"EUV領域の光を発生させるための光源18と、当該光源18の光によってマスク25を照明するための第1の光学系19、20、21、22、23、24と、構成部材32に前記マスク25を結像するための第2の光学系26、27、28、29、30とを備える、特にマイクロリソグラフィ用の投影露光系であって、前記光源18と前記構成部材32との間のビーム経路にEUV領域用の少なくとも一つの偏光光学素子1が配置され、当該少なくとも一つの偏光光学素子が少なくとも一つの反射円錐面3、7、12、14を備え、前記光源によって発せられた光に偏光作用を及ぼす、投影露光系。前記偏光光学素子は、0 ゚から前記円錐面3が偏光作用をもたらす最大傾斜角までの傾斜角αの領域に円錐面の回転対称軸への傾斜角αを下回って入射するEUV光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する外側円錐面3を有する少なくとも一つの円錐体2を備え、および前記円錐体2の外側円錐面3で反射されたEUV光を集束する少なくとも一つの別のEUV光用反射要素4、11、13を有する、請求項1に記載の投影露光系。前記偏光光学素子は、0 ゚から最大傾斜角までの傾斜角αの領域に別の円錐体6の円錐面の回転対称軸への傾斜角αを下回って入射するEUV光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する外側円錐面3を有する少なくとも一つの別の円錐体6を備え、両円錐体2、6の底面領域が相互に向かい合い、両円錐面3、7の回転対称軸が一致している、請求項1または2に記載の投影露光系。前記少なくとも一つの別の要素4が中空円筒体として形成され、その内面5が反射性を有し、前記中空円筒体の回転対称軸が前記少なくとも一つの円錐体2、6の回転対称軸と一致するように配置された、請求項2または3に記載の投影露光系。前記少なくとも一つの偏光光学素子の少なくとも一つの別の反射要素が、0 ゚から最大傾斜角までの傾斜角αの領域に円錐面の回転対称軸への傾斜角αを下回って入射するEUV光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する二つの内側円錐面12、14を有している投影露光系であって、両内側円錐面12、14が相互に向かい合い、両内側円錐面12、14の回転対称軸が一致しており、入射したEUV光が初めに前記偏光外側円錐面3によって反射され、その後続いて両内側円錐面12、14によって反射され、その後前記別の外側円錐面によって反射されるように前記円錐面3、7、12、14が配置された、請求項2または3に記載の投影露光系。前記偏光光学素子の前記外側円錐面3、7および前記内側円錐面12、14が同一の円錐角を有する、請求項5に記載の投影露光系。前記偏光光学素子の円錐角が45 ゚である、請求項5に記載の投影露光系。EUV領域の光を発生させるための光源18と、当該光源18の光によってマスク25を照明するための第1の光学系19、20、21、22、23、24と、構成部材32に前記マスク25を結像するための第2の光学系26、27、28、29、30とを備える、特にマイクロリソグラフィ用の投影露光系であって、前記光源18と前記構成部材32との間のビーム経路にEUV領域用の少なくとも一つの偏光光学素子1が配置され、当該少なくとも一つの偏光光学素子が、所定の傾斜角αを下回って入射するEUV光の第1の偏光状態に対して少なくとも部分的に透明である基板を有し、前記基板に配置され、かつEUV光の第2の偏光状態に対して反射性を有する層構造を有する、投影露光系。約45 ゚のEUV光の入射角αで、透明でかつ反射する光学作用を有するように、前記偏光光学素子の基板および層構造が配置された、請求項8に記載の投影露光系。前記基板が1μm未満の厚さを有し、好ましくはシリコン基板である、請求項8または9に記載の投影露光系。前記偏光光学素子の基板が、当該基板よりも機械的安定性の高い局所的に孔の開いたキャリヤ構成物に配置されている、請求項10に記載の投影露光系。前記層構造が、交互に連続するモリブデン層とシリコン層を備える、請求項8~11のいずれか一項に記載の投影露光系。前記層構造が交互に連続する複数の層を有する、請求項12に記載の投影露光系。前記偏光光学素子が交互に連続する80層未満の層、好ましくは交互に連続する約40層の層を備える、請求項13に記載の投影露光系。