超音波を送受信する圧電振動子と、前記圧電振動子において超音波送受信方向と交差する第1の面に形成された第1電極層と、前記第1電極層に第1接着層を介して積層された1又は2以上の導電性の音響整合層と、前記音響整合層上に第2接着層を介して積層され、前記第2接着層側に電極パターンが形成された第1のフィルムと、前記圧電振動子の他方の面側に形成された第2電極層と、前記第2電極層に第3接着層を介して積層され、前記第3接着層側の面に電極パターンが形成された第2のフィルムと、前記第2のフィルムの他方の面側に第4接着層を介して積層された背面負荷材とを備える超音波探触子であって、前記第1乃至第4接着層のうち、少なくとも1つの接着層に繊維状又はフレーク状の充填剤を配合させた超音波探触子。前記各接着層は、加圧加熱硬化された熱硬化型2液性接着剤で形成されている請求項1に記載の超音波探触子。前記繊維状の充填剤又は前記フレーク状の充填剤は、前記熱硬化型2液性接着剤より低熱膨張性の性質を有している請求項2に記載の超音波探触子。前記繊維状の充填剤の長手方向が、前記圧電振動子の超音波放射面と略平行になるように配向している請求項1から3のいずれか1つに記載の超音波探触子。前記フレーク状の充填剤の平面と前記圧電振動子の超音波放射面が略平行となっている請求項1から3のいずれか1つに記載の超音波探触子。前記繊維状の充填剤又は前記フレーク状の充填剤は、導電性又は絶縁性である請求項1から5のいずれか1つに記載の超音波探触子。前記繊維状の充填剤は、ガラス繊維、炭素繊維、カーボンナノチューブ、亜鉛繊維、アルミナ繊維、アラミド繊維からなる群から選ばれた一種又は二種以上の混合物である請求項1から4、6のいずれか1つに記載の超音波探触子。前記フレーク状の充填剤は、グラファイト、タングステン、ガラス、銀からなる群から選ばれた一種又は二種以上の混合物である請求項1から3、5、6のいずれか1つに記載の超音波探触子。前記繊維状の充填剤又は前記フレーク状の充填剤は、シランカップリング剤で表面処理してなるものである請求項1から8のいずれか1つに記載の超音波探触子。従来の超音波探触子においては、圧電振動子51の第1の接地電極層51aと導電性の音響整合層53、及び音響整合層53と導電パターンが形成された高分子フィルム54、また、前記圧電振動子51の第1の正電極層51bとFPC56の導電パターン56aとを、絶縁性であるエポキシ樹脂接着剤を用いてそれぞれ積層し、少なくとも、3Kgf/cm2以上の圧力Pを印加し、これらを固着する。接着剤が硬化する過程において、接着剤の体積の減少が生じる。被着体に接着されている部分、つまり超音波放射面は、上述した材料により拘束されているため、接着剤の収縮により応力が発生し、接着後の接合体に内部応力として残留する。内部応力により、真の接着強度よりも実際の接着強度は低下する。その為、アレイ分割時ダイシング時の切削負荷により、層間剥離が発生する。また、内部応力によって被着体側が変形するため、超音波放射面が歪み、超音波探触子の音響性能が劣化するという課題を有していた。本発明は、従来の問題を解決するためになされたもので、品質を良好に維持した構造の超音波探触子を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明によれば、超音波を送受信する圧電振動子と、前記圧電振動子において超音波受信方向と交差する第1の面に形成された第1電極層と、前記第1電極層に第1接着層を介して積層された1又は2以上の導電性の音響整合層と、前記音響整合層上に第2接着層を介して積層され、前記第2接着層側に電極パターンが形成された第1のフィルムと、前記圧電振動子の他方の面側に形成された第2電極層と、前記第2電極層に第3接着層を介して積層され、前記第3接着層側の面に電極パターンが形成された第2のフィルムと、前記第2のフィルムの他方の面側に第4接着層を介して積層された背面負荷材とを備える超音波探触子であって、前記第1乃至第4接着層のうち、少なくとも1つの接着層に繊維状又はフレーク状の充填剤を配合させたことを特徴とする超音波探触子が提供される。