ノズルを有する液体流路を備えた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、前記液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するためのアクチュエータを形成するアクチュエータ形成工程と、前記流路ユニットに対して前記アクチュエータを組み付けるアクチュエータ組み付け工程と、前記液体流路の流路抵抗を検査する流路抵抗検査工程と、前記アクチュエータ組み付け工程後、前記流路抵抗検査工程における検査結果に応じて、前記流路抵抗を調整する流路抵抗調整工程とを備え、前記流路抵抗調整工程において、前記液体流路に、その液体流路の壁の少なくとも一部分をエッチング可能なエッチング液を充填するとともに、前記ノズルから、前記流路抵抗検査工程における検査結果に応じた量のエッチング液を排出させることにより、前記液体流路を流れる前記エッチング液によって、前記液体流路の壁をエッチングすることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。前記流路抵抗調整工程において、前記アクチュエータを駆動して前記ノズルからエッチング液を吐出させることによって、前記ノズルからエッチング液を排出させることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置の製造方法。前記流路抵抗検査工程は、前記アクチュエータを駆動して前記ノズルから液体を吐出させて、その吐出特性を検査することにより前記液体流路の流路抵抗を検査する吐出特性検査工程を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置の製造方法。前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルからの液体の吐出速度、又は、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記ノズルから、前記吐出特性検査工程で測定された吐出速度又は液体の体積に応じた量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置の製造方法。前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルからの液体の吐出速度を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記液体流路に、前記ノズルの壁をエッチング可能な前記エッチング液を充填するとともに、前記吐出特性検査工程で測定された吐出速度が速い場合ほど、前記ノズルから多量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置の製造方法。前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記吐出特性検査工程で測定された液体の体積が小さい場合ほど、前記ノズルから多量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置の製造方法。前記液体流路は、前記ノズルをそれぞれ含む複数の個別液体流路と、前記複数の個別液体流路と接続された共通液体流路と、をさらに含んでおり、前記複数の個別液体流路には、前記共通液体流路との接続部分に、流路断面積が部分的に小さくなった絞り流路が設けられており、前記流路ユニットは、前記ノズルを形成するノズル形成部と、前記絞り流路を形成する絞り流路形成部とが、互いに異なる材料によって構成されており、前記吐出特性検査工程が、前記ノズルからの液体の吐出速度を測定する吐出速度検査工程と、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定する吐出体積検査工程とを備え、前記流路抵抗調整工程が、前記液体流路に、前記ノズル形成部の材料に対するエッチング速度が、前記絞り流路形成部の材料に対するエッチング速度よりも速い第1エッチング液を充填するとともに、前記吐出速度検査工程で測定された吐出速度が速い前記ノズルからほど多量の前記第1エッチング液を排出させることによって、前記ノズルの壁をエッチングするノズル調整工程と、前記液体流路に、前記絞り流路形成部の材料に対するエッチング速度が、前記ノズル形成部の材料に対するエッチング速度よりも速い第2エッチング液を充填するとともに、前記吐出体積検査工程で測定された液体の体積が小さいノズルからほど多量の前記第2エッチング液を排出させることによって、前記絞り流路の壁をエッチングする絞り流路調整工程とを備え、前記吐出速度検査工程後、前記ノズル調整工程を実行し、その後、前記吐出体積検査工程後、前記絞り流路調整工程を実行することを特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置の製造方法。前記吐出特性検査工程において、前記ノズルから前記エッチング液を吐出させることによって、前記ノズルにおけるエッチング液の吐出特性を検査することを特徴とする請求項3~7のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。前記エッチング液が有色の液体であることを特徴とする請求項8に記載の液体吐出装置の製造方法。ここで、特許文献1に記載されているように、ウェットエッチングによってインク流路となる貫通孔などを形成した場合、形成される貫通孔のサイズや形状などにどうしてもばらつきが生じる。