"光電変換部と、前記光電変換部の主面上に設けられた集電極と、を備え、前記集電極は、複数のバスバー電極と、前記複数のバスバー電極の一部と接続されたフィンガー電極と、を含み、前記フィンガー電極は、前記複数のバスバー電極の一部と接続され、前記複数のバスバー電極の一部から離れるにしたがって幅が狭くなるように延びる第1フィンガー部と、前記複数のバスバー電極と離れた位置において前記第1フィンガー部の先端と接続され、前記第1フィンガー部の先端よりも幅が広い第2フィンガー部と、を含む、太陽電池。請求項1に記載の太陽電池において、前記第2フィンガー部は、前記複数のバスバー電極の一部よりも前記光電変換部の主面の端辺に近い位置に配置される、太陽電池。請求項1に記載の太陽電池において、前記複数のバスバー電極は、第1バスバー電極と、前記第1バスバー電極と異なる位置において、前記第1バスバー電極と並列に並ぶように配置された第2バスバー電極と、を含み、前記第2フィンガー部は、前記第1バスバー電極と前記第2バスバー電極との間に配置される、太陽電池。光電変換部を用意し、前記光電変換部の主面上に導電性ペーストを印刷してバスバー電極を形成し、前記バスバー電極から離れる方向に導電性ペーストを継続して印刷し、前記バスバー電極と接続されるとともに前記バスバー電極から離れるにしたがって幅が狭くなる第1フィンガー部を形成し、前記バスバー電極及び前記第1フィンガー部の先端から離れる方向に導電性ペーストを継続して印刷し、前記第1フィンガー部の先端と接続されるとともに前記第1フィンガーよりも幅の広い第2フィンガー部を形成する、太陽電池の製造方法。請求項4に記載の太陽電池の製造方法において、前記バスバー電極の一部よりも前記光電変換部の主面の端辺に近い位置に前記導電性ペーストを継続して印刷して前記第2フィンガー部を形成する、太陽電池の製造方法。請求項4に記載の太陽電池の製造方法において、第1バスバー電極と第2バスバー電極とを含む、複数の前記バスバー電極を形成し、前記第1バスバー電極と異なる位置において、前記第1バスバー電極と並列に並ぶように第2バスバー電極を形成し、前記第1バスバー電極と前記第2バスバー電極との間に前記導電性ペーストを継続して印刷して前記第2フィンガー部を形成する、太陽電池の製造方法。特許文献1に記載された太陽電池では、くし型電極の第二端の狭い幅に起因して、太陽電池の出力が低下しうる。本発明に係る太陽電池は、光電変換部と、光電変換部の主面上に設けられた集電極と、を備え、集電極は、複数のバスバー電極と、複数のバスバー電極の一部と接続されたフィンガー電極と、を含み、フィンガー電極は、複数のバスバー電極の一部と接続され、複数のバスバー電極の一部から離れるにしたがって幅が狭くなるように延びる第1フィンガー部と、複数のバスバー電極と離れた位置において第1フィンガー部の先端と接続され、第1フィンガー部の先端よりも幅が広い第2フィンガー部と、を含む。本発明に係る太陽電池の製造方法は、光電変換部を用意し、光電変換部の主面上に導電性ペーストを印刷してバスバー電極を形成し、バスバー電極から離れる方向に導電性ペーストを継続して印刷し、バスバー電極と接続されるとともにバスバー電極から離れるにしたがって幅が狭くなる第1フィンガー部を形成し、バスバー電極及び第1フィンガー部の先端から離れる方向に導電性ペーストを継続して印刷し、第1フィンガー部の先端と接続されるとともに第1フィンガーよりも幅の広い第2フィンガー部を形成する。本発明によれば、太陽電池の出力を向上させることができる。以下に図面を用いて、実施の形態を詳細に説明する。同様の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図1は、太陽電池1の受光面側の平面図である。図2は、太陽電池1の裏面側の平面図である。図3は、図1及び図2におけるA-A線断面図である。受光面とは、太陽光の光が主に入射される側の主面を意味する。裏面とは、受光面と反対側の主面を意味する。太陽電池1は、光電変換部2と、光電変換部2の受光面上に設けられた集電極4と、光電変換部2の裏面上に設けられた集電極6とを備える。ここで、層、膜、領域などの部分が他の部分の上にという言う時、これは他の部分の真上にある場合だけではなく、その中間に他の部分がある場合も含む。光電変換部2は、受光面側から、透明導電膜11と、p型非晶質シリコン膜12と、i型非晶質シリコン膜13と、n型単結晶シリコン基板14と、i型非晶質シリコン膜15と、n型非晶質シリコン膜16と、透明導電膜17とを備える。