"基板と、前記基板上に形成される開口アレイと、前記開口アレイに空間的に対応して形成されるMEMS光変調器アレイとを備え、前記MEMS光変調器アレイが、第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第1のMEMS光変調器グループと、第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成された第2のMEMS光変調器グループであって、前記第2の方向が、前記第1の方向とは実質的に異なる、第2のMEMS光変調器グループとを含む、ディスプレイ。前記第1の方向および前記第2の方向が平面上の反対方向である、請求項1に記載のディスプレイ。前記第2の方向が、前記第1の方向に相対して約90度回転される、請求項1に記載のディスプレイ。前記第2の方向が、前記第1の方向に相対して約60度回転される、請求項1に記載のディスプレイ。前記第2の方向が、前記第1の方向に関して約45度回転される、請求項1に記載のディスプレイ。前記光変調器アレイが、前記第1および第2の光変調器グループの交替行グループを含み、各グループが1つまたは複数の行を含む、請求項1に記載のディスプレイ。前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の大体の厚さよりも小さい、請求項6に記載のディスプレイ。前記光変調器アレイが、前記第1および第2の光変調器グループの交替列グループを含み、各グループが1つまたは複数の列を含む、請求項1に記載のディスプレイ。前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の大体の厚さよりも小さい、請求項8に記載のディスプレイ。前記光変調器アレイが、前記第1および第2の光変調器グループの交替クラスタを含み、各クラスタが少なくとも1つの光変調器を備える、請求項1に記載のディスプレイ。前記光変調器アレイが、前記第1および第2の光変調器グループのランダム化配列を含む、請求項1に記載のディスプレイ。前記アレイ中の各MEMS光変調器がシャッターを含む、請求項1に記載のディスプレイ。前記第1および第2の光変調器グループが、対応する開口に部分的に光を通させる第3の状態を含む、請求項1に記載のディスプレイ。前記光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための、ドライバチップと、コントローラマトリクスとを含むコントローラをさらに含む、請求項1に記載のディスプレイ。前記コントローラマトリクスが、前記光変調器を前記遮光状態から前記光透過状態に移すための制御信号に応答して、前記第1の光変調器グループを前記第1の方向に、前記第2の光変調器グループを前記第2の方向に作動させるように構成される、請求項14に記載のディスプレイ。前記コントローラが、前記アレイ中の各光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが、前記光透過状態に達するのに適しているかをメモリに記憶する、請求項14に記載のディスプレイ。前記基板が透明基板である、請求項1に記載のディスプレイ。ディスプレイを製造するための方法であって、基板上に開口アレイを形成することと、前記第1のMEMS光変調器グループ中の前記光変調器が、第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に第1のMEMS光変調器グループを組み立てることと、前記第2のMEMS光変調器グループ中の前記光変調器が、第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に作動するように構成されるように、前記開口アレイに空間的に対応して、前記基板上に第2のMEMS光変調器グループを組み立てることであって、前記第2の方向が前記第1の方向とは実質的に異なる、組み立てることとを備える方法。前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1の方向および前記第2の方向が平面上の反対方向になるように前記光変調器を組み立てることを含む、請求項18に記載の方法。前記第1および第2のMEMS光変調器グループを製造することが、前記第2の方向が前記第1の方向に相対して約90度回転されるように前記光変調器を組み立てることを含む、請求項18に記載の方法。前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第2の方向が前記第1の方向に相対して約60度回転されるように前記光変調器を組み立てることを含む、請求項18に記載の方法。前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第2の方向が前記第1の方向に相対して約45度回転されるように前記光変調器を組み立てることを含む、請求項18に記載の方法。前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および第2の光変調器グループの交替行グループを組み立てることを含み、各グループが1つまたは複数の行を含む、請求項18に記載の方法。前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の大体の厚さよりも小さい、請求項23に記載の方法。前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および第2の光変調器グループの交替列グループを組み立てることを含み、各グループが1つまたは複数の列を含む、請求項18に記載の方法。前記2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期が、前記基板の大体の厚さよりも小さい、請求項25に記載の方法。前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および第2の光変調器グループの交替クラスタを組み立てることを含み、各クラスタが少なくとも1つの光変調器を備える、請求項18に記載の方法。前記第1および第2のMEMS光変調器グループを組み立てることが、前記第1および第2の光変調器グループのランダム化配列を組み立てることを含む、請求項18に記載の方法。前記光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための制御マトリクスを前記基板上に組み立てることと、前記制御マトリクスにコントローラを電気結合することとをさらに備え、前記コントローラが、前記アレイ中の各MEMS光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが前記光透過状態に達するのに適しているかを記憶するためのメモリを含む、請求項18に記載の方法。前記基板が透明基板である、請求項18に記載の方法。光を変調して、基板上の開口アレイと、前記開口アレイに空間的に対応して配列されたMEMS光変調器アレイとを含むディスプレイ上に画像を形成するためのシステムであって、第1の方向での前記MEMS光変調器の移動を開始することによって、前記MEMS光変調器アレイ中の第1のMEMS光変調器グループを、遮光状態から光透過状態に作動させるための手段と、第2の方向での前記MEMS光変調器の移動を開始することによって、前記MEMS光変調器アレイ中の第2のMEMS光変調器グループを、遮光状態から光透過状態に作動させるための手段であって、前記第2の方向が前記第1の方向とは実質的に異なる手段とを備えるシステム。前記第1の方向および前記第2の方向が平面上の反対方向である、請求項31に記載のシステム。前記第2の方向が、前記第1の方向に相対して約90度回転される、請求項31に記載のシステム。前記第2の方向が、前記第1の方向に関して約45度回転される、請求項31に記載のシステム。前記アレイ中の各MEMS光変調器について、前記第1および第2の移動方向のどちらが、前記光透過状態に達するのに適しているか判断するための手段と、前記MEMS光変調器アレイにデータおよび作動電圧を送信するための手段とをさらに備える、請求項31に記載のシステム。前記基板が透明基板である、請求項31に記載のシステム。画像を表示するための特定の装置および方法を全体的に理解してもらうために、いくつかの例示的実装形態について、ここで記載する。ただし、本明細書に記載するシステムおよび方法は、対処されるアプリケーションに適したように適合および修正され得ることと、本明細書に記載するシステムおよび方法は、他の適したアプリケーションにおいて利用され得ることと、そのような他の追加および修正は、本明細書の範囲から逸脱しないこととが、当業者には理解されよう。本開示は、MEMSシャッターなどのMEMS光変調器アレイを含むMEMS方式ディスプレイに関する。MEMS光変調器は、対応する開口を通る光を変調する。MEMS光変調器のうちの多くが、可聴周波数の時間スケール特性にわたって一斉に移動することになった場合、そのようなディスプレイは、望ましくない音響雑音を副産物として放射し得る。そのような雑音放射を部分的に防ぐために、本明細書で開示するディスプレイは、実質的に異なる方向で、発光状態から遮光状態に作動する光変調器を含む。図1Aは、例示的実装形態によるディスプレイ装置100の例である。ディスプレイ装置100は、行および列に配列された複数の光変調器102a~102d全体として光変調器102を含む。ディスプレイ装置100において、光変調器102aおよび102dは開状態にあり、光を通させる。光変調器102bおよび102cは閉状態にあり、光の通過を妨げる。光変調器102a~102dの状態を選択的にセットすることによって、ディスプレイ装置100は、1つのランプまたは複数のランプ105で照射された場合、バックライト付きディスプレイ用の画像104を形成するのに使用することができる。さらに後で記載する別の実装形態では、装置は、装置の前面から発する周辺光の反射によって、画像を形成することができる。別の実装形態では、装置は、ディスプレイの前面に配置された1つのランプまたは複数のランプからの光の反射によって、すなわちフロントライトを使用して、画像を形成することができる。さらに別の実装形態では、装置は、装置の前面から発する周辺光と、バックライトからの光の両方を反射する半透過モードで作用し得る。概して、閉または開状態のうちの1つにおいて、光変調器102は、たとえば、限定はしないが、遮断し、反射し、吸収し、フィルタリングし、偏光し、回折し、または場合によっては光のプロパティまたは経路を変えることによって、光路中の光と干渉する。ディスプレイ装置100において、各光変調器102は、画像104中の画素106に対応する。他の実装形態では、ディスプレイ装置100は、複数の光変調器を使用して、画像104中の画素106を形成することができる。たとえば、ディスプレイ装置100は、3つの色固有光変調器102を含み得る。特定の画素106に対応する色固有光変調器102のうちの1つまたは複数を選択的に開くことによって、ディスプレイ装置100は、画像104中のカラー画素106を生成することができる。別の例では、ディスプレイ装置100は、画像104中のグレースケールを与えるために、画素106ごとに2つ以上の光変調器102を含む。画像に関して、画素は、画像の解像度によって定義される最も小さいピクチャ要素に対応する。ディスプレイ装置100の構造構成要素に関して、画素という用語は、画像の単一画素を形成する光を変調するのに使用される、機械構成要素と電気構成要素の組合せを指す。ディスプレイ装置100は、結像光学素子を必要としないという点で、直視型ディスプレイである。ディスプレイ装置100を直接見ることによって、ユーザには画像が見える。代替実装形態では、ディスプレイ装置100は、投影型ディスプレイに組み込まれる。そのような実装形態では、ディスプレイは、スクリーンまたは壁に光を投影することによって、画像を形成する。投影型アプリケーションでは、ディスプレイ装置100は実質的に、投影画像104よりも小さい。