"回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第1及び第2の回転格子がそれぞれ形成された第1及び第2のトラックを有するディスクと、前記第1及び第2のトラックに対向して配置され、前記第1の回転格子と第1の回折干渉光学系を構成する第1の固定格子及び前記第2の回転格子と第2の回折干渉光学系を構成する第2の固定格子をそれぞれ有し、該第1及び第2の回折干渉光学系から第1及び第2の検出信号をそれぞれ検出する第1及び第2の検出部とを備え、前記第1及び第2の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、前記第1及び第2の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められるエンコーダ。請求項1記載のエンコーダにおいて、前記第1及び第2の回転格子のスリット本数の差は、1本であるエンコーダ。請求項1又は2記載のエンコーダにおいて、前記湾曲スリットは、前記回転軸から前記ディスクの径方向に延びる複数の径方向線をそれぞれ予め決められた湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されるエンコーダ。請求項1又は2記載のエンコーダにおいて、前記湾曲スリットは、前記回転軸を中心にして0度を超え360度未満の角度範囲内に形成されるエンコーダ。請求項1~4のいずれか1項に記載のエンコーダにおいて、前記第1及び第2の検出信号に基づいて、前記ディスクの1回転中の絶対位置を表す第1の位置データ及び該第1の位置データよりも高い分解能の第2の位置データを生成し、該第1及び第2の位置データに基づいて前記ディスクの絶対位置を前記第1の位置データよりも高い分解能で特定する位置データ生成部を更に備えるエンコーダ。請求項5記載のエンコーダにおいて、前記第1及び第2の回転格子は、それぞれ第1及び第2の湾曲スリットによって形成され、該第1及び第2の湾曲スリットの湾曲度合いは、該第1及び第2の湾曲スリットのピッチが実質的に等しくなるように、それぞれ設定されるエンコーダ。請求項6記載のエンコーダにおいて、前記第1の回転格子と前記第1の固定格子との間の第1のギャップ及び前記第2の回転格子と前記第2の固定格子との間の第2のギャップの大きさが実質的に等しいエンコーダ。請求項6又は7記載のエンコーダにおいて、前記第1の湾曲スリットは、前記第2の湾曲スリットの湾曲方向と逆の周方向に湾曲するエンコーダ。請求項6~8のいずれか1項に記載のエンコーダにおいて、前記第1及び第2の湾曲スリットは、それぞれ反射スリットであり、前記第1及び第2の固定格子は、それぞれ前記ディスクの同一面側に配置されるエンコーダ。請求項9記載のエンコーダにおいて、前記ディスクは、最外周に、光学的な第3の回転格子が形成され該エンコーダの最大分解能を決定する第3のトラックを更に有し、前記ディスクに、前記回転軸を中心として予め決められた角度間隔で径方向に延びる複数の径方向線が設定され、前記第3の回転格子は、前記径方向線に沿って延びる放射スリットによって形成されるエンコーダ。請求項10記載のエンコーダにおいて、前記放射スリットと前記第1及び第2の湾曲スリットのピッチが実質的に等しいエンコーダ。請求項10又は11記載のエンコーダにおいて、前記第1及び第2の固定格子を形成するスリットは、それぞれ前記第1及び第2の湾曲スリットが沿う湾曲線の接線と実質的に平行となるエンコーダ。回転シャフトを回転させるモータ部と、前記回転シャフトの絶対位置を測定するエンコーダとを備え、前記エンコーダは、前記回転シャフトの回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第1及び第2の回転格子がそれぞれ形成された第1及び第2のトラックを有するディスクと、前記第1及び第2のトラックに対向して配置され、前記第1の回転格子と第1の回折干渉光学系を構成する第1の固定格子及び前記第2の回転格子と第2の回折干渉光学系を構成する第2の固定格子をそれぞれ有し、該第1及び第2の回折干渉光学系から第1及び第2の検出信号をそれぞれ検出する第1及び第2の検出部とを有し、前記第1及び第2の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、前記第1及び第2の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められるサーボモータ。回転シャフトを回転させるモータ部と、前記回転シャフトの位置を測定するエンコーダと、前記エンコーダが検出した位置に基づいて、前記モータ部の回転を制御する制御部と、を備え、前記エンコーダは、前記回転シャフトの回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第1及び第2の回転格子がそれぞれ形成された第1及び第2のトラックを有するディスクと、前記第1及び第2のトラックに対向して配置され、前記第1の回転格子と第1の回折干渉光学系を構成する第1の固定格子及び前記第2の回転格子と第2の回折干渉光学系を構成する第2の固定格子をそれぞれ有し、該第1及び第2の回折干渉光学系から第1及び第2の検出信号をそれぞれ検出する第1及び第2の検出部とを有し、前記第1及び第2の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、前記第1及び第2の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められるモータユニット。本発明は、設計又は開発の自由度を高めることが可能な、エンコーダ、サーボモータ、及びモータユニットを提供することを目的とする。前記目的に沿う第1の発明に係るエンコーダは、回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第1及び第2の回転格子がそれぞれ形成された第1及び第2のトラックを有するディスクと、前記第1及び第2のトラックに対向して配置され、前記第1の回転格子と第1の回折干渉光学系を構成する第1の固定格子及び前記第2の回転格子と第2の回折干渉光学系を構成する第2の固定格子をそれぞれ有し、該第1及び第2の回折干渉光学系から第1及び第2の検出信号をそれぞれ検出する第1及び第2の検出部とを備え、前記第1及び第2の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、前記第1及び第2の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められる。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記第1及び第2の回転格子のスリット本数の差は、1本であることが好ましい。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記湾曲スリットは、前記回転軸から前記ディスクの径方向に延びる複数の径方向線をそれぞれ予め決められた湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることが好ましい。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記湾曲スリットは、前記回転軸を中心にして0度を超え360度未満の角度範囲内に形成されることが好ましい。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記第1及び第2の検出信号に基づいて、前記ディスクの1回転中の絶対位置を表す第1の位置データ及び該第1の位置データよりも高い分解能の第2の位置データを生成し、該第1及び第2の位置データに基づいて前記ディスクの絶対位置を前記第1の位置データよりも高い分解能で特定する位置データ生成部を更に備えることができる。