固定部と、前記固定部に接続された外側梁部と、前記固定部と外側梁部にスリットを介して囲まれたセンシング部と、前記外側梁部と前記センシング部とを連結する連結部と、からなる検出素子と、支持基板とを備え、前記固定部に設けた電極部と前記支持基板とはフリップチップ実装によって電気的に接続されるとともに、前記固定部と前記外側梁部との接続部分に金属バンプを形成した物理量センサ。前記金属バンプは前記外側梁部の幅よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の物理量センサ。しかしながら、上記従来の圧電素子1の枠2を基板や筐体等に接着剤を用いて実装、固定して角速度センサを構成しようとすると、接着剤の塗布量によっては圧電素子1の支持状態が変化し、圧電素子1の振動が不安定となったり、斜め駆動等の不要振動を起こしたりすることにより、駆動効率が悪化する、あるいは検出軸以外の検出軸の感度を検出してしまうといった問題点があった。すなわち、桟2A、2Bに塗布された接着剤が検出振動片3A、3Bの近傍にまで流れた場合には、検出振動片3A、3Bに発生する屈曲振動を妨げられ、その結果、検出電極5から発生する信号の周波数が変動し、信号の振幅やS/Nが劣化してしまうという問題点があった。また、圧電素子1の枠2を基板や筐体等にフリップチップを用いて実装、固定して角速度センサを構成する場合においても、接続強度および信頼性向上のためにアンダーフィル剤などの接着剤を使用した際にこの接着剤が毛細管現象によって所望の位置以上に流れてしまい検出振動片3A、3Bに発生する屈曲振動が妨げられ、その結果、検出電極5から発生する信号の周波数が変動し、信号の振幅やS/Nが劣化してしまうという問題点があった。本発明は上記従来の課題を解決するもので、圧電素子を基板や筐体等に接着剤を用いて実装、固定する場合においても、この接着剤を所定の位置に規制でき、角速度や加速度等の物理量を安定して検出できる物理量センサを提供するものである。上記目的を解決するために本発明は、以下の内容を有する。請求項1に記載の発明は、固定部と、前記固定部に接続された外側梁部と、前記固定部と外側梁部にスリットを介して囲まれたセンシング部と、前記外側梁部と前記センシング部とを連結する連結部と、からなる検出素子と、支持基板とを備え、前記固定部に設けた電極部と前記支持基板とはフリップチップ実装によって電気的に接続されるとともに、前記固定部と前記外側梁部との接続部分に金属バンプを形成したもので、フリップチップ実装部の接続強度向上のためにアンダーフィル剤などの接着剤を塗布しても、前記固定部と前記外側梁部との接続部分に設けた金属バンプによって、接着剤が毛細管現象で広がる範囲を制限し、圧電振動子の支持状態を一定に保つことができるといった作用効果を有するものである。本発明の請求項2に記載の発明は、特に、金属バンプは前記外枠部の幅よりも大きくしたもので、この構成によれば、接着剤の塗布量が多い場合、あるいは接着剤の吐出圧が高い場合においても、圧電振動子の支持状態に影響する外側梁部に接着剤が流れることがなく、形成した金属バンプによって支持剛性が決まるため、検出感度を一定に保ち、角速度や加速度等の物理量を安定して検出できるという優れた効果を奏するものである。本発明の物理量センサは、角速度検出素子の固定部と外側梁部の接続部分に金属バンプを設けることにより、アンダーフィル剤等の接着剤流れを抑制し、検出素子の支持状態を一定に保つことができ、これにより、角速度や加速度等の物理量を安定して検出できるという優れた効果を奏するものである。以下、本発明の実施の形態における物理量センサについて、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施の形態における角速度センサの上面図、図2は図1のA-A線に沿う横断面図である。図1、2において、21はシリコン単結晶等からなる角速度検出素子であり、左右端部に設けられた固定部22a、22bと、該固定部22a、22bを接続する外側梁部23a、23bと、前記固定部22a、22bと外側梁部23a、23bにスリット24a、24bを介して囲まれたセンシング部25と、前記外側梁部23a、23bとセンシング部25とを連結する連結部26a、26bとからなる。センシング部25は、内側梁部30Aと、中央梁部30Bと、第1アーム31A、第2アーム31B、第3アーム31C、第4アーム31Dと、各アーム31の端部に設けられた錘32A~32Dを有する。