"少なくとも一つのスルーホールを有する格子板と、該格子板のスルーホールを被覆して該格子板の一表面に設置した複合構造体と、を含む透過型電子顕微鏡グリッドであって、前記複合構造体が、少なくとも一つのカーボンナノチューブ構造体及び一つのグラフェンシートからなり、前記カーボンナノチューブ構造体が複数の微孔を有し、前記グラフェンシートが前記カーボンナノチューブ構造体の一表面に設置されて前記複数の微孔を被覆していることを特徴とする透過型電子顕微鏡グリッド。前記グラフェンシートにおける炭素原子と前記カーボンナノチューブ構造体における炭素原子が、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続されることを特徴とする請求項1に記載の透過型電子顕微鏡グリッド。基板を提供して、該基板の表面にグラフェンシートを形成する第一ステップと、複数の微孔を有するカーボンナノチューブ構造体を提供して、該カーボンナノチューブ構造体を前記グラフェンシートの表面に被覆させ、基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を形成する第二ステップと、前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体における基板を除去し、複合構造体を形成させる第三ステップと、前記複合構造体を格子板に付着させて、前記カーボンナノチューブ構造体を前記格子板に直接接触させる第四ステップと、を含むことを特徴とする透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法。しかし、従来の真空蒸着により形成されたアモルファスカーボン膜は、厚さが厚く、ノイズが大きいので、ナノパーティクルに対してTEM像の解像度が低いという課題がある。前記課題を解決するために、本発明はナノパーティクルに対してTEM像の解像度を高めることができる透過型電子顕微鏡グリッド及びその製造方法を提供する。透過型電子顕微鏡グリッドは、少なくとも一つのスルーホールを有する格子板と、該格子板のスルーホールを被覆して該格子板の一つ表面に設置した複合構造体と、を含む。前記複合構造体が、少なくとも一つのカーボンナノチューブ構造体及び一つのグラフェンシートからなり、前記カーボンナノチューブ構造体が複数の微孔を有し、前記グラフェンシートが前記カーボンナノチューブ構造体の一つ表面に設置して前記複数の微孔を被覆し、前記グラフェンシートの一部が該複数の微孔に懸架されている。前記グラフェンシートにおける炭素原子と前記カーボンナノチューブ構造体における炭素原子が、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続される。透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法は、基板を提供して、該基板の表面にグラフェンシートを形成する第一ステップと、複数の微孔を有するカーボンナノチューブ構造体を提供して、該カーボンナノチューブ構造体を前記グラフェンシートの表面に被覆させ、基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を形成する第二ステップと、前記基板グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体における基板を除去し、複合構造体を形成させる第三ステップと、前記複合構造体を格子板に付着して、前記カーボンナノチューブ構造体を前記格子板に直接接触させる第四ステップと、を含む。従来の技術と比べて、本発明の透過型電子顕微鏡グリッドは、次の優れた点がある。前記グラフェンシートが試料を支持する役割を果たして、多数の試料が均一的に前記グラフェンシートの表面に分布するので、該試料の粒径の分布を測ることができ、該多数の試料が前記グラフェンシートの表面への組み立てる特性を観測することができる。前記グラフェンシートが前記カーボンナノチューブ構造体における微孔を被覆するので、前記試料が前記グラフェンシートに支持される。従って、前記透過型電子顕微鏡グリッドが試料を支持する確率が高められ、且つ、前記試料の粒径が制限されない。前記グラフェンシートが大きなサイズを有して、該サイズがセンチメートルレベルに達することができるので、前記透過型電子顕微鏡グリッドに用いられるカーボンナノチューブ構造体のあらゆる微孔を被覆することができる。従って、前記透過型電子顕微鏡グリッドの試料の観測及びキャラクタリゼーションの有効面積が大きくなる。前記グラフェンシートが薄い厚さを有するので、前記透過型電子顕微鏡グリッドを使用して、試料を観測する場合、生じるバックグラウンドノイズが小さい。従って、試料に対してTEM像の解像度を高めることができる。また、前記グラフェンシートが前記カーボンナノチューブ構造体と共に、前記格子板に被覆するので、該格子板の微孔が特に小さい必要はない。従って、前記格子板のコストを減少することができる。前記グラフェンシートにおける炭素原子と前記カーボンナノチューブ構造体における炭素原子が、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続されるので、前記グラフェンシートは、該カーボンナノチューブ構造体に更に安定的に固定されることができる。従って、前記透過型電子顕微鏡グリッドの使用及び長時間の保存とが便利になる。