2つの区画を備える容器を有する、気相状態にある材料の蒸着供給源10であって、前記2つの区画とは、前記材料のための入れ物および前記入れ物の中に配置された前記材料を加熱するための手段を備える蒸気生成区画20と、前記生成区画と連通し、かつ少なくとも1つのオリフィス30を備え、その結果、気相状態にある前記材料は前記オリフィスを通って前記容器の外側に向かって送られる拡散区画とであり、前記蒸着供給源が、-その蒸着供給源が、前記オリフィスを閉じるための手段および前記閉じるための手段を有効閉位置とオリフィス30開位置との間で動かす手段を有することと、-その蒸着供給源が、前記蒸気を拡散するノズルの形で一連のオリフィス30を有することと、-前記拡散区画が、前記拡散ノズルが並んで配置される円筒体を有するディフューザ50よりなることと、-前記閉じるための手段が、ディフューザ50の内面と接触している円筒形スリーブ70を有し、この円筒形スリーブ70が、一方では、前記開位置にある数個の拡散ノズルに対向して配置され得る数個の開口73、そして他方では、蒸気生成区画71に対向する開口を有することとを特徴とする蒸着供給源。円筒形スリーブ70が、前記蒸気生成区画20を開に保ちながら、前記一連の拡散ノズルを閉じるためにディフューザ50の内部で動くように構成される、請求項1に記載の蒸着供給源。円筒形スリーブ70を動かすための手段が、円筒形スリーブ70に接合されて、ディフューザ50を通して作動可能な軸方向ロッド72を有する、請求項2に記載の蒸着供給源。円筒形スリーブ70を動かすための前記手段が、軸方向ロッド72を回転させるための手段を有する、請求項3に記載の蒸着供給源。円筒形スリーブ70を動かすための前記手段が、軸方向ロッド72を横方向に移動させるための手段を有する、請求項3に記載の蒸着供給源。ディフューザ50が、前記円筒形スリーブ70の動きとは別に開いている少なくとも1つのノズル53を含む、請求項1~5のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。少なくとも1つの独立したノズル53が、前記軸方向ロッド72に対向する端部でディフューザ50の軸上に配置される、請求項3~5のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。前記材料入れ物が、円筒形坩堝21からなり、円筒形スリーブ70の内径と同じ直径を有する、ディフューザ50に連結する開口40とから成る、請求項1~7のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。前記拡散区画および前記生成区画が、T形状を形成するように組立てられた管状円筒であり、その生成区画がディフューザ50を形成する分岐部の中央に置かれた分岐部である、請求項1~8のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。前記閉じるための手段が、オリフィス30が開いたとき、前記拡散区画と前記生成区画との間の連結を維持するように構成される、請求項1~9のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。それ故、蒸着の停止フェーズおよび再開フェーズで連続的に作動することが必要とされる気相蒸着システムで用いられる線形供給源で見つかっている上記の弱点の1つを、少なくとも部分的に克服することが、本発明の全般的な目的である。破壊温度が蒸発温度に近い有機材料の蒸着を可能にする有利な線形供給源を記載することも本発明の目的である。本発明の他の目的、特徴および利点は、以下の説明および添付図面を検討することで明らかになるであろう。他の利点が組み込まれてもよいことは言うまでもない。これらの目的を達成するために、本発明は、材料の気相蒸着のための供給源を記載する。この供給源は、2つの区画に分けられている容器から成る。第1の区画は、蒸気を生成させる区画である。その区画は、材料のための入れ物およびその入れ物の中に置かれる材料を加熱するための手段を備えている。第2は、生成区画と連通している拡散区画である。この拡散区画は、少なくとも1つのオリフィスを備え、その結果、気相状態の材料がこのオリフィスを通って容器の外側に向かって送られる。この供給源の特徴は、オリフィスを閉じるための手段、およびその閉じるための手段を、有効閉位置とオリフィス開位置との間で動かす手段を含んでいることである。本発明は、以下のオプションも含んでいてもよい。-供給源は、蒸気ノズルの形のオリフィスを有する。-拡散区画は、拡散ノズルが並んで配置される円筒体が付いたディフューザを有する。-閉じるための手段は、ディフューザの内面と接触する円筒形スリーブを有し、その円筒形スリーブは、一方では、開位置において数個の拡散ノズルに対向して位置することが可能な数個の開口を、そして、さらに蒸気生成区画に対向する1つの開口を有している。