"四角柱状インゴットブロックワークの四隅R面および四側面の面取り加工を、次の工程を経て面取り加工する方法。1.クランプ装置の主軸台と心押台間にワークを支架し、ワークのR面の円弧の中間点の一対を結ぶ線がクランプ装置の主軸台のワーク支持軸と心押台の支持軸を結ぶC軸を含む水平面に含まれるよう主軸台の支持軸をサーボモータで回転させてワークの芯出しを行う。2.カップホイール型粗研削砥石を軸承する砥石軸の一方を上昇させ、他方のカップホイール型粗研削砥石を軸承する砥石軸を下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型粗研削砥石の直径より20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸の高さ位置を決める。3前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。4.前記砥石軸の一対に軸承されるカップホイール型粗研削砥石がワークのR面に接する距離まで砥石軸の一対を前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型粗研削砥石を回転させる。5.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型粗研削砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架され前後に揺動回転ワークのR面がカップホイール型粗研削砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。6.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース粗研削加工を行う。7.ワークのR面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。8.上記研削開始待機位置にあるワークテーブルに搭載された前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。9.前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。10.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型粗研削砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架され前後に揺動回転ワークのR面がカップホイール型粗研削砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。11.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。12.上記ワークのR面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。13.主軸台の支持軸をサーボモータで45度回転させてワークの芯出しを行う。14.前記カップホイール型粗研削砥石を軸承する砥石軸の一対が相対向するよう砥石軸の高さ位置を決める。15前記砥石軸に軸承されている一対カップホイール型粗研削砥石がワークの前後面に接する距離まで砥石軸の一対を前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型粗研削砥石を回転させる。16.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型粗研削砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架されたワークの前後面がカップホイール型粗研削砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。17.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース粗研削加工を行う。18.ワークの前面と後面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。19.前記研削開始待機位置にあるワークテーブルに搭載された前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。20.前記砥石軸に軸承される一対のカップホイール型粗研削砥石がワークの前後面に接する距離まで砥石軸を前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型粗研削砥石を回転させる。21.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型粗研削砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架されたワークの前後面がカップホイール型粗研削砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。22.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース粗研削加工を行う。23.ワークの前面と後面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークの粗面取り加工を終了とする。24.カップホイール型仕上げ研削砥石を軸承する砥石軸の一方を上昇させ、他方のカップホイール型仕上げ研削砥石を軸承する砥石軸を下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型仕上げ研削砥石の直径より20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸の高さ位置を決める。25前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで連続回転させることにより前記ワークをC軸廻りに連続360度回転を開始する。26.上記砥石軸に軸承されるカップホイール型仕上げ研削砥石の一対がワークのR面に接する距離まで砥石軸を前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石を回転させる。27.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型仕上げ研削砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架されC軸廻りに360度回転しているワークのR面がカップホイール型仕上げ研削砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。