"断面が矩形状の中空構造である平坦な金属枠材で構成された平面視矩形状の金属枠部が、該金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板と、金属枠部と基板支持板の境界部に形成されている嵌合部と、を少なくても有する構成にされている基板保持用枠体であって、少なくとも対向する1対の金属枠部のそれぞれの上面に、複数の円形の吸着部を有し、該各吸着部は、該金属枠部の中空内部に通じ、加圧エアーを放出する小孔を有することを特徴とする基板保持用枠体。断面が矩形状の中空構造である平坦な対向する1対の金属枠材と中央部が下方に湾曲した対向する1対の金属枠材とを少なくても有する構成にされている平面視矩形状の金属枠部が、該金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板と、金属枠部と基板支持板の境界部に形成されている嵌合部と、を有する構成にされている基板保持用枠体であって、少なくとも対向する1対の金属枠部のそれぞれの上面に、該基板保持用枠体を懸垂するための複数の円形の吸着部を有し、該各吸着部は、該金属枠部の中空内部に通じ、加圧エアーを放出する小孔を有することを特徴とする基板保持用枠体。吸着部は、向かい合った1対のそれぞれの金属枠部に少なくても3または4箇所に配置され、各吸着部の直径は、30mmから40mmであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の基板保持用枠体。請求項1ないし請求項3のいずれかに記載した基板保持用枠体を吸着して懸垂する枠体搬送装置であって、該装置のロボットハンドに取り付けられ先端に吸着パッドを有する杆体は、管状の外周シリンダとその内側を通る中心シリンダとを少なくても有する構成で、中心シリンダは、外周シリンダと連動して、先端に封じパッドを有し、外周シリンダは、前記封じパッドを外側から覆うことが可能な大きさの前記吸着パッドを有し、かつ該管状の外周シリンダを通じて吸着パッド内の減圧及び加圧操作が可能なことを特徴とする基板保持用枠体の搬送装置。請求項4に記載の中心シリンダと外周シリンダとが連結した状態で、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板保持用枠体の金属枠部の上面に向かい下降し、中心シリンダ先端の封じパッドが金属枠部上面の吸着部に接し、該吸着部の小孔に押し当てして密閉し中心シリンダは下降を停止し、外周シリンダは、更に下降して、先端に取り付けられた吸着パッドを金属枠部に押し当てて密閉した位置で下降を停止し、その後、該管状の外周シリンダを通して吸着パッド内を減圧することを特徴とする基板保持用枠体の吸着方法。請求項4記載の吸着パッドが請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板保持用枠体に吸着している状態において、管状の外周シリンダを通して先端に取り付けられた吸着パッド内を加圧した後、吸着パッドが金属枠部から離れる前に、先端に封じパッドを有する中心シリンダが上昇して吸着部の小孔から封じパッドを離し、加圧エアーを金属枠部の前記小孔を通して金属枠体の中空内へ放出した後に、吸着パッドを有する外周シリンダが中心シリンダと連結して上昇することを特徴とする基板保持用枠体の吸着解除方法。液晶表示ディスプレイ、プラズマ表示ディスプレイ、有機ELディスプレイに代表される各種フラットパネルディスプレイに用いられる基板は、第6世代18501500mm、第7世代22001900mm、第8世代25002200mmと大型化しこれに伴い基板1枚の付加価値が高くなってきている。従って、製造工程における基板の取扱いは勿論、工程間における基板の搬送及び保管についても異物や傷などが付かない様に取り扱うことが今まで以上に重要になってきている。このように基板を載置した枠体を積層して搬送する方式では、基板を載置し多段に積み重ねた枠体を、一枚ずつ取り出す際は、ロボットハンドが枠体の両側面から枠体を把持し移動する。