"チタン、マグネシウム、ハロゲンおよび下記一般式1;R1nXCOOR2COOR31式中、R1は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20の直鎖状アルキル基、炭素数3~20の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~20の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数1~20の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数2~20の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~20のシクロアルキル基、炭素数3~20のシクロアルケニル基、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルケニル基、炭素数6~24の芳香族炭化水素基、炭素数6~24のハロゲン置換芳香族炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24の窒素原子含有炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24の酸素原子含有炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24のリン含有炭化水素基、または炭素数1~24のケイ素含有炭化水素基を示し、複数のR1は同一であっても異なっていてもよく、また、互いに結合して環を形成してもよい。nは1~3の整数であり、XはSi、N、Pのいずれかである。R2およびR3は、炭素数1~20の直鎖状アルキル基、炭素数3~20の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~20の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数1~20の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数2~20の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~20のシクロアルキル基、炭素数3~20のシクロアルケニル基、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルケニル基、炭素数6~24の芳香族炭化水素基、炭素数6~24のハロゲン置換芳香族炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24の窒素原子含有炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24の酸素原子含有炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24のリン含有炭化水素基、または炭素数1~24のケイ素含有炭化水素基を示し、同一または異なっていてもよい。但し、R1~R3における該炭素数2~24の窒素原子含有炭化水素基は、結合末端がC=N基であるもの、該炭素数2~24の酸素原子含有炭化水素基は、結合末端がカルボニル基であるもの、該炭素数2~24のリン含有炭化水素基は、結合末端がC=P基であるものをそれぞれ除く。で表わされるエステル化合物を含有するオレフィン類重合用固体触媒成分。前記一般式1中のR1が、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~12の直鎖状アルキル基、炭素数3~12の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~12の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数1~12の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数2~12の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~12のシクロアルキル基、炭素数3~12のシクロアルケニル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルケニル基、または炭素数6~12の芳香族炭化水素基であることを特徴とする請求項1記載のオレフィン類重合用固体触媒成分。前記一般式1中のR2またはR3が、炭素数1~12の直鎖状アルキル基、炭素数3~12の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~12の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数1~12の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数2~12の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~12のシクロアルキル基、炭素数3~12のシクロアルケニル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルケニル基、または炭素数6~12の芳香族炭化水素基であることを特徴とする請求項1または2記載のオレフィン類重合用固体触媒成分。I請求項1~3のいずれか1項に記載のオレフィン類重合用固体触媒成分、II下記一般式2;R4pAlQ3-p2式中、R4は炭素数1~6のアルキル基を示し、複数個ある場合は同一でも異なってもよく、Qは水素原子、炭素数1~6のアルコキシ基あるいはハロゲン原子を示し、pは0<p≦3の実数である。で表される有機アルミニウム化合物およびIII外部電子供与性化合物から形成されることを特徴とするオレフィン類重合用触媒。前記IIIの外部電子供与性化合物が、下記一般式3;R5qSiOR64-q3式中、R5は炭素数1~12のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数3~12のシクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基、炭素数6~15の芳香族炭化水素基、あるいは置換基を有する芳香族炭化水素基のいずれかで、同一または異なっていてもよい。R6は炭素数1~4のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数3~6のシクロアルキル基、炭素数6~12の芳香族炭化水素基、および置換基を有する炭素数7~12の芳香族炭化水素基を示し、同一または異なっていてもよい。qは0≦q≦3の整数である。で表される有機ケイ素化合物下記一般式4;R7R8NsSiR94-s4式中、R7とR8は水素原子、炭素数1~20のアルキル基、ビニル基、炭素数3~20のアルケニル基、炭素数3~20のシクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基、または炭素数6~20のアリール基を示し、水素原子、炭素数1~20のアルキル基、ビニル基、炭素数3~20のアルケニル基、炭素数3~20のシクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基、または炭素数6~20のアリール基を示し、同一であっても異なってもよく、互いに結合して環を形成してもよい。R9は炭素数1~20のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数1~20のアルコキシ基、ビニルオキシ基、炭素数3~20のアルケニルオキシ基、炭素数3~20のシクロアルキル基あるいはシクロアルキルオキシ基、または炭素数6~20のアリール基あるいはアリールオキシ基を示し、R9が複数ある場合、複数のR9は同一でも異なってもよい。sは1から3の整数である。で表されるアミノシラン化合物から選択される少なくとも1種または2種以上であることを特徴とする請求項4記載のオレフィン類重合用触媒。前記IIIの外部電子供与性化合物が、フェニルトリメトキシシラン、n-ブチルトリメトキシシラン、シクロペンチルトリメトキシシラン、シクロヘキシルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、n-ブチルトリエトキシシラン、シクロペンチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリエトキシシラン、t-ブチルメチルジメトキシシラン、t-ブチルエチルジメトキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシラン、ジイソブチルジメトキシシラン、ジイソペンチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジシクロペンチルジメトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、シクロヘキシルシクロペンチルジメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、t-ブチルメチルビスエチルアミノシラン、ジシクロヘキシルビスエチルアミノシラン、ジシクロペンチルビスエチルアミノシラン、ビスパーヒドロイソキノリノジメトキシシラン、ジエチルアミノトリメトキシシラン、ジエチルアミノトリエトキシシラン、トリメチルシリルトリメトキシシラン、またはトリメチルシリルトリエトキシシランであることを特徴とする請求項5記載のオレフィン類重合用触媒。前記IIIの外部電子供与性化合物が、下記一般式5;R10OCH2CR11R12CH2OR135式中、R11およびR12は水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~12のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数3~12のシクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基、炭素数6~12の芳香族炭化水素基あるいはハロゲン置換芳香族炭化水素基、置換基を有する炭素数7~12の芳香族炭化水素基、炭素数1~12のアルキルアミノ基、または炭素数2~12のジアルキルアミノ基を示し、同一または異なっていてもよく、互いに結合して環を形成してもよい。R10およびR13は炭素数1~12のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数3~6のシクロアルキル基、炭素数6~12の芳香族炭化水素基あるいはハロゲン置換芳香族炭化水素基、、または置換基を有する炭素数7~12の芳香族炭化水素基を示し、同一または異なっていてもよい。であることを特徴とする請求項4記載のオレフィン類重合用触媒。前記ジエーテル化合物が、2-イソプロピル-2-イソブチル-1,3-ジメトキシプロパンまたは9,9-ビスメトキシメチルフルオレンであることを特徴とする請求項7記載のオレフィン類重合用触媒。請求項4~請求項8のいずれか1項に記載のオレフィン重合用触媒の存在下にオレフィン類の重合を行なうことを特徴とするオレフィン類重合体の製造方法。オレフィンの立体規則性重合に供される触媒としては、活性、立体規則性、分子量分布、活性の持続性、MFR制御性水素応答性、嵩密度等様々な重合性能が必要であり、その用途により必要な性能には違いがあるため、特徴の異なる様々な固体触媒成分、ならびに触媒が必要とされている。汎用的に用いられる重合体の分子量分布は、たとえばMw/Mn値で4から6程度の間で制御できることが求められ、その範囲において他の性能が優れていること、すなわちある程度以上の結晶性と、ある程度以上の高い重合活性を示す固体触媒成分であることがもっとも実用性が高いとされている。従って、本発明の目的は、上記のニーズに応えるべく、成形性を損なわない適度なMw/Mn値の分子量分布および高立体規則性のオレフィン類重合体を得ることができ、かつ高い重合活性を有する新規のオレフィン類重合用固体触媒成分、オレフィン類重合用触媒およびこれを用いたオレフィン類重合体の製造方法を提供することにある。かかる実情において、本発明者らは、鋭意検討を行った結果、チタン、マグネシウム、ハロゲンおよび特定の構造を有する化合物を含有するオレフィン重合用触媒が、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、チタン、マグネシウム、ハロゲンおよび下記式1;R1nXCOOR2COOR31式中、R1は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20の直鎖状アルキル基、炭素数3~20の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~20の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数1~20の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数2~20の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~20のシクロアルキル基、炭素数3~20のシクロアルケニル基、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルケニル基、炭素数6~24の芳香族炭化水素基、炭素数6~24のハロゲン置換芳香族炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24の窒素原子含有炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24の酸素原子含有炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24のリン含有炭化水素基、または炭素数1~24のケイ素含有炭化水素基を示し、複数のR1は同一であっても異なっていてもよく、また、互いに結合して環を形成してもよい。nは1~3の整数であり、XはSi、N、Pのいずれかである。R2およびR3は、炭素数1~20の直鎖状アルキル基、炭素数3~20の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~20の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数1~20の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数2~20の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~20のシクロアルキル基、炭素数3~20のシクロアルケニル基、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルケニル基、炭素数6~24の芳香族炭化水素基、炭素数6~24のハロゲン置換芳香族炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24の窒素原子含有炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24の酸素原子含有炭化水素基、結合末端が炭素原子である炭素数2~24のリン含有炭化水素基、または炭素数1~24のケイ素含有炭化水素基を示し、同一または異なっていてもよい。但し、該炭素数2~24の窒素原子含有炭化水素基は、結合末端がC=N基であるもの、該炭素数2~24の酸素原子含有炭化水素基は、結合末端がカルボニル基であるもの、該炭素数2~24のリン含有炭化水素基は、結合末端がC=P基であるものをそれぞれ除く。で表わされるエステル化合物を含有するオレフィン類重合用固体触媒成分を提供するものである。また、本発明は、I前記固体触媒成分、II下記一般式2;R4pAlQ3-p2式中、R4は炭素数1~6のアルキル基を示し、複数個ある場合は同一でも異なってもよく、Qは水素原子、炭素数1~6のアルコキシ基あるいはハロゲン原子を示し、pは0<p≦3の実数である。で表される有機アルミニウム化合物、およびIII外部電子供与性化合物から形成されることを特徴とするオレフィン類重合用触媒を提供するものである。また、本発明は、前記オレフィン重合用触媒の存在下にオレフィン類の重合を行なうことを特徴とするオレフィン類重合体の製造方法を提供するものである。本発明のオレフィン類重合用固体触媒成分およびオレフィン類重合用触媒を用いれば、高い立体規則性と、広くも狭くもない適度な分子量分布を有したオレフィン類重合体を、高い収率で得ることができる。本発明のオレフィン類重合用固体触媒成分以下、単に成分Iと言うことがあるは、マグネシウム、チタン、ハロゲンおよび、電子供与性化合物である上記一般式1で表される化合物以下、単に成分Aとも言う。を必須成分として含有する。ハロゲンとしては、例えば、フッ素、塩素、臭素またはヨウ素の各原子が挙げられ、中でも好ましくは塩素、臭素またはヨウ素であり、特に好ましくは塩素またはヨウ素である。上記一般式1中のR1において、ハロゲン原子としては、例えば、フッ素、塩素、臭素またはヨウ素の各原子が挙げられ、中でも好ましくは塩素、臭素またはヨウ素であり、特に好ましくは塩素または臭素である。上記一般式1中、R1~R3において、炭素数1~20の直鎖状アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、n-プロピル基、n-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-ペンチル基、n-オクチル基、n-ノニル基、n-デシル基等が挙げられる。好ましくは、炭素数1~12の直鎖状アルキル基である。また、炭素数3~20の分岐アルキル基としては、例えばイソプロピル基、イソブチル基、t-ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基などの2級炭素または3級炭素を有するアルキル基が挙げられる。好ましくは、炭素数3~12の分岐アルキル基である。また、炭素数3~20の直鎖状アルケニル基としては、例えばアリル基、3-ブテニル基、4-ヘキセニル基、5-ヘキセニル基、7-オクテニル基、10-ドデセニル等が挙げられる。好ましくは、炭素数3~12の直鎖状アルケニル基である。炭素数3~20の分岐アルケニル基としては、例えばイソプロペニル基、イソブテニル基、t-ブテニル基、イソペンテニル基、ネオペンテニル基、2-エチル-3-ヘキセニル基等が挙げられる。好ましくは、炭素数3~12の分岐アルケニル基である。