1種以上の金属を含む球状粒子の製造方法であって、a.溶剤と、1種以上の熱分解可能な金属含有化合物とを包含する前駆体溶液を提供する工程と、b.キャリアガス中に分散した前記前駆体溶液の微小化液滴を含むエアロゾルを形成する工程と、c.前記エアロゾルを1以上の拡散ドライヤに通す工程と、d.前記エアロゾルを加熱し、加熱時に球状金属粒子が形成される工程と、e.前記金属粒子エアロゾルを急冷する工程と、f.前記球状金属粒子を収集する工程と、を含む方法。工程aにおいて、前記金属化合物が、Ag、Au、Bi、Cd、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hg、In、Ir、Mn、Mo、Ni、Pd、Pb、Pt、Re、Rh、Ru、Sb、Sn、Ti、W、Znのうちの1種以上の金属を含有する請求項1に記載の方法。工程eにおいて、収集温度がいかなる溶剤も前記球状金属粒子上に凝縮させない請求項1に記載の方法。工程bにおいて、液滴の濃度が、液滴の衝突及びそれに続く合体により前記液滴の濃度が10減少するような濃度未満である請求項1に記載の方法。工程cにおいて前記エアロゾル粒子中の溶剤の10~50が除去される請求項1に記載の方法。工程cにおいて、前記拡散ドライヤにおける時間が、前記粒子が工程dで加熱されている時間の25~200である請求項1に記載の方法。工程dの前記加熱が600°C~1500°Cである請求項1に記載の方法。前記高密度球状純粒子が非断片化されている請求項1に記載の方法。前記高密度球状粒子が非中空である請求項1に記載の方法。工程dの前記加熱が、前記金属含有化合物の分解温度超であるが形成された前記球状金属粒子の融点未満である請求項6に記載の方法。工程bの前記キャリアガスが空気を含む請求項1に記載の方法。工程bの前記キャリアガスが不活性ガスを含む請求項1に記載の方法。工程bの前記キャリアガスが窒素を含む請求項9に記載の方法。工程bの前記キャリアガスが還元ガスを含む請求項9に記載の方法。工程bの前記キャリアガスが、窒素ガスと4の水素ガスとを含む請求項9に記載の方法。工程aの前記前駆体溶液が共溶媒をさらに含む請求項1に記載の方法。前記共溶媒が、1~5の炭素を有する有機化合物を含む請求項16に記載の方法。前記共溶媒がアルコールを含む請求項17に記載の方法。共溶媒が前記溶液の体積の約1~約50の量で存在する請求項13に記載の方法。前記前駆体溶液が種粒子をさらに含む請求項1に記載の方法。前記種粒子がコロイドである請求項17に記載の方法。請求項1に記載の方法によって製造される前記球状金属粒子。本発明のある実施形態は、次の元素、すなわちAu、Bi、Cd、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hg、In、Ir、Mn、Mo、Ni、Pd、Pb、Pt、Re、Rh、Ru、Sb、Sn、Ti、W、Znのうち1種以上の元素を含有する球状の非中空、非断片化金属又は金属合金粉末である材料に関する。さらなる実施形態は、1種以上の金属を含む球状の非中空、非断片化粒子の製造方法であって、a.溶剤と、1種以上の熱分解可能な金属含有化合物とを含む前駆体溶液を提供する工程と、b.キャリアガス中に分散した前駆体溶液の微小化液滴を含むエアロゾルを形成する工程と、c.エアロゾルを1以上の拡散ドライヤに通す工程と、d.エアロゾルを加熱し、加熱時に球状金属粒子が形成される工程と、e.金属粒子エアロゾルを急冷する工程と、f.球状金属粒子を収集する工程と、を含む方法に関する。付加的な実施形態は、導電フィルムを形成するのに適したインク又はペーストの形態に調製され、球状の非中空、非断片化金属又は金属合金粒子を含む導体構成物に関する。さらなる態様は、球状の非中空、非断片化金属又は金属合金粒子を含有する装置に関する。