"基材の一方の面に、熱膨張性微小球を含有する熱剥離型粘着層を有し、且つ基材の他方の面に仮固定用粘着層を有している両面粘着テープ又はシートであって、仮固定用粘着層の引張粘着力が2.0~20N20mm幅であり、且つズレ量が0.3mm/20mm幅以下であり、且つ仮固定用粘着層がイソシアネート系もしくはエポキシ系架橋剤で架橋されていることを特徴とする両面粘着テープ又はシート。仮固定用粘着層が、さらに、ゲル分率が50重量以上である特性を有している請求項1記載の両面粘着テープ又はシート。両面粘着テープ又はシートを用いて被着体を加工する方法であって、請求項1又は2記載の両面粘着テープ又はシートを、仮固定用粘着層を利用して台座に固定し、且つ熱剥離型粘着層上に被着体を貼り合わせた状態で、被着体に加工処理を施すことを特徴とする被着体の加工方法。被着体が、電子系部品類である請求項3記載の被着体の加工方法。被着体が、セラミックコンデンサ用のグリーンシートであり、且つグリーンシートの積層工程を有する請求項3記載の被着体の加工方法。請求項4記載の被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする電子部品。請求項5記載の被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。しかしながら、近年の高積層化に伴い、グリーンシートの積層時に生じるグリーンシート積層体の反りが大きくなったため、台座に貼り合わせるための仮固定用粘着層の粘着力が弱い場合、グリーンシート積層体の反りを抑えきれず、工程中に剥がれてしまうという問題が生じるようになった。この問題に関しては、仮固定用粘着層を形成するための粘着剤として強粘着性の粘着剤を用いればよいのだが、例えば、従来の一般的な強粘着型の粘着テープ又はシートを用いると、グリーンシートの積層時のプレス圧力などの力が継続的に加わった場合、仮固定用粘着層自体に横ズレが生じやすくなり、グリーンシートの積層時の電極精度の低下などの問題が生じる場合がある。従って、本発明の目的は、仮固定用粘着層を利用して台座に固定し且つ熱剥離型粘着層上に被着体を貼着した状態で被着体に加工処理を施す際に、被着体に反りによる応力が生じていても、台座に固定した状態を有効に保持することができ、また、被着体の加工時に加圧工程があっても、加圧による横ズレを抑制又は防止することができ、しかも、被着体に加工処理を施した後は、加熱により加工品を損傷なく容易に剥離させることができる両面粘着テープ又はシート、および該両面粘着テープ又はシートを用いた被着体の加工方法を提供することにある。本発明者らは、前記目的を達成するため鋭意検討した結果、熱剥離型粘着層と、特定の特性を有している仮固定用粘着層とを備えた両面粘着テープ又はシートを用いると、仮固定用粘着層を利用して台座に固定し且つ熱剥離型粘着層上に被着体を貼着した状態で、被着体に加工処理を施す際に、被着体が、グリーンシートが高積層化されたグリーンシート積層体であり、被着体に反りによる大きな応力が生じていても、台座に強固に固定した状態を有効に保持して、被着体の反りを抑えることができ、また、被着体の加工時に、プレス圧力等による加圧工程があっても、加圧による横ズレを抑制又は防止して、優れた加工精度で加工工程を実施することができ、しかも、被着体に加工処理を施した後は、加熱により加工品を損傷なく容易に剥離させることができることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて完成されたものである。すなわち、本発明は、基材の一方の面に、熱膨張性微小球を含有する熱剥離型粘着層を有し、且つ基材の他方の面に仮固定用粘着層を有している両面粘着テープ又はシートであって、仮固定用粘着層の引張粘着力が2.0~20N20mm幅であり、且つズレ量が0.3mm/20mm幅以下であり、且つ仮固定用粘着層がイソシアネート系もしくはエポキシ系架橋剤で架橋されていることを特徴とする両面粘着テープ又はシートを提供する。本発明の両面粘着テープ又はシートにおいて、仮固定用粘着層としては、さらに、ゲル分率が50重量以上である特性を有していることが好ましい。本発明は、さらに、両面粘着テープ又はシートを用いて被着体を加工する方法であって、前記の両面粘着テープ又はシートを、仮固定用粘着層を利用して台座に固定し、且つ熱剥離型粘着層上に被着体を貼り合わせた状態で、被着体に加工処理を施すことを特徴とする被着体の加工方法を提供する。該被着体の加工方法では、被着体としては、電子系部品類を好適に用いることができる。また、被着体が、セラミックコンデンサ用のグリーンシートであり、且つグリーンシートの積層工程を有していてもよい。本発明は、さらにまた、前述の被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする電子部品や、積層セラミックコンデンサを提供する。本発明の両面粘着テープ又はシートは、前記構成を有しているので、仮固定用粘着層を利用して台座に固定し且つ熱剥離型粘着層上に被着体を貼着した状態で被着体に加工処理を施す際に、被着体に反りによる応力が生じていても、台座に固定した状態を有効に保持することができ、また、被着体の加工時に加圧工程があっても、加圧による横ズレを抑制又は防止することができ、しかも、被着体に加工処理を施した後は、加熱により加工品を損傷なく容易に剥離させることができる。以下に、本発明の実施の形態を、必要に応じて図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、同一の部材や部分などには同一の符号を付している場合がある。[両面粘着テープ又はシート]本発明の両面粘着テープ又はシートは、基材の一方の面に、熱膨張性微小球を含有する熱剥離型粘着層を有し、且つ基材の他方の面に仮固定用粘着層を有している両面粘着テープ又はシートであって、仮固定用粘着層の引張粘着力が2.0~20N20mm幅であり、且つズレ量が0.3mm/20mm幅以下であり、且つ仮固定用粘着層がイソシアネート系もしくはエポキシ系架橋剤で架橋されていることを特徴とする。図1は、本発明の両面粘着テープ又はシートの例を部分的に示す概略断面図である。図1において、1は両面粘着テープ又はシート、2は基材、3はゴム状有機弾性層中間層、4は熱剥離型粘着層、5は仮固定用粘着層、6はセパレータ、7はセパレータである。図1で示される両面粘着テープ又はシート1は、基材2の一方の面に、ゴム状有機弾性層3と、熱剥離型粘着層4とがこの順で形成され、且つ基材2の他方の面に、仮固定用粘着層5が形成された構成を有している。なお、ゴム状有機弾性層3は任意に設けられた層である。また、熱剥離型粘着層4の表面粘着面はセパレータ6により保護されており、仮固定用粘着層5の表面粘着面はセパレータ7により保護されているが、これらのセパレータ6やセパレータ7も任意で使用されたものである。