対向する陰極と陽極との間に少なくとも1つの脱塩処理部が設けられた電気式脱イオン水製造装置であって、前記脱塩処理部は、脱塩室と、該脱塩室の両隣に設けられた一対の濃縮室とから構成され、前記脱塩室は、イオン交換膜によって、前記一対の濃縮室の一方に隣接する第1小脱塩室と、前記一対の濃縮室の他方に隣接する第2小脱塩室とに仕切られ、前記第1小脱塩室には、アニオン交換体が充填され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体とカチオン交換体とが充填され、前記第1小脱塩室を通過した被処理水が前記第2小脱塩室に供給され、前記第2小脱塩室を通過した処理水の一部が前記一対の濃縮室の少なくとも一方に濃縮水として供給される、電気式脱イオン水製造装置。対向する陰極と陽極との間に少なくとも1つの脱塩処理部が設けられた電気式脱イオン水製造装置であって、前記脱塩処理部は、脱塩室と、該脱塩室の両隣に設けられた一対の濃縮室とから構成され、前記脱塩室は、イオン交換膜によって、前記一対の濃縮室の一方に隣接する第1小脱塩室と、前記一対の濃縮室の他方に隣接する第2小脱塩室とに仕切られ、前記第1小脱塩室には、アニオン交換体が充填され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体とカチオン交換体とが充填され、前記第1小脱塩室を通過した被処理水の一部が前記第2小脱塩室に供給され、前記第1小脱塩室を通過した被処理水の他の一部が前記一対の濃縮室の少なくとも一方に濃縮水として供給される、電気式脱イオン水製造装置。前記一対の濃縮室のうち、前記第1小脱塩室に隣接する第1の濃縮室には、アニオン交換体とカチオン交換体のいずれか一方または双方が充填され、前記一対の濃縮室のうち、前記第2小脱塩室に隣接する第2の濃縮室には、アニオン交換体およびカチオン交換体が複床形態で充填されており、前記第2の濃縮室内のアニオン交換体層とカチオン交換体層は、前記第2の濃縮室内における濃縮水の通水方向において隣接しており、かつ、前記カチオン交換層が前記通水方向前段に配置され、前記アニオン交換体層が前記通水方向後段に配置されている、請求項1または請求項2に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第2の濃縮室内の前記カチオン交換体層は、前記第2の濃縮室と前記第2小脱塩室を仕切っているイオン交換膜を介して、前記第2小脱塩室内の前記アニオン交換体と隣接しており、前記第2の濃縮室内の前記アニオン交換体層は、前記第2の濃縮室と前記第2小脱塩室を仕切っているイオン交換膜を介して、前記第2小脱塩室内の前記カチオン交換体と隣接している、請求項3に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第1小脱塩室には、アニオン交換体層が一層形成され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体層とカチオン交換体層とが少なくとも一層ずつ積層されている、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第2小脱塩室には、アニオン交換体層とカチオン交換体層とが交互に四層以上積層されている、請求項5に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第2小脱塩室への被処理水の流入方向と、前記第2の濃縮室への濃縮水の流入方向とが逆向きとなるように流路が形成されている、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電気式脱イオン水製造装置。しかし、脱イオン水製造装置では、濃縮室にアニオン交換体を充填することでスケールの発生を回避できたとしても、スケールの発生とは別の次のような問題が発生する。濃縮水に含まれる炭酸やシリカに代表される弱酸アニオン成分が濃縮室と脱塩室とを仕切るイオン交換膜を通過して処理水中に拡散し、処理水の純度を低下させる。かかる処理水の純度低下は、濃縮室にアニオン交換体が充填されている場合により顕著に現れてしまう。以下、炭酸とシリカを例として、具体的に説明する。一般的に、カチオン交換膜はカチオン成分のみ選択的に透過させるイオン交換膜である。その原理は、膜自体に-電荷を持たせ、-電荷を有するアニオン成分に対して反発力を働かせて透過を阻止するものである。一方、炭酸やシリカは水溶液中で各イオン種の形態を取り、それらは平衡状態にある。CO2⇔HCO3⇔CO32SiO2⇔SiOH4⇔SiOH3O上記のような平衡状態において各イオン種が全体に占める割合は、pHによって大きく変化する。pHが低い領域では炭酸やシリカの大部分はイオン化していない、つまり電荷を持たない状態でCO2、SiO2として存在している。このため、pHが低い領域でカチオン交換膜を用いて炭酸やシリカの移動を阻止しようとしても、-電荷による反発力が有効に働かないために、これらの分子は容易にカチオン交換膜を通過してしまう。図10を参照して具体的に説明する。脱塩室Dの陰極側にはカチオン交換膜を介して濃縮室C2が配置され、陽極側にはアニオン交換膜を介して濃縮室C1が配置されている。ここで、脱塩室Dにはカチオン交換体およびアニオン交換体が混床形態で充填され、濃縮室C1、C2にはアニオン交換体が単床形態でそれぞれ充填されている。被処理水は脱塩室Dを通過して系外に排出される。脱塩室Dから濃縮室C2に向かって、被処理水中のカチオン成分と共に水解離反応により生じる多量の水素イオンHがカチオン交換体を伝って移動してくる。