この構成により、アレイ分割時ダイシング時の切削負荷による層間剥離の発生を抑えることができるとともに、被着体側の変形を抑えることができるため、音響性能を向上させることができる。また、本発明の超音波探触子において、前記各接着層が加圧加熱硬化された熱硬化型2液性接着剤で形成されていることは、本発明の好ましい態様である。また、本発明の超音波探触子において、前記繊維状の充填剤又は前記フレーク状の充填剤が前記熱硬化型2液性接着剤より低熱膨張性の性質を有していることは、本発明の好ましい態様である。また、本発明の超音波探触子において、前記繊維状の充填剤の長手方向が、前記圧電振動子の超音波放射面と略平行になるように配向していることは、本発明の好ましい態様である。また、本発明の超音波探触子において、前記フレーク状の充填剤の平面と前記圧電振動子の超音波放射面が略平行となっていることは、本発明の好ましい態様である。また、本発明の超音波探触子において、前記繊維状の充填剤又は前記フレーク状の充填剤が導電性又は絶縁性であることは、本発明の好ましい態様である。また、本発明の超音波探触子において、前記繊維状の充填剤が、ガラス繊維、炭素繊維、カーボンナノチューブ、亜鉛繊維、アルミナ繊維、アラミド繊維からなる群から選ばれた一種又は二種以上の混合物であることは、本発明の好ましい態様である。また、本発明の超音波探触子において、前記フレーク状の充填剤が、グラファイト、タングステン、ガラス、銀からなる群から選ばれた一種又は二種以上の混合物であることは、本発明の好ましい態様である。また、本発明の超音波探触子において、前記繊維状の充填剤又は前記フレーク状の充填剤がシランカップリング剤で表面処理してなるものであることは、本発明の好ましい態様である。本発明の超音波探触子は、アレイ分割時ダイシング時の切削負荷による層間剥離の発生を抑えることができるとともに、被着体側の変形を抑えることができるため、音響性能を向上させることができる。すなわち、各接着層に繊維状又はフレーク状の充填剤を配合し、硬化収縮を低減させる方向に繊維状の充填材の長手方向又はフレーク状の充填剤の長手方向を配向させる。これにより、音響材料積層方向、つまり超音波出射方向は、接着剤の硬化収縮により、材料間が極めて薄くなり、対向する材料が密着するので音響性能が向上する。超音波放射面方向面の広がり方向は、前記絶縁性接着剤の硬化収縮が低減されるので、接着強度は改善され、アレイ分割時ダイシング時の切削負荷による層間剥離の発生が抑えられる。結果、被着体側の変形が抑えられるので、超音波探触子の音響性能が向上する。以下に、本発明の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。図1aは本発明の実施の形態に係る超音波探触子の斜視図を示し、図1bは概略断面図を示している。なお、図の説明において上とは図面の上方向を言うものとする図2a、図2b、図3、図4においても同様とする。図1a、図1bにおいて、圧電振動子1は、PZTLeadTitanateZirconate系などの圧電セラミックス、単結晶、及びPVDFなどの高分子などを用いた圧電素子である。複数の圧電振動子1の一方の面上には第1の電極層として第1の接地電極層1aが、他方の面側には第2の電極層として第1の正電極層1bが、前もってそれぞれ形成されている。本実施の形態では、第1の接地電極層1a、第2の正電極層1bは、高周波化に有効な厚さ1000オングストローム程度の金スパッタ電極層としたが、材質を限定するものではない。圧電振動子1の第1の接地電極層1a側には、接着剤2aを介して、超音波を効率良く伝播させるための導体の第1の音響整合層3が積層されている。導体の第1の音響整合層3には、例えばグラファイトなどが用いられている。さらに、第1の音響整合層3上には、接着剤2bを介して、第1のフィルムとしての高分子フィルム4が積層されている。