"マイクロバブルを発生するキャビテーション気泡ノズルと、このキャビテーション気泡ノズルの吐出噴流域に配置されて処理気流中に噴出流を水滴群として飛散させるバリアと、からなるキャビテーション気泡浄化装置。気泡核を発生しサブミクロン気泡へと成長させる乱流域11と、このサブミクロン気泡をマイクロバブルへと成長させる成長域12とを具えるキャビテーション気泡ノズル4を採用する、請求項1記載のキャビテーション気泡浄化装置。バリアとして旋回自在なロッド群を採用し、キャビテーション気泡ノズルからの噴流を微細な水滴群へと飛散する、請求項1記載のキャビテーション気泡浄化装置。噴流飛散室内に、循環水を散布するキャビテーション気泡ノズルと、このノズルからの噴出流を微細な水滴群として飛散させるバリアを配置し、バリアに衝突し飛散する水滴群内にサブミクロン気泡を発生させ、水滴に含まれるあるいは吸着された物質をこのサブミクロン気泡消滅時の発生するエネルギーにより分解する、キャビテーション気泡浄化装置。浄化すべき気流内に、旋回自在なバリア群と、このバリア群にマイクロバブル噴流を吹き付けるキャビテーション気泡ノズルとを配置し、旋回するバリア群によりマイクロバブル噴流を微細な水滴群として旋回浮遊させ、この旋回流にそって流れる気流内の揮発性有機化合物などをこの微細な水滴群にて吸着する、キャビテーション気泡浄化装置。気液接触面積は大きいが流路抵抗の小さいスクラバー群を、旋回流の下流域に配置する、請求項5記載のキャビテーション気泡浄化装置。本発明者はマイクロバブルをキャビテーションにより作成するエコ方式として、既に、特開2011-581号、実用新案登録第3,158,129号を提供する。この思想は、第7図のように大きな気泡をせん断によりマイクロ化することなく、キャビテーション現象により、先ず、気泡核nucleationofbubblesを渦エネルギーにより作成し、次いで成長させ、ノズル先端に配置したデフレクタで気泡を含んだ水流を扇状に飛散させている。この飛散水流内の気泡径分布は、10cm下流で、10ないし20μmミクロンにピーク特性を有する。ここで、4ミクロンμm以下で数十ナノミクロンnmにまで範囲内の気泡径を、以下、サブミクロン気泡と称する。気泡破裂の開放エネルギーは、気泡径に反比例する。つまり、マイクロバブルよりも小さなサブミクロン気泡は、その開放エネルギーが大きい。しかし、サブミクロン気泡をマイクロバブル細断により量産するのはコスト面での制約がある。キャビテーション気泡ノズルの散布水流に衝撃を与えれば、マイクロバブルはこの飛散により細かい水滴群へと分散される際に、サブミクロン気泡へと分裂するのでないか、との推論に到った気泡核からマイクロバブルへと成長したのであれば、逆もありえると。経路断面が急拡大する乱流領域を有するキャビテーション気泡ノズルを採用し、乱流領域で発生した気泡核をサブミクロン気泡として成長増加させ、マイクロバブルとして吐出噴流する。大気に触れて減圧する噴流内でマイクロバブルへと成長する。このマイクロバブルは、10ないし20ミクロン内にピーク密度分布を呈するが、2ミクロンにもピークを有する。キャビテーション気泡ノズルからの噴流域内に、この噴流を細かい水滴群として飛散させるバリアを配置する。固定したバリアでも良いが、飛散エネルギーを付与すべく旋回あるいは回転させるのが好ましい。本実施例では、バリアとして旋回するロッド群を採用する。サブミクロン気泡からマイクロバブルへと成長した気泡群を含む噴流は、バリア衝突により四方へ分散する。飛散した水滴群内のマイクロバブルの多くはサブミクロン気泡へと細断される。旋回するロッド群をバリアとして採用した場合には、旋回エネルギーが噴流へと付与され、更に細かい水滴群として飛散し且つサブミクロン気泡への細断割合も増加する。揮発性有機化合物を含んだ気流は、ロッド群の旋回領域内では旋回流として長く滞留する。細かい水滴群に触れる機会は増す。細かい水滴内のサブミクロン気泡は消滅時に表面歪みエネルギーを開放して揮発性有機化合物を分解する。水酸基ラジカルの生成が分解理由として理解されているが、水滴表面に捕捉された気流内の酸素分子をラジカル原子へと活性化する推論もそのオゾン臭から可能である。ノズル内径が急拡大する領域では、乱流の渦エネルギーによりキャビテーション気泡が発生する。最初は極めて小さな気泡核であるが次第に成長する。第2図はキャビテーション気泡ノズル4の断面図であり、層流域10とノズル径が拡大する乱流域11そして成長域12とで形成される。