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記第1及び第2の回転格子は、それぞれ第1及び第2の湾曲スリットによって形成され、該第1及び第2の湾曲スリットの湾曲度合いは、該第1及び第2の湾曲スリットのピッチが実質的に等しくなるように、それぞれ設定されることが好ましい。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記第1の回転格子と前記第1の固定格子との間の第1のギャップ及び前記第2の回転格子と前記第2の固定格子との間の第2のギャップの大きさが実質的に等しいことが好ましい。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記第1の湾曲スリットは、前記第2の湾曲スリットの湾曲方向と逆の周方向に湾曲してもよい。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記第1及び第2の湾曲スリットは、それぞれ反射スリットであり、前記第1及び第2の固定格子を、それぞれ前記ディスクの同一面側に配置することができる。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記ディスクは、最外周に、光学的な第3の回転格子が形成され該エンコーダの最大分解能を決定する第3のトラックを更に有し、前記ディスクに、前記回転軸を中心として予め決められた角度間隔で径方向に延びる複数の径方向線が設定され、前記第3の回転格子は、前記径方向線に沿って延びる放射スリットによって形成されることが好ましい。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記放射スリットと前記第1及び第2の湾曲スリットのピッチが実質的に等しいことが好ましい。第1の発明に係るエンコーダにおいて、前記第1及び第2の固定格子を形成するスリットは、それぞれ前記第1及び第2の湾曲スリットが沿う湾曲線の接線と実質的に平行となることが好ましい。前記目的に沿う第2の発明に係るサーボモータは、回転シャフトを回転させるモータ部と、前記回転シャフトの絶対位置を測定するエンコーダとを備え、前記エンコーダは、前記回転シャフトの回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第1及び第2の回転格子がそれぞれ形成された第1及び第2のトラックを有するディスクと、前記第1及び第2のトラックに対向して配置され、前記第1の回転格子と第1の回折干渉光学系を構成する第1の固定格子及び前記第2の回転格子と第2の回折干渉光学系を構成する第2の固定格子をそれぞれ有し、該第1及び第2の回折干渉光学系から第1及び第2の検出信号をそれぞれ検出する第1及び第2の検出部とを有し、前記第1及び第2の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、前記第1及び第2の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められる。前記目的に沿う第3の発明に係るモータユニットは、回転シャフトを回転させるモータ部と、前記回転シャフトの位置を測定するエンコーダと、前記エンコーダが検出した位置に基づいて、前記モータ部の回転を制御する制御部と、を備え、前記エンコーダは、前記回転シャフトの回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な第1及び第2の回転格子がそれぞれ形成された第1及び第2のトラックを有するディスクと、前記第1及び第2のトラックに対向して配置され、前記第1の回転格子と第1の回折干渉光学系を構成する第1の固定格子及び前記第2の回転格子と第2の回折干渉光学系を構成する第2の固定格子をそれぞれ有し、該第1及び第2の回折干渉光学系から第1及び第2の検出信号をそれぞれ検出する第1及び第2の検出部とを有し、前記第1及び第2の回転格子のうち、少なくとも一方は、湾曲した形状の複数の湾曲スリットによって形成され、前記第1及び第2の回転格子のスリット本数の差に基づいて前記ディスクの絶対値が求められる。本発明に係るエンコーダ、サーボモータ、及びモータユニットにおいては、エンコーダのディスクの設計又は開発の自由度を高めることが可能である。続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能を有する構成要素は、原則として同一の符号で表し、これらの構成要素についての重複説明は、適宜省略する。以下で説明する本発明の各実施形態では、回転型の光学式の絶対値エンコーダを有するモータユニットを例に挙げて説明する。つまり、各実施形態に係るエンコーダは、回転型のモータに適用され、モータの回転角度θを絶対位置xとして検出する。ここで説明する各実施形態に係るエンコーダは、例えば原動機やステアリング等のように一定の回転軸周りに回転する様々な回転体に対して適用可能である。なお、本発明の各実施形態について以下の順序で説明する。<1.第1実施形態>1-1.第1実施形態に係るモータユニット1-2.第1実施形態に係るエンコーダ1-2-1.ディスク110トラックTA~TCスリットSLA~SLCの形状1-2-2.検出部130A~130C光学検出機構1-2-3.湾曲スリットの構成1のトラックT内の湾曲スリット湾曲スリットと固定格子側のスリットの位置関係複数のトラック間の関係における湾曲スリット1-2-4.位置データ生成部1-3.第1実施形態に係るモータユニットの動作1-4.第1実施形態に係るエンコーダの製造方法1-5.第1実施形態に係るエンコーダによる効果の例<2.第2実施形態><1.第1実施形態>1-1.第1実施形態に係るモータユニットまず、本発明の第1実施形態に係るモータユニット1の構成について説明する。図1に示すように、本実施形態に係るモータユニット1は、サーボモータ10と、制御部20とを有する。このサーボモータ10は、絶対値エンコーダ以下、単にエンコーダという場合がある100と、モータ部200とを有する。モータ部200は、動力発生源の一例である。モータ部200は、少なくとも一側に回転シャフト201を有する。モータ部200は、この回転シャフト201を回転軸AX周りに回転させることにより、回転力を発生する。なお、モータ部200は、動力源として電気を使用する電動式モータに限られるものではない。モータ部200は、例えば、油圧式モータ、エア式モータ、蒸気式モータ等の他の動力源を使用したモータであってもよい。ただし、説明の便宜上、以下ではモータ部200が電動式モータである場合について説明する。エンコーダ100は、モータ部200の回転シャフト201とは反対側の端部に配置され、この回転シャフト201に対応して回転する回転シャフト202図2参照に連結される。なお、この回転シャフト202は、回転シャフト201と一体に構成されている場合もある。このエンコーダ100は、回転シャフト202の位置を検出することにより、回転シャフト201の絶対位置x回転絶対角度θ、モータ部200の絶対位置x等ともいう。を検出し、その絶対位置xを表す位置データを出力する。なお、エンコーダ100の配置位置は特に限定されるものではない。例えば、エンコーダ100は、回転シャフト201に直接連結されるように配置されてもよい。また、エンコーダ100は、減速機や回転方向変換機などの他の機構を介して回転シャフト201等の回転体に連結されてもよい。制御部20は、エンコーダ100から出力される位置データを取得する。制御部20は、取得した位置データに基づいて、モータ部200に印加する電流又は電圧等を制御することにより、モータ部200の回転を制御する。この制御部20は、例えばサーボアンプである。更に、制御部20は、例えばプログラマブルロジックコントローラのような上位制御装置図示せずから上位制御信号を取得して、この上位制御信号に含まれた位置指令又は速度指令等に従うように、モータ部200の回転を制御することも可能である。なお、モータ部200が、油圧式、エア式、蒸気式などの他の動力源を使用する場合には、制御部20は、それらの動力源の供給を制御することにより、モータ部200の回転を制御することが可能である。1-2.第1実施形態に係るエンコーダ次に、図2及び図3を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ100の構成について説明する。図2に示すように、本実施形態に係るエンコーダ100は、回転シャフト101と、ディスク110と、検出部130A~130Cそれぞれ、第1~第3の検出部の一例と、位置データ生成部140とを有する。1-2-1.ディスク110ディスク110は、図3に示すように円板状に形成される。ディスク110は、ディスク中心Oが回転軸AXとほぼ一致するように配置される。ディスク110は、この回転軸AX周りに回転可能な回転シャフト101を介して、モータ部200の回転シャフト202の一端に連結される。従って、ディスク110は、モータ部200の回転に応じて回転軸AX周りに回転する。図3に示すように、ディスク110は、3本のトラックTA~TCそれぞれ第1~第3のトラックの一例を有する。なお、このトラックの本数は、3本に限られるものではなく、エンコーダ100に要求される検出精度や信号処理に応じて適宜複数本に設定される。トラックTA~TCトラックTA~TCは、それぞれディスク110のディスク中心Oを中心とするリング状である。トラックTA~TCの幅は、それぞれ予め決められた幅wA~wCで設定される。本実施形態では、各トラックTA~TCの幅wA~wCは同一の幅wに設定されるw=wA=wB=wC。ただし、これらトラック幅wA~wCは、異なっていても良い。そして、各トラックTA~TCは、それぞれ幅wの中心における径方向の位置トラック半径rA~rCが異なるように配置される。つまり、トラックTA~TCは、ディスク中心Oを中心とした同心円状に形成され、ディスク中心Oから外周に向けてトラックTA,TB,TCの順で配置されるrA<rB<rC。図3に示すように、各トラックTA~TCのそれぞれには、回転する光学回折格子である回転格子LA~LCそれぞれ第1~第3の回転格子の一例が形成される。回転格子LA~LCのそれぞれには、光学的な複数のスリットSLA~SLCが形成されている。これら回転格子LA~LCは、それぞれ独立した個別の第1~第3の回折干渉光学系の一部を構成する。スリットSLA~SLCは、それぞれは、光を反射する反射スリットである。スリットSLA~SLC以外の部位は、光を反射しない。本実施形態のようにディスク110に反射スリットが使用される場合には、反射型の回折干渉光学系が形成される。従って、ディスク110に透過スリットが使用される場合に比べて、ディスク110と後述するマスク120との間のギャップgの変動によるノイズや検出精度への影響が低減される。ただし、透過スリットを使用して回折干渉光学系を構成することは可能である。各トラックTA~TCは、トラック半径rA~rCが大きいほど、スリットSLA~SLCの本数nA~nCが多くなるように形成されることが望ましい。つまり、トラックTA~TCそれぞれのスリット本数は、トラック半径がrA<rB<rCであるため、nA<nB<nCとなるように設定される。各トラックTA~TCからは、それぞれスリット本数nA~nCに応じた繰り返し数の周期信号が得られる。この周期信号におけるディスク110の1回転360°あたりの繰り返し数を、それぞれ周期数mA~mCともいう。つまり、周期数mA~mCそれぞれは、各スリット本数nA~nCに応じた数となる。従って、各トラックTA~TCのスリット本数nA~nCは、要求される精度の絶対位置xが検出可能なように、必要とされる分解能に応じた数に設定される。ただし、スリット本数nAは、スリット本数nBよりも1本だけ少ない。スリットSLA~SLCのピッチpLA~pLCは、それぞれほぼ同じピッチpに設定されるp=pLA=pLB=pLC。ここで、スリットのピッチpLA~pLCは、トラックの幅wA~wCの中心部におけるスリットの間隔ピッチである。このように複数のトラックTA~TCの各ピッチpLA~pLCをほぼ等しく設定することにより、その複数のトラックTA~TCそれぞれの回折干渉光学系が共通化される。その結果、製造設計又は開発の過程も含むを容易にすることが可能である。スリットSLA~SLCの形状ここで、スリットSLA~SLCの形状について説明する。スリットSLA第1の湾曲スリットの一例及びスリットSLB第2の湾曲スリットの一例は、予め決められた湾曲度合いで湾曲した湾曲スリットで形成される。この湾曲スリットについては、詳しく後述する。スリットSLCは、ディスク中心O回転軸AXを中心として予め決められた角度間隔で径方向に延びて設定される複数の径方向線図6の径方向線LINE1に沿って形成される。このような形状のスリットを放射スリットともいう。本実施形態においては、スリットSLCの本数nCがもっとも多く、トラックTCによって、エンコーダ100の最大分解能が決定される。ここで、同一本数のスリットを同一ピッチ同一分解能で形成する場合、放射スリットとするとトラック半径が小さく抑えられる。従って、スリットSLCが放射スリットにより形成されることにより、湾曲スリットにより形成される場合よりもディスク径が小さく抑えられる。なお、トラックTCのスリットSLCが湾曲スリットにより形成されることが否定されるものではなく、全トラックTのスリットSLが湾曲スリットにより形成されてもよい。また、複数のトラックTA~TCの少なくともいずれか1以上が湾曲スリットで形成されてもよい。1-2-2.検出部130A~130C次に、図2~図5を参照しつつ、検出部130A~130Cについて説明しつつ、これらによる光学検出機構についてより具体的に説明する。光学検出機構図2に示すように、検出部130Aは、トラックTAに対向して配置される。検出部130Aは、トラックTAと共に第1の光学検出機構を構成する。検出部130Bは、トラックTBに対向して配置される。検出部130Bは、トラックTBと共に第2の光学検出機構を構成する。検出部130Cは、トラックTCに対向して配置される。検出部130Cは、トラックTCと共に第3の光学検出機構を構成する。検出部130A~130Cによる各光学検出機構は、前述の通り、それぞれ独立した回折干渉光学系を有する点などで共通する。従って、ここでは、一の光学検出機構を例に説明し、光学検出機構毎に異なる点については、個別に追記することとする。本明細書においては、検出部130A~130C、トラックTA~TC及び回転格子LA~LCをそれぞれ単に検出部130、トラックT及び回転格子Lともいう。また、回転格子Lに含まれるスリットスリットSLA~SLCを単にスリットSLともいう。また、そのスリットSLのピッチピッチpLA~pLCを単にピッチpLともいう。また、スリット本数スリット本数nA~nCを単にスリット本数nともいう。更に、この光学検出機構から得られる周期信号の周期数周期数mA~mCを単に周期数mともいう。図4に示すように、検出部130は、マスク120と、発光部131と、受光部132とを有する。なお、光学検出機構の動作原理について説明するための動作原理図であるため、光学検出機構を構成する各要素の配置関係は現実のものとは相違する。マスク120は、ギャップgを間にあけてディスク110に対向して配置される。マスク120は、エンコーダ100を構成する枠体に固定される。即ち、ディスク110は、マスク120に対して相対的に回転する。また、マスク120は、光を遮蔽する材料で形成される。マスク120は、光を透過する複数のスリットSG1,SG2をそれぞれ有する2の光学的な固定格子G1,G2固定する回折格子を有する。つまり、マスク120は、固定格子G1,G2のスリットSG1,SG2において光を透過する。