28.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール型仕上げ研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記C軸廻りに360度回転されているワークのR面のトラバース仕上げ研削加工を行う。29.上述のワークのR面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、ワークテーブルを右方向に後退させ、ワークを研削開始待機位置まで戻す。30.主軸台の支持軸をサーボモータで回転させてワークの前後面が前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石の刃先面に対向するよう芯出しを行う。31.前記カップホイール型仕上げ研削砥石を軸承する砥石軸の一対が相対向するよう砥石軸の高さ位置を決める。32前記砥石軸に軸承されるカップホイール型仕上げ研削砥石の一対がワークの前後面に接する距離まで砥石軸を前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石を回転させる。33.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型仕上げ研削砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架されたワークの前後面がカップホイール型仕上げ研削砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。34.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール仕上げ研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工を行う。35.ワークの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。36.上記研削開始待機位置にあるワークテーブルに搭載された前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。37.前記砥石軸に軸承されたカップホイール型仕上げ研削砥石一対がワークの前後面に接する距離まで砥石軸を前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石を回転させる。38.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型仕上げ研削砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架されたワークの前後面がカップホイール型仕上げ研削砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。39.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工を行う。40.上述のワークの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、前記ワークの仕上げ面取り加工を終了とする。上記特許文献2記載の面取り加工方法は、特許文献1記載の方法より短時間に面取り加工できる長所があるが、2011年8月にこの装置を据え付けて長さ450mm長の円柱状インゴットブロックのテスト加工を依頼したインゴット加工メーカーよりワークの研削面取り加工時間がさらに、2~5分短くなるなら、この複合面取り加工装置の改造機を2台買い増しする発注を行う。との依頼を受けた。本願発明者らは、カップホイール型研削砥石によるワークの四隅R円筒研削加工時間中、カップホイール型研削砥石がワークの四隅Rを円筒研削加工している時間割合は、14であり、残りの86はワークの四側面からカップホイール型研削砥石は離れて回転していることに着目し、この空ら回転の割合を減らすことができるワークのC軸回転方法を検討したところ、ワークのR面の弧がワークのC軸と結ぶ角度θが18~20度であることから、ワークのC軸回転が21~26度となるように、かつ、このワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面粗研削面取り加工中{図3のc工程に30~50回/分の割合で揺動させながらワークを回転しているカップホイール型研削砥石の一対間を通過させてワークのR面取り加工を行うことにより、直径200mm、450mm長さのインゴットで四隅R研削加工時間を7~8分短縮できることを実施確認し、本発明に想到した。請求項1に記載の発明は、四角柱状インゴットブロックワークwの四隅R面および四側面の面取り加工を次の工程を経て面取り加工する方法を提供するものである。1.クランプ装置7の主軸台7aと心押台7b間にワークwを支架し、ワークのR面の円弧の中間点の一対を結ぶ線がクランプ装置の主軸台7aのワーク支持軸と心押台の支持軸を結ぶC軸を含む水平面に含まれるよう主軸台の支持軸をサーボモータで回転させてワークの芯出しを行う。2.カップホイール型粗研削砥石11gを軸承する砥石軸11oの一方を上昇させ、他方のカップホイール型粗研削砥石11gを軸承する砥石軸11oを下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型粗研削砥石11g,11gの直径Hより20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸11o,11oの高さ位置を決める。3前記クランプ装置7の主軸台7aの支持軸をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークwのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。4.上記カップホイール型粗研削砥石11gを軸承する砥石軸の一対11o,11oをワークのR面に接する距離R面研削開始待機位置まで前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型粗研削砥石11g,11gを回転させる。5.前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型粗研削砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架され前後に揺動回転ワークのR面がカップホイール型粗研削砥石の刃先11gs,11gsに当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。6.