"可動基板上で薄膜を硬化させるための装置であって、前記装置は、基板上に搭載された薄膜の層を移動させるための運搬システムと、前記薄膜が、閃光灯に関連して移動されている間、電磁パルスを前記薄膜に提供するための閃光灯と、前記電磁パルスのパルス幅を変調させるための閃光灯コントローラと、前記閃光灯と前記閃光灯コントローラとの間に接続された低インダクタンスケーブルであって、前記低インダクタンスケーブルは、冷却コアと、前記冷却コアに連結された複数の帰路ケーブルと、前記冷却コアに連結された複数の往路ケーブルであって、前記往路ケーブルは、前記帰路ケーブルに交互に連結される、往路ケーブルと、を含む、低インダクタンスケーブルとを備える、装置。前記冷却コア、前記帰路ケーブル、および前記往路ケーブルは、六方稠密構成に交互配置される、請求項1に記載の装置。前記帰路ケーブルのうちの1つは、冷却コアと前記往路ケーブルのうちの1つとに隣接する、請求項1に記載の装置。前記往路ケーブルのうちの1つは、冷却コアと前記帰路ケーブルのうちの1つとに隣接する、請求項1に記載の装置。低インダクタンスケーブルであって、冷却コアと、前記冷却コアに連結された複数の帰路ケーブルと、前記冷却コアに連結された複数の往路ケーブルであって、前記往路ケーブルは、前記帰路ケーブルに交互に結される、往路ケーブルと、を備える、ケーブル。前記冷却コア、前記帰路ケーブル、および前記往路ケーブルは、六方稠密構成に交互配置される、請求項5に記載のケーブル。前記帰路ケーブルのうちの1つは、前記冷却コアと前記往路ケーブルのうちの1つとに隣接する、請求項5に記載のケーブル。前記往路ケーブルのうちの1つは、前記冷却コアと前記帰路ケーブルのうちの1つとに隣接する、請求項5に記載のケーブル。発明の概要本発明の好ましい実施形態によると、硬化装置は、コンピュータ制御システムと、運搬システムと、閃光灯ドライバと、閃光灯と、を含む。硬化装置はまた、閃光灯ドライバと閃光灯との間に接続された低インダクタンスケーブルを含む。低インダクタンスケーブルは、各ワイヤが、少なくとも1つの冷却管および反対極性の少なくとも1つのワイヤに隣接するように、少なくとも1つの液体冷却管と、正六方稠密構成に交互配置された複数の往路および帰路ワイヤと、を含む。本発明のすべての特徴および利点は、以下に詳述される説明において、明白となるであろう。好適な実施形態の詳細な説明次に、図面、特に、図1を参照すると、本発明の好ましい実施形態による、硬化装置の略図が描写されている。示されるように、硬化装置100は、運搬システム110と、閃光灯150を有する閃光灯ヘッド120と、閃光灯コントローラ130と、を含む。低インダクタンスケーブル125は、閃光灯コントローラ130と閃光灯ヘッド120との間に接続される。運搬システム110は、閃光灯コントローラ130が、成形パルスが、運搬システム110上の薄膜の運搬速度に同期されるように、パルス幅変調PWMを使用して、電流の成形パルスを閃光灯150に提供する間、閃光灯ヘッド120を越えて、薄膜スタック140を移動させる。薄膜スタック140は、ポリマーまたは紙等の低温基板上に堆積された薄膜を含む。好ましくは、閃光灯150は、キセノン、クリプトン、またはアルゴン等のガスで充填された、密閉閃光灯である。閃光灯150はまた、時として、指向性プラズマアークDPAランプと称される、水冷壁閃光灯であることができる。コンピュータ制御システム160は、閃光灯コントローラ130の機能性を制御するために利用される。コンピュータ制御システム160は、好ましくは、当業者に周知のように、処理ユニットと、キーボード、マウス、タッチスクリーン等の入力デバイスと、モニタ等の出力デバイスと、を含む。次に、図2を参照すると、閃光灯コントローラ130のブロック図が描写されている。示されるように、閃光灯コントローラ130は、エンコーダ210と、任意の波形発生器220と、閃光灯ドライバ230と、を含む。運搬システム110図1から、運搬速度等の入力を受信後、エンコーダ210は、運搬システム110上に位置する薄膜を硬化させるための適切な時間において、トリガ信号を任意の波形発生器220に提供する。