"制御対象が備えるモータを駆動するモータ制御装置であって、前記モータの動作速度を検出し、検出速度を出力する速度検出部と、前記検出速度が速度指令に追従するように前記モータに対する駆動力指令を演算する制御演算部と、前記制御演算部の内部において、前記検出速度から前記駆動力指令までの伝達関数である帰還伝達関数に速度ゲインKvを乗じる演算を行う増幅補償部と、フィルタ遮断周波数以下の周波数では周波数応答ゲインが概ね1で、前記フィルタ遮断周波数から前記フィルタ遮断周波数より大きいフィルタ上限周波数までは周波数の増大に対して周波数応答ゲインが低下し、前記フィルタ上限周波数以上の周波数では周波数応答ゲインが概ね一定のフィルタ特性を備え、前記制御演算部の内部において、前記帰還伝達関数に前記フィルタ特性を作用させる演算を行う帰還フィルタと、外部からの入力に基づいて前記速度ゲインKvと、前記フィルタ遮断周波数および前記フィルタ上限周波数の少なくとも一方とを設定する制御定数設定部と、前記モータの駆動力が前記駆動力指令に一致するように前記モータを駆動する駆動力制御部と、を備え、前記制御定数設定部は、前記速度ゲインKvの増大に対して前記フィルタ上限周波数の前記フィルタ遮断周波数に対する比が小さくなるように、前記速度ゲインKvと、前記フィルタ遮断周波数および前記フィルタ上限周波数の少なくとも一方とを設定する、ことを特徴とするモータ制御装置。前記制御定数設定部は、前記速度ゲインKvを前記制御対象のイナーシャ値で除した値に対応するゲイン交差周波数ωcに基づいて前記フィルタ遮断周波数を設定する、ことを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。前記制御定数設定部は、前記駆動力制御部と前記速度検出部との間で生じる位相遅れが概ね90[deg]となる位相基準周波数ωqに基づいて前記フィルタ上限周波数を設定する、ことを特徴とする、請求項2に記載のモータ制御装置。前記帰還フィルタはn個n≧1の極および前記極と同じ数の零点を備え、前記制御定数設定部は、前記フィルタ遮断周波数が絶対値が最小の極に、前記フィルタ上限周波数が絶対値が最大の零点になるように、前記帰還フィルタが備える夫々n個の極および零点を設定する、ことを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。nは2以上の値であって、前記制御定数設定部は、絶対値が小さいほうから順番に極と零点とが交互になるように前記帰還フィルタが備える極および零点を設定する、ことを特徴とする請求項4に記載のモータ制御装置。前記制御定数設定部は、下側基準周波数ωLと、前記下側基準周波数ωLよりも大きい値である上側基準周波数ωHと、0≦αp_1<αz_1<...<αp_n<αz_n≦1を満たす予め定義されている夫々n個の定数αp、αzと、を用いて、絶対値が小さい方からi番目の極ωp_iおよび絶対値が小さい方からi番目の零点ωz_iを、ωp_i={ωL^1-αp_i}ωH^αp_iωz_i={ωL^1-αz_i}ωH^αz_iの式に従って算出する、ことを特徴とする請求項4または5に記載のモータ制御装置。αp_i、αz_iは、夫々、所定の整数に1/2を0回または1回以上乗じて得られる値である、ことを特徴とする請求項6に記載のモータ制御装置。しかしながら、特許文献1の技術に用いられるような通常のローパスフィルタを使用すると、当該ローパスフィルタに起因した位相遅れが発生する。駆動する機械系の慣性がモータに対して極端に大きい場合には、制御対象の周波数応答ゲインが高周波数で大きくなって制御系が不安定になるという問題があった。また、複数の機械共振を有するような複雑な特性の機械系の場合も発振を生じやすく、安定に制御するのが困難であるという問題があった。また、特許文献2では、位相遅れフィルタを用いて、低剛性な機械系を安定に制御するよう構成されているが、その設定方法は、制御対象を2慣性系としてしか考慮していなく、上述した第1の交差周波数ωC1と第2の交差周波数ωC2を基準に設定する方法では、第1のフィルタ周波数と第2のフィルタ周波数との関係が、駆動する機械系の慣性とモータの慣性との比率だけで決定される。その結果、負荷の慣性があまり大きくない場合は第1の交差周波数ωC1と第2の交差周波数ωC2との差が小さいためフィルタで高周波数のゲインを低減する効果が小さい。また、実際の機械系は、多くの場合は上記の理想的な2慣性系と異なって、複数の共振を持つ複雑な特性を持ち、更には帰還ループには無駄時間などの要素が含まれるが、特許文献2におけるパラメータ設定手段ではこれらを考慮していないため、場合によっては速度制御器の速度ゲインを十分に増大させることができず、高精度な制御を実現するのが困難になるという問題があった。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、可及的に幅広い特性の機械系に対して高速高精度な制御を実現することができるモータ制御装置を得ることを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、制御対象が備えるモータを駆動するモータ制御装置であって、前記モータの動作速度を検出し、検出速度を出力する速度検出部と、前記検出速度が速度指令に追従するように前記モータに対する駆動力指令を演算する制御演算部と、前記制御演算部の内部において、前記検出速度から前記駆動力指令までの伝達関数である帰還伝達関数に速度ゲインKvを乗じる演算を行う増幅補償部と、フィルタ遮断周波数以下の周波数では周波数応答ゲインが概ね1で、前記フィルタ遮断周波数から前記フィルタ遮断周波数より大きいフィルタ上限周波数までは周波数の増大に対して周波数応答ゲインが低下し、前記フィルタ上限周波数以上の周波数では周波数応答ゲインが概ね一定のフィルタ特性を備え、前記制御演算部の内部において、前記帰還伝達関数に前記フィルタ特性を作用させる演算を行う帰還フィルタと、外部からの入力に基づいて前記速度ゲインKvと、前記フィルタ遮断周波数および前記フィルタ上限周波数の少なくとも一方とを設定する制御定数設定部と、前記モータの駆動力が前記駆動力指令に一致するように前記モータを駆動する駆動力制御部と、を備え、前記制御定数設定部は、前記速度ゲインKvの増大に対して前記フィルタ上限周波数の前記フィルタ遮断周波数に対する比が小さくなるように、前記速度ゲインKvと、前記フィルタ遮断周波数および前記フィルタ上限周波数の少なくとも一方とを設定する、ことを特徴とする。