その結果、インク流路の流路抵抗が予め規定された範囲から外れて、所望のインクの吐出特性が得られなかったり、インクジェットヘッドなどのように複数のノズルを備えている場合に、ノズル間でインクの吐出特性にばらつきが生じたりしてしまう虞がある。このとき、例えば、圧電アクチュエータの駆動電圧や駆動波形を変更して、ノズルからのインクの吐出特性を調整することにより、所望のインクの吐出特性を得たり、ノズル間でのインクの吐出特性を均一にしたりすることも考えられる。しかしながら、この場合には、圧電アクチュエータを駆動するためのドライバICなどを、このような駆動電圧や駆動波形の変更に対応したものとする必要があり、ドライバICなどの構成が複雑となってしまう。本発明の目的は、形成された液体流路の流路抵抗を調整することが可能な液体吐出装置の製造方法を提供することである。第1の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、ノズルを有する液体流路を備えた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、前記液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するためのアクチュエータを形成するアクチュエータ形成工程と、前記流路ユニットに対して前記アクチュエータを組み付けるアクチュエータ組み付け工程と、前記液体流路の流路抵抗を検査する流路抵抗検査工程と、前記アクチュエータ組み付け工程後、前記流路抵抗検査工程における検査結果に応じて、前記流路抵抗を調整する流路抵抗調整工程とを備え、前記流路抵抗調整工程において、前記液体流路に、その液体流路の壁の少なくとも一部分をエッチング可能なエッチング液を充填するとともに、前記ノズルから、前記流路抵抗検査工程における検査結果に応じた量のエッチング液を排出させることにより、前記液体流路を流れる前記エッチング液によって、前記液体流路の壁をエッチングすることを特徴とする。本発明によると、液体流路の流路抵抗を検査し、検査結果に応じた量のエッチング液をノズルから排出させて、液体流路の壁をエッチングすることにより、流路ユニット形成工程において形成された流路ユニットにおける液体流路の流路抵抗を調整することができる。第2の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第1の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記流路抵抗調整工程において、前記アクチュエータを駆動して前記ノズルからエッチング液を吐出させることによって、前記ノズルからエッチング液を排出させることを特徴とする。本発明によると、アクチュエータを駆動してノズルからエッチング液を吐出させることにより、別途、ノズルからエッチング液を排出させるための構成を設けることなく、ノズルからエッチング液を排出させることができる。第3の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第1又は2の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記流路抵抗検査工程は、前記アクチュエータを駆動して前記ノズルから液体を吐出させて、その吐出特性を検査することにより前記液体流路の流路抵抗を検査する吐出特性検査工程を有することを特徴とする。本発明によると、ノズルからの液体の吐出特性は、液体流路の流路抵抗によって決まるため、ノズルからの液体の吐出特性を検査することにより、比較的容易に液体流路の流路抵抗を検査することができる。第4の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第3の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルからの液体の吐出速度、又は、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記ノズルから、前記吐出特性検査工程で測定された吐出速度又は液体の体積に応じた量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする。本発明によると、ノズルからの液体の吐出速度又は吐出される液体の体積を測定し、ノズルから、その測定結果に応じた量のエッチング液を排出させて、液体流路の壁をエッチングすることにより、ノズルからの液体の吐出速度又は吐出される液体の体積に応じて、液体流路の流路抵抗を調整することができる。第5の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第4の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルからの液体の吐出速度を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記液体流路に、前記ノズルの壁をエッチング可能な前記エッチング液を充填するとともに、前記吐出特性検査工程で測定された吐出速度が速い場合ほど、前記ノズルから多量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする。本発明によると、測定された吐出速度が速い場合ほど、エッチングによりノズルの径が広がって、液体の吐出速度が遅くなるので、ノズルからの液体の吐出速度が予め規定された吐出速度に近づくように、液体流路の流路抵抗を調整することができる。