X線発生器から発するX線をベルトコンベアのベルトに透過させて、前記ベルトの検査を行うベルトコンベアのベルトの検査装置において、対向するガイドローラによって水平状態となったリターン側の前記ベルトの上側又は下側のいずれか一方側に配置された前記X線発生器と、前記ベルトの他方側に配置され、前記X線発生器からの透過X線を受けてその強度分布を測定するX線ラインセンサーと、一定時間毎に送信される前記強度分布の信号と、前記強度分布を測定した前記ベルトの進行方向の位置から前記ベルトのX線透過画像を作る制御手段とを備え、しかも、前記ベルトにはX線を遮る金属性の遮蔽材が固定され、前記X線透過画像に前記遮蔽材を原点マークとして写し込み、前記X線透過画像の原点位置を特定することを特徴とするベルトコンベアのベルトの検査装置。請求項1記載のベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記金属性の遮蔽材は金属テープからなっていることを特徴とするベルトコンベアのベルトの検査装置。請求項2記載のベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記金属テープは鉛材とアルミニウム材の二層構造となって、前記ベルトの表面側に前記アルミニウム材が露出していることを特徴とするベルトコンベアのベルトの検査装置。請求項1~3のいずれか1項に記載のベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記ベルトコンベアの架台には前記金属テープの位置を検知する原点マーク検知センサーが設けられていると共に、前記ベルトの走行距離を機械的に測定するロータリエンコーダが設けられていることを特徴とするベルトコンベアのベルトの検査装置。請求項1~4のいずれか1項に記載のベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記ベルトの蛇行を検知するベルト蛇行検知機構が設けられ、前記ベルトの蛇行量に応じて前記ベルトのX線透過画像のデータを修正することを特徴とするベルトコンベアのベルトの検査装置。請求項1~5のいずれか1項に記載のベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記ベルト内に配置されたワイヤの断線を画像処理にて発見した場合、警報を発する警報手段を備えていることを特徴とするベルトコンベアのベルトの検査装置。しかしながら、特許文献1の技術においては、ベルトの全長に渡ってその良否の検査を行おうとする場合、大量のフィルムを必要とし、実際には適用不可能に近い状態であった。一方、特許文献2記載の技術においては、ベルトコンベアの上部に載った被検査物の検査を行うものであり、ベルトコンベアの検査を行うものではなかった。この装置で、勿論、ベルトの状況も検査できることにはなるが、荷物の搬送側即ち、上側のベルトを検査するようにしているので、ベルトのみの検査を行う場合には、必ずベルトコンベアの上の荷物等を除いておく必要があった。更に、特許文献3には、X線源をコリメータで照射領域を制限し、対象となる塗工シートの吸収度合いをX線で検知するもので、透過するX線画像をX線ラインセンサーで検知するものではなかった。本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、比較的簡便に検査作業が行え、しかも、対象物を運んでいるベルトコンベアであっても、ベルトの良否を判定できるベルトコンベアのベルトの検査装置を提供することを目的とする。前記目的に沿う本発明に係るベルトコンベアのベルトの検査装置は、X線発生器から発するX線をベルトコンベアのベルトに透過させて、前記ベルトの検査を行うベルトコンベアのベルトの検査装置において、対向するガイドローラによって水平状態となったリターン側の前記ベルトの上側又は下側のいずれか一方側に配置された前記X線発生器と、前記ベルトの他方側に配置され、前記X線発生器からの透過X線を受けてその強度分布を測定するX線ラインセンサーと、一定時間毎に送信される前記強度分布の信号と、前記強度分布を測定した前記ベルトの進行方向の位置から前記ベルトのX線透過画像を作る制御手段とを備え、しかも、前記ベルトにはX線を遮る金属性の遮蔽材線材又は帯状材が固定され、前記X線透過画像に前記遮蔽材を原点マークとして写し込み、前記X線透過画像の原点位置を特定する。本発明において、X線ラインセンサー具体的には一次元X線強度センサーから一定時間t毎にX線ラインセンサーで検知された強度分布の画像が送信されるが、ベルトの進行速度がvであるとすると、[vt]でベルトの時間t毎の測定位置が特定される。