<仮固定用粘着層>本発明の両面粘着テープ又はシートにおいて、仮固定用粘着層は、引張粘着力が2.0~20N20mm幅であり、且つズレ量が0.3mm/20mm幅以下であり、且つ仮固定用粘着層がイソシアネート系もしくはエポキシ系架橋剤で架橋されている。なお、本明細書中において、引張粘着力の値は対SUS304BA板、剥離角度:180°、引張速度:300mm/min、温度:23±2°C、湿度:65±5RHの条件で、後述の測定方法により測定した値を指し、ズレ量は被着体:SUS304BA板、貼付面積:20mm幅×10mm長さ、荷重前の放置条件:23±2°C×30分間、荷重:200g、荷重後の放置条件:23±2°C×60分間の条件で、後述の測定方法により測定した値を指す。仮固定用粘着層の引張粘着力が2.0N/20mm幅より小さいと、仮固定用粘着層を利用して台座に貼着させた場合、被着体に反り等による応力が生じていると、熱剥離型粘着層上に貼着された被着体の加工処理中に、両面粘着テープ又はシートが台座から剥離してしまい、前記被着体の加工により得られる被加工体加工品の精度不良などが生じ、歩留まりが低下する。仮固定用粘着層の引張粘着力が20N/20mm幅より大きいと、剥がす時に糊残りやテープ切れが発生しやすくなる。仮固定用粘着層の引張粘着力は、例えば、アクリル系粘着剤等の粘着剤の粘着性成分ベースポリマーをイソシアネート系架橋剤もしくはエポキシ系架橋剤を粘着性成分100重量部に対して0.01~20重量部のうち、適宜の量を添加して架橋することにより、2.0~20N/20mm幅となるようにコントロールすることができる。架橋剤の添加量は、架橋するモノマーの官能基と架橋剤の種類によって異なり、より架橋し易い組み合わせの場合には、少ない架橋剤の量でもゲル分が大きくなる。また、加工中は、被着体の加工精度を維持するため、両面粘着テープ又はシートの横ズレが少ないことが重要である。そのため、仮固定用粘着層は、ズレ量が0.3mm/20mm幅以下例えば0~0.3mm/20mm幅となっている特性を有している。仮固定用粘着層のズレ量が0.3mm/20mm幅より大きいと、熱剥離型粘着層上に貼着された被着体の加工処理中に、両面粘着テープ又はシートまたは被着体の横ズレが発生し、加工精度が低下する。一方、仮固定用粘着層のズレ量としては、0.2mm/20mm幅以下であることが好ましく、さらには0.15mm/20mm幅以下であることが好適である。なお、仮固定用粘着層のズレ量の下限としては、特に制限されず、小さければ小さいほど好ましく、0mm/20mm幅であってもよい。なお、仮固定用粘着層のズレ量は、例えば、アクリル系粘着剤等の粘着剤の粘着性成分ベースポリマーをイソシアネート系架橋剤もしくはエポキシ系架橋剤を粘着性成分100重量部に対して0.01~20重量部添加して架橋することにより、0.3mm/20mm幅以下となるようにコントロールすることができる。架橋剤の添加量は、架橋するモノマーの官能基と架橋剤の種類によって異なり、より架橋し易い組み合わせの場合には、少ない架橋剤の量でもゲル分が大きくなる。本発明において、仮固定用粘着層の引張粘着力は、次の引張粘着力の測定方法により求められる。引張粘着力の測定方法両面粘着テープ又はシートを幅20mm、長さ100mmのサイズに切断し、常温23°C±2°C且つ湿度:65±5RHの条件下で、仮固定用粘着層がSUS304BA板ステンレス板に接触する形態で、SUS304BA板に、2kgのローラーを1往復させる方法で圧着して貼り合わせた後、30分間放置する。放置後、温度:23±2°C、湿度:65±5RHの条件下、JISZ0237に準じて、SUS304BA板より両面粘着テープ又はシートを、剥離角度:180°、引張速度:300mm/minの条件で引き剥がした時の荷重最大荷重を測定し、引張粘着力N/20mm幅;対SUS304BA板、剥離角度:180°、引張速度:300mm/min、温度:23±2°C、湿度:65±5RHを求める。また、仮固定用粘着層のズレ量は、次のズレ量の測定方法により求められる。ズレ量の測定方法両面粘着テープ又はシートを幅20mm、長さ100mmのサイズに切断し、常温23°C±2°C且つ湿度:65±5RHの条件下で、仮固定用粘着層がSUS304BA板に接触する形態で、SUS304BA板に、20mm幅×10mmの接着面積で2kgのローラーを1往復させる方法で圧着して貼り合わせ、23±2°Cで30分間放置する。放置後、両面粘着テープ又はシートの端部に200gの荷重をかけ、JISZ0237にある保持力の測定方法に準じて、圧着時からのズレの大きさズレ量を測定し、23±2°Cで30分間後のズレ量mm/20mm幅;被着体:SUS304BA板、貼付面積:20mm幅×10mm長さ、荷重前の放置条件:23±2°C×30分間、荷重:200g、荷重後の放置条件:23±2°C×60分間を求める。仮固定用粘着層を形成するための粘着剤としては、上記特性を発揮する粘着層を形成することが可能な粘着剤であれば特に制限されず、公知の粘着剤の中から、適宜選択することができる。このような公知の粘着剤としては、例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤等の各種粘着剤や、これらの粘着剤に融点が約200°C以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ-プ特性改良型粘着剤などが挙げられる例えば、特開昭56-61468号公報、特開昭61-174857号公報、特開昭63-17981号公報、特開昭56-13040号公報等参照。粘着剤は単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。粘着剤としては、ゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤が好ましく、特にアクリル系粘着剤を好適に用いることができる。ゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤の具体例としては、熱剥離型粘着層の項で具体的に例示されているゴム系粘着剤天然ゴムや、各種の合成ゴムをベースポリマーとするゴム系粘着剤などやアクリル系粘着剤[メタアクリル酸アルキルエステルを単量体成分として用いたアクリル系重合体単独重合体又は共重合体をベースポリマーとするアクリル系粘着剤など]などが挙げられる。ゴム系粘着剤としては、天然ゴムや各種の合成ゴム[例えば、ポリイソプレンゴム、スチレンブタジエンブロック共重合体SBゴム、スチレンイソプレンブロック共重合体SIゴム、スチレンイソプレンスチレンブロック共重合体SISゴム、スチレンブタジエンスチレンブロック共重合体SBSゴム、スチレンイソプレンブタジエンスチレンブロック共重合体SIBSゴム、スチレンエチレンブチレンスチレンブロック共重合体SEBSゴム、スチレンエチレンプロピレンスチレンブロック共重合体Sゴム、スチレンエチレンプロピレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンや、これらの変性体など]をベースポリマーとしたゴム系粘着剤が挙げられる。