第1及び第2太陽歯車と、前記第1太陽歯車に噛合う複数の第1遊星歯車と、前記第2太陽歯車に噛合う複数の第2遊星歯車と、前記複数の第1遊星歯車が噛合う第1内歯車と、前記複数の第2遊星歯車が噛合う第2内歯車と、前記複数の第1遊星歯車が回転可能に連結した第1キャリアと、前記複数の第2遊星歯車が回転可能に連結した第2キャリアと、前記第1キャリア及び前記第2太陽歯車と一体に回転する回転軸と、前記第1及び第2内歯車の間に保持され前記第1及び第2内歯車を位置決めし前記回転軸を回転可能に保持する軸受と、を備えた遊星歯車機構。前記第1内歯車は、前記軸受が嵌合する第1嵌合部を含み、前記第2内歯車は、前記軸受が嵌合する第2嵌合部を含み、前記軸受が前記第1及び第2嵌合部に嵌合することにより、前記第1及び第2内歯車の径方向での位置ずれが規制される、請求項1の遊星歯車機構。前記第1内歯車は、前記第2内歯車と係合する第1係合部を含み、前記第2内歯車は、前記第1係合部と係合する第2係合部を含み、前記第1及び第2係合部が係合することにより、前記第1及び第2内歯車の軸周りの周方向での位置ずれが規制される、請求項1又は2の遊星歯車機構。前記第1及び第2内歯車は同一形状である、請求項1乃至3の何れかの遊星歯車機構。複数の遊星歯車機構を連結する場合、遊星歯車機構同士の軸周りの周方向の位置ずれと、軸に直交する直交方向での位置ずれを防止するために、遊星歯車機構同士に位置決め部を設けることが考えられる。このような機能を有した位置決め部は、複雑な形状になるおそれがある。遊星歯車機構が小型である場合、このような位置決め部の成形は困難になるおそれがある。また、位置決め部が複雑な形状であると、耐久性が低下するおそれもある。本発明は、小型化に適した遊星歯車機構を提供することを目的とする。上記目的は、第1及び第2太陽歯車と、前記第1太陽歯車に噛合う複数の第1遊星歯車と、前記第2太陽歯車に噛合う複数の第2遊星歯車と、前記複数の第1遊星歯車が噛合う第1内歯車と、前記複数の第2遊星歯車が噛合う第2内歯車と、前記複数の第1遊星歯車が回転可能に連結した第1キャリアと、前記複数の第2遊星歯車が回転可能に連結した第2キャリアと、前記第1キャリア及び前記第2太陽歯車と一体に回転する回転軸と、前記第1及び第2内歯車の間に保持され前記第1及び第2内歯車を位置決めし前記回転軸を回転可能に保持する軸受と、を備えた遊星歯車機構によって達成できる。軸受により第1及び第2内歯車が位置決めされるので、第1及び第2内歯車のそれぞれに複雑な形状の位置決め部を設ける必要がない。このような遊星歯車機構は小型化に適している。本発明によれば、小型化に適した遊星歯車機構を提供できる。図1Aは、遊星歯車機構Aの斜視図であり、B図1Bは、遊星歯車機構Aの正面図である。図1Aに示すように、遊星歯車機構Aは、軸方向に連結された内歯車40、80、内歯車80の前方側に固定されたカバーFC、内歯車40の後方側に固定されたカバーRC、カバーFCから突出したキャリア70の出力軸部78、を含む。カバーRCには、径方向に突出した突出部RC2、突出部RC2に設けられモータ等に固定するためのネジ用の孔RC3や、モータ等に対する位置決め用の凹部RC5、を含む。内歯車40、80、カバーFC、RCは、2つのネジSにより固定されている。図2は、図1BのA-A断面図である。カバーRCは、ほぼ円形の板状であり、その中心部には開口部が設けられている。開口部から露出するように、回転部材10が配置されている。カバーRCの包囲部RC1は、回転部材10の周囲を囲っている。回転部材10の基端側には、モータの出力軸が嵌合する嵌合孔11が形成されている。回転部材10の先端側には太陽歯車部16が形成されている。回転部材10と対向するようにキャリア20が配置されている。キャリア20は、略円板状の円板部22、円板部22から基端側に突出した複数の支軸部24、複数の支軸部24にそれぞれ回転可能に連結された複数の遊星歯車25、円板部22の先端側に設けられた太陽歯車部26を含む。