"切断刃に振動を印加して対象物を切断する振動切断装置において、一方端に振動子が接続され、該振動子の反対側の他方端の取付部に前記切断刃が取り付けられた共振器と、前記共振器の被把持部を把持する把持部を有し、前記共振器を支持する支持手段とを備え、前記共振器の側面には、少なくとも1個の長孔が透設されていることを特徴とする振動切断装置。前記取付部が、前記共振器の他方端に形成された嵌合溝を備え、前記切断刃が、一端側縁部に刃先を有する矩形の平板状を成し、前記刃先に対向する他端側から前記嵌合溝に嵌め込まれると共に前記他端側の両側面が幅方向に渡って前記嵌合溝部分に接着されて前記共振器の前記取付部に取り付けられたことを特徴とする請求項1に記載の振動切断装置。前記切断刃の前記他端側の両側面または前記嵌合溝の両内側面に、前記幅方向に渡る凹溝が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の振動切断装置。前記取付部が、前記共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面L字状段部を備え、前記切断刃が、前記共振器の振動方向と平行な前記段部の取付面に沿って固着されていることを特徴とする請求項1に記載の振動切断装置。前記取付部が、前記共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面L字状段部と、該段部の前記共振器の振動方向と平行な取付面との間に前記切断刃を挟持する取付台座とを備え、前記切断刃が、一端側縁部に刃先を有する平板状を成し、前記刃先以外の部分を前記取付台座に固着した状態でボルトにより前記取付面に共締めされて前記取付部に取り付けられたことを特徴とする請求項1に記載の振動切断装置。前記取付部が、一方面に前記切断刃が設けられ他方面が前記共振器の他方端に取り付けられる平板状の取付台座を備えたことを特徴とする請求項1に記載の振動切断装置。前記切断刃は、前記取付台座に一体的に形成されていることを特徴とする請求項6に記載の振動切断装置。複数の前記取付台座がシート状部材に設けられており、前記シート状部材に設けられた前記取付台座のうちのいずれか一つが前記共振器の他方端に吸着されることを特徴とする請求項7に記載の振動切断装置。前記切断刃が、前記刃先に尖頭を有することを特徴とする請求項2ないし5のいずれかに記載の振動切断装置。前記長孔が、前記振動子の振動方向に平行であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の振動切断装置。前記長孔が、前記振動子の振動方向に対して傾斜している請求項1ないし9のいずれかに記載の振動切断装置。前記対象物が載置される載置面と、前記載置面の傾きを調整する倣い機構とを有するステージと、前記刃先が前記ステージと対向するように前記支持手段に支持された前記共振器を、前記ステージに近接または前記ステージから離間させる移動手段と、前記倣い機構および前記移動手段を制御する制御手段とをさらに備え、前記制御手段は、前記移動手段により前記共振器を前記ステージに近接させて前記刃先を前記載置面と当接させ、前記倣い機構により前記刃先および前記載置面の傾きを一致させることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の振動切断装置。前記制御手段は、前記切断刃による前記対象物への加圧力が所定値で一定となるように、前記移動手段により前記共振器を前記ステージに近接させることを特徴とする請求項12に記載の振動切断装置。前記対象物が載置される載置面が設けられた緩衝層を有するステージをさらに備え、前記緩衝層は前記切断刃による切込みが可能な材質により形成されていることを特徴とする請求項1ないし13のいずれかに記載の振動切断装置。近年、電子機器の小型化が進むことにより、電子機器に搭載されるチップ型電子部品の微小化が要望されており、具体的にはチップ型電子部品を1mm×1mm×1mm以下の大きさに形成することが要求されている。特許文献1には、200μm~300μmの刃厚を有する切断刃が記載されているが、チップ型電子部品を近年要求されている大きさに形成するためには、切断刃の刃厚が100μmよりも薄く、望ましくは刃厚が50μmよりも薄く形成されている必要がある。そして、チップ型電子部品を形成するための材料である、半導体ウエハーやセラミックグリーンシートの積層体などの切断対象物が、上記したように刃厚が薄く形成された切断刃により精度よく切断されなければならない。しかしながら、従来よりも刃厚が薄く形成された切断刃を用いて従来の切断技術により対象物を1mm×1mm以下の形状に切断すると、対象物が切断されることによる切断片に割れや欠けなどの不具合が生じることがある。また、内部に所定の配線パターンが設けられたセラミックグリーンシートの積層体が切断対象物である場合には、切断位置にずれが生じて積層体内部に設けられた配線パターンが損傷するなどの不具合が生じることがある。これらの不具合は、対象物が切断加工されることにより製造される製品の歩留まりの低下を招来する。本願発明者は、これらの不具合の原因について種々の検討を行い、その結果、切断刃に平行な振動子の本来の振動方向と異なる方向への振動成分が切断刃に印加されることが前記不具合の原因であることを見出した。すなわち、後述する共振器の支持構造に起因して振動子の振動とは関係のない微小な横ぶれなどが共振器本体に生じて、本来の振動子の振動方向と異なる方向への横ぶれなどの振動成分、換言すれば、切断刃に平行な振動方向と異なる方向への横ぶれなどの振動成分が共振器に生じる。そして、共振器に生じた本来の振動方向と異なる方向への横ぶれなどの振動成分以下、横ぶれなどの振動子の振動とは関係のない振動を異常振動と称するが切断刃に印加されると、切断刃の刃厚が従来よりも非常に薄く形成されているため、対象物切断の際に切断刃に刃曲がりが生じたり、異常振動に起因した切断刃の刃先の横ぶれにより切断対象物の切断片に割れや欠けなどの不具合が生じる。また、対象物への刃先の切込角度が切断刃の横ぶれにより安定せず、切断刃の刃先の対象物への接地位置に刃先の横ぶれにより微小なずれが生じたときに、対象物に対して刃先が斜めに切込まれることによる刃曲がりが発生するおそれがあり、この場合、刃先と対象物との接地位置のずれは微小なものであるが、切断刃による対象物の切断面には大きな位置ずれが生じて切断対象物である積層体内部に設けられた配線パターンが損傷するなどの不具合が生じる。次に、本願発明者が見出した共振器の異常振動の発生原因について説明する。従来、共振器の振動を阻害せず共振器を所定の振動数で安定して振動させるため、共振器は弾性を有する種々の振動吸収部材を介して支持手段により支持されている。例えば、図27に示す例では、共振器500の最小振幅点ノーダルポイントに相当する位置の外周面にフランジ501が共振器500に一体的に形成されており、フランジ501がゴムなどの弾性部材により形成されたOリング502を介して支持手段503によりクランプされることで共振器500が支持手段503により支持されている。また、図28に示す例では、共振器600のノーダルポイントに相当する位置の外周面にダイアフラム構造601が共振器600と一体的に形成されており、ダイアフラム構造601が支持手段602によりクランプされることで共振器600が支持手段602により支持されている。また、図29に示す例では、共振器700は無頭ねじで連結される複数のホーン700aおよびブースタ700bにより形成されている。そして、共振器700の最大振幅点に相当するホーン700aおよびブースタ700bの連結位置701にダイアフラム702が嵌め込まれ、ダイアフラム702の外周部分が支持手段703によりクランプされることで共振器700が支持手段703により支持されている。このように、共振器が弾性を有する種々の振動吸収部材Oリング502、ダイアフラム構造601、ダイアフラム702を介して支持手段により支持されているため、共振器は強固に支持されておらず、横ぶれなどの異常振動が共振器に生じることを防止できない。共振器に生じる異常振動の大きさは微小なものであるが、例えば、1mm以下の位置精度で切断加工を行うときには前記異常振動の大きさは無視することができない大きさであり、横ぶれなどの前記異常振動が加わった状態の切断刃で対象物が切断されることにより前記不具合が生じる。なお、図27ないし図29はそれぞれ共振器の従来の支持方法の一例を示し、図27、図28、図29aは一部断面図、図29bはダイアフラム702の正面図を示す。また、切断刃が共振器にねじにより取り付けられている場合には、ねじでは切断刃を強固に共振器に固定できず、共振器から振動が印加されると切断刃に微小な横ぶれが生じる。切断刃に生じた横ぶれの大きさは微小なものであるが、例えば、1mm以下の位置精度で対象物を切断する必要があるときには切断刃に生じた横ぶれの大きさを無視することができず、切断刃に生じた横ぶれに起因して、切断片に無視できない大きさのばらつきや、切断位置に無視できない大きさのずれが生じる。そこで、上記した従来の技術では、ろう材やはんだにより切断刃を共振器に接着して一体的に取り付けることにより、共振器から振動が印加されることにより切断刃に横ぶれが生じることが防止されている。ところが、図30に従来の共振器の振動態様の一例を示すように、共振器800の一方端に接続された振動子801の矢印803で示す振動方向に刃先が直交するように切断刃802が共振器800の他方端に接着して取り付けられている場合、共振器800の他方端の幅方向図22における紙面上の左右方向における振幅の大きさの分布は、実線804で示すように、中央部分の振幅が大きく両端部分の振幅が小さい略山形状となる。したがって、切断刃802の幅方向における中央部分と両端部分とに印加される振動の振幅の大きさが異なるため、切断刃802と共振器800との接着部分の幅方向における中央部分と両端部分とに生じる応力の大きさは大きく異なるものとなる。このように、幅方向における中央部分と両端部分とで大きさが大きく異なる応力が切断刃802と共振器800との接着部分に生じることで、切断刃802と共振器800とを接着するろう材やはんだが部分的に損壊したり、最悪の場合、切断刃802が共振器800から外れるという問題があった。また、従来、切断刃の刃先とステージの載置面との傾きについては一切考慮されておらず、切断刃の刃先とステージの載置面との傾きが一致していない状態で載置面に載置された対象物が切断刃により切断されていた。したがって、対象物が切断される際の切断刃の対象物への切込量が刃先の幅方向に渡って一致しておらず、対象物への切断刃の切込量が小さい部分においても対象物を確実に切断するためには、切断の際の対象物への切断刃の押し込み量を無駄に大きくしなければならず、対象物への切断刃の切込量押し込み量が大きいことによる切断刃の磨耗が大きな問題となっていた。