"切粉を含む切削液を保持するように構成されたコンベヤタンク103と、少なくとも部分的に前記コンベヤタンク103内に配置された連続するコンベヤベルト105であって、前記コンベヤベルト105は後端部Teと排出端部Deとで回転して向きを変えるように構成され、前記コンベヤベルト105の上側走路Uと下側走路Lの間に空間があり、前記上側走路U上の切粉を前記排出端部Deに向かって搬送しコンベヤ100から排出するようになったコンベヤベルト105と、前記ベルト105の前記上側走路Uと前記下側走路Lの間に配置された少なくとも1つのフィルタボックス111と、前記フィルタボックス111内に配置された少なくとも1つのフィルタプレート10であって、最小切粉断面寸法が所定の最大切粉寸法よりも大きい切粉は前記フィルタプレートを通過させずに、切削液は前記フィルタプレートを通過させる複数の開口を有するろ過領域を有するフィルタプレート10と、を有する、切粉をろ過するコンベヤ100において、前記少なくとも1つのフィルタプレートは、0.3mm未満の厚さを有し、前記複数の開口は、前記フィルタプレートを貫通してエッチングされて輪郭を形成されたオリフィスの配列を含み、エッチングされた前記オリフィスの輪郭は、各オリフィスの最小断面開口寸法が0.3mm未満になるように、かつ前記配列内の前記オリフィスの開口面積の合計が前記配列の全プレート面積の少なくとも18となるようになっていることを特徴とするコンベヤ100。前記少なくとも1つのフィルタプレート10の少なくとも1つは、前記フィルタボックス111の上面および/または下面に配置されている、請求項1に記載のコンベヤ100。前記フィルタプレート10は、前記フィルタプレート10を横方向に張力が掛かるように保つフレームに保持されている、請求項1または2に記載のコンベヤ100。エッチングされて輪郭を形成された前記オリフィスのそれぞれは、前記フィルタプレートの厚さの少なくとも一部に渡って、前記フィルタプレートの面に対して実質的に垂直な、まっすぐに貫通する断面形状を有する、請求項1から3の1つに記載のコンベヤ100。エッチングされて輪郭を形成された前記オリフィスのそれぞれは、前記フィルタプレートの厚さの少なくとも一部に渡って、最小開口面積のくびれ領域から前記フィルタプレートの表面の1つに向かって広がっている、先に向かって広がった輪郭部分を有する、請求項1から3の1つに記載のコンベヤ100。前記くびれ領域は、前記フィルタプレート10の厚さの中間の面内に位置する、請求項5に記載のコンベヤ100。前記くびれ領域の前記面は、前記フィルタプレート10の、前記フィルタボックス111から外側に向いた表面にある、請求項6に記載のコンベヤ100。前記くびれ領域の前記面は、前記フィルタプレート10の、前記フィルタボックス111の内側に向いた表面にある、請求項6に記載のコンベヤ100。前記ベルト105は、前記ベルト105が回転するにつれて、前記フィルタプレート10を横切ってぬぐう少なくとも1つのふき取り要素をさらに有する、請求項1から8の1つに記載のコンベヤ100。ろ過中に前記オリフィス12,13を通る切削液の流れの方向と反対の方向の、輪郭を形成された前記オリフィス12、13を通る切削液の流れを生じさせる逆洗手段をさらに有する、請求項1から9の1つに記載のコンベヤ100。前記逆洗手段は、前記フィルタボックス111内の切削液の、前記オリフィス12、13の所での圧力を、前記フィルタボックス111の外側の切削液の圧力よりも大きくなるように上昇させる正圧発生手段を有する、請求項10に記載のコンベヤ100。前記逆洗手段は、前記オリフィスの逆洗がろ過方向の切削液の流れを著しく妨げることなく達成されるように、前記フィルタボックス内の切削液に1つ以上の正圧パルスを生じさせるよう構成されている、請求項10または11に記載のコンベヤ100。