また、液体吐出装置が複数のノズルを有している場合には、エッチングにより、液体の吐出速度が速いノズルほど、その径が広がって液体の吐出速度が遅くなるため、複数のノズルからの液体の吐出速度が均一となるように、液体流路の流路抵抗を調整することができる。第6の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第4の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記吐出特性検査工程で測定された液体の体積が小さい場合ほど、前記ノズルから多量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする。本発明によると、測定された液体の体積が小さい場合ほど、エッチングにより流路抵抗が小さくなって、ノズルから吐出される液体の体積が大きくなるので、ノズルから吐出される液体の体積が予め規定した体積に近づくように、液体流路の流路抵抗を調整することができる。また、液体吐出装置が複数のノズルを有している場合には、エッチングにより、測定された液体の体積が小さいノズルに対応する液体流路ほど、その流路抵抗が小さくなり、ノズルから吐出される液体の体積が大きくなるため、複数のノズルから吐出される液体の体積が均一となるように、液体流路の流路抵抗を調整することができる。第7の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第4の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記液体流路は、前記ノズルをそれぞれ含む複数の個別液体流路と、前記複数の個別液体流路と接続された共通液体流路と、をさらに含んでおり、前記複数の個別液体流路には、前記共通液体流路との接続部分に、流路断面積が部分的に小さくなった絞り流路が設けられており、前記流路ユニットは、前記ノズルを形成するノズル形成部と、前記絞り流路を形成する絞り流路形成部とが、互いに異なる材料によって構成されており、前記吐出特性検査工程が、前記ノズルからの液体の吐出速度を測定する吐出速度検査工程と、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定する吐出体積検査工程とを備え、前記流路抵抗調整工程が、前記液体流路に、前記ノズル形成部の材料に対するエッチング速度が、前記絞り流路形成部の材料に対するエッチング速度よりも速い第1エッチング液を充填するとともに、前記吐出速度検査工程で測定された吐出速度が速い前記ノズルからほど多量の前記第1エッチング液を排出させることによって、前記ノズルの壁をエッチングするノズル調整工程と、前記液体流路に、前記絞り流路形成部の材料に対するエッチング速度が、前記ノズル形成部の材料に対するエッチング速度よりも速い第2エッチング液を充填するとともに、前記吐出体積検査工程で測定された液体の体積が小さいノズルからほど多量の前記第2エッチング液を排出させることによって、前記絞り流路の壁をエッチングする絞り流路調整工程とを備え、前記吐出速度検査工程後、前記ノズル調整工程を実行し、その後、前記吐出体積検査工程後、前記絞り流路調整工程を実行することを特徴とする。本発明によると、ノズル調整工程のエッチングにより、測定された吐出速度が速いノズルほど、その径が広がって液体の吐出速度が遅くなるため、複数のノズルからの液体の吐出速度が均一になるように、個別液体流路の流路抵抗を調整することができる。ここで、ノズル調整工程においてあるノズルの径を大きくすると、当該ノズルからの液体の吐出速度が遅くなるのと同時に、当該ノズルから吐出される液体の体積が増加するため、ノズル調整工程によって、複数のノズルから吐出される液体の体積のばらつきが大きくなってしまうこともある。しかしながら、本発明によると、ノズル調整工程の後に実行される、絞り流路工程のエッチングにより、測定された液体の体積が小さいノズルに対応する個別液体流路ほど、流路抵抗が小さくなり、ノズル吐出される液体の体積が大きくなるため、複数のノズルから吐出される液体の体積が均一となるように、個別液体流路の流路抵抗を調整することができる。このとき、個別液体流路のうち、流路断面積が部分的に小さくなった絞り流路の壁をエッチングすることにより、個別液体流路の流路抵抗を効果的に小さくすることができる。また、ノズルからの液体の吐出速度は、ノズルの径によって決まり、絞り流路の壁をエッチングしても、ノズルからの液体の吐出速度が変動してしまうことはないので、ノズル調整工程と絞り流路調整工程とにより、ノズルからの液体の吐出速度、及び、ノズルから吐出される液体の体積の両方が均一となるように、個別液体流路の流路抵抗を調整することができる。第8の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第3~第7のいずれかの発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記吐出特性検査工程において、前記ノズルから前記エッチング液を吐出させることによって、前記ノズルにおけるエッチング液の吐出特性を検査することを特徴とする。本発明によると、ノズルからインクなどエッチング液とは別の液体を吐出させることによって吐出特性を検査する場合とは異なり、吐出特性の検査に用いる液体をエッチング液に置換する工程が不要であるので、液体吐出装置の製造工程が簡略化される第9の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第8の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記エッチング液が有色の液体であることを特徴とする。