発熱体からの熱を作動流体に伝える受熱板を備えた受熱部と、前記作動流体の熱を放出する放熱部と、前記受熱部と前記放熱部とを接続する放熱経路と帰還経路とで構成し、前記作動流体を、前記受熱部、前記放熱経路、前記放熱部、前記帰還経路、前記受熱部へと循環させて熱の移動を行う冷却装置であって、前記帰還経路の前記受熱部近傍または前記受熱部内に、前記作動流体の流れを制御する逆止弁を設け、この逆止弁は、前記帰還経路に連結される流入口を有する弁カバーと、前記受熱部に連結される流出口を有するとともに前記弁カバーとにより箱体を構成する弁ホルダーと、前記弁ホルダーの凹部内を可動自在に設けた第1弁体と、前記箱体内に設けた、前記逆止弁前後の圧力をバランスさせる圧力バランス手段とを備え、前記受熱部内の圧力の上昇時で、前記第1弁体の非作動時に、前記圧力バランス手段により、前記逆止弁前後の圧力をバランスさせることを特徴とする冷却装置。圧力バランス手段は、第1弁体に設けた開口と、この開口を覆うように第1弁体の弁カバー側に設けた第2弁体と、前記弁カバーに設けた凹部で構成することを特徴とする請求項1記載の冷却装置。第1弁体に設けた開口は、円孔であり、その大きさは帰還経路に連結される流入口より小さいことを特徴とする請求項1または2記載の冷却装置。圧力バランス手段は、第1弁体に設けた、作動流体の界面張力によって閉口される微細孔であることを特徴とする請求項1記載の冷却装置。圧力バランス手段は、弁カバーに設けた圧力補正スリットであることを特徴とする請求項1記載の冷却装置。第1弁体を略水平に設置することを特徴とする請求項1~5いずれか一つに記載の冷却装置。第1弁体は、帰還経路側に溜まった作動流体の水頭による圧力によって開くことを特徴とする請求項1~6いずれか一つに記載の冷却装置。請求項1~7いずれか一つに記載の冷却装置を備えたことを特徴とする電子機器。請求項1~7いずれか一つに記載の冷却装置を備えたことを特徴とする電気自動車。このような従来の冷却装置においては、半導体スイッチング素子に接触して冷媒タンクを配置し、冷媒タンク内の液化冷媒を、スイッチング素子からの熱を奪わせて気化させる。そして、気化した冷媒を、上部に配置した冷媒放熱器に上昇させ、冷却し、液化させて再び下部に滴下されるサイクルを繰り返している。いわば自然対流によって冷媒が循環するのである。しかしながら、このような自然対流式のものでは、スイッチング素子の熱を、冷媒タンク内に溜められた液化冷媒に、冷媒タンクの壁面伝熱面を介し、単純な対流熱伝達を用いていただけであるため、伝熱面における熱伝達率を高めることができず、その結果として、スイッチング素子等の冷却効果を高めることが出来なかった。そこで、本発明は、伝熱面における熱伝達率を高めることで、冷却効果を高めることを目的とするものである。そして、この目的を達成するために、本発明は、発熱体からの熱を作動流体に伝える受熱板を備えた受熱部と、前記作動流体の熱を放出する放熱部と、前記受熱部と前記放熱部とを接続する放熱経路と帰還経路とで構成し、前記作動流体を、前記受熱部、前記放熱経路、前記放熱部、前記帰還経路、前記受熱部へと循環させて熱の移動を行う冷却装置であって、前記帰還経路の前記受熱部近傍または前記受熱部内に、前記作動流体の流れを制御する逆止弁を設け、この逆止弁は、前記帰還経路に連結される流入口を有する弁カバーと、前記受熱部に連結される流出口を有するとともに前記弁カバーとにより箱体を構成する弁ホルダーと、前記弁ホルダーの凹部内を可動自在に設けた第1弁体と、前記箱体内に設けた、前記逆止弁前後の圧力をバランスさせる圧力バランス手段とを備え、前記受熱部内の圧力の上昇時で、前記第1弁体の非作動時に、前記圧力バランス手段により、前記逆止弁前後の圧力をバランスさせる構成とし、これにより所期の目的を達成するものである。