-円筒形スリーブは、蒸気生成区画を開に保ちながら、一連の拡散ノズルを閉じるために、ディフューザの内側で動くように構成される。-円筒形スリーブに接合されディフューザを通して作動可能な軸方向ロッドを有する、円筒形スリーブを動かすための手段。-円筒形スリーブを動かすための手段は、軸方向ロッドを回転させるための手段を有する。-円筒形スリーブを動かすための手段は、軸方向ロッドによって作動される横方向移動手段を含む。-ディフューザは、円筒形スリーブの動きとは別に開かれる少なくとも1つのノズルを含む。-ここで、少なくとも1つの独立ノズルは、ディフューザの軸上の軸方向ロッドの反対側の端部に有利に置かれる。-材料入れ物は、円筒状坩堝であり、ディフューザに連結するその開口は、円筒形スリーブの内径と同一の直径を有する。-拡散区画および生成区画は、T字を形成するように組立てられた管状円筒である。そして、生成区画はディフューザを形成する分岐部の中央に置かれた分岐部である。-閉じるための手段は、オリフィスが開位置のとき、拡散区画を、生成区画と連結した状態に維持するために構成されている。本発明の目的、目標、特徴および利点は、以下の添付図面に示す実施形態の詳細な記述によってより良く理解されるであろう。添付図は、実施例として与えられており、限定的なものではない。図1Aおよび図1Bは、本発明による気相蒸着の線形供給源を示しており、この線形供給源では、ノズル閉止バルブは回転スリーブから成る。用語線形は、いくつかのノズル本発明の好ましい実施形態を有する供給源を意味しており、これらのノズルは、供給源の1つの寸法に従って互いに並んで配置されている。好ましくは、この並置は、一直線に配列された複数ノズルから構成されているが、それに限定されてはいない。本発明は、好適な実施形態において、線形気相蒸着供給源10が、材料炉20蒸気生成区画に位置すると拡散区画内に位置する蒸発ノズル30との間の非常に平坦な温度勾配を得ることをどのように可能にしているかについて記載する。炉坩堝21には、蒸発させられる材料23が入っており、この材料は、たとえばエレクトロルミネセンスダイオードを製作するために用いる種類の有機材料である。蒸気がノズルに送られたとき、負荷中のいかなる破壊も避けるため、坩堝から垂直蒸気噴射パイプ40および水平ディフューザ50の内部部品は、同一直径51を有するT組立体を形成している。この直径は、一般的に約40~50mmである。ディフューザ50の幅は、その上に蒸着物が形成することになる基板1のサイズと適合するようにしなければならない。一般的に、基板上で、数十センチメートル、そしてそれより大きく蒸着可能である。坩堝、垂直蒸気噴射パイプおよびディフューザの間の一定直径を維持すると蒸気が案内され、その結果、蒸気はノズルを通して蒸発チャンバ中に噴射され、同時に必要とされる温度勾配が最小になる。この直径を一定にするという発想により、蒸気が直面する過剰圧力および、加熱が最小化される。温度勾配は、吹出ノズルまでの蒸気の進行および加速を保証する。坩堝21、垂直パイプ40およびディフューザ50は、熱輸送液体25に浸漬している。この熱輸送液体は、坩堝21とその外囲器29の間、および一方でディフューザ50の垂直パイプ40から内壁52と他方でT形状の外部筒状外囲器60との間のすべての環状空間で見出される。なお、T形状の外部筒状外囲器の枝分かれ部分は、それぞれ、垂直パイプおよび水平ディフューザと同軸状に成っている。本発明のこの配置において、熱輸送流体を用いて坩堝21、垂直パイプ40およびディフューザ50を間接的に加熱するために、加熱フィラメント27および41は、外部筒状外囲器を取り囲んでいる。これにより、一方では、加熱炉において蒸発する材料に、そして、他方では、パイプ40およびディフューザ50内の蒸気に接触するすべての表面に亘るたる良好な熱の分布が確実なものとなる。用語垂直および用語水平は、蒸気拡散の方向が実質的に垂直である、使用上好ましい位置における発明部品の方向づけを実質的に意味している。連続的な工業生産に用いられる本発明の線形供給源のために、蒸発される材料を破損することなく、蒸発処理を停止したり再開したりするための手段が提供されなければならない。本発明の目的は、スリーブ70の形でディフューザの中に蒸気チェックバルブを配置することによって、本発明のこの第1の実施形態において達成される。このスリーブ70は、ディフューザの内径に相当する直径を有し、そして、ロッドを用いた軸方向機械的操作装置72を使って回転させることができる。好ましい実施形態において、スリーブ70は、円形断面を有する中空の円筒体である。この中空の円筒体は、同じ形状のディフューザ50と協同して、オリフィスの開位置と閉位置との間で、拡散区画の設定を変化させることができるディフューザ50の内部のスペースを構成する。オリフィス73は、蒸気が蒸着中に通過することができるように、ノズル位置に穿設されている。