部材に対して加工処理であるプロセスを行う製造装置において、上記プロセス中と上記プロセスの前後とに、上記プロセス時における計測データおよび上記プロセスの条件であるプロセス条件の設定データを含むプロセスデータを収集するデータ収集部と、上記データ収集部によって収集された上記プロセスデータに、上記プロセスデータの収集時における上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加する記号付加部と、上記記号が付加されたプロセスデータを上記記号に基づいて分割し、この分割されたプロセスデータを分析するデータ分析部とを備え、上記記号付加部は、上記記号を、上記プロセスデータに付加されている番号であって、上記製造装置が上記プロセスと上記プロセスの条件を設定する条件設定とを順次行った場合における何れの動作ステップで収集されたプロセスデータであるかを表すステップ番号に関連付けて付加することを特徴とするプロセスデータ処理装置。請求項1に記載のプロセスデータ処理装置において、上記プロセスデータ収集部は、上記製造装置が上記プロセス時および上記プロセス条件の設定時である条件設定時に、所定の時間間隔で周期的に上記プロセスデータを収集することを特徴とするプロセスデータ処理装置。請求項1あるいは請求項2に記載のプロセスデータ処理装置において、上記ステップ番号と上記記号とを関連付けた表を格納する表格納部を備え、上記記号付加部は、上記表を参照することによって、上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加することを特徴とするプロセスデータ処理装置。請求項1あるいは請求項2に記載のプロセスデータ処理装置において、1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、基準となる上記動作ステップである基準ステップと上記記号とが関連付けられている基準レシピを格納する基準レシピ格納部と、上記基準レシピを参照して、上記各プロセスデータが上記基準レシピの基準ステップにおける動作条件を満たしているか否かを判断することによって、上記各プロセスデータが当該基準ステップに該当するか否かを判断する判断部とを備え、上記記号付加部は、上記判断部によって、上記プロセスデータが上記基準ステップに該当すると判断された場合に、上記基準レシピを参照して、当該基準ステップに関連付けられている上記記号を、当該プロセスデータに、当該プロセスデータの上記ステップ番号に関連付けて付加することを特徴とするプロセスデータ処理装置。請求項1に記載のプロセスデータ処理装置において、少なくとも上記データ収集部および上記記号付加部は、上記製造装置に一体化されていることを特徴とするプロセスデータ処理装置。請求項5に記載のプロセスデータ処理装置において、上記製造装置は、1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、上記各動作ステップには上記記号が付加されているレシピに従って、上記プロセスおよび上記条件設定を行っており、上記記号付加部は、上記レシピを参照して、上記各プロセスデータに上記記号を付加することを特徴とするプロセスデータ処理装置。部材に対して加工処理であるプロセスを行う製造装置において、上記プロセス中と上記プロセスの前後とに、上記プロセス時における計測データおよび上記プロセスの条件であるプロセス条件の設定データを含むプロセスデータを、データ収集部によって収集するプロセスデータ収集手順と、上記プロセスデータに、記号付加部によって、上記プロセスデータの収集時における上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加する記号付加手順と、データ分析部によって、上記記号が付加されたプロセスデータを上記記号に基づいて分割し、この分割されたプロセスデータを分析するデータ分析手順とを備え、上記記号付加手順では、上記記号を、上記プロセスデータに付加されている番号であって、上記製造装置が上記プロセスと上記プロセスの条件を設定する条件設定とを順次行った場合における何れの動作ステップで収集されたプロセスデータであるかを表すステップ番号に関連付けて付加することを特徴とするプロセスデータ処理方法。請求項7に記載のプロセスデータ処理方法において、上記プロセスデータ収集手順では、上記製造装置が上記プロセス時および上記プロセス条件の設定時である条件設定時に、所定の時間間隔で周期的に上記プロセスデータを収集することを特徴とするプロセスデータ処理方法。請求項7あるいは請求項8に記載のプロセスデータ処理方法において、上記記号付加手順では、上記ステップ番号と上記記号とを関連付けた表を参照することによって、上記製造装置から出力された上記プロセスデータに上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する、あるいは、上記製造装置から出力される前の上記プロセスデータに上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加することを特徴とするプロセスデータ処理方法。請求項7あるいは請求項8に記載のプロセスデータ処理方法において、上記記号と上記ステップ番号との関連付けを、1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、プロセスの内容とプロセスの進行順とが略同一である類似レシピに基づいて上記製造装置における動作条件の基準となる基準レシピを設定する第1の手順と、上記基準レシピを構成する上記動作ステップのうちの一部あるいは全てを上記製造装置における動作ステップの基準となる基準ステップと設定し、各基準ステップにおける上記製造装置の動作条件を定める第2の手順と、上記プロセスデータ収集手順によって収集されたプロセスデータに関して、上記基準レシピにおける上記動作ステップの進行順に、各プロセスデータが上記基準ステップの動作条件に該当するか否かを判断することによって、上記基準ステップに該当するプロセスデータを検出する第3の手順と、上記検出されたプロセスデータに該当する上記基準ステップの処理の進行方向への出現順番が、上記基準レシピにおける上記基準ステップの処理の進行方向への出現順番と同じであれば、上記収集されたプロセスデータのステップ番号に上記記号を関連付ける第4の手順とによって行うことを特徴とするプロセスデータの処理方法。そこで、この発明の課題は、レシピの変更頻度が高い製造装置のプロセスデータであっても高精度なデータ分析が可能になるようにプロセスデータに対する処理を行うプロセスデータ処理装置、および、プロセスデータ処理方法を提供することにある。