切粉をろ過するコンベヤ100を用いて切削液から切粉を除去する方法であって、前記切粉をろ過するコンベヤは、切粉を含む切削液を保持するように構成されたコンベヤタンク103と、少なくとも部分的に前記コンベヤタンク103内に配置された連続するコンベヤベルト105と、フィルタボックスであって、該フィルタボックスの上面および/または下面が、前記連続するコンベヤベルトの内側に配置された少なくとも1つのワイパー要素でふき取られるように前記ベルト105の上側走路と下側走路の間に配置されたフィルタボックスと、を有し、前記フィルタボックスには0.3mm未満の厚さを有するフィルタプレート10が設けられ、前記フィルタプレートは前記ワイパー要素によってふき取られるよう配置され、前記フィルタプレート10を設けるステップは、輪郭を形成されたオリフィスの配列を、エッチングされて輪郭を形成された前記オリフィスのそれぞれが0.3mm未満の最小開口寸法を有し、かつ前記配列内の前記オリフィスの開口面積の合計が前記配列の全プレート面積の少なくとも18となるようにフォトエッチングまたはケミカルミリングにより前記フィルタプレート10に形成するステップを含む、方法。前記フィルタプレート10が前記ワイパー要素によってぬぐわれる時に前記フィルタプレートが張力を掛けられた状態で保持されるように、前記フィルタプレートを前記フィルタボックスに装着するステップを含む、請求項13に記載の方法。エッチングされ、輪郭を形成された前記オリフィスは、0.1~0.2mmの最小開口寸法を有し、前記フィルタプレートは0.1~0.2mmの厚さを有する、請求項1から12の1つに記載のコンベヤ、または、請求項13または14に記載の方法。特許文献2のコンベヤは、種々のブラシおよびヒンジプレートを少なくとも4つの異なる方法で上側ベルト上、仕切板上、下側ベルト上、タンクの底面上で切粉を集め保持するように構成し、調整しなければならない点で、構造が複雑である。比較的小さい切粉を搬送するために仕切板を使用することで複雑さが増し、コンベヤのコストおよび重量が増加し、切粉やスラッジが蓄積し得る余分な面や角部が設けられることとなり、それによって、定期的な清掃が必要になる。さらに、特許文献2で使用されているようなパンチングスクリーンは、打ち抜き加工により孔を開けられており、それによって、不完全な形状で不規則な大きさのオリフィスが形成され、孔の周囲にたいていバリができる。また機械的な孔開け加工では、所与の面積および所与の板厚で形成できる穴の形状や分布に制限が生じる。パンチングフィルタプレートは、その表面が比較的平坦なため、編まれたメッシュスクリーンよりも掃き取り/掻き取りで清掃することが容易であるが、通過する液の流量を少なくするため、ろ過性能が低いという欠点がある。本発明の第1の態様によると、切粉を含む切削液を保持するように構成されたコンベヤタンクと、少なくとも部分的にコンベヤタンク内に配置された連続したコンベヤベルトであって、上側走路上で切粉を排出端部に向かって搬送しコンベヤから排出するように後端部と排出端部において回転して向きを変えるように構成され、ベルトの上側走路と下側走路の間に空間があるコンベヤベルトと、ベルトの上側走路と下側走路の間に配置された少なくとも1つのフィルタボックスと、フィルタボックスに配置された少なくとも1つのフィルタプレートであって、最小切粉断面寸法が所定の最大切粉寸法よりも大きい切粉はフィルタプレートを通過させずに、切削液はフィルタプレートを通過させる複数の開口を有するろ過領域を備えたフィルタプレートと、を有し、この少なくとも1つのフィルタプレートは0.3mm未満の厚さを有し、複数の開口はフィルタプレートを貫通してエッチングされて輪郭を形成されたオリフィスの配列を含み、エッチングされたオリフィスの輪郭は各オリフィスの最小断面開口寸法が0.3mm未満になるように、かつ配列内のオリフィスの開口面積の合計が配列の全プレート面積の少なくとも18になるように輪郭を形成されていることを特徴とする切粉ろ過コンベヤが提供される。ここでは、最小切粉断面寸法という用語は、オリフィスを通過するのを妨げられる各切粉の最小寸法を意味するものとして用いている。フィルタプレートは、フィルタボックスの上面および/またはフィルタボックスの下面に配置することができる。本発明の変形例によると、フィルタプレートまたは複数のフィルタプレートが、横方向に張力が掛かった状態でフレーム中に保持されている。本発明の変形例によると、エッチングされて輪郭を形成されたオリフィスのそれぞれは、フィルタプレートの面に対して実質的に垂直なまっすぐに貫通する輪郭を有し、まっすぐに貫通する輪郭は、フィルタプレートの厚さの少なくとも一部に渡って延びている。