン部に回り込む事で擬似検出が発生し検査を行う事ができない問題があった。本発明は上記した事情に鑑みてなされたもので、大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付け余白が生じて基板流動方向の基板端から表示領域を画定するカラーフィルタのブラックマトリックス額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていない基板に対しても、スジムラに代表される外観上の広域欠陥の検査を正常に行える機構を有した塗布膜の検査装置を提供することを課題としている。すなわち、本発明の請求項1に係る発明は、フォトレジストが塗布された被検査体の基板を被検査体テーブルの支持ピン上に保持した状態で、前記被検査体の検査位置を基板流動方向に走査可能に移動する前記検査位置に対して真下の位置に配置された透過光源部から検査光を当て、前記被検査体を透過した透過光を、前記透過光源部と同じ方向に一体的に移動する前記検査位置に対して真上の位置に配置された撮像カメラで受光してその輝度変化を検出する塗布膜の検査装置において、前記被検査体テーブルの基板流動方向の両端部に外乱光遮断用のシャッターが設けられ、該シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にむけてその遮光領域を可変に制御する機構を具備していることを特徴とする塗布膜の検査装置である。また、本発明の請求項2に係る発明は、前記シャッターは基板流動方向端部で上下駆動し、このシャッターの被検査体側の上部に遮光板が可動可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載する塗布膜の検査装置である。また、本発明の請求項3に係る発明は、前記シャッターに前記遮光板は蝶番にて取り付けられ、前記遮光板の前記蝶番から離れた位置にはワイヤーが繋がれており、検査装置上部にワイヤーを巻き取り巻き出し可能な電動制御式モーターが取り付けられていることを特徴とする請求項1または2に記載する塗布膜の検査装置である。また、本発明の請求項4に係る発明は、前記電動制御式モーターのワイヤー巻き取り巻き出し駆動により、前記遮光板を円弧状の軌跡で制御することで、前記シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にその遮光領域を可変に制御することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載する塗布膜の検査装置である。次に、本発明の請求項5に係る発明は、前記被検査体が大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付けの余白が生じて基板流動方向の基板端から表示領域を画定するカラーフィルタのブラックマトリックス額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていないカラーフィルタ基板を含むことを特徴とする請求項1に記載する塗布膜の検査装置である。本発明の塗布膜の検査装置によれば、上記したように被検査体の両端部から内側に遮光領域を可変に制御することが出来るため、フォトレジストが塗布されていない箇所からの透過光の回り込みによる擬似検出を防ぐことが可能となる。そのため、従来は検査が出来なかった、大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付け余白が生じて基板流動方向の基板端から表示領域を画定するカラーフィルタのブラックマトリックス額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていない基板に対しても、スジムラに代表される外観上の広域欠陥の検査を正常に行える。また、カラーフィルタ基板に面付けされる画面サイズによって、基板端部からのフォトレジストが塗布されていない幅が変更された場合でも、遮光領域を可変に制御することが出来るため、生産品種の変更に柔軟に対応可能となる。その結果、フォトレジストのムダや現像液の劣化を抑制でき、スジムラ検査のフィードバックでのプロセス安定化による歩留まり向上とあわせて、カラーフィルタ基板のコストダウンに貢献できる。本発明の塗布膜の検査装置を一実施形態に基づいて以下に説明する。なお、以下の説明で従来と同一機能を果たす部位の名称には同じ符号を用いる。本発明は、塗布膜の検査装置であり、対象とするカラーフィルタ基板は、図1にその一例を示すように、大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付け余白が生じて基板流動方向の基板端から表示領域を画定するカラーフィルタのブラックマトリックス額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていない基板が含まれる。なお、ガラス基板の大きさと面付けする画面サイズが適合して、面付け余白が生じていない基板に対しても、スジムラに代表される外観上の広域欠陥の検査を行えることは当然である。本発明の塗布膜の検査装置1は、図3に示すように、ガラス基板11にフォトレジスト12が塗布されたカラーフィルタ基板13の被検査体10を被検査体テーブル2の支持ピン21上に保持した状態で、被検査体10の図示しない検査位置を、図1で太い矢印で示した基板流動方向に走査可能に移動する検査位置に対して真下の位置に配置された透過光源部22から検査光23を当て、被検査体1を透過した透過光24を、透過光源部22と同じ方向に一体的に移動する検査位置に対して真上の位置に配置された撮像カメラ26で受光してその輝度変化を検出する。また、被検査体テーブル2の基板流動方向の両端部には外乱光遮断用のシャッター31、32が設けられている。このシャッターは基板流動方向端部で上下駆動して、被検査体10を、図示しない搬送ロボット等によって検査装置内に投入する際は、シャッター31が上部に移動して開口し、検査時にはシャッター31,32は下に移動して外乱光を遮光し、検査終了後は、シャッター32が上部に移動して開口して、被検査体10が検査機から排出される。そして、本発明のポイントとして、このシャッター31,32には被検査体テーブル2の両端部から被検査体10のカラーフィルタ基板13の内側に向けてその遮光領域を可変に制御する機構が具備されている。この機構を具備することで、図2に示した、従来の検査機での、透過光24以外に、漏光25がレジストの非塗布部より漏れてパターン部に回り込むことで光を検出する擬似検出を防ぐことが出来る。具体的には、シャッター31,32は基板流動方向端部で上下駆動し、このシャッター31,32の被検査体側の上部に遮光板33,34が可動可能に取り付けられている。遮光板33はシャッター31に蝶番39にて取り付けられ、同様に、遮光板34はシャッター32に蝶番40にて取り付けられている。遮光板の蝶番から離れた位置にはワイヤー35,36が繋がれており、検査装置上部にワイヤーを巻き取り巻き出し可能な電動制御式モーター37,38が取り付けられている。この電動制御式モーター37,38をワイヤー巻き取り巻きだし駆動することにより、遮光板33、34を円弧状の軌跡で制御することで、シャッター31,32が被検査体テーブル2の両端部から被検査体10のカラーフィルタ基板13の内側にその遮光領域を可変に制御することが可能となる。なお、蝶番による取付け、及びワイヤー駆動は、多額の費用をかけずに具現化できる本発明の推奨例であり、遮光領域を可変に制御する機構としてはこれに制限されない。ここで、透過光源22は、走査方向と直行方向に、カラーフィルタ基板13の幅に対して十分な長さを有している。また、撮像カメラ26も同様に、走査方向と直行方向に、カラーフィルタ基板13の幅に対して十分な長さを有するCCDカメラ列から構成される。透過光源22は、射出された検査光23をフォトレジスト12が塗布されたカラーフィルタ基板13の被検査体10の裏面から垂直に照射する。この被検査体10を透過した透過光24を撮像カメラ26で受光させ、その撮像データを、図示しないデータ処理部へと伝送する。データ処理部は検査装置1を制御し、スジムラに代表される外観上の広域欠陥の判定を行う。検査は、上記したように、被検査体10を被検査体テーブル2の支持ピン21上に保持した状態で行う。一般に、透過光検査の場合、検査の有効エリアは開口している必要があり、被検査体10を周辺のみで保持するが、対象とする被検査体10は前記した大型ガラス基板でタワミが大きく、また、スジムラに代表される外観上の広域欠陥の検査であるため、予め定められた支持ピン21及び図示しない支持ピン枠の位置をデータ入力しておくことで信頼性のある検査が可能である。"