"-駆動装置103,109と、-少なくとも1つのコリオリ素子113と、-少なくとも2つの検出素子119を有する検出装置とを有する回転速度センサ101において、当該の検出装置は、結合装置121,121a,121b,123によって互い結合されており、-前記の駆動装置103,109は、コリオリ素子113を駆動して振動させるため、当該のこのコリオリ素子113に接続されており、前記の回転速度センサはさらに、-前記の検出装置およびコリオリ素子113に接続された別の結合装置127を有しており、当該の結合装置により、前記のコリオリ素子113の振動面にて当該の振動に直交する方向の偏位が、前記の検出装置に結合されることを特徴とする回転速度センサ101。2つのコリオリ素子113が構成されている、請求項1に記載の回転速度センサ101。前記の結合装置121,121a,121b,123には少なくとも1つのダブルシーソ121が含まれている、請求項1または2に記載の回転速度センサ。前記の少なくとも1つのダブルシーソ121は、少なくとも1つの結合バー123によって2つの検出素子119に接続されている、請求項3に記載の回転速度センサ。前記の2つのコリオリ素子113および少なくとも2つの検出素子119は一体形に構成されている、請求項2から4までのいずれか1項に記載の回転速度センサのうち、請求項2を引用する回転速度センサ。前記の2つのコリオリ素子113が互いに結合されている、請求項2から5までのいずれか1項に記載の回転速度センサのうち、請求項2を引用する回転速度センサ。前記の駆動装置103,109は、2つの駆動手段103を有しており、該駆動手段は1つコリオリ素子113にそれぞれ接続されている、請求項2から6までのいずれか1項に記載の回転速度センサのうち、請求項2を引用する回転速度センサ。前記の2つの駆動手段103が互いに結合されている、請求項7に記載の回転速度センサ101。前記の2つの駆動手段103は、前記のコリオリ素子113を少なくとも部分的に包囲するガイドフレーム131によって互い結合されている、請求項8に記載の回転速度センサ101。前記のガイドフレーム131は、少なくとも2ピース式に構成されており、当該のガイドフレームの少なくとも2つのピースが互いに結合されている、請求項9に記載の回転速度センサ。前記のコリオリ素子113は、少なくとも1つの別の電極141を有する、請求項1から10までのいずれか1項に記載の回転速度センサ。本発明の課題は、回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消し、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避することである。この課題は、本発明の請求項1により、回転速度センサにおいて、この回転速度センサが、駆動装置と、少なくとも1つのコリオリ素子と、少なくとも2つの検出素子を備えた検出装置とを有しており、この検出装置は、結合装置によって互い結合されており、上記の駆動装置が、コリオリ素子を駆動して振動させるため、このコリオリ素子に接続されており、上記の回転速度センサはさらに、上記の検出装置およびコリオリ素子に接続された別の結合装置を有しており、この結合装置により、上記のコリオリ素子の振動面においてこの振動に直交する方向の偏位が、上記の検出装置に結合されることを特徴とする回転速度センサを構成するによって解決される。本発明に含まれるアイデアは、駆動装置と、少なくとも1つのコリオリ素子と、少なくとも2つの検出素子を備えた検出装置とを有する回転速度センサを提供することである。上記の回転速度センサは、例えばマイクロメカニカル回転速度センサとすることが可能である。上記のコリオリ素子には、例えば振動可能な質量体が含まれる。コリオリ素子は、コリオリ振動子と称することも可能である。有利には複数のコリオリ素子を設けることもでき、殊に2つのコリオリ素子が構成される。さらに上記の駆動装置はコリオリ素子に接続されてこのコリオリ素子を振動させる。複数のコリオリ素子、例えば2つのコリオリ素子が構成される場合、上記の駆動装置は、これらの複数のコリオリ素子が逆向きに振動するようにコリオリ素子に接続される。