また、アクリル系粘着剤としては、メタアクリル酸アルキルエステルの1種又は2種以上を単量体成分として用いたアクリル系重合体[単独重合体ホモポリマー又は共重合体コポリマー]をベースポリマーとするアクリル系粘着剤が挙げられる。前記アクリル系粘着剤におけるメタアクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、メタアクリル酸メチル、メタアクリル酸エチル、メタアクリル酸プロピル、メタアクリル酸イソプロピル、メタアクリル酸ブチル、メタアクリル酸イソブチル、メタアクリル酸s-ブチル、メタアクリル酸t-ブチル、メタアクリル酸ペンチル、メタアクリル酸ヘキシル、メタアクリル酸ヘプチル、メタアクリル酸オクチル、メタアクリル酸2-エチルヘキシル、メタアクリル酸イソオクチル、メタアクリル酸ノニル、メタアクリル酸イソノニル、メタアクリル酸デシル、メタアクリル酸イソデシル、メタアクリル酸ウンデシル、メタアクリル酸ドデシル、メタアクリル酸トリデシル、メタアクリル酸テトラデシル、メタアクリル酸ペンタデシル、メタアクリル酸ヘキサデシル、メタアクリル酸ヘプタデシル、メタアクリル酸オクタデシル、メタアクリル酸ノナデシル、メタアクリル酸エイコシルなどのメタアクリル酸C120アルキルエステル[好ましくはメタアクリル酸C418アルキル直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステル]などが挙げられる。なお、前記アクリル系重合体は、凝集力、耐熱性、架橋性などの改質を目的として、必要に応じて、前記メタアクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、カルボキシエチルアクリレートなどのカルボキシル基含有モノマー;無水マレイン酸、無水イコタン酸などの酸無水物基含有モノマー;メタアクリル酸ヒドロキシエチル、メタアクリル酸ヒドロキシプロピル、メタアクリル酸ヒドロキシブチルなどのヒドロキシル基含有モノマー;メタアクリルアミド、N,N-ジメチルメタアクリルアミド、N-ブチルメタアクリルアミド、N-メチロールメタアクリルアミド、N-メチロールプロパンメタアクリルアミドなどのN-置換又は無置換アミド系モノマー;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのビニルエステル系モノマー;スチレン、α-メチルスチレンなどのスチレン系モノマー;ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー;アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノアクリレート系モノマー;メタアクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有アクリル系モノマー;エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン又はジエン系モノマー;メタアクリル酸アミノエチル、メタアクリル酸N,N-ジメチルアミノエチル、メタアクリル酸t-ブチルアミノエチルなどの置換又は無置換アミノ基含有モノマー;メタアクリル酸メトキシエチル、メタアクリル酸エトキシエチルなどのメタアクリル酸アルコキシアルキル系モノマー;N-ビニルピロリドン、N-メチルビニルピロリドン、N-ビニルピリジン、N-ビニルピペリドン、N-ビニルピリミジン、N-ビニルピペラジン、N-ビニルピラジン、N-ビニルピロール、N-ビニルイミダゾール、N-ビニルオキサゾール、N-ビニルモルホリン、N-ビニルカプロラクタムなどの窒素原子含有環を有するモノマー;N-ビニルカルボン酸アミド類;スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、メタアクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピルメタアクリレートなどのスルホン酸基含有モノマー;2-ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー;N-シクロヘキシルマレイミド、N-イソプロピルマレイミド、N-ラウリルマレイミド、N-フェニルマレイミドなどのマレイミド系モノマー;N-メチルイタコンイミド、N-エチルイタコンイミド、N-ブチルイタコンイミド、N-オクチルイタコンイミド、N-2-エチルヘキシルイタコンイミド、N-シクロヘキシルイタコンイミド、N-ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー;N-メタアクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、N-メタアクルロイル-6-オキシヘキサメチレンスクシンイミド、N-メタアクリロイル-8-オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー;メタアクリル酸ポリエチレングリコール、メタアクリル酸ポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステルモノマー;メタアクリル酸テトラヒドロフルフリルなどの酸素原子含有複素環を有するモノマー;フッ素系メタアクリレートなどのフッ素原子を含有するアクリル酸エステル系モノマー;シリコーン系メタアクリレートなどのケイ素原子を含有するアクリル酸エステル系モノマー;ヘキサンジオールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジビニルベンゼン、ブチルジメタアクリレート、ヘキシルジメタアクリレートなどの多官能モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は1種又は2種以上使用できる。なお、粘着剤は、粘着性成分ベースポリマー等のポリマー成分などのほかに、粘着剤の種類等に応じて、架橋剤例えば、ポリイソシアネート、エポキシ化合物など、粘着付与剤例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、フェノール樹脂などからなる常温で固体、半固体あるいは液状のもの、可塑剤、充填剤、老化防止剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。粘着剤は、エマルジョン系粘着剤、溶剤系粘着剤などのいずれの形態の粘着剤であってもよい。本発明では、仮固定用粘着層は、熱剥離型粘着層上に貼着されている被着体の加工中の横ズレを抑制又は防止するために、ゲル分率が50重量以上となっていることが好ましく、特に60重量以上中でも70重量以上であることが好適である。