"パッケージであって、シリコンから成る第1の要素10と多孔質シリコンから成る第2の要素20とを備える本体1と、少なくとも前記多孔質シリコンに設けられる少なくとも1つの第1のキャビティ31と、前記少なくとも1つの第1のキャビティ31の少なくとも1つの内壁の少なくとも1つの部分310に電気的に結合される第1の導電接点領域41と、前記パッケージの一部分320に電気的に結合される第2の導電接点領域42とを有し、前記一部分は、少なくとも前記第2の要素20内へと延びるとともに、前記少なくとも1つの第1のキャビティ31の内壁とは異なり、前記2つの接点領域41,42が互いに電気的に絶縁される、パッケージ。前記第1の接点領域41は、前記本体の前記第1の要素10の第1の面F1に位置され、前記本体は、前記第1の接点領域41から前記少なくとも1つの第1のキャビティの前記少なくとも1つの内壁の前記少なくとも1つの部分310に至るまで前記第1の要素10を貫通して延びる第1の導電接続手段410を備える請求項1に記載のパッケージ。前記第1の接続手段は、絶縁部位411によって取り囲まれる金属シリサイドから形成される第1の部位410を備える請求項2に記載のパッケージ。前記少なくとも1つの第1のキャビティ31は、前記第1の要素10の前記第1の面F1とは反対側にある前記第2の要素20の自由面F2で開口する請求項2または請求項3に記載のパッケージ。前記第2の接点領域42は、前記本体の前記第1の要素の前記第1の面F1に位置され、前記本体は、前記第2の接点領域42から前記パッケージの前記一部分320に至るまで前記第1の要素10を貫通して延びる第2の導電接続手段420を備える請求項2から請求項4の一項に記載のパッケージ。前記第2の接続手段が金属シリサイドから形成される第2の部位420を備える請求項5に記載のパッケージ。前記第2の部位420が絶縁部位421によって取り囲まれる請求項6に記載のパッケージ。前記多孔質シリコンの孔径が数ナノメートル程度である請求項1から請求項7の一項に記載のパッケージ。人体へのパッケージの埋め込みに適合するサイズを有する請求項1から請求項8の一項に記載のパッケージ。前記本体は、少なくとも前記多孔質シリコンに設けられる少なくとも1つの第2のキャビティ32を更に含み、パッケージの前記一部分320は、前記少なくとも1つの第2のキャビティ32の少なくとも1つの内壁の少なくとも1つの部分を備える請求項1から請求項9の一項に記載のパッケージ。前記少なくとも1つの第2のキャビティ32は、前記第1の要素の前記第1の面とは反対側にある前記第2の要素の自由面F2で開口する請求項2および請求項10に記載のパッケージ。前記少なくとも1つの第2のキャビティ32が前記第1の要素の前記第1の面F1で開口する請求項2および請求項10に記載のパッケージ。パッケージの前記一部分320が前記多孔質シリコンの孔を備える請求項1から請求項9の一項に記載のパッケージ。請求項10から請求項12の一項に記載のパッケージと、前記少なくとも1つの第1のキャビティ31内に収容される第1の活性物質PA1と、前記少なくとも1つの第2のキャビティ32内に収容される第2の活性物質PA2と、前記少なくとも1つの第1のキャビティを塞ぐための第1の閉塞手段5と、前記少なくとも1つの第2のキャビティを塞ぐための第2の閉塞手段とを備える装置。請求項13に記載のパッケージと、前記少なくとも1つの第1のキャビティ内に収容される第1の活性物質PA1と、前記少なくとも1つの第1のキャビティを塞ぐための第1の閉塞手段5とを備える装置。前記第1および第2の活性物質PA1,PA2のうちの少なくとも一方が粉末を備え、該粉末の粒径が前記多孔質シリコンの孔径よりも大きい請求項14または請求項15に記載の装置。前記1または複数のキャビティ内に収容される1または複数の活性物質と相互に作用するために活性流体LQAが前記多孔質シリコンを通じて流れ、2つの前記導電接点領域間で電位差Vがもたらされるときの、請求項14から請求項16の一項に記載の装置のバイオ燃料電池。ここで、特にインプラントのサイズを減少させて、これらのバイオ燃料電池により発生される電力を増大させるための工業的に許容できる解決策が提案されなければならない。