"複数の導電パターンが列状に形成された基板を検査対象とし、前記導電パターンのうちの第1の導電パターンに対して、共に、対向する第1の給電電極及び第1のセンサ電極を有する検査電極対と、少なくとも前記第1の給電電極が対向した箇所の部分的導電パターンを挟むように離間して、同一導電パターン上で対向するように配置される第2の給電電極及び第2のセンサ電極を有する補完電極対と、前記検査電極対と前記補完電極対を一体的に保持し、前記導電パターンの上方に一定の距離で離間して、該導電パターンの列と交差する方向に移動させる移動部と、前記移動部による前記検査電極対と前記補完電極対の移動中に、前記第1の給電電極及び前記第2の給電電極に、交流信号からなる検査信号を供給し、前記第1の給電電極及び前記第2の給電電極が対向して容量結合した、それぞれの導電パターンに該検査信号を順次印加させる検査信号供給部と、前記検査信号が印加された前記導電パターンにそれぞれに容量結合して前記第1のセンサ電極により取得された第1の検出信号と、前記第2のセンサ電極により前記第1の給電電極が対向した箇所の部分的導電パターンを含む導電体パターンから取得された第2の検出信号とを併せた検出信号を、予め定めた判定基準値と比較して欠陥の有無を判断する欠陥判定部と、を具備することを特徴とする回路パターン検査装置。前記回路パターン検査装置において、前記移動部は、一体的に保持し、前記導電パターン上方に一定の距離で離間する第1の電極基板と第2の電極基板を有し、前記検査電極対は、前記第1のセンサ電極を前記第1の電極基板に配置し、前記第1の給電電極を第2の電極基板を配置し、前記補完電極対は、前記第1の給電電極の延伸方向と同方向に並設し、前記第1の導電パターンから電気的な影響を受けないパターン数に相当する距離を離れ、且つ前記部分的導電パターンの距離を空けて前記第2のセンサ電極及び前記第2の給電電極を前記第2の電極基板に配置することを特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置。前記回路パターン検査装置において、前記移動部は、一体的に保持し、前記導電パターン上方に一定の距離で離間する第1の電極基板と第2の電極基板を有し、前記検査電極対は、前記第1のセンサ電極を前記第1の電極基板に配置し、前記第1の給電電極を第2の電極基板を配置し、前記補完電極対は、前記第2のセンサ電極を前記第2の電極基板に配置し、前記第2の給電電極を前記第1の電極基板に配置することを特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置。前記回路パターン検査装置において、前記第2の電極基板は、前記第2の給電電極の第1の配置部分と、前記前記第2のセンサ電極及び前記第2の給電電極の第2の配置部分と、分離可能に構成され、さらに、前記第2の配置部分に設けられ、前記導電パターン上方に一定の距離で離間して、該導電パターンのパターン方向に移動するパターン縦貫移動部を具備し、前記欠陥判定部により欠陥が存在すると判定された導電パターンに対して、前記パターン縦貫移動部によりパターンの延伸方向に移動される前記第2の配置部分の前記補完電極対が欠陥の存在位置を検出することを特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置。前述した導体パターンに非接触で容量結合した検査電極を用いた検査装置は、導電パターンと対向する検査電極の離間距離が短いほど、又は対向面積が大きいほど、結合容量が大きくなるため、伝達時の損失が少なくなり、同じ検査信号を印加しても検出信号の値を大きくすることができる。検査電極の離間距離においては、導体パターンに接触しない範囲内で近接して設定される。その離間距離は、検査対象の基板が大きくなるほど、基板自体の撓みや歪みが大きくなるため、その程度により最小距離が制限される。従って、検査電極、特に、導体パターンに検査用交流信号を印加する給電電極は、対向する面積が大きくするほど、導体パターンに印加される検査信号が大きくなるため、センサ電極から得られる検出信号も大きくなり、外部から混入するノイズ成分による影響を少なくすることができる。