基板を載置する枠体の両側面には、このロボットハンドが把持する手掛部15が枠体から外方向に突出して取り付けられている。基板の積載効率を上げる為、枠体は、高密度に重ねる工夫がなされ、G6第6世代サイズの基板で積層する枠体の間隔は、10mm程度まで狭くすることも可能となり、これに伴い外周に突出した手掛部15の間隔も同じように狭くなる。従って、ロボットハンドが積層された枠体の両側面の突出した手掛部15を掴む裕度が狭くなり、手掛部15のわずかな変形も把持不良となる。ロボットハンドが把持する手掛部15は、外周枠から外側に延出している為、搬送時の接触により、変形が生じる事があり、これによりロボットハンドによる把持不良が発生する事がある。本発明は、このような把持不良を解決しようとするものである。別の課題として基板の大型化に伴い基板保持枠体も大型化及び高重量化になり、枠体の積み重ねや取り出し操作時に使用するロボット、保管装置、開梱装置、梱包装置も大型となり設備場所の観点から省スペース化の要求がある。又積層した梱包物をトラック輸送や海上輸送などに用いるコンテナへの収納の観点からも枠体幅サイズの縮小は、重要な課題となってきている。基板の輸送形態は、基板を保持した高重量物の枠体を載置できる十分な強度を有するパレット上に枠体を積み重ね一番上に蓋を載せベルトなどで固定した積層物を輸送中の振動を和らげる防振台に載置したものをカバーで全体を覆った状態である。G6サイズの基板を例にとると基板サイズは、18501500mmに対して基板を載置する枠体サイズは、19701670mmで、上面に載せる蓋サイズは、19791670mmで、積層された枠体を乗せるパレットサイズは、19981698mmで、これらすべてを載せる防振台サイズは、20081708mmとなり基板サイズに対して水平方向で200mm程度大きくなる。一方輸送に使われるコンテナは、海上輸送用のコンテナは、世界中の港での効率的な荷役を実現させるためにISO規格でサイズが決められており、世界的には、20フィート、40フィート、45フィートコンテナが用いられているが、日本では、45フィートコンテナは大きすぎてトレーラーに積載されない為、40フィートコンテナが一般的に用いられる。40フィートコンテナは、長さ12.2m×幅8ft2.438mとなる。一般的なコンテナにおいて、幅方向における外寸は2,438mm8フィートであり、幅方向における内寸は約2,346~2,352mmである。基板サイズは、G7サイズで22001900mm、G8サイズで25002200mmと大きくなり、これらの梱包体のパレットサイズは、幅方向が2100mm以上で2400mmを超えることも推察され、40フィートコンテナの内寸幅方向で収納が難しい状態となる。本発明は、このような荷扱いの課題についても解決しようとするものである。上記課題を解決する本発明の要旨の第1は、断面が矩形状の中空構造である平坦な金属枠材で構成された平面視矩形状の金属枠部が、該金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板と、金属枠部と基板支持板の境界部に形成されている嵌合部と、を少なくても有する構成にされている基板保持用枠体であって、少なくとも対向する1対の金属枠部のそれぞれの上面に、該基板保持用枠体を懸垂するための複数の円形の吸着部を有し、該各吸着部は、該金属枠部の中空内部に通じ、加圧エアーを放出する小孔をその中心に有することを特徴とする基板保持用枠体、にある。上記課題を解決する本発明の要旨の第2は、断面が矩形状の中空構造である平坦な対向する1対の金属枠材と中央部が下方に湾曲した対向する1対の金属枠材とを少なくても有する構成にされている平面視矩形状の金属枠部が、該金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板と、金属枠部と基板支持板の境界部に形成されている嵌合部と、を有する構成にされている基板保持用枠体であって、少なくとも対向する1対の金属枠部のそれぞれの上面に、該基板保持用枠体を懸垂するための複数の円形の吸着部を有し、該各吸着部は、該金属枠部の中空内部に通じ、加圧エアーを放出する小孔をその内側に有することを特徴とする基板保持用枠体、にある。