濃縮室C2にはアニオン交換体が充填されているので、カチオン交換膜を通過した水素イオンHは、カチオン交換膜の濃縮室側表面で一斉に放出される。すなわち、カチオン交換膜の濃縮室側表面は、水素イオンHが多い状態=pHが低い状態になる。一方、濃縮水に含まれる炭酸やシリカ図中には炭酸が示されているが、シリカについても同じは、濃縮室C1及びC2内のアニオン交換体によりイオンとして捕捉される。捕捉された炭酸やシリカは、濃縮室C1及びC2内のアニオン交換体を伝って、これら濃縮室内を移動し、カチオン交換体との接合点で放出される。すなわち、濃縮室C2内で捕捉された炭酸やシリカは、濃縮室C2内のアニオン交換体を伝って、該濃縮室C2と脱塩室Dとを仕切るカチオン交換膜表面に移動し、該表面において放出される。この結果、カチオン交換膜表面における炭酸やシリカの存在量が増加する。換言すれば、カチオン交換膜表面における炭酸やシリカの局所濃度が上昇する。要するに、濃縮室C2と脱塩室Dとを仕切るカチオン交換膜表面では、炭酸やシリカの濃度が高くなる上に、pHが低くなる。このため、pHが低い条件下でイオン化しない炭酸やシリカは、容易にカチオン交換膜を透過して処理水中に拡散してしまう。図11に示す脱イオン水製造装置には2つの脱塩室D1、D2が設けられている。このように複数の脱塩室が設けられている場合には、濃縮水にもともと含まれている炭酸やシリカに加え、被処理水に含まれている炭酸やシリカが脱塩室から濃縮室へ移動してくる。従って、濃縮室内における炭酸やシリカの濃度が上昇し、炭酸やシリカの脱塩室への混入による処理水の純度低下はより顕著となる図中には炭酸が示されているが、シリカについても同じ。本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、スケールの発生を抑制しつつ、高純度の脱イオン水を製造可能とすることである。上記目的を達成するためには、濃縮室と脱塩室を仕切るイオン交換膜表面におけるアニオン成分の存在量局所濃度を減少させることが有効である。さらに、上記イオン交換膜表面を通過して微量のアニオン成分が脱塩室に移動した場合に備えて、脱塩室内に移動してきたアニオン成分を捕捉する手段を講じることが有効である。そこで、本発明の脱イオン水製造装置の一態様では、対向する陰極と陽極との間に少なくとも1つの脱塩処理部が設けられ、前記脱塩処理部は、脱塩室と、該脱塩室の両隣に設けられた一対の濃縮室とから構成されている。そして、前記脱塩室は、イオン交換膜によって、前記一対の濃縮室の一方に隣接する第1小脱塩室と、前記一対の濃縮室の他方に隣接する第2小脱塩室とに仕切られ、前記第1小脱塩室には、アニオン交換体が充填され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体とカチオン交換体とが充填されている。さらに、前記第1小脱塩室を通過した被処理水が前記第2小脱塩室に供給され、前記第2小脱塩室を通過した処理水の一部が前記一対の濃縮室の少なくとも一方に濃縮水として供給される。また、本発明の脱イオン水製造装置の他の一態様では、前記第1小脱塩室を通過した被処理水の一部が前記第2小脱塩室に供給され、前記第1小脱塩室を通過した被処理水の他の一部が前記一対の濃縮室の少なくとも一方に濃縮水として供給される。上記のように、本発明の脱イオン水製造装置では、脱塩室を通過した被処理水や処理水の一部が濃縮水として利用される。すなわち、アニオン成分が予め除去された水が濃縮水として利用される。よって、濃縮室と脱塩室を仕切るイオン交換膜上のアニオン成分の存在量局所濃度が減少する。さらに、上記イオン交換膜を通過してアニオン成分の一部が第2小脱塩室へ移動した場合であっても、第2小脱塩室に移動したアニオン成分は、第2小脱塩室内のアニオン交換体によって捕捉され、第1小脱塩室を介して第1の濃縮室へ移動する。よって、炭酸やシリカなどのアニオン成分などが処理水中に拡散することがない。本発明によれば、スケールの発生を抑制しつつ、高純度の脱イオン水を製造可能な電気式脱イオン水製造装置が実現される。実施形態1以下、図面を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の一例について説明する。図1は、本実施形態に係る脱イオン水製造装置の概略構成図である。図1に示す脱イオン水製造装置では、陰極を備えた陰極室E1と陽極を備えた陽極室E2との間に脱塩処理部が設けられている。この脱塩処理部は、脱塩室Dと、脱塩室Dの両隣に配置された一対の濃縮室C1、C2から構成されている。以下の説明では、一対の濃縮室C1、C2のうち、陽極室E2と脱塩室Dとの間に位置している濃縮室C1を第1の濃縮室C1、陰極室E1と脱塩室Dとの間に位置している濃縮室C2を第2の濃縮室C2と呼んで区別する。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。ここで、脱塩室Dは、イオン交換膜によって二つの小脱塩室に仕切られている。具体的には、脱塩室Dは、第1の濃縮室C1に隣接している第1小脱塩室D1と、第2の濃縮室C2に隣接している第2小脱塩室D2とに仕切られている。これまで説明した各室は、枠体1の内部を複数のイオン交換膜によって多数の空間に仕切ることによって形成されており、イオン交換膜を介して隣接している。各室の配列状況を陰極室E1の側から順に説明すると、次の通りである。すなわち、陰極室E1は、第1のアニオン交換膜a1を介して第2の濃縮室C2に隣接し、第2の濃縮室C2は、第1のカチオン交換膜c1を介して第2小脱塩室D2と隣接している。