しかし、給電電極の面積を大きくした場合、その給電電極と対向している導体パターン部分は、断線等の欠陥が生じていたとしても適正に検出できない事態が生じる。そこで本発明は、検査部の給電電極に対する補完電極対を設けて、より大きな検査信号を印加し、得られた検出信号から導電パターンの良欠陥の適正な判定を実現する回路パターン検査装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明に従う実施形態は、複数の導電パターンが列状に形成された基板を検査対象とし、前記導電パターンのうちの第1の導電パターンに対して、共に、対向する第1の給電電極及び第1のセンサ電極を有する検査電極対と、少なくとも前記第1の給電電極が対向した箇所の部分的導電パターンを挟むように離間して、同一導電パターン上で対向するように配置される第2の給電電極及び第2のセンサ電極を有する補完電極対と、前記検査電極対と前記補完電極対を一体的に保持し、前記導電パターンの上方に一定の距離で離間して、該導電パターンの列と交差する方向に移動させる移動部と、前記移動部による前記検査電極対と前記補完電極対の移動中に、前記第1の給電電極及び前記第2の給電電極に、交流信号からなる検査信号を供給し、前記第1の給電電極及び前記第2の給電電極が対向して容量結合した、それぞれの導電パターンに該検査信号を順次印加させる検査信号供給部と、前記検査信号が印加された前記導電パターンにそれぞれに容量結合して前記第1のセンサ電極により取得された第1の検出信号と、前記第2のセンサ電極により前記第1の給電電極が対向した箇所の部分的導電パターンを含む導電体パターンから取得された第2の検出信号とを併せた検出信号を、予め定めた判定基準値と比較して欠陥の有無を判断する欠陥判定部と、を具備する回路パターン検査装置を提供する。本発明によれば、検査部の給電電極に対する補完電極対を設けて、より大きな検査信号を印加し、得られた検出信号から導電パターンの良欠陥の適正な判定を実現する回路パターン検査装置を提供することができる。以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。本発明による回路パターン検査装置は、製造工程の中で、例えば、ガラス製の基板上に形成された複数列の導電パターン配線パターンの不良原因となる断線や短絡の欠陥を検出する。検査対象となる導電パターンは、例えば、液晶表示パネルやタッチ式パネル等に用いられている回路配線であり、複数列に平行配列で電気的に分離された導電パターン又は、全ての導電パターンの一端側が短絡バーにより接続されている櫛歯状の導電パターンである。尚、基板上に形成される各導電パターンは、パターンの位置が確定できるのであれば、平行及び等間隔の配置でなくても検査可能である。さらに、後述する検査部が移動した際に、同じ導電パターン上に、給電電極とセンサ電極が対向できるパターンであれば、導電パターンの途中で曲がりや幅の変化があっても同等に検査可能である。以下の説明では、理解しやすくするために、一定間隔で直線的な列状に形成される導電パターンを検査対象として説明する。図1は、本発明に係る補完電極を備える回路パターン検査装置の概念的な構成を示す図である。図2は、検査電極と補完電極の概念的な構成を示す図である。図3は、回路パターン検査装置の検出信号処理部の一構成例を示す図である。図1に示すように、回路パターン検査装置1は、ガラス基板等の絶縁性を有する基板100上に形成された複数列の導電体パターン101上方に所定距離を離間して設けられる検査部2と、検査部2の離間非接触状態を維持し、導電体パターン101上方を交差する方向mに移動させる移動機構3と、移動機構3を駆動制御する駆動制御部4と、検査部2に交流からなる検査信号を供給する検査信号供給部13と、検査部2から検出された検出信号に後述する信号処理を施す検出信号処理部5と、装置全体を制御する制御部6と、検査結果を含む検査情報を表示する表示部8と、動作指示や各種データ等を入力するためのキーボードやタッチパネル等からなる入力部14と、を備えている。制御部6は、信号処理された検出信号に含まれる特徴信号ピーク値の変化に基づき、導電パターンが欠陥か否かを判断する欠陥判定部7と、ユーザのよる設定条件や検査用プログラム等を記憶するメモリ9と、プログラムや設定された演算条件により演算処理を行う中央処理部CPU10とを備えている。