例えば、2つのコリオリ素子の場合、これらの2つのコリオリ素子は、逆平行で同一直線上にある駆動振動を行う。さらに本発明によれば、上記の回転速度センサにはさらに結合装置が含まれており、この結合装置より、上記の少なくとも2つの検出素子が互いに結合される。さらに上記の回転速度センサには、検出装置およびコリオリ素子に接続された結合装置が含まれている。この結合装置により、振動面において駆動振動に直交する方向に発生するコリオリ素子の偏位が上記の検出装置に結合される。これにより、コリオリ素子が相応に偏位した場合、上記の少なくとも2つの検出素子も同様に偏位する。上記の検出装置には有利には1つまたは複数の検出電極が含まれており、これらの検出電極は、例えば少なくとも2つ検出素子に接続されているため、検出素子の偏位によって検出電極の偏位も発生する。この偏位は、例えば検出装置に対して相対的に位置固定に配置された電極によって容量式に検出することができる。ここでは位置固定に配置された複数の電極を設けることも可能である。この容量式の検出は、例えば評価電子装置によって回転速度に換算することができる。上記の位置固定に配置された電極は、対向電極とも称することが可能である。上記の1つまたは複数の対向電極に対する検出素子の偏位は、偏位差分と称することも可能である。以下では、例えば2つのコリオリ素子を有する本発明の回転速度センサについて説明する。しかしながら本発明はこの例に限定されるものではない。最も簡単なケースでは1つのコリオリ素子で十分である。以下の説明に対し、3つの空間軸、すなわちx軸、y軸およびz軸を以下のように定める。y軸は、上記の2つのコリオリ素子の振動に対して平行である。すなわち、上記の駆動装置よって2つのコリオリ素子が励振されて、y軸に沿った逆平行かつ同一直線上の駆動振動が行われるのである。x軸は、y軸に直交しており、かつ駆動振動の面内にある。z軸は、x軸およびy軸に直交しており、かつ駆動振動の面に対して直交している。すなわちこの回転速度センサが回転して、振動面に対して垂直な成分を有する回転速度が、つまりz軸方向の成分が形成されると、このような回転速度により、力の作用が生じ、この力の作用により、x軸に沿って2つのコリオリ素子の逆平行かつ同一直線上にはない偏位が生じるのである。このような偏位は、検出振動と称することも可能である。上記のコリオリ素子はこの振動に関与し、また別の結合装置によってその運動を検出装置に、殊に少なくとも2つの検出素子に伝達する。有利にはこれらの検出装置を検出振動子と称することも可能である。本発明によれば、上記の少なくとも2つの検出素子は、結合装置によって互いに結合されているため、これらの少なくとも2つの検出素子の平行な振動モードすなわち2つの検出素子は同じ向きないしは同相に振動するは、これらの2つの検出素子の反平行振動モードすなわち2つの検出素子は互いに180°位相がシフトして振動するよりも高い周波数を有する。したがって本発明による回転速度センサでは、障害モード、殊に平行検出モードおよび平行駆動モードが、公知の回転速度センサの場合よりも高い周波数の方にシフトにされるのである。殊に平行検出モードでは、2つのコリオリ素子は、x軸に沿って同じ向きに運動する。殊に平行駆動モードでは、上記の駆動手段およびコリオリ素子は、y軸に沿って同じ向きに運動する。周波数領域において有効モードおよび障害モードがこのように増強されて分離されることにより、障害モードは比較的小さく励振され、ひいては殊に安定した動作が得られるのである。上記の回転速度センサの有利な1実施形態では、上記の結合装置に少なくとも1つのダブルシーソが含まれている。このダブルシーソは、例えば2つのシーソ、結合シーソを含むことができ、これらはそれぞれ少なくとも2つの検出素子に互いに結合される。このダブルシーソは、例えば結合素子と称することが可能である。有利には上記の2つの検出素子に2つのシーソを配置して、これら2つのシーソにより、2つの検出素子が包囲されるように、殊に少なくとも一部分が包囲されるようにする。このようなシーソから構成されるダブルシーソは、2つの検出素子を包囲するダブルシーソと称することも可能である。