"レーザ光を所定の粒子測定領域に照射するレーザ光照射手段と、サンプルエアに含まれる被測定粒子が前記粒子測定領域で前記レーザ光を通過するときの散乱光を受光する受光手段と、前記受光手段で受光した散乱光の受光レベルに基づいて、前記被測定粒子を測定する粒子測定装置であって、前記サンプルエアの外周を清浄なシースエアで包み込み、これを前記レーザ光の照射方向に直交する方向から前記粒子測定領域に吐出するサンプルエア吐出手段と、前記粒子測定領域を挟んで前記サンプルエア吐出手段に対向配置され、前記サンプルエア吐出手段から吐出される前記サンプルエアと前記シースエアとの混合気流から、前記サンプルエアを分離し回収するサンプルエア分離回収手段と、を備えることを特徴とする粒子測定装置。前記サンプルエア分離回収手段は、内部ノズルと、前記内部ノズルの外側に配置され当該内部ノズルの外径よりも大きい径を有する外部ノズルとの2重構造を有し、前記内部ノズルから前記サンプルエアを回収し、前記内部ノズルと前記外部ノズルとの間の環状部分から前記シースエアを回収するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の粒子測定装置。前記内部ノズルは、前記サンプルエアの回収前後における当該サンプルエアの流速変化を制限した形状に設定されていることを特徴とする請求項2に記載の粒子測定装置。ところで、近年、半導体工場や液晶工場などのクリーンルームにおける清浄度監視分野、もしくは大気汚染で問題視されている大気中に浮遊する粒子エアロゾルの測定分野においては、粒子の大きさや数だけでなく、その成分や形状を測定することにより、粒子発生源を特定する研究調査がなされ始めており、測定対象大気中の粒子について、単一粒子レベルで多角的に粒子を分析する複合分析のニーズが増加しつつある。このような要求に対しては、それぞれ異なる機能及び性能を有する粒子測定装置をタンデムにつなげ、各粒子測定装置で同一のサンプルを測定する手法が有用である。例えば、微小粒子粒子径:0.1μm程度まで測定可能な高感度な粒子測定装置と、比較的大きな粗大粒子粒子径:数μmまで測定可能な粒子測定装置とを組み合わせた構成とすることで、高感度でワイドレンジな粒子測定が理論的には可能となる。しかしながら、実際は、上記特許文献1に記載されているように、シースフロー方式を採用した粒子測定装置の場合、粒子測定装置からはサンプルエアがシースエアと混合された状態で排気される。そのため、各装置間で同一サンプルを測定するために、前段の粒子測定装置から排気されるサンプルエアを後段の粒子測定装置で吸引する構成とした場合、後段の粒子測定装置で吸引するサンプルエアは、前段の粒子測定装置で吸引したサンプルエアに対して流量が増大し粒子濃度が希釈されたものとなる。したがって、前段の粒子測定装置と後段の粒子測定装置とで測定された単一粒子の対応付けが非常に困難となり、単一粒子レベルでの複合的な分析は実質不可能であった。そして、他の粒子測定装置を3段、4段...と多段につなげて粒子測定を行うことは、更なる困難が予測できる。そこで、本発明は、多段につなげても問題なく粒子測定を行うことができ、単一粒子レベルでの複合分析が可能な粒子測定装置を提供することを課題としている。上記課題を解決するために、本発明の粒子測定装置は、レーザ光を所定の粒子測定領域に照射するレーザ光照射手段と、サンプルエアに含まれる被測定粒子が前記粒子測定領域で前記レーザ光を通過するときの散乱光を受光する受光手段と、前記受光手段で受光した散乱光の受光レベルに基づいて前記被測定粒子を測定する粒子測定装置であって、前記サンプルエアの外周を清浄なシースエアで包み込み、これを前記レーザ光の照射方向に直交する方向から前記粒子測定領域に吐出するサンプルエア吐出手段と、前記粒子測定領域を挟んで前記サンプルエア吐出手段に対向配置され、前記サンプルエア吐出手段から吐出される前記サンプルエアと前記シースエアとの混合気流から、前記サンプルエアを分離し回収するサンプルエア分離回収手段と、を備えることを特徴としている。このように、サンプルエアとシースエアとの混合気流からサンプルエアを分離して回収するサンプルエア分離回収手段を有するので、後段に別の粒子測定装置を接続する場合には、サンプルエア分離回収手段で回収したサンプルエアを後段の粒子測定装置に供給することができる。そのため、前段の粒子測定装置と後段の粒子測定装置とで測定された単一粒子の対応付けを容易に行うことができ、粒子の複合分析が可能となる。