"空気軸受型の軸受を有する複数の送風手段を直列的に配置した送風装置の制御方法において、前記送風装置を起動する際に、下流側の送風手段を起動した後、上流側の送風手段を起動することを特徴とする送風装置の制御方法。前記下流側の送風手段を起動した後に、設定回転数以上の回転数になったことを条件として、前記上流側の送風手段を起動することを特徴とする請求項1に記載の送風装置の制御方法。空気軸受型の軸受を有する複数の送風手段を直列的に配置した送風装置の制御装置において、前記送風装置を起動する際に、下流側の送風手段を起動した後に、上流側の送風手段を起動させる遅延手段を備えたことを特徴とする送風装置の制御装置。請求項1に記載の送風装置の制御方法を、燃料ガス又は空気の供給通路に設置された送風装置の制御方法に適用したことを特徴とする燃料電池発電システム。請求項3に記載の送風装置の制御装置を、燃料ガス又は空気の供給通路に設置された送風装置の制御装置に適用したことを特徴とする燃料電池発電システム。ところで、従来の燃料電池発電システムにおいて、燃料電池発電モジュールへの燃料ガスや空気の供給には、高い送風圧が必要である。このため、送風装置として上記特許文献1,2のように1つの送風機を使用する場合、大型のものを採用しなければならず、送風装置の大型化や高騒音という問題が生じる。そこで、高い送風圧を出す為に、送風装置を複数の小型の送風機を直列的に配置する技術も公知である。しかし、複数の空気軸受型の送風機を直列的に配置した場合、複数の送風機を同時起動すると、上流側の送風機の風圧が下流側の送風機に作用し、下流側の送風機の回転軸が軸方向に押圧されて、空気軸受の軸方向のクリアランスを維持することできなくなる場合がある。この場合、空気軸受の摺動摩擦が増大し、送風機が失速するという所謂サージング現象が発生し、要求された送風圧で燃料ガス又は空気を供給できない虞があり、また、下流側の送風機の軸受部が破損してしまう虞がある。本発明の目的は、複数の空気軸受型の送風機を直列的に配置した送風装置の起動時に、複数の送風機が互いに干渉せずに送風装置を起動可能な制御方法、制御手段及びこれらを備えた燃料電池発電システムを提供すること、等である。請求項1の送風装置の制御方法は、空気軸受型の軸受を有する複数の送風手段を直列的に配置した送風装置の制御方法において、前記送風装置を起動する際に、下流側の送風手段を起動した後に、上流側の送風手段を起動することを特徴としている。請求項2の送風装置の制御方法は、請求項1の発明において、前記下流側の送風手段を起動した後に、設定回転数以上の回転数になったことを条件として、前記上流側の送風手段を起動することを特徴としている。請求項3の送風装置の制御装置は、空気軸受型の軸受を有する複数の送風手段を直列的に配置した送風装置の制御装置において、前記送風装置を起動する際に、下流側の送風手段を起動した後に、上流側の送風手段を起動させる遅延手段を備えたことを特徴としている。請求項4の燃料電池発電システムは、請求項1に記載の送風装置の制御方法を、燃料ガス又は空気の供給通路に設置された送風装置の制御方法に適用したことを特徴としている。請求項5の燃料電池発電システムは、請求項3に記載の送風装置の制御装置を、燃料ガス又は空気の供給通路に設置された送風装置の制御装置に適用したことを特徴としている。請求項1又は3の発明によれば、送風装置を起動する際に、下流側の送風手段を起動した後に、上流側の送風手段を起動するので、下流側の送風手段の起動時には、上流側の送風手段の風圧が作用しないため、空気軸受が正常に作動し、その後、上流側の送風手段を起動させることにより、送風装置をスムーズに起動することでき、要求される圧力で燃料ガス又は空気を安定的に供給することができる。このように、下流側の送風手段にサージング現象が発生するのを抑制できるので、送風手段の故障を防止して、送風装置の耐久性を向上させることができる。