本発明によれば、発熱体からの熱を作動流体に伝える受熱板を備えた受熱部と、前記作動流体の熱を放出する放熱部と、前記受熱部と前記放熱部とを接続する放熱経路と帰還経路とで構成し、前記作動流体を、前記受熱部、放熱経路、放熱部、帰還経路、受熱部へと循環させて熱の移動を行う冷却装置であって、前記帰還経路の前記受熱部近傍または前記受熱部内に、前記作動流体の流れを制御する逆止弁を設け、この逆止弁は、前記帰還経路に連結される流入口を有する弁カバーと、前記受熱部に連結される流出口を有するとともに前記弁カバーとにより箱体を構成する弁ホルダーと、前記弁ホルダーの凹部内を可動自在に設けた第1弁体と、前記箱体内に設けた、前記逆止弁前後の圧力をバランスさせる圧力バランス手段とを備え、前記受熱部内の圧力の上昇時で、前記第1弁体の非作動時に、前記圧力バランス手段により、前記逆止弁前後の圧力をバランスさせる構成としたものであるので、冷却効果を高めることが出来る。すなわち、本発明においては、冷媒となる作動流体の循環経路を、受熱部、放熱経路、放熱部、帰還経路、前記受熱部とすることで、作動流体の循環方向を一方向とすると共に、前記帰還経路の受熱部側に、前記受熱部内に前記作動流体を供給する流入管を接続し、前記流入管の先端に前記作動流体の流れを制御する逆止弁を設けている。この逆止弁の弁本体の可動部が弁ホルダー内で、弁本体がこの上に溜まった作動流体の水頭による圧力によって開くこと、つまり弁本体の可動部は弁ホルダー内で可動させる構成としたので、過剰な開口状態とはならず、その結果として、受熱部内へ作動流体を過剰供給せず、作動流体の供給を適量に制御できることになる。また、導入管から受熱板へ滴下した作動流体は、直後に気化し沸騰に伴う急激な体積膨張によって、蒸気が導入管と受熱板との隙間から高速気流として受熱板面上を移動することになり、導入管出口周辺の受熱板全面に広く作動流体が薄い膜として形成されることになる。そして、この膜状作動流体が、受熱板からの熱を受けて一瞬にして加熱気化することで高熱伝達率の除熱が可能となり、極めて高い冷却効果を得ることができるのである。さらに、受熱部内での作動流体は、気化分を除いた残りはすべて液相であり、受熱部にそのまま残留すると、気化の妨げとなるため、速やかに受熱部から移動させることが必要である。これに対して本発明では、気化による急激な体積膨張が、作動流体の気相分だけでなく、受熱部内に残存する液相分も同時に放熱部へ高速移動させるだけの駆動力を発生できるため、結果として冷却対象物の除熱エネルギーのみを使い、受熱部から凝縮部へ作動流体の無動力搬送を実現することを可能としている。また、投入熱量の増加に伴う受熱部内圧力の圧力上昇により、第1弁体が開かない状態に陥った場合でも、圧力バランス手段である第2弁体により、導入管側の過剰な圧力を流入管側へ逃がして逆止弁前後の圧力をバランスさせることで、第1弁体が開き作動流体が受熱部内へ供給され、作動流体を安定的に循環させることができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。実施の形態1図1に示すように、電気自動車1の車軸図示せずを駆動する電動機図示せずは、電気自動車1の内に配置した電力変換装置であるインバータ回路2に接続されている。インバータ回路2は、電動機に電力を供給するもので、複数の半導体スイッチング素子図2の10を備えおり、この半導体スイッチング素子図2の10が動作中に発熱する。このため、この半導体スイッチング素子図2の10を冷却するために、冷却装置3を備えている。冷却装置3は、受熱部4と、この受熱部4で吸収した熱を放熱する放熱部5を備え、受熱部4と放熱部5の間で熱媒体となる作動流体図2の12で、例えば水を循環させる放熱経路6、帰還経路7を設けることで、受熱部4、放熱経路6、放熱部5、帰還経路7、前記受熱部4となる循環経路を構成している。つまり、この循環経路においては、作動流体図2の12が、気体水の場合水蒸気や液体及びその混合状態で、受熱部4、放熱経路6、放熱部5、帰還経路7、前記受熱部4と一方向に、循環するようになっている。前記放熱部5は、図2に示すように、外気に熱を放出する放熱体8を備えている。この放熱体8は、アルミニウムを短冊状に薄く形成したフィンを所定の間隔をあけて積層したブロック体図示せずと、積層したフィンを貫通する放熱経路6とで構成されている。そして、この放熱体8の界面に送風機9から外気を送風することで、放熱をさせている。