第2小脱塩室D2は、第2のアニオン交換膜a2を介して第1小脱塩室D1と隣接し、第1小脱塩室D1は、第3のアニオン交換膜a3を介して第1の濃縮室C1と隣接している。第1の濃縮室C1は、第2のカチオン交換膜c2を介して陽極室E2と隣接している。以下の説明では、上記複数のイオン交換膜のうち、脱塩室Dを第1小脱塩室D1と第2脱塩室D2とに仕切っているアニオン交換膜を中間イオン交換膜と呼んで他のイオン交換膜と区別する場合がある。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。陰極室E1には陰極が収容されている。陰極は金属の網状体あるいは板状体であり、例えばステンレス製の網状体あるいは板状体である。陽極室E2には陽極が収容されている。陽極は金属の網状体あるいは板状体である。被処理水にClを含む場合、陽極に塩素が発生する。このため、陽極には耐塩素性能を有する材料を用いることが望ましく、一例として、白金、パラジウム、イリジウム等の金属、あるいはチタンをこれらの金属で被覆した材料が挙げられる。陰極室E1および陽極室E2には電極水がそれぞれ供給される。これらの電極水は電極近傍での電気分解により、水素イオン及び水酸化物イオンを発生させる。脱イオン水製造装置の電気抵抗を抑えるために、陰極室E1および陽極室E2にイオン交換体が充填されていることが好ましい。さらに、陰極室E1には、弱塩基性アニオン交換体、強塩基性アニオン交換体等のアニオン交換体が充填されていることがより好ましい。また、陽極室E2には、弱酸性カチオン交換体、強酸性カチオン交換体等のカチオン交換体が充填されていることがより好ましい。第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2は、脱塩室Dから排出されるアニオン成分またはカチオン成分を取り込み、それらを系外に放出するために設けられている。第1の濃縮室C1および第2の濃縮室にはアニオン交換体が単床形態で充填されている。第1小脱塩室D1には、アニオン交換体が単床形態で充填されている。また、第2小脱塩室D2には、アニオン交換体およびカチオン交換体が複床形態で充填されている。具体的には、第2小脱塩室D2への被処理水の流入方向に沿ってカチオン交換体の層とアニオン交換体の層が積層されている。より具体的には、被処理水の通水方向前段にカチオン交換体層が配置され、通水方向後段にアニオン交換体層が配置されている。すなわち、第2小脱塩室D2に流入した被処理水は、カチオン交換体層とアニオン交換体層をこの順で通過する。換言すれば、第2小脱塩室D2において被処理水が最後に通過するイオン交換体の層がアニオン交換体層となる順序でアニオン交換体層とカチオン交換体層とが積層されている。図1では、枠体1が一体的に示されているが、実際には部屋毎に別々の枠体を備え、それら枠体同士が互いに密着して設けられている。枠体1の素材は絶縁性を有し、被処理水や濃縮水などが漏洩しない素材であれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ABS、ポリカーボネート、m-PPE変性ポリフェニレンエーテル等の樹脂を一例として挙げることができる。ここで、本発明の理解を容易するために、図1に示す脱イオン水製造装置における被処理水および濃縮水の主な流れについて予め概説する。被処理水は、第1小脱塩室D1に供給され、該小脱塩室D1を通過する。第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、第2小脱塩室D2に供給され、該小脱塩室D2を通過する。第2小脱塩室D2を通過した処理水は分流され、一部は濃縮水として第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2に供給され、残りの一部は処理水として系外に排出される。第1の濃縮室C1または第2の濃縮室C2に供給された濃縮水は、各濃縮室C1、C2を通過して系外に排出される。上記のように被処理水および濃縮水を流すためにいくつかの流路が設けられている。図1において枠体1の上方に示されている流路U1は、その一端が被処理水の供給口に接続され、他端が第1小脱塩室D1に接続されている。枠体1の下方に示されている流路L1は、その一端が第1小脱塩室D1に接続され、他端が第2小脱塩室D2に接続されている。枠体1の上方に示されている流路U2は、その一端が第2小脱塩室D2に接続され、他端側は途中で分岐されて、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2および処理水の排出口にそれぞれ接続されている。枠体1の下方に示されている流路L2は、その一端が第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2にそれぞれ接続され、他端側は途中で合流した後に濃縮水の排出口に接続されている。なお、図示は省略されているが、陰極室E1および陽極室E2には、電極水を供給するための流路と供給された電極水を排出するための流路がそれぞれ接続されている。次に、上記構成を有する脱イオン水製造装置の動作および作用について説明する。陰極室E1および陽極室E2には、図示しない流路から電極水が供給され、供給された電極水は図示しない流路から排出される。さらに、陽極、陰極の間には所定の直流電圧が印加される。以上の状態の下で、流路U1を介して第1小脱塩室D1に供給される。第1小脱塩室D1に供給された被処理水中のアニオン成分Cl、CO32、HCO3、SiO2等は、被処理水が第1小脱塩室D1を通過する過程で捕捉される。