上記課題を解決するため、この発明のプロセスデータ処理装置は、部材に対して加工処理であるプロセスを行う製造装置において、上記プロセス中と上記プロセスの前後とに、上記プロセス時における計測データおよび上記プロセスの条件であるプロセス条件の設定データを含むプロセスデータを収集するデータ収集部と、上記データ収集部によって収集された上記プロセスデータに、上記プロセスデータの収集時における上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加する記号付加部と、上記記号が付加されたプロセスデータを上記記号に基づいて分割し、この分割されたプロセスデータを分析するデータ分析部とを備え、上記記号付加部は、上記記号を、上記プロセスデータに付加されている番号であって、上記製造装置が上記プロセスと上記プロセスの条件を設定する条件設定とを順次行った場合における何れの動作ステップで収集されたプロセスデータであるかを表すステップ番号に関連付けて付加することを特徴としている。上記構成によれば、収集されたプロセスデータには、このプロセスデータの収集時における製造装置による処理の内容を意味する記号が付加されている。したがって、プロセスの内容とプロセスの進行順とが略同一である類似レシピに従って上記製造装置によって加工処理を行った場合の各プロセスデータには、上記処理の内容が同じプロセスでのプロセスデータには同じ上記製造装置による処理の内容を意味する記号が付加されている。そのため、データ分析部によるデータ分析時には、取得したプロセスデータを、上記ステップ番号ではなく上記付加された記号に基づいて分割すれば、レシピが異なっていてもプロセスの内容が同じプロセスデータ別に分割することができ、データ分析が可能なプロセスデータの分割を行うことができるのである。すなわち、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置や、プロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置のごとく、レシピの変更頻度が高い製造装置の場合であっても、この変更された各レシピを上記類似レシピと見なすことができる場合には、上記変更された各レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータに、上述したプロセスデータ処理を行うことによって、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集することができるのである。さらに、上記プロセスデータに付加される上記製造装置による処理の内容を意味する記号は、ステップ番号に関連付けて付加されている。したがって、上記記号が付加されているプロセスデータは、上記製造装置による何れの動作ステップ時に収集されたプロセスデータであるのかを、容易に知ることができる。また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、上記プロセスデータ収集部は、上記製造装置が上記プロセス時および上記プロセス条件の設定時である条件設定時に、所定の時間間隔で周期的に、上記プロセスデータを収集する。この実施の形態によれば、上記プロセス時および上記条件設定時において、複数の上記プロセスデータを収集することができ、上記プロセス時および上記条件設定時に関して、より高い精度のデータ分析が可能になる。また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、上記ステップ番号と上記記号とを関連付けた表を格納する表格納部を備え、上記記号付加部は、上記表を参照することによって、上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する。この実施の形態によれば、予め上記表を作成して上記表格納部に格納しておけば、簡単に、上記プロセスデータに、上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加することができる。また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、基準となる上記動作ステップである基準ステップと上記記号とが関連付けられている基準レシピを格納する基準レシピ格納部と、上記基準レシピを参照して、上記各プロセスデータが上記基準レシピの基準ステップにおける動作条件を満たしているか否かを判断することによって、上記各プロセスデータが当該基準ステップに該当するか否かを判断する判断部とを備え、上記記号付加部は、上記判断部によって、上記プロセスデータが上記基準ステップに該当すると判断された場合に、上記基準レシピを参照して、当該基準ステップに関連付けられている上記記号を、当該プロセスデータに、当該プロセスデータの上記ステップ番号に関連付けて付加する。この実施の形態によれば、上記基準レシピの上記基準ステップに該当するプロセスデータに、上記基準レシピを参照して、上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加するので、上記基準レシピに基づいて、上記記号を的確に付加することができる。また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、少なくとも上記データ収集部および上記記号付加部は、上記製造装置に一体化されている。この実施の形態によれば、上記データ収集部および上記記号付加部が上記製造装置に一体化されているので、上記製造装置から出力されるプロセスデータには、既に上記製造装置による処理の内容を意味する記号が付加されている。したがって、上記製造装置から出力されたプロセスデータに対して、上記記号を付加する処理を行う必要がない。また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、上記製造装置は、1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、上記各動作ステップには上記記号が付加されているレシピに従って、上記プロセスおよび上記条件設定を行っており、上記記号付加部は、上記レシピを参照して、上記各プロセスデータに上記記号を付加する。この実施の形態によれば、上記製造装置による処理の内容を意味する記号が付加されたレシピを参照して、上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加するので、上記レシピに基づいて、上記記号を的確に付加することができる。また、この発明のプロセスデータ処理方法は、部材に対して加工処理であるプロセスを行う製造装置において、上記プロセス中と上記プロセスの前後とに、上記プロセス時における計測データおよび上記プロセスの条件であるプロセス条件の設定データを含むプロセスデータを、データ収集部によって収集するプロセスデータ収集手順と、上記プロセスデータに、記号付加部によって、上記プロセスデータの収集時における上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加する記号付加手順と、データ分析部によって、上記記号が付加されたプロセスデータを上記記号に基づいて分割し、この分割されたプロセスデータを分析するデータ分析手順とを備え、上記記号付加手順では、上記記号を、上記プロセスデータに付加されている番号であって、上記製造装置が上記プロセスと上記プロセスの条件を設定する条件設定とを順次行った場合における何れの動作ステップで収集されたプロセスデータであるかを表すステップ番号に関連付けて付加することを特徴としている。