また、従来、対象物を切断した後に切断刃の刃先が対象物が載置されたステージの載置面に接触することにより刃先が破損することを防止するため、ステージの載置面には刃先を逃がすための逃がし溝が設けられており、このような逃がし溝の溝幅は、切断刃の厚みよりも大きく形成されている。ところが、近年、切断対象物が非常に薄くなることに伴い、対象物切断の際に対象物の切断面と切断刃との間に生じる摩擦力により、対象物の切断端が切断刃による押圧方向に押し込まれて逃がし溝に嵌り込むなどの問題が生じており、技術の改善が求められていた。この発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、共振器に異常振動が生じるのを防止すると共に、幅方向において振幅の大きさが調整された振動を切断刃に印加することで対象物を精度よく切断することのできる技術を提供することを目的とする。上記した課題を解決するために、本発明にかかる振動切断装置は、切断刃に振動を印加して対象物を切断する振動切断装置において、一方端に振動子が接続され、該振動子の反対側の他方端の取付部に前記切断刃が取り付けられた共振器と、前記共振器の被把持部を把持する把持部を有し、前記共振器を支持する支持手段とを備え、前記共振器の側面には、少なくとも1個の長孔が透設されていることを特徴としている請求項1。このように構成された発明では、被把持部が把持部により把持されることにより共振器が支持手段に支持されており、共振器を従来のように弾性を有する振動吸収部材を介さずに支持手段の把持部により強固に把持して支持することで、共振器の一方端に接続された振動子の本来の振動方向とは異なる方向への横ぶれなどの異常振動が共振器に生じることを防止することができる。また、本願発明者は振動子の振動に共振する共振器の振動態様の観察を行うと共に、共振器の振動態様に関する種々の実験を繰返し行った結果、共振器に長孔を透設することにより、共振器の各部位における振動方向および振動の振幅の大きさを調整できることを見出した。本願発明者はこの知見に着目し、切断刃を共振器の取付部に取り付け、共振器の側面に少なくとも1個の長孔を透設した。このようにすれば、共振器に透設された長孔により、共振器の他方端の切断刃の幅方向における振動の振幅の大きさが調整されるため、幅方向において振幅の大きさが調整された振動を切断刃に印加することができ、適切な状態で振動が印加された切断刃により対象物を精度よく切断することができる。このとき、金属ろうや接着剤などにより切断刃を共振器の取付部に固着して取り付けるのが望ましい。なお、本願発明者は、共振器を従来のように弾性を有する振動吸収部材を介さずに把持部により強固に把持しても、共振器の振動を阻害しない、換言すれば、共振器の固有振動数を変動させることなく共振器を強固に支持する技術について種々の検討を行った。その結果、本願発明者は、対数減衰率が大きい材質、または、音速が大きい材質が、共振器を把持する把持部の材質に適していることを見出した。すなわち、対数減衰率が大きい材質は振動を伝達しにくく、共振器の本来の振動方向とは異なる方向への異常振動が素早く吸収されるため、対数減衰率が0.01より大きく1より小さい材質により支持手段の把持部が形成されることにより、共振器の前記異常振動が効果的に抑制されると共に、共振器の振動を阻害せずに共振器を支持できると考えられる。また、音速が大きい材質は振動の伝達速度が速く、共振器の前記異常振動が素早く放散され、音速が5900m/sより大きい材質により支持手段の把持部が形成されることにより、共振器の前記異常振動が効果的に抑制されると共に、共振器の振動を阻害せずに共振器を支持できると考えられる。そこで、共振器の被把持部を把持する支持手段の把持部を、対数減衰率が0.01より大きく1より小さい材質により形成するのが望ましい。このようにすれば、共振器と支持手段とが接触する箇所において、把持部による前記異常振動の吸収速度が速く、前記異常振動を把持部により精度よく吸収しつつ、共振器を所望の振動で安定して振動させることができる。したがって、切断刃に適切に振動を印加することができる。また、共振器の被把持部が形成される位置はノーダルポイントに限らず共振器のどの位置であってもよく、共振器の任意の位置に被把持部を設けることができるため、共振器を支持する支持手段を備える装置の装置構成を容易に変更することができる。さらに、従来のように前記振動吸収部材を介さずとも共振器を支持することができるため、支持手段の大きさを小さくしたり支持手段の個数を減らすことができ、装置の小型化や簡略化を容易に行うことができる。また、共振器の被把持部を把持する支持手段の把持部を、音速が5900m/sより大きい材質により形成してもよい。このようにしても、共振器と支持手段とが接触する箇所において、把持部による前記異常振動の伝達速度が速く、前記異常振動を把持部により精度よく放散しつつ、共振器を所望の振動で安定して振動させることができる。したがって、切断刃に適切に振動を印加することができる。また、共振器の被支持部が形成される位置はノーダルポイントに限らず共振器のどの位置であってもよく、共振器の任意の位置に被把持部を設けることができるため、共振器を支持する支持手段を備える装置の装置構成を容易に変更することができる。さらに、従来のように前記振動吸収部材を介さずとも共振器を支持することができるため、支持手段の大きさを小さくしたり支持手段の個数を減少でき、装置の小型化や簡略化を容易に行うことができる。また、本願発明者は、共振器の振動が阻害されずに支持手段により支持されるための共振器の被支持部の形状に関する種々の検討も行った。その結果、共振器の振動方向における中心軸に存在するノーダルポイントにより近い位置を支持手段により支持することが、共振器の振動を阻害せずに共振器を支持するのに有効であることを見出した。そこで、ノーダルポイントにより近い位置を把持部により把持できるように、共振器の振動方向における中心軸に存在するノーダルポイントに相当する位置の共振器の外周面に被把持部として形成された凹状の溝を設け、凹状の溝を把持部により把持するとよい。このようにすれば、ノーダルポイントにより近い位置が把持部により把持されるため、支持手段が被把持部を把持して支持することにより共振器の振動が阻害されることがない。また、振動が印加された状態の切断刃で対象物が切断されることにより、対象物が切断刃により切断される際の切断抵抗が低減されるため、対象物を切断する際の切断刃による対象物への加圧力をより小さくすることができる。また、振動が印加された状態の切断刃で対象物が切断されることにより、対象物の切削屑が刃先へ付着することが抑制されるため、対象物の切削屑により構成刃先が形成されることを防止することができる。また、共振器はポアソン比に基づく伸縮を繰り返すことにより振動するが、例えば、従来のねじによる割締め等により切断刃が共振器に取り付けられた場合、共振器の振動を忠実に切断刃に伝えることができなかった。しかしながら、上記した構成によれば、金属ろうや接着剤などにより切断刃が共振器に固着されているため、共振器の振動状態を忠実に切断刃に伝えることができる。このとき、請求項2のように、前記取付部が、前記共振器の他方端に形成された嵌合溝を備え、前記切断刃が、一端側縁部に刃先を有する矩形の平板状を成し、前記刃先に対向する他端側から前記嵌合溝に嵌め込まれると共に前記他端側の両側面が幅方向に渡って前記嵌合溝部分に接着されて前記共振器の前記取付部に取り付けられているのが好ましい。また、前記切断刃の前記他端側の両側面または前記嵌合溝の両内側面に、前記幅方向に渡る凹溝が形成されているのが望ましい請求項3。このように構成すれば、切断刃を共振器の嵌合溝に接着する際に、切断刃の他端側の両側面または嵌合溝の両内側面に幅方向に渡り形成された凹溝に、金属ろうやはんだ、熱硬化型接着剤などの接着剤が充填されるため、確実に切断刃を共振器に形成された嵌合溝に接着することができる。また、前記取付部が、前記共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面L字状段部を備え、前記切断刃が、前記共振器の振動方向と平行な前記段部の取付面に沿って固着されているとよい請求項4。このように構成すると、切断刃は金属ろうや接着剤などにより取付面に固着すればよく、溝に切断刃を嵌め込む必要もなく切断刃の固着を容易に行えるという利点がある。しかも、取付面を平面状や曲面状にすると、これら平面状や曲面状の取付面に沿って切断刃を固着することになり、所望の切断形状に対象物を切断できるように取付面を選択することによって、さまざまな形状に対象物を切断することができる。また、前記取付部が、前記共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面L字状段部と、該段部の前記共振器の振動方向と平行な取付面との間に前記切断刃を挟持する取付台座とを備え、前記切断刃が、一端側縁部に刃先を有する平板状を成し、前記刃先以外の部分を前記取付台座に固着した状態でボルトにより前記取付面に共締めされて前記取付部に取り付けられていてもよい請求項5。このように構成すると、取付台座に切断刃の刃先以外の部分を固着した状態で、取付台座および切断刃がボルトにより取付面に共締めされるため、より確実に切断刃を共振器に取り付けることができる。なお、切断刃の固着には、接着剤あるいは金属ろうを用いるとよい。また、前記取付部が、一方面に前記切断刃が設けられ他方面が前記共振器の他方端に取り付けられる平板状の取付台座を備えていてもよい請求項6。このように構成すると、一方面に切断刃が設けられた平板状の取付台座の他方面を共振器の他方端に取り付けることで、容易に切断刃を共振器に取り付けることができる。また、前記切断刃は、前記取付台座に一体的に形成されていてもよい請求項7。このように構成すると、切断刃が取付台座に一体的に形成されることにより、切断刃の取付台座への取付状態が強固なものとなり、共振器の超音波振動に伴う切断刃の異常振動などを抑制することができ、切断精度の向上を図ることができる。また、複数の前記取付台座がシート状部材に設けられており、前記シート状部材に設けられた前記取付台座のうちのいずれか一つが前記共振器の他方端に吸着されるようにするとよい請求項8。このように構成すると、シート状部材に設けられた複数の取付台座のうちのいずれか一つを共振器の他方端に吸着することにより、共振器に容易に切断刃を取り付けることができる。また、共振器に吸着された取付台座の切断刃が磨耗などにより損傷した場合に、切断刃が設けられた他の取付台座を共振器の他方端に吸着することにより、共振器に取り付けられる切断刃を容易に交換することができる。また、前記切断刃が、前記刃先に尖頭を有していてもよい請求項9。このように構成すると、切断時に切断刃に対して対象物を相対的に移動させながら切断することで、複雑な形状に対象物を切断することができる。