本発明の透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法には、次の優れた点がある。前造記カーボンナノチューブ構造体が自立構造及び接着性を有するので、前記グラフェンシートを破壊せずに、該グラフェンシートを前記基板から前記カーボンナノチューブ構造体に便利に移して、該カーボンナノチューブ構造体の表面に接着させることができる。従って、サイズがセンチメートルレベルの複合構造体を製造することができる。前記カーボンナノチューブ構造体が大きな比表面積を有するので、大きな接着性を有する。従って、該カーボンナノチューブ構造体が前記格子板に良く接着することができる。以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。実施例1図1は、本実施例の透過型電子顕微鏡グリッド100を図示する。前記透過型電子顕微鏡グリッド100は、格子板110と、該格子板110に被覆された、グラフェンシート124及びカーボンナノチューブ構造体122からなる複合構造体120と、を含む。前記透過型電子顕微鏡グリッド100は、直径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル~20マイクロメートルである円形のシートであることが好ましい。図2及び図3を参照すると、本実施例において、前記複合構造体120は、一つのカーボンナノチューブ構造体122、及び一つのグラフェンシート124を含む。前記カーボンナノチューブ構造体122は、複数の微孔126を備える。前記グラフェンシート124は、前記カーボンナノチューブ構造体122の一表面に配置され、該カーボンナノチューブ構造体122の複数の微孔126を被覆する。換言すれば、前記グラフェンシート124が前記微孔126に懸架されている。前記格子板110は、少なくとも一つのスルーホール112を有する。前記スルーホール112の形状は、円形、四角形、六角形、八角形又は楕円形などである。前記格子板110は、前記複合構造体120を支持することに用いられる。また、前記格子板110は、前記透過型電子顕微鏡グリッド100が使用される場合には、電子が前記透過型電子顕微鏡グリッド100に蓄積されることを防止するように、電子を伝導する役割を果たす。前記複合構造体120は、前記格子板110を被覆する。具体的には、前記格子板110は、複数のスルーホール112を有する。該スルーホール112の寸法は前記複合構造体120における微孔126の寸法より大きく、該スルーホール112の寸法は1マイクロメートル~2ミリメートルである。前記スルーホール112の寸法は、前記微孔の内径のうち前記微孔内の一点から他点までの距離が最大となる場合の距離又はその距離以上である。勿論、前記複数のスルーホール112の形状及び配列方式は制限されず、実際の応用に応じて調整することができる。前記隣接するスルーホール112の間の間隔が等しくても、等しくなくてもよい。前記格子板110は、均一的に配置されたスルーホール112を有し、隣接するスルーホール112の間の間隔が1マイクロメートルより大きいことが好ましい。前記格子板110の材料は、銅、ニッケル又は他の金属材料である。前記格子板110の複数のスルーホール112がエッチング法により形成されることができる。さらに、前記透過型電子顕微鏡グリッド100の格子板110は、合金又はセラミックスなどの導電材料からなることもできる。本実施例において、前記格子板110は、直径が3ミリメートルである円形の銅片であり、前記複合構造体120は、円形のシート状に形成される。且つ、前記格子板110の直径と前記複合構造体120との直径が等しい。前記スルーホール112は、形状が円形であり、直径が100マイクロメートル~1ミリメートルであり、均一的に前記格子板110に配置される。隣接するスルーホール112の間の間隔は等しい。本実施例において、前記複合構造体120は、一つのカーボンナノチューブ構造体122、及び一つのグラフェンシート124からなる二層の構造体である。前記グラフェンシート124は、連続的な一体構造であり、前記カーボンナノチューブ構造体122とオーバーラップする。ここで、オーバーラップとは、前記グラフェンシート124と前記カーボンナノチューブ構造体122とが、同じ形状及び面積を有し、前記グラフェンシート124が前記カーボンナノチューブ構造体122の表面に設置する場合には、該グラフェンシート124が前記カーボンナノチューブ構造体122の全体を被覆できることを意味する。勿論、前記一つのグラフェンシート124が前記カーボンナノチューブ構造体122の表面に設置する場合には、該グラフェンシート124は、前記カーボンナノチューブ構造体122のあらゆる微孔126を被覆する。前記カーボンナノチューブ構造体122は、自立構造を有するものである。ここで、自立構造とは、支持体材を利用せず、前記カーボンナノチューブ構造体120を独立して利用することができるという形態のことである。すなわち、前記カーボンナノチューブ構造体120を対向する両側から支持して、前記カーボンナノチューブ構造体120の構造を変化させずに、前記カーボンナノチューブ構造体120を懸架できることを意味する。前記カーボンナノチューブ構造体122は、積層された複数の前記カーボンナノチューブフィルムを含む。単一のカーボンナノチューブフィルムは、同じ方向に沿って配列された複数のカーボンナノチューブを含む。