n型単結晶シリコン基板14は、光を受けてキャリアを生成する発電層である。発電層は、n型単結晶シリコン基板14に限定されない。例えば、発電層は、n型又はp型のいずれの導電型でもよく、結晶系半導体基板、多結晶シリコン基板、砒化ガリウムGaAs基板、インジウム燐InP基板を含む。i型非晶質シリコン膜13は、n型単結晶シリコン基板14の受光面上に形成される。i型非晶質シリコン膜13は、真性なアモルファスシリコン膜である。p型非晶質シリコン膜12は、i型非晶質シリコン膜13上に形成される。p型非晶質シリコン膜12は、p型不純物がドープされたアモルファスシリコン膜である。透明導電膜11は、p型非晶質シリコン膜12上に形成される。透明導電膜11は、例えば、酸化インジウムIn2O3、酸化亜鉛ZnO、酸化錫SnO2、及び酸化チタンTiO2等の金属酸化物のうちの少なくとも1つを含む。i型非晶質シリコン膜15は、n型単結晶シリコン基板14の裏面上に形成される。i型非晶質シリコン膜15は、真性なアモルファスシリコン膜である。n型非晶質シリコン膜16は、i型非晶質シリコン膜15上に形成される。n型非晶質シリコン膜16は、n型不純物がドープされたアモルファスシリコン膜である。透明導電膜17は、n型非晶質シリコン膜16上に形成される。透明導電膜17は、透明導電膜11と同様の材料を含む。集電極4は、バスバー電極19a,19bと、フィンガー電極20a~20dとを含む。集電極6は、バスバー電極21a,21bと、フィンガー電極22a~22dとを含む。集電極4,6は、導電材料であって、例えば、銀Ag、銅Cu、アルミニウムAl、チタンTi、ニッケルNi及びクロムCr等の金属や、これらの金属のうちの一種類以上を含む合金によって構成することができる。バスバー電極19a,19bは、透明導電膜11上に形成される。バスバー電極19a,19bは、光電変換部2において生成されたキャリアを取り出すために設けられる。フィンガー電極20a~20dにおいて集電されたキャリアをできるだけ均等に集電するように、バスバー電極19a,19bは、所定の間隔をあけて平行に配置される。例えば、バスバー電極19aは光電変換部2の主面を二分した場合の左半分の中心に配置され、バスバー電極19bは、右半分の中心に配置される。バスバー電極19a,19bの幅は、1mmとされる。フィンガー電極20a~20dは、光電変換部2において生成されたキャリアを収集するために設けられる。フィンガー電極20a~20dは、バスバー電極19a,19bと交差して電気的に接続されるように配置される。フィンガー電極20a~20dは、光電変換部2の面内からまんべんなく集電が行われるように、フィンガー電極20a~20dは、それぞれ所定の間隔をあけて平行に配置される。例えば、バスバー電極19a,19bの短手方向に沿って並んだフィンガー電極20a~20dを1組とすると、n組のフィンガー電極20a~20dが光電変換部2の主面の領域をn1等分するように配置される。フィンガー電極20a~20dの幅は、集電される電流の大きさ、フィンガー電極20a~20dの断面積等に応じて適宜決定される。複数のフィンガー電極20aは、例えば2mmの間隔で互いに並列に配列される。フィンガー電極20aは、第1フィンガー部203と第2フィンガー部204とを含む。第1フィンガー部203は、バスバー電極19aに接続された根元部201を含んでいる。根元部201は、第1フィンガー部203の中で最も幅が広い部分である。第1フィンガー部203は、バスバー電極19aからフィンガー電極20aの長手方向に延びている。第1フィンガー部203は、バスバー電極19aから離れるにしたがって幅が細くなる。第1フィンガー部203は、バスバー電極19aから最も離れた位置に先端部202を含む。先端部202は、第1フィンガー部203の中で最も幅が狭い部分である。これにより、第1フィンガー部203による遮光ロスを抑制できる。第2フィンガー部204は、バスバー電極19aと離れた位置において第1フィンガー部203の先端部202と接続される。第2フィンガー部204は、第1フィンガー部203の先端部202よりも幅の広い部分を含んでおり、フィンガー電極20aの長手方向に延びている。第2フィンガー部204は、先端部202から離れるにしたがって幅が太くなるように延びている。第1フィンガー部203の先端部202の幅をW1とし第2フィンガー部204の幅をW2とした場合に、W1<W2となるように、第2フィンガー部204の幅が設定されている。