"光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明する光学装置において、前記光源と前記第1領域との間の光路中に配置されて、前記光源からの光を集光して、第3方向の長さよりも前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域を所定面に形成するコレクター光学部材と、前記第2領域を含む所定面内に設けられ、前記コレクター光学部材の光を前記第1領域に導く複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学部材と、を備えることを特徴とする光学装置。前記第1フライアイ光学部材と前記第1領域との間の光学系によって前記第3方向が前記第1領域に射影される方向が前記第1方向であるとともに、前記第4方向が射影される方向が前記第2方向であることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。前記コレクター光学部材は、前記第2領域における前記第3方向の長さよりも、前記第4方向の長さが、1.1倍以上長い光を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の光学装置。前記コレクター光学部材は、前記第2領域における前記第3方向の長さと前記第4方向の長さとのアスペクト比が、1:αとすると、αが1.1以上の条件を満たす光を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の光学装置。前記コレクター光学部材は、前記光源からの光を集光する集光面の曲率が、第1断面と前記第1断面に直交する第2断面とで異なることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光学装置。前記コレクター光学部材は、前記光源からの光を反射して集光することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光学装置。前記コレクター光学部材は、前記光源の一次像を形成することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光学装置。前記コレクター光学部材は、非球面状で且つ凹面状の反射面および貫通孔を有する第1反射鏡と、前記光源と前記第1反射鏡との間の光路中に配置されて、非球面状で且つ凸面状の反射面および貫通孔を有する第2反射鏡と、を備え、前記光源からの光を、前記第2反射鏡の貫通孔、前記第1反射鏡の反射面、前記第2反射鏡の反射面、および前記第1反射鏡の貫通孔を介して、前記第2領域に整形させることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光学装置。前記第1光学要素は、前記第3方向の長さと前記第4方向の長さとが異なる外形形状を有し、前記所定面内の前記第3方向と前記第4方向とに沿って配列されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光学装置。前記第1光学要素は、前記第3方向の長さより前記第4方向の長さが長い外形形状を有し、前記第1光学要素の集合体は、前記第3方向より前記第4方向に長いことを特徴とする請求項9に記載の光学装置。前記第1フライアイ光学部材と前記第1領域との間の光路中に設けられ、前記複数の第1光学要素に光学的に対応するように設置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学部材を、さらに備えることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の光学装置。前記第1フライアイ光学部材は、前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも1つの光学要素が、前記第2領域と直交する面のうちで、前記第3方向に沿った面の曲率と、前記第4方向に沿った面の曲率とが互いに異なる光学面を有することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の光学装置。前記光学面の前記第3方向に沿った面の曲率C1と前記第4方向に沿った面の曲率C2とは、1.0<C1/C2<1.2または1.0<C2/C1<1.2の条件を満足することを特徴とする請求項12に記載の光学装置。光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明するために用いられる光学装置において、前記光源と前記第1領域との間の光路中に設けられ、第3方向の長さより前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い外形形状を有する第1光学要素を、所定面に複数配列するとともに、配列された前記第1光学要素の集合体の前記第3方向と前記第4方向の長さが互いに異なる第1フライアイ光学部材と、前記第1フライアイ光学部材と前記第1領域との間の光路中に設けられ、前記第1光学要素に光学的に対応するように設置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学部材と、を備えることを特徴とする光学装置。前記第1フライアイ光学部材と前記第1領域との間の光学系によって前記第3方向が射影される方向が前記第1方向であるとともに、前記第4方向が射影される方向が前記第2方向であることを特徴とする請求項14に記載の光学装置。前記第1フライアイ光学部材は、前記第3方向に沿って配列される前記第1光学要素の数と、前記第4方向に沿って配列される前記第1光学要素の数が互いに異なるように、配列することを特徴とする請求項14または15に記載の光学装置。前記第1光学要素が円弧状の外形形状を有するとともに、前記第2光学要素が多角形状の外形形状を有することを特徴とする請求項14乃至16のいずれか1項に記載の光学装置。前記第1領域は、円弧状の外形形状を有し、前記第1方向は、前記円弧状の辺が互いに隣り合うように前記複数の第1光学要素が設置される方向に対応し、前記第2方向は、前記円弧状の両端が互いに隣り合うように前記複数の第1光学要素が設置される方向に対応していることを特徴とする請求項17に記載の光学装置。前記第1フライアイ光学部材は、配列された前記第1光学要素の集合体の前記第3方向と前記第4方向とのアスペクト比が1:αとすると、αが1.1以上の条件を満たすことを特徴とする請求項14乃至18のいずれか1項に記載の光学装置。前記第1フライアイ光学部材は、配列された前記第1光学要素の集合体が、前記第3方向に対して前記第4方向に1.1倍以上長いことを特徴とする請求項14乃至19のいずれか1項に記載の光学装置。前記第1フライアイ光学部材は、前記第1光学要素の集合体が、前記第3方向に20列以上、前記第4方向に5列以上配列されることを特徴とする請求項14乃至20のいずれか1項に記載の光学装置。前記複数の第1光学要素および前記複数の第2光学要素が、凹面反射鏡の形態を有することを特徴とする請求項14乃至21のいずれか1項に記載の光学装置。前記光源と前記第1フライアイ光学部材との間の光路中に配置されて、前記光源からの光を集光して、所定面に前記第3方向の長さよりも前記第4方向の長さが長い第2領域を形成するコレクター光学部材をさらに備え、前記複数の第1光学要素は、前記所定面内に配置されることを特徴とする請求項14乃至22のいずれか1項に記載の光学装置。前記第1フライアイ光学部材は、前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも1つの光学要素が、前記第2領域と直交する面のうちで、前記第3方向に沿った面の曲率と、前記第4方向に沿った面の曲率とが互いに異なる光学面を有することを特徴とする請求項14乃至23のいずれか1項に記載の光学装置。前記光学面の前記第3方向に沿った面の曲率C1と前記第4方向に沿った面の曲率C2とは、1.0<C1/C2<1.2または1.0<C2/C1<1.2の条件を満足することを特徴とする請求項24に記載の光学装置。光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明するために用いられる光学装置において、第2領域を含む所定面内に設けられ、複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学部材を備え、前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも一つの光学要素が、前記第2領域と直交する面のうちで、第3方向に沿った面の曲率と、前記第3方向と交差する第4方向に沿った面の曲率とが互いに異なる光学面を有することを特徴とする光学装置。前記光学面の前記第1方向に沿った面の曲率C1と前記第2方向に沿った面の曲率C2とは、1.0<C1/C2<1.2または1.0<C2/C1<1.2の条件を満足することを特徴とする請求項26に記載の光学装置。前記第1フライアイ光学部材と前記第1領域との間の光路中に設けられ、前記第1光学要素に光学的に対応するように設置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学部材を、さらに備えることを特徴とする請求項26または27に記載の光学装置。前記光源と前記第1フライアイ光学部材との間の光路中に配置されて、前記光源からの光を集光して、第3方向の長さよりも前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域を所定面に形成するコレクター光学部材を、さらに備えることを特徴とする請求項26乃至28のいずれか1項に記載の光学装置。