"一対の固定部と、この一対の固定部のうちの一方の固定部に一端が支持された第1の駆動アームと、他方の固定部に一端が支持されるとともに前記第1の駆動アームと連設された第2の駆動アームと、前記第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの他端に支持された錘部と、前記一対の固定部の双方を連結する連結部と、前記第1の駆動アームと第2の駆動アームとのいずれか一方または両方に設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を駆動振動させる圧電体層を設けた駆動電極と、前記第1の駆動アームと第2の駆動アームとのいずれか一方または両方に設けられて第1の駆動アームおよび第2の駆動アームに発生するコリオリ力を検出する圧電体層を設けた検出電極とを備え、前記第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とした角速度センサ素子。一対の固定部の各々に弾性部を設けた請求項1記載の角速度センサ素子。一対の固定部の各々に孔を設けることにより孔の近傍に弾性部を設ける構成とした請求項2記載の角速度センサ素子。しかしながら、上記した従来の角速度センサ素子においては、駆動アーム3の中央部分を支持アーム2bに固定した片持ち梁構造であるため、駆動アーム3の振動基点となる支持アーム2bの先端部分と駆動アーム3の先端部分との変形量が少なくなり、これにより、角速度センサ素子の出力感度が小さくなってしまうという課題を有していた。本発明は上記従来の課題を解決するもので、出力感度の大きな角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、一対の固定部と、この一対の固定部のうちの一方の固定部に一端が支持された第1の駆動アームと、他方の固定部に一端が支持されるとともに前記第1の駆動アームと連設された第2の駆動アームと、前記第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの他端に支持された錘部と、前記一対の固定部の双方を連結する連結部と、前記第1の駆動アームと第2の駆動アームとのいずれか一方または両方に設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を駆動振動させる圧電体層を設けた駆動電極と、前記第1の駆動アームと第2の駆動アームとのいずれか一方または両方に設けられて第1の駆動アームおよび第2の駆動アームに発生するコリオリ力を検出する圧電体層を設けた検出電極とを備え、前記第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造としたもので、この構成によれば、第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造としたため、第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの振動方向への変位量が大きくなり、これにより、出力感度が大きくなるという作用効果を有するものである。本発明の請求項2に記載の発明は、特に、角速度センサの周囲の温度が変化すると、一対の固定部の各々に弾性部を設けたため、弾性部が弾性変形することとなり、これにより、弾性部以外の固定部に引張応力が加わらなくなるから、温度変化による角速度センサ素子の駆動振動数および検出振動数の上昇が同程度となり、その結果、離調振動数が変化しづらくなるため、温度変化に対する角速度センサの出力信号が変動しないという作用効果を有するものである。本発明の請求項3に記載の発明は、特に、一対の固定部の各々に孔を設けることにより孔の近傍に弾性部を設けたため、弾性部が弾性変形することとなり、これにより、弾性部以外の固定部に引張応力が加わらなくなるから、温度変化による角速度センサ素子の駆動振動数および検出振動数の上昇が同程度となり、その結果、離調振動数が変化しづらくなるため、温度変化に対する角速度センサの出力信号が変動しないとともに、一対の固定部の各々の孔以外の箇所で、一対の固定部を確実に、ASICに固定することが出来るから、角速度センサ素子をASICに固定する強度が向上するという作用効果を有するものである。以上のように、本発明の角速度センサ素子は、一対の固定部と、この一対の固定部のうちの一方の固定部に一端が支持された第1の駆動アームと、他方の固定部に一端が支持されるとともに前記第1の駆動アームと連設された第2の駆動アームと、前記第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの他端に支持された錘部と、前記一対の固定部の双方を連結する連結部と、前記第1の駆動アームと第2の駆動アームとのいずれか一方または両方に設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を駆動振動させる圧電体層を設けた駆動電極と、前記第1の駆動アームと第2の駆動アームとのいずれか一方または両方に設けられて第1の駆動アームおよび第2の駆動アームに発生するコリオリ力を検出する圧電体層を設けた検出電極とを備え、前記第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造としたもので、この構成によれば、第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造としたため、第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの振動方向への変位量が大きくなり、これにより、出力感度が大きな角速度センサ素子を提供することができるという効果を有するものである。