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース粗研削加工を行う。7.ワークwのR面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。8.上記研削開始待機位置にあるワークテーブル4に搭載された前記クランプ装置の主軸台7aの支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。9.前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。10.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型粗研削砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置に支架され前後に揺動回転ワークのR面がカップホイール型粗研削砥石の刃先11gs,11gsに当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。11.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。12.上記ワークwのR面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。13.主軸台7aの支持軸をサーボモータで45度回転させてワークの芯出しを行う。14.前記カップホイール型粗研削砥石11gを軸承する砥石軸の一対11o,11oが相対向するよう砥石軸の高さ位置を決める。15前記砥石軸の一対11o,11oに軸承されるカップホイール型粗研削砥石11gがワークの前後面に接する距離側面研削開始待機位置まで砥石軸の一対11o,11oを前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型粗研削砥石11g,11gを回転させる。16.前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型粗研削砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置に支架されたワークwの前後面がカップホイール型粗研削砥石の刃先11gs,11gsに当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。17.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース粗研削加工を行う。18.ワークwの前面と後面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。19.上記研削開始待機位置にあるワークテーブル4に搭載された前記クランプ装置の主軸台7aの支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。20.前記砥石軸の一対11o,11oに軸承されるカップホイール型粗研削砥石11gがワークの前後面に接する距離側面研削開始待機位置まで砥石軸の一対11o,11oを前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型粗研削砥石を回転させる。21.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型粗研削砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置に支架されたワークの前後面がカップホイール型粗研削砥石の刃先11gs,11gsに当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。22.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース粗研削加工を行う。23.ワークwの前面と後面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークの粗面取り加工を終了とする。24.カップホイール型仕上げ研削砥石10gを軸承する砥石軸10oの一方を上昇させ、他方のカップホイール型仕上げ研削砥石10gを軸承する砥石軸10oを下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型仕上げ研削砥石の直径Hより20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸10o,10oの高さ位置を決める。25前記クランプ装置の主軸台7aの支持軸をサーボモータで連続回転させることにより前記ワークwをC軸廻りに連続360度回転を開始する。26.前記砥石軸の一対10o,10oをに軸承されるカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gがワークのR面に接する距離R面研削開始待機位置まで砥石軸の一対10o,10oを前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gを回転させる。27.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型仕上げ研削砥石10o,10o側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架されC軸廻りに360度回転しているワークwのR面がカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸10o,10oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。28.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール型仕上げ研削砥石の一対10g,10gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記C軸廻りに360度回転されているワークwのR面のトラバース仕上げ研削加工を行う。29.上述のワークwのR面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、ワークテーブル4を右方向に後退させ、ワークを研削開始待機位置まで戻す。30.主軸台7aの支持軸をサーボモータで回転させてワークwの前後面が前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gの刃先面に対向するよう芯出しを行う。31.前記カップホイール型仕上げ研削砥石を軸承する砥石軸の一対10o,10oが相対向するよう砥石軸の高さ位置を決める。