磁場強度に応じて光の偏光面方位を変化させる媒体を内部に収容したセルと、前記媒体と相互作用する光を出射する光源と、前記光源から出射された光を、第1ビームおよび前記第1ビームと非平行な第2ビームとして前記セルに入射させる光学系と、前記セルを透過した前記第1ビームの偏光面の方位を検出する第1検出器と、前記セルを透過した前記第2ビームの偏光面の方位を検出する第2検出器とを有する磁場測定装置。複数の前記セルが平面的に配置されたセルアレイを有し、前記セルアレイは、第1平板と、前記第1平板と対向する第2平板と、前記第1平板および前記第2平板によって挟まれたスペーサーとを有し、前記セルは、前記第1平板、前記第2平板、および前記スペーサーによって仕切られることを特徴とする請求項1に記載の磁場測定装置。前記第1平板は、前記光を透過する領域を有し、前記第1ビームおよび前記第2ビームは、前記領域を介して前記セルに入射されることを特徴とする請求項2に記載の磁場測定装置。前記光学系は、前記セルアレイに面する第1面と、前記第1面に対向する第2面とで前記第1ビームおよび前期第2ビームを反射させて伝播させるアレイイルミネーターを有し、前記アレイイルミネーターの第1面には、光分岐手段が設けられ、前記光分岐手段は、前記第1面に入射する光の一部を透過させることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の磁場測定装置。第1平板と、前記第1平板と対向する第2平板と、前記第1平板および前記第2平板によって挟まれたスペーサーとを有し、前記第1平板、前記第2平板、および前記スペーサーによって仕切られるセルが複数形成されていることを特徴とするセルアレイ。特許文献1に記載の技術においては、複数の軸成分の磁場を測定するため、複数の磁気検出素子を異なる角度で配置する等、複雑な構成が必要であった。これに対し本発明は、より簡単な構成で複数の軸成分の磁場を測定する技術を提供する。本発明は、磁場強度に応じて光の偏光面方位を変化させる媒体を内部に収容したセルと、前記媒体と相互作用する光を出射する光源と、前記光源から出射された光を、第1ビームおよび前記第1ビームと非平行な第2ビームとして前記セルに入射させる光学系と、前記セルを透過した前記第1ビームの偏光面の方位を検出する第1検出器と、前記セルを透過した前記第2ビームの偏光面の方位を検出する第2検出器とを有する磁場測定装置を提供する。この磁場測定装置によれば、複数の磁気検出素子を異なる角度で配置した装置と比較して簡単な構成で、複数の軸成分の磁場を測定することができる。好ましい態様において、この磁場測定装置は、複数の前記セルが平面的に配置されたセルアレイを有し、前記セルアレイは、第1平板と、前記第1平板と対向する第2平板と、前記第1平板および前記第2平板によって挟またスペーサーとを有し、前記セルは、前記第1平板、前記第2平板、および前記スペーサーによって仕切られてもよい。この磁場測定装置によれば、複数の軸成分の磁場を測定する装置を、複数の磁気検出素子を異なる角度で配置する場合よりも簡単な工程で製造することができる。別の好ましい態様において、前記第1平板は、前記光を透過する領域を有し、前記第1ビームおよび前記第2ビームは、前記領域を介して前記セルに入射されてもよい。この磁場測定装置によれば、別個の部材を介して光が入射する構成と比較して、セルの特性をより均一にすることができる。さらに別の好ましい態様において、前記光学系は、上面と下面で前記第1ビームおよび前記第2ビームを反射させて伝播させるアレイイルミネーターを有し、前記アレイイルミネーターの上面には、光分岐手段が設けられ、前記光分岐手段は、前記上面に入射する光の一部を透過させてもよい。この磁場測定装置によれば、一の光源から出力された光を複数のセルに入射させることができる。また、本発明は、第1平板と、前記第1平板と対向する第2平板と、前記第1平板および前記第2平板によって挟まれたスペーサーとを有し、前記第1平板、前記第2平板、および前記スペーサーによって仕切られるセルが複数形成されていることを特徴とするセルアレイを提供する。このセルアレイによれば、複数の磁気検出素子を異なる角度で配置した装置と比較して簡単な構成で、複数の軸成分の磁場を測定することができる。図1は、一実施形態に係る磁気測定装置1の構成を示す図である。磁気測定装置1は、アレイセンサー10と、信号処理器20と、光源30と、光源40とを有する。磁気測定装置1は、例えば心磁計であり、生体の心臓の状態を磁気により観測する装置である。磁気測定装置1は、光ポンピング式磁気センサーである。