前記第2フライアイ光学部材は、前記複数の第2光学要素を、第3領域の第5方向と前記第5方向と交差する第6方向とに配列しており、前記複数の第2光学要素のうち少なくとも1つの光学要素が、前記第3領域と直交する面のうちで、前記第5方向に沿った面の曲率と、前記第6方向に沿った面の曲率とが互いに異なる光学面を有することを特徴とする請求項11乃至25、28、29のいずれか1項に記載の光学装置。前記光源から供給される光は、波長が5nm乃至20nmのEUV光であることを特徴とする請求項1乃至30のいずれか1項に記載の光学装置。前記第1領域に形成された所定のパターンを照明するための請求項1乃至31のいずれか1項に記載の光学装置を備え、前記所定のパターンを感光性基板に露光することを特徴とする露光装置。前記所定のパターンの像を前記感光性基板に形成する投影光学系をさらに備え、該投影光学系に対して前記所定のパターンおよび前記感光性基板を走査方向に沿って相対移動させて、前記所定のパターンを前記感光性基板へ投影露光することを特徴とする請求項32に記載の露光装置。前記走査方向は、前記第1方向に平行な方向であることを特徴とする請求項33に記載の露光装置。請求項32乃至34のいずれか1項に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程と、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。所定面内に設けられるフライアイ光学部材に光を供給する光源装置において、光を発生する発光部と、前記発光部で発生した光を集光して、第3方向の長さよりも前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域を前記所定面内に形成するコレクター光学部材と、を備えることを特徴とする光源装置。前記コレクター光学部材は、前記第2領域における前記第3方向の長さよりも、前記第4方向の長さが、1.1倍以上長い光を形成することを特徴とする請求項36に記載の光源装置。前記コレクター光学部材は、前記第2領域における前記第3方向の長さと前記第4方向の長さとのアスペクト比が、1:αとすると、αが1.1以上の条件を満たす光を形成することを特徴とする請求項36または37に記載の光源装置。前記コレクター光学部材は、前記光源からの光を集光する集光面の曲率が、第1断面と前記第1断面に直交する第2断面とで異なることを特徴とする請求項36乃至38のいずれか1項に記載の光源装置。前記コレクター光学部材は、前記光源からの光を反射して集光することを特徴とする請求項36乃至39のいずれか1項に記載の光源装置。前記コレクター光学部材は、前記光源の一次像を形成することを特徴とする請求項36乃至40のいずれか1項に記載の光源装置。前記コレクター光学部材は、非球面状で且つ凹面状の反射面および貫通孔を有する第1反射鏡と、前記光源と前記第1反射鏡との間の光路中に配置されて、非球面状で且つ凸面状の反射面および貫通孔を有する第2反射鏡と、を備え、前記光源からの光を、前記第2反射鏡の貫通孔、前記第1反射鏡の反射面、前記第2反射鏡の反射面、および前記第1反射鏡の貫通孔を介して、前記第2領域に整形させることを特徴とする請求項36乃至41のいずれか1項に記載の光源装置。光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明する照明方法において、所定面上の第2領域に前記光源からの光を集光して導くことと;前記所定面上で第3方向の長さより前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い外形形状を有する複数の光束に波面分割することと;該波面分割された複数の光束を前記第1領域へ導くことと;を含み、前記第2領域は、前記第3方向の長さよりも前記第4方向の長さが長い形状を有し、前記所定面上での前記複数の光束は、前記第3方向と前記第4方向とに沿って複数配列されることを特徴とする照明方法。前記第3方向が射影される方向が前記第1方向であるとともに、前記第4方向が射影される方向が前記第2方向であることを特徴とする請求項43に記載の照明方法。前記複数の光束は、前記第3方向と前記第4方向とにおける長さが互いに異なることを特徴とする請求項43または44に記載の照明方法。前記集光して導くことでは、前記光源からの光がコレクター光学部材の第1断面によって集光されるとともに、前記第1断面に直交し、前記第1断面とは異なる曲率を有する前記コレクター光学部材の第2断面によって集光されることを特徴とする請求項43乃至45のいずれか1項に記載の照明方法。前記集光して導くことでは、前記コレクター光学部材の前記第1断面で集光される光によって前記光源の一次像を形成することと;前記第2断面で集光される光によって前記光源の一次像を形成することと;を備え、前記第1断面で集光される光を、前記光源と前記第1領域との間の第1集光位置で集光させ、且つ前記第2断面で集光される光を、前記光源と前記第1集光位置の間の第2集光位置で集光させることを特徴とする請求項46に記載の照明方法。請求項43乃至47のいずれか1項に記載の照明方法を用いて所定のパターン上の前記第1領域を照明することと;前記所定のパターンを感光性基板に露光することと;を含むことを特徴とする露光方法。請求項48に記載の露光方法を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光することと;前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成することと;前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工することと;を含むことを特徴とするデバイス製造方法。光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明するために用いられる光学装置の製造方法において、前記光源からの光を集光して、第3方向の長さよりも前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域を所定面に形成するコレクター光学部材を得ることと;前記第2領域を含む所定面内に、複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学部材を設置することと;を備えることを特徴とする光学装置の製造方法。光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明するために用いられる光学装置の製造方法において、第3方向の長さより前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い外形形状を有する複数の第1光学要素を準備することと;前記複数の第1光学要素を前記第3方向と前記第4方向とに配列する前記第1光学要素の集合体が、前記第3方向の長さと前記第4方向の長さとで互いに異なる第1フライアイ光学部材を得ることと;を備える光学装置の製造方法。複数の第2光学要素を前記第1光学要素に光学的に対応するように設置する第2フライアイ光学部材を得ること;をさらに備えることを特徴とする請求項50または51に記載の光学装置の製造方法。特許文献1に開示された照明光学系では、第1フライアイ光学部材中の複数の第1ミラー要素で波面分割された各光束が、第2フライアイ光学部材中の対応する第2ミラー要素を介して、被照射面であるマスクのパターン面に第1ミラー要素の像としての照明領域を重畳的に形成する。しかしながら、後述するように、第1フライアイ光学部材と第2フライアイ光学部材との相対的な配置などに起因してディストーションが発生し、被照射面に形成される第1ミラー要素の像は第1ミラー要素と相似な形状にはならない。その結果、複数の第1ミラー要素により波面分割された複数の光束が被照射面に形成する各照野は、所望の外形形状の重畳照明領域から外れて形成され、いわゆる照野の重なり誤差に起因する光量損失が発生する。本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、光量損失を小さく抑え、且つ光効率の高い所要の照明条件で被照射面を照明することを目的とする。第1形態では、光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明する光学装置において、前記光源と前記第1領域との間の光路中に配置されて、前記光源からの光を集光して、第3方向の長さよりも前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域を所定面に形成するコレクター光学部材と、前記第2領域を含む所定面内に設けられ、前記コレクター光学部材の光を前記第1領域に導く複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学部材と、を備えることを特徴とする光学装置を提供する。第2形態では、光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明するために用いられる光学装置において、前記光源と前記第1領域との間の光路中に設けられ、第3方向の長さより前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い外形形状を有する第1光学要素を、所定面に複数配列するとともに、配列された前記第1光学要素の集合体の前記第3方向と前記第4方向の長さが互いに異なる第1フライアイ光学部材と、前記第1フライアイ光学部材と前記第1領域との間の光路中に設けられ、前記第1光学要素に光学的に対応するように設置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学部材と、を備えることを特徴とする光学装置を提供する。