請求項2の発明によれば、下流側の送風手段を起動した後に、設定回転数以上の回転数になったことを条件として、上流側の送風手段を起動するので、下流側の送風手段の回転数に基づいて、下流側の送風手段が起動して安定状態になったかを確実に判断することができる。請求項4又は5の発明による燃料電池発電システムは、請求項1又は3に記載の送風装置の制御方法又は制御装置を、燃料ガス又は空気の供給通路に設置された送風装置の制御方法又は制御装置に適用したので、送風装置を確実に起動させて、要求された圧力に基づいて、送風装置により燃料電池発電システムの燃料電池発電モジュールに燃料ガス又は空気を安定的に供給することができる。以下、本発明を実施するための形態について実施例に基づいて説明する。本発明の送風装置の制御方法は燃料電池発電システム1に適用されているので、先ず、燃料電池発電システム1の全体構成について説明する。図1に示すように、燃料電池発電システム1は、燃料電池発電モジュール2と、カソード空気用送風装置6本発明の送風装置に相当すると、燃料ガス昇圧用送風装置7と、燃料改質空気用送風装置8と、排気ガス排出通路9と、熱交換器11と、水処理装置12と、インバータ13等から構成されている。燃料電池発電モジュール2にて発電された直流電力は、インバータ13を介して交流電力に変換されて外部に出力される。尚、この燃料電池発電システム1は、熱交換器11による熱交換後の湯水を貯湯する貯湯槽を有する貯湯システムと、この貯湯システムと燃料電池発電システム1との間に循環ポンプ25を介して湯水を循環させる為の湯水循環配管4等と組み合わせることで燃料電池コージェネレーションシステムが構成されるが、燃料電池発電システム1以外の構成の詳細な説明は省略する。次に、燃料電池発電モジュール2について説明する。図1に示すように、燃料電池発電モジュール2以下、発電モジュール2というは、燃料電池セルスタック14と、蒸発器15と、燃料改質器16と、オフガス燃焼室17等を備え、燃料改質器16によって改質された改質燃料ガス及び酸化剤としての空気を燃料電池セルスタック14で化学反応させることで発電を行うものである。蒸発器15は、燃料ガスに混合する為の水蒸気を生成して燃料改質器16に供給するものである。蒸発器15には、燃料ガス昇圧用送風装置7によって取り込まれて昇圧された燃料ガス天然ガス、都市ガスやプロパン等と、燃料改質空気用送風装置8によって取り込まれた燃料改質用の空気とが、共通通路18aを介して供給され、水処理装置12から純水通路24を介して水が供給される。蒸発器15は、供給された水から水蒸気を生成する。燃料改質器16は、その内部に白金等の改質触媒を備え、蒸発器15から混合通路18bを介して供給される燃料ガスと空気と水蒸気とを混合して反応所謂、水蒸気改質させて、水素リッチな改質燃料ガスを生成し、この改質燃料ガスを、改質燃料ガス供給路18cを介して燃料電池セルスタック14の燃料極側に供給する。燃料電池セルスタック14は、複数の燃料電池セルを多層に積層して構成されている。各燃料電池セルは、ジルコニア等の固体電解質と燃料極と酸素極から夫々形成されている。燃料電池セルスタック14の燃料極アノード側には、燃料改質器16から改質燃料ガスが供給され、燃料電池セルスタック14の酸素極カソード側には、カソード空気用送風装置6から空気通路18dを介して空気が供給され、これらを高温下の環境で電気化学反応させて直流電力を生成する。オフガス燃焼室17は、燃料電池セルスタック14の発電に伴い生じる残余燃料ガスを燃焼処理する為のものであり、燃料電池セルスタック14の燃料極側及び酸素極側の各排出側と接続されている。このオフガス燃焼室17では、燃料極側から排出された残余燃料ガスを含む反応燃料ガスと、酸素極側から排出された酸素を含む空気とを公知の燃焼触媒を用いて燃焼させることによって高温の排気ガスを生成し、この排気ガスで熱交換器11を加熱してから、排気ガス排出通路9を介して外部に排出する。熱交換器11は、排気ガス排出通路9の内部に設けられ、湯水循環通路4の一部を構成する熱交換通路部11aを備えている。