"均一に面照射を行うための水銀蒸気ランプであって、該水銀蒸気ランプは、閉じた放電チャンバを包囲する石英ガラス製のランプ外囲器を有しており、前記の放電チャンバに2つの電極10が突出しており、当該の電極間に直線状ではないガス放電チャネル8が延在する形式の水銀蒸気ランプにおいて、前記のランプ外囲器は、直線状の壁部によって区切られる石英ガラスチャンバ2として構成されており、当該石英ガラスチャンバ2は、下側面4、上側面3および側壁5,5a;5bを有しており、前記のランプ外囲器は、前記の下側面4から上側面3にまで延在する石英ガラス製の複数の分離ウェブ6によって複数のサブチャンバ7a;7b;7c;7dに分割されており、前記のサブチャンバには、最も前側のサブチャンバ7aと、最も後ろ側のサブチャンバ7dとが含まれており、また当該のサブチャンバは、直線的でないガス放電チャネル8を連結して構成し、当該のガス放電チャネル8は、前記の分離ウェブ6が一方の側壁5aから反対側の側壁5bまで交互に延在し、隣接するサブチャンバを流体的に接続する間隙13が空けられることによって構成され、一方の電極10は、最も前側にあるサブチャネル7aの電極10に割り当てられており、他方の電極10は、最も後ろ側にあるサブチャネル7dに割り当てられていることを特徴とする、均一に面照射を行うための水銀蒸気ランプ。前記の最も前側にあるサブチャネル7aおよび最も後ろ側にあるサブチャンバ7dはそれぞれ開口部を有しており、該開口部と、石英ガラス管9の一方の端面の端部とが接続されており、当該の石英ガラス管9には電極10が配置されており、当該の電極の電流端子11は、前記の端面とは反対側の他方の端部にて、ガス気密の圧潰部12を介して当該の石英ガラス管9から引き出されている、請求項1に記載の水銀蒸気ランプ前記の石英ガラス管9は円形管である、請求項2に記載の水銀蒸気ランプ。前記の石英ガラス管9と、石英ガラスチャンバ2の上側面3とが接続されている、請求項2または3に記載の水銀蒸気ランプ。前記の石英ガラス管9は、185nm辺りの波長のVUVビームを吸収するドーピング材料を含む石英ガラスからなる、請求項2から4までのいずれか1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記の石英ガラスチャンバ2の上側面3および下側面4は多角形に構成され、前記のサブチャンバ7a;7b;7c;7dは、平行6面体状に構成される、請求項1から5までのいずれか1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記の分離ウェブ6は、1ないし3mmの範囲の厚さを有し、有利には最大2mmの厚さを有する、請求項1から6までのいずれか1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記の分離ウェブ6は、石英ガラスプレートとして構成されており、前記の石英ガラスチャンバの下側4および上側3にてスポット溶接されている、請求項1から7までのいずれか1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記のサブチャンバ7a;7b;7c;7dは、長手軸に沿って延在しており、当該の長手軸に対して垂直な当該のサブチャンバの幅方向の長さは、5mmないし20mmであり、有利には15mm以下である、請求項1から8までのいずれか1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記の上側面3と下側面4との間の間隔は、5ないし20mmであり、有利には15mm以下である、請求項1から9までのいずれか1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記のサブチャンバ7a;7b;7c;7dは、当該のサブチャンバの連結に沿ってメアンダ状に延在している、請求項1から10までのいずれか1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記の石英ガラスチャンバの上側面3に反射器が被着されている、請求項1から11までのいずれ1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記の下側面は、合成的に作製した石英ガラスから構成される、請求項1から12までのいずれか1項に記載の水銀蒸気ランプ。前記の水銀蒸気ランプ、100ワット以下の公称出力を有する水銀低圧ランプである、請求項1から13までのいずれ1項に記載の水銀蒸気ランプ。本発明の課題は、構成的に簡単な水銀蒸気ランプを提供し、この水銀蒸気ランプにより、処理すべき表面との間隔がわずかな場合であっても、UV照射の均一性が可能な限り高くなること保証することである。