上記の検出素子ないしは検出振動子が直線的に偏位した際には上記の結合シーソより、回転運動が行われる。これにより、上記の2つの検出素子の逆平行振動モードは、これらの2つの検出素子の平行振動モードよりも低い周波数を有することになる。上記の回転速度センサの例示的な1実施形態において、上記の2つのコリオリ素子は互いに結合される。このような結合は、例えば結合ばねによって行うことができる。すなわち、2つのコリオリ素子は、このような結合ばねによって結合されるのである。例えばこれによって得られる利点は、平行駆動モードと逆平行駆動モードとの間で縮退を解消できるようにすることである。本発明による回転速度センサの別の例示的な1実施形態によれば、駆動装置は、それぞれ1つのコリオリ素子に接続される2つの駆動手段を有する。このような駆動手段は、駆動振動子と称することも可能である。駆動手段は、静電的に駆動を行う駆動コームを有する。例えば、このような駆動コームは、インターデジタル構造を有する。別の例示的な1実施形態では、上記の2つの駆動手段、殊に2つの駆動コームは互いに結合され、有利には結合ばねによって結合される。有利な1実施形態によれば、上記の2つの駆動手段、殊に2つの駆動コームも、2つのコリオリ素子も互いに結合され、例えばばねによって結合され、殊に結合ばね、有利にはトーションばね、曲げばね、U字形ばねまたはS字形ばねが用いられて結合される。上記の回転速度センサのさらに別の有利な1実施形態において、回転速度センサには基板が含まれる。上記の駆動装置と、2つのコリオリ素子と、検出装置とが基板上に配置され、例えば固定される。しかしながらここでは上記の2つのコリオリ素子および検出装置は、これらの2つのコリオリ素子も、検出装置、例えば少なくとも2つの検出素子も共に自由に振動可能であるように基板に配置される。基板を使用することよって得られる利点は殊に、例えば移動電話、携帯形マルチメディア再生装置またはモバイルコンピュータなどの装置にこのような回転速度センサを簡単かつ少ないコストで組み込めることである。しかしながらこれらの装置だけに使用を制限するものではない。回転速度を求めようとするあらゆる装置が考えられる。本発明による回転速度センサの別の例示的な1実施形態において、上記の少なくとも2つの検出素子は、格子形状を有する。有利にはこの格子形状は、複数の検出電極によって構成される。殊にこれらの検出素子には、互いに平行に配置された検出電極が含まれている。以下では図面を参照し、有利な実施形態に基づいて本発明を詳しく説明する。以下、図面において同じ参照符号は同じ素子を示すものとする。図1には、基板102を含む回転速度センサ101が示されている。基板102は、矩形の形状を有する。すなわち、基板102は、矩形の基板である。図示していない別の1実施例において基板102は、正方形の形状を有することも可能である。図示していない別の実施例において、基板102は、三角形または多角形、例えば五角形、六角形または八角形の形状を有することも可能である。ここに図示していない殊に有利な1実施形態において、基板102は、円または楕円の形状を有することも可能である。図示していない別の1実施形態において、回転速度センサ101は、マイクロメカニカル回転速度センサとして構成される。回転速度センサ101はさらに2つの駆動手段103を備えた駆動装置を有する。2つの駆動手段103はそれぞれ基板102の上側領域および下側領域に配置される。ここで駆動手段103は、懸架手段105を介し、基板102の固定手段107に固定される。懸架手段105は、駆動手段103がy軸方向に運動できるようにする。有利には駆動手段103は、懸架手段としてのばねによって固定手段107に懸架される。このばねは有利にはU字形ばねである。駆動手段103にはそれぞれ駆動コーム109が含まれている。駆動コーム109は有利にはインターデジタル構造体として構成されている。駆動コーム109は、有利には静電駆動用に構成される。駆動手段103は、駆動コーム109に対して垂直に配置された1つずつの結合ウェブ111を有しており、この結合ウェブにより、駆動手段103がそれぞれコリオリ素子113に結合される。