この熱交換器11において、発電モジュール2から排出される排気ガスを、熱交換通路部11aを流れる湯水との間で熱交換させて、排気ガス中に含まれる水蒸気は冷却され凝縮されて凝縮水となる。水処理装置12は、熱交換器11にて凝縮された凝縮水を、回収通路23を介して回収し、内部に設けられた水処理手段により不純物を取り除いた水蒸気改質用の純水を、純水ポンプの駆動により発電モジュール2に純水通路24を介して供給するものである。次に、本発明のカソード空気用送風装置6について説明する。図2に示すように、カソード空気用送風装置6以下、送風装置6というは、空気軸受39を有する2つの送風機31,32送風手段を備え、これら2つの送風機31,32を直列的に配置して構成されている。送風装置6においては、空気入口26から延びる入口通路27aが、上流側の送風機31の吸引口41に接続され、上流側の送風機31の吐出口44から延びる中間通路27bが、下流側の送風機32の吸引口41に接続され、下流側の送風機32の吐出口44から延びる空気通路18dが、燃料電池セルスタック14の酸素極側に接続されている。図2に示すように、燃料電池発電システム1は、2つの送風機31,32を独立に制御可能な制御ユニット34制御装置を備えている。この制御ユニット34は、2つの送風機31,32の駆動部38に駆動回路図示略を介して夫々接続されている。制御ユニット34は、送風装置6を起動する際に、下流側の送風機32を起動した後、上流側の送風機31を起動制御するものである。次に、2つの送風機31,32について説明するが、これらは同じ構成を有するので、以下では、上流側のラジアル型の送風機31について説明する。図3に示すように、送風機31は、空気を圧縮して送風するものであり、ケース35と、このケース35の作動室36に回転可能に支持された回転軸37と、この回転軸37を回転させる為の回転磁界を発生する駆動部38と、回転軸37を回転可能に支持し且つ動圧浮力を発生させる動圧型の空気軸受39とを備えている。ケース35の左側部分には、空気を吸引する吸引口41と、この吸引口41に連通する渦巻状のスクロール室43と、このスクロール室43とに連通し且つ圧縮された空気を吐出する吐出口44が設けられている。ケース35の中央から右側部分には作動室36が形成され、この作動室36に回転軸37と駆動部38と空気軸受39が収容されている。回転軸37の先端部左端部には、吸引口41に対面した回転羽根45が設けられている。回転軸37の中央やや右寄り部分には、駆動部38のロータ38cが設けられている。空気軸受39は、回転軸37の両端側の小径軸部37a,37bを回転自在に支持する1対のラジアル軸受39a,39bと、回転軸37の端部に固定された円板37cと協働して軸方向荷重スラストを支持するスラスト軸受39cとを備えている。1対のラジアル軸受39a,39bとスラスト軸受39cは、ケース35に固定されている。回転軸37の小径軸部37a,37bの外周面には、複数のヘリカル状溝37d,37eが夫々形成されている。円板37cの軸端面には、動圧発生用の溝図示略が形成されている。上記のヘリカル状の溝37d,37eと動圧発生用の溝の協働により、回転軸37の高速回転時には動圧が発生して、回転軸37が1対のラジアル軸受39a,39bとスラスト軸受39cに対して非接触状態となり、低摩擦で支持される。駆動部38は、磁性材料で形成された筒状のステータ38aと、このステータ38aに巻線を巻きつけて構成した励磁用の巻線部38bと、回転軸37に設けられ且つステータ38aに対向するロータ38cとから構成されている。駆動部38の巻線部38bに励磁電流を流すと、作動室36内に回転軸37の軸回りを回転する回転磁界が発生する。これにより、ロータ38cと共に回転軸37が回転し、回転軸37の先端部の回転羽根45も回転し、吸引口41から空気が吸引されスクロール室43を経て吐出口44から圧縮された空気が吐出される。次に、制御ユニット34により実行される送風装置6を起動する為の起動制御について、図4のフローチャートに基づいて説明する。