"弁ボディと、この弁ボディに接続されたカートリッジとを備え、このカートリッジは、カートリッジローディング端と、カートリッジローディング端に係合する保持部材と、弁ボディの長手方向軸に同軸状に摺動する弁部材と、弁部材に接続されてこれから径方向外方に延び、保持部材とカートリッジローディング端との間に把持され、圧力境界を形勢するダイアフラムボディを有する弾性材料ダイアフラムとを含む、ダイアフラムシールされる圧力平衡弁組立体。更に、入口ポートを出口ポートから分離する第1カートリッジデバイダと、出口ポートを排気ポートから分離する第2カートリッジデバイダと、弁閉位置で第1カートリッジデバイダの第1弁座リングに接触する弁座部材の第1係合面とを含み、弁閉位置で、入口ポートが出口ポートから分離され、出口ポートと排気ポートとが互いに流体連通する、請求項1に記載の圧力平衡弁組立体。更に、カートリッジ内に軸方向に選択的に軸方向に配置され、第2カートリッジデバイダに対してシールされる弁座部材を含む、請求項2に記載の圧力平衡弁組立体。更に、弁部材の第2係合面と、弁開位置で弁部材の第2係合面に接触する弁座部材内に形成される第2弁座リングと、を含み、弁開位置で、入口ポートが出口ポートに流体連通し、出口ポートが排気ポートから分離される、請求項3に記載の圧力平衡弁組立体。弁部材は、更に、保持部材のシリンダ凹部内に摺動可能に収容されるピストン端と、ピストン端に対して対向して配向されるアーマチャ部とを含む、請求項1に記載の圧力平衡弁組立体。弁ボディは、更に、コイルボビンと、コイルボビンで保持されたコイルとを含み、コイルが励磁されたときに、アーマチャ部がコイルで磁気的に作動され、ダイアフラムが保持部材とカートリッジローディング端との間に把持されてダイアフラムボディを弾性的に撓ませる弁開位置まで、弁部材の弁ボディの長手方向軸に同軸状に摺動する、請求項5に記載の圧力平衡弁組立体。弁部材のアーマチャ部が、弁開位置まで、弁ボディの長手方向軸に同軸状に摺動したときに、弁閉位置と弁開位置との間でダイアフラムボディが弾力的に撓んだときに、ダイアフラムで付勢力が形成され、この付勢力は、続いて弁部材の摺動を支援し、これにより、コイルが無励磁にされたときに、弁閉位置に達するまでの弁閉じ時間を減少する、請求項5に記載の圧力平衡弁組立体。ダイアフラムボディの流体露出面は、弁閉位置で第1係合面の第1係合面露出径と実質的に等しく、ダイアフラムボディの流体露出径は、弁開位置の第2係合面の第2係合面露出径と実質的に等しく、弁開位置と弁閉位置とのそれぞれで、弁部材の圧力平衡状態を規定する、請求項4に記載の圧力平衡弁組立体。更に、保持部材から延びる第1確実係合部材と、カートリッジローディング端から延び、第1確実係合部材に対向して配向される第2確実係合部材とを含み、第1,第2確実係合部材はそれぞれダイアフラムの半径方向壁内に部分的に埋設され、流体圧シールを形成する、請求項1に記載の圧力平衡弁組立体。更に、入口ポートを出口ポートから分離する第1カートリッジデバイダと、出口ポートを排気ポートから分離する第2カートリッジデバイダと、弁閉位置で第1カートリッジデバイダの第1収容面に接触し、入口ポートを出口ポートから分離し、出口ポートと排気ポートとを互いに流体連通する弁部材の第1スプールリングと、を含む、請求項1に記載の圧力平衡弁組立体。更に、第2カートリッジデバイダに対して摺動可能にシールする軸方向調節可能弁座部材を含む、請求項10に記載の圧力平衡弁組立体。更に、弁座部材の第2スプールリングと、弁開位置で、第2スプールリングで接触され、入口ポートを出口ポートに流体連通し、出口ポートを排気ポートから分離する、弁座部材の第2スプール部材収容面とを備える、請求項11に記載の圧力平衡弁組立体。ダイアフラムボディの流体露出径は、弁閉位置で、第1カートリッジデバイダの第1スプール部材収容面径と実質的に等しく、ダイアフラムボディの流体露出径は、弁開位置で、軸方向調整可能シール部材の第2スプール部材収容面径に実質的に等しく、これにより、弁開位置及び弁閉位置のそれぞれで、弁部材の圧力平衡状態を規定する、請求項12に記載の圧力平衡弁組立体。弁部材は、保持部材内に部分的に摺動可能に収容され、弁部材は、弁部材組立体のアーマチャ部に固定状態に接続された第2弾性材料ダイアフラムを有する弁部材組立体を含み、第2流体圧境界を形成する、請求項1に記載の圧力平衡弁組立体。ダイアフラムは、弁部材に固定状態に接続される、請求項1に記載の圧力平衡弁組立体。ダイアフラムは更に、弁部材の端部を規定するピストン部材と、ソレノイド流体圧境界を形成するピストン部材に係合するダイアフラム保持ファスナとの間に把持される、請求項1に記載の圧力平衡弁組立体。更に、弁部材のピストン部材に接続されるアーマチャ部材と、ピストン部材とアーマチャ部材との間に把持され、弁部材の径方向外方に延びる第1部分を有する弾性材料第2ダイアフラムとを含み、第2ダイアフラムは、第1,第2調節可能保持部材間に把持された第2部分を有する、請求項1に記載の圧力平衡弁組立体。弁ボディと、弁ボディに接続されたカートリッジとを備え、このカートリッジは、カートリッジローディング端と、カートリッジローディング端に係合する保持部材と、弁ボディの長手方向軸に同軸状に摺動する弁部材と、弁部材に接続されかつこれから径方向外方に延び、保持部材とカートリッジローディング端との間に把持され、第1ダイアフラム流体圧境界を形成するダイアフラムボディを有する、弾性材料第1ダイアフラムと、第1ダイアフラムに対して弁部材の対向端で弁部材に接続されかつこれから径方向外方に延び、第1,第2調節可能保持部材間に把持され、第2ダイアフラム流体圧境界を形成するたダイアフラムボディを有する、弾性材料第2ダイアフラムと、を備えるダイアフラムシールされる圧力平衡弁組立体。