前記偏光光学素子のモリブデン層の層厚が2,478nm/cosαであり、前記偏光光学素子のシリコン層の層厚が4,406nm/cosαである請求項12~14のいずれか一項に記載の投影露光系。EUV光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも10となるように前記偏光光学素子が配置された、請求項8~15のいずれか一項に記載の投影露光系。EUV光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも15となるように前記偏光光学素子が配置された、請求項16に記載の投影露光系。EUV光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも20となるように前記偏光光学素子が配置された、請求項17に記載の投影露光系。前記偏光光学素子の層構造が少なくとも一つの不均一な厚さの層を有し、または、前記層構造の層のうち少なくとも一つがEUV光ビームにさらされる面を有し、その面が相互に傾斜した数個の部分面を有する、請求項8~18のいずれか一項に記載の投影露光系。偏光されたEUV領域の光によって投影露光系を少なくとも部分的に操作し、構成部材32の感光性被膜にマスク25を結像する、微細構造の構成部材32を製造する方法。EUV領域で操作される投影露光系の補助により構成部材32の感光性被膜にマスク25を結像し、このために用いる光の偏光状態を修正する、微細構造の構成部材32を製造する方法。請求項1~19のいずれか一項に記載の投影露光系で動作するように適応させた、EUV領域用の偏光光学素子。少なくとも一つの構成要素2、4、6、11、13、16、17を備え、伝播方向を斜めに空間的に広がる光ビームの偏光状態に及ぼす前記構成要素の作用が光ビームの断面にわたって異なる、請求項21に記載の偏光光学素子。伝播方向を斜めに空間的に広がる光ビームの場合、光ビームの断面にわたって不均一な偏光分布を形成する少なくとも一つの構成要素2、4、6、11、13、16、17を備える、請求項21に記載の偏光光学素子。本発明の目的は、特にマイクロリソグラフィの投影露光系において、EUV領域の光によって極力正確な像を確保することである。本目的は、請求項1および8の各組み合わされた特徴により達成される。本発明に係る偏光光学素子は、初めに偏光されていないEUV光を偏光するのに用いるか、または偏光されたEUV光の偏光状態を修正するのに用いるものである。本発明は、所望の偏光状態をもたらすことができるという利点、または望ましくない偏光作用を修正できるという利点を有しており、これにより結像誤差を低減するものである。特にマイクロリソグラフィ用の本発明の第1の態様による投影露光系は、EUV領域の光を発生させるための光源と、光源の光によってマスクを照明するための第1の光学系と、部材にマスクを結像するための第2の光学系とを備えている。光源と構成部材との間のビーム経路には、少なくとも一つの偏光光学素子が配置されている。この少なくとも一つの偏光光学素子は、前記の光源が発した光に対して偏光作用をもたらす少なくとも一つの反射円錐面を備えている。このような円錐面または円錐状の面により、接線偏光を特に容易にもたらすことができる。接線偏光の場合、光ビームの断面にわたり様々な方向に直線偏光され、かつ光軸に対する動径ベクトルに関する接線の向きから最大10 ゚偏向した幾つかの領域が形成される。有益なことに、偏光光学素子は、0 ゚から円錐面が偏光作用をもたらす最大傾斜角までの傾斜角αの領域に円錐面の回転対称軸への傾斜角αを下回って入射するEUV光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する外面を有する少なくとも一つの円錐体を備えており、この偏光光学素子は、円錐体の外側円錐面で反射されたEUV光を集束する少なくとも一つの別のEUV光用構成要素を有している。他の構成要素は、ビーム経路の外側円錐面の下流に配置されているのが好ましく、例えば、円筒体の内面である。偏光光学素子全体は、回転対称であることが有益である。