この発明は、上記要旨の第1の発明の特徴に加え、1対の金属枠材が湾曲している。上記課題を解決する本発明の要旨の第3は、上記基板保持用枠体を吸着して懸垂する枠体搬送装置であって、該装置のロボットハンドに取り付けられ先端に吸着パッドを有する杆体は、ロボットハンドに固定され、外周シリンダを上下に駆動させるシリンダ駆動装置58と管状の外周シリンダ54とその内側を通る中心シリンダ53とから構成され、中心シリンダ53は、外周シリンダ54と連動して金属枠部の前記小孔を塞ぐ為の封じパッド61を先端に有し、外周シリンダは、前記封じパッドを外側から覆うことが可能な大きさの前記吸着パッド60を有し、かつ該管状の外周シリンダを通じて吸着パッド内の減圧及び加圧操作が可能なことを特徴とするものである。上記課題を解決する本発明の要旨の第4は、上記杆体の中心シリンダと外周シリンダとが連結した状態で、上記基板保持用枠体の金属枠部の上面に向かい下降し、中心シリンダ先端の封じパッドが金属枠部上面の吸着部に接し、該吸着部の小孔に押し当てして密閉し中心シリンダは下降を停止し、外周シリンダは、更に下降して、先端に取り付けられた吸着パッドを金属枠部に押し当てて密閉した位置で下降を停止し、その後、該管状の外周シリンダを通して吸着パッド内を減圧することを特徴とする基板保持用枠体の吸着方法、にある。上記課題を解決する本発明の要旨の第5は、上記吸着パッドが上記基板保持用枠体に吸着している状態において、管状の外周シリンダを通して先端に取り付けられた吸着パッド内を加圧した後、吸着パッドが金属枠部から離れる前に、先端に封じパッドを有する中心シリンダが上昇して吸着部の小孔から封じパッドを離し、加圧エアーを金属枠部の前記小孔を通して金属枠体の中空内へ放出した後に、吸着パッドを有する外周シリンダが中心シリンダと連結して上昇することを特徴とする基板保持用枠体の吸着解除方法、にある。本請求項において、金属枠部とは、金属枠材を矩形状に構成した枠体をいい、基板保持用枠体とは、金属枠部に基板支持板と嵌合部等が付加された状態の全体をいうものとする。また、懸垂とは、基板保持枠体をシリンダの先端が吸着した状態で上下する動作をいうものとする。従来、ロボットハンドが把持する手掛部15は、金属枠部から外側に延出している為、搬送時の接触により、変形が生じる事があり、これによりロボットハンドによる把持不良が発生する事があった。しかし、本願のように、中空構造の金属枠部の上面に吸着部を設けたことにより、金属枠体から外側に延出する手掛け部を設ける必要がない為、搬送時の接触による基板保持用枠体の変形は生じ難く、ロボットハンドによる枠体の把持不良の発生を防止できた。またロボットハンドに取り付けられたシリンダ先端の吸着パッドと吸着し、搬送したのち、加圧して吸着を解除する際の加圧エアーが小孔を通して金属枠部の中空内に放出することにより、金属枠部の表面への加圧エアーの拡散を防ぎ、異物の散乱を減少することができた。以下、まず、基板保持用枠体10について、図面を参照して説明する。図1に示すように基板保持枠体10は、断面が矩形状の中空構造である金属枠材それぞれコーナーピース16で連結し、平面視矩形状に組み立てした金属枠部11が、該金属枠部11に沿って枠内側に延設した基板支持板13と、金属枠部11と基板支持板13の境界部に形成されている嵌合部12と、を有する構成にされている。ここまでの形状は、図10を参照して説明した従来の基板保持用枠体と同様である。この基板保持用枠体10の特徴は、1段の枠体の高さが、10~20mm、好ましくは、10~15mmの高さ範囲に形成されていることと、該基板保持用枠体10の少なくとも対向する1対の金属枠材11のそれぞれの上面に、該基板保持用枠体10を懸垂するための複数の吸着部17を備えていることである。