第3形態では、光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明するために用いられる光学装置において、第2領域を含む所定面内に設けられ、複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学部材を備え、前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも一つの光学要素が、前記第2領域と直交する面のうちで、第3方向に沿った面の曲率と、前記第3方向と交差する第4方向に沿った面の曲率とが互いに異なる光学面を有することを特徴とする光学装置を提供する。第4形態では、前記第1領域に形成された所定のパターンを照明するための第1形態、第2形態、または第3形態の光学装置を備え、前記所定のパターンを感光性基板に露光することを特徴とする露光装置を提供する。第5形態では、第4形態の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程と、を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。第6形態では、所定面内に設けられるフライアイ光学部材に光を供給する光源装置において、光を発生する発光部と、前記発光部で発生した光を集光して、第3方向の長さよりも前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域を前記所定面内に形成するコレクター光学部材と、を備えることを特徴とする光源装置を提供する。第7形態では、光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明する照明方法において、所定面上の第2領域に前記光源からの光を集光して導くことと;前記所定面上で第3方向の長さより前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い外形形状を有する複数の光束に波面分割することと;該波面分割された複数の光束を前記第1領域へ導くことと;を含み、前記第2領域は、前記第3方向の長さよりも前記第4方向の長さが長い形状を有し、前記所定面上での前記複数の光束は、前記第3方向と前記第4方向とに沿って複数配列されることを特徴とする照明方法を提供する。第8形態では、第7形態の照明方法を用いて所定のパターン上の前記第1領域を照明することと;前記所定のパターンを感光性基板に露光することと;を含むことを特徴とする露光方法を提供する。第9形態では、第8形態の露光方法を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光することと;前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成することと;前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工することと;を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。第10形態では、光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明するために用いられる光学装置の製造方法において、前記光源からの光を集光して、第3方向の長さよりも前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域を所定面に形成するコレクター光学部材を得ることと;前記第2領域を含む所定面内に、複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学部材を設置することと;を備えることを特徴とする光学装置の製造方法を提供する。第11形態では、光源からの光により第1方向の長さよりも前記第1方向と交差する第2方向の長さが長い第1領域を照明するために用いられる光学装置の製造方法において、第3方向の長さより前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い外形形状を有する複数の第1光学要素を準備することと;前記複数の第1光学要素を前記第3方向と前記第4方向とに配列する前記第1光学要素の集合体が、前記第3方向の長さと前記第4方向の長さとで互いに異なる第1フライアイ光学部材を得ることと;を備える光学装置の製造方法を提供する。本発明の一態様によれば、光量損失の発生を小さく抑え、且つ光効率の高い所要の照明条件で被照射面を照明することができる。その結果、高いスループットを達成することができる。以下、実施形態を、添付図面に基づいて説明する。図1は、本発明の実施形態にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。図1では、感光性基板であるウェハWの表面露光面の法線方向に沿ってZ軸を、ウェハWの表面において図1の紙面に平行な方向にY軸を、ウェハWの表面において図1の紙面に垂直な方向にX軸をそれぞれ設定している。図1を参照すると、本実施形態の露光装置では、DPPDischargeProducedPlasmaタイプの光源ユニットLUと、コレクター光学部材1とを備える光源装置から露光光照明光が供給される。DPPタイプの光源ユニットLUでは、ターゲット物質からなる電極、あるいは電極間にターゲット物質が存在する状態で電極間に電圧を印加すると、ある電圧を越えた時点で電極間に放電が生じ、ターゲット材料をプラズマ化する。この放電によって電極間に大電流が流れ、この電流によって生じる磁場によりプラズマ自身が微小空間内に圧縮され、プラズマ温度を上昇させる。この高温プラズマからEUV光が放出される。このように、放電によりプラズマにエネルギーを供給し励起し、EUV光を放出させる光源を一般にDPP光源と呼ぶ。光源ユニットLUから放射されたEUV光は、コレクター光学部材1を介して、コリメータ光学部材2に入射する。コレクター光学部材1は、光源ユニットLUからの光の入射順に、中央に貫通孔が形成された凹面反射鏡1aと、同じく中央に貫通孔が形成された凸面反射鏡1bとを備えている。第1反射鏡としての凹面反射鏡1aは、光源ユニットLUに向かって凹面状の反射面を有し、第2反射鏡としての凸面反射鏡1bは凹面反射鏡1aに向かって凸面状の反射面を有する。光源ユニットLUの発光点P1より発した発散光は、凸面反射鏡1bの貫通孔を介して、凹面反射鏡1aに入射する。凹面反射鏡1aの反射面で反射された光は、凸面反射鏡1bの反射面で反射された後、凹面反射鏡1aの貫通孔を介して、点P2に集光する。すなわち、コレクター光学部材1は、光源ユニットLUからの光を反射して集光し、点P2の位置に光源の一次像を形成する。点P2で一旦集光したEUV光は、点P2の近傍に配置されたピンホール部材不図示を通過した後、凹面反射鏡の形態を有するコリメータ光学部材2を経てほぼ平行光束となり、所定面上の第2領域に整形される。第2領域に整形されたEUV光は、所定面上に設けられるフライアイ光学部材31の入射面から入射して、一対のフライアイ光学部材31および32からなるオプティカルインテグレータ3に導かれる。フライアイ光学部材31および32の構成および作用については後述する。オプティカルインテグレータ3の射出面の近傍、すなわち第2フライアイ光学部材32の反射面の近傍位置照明瞳の位置には、所定の形状を有する実質的な面光源瞳強度分布が形成される。この実質的な面光源からの光は、平面状の反射面を有する偏向部材4および凹面反射鏡の形態を有するコンデンサー光学系5を経た後、照明光学系IL1~5から射出される。上記の実質的な面光源が形成される照明光学系ILの照明瞳の位置は、後述する投影光学系PLの入射瞳の位置、または投影光学系PLの入射瞳と光学的に共役な位置である。照明光学系ILから射出された光は、反射型のマスクレチクルMにほぼ平行に且つ近接して配置された視野絞り不図示の円弧状の開口部光透過部を介して、マスクMのパターン面上に円弧状の重畳照明領域第1領域を形成する。マスクMには、転写すべきパターンとして、例えばデバイス用の回路パターンが形成されている。照明光学系ILは、光源ユニットLUからの光により照明瞳に実質的な面光源からなる瞳強度分布を形成し、この瞳強度分布からの光によりマスクM上のパターンをケーラー照明する。マスクMは、そのパターン面がXY平面に沿って延びるように、Y方向に沿って移動可能なマスクステージMSによって保持されている。マスクステージMSの移動は、周知の構成を有するレーザ干渉計不図示により計測される。照明されたマスクMのパターンからの光は、反射型の投影光学系PLを介して、感光性基板であるウェハW上にマスクパターンの像を形成する。すなわち、ウェハW上には、後述するように、たとえばY軸に関して対称な円弧状の静止露光領域実効露光領域が形成される。投影光学系PLは、一例として、マスクMのパターンの中間像を形成する第1反射結像光学系と、マスクパターンの中間像の像マスクMのパターンの二次像をウェハW上に形成する第2反射結像光学系とにより構成されている。第1反射結像光学系は4つの反射鏡MR1~MR4により構成され、第2反射結像光学系は2つの反射鏡MR5およびMR6により構成されている。また、投影光学系PLはウェハ側像側にテレセントリックな光学系である。