"検体ガスを検出するための光吸収ガスセンサを校正する方法であって、前記センサは、ガス試料収容室と、発光ダイオードLEDと、自らにより受信された光の量に敏感な出力信号を有するフォトダイオードと、を含み、前記方法は、前記ガス試料収容室内の前記検体ガスの第1の濃度および異なる第2の濃度で前記フォトダイオード出力信号を測定する工程と、フォトダイオード校正データを決定する工程と、LED校正データを決定する工程とを含む、方法。前記ガス試料収容室内の検体ガスの前記第1の濃度で一定範囲の温度で前記出力信号の測定を行う工程をさらに含む請求項1に記載の方法。前記LED校正データは、前記ガス試料収容室内の検体ガスの前記第1の濃度における前記出力信号の少なくとも1つの測定結果、および前記ガス試料収容室内の検体ガスの前記第2の濃度における前記出力信号の少なくとも1つの測定結果、から導出される、請求項1または2に記載の方法。前記ガス試料収容室内の検体ガスの前記第2の濃度で一定範囲の温度で前記出力信号の測定を行う工程を含む、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法。前記フォトダイオード校正データは前記ガス試料収容室内の検体ガスの前記第2の濃度で測定された一定範囲の温度における前記出力信号の前記変動とは実質的にまたは全く無関係である、請求項4に記載の方法。検体ガスの前記第1の濃度は無視できる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の方法。前記出力信号の測定を前記ガス試料収容室内の検体ガスの少なくとも3つの濃度においておよび少なくとも3つの異なる温度において行う工程を含む請求項1乃至6のいずれか一項に記載の方法。前記LEDの温度に関係するパラメータは前記LEDの順電圧VFを測定することにより決定される、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の方法。前記LED校正データと前記フォトダイオード校正データは前記光吸収ガスセンサ内のメモリに格納される、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法。前記LED校正データは非線型アルゴリズムのパラメータを含む、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の方法。請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法により校正された光吸収ガスセンサを動作させる方法であって、前記フォトダイオード出力信号と、前記LEDの温度に関係するパラメータと、前記フォトダイオードの温度に関係するパラメータとを測定する工程と、前記測定されたフォトダイオード出力信号、前記LEDの温度に関係する前記測定されたパラメータ、前記フォトダイオードの温度に関係する前記測定されたパラメータ、および前記LED校正データと前記フォトダイオード校正データのそれぞれを考慮して、前記ガス試料収容室内の前記検体ガスの濃度を表す補償信号を決定する工程と、を含む方法。前記補償信号は前記LEDの温度と前記フォトダイオードの温度に対し補償される、請求項11に記載の光吸収ガスセンサを動作させる方法。前記補償信号を決定する工程は、前記フォトダイオード出力信号に前記フォトダイオードの温度に関係する前記測定されたパラメータに依存する補償係数を掛ける工程を含む、請求項11または12に記載の光吸収ガスセンサを動作させる方法。前記補償信号を決定する工程はさらに、前記フォトダイオード出力信号と前記補償係数の積と基準値との差異を決定する工程と、その後前記LED校正データを考慮して前記差異を補正する工程とを含む、請求項13に記載の光吸収ガスセンサを動作させる方法。LED温度の非線型補正を行う工程を含む請求項11乃至14のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサを動作させる方法。光吸収ガスセンサを形成する工程を含む検体ガスの濃度を測定する方法であって、前記センサは、ガス試料収容室と、発光ダイオードLEDと、前記ガス試料収容室を通った後に前記LEDから自らに入射する光に応答してフォトダイオード出力信号を出力するように動作可能なフォトダイオードと、前記LEDの温度に関係するパラメータを測定するLED温度測定装置と、前記フォトダイオードの温度に関係するパラメータを測定するフォトダイオード温度測定装置と、メモリと、を含み、前記方法は、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法により前記センサを校正する工程と、前記LED校正データと前記フォトダイオード校正データまたはそれらから導出されたデータを前記メモリに格納する工程と、その後、前記フォトダイオード出力信号、前記LEDの温度に関係する前記パラメータ、および前記フォトダイオードの温度に関係する前記パラメータを測定する工程と、前記メモリに格納された前記データ、前記フォトダイオード出力信号、前記LEDの温度に関係する前記測定されたパラメータ、および前記フォトダイオードの温度に関係する前記測定されたパラメータを考慮して、前記検体ガスの濃度を計算する工程と、を含む、方法。