スリーブを回転させるだけで、ノズルは十分に遮蔽され蒸着処理は中断される。これは供給源の内部の体積を変えることなく行われることに気がつかれよう。蒸気噴射管40に対向して配置される下部オリフィス71は、ノズルを遮蔽するために回転させられるとき、その回転によって蒸気噴射管が遮断されないようになっている。それ故、回転スリーブ70によって、供給源が再起動しやすい状態を確実に維持しながら、蒸発を速やかに止めることが可能となっている。ノズルの高さで供給源を閉じることにより、蒸気供給源への影響は非常に小さく、蒸気飽和中に温度の上昇も観察されない。なお、このノズルの高さは、蒸気生成システム負荷の体積を変化させることなしに蒸気を含むための最終位置である。それ故、この閉止システムによって、材料を消費することなしに蒸発を止めることができる。供給源の熱力学的平衡を維持するのを助けるために、蒸着速度を測定するためのシステムが作動状態を維持している。このシステムは、基板に向かう供給源からの蒸発フラックスを乱さないように、好ましくはディフューザの軸上に置かれる。このノズルは、蒸着速度を測定し、それによって、閉止システムを再開した後の整定時間を最小化するため、供給源閉止フェーズ中に必要速度に近い速度を保証するのに用いられる。蒸着ノズルの閉止中、ノズル53は、ディフューザの軸上に置かれ、圧力を最小化するために開口した状態に維持されている。なお、ノズル53は、測定機能測定部は図面に示されていない専用である。これも、閉止期間の全体に亘って安定したフラックスを維持し、したがって、1つの蒸着を続けるかまたは他の蒸着を行うために、蒸気閉止バルブすなわち、ノズルを閉めるために用いる回転スリーブがもう一度開口するやいなや、フラックスを安定させるために必要とされる時間を減らすことによって、より大きな反応性を達成する。図2Aおよび図2Bは、本発明による気相線形蒸着供給源の変形例を示しており、ノズル閉止バルブは摺動スリーブから成っている。本発明のこの第2の適用例において、回転スリーブ70は、摺動スリーブ70と置き換えられている。これはディフューザ50より少し短いので、今回は、ノズルの閉止は、先の装置と同じ軸操作装置72を使って、摺動スリーブの横方向の動きで達成される。前に記載したように、開口73は、蒸気が蒸着フェーズ中に通過することができるように、ノズルの位置に穿設されている。ここで再び、蒸着は、供給源内部の体積を変えずに止められる。蒸気噴射管40に対向して配置される下部オリフィス81は、ノズルを遮蔽するために横方向に移動しても、蒸気パイプ40がどんな形であれ妨害されないような形状および寸法を有している。図2Aおよび図2Bはまた、加熱フィラメントが、熱輸送流体25を含む環状空間の中に配置され得ることを示している。フィラメント27および41は、熱輸送流体の中に浸漬され、直接に熱を加え、それによって、温度を確実に一様にする。これは、坩堝21を加熱するために用いるフィラメント27、およびディフューザ50の垂直パイプ40周辺で温度勾配を維持するために用いるフィラメント41に関する。もちろん、図1A、図1Bおよび図2A、図2Bに示した実施形態のオプションは、いかなる不都合もなく組み合わすことができる。フィラメント27および41は冷却剤流体の中に置かれてもよいし、回転スリーブ70の使用と組み合せてもよい。また、この逆も可能である摺動スリーブおよび外囲器のまわりの加熱エレメント。そのうえ、回転スリーブ70または横方向に動くスリーブ70の使用は、ディフューザ50の体積を変えることなく生じる、この種のノズル閉止装置によって与えられる利点を保持しながら、他のどんな加熱装置でも使用されることが想定可能である。先に説明したように、このことは、蒸着を止めなければならないとき、各フェーズ中、坩堝21内の高コストな材料の劣化および損失を避けるのを助け、それ故、高コストな材料の使用可能な期間をのばす。それ故、バルブは、回転するかまたは横方向に動くかに関係なく、蒸発フェーズ中に供給源を保持しながら、拡散区画中の蒸気放出を即座に止めたり再開したりするのに用いられ得る。バルブにより拡散ノズルを閉止するだけで、坩堝21内の負荷の体積を変えないことが可能になり、それ故、もし蒸気生成区画の高さで供給源を閉じたなら生じるであろう過剰圧力および温度上昇を最小化する。測定システムに向かう蒸気フラックスを維持することによって、たとえバルブが閉じるときでも、発生蒸気の量を維持するために、供給源流動状態は維持され、加熱装置は制御し続けられる。一旦バルブが開かれると、この解決策によって、供給源が即座に安定化されることが保証される。バルブはまた、インターロックされ、温度変動なしに急速なフラックスの変更またはフラックスの安定化を確実なものとするために、放出フラックス調節を確実なものとするのに用いられ得る。具体的には、この解決策は、坩堝21を満たしている材料の高さによって決まるいかなるフラックス変化をも急速に取り除く。