従って、X線ラインセンサーからの時間信号を得ることによって、ベルトの進行方向の位置が特定でき、ベルトのX線透過画像を得ることができる。この場合、原点マークがX線透過画像に写し込まれるので、原点を基準としてX線透過画像を得ることができる。そして、本発明に係るベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記金属性の遮蔽材は金属テープからなっているのが好ましく、更に、この金属テープは鉛材とアルミニウム材の二層構造となって、前記ベルトの表面側に前記アルミニウム材が露出しているのが好ましい。また、本発明に係るベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記ベルトコンベアの架台には前記金属テープの位置を別の原点マーク前記原点マークとは異なるとして検知する原点マーク検知センサーが設けられていると共に、前記ベルトの走行距離を機械的に測定するロータリエンコーダが設けられているのが好ましい。この別の原点マークは実質的には原点マークの位置と同一となるが、ロータリエンコーダをリセットするなど信号処理が簡単になる。勿論、この原点マーク検知センサー及びロータリエンコーダは、本発明に係るベルトコンベアのベルトの検査装置において、必須の要件ではないが、原点マークを写し込んだX線透過画像は、ベルトの速度vによって変化するので、この別の原点マークを検知する信号を補助信号として使用できる。なお、本発明に係るベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記X線発生器及び前記X線ラインセンサーは、前記ベルトの幅方向に同期移動可能となっているのが好ましい。これによって、一つのX線ラインセンサーで測定できない幅のベルトであっても、X線発生器及びX線ラインセンサーを同期移動させて測定できる。この場合、これらの動き量を検知する第2のロータリエンコーダを設けて、その移動量を電気的に測定するのが好ましい。本発明に係るベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記ベルトの蛇行を検知するベルト蛇行検知機構が設けられ、前記ベルトの蛇行量に応じて前記ベルトのX線透過画像のデータを修正するのが好ましい。この蛇行量はベルトの端部に設けられた例えば一次元CCDを用いた画像から画像処理を行って特定できる。そして、本発明に係るベルトコンベアのベルトの検査装置において、前記ベルト内に配置されたワイヤの断線を画像処理にて発見した場合、警報を発する警報手段を備えているのがより好ましい。本発明に係るベルトコンベアのベルトの検査装置は、ベルトコンベアのリターン側のベルトを検査するので、仮にベルトコンベアが原料又は廃棄物を搬送していても、リターン側のベルトには支障となる異物が付着しておらず、ベルト自体の良否を判定できる。従来のフィルムによる検査に比較して格段に処理が安易となり、短時間に正確なベルトの検査が行える。そして、ベルトにはX線を遮る金属性の遮蔽材が固定され、X線透過画像に遮蔽材を原点マークとして写し込み、X線透過画像の原点位置を特定するようにしているので、欠陥の位置の特定が容易となる。金属性の遮蔽材が金属テープから構成され、特に金属テープを鉛材とアルミニウム材の二層構造とした場合には、アルミニウム材が光反射材として作用し、鉛材がX線の遮蔽材として働く。また、遮蔽材を金属テープとすることによって、ベルトの高さを変更することなく、ベルトに固定でき、ガイドローラとの接触による剥がれを抑えることができる。ベルトコンベアの架台に金属テープの位置を検知する原点マーク検知センサーが設けられていると共に、ベルトの走行距離を機械的に測定するロータリエンコーダが設けられている場合には、これらによって、X線ラインセンサーで測定したベルトの欠陥の位置を長さ方向に特定でき、原点マーク検知センサーで検知した信号を、X線透過画像に写し込んだ原点マークの補完に使用できる。これによって、ベルトの速度が変更された場合も、的確なベルトのX線透過画像を提供できる。また、ロータリエンコーダの出力は、ベルトの振動、蛇行に影響されるが、X線透過画像はこれらに作用されないので、一方で他方を監視でき、両者が補完し合ってより正確なデータを提供できる。X線発生器及びX線ラインセンサーは、ベルトの幅方向に同期移動可能することによって、より小型の装置でより幅広のベルトを検知できる。また、ベルトの蛇行を検知するベルト蛇行検知機構が設けられ、ベルトの蛇行量に応じてベルトのX線透過画像のデータを修正する場合には、より正確にベルトの蛇行に沿ってX線透過画像を修正できる。そして、ベルト内に配置されたワイヤの断線を画像処理にて発見した場合、警報を発する警報手段を備えていることによって、ベルトの欠陥の有無を早期に知ることができる。