ここで、エッチング液が有色であるとは、エッチング液自体がその性質上有色であるものだけでなく、エッチング液を着色したものも含まれる。本発明によると、有色のエッチング液を記録用紙などに着弾させ、その着弾状態を目視やスキャナなどで確認することにより、容易に吐出特性を検査することができる。本発明によれば、液体流路の流路抵抗を検査し、検査結果に応じた量のエッチング液をノズルから排出させて、液体流路の壁をエッチングすることにより、流路ユニット形成工程において形成された流路ユニットにおける液体流路の流路抵抗を調整することができる。以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。本実施の形態に係るプリンタ1は、キャリッジ2、インクジェットヘッド3、用紙搬送ローラ4などを備えている。キャリッジ2は、ガイド部材5に沿って走査方向図1の左右方向に往復移動する。インクジェットヘッド3液体吐出装置は、キャリッジ2に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル15からインクを吐出する。用紙搬送ローラ4は、記録用紙Pを走査方向と直交する紙送り方向図1の手前方向に搬送する。そして、プリンタ1においては、用紙搬送ローラ4により紙送り方向に搬送される記録用紙Pに、キャリッジ2とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド3のノズル15からインクを吐出することによって、記録用紙Pに印刷を行う。次に、インクジェットヘッド3の構成について説明する。図2、図3に示すように、インクジェットヘッド3は、ノズル15や後述の圧力室10などのインク流路液体流路が形成された流路ユニット21と、圧力室10内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータ22とを備えている。流路ユニット21は、貫通孔等が形成された7枚のプレート31~37が上からこの順に積層されて形成されたものであり、プレート31~37に形成された貫通孔などによって、内部に、4つのマニホールド流路11と、各マニホールド流路11にそれぞれ接続された複数の個別インク流路9とからなるインク流路が形成されている。4つのマニホールド流路11共通液体流路は、プレート34、35に形成されており、それぞれが紙送り方向に延びているとともに、走査方向に沿って配列されている。また、各マニホールド流路11には、それぞれ、図2における下端部にインク供給口8が設けられており、4つのマニホールド流路11には、図2における右側に配置されているものから順に、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクがインク供給口8から供給される。複数の個別インク流路9は、それぞれ、圧力室10、絞り流路12、ノズル15及びディセンダ流路14からなる。圧力室10は、プレート31に形成されており、平面視で走査方向を長手方向とする略楕円形状を有している。また、圧力室10は、図2における略左半分が当該マニホールド流路11と重なるように、対応するマニホールド流路11の上方に、紙送り方向に等間隔に配列されている。絞り流路12は、プレート32、33の、圧力室10とマニホールド流路11とに挟まれた部分に形成されており、圧力室10とマニホールド流路11とを接続している。また、個別インク流路9は、マニホールド流路11との接続部分に位置する絞り流路12において、その流路断面積が小さくなっている。ノズル15は、プレート37の圧力室10の図2における右端部と重なる部分に形成されており、圧力室10と同様、紙送り方向に等間隔に配列されている。ディセンダ流路14は、プレート32~36の圧力室10の図2における右端部及びノズル15と重なる部分に形成されており、図3の上下方向に延びて圧力室10とノズル15とを接続している。ここで、流路ユニット21を形成する7枚のプレート31~37のうち、プレート37を除く6枚のプレート31~36は、ステンレスなどの金属材料によって構成されている。一方、ノズル15が形成されたプレート37は、ポリイミドなどの合成樹脂材料によって構成されている。あるいは、プレート37は、他のプレート31~36とは異なる金属材料によって構成されていてもよい。すなわち、ノズル15が形成されたノズル形成部プレート37と、絞り流路12が形成された絞り流路形成部プレート32、33とが、互いに異なる材料によって構成されている。さらに、絞り流路が形成されたプレート32、33が、プレート31、34、35とは異なる材料によって構成されていてもよい。圧電アクチュエータ22は、振動板41、圧電層42、共通電極43及び複数の個別電極44を備えている。振動板41は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる板状体であり、流路ユニット21の上面に、複数の圧力室10を覆うように配置されている。なお、振動板41は、圧電材料以外の材料によって構成されていてもよい。圧電層42は、振動板41と同様の圧電材料からなり、振動板41の上面に複数の圧力室10にまたがって連続的に形成されている。共通電極43は、振動板41と圧電層42との間に、そのほぼ全域にわたって連続的に形成されている。共通電極43は、図示しないドライバICに接続されており、ドライバICによって常にグランド電位に保持されている。複数の個別電極44は、平面視で、圧力室10よりも一回り小さい略楕円形状を有しており、圧電層42の上面における複数の圧力室10の略中央部と対向する部分にそれぞれ形成されている。