直視型ディスプレイは、透過または反射モードのいずれかで動作し得る。透過型ディスプレイでは、光変調器は、ディスプレイの後ろに配置された1つのランプまたは複数のランプから発する光をフィルタリングし、または選択的に遮断する。ランプからの光は、光ガイドまたはバックライトに場合によっては注入される。透過直視型ディスプレイ実装形態は、アセンブリ配列をはさむのを円滑にするように、プラスチックまたはガラス基板の上に構築され、ここで、光変調器を含む一方の基板は、バックライトのすぐ上に配置される。一部の透過型ディスプレイ実装形態では、白色ランプが使われ、カラーフィルタ材料を各変調器102に関連付けることによって、色固有光変調器が作成される。他の透過型ディスプレイ実装形態では、後で説明するように、異なる原色をもつランプの交替照明によるフィールド順次式カラー方法を使って、色を生成することができる。各光変調器102は、シャッター108と開口109とを含む。画像104中の画素106を照明するために、シャッター108は、見ている人に向かって光が開口109を通るように配置される。画素106を未点灯のまま保つために、シャッター108は、光が開口109を通過するのを妨げるように配置される。開口109は、反射または光吸収材料を通してパターニングされた開きによって画定される。半透過実装形態において、各光変調器は、バックライト105からの光と、周辺光の両方を変調する。特定の一実装形態において、開口から反射材料が完全に除かれるとは限らず、この反射材料は場合によっては、開口を形成するためにエッチング除去される。残りの反射材料は、画像104の一部を形成するために、見ている人に向かって入射光を逆反射する。別の実装形態では、開口は完全にクリアにされ、周辺光は、ランプ105の後ろに配置された前向き反射層によって反射される。ディスプレイの反射実装形態では、バックライト105と開口109とを含めるのではなく、光吸収材料が、開口109の代わりに基板の上面に施され、光反射材料が、光変調器102の上面に施される。あるいは、光反射材料が、開口109の代わりに基板の上面に施され、光吸収材料が、光変調器102の上面に施される。光変調器102a~102dの状態を選択的にセットすることによって、周辺光またはフロントライトからの入射光が、画像104を形成するように選択的に反射または吸収され得る。ディスプレイ装置は、シャッターの移動を制御するための、基板と、光変調器とに接続された制御マトリクスも含む。制御マトリクスは、画素の行ごとに、少なくとも1つの書込み許可相互接続110スキャンライン相互接続とも呼ばれると、各画素列に対する1つのデータ相互接続112と、すべての画素に、または少なくとも、ディスプレイ装置100中の複数の列と複数の行の両方にある画素に共通電圧を与える1つの共通相互接続114とを含む、一連の電気相互接続たとえば、相互接続110、112、および114を含む。適切な電圧書込み許可電圧、Vweの印加に応じて、所与の画素行に対する書込み許可相互接続110は、行中の画素を、新規シャッター移動命令を受諾するように準備する。データ相互接続112は、新規移動命令を、データ電圧パルスの形で伝達する。データ相互接続112に印加されるデータ電圧パルスは、いくつかの実装形態において、シャッターの静電的な移動に直接寄与する。他の実装形態では、データ電圧パルスは、スイッチ、たとえば、トランジスタ、または、データ電圧よりも通常、規模が高い別個の作動電圧の、光変調器102への印加を制御する他の非線形回路要素を制御する。次いで、これらの作動電圧を印加した結果、シャッター108の静電駆動移動が生じる。図1Bは、一例示的実装形態による、図1Aのディスプレイ装置100のブロック図150である。上述したディスプレイ装置100の要素に加え、図1Aおよび図1Bを参照すると、ブロック図150に示すように、ディスプレイ装置100は、複数のスキャンドライバ152書込み許可電圧源とも呼ばれると複数のデータドライバ154データ電圧源とも呼ばれるとを含む。スキャンドライバ152は、スキャンライン相互接続110に書込み許可電圧を印加する。データドライバ154は、データ相互接続112にデータ電圧を印加する。ディスプレイ装置のいくつかの実装形態において、データドライバ154は、特に画像104のグレースケールがアナログ方式で導出されるべきである場合、光変調器にアナログデータ電圧を与えるように構成される。アナログ動作において、光変調器102は、ある範囲の中間電圧がデータ相互接続112を通して印加されると、シャッター108における、ある範囲の中間開状態と、それゆえ、ある範囲の中間照明状態または画像104におけるグレースケールが生じるように設計される。他のケースでは、データドライバ154は、2、3、または4つのデジタル電圧レベルの縮小セットのみを制御マトリクスに印加するように構成される。これらの電圧レベルは、デジタル方式で、シャッター108の各々に対して、開状態または閉状態のいずれかをセットするように設計される。スキャンドライバ152およびデータドライバ154は、デジタルコントローラ回路156コントローラ156とも呼ばれるに接続される。コントローラ156は、入力処理モジュール158を含み、モジュール158は、着信画像信号157を処理して、ディスプレイ100の空間アドレス指定およびグレースケール能力に適したデジタル画像形式にする。各画像の画素ロケーションおよびグレースケールデータは、フレームバッファ159に記憶され、そうすることによって、データは、データドライバ154の必要に応じて送り出され得る。データは、行および画像フレームでグルーピングされた所定のシーケンスに編成されて、ほぼ直列方式で、データドライバ154に送られる。データドライバ154は、直列並列データコンバータと、レベルシフティングと、一部のアプリケーション向けにはデジタルアナログ電圧コンバータとを含み得る。ディスプレイ100装置は、場合によっては、共通電圧源とも呼ばれる1組の共通ドライバ153を含む。いくつかの実装形態において、共通ドライバ153は、たとえば、一連の共通相互接続114に電圧を供給することによって、光変調器アレイ103内のすべての光変調器にDC共通電位を与える。他の実装形態では、共通ドライバ153は、コントローラ156からのコマンドに従って、電圧パルスまたは信号、たとえばアレイ103の複数の行および列中のすべての光変調器の同時作動を駆動および/または開始することが可能であるグローバル作動パルスを、光変調器アレイ103に発行する。異なるディスプレイ機能のためのドライバたとえば、スキャンドライバ152、データドライバ154、および共通ドライバ153はすべて、コントローラ156内のタイミング制御モジュール160によって時間同期される。モジュール160からのタイミングコマンドが、ランプドライバ168と、画素アレイ103内の特定の行の書込み許可およびシーケンシングと、データドライバ154からの電圧の出力と、光変調器作動を可能にする電圧の出力とにより、赤、緑および青および白色ランプそれぞれ、162、164、166、および167の照明を調整する。コントローラ156は、アレイ103中のシャッター108の各々が、新規画像104に適した照明レベルにリセットされ得るためのシーケンシングまたはアドレス指定方式を決定する。適切なアドレス指定、画像形成、およびグレースケール技法の詳細については、参照によって本明細書に組み込まれている米国特許出願第11/326,696号および第11/643,042号に見ることができる。新規画像104は、周期的間隔でセットされ得る。たとえば、ビデオディスプレイの場合、カラー画像104またはビデオフレームは、10~300ヘルツの範囲の周波数でリフレッシュされる。いくつかの実装形態において、アレイ103への画像フレームの設定は、交替画像フレームが、赤、緑、および青など、交替する一連の色で照射されるように、ランプ162、164、および166の照明と同期される。それぞれの色のための画像フレームは、カラーサブフレームと呼ばれる。フィールド順次式カラー方法と呼ばれるこの方法では、カラーサブフレームが、20Hzを超過する周波数で交替される場合、人間の脳は、交替するフレーム画像を、広い連続する範囲の色を有する画像の知覚に平均する。代替実装形態では、原色をもつ4つ以上のランプが、ディスプレイ装置100において利用されてよく、赤、緑、および青以外の原色を利用する。ディスプレイ装置100が、開状態と閉状態との間のシャッター108のデジタル切替えのために設計されるいくつかの実装形態において、コントローラ156は、適切なグレースケールをもつ画像104を生じるための、アドレス指定シーケンスおよび/または画像フレームの間の時間間隔を決定する。特定のフレームにおいてシャッター108が開である時間量を制御することによって、可変レベルのグレースケールを生成するプロセスは、時分割グレースケールと呼ばれる。時分割グレースケールの一実装形態では、コントローラ156は、その画素について所望される照明レベルまたはグレースケールに従って、シャッター108が開状態に留まることを許される、各フレーム内の期間または時間の一部を決定する。他の実装形態では、各画像フレームについて、コントローラ156は、アレイ103の複数の行および列において複数のサブフレーム画像をセットし、コントローラは、グレースケール用の符号化語中で利用されるグレースケール値または重要度値に比例して各サブフレーム画像が照射される持続期間を変える。たとえば、一連のサブフレーム画像に対する照明時間は、2進符号化シリーズ1,2,4,8...に比例して変えることができる。アレイ103中の各画素用のシャッター108は次いで、グレーレベル用の画素の2進符号化語における対応する位置での値に従って、サブフレーム画像において開または閉状態のいずれかにセットされる。他の実装形態では、コントローラは、ランプ162、164、および166からの光の強度を、特定のサブフレーム画像について所望されるグレースケール値に比例して変える。いくつかのハイブリッド技法も、シャッターアレイ108からカラーおよびグレースケールを形成するために利用可能である。たとえば、上述した時分割技法は、画素ごとに複数のシャッター108の使用と組み合わせてもよく、特定のサブフレーム画像についてのグレースケール値を、サブフレームタイミングとランプ強度の両方の組合せにより確立してもよい。これらおよび他の実装形態の詳細は、上で参照した米国特許出願第11/643,042号に見ることができる。いくつかの実装形態において、画像状態104についてのデータは、コントローラ156によって、変調器アレイ103に、スキャンラインとも呼ばれる個々の行の順次アドレス指定によりロードされる。シーケンス中の各行またはスキャンラインごとに、スキャンドライバ152は、アレイ103のその行について、書込み許可相互接続110に書込み許可電圧を印加し、続いて、データドライバ154が、選択された行中の各列について、所望のシャッター状態に対応するデータ電圧を供給する。このプロセスは、アレイ中のすべての行についてデータがロードされるまで繰り返す。いくつかの実装形態において、データローディングのための選択された行のシーケンスは、線形であり、アレイ中の上から下に進む。他の実装形態では、選択された行のシーケンスは、視覚的アーティファクトを最小限にするために擬似ランダム化される。また、他の実装形態では、シーケンシングはブロックで編成され、この場合、ブロックに対して、画像状態104の特定の一部のみについてのデータが、たとえば、シーケンス中のアレイの5行おきにのみアドレス指定することによってアレイにロードされる。いくつかの実装形態において、アレイ103に画像データをロードするためのプロセスは、シャッター108を作動させるプロセスとは、時間的に分離される。これらの実装形態において、変調器アレイ103は、アレイ103中の各画素に対するデータメモリ要素を含むことができ、制御マトリクスは、メモリ要素に記憶されたデータに従って、シャッター108の同時作動を開始するためのトリガ信号を、共通ドライバ153から搬送するためのグローバル作動相互接続を含み得る。