詳細は後述するが、磁場の測定は、光源30から出力される光第1ビームの一例と光源40から出力される光第2ビームの一例を用いて行われる。光源30および光源40は、例えばチューナブルレーザーである。チューナブルレーザーは、後述するセル内に封入されたアルカリ金属原子と相互作用するレーザービームを出力する。このレーザービームは、アルカリ金属原子がセシウムの場合、例えばセシウムのD1吸収線に相当する894nmの波長を有する。レーザービームは、連続的に一定の光量を有するいわゆるCWContinuousWave光である。レーザービームの出力は、セルに入射するビームの光量が数十μWのオーダーになるように調整される。図2は、アレイセンサー10の断面構造を示す模式図である。アレイセンサー10は、アレイイルミネーター11と、セルアレイ12と、検出部13と、検出部14とを有する。説明のため、座標軸を以下のように定義する。図中右向きにx軸を、紙面に垂直で読者から紙面に向かう向きにy軸を、図中上向きにz軸をとる。z軸正方向および負方向を上および下という。x軸正方向および負方向を右および左という。アレイイルミネーター11は、光源30から入射された第1ビームおよび光源40から入射された第2ビームを繰り返し反射させてビームを分岐し、1次元に広がるビームアレイを形成する光学系部材である。アレイイルミネーター11は、回折格子111と、光カプラー112と、導光体113とを有する。光源30から出力された第1ビームは、光ファイバー等の伝送手段によりアレイイルミネーター11に導かれ、光カプラー112を介して光結合される。アレイイルミネーター11に導かれた光は、回折格子111および導光体113の下面で繰り返し反射されることにより分岐したビーム光束となり、1次元的に広がるビームアレイとなる。透過面における偏光面の回転や楕円化を防ぐため、レーザービームの偏光面は入射面と垂直または平行に設定される。第2ビームについても同様である。なお、図2は1列のセルしか示されていないが、複数のセルに対しても、ビームスプリッターまたはミラー等の光学系を用いてビームが入射される。セルアレイ12は、複数のセルを有する。セルアレイ12は、下板121と、上板122と、隔壁123スペーサーとを有する。下板121および上板122は複数のセルに共通であり、単一のセルの下面または上面よりも大きな平板である。隔壁123は下板121および上板122に挟まれている。図2はxz平面での断面なので図面には現れていないが、xy平面に平行な方向にも隔壁が設けられている。下板121、上板122、隔壁123、および図2には示されてない隔壁により、セル125が形成される。複数のセル125は、z軸座標が一定の面において、x軸方向およびy軸方向に沿ってマトリクス状に配置されている。図2の例では、x軸方向に8個のセル125が並べられている。セルアレイ12の上部には、検出部13および検出部14が設けられている。まとめると、セルアレイ12は、第1平板下板121と、第1平板と対向する第2平板上板122と、第1平板および第2平板によって挟まれたスペーサー隔壁123および隔壁124とを有する。セルアレイにおいては、第1平板、第2平板、およびスペーサーによって仕切られるセルセル125が複数形成されている。図3は、セルアレイ12のIII-III断面を示す模式図である。y軸に平行な隔壁123と、x軸に平行な隔壁124とにより、セル125がマトリクス状に配置されている。図3の例では、セルアレイ12は、8×8個のセル125を有する。なお、図2は、図3のII-II断面を示す図である。下板121および上板122は、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、またはプラスチック等の、光を透過する材料で形成される。隔壁123および隔壁124は、セラミックス等、不透明な材料で形成される。不透明な材料で隔壁を形成するのは、隣接するセルへの光学的なクロストークを防止するためである。しかし、隔壁123および隔壁124は、下板121および上板122と同様の透明な材料で形成されてもよい。下板121、上板122、隔壁123、および隔壁124は、低融点ガラス、光学接着、または溶着により、セルアレイ12と外部との気密性が保たれた状態で接合される。下板121、上板122、隔壁123、および隔壁124で形成されるセル内部空間には、気体の状態のアルカリ金属原子カリウムK、ルビジウムRb、またはセシウムCs等が封入されている。アルカリ金属原子は、入射光の偏光方向に応じてスピン偏極し、磁化された状態アライメントが形成された状態になる。入射光によりアライメントを形成させることを光ポンピングするという。