"先端側に情報の読み書きを行うヘッド部の取付部を有する可撓性のフレキシャと前記取付部を支持する支持部を有するロードビームとを製品外フレーム上で重ね合わせ接合する際に、前記取付部を前記支持部に対して位置決める取付部の位置決め方法であって、前記先端側が前記製品外フレームに結合されたフレキシャを前記ロードビームに重ね合わせて位置決め保持し、前記製品外フレームの塑性変形により前記フレキシャの先端側を撓ませ前記ロードビームの支持部に対する前記フレキシャの取付部の位置調整を行い、前記ロードビームと前記フレキシャとの間を接合して前記取付部の位置調整状態を保持する、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項1記載の取付部の位置決め方法であって、前記製品外フレームは、前記フレキシャの先端側に結合されたフレキシャフレームと前記ロードビームに結合されたビームフレームとからなり、前記フレキシャフレームとビームフレームとは、前記フレキシャとロードビームとの位置決め保持状態で相互に重なる重なり部において接合され、前記取付部の位置調整は、前記フレキシャフレーム及びビームフレームの少なくとも何れか一方の塑性変形によって行われる、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項2記載の取付部の位置決め方法であって、前記フレキシャフレームは、前記フレキシャの延設方向の軸線に対する両側で前記フレキシャの先端側に結合された一対のフレキシャ側アームを備え、前記取付部の位置調整は、少なくとも前記フレキシャ側アームの塑性変形により行われる、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項2記載の取付部の位置決め方法であって、前記フレキシャフレーム及びビームフレームの一方は、前記フレキシャの幅方向に沿って延設されて前記フレキシャフレーム及びビームフレームの他方に端部が重なる幅方向アームを備え、前記幅方向アーム及び前記ビームフレーム間は、前記フレキシャの延設方向に沿って延設された延設方向アームを備え、前記取付部の位置調整は、前記幅方向アーム及び前記延設方向アームの塑性変形により前記幅方向及び前記延設方向での位置調整を各別に行う、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項2記載の取付部の位置決め方法であって、前記フレキシャフレーム及びビームフレームの一方は、波形状に延設されて前記フレキシャフレーム及びビームフレームの他方に端部が重なる波形アームを備え、前記取付部の位置調整は、前記波形アームの塑性変形により行われる、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項2~5の何れかに記載の取付部の位置決め方法であって、前記フレキシャフレーム及びビームフレーム間と前記フレキシャ及びロードビーム間に基準孔を備え、前記位置決め保持は、前記基準孔に対する位置決めピンの挿入によって行われる、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項1~5の何れかに記載の取付部の位置決め方法であって、前記フレキシャとロードビームとの位置決め保持は、位置決め状態で重ね合わされた前記フレキシャとロードビームとの間を、前記接合部分よりも前記フレキシャの先端側から離れた位置で仮接合することで行われる、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項7記載の取付部の位置決め方法であって、前記フレキシャフレームとビームフレームとの接合及び前記フレキシャとロードビームとの仮接合は、レーザー溶接によって同時に行われる、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項1~8の何れかに記載の取付部の位置決め方法であって、前記塑性変形は、レーザー照射によって行われる、ことを特徴とする取付部の位置決め方法。請求項1~9の何れかに記載の取付部の位置決め方法を用いたヘッドサスペンション半製品の製造方法であって、前記フレキシャとロードビームとの接合により前記製品外フレームにヘッドサスペンションが結合されたヘッドサスペンション半製品を製造する、ことを特徴とするヘッドサスペンション半製品の製造方法。請求項10記載のヘッドサスペンション半製品の製造方法によって製造されたことを特徴とするヘッドサスペンション半製品。解決しようとする問題点は、フレキシャ側のヘッド部の取付部とロードビーム側の支持部との位置決め精度の向上に限界があった点である。