この固定格子G1,G2は、回転格子Lと共に3格子の回折干渉光学系を構成する。以下、固定格子G1を1次固定格子、固定格子G2を2次固定格子と呼ぶ。1次固定格子G1と2次固定格子G2とは、同一のマスク120に形成される。ただし、1次固定格子G1と2次固定格子G2とは、別体のマスク120に形成されてもよい。別体のマスク120に形成される場合、ディスク110の同一面側において、1次固定格子G1と回転格子Lとの間の距離ギャップgと回転格子Lと2次固定格子G2との間の距離ギャップgとが等しくなるように、1次固定格子G1及び2次固定格子G2が配置されることが望ましい。このように、回転格子Lからの距離が等しい2の固定格子G1,G2を使用し、かつ、回転格子LのスリットSLに反射型スリットを使用すると、ディスク110と検出部130との位置関係が変動しても、両固定格子G1,G2それぞれのギャップgが一定になる。よって、ギャップgの変動が回折干渉光学系に与える影響を低減することができる。ここで、各光学検出機構の検出部130A~130Cそれぞれのギャップgそれぞれ第1~第3のギャップの一例の関係について説明する。本実施形態では、各トラックTA~TCのスリットSLA~SLCのピッチpLA~pLCが相互にほぼ等しくピッチpLに設定されるので、検出部130A~130Cとディスク110との間の各ギャップgは、図2に示すように相互にほぼ等しく設定され得る。このように検出部130A~130Cとディスク110との間の各ギャップgがほぼ等しく設定される場合、検出部130A~130Cそれぞれに対してギャップgに応じた回折干渉光学系を共通で設計又は開発することができる。また、図4に示す検出部130A~130Cそれぞれのマスク120第1~第3のマスクを一体として構成することにより、エンコーダ100を製造組み立てする際のギャップgの調整を各検出部130A~130Cに対し、一括して行うことができる。よって、エンコーダ100の製造が容易となる。なお、このような作用効果は、回転格子LA~LCのいずれか2つとそれに対応する固定格子G1,G2との間のギャップgを揃えるだけでも、同様に奏される。ただし、ギャップgが揃えられる光学検出機構は、トラックTのピッチpLが相等しく設定された光学検出機構であることが望ましい。次に、発光部131及び受光部132について説明しつつ、固定格子G1,G2それぞれについて説明する。図4に示すように、発光部131は、光源を有して、マスク120に形成された1次固定格子G1に向けて光を照射する。発光部131が照射する光の波長や強度は特に限定されるものではない。ただし、この光の波長や強度は回折干渉光学系の特性や必要な位置分解能等に応じて適宜決定される。また、この照射光は、本実施形態では、拡散光が使用される。拡散光を使用することで、後述する1次固定格子G1の各スリットSG1は実質的に線光源とみなされる。その結果、回折干渉効果が高まる。なお、このようにスリットSG1を実質的に線光源とみなすことができれば、照射光として、平行光やレーザ光、集束光などを使用することも可能である。発光部131は、使用する光例えば、平行光、レーザ光、集束光、及び拡散光の特性等に応じて、拡散レンズなどの光学素子を有してもよい。1次固定格子G1は、発光部131が照射する光が入射する位置に形成される。この1次固定格子G1は、透過型の複数のスリットSG1を有している。これら複数のスリットSG1は、入射した光を回折させる。その結果、各スリットSG1を透過してそれぞれディスク110に照射される光は、各スリットSG1を実質的な線光源とする光に変換される。1次固定格子G1に形成された複数のスリットSG1間のピッチpG1は、回転格子Lの複数のスリットSL間のピッチpLに対してpG1=i×pLi=1,2,3...の関係となるように形成される。ここで、特にi=1,2の場合に、得られる周期信号の強度が大きくなる場合が多い。更に言えば、i=2の場合に、周期信号の強度がi=1よりも大きくなる場合が多い。一方、周期信号の周期数mは、スリット本数nだけでなく、このiによっても変化する。具体的には、周期数mは、少なくともi=1,2の場合、m=2×n/iとなる。以下では、説明の便宜上、i=2つまりpG1=2pLでありm=nである場合について説明する。なお、1次固定格子G1を透過した光は、1次固定格子G1に入射する際の入射角に応じて、1次固定格子G1の幅方向に広がる。従って、回転格子LのスリットSLの幅は、この広がり角を考慮して、信号強度を向上させるために、1次固定格子G1のスリットSG1の幅よりも広く設定されることが望ましい。その際、回転格子LのスリットSLの幅を、更に、1次固定格子G1を透過した光が到達すると予想される幅よりも広く設定することにより、この透過光のうち、スリットSLで反射される光量が増加するので、像の大きさの変動が抑えられる。あるいは、回転格子LのスリットSLの幅を、更に、1次固定格子G1を透過した光が到達すると予想される幅よりも狭く設定することにより、この透過光がスリットSLの透過光の光量の多いピーク位置で反射され、スリットSLの位置が多少ずれたとしてもスリットSLにて反射された光の像の大きさの変動が抑えられる。即ち、1次固定格子G1を透過した光が到達すると予想される幅よりも広く設定するか又は狭く設定することにより、1次固定格子G1と回転格子Lとの取り付け誤差に対する信号の安定性を、更に向上させることが可能である。これと同様に、回転格子Lで反射した光は、回転格子Lに入射する際の入射角に応じて、回転格子Lの幅方向に広がる。従って、後述する2次固定格子G2のスリットSG2の幅も、この広がり角を考慮して、信号強度を向上させるために、回転格子LのスリットSLの幅よりも広く設定されることが望ましい。その際、2次固定格子G2のスリットSG2の幅を、更に、回転格子Lで反射した光が到達すると予想される幅よりも広く設定するか又は狭く設定することにより、2次固定格子G2と回転格子Lとの取り付け誤差に対する信号の安定性を、更に向上させることが可能であることも同様である。ただし、1次固定格子G1、2次固定格子G2及び回転格子Lそれぞれのスリットの幅の関係は、十分な信号強度が確保でき、また、取り付け誤差に対する信号の安定性も十分に確保できる場合には、特に限定されるものではない。1次固定格子G1が有する複数のスリットSG1は、回転格子L及び2次固定格子G2と共に形成する回折干渉光学系の回折干渉効果を高めてノイズを低減するために、対向した位置におけるスリットSLと略平行になるように形成されることが望ましい。つまり、図3に示すように、回転格子LA,LBのスリットSLA,SLBが湾曲スリットであるため、検出部130A,130Bの1次固定格子G1の複数のスリットSG1,2次固定格子G2の複数のスリットSG2も、湾曲スリットで形成されることが望ましい。一方、回転格子LCのスリットSLCが放射スリットであるため、検出部130Cの固定格子G1,G2の複数のスリットSG1,SG2も、放射スリットで形成されることが望ましい。この場合において、放射スリットについて特許文献1にも記載されているように、放射スリットのピッチpLはトラックTの全周長に比べて十分に短いため、放射スリットを光学的には平行スリットとみなすことができる。従って、放射スリットに対応した検出部130Cの1次固定格子G1の複数のスリットSG1を、相互に平行に隣接する平行スリットにすることが可能である。この平行スリット放射スリットに対応する複数のスリットSG1は、放射スリットを平行スリットとみなした場合のその平行スリットと平行になるように配置されることが望ましい。同様に、湾曲スリットに対応した検出部130A,130Bの1次固定格子G1の複数のスリットSG1を、図5に示すように、平行スリットとすることも可能である。この平行スリット湾曲スリットに対応する複数のスリットSG1は、図5に示すように、各湾曲スリットが延びる方向と一致するLINE2後述の接線LINE3とほぼ平行になるように配置されることが望ましい。