更に、弁部材のピストン部材と、ピストン部材に接続されたアーマチャ部材と、を含む、請求項18に記載の圧力平衡弁組立体。更に、ピストン部材とアーマチャ部材との間に把持され、弁部材から径方向外方に延びる第1部分を有する、弾性材料第2ダイアフラムを含む、請求項19に記載の圧力平衡弁組立体。更に、第1,第2調節可能保持部材を含み、第2ダイアフラムは、第1,第2調節可能保持部材間に把持された第2部分を含む、請求項20に記載の圧力平衡弁組立体。第1ダイアフラムは更に、弁部材の第1端を規定するピストン部材と、ピストン部材に係合するダイアフラム保持ファスナとの間に把持される、請求項18に記載の圧力平衡弁組立体。弁ボディと、弁ボディに接続されたカートリッジとを備え、このカートリッジは、入口ポートを出口ポートから分離する第1カートリッジデバイダと、カートリッジローディング端と、カートリッジローディング端に螺合可能に係合する保持部材と、弁ボディの長手方向軸に同軸状に摺動する弁部材と、弁部材に固定され、弁部材から径方向に延びるダイアフラムボディを有するる弾性材料ダイアフラムと、保持部材から延びる第1確実係合部材と、カートリッジローディング端から延び,第1確実係合部材に対して対向する第2確実係合部材とを含み、第1,第2確実係合部材は、それぞれダイアフラムのダイアフラムボディ内に部分的に埋設され、保持部材がカートリッジローディング端に螺合可能に係合したときに、流体圧シールを形成する、ダイアフラムシールされる圧力平衡弁組立体。弁部材は、反対方向に向く第1,第2係合面を有する隆起係合部を含み、弁部材の第1係合面は、弁閉位置で、第1カートリッジデバイダの第1弁座リングに接触する、請求項23に記載の圧力平衡弁組立体。更に、出口ポートを排気ポートから分離する第2カートリッジデバイダを備え、弁閉位置で、入口ポートが出口ポートから分離され、出口ポート及び排気ポートが互いに流体連通する、請求項24に記載の圧力平衡弁組立体。更に、弁部材のピストン端と、保持部材のシリンダ凹部とを備え、ピストン端は、保持部材のシリンダ凹部内に非密封状態で摺動可能に収容され、弁ボディの長手方向軸上の弁部材の整合を支援する、請求項23に記載の圧力平衡弁組立体。弁部材は、それぞれダイアフラムボディの流体露出径に等しい径を有する第1,第2スプールリングを含み、弁開位置及び弁閉位置のそれぞれで弁組立体の圧力平衡状態を形成する、請求項23に記載の圧力平衡弁組立体。弁ボディと、弁ボディに接続されるカートリッジとを備え、このカートリッジは、入口ポートを出口ポートから分離する第1カートリッジデバイダと、カートリッジローディング端と、カートリッジローディング端に軸方向に調節可能に係合する保持部材と、弁ボディの長手方向軸に同軸状に摺動し、保持部材内に部分的に摺動可能に収容される弁部材と、保持部材のシリンダ凹部内に摺動可能かつ非シール状態に収容される弁部材のピストン端と、弁部材にオーバーモールドされ、保持部材とカートリッジローディング端との間に把持されるダイアフラムボディを有し、流体圧境界を形成する、弾性材料ダイアフラムと、を含む、ダイアフラムシールされる圧力平衡弁組立体。弁部材は、更に、ピストン端に対向して配向されるアーマチャ部を備える、請求項28に記載の圧力平衡弁組立体。弁ボディは、ソレノイド容器と、ソレノイド容器内に収容されるコイルボビンと、コイルボビンで保持されるコイルと、を含み、弁部材のアーマチャ部は、弁ボディの長手方向軸に同軸状に摺動可能で、コイルが励磁されたときに、弁開位置に移動される、請求項29に記載の圧力平衡弁組立体。更に、コイルボビン内に軸方向に配置される電極片と、電極片と弁部材のアーマチャ部分とに接触し、弁部材を弁閉位置に向けて付勢する付勢部材と、を備える、請求項30に記載の圧力平衡弁組立体。更に、出口ポートを排気ポートから分離する第2カートリッジデバイダを備え、弁閉位置で、入口ポートが出口ポートから分離され、出口ポートと排気ポートとが互いに流体連通し、弁開位置で、入口ポートが出口ポートに流体連通し、入口ポート及び出口ポートの双方が排気ポートから分離される、請求項28に記載の圧力平衡弁組立体。更に、保持部材から延びる第1確実係合部材と、カートリッジローディング端から延び、第1確実係合部材から反対側に面する第2確実係合部材とを含み、第1,第2確実係合部材のそれぞれは、ダイアフラムのダイアフラムボディ内に部分的に埋設され、保持部材がカートリッジローディング端に螺合可能に係合したときに圧力流体シールを形成する、請求項28に記載の圧力平衡弁組立体。図面中、複数の図を通して、対応する参照数字は対応する部分を示す。以下に、添付図面を参照して例示的な実施形態についてより詳細に説明する。例示的な実施形態は、十分に、かつ当業者にその範囲を伝えることができるように提供するものである。種々の特定の詳細事項は、本開示の具体例を十分に理解するために、特定の部材、装置、及び方法の例として説明するものである。当業者であれば、特定の詳細事項を用いる必要のないこと、例示的な実施形態は種々の異なる形態で具体化可能なこと、いずれも本開示の範囲を制限するものでないことが明らかである。いくつかの例示的な実施形態では、周知の工程、周知の装置構造、及び周知の技術については詳細な説明を省略してある。ここに使用する用語は、特定の例示的実施形態を説明するためだけのものであり、限定することを意図したものではない。ここに使用している単数形は、明確に指示されていない限り複数形を含むものである。