メモリ9は、一般的なメモリであり、例えば、ROM、RAM又はフラッシュメモリ等を利用して、制御用プログラム、各種演算用プログラム及びデータテーブル等を記憶している。中央処理部CPU10は、パーソナルコンピュータを利用してもよい。図2に示すように、検査部2は、導電パターンの欠陥を検出するための検査電極対21と、検査電極対21と対向する部分的導電パターンの欠陥を検出するための補完電極対22と、で構成される。また、検査部2は、2つの電極基板第1の電極基板11及び電極基板第2の電極基板12に分割されている。これらの電極基板11,12は、例えば、スカラーロボットで一体的に連結され、同時に移動する。図1においては、導電パターンの両端に配置された例を示しているが、勿論、配置される位置は、両端に限定されるものではなく、何れか一方又は、両方を導電パターンの内側に配置してもよい。つまり、導電パターンと、給電電極及びセンサ電極とが対向する位置であれば、検査対象の基板上で離れて例えば、導電パターンの両端配置されてもよいし、逆に、近接する位置に配置されてもよい。これは、検査部2が容量結合により、検出信号を検出しているため、断線により導電パターンにおける容量が変化すると、正常なパターンと異なっているため、検出信号のピーク値の変化として現れる。検査電極対21は、電極基板12に給電電極第1の給電電極21aを配置し、電極基板11にセンサ電極第1のセンサ電極21bを配置している。給電電極21aとセンサ電極21bは、同じ導電パターン上方に存在するように電極基板11,12に設けられている。尚、検査電極対21は、一対でもよいし、複数対の検査電極対を設けてもよい。また、給電電極21aは、複数、例えば2つの導電パターンに掛かる幅を有していてもよい。センサ電極21bは、欠陥の導電パターンを個別に検出するため、隣接する導電パターンに掛からなければ、1つの導電パターンの幅以上であってもよい。補完電極対22は、給電電極第1の給電電極22aとセンサ電極第2のセンサ電極22bとで構成され、給電電極21aと並設されるように電極基板12に配置されている。給電電極22aとセンサ電極22bは、同じ導電パターンと対向し、且つ給電電極21aと対向している導電パターンの部分部分的導電パターンとするを挟むように間隔を空けて、その部分的導電パターンを検査できるように配置されている。好ましくは、その部分的導電パターン全部を空けて配置されることがよいが、センサ電極22bを小さくすることで、少なくとも給電電極22aが部分的導電パターンと対向しないように離れて配置されればよい。また、検査電極対21の給電電極21aと補完電極対22とは、供に導電パターン上方で対向する位置で、電気的な影響を受けないパターン数以上離れて配置される。本実施形態では、容量結合による検査信号の印加を利用しているため、検査信号供給部13は、給電電極21a,22aに供給される検査信号が、供に同電圧値で同じ周波数である交流信号、又は矩形波パルス信号である。印加する検査信号の位相は、同期していても良いし、位相差があってもよい。これらの電極基板11,12は、移動機構3により、給電電極21a,22aから検査信号を導電パターン101に対して印加し、センサ電極21b,22bが導電パターン101を伝搬した検査信号を検出信号として検出している状態であって、且つ導電パターン上方に同じ離間距離測定ギャップを維持した状態で、導電パターンの列と交差横断するように移動される。また、電極基板11,12等に距離センサを搭載して、移動時に検査対象の基板までの距離を計測して、その測定値に追従するように、電極の高さ基板までの距離を変化させる昇降機能を備えてもよい。検出信号処理部5は、センサ電極21bで検出された検出信号及びセンサ電極22bで検出された補完検出信号からなる、それぞれの微小なアナログ検出信号を所定の電圧レベル良否の判断可能なレベルまで増幅する増幅回路18と、増幅回路18により増幅された検出信号の雑音成分を除去し、必要な帯域を通過させるバンドパスフィルタ19と、バンドパスフィルタ19からの検出信号を全波整流する整流回路20と、全波整流された検出信号を平滑する平滑回路21とで構成される。尚、全波整流を行う整流回路20及び検出信号を平滑する平滑回路21は必ずしも備える必要はない。検出信号及び補完検出信号は、検査信号処理部5により、所定の信号処理増幅、ノイズ除去等が施された欠陥判定信号に変換されて、欠陥判定を行う欠陥判定部7に送出される。欠陥判定部7では、導電パターン毎の欠陥判定信号に対して欠陥の有無を判断して基づき、全ての導電パターン101における判断結果を表示部8の画面上に表示する。また、欠陥が生じている導電パターンにおける欠陥発生位置を特定するに対して、欠陥位置判定手段として、そのパターンに沿って上方を非接触で移動する同様な電極対給電電極及びセンサ電極が設けられたパターン縦貫移動機構15を別途、備えている。このパターン縦貫移動機構は、例えば、移動機構3における給電電極21aとセンサ電極21bを繋いでいる支柱または、アーム部材上にガイドレール等を設けて、そのガイドレール上をパターン方向nに沿って、移動する機構である。尚、本実施形態の補完電極対22は、給電電極21aと分離できるように電極基板12を分割構造にしてパターン縦貫移動機構を備え、補完電極対22に不良導電パターンにおける欠陥位置を検出する機能を持たせてもよい。つまり、導電パターンにおける欠陥検査の場合には、給電電極21aと一体的に移動し、導電パターンにおける欠陥発生位置を特定する場合には、給電電極21aとは分離して移動する。また、図示していないが、センサ電極21bよりも数パターン給電電極21aより印加された検査信号から電気的に影響されないパターン数を離れた導電パターンに対向するようにノイズ用センサ電極が設けられている。検出信号処理部5は、センサ電極21bで検出された検出信号からノイズ用センサ電極により得られた検出信号即ち、ノイズ信号を差し引いたノイズ除去処理を行っている。以上説明した本実施形態の回路パターン検査装置は、導電パターンの欠陥を検出する検査電極対は、導電パターンと対向する給電電極の面積を大きくすることで、より大きい検出信号を検出することにより、発生したノイズの影響を排除し、欠陥検査における適正な良否判定を行うことができる。また、検査電極対の給電電極と対向する部分的導電パターンについては、補完電極対により欠陥検出を行い、良否判定を行う。よって、検査電極対の給電電極の対向面積を増大したとしても、補完電極により検査電極対の非検出箇所に対する検査を補完するため、正確な欠陥検査及び良否判定を実現することができる。さらに、補完電極対は、パターン縦貫移動機構を備えることにより、欠陥を有すると判定された導電パターンに対して、その欠陥位置を検出する機能を併せ持つことができる。次に、本発明の第1の実施形態の変形例について説明する。本変形例の構成は、前述した実施形態の回路パターン検査装置とは、検査電極対と補完電極対の配置が異なっている。他の構成部位は、実施形態と同等であり、その説明は省略し、同等の部位には同じ参照符号を付している。図4は、本変形例における検査電極対41と補完電極対42の構成例を示している。検査電極対41は、前述したと同様に、電極基板11にセンサ電極41bが設けられ、電極基板12には、給電電極41aが設けられている。これに対して、補完電極42は、検査電極対41とは反対に、電極基板11に給電電極42aが設けられ、電極基板12には、センサ電極42bが設けられている。つまり、検査電極対41及び補完電極対42の給電電極と補完電極とが互い入れ違いになっている構成である。この構成により、検査電極対41の給電電極41aと対向する導電パターンの部分は、補完電極対42により検査を行うことができる。また、前述したノイズ用センサ電極を設けて、センサ電極42bから得られた検出信号からノイズ信号を差し引いたノイズ除去処理を行うことができる。本変形例においても、前述した実施形態と同様に、検査電極対の給電電極の面積を大きくしてより大きな検査信号入力して、従来よりも大きい検出信号を検出することにより、発生したノイズの影響を排除し、欠陥検査における適正な良否判定を行うことができる。また、検査電極対の給電電極と対向する部分的導電パターンについては、補完電極対により欠陥検出を行い、良否判定を行う。よって、検査電極対の給電電極の対向面積を増大したとしても、補完電極により検査電極対の非検出箇所に対する検査を補完するため、正確な欠陥検査及び良否判定を実現することができる。"