1つの実施形態によれば、本発明は、工業的に達成できるとともに人体への埋め込みに適合するバイオ燃料電池の一要素として特に使用され得るがこれに限定されないパッケージを提供する。1つの態様によれば、本発明は、パッケージであって、シリコンから成る第1の要素と多孔質シリコンから成る第2の要素とを備える本体と、少なくとも多孔質シリコンに設けられる少なくとも1つの第1のキャビティと、前記少なくとも1つの第1のキャビティの少なくとも1つの内壁の少なくとも1つの部分に電気的に結合される第1の導電接点領域と、パッケージの一部分に電気的に結合される第2の導電接点領域とを有し、前記一部分が、少なくとも前記第2の要素内へと延びるとともに、前記少なくとも1つの第1のキャビティの内壁とは異なり、2つの接点領域が互いに電気的に絶縁される、パッケージを提供する。1つの変形例によれば、本体は、少なくとも多孔質シリコンに設けられる少なくとも1つの第2のキャビティを更に含み、前記少なくとも1つの第1のキャビティの内壁とは異なパッケージの前記一部分は、前記少なくとも1つの第2のキャビティの少なくとも1つの内壁の少なくとも1つの部分を備える。他の変形例によれば、パッケージの前記一部分が多孔質シリコンの孔を備える。言い換えると、この他の変形例によれば、先の変形とは異なり、多孔質シリコンに第2のキャビティが設けられない。どんな変形例であろうと、1つの実施形態によれば、第1の接点領域は、本体の第1の要素の第1の面に位置され、本体は、前記第1の接点領域から前記少なくとも1つの第1のキャビティの前記少なくとも1つの内壁の前記少なくとも1つの部分に至るまで第1の要素を貫通して延びる第1の導電接続手段を備える。導電手段はシリコンから形成されてもよいが、第1の接続手段が絶縁部位によって取り囲まれる金属シリサイドから形成される第1の部位を備えることが好ましい。これにより、特に導電接続手段が液状活性物質と接触するときに酸化を防止することができる。1つの実施形態によれば、前記少なくとも1つの第1のキャビティは、第1の要素の前記第1の面とは反対側にある第2の要素の自由面で開口する。1つの実施形態によれば、第2の接点領域は、本体の第1の要素の前記第1の面に位置され、本体は、前記第2の接点領域からパッケージの前記一部分に至るまで前記第1の要素を貫通して延びる第2の導電接続手段を備える。ここでも先と同様に、これらの第2の接続手段が金属シリサイドから形成される第2の部位を備えることが好ましい。この第2の部位も絶縁部位によって取り囲まれることが好ましい。少なくとも1つの第2のキャビティが少なくとも多孔質シリコンに設けられる変形例において、この第2のキャビティは、第1の要素の前記第1の面とは反対側にある第2の要素の自由面で開口してもよい。言い換えると、この実施形態によれば、前記少なくとも1つの第1のキャビティおよび前記少なくとも1つの第2のキャビティが本体の同じ自由面で開口する。また、前記少なくとも1つの第2のキャビティが前記第1の要素の前記第1の面で開口することもできる。言い換えると、この実施形態によれば、前記少なくとも1つの第1のキャビティおよび前記少なくとも1つの第2のキャビティが本体の2つの反対側の面で開口する。多孔質シリコンの孔径は数ナノメートル程度であることが有益であり、また、1つの実施形態によれば、パッケージは、人体への埋め込みに適合するサイズを有する。他の態様によれば、本発明は、先に規定されたパッケージと、前記少なくとも1つの第1のキャビティ内に収容される第1の活性物質、例えば圧縮酵素粉末と、前記少なくとも1つの第2のキャビティ内に収容される第2の活性物質、例えば他の圧縮酵素物質と、前記少なくとも1つの第1のキャビティを塞ぐための第1の閉塞手段と、前記少なくとも1つの第2のキャビティを塞ぐための第2の閉塞手段とを備える装置を提供する。パッケージが第2のキャビティを含まない場合、本発明は、先に規定されたパッケージと、前記少なくとも1つの第1のキャビティ内に収容される第1の活性物質と、前記少なくとも1つの第1のキャビティを塞ぐための第1の閉塞手段とを備える装置を提供する。