第1小脱塩室D1において捕捉されたアニオン成分は、第1小脱塩室D1と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。次に、第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、流路L1を介して第2小脱塩室D2に供給される。ここで、第2小脱塩室D2には、カチオン交換体層とアニオン交換体層とがこの順で積層されていることは既述の通りである。よって、第2小脱塩室D2に供給された被処理水は、まずカチオン交換体層を通過し、その後にアニオン交換体層を通過する。その際、被処理水がカチオン交換体層を通過する過程で、被処理水中のカチオン成分Na、Ca2、Mg2等が捕捉される。第2小脱塩室D2内のカチオン交換体によって捕捉されたカチオン成分は、第2小脱塩室D2と第1のカチオン交換膜c1を介して隣接する第2の濃縮室C2へ移動し、該第2の濃縮室C2を通水する濃縮水と共に系外に排出される。さらに、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体層を通過した被処理水は、アニオン交換体層を通過する。この際、被処理水中のアニオン成分Cl、CO32、HCO3、SiO2等が再度捕捉される。第2小脱塩室D2のアニオン交換体によって捕捉されたアニオン成分は、第2小脱塩室D2と中間イオン交換膜a2を介して隣接する第1小脱塩室D1へ移動する。第1小脱塩室D1へ移動したアニオン成分は、第1小脱塩室D1と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。第2小脱塩室D2を通過した処理水の一部が、濃縮水として第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2に供給され、残りの一部が処理水として系外に排出される。以上が本実施形態に係る脱イオン水製造装置における脱イオン処理の流れである。ここで、第2の濃縮室C2に供給される濃縮水は、第2小脱塩室D2を通過した処理水の一部であり、炭酸やシリカなどのアニオン成分の大部分は予め除去されている。したがって、第2の濃縮室C2と第2小脱塩室D2を仕切る第1のカチオン交換膜c1上のアニオン成分の存在量局所濃度が減少する。しかし、第2の濃縮室C2に供給される濃縮水中のアニオン成分を完全に除去することは困難である。よって、第2の濃縮室C2に供給される濃縮水には、微量の炭酸やシリカなどが含まれている可能性がある。濃縮水に炭酸やシリカが含まれている場合、その一部が第1のカチオン交換膜c1を通過して第2小脱塩室D2へ移動する可能性があることは既述のとおりである。さらに、第1のカチオン交換膜c1を通過した炭酸やシリカは、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面上に一様に拡散する。すなわち、炭酸やシリカは、第2小脱塩室D2内のアニオン交換体層と接している領域のみでなく、カチオン交換体層と接している領域にも拡散する。そして、炭酸やシリカはカチオン交換体によっては捕捉されないので、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面のうち、カチオン交換体層と接している領域に拡散した炭酸やシリカは、被処理水とともにカチオン交換体層を通過してしまう。しかし、第2小脱塩室D2には、被処理水の通水方向に沿ってカチオン交換体層とアニオン交換体層とが積層されている。よって、カチオン交換体層を通過した炭酸やシリカは、次段のアニオン交換体層において再度イオン化されて捕捉され、第1小脱塩室D1へ移動する。第1小脱塩室D1に移動した炭酸やシリカは、第3のアニオン交換膜a3を通過して、第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。なお、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体層とアニオン交換体層の積層順序が逆の場合には、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面のうち、カチオン交換体層と接している領域に拡散した炭酸やシリカを捕捉することはできず、処理水の純度が低下することは自明である。一方、第2小脱塩室D2内に設けられたイオン交換体の積層体の最終段がアニオン交換体層であれば上記効果が得られることが理解できるはずである。換言すれば、第2小脱塩室D2を通過する被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体であれば上記効果が得られる。よって、最終段のアニオン交換体層よりも前段のイオン交換体層の種類、積層順序、積層数は特に限定されない。例えば、カチオン交換体層とアニオン交換体層を最終段がアニオン交換体層となる順序で4層以上積層してもよい。さらに、本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、被処理水が最初に供給される第1小脱塩室D1にアニオン交換体が充填され、被処理水が次に供給される第2小脱塩室D2には、カチオン交換体とアニオン交換体がこの順で積層されている。よって、被処理水は、最初にアニオン交換体を通過する。これにより、被処理水からアニオン成分が除去され、被処理水のpHが上昇する。さらに、第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、カチオン交換体とアニオン交換体がこの順で積層されている第2小脱塩室D2に供給される。