上記の課題は、本発明の請求項1により、均一に面照射を行うための水銀蒸気ランプであって、この水銀蒸気ランプは、閉じた放電チャンバを包囲する石英ガラス製のランプ外囲器を有しており、上記の放電チャンバに2つの電極が突出しており、これらの電極間に直線状ではないガス放電チャネルが延在している形式の水銀蒸気ランプにおいて、上記のランプ外囲器は、直線状の壁部によって区切られる石英ガラスチャンバとして構成されており、この石英ガラスチャンバは、下側面、上側面および側壁を有しており、このランプ外囲器は、上記の下側面から上側面にまで延在する石英ガラス製の複数の分離ウェブによって複数のサブチャンバに分けられており、上記のサブチャンバには、最も前側のサブチャンバと、最も後ろ側のサブチャンバとが含まれており、またこのサブチャンバは、直線的でないガス放電チャネルを連結して構成し、ここでこのガス放電チャネルは、上記の分離ウェブが、一方の側壁から、反対側の側壁まで交互に延在し、この際に隣接するサブチャンバを流体的に接続する間隙が空けられることによって構成され、一方の電極は、最も前側にあるサブチャネルの電極に割り当てられており、また他方の電極は、最も後ろ側にあるサブチャネル7dに割り当てられていることを特徴とする、均一に面照射を行うための水銀蒸気ランプを構成することによって解決される。本発明では、直線的な壁部によって区切られる石英ガラスチャンバとして上記のランプ外囲器を構成されており、ここでこの石英ガラスチャンバは、下側面と、上側面と、側壁とを有しており、また上記のランプ外囲器は、下側面から上側面まで突出しておりかつ石英ガラスからなる複数の分離ウェブによってサブチャンバに分けられている。これらのサブチャンバには最も前側のサブチャンバと、最も後ろ側のサブチャンバとが含まれており、またこれらのサブチャンバは連結して、直線的でないガス放電チャネルを構成する。すなわちここでは、隣接するサブチャネルを流体的に接続する間隙が空けられた状態で、上記の分離ウェブが交互に一方の側壁から反対側にある側壁の近くまで延在するようにすることにより、このガス放電チャネルが構成されるのである。ここでは一方の電極は、最も前側にあるサブチャネルに割り当てられ、また他方の電極は、最も後ろ側にあるサブチャネルに割り当てられる。本発明による水銀蒸気ランプは、任意の断面を有する石英ガラスチャンバから実質的に構成され、この断面は、照明しようとする表面の幾何学形状に簡単に適合させることのでき、例えば円形、矩形または三角形である。上記の断面の幾何学形状は、上記の上側面および下側面の幾何学形状によって得られ、ここでこの下側面は同時に放射面を構成する。上側面および下側面は、直線的な側壁を介して互いに接続されるため、閉じた柱状の石英ガラスチャンバが得られる。上記の側壁の高さは、上側面と下側面との間の間隔に等しい。上記の石英チャンバは、少なくとも3つのサブチャンバにわけられ、これらのサブチャンバは連結して、直線的でない、迷路状の、くねくねと曲がったガス放電チャネルを構成する。このために少なくとも2つの分離ウェブを設ける。これらの分離ウェブは、石英ガラスチャンバの高さ全体にわたって延在しており、また交互に一方の側壁から反対側の側壁の近くまで延在している。またこの際に隣接するサブチャネル間には間隙が空けられる。ガス放電チャネルは、前側のサブチャネルから後ろ側のサブチャネルまで延在しており、これのサブチャネルにはそれぞれ、複数の電極のうちの1つが直接突出しているか、またはこれらのサブチャネルは、電極が突出している別の空間に流体的に接続されるのである。上記のサブチャネルの連結は、石英ガラスチャンバを完全に占め、またガス放電チャネルを構成する。したがって分離ウェブの周りの狭い領域を除いて放射面にわたって均一なビーム強度が調整されるのである。上記の分離ウェブを含めた石英ガラスチャンバは、簡単な石英ガラス部分から組み立てられる。石英ガラスチャンバは簡単に作製することができ、ただ1つの電気端子しか必要とせず、また取り付けおよび調整にわずかなコストしか必要としない。殊に簡単な構成の点から有利であることは示されたのは、上記の最も前側のサブチャンバと、最も後ろ側のサブチャンバとが1つずつの開口部を有することであり、この開口部と、石英ガラス管の一方の端面とが接続される。この石英ガラス管には電極が配置されており、その電流端子は、反対側の端面にあるガス気密の圧潰部を介して、石英ガラス管から外に引き出される。ここで上記の電極と、各サブチャネルとが、ガス放電チャネルの始端部および終端部において直接接続されるのではなく、上記の電極と、別個の石英ガラス管とが接続される。これらの端部のうちの一方の端部には、電極用の電流端子をガス気密に引き出すための圧潰部が設けられている。