本発明の別の変形例によると、エッチングされて輪郭を形成されたオリフィスのそれぞれは、最小開口面積のくびれ領域からフィルタプレートの表面の1つに向かって広がっている、先に向かって広がった輪郭部分を有し、先に向かって広がった部分はフィルタプレートの厚さの少なくとも一部に渡って延びている。くびれ領域は、フィルタプレートの厚さの中間の面に、またはフィルタプレートの表面の1つに位置していてよい。特に、くびれ領域は、オリフィスが下方に向かって/外側に向かって広がるように、フィルタプレートの上面内面に、またはその近くにあってよい。これにより、くびれ部を通過した粒子が、オリフィスの長さの残りの部分を容易に通過できることが保証される。一方、プレートの上側内側でオリフィスが広がるようにすることにより、ベルトが回転するにつれプレートの表面を横切るように構成された1つ以上の払い取り/ふき取り要素により、捕捉した粒子を簡単に払い出すことができるようにして、オリフィスを詰まらせることなく、開口を通過するにはちょっと大き過ぎる粒子をオリフィス内に捕捉することができる。本発明のさらなる変形例によると、コンベヤは、ろ過中にオリフィスを通る切削液の流れの方向と反対の方向の、輪郭を形成されたオリフィスを通る切削液の流れを生じさせる逆洗手段を有する。逆洗手段は、フィルタボックス内の切削液の、オリフィスの所での圧力を、フィルタボックスの外側での切削液の圧力よりも大きくなるように上昇させる正圧発生手段を有していてよい。逆洗手段は、オリフィスの逆洗がろ過方向の切削液の流れを著しく妨げることなく達成されるように、フィルタボックス内の切削液に1つ以上の正圧パルスを生じさせるよう構成されている。本発明のさらなる目的は、切粉ろ過コンベヤを用いて切削液から切粉を除去する方法であって、切粉ろ過コンベヤは、切粉を含む切削液を保持するように構成されたコンベヤタンクと、少なくとも部分的にコンベヤタンク内に配置された連続するコンベヤベルトと、フィルタボックスであって、フィルタボックスの上面および/または下面が、連続するコンベヤベルトの内側に配置された少なくとも1つのワイパー要素でぬぐわれるようにベルトの上側走路と下側走路の間に配置されたフィルタボックスと、を有し、フィルタボックスには0.3mm未満の厚さを有するフィルタプレートが設けられ、フィルタプレートはワイパー要素によってぬぐわれるよう構成され、このフィルタプレートを設けるステップは、輪郭を形成されたオリフィスの配列を、エッチングされて輪郭を形成されたオリフィスのそれぞれが0.3mm未満の最小開口寸法を有し、かつ配列内のオリフィスの開口面積の合計が配列の全プレート面積の少なくとも18となるようにフォトエッチングまたはケミカルミリングによりフィルタプレートに形成するステップを含む、方法を提供することである。本発明の方法の変形例によると、方法は、フィルタプレートがワイパー要素によってぬぐわれる時にフィルタプレートが、張力が掛かった状態で保持されるようにフィルタプレートをフィルタボックスに装着するステップを有する。最小開口径は、プレートの厚さを0.1~0.2mmとして、0.1~0.2mmとなるように構成するのが有利である。提案する製品は、広範囲の用途、材料、および切粉の種類に対応できる簡素なろ過コンベヤとなるよう構成されている。さらに、後でより詳細に説明するように、フィルタボックスを効率的に清掃することができるように、ブラシおよび/またはワイパーブレードをベルトに取り付けることができる。このようにしてコンベヤは自浄型となる。添付図面を参照した、限定するものではない例示的な実施形態の以下の説明より、本発明の他の特徴および利点が明らかになる。次に添付図面を参照しながら、本発明の実施形態をより詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係る切粉ろ過コンベヤ100を示す斜視図である。コンベヤ100は、金属加工で生じる汚れた切削液を保持するように構成されているコンベヤタンク103を有する。この場合はヒンジベルトであるコンベヤベルト105が、少なくとも部分的にコンベヤタンク103内に配置されている。ヒンジベルト105は、連続するまたは無端のキャタピラ型のベルトへと複数の金属プレートをヒンジで接続することにより形成されている。金属加工で生じる切粉は、矢印Wの方向に上からコンベヤタンク103に落ちるように構成されている。