ウェハWは、その露光面がXY平面に沿って延びるように、X方向およびY方向に沿って二次元的に移動可能なウェハステージWSによって保持されている。ウェハステージWSの移動は、周知の構成を有するレーザ干渉計不図示により計測される。こうして、マスクステージMSおよびウェハステージWSをY方向に沿って移動させながら、すなわち投影光学系PLに対してマスクMおよびウェハWをY方向に沿って相対移動させながら走査露光スキャン露光を行うことにより、ウェハWの1つの矩形状のショット領域にマスクMのパターンが転写される。このとき、投影光学系PLの投影倍率転写倍率が例えば1/4である場合、ウェハステージWSの移動速度をマスクステージMSの移動速度の1/4に設定して同期走査を行う。また、ウェハステージWSをX方向およびY方向に沿って二次元的にステップ移動させながら走査露光を繰り返すことにより、ウェハWの各ショット領域にマスクMのパターンが逐次転写される。なお、上述の説明では、マスクをY方向に移動させているが、Y方向に対して斜めの方向にマスクを移動斜め走りさせても良い。図2は、本実施形態における1回の走査露光を概略的に説明する図である。図2を参照すると、本実施形態の露光装置では、投影光学系PLの円弧状の有効結像領域および有効照明領域に対応するように、Y軸に関して対称な円弧状の静止露光領域ERがウェハWの表面上に形成され、同じくY軸に関して対称な円弧状の第1領域がマスクMのパターン面上に形成される。換言すれば、Y方向は第1領域および静止露光領域ERの円弧状の外形形状の中心を通る円弧状の辺の法線方向に対応し、X方向はY方向に垂直な方向に対応している。円弧状の露光領域ERは、1回の走査露光スキャン露光によりウェハWの矩形状の1つのショット領域SRにマスクMのパターンを転写する際に、図中実線で示す走査開始位置から図中破線で示す走査終了位置まで移動する。オプティカルインテグレータ3において、第1フライアイ光学部材31は、図3に示すように、複数の第1ミラー要素第1光学要素31aを備えている。複数の第1ミラー要素31aは、凹面反射鏡の形態を有し、照明光学系ILの被照射面であるマスクMのパターン面と光学的に共役な位置における所定面に、並列配置されている。第2フライアイ光学部材32は、図4に示すように、複数の第2ミラー要素第2光学要素32aを備えている。複数の第2ミラー要素32aは、凹面反射鏡の形態を有し、複数の第1ミラー要素31aと光学的に一対一対応するように並列配置されている。図3では、第1フライアイ光学部材31の入射面において、X方向に対応する方向にx1方向を設定し、その入射面においてx1方向と直交する方向にy1方向を設定している。なお、第1フライアイ光学部材31の入射面とは、所定面内で複数の第1ミラー要素31aの反射面が占める領域である。同様に、図4では、第2フライアイ光学部材系32の入射面においてX方向に対応する方向にx2方向を設定し、その入射面においてx2方向と直交する方向にy2方向を設定している。なお、第2フライアイ光学部材32の入射面とは、所定面内で複数の第2ミラー要素32aの反射面が占める領域である。すなわち、図3および図4におけるy1,y2方向は、マスクMおよびウェハWの走査方向Y方向に対応している。図3および図4では、図面の明瞭化のために、一対のフライアイ光学部材31,32を構成する多数のミラー要素31a,32aのうちの一部だけを表している。第1フライアイ光学部材31は、図3に示すように、円弧状の外形形状を有する第1ミラー要素31aを縦横に配置することにより構成されている。すなわち、第1ミラー要素31aは、円弧状の辺が互いに隣り合うようにy1方向に並んで配置され、且つ円弧状の両端が互いに隣り合うようにx1方向に並んで配置されている。第1ミラー要素31aが円弧状の外形形状を有するのは、上述したように、投影光学系PLの円弧状の有効結像領域および有効照明領域に対応して、マスクM上に円弧状の外形形状を有する第1領域を形成し、ひいてはウェハW上に円弧状の静止露光領域ERを形成するためである。円弧状の外形形状を有する第1領域を照明する場合、第1領域に対応した外形形状を有する光学要素とは、円弧状の外形形状を有する光学要素とすることができる。例えば、少なくとも一つの光学要素の外形形状は、第1領域の外形形状と相似な形状、第1領域の外形形状と姿勢、曲率、X方向およびY方向のアスペクト比等が異なる形状を有する。なお、第1領域および光学要素は、円弧状の外形形状を有する場合に限定されない。矩形状の外形形状を有する第1領域を照明する場合、第1領域に対応した外形形状を有する光学要素とは、矩形状の外形形状を有する光学要素とすることができる。このとき、光学要素の外形形状は、第1領域の外形形状と相似な形状、第1領域の外形形状と姿勢、曲率、X方向およびY方向のアスペクト比等が異なる形状を有する。また、第1領域の外形形状と光学要素の外形形状とが異なっていても良い。例えば、光学要素の外形形状は矩形状であり、光学要素で反射された照明光は、光学要素と第1領域との間に設けられた光学系によって、円弧状の外形形状を有する第1領域を形成するように、光学要素を構成しても良い。その他、様々な形状の第1領域を照明することやそれに対応した外形形状を有する光学要素を用いることができる。一方、第2フライアイ光学部材32は、図4に示すように、例えば正方形状に近い矩形状の外形形状を有する第2ミラー要素32aを縦横に配置することにより構成されている。すなわち、第2ミラー要素32aは、矩形状の辺が互いに隣り合うようにx2方向およびy2方向に並んで配置されている。第2ミラー要素32aが正方形状に近い矩形状の外形形状を有するのは、各第2ミラー要素32aの表面またはその近傍にほぼ円形状の小光源が形成されるからである。なお、第2ミラー要素32aの外形は、正方形状または長方形状に限定されることなく、四角形以外の多角形状三角形~八角形などでもよい。また、光量損失を最小限にするために、敷き詰め可能隙間なく光学要素を配置することが可能な形状が好ましい。第1フライアイ光学部材31の各々の第1要素ミラー31aの集合体の包絡線が楕円形状になっているのは、後述するように、オプティカルインテグレータ3に入射する光束すなわち第1フライアイ光学部材31に入射する光束の断面形状が楕円形状であり、照明効率を高めるためである。また、第2フライアイ光学部材32の各々の第2要素ミラー32aの集合体の包絡線が円形状に近い形状になっているのは、オプティカルインテグレータ3の射出面すなわち第2フライアイ光学部材32の射出面の近傍の照明瞳に形成される瞳強度分布実質的な面光源の外形形状がほぼ円形状であるためである。なお、第1要素ミラー31aの集合体の包絡線は、楕円形状に限らず、y1方向の長さよりもx1方向の長さが長い形状のものであれば良い。例えば、長方形状、多角形状、長円等、様々な形状の包絡線が描けるように第1要素ミラー31aを配置すれば良い。また、第2要素ミラー32aの集合体の包絡線も、円形状に近い形状に限らず、例えば、真円、楕円、長円、長方形状、多角形状等、様々な形状の包絡線が描けるように、第2要素ミラー32aを配置すれば良い。本実施形態において、オプティカルインテグレータ3に入射した光束は、第1フライアイ光学部材31中の複数の第1ミラー要素31aにより波面分割される。各第1ミラー要素31aにより反射された光束は、第2フライアイ光学部材32中の対応する第2ミラー要素32aに入射する。各第2ミラー要素32aにより反射された光束は、導光光学系としての偏向部材4およびコンデンサー光学系5を介して、マスクM上の円弧状の第1領域を重畳的に照明する。以下、本実施形態の特徴的な構成および作用の説明に先立って、従来技術における不都合を説明する。図1を参照すると、光源ユニットLUから光が、第1フライアイ光学部材31と第2フライアイ光学部材32との間で折り返された後、マスクMへ導かれる。第1フライアイ光学部材31へ入射する光が第2フライアイ光学部材32によって遮られることがなく、且つ第2フライアイ光学部材32から射出される光が第1フライアイ光学部材31によって遮られることがないように構成するには、第1フライアイ光学部材31と第2フライアイ光学部材32とを正対させて光を垂直入射させることはできず、図1の紙面に沿ってある程度横ずれした状態に配置して光を斜入射させる必要がある。この場合、第2フライアイ光学部材32を構成する第2ミラー要素32aは、第1フライアイ光学部材31を構成する第1ミラー要素31aを斜め方向第2フライアイ光学部材32の入射面の法線方向に対して傾いた方向に見ていることになる。別の表現をすれば、第2ミラー要素32aから見て、第1ミラー要素31aは歪んで見える。このため、複数の第2ミラー要素32aは、それぞれ対応する第1ミラー要素31aを被照射面であるマスクMのパターン面へ投影するが、この斜め方向から第1ミラー要素31aを見込む効果により、マスクMへ投影された第1ミラー要素31aの像は第1ミラー要素31aと正確に相似な形状にはならない。言い換えれば、第1フライアイ光学部材31と第2フライアイ光学部材32との相対的な配置などに起因して、ディストーションが発生する。その結果、複数の第1ミラー要素31aにより波面分割された複数の光束がマスクMのパターン面に形成する円弧状の各照野は、所望の円弧状の第1領域から外れて形成され、いわゆる照野の重なり誤差に起因する光量損失が発生する。次に、本発明の態様の特徴的な構成について説明する。オプティカルインテグレータ3は、光束を複数の光束に波面分割し、これらの複数の光束を被照射面例えばマスクMのパターン面、ひいてはウェハWの露光面上で重畳することにより第1領域における照度分布を均一化する光学素子である。