"複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層して構成されたマイクロレンズアレイの製造方法において、第1及び第2の単位マイクロレンズアレイの側面の接合予定部に、夫々、第1のガラス用半田を超音波振動を付与しつつ加熱して接着し、第2及び第3の単位マイクロレンズアレイの側面の接合予定部に、夫々、第2のガラス用半田を超音波振動を付与しつつ加熱して接着し、更に、nを整数として、第n-1及び第nの単位マイクロレンズアレイの側面の接合予定部に、夫々、第n-1のガラス用半田を超音波振動を付与しつつ加熱して接着するまで、n枚の単位マイクロレンズアレイの側面にガラス用半田を接着する工程と、第1及び第2の単位マイクロレンズアレイを相互間に所定のギャップを保持して配置し、前記第1のガラス用半田を加熱溶融して前記第1及び第2の単位マイクロレンズアレイを相互に接合し、第2及び第3の単位マイクロレンズアレイを相互間に所定のギャップを保持して配置し、前記第2のガラス用半田を加熱溶融して前記第2及び第3の単位マイクロレンズアレイを相互に接合し、更に、第n-1及び第nの単位マイクロレンズアレイを相互間に所定のギャップを保持して配置し、前記第n-1のガラス用半田を加熱溶融して前記第n-1及び第nの単位マイクロレンズアレイを相互に接合するまで、順次n枚の単位マイクロレンズアレイを相互に接合する工程と、を有することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。前記第1乃至第n-1のガラス用半田は、前記第1乃至第nの単位マイクロレンズアレイの平面視で相互に異なる位置に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。前記第1乃至第n-1のガラス用半田は、この順に、融点が低いことを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。上述のごとく構成されるマイクロレンズアレイは、高精細露光に使用する場合に、複数枚の単位マイクロレンズアレイ2-1,2-2,2-3,2-4を、その各マイクロレンズの光軸を誤差が数μm程度の高精度で一致させると共に、単位マイクロレンズアレイ2-1,2-2,2-3,2-4間のギャップを同様に誤差が数μm程度の高精度で所定値に一致させて貼り合わせる必要がある。しかし、この各単位マイクロレンズアレイの位置合わせ及び各単位マイクロレンズアレイ間のギャップの制御は、接着剤の硬化時の熱収縮により、高精度に所定値に一致させることができないという問題点がある。即ち、従来、貼り付け済みの単位マイクロレンズアレイの上方に、これから貼り合わせようとする単位マイクロレンズアレイを保持部材により真空吸着して配置し、両者の縁部間に接着剤を注入し、その後、接着剤に紫外光を照射して硬化させることにより、両者を接合している。この場合に、接着剤の硬化時に、接着剤が収縮し、単位マイクロレンズアレイ間のギャップ変動が生じてしまう。また、平面視においても、接着剤の硬化時に、位置ずれが生じてしまう。更に、マイクロレンズアレイの製造後に、単位マイクロレンズアレイの平面視の位置不整合及びギャップ不良が判明した場合には、硬化した接着剤を、不具合の積層単位マイクロレンズアレイ全体を専用溶液に浸漬して融解させることにより、単位マイクロレンズアレイを再利用することとしている。この場合に、製造後のマイクロレンズアレイの全ての単位マイクロレンズアレイの接着剤を剥がすことになり、単位マイクロレンズアレイの全体を貼り合わせし直す必要がある。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、単位マイクロレンズアレイを高精度で位置合わせすることができると共に、ギャップを高精度で所定値に一致させることができ、不具合も一部の単位マイクロレンズアレイについて行うだけで補修することができるマイクロレンズアレイの製造方法を提供することを目的とする。本発明に係るマイクロレンズアレイの製造方法は、複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層して構成されたマイクロレンズアレイの製造方法において、第1及び第2の単位マイクロレンズアレイの側面の接合予定部に、夫々、第1のガラス用半田を超音波振動を付与しつつ加熱して接着し、第2及び第3の単位マイクロレンズアレイの側面の接合予定部に、夫々、第2のガラス用半田を超音波振動を付与しつつ加熱して接着し、更に、nを整数として、第n-1及び第nの単位マイクロレンズアレイの側面の接合予定部に、夫々、第n-1のガラス用半田を超音波振動を付与しつつ加熱して接着するまで、n枚の単位マイクロレンズアレイの側面にガラス用半田を接着する工程と、第1及び第2の単位マイクロレンズアレイを相互間に所定のギャップを保持して配置し、前記第1のガラス用半田を加熱溶融して前記第1及び第2の単位マイクロレンズアレイを相互に接合し、第2及び第3の単位マイクロレンズアレイを相互間に所定のギャップを保持して配置し、前記第2のガラス用半田を加熱溶融して前記第2及び第3の単位マイクロレンズアレイを相互に接合し、更に、第n-1及び第nの単位マイクロレンズアレイを相互間に所定のギャップを保持して配置し、前記第n-1のガラス用半田を加熱溶融して前記第n-1及び第nの単位マイクロレンズアレイを相互に接合するまで、順次n枚の単位マイクロレンズアレイを相互に接合する工程と、を有することを特徴とする。