この場合、隣接する前記カーボンナノチューブフィルムは、分子間力で結合されている。隣接する前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブは、それぞれ0°~90°の角度で交差している。隣接する前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブが90°の角度で交差することが好ましい。前記カーボンナノチューブ構造体122の微孔126の寸法は、前記カーボンナノチューブフィルムの数量と関係がある。前記カーボンナノチューブ構造体122における前記カーボンナノチューブフィルムの層数が2~4層であることが好ましい。前記カーボンナノチューブ構造体122における微孔126の寸法は、1ナノメートル~1マイクロメートルである。図4を参照すると、前記カーボンナノチューブフィルムは、ドローン構造カーボンナノチューブフィルムdrawncarbonnanotubefilmである。ここで、該ドローン構造カーボンナノチューブフィルムは、カーボンナノチューブアレイから引き出して得られるものであることから、ドローンdrawn構造カーボンナノチューブフィルムというものである。前記カーボンナノチューブフィルムは、超配列カーボンナノチューブアレイ非特許文献1を参照から引き出して得られたものである。単一の前記カーボンナノチューブフィルムにおいて、前記複数のカーボンナノチューブの大部分は、前記カーボンナノチューブフィルムの表面に平行に、カーボンナノチューブフィルムを引き出す方向に沿って、且つ、同じ方向に沿って配列されている。前記複数のカーボンナノチューブは、分子間力で端と端が接続されている。微視的には、前記カーボンナノチューブフィルムにおいて、前記同じ方向に沿って配列された複数のカーボンナノチューブ以外に、該同じ方向に沿っておらずランダムな方向を向いたカーボンナノチューブも存在している。ここで、該ランダムな方向を向いたカーボンナノチューブは、前記同じ方向に沿って配列された複数のカーボンナノチューブと比べて、割合は小さい。具体的には、単一の前記カーボンナノチューブフィルムは、複数のカーボンナノチューブセグメントを含む。前記複数のカーボンナノチューブセグメントは、長さ方向に沿って分子間力で端と端が接続されている。それぞれのカーボンナノチューブセグメントは、相互に平行に、分子間力で結合された複数のカーボンナノチューブを含む。さらに、図5を参照すると、単一の前記カーボンナノチューブフィルムは、複数のカーボンナノチューブセグメント143を含む。前記複数のカーボンナノチューブセグメント143は、長さ方向に沿って分子間力で端と端が接続されている。それぞれのカーボンナノチューブセグメント143は、相互に平行に、分子間力で結合された複数のカーボンナノチューブ145を含む。単一の前記カーボンナノチューブセグメント143において、前記複数のカーボンナノチューブ145の長さは実質的に同じである。前記カーボンナノチューブ構造体122は、図2に示すように、交差して設置された複数のカーボンナノチューブワイヤ128を含んでもよい。該カーボンナノチューブワイヤ128は、並行して設置され、且つ分子間力で結合された複数のカーボンナノチューブを含む。さらに、前記カーボンナノチューブワイヤ128は、分子間力で端と端が接続され、且つ、基本的に同じ方向に沿って、配列される複数のカーボンナノチューブを含む。交差して設置された複数のカーボンナノチューブワイヤ128は、前記カーボンナノチューブ構造体122の中において、複数の微孔126が形成されている。本実施例において、前記カーボンナノチューブ構造体122は、図6に示すように、積層された二層の前記カーボンナノチューブフィルムを含む。各々のカーボンナノチューブフィルムは、図4に示すカーボンナノチューブフィルムである。該カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブが同じ方向に沿って、配列されている。前記カーボンナノチューブ構造体122において、隣接するカーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブが互いに垂直して、複数の微孔126が形成され、該微孔126の寸法が100ナノメートル~1マイクロメートルである。前記グラフェンシート124は、図2に示すように、前記カーボンナノチューブ構造体122の一の表面に設置される。前記グラフェンシート124の、前記カーボンナノチューブ構造体122における複数の微孔126を被覆する部分は、前記複数の微孔126の上に懸架されている。前記グラフェンシート124は、単層グラフェン又は多層グラフェンからなる。前記グラフェンシート124は、多層グラフェンからなる場合、グラフェンの層数が1~3層である。前記グラフェンシート124における炭素原子と前記カーボンナノチューブにおける炭素原子が、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続されるので、前記グラフェンシート124は、該カーボンナノチューブ構造体122に更に安定的に固定されることができる。本実施例において、前記グラフェンシート124は、円形のシート状に形成され、その直径が3ミリメートルであり、前記カーボンナノチューブ構造体122の全体を被覆することができる。