ヒンジベルト105は、図5に示す後端部スプロケット/ディスク401および排出端部スプロケット図示せずを回らされて反転させられ、ベルトコンベヤとして回転するように構成されている。図において、後端部はTe、排出端部はDeによって示されている。またモーター107が示されており、ベルト105を回転させるために用いられている。ベルトの進行路は、図で見て取ることができるように、コンベヤ100の下部において実質的に水平である。ベルトは、コンベヤ100の下部において実質的に互いに平行な上側参照符号U部分と下側図2に示す参照符号L部分とを有する。コンベヤ100の下部において、上側部分は第1の方向に移動し、一方、下側部分は第2の方向に移動し、第2の方向は第1の方向の反対方向である。図の矢印Rはベルト105の回転方向を示している。上側部分は、大きな切粉を排出端部Deへと搬送し、ベルト105から排出するように構成されている。切粉溜め図示せずが、排出された切粉を溜めるのに用いられる。また図1には、ベルトの内側、すなわちベルト105の上側U部分と下側L部分の間に、切削液をろ過するためのフィルタボックス111が示されている。フィルタボックス111をベルト105の内側に配置することにより、スクレーパーコンベヤで発生する問題を防止するように、フィルタボックス111が大きい切粉から保護されている。図に示すように、フィルタボックス111は、鉛直な側壁に開口113を有し、開口113を通して、ろ過された切削液を清浄切削液貯槽図示せずに排出することができる。清浄切削液貯槽から、ろ過された切削液を、再利用のために工作機械にポンプで送ることができる。本発明の、エッチングされて輪郭を形成されたオリフィスは、フィルタプレート10に対して垂直で互いに平行な側面を有するまっすぐな複数の貫通穴としてエッチングされていてよい。しかし、清掃がより簡単で、および/または目詰まりがより少ないという利点を生じさせる、先に向かって広がったオリフィス形状を図3A~3Eに示す。図3A~3Eの全ての場合で、切削液はプレート10を上から下に通り抜ける。先に向かって広がった上部12により、オリフィスの上部に引っかかった粒子を、プレート10の上面を横切るブラシ、ワイパーまたはスクレーパーで簡単に払い除くことが可能となる。下方に向かって広がった部分13により、オリフィスの最も狭いくびれた領域を通過したどの粒子も、オリフィスの下部を自由に通り抜けできることが保証される。エッチングされたオリフィスは、打ち抜き孔機械的に打ち抜いた孔よりも、極めて小さく、より均一な形状と大きさにすることができ、バリもないものとすることができる。打ち抜き孔は0.5mmまで小さくできるのに対し、エッチングされたオリフィスは0.2mmあるいは0.1mmまで小さくすることができる。また機械的な打ち抜きでは、より厚いプレートを用いる必要があるが、エッチングされたプレートは、大幅に薄くすることができる例えば、0.2または0.1mm。また、より薄いフィルタプレートは、厚いプレートより貫通孔が短く、詰まりにくい。例えば、フォトエッチングやケミカルミリング等により複数の列状にエッチングされて輪郭を形成されたオリフィスは、機械的な打ち抜き孔で可能なものよりも大幅に小さい開口とすることができ、その結果、より微細なろ過が可能となる。さらに、エッチング処理により、配列内のオリフィスをより近くに分布させることが可能となる。このようにして、プレートの開口率を、抜き打ちされたプレートにおける典型的な値である5~10から、エッチングされたプレートにおける18超へと、大幅に増加させることができる。機械的な打ち抜き孔を用いて可能な最大開口率は、打ち抜き孔が小さくなるにつれ減少し、その結果、孔径と流量とのトレードオフが避けられない。一方、エッチングされたプレートの開口率は、そのようなトレードオフによって制約されず、オリフィス径が0.2mm以下の場合でも40もの開口率が可能である。このようにして、エッチングされたフィルタプレートにより、ろ過される粒子の最小径を大幅に小さくしつつ、流量を大幅に増加させることが可能となる。同時に、フィルタプレートは、コンベヤベルトの内側に配置された時に、ふき取り要素により、円滑に効率良く払い取り、ふき取り、または掻き取りをすることができる非常に平坦でバリのない表面を有する。