仮固定用粘着層のゲル分率が50重量未満であると、プレス時などで、高温長時間の過酷な条件下では、粘着層自体が非常に変形し易くなる場合があり、仮固定用粘着層自体が横ズレを発生し易くなり、被着体の加工精度に悪影響を及ぼす場合がある。仮固定用粘着層のゲル分率は、次のゲル分率の測定方法により求められる。ゲル分率の測定方法両面粘着テープ又はシートから仮固定用粘着層のみの部分を集め秤量して、その重量を測定し、該重量を浸漬前重量Aとする。次に、この仮固定用粘着層のみの部分を、トルエン中に常温23±2°Cで72時間浸漬させた後、未溶解部分を取り出し、オーブン等を用いてトルエンを完全に蒸発させ、乾燥された未溶解部分を秤量して、その重量を測定し、該重量を浸漬後重量Bとする。そして、下記の式からゲル分率を算出する。ゲル分率重量=B/A×1001式1において、Aは浸漬前重量であり、Bは浸漬後重量である。仮固定用粘着層のゲル分率は、例えば、架橋剤を用いて調整することができる。仮固定用粘着層の製造に使用する架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤もしくはエポキシ系架橋剤を用いる。架橋剤は単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。具体的には、イソシアネート系架橋剤としては、例えば、1,2-エチレンジイソシアネート、1,4-ブチレンジイソシアネート、1,6-ヘキサメチレンジイソシアネートなどの低級脂肪族ポリイソシアネート類;シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加トリレンジイソシアネ-ト、水素添加キシレンジイソシアネ-トなどの脂環族ポリイソシアネート類;2,4-トリレンジイソシアネート、2,6-トリレンジイソシアネート、4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネートなどの芳香族ポリイソシアネート類などが挙げられ、その他、トリメチロールプロパン/トリレンジイソシアネート3量体付加物[日本ポリウレタン工業株製、商品名コロネートL]、トリメチロールプロパン/ヘキサメチレンジイソシアネート3量体付加物[日本ポリウレタン工業株製、商品名コロネートHL]なども用いられる。また、エポキシ系架橋剤としては、例えば、N,N,N’,N’-テトラグリシジル-m-キシレンジアミン、ジグリシジルアニリン、1,3-ビスN,N-グリシジルアミノメチルシクロヘキサン、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、o-フタル酸ジグリシジルエステル、トリグリシジル-トリス2-ヒドロキシエチルイソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ビスフェノール-S-ジグリシジルエーテルの他、分子内にエポキシ基を2つ以上有するエポキシ系樹脂などが挙げられる。このような架橋剤の使用量としては、仮固定用粘着層の目的とするゲル分率、架橋剤の種類や、粘着剤の種類などに応じて適宜設定することができる。具体的には、架橋剤の使用量としては、例えば、粘着剤中のベースポリマー100重量部に対して0.01~20重量部好ましくは0.02~10重量部の範囲から選択することができる。架橋剤の使用量は、架橋剤を2種以上使用する場合には、その総量を示す。なお、本発明では、架橋剤を用いるとともに、電子線や紫外線などの照射により架橋処理を施して、仮固定用粘着層を形成することも可能である。仮固定用粘着層の厚さとしては、特に制限されないが、例えば、0.5~100μm好ましくは2~50μmの範囲から適宜選択することができる。仮固定用粘着層の厚さが薄すぎると、十分な粘着性が得られず、台座からの剥がれや横ズレの原因となる場合があり、また、厚すぎると、粘着層の変形が大きくなり、横ズレによる加工時の精度低下の原因となる場合がある。なお、仮固定用粘着層は単層、複層の何れの形態を有していてもよい。仮固定用粘着層の形成方法としては、特に制限されず、公知の粘着層の形成方法の中から適宜選択することができる。具体的には、仮固定用粘着層の形成方法としては、例えば、粘着剤組成物を、所定の面基材など上に塗布し、必要に応じて乾燥乃至硬化させる方法、適当なセパレータ剥離紙など上に粘着剤組成物を塗布し、必要に応じて乾燥乃至硬化させて粘着剤層を形成した後、該粘着剤層を所定の面基材など上に転写移着させる方法などが挙げられる。<熱剥離型粘着層>熱剥離型粘着層熱膨張性粘着層は、熱膨張性微小球を含有する粘着剤組成物により形成することができる。このように、熱剥離型粘着層は、熱膨張性微小球を含有しているので、加熱によって熱膨張性微小球が発泡乃至膨張し、この熱膨張性微小球の発泡乃至膨張により剥離性を発揮することができる。なお、熱剥離型粘着層は、所定の剥離開始温度が発揮されるような含有割合で、熱膨張性微小球を含んでいることが重要である。熱膨張性微小球は単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。熱膨張性微小球としては、特に制限されず、公知の熱膨張性微小球種々の無機系熱膨張性微小球や、有機系熱膨張性微小球などから適宜選択することができる。熱膨張性微小球としては、混合操作が容易である観点などより、マイクロカプセル化されている発泡剤を好適に用いることができる。このような熱膨張性微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨張する物質熱膨張性物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球などが挙げられる。前記殻は、熱溶融性物質や熱膨張により破壊する物質で形成される場合が多い。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニリデン-アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法などにより製造できる。なお、熱膨張性微小球には、例えば、商品名マツモトマイクロスフェアー[松本油脂製薬株製]などの市販品もある。なお、熱膨張性微小球において、付与する剥離開始温度は、熱膨張性物質の種類特に、気化温度、殻を形成する物質の種類、殻の厚みや、熱膨張性微小球の粒子径などにより、適宜な温度に調整することができる。熱膨張性微小球としては、加熱処理により、熱剥離型粘着層の接着力を効率よく且つ安定して低下させるため、体積膨張率が5倍以上、なかでも7倍以上、特に10倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有する熱膨張性微小球が好ましい。熱剥離型粘着層において、熱膨張性微小球の含有割合配合量としては、熱剥離型粘着層の膨張倍率や、接着力の低下性などに応じて適宜設定することができるが、例えば、熱剥離型粘着層を形成する粘着剤のベースポリマー100重量部に対して1~150重量部好ましくは10~130重量部、さらに好ましくは25~100重量部の範囲から適宜選択することができる。