ガス試料収容室と、発光ダイオードLEDと、前記ガス試料収容室を通った後に前記LEDから自らに入射する光に応答してフォトダイオード出力信号を出力するように動作可能なフォトダイオードと、前記LEDの温度に関係するパラメータを測定するLED温度測定装置と、前記フォトダイオードの温度に関係するパラメータを測定するフォトダイオード温度測定装置と、前記フォトダイオード出力信号、前記LEDの温度に関係する前記測定されたパラメータ、および前記フォトダイオードの温度に関係する前記測定されたパラメータを考慮して、前記ガス試料収容室内の検体ガスの前記濃度を示す補償信号を出力するように動作可能な補償モジュールと、を含む、光吸収ガスセンサ。前記補償モジュールは、LED温度とフォトダイオード温度に伴うフォトダイオード出力信号の変動に関する格納された校正データを考慮するように動作可能である、請求項17に記載の光吸収ガスセンサ。前記格納された校正データは請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法により得られたフォトダイオード校正データとLED校正データであるかまたはそれらから導出される、請求項18に記載の光吸収ガスセンサ。前記補償モジュールは測定されたフォトダイオード温度と測定されたLED温度の零検体ガス濃度における予想フォトダイオード出力信号を考慮する、請求項17乃至19のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記補償モジュールは前記LEDの様々な温度と前記フォトダイオードの様々な温度における所与の検体ガス濃度に対する前記フォトダイオード出力信号の振幅の差異を補償するように動作可能である、請求項17乃至20のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記補償モジュールは前記LEDの様々な温度と前記フォトダイオードの様々な温度における零検体ガス濃度における前記フォトダイオード出力信号の振幅の差異を補償するように動作可能である、請求項17乃至21のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記補償モジュールは第1のフォトダイオード出力信号と第2のフォトダイオード出力信号の測定に応答して、第1の検体ガス濃度を示す信号と第2の検体ガス濃度を示す信号を出力するように動作可能であり、前記第1のフォトダイオード信号と前記第2のフォトダイオード信号の比はLED温度に伴い変化する、請求項17乃至22のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記補償モジュールは前記フォトダイオード出力信号に前記フォトダイオードの温度に関係する前記測定されたパラメータに依存する補償係数を掛けるように動作可能である、請求項17乃至23のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記補償モジュールは、前記フォトダイオード出力信号と前記補償係数の積と基準値との差異を決定し、次に前記LED校正データを考慮して前記差異を補正するように動作可能である、請求項24に記載の光吸収ガスセンサ。前記補償モジュールはLED温度に関係する前記パラメータの非線型補正をするように動作可能である、請求項17乃至25のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記フォトダイオード信号の受信光に対する感度は、少なくとも前記LEDのピーク出力光強度が前記光吸収ガスセンサの動作温度範囲内で変化する波長帯内の受信光の波長に余り敏感でない、請求項17乃至26のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記LEDと前記フォトダイオードは同じ基板および/またはエピ層組成および構造を有する半導体内に形成される、請求項17乃至27のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記フォトダイオードは前記光センサが測定するようにされた前記検体ガスの最強吸収線の少なくとも10の波長の範囲にわたって入射光の波長に対し実質的に無反応である、請求項17乃至28のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。前記センサは前記LEDの温度と前記フォトダイオードの温度が動作中摂氏5度を越えないように構成される、請求項17乃至29のいずれか一項に記載の光吸収ガスセンサ。