本発明は、フレキシャ側のヘッド部の取付部とロードビーム側の支持部との位置決め精度の向上させるために、先端側に情報の読み書きを行うヘッド部の取付部を有する可撓性のフレキシャと前記取付部を支持する支持部を有するロードビームとを製品外フレーム上で重ね合わせ接合する際に、前記取付部を前記支持部に対して位置決める取付部の位置決め方法であって、前記先端側が前記製品外フレームに結合されたフレキシャを前記ロードビームに重ね合わせて位置決め保持し、前記製品外フレームの塑性変形により前記フレキシャの先端側を撓ませ前記ロードビームの支持部に対する前記フレキシャの取付部の位置調整を行い、前記ロードビームと前記フレキシャとの間を接合して前記取付部の位置調整状態を保持することを最も主要な特徴とする。本発明は、ロードビーム及びフレキシャの全体としての位置決めのみでは調整不能な微少量の取付部の位置調整を行うことができ、位置決め精度を向上させることができる。フレキシャ側のヘッド部の取付部とロードビーム側の支持部との位置決め精度を向上させるという目的を、フレキシャとロードビームとの位置決め保持状態で、フレキシャに結合された製品外フレームを塑性変形させることで実現した。製品外フレームは、フレキシャの先端側に結合されたフレキシャフレームとロードビームに結合されたビームフレームとからなるのが好ましい。この場合、フレキシャフレームとビームフレームとは、フレキシャとロードビームとの位置決め保持状態で相互に重なる重なり部において接合され、取付部の位置調整は、フレキシャフレーム及びビームフレームの少なくとも何れか一方の塑性変形によって行えばよい。塑性変形は、レーザー照射によって行うのが好ましいが、例えば圧電素子やリニアモータ等のアクチュエータを用いて製品外フレームに直接外力を加えることで行っても良い。ヘッドサスペンションの半製品図1は、本発明の実施例1に係る位置決め方法を適用して得られたヘッドサスペンション半製品を示す平面図である。図1のヘッドサスペンション半製品1以下、単にサスペンション半製品1と称するは、ビーム半製品3とフレキシャ半製品5とを重ね合わせ接合することで形成され、製品外フレーム7にヘッドサスペンション9が一体に結合されている。このサスペンション半製品1からは、製品外フレーム7の切除と、ヘッド部である磁気ヘッドスライダ図示せずの取り付けとによってヘッドサスペンション9の完成品が得られる。サスペンション半製品1では、複数のヘッドサスペンション9を製品外フレーム7に結合して連設してもよい。ただし、本実施例では、図1のように、明確性のために単一のヘッドサスペンション9が製品外フレーム7に結合されたものとして説明する。ビーム半製品3は、ロードビーム11と、ビームフレーム13とを備えている。ロードビーム11は、スライダに負荷荷重を与えるもので、剛体部15及びばね部17を備えている。剛体部15は、例えばステンレス鋼等の金属製薄板からなっている。剛体部15の幅方向両縁は、曲げ部19a,19bを備えて剛性を向上している。剛体部15の先端側には、支持部としてのディンプル23が設けられ、中間部には、基準孔25が貫通形成され、基端には、ばね部17が一体に設けられている。ばね部17は、一対の脚部27a,27bからなり、その中間部からロードビーム11の基端側端部にわたってベースプレート31に重ね合わせ接合されている。この接合は、レーザー溶接による各4箇所の接合部W1によって行われている。ベースプレート31は、例えばステンレス鋼等の金属製薄板からなる。ベースプレート31の幅方向一側縁部には、基準孔33が設けられている。ベースプレート31の中央部には、略円形形状のボス部35が設けられている。このボス部35を介して、ベースプレート31は、図示しないキャリッジ側に取り付けられボイスコイルモータによって旋回駆動されることになる。ビームフレーム13は、ロードビーム11のばね部17に一体に結合され、ロードビーム11同様にステンレス鋼等の金属製薄板からなっている。このビームフレーム13は、ビーム基端側フレーム37a,37bと、ビーム側部フレーム39a,39bと、ビーム先端側フレーム41とを備えている。ビーム基端側フレーム37a,37bは、ばね部17の脚部27a,27bの端部からロードビーム11の幅方向に沿って延設されている。ビーム基端側フレーム37a,37bには、ビーム側部フレーム39a,39bが一体に結合されている。ビーム側部フレーム39a,39bは、ロードビーム11の両側で延設方向に沿って設けられている。ビーム側部フレーム39a,39bには、ロードビーム11の先端に対向配置されたビーム先端側フレーム41が一体に結合されている。