なお、熱膨張性微小球の粒径平均粒子径としては、熱剥離型粘着層の厚みなどに応じて適宜選択することができる。熱膨張性微小球の平均粒子径としては、例えば、100μm以下好ましくは80μm以下、さらに好ましくは1~50μm、特に1~30μmの範囲から選択することができる。熱剥離型粘着層を形成するための粘着剤感圧接着剤としては、熱剥離型粘着層の加熱時に熱膨張性微小球の発泡及び/又は膨張を許容する粘着剤を用いることができ、加熱時に熱膨張性微小球の発泡及び/又は膨張を可及的に拘束しないようなものが好ましい。粘着剤は単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。熱剥離型粘着層において、粘着剤としては、公知の粘着剤の中から適宜選択することができ、例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤等の各種粘着剤や、これらの粘着剤に融点が約200°C以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ-プ特性改良型粘着剤などの公知の粘着剤例えば、特開昭56-61468号公報、特開昭61-174857号公報、特開昭63-17981号公報、特開昭56-13040号公報等参照などが挙げられる。これらの粘着剤は単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。なお、粘着剤は、粘着性成分ベースポリマー等のポリマー成分などのほかに、粘着剤の種類等に応じて、架橋剤例えば、ポリイソシアネート、アルキルエーテル化メラミン化合物など、粘着付与剤例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、フェノール樹脂などからなる常温で固体、半固体あるいは液状のもの、可塑剤、充填剤、老化防止剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。粘着剤は、エマルジョン系粘着剤、溶剤系粘着剤などのいずれの形態の粘着剤であってもよい。粘着剤としては、ゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤が好ましく、特にアクリル系粘着剤を好適に用いることができる。ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤としては、上記仮固定用粘着層の項で例示のものが使用できる。熱剥離型粘着層は、例えば、粘着剤と、熱膨張性微小球と、必要に応じて溶媒やその他の添加剤などとを混合して、シート状の層に形成する慣用の方法により形成することができる。具体的には、例えば、粘着剤、熱膨張性微小球、および必要に応じて溶媒やその他の添加剤を含む混合物を、基材やゴム状有機弾性層上に塗布する方法、適当なセパレータ剥離紙など上に前記混合物を塗布して熱剥離型粘着層を形成し、これを基材又はゴム状有機弾性層上に転写移着する方法などにより、熱剥離型粘着層を形成することができる。なお、熱剥離型粘着層は単層、複層の何れの形態を有していてもよい。熱剥離型粘着層の厚さは、接着力の低減性などにより適宜に選択することができ、例えば、500μm以下の範囲から選択することができ、好ましくは300μm以下さらに好ましくは100μm以下である。熱剥離型粘着層の厚さが厚すぎると過大であると、加熱処理による膨張乃至発泡後に、熱剥離型粘着層に凝集破壊が生じやすくなり、剥離後に被着体被着物に汚染の原因となる糊残り粘着成分の残存が発生する場合がある。一方、熱剥離型粘着層の厚さが薄すぎると過小であると、加熱処理による熱剥離型粘着層の変形度が小さく、接着力が円滑に低下しにくくなり、また、添加する熱膨張性微小球の粒径を過度に小さくする必要が生じる。そのため、熱剥離型粘着層の厚さとしては、5μm以上好ましくは10μm以上、さらに好ましくは15μm以上であることが好適である。もちろん、熱剥離型粘着層の厚さは、含まれている熱膨張性微小球の最大粒径よりも厚いことが重要である。<基材>基材は熱剥離型粘着層等の支持母体として用いることができる。なお、基材は単層の形態又は積層された形態のいずれの形態を有していてもよい。基材としては、例えば、紙などの紙系基材;布、不織布、フェルト、ネットなどの繊維系基材;金属箔、金属板などの金属系基材;プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材;ゴムシートなどのゴム系基材;発泡シートなどの発泡体や、これらの積層体[特に、プラスチック系基材と他の基材との積層体や、プラスチックフィルム又はシート同士の積層体など]等の適宜な薄葉体を用いることができる。基材としては、熱剥離型粘着層の加熱処理温度で溶融しない耐熱性に優れるものが、加熱後の取扱性等の点より好ましい。基材としては、プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材を好適に用いることができる。このようなプラスチック材における素材としては、例えば、ポリエチレンPE、ポリプロピレンPP、エチレン-プロピレン共重合体、エチレン-酢酸ビニル共重合体EVA等のα-オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂;ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリブチレンテレフタレートPBT等のポリエステル;ポリ塩化ビニルPVC;ポリフェニレンスルフィドPPS;ポリアミドナイロン、全芳香族ポリアミドアラミド等のアミド系樹脂;ポリエーテルエーテルケトンPEEKなどが挙げられる。これらの素材は単独で又は2種以上組み合わせて使用することができる。なお、基材として、プラスチック系基材が用いられている場合は、延伸処理等により伸び率などの変形性を制御していてもよい。基材の厚さは、強度や柔軟性、使用目的などに応じて適宜に選択でき、例えば、一般的には1000μm以下例えば、1~1000μm、好ましくは1~500μm、さらに好ましくは3~300μm、特に好ましくは5~250μm程度であるが、これらに限定されない。基材の表面は、熱剥離型粘着層や仮固定用粘着層等との密着性を高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的方法による酸化処理等が施されていてもよく、下塗り剤によるコーティング処理等が施されていてもよい。<セパレータ>本発明では、セパレータとしては、慣用の剥離紙などを使用できる。セパレータは熱剥離型粘着層や仮固定用粘着層の保護材として用いられており、両面粘着テープ又はシートを被着体や台座などに貼着する際に剥がされる。なお、セパレータは必ずしも設けられていなくてもよい。