光ポンピングにより形成された磁化ベクトルは、磁場の測定軸の成分に応じた角周波数で歳差運動する。ここでは、入射光の進行方向が測定軸の向きである。磁化ベクトルは、歳差運動の緩和作用とのバランスで測定軸に直交する軸に対して定常的に傾いている。この傾きにより、磁化ベクトルは、直交軸方向の成分を有する。入射光がセル125を通過するとき、ファラデー効果によってその偏光面が回転する。偏光面の回転角は、測定軸方向の磁場の強さに比例する。図4は、セル125の構造の詳細を示す模式図である。図4は、図2を拡大したものである。アレイイルミネーター11において、図中左から入射する光をビームB1といい、図中右から入射する光をビームB2という。ビームB1は左から入射し、アレイイルミネーター11の上面に設けられた回折格子111に達する。回折格子111は、入射した光の一部を反射させ、一部を透過させる。回折格子111により反射されたビームB1は、アレイイルミネーター11の下面で反射し、再び回折格子111に達する。こうして、ビームB1の一部は、回折格子111とアレイイルミネーター11の下面との間で反射を繰り返し、右に伝搬する。回折格子111を透過したビームB1は、下板121を介してセル125に入射する。セル125を透過しているビームB1は、セル125に封入されているアルカリ金属原子を励起ポンピングし、磁化させる。さらに、セル125を透過しているビームB1は、ビームB1の進行方向成分の磁場により偏光面が回転する。ビームB1は、上板122からセル125を抜け、検出部13に入射する。検出部13は、ビームスプリッター131と、2分割PDPhotoDetector、光検出器132とを有する。ビームスプリッター131は、反射透過面を有する。ビームスプリッター131は、反射透過面に入射した光のうち、ある偏光成分第1偏光成分を反射し、それと直交する偏光成分第2偏光成分を透過する。すなわち、ビームスプリッター131は、入射したビームB1セルを透過したビームB1を、直交する2つの偏光成分に分離する。ビームスプリッター131は、反射透過面が、セルに入射する前のビームB1の偏光面と45°で交わるように設置される。2分割PD132は、レーザービームB1の波長に感度を有する。2分割PD132は、第1偏光成分および第2偏光成分のそれぞれの光量に応じた電流光電流を出力する。第1偏光成分および第2偏光成分の光電流の差をとることにより、第1測定軸における磁場に関する情報を得ることができる。第1測定軸は、ビームB1の進行方向を向いている。2分割PD132には、反射防止膜が形成されている。また、不要な磁場を発生しないため、2分割PD132は、非磁性材料で形成される。ビームB2は右から入射し、アレイイルミネーター11の上面に設けられた回折格子111に達する。回折格子111は、入射した光の一部を反射させ、一部を透過させる。回折格子111により反射されたビームB2は、アレイイルミネーター11の下面で反射し、再び回折格子111に達する。こうして、ビームB2の一部は、回折格子111とアレイイルミネーター11の下面との間で反射を繰り返し、左に伝搬する。回折格子111を透過したビームB2は、下板121を介してセルに入射する。セルを透過しているビームB2は、セルに封入されているアルカリ金属原子を励起し、磁化させる。さらに、セルを透過しているビームB2は、ビームB2の進行方向成分の磁場により偏光面が回転する。ビームB2は、上板122をからセルを抜け、検出部14に入射する。検出部14は、ビームスプリッター141と、2分割PD142とを有する。ビームスプリッター141および2分割PD142の構成は、ビームスプリッター131および2分割PD132と同様である。アレイイルミネーター11からセルに入射するビームB1とビームB2とは、平行ではなく、角θをなすθ≠0。検出部14は、第2測定軸における磁場に関する情報を得ることができる。第2測定軸は、ビームB2の進行方向を向いている。まとめると、磁場測定装置1は、磁場強度に応じて光の偏光面方位を変化させる媒体アルカリ金属原子を内部に収容したセルセル125と、媒体と相互作用する光を出射する光源光源30および光源40と、光源から出射された光を、第1ビームビームB1および第1ビームと非平行な第2ビーム第2ビームB2としてセルに入射させる光学系アレイイルミネーター11と、セルを透過した第1ビームの偏光面の方位を検出する第1検出器2分割PD132と、セルを透過した第2ビームの偏光面の方位を検出する第2検出器2分割PD142とを有する。さらに、磁場測定装置1は、複数のセルセル125が平面的に配置されたセルアレイセルアレイ12を有する。