また、個別電極44の図2における左端部は、それぞれ、圧力室10と対向しない部分まで延びており、その先端部が図示しないドライバICとの接続を行うための接続端子44aとなっている。そして、各個別電極44には、ドライバICにより、グランド電位及び駆動電位のいずれかが選択的に付与される。また、圧電層42の共通電極43と個別電極44とに挟まれた部分は、その厚み方向に分極されている。ここで、圧電アクチュエータ22を駆動して、ノズル15からインクを吐出させる動作について説明する。圧電アクチュエータ22においては、複数の個別電極44が予めグランド電位に保持されており、あるノズル15からインクを吐出させるためには、対応する個別電極44の電位を駆動電位に切り替える。すると、個別電極44と共通電極43との間の電位差により、圧電層42のこれらの電極に挟まれた部分に電界が生じる。この電界の向きは圧電層42の分極方向と平行であるので、圧電層42は、分極方向と直交する水平方向に収縮し、これにより、振動板41と圧電層42の圧力室10に対向する部分が全体として圧力室10側に凸となるように変形する。これにより、圧力室10の容積が小さくなって、圧力室10内のインクの圧力が上昇し吐出エネルギーが付与され、この圧力上昇によって、圧力室10に連通するノズル15からインクが吐出される。次に、インクジェットヘッド3の製造方法について、図4のフローチャートを用いて説明する。インクジェットヘッド3を製造するためには、図4に示すように、まず、プレート31~37にインク流路となる貫通孔などを形成し、貫通孔などを形成したプレート31~37を、互いに積層させて接合することによって、流路ユニット21を形成するステップS101、以下、単にS101などとする、流路ユニット形成工程。このとき、プレート31~36には、例えばエッチングにより、インク流路となる貫通孔などを形成する。また、プレート37が合成樹脂材料からなる場合には、例えばレーザ加工により、プレート37にノズル15を形成し、プレート37が金属材料からなる場合には、パンチングによりプレート37にノズル15を形成する。次に、予め作製しておいた圧電アクチュエータ22を、流路ユニット21の上面に接合することによって、流路ユニット21に組み付けるS102、アクチュエータ組み付け工程。次に、インク供給口8を第1エッチング液の供給源に接続して、インク供給口8からインク流路内に、第1エッチング液を充填するS103。ここで、第1エッチング液は、例えば、アルカリ性水溶液など、ノズル15が形成されたプレート37を構成するポリイミドなどの合成樹脂に対するエッチング速度が、プレート31~36を構成するステンレスなどの金属材料に対するエッチング速度よりも速いエッチング液液体流路の少なくとも一部の壁をエッチング可能なエッチング液である。また、第1エッチング液は、有色の液体元々色がついている液体、あるいは、着色された液体である。次に、圧電アクチュエータ22を駆動して、全てのノズル15から記録用紙Pなどに第1エッチング液を吐出させ、記録用紙Pにおける第1エッチング液の着弾位置によって、ノズル15からの第1エッチング液の吐出速度を測定するS104、吐出速度検査工程。より詳細に説明すると、インクジェットヘッド3をプリンタ1のキャリッジ2に取り付けて、走査方向に往復移動させつつ、ノズル15から記録用紙Pに向けて第1エッチング液を吐出させて、例えば、記録用紙Pに紙送り方向に延びた直線を印刷する。このとき、第1エッチング液の吐出速度にばらつきがあると、すなわち、吐出速度が異なると、記録用紙Pにおける第1エッチング液の着弾位置が、走査方向にずれる量が異なる。したがって、印刷された直線によって、つまり、記録用紙Pにおける第1エッチング液の着弾位置によって、吐出速度を測定することができる。また、このとき、第1エッチング液が有色の液体であるので、記録用紙Pに印刷された画像着弾した第1エッチング液の位置を目視やスキャナなどにより容易に確認することができる。次に、圧電アクチュエータ22を駆動して、速度検査工程において測定された吐出速度が速いノズル15ほど多量の第1エッチング液を吐出排出させるS105。このとき、全てのノズル15から第1エッチング液を吐出させてもよいし、測定された吐出速度が遅い一部のノズル15については、第1エッチング液を吐出させなくてもよい吐出量が0であってもよい。すると、第1エッチング液が吐出されたノズル15に第1エッチング液が流れ、この第1エッチング液の流れにより、ノズル15内の第1エッチング液が入れ替わって、ノズル15の壁がエッチングされる。また、吐出させる第1エッチング液の量が多いノズル15ほど、入れ替わる第1エッチング液の量も多くなるので、大きくエッチングされる。そして、ノズル15の壁がエッチングされると、当該ノズル15の径が大きくなり、その結果、ノズル15からのインクの吐出速度が速くなる。これにより、複数のノズル15からのインクの吐出速度が均一となるように個別インク流路9の流路抵抗を調整することができる。なお、本実施の形態では、上記S103の工程とS105の工程とをあわせたものが、本発明に係るノズル調整工程に相当する。次に、インク供給口8に、第1エッチング液の供給源に代えて第2エッチング液の供給源を接続し、インク供給口8からインク流路内に第2エッチング液を供給することによって、ノズル15からインクジェットヘッド3内の第1エッチング液を排出させるとともに、インク流路内に第2エッチング液を充填するS106。ここで、第2エッチング液は、例えば、硫酸水溶液や、塩化第二鉄水溶液など、プレート31~36を構成するステンレスなどの金属材料に対するエッチング速度が、プレート37を構成するポリイミドなどの合成樹脂に対するエッチング速度よりも速いエッチング液液体流路の少なくとも一部の壁をエッチング可能なエッチング液である。