上記構成によれば、収集されたプロセスデータには、このプロセスデータの収集時における製造装置による処理の内容を意味する記号が付加されている。したがって、データ分析手順では、取得したプロセスデータを、上記ステップ番号ではなく上記付加された記号に基づいて分割すれば、レシピが異なっていてもプロセスの内容が同じプロセスデータ別に分割することができ、データ分析が可能なプロセスデータの分割を行うことができるのである。すなわち、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置や、プロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置のごとく、レシピの変更頻度が高い製造装置の場合であっても、上記変更された各レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータに、上述したプロセスデータ処理を行うことによって、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集することができるのである。さらに、上記プロセスデータに付加される上記製造装置による処理の内容を意味する記号は、ステップ番号に関連付けて付加されている。したがって、上記記号が付加されているプロセスデータは、上記製造装置による何れの動作ステップ時に収集されたプロセスデータであるのかを、容易に知ることができる。また、1実施の形態のプロセスデータ処理方法では、上記プロセスデータ収集手順では、上記製造装置が上記プロセス時および上記プロセス条件の設定時である条件設定時に、所定の時間間隔で周期的に上記プロセスデータを収集する。この実施の形態によれば、上記プロセス時および上記条件設定時において、複数の上記プロセスデータを収集することができ、上記プロセス時および上記条件設定時に関して、より高い精度のデータ分析が可能になる。また、1実施の形態のプロセスデータ処理方法では、上記記号付加手順では、上記ステップ番号と上記記号とを関連付けた表を参照することによって、上記製造装置から出力された上記プロセスデータに上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する、あるいは、上記製造装置から出力される前の上記プロセスデータに上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する。この実施の形態によれば、予め上記表を作成して上記表格納部に格納しておけば、簡単に、上記プロセスデータに、上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加することができる。その際に、上記記号を上記製造装置から出力される前の上記プロセスデータに付加すれば、上記データ分析部において、上記製造装置から出力された上記プロセスデータに対して上記記号を付加する前処理を行う必要はない。また、1実施の形態のプロセスデータ処理方法では、上記記号と上記ステップ番号との関連付けを、1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、プロセスの内容とプロセスの進行順とが略同一である類似レシピに基づいて上記製造装置における動作条件の基準となる基準レシピを設定する第1の手順と、上記基準レシピを構成する上記動作ステップのうちの一部あるいは全てを上記製造装置における動作ステップの基準となる基準ステップと設定し、各基準ステップにおける上記製造装置の動作条件を定める第2の手順と、上記プロセスデータ収集手順によって収集されたプロセスデータに関して、上記基準レシピにおける上記動作ステップの進行順に、各プロセスデータが上記基準ステップの動作条件に該当するか否かを判断することによって、上記基準ステップに該当するプロセスデータを検出する第3の手順と、上記検出されたプロセスデータに該当する上記基準ステップの処理の進行方向への出現順番が、上記基準レシピにおける上記基準ステップの処理の進行方向への出現順番と同じであれば、上記収集されたプロセスデータのステップ番号に上記記号を関連付ける第4の手順とによって行う。この実施の形態によれば、上記基準レシピおよびこの基準レシピの基準ステップを設定し、各基準ステップにおける上記製造装置の動作条件を定めれば、収集されたプロセスデータと上記基準レシピとを比較することによって、上記基準レシピの基準ステップに該当するプロセスデータを検出でき、当該プロセスデータのステップ番号に上記製造装置による処理の内容を意味する記号を関連付けることができる。以上より明らかなように、この発明では、データ収集部によって収集されたプロセスデータに、記号付加部によって、上記プロセスデータの収集時における製造装置による処理の内容を意味する記号を付加するので、プロセスの内容とプロセスの進行順とが略同一である類似レシピに従って上記製造装置によって加工処理を行った場合の各プロセスデータには、上記処理の内容が同じ動作ステップでのプロセスデータには同じ上記記号が付加されている。したがって、データ分析部によるデータ分析時には、取得したプロセスデータを、上記記号に基づいて分割すれば、レシピが異なっていても動作ステップの内容が同じプロセスデータ別に分割することができ、データ分析が可能なプロセスデータの分割を行うことができるのである。すなわち、この発明によれば、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置やプロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置のごとく、レシピの変更頻度が高い製造装置の場合であっても、この変更された各レシピを類似レシピと見なすことができる場合には、上記変更された各レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータに上述したプロセスデータ処理を行うことによって、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集することができるのである。さらに、上記プロセスデータに付加される上記製造装置による処理の内容を意味する記号は、ステップ番号に関連付けて付加されている。したがって、上記記号が付加されているプロセスデータは、上記製造装置による何れの動作ステップ時に収集されたプロセスデータであるのかを、容易に知ることができる。以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。第1実施の形態図1は、本実施の形態におけるプロセスデータ処理装置およびそのプロセスデータ処理装置が適用された製造装置を示すブロック図である。本実施の形態における生産工程は、電子デバイスのような製品単位で製造プロセスが進行する製品の生産工程である。上記生産工程1は、製造プロセス部2と検査プロセス部3とで構成されている。製造プロセス部2では、製品毎に所定のプロセスが実行される。また、検査プロセス部3では、製品毎に所定の検査プロセスが実行される。