複数の遊星歯車25は、回転部材10の太陽歯車部16と噛合っている。内歯車40には内歯部45が形成されており、複数の遊星歯車25は内歯部45とも噛合っている。回転部材10の太陽歯車部16は複数の遊星歯車25とも噛合っているため、回転部材10が回転することにより複数の遊星歯車25が回転し、複数の遊星歯車25は内歯車40内で自転しながら公転する。複数の遊星歯車25が公転することによりキャリア20が回転する。尚、回転部材10の太陽歯車部16の先端側にはキャリア20に向けて突出した凸部17が形成され、キャリア20の円板部22の基端側には回転部材10の凸部17が係合する凹部23が形成されている。凸部17は回転部材10の中心に形成されている。凹部23は、キャリア20の中心に形成されている。凸部17と凹部23とは摺接する。凸部17と凹部23とが係合することにより、回転部材10の中心軸とキャリア20の中心軸とのずれが抑制される。キャリア20の先端側にはキャリア30が配置されている。キャリア30は、略円板状の円板部32、円板部32から基端側に突出した複数の支軸部34、複数の支軸部34にそれぞれ回転可能に連結された複数の遊星歯車35、円板部32から先端側に延びた回転軸部38、回転軸部38の先端側に設けられた太陽歯車部36を含む。遊星歯車35は、キャリア20の太陽歯車部26及び内歯車40の内歯部45と噛合う。キャリア20が回転することにより、遊星歯車35が内歯車40内を自転しながら公転し、キャリア30の回転軸部38が回転する。内歯車40と内歯車80との間には軸受50が配置されている。軸受50には中心に孔58が形成されている。回転軸部38は、軸受50の孔58を貫通し、軸受50に回転可能に保持されている。キャリア30の太陽歯車部36は内歯車80内に位置している。尚、キャリア20の太陽歯車部26の先端側にはキャリア30に向けて突出した凸部27が形成され、キャリア30の円板部32の基端側には凸部27が係合する凹部33が形成されている。凸部27と凹部33とにより、キャリア20の中心軸とキャリア30の中心軸とのずれが抑制される。内歯車80内にはキャリア60が配置されている。キャリア60は、円板部62、支軸部64、遊星歯車65、太陽歯車部66を含む。キャリア60の形状は、キャリア20の形状と略同じである。キャリア30が回転することにより、遊星歯車65が内歯車80内で自転しながら公転し、キャリア60の太陽歯車部66が回転する。尚、キャリア30の太陽歯車部36の先端側にはキャリア60に向けて突出した凸部37が形成され、キャリア60の円板部62の基端側には凸部37が係合する凹部63が形成されている。キャリア60の先端側にはキャリア70が配置されている。キャリア70は、円板部72、支軸部74、遊星歯車75、出力軸部78を含む。出力軸部78は、カバーFCに設けられた孔を貫通して内歯車80の外側に延びている。尚、カバーFCには出力軸部78を回転可能に保持する軸受FBが固定されている。キャリア60が回転することにより、遊星歯車75が自転しながら公転し、これによりキャリア70の出力軸部78も回転する。尚、キャリア60の太陽歯車部66の先端側にはキャリア70に向けて突出した凸部67が形成され、キャリア70の円板部72の基端側には凸部67が係合する凹部73が形成されている。以上のようにして、回転部材10が回転することにより、回転速度が減速されてキャリア70の出力軸部78が回転する。遊星歯車機構Aは、プラネタリー型の遊星歯車機構である。図3は、内歯車40、80、軸受50を示した分解斜視図である。内歯車40、80は、形状、大きさ、材料は同一ある。図4は、内歯車40、80、軸受50をそれぞれ切り欠いて示した図である。図5は、内歯車40、80の断面図である。図6は、内歯車40、80、軸受50が組み合わされた状態でこれらを切り欠いて示した図である。