備える、備えている、含む及び有するの語は、包括的なものであり、したがって、特徴、整数integers、工程、操作、要素及び/又は部材の存在を表明するものであり、他の1又は複数の特徴、整数integers、工程、操作、要素及び/又は部材の存在又は追加を除外するものではない。ここに記載の方法の工程、プロセス、及び操作は、実行の順序として特別指摘した場合を除き、検討又は説明した特定の順で必ず実行する必要があるとして構成したものではなく、更に、追加の又は他の工程も採用可能なことは明らかである。要素element又は層layerが他の要素又は層に対して、上にon、係合、接続、又は連結の関係で言及されている場合は、他の要素又は層に直接的に、上に、係合、接続、又は連結された状態、又は、要素又は層が介在されている状態であり得ることをいう。逆に、要素又は層が他の要素又は層に対して、直接上に、直接係合、直接接続、又は直接連結の関係で言及されている場合は、介在する要素又は層がない状態であり得る。要素間の関係を説明するために使用されている他の語は、同様な態様例えばの間と直接の間、隣接と直接隣接等で理解されるべきものである。ここで使用されている及び/又はは関連して特定された項目の1つ又は複数のうちの幾つかの部材、及び、全ての部材を含む。第1、第2、第3等の用語は種々の要素、部材、領域、層、及び/又は部分に使用されるが、要素、部材、領域、層、及び/又は部分はこれらの用語で限定されるものではない。これらの用語は、1の要素、部材、領域、層、又は部分を他の領域、層、又は部分から区別するためにのみ使用され得る。このような第1、第2及び他の数値的用語が使用されたときは、前後関係で明確に指示しない限り、順序又は配列を示唆するものではない。したがって、以下に説明する第1の要素、部材、領域、層、又は部分は、例示的実施形態の教示内容から離隔することなく、第2の要素、部材、領域、層、又は部分の用語とすることが可能である。内側、外側、下側、下方、上側、上方及び同様な空間的関係の用語は、1の要素又は特徴について、図で説明するように、他の要素又は特徴に対する関係を説明し易くするために用いられ得る。空間的関係の用語は、装置の他の配向orientations及び図に記載の配向に追加した配向を使用することもある。例えば、図の装置がひっくり返されると、他の要素又は特徴の下側又は下方として記載された要素は、他の要素又は特徴の上側に配向されることになる。したがって、下側の用語は、上側及び下側の双方の配向を含むことができる。したがって、ここに記載の他の配向90度回転され又は他に配向された及び空間的関係を示す記述は、このように解釈されるものである。図1及び2を参照すると、弁組立体10は、第1端部に取外し可能に接続されたカートリッジ14を有する弁ボディ12と、反対側の第2端部で弁ボディ12に取外し可能に接続された弁ヘッド15とを含む。カートリッジ14は、弁ボディ12から取外すことができ、この内部の構成部品を交換することができる。図3を参照すると、カートリッジ14が弁ボディ12に螺合したがって取外しできるように、ねじ接続部16をカートリッジ14に設けることができる。少なくとも1の電源コネクタ18を弁ヘッド15に設けることができ、弁組立体10の電磁アクチュエータの作動の必要に応じて交流又は直流電源を供給するために電力接続部図示しないを受入れることができる。弁ヘッド15は、弁ボディ12のボディ端部24に摩擦係合するのに適した接続リング部22を用いて弁ボディ12に取外し可能に接続されるキャップ部20を含む。更に弁ボディ12は、励磁されたときに電磁場を生成するために巻付けたワイヤを有するコイル28囲みかつ収容するソレノイド容器solenoidcan26を有してもよい。コイルボビン30がコイル28の構造的支持体structuralsupportを形成し、更に、電力コネクタ18を受入れるのに適したものとなっている。電極片polepiece32が、例えばボディ端部24のねじ接続部を用いて、軸方向に調節可能に配置される。ブッシュ34がコイルボビン30と電極片32との間に配置され、電極片32の位置調整中の摺動を可能とする。ブッシュ34は更に、コイル28で形成される電磁場の保持/強化retainstrengthenを支援するブッシュフランジ36を含む。圧縮ばね等の付勢部材38が、弁組立体10の作動を参照して以下により焼成に説明する目的のために、電極片32内に保持されている。電極片32は更に、電極片32の両端で、コイルボビン30内の流体を均等化するために適用可能な均圧通路pressureequalizingpassage40を含むことができる。ボビンフランジ42が、コイルボビン30に対して半径方向外方に延び、ブッシュフランジ36に対して対向して配置される。したがって、ボビンフランジ42もコイル28を収納する。アーマチャ収容部材44がボビンフランジ42の近部に配置され、ボビンフランジ42に対して所定位置に保持される。アーマチャ収容部材44の収容部材管状部46は、コイルボビン30の内孔内でブッシュ34と実質的に同軸状に配向される。アーマチャ収容部材44は、調節可能保持部材48を用いて又は弾性部材49により所定位置に保持される。調節可能保持部材48はカートリッジ14のねじ接続部16に近接して螺合可能に収容され、したがって、カートリッジ14が弁ボディ12に螺合可能に接続されたときに、位置決めされる。Oリング等の弾性部材49は、調節可能保持部材48とアーマチャ収容部材44との間に配置し、アーマチャ収容部材44を図3で見て右方にボビンフランジ32に向けかつ付勢部材38の付勢力と反対に付勢する。ネジ付接続部16は、カートリッジ14のカートリッジ接続端50に形成され、したがって、調節可能保持部材48を受入れる。