本実施の形態においては、上記生産工程1の製造プロセス部2に含まれる1つの製造装置4と、この製造装置4のプロセスデータを処理するプロセスデータ処理装置13とについて、説明する。上記製造装置4は、部材に対するプロセスおよびその前後の条件設定の複数の動作条件を各ステップを単位としてまとめたレシピに従って、各種加工処理を行う装置である。そして、製造装置4は、部材に対して加工処理を行う処理室5、処理室5に対して部材の出し入れを行う前室6、加熱装置冷却装置プロセスガス供給装置排気装置および圧力調整装置等の処理室5内の処理条件を設定するための各種コンポーネント7、各種コンポーネント7を制御する制御装置8を含んでいる。ここで、上記加熱装置はヒータ等で成り、上記冷却装置はチラーや冷却配管等で成り、上記プロセスガス供給装置は各種ボンベや配管バルブや流量計等で成り、上記排気装置はポンプ等で成り、上記圧力調整装置は各種圧力計やバルブ等で成る。さらに、上記製造装置4は、上記制御装置8と操作者19とのインターフェイスとなるモニタ画面等の第1表示装置9、上記インターフェイスとなるキーボードやポインティングデバイス等の第1入力装置10、制御装置8とプロセスデータ処理装置13とを結ぶ通信装置11、処理室5前室6および各種コンポーネント7の計測データ制御値および動作値を収集するデータ収集装置12を含んでいる。尚、データ収集装置12は、図1に示すように制御装置8に組み込まれている。尚、上記処理室5前室6および各種コンポーネント7には、プロセスデータを取得するための温度圧力および流量等の各種計測装置が取り付けられている。さらに、ヒータ電圧や電力量等の各種コンポーネント7の制御値と動作値を取得する取得装置も取り付けられている。そして、データ収集装置12は、これら各種計測装置および取得装置から制御装置8を介して、上記計測データ上記制御値および上記動作値を収集するのである。尚、データ収集装置12の実装形態は、制御装置8に組み込まれた実装形態に止まるものではなく、制御装置8とは別の装置として実装されていても差し支えない。上記プロセスデータ処理装置13は、製造装置4から通信装置11を介してプロセスデータを収集してデータ分析を行う演算装置14、製造装置4の外部データベース15、CIM等で成る工場または生産ライン全体の外部情報系16、演算装置14と操作者19とのインターフェイスとなるモニタ画面等の第2表示装置17、上記インターフェイスとなるキーボードやポインティングデバイス等の第2入力装置18と、データ収集装置12および通信装置11と、を含んで構成されている。ここで、演算装置14は、上記データ分析を行うに先立って、後に詳述するような前処理を行うようになっている。また、図1においては、上記演算装置14は通信装置11を介して製造装置4の制御装置8と接続されているが、演算装置14と制御装置8とが通信回線によって直接接続されていても差し支えない。あるいは、演算装置14を、装置制御用のコンピュータ等の制御装置8内の上位装置に組み込むことも可能である。上記製造装置4におけるプロセスデータは、上記データ収集装置12によって収集される上記計測データ上記制御値および上記動作値であり、予め定められているサンプリング間隔で収集される。また、このプロセスデータは、制御装置8の内部メモリに格納されているレシピに従って稼働中の製造装置4から自動的に収集される。また、上記プロセスデータには、製造装置4によって処理されている製品のロット番号が制御装置8によって付与されている。さらに、製造装置4の上記レシピにはステップ毎に1から順番に番号が付けられており、そのステップ番号もプロセスデータに制御装置8によって付加される。こうすることにより、周期的に収集されるプロセスデータの個別のデータが、何番のステップ中に収集されたものであるかを確認することができるのである。こうして、上記データ収集装置12によって収集されたプロセスデータは演算装置14に送られ、演算装置14によって、後に詳述する前処理が行われた後、統計手法を用いたデータ分析が行われる。より具体的には、製造装置4のプロセスデータに対するデータ分析として、PLSや主成分分析等の多変量解析によって求められる特徴量を監視することで、製造プロセスの異常を検知する異常検知が実行される。また、外部データベース15を介して取得できる検査プロセス部3での各製品の検査データと上記プロセスデータとを関連付けて、不良発生時の要因分析が実行される。尚、本実施の形態に適用できるデータ分析の手法はこれに止まるものではなく、複数の製造装置4間のパラメータの差を統計的に判断する各種検定や判別分析や相関分析に代表される単変量の解析を用いてもよい。また、上記データ分析は統計手法に限定されるものではなく、プロセスデータの異常な挙動をそのまま経時的に監視する手法を用いてもよいし、物理モデルによる演算式を用いた分析を行ってもよい。上記製造装置4における一連の加工処理は複数のプロセスからなり、各プロセスのプロセスデータは夫々異なった値を示すことから、より高精度なデータ分析を行うためには、プロセスデータを各プロセスで分割して分析することが必要になる。これは、例えば、一連の加工処理のプロセスデータをまとめて1つの統計値を算出すると、各プロセスに関するプロセスデータの特徴が混ざってしまい、何れのプロセスの特徴も表さない統計値となってしまうことからも明らかである。一方、上記製造装置4による加工処理では、頻繁にレシピの変更がある。これは、加工処理改善による歩留まりや製品品質の改善を目的としたものであり、同種の製品を製造する中においても製造時期によってレシピが異なることになる。このような状態は、同業者間での開発競争やコスト競争に対応するために特に電子デバイスの製造等で顕著であり、多くの製造プロセスに当てはまることである。こうした上記プロセスの変更、つまりレシピの変更には、次のようなケースがある。ケース1プロセスの順番に変更はないが、各プロセスにおける例えば設定温度のような製造装置4の動作条件の設定値が変更されるケースである。ケース2ステップの順番が変更になるケースである。これは、例えば、目標温度までの上昇過程を二つのステップに分けて温度の上昇勾配を途中で変更するように動作条件の設定手順を調整するケースや、元々一つステップで行っていた成膜プロセスをプロセス途中から条件変更して複数のステップで行うようなケースである。ケース3上記ケース1と上記ケース2との両方が同時に発生するケースである。これらのケースのうち、上記ケース1の場合には、レシピのステップ番号別にプロセスデータを分割することによって、変更後のレシピのプロセスデータを集計しても、動作条件に変動があったデータとして分析することが可能である。ところが、上記ケース2および上記ケース3の場合には、レシピのステップ番号別にプロセスデータを分割すると、変更後のレシピにおける変更前のレシピと同じステップ番号では異なるプロセスデータが集計されてしまうことになる。その場合には、一部のステップに関する変更であるにも拘わらず、変更前のデータ分析が適用できないプロセスデータとなってしまう。そのために、本実施の形態においては、上述したデータ分析に先立って、以下に示すような前処理を実行するのである。