外周に枠部を備えるとともに片面に基板が接着されている支持膜を保持する保持装置であって、上記支持膜を介して上記基板を保持し、上記基板の面方向に垂直な直線を回転軸として回転可能な保持部と、上記保持部に設けられ、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部よりも外側に位置し、上記保持部を回転させることによって生じる遠心力により上記枠部を把持する振り子を備えた把持部と、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部よりも外側の位置から上記基板の面方向とは異なる方向に突出するように設けられた保護部と、を備えていることを特徴とする保持装置。上記保護部を4つ以上備え、それぞれ等間隔に設けたことを特徴とする請求項1に記載の保持装置。上記保護部は、上記保持部において、上記基板が保持されたときに上記枠部に設けられた直線状の切り取り部に対応する位置に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の保持装置。上記保護部は、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部から0.2~5mm離れた位置に設けられていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の保持装置。上記保護部は、金属又は樹脂材料により形成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の保持装置。上記保護部は、柱形状であることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の保持装置。上記保持部は、上記基板を上記支持膜が接着されている側の面から吸引する吸引部を備えていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の保持装置。溶剤を用いてウェハを洗浄する際に、ダイシングテープとダイシングフレームとの界面に溶剤が浸入すると、ダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性が低下する。このように、ダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性が低下した状態でウェハをスピンさせると、回転時の遠心力によりダイシングテープからダイシングフレームが離脱する可能性がある。特許文献1~3には、溶剤の浸入によるダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性の低下については記載されておらず、また、その解決に資する技術も開示されていない。したがって、ダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性が低下した状態でウェハをスピンさせると、ダイシングテープからダイシングフレームが離脱する可能性がある。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ウェハをスピンさせる際の、ダイシングテープからのダイシングフレームの離脱を防ぐことが可能な保持装置を提供することにある。上記の課題を解決するために、本発明に係る保持装置は、外周に枠部を備えるとともに片面に基板が接着されている支持膜を保持する保持装置であって、上記支持膜を介して上記基板を保持し、上記基板の面方向に垂直な直線を回転軸として回転可能な保持部と、上記保持部に設けられ、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部よりも外側に位置し、上記保持部を回転させることによって生じる遠心力により上記枠部を把持する振り子を備えた把持部と、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部よりも外側の位置から上記基板の面方向とは異なる方向に突出するように設けられた保護部とを備えている。本発明によれば、ダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性が低下していても、ウェハをスピンさせる際の、ダイシングテープからのダイシングフレームの離脱を防ぐことができるという効果を奏する。以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。保持装置10本発明に係る保持装置の一実施形態について、図1~4を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分上面図であり、図2は、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分断面図である。図3は、ウェハをスピンさせた状態における、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分上面図であり、図4は、ウェハをスピンさせた状態における、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分断面図である。