固定部材に対して回転するベース部材と、前記ベース部材の周方向に沿って複数配置され、前記ベース部材の自転軸方向に往復移動自在となり、部品を保持することが可能な保持部と、前記固定部材側に配置され、前記ベース部材と共に回転する前記保持部を前記自転軸方向に案内する案内機構と、を備え、部品の受入領域において前記保持部に保持された前記部品が、前記ベース部材の回転に連動して、前記部品の搬出領域まで搬送される際に、前記案内機構によって前記部品が前記自転軸方向に変位することを特徴とする、部品搬送装置。前記案内機構は、固定部材側に配置され、前記保持部が保持する前記部品の移動軌跡に並行して周方向に延びると共に、前記自転軸方向に変位するガイド面を備え、前記保持部は、前記ガイド面と当接しながら周方向に案内されることで、前記自転軸方向に変位することを特徴とする、請求項1に記載の部品搬送装置。前記ガイド面が、前記受入領域及び前記搬出領域の上方において、前記保持部が保持する前記部品の移動軌跡上から半径方向にオフセットした状態で配置されることを特徴とする、請求項2に記載の部品搬送装置。前記受入領域で待機中の前記部品を撮像する待機部品撮像手段をさらに備え、前記ベース部材に周方向に配設された複数の前記保持部の間には、前記待機部品撮像手段により前記受入領域にある前記部品を撮像するための干渉回避空間部が形成されることを特徴とする、請求項3に記載の部品搬送装置。前記ガイド面の一部に可動領域が形成されており、前記可動領域は、前記ガイド面の残りの領域に対して前記自転軸方向に独立して変位することを特徴とする、請求項2乃至4のいずれかに記載の部品搬送装置。前記保持部の移動軌跡上において前記ガイド面の前記可動領域に対応して配置され、前記保持部又は前記可動領域に外力を付勢することで、前記可動領域と共に該保持部を前記自転軸方向に移動させる軸方向駆動手段を備えることを特徴とする、請求項5に記載の部品搬送装置。前記軸方向駆動手段は、少なくとも前記受入領域と前記搬出領域にそれぞれ配置されることを特徴とする、請求項6に記載の部品搬送装置。前記保持部又は前記ベース部材には、前記保持部と前記案内機構の当接状態を維持するための付勢装置を備えることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれかに記載の部品搬送装置。前記案内機構は、前記受入領域と前記搬出領域の途中において、前記保持部の高さが、前記受入領域及び前記搬出領域における前記保持部の高さよりも低くなる下降領域を有することを特徴とする、請求項1乃至8のいずれかに記載の部品搬送装置。前記案内機構は、前記受入領域と前記搬出領域の間で、前記保持部の高さを異ならせることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれかに記載の部品搬送装置。前記保持部に保持される前記部品を、前記自転軸と垂直となる方向から撮像する撮像装置を備えることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれかに記載の部品搬送装置。前記撮像装置を複数台備えており、同一の前記部品を、前記自転軸と前記垂直となる複数方向から撮像することを特徴とする、請求項11に記載の部品搬送装置。前記撮像装置は、X線撮像装置であることを特徴とする、請求項11又は12に記載の部品搬送装置。しかしながら、この従来の部品搬送装置では、テーブルに設けられる保持部の上下方向自転軸方向の移動ストロークを大きくしようとすると、外部付勢装置によって保持部を往復移動させる時間が長くなる。その間、テーブルを一時停止しなければならないため、搬送効率が低下するという問題があった。また、搬送途中において一時的に部品を上下動させる必要がある場合、途中でテーブルを一時停止して、保持部を上下動させなければならない。結果、テーブルの一時停止の頻度が高くなり、搬送効率が更に悪化するという問題があった。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、上下方向の移動ストロークを大きくすることが可能な部品搬送装置を提供しようとするものである。本発明者の鋭意研究により、上記目的は以下の手段によって達成される。即ち、上記目的を達成する本発明は、固定部材に対して回転するベース部材と、前記ベース部材の周方向に沿って複数配置され、前記ベース部材の自転軸方向に往復移動自在となり、部品を保持することが可能な保持部と、前記固定部材側に配置され、前記ベース部材と共に回転する前記保持部を前記自転軸方向に案内する案内機構と、を備え、部品の受入領域において前記保持部に保持された前記部品が、前記ベース部材の回転に連動して、前記部品の搬出領域まで搬送される際に、前記案内機構によって前記部品が前記自転軸方向に変位することを特徴とする、部品搬送装置である。