水道水や加圧循環水は層流域10から乱流域11へと流れる。乱流域11で発生した気泡核はサブミクロン気泡へと成長し、成長域12から吐出噴流されマイクロバブルへと成長する。10ないし20ミクロンの範囲内に気泡粒径ピーク分布を有する。この気泡径ピーク分布噴流を10cmほど離れた下流域のバリア5に衝突させ、その飛散流内の気泡径分布特性を測定すると、第4図のように、10ないし20ミクロンの範囲内の分布は半減し、その代わりに、2ミクロンの気泡径に著しいピーク特性があらわれた。このピーク特性変化を発明者は以下の如く解釈する。10ないし20ミクロンの範囲内の気泡群はより小さなサブミクロン気泡へと分裂したのではないのか、と。。第7図のように、気泡をより小さくするにはせん断エネルギーを付与する必要がある。ノズルからの噴流がバリア5に衝突して飛散する際に、バリア5から受ける衝撃エネルギーにより、気泡はサブミクロン気泡へと分裂するのでないか、と。。敷衍すれば飛散する水滴群は、噴流よりも小さな水分子の集合になりその表面エネルギーは増加し、サブミクロン気泡が単に集まってできたマイクロバブルを再びサブミクロン気泡へ離散させる。。なお、第4図データの計測方法ではミクロン以下の気泡径を検出できないので、サブミクロン気泡の発生分布特性は不明であが、オゾン臭の発生からある程度の数量と推測される。噴流飛散室1内にキャビテーション気泡ノズル4と、このノズルからの吐出噴流を飛散するバリア5群を旋回自在に配置し、この飛散室内を通過する揮発性有機化合物を含んだ気流内に、サブミクロン気泡含有の微細水滴群を混ぜ合わせ、この旋回浮遊する微細水滴群に揮発性有機化合物を付着させる図1。モータ7に接続する回転支軸15に、ロッド状のバリア5群を植設し、キャビテーション気泡ノズル4から扇状に散布されるマイクロバブル含有の噴流を、旋回するバリア5により微細水滴群として飛散させる図3。キャビテーション気泡ノズル4は、ポンプ6からの循環水が供給される層流域10と、ノズル径が急拡大する乱流域11そして発生した気泡核を成長させる成長域12を具える。サブミクロン気泡とマイクロバブルを含有する噴流がこのノズル4から吐出される。ノズル先端にデフレクタを取り付ければ、扇状の散布流が得られる。図3のように、多数のバリア5が高速旋回するので、ノズル4からの噴流は微細な水滴群としておもに旋回方向へ飛散し、噴流飛散室1内に旋回流を発生させる。上方から流入する揮発性有機化合物を含んだ気流も、この旋回流に巻き込まれ、水滴群とともにゆっくりと旋回しつつ降下する。この旋回浮遊落下する微細水滴群に多くの揮発性有機化合物は吸着あるいは付着される。旋回エネルギーを与えられた水滴に揮発性有機化合物が付着すると、サブミクロン気泡はその気泡エネルギーを開放し気泡消滅、水酸基ラジカルを生成し、付着した揮発性有機化合物を分解する。付着した酸素分子の活性化によりラジカル生成は増幅される。揮発性有機化合物などを吸着分解した微細水滴は、貯水槽3内で凝集する。この凝集水でもサブミクロン気泡の消滅により溶存湯していた揮発性有機化合物は分解されるが、本来、揮発性有機化合物は表面エネルギーの大きな微細水滴に吸着されやすく、その吸着時の気泡消滅により分解される。凝集水はポンプ6によりノズル4へと循環利用される。次に、銀貯水槽3内を通過した気流を排出するファン8を、スクラバー室2の上部に取り付ける。キャビテーション気泡ノズル4とバリア5からなる噴流飛散室1を通過し、貯水槽3、そしてスクラバー室2を通過した気流はファン8より排出されることになる。充填されるスクラバーとは、気液接触用充填材として開発され、大きな気液接触面を可能にしつつ小さい流路抵抗を有する。市販の東洋ゴム株式会社で提供するトーヨーハイレックスシリーズプラスチック製を採用する。材質は、ポリプロピレンやポリエチレンの熱硬化性樹脂である。特開2006-272109号や特開2010-247091号において気液接触用充填材として採用されている。貯水槽3を通過する気流中の揮発性有機化合物とサブミクロン気泡含有の水滴群は、スクラバー室2の通過時に、スクラバーにより気液接触が促進され、サブミクロン気泡崩壊による揮発性有機化合物の分解が行われる。塗装ミストの多くは貯水槽2を通過する際に水滴群に吸着されて貯水槽2に溜まるが、このスクラバーでの気液接触によりほぼ捕捉され、揮発性有機化合物と同じように貯水槽2内に滴下する。以上、揮発性有機化合物などを含んだ気流処理について説明してきたが、ばい煙処理や汚染水の処理などにも採用しえる。"