"位相差を検出する複数画素で構成された画素群と、前記画素群の光入射側上層に設けた光学素子と、前記光学素子に形成された溝部と、を備え前記溝部は、前記画素群の各々の画素において受光する入射光を非対称とし、該溝部の側面が光反射面である固体撮像素子。請求項1に記載の固体撮像素子であって、前記画素群は隣接する2画素で構成され、前記光学素子は前記2画素の光入射側上層に設けられた前記2画素にそれぞれ対応する2つのマイクロレンズを含み、前記溝部は前記2つのマイクロレンズの間を分離する固体撮像素子。請求項1に記載の固体撮像素子であって、前記画素群は最隣接する4画素で構成され、前記光学素子は該4画素の光入射側上層に設けられた前記4つ画素にそれぞれ対応する4つのマイクロレンズを含み、前記溝部は前記4つのマイクロレンズの間を分離するように平面視において十字形に形成された固体撮像素子。請求項1に記載の固体撮像素子であって、前記光学素子は前記画素群の前記複数の画素の光入射側上層に設けられ、前記溝部は前記光学素子の外周囲を包囲するように形成された固体撮像素子。請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の固体撮像素子であって、前記マイクロレンズの光入射側上層に形成され、該マイクロレンズより低屈折率である中間屈折率層と、前記中間屈折率層の光入射側上層に形成され、該中間屈折率層より低屈折率である低屈折率層と、を有し、前記溝部は前記中間屈折率層にも形成され、該溝部内に前記低屈折率層と同じ材料が埋設される固体撮像素子。請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の固体撮像素子であって、前記マイクロレンズの光入射側上層に形成され、該マイクロレンズより低屈折率である中間屈折率層と、前記中間屈折率層の光入射側上層に形成され、該中間屈折率層より低屈折率である低屈折率層と、を有し、前記溝部はその内部が光反射率の高い材料で埋められた固体撮像素子。請求項2又は3に記載の固体撮像素子であって、該固体撮像素子の受光面の中心から周辺部に行くに従って、前記溝部が形成された前記マイクロレンズが該受光面の中心方向にずらして設けられる固体撮像素子。請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の固体撮像素子であって、複数の前記画素群が設けられ、前記複数の画素群は固体撮像素子受光面の離散的な位置に設けられている固体撮像素子。請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の固体撮像素子であって、複数の前記画素群が設けられ、前記複数の画素群は固体撮像素子受光面の全面に連続して設けられている固体撮像素子。請求項1に記載の固体撮像素子であって、前記光学素子は前記画素群の複数画素を共通に覆う1枚のマイクロレンズを有する固体撮像素子。請求項4に記載の固体撮像素子であって、複数の前記画素群が設けられ、前記複数の画素群が受光面の全面に連続して設けられ、前記光学素子は各画素群の画素を共通に覆い、各画素群に対応するマイクロレンズを有し固体撮像素子は、該マイクロレンズの光入射側上層に該マイクロレンズの材料より低屈折率の材料で形成された中間屈折率層と、該中間屈折率層の光入射側上層に形成され、該中間屈折率層より低屈折率の低屈折率層と、を有し、前記溝部は前記中間屈折率層にも形成され、該溝部内に前記低屈折率層と同じ材料が埋設される固体撮像素子。請求項11に記載の固体撮像素子であって、前記中間屈折率層は、その表面が前記マイクロレンズの表面の形状に倣う形状である固体撮像素子。請求項4に記載の固体撮像素子であって、複数の前記画素群が設けられ、前記複数の画素群が受光面の全面に連続して設けられ、前記光学素子は各画素群の画素を共通に覆い、各画素群に対応するマイクロレンズを有し、固体撮像素子は、該マイクロレンズの光入射側上層に該マイクロレンズの材料より低屈折率の材料で形成された中間屈折率層と、該中間屈折率層の光入射側上層に形成され、該中間屈折率層より低屈折率の低屈折率層と、を有し、前記溝部は前記中間屈折率層にも形成され、前記溝部はその内部が、光反射率の高い材料で埋められた固体撮像素子。