図3~5に示すように、内歯車40の先端側には係合部43a、43bが形成されている。内歯車40の基端側には係合部44a、44bが形成されている。係合部43a、43bは、内歯車40の先端側の端面から突出した凸状である。係合部44a、44bは、内歯車40の基端側の端面に凹状に形成されている。係合部43a、43bは、内歯車40の中心軸を挟む位置に形成されている。同様に、係合部44a、44bは、内歯車40の中心軸を挟む位置に形成されている。内歯車40には、周方向に複数の孔48、49が設けられている。孔48、49は、孔48は、ネジSが嵌合可能なネジ孔である。孔49は、遊星歯車機構を設置する装置と結合させるための図示しないネジと嵌合可能なネジ孔である。同様に、内歯車80の先端側には係合部83a、83bが形成され、内歯車80の基端側には係合部84a、84bが形成されている。係合部43a、43b、44a、44b、83a、83b、84a、84bは、内歯車40、80の相対的な位置のずれを抑制する。図6に示すように、内歯車40の係合部43a、43bは、それぞれ、内歯車80の係合部83a、83bに係合する。ここで、係合部43a、43bは、軸方向に突出しつつ、内歯車40の軸方向と直交した方向、即ち径方向に延びた形状である。係合部83a、83bも同様に、軸方向に窪んでおり、内歯車80の径方向に延びた形状である。係合部43a、43bと、係合部84a、84bとが係合することにより、内歯車40、80の中心軸周りの周方向での位置ずれが抑制される。内歯車40の内歯部45の先端側には嵌合部41、内歯部45の基端側に嵌合部42が形成されている。嵌合部41、42は、内歯車40の内側に設けられ、歯が形成されていない円形面である。嵌合部41、42の径の大きさは同じである。嵌合部41、42の径は、内歯部45のピッチ円径よりも大きいがこれに限定されない。同様に、内歯車80の内歯部85の先端側にも嵌合部81が形成され、内歯車80の内歯部85の基端側にも嵌合部82が形成されている。嵌合部41、42、81、82の径は同じ大きさである。図6に示すように、軸受50は、内歯車40、80の間に配置される。具体的には、軸受50は内歯車40の嵌合部41と内歯車80の嵌合部82とに嵌合する。従って、嵌合部41、82の面は、軸受50の外周面と当接する。これにより、軸受50に対して内歯車40は、軸に直交する径方向の位置ずれが抑制される。同様に、軸受50に対して内歯車80の径方向の位置ずれが抑制される。このように、内歯車40、80は、軸受50により径方向での位置が規定される。尚、軸受50は、内歯車40の嵌合部41、内歯車80の嵌合部82に圧入されていてもよいし、圧入されていなくてもよい。以上のように、係合部43a、43b、84a、84bは、周方向での内歯車40、80の位置を規定する機能を有し、軸受50は、径方向での内歯車40、80の位置を規定する機能を有している。ここで、係合部43a、43b、84a、84bが、周方向のみならず、径方向でも内歯車40、80の位置を規定するような形状を想定する。このような機能を係合部43a等に付加すると、これらの形状が複雑化する。係合部43a等の形状が複雑化すると、成形が困難になる場合や、係合部43aの耐久性が低下するおそれがある。特に、内歯車40、80が小型の場合には、係合部43a等も小型でありかつ形状が複雑化するため、耐久性がさらに低下するおそれがある。係合部43a等の耐久性が低下すると、遊星歯車機構Aの組み立て途中において、係合部43a等が破損するおそれがある。例えば、組み立て途中において内歯車40又は80が落下した場合や、ネジSにより内歯車40、80を固定する前に内歯車40、80に何らかの外力が加わった場合、係合部43a等が破損する恐れがある。本実施例の遊星歯車機構Aでは、係合部43a、43bの形状を単純な凸状とし、内歯車80の係合部84a、84bを単純な凹状である。これにより、係合部43a等の耐久性が向上し、破損が防止される。