様々なアドレス指定シーケンスは、その多くが米国特許出願第11/643,042号に記載されているが、タイミング制御モジュール160を用いて調整することができる。代替実装形態では、画素アレイ103と、画素を制御する制御マトリクスとが、方形の行および列以外の構成で配列され得る。たとえば、画素は、六角形アレイまたは曲線をなす行および列で配列され得る。概して、本明細書で使用するスキャンラインという用語は、書込み許可相互接続を共有する、任意の複数の画素を指すものである。いくつかの実装形態において、変調器アレイは、そのそれぞれの開口に関して異なる空間定位をもつ2つ以上のグループに分割され得る。入力処理モジュール158はさらに、各変調器を遮光状態から光透過状態に作動させるための動き方向を判断するために、各画素の空間定位のマップと、プロセス制御信号とを、制御マトリクスに送るのに先立って記憶することができる。ディスプレイ100は、タイミング制御モジュール160と、フレームバッファ159と、スキャンドライバ152と、データドライバ154と、ドライバ153および168とを含む複数の機能ブロックを含む。各ブロックは、区別可能ハードウェア回路および/または実行可能コードのモジュールのいずれかを表すものと理解してよい。いくつかの実装形態において、機能ブロックは、回路板および/またはケーブルを用いて互いに接続された固有のチップまたは回路として設けられる。あるいは、これらの回路の多くは、同じガラスまたはプラスチック基板上に、画素アレイ103とともに組み立てられ得る。他の実装形態では、ブロック図150にある複数の回路、ドライバ、プロセッサ、および/または制御機能はともに、単一シリコンチップ内に統合することができ、このチップは次いで、画素アレイ103を保持する透明基板に直接接着される。コントローラ156は、コントローラ156内で実装されるアドレス指定、色、および/またはグレースケールアルゴリズムを、特定のアプリケーションの必要性に従って変え得るためのプログラミングリンク180を含む。いくつかの実装形態において、プログラミングリンク180は、周辺光または温度センサなど、環境センサからの情報を伝え、そうすることによってコントローラ156は、環境条件に対応して、結像モードまたはバックライト電力を調整することができる。コントローラ156は、ランプならびに光変調器作動に必要とされる電力を与える電源入力182も含む。ドライバ152153、154、および/または168はまた、182での入力電圧を、シャッター108の作動またはランプ162、164、166、および167などのランプの照明に十分である様々な電圧に変換するためのDC-DCコンバータを含み、またはDC-DCコンバータに関連付けられ得る。図2は、例示的実装形態による、図1AのMEMS方式ディスプレイ装置100への組込みに適した例示的シャッター式光変調器200の透視図である。シャッター式光変調器200シャッターアセンブリ200とも呼ばれるは、アクチュエータ204に結合されたシャッター202を含む。アクチュエータ204は、米国特許第7,271,945号に記載されているように、2つの別個のコンプライアント電極ビームアクチュエータ205アクチュエータ205から形成される。シャッター202は、一方では、アクチュエータ205に結合する。アクチュエータ205は、表面203に対して平行である運動面における表面203の上方で、シャッター202を横方向に移動する。シャッター202の反対側は、アクチュエータ204によって加えられる力に対向する復元力を与えるスプリング207に結合する。各アクチュエータ205は、シャッター202をロードアンカ208に接続するコンプライアントロードビーム206を含む。ロードアンカ208は、コンプライアントロードビーム206とともに、機械的サポートとして働き、シャッター202を、表面203に近接してサスペンドされたまま保つ。ロードアンカ208は、コンプライアントロードビーム206とシャッター202とを表面203に物理接続し、ロードビーム206を、バイアス電圧、一部の事例ではグランドに電気接続する。各アクチュエータ205は、各ロードビーム206に隣接して配置されたコンプライアント駆動ビーム216も含む。駆動ビーム216は、一方の端部において、駆動ビーム216の間で共有される駆動ビームアンカ218に結合する。各駆動ビーム216の他端は、自由に移動する。各駆動ビーム216は、駆動ビーム216の自由端と、ロードビーム206の固定端との近くのロードビーム206に最接近するように湾曲される。表面203は、光を通過させるための1つまたは複数の開口211を含む。シャッターアセンブリ200が、たとえばシリコンから作られた不透過性基板上に形成される場合、表面203は基板の表面であり、開口211は、基板を通して穴アレイをエッチングすることによって形成される。シャッターアセンブリ200が、たとえばガラスやプラスチックで作られた透明基板上に形成される場合、表面203は、基板に蒸着された遮光層の表面であり、開口は、表面203を、穴アレイ211にエッチングすることによって形成される。開口211は概して、円形、楕円、多角形、蛇状、または形状が不規則でよい。動作時、光変調器200を組み込むディスプレイ装置は、駆動ビームアンカ218を介して駆動ビーム216に電位を印加する。第2の電位が、ロードビーム206に印加され得る。駆動ビーム216とロードビーム206との間の得られる電位差は、駆動ビーム216の自由端を、ロードビーム206の固定端の方に引き付け、ロードビーム206のシャッター端を、駆動ビーム216の固定端の方に引き付け、そうすることによって、シャッター202を、駆動アンカ218に向かって横に駆動する。コンプライアント部材206は、ビーム206および216にわたる電圧が除去されたとき、ロードビーム206がシャッター202をその初期位置に押し戻すように、スプリングとして働き、ロードビーム206に蓄えられた応力を解放する。弾性シャッターアセンブリとも呼ばれるシャッターアセンブリ200は、電圧が除去された後にシャッターをその休止または弛緩位置に戻すための、スプリングなどの受動復元力を組み込む。いくつかの弾性復元機構および様々な静電結合を、静電アクチュエータ内に、または静電アクチュエータとともに設計することができ、シャッターアセンブリ200内に示されるコンプライアントビームは単なる一例である。他の例が、参照によって本明細書に組み込まれている米国特許第7,271,945号および米国特許出願第11/326,696号に記載されている。たとえば、開と閉動作状態との間の急激な移行を好み、多くの場合、シャッターアセンブリに双安定またはヒステリシス動作特性を与える、高度に非線形である電圧変位応答が与えられ得る。より漸増的な電圧変位応答を有し、たとえばアナロググレースケール動作において大幅に低減されたヒステリシスを有する、他の静電アクチュエータも設計することができる。弾性シャッターアセンブリ内のアクチュエータ205は、閉または作動位置と弛緩位置との間で動作すると言われる。ただし、設計者は、アクチュエータ205がその弛緩位置にあるときは常に、シャッターアセンブリ200が開状態、すなわち光通過、または閉状態、すなわち遮光になるように開口211を置くことを選ぶことができる。いくつかの実装形態において、シャッターアセンブリは、開および閉アクチュエータの2種セットを含み、それにより制御エレクトロニクスは、シャッターを、開および閉状態の各々に静電駆動することが可能である。米国特許第7,271,945号および米国特許出願第11/326,696号は、制御マトリクスによりシャッターアレイを制御して、画像を生じるようにし、多くの場合、適切なグレースケールで画像を移動させるための様々な方法について記載している。一部のケースでは、制御は、ディスプレイの周囲にあるドライバ回路に接続された行および列相互接続の受動マトリクスアレイを用いて遂行される。他のケースでは、速度、ディスプレイのグレースケールおよび/または電力消散性能のいずれかを向上させるために、切替えおよび/またはデータ記憶要素を、アレイいわゆるアクティブマトリクスの各画素中に含めることが適切である。図3は、例示的実装形態による、図1AのMEMS方式ディスプレイ装置100に組み込まれた光変調器を制御するのに適した制御マトリクス300の概略図である。図4は、例示的実装形態による、図3の制御マトリクス300に接続されたシャッター式光変調器アレイ320の例である。制御マトリクス300は、画素アレイ320アレイ320をアドレス指定することができる。各画素301は、アクチュエータ303によって制御される、図2のシャッターアセンブリ200などの弾性シャッターアセンブリ302を含む。各画素は、開口324を含む開口層322も含む。シャッターアセンブリ302などのシャッターアセンブリ、およびそれに対する変形形態についてのさらなる電気的および機械的記述は、米国特許第7,271,945号および米国特許出願第11/326,696号に見ることができる。また、交替制御マトリクスについての記述は、図10および図11に関係して後で、ならびに米国特許出願第11/607,715号において見ることができる。制御マトリクス300は、シャッターアセンブリ302が形成される基板304の表面に、拡散または薄膜蒸着電気回路として組み立てられる。制御マトリクス300は、制御マトリクス300中の画素301の各行に対するスキャンライン相互接続306と、制御マトリクス300中の画素301の各列に対するデータ相互接続308とを含む。各スキャンライン相互接続306は、書込み許可電圧源307を、対応する画素301の行中の画素301に電気接続する。各データ相互接続308は、データ電圧源Vdソース309を、対応する画素301の列中の画素301に電気接続する。制御マトリクス300中で、データ電圧Vdは、作動エネルギーの大部分をシャッターアセンブリ302に与える。このように、データ電圧源309は、作動電圧源としても働く。図3および図4を参照すると、画素アレイ320中の各画素301または各シャッターアセンブリ302に対して、制御マトリクス300は、トランジスタ310とキャパシタ312とを含む。各トランジスタ310のゲートは、画素301が置かれているアレイ320中の行のスキャンライン相互接続306に電気接続される。各トランジスタ310のソースは、それに対応するデータ相互接続308に電気接続される。各シャッターアセンブリ302のアクチュエータ303は、2つの電極を含む。各トランジスタ310のドレインは、対応するキャパシタ312の1つの電極、および対応するアクチュエータ303の電極のうちの1つと並列に電気接続される。シャッターアセンブリ302内のキャパシタ312の他方の電極およびアクチュエータ303の他方の電極は、共通または接地電位に接続される。代替実装形態では、トランジスタ310は、半導体ダイオードおよびまたは金属絶縁体金属サンドイッチ型スイッチ素子で置き換えることができる。動作時、画像を形成するために、制御マトリクス300は、各スキャンライン相互接続306にVweを順に印加することによって、シーケンス中のアレイ320中の各行を書込み可能にする。書込み可能にされた行に対して、行中の画素301のトランジスタ310のゲートへのVweの印加により、トランジスタ310を通してデータ相互接続308に電流が流れて、シャッターアセンブリ302のアクチュエータ303に電位が印加される。行が書込み可能にされている間、データ電圧Vdが、データ相互接続308に選択的に印加される。アナロググレースケールを与える実装形態では、各データ相互接続308に印加されるデータ電圧は、書込み可能にされたスキャンライン相互接続306とデータ相互接続308の交差に置かれた画素301の所望の輝度との関係で変えられる。デジタル制御方式を提供する実装形態では、データ電圧は、比較的低規模の電圧すなわち、グランドに近い電圧になるように、またはVat作動閾電圧を満たし、もしくは超えるように選択される。