また、上記において、前記サンプルエア分離回収手段は、内部ノズルと、前記内部ノズルの外側に配置され当該内部ノズルの外径よりも大きい径を有する外部ノズルとの2重構造を有し、前記内部ノズルから前記サンプルエアを回収し、前記内部ノズルと前記外部ノズルとの間の環状部分から前記シースエアを回収するように構成されていることを特徴としている。このように、比較的簡易な構成でサンプルエアとシースエアとを分離し、サンプルエアのみを回収することができる。さらに、上記において、前記内部ノズルは、前記サンプルエアの回収前後における当該サンプルエアの流速変化を制限した形状に設定されていることを特徴としている。これにより、サンプルエアとシースエアとが混ざらないように確実に分離して、回収することができる。また、サンプルエア分離回収手段による回収前後で、サンプルエアの流量及び粒子濃度を一定に保つことができる。そのため、他の粒子測定装置をタンデムにつなげて複合的な分析が可能となる。本発明によれば、被測定粒子を含むサンプルエアを粒子測定後にシースエアから分離して回収するサンプルエア分離回収手段を有するので、粒子測定装置を多段につなげても問題なく粒子測定ができ、単一粒子レベルで粒子を複合的に分析することができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。構成図1は、本実施形態における粒子測定装置の構成を示す図である。図中、符号10は粒子測定装置である。この粒子測定装置10は、レーザダイオードなどのレーザ光源となるレーザ素子11と、レーザ素子11からの出射光をコリメートし、レーザ光13を所定の粒子測定領域に出射するレーザ光学系12とを有する。また、粒子測定装置10は、レーザ光学系12から出射されるレーザ光13が照射される粒子測定領域に、レーザ光13の照射方向に直交する方向からサンプルエア21を吐出する吐出ノズル14と、粒子測定領域を挟んで吐出ノズル14に対向配置される分離回収ノズル15とを備える。すなわち、粒子測定領域は、吐出ノズル14と分離回収ノズル15との間で、レーザ光13とサンプルエア21とが直交する領域といえる。ここで、サンプルエア21は、測定対象の粒子被測定粒子を含む気体であり、装置外部からダクト41を介して吸引され、吐出ノズル14へ供給される。また、吐出ノズル14には、ダクト41の他にダクト42が接続されており、このダクト42上には、エアフィルタ31及び流量制御手段32が連結されている。エアフィルタ31は、装置外部から吸引された空気から微粒子を取り除き、清浄化する。流量制御手段32は、エアフィルタ31によって清浄化された空気の流量を測定すると共に所定の流量となるように調整し、これをシースエア22として吐出ノズル14へ供給する。ここでは、サンプルエア21の外周をシースエア22で包み込み、これを吐出ノズル14から粒子測定領域に吐出する所謂シースフロー方式を採用するものとする。図2は、吐出ノズル14及び分離回収ノズル15の具体的構成を示す断面図である。吐出ノズル14は、内部ノズル14aと、内部ノズル14aの外側に配置され内部ノズル14aの外径よりも大きい径を有する外部ノズル14bとの2重構造となっている。内部ノズル14aの一端図2の上端にはダクト41の一端が連結され、外部ノズル14bの一端図2の上端にはダクト42の一端が連結される。すなわち、内部ノズル14aの内部にはサンプルエア21が流れ、その外周部である内部ノズル14aと外部ノズル14bとの間の環状部分にはシースエア22が流れる。また、外部ノズル14bの他端部図2の下端部はテーパ状に形成されている。このような構成により、サンプルエア21は、その外周を清浄な空気であるシースエア22で包み込まれ、非常に細い気流となって吐出ノズル14から吐出される。そして、その状態で、粒子測定領域にてレーザ光13に照射される。また、吐出ノズル14に対向配置された分離回収ノズル15は、吐出ノズル14と概ね同じような2重構造となっている。すなわち、分離回収ノズル15は、内部ノズル15aと外部ノズル15bとから構成されている。内部ノズル15aの内部にはサンプルエア21が吸引され、その外周部である内部ノズル15aと外部ノズル15bとの間の環状部分にはシースエア22が吸引されるようになっている。内部ノズル15a及び外部ノズル15bの先端図2の上端は、それぞれテーパ状に形成されており、そのノズル形状は、サンプルエア21とシースエア22とが混ざらずに確実に分離して吸引できるような形状となっている。具体的には、内部ノズル15aの先端の断面形状は、分離回収ノズル15に吸引される直前のサンプルエア21の流路断面形状と同等となっている。