複数とは、3個乃至4個の範囲である。枠体を吸着して保持するので、手掛け部をなくしている特徴がある。基板保持用枠体10を低い高さに形成するのは、枠体の多段積み重ね体の基板積載密度を高めるためであり、吸着部17を備えるのは、前記のように梱包体の体積を小さくすることと、手掛部15を備えない枠体10を搬送可能にするためである。基板保持用枠体10の基本的形態には、第1形態と第2形態との2種がある。基板保持用枠体10の第1の形態請求項1は、前後左右の四辺の金属枠材11a、11b、11c、11dが平坦な形状のものであり、基板保持用枠体10の第2の形態請求項2は、対向する1対の金属枠部11a、11bは平坦であるが、他の対向する1対の金属枠部11c、11dは、中央部が下方に湾曲した形状のものである。いずれの形態も対向する1対の金属枠材11に、枠体10を懸垂するための複数の吸着部17を有している。図2Aに示すように吸着部は、例として、金属枠部11の1辺の中央部に1箇所と中央部から等間隔で両側に2箇所とに配置する。中央部に配置するのは、懸垂された時に金属枠部11の、中央部での撓み量を減らすためである。又大型基板対応で懸垂の時に撓みのある場合は、更に吸着部を補間して配置することも可能である。又異なる吸着部の配置として図2Bに示すように金属枠部11の1辺の中央部に配置しないで1辺の両端付近に2箇所配置して、必要により内側に更に2箇所配置することも可能である。図3は、基板保持用枠体の片側断面図である。基板搬送用枠体10の吸着部を有する対向する1対の金属枠部11の片側の断面を示している。吸着部17は、枠体搬送装置50の杆体57の先端の吸着パッド60と吸着する部分であり、吸着パッド60が接触する平滑な面であり、該基板保持用枠体の金属枠部11の上面の平坦な面に6箇所または8箇所配置する。吸着部には、確実な吸着を保つ為に表面にテープを貼り、表面が汚れ、傷が生じた際は、剥がして、新たなテープに貼り換えて使用しても良い。吸着部17の中心には、吸着する際に枠体搬送装置50の杆体57の先端の封じパッド61で塞ぐことが可能な径で、吸着を解除する際に加圧エアーを放出するために金属枠部11上面から中空内へ導通した小孔18を有する。小孔18は、径が大きいと封じパッドで密閉する際にパッドが変形し漏れが生じ易く、一方、径が小さいと加圧エアーを解除するのに時間がかかる。小孔は、1つに限るものでなく、小さな径で複数でも良い。径が小さいために封じパッドの変形が少なくまた複数あるため、加圧エアーの解除が容易となる。次に、本発明の基板保持用枠体10の枠体搬送装置50について説明する。最初に図5を用いて、上記基板保持用枠体10を吸着して懸垂する枠体搬送装置50の構成について説明する。枠体移送装置50は、ロボットハンド55とロボットハンドの動作を制御するロボット70より構成される。該ロボットハンド55は、水平に回転動作を行う回転アーム71、上下動作と前後動作を行う上下アーム72と基板保持枠体10を吸着保持して懸垂動作を行う懸垂装置56を少なくても有する構成にされている。次に懸垂装置の構成を説明する。懸垂装置56は、基板保持枠体10を吸着保持する杆体57と杆体を保持する枠体を少なくても有する構成にされている。杆体57は、先端に金属枠部11の小孔18を封じるための封じパッド61を有する中心シリンダ53と金属枠体10の上面を密着して封じして減圧状態で吸着する吸着パッドを有する外周シリンダ54を少なくても有する構成されている。続いて、杆体57の詳細な構成について図6を参照して説明する。杆体57は、シリンダ駆動装置58と先端に吸着パッド60を有する中が空洞の外周シリンダ54と先端に封じパッド61を有する中心シリンダ53を有し、外周シリンダ内部には、中心シリンダの動作を制御する為のストッパーA62とストッパーB63があり、ストッパーA62には、弾性体64が取り付けられている。