インジウムと該インジウムよりも融点が高い媒体粉末とからなるボンディング組成物によってバッキングチューブの外周面にしっかりと固着されたターゲットを有する回転式ターゲットの該ターゲットと該バッキングチューブとを使用後に分離する回転式ターゲットの分離方法において、a上記回転式ターゲットをインジウムの融点以上の温度に加熱して、該インジウムの一部を溶融させ、除去するステップと、b上記ステップaにおいて、インジウムの一部がすでに溶融され、除去された上記回転式ターゲットを塩酸溶液に浸漬して、上記インジウム及び媒体粉末を浸食するステップと、c上記ステップbにおいて、上記インジウム及び媒体粉末が上記塩酸溶液によってすでに浸食された上記回転式ターゲットをインジウムの融点以上に加熱して、該インジウムの残りの部分を溶融し、除去するステップと、d上記バッキングチューブの外周面から一方向に上記ターゲットを押して、該ターゲットと該バッキングチューブとを互いに分離するステップとを有する回転式ターゲットの分離方法。上記媒体粉末は、砂、ステンレス鋼S/S、銅Cu、タングステンW、ヘキサカルボニルタングステン、酸化アルミニウムAl2O3及びこれらの混合物からなるグループから選択されることを特徴とする請求項1記載の回転式ターゲットの分離方法。上記ステップa及びステップcにおいて、上記回転式ターゲットは、156.61°Cよりも高い温度に加熱されることを特徴とする請求項2記載の回転式ターゲットの分離方法。上記ステップaにおいて、75重量~80重量のインジウムが上記回転式ターゲットを加熱することによって溶融され、除去されることを特徴とする請求項3記載の回転式ターゲットの分離方法。上記ステップbにおいて、上記塩酸水溶液は、5重量~50重量の塩酸を50重量~95重量の水で希釈することによって調製されることを特徴とする請求項4記載の回転式ターゲットの分離方法。上記ステップbにおいて、上記塩酸溶液に上記回転式ターゲットを浸漬する時間は、48時間~96時間の範囲であることを特徴とする請求項5記載の回転式ターゲットの分離方法。上記ステップbにおいて、上記回転式ターゲットは、一定の速度で回転している間に加熱されることを特徴とする請求項1~6いずれか1項記載の回転式ターゲットの分離方法。スパッタリング用の回転式ターゲットを構成する、円筒状のターゲットをバッキングチューブの外周面に固着させるのに利用されるインジウムは、高価なレアメタルである。したがって、スパッタリング用の回転式ターゲットの製造にインジウムを用いることによって、製造コストが増加してしまうことになる。さらに、インジウムが希少であることによって、その市場価格が非常に不安定になり、需要と供給の観点から問題を生ずる。このような従来技術の問題を解決するために、本発明の出願人は、韓国特許出願番号第2010-67611号、発明の名称compositionforbondingrotarytargetforsputteringandmethodforbondingrotarytargetusingthesameを出願した。ボンディング組成物は、インジウム及び媒体粉末mediapowderを含み、高電圧が印加されるターゲットをバッキングチューブの外周面に固着するのに用いられる。ボンディング組成物の構成要素としての媒体粉末は、非磁性材料であり、その比重がインジウムの比重よりも大きい元素を含んでいる。ボンディング組成物の他方の構成要素であるインジウムは溶融状態、媒体粉末は粉末状態で、ボンディング組成物として加えられる。ボンディング組成物におけるインジウムの媒体粉末に対する重量比は、5~50:50~95である。ターゲットは、溶融状態の5重量~50重量のインジウムをバッキングチューブの外周面とターゲットの内周面との間の隙間に供給し、50重量~95重量の媒体粉末をその隙間に供給し、振動又は回転させることによって、溶融したインジウムを媒体粉末と混合させて、溶融状態でバッキングチューブの外周面に固着される。回転式ターゲットがスパッタリングに用いられると、ターゲットだけが次第に消耗する。バッキングチューブ及びインジウムのリサイクルの可能性があるにもかかわらず、ターゲットと同様にバッキングチューブ及びボンディング材もリサイクルされることなく、処分される。特に、上述のように高価なインジウムの浪費は、経済的に好ましくない。本発明は、先行技術の問題を解決しようとする努力のもとになされたが、本発明の目的は、使用後のスパッタ用回転式ターゲットのターゲットを分離する方法を提供することにあり、この分離方法では、回転式ターゲットrotarytargetは、加熱され、所定の時間の間、塩酸溶液に浸漬されて、ターゲットをバッキングチューブbackingtubeの外周面にしっかりとボンディングしているインジウムを溶融し、除去するので、ターゲットが分離されたバッキングチューブのリサイクルを可能にし、もって製造コストの削減に貢献せしめるものである。