32前記カップホイール型仕上げ研削砥石10gを軸承する砥石軸の一対10o,10oをワークの前後面に接する距離側面研削開始待機位置まで前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gを回転させる。33.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架されたワークwの前後面がカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークwに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。34.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール仕上げ研削砥石の一対10g,10gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工を行う。35.ワークwの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。36.上記研削開始待機位置にあるワークテーブル4に搭載された前記クランプ装置の主軸台7aの支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークwの芯出しを行う。37.前記砥石軸の一対10o,10oをに軸承されるカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gがワークの前後面に接する距離側面研削開始待機位置まで砥石軸の一対10o,10oを前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gを回転させる。38.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架されたワークwの前後面がカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸10o,10oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。39.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークwの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工を行う。40.上述のワークwの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、前記ワークの仕上げ面取り加工を終了とする。特許文献2記載のインゴットブロックのR面粗面取り加工工程{図3c工程}を本発明のワーク揺動R面粗面取り加工工程と変更することにより対角線200mm長、長さ450mm長のシリコンインゴットブロックの面取り加工時間を7~8分短縮できた。仕上げR面取り加工は、仕上げ研削砥石で円筒研削加工方法により面取り加工するので図3f工程、後工程でのワイヤーカットによる厚み750~900μmのウエハ製造時にチッピングが生じることはない。本発明のワークのR面取り研削加工に用いることができる複合面取り加工装置1は、例えば、図2に示す特許文献2記載の粗研削加工ステージ11を用いることができ、図2に示されるように、機枠2に左右方向に延びて敷設された一対の案内レール3,3上を左右方向に往復移動できるように設けられたワークテーブル4を設けてある。このワークテーブル4の左右往復移動は、サーボモータ5による回転駆動をボールネジ6が受けて回転し、このボールネジに螺合された固定台図示されていないが左方向または右方向に前進することにより、この固定台表面にワークテーブル4の裏面が固定されているワークテーブル4が左方向または右方向に前進する。ワークテーブル4の左方向または右方向の前進は、サーボモータ5の回転軸が時計廻り方向か、逆時計廻り方向かに依存する。このワークテーブル4上に左右に分離して搭載された主軸台7aと心押台7bの一対よりなるクランプ機構7が搭載されている。よって、ワークテーブル4の左方向または右方向の移動に付随してこのクランプ機構7も左方向または右方向に移動し、クランプ機構7の主軸台センター支持軸7a1と心押台センター支持軸7b1により支架されて宙吊り状態となったワークwが粗研削加工ステージ11、仕上げ研削加工ステージ10、ロードポート8位置へと移動することが可能となっている。クランプ機構7は非特許文献1に記載されるように公知のチャック機構であり、円筒研削装置で広く利用されている。主軸台7aは主軸台センター支持軸7a1をサーボモータ7amで回転させることによりワークwをC軸周りに回転させる機能を有する。心押台7bは空気シリンダー7e駆動でガイドレール上を左右に移動できる移動台7bt上に設けられ、ワークをクランプ機構7で支架したのち、レバーを押し下げることにより固定し、ワークテーブル4の移動により心押台7bを搭載する移動台7btが移動するのを防ぐ。前記仕上げ研削加工ステージ10および粗研削加工ステージ11は、カップホイール型砥石10g,10g,11g,11gの配置を示し、粗研削加工ステージ11で粗研削加工R面取り粗研削加工と側面取り粗研削加工を、仕上げ研削加工ステージ10で仕上げ研削加工R面取り仕上げ円筒研削加工と側面取り仕上げ研削加工を実施できるようそれぞれのカップホイール型砥石の砥番を選択する。これら仕上げ研削加工ステージ10、粗研削加工ステージ11は、密閉カバー12で覆われている。また、ロードポート8は片手横スライド扉12aにより閉じられる。密閉カバー12で覆われた各研削加工ステージ10,11の空間には排気ダクトが接続され、この空間内に浮遊するミストや研削屑を外部へ排出する。各々の研削加工ステージ10,11、およびロードポート8の位置関係は、前記ワークテーブル4を正面側から直角に見る方向であって、かつ、左側方向より右側方向へ向かって、粗研削加工ステージ11、仕上げ研削加工ステージ10、ロードポート8を設ける。仕上げ研削加工ステージ10は、サーボモータ10m,10mの回転駆動により前後移動可能なツールテーブル10t,10t上に設けられた砥石軸の一対10a,10aに軸承されたカップホイール型仕上げ研削砥石の一対10g,10gをその研削砥石面の砥石刃10gs,10gsが相対向するようにワークテーブル4を挟んでワークテーブル4前後に対称にかつ砥石軸芯10o,10oが同一線上となる位置に設け、これら砥石軸10a,10aはサーボモータ10M,10Mの回転駆動により回転される構造となっている。カップホイール型仕上げ砥石の一対10g,10gの直径は同じ径であり、ワークの直径の1.25~1.5倍の直径が好ましい。このカップホイール型仕上げ研削砥石の砥番は800~2,000番が好ましい。