カートリッジ14は更に、カートリッジローディング端56とカートリッジ接続端50との間の離隔した位置に第1及び第2カートリッジデバイダcartridgedivider52,54を含むことができる。調節可能弁座部材58が、調節可能保持部材48の一部として延び、第2カートリッジデバイダ54内にこれに対して摺動可能かつ密封状態に収容される。調節可能弁座部材58は、調節可能保持部材48がカートリッジ接続端50に収容されたときに、ねじ調節により軸方向に移動される。複数の実施形態ではポペット弁部材を規定する弁部材60は、アーマチャ収容部材44の収容部材管状部46内に摺動可能に収容される管状形状のアーマチャ部62を含む。したがって、コイル28が励磁され又は無励磁にされたときに、弁部材60は、弁組立体10及び弁ボディ12の長手方向軸64に同軸状に摺動する。部製部材38の付勢力は、弁部材60が弁開方向Bと反対方向に移動されるコイル28が無励磁となるまで、弁閉方向Aに弁部材60を常時付勢する。Oリング又はDリング等のシール部材66は、アーマチャ部62の周部の回りに形成されたスロット又は溝内に配置される。シール部材66はアーマチャ部62と調節可能保持部材48の内孔壁68との間に流体境界を形成する。シール部材66は、弁部材60が弁閉方向A又は弁開方向Bのどちらかに移動したときに、アーマチャ部62と調節可能保持部材48との間の流体の境界を形成する。弁部材60は更に、オーバーモールドされたゴム又は弾性材料部71を含むことが可能な隆起弁座係合部raisedseatengagementportion70を含み、弁閉位置で第1カートリッジデバイダ52に接触し、弁開位置で調節可能弁座部材58に接触する。図3に示す弁閉位置では、入口ポート72内の加圧流体は、出口ポート74及び排気ポート76のそれぞれから分離される。弁閉位置では、第2カートリッジデバイダ54が出口ポート74と排気ポート76との間に配置され、調節可能弁座部材58は排気ポート76と流体連通する。弁部材60は更に、アーマチャ部62に対向して形成されたピストン端78を含む。ピストン端78は、カートリッジローディング端56に螺合接続された保持部材80に摺動可能に収容される。ピストン端78は摺動可能に配置されているが、保持部材80に対してシールされてはおらずすなわち、非密封状態に配置されている、ピストン端78と保持部材80との間に流体境界部を形成するOリング又はDリング等のシールは存在しない。ピストン端78と保持部材80との間の摺動接触嵌合slidingcontactfitが、組立体長手方向軸64に対して弁部材60を軸方向に整合させて維持するために形成される。弁組立体10の保持部材80の接続部で流体境界シールを形成するため、ダイアフラム82は、弁部材60に対し、物理的に固定、接着、または、ダイアフラム82の製造中にオーバーモールドすることができ、弁部材60から径方向外方に延びるダイアフラムボディ83を有する。ダイアフラムボディ83は、保持部材80がカートリッジローディング端56に螺合接続されたときに形成される圧縮力で、保持部材80とカートリッジローディング端56との間で圧縮され、物理的に締付けられる。ダイアフラムボディ83は、長手方向軸64に対して横方向に実質的に平坦で、弁部材の移動中にダイアフラムボディ83が撓んだときに均一な装填evenloadingを提供する。ダイアフラム82は入口ポート72の近部に必要な流体境界部を形成し、したがって、大気汚染物がカートリッジ14内に侵入するのを防止するため、ピストン端78と保持部材80との間にシール部材を必要としない。更にカートリッジ14は、カートリッジ14をマニホルド図8に示しかつ説明する内に密封状態に収容可能とする複数のOリング又はDリングを含むことができる。これらのシール部材は、第1,第2,第3及び第4シール部材84,86,88,90のそれぞれを含む。第1シール部材84はカートリッジローディング端56に収容される。第2シール部材86は第1カートリッジデバイダ52に収容される。第3シール部材88は第2カートリッジデバイダ54に収容される。第4シール部材88はカートリッジ接続端50に収容される。第1,第2,第3及び第4シール部材84,86,88,90は、カートリッジ14の周部の回りに形成された溝又はスロット内に収容され、入口ポート72、出口ポート74及び排気ポート76のそれぞれの間に流体境界部を形成するのを支援する。図4を参照すると、弁部材60のピストン端78は、組立体長手方向軸64に同軸状の保持部材80内に形成されたシリンダ凹部94を規定する円筒壁92に摺動接触する。上述のように、ピストン端78の摺動嵌合slidingfitは、空気等の流体がピストン端78を超えてダイアフラム82に向け又は離隔するように流れるのを可能とし、弁組立体10内で弁部材60の軸方向の整合を維持する。保持部材80は、接続ねじ96を用いてカートリッジローディング端56に調節可能に接続される。ダイアフラム82は、保持部材80の端面97に形成されたカウンタボア95内に実質的に収容され、ダイアフラム82の厚さの一部が端面97を超えて自由に延び、カートリッジローディング端56の収容面99に接触するのを可能とする。ダイアフラム82の直径壁diametricalwallが、保持部材80のカウンタボア95の面から弁開位置Bに延びる第1確実係合部材positiveengagementmember98と、カートリッジローディング端56の収容面99から弁閉方向Aに延びる対向載置の第2確実係合部材100との間で圧縮されるまで、保持部材80は、弁開方向Bに螺合可能に挿入される。第1,第2確実係合部材98,100は、弾性的に撓み、したがって、ダイアフラム82のダイアフラム直径壁101内に部分的に延び、ダイアフラム82に摩擦係合し、同時に第1流体境界シールを形成する。