このように放射スリット及び湾曲スリットに対応する両1次固定格子G1を、平行スリットとすることで、共通化することが可能となる。その結果、製造等を更に容易にすることが可能となるだけでなく、製造コストを低減することも可能である。図4に示すように、1次固定格子G1で回折された光は、1次固定格子G1に対応する回転格子Lに照射される。回転格子Lに照射された光は、回転格子LのスリットSLで反射される。この際、反射される光は、回転格子Lで更に回折される。そして、この回転格子Lで回折された光は、2次固定格子G2に照射される。2次固定格子G2は、回転格子Lで回折された光が入射する位置に形成される。この2次固定格子G2に形成されたスリットSG2のピッチpG2は、1次固定格子G1に形成されたスリットSG1のピッチpG1と同じに設定される。つまり、本実施形態ではpG1=pG2=2×pLとなる。更に、このスリットSG2の形状や、回転格子LA,LBのスリットSLA,SLBとの位置関係等も、上記1次固定格子G1のスリットSG1と同様である。よって、これらの詳しい説明は省略する。なお、この2次固定格子G2は、1次固定格子G1と異なり、2以上の領域例えば図5に示す領域G2A,G2Bに別れている。各領域のスリットSG2のピッチpG2は、その領域内では等しく形成される。領域の境界を挟んで互いに隣り合うスリットSG2の間のピッチ例えば図5に示す境界部ピッチprは、ピッチpG2よりpG2/4だけ長く又は短く設定される。なお、説明の便宜上、以下では、図5に示すように2次固定格子G2が2の領域G2A,G2Bに分割された場合について説明する。2次固定格子G2に照射される光は、回転格子Lの複数のスリットSLそれぞれで回折された光が干渉した干渉縞状となる。干渉縞の明部の位置は、ディスク110が回転して1次固定格子G1と回転格子Lとの間の位置関係の変化に応じて、移動することになる。その結果、境界部ピッチprがピッチpG2よりpG2/4だけ長く又は短く設定されているので、各領域G2A,G2BそれぞれのスリットSG2を通過する光の強度は、電気角で90°ずれて正弦波状に増減する。受光部132は、2次固定格子G2のスリットSG2を透過した光を受光するように配置される。受光部132は、例えばフォトダイオードのような受光素子を有している。この受光素子により、受光した光の強度が電気信号に変換される。この場合において受光部132は、各領域G2A,G2B毎に別々の電気信号を生成可能なように、例えば2の受光面を有する。受光部132が生成する電気信号は、ディスク110がピッチpに応じた分だけ回転する度に繰り返される略正弦波状の周期的な電気信号周期信号ともいう。となる。各領域G2A,G2Bそれぞれに対応した周期信号は、領域G2A及び領域G2Bに形成されたスリットSG2をそれぞれ通過する光の強度と同様に、位相が90°ずれた2の周期信号となる。この2の周期信号を、それぞれA相周期信号、B相周期信号ともいう。そして、第1の光学検出機構、第2の光学検出機構、第3の光学検出機構それぞれで得られる2の周期信号をまとめて、ここでは第1の検出信号、第2の検出信号、第3の検出信号ともいう。このように光学検出機構では、3格子の回折干渉光学系を構成する。よって、ギャップgの大小に関わらずピッチpL,pG1,pG2等との関係で干渉が生じれば、所望の周期信号を検出することができる。ところで、幾何光学型エンコーダでは、単にスリットSLを透過した光を受光するため、ギャップgを大きくすればするほど、回折成分や拡散成分の光の影響により、ノイズが増加する。そのため、ギャップgは小さく設定される必要がある。これに対して、本実施形態に記載のような回折干渉光学系を使用したエンコーダ100では、固定部材と回転部材との間のギャップgを大きくすることができる。その結果、設計又は開発の自由度を高めることができると共に、衝撃等により固定部材と回転部材とが干渉する不具合が発生する可能性を低減することができる。なお、本実施形態では、前述の通り、3格子回転格子L及び固定格子G1,G2の回折干渉光学系を例に説明している。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、2次固定格子G2の代わりにその2次固定格子G2のスリットSG2それぞれの位置に受光面を有する帯状の受光素子を使用することで、擬似的に3格子の回折干渉光学系を形成することも可能である。更に言えば、1次固定格子G1の代わりにその1次固定格子G1のスリットSG1それぞれの位置で発光する帯状又は線状の発光素子等を使用することで、擬似的に3格子の回折干渉光学系を形成することも可能である。その他、同様な回折干渉光学系を構成することができれば、格子の数は特に限定されない。1-2-3.湾曲スリットの構成次に、図5及び図6を参照しつつ、上記回転格子LA,LBに使用される湾曲スリットについて、詳しく説明する。1のトラックT内の湾曲スリットまず、図6を参照しつつ、どちらか一方の湾曲スリット、つまり、トラックTAの回転格子LAに形成されたスリットSLA、又はトラックTBの回転格子LBに形成されたスリットSLBを例に挙げて説明する。スリットSLAとスリットSLBとで異なる点については、個別に説明することとする。回転格子LのスリットSLは、トラックTに配置される。前述の通り、少なくとも1以上の回転格子LのスリットSLは、放射スリットと異なる湾曲した形状の湾曲スリットとして形成される。スリットSLは、回転軸AXを中心として0度を超え360度未満の角度範囲内に形成される。具体的には、湾曲スリットとして形成されるスリットSLここでは単にスリットSLという。は、図6に示すように、LINE2に沿って形成される。このLINE2は、ディスク中心O回転軸AXを中心とした径方向線LINE1それぞれを、予め決められたの湾曲度合いCで、周方向に向けて湾曲させた湾曲線である。このような湾曲線LINE2に沿ったスリットSLについては様々な形成例が考えられる。このスリットSLの一形成例について説明すると以下の通りである。各スリットSLに対応する径方向線LINE1は、そのトラックT中に配置されるべきスリット本数nで1回転の2π360°を予め決められた角度で分割された角度毎に、スリット本数n分設定される。この各径方向線LINE1が同一の周方向に同一の湾曲度合いCで湾曲させることにより、各スリットSLの湾曲線LINE2が設定される。このように設定された各湾曲線LINE2に沿って、各スリットSLが予め決められた幅で形成されることになる。更に具体的に式を使用してスリットSLの一形成例について説明する。ディスク中心Oを原点、原点からの距離をd、原点を通る基準線からの角度をθ、トラックTの内径及び外径をそれぞれrIN,rOUTとする。そして、トラックTの回転格子Lが含むスリット本数をnとし、各スリットをjj=0,1,2...,n-1で識別するものとする。すると、径方向線LINE1は、極座標にて下記式1により表される。LINE1=d,j×2π/n...式1ただしrIN≦d≦rOUTそして、湾曲度合いをCとし、かつ、回転格子Lの複数のスリットSLのピッチが所望のpLとなる半径トラックTの幅方向中心における半径をr0とした場合、湾曲線LINE2は、極座標にて下記式2により表される。スリットSLは、この湾曲線LINE2に沿ってトラックTの予め決められたの幅w=rOUT-rIN内で形成される。LINE2=r01-Cθ,θj×2π/n...式2ただしrIN≦r01-Cθ≦rOUTこの湾曲スリットの形成例の場合、湾曲度合いCは、下記式3で表される。C=tan[sin-1{pL×n/2πr0}]...式3なお、トラックTは、2次固定格子G2を透過した後に受光素子で受光した回転格子Lからの反射光が、十分な光量となるだけの幅w=rOUT-rINで形成されることが望ましい。本実施形態の回折干渉光学系では、トラックTの幅wを例えば回転格子LのピッチpLの20倍~50倍程度に設定すれば、十分な光量が得られる。