また、炭素数1~20の直鎖状ハロゲン置換アルキル基としては、例えばハロゲン化メチル基、ハロゲン化エチル基、ハロゲン化n-プロピル基、、ハロゲン化n-ブチル基、ハロゲン化n-ペンチル基、ハロゲン化n-ヘキシル基、ハロゲン化n-ペンチル基、ハロゲン化n-オクチル基、ハロゲン化ノニル基、ハロゲン化デシル基が挙げられる。好ましくは、炭素数1~12の直鎖状ハロゲン置換アルキル基である。また、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルキル基としては、ハロゲン化イソプロピル基、ハロゲン化イソブチル基、ハロゲン化2-エチルヘキシル基、ハロゲン化ネオペンチル基等が挙げられる。好ましくは、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルキル基である。また、炭素数2~20の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基としては、2-ハロゲン化ビニル基,3-ハロゲン化アリル基、3-ハロゲン化-2-ブテニル基、4-ハロゲン化-3-ブテニル基、パーハロゲン化-2-ブテニル基、6-ハロゲン化-4-ヘキセニル基、3-トリハロゲン化メチル-2-プロペニル基等が挙げられる。好ましくは炭素数2~12のハロゲン置換アルケニル基である。また、炭素数3~20の分岐ハロゲン置換アルケニル基としては、3-トリハロゲン化-2-ブテニル基、2-ペンタハロゲン化エチル-3-ヘキセニル基、6-ハロゲン化-3-エチル-4-ヘキセニル基、3-ハロゲン化イソブテニル基等が挙げられる。好ましくは炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルケニル基である。上記一般式1中のR1~R3において、炭素数3~20のシクロアルキル基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基等が挙げられる。好ましくは炭素数1~12のシクロアルキル基である。また、炭素数3~20のシクロアルケニル基としては、シクロプロペニル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基、シクロオクテニル基、ノルボルネン基、等が挙げられる。好ましくは炭素数3~12のシクロアルケニル基である。また、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルキル基としては、ハロゲン置換シクロプロピル基、ハロゲン置換シクロブチル基、ハロゲン置換シクロペンチル基、ハロゲン置換トリメチルシクロペンチル基、ハロゲン置換シクロヘキシル基、ハロゲン置換メチルシクロヘキシル基、ハロゲン置換シクロヘプチル基、ハロゲン置換シクロオクチル基、ハロゲン置換シクロノニル基、ハロゲン置換シクロデシル基、ハロゲン置換ブチルシクロペンチル等が挙げられる。好ましくは炭素数1~12のハロゲン置換シクロアルキル基である。また、炭素数3~20のハロゲン置換シクロアルケニル基としては、ハロゲン置換シクロプロペニル基、ハロゲン置換シクロブテニル基、ハロゲン置換シクロペンテニル基、ハロゲン置換トリメチルシクロペンテニル基、ハロゲン置換シクロヘキセニル基、ハロゲン置換メチルシクロヘキセニル基、ハロゲン置換シクロヘプテニル基、ハロゲン置換シクロオクテニル基、ハロゲン置換シクロノネニル基、ハロゲン置換シクロデセニル基、ハロゲン置換ブチルシクロペンテニル等が挙げられる。好ましくは炭素数1~12のハロゲン置換シクロアルケニル基である。上記一般式1中のR1~R3において、炭素数6~24の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、メチルフェニル基、ジメチルフェニル基、エチルフェニル基、ベンジル基、1-フェニルエチル基、2-フェニルエチル基、2-フェニルプロピル基、1-フェニルブチル基、4-フェニルブチル基、2-フェニルヘプチル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、1,8-ジメチルナフチル基等が挙げられる。好ましくは炭素数6~12の芳香族炭化水素基である。また、炭素数6~24のハロゲン置換芳香族炭化水素基としては、ハロゲン化フェニル基、ハロゲン化メチルフェニル基、トリハロゲン化メチルフェニル基、パーハロゲン化ベンジル基、パーハロゲン化フェニル基、2-フェニル,2-ハロゲン化エチル基、パーハロゲン化ナフチル基、4-フェニル,2,3-ジハロゲン化ブチル基等が挙げられる。好ましくは6~12のハロゲン含有芳香族炭化水素基である。また、一般式1中のR1~R3において、結合末端がC=N基であるものは除く炭素数2~24の窒素原子含有炭化水素基としては、結合末端が炭素原子である基であり、例えば、メチルアミノメチル基、ジメチルアミノメチル基、エチルアミノメチル基、ジエチルアミノメチル基、プロピルアミノメチル基、ジプロピルアミノメチル基、メチルアミノエチル基、ジメチルアミノエチル基、エチルアミノエチル基、ジエチルアミノエチル基、プロピルアミノエチル基、ジプロピルアミノエチル基、ブチルアミノエチル基、ジブチルアミノエチル基、ペンチルアミノエチル基、ジペンチルアミノエチル基、ヘキシルアミノエチル基、ヘキシルメチルアミノエチル基、ヘプチルメチルアミノエチル基、ジヘプチルアミノメチル基、オクチルメチルアミノメチル基、ジオクチルアミノエチル基、ノニルアミノメチル基、ジノニルアミノメチル基、デシルアミノメチル基、ジデシルアミノ基、シクロヘキシルアミノメチル基、ジシクロヘキシルアミノメチル基などのアルキルアミノアルキル基;フェニルアミノメチル基、ジフェニルアミノメチル基、ジトリルアミノメチル基、ジナフチルアミノメチル基、メチルフェニルアミノエチル基などのアリールアミノアルキル基またはアルキルアリールアミノアルキル基;多環状アミノアルキル基;アニリノ基、ジメチルアミノフェニル基、ビスジメチルアミノフェニル基等のアミノ基含有芳香族炭化水素基;メチルイミノメチル、エチルイミノエチル、プロピルイミノメチル、ブチルイミノエチル、フェニルイミノメチルなどのイミノアルキル基等が挙げられる。また、カルボニル基であるものを除く炭素数2~24の酸素原子含有炭化水素基としては、結合末端が炭素原子である基であり、例えば、メトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、ブトキシメチル基、イソプロポキシメチル基、イソブトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロポキシエチル基、ブトキシエチル基、イソプロポキシエチル基、イソブトキシエチル基などのエーテル基含有炭化水素基;フェノキシメチル基、メチルフェノキシメチル基、ジメチルフェノキメチル基、ナフトキシメチル基などのアリーロキシアルキル基;メトキシフェニル基、エトキシフェニル基などのアルコキシアリール基;アセトキシメチル基などが挙げられる。好ましくは2~12の酸素原子含有炭化水素基である。また、一般式1中のR1~R3において、結合末端がC=P基であるものは除く炭素数2~24のリン含有炭化水素基としては、結合末端が炭素原子である基であり、例えばジメチルホスフィンメチル基、ジブチルホスフィノメチル基、ジシクロヘキシルホスフィノメチル基、ジメチルホスフィンエチル基、ジブチルホスフィノエチル基、ジシクロヘキシルホスフィノエチル基などのジアルキルホスフィノアルキル基;ジフェニルホスフィノメチル基、ジトリルホスフィノメチル基などのジアリールホスフィノアルキル基;ジメチルホスフフィノフェニル基、ジエチルホスフフィノフェニル基等のフォスフィノ基置換アリール基などが挙げられる。好ましくは2~12のリン含有炭化水素基である。また、一般式1中のR1~R3において、炭素数1~24のケイ素含有炭化水素基としては、例えば炭化水素置換シリル基、炭化水素置換シロキシ基、シロキシアルキル基、炭化水素置換シリルアルキル基、炭化水素置換シリルアリール基などが挙げられ、具体的には、フェニルシリル、ジフェニルシリル、トリメチルシリル、トリエチルシリル、トリプロピルシリル、トリシクロヘキシルシリル、トリフェニルシリル、メチルジフェニルシリル、トリトリルシリル、トリナフチルシリルなどの炭化水素置換シリル基;トリメチルシリルエーテルなどの炭化水素置換シリルエーテル基;トリメチルシリルメチルなどのケイ素置換アルキル基;トリメチルシリルフェニルなどのケイ素置換アリール基等が挙げられる。なお、上記一般式1中の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、分岐ハロゲン置換アルキル基、直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、分岐ハロゲン置換アルケニル基、ハロゲン置換シクロアルキル基、ハロゲン置換シクロアルケニル基、ハロゲン置換芳香族炭化水素基のハロゲン種としては、フッ素、塩素、臭素またはヨウ素が挙げられ、好ましくはフッ素、塩素または臭素、特に好ましくはフッ素、塩素である。また、一般式1中、R1が複数ある場合は、互いに結合して環を形成していてもよく、複数のR1が結合することにより形成される環としては、例えば、フォスフォシクロアルキル環、フォスフォシクロアルキレン環、フォスフォフルオレニル環、シラシクロアルキル環、シラシクロアルキレン環、シラフルオラニル環、シラフルオレニル環、シラフェナントレニル環、シラインダニル環などが挙げられる。また、一般式1中、XはN窒素原子、Pリン原子およびSiケイ素原子のいずれかであり、Nの場合はnが1であり、Pの場合はnが1または3であり、Siの場合はnが2である。一般式1中、R2およびR3は、好ましくは、炭素数1~12の直鎖状アルキル基、炭素数3~12の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~12の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数2~12の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~12のシクロアルキル基、炭素数3~12のシクロアルケニル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルケニル基、および炭素数6~12の芳香族炭化水素基の中から選ばれるいずれかの基である。一般式1で表される成分Aのうち、XがNである場合の好ましい具体例としては、イミノジカルボン酸ジメチル、イミノジカルボン酸ジエチル、イミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、イミノジカルボン酸ジイソプロピル、イミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、イミノジカルボン酸ジイソブチル、イミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、イミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、メチルイミノジカルボン酸ジメチル、メチルイミノジカルボン酸ジエチル、メチルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、メチルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、メチルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、メチルイミノジカルボン酸ジイソブチル、メチルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、メチルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、エチルイミノジカルボン酸ジメチル、エチルイミノジカルボン酸ジエチル、エチルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、エチルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、エチルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、エチルイミノジカルボン酸ジイソブチル、エチルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、エチルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、n-プロピルイミノジカルボン酸ジメチル、n-プロピルイミノジカルボン酸ジエチル、n-プロピルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、n-プロピルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、n-プロピルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、n-プロピルイミノジカルボン酸ジイソブチル、n-プロピルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、n-プロピルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、イソプロピルイミノジカルボン酸ジメチル、イソプロピルイミノジカルボン酸ジエチル、イソプロピルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、イソプロピルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、イソプロピルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、イソプロピルイミノジカルボン酸ジイソブチル、イソプロピルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、イソプロピルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、t-プロピルイミノジカルボン酸ジメチル、t-プロピルイミノジカルボン酸ジエチル、t-プロピルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、t-プロピルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、t-プロピルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、t-プロピルイミノジカルボン酸ジイソブチル、t-プロピルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、t-プロピルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、n-ヘキシルイミノジカルボン酸ジメチル、n-ヘキシルイミノジカルボン酸ジエチル、n-ヘキシルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、n-ヘキシルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、n-ヘキシルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、n-ヘキシルイミノジカルボン酸ジイソブチル、n-ヘキシルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、n-ヘキシルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、フェニルイミノジカルボン酸ジメチル、フェニルイミノジカルボン酸ジエチル、フェニルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、フェニルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、フェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、フェニルイミノジカルボン酸ジイソブチル、フェニルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、フェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ベンジルイミノジカルボン酸ジメチル、ベンジルイミノジカルボン酸ジエチル、ベンジルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、ベンジルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、ベンジルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、ベンジルイミノジカルボン酸ジイソブチル、ベンジルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、ベンジルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ナフチルイミノジカルボン酸ジメチル、ナフチルイミノジカルボン酸ジエチル、ナフチルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、ナフチルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、ナフチルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、ナフチルイミノジカルボン酸ジイソブチル、ナフチルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、ナフチルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロヘキシルイミノジカルボン酸ジメチル、シクロヘキシルイミノジカルボン酸ジエチル、シクロヘキシルルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロヘキシルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、シクロヘキシルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロヘキシルイミノジカルボン酸ジイソブチル、シクロヘキシルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロヘキシルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロペンチルイミノジカルボン酸ジメチル、シクロペンチルイミノジカルボン酸ジエチル、シクロペンチルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロペンチルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、シクロペンチルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロペンチルイミノジカルボン酸ジイソブチル、シクロペンチルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロペンチルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロヘキセニルイミノジカルボン酸ジメチル、シクロヘキセニルイミノジカルボン酸ジエチル、シクロヘキセニルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロヘキセニルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、シクロヘキセニルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロヘキセニルイミノジカルボン酸ジイソブチル、シクロヘキセニルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロヘキセニルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、インデニルイミノジカルボン酸ジメチル、インデニルイミノジカルボン酸ジエチル、インデニルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、インデニルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、インデニルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、インデニルイミノジカルボン酸ジイソブチル、インデニルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、インデニルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、フルオレニルイミノジカルボン酸ジメチル、フルオレニルイミノジカルボン酸ジエチル、フルオレニルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、フルオレニルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、フルオレニルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、フルオレニルイミノジカルボン酸ジイソブチル、フルオレニルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、フルオレニルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-クロロフェニルイミノジカルボン酸ジメチル、p-クロロフェニルイミノジカルボン酸ジエチル、p-クロロフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-クロロフェニルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、p-クロロフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-クロロフェニルイミノジカルボン酸ジイソブチル、p-クロロフェニルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-クロロフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-メトキシフェニルイミノジカルボン酸ジメチル、p-メトキシフェニルイミノジカルボン酸ジエチル、p-メトキシフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-メトキシフェニルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、p-メトキシフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-メトキシフェニルイミノジカルボン酸ジイソブチル、p-メトキシフェニルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-メトキシフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジメチル、2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジエチル、2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジイソブチル、2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-ジエチルアミノフェニルイミノジカルボン酸ジメチル、p-ジエチルアミノフェニルイミノジカルボン酸ジエチル、p-ジエチルアミノフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-ジエチルアミノフェニルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、p-ジエチルアミノフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-ジエチルアミノフェニルイミノジカルボン酸ジイソブチル、p-ジエチルアミノフェニルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-ジエチルアミノフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-トリメチルシリルフェニルイミノジカルボン酸ジメチル、p-トリメチルシリルフェニルイミノジカルボン酸ジエチル、p-トリメチルシリルフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-トリメチルシリルフェニルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、p-トリメチルシリルフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-トリメチルシリルフェニルイミノジカルボン酸ジイソブチル、p-トリメチルシリルフェニルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-トリメチルシリルフェニルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ビスジメチルフォスフィノエチルイミノジカルボン酸ジメチル、ビスジメチルフォスフィノエチルイミノジカルボン酸ジエチル、ビスジメチルフォスフィノエチルイミノジカルボン酸ジ-n-プロピル、ビスジメチルフォスフィノエチルイミノジカルボン酸ジイソプロピル、ビスジメチルフォスフィノエチルイミノジカルボン酸ジ-n-ブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルイミノジカルボン酸ジイソブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルイミノジカルボン酸ジ-t-ブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルイミノジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、等が挙げられる。XがPの場合の具体例は、ホスフィンジカルボン酸ジメチル、ホスフィンジカルボン酸ジエチル、ホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、ホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、ホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、ホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、ホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、ホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、メチルホスフィンジカルボン酸ジメチル、メチルホスフィンジカルボン酸ジエチル、メチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、メチルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、メチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、メチルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、メチルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、メチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、エチルホスフィンジカルボン酸ジメチル、エチルホスフィンジカルボン酸ジエチル、エチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、エチルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、エチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、エチルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、エチルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、エチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、n-プロピルホスフィンジカルボン酸ジメチル、n-プロピルホスフィンジカルボン酸ジエチル、n-プロピルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、n-プロピルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、n-プロピルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、n-プロピルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、n-プロピルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、n-プロピルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、イソプロピルホスフィンジカルボン酸ジメチル、イソプロピルホスフィンジカルボン酸ジエチル、イソプロピルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、イソプロピルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、イソプロピルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、イソプロピルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、イソプロピルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、イソプロピルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、n-ブチルホスフィンジカルボン酸ジメチル、n-ブチルホスフィンジカルボン酸ジエチル、n-ブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、n-ブチルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、n-ブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、n-ブチルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、n-ブチルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、n-ブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、イソブチルホスフィンジカルボン酸ジメチル、イソブチルホスフィンジカルボン酸ジエチル、イソブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、イソブチルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、イソブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、イソブチルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、イソブチルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、イソブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、t-ブチルホスフィンジカルボン酸ジメチル、t-ブチルホスフィンジカルボン酸ジエチル、t-ブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、t-ブチルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、t-ブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、t-ブチルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、t-ブチルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、t-ブチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、n-ヘキシルホスフィンジカルボン酸ジメチル、n-ヘキシルホスフィンジカルボン酸ジエチル、n-ヘキシルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、n-ヘキシルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、n-ヘキシルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、n-ヘキシルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、n-ヘキシルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、n-ヘキシルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、フェニルホスフィンジカルボン酸ジメチル、フェニルホスフィンジカルボン酸ジエチル、フェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、フェニルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、フェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、フェニルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、フェニルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、フェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ベンジルホスフィンジカルボン酸ジメチル、ベンジルホスフィンジカルボン酸ジエチル、ベンジルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、ベンジルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、ベンジルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、ベンジルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、ベンジルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、ベンジルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ナフチルホスフィンジカルボン酸ジメチル、ナフチルホスフィンジカルボン酸ジエチル、ナフチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、ナフチルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、ナフチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、ナフチルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、ナフチルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、ナフチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロヘキシルホスフィンジカルボン酸ジメチル、シクロヘキシルホスフィンジカルボン酸ジエチル、シクロヘキシルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロヘキシルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、シクロヘキシルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロヘキシルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、シクロヘキシルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロヘキシルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロペンチルホスフィンジカルボン酸ジメチル、シクロペンチルホスフィンジカルボン酸ジエチル、シクロペンチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロペンチルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、シクロペンチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロペンチルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、シクロペンチルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロペンチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロヘキセニルホスフィンジカルボン酸ジメチル、シクロヘキセニルホスフィンジカルボン酸ジエチル、シクロヘキセニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロヘキセニルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、シクロヘキセニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロヘキセニルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、シクロヘキセニルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロヘキセニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、インデニルホスフィンジカルボン酸ジメチル、インデニルホスフィンジカルボン酸ジエチル、インデニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、インデニルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、インデニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、インデニルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、インデニルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、インデニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、フルオレニルホスフィンジカルボン酸ジメチル、フルオレニルホスフィンジカルボン酸ジエチル、フルオレニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、フルオレニルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、フルオレニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、フルオレニルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、フルオレニルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、フルオレニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-クロロフェニルホスフィンジカルボン酸ジメチル、p-クロロフェニルホスフィンジカルボン酸ジエチル、p-クロロフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-クロロフェニルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、p-クロロフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-クロロフェニルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、p-クロロフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-クロロフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-メトキシフェニルホスフィンジカルボン酸ジメチル、p-メトキシフェニルホスフィンジカルボン酸ジエチル、p-メトキシフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-メトキシフェニルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、p-メトキシフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-メトキシフェニルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、p-メトキシフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-メトキシフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-ジエチルアミノフェニルホスフィンジカルボン酸ジメチル、p-ジエチルアミノフェニルホスフィンジカルボン酸ジエチル、p-ジエチルアミノフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-ジエチルアミノフェニルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、p-ジエチルアミノフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-ジエチルアミノフェニルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、p-ジエチルアミノフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-ジエチルアミノフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-トリメチルシリルフェニルホスフィンジカルボン酸ジメチル、p-トリメチルシリルフェニルホスフィンジカルボン酸ジエチル、p-トリメチルシリルフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-トリメチルシリルフェニルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、p-トリメチルシリルフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-トリメチルシリルフェニルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、p-トリメチルシリルフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-トリメチルシリルフェニルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ビスジメチルフォスフィノエチルホスフィンジカルボン酸ジメチル、ビスジメチルフォスフィノエチルホスフィンジカルボン酸ジエチル、ビスジメチルフォスフィノエチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-プロピル、ビスジメチルフォスフィノエチルホスフィンジカルボン酸ジイソプロピル、ビスジメチルフォスフィノエチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルホスフィンジカルボン酸ジイソブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルホスフィンジカルボン酸ジ-t-ブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルホスフィンジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、等が挙げられる。XがSiの場合は、nは2であり、その具体例としては、シランジカルボン酸ジメチル、シランジカルボン酸ジエチル、シランジカルボン酸ジ-n-プロピル、シランジカルボン酸ジイソプロピル、シランジカルボン酸ジ-n-ブチル、シランジカルボン酸ジイソブチル、シランジカルボン酸ジ-t-ブチル、シランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、メチルシランジカルボン酸ジメチル、メチルシランジカルボン酸ジエチル、メチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、メチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、メチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、メチルシランジカルボン酸ジイソブチル、メチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、メチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、エチルシランジカルボン酸ジメチル、エチルシランジカルボン酸ジエチル、エチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、エチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、エチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、エチルシランジカルボン酸ジイソブチル、エチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、エチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、n-プロピルシランジカルボン酸ジメチル、n-プロピルシランジカルボン酸ジエチル、n-プロピルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、n-プロピルシランジカルボン酸ジイソプロピル、n-プロピルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、n-プロピルシランジカルボン酸ジイソブチル、n-プロピルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、n-プロピルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、イソプロピルシランジカルボン酸ジメチル、イソプロピルシランジカルボン酸ジエチル、イソプロピルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、イソプロピルシランジカルボン酸ジイソプロピル、イソプロピルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、イソプロピルシランジカルボン酸ジイソブチル、イソプロピルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、イソプロピルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、n-ブチルシランジカルボン酸ジメチル、n-ブチルシランジカルボン酸ジエチル、n-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、n-ブチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、n-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、n-ブチルシランジカルボン酸ジイソブチル、n-ブチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、n-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、イソブチルシランジカルボン酸ジメチル、イソブチルシランジカルボン酸ジエチル、イソブチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、イソブチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、イソブチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、イソブチルシランジカルボン酸ジイソブチル、イソブチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、イソブチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、t-ブチルシランジカルボン酸ジメチル、t-ブチルシランジカルボン酸ジエチル、t-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、t-ブチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、t-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、t-ブチルシランジカルボン酸ジイソブチル、t-ブチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、t-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジメチル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジエチル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジイソプロピル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジイソブチル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジメチルシランジカルボン酸ジメチル、ジメチルシランジカルボン酸ジエチル、ジメチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジメチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジメチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジメチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジメチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジメチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジエチルシランジカルボン酸ジメチル、ジエチルシランジカルボン酸ジエチル、ジエチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジエチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジエチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジエチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジエチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジエチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジ-n-プロピルシランジカルボン酸ジメチル、ジ-n-プロピルシランジカルボン酸ジエチル、ジ-n-プロピルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジ-n-プロピルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジ-n-プロピルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジ-n-プロピルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジ-n-プロピルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジ-n-プロピルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジイソプロピルシランジカルボン酸ジメチル、ジイソプロピルシランジカルボン酸ジエチル、ジイソプロピルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジイソプロピルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジイソプロピルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジイソプロピルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジイソプロピルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジイソプロピルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジ-n-ブチルシランジカルボン酸ジメチル、ジ-n-ブチルシランジカルボン酸ジエチル、ジ-n-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジ-n-ブチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジ-n-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジ-n-ブチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジ-n-ブチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジ-n-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジイソブチルシランジカルボン酸ジメチル、ジイソブチルシランジカルボン酸ジエチル、ジイソブチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジイソブチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジイソブチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジイソブチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジイソブチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジイソブチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジ-t-ブチルシランジカルボン酸ジメチル、ジ-t-ブチルシランジカルボン酸ジエチル、ジ-t-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジ-t-ブチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジ-t-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジ-t-ブチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジ-t-ブチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジ-t-ブチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジ-n-ヘキシルシランジカルボン酸ジメチル、ジ-n-ヘキシルシランジカルボン酸ジエチル、ジ-n-ヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジ-n-ヘキシルシランジカルボン酸ジイソプロピル、n-ヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジ-n-ヘキシルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジ-n-ヘキシルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジ-n-ヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、フェニルシランジカルボン酸ジメチル、フェニルシランジカルボン酸ジエチル、フェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、フェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、フェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、フェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、フェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、フェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ベンジルシランジカルボン酸ジメチル、ベンジルシランジカルボン酸ジエチル、ベンジルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ベンジルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ベンジルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ベンジルシランジカルボン酸ジイソブチル、ベンジルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ベンジルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ナフチルシランジカルボン酸ジメチル、ナフチルシランジカルボン酸ジエチル、ナフチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ナフチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ナフチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ナフチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ナフチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ナフチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロヘキシルシランジカルボン酸ジメチル、シクロヘキシルシランジカルボン酸ジエチル、シクロヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロヘキシルシランジカルボン酸ジイソプロピル、シクロヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロヘキシルシランジカルボン酸ジイソブチル、シクロヘキシルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロペンチルシランジカルボン酸ジメチル、シクロペンチルシランジカルボン酸ジエチル、シクロペンチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロペンチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、シクロペンチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロペンチルシランジカルボン酸ジイソブチル、シクロペンチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロペンチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロヘキセニルシランジカルボン酸ジメチル、シクロヘキセニルシランジカルボン酸ジエチル、シクロヘキセニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロヘキセニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、シクロヘキセニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロヘキセニルシランジカルボン酸ジイソブチル、シクロヘキセニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロヘキセニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、インデニルシランジカルボン酸ジメチル、インデニルシランジカルボン酸ジエチル、インデニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、インデニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、インデニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、インデニルシランジカルボン酸ジイソブチル、インデニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、インデニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、フルオレニルシランジカルボン酸ジメチル、フルオレニルシランジカルボン酸ジエチル、フルオレニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、フルオレニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、フルオレニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、フルオレニルシランジカルボン酸ジイソブチル、フルオレニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、フルオレニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジフェニルシランジカルボン酸ジメチル、ジフェニルシランジカルボン酸ジエチル、ジフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジベンジルシランジカルボン酸ジメチル、ジベンジルシランジカルボン酸ジエチル、ジベンジルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジベンジルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジベンジルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジベンジルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジベンジルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジベンジルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジナフチルシランジカルボン酸ジメチル、ジナフチルシランジカルボン酸ジエチル、ジナフチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジナフチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジナフチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジナフチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジナフチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジナフチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジシクロヘキシルシランジカルボン酸ジメチル、ジシクロヘキシルシランジカルボン酸ジエチル、ジシクロヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジシクロヘキシルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジシクロヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジシクロヘキシルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジシクロヘキシルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジシクロヘキシルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジシクロペンチルシランジカルボン酸ジメチル、ジシクロペンチルシランジカルボン酸ジエチル、ジシクロペンチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジシクロペンチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジシクロペンチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジシクロペンチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジシクロペンチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジシクロペンチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジシクロヘキセニルシランジカルボン酸ジメチル、ジシクロヘキセニルシランジカルボン酸ジエチル、ジシクロヘキセニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジシクロヘキセニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジシクロヘキセニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジシクロヘキセニルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジシクロヘキセニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジシクロヘキセニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ビスインデニルシランジカルボン酸ジメチル、ビスインデニルシランジカルボン酸ジエチル、ビスインデニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ビスインデニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ビスインデニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ビスインデニルシランジカルボン酸ジイソブチル、ビスインデニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ビスインデニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ビスフルオレニルシランジカルボン酸ジメチル、ビスフルオレニルシランジカルボン酸ジエチル、ビスフルオレニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ビスフルオレニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ビスフルオレニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ビスフルオレニルシランジカルボン酸ジイソブチル、ビスフルオレニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ビスフルオレニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-クロロフェニルシランジカルボン酸ジメチル、p-クロロフェニルシランジカルボン酸ジエチル、p-クロロフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-クロロフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、p-クロロフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-クロロフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、p-クロロフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-クロロフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジメチル、p-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジエチル、p-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、p-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、p-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジメチル、p-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジエチル、p-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、p-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、p-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジp-クロロフェニルシランジカルボン酸ジメチル、ジp-クロロフェニルシランジカルボン酸ジエチル、ジp-クロロフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジp-クロロフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジp-クロロフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジp-クロロフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジp-クロロフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジp-クロロフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジp-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジメチル、ジp-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジエチル、ジp-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジp-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジp-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジp-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジp-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジp-メトキシフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジp-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジメチル、ジp-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジエチル、ジp-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジp-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジp-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジp-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジp-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジp-ジエチルアミノフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、p-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジメチル、p-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジエチル、p-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、p-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、p-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、p-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、p-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、p-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジp-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジメチル、ジp-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジエチル、ジp-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジp-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジp-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジp-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジp-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジp-トリメチルシリルフェニルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジメチル、ビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジエチル、ビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、ジビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジメチル、ジビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジエチル、ジビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、ジビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、ジビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、ジビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジイソブチル、ジビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、ジビスジメチルフォスフィノエチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、シクロペンチルメチルシランジカルボン酸ジメチル、シクロペンチルメチルシランジカルボン酸ジエチル、シクロペンチルメチルシランジカルボン酸ジ-n-プロピル、シクロペンチルメチルシランジカルボン酸ジイソプロピル、シクロペンチルメチルシランジカルボン酸ジ-n-ブチル、シクロペンチルメチルシランジカルボン酸ジイソブチル、シクロペンチルメチルシランジカルボン酸ジ-t-ブチル、シクロペンチルメチルシランジカルボン酸ジ-n-ヘキシル、等が挙げられる。なお、これらの化合物は単独または2種類以上組み合わせて用いることもできる。一般式1で表される化合物のうち、好ましいものは、R1が、炭素数1~12の直鎖状アルキル基、炭素数3~12の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~12の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数1~12の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数2~12の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~12のシクロアルキル基、炭素数3~12のシクロアルケニル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルケニル基、炭素数6~12の芳香族炭化水素基から選ばれる基であり、Xが窒素またはケイ素である化合物である。さらに好ましいものは、R2およびR3が、炭素数1~12の直鎖状アルキル基、炭素数3~12の分岐アルキル基、ビニル基、炭素数3~12の直鎖状アルケニル基あるいは分岐アルケニル基、炭素数1~12の直鎖状ハロゲン置換アルキル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルキル基、炭素数2~12の直鎖状ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~12の分岐ハロゲン置換アルケニル基、炭素数3~12のシクロアルキル基、炭素数3~12のシクロアルケニル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルキル基、炭素数3~12のハロゲン置換シクロアルケニル基、および炭素数6~12の芳香族炭化水素基から選ばれるいずれかの基である化合物である。本発明における固体触媒成分I中には、前記一般式1で示される成分A以外の電子供与性化合物以下、電子供与性化合物Dとも言う。が含まれていてもよい。このような電子供与性化合物Dとしては、酸ハライド類、酸アミド類、ニトリル類、酸無水物、ジエーテル化合物類およびコハク酸エステル類、マレイン酸エステル類、マロン酸エステル類、グルタル酸エステル、シクロヘキサンジカルボン酸エステル類、シクロへキセンジカルボン酸エステル類、フタル酸ジエステル類、などの有機酸エステルなどが挙げられる。このような電子供与性化合物Dは、2種以上併用することもできる。本発明における固体触媒成分I中には、ポリシロキサン以下、単に成分Eとも言う。が含まれていてもよい。ポリシロキサンを用いることにより生成ポリマーの立体規則性あるいは結晶性を向上させることができ、さらには生成ポリマーの微粉を低減することが可能となる。ポリシロキサンは、主鎖にシロキサン結合-Si-O-結合を有する重合体であるが、シリコーンオイルとも総称され、25°Cにおける粘度が0.02~100cm2/s2~10000センチストークス、より好ましくは0.03~5cm2/s3~500センチストークスを有する、常温で液状あるいは粘稠状の鎖状、部分水素化、環状あるいは変性ポリシロキサンである。鎖状ポリシロキサンとしては、ジメチルポリシロキサン、メチルフェニルポリシロキサンが、部分水素化ポリシロキサンとしては、水素化率10~80のメチルハイドロジェンポリシロキサンが、環状ポリシロキサンとしては、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、2,4,6-トリメチルシクロトリシロキサン、2,4,6,8-テトラメチルシクロテトラシロキサンなどが挙げられる。また、本発明における固体触媒成分I中のチタン、マグネシウム、ハロゲン原子、成分Aの含有量は特に規定されないが、好ましくは、チタンが0.1~10重量、好ましくは0.5~8.0重量、より好ましくは1.0~8.0重量であり、マグネシウムが10~40重量、より好ましくは10~30重量、特に好ましくは13~25重量、ハロゲン原子が20~89重量、より好ましくは30~85重量、特に好ましくは40~75重量、また成分Aが合計0.5~40重量、より好ましくは合計1~30重量、特に好ましくは合計2~25重量である。本発明のオレフィン類重合用固体触媒成分Iは、下記のようなマグネシウム化合物、チタン化合物、必要に応じて前記チタン化合物以外のハロゲン化合物および前記一般式1の成分Aを、相互に接触させることで調製される。本発明の固体触媒成分の製造方法において使用されるマグネシウム化合物B以下、単に成分Bとも言う。としては、ジハロゲン化マグネシウム、ジアルキルマグネシウム、ハロゲン化アルキルマグネシウム、ジアルコキシマグネシウム、ジアリールオキシマグネシウム、ハロゲン化アルコキシマグネシウムあるいは脂肪酸マグネシウム等から選ばれる一種以上が挙げられる。これらのマグネシウム化合物の中、ジハロゲン化マグネシウム、ジハロゲン化マグネシウムとジアルコキシマグネシウムの混合物、ジアルコキシマグネシウムが好ましく、特にジアルコキシマグネシウムが好ましい。ジアルコキシマグネシウムとしては、ジメトキシマグネシウム、ジエトキシマグネシウム、ジプロポキシマグネシウム、ジブトキシマグネシウム、エトキシメトキシマグネシウム、エトキシプロポキシマグネシウム、ブトキシエトキシマグネシウム等が挙げられる。また、これらのジアルコキシマグネシウムは、金属マグネシウムを、ハロゲンあるいはハロゲン含有金属化合物等の存在下にアルコールと反応させてなるものでもよい。また、上記のジアルコキシマグネシウムは、一種以上併用することもできる。更に、本発明の固体触媒成分の調製において、ジアルコキシマグネシウムを用いる場合は、顆粒状または粉末状であることが好ましく、その形状は不定形あるいは球状のものを使用し得る。例えば球状のジアルコキシマグネシウムを使用した場合、重合時により良好な粒子形状と狭い粒度分布を有する重合体粉末が得られ、重合操作時の生成重合体粉末の取扱い操作性が向上し、生成重合体粉末に含まれる微粉に起因する閉塞等の問題が解消される。上記の球状のジアルコキシマグネシウムは、必ずしも真球状である必要はなく、楕円形状あるいは馬鈴薯形状のものを用いることもできる。具体的にその粒子の形状は、長軸径lと短軸径wとの比l/wが3以下であり、好ましくは1から2であり、より好ましくは1から1.5である。また、上記ジアルコキシマグネシウムの平均粒径は、レーザー光散乱回折法粒度測定機を用いて測定したときの、平均粒子径D50体積積算粒度分布における積算粒度で50の粒径で1~200μmのものが好ましく、5~150μmのものがより好ましい。球状のジアルコキシマグネシウムの場合、その平均粒径は1~100μmが好ましく、5~50μmがより好ましく、10~40μmがさらに好ましい。また、その粒度については、微粉および粗粉の少ない、粒度分布の狭いものが望ましい。具体的には、レーザー光散乱回折法粒度測定機を用いて測定したときに、5μm以下の粒子が20以下であるものが好ましく、10以下であるものがより好ましい。一方、100μm以上の粒子が10以下であるものが好ましく、5以下であるものがより好ましい。更にその粒度分布をlnD90/D10ここで、D90は体積積算粒度分布における積算粒度で90の粒径、D10は体積積算粒度分布における積算粒度で10の粒径である。で表すと3以下であることが好ましく、2以下であることがより好ましい。上記の如き球状のジアルコキシマグネシウムの製造方法は、例えば特開昭58-41832号公報、同62-51633号公報、特開平3-74341号公報、同4-368391号公報、同8-73388号公報などに例示されている。本発明では、マグネシウム化合物Bは、溶液状のマグネシウム化合物、またはマグネシウム化合物懸濁液のいずれも用いることができる。マグネシウム化合物Bが固体である場合には、マグネシウム化合物Bの可溶化能を有する溶媒に溶解して溶液状のマグネシウム化合物とするか、マグネシウム化合物Bの可溶化能を有さない溶媒に懸濁してマグネシウム化合物懸濁液として用いる。マグネシウム化合物Bが液体である場合には、そのまま溶液状のマグネシウム化合物として用いることができ、マグネシウム化合物の可溶化能を有する溶媒にこれを溶解して溶液状のマグネシウム化合物として用いることもできる。固体のマグネシウム化合物Bを可溶化しうる化合物としては、アルコール、エーテルおよびエステルからなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物が挙げられる。具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、2エチルヘキサノール、オクタノール、ドデカノール、オクタデシルアルコール、オレイルアルコール、ベンジルアルコール、フェニルエチルアルコール、クミルアルコール、イソプロピルアルコール、イソプロピルベンジルアルコール、エチレングリコールなどの炭素原子数が1~18のアルコール;トリクロロメタノール、トリクロロエタノール、トリクロロヘキサノールなどの炭素原子数が1~18のハロゲン含有アルコール;メチルエーテル、エチルエーテル、イソプロピルエーテル、ブチルエーテル、アミルエーテル、テトラヒドロフラン、エチルベンジルエーテル、ジブチルエーテル、アニソール、ジフェニルエーテルなどの炭素原子数が2~20のエーテル;テトラエトキシチタン、テトラ-n-プロポキシチタン、テトライソプロポキシチタン、テトラブトキシチタン、テトラヘキソキシチタン、テトラブトキシジルコニウム、テトラエトキシジルコニウムなどの金属酸エステルなどが挙げられ、中でも、エタノール、プロパノール、ブタノール、2-エチルヘキサノールなどのアルコールが好ましく、2-エチルヘキサノールが特に好ましい。一方、マグネシウム化合物Bの可溶化能を有さない媒体としては、マグネシウム化合物を溶解することがない、飽和炭化水素溶媒または不飽和炭化水素溶媒が用いられる。飽和炭化水素溶媒または不飽和炭化水素溶媒は、安全性や工業的汎用性が高いことから、具体的にはヘキサン、ヘプタン、デカン、メチルヘプタンなどの沸点50~200°Cの直鎖状または分岐脂肪族炭化水素化合物、シクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、デカヒドロナフタレンなどの沸点50~200°Cの脂環式炭化水素化合物、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの沸点50~200°Cの芳香族炭化水素化合物が挙げられ、中でも、ヘキサン、ヘプタン、デカンなどの沸点50~200°Cの直鎖状脂肪族炭化水素化合物や、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの沸点50~200°Cの芳香族炭化水素化合物が、好ましく用いられる。また、これらは単独で用いても、2種以上混合して使用してもよい。本発明における成分Iの調製に用いられるチタン化合物C以下成分Cということがある。としては、例えば、一般式6;TiOR14jX4-j6R14は、炭素数1~10の炭化水素基であり、OR14基が複数存在する場合、複数のR19は同一であっても異なっていてもよく、Xはハロゲン原子であり、Xが複数存在する場合、各Xは同一であっても異なっていてもよく、jは0または1~4の整数である。で表わされる4価のチタン化合物を挙げることができる。前記一般式6で表わされる4価のチタン化合物は、アルコキシチタン、チタンハライドもしくはアルコキシチタンハライド群から選択される化合物の1種あるいは2種以上である。