この前処理は、上記データ収集装置12で収集されたプロセスデータに対して、演算装置14によって、データ分析を行うに先立って実行される。その場合、上記前処理は、製造装置4によって加工処理された1ロット毎に行われる。その手順の全体的な流れは、以下のとおりである。手順1同一のデータ分析が必要な複数の類似レシピについて、基準となる基準レシピを設定する。手順2上記基準レシピにおいて、製品の性能に影響度の高い重要な1つ以上のステップを基準ステップとし、この基準ステップについて製造装置4の動作条件の許容範囲を設定する。手順3上記データ収集装置12によって取得されたプロセスデータについて、プロセスデータをステップの進行順に、各ステップのプロセスデータと基準ステップの上記動作条件とを比較することで、基準ステップのプロセスデータに該当するか否かを判断する。手順4上記基準ステップが上記基準レシピの基準ステップと処理の進行方向へ同じ順番で出現すれば、当該プロセスデータに製造装置4による処理の内容を意味する記号を付加する。以下、上記各手順について、詳細を説明する。上記手順1は、プロセスの内容と進行順とが同一であるようなレシピを類似のレシピとし、その類似のレシピに基づいて基準レシピを設定する手順である。その場合、上記基準レシピは、上記類似のレシピの中から一つを選択して設定してもよいし、上記類似のレシピに基づいて新たに作成してもよい。上記手順2は、上記基準ステップを設定すると共に処理の進行順に番号を付け、この設定された基準ステップにおける製造装置4の動作条件に基づいて、上記基準ステップの動作条件の許容範囲を設定する手順である。ここで、上記許容範囲とは、データ分析の対象として取得したプロセスデータの該当ステップにおける計測値が上記基準ステップの動作条件に該当するか否かを判別するための上記動作条件の許容範囲であり、例えば、上記該当ステップの時間長さの範囲や設定温度の範囲等である。本実施の形態においては、上記基準ステップとして、成膜等の何らかの処理を部材に対して直接行うステップを選択する。しかしながら、これに限定するものではない。上記手順3は、後に詳述するように、取得したプロセスデータが上記基準ステップに該当するか否かを、上記演算装置14によって判断する手順である。上記手順4は、後に詳述するように、上記基準ステップが複数ある場合、演算装置14によって、その複数の基準ステップに該当するプロセスデータの処理順番が基準レシピの基準ステップの処理順番と同一か否かを判断し、同一であれば当該プロセスデータに処理の内容を意味する記号を付加する手順である。以下、上記演算装置14によって行われる上記手順3について、図2のフローチャートに従って詳細に説明する。ここで、上述のように設定された基準レシピが、第2入力装置18から入力されて、演算装置14の内部メモリに格納されているものとする。手順3‐1で、演算装置14の上記内部メモリ等に設定されたステップ番号の格納領域および基準ステップ番号の格納領域に0が書き込まれて、ステップ番号および基準ステップ番号がクリアされる。手順3‐2で、1ロット分のプロセスデータが、データ収集装置12を介して取得される。手順3‐3で、上記取得されたプロセスデータがステップ番号別に分割される。手順3‐4で、ステップ番号および基準ステップ番号が1に設定される。手順3‐5で、上記設定されたステップ番号のプロセスデータが読み出され、上記設定された基準ステップ番号の基準ステップにおける上記動作条件と比較される。手順3‐6で、上記比較の結果に基づいて、読み出されたプロセスデータが当該基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしているか否かが判別される。その結果、満たしている場合には手順3‐7に進み、満たしていない場合には手順3‐9に進む。手順3‐7で、当該基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしていると判定されたプロセスデータのステップ番号と、当該基準ステップの基準ステップ番号とが互いに関連付けられて、上記内部メモリ等に記録表として記録される。手順3‐8で、次の基準ステップとの比較に移行するために、基準ステップ番号がインクリメントされる。手順3‐9で、基準ステップ番号に基づいて、全基準ステップについて判定が終了したか否かが判別される。その結果、終了していなければ手順3‐10に進み、終了していれば上記手順3が終了される。手順3‐10で、ステップ番号に基づいて、全ステップについて判定が終了したか否かが判別される。その結果、終了していなければ手順3‐11に進み、終了していれば上記手順3が終了される。手順3‐11で、次のステップのプロセスデータの判定を行うために、ステップ番号がインクリメントされる。そうした後、上記手順3‐5にリターンし、次のステップ番号のプロセスデータに対する処理に移行する。そして、上記手順3‐9において全基準ステップについて判定が終了したと判別されると、あるいは、上記手順3‐10において全ステップについて判定が終了したと判別されると、上記手順3が終了される。次に、上記演算装置14によって行われる上記手順4について、図3のフローチャートに従って詳細に説明する。上記手順3が終了すると、上記手順4がスタートする。手順4‐1で、上記手順3において作成された上記記録表が読み出される。手順4‐2で、上記記録表に対応する基準レシピが読み出される。手順4‐3で、上記読み出された記録表における基準ステップ番号の処理の進行方向への出現順番と、上記読み出された基準レシピにおける基準ステップ番号の基準ステップ中での処理の進行方向への出現順番とが、比較される。手順4‐4で、上記手順4‐3における比較の結果、上記記録表と上記基準レシピとの同じ基準ステップの上記出現順番が一致しているか否かが判別される。その結果、一致していれば手順4‐5に進む一方、一致していなければ上記手順4が終了される。手順4‐5で、上記基準レシピに一致すると判断された上記記録表に関するプロセスデータに、処理の内容を意味する記号が付加される。そうした後、上記手順4が終了される。ここで、上記処理の内容を意味する記号とは、例えば、上記基準レシピにおけるステップ番号である。その場合は、上記基準レシピにおける基準ステップではないステップに該当するプロセスデータには、上記基準レシピにおける該当するステップのステップ番号が上記処理の内容を意味する記号として付加される。尚、後に行われるデータ分析に基準ステップのプロセスデータだけが必要な場合には、基準ステップに該当するステップのプロセスデータにだけ、基準ステップの番号を付加するようにしてもよい。また、上記処理の内容を意味する記号は上記基準レシピにおけるステップ番号に止まるものではなく、プロセスの内容が分かる文字列を付加してもよい。その場合には、基準レシピの基準ステップと上記文字列との対応表を事前に準備しておけばよい。上述した上記手順1~手順4によって、上記製造装置4から取得されたプロセスデータから、同一のレシピで処理されたと見なしてデータ分析を行うことが可能なプロセスデータを抽出し、ステップ別のデータ分析を可能にする記号をプロセスデータに付加することができる。