そのため、オプティカルインテグレータ3は、均一化のために必要な所要数の光学要素例えばミラー要素31a,32aを備えることができる。また、均一化は縦方向例えばy1方向,y2方向と横方向例えばx1方向,x2方向とで比較的独立しているので、横方向にも縦方向にも所定の数以上の列数の光学要素としてもよい。ここで、第1フライアイ光学部材31におけるミラー要素31aのx1方向の列数をnとする。また、第1フライアイ光学部材31の各々の第1要素ミラー31aの集合体の包絡線が円形状であって、その直径がDfであるものとする。この場合、ミラー要素31aのx1方向の寸法は、Df/nになる。x1方向の列数nは、均一化のためには多ければ多いほど良く、5以上とすることができる。第1フライアイ光学部材31と第2フライアイ光学部材32との間隔をFfとし、第2フライアイ光学部材32の各々の第2要素ミラー32aの集合体の包絡線が円形状であってその直径がDpであるものとする。第2フライアイ光学部材32とマスクMとの間に介在する導光光学系の焦点距離、すなわちコンデンサー光学系5の焦点距離をFcとする。なお、第2フライアイ光学部材32とマスクMとの間にパワーを有する光学系が介在しない構成の場合、第2フライアイ光学部材32からマスクMまでの距離をFcとすることができる。マスクM上に形成すべき円弧状の第1領域のX方向に沿った寸法をWiとし、マスクMへ入射する光束に要求される開口数をNAiとすると、次の式1および2に示す関係が成立する。なお、光学要素の製造誤差などを加味する必要があるが、ここでは説明を簡単にするために光学要素の製造誤差などの影響を無視する。Wi≒Df/n×Fc/Ff1NAi≒Dp/2×Fc2式1は、第1フライアイ光学部材31の各ミラー要素31aとマスクMのパターン面とが光学的に共役であって、その結像倍率がFc/Ffであることに対応している。式2は、第2フライアイ光学部材32の各ミラー要素32aが開口絞りの機能を果たしていることに対応している。さて、直径の和に対して間隔を大きく設定するということは、次の式3において右辺Iの値を小さく設定することに他ならない。DfDp/Ff=I3以下、式3の右辺Iの値が式1および2により受ける制約について考察する。円弧状の第1領域のX方向に沿った寸法WiおよびマスクMへの入射光束の開口数NAiは、露光装置の仕様により決まる。照明光学系ILを設計する立場からすれば、WiおよびNAiは定数である。そこで、式1,2を、次の式4,5に示すように変形する。また、式4,5を式3に代入すると、次の式6に示す関係が得られる。Df≒Wi×n×Ff/Fc4Dp≒NAi×2×Fc5I≒Wi×n/Fc2×NAi×Fc/Ff6式6を参照すると、左辺のIの値を小さくするにはどうすれば良いかが明確である。先ず、第1フライアイ光学部材31におけるミラー要素31aのx1方向の列数nを小さくすれば良い。しかしながら、上述したように、列数nは、光学設計の立場から十分な均一化のためにむしろ大きくしたい変数であり、小さくすることはできない。WiおよびNAiは、上述したように定数として扱っている。式6の右辺において残る変数は、一対のフライアイ光学部材31と32との間隔Ff、およびコンデンサー光学系5の焦点距離Fcだけである。この場合、Iの値を小さくするには、コンデンサー光学系5の焦点距離Fcを大きく設定するとともに、焦点距離Fcよりも大きい増大率にしたがって間隔Ffを大きく設定するしかない。しかしながら、式4を参照すると明らかなように、焦点距離Fcよりも大きい増大率にしたがって間隔Ffを大きく設定すると、第1フライアイ光学部材31の直径Dfが大きくなる。また、式5を参照すると明らかなように、焦点距離Fcを大きく設定すると、第2フライアイ光学部材32の直径Dpが大きくなる。その結果、オプティカルインテグレータ3が大型化し、ひいては照明光学系ILが大型化してしまう。さらに最近では、EUV露光装置における解像力の向上のために、マスクMへの入射光束の開口数NAiをさらに大きく設定することが検討されている。式6を参照すると明らかなように、開口数NAiがさらに大きくなれば、左辺のIの値も大きくなり、オプティカルインテグレータ3の更なる大型化を招くことになる。本実施形態では、図3に示すように、第1フライアイ光学部材31の各々の第1要素ミラー31aの集合体の包絡線を、x1方向に長径Dfxを有し且つy1方向に短径Dfyを有する楕円形状に設定している。この場合、上述の式1、3および4は、次の式1A、3Aおよび4Aに示すように書き換えられる。Wi≒Dfx/n×Fc/Ff1ADfyDp/Ff=I3ADfx≒Wi×n×Ff/Fc4Aしたがって、長径Dfxが短径Dfyのm倍m>1であるものとしてDfx=m×Dfyで表すと、上述の式6は次の式6Aに示すように書き換えられる。式6と式6Aとを比較すると、式6Aの右辺の第1項の値が式6の右辺の第1項の値の1/m1/m<1倍になっており、その分だけIの値が小さくなることがわかる。I≒Wi×n/Fc/m2×NAi×Fc/Ff6A従来、第1フライアイ光学部材31の各々の第1要素ミラー31aの集合体の包絡線が円形状に近い形状になっていたのは、光源から供給される発散光の広がり角が方向に寄らず一定で円形状の断面を有し、ひいては第1フライアイ光学部材31に入射する光束が円形状の断面を有するからである。本実施形態では、第1フライアイ光学部材31の各々の第1要素ミラー31aの集合体の包絡線をx1方向に細長い形状に設定することにより、フライアイ光学部材31および32の大型化を招くことなく式6Aの左辺Iの値を小さくすることができる。このとき、第1要素ミラー31aの集合体の包絡線は、x1方向に細長い楕円形状として良い。なお、第1フライアイ光学部材31に、x1方向に細長い断面形状を有する光束を入射させると、第1フライアイ光学部材31での照明効率を高く維持できる。このときには、光源ユニットLUの発光点P1より発した円形状の断面を有する光束光の広がり角が方向に寄らず一定の光束を、x1方向に細長い形状の断面を有する光束に変換して第1フライアイ光学部材31へ入射させるように、コレクター光学部材1を構成すればよい。このとき、コレクター光学部材1から第1フライアイ光学部材31に入射する光束の断面は、x1方向に細長い楕円形状とすることができる。こうして、本実施形態の照明光学系ILでは、オプティカルインテグレータ3の大型化を招くことなくディストーションの発生を抑え、ひいては照野の重なり誤差に起因する光量損失の発生を小さく抑え且つ光効率の高い所要の照明条件でマスクMを照明することができる。その結果、本実施形態の露光装置では、光量損失を小さく抑え且つ光効率の高い所要の照明条件でマスクMを照明する照明光学系ILを用いて、良好な照明条件の下で良好な露光を行うことができる。すなわち、本実施形態では、オプティカルインテグレータ3の大型化を招くことなく、ディストーションの発生を抑え、ひいては照野の重なり誤差に起因する光量損失の発生を小さく抑えることができる。その結果、本実施形態の露光装置では、光量損失を小さく抑えるオプティカルインテグレータ3を備えて光効率の高い所要の照明条件でマスクMを照明する照明光学系ILを用いて、良好な照明条件の下で良好な露光を行うことができる。図5および図6は、本実施形態にかかるコレクター光学部材の構成を概略的に示す図である。図5および図6では、第1フライアイ光学部材31の入射面第2領域におけるx1方向およびy1方向に対応する方向にx3方向およびy3方向を設定し、x3方向およびy3方向に垂直な方向にz3方向を設定している。すなわち、図5および図6におけるy3方向は走査方向であるY方向に対応し、x3方向は走査方向と直交するX方向に対応している。図5はx3z3平面に沿った光線を示し、図6はy3z3平面に沿った光線を示している。次の表1に、本実施形態にかかるコレクター光学部材の諸元の値を掲げる。表1は、ORAOpticalResearchAssociates社の光学設計ソフトであるCodeVの書式に従って記述されている。表1において、RDYは面の曲率半径非球面の場合には頂点曲率半径;単位:mmを、THIは当該面から次の面までの距離すなわち面間隔単位:mmを、RMDは当該面が反射面であるか屈折面であるかを示している。REFLは、反射面を意味する。INFINITYは無限大を意味し、RDYがINFINITYであれば、その面が平面であることを意味している。OBJは発光点P1を、STOは仮想的な開口絞りの面を、IMGは集光点P2を示している。面番号1は仮想面を、面番号2は第1反射鏡としての凹面反射鏡1aの反射面を、面番号4は第2反射鏡としての凸面反射鏡1bの反射面を示している。SPSZRNは、各反射鏡1a,1bの反射面がべき級数で表される非球面であることを意味している。表1の表記のうち非球面の表現を除く部分は、後述の表2においても同様である。表1RDYTHIRMDGLAOBJINFINITY00000001INFINITY1500000124243283272949999641REFLSPSZRNSCOK94341E01ZP418270E05ZP543276E04ZP1143260E13ZP1219463E12ZP1310935E11ZP2226779E20ZP2367188E20ZP2475913E20ZP2545844E19ZP3829880E29ZP3931230E27ZP4021408E26ZP4126357E27ZP5611351E33ZP5716723E33ZP5834764E34ZP5972244E34ZP6040069E33ZP6139159E33STOINFINITY50000000040000001800000000REFLSPSZRNSCOK14290E33ZP425757E04ZP519264E04ZP1134980E11ZP1231541E12ZP1348114E11ZP2283924E17ZP2363352E17ZP2432097E17ZP2556027E17ZP3874668E23ZP3953416E24ZP4019365E23ZP4157693E23ZP5623481E28ZP5739143E29ZP5814709E30ZP5921537E29ZP6083116E30ZP6110180E29IMGINFINITY0000000本実施形態において、発光点P1より発する発散光は、その広がり角が方向に寄らず一定で円形状の断面を有する。