ダイアフラム82で形成される第2流体境界シールは、ダイアフラム82が弁部材60に物理的に固定、接着、結合又はオーバーモールドされたダイアフラム係合インターフェース102で規定される。弁部材60の隆起弁座係合部70の弾性材料部71は、弁閉位置を規定する第2カートリッジデバイダ54に形成された第1弁座リング106に接触する第1係合面104を含む。第1係合面104と第1弁座リング106とは、入口ポート72と出口ポート74との間に流体境界を形成し、第1,第2確実係合部材98,100、更にダイアフラム係合インターフェース102で形成された流体境界と共に、弁閉位置における入口ポート72内の加圧流体のための流体収容境界を形成する。更に図4及び再度図3を参照すると、弁部材60は、以下の条件criteriaにより、弁閉位置で圧力平衡pressurebalancedとして規定される。空気等の加圧空気が入口ポート72内に受入れられると、流体圧は、弁閉方向Aに向けて、ダイアフラム82の流体に露出した径C、すなわち保持部材80とカートリッジローディング端56との間のシールされていない表面領域部、又は、ダイアフラム係合インターフェース102で弁部材60に結合された領域に作用する。流体圧は更に、弁開方向Bに向けて、第1係合面露出径Dにわたり、弾性材料部71の第1係合面104の部分に、反対方向に作用する。ダイアフラム82の流体露出径Cは、第1係合面露出径Dと実質的に等しく、したがって、弁閉位置では、入口ポート72内の流体圧は、弁閉方向Aと弁開方向Bとの双方に等しく作用し、弁部材60に平衡された力荷重を形成する。力荷重が平衡されるため、弁部材60を閉位置から離隔する方向に移動するのに要する操作力operatingforceは、カートリッジ14と接触している弁部材60の静止摩擦力と、ダイアフラム82を撓ませ、付勢部材38を圧縮するために必要な力とを克服することが必要なだけである。図5及び再度図3を参照すると、コイル28が励磁され、弁部材60が組立体長手方向軸64と同軸状の弁開方向Bに軸方向移動されると、弁開位置が生成される。弁部材60が弁開方向Bに移動したときに、ダイアフラム82の撓み領域108が、ピストン端78とシリンダ凹部94との間に形成される流体圧境界を維持する。撓み領域108におけるダイアフラム82の弾性撓み変形は、弁部材60が弁開位置に向けて移動するときに、弁閉方向Aに作用する付勢力も形成する。この付勢力は、弁部材60が弁閉位置に戻るのを支援するのに利用できる。したがって、この弾性変形したダイアフラム82の付勢力は、コイル28が無励磁にされたときに、弁組立体10の弁閉じ時間tを短くする。第1係合面104が第1弁座リング106から移動するまで、弁部材60が、弁開方向Bに向けて摺動すると、ポペット型流路poppetflowchannel110が形成される。同時に、隆起弁座係合部70の弾性材料部71の第2係合面112が、調節可能弁座部材58に形成された第2弁座リング114に接触する。第2係合面112と調節可能弁座部材58との間の接触は、出口ポート74内の流体を排気ポート76から分離する。この後、入口ポート72内の加圧流体は、ポペット型流路110を介して出口ポート74に向けかつこの外に流れることができる。更に図5及び再度図3を参照すると、弁部材60は更に、以下の条件により、弁開位置で圧力平衡pressurebalancedとして規定される。空気等の加圧流体が入口ポート72に受入れられると、流体圧は、前述のように、弁閉方向Aに向けてダイアフラム82の流体露出径Cに作用する。加圧流体は更に、弁開方向Bに向けて、第2係合面112と第2弁座リング114との間のインターフェースで、第2係合面露出径Eにわたり、隆起弁座係合部70の弾性材料部71に反対方向に作用する。ダイアフラム82の流体露出径Cは、第2係合面露出径Eと実質的に等しく、したがって、弁開位置では、入口ポート72からの流体圧は弁閉方向Aと弁開方向Bとの双方に等しく作用し、弁部材60にバランスされた流体力荷重が生成される。先に説明したように、調節可能弁座部材58は、弁閉方向A又は弁開方向Bのいずれにも、組立体長手方向軸64と同軸状に軸方向に調節可能である。これは、隆起した弁座係合部70の全体移動を調節し、ポペット型流路110のサイズ、及び、弁組立体10の弁開位置と弁閉位置との間の全体移動時間を増加又は減少することを可能とする。更に、第1係合面104と第2係合面112との一方又は双方は、金属材料面とすることができ、又は、ゴム又はポリマー材料等の弾性材料をオーバーモールドにより形成することができることにも注目される。弁部材60が弁開位置に戻ったときに追加の流体境界シールを設けるために、Oリング又はDリング等のシール部材118が、調節可能弁座部材58とカートリッジ接続端50の弁座部材インターフェース面116との間に配置される。図6及び再度図3を参照すると、本開示の他の実施形態による弁組立体120はカートリッジ121を含み、これは弁ボディ12に関してカートリッジ14と置換可能である。カートリッジ121は、シリンダ壁第1スプール部材収容面124を有するカートリッジデバイダ122を含むようにカートリッジ14を変更してある。スプール弁部材126はカートリッジ14の弁部材60に代わるもので、第1スプールリング128と第2スプールリング130とを含み、それぞれスプール弁部材126にオーバーモールドされた弾性材料で形成される。図6に示す弁閉位置では、第1スプールリング128の第1スプールリング係合面132は、カートリッジデバイダ122の第1スプール部材収容面124に接触する。これは、入口ポート134と、出口ポート136及び排気ポート138のそれぞれとの間の流体境界シールを形成する。