また、各ノズル15a,15bの形状ノズル内径は、分離回収ノズル15に吸引される前後でのサンプルエア21及びシースエア22の流速が大きく変化しないように、流速変化が制限された形状となっている。そして、内部ノズル15aの他端図2の下端には、図1に示すダクト43の一端が連結され、外部ノズル15bの一端図2の下端には、図1に示すダクト44の一端が連結される。図1に示すように、ダクト43は、流量制御手段33を介して装置外部に設置された真空ポンプ51に接続されており、ダクト44は、流量制御手段34を介して装置外部に設置された真空ポンプ52に接続されている。流量制御手段33及び34は、それぞれ自身が連結されたダクトを流れる気流の流量を測定し、その流量が所定の流量となるように調整するものである。また、粒子測定装置10は、サンプルエア21に含まれる被測定粒子が、それと垂直方向に照射されるレーザ光13を通過するときに発生する散乱光を受光する受光素子16を備える。受光素子16は、受光した散乱光をパルス状の電気信号に変換する光電変換素子であり、変換した電気信号を図示しない受光信号処理回路に出力する。散乱光信号処理手段は、受光素子16から入力されたパルスの高さから粒子の大きさを検知し、パルスの数から粒子の数を検知する。なお、レーザ素子11及びレーザ光学系12がレーザ光照射手段に対応し、吐出ノズル14がサンプルエア吐出手段に対応し、分離回収ノズル15がサンプルエア分離回収手段に対応し、受光素子16が受光手段に対応している。動作次に、本実施形態の動作について説明する。例えば、半導体工場や液晶工場などのクリーンルームにおける清浄度を監視するべく、クリーンルーム内の空気中に浮遊する粒子を測定する場合には、当該クリーンルーム内に粒子測定装置10を設置する。この粒子測定装置10にて粒子測定を行う際には、先ず、粒子測定装置10の外部に設置された真空ポンプ51,52を駆動する。すると、流量制御手段32,33及び34によって定められた所定の流量で、サンプルエア21及びシースエア22がそれぞれ図1に示す矢印の方向に吸引される。この吸引により、吐出ノズル14からは、外周がシースエア22に包まれ非常に細い流れになったサンプルエア21が、レーザ光13の照射位置である粒子測定領域に向けて吐出される。サンプルエア21に粒子が含まれている場合、その粒子にレーザ光13が照射されることにより散乱光が発生する。この散乱光は受光素子16によって受光され、パルス状の電子信号に変換される。変換後の電気信号は、図示しない受光信号処理回路で処理されて、サンプルエア21中の粒子の大きさと数とが測定される。この測定結果に基づいて、クリーンルーム内の清浄度の監視が可能となる。このように、シースフロー方式を採用することで、サンプルエアの拡散を防ぐと共に粒子測定領域でのサンプルエアの流路断面積を非常に小さく保つことができる。したがって、粒子の検出感度と検出分解能とを向上させることができる。粒子測定後のサンプルエア21は、シースエア22に包まれた状態で吐出ノズル14に対向配置された分離回収ノズル15へと向かう。分離回収ノズル15は、内部ノズル15aと外部ノズル15bとの2重構造によって、吐出ノズル14から吐出されるサンプルエア21とシースエア22との混合気流を、サンプルエア21とシースエア22とに分離して回収する。分離回収ノズル15によって回収されたサンプルエア21及びシースエア22は、それぞれダクト43及び44を介して真空ポンプ51及び52によって装置外部に排気される。ところで、空気中に浮遊する粒子について、単一粒子レベルで多角的に分析する複合分析のニーズが増加している現状にあって、それぞれ異なる機能、性能を有する粒子測定装置をタンデムに接続し、各装置間で同一のサンプルに対して粒子測定を行う必要性が高まっている。ところが、シースフロー方式を採用した一般的な粒子測定装置では、粒子測定後、吸引ノズルによってサンプルエアとシースエアとを混合状態で吸引し、装置外部に一括排気していた。つまり、このような一般的な粒子測定装置から排気されるサンプルエアは、粒子測定前の吸引時におけるサンプルエアに対して、流量が増大し粒子濃度が希釈されたものとなっている。そのため、この粒子測定装置の後段に他の粒子測定装置をつなげた場合、後段の粒子測定装置で吸引されるサンプルエアは、前段の粒子測定装置から排気されるサンプルエアとなることから、前段の粒子測定装置の粒子測定時のサンプルエアに対して流量が増大し粒子濃度が希釈されたものとなる。したがって、前段の粒子測定装置と後段の粒子測定装置との間で単一粒子の対応付けが非常に困難となり、単一粒子レベルでの複合的な分析ができない。