この円形状の断面を有する発散光は、凹面反射鏡1aの非球面形状の反射面および凸面反射鏡1bの非球面形状の反射面を経て、x3方向に長径を有し且つy3方向に短径を有する楕円形状の断面を有する光束に変換され、点P2に集光する。その結果、集光点P2を経て第1フライアイ光学部材31に入射する光束は、x1方向に長径を有し且つy1方向に短径を有する楕円形状の断面を有する。本実施形態では、第1フライアイ光学部材31への入射光束の断面の長径と短径との比は、2:1である。なお、上述の実施形態では、DPPタイプの光源ユニットLUを用いている。しかしながら、これに限定されることなく、例えば図7に示すように、LPPLaserProducedPlasmaタイプの光源ユニットLU’を用いる変形例も可能である。LPPタイプの光源ユニットLU’では、レーザ光をターゲット上に集光し、ターゲットをプラズマ化してEUV光を得る。図7の変形例は、図1の実施形態と類似の構成を有する。しかしながら、図7の変形例は、DPPタイプの光源ユニットLUに代えてLPPタイプの光源ユニットLU’を用いるとともに、LPPタイプの光源ユニットLU’に応じた構成のコレクター光学部材11を用いている点が、図1の実施形態と相違している。以下、図1の実施形態との相違点に着目して、図7の変形例の構成および作用を説明する。本実施形態にかかる光源装置は、光源ユニットLU’とコレクター光学部材11とを備えている。光源ユニットLU’は、レーザ光源21、集光レンズ22、ノズル23およびダクト24を備えている。光源ユニットLU’では、たとえばキセノンXeからなる高圧ガスがノズル23より供給され、ノズル23から噴射されたガスが気体ターゲット25を形成する。そして、レーザ光源21から発した光非EUV光が、集光レンズ22を介して、気体ターゲット25上に集光する。気体ターゲット25は、集光されたレーザ光によりエネルギーを得てプラズマ化し、EUV光を発する。すなわち、気体ターゲット25の位置が発光点P1となる。光源ユニットLU’の発光点P1から発したEUV光は、楕円凹面反射鏡に類似した形態を有するコレクター光学部材11により集光された後、コリメータ光学部材2を介して、第1フライアイ光学部材31へ導かれる。発光を終えたガスは、ダクト24を介して吸引されて外部へ導かれる。図8および図9は、図7に示した変形例にかかるコレクター光学部材の構成を概略的に示す図である。図8および図9では、第1フライアイ光学部材31の入射面受光面におけるx1方向およびy1方向に対応する方向にx4方向およびy4方向を設定し、x4方向およびy4方向に垂直な方向にz4方向を設定している。すなわち、図8および図9におけるy4方向は走査方向であるY方向に対応し、x3方向は走査方向と直交するX方向に対応している。図8はx4z4平面に沿った光線を示し、図9はy4z4平面に沿った光線を示している。次の表2に、変形例にかかるコレクター光学部材の諸元の値を掲げる。表2において、x4方向のデータの欄は図8のx4z4平面に沿った光線に関するデータを、y4方向のデータの欄は図9のy4z4平面に沿った光線に関するデータをそれぞれ示している。OBJは発光点P1を、面番号1は仮想面を、STOはコレクター光学部材11を構成する凹面反射鏡の反射面を、IMGは集光点P2x,P2yを示している。ASPは、べき級数で表される非球面であることを意味している。表2<x4方向のデータ>RDYTHIRMDGLAOBJINFINITY00000001INFINITY150000000STO25606602874264069REFLASPK0500000ICYESCUF0000000A0000000E00B0000000E00C0000000E00D0000000E00IMGINFINITY0000000<y4方向のデータ>RDYTHIRMDGLAOBJINFINITY00000001INFINITY150000000STO266189501180947502REFLASPK0600000ICYESCUF0000000A0000000E00B0000000E00C0000000E00D0000000E00IMGINFINITY0000000図7の変形例では、図8に示すように、コレクター光学部材11を構成する凹面反射鏡の反射面と、発光点P1を通ってx4z4平面に平行な面との交線が、発光点P1に一方の焦点を有し且つ点P2xに他方の焦点を有する楕円の一部に対応している。また、図9に示すように、コレクター光学部材11の反射面と、発光点P1を通ってy4z4平面に平行な面との交線が、発光点P1に一方の焦点を有し且つ点P2yに他方の焦点を有する楕円の一部に対応している。変形例においても、発光点P1から供給される発散光は、その広がり角が方向に寄らず一定で円形状の断面を有する。この円形状の断面を有する発散光のうち、x4z4平面に沿った光線はコレクター光学部材11の非球面形状の反射面を経て点P2xに集光し、y4z4平面に沿った光線はコレクター光学部材11の非球面形状の反射面を経て点P2xよりもコレクター光学部材11から離れた点P2yに集光する。こうして、発光点P1からの円形状の断面を有する発散光は、コレクター光学部材11の非球面形状の反射面を経て、x4方向に長径を有し且つy4方向に短径を有する楕円形状の断面を有する光束に変換される。その結果、第1フライアイ光学部材31に入射する光束は、x1方向に長径を有し且つy1方向に短径を有する楕円形状の断面を有する。変形例では、第1フライアイ光学部材31への入射光束の断面の長径と短径との比は、1.1:1である。コレクター光学部材11は、光源ユニットLU’からの光を反射して集光し、光源の一次像を形成する。この変形例では、x4z4平面に沿った光線の集光点P2xとy4z4平面に沿った光線の集光点P2yとが一致しない。このため、第2フライアイ光学部材32のミラー要素32a上で光束を十分に絞ることが困難になる。ただし、光源のサイズが十分に小さく、ミラー要素32a上から光束がはみ出さなければ特に問題はない。変形例にかかるコレクター光学部材11では、例えば、オプティカルインテグレータ3の第1フライアイ光学部材31に入射する入射光束のうち、y4z4面内を伝播する光線は、光源ユニットLU’の発光点すなわち光源P1とマスクMとの間の集光位置P2yで集光し、x4z4面内を伝播する光線は、光源ユニットLU’の発光点P1と集光位置P2yの間の集光位置P2xで集光する。別の表現をすれば、光源ユニットLU’の発光点P1とマスクMとの間の集光位置P2yに集光する光は、光源ユニットLU’からの光のうち、コレクター光学部材11を構成する凹面反射鏡の集光面のy4z4断面を伝播する。同時に、光源ユニットLU’の発光点P1と集光位置P2yとの間の集光位置P2xで集光する光は集光面のx4z4断面を伝播する。コレクター光学部材11では、集光面の曲率が、y4方向を含むy4z4断面とx4方向を含むx4z4断面y4z4断面と直交する断面とで異なっている。例えば、集光面におけるy4z4断面の曲率半径よりもx4z4断面の曲率半径が大きくなっている。すなわち、図7の変形例では、コレクター光学部材11のx4z4断面の集光面で集光された光が、コレクター光学部材11とマスクM上の重畳照明領域第1領域との間の光学系2~5によって重畳照明領域に投影される方向が、X方向である。また、コレクター光学部材11のy4z4断面の集光面で集光された光が、光学系2~5によって重畳照明領域に投影される方向が、Y方向である。なお、上述の説明では、第1フライアイ光学部材31の複数の第1ミラー要素31aと、第2フライアイ光学部材32の複数の第2ミラー要素32aとが光学的に対応している。ここで、光学的に対応するとは、例えば図10に示すように、複数の第1ミラー要素31aのうち一つのミラー要素31aで反射した光が、複数の第2ミラー要素32aのうちのいずれか1つのミラー要素32aで反射されることである。具体的に、図10では、第1ミラー要素31a1,31a2,31a3,31a4,および31a5で反射した光が、第2ミラー要素32a1,32a2,32a3,32a4,および32a5にそれぞれ入射している。すなわち、第1ミラー要素31a1と第2ミラー要素32a1とが光学的に対応している。同様に、第1ミラー要素31a2~31a5と、第2ミラー要素32a2~32a5とがそれぞれ光学的に対応している。ただし、複数の第1ミラー要素31aと複数の第2ミラー要素32aとは一対一対応している必要はなく、ある第1ミラー要素で反射された光と別の第1ミラー要素で反射された光とが、同じ第2ミラー要素で反射されてもよい。もしくは、第1ミラー要素で反射された光を反射しない第2ミラー要素があってもよい。照明条件を変える際に、複数の第1ミラー要素と複数の第2ミラー要素との光学的な対応関係を変えても良い。さらに、第1フライアイ光学部材31に入射する光束の断面における強度分布が楕円形状であっても、第2フライアイ光学部材32に入射する光束の断面瞳面における強度分布を円形状にすることができる。