ダイアフラム82’が保持部材80’とカートリッジローディング端56’とに同様に接続され、入口ポート134内の加圧流体がピストン端78’を介して又は超えて逃げることに対する流体圧境界シールを形成する。図示の弁閉位置では、第1スプール流路140が第1スプールリング係合面142と調節可能弁座部材58’との間に形成される。したがって、出口ポート136内の流体は排気ポート138から第1スプール流路140を介して通気される。先の実施形態と同様に、調節可能弁座部材58’は軸方向に調節可能で、弁組立体120の弁開位置と弁閉位置との間に必要な移動を制御する。更に先の実施形態と同様に、第1,第2スプールリング128,130のそれぞれは金属材料、または、ゴム又はポリマー材料のようなオーバーモールドされた弾性材料でもよい。図7を参照すると、スプール弁部材126が弁開方向Bに向けて軸方向に移動すると、ピストン端78’が弁開方向Bに共に移動codisplaceし、シリンダ凹部94’の容積を増大し、ダイアフラム82’を撓み領域108’で撓ませる。第1スプールリング係合面132は第1スプール部材収容面124との接触状態から移動され、第2スプール流路144を形成する。同時に、第2スプールリング130の第2スプールリング係合面142が第1カートリッジデバイダ52’の第2スプール部材収容面146に接触し、出口ポート136と排気ポート138との間に流体境界を形成する。入口ポート134内の加圧流体は、これにより、弁開位置の出口ポート136から流れ出すことができ、ダイアフラム82’と第2スプールリング係合面142とで流体圧境界が形成される。スプール弁部材126の弁開方向Bに向けた軸方向移動も、ダイアフラム82’の撓み領域108’に付勢力を形成し、これは、弁が無励磁にされたときにスプール弁部材126の弁閉方向Aへの戻りを支援する。図8を参照すると、本開示の複数の弁組立体がスペース及びコストを節約する態様でマニホルドに一体的に接続され、複数の構成要素を弁組立体で操作することができる。例示的な実施形態では、複数の弁組立体10がマニホルドブロック148のそれぞれのねじ付収容孔に螺合して接続されている。弁組立体10は、第1,第2列150,152で示すように、実質的に平行な列に配置することができる。例示的な弁組立体グループ154で示すように、弁組立体10のグループは1又は複数の流れ配分装置flowdistributiondevices156に一体的に接続することができる。この形態では、グループ154は8つの弁組立体10を含み、これらの弁組立体はマニホルドブロック148およびデバイス装着ブロック158の内部流路図示しないで流れ配分装置156に一体的に接続される。弁組立体10の他のグループは、順に流れ配分装置156’,156’’,156’’’のそれぞれに接続することができる。弁組立体及び流れ配分装置の数は図示の例示的な構造で制限されるものではなく、製造者が選択することができる。複数の弁組立体にグループ分けすることで、ワイヤハーネス図示しないで複数の弁組立体の電気的励磁に使用できるように、弁組立体に対する電気接続を容易に行える。図9及び再度図3,5を参照すると、弁組立体160は弁組立体10から変更されている。弁組立体10の一体の弁部材60が複数部材からなる弁部材組立体162に置き換えられている。弁部材組立体162はアーマチャ部164を有し、このアーマチャ部は、弁部材部166の雌ねじ付端部170に螺合接続可能なアーマチャ部164の雄ねじ付端部168を用いて、弁部材部166に螺合可能に接続される。ピストン部172が、ピストン部雄ねじ付コネクタ端174で、雌ねじ付端部170に対して反対側に位置する弁部材部166の雌ねじ付コネクタ端176に螺合接続される。ダイアフラム82’はピストン部172にオーバーモールドされ、ピストン部172に一体的に接続されたピストン部材178はピストン端78と同様な機能をなす。弁組立体10のシール部材66は、スロット182において変更されたアーマチャ部164にオーバーモールドされた第2ダイアフラム180で置き換えられている。第2ダイアフラム180の反対側端部は、調節可能保持部材48から変更された調節可能保持部材186と、コンタクト部材188との間に配置された凹部184内で圧縮されかつこの内部に配置されている。調節可能保持部材186のねじ付端部190は、カートリッジ接続端50’に係合する雄ねじと、コンタクト部材188の雄ねじに係合する雌ねじとを有する。調節可能保持部材186とコンタクト部材188との双方は、ねじ接続部16’でソレノイド容器26’に螺合可能に接続されるカートリッジ接続端50’内に、保持される。第2ダイアフラム180は、図9に示す弁閉位置から図5に示す位置と同様な弁開位置に撓んだときに、ダイアフラム82’と同様な付勢力を形成する、軸方向かつ弾性的可撓性の第2シール部材を形成する。第2ダイアフラム180は、シール部材66に比して、アーマチャ部164との接続部で改善された流体シールを形成する。この追加の付勢力は、先に説明した弁閉じ時間tよりも短いか又は等しい、弁組立体160に対する弁閉じ時間t2を提供する。第2ダイアフラム180を含むこの構造は、更に、指定の弁入口を他の弁ポートに移動させるのを可能とし、これにより、異なる弁機能例えば、常時開又は常時閉構造を付与し、更に電磁アクチュエータ内への汚染物の侵入を抑制する。図10及び再度図3,4を参照すると、他の実施形態による弁組立体200が、ダイアフラム82を保持するデザインから変更されたダイアフラム装着及び保持デザインを含んでいる。弁組立体200は、弁組立体10と同じ特徴を多く組込んでおり、したがって、相違点のみを以下に詳細に説明する。