高分子フィルム4は、音響整合層としてのフィルム本体4a不図示と、このフィルム本体4aの接着剤2b側に形成された、例えば銅層からなる電極パターン4b不図示との2層からなる。そして、この高分子フィルム4の端部は、圧電振動子1との積層部分より延出し、延出部分の先端は接地用電気端子図示せずに電気的に接続される。なお、電極パターン4bの銅層表面には、蒸着、めっき、スパッタリングにより、金又はニッケル層などを形成し、酸化防止を行うのが望ましい。フィルム本体4aの面上には、接着剤2cを介して、超音波を効率良く伝播させるための、高分子材料などの第2の音響整合層5を積層している。第2の音響整合層5の材料としては、例えばエポキシやポリイミド、ポロエチレンテレフタレート、ポリサルフォン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリスチレン、ポリフェニレンサルファイドなどがある。さらに第2の音響整合層5の面上には、接着剤層不図示を介して音響レンズ8が積層されている。これはシリコーンゴムやウレタンゴム、プラスチックなどの材料で形成され、超音波を収束するためのもので、上側被検体側が凸曲面形状をしている。圧電振動子1の第1の正電極層1b側には、接着剤2dを介して、第2のフィルムとしてのFPC6が積層されている。このFPC6は、ポリイミドのベース部6a不図示と、このベース部6a上の圧電振動子1側には、圧電振動子1に対応するように形成された、例えば銅層からなる導電パターン6bとで構成されている。また、FPC6の両サイド図1a中で、背面負荷材7の手前側と奥側の部分は、圧電振動子1との積層部分より延出し、延出部分の両端は信号用電気端子図示せずに電気的に接続される。なお、導電パターン6bの銅層表面には、蒸着、めっき、スパッタリングにより、金又はニッケル層などを形成し、酸化防止を行うのが望ましい。背面負荷材7はFPC6のベース部6a不図示側に、接着剤2eを介して取り付けられ、圧電振動子1を機械的に支え、圧電振動子1に音響的な制動をかけて、超音波パルス波形を短くする。背面負荷材7は、フェライトゴムやエポキシ、ウレタンゴムなどにマイクロバルーンやタングステン粉末などを混入した材料を用いる。各々の音響材料を積層し接着する接着剤2a、2b、2c、2d、2eは、その中に繊維状若しくはフレーク状の充填剤を配合した熱硬化型2液性接着剤である。なお、充填剤はフレーク状のみでなく平坦な板状のものであってもよい。次に、以上のように構成された超音波探触子の動作を説明する。超音波診断装置本体図示せずの送信部から送信された複数の電気信号は、ケーブル図示せず及びFPC6を介して、アレイ状に配列された複数の圧電振動子1に印加される。圧電振動子1は、加えられた電気信号に対応して、超音波を励起する。励起された超音波は、第1の音響整合層3、第2の音響整合層5、音響レンズ8によって生体との音響的な整合が図られ、音響レンズ8で収束されて生体内へ送波される。また、圧電振動子1は、圧電効果により、生体より戻って来た超音波に対応して電気信号を発生する。電気信号に変換された後、ケーブルを介して超音波診断装置本体の受信部に送信される。受信部で受信した信号を処理し、超音波診断装置本体の表示部に受信信号の画像を表示することにより、患者の体内の画像をモニター上で確認できる。これらの動作は従来の超音波探触子と同様のものであるが、本発明の超音波探触子は、上記の本体の送信、受信方式に限定されるものではない。ところで、背面負荷材7とFPC6との間、圧電振動子1の第1の正電極層1bとFPC6の導電パターン6b不図示との間、圧電振動子1の第1の接地電極層1aと導電性の第1の音響整合層3との間、導電性の第1の音響整合層3と電極パターン4b不図示が形成された高分子フィルム4との間、高分子フィルム4と第2の音響整合層5との間には、その中に繊維状若しくはフレーク状の充填剤を配合した熱硬化型2液性接着剤2e、2d、2a、2b、2cがそれぞれ介在している。上述した接着剤2e、2d、2a、2b、2cについて図2を用いて詳細に説明する。図2a、図2bは本発明の実施の形態に用いられる接着剤層中の充填剤を示す概略斜視図を示している。図2aは接着剤の中に繊維状の充填剤を配合した例を示し、図2bは接着剤の中にフレーク状の充填剤を配合した例を示している。図2aにおいて、接着剤32には熱硬化型2液性エポキシ系接着剤を用いている。まず、熱硬化型2液性接着剤の主剤に、繊維状充填剤10を一定量配合する。繊維状充填剤10は、熱硬化型2液性の接着剤32より低熱膨張性の性質を有しているものを選択する。例えば、ガラス繊維、炭素繊維、カーボンナノチューブ、亜鉛繊維、アルミナ繊維、アラミド繊維からなる群から選ばれた一種又は二種以上の混合物でもよい。ここでは、炭素繊維を使用した例について説明する。熱硬化型2液性の接着剤32における炭素繊維の繊維状充填剤10の配合量は、接着剤組成物全体に対し炭素繊維の繊維状充填剤10の含有率が通常、2~30重量になるよう配合する。配合量が2重量を下回ると線膨張係数の低下効果がなく、他方、30重量を越えると接着強度の低下が生じるとともに、接着剤32の流動性が不足して接着剤層厚の均一性が劣化する。次に、炭素から成る繊維の繊維状充填剤10を配合した熱硬化型2液性の接着剤32の主剤を攪拌し、主剤中の繊維状充填剤10を均一に分散させる。また、攪拌によって主剤に混入した空気を除くため真空脱泡を行う。次に、炭素から成る繊維状充填剤10を配合した熱硬化型2液性の接着剤32の主剤に硬化剤を配合し、再度攪拌し、真空脱泡を行う。ここで、接着剤硬化前後での体積収縮を小さくし寸法安定性を高く保つには、低熱膨張性の性質を有する炭素の材質から成る繊維状の充填剤を配合し、体積収縮を低減させる方向に繊維状充填剤を配向させることが有効である。本実施の形態では、図2aおよび下記に示すように、繊維状充填剤の長手方向は、被着体33の長手方向、つまり圧電振動子1の超音波放射面13と平行になるように配向させた。その結果、接着剤32の厚み方向、つまり超音波射出方向12に対し、被着体33の長手面方向、つまり圧電振動子1の超音波放射面13の面方向において、接着剤32の体積収縮が低減される。つまり、接着剤の硬化収縮が低減されることとなる。なお、繊維状の充填材は、所定の繊維を定尺に分割する事により、均一形状とすることができる。このため、収縮低減度合いのばらつきを充填材が形状不均一の場合に比較し小さく抑えることができる。上述した繊維状充填剤10の代わりに、図2bに示すフレーク状のフレーム状充填剤11を用いてもよい。フレーク状充填剤11は、繊維状充填剤10と同様に、熱硬化型2液性の接着剤32より低熱膨張性の性質を有しているものを選択する。例えば、グラファイト、タングステン、ガラス、銀からなる群から選ばれた一種又は二種以上の混合物でもよい。また、図2bに示すように、フレーク状充填剤11の平面と被着体33の接着面、つまり圧電振動子1の超音波放射面13との方向がほぼ一致するようにフレーク状充填剤11を配向させる。その結果、接着剤32の厚み方向、つまり超音波射出方向12に対し、被着体33の長手面方向、つまり圧電振動子1の超音波放射面13の面方向において、接着剤32の体積収縮が低減される。つまり、接着剤の硬化収縮が低減されることとなる。また、超音波放射面の面に垂直な方向での接着剤収縮ばらつきを小さく抑えることができる。図3は接着剤の硬化収縮を示す概略断面図である。図3を用いて低熱膨張性の性質を有する材質から成る繊維状充填剤を配合し、体積収縮を低減させる方向に繊維状充填剤を配向させることが有効であることを説明する。圧電振動子1面上に形成された第1の接地電極層1aの表面に平均繊維径が2μm以下、その長さが5~50μmの極めて細い炭素繊維例えばカーボンナノチューブなどを均一分散させた熱硬化型2液性の接着剤2を塗布し、導体の第1の音響整合層3を積層する。