本発明にしたがって、上述の目的は、インジウム及び媒体粉末を含むボンディング組成物bondingcompositionによって、バッキングチューブの外周面にしっかりと固着されている回転式ターゲットのターゲットとバッキングチューブとを使用後に分離する方法を提供することによって達成される。具体的には、この分離方法は、a回転式ターゲットをインジウムの融点以上の温度に加熱して、インジウムの一部を溶融させ、除去するステップと、bステップaにおいて、インジウムの一部がすでに溶融され、除去された回転式ターゲットを塩酸溶液に浸漬して、インジウム及び媒体粉末mediapowderを浸食するステップと、cステップbにおいて、インジウム及び媒体粉末が塩酸溶液によってすでに浸食された回転式ターゲットをインジウムの融点以上に加熱して、インジウムの残りの部分を溶融し、除去するステップと、dバッキングチューブの外周面から一方向にターゲットを押して、ターゲットとバッキングチューブとを互いに分離するステップとを有する。媒体粉末は、砂、ステンレス鋼S/S、銅Cu、タングステンW、ヘキサカルボニルタングステン、酸化アルミニウムAl2O3及びこれらの混合物からなるグループから選択される。ステップa及びステップcにおいて、回転式ターゲットは、156.61°C以上の温度に加熱される。ステップaにおいて、75重量~80重量のインジウムが回転式ターゲットを加熱することによって溶融され、除去される。ステップbにおいて、塩酸水溶液は、5重量~50重量の塩酸を50重量~95重量の水で希釈することによって調製される。ステップbにおいて、塩酸溶液に回転式ターゲットを浸漬する時間は、48時間~96時間の範囲である。ステップbにおいて、回転式ターゲットは、一定の速度で回転している間に加熱される。本発明の方法にしたがって、スパッタ用の、使い終わった回転式ターゲットのターゲットは、回転式ターゲットを加熱し、所定の時間の間、塩酸溶液に浸漬されることによって、バッキングチューブから分離され、ターゲットをバッキングチューブの外周面にしっかりとボンディングしているインジウムを溶融し、除去することができる。したがって、ターゲットから分離されたバッキングチューブは、リサイクルされ、結果として、製造コストの削減に寄与することができる。本発明の好ましい実施の形態に基づくターゲットの分離方法について、以下にさらに詳細に説明する。図1は、本発明が適用された回転式ターゲットからターゲットを分離する方法を示すフローチャートであり、図2は、本発明が適用されたターゲットの分離方法を示す回転式ターゲットの斜視図であり、図3は、本発明が適用されたターゲットの分離方法を示す回転式ターゲットの断面図である。バッキングチューブ及びインジウムをリサイクルする本発明に基づいて、回転式ターゲットからターゲットを分離する方法について説明する前に、本発明の分離方法で用いられる回転式ターゲットが、韓国特許出願番号第2010-67611号、発明の名称compositionforbondingrotarytargetforsputteringandmethodforbondingrotarytargetusingthesameに記載されている回転式ターゲットと同様のものであることを理解する必要がある。本発明の分離方法を用いた回転式ターゲットrotarytargetは、バッキングチューブbackingtubeと、高電圧が印加され、バッキングチューブの外周面にボンディング組成物によって固着されるターゲットとを含む。具体的には、水平に安定した取付板上の正しい位置にバッキングチューブを垂直に載置し、バッキングチューブの外周面にターゲットを配置し、隙間がバッキングチューブの外周面とターゲットの内周面との間に形成されるように、ターゲットを正しい位置に載置し、バッキングチューブ及びターゲットを加熱して、溶融したインジウムを隙間に供給し、媒体粉末bondingcompositionを隙間に供給し、振動又は回転させることによって、媒体粉末をインジウムに一様に分散させて、位置を定め、さらに冷却することによって、ボンディングが実現される。すなわち、韓国特許出願番号第2010-67611号に記載された回転式ターゲットでは、バッキングチューブの外周面とターゲットの内周面との隙間に充填されたインジウム及び媒体粉末を含むボンディング組成物によって、ボンディングが実現される。媒体粉末及び溶融したインジウムは、バッキングチューブの外周面とターゲットの内周面との隙間に一様に分散され、凝固し、バッキングチューブをターゲットに固着させる。