実施の形態1以下、本発明の実施の形態1における角速度センサ素子について、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施の形態1における角速度センサ素子を用いた角速度センサを示す分解斜視図、図2は同角速度センサ素子の上面図である。図1,図2において、角速度センサ素子を用いた角速度センサの基本構造はパッケージ4内に角速度センサ素子5と、この角速度センサ素子5に駆動信号を印加する駆動制御回路および角速度センサ素子5から出力された検出信号を処理する検出回路を包含するASIC6を配置し、パッケージ4の開口をリッド7で封口した構造となっている。なお、ASIC6および角速度センサ素子5は防振対策用のTABテープ8を介してパッケージ4に取り付けられている。また、角速度センサ素子5は図2に示されるように、9aは第1の固定部で、この第1の固定部9aは第2の固定部9bと連結部9cにより連結されている。そして、前記第1の固定部9aと第2の固定部9bとを挟む両側に錘部10を対称配置し、それぞれの錘部10を第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bで各々接続した形状となっており、第1の駆動アーム11a上には後述する駆動電極12を設けている。一方、第2の駆動アーム11bには駆動電極12、検出電極13およびモニタ電極14が適宜配置され、前記第1の固定部9aおよび第2の固定部9bに設けられたパッド電極15と接続配線16を介して接続されている。なお、それぞれの第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bは第1の固定部9aおよび第2の固定部9bと錘部10を結ぶ方向X軸方向と直交する向きY軸方向に延びるアーム辺の折り返し構造となっている。そして、ASIC6で形成された駆動信号をパッド電極15、接続配線16を介して駆動電極12に駆動信号を印加することで、図3に示すように錘部10をX軸方向に伸縮するように振動させ、この駆動振動状態において角速度センサ素子5の基板面XY平面に垂直な方向Z軸方向に回転軸を有する角速度を受けることでコリオリ力が生じ、このコリオリ力により第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bが図4に示すようにY軸方向に振動するようになり、この検出振動による第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bの変形を図2に示す検出電極13で検知し電気信号に変換し、この検出信号を接続配線16、パッド電極15を介してASIC6に出力する構造となっている。また、モニタ電極14は駆動アーム11の振幅や駆動周期を検出してその情報をASIC6にフィードバックさせ駆動信号および検出信号を制御するために設けている。なお、角速度センサ素子5はSiからなる基板上に駆動電極12、検出電極13、モニタ電極14などを設けた構造であり、各電極構造は図5に示すように基板17上に設けられたPtからなる下部電極18と、この下部電極18上に設けられたPZTからなる圧電体層19と、この圧電体層19上に設けられたAuからなる上部電極20とからなる積層電極であり、下部電極18をグランド接続した状態で上部電極20に正電圧を印加すると電極の積層方向に対して圧縮力が働き、基板17が面内方向で伸びるものである。一方、上部電極20に負電圧を印加すると電極の積層方向に対して引張力が働き、基板17が面内方向に縮むものである。また、この逆の現象として、第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bを撓ませ、圧電体層19を縮ませれば負電圧が生じ、圧電体層19を伸ばせば正電圧が生じる。なお、上部電極20と圧電体層19の間や下部電極18と圧電体層19との間には特に図示していないが層間の密着力を高めるためTiからなる密着層図示せずが介在している。そして、この角速度センサ素子5を駆動させるにあたっては、図6に示されるように錘部10側に接続されたアーム辺を一点鎖線21a,21bで示すように縦横の中心軸縦の中心軸はアーム辺の延伸方向の中心軸21aとし、横の中心軸はアーム辺の撓みの変曲点を含む延伸方向と直交する中心軸21bとするで4分割する。そして、駆動電極12を錘部10に近接する側とその対角位置に配置し、これらに同じ電位の駆動信号を印加するように制御することで、共に正電圧を印加すれば共に圧縮力が発生し伸びが生じ、アーム辺がS字状に撓む。一方、負電圧を印加すれば共に引張応力が発生し縮みが生じ、アーム辺が正電圧を印加した場合と逆に撓もうとするので、この動作を繰り返すことで錘部10を駆動振動させることが出来るものである。なお、第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bを錘部10の振動方向と直交するアーム辺の折り返し構造とし、このアーム辺の撓みにより第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bの振幅を確保したことで、図11に示す従来の片持ち梁構造の駆動アーム3の振幅より多くの振幅が得られるとともに、アーム辺が振動方向と直交する方向に延出していることから、個々のアーム辺の全体で撓み振動するのでコリオリ力を受けやすい構造であり、結果として角速度センサ素子5の検出レベルを向上させている。