データ相互接続308へのVatの印加に応答して、対応するシャッターアセンブリ302内のアクチュエータ303が作動し、シャッターアセンブリ302内のシャッターを開く。データ相互接続308に印加された電圧は、制御マトリクス300が行にVweを印加するのをやめた後でも、画素301のキャパシタ312に蓄えられたまま留まる。それゆえ、シャッターアセンブリ302が作動するのに十分な程長い時間、行における電圧Vweを待ち、保持する必要はなく、そのような作動は、書込み許可電圧が行から除去された後も進行し得る。キャパシタ312は、アレイ320内のメモリ要素としても機能し、画像フレームの照明に必要な期間、作動命令を記憶する。アレイ320の画素301ならびに制御マトリクス300は、基板304上に形成される。アレイは、基板304上に配設された開口層322を含み、開口層322は、アレイ320中のそれぞれの画素301に対する1組の開口324を含む。開口324は、各画素中のシャッターアセンブリ302と整列される。一実装形態では、基板304は、ガラスまたはプラスチックなどの透明材料から作られる。別の実装形態では、基板304は、不透過性材料から作られるが、この場合、穴がエッチングされて開口324を形成する。シャッターアセンブリ302の構成要素は、制御マトリクス300と同時に、または同じ基板上での後続処理ステップにおいて処理される。制御マトリクス300中の電気構成要素は、液晶ディスプレイ用の薄膜トランジスタアレイの製造と共通して、多くの薄膜技法を用いて組み立てられる。利用可能な技法が、参照によって本明細書に組み込まれている、DenBoer、ActiveMatrixLiquidCrystalDisplaysElsevier、Amsterdam、2005年に記載されている。シャッターアセンブリは、微細加工の分野と同様の技法を用いて、または微細機械すなわち、MEMSデバイスの製造から組み立てられる。多くの応用可能薄膜MEMS技法が、参照によって本明細書に組み込まれている、Rai-Choudhury編、HandbookofMicrolithography、MicromachiningMicrofabricationSPIEOpticalEngineeringPress、Bellingham、Wash.1997年に記載されている。ガラス基板上に形成されるMEMS光変調器に特有の組立て技法は、参照によって本明細書に組み込まれている米国特許第7,405,852号および第7,675,665号に見ることができる。たとえば、それらのアプリケーションで説明されているように、シャッターアセンブリ302は、化学蒸着プロセスによって蒸着された、アモルファスシリコンの薄膜から形成することができる。シャッターアセンブリ302は、アクチュエータ303とともに、双安定にされ得る。つまり、シャッターは、いずれかの位置にシャッターを保持するための電力がほとんどまたは全く要求されることなく、少なくとも2つの均衡位置たとえば開または閉に存在し得る。より具体的には、シャッターアセンブリ302は、機械的に双安定であり得る。シャッターアセンブリ302のシャッターが正しい位置でセットされると、その位置を維持するのに、電気エネルギーまたは保持電圧は要求されない。シャッターアセンブリ302の物理要素に対する機械的圧力が、シャッターを所定の場所で保持し得る。シャッターアセンブリ302も、アクチュエータ303とともに、電気的に双安定にされ得る。電気的に双安定のシャッターアセンブリでは、シャッターアセンブリの作動電圧を下回る電圧範囲が存在し、この電圧範囲は、シャッターが開または閉のいずれかの状態で閉アクチュエータに印加されると、シャッターに対向力が加えられたとしても、アクチュエータを閉のまま、およびシャッターを所定の位置で保持する。対向力は、シャッター式光変調器200内のスプリング207などのスプリングによって加えることができ、または対向力は、開もしくは閉アクチュエータなどの対向アクチュエータによって加えることができる。光変調器アレイ320は、画素ごとに単一MEMS光変調器を有するものとして示されている。各画素中に複数のMEMS光変調器が設けられる他の実装形態も可能であり、そうすることによって、各画素中の単なる2進オンまたはオフ光学状態以上のものを可能にする。画素中の複数のMEMS光変調器が設けられ、光変調器の各々に関連付けられた開口324が不等面積をもつ符号化面積分割グレースケールのいくつかの形が可能である。図5Aおよび図5Bは、例示的実装形態による、二重アクチュエータシャッター式光変調器500の例を示す。光変調器500は、図5Aにおいて、開状態で示されている。図5Bは、閉状態にある二重アクチュエータシャッターアセンブリ500の図である。シャッターアセンブリ500は、シャッター506の片側に、アクチュエータ502および504を含む。各アクチュエータ502および504は、独立に制御される。第1のアクチュエータ、シャッター開アクチュエータ502は、シャッター506を開くのを担当する。第2の対向アクチュエータ、シャッター閉アクチュエータ504は、シャッター506を閉じるのを担当する。アクチュエータ502および504は両方とも、コンプライアントビーム電極アクチュエータである。アクチュエータ502および504は、シャッターがその上方でサスペンドされている開口層507と平行の面にあるシャッター506を駆動することによって、シャッター506を開閉する。シャッター506は、アクチュエータ502および504に取り付けられたアンカ508によって、開口層507の上方の短い距離だけサスペンドされる。シャッター506の移動軸に沿って、シャッター506の両端に取り付けられたサポートの含有により、シャッター506の面外の動きが低減され、基板と平行な面への動きが制限される。シャッターアセンブリ500などのシャッターアセンブリはしばしば、制御マトリクスと同じ基板上に組み立てられる。シャッター506は、光が通り得る2つのシャッター開口512を含む。開口層507は、3つの開口509からなるセットを含む。図5Aにおいて、シャッターアセンブリ500は開状態にあり、したがって、シャッター開アクチュエータ502は作動されており、シャッター閉アクチュエータ504はその弛緩位置にあり、開口512および509の中心線が一致する。図5Bにおいてシャッターアセンブリ500は閉状態に移されており、したがって、シャッター開アクチュエータ502はその弛緩位置にあり、シャッター閉アクチュエータ504は作動されており、シャッター506の遮光部分は今では、開口509点線として示すを通る光の透過を遮断するための所定の位置にある。各開口は、その周囲に、少なくとも1つの辺をもつ。たとえば、方形開口509は、4つの辺をもつ。円形、楕円、卵型、または他の湾曲開口が開口層507に形成される代替実装形態では、各開口は、単一辺のみを有し得る。他の実装形態では、開口は、数学的な意味において分離され、または独立する必要はなく、連結されてよい。すなわち、開口の一部または成形断面が、各シャッターとの対応を維持し得る間、これらのセクションのいくつかは、開口の単一の連続外周が複数のシャッターによって共有されるように連結され得る。様々な出口角をもつ光を、開状態にある開口512および509に通すために、開口層507中の開口509の対応する幅またはサイズよりも大きい幅またはサイズをシャッター開口512に与えることが有利である。閉状態において光が漏れるのを効果的に阻止するために、シャッター506の遮光部分は開口509と重なる。図1Bは、シャッター506内の遮光部分の辺と、開口層507内に形成される開口509の1つの辺との間の所定の重複516を示す。静電アクチュエータ502および504は、その電圧変位挙動により、シャッターアセンブリ500に双安定特性が与えられるように設計される。シャッター開およびシャッター閉アクチュエータの各々について、作動電圧を下回る電圧範囲が存在し、この電圧範囲は、そのアクチュエータが閉状態であるシャッターは開または閉のいずれかである間に印加されると、対向アクチュエータに作動電圧が印加された後でも、アクチュエータを閉じたまま、およびシャッターを所定の位置に保持する。そのような対向力に対してシャッターの位置を維持するのに必要とされる最小電圧は、維持電圧Vmと呼ばれる。双安定動作特性を利用するいくつかの制御マトリクスが、上で参照した米国特許出願第11/607,715号に記載されている。図6は、1つの例示的実装形態による、シャッター式光変調器シャッターアセンブリ602を組み込むディスプレイ装置600の断面図である。各シャッターアセンブリは、シャッター603とアンカ605とを組み込む。アンカ605とシャッター603との間で接続されると、表面の少し上でシャッターをサスペンドするのを助けるコンプライアントビームアクチュエータについては図示していない。シャッターアセンブリ602は、いくつかの実装形態では、プラスチックまたはガラスで作られた透明基板604上に配設される。基板604上に配設された後ろ向き反射層、反射膜606が、シャッターアセンブリ602のシャッター603の閉位置の下に置かれた複数の表面開口608を画定する。反射膜606は、表面開口608を通らない光を、ディスプレイ装置600の後ろに向かって逆反射する。反射開口層606は、スパッタリング、蒸発、イオンめっき、レーザアブレーション、または化学蒸着を含むいくつかの蒸着技法によって薄膜方式で形成された含有物をもたない微粒金属膜であり得る。別の実装形態では、後ろ向き反射層606は、誘電鏡などの鏡から形成され得る。誘電鏡は、高および低屈折指数の材料を交互に繰り返す誘電薄膜の積層として組み立てられる。シャッターが自由に移動する反射膜606からシャッター603を分離する垂直ギャップは、0.5~10ミクロンの範囲内である。いくつかの実装形態において、垂直ギャップの規模は、図5Bに示す重複616など、閉状態における、シャッター603の辺と、開口608の辺との間の横の重複よりも小さい。ディスプレイ装置600は、基板604を平面光ガイド616から分離する随意のディフューザ612および/または随意の輝度増強膜614を含む。光ガイドは、透明な、すなわちガラスまたはプラスチック材料を含む。光ガイド616は、1つまたは複数の光源618によって照射され、バックライトを形成する。光源618は、たとえば、限定はしないが、白熱電球、蛍光灯、レーザ、または発光ダイオードLEDでよい。反射体619は、ランプ618から光ガイド616に光を向けるのを助ける。前向き反射膜620が、バックライト616の後ろに配設され、シャッターアセンブリ602に向かって光を反射する。シャッターアセンブリ602のうちの1つを通らない、バックライトからの光線621などの光線は、バックライトに戻され、膜620から再度反射される。この方式において、第1のパス上に画像を形成するためにディスプレイを離れることができない光は、リサイクルし、シャッターアセンブリアレイ602中の他の開いた開口の透過のために利用可能にすることができる。そのような光リサイクルは、ディスプレイの照明効率を上げることがわかっている。光ガイド616は、ランプ618から開口608の方に、したがってディスプレイの前面の方に光を向け直す1組の幾何学的光リダイレクタまたはプリズム617を含む。光リダイレクタは、交替で断面が三角形、台形、または湾曲することができる形状をもつ光ガイド616のプラスチック本体内に成形することができる。プリズム617の密度は概して、ランプ618からの距離とともに増大する。代替実装形態では、開口層606は、光吸収材料で作ることができ、代替実装形態では、シャッター603の表面は、光吸収材料または光反射材料のいずれかでコーティングすることができる。代替実装形態では、開口層606は、光ガイド616の表面に直接蒸着され得る。代替実装形態では、開口層606は、シャッター603およびアンカ605と同じ基板上に配設される必要はない後で説明するMEMSダウン構成を参照。ディスプレイ照明システムのこれらおよび他の実装形態は、参照によって本明細書に組み込まれている米国特許第7,417,782号および米国特許第7,876,489号に詳細に記載されている。