トリガ信号によって、任意の波形発生器220は、ユーザ入力に基づいて、種々の形状の波形およびタイミングを発生させることが可能である。任意の波形発生器220は、閃光灯150図1を駆動するための波形信号を増幅する閃光灯ドライバ230に、波形信号を送信する。入力に応答して、閃光灯システムによって放出されるパルス列の形状をリアルタイムで変更し、可動薄膜スタック内に生成される熱勾配に影響を及ぼすために、閃光灯150へのパワーは、好ましくは、パルス幅変調される。PWMを行うために、低インダクタンス少なくとも、100nH/m未満、好ましくは、50nH/m未満ケーブルは、閃光灯ドライバ230から閃光灯150にパワーを伝送する必要がある。加えて、低インダクタンスケーブルは、水冷されるが、人間が持ち上げるために十分に軽量であって、工場環境に統合されることができるように、1フィート未満の最小曲げ半径を有するべきである。理論的には、最適化された市販の同軸ケーブルのインダクタンスは、本願に対して十分に小さくあり得るが、同軸端コネクタは、水密アセンブリ内の内側および外側導体にハンダ付けされなければならないため、加工が困難である。加えて、市販の同軸ケーブルのインダクタンスおよび曲げ半径は両方とも、好ましいものより大きい。捻転対合ケーブルは、本願に対して、最低限であるインダクタンスを有する。加えて、捻転対合ケーブル内の捻転の性質は、確実な冷却を個々のワイヤに提供することを困難にする。ワイヤが捻転されているため、ともに結束されると、非効率的に装填され、外径をより大きくし、したがって、曲げ半径が、所望よりも大きくなる。交互の往路ワイヤおよび帰路ワイヤから成る、リボンケーブルは、本願に対して、高過ぎるインダクタンスを有する。低インダクタンス多重より線LIMSケーブルと称され得る、低インダクタンスケーブル125は、複数の往路ワイヤと、帰路ワイヤと、冷却ラインと、を含み、すべて相互に交互配置され、六方稠密パターンを形成する。LIMSケーブル125は、極低インダクタンスを有する~16nH/m。LIMSケーブル125は、システム全体に、200nH未満のインダクタンスを追加する。LIMSケーブル125は、10MW超のピークパワー供給および10kW長の平均パワー供給を伴う、最大20kAの電流を取り扱うことができる。LIMSケーブル125の直径は、好ましくは、5.0cm未満であって、LIMSケーブル125は、小半径0.3m未満を中心として屈曲することができる。所与の合計持続時間のパルス列をパルス幅変調するために、各個々のパルス、すなわち、マイクロパルスは、パルス成形を提供するために、パルス列より遥かに短くある必要がある。さらに、PWMシステムは、その時間の一部の間、オンにされないため、パルスは、パルス列と同一長の単一パルスを提供する源より強烈である必要がある。したがって、硬化装置110は、100kW/cm2超のピークパワーを伴う、10マイクロ秒程度の短いパルス長を提供可能である。加えて、パルスのためのPWM周波数は、50kHz程度である。各パルス列は、成形パルスを形成する、少なくとも2つのマイクロパルスを含む。パルスの成形は、薄膜スタック150内の温度プロファイルを最適硬化のためにカスタマイズ可能にする。その最も単純な形態では、均一マイクロパルスを含む、成形パルスは、6つの変数または制御パラメータを有する:強度電圧、パルス長、薄膜スタック上の任意の所与の面積内の基板上に衝突した成形パルスの平均数、パルス繰り返し周波数、成形パルス内のマイクロパルスの数、およびマイクロパルスのデューティサイクル。マイクロパルスが、均一ではない時、各マイクロパルスの持続時間および遅延も、また、規定されるべきである。これは、任意の成形パルスの形成を可能にする。制御パラメータは、最初に、熱シミュレーションに入力され、これらのパラメータは、続いて、閃光灯コントローラ130への入力として使用される。