本発明によれば、速度ゲインKvの増大に応じて帰還フィルタの位相が遅れる周波数範囲を狭く変更しながら高周波数のゲインを低減することができるので、可及的に幅広い特性の機械系に対して高速高精度な制御を実現することができるという効果を奏する。以下に、本発明にかかるモータ制御装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。実施の形態1.図1は本発明の実施の形態1にかかるモータ制御装置の全体構成を表すブロック図である。モータ制御装置101は外部から入力された動作指令である速度指令vrと、エンコーダ等の動作検出器図示せずを用いて検出したモータ1の動作速度vmと、外部からの入力により設定された応答パラメータPrに基づいて、モータ1の動作が動作指令に追従するようにモータ1にトルク駆動力τmを発生させる。またモータ1はトルクτmを発生することで、モータ1とモータ1に結合された機械負荷2とから構成される機械系3を駆動する。なお、以降ではモータ1を回転型モータとしてトルク等の回転系の用語を使用するが、特にモータ1を回転型に限定するものではなく、推力駆動力を発生するリニアモータでも良い。モータ制御装置101は、トルク制御部駆動力制御部4と、速度検出部5と、制御演算部102と、制御定数設定部105とを備えている。速度検出部5は検出したモータ1の動作vmに基づいてモータ1が動作する速度を演算し、検出速度vbとして出力する。制御演算部102は補償増幅演算を行う増幅補償部103とフィルタ演算を行う帰還フィルタ104とから構成され、動作指令である速度指令vrと上記の検出速度vbとに基づいて、検出速度vbが速度指令vrに追従するよう帰還制御の演算を行ったトルク指令τrを出力する。トルク制御部4はモータ1の電流を制御することで、トルク指令τrにモータ1が発生するトルクτmが一致するよう制御を行う。また制御定数設定部105は外部から設定した応答パラメータPrに基づいて、後述のように増幅補償部103および帰還フィルタ104を含む制御演算部102の演算動作の特性、すなわち演算に用いる定数を設定する。[制御演算部102の演算]次に、増幅補償部103と帰還フィルタ104から構成される制御演算部102の演算処理内容について説明する。制御演算部102は速度指令vrと検出速度vbとを入力とする。制御演算部102の内部において増幅補償部103は速度指令vrと検出速度vbとに基づいて、検出速度vbが速度指令vrに追従するよう、通常的な比例積分制御の演算を行う。すなわち、速度指令vrと検出速度vbとの偏差である速度偏差に対して速度ゲインKvを乗じる比例補償と、積分時定数の逆数をωiとした積分補償による次式の演算を行って、制御演算部102における中間変数である補償トルクτcを出力する。ここで、次式および以降において、sはラプラス演算子を表し、1/sは積分を意味する。τc=Kv{1ωi/s}vr-vb式1帰還フィルタ104は、増幅補償部103の出力した補償トルクτcを入力とし、所定のフィルタ遮断周波数ωfLより高周波数において周波数応答ゲインを相対的に低減するような伝達関数Fsの演算によりトルク指令τrを出力する。また帰還フィルタ104は、その周波数応答特性が、上記のフィルタ遮断周波数ωfLより低い低周波数領域ではゲインが概ね1、フィルタ遮断周波数ωfLから、それより高い周波数であるフィルタ上限周波数ωfHまでの中間周波数領域では周波数の増大に対してゲインが低下、上記のフィルタ上限周波数ωfHより高い高周波数領域ではゲインが概ね一定のフィルタ特性を有するものである。帰還フィルタ104の演算処理内容については、後ほど詳しく説明する。なお、上記では帰還フィルタ104の位相特性には言及していないが、帰還制御に用いられるフィルタは、実用的には最小位相推移系と呼ばれる範疇のものであるため、周波数応答ゲインの特性を決定すれば位相の特性は一意に決まるものである。具体的には帰還フィルタ104に上記のようなゲイン特性を持たせることで、その位相特性は結果的に中間周波数領域で相対的に遅れる特性を持つものである。このような演算により、制御演算部102は、検出速度vbからトルク指令τrまでの伝達関数帰還伝達関数と記述するが次式2となる演算を行っている。すなわち、増幅補償部103の演算により帰還伝達関数に速度ゲインKvを乗じるよう、また帰還フィルタ104の演算により、帰還伝達関数に上述のフィルタ特性を作用させるよう、演算を行う。τr/vb=-FsKv{sKpi/s}式2[制御対象の特性]次に、本発明によるモータ制御装置101が駆動する機械系3と、トルク制御部4および速度検出部5の一般的な特性について説明する。ここで、検出速度vbに基づいてトルク指令τrの演算を行う制御演算部102は、駆動する機械系3の特性に応じて演算特性を設定されるが、トルク制御部4および速度検出部5の特性は、通常は機械系3の特性に依存しない一定の特性として構成される。そこで、トルク指令τrから検出速度vbまでの特性、すなわちトルク制御部4と機械系3と速度検出部5とを併せた部分を制御対象と呼ぶ。まず、機械系3が理想的な剛体であると仮定した場合の特性について説明する。その場合、モータ1が発生するトルクτmから機械系3すなわちモータ1の実際の動作速度までの伝達関数は純粋な積分特性となる。すなわち、その周波数応答は、周波数の増大に対してゲインが-20[dB/dec]の傾きで減少し、位相が-90[deg]で一定の特性になる。一方で、トルク制御部4の特性すなわちトルク指令τrに対するモータ1が発生するトルクτmの伝達特性には遅れが含まれる。また、速度検出部5は上述のように、例えばモータ1の動作を検出したエンコーダ出力の差分演算によって検出速度vbの演算を行うが、信号の伝送や演算処理に時間を要するため、モータ1が実際に動作する速度に比べて検出速度vbは遅れた信号となる。図2に、トルク制御部4と機械系3と速度検出部5とからなる制御対象の、すなわちトルク指令τrから検出速度vbまでの特性の周波数応答を示す。図2の実線に、機械系3が上述した理想的な剛体である場合の特性を示す。制御対象のゲインは機械系3と同様に周波数の増大に対して概ね-20[dB/dec]で減少する。