すなわち、第1小脱塩室D1内のアニオン交換体を通過した被処理水は、次いでカチオン交換体を通過する。これにより、被処理水からカチオン成分が除去され、被処理水のpHが低下する。要するに、本実施形態の構成よれば、被処理水は、アニオン交換体とカチオン交換体を交互に通過する。ここで、アニオン交換体のアニオン成分の捕捉能力は、被処理水のpHが低い場合に高まり、カチオン交換体のカチオン成分の捕捉能力は、被処理水のpHが高い場合に高まる。よって、被処理水がアニオン交換体、カチオン交換体、アニオン交換体の順で通過することになる本実施形態の構成によれば、アニオン成分およびカチオン成分の双方の除去能力が向上し、より高純度の処理水が得られる。さらに、本実施形態の脱イオン水製造装置では、高純度の処理水の一部が濃縮水として利用されるので、濃縮水に含まれているアニオン成分の一部がイオン交換膜を通過して処理水中に拡散することがなく、処理水の純度がさらに向上する。なお、第1の濃縮室C1には、アニオン交換体に代えてカチオン交換体を単床形態で充填してもよく、アニオン交換体とカチオン交換体を混床形態で充填してもよい実施形態2以下、図2を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、流路構成に関してのみ実施形態1に係る脱イオン水製造装置と異なる。そこで、実施形態1に係る脱イオン水製造装置と異なる構成についてのみ以下に説明し、共通する構成についての説明は適宜省略する。図2に示すように、本実施形態における脱イオン水製造装置では、第1小脱塩室D1を通過した被処理水を第2小脱塩室D2に供給する流路L1が分岐されている。具体的には、流路L1の一端は第1小脱塩室D1に接続され、他端側は途中で分岐されて第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2にそれぞれ接続されている。よって、第1小脱塩室D1を通過した被処理水の一部が、濃縮水として第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2にそれぞれ供給され、残りの一部が第2小脱塩室D2に供給される。実施形態3以下、図3を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、第2の濃縮室C2におけるイオン交換体の充填形態に関してのみ実施形態1に係る脱イオン水製造装置と異なる。そこで、実施形態1に係る脱イオン水製造装置と異なる構成についてのみ以下に説明し、共通する構成についての説明は適宜省略する。図3に示すように、本実施形態における第2の濃縮室C2には、アニオン交換体およびカチオン交換体が複床形態で充填されている。具体的には、第2の濃縮室C2への濃縮水の流入方向に沿ってカチオン交換体の層とアニオン交換体の層が積層されている。より具体的には、第2の濃縮室C2内における濃縮水の通水方向前段にカチオン交換体層が配置され、通水方向後段にアニオン交換体層が配置されている。ここで、第2小脱塩室D2内においても、第2小脱塩室D2内の被処理水の通水方向前段にカチオン交換体層が配置され、通水方向後段にアニオン交換体層が配置されている。しかし、第2の濃縮室C2内における濃縮水の通水方向と第2小脱塩室D2内における被処理水の通水方向とは逆向きである。この結果、第2の濃縮室C2内のカチオン交換体層は、第1のカチオン交換膜c1を介して、第2小脱塩室内のアニオン交換体層と隣接している。また、第2の濃縮室C2内のアニオン交換体層は、第1のカチオン交換膜c1を介して、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体層と隣接している。すなわち、第1のカチオン交換膜c1は、その陰極側において第2の濃縮室C2内のカチオン交換体層に接し、その陽極側において第2小脱塩室内のアニオン交換体層に接している第1の領域と、その陰極側において第2の濃縮室C2内のアニオン交換体層に接し、その陽極側において第2小脱塩室内のカチオン交換体層に接している第2の領域とに分けられる。よって、第1のカチオン交換膜c1の陰極側表面における炭酸やシリカの存在量は、該陰極側表面の全域がアニオン交換体と接している場合に比べて減少する。換言すれば、第1のカチオン交換膜c1の陰極側表面における炭酸やシリカの存在量局所濃度は、第2の濃縮室C2内にアニオン交換体が単床形態で充填されている場合に比べて減少する。但し、上記第2の領域の陰極側表面において放出された炭酸やシリカの一部が該第2の領域の陽極側表面に拡散する可能性がある。さらに、第2の領域の陽極側表面に拡散した炭酸やシリカは、該陽極側表面に接している第2小脱塩室D2内のカチオン交換体層によっては捕捉されない。しかし、上記のとおり、第2小脱塩室D2内には、被処理水の通水方向に沿ってカチオン交換体層とアニオン交換体層とが積層されている。よって、カチオン交換体層を通過した炭酸やシリカは、次段のアニオン交換体層において再度イオン化されて捕捉され、第1小脱塩室D1へ移動する。第1小脱塩室D1に移動した炭酸やシリカは、第3のアニオン交換膜a3を通過して、第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。特に、第1のカチオン交換膜c1の第2の領域は、濃縮水との関係では通水方向後段に位置し、被処理水との関係では通水方向前段に位置している。よって、第2の領域の陽極側表面に拡散した炭酸やシリカは、被処理水の通水方向前段において被処理水中に拡散する。