内側梁部30Aは上面視で方形状である。中央梁部30Bは内側梁部30Aの対向する辺を繋ぐとともに、外側梁部23a、23bに平行に形成されている。アーム31A~31Dは内側梁部30Aの内側に配置され、中央梁部30Bに連結されている。前記各アームと中央梁部30Bとの近傍には駆動部41、42、43、44が設けられ、各アームと錘との近傍には図のようにXYZ軸をとった時、Z軸周りの角速度を検出するための検出部51、52、53、54が設けられている。同様にして、内側梁部30Aにおける前記固定部22a、22bに対向する部分にはX軸周りの角速度を検出するための検出部55A、55B、55C、55Dが、内側梁部30Aにおける外側梁部23a、23bに対向する部分にはY軸周りの角速度を検出するための検出部56A、56B、56C、56Dが設けられている。本実施の形態においては、前記駆動部41、42、43、44および検出部51、52、53、54、55A、55B、55C、55D、56A、56B、56C、56Dにはピエゾ素子を用いた圧電方式を採用している。61は複数層のセラミック基板によって構成された支持基板であり、前記基板中央部には凹部を有している。前記凹部の周辺部には前記支持基板61の底面部に設けられた外部電極図示せずと電気的に接続された電極パッド62が設けられており、前記角速度検出素子21の固定部22a、22bの支持基板61に対向する面上に設けられた電極63と、金などの金属バンプ64によって電気的および機械的に接続されている。また、前記角速度検出素子21の裏面上で前記外側梁部23a、23bと固定部22a、22bとの接続部には電極70が設けられており、前記支持基板61上の前記電極70に対向する位置に設けられた電極71と、金などの金属バンプ72によって機械的に接続されている。ここで、前記金属バンプ72は前記外側梁部23a、23bの幅よりも大きく形成されているものである。以上のように構成された角速度センサについて、製造方法を説明する。最初に、複数の角速度検出素子21が形成されたウェハ上の電極63、70に超音波バンプボンディングにより複数の金属バンプ64、72を形成する。次に、前記ウェハをダイシングして、角速度検出素子21の個片化を行う。次に、金属バンプ64、72が形成された角速度検出素子21をゴムまたはシリコンなどで形成された円柱型のノズルにより吸着、反転して、高温ステージ上に吸着保持された支持基板61上の所定の位置に配置する。次に、前記角速度検出素子21の固定部22a、22bの裏面に形成された金属バンプ64を前記支持基板61上に設けられた電極パッド62上にフリップチップ実装し、電気的、機械的に接続するとともに、前記角速度検出素子21の裏面上で、固定部22a、22bと外側梁部23a、23bとの接続部に形成された金属バンプ72を前記支持基板61上に設けられた電極71上にフリップチップ実装し、機械的に接続する。次に、前記金属バンプ64の周囲にアンダーフィル剤80を注入することにより、角速度検出素子21と支持基板との接続強度を向上させているものである。駆動部41、42、43、44に駆動振動共振周波数の交流電圧を印加すると、アーム31A~31Dと錘32A~32Dとが駆動振動方向D1に沿ってXY平面内で駆動振動する。このとき、Z軸周りに角速度が加わると、駆動振動方向D1と直交した方向にコリオリ力が発生する。このコリオリ力によって、コリオリ力方向に駆動振動と同調した検出振動が励起される。この検出振動により発生したアーム31A~31Dの歪みを検出部51、52、53、54がアーム31A~31Dの変位として検出することによってZ軸周りの角速度を検出することができる。同様にして、検出部55A、55B、55C、55DにてX軸周りの角速度を、検出部56A、56B、56C、56DにてY軸周りの角速度を検出することができる。本発明の実施の形態における物理量センサにおいては、角速度検出素子21の固定部22a、22bと外側梁部23a、23bとの接続部分に金属バンプ72を設けることで、角速度検出素子21の固定部22a、22bと支持基板61との間に注入されたアンダーフィル剤80が毛細管現象によって検出素子21の外側梁部23a、23b上に流れるのを金属バンプ72によって抑制することができるため、角速度検出素子21の支持状態を一定に保つことができ、これにより、角速度や加速度等の物理量を安定して検出できるものである。