また位相に関しては、上記のようにトルク制御部4および速度検出部5には無駄時間に近似される遅れがあるため、周波数が高くなるにつれて位相遅れが増大する特性になる。ここで、トルク制御部4と速度検出部5とで生じる位相遅れの合計が-90[deg]となる周波数を、位相基準周波数ωqと呼ぶこととする。図2に示すように、上述の制御対象の位相特性は位相基準周波数ωqで-180[deg]になる。この位相基準周波数ωqは、トルク制御部4および速度検出部5の位相遅れ特性だけで定まるので、モータ1だけをモータ制御装置101で駆動する状態で、トルク指令τrから検出速度vbまでの周波数応答を測定することで測定できる。あるいは同様にモータ1だけを駆動する状態で、制御演算部102を単純な速度比例制御の特性にしてその制御ゲインを大きくした際に発生する発振の周波数として測定することができる。すなわち、実際に機械負荷2をモータ1に接続して駆動することなく、事前に決定することが可能なものである。本実施の形態では例として位相基準周波数を10000[rad/s]として示す。次に、機械系3が理想的な剛体でない現実的な特性の場合について説明する。機械系3は、モータと機械負荷2とを接続するカップリングやシャフト図示せず、あるいは機械負荷2本体の低剛性に起因して、一般に複数の機械共振を有する。また多くの産業用途のモータでは、モータ1とエンコーダ等の動作検出器図示せずは一体となって構成され、駆動力発生部と動作検出部が十分に近接しているコロケーションと呼ばれる条件が成立している。この場合、モータ1の発生トルクからモータ1の実際の速度までの伝達関数は、周波数の増大に従って反共振と共振とが交互に表れ、位相が-90[deg]より遅れることがないことが理論的に知られている。すなわち、機械系3が理想的な剛体である場合と比較して、全周波数において、位相遅れが大きくなることはない。図2の破線に、機械系3が理想的な剛体でない場合、すなわち剛性が低くて機械共振がある場合のトルク指令τrから検出速度vbまでの周波数応答の一例を示す。図に示すように、周波数の増大に従って、ゲインのノッチ特性となる反共振と、ピーク特性となる共振とが交互に表れる。また反共振周波数と共振周波数の間で周波数の増大に伴ってゲインが増大する特性を持つ。その結果、実線で示した機械系3が理想的な剛体の場合に比べて、高周波数になるにしたがって全体的にゲインが増大する特性を示す。この高周波数でのゲイン増大は、一般に、機械系3全体の慣性に比べてモータ1の慣性が小さい方が大きくなる。一方で位相特性は、周波数の増大に伴って反共振周波数の近辺で位相が180[deg]進む方向に変化し、共振周波数の近辺で位相が180[deg]遅れる方向に変化するが、機械系3が理想的な剛体の場合に比べて位相が遅れることはない。その結果、上述した位相基準周波数ωqより低い周波数で位相が-180[deg]より遅れることはない。[帰還フィルタ104の詳細]次に本実施の形態1による帰還フィルタ104の構成の詳細について説明する。帰還フィルタ104は分母と分子が所定の同じ次数nnは1以上の整数の伝達関数を持たせたものである。すなわちそれぞれn次のsの多項式で表される分母多項式Dfsと分子多項式Nfsとを用いて次式の伝達関数で表される演算を行う。Fs=Nfs/Dfs式3ここで、本実施の形態における帰還フィルタ104は、上記の分母多項式Dfsおよび分子多項式Nfsが、n個の極の周波数以下では単に極と記すωp_i[rad/s]とn個の零点の周波数以下では単に零点と記すωz_i[rad/s]を用いて、次式のようにn個の多項式の積で表される演算を行う。ここで、添え字を表す_iのiは1~nの整数である。Dfs={1/ωp_1s1}...{1/ωp_ns1}式4Nfs={1/ωz_1s1}...{1/ωz_ns1}式5式4および式5において、n個の極ωp_iは小さい順番に添え字iを付与し、同様にn個の零点ωz_iも小さい順に添え字iを付与して表す。また、上述したフィルタ遮断周波数ωfLに第1番目すなわち最小の極ωp_1を、フィルタ上限周波数ωfHに第n番目すなわち最大の零点ωz_nを対応させるとともに、第1番目から第n番目の極ωp_iおよび零点ωz_iを、その絶対値が小さい順番に極と零点が交互になるように設定する。すなわち、各々の極ωp_iおよび零点ωz_iが次式の関係になるように設定する。ωfL=ωp_1<ωz_1<...<ωp_n<ωz_n=ωfH式6上記設定の結果、式3~式5で表される帰還フィルタFsの周波数応答特性は、後に詳細を説明する図3に示すように、フィルタ遮断周波数ωfL、すなわち最小の極ωp_1より低い低周波数領域でゲインが概ね1に、またフィルタ遮断周波数ωfLからフィルタ上限周波数ωfHの中間周波数領域においては、周波数の増大に対してゲインが低下し、またフィルタ上限周波数ωfHすなわち最大の零点ωz_nより高周波数領域でゲインが概ね一定で次式7のGhに収束する特性を持つ。Gh=ωz_1...ωz_n/ωp_1...ωp_n式7更に、上記の帰還フィルタ104の伝達関数Fsの位相特性は、フィルタ遮断周波数ωfLとフィルタ上限周波数ωfHとの間の中間周波数領域では-90[deg]と0[deg]との間にあり、フィルタ遮断周波数ωfLより低い低周波数領域では周波数が低くなるに従い位相が0に近づき、フィルタ上限周波数より高い高周波数領域では周波数が高くなるに従い位相が0に近づく特性を持つ。したがって帰還フィルタFsは全ての周波数において位相が-90[deg]より大きい特性を有している。[制御定数設定部の動作]次に、制御定数設定部105の動作の概略について説明する。制御定数設定部105は外部から応答パラメータPrが入力される。この応答パラメータPrは、速度指令vrに対して検出速度vbを一致させるよう動作するモータ制御装置101の応答速度を設定するパラメータであり、応答速度を表す周波数やその逆数の時定数といった連続的な数値や、大/中/小といった段階的なパラメータのどちらでもよい。この応答パラメータPrは、モータ制御装置101を利用する用途や駆動する機械系3の特性に応じ、制御系の安定性や所望の応答速度を考慮して決定されるものである。なお、速度ゲインKvそのものが応答パラメータPrとして入力されるようにしてもよい。モータ制御装置101の応答速度をより速く設定する場合、制御定数設定部105は応答パラメータPrの入力によって、制御演算部102の増幅補償部103における式1の演算の速度ゲインKvをより大きく設定する。