したがって、被処理水中に拡散した炭酸やシリカは、第2小脱塩室D2内のアニオン交換体層をその端から端まで通過することになる。よって、被処理水中に拡散している炭酸やシリカがアニオン交換体と接触する機会が増え、炭酸やシリカの除去率が向上する。なお、図3に示す構成では、第2の濃縮室C2内のアニオン交換体層およびカチオン交換体層の厚み高さは略同一である。すなわち、第2の濃縮室C2内におけるアニオン交換体およびカチオン交換体の充填量の比率は略1:1である。しかし、アニオン交換体とカチオン交換体の充填量の比率は適宜変更することができる。実施形態4以下、図4を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、流路構成に関してのみ実施形態3に係る脱イオン水製造装置と異なる。そこで、実施形態3に係る脱イオン水製造装置と異なる構成についてのみ以下に説明し、共通する構成についての説明は適宜省略する。図4に示すように、本実施形態における脱イオン水製造装置では、第1小脱塩室D1を通過した被処理水を第2小脱塩室D2に供給する流路L1が分岐されている。具体的には、流路L1の一端は第1小脱塩室D1に接続され、他端側は途中で分岐されて第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2にそれぞれ接続されている。よって、第1小脱塩室D1を通過した被処理水の一部が、濃縮水として第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2にそれぞれ供給され、残りの一部が第2小脱塩室D2に供給される。なお、濃縮室が電極室を兼ねている構成も本発明に含まれる。例えば、図1~図4に示す第2の濃縮室C2に陰極を設けて陰極室E1を省略してもよく、第1の濃縮室C1に陽極を設けて陽極室E2を省略してもよい。第1の濃縮室C1に陽極を設ける場合には、該第1の濃縮室C1内には、少なくともカチオン交換体を充填する。実施形態5以下、図5を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、陰極室と陽極室との間に複数の脱塩処理部が設けられている点を除いて、実施形態1に係る脱イオン水製造装置と共通の構成を有する。そこで、実施形態1に係る脱イオン水製造装置と異なる構成についてのみ以下に説明し、共通する構成についての説明は適宜省略する。図5に示すように、陰極室E1と陽極室E2との間には2つの脱塩処理部が設けられている。2つの脱塩処理部のうち、相対的に陰極に近接している第1の脱塩処理部は、脱塩室D1と、脱塩室D1の両隣に配置されている一対の濃縮室C1、C2から構成されている。一方、相対的に陽極に近接している第2の脱塩処理部は、脱塩室D2と、脱塩室D2の両隣に配置されている一対の濃縮室C1、C3から構成されている。以下の説明では、第1の脱塩処理部を構成している脱塩室D1を陰極側脱塩室D1、第2の脱塩処理部を構成している脱塩室D2を陽極側脱塩室D2と呼んで区別する。また、濃縮室C1を第1の濃縮室C1、濃縮室C2を第2の濃縮室C2、濃縮室C3を第3の濃縮室C3と呼んで区別する。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。さらに、陰極側脱塩室D1および陽極側脱塩室D2は、イオン交換膜によってそれぞれ二つの小脱塩室に仕切られている。以下の説明では、陰極側脱塩室D1を構成している二つの小脱塩室のうち、第1の濃縮室C1と隣接している小脱塩室を陰極側第1小脱塩室D11、第2の濃縮室C2と隣接している小脱塩室を陰極側第2小脱塩室D12と呼ぶ。また、陽極側脱塩室D2を構成している二つの小脱塩室のうち、第3の濃縮室C3と隣接している小脱塩室を陽極側第1小脱塩室D21、第1の濃縮室C1と隣接している小脱塩室を陽極側第2小脱塩室D22と呼ぶ。かかる区別も説明の便宜上の区別であることは勿論である。各室の配列状況を陰極室E1の側から順に説明すると、次の通りである。すなわち、陰極室E1は、第1のアニオン交換膜a1を介して第2の濃縮室C2に隣接し、第2の濃縮室C2は、第1のカチオン交換膜c1を介して陰極側第2小脱塩室D12と隣接している。陰極側第2小脱塩室D12は、第2のアニオン交換膜a2を介して陰極側第1小脱塩室D11と隣接し、陰極側第1小脱塩室D11は、第3のアニオン交換膜a3を介して第1の濃縮室C1と隣接している。第1の濃縮室C1は、第2のカチオン交換膜c2を介して陽極側第2小脱塩室D22と隣接し、陽極側第2小脱塩室D22は、第4のアニオン交換膜a4を介して陽極側第1小脱塩室D21と隣接している。陽極側第1小脱塩室D21は、第5のアニオン交換膜a5を介して第3の濃縮室C3と隣接し、第3の濃縮室C3は、第3のカチオン交換膜c3を介して陽極室E2と隣接している。各濃縮室C1、C2、C3は、陰極側脱塩室D1または陽極側脱塩室D2から排出されるアニオン成分またはカチオン成分を取り込み、それらを系外に放出するために設けられている。各濃縮室C1、C2、C3には、それぞれアニオン交換体が単床形態で充填されている。陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21には、それぞれアニオン交換体が単床形態で充填されている。また、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22には、それぞれアニオン交換体およびカチオン交換体が複床形態で充填されている。