"ロールツーロール法を用いて、長尺状の基材に透明導電膜が前もって形成されてなる被処理体の検査装置であって、前記透明導電膜のシート抵抗を求める第一手段と、前記透明導電膜のヘイズおよび透過率を求める第二手段と、を少なくとも備えたことを特徴とする被処理体の検査装置。前記第一手段は、電気的な接点として機能するロール形状のプローブを少なくとも一組備え、前記プローブが自転しながら前記透明導電膜の表面に接触するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の被処理体の検査装置。前記第二手段は、光源と積分球から構成され、両者が前記被処理体を挟むように、前記基材側と前記透明導電膜側に、それぞれ配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の被処理体の検査装置。本発明は、このような従来の実情に鑑みて考案されたものであり、ロールツーロール法を用いて長尺状の基材に透明導電膜が形成されてなる被処理体の特性評価を効率よく行うことが可能な被処理体の検査装置を提供することを目的とする。本発明の請求項1に記載の被処理体の検査装置は、ロールツーロール法を用いて、長尺状の基材に透明導電膜が前もって形成されてなる被処理体の検査装置であって、前記透明導電膜のシート抵抗を求める第一手段と、前記透明導電膜のヘイズおよび透過率を求める第二手段と、を少なくとも備えたことを特徴とする。本発明の請求項2に記載の被処理体の検査装置は、請求項1において、前記第一手段は、電気的な接点として機能するロール形状のプローブを少なくとも一組備え、前記プローブが自転しながら前記透明導電膜の表面に接触するように構成されていることを特徴とする。本発明の請求項3に記載の被処理体の検査装置は、請求項1又は2において、前記第二手段は、光源と積分球から構成され、両者が前記被処理体を挟むように、前記基材側と前記透明導電膜側に、それぞれ配置されていることを特徴とする。本発明の被処理体の検査装置では、前記透明導電膜のシート抵抗を求める第一手段と、前記透明導電膜のヘイズおよび透過率を求める第二手段とを備えているので、ロールツーロール法を用いて長尺状の基材に透明導電膜が形成されてなる被処理体の特性評価を効率よく行うことが可能である。以下、本発明に係る被処理体の検査装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明を適用して製造される有機薄膜太陽電池の一例を示す要部拡大斜視図である。また、図2は図1の太陽電池の層構成を示す断面図である。太陽電池10は、透明な絶縁性の基材11の一面11aに光電変換体12を形成してなる。基材11は、例えば、透明樹脂フィルムなど、太陽光の透過性に優れ、可塑性のある絶縁材料で形成されていればよい。こうした基材11の他面11b側から太陽光を入射させる。光電変換体12は、基材11側から順に第一電極層透明導電膜13、半導体層発電部14、第二電極層裏面電極15を積層してなる。第一電極層透明導電膜13の構成材料としては、導電性と透明性を兼ね備えたものであれば特に限定されるものではなく、In-Zn-OIZO、In-Sn-OITO、ZnO-AlZAO、Zn-Sn-OSZO等を挙げることができ、中でも、ITOが好ましく用いられる。また、第二電極層裏面電極15は、Ag,Cuなど導電性の金属膜によって形成されていればよい。半導体層発電部14は、例えば、p型有機半導体膜16p層とも呼ぶ上にn型有機半導体膜n層とも呼ぶ17が積層されてなるヘテロ接合を有する。この半導体層14に太陽光が入射すると、p層16においてはホールが、n層17においては電子が、それぞれ生じ、p層16とn層17との電位差によって、n層の電子はp層へ、p層のホールはn層へ流れ込む。これが連続的に繰り返されることで第一電極層13と第二電極層15との間に電位差が生じる光電変換。ゆえに、p層はホール輸送層Holetransportlayerあるいは電子受容体、n層は電子輸送層Electrontransportlayerあるいは電子供与体、とも呼ばれる。p型有機半導体膜16の材料としては、特に限定されるものではないが、電子供与性の導電性高分子材料であることが好ましい。導電性高分子はいわゆるπ共役高分子であり、炭素-炭素またはヘテロ原子を含む二重結合または三重結合が、単結合と交互に連なったπ共役系から成り立っており、半導体的性質を示すものである。また、導電性高分子材料は、導電性高分子材料を溶媒に溶解もしくは分散させた塗工液を用いることで印刷法により容易に成膜可能であることから、大面積の有機薄膜太陽電池を高価な設備を必要とせず低コストで製造できるという利点がある。