このセルアレイは、第1平板下板121と、第1平板と対向する第2平板上板122と、前記第1平板および前記第2平板によって挟まれたスペーサー隔壁123および隔壁124とを有する。セルは、第1平板、第2平板、およびスペーサーによって仕切られている。第1平板は、光を透過する領域を有する。第1ビームおよび第2ビームは、その領域を介してセルに入射される。光学系は、セルアレイに面する第1面と、第1面に対向する第2面とでビームを反射させて伝播させるアレイイルミネーターアレイイルミネーター11を有する。アレイイルミネーターの第1面には、光分岐手段回折格子111が設けられている。光分岐手段は、第1面に入射する光の一部を透過させる。再び図1を参照する。信号処理器20は、処理部21と、表示部22とを有する。処理部21は、プロセッサーおよびメモリーを有する。処理部21は、同軸ケーブルを介して入力された信号を用いて、各セルについて第1測定軸および第2測定軸の磁場の強さを算出する。表示部22は、CRTCathodeRayTubeまたはLCD等の表示装置を有する。表示部22は、算出された磁場の強さを示す文字または画像を表示する。磁気測定装置1は、上記の構成により生体の磁場を測定する。磁場の測定は概ね以下のとおり行われる。測定に先立ち、光源30および光源40の電源はオンされている。図示しないスイッチ等により磁場の測定が指示されると、信号処理器20は、アレイセンサー10から出力された信号を用いて磁場を測定し、測定結果を表示する。磁気測定装置1によれば、複数の磁気検出素子を異なる角度で配置する構成と比較して、簡単な構成で複数の軸方向成分の磁場を測定することができる。本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。以下、変形例をいくつか説明する。以下の変形例のうち2つ以上のものが組み合わせて用いられてもよい。セルに入射するビームの数は2つに限定されない。3つ以上のビームがセルに入射してもよい。これらのビームが同一平面上になければ、3つの測定軸成分の磁場の測定結果を用いて、直交する3軸成分の磁場を計算することが可能である。ビームB1の光源とビームB2の光源とは同一であってもよい。実施形態においては、光源30がビームB1を出力し、光源40がビームB2を出力する例を説明した。しかし、単一の光源から出力されたレーザービームを、ビームスプリッターおよびミラー等の光学系を介して分岐させて、ビームB1およびビームB2を形成してもよい。別の例で、光源の数は2つより多くてもよい。例えば、セル1列毎に別個の光源が設けられてもよい。アレイイルミネーター11においてビームアレイを形成する光学系光分岐手段は、回折格子111に限定されない。ビームを分岐させるように構成された誘電体多層膜または金属反射膜が、光分岐手段として用いられてもよい。この光学系は、直進するレーザービームをクランク状に折り曲げつつ分岐させ、一定の方向実施形態ではz軸方向に揃えられた複数のビームとして出力するものであればどのような構成のものが用いられてもよい。また、実施形態ではビームB1とビームB2とが同一のアレイイルミネーターの中を伝搬する例を説明したが、ビームB1とビームB2のそれぞれに対して別個のアレイイルミネーターが設けられてもよい。光ポンピングにより形成されたアライメントの緩和時間を長くするため、セルには、アルカリ金属のガスに加え、ヘリウムHeあるいはアルゴンAr等の希ガス、または窒素N等の非磁性のガスがバッファーガスとして封入されてもよい。あるいは、セルの内壁をパラフィン等の非緩和物質緩和時間を長くさせる物質でコーティングしてもよい。また、アルカリ金属原子は、必ずしも常時ガス化している必要はなく、磁場を測定するときにガス化すればよい。例えば、測定をしないときは固体で、測定の時に加熱することによりガス化させる構成が用いられてもよい。さらに、セルにおいて磁性媒体としてもちいられるガスはアルカリ金属に限定されない。ポンプ光によりスピン偏極するものであれば、どのような原子が用いられてもよい。セルアレイ12におけるセルの配置は、2次元配置に限定されない。セルが1次元的に、すなわち直線上に配置された構成が用いられてもよい。また、上述の実施形態において、隔壁123および隔壁124は別の部材でありこれらを接合する例を説明したが、隔壁123および隔壁124を一体として形成して用いてもよい。すなわち、セルアレイは、網状に穴の開いた板を2枚の平板で挟んだ構成を有していてもよい。別の例で、セルの形状は立方体に限定されない。内部空間が存在するものであれば、どのような形状を有していてもよい。