なお、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22におけるアニオン交換体およびカチオン交換体の具体的な充填形態は実施形態1において説明した通りである。すなわち、本実施形態に係る脱イオン水製造装置には、実施形態1で説明した脱塩処理部と実質的に同一の脱塩処理部が2つ設けられている。次に、図5に示す脱イオン水製造装置における被処理水および濃縮水の主な流れについて概説する。被処理水は、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21にそれぞれ並列的に供給され、これら小脱塩室を通過する。陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水は、これら小脱塩室外で一度合流した後に分流されて、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ並列的に供給され、これら小脱塩室を通過する。陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22を通過した処理水は分流され、一部は濃縮水として各濃縮室C1、C2、C3にそれぞれ供給され、残りの一部は処理水として系外に排出される。各濃縮室C1、C2、C3に供給された濃縮水は、これら濃縮室を通過して系外に排出される。上記のように被処理水、処理水および濃縮水を流すためにいくつかの流路が設けられている。図5において枠体1の上方に示されている流路U1は、その一端が被処理水の供給口に接続され、他端側は途中で分岐されて、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21にそれぞれ接続されている。枠体1の下方に示されている流路L1は、その一端が陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21にそれぞれ接続され、他端側は途中で合流した後に分岐されて、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ接続されている。枠体1の上方に示されている流路U2は、その一端が陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ接続され、他端側は途中で分岐されて、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2、第3の濃縮出C3および処理水の排出口にそれぞれ接続されている。よって、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22を通過した処理水の一部が、濃縮水として各濃縮室C1、C2、C3にそれぞれ供給され、残りの一部が処理水として系外に排出される。しかし、本実施形態に係る脱イオン水製造装置のように、脱塩室が複数設けられている場合には、特定の濃縮室における炭酸やシリカの濃度が他の濃縮室におけるそれに比べて高くなる。例えば、本実施形態に係る脱イオン水製造装置においては、陰極側脱塩室D1に隣接している第1の濃縮室C1には、該濃縮室C1に供給される濃縮水に含まれている炭酸やシリカに加え、陰極側脱塩室D1から炭酸やシリカが移動してくる。また、陽極側脱塩室D2に隣接している第3の濃縮室C3には、該濃縮室C3に供給される濃縮水に含まれている炭酸やシリカに加え、陽極側脱塩室D2から炭酸やシリカが移動してくる。隣接する脱塩室から濃縮室へ炭酸やシリカが移動してくる原理は実施形態1において説明した通りである。よって、第1の濃縮室C1、第3の濃縮室C3では、第2の濃縮室C2に比べて炭酸やシリカの濃度が高くなり、カチオン交換膜を通過する炭酸やシリカの量も増大する。特に、第1の濃縮室C1は陽極側脱塩室D2と隣接しているので、第1の濃縮室C1から陽極側脱塩室D2への炭酸やシリカの移動処理水への拡散が問題となる。しかし、本実施形態に係る構成によれば、第1の濃縮室C1から陽極側第2小脱塩室D22へ移動した炭酸やシリカは、該脱塩室D22に充填されているアニオン交換体によって捕捉され、陽極側第1小脱塩室D21を介して第3の濃縮室C3に移動し、系外に排出される。したがって、第1の濃縮室C1から陽極側第2小脱塩室D22へ移動した炭酸やシリカが処理水に拡散することはない。また、被処理水が最初に供給される陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21にはアニオン交換体が充填されている。また、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水が供給される陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22には、カチオン交換体とアニオン交換体とがこの順で積層されている。すなわち、被処理水は、最初にアニオン交換体を通過し、次いでカチオン交換体を通過し、その後にアニオン交換体を再度通過する。よって、実施形態1で説明したのと同様の原理により、処理水の純度がより一層向上する。実施形態6以下、図6を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、流路構成に関してのみ実施形態5に係る脱イオン水製造装置と異なる。そこで、実施形態5に係る脱イオン水製造装置と異なる構成についてのみ以下に説明し、共通する構成についての説明は適宜省略する。