前記グラフェンシート124における炭素原子と前記カーボンナノチューブにおける炭素原子が、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続されるので、前記グラフェンシート124は、該カーボンナノチューブ構造体122に更に安定的に固定されることができる。本実施例の透過型電子顕微鏡グリッド100を利用する場合、試料を前記透過型電子顕微鏡グリッド100の一の表面に設置して測定する。具体的には、試料を前記カーボンナノチューブ構造体122の微孔126を覆ったグラフェンシート124の表面に設置する。該試料は、例えばナノワイヤ、ナノ球、ナノチューブのようなナノパーティクルである。図7は、ナノサイズの金粉を含む溶液を、前記透過型電子顕微鏡グリッド100に滴下し、乾燥させた後、透過型電子顕微鏡で観測した透過型電子顕微鏡写真である。図7の画面のほぼ中央に示された円形の黒色パーティクルは、試料のナノ金パーティクルである。図8を参照すると、前記透過型電子顕微鏡グリッド100の製造方法は、下記のステップを含む。ステップS101基板を提供して、該基板の表面にグラフェンシートを形成する。ステップS102複数の微孔を有するカーボンナノチューブ構造体を提供して、該カーボンナノチューブ構造体を前記グラフェンシートの表面に被覆させ、基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を形成する。ステップS103前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体における基板を除去し、複合構造体を形成させる。ステップS104前記複合構造体を格子板に付着させて、前記カーボンナノチューブ構造体を前記格子板に直接接触させる。前記ステップS101において、基板を提供して、該基板の表面にグラフェンシートを形成する。前記基板は、グラフェンが生長し、安定的に存在するキャリヤーであるので、それ自体が安定性を有する必要があるが、化学的方法又は物理的方法を利用して除去することができるものである。前記基板は、応用に応じて、金属、合金、金属酸化物などの材料を選択することができる。本実施例において、面積が2平方センチメートルであり、厚さが25マイクロメートルである銅片を基板として、化学気相成長法で該基板の表面に均一的なグラフェンシートを形成する。前記グラフェンシートは、単層グラフェン又は多層グラフェンからなる連続な一体構造である。グラフェンの層数が1~3層である場合、前記透過型電子顕微鏡グリッドのコントラストが最良になる。前記グラフェンシートは、炭素原子と炭素原子が、sp2混成軌道によって共有結合を形成して接続される二次元の層状構造体である。前記グラフェンシートの寸法は、3ミリメートル~2センチメートルである。前記グラフェンシートの寸法は、該グラフェンシートの縁部の一点から他点までの距離が最大となる時の距離である。前記グラフェンシートは、平らで、均一的に前記銅片の表面に被覆される。本実施例において、前記グラフェンシートの寸法は、3ミリメートル~2センチメートルである。前記ステップS102において、複数の微孔を有するカーボンナノチューブ構造体を提供して、該カーボンナノチューブ構造体を前記グラフェンシートの表面に被覆させ、基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を形成する。前記カーボンナノチューブ構造体は、積層された複数の前記カーボンナノチューブフィルムからなる。該カーボンナノチューブフィルムは、カーボンナノチューブアレイから引き伸ばして形成されたものである。該カーボンナノチューブフィルムの製造方法は、次に詳しく説明する。まず、カーボンナノチューブアレイを提供する。該カーボンナノチューブアレイは、超配列カーボンナノチューブアレイSuperalignedarrayofcarbonnanotubes,非特許文献1を参照である。本実施形態において、前記超配列カーボンナノチューブアレイの製造方法は、化学気相堆積法を採用する。該製造方法は、次のステップを含む。ステップaでは、平らな基材を提供し、該基材はP型のシリコン基材、N型のシリコン基材及び酸化層が形成されたシリコン基材のいずれか一種である。本実施例において、4インチのシリコン基材を選択することが好ましい。ステップbでは、前記基材の表面に、均一的に触媒層を形成する。該触媒層の材料は鉄、コバルト、ニッケル及びその2種以上の合金のいずれか一種である。ステップcでは、前記触媒層が形成された基材を700°C~900°Cの空気で30分~90分間アニーリングする。ステップdでは、アニーリングされた基材を反応炉に置き、保護ガスで500°C~740°Cの温度で加熱した後で、カーボンを含むガスを導入して、5分~30分間反応を行って、超配列カーボンナノチューブアレイを成長させることができる。該カーボンナノチューブアレイの高さは100マイクロメートル以上である。該カーボンナノチューブアレイは、互いに平行し、基材に垂直に生長する複数のカーボンナノチューブからなる。該カーボンナノチューブは、長さが長いため、部分的にカーボンナノチューブが互いに絡み合っている。生長の条件を制御することによって、前記カーボンナノチューブアレイは、例えば、アモルファスカーボン及び残存する触媒である金属パーティクルなどの不純物を含まなくなる。本実施形態において、前記カーボンを含むガスとしては、例えば、アセチレン、エチレン、メタンなどの活性な炭化水素が選択され、エチレンを選択することが好ましい。