有益なことに、偏光光学素子は、0 ゚から最大傾斜角までの傾斜角の領域に別の円錐体の円錐面の回転対称軸への傾斜角αを下回って入射するEUV光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する外側円錐面を有する少なくとも一つの別の円錐体を備えており、両円錐体の底面領域が相互に向かい合い、両円錐面の回転対称軸が一致している。これにより、本発明に係る偏光光学素子内のビーム経路を構成する方法が容易になる。例えば、円筒体の内面を二つの外側円錐面間のビーム経路に配置することができる。外側円錐面で反射されたEUV光を集束するための少なくとも一つの別の構成要素は中空円筒体として形成され、この内面が反射性を有し、中空円筒体の回転対称軸が少なくとも一つの円錐体の回転対称軸と一致するように配置されていることが有益である。このような配置により、EUV光ビームが本発明に係る偏光光学素子を通過する際のその強度分布を、特定の幾何学的な条件をつけて変更することが可能となる。中空円筒体の代わりとして、少なくとも一つの偏光光学素子の少なくとも一つの別の反射要素が、0 ゚から最大傾斜角までの傾斜角の領域に円錐面の回転対称軸への傾斜角を下回って入射するEUV光の少なくとも所定の偏光成分に対して反射性を有する二つの内側円錐面を有しており、両内側円錐面が相互に向かい合い、両内側円錐面の回転対称軸が一致しており、各円錐体の円錐状の面、つまり、内側の円錐状の面および外側の円錐状の面が、入射したEUV光が初めに偏光外側円錐面によって反射され、その後続けて両内側円錐面によって反射され、その後別の外側円錐面によって反射されるように配置されている。このような配置では、光ビームが本発明に係る偏光光学素子を通過する際のその強度分布に幾何学的条件をつけた変更がなされない。さらに、この配置は、軸に平行な入射光ビームを本発明に係る偏光光学素子により軸に平行に出射させることを可能にするものである。全体として、本発明に係るEUV領域用の偏光光学素子は、二つの反射性の外側円錐面と、外側円錐面と距離を置いて取り囲む二つの反射性の内側円錐面とを設けることにより、コンパクトな構成にすることができる。外側円錐面または内側円錐面のうち少なくとも一つが偏光作用をもたらす。偏光光学素子の外側円錐面および内側円錐面は、同一の円錐角を有していることが好ましい。これにより、偏光光学素子内でEUV光ビームの幾何学的位置関係を調整するのが単純で容易となる。偏光光学素子の円錐角は45 ゚であることが有益である。このため、単一のEUV光線は、入射光線と反射光線との間の角度が90 ゚となって反射される。これにより、EUV光ビームの調整が容易になる。本発明の第2の態様による特にマイクロリソグラフィ用の投影露光系は、EUV領域の光を発するための光源と、光源の光によってマスクを照明するための第1の光学系と、構成部材にマスクを結像するための第2の光学系とを備えており、光源と構成部材との間のビーム経路には、EUV領域用の少なくとも一つの偏光光学素子が配置されており、前記の少なくとも一つの偏光光学素子は、所定の傾斜角を下回って入射するEUV光の第1の偏光状態に対して少なくとも部分的に透明である基板を有しており、少なくとも一つの偏光光学素子はさらに、基板に作られ、かつEUV光の第2の偏光状態に対して反射性を有する層構造を有している。このような偏光光学素子は、偏光に依存したビームスプリッタとして働き、両偏光状態を含む入射EUV光ビームの特定の分割に用いられる。層構造、特に層厚をそれぞれ特定の大きさにすることにより、特に光波長および発生する入射角を視野に入れた、構想した種類の使用への適応が可能となる。偏光光学素子の基板および層構造は、約45 ゚のEUV光の傾斜角において透明となりかつ反射性のある光学的作用を有するように作られるのが好ましい。このような偏光光学素子は、EUV光ビームの調整を容易にする。偏光光学素子の基板は、1μm未満の厚さを有していることが好ましい。この基板はシリコン基板であることが有益である。このような基板は、EUV領域にも高い透過性を示す。偏光光学素子の基板は、基板よりも機械的安定性の高い局所的に孔のあいたキャリヤ構造に配置されるのが好ましい。このような穿孔は、基板に複数の貫通孔を設けることにより可能である。このようなキャリヤ構造は、基板自体が事実上機械的安定性をもたない場合であっても、偏光光学系に機械的強度をもたらす。本発明の第2の態様による偏光光学素子の層構造は、交互に連続するモリブデン層およびシリコン層を備えていることが有益である。