すなわち、本実施の形態においては、上記特許請求の範囲における記号付加部を、図3に示す手順4‐5で構成している。また、上記特許請求の範囲におけるデータ分析部を、演算装置14で構成している。また、上記特許請求の範囲における基準レシピ格納部を、演算装置14の上記内部メモリで構成している。また、上記特許請求の範囲における判断部を、図2に示す手順3‐5および手順3‐6で構成しているのである。尚、上述のように処理されたプロセスデータをデータ分析する場合には、上記処理の内容を意味する記号が付加されたプロセスデータを、付加された上記記号をキーとして分割し、分割されたプロセスデータ夫々の各パラメータに関して最大値最小値平均値のような統計量を算出してもよい。また、分割されたプロセスデータ夫々について上述した多変量解析による特徴量を求めてもよいし、分割されたプロセスデータ夫々を上述の各種検定判別分析相関分析に代表される単変量の解析に使用してもよい。また、個別のプロセス別にプロセスデータが分割されているため、物理モデルによる演算式を用いた分析を行うこともできる。さらに、個別のプロセス別にプロセスデータが分割されているため、これらのプロセスデータをグラフ等で可視化して、製品ごとのプロセスデータの違いを操作者に対して提示することも容易である。以下、上記前処理について、図4の具体例に従って具体的に説明する。図4において、図4に示すレシピAは、上記製造装置4を元々稼働させる際に使用されていたレシピである。また、図4に示すレシピA1は、プロセス改善のためにレシピAの一部を修正したレシピである。上記レシピAとレシピA1とは、図4に示すように、レシピAにおけるステップNo2の温度上昇ステップが、レシピA1ではステップNo2の温度上昇1とステップNo3の温度上昇2との二つのステップに分割されている。上記製造装置4のレシピAとレシピA1とにおける設定温度の時間変化は、図5に示すとおりである。尚、図5は、レシピAにおける設定温度の時間変化を示す。また、図5は、レシピA1における設定温度の時間変化を示す。これらレシピAとレシピA1との設定温度の時間変化でのプロセスデータをまとめて統計分析するために、レシピAとレシピA1との設定温度の時間変化での処理の結果得られたプロセスデータに対して、同一の処理の内容を意味する記号を付加するのである。上記基準レシピをレシピAとする。その理由は、レシピAの方がレシピの構成が単純であり、レシピAを基にプロセス改善を行うためである。尚、この発明を適用する状況に応じて、基準レシピの設定を変えてもよいことは言うまでもない。また、上記基準ステップは、上記基準レシピA0におけるステップ3およびステップ5とする。さらに、図2に示す手順3‐6において、取得されたプロセスデータが基準ステップの動作条件を満たしているか否かを判別する際の上記動作条件として、設定温度とガス1~ガス3のバルブ開閉状態とを用い、その場合の上記設定温度の許容範囲は、基準ステップ21の値および基準ステップ22の値に対して±10°Cとする。また、上記バルブ開閉状況の許容範囲は、基準ステップ2122と同一とする上記手順2。また、上記処理の内容を意味する記号として、基準レシピA0のステップ番号をそのまま付加する。これらの設定条件に従って、上記プロセスデータ処理装置13の演算装置14により、上記前処理の手順における上記手順3および上記手順4が、以下のようにして実行される。ここで、基準レシピA0は、予め演算装置14の上記内部メモリに格納されている。先ず、上記レシピAに従って加工処理を行った場合の上記前処理について説明する。図6に示すように、上記製造装置4がレシピAに従って加工処理を行った場合の1ロット分のプロセスデータが取得され、ステップ番号別に分割される手順3‐1~手順3‐3。尚、図6におけるステップNoは、図4に示すレシピAのステップNoである。上記取得されたプロセスデータが、上記ステップNoの順に且つ処理順に読み出され、基準レシピA0における基準ステップ2122のうち、基準レシピA0の内容に記載された基準ステップ番号が1:プロセス1の基準ステップ21の上記動作条件である設定温度500°Cと比較される。その結果、計測温度が、上記動作条件の許容範囲内等に入る図6におけるステップNo3のプロセスデータが選出され、当該プロセスデータのステップ番号3と当該基準ステップ番号1とが互いに関連付けられて上記記録表が作成される手順3‐4~手順3‐7。尚、図6においては省略されているが、上記読み出されたプロセスデータと基準ステップ21との上記動作条件の比較の際には、ガス1のバルブが開であり、ガス2のバルブが閉であり、ガス3のバルブが開であることも比較されることは、言うまでもない。以後、同様にして、次の基準ステップ番号が2の基準ステップ22と、ステップNo4以降の各プロセスデータとの比較が順次行われ、計測温度が上記動作条件の許容範囲内等に入るプロセスデータが選出され、当該プロセスデータのステップ番号と当該基準ステップ番号2とが互いに関連付けられて上記記録表に格納される手順3‐8~手順3‐11。こうして、上記ステップ番号3と基準ステップ番号1とが互いに関連付けられて記録表が作成される。そうすると、上記記録表が読み出され、基準レシピA0が読み出され、記録表における基準ステップ番号1の出現順番と基準レシピA0における基準ステップ番号1の基準ステップ中での出現順番とが共に1番で一致するので、図6に示すレシピAでのプロセスデータが上記基準レシピA0に該当すると判断される。そして、図6に示すように、上記記録表において基準ステップ番号1に対応付けられているステップ番号3のプロセスデータには、基準ステップ番号1である基準ステップ21のステップ番号3がプロセスステップNoに書き込まれ、基準レシピA0における基準ステップ21ではないステップに該当するプロセスデータには、その基本動作を対応付けて、基準レシピA0のステップ番号がそのままプロセスステップNoに書き込まれる手順4‐1~手順4‐5。その場合におけるプロセスステップNoに書き込まれたプロセスステップ番号が、上記処理の内容を意味する記号なのである。尚、上記説明では省略しているが、基準レシピA0には基準ステップが2つあるので、この2つの基準ステップに関する上記出現順が同じである場合に、レシピAでのプロセスデータが上記基準レシピA0でのプロセスデータに該当すると判断されることになる。次に、上記レシピA1に従って加工処理を行った場合の上記前処理について説明する。図6に示すように、上記製造装置4がレシピA1に従って加工処理を行った場合の1ロット分のプロセスデータが取得され、ステップ番号別に分割される手順3‐1~手順3‐3。尚、図6におけるステップNoは、図4に示すレシピA1のステップNoである。上記取得されたプロセスデータが、上記ステップNoの順に且つ処理順に読み出され、基準レシピA0における基準ステップ番号が1の基準ステップ21の上記動作条件である設定温度500°Cと比較される。その結果、計測温度が、上記動作条件の許容範囲内等に入る図6におけるステップNo4のプロセスデータが選出され、当該プロセスデータのステップ番号4と当該基準ステップ番号1とが互いに関連付けられて上記記録表が作成される手順3‐4~手順3‐7。