保護ガスは窒素ガスまたは不活性ガスであり、アルゴンガスが好ましい。本実施形態により提供されたカーボンナノチューブアレイは、前記の製造方法により製造されることに制限されず、アーク放電法またはレーザー蒸発法で製造してもよい。次に、前記カーボンナノチューブアレイから、少なくとも、一枚のカーボンナノチューブフィルムを引き伸ばす。まず、ピンセットなどの工具を利用して複数のカーボンナノチューブの端部を持つ。例えば、一定の幅を有するテープを利用して複数のカーボンナノチューブの端部を持つ。次に、所定の速度で前記複数のカーボンナノチューブを引き出し、複数のカーボンナノチューブ束からなる連続のカーボンナノチューブフィルムを形成する。前記複数のカーボンナノチューブを引き出す工程において、前記複数のカーボンナノチューブがそれぞれ前記基材から脱離すると、分子間力で前記カーボンナノチューブ束が端と端で接合され、連続的なカーボンナノチューブフィルムが形成される。前記カーボンナノチューブフィルムは、配向して配列された複数のカーボンナノチューブ束が端と端とが接続され、所定の幅を有するカーボンナノチューブフィルム図4を参照するである。該カーボンナノチューブフィルムは、自立構造を有するものである。前記カーボンナノチューブフィルムの幅は、前記カーボンナノチューブアレイが成長された基材のサイズと関係があり、その長さが制限されず、実際の応用に応じて選択することができる。本実施形態において、4インチのシリコン基材を採用して、超配列カーボンナノチューブアレイが生長する。該カーボンナノチューブフィルムは、幅が1センチメートル~10センチメートルであり、厚さが0.5ナノメートル~100マイクロメートルである。前記カーボンナノチューブフィルムを引き伸ばした後、複数のカーボンナノチューブフィルムを積層して、カーボンナノチューブ構造体を形成する。具体的には、前記カーボンナノチューブ構造体の製造方法は、下記のステップを含む。まず、フレームを提供するが、該フレームは中空構造体を有する。次に、少なくとも二枚の前記カーボンナノチューブフィルムを前記フレームに積層し、該隣接したカーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブを所定の角度α0°<α≦90°で交差して設置させ、カーボンナノチューブ構造体を形成する。該カーボンナノチューブ構造体は、縁部が前記フレームにより固定され、該フレームの中空構造体により、懸架されている。前記カーボンナノチューブが大きな比表面積を有するので、前記カーボンナノチューブアレイから引き出されたカーボンナノチューブフィルムは、優れた接着性を有する。従って、前記カーボンナノチューブフィルムは、直接に前記フレームの表面又は他のカーボンナノチューブフィルムの表面に接着することができる。前記少なくとも二枚のカーボンナノチューブフィルムは、分子間力で接続される。本実施例において、二枚のカーボンナノチューブフィルムを前記フレームに積層し、該隣接したカーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブを垂直に交差して設置させ、カーボンナノチューブ構造体を形成する。前記カーボンナノチューブ構造体が形成された後、該カーボンナノチューブ構造体を前記グラフェンシートの表面に付着する。前記カーボンナノチューブ構造体は接着性を有するので、前記グラフェンシートの表面に付着する場合には、基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を形成することができる。勿論、前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体の製造方法は、更に有機溶剤で、該基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を処理して、該グラフェンシートと該カーボンナノチューブ構造体とを緊密に接着させるステップを含んでもよい。前記有機溶剤は、例えば、エタノール、メタノール、アセトン、ジクロロエタン、クロロホルムなどのいずれか一種の揮発性有機溶剤である。本実施例において、前記有機溶剤は、エタノールである。該有機溶剤は、前記カーボンナノチューブ構造体に対して良好な浸潤性を有する。具体的には、有機溶剤を前記カーボンナノチューブ構造体の表面に滴下し、該有機溶剤で前記カーボンナノチューブ構造体を浸漬させる。或いは、前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を前記有機溶剤の中に浸漬させる。前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を有機溶剤で処理した後、該有機溶剤の表面張力によって、前記カーボンナノチューブ構造体の各々のカーボンナノチューブフィルムに、隣接して配列されたカーボンナノチューブの間の間隙がなくなり、前記複数のカーボンナノチューブは複数のカーボンナノチューブワイヤに形成される。前記カーボンナノチューブ構造体は複数のカーボンナノチューブフィルムが積層して形成され、隣接する前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブが0°~90°の角度で交差しているので、前記カーボンナノチューブ構造体を有機溶剤によって処理すると、隣接する前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブワイヤが0°~90°の角度で交差して、前記カーボンナノチューブ構造体に複数の微孔が形成される。