上記目的を達成する部品搬送装置における前記案内機構は、固定部材側に配置され、前記保持部が保持する前記部品の移動軌跡に並行して周方向に延びると共に、前記自転軸方向に変位するガイド面を備え、前記保持部は、前記ガイド面と当接しながら周方向に案内されることで、前記自転軸方向に変位することを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置における前記ガイド面が、前記ガイド面が、前記受入領域及び前記搬出領域の上方において、前記保持部が保持する前記部品の移動軌跡上から半径方向にオフセットした状態で配置されることを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置は、前記受入領域で待機中の前記部品を撮像する待機部品撮像手段をさらに備え、前記ベース部材に周方向に配設された複数の前記保持部の間には、前記待機部品撮像手段により前記受入領域にある前記部品を撮像するための干渉回避空間部が形成されることを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置では、前記ガイド面の一部に可動領域が形成されており、前記可動領域は、前記ガイド面の残りの領域に対して前記自転軸方向に独立して変位することを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置では、前記保持部の移動軌跡上において前記ガイド面の前記可動領域に対応して配置され、前記保持部又は前記可動領域に外力を付勢することで、前記可動領域と共に該保持部を前記自転軸方向に移動させる軸方向駆動手段を備えることを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置における前記軸方向駆動手段は、少なくとも前記受入領域と前記搬出領域にそれぞれ配置されることを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置における前記保持部又は前記ベース部材には、前記保持部と前記案内機構の当接状態を維持するための付勢装置を備えることを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置における前記案内機構は、前記受入領域と前記搬出領域の途中において、前記保持部の高さが、前記受入領域及び前記搬出領域における前記保持部の高さよりも低くなる下降領域を有することを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置における前記案内機構は、前記受入領域と前記搬出領域の間で、前記保持部の高さを異ならせることを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置では、前記保持部に保持される前記部品を、前記自転軸と垂直となる方向から撮像する撮像装置を備えることを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置では、前記撮像装置を複数台備えており、同一の前記部品を、前記自転軸と前記垂直となる複数方向から撮像することを特徴とすることが好ましい。上記目的を達成する部品搬送装置における前記撮像装置は、X線撮像装置であることを特徴とすることが好ましい。本発明によれば、搬送効率の低下を抑制しながらも、部品の回転軸方向の移動ストロークを増大させることができるという優れた効果を奏し得る。以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について詳細に説明する。図1は本発明の実施の形態に係る搬送装置1の正面図であり、図2は搬送装置1の左側面図であり、図3は搬送装置1の平面図である。なお、以下の説明における各方向は、原則として搬送装置1を正面から見た場合を基準としている。この搬送装置1は、部品供給装置2にバルク状態で載置された部品を取り出して搬送し、途中で部品の高さを一旦下げてから、検査テーブル上で所定の検査を行い、その後、部品を上昇させて、部品搬出装置3の整列トレイ3aまで搬送し、部品を整列トレイ3a上に整列状態で載置するものである。図1~3に示されるように、搬送装置1は、基台10と、基台10に揺動自在に配設されたアーム20と、アーム20に回転自在に配設されたターレットテーブル状のベース部材30と、ベース部材30の外周面に周方向に沿って配設された4つの部品保持モジュール40と、アーム20に配設された2つの外部付勢装置軸方向駆動手段50と、ベース部材30を回転させるベース部材回転駆動手段60と、ベース部材30の外周を隙間を空けて覆うようにしてアーム20側に固定配置される筒状の固定部材100と、この固定部材100側に配置される案内機構120と、基台10上面の中央手前側に配設された部品検査手段70と、アーム20を揺動させる揺動手段80と、搬送装置1全体を制御する中央制御装置90を有して構成されている。基台10は、略直方体状の部材である。基台10の内部には、中央制御装置90や、特に図示しない電源装置等が配設されている。基台10上面の奥側端部には柱部材11が配設されており、この柱部材11の上端にはアーム20を動作可能揺動自在に支持するアームブラケット11aが配設されている。本実施形態では、基台10上面の左側部分を搬送する部品を受け入れる受入領域12、基台10上面の右側を部品の搬送先である搬出領域13と設定している。また、部品検査手段70が配設された基台10上面の中央手前側部分を部品検査領域14としている。