この起動制御の制御プログラムは、制御ユニット34のコンピュータの記憶部例えば、ROMに予め格納されている。尚、図中Sii=1,2は各ステップを示す。先ず、燃料電池発電システム1の発電開始に伴い送風装置6を起動する際に、制御ユニット34は起動指令が入力されたか否か判定しS1、Yesの場合、S2にて、下流側の送風機32の巻線部38bに励磁電流を流して下流側の送風機32を起動する。S1の判定がNoの場合は、そのまま終了する。次に、S2にて下流側の送風機32を起動した後、S3に移行して、予め設定された所定の時間例えば、1秒経過したか否か判定し、S3の判定がNoのうちはS3を繰り返し、S3の判定がYesの場合、S4に移行して、上流側の送風機31の巻線部38bに励磁電流を流して上流側の送風機31を起動し、その後、この起動制御は終了する。尚、S3が、遅延手段に相当するものである。このように、下流側の送風機32を起動した後に、上流側の送風機31を起動することで、空気入口26から空気を吸い込み、2つの送風機31,32を介して圧縮された高圧の空気を、燃料電池セルスタック14に供給する。尚、上記の所定の時間は、下流側の送風機32が起動して安定状態になる時間に設定することが望ましく、例えば、送風機32の定格回転数が40000rpm程度である場合、送風機32が約8000rpmに達する時間に設定しても良い。次に、本発明の燃料電池発電システム1の作用、効果について説明する。制御ユニット34は、送風装置6を起動する際に、下流側の送風機32を起動した後に、上流側の送風機31を起動するので、下流側の送風機32に上流側の送風機31の風圧が作用しないため、空気軸受型の1対のラジアル軸受39a,39b、スラスト軸受39cが正常に作動し、その後、上流側の送風機31を起動させる際にも、空気軸受型の1対のラジアル軸受39a,39b、スラスト軸受39cが正常に作動するため、送風機31,32を互いに干渉させずに、送風装置6をスムーズに起動することでき、要求される圧力で空気を安定的に供給することができる。また、下流側の送風機32にサージング現象が発生するのを抑制できるので、送風機32の故障を防止して、送風装置6の耐久性を向上させることができる。燃料電池発電システム1は、空気の空気通路18d供給通路に設置された送風装置6に本発明の起動制御及び起動制御方法が適用されたので、送風装置6を確実に起動させて、要求された圧力に基づいて、送風装置6により燃料電池発電モジュール2に空気を安定的に供給することができる。次に、実施例1の送風装置6とその制御方法を部分的に変更した変更形態について説明するが、実施例1と同様の構成には同様の参照符号を付して説明は省略する。図5に示すように、送風装置6Aは、2つの送風機31,32Aを備え、これら2つの送風機31,32Aを直列的に配置して構成されているが、2つの送風機31,32Aのうち下流側の送風機32Aが回転軸37の回転数を検出可能なエンコーダ46を備えている以外は、これら2つの送風機31,32Aは、基本的に実施例1の送風機31,32と同様な構成を有するものである。図5に示すように、制御ユニット34A制御装置は、2つの送風機31,32Aの駆動部38に駆動回路図示略を介して夫々接続されている。制御ユニット34Aは、送風装置6Aを起動する際に、下流側の送風機32Aを起動した後、下流側の送風機32Aに設けられたエンコーダ46からの信号に基づいて現在の回転軸37の回転数を算出し、この算出された回転数に基づいて、上流側の送風機31を起動制御するものである。次に、制御ユニット34Aにより実行される送風装置6Aを起動する為の起動制御について、図6のフローチャートに基づいて説明する。この起動制御の制御プログラムは、制御ユニット34Aのコンピュータの記憶部例えば、ROMに予め格納されている。尚、図中Sii=11,12は各ステップを示す。