請求項9から請求項13のいずれか1項に記載の固体撮像素子であって、画素群が固体撮像素子受光面に正方格子配列され、各画素群のそれぞれの画素が同色のカラーフィルタを持ち、画素群のカラーフィルタ配列がベイヤ配列又はストライプ配列となっている固体撮像素子。請求項9から請求項13のいずれか1項に記載の固体撮像素子であって、固体撮像素子受光面に形成される奇数行の前記画素群と偶数行の前記画素群とが1/2ピッチづつずらして形成され、各画素群のそれぞれの画素が同色のカラーフィルタを持ち、奇数行の前記画素群のカラーフィルタがベイヤ配列され、偶数行の前記画素群のカラーフィルタがベイヤ配列される固体撮像素子。請求項9から請求項13のいずれか1項に記載の固体撮像素子であって、固体撮像素子受光面に形成される奇数行の前記画素群と偶数行の前記画素群とが1/2ピッチづつずらして形成され、各画素群のそれぞれの画素が同色のカラーフィルタを持ち、偶数列または奇数列のいずれか一方の画素群が緑色フィルタを持ち、偶数列または奇数列の他方の画素群が群単位に赤色フィルタと青色フィルタを交互に持つ固体撮像素子。請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の固体撮像素子と、被写体までの合焦を行う撮影レンズと、前記固体撮像素子の前記画素群のそれぞれの画素の検出信号から前記被写体までの測距を行い前記撮影レンズの合焦制御を行う制御部とを備える撮像装置。請求項9から請求項16のいずれか1項に記載の固体撮像素子と、前記画素群のそれぞれの画素が検出した撮像画像信号を取り込み被写体の3次元画像を生成する信号処理部とを備える撮像装置。請求項1から請求項18のいずれか1項に記載の固体撮像素子であって、裏面照射型である固体撮像素子。従来の位相差画素は、複数画素で1個のマイクロレンズを共用したり、各画素のマイクロレンズの一部を遮光する、又は遮光膜開口を狭めて偏心させている。1個のマイクロレンズを複数画素で共用する位相差画素の場合、マイクロレンズの曲率を大きくし扁平なマイクロレンズにしなければならない。このため、このような位相差画素は位相差情報の検出能力が低いという課題がある。マイクロレンズの一部を遮光する、又は遮光膜開口を狭めて偏心させる位相差画素の場合、遮光膜開口を狭めて偏心させればさせるほど精度の高い位相差情報を得ることが可能となる。しかし、マイクロレンズや遮光膜開口を透過する光量が減るため、光利用効率つまり位相差画素の感度が低下してしまうという課題がある。本発明の目的は、位相差情報の検出能力が高くかつ光利用効率が高い位相差画素を持つ固体撮像素子及びこの固体撮像素子を搭載した撮像装置を提供することにある。本発明の固体撮像素子は、位相差を検出する複数画素で構成された画素群と、前記画素群の光入射側上層に設けた光学素子と、前記光学素子に形成された溝部と、を備え前記溝部は、前記画素群の各々の画素において受光する入射光を非対称とし、該溝部の側面が光反射面である。本発明の撮像装置は、上記の固体撮像素子と、被写体までの合焦を行う撮影レンズと、前記固体撮像素子の前記画素群のそれぞれの画素の検出信号から前記被写体までの測距を行い前記撮影レンズの合焦制御を行う制御部とを備える。本発明の撮像装置は、上記記載の固体撮像素子と、前記画素群のそれぞれの画素が検出した撮像画像信号を取り込み被写体の3次元画像を生成する信号処理部とを備える。本発明によれば、溝部の側面で反射した光を位相差画素に入射し非対称な光情報を得る構成のため、感度を犠牲にすることなく位相差情報を検出することができる。以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る撮像装置の機能ブロック図である。この実施形態の撮像装置は、被写体の静止画像或いは動画像を撮影するデジタルカメラ10を例としている。