受入領域12には部品供給装置2が配設されており、搬出領域13には整列トレイ3aが配設されている。部品供給装置2および整列トレイ3aについては後述する。アーム20は、アームブラケット11aからベース10の上方を手前に向けて伸びる腕状の部材である。アーム20にはベース部材30が回転自在に保持されると共に、ベース部材回転駆動手段60、外部付勢装置50、及び固定部材100が配設されている。ベース部材30は、略円盤状の部材であり、外周面に4つの部品保持モジュール40が等間隔で配設されている。図1~3では、部品を搬送可能な位置である運転位置にベース部材30がある状態を示している。ベース部材30は、運転位置において回転の中心軸が上下方向となるようにアーム20に保持されている。そして、ベース部材30は、運転位置において回転した場合に、全ての部品保持モジュール40が受入領域12、部品検査領域14、搬出領域13の上方を通過する。また、運転位置において、いずれかの部品保持モジュール40が受入領域12に対向する位置にある場合に、他の部品保持手段32のいずれかが部品検査領域14に対向し、更に他の部品保持モジュール40のいずれかが搬出ステージ12に対向する位置にあるように構成されている。図4aはベース部材30および部品保持モジュール40の平面図であり、同図bはベース部材30および部品保持モジュール40の断面図である。図4aに示されるように、部品保持モジュール40は、略円筒状のベース部材30の外周面に90度間隔で外側に向けて突設されている。本実施形態では、このように各部品保持モジュール40の間の部材を排除してまたは切り欠いて干渉回避空間部31を生じるようにしている。干渉回避空間部31の機能については、後述する。また、部品保持モジュール40は、特に図示しないボルト等によって容易に着脱可能にベース部材30に配設されている。なお、部品保持モジュール40を外側に突出して配置することで、その間に干渉回避空間部31を構成する場合を示したが、例えば、ベース部材30の一部に開口を切り欠いて、その開口を干渉回避空間部31とすることも可能である。ベース部材30の上面の中心には、中空軸32が突設されている。この中空軸32はベース部材30の回転の中心となると共に、アーム20に回転自在に保持される部分となっている。また、中空軸32は、大径の外側パイプ32aと小径の内側パイプ32bが同軸的に配設された二重構造となっている。中空軸32の外側パイプ32aと内側パイプ32bの間隙は、低圧源となる真空ポンプ図示省略と部品保持モジュール40を繋ぐ通路の一部となっている。中空軸32の上端部には、スイベルジョイント33を介して真空ポンプに繋がるエア配管34が接続されている。ベース部材30の内部には、外側パイプ32aと内側パイプ32bの間隙と同軸的に接続された中央気室35が中心部に形成されており、さらに、この中央気室35から各部品保持モジュール40に個別に接続された4つの吸引通路36が放射状に形成されている。各吸引通路36の途中には、部品保持モジュール40と真空ポンプの連通遮断を切り替える切替バルブ37がそれぞれ配設されている。従って、本実施形態では、各部品保持モジュール40と真空ポンプの連通遮断を個別に切り替えることが可能となっている。本実施形態における切替バルブ37は、ソレノイドによって弁体を移動させる電磁弁から構成されている。なお、切替バルブ37は、電気的に駆動されるものであればその他の構成のものであってもよい。ベース部材30の内部にはさらに、切替バルブ37を制御して後述する吸着ノズル42aによる部品の吸着解放を制御する吸着ノズル切替制御装置91、および、後述する保持部自転駆動手段43を制御する保持部自転制御装置92が配設されている。吸着ノズル切替制御装置91および保持部自転制御装置92は、CPU、ROMおよびRAM等を備えた制御装置である。吸着ノズル切替制御装置91および保持部自転制御装置92は、特に図示しない配線によって、切替バルブ37および保持部自転駆動手段43とそれぞれ電気的に接続されると共に、中央制御装置90に電気的に接続されている。中央制御装置90と吸着ノズル切替制御装置91および保持部自転制御装置92を繋ぐ配線は、中空軸32先端部に配設されたスリップリング38を介して接続されている。スリップリング38と吸着ノズル切替制御装置91および保持部自転制御装置92の間の配線は、中空軸32の内側パイプ32b内部を通されている。図5aおよびbは、部品保持モジュール40の断面構造および外部付勢装置50を示した図である。これらの図に示されるように、部品保持モジュール40は、筺体41と、筺体41に自転自在に配設された保持部42と、保持部42を自転駆動する保持部自転駆動手段43を有して構成されている。筺体41は、保持部42および保持部自転駆動手段43を内部に保持すると共に、ベース部材30にボルト等によって着脱可能に固定された部材である。保持部42は、図の下方に向けられた先端に吸着ノズル42aが配設された細長い円筒状の部材である。保持部42は、ベース部材30の自転軸と並行となる中心軸周りに回転自転自在であると共に、中心軸自転軸方向に沿って往復移動自在に筺体41に保持されている。