第1および第2の活性物質のうちの少なくとも一方が例えば粉末を備え、該粉末の粒径は多孔質シリコンの孔径よりも大きい。したがって、多孔質シリコンは、好適には、膜としての機能を果たす。他の態様によれば、本発明は、前記1または複数のキャビティ内に収容される1または複数の活性物質と相互に作用するために活性流体、例えば生物学的流体が多孔質シリコンを通じて流れ、2つの導電接点領域間で電位差がもたらされるときの、先に規定された装置のバイオ燃料電池としての使用を提案する。本発明の他の利点および特徴は、専ら非限定的な実施形態の詳細な説明と添付図面とを検証すると明らかになる。図1において、参照符号BTは、本体1を備えるパッケージを示している。この本体1は、シリコンから成る第1の要素10と、多孔質シリコンから成る第2の要素20とを備える。2つの要素10,20は互いに結合される。第1のキャビティ31が多孔質シリコンの第2の要素20に設けられ、この第1のキャビティ31は第2の要素の自由面F2で開口する。第2のキャビティ32が多孔質シリコンの第2の要素20に設けられ、この第2のキャビティ32も第2の要素の自由面F2で開口する。第1の導電接点領域41および第2の導電接点領域42が、第1の要素10の第1の面F1上、すなわち、ここでは第2の要素の自由面F2と反対側にある面F1上に設けられる。第1の導電接点領域41は、第1のキャビティ31の内部底壁の一部分310に電気的に結合される。同様に、第2の導電接点領域42は、ここでは第2のキャビティ32の内部底壁の一部分320に電気的に結合される。このような状況であれば、一変形例において、1または複数の導電接点領域を対応するキャビティの幾つかの内壁に電気的に結合させることができる。ここでは、第1の導電接点領域41が第1の金属接点パッド412を備え、一方、第2の導電接点領域42が第2の金属接点パッド422を備える。本体1は、第1の接点領域412から第1のキャビティ31の内部底壁の部分310に至るまで第1の要素10を貫通して延びる第1の導電接続手段410も備える。これらの第1の接続手段は、ここでは、絶縁部位411によって取り囲まれる金属シリサイド、例えばケイ化チタンから形成される第1の部位410を備える。同様に、第2の導電接続手段は、ここでは、絶縁部位421によって取り囲まれる金属シリサイド、例えばケイ化チタンから同様に形成される第2の部位420を備える。第1の接点パッド412は、絶縁層45、例えば窒化ケイ素層に形成される開口を通じて第1のシリサイド化部位410と接触する。同様に、第2の接点パッド422は、この層45の他の開口を通じて第2のシリサイド化部位420と接触する。最後に、2つの接点パッド412,422の上部は、例えば二酸化ケイ素から成る絶縁層43によって互いから分離される。その結果、2つの接点領域41,42は互いから電気的に分離される。パッケージBTの寸法は、この実施形態では、パッケージBTを人体に容易に埋め込むことができるように選択されるのが有益である。非限定的な例として、パッケージBTの長さLは、数ミリメートル程度、例えば1~20mmであり、一方、パッケージの高さHは、数ミクロン程度、例えば100~750ミクロンであり、また、パッケージBTの深さ幅Pは、数ミリメートル程度、例えば1~20mmである。また、多孔質シリコンの孔径は、この実施形態では、数ナノメートル程度、一般的には2~3ナノメートルである。ここでは、平行六面体形状を有するパッケージを示してきたが、無論、パッケージは、任意の形状、例えば円筒状を成すことができる。図2において、参照符号DISは、電池として使用され得る装置を示している。より正確には、ここで説明される例において、第1のキャビティ31には、第1の活性物質PA1、例えば圧縮粉末の形態を成す物質が充填され、一方、第2のキャビティには、第2の活性物質PA2、例えばこの場合も圧縮粉末が充填される。例えばシリコンウエハまたはガラスプレートなどの閉塞手段5が、任意の既知の手段によってパッケージの面F2に結合される。この場合、活性流体LQAまたは電解液が、多孔質シリコンの第2の要素20の全ての自由面を介して装置に入り込んで、多孔質シリコンを通じて流れ、それにより、活性物質PA1,PA2と反応することができる。