また、第2エッチング液は、有色の液体元々色がついている液体、あるいは、着色された液体である。このとき、ノズル15から第1エッチング液を排出させると、ノズル15に第1エッチング液が流れて、ノズル15の壁がエッチングされるが、この場合には、複数のノズル15の壁が一律にエッチングされるため、上記S105で調整したノズル15からのインクの吐出速度が再度ばらつくことはない。次に、圧電アクチュエータ22を駆動して、全てのノズル15から記録用紙Pなどに第2エッチング液を吐出させて、ノズル15から吐出された第2エッチング液の体積を測定するS107、吐出体積検査工程。より詳細に説明すると、上記S104でインクジェットヘッド3を取り付けたキャリッジ2を、走査方向に往復移動させつつ、ノズル15から記録用紙Pに向けて第2エッチング液を吐出させて、例えば、記録用紙Pのある領域を塗りつぶす。すると、塗りつぶされた領域は、着弾した第2エッチング液の大きさが大きい部分ほど濃くなるため、吐出された第2エッチング液の体積にばらつきがあると、上記領域には、濃さの異なる部分ができる。したがって、塗りつぶされた上記領域の濃さ、つまり、記録用紙Pに着弾した第2エッチング液の大きさによって、ノズル15から吐出された第2エッチング液の体積を測定することができる。このとき、第2エッチング液が有色の液体であるので、上記領域の濃さ記録用紙Pに着弾した第2エッチング液の大きさを目視やスキャナなどにより容易に確認することができる。なお、本実施の形態では、上記S104の吐出速度検査工程とS107の吐出体積検査工程とをあわせたものが、本発明に係る吐出特性検査工程流路抵抗検査工程に相当する。次に、圧電アクチュエータ22を駆動して、測定された第2エッチング液の体積が小さいノズル15からほど多量の第2エッチング液を吐出排出させるS108。このとき、全てのノズル15から第2エッチング液を吐出させてもよいし、測定された第2エッチング液の体積が大きい一部のノズル15については、第2エッチング液を吐出させなくてもよい吐出量が0であってもよい。すると、第2エッチング液が吐出されたノズル15においては、絞り流路12内を第2エッチング液が流れ、この第2エッチング液の流れにより、絞り流路12内の第2エッチング液が入れ替わって、絞り流路12の壁がエッチングされる。また、吐出させる第2エッチング液の量が多いノズル15に対応する絞り流路12ほど、入れ替わる第2エッチング液の量も多くなるので、大きくエッチングされる。そして、絞り流路12の壁がエッチングされると、当該絞り流路12の流路抵抗が小さくなることで、対応する個別インク流路9の流路抵抗が小さくなり、その結果、ノズル15から吐出されるインクの体積が大きくなる。そして、これにより、複数のノズル15から吐出されるインクの体積が均一となるように、個別インク流路9の流路抵抗を調整することができる。なお、本実施の形態では、上記S106とS108とをあわせたものが、本発明に係る絞り流路調整工程に相当する。さらに、ノズル調整工程と絞り流路調整工程とをあわせたものが、本発明に係る流路抵抗調整工程に相当する。なお、上記S108では、圧力室10やディセンダ流路14の壁なども同時にエッチングされ、これらの流路においても流路抵抗が小さくなるが、部分的に流路断面積が小さくなった絞り流路12の流路抵抗が小さくなることが、個別インク流路9全体の流路抵抗が小さくなることに最も大きな影響を与える。ここで、上述のS105において、ノズル15をエッチングして、ノズル15の径を大きくすると、ノズル15の流路抵抗が小さくなるため、当該ノズル15からのインクの吐出速度が遅くなるのと同時に、当該ノズル15から吐出されるインクの体積も大きくなる。そのため、複数のノズル15から吐出されるインクの体積のばらつきが、インクの吐出速度の調整前に比べて大きくなってしまう場合がある。また、本実施の形態とは逆に、絞り流路12の壁をエッチングして、ノズル15から吐出されるインクの体積を均一にした後、ノズル15の壁をエッチングして、ノズル15からのインクの吐出速度を均一にしたとすると、吐出速度を均一にしたときに、再度、ノズル15から吐出されるインクの体積にばらつきが生じてしまう。そこで、本実施の形態では、上述したように、ノズル15の壁をエッチングして、ノズル15からのインクの吐出速度を均一にした後、絞り流路12の壁をエッチングして、ノズル15から吐出されるインクの体積を均一にしている。ここで、ノズル15からのインクの吐出速度は、概ねノズル15の径によって決まり、絞り流路12などの流路断面積の影響は小さい。したがって、上記S108において、絞り流路12の壁をエッチングしても、ノズル15からのインクの吐出速度はばらつかず、均一な状態に保持される。以上のことから、本実施の形態では、複数のノズル15からのインクの吐出速度、及び、ノズル15から吐出されるインクの体積の両方が均一になるように、個別インク流路9の流路抵抗を調整することができる。また、本実施の形態では、上記S104において、ノズル15の壁のエッチングに用いる第1エッチング液を吐出させることにより、ノズル15からのインクの吐出速度を測定するとともに、上記S107において、ノズル15から、絞り流路12の壁のエッチングに用いる第2エッチング液を吐出させることにより、ノズル15から吐出されるインクの体積を測定しているため、ノズル15からインクなど、第1、第2エッチング液とは別の液体を吐出させることによって、吐出速度や吐出されるインクの体積を測定する場合とは異なり、インクなどを第1、第2エッチング液に置換する工程が必要なく、インクジェットヘッド3の製造工程を簡略化することができる。