保持部42の内部は吸着ノズル42aに繋がる吸引通路42bとなっている。保持部42の吸引通路42aは、軸端に接続されるチューブ状の配管によって、ベース部材30に配設された切替バルブ37に接続される。吸着ノズル42aは、運転位置においては基台10上面に対向するように設けられている。切替バルブ37は、真空ポンプと吸着ノズル42aの連通遮断を切り替えると共に、遮断時には、吸着ノズル42aを大気開放状態とするように構成されている。すなわち、保持部42は、切替バルブ37によって真空ポンプと吸着ノズル42aが連通された場合に、吸着ノズル42aによって部品を吸引して吸着保持し、切替バルブ37によって真空ポンプと吸着ノズル42aが遮断された場合に、吸着ノズルに保持していた部品を解放するように構成されている。保持部自転駆動手段43は、筺体41に固定されたモータ43aと、モータ43aの回転駆動力を保持部42に伝達する伝達機構43bから構成されている。本実施形態では、モータ43aはステッピングモータから構成されている。モータ43aは、特に図示しない配線およびコネクタを介して、保持部自転制御装置92と電気的に接続される。伝達機構43bは、モータ43aの出力軸に固定された駆動歯車43b1、および保持部42に同軸的に固定された従動歯車43b2からなり、モータ43aの回転数を所定の減速比で減速するように構成されている。なお、伝達機構43bを3つ以上の歯車列から構成するようにしてもよいし、ベルト伝達機構やチェーン伝達機構等により構成するようにしてもよい。保持部42は、この保持部自転駆動手段43に駆動されて自転する。本実施形態では、このように保持部42を自転させることによって、吸着ノズル42aに吸着保持した部品の姿勢を整えるようになっている。保持部42の基端部図の上端部には、ブラケット44が接続されている。ブラケット44は、保持部42の上端部において、ベース部材30の半径方向に沿って配設されている。ブラケット44は保持部42の中心軸方向上下方向に係合している。なお、ブラケット44は保持部42の自転を許容している。すなわち、保持部42が自転しても、ブラケット44は回転しないが、ブラケット44が上下方向に往復移動した場合は、保持部42も中心軸自転軸方向に往復移動するようになっている。ブラケット44における半径方向内側にはカムフォロア110が配置されている。このカムフォロア110は、固定部材100に配置される案内機構120と当接している。固定部材100は、アーム20に固定されて下側に伸びる筒状の部材であって、内側のベース部材回転駆動手段DDモータ60とは隙間を空けて配置されている。固定部材100の外周面には案内機構120が配置される。この案内機構120は、カムフォロア110及びブラケット44を介して、ベース部材30と共に回転する保持部42と係合することになる。この結果、案内機構120は、保持部42を自転軸方向に変異させることができる。具体的にこの案内機構120は、カムフォロア110と当接するガイド面122を備えて構成される。このガイド面122は、固定部材100の外周面に周方向に形成される段差を利用してリング状に形成される。このガイド面122は保持部42の移動軌跡に沿って周方向に延びると共に、保持部42の自転軸方向に向かって屈曲又は湾曲している。従って、カムフォロア110がこのガイド面122に対して従動すると、ガイド面122の屈曲又は湾曲によってカムフォロア110が軸方向に変位する。結果、保持部42は、ガイド面122と係合して周方向に案内されながら、自転軸方向に変位する。また、図6abに示されるように、このガイド面122の一部には可動領域122Aが形成される。この可動領域122Aは、ガイド面122図5参照の残りの領域に対して、自転軸方向に独立して変位できる。ガイド面122における可動領域122Aの裏面側下側には、付勢部材の一種である押圧ばね124が配置されており、この押圧ばね124によって可動領域122Aを押し上げることで、可動領域122Aとガイド面122の高さを一致させる図6a参照。押圧ばね124の付勢力に抗して可動領域122Aを押し下げることで、可動領域122Aのみが自転軸方向に変位する図6b参照。この可動領域122Aが形成される場所は、外部付勢装置50に対応している。外部付勢装置50がブラケット44を下側に付勢すると、これに連動してカムフォロア110が可動領域122Aを下側に付勢する。この付勢力によって可動領域122Aは下側に変位すると、カムフォロア110と一緒にブラケット44も下側に変位する。外部付勢装置50による付勢が開放されると、押圧ばね124の付勢力によって、ブラケット44と可動領域122Aが元の位置に自動的に復帰するようになっている。ブラケット44は、引っ張りばねとなる内部付勢装置45によって、筺体41から常に下側に向けて付勢されている。これにより、ブラケット44のカムフォロア110は、ガイド面122に常に押しつけられるので、ガイド面122とカムフォロア110が離反することを回避できる。結果、保持部42の自転軸方向の位置高さは、カムフォロア110とガイド面122の係合状態によって決定される。なお、ブラケット44の上面には受圧部材44aが突設されている。