p型有機半導体16としては、例えば、ポリチオフェンP3HT、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリシラン、ポリカルバゾール、ポリビニルカルバゾール、ポルフィリン、ポリアセチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリフルオレン、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラセン、及びびこれらの誘導体、ならびにこれらの共重合体、あるいは、フタロシアニン含有ポリマ、カルバゾール含有ポリマ、有機金属ポリマ等の高分子材料が用いられる。上記の中でも、チオフェン-フルオレン共重合体、ポリアルキルチオフェン、フェニレンエチニレン-フェニレンビニレン共重合体、フェニレンエチニレン-チオフェン共重合体、フェニレンエチニレン-フルオレン共重合体、フルオレン-フェニレンビニレン共重合体、チオフェン-フェニレンビニレン共重合体等が好ましく用いられる。これらの電子供与性材料は、多くのn型有機半導体材料に対して、最低非占有分子軌道LUMOのエネルギー準位差が適切なヘテロ接合を形成することが可能である。n型有機半導体膜17の材料としては、特に限定されるものではないが、例えば、ポリフェニレンビニレン、ポリフルオレン、及びこれらの誘導体、ならびにこれらの共重合体等の高分子材料、あるいは、カーボンナノチューブCNT、フェニルC61-ブチリック酸メチルエスタPCBM等のフラーレン誘導体、シアノCN基又はトリフルオロメチルCF3基含有ポリマ、及びそれらのCF3基置換ポリマ等が用いられる。光電変換体12は、スクライブ線スクライブライン19によって、例えば外形が短冊状の多数の区画素子21,21...に分割されている。この区画素子21,21...は互いに電気的に区画されるとともに、互いに隣接する区画素子21どうしの間で、例えば電気的に直列に接続される。これにより、光電変換体12は、区画素子21,21...を全て電気的に直列に繋いだ形態となり、高い電位差の電流を取り出すことができる。スクライブ線19は、例えば、基材11の一面に均一に光電変換体12を形成した後、レーザー光線などによって光電変換体12に所定の間隔で溝を形成することにより形成すれば良い。なお、こうした光電変換体12をなす第二電極層15の上に、さらに絶縁性の樹脂などからなる保護層図示せずを形成する構成がより好ましい。次に、以上のような構成の太陽電池の製造方法について説明する。まず、図2に示すように、透明な基材11の一面11aに上に光電変換体12を形成する光電変換体の形成工程。光電変換体12は、例えば、基材11側から順に第一電極層透明導電膜13、半導体層14p型有機半導体膜16及びn型有機半導体膜17、第二電極層裏面電極15を積層したものであればよい。なお、本発明に係る半導体層14としては、必要に応じて、p型有機半導体膜16の上にn型有機半導体膜17が形成された結果、p型有機半導体膜16とn型有機半導体膜17との間に、p型とn型が混在してなる、マクロな真性半導体層[iintrinsicsemiconductor層]が配された構成、いわゆるp-i-n接合型の構成としても構わない。以下では、本発明の被処理体の検査装置について説明する。図3は、本発明の被処理体の検査装置100の一構成例を模式的に示す図である。本発明の被処理体の検査装置100は、ロールツーロール法を用いて、長尺状の基材11に透明導電膜TCO膜13が前もって予め形成されてなる被処理体101の検査装置であって、前記透明導電膜13のシート抵抗を求める第一手段120と、前記透明導電膜130のヘイズおよび透過率を求める第二手段130と、を少なくとも備えたことを特徴とする。本発明では、透明導電膜13のシート抵抗を求める第一手段120と、ヘイズおよび透過率を求める第二手段130とを備えているので、ロールツーロール法を用いて長尺状の基材11に透明導電膜13が形成されてなる被処理体101の特性評価を効率よく行うことが可能である。ロールツーロール方式の検査装置100では、長尺フィルム状の被処理体101を連続走行させる巻出ロール107及び巻取ロール108を有し、被処理体101は、巻出ロール107から巻取ロール108へ向けて、間に複数配された支持ロール109に支持されつつ走行する。巻出ロール107と巻取ロール108との間の位置に、被処理体の特性を検査する第一手段120及び第二手段130が配置されている。