また、積分時定数の逆数ωiを、速度ゲインKvを機械系3の慣性値イナーシャ値Jで除したゲイン交差周波数ωcを基準に、その0.1~0.5倍程度の大きさに設定する。制御定数設定部105はこのような増幅補償部103の設定と同時に、帰還フィルタ104の特性を以下のように設定する。ここで、慣性値Jは外部から設定値として入力するか、あるいはトルク指令τrと検出速度vbとに基づいた推定により定めてもよい。また、制御定数設定部105はゲイン交差周波数ωcを基準に、それと同程度からやや大きい値、通常はωcの1~5倍程度の値としてフィルタ遮断周波数ωfLを設定する。また上述した位相基準周波数ωqよりやや小さい値、通常は0.2~1倍程度の値としてフィルタ上限周波数ωfHを設定する。なお、説明の簡単化のために、ゲイン交差周波数ωcは位相基準周波数ωqより十分に小さい場合について記述し、その結果、上記のような設定によりフィルタ遮断周波数ωfLはフィルタ上限周波数ωfHより小さく設定されるものとする。ここで、ある機械系3を駆動する場合、速度ゲインKvを増大させるとゲイン交差周波数ωcは速度ゲインKvに比例して増大する。一方で位相基準周波数ωqは速度ゲインKvには依存しない値である。したがって制御定数設定部105は応答パラメータPrの入力に応じて速度ゲインKvを大きくした場合に、フィルタ上限周波数ωfHのフィルタ遮断周波数ωfLに対する比率が小さくなるよう設定することになる。結果として、速度ゲインKvの増大に対して上記で説明した中間周波数領域すなわち帰還フィルタ104の位相遅れが大きい周波数範囲が対数軸上において狭くなる。制御定数設定部105が上記のように動作することで、帰還フィルタ104は、ゲイン交差周波数ωc付近での位相遅れを大きくし過ぎることなく、ゲイン交差周波数ωcよりある程度高い周波数ではゲインを低減するとともに、位相基準周波数ωq付近においても位相遅れを小さくする周波数応答特性を持つ。[帰還フィルタ設定の詳細]次に、上記で概略動作を述べた制御定数設定部105による帰還フィルタ104の設定に関する詳細を説明する。制御定数設定部105は上述した位相基準周波数ωqに所定の定数rHを乗じた上側基準周波数ωHを計算する。ここで定数rHは概ね0.2~1の範囲の定数である。また位相基準周波数ωqおよび定数rHは予め定めておけばよいため、上側基準周波数ωH自体を予め定めておいてもよい。また制御定数設定部105は入力された応答パラメータPrに応じて定まるゲイン交差周波数ωcに、予め定めた定数rLを乗じた下側基準周波数ωLを計算する。定数rLは概ね1~5の範囲とする。すなわち以下の式で上側基準周波数ωHと下側基準周波数ωLを計算する。ωH=rHωq式8ωL=rLωc式9また、制御定数設定部105には、上述した帰還フィルタ104の次数nと同じ個数のフィルタの極ωp_iに対応したn個の定数αp_i、およびn個の零点ωz_iに対応したn個の定数αz_iiは1からnの整数が、次式10の関係を満たすように予め設定されている。0≦αp_1<αz_1<...<αp_n<αz_n≦1式10また制御定数設定部105は、上記の上側基準周波数ωH、下側基準周波数ωLと、上記の予め設定されたそれぞれn個の定数αp_i、αz_iを用いて、帰還フィルタ104におけるそれぞれn個の極ωp_iと零点ωz_iとを次式で計算して設定する。ωp_i={ωL^1-αp_i}ωH^αp_i式11ωz_i={ωL^1-αz_i}ωH^αz_i式12上式のように設定することで、第i番目の極ωp_iは、周波数を対数で表した軸において、上側基準周波数ωHと下側基準周波数ωLとをαp_i:1-αp_iに分割した周波数に設定される。同様に第i番目の零点ωz_iは、ωHとωLを対数軸においてαz_i:1-αz_iに分割した周波数に設定される。また上述のようにωp_1はフィルタ遮断周波数ωfLであり、ωz_nはフィルタ上限周波数ωfHであるため、定数αp_i、αz_iを式10のように設定することで、帰還フィルタ104の極および零点は式6を満たすように設定される。ここで、上記式11および式12の計算において、定数αp_i、αz_iを用いた、0以上1以下の整数に限らない有理数を指数に持つ計算を行うが、その実現に際しては、それぞれn個の定数αp_i、αz_iを、式10を満たしながら、1/2を所定の整数aの回数だけ乗じた値と所定の整数bとの積で表されるよう選択しておくとよい。なお、1/2を乗じる回数aの値は、iに応じて、またはαp_iとαz_iとで、異なる値を取り得る。同様に、整数bも、iに応じて、またはαp_iとαz_iとで、異なる値を取り得る。このようにすることで、式11および式12において、整数でないαp_iやαz_iを指数に持つべき乗演算を、例えばωHに対するa回の平方根演算とb回の乗算とで実行でき、高価な演算装置でなくても実装可能な演算で実現することが可能になる。ここで、上述した制御定数設定部105による帰還フィルタ104の設定に関する理論的背景を補足しておく。ここでは理論上の説明の簡単化のために、ωfL<<ωfHで、かつ帰還フィルタ104の次数nを十分に大きい整数とする。帰還フィルタ104の極ωp_iと零点ωz_iに、上記式6の大小関係と共に、非特許文献1の5章に記載されている非整数次積分の近似実現方法と同様な関係を持たせることを考える。そのために、それぞれn個のαp_iおよびαz_iを、それぞれが間隔をΔαとした等差数列となるように設定し、更にαz_iとαp_iとの差がΔαに対してk倍ただし0<k<1となるように設定する。この場合、帰還フィルタ104の伝達関数FsはωfLとωfHとの間の周波数において、次式で表される非整数次積分の特性に近似される。ただし次式における定数kは0<k<1の有理数である。Fs=1/s^k式13上式13で表されるk次の非整数次積分の位相は、-90k[deg]で一定である。したがって本実施の形態のように制御定数設定部105および帰還フィルタ104を構成し、上記の理論的背景に基づく非整数の次数kを所望の値にするようにωp_iおよびωz_iを設定することで、ωfLからωfHまでの周波数範囲が広い場合でも、その周波数範囲において位相が-90[deg]~0[deg]の間の所望の大きさになるよう設定することが可能になる。[具体例]次に、本実施の形態のモータ制御装置101による制御を、数値を用いて具体的に説明する。