弁組立体200は変更された弁部材202を提供するもので、これは、アーマチャ部62とデザイン及び機能が同様であるが、弁部材60から変更された弁部材202の対向又は第2端部を規定するダイアフラム取付端206を提供する、一体的に接続されたアーマチャ部204を含む。ダイアフラム取付端206は、カートリッジローディング端208がダイアフラム取付端206を直接摺動可能に収容するように、カートリッジローディング端56から変更されたカートリッジローディング端208に摺動可能に配置されている。保持部材210は、カートリッジローディング端208に螺合可能に係合しているが、保持部材80から幾つかの態様で変更されており、これについて以下に詳細に説明する。弾力的、弾性的に撓んだresilientelasticallydeflected第2ダイアフラム212は第1ダイアフラム82から変更されており、この第2ダイアフラム212は、対向端で圧縮係合を必要とし、したがって、ダイアフラム取付端206にオーバーモールド又は固着により固定されていない。ダイアフラム212をダイアフラム取付端206に固着することに代え、装着方向Hに向けて装着されたダイアフラム保持ファスナ214がダイアフラム取付端206にダイアフラム212を部分的に圧縮する。ダイアフラム212は更に、カートリッジローディング端及び保持部材210とのそれぞれのインターフェースで部分的に圧縮され、したがって、ダイアフラム212で2つの圧力境界が形成される。図11及び再度図3,4,10を参照すると、Oリング又はDリング等の保持部材シール216が、カートリッジローディング端208と保持部材210との間に設けられ、ダイアフラム212に加えて追加のシールの可能性を提供する。ダイアフラム取付端206からピストン端78を排除することにより、保持部材210は、ダイアフラム212に対して装着及び着座させる際に保持部材210を軸回転させる六角ドライブ工具図示しないを収容する六角ドライブ開口hexdriveopening218を含むことができる。金属対金属の接触がカートリッジローディング端208に対して保持部材210の完全着座位置で形成され、これは、保持部材端面220とカートリッジローディング端内壁222との間に生じる。この金属対金属の接触は、保持部材210の第1ダイアフラム係合面224がダイアフラム212に接触しかつ部分的に圧縮する位置で、ダイアフラム干渉領域diaphragminterferencezone223を形成しかつ制限する。第1ダイアフラム係合面224は、カートリッジローディング端208に形成される第2ダイアフラム係合面226に対して対向して配置される。第1,第2ダイアフラム係合面224,226間のダイアフラム212の部分的な圧縮は、入口ポート72’と六角ドライブ開口218における大気との間に第1圧力境界228を形成する。カートリッジローディング端208は、組立体長手方向軸64’に同軸状に整合したピストン収容孔232を含む。ダイアフラム保持ファスナ214がダイアフラム取付端206に螺合可能に係合したときに、ファスナヘッド234は、ファスナヘッド接触面236がピストン部材230のピストン部材接触面238に直接接触したときに、ダイアフラム212に直接接触しかつ部分的に圧縮する。ファスナヘッド接触面236とピストン部材接触面238との間の直接的な金属対金属の接触は、ダイアフラム212の部分的な圧縮を制限する。ダイアフラム保持ファスナ214は、ピストン部材230を通して形成されかつダイアフラム取付端206を部分的に通って組立体長手方向軸64’に対して同軸状に延びるねじ付非貫通孔内に螺合可能に収容される、ファスナねじ付軸240を含む。ダイアフラム保持ファスナ214は、ファスナヘッド234に形成されてダイアフラム保持ファスナ214を軸回転しかつトルクを作用させるファスナヘッド234に形成される、ファスナドライブスロット244を含む。ファスナヘッド234は、保持部材210の保持部材凹部246内に配置され、六角ドライブ開口218よりも大きな径を有してもよく、したがって、ダイアフラム保持ファスナ214は、保持部材210の装着前に装着することができる。ファスナヘッド234がダイアフラム212に接触しかつ部分的に圧縮するため、第2圧力境界248が入口ポート72’内の流体と六角ドライブ開口218における大気との間に形成される。ダイアフラム212の部分的な圧縮は、ダイアフラム212の厚さの一部を収容する、ピストン部材接触面238内に形成されるダイアフラム収容カウンタボア252の深さで軸方向寸法を制限する第2ダイアフラム干渉領域interferencezone250を形成する。第1,第2ダイアフラム干渉領域223,250は所定のダイアフラム圧縮を規定し、これは、復元可能ダイアフラム圧縮、したがって異なる弁組立体200間の予測可能なpredictableシール特性を促進promoteする。所定のダイアフラム圧縮は、ダイアフラム212の厚さのほぼ5から50又はそれ以上の間の範囲とすることができる。図12及び再度図3,4,9-11を参照すると、弁組立体254は弁組立体200から変更されており、ダイアフラム212’に対して弁部材の対向端に第2ダイアフラムを更に追加し、別体の非一体的に接続されたアーマチャ部材を形成している。ダイアフラム212’に設けられた多数の部材が、弁組立体200に対して論じたものと同様であるため、相違についてのみ以下に説明する。弁組立体254は、弁組立体254の全長に沿って軸方向に延びる連続した通孔258を含む。第1ねじ付孔部259は、ねじ付非貫通孔242と同様であり、第2ねじ付孔部260は弁組立体254の対向端に形成され、アーマチャ部材264から軸方向に延びるアーマチャ部材ねじ付軸262を螺合可能に収容する。