また、前記長孔が、前記振動子の振動方向に平行であってもよい請求項10。このように構成すると、共振器の長孔を挟んだ各部位の振動の振幅を調整することができる。また、前記長孔が、前記振動子の振動方向に対して傾斜していてもよい請求項11。このように構成すると、振動子が接続された共振器の一方端側の部位では振動方向が切断刃の刃先にほぼ直交する方向である振動を、長孔を挟んだ共振器の他方端側の部位では切断刃の刃先にほぼ平行な方向への振動成分を含む振動に変換することができる。したがって、共振器から切断刃に印加される振動に刃先にほぼ平行な振動成分が加わることにより、切断刃は上下方向および左右方向に円弧を描くように振動するため、例えば、包丁における引き切りと押し切りとが組合わされた状態で対象物が切断刃により切断されるため、切断刃により対象物を切断する際の切れ味が鋭くなり、より精度よく対象物を切断することができる。また、前記対象物が載置される載置面と、前記載置面の傾きを調整する倣い機構とを有するステージと、前記刃先が前記ステージと対向するように前記支持手段に支持された前記共振器を、前記ステージに近接または前記ステージから離間させる移動手段と、前記倣い機構および前記移動手段を制御する制御手段とをさらに備え、前記制御手段は、前記移動手段により前記共振器を前記ステージに近接させて前記刃先を前記載置面と当接させ、前記倣い機構により前記刃先および前記載置面の傾きを一致させるとよい請求項12。このように構成すれば、対象物が載置される載置面と、載置面の傾きを調整する倣い機構とを有するステージと、刃先がステージと対向するように支持手段に支持された共振器を、ステージに近接またはステージから離間させる移動手段と、倣い機構および移動手段を制御する制御手段とをさらに備えており、移動手段により共振器をステージに近接させて刃先を載置面と当接させ、倣い機構により刃先および載置面の傾きが一致するように制御手段による制御が行われるため、切断刃の刃先とステージの載置面との傾きがほぼ一致した状態で対象物を切断刃により切断することができる。したがって、対象物が切断される際の切断刃の対象物への切込量が刃先の幅方向に渡ってほぼ一致した状態となっており、対象物を切断する際の切断刃の対象物への押し込み量を対象物を切断するのに必要な最小の量とすることができるため、切断刃が磨耗するのを抑制することができる。また、例えば、近年要求されている1mmより薄い対象物を切断する場合に、切断刃の最小の押し込み量により対象物を切断することができるため、従来のように、無駄に切断刃が対象物に押し込まれる場合と比較して精度よく対象物を切断することができる。また、前記制御手段は、前記切断刃による前記対象物への加圧力が所定値で一定となるように、前記移動手段により前記共振器を前記ステージに近接させるのが望ましい請求項13。本願発明者は、対象物が切断される際の切断刃の刃曲がりの原因について種々の検討を行った結果、切断刃の対象物への押し込み速度と、切断刃による対象物への加圧力が重要であることを見出した。ここで、切断刃の対象物への押し込み速度を、要求される切断精度における許容範囲内に切断刃の刃曲がりの大きさが収まる速度とする制御を行うと、切断刃の対象物への押し込み速度が必要以上に遅くなるおそれもあり、この場合、対象物の切断加工における作業効率が低下する。そこで、切断刃による対象物への加圧力が、要求される切断精度における許容範囲内に切断刃の刃曲がりの大きさが収まる所定値で一定となるように、移動手段により共振器をステージに近接させることにより、切断刃の対象物への押し込み速度は加圧力が制御されることにより自動的に変動するため、切断刃の刃曲がりが前記許容範囲内に収まる最も速い速度で切断刃の刃先が対象物に押し込まれることとなり、切断刃の刃曲がりが前記許容範囲内に収まる状態での対象物の切断加工における作業効率の向上を図ることができる。また、前記対象物が載置される載置面が設けられた緩衝層を有するステージをさらに備え、前記緩衝層は前記切断刃による切込みが可能な材質により形成されていてもよい請求項14。このように構成すると、緩衝層は切断刃による切込みが可能な材質により形成されているため、対象物を切断する際に切断刃の刃先が載置面に達したとしても切断刃が破損することが防止される。また、対象物が切断された際に対象物が載置される緩衝層の載置面に切断刃による切込が形成されたときには、形成された切込は切断刃を逃がすための逃がし溝として機能し、しかも、切断刃により形成された切込の厚みは切断刃の厚みとほぼ同じ厚みであるため、切断の際に切断刃により押圧された対象物の切断端が切込に嵌り込むことを防止することができ、対象物が切断されることによる切断片を高精度に成形することができる。また、切断の際に、載置面に形成された切込の位置と切断刃の刃先の位置とに位置ずれが生じた場合であっても、緩衝層は切断刃による切込みが可能な材質により形成されているため、切断刃が破損することを防止することができる。請求項1の発明によれば、被把持部が把持部により把持されることにより共振器が支持手段に支持されており、共振器を従来のように弾性を有する振動吸収部材を介さずに支持手段により支持することで、共振器の一方端に接続された振動子の本来の振動方向とは異なる方向への異常振動が共振器に生じることを防止することができる。また、切断刃を共振器の取付部に取り付け、共振器の側面には、少なくとも1個の長孔を透設したため、共振器の他方端の切断刃の幅方向における振動の振幅の大きさが調整されて、幅方向において振幅の大きさが調整された振動を切断刃に印加することができるので、適切な状態で振動が印加された切断刃により対象物を精度よく切断することができる。請求項2の発明によれば、請求項1と同様、適切な状態で振動が印加された切断刃により対象物を精度よく切断することができる。請求項3の発明によれば、切断刃を共振器の嵌合溝に接着する際に、切断刃の他端側の両側面または嵌合溝の両内側面に幅方向に渡り形成された凹溝に、金属ろうやはんだ、熱硬化型接着剤などの接着剤が充填されるため、確実に切断刃を共振器に形成された嵌合溝に接着することができる。請求項4の発明によれば、切断刃は金属ろうや接着剤などにより取付面に固着すればよく、溝に切断刃を嵌め込む必要もなく切断刃の固着を容易に行うことができる。しかも、取付面を平面状や曲面状にすると、これら平面状や曲面状の取付面に沿って切断刃を固着することになり、所望の切断形状に対象物を切断できるように取付面を選択することによって、さまざまな形状に対象物を切断することが可能になる。請求項5の発明によれば、取付台座に切断刃の刃先以外の部分を固着した状態で、取付台座および切断刃がボルトにより取付面に共締めされるため、より確実に切断刃を共振器に取り付けることができる。請求項6の発明によれば、一方面に切断刃が設けられた平板状の取付台座の他方面を共振器の他方端に取り付けることで、容易に切断刃を共振器に取り付けることができる。請求項7の発明によれば、切断刃が取付台座に一体的に形成されることにより、切断刃の取付台座への取付状態が強固なものとなり、共振器の超音波振動に伴う切断刃の異常振動などを抑制することができ、切断精度の向上を図ることができる。請求項8の発明によれば、シート状部材に設けられた複数の取付台座のうちのいずれか一つを共振器の他方端に吸着することにより、共振器に容易に切断刃を取り付けることができる。また、共振器に吸着された取付台座の切断刃が磨耗などにより損傷した場合に、切断刃が設けられた他の取付台座を共振器の他方端に吸着することにより、共振器に取り付けられる切断刃を容易に交換することができる。請求項9の発明によれば、切断時に切断刃に対して対象物を相対的に移動させながら切断することで、複雑な形状に対象物を切断することができる。請求項10の発明によれば、共振器の長孔を挟んだ各部位の振動の振幅を調整することができる。請求項11の発明によれば、振動子が接続された共振器の一方端側の部位では振動方向が切断刃の刃先にほぼ直交する方向である振動を、長孔を挟んだ共振器の他方端側の部位では切断刃の刃先にほぼ平行な方向への振動成分を含む振動に変換することができ、共振器から切断刃に印加される振動に刃先にほぼ平行な振動成分が加わることにより、切断刃は上下方向および左右方向に円弧を描くように振動するため、例えば、包丁における引き切りと押し切りとが組合わされた状態で対象物が切断刃により切断されるので、切断刃により対象物を切断する際の切れ味が鋭くなり、より精度よく対象物を切断することができる。請求項12の発明によれば、切断刃の刃先とステージの載置面との傾きがほぼ一致した状態で対象物を切断刃により切断することができ、対象物が切断される際の切断刃の対象物への切込量が刃先の幅方向に渡ってほぼ一致した状態となるため、対象物を切断する際の切断刃の対象物への押し込み量を対象物を切断するのに必要な最小の量とすることができ、切断刃が磨耗するのを抑制することができる。請求項13の発明によれば、切断刃による対象物への加圧力が、要求される切断精度における許容範囲内に切断刃の刃曲がりの大きさが収まる所定値で一定となるように、移動手段により共振器をステージに近接させることにより、切断刃の対象物への押し込み速度は加圧力が制御されることにより自動的に変動するため、切断刃の刃曲がりが前記許容範囲内に収まる最も速い速度で切断刃の刃先が対象物に押し込まれることとなり、切断刃の刃曲がりが前記許容範囲内に収まる状態での対象物の切断加工における作業効率の向上を図ることができる。請求項14の発明によれば、緩衝層は切断刃による切込みが可能な材質により形成されているため、対象物を切断する際に切断刃の刃先が載置面に達したとしても切断刃が破損することが防止されると共に、対象物が切断された際に対象物が載置される緩衝層の載置面に切断刃による切込が形成されたときには、形成された切込は切断刃を逃がすための逃がし溝として機能し、しかも、対象物が載置される緩衝層の載置面に切断刃の厚みとほぼ同じ厚みを有する切込が形成されることとなるため、対象物を切断する際に切断刃により押圧された対象物の切断端が切込に嵌り込むことを防止することができ、対象物が切断されることによる切断片を高精度に成形することができる。<第1実施形態>この発明の振動切断装置の第1実施形態について図1ないし図6を参照して説明する。図1は本発明の振動切断装置1の第1実施形態を側面から見た図である。図2は図1の要部を拡大した斜視図である。図3は図1の共振器21を示す図である。図4は共振器21を構成するホーン26を天地反転した状態の拡大図であって、aは斜視図、bは側面図、cは正面図である。図5は図3に示す共振器21が支持手段24により支持されて横倒し状態にした図であって、aは側面図、bはaのA-A線矢視断面図である。図6は図1の動作の一例を示すフローチャートである。