このビーム先端側フレーム41には、基準孔43が貫通形成されている。ビームフレーム13は、これらのビーム基端側フレーム37a,37b、ビーム側部フレーム39a,39b、及びビーム先端側フレーム41によって区画されたスペースS内にロードビーム11を位置させている。フレキシャ半製品5は、フレキシャ45と、フレキシャフレーム47とを備えている。フレキシャ45は、可撓性ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板SST等の導電性基板50に、電気絶縁層を介して導体パターン51が形成されている。フレキシャ45は、ベースプレート31側からロードビーム11の先端側にかけて配索されて重ね合わせ接合されている。フレキシャ45の接合は、ロードビーム11及びベースプレート31に対し、レーザー溶接による接合部W2~W8によって行われている。フレキシャ45の先端側には、スライダの取付部であるタング部49が片持ち状に設けられている。タング部49の表面基端側には、導電パターン51のパッド電極53が配置されている。タング部49の裏面側は、ロードビーム11のディンプル23に当接支持されている。フレキシャ45の中間部には、ロードビーム11の剛体部15の基準孔25に対応して基準孔55が形成されている。この基準孔55は、フレキシャ45の導電性基板50によって区画されている。基準孔55の延設方向両側には、接合部W2,W3が位置している。また、フレキシャ45の中間部には、剛体部15の基端部に対応して幅方向の張出部57a,57bが設けられている。張出部57a,57bには、それぞれ接合部W4,W5が位置している。ロードビーム11のばね部17の脚部27a,27b間では、ベースプレート31の端部に対応した中間露出部59が設けられている。中間露出部59では、導体パターン51が迂回して導電性基板50が露出している。この中間露出部59には、接合部W6が位置している。ベースプレート31上では、フレキシャ45が幅方向に変位して端部がベースプレート31の一側縁部上に位置している。このフレキシャ45の端部には、導体パターン51が迂回による端部露出部61が設けられている。端部露出部61には、ベースプレート31の基準孔33に対応して基準孔63が設けられている。基準孔63の延設方向両側には、接合部W7,W8が位置している。フレキシャフレーム47は、ビームフレーム13と共に製品外フレーム7を構成するものであり、フレキシャ45の先端側に一体に結合されている。このフレキシャフレーム47は、一対のフレキシャ側アーム65a,65bと、フレーム本体67とを備えている。フレキシャ側アーム65a,65bは、フレキシャ45の延設方向の軸線に対する両側でフレキシャ45の先端側に一体に結合されている。この結合部分は、フレキシャ45先端側のパッド53に対応した位置となっている。フレキシャ側アーム65a,65bは、フレキシャ45の延設方向に沿って設けられて、フレーム本体67が一体に結合されている。フレーム本体67は、フレキシャ45の先端に対向配置されている。フレーム本体67の端部は、ビームフレーム13のビーム先端側フレーム41に重なる重なり部69を形成している。重なり部69には、ビームフレーム13の基準孔43に対応した基準孔71が設けられている。基準孔71の幅方向両側には、フレキシャフレーム47とビームフレーム13との間の接合部W9,W10がレーザー溶接によって形成されている。[位置決め方法]図2は、本発明の実施例1に位置決め方法を示すフローチャート、図3は、図2の位置決め方法の工程を示す概略図である。なお、図3のフレキシャ45及びロードビーム11は、図1のものと若干異なる部分があるが、基本的には同構造である。これらの図2のフローチャート及び図3の工程図に基づき、図1をも参照しながら本実施例の位置決め方法について説明する。本実施例の位置決め方法は、図1及び図3のようにフレキシャ45とロードビーム11とを製品外フレーム7上で重ね合わせ接合する際に、フレキシャ45のタング部49をロードビーム11のディンプル23に対して高精度に位置決める。具体的には、図3aのように、まずフレキシャ半製品5とビーム半製品3とを重ね合わせておく。この状態で、図2のステップS1において、フレキシャ45をロードビーム11に対して位置決め保持する。位置決めは、図3a及び図1のように、位置決めピン73,75,77を用いて行われる。すなわち、位置決めピン73,75,77を、フレキシャフレーム47及びビームフレーム13の基準孔71,43間、フレキシャ45及びロードビーム11の剛体部15の基準孔55,25間、フレキシャ45及びベースプレート31の基準孔63,33間に各別に挿入する。