図3は本実施の形態による帰還フィルタ104の伝達関数Fsの周波数応答を示す。本具体例では帰還フィルタ104の次数nを2としている。図では、ある機械負荷2をモータ1に接続した状態において、応答パラメータPrの変更に基づく制御定数設定部105の動作により、増幅補償部103における速度ゲインKvが異なる値に設定された3通りの場合を示す。速度ゲインKvが小さい場合を実線で、速度ゲインKvが中程度の場合を鎖線で、速度ゲインKvが大きい場合を点線で示している。図の上段にゲインを、下段に位相を示しており、さらに、各条件のゲイン線図、位相線図に重ねて、帰還フィルタ104の極ωp_iを三角点で、零点ωz_iを丸点で描画している。上述のように、最小の極ωz_1がフィルタ遮断周波数ωfLで、最大の零点ωz_2がフィルタ上限周波数ωfHである。図3に示した帰還フィルタ104の極ωp_iおよび零点ωz_iは、上述の制御定数設定部105の動作によって、次のように定められている。まず、図2に示したよう、本具体例では、トルク制御部4および速度検出部5で生じる位相遅れが-90[deg]となる周波数である位相基準周波数ωqが10000[rad/s]であり、所定の定数rHを0.5とした式8の計算により上側基準周波数ωHが定められている。次に制御定数設定部105は、外部からの応答パラメータPrの入力に応じて増幅補償部103における速度ゲインKvを決定し、速度ゲインKvを機械系3の慣性値Jで除した値であるゲイン交差周波数ωcを求める。そのゲイン交差周波数ωcに基づいて所定の定数rLを2.0とした式9の計算により下側基準周波数ωLを定める。次に、制御定数設定部105は次式の関係を満たすよう予め定めた定数αp_iおよびαz_ii=1,2を用い、式11および式12に従って、帰還フィルタ104の極ωp_iおよび零点ωz_iを設定している。0=αp_1<αz_1<αp_2<αz_2<1式14本具体例では、上式のようにαp_1を0と設定しているので、ωp_1すなわちフィルタ遮断周波数ωfLは、ゲイン交差周波数ωcを定数倍した下側基準周波数ωLと同一に定められている。上記のように制御定数設定部105が帰還フィルタ104の特性を設定することで、図3のゲイン線図に示したように、帰還フィルタ104の伝達関数Fsは、フィルタ遮断周波数ωfLより高周波数でゲインを低減し、フィルタ遮断周波数ωfLより低周波数領域でゲインが概ね1、フィルタ遮断周波数ωfLとフィルタ上限周波数ωfHとの間の中間周波数領域において周波数の増大に対してゲインを低減し、フィルタ上限周波数ωfHより高周波数領域でゲインを概ね一定とする周波数応答特性を有することとなる。また、制御定数設定部105は応答パラメータPrに基づいて、速度ゲインKvの増大に対してフィルタ上限周波数ωfHのフィルタ遮断周波数ωfLに対する比率が小さくなるよう設定することとなる。また、図3の位相線図に示したように、帰還フィルタ104の位相特性は、全ての周波数領域において-90[deg]より大きくなるように構成されており、特に、速度ゲインKvが小さい場合は、上記のように帰還フィルタ104の極ωp_iと零点ωz_iを交互に配置した効果によって、フィルタ遮断周波数ωfLとフィルタ上限周波数ωfHの間の広い周波数範囲において、-90[deg]より約30[deg]大きい値で一定に近い位相特性を有し、帰還フィルタ104の次数nを1とした場合では実現できない特徴を有している。また、速度ゲインKvの増大に対して、上記のようにフィルタ上限周波数ωfHのフィルタ遮断周波数ωfLに対する比率が小さくなるため、それらの中間で位相が遅れる周波数範囲が、対数軸において狭くなる特性を有している。次に、本実施の形態で得られる効果を説明するために、図4に、本具体例において機械系3が理想的な剛体と仮定した場合の制御系の開ループ伝達関数の周波数応答を示す。図4には、図3と同様に、外部から入力する応答パラメータPrの変更により、制御定数設定部105が増幅補償部103の速度ゲインKvを、3通りの異なる値に設定した場合を示す。制御定数設定部105は、積分時定数の逆数ωiがゲイン交差周波数ωcの0.3倍になるよう設定している。図3と同様に、速度ゲインKvが小さい場合を実線で、速度ゲインKvが中程度の場合を鎖線で、速度ゲインKvが大きい場合を点線で示している。図4より、開ループ伝達関数の位相が-180[deg]となる位相交差周波数は、速度ゲインKvを変更しても殆ど変わることなく、図3に示した位相基準周波数ωqである10000[rad/s]に比べて、僅かに小さくなるだけである。またいずれの場合もゲイン交差周波数ωcでの位相余裕は45[deg]以上の十分な大きさがあり、ゲイン交差周波数ωcより高い周波数では、上記の位相交差周波数より少し低い周波数まで、-180[deg]に対して約30[deg]程度以上の余裕を保った特性となっている。特に、速度ゲインKvが小さい場合は、広い周波数範囲において、位相が-180[deg]より約30[deg]大きい値で一定に近い特性を有し、帰還フィルタ104の次数nを1とした場合では実現できない特徴を有している。ここで、図4には機械系3が理想的な剛体の場合の開ループ伝達関数の周波数応答を示したが、上述したように、機械系3が理想的な剛体でない場合のゲイン特性は、共振ピークが現れたり、周波数が高くなるに従ってゲインがより大きくなるといった相違を生じる。一方で位相特性は、図4に示した機械系3が理想的な剛体の場合に比べて位相遅れが大きくなることはない。したがって開ループ伝達関数のゲインが、図4に示した位相交差周波数より低い周波数において機械共振などに起因して0[dB]より大きくなったとしても、位相交差周波数より高い周波数で0[dB]を超えなければ不安定になることはない。したがって、位相交差周波数を高く保てば、それより低い周波数の機械共振が不安定になることがなく、なるべく安定性を高くすることができる。このように本実施の形態は、図3に示したように、帰還フィルタ104によって開ループ伝達関数における高周波数のゲインを低減しながらも、図4に示したように位相交差周波数が位相基準周波数ωqよりなるべく小さくならないように、速度ゲインKvの増大によって位相遅れが大きい周波数範囲が対数軸上で狭くなるように構成している。そのため機械系3が剛体と異なって、例えば機械共振が多くあるような場合でも、コローケーションが成立する機械系の特性を利用して、速度ゲインKvの設定に応じて不安定化をなるべく生じないように帰還フィルタ104の設定を行っている。