中心シリンダ53の内部には、外周シリンダ54のストッパーA62に取り付けられた弾性体64と及びストッパーB63とによって中心シリンダ53の位置を制御する固定板65が取り付けられている。外周シリンダ54は中空で真空引きの配管と加圧エアー用の配管が接続されており、いずれも電磁弁により開閉が制御される。シリンダ駆動装置58は、外周シリンダ54を上下に駆動する装置ある。基板保持用枠体の吸着方法について、図6A,B,Cを参照して説明する。図6Aは、中心シリンダ53の固定板65が外周シリンダ54の弾性体57に抑えられ外周シリンダ54のストッパーB63に接した状態で外周シリンダ54に中心シリンダ53が固定されている状態である。この状態でシリンダ駆動装置58により外周シリンダ54が、吸着パッド60が吸着部17に接する位置まで下降する。この位置では、封じパッド61は未だ吸着部17の小孔18に接していない状態である。続いて図6Bに示すように、シリンダ駆動装置58により、外周シリンダ54は、更に下降して封じパッド61が金属枠体の小孔18に密着する位置まで下降する。この状態は、中心シリンダ53の先端の封じパッド61が金属枠部の上面に接した状態であり、密閉している状態ではない。外周シリンダが、更に距離sだけ下降し、封じパッド61が小孔を上から押し付けて塞ぐ状態を図6Cに示す。外周シリンダ54は、距離sだけ下降するが、中心シリンダ53は、封じパッド61が金属枠部の上面で接した状態から封じパッド61の弾性変形量だけ移動して止まり、その後は、弾性体57が変形する。封じパッド61は、弾性体57の反発力で下方向に圧力が加わる。この圧力で金属枠体10の小孔18を封じパッド61が押さえつけ密閉する。この時吸着パッド60は、吸着部17を更に押さえつける状態にして吸着部を密閉状態にする。図6Cこの時点で中空の外周シリンダ54内部を通して吸着パッド60内を減圧状態にし、基板保持枠体10を吸着し、懸垂する。次に、基板保持用枠体の吸着解除方法について、図7A,Bを参照して説明する。図7Aは、吸着パッド60と金属枠体10とが減圧状態で吸着し、中心シリンダ53の先端の封じパッド61が金属枠体の小孔18を塞いでいる状態を示す。中空の外周シリンダ54を通して真空引きを電磁弁で停止し、加圧エアーに切り替える。この状態で吸着部17と吸着パッド60の中は減圧状態より瞬時に確実に常圧から加圧状態になる。加圧状態になった時点で加圧エアーは、電磁弁で停止する。続いて加圧状態で外周シリンダは上昇し、吸着パッド60が金属枠体の吸着部に接している状態で封じパッド61が小孔18より離れ、小孔18を通して、加圧エアーが金属枠部11の中空部へ放出される。図7B図6および図7は、片側の懸垂動作を示したが、当然のことであるが、左右は並行して動作するものである。加圧エアーが基板保持枠体の内側に積載されている基板の表面に放出されずに枠体の内部を通過して外側に放出する。これにより基板保持枠体内部での気流の乱れを防止することが可能となり、周辺の異物の混入を防ぐことが可能となる。上述した吸着および吸着解除方法で枠体搬送装置50が基板保持枠体10を搬送する動作について図4を参照して説明する。図4Aは、積載された基板保持枠体10の上部にロボットハンド55の先端にある懸垂装置が位置している図である。杆体57の先端にある吸着パッド60及び封じパッド61が未だ吸着部と接していない状態である。図4Bは、中心シリンダ53を連結した外周シリンダ54が下降して先端の吸着パッド60が基板保持枠体10の吸着部17まで下降した図である。中心シリンダ53の先端の封じパッド61は未だ小孔を塞いでない状態である。図4Cは、外周シリンダ54が更に下降して封じパッド61が小孔を塞ぎ、吸着パッド60が吸着部17に密着した状態である。この時点で中空の外周シリンダ54を通して吸着パッド60内を減圧にして基板保持枠体を吸着した状態である。図4Dは、外周シリンダが上昇した状態で、ロボットハンドが更に上部へ引き上げた状態を示す図である。図8は、図4で説明した動作を湾曲した基板保持枠体10を枠体搬送装置50が懸垂する動作を示した図である。