なお、瞳面における強度分布は円形状に限定されず、二極や四極、輪帯、方形状、楕円形状等にしてもよい。このような場合であっても、ウェハWに形成されるパターンの解像力を、直交する2方向例えば、X方向とY方向で等しくすることができる。この際、複数の第1ミラー要素と複数の第2ミラー要素との光学的な対応関係が調整されていてもよい。ところで、図7の変形例では、コレクター光学部材11の集光面の曲率がy4方向を含むy4z4断面とx4方向を含むx4z4断面とで異なっているため、x4z4平面に沿った光の集光点P2xとy4z4平面に沿った光の集光点P2yとが光軸方向に一致しない。その結果、第2フライアイ光学部材32の第2ミラー要素32aの反射面には、図11に示すように、デフォーカスした光源像光源の二次像41が形成される。光源像41の外形形状は、第1フライアイ光学部材31により波面分割された光束の断面形状の影響すなわちコレクター光学部材11の集光面の曲率の異方性の影響により、非点収差が生じるため、一方向に対して他方が長くなる。光源像41すなわち第2ミラー要素32aに入射する光束が第2ミラー要素32aの反射面からはみ出さなければ、特に問題はない。しかしながら、光源像41が大き過ぎて第2ミラー要素32aの反射面からはみ出すと、光量損失が発生するだけでなく、マスクM上の重畳照明領域における照野の重なり誤差の発生原因になってしまう。一般に、マスクM上の重畳照明領域における照度分布の均一化のために、第1フライアイ光学部材31での波面分割数が増大する傾向、すなわち第1ミラー要素31aおよび第2ミラー要素32aの反射面が小型化する傾向がある。第2ミラー要素32aを小型化すると、光源像41が第2ミラー要素32aの反射面からはみ出して、光量損失および重畳照明領域の崩れが発生する可能性が高くなる。第2変形例では、第1ミラー要素31aの反射面をトロイダル面状にすることにより、図12に模式的に示すように、第2ミラー要素32a上に形成される光源像42のサイズを小さく抑え、ひいては光量損失および重畳照明領域の崩れの発生を回避する。具体的に、第2変形例では、第1ミラー要素31aの反射面を、x1方向に沿った面の曲率とy1方向に沿った面の曲率とが互いに異なるトロイダル面状に形成する。換言すれば、第1ミラー要素31aの反射面が球面形状である場合に得られる一方向に細長い光源像41が、全体的にあまりデフォーカスしていない比較的サイズの小さい光源像42になるように、第1ミラー要素31aの反射面に対して、x1方向に沿った所要の曲率およびy1方向に沿った所要の曲率を付与する。その結果、第1ミラー要素31aの反射面のx1方向に沿った曲率とy1方向に沿った曲率とは互いに異なるものとなる。ただし、光源像42のサイズを小さくし過ぎると、第2ミラー要素32aの反射面を形成する多層膜が光照射により熱変形したり損傷を受けたりし易くなることがある。その場合、第1ミラー要素31aの反射面のx1方向に沿った曲率およびy1方向に沿った曲率を適宜調整することにより、図13に示すように全体的にデフォーカスした比較的サイズの大きい光源像43を積極的に形成し、多層膜の熱変形および損傷を軽減することができる。具体的な数値例として、コレクター光学部材11を構成する凹面反射鏡の集光面のy4方向に沿った曲率Cy4:x4方向に沿った曲率Cx4は、例えば5:6や7:8である。この場合、第1ミラー要素31aの反射面のx1方向に沿った曲率Cx1:y1方向に沿った曲率Cy1を、例えば5:6、6:5、7:8、8:7に設定することができる。そして、コレクター光学部材11における曲率Cy4:曲率Cx4が5:6のときに、第1ミラー要素31aの曲率Cx1:曲率Cy1を5:6にすると、第2ミラー要素32a上に比較的サイズの小さい光源像42が得られ、ひいては光量損失および重畳照明領域の崩れの発生を回避することができる。また、コレクター光学部材11における曲率Cy4:曲率Cx4が5:6のときに、第1ミラー要素31aの曲率Cx1:曲率Cy1を7:8にすると、第2ミラー要素32a上に比較的サイズの大きい光源像43が得られ、ひいては多層膜の熱変形および損傷を軽減することができる。このとき、コレクター光学部材11の集光面および第1ミラー要素31aの反射面の曲率が方向によって異なることがマスクM上での照明効率に及ぼす影響を、コレクター光学部材11の曲率と第1ミラー要素31aの曲率との関係を調整することにより補正補償できれば、第2ミラー要素32aの反射面は球面形状のままでも良い。コレクター光学部材11と第1ミラー要素31aとの間の曲率関係を調整しても補正できない場合、第2ミラー要素32aの反射面を所要のトロイダル面状に形成することにより補正が可能になる。第2変形例では、すべての第1ミラー要素31aの反射面をトロイダル面状にする必要はなく、所要数少なくとも1つの第1ミラー要素31aの反射面をトロイダル面状に形成することにより、光量損失および重畳照明領域の崩れの発生を回避する効果、あるいは多層膜の熱変形および損傷を軽減する効果が得られる。これらの効果は、第1ミラー要素31aの反射面のx1方向に沿った曲率Cx1とy1方向に沿った曲率Cy1とが、例えば次の条件式7を満たすことにより得られる。1.0<Cx1/Cy1<1.2または1.0<Cy1/Cx1<1.27上述の説明では、図7の変形例の構成に対して第1ミラー要素31aの反射面をトロイダル面状にする手法を適用している。しかしながら、図7の変形例の構成に限定されることなく、図1の実施形態の構成に対しても第1ミラー要素31aの反射面をトロイダル面状にする手法を適用することができる。図1の実施形態の構成では、コレクター光学部材1からの光の集光点P2は、方向に依存することなく一致している。その結果、図14の左側の図に示すように、第2ミラー要素32aの反射面には比較的サイズの小さい光源像42が形成され、多層膜が光照射により熱変形したり損傷を受けたりし易くなることがある。この場合、図1の実施形態の構成においても、第1ミラー要素31aの反射面のx1方向に沿った曲率Cx1およびy1方向に沿った曲率Cy1を適宜調整することにより、図14の右側の図に示すように、全体的にデフォーカスした比較的サイズの大きい光源像43を積極的に形成し、多層膜の熱変形および損傷を軽減することができる。以上のように、上述の実施形態および変形例にかかる照明光学系ILでは、Y方向の長さよりもX方向の長さが長い第1領域、典型的にはX方向に細長い円弧状の重畳照明領域が、マスクMのパターン面に形成される。第1形態の光学装置は、光源ユニットLULU’とマスクMとの間の光路中に配置されて、光源ユニットLULU’からの光を集光して、y1方向Y方向に対応の長さよりもx1方向X方向に対応の長さが長い第2領域x1方向に長径を有し且つy1方向に短径を有する楕円形状の入射光束領域を所定面に形成するコレクター光学部材111と、第2領域を含む所定面内に設けられ、コレクター光学部材111の光を第1領域に導く複数の第1ミラー要素31aを有する第1フライアイ光学部材31とを備えている。第2形態の光学装置は、光源ユニットLULU’とマスクMとの間の光路中に設けられ、y1方向Y方向に対応の長さよりもx1方向X方向に対応の長さが長い外形形状を有する第1ミラー要素31aを、所定面に複数配列するとともに、配列された第1ミラー要素31aの集合体のy1方向とx1方向の長さが互いに異なる第1フライアイ光学部材31と、第1フライアイ光学部材31とマスクMとの間の光路中に設けられ、第1ミラー要素31aに光学的に対応するように設置された複数の第2ミラー要素32aを有する第2フライアイ光学部材32とを備えている。第3形態の光学装置は、第2領域x1方向に長径を有し且つy1方向に短径を有する楕円形状の入射光束領域を含む所定面内に設けられ、複数の第1ミラー要素31aを有する第1フライアイ光学部材31を備えている。複数の第1ミラー要素31aのうちの少なくとも一つのミラー要素は、第2領域と直交する面のうちで、y1方向第3方向に沿った面の曲率と、x1方向第4方向に沿った面の曲率とが互いに異なる光学面すなわち反射面を有する。一般に、第1フライアイ光学部材を構成する第1光学要素が反射部材である場合、二方向で曲率が互いに異なる光学面は、反射面、回折面などである。一方、第1光学要素が光透過部材である場合、二方向で曲率が互いに異なる光学面は、レンズ面、回折面などである。上述の実施形態および変形例にかかる照明光学系ILでは、オプティカルインテグレータ3の大型化を招くことなくディストーションの発生を抑え、ひいては照野の重なり誤差に起因する光量損失の発生を小さく抑え且つ光効率の高い所要の照明条件でマスクMを照明することができる。その結果、上述の実施形態および変形例にかかる露光装置では、光量損失を小さく抑え且つ光効率の高い所要の照明条件でマスクMを照明する照明光学系ILを用いて、良好な照明条件の下で良好な露光を行うことができる。第1形態および第2形態では、第2領域x1方向に長径を有し且つy1方向に短径を有する楕円形状の入射光束領域;第1フライアイ光学部材31への入射光束の領域におけるy1方向の長さよりも、x1方向の長さが1.1倍以上長いように構成してもよい。また、第2領域におけるy1方向の長さとx1方向の長さとのアスペクト比が1:αとすると、αが1.1以上の条件を満たすように構成してもよい。また、αを4.0以下とすることができる。第1形態および第2形態では、オプティカルインテグレータ3のミラー要素31aが第2領域内のみに、配列されるように構成することにより、光量損出をさらに低減することができる。また、ミラー要素31aの集合体におけるy1方向の長さよりもx1方向の長さが1.1倍以上長いように構成してもよい。