またこれにより、応答パラメータPrの入力に応じて速度ゲインKvを徐々に増大させるという簡単な調整で、ロバストに高速高精度な制御系を実現できる。図5に、上述した本実施の形態によるモータ制御装置を用いた場合と、帰還フィルタ104を本実施の形態と異なるものに変更した場合の開ループ伝達関数周波数応答の比較を示す。実線に本実施の形態のモータ制御装置を用いた場合の開ループ周波数応答を示す。比較対象として、鎖線に本実施の形態における帰還フィルタ104の部分をフィルタ動作を行わない直達状態にした場合を、点線に帰還フィルタ104の部分を1次ローパスフィルタに変更して高周波数領域のゲインをなるべく低減した場合を示す。図中に、各場合における位相交差周波数を丸印で示し、一般的なロバスト性の指標とされるゲイン余裕を両方向矢印で示している。図より、本実施の形態による位相交差周波数は、フィルタ無しの場合に比べて僅かに低下するだけで、ローパスフィルタの場合のような大幅な低下はしない。また、本実施の形態、フィルタ無しの場合、ローパスフィルタの場合のそれぞれに対して、ゲイン余裕は約60[dB],約40dB,約35[dB]であり、本実施の形態の場合は他の場合に比べて20[dB]以上、ゲイン余裕が大きいことが分かる。すなわち、その分だけ機械系3が理想的な剛体と異なって機械共振を持っている場合や、モータの低慣性に起因して高域ゲインが大きくなる場合でも安定が保たれることが分かる。またこのように安定な制御特性を応答パラメータPrの入力だけで簡単に実現することができる。なお、上記説明では、制御定数設定部105における帰還フィルタ104の設定動作を、速度ゲインKvを機械系3の慣性値で除したゲイン交差周波数ωcに基づいて行うものとして説明したが、例えば機械系3の想定される慣性値の範囲が狭い場合は、正確な慣性値Jを用いなくても概算により同様な効果を得ることが可能である。また、制御定数設定部105における帰還フィルタ104の設定動作を、事前に測定した位相基準周波数ωqに基づくものとして説明したが、位相基準周波数ωqを事前に正確に求めることを行わなくても、例えば経験的な値として設定することで、同様な効果を得ることは可能である。すなわち、制御定数設定部105が、速度ゲインKvの増大に対してフィルタ遮断周波数ωfLのフィルタ上限周波数ωfHに対する比率が1以下の範囲で大きくなるよう、言い換えるとフィルタ上限周波数ωfHのフィルタ遮断周波数ωfLに対する比率が小さくなるように帰還フィルタ104の特性を設定すれば、同様な効果を得ることができる。また、上記の説明における制御演算部102の構成は、速度指令vrと検出速度vbとの偏差に基づいて増幅補償部103で演算した結果に対して帰還フィルタ104を作用させる順序の構成としたが、この順番は特に拘るものでない。すなわち、速度指令vrと検出速度vbとの偏差に対して式3で表される伝達関数の帰還フィルタ104を作用させ、その出力に対して式1と同様の入出力関係による比例積分制御の演算をすることで、制御演算部102は、検出速度vbからトルク指令τrまでの伝達関数帰還伝達関数が式2と全く同じ演算をするように構成してもよい。また、上記の説明では、モータ制御装置101を速度指令vrに検出速度vbを追従させる速度制御系として示したが、上記の速度制御系をマイナーループとして含むような位置制御系として構成できることは言うまでもない。また、上記の説明では、増幅補償部103が比例積分演算を行うものとして説明したが、検出速度vbからトルク指令τrまでの帰還伝達関数に速度ゲインKvを乗じるような演算を行えばよく、定常偏差を許容する場合や位置制御系のマイナーループとして用いる場合など、必要なければ積分補償を行わなくても良いことも言うまでもない。また、増幅演算部103に、フィルタ上限周波数ωfHよりも十分に高い周波数成分を除去するようなローパス特性を追加しても、本発明の実施の形態1の特徴が全く失われないことも言うまでもない。このように、本発明の実施の形態1によれば、制御演算部102は、帰還伝達関数に速度ゲインKvを乗じる演算を行う増幅補償部103と、フィルタ遮断周波数より低周波側ではゲインが概ね1で、フィルタ遮断周波数ωfLからフィルタ遮断周波数ωfLより大きいフィルタ上限周波数ωfHまでは周波数の増大に対してゲインが低下、フィルタ上限周波数ωfHより高周波側ではゲインが概ね一定の周波数応答特性を備え、帰還伝達関数の周波数応答ゲインをフィルタ遮断周波数ωfLより高周波数で低減する演算を行う帰還フィルタ104と、を備え、制御定数設定部105は、速度ゲインKvの増大に対してフィルタ上限周波数ωfHのフィルタ遮断周波数ωfLに対する比が小さくなるように速度ゲインKv、フィルタ遮断周波数ωfLおよびフィルタ上限周波数ωfHを設定する、ように構成したので、速度ゲインKvの増大に応じて帰還フィルタ104の位相が遅れる周波数範囲を狭く変更することで、位相交差周波数を低下させずに、速度ゲインKvの大小に応じて開ループ伝達関数の高周波数のゲインをなるべく低減させることができる。これにより、機械負荷2の慣性がモータ1に対して大きい場合でも、そうでない場合でも、また複数の機械共振があるような場合でも、速度ゲインKvに応じて安定性をなるべく向上させる効果が得られ、速度ゲインKvをなるべく大きく設定できるようになるため、可及的に幅広い特性の機械系に対して高速高精度な制御を実現することができる。また、速度ゲインKvに基づいてフィルタ遮断周波数ωfLおよびフィルタ上限周波数ωfHが設定されるので、設定が必要な可変パラメータとして速度ゲインKvを定めるための応答パラメータPrを入力するだけでよいので、高速高精度な制御を簡単な設定で実現することができる。実施の形態2.実施の形態1では、帰還フィルタ104を2次の構成としたが、より簡単に1次としても、類似した効果を得るモータ制御装置として実現可能である。図6は実施の形態2にかかるモータ制御装置の構成図である。なお、実施の形態2のモータ制御装置201の構成は、制御定数設定部205および制御演算部202を除いて実施の形態1と同様である。実施の形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。制御演算部202は、増幅補償部103と帰還フィルタ204とを備える。