ターゲットをバッキングチューブの外周面に固着させるボンディングを構成する要素であるインジウムは、周期表の第13族ホウ素族のレアメタル元素である。インジウムは、鉛やプラスチックquiteplasticよりも軟らかい。インジウムは、爪でひっかくことができ、ほとんど制限なく変形させることができる。純粋なインジウムを折り曲げると、スズのように高音のスズ鳴きcryを発する。インジウムは、銀と同程度の希少金属である。地殻に、平均0.1重量ppmのインジウムが含まれる。インジウム元素は、1つの鉱物や未結合の状態では産出せず、多くの鉱物中、特に亜鉛や鉛を含む鉱物中に微量だけ存在し、これらの副産物として産出される。インジウムは、156.61°Cの融点及び7.3120°Cの比重を有する。ボンディング組成物のもう1つの構成要素である媒体粉末は、非磁性材料であり、比重がインジウムの比重よりも大きい複数の元素から構成される。媒体粉末は、砂sand、ステンレス鋼S/S、銅Cu、タングステンW、ヘキサカルボニルタングステン、酸化アルミニウムAl2O3粉末及びこれらの混合物からなるグループから選択される。図1~図3に示すように、本発明に基づいて、回転式ターゲット100のターゲット120及びバッキングチューブ110を分離する方法は、a回転式ターゲット100をインジウム132の融点以上の温度に加熱し、インジウム132の一部を溶融させ除去するステップS100と、baにおいて、インジウム132の一部が、すでに溶融され、除去された回転式ターゲット100を、所定の時間、塩酸溶液hydrochloricacidsolutionに浸漬し、インジウム132及び媒体粉末134を浸食するステップS110と、cbにおいて、インジウム132及び媒体粉末134がすでに浸食された回転式ターゲット100をインジウム132の融点以上の温度に加熱し、残りのインジウム132を溶融し、除去するステップS120と、dバッキングチューブ110の外周面から一方向にターゲット120を押して、ターゲット120とバッキングチューブ110とを互いに分離するステップS130とを有する。媒体粉末134は、砂sand、ステンレス鋼S/S、銅Cu、タングステンW、ヘキサカルボニルタングステン、酸化アルミニウムAl2O3粉末及びこれらの混合物からなるグループから選択される。本発明の方法にしたがって、ボンディング組成物130のインジウム132は、溶融され、バッキングチューブ110の外周面とターゲット120の内周面との隙間を流れ落ちるようになる。結果として、ターゲット120は、バッキングチューブ110の外周面から分離されて、バッキングチューブ110のリサイクルが可能になる。具体的には、本発明の方法にしたがって、回転式ターゲット100は、インジウム132の融点以上の温度に加熱されるS100。加熱の結果、インジウム132の一部がバッキングチューブ110の外周面とターゲット120の内周面との隙間を流れ落ちるようになる。次に、インジウム132がすでに溶融され、除去された回転式ターゲット100は、所定時間の間、塩酸溶液に浸漬されS110、インジウム132及び媒体粉末134を浸食する。次に、インジウム132及び媒体粉末134が、塩酸溶液によってすでに浸食された回転式ターゲット100は、インジウム132の融点以上の温度に加熱されるS120。加熱の結果、インジウム132は溶融され、バッキングチューブ110の外周面とターゲット120の内周面との隙間から流れ落ちるようになる。次に、ターゲット120は、バッキングチューブ110から一方向に押されるS130。この押す操作によって、ターゲット120がバッキングチューブ110から分離される。回転式ターゲット100は、インジウムの融点156.61°C以上の温度、好ましくは160°C以上に加熱されるS100。加熱の結果、ボンディング組成物のインジウムの一部だけが溶融し、流れ落ちることになる。回転式ターゲット100は、所定時間の間、塩酸溶液に浸漬され、インジウム132及び媒体粉末134を浸食しS110、次に、インジウム132の融点156.61°C以上の温度に加熱して、残りのインジウム132を溶融する。溶融したインジウム132は、流れ落ちて、媒体粉末134から分離され、ターゲット120は、バッキングチューブ110から分離される。図1~図3を用いて、本発明の方法をより詳細に説明する。本発明の方法を用いた回転式ターゲット100では、ターゲット120は、バッキングチューブ110の外周面に、インジウム132及び媒体粉末134たとえばステンレス鋼球状粉を含むボンディング組成物130によって、しっかりと固着される。ステップaでは、回転式ターゲット100は、加熱されて、最初にインジウム132の一部が溶融されるS100。具体的には、回転式ターゲット100は、インジウム132の融点156.61°C以上の温度に加熱され、インジウム132の一部が溶融され、除去される。