サーボモータ10m,10mによる回転駆動をボールネジが受けて回転し、このボールネジに螺合された固定台が前方向または後方向に前進または後退することにより、この固定台表面にツールテーブル10t,10tの裏面が固定されているツールテーブル10t,10tが前進移動または後退移動する。このツールテーブルの前進または後退の移動方向は、サーボモータ10m,10mの回転軸が時計廻り方向か、逆時計廻り方向かに依存する。粗研削加工ステージ11は、サーボモータ11m,11mの回転駆動により前後移動可能なツールテーブル11t,11t上に設けられた砥石軸の一対11a,11aに軸承されたカップホイール型粗研削砥石の一対11g,11gをその研削砥石面の砥石刃11gs,11gsが相対向するようにワークテーブル4を挟んでワークテーブル4前後に対称にかつ砥石軸芯11o,11oが同一線上となる位置に設け、これら砥石軸11a,11aはサーボモータ11M,11Mの回転駆動により回転される構造となっている。カップホイール型粗研削砥石の一対11g,11gの直径は一方のカップホイール型砥石の直径より10~25mm小さい直径のカップホイール型砥石を用いる。砥番は100~600番が好ましい。サーボモータ11m,11mによる回転駆動をボールネジが受けて回転し、このボールネジに螺合された固定台が前方向または後方向に前進移動または後退移動することにより、この固定台表面にツールテーブル11t,11tの裏面が固定されているツールテーブル11t,11tが前進または後退する。このツールテーブルの前進または後退の移動方向は、サーボモータ11m,11mの回転軸が時計廻り方向か、逆時計廻り方向かに依存する。粗研削加工ステージ11は、前記仕上げ研削加工ステージ10の右横側に平行に設けられる。即ち、両研削加工ステージ10,11の砥石軸芯10o,11oが平行である。カップホイール型研削砥石10g,10g,11g,11gのカップホイール型研削砥石の直径は、同一径であり、直径が四角柱状ワークの対角線長さの1.05~1.3倍の直径が好ましい。しかし、一対のカップホイール型粗研削砥石11g,11gは直径を変えてもよく、大きい方の粗研削カップホイール型砥石11gの直径がワークの対角線長さの1.2~1.3倍の直径で、小さい方の粗研削カップホイール型砥石11gの直径はワークの対角線長さの1.05~1.1倍の直径であってもよい。例えば、ワークの対角線長さが200mmの四角柱状シリコンインゴットを研削するときは大きい方の直径が230mm、小さい方の直径が210mmである。カップホイール型砥石の砥石片10gs、1gsの幅は3~10mm、高さは4~15mmであるのがシリコンインゴットの研削焼け防止の観点から好ましい。研削砥石10g,11gの砥粒は、ダイヤモンド砥粒、CBN砥粒が好ましく、結合剤ボンドはメタルボンド、ビトリファイドボンド、エポキシレジンボンドがよい。例えば、カップホイール型研削砥石10g,11gは、例えば特開平9-38866号公報、特開2000―94342号公報や特開2004-167617号公報等に開示される有底筒状砥石台金の下部環状輪に砥石刃の多数を研削液が散逸する隙間間隔で環状に配置したカップホイール型砥石で、台金の内側に供給された研削液が前記隙間から散逸する構造のものが好ましい。研削液としては、純水、コロイダルシリカ水分散液、セリア水分散液、SC-1液、SC-2液、あるいは、純水とこれら前記の水分散液または研削液を併用する。なお、研削液としては、環境を考慮した水処理の面から純水のみを利用するのが好ましい。ロードポート8は、第二研削ステージ10の右横側であってワークテーブル4の前側に位置するハウジング材にワークwを前記クランプ機構への移出入を可能とする開口部を設けることにより形成される。図2に示すように、前記複合面取り加工装置1は、前記ワークテーブル4の前側であって前記ロードポート8と前記仕上げ研削加工ステージ10との空間部にワークローディング/アンローディング装置13およびインゴット3本を貯えるワークストッカー14を機枠2上に並設している。前記ワークローディング/アンローディング装置13は、ワークストッカー14V字棚段に保管されているワークw1本を1対の爪で挟持し、両爪を上昇させることによりワークを吊り上げ、ついで、後退、右方向への移動、下降してロードポート8前に位置させ、さらに後退させることによりこのロードポート8からワークをクランプ装置7の主軸台7aと心押台7b間へと搬送する。ワークの一端を主軸台7aのセンター支持軸7a1に当接させた後、心押台7bを空気シリンダー7eで右方向に移動させてセンター支持軸7b1に他端を当接させワークを宙吊り状態に支架する。ついで、前記爪13a,13bを離間させてワークの把持を開放し、ついで、両爪13a,13bを支持する固定台13fを上昇させ、左方向に移動させ、さらに、前方向に後退させ両爪13a,13bを待機位置へと戻す。また、前記クランプ装置7に両端を支架されて宙吊り状態となっている面取り加工および洗浄風乾されたワークを両爪で把持し、ついで、両爪を支持する固定台13fを上昇させ、左方向に移動させ、さらに、前方向に後退させ両爪13a,13bをワークストッカー14の空棚上方へ移動したのち、下降させてワークを前記空棚に載置下後、両爪を離間してワークを開放したのち、前記待機位置へと両爪を戻す。上記シリコンインゴットブロックワークwの複合面取り加工装置1を用い、ワークwとして両端C軸面が平面切断された四角柱状シリコンインゴットブロックの四隅R面を面取り研削加工するwを円筒研削加工する作業は、次の工程を経て四角柱状インゴットブロックワークの四隅R面および四側面を面取り加工する。1.ワークローディング/アンローディング装置13を用い、ワークをクランプ装置7の主軸台7aと心押台7b間に移送し、次いで、心押台7bを前進させてワークwを主軸台7aの支持軸7a1と心押台7bの支持軸7b1間に支架し、ワークのR面の円弧の中間点の一対を結ぶ線がクランプ装置の主軸台のワーク支持軸7a1と心押台の支持軸7b1を結ぶC軸を含む水平面に含まれるよう主軸台の支持軸7a1をサーボモータで回転させてワークの芯出しを行う。2.直径が250mmと直径が230mmの一対のカップホイール型砥石11g,11gを軸承する前後移動可能な砥石軸11o,11oの一方を上昇させ、他方のカップホイール型砥石11gを軸承する砥石軸11oを下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型砥石の直径Hより20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸の高さ位置を決める。3前記クランプ装置の主軸台の支持軸7a1をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に13度、後方向に13度の角度で前後合計26度に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。