この位置決めにより、フレキシャ45とロードビーム11との全体としての位置決めが完了する。同時に、フレキシャ45のタング部49が、ロードビーム11のディンプル23に対して大凡位置決められる。位置決め状態の保持は、図1の位置決めピン73,75,77の挿入状態の維持及び図3aのレーザー照射L1によるフレキシャ45とロードビーム11との間の仮接合の何れか一方又は併用で行われる。仮接合は、例えば図1の接合部W4~W8の何れか一つ或いは組み合わせによって行わせることができる。なお、後述する本接合は、接合部W2~W5によって行われる。このため、仮接合は、少なくともタング部49に最も近接した本接合の接合部W2よりもフレキシャ45の先端側から離れた位置で行われる。こうしてステップS1が完了してステップS2に移行する。ステップS2では、図3aのように、レーザー照射L2,L3によって製品外フレーム7の接続を行う。具体的には、フレキシャフレーム47とビームフレーム13との重なり部69をレーザー溶接による接合部W9,W10で接合する。なお、上記仮接合を行う場合は、フレキシャ45とロードビーム11との仮接合と同時に、重なり部69での接合を行うことができる。こうしてステップS2が完了してステップS3に移行する。ステップS3では、ロードビーム11のディンプル23に対するフレキシャ45のタング部49の位置決め精度を測定する。この位置決め精度の測定では、ディンプル23に対するタング部49のずれ量が測定される。このずれ量は、基準孔43,71,25,55,33,63と位置決めピン73,75,77とのクリアランスや、フレキシャ45のパッド位置に応じたスライダの取付位置に基づく数ミクロンの誤差等である。測定は、コンピュータ等の情報処理装置を用い、撮像画像の重ね合わせのような周知の画像処理等を通じて行うことができる。こうしてステップS3が完了してステップS4に移行する。ステップS4では、位置決め精度が許容範囲内か否かの判定が行われる。具体的には、ステップS3の測定結果から、タング部49の位置決め精度が許容範囲内であるか否かを判定する。許容範囲外である場合は、ステップS5へ移行し、許容範囲内である場合は、ステップS6へ移行する。ステップS5では、図3bのように、フレキシャ45のタング部49の位置調整を、レーザー照射L4,L5によるフレキシャフレーム47の塑性変形によって行う。図4は、製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である。図4の斜線で示すように、フレキシャフレーム47の変形領域79,81は、フレキシャ側アーム65a,65b上に位置している。この変形領域79,81に対するレーザー照射により、フレキシャ側アーム65a,65bが曲げ変形して、フレキシャ45の先端側を引っ張ることになる。この引っ張りに応じてフレキシャ45の先端側が撓み、タング部49がロードビーム11のディンプル23に対して位置調整される。なお、ステップS1において仮接合が行われていても、上記のように本接合の接合部W2よりもフレキシャ45の先端側から離れた位置で仮接合が行われているので、フレキシャ45の先端側の撓みを許容することができタング部49の位置調整を行わせることができる。位置調整量は、変形領域79,81内でのレーザー照射位置やレーザー強度等との関係に応じたものとなる。このため、その関係を調整テーブルとして用意しておくことで、測定された位置決め精度ずれ量に応じた位置調整量とすることが可能になる。位置調整後は、ステップS3に戻って再度タング部49の位置決め精度の測定が行われ、以降の処理が繰り返される。これにより、タング部49の位置決め精度が許容範囲内になるまで位置調整が行われることになる。繰り返しの結果、位置決め精度が許容範囲内となった場合は、上記同様、ステップS4からステップS6へ移行する。ステップS6では、図3cのように、レーザー照射L6,L7によるフレキシャ45とロードビーム11との本接合が行われる。具体的には、フレキシャ45とロードビーム11とを、図1の接合部W2~W5において接合する仮接合に用いられた接合部W4又はW5を除く。このとき、仮接合がされていない場合や仮接合に用いられなかった接合部W4~W8においても接合が行われる。本接合が行われると、フレキシャ45のタング部49の位置調整状態を保持することができる。こうして、ロードビーム11及びフレキシャ45の全体としての位置決めのみでは調整不能な上記誤差等に対する数ミクロンの位置調整が完了する。