セパレータとしては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の剥離剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等の剥離層を有する基材;ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレンフッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材;オレフィン系樹脂例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。なお、セパレータは公知乃至慣用の方法により形成することができる。また、セパレータの厚さ等も特に制限されない。<中間層>本発明では、基材と熱剥離型粘着層との間に1層又は2層以上の中間層を設けることもできる。該中間層は、前述のように、剥離性の付与を目的とした剥離剤のコーティング層や、密着力の向上を目的とした下塗り剤のコーティング層などが挙げられる。なお、剥離剤のコーティング層や下塗り剤のコーティング層以外の中間層としては、例えば、良好な変形性の付与を目的とした層、被着体への接着面積の増大を目的とした層、接着力の向上を目的とした層、被着体の表面形状に良好に追従させることを目的とした層、加熱による接着力低減の処理性の向上を目的とした層、加熱後の被着体よりの剥離性の向上を目的とした層などが挙げられる。特に、両面粘着テープ又はシートの変形性の付与や加熱後の剥離性の向上などの点より、基材と熱剥離型粘着層との間の層中間層として、例えば、ゴム状有機弾性層を設けることができる。ゴム状有機弾性層を設けることにより、両面粘着テープ又はシートを被着体に接着する際に、前記両面粘着テープ又はシートにおける熱剥離型粘着層の表面を被着体の表面形状に良好に追従させて、接着面積を大きくすることができ、また、前記両面粘着テープ又はシートを被着体から加熱剥離する際に、熱剥離型粘着層の加熱膨張を高度に精度よくコントロールし、熱剥離型粘着層を厚さ方向へ優先的に且つ均一に膨張させることができる。なお、ゴム状有機弾性層は、必要に応じて設けられる層であり、必ずしも設けられていなくてもよい。ゴム状有機弾性層は、熱剥離型粘着層の基材側の面に、熱剥離型粘着層に重畳させた形態で設けることが好ましい。なお、基材と熱剥離型粘着層との間の中間層以外の層としても設けることができる。ゴム状有機弾性層は、基材の片面又は両面に介在させることができる。ゴム状有機弾性層は、例えば、ASTMD-2240に基づくD型シュアーD型硬度が、50以下、特に40以下の天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂により形成することが好ましい。前記合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂としては、例えば、ニトリル系、ジエン系、アクリル系などの合成ゴム;ポリオレフィン系、ポリエステル系などの熱可塑性エラストマー;エチレン-酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリブタジエン、軟質ポリ塩化ビニルなどのゴム弾性を有する合成樹脂などが挙げられる。なお、ポリ塩化ビニルなどのように本質的には硬質系ポリマーであっても、可塑剤や柔軟剤等の配合剤との組み合わせによりゴム弾性が発現しうる。このような組成物も、前記ゴム状有機弾性層の構成材料として使用できる。また、熱剥離型粘着層を構成する粘着剤等の粘着性物質などもゴム状有機弾性層の構成材料として好ましく用いることができる。ゴム状有機弾性層は、例えば、前記天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂などのゴム状有機弾性層形成材を含むコーティング液を基材上に塗布する方式コーティング法、前記ゴム状有機弾性層形成材からなるフィルム、又は予め1層以上の熱剥離型粘着層上に前記ゴム状有機弾性層形成材からなる層を形成した積層フィルムを基材と接着する方式ドライラミネート法、基材の構成材料を含む樹脂組成物と前記ゴム状有機弾性層形成材を含む樹脂組成物とを共押出しする方式共押出し法などの形成方法により形成することができる。ゴム状有機弾性層の厚さは、一般的には500μm以下例えば、1~500μm、好ましくは3~300μm、さらに好ましくは5~150μm程度である。ゴム状有機弾性層は単層であってもよく、2以上の層で構成してもよい。なお、ゴム状有機弾性層は、天然ゴムや合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂を主成分とする粘着性物質で形成されていてもよく、また、かかる成分を主体とする発泡フィルム等で形成されていてもよい。発泡は、慣用の方法、例えば、機械的な攪拌による方法、反応生成ガスを利用する方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法、スプレーによる方法、シンタクチックフォームを形成する方法、焼結法などにより行うことができる。本発明の両面粘着テープ又はシートは、基材の一方の面上に、熱剥離型粘着層を、必要に応じて他の層ゴム状有機弾性層などを介して形成するとともに、基材の他方の面に、仮固定用粘着層を形成することにより作製することができる。両面粘着テープ又はシートは、シート状の形態や、ロール状に巻回されたテープ状の形態などの適宜な形態を有することができる。本発明の両面粘着テープ又はシートは、特定の特性を有している仮固定用粘着層が設けられているので、該仮固定用粘着層を利用して台座に貼着させると、剥離や横ズレを生じさせずに、台座に強固に貼着させることができる。そのため、本発明の両面粘着テープ又はシートは、被着体の加工に際して、熱剥離型粘着層上に被着体を貼り付けるとともに、仮固定用粘着層を台座に貼り付けることにより、被着体を台座上に固定させた時には、被着体に反り等による応力が生じていても、また、加圧工程などで横ズレが生じるような圧力がかかっても、各種加工工程積層工程、切断工程や加圧工程など中で、優れた接着性を発揮して、被着体を台座上に剥離や横ズレを生じさせずに、安定した位置で固定させることができ、しかも加工後は、被着体の加工により得られた加工品被加工体を容易に剥離させることができる。従って、被着体の加工の際の固定用として優れた接着性を発揮して、被着体に優れた加工精度の加工性を付与することができ、また、粘着目的達成後に、接着状態を解きたいときには、加熱により粘着力を低減して被着体又は加工品を、容易に剥離乃至分離することができる。このように、本発明の両面粘着テープ又はシートは、被着体を加工する際に用いられる熱剥離型の両面粘着テープ又はシートとして好適に用いることができる。すなわち、本発明の両面粘着テープ又はシートは、例えば、加工時には、強い接着力で被着体被加工物を接着することができ、加工後には、その接着状態を迅速に解除することができる用途で好適に用いることができる。