4.上記カップホイール型砥石を軸承する砥石軸の一対をワークのR面に接する距離R面研削開始待機位置まで前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型砥石を2,800~4,000min-1の回転数域の値であってワークに対し砥石軸11o,11oが異なった回転方向となるよう回転させる。5.前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型砥石11g,11g側へ350mm/分の移動速度で左方向に移動させ、クランプ装置7に支架され前後に26度の揺動角度で揺動回転しているワークのR面がカップホイール型砥石11g,11gの刃先11gSに当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。インフィード研削加工がなされている間、研削液20~1,000cc/分の量がカップホイール型砥石とワークが接する作業点に供給される。6.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。1回のワークテーブル4の左方移動で粗面取り研削加工ができないときは、ワークのR面のトラバース研削加工の終了後、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。ついで、前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架され前後に26度の揺動角度で揺動回転しているワークのR面がカップホイール型砥石11g,11gの刃先11gSに当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う操作を繰り返し、R面取り粗研削加工を終了させる。トラバース研削加工がなされている間、研削液20~1,000cc/分の量がカップホイール型砥石とワークが接する作業点に供給される。7.ワークのR面のトラバース研削加工が終了したら、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。8.上記研削開始待機位置にあるワークテーブル4に搭載された前記クランプ装置7の主軸台の支持軸7a1をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。9.前記クランプ装置7の主軸台の支持軸7a1をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に13度、後方向に13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。10.前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型砥石11g,11g側へ350mm/分の移動速度で左方向に移動させ、クランプ装置7に支架され前後に26度の揺動角度で揺動回転しているワークのR面がカップホイール型砥石11g,11gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。インフィード研削加工がなされている間、研削液20~1,000cc/分の量がカップホイール型砥石とワークが接する作業点に供給される。11.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。1回のワークテーブル4の左方移動で粗面取り研削加工ができないときは、ワークのR面のトラバース研削加工の終了後、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。ついで、前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架され前後に26度の揺動角度で揺動回転しているワークのR面がカップホイール型砥石11g,11gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う操作を繰り返し、R面取り粗研削加工を終了させる。トラバース研削加工されている間、研削液20~1,000cc/分の量が作業点に供給される。12.上記ワークのR面のトラバース研削加工が終了したら、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。13.主軸台7aの支持軸をサーボモータで45度回転させてワークの芯出しを行う。14.前記カップホイール型粗研削砥石11gを軸承する砥石軸の一対11o,11oが相対向するよう砥石軸の高さ位置を決める。15前記砥石軸の一対11o,11oに軸承されるカップホイール型粗研削砥石11gがワークの前後面に接する距離側面研削開始待機位置まで砥石軸の一対11o,11oを前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型粗研削砥石11g,11gを回転させる。16.前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型粗研削砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置に支架されたワークwの前後面がカップホイール型粗研削砥石の刃先11gs,11gsに当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。17.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース粗研削加工を行う。18.ワークwの前面と後面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。19.上記研削開始待機位置にあるワークテーブル4に搭載された前記クランプ装置の主軸台7aの支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。20.前記砥石軸の一対11o,11oに軸承されるカップホイール型粗研削砥石11gがワークの前後面に接する距離側面研削開始待機位置まで砥石軸の一対11o,11oを前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型粗研削砥石を回転させる。21.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型粗研削砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置に支架されたワークの前後面がカップホイール型粗研削砥石の刃先11gs,11gsに当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。