弁組立体254は更に、ピストン部材230’に対して弁組立体254の対向端に、第2ピストンを含む。弁組立体254及びアーマチャ部材264を異なる構成部材に分離することにより、第2ピストン部材266のピストン部材第2接触面268がアーマチャ部材接触面270に直接接触したときに、接触面間にスペースが形成され、第1ダイアフラム部273において弾力的、弾性的可撓性材料第2ダイアフラム272を組み込み、部分的に圧縮することができる。第2ダイアフラム272のこの部分的圧縮は、第2ダイアフラム第1干渉領域274を形成する。対向する第2ダイアフラム部275は、第1調節可能保持部材277の第1ダイアフラム係合部材276と、第2調節可能保持部材279の第2ダイアフラム係合部材278との間に配置されかつこれらにより部分的に圧縮される。第2ダイアフラムのこの部分的圧縮は、第2ダイアフラム第2干渉領域280を形成する。第2ダイアフラム第2干渉領域280における第2ダイアフラム272の撓み量は、第1調節可能ホイール部材接触面282と第2調節可能保持部材接触面284との間に金属対金属の接触が生じたときに、制限される。第2ダイアフラム第1及び第2干渉領域274,280は更に、復元可能ダイアフラム圧縮したがって異なる弁組立体254間の予測可能なシール特性を促進する所定のダイアフラム圧縮を規定する。所定のダイアフラム圧縮は、第2ダイアフラム272の厚さのほぼ5とほぼ50又はそれ以上との間の範囲とすることができる。第2ダイアフラム272のシーリングは、更に、Oリング又はDリング等のシール部材286を第1調節可能保持部材277とカートリッジ接続端50’との間に追加することにより、強化することができる。凹部又はカウンタボア288がピストン部材第2接触面268に形成され、第2ダイアフラム272の第1ダイアフラム部273の一部を受け入れる。カウンタボア288は、ピストン部材第2接触面268とアーマチャ部材接触面270との間で金属対金属接触が生じたときの、第1ダイアフラム部273の圧縮量を予め定める。カウンタボア288は更に、第1ダイアフラム部273の破砕crushingを防止し、一方、弁閉又は開方向A又はBに向けて弁部材256が軸方向に移動する際、第2ダイアフラム部270を保持する確実なグリップを影響する。第2ダイアフラム270の材料の圧縮は、第3圧力境界シール及び第4圧力境界シール292のそれぞれを形成する。大気汚染物質及び/又は湿気がソレノイド部に侵入することに対して更にシールため、Oリング又はDリング等のシール部材294を、第2調節可能保持部材279、カップリング接続端50’の複式ねじ係合端296、及びアーマチャ収容部材198の交差部intersectionに配置することができる。シール部材294は更に、部分的に圧縮されたときに付勢力を形成し、第2調節可能保持部材279とアーマチャ収容部材298との間に隙間空間を維持する。再度図12,9を参照すると、作動中、アーマチャ264に作用する磁力が弁部材256を弁開方向Bに向けて摺動可能に移動し、これにより、第1,第2ダイアフラム212’及び272の双方を撓ませる。第1,第2ダイアフラム212’,272の弾性撓み変形で形成される付勢力に加え、部分的に圧縮された付勢部材38’による付勢力が、コイル28が無励磁にされたときに、弁部材256の弁閉方向Aに向けた弁部材256の戻りを支援するように作用する。押圧力は更に、弁組立体254に弁開位置及び弁閉位置の双方でバランスされる。ピストン部材230’に作用する流体圧力は、弁閉位置における隆起弁座係合部70の弾性材料部71’に作用する流体圧力と実質的に等しくかつ反対方向である。第2ピストン266に作用する流体圧力は、弁開位置における隆起弁係合部70の弾性材料部71’に作用する流体圧力と実質的に等しくかつ反対方向である。本開示のダイアフラム弁部材端部シール付圧力平衡弁は種々の利点を提供する。弁部材の第1端に、オーバーモールド、固着又は圧縮等で弾性材料第1ダイアフラムを固定することにより、ダイアフラムはその径の回りを圧縮して圧力シールを形成することができ、固定インターフェースが第2圧力境界シールを形成する。他の実施形態では、弾性材料第2ダイアフラムが弁部材の基端又は第2端に配置され、弁部材が移動したときに、第1ダイアフラムと同様に、追加の付勢力を形成するように作用する。第1,第2ダイアフラムは、例えば弁閉位置のようなある位置で所定状態に配向されて実質的に平坦状、傾斜状angular又は弛緩状relaxedの状態とすることができるため、弁部材の次の移動はダイアフラムを弾力的に撓ませ、これにより、その後に弁部材が閉位置に戻るのを支援する付勢力を形成する。本開示の第1又は第2ダイアフラムは更に、弁部材端にOリング又はDリングを設ける必要をなくし、これは、弁部材が繰り返し行う摺動運動によるOリング又はDリングの摩擦磨耗を排除する。本開示の弁部材端面における確実係合部材及び/又はカウンタボアの使用は、ダイアフラムを部分的に圧縮する作用をなし、これにより、圧力境界を形成し、更に、ダイアフラムを摩擦で保持するように作用する。実施形態の上述の説明は図示及び説明を目的としたものである。発明を網羅するものではなく、制限するものでもない。特定の実施形態においける要素又は特徴は一般的に特定の実施形態に制限されるものではなく、必要に応じて交換可能であり、具体的に示され又は記載されていない場合であっても、選択した実施形態に使用することが可能である。同様に、多くの態様で変更してもよい。このような変更は、この発明から逸脱したものと見なされるべきではなく、このような変更の全ては、本発明の範囲に含まれるべきものである。"