従って、式3から判るように、湾曲スリットであるスリットSLは、ディスク中心Oを中心として180°以内の範囲に形成される。即ち、湾曲したスリットSLの1本1本は、トラックTを1回転を超えて周回しないように形成される。このように湾曲スリットを形成することにより、ディスク110の強度を高めたり、スリットSLの形成を容易にしたりすることが可能である。一般的に、本実施形態の回転格子Lが構成するような回折干渉光学系は、回転格子Lに含まれる複数のスリットSLのピッチがスリットSLの長さ方向の位置によらずに均一であるほど、得られる正弦波の周期信号のノイズが低減され、位置検出精度を向上させることができる。換言すれば、トラックTの幅wの中心からスリットSLに沿ってトラック内形又は外形内周又は外周に向かって移動した場合における、その移動量に対するピッチpLの変化量が少ないほど、ノイズが低く抑えられ、検出精度が向上する。この点、本実施形態のような湾曲スリットによれば、スリットSLが湾曲して形成されることにより、スリットSLの形成方向湾曲線LINE2が延びる方向におけるスリットSLのピッチの変化量ここではピッチの変化率ともいう。を低減することができる。結果として、本実施形態によるエンコーダ100によれば、各光学検出機構から得られる周期信号の検出精度を向上させて、位置検出精度を向上させることが可能である。より具体的には、例えば、放射スリットであれば、径方向線LINE1上にスリットSLが形成され、スリットSLの形成方向径方向線LINE1が延びる方向における長さが、ほぼトラックTの幅wと等しくなる。そのため、スリットSLの形成方向におけるスリットSLのピッチの変化率は比較的大きい。この比較的大きなピッチの変化率は、周期信号の検出精度の低下を招く。このような検出精度の低下は、スリット本数nが少ないほど大きい。これに対して、湾曲スリットであれば、スリットSLの形成方向湾曲線LINE2における長さを、放射スリットに比べて湾曲度合いCに対応した長さ分引き伸ばすことができる。その結果、スリットSLのピッチの変化率を比較的小さくすることができ、周期信号の検出精度を向上させることができる。従って、本実施形態に係るエンコーダ100は、このような湾曲スリットを使用することにより、周期信号の周期数mが異なる複数トラックTA~TCを、設計開発等の自由度を低下させず、かつ、周期信号の検出精度を低下させることなく、設定することが可能である。よって、本実施形態によれば、湾曲スリットが使用されていないエンコーダに比べ、高精度かつ小型なエンコーダ100を容易に形成することが可能である。更に、一般に回折干渉光学系において、回転格子Lと固定格子G1,G2との間の最適ギャップgは、発光部131が発する光の波長λと、回転格子Lの複数のスリットSLのピッチpLとに依存する。例えば、3格子の回折干渉光学系において、pG1=pL=pG2の場合には、ギャップgは、下記式4を満たすときに最適になる。また、pG1=2×pL=pG2の場合には、ギャップgは、下記式5を満たすときに最適になる。なお、kは正の整数である。g=2×k-1×pL2/4λ...式4g=2×k×pL2/λ...式5ここで、本実施形態のような湾曲スリットによれば、複数のスリットSLのピッチpLは、スリット本数nと、トラック半径r=r0と、湾曲度合いCとの関数fを用いて、例えば式6のように表される。pL=fn,r,C=2πr/n×sintan-1C...式6従って、スリット本数nつまり周期信号の周期に対応やトラック半径rを変更せずに、湾曲度合いCを適宜設定するだけで、回折干渉光学系を構成するような最適な値にピッチpを設定することが可能となる。その結果、トラック本数nやトラック半径r等を自由に設定することが可能となり、小型化が容易で設計又は開発等も容易になる。ところで、本実施形態と異なり、特許文献3に記載されたようなスリットSLがトラックT内を1回転以上周回して形成される場合、このようなスリットを多重螺旋スリットともいう。このような多重螺旋スリットでは、半径方向に積層されるスリットSLの数が多くなり、トラックTの幅wが大きくなって小型化が難しくなる。従って、設計開発の自由度が減り、ひいては製造自体が難しくなる。これに対して、本実施形態に係るスリットSLは、多重螺旋スリットではなく、周回量が1回転未満の湾曲スリットで形成される。その結果、前述の通り、設計開発の自由度を高めて、製造や小型化を容易にすることができる。より高い信号精度を得る観点から、湾曲スリットの周回量は、1/2回転以下が好ましく、1/4回転以下がより好ましい。なお、ここで説明した湾曲スリット形成例や湾曲線LINE2の式等は、あくまで一例である。上記のように周方向に湾曲した湾曲線LINE2に沿ったスリットSLが形成されれば、その形成方法や設計方法等は、特に限定されるものでない。湾曲スリットと固定格子側のスリットの位置関係固定格子G1,G2として平行スリットを使用する場合、図5に示すように、固定格子G1,G2は、対応する回転格子LのスリットSLの湾曲線LINE2の接線LINE3と各スリットSG1,SG2が平行になるように、配置される。なお、ここに言う平行とは、厳密な意味での平行ではない。即ち、平行とは、設計上、製造上の誤差が許容され、実質的に平行という意味である以下、同様。具体的には、例えば、―5度~5度の範囲内で接線LINE3と各スリットSG1,SG2が交差していればよい。本実施形態のような湾曲スリットであれば、固定格子G1,G2の配置位置が多少ずれた場合でも、湾曲スリットのピッチの変化率が比較的小さいため、平行スリットである固定格子G1,G2と回転格子Lとを平行とみなすことができる領域を大きく確保することができる。よって、周期信号の検出精度を更に向上させつつ、製造等を非常に容易にすることができる。複数のトラック間の関係における湾曲スリット次に、複数のトラックTA、TB間の関係における湾曲スリットについて、図2及び図3を参照しつつ説明する。本実施形態では、図2に示すように、全てのトラックTA~TCの回転格子LA~LCとそれに対する検出部130A~130Cのマスク120とのギャップgは、ほぼ等しく設定される。一方、回折干渉光学系を形成するには、上記式4又は式5を満たすように、ギャップgに対応したスリットSLのピッチpLを設定することが重要である。そこで、本実施形態では、トラックTAのスリットSLAにおける湾曲度合いCは、図3に示すように、そのスリットSLAのピッチpLAが他のトラックTCのスリットSLCのピッチpLCと等しくなるように設定される。同様に、トラックTBのスリットSLBにおける湾曲度合いCも、そのスリットSLBのピッチpLBがスリットSLCのピッチpLCと等しくなるように設定される。一方、前述のようにトラックTAのスリット本数nAは、トラックTBのスリット本数nBよりも1本だけ少ない。これらの結果、全てのトラックTA~TCにおけるスリットSLA~SLBのピッチpLA~pLCをそれぞれ等しくすることが可能となる。なお、ここに言う等しいとは、厳密な意味ではない。即ち、等しいとは、設計上、製造上の誤差が許容され、実質的に等しいという意味である以下、同様。具体的には、例えば±10の範囲内でピッチpLA~pLCに誤差があってもよい。よって、検出部130A~130Cは、回折干渉光学系をそれぞれ形成しつつ、ギャップgを等しくして配置され得る。なお、例えば±10の範囲内でギャップgに誤差があってもよい。このように複数の検出部130A~130Cを等しいギャップgで形成できる場合、検出部130A~130Cのギャップg方向での調整が容易になる。また、これら検出部130A~130Cを一体に形成することも可能となる。なお、検出部130A~130Cを一体に形成する場合、それぞれが有するマスク120も一体に1枚のマスクとして形成されてもよい。この場合、設計等の自由度を向上させ、かつ、製造を容易にすることが可能である。1-2-4.