具体的には、チタンテトラフルオライド、チタンテトラクロライド、チタンテトラブロマイド、チタンテトラアイオダイド等のチタンテトラハライド、アルコキシチタンハライドとしてメトキシチタントリクロライド、エトキシチタントリクロライド、プロポキシチタントリクロライド、n-ブトキシチタントリクロライド等のアルコキシチタントリハライド、ジメトキシチタンジクロライド、ジエトキシチタンジクロライド、ジプロポキシチタンジクロライド、ジ-n-ブトキシチタンジクロライド、等のジアルコキシチタンジハライド、トリメトキシチタンクロライド、トリエトキシチタンクロライド、トリプロポキシチタンクロライド、トリ-n-ブトキシチタンクロライド等のトリアルコキシチタンハライドが挙げられる。これらの中ではハロゲン含有チタン化合物が好ましく用いられ、チタンテトラクロライド、チタンテトラブロマイド、チタンテトラアイオダイド等のチタンテトラハライドが好ましく、特に好ましくはチタンテトラクロライドである。これらのチタン化合物は単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせてもよい。さらに、これら一般式6で表わされる4価のチタン化合物は、炭化水素化合物あるいはハロゲン化炭化水素化合物等に希釈して使用してもよい。本発明の固体触媒成分Iの調製において、必要に応じて、上記チタン化合物C以外のハロゲン化合物を使用してもよい。ハロゲン化合物としては、四価のハロゲン含有ケイ素化合物が挙げられる。より具体的には、テトラクロロシラン四塩化ケイ素、テトラブロモシラン等のシランテトラハライド、メトキシトリクロロシラン、エトキシトリクロロシラン、プロポキシトリクロロシラン、n-ブトキシトリクロロシラン、ジメトキシジクロロシラン、ジエトキシジクロロシラン、ジプロポキシジクロロシラン、ジ-n-ブトキシジクロロシラン、トリメトキシクロロシラン、トリエトキシクロロシラン、トリプロポキシクロロシラン、トリ-n-ブトキシクロロシラン等のアルコキシ基含有ハロゲン化シランが挙げられる。本発明の固体触媒成分Iの調製で使用される成分Aは、本発明の固体触媒成分Iの成分Aと同様であり、その説明を省略する。また、本発明の固体触媒成分Iの調製で必要に応じて使用される電子供与性化合物Dは、本発明の固体触媒成分Iの成分A、電子供与性化合物Dと同様であり、その説明を省略する。また、本発明の固体触媒成分Iの調製で必要に応じて使用されるポリシロキサンEは、本発明の固体触媒成分IのポリシロキサンEと同様であり、その説明を省略する。本発明において、好適な固体触媒成分Iの調製方法としては、例えば、還元性を有しない固体マグネシウム化合物、成分Aおよびハロゲン化チタンを共粉砕する方法や、アルコール等の付加物を有するハロゲン化マグネシウム化合物、成分Aおよびハロゲン化チタンを不活性炭化水素溶媒の共存下、接触させる方法、ジアルコキシマグネシウム、成分Aおよびハロゲン化チタンを不活性炭化水素溶媒共存下で接触させる方法、還元性を有するマグネシウム化合物、成分Aおよびハロゲン化チタンを接触させて固体触媒を析出させる方法などが挙げられる。以下に、オレフィン類重合用固体触媒成分Iの具体的な調製方法を例示する。なお、以下の1~16の方法において、成分Aに加え、成分A以外の電子供与性化合物Dを併用してもよい。さらに、上記接触は、例えば、ケイ素、リン、アルミニウム等の他の反応試剤や界面活性剤の共存下に行ってもよい。1ハロゲン化マグネシウムをアルコキシチタン化合物に溶解させた後、有機ケイ素化合物を接触させて固体生成物を得、該固体生成物とハロゲン化チタンを反応させ、次いで成分Aを接触反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、成分Iに対し、さらに有機アルミニウム化合物、有機ケイ素化合物及びオレフィン類で予備的な重合処理を行なうこともできる。2ハロゲン化マグネシウム及びアルコールを反応させて均一溶液とした後、該均一溶液にカルボン酸無水物を接触させ、次いでこの溶液に、ハロゲン化チタン及び成分Aを接触反応させて固体物を得、該固体物に更にハロゲン化チタンを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。3金属マグネシウム、ブチルクロライド及びジアルキルエーテルを反応させることによって有機マグネシウム化合物を合成し、該有機マグネシウム化合物にアルコキシチタンを接触反応させて固体生成物を得、該固体生成物に成分A及びハロゲン化チタンを接触反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、該固体成分に対し、有機アルミニウム化合物、有機ケイ素化合物及びオレフィンで予備的な重合処理を行ない、オレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製することもできる。4ジアルキルマグネシウム等の有機マグネシウム化合物と、有機アルミニウム化合物を、炭化水素溶媒の存在下、アルコールと接触反応させて均一溶液とし、この溶液に四塩化ケイ素等のケイ素化合物を接触させて固体生成物を得、次いで芳香族炭化水素溶媒の存在下で該固体生成物に、ハロゲン化チタン及び成分Aを接触反応させた後、更に四塩化チタンを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。5塩化マグネシウム、テトラアルコキシチタン及び脂肪族アルコールを、炭化水素溶媒の存在下で接触反応させて均質溶液とし、その溶液とハロゲン化チタンを接触した後昇温して固体物を析出させ、該固体物に成分Aを接触させ、更にハロゲン化チタンと反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。6金属マグネシウム粉末、アルキルモノハロゲン化合物及びヨウ素を接触反応させ、その後テトラアルコキシチタン、酸ハロゲン化物、及び脂肪族アルコールを、炭化水素溶媒の存在下で接触反応させて均質溶液とし、その溶液に四塩化チタンを加えた後昇温し、固体生成物を析出させ、該固体生成物に成分Aを接触させ、更に四塩化チタンと反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。7ジアルコキシマグネシウムを炭化水素溶媒に懸濁させた後、四塩化チタンと接触させた後に昇温し、成分Aと接触させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度四塩化チタンと接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、該固体成分を、炭化水素溶媒の存在下又は不存在下で加熱処理することもできる。8ジアルコキシマグネシウムを炭化水素溶媒に懸濁させた後、ハロゲン化チタン及び成分Aと接触反応させて固体生成物を得、該固体生成物を不活性有機溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度ハロゲン化チタンと接触反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。なおこの際、該固体成分とハロゲン化チタンとを2回以上接触させることもできる。9ジアルコキシマグネシウム、塩化カルシウム及びアルコキシ基含有ケイ素化合物を共粉砕し、得られた粉砕固体物を炭化水素溶媒に懸濁させた後、ハロゲン化チタン及び成分Aと接触反応させ、次いで更にハロゲン化チタンを接触させることによりオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。10ジアルコキシマグネシウム及び成分Aを炭化水素溶媒に懸濁させ、その懸濁液をハロゲン化チタンと接触、反応させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄後、さらに炭化水素溶媒の存在下、ハロゲン化チタンを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。11ステアリン酸マグネシウムのような脂肪族マグネシウムを、ハロゲン化チタン及び成分Aと接触反応させ、その後更にハロゲン化チタンと接触させることによりオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。12ジアルコキシマグネシウムを炭化水素溶媒に懸濁させ、ハロゲン化チタンと接触させた後昇温し、成分Aと接触反応させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度ハロゲン化チタンと接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法であって、上記懸濁接触並びに接触反応のいずれかの段階において、塩化アルミニウムを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。13ジアルコキシマグネシウム、2-エチルヘキシルアルコール及び二酸化炭素を、炭化水素溶媒の存在下で接触反応させて均一溶液とし、この溶液にハロゲン化チタン及び成分Aを接触反応させて固体物を得、更にこの固体物をテトラヒドロフランに溶解させ、その後更に固体生成物を析出させ、この固体生成物にハロゲン化チタンを接触反応させ、必要に応じハロゲン化チタンとの接触反応を繰り返し行い、オレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、上記接触接触反応溶解のいずれかの段階において、例えばテトラブトキシシラン等のケイ素化合物を使用することもできる。14塩化マグネシウム、有機エポキシ化合物及びリン酸化合物を炭化水素溶媒中に懸濁させた後、加熱して均一溶液とし、この溶液に、カルボン酸無水物及びハロゲン化チタンを接触反応させて固体生成物を得、該固体生成物に成分Aを接触させて反応させ、得られた反応生成物を炭化水素溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度ハロゲン化チタンを接触させることによりオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。15ジアルコキシマグネシウム、チタン化合物及び成分Aを炭化水素溶媒の存在下に接触反応させ、得られた反応生成物にポリシロキサン等のケイ素化合物を接触反応させ、更にハロゲン化チタンを接触反応させ、次いで有機酸の金属塩を接触反応させた後、再度ハロゲン化チタンを接触させることによりオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。16ジアルコキシマグネシウムと成分Aを炭化水素溶媒に懸濁させた後、昇温してハロゲン化ケイ素と接触させ、その後ハロゲン化チタンと接触させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度ハロゲン化チタンと接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、該固体成分を、炭化水素溶媒の存在下又は不存在下で加熱処理してもよい。なお、オレフィン重合時の重合活性、生成ポリマーの立体規則性をさらに向上させるため、これら1~16の方法において、洗浄後の上記固体触媒成分Iに、新たにハロゲン化チタンおよび炭化水素溶媒を20~100°Cで接触させ、昇温して、反応処理第2次反応処理を行った後、常温で液体の不活性有機溶媒で洗浄する操作を1~10回繰り返してもよい。本発明における成分Iの調製方法としては、上記のいずれの方法であっても好適に用いることができ、中でも1、3、4、5、7、8または10の方法が好ましく、3、4、7、8、10の方法が、高立体規則性を有するオレフィン類重合用固体触媒成分が得られる点で特に好ましい。最も好ましい調製方法は、ジアルコキシマグネシウムおよび成分Aを、直鎖状炭化水素または分岐鎖状脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素および芳香族炭化水素から選ばれる炭化水素溶媒に懸濁させ、その懸濁液をハロゲン化チタン中に添加し、反応させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄後、さらに炭化水素溶媒の存在下、ハロゲン化チタンを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法である。得られたオレフィン類重合用固体触媒成分Iは、該固体成分に対する重量比で1/3以下、好ましくは1/20~1/6になるまで残留する溶媒を除くことで粉末状固体成分とし、気流分級等の手段により該粉末固体成分に混在する粒径11μm以下の微粉を除去することが好ましい。前記固体触媒成分Iを調製する際の各成分の使用量比は、調製法により異なるため一概には規定できないが、例えばマグネシウム化合物B1モル当たり、4価のチタンハロゲン化合物Cが0.5~100モル、好ましくは0.5~50モル、より好ましくは1~10モルであり、成分A、または成分Aと電子供与性化合物Dの合計量が、0.01~10モル、好ましくは0.01~1モル、より好ましくは0.02~0.6モルであり、溶媒が0.001~500モル、好ましくは0.001~100モル、より好ましくは0.005~10モルであり、ポリシロキサンEが0.01~100g、好ましくは0.05~80g、より好ましくは1~50gである。本発明のオレフィン類重合用触媒は、I固体触媒成分、II有機アルミニウム化合物以下、単に成分Fということがある。およびIII外部電子供与性化合物以下、単に成分Gということがある。を接触させることでオレフィン重合用触媒を形成し、該触媒の存在下にオレフィン類の重合もしくは共重合を行うことができる。IIの有機アルミニウム化合物としては、上記一般式2で表される化合物であれば、特に制限されないが、R4は、エチル基またはイソブチル基が好ましく、Qとしては、水素原子、塩素原子、臭素原子、エトキシ基、フェノキシ基が好ましく、pは、2、2.5又は3が好ましく、3が特に好ましい。このような有機アルミニウム化合物の具体例としては、トリエチルアルミニウム、トリイソプロピルアルミニウム、トリ-n-ブチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムなどのトリアルキルアルミニウム、ジエチルアルミニウムクロライド、ジエチルアルミニウムブロマイドなどのハロゲン化アルキルアルミニウム、ジエチルアルミニウムヒドリド、ジイソブチルアルミニウムヒドリド等のアルキルアルミニウムヒドリド、ジエチルアルミニウムエトキシド、ジエチルアルミニウムフェノキシド等のアルキルアルミニウムアルコキシドが挙げられ、中でもジエチルアルミニウムクロライドなどのハロゲン化アルキルアルミニウム、またはトリエチルアルミニウム、トリ-n-ブチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムなどのトリアルキルアルミニウムが好ましく用いられ、特に好ましくはトリエチルアルミニウムおよびトリイソブチルアルミニウムである。これらのアルミニウム化合物は、1種あるいは2種以上が使用できる。本発明のオレフィン類重合用触媒を形成する際に用いられるIII外部電子供与性化合物としては、酸素原子あるいは窒素原子を含有する有機化合物が挙げられ、例えばアルコール類、フェノール類、エーテル類、エステル類、ケトン類、酸ハライド類、アルデヒド類、アミン類、アミド類、ニトリル類、イソシアネート類、有機ケイ素化合物、中でもSi-O-C結合を有する有機ケイ素化合物またはSi-N-C結合を有するアミノシラン化合物、等が挙げられる。上記のなかでも、安息香酸エチル、p-メトキシ安息香酸エチル、p-エトキシ安息香酸エチル、p-トルイル酸メチル、p-トルイル酸エチル、アニス酸メチル、アニス酸エチル等のエステル類、1,3-ジエーテル類、Si-O-C結合を含む有機ケイ素化合物、Si-N-C結合を含むアミノシラン化合物が好ましく、Si-O-C結合を有する有機ケイ素化合物、Si-N-C結合を有するアミノシラン化合物、1,3-ジエーテル化合物から選ばれる少なくとも一種が特に好ましい。上記IIIの外部電子供与性化合物のうち、Si-O-C結合を有する有機ケイ素化合物としては、下記一般式3;R5qSiOR64-q3式中、R5は炭素数1~12のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数3~12のシクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基、炭素数6~15の芳香族炭化水素基、あるいは置換基を有する芳香族炭化水素基のいずれかで、同一または異なっていてもよい。R6は炭素数1~4のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数3~6のシクロアルキル基、炭素数6~12の芳香族炭化水素基、および置換基を有する炭素数7~12の芳香族炭化水素基を示し、同一または異なっていてもよい。qは0≦q≦3の整数である。で表わされる有機ケイ素化合物が挙げられる。上記IIIの外部電子供与性化合物のうち、Si-N-C結合を有するアミノシラン化合物としては、下記一般式4;R7R8NsSiR94-s4式中、R7とR8は水素原子、炭素数1~20のアルキル基、ビニル基、炭素数3~20のアルケニル基、炭素数3~20のシクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基、炭素数6~20のアリール基であり、同一であっても異なってもよく、互いに結合して環を形成してもよい。R9は炭素数1~20のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数1~20のアルコキシ基、ビニルオキシ基、炭素数3~20のアルケニルオキシ基、炭素数3~20のシクロアルキル基あるいはシクロアルキルオキシ基、または炭素数6~20のアリール基あるいはアリールオキシ基を示し、R9が複数ある場合、複数のR9は同一でも異なってもよい。sは1から3の整数である。で表わされるアミノシラン化合物が挙げられる。