このような層構造により、偏光光学素子の反射率が第2の偏光状態に対して良好になる。層構造は、交互に連続する複数の層を有することが好ましい。このような層構造は、干渉効果により、一方では第1の偏光状態の透過率を高くし、他方では第2の偏光状態の反射率を高くすることを可能にする。このような交互に連続する層を有する偏光光学素子は、80層未満の連続する層を有するのが好ましい。有益なのは、約40層である。このような多層構造は、第2の偏光状態に良好な反射率をもたらす。しかし、層構造全体は、EUV領域でもなお適正な透過率をもたらすのに十分な薄さである。偏光光学素子のモリブデン層の層厚が2,478nm/cosα、偏光光学素子のシリコン層の層厚が4,406nm/cosαであることが有益である。これは、EUVの対象波長13.5nmに対して、第1の偏光状態に良好な透過率をもたらし、第2の偏光状態に良好な反射率をもたらす。偏光光学素子は、EUV光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも10となるように作られることが好ましい。これにより、EUV光ビームを偏光光学素子を介して効率的に分割できるようになる。偏光光学素子は、EUV光の透過成分の強度が反射成分の強度の少なくとも15となるように作られるのが好ましく、あるいは少なくとも20でも好ましい。偏光光学素子の層構造が、少なくとも一つの不均一な厚さの層を有することが有益である。加えて、または代わりとして、偏光光学素子の層構造の層のうち少なくとも一つがEUV光ビームに露出される面を有し、この面が相互に傾斜した数個の部分面を有するのが好ましい。通例、光ビームの偏光状態は、特に、光ビームが偏光光学素子の構成要素に突き当たる入射角により決まる。光ビームの断面にわたって異なる、光ビームの各偏光状態に対する作用は、光ビームの断面にわたって光ビームに対して異なって傾斜する面によって簡単に達成可能である。このように、所望の偏光分布を、構成要素を相応に幾何学的に設計することにより作り出すことができる。本発明に係る微細構造の部材の製造方法は、EUV領域の偏光により投影露光系を少なくとも部分的に操作し、部材の感光性被膜にマスクを結像するように構成されている。本発明に係る方法はまた、EUV領域で動作する投影露光系の補助により、部材の感光性被膜にマスクを結像し、このために用いる光の偏光状態を修正するように構成されている。本発明に係る方法はいずれも、結像誤差を低減することを可能にし、これにより高分解能を有する構造の形成を可能にする。本発明はさらに、本発明に係る投影露光系内で動作するように適応させたEUV領域用の偏光光学素子に関する。この偏光光学素子の利点は、本発明に係る投影露光系についての上述の利点に相当する。本発明に係る偏光光学素子の利点は、望ましくない偏光作用を、それが光ビームの断面にわたって不均一な偏光分布によるものであっても、修正できることにある。もう一つの利点は、光ビームの断面にわたって不均一な偏光分布を本発明に係る偏光光学素子によって意図的に作ることができることにある。これにより、このように変更された光ビームの照明特性および結像特性にかなり良好な効果をもたらすことができる。本発明はまた、伝播方向を斜めに空間的に広がる光ビームの場合、光ビームの断面にわたって不均一な偏光分布を作り出す少なくとも一つの構成要素を有するEUV領域用の偏光光学素子にも関する。本発明に係る偏光光学素子は、実質的に平行な光ビームの場合でも、光ビームの偏光状態に対する構成要素の作用が光ビームの断面にわたって異なるように設計可能である。本発明に係る偏光光学素子は、5 ゚を下回って発散する光ビームの場合にも適応するように構成されることが好ましい。本発明に係る偏光光学素子により、例えば、様々な方向に直線偏光され、かつ光軸に対する動径ベクトルに関する接線の向きから最大10 ゚偏向した幾つかの領域が形成された接線偏光をもたらすことができる。本発明に係る偏光光学素子は、構成要素が偏光状態に含まれる偏光成分の振幅に作用するように構成可能である。偏光状態に含まれる偏光成分間の位相関係に作用を及ぼすことも可能である。振幅および位相に共通の作用をもたらすことも考慮し得るものであり、選択的な作用よりも容易に実施可能であることが多い。この場合、本発明に係る偏光光学素子は回転対称であることが好ましい。