また、フレキシャ45のタング部49の位置調整が完了と同時に、サスペンション半製品1の製造も完了する。[実施例1の効果]本実施例の位置決め方法では、先端側が製品外フレーム7に結合されたフレキシャ45をロードビーム11に重ね合わせて位置決め保持し、製品外フレーム7の塑性変形によりフレキシャ45の先端側を撓ませロードビーム11のディンプル23に対するフレキシャ45のタング部49の位置調整を行い、ロードビーム11とフレキシャ47との間を接合してタング部49の位置調整状態を保持する。従って、本実施例では、ロードビーム11及びフレキシャ45の全体としての位置決めのみでは調整不能な微少量のタング部49の位置調整を行うことができ、位置決め精度を向上させることができる。特に、ロードビーム11及びフレキシャ45の全体としての位置決め状態では、基準孔43,71,25,55,33,63と位置決めピン73,75,77とのクリアランスやパッド位置に応じたスライダの取付位置等による数ミクロンの誤差が存在するが、本実施例では、このような誤差に対する数ミクロンの位置決め精度を詰めることができる。また、本実施例では、最終製品であるヘッドサスペンション9の製造時に切除される不要な製品外フレーム7を塑性変形させるので、ヘッドサスペンション9側の加工が不要となり動特性の変動等を抑制することができる。本実施例の位置決め方法では、製品外フレーム7の塑性変形を、レーザー照射によって容易且つ確実に行わせることができる。本実施例では、製品外フレーム7が、フレキシャ45の先端側に結合されたフレキシャフレーム47とロードビーム11に結合されたビームフレーム13とからなり、フレキシャフレーム47とビームフレーム13とが、フレキシャ45とロードビーム11との位置決め保持状態で相互に重なる重なり部69において接合され、タング部49の位置調整が、フレキシャフレーム47の塑性変形によって行われる。従って、本実施例では、フレキシャフレーム47及びビームフレーム13によってフレキシャ45及びロードビーム11の取り扱いを容易にすることができながら、フレキシャフレーム47及びビームフレーム13を利用してタング部49の位置調整を行わせることができる。フレキシャフレーム47は、フレキシャ45の延設方向の軸線に対する両側でフレキシャ45の先端側に結合された一対のフレキシャ側アーム65a,65bを備え、タング部49の位置調整は、フレキシャ側アーム65a,65bの塑性変形により行われる。従って、本実施例では、より確実にフレキシャ45の先端側を変位させてタング部49の位置調整を行わせることができる。本実施例の位置決め方法では、フレキシャフレーム47及びビームフレーム13間とフレキシャ45及びロードビーム11間に基準孔43,71,25,55,33,63を備え、フレキシャ45とロードビーム11との位置決め保持が、基準孔43,71,25,55,33,63に対する位置決めピン73,75,77の挿入によって行うことができる。この場合は、タング部49の位置調整を行わせることができながら、フレキシャ45とロードビーム11との位置決め保持を容易に行わせることができる。また、本実施例の位置決め方法では、フレキシャ45とロードビーム11との位置決め保持が、位置決め状態で重ね合わされたフレキシャ45とロードビーム11との間を、本接合の接合部W2よりもフレキシャ45の先端側から離れた位置での仮接合によって行うことができる。この場合は、タング部49の位置調整を行わせることができながら、フレキシャ45とロードビーム11との位置決め保持を確実に行わせることができる。本実施例では、フレキシャ45とロードビーム11とを仮接合する場合、フレキシャフレーム47とビームフレーム13との重なり部分での接合及びフレキシャ45とロードビーム11との仮接合を、レーザー溶接によって同時に行うことができる。この場合は、フレキシャ45とロードビーム11とを仮接合しながらも、タング部49の位置決め及びサスペンション半製品1の製造のタクトアップを図ることができる。本実施例の位置決め方法ヘッドサスペンション半製品の製造方法では、フレキシャ45とロードビーム11との本接合により、製品外フレーム7にヘッドサスペンション9が結合されたサスペンション半製品1を製造することができる。従って、タング部49の位置調整完了と同時にサスペンション半製品1を製造することができる。こうして製造されたサスペンション半製品1は、フレキシャ45のタング部49がロードビーム11のディンプル23に対して高精度で位置決められているので、スライダとディンプル23との高精度の位置決めを行わせることができる。