装置構成図1に示す振動切断装置1は、一端側に刃先23aが形成された平板状の切断刃23に振動を印加してステージ3の載置面31に載置された切断の対象物を切断するものであって、共振器21が設けられたヘッド部2と、載置面31に切断の対象物が載置されるステージ3と、支持手段24に支持された共振器21を上下方向に駆動する駆動機構4本発明の移動手段に相当と、ステージ3の載置面31に載置された対象物と共振器21に取り付けられた切断刃23の刃先23aとの相対位置を認識する位置認識手段5と、振動切断装置1の各部の制御を行う制御装置6とを備えている。ヘッド部2は、図2に示すように、振動子22が一方端に接続され、振動子22の反対側の他方端に切断刃23が取り付けられた共振器21と、共振器21を支持する支持手段24とを備えている。そして、制御装置6に制御されることによる振動子22の超音波振動に共振する共振器21から、共振器21の中心軸の方向に振動する超音波振動が切断刃23に印加される。ヘッド部2の構成および動作については後で詳細に説明する。ステージ3は、セラミックグリーンシートの積層体、半導体ウエハ、回路基板、合成樹脂による積層基板、金属板、シリコン、フェライト、石英、ガラス、セラミック、樹脂板、単層の金属薄膜、金属薄膜の積層体などの切断の対象物が載置される載置面31と、載置面31の傾きを調整する倣い機構32とを備えている。また、ステージ3は、X-Y方向への平行移動およびθ方向への回転移動が可能な移動軸を備え、制御装置6により制御されることにより、共振器21に取り付けられた切断刃23の刃先23aと、載置面31に載置された対象物との相対的な位置調整を行うことができるように構成されている。また、載置面31には、切断の対象物を保持するための保持機構図示省略が設けられている。保持機構の構成としては、真空吸着機構によるものや、機械式のチャック機能よるものなど、対象物を載置面31に保持することができる構成であればどのようなものであってもよい。また、保持機構を設けずに、載置面31に対象物を載置するだけでもよい。また、この実施形態では、倣い機構32は、ステージ3の載置面31に倣いの対象物が当接されることによる生じるモーメントにより載置面31の傾きを倣いの対象物の傾きに倣わせるものであって、載置面31が所定の傾きとなった状態で、制御装置6による制御に基づいて当該載置面31の傾きを維持することができるように構成されている。すなわち、例えば共振器21に取り付けられた切断刃23の刃先23aが載置面31に当接することにより載置面31の傾きが刃先23aの傾きに倣った状態で、倣い機構32は、制御装置6による制御に基づいて載置面31の傾きを刃先23aの傾きに一致させた状態に維持することができる。なお、倣い機構32の構成としては、所謂、載置面31の傾きを所定の傾きに維持することができる一般的な倣い機構であれば、上記した構成に限られず、どのような構成の倣い機構であってもよいが、例えば、圧力検出手段としても機能するピエゾ素子によりピエゾアクチュエータを形成し、載置面31下方の少なくとも3箇所に配設されたピエゾアクチュエータそれぞれにより検出される圧力が一致するように、制御装置6によりピエゾアクチュエータを駆動することで載置面31の傾きを調整することができる倣い機構のように、アクチュエータによる載置面31の傾き調整を行うことができる倣い機構であってもよい。駆動機構4は、共振器21に取り付けられた切断刃23の刃先23aがステージ3の載置面31と対向するように支持手段24に支持された共振器21を、ステージ3に近接またはステージ3から離間させるものであって、駆動モータ41とボールねじ42とを備えている。そして、架台11に立設された支柱12にガイド43aが結合されており、駆動機構4は、フレーム44を介して支柱12およびガイド43aに連結されている。そして、制御装置6に制御されて駆動モータ41が回転することにより、ガイド43aと支持手段24に設けられたガイド43bとが摺接しつつ、ボールねじ42に螺合された支持手段24が上下動し、これにより、支持手段24に支持された共振器21がステージ3に近接またはステージ3から離間する。また、駆動機構4は、制御装置6による制御に基づいて駆動モータ41の駆動トルクを調整することにより、所定の加圧力で支持手段24に支持された共振器21をステージ3に近接させることができるように構成されている。また、支柱12にはリニアエンコーダ45が設けられており、これによりヘッド部2の高さが検出されて、リニアエンコーダ45の検出信号に基づいて制御装置6により駆動モータ41を制御することにより、ヘッド部2の高さを調整することができる。位置認識手段5は、2視野光学系レンズ51と、CCDやCMOSなどの撮像手段により形成されるカメラ52と、2視野光学系レンズ51を水平方向および上下方向に移動する駆動部図示省略とを備えている。そして、位置認識手段5は、2視野光学系レンズ51が駆動部により対向配置された載置面31上の対象物と切断刃23の刃先23aとの間に挿入されることにより、対象物に設けられた位置認識用のアライメントマークと刃先23aとを認識する。なお、位置認識手段5の構成としてはこれに限られず、対向配置された載置面31上の対象物と刃先23aとの相対位置を認識することができれば、どのように位置認識手段5を構成してもよい。制御装置6は、振動切断装置1全体の制御を行うための操作パネル図示省略を備えており、振動子22へ印加される電圧値または電流値により算出される超音波エネルギーの大きさ、ステージ3が備える倣い機構3の自由可動状態および不可動状態の切換え、リニアエンコーダ45の検出信号に基づく駆動モータ41の制御、駆動モータ41の駆動トルクの制御、位置認識手段5の移動制御、位置認識手段5の検出信号に基づくステージ3の水平方向および回転方向における移動制御などの制御を行って、ヘッド部2の図1中の矢印Z方向の高さを調節したり、切断刃23の刃先23aと載置面31上の対象物との相対位置を調整する。ヘッド部2の構成次に、ヘッド部2が備える共振器21および支持手段24について説明する。共振器21は、図2および図3に示すように、ブースタ25とホーン26とを備え、ブースタ25の他方端とホーン26の一方端とが、互いの中心軸が同軸になるように無頭ねじにより連結されている。ブースタ25は、図3に示すように、ブースタ25のほぼ中央の位置f2と、両端位置f0およびf4とが最大振幅点となるように、共振周波数の一波長の長さに形成されている。このとき、最大振幅点から1/4波長離れた位置f1およびf3は、それぞれ第1および第2最小振幅点に相当する。また、ブースタ25は、位置f4側から見た断面が円形である円柱状に形成されている。そして、ブースタ25の一方端である位置f0に、ブースタ25の中心軸と同軸になるように振動子22が無頭ねじにより接続されている。また、図3に示すように、ブースタ25の第1最小振幅点である位置f1および第2最小振幅点である位置f3におけるブースタ25の外周面に、それぞれ凹状の溝が形成されることによりブースタ25共振器21が把持されるため被把持部25aが形成されている。なお、この実施形態では、図5bに示すように、ブースタ25の中心軸にほぼ直交する断面形状が八角形状となるように被把持部25aが形成されているが、断面形状が円形状やその他の多角形状となるように被把持部25aを形成してもよい。ホーン26は、図3に示すように、ホーン26の両端位置f4,f6が最大振幅点となるように、共振周波数の半波長の長さに形成されている。このとき、ホーン26のほぼ中央の位置f5が第3最小振幅点に相当する。また、図4aに示すように、ホーン26は、直方体形状に形成されている。そして、図4bに示すように、ホーン26の他方端の取付部には嵌合溝26aが形成され、平板状の切断刃23の刃先23aが形成された一端に対向する他端側の両側面には幅方向に渡る凹溝23bが形成されている。そして、切断刃23は、他端側から嵌合溝26aに嵌め込まれると共に、他端側の両側面が幅方向に渡って嵌合溝26a部分に接着されてホーン26に取り付けられている。また、ホーン26の側面には、振動子22の振動方向であるブースタ25およびホーン26の中心軸方向にほぼ平行に2つの長孔26bが透設されている。このように構成された共振器21において、振動子22が制御装置6に制御されて超音波振動を発生し、これにより共振器21がその中心軸方向に振動する。このとき、図4cに太矢印で示すように、この実施形態では、ホーン26には振動方向とほぼ平行に2つの長孔26bが透設されているため、ホーン26の長孔26bを挟んだ各部位26c~26eにおける振動の位相および振幅が調整される。したがって、同図cに実線26fで示すように、振動の振幅がホーン26の他方端の幅方向に渡ってほぼ同じ大きさとなり、幅方向に渡って振幅の大きさが調整された振動が切断刃23に印加される。なお、切断刃23は、高炭素鋼、炭素工具鋼、合金工具鋼、高速度鋼、焼結高速度鋼、超硬合金、セラミックス、サーメット、工業用ダイヤモンドなどの種々の材質により形成することができ、切断対象の種類や、要求される切断片の大きさに応じて刃厚は数μm~約200μmとなるように形成される。また、切断刃23は、熱硬化性や熱可塑性の性質を有する樹脂接着剤や、Ni、Cu、Agなどの金属ろう、はんだなどの接着材によって共振器7に接着される。また、切断刃23の刃先23を、化学気相成長CVDや物理気相成長PVDにより、窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、アルミクロムナイトライドなどの硬質物質によりコーティングしてもよい。支持手段24は、図5に示すように、基部27とクランプ手段28本発明の把持部に相当とを備え、クランプ手段28でブースタ25の被把持部25aを把持することにより共振器21を支持する。基部27には、図2に示すように、駆動機構4のボールねじ42に螺合するねじ穴27aが形成されている。また、クランプ手段28は、ブースタ25に形成された2つの被把持部25aを把持できるように、基部27の2ヶ所に設けられており、それぞれ、第1部材28aおよび第2部材28bを備えている。また、図5bに示すように、第1部材28aおよび第2部材28bには、被把持部25aの断面形状に合わせた凹部がそれぞれ設けられている。そして、第1部材28aおよび第2部材28bの凹部で被把持部25aを狭持するように、被把持部25aを形成する凹状の溝に、基部27に支持されたクランプ手段28の第1部材28aと第2部材28bとが嵌挿され、ボルト28cで第1部材28aおよび第2部材28bが固定されることにより、被把持部25aがクランプ手段28により把持される。以上のように、共振器21は、共振器21の中心軸の方向がねじ穴27aとほぼ同じ方向、すなわち、共振器21の中心軸の方向と駆動機構4による共振器21の移動方向図1中の矢印Z方向とがほぼ同方向となり、切断刃23の刃先23aがステージ3と対向するように支持手段24により支持される。