以後、同様にして、次の基準ステップ番号が2の基準ステップ22と、ステップNo5以降の各プロセスデータとの比較が順次行われ、計測温度が上記動作条件の許容範囲内等に入るプロセスデータが選出され、当該プロセスデータのステップ番号と当該基準ステップ番号2とが互いに関連付けられて上記記録表に格納される手順3‐8~手順3‐11。こうして、上記ステップ番号4と基準ステップ番号1とが互いに関連付けられて記録表が作成される。そして、上記記録表が読み出され、基準レシピA0が読み出され、記録表における基準ステップ番号1の出現順番と基準レシピA0における基準ステップ番号1の基準ステップ中での出現順番とが共に1番で一致するので、図6に示すレシピA1でのプロセスデータが上記基準レシピA0に該当すると判断される。そして、図6に示すように、上記記録表において基準ステップ番号1に対応付けられているステップ番号4のプロセスデータには、基準ステップ番号1である基準ステップ21のステップ番号3がプロセスステップNoに書き込まれ、基準レシピA0における基準ステップ21ではないステップに該当するプロセスデータには、その基本動作を対応付けて、基準レシピA0のステップ番号がそのままプロセスステップNoに書き込まれる手順4‐1~手順4‐5。尚、上記説明では省略しているが、基準レシピA0には基準ステップが2つあるので、この2つの基準ステップに関する上記出現順が同じである場合に、レシピA1でのプロセスデータが上記基準レシピA0でのプロセスデータに該当すると判断されることになる。その結果、図6に示すレシピA1に従って加工処理を行った場合のプロセスデータにおける温度上昇ステップであるステップNo3には、太線で示すごとく、ステップNo2と同様に、図6に示すレシピAに従って加工処理を行った場合のプロセスデータにおける温度上昇ステップであるステップNo2と同じステップ番号2が、上記処理の内容を意味する記号として付加されるのである。このように、本実施の形態においては、プロセスの内容とプロセスの処理順とが同一である複数の類似レシピに関して基準となる基準レシピを設定し、この基準レシピにおける製品の性能に影響度の高い重要な1つ以上のステップを基準ステップとして設定する。そして、上記プロセスデータ処理装置13の演算装置14によって、取得したプロセスデータをステップ番号別に分割し、上記基準レシピから基準ステップ番号の昇順に1つの上記基準ステップを読み出し、ステップ番号の昇順に且つ処理順に読み出された上記分割されたプロセスデータと上記読み出された基準ステップにおける上記動作条件とを順次比較し、当該基準ステップに該当するプロセスデータが選出されると、次の上記基準ステップを読み出して、上記選出されたプロセスデータ以降の各プロセスデータと上記読み出された基準ステップにおける上記動作条件とを順次比較し、当該基準ステップに該当するプロセスデータを選出する。以上の動作を最後の基準ステップあるいは最後のプロセスデータに至るまで繰り返して行われる。こうして、互いに該当すると判定された基準ステップの基準ステップ番号とプロセスデータのステップ番号とが対応付けられて記録された記録表が作成される。そして、上記記録表における各基準ステップ番号の出現順番と、上記基準レシピにおける各基準ステップ番号の基準ステップ中での出現順番とが一致する場合に、取得したプロセスデータが、上記基準レシピに従って加工処理を行った場合のプロセスデータである見なされる。そして、取得したプロセスデータに、処理の内容を意味する記号が付加されるのである。したがって、同一のデータ分析が必要な複数の類似レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータにおいては、内容が同じプロセスのプロセスデータには同じ処理の内容を意味する記号を付加することが可能になる。そのため、演算装置14によるデータ分析時には、取得したプロセスデータを、上記ステップ番号ではなく上記付加された記号に基づいて分割すれば、レシピが異なっていても処理の内容が同じプロセスデータ別に分割することができ、データ分析が可能なプロセスデータの分割を行うことができるのである。そのため、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置や、プロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置のごとく、レシピの変更頻度が高い製造装置の場合であっても、この変更された各レシピを類似レシピと見なすことができる場合には、上記変更された各レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータに、上述したプロセスデータ処理装置13によるプロセスデータ処理を行うことによって、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集することができるのである。尚、上記実施の形態においては、上記基準レシピと取得したプロセスデータとを比較することによって、互いに該当すると判定された基準ステップの基準ステップ番号とプロセスデータのステップ番号とが対応付けられた記録表を作成し、この記録表を参照して上記処理の内容を意味する記号が付加するようにしている。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、製造装置4で用いるレシピを作成した際に、当該レシピのステップ番号とそのステップ番号での製造装置4による処理の内容を意味する記号とを関連付けた表を予め作成して、例えば演算装置14の上記内部メモリに格納しておく。そして、演算装置14によって、上記表を参照することにより、収集されたプロセスデータに、予め付加されている上記ステップ番号に関連付けて上記記号を付加することも可能である。第2実施の形態本実施の形態における生産工程、製造プロセス部および製造装置の構成は実施の形態1と同一のものである。なお、本実施の形態において、実施の形態1と同じ内容については説明を省略する。本実施の形態は、上記製造装置4の稼働時に使用されるレシピに、予め処理の内容を意味する記号を設定しておくことによって、処理の内容を意味する記号が予め付加されているプロセスデータを製造装置4から出力可能にするものである。すなわち、本実施の形態においては、上記レシピを作成するに当たって、予めデータ分析用の基準レシピを設定しておく。その場合、上記基準レシピにおける各ステップは、総てデータ分析のためのステップであるから、上記基準レシピのステップ番号は処理の内容を意味する記号として機能することになる。一方、作成するレシピには、設定項目としてデータ分析用ステップ番号を書き込む欄を設けておく。そして、レシピ作成時に、データ分析のためのステップにおける上記欄にデータ分析用ステップ番号を設定するのである。さらに、全ステップに付与するステップ番号は、自動的に1から順に付加する。ここで、作成するレシピにおけるデータ分析用ステップ番号は、レシピを作成した後に自動的に設定することも可能である。そうすることによって、レシピの変更頻度が高い製造装置4に対する操作者によるレシピの入力操作の省力化と、入力間違いの防止とを図ることができる。