デジタルカメラ10は、撮影レンズ20と、固体撮像素子21と、アナログ信号処理部22と、アナログデジタルA/D変換部23と、駆動部24と、フラッシュ25とを備える。固体撮像素子21は、撮影レンズ20の背部に置かれその結像面に配置される。アナログ信号処理部22は、固体撮像素子21から出力されるアナログ画像データを自動利得調整AGCや相関二重サンプリング処理等のアナログ処理を行う。A/D変換部23は、アナログ信号処理部22から出力されるアナログ画像データをデジタル画像データに変換する。駆動部24は、後述のシステム制御部CPU29からの指示によってA/D変換部23,アナログ信号処理部22,固体撮像素子21,撮影レンズ20の駆動制御を行う。駆動部24は、タイミングジェネレータを含む。フラッシュ25は、CPU29からの指示によって発光する。本実施形態のデジタルカメラ10は更に、デジタル信号処理部26と、圧縮/伸長処理部27と、表示部28と、システム制御部CPU29と、フレームメモリ等の内部メモリ30と、メディアインタフェースI/F部31と、これらを相互に接続するバス40とを備える。デジタル信号処理部26は、A/D変換部23から出力されるデジタル画像データを取り込み、補間処理やホワイトバランス補正,RGB/YC変換処理等を行う。圧縮/伸長処理部27は、画像データをJPEG形式などの画像データに圧縮したり、逆に伸長したりする処理を実行する。表示部28は、メニューなどを表示したりスルー画像ライブビュー画像や撮像画像を表示する。CPU29は、デジタルカメラ全体を統括制御する。メディアインタフェースI/F部31は、JPEG画像データ等を格納する記録メディア32との間のインタフェース処理を行う。また、システム制御部29には、ユーザからの指示入力を行う操作部33が接続されている。詳細は後述する固体撮像素子21は、CCD型でもCMOS型でも良く、画素が二次元アレイ状に配列形成されていればよい。固体撮像素子21には、一部の画素として位相差画素が後述する構成で設けられている。CPU29は、この位相差画素の検出信号を取り込み、デジタル信号処理部26を用いて位相差画素の検出信号を解析し、被写体までの測距を行う。そして、CPU29は、測距結果に基づいて駆動部24を介して撮影レンズ20の焦点位置合わせレンズを移動させ、被写体に合焦させる。固体撮像素子21の有効画素領域内の全画素を例えば2画素ずつペアとして位相差画素とすることでも良い。この場合、各ペアの一方の画素と他方の画素との光入射方向が異なるため、視差が生じる。各ペアの一方の画素の撮像画像を左眼で見た画像、他方の画素の撮像画像を右眼で見た画像となるように位相差を設けることで、図1のCPU29は、左眼の撮像画像と右眼の撮像画像から立体画像を生成することができる。図2は、本発明の第1実施形態に係る位相差画素の説明図である。水平方向に並ぶ4つの画素を図示されており、半導体基板40には各画素に対応するフォトダイオードPDが設けられている。水平方向に隣接する2つのフォトダイオードPD1,PD2がペアとなる位相差画素を構成する。フォトダイオードPD1,PD2が形成された半導体基板40の上には、図示を省略した周知の配線層CMOS型の場合又は電荷転送電極CCD型の場合や遮光膜等が積層され、その上に、カラーフィルタ層41が積層される。更にその上には、各画素対応のマイクロレンズMCL43が形成される。マイクロレンズ43は、例えば屈折率nがn=1.6程度の透明樹脂層で形成される。固体撮像素子21の最表面には、例えば空気屈折率n=1.0等の低屈折率層44が設けられている。マイクロレンズ43と低屈折率層44との間には、両者の屈折率の中間の屈折率の屈折率層中間屈折率層45が設けられる。中間屈折率層45は、例えば屈折率nがn=1.4程度である。以上の構成だけでは、フォトダイオードPD1に入射する光とフォトダイオードPD2に入射する光との間に位相差は生じず、両画素両フォトダイオードPD1,PD2は位相差画素にはなっていない。そこで、本実施形態では、1つおきのフォトダイオードと隣接するフォトダイオードとの間の光学素子中間屈折率層45,マイクロレンズ43に、図1の撮影レンズ20の光軸に平行となるスリット溝46が設けられる。