上記のような有機ケイ素化合物としては、フェニルアルコキシシラン、アルキルアルコキシシラン、フェニルアルキルアルコキシシラン、シクロアルキルアルコキシシラン、アルキルシクロアルキルアルコキシシラン、アルキルアミノアルコキシシラン、アルキルアルキルアミノアルコキシシラン、シクロアルキルアルキルアミノアルコキシシラン、テトラアルコキシシラン、テトラキスアルキルアミノシラン、アルキルトリスアルキルアミノシラン、ジアルキルビスアルキルアミノシラン、トリアルキルアルキルアミノシラン等を挙げることができ、具体的には、フェニルトリメトキシシラン、t-ブチルトリメトキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシランイソプロピルイソブチルジメトキシシラン、ジイソペンチルジメトキシシラン、ビス2-エチルヘキシルジメトキシシラン、t-ブチルメチルジメトキシシラン、t-ブチルエチルジメトキシシラン、ジシクロペンチルジメトキシシラン、ジシクロヘキシルジメトキシシラン、シクロヘキシルシクロペンチルジメトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブトキシシラン、ビスエチルアミノメチルエチルシラン、t-ブチルメチルビスエチルアミノシラン、ビスエチルアミノジシクロヘキシルシラン、ジシクロペンチルビスエチルアミノシラン、ビスメチルアミノメチルシクロペンチルアミノメチルシラン、ジエチルアミノトリエトキシシラン、ビスシクロヘキシルアミノジメトキシシラン、ビスパーヒドロイソキノリノジメトキシシラン、ビスパーヒドロキノリノジメトキシシラン、エチルイソキノリノジメトキシシラン、ジエチルアミノトリメトキシシラン、ジエチルアミノトリエトキシシラン、トリメチルシリルトリメトキシシラン、トリメチルシリルトリエトキシシラン等が挙げられ、中でも、フェニルトリメトキシシラン、t-ブチルメチルジメトキシシラン、t-ブチルエチルジメトキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシラン、イソプロピルイソブチルジメトキシシラン、ジイソペンチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジシクロペンチルジメトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、t-ブチルメチルビスエチルアミノシラン、ビスエチルアミノジシクロヘキシルシラン、ジシクロペンチルビスエチルアミノシラン、ビスパーヒドロイソキノリノジメトキシシラン、ジエチルアミノトリメトキシシラン、またはジエチルアミノトリエトキシシラン等が好ましく用いられる。また、該有機ケイ素化合物は、一般式3で表わされる有機ケイ素化合物及び一般式4で表わされる有機ケイ素化合物から選択される1種単独あるいは2種以上を組み合わせて用いることもできる。上記IIIの外部電子供与性化合物のうち、1,3-ジエーテル化合物としては、下記一般式5;R10OCH2CR11R12CH2OR135式中、R11とR12は水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~12のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数3~12のシクロアルキル基あるいはシクロアルケニル基、炭素数6~12の芳香族炭化水素基またはハロゲン置換芳香族炭化水素基、置換基を有する炭素数7~12の芳香族炭化水素基、炭素数1~12のアルキルアミノ基、または炭素数2~12のジアルキルアミノ基のいずれかで、同一または異なっていてもよく、互いに結合して環を形成してもよい。R10とR13は炭素数1~12のアルキル基、ビニル基、炭素数3~12のアルケニル基、炭素数3~6のシクロアルキル基、炭素数6~12の芳香族炭化水素基あるいはハロゲン置換芳香族炭化水素基、または置換基を有する炭素数7~12の芳香族炭化水素基を示し、同一または異なっていてもよいで表わされる化合物が挙げられる。具体的には、2-イソプロピル-2-イソブチル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ジ-イソブチル-1,3-ジメトキシプロパン、2-イソプロピル-2-イソペンチル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ジシクロヘキシル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ビスシクロヘキシルメチル1,3-ジメトキシプロパン、9,9-ビスメトキシメチルフルオレン等が挙げられ、中でも、2-イソプロピル-2-イソブチル-1,3-ジメトキシプロパン、9,9-ビスメトキシメチルフルオレン等が好ましく用いられる。また、上記IIIの外部電子供与性化合物として、前記一般式3で表わされる有機ケイ素化合物、前記一般式4で表わされる有機ケイ素化合物および前記一般式5で表わされるジエーテル化合物の中から1種または2種以上を組み合わせて用いることもできる。本発明においては、前記オレフィン重合触媒の存在下に、オレフィン類の重合もしくは共重合を行なう。オレフィン類としては、エチレン、プロピレン、1-ブテン、1-ペンテン、4-メチル-1-ペンテン、ビニルシクロヘキサン等が挙げられ、これらのオレフィン類は1種あるいは2種以上併用することができ、中でもエチレン、プロピレンおよび1-ブテンが好適に用いられる。特に好ましいものはプロピレンである。プロピレンの重合を行う場合、他のオレフィン類との共重合を行なうこともできる。共重合されるオレフィン類としては、エチレン、1-ブテン、1-ペンテン、4-メチル-1-ペンテン、ビニルシクロヘキサン等であり、これらのオレフィン類は1種あるいは2種以上併用することができる。とりわけ、エチレンおよび1-ブテンが好適に用いられる。各成分の使用量比は、本発明の効果に影響を及ぼすことのない限り任意であり、特に限定されるものではないが、通常は、成分Fの有機アルミニウム化合物は固体触媒成分I中のチタン原子1モル当たり、1~2000モル、好ましくは50~1000モルの範囲で用いられる。外部電子供与性化合物Gは、成分F1モル当たり、0.002~10モル、好ましくは0.01~2モル、特に好ましくは0.01~0.5モルの範囲で用いられる。各成分の接触順序は任意であるが、重合系内にまず有機アルミニウム化合物Fを装入し、次いで外部電子供与性化合物Gを接触させた後に成分Iを接触させることが望ましい。本発明におけるオレフィンの重合は、有機溶媒の存在下でも不存在下でも行なうことができ、またプロピレン等のオレフィンモノマーは、気体および液体のいずれの状態でも用いることができる。重合温度は200°C以下、好ましくは100°C以下であり、重合圧力は10MPa以下、好ましくは5MPa以下である。また、連続重合法、バッチ式重合法のいずれでも可能である。更に、重合反応は1段で行なってもよいし、2段以上で行なってもよい。更に、本発明においてオレフィン類重合用固体触媒成分、有機アルミニウム化合物、および外部電子供与性化合物を含有する触媒を用いてオレフィンを重合するにあたり本重合ともいう。、触媒活性、立体規則性および生成する重合体の粒子性状等を一層改善させるために、本重合に先立ち予備重合を行なうことが望ましい。予備重合の際には、本重合と同様のオレフィン類あるいはスチレン等のモノマーを用いることができる。予備重合を行なうに際して、各成分およびモノマーの接触順序は任意であるが、好ましくは、不活性ガス雰囲気あるいはオレフィンガス雰囲気に設定した予備重合系内にまず成分Fを装入し、次いで固体触媒成分Iを接触させた後、プロピレン等のオレフィン、またはプロピレンと1種あるいは2種以上の他のオレフィン類の混合物を接触させる。なお、成分Gを組み合わせて予備重合を行なう場合は、不活性ガス雰囲気あるいはオレフィンガス雰囲気に設定した予備重合系内にまず成分Fを装入し、次いで成分Gを接触させ、更に固体触媒成分Iを接触させた後、プロピレン等のオレフィン、またはプロピレンと1種あるいは2種以上の他のオレフィン類の混合物を接触させる方法が望ましい。プロピレンブロック共重合体を製造する場合は、2段階以上の多段重合により行い、通常第1段目で重合用触媒の存在下にプロピレンを重合し、第2段目でエチレン及びプロピレンを共重合することにより得られる。第2段目あるいはこれ以降の重合時にプロピレン以外のα-オレフィンを共存あるいは単独で重合させることも可能である。α-オレフィンの例としては、エチレン、1-ブテン、4-メチル-1-ペンテン、ビニルシクロヘキサン、1-ヘキセン、1-オクテン等が挙げられる。具体的には、第1段目でポリプロピレン部の割合が20~80重量になるように重合温度および時間を調整して重合を行ない、次いで第2段目において、エチレンおよびプロピレンあるいは他のα-オレフィンを導入し、エチレン-プロピレンゴムEPRなどのゴム部割合が20~80重量になるように重合する。第1段目及び第2段目における重合温度は共に、200°C以下、好ましくは100°C以下であり、重合圧力は10MPa以下、好ましくは5MPa以下である。また、各重合段階での重合時間あるいは連続重合の場合、滞留時間は通常1分~5時間である。重合方法としては、シクロヘキサン、ヘプタン等の不活性炭化水素化合物の溶媒を使用するスラリー重合法、液化プロピレン等の溶媒を使用するバルク重合法、及び実質的に溶媒を使用しない気相重合法が挙げられる。好ましい重合方法としては、バルク重合法、気相重合法である。上記一般式1で表される化合物は、二つのエステル基が、適当な距離と配位の方向に制御されてマグネシウム化合物上のある適当な部位に選択的に配位すると推定される。また、その効果で活性点を形成するチタン化合物の担持位置にも規制が加わり、結果として立体規則性や高活性を発するチタン活性点を選択的かつ多量に形成できることとなる。尚、二つのエステル基は、Xの電子的および立体的影響のため、一旦配位した部位から適度に外れやすいという特徴があり、そのために分子量分布が必要以上に狭くなる効果を防いでいると考えられる。そのため、本発明においては、電子供与性化合物として、固体触媒成分Iが、上記一般式1で表される化合物を含有することにより、広くも狭くもない適度な分子量分布を有するオレフィン類重合体が、高収率で得られる。実施例次に、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。製造例1ベンジルイミノジカルボン酸ジエチルA-1の合成アルゴン雰囲気下、ベンジルアルコール30ミリモル、トリフェニルホスフィン33ミリモルおよびイミノジカルボン酸ジエチル30ミリモルが入った無水THF500mlにアゾジカルボン酸ジエチル33ミリモルを0°Cで滴下し、さらに室温で24時間攪拌した後、30mlの水を加えて反応を停止した。有機層を回収し、溶媒を留去した後、カラムクロマトグラフィを用いて目的物を得た。核磁気共鳴装置による1H-NMRスペクトルの分析を行った結果、ケミカルシフト値は、それぞれ1.35t,6H,4.30q,4H,4.87s,2H,7.12~7.41m,5Hであり、このことから、得られた生成物がベンジルイミノジカルボン酸ジエチルであることを確認した。なお、ガスクロマトグラフィーによる測定を行なった結果、得られたベンジルイミノジカルボン酸ジエチルの純度は97であり、収率は73であった。製造例22-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジメチルA-2の合成o-ヨウ化ベンジルアルコール30ミリモル、トリフェニルホスフィン33ミリモルおよびイミノジカルボン酸ジメチル30ミリモルが入った無水THF500mlにアゾジカルボン酸ジエチル33ミリモルを0°Cで滴下し、さらに室温で24時間攪拌した後、30mlの水を加えて反応を停止した。有機層を回収し、溶媒を留去した後、カラムクロマトグラフィを用いて目的物を得た。核磁気共鳴装置による1H-NMRスペクトルの分析を行った結果、ケミカルシフト値は、それぞれ3.80s,6H,4.87s,2H,6.94t,1H,7.04d,1H,7.29d,1H,7.81d,1Hであり、このことから、得られた生成物が2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジメチルであることを確認した。なお、ガスクロマトグラフィーによる測定を行なった結果、得られた2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジメチル純度は98であり、収率は、83であった。固体触媒成分の合成攪拌装置を備え、窒素ガスで充分に置換された内容積500mlのフラスコに、ジエトキシマグネシウム10g87.4ミリモルを分取し、トルエン55mlを加えて懸濁状態とし、次いで該懸濁液に四塩化チタン30ml、ベンジルイミノジカルボン酸ジエチルA-115.3ミリモル3.8gを加え、さらに昇温して100°Cとした。その後100°Cの温度を保持した状態で90分反応させた。反応終了後、上澄みを抜き出しTiCl4を20ml追加し、さらに100°Cで2時間反応させた。反応終了後、反応生成物を100°Cのトルエン75mlで4回洗浄した。ついで40°Cのn-ヘプタン75mlで6回洗浄して固体触媒成分を得た。この固体触媒成分の固液を分離して固体分中のチタン含率を測定したところ2.7重量であった。重合触媒の形成および重合窒素ガスで完全に置換された内容積2.0リットルの攪拌機付オートクレーブに、トリエチルアルミニウム1.32ミリモル、シクロヘキシルメチルジメトキシシランCMDMS0.13ミリモルおよび前記固体触媒成分をチタン原子として0.0026ミリモル装入し、重合用触媒を形成した。その後、水素ガス1.5リットル、液化プロピレン1.4リットルを装入し、20°Cで5分間予備重合を行なった後に昇温し、70°Cで1時間重合反応を行なった。この時の固体触媒成分1g当たりの重合活性、生成重合体中のp-キシレン可溶分の割合XS、生成重合体中のメルトフローレイトの値MFRおよび生成重合体の分子量分布を表1に示した。固体触媒成分1g当たりの重合活性固体触媒成分1g当たりの重合活性については、下記式により求めた。重合活性g-pp/g-触媒=重合体の質量g/固体触媒成分の質量g重合体のキシレン可溶分XSの測定攪拌装置を具備したフラスコ内に、4.0gの重合体ポリプロピレンと、200mlのp-キシレンを装入し、外部温度をキシレンの沸点以上約150°Cとすることにより、フラスコ内部のpキシレンの温度を沸点下137~138°Cに維持しつつ、2時間かけて重合体を溶解した。その後1時間かけて液温を23°Cまで冷却し、不溶解成分と溶解成分とを濾過分別した。上記溶解成分の溶液を採取し、加熱減圧乾燥によりp-キシレンを留去し、得られた残留物をキシレン可溶分XSとし、その重量を重合体ポリプロピレンに対する相対値重量で求めた。重合体の溶融流れ性MFR重合体の溶融流れ性を示すメルトフローレートMFRは、ASTMD1238、JISK7210に準じて測定した。重合体の分子量分布重合体の分子量分布は、ゲルパーミエションクロマトグラフィGPCWaters社製AllianceGPC/V2000にて以下の条件で測定して求めた重量平均分子量Mw及び数平均分子量Mnの比Mw/Mnによって評価した。溶媒:oジクロロベンゼンODCB測定温度:140°Cカラム:昭和電工社製UT-806×3本、HT-803×1本サンプル濃度:1mg/mL-ODCB10mg/10ml-ODCB注入量:0.5ml流量:1.0ml/minシクロヘキシルメチルジメトキシシランCMDMS0.13ミリモルに代えて、ジシクロペンチルジメトキシシランDCPDMS0.13ミリモルを用いた以外は、実施例1と同様にして、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。結果を表1に示した。比較例1ベンジルイミノジカルボン酸ジエチルA-115.3ミリモルに代えて、ジイソブチルマロン酸ジエチル15.3ミリモルを用いた以外は、実施例1と同様に固体触媒成分を調製し、更に重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。なお、得られた固体触媒成分中のチタン含有量は3.9重量であった。結果を表1に示した。比較例2ベンジルイミノジカルボン酸ジエチルA-115.3ミリモルに代えて、ジイソプロピルコハク酸ジエチル15.3ミリモルを用いた以外は、実施例1と同様にして固体触媒成分を調製し、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。なお、得られた固体触媒成分中のチタン含有量は2.1重量であった。結果を表1に示した。比較例3シクロヘキシルメチルジメトキシシランCMDMS0.13ミリモルに代えて、ジシクロペンチルジメトキシシランDCPDMS0.13ミリモルを用いた以外は、比較例2と同様にして、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。結果を表1に示した。ベンジルイミノジカルボン酸ジエチルA-1に代えて、同モルの2-ヨウ化フェニルメチルイミノジカルボン酸ジメチルA-2を用いた以外は、実施例1と同様にして、固体触媒成分を調製し、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。なお、得られた固体触媒成分のチタン含有率は3.0重量であった。結果を表1に示した。固体触媒成分の合成窒素で充分に置換した500ml丸底フラスコに、精製したn-ヘプタン120mlを導入した。更に、無水塩化マグネシウム15g、テトラブトキシチタンを106ml添加して、90°Cで1.5時間反応させ均一な溶解液とした。次いで均一な溶解液を40°Cに冷却した。40°Cに保持したままメチルハイドロジェンポリシロキサン20センチストークスのものを24ml添加し、5時間析出反応を行った。析出した固体生成物を精製したn-ヘプタンで充分に洗浄した。次いで、窒素で充分に置換した攪拌装置を備えた容量500ml丸底フラスコに、析出した固体生成物を40g導入し、更に精製したn-ヘプタンを導入して、固体生成物の濃度が200mg/mlとなる様にした。ここに、SiCl4を12ml添加して、90°Cで3時間反応を行った。反応生成物を精製したn-ヘプタンで充分に洗浄し、反応生成物の濃度が100mg/mlとなる様に精製したn-ヘプタンを導入した。次いで、ベンジルイミノジカルボン酸ジエチルA-110ミリモルを添加し、70°Cで1時間反応を行った。反応生成物を精製したn-ヘプタンで充分に洗浄し、精製したn-ヘプタンを100ml導入した。ついで、TiCl4を20ml加えた後、95°Cで3時間反応した。反応終了後、上澄みを抜き出し、さらにTiCl4を20ml追加し、100°Cで2時間反応した。反応生成物を精製したn-ヘプタンで充分に洗浄した。得られた固体生成物を減圧乾燥して、粉末状の固体触媒成分を得た。なお、得られた固体触媒成分のチタン含有率は3.2重量であった。重合触媒の形成および重合実施例1の固体触媒成分に代えて、上記で得られた固体触媒成分を用いた以外は実施例1と同様にして、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。結果を表1に示した。比較例4ベンジルイミノジカルボン酸ジエチルA-115.3ミリモルに代えて、ジイソブチルマロン酸ジエチル15.3ミリモルを用いた以外は、実施例4と同様にして固体触媒成分を調製し、実施例1と同様にして、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。なお、得られた固体触媒成分のチタン含有率は3.4重量であった。結果を表1に示した。"