上記の電極が取り付けられた石英ガラス管は、その後、石英ガラスチャンバだけと溶接すればよい。これにより、本発明による水銀蒸気ランプの作製が容易になる。この関連において殊に有利であることが判明したのは、上記の石英ガラス管が円形管である場合である。ガス気密の引き出し部を介して円形管に電極を入れるのは、標準的な技術である。上記の石英ガラス管は、石英ガラスチャンバの側壁に接続することができる。しかしながら殊にコンパクトな構造が得られるのは、上記の石英ガラス管と、石英ガラスチャンバの上側面とを接続する場合である。本発明による水銀蒸気ランプの1実施形態において有利であるのは、上記の石英ガラス管が、185nm辺りの波長のVUVビームを吸収するドーピング材料を含有する石英ガラスから構成される場合である。上記の1つの石英ガラス管ないしは複数の石英ガラス管は、ふつう放射方向とは反対の方向に延在しており、またUV照明には貢献することはない。この逆に上記の石英ガラス管は、エネルギの大きなUV光の放射が望ましくない領域および空間に延在することができる。ここでエネルギの大きなUV光が望ましくないのは、それがオゾンを形成するため、または例えばプラスチック製のパッキングなどのような隣接する構成部分のUVを劣化させるためである。VUVビームの吸収に適切なドーピング材料は、例えばチタン酸化物またはガリウム酸化物である。本発明による水銀蒸気ランプの殊に簡単な構造の特徴は、上記の石英ガラスチャンバの上側面および下側面が多角形に構成されており、かつサブチャンバが平行6面体状に構成されていることである。上記の分離ウェブの領域では、放射面にわたってUV強度がある程度低下する。したがって上記の分離ウェブをできるかぎり薄くする。またこの分離ウェブには、機械的な安定性によって要求される厚さだけが必要である。ここで有利であることが実証されたのは、上記の分離ウェブが、1ないし3mmの範囲の厚さを有し、有利には最大2mmの厚さを有することである。構造的に最も簡単な場合、上記の分離ウェブは、平らな石英ガラスプレートとして構成され、また上記の石英ガラスチャンバの下側面および上側面にスポット溶接される。分離ウェブは、上側面および下側面全体に溶接されるではなく、数カ所だけにスポット溶接される。これにより、水銀蒸気ランプの作製が容易になり、また溶接プロセスに起因する変形が回避される。ここで分離ウェブは、隣接するサブチャンバを互いにガス気密に分離してはいないが、ガス気密の分離が必要でないことも示されている。それは、上記の分離ウェブと、上側面ないしは下側面との間の狭い間隙における放電は、エネルギ的に不十分であるため、この放電は、あらかじめ設定したガス放電チャネルを追従するのである。上記のサブチャンバが長手軸に沿って延在する本発明の水銀蒸気ランプの構造は有利である。ここでは、長手軸に垂直な方向の幅の長さは、5ないしは20mmの範囲であり、有利には15mm以下である。ここで上記のサブチャンバは、縦長に構成されており、また最も簡単な場合、一方の側壁から、これとは反対側の側壁に向かって延在している。上記のサブチャンバの高さは、上側面と下側面との間隔から得られ、またその幅すなわち高さ方向の長さおよび長手軸に対して垂直な方向のサイズは、ガス放電による最適な充填が得られる範囲内にある。幅が20mm以上の場合、上記のガス放電により、サブチャンバは完全には充填されず、また幅が5mm以下の場合、上記の放射面のあらかじめ定めた長さによっては、相応に構成コストのかかる多くの分離壁が必要である。上記のガス放電によってサブチャンバを可能な限りに最適に充填するという点からも有利であることが示されたのは、上側面と下側面との間の間隔が、5ないし20mmの範囲にあり、有利には15mm以下になる場合である。上記のサブチャンバは、最も簡単な場合、その連結に沿ってメアンダ状に延在する。上記の放射面の領域において得られるビーム強度を高めるために有利であるのは、上記の石英ガラスチャンバの上側面に反射器を設ける場合である。これにより、上記の上側面の方向に放射されるビーム成分は、損失することがないか、または比較的わずかにしか損失しない。同じ理由から側壁に反射器を設けることも有利である。この反射器は、別個の反射器構成部材とすることが可能である。しかしながら殊に有利であるのは、上記の反射器を上記の上側面のコーティングの形態で実施することであり、これは、例えば拡散性反射器として作用する不透明の石英ガラスからなる層の形態で実施される。上記の石英ガラスチャンバは、合成的に作製される石英ガラスから構成するか、および/または自然に存在する原材料から溶融製錬した石英ガラスから構成することが可能である。殊に有利であることは示された1実施形態では、上記の下側面は、合成的に作製される石英ガラスから構成される。