帰還フィルタ204は、実施の形態1における2次の帰還フィルタ104を1次のフィルタに変更したものである。制御定数設定部205は、帰還フィルタ204が実施の形態1と相違するのに伴って、その特性設定方法が実施の形態1の制御定数設定部105と異なるものである。[帰還フィルタ204]次に、帰還フィルタ204の演算処理内容について説明する。帰還フィルタ204は、実施の形態1と同様な増幅補償部103が出力した補償トルクτcを入力とする。そして制御定数設定部205で設定するフィルタ遮断周波数ωfLおよびフィルタ上限周波数ωfHを用い、フィルタ遮断周波数ωfLより高周波数のゲインを相対的に低減するよう、次式で表す1次フィルタの演算Fsを行った結果をトルク指令τrとして出力する。すなわち帰還フィルタ204はフィルタ遮断周波数ωfLを極、フィルタ上限周波数ωfHを零点とする1次フィルタである。Fs={s/ωfH1}/{s/ωfL1}式15上記のフィルタ上限周波数ωfHはフィルタ遮断周波数ωfL以上の大きさに設定される。帰還フィルタ204はフィルタ遮断周波数ωfLより低い低周波数領域でゲインが概ね1に、またフィルタ遮断周波数ωfLからフィルタ上限周波数ωfHの間の中間周波数領域においては、周波数の増大に対してゲインが低下し、フィルタ上限周波数ωfHより高い高周波数でゲインが上記の低周波数領域より小さい値で概ね一定の値の特性を持つ。上記の帰還フィルタ204の伝達関数Fsの位相特性は、フィルタ上限周波数ωfHとフィルタ遮断周波数ωfLとの比率が有る程度の範囲内であれば、その間の中間周波数領域では-90[deg]と0[deg]との間にあり、フィルタ遮断周波数ωfLより低い周波数では周波数が低くなるに従い位相が0に近づき、フィルタ上限周波数より高い周波数では周波数が高くなるに従い位相が0に近づく特性を持つ。しかしながら実施の形態1における帰還フィルタ104と異なって、フィルタ上限周波数ωfHのフィルタ遮断周波数ωfLに対する比が極端に大きくなると、中間周波数領域の中心において位相が-90[deg]に漸近する特性を持つ。[制御定数設定部205]次に、制御定数設定部205の動作について説明する。制御定数設定部205は実施の形態1と同様に、外部から入力された応答パラメータPrに基づいて、モータ制御装置201の応答速度をより速く設定する場合は、制御演算部202の増幅補償部103における速度ゲインKvをより大きく設定する。また増幅補償部103における積分時定数の逆数ωiを実施の形態1と同様に設定する。それと同時に、速度ゲインKvの増大に伴って上記の帰還フィルタ204のフィルタ遮断周波数ωfLとフィルタ上限周波数ωfHを以下のように設定する。制御定数設定部205は、実施の形態1と同様に、位相基準周波数ωqに定数rHを乗じた上側基準周波数ωHを計算する。ここで定数rHは概ね0.2~1の範囲の定数であり、上側基準周波数ωH自体を予め定めておいてもよい。また制御定数設定部205は入力された応答パラメータPrに応じて定まる速度ゲインKvを機械系3のイナーシャ値Jで除したゲイン交差周波数ωcに、予め定めた定数rLを乗じた下側基準周波数ωLを計算する。定数rLは概ね1~5の範囲とする。すなわち実施の形態1と同様に式8および式9で上側基準周波数ωHと下側基準周波数ωLを計算する。ここで、仮にフィルタ遮断周波数ωfLを下側基準周波数ωLに、フィルタ上限周波数ωfHを上側基準周波数ωHに常に一致させたとすると、速度ゲインKvが小さく、ゲイン交差周波数ωcと位相基準周波数ωqとが大きく離れている場合、上述のように中間周波数領域の中心で帰還フィルタ204の位相が-90[deg]に近づき、制御系の開ループ伝達関数の位相が-180[deg]付近となるため、その付近の周波数に機械負荷2の機械共振が存在すると発振を生じる可能性がある。そこで、フィルタ上限周波数ωfHとフィルタ遮断周波数ωfLの比率の上限値Rmaxを予め定めておき、以下のようにフィルタ遮断周波数ωfLとフィルタ上限周波数ωfHとを決定する。ωfL=ωL式16ωfH=minRmaxωL,ωH式17あるいは、以下のように決定する。ωfH=ωH式18ωfL=maxωH/Rmax,ωL式19ここで、上記で用いている記号のmina,bはaとbの小さい方の値の選択を、maxa,bはaとbの大きい方の値の選択を表す。[具体例]図7に、本実施の形態により制御定数設定部205が上記の式16、式17を用いて帰還フィルタ204の特性を設定した場合の、帰還フィルタ204の伝達関数Fsの周波数応答を示す。本具体例では、帰還フィルタ204の特性以外は実施の形態1の図3に示した場合と全く同じ条件を用いている。増幅補償部103における速度ゲインKvが小さい場合を実線で、速度ゲインKvが中程度の場合を鎖線で、速度ゲインKvが大きい場合を点線で示している。図の上段にゲインを、下段に位相を示しており、さらに、各条件のゲイン線図、位相線図に重ねて、帰還フィルタ204のフィルタ遮断周波数ωfLすなわち極を三角点で、フィルタ上限周波数ωfHすなわち零点を丸点で描画している。図7に示すよう、速度ゲインKvが小さい場合の実線と、速度ゲインKvが中程度の場合の鎖線とで比較すると、これらの場合では上記の式17で上限値Rmaxを用いた設定が選択された結果、丸印で示したフィルタ上限周波数ωfHと三角印で示したフィルタ遮断周波数ωfLとの比率に変化はない。その結果、図に示した対数軸上では、上述の中間周波数領域の広さは変化なく、位相が遅れている周波数領域の広さの変化はない。一方、速度ゲインKvが中程度の場合の鎖線と速度ゲインが大きい場合の点線とを比較すると、速度ゲインKvの増大に伴って、フィルタ上限周波数ωfHのフィルタ遮断周波数ωfLに対する比率が小さくなっている。その結果、速度ゲインKvの増大に伴って、図に示した対数軸上にて、位相遅れが大きい中間周波数領域が縮小している。図8は、図4と同様に、この実施の形態2において機械系3が理想的な剛体である場合の制御系の開ループ伝達関数の周波数応答を示す。図7と同様に、増幅補償部103における速度ゲインKvが小さい場合を実線で、速度ゲインKvが中程度の場合を鎖線で、速度ゲインKvが大きい場合を点線で示している。図8に示すように、開ループ伝達関数の位相が-180[deg]となる位相交差周波数は、実施の形態1と同様に、速度ゲインKvを変更しても大きくは変わらない。