このスリット46内には、低屈折率層44と同じ材料が埋められている。これにより、中間屈折率層45に入射し、スリット46の側面光反射面に入射した光は、この側面において全反射し、直下のフォトダイオードPD図2では、PD2に入射する。即ち、スリット46を挟んだ2つのフォトダイオードPD1,PD2、或いは同じであるが、スリット46間に挟まれた2つのフォトダイオードPD1,PD2は、左右非対称な光学特性を持つことになり、位相差画素となる。図3は、位相差画素を構成する2つのフォトダイオードPD1,PD2の感度の入射角依存性を調べたシミュレーション結果を示すグラフである。光の入射角θ図2の右上部分を参照を横軸にとり、感度を縦軸にとっている。このシミュレーション結果によれば、ペアとなる2個の位相差画素PD1,PD2の受光感度は、光入射角依存性を持つことが分かる。この実施形態に係る位相差画素PD1,PD2は、マイクロレンズの一部を遮光したりしていないため、感度低下は無い。なお、スリット46の側面で入射光を全反射するのが好ましいため、この側面は荒れた状態でなく鏡面であることが好ましい。図4は、図2で説明したペアとなる位相差画素を受光面の離散的位置に設けた固体撮像素子の表面模式図である。なお、図4では、各画素に積層したマイクロレンズを○印で示し、それ以外の信号読出部等については図示を省略している。図5は、図4のA―A線断面模式図である。図5に示す実施形態の固体撮像素子は、図2のカラーフィルタ層41の替わりに平坦化層42が設けられ、モノクロ画像を撮影できる構成である。図4に示す固体撮像素子21は、複数の画素が正方格子状に配列形成されており、各画素上にマイクロレンズが搭載されている。本実施形態では、受光面の中心から水平方向に延びる画素行の離散的位置図示する例では2画素置きに位相差画素のペア50が配置され、各ペアの画素間が垂直方向に延びるスリット46で分けられている。更に、受光面の中心の垂直方向に延びる画素列においても、離散的位置図示する例では2画素置きに位相差画素のペア51が配置され、各ペアの画素間が水平方向に延びるスリット46で分けられている。位相差画素の水平方向のペア50に基づいて、被写体の水平方向の位相差が検出される。位相差画素の垂直方向のペア51に基づいて、被写体の垂直方向の位相差が検出される。即ち、本実施形態の各位相差画素のペアは、2眼式の位相差検出画素である。図6は、本発明の第2実施形態に係る位相差画素の説明図である。固体撮像素子21の受光面の離散的位置に、図示する例では、受光面中心及びその水平方向,垂直方向の4画素おきの位置に、位相差画素群52が設けられている。位相差画素群52は、最隣接する2×2=4個の画素を一群として構成されている。この4個の画素は、平面視において十字形のスリット47で分けられている。この実施形態では、1群の位相差画素52に基づいて、垂直方向及び水平方向の位相差が検出される、4眼式の位相差画素となる。なお、この画素群の内部に十字形の溝部を設けるのではなく、画素群を取り囲む四角形の溝部でも良い。また、十字形の溝部や四角形の溝部を持つ画素群に後述の図15の実施形態と同様に、1枚の共通のマイクロレンズを搭載することもできる。図7は、本発明の第3実施形態に係る位相差画素の説明図である。第1及び第2の実施形態では、位相差画素間がスリット46,47で分けられ、スリット内に低屈折率材料が埋設された構成である。低屈折率材料が空気である場合は、スリット46,47はエアギャップ部となっていた。これに対し、本実施形態では、スリット46,47内に金属板48が埋設されている。金属板48は、例えば、中間屈折率層45を積層した後にエッチングでスリット46,47を開け、次に金属を蒸着してスリット46,47内を埋めることによって形成される。そして、金属板48が埋設された後で、CMPなどで中間屈折率層45の表面を研磨することで固体撮像素子21を製造することができる。金属板48が、スリット46,47の替わりに中間屈折率層45に埋設されても良い。