従って、係合部43a等が小型の場合であっても係合部43a等の耐久性を確保でき、遊星歯車機構Aは小型化に適している。しかしながら、このような単純な係合部43a等の形状では、内歯車40、80を軸と直交する直交方向の位置ずれを抑制できない。具体的には、係合部43a等は、内歯車40の軸と直交する一方向に延在しているが、この一方向に内歯車40、80は相対的に位置がずれることが可能となる。本実施例では、内歯車40の嵌合部41、内歯車80の嵌合部82が、共通の部材である軸受50に位置決めされる。軸受50は、図3に示したように円板状である。このため、内歯車40の嵌合部41、内歯車80の嵌合部82に軸受50が嵌合することにより、内歯車40、80の径方向での位置ずれが抑制される。以上のように、内歯車40、80の相対位置のずれを、内歯車40の係合部43a、43bと内歯車80の係合部84a、84bのみならず、軸受50によっても規制している。このため、内歯車40、80に外力が作用した場合であっても、係合部43a、43b、84a、84bのみに力が集中することが防止される。これによって、係合部43a、43b、84a、84bの破損が防止される。従って、係合部43a等が小型の場合であっても係合部43a等に外力が集中することを防止できるので、遊星歯車機構Aは小型化に適している。上述したように軸受50の中心には孔58が形成され、孔58にはキャリア30の回転軸部38が回転可能に貫通している。このため、軸受50はキャリア30の回転軸部38の位置ずれも抑制している。尚、図2に示すように、内歯車80の先端側の嵌合部81には、円板状の部材90が嵌合している。部材90には、出力軸部78が貫通する孔が形成されている。内歯車40の基端側の嵌合部42には、カバーRCが嵌合している。また、図1に示すように、内歯車40の基端側の係合部44a、44bには、それぞれカバーRCに設けられ先端側に突出した係合部RC4が係合する。また、図1に示すように、内歯車80の先端側の係合部83a、83bには、それぞれカバーFCに設けられた凹状の係合部FC4が係合する。図7は、単一の内歯車40を用いた遊星歯車機構A1の断面図である。内歯車40の基端側にはカバーRCがネジS1により固定され、内歯車40の先端側にはカバーFCがネジS1により固定されている。このように、上述した遊星歯車機構Aに用いられた部材の大部分を利用して、軸方向に短い遊星歯車機構A1を組み立てることができる。このため、このような軸方向に大きさが相違する複数の遊星歯車機構の間で、部品の大部分を共通化することができる。これにより、製造コストを低減することができる。以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、変形変更が可能である。上記実施例においてプラネタリー型の遊星歯車機構を一例として説明したが、太陽歯車が固定され内歯車が駆動しキャリアが従動するソーラ型の遊星歯車機構であってもよいし、又は、キャリアが固定され太陽歯車が駆動し内歯車が従動するスター型の遊星歯車機構であってもよい。上記実施例においては、内歯車40内にはキャリア20、30が配置されているが、一つのみ又は3つ以上のキャリアが配置されていてもよい。同様に、内歯車80内にも、一つのみ又は3つ以上のキャリアが配置されていてもよい。3つ以上の内歯車を連結し、それぞれの内歯車の間に軸受を配置して、内歯車同士を位置決めしてもよい。上述した遊星歯車機構A、A1において、キャリア20には太陽歯車部26が一体に形成されている。しかしながら、このような構成に限定されず、キャリアと太陽歯車とはそれぞれ別体に形成され一体的に回転可能に連結されたものであってもよい。その他のキャリア30、60、70についても同様である。例えば、キャリア30は、回転軸部38、太陽歯車部36と別体であってもよい。キャリア70は、出力軸部78と別体であってもよい。