外部付勢装置50は、この受圧部材44aに外力を加えて、ブラケット44を下側に押圧する。なお、内部付勢装置45の引っ張りばねの付勢力と比較して、ガイド面122の可動領域122Aに配置される押圧ばね124の付勢力の方が強い。従って、カムフォロア110が可動領域122Aに位置しても、外部付勢装置50によって付勢しなければ、可動領域122Aは変位しないようになっている。外部付勢装置50は、先端を受圧部材44aに向けてアーム20に配設された細長い円筒状のガイド部材51と、ガイド部材51の内部に挿通された細長い棒状の押圧部材52と、アーム20の上面に配設されたモータ53と、モータ53の出力軸に固定されたカム54を有して構成されている。押圧部材52は、先端を受圧部材44aに向けると共に、基端をカム54に接続されている。そして、モータ53に駆動されたカム54の回転に伴って図の上下受圧部材44aに近接離隔する方向に往復移動するように構成されている。カム54のカムプロファイルは、搬送装置1の搬送速度等に応じて適宜に設定すればよい。押圧部材52は、受圧部材44aに近接する方向への移動によって、自身の先端が受圧部材44aに当接すると共に、ガイド面122の可動領域122Aに配置される押圧ばね124の付勢力に勝る外力を受圧部材44aに加える。そして、図6bに示されるように、ブラケット44と共に保持部42を、保持部42の自転軸に沿って移動させる。更にカム54の回転に伴って押圧部材52が元の位置に戻ると、ブラケット44および保持部42は、押圧ばね124の付勢力により図6aの状態に自動的に復帰する。このガイド面122は、受入領域12及び搬出領域13の上方において、保持部42が保持する電子部品の移動軌跡上から半径方向内側にオフセットした状態で配置される。勿論、半径方向外側にオフセットさせることもできる。このようにすると、ガイド面122と待機部品撮像手段2cの撮影領域との干渉を回避することができる。結果、待機部品撮像手段2cは、部品保持モジュール40が存在しないタイミングを利用して、上方側から受入トレイ2a上の部品を撮像することができる。撮影についての詳細は後述する。図1~3に戻って、本実施形態では、運転位置において受入領域12および搬出領域13に対向する位置にある部品保持モジュール40の受圧部材44aを押圧する位置に、外部付勢装置50がそれぞれ配設されている。また、ガイド面122の可動領域122Aも受入領域12および搬出領域13に対応する位置に形成されている。ベース部材回転駆動手段60は、アーム20の図の下面に固定され、アーム20とベース部材30の間に位置している。本実施形態では、ベース部材回転駆動手段60は、アーム20に固定されるステータ、およびステータの外周を回転する筒状のロータから構成されるDDモータである。ステータの中心部には軸方向に貫通孔が形成されている。ベース部材30は、この貫通孔内に中空軸32を挿通した状態でロータに固定されている。部品検査手段70は、本実施形態では第1及び第2X線検査装置70A、70Bから構成されている。この部品検査手段70は、部品検査領域14において側面からX線を照射して、部品の内部構造を非破壊で検査する。既に述べたように、本実施形態では、案内機構120が、受入領域12と搬出領域13の途中において、一旦、部品の高さが低くなるような下降領域を形成している。従って、部品の側面に照射したX線が、他の保持部42に保持されている部品や、保持部42そのものと干渉しないようになっている。この結果、図6abに示されるように、X線の第1及び第2受光部70C、70Dを、保持部42の移動軌跡よりも外側に配置することが可能となる。この部品検査手段70は中央制御装置90と電気的に接続されており、中央制御装置90によって撮像タイミングが制御される。なお、本実施形態では、より安全性を増すために、保持部42が部品検査領域14に存在している状態において、この第1及び第2X線検査装置70A、70Bの撮像方向矢印P、Qの延長線上に、他の保持部42が存在しないようにしている。つまり、第1及び第2X線検査装置70A、70Bの撮像方向矢印P、Qを設定する際に、他の保持部42が干渉しない方向を選定している。揺動手段80は、モータ82と、モータ82の出力軸に接続されるねじ軸84と、アーム20に配設されるナット86とから構成されている。モータ82は、例えばステッピングモータであり、出力軸を上にして柱部材11の左側面にモータブラケット82aを介して揺動可能に配設されている。ねじ軸84は、外周面におねじが形成された棒状の部材であり、モータ82の出力軸に同軸的に接続されている。ナット86は、ねじ軸84のおねじと螺合するめねじを備えており、ナットブラケット88を介してアーム20の後端上方に回動可能に配設されている。ナット86はねじ軸84と螺合しており、ねじ軸84がモータ82に駆動されて回転することにより、ねじ軸84に沿って直線移動する。ナット86は、アーム20の揺動中心よりも左側に位置している。従って、ナット86を下方に移動させることでベース部材30を上昇させ、ナット86を上方に移動させることでベース部材30を下降させることができる。図7は、ベース部材30を退避位置まで移動させた状態を示した左側面図である。