そして、最後に、インク供給口8に、第2エッチング液の供給源に代えて洗浄液の供給源を接続して、インク供給口8から洗浄液を供給することにより、ノズル15からインクジェットヘッド3内の第2エッチング液を排出させるとともにS109、洗浄液でインク流路内を洗浄して、インクジェットヘッド3の製造を完了する。このとき、絞り流路12などに第2エッチング液の流れが生じて、絞り流路12などの壁がエッチングされるが、このときには、複数の絞り流路12の壁が一律にエッチングされるため、上記S108において調整したノズル15から吐出されるインクの体積が再度ばらつくことはない。次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては適宜その説明を省略する。上述の実施の形態では、第1、第2エッチング液が有色の液体であったが、第1、第2エッチング液は、無色透明の液体であってもよい。この場合には、例えば、記録用紙Pなどに着弾した第1、第2エッチング液に光を照射するなどして、第1、第2エッチング液の着弾位置や、着弾した第1、第2エッチング液の大きさなどを検出すればよい。さらには、記録用紙Pなどにおける第1、第2エッチング液の着弾位置や、着弾した第1、第2エッチング液の大きさによって、ノズル15からの第1、第2エッチング液の吐出速度、及び、吐出された第1、第2エッチング液の体積を測定することには限られない。例えば、ノズル15から吐出されたインクが通過する領域を挟むように、レーザ光などの光を照射する発光部と、発光部から照射された光を受光する受光部とを配置し、発光部から受光部に向けて光を照射した状態で、ノズル15から第1、第2エッチング液を吐出し、発光部から照射された光が第1、第2エッチング液により遮られることによって、受光部において光が受光されなくなった、あるいは、受光された光の光量が低下したタイミングによって、ノズル15からの第1、第2エッチング液の吐出速度を検査測定してもよい。また、第1、第2エッチング液にレーザ光が遮られたときに、受光部において受光される光の光量がどの程度低下したかによって、ノズル15から吐出された第1、第2エッチング液の体積を測定してもよい。また、上述の実施の形態では、ノズル15の壁をエッチングするための第1エッチング液を吐出することによって、ノズル15からのインクの吐出速度を測定するとともに、ノズル15から絞り流路12の壁をエッチングするための第2エッチング液を吐出することによって、ノズル15から吐出されるインクの体積を測定していたが、これには限られない。例えば、上記S103においてインク流路内にインクなど第1エッチング液以外の液体を充填し、上記S104において、ノズル15からインクなどを吐出させることによって、ノズル15からのインクの吐出速度を測定してもよい。ただし、この場合には、上記S105の直前にインク流路内のインクなどを第1エッチング液に置換する必要がある。また、上記S106において、インク流路内にインクなど第2エッチング以外の液体を充填し、上記S107において、ノズル15からインクなどを吐出させることによって、ノズル15から吐出されるインクの体積を測定してもよい。ただし、この場合には、上記S108の直前にインク流路内のインクなどを第2エッチングに置換する必要がある。また、上述の実施の形態では、上記S105において、ノズル15から第1エッチング液を吐出させることによって、複数のノズル15からのインクの吐出特性を均一にし、その後、上記S108において、ノズル15から第2エッチング液を吐出させることによって、ノズル15から吐出されるインクの体積を均一にしたが、これには限られない。例えば、上記S105と同様にして、ノズル15から第1エッチング液を吐出させることにより、複数のノズル15からのインクの吐出速度を均一にした後、複数のノズル15から吐出されるインクの体積のばらつきは調整せず、そのまま、インク流路からの第1エッチング液の排出や、洗浄液によるインク流路の洗浄などを行って、インクジェットヘッド3の製造を完了してもよい。あるいは、上記S102の後、ノズル15からのインクの吐出速度を調整せずに、インク流路内に第2エッチング液を充填して、上記S108と同様にして、ノズル15から第2エッチング液を吐出させることにより、複数のノズル15から吐出されるインクの体積を均一にしてもよい。また、上述の実施の形態では、上記S105において、上記S104で測定された吐出速度が速いノズル15からほど多量の第1エッチング液を吐出させるとともに、上記S108において、上記S107で測定された第2エッチング液の体積が小さいノズル15からほど多量の第2エッチング液を吐出させたが、これには限られない。例えば、上記S105において、上記S104で測定された吐出速度が予め規定された基準速度よりも速いノズル15から一定の量の第1エッチング液を吐出させることにより、複数のノズル15からのインクの吐出速度を調整してもよい。あるいは、上記S108において、上記S107で測定された第2エッチング液の体積が予め規定された基準体積よりも小さいノズル15から一定の量の第2エッチング液を吐出させることにより、複数のノズル15から吐出されるインクの体積を調整してもよい。また、上述の実施の形態では、ノズル15からのインクの吐出速度、及び、ノズル15から吐出されるインクの体積を検査したが、これら以外のノズル15からのインクの吐出特性を検査し、ノズル15からその検査結果に応じた量のエッチング液を吐出させることによって、複数のノズル15におけるインクの吐出特性が均一となるように、個別インク流路9の流路抵抗を調整してもよい。