つまり、第2フィンガー部204は、幅が変化するような形状であっても、全ての幅が第1フィンガー部203の先端部202の幅W1よりも広くなるように設定されている。フィンガー部20b,20cは、フィンガー電極20aと同様に根元部201及び先端部202を含んだ第1フィンガー部203と、第2フィンガー部204を含んでいる。フィンガー部20b,20cは、フィンガー部20bの第2フィンガー部204とフィンガー部20cの第2フィンガー部204とが接続された接続部205を含んでいる。接続部205からバスバー電極19aに向かって伸びるフィンガー部20bの長さと、接続部205からバスバー電極19bに向かって伸びるフィンガー部20cの長さとは、同じである。本実施例において、フィンガー部20a~20dの長さは、同じである。フィンガー電極20dは、フィンガー電極20aと同様に根元部201及び先端部202を含んだ第1フィンガー部203と、第2フィンガー部204を含み、フィンガー電極20aと反対方向に延びている。光電変換部2で生成されたキャリアは、光電変換部2の主面上において透明導電膜11内に存在するキャリアから一番近いフィンガー電極20a~20dに収集される。ここで、上記特許文献1では、くし型電極は、バスバー電極から離れるにしたがって、フィンガー電極の幅が単調に狭くなる。したがって、バスバー電極から最も離れた位置第二端において、フィンガー電極の幅が最も狭くなる。これにより、第二端に集められるキャリアの移動距離が長くなり、太陽電池の出力が低減する恐れがある。一方、フィンガー電極20a,20dの第2フィンガー部204は、第1フィンガー部203の先端部202よりも幅が広くなる。このため、バスバー電極19a,19bから最も離れた位置であっても、フィンガー電極20a,20dに集められるキャリアの移動距離を短くでき、太陽電池1の出力の低減を抑制できる。フィンガー電極20a,20dと同様に、フィンガー電極20b,20cは、第2フィンガー部204を含んでいる。これにより、フィンガー電極20b,20cの第2フィンガー部204において、キャリアの移動距離を短くでき、太陽電池1の出力の低減を更に抑制できる。フィンガー電極20a~20dの第2フィンガー部204はバスバー電極19a,19bから最も離れているため、フィンガー電極20a~20dの体積に応じた応力が生じ易い。しかし、フィンガー電極20a~20dの第2フィンガー部204は第1フィンガー部203に比べて接触面積が大きい。このため、第2フィンガー部204の光電変換部2からの剥がれを抑制できる。フィンガー電極20a,20dは、それぞれバスバー電極19a,19bから光電変換部2の主面の端辺に近い位置まで延びている。このため、フィンガー電極20a、20bのそれぞれにおける第2フィンガー部204は、バスバー電極19a、19bよりも光電変換部2の主面の端辺に近い位置に形成される。例えば、光電変換部2の長さのうちのフィンガー電極20a,20dの延伸方向に沿った長さの2~3程度の長さだけ、フィンガー電極20a、20dのそれぞれにおける第2フィンガー部204は、光電変換部2の主面の端辺よりも内側に配置される。光電変換部2の主面の端辺に近い位置では、キャリアの移動距離が最も長くなる。しかし、第2フィンガー部204を含むことによって、光電変換部2の主面の端辺に近い部分におけるキャリアの移動距離を短くすることができ、第1フィンガー部203の形状に係らず太陽電池1の出力低下を抑制させることができる。バスバー電極19a,19b及びフィンガー電極20a~20dと同様に、光電変換部2の裏面上にバスバー電極21a,21b及びフィンガー電極22a~22dが設けられる。フィンガー電極22a~22dは、光電変換部2において生成されたキャリアを収集するために設けられる。フィンガー電極22a~22dの関係は、例えば、1mm~2mmの間隔で互いに並列に配列されるのが好適である。フィンガー電極22a~22dは、フィンガー電極20a~20dと同様の構成のため、同様の効果を奏する。太陽電池1の製造方法について、図4を用いて説明する。図4は、太陽電池1の製造方法の手順を示すフローチャートである。n型単結晶シリコン基板14を真空チャンバ内に搬入し、CVD法を用いて、n型単結晶シリコン基板14の受光面上にi型非晶質シリコン膜13を形成し、さらに、i型非晶質シリコン膜13上にp型非晶質シリコン膜12を形成するS2。