22.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース粗研削加工を行う。23.ワークwの前面と後面のトラバース粗研削加工が終了したら、前記ワークの粗面取り加工を終了とする。24.カップホイール型仕上げ研削砥石10gを軸承する砥石軸10oの一方を上昇させ、他方のカップホイール型仕上げ研削砥石10gを軸承する砥石軸10oを下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型仕上げ研削砥石の直径Hより20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸10o,10oの高さ位置を決める。25前記クランプ装置の主軸台7aの支持軸をサーボモータで連続回転させることにより前記ワークwをC軸廻りに連続360度回転を開始する。26.前記砥石軸の一対10o,10oをに軸承されるカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gがワークのR面に接する距離R面研削開始待機位置まで砥石軸の一対10o,10oを前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gを回転させる。27.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型仕上げ研削砥石10o,10o側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架されC軸廻りに360度回転しているワークwのR面がカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸10o,10oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。28.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール型仕上げ研削砥石の一対10g,10gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記C軸廻りに360度回転されているワークwのR面のトラバース仕上げ研削加工を行う。29.上述のワークwのR面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、ワークテーブル4を右方向に後退させ、ワークを研削開始待機位置まで戻す。30.主軸台7aの支持軸をサーボモータで回転させてワークwの前後面が前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gの刃先面に対向するよう芯出しを行う。31.前記カップホイール型仕上げ研削砥石を軸承する砥石軸の一対10o,10oが相対向するよう砥石軸の高さ位置を決める。32前記カップホイール型仕上げ研削砥石10gを軸承する砥石軸の一対10o,10oをワークの前後面に接する距離側面研削開始待機位置まで前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gを回転させる。33.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架されたワークwの前後面がカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークwに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。34.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール仕上げ研削砥石の一対10g,10gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工を行う。35.ワークwの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。36.上記研削開始待機位置にあるワークテーブル4に搭載された前記クランプ装置の主軸台7aの支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークwの芯出しを行う。37.前記砥石軸の一対10o,10oをに軸承されるカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gがワークの前後面に接する距離側面研削開始待機位置まで砥石軸の一対10o,10oを前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gを回転させる。38.前記クランプ装置を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型仕上げ研削砥石10g,10g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架されたワークwの前後面がカップホイール型仕上げ研削砥石10g,10gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸10o,10oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削加工を開始する。39.ワークwへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール粗研削砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記ワークwの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工を行う。40.上述のワークwの前面と後面のトラバース仕上げ研削加工が終了したら、前記ワークの仕上げ面取り加工を終了とする。41上記インゴットブロックワークの表面面取り研削加工が終了した後、クランプ機構7をロードポート8位置へ後退させ、そこで面取り研削加工がなされたワークを360度回転させながら圧空をインゴット表面に噴き付けて風乾させる。風乾が終えたらクランプ機構7によるワークの回転を終了させる。42.ワークローディング/アンローディング装置13の両爪を用いてクランプ機構7に支架されている面取り研削加工された四角柱状シリコンインゴットブロックwを把持し、ついで、心押台7bを左方向へ後退させてワークの支架を解いたのち、両爪をワークストッカー14V字棚段上方へ移動させ、下降してワークをワークストッカー14V字棚段に載置し、その後、両爪を離間してワークwの把持を解く。"