ガス試料収容室と、発光ダイオードLEDと、前記ガス試料収容室を通った後に前記LEDから自らに入射する光に応答してフォトダイオード出力信号を出力するように動作可能なフォトダイオードと、前記LEDの温度に関係するパラメータを測定するLED温度測定装置と、前記フォトダイオードの温度に関係するパラメータを測定するフォトダイオード温度測定装置と、格納された校正データを考慮して補償信号を出力するように動作可能な補償モジュールと、を含む光吸収ガスセンサであって、前記格納された校正データは請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法により得られた、光吸収ガスセンサ。ガス試料収容室と、光源と、自らによって受信された光の量に敏感な出力信号を生成するように動作可能な前記光センサと、を含む、検体ガスを検出するための光吸収ガスセンサであって、前記ガス試料収容室の内壁は、反射性であり、内部に前記光源を有する第1の複合放物型コレクタと、前記第1の複合放物型コレクタに対向する内部に前記光センサを有する第2の複合放物型コレクタと、を画定する、光吸収ガスセンサ。前記第1と第2の複合放物型コレクタは交差する、請求項32に記載の光吸収ガスセンサ。前記ガス試料収容室の前記内壁は前記光源から前記光センサに延びる軸を中心に回転対称に延びており、前記ガス試料収容室は細長く直線状である、請求項32または33に記載の光吸収ガスセンサ。理論上、装置を完全に絶縁するまたはその温度を独立に制御することにより、温度に伴うLEDの光学特性の変動および温度に伴うフォトダイオードの光学特性の変動を独立に校正することが可能となり得る。しかし、実用的かつ費用効率の高い製造手順では、LEDとフォトダイオードの温度を独立に変更する手順を採用すること無くLEDとフォトダイオードを実質的に同じ温度で、センサアセンブリ内のLEDからの光に応答して、センサアセンブリからのフォトダイオード出力電流の測定結果だけを使用して校正を行えることが好ましい。したがって、実際には、温度に伴うLEDとフォトダイオードの光学特性の変化を独立に測定することは困難であると考えられてきた。フォトダイオード出力電流が温度の所与の変化により10低下したということが分かれば、これは、その変動がLEDの光学特性またはフォトダイオードの光学特性の変化からどの程度生じたかを判断することが可能ではないということを示唆するであろう。したがって、各部品への温度の影響を分離することは恐らくできないので使用中にLEDとフォトダイオードの温度を独立に測定する利点は無いであろう。本発明は、LEDとフォトダイオードを有する光吸収ガスセンサを製造および校正する問題に関し、得られたガスセンサの動作中にLEDとフォトダイオード間の起こり得る著しい温度差にもかかわらず正確な出力信号を提供する。この問題に対処することで、より正確でかつよりエネルギー効率の良いまたはより安価なセンサを製造できるようにするより大きな設計自由度を可能にする。本発明の別の態様は光ガスセンサ導波管の改善された構成に関する。本発明の第1の態様によると、検体ガスを検出するための光吸収ガスセンサを校正する方法であって、光吸収ガスセンサは、ガス試料収容室と、発光ダイオードLEDと、自らにより受信された光の量に敏感な出力信号通常は電流を有するフォトダイオードと、を含み、本方法は、ガス試料収容室内の検体ガスの第1の濃度および異なる第2の濃度でフォトダイオード出力信号を測定する工程と、フォトダイオード校正データを決定する工程と、LED校正データを決定する工程と、を含む、方法が提供される。通常、本方法はさらに、ガス試料収容室内の検体ガスの第1の濃度で一定範囲の温度で出力信号の測定を行う工程を含む。フォトダイオード校正データは一定範囲の温度における出力信号の前記測定から導出されることもあり得る。通常、LED校正データは、ガス試料収容室内の検体ガスの第1の濃度における出力信号の少なくとも1つの測定結果と第2の濃度における出力信号の少なくとも1つの測定結果とから導出される。本方法は、ガス試料収容室内の検体ガスの第2の濃度で一定範囲の温度で出力信号を測定する工程を含み得る。LED校正データはこれらの測定結果から導出され得る。フォトダイオード校正データは、ガス試料収容室内の検体ガスの第2の濃度で測定された一定範囲の温度の出力信号の変動とは実質的にまたは全く無関係であることもあり得る。フォトダイオード校正データはガス試料収容室内の検体ガスの第2の濃度における測定結果を考慮することなく決定されることもあり得る。本発明はまた、第1の態様の方法により校正された光吸収ガスセンサを動作させる方法であって、フォトダイオード出力信号と、LEDの温度に関係するパラメータと、フォトダイオードの温度に関係するパラメータとを測定する工程と、測定されたフォトダイオード出力信号、LEDの温度に関係する測定されたパラメータ、フォトダイオードの温度に関係する測定されたパラメータ、LED校正データ、およびフォトダイオード校正データのそれぞれを考慮して、ガス試料収容室内の検体ガスの濃度を表す補償信号を決定する工程と、を含む方法に拡張される。