吸着パッドの選定方法について数式1、表1、表2を用いて説明する。数1は、物品を懸垂する場合の吸着パッド面積と真空圧力、および吊り上げ力の関係を示す式である。なお、数1中、Wは、吊り上げ力N、Cは、吸着面積cm2、Pは、真空圧力-kPA、fは、安全率水平吊りを意味する。本発明の基板保持用枠体は、吸着パッドで水平に吊り上げるものであり、数1で用いられる安全率は、4として、パッドの面積とそのパッドを使用した時に生じる真空圧力とで吊り上げ力が求められる。第6世代のガラス基板の基板保持用枠体で使用するパッドの選定について説明する。第6世代基板18501500mm0.7mmtの重量は、約50kgであり、図1に示す第6世代基板を保持する基板保持用枠体で、対向する1対の金属枠部が湾曲形状で、図3に示す金属枠材の断面が中空で、金属枠部の高さdが10mmで、板の厚さが2mmtのアルミニウム製の基板保持用枠体の重量は、5.5kgであり、該基板を保持した状態での総重量が10.5kgであった。該基板と該基板保持用枠体を対象に各種パッド径と各種真空圧力とによる場合のパッド1個あたりの理論吊り上げ力を表1に示す。表1は、吸着パッド径20mmから60mm即ち吸着面積が3.14cm2から28.26cm2範囲で真空圧力を負圧で0から100kPaの場合の吊り上げ力Nを計算した結果を一覧表にしたものである。表2は、第6世代のガラス基板を保持した基板保持用枠体10の重量が10.5kg即ち102.9Nの場合の表1で算出した各径の吸着パッド1個あたりの吊り上げ力より必要パッド個数を示した一覧表である。上記第6世代の基板保持用枠体の平坦な対向する1対の金属枠部のそれぞれの金属枠部の中央に1箇所と両側に1箇所ずつで3箇所、即ち1対の金属枠部の全部では6箇所の吸着部を設けた場合の吸着パッド径と吸着パッド個数を真空圧力との関係を含めて説明する。まず吸着パッドは、金属枠部の平坦な上面の吸着部と吸着するものであるため、吸着パッド径は、該金属枠部上面の幅で制約される。第6世代の基板保持用枠体では、該金属枠体の幅は約30mmから50mmである。従って、吸着パッドの径は、50mm以下である必要がある。又吸着パッドは、1つの金属枠体にバランスをとるために2箇所以上即ち1対の金属枠体全体で4箇所以上になる。上記の制約内容を踏まえて、次に表1の第6世代のガラス基板と基板保持用枠体を吊り上げるために必要な吸着パッド径と吸着パッド数の一覧表に沿って説明する。真空圧力は、配管の圧力損失や吸着漏れを考慮してー80kPaとする。吸着パッドの径が50mmや60mmとした場合では、吸着パッドが全体で4箇所の吸着で、基板および基板保持用枠体を持ち上げることが可能である。次に吸着パッドの径が40mmとした場合は、全体で5箇所必要である為、1対の金属枠体のバランスを取るため、6箇所となる。更に吸着パッドの径が35mmでは、6箇所で可能であり、吸着パッド径が30mmでは、8箇所となる。吸着パッド径が20mmでは17箇所となるが8箇所を超えた場合は、枠体移送装置も複雑となるため、実用的でない。上述した内容より、吸着パッドの径は30mmから40mmで、吸着パッドの個数は、6箇所から8箇所が可能な範囲であり、即ち1対のそれぞれの金属枠体に3箇所から4箇所である。金属枠体の撓みを抑え、機構を簡素化するためになるべく少ない吸着部で、安全な吸着力を確保するには、望ましくは、35mm以上40mm以下で1対のそれぞれの金属枠体に3箇所に配置することが好ましい。次に封じパッドの径について説明する。吸着部の中心には、吸着する際に枠体搬送装置50の杆体51の先端の封じパッド61で塞ぐことが可能な径で、吸着を解除する際に加圧エアーを放出するために金属枠部上面から中空内へ導通した小孔を有する。小孔は、径が大きいと封じパッドで密閉する際にパッドが変形し漏れが生じ易く、一方、径が小さいと加圧エアーを解除するのに時間がかかる。小孔は、1つに限るものでなく、小さな径で複数でも良い。