塗布方法は、例えば音響材料上エチルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリスシラン、γメタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γアミノプロピルトリメトキシシラン、Nβγアミノプロピルトリメトキシシラン、Nβγアミノプロピルメチルジメトキシシラン、γメルカプトプロピルトリメトキシシラン、γクロロプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。表面処理法の例としては、上記のようにシランカップリング剤の0.01~1重量の水溶液或いは水分散液中に上記充填剤を浸漬した後、温度140~160°Cで1~2時間の熱処理をする方法が挙げられる。図4は本発明の実施の形態において、別の構成からなる超音波探触子の概略断面図を示す。炭素繊維例えばカーボンナノチューブなど、亜鉛繊維など、低熱膨張性の性質を有し、かつ、導電性を有する繊維状の材料、若しくはグラファイト、タングステン、銀からなるフレーク状の材料を接着剤に配合することにより、材料相互の導体間を電気的に接続することが可能となる。すなわち、図4に示す、圧電振動子1の第1の接地電極層1aと導電性の第1の音響整合層3との間、第1の音響整合層3と導電パターンが形成された高分子フィルム4との間、及び圧電振動子1の第1の正電極層1bとFPC6の導電パターン6bとの間に介在する接着剤2aに上述した接着剤を用いる。また、ガラス繊維、アルミナ繊維、アラミド繊維など、低熱膨張性の性質を有しているが絶縁性である繊維状の材料を配合した、若しくはガラスなど絶縁性であるフレーク状の材料を配合した接着剤2bを、高分子フィルム4と第2の音響整合層5、及びFPC6のベース部6aと背面負荷材7との間に介在させる。勿論、ガラス繊維、炭素繊維、カーボンナノチューブ、亜鉛繊維、アルミナ繊維、アラミド繊維からなる群から選ばれた一種又は二種以上の混合物である充填剤を配合させた接着剤、又はグラファイト、タングステン、ガラス、銀からなる群から選ばれた一種又は二種以上の混合物である充填剤を配合させた接着剤を用いることにより、材料相互の導体間を電気的に接続し、かつ、硬化収縮の低減と接着強度の確保の改良がなされることは言うまでもない。繊維として平均繊維径が2μm以下の極めて細い物、若しくはフレークとして厚さが2μm以下の極めて薄い物を用いることにより、背面負荷材7とFPC6との間、圧電振動子1の第1の正電極層1bとFPC6の導電パターン6b不図示との間、圧電振動子1の第1の接地電極層1aと導電性の第1の音響整合層3との間、及び導電性の第1の音響整合層3と電極パターン4b不図示が形成された高分子フィルム4、また高分子フィルム4と第2の音響整合層5との間は、互いの材料を極めて薄く接着させ、接着剤や接着剤内にある充填剤による超音波の吸収反射散乱損失を抑えることが可能となり、超音波探触子の感度が確保される。また、超音波射出方向12接着剤厚み方向の接着剤硬化収縮14に対し、超音波放射面方向13の接着剤硬化収縮15を低減させることが可能となり、内部応力の蓄積を低減することができるとともに、接着積層された圧電振動子1、導電性の第1の音響整合層3、電極パターン4bが形成された高分子フィルム4、FPC6の導電パターン6bにおける電気的接続部の導通抵抗のばらつきは小さくなり、その結果、アレイ間の感度ばらつきは小さくなる。このように、材料相互の導体間を電気的に接続する必要のある層には、導電性である繊維状、あるいはフレーク状の充填剤を選択し、材料相互間に電気的接続を必要としない場合は、絶縁性である繊維状、あるいはフレーク状の充填剤を選択するなど、様々な組み合わせが選択可能である。なお、上記実施の形態では、リニア型の超音波探触子で説明を行ったが、その他のコンベックス型やマトリックスアレー型の超音波探触子についても同様に実施可能である。また、繊維状又はフレーク状の充填剤は、特定の接着層にのみ配合されるよう構成してもよく、またすべての接着層に配合されるように構成してもよい。