図2、4、5、6および8に示すように、清掃手段、この例ではブラシ201が、ベルト105が回転するにつれてフィルタボックス111を清掃するようにベルト105の内側に設けられている。こうして、ベルト105の自然な回転がボックス111の清掃に利用される。この例では、ブラシはナイロン製で、ベルトの平坦な金属部分、すなわちヒンジとヒンジの間の部分の中央に設置されている。ブラシを他の重合体や金属で作ることも可能である。また清掃手段は、フィルタボックス111を清掃するためのワイピングブレードの形態であってもよい。また、全ての金属プレートがブラシを有していなくてもよい。また、図に示す実施形態において、剛体の棒またはクリート203のような他の清掃手段が、コンベヤタンク103を清掃するためにベルト105の外側表面上に設けられている。また、コンベヤ100の底に沈む切粉の性質により、ベルト105が回転するにつれて、あらゆる小さな切粉が自動的にコンベヤ100から離されることが保証される。クリート203は、摩耗や裂けを防止するためコンベヤタンク103に触れないように構成されている。例えば、数ミリメートルの空間を、コンベヤタンク103とクリート203との間に残すことができる。クリート203の様々な構成が図5および6にさらに示されている。簡単にするために、これらの図ではブラシが省略されている。これらの図は、コンベヤ100の後端部Teの側面図である。図5では、この例では金属製のクリート203が、2つのヒンジの間にあるベルト部分の平坦な金属プレートに対して90度の角度を有している。すなわち、クリート203はベルト105に対して垂直である。しかし、クリート203が2つのヒンジの間のベルト105の平坦な金属プレートに取り付けられているので、コンベヤタンク103の後部分が丸くなっていても、コンベヤタンク103の後端部においてコンベヤタンク103とクリート203との間の空間が一定に保たれない。このことは図5ではっきりと見て取ることができ、図5では、クリートの端とコンベヤタンク103との間の距離d1は、剛体のヒンジプレートのたどる経路のために、コンベヤ100の後端部分において、コンベヤ100の平坦な下部における距離と比べて大きくなっている。この問題を克服するため、クリート203を、図6に示すようにベルトの回転方向に考えて後方に屈曲させる、または傾斜させることができる。この変形例では、クリート203は、間が所定の角度になったまっすぐな2つの部分を有する。このためクリート203は、図に示すように、ベルト105の平坦なプレートに対して角度αを成している。この角度を、コンベヤタンク103とクリート203との間の空間をできるだけ一定に保つために例えば30~60度の範囲にすることができる。ここで後端部Teにおいて、クリートの端部とコンベヤタンク103との間の距離d2は、湾曲部の周りでも一定に保たれる。クリートの第1の部分は、クリートを平坦な金属プレートに取り付けるのに用いられ、したがって、金属プレートに平行である。第2の部分は、第1の部分に対して傾斜しており、したがって、ベルト105の平坦な金属プレートに対して角度αを成している。すなわち、クリート203は、後端部Teにおけるクリート203の先端部突出端部がベルト105のピボットポイントと調和し、この先端部が後端部Teにおいてコンベヤタンク103から一定の距離d2を保つことが保証されるように角度が付けられている。他の変形例も可能である。例えば、コンベヤ100が両方のタイプのクリート203を有していてもよい。図7は、考え得る1つのフィルタボックス111の例示的な斜視図であり、底面を上にして示している。作業時の位置にある状態で、フィルタボックス111は、この例では、実質的に垂直な4つの側面と、実質的に水平な2つの端部、すなわち底部および上部とを有する。側壁の1つは、前面パネルであり、開口113を有し、その結果、この開口113を通して、ろ過された切削液を清浄切削液容器へと排出できる。フィルタボックスには、複数のろ過開口が組み込まれていてもよい。またボックスには、具体的な用途に応じて、丸い端部/傾斜面が組み込まれていてもよい。この例では底部が、汚れた切削液をろ過するように構成されたろ過スクリーンまたはメッシュ10すなわちフィルタプレートスクリーンを有する。