この実施形態でも、第1及び第2実施形態と同様の効果を得ることができ、また、第1及び第2実施形態では、光反射面で全反射する条件を超えた光は、スリットを透過する。しかし、本実施形態の様に光反射率の高い金属面を光反射面としていれば、全ての入射光を反射することが可能となる。なお、以上述べた実施形態は、各画素が正方格子状に配列された固体撮像素子に適用した例である。しかし、画素配列が奇数行の画素行に対して偶数行の画素行が1/2画素ピッチずつずれた、所謂ハニカム画素配列にも同様に適用可能である。この場合には、スリット46,47や金属板48は、斜め45度に傾く形状となる。図8は、本発明の第4実施形態に係る固体撮像素子の説明図であり、図9は図8のB―B線断面模式図である。本実施形態では、有効画素領域内の全画素が位相差画素である。即ち、1列おきに、受光面の全面に渡る垂直方向のスリット49が設けられている。本実施形態の構成においても、図7の実施形態と同様に、スリット49内を金属で埋めても良い。これにより、2眼式で全画素から位相差情報を取得でき、更に、1つの固体撮像素子21で2眼式の3次元画像を取得することが可能となる。即ち、各スリット49の左側の画素で右眼で見た被写体画像を撮像でき、各スリット49の右側の画素で左眼で見た被写体画像を撮像できる。各画素が位相差画素であるが、マイクロレンズの一部を遮光する構成や遮光膜開口を狭めて偏心させた構成ではない。このため、感度を落とすことなく、被写体の立体画像を撮像することが可能となる。また、被写体までの測距も全画素で可能となる。図8に例示する実施形態では、水平方向の画素数をxとしたとき、x=2毎に垂直方向に延びるスリット49を設けている。しかし、x≧3とすることも可能である。この場合でも、2眼式の水平方向の位相差情報を検出できる。被写体画像を撮像する場合、位相差画素に挟まれた通常画素の感度特性を利用し、画素補正を行うことが可能となる。スリット49を垂直方向列方向に設けるのではなく、水平方向行方向に形成してもよい。この場合は、縦方向垂直方向の位相差情報を取得することができる。また、画素配列を45度ずらした所謂ハニカム画素配列の固体撮像素子においては、スリット49による光反射面の形成方向を、同様に、45度傾ければ良い。図10は、本発明の第5実施形態に係る位相差画素の説明図であり、図11は図10のC―C線断面模式図である。図8の実施形態では、隣接するスリット49の間にある2個の画素が夫々マイクロレンズを搭載していた。しかし、本実施形態では、隣接するスリット49間の2個の画素が楕円状の1個のマイクロレンズ43aを共有する構造である。本実施形態によれば、1個のマイクロレンズを2個の位相差画素が共有することにより、スリット49による光反射面が左右のいずれに有るかの違いによる位相差情報に加え、マイクロレンズによる光分離の位相差が加わり、位相差検出能力が向上する。図12は、本発明の第6実施形態に係る位相差画素の断面模式図である。平面図における画素の配列は図10の配列と同じとする。図11に示す実施形態では、中間屈折率層45の表面は平面となっていた。しかし、本実施形態では、中間屈折率層45aの厚さを均一厚さとし、マイクロレンズ43aの表面に沿う曲面形状としている点で、図11の実施形態とは相違する。本実施形態によれば、中間屈折率層45aの表面のレンズ効果による光分離効果が加わり、位相差検出能力が更に向上する。図13は、本発明の第7実施形態に係る位相差画素の説明図であり、図14は図13のD―D線断面模式図である。本実施形態では、3×3の最隣接する9個の画素群を1群とし、各群が受光面全面で分離するように、水平方向で3画素毎に垂直方向に延びるスリット61が設けられ、更に垂直方向で3画素毎に水平方向に延びるスリット62が設けられている。この実施形態によれば、各群9個の画素が夫々異なる位相差情報を持つ被写体画像を撮影することができ、被写体までの測距情報を得ることができると共に、3次元の被写体画像を撮影することができる。3次元画像は、多眼にするほど滑らかな画像となる。