図1、図2に示すように本発明の一実施の形態に係るベルトコンベアのベルトの検査装置10は、ベルトコンベアに使用されているリターン側のベルト12の上側に配置されたX線発生器13と、ベルト12の下側に配置され、X線発生器13から発するX線をベルト12に透過させた透過X線を受けるX線ラインセンサー14と、これらの制御手段15、16とを有している。17~20はベルト12のガイドローラを示し、21、22はベルト12の上下方向の振動を防止するガイドローラを示す。以下、これらについて、使用方法即ち、ベルトコンベアのベルトの検査方法と共に詳しく説明する。X線発生器13は、例えば、管電圧170kV、管電流3mAのもので、ベルト12から約1mの高さ位置に設置して、700mm程度の測定範囲を有し、X線をベルト12に向けて下向きに発生できる構造となっている。これらの電源は制御手段15に設けられている。X線ラインセンサー14は、X線発生器13の直下位置にベルト12を挟んで設けられ、X線受光部が直線状約700mmとなってベルト12の幅方向に向けて配置されている。X線発生器13正確には、X線発生部13aとX線ラインセンサー14とは、ベルト12の上下に対となって配置され、かつベルト12を横断する台車24、25に支持部材を介してそれぞれ取付けられている。この台車24、25はベルト12を幅方向に横切る図示しないガイドレールに案内保持され、ベルト12の上下に配置された雄ねじ軸26、27によって移動できるようになっている。なお、この実施の形態では、雄ねじ軸26、27、以下に説明する減速モータ32及びロータリエンコーダ33を有して、X線発生器13とX線ラインセンサー14との同時移動手段が形成されている。雄ねじ軸26、27はそれぞれ両側を軸受28、29によって回転自在に支持され、歯付きベルト30又はチェーンによって連結されている。また、雄ねじ軸26の端部には図示しない支持部材によって支持された減速モータ32が、雄ねじ軸27の端部には図示しない支持部材によって支持されたロータリエンコーダ33が設けられている。これによって、X線発生器13及びX線ラインセンサー14はベルト12の上下に配置され、ベルト12の幅方向に同期移動可能となっている。なお、35はベルトコンベアの架台に固定された支持架台を示す。この実施の形態では減速モータ32を用いて自動によってX線発生器13及びX線ラインセンサー14を動かしているが、手動であってもよい。一方、支持架台35には支持部材36を介してロータリエンコーダ37が設けられ、ロータリエンコーダ37の入力軸に取付けられたローラ38がベルト12の表面に当接している。これによって、ベルト12の走行距離を機械的に測定できるようになっている。なお、このベルトコンベアのベルトの検査装置10は、図1に示すように両側のガイドローラ18、19によって水平状態に保持されたベルト12のリターン側上面に設置されている。ベルト12には、幅方向に沿って、X線を遮る遮蔽材の一例である金属テープ40が貼着されている。この金属テープ40は表面が光沢を有するアルミニウム材合金も含む、裏面が鉛材からなる2層構造となって、ベルト12にベルト12の幅方向に沿って貼着されている。この金属テープ40の通過を検知する反射型の光センサー原点マーク検知センサーの一例41が図示しない支持部材を介してベルトコンベアの架台に固定されている。この実施の形態では、光センサー41はベルト12の側部に設けられているが、ベルト12の上方であってもよい。また、金属テープ40はベルト12の全幅に渡って貼る必要はない。ここで、光センサー41で検知した信号を、別の原点マーク信号として検知して、検知した信号を原点マークとして使用する。X線ラインセンサー14は光電変換素子が並び、X線ラインセンサー14からデータ処理部を含む制御手段16に、図3に示すように、一定時間t毎に出力される一列分のX線強度分布データ正確には、シンチレータ蛍光膜の発光強度分布データの信号が送られる。即ち、X線に対して反応する受光素子が多数直線状に並び、高速度で受けた情報を一定時間t毎に順次出力し、信号を受ける制御手段16の方でその位置信号と共にその強度信号を出力するようになっている。従って、制御手段16のメモリー内に、ベルト幅に対する位置とその時の信号出力の強度透過量を、ベルト幅方向に沿って幅Pの範囲で記憶し、更に一定時間t毎に発する信号及びその回数nとベルト12の速度vからベルト12の進行方向の位置vtnを記録できるようになっている。なお、幅PはX線発生器13及びX線ラインセンサー14を固定した場合の、X線透過画像の最大測定幅を示し、ベルト12の幅が幅Pより広い場合は、幅Pについてベルト12の長さ方向の測定が全部完了した後、X線発生器13及びX線ラインセンサー14をベルト12の幅方向に移動して残りの幅QについてX線透過画像を作成することになる。