なお、この放熱体8の界面からの放熱は、電気自動車1車内の暖房に活用することも出来る。また、受熱部4は、図2に示すように、半導体スイッチング素子10に接触させて熱を吸収する受熱板11と、この受熱板11の界面を覆い、流れ込んだ作動流体12を蒸発させる受熱空間13を形成する受熱板カバー14とを備えている。さらに、受熱板カバー14には、受熱空間13に液化した作動流体12を流し込む流入口15と、受熱空間13から作動流体12を気体にして排出する排出口16が設けられている。すなわち、受熱板カバー14の上面に流入口15、受熱板カバー14の側面に排出口16を設けており、流入口15には帰還経路7を接続し、また排出口16には放熱経路6を接続している。さらに、前記帰還経路7の受熱部4側には、前記受熱部4内に前記作動流体12を供給する流入管19と逆止弁18を有し、逆止弁18に接続した導入管17を受熱空間13内に突入させている。このような構成による冷却装置3の作用について説明する。上記構成において、インバータ回路2の半導体スイッチング素子10が動作を開始すると電動機に電力が供給されて、電気自動車1は、動き出すこととなる。このとき、半導体スイッチング素子10には大電流が流れることにより、少なくとも全電力の数が損失となって大きく発熱する。一方で、半導体スイッチング素子10から発される熱は、受熱空間13の受熱板11上に供給された液状の作動流体12に、半導体スイッチング素子10から熱が移動されると、この液状の作動流体12は一瞬にして気化することになり、排出口16から放熱経路6へと流れ、放熱部5で熱を外気に放出する。放熱部5の作用によって熱を放出した作動流体12は、液化して帰還経路7へと流れ、導入管17内の逆止弁18上に溜まることとなる。液化した作動流体12は、徐々に帰還経路7内で増加する一方、受熱空間13内での作動流体12の気化量が減少し、受熱空間13内の圧力も減少し、逆止弁18上に溜まった作動流体12の水頭圧によって逆止弁18を押し下げると、再び受熱空間13内の受熱板11上に供給される。このようにして作動流体12が冷却装置3内を循環することで、半導体スイッチング素子10の冷却を行なうことになる。ここで、受熱空間13内の冷却のメカニズムについて説明を加える。受熱空間13内では、帰還経路7からの作動流体12は、逆止弁18から受熱板11上に液滴となって滴下される。このとき受熱板11の界面を放射状に流路が拡大する形状にしており、後述する逆止弁18の作用により作動流体12を適量供給できる。そして、次に、供給された作動流体12は、前記した通り沸騰時の体積膨張による高速気流で薄い膜状冷媒として受熱板11上に広がる。受熱板11の裏面側は、半導体スイッチング素子10に接触しているので、受熱板上の薄い膜状冷媒となった作動流体12は、一瞬にして加熱気化することで高い冷却効果を生むことになる。受熱空間13を含む循環経路内の気圧は、大気圧よりも低く設定しているので、作動流体12は、水を使用しても大気圧中の水の沸騰に比べて低い温度で気化させることができる。本実施の形態では、内圧を-97KPaに減圧して、循環経路内を飽和蒸気圧状態にしておくことで、外気温に応じた沸騰温度が決定され容易に水を気化させることができ、このときに半導体スイッチング素子10の熱を効率的に奪い、冷却することができる。また、作動流体12が気化するときに受熱空間13内の圧力が増加するが、逆止弁18の作用により作動流体12は、逆流して帰還経路7側へ戻ることはなく、確実に排出口16から放熱経路6へ放出されることになる。このように冷却装置3を動作させることで、規則的な受熱と放熱のサイクルができ、連続して作動流体12を受熱空間13内で気化させて半導体スイッチング素子10の冷却を行なうことができ、大きな冷却効果を得ることができる。ここで、本発明の最も特徴的な部分について説明する。逆止弁18は図3の分解図に示すように、開口20を有する第1弁体21と、第1弁体21の上面に開口20を覆うように設けた、第1弁体21より小さい第2弁体22と、凹部23図5と流入口15を有する弁カバー24と、凹部25と導入口26を有する弁ホルダー27とで構成され、第1弁体21は弁ホルダー27の凹部25内を可動し、第2弁体22は弁カバー24の凹部23内を可動する構成としている。