前記カーボンナノチューブ構造体を有機溶剤によって処理すると、その接着性が低くなる。前記カーボンナノチューブ構造体における微孔の寸法は、1ナノメートル~10マイクロメートルであるが、100ナノメートル~1マイクロメートルであることが好ましい。前記カーボンナノチューブ構造体における前記カーボンナノチューブフィルムの層数が多くなるほど、前記カーボンナノチューブ構造体における微孔の寸法はより小さくなる。従って、前記カーボンナノチューブ構造体における前記カーボンナノチューブフィルムの層数を調整することによって、必要な寸法の微孔を得ることができる。本実施例において、隣接する前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブワイヤが90°の角度で交差して、前記カーボンナノチューブ構造体に複数の微孔が形成される。前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体が有機溶剤で処理した後、該カーボンナノチューブ構造体と該グラフェンシートとが、分子間力及び有機溶剤の表面張力によって、緊密的に結合される。前記ステップS103において、前記基板グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体における基板を除去し、複合構造体を形成する。前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を処理溶液に浸漬して、前記基板を除去するまでの間に、前記基板と前記処理溶液とを化学反応させ、グラフェンシート‐カーボンナノチューブ複合構造体が形成される。前記カーボンナノチューブ構造体は、自立構造を有するものであるので、前記グラフェンシートのキャリヤーとして、該グラフェンシートへの損傷を減少することができる。前記処理溶液は、前記基板に応じて、酸性溶液、アルカリ溶液又は塩溶液である。本実施例において、前記処理溶液は、塩化第2鉄FeCl3溶液である。該塩化第2鉄におけるFe3と銅片の前記基板とが酸化還元反応を行うので、前記銅片の基板はエッチングされるが、前記グラフェンシートカーボンナノチューブ構造体は安定的に前記塩化第2鉄溶液の中に存在することができる。具体的には、前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を濃度が0.5g/mLである塩化第2鉄溶液に浸漬して、前記銅片の基板を24時間エッチングする。勿論、前記銅片の基板の寸法及び前記処理溶液の濃度によって、エッチングする時間が異なる。また、例えば、Fe3を含む塩溶液を採用して、前記銅片の基板をエッチングすることもできる。前記複合構造体を形成した後、更に、洗浄液で、前記複合構造体を洗浄するステップを含む。前記基板と前記処理溶液とが化学的反応を行った後、溶液に金属イオンが生成されるが、該金属イオンが前記溶液の中に水解され易いので、不純物が生成される。前記洗浄するステップによって、複合構造体における不純物を除去することができる。前記洗浄液は、例えば、希硫酸、希塩酸及び希硝酸などの酸性溶液のいずれかの一種又は数種の混合物である。本実施例において、前記洗浄液として、希塩酸を採用する。前記洗浄液は、塩化第2鉄溶液の水解を抑えることができ、且つ、前記複合構造体の不純物を除去することができる。具体的には、前記複合構造体を前記洗浄液に浸漬して、1分時間~15分時間洗浄する。洗浄液で前記複合構造体を洗浄した後、洗浄液を除去するために、脱イオン水で前記複合構造体を洗浄することができる。更に、前記ステップS103で得られた複合構造体を化学的方法で処理して、前記複合構造体におけるグラフェンシート及びカーボンナノチューブ構造体の炭素原子同士を結び付ける。前記化学的方法は、レーザー又はUV光によって前記複合構造体を照射すること、又は高エネルギーパーティクルを前記複合構造体に衝突させることがある。これにより、グラフェンシートの炭素原子及びカーボンナノチューブの炭素原子は、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続されるので、前記グラフェンシートは、前記カーボンナノチューブ構造体に更に安定的に固定されることができる。前記方法がこのステップを含まない場合には、前記グラフェンシートが分子間力によって、前記カーボンナノチューブ構造体と接続する。前記ステップS104において、前記複合構造体を格子板に付着させて、カーボンナノチューブ構造体を前記格子板と直接接触させる。まず、少なくとも一つの格子板を提供して、該格子板が少なくとも一つのスルーホールを有する。該スルーホールの形状は、円形、四角形、六角形、八角形又は楕円形などである。前記格子板は、前記複合構造体を支持する役割を果たす。具体的には、前記格子板は、複数のスルーホールを有して、該複数のスルーホールの形状及び配列方式が制限されず、実際の応用に応じて調整することができる。前記複数のスルーホールの間の間隔が等しくても等しくなくてもよい。前記複数のスルーホールが均一的に前記格子板に配置され、隣接するスルーホールの間の間隔が1マイクロメートルより大きいことが好ましい。前記格子板の複数のスルーホールは、エッチング法によって、形成される。本実施例において、複数の格子板を提供して、該複数の格子板を間隔して配置させる。