本発明はまた、光吸収ガスセンサを形成する工程を含む検体ガスの濃度を測定する方法であって、光吸収ガスセンサは、ガス試料収容室と、発光ダイオードLEDと、ガス試料収容室を通った後にLEDから自らに入射する光に応答してフォトダイオード出力信号通常は電流を出力するように動作可能なフォトダイオードと、LEDの温度に関係するパラメータを測定するLED温度測定装置と、フォトダイオードの温度に関係するパラメータを測定するフォトダイオード温度測定装置と、メモリと、を含み、本方法は、本発明の第1の態様による方法により光吸収ガスセンを校正する工程と、LED校正データとフォトダイオード校正データまたはそれらから導出されたデータをメモリに格納する工程と、その後、フォトダイオード出力信号、LEDの温度に関係するパラメータ、およびフォトダイオードの温度に関係するパラメータを測定する工程と、メモリに格納された前記データ、フォトダイオード出力信号、LEDの温度に関係する測定されたパラメータ、およびフォトダイオードの温度に関係する測定されたパラメータを考慮して、検体ガスの濃度を計算する工程と、を含む、方法に拡張する。フォトダイオード出力信号は通常、フォトダイオード電流、例えば適切な単位で表されたフォトダイオード電流の測定に関係するパラメータである。フォトダイオード校正データは、フォトダイオード信号の測定結果をフォトダイオード温度に対し補償するのに使用可能なデータを指す。LED校正データは、フォトダイオード信号の測定結果をLED温度に対し補償するのに使用可能なデータを指す。フォトダイオード校正データとLED校正データは、例えば複数のLED温度のそれぞれの複数のフォトダイオード温度のそれぞれの検体ガス濃度にフォトダイオード信号を関連付けるデータのルックアップテーブルの形式で一体化され得る。フォトダイオード校正データとLED校正データは独立であってもよい。LEDの温度に関係するパラメータおよび/またはフォトダイオードの温度に関係するパラメータは、それぞれ任意の適切な単位または尺度のLEDの温度および/またはフォトダイオードの温度であってよい。しかし、実際の温度が計算される必要はないこともある。LEDの温度および/またはフォトダイオードの温度はそれぞれ、それ自体がLEDまたはフォトダイオードの温度の関数である測定装置からの信号出力、例えばLEDまたはフォトダイオードそれぞれの両端の順電圧の測定結果であってよい。フォトダイオードの感度はいくつかある要因の中で特に温度に伴って変化し、フォトダイオード出力電流は温度が増加するにつれて低下する。通常、フォトダイオードは、光センサが測定するようにされた検体ガスの最強吸収線の少なくとも10好ましくは少なくとも25の波長の範囲にわたって入射光の波長に対し実質的に無反応な広帯域フォトダイオードである。したがって、LEDからの光が一定ならば、フォトダイオード出力電流はフォトダイオードの温度に依存するが、検体ガスの無いフォトダイオード出力電流のある割合としての、検体ガスの濃度に伴うフォトダイオード出力電流の変動は、温度と実質的に無関係でなければならない。しかし、LEDの光出力もまた温度に応じて変化するが、検体ガスの濃度を測定するための光吸収ガスセンサのコンテキストの中では、温度に伴う主な影響は発射された光の合計量の変化ではなくLEDによる光出力の波長の変化から生じるということを我々は見出した。したがって、LEDの温度に伴う零検体ガス濃度におけるフォトダイオード信号の大きさのある変動が存在するがこれが唯一の影響とはならない。検体ガスは規定波長において吸収線を有することになるので、LEDのスペクトルプロフィールの変化は、LEDからの光のある割合を変化させ、これは検体ガスの所与の濃度により吸収され、したがって検体に対するフォトダイオード信号の感度に影響を及ぼすことになる。センサが測定するようにされた検体ガスの最強吸収線の波長の周辺の入射光の波長に対しフォトダイオード出力電流が敏感ならば、同様な影響がまた生じるだろう。したがって、検体ガスの無いフォトダイオード出力電流のある割合としての検体ガスの濃度に伴うフォトダイオード出力電流の変動は、LEDの温度と無関係ではない。その結果、フォトダイオードに対する温度の影響とLEDの光学特性の変化から生じる測定されたフォトダイオード信号に対する温度の影響は、検体ガスの第1および第2の異なる濃度において測定を行うことにより独立に区別することができる。検体ガスの第1の濃度は通常は無視できる例えば零。例えば、一次近似では、LED出力は温度と実質的に無関係であると仮定することができるので、無視できる検体ガス濃度例えば零においてフォトダイオード校正データを決定できる。