また、ミラー要素31aの集合体におけるy3方向の長さとx1方向の長さとのアスペクト比が1:αとすると、αが1.1以上の条件を満たすように構成してもよい。また、αを4.0以下とすることができる。第1形態および第2形態では、オプティカルインテグレータ3への入射光束ひいては第1フライアイ光学部材31への入射光束の断面におけるy1方向の長さよりもx1方向の長さが1.1倍以上長いように構成してもよい。また、オプティカルインテグレータ3への入射光束の断面におけるy1方向の長さとx1方向の長さとのアスペクト比が1:αとすると、αが1.1以上の条件を満たすように構成してもよい。また、αを4.0以下とすることができる。また、上述の実施形態および変形例では、Y方向と交差するX方向に長い照明領域、すなわちX方向に細長い円弧状の照明領域が、マスクMのパターン面に形成される。オプティカルインテグレータ3中の第1フライアイ光学部材31は、照明領域に対応した外形形状、すなわちx1方向X方向に対応に細長い円弧状の外形形状を有するミラー要素31aをy1方向Y方向に対応とx1方向に複数配列することにより構成されている。第1フライアイ光学部材31では、配列されたミラー要素31aの集合体のy1方向とx1方向の長さが互いに異なる。別の表現をすれば、第1フライアイ光学部材31の受光面入射面の長さがy1方向とx1方向とで互いに異なる。さらに別の表現をすれば、第1フライアイ光学部材31の受光面におけるy1方向とx1方向の配列の数が互いに異なる。この構成により、上述の実施形態および変形例では、オプティカルインテグレータ3の大型化を招くことなく、ディストーションの発生を抑え、ひいては照野の重なり誤差に起因する光量損失の発生を小さく抑えることができる。その結果、上述の実施形態および変形例にかかる露光装置では、光量損失を小さく抑えるオプティカルインテグレータ3を備えて光効率の高い所要の照明条件でマスクMを照明する照明光学系ILを用いて、良好な照明条件の下で良好な露光を行うことができる。配列されたミラー要素31aの集合体のy1方向とx1方向とのアスペクト比が1:αとすると、αが1.1以上の条件を満たすように構成してもよい。また、配列されたミラー要素31aの集合体がy1方向に対してx1方向に1.1倍以上長いように構成してもよい。また、ミラー要素31aの集合体がy1方向に20列以上、x1方向に5列以上配列されているように構成してもよい。なお、上述の説明では、コレクター光学部材1とオプティカルインテグレータ3との間にコリメータ光学系2が設けられているが、これに限定されない。すなわち、光源ユニットLULU’からの光が、パワーを有する光学部材例えば、コリメータ光学系2のような光学部材を介することなく、オプティカルインテグレータ3の第1フライアイ光学部材31に入射するように構成しても良い。ここで、光学部材のパワーとは、当該光学部材の焦点距離の逆数である。また、上述の説明では、正瞳タイプの露光装置に基づいて本発明を説明している。ここでは、入射瞳が物体面マスクMのパターン面に対応よりも投影光学系側に位置している投影光学系を備える露光装置を正瞳タイプの露光装置と呼ぶ。しかしながら、正瞳タイプの露光装置に限定されることなく、逆瞳タイプの露光装置に対しても同様に本発明を適用することができる。入射瞳が物体面を挟んで投影光学系とは反対側に位置している投影光学系を備える露光装置を逆瞳タイプの露光装置と呼ぶ。具体的に、逆瞳タイプの露光装置では、光源ユニットLULU’からの光がコレクター光学部材1コレクター光学部材11を経た後に、コリメータ光学系2を介して、照明光学系IL中のオプティカルインテグレータ3に入射する。その後、オプティカルインテグレータ3を経た光は、斜入射ミラー平面反射鏡を介して、マスクM上に円弧状の第1領域を形成する。すなわち、オプティカルインテグレータ3の第2フライアイ光学部材32を経た光は、パワーを有する光学部材例えばコンデンサー光学系5のような光学部材を介することなく、被照射面としてのマスクMのパターン面へ導かれる。なお、オプティカルインテグレータ3と被照射面との間の光路中にパワーを有する光学部材が介在しても良い。また、コレクター光学部材111とオプティカルインテグレータ3との間に、コリメータ光学系2のようなパワーを有する光学部材を介さない構成としても良い。さらに、上述の説明では、第1フライアイ光学部材31中の第1ミラー要素31aが円弧状の外形形状を有し、第2フライアイ光学部材32中の第2ミラー要素32aが矩形状の外形形状を有する。しかしながら、これに限定されることなく、各光学要素の外形形状、各光学要素のパワーの正負については様々な形態が可能である。また、ミラー要素に代えて屈折光学要素や回折光学素子を用いることもできる。上述の説明では、第1フライアイ光学部材31への入射光束の断面の長径と短径との比を、2:1または1.1:1としたが、第1フライアイ光学部材31への入射光束の断面の長径と短径との比はこれに限定されず、α:1ただしαは1.1以上とすることができる。また、αを4.0以下としてもよい。第6形態にかかる照明方法では、光源ユニットLULU’からの光により、Y方向の長さよりもX方向の長さが長い第1領域、すなわちX方向に細長い円弧状の重畳照明領域が、マスクMのパターン面に形成される。この照明方法は、所定面上の第2領域に光源からの光を集光して導くことと、所定面上で第3方向の長さより前記第3方向に交差する第4方向の長さが長い外形形状を有する複数の光束に波面分割すること、波面分割された複数の光束を第1領域へ導くこととを含んでいる。第2領域は、第3方向の長さよりも第4方向の長さが長い形状x1方向に長く且つy1方向に短い入射光束領域を有し、所定面上での複数の光束は、第3方向と第4方向とに沿って複数配列される。第9形態にかかる光学装置の製造方法では、光源ユニットLULU’からの光により、Y方向の長さよりもX方向の長さが長い照明領域を均一に照明するために用いられる光学装置の製造方法において、光源からの光を集光して、第3方向の長さよりも前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い第2領域x1方向に長く且つy1方向に短い入射光束領域を所定面に形成するコレクター光学部材を得ることと、第2領域を含む所定面内に、複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学部材を設置することとを備える。第10形態にかかる光学装置の製造方法では、光源ユニットLULU’からの光により、Y方向の長さよりもX方向の長さが長い照明領域を均一に照明するために用いられる光学装置の製造方法において、第3方向の長さより前記第3方向と交差する第4方向の長さが長い外形形状を有する複数の第1光学要素を準備することと、複数の第1光学要素を第3方向と第4方向とに配列する第1光学要素の集合体が、第3方向の長さと第4方向の長さとで互いに異なる第1フライアイ光学部材を得ることとを備える。上述の実施形態では、マスクMの代わりに、所定の電子データに基づいて所定パターンを形成する可変パターン形成装置を用いることができる。なお、可変パターン形成装置としては、たとえば所定の電子データに基づいて駆動される複数の反射素子を含む空間光変調素子を用いることができる。空間光変調素子を用いた露光装置は、例えば米国特許公開第2007/0296936号公報に開示されている。また、上記のような非発光型の反射型空間光変調器以外に、透過型空間光変調器を用いても良く、自発光型の画像表示素子を用いても良い。上述の実施形態の露光装置は、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行っても良い。次に、上述の実施形態にかかる露光装置または露光方法を用いたデバイス製造方法について説明する。図15は、半導体デバイスの製造工程を示すフローチャートである。図15に示すように、半導体デバイスの製造工程では、半導体デバイスの基板となるウェハWに金属膜を蒸着しステップS40、この蒸着した金属膜上に感光性材料であるフォトレジストを塗布するステップS42。つづいて、上述の実施形態の露光装置を用い、マスクレチクルMに形成されたパターンをウェハW上の各ショット領域に転写しステップS44:露光工程、この転写が終了したウェハWの現像、つまりパターンが転写されたフォトレジストの現像を行うステップS46:現像工程。その後、ステップS46によってウェハWの表面に生成されたレジストパターンをマスクとし、ウェハWの表面に対してエッチング等の加工を行うステップS48:加工工程。ここで、レジストパターンとは、上述の実施形態の露光装置によって転写されたパターンに対応する形状の凹凸が生成されたフォトレジスト層であって、その凹部がフォトレジスト層を貫通しているものである。ステップS48では、このレジストパターンを介してウェハWの表面の加工を行う。ステップS48で行われる加工には、例えばウェハWの表面のエッチングまたは金属膜等の成膜の少なくとも一方が含まれる。なお、ステップS44では、上述の実施形態の露光装置は、フォトレジストが塗布されたウェハWを感光性基板としてパターンの転写を行う。なお、上述の実施形態では、EUV光を供給するための光源を有する露光装置に本発明を適用しているが、これに限定されることなく、EUV光以外の他の波長光を供給する光源を有する露光装置に対しても本発明を適用することができる。また、上述の実施形態では、反射型のマスクMを用いるEUV露光装置の照明光学系に対して本発明を適用しているが、これに限定されることなく、光源からの光に基づいて第1領域を照明する一般の照明光学系に対しても本発明を適用することができる。"