一実装形態では、光源618は、異なる色、たとえば、赤、緑、および青色のランプを含み得る。人間の脳が、異なる色の画像を単一の多色画像に平均するのに十分なレートで、異なる色のランプで画像を連続して照明することによって、カラー画像が形成され得る。様々な色固有画像が、シャッターアセンブリアレイ602を使って形成される。別の実装形態では、光源618は、3つよりも多い異なる色をもつランプを含む。たとえば、光源618は、赤、緑、青および白色ランプまたは赤、緑、青、および黄色ランプを有し得る。カバープレート622は、ディスプレイ装置600の前面を形成する。カバープレート622の後ろ側は、コントラストを増すために、ブラックマトリクス624でカバーされ得る。代替実装形態では、カバープレートは、カラーフィルタ、たとえば、シャッターアセンブリ602のうちの異なるものに対応する、固有の赤、緑、および青フィルタを含む。カバープレート622は、シャッターアセンブリ602から所定の距離だけ離れて支えられ、ギャップ626を形成する。ギャップ626は、機械的サポートもしくはスペーサ627によって、および/またはカバープレート622を基板604に付着させる粘着シール628によって維持される。粘着シール628は、作動流体630を封じ込める。作動流体630は、約10センチポアズを下回る粘度、約2.0を上回る比誘電率、および約104V/cmを上回る誘電破壊強度で工作される。作動流体630は、潤滑油としても働き得る。一実装形態では、作動流体630は、高い表面湿潤性をもつ疎水性液体である。代替実装形態では、作動流体630は、基板604のものよりも大きい、または小さい屈折指数をもつ。板金または成形プラスチックアセンブリブラケット632は、カバープレート622と、基板604と、バックライト616と、他の構成要素部とを合わせて、辺の周りに保持する。アセンブリブラケット632は、複合ディスプレイ装置600に剛性を加えるために、ねじまたは刻みタブで取り付けられる。いくつかの実装形態において、光源618は、エポキシポッティング化合物によって、所定の場所に成形される。反射体636は、光ガイド616の辺から漏れた光を光ガイドに戻すのを助ける。シャッターアセンブリ602およびランプ618に制御信号ならびに電力を与える電気相互接続は、図2に示していない。それゆえ、製造方法を含む、ディスプレイ装置600用のさらなる詳細および代替構成は、参照によって本明細書に組み込まれている米国特許第7,417,782号および第7,876,489号に見ることができる。ディスプレイ装置600は、MEMSアップ構成と呼ばれ、MEMS方式光変調器が、基板604の前面、すなわち見ている人の方を向く表面に形成される。シャッターアセンブリ602は、反射開口層606のすぐ上に構築される。MEMSダウン構成と呼ばれる代替実装形態において、シャッターアセンブリは、反射開口層が形成される基板とは別個の基板上に配設される。複数の開口を画定する反射開口層が形成される基板は、本明細書では、開口プレートと呼ばれる。MEMSダウン構成において、MEMS方式光変調器を収容する基板は、ディスプレイ装置600におけるカバープレート622に取って代わり、上部基板の後面、すなわち見ている人の方ではなくバックライト616の方を向く面上にMEMS方式光変調器が配置されるように配向される。MEMS方式光変調器は、そうすることによって、反射開口層にあるギャップに直接対向して、およびギャップにわたって配置される。ギャップは、開口プレートと、MEMS変調器が形成される基板とを接続する一連のスペーサポストによって維持することができる。いくつかの実装形態において、スペーサは、アレイ中の各画素内に、または各画素の間に配設される。いくつかの実装形態において、MEMS光変調器を、それに対応する開口から分離するギャップまたは距離は、10ミクロン未満、または重複516など、シャッターと開口との間の重複よりも小さい距離である。MEMSダウンディスプレイ構成についてのさらなる詳細および代替実装形態は、上で参照した米国特許第7,405,852号および第7,675,665号に見ることができる。機械的光変調器アレイから構築されるディスプレイは、何万もの光変調器、すなわちディスプレイの各画素用に少なくとも1つを含んでよく、最大何百万もの光変調器を含み得る。各光変調器の動きは、バックプレーン回路と呼ばれることもある制御マトリクスを通して指令されるコマンドによって制御される。ビデオ動作の場合、個々の光変調器の動作状態は、毎秒50回から、毎秒50,000回にまで変更することができる。その結果、何千ものシャッターアセンブリが、可聴周波数の時間スケール特性にわたって移動するので、ディスプレイは、望ましくない音響雑音を副産物として放射する可能性がある。ディスプレイ装置が、作動流体630などの作動流体を含むとき、その流体は、隣接する光変調器の動きを互いに結合し、かつ/または光変調器アレイの動きを、カバープレート622などのカバープレートに結合し得る。カバープレートは、音響周波数で液体を移動することによって駆動される場合、環境に可聴雑音をブロードキャストするためのトランスデューサとして働き得る。ディスプレイアセンブリ内の個々の画素はしばしば、数十ミクロンから数百ミクロンのサイズにすぎないが、ディスプレイにおける一般的な画像は、ミリメートルまたはセンチメートルもの寸法であり得る、均等な色またはコントラストの領域を有し得る。それゆえ、ディスプレイの隣接領域内の何十または何百もの光変調器が、同様の動きおよび同様の計時信号をもつ制御マトリクスからの信号によって移動させられることはよくある。隣接し合う画素の移動のこの同期または相関は、音響放射の振幅の一因となる。それゆえ、隣接し合う画素の移動における相関を低減し、そうすることによって、音響放射の振幅を低減することができる光変調器アレイのための設計が求められる。そのような設計のいくつかの例が、以下で説明される。図7Aは、例示的実装形態による、シャッター704と開口702との間の第1の空間関係を有する光変調器700の例を示す。図7Aの光変調器700は、非アクティブ状態にあり、完全に開口702に光を通過させるわけでも、光の通過を完全に遮断するわけでもない。図7Aは、開口702に対して垂直配向されたシャッター704を示す。図7Aにおいて、シャッター704は、第1のアクティブ状態、すなわち、シャッター704が、光が開口を通るのを完全に妨げる閉状態に達するために上方移動する。シャッター704は、対向方向、または下方向の移動によって、第2のアクティブ状態、すなわち、開状態に移すこともできる。開口702に対して下方および開位置に移動されると、第2のアクティブ状態にあるシャッター704は、開口702に光を通させる。図7Bは、例示的実装形態による、シャッターと開口との間の第2の空間関係を有する光変調器700の例を示す。図7Bの光変調器700は、非アクティブ状態にあり、完全に開口702に光を通過させるわけでも、光の通過を完全に遮断するわけでもない。図7Bは、開口702に対して垂直配向されたシャッター704を示す。図7Bにおいて、シャッター704は、第1のアクティブ状態、すなわち、シャッター704が、光が開口を通るのを完全に妨げる閉状態に達するために下方移動する。シャッター704は、対向方向、上方向の移動によって、第2のアクティブ状態、すなわち、開状態に移すこともできる。開口702に対して上方および開位置に移動されると、第2のアクティブ状態にあるシャッター704は、開口702に光を通させる。図7Aおよび図7Bは、たとえばシャッターと開口との間の第1の可能な空間関係が、シャッターが非アクティブ状態から第1のアクティブ状態、すなわち、閉状態に移るために左に移動する関係であり得るように、水平配向でかなり簡単に描かれているであろうことが理解できよう。逆に、シャッターと開口との間の第2の空間関係は、シャッターが、非アクティブ状態から第1のアクティブ状態、すなわち、閉状態に移るために右に移動する関係であり得る。大規模アレイ中のシャッターおよび開口すべての空間関係が同じである場合、シャッターすべてが同じアクティブ状態に切り替わるときに、アレイは、いくつかの多大な圧力波を作成し得る。これらの圧力波は、作動流体によって増幅され、ディスプレイから放射される雑音に転換する。この問題は、何万もの光変調器がすべて同じ方向に同時に、および500Hz以上の周波数で移動させられ得る、無色またはほぼ無色のパターンにとっては非常に大きい。この問題を軽減するために、光変調器アレイは、光変調器と、それに対応する開口との間の空間関係が全く同じにはならないように構成され得る。そのような構成において、特定の無色パターンに対して、光変調器は、すべてが同じ方向に移動することにはない。たとえば、光変調器アレイは、少なくとも2つの光変調器グループを含んでよく、第1の光変調器グループは、第1の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成され、第2の光変調器グループは、第2の方向の移動により、遮光状態から光透過状態に駆動されるように構成される。第2の方向は、第1の方向とは実質的に異なる。いくつかの実装形態において、2つの変調器グループについての第1および第2の動き方向は、平面上の反対方向になる。他の実装形態では、第1および第2の方向は、互いから約90、60、または45度に配向されてもよい。さらに他の実装形態では、非アクティブ状態から第1のアクティブ状態への運動は、たとえば光変調器が片持ばりによってサポートされる円形運動でよい。この実装形態では、変調器が非アクティブ状態から第1のアクティブ状態に時計方向で駆動されるような第1の光変調器グループが提供され、第2のグループの光変調器は、第1のアクティブ状態への移動が反時計方向であるように提供される。図8A~図8Cは、ディスプレイにおける画素グルーピング配列の例を示す。画素は、アレイ全体がシャッターと開口との間の同じ空間関係をもたず、シャッターが、同じアクティブ状態に達するために同じ方向に移動しないように配列される。図8Aは、いくつかの概ね方形の画素のグループを示す。図8Bは、概ね六角形の画素のグループを示す。図8Cは、さらに別の適切な画素グルーピングを示す。図8Aのアレイ800は、シンボルAで示される、アレイ中の画素の各々が同じ空間定位を有して配列される従来技術を示す。図8Aのアレイ810は、アレイの光変調器が、シンボルAおよびBで示される固有の空間関係をもつ2つのグループを含む、1つの例示的実装形態を表す。グループAの光変調器は、第1の方向に移動して第1のアクティブ状態に達し、グループBの光変調器は、第2の方向に移動して同じ第1のアクティブ状態に達する。グループAおよびBの光変調器は、交替する行812および814に配列される。図8Aのアレイ820は、アレイの光変調器が、シンボルAおよびBで示される固有の空間関係をもつ同じ2つのグループを含む、別の例示的実装形態を表す。グループAの光変調器は、第1の方向に移動して第1のアクティブ状態に達し、グループBの光変調器は、第2の方向に移動して同じ第1のアクティブ状態に達する。グループAおよびBの光変調器は、交替する列822および824に配列される。行および列の交替は、単一行単位で、または単一列単位で起こり得るが、起こる必要があるわけではない。あるいは、同じ配向をもつ画素の複数の行または列が、並んでグルーピングされ得る。そのような構成では、雑音を制限するために、2つの光変調器グループの間の交替の空間的周期を、基板の大体の厚さよりも小さく保つことが有用である。たとえば、600um厚さのガラスの上に構築される127PPIディスプレイ200umの画素ピッチをもつでは、グループの間の交替は、3画素分の幅以下である。図8Aのアレイ830は、アレイの光変調器が、シンボルAおよびBで示される固有の空間関係をもつ同じ2つのグループを含む、別の例示的実装形態を表す。グループAおよびBの光変調器は、グループAのメンバーがグループBのメンバーに隣接しないように、毎行および毎列ごとに交替するように配列される。