本発明はさらに、光が入射すると、第1の偏光成分および第2の偏光成分を有する透過光を出射するリターデイション素子の形をしたEUV領域用偏光光学素子に関する。二つの偏光成分の強度の商は、0.3から3である。二つの偏光成分間の位相差は、入射光の波長の8分の1から8分の7までである。本発明の詳細は、図面と併せた次の代表的な実施形態の説明により明らかになる。図1は、本発明に係るEUV領域用の偏光光学素子1の第1の実施形態の子午断面の概略図を示すものである。EUV領域は、極紫外線から軟X線までの範囲の波長、特に、100nmを下回る波長を含むものであり、5nmから30nmまでの波長が特に重要である。以下の考察は、適した光源が利用可能であることからEUVリソグラフィには確実に重要である13.5nmの波長を例に進めるものである。しかし、本発明はこの波長に限定されるものではない。第1の実施形態において、偏光光学素子1は、反射外面3を有する第1の円錐体2、中空円筒体4および反射内面5、反射外面7を有する第2の円錐体6から構成される回転対称ミラー装置である。二つの円錐体2、6は、第1の円錐体2の底面と第2の円錐体6の底面とを近づけて、相互間に距離を置いて一線上に連続して配置されている。中空円筒体4は、二つの円錐体2、6と共通の軸を有している。これにより、入射光は、第1の円錐体2の外面3から中空円筒体4の内面5に反射され、ここから第2の円錐体6の外面7に反射される。光は第2の円錐体6の外面7で反射された後、ミラー装置を出る。以下に詳細に説明するが、図1のミラー装置は、入射面に対して垂直に偏光された、s偏光とも呼ばれる光の成分のみにほぼ限って反射を行うのに役立つ。これは、ミラー装置の回転対称性により、光の接線偏光をもたらす。接線偏光は、それぞれが光軸に向かう動径ベクトルに対する接線方向にある様々な偏光方向の直線偏光を含む偏光分布として理解されるものである。この場合、接線の向きから偏光方向への最大偏差は、10である。偏光に依存した反射は、反射面3、5、7のうち少なくとも一つに適用される図2の層構造により起こる。図1のミラー装置はさらに、光ビーム中の強度分布に作用する。これは、第1の円錐体2の先端が第2の円錐体6の底面に近い領域に結像され、第1の円錐体2の底面に近い領域が第2の円錐体6の先端に結像されるためである。これにより、光ビームの外側の領域から中心にかけて強度の移動が生じる。説明した偏光分布および説明した強度分布の形成は、光ビームの発散を全く必要としないため、例えば、5 ゚を下回る小さい発散の場合でも、または平行な光ビームの場合でも生じる。図2は、偏光に依存した反射用の層構造の一実施形態の概略図である。モリブデン層9およびシリコン層10が、シリコン基板8に交互に塗布されている。例えば、計80層の層構造がこのように構成されている。13.5nmの波長については、モリブデン層9の層厚は2.478nm/cosαであり、αは層構造の面法線に対して定められた光の入射角を表す。シリコン層10の層厚は4.406nm/cosαである。モリブデンの屈折率は0.92125163i0.00641431である。シリコンの屈折率は0.99936237i0.00171609である。図2の層構造の反射率曲線を図3に示す。図3は、図2の層構造についての反射強度の角度依存性を示す図である。横座標には、入射してミラー反射されたビームと面法線とによって作られた角度の大きさが記入されている。縦座標には反射されたビームの強度が記入されている。モリブデン層9の厚さおよびシリコン層10の厚さは入射角α=45 ゚に基づいて決定した。丸により記入した曲線経路は反射ビームのs偏光成分を示しており、バツにより記入した曲線経路はp偏光成分を示している。経路は、計算により定めたものである。s偏光成分は、45 ゚の角度で最大強度値を有している。p偏光成分の強度は45 ゚の角度ではゼロに近い。これは、45 ゚の入射角の場合、図2の層構造によってミラー反射されるのは光ビームのs偏光成分のみにほぼ限られるということを意味している。図4は、本発明に係る偏光光学素子1の第2の実施形態の図1に相当する図である。第2の実施形態においても、偏光光学素子1は二つの円錐体2、6を備える回転対称ミラー装置である。第1の実施形態とは対照的に、二つの円錐体2、6は間隔を置かずにこれらの底面で相互に押し合っている。