合成的に作製される石英ガラスは、純度が高く、また例えば185nm辺りの波長領域におけるUVビームに対して殊に透過性が高いという特徴を有する。感光性を備えた表面を有する適用に対し、有利には、水銀蒸気ランプとして、100ワット以下の公称出力を有する水銀低圧ランプを使用する。水銀低圧ランプにより、優れた効率が得られる。254nmのUVCビームにおいて電力の約40が変換され、185nmのVUVビームにおいて約10が変換される。しかしながら、UV放射器の放射面との間隔が小さい場合、感光性の表面は損傷されることがあり、これはランプ出力を小さくすることによって最小化することができる。以下では、実施例および図面に基づいて本発明を詳細に説明する。図1に示した水銀蒸気ランプは、マイクロスコープユニットにおいて静止状態にあり移動しない基板を清浄化するために使用される。ここでVUVビームにより、分子スケールの有機汚染物質が分解される。上記の基板表面と水銀蒸気ランプとの間の間隔は、数ミリメートル以の範囲であるため、UV照射の均一性に対し、高い要求がなされるのである。これに使用される装置は、水銀低圧ランプ1からなり、ここでこのランプは、50ワットの公称出力用に設計されている。水銀低圧ランプ1には平行6面体状の石英ガラスチャンバ2が含まれており、この石英ガラスチャンバは、平行6面体状のカバープレート3と、平行6面体状の底部プレート4と、同じ4つの側壁5とをガス気密に溶接することによって作製される。この石英ガラスチャンバの横方向の長さは60mmであり、またその高さは15mmである。放射面を構成する底部プレート4は、合成的に形成した石英ガラスからなり、作動ビームは、この底部プレートを介して基板に出射される。カバープレート3および側壁5は、自然に存在する原材料から溶融製錬された石英ガラスからなる。石英ガラスチャンバ2の内部チャンバは、側壁5と同じ高さを有する3つの分離ウェブ6により、互いに平行に長手方向に延在する4つの平行6面体状のサブチャンバ7a,7b,7c,7dに分けられる。分離ウェブ6の厚さは2mmであり、またこれらの分離ウェブも同様に、自然に存在する原材料から溶融製錬した石英ガラスからなる。図2の下側の平面図からわかるのは、一方の側壁5aから反対側の側壁5bの近くまでまた逆に一方の側壁5bから反対側にある側壁5aまで分離ウェブ6が交互に延在しているため、上記の内部チャンバは全体としてメアンダ状のガス放電チャネルになっており、サブチャンバ7a,7b,7c,7dが連結することによってこのガス放電チャンバが構成されることである。このガス放電チャンバは図2の下側の平面図において向きのついた矢印8によってシンボル的に表されている。個々のサブチャンバ7a,7b,7c,7dは、長手軸に沿って延在しており、また約56mmの長さと、約125mmの幅を有する。分離ウェブ6は、カバープレート3に接するそれぞれ3つの個所と、またそれぞれ接する側壁5aないしは5bとにおいてスポット溶接される。分離ウェブの長さは、この分離ウェブと、対向する側壁とが、約7mmの間隙幅を有する間隙13を残すように設計される。ここでこの間隙は、それぞれ隣接するサブチャンバ7a,7b,7c,7d間の流体的な接続部である。サブチャンバ7aは、ガス放電チャネル8の始端を構成し、またサブチャンバ7dはその終端を構成する。始端および終端は、同じ側壁5aに接している。これらのサブチャンバ7a,7dの領域には、開口部を有するカバープレート3がそれぞれ設けられており、この開口部は、TiO2をドーピングした石英ガラスからなる溶接された円形管9によって閉じられている。この円形管の外径は、15mmである。これらの円形管9には電極10が取り付けられており、これらの電極の電力供給部11は、圧潰部12を介して円形管9から外に引き出されている。図2の上側に示した側面図からわかるのは、円形管9とこれに収容された電極10とが一体になって、側壁5aの領域においてカバープレート3にそれぞれ接続されることである。ガス放電は、電極9間の全区間を介して行われ、すなわち円形管9内でも行われる。しかしながらガス放電のこの部分は、基板の照射には貢献せず、ガス放電チャネル8に数入れられることはない。カバープレート3および側壁5の外側の面にはそれぞれ不透明な石英ガラスからなる層13が被着されており、これは拡散反射器として作用する。本発明による水銀低圧ランプ1は、簡単な構成部材によって作製され、またこのランプにより、近接場においても極めて均一なUV照射が可能になる。それは、側方の大きさが同じ場合、ランプ外囲器をメアンダ状に曲げた場合には3つの脚部しか有しないのに比べて、上記の構成によって4つのサブチャンバ7a,7b,7c,7dが可能になるからである。"