図6に示すように、本実施形態における脱イオン水製造装置では、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水を陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22に供給する流路L1が分岐されている。具体的には、流路L1の一端は陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21にそれぞれ接続され、他端側は途中で分岐されて第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2および第3の濃縮室C3にそれぞれ接続されている。よって、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水の一部が、濃縮水として各濃縮室C1、C2、C3にそれぞれ供給され、残りの一部が陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ供給される。実施形態7以下、図7を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2におけるイオン交換体の充填形態に関してのみ実施形態5に係る脱イオン水製造装置と異なる。具体的には、図7に示すように、第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2内には、各濃縮室C1、C2内における濃縮水の通水方向前段にカチオン交換体層が配置され、通水方向後段にアニオン交換体層が配置されている。すなわち、本実施形態に係る脱イオン水製造装置には、実施形態3で説明した脱塩処理部と実質的に同一の脱塩処理部が2つ設けられている。また、本実施形態に係る脱イオン水製造装置には、実施形態5で説明した流路と同一の流路が設けられている。よって、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22を通過した処理水の一部が、濃縮水として各濃縮室C1、C2、C3にそれぞれ供給され、残りの一部が処理水として系外に排出される。実施形態8以下、図8を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、流路構成に関してのみ実施形態7に係る脱イオン水製造装置と異なる。具体的には、図8に示すように、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水を陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22に供給する流路L1が分岐されている。具体的には、流路L1の一端は陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21にそれぞれ接続され、他端側は途中で分岐されて第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2および第3の濃縮室C3にそれぞれ接続されている。すなわち、本実施形態に係る脱イオン水製造装置には、実施形態3で説明した脱塩処理部と実質的に同一の脱塩処理部が2つ設けられている。また、本実施形態に係る脱イオン水製造装置には、実施形態6で説明した流路と同一の流路が設けられている。よって、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水の一部が、濃縮水として各濃縮室C1、C2、C3にそれぞれ供給され、残りの一部が陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ供給される。なお、図5~図8に示す第2の濃縮室C2に陰極を設けて陰極室E1を省略してもよく、第3の濃縮室C3に陽極を設けて陽極室E2を省略してもよい。第3の濃縮室C3に陽極を設ける場合には、該第3の濃縮室C3内には、少なくともカチオン交換体を充填する。比較試験本発明の効果を確認すべく、実施形態1~3に係る脱イオン水製造装置と、図9に示す脱イオン水製造装置比較例を用意し、比較試験を行った。図9に示す脱イオン水製造装置は、陰極室E1と、陽極室E2と、陰極室E1と陽極室E2の間に設けられた脱塩処理部とを有する。脱塩処理部は、脱塩室Dと該脱塩室Dの両隣に設けられた一対の濃縮室C1、C2とから構成されている。脱塩室Dおよび2つの濃縮室C1、C2には、アニオン交換体とカチオン交換体が混床形態で充填されている。今回の比較試験における条件仕様、通水流量、供給水等は以下のとおりである。なお、CERはカチオン交換体カチオン交換樹脂、AERはアニオン交換体アニオン交換樹脂の略である。陰極室E1:寸法100×300×4mmAER充填陽極室E2:寸法100×300×4mmCER充填第1小脱塩室D1:寸法100×300×8mmAER充填第2小脱塩室D2:寸法100×300×8mmAER/CER充填濃縮室:寸法100×300×4mmAER/CER充填脱塩室流量:50Lh濃縮室流量:5Lh電極室流量:10Lh電極室、脱塩室、濃縮室供給水:二段RO透過水5±1μScm印加電流値:1A以上の条件の下で上記3つの脱イオン水製造装置をそれぞれ200時間連続運転し、その後の処理水の比抵抗を測定した。不純物を全く含まない水の理論的な比抵抗値は25°Cにおいて18.2MΩcmである。脱イオン水の水質は比抵抗値が18.2MΩcmに近づけば近づくほど、清浄であると評価できる。さらに、比抵抗値が18.2MΩcmよりも高ければ高いほど、水質はより清浄であると評価できる。測定結果を表1に示す。