さらに、第2の実施形態の円錐体2、6の円錐角は第1の実施形態のものよりも大きく、90 ゚である。第2の実施形態は、中空円筒体4の代わりに、内面12を有する第1の内側円錐体11および内面14を有する第2の内側円錐体13、つまり、円錐内面12、14を有する二つの回転体を提供するものである。内側円錐体11、13はこれらの最大内径の付近で相互に接しており、円錐体2、6と同軸である。入射光ビームは、第1の円錐体2の外面3、第1の内側円錐体11の内面12、第2の内側円錐体13の内面14、第2の円錐体6の外面7に連続して反射する。第1の実施形態について説明したように、これも接線偏光をもたらすものである。しかし、第1の実施形態とは反対に、第1の円錐体2の先端が第2の円錐体6の先端で結像されるために、不均一な照度は生じない。さらに、第2の実施形態では、子午面における、光ビームがミラー装置に入射する角度が、そのビームがミラー装置から出射する際にも再びみられる。これを図5に図示する。図5は、図4の実施形態を別のビーム経路によって示すものである。図4とは反対に、入射ビームと偏光光学素子1の回転軸とが角度を作る。偏光光学素子1を通過した後、出射ビームは回転軸に対して同一角度を有している。これは、偏光光学素子1の第2の実施形態が光ビームの発散を変更しないことを意味している。図6は、偏光光学素子1の第3の実施形態を斜視図で示すものである。第3の実施形態において、偏光光学素子1は、一般的な条件を与えられたとすると、ブルースター角にほぼ相当する、入射方向に対して45 ゚の向きに配置した薄い平面ミラーであるミラー15を一つのみ備えている。ミラー15は、最大厚さが約1μmのシリコン基板8を備えている。このような厚さがあっても、シリコン基板8はなお、13.5nmの波長に十分な透過性を示す。機械的に安定させるため、シリコン基板8はワイヤ格子図示せずに配置可能である。図2のものと同様に、シリコン基板8にはモリブデン層9とシリコン層10とが交互に塗布されている。計80層未満の層、好ましくは約40層の層が塗布されている。パラメータは図2について言及したものと同一である。図7、8に図示した、この層構造の偏光に依存した反射透過作用のために、偏光されていない入射ビームから、一方ではs偏光されミラー反射されたビームが発生し、他方ではp偏光され透過されたビームが発生する。EUV領域用のミラー15の屈折率が値1に近いと、透過ビームは入射ビームの方向と比べてほとんど偏向しない。図5のミラー15は、偏光ビームスプリッタとして働く。図7は、図6の偏光光学素子1の第4の実施形態についての透過強度の角度依存性を示す図である。反射強度を示す関連図を図8に示す。図示の方法は図3のものに相当する。入射角α=45 ゚を層構造についてのパラメータとして再び選択した。図7にみられるように、透過ビームのs偏光成分は、面法線に対する角度45 ゚において明らかな最小値を有しており、強度がほぼゼロまで低下している。p偏光成分は45 ゚では低下せず、このため45 ゚の付近でs偏光成分よりも何倍も高い強度を有している。図8にみられるように、反射ビームについては逆の作用が認められる。反射ビームのs偏光成分は、45 ゚の角度において際立って最大値を有している。p偏光成分も45 ゚において最大値を有しているが、s偏光成分と比較すると非常に低い。総体的な結果としては、45 ゚の角度の付近において5 ゚の角度範囲内で、透過ビームはp偏光され、反射ビームはs偏光される。この場合、透過ビームの強度が反射ビームの強度の少なくとも10となるようにパラメータを選択する。透過強度の一部が15を上回ることが好ましく、20を超えることもある。図9は、本発明に係る偏光光学素子1の第4の実施形態の図1に相当する図である。第4の実施形態では、偏光光学素子1はミラー16であり、その面法線と光の入射方向とが例えば40 ゚の角度をなしている。ミラー16は平面ではないため、入射角40 ゚は存在する部分面の様々な入射角の平均値である。ミラー16は、平面ではない表面の薄いシリコン基板8を備えており、これにモリブデン層9とシリコン層10とが交互に塗布されている。塗布されている層9、10は、基板表面の構造が層9、10において継続するように均一な厚さを有している。図10、11から詳細を明らかにするが、透過ビームのs偏光成分およびp偏光成分は、角度に依存した強度差を有するのみでなく、角度に依存した位相差をも有する。