アレイ830の代替実装形態において、グループAおよびBは、交替クラスタまたはチェッカーボード型クラスタに配列されてもよい。クラスタ内に、たとえば2画素×2画素ブロック中に同じ空間関係をもつ、わずか4つの光変調器だけ、またはクラスタ内に、たとえば6x6または10x10画素ブロック中に、36個もしくは100個もの同様の光変調器があり得る。別の実装形態では、グループAおよびBにある光変調器は、アレイ全体にランダムに配列され得る。追加利益として、グループAおよびBにある光変調器が、アレイ全体にランダムに分散される場合、モジュール組立て中のマスキングステップの間の不整列、または2つの基板の間の不整列に関連したいくつかの視覚的アーティファクトは、低減し、またはなくすことができる。図8Aのアレイ840は、アレイの光変調器が、シンボルA、B、C、およびDで示される固有の空間関係の4つのグループを含む、別の例示的実装形態を表す。グループA842の光変調器は、第1の方向に移動して、第1のアクティブ状態に達する。グループB844の光変調器は、第2の方向に移動して、同じ第1のアクティブ状態に達する。グループC846の光変調器は、第3の方向に移動して同じ第1のアクティブ状態に達し、グループD848の光変調器は、第4の方向に移動して同じ第1のアクティブ状態に達する。説明のための例として、同じ第1のアクティブ状態、たとえば、開を達成するために、グループA842中の光変調器は上向きに移動し、グループB844中の光変調器は右に移動し、グループC846中の光変調器は下向きに移動し、グループD848中の光変調器は左に移動する。この例では、グループA842およびC846は、平面上の反対方向に作動し、グループB844およびD848も、平面上の反対方向であるが、グループA842およびC846とは実質的に異なる方向に作動する。図8Aは、いくつかの方形画素グルーピング配列を示すが、画素は、他の幾何学構成にも配列され得る。たとえば、図8Bは、2つの六角形画素グループを示す。第1の構成850において、アレイは、シンボルAおよびBで示される固有の空間定位をもつ2つの変調器グループを含む。各グループは、たとえば、2つが第1の行にあり、4つは第2の行にあり、2つは第3の行にある、8つの画素を含む、六角形の画素グルーピングから形成される。グループAの光変調器は、第1の方向に移動して第1のアクティブ状態に達し、グループBの光変調器は、第2の方向に移動して同じ第1のアクティブ状態に達する。図8Aのアレイ820と同様、グループAおよびBの光変調器は、交替する列852および854に配列される。図8Bのアレイ860は、シンボルA862、B868、C866、およびD864で示される、実質的に異なる空間定位の4つのグループに分割された六角形の画素構成を有する、別の例示的実装形態を表す。図8Aのアレイ840と同様、4つのグループの光変調器は、4つの実質的に異なる方向に移動して、第1のアクティブ状態に達する。説明のための例として、同じアクティブ状態、すなわち、開を達成するために、グループA862中の光変調器は上向きに移動して、第1のアクティブ状態に達し、グループB868中の光変調器は右に移動し、グループC866中の光変調器は下向きに移動し、グループD864中の光変調器は左に移動する。表示エリア860中の画素は、対角線行の中でグループA862およびC866が交替するように配列される。同様に、グループB868およびD864も、グループA862およびC866を有する行に隣接する対角線行の中で、交替する。図8Cは、外部領域872、中間領域874、および内部領域876に配列された表示エリア870中に光変調器を有する、別の例示的実装形態を表す。この例では、シンボルBで示される中間領域874中の光変調器は、シンボルAで示される外部および内部領域872および876中の光変調器とは実質的に異なる方向に移動する。実質的に異なる空間定位の変調器を分散するために、他の任意の画素領域も、表示エリア中に定義され得ることが理解できよう。図8A~図8Cは、説明のための例として提示しているにすぎず、上で示した例以外の、空間定位と幾何学構成の他の組合せも、隣接し合う画素の移動における相関を低減するのに使うことができ、そうすることによって、音響放射の振幅が低減される。図9A~図9Cは、アレイ中の2つの光変調器グループ910および920の特定の配列の例を示す。図9A~図9Cは、図7Aおよび図7Bに示したシャッターの動きに対して垂直配向を採用する。これらの垂直配向の場合、図中に矢印で示すように、グループAシャッター910は、上方向に移動して第1のアクティブ状態に達し、グループBシャッター920は、下方向に移動して第1のアクティブ状態に達する。図9AのグループA910およびB920は、図8Aのアレイ810と同様、交替する行に配列される。その結果、同じアクティブ状態にアクティブ化されたときの、隣接し合う列の中のシャッターは、同じ方向に移動する傾向があり、隣接し合う行の中のシャッターは、互いに向かって、または互いから離れて移動する傾向がある。対照的に、図9BのグループA910およびB920は、図8Aのアレイ820と同様、交替する列に配列される。その結果、図9Bの場合、隣接し合う行の中のシャッターは、同じアクティブ状態に作動されると、同じ方向に移動する傾向があり、隣接し合う列の中のシャッターは、互いを超えてスライドする傾向がある。図9Bに示すせん断運動は、局地化圧力を低減する傾向があり、それゆえ、ディスプレイからの可聴雑音を低減する。図9Bにおいて、グループA910中の開口902は、グループB920中の開口902と整列されていない。この不整列は、生じた画像中で、望まれない結像アーティファクトを引き起こし得る。この問題に対処するために、図9CのグループA910およびB920についての画素配列は、開口を整列するようにずらされている。このようにして、光変調器は、互いを超えてスライドしながら、開口の厳密な整列を維持する、隣接し合う列から生成されたせん断効果から、以前として利益を受ける。アレイ中の光変調器は、ディスプレイの設計段階においてシャッターおよび開口の位置を取り決めることによって、シャッターと対応する開口との間の異なる空間関係を有して設けられる。空間関係における変動、および少なくとも2つの光変調器グループの画素の間の配列は、フォトリソグラフィ微小工作用のフォトマスクのためのアートワークに設計される。フォトマスクにより、機械的光変調器および制御マトリクスのパターンが、微小工作中に薄膜および厚膜に印刷されるときに決定される。いくつかの実装形態では、図7Aおよび図7Bに示したように、光変調器は、非アクティブ状態に対応する位置に組み立てられる。ただし、非アクティブ状態にあるシャッターに対する開口の空間関係により、第1のアクティブ状態に達するための適切な動き方向が決定される。図9Aおよび図9Bに示すように、一実装形態では、非アクティブ状態にあるシャッターアセンブリ904の位置は、グループA910またはB920のいずれか1つへのその割当てにかかわらず、フォトマスク上で、同一であり対称的に見える場合がある。ただし、開口902の位置は、グループA910またはB920のうちの1つへの特定の画素の割当てに依存して、画素中で異なる位置を有する場合がある。図9Aおよび図9Bのシャッターアセンブリは、同一であり対称的に見え得るが、図面中の変調器アレイに関連付けられた制御マトリクス図示せずは、グループAおよびBのうちの1つへの、その割当てに依存して、第1のアクティブ状態に駆動されると、シャッターアセンブリが、それに対応する開口に対して適切な方向に移動するように、シャッターアセンブリの作動のための異なる信号を与えるように構成される。適切な方向は、図9Aおよび図9Bにおいて矢印で印付けされている。たとえば、図9Aにおいて、同じ行の中の隣接し合う画素は、グループAまたはBの一方または他方への、その割当てに依存して、第1のアクティブ状態に達するために、上または下のいずれかに作動させられ得る。図10は、制御マトリクス1000の例である。米国特許出願第11/811,842号の図15に記載されている制御マトリクスに基づく、図10の制御マトリクス1000は、ある実装形態による、制御マトリクスの1つのレイアウトを示す。制御マトリクス1000は、画素の各々についての行割当てに依存して、2つの異なる作動方向を使って、第1のアクティブ状態に向かう作動を駆動し得る。制御回路1000は、各画素に対して、シャッター開アクチュエータ1002とシャッター閉アクチュエータ1004の両方を含む各シャッターアセンブリ1001を有するシャッターアセンブリ1001を含む。図10の制御マトリクス向けの画素の行ごとの配列は、図8Aのアレイ810に示したAおよびBグループ配列に対応する。この図では、2つのグループの中の対応する要素を示すのに小文字を使っている。たとえば、閉状態に達するために、シャッター1001aは、開口1003aを覆うように下向きに移動し、シャッター1001bは、開口1003bを覆うように上向きに移動する。制御マトリクス1000は、画素行ごとに、および画素行の間で共有されるいくつかの実装形態では、グローバル駆動相互接続1006を含む。この例の場合、グローバル駆動相互接続1006は、各シャッターアセンブリのシャッター開アクチュエータ1002に電気接続される。制御マトリクス1000はまた、画素列ごとに、列データ相互接続1008と、画素各行ごとに、スキャンライン相互接続1010とを含む。制御マトリクス1000は、ディスプレイにおける、ある行の中の複数の画素の間および隣接行の間で共有される、いくつかのグローバル相互接続1012、1014、1016、および1018も含む。これらのグローバル相互接続は、プリチャージ相互接続1012と、VhighまたはV作動相互接続1014と、カスコード相互接続1016と、更新相互接続1018とを含む。制御マトリクス1000はまた、各画素ごとに、シャッター充電トランジスタ1020と、充電カスコードトランジスタ1022と、シャッター放電トランジスタ1026と、放電カスコードトランジスタ1024と、シャッター書込み許可トランジスタ1028と、データ記憶キャパシタ1030とを含む。作動電圧以上の電圧差が、シャッター閉アクチュエータ1004およびシャッター1001にわたって課されると、シャッターアセンブリ1001は閉状態に駆動され、開口1003を通る光の通過を遮断する。図3に関係して説明したように、各スキャンライン相互接続1010は、書込み許可電圧源を、画素の対応する行中の画素に電気接続する。列データ相互接続1008は、データ電圧源Vdソースを、画素の対応する列中の画素に電気接続する。データ電圧源Vdは、作動エネルギーの大部分を、シャッターアセンブリ1001に与える。このように、データ電圧源は、作動電圧源としても働く。動作時、画像を形成するために、制御マトリクス1000は、各スキャンライン相互接続1010に書込み許可電圧Vweを印加することによって、各行を書込み可能にする。書込み許可された行に対して、その行の中の書込み許可トランジスタ1028のゲートへのVweの印加により、トランジスタ1028を通してデータ相互接続1008に電流が流れて、データ記憶キャパシタ1030に電位が印加される。行が書込み許可されている間、データ電圧Vdが、列データ相互接続1008に選択的に印加される。電圧Vdは、制御マトリクス1000が行にVweを印加するのをやめた後でも、キャパシタ1030に蓄えられたまま留まる。それゆえ、シャッターアセンブリ302が作動するのに十分な程長い時間、行における電圧Vweを待ち、保持する必要はなく、そのような作動は、書込み許可電圧が行から除去された後も進行し得る。キャパシタ312は、アレイ320内のメモリ要素としても機能し、画像フレームの照明に必要な期間、作動命令を記憶する。二重アクチュエータシャッターアセンブリ1001の存在にかかわらず、制御マトリクス1000は、制御マトリクス1000中の各画素列に対して、単一列データ相互接続1008のみを含む。カスコード相互接続1016は、トランジスタ1022および1024の各々のゲートに接続される。