径が小さいために封じパッドの変形が少なくまた複数あるため、加圧エアーの解除が容易となる。小孔の径が3mmから10mmにした時は、封じパッドの変形による漏れ、位置ずれを考慮すると封じパッドの径は6mmから20mmが確実に漏れを防止できる。小孔を3mm以下で複数集合させた場合は、開口面積は大きいが封じパッドの変形は少なくできる為、小孔の集合した径に2mm大きい径程度で変形なく封じが可能である。径3mmの小孔を1mm間隔で9個を縦横に配列した場合、封じパッドの径は15mm程度で変形なく密閉できた。材質に関する実施形態パッドの材質は、ニトリルゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、クロロプレインゴム等があり、使用目的により、選択される。液晶デイスプレイパネル用の基板の取扱いに対しては、直接に基板に接触するものではないが、汚染した場合に後の工程でポリイミドの配向膜の塗布工程で塗布膜のはじき現象が生じる可能性があるため、シリコーン系ゴムやフッ素系ゴムは、使用を避けた方が良い。吸着パッドの材質は、吸引した時の密閉性があり、高重量物を懸垂した時の加重に対して強度を持つ材料が好ましい。封じパッド61の材質は、中心シリンダ53降下して先端の封じパッド61が小孔18に接した際に小孔を塞ぎ、減圧した時に密閉性が保持できる弾力性を有し、繰り返して小孔に接触しても劣化の少ない材質が良く、吸着パッドと同じ材質でよい。金属枠材11に使用する材料には、軽量で腐食を生じない金属材料を使用できる。具体的には、純アルミニウム、ジュラルミンアルミ、銅3.5~5.5、マグネシウム系、アルミニウム-マンガン系等のアルミニウム合金等を使用できる。これらの材料を中空押し出し加工して枠形を製造する。上述した内容で第6世代基板18501500mm0.7mmtの大型基板を高密度に積層し保管や輸送などに用いられる基板保持用枠体について実施形態を説明する。断面が矩形状の中空構造である金属枠材を、平面視矩形状に組み立てした金属枠部11が、中央部が下方に湾曲した1対の金属枠部と該金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板13と、平坦な1対の金属枠部と該金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板13と、金属枠部11と基板支持板13の境界部に形成されている嵌合部12と、を有する構成にされている基板保持用枠体10を厚さ2mmのアルミニウム材を中空押し出し加工で製造した。平坦な1対の金属枠部11の上面に吸着部17をそれぞれの金属枠部11に3箇所すなわち1対の金属枠部11に6箇所設けた。吸着部の1箇所は、径40mmの円相当の面積を確保し、中心部に径3mmの小孔18を設けた。他の1対の湾曲した金属枠部11とコーナーピース16で接続し、金属枠体11を製造した。図1に示すように前記基板保持枠体10の対向する平坦な1対の金属枠部11aと11bとに吸着部17がそれぞれの金属枠部の中央部1か所と中央部から均等間隔で両端方向にそれぞれ1か所図1に示すように備えた。図1に示されているのは、金属枠11aと11bにそれぞれ吸着部17が3箇所である。基板18501500mm0.7mmtのガラス基板の重量は、5kgでアルミ製の基板保持用枠体は、5.5kgで総重量は10.5kgであった。吸着部17は、枠体搬送装置50の杆体57の先端の吸着パッド60と吸着する部分であり、吸着パッド60が接触する平滑な面であり、該基板保持用枠体に対しては、枠体搬送装置の吸着パッド径35mmとし6箇所で吸着することとした。金属枠部の上面の平坦な面は45mmであり、吸着部の径は、40mm確保できた。吸着パッドの材質はウレタン樹脂系を使用した。吸着部の中心には、吸着する際に枠体搬送装置50の杆体51の先端の封じパッド61で塞ぐことが可能な径で、吸着部の小孔の径は、3mmである為、封じパッドは、ウレタン樹脂で径は6ミリとした。"