すなわち、結合ウェブ111により、2つの駆動手段103と、2つのコリオリ素子113とが接続されており、これによってこれらの2つのコリオリ素子113が逆向きに振動するように駆動されるのである。コリオリ素子113は、コリオリ懸架手段117を介して固定手段107に懸架されており、ここで固定手段107は基板102に固定される。コリオリ懸架手段117は、例えばコリオリ素子113がx軸およびy軸の方向に運動できるようにする。コリオリ懸架手段117は有利には、曲げばねとして構成され、殊にメアンダ状曲げばねとして構成される。すなわち、これらの曲げばねは、メアンダ形状を有することができるのである。例えば上記のメアンダのループは、x軸およびy軸に平行である。有利には角張ったメアンダ形状を設けることが可能である。上記のメアンダ状曲げばねは、いわばコーナを曲がるように実施されるのである。矢印114は、例えば半周期中の2つのコリオリ素子113の運動を示している。すなわちここには、2つの駆動手段103により、2つのコリオリ素子113が逆向きの振動で駆動される場合が示されているのである。さらに回転速度センサ101は、2つの検出素子119を含む検出装置を有する。2つの検出素子119は、結合装置によって互いに結合されている。ここに示した実施例において上記の結合装置には、2つの検出素子119を取り囲むダブルシーソ121が含まれており、このダブルシーソは、検出素子119の側方に配置される2つの結合シーソ121aおよび121bから構成されている。2つの結合シーソ121aおよび121bはそれぞれ、2つの結合バー123により、検出素子119に接続される。結合シーソ121aおよび121bは、検出基板固定手段125によって基板に配置され、殊にこれに固定される。2つの検出素子119はさらに別の結合装置によって上記の2つのコリオリ素子113に結合される。ここに示した実施例では、上記の別の結合装置は2つの結合ばね127を有しており、これらのばねより、1つずつのコリオリ素子113が検出素子119に結合される。したがって2つのコリオリ素子113の振動面、すなわちx-y平面において、駆動振動に直交する方向、すなわちx軸方向における偏位が、検出装置に結合されるようにこの検出装置が上記の2つのコリオリ素子113に接続されるのである。すなわちここでは2つのコリオリ素子113がx軸方向に相応に偏位する際、2つの検出素子119も同様に、例えばx軸方向に偏位するのである。検出素子119は、平行に配置された複数の検出電極129を有する。検出電極129は、位置固定に配置された電極図示せずによって両側が包囲されており、これによって検出電極129の偏位を容量式に検出することができる。この場合に、対向電極とも称することも可能な位置固定に配置された電極に対するこの偏位は、図示しない評価電子回路によって回転速度に換算することができる。回転速度センサ101の動作時、駆動手段103は、2つのコリオリ素子113を励振してy軸に沿って、逆平行かつ同一直線上の駆動振動を発生させる。この駆動振動には、駆動コーム109も、2つのコリオリ素子113も共に関与する。検出振動子とも称することの可能な2つの検出素子119を有するこの検出装置は、この駆動振動に関与しない。この駆動振動は、例えば基板102に対する適当なばね懸架部により、また個々の構成部分の間の適当なばねによって得られる。基板102に対して垂直な成分を有する回転速度センサ101の回転速度、すなわちz軸方向の回転速度は、力の作用を及ぼし、ここでこの力の作用は、x軸に沿ったコリオリ素子113の逆平行であるが同一直線上にはない偏位を発生させる。x軸に沿ったこの偏位は、検出振動とも称することもできる。この検出振動には上記の2つのコリオリ素子113が関与し、またその運動を検出装置ないしは検出振動子、すなわち検出素子119に伝達する。駆動コーム109は、検出振動に関与しない。外側にある2つシーソ構造、すなわちダブルシーソ121を用いて2つの検出素子119を本発明のように結合することにより、結合シーソ121aおよび121bは、回転運動を行い、これに対して検出素子119はx軸に沿って直線的に運動する。