なお、この実施形態では、3×3画素を1群の画素としているが、2×3画素でも4×3画素でも良く、一般的にn×mn=mも含む画素として良い。1群内の画素数があまり多くなると、画素間での位相差が小さくなるため、4×4画素や5×5画素程度を上限とするのが良い。図15は、本発明の第8実施形態に係る位相差画素の説明図であり、図16は図15のE―E線断面模式図である。図13の実施形態では、1群9画素の各画素が夫々マイクロレンズ43を持っていた。しかし、本実施形態では、1群9画素が1つの扁平なマイクロレンズ43bを共有する構成である。本実施形態のように各群9画素が夫々1個のマイクロレンズ43bを共有することで、スリット61,62による光反射面との9画素との位置関係による位相差だけでなく、光分離による位相差も検出することができ、位相差検出性能が更に向上する。この図15の実施形態では、9画素の中央の検出信号を基準として、周りの8画素夫々の位相差を求めることができる。図17は、本発明の第9実施形態に係る位相差画素の断面模式図である。本実施形態は、図12の実施形態と同様に、中間屈折率層45bの形状を、下地となるマイクロレンズ43bの表面に沿う曲面形状とした点が図15の実施形態と異なる。本実施形態によれば、中間屈折率層45bの表面のレンズ効果による光分離効果が加わり、更に、位相差検出能力が向上する。図18は、本発明の第10実施形態に係る位相差画素の説明図であり、図19は、図18のF―F線断面模式図である。断面の基本的構造は図12の実施形態と同じである。しかし、本実施形態では、図12の実施形態の平坦化層42の代わりにカラーフィルタ層41を設けた点で図12の実施形態とは相違する。本実施形態の固体撮像素子は、二次元アレイ状に配列形成された複数の画素PDが、正方格子配列ではなく、所謂、ハニカム画素配列である。即ち、奇数行の画素行に対し偶数行の画素行が1/2画素ピッチづつずらして形成されている。この結果、2画素置きに形成されるスリット49は、斜め方向に延びるように設けられる。奇数行の画素行だけを見ると各画素は正方格子配列され、ここに3原色RGBのカラーフィルタをベイヤ配列する。そして更に、偶数行の画素行だけを見ると各画素は同じく正方格子配列され、ここにRGBのカラーフィルタをベイヤ配列する。これにより、斜めに隣接する画素は、同色のカラーフィルタを持つことになる。G緑色フィルタを持つ斜め画素行が1行おきに設けられる。また、残りの斜め画素行には、R赤色フィルタを持つ画素が2画素連続し、次にB青色フィルタを持つ画素が2画素連続し、R色フィルタを持つ画素が2画素連続する斜め画素行と、逆にB青色フィルタを持つ画素が2画素連続し、次にR赤色フィルタを持つ画素が2画素連続し、B色フィルタを持つ画素が2画素連続する斜め画素行とが、G色フィルタを持つ斜め画素行を挟んで交互に並ぶことになる。この様にベイヤ配列が二重に設けられたカラーフィルタ配列において、本実施形態では、斜めに2画素連続する同色画素に1つのマイクロレンズ43aを搭載する。同一色の2画素に位相差画素を組み込むことで、位相差画素を特別なカラーフィルタ配列にする必要がなくなる。しかも、ベイヤ配列が二重に設けられているため、この2画素の同色画素を加算して3次元の高感度な被写体画像を撮像することと、2画素夫々の露光時間を変えることで3次元のダイナミックレンジの広い被写体画像を撮像することが可能となる。なお、斜めに隣接する2画素を1単位画素としたとき、奇数列の単位画素に搭載するカラーフィルタ配列として、R色フィルタとB色フィルタを交互に搭載した列と、B色フィルタとR色フィルタとを交互に搭載した列とを交互に設け、偶数列の単位画素にG色フィルタだけを搭載する構成としてもよい。このようなカラーフィルタ配列をハニカムカラーフィルタ配列という。図20は、本発明の第11実施形態に係る位相差画素の説明図であり、図21は、図20のH―H線断面模式図である。本実施形態は、図15の実施形態と同様に、最隣接3×3=9画素を1群としてスリット61,62を形成した固体撮像素子である。この実施形態では、各群の配列は正方配列となり、そこで、同一群に同一色のカラーフィルタを搭載し、各群にRGBのカラーフィルタをベイヤ配列する。