前記格子板は、薄く円い銅片であり、複数の円いスルーホールを有する。該複数の円いスルーホールが均一的に前記格子板に配置して、該スルーホールの直径が100マイクロメートル~1ミリメートルであり、隣接するスルーホールの間の間隔が1マイクロメートル以上である。次に、前記複合構造体を格子板に付着して、カーボンナノチューブ構造体を前記格子板と直接接触させる。その後、隣接する格子板の間に対応した位置で、前記複合構造体をカットする。具体的には、レーザーを採用して、隣接する格子板の間に対応した位置で、前記複合構造体120を照射して焼き切る。前記レーザーの照射能率は5W~30Wであり、18Wであることが好ましい。更に、前記複合構造体が覆われた格子板を有機溶剤によって処理して、前記複合構造体と格子板とを、更に緊密的に接続させ、前記格子板の縁部に沿って、余分な複合構造体を除去して、透過型電子顕微鏡グリッドを形成する。前記有機溶剤は、例えば、エタノール、メタノール、アセトン、ジクロロエタン、クロロホルムなどの揮発性有機溶剤である。本実施例において、前記有機溶剤は、エタノールである。前記複合構造体と格子板とを、更に緊密的に接続させるために、前記有機溶剤を前記複合構造体の表面に直接滴下してもよく、前記複合構造体が覆われた格子板を、有機溶剤が用意された容器内に浸漬してもよい。余分な複合構造体を除去するために、レーザーを採用して、前記格子板の縁部に沿って、前記複合構造体を照射して焼き切る。勿論、必ず余分な複合構造体を除去しなければならないわけではない。実施例2図9と図10を参照すると、本実施例は、透過型電子顕微鏡グリッド200を提供する。該透過型電子顕微鏡グリッド200は、直径が3ミリメートルであり、厚さが3マイクロメートル~20マイクロメートルである円いシートである。前記透過型電子顕微鏡グリッド200は、格子板210と、該格子板210に被覆された複合構造体220と、を含む。該複合構造体220が二つのカーボンナノチューブ構造体222及び一つのグラフェンシート224からなる。前記グラフェンシート224は、前記二つのカーボンナノチューブ構造体222の間に設置される。即ち、前記グラフェンシート224は、前記二つのカーボンナノチューブ構造体222の間に挟まれる。従って、前記グラフェンシート224は、前記二つのカーボンナノチューブ構造体222の間に安定に固定される。前記カーボンナノチューブ構造体222は、複数の微孔226を含み、該複数の微孔226が一つのグラフェンシート224に被覆される。本実施例において、前記格子板210、二つのカーボンナノチューブ構造体222及びグラフェンシート224の構造は、本実施例1における格子板110、カーボンナノチューブ構造体122及びグラフェンシート124の構造と、それぞれ同じである。実施例2の透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法は、下記のステップを含む。ステップS201では、基板を提供して、該基板の表面にグラフェンシートを形成する。ステップ202では、複数の微孔を有するカーボンナノチューブ構造体を提供して、該カーボンナノチューブ構造体を前記グラフェンシートの表面に被覆させ、基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体を形成する。前記二つのステップは、実施例1における透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法のステップS101、ステップS102とそれぞれ同じである。ステップS203では、前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体における基板を除去し、グラフェンシート及びカーボンナノチューブ構造体からなる複合構造体を形成させ、その後、他のカーボンナノチューブ構造体を前記複合構造体におけるグラフェンシートの表面に被覆して、該グラフェンシートが二つのカーボンナノチューブ構造体の間に挟まれる複合構造体を形成する。前記基板‐グラフェンシート‐カーボンナノチューブ構造体の三層の構造体における基板を除去し、グラフェンシート及びカーボンナノチューブ構造体からなる複合構造体を形成させる方法は、実施例1におけるステップS103と同じである。勿論、他のカーボンナノチューブ構造体は、少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルムを含んでもよく、実施例1におけるカーボンナノチューブ構造体と同じでもよく、異なってもよい。本実施例において、グラフェンシートが二つのカーボンナノチューブ構造体の間に挟まれるので、該グラフェンシートが安定的に固定される。前記グラフェンシートが二つのカーボンナノチューブ構造体の間に挟まれる複合構造体を形成した後、揮発性有機溶剤で前記複合構造体を処理すると、他のカーボンナノチューブ構造体に複数の微孔を形成して、該カーボンナノチューブ構造体を前記グラフェンシートと緊密的に接続させる。更に、前記ステップS203で得られた複合構造体を化学的方法で処理して、前記複合構造体におけるグラフェンシート及びカーボンナノチューブ構造体の炭素原子同士を結び付ける。前記化学的方法は、レーザー又はUV光によって前記複合構造体を照射すること、又は高エネルギーパーティクルを前記複合構造体に衝突させることである。