本実施の形態において、圧力バランス手段は、第1弁体21に設けた開口20と、この開口を覆うように第1弁体21の上面に設けた第2弁体22とで構成しており、開口20は円孔で、その大きさは流入管19の内径より小さくしている。第1弁体21および第2弁体22の材質は、銅や黄銅またはSUS等である。図4の組立図に示すように、第1弁体21はその可動部が弁ホルダー27の凹部25に収まるように弁ホルダー27と弁カバー24とで挟み込んで固定され、弁ホルダー27、弁カバー24は、ネジ等図示せずで固定している。これにより、第1弁体21の可動部は、弁ホルダー27の凹部25内のみ可動し、この凹部25の深さは1~2mm程度で、逆止弁18が開いても受熱部4内へ作動流体12を過剰供給せず、作動流体12の供給を適量に制御できる。また、図2の受熱板11上へ滴下した作動流体12は、前述したように受熱板11の界面を周囲に拡散するように薄い膜として受熱板11上に広がり、熱くなった受熱板11の熱を受けて、一瞬にして加熱され気化することとなり、伝熱面における熱伝達率が向上し、冷却効果を高めることができる。さらに、この気化による体積膨張により、その受熱部内部の作動流体を高速流として排出口16まで移動させることができ、この時、気化した作動流体以外の余剰作動流体も同時に受熱板11上から排除され、気化に必要な作動流体膜が常に形成されるため、その結果としても伝熱面における熱伝達率が上昇し、冷却効果を高めることができることになる。また、第2弁体22は第1弁体21より小さいため、弁カバー24に設けた凹部23の大きさ、深さは弁ホルダー27の凹部25と同等以下で、第2弁体22が可動して、受熱部4内の圧力を逃がすことができればよい。次に、圧力バランス手段の作用について図5を用いて説明する。図5aは、作動流体12が受熱板11の熱を受けて気化が始まり、受熱空間13内の圧力が上昇した場合の第1弁体21が閉じた状態。図5bは、受熱部4内の作動流体12の量が気化にともなって減少し、受熱空間13内の圧力が下降するため、第1弁体21が開き、作動流体12が受熱部4内へ供給される状態。5cは、逆止弁18前後の圧力バランスが崩れ、受熱空間13内の圧力が過度に上昇し、第2弁体22が開いた状態である。すなわち、通常の作動流体12の循環では、図5a、bの状態を繰り返すが、半導体スイッチング素子10から発される熱が変動し、通常より多量の熱を発した場合、図5aの第1弁体21、第2弁体22が閉じた状態で、受熱部4内の気化する作動流体12の量が通常より増加し、受熱空間13内の圧力が通常より急上昇する場合がある。このとき、図5cのように受熱空間13内の圧力上昇により、第1弁体21が閉鎖状態となるが、ある一定の圧力に到達すると第2弁体22が開き、逆止弁18前後の圧力バランスを通常の状態に戻すことになる。その結果、次の瞬間、第1弁体21が開き図5bの状態となるため、作動流体12が受熱板11への供給が再開されることになり、また、しばらく図5a、図5bの状態を繰り返すことになる。このように、圧力バランス手段として、第1弁体21に開口20と、この開口20を覆うように第1弁体21の上面に第2弁体22を設けることにより、受熱部4内の過剰な圧力上昇により第1弁体21が開かない状態に陥ったと場合でも、第2弁体22がその圧力を逃がすように上方に可動し開くため、次の瞬間、圧力のアンバランスの緩和がおこり、開口20から作動流体12が受熱部4内へ供給され、作動流体12を継続的に循環させることができることになる。なお、本実施の形態では、逆止弁18、すなわち第1弁体21を略水平に設置したが、作動流体12の水頭による圧力によって第1弁体21を可動できれば設置方向は斜めや略垂直でもよい。ただし、応答性作動流体12の量と水頭による圧力の関係を考慮すれば、略水平が好ましい。実施の形態2図6に、圧力バランス手段として第1弁体31に微細孔32を設けた構成を示す。実施の形態1と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。