活性流体LQAは、多孔質シリコンの他の自由面を通じて逃げることもできる。無論、粉末PA1,PA2の粒径および多孔質シリコンの孔径は、活性物質PA1,PA2が依然として活性流体LQAと反応できつつキャビティ31,32から逃げないように調整される。言い換えると、多孔質シリコンの孔径は、粉末の粒径がそのようにできる場合には、2または3ナノメートルを上回ってもよい。また、第1のシリサイド化部位410は活性物質PA1と接触しており、一方、第2のシリサイド化部位420は活性物質PA2と接触している。このとき、第1の導電接点領域41は例えば電池の陰極ANを形成し、一方、第2の接点領域42は例えば電池の陽極CTを形成する。シリサイド化部位410,420と接触する活性物質PA1,PA2間の活性流体LQAとの相互作用によって、電流が陰極と陽極との間で流れることができ、その結果、装置の端子41,42間で電圧差Pを利用できる。パッケージがそれを人体に埋め込むことができるようなサイズを有するときには、装置DISをバイオ燃料電池として使用できる。したがって、一例として、PhilippeCinquinによる前述した論文に記載されるものを、活性物質PA1,PA2として、また、流体LQAとして使用することができる。一般に、パッケージBTは、集積回路を製造するためにマイクロエレクトロニクスで用いられるそれ自体知られる従来の技術を使用して容易に形成されてもよい。一般に、幾つかのパッケージBTが同じシリコンウエハを発端として同時に形成される。次に、パッケージの構成要素が完成された後に、得られたパッケージを単体にするためにウエハがダイスカットされる。パッケージは、例えば、直径が200mmの半導体ウエハ上に0.35ミクロン技術で形成されてもよく、あるいは、300mm直径のウエハ上に先進のCMOS技術で形成されてもよい。ここで、図1に示されるパッケージなどのパッケージの一実施形態を示すために特に図3~図7を参照する。簡略化するため、ここでは、たった1つのパッケージの形成について説明する。図3に示される第1のステップでは、多孔質シリコンがシリコン基板に形成される。当業者に良く知られるように、多孔質シリコンは、フッ化水素酸HF溶液中での固体シリコンの電気化学的陽極酸化によって得られる。当業者は、所望の多孔質シリコン高さと所望の孔径とを得るために電気化学パラメータを調整する。一例として、数ナノメートル程度、例えば1~3ナノメートルの孔径を有する多孔質シリコンは、35フッ化水素酸溶液中で20mA/cm2の電流密度により陽極酸化されたPドープされたシリコンを使用することによって得られてもよい。この電気化学的陽極酸化の後、図3に示される構造が得られ、この構造は、2つの要素の全体の高さが約750ミクロンである場合、例えば10ミクロン未満の高さを有するシリコンの第1の要素10と、約740ミクロンの厚さを有する多孔質シリコンの第2の要素20とを備える。真性シリコンのドーピングレベルは例えば1015atoms/cm3である。更に高い1017atoms/cm3よりも大きいドーピングレベルが使用されてもよい。次に、図4および図5に示されるように、従来のエッチングマスクを使用して分離トレンチ411,421が形成されるここでは図示せず。これらのトレンチを形成するため、通常は当業者により頭字語TSV貫通シリコンビアホールthrough-siliconviasで表記される基質を貫通するビアホールを形成するためにマイクロエレクトロニクスで使用される技術と同一の技術を使用することができる。例えば、約3~10ミクロンの深さを有するトレンチが形成され、これらのトレンチは、絶縁材料、例えば二酸化ケイ素で満たされる。次に、図6に示されるように、シリサイド化部位410,420を形成するためのマスクが規定される。このマスクは、例えば窒化ケイ素から成る絶縁層から形成されてもよく、その開口は、分離トレンチ411,421により境界付けられる内部空間に対応する。次に、シリサイド化部位410,420を得るために、シリコンおよび多孔質シリコンが従来のようにマスク45を通じてシリサイド化される。