またいずれの場合もゲイン交差周波数ωcより高い周波数では、上記の位相交差周波数より少し低い周波数まで、位相が-180[deg]に対して約25[deg]以上の余裕を保った特性となっている。ここで、本実施の形態2の図8を実施の形態1における図4と比較すると、特に速度ゲインKvが小さい実線の場合、位相に大きな変動が生じている。また同じ実線の場合の高周波数領域でのゲインは図4に示した実施の形態1より大きくなっている。これらのことより、本実施の形態2は実施の形態1に比べて、速度ゲインKvが小さい場合の高周波数ゲイン低減効果が小さいことが分かる。これは、帰還フィルタ204が1次であるため、実施の形態1における帰還フィルタ104が2次であった場合に比べて広い周波数領域で望ましい特性を持たせるのが困難なためである。しかしながら、実施の形態1で説明した図5に示したように、帰還フィルタ204をフィルタ動作を行わない直達状態にした場合や、単なるローパスフィルタに置き換えた場合に比べると、実施の形態1と同様に十分に大きいゲイン余裕を確保することができる。これにより、機械系3が理想的な剛体と異なって機械共振を持っている場合や、モータの低慣性に起因して高域ゲインが大きくなる場合でも、他の方式に比べると大きな安定性が保たれることが分かる。またこのように安定な制御特性を、外部から入力する応答パラメータPrの設定だけで簡単に実現することができる。なお、上記の本実施の形態2の説明では、計算を簡単に行うことを考慮して、式16や式18の計算において、フィルタ遮断周波数ωfLやフィルタ上限周波数ωfHが下側基準周波数ωLあるいは上側基準周波数ωHと同一として計算した。しかしながらこれらの計算を、実施の形態1で述べた帰還フィルタ104の説明において次数nが1であるものとし、0あるいは1とは異なる定数αp_1,αz_1を式10の関係で設定し、式11あるいは式12を用いてフィルタ遮断周波数ωfLやフィルタ上限周波数ωfHを計算しても良い。このようにすることで、計算が複雑になるものの上記で説明した図8の特性よりは位相の変動を滑らかにすることができ、帰還フィルタ204の次数が1の場合においても実施の形態1で説明したような特性に近づけるよう、若干の改善を行うことができる。このように、本実施の形態2によれば、帰還フィルタ204の次数は1であるものの、制御定数設定部205は、速度ゲインKvの増大に対してフィルタ上限周波数ωfHのフィルタ遮断周波数ωfLに対する比が小さくなるように、速度ゲインKvとフィルタ遮断周波数ωfLとフィルタ上限周波数ωfHとを設定するので、実施の形態1と同様に、可及的に幅広い特性の機械系に対して高速高精度な制御を実現することができる。また、設定が必要な可変パラメータとして速度ゲインKvを定めるための応答パラメータPrを入力するだけでよいので、高速高精度な制御を簡単な設定で実現することができる。実施の形態3.図9は本発明の実施の形態3にかかるモータ制御装置の構成を示すブロック図である。なお、実施の形態3のモータ制御装置301の構成は、制御定数設定部305および制御演算部302を除いて実施の形態1と同様である。実施の形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。実施の形態1では制御演算部102における帰還フィルタ104が増幅補償部103の出力を入力としてトルク指令τrを出力するものであったのに対し、本実施の形態3では、制御演算部302における帰還フィルタ304は検出速度vbを入力として制御演算部302における中間変数としてフィルタ速度vbfを出力するものである。制御演算部302は、増幅補償部303および帰還フィルタ304を備えている。帰還フィルタ304は、速度検出部5が出力した検出速度vbを入力とし、実施の形態1における帰還フィルタ104と全く同様な伝達関数の演算を行ってフィルタ速度vbfを出力する。すなわち次式の演算を行う。vbf=Fsvb式20増幅補償部303は、速度指令vrとフィルタ速度vbfとに基づいてフィルタ速度vbfが速度指令vrに追従するように、実施の形態1で説明した比例積分制御と同様あるいは類似の演算を行った結果をトルク指令τrとして出力する。ここで、増幅補償部303における演算は、実施の形態1における増幅補償部103と入出力の相違を除いて全く同様な比例積分演算を行ってもよいが、本実施の形態の説明ではI-P制御と呼ばれる演算を行うものとする。すなわち、速度指令vrとフィルタ速度vbfとに基づいて次式21の計算により補償トルクτrの計算を行う。τr=Kv{ωi/svr-vbf-vbf}式21このようなI-P制御と呼ばれる構成の演算を行うことで、速度指令vrに対する検出速度vbあるいはフィルタ速度vbfの応答特性におけるオーバーシュートを低減する効果が得られる。一方で機械系3に作用する外乱に対する応答特性に関しては、PI制御を行う場合と全く同じである。本実施の形態は上記のように構成することで、実施の形態1と構成の相違があるものの、検出速度vbからトルク指令τrまでの伝達関数である帰還伝達関数は、式20および式21より次式となる。τr/vb=-Kv{sKpi/s}Fs式22すなわち、実施の形態1における式2と全く同じ伝達関数による帰還制御を行っており、制御演算部302における増幅補償部303は式22の演算により帰還伝達関数に速度ゲインKvを乗じるよう、また帰還フィルタ304は式22に示した演算により、実施の形態1と同様に、帰還伝達関数のゲインをフィルタ遮断周波数ωfLより高周波数で低減するよう、演算を行う。したがって、制御定数設定部305が実施の形態1の制御定数設定部105と全く同様な動作を行うことで、機械系3に作用する外乱に対する応答特性としては、応答パラメータPrに応じて実施の形態1と全く同様に設定することができる。なお、帰還フィルタ304および制御定数設定部305を、それぞれ実施の形態2における帰還フィルタ204および制御定数設定部205と同様に構成すれば、本実施の形態3は実施の形態2と同様な効果が得られることは言うまでもない。このように、本実施の形態3によれば、帰還フィルタ304を増幅補償部303の前段に置くようにしても、実施の形態1と同様に可及的に幅広い特性の機械系に対して高速高精度な制御を実現することができる。また、設定が必要な可変パラメータとして速度ゲインKvを定めるための応答パラメータPrを入力するだけでよいので、高速高精度な制御を簡単な設定で実現することができる。"