プリチャージ相互接続1012、更新相互接続1018、シャッター共通相互接続1032、Vhigh相互接続1014、およびカスコード相互接続1016は、アレイにおける複数の行および複数の列の中の画素の間で共有され得る。一実装形態では、相互接続1012、1018、1032、1014、および1016は、制御マトリクス1000中のすべての画素の間で共有される。制御マトリクス1000中の各画素ごとに、充電カスコードトランジスタ1022には、シャッター充電トランジスタ1020とシャッター閉アクチュエータ1004との中間に接続された、トランジスタ1022のソースおよびドレインが挿入される。放電カスコードトランジスタ1024にも、シャッター閉アクチュエータ1004とシャッター放電トランジスタ1026との中間に接続されたトランジスタ1024のソースおよびドレインが挿入される。制御マトリクス1000は、2つの相補型トランジスタ、すなわちpチャネルトランジスタとnチャネルトランジスタの両方を利用する。それゆえ、制御マトリクス1000は、相補MOS制御マトリクスまたはCMOS制御マトリクスと呼ばれる。充電トランジスタ1020および1022は、pMOSタイプで作られ、放電トランジスタ1024および1026は、nMOSタイプのトランジスタで作られる。他の実装形態では、トランジスタのタイプが反転してよく、たとえば、充電トランジスタ1020および1022にnMOSトランジスタを使うことができ、放電トランジスタ1024および1026にpMOSトランジスタを使うことができる。CMOS回路とともにプリチャージ相互接続1012を使用することで、シャッター作動を達成するのに必要とされる電圧変動セットを低減するのを助ける。シャッター充電トランジスタ1020のソースは、Vhigh相互接続1014に電気接続され、ゲートは、プリチャージ相互接続1012に接続される。動作の間ずっと、Vhigh相互接続1014は、作動電圧Vatと等しい一定電圧で維持される。代替実装形態では、Vhigh相互接続1014は、ディスプレイの周囲にある電圧源もしくは電流源のいずれか、またはより全般的にはエネルギー源に接続される。シャッター充電トランジスタ1020がオフ状態に保持されるべきであるときはいつでも、プリチャージ相互接続1012は、Vhigh相互接続1014のものと同じ作動電圧Vatで維持される。シャッター充電トランジスタ1020をオンにするために、プリチャージ相互接続1012に対する電圧は、Vhigh相互接続1014とプリチャージ相互接続1012との間の電圧差が、シャッター充電トランジスタ1020の閾電圧よりも大きくなるように低減される。いくつかの実装形態において、閾電圧は、2~8ボルトの範囲で変わり得る。シャッター充電トランジスタがpMOSトランジスタである一実装形態では、シャッター充電トランジスタ1020がオフであるとき、Vhigh相互接続1014とプリチャージ相互接続1012の両方が、40ボルトのVatで保持される。シャッター充電トランジスタ1020をオンにするために、Vhigh相互接続1014に対する電圧は、40ボルトに留まることになるが、プリチャージ相互接続1012に対する電圧は、一時的に35ボルトまで低減される。シャッター充電トランジスタ1020にnMOSトランジスタが使われる場合、Vatは、-40ボルトになり、-35ボルトのプリチャージ相互接続電圧は、トランジスタをオンにするのに十分である。充電カスコードトランジスタ1022の追加は、シャッター充電トランジスタ1020または充電カスコードトランジスタ1022のいずれか用のソースおよびドレインまたはゲートおよびドレインのいずれかにわたって受けられる電圧降下を低減するのを助ける。放電カスコードトランジスタ1024の追加は、シャッター放電トランジスタ1026または放電カスコードトランジスタ1024のいずれか用のソースおよびドレインまたはゲートおよびドレインのいずれかにわたって受けられる電圧降下を低減するのを助ける。カスコード相互接続1016に印加される正しい電圧により、確実に、充電トランジスタ1020と1024の両方が実質的に同時にオンになる。同じ電圧が、確実に放電トランジスタ1024および1026が実質的に同時にオンになるのを助ける。動作中、カスコード相互接続1016は、作動電圧Vatの約半分の一定電圧に保持される。充電動作中、すなわちシャッター充電トランジスタ1020がオンにされるようにプリチャージ相互接続1012がVatを下回る電圧に低減されると、次いで、トランジスタ1022もオンになるような電圧が、充電カスコードトランジスタ1022のゲートとドレインとの間に現れる。トランジスタ1022のゲートが、作動電圧Vatの約半分で保持される場合、Vhigh相互接続1014において課される電圧がVatたとえば、40ボルトに留まるとしても、トランジスタ1022のソースドレイン電圧がVatの2分の1に大体の閾電圧を足したものを超える可能性は低い。シャッター充電トランジスタ1020のソースドレイン電圧は次いで、Vatと、充電カスコードトランジスタ1022を通る電圧との間の差を受ける。その結果、大きい電圧Vat、すなわちトランジスタのうちのいずれか1つにおいて破滅的破壊を引き起こすのに十分に大きい電圧が、Vhigh相互接続1014において課されるとしても、制御マトリクス1000は、個々のトランジスタのうちのいずれかを通るVatの一部のみが常に現れるように設計され、そうすることによって、回路を保護する。同様に、放電動作中、すなわちデータ記憶キャパシタ1030に電荷が蓄えられ、更新相互接続1018がゼロボルトにされると、トランジスタシャッター放電トランジスタ1026に加え、トランジスタ1024もオンになるような電圧が、放電カスコードトランジスタ1024のゲートとドレインとの間に現れることになる。放電カスコードトランジスタ1024のゲートが、作動電圧Vatの約半分に保持される場合、シャッター閉アクチュエータ1004と更新相互接続との間の電圧差がVatたとえば、40ボルトもの高さになり得るとしても、放電カスコードトランジスタ1024のソースドレイン電圧が、Vatの2分の1に大体の閾電圧を足したものを超える可能性は低い。シャッター放電トランジスタ1026のソースドレイン電圧は次いで、Vatと放電カスコードトランジスタ1024を通る電圧との間の差を受ける。その結果、シャッター閉アクチュエータ1006とシャッター共通相互接続1032との間で、大きい電圧Vat、すなわちトランジスタのうちのいずれか1つにおいて破滅的破壊を引き起こすのに十分に大きい電圧が降下されたとしても、制御マトリクス1000は、個々のトランジスタのうちのいずれかを通るVatの一部のみが常に現れるように設計され、そうすることによって、回路を保護する。2つの異なる動き方向をもつ画素の制御は、図10の回路レイアウトの観察から明白である。画素Aおよび画素Bについての回路レイアウトは同様であるが、開口1003に関するシャッター1001の空間定位は、これら2つの行において反転している。したがって、画素Aのシャッター閉アクチュエータ1004aは、その画素に対する制御マトリクスが、それに対応するデータ相互接続1010aからシャッター閉信号を受信した後、シャッター1001aが下に、およびそれに対応する開口1003aに向かって移動するように接続される。逆に、画素Bのシャッター閉アクチュエータ1004bは、その画素に対する制御マトリクスが、シャッター閉信号を受信した後、シャッター1001bが上に、およびそれに対応する開口1003bに向かって移動するように接続される。このようにして、同じシャッター閉コマンドが、シャッター1001を、どのグループAまたはBに画素が属すかに従って、異なる方向に移動させ得る。図10の制御マトリクス1000用の回路配列は、同じ行の中のシャッターアセンブリすべて、または共通スキャンライン相互接続1010を共有するシャッターアセンブリすべてが、同じアクティブ状態閉または開状態のいずれかに向かって移動するためのコマンドを受信したとき、同じ方向上または下方向のシャッター動き向けに設計されているので、空間効率的に問題なく働く。隣接行、たとえばいくつかのグローバル共通相互接続を共有する行にあるシャッターアセンブリは、交替方向に移動するように設計することができる。制御回路の代替実装形態において、アレイ中の各行には、グローバル駆動相互接続1006、プリチャージ相互接続1012、VhighまたはV作動相互接続1014、カスコード相互接続1016、および更新相互接続1018など、それ自体のグローバル相互接続セットが割り当てられる。ただし、シャッターアセンブリ用に交替動き方向の配列を達成するために、グローバル駆動信号は、その画素について所望される動き方向に依存して、シャッターアセンブリの片側から反対側にルーティングされる。たとえば、シャッターカスコードトランジスタ1022および1024への回路接続も、シャッターアセンブリの片側から反対側にルーティングされなければならなくなる。これらの余剰回路ルーティングラインは、フォトマスクに描き込まれるが、画素中の開口エリア用の空間を犠牲にする。図11は、代替制御マトリクス1100の例である。図11の制御マトリクス1100は、米国特許出願第12/652,477号の図5Aに記載されているものと同様であり、各画素に対する行または列割当てのいずれかに依存して、2つの異なる作動方向を使って同じ第1のアクティブ状態への作動を駆動する制御マトリクスを示す。制御マトリクス1100は、各画素に対して、シャッター開アクチュエータ1102とシャッター閉アクチュエータ1104の両方を含む各シャッターアセンブリを有するシャッターアセンブリ1101を含む。図10でのように、図11の制御マトリクス用の画素の行ごとの配列は、図8のアレイ810に示したAおよびBグループ配列に対応する。たとえば、閉状態に達するために、シャッター1101aは、開口1103aを覆うように下向きに移動し、シャッター1101bは、開口1103bを覆うように上向きに移動する。図11に示す制御マトリクスは、更新相互接続を含まないが、その代わりに各画素についてシャッター開アクチュエータ1102とシャッター閉アクチュエータ1104の両方を制御する、トランジスタのフリップフロップまたはラッチ配列を与える。制御マトリクス1100はまた、画素列ごとに、列データ相互接続1108と、画素各行ごとに、スキャンライン相互接続1110とを含む。制御マトリクス1100は、ディスプレイ中の複数の画素と複数の行との間で共有され得るいくつかのグローバル相互接続も含む。これらのグローバル相互接続は、BCOM相互接続1112と、作動またはV作動相互接続1114と、更新相互接続1116とを含む。図11に示す制御マトリクスはまた、各画素ごとに、シャッター開充電トランジスタ1124と、シャッター開放電トランジスタ1126と、シャッター閉充電トランジスタ1120と、シャッター閉放電トランジスタ1122と、シャッター書込み許可トランジスタ1128と、シャッターフリップフロップ許可トランジスタ1130と、データ記憶キャパシタ1132とを含む。作動電圧Vat以上の電圧差が、シャッター閉アクチュエータ1104およびシャッター1101にわたって課されると、シャッターアセンブリ1101は閉状態に駆動され、開口1103を通る光の通過を遮断する。制御マトリクス1100は、2つの相補型トランジスタ、すなわちpチャネルトランジスタとnチャネルトランジスタの両方を利用する。それゆえ、制御マトリクス1100は、相補MOS制御マトリクスまたはCMOS制御マトリクスと呼ばれる。書込み許可トランジスタ1128、シャッターフリップフロップトランジスタ1130ならびに放電トランジスタ1122および1126は、nMOSタイプで作られ、充電トランジスタ1120および1124は、pMOSタイプのトランジスタで作られる。他の実装形態では、CMOSトランジスタのタイプは、反転されすなわち、pMOSがnMOSで切り替えられてよく、または他のタイプのトランジスタすなわち、BJT、JFETもしくは任意の他の適したタイプのトランジスタが使われてもよいことが当業者には認識されよう。