そして、駆動機構4により基部27が下動されることで共振器21が一体的にステージ3に近接し、これにより、駆動機構4による加圧力が切断刃23の刃先23aからステージ3の載置面31に載置された切断の対象物に加えられて、当該対象物が切断刃23により切断される。なお、クランプ手段28は、純Ti、Ti合金、ジュラルミン、双晶型制振合金の一種であるMn-Cu合金、Mn-Cu合金にNi、Fe等をさらに添加したMn-Cu-Ni-Fe合金、片状黒鉛鋳鉄、フェライト系ステンレスなど、対数減衰率が0.01より大きく1より小さい材質、望ましくは対数減衰率0.1以上の材質により形成するとよい。一方、Al合金であるジュラルミン、Ti合金など、対数減衰率が0.01以下であっても、音速が5900m/sより大きい材質、望ましくは音速が6000m/s以上の材質であれば、クランプ手段28を形成することができる。この実施形態では、クランプ手段28全体が、対数減衰率および音速の両方が上記した条件を満足している双晶型制振合金例えば、上記したMn-Cu-Ni-Fe合金により形成され、このように形成されたクランプ手段28によりブースタ25の被把持部25aが把持されて共振器21が支持されている。ところで、双晶型制振合金は、負荷が加えられると材料内部に双晶が発生し、負荷の大きさに応じて双晶の大きさが変化したり移動したりする材料である。また、双晶の発生と移動により運動エネルギーが熱エネルギーに変換されて負荷が吸収されるため、双晶型制振合金に振動が加えられると、材料内部において振動が吸収されて、振動の伝達が抑制される。したがって、振動を抑制する材料として種々の分野で使用されている。一方、この実施形態の振動切断装置は共振器の超音波振動を利用するものであるため、振動子22の振動に基づく共振器21の本来の振動と関係のない異常振動等は抑制したいが、共振器21自体は所定の周波数で安定して振動する必要がある。そのため、双晶型制振合金を共振器21の支持部材として使用すると共振器21自体の振動も抑制されると推測されることから、従来、双晶型制振合金は、共振器21を支持する支持手段の材料としては使用されなかった。しかし、本願発明者による種々の実験の結果、双晶型制振合金を共振器21を支持する支持手段の部材として使用すれば、共振器21に生じた横ぶれなどの異常振動等は抑制されるが、共振器21自体の振動は阻害されずに共振器21が所定の周波数で安定して振動することを見出した。これは、双晶型制振合金は、いわゆる超音波の周波数帯域の振動に対して、その周波数に追随して微小な双晶を材料内部に次々と発生するためであるからと考えられる。したがって、双晶型制振合金は、超音波振動する共振器21を支持する支持手段の部材として適している。なお、双晶型制振合金の一種であるMn-Cu合金で、Ni、Fe等をさらに添加したMn-Cu-Ni-Fe合金によりクランプ手段28を形成するのが最も望ましい。また、クランプ手段28の材質は、双晶型制振合金に限られず、対数減衰率が0.01~1の範囲の材質、または、音速が5900m/sよりも大きい材質であれば、どのような材質を使用してもよく、少なくともクランプ手段28の共振器21の被把持部25aに接触する部分が上記した材質で形成されていれば、支持手段24の形状、大きさはなどはどのように形成してもよい。また、共振器21を支持する支持手段24の構成は、図5に示すような、ブースタ25に形成された被把持部25aを把持してボルト28cにより固定されるクランプ手段28に限られず、例えば、電気制御可能に構成された機械的なクランプ機構や、ワンタッチで取り付け可能なクランプ機構など、被把持部25cを従来のように弾性を有する振動吸収部材を介さずに把持して支持できる構成であればどのようなものであってもよい。また、共振器21に形成される被把持部の位置は、最小振幅点f1、f3に限らず、共振器21の任意の位置に被把持部を形成すればよい。また、被把持部25aの形状は凹形状に限られず、例えば、凸形状に形成するなど、どのような形状にして形成してもよい。切断動作次に、ステージ3の載置面31に載置された切断の対象物を切断する動作の一例について図6を参照して説明する。まず、制御装置6により、倣い機構32が自由可動状態にされて、駆動機構4が駆動されることにより待機位置の共振器21がステージに近接移動され、切断刃23の刃先23aと載置面31とが当接される。そして、刃先23aが載置面に31に当接することにより発生したモーメントにより倣い機構32が可動し、載置面31の傾きが刃先23aの傾きに倣うことにより刃先23aの傾きと載置面31の傾きとが一致すれば、倣い機構32が不可動状態に制御されて載置面31の傾きが固定されるステップS1。そして、駆動機構4が駆動されて共振器21が上方の待機位置まで移動される。次に、ステージ3の載置面31にグリーンシートの積層体などの切断の対象物ワークが載置されステップS2、刃先23aとステージ4との間に位置認識手段5が挿入されることにより、刃先23aと載置面31上の対象物との相対位置が認識されて、認識された相対位置に基づいてステージ3が駆動されることにより刃先23aと載置面31上の対象物とがアライメントされるステップS3。そして、駆動機構4により共振器21の下方への移動が開始されステップS4、振動子22に対して駆動信号が印加されることにより共振器21の振動が開始されるステップS5。このとき、駆動機構4の駆動モータ41の駆動トルクが制御されて、切断刃23による載置面31上の対象物への加圧力が所定値で一定となるように駆動機構4により共振器21がステージ3に近接移動されるステップS6。そして、対象物の切断が完了すれば共振器21が上方の待機位置に移動されて、ステージ3が駆動されて対象物の位置が次の切断位置に移動されるステップS8。このとき、対象物に設定された全ての切断位置の切断が完了するまでステップS3~ステップS7までの動作が繰返し実行されステップS8でNO、対象物の全ての切断位置の切断が完了すれば処理を終了するステップS8でYES。なお、切断刃23による載置面31上の対象物への加圧力の大きさは、例えば、対象物の試験切断を行って対象物切断の際に生じる刃曲がりの大きさを測定することにより、切断の際に生じる刃曲がりの大きさが要求される切断精度における許容範囲内に収まるように加圧力を設定すればよい。共振器の第1変形例図7は共振器の第1変形例を示す図であって、aは斜視図、bは部分断面図である。図7aに示すように、第1変形例における共振器121は、直方体形状に形成されたホーン126により構成されており、ホーン126の一方端に振動子22が接続され、振動子22の反対側の他方端に切断刃23が上記した実施形態と同様に取り付けられている。また、上記した実施形態と同様に、ホーン126の側面には、振動子22の振動方向であるホーン126の中心軸方向にほぼ平行に2つの長孔126bが透設されており、ホーン126の他方端での幅方向における振動の振幅の大きさが調整される。したがって、幅方向における振幅の大きさが調整された振動が切断刃23に印加される。また、ホーン126は、図3に示すホーン26と同様に、ホーン126の両端位置が最大振幅点となるように共振周波数の半波長の長さに形成されている。このとき、ホーン126のほぼ中央の位置が最小振幅点に相当する。また、ホーン126の最小振幅点であるほぼ中央の位置におけるホーン126の外周面には、凸状の被把持部126cが形成されている。そして、図7bに示すように、ホーン126の外周面に形成された凸状の被把持部126cが、支持手段124によりクランプされることにより把持されて支持される。その他の構成および動作については上記した実施形態と同一であるため、その構成および動作の説明は省略する。共振器の第2変形例図8は共振器の第2変形例を示す図であって、aは斜視図、bは部分拡大図である。図8aに示すように、第2変形例における共振器221は、直方体形状に形成されたホーン226により構成されており、ホーン226の一方端に振動子22が接続され、振動子22の反対側の他方端に切断刃23が上記した実施形態と同様に取り付けられている。また、上記した実施形態と同様に、ホーン226の側面には、振動子22の振動方向であるホーン226の中心軸方向にほぼ平行に2つの長孔226bが透設されており、ホーン226の他方端での幅方向における振動の振幅の大きさが調整される。したがって、幅方向における振幅の大きさが調整された振動が切断刃23に印加される。また、ホーン226は、図3に示すホーン26と同様に、ホーン226の両端位置が最大振幅点となるように共振周波数の半波長の長さに形成されている。このとき、ホーン226のほぼ中央の位置が最小振幅点に相当する。また、ホーン226の最小振幅点であるほぼ中央の位置におけるホーン226の外周面には、凹状の被把持部226cが形成されている。そして、図8bに示すように、ホーン226の外周面に形成された凹状の被把持部226cが、支持手段224が有する部材によりクランプされて部材がねじ224aにより固定されることで把持されて支持される。その他の構成および動作については上記した実施形態と同一であるため、その構成および動作の説明は省略する。切断刃の第1変形例図9は切断刃の第1変形例を示す図であって、aはホーンを天地反転した状態の斜視図、b下面図である。なお、図9では共振器421の下方が上側になるように描かれている。図9a,bに示すように、この変形例における共振器421が備える直方体形状に形成されたホーン426の他方端には、下方から見た刃先123aの形状が曲線状に形成された切断刃123が上記した実施形態と同様に取り付けられている。このように切断刃123を形成することにより、金属の薄膜などを所定形状に精度よく切断することができる。以上のように、上記した実施形態によれば、被把持部25a被把持部126c,226cがクランプ手段28支持手段124,224により把持されて共振器21共振器121,221,421が支持手段24支持手段124,224に支持されており、共振器21共振器121,221,421を従来のように弾性を有する振動吸収部材を介さずに支持手段24支持手段124,224により支持することで、共振器21共振器121,221,421の一方端に接続された振動子22の本来の振動方向とは異なる方向への横ぶれなどの異常振動が共振器21共振器121,221,421に生じることを防止できる。また、平板状の切断刃23切断刃123は、刃先23a刃先123aが形成された一端側に対向する他端側から、共振器21共振器121,221,421の他方端に形成された嵌合溝26aに嵌め込まれると共に、切断刃23切断刃123の他端側の両側面が幅方向に渡って嵌合溝26a部分に接着されて共振器21共振器121,221,421に取り付けられているが、共振器21共振器121,221,421の側面には、少なくとも1個の長孔26b長孔126b,226bが透設されているため、共振器21共振器121,221,421の他方端の切断刃23切断刃123の幅方向における振動の振幅の大きさが調整されて、幅方向において振幅の大きさが調整された振動を切断刃23切断刃123に印加することができるので、適切な状態で振動が印加された切断刃23切断刃123により対象物を精度よく切断することができる。