以下、上記データ分析用ステップ番号の自動設定について説明する。上記データ分析用ステップ番号の自動設定は、プロセスデータ処理装置13の演算装置14によって、上記第1実施の形態における手順3および手順4に相当する処理を実行することにより行うことができる。その場合、上記基準レシピの全ステップを上記第1実施の形態の手順3および手順4における基準ステップと見なし、つまり、基準レシピの全ステップ番号を上記手順3および手順4における基準ステップ番号と見なす一方、作成するレシピの各ステップを上記手順3および手順4における各ステップのプロセスデータと見なせば良い。また、作成するレシピの各ステップが基準レシピの各基準ステップに該当しているか否かを判定するための動作条件の許容範囲も、予め設定されている。以下、図2および図3のフローチャートを参照して、上記演算装置14によるデータ分析用ステップ番号の自動設定について、簡単に説明する。ここで、上述のように設定された基準レシピと、作成中のレシピであって上記データ分析用ステップ番号が未設定のレシピとが、第2入力装置18から入力されて、演算装置14の上記内部メモリに格納されている。上記演算装置14の上記内部メモリ等に設定されているステップ番号の格納領域および基準ステップ番号の格納領域に0が書き込まれて、ステップ番号および基準ステップ番号がクリアされる図2の手順3‐1に相当。ステップ番号および基準ステップ番号が1に設定される図2の手順3‐4に相当。上記内部メモリから、上記作成レシピの上記設定されたステップ番号のステップにおける動作条件が読み出され、上記設定された基準ステップ番号の基準ステップにおける上記動作条件と比較される図2の手順3‐5に相当。上記比較の結果に基づいて、読み出された当該ステップの動作条件が当該基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしているか否かが判別される図2の手順3‐6に相当。上記判別の結果、満たしている場合には、当該基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしていると判定された当該ステップのステップ番号と、当該基準ステップの基準ステップ番号とが互いに関連付けられて、上記内部メモリ等に記録表として記録される図2の手順3‐7に相当。次の基準ステップとの比較に移行するために基準ステップ番号がインクリメントされる図2の手順3‐8に相当。上記基準ステップ番号がインクリメントされると、あるいは、上記読み出されたステップの動作条件が基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしていない場合には、全基準ステップについて判定が終了したか否かが判別される図2の手順3‐9に相当。その結果、終了していれば上記図2の手順3に相当する処理が終了される。全基準ステップについて判定が終了していなければ、ステップ番号に基づいて、上記作成レシピの全ステップについて判定が終了したか否かが判別される図2の手順3‐10に相当。その結果、終了していれば上記図2の手順3に相当する処理が終了される。全ステップについて判定が終了していなければ、次のステップのプロセスデータの判定を行うために、ステップ番号がインクリメントされる図2の手順3‐11に相当。そうした後、次のステップ番号のステップに対する処理に移行する。そして、全基準ステップについて判定が終了したと判別されると、あるいは、全ステップについて判定が終了したと判別されると、上記図2の手順3に相当する処理が終了される。こうして、上記図2の手順3に相当する処理が終了すると、上記図3の手順4に相当する処理がスタートする。上記図2の手順3に相当する処理で作成された上記記録表が読み出される図3の手順4‐1に相当。上記記録表の基準ステップ番号に対応する基準レシピが読み出される図3の手順4‐2に相当。上記読み出された記録表における基準ステップ番号の出現順番と、上記読み出された基準レシピにおける基準ステップ番号の出現順番とが、比較される図3の手順4‐3に相当。上記比較の結果、上記記録表と上記基準レシピとの基準ステップの出現順番が一致しているか否かが判別される図3の手順4‐4に相当。上記判別の結果、一致している場合には、上記基準レシピに一致すると判断された上記記録表に関する各ステップ番号のステップにおいて、データ分析用ステップ番号の設定欄に、データ分析用ステップ番号として、処理の内容を意味する記号である上記基準レシピの各ステップ番号が付加される図3の手順4‐5に相当。そうした後、上記手順4に相当する処理が終了される。こうすることによって、上記作成レシピにおけるデータ分析のためのステップに、データ分析用ステップ番号を自動的に設定することができるのである。こうして作成されたレシピは、上記演算装置14から、通信装置11を介して製造装置4の制御装置8に送信される。そうすると、制御装置8によって上記内部メモリに上記作成レシピが格納される。そして、制御装置8によって上記作成レシピに従って各種コンポーネント7が制御され、各種コンポーネント7によって処理室5内の処理条件が設定されて各種加工処理が行われるのである。こうして、上記作成レシピに従って稼働している製造装置4のプロセスデータは、制御装置8を介してデータ収集装置12によって収集される。その場合に、本実施の形態におけるプロセスデータには、制御装置8によって上記作成レシピを参照して、上記作成レシピのステップ番号に加えて、上記作成レシピに設定されている処理の内容を意味する記号としてのデータ分析用ステップ番号が付加される。すなわち、本実施の形態においては、上記特許請求の範囲における上記信号付加部を、制御装置8で構成する。つまり、上記信号付加部を、製造装置4に一体化させているのである。したがって、このように上記データ分析用ステップ番号を付加したプロセスデータに対してデータ分析を行う場合には、演算装置14は、上記第1実施の形態のごとく、取得したプロセスデータに対して処理の内容を意味する記号を付加する前処理を行う必要がなく、データ分析用ステップ番号によってプロセスデータを分割し分類するだけで、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを取得することができるのである。尚、上記実施の形態においては、上記製造装置4における制御装置8の上記内部メモリに、上記処理の内容を意味する記号である上記基準レシピの各ステップ番号が付加された上記レシピを格納し、このレシピに従って加工処理を行うことによって、上記処理の内容を意味する記号が付加されたプロセスデータを収集可能にしている。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、製造装置4で用いるレシピを作成した際に、当該レシピのステップ番号とそのステップ番号での製造装置4による処理の内容を意味する記号とを関連付けた表を予め作成して、例えば制御装置8の上記内部メモリに格納しておく。そして、制御装置8によって、収集されたプロセスデータに上記ステップ番号を付加した後に、上記表を参照することによって、上記ステップ番号に関連付けて上記記号を付加することも可能である。