これにより、上記の逆平行振動モードは、平行振動モードよりも低い周波数を有することになる。位置固定に配置された対向電極に対する偏位の差分は、容量式に検出されて評価電子装置によって回転速度に換算される。この偏位は図1において矢印130によって示されている。2つのコリオリ素子113は、図1に示した実施例において2つのコリオリ結合ばね115によって互いに結合されている。コリオリ結合ばね115により、例えば、平行駆動モードと、逆平行駆動モードとの間での縮退が解消される。コリオリ結合ばね115は単なるオプションである。すなわち回転速度センサ101は、このようなコリオリ結合ばね115を有しないことも可能である。つまり、2つのコリオリ素子113は互い結合されないのである。この点においてこれらの2つのコリオリ素子113は、図示しないこの実施例においてデカップリングされているのである。例示的な1実施形態によれば、2つの駆動手段103、例えば2つの駆動コーム109は、2つのコリオリ素子113の結合に加えてさらに結合されるかまたはこれとは択一的に互いに結合される。有利にはこの結合を1つまたは複数の結合ばねによって実現することができる。この実施例では例えばダブルシーソ121を含む結合装置により、2つの検出素子119を結合するという本発明によるアイデアによって、例えば障害モード、殊に平行検出モードおよび平行駆動モードを、従来公知の回転速度センサの場合よりも高い周波数にシフトできるという利点が得られる。ここでは上記の平行検出モードにおいて2つのコリオリ素子113は、x軸に沿って同じ向きに運動する。上記の平行駆動モードにおいて駆動手段103およびコリオリ素子113は、y軸に沿って同じ向きに運動する。図2には図1の回転速度センサ101において、検出モードにおける運動の概略が示されており、ここでは分かり易くするため、すべての素子には参照符号が付されていない。この検出モードはコリオリ力によって励振される。2つの検出素子119が同じ向きに平行運動することは抑止される。相応する運動は図2において矢印によって示されている。図3には図1の回転速度センサ101が示されており、図3に示した実施例では回転速度センサ101は、ガイドフレーム131を有する。ガイドフレーム131は、コリオリ素子113と、2つの検出素子119を有する検出装置とを取り囲むように構成されている。ガイドフレーム131は、4つの辺133a,133b,133cおよび133dによって構成されており、辺133a,133b,133cおよび133dはそれぞれ直角のコーナ形状を有する。辺133aおよび133dはそれぞれ辺結合ばね134により、相応する辺133cおよび133bに結合される。さらに辺133a,133b,133cおよび133dはそれぞれ別の結合ウェブ111aにより、駆動コーム109に結合されているため、駆動コーム109を駆動運動させた際には相応する辺133a,133b,133cおよび133dも駆動される。辺133a,133b,133cおよび133dは、ガイドフレーム懸架手段135によって基板に懸架されており、ガイドフレーム懸架手段135には、ばねと基板懸架部とが含まれている。この懸架部は、駆動コーム109が駆動運動される際に辺133a,133b,133cおよび133dが、仮想的な支点139を中心とした運動を行えるように配置されている。これらの辺133a,133b,133cおよび133dのこの運動は、曲がった破線の矢印137によって示されている。駆動手段103を互いに結合するガイドフレーム131により、平行駆動モード障害モードと、逆平行駆動モード有効モードとの間における縮退が解消され、障害モードは有効モードよりも強くなる。これは、伝達ばねとも称することの可能な辺結合ばね134の剛性が、同じ向きの負荷曲げと、逆向きの負荷剪断とに対して異なるためである。図4には、図3の回転速度センサ101における駆動モードの概略図が示されており、ここでこの駆動モードは駆動手段103によって励振される。さらにガイドフレーム131の辺133a,133b,133cおよび133dの相応する運動が示されている。