結果として、ミラー16の向きの異なる部分面は、透過ビームのs偏光とp偏光との間の位相差を異ならせることになる。伝播方向を斜めに空間的に広がる光ビームがミラー16に突き当たると、ミラー16の向きの異なる部分面が照明される。これに伴い、s偏光とp偏光との間の位相差が、光ビームのそれぞれに対応した断面領域について異なった作用を受ける。このため、ミラー16の部分面の配列は、光ビームの断面における相応の位相差の分布を有している。これは、ミラー16の部分面の相応の向きによって、所望の、特に不均一な位相差の分布が作られ、望ましくない分布が相殺されることを意味する。このため、図9の偏光光学素子1の第4の実施形態はスペースバリアントリターデイション素子spacevariantretardationelementまたはスペースバリアントリターダーspacevariantretarderである。図10は、図9の偏光光学素子1の第4の実施形態についての透過強度の角度依存性を示す図である。透過ビームの位相を示す関連図を図11に示す。図示の方法は図3に相当し、図11の縦座標には強度の代わりに位相を記入してある。層構造を決定するパラメータとして入射角α=30 ゚を選択した。図10にみられるように、透過ビームのp偏光成分のみでなくs偏光成分も、角度30 ゚のすぐ下の範囲において強度の最小値を有している。二つの最小値は異なって著しい。これらの最小値の範囲外では、s偏光成分およびp偏光成分はほんのわずかに異なる強度を有している。図11は、角度に依存した位相差が透過ビームのs偏光成分とp偏光成分との間に存在することを示している。結果として、透過ビームのs偏光成分とp偏光成分との間の位相差は、入射ビームがミラー16の各部分面に突き当たる、面法線に対する角度によって決まることになる。面法線に対する入射ビームの角度もまた、それぞれ照明される部分面の角度の向きによって決まる。角度に依存した位相差の作用の利用には入射角が特に適しており、この付近では透過ビームのs偏光成分およびp偏光成分の強度はほぼ等しく一定であり、s偏光成分とp偏光成分との間の位相差は十分に大きく、十分な角度依存性を示している。p偏光成分に対するs偏光成分の強度比がそれ程重要でない場合、あるいは相応の修正が可能である場合、強度比には0.3から3までの値が許容され得る。透過ビームのs偏光成分とp偏光成分との間の位相差は、波長の8分の1から8分の7までの範囲内であることが好ましい。場合によっては、波長の8分の1を下回る位相差によっても十分な効果が得られることがある。本実施形態では、約20 ゚または約40 ゚の入射角が特に適している。これらの入射角の値は、ミラー16の層構造を決定するのに用いられる、本実施形態では30 ゚の入射角αのことではなく、ミラー16の面法線に対する入射ビームの実際の角度のことである。図12は、本発明に係る偏光光学素子1の図9に示す第4の実施形態の変形例の図9に相当する図である。この変形例では、異なる向きの部分面を有するミラー16を、不均一な層厚を有する層構造のミラー17に置き換えている。ミラー16に似て、ミラー17もまた、モリブデン層9とシリコン層10とが交互に連続して塗布されたシリコン基板8を備えている。ミラー16とは反対に、シリコン基板8はミラー17では平面である。さらに、ミラー17の各層9、10は均一な厚さを有しておらず、各層9、10の厚さがそれぞれ異なっている。様々な向きの部分面により、異なる層構造の部分面についてもまた、光ビームのs偏光成分とp偏光成分との間の位相差に空間によって異なる作用をもたらすのに用いることができる。結果として、このような方法によっても、s偏光とp偏光との間の位相差の所望の分布を透過光ビームに形成することができる。偏光光学素子1の上述の代表的な実施形態により、その伝播方向を斜めに空間的に広がる光ビームの各偏光成分の振幅および/または偏光成分間の位相差に、空間により異なる作用を及ぼすことが可能となる。例えば、EUV領域で動作するマイクロリソグラフィ用の投影露光系で発生する偏光に依存した結像誤差を修正するために、これを用いることができる。例えば、s偏光の点像およびp偏光の点像は、約0.4を上回る開口数の場合、EUV領域においては異なるコントラストを示す。位相効果が、s偏光の点像とp偏光の点像とに約1nmの位置差を引き起こす可能性がある。