前記両面粘着テープ又はシートを用いると、被着体を、優れた加工精度で加工することが可能となる。なお、このような被着体の加工方法としては、任意に選択することができ、下記に示されるように、例えば、切断加工研磨処理加工、ダイシング加工など、グリーンシートへの電極印刷加工パターン形成加工など、組み立て加工などの加工が挙げられ、その他に、積層工程での加工、加圧工程での加工、焼成工程での加工なども挙げられる。また、本発明の両面粘着テープ又はシートは、被着体を搬送する際の保護材としても用いることができる。[被着体の加工方法]本発明の被着体被加工品の加工方法では、前記両面粘着テープ又はシートを、仮固定用粘着層を利用して台座に固定し、且つ熱剥離型粘着層上に被着体を貼り合わせた状態で、被着体に加工処理を施すことにより、被着体を加工している。被着体の加工処理する際の工程としては、任意に選択することができ、電子部品の製造時の加圧工程加圧プレス工程、積層工程、切断工程や、半導体部品の製造時の研削工程、切断工程を有していてもよい。より具体的には、被着体の加工処理する際の工程としては、グリーンシートへの電極印刷工程パターン形成工程など、積層工程、加圧工程加圧プレス工程、切断工程研磨処理工程、ダイシング工程など、研削工程バックグラインド工程など、焼成工程などが挙げられ、その他に、組み立て工程なども挙げられる。そして、被着体に加工処理を施した後特に、粘着目的達成後、又は接着状態を解きたいときには、熱剥離型粘着層中の熱膨張性微小球の発泡開始温度又はそれ以上の温度に加熱することにより、粘着力を低減させて、加工処理が施された被着体加工品を剥離乃至分離して、加工処理が施された被着体を単離することができる。なお、両面粘着テープ又はシートを、加工処理が施された被着体加工品より剥離乃至分離する際の加熱処理は、例えば、ホットプレート、熱風乾燥機、近赤外線ランプ、エアードライヤーなどの適宜な加熱手段を利用して行うことができる。加熱温度は、熱剥離型粘着層中の熱膨張性微小球の熱膨張開始温度発泡開始温度以上であればよいが、加熱処理の条件は、被着体の表面状態や、熱膨張性微小球の種類等による接着面積の減少性、基材や被着体の耐熱性、加熱方法熱容量、加熱手段等などにより適宜設定できる。一般的な加熱処理条件としては、温度100~250°Cで、5~90秒間ホットプレートなどまたは5~15分間熱風乾燥機などである。かかる加熱条件で、通例、熱剥離型粘着層中の熱膨張性微小球が膨張及び/又は発泡して熱剥離型粘着層が膨張変形することにより凹凸状変形し、接着力が低下ないし喪失する。なお、加熱処理は使用目的に応じて適宜な段階で行うことができる。また、加熱源としては、赤外線ランプや加熱水を用いることができる場合もある。本発明において、両面粘着テープ又はシートを、仮固定用粘着層を利用して貼り合わせる台座支持台座としては、熱剥離型粘着層上に貼着されている被着体を支持することができるものであれば特に制限されず、前記被着体を加工する際に用いられている公知乃至慣用の台座を用いることができる。具体的には、台座としては、例えば、ステンレス板、ガラス板、ダミーウエハなどが挙げられる。台座は、被着体の種類、被着体の加工方法などに応じて適宜選択することができる。[被着体]本発明では、前記両面粘着テープ又はシートにより接着保持する物品被着体又は被加工物は、任意に選択することができる。具体的には、被着体被加工物としては、半導体ウエハシリコンウエハなどや半導体チップなどの電子系部品類;セラミックコンデンサや発振子などの電気系物品類;液晶セルなどの表示デバイス類の他、サーマルヘッド、太陽電池、プリント基板積層セラミックシートなど、いわゆるグリーンシートなどの種々の物品が挙げられる。被着体は単独であってもよく、又は2種以上組み合わせられていてもよい。[加工された被着体;加工品]また、本発明では、両面粘着テープ又はシートを介して、被着体として被加工物被加工体を台座に貼着させた後、加工を施すことにより各種加工品を得ることができる。例えば、被着体被加工品として、半導体ウエハなどの電子系部品類を用いた場合、加工品として電子部品や回路基板などを得ることができる。また、被着体として、セラミックコンデンサ用のグリーンシートを用いた場合、加工品として積層セラミックコンデンサなどを得ることができる。すなわち、本発明では、電子部品や、積層セラミックコンデンサは、前記両面粘着テープ又はシートを用いて製造されており、また、前述のような被着体の加工方法を利用して製造されている。以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。実施例1アクリル系共重合体アクリル酸2-エチルヘキシル:100重量部、アクリル酸エチル:40重量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル:6重量部、およびメタクリル酸メチル:7重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体:100重量部に対して、イソシアネート系架橋剤商品名コロネートL日本ポリウレタン工業社製:2重量部が配合された構成を有する感圧性接着剤を含むトルエン溶液を調製し、該トルエン溶液を、基材としてのポリエステル製フィルム厚さ:100μmの一方の面に、乾燥乃至硬化後の厚さが10μmとなるように塗布し、120°Cで2分間加熱乾燥して、仮固定用粘着層を得た。次に、アクリル系共重合体アクリル酸2-エチルヘキシル:100重量部、アクリル酸エチル:40重量部、メタクリル酸メチル:6重量部、およびアクリル酸2-ヒドロキシエチル:7重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体:100重量部に対して、イソシアネート系架橋剤商品名コロネートL日本ポリウレタン工業社製:2重量部が配合された構成を有する感圧性接着剤を含むトルエン溶液を調製し、該トルエン溶液を、基材としてのポリエステル製フィルム厚さ:100μmの他方の面前記仮固定用粘着層が形成された面に対して反対側の面に、乾燥乃至硬化後の厚さが15μmとなるように塗布し、120°Cで2分間加熱乾燥して、ゴム状有機弾性層を得た。次いで、アクリル系共重合体アクリル酸2-エチルヘキシル:100重量部、アクリル酸エチル:40重量部、メタクリル酸メチル:6重量部、およびアクリル酸2-ヒドロキシエチル:7重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体:100重量部に対して、イソシアネート系架橋剤商品名コロネートL日本ポリウレタン工業社製:2重量部、テルペン系粘着付与樹脂商品名YSポリスターT130ヤスハラケミカル社製:20重量部、熱膨張性微小球商品名F50D松本油脂製薬株式会社製:40重量部が配合された構成を有する熱膨張性微小球含有感圧性接着剤を含むトルエン溶液を調製し、該トルエン溶液を、セパレータ上に、乾燥乃至硬化後の厚さが35μmとなるように塗布し、70°Cで3分間加熱乾燥して、熱剥離型粘着層を得た後、該熱剥離型粘着層を、前記ゴム状有機弾性層に貼り合わせて、仮固定用粘着層/基材/ゴム状有機弾性層/熱剥離型粘着層の層構成を有する両面粘着テープ又はシート加熱剥離型両面粘着シートを得た。