なお、本実施形態の検査装置100では、第一手段120及び第二手段130の前段側に、基材11上に透明導電膜13を形成する成膜手段110が配されている場合を例として示しているが、これに限定されるものではなく、別の装置で、基材11上に透明導電膜13を予め形成したものであってもよい。成膜手段110は、巻出ロール107から供給された前記基材11に向けて前記透明導電膜13の原材料を付着させる。成膜手段110としては、例えばスパッタリング手段などが挙げられる。第一手段120は、前記透明導電膜13のシート抵抗を求める。第一手段120は、電気的な接点として機能するロール形状のプローブ121a,121bを少なくとも一組備え、前記プローブ121a,121bが自転しながら前記透明導電膜13の表面に接触するように構成されている。プローブ121a,121bはそれぞれ、被処理体101の幅方向に亘って配されたロール状の導電体からなる。この導電体は透明導電膜13の表面に接しつつ回転自転し、走行する被処理体101透明導電膜13の表面上を摺動可能になされている。その際、被処理体101透明導電膜13の表面において、該表面が移動する方向と同じ方向となるように、プローブ121a,121bを構成するロール状の導電体の自転方向を設定することが好ましい。これにより、相対的な摩擦や摩耗を抑えることが可能となり、長時間に亘ってシート抵抗を安定に測定することができる。それぞれのプローブ121a,121bには、引出配線を介して電源から電圧が印加される。これにより、得られた電圧値と電流値から、抵抗値を算出する。第二手段130は、前記透明導電膜13のヘイズおよび透過率を求める。本実施形態において、前記第二手段130は、光源131と積分球132から構成される。積分球132は、内壁に硫酸バリウム等の拡散反射塗料が塗工されたものであり、入射窓133及び受光窓134が設けられている。光源131は、入射窓133を介して積分球132の球状空間内に入射される直線光を出射するものであり、例えば、紫外域は重水素ランプ、可視近赤外域は50Wハロゲンランプ等が適用される。これら光源131及び積分球132は、両者が前記被処理体101を挟むように、前記基材11側と前記透明導電膜13側に、それぞれ配置されている。その際、光源131及び積分球132は何れも、該被処理体121との摩擦や摩耗、衝突を避けるために、該被処理体121と離間した位置、すなわち適当な距離だけ離した位置に配される構成が好ましい。また、第二手段130は、積分球132の球状空間内に入射され反射散乱された光を、受光窓134を介して受光する受光器135と、演算制御部図示せずとを備える。光源131から出射された光は、被処理体101を透過した後、入射窓123を介して積分球132に入射する。光は球状空間内で反射散乱され、その光を、受光窓134を介して受光器135で受光する。演算制御部は、受光器135で受光したデータを元に、ヘイズおよび透過率を算出する。第一電極層透明導電膜12が形成され、第一手段120及び第二手段130によって検査が終了した被処理体101は、巻取ロール108に巻き取られ、その後、所定手段によって、半導体層14、第二電極層15が形成される。なお、第一手段120及び第二手段130の後段側であって、巻取ロール108との間に、半導体層14の形成手段、第二電極層15の形成手段をそれぞれ順に配しておき、被処理体101の第一電極層透明導電膜12上に、半導体層14、第二電極層15を順次形成し、その後、巻取ロール108に巻き取ってもよい。次に、光電変換体12に向けて、例えばレーザーを照射して、スクライブ線スクライブライン19を形成し、短冊状の多数の区画素子21,21...に分割する区画素子の形成工程。また、基材11の他面11b側から、基材周縁部に所定のレーザーを照射して、積層膜の周縁部いわゆる額縁部の全周に亘って、その周縁部の下地層を含めて積層膜を除去するとともに、周縁部を絶縁処理するエッジディレーション工程。以上のようにして、図1に示したような有機薄膜太陽電池10が得られる。上述したように、本発明では、前記透明導電膜のシート抵抗を求める第一手段と、前記透明導電膜のヘイズおよび透過率を求める第二手段とを備えているので、ロールツーロール法を用いて長尺状の基材に透明導電膜が形成されてなる被処理体の特性評価を効率よく行うことが可能である。以上、本発明の被処理体の検査装置について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更が可能である。例えば、上述した実施形態では、半導体層の構成として、p型有機半導体膜上にn型有機半導体膜を積層した場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の層構成を有するものであってもよい。"