先ず、燃料電池発電システム1の発電開始に伴い送風装置6Aを起動する際に、制御ユニット34Aは起動指令が入力されたか否か判定しS11、Yesの場合、S12にて、下流側の送風機32Aの巻線部38bに励磁電流を流して下流側の送風機32Aを起動する。S11の判定がNoの場合は、そのまま終了する。次に、S12にて下流側の送風機32Aを起動した後、下流側の送風機32Aのエンコーダ46から送信されてくるエンコーダ信号を設定時間例えば、1秒の間継続的に読み込みS13、この読み込まれたエンコーダ信号に基づいて下流側の送風機32Aの1分間における現在の回転数を算出しS14、S15にて、予め設定された回転数以上の回転数か否か判定し、S15の判定がNoのうちはS13~S15を繰り返し、S15の判定がYesになると、S16に移行して、上流側の送風機31の巻線部38bに励磁電流を流して上流側の送風機31を起動し、その後、この起動制御は終了する。尚、S13~S15が、遅延手段に相当するものである。このように、下流側の送風機32Aを起動した後に、上流側の送風機31を起動することで、空気入口26から空気を吸い込み、圧縮された高圧の空気を、燃料電池セルスタック14に供給する。尚、上記の設定された送風機32Aの回転数とは、下流側の送風機32Aが起動して安定状態になる回転数に設定することが望ましく、例えば、送風機32の定格回転数が40000rpm程度である場合、回転数を約8000rpmに設定しても良い。制御ユニット34Aは、下流側の送風機32Aを起動した後に、設定回転数以上の回転数になったことを条件として、上流側の送風機31を起動するので、送風機31,32Aを互いに干渉させずに、送風装置6をスムーズに起動することでき、要求される圧力で空気を安定的に供給することができる。また、下流側の送風機32Aの回転数に基づいて、下流側の送風機32Aが起動して安定状態になったかを確実に判断することができる。その他の構成、作用及び効果は基本的に実施例1と同様であるので、説明は省略する。次に、実施例1の制御ユニット34を部分的に変更した変更形態について説明するが、実施例1と同様の構成には同様の参照符号を付して説明は省略する。図7に示すように、燃料電池発電システム1は、送風機31,32を制御可能な制御ユニット34B制御装置を備え、この制御ユニット34Bは、主要制御部51と、送風装置6を起動する際に、下流側の送風機32を起動した後に、上流側の送風機31を起動させる遅延回路52遅延手段とを備えている。主要制御部51は、下流側の送風機32の駆動部38に直接接続され、上流側の送風機31の駆動部38には遅延回路52を介して接続されている。遅延回路52は、受信した信号を予め設定された遅延時間例えば、1秒をもって再度送信可能な一般的な遅延回路である。制御ユニット34Bの主要制御部51から送風装置6への駆動信号を、上流側の送風機31と下流側の送風機32へ同時に送信すると、遅延回路52により上流側の送風機31の起動が遅延し、下流側の送風機32が起動した後に、予め設定された遅延時間をもって上流側の送風機31が起動する。このように、制御ユニット34Bは、送風装置6を起動する際に、下流側の送風機32を起動した後に、上流側の送風機31を起動するので、送風機31,32を互いに干渉させずに、送風装置6をスムーズに起動することでき、要求される圧力で空気を安定的に供給する。また、下流側の送風機32にサージング現象が発生するのを抑制できるので、送風機32の故障を防止して、送風装置6の耐久性を向上させることができる。その他の構成、作用及び効果は基本的に実施例1と同様であるので、説明は省略する。次に、実施例1の送風装置6とその制御方法を部分的に変更した変更形態について説明するが、実施例1と同様の構成には同様の参照符号を付して説明は省略する。図8に示すように、送風装置6Cは、3つの送風機31~33を備え、これら3つの送風機31~33は、基本的に実施例1の送風機31,32と同様な構成を有するものであり、直列的に配置されている。