このマイクロレンズアレイの製造方法において、前記第1乃至第n-1のガラス用半田は、前記第1乃至第nの単位マイクロレンズアレイの平面視で相互に異なる位置に設けられていることが好ましい。前記第1乃至第n-1のガラス用半田は、この順に、融点が低いことが好ましい。本発明においては、各単位マイクロレンズアレイの側面の所定の接合予定部に、ガラス用半田を、超音波振動を付与しつつ加熱して接着しておき、2個の単位マイクロレンズアレイを、平面視で所定の位置合わせをすると共に、単位マイクロレンズアレイ間に所定のギャップが得られるように、保持し、前記接合予定部に予め接着されているガラス用半田を加熱して溶融させることにより、両単位マイクロレンズアレイ同士を接合する。このガラス用半田は金属であるので、溶融及び固化時の体積変動が、樹脂である紫外光硬化接着剤に比して極めて小さく、接合前後の位置不整合及びギャップ変動を防止することができる。また、ガラス用半田は、単位マイクロレンズアレイの側面の接合予定部に局所的に配置することができるので、接合後にこの局所的なガラス用半田を再加熱して再溶融させることにより、不具合の単位マイクロレンズアレイのみを剥がすことができ、リペアが容易である。また、3枚以上の単位マイクロレンズアレイを接合する際に、各単位マイクロレンズアレイ間を接合する複数個の接合予定部ガラス用半田を平面視で相互に異なる位置に設けることにより、リペアの際に、不具合がある単位マイクロレンズアレイ同士を接合しているガラス用半田のみを、他のガラス用半田に対する熱影響を少なくして剥がすことができる。更に、第1乃至第n-1のガラス用半田の融点を、この順に低いものとすることにより、ある単位マイクロレンズアレイをその下層の単位マイクロレンズアレイ上に貼り合わせした後、両者間で、位置合わせ又はギャップの不具合があった場合に、その単位マイクロレンズアレイ間を接合しているガラス用半田を加熱して再溶融させる温度では、その単位マイクロレンズアレイより下層の既に不具合なく接合されている単位マイクロレンズアレイ間を接合しているガラス用半田は、融点が高くて溶融しない。このため、不具合を起こしている単位マイクロレンズアレイのみを確実に剥がすことができ、工程の無駄を確実に防止できる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1及び図2は本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイの製造方法を示す。本実施形態のマイクロレンズアレイ20は、4枚の単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4により構成されている。各単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4は、図2に示すように、ガラス基板の表面又は裏面に、複数個のマイクロレンズ21が2次元的に配置されて構成されており、これらのマイクロレンズ21の配置は図6に示す従来のマイクロレンズと同一である。但し、図2に示す単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4は、図4に示す単位マイクロレンズアレイ2-1~2-4と異なり、ガラス基板の一方の面表面又は裏面にのみマイクロレンズ21が形成されているものであるが、本発明は、図4に示すようなガラス基板の表裏両面にマイクロレンズが形成された単位マイクロレンズアレイにも、同様に適用できることは勿論である。なお、単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4におけるマイクロレンズ21の形成面が表裏片面であること以外の構造については、図4に示すものと同一である。図2に示す単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4は、その4辺に沿う縁部に凸部22が形成されている。この凸部22はマイクロレンズ21が形成された基板の基準表面からの高さが、マイクロレンズ21の前記基準表面からの高さよりも高くなるように形成されている。