CVD法を用いて、n型単結晶シリコン基板14の裏面上にi型非晶質シリコン膜15を形成し、さらに、i型非晶質シリコン膜15上にn型非晶質シリコン膜16を形成するS4。スパッタリング法を用いて、p型非晶質シリコン膜12およびn型非晶質シリコン膜16上に、それぞれITOからなる透明導電膜11及び透明導電膜17を形成するS6。これにより、光電変換部2が形成される。スクリーン印刷法を用いて、透明導電膜11,17上に、それぞれ集電極4,6を形成するS8。図5は、バスバー電極19a,19b及びフィンガー電極20a~20dの形成方法の手順を示すフローチャートである。なお、集電極6の形成方法は、集電極4と同様の手順であるため詳細な説明は省略する。図6は、バスバー電極19a,19b及びフィンガー電極20a~20dの形状に対応する開口部190a,190b及び開口部200a~200dを有するスクリーン版20である。このスクリーン版20を用いて、開口部190a,190b,200a~200dにバスバー電極19a,19b及びフィンガー電極20a~20dの構成材である導電性ペーストをスキージによって充填し、光電変換部2の受光面上に導電性ペーストを印刷する。開口部190a,190b,200a~200dが形成されたスクリーン版20上に導電性ペーストを載せ、図6に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすことにより開口部190a,190b,200a~200dに導電性ペーストを充填する。スクリーン版20のうちスキージが通り過ぎた部分が受光面から離れるときに、開口部190a,190b,200a~200dから導電性ペーストが吐出して受光面上に印刷される。図6に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすと、最初にフィンガー電極20aに対応する導電性ペーストが継続して印刷されるS81。これにより、フィンガー電極20aは、バスバー電極19aの一部よりも光電変換部2の主面の端辺に近い位置に形成される。スクリーン版20の開口部200aにおいて、フィンガー電極20aの第2フィンガー部204に対応する開口幅は、第1フィンガー部203の先端部202に対応する開口幅より大きい。そのため、フィンガー電極20aの第2フィンガー部204をスクリーン印刷により形成する際の印刷擦れを抑制することができる。図6に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすと、バスバー電極21aに対応する導電性ペーストが継続して印刷されるS82。フィンガー電極20b,20cに対応する導電性ペーストが光電変換部2の主面に印刷される。フィンガー電極20bは、図6に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすことにより、バスバー電極19aからバスバー電極19bに向かって継続して印刷されるS83。フィンガー電極20cは、図6に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすことにより、バスバー電極19aからバスバー電極19bに向かって継続して印刷されるS84。フィンガー電極20b、20cのそれぞれにおける第2フィンガー部204は、バスバー電極19aとバスバー電極19bとの間に配置され、バスバー電極19aとバスバー電極19bとの中軸に対して対称となるように印刷される。したがって、バスバー電極19aとバスバー電極19bとの中軸において、フィンガー電極20b、20cのそれぞれにおける第2フィンガー部204が互いに接続されている。フィンガー電極20b,20cでは、フィンガー電極20bとフィンガー電極20cとが互いに接続された部分があるため、フィンガー電極20b,20cを継続して印刷する時にフィンガー電極20b,20cの体積に応じた応力がフィンガー電極20bとフィンガー電極20cとの接続部分に生じる。特許文献1のように第一端から第二端に向けて単調に幅が狭くなるように構成されたくし型電極をスクリーン印刷により形成する場合、電極幅が狭くなるにつれてスクリーン版20の開口幅が小さくなるため、第二端では印刷擦れが生じる恐れがある。特に、フィンガー電極20b、20cが互いに接続されている第2フィンガー部204の接続部分においては、フィンガー電極20b、20cの体積に応じた応力が生じ易く、そのような応力の大きい部分の幅を狭くすると印刷擦れが生じる恐れがある。