次に、図7に示されるように、所望の深さおよび幅のキャビティを得るために、例えば過フッ化炭化水素化合物例えばSF6またはCF4を使用するプラズマ化学エッチングによってキャビティ31,32が形成される。一例として、キャビティの深さは約740ミクロン以上であってもよく、一方、幅は約80ミクロンであってもよい。その結果、ここでは多孔質シリコンに形成される2つのキャビティ31,32の底壁は、これらの底壁の部分310,320でシリサイド化領域と接触する。なお、ここでは、エッチング工程は、絶縁部位411の一部とシリサイド化部位410の一部とをエッチングしてもよい。また、キャビティのうちの少なくとも一方は、エッチング工程を使用して、シリコン中へと真っ直ぐに延びることができる。次に、絶縁層43図1の開口に金属を堆積させることによって接点パッド412,422が従来のように形成される。図8は、パッケージBTの他の実施形態を示しており、この実施形態では、2つのキャビティ31,32が本体の2つの反対側の面F1,F2で開口する。より正確には、第1のキャビティ31が背面F2で開口し、一方、第2のキャビティ32が前面F1で開口する。また、第2のシリサイド化部位420は、キャビティ32の側方で延びて図8および図9、このキャビティ32の内部側壁の一部と接触する。更に、図9に示されるように、シリサイド化部位420がキャビティ32から突出し、それにより、接点パッド422がこのシリサイド化部位420と接触できる一方で、依然として、図10に示されるように、このキャビティ32が第2の活性物質PA2で満たされた後にキャビティ32を塞ぐべくカバー52を適用できる。図10の装置DISは、背面に、第1のキャビティ31が第1の活性物質PA1で満たされた後に第1のキャビティ31を塞ぐためのカバー51も含む。ここでも先と同様に、カバー51,52は例えばシリコンまたはガラスカバーであってもよい。装置DISは、ここでも先と同様に第1の接点412を陰極ANとして使用するとともに第2の接点422を陽極CTとして使用する電池あるいは更にはバイオ燃料電池として使用されてもよい。無論、図1の実施形態においてであろうとあるいは図9の実施形態においてであろうと、キャビティのサイズが異なってもよい。したがって、陰極側には陽極側よりも大きいキャビティが設けられてもよく、あるいは更には、陰極側で互いに電気的に接続される幾つかの第1のキャビティが設けられてもよい。図11は、単一のキャビティ31を備えるあるいは必要ならば互いに結合される幾つかのキャビティ31の組を備えるパッケージBTの他の実施形態を示している。図11に示される例では、単一のキャビティ31が示される。パッケージBTのこの部分は、先と同様に、先の図に関連して説明した構造と同様の構造を有する。しかしながら、第2のキャビティが第2のシリサイド化部位420と接触して設けられていない。この実施形態では、第2のシリサイド化部位420が多孔質シリコンの孔322へと直接に開口する。図11のパッケージBTは、電池あるいは更にはバイオ燃料電池を形成できる装置BISの構成要素として使用されてもよい。より正確には、図12に示されるように、今回は、例えば粉末形態の活性物質PA1だけがキャビティ31内に収容される。その後、キャビティを塞ぐために、前述した態様と同様の態様で背面にカバー5が結合される。活性流体LQAは、一方ではシリサイド化部位420と相互に作用し、他方ではシリサイド化部位410とそれ自体が接触する活性物質PA1と相互に作用する。活性物質PA1に電気的に結合される第1の電気接点は例えば陰極ANを形成し、一方、多孔質シリコンを通じて流れる活性流体に電気的に結合される第2の接点は、電池の陽極CTを形成する。装置は、適した活性物質PA1および適した活性流体LQAを用いるバイオ燃料電池、例えばSparksofLifeと題される前述した論文に記載されるバイオ燃料電池として使用されてもよい。ここで説明してきた装置がバイオ燃料電池として使用されるようになっている場合、これらの装置は、例えば、P.Cinquinによる前述した論文に記載される態様と同様の態様でそれ自体が人体に埋め込まれるのに適した袋または包装体の中に収容されてもよい。"