メッシュは、金属または合成樹脂を含む様々な材料の1つで作製されているのが有利である。ボックス111の他の面は、金属壁であって、これらの壁からはボックス111内に切削液を浸入させない。しかしなお、メッシュ10を取り付ける面の数は1に限定されない。また、メッシュ10を底面に取り付ける代わりに、他のいずれの面にメッシュ10を同様に取り付けてもよい。上記の例において、フィルタボックス111は1つだけである。しかし、他の変形例では、コンベヤ100は、ベルト105の内側に設置されたフィルタボックス111を幾つか含んでいてもよい。ボックス111の数および/または大きさは、使用する切削液の量に左右される。すなわち、大量の切削液が必要な場合、ボックス111の数および/または大きさを増やすべきである。切粉ろ過コンベヤ100について、本発明の実施形態に従って上に説明してきた。要するに、この実施形態では、提案するコンベヤ100は、それに組み込まれた少なくとも1つのフィルタボックス111と、自動的にボックス111を清掃するための内部清掃ブラシまたはワイパー201とを有するヒンジベルトコンベヤである。コンベヤ100の動作について、図8を参照しながら図中のものと同じ参照番号を用いて、次に説明する。A.大きな切粉は、連続するヒンジベルト105により、ベルト105の外面上で止められて取り出される。B.一部の小さい切粉は、時間の経過とともにヒンジベルト105を通って、またはヒンジベルト105の周りを回らされて押し流されコンベヤタンク103の底に落ちる。C.クリート203は、コンベヤ100の底面を掃いて、コンベヤタンク103の底に落ちたあらゆる小さい切粉を集める。D.ブラシまたはワイパーバー201が、ベルト105が回転するにつれてフィルタボックス111をぬぐうのに用いられる。ブラシ/ワイパー201でふき取られたあらゆる小さい切粉がコンベヤタンク103の底に落ちて、Cで説明した部分によって集められる。E.Cで説明した部分がコンベヤ100の端部の周りを回ると、小さい切粉はコンベヤ100のコンベヤタンク103に接して保持され、コンベヤベルト105の上部上へと持ち上げられる。F.全ての切粉がコンベヤ100のこの部分から排出される。G.フィルタボックス111は、切削液がボックス111を通過してタンクに入るにつれて全ての切削液をろ過するための、少なくとも1つのろ過スクリーン10を含み、これにより清浄なろ過された切削液だけをコンベヤ100から取り出すことができることが保証される。フィルタボックス111は上側ベルト走路と下側ベルト走路の間に搭載されている。図に示すように、コンベヤ100は3つの走路、すなわち2つの水平走路と、下側の水平走路と上側の水平走路の間をつなぐ傾斜した1つの走路とを有する。この例では、コンベヤタンク103の切削液の液位が上昇すると切削液がボックス111にその底面から入ることができるように、ボックス111の底面がろ過スクリーン10を含んでいる。動作中、フィルタボックス111は、少なくとも部分的に切削液中に配置される。図および上記の説明において、本発明を図示し詳細に説明してきたが、これらの図や説明は、説明用あるいは例示的なものであって限定的なものと見なされるべきではなく、本発明は開示された実施形態に限定されない。2つ、3つ、または多数のフィルタスクリーン10を同じフィルタボックス111に用いてもよい。また、より細かいレベルの層状ろ過を考えてもよい。フィルタボックスをタンク103に固定してもよい。ボックス111が1つの大きなボックスのみで構成されていてもよい。さらにまた、フィルタスクリーン10が、コンベヤ100のタンク103の一部を形成していてもよい。当業者は、請求項に記載する発明を実施する際に、図面、明細書および添付の請求項の検討から、開示した実施形態のその他の変形例を理解し実施することができる。請求項において、単語有するは他の要素またはステップを排除するものではなく、また不定冠詞は複数を排除するものではない。単一のプロセッサまたは他のユニットが、請求項に記載する幾つかの項目の機能を実現してもよい。異なる特徴が互いに異なる従属請求項に記載されているという事実だけでは、これらの特徴を有利に組み合わせて用いることができないことにはならない。請求項のいずれの参照符号も、発明の範囲を限定するものと解釈されるべきではない。"