定義溶剤に関連して本明細書において使用される語揮発可能なとは、最高動作温度に到達するときまでには、蒸発によるものであろうと及び/又は分解によるものであろうと、溶剤の少なくとも一部が、蒸気又はガスに転化されることを意味する。ある実施形態では、最高動作温度に到達するときまでには、蒸発によるものであろうと及び/又は分解によるものであろうと、溶剤の70超が、蒸気又はガスに転化される。本明細書において使用される語熱分解可能なとは、最高動作温度に到達するときまでには、化合物の少なくとも一部が金属に分解され、副産物を揮発させることを意味する。ある実施形態では、最高動作温度に到達するときまでには、化合物の70超が金属に分解され、副産物を揮発させる。ある実施形態では、最高動作温度に到達するときまでには、化合物の90超が金属に分解され、副産物を揮発させる。例えば、AgNO3、CoNO32、PdNO32は分解されて、NOX、Ag、Pd金属をそれぞれ形成する。エアロゾルを形成するのに使用されるキャリアガスに対して不活性である限り、任意の可溶性の金属塩を本発明の方法において使用することができる。例には、金属硝酸塩、燐酸塩、硫酸塩、酢酸塩などが含まれる。具体的な例には、適当な塩、すなわちAgNO3、Ag3PO4、Ag2SO4、PdNO32、Pd3PO42、PtNO32、CoNO32、CoC2H3O22、PbNO32などが含まれる。ある実施形態では、金属化合物は、0.2モル/リットル程度でかつ特定の塩の溶解限度寸前の濃度まで使用してよい。さらなる実施形態では、濃度は、約0.2モル/リットル超であり、飽和状態の約90未満である。粒子が安定した懸濁液を形成するのであれば、非常に小さなコロイド状の金属粒子を使用してもよい。1種以上の金属を含む球状粒子の製造方法ある実施形態は、1種以上の金属を包含する球状粒子の製造方法に関する。この方法は、a.溶剤と、1種以上の熱分解可能な金属含有化合物とを含む前駆体溶液を提供する工程と、b.キャリアガス中に分散した前駆体溶液の微小化液滴を含むエアロゾルを形成する工程と、c.エアロゾルを1以上の拡散ドライヤに通す工程と、d.エアロゾルを加熱し、加熱時に球状金属粒子が形成される工程と、e.金属粒子エアロゾルを急冷する工程と、f.球状金属粒子を収集する工程と、を含む。ある実施形態では、熱分解可能な金属含有化合物は、Ag、Au、Bi、Cd、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hg、In、Ir、Mn、Mo、Ni、Pd、Pb、Pt、Re、Rh、Ru、Sb、Sn、Ti、W、およびZnからなる群から選択された1種以上の金属の熱分解可能な形態を含んでもよい。例えば、金属は、限定するわけではないが、AgNO3、Ag3PO4、Ag2SO4、PdNO32、Pd3PO42、PtNO32、CoNO32、CoC2H3O22、PbNO32などを含む、当業者に公知の塩の形態でもよい。ある実施形態では、金属化合物は、0.2モル/リットル程度でかつ特定の塩の溶解限度寸前の濃度まで使用してもよい。さらなる実施形態では、濃度は、約0.2モル/リットル超であり、飽和状態の約90未満である。ある実施形態では、キャリアガスは、空気、窒素、および水素からなる群から選択された1種以上のガスを含んでもよい。ある実施形態では、キャリアガスは、粒子中に含まれる金属と反応しない不活性ガスを含んでもよい。さらなる実施形態では、キャリアガスは、還元ガスを含んでもよい。キャリアガスは、窒素と4の水素とを含んでもよい。金属含有化合物のための溶剤に対して不活性な任意の実質的に蒸気状の材料を、本発明を実施するためのキャリアガスとして使用してもよい。適当な蒸気状の材料の例は、空気、窒素、酸素、蒸気、アルゴン、ヘリウム、二酸化炭素などである。別の実施形態では、窒素は、1200°C未満の温度で安定な金属酸化物を形成する元素のためのキャリアガスである。