換言すれば、単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4は、その一方の表面又は裏面に削りこんで、複数個のマイクロレンズ21を形成することにより、マイクロレンズ21を形成しない領域に凸部22が残存して、マイクロレンズ21の前記基準面からの高さよりも高い凸部22が形成される。この凸部22の上面は、保持部材図示せずが真空吸引により吸着して保持し、搬送するための吸着面となる。このようなマイクロレンズアレイ20は、図2aに示すように、例えば、マイクロレンズ21が下面に形成された単位マイクロレンズアレイ20-1と、マイクロレンズ21が上面に形成された単位マイクロレンズアレイ20-2と、マイクロレンズ21が下面に形成された単位マイクロレンズアレイ20-3と、マイクロレンズ21が上面に形成された単位マイクロレンズアレイ20-4とがこの順に配置されて構成される。本実施形態のマイクロレンズアレイの製造方法においては、図3に示すように、先ず、単位マイクロレンズアレイ20-1と単位マイクロレンズアレイ20-2との接合予定部に、夫々、ガラス用半田30-1を、超音波振動を付与しつつ加熱して、接着させる。また、単位マイクロレンズアレイ20-2と単位マイクロレンズアレイ20-3との接合予定部に、ガラス用半田30-2を、超音波信号を付与しつつ加熱して、接着させる。更に、単位マイクロレンズアレイ20-3と単位マイクロレンズアレイ20-4との接合予定部に、ガラス用半田30-3を、超音波振動を付与しつつ加熱して、接着させる。このように、最下層の単位マイクロレンズアレイ20-1は、一側面につき、2個のガラス用半田30-1のみ盛りつけ、その上の単位マイクロレンズアレイ20-2には、一側面につき、2組のガラス用半田30-1,30-2を盛りつける。同様に、単位マイクロレンズアレイ20-3には、一側面につき、2組のガラス用半田30-2,30-3を盛りつけ、最上層の単位マイクロレンズアレイ20-4には、一側面につき、2個のガラス用半田30-3を盛りつける。これらのガラス用半田を盛りつける側面は、通常、単位マイクロレンズアレイの幅方向の両端部の2側面であるが、4個の側面の全てにガラス用半田を配置してもよい。また、各ガラス用半田の各側面における位置は、側面の長手方向に異なる位置とすることが好ましい。従って、厚さ方向の中央側の単位マイクロレンズアレイ20-2,20-3については、一側面に4個のガラス用半田が付与される。但し、上下に隣接する単位マイクロレンズアレイ間を接合するガラス用半田は、同一の接合予定部に盛りつけられることは勿論である。これらのガラス用半田30-1~30-3は、加熱する際、超音波振動を付与することにより、ガラス基板に付着しやすくなる。このように、接着剤に対し、加熱すると共に、超音波振動を付与する手段としては、抵抗発熱する半田ごての先端部に、超音波振動子を埋め込んだもの等を使用することができる。また、超音波振動子によりガラス用半田に超音波振動を付与しつつ、ガラス用半田をレーザ加熱する方法等も使用することができる。そして、図1に示すように、この予め各単位マイクロレンズアレイの側面に盛りつけておいたガラス用半田を溶融させて、各単位マイクロレンズアレイを相互に接合する。例えば、3番目の単位マイクロレンズアレイ20-3と4番目最上層の単位マイクロレンズアレイ20-4とを接合する場合、図1aに示すように、単位マイクロレンズアレイ20-3は既に下層の単位マイクロレンズアレイ20-2上に接合されており、これから接合しようとする単位マイクロレンズアレイ20-4を、保持部材により真空吸着して、この保持部材を移動させて、単位マイクロレンズアレイ20-3上の所定位置に配置する。即ち、単位マイクロレンズアレイ20-4を単位マイクロレンズアレイ20-3に対して、アライメントマークを利用して、平面視で各マイクロレンズの光軸が一致するように位置合わせする。そして、保持部材の上下方向の位置を調整することにより、単位マイクロレンズアレイ20-4と単位マイクロレンズアレイ20-3との間のギャップが所定値になるように、両者間に適切な間隔をおいて、保持部材は、単位マイクロレンズアレイ20-4を保持する。その後、図1bに示すように、通常の加熱のみ可能な半田ごて40を使用して、単位マイクロレンズアレイ20-3の側面のガラス用半田30-3と、単位マイクロレンズアレイ20-4の側面のガラス用半田30-3とを加熱して再溶融させ、両者を融合させて、固化させることにより、単一のガラス用半田とする。図1において、単位マイクロレンズアレイ20-1と単位マイクロレンズアレイ20-2との間には、この単一のガラス用半田31-1が形成されており、単位マイクロレンズアレイ20-2と単位マイクロレンズアレイ20-3との間には、この単一のガラス用半田31-2が形成されている。