図2は、保持装置10を図1に示すA-A’線において切断した断面図であり、図4は、保持装置10を図3に示すB-B’線において切断した断面図である。保持装置10は、保持台保持部13、振り子11、及びガードピン保護部12を備えており、外周にダイシングフレーム枠部22を備えるとともに片面にウェハ基板図示せずが接着されているダイシングテープ支持膜21を保持するものである。保持台13は、図2に示すように、ダイシングテープ21を介してウェハ20を保持する。そして、保持台13は、ウェハ20の面方向に垂直な直線を回転軸として回転可能になっている。保持台13は、回転駆動部を備えていてもよい。また、保持台13は、ダイシングテープ21を吸着することによって、ウェハ20を保持する吸引部14を備えていてもよい。保持台13のウェハ20を載せる面は円形状であることが好ましい。吸引部14は、ウェハ20をダイシングテープ21が接着されている側の面から吸引する。吸引機構としては従来公知の吸引機構が設けられていればよい。例えば、吸着面上の気体を吸引するための吸引孔図示せずが設けられていてもよい。そして、この吸引孔は、真空ポンプなどの減圧手段に接続されており、ウェハ20を配置し、吸引手段を作動させることで、ウェハ20と吸着面との間が減圧された状態になり、これによって吸着することができる。吸引孔は、板状部材の所定の位置に孔を形成することで設けることができ、例えば、吸引孔はプレートを貫通する貫通孔であってもよい。また、ポーラスな材質を用いて形成してもよい。ポーラスな材質としては、たとえば、ポリプロピレン、カーボン、アルミニウム、セラミック等を例示することができる。これにより、ウェハ20を保持台13上に固定することができる。なお、吸引部14のウェハ20を載せる面は円形状であることが好ましい。ダイシングテープ21は、ウェハの保持台13側の面に接着剤を介して貼り付けられている。ウェハ20のダイシングテープ21が貼り付けられた面に背向する面には、サポートプレート24が貼り付けられている。例えば、本実施形態では、まず、ウェハ20は薄化プロセスに供される。具体的には、ウェハ20の片面に接着剤を塗布して接着剤層23を形成した上でサポートプレート24が接着される。そして、サポートプレート24が接着された面とは反対側の面を研磨してウェハ20は薄化される。なお、サポートプレート24は、ウェハ20を薄化する工程で支持する役割を果たす部材である。サポートプレート24は、例えば、その膜厚が、500~1000μmであるガラスで形成されている。次に、ウェハ20のサポートプレート24が接着された面とは反対側の面にダイシングテープ21が接着されて保持台13上に載せられる。ダイシングテープ21は、外周にダイシングフレーム22を備えている。ダイシングテープ21としては、ベースフィルムが、PVCポリ塩化ビニルやポリオレフィン、ポリプロピレン等の樹脂フィルムが用いられる。また、ダイシングテープ21は、サポートプレート24を外した後におけるウェハ20の強度を補填し、取り扱いを容易にする役割を果たす。次に、サポートプレート24上から溶剤を供給することで、接着剤層23を構成する接着剤を溶解して当該接着剤層23を除去し、サポートプレート24を取り外すことができる。なお、サポートプレート24は面方向に垂直な貫通孔が形成されており、上面から供給される溶剤が接着剤層23に到達するようになっている。また、このとき、ウェハ20上には接着剤は完全には除去されず残存することになる。なお、保持台13上にはサポートプレート24を除去した後に載せてもよい。サポートプレート24を剥離した後、ウェハ20上に残存する接着剤を除去するために、ウェハ20を保持する保持台13を回転させながら、ウェハ20に溶剤を供給する。保持装置10を回転させると、その遠心力により振り子11がダイシングフレーム22方向に傾き、振り子11の上側がダイシングフレーム22を把持する。保持台13が備えていてもよい回転駆動部は、保持台13に載せられているウェハ20を保持台13と共に回転させるためのものである。回転駆動部は、ウェハ20の面方向に垂直な直線を回転軸としてウェハ20を回転させるように構成されている。ウェハ20は、その中心が上記回転軸上になるように保持台13上に載せられる。これにより、保持装置10はウェハ20を回転させることができる。回転駆動部によるウェハ20の回転数は、用途等に応じて適宜設定すればよく、例えば、500min-1以上、3000min-1以下としてもよい。振り子11は、保持台13の外周に設けられており、保持台13においてウェハを保持したとき、ダイシングフレーム22よりも外側に位置する。そして、図3及び4に示すように、保持台13を回転させることによって生じる遠心力により、振り子11はダイシングフレーム22側に傾斜して、ダイシングフレーム22を、振り子11の上側と保持台13との間に挟みこむように把持する。振り子11は、ダイシングフレーム22の把持部として機能する。振り子11は、軸支部11aにより軸支されている。そして、振り子11は、軸支部11aよりも下側保持台13を中心としてウェハ20が保持されている側の反対側が、軸支部11aよりも上側保持台13を中心としてウェハ20が保持されている側よりも重量が重くなっており、軸支部11aを中心として回転可能になっている。また、軸支部11aは、振り子11において保持台13のウェハ20ダイシングテープ21載置面に沿った方向の位置が、中心よりも保持台13側になっている。