これらの元素の例には、Co、Mo、Fe、Mn、Cu、Niなどが含まれる。幾つかの最終用途では、合金粉末中における金属酸化物の存在は、許容することができ又は望ましい。他の実施形態では、水素又は一酸化炭素のような還元ガスを窒素と混合して、キャリアガスを形成してもよい。還元ガスは、総計で2、4、6、8又は10モルパーセントまで存在してもよい。ある実施形態では、液滴発生についての当業者には公知の任意の従来の装置を使用してエアロゾルを調製してもよく、これらの装置には、限定するわけではないが、噴霧器、衝突噴霧器、超音波噴霧器、振動オリフィスエアロゾル発生器、遠心噴霧器、二流体噴霧器、静電噴霧器などが含まれる。さらに、所与のエアロゾル発生器に対して、金属含有化合物の溶液の濃度は、粒子寸法に影響を及ぼす。特に、粒子寸法は、濃度の立方根の近似関数である。したがって、銀含有および非銀含有化合物の濃度が高くなればなるほど、沈殿した金属又は金属合金の粒子寸法が大きくなる。粒子寸法の大きな変化が必要な場合には、異なるエアロゾル発生器を使用しなければならない。ある実施形態では、工程eの収集温度は、任意の溶剤を球状金属粒子上に凝縮させてはならない。ある実施形態では、工程bの液滴の濃度は、液滴の衝突及びそれに続く合体により前記液滴の濃度が10減少する濃度未満でもよい。ある実施形態では、工程cにおいて、エアロゾル粒子中における溶剤の10~50を除去してもよい。ある実施形態では、拡散ドライヤ用に使用される装置の型式自体は、重要ではない。拡散ドライヤは、ガラス結晶質粒子成分のエアロゾル粒子から水を除去するのに使用される。ある実施形態では、拡散ドライヤは、溶剤除去材料を含有する2つの同心円をもつカートリッジを含んでもよい。例えば、水については、適当な水除去材料は、シリカゲル、粘土、酸化カルシウム、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、および硫酸カルシウムを含む。ある実施形態では、溶剤除去材料は、シリカゲルを含んでもよい。エアロゾル粒子は、拡散ドライヤを通って流れ、溶剤の10~50を除去する。溶剤を除去しない又は10未満の溶剤を除去すると、中空粒子が生成される。溶剤を除去しすぎると、断片化粒子が生成される。20~40の溶剤を除去すると、非中空、非断片化粒子が生成される。ある実施形態では、工程cにおいて、拡散ドライヤにおける時間は、粒子が工程dで加熱されている時間の25~200でもよい。本発明の方法を実施してもよい温度範囲はかなり広く、金属含有化合物の分解温度から、形成された球状金属又は金属合金粒子の融解点にまで及ぶ。工程dにおいてエアロゾルを加熱するのに使用される装置の型式は、それ自体重要ではなく、直接加熱又は間接加熱のいずれを使用してもよい。例えば、管状炉を使用してもよく、或いは燃焼炎中での直接燃焼を使用してもよい。ある実施形態では、温度は、形成された多元素、合金粉末含有銀、および少なくとも2つの非銀含有元素の融解点より上に達しなくともよい。ある実施形態では、工程dの加熱は、600°C~1500°Cでもよい。ある態様では、工程dの加熱は、金属含有化合物の分解温度超かつ形成された球状金属粒子の融点未満でもよい。反応温度に到達し、球状金属又は金属合金粒子が形成されると、球状金属又は金属合金粒子は急冷され、フィルタ、サイクロン、静電気選別機、バグフィルタ、フィルタディスクなどのような1つ又は1つ以上の装置によって収集される。ある実施形態では、高密度球状純粒子は、非断片化されてもよい。さらなる態様では、高密度球状粒子は、非中空である。ある実施形態では、工程aの前駆体溶液は、共溶媒を含んでもよい。共溶媒は、1個~5個の炭素を有する有機化合物を含んでもよい。ある実施形態では、共溶媒は、アルコールを含んでもよい。共溶媒は、前記溶液の体積で約1~約50の量で存在してもよい。