この場合のX線発生器13及びX線ラインセンサー14の移動距離は、ロータリエンコーダ33によって測定され、両者のX線透過画像を合成して、ベルト12の全幅に渡ってX線透過画像を作成できる。X線ラインセンサー14からの出力は一定時間t毎に出ているので、ベルト12の移動速度vが既知であれば、測定位置はvtとなり、金属テープ40の検出位置を原点にして、ベルト12の長さ方向即ち、送り方向の画像を作成できる。なお、金属テープ40の画像を原点マークとしてX線透過画像に写し込むと原点位置が明確となるが、X線透過画像によって撮像された原点位置を外部に信号出力するには、特別の画像処理手段を必要とするので、この実施の形態において、金属テープ40を光センサー41によって検知し、その出力を原点位置の信号としている。また、このロータリエンコーダ37は、ベルト12の移動速度が一定でない場合にはベルト12の位置を検知する手段として使用する。即ち、ロータリエンコーダ37の出力と、原点マークとなる金属テープ40との検出を組み合わせて、ベルト12の長さ方向の距離を決めて、X線透過画像を作成する。ロータリエンコーダ37はベルト12の移動速度を検知する手段としても使用できる。なお、ロータリエンコーダ37はベルト12の表面に接してその速度を検知しているので、誤差が生じやすい。この場合は、ベルトの速度vとタイミング信号の時間tから測定位置nvtを割り出すようにして、これとロータリエンコーダ37からの距離信号とを比較し、両者それぞれ補完することによってより正確な測定ができる。また、ベルト12の速度をロータリエンコーダ37で測定し、これv3をX線ラインセンサー14のタイミング信号tに組み合わせることによって、より正確にベルト12のX線撮像位置を特定できる。なお、ベルト12の幅Pについて測定した後は、前述のように、X線発生器13及びX線ラインセンサー14をベルト12の幅方向に移動させて、幅QについてX線透過画像を作成し、両者を組み合わせてベルト12の全部についてのX線透過画像を作成する。図4A、Bは、この画像の一部を示すが、Aはベルト12の連結部分のワイヤ44、45の状態を示し、長さLに渡ってワイヤ44、45がラップしている。また、Aにおいては、ワイヤ46、47の箇所48で隙間を有して連接されている。図2Bにおいては、内部のワイヤ49が箇所50にて断線していることを示している。ワイヤ52の素線が一部断線している場合には、図4Bに示すようにワイヤ52の径が箇所53に示すように、部分的に細くなるので、ベルト12の良否を容易に判定できる。なお、以上のワイヤの画像の解析周知の画像処理装置を用いるを行って、断線部分を検知し、これらの情報と共に警報手段サイレン、ブザー、光信号を作動させることも可能である。前記実施の形態においては、ベルトの上側にX線発生器を、ベルトの下側にX線ラインセンサーを配置したが、ベルトの下側にX線発生器を、ベルトの上側にX線ラインセンサーを配置することもできる。X線発生器とベルトとの距離は発生するX線の強さによって変えることができる。台車にベルト12の一端を検知する機構を設けて、ベルト12の端部を検知して蛇行量に応じて、X線発生器13とX線ラインセンサー14を同時移動させることもできる。即ち、光学読み取り装置54ベルト蛇行検知機構によって検知したベルト12が時間t2tでもよいの間に距離dだけ蛇行した場合には、その蛇行量に見合う距離だけ、X線発生器13とX線ラインセンサー14とを蛇行方向に機械的に移動させることもできる。このベルトコンベアのベルトの検査装置10は、結局はワイヤの欠陥を調べているので、ワイヤの直径Dの0.2~0.5の範囲の蛇行があった場合に追従すれば十分である。前記実施の形態においては、蛇行があった場合、X線発生器13とX線ラインセンサー14とを同時に蛇行方向に移動させたが、光学読み取り装置54でベルト12の蛇行量を検知し、X線発生器13とX線ラインセンサー14によって得られたX線透過画像の各時間毎の出力を、測定した蛇行量に応じて、ベルト12の幅方向に動かす画像処理をする即ち、データの修正を行うこともできる。これによって、X線発生器13とX線ラインセンサー14は固定状態となるので、X線透過画像の作成が安定する。前記実施の形態は、具体的数字を用いて説明したが、本発明はこの数字に限定されるものではない。また、前記実施の形態においては、一対のX線発生器とX線ラインセンサーを台車によって幅方向に移動させるようにしたが、ベルトの幅方向に沿って、複数対のX線発生器とX線ラインセンサーを設け、ベルトの全幅又はその主要部を検知することもできる。更には、ベルトコンベアのベルトの幅が、X線発生器及びX線ラインセンサーの検知幅より狭い場合は、一対のX線発生器とX線ラインセンサーで済み台車等は不要である。