そして、各群に1個のマイクロレンズ43bを積層し、マイクロレンズ43bの上に、中間屈折率層45bをレンズ状に積層する。本実施形態においても、全画素を多眼式の位相差画素としており、被写体までの測距と3次元の被写体画像の撮像が可能となる。なお、各群のカラーフィルタ配列は、ベイヤ配列に限るものではなく、ストライプ配列でも良い。図22は、本発明の第12実施形態に係る位相差画素の断面模式図である。第1~第11実施形態の固体撮像素子は、表面照射型の固体撮像素子であり、半導体基板の表面側にフォトダイオードPDと信号読出回路が形成され、その表面側上層にマイクロレンズ等が積層した構造になっている。この構造だと、表面側に信号読出回路等を形成しなければならないため、開口率が低下してしまう。そこで、半導体基板の表面側にフォトダイオードPDと信号読出回路とが形成され、半導体基板の裏面側にマイクロレンズ等が形成され、被写体からの入射光が半導体基板の裏面側で受光され、半導体基板内に浸入した光量に応じた信号電荷が表面側のフォトダイオードPDで検出される構成とする。このような構成を有する裏面照射型の固体撮像素子によれば、開口率を高めることができる。図22は、この裏面照射型固体撮像素子に図19の実施形態を適用した実施形態を示している。半導体基板40の表面側に、信号読出回路の配線層30が形成され、裏面側にマイクロレンズ43aや、スリット49が設けた中間屈折率層45aが形成されている。このように、本発明の上記各実施形態は、裏面照射型の固体撮像素子に適用可能である。なお、上述した実施形態では、マイクロレンズや表面を曲面形状にした中間屈折層が該当のフォトダイオード直上に設けられている。しかし、固体撮像素子の受光面周辺部に行くに従って入射光は斜め入射光となることを鑑みて、例えば特開2009―87983号公報に記載されている様に、斜め入射光に合わせる様にマイクロレンズ等を受光面中心方向にずらすスケーリングを行い、シェーディング対策を施してもよい。上述した各実施形態では、スリット49等を設けたマイクロレンズや中間屈折率層を固体撮像素子受光面の周辺に行くほど受光面中心方向にずらすスケーリングを行うことが好ましい。なお、上述した実施形態では、個々の実施形態を個別に説明したが、複数の実施形態を組み合わせて実施することも可能である。本明細書は、以下の事項を開示するものである。1位相差を検出する複数画素で構成された画素群と、前記画素群の光入射側上層に設けた光学素子と、前記光学素子に形成された溝部と、を備え前記溝部は、前記画素群の各々の画素において受光する入射光を非対称とし、該溝部の側面が光反射面である固体撮像素子。21に記載の固体撮像素子であって、前記画素群は隣接する2画素で構成され、前記光学素子は前記2画素の光入射側上層に設けられた前記2画素にそれぞれ対応する2つのマイクロレンズを含み、前記溝部は前記2つのマイクロレンズの間を分離する固体撮像素子。31に記載の固体撮像素子であって、前記画素群は最隣接する4画素で構成され、前記光学素子は該4画素の光入射側上層に設けられた前記4つ画素にそれぞれ対応する4つのマイクロレンズを含み、前記溝部は前記4つのマイクロレンズの間を分離するように平面視において十字形に形成された固体撮像素子。41に記載の固体撮像素子であって、前記光学素子は前記画素群の前記複数の画素の光入射側上層に設けられ、前記溝部は前記光学素子の外周囲を包囲するように形成された固体撮像素子。52から4のいずれか1つに記載の固体撮像素子であって、前記マイクロレンズの光入射側上層に形成され、該マイクロレンズより低屈折率である中間屈折率層と、前記中間屈折率層の光入射側上層に形成され、該中間屈折率層より低屈折率である低屈折率層と、を有し、前記溝部は前記中間屈折率層にも形成され、該溝部内に前記低屈折率層と同じ材料が埋設される固体撮像素子。62から4のいずれか1つに記載の固体撮像素子であって、前記マイクロレンズの光入射側上層に形成され、該マイクロレンズより低屈折率である中間屈折率層と、前記中間屈折率層の光入射側上層に形成され、該中間屈折率層より低屈折率である低屈折率層と、を有し、前記溝部はその内部が光反射率の高い材料で埋められた固体撮像素子。