ある実施形態では、共溶媒は、金属酸化物の還元剤として作用してもよく、蒸発可能なものでもよく、キャリアガスに対して不活性でもよく、主溶剤と混和できるものでもよく、炭素数が1~5の炭素のものでもよい。適当な共溶媒の例には、アルコール、エステル、エーテル、ケトン等が含まれる。ある実施形態では、共溶媒は、溶液中に体積比で1~50、又はさらなる実施形態では5~20の量で存在してもよい。ある実施形態では、工程aの前駆体溶液は、種粒子を含んでもよい。種粒子は、コロイドでもよい。ある実施形態では、エアロゾル中の可溶性の金属含有化合物の濃度は、供給温度において飽和濃度未満でもよく、ある態様では、飽和濃度の少なくとも10未満でもよい。ある実施形態では、エアロゾル中の液滴の濃度は、液滴の衝突及びそれに続く合体により、液滴の濃度が10減少する濃度未満となるように、十分に小さくともよい。ある実施形態では、反応器の温度は、形成された球状金属又は金属合金の融点未満でもよい。噴霧熱分解反応系を液滴発生器と管状炉と収集用の粒子フィルタとで構成した。周波数1.65MHzの超音波発生器を使用した。管状炉は、全長32インチ、直径2cm、温度範囲100°C~1200°Cであった。キャリアガスとして窒素を使用し、ロタメータを使用してエアロゾルの流量を1L/分~5L/分に調整した。拡散ドライヤは、2つの同心円を含み、外側の円がパック状のシリカゲルを収容する、長さ13インチのチューブであった。拡散ドライヤを発生器と炉との間に加え、液滴を予備乾燥した。最終製品を最適にするため、異なる数の拡散ドライヤを選定した。フィルタを系の端部に設け、形成された粒子を収集しつつ、キャリアガスを通過させた。濾過に先立ち、10L/分の窒素を急冷ガスとして使用した。プロセス全体を図1に図示した。実施例187.24gのNi2硝酸ヘキサハイドレートを注意深く計量し、清浄な250mLのメスフラスコに入れた。100mLのエチレングリコールをフラスコ内に注ぎ、フラスコを脱イオン水で満たした。前駆体溶液に濃度が1.2Mの硝酸ニッケルと40のエチレングリコールを与え、金属塩を完全に溶解した。次いで、前駆体溶液を超音波噴霧器内に圧送し、溶液を霧化してエアロゾルにした。窒素ガスを2リットル/分の流量でキャリアガスとして使用した。炉の温度は、1000°Cであった。粒子を収集し、粒子の結晶相および形態をX線回析XRDおよび走査電子顕微鏡法SEMによってそれぞれ測定した図2の条件aおよび図3a。少量の酸化ニッケルを検出し、中空粒子を観測した。図2は、異なる実験条件a1000°C、2L/分;b1000°C、1L/分;c1000°C、1L/分および1つの拡散ドライヤ;およびd1000°C、1L/分および3つの拡散ドライヤで調製されたNi/NiO粒子のXRDを示している。図3は、異なる条件a1000°C、2L/分;b1000°C、1L/分;c1000°C、1L/分および1つの拡散ドライヤ;およびd1000°C、1L/分および3つの拡散ドライヤで調製されたNi/NiO粒子のSEM図を示している。実施例2窒素キャリアガスの流量が1L/分であったことを除いて、実施例1と同様な条件を使用した。少量の酸化ニッケルを検出し、中空の粒子を観測した図2の条件bおよび図3b。実施例3防湿剤として塩化カルシウムと塩化マグネシウムを収容する13インチ長の拡散ドライヤをエアロゾル発生器と炉との間に置いたことを除いて、実施例2と同様な条件を使用した。酸化ニッケルを観測せず、中空の粒子を殆ど検出しなかった図2の条件cおよび図3c。実施例4防湿剤として塩化カルシウムと塩化マグネシウムを収容する3つの13インチ長の拡散ドライヤをエアロゾル発生器と炉との間に置いたことを除いて、実施例3と同様な条件を使用した。酸化ニッケルを観測せず、中空の粒子を観測しなかったが、断片化した粒子を走査電子顕微鏡法の写真で観測した図2の条件cとdおよび図3d。