また、共振器21共振器121,221,421の長孔26b長孔126b、226bを挟んだ各部位の振動の位相を逆にすることができると共に、各部位の振動の振幅を適切に調整することができる。また、切断刃23切断刃123を共振器21共振器121,221,421の嵌合溝26aに接着する際に、切断刃23切断刃123の他端側の両側面に幅方向に渡り形成された凹溝23bに、金属ろうやはんだ、熱硬化型接着剤などの接着剤が充填されるため、確実に切断刃23切断刃123を共振器21共振器121,221,421に形成された嵌合溝26aに接着することができる。また、切断刃23切断刃123の刃先23a刃先123aとステージ3の載置面31との傾きがほぼ一致した状態で対象物を切断刃23切断刃123により切断することができ、対象物が切断される際の切断刃23切断刃123の対象物への切込量が刃先23a刃先123aの幅方向に渡ってほぼ一致した状態となるため、対象物を切断する際の切断刃23切断刃123の対象物への押し込み量を対象物を切断するのに必要な最小の量とすることができ、切断刃23切断刃123が磨耗するのを抑制することができる。また、切断刃23切断刃123による対象物への加圧力が、要求される切断精度における許容範囲内に切断刃23切断刃123の刃曲がりの大きさが収まる所定値で一定となるように、駆動機構4により共振器21共振器121,221,421をステージ3に近接させることで、切断刃23切断刃123の対象物への押し込み速度は加圧力が制御されることにより自動的に変動するため、切断刃23切断刃123の刃曲がりの大きさが前記許容範囲内に収まる最も速い速度で切断刃23切断刃123が対象物に押し込まれることとなり、切断刃23の刃曲がりが前記許容範囲内に収まる状態での対象物の切断加工における作業効率の向上を図ることができる。<第2実施形態>この発明の振動切断装置の第2実施形態について図10を参照して説明する。図10は本発明の振動切断装置1の第2実施形態の共振器321を示す図である。図10に示すように、この実施形態の共振器321が上記第1実施形態の共振器21と異なる点は、共振器321が備えるホーン326の側面には、振動子22の振動方向に対して傾斜している長孔326bが透設されている点である。その他の構成および動作は上記第1実施形態と同一であるため、以下では第1実施形態との相違点を中心に説明を行い、上記した実施形態と同一の構成および動作については、同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。図10に示すように、この実施形態における共振器321は、直方体形状にされたホーン326を備えており、ホーン326の他方端に切断刃23が上記第1実施形態と同様に取り付けられている。また、ホーン326の側面には、振動子22の振動方向に対して角度α約45°だけ傾斜した長孔326bが透設されており、ホーン326の他方端での幅方向における振動の振幅の大きさおよび方向が調整される。すなわち、切断刃23と反対側のホーン326の一方端側の部位では振動方向が切断刃23の刃先23aにほぼ直交する矢印326cの方向である振動を、長孔326bを挟んだホーン326の他方端側の部位では切断刃23の刃先23aにほぼ平行な矢印326dの方向への振動成分を含む振動に変換することができる。したがって、幅方向における振幅の大きさおよび方向が調整された振動が切断刃23に印加される。以上のように、この実施形態によれば、上記第1実施形態と同様の効果を奏することができると共に、ホーン326から切断刃23に印加される振動に刃先23aにほぼ平行な振動成分が加わることにより、図9の一点鎖線326eで囲まれた領域の矢印で示すように、切断刃23は上下方向および左右方向に円弧を描くように振動し、例えば、包丁における引き切りと押し切りとが組合わされた状態で対象物が切断刃23により切断されるため、切断刃23により対象物を切断する際の切れ味が鋭くなり、より精度よく対象物を切断することができる。<第3実施形態>この発明の振動切断装置の第3実施形態について図11を参照して説明する。図11は本発明の振動切断装置1の第3実施形態のホーン26およびステージ3の要部拡大図であって、a~cはそれぞれ異なる状態を示す。図11a~cに示すように、この実施形態のステージ3が上記第1実施形態のステージ3と異なる点は、切断対象物が載置される載置面31aが設けられた緩衝層33をステージ3が備えている点である。その他の構成および動作は上記第1実施形態と同一であるため、以下では第1実施形態との相違点を中心に説明を行い、上記した実施形態と同一の構成および動作については、同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。図11b,cに示すように、緩衝層33は、切断刃23による切込みが可能なポリイミドなどの樹脂材料により形成されている。そして、図11bに示すように、駆動機構4により切断刃23が下動されて刃先23aが緩衝層33に切込むことにより、緩衝層33の載置面31aには、切断刃23による切込31bが形成されている図11c参照。したがって、この実施形態によれば、上記第1実施形態と同様の効果を奏することができると共に、対象物が載置される緩衝層33の載置面31aに切断刃23による切込31bが形成されており、切断刃23により形成された切込31bの厚みは切断刃23の厚みとほぼ同じ厚みであるため、対象物を切断する際に切断刃23により押圧された対象物の切断端が切込31bに嵌り込むことを防止することができ、対象物が切断されることによる切断片を高精度に成形することができる。また、切断の際に、載置面31aに形成された切込31bの位置と切断刃23の刃先23aの位置とに位置ずれが生じた場合であっても、緩衝層33は切断刃23による切込みが可能な材質により形成されているため、切断刃23が破損することを防止することができる。なお、緩衝層33の材質は上記したものに限られず、緩衝層33は、ポリエチレンテレフタレートや紙など、切断刃による切込みが可能な種々の材質により形成することができる。<第4実施形態>この発明の振動切断装置の第4実施形態について図12を参照して説明する。図12は本発明の振動切断装置1の第4実施形態を示す図である。図12に示すように、この実施形態が上記第1実施形態と異なる点は、基部27aにばねなどの付勢手段27cを介して連結された基部27bにクランプ手段28が設けられている点である。その他の構成および動作は上記第1実施形態と同一であるため、以下では第1実施形態との相違点を中心に説明を行い、上記した実施形態と同一の構成および動作については、同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。図12に示すように、基部27aは、基部27aに形成されたねじ穴図示省略をボールねじ42に螺合して設けられており、制御装置6により駆動機構4が駆動制御されることにより、ボールねじ42に羅合して設けられた基部27aが上下動する。また、基部27bは、基部27bに形成された挿通孔図示省略にボールねじ42が挿通されると共に、付勢手段27cを介して基部27aに連結されて設けられている。付勢手段27は、基部27aを除くヘッド部2の自重をキャンセルする機能を有しており、これにより、共振器21基部27bは付勢手段27により上方に牽引された状態で支持手段24に支持される。また、基部27aと基部27bとの連結部分には、ロードセルなどによる圧力検出手段29が設けられており、切断刃23による対象物への加圧力を検出することができる。そして、制御装置6は、圧力検出手段29の検出信号に基づいて駆動機構4を制御することにより、切断刃23による対象物への加圧力を制御することができる。以上のようにこの実施形態によれば、上記第1実施形態と同様の効果を奏することができると共に、圧力検出手段29の検出信号に基づく駆動機構4のフィードバック制御を行うことで、ボールねじ42と基部27aとの螺合部分に生じる摩擦力などに影響されずに、切断刃23による対象物への加圧力を所定の加圧力に制御することができる。<第5実施形態>この発明の振動切断装置の第5実施形態について図13を参照して説明する。図13は本発明の振動切断装置1の第5実施形態を示す図である。図13に示すように、この実施形態が上記第1実施形態と異なる点は、取付部であるホーン26の他方端の端面の一部が切除されて断面L字状段部26mが形成され、矩形の平板状の切断刃231が、ホーン26の振動方向と平行な段部26mの取付面26nに沿って接着剤により固着されている点であり、その他の構成および動作は上記第1実施形態と同一であるため、以下では、上記した第1実施形態と同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。図13に示すように、取付部であるホーン26の他方端には、その端面の一部が切除されて断面L字状段部26mが形成されており、段部26mにおけるホーン26の振動方向と平行な取付面26nに切断刃231が接着剤により固着されるようになっている。このとき、切断刃231は、その一端側縁部の刃先231aを除く他端側の片側側面が取付面26nに当接された状態で接着され、ホーン26に取付けられる。なお、切断刃231は、接着剤に限らず金属ろうにより固着されていてもよい。したがって、この実施形態によれば、ホーン26の他方端の取付部に切断刃231を嵌合するための溝を形成する必要がなく、接着剤などにより切断刃を取付面に簡単に取り付けることができる。切断刃の第2変形例図14は第5実施形態における切断刃231の取り付けの変形例を示し、aはホーンの正面図、bは下面図である。図14に示すように、取付部であるホーン26の他方端には、その端面の後側および右側の一部が切除されて断面L字状段部26pが形成されている。そして、段部26pにおけるホーン26の振動方向と平行な後側の取付面26qに切断刃231の右端部を除く部分が接着剤により固着されるとともに、切断刃231の右端部は、ホーン26の他方端面の右端部に設けられホーン26の振動方向と平行な湾曲したガイド面26rを有するガイド部26sのガイド面26rに沿って接着剤により固着される。ここで、実際にはガイド部26sを残すようにホーン26の他方端の端面が切削等により切除されて段部26pが形成される。したがって、切断刃231は右端部が湾曲した状態でホーン26に取り付けられることになり、このように湾曲した形状に対象物を切断する場合に適している。