これらの誤差の修正に偏光光学素子1を用いることに加え、改善した結像を確保するための偏光状態をこれによって作ることもできる。偏光光学素子1が続いて適応できるように、容易に交換できるようにこれを組み込むこともできる。また、偏光光学素子1を、例えば、偏光光学素子1の角度調整の変更を行うというような調整の可能性を含めて組み込むことも可能である。しかし、偏光光学素子1は、結像誤差の修正にのみ用いるのではなく、所望の偏光状態を作るためにも用いることができる。図13は、本発明に係る偏光光学素子1を有する投影露光系の一実施形態の概略図である。一定の率で縮尺して図示したこの投影露光系は、例えば、微細電子部品の製造に使用可能であり、このために極力小さい構造を解像できるようにEUV領域の光によって操作される。100nmを下回る波長の軟X線を用いるのが好ましい。以下の説明は、再び、13.5nmの波長に基づいたものである。光は、光源18によって発せられる。偏光を用いる場合は、例えばシンクロトロンを光源18として用いてもよい。偏光を発生させるには、例えば、レーザプラズマ源またはプラズマ放電源が適している。コレクタ19、五つのミラー20、21、22、23、24からなる照明光学素子、反射マスク25、六つのミラー26、27、28、29、30、31を含む投影対物レンズ、ウェーハ32または他の任意の照明対象物が、光源18の下流にビーム方向に次々と配置されている。反射マスク25とウェーハ32との間の距離は1,486mである。図13に表したすべての光学要素の距離および向きは一定の率で縮尺したものである。光源18が発した光はコレクタ19によって集光され、光源の中間焦点13がコレクタ19の下流に生じる。コレクタ19および中間焦点の位置との間に、スペクトルフィルタ図示せずを配置してもよい。コレクタ19は、米国特許出願第2003-0043455A1号明細書に記載されているように、複数の回転対称の凹面鏡を備えて構成できる。米国特許出願第2003-0043455A1号明細書の開示内容はすべて、本発明に組み込まれている。照明系は、マスク25の照明を極力最適にすることを確実にする必要がある。この種の照明系は、米国特許第6,438,199B1号明細書に詳細に記載されており、この開示内容はすべて本発明に組み込まれている。照明系の第1のミラー20は、光源18の中間焦点33の下流のビーム経路に配置されており、複数の小平面のスクリーン素子を備え、フィールド用ハニカムとも呼ばれ、次のミラー21の付近で複数の第2の光源を形成している。ミラー21はまた、複数のスクリーン素子または小平面を備えており、瞳用ハニカムとも呼ばれる。本発明に係る偏光光学素子1はミラー21、22の間に配置されている。図示の投影露光系の実施形態では、十分な構造空間がこの領域で得られる。さらに、この領域は、比較的小さいビームの発散により優れたものとなる。しかし、偏光光学素子1は、照明系内の他のいずれかの場所、例えばミラー20、21間、または投影対物レンズ内にも位置させることが可能である。一般に、偏光光学素子1は、フィールドの変化を回避するために瞳の範囲内に配置されるのが好ましい。対照的に、フィールドの変化を望む場合、偏光光学素子1を瞳の外側に配置する。ミラー22、23、24は、照明系の射出瞳を投影対物レンズの入射瞳に合わせ、輪帯フィールドによってマスク25を照明する。マスク25の所望の領域を照明するために、マスクをビーム方向を横切って移動させる。光を偏光するため、つまり、所望の偏光状態を作るために偏光光学素子1を用いた場合、示した実施形態では、マスク25は偏光によって照明される。偏光光学素子1の位置決めを変更すると、投影露光系の別の箇所を偏光によって操作することが可能となる。照明系によって照明されたマスク25は、投影対物レンズによってウェーハ32に結像され、これによりウェーハ32に塗布された感光性被膜が照明される。この種の投影対物レンズは、米国特許第6,353,470号明細書に詳細に記載されており、その開示内容はすべて本発明に組み込まれる。極力最適な結像を行うために、投影対物レンズのミラー26、27、28、29、30、31は非球面であることが好ましい。ウェーハ32は投影露光系によって照明された後、この照明によって作られた構造をもとに処理され、その後別の照明を受け、これをもとにさらに処理を受ける。この手順を、ウェーハ32が所望の構成をすべて現すまで繰り返す。"