また、この角速度センサ素子5において図4に示す検出振動から検出信号を形成するにあたっては、図7に示すように検出電極13をアーム辺の延伸方向の中心軸22aに対して偏芯させた位置に配置することで、コリオリ力によるアーム辺の撓み成分を効率よく電気信号に変換できる。すなわち、第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bを構成するアーム辺は、図4で示したように、角速度が印加された状態で弓なりに撓むので、この弓なりの撓みに対して検出信号を形成しなければならず、図7に示すように検出電極13がアーム辺の中心軸22aより右側に偏芯させて設ければ、アーム辺が図中左側に撓む場合、アーム辺の右半分には検出電極13を伸ばす力が加わるので正電圧が誘起され、アーム辺が図中右側に撓む場合、アーム辺の右半分には検出電極13を縮ませる力が加わるので負電圧が誘起されるものである。また、第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bをアーム辺の折り返し構造としたことで、1つの錘部10に対して第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bを連設し、第1の駆動アーム11aを第2の駆動アーム11bと対称形状とすることで、駆動振動の方向性を高めることが出来る。なお、各第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bに設けられる駆動電極12についても同様に対称配置することで、より駆動振動の方向性を高めることができる。さらに、本発明の実施の形態1における角速度センサ素子においては、第1の固定部9aと第2の固定部9bとを連結部9cで連結しているため、角速度センサ素子に角速度が働かない状態において、第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bが駆動方向と垂直な方向であるコリオリ力が生じる方向に移動することを防止することができるという作用効果を有するものである。なお、上述した角速度センサにおいては、角速度センサ素子5としてSiからなる基板17上にPZTを用いた積層電極を配置した構造を挙げて説明したが、基板17を水晶などの圧電体で構成し基板17の対向面に対向電極を形成した構造としても、角速度センサ素子5における駆動振動の振幅を大きくでき、検出レベルが高められる構成に変わりはなく同様の効果を奏することが出来る。実施の形態2以下、本発明の実施の形態2における角速度センサ素子について、図面を参照しながら説明する。図8は本発明の実施の形態2における角速度センサ素子の上面図である。実施の形態1の図2と同じものは同一符号を付し説明を省略する。実施の形態1の図2と相違するのは、第1の固定部31に第1の孔32を設けることにより、第1の孔32の近傍に第1の弾性部33を設けるとともに、第2の固定部34に第2の孔35を設けることにより、第2の孔35の近傍に第2の弾性部36を設けた点である。ここで、角速度センサの周囲の温度が25°C~-40°Cまで変化する場合を考える。図1に示すように、本発明の実施の形態1におけるASIC6に角速度センサ素子5を固定すると、角速度センサ素子5およびASIC6の熱膨張係数の差により、ASIC6よりも、角速度センサ素子5の方が大きく収縮する。そうすると、角速度センサ素子5における第1の固定部9aおよび第2の固定部9bに引張応力が加わる。そして、表1に示すように、角速度センサ素子5の駆動振動数fdが約107Hz上昇し、一方、検出振動数fsが33Hz上昇する。そのため、角速度センサ素子5の離調振動数Δfが74Hz変化する。この離調振動数Δfの変化により、角速度センサの出力信号が変化する。本発明の実施の形態2における角速度センサ素子においては、第1の固定部31に第1の孔32を設けることにより第1の孔32の近傍に第1の弾性部33を設けるとともに、第2の固定部34に第2の孔35を設けることにより第2の孔35の近傍に第2の弾性部36を設けたため、図9に示すように、第1の弾性部33および第2の弾性部36が弾性変形することとなり、これにより、第1の弾性部33および第2の弾性部36以外の第1の固定部31および第2の固定部34に引張応力が加わらなくなるから、表2に示すように、角速度センサ素子5の駆動振動数の上昇が107Hz、一方、検出振動数の上昇が94Hzと、両者の上昇が同程度となる。その結果、離調振動数Δfの変化が12Hzと小さくなるため、温度変化に対する角速度センサの出力信号の変化量が小さくなるとともに、第1の固定部31の第1の孔32以外の箇所および第2の固定部34の第2の孔35以外の箇所で、第1の固定部31および第2の固定部34を確実に、ASIC6に固定することが出来るから、角速度センサ素子5をASIC6に固定する強度が向上するという作用効果を有するものである。なお、本発明の実施の形態2における角速度センサ素子5においては、第1の固定部31に第1の孔32を設けることにより第1の孔32の近傍に第1の弾性部33を設けるとともに、第2の固定部34に第2の孔35を設けることにより第2の孔35の近傍に第2の弾性部36を設ける構成としたが、図10に示すように、第1の固定部37に切欠部38を設けることにより、第1の弾性部39を設けるとともに、第2の固定部40に切欠部41を設けることにより、第2の弾性部42を設けても同様の効果を有するものである。"