しかし、スクリーン版20の開口部200b,200cにおいて、フィンガー電極20b,20cの第2フィンガー部204に対応する開口幅は、フィンガー電極20b,20cの第1フィンガー部203の先端部202に対応する開口幅よりも大きい。このため、フィンガー電極20b,20cの第2フィンガー部204をスクリーン印刷により形成する際に第2フィンガー部204における印刷擦れを抑制することができる。特に、フィンガー電極20b、20cが互いに接続されている第2フィンガー部204の接続部分にはフィンガー電極20b、20cの体積に応じた応力が生じ易いが、その部分の幅を大きくしたことによって印刷擦れを抑制する効果を顕著に発揮する。すなわち、フィンガー電極20b、20cは、応力が生じやすい接続部分と、最も幅が狭くなる部分とがずれるように構成されている。したがって、接続部分における印刷擦れが抑制される。次に、図6に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすと、バスバー電極19bに対応する導電性ペーストが継続して印刷されるS85。これにより、バスバー電極19aとバスバー電極19bとが並列に並ぶように形成される。続いて、フィンガー電極20dに対応する導電性ペーストが光電変換部2の主面に印刷されるS86。これにより、フィンガー電極20dは、バスバー電極19aの一部よりも光電変換部2の主面の端面に近い位置に形成される。スクリーン版20の開口部200dにおいて、フィンガー電極20dの第2フィンガー部204に対応する開口幅は、フィンガー電極20b,20cの第1フィンガー部203の先端部202に対応する開口幅より大きいため、フィンガー電極20dの第2フィンガー部204をスクリーン印刷により形成する際の印刷擦れを抑制することができる。本実施形態の第2フィンガー部204の形状は、第1フィンガー部203の先端から離れるにしたがって、第1フィンガー部の先端よりも徐々に幅が太くなるように延びているため、スクリーン印刷による印刷擦れを抑制できる。印刷された導電性ペーストを加熱等により固化させて受光面上にフィンガー電極20a~20dを形成する。なお、フィンガー電極22a~22bについても、フィンガー電極20a~20dと同様のスクリーン印刷法により形成されるため詳細な説明は省略する。このように、S2~S8の工程を得て、1つの太陽電池10ができる。なお、図6において、導電性ペーストの印刷方向を矢印で示しているが、反対方向の印刷方向であってもよい。図7は、太陽電池1の第1変形例である太陽電池1aの受光面側の平面図である。太陽電池1と異なり、太陽電池1aは、第2フィンガー部204が略楕円形状を含んでいる。図8は、太陽電池1の第2変形例である太陽電池1bの受光面側の平面図である。太陽電池1と異なり、太陽電池1cは、第2フィンガー部204の形状が四角形の形状を含んでいる。これらのように、第2フィンガー部204は、第1フィンガー部203の先端部202よりも幅が大きければ、他のいかなる形状であってもよい。図9は、太陽電池1の第3変形例である太陽電池1cの受光面側の平面図である。太陽電池1と異なり、太陽電池1cは、フィンガー電極20a、20dのみが第2フィンガー部204を含んでいる。一方、フィンガー電極20b,20cは、第2フィンガー部204を含まない。第2フィンガー部204は、それぞれのバスバー電極19a、19bから光電変換部2の主面の端辺に近い部分にのみ形成されてもよい。図10は、太陽電池1の第4変形例である太陽電池1dの受光面側の平面図である。太陽電池1dでは、第2フィンガー部204は、光電変換部2の主面の四隅に最も近い各々のフィンガー電極20a,20dにのみ形成されている。第2フィンガー部は、フィンガー電極20a~20d,22a~22dの一部にのみ形成されてもよい。図11は、光電変換部2の変形例である光電変換部2aの断面図である。光電変換部2aは、p型多結晶シリコン基板241と、p型多結晶シリコン基板の表面側に形成されたn型拡散層231と、p型多結晶シリコン基板241の裏面上に形成されたアルミニウム金属膜251とを備える。このように、光電変換部18は、太陽光を電気に変換する機能を有すれば、他のいかなる形状であってもよい。図12は、光電変換部2の裏面側の集電極の変形例の平面図である。光電変換部2の裏面側においては、フィンガー電極20a~20d,22a~22dの代わりに、透明導電膜17の形成領域の略全面を覆う金属膜251が形成されてもよい。"