さらには、複数のノズル15におけるインクの吐出特性を検査して、個別インク流路9の流路抵抗を検査することにも限られず、ノズル15の径や絞り流路12の流路断面積など、インク流路の各部分の寸法を測定し、その測定結果に応じて、例えば、径が大きいノズル15からほど多量の第1エッチング液を吐出させる、流路断面積の小さい絞り流路12に対応するノズル15からほど多量の第2エッチング液を吐出させるなどして、個別インク流路9の流路抵抗を調整してもよい。ここで、プレート31~37を互いに接合する前であれば、例えば、プレート31~37に形成された貫通孔などの寸法を測定することによって、インク流路の各部分の寸法を測定することができる。また、プレート31~37を互いに接合して流路ユニット21を形成した後や、さらに流路ユニット21に圧電アクチュエータ22を組み付けた後であっても、例えば、X線や超音波を用いてインク流路の各部分の寸法測定することができる。また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ22を駆動して、ノズル15からエッチング液を吐出させることによって、ノズル15からエッチング液を排出させていたが、これには限られない。例えば、各色のインクを吐出するノズル15を、それぞれインクの色ごとに、吸引ポンプに接続されたキャップで覆い、吸引ポンプを駆動して、ノズル15からインクジェットヘッド3内のエッチング液を吸引することにより、ノズル15からエッチング液を排出させてもよい。この場合には、同じ色のインクを吐出する複数のノズル15からは一律にエッチング液が排出されるため、これらのノズル15におけるインクの吐出特性を均一にすることはできないが、異なる色のインクを吐出するノズル15間で、インクの吐出特性を均一にすることはできる。また、プリンタ1が複数のインクジェットヘッド3を備えている場合にも、インクジェットヘッド3間で、ノズル15からのインクの吐出特性を保持することができる。また、上述の実施の形態では、第1エッチング液によりノズル15の壁をエッチングし、第2エッチング液により絞り流路12の壁をエッチングすることによって、個別インク流路9の流路抵抗を調整したが、これには限られない。例えば、個別インク流路9のうち、ノズル15及び絞り流路12以外の部分のみをエッチングすることによって、個別インク流路9の流路抵抗を調整してもよい。この場合には、個別インク流路9のうちエッチングする部分を形成するプレートを、ノズル15や絞り流路12が形成されるプレート32、33、37とは異なる材料とし、エッチングする部分を形成するプレートの材料に対するエッチング速度が、プレート32、33、37の材料に対するエッチング速度よりも速いエッチング液を用いて、エッチングを行えばよい。また、以上では、流路ユニット21が、複数のプレート31~37が互いに積層されることによって、マニホールド流路11と個別インク流路9とからなるインク流路が内部に形成された流路ユニット21と、圧力室10内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ22とを備えたインクジェットヘッド3の製造に、本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。流路ユニットが互いに積層された複数のプレート以外の部材によって形成されたインクジェットヘッド、インク流路の構成が流路ユニット21とは異なるインクジェットヘッド、圧電アクチュエータ以外のアクチュエータによりインク流路内のインクに吐出エネルギーを付与するインクジェットヘッドなどの製造に本発明を適用することも可能である。さらには、インクジェットヘッドの製造に本発明を適用することにも限られず、ノズルからインク以外の液体を吐出する液体吐出装置の製造に本発明を適用することも可能である。このとき、液体吐出装置は、ノズルを複数備えているものには限られず、ノズルを1つだけ備えたものであってもよい。液体吐出装置がノズルを1つだけ備えている場合であっても、液体流路の流路抵抗が予め規定された範囲から外れている場合に、液体流路の壁をエッチングすることによって、液体流路の流路抵抗を上記範囲内となるように調整することが可能である。具体的には、例えば、ノズルからの液体の吐出速度を測定し、測定された吐出速度が速い場合ほど、ノズルから多量のエッチング液をノズルから多量に吐出させて、ノズルの径を広げることにより、ノズルからの液体の吐出速度を、予め規定された範囲内となるようにすることができる予め規定された吐出速度に近づけることができる。なお、このときのエッチング液は、液体流路の少なくともノズルの壁をエッチング可能なものである。あるいは、ノズルから吐出される液体の体積を測定し、測定された液体の体積が小さい場合ほど、ノズルから多量のエッチング液を吐出させて、液体流路の流路抵抗を小さくすることによって、ノズルから吐出される液体の体積を、予め規定された範囲内となるようにすることができる予め規定された体積に近づけることができる。なお、液体吐出装置がノズルを1つだけ備えている場合でも、流路抵抗の調整の後、ノズルから液体流路内のエッチング液が排出され、このとき、エッチング液によって液体流路の壁がエッチングされる。しかしながら、流路抵抗の調整のためにノズルからエッチング液を吐出させると、吐出させたのと同じ量のエッチング液が、エッチング液の供給源から液体流路に流れ込む。したがって、液体吐出装置がノズルを1つだけ備えている場合でも、ノズルから多量のたエッチング液を吐出させるほど、液体流路の最終的な流路抵抗は小さくなる。