パルスパワー供給システム全体のインダクタンスが、約2μΗ未満である時、閃光灯150からの放出の立ち上がり時間は、プラズマが、閃光灯150を通過する電流によって、抵抗加熱され得る速度によって、制限された状態となる。同様に、閃光灯150からの放出の立ち下がり速度も、閃光灯150内のプラズマの放射冷却速度によって、制限された状態となる。パルスパワー供給システム全体のインダクタンスが、約2μΗ超の時、インダクタンスは、放出の最小立ち上がりおよび立ち下がり速度の加速を開始し、したがって、放出が、パルス幅変調され得る周波数を制限する。本発明におけるパルスパワー供給システムは、約1.2μΗの合計インダクタンスを有し、そのうちの約0.2mHは、LIMSケーブル125からであって、最大PWMが、インダクタンスによって制限されないことを意味する。硬化装置100のためのLIMSケーブル125は、好ましくは、以下の要件を有する:1.ユニット長あたりのインダクタンスが低い50nH/m未満2.ユニット長あたりの抵抗が低い1.0mΩ/m未満3.長さが長い最大10メートル4.適度な電圧定格最大約1,200V5.能動的液体冷却6.高電流容量最大約20kA7.取り扱いのための曲げ半径が小さい0.3m未満次に、図3aを参照すると、本発明の好ましい実施形態による、LIMSケーブル125を形成するための基礎的ケーブルユニットの断面図が例証される。示されるように、基礎的ケーブルユニット300は、冷却チャネル313と、往路ケーブル311と、帰路ケーブル312と、を含む。好ましくは、往路ケーブル311および帰路ケーブル312は、銅から成る。図3bは、3つの対合円形ケーブルが、いくつかの基礎的ケーブルユニット300を組み合わせることによって、形成することができることを示す。示されるように、3つの対合円唇ケーブル320は、冷却チャネル323の周囲に形成される、往路ケーブル321a-321cと、帰路ケーブル322a-322cと、を含む。加えて、往路ケーブル321a-321cは、帰路ケーブル322a-322cと交互配置され、それに連結される。入力に応答して、閃光灯150によって放出されるパルス列の形状をリアルタイムで変更し、毎分最大300メートルの速度で可動する基板上の可動薄膜スタック硬化材料内に生成される熱勾配に影響を及ぼすために、図3cに示される12の対合円唇LIMSケーブル330および/または図3dに示される8つの対合平坦LIMSケーブル340等の低インダクタンス水冷ケーブルアセンブリは、精密な時間的制御を提供するために不可欠である。基板が可動しており、閃光灯150の成形パルス周波数が、運搬速度に同期されている時、周波数は、以下によって求められる。式中、f=閃光灯成形パルス繰り返し数[Hz]S=ウェブ速度[m/分]O=重複係数すなわち、任意の所与の点において、基板によって受容される閃光灯パルスの平均数W=運搬方向における硬化ヘッド幅[cm]例えば、運搬速度100m/分、重複係数4、および硬化ヘッド幅7cmでは、光点の成形パルス繰り返し数は、95.4Hzである。閃光灯150の閃光速度は、基板運搬速度に同期されるため、速度の小さな変化は、薄膜の硬化を著しく変化させない。閃光灯150へのパワー供給システムの8つの変数は、継続的かつオンザフライで変更することができる。これは、硬化パラメータを、硬化前または後のセンサデータに応答して、薄膜または基板の変化にリアルタイムで適応可能にする。これらの2つの質は、最適かつ一貫した結果を伴う、硬化薄膜を生産し、システムが、任意のパルス特色を変更するために、数分間、電源を切る必要がある、先行技術を劇的に上回る収率を有する。さらに、パルス特色は、約0.1以内の分解能に継続的に変更することができ、硬化の遥かに厳密な最適化制御をもたらす。先行技術は、離散変更を有していた。説明されたように、本発明は、可動基板上の薄膜を硬化させるための硬化装置を提供する。本発明は、特に、好ましい実施形態を参照して、図示および説明されたが、当業者は、発明の精神および範囲から逸脱することなく、形態および詳細に、種々の変更を行ってもよいことを理解するであろう。"