位置データ生成部次に、位置データ生成部140について説明する。前述の通り、位置データ生成部140は、検出部130A~130Cから、それぞれ正弦波状の第1の検出信号、第2の検出信号及び第3の検出信号を取得する。即ち、位置データ生成部140は、第1の検出信号、第2の検出信号及び第3の検出信号について、それぞれA相及びB相の2つの正弦波信号を取得する図2参照。位置データ生成部140は、第1~第3の検出信号から、それぞれ図7B~図7Dに示すような単調増加する第1~第3の三角波信号周期信号の一例を生成する。この第1~第3の三角波信号の周期は、それぞれ第1~第3の検出信号の周期と同じである。第1及び第2の三角波信号から、図7Aに示す第1の位置データが生成される。第2及び第3の三角波信号は、それぞれ図7C、図7Dに示す第2及び第3の位置データとなる。なお、位置データ生成部140による第1~第3の三角波信号の生成方法は、特に限定されるものではない。位置データ生成方法としては、例えば、1A相及びB相の2つの正弦波信号の除算結果をarctan演算することにより電気角φを算出する方法、2トラッキング回路を用いて2つの正弦波信号を電気角φに変換する方法、及び3予め作成されたテーブルにおいてA相及びB相の信号の値に対応付けられた電気角φを特定する方法などが挙げられる。また、この際、位置データ生成部140は、まず、A相及びB相の2つの正弦波信号を検出信号毎にアナログ-デジタル変換し、その変換後の2のデジタル信号を逓倍処理して分解能を向上させた後に、上記位置データ生成を行うことが望ましい。位置データ生成部140は、生成した第1の位置データ、第2の位置データ及び第3の位置データからモータ部200の絶対位置xを特定し、その絶対位置xを表した位置データを出力する。以下、より具体的に位置データ生成部140による絶対位置xを特定する処理の一例について説明する。なお、理解を容易にするためディスク110を簡略化し、ピッチがpG1=2×pL=pG2、スリットSLA、SLB、SLCの本数がそれぞれ15、16、64のディスクについて説明する。第1の位置データは、図7Aに示すように、ディスクの1回転で電気角φX0°~360°が1回単調に増加又は減少する。即ち、第1の位置データは、ディスクの1回転あたりの大まかな絶対位置xを表すデータである。第1の位置データは、具体的には、以下のように生成される。第1の光学検出機構のトラックTAに形成されたスリットSLAの本数nA=15は、第2の光学検出機構のトラックTBに形成されたスリットSLBの本数nB=16よりも1本だけ少ない。従って、ディスクが1回転すると、第1の検出信号は、第2の検出信号よりも1周期だけ少なく出力される。即ち、ディスクが1回転すると、図7Bに示す第1の三角波信号は、図7Cに示す第2の三角波信号よりも1周期だけ少なく出力される。この第2の三角波信号から、第1の三角波信号を減算すると、図7Aに示すように、ディスクの回転絶対角度θ絶対位置xが360°で1周期の三角波状の電気信号第1の位置データが生成される。なお、位置データ生成部140による第1の位置データ生成方法は、特に限定されるものではない。第2の位置データ及び第3の位置データは、それぞれ第2及び第3の三角波信号である。第2の位置データは、図7Cに示すように、ディスクの1回転で電気角φB0°~360°が16回単調に増加又は減少するつまり周期数mB=16。第3位置データは、図7Dに示すように、ディスクの1回転で電気角φC0°~360°が64回単調に増加又は減少するつまり周期数mB=64。なお、図7A~図7Dは、線形に単調増加する各信号を示している。ただし、位置データ生成部140は、例えば、第1~第3の三角波信号として階段状に単調増加する信号を生成してもよい。第1~第3の位置データは、各周期数mA、mB、mCに応じた分解能で絶対位置xを表すことになる。従って、第3の位置データは、第2の位置データよりも分解能が高く、第2の位置データは、第1の位置データよりも分解能が高い。そこで、位置データ生成部140は、第1の位置データ~第3の位置データに基づいて、最も分解能が高い第3の位置データと同じレベルの分解能を有する絶対位置xを算出する。第1の位置データは、分解能が比較的低く、絶対位置を表す。位置データ生成部140は、この第1の位置データが表す絶対位置に、第2の位置データが表す比較的高分解能な位置を重畳することにより、第2の位置データと同じレベルの分解能の絶対位置xを算出することが可能である。そして、位置データ生成部140は、同様に、第2の位置データから算出された絶対位置xに、更にそれよりも分解能が高い第3の位置データが表す位置を重畳することにより、第3の位置データと同じレベルの分解能の絶対位置xを算出することが可能である。換言すれば、位置データ生成部140は、図7A~図7Dに示すように、最も分解能が高い第3の位置データが表す位置を、第2の位置データ及び第1の位置データを順次使用して、絶対位置xに変換するバーニア方式。なお、位置データ生成部140は、このような処理を行わずに、第1の位置データ、第2の位置データ及び第3の位置データの組み合わせに対する絶対位置xの参照テーブルを記憶しておき、当該参照テーブルを使用して絶対位置xを特定することも可能である。また、位置データ生成部140は、制御部20に設けられてもよい。1-3.第1実施形態に係るモータユニットの動作次に、本実施形態に係るモータシステム1の動作について説明する。なお、各構成における動作や作用等については、各構成の説明で詳しく説明したので適宜省略して説明する。制御部20は、上位制御装置等から上位制御信号を取得し、更にエンコーダ100から、モータ部200の絶対位置xを表す位置データを取得する。そして、制御部20は、上位制御信号と位置データとに基づいてモータ部200の駆動電流又は電圧を出力する。その結果、モータ部200は、この駆動電流又は電圧に基づいて回転軸201を回転させる。すると、その回転軸201に対応する回転軸202に、回転軸101を介して連結されたエンコーダ100のディスク110が回転する。一方、検出部130A~130Cは、このディスク110の回転に応じてそれぞれ周期信号を検出し、位置データ生成部140に出力する。そして、位置データ生成部140は、取得したこれらの信号に基づいて位置データを生成し、制御部20に出力する。1-4.第1実施形態に係るエンコーダの製造方法次に、図8を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ100の製造方法について説明する。図8に示すように、エンコーダ100の製造方法では、まずステップS101が処理される。このステップS101スリット数決定ステップの一例では、ディスク110の1のトラックTについて、そのトラックTから得たい分解能に応じて、1回転で得るべき所望の周期信号の周期数mが決定される。そして、その周期に応じて、そのトラックTに形成されるスリット本数nが設定される。そして、ステップS103に進む。ステップS103径方向線設定ステップの一例では、ステップS101で決定した数の径方向線LINE1図6参照が、ディスク中心O回転軸AXを中心とした等角度で設定される。そして、ステップS105に進む。ステップS105湾曲線設定ステップの一例では、スリットSLのピッチpLが所望の値となるように湾曲度合いCが設定される。そして、ステップS103で設定した複数の径方向線LINE1が、設定された湾曲度合いCで同一の周方向に向けて湾曲され、複数の湾曲線LINE2が設定される。ただし、例えばトラックTCなどのような放射スリットの場合には、このステップS105では、湾曲度合いCは0湾曲させないことを意味に設定されることになる。なお、このステップS105では、これから形成しようとしているトラックT1のトラックの一例のスリットSLのピッチpLが、既に形成されたトラックT又は後続して形成されるトラックT他のトラックTの一例のスリットSLのピッチpLと等しくなるように、湾曲度合いCが設定されることになる。