これにより、図4の矢印に示すように、保持台13の回転により生じる遠心力によって、振り子11の軸支部11aよりも上側がダイシングフレーム22側内側に傾斜し、振り子11の軸支部11aよりも下側がダイシングフレーム22の反対側外側に傾斜する。振り子11は、ダイシングフレーム22を把持してウェハ20を確実に保持台13上に保持するために、少なくとも4つ設けられていることが好ましく、それぞれの振り子11が、ダイシングフレーム22の外周において等間隔に設けられていることがより好ましい。このように、保持台13を回転させるとき、振り子11によりダイシングフレーム22を把持するが、このとき、ウェハ20に供給された溶剤がダイシングテープ21とダイシングフレーム22との界面に浸入し、ダイシングテープ21とダイシングフレーム22との粘着性を低下させることがある。そして、ダイシングテープ21とダイシングフレーム22との粘着性が低下した状態で、保持装置10を回転させると、ダイシングテープ21からダイシングフレーム22が離脱するおそれがある。これを防ぐために、保持装置10は、ガードピン12を備えている。ガードピン12は、保持台13においてウェハ20を保持したときに、ダイシングフレーム22よりも外側の位置からウェハ20の面に沿った面方向とは異なる方向に突出するように設けられている。すなわち、ガードピン12は、保持台13のウェハ20載置面ダイシングテープ21載置面に垂直な方向に突出するように設けられていてもよい。ガードピン12が設けられていることによって、ダイシングテープ21とダイシングフレーム22との粘着性が低下した状態で保持装置10を回転させたとしても、ダイシングフレーム22はガードピン12に接触し、ダイシングテープ21からダイシングフレーム22が離脱しない。ガードピン12は、どの位置からのダイシングフレーム22の離脱をも防げるように、少なくとも4つ設けられていることが好ましく、それぞれのガードピン12が、ダイシングフレーム22の外周において等間隔に設けられていることがより好ましい。ガードピン12は、保持台13にウェハ20が保持されたときに、ダイシングフレーム22に設けられた直線状に切り取られた部分に対応する位置、すなわち、切り取り部に向き合う位置に設けられていることが好ましい。ダイシングフレーム22には、図5に示すように、ダイシングフレーム22の外周の一部が直線状に切り取られた切り取り部22a~22dが設けられている。図5は、ダイシングフレームの一例を示す図である。すなわち、ガードピン12は、ダイシングフレーム22の湾曲した部分ではなく、直線の切り取り部22a~22dに対応する位置に設けられていればよい。これにより、ダイシングテープ21とダイシングフレーム22との粘着性が低下した状態で保持装置10を回転させたとしても、ダイシングフレーム22とガードピン12とが好適に接触し、ダイシングテープ21からのダイシングフレーム22の離脱を防ぐことができる。また、ガードピン12と振り子11とは、隣接して設けられていることが好ましい。さらに、図1及び3に示すように、ガードピン12が設けられている台から延びる軸を振り子11の軸支部11aとして振り子11を設けていてもよい。このように、ガードピン12と振り子11とを一体形成することによって、装置の構成が単純になり、装置の製造及び組み立てが容易になる。また、ガードピン12は、図1及び3に示すように、2つのガードピン12で振り子11を挟むように設けられていてもよい。ガードピン12は、保持台13においてウェハを保持したとき、ダイシングフレーム22から0.2~5mm離れた位置に設けられていることが好ましい。これにより、ダイシングフレーム22がダイシングテープ21に接着しているときには、ガードピン12はダイシングフレーム22には接触しないが、ダイシングテープ21とダイシングフレーム22との粘着性が低下した状態で保持装置10を回転させたときに、ガードピン12がダイシングフレーム22に接触し、ダイシングテープ21からのダイシングフレーム22の離脱をより確実に防ぐことができる。また、ガードピン12は、金属又は樹脂材料により形成されていることが好ましい。ガードピン12を形成する金属材料としては、例えば、アルミニウム、ステンレススチール、チタン等が挙げられる。ガードピン12を形成する樹脂材料としては、例えば、ポリオキシメチレンPOM、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体PFA、ポリプロピレンPP、ポリエチレンPE、ポリフェニレンサルファイドPPS、ポリエーテルエーテルケトンPEEKが挙げられる。このような材料によりガードピン12を形成することによって、ダイシングテープ21からのダイシングフレーム22の離脱を防止するのに必要な剛性を付与することができ、かつ軽量であるため装置の重量化を防ぐことができる。ガードピン12は、先端部が細くなっている円柱状等の柱形状であることが好ましいものの、その形状は特に限定されない。また、ガードピン12の高さは、特に限定されないが、ダイシングフレーム22の厚さ以上であればよく、例えばダイシングフレーム22の上面から0.5~5mmの高さであり得る。また、ガードピン12の径は、必要な剛性が得られる径であれば特に限定されない。