72又は3に記載の固体撮像素子であって、該固体撮像素子の受光面の中心から周辺部に行くに従って、前記溝部が形成された前記マイクロレンズが該受光面の中心方向にずらして設けられる固体撮像素子。81から7のいずれか1つに記載の固体撮像素子であって、複数の前記画素群が設けられ、前記複数の画素群は固体撮像素子受光面の離散的な位置に設けられている固体撮像素子。91から7のいずれか1つに記載の固体撮像素子であって、複数の前記画素群が設けられ、前記複数の画素群は固体撮像素子受光面の全面に連続して設けられている固体撮像素子。101に記載の固体撮像素子であって、前記光学素子は前記画素群の複数画素を共通に覆う1枚のマイクロレンズを有する固体撮像素子。114に記載の固体撮像素子であって、複数の前記画素群が設けられ、前記複数の画素群が受光面の全面に連続して設けられ、前記光学素子は各画素群の画素を共通に覆い、各画素群に対応するマイクロレンズを有し固体撮像素子は、該マイクロレンズの光入射側上層に該マイクロレンズの材料より低屈折率の材料で形成された中間屈折率層と、該中間屈折率層の光入射側上層に形成され、該中間屈折率層より低屈折率の低屈折率層と、を有し、前記溝部は前記中間屈折率層にも形成され、該溝部内に前記低屈折率層と同じ材料が埋設される固体撮像素子。1211に記載の固体撮像素子であって、前記中間屈折率層は、その表面が前記マイクロレンズの表面の形状に倣う形状である固体撮像素子。134に記載の固体撮像素子であって、複数の前記画素群が設けられ、前記複数の画素群が受光面の全面に連続して設けられ、前記光学素子は各画素群の画素を共通に覆い、各画素群に対応するマイクロレンズを有し、固体撮像素子は、該マイクロレンズの光入射側上層に該マイクロレンズの材料より低屈折率の材料で形成された中間屈折率層と、該中間屈折率層の光入射側上層に形成され、該中間屈折率層より低屈折率の低屈折率層と、を有し、前記溝部は前記中間屈折率層にも形成され、前記溝部はその内部が、光反射率の高い材料で埋められた固体撮像素子。149から13のいずれか1つに記載の固体撮像素子であって、画素群が固体撮像素子受光面に正方格子配列され、各画素群のそれぞれの画素が同色のカラーフィルタを持ち、画素群のカラーフィルタ配列がベイヤ配列又はストライプ配列となっている固体撮像素子。159から13のいずれか1つに記載の固体撮像素子であって、固体撮像素子受光面に形成される奇数行の前記画素群と偶数行の前記画素群とが1/2ピッチづつずらして形成され、各画素群のそれぞれの画素が同色のカラーフィルタを持ち、奇数行の前記画素群のカラーフィルタがベイヤ配列され、偶数行の前記画素群のカラーフィルタがベイヤ配列される固体撮像素子。169から13のいずれか1つに記載の固体撮像素子であって、固体撮像素子受光面に形成される奇数行の前記画素群と偶数行の前記画素群とが1/2ピッチづつずらして形成され、各画素群のそれぞれの画素が同色のカラーフィルタを持ち、偶数列または奇数列のいずれか一方の画素群が緑色フィルタを持ち、偶数列または奇数列の他方の画素群が群単位に赤色フィルタと青色フィルタを交互に持つ固体撮像素子。171から8のいずれか1つに記載の固体撮像素子と、被写体までの合焦を行う撮影レンズと、前記固体撮像素子の前記画素群のそれぞれの画素の検出信号から前記被写体までの測距を行い前記撮影レンズの合焦制御を行う制御部とを備える撮像装置。189から16のいずれか1つに記載の固体撮像素子と、前記画素群のそれぞれの画素が検出した撮像画像信号を取り込み被写体の3次元画像を生成する信号処理部とを備える撮像装置。191から18のいずれか1つに記載の固体撮像素子であって、裏面照射型である固体撮像素子。以上述べた実施形態によれば、遮光膜開口を狭めることなく、光軸に沿う方向に溝部を設け該溝部の側面で入射光を全反射させて位相差画素間の非対称な光情報を得るため、感度を犠牲にすることなく位相差情報を得ることが可能となる。"