揺動手段80は、部品保持モジュール40が受入領域12、搬出領域13および部品検査領域14に対向状態となる運転位置図2参照と、部品保持モジュール40が受入領域12、搬出領域13および部品検査領域14に非対向状態となる退避位置との間を、ベース部材30を移動可能に構成されている。具体的には、揺動手段80はアーム20を略90度回動させることで、ベース部材30を運転位置から退避位置に移動させる。アーム20の回動に伴ってナット86およびモータ82が回動または揺動するため、揺動手段80は、シンプルな構成でありながらも、アーム20をスムーズに回動させることができる。本実施形態では、退避位置に移動させることによって、ベース部材30を基台10から大きく引き離すと共に、ベース部材30の下面および部品保持モジュール40の吸着ノズル42aの先端を側方に向けて開放するようにしている。このようにすることで、吸着ノズル42aのメンテナンスや、基台10に配設された部品供給装置2、部品搬出装置3の整列トレイ3、部品検査手段70等のメンテナンスを容易に行うことができる。図1~3に戻って、中央制御装置90は、CPU、ROMおよびRAM等を備えた制御装置であり、外部付勢装置50、ベース部材回転駆動手段60および部品検査手段70等を直接制御すると共に、吸着ノズル切替制御装置91および保持部自転制御装置92に制御情報を送信して、4つの切替バルブ37および4つの保持部自転駆動手段43を個別に制御させる。部品供給装置2は、略四角形状の受入トレイ2aと、例えばX-Yテーブルから構成されるトレイ移動手段2bと、アーム20に配設された待機部品撮像手段2cから構成されている。受入トレイ2aは、トレイ移動手段2b上に配設されている。トレイ移動手段2bは、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態におけるトレイ移動手段2bは、図3における上下方向および左右方向に受入トレイ2aを移動可能となっている。待機部品撮像手段2cは、運転位置において、受入トレイ2a上に載置された状態で受入領域12にある部品を上方から撮像する位置に配設されている。待機部品撮像手段2cは中央制御装置90と電気的に接続されている。部品供給装置2は、図3の左側に示す供給領域15において外部からバルク状態で受入トレイ2a上に載置された複数の部品を、トレイ移動手段2bによって受入トレイ2aを移動させることにより、受入領域12まで搬送する。すなわち、部品供給装置2は、部品を搬送する搬送装置としても機能する。部品供給装置2は、複数の部品を受入領域12まで搬送した後、待機部品撮像手段2cによって受入領域12にある複数の部品を撮像し、その画像情報を中央制御装置90に送信する。中央制御装置90は、受信した画像情報を解析し、画像情報に含まれる複数の部品のうちの1つを適宜に選択する。そして、吸着ノズル42aが吸着可能な位置に選択した1つの部品を配置するようにトレイ移動手段2bを制御する。トレイ移動手段2bは、中央制御装置90の制御に基づいて、受入トレイ2aを移動させ、選択された部品が吸着ノズル42aによって適切に吸着可能となるように、その位置を整える。すなわち、部品供給装置2は、吸着ノズル42aに対する部品の位置を整える整列装置としても機能する。待機部品撮像手段2cは、受入領域12の真上に配設されているため、受入領域12に対抗する位置に部品保持モジュール40がある場合には、部品保持モジュール40に邪魔されて受入トレイ2a上の部品を撮像することができない。従って、待機部品撮像手段2cは、ベース部材30の回転中、すなわち、受入領域12から部品を保持した部品保持モジュール40が部品検査領域14まで移動し、次の部品保持モジュール40が受入領域12まで到着する間に撮像を行う。2つの部品保持モジュール40の間は、上述したように、大きく切り欠かれて部材が排除された干渉回避空間部31となっており、更に、案内機構120のガイド面122も半径方向内側にオフセットしているので、待機部品撮像手段2cは、干渉回避空間部31を通して上方から受入トレイ2a上の部品を撮像することができる。これにより、吸着ノズル42aに対する部品の位置を微調整することができるため、バルク状態で載置された部品であっても、適切に吸着ノズル42aに吸着させて、搬送することが可能となる。なお、干渉回避空間部31は、部材を全く排除した切り欠きに限定されるものではなく、例えばガラス等の光を透過することができる部材から構成されるものであってもよい。部品搬出装置3の整列トレイ3aは、マトリクス状に配置された複数の凹部3hが上面に形成されたトレイであり、例えばX-Yテーブルから構成された整列トレイ移動手段3b上に配設されている。整列トレイ移動手段3bは、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態における整列トレイ移動手段3bは、図3における上下方向および左右方向に整列トレイ3aを移動可能となっている。整列トレイ移動手段3bは、中央制御装置90に制御されて、搬出領域13にある部品保持モジュール40の吸着ノズル42aの真下に、複数の凹部3hのうちの1つが順番に位置するように整列トレイ3aを移動させる。