比較例1仮固定用粘着層を形成するための感圧性接着剤を含むトルエン溶液として、アクリル系共重合体アクリル酸n-ブチル:100重量部、およびアクリル酸:5重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体:100重量部に対して、イソシアネート系架橋剤商品名コロネートL日本ポリウレタン工業社製:2重量部、重合ロジン系樹脂商品名ハリエスターKT-2ハリマ化成株製:15重量部、水添ロジン系樹脂商品名ステベライトEイーストマンケミカル製:5重量部が配合された構成を有する感圧性接着剤を含むトルエン溶液を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、仮固定用粘着層/基材/ゴム状有機弾性層/熱剥離型粘着層の層構成を有する両面粘着テープ又はシート加熱剥離型両面粘着シートを得た。比較例2仮固定用粘着層を形成するための感圧性接着剤を含むトルエン溶液として、アクリル系共重合体アクリル酸2-エチルヘキシル:100重量部、アクリル酸エチル:40重量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル:6重量部、およびメタクリル酸メチル:7重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体:100重量部に対して、イソシアネート系架橋剤商品名コロネートL日本ポリウレタン工業社製:2重量部、可塑剤商品名モノサイザーW-700大日本インキ化学工業株製;DOP:15重量部が配合された構成を有する感圧性接着剤を含むトルエン溶液を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、仮固定用粘着層/基材/ゴム状有機弾性層/熱剥離型粘着層の層構成を有する両面粘着テープ又はシート加熱剥離型両面粘着シートを得た。評価実施例1および比較例1~2で得られた各両面粘着テープ又はシートについて、以下の測定方法又は評価方法により、引張粘着力、ズレ量、X/Y比、ゲル分率、台座保持性、横ズレ防止性を測定又は評価した。引張粘着力の測定方法実施例又は比較例に係る各両面粘着テープ又はシートを幅20mm、長さ100mmのサイズに切断し、常温23°C±2°C且つ湿度:65±5RHの条件下で、仮固定用粘着層がSUS304BA板に接触する形態で、SUS304BA板に、2kgのローラーを1往復させる方法で圧着して貼り合わせた後、30分間放置した。放置後、温度:23±2°C、湿度:65±5RHの条件下、SUS304BA板より両面粘着テープ又はシートを、剥離角度:180°、引張速度:300mm/minの条件で引き剥がした時の荷重最大荷重を測定し、引張粘着力N/20mm幅を求めた。ズレ量の測定方法実施例又は比較例に係る各両面粘着テープ又はシートを幅20mm、長さ100mmのサイズに切断し、常温23°C±2°C且つ湿度:65±5RHの条件下で、仮固定用粘着層がSUS304BA板に接触する形態で、SUS304BA板に、20mm幅×10mmの接着面積で2kgのローラーを1往復させる方法で圧着して貼り合わせ、23±2°Cで30分間放置した。放置後、両面粘着テープ又はシートの端部に200gの荷重をかけ、JISZ0237にある保持力の測定方法に準じて、圧着時からのズレの大きさズレ量を測定し、23±2°Cで60分間後のズレ量mm/20mm幅を求めた。ゲル分率の測定方法仮固定用粘着層を形成するための粘着剤組成物を剥離ライナー上に塗工した後、乾燥乃至硬化させて、仮固定用粘着層を形成した。該仮固定用粘着層を秤量して、その重量を測定し、該重量を浸漬前重量Aとした。次に、この仮固定用粘着層を、トルエン中に常温23±2°Cで72時間浸漬させた後、未溶解部分を取り出し、オーブン等を用いてトルエンを完全に蒸発させ、乾燥された未溶解部分を秤量して、その重量を測定し、該重量を浸漬後重量Bとした。そして、下記の式からゲル分率を算出した。ゲル分率重量=B/A×1001式1において、Aは浸漬前重量であり、Bは浸漬後重量である。台座保持性の評価方法実施例又は比較例に係る各両面粘着テープ又はシートを幅20mm、長さ100mmのサイズに切断してサンプルを作製し、該サンプルを、SUS304BA板に、仮固定用粘着層がSUS304BA板に接触する形態で、2kgのローラーを1往復させる方法で圧着して貼り合わせた後、図2aで示されるように、サンプルの一端に50gの重りを付けた。これを、図2bで示されるように、サンプル側両面粘着テープ又はシート側が下になるようにして、図2cで示されるように、サンプル両面粘着テープ又はシートにおける重りを付けた方の端を50mm剥がした。この後、重りを静かに離し、この離した時の位置を原点ゼロとして、1分後の剥離距離mmを測定した。そして、下記の評価基準により、台座保持性を評価した。台座保持性の評価基準○:剥離距離が10mm未満である。×:剥離距離が10mm以上である。なお、図2は、実施例において、台座保持性を評価する方法を示す概略図であり、図2aはSUS304BA板に貼着されているサンプルの一端に50gの重りを付けた状態を示す概略図であり、図2bはサンプル側が下になるようにセットした状態を示す概略図であり、図2cはサンプルの重りを付けた方の端を50mm剥がした状態を示す概略図である。図2a~cにおいて、8はサンプル両面粘着テープ又はシート、9はSUS304BA板ステンレス板、10は50gの重りである。横ズレ防止性の評価方法実施例又は比較例に係る各両面粘着テープ又はシートを幅10mm、長さ100mmのサイズに切断してサンプルを作製し、該サンプルを、SUS304BA板に、幅10mm×長さ20mmの接着面積で、仮固定用粘着層がSUS304BA板に接触する形態で、2kgのローラーを1往復させる方法で圧着して貼り合わせた後、40±2°Cの雰囲気下で貼り合わせた部分に5Nの荷重をのせ、さらに、両面粘着テープ又はシートのSUS304BA板に貼着されていない端部側に、5Nの力でせん断方向に荷重をかけ、この状態で1時間放置した後、両面粘着テープ又はシートのズレ量mmを測定した。そして、下記の評価基準により、横ズレ防止性を評価した。横ズレ防止性の評価基準○:ズレ量が0.3mm未満である。×:ズレ量が0.3mm以上である。表1より、実施例1に係る両面粘着テープ又はシートは、仮固定用粘着層が、引張引張粘着力が2.0~20N/20mm幅である特性とともに、ズレ量が0.3mm/20mm幅以下である特性を有しているので、台座保持性が良好であるとともに、横ズレが有効に抑制又は防止されていることが確認された。"