分かり易くするため、図2と同様にすべての参照符号を記入してはいない。図5にはガイドフレーム131を有する回転速度センサ101の別の1実施形態が示されている。しかしながらここでは検出素子119およびコリオリ素子113が一体形に構成されている。すなわち、検出素子およびコリオリ素子は1つのユニットを構成しており、いわば2つの素子は同じものであり、ここでこれらの素子は、すなわち検出素子119でもコリオリ素子113でもあり、駆動運動に関与するのである。この実施形態は殊に、極めてコンパクトな構造を有するという利点を有する。図6には、ガイドフレーム131のない実施形態で図5の回転速度センサが示されている。ここでは駆動モードの宿題が、結合ばね素子140によって解消される。ここでこの結合ばね素子は、実際には一体形に構成されているが2つの素子である検出素子119ないしはコリオリ素子113の間に配置されており、これらを結合している。図7には回転速度センサ101の別の例示的な1実施例が示されており、ここではこれまでの実施例に対して付加的に、コリオリ素子113がそれぞれ複数の別の検出電極141を有している。これらの別の検出電極141は有利にはコリオリ素子113の下に配置される。これによって有利にもz軸およびx軸を中心とした回転速度を同時に測定することができる。このような回転速度センサ101は、2チャネル回転速度センサと称することも可能である。x軸を中心とした回転速度が存在する場合、コリオリ力143がコリオリ素子113にz軸方向に作用し、この力を別の複数の電極141によって評価することができる。図8には回転速度センサ101のさらに別の有利な1実施形態が示されている。ここでも図5および6に示した実施例と同様に検出素子119およびコリオリ素子113は一体形に構成されている。すなわちこれらの素子は同じものであり、1つのユニットとして駆動運動に関与するのである。図7に示した実施例と同様に図8の回転速度センサ101は別の複数の検出電極141を有しており、これらの電極は、コリオリ素子113ないしは検出素子119によって包囲されている。ここで例示的に別の2つの検出電極141だけが示されている。有利にはさらに別の複数の検出電極141を設けることも可能である。したがって有利には直交補償および静電正帰還を行うことができる。これらの検出電極141は有利にはコリオリ素子113の下、殊に基板上に配置される。また例えば検出電極141を検出素子119の下および/または回転速度センサ101の別の素子の上、殊に基板102上に配置することも可能である。有利には別の複数の検出電極141は、コリオリ素子113の下に配置される。図8に示した回転速度線101によって可能になるのは、z軸およびx軸を中心とした回転速度を同時に測定することである。x軸を中心とした回転速度が存在する場合、図7と同様にコリオリ力143がコリオリ素子113にz軸方向に作用し、この力を別の複数の電極141によって評価することができる。コリオリ素子を取り囲む結合シーソ121aおよび121bは、x,y平面内における運動時にも、x,y平面以外の運動時にも同じように作用する。x,y平面以外の運動時、ここでも上記の逆平行運動は、平行運動よりも周波数が低いため、殊に障害モードと有効モードとの間の分離が行われる。図8に示した回転速度センサ101も、2チャネル回転速度センサと称することができる。図示していない別の有利な1実施形態によれば、別の複数の検出電極141をカバーに組み込むかまたはカバーに配置することができる。このカバーは有利には基板102に覆うため、回転速度センサケーシングが構成される。このカバーは有利には基板102に接着される。例えば、この回転速度センサケーシングの内部空間は真空状態にされる。すなわち、この内部空間は真空ないしは低圧状態にされるのである。このようなカバーに配置されるかないしは組み込まれる別の複数の電極141は、カバー電極と称することも可能である。低圧状態により、例えば振動および回転する素子、すなわち運動する素子に対する運動抵抗が低減される。これによって有利にも上記の駆動装置に一層低い駆動電圧を加えることができる。"