これにより、グラフェンシートの炭素原子及びカーボンナノチューブの炭素原子は、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続されるので、前記グラフェンシートは、前記二つのカーボンナノチューブ構造体の間に更に安定的に固定されることができる。前記方法がこのステップを含まない場合には、前記グラフェンシートが分子間力によって、前記カーボンナノチューブ構造体と接続する。ステップS204では、前記複合構造体を格子板に付着して、前記カーボンナノチューブ構造体を前記格子板に直接接触させる。前記ステップは、実施例1における透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法のステップS104と同じである。本実施形態に係わる透過型電子顕微鏡グリッドは、次の優れた点がある。第一、前記グラフェンシートが試料を支持する役割を果たして、多数の試料が均一的に前記グラフェンシートの表面に分布するので、該試料の粒径の分布を測ることができ、該多数の試料が前記グラフェンシートの表面への組み立てる特性を観測することができる。前記グラフェンシートが前記カーボンナノチューブ構造体における微孔を被覆するので、前記試料が前記グラフェンシートに支持される。従って、前記透過型電子顕微鏡グリッドが試料を支持する確率が高められ、且つ、前記試料の粒径が制限されない。第二、前記グラフェンシートが大きなサイズを有して、該サイズがセンチメートルレベルに達することができるので、前記透過型電子顕微鏡グリッドに用いられるカーボンナノチューブ構造体のあらゆる微孔を被覆することができる。従って、前記透過型電子顕微鏡グリッドの試料を観測及びキャラクタリゼーションする有効面積が大きくなる。また、前記グラフェンシートが連続的な一体構造であるので、その平面が平らで、明らかな亀裂はない。従って、前記透過型電子顕微鏡グリッドを使用する場合、試料を観測するのに便利である。第三、前記グラフェンシートが薄い厚さを有して、単層のグラフェンシートの厚さがほぼ0.335ナノメートルであるので、前記透過型電子顕微鏡グリッドを使用して、試料を観測する場合、生じるバックグラウンドノイズが小さい。従って、試料に対してTEM像の解像度を高めることができる。また、前記グラフェンシートが連続的な一体構造であり、前記カーボンナノチューブ構造体と共に、前記格子板に被覆するので、該格子板の微孔が特に小さい必要はない。従って、前記格子板のコストを減少することができる。第四、前記カーボンナノチューブ構造体がカーボンナノチューブアレイから引き伸ばして形成されたものであるので、該カーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブが基本的に同じ方向に沿って配列され、該カーボンナノチューブ構造体の純度が高い。従って、前記透過型電子顕微鏡グリッドが試料の形態及び構造の分析への影響は、小さくなり、ナノパーティクルの試料の高解像度への影響は、小さくなる。また、カーボンナノチューブアレイから前記カーボンナノチューブ構造体を引き伸ばす方法が簡単であるので、透過型電子顕微鏡グリッドのコストを減少するのに便利である。また、前記グラフェンシートにおける炭素原子と前記カーボンナノチューブにおける炭素原子が、sp3混成軌道によって共有結合を形成して接続されるので、前記グラフェンシートは、該カーボンナノチューブ構造体に更に安定的に固定されることができる。従って、前記透過型電子顕微鏡グリッドの使用と長時間の保存とが便利になる。更に、前記複合構造体は、グラフェンシートが二つのカーボンナノチューブ構造体の間に挟まれる構造体であるので、前記グラフェンシートは、前記二つのカーボンナノチューブ構造体の間に安定に固定される。従って、透過型電子顕微鏡グリッドが更に安定な構造体を有して、繰り返して使用されること及び長い時間に保存されることが便利になる。本実施形態に係る透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法には、次の優れた点がある。第一、前造記カーボンナノチューブ構造体が自立構造及び接着性を有するので、前記グラフェンシートを破壊せずに、該グラフェンシートを前記基板から前記カーボンナノチューブ構造体に便利に移して、該カーボンナノチューブ構造体の表面に接着させることができる。従って、サイズがセンチメートルレベルの複合構造体を製造することができる。第二、前記複合構造体を製造することが主に溶液の中で行われるので、該複合構造体の不純物を除去するために、種々の溶液を添加して、該複合構造体を洗浄することができる。第三、レーザー、UV光又は高エネルギーパーティクルによって複合構造体を処理する方法は、グラフェンシートの炭素原子及びカーボンナノチューブの炭素原子をsp3混成軌道によって共有結合を形成して接続させる。第四、前記カーボンナノチューブ構造体は大きな比表面積を有するので、大きな接着性を有する。従って、該カーボンナノチューブ構造体が前記格子板に良く接着することができる。更に、有機溶剤で前記複合構造体が覆われる格子板を処理することによって、前記カーボンナノチューブ構造体と前記格子板との接続を丈夫にすることができる。更に、前記複合構造体を、複数の前記格子板に同時に被覆した後、各々の格子板の縁部に沿って、余分の複合構造体をカットすることができる。これによって、安定な透過型電子顕微鏡グリッドをロット生産することでき、この方法は簡単且つ高速である。"