この加熱によって、ボンディング組成物130のインジウム132の部分的な溶融が生じる。回転式ターゲット100は、160°C以上の温度で加熱されるのが好ましい。この温度では、溶融したインジウム132は、流れ落ち、バッキングチューブ110の外周面とターゲット120の内周面との隙間から除去される。ステップaの加熱S100の前には、ボンディング組成物130は、バッキングチューブ110の外周面とターゲット120の内周面との隙間で凝固状態である。ステップaS100では、外形が133mm、長さが2982mmのバッキングチューブ110と、外径が163mm、内径が135mm、長さが2700mmのターゲット120と、ボンディング組成物130の要素として、4.1kgのインジウム及び4.38kgの媒体粉末とを含む回転式ターゲット100を加熱した結果として、約3.2kgのインジウム132が溶融され、除去される。すなわち、ステップaS100における回転式ターゲットの加熱工程後に、インジウム132の原重量の75~80が溶融され、除去されたこととなる。ステップbでは、ボンディング組成物130の要素としてのインジウム132及び媒体粉末134は、塩酸溶液を用いて浸食されるS110。具体的には、ステップaにおいて、インジウム132の一部がすでに溶融され、除去された回転式ターゲット100は、所定の時間の間、塩酸溶液に浸漬され、インジウム132及び媒体粉末134を浸食する。この酸による浸食によって、インジウム132と媒体粉末134とは、互いに分離される。ステップbS110で用いられる塩酸溶液は、5重量~50重量の塩酸を50重量~95重量の水と環濠することによって調製される希薄溶液である。ステップaS100を経た回転式ターゲット100の浸漬時間は、48時間~96時間の範囲である。ステップbS110では、塩酸溶液に回転式ターゲット100を浸漬する時間は、塩酸溶液の塩酸濃度が増大するほど減少し、塩酸溶液の塩酸濃度が低下するほど増加する。すなわち、高い濃度の塩酸溶液は、インジウム132及び媒体粉末134の浸食を促進し、したがって、インジウム132及び媒体粉末134の迅速な分離を保証する。一方、低濃度の塩酸溶液では、インジウム132及び媒体粉末134の浸食が比較的ゆっくりおこるので、インジウム132及び媒体粉末134の分離も遅くなる。ステップcでは、塩酸溶液に浸漬された後の回転式ターゲット100は、インジウム132の融点156.61°C以上の温度に再度加熱され、残りのインジウム132が溶融されるS120。溶融したインジウム132は、浸食された媒体粉末から分離される。回転式ターゲット100は、ステップaS100と同様に、インジウム132の融点以上の温度に加熱され、残りのインジウム132を溶融する。回転式ターゲット100は、160°C以上に加熱されるのが好ましい。この温度では、溶融したインジウム132は、流れ落ち、バッキングチューブ110の外周面とターゲット120の内周面との隙間から除去される。回転式ターゲット100を一定の速度で回転させて加熱するのが好ましい。回転式ターゲット100の回転速度は、より好ましくは5rpm~10rpmである。上述したように、ステップcS120では、回転式ターゲット100を回転しながら、酸による浸食によって媒体粉末134から分離された残りのインジウム132を溶融する間、回転式ターゲット100は、インジウム132の融点156.61°C以上の温度、好ましくは160以上の温度に加熱される。溶融したインジウム132は、流れ落ち、バッキングチューブ110の外周面とターゲット120の内周面との隙間から除去される。最後に、ステップdS130では、ターゲット120及びバッキングチューブ110は、ターゲット120をバッキングチューブ110の外周面から一方向に押すことによって互いに分離される。ステップcS120において、回転式ターゲット100が加熱されて、残りのインジウム132を溶融し、除去した後、大量の媒体粉末134がバッキングチューブ110の外周面とターゲット120の内周面の隙間に残るので、バッキングチューブ110の外周面からのターゲット120の分離が容易になる。上述の説明によって明らかなように、本発明の方法にしたがって、ターゲット120は、インジウム132の除去後にバッキングチューブ110の外周面から容易に分離されることができ、バッキングチューブ110のリサイクルが可能になる。本発明は、上述した実施の形態に関して説明されたが、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内でさまざまに変形された実施の形態をとることができるのはいうまでもない。本発明は、回転式ターゲットを分離する分離方法に用いることができる。