図6aは、実施の形態1の図5aに相当し、作動流体12が受熱板11の熱を受けて気化が始まり、受熱空間13内の圧力が上昇し、第1弁体21が閉じた状態である。図6bは、実施の形態1の図5bに相当し、受熱部4内の気化する作動流体12の量が減少し、受熱空間13内の圧力が下降し、第1弁体21が開いた、作動流体12が受熱部4内へ供給される状態である。図6cは、図6aのA-A矢視断面であり、第1弁体31の可動部の略中央部に微細孔32を設けている。弁カバー33は、実施の形態1の弁カバー24に設けられた凹部23が設けられておらず、流入口15のみ設けられている。次に図7を用いて、第1弁体31に設けた微細孔32の圧力バランス作用について説明する。図7aは図6aの第1弁体21が閉じた状態における、微細孔32近傍の作動流体12の状態を示している。図7cは図6aと同じ第1弁体21が閉じた状態を示している。逆止弁18前後の圧力バランスとしては、受熱部4側の圧力が高く、微細孔32は図7aに示す作動流体12のメニスカス界面張力によって細管内の液体の界面がつくる凸状または凹状の曲面によって、液封され、逆止弁18前後の圧力差を保持している。図7bは半導体スイッチング素子10から発される熱が変動し、通常より多量の熱を発した場合のメニスカス状態を示したものである。すなわち、加熱量が増加した場合、図6aから図6bへ移行せず、第1弁体21が閉じた状態を継続し、受熱部4内の気化量増加に伴う受熱空間13内の圧力上昇により、微細孔32のメニスカスが破壊され、受熱部4内の蒸気が微細孔32から気泡として流入管19逆止弁18前側に移動した状態を示している。この移動により、受熱空間13内逆止弁18後の圧力を下げると共に流入管19逆止弁18前側の圧力を上げるため、逆止弁18前後の圧力バランスを通常の状態に戻すことができる。ここで、微細孔32の大きさは、作動流体12の界面張力によるメニスカス形成の可否で決定され、作動流体12が水の場合、例えば1mm前後が好ましい。このように、圧力バランス手段として、第1弁体31に微細孔32を設けることにより、受熱部4内の過剰な圧力上昇に伴い第1弁体31が開かない状態に仮に陥ったとしても、微細孔32から圧力を逃がすため、逆止弁18前後の圧力バランスを通常の状態に戻すことができるので、第1弁体31の開閉が再開され、受熱部内へ作動流体12を安定的に循環させることができることになる。実施の形態3図8に、圧力バランス手段として弁カバー34に圧力補正スリット35を設けた構成を示す。実施の形態1、2と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。図8aは図6a、図8bは図6bに相当し、図8cは、図8aのB-B矢視断面であり、弁カバー34に断面が三角形状の圧力補正スリット35を複数図8では7個設けている。この圧力補正スリット35は、図8aの状態では、内部が作動流体12で満たされており、図7aと同様に、受熱部4側のスリット開口部には、作動流体12の界面張力によるメニスカスが形成され、液封されている。実施の形態2の微細孔32との違いは、スリット断面が三角形状であり、受熱部4内の蒸気がスリット開口部から気泡としてスリット内を移動するため、抵抗が大きい点である。そのため、図8cに示すように、7個の圧力補正スリット35を設けている。圧力バランス手段としての作用は実施の形態2の微細孔32と同じであり、詳細な説明は省略する。このように、圧力バランス手段として、弁カバー34に圧力補正スリット35を設けることにより、実施の形態2と同様に、受熱部4内の過剰な圧力上昇に伴い第1弁体31が開かない状態に陥っても、圧力補正スリット35から圧力を逃がすことができ、逆止弁18前後の圧力バランスを通常の状態に戻すことができるので、第1弁体31が開いて作動流体12が受熱部内へ供給され、作動流体12を安定的に循環させることができる。なお、上記実施形態においては、冷却装置3を電気自動車1に適用したものを説明したが、電力変換装置であるインバータ回路2は電子機器でもあり、電子機器に冷却装置3を適用することも出来る。