すなわち、搬出領域13において吸着ノズル42aから開放された部品が凹部3hに収容された後に、次に搬送される部品が収容される凹部3hを、次に搬出領域13に到着する吸着ノズル42aの真下となる位置に配置するという動作を繰り返し、全ての凹部3h内に部品を収容させる。全ての凹部3h内に部品が収容された整列トレイ3aは、例えば次の検査工程等に運ばれる。次に、搬送装置1の作動について説明する。図8a~fは、搬送装置1の作動を示した平面図である。まず、図8aに示されるように、部品供給装置2が、供給領域15において複数の部品を載置された受入トレイ2aを受入領域12まで移動させる。そして、図8bに示されるように、ベース部材30が図の反時計回りに略45度回転する。この状態で、ベース部材30の回転中に待機部品撮像手段2cが受入トレイ2a上の部品を撮像し、この画像情報を基にトレイ移動手段2bがトレイ2bを移動させる。ベース部材30が更に略45度回転すると、図8cに示されるように、受入領域12にある選択された1つの部品の上に、部品保持手段40の吸着ノズル42aが位置決めされる。この図8cの状態でベース部材30は一時停止し、外部付勢装置50が、受入領域12にある部品保持手段40の保持部42を下降させ、吸着ノズル42aによって部品を吸着して保持する。その後、外部付勢装置50による押圧が解除して保持部42元の位置まで復帰させる。次に、ベース部材30が略90度回転して、図8dの位置で一時静止する。これにより、先ほどトレイ2b上から取り出された部品は、部品検査領域14に搬送される。この際、案内機構120のガイド面122に沿って保持部42が下降し、部品検査領域14で最も低い位置となる。ベース部材30が静止している間に、部品検査手段70は、吸着ノズル42aに保持されている部品をX線撮像する。撮像完了後、ベース部材30は更に略90度回転して図8eの状態となり、再び一時静止する。先ほどX線撮像された部品は、ガイド面122に沿って上昇しながら、搬出領域13の上に到着している。ベース部材30が静止している間に、外部付勢装置50が、搬出領域13にある部品保持手段40の保持部42を下降させ、吸着ノズル42aが保持している部品を開放して凹部3hに収容させる。その後、外部付勢装置50による押圧を解除して保持部42を復帰させる。以上説明したように、本実施形態に係る搬送装置1は、これらの動作を繰り返すことによって、受入トレイ2a上にバルク状態で載置された部品を1つずつ取り出して搬送し、X線撮像による非破壊検査を行ってから、整列トレイ3a上に整列状態で載置する。搬送装置1では、案内機構120のガイド面122を利用して回転中に保持部42を自転軸方向に変位させることで、受入領域12、部品検査領域14、搬出領域13において、目的とする高さまで予め近づけることが出来るので、外部付勢装置50による移動ストロークを極めて小さくすることができる。この結果、部品の検査速度や搬送速度を高めることができる。更にこの搬送装置1は、部品の搬送軌跡に対してガイド面122が半径方向にオフセットされているので、待機部品撮像手段2cを利用した部品の撮影時に、ガイド面122との干渉を回避している。特に、保持部42の間にも待機部品撮像手段2cにより受入領域12にある部品を撮像するための干渉回避空間部31が形成されている。このため、ベース部材30の回転中に、ベース部材30、部品保持モジュール40、ガイド面122等に邪魔されることなく、受入領域12にある部品を撮像することができる。これにより、待機部品撮像手段2cが撮像した画像情報に基づいて、吸着ノズル42aが適切に吸着することが可能な位置に、受入領域12にある部品の位置を修正することが可能となるため、受入トレイ2a上にバルク状態で載置された部品を確実に吸着、保持することができる。更にこのガイド面122は可動領域122Aを備えており自転軸方向に独立して変位するようになっている。結果、カムフォロア110と一緒に保持部42を更に自転軸方向に変位させることで、部品の吸着や開放を素早く実現できる。またガイド面122は、受入領域12と搬出領域13の間において、保持部42が最も低い位置となるように形成されているので、例えば本実施形態のような部品のX線検査において、他の部品や吸着ノズルとの干渉を回避することが可能となる。また更に、このこの搬送装置1は保持部42又はベース部材30には、保持部42と案内機構120の当接状態を維持するための付勢装置内部付勢装置45が設けられているので、カムフォロア110と案内機構120の離反が回避され、保持部42の位置決め精度を高めることが可能になる。また、保持部軸方向駆動手段は、必要な場所に限定して、ベース部材30の外部から保持部42の一部に外力を加える外部付勢装置50を備えているこのため、保持部42を移動させるためのアクチュエータ等をベース部材30または部品保持モジュール40に配設する必要がない。また、外部付勢装置50を利用した構造を採用する際、移動ストロークを大きくしようとするとベース部材30の一時静止時間が増大する。しかし、この案内機構120によって予め必要な移動ストロークを確保することで、外部付勢装置50の移動ストロークを小さくすることが出来るので、ベース部材30の一時静止時間を短縮できる。