これに対して、本実施形態の粒子測定装置10では、分離回収ノズル15によって、粒子測定後のサンプルエア21とシースエア22との混合気流をサンプルエア21とシースエア22とに分離して回収し、サンプルエア21とシースエア22とを分離した状態で装置外部に排気する。そのため、粒子測定前後でサンプルエアの流量及び粒子濃度が変化しないようにすることができる。したがって、他の粒子測定装置をタンデムにつなげても、容易に単一粒子レベルでの複合的な分析を行うことができる。図3は、粒子測定装置10に他の粒子測定装置をタンデムにつなげて使用した場合の例である。ここでは、上述した粒子測定装置10の後段に、当該粒子測定装置10と同一構成を有し、粒子の大きさ及び数を検知可能な粒子測定装置10 ́をつなげた場合について説明する。ここで、粒子測定装置10を、例えば微粒子粒子径:0.1μm程度まで測定できる高感度な装置とし、粒子測定装置10 ́を、例えば比較的大きな粗大粒子粒子径:数μmまで測定可能な装置とする。これら2つの粒子測定装置10及び10 ́を組み合わせることにより、高感度でワイドレンジな粒子測定が実現可能となる。粒子測定装置10と粒子測定装置10 ́とをタンデムにつなげる場合、粒子測定装置10のダクト43と粒子測定装置10 ́のダクト41とをポンプ51を介さずに直接接続する。そして、粒子測定装置10 ́のダクト43に、ポンプ51に相当するポンプ53を接続する。なお、図3においては、サンプルエア21の流れについてのみ示している。ポンプ53を駆動すると、前段の粒子測定装置10にサンプルエア21が吸引される。粒子測定装置10では、シースフロー方式にて粒子測定が行われた後、分離回収ノズル15によってサンプルエア21とシースエア22とが分離され、排気される。そして、この粒子測定装置10から排気されるサンプルエア21が、後段の粒子測定装置10 ́に吸引されることになる。このように、後段の粒子測定装置10 ́が吸引するサンプルエア21は、前段の粒子測定装置10の分離回収ノズル15によって分離回収されたサンプルエア21である。すなわち、後段の粒子測定装置10 ́が吸引するサンプルエア21は、前段の粒子測定装置10が吸引したサンプルエア21と、その流量及び粒子濃度が同一である。そのため、粒子測定装置10と粒子測定装置10 ́とは同一のサンプルエア21をほぼ同時測定することになり、単一粒子レベルでの多角的な分析が可能となる。なお、粒子測定装置10の後段につなげる粒子測定装置10 ́は、粒子測定装置10のような光散乱方式を用いて粒子の大きさや数を測定する装置でなくてもよい。例えば、粒子の成分を分析したり、粒子の形状を分析したりするような他の機能を有する粒子測定装置でもよい。このように、粒子測定装置10の後段に粒子の成分や形状を分析可能な粒子測定装置を接続することで、粒子発生源を特定することができるようになるなど、複合分析のニーズに十分対応することができる。また、クリーンルームにおける清浄度監視分野だけでなく、大気汚染で問題視されている一般大気中に浮遊する微粒子エアロゾルの測定分野においても、本粒子測定装置を適用可能である。したがって、粒子の大きさや数だけでなく、その成分や形状を測定するなどの多角的な分析が可能となり、粒子発生源を特定する研究調査にも有用である。効果このように、本実施形態では、シースフロー方式を採用した粒子測定に際し、被測定粒子を含むサンプルエアを粒子測定後にシースエアと分離して回収する。したがって、サンプルエアとシースエアとを分離した状態で装置外部に排気することができる。そのため、後段につなげた粒子測定装置に、分離回収したサンプルエアを供給することができ、粒子測定装置を多段につなげても、各装置で同一サンプルを測定することができる。その結果、容易に単一粒子レベルでの複合的な分析を行うことができる。また、サンプルエアとシースエアとの分離回収は、内部ノズルと外部ノズルとの2重構造を有する分離回収ノズルを用いて行う。これにより、内部ノズルからサンプルエアを回収し、内部ノズルと外部ノズルとの間の環状部分からシースエアを回収することができる。このように、比較的簡易な構成でサンプルエアの分離回収が可能となる。さらに、分離回収ノズルの内部ノズルを、サンプルエアの回収前後における当該サンプルエアの流速変化を制限した形状とする。そのため、シースエアが混ざらずにサンプルエアのみを確実に分離回収することができると共に、粒子測定前後でサンプルエアの流量及び粒子濃度を一定に保つことができる。以上のように、他の粒子測定装置をタンデムにつなげて、粒子の複合的な分析を容易に実現することができる。"