また、湾曲した切断刃231の端部を、切断刃231の端部が元の形に復元しようとする方向においてガイド部26sにより保持することにより、切断刃231の端部を湾曲した状態に保持できるため、切断中の振動により切断刃231が湾曲した箇所から剥離することを防止できる。なお、図14において、26tは取付部であるホーン26の他方端の端面前部の2箇所に形成された切欠部であり、湾曲した状態でホーン26に取り付けられた切断刃231に加わる振動の振幅が刃先全体にわたって一様になるように切欠部が形成されている。なお、切断刃231は、接着剤に限らず金属ろうにより固着されていてもよい。<第6実施形態>この発明の振動切断装置の第6実施形態について図15を参照して説明する。図15は本発明の振動切断装置1の第6実施形態を示す図である。図15に示すように、この実施形態が上記第5実施形態と異なる点は、切断刃231を刃先231a以外の部分を取付台座26uに接着した状態で、切断刃231が、ボルトにより段部26mの取付面26nに共締めされてホーン26に取り付けられている点であり、その他の構成および動作は上記第5実施形態と同一であるため、以下では第5実施形態と同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。なお、図15はホーン26の他方端付近を天地反転した状態を示し、aは斜視図、bは一部を分解した斜視図である。図15に示すように、取付部であるホーン26の他方端の端面に形成された段部26mのホーン26の振動方向と平行な取付面26nとの間に切断刃231を挟持する取付台座26uが設けられ、切断刃231の刃先231a以外の部分が、取付台座26uの取付面26nに対向する面側に接着剤により接着され、接着状態の切断刃231および取付台座26uに連通するボルト挿通孔26vが複数個ここでは3個形成されるとともに、取付面26nの各ボルト挿通孔26vに対峙する位置に雌ねじ26wが形成され、各ボルト挿通孔26vおよび雌ねじ26wにボルト図示せずが挿通螺合されて、切断刃231の刃先231a以外の部分が取付台座26uに接着された状態でボルトにより取付面26nに共締めされて取り付けられている。なお、切断刃231は、接着剤に限らず金属ろうにより固着されていてもよい。また、図15では取付台座26uの側面からボルトが挿通される例を説明したが、ボルトはホーン26の段部26mに螺合して取付台座26uをホーン26に固着するようにしてもよく、この場合には、取付台座26uに固着された切断刃231にボルト挿通孔を形成する必要がない。したがって、上記した実施形態によれば、取付台座26uに切断刃231の刃先231a以外の部分を接着した状態で、取付台座26uおよび切断刃231がボルトにより取付面26nに固着されるため、より確実に切断刃231をホーン26に取り付けることができる。共振器の第3変形例図16は第6実施形態におけるホーン26の第3変形例を示す図であって、aはホーン26の他方端付近を天地反転した状態を示し、aは斜視図、bは一部を分解した斜視図である。図16に示すように、取付台座26uの左側面に冷却風の送風路26xを形成し、この送風路26xと、取付台座26uの下面に形成され、切断刃231の刃先231a近辺に冷却風を吹き出す複数個ここでは4個の吹出孔26zとを連通する送風路26yを形成してもよい。こうすると、図示しない送風源から送風路26x26yに冷却風を送り込み、各吹出孔26zから刃先231aに向かって冷却風を送風することにより、切断時の摩擦によって温度上昇した切断刃231の刃先231aを冷却することができ、温度上昇に起因した切断刃231の破損磨耗変質を抑制して切断刃231の長寿命化を図ることができ、切断効率の低下を抑制することができる。なお、このとき吹出孔26zから吹き出される冷却風を効率よく切断刃231に当てるために、送風路26yの吹出孔26z側が切断刃231側に近づくように、送風路26yの吹出孔26zに近い部分のみあるいは送風路26y全体を傾斜して形成してもよい。また、このような冷却手法は上記した第1~第5実施形態におけるホーンに適用することも可能である。また、送風路26x,26yおよび吹出孔26zをホーン26の本体側に設けてもよい。また、吹出孔26zを介して送風路26x,26yから吸引を行うことにより、対象物を切断した際の切断屑やごみや塵などを吸引して除去することもできる。<第7実施形態>この発明の振動切断装置の第7実施形態について図17を参照して説明する。図17は本発明の振動切断装置1の第7実施形態を示す図である。図17に示すように、この実施形態が上記第1実施形態と異なる点は、切断刃23の刃先23aの先端部分に尖った尖頭23a1を設けた点である。したがって、上記した実施形態によれば、切断時に切断刃23に対して対象物を相対的に移動させながら切断することで、複雑な形状に対象物を切断することができ、微細な形状の切断も可能になる。また、切断刃23の刃先23aの対象物に対する上下位置を変更することにより、刃先23aの実際の使用箇所を変えることができるため、刃先23aを多数の領域に分けて使用することが可能になり、切断刃23の使用寿命を延ばすことができる。なお、刃先23aに尖頭23a1を有しない矩形平板状の切断刃23であっても切断刃23を対象物に対して傾斜させた状態で切断することにより、上記した切断刃23の長寿命化と同等の効果を得ることもできる。<第8実施形態>この発明の振動切断装置の第8実施形態について図18を参照して説明する。図18は本発明の振動切断装置1の第8実施形態を示す要部拡大図である。図18に示すように、この実施形態が上記した第1実施形態と異なる点は、切断刃23のθ方向における刃先23aの向きを調整するためのレバー100が、クランプ手段28に形成された貫通穴を介して共振器21に取り付けられている点であり、その他の構成および動作は上記した第1実施形態と同一であるため、以下では第1実施形態と同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。このように構成すると、クランプ手段28のボルト28cを緩めた状態でレバー100をθ方向に回動することで、切断刃23のθ方向における刃先23aの向きを調整することができるため、刃先23aの向きと、ステージ3に載置された切断対象物との向きとを容易に微調整することができる。そして、刃先23aの向きと、ステージ3に載置された切断対象物の向きとの微調整が完了すれば、クランプ手段28のボルト28cを再度締付けて共振器21を把持するとよい。なお、この実施形態では、レバー100を手動で回動するように構成したが、油圧シリンダやモータなどのアクチュエータによりレバー100を回動するようにしてもよい。<第9実施形態>この発明の振動切断装置の第9実施形態について図19を参照して説明する。図19は本発明の振動切断装置1の第9実施形態を示す図であって、aは要部拡大図、bはホーン26の他方端付近を天地反転した状態を示し、cはステージ3および切断刃331付近の一部切断拡大図である。図19に示すように、この実施形態が上記第6実施形態と異なる点は、取付部としての取付台座126uが平板状に形成されており、取付台座126uの一方面に切断刃331が設けられ、取付台座126uが、ホーン26の他方端面に設けられた取付溝126mに他方面側から埋没した状態で取り付けられている点である。また、取付台座126uの一方面に設けられた切断刃331は、その刃先331aが所定の輪郭形状を有するように形成されている。したがって、切断刃331で、例えばシート状の切断対象物を切断することで、当該シート状切断の対象物を所定の輪郭形状に切り抜くことができる。その他の構成および動作は上記第6実施形態と同一であるため、以下では同一符号および相当符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。図19b,cに示すように、切断刃331は、一端縁部に刃先331aを有する筒状を成し、刃先331aに対向する他端側から、取付台座126uの一方面に設けられた嵌合溝図示省略に嵌め込まれると共に、接着剤や金属ろうなどにより固着されて取り付けられている。そして、ホーン26の他方端面には、平板状の取付台座126uとほぼ同形状を成す取付溝126mが設けられており、切断刃331が取り付けられた取付台座126uが、接着剤や金属ろうなどにより取付溝126mに埋没した状態で固着されて、切断刃331がホーン26の他方端に取り付けられる。また、図19aに示すように、この実施形態では、接着絶縁の機能を同時に有するフィルム状接続材料であるNCFNonConductiveFilm400が切断対象物として、切断刃331の刃先331aが有する輪郭形状に切り抜かれる。NCF400は、両面がポリエステルやポリエチレンなどにより形成される離型フィルム401,402により保護された状態でリール図示省略に巻回されて保持されており、送りローラー403および従動ローラー404に狭持されることで、必要な分だけリールからステージ3の位置に送り込まれる。また、図19aに示すように、NCF400の上面を保護する離型フィルム402は押さえローラー405の位置で剥離されることにより、ステージ3の載置面31上には、上面側の離型フィルム402のみが剥離された状態のNCF400が配置される。そして、駆動機構4により切断刃331を下降することで、NCF400が切断刃331の刃先331aが有する所定の輪郭形状に切り抜き加工される。切り抜き加工されたNCF400は、送りローラー403および従動ローラー404によりステージ3の位置から移動され、送りローラー403および従動ローラ404の位置において、NCF400と離型フィルム401とが剥離されることにより、NCF400の切断物が離型フィルム401上に残った状態となる。そして、取り出し位置Pにおいて、下面側の離型フィルム401上に残っているNCF400の切断物が取り出されて切断処理が終了する。なお、NCF400の下面側が離型フィルム401により保護された状態で切断処理が行われることにより、NCF400を切断した切断刃331の刃先331aは、離型フィルム401に切込むことにより保護されるため、ステージ3の載置面31に緩衝材などの刃先331aの保護部材を設ける必要がない。また、シート状の切断の対象物としてNCF400を切断したが、切断の対象物としてはこれに限られるものではなく、Cu等の金属箔など、切抜きが可能なシート状の部材であればどのようなものであってもよい。以上のように、この実施形態では、上記した第6実施形態と同様の効果を奏することができ、一方面に切断刃331が設けられた平板状の取付台座126uの他方面をホーン26の他方端に取り付けることで、容易に切断刃331をホーン26共振器に取り付けることができる。なお、この実施形態では、切断刃331を、取付台座126uの一方面に設けられた嵌合溝に嵌め込むことにより取り付けたが、切断刃331は、取付台座126uに一体的に形成されていてもよい。