送風装置6Cにおいては、空気入口26から延びる入口通路28aが、上流側の送風機31の吸引口41に接続され、上流側の送風機31の吐出口44から延びる第1通路28bが、中間の送風機33の吸引口41に接続され、中間の送風機33の吐出口44から延びる第2通路28cが、下流側の送風機32の吸引口41に接続され、下流側の送風機32の吐出口44から延びる空気通路18dが、燃料電池セルスタック14の酸素極側に接続されている。図8に示すように、燃料電池発電システム1は、3つの送風機31~33を独立に制御可能な制御ユニット34C制御装置を備えている。この制御ユニット34Cは、3つの送風機31~33の駆動部38に駆動回路図示略を介して夫々接続されている。制御ユニット34Cは、送風装置6Cを起動する際に、下流側の送風機32を起動した後、中間の送風機33を起動し、中間の送風機33を起動した後、上流側の送風機32を起動制御するものである。次に、制御ユニット34Cにより実行される送風装置6Cの起動する為の起動制御について、図9のフローチャートに基づいて説明する。この起動制御の制御プログラムは、制御ユニット34Cのコンピュータの記憶部例えば、ROMに予め格納されている。尚、図中Sii=21,22は各ステップを示す。先ず、燃料電池発電システム1の発電開始に伴い送風装置6Cを起動する際に、制御ユニット34Cは起動指令が入力されたか否か判定しS21、Yesの場合、S22にて、下流側の送風機32の巻線部38bに励磁電流を流して下流側の送風機32を起動する。S21の判定がNoの場合は、そのまま終了する。次に、S22にて下流側の送風機32を起動した後、S23に移行して、予め設定された所定の時間例えば、1秒経過したか否か判定し、S23の判定がNoのうちはS23を繰り返し、S23の判定がYesになると、S24に移行して、中間の送風機33の巻線部38bに励磁電流を流して中間の送風機33を起動する。次に、S24にて中間の送風機33を起動した後、S25に移行して、予め設定された所定の時間例えば、1秒経過したか否か判定し、S25の判定がNoのうちはS25を繰り返し、S25の判定がYesになると、S26に移行して、上流側の送風機31の巻線部38bに励磁電流を流して上流側の送風機31を起動し、その後、この起動制御は終了する。尚、S23とS25が、遅延手段に相当するものである。このように、下流側の送風機32を起動した後に、中間の送風機33を起動し、そして上流側の送風機31を起動することで、空気入口26から空気を吸い込み、送風装置6Cにより圧縮された高圧の空気を、燃料電池セルスタック14に供給する。尚、上記の所定の時間経過とは、送風機31~33が起動して安定状態になる時間に設定されるものである。また、送風装置6Cは、3つの送風機31~33を直列的に配置して構成しているが、3つの送風機31~33に限らす、4つ以上の複数の送風機を直列的に配置して構成しても良い。この場合、制御ユニットも、送風機の数に応じて下流側の送風機から順に起動制御する。その他の構成、作用及び効果は基本的に実施例1と同様であるので、説明は省略する。次に、前記実施例を部分的に変更した形態について説明する。[1]前記送風装置6,6A,6Cは、カソード空気用の送風装置に適応されているが、この構成に限定する必要はなく、本発明の送風装置を燃料ガス用送風装置7や燃料改質空気用送風装置8に適用しても良い。この構成によれば、要求される燃料ガス又は空気を蒸発器15に安定的に供給することができる。[2]前記送風装置6,6A,6Cの制御方法や制御ユニット34,34B,34Cは、燃料電池発電システム1に適用されているが、これ以外のものであって送風装置を有しているものには、本発明の複数の送風機を直列的に配置した送風装置を適用可能である。[3]その他、当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱することなく、前記実施例に種々の変更を付加した形態で実施可能であり、本発明はそのような変更形態を包含するものである。"