このため、サスペンション半製品1では、その後の製品外フレーム7の切除と、スライダの取り付けとにより、精度の高いヘッドサスペンション9の完成品を得ることができる。図5は、本発明の実施例2に係る製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である。なお、本実施例では、上記実施例1と基本構成が共通するため、対応する部分に同符号又は同符号にAを付加した符号を用いて重複した説明を省略する。本実施例では、図5のように、製品外フレーム7Aに幅方向アーム83a,83b及び延設方向アーム85a,85bを設けたものである。幅方向アーム83a,83bは、フレキシャ45の幅方向に沿って延設されている。幅方向アーム83a,83bの一端は、フレキシャフレーム47及びビームフレーム13Aの一方、本実施例ではビームフレーム13Aのビーム側部フレーム39a,39bに一体に結合されている。幅方向アーム83a,83bの他端は、フレキシャフレーム47及びビームフレーム13Aの他方、本実施例ではフレキシャフレーム47のフレキシャ側アーム65a,65bに重なっている。この重なりによって、フレキシャフレーム47とビームフレーム13Aとの重なり部69A,69Aが形成されている。延設方向アーム85a,85bは、フレキシャ45の延設方向に沿って延設されている。この延設方向アーム85a,85bは、その一端がビームフレーム13Aのビーム先端側フレーム41に、中間部が幅方向アーム83a,83bに、他端が補強アーム部87a,87bに一体に結合されている。補強アーム部87a,87bは、フレキシャ45の幅方向に沿って延設され、一端が延設方向アーム85a,85bに、他端がビームフレーム13Aのビーム側部フレーム39a,39bに一体に結合されている。上記幅方向アーム83a,83b及び延設方向アーム85a,85bには、変形領域89a,89b,91a,91bが設定されている。従って、本実施例では、幅方向アーム83a,83b及び延設方向アーム85a,85bの塑性変形により、タング部49の幅方向及び延設方向での位置調整を各別に行わせることができる。なお、フレキシャフレーム47のフレキシャ側アーム65a,65bの塑性変形を併用しても良い。かかる本実施例では、上記実施例1と同様の作用効果を奏することができる。加えて、幅方向アーム83a,83b及び延設方向アーム85a,85bの塑性変形により、タング部49の幅方向及び延設方向での位置調整を各別に行わせることができるので、より高精度のタング部49の位置調整を行わせることができる。図6は、本発明の実施例3に係る製品外フレームの変形領域を示す要部拡大図である。なお、本実施例では、上記実施例1と基本構成が共通するため、対応する部分に同符号又は同符号にBを付加した符号を用いて重複した説明を省略する。本実施例では、図6のように、製品外フレーム7Bに波形アーム93a,93bを設けたものである。波形アーム93a,93bは、フレキシャ45の幅方向に沿って延設され、延設軸に対する交差方向に複数折り返しされた波形状に湾曲している。なお、波形形状は、特に限定されるものではなく、正弦波状、のこぎり波状、矩形波状、台形波、或いは三角波形状等とするこができる。波形アーム93a,93bの一端は、フレキシャフレーム47及びビームフレーム13Bの一方、本実施例ではビームフレーム13Bのビーム側部フレーム39a,39bに一体に結合されている。波形アーム93a,93bの一端は、フレキシャフレーム47及びビームフレーム13B他方、本実施例ではフレキシャフレーム47のフレキシャ側アーム65a,65bに重なっている。この波形アーム93a,93bは、その波形部95a,95bに変形領域97a,97bが設定されている。従って、本実施例では、波形アーム93a,93bの塑性変形により、タング部49の位置調整を行わせることができる。なお、フレキシャフレーム47のフレキシャ側アーム65a,65bの塑性変形を併用しても良い。かかる本実施例では、上記実施例1と同様の作用効果を奏することができる。加えて、本実施例では、製品外フレーム7上にヘッドサスペンション9が複数連接されている場合に、隣接するヘッドサスペンション9相互間でタング部49の位置調整による影響を緩衝することができる。[その他]上記実施例では、製品外フレーム7,7A,7Bがフレキシャフレーム47とビームフレーム13,13A,13Bとからなっていたが、ビームフレームを省略する等のように製品外フレームがフレキシャ45のみに結合される構成であってもよい。このように構成しても、製品外フレームの塑性変形によってフレキシャ45のタング部49の位置調整を上記実施例同様に行わせることができる。"