結果、簡潔な構造と、大きな移動ストロークと、搬送速度の増大の3つの利点を極めて合理的に両立できる。また、搬送装置1は、受入領域12には、複数の部品がバルク状態で載置される受入トレイ2aが配設され、搬出領域13には、複数の部品が整列状態で載置される整列トレイ3aが配設され、受入トレイ2aから取り出した部品を、姿勢を整えた上で整列トレイ3aまで搬送し、整列トレイ3a上に整列状態で載置する。このため、バルク状態の部品を高速で整列トレイ3a上で整列させることができる。これにより、部品の生産効率や検査効率を向上させることができる。なお、本実施形態に係る搬送装置1は、4つの部品保持モジュール40を備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の個数の部品保持モジュール40を備えるようにしてもよい。また、保持部42は、吸着ノズル42aを下方に向けているが、これに限定されるものではなく、吸着ノズル42aを側方や上方に向けるものであってもよい。さらに、保持部42は、吸着ノズル42aを備えるものに限定されるものではなく、例えばエア駆動により部品を把持する構造のものであってもよい。また、ベース部材30は、運転位置において回転の中心軸が上下方向となるように配設されているが、これに限定されるものではなく、運転位置における回転の中心軸が水平方向や斜め方向となるように配設されるものであってもよい。また、ベース部材30は、本実施形態に示される形状以外の形状であってもよい。また、アーム20は、基台10に配設されるものに限定されるものではなく、他の部材に配設されるものや、独立して設置されるものであってもよい。さらに、アーム20は、揺動以外の動作を可能に構成されるものであってもよい。例えば、上方に向けて直線移動した後に揺動するように、または複数の異なる回転軸を中心に揺動もしくは回動するようにアーム20を構成してもよい。また、本実施形態では、案内機構120における可動領域122Aにカムフォロア110が存在する際、ブラケット44を外部付勢装置50で押圧する構造を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば図9に示されるように、可動領域122Aは、カムフォロア110を上下から挟み込むような溝構造となっており、外部付勢装置50がこの可動領域122Aを付勢して、ブラケット44を上下動させるようにしても良い。この際、押圧ばね124を外部付勢装置50側に配置しても良い。即ち、外部付勢装置50が押圧する部位や構造については特に限定されない。また、受入領域12、搬出領域13および部品検査領域14の位置高さ位置を含むは、本実施形態において示した位置に限定されるものではなく、受入領域12、搬出領域13および部品検査領域14をその他の位置に配置するようにしてもよい。さらに、部品の加工組立や検査等を行う領域を搬送途中に設けるようにしてもよい。例えば図10に示されるように、案内機構120によって、受入領域12と搬出領域13において保持部42の高さが異なるようにすることも好ましい。このようにすると、受入トレイ2aと整列トレイ3aを大型化した際に、トレイ同士の干渉を高さ方向で回避することができる。また、このように受入領域12と搬出領域13の高さ位置が大きく異なる場合においても、案内機構120を利用して搬送工程中にそれぞれの高さまで保持部42の先端を近づけることができるので、部品の保持/開放の為に必要な上下動のストロークを最小化できる。即ち、外部付勢装置50の動作時間を短くすることができ、これによっても搬送効率が高められる。また、ベース部材30の回転は、90度回転するごとに静止する間欠回転に限定されるものではなく、部品保持モジュール40が受入領域12、搬出領域13および部品検査領域14に対抗する位置にある場合にも、ベース部材30を低速で回転させ続けるようにしてもよい。更に、本実施形態では、部品供給装置2において、部品がバルク状態で載置される場合を示したが、本発明はそれに限定されず、他の供給方法でもよい。例えば、部品供給装置がいわゆる振込装置であって、一時的に部品を整列させる整列凹部を列状に備える仮整列トレイを備えるようにしてもよい。この仮整列トレイを、上下左右に振動させたり傾斜させたりすることで、バルク状態の部品を整列凹部に整列させてから、搬送装置に部品を供給することも好ましい。また、本発明において搬送される部品は、様々なものが考えられるが、特に、水晶片に適用することが好ましい。水晶片の搬送は、外力によって損傷を受けやすいにも拘らず、製造工程の高度化によって高速搬送が求められている。従って、本実施形態のターレット搬送装置によれば、各水晶片の保持姿勢の制御を回転中に自動的に行うことが可能であるので、水晶片の損傷を低減しながらも、高速搬送を実現できる。また、各吸着ノズルが個別独立に回転できることから、一つの部品の姿勢制御が、他の部品の搬送に影響を与えないで済むので、確実な搬送を実現できるようになる。以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の搬送装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。