"周波数および/または振幅が可変な交流信号を発生して被測定素子に供給する信号発生部と、上記被測定素子に流れる電流を検出する電流検出部と、上記被測定素子の両端子間の電圧を検出する電圧検出部と、上記電流検出部と上記電圧検出部とからの各検出値に基づいて上記被測定素子のインピーダンスを算出する制御部とを含むインピーダンス測定装置において、上記制御部は、上記交流信号の周波数および/または振幅を所定値とする上記信号発生部の出力制御機能を備え、上記被測定素子のインダクタンスを求めるにあたって、上記信号発生部から時系列的に振幅が漸次ほぼ0に収束する消磁波形を発生させて、上記被測定素子に存在する残留磁気を消磁させた後、上記信号発生部より所定の周波数および/または振幅のインピーダンス測定用の交流信号を発生させることを特徴とするインピーダンス測定装置。したがって、本発明の課題は、残留磁気による不安定要因を除去する機能を備え、その後において引き続きインピーダンス測定を行うようにしたインピーダンス測定装置を提供することにある。上記課題を解決するため、本発明は、周波数および/または振幅が可変な交流信号を発生して被測定素子に供給する信号発生部と、上記被測定素子に流れる電流を検出する電流検出部と、上記被測定素子の両端子間の電圧を検出する電圧検出部と、上記電流検出部と上記電圧検出部とからの各検出値に基づいて上記被測定素子のインピーダンスを算出する制御部とを含むインピーダンス測定装置において、上記制御部は、上記交流信号の周波数および/または振幅を所定値とする上記信号発生部の出力制御機能を備え、上記被測定素子のインダクタンスを求めるにあたって、上記信号発生部から時系列的に振幅が漸次ほぼ0に収束する消磁波形を発生させて、上記被測定素子に存在する残留磁気を消磁させた後、上記信号発生部より所定の周波数および/または振幅のインピーダンス測定用の交流信号を発生させることを特徴としている。本発明によれば、信号発生部により交流の消磁波形を発生させて、被測定素子の残留磁気を消磁させたのち、引き続いてインピーダンス測定を行うようにしたことにより、正確なインダクタンスの値を求めることができる。次に、図1および図2を参照して、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。この実施形態では、図1に示すインピーダンス測定装置を使用する。このインピーダンス測定装置は、基本的な構成として、被測定素子DUTに対して所定の交流信号を供給する信号発生部10と、被測定素子DUTに流れる電流を検出する電流検出部20と、被測定素子DUTの両端子間の電圧を検出する電圧検出部30と、制御部40とを備えている。このうち、信号発生部10は、周波数および/または振幅を任意に選択し得る可変交流信号源で、所定の出力抵抗11を介して被測定素子DUTに接続される。インピーダンス測定時において、被測定素子DUTの信号発生部10と接続される側の一方の端子DHがHi側で、他方の端子DLがLo側となる。電流検出部20は、側入力端子と-側入力端子とを有する2入力型のオペアンプ21と、オペアンプ21の側入力端子と出力端子との間の帰還回路内に挿入された検出抵抗22とを含む自動平衡ブリッジ法によるI-V変換回路として構成されている。すなわち、オペアンプ21の側入力端子は、被測定素子DUTのLo側である端子DLに接続され、-側入力端子は接地に接続される。これにより、側入力端子が仮想接地となり、被測定素子DUTに流れる電流がLo側の端子DLに引き込まれ、検出抵抗22に流れる。この検出抵抗22に生ずる電圧V1がI-V変換値としてA-D変換器23を介して制御部40に与えられる。電圧検出部30には、差動オペアンプ31が用いられ、被測定素子DUTのHi側端子DHとLo側端子DL間の電圧を検出する。この検出電圧V2は、A-D変換器32を介して制御部40に与えられる。制御部40には、CPU中央演算処理ユニットもしくはマイクロコンピータ等が用いられる。制御部40は、上記電圧V1,V2に基づいて、インピーダンスZと位相差θとを算出し、また、L成分としてのインダクタンスについては、Zsinθ/2πffは測定周波数なる式により算出し、表示部41に表示する。また、本発明において、制御部40は、信号発生部10から被測定素子DUTに印加される交流信号の周波数および/または振幅を所定値とする信号発生部10の出力制御機能を備えている。被測定素子DUTのインピーダンスを測定するにあたって、制御部40は、まず、信号発生部10から図2に例示するような時系列的に振幅が漸次ほぼ0に収束する消磁波形を発生させて被測定素子DUTに印加し、被定素子DUTの残留磁気を消磁する。これは、各被測定素子DUTごとに行う。この残留磁気の消磁中は、A-D変換器23,32の動作を停止させるか、もしくはA-D変換器23,32からの測定データV1,V2を読み込まないようにすることが好ましい。残留磁気の消磁後、制御部40は、信号発生部10から所定周波数および振幅のインピーダンス測定用の交流信号を発生させて被測定素子DUTに印加し、インピーダンスZおよび位相差θを算出したのち、インダクタンスLを算出する。このように、本発明によれば、インピーダンス測定装置自体に残留磁気の消磁機能を備え、残留磁気を消磁した直後にインピーダンス測定を行うため、残留磁気の影響を受けずに、安定したインダクタンスLを得ることができる。"