このようにして、全ての単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4について、その側面のガラス用半田30-1~30-3に熱を付与して再溶融させ、ガラス用半田を一体化させた後、固化させることにより、単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4を一体化後のガラス用半田31-1,31-2等により相互に接合する。なお、このガラス用半田30-1~30-3を再溶融させて一体化する際に、超音波振動は付与していないので、ガラス用半田が単位マイクロレンズアレイのガラス基板間にしみこんでしまうことはなく、図2b、cに示すように、接合後のガラス用半田31-1,31-2等は、単位マイクロレンズアレイ20-1~20-3の各側面にのみ存在する。nを整数として、単位マイクロレンズアレイの個数がn個の場合、最後のn番目の単位マイクロレンズアレイと、n-1番目の単位マイクロレンズアレイとに対し、それらの側面に、n-1番目のガラス用半田を、夫々超音波振動を付与しつつ加熱して付着させておき、n番目の単位マイクロレンズアレイとn-1番目の単位マイクロレンズアレイとを、相互間の平面的な位置合わせと、ギャップ設定とを行った後、n-1番目のガラス用半田を加熱のみで溶融させて、両単位マイクロレンズアレイを接合する。ガラス用半田を単位マイクロレンズアレイの側面に付着させる際に、超音波振動を印加するのは、ガラス用半田が単位マイクロレンズアレイのガラス基板の側面に付着しやすくなるためである。また、位置調整及びギャップ調整後のガラス用半田の溶融の際に、超音波振動を付与せずにガラス用半田の加熱のみで溶融させるのは、貼り合わせつつある単位マイクロレンズアレイに超音波振動を印加すると、既に貼り合わせ後の単位マイクロレンズアレイ間のギャップ変動又は位置変動が生じやすいからである。ガラス用半田は、最初の超音波振動の付与による単位マイクロレンズアレイの側面への接着で、十分大きな強度で接着されている。よって、位置合わせ及びギャップ調整後のガラス用半田の接合では、ガラス用半田を溶融させるだけで良い。上述のようにして、単位マイクロレンズアレイ20-1~20-4をガラス用半田により貼り合わせる。この場合に、ガラス用半田は、金属であるため、紫外硬化接着剤に比して、溶融固化時の体積変動が極めて小さく、接着前後でのギャップ変動及び位置変動を十分抑制することができる。これにより、数μmオーダーでの基板間ギャップ及び位置合わせの精度を得ることができる。一方、万が一、単位マイクロレンズアレイを貼り合わせた後に、ギャップ又は位置合わせに不具合があることが判明した場合は、その不具合がある接合部のみ加熱して、ガラス用半田を溶融させ、単位マイクロレンズアレイを分離し、再度、位置合わせ及びギャップ調整をして、再度ガラス用半田を溶融させて、一旦分離した単位マイクロレンズアレイを再度接合する。この場合に、接合部は、単位マイクロレンズアレイのガラス基板の側面における長手方向に異なる位置に設けてあるので、単位マイクロレンズアレイの分離のために、両者を接合しているガラス用半田を加熱した場合に、他の接合部のガラス用半田に熱影響を与えてしまうことが防止される。よって、正常な貼り合わせ部には影響を与えずに、不具合がある張り合わせ部のみ補修することができる。また、ガラス用半田30-1~30-3として、相互に融点が異なる材料を使用することが好ましい。即ち、図1に示す工程で、最初に加熱されるガラス用半田30-1が、最も融点が高く、次に加熱されるガラス用半田30-2が融点がガラス用半田30-1よりも低く、更に、最後に加熱されるガラス用半田30-3が融点が最も低いものとすることが好ましい。こうすることにより、例えば、単位マイクロレンズアレイ20-2と単位マイクロレンズアレイ20-3との間の貼り合わせで、位置合わせ又はギャップ調整に不具合があった場合、単位マイクロレンズアレイ20-2と単位マイクロレンズアレイ20-3とを接合しているガラス用半田31-2ガラス用半田30-2を溶融一体化したものを加熱して溶融させ、単位マイクロレンズアレイ20-2と単位マイクロレンズアレイ20-3とを分離する必要があるが、このとき、ガラス用半田30-2の方が融点が低いので、ガラス用半田31-2の加熱に際し、既に接合されているガラス用半田31-1に熱が印加されても、このガラス用半田31-1を溶融させてしまうことがない。よって、不具合がない接合部については、再溶融させてしまうことがなく、不具合がある接合部のみ補修することができる。本発明は、上記実施形態に限定されないことは勿論である。ガラス用半田は、単位マイクロレンズアレイの幅方向に離隔する2側面に設ける場合に限らず、4辺の全側面に設けてもよい。また、補修時のことを考慮すると、上下に隣接する単位マイクロレンズアレイ同士は、一側面において、2カ所で接合されていれば強度上十分である。一側面につき1カ所であると、単位マイクロレンズアレイ間の平行度を出しにくい可能性がある。"