いくつかの実装形態において、作動相互接続1114は、作動電圧Vatに等しいかまたはそれよりも大きく維持される電圧源に接続される。シャッター相互接続118は、接地電位近くで維持される。いくつかの実装形態において、シャッター極性は、フル作動電圧たとえば、ほぼ25ボルトで維持され得る。いくつかの実装形態では、シャッター相互接続1118の極性は、1つまたは複数の電位の間で周期的に交替され得る。たとえば、シャッター相互接続1118は、各フルビデオフレームの後で、または他のケースでは、それより高頻度で、もしくは低頻度で、25ボルトと0ボルトとの間で交替され得る。シャッター極性は、シャッター相互接続1118に正しい電圧を印加することによって制御することができる。いくつかの実装形態において、データの極性は、やはり、シャッター電位が交替されるのに対応して交替される。各シャッターアクチュエータ1102および1104は、それぞれの充電トランジスタ1124および1120のオン/オフ状態に依存して、作動相互接続1114に接続される。たとえば、シャッター開アクチュエータ1102に接続されているシャッター開充電トランジスタ1124がオン状態にあるとき、作動相互接続1114からシャッター開アクチュエータ1102に電荷が流される。次いで、概算的にVatである電圧が、シャッター開アクチュエータ1102とシャッター相互接続1118との間に課されシャッター相互接続1118が共通電位にあると想定する、シャッターは開状態に駆動される。同様のプロセスが、シャッター開充電トランジスタ1124がオフ状態にあり、シャッター閉充電トランジスタ1120がオン状態にあるときに起こり、その結果、シャッターを、対向する状態に駆動する。いくつかの実装形態において、概算的にVatである電圧が、シャッター開アクチュエータ1102に印加され、同様の電圧がシャッター1101に印加され、そうすることによって、シャッター1101とアクチュエータ1102との間に0ボルト電位が生じる。制御マトリクス1100は、データ記憶キャパシタ1132を含む。上述したように、データ記憶キャパシタ1132は、蓄積電荷を用いて、コントローラ156などのコントローラによって、データローディングまたは書込み動作の一部として画素に送られるデータ命令たとえば、開または閉を蓄える。キャパシタ1132に蓄えられた電圧により、制御マトリクス1100中のトランジスタ1120、1122、1124、および1126のラッチ状態が部分的に決定される。データロード動作中、アレイの各行は、アドレス指定シーケンスにおいて書込み許可される。制御マトリクス1100中の電圧源図示せずは、選択された行に対応する行相互接続1110に書込み許可電圧を印加する。書込み許可された行に対する行相互接続1110への電圧の印加により、対応する行ライン中の画素の書込み許可トランジスタ1128をオンにし、そうすることによって、画素を書込み可能にする。画素の選択された行が書込み許可されている間、データ電圧源は、制御マトリクス1100中の画素の各列に対応する列相互接続1108に、適切なデータ電圧を印加する。列相互接続1108に印加される電圧は、そうすることによって、それぞれの画素のデータ記憶キャパシタ1132に蓄えられる。特定の実装形態では、列相互接続1108に印加される電圧は、負または正たとえば、-5~5ボルトの範囲であり得る。データローディングステップにおいて、次の状態のためのすべてのデータが、選択された行の中のキャパシタ1132に蓄えられた後、制御マトリクス1100は、次の保持状態への、画素部分もしくはバンク、またはディスプレイ全体の更新に進む。更新ラッチシーケンスは、作動相互接続1114に対する電圧を、BCOM相互接続1112における電圧まで下げさせ、または近づかせることによって始まる。こうすることにより、シャッター開アクチュエータ1102とシャッター閉アクチュエータ1104の両方における電圧が、BCOM相互接続1112と同じ電圧に近づく。次に、更新相互接続1116は、作動電圧Vatにされ、そうすることによって、シャッターフリップフロップトランジスタ1130を導電オン状態に切り替え、記憶されたデータを、データ記憶キャパシタ1132から、クロス結合インバータラッチのトランジスタ1120~1126に渡させる。更新相互接続1116が、作動相互接続1114の電圧がBCOM相互接続1112の電圧にされた後、あまりにも早くアクティブ化された場合、次の状態データの、記憶された次の状態は、減衰するだけの十分な時間がなかったラッチの現在の状態データによって破損される可能性がある。この非重複タイミングは、回路寄生、トランジスタ閾電圧、キャパシタサイズおよび蓄積データ電圧レベルの関数であり得る。たとえば、必要とされる遅れは、約10μsであり得る。ただし、この遅延時間は、ディスプレイによっては、かなり長く、または短くなり得る。ラッチトランジスタ1120~1126を動作させるのに十分なだけ高い中間電圧たとえば、インバータトランジスタ1124および1126または1120および1122の閾電圧の合計にほぼ等しい。レベルは、大幅に小さくてもよく、必要とされるタイミング、寄生電荷注入、詳細なトランジスタ特性などの詳細によって制限されるが、作動相互接続1114に印加される。作動相互接続114に印加される中間電圧は、次の状態にラッチするのに使われる電力を最小限にするように機能する。いくつかの実装形態では、クロス結合インバータラッチは、全体的な非常駐切替え電力を低減するために、確実に実施され得るような低い中間電圧レベルでラッチされる。データ記憶キャパシタ538に記憶されているデータは、トランジスタ1120~1126を含むクロス結合インバータラッチにラッチされる。中間電圧の印加は、更新相互接続1116をアクティブ化するのと同時、前または後に実施することができる。たとえば、いくつかの実装形態では、作動相互接続1114への中間電圧の印加は、完全に更新パルスの後で行ってもよく、中間電圧パルスが、更新電圧パルスと部分的または完全に重なってもよい。いくつかの実装形態において、クロス結合インバータラッチの次の状態の制御は、特にデータラッチの寄生容量が低い場合、2つの状態の重複によって実行される。最終的に、更新相互接続1116は、接地電位に近づかされ、そうすることによって、シャッターフリップフロップトランジスタ1130を非導電オフ状態に切り替え、画素504のクロス結合インバータラッチから、データ記憶キャパシタ1132を分離する。作動相互接続1114をフル電圧まで上昇させる前に更新相互接続1116を非アクティブ化することによって、データ記憶キャパシタ1132をフル作動電圧まで充電させないことにより、多大な電力が節約される。いくつかの実装形態において、シャッターフリップフロップトランジスタ1130を全くもたないことが可能である。この場合、データローディング動作は、ラッチ状態を、行単位でロードされるときに直接変化させることになる。これは、ラッチ状態を判断するためのより低いデータ電圧を可能にするために、作動相互接続1114を、適切な中間レベルまで、もしくは概算的に接地電位まで、次いで、行単位でも中間レベルまで同時に下げることによって、またはデータローディング動作全体中にディスプレイ全体に対する作動相互接続1114を適切な中間レベルまで下げることによって起こり得る。あるいは、電力が問題ではなく、または電力が二次的問題になる程作動電圧が十分に低い場合、データ電圧は、フル作動電圧レベル以上でよく、作動相互接続1114は、ラッチを所望の状態に強制するように、フルVatで維持される。また、シャッターフリップフロップトランジスタ1130をなくすことによって、レイアウト面積が節約され得る。データが転送され、ラッチ状態が更新されると、制御マトリクス1100は、シャッター1101を次の状態に作動させることに進む。最初に、作動相互接続1114は、フル作動電圧Vatにさせられる。フル作動電圧は、シャッターを片側または反対側に作動させ、次のフレームアドレス指定周期まで、シャッターをその位置に保持するのに必要とされる電圧であり得る。ラッチ状態は早期にセットされたので、各インバータ1124および1126または1120および1122内には、直列した2つのトランジスタを通る、作動相互接続114からの伝導経路がない。したがって、シャッター容量および様々な寄生容量の作動を命じることを意図された電流のみが流され、結果として電力消散が最小限になる。2つの画素中のラッチ回路に最接近しているアクチュエータ1104aおよび1102bが、ラッチ回路内のトランジスタに、異なるように配線されることは、図11の観察によって明白である。画素Aのための下部アクチュエータ1104aは、シャッター閉充電トランジスタ1120aおよびシャッター閉放電トランジスタ1122aに接続され、それゆえ、ラッチ回路のシャッター閉状態に応答するように配線される。対照的に、画素Bのための下部アクチュエータ1102bは、シャッター開充電トランジスタ1124bおよびシャッター開放電トランジスタ1126bに接続され、したがって、ラッチ回路のシャッター開状態に応答するように配線される。この方式において、画素A中の制御回路は、対応するデータ相互接続1114aからシャッター閉コマンドを受信すると、シャッター1101aを、開口1103aの下、およびにそれに向かって駆動するように構成され、画素B中の制御回路は、対応するデータ相互接続1114bからシャッター閉コマンドを受信すると、シャッター1101bを、開口1103bの上、およびそれに向かって駆動するように構成されることが明白である。このようにして、同じシャッター閉コマンドが、シャッター1101を、どのグループAまたはBに画素が属すかに従って、異なる方向に移動させ得る。図11の制御回路は、同じアクティブ状態閉または開状態のいずれかに向かう移動のためのコマンドを受信すると、2つの異なる方向に移動することによって応答する2つの画素グループを各々が含む、多くの代替画素配列用に構成され得る。AおよびB画素の2つのグループは、変調器の交替行、交替列、交替クラスタに配列され、または画素アレイ全体にわたってランダムにも配列され得る。シャッター閉作動信号を受信したときの、特定のシャッターについての動き方向を指定するのに必要とされるのは、そのシャッターのアクチュエータの配線を、ラッチ回路内の2つのデータ状態のうちのいずれか一方に配列することだけである。代替実装形態において、制御回路は、2つの異なる動き方向を遂行するために、2つの画素グループAおよびBの各々についての固有のレイアウトも配線パターンも必要としない。画素動きの、あらかじめ指定された交替配列の制御は、制御マトリクスに送られる前の、画素データの事前処理により遂行され得る。この実装形態では、画素の2つの異なる空間関係は、依然として、所定のやり方で、たとえば、図9Aまたは図9Bに示すように、画素中の開口の位置を交替させることによって、フォトマスクにレイアウトされる。シャッターと、画素中の開口との間の空間関係により、第1のアクティブ状態に向かって移動するためのコマンドに応じて必要とされるプリセット動き方向が決定する。この実装形態では、ただし、データプロセッサが、アレイ中の画素の各々についての動きのプリセット方向のマップを記憶する。画素を第1のアクティブ状態にセットするためのコマンドを受信すると、データプロセッサは、アレイ中の画素の各々について、第1のアクティブ状態に達するのに、どの動き方向が必要とされるかを、メモリから判断する。この情報に依存して、データプロセッサは次いで、その画素についての第1のアクティブ状態に対応するために、どの動き方向がプリセットされているかに依存して、画素の各々に上方移動または下方移動コマンドを送る。代替実装形態では、データプロセッサは、左移動対右移動方向でもよく時計回り移動対反時計回り移動方向でもよい、アレイ中の画素を作動させるための2つのプリセット方向に対応する他のタイプの動きを判断する。本明細書で開示する装置および方法は、その精神または本質的な特性から逸脱することなく他の特定の形で実施され得る。前述した実装形態は、それゆえ、すべての点において限定的ではなく例示的であると見なされるべきである。"