このステップS105の処理後は、ステップS107に進む。ステップS107スリット形成ステップの一例では、ステップS105で設定した複数の湾曲線LINE2に沿って、予め決められたの幅wで複数のスリットSLが、トラックT内で形成される。そして、ステップS109に進む。ステップS109では、所望の複数のトラックT全てにスリットSLが形成されたか否かが確認される。そして、スリットSLが未形成のトラックTがあれば、ステップS101以降の処理が繰り返される。一方、全てのスリットSLが形成されていればステップS111に進む。ステップS111マスク配置ステップの一例では、少なくともピッチpLが等しい2以上のトラックTに対して、回転格子Lと固定格子G1,G2との間のギャップgが等しくなるように、マスク120を含む検出部130が配置される。なお、これらの処理と並行又は前後して、回転シャフト101をディスク110に連結する処理、各検出部130と位置データ生成部140とを連結する処理、各構成をケースに収納して固定又は回転可能に支持する処理等が行われて、エンコーダ100が完成する。1-5.第1実施形態に係るエンコーダユニットによる効果の例本実施形態に係るエンコーダ100等によれば、少なくとも1のトラックTの複数のスリットSLが、湾曲線LINE2に沿った湾曲スリットとして形成される。この湾曲スリットは、ディスク110の1回転あたりの大まかな絶対位置xを表す第1の位置データが光学的に得られると共に、湾曲線LINE2の湾曲度合いCを調整することにより、トラックTの形成位置やトラックTに含まれるスリット本数nを変更せずに、ピッチpLを調整することが可能である。従って、設計又は開発等の自由度を高めることが可能である。また、このエンコーダ100等で使用される湾曲スリットについては、その湾曲度合いCに応じた分スリットSL1つ1つの長さを延長することができる。その結果、スリットSLのピッチpLのスリット形成方向における変化量を、低減することができる。このことは、各スリットSLのピッチpLをスリット形成方向で均一化すること、つまり、湾曲スリットである各スリットSLを平行スリットに近づけることが可能であることを意味する。一方、本実施形態に係るエンコーダ100は、この湾曲スリットを利用した回折干渉光学系を利用する。回折干渉光学系では、複数のスリットSLが平行スリットに近いほど、検出信号のS/N比等を向上させることができ、検出精度を向上させることができる。従って、本実施形態に係るエンコーダ100は、ディスク110に湾曲スリットを形成することで、複数のスリットSLを平行スリットに近づけることができるので、検出信号のS/N比等を向上させることができ、更には検出精度を向上させることが可能である。従って、本実施形態のエンコーダ100によれば、回折干渉光を使用して、検出精度を向上させつつ、回折干渉光学系を構成する際の設計又は開発時の制限等を低減して、製造が容易なように設計又は開発等を行うことが可能となる。このような効果は、トラック半径rを大きく設定したり、周期信号の周期数mを小さく設定したりする場合に特に有効である。つまり、通常、トラック半径rを大きくすると、スリットSLのピッチpLを回折干渉光学系が形成可能なように十分に小さくする必要がある。すると、そのスリット本数nは、大きくならざるをえず、そのスリット本数nに対応した周期信号の周期数mも大きくなる。一方、同様に、周期数mを小さくする場合には、これと逆に、トラック半径rを小さくせざるをえない。しかしながら、前述のように本実施形態に係るエンコーダ100では、湾曲度合いCを調整することにより、スリット本数n又はトラック半径rを独立して調整することが可能である。従って、設計又は開発する際の制約を大幅に低減して、小型化なども可能である。また、本実施形態の絶対値エンコーダ100によれば、少なくとも1以上のトラックTを湾曲スリットとすることで、2以上のトラックTにおけるピッチpLを相等しくすることができる。その結果、それらのトラックTに対する検出部130つまりマスク120と、トラックTとの間のギャップgをそれぞれ等しくすることができる。従って、これらのトラックTについて、回折干渉光学系をほぼ同様に設計又は開発等することが可能であり、また、これらのトラックTに対応する検出部130について一括してギャップgの調整を行うことが可能である。従って、製造設計及び開発の過程も含むを大幅に容易にすることが可能である。<2.第2実施形態>次に、図9を参照しつつ、本発明の第2実施形態に係るモータユニットについて説明する。上記本発明の第1実施形態では、図3に示すように、湾曲スリットとして形成されるトラックTA,TBのスリットSLA,SLBの湾曲される向きが、同一の周方向である場合について説明した。しかし、本発明は、かかる例に限定されるものではなく、相隣接するトラック同士の湾曲方向を、周方向で逆にすることも可能である。そこで、ここでは、本発明の第2実施形態として、相隣接するトラック同士の湾曲方向が周方向で逆に設定された場合の例について説明する。なお、トラックの湾曲方向が周方向で逆に設定されること以外、本実施形態に係るエンコーダ等は、上記第1実施形態と同様に構成可能であるため、ここでは、第1実施形態との違いについて中心に説明する。図9に示すように、本実施形態に係るエンコーダが有するディスク610は、トラックTA少なくとも1のトラックの一例に、図3に示した回転格子LAの代わりに回転格子LDを有する。そして、この回転格子LDは、複数のスリットSLDを有する。スリットSLDの湾曲方向は、図3に示したスリットSLAと異なり、隣接するトラックTB他のトラックの一例のスリットSLBの湾曲方向と逆の周方向に設定されている。つまり、スリットSLBが、径方向線LINE1を時計回り方向に湾曲させた湾曲線LINE2に沿って形成されるのに対して、このスリットSLDは、これとは逆に、径方向線LINE1を反時計回り方向に湾曲させた湾曲線に沿って形成される。一方、各スリットSLから生じる回折干渉光は、各スリットSLの長手方向に対して略直角な方向に繰り返す干渉縞を形成する。従って、湾曲スリットのスリットSLの長手方向は、周方向に湾曲されるため、干渉縞は、隣接するトラックの方向に繰り返すように形成される場合がある。その結果、干渉縞が隣接トラックの回折干渉光学系とクロストークしてしまう恐れがある。また、そのようなクロストークを防ぐために、エンコーダの設計又は開発が制約を受ける場合がある。このような場合、本実施形態のように相隣接するトラックTA,TBの各スリットSLD,SLBの湾曲方向を互いに逆向きに設定することで、干渉縞が形成される向きを変更することが可能となり、クロストークが生じないような設計又は開発を容易に行うことが可能である。なお、本実施形態においても、上記第1実施形態で奏される他の格別な作用効果等を奏することが可能であることは、言うまでもない。以上、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明した。しかしながら、本発明はこれらの実施形態の例に限定されないことは言うまでもない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内において、様々な変更や修正を行うことに想到できることは明らかである。従って、これらの変更後や修正後の技術も、当然に本発明の技術的範囲に属するものである。なお、複数存在するトラックのうち、少なくとも2つ以上のトラックのピッチが実質的に等しくてもよく、異なるピッチのトラックが含まれてもよい。本明細書において、フローチャートに記述されたステップは、記載された順序に沿って時系列的に行われる処理はもちろん、必ずしも時系列的に処理されなくとも、並列的に又は個別的に実行される処理をも含む。また時系列的に処理されるステップでも、場合によっては適宜順序を変更することが可能である。"