このように構成すると、切断刃331が取付台座126uに一体的に形成されることにより、切断刃331の取付台座126uへの取付状態が強固なものとなり、ホーン26の超音波振動に伴う切断刃331の異常振動などを抑制することができ、切断精度の向上を図ることができる。共振器の第4変形例図20は第9実施形態におけるホーン26の第4変形例を示す図であって、a下面図、bはホーン26を天地反転した状態の一部切断正面図、cはホーン26を天地反転した状態の一部切断側面図である。この第4変形例では、上記した取付台座126uよりも大判に形成された平板状の取付台座226uに切断刃331が取り付けられており、切断刃331は、取付台座226uがホーン26の他方端面に接着剤や金属ろうにより固着されることでホーン26の他方端に取り付けられている。その他の構成は、上記第9実施形態と同様の構成であるため、同一符号を付すことによりその構成の説明は省略する。共振器の第5変形例図21は第9実施形態におけるホーン26の第5変形例を示す図であって、aは下面図、bはホーン26を天地反転した状態の正面から見た断面図、cはホーン26を天地反転した状態の側断面図である。この第5変形例では、ホーン26の取付溝126mの底面に設けられた吸着孔410と、ホーン26の側面に設けられた吸引孔411とを連通する吸引穴412がホーン26に形成されている。そして、図示省略された吸引手段により吸引孔411から吸引を行うことで、切断刃331が設けられた取付台座126uがホーン26の取付溝126mに吸着されて取り付けられる。このように構成すると、切断刃331が取り付けられた取付台座126uをホーン26の他方端面に形成された取付溝126mに吸着することにより、ホーン26に容易に切断刃331を取り付けることができる。また、ホーン26に吸着された取付台座126uに設けられた切断刃331が磨耗などにより劣化した場合に、新しい切断刃331が設けられた取付台座126uを取付溝126mに吸着することにより、簡単に切断刃331を交換することができる。なお、ホーン26の他方端面に取付溝126mを設けずに、当該ホーン26の他方端面に直接取付台座126uを吸着してもよい。その他の構成は、上記第9実施形態と同様の構成であるため、同一符号を付すことによりその構成の説明は省略する。共振器の第6変形例図22は第9実施形態におけるホーン26の第6変形例を示す図であって、aは下面図、bはホーン26を天地反転した状態の正面から見た断面図、cはホーン26を天地反転した状態の側断面図である。この第6変形例では、上記した取付台座126uよりも大判に形成された平板状の取付台座226uに切断刃331が取り付けられている。また、取付台座226uの切断刃331の両側にはボルト挿通孔420が設けられ、ホーン26の他方端面のボルト挿通孔420に対峙する位置に雌ねじ421が設けられている。そして、各ボルト挿通孔420および雌ねじ421にボルト図示省略が挿通螺合されて、取付台座226uがホーン26の他方端面に取着されることにより切断刃331がホーン26に取り付けられている。このように構成すると、ホーン26に取り付けられた取付台座226uに設けられた切断刃331が磨耗などにより劣化した場合に、新しい切断刃331が設けられた取付台座226uをボルトにより取り付けることで、簡単に切断刃331を交換することができる。その他の構成は、上記第9実施形態と同様の構成であるため、同一符号を付すことによりその構成の説明は省略する。共振器の第7変形例図23は第9実施形態におけるホーン26の第7変形例を示す図であって、aは下面図、bはホーン26を天地反転した状態の正面から見た断面図、bはホーン26を天地反転した状態の側断面図である。この第7変形例では、ホーン26の他方端面に設けられた吸着孔410と、ホーン26の側面に設けられた吸引孔411とを連通する吸引穴412がホーン26に形成されている。また、切断刃331が設けられた複数の取付台座126uがPETフィルムなどにより形成されるシート状の保持部材430に保持されており、図示省略された吸引手段により吸引孔411から吸引を行うことで、保持部材430に設けられた取付台座126uのうちのいずれか一つが、シート状の保持部材430の裏面側からホーン26の他方端に吸着される。また、図24に示すように、取付台座326uの外周にフランジ部326u1を設け、フランジ部326u1を、シート状の保持部材430に形成された保持孔430aの外周に係止させることにより取付台座326uを保持するようにしてもよい。なお、図24は、共振器の第7変形例における取付台座の保持方法の他の例である。このように構成すると、シート状の保持部材430に設けられた複数の取付台座126u,326uのいずれか一つをホーン26の他方端に吸着することにより、ホーン26に容易に切断刃331を取り付けることができる。また、ホーン26に吸着された取付台座126u,326uの切断刃331が磨耗などにより損傷したり、劣化した場合に、新しい切断刃331が設けられた他の取付台座126u,326uをホーン26の他方端に吸着することにより、ホーン26に取り付けられる切断刃331を容易に交換することができる。その他の構成は、上記第9実施形態と同様の構成であるため、同一符号を付すことによりその構成の説明は省略する。<第10実施形態>この発明の振動切断装置の第10実施形態について図25を参照して説明する。図25は本発明の振動切断装置1の第10実施形態をの要部拡大図であって、aは切断の対象物が切断刃331の下方に配置された状態を示し、bは切断の対象物が切断された状態を示す図である。図25に示すように、この実施形態が上記第9実施形態と異なる点は、取付台座126uの切断刃331の取付面に、スポンジやばねなどの弾性部材により形成された押さえ部材440が設けられている点である。その他の構成および動作は上記第9実施形態と同一であるため、以下では同一符号および相当符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。この実施形態では、切断の対象物として、例えば銅箔406がPETフィルム407に貼着されたシート状の部材が切断刃331により切断される。すなわち、図25aに示すように、銅箔406PETフィルム407が、切断刃331の下方のステージ3の載置面31上に配置された状態で、駆動機構4により切断刃331が下降されると、まず最初に押さえ部材440が銅箔406に接触する。図25bに示すように、押さえ部材440が有する弾性力に抗しつつさらに切断刃331を下降させると、押さえ部材440が圧縮されると共に、切断刃331の刃先331aが押さえ部材440から突出して銅箔406が切断される。そして、銅箔406が切断された後、駆動機構4により切断刃331を上昇させるときに、銅箔406が押さえ部材440によりステージ3側に押圧されつつ切断刃331が上昇する。したがって、切断刃331の刃先331aが有する所定の輪郭形状に切り抜かれた銅箔406を確実にステージ3上に残すことができ、切り抜かれた銅箔406が切断刃331の内側に嵌り込むことを防止することができる。なお、銅箔406が切断される際に、切断刃331の刃先331aはPETフィルム407に切込むことにより保護されるため、ステージ3の載置面31に緩衝材などの刃先331aの保護部材を設ける必要がない。<第11実施形態>この発明の振動切断装置の第11実施形態について図26を参照して説明する。図26は本発明の振動切断装置の第11実施形態の共振器を示す図であって、aは下面図、bはホーン26を天地反転した状態の正面から見た断面図、cはホーン26を天地反転した状態の側断面図である。図26に示すように、この実施形態が上記した第9実施形態と異なる点は、ホーン26に切断刃223が一体的に形成されることにより、刃先223aを有する切断刃223がホーン26の他方端の取付部に取り付けられている点である。その他の構成および動作は上記第9実施形態と同一であるため、以下では同一符号および相当符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能であり、例えば上記した実施形態ではホーンに2つの長孔が形成されているが、少なくとも1つの長孔が共振器に形成されていればよく、共振器の構成に基づいて、切断刃23,123に適切に振動が印加されるように長孔の大きさおよび数、長孔の形成方向などの構成を適宜調整すればよい。また、上記した実施形態では、切断刃23に超音波振動を印加しているが、切断刃23,231に印加される振動としては超音波振動に限られず、低周波振動や、例えば約100Hzの低周波振動と超音波振動とが重畳された振動などを切断刃23,231に印加してもよい。このように、切断刃23,231に低周波振動を印加することにより、対象物の切屑などが切断刃23に付着しにくくなる。また、共振器の3箇所以上の位置が支持手段により支持されるようにしてもよく、少なくとも、クランプ手段把持部の被把持部に接触する部分を上記した材質で形成するとよい。また、共振器の形状、材質、大きさ等は、上記した例に限られず、どのようなものであってもよい。また、上記した実施形態では、駆動機構4の駆動モータ41により共振器を移動するように構成されているが、エアシリンダによる流体圧力を利用したアクチュエータや、リニアモータなどにより共振器を移動するようにしてもよい。また、上記した実施形態では、平板状の切断刃23切断刃123の刃先23a刃先123aが形成された一端に対向する他端側の両側面に幅方向に渡る凹溝23bが形成されているが、ホーンの他方端に形成された嵌合溝の両内側面に幅方向に渡る凹溝を形成することにより、切断刃23切断刃123を他端側から嵌合溝に嵌め込み、切断刃23切断刃123の他端側の両側面を幅方向に渡って嵌合溝部分に接着して切断刃23切断刃123をホーンに取り付けてもよい。また、切断刃の他端側の両側面およびホーンの他方端に形成された嵌合溝の両内側面の両方に幅方向に渡る凹溝を形成してもよい。また、図示はしていないが、ホーンの他方端に回転自在に保持された短円柱状の回転保持手段を設け、該回転保持手段の周面にリング状の切断刃を取り付けてもよい。こうすると、切断刃に超音波振動を加えつつ切断刃を回転させることにより、所望の形状に対象物を切断加工することができる。また、上記した第9ないし第11実施形態において、共振器の他方端面に所定の輪郭形状の刃先を有する切断刃を取着するときに、当該切断刃の幅方向および奥行き方向の大きさ平面視における面積が、共振器の他方端面の面積と比較して十分に小さく、切断刃に印加される振動の振幅の大きさが、切断刃の全体において大きく異なることがない場合には、必ずしも共振器に長孔を設ける必要はない。そして、切断刃に振動を印加して対象物を切断する技術に本発明を広く適用するすることができる。"