次にLED校正データは検体ガスの第2の非零、無視できない濃度における測定により決定することができる。通常、検体ガスの第2の非零、無視できない濃度における測定はある範囲の温度において行われる。第2の非零、無視できない濃度における検体ガスによる吸収によるフォトダイオード出力電流の低下は、推定することができる。これは温度と実質的に無関係であるからであり、したがってLEDの温度に伴うLEDの光学特性の変化の影響を推定することができる。これは、例えば校正期間中にLEDとフォトダイオードの相対温度を選択的に変更する必要無しに、またはLEDとフォトダイオードを互いに全く独立に校正するこれはコスト効率の良い製造にとって非実用的であること無しに、行なうことができる。さらなる精度は、さらに別の測定により得ることができる。通常、本方法は、ガス試料収容室内の検体ガスの複数の濃度と複数の温度例えば、センサ全体の温度、または特にはフォトダイオードまたは特にはLEDの温度とにおいて出力信号を測定する工程を含む。いくつかの実施形態では、検体ガスの複数の濃度は、検体ガスの少なくとも3つまたは少なくとも4つの異なる濃度である。いくつかの実施形態では、複数の温度は少なくとも3または少なくとも10の異なる温度である例えばLEDの異なる温度、フォトダイオードの異なる温度および/または異なる環境温度であってよい。例えば、出力電流の測定は、温度が第1の温度に維持されながらある範囲のガス濃度においてなされてもよく、次に出力電流のさらなる測定は、温度が第2の温度に維持されながらある範囲のガス濃度通常は同じ範囲のガス濃度においてなされてもよい。これは第3の温度等において繰り返され得る。出力電流の測定もまた、ガス濃度が第1の濃度零でもよいに維持されながら一定範囲の温度においてなされてもよく、出力電流のさらなる測定は、ガス濃度が第2の濃度に維持されながら一定範囲の温度通常は同じ範囲の温度においてなされてもよい。各検体ガス濃度では、温度は温度領域全体にわたって掃引され得る。通常、LEDの温度に関係するパラメータとフォトダイオードの温度に関係するパラメータは検体ガスの濃度のそれぞれと温度のそれぞれにおいて測定される。周囲温度に関係するパラメータもまた検体ガスの濃度のそれぞれと温度のそれぞれにおいて測定され得る。好ましくは、センサは、LEDの温度とフォトダイオードの温度が動作中摂氏5度好ましくは摂氏2度を越えないように構成される。好ましくは、LEDの温度に関係する測定されたパラメータはダイオード接合の温度に関係するパラメータである。LEDの温度に関係するパラメータは、ダイオード接合の温度に依存するLEDの順電圧VFの測定結果であってよい、またはそれから導出されてもよい。順電圧を測定することにより温度を判断するのに好適な回路は国際公開第2009/019467号パンフレットGasSensingSolutionsLimitedに開示されており、その全体を参照により本明細書に援用する。温度に関係するパラメータは温度感性部品を使用することにより他のやり方で決定することができ、例えば、LEDまたはフォトダイオードにそれぞれ極近接したサーミスタを通る電流が採用され得る。校正期間中、LED校正データとフォトダイオード校正データは、光吸収ガスセンサ内のメモリ、例えばPROM、EPROM、EEPROMに格納され得る。LED校正データとフォトダイオード校正データは通常、ガスセンサの動作中にメモリから例えばプロセッサにより読み出される。LED校正データとフォトダイオード校正データは、LED温度に関係するパラメーの複数の値とフォトダイオード温度に関係するパラメータの複数の値のそれぞれ毎に検体ガス濃度とフォトダイオード出力電流との関係を推定することができるデータを含むルックアップテーブルとして格納され得る。したがってLED校正データはルックアップテーブルの形式を取リ得る。フォトダイオード校正データはルックアップテーブルの形式を取り得る。LED校正データとフォトダイオード校正データは、少なくとも2次元LED温度に関係するパラメータに対応するものとフォトダイオード温度に関係するパラメータに対応するものを有するルックアップテーブルの形式を取り得る。しかし、フォトダイオード校正データは、フォトダイオード出力信号の特性をフォトダイオード温度に関係するパラメータに関連付けるアルゴリズムの1つまたは複数のパラメータを含み得る。LED校正データは、LEDの特性、または検体ガス濃度に対するフォトダイオード出力信号の応答へのLEDの特性の影響を温度に関係するパラメータに関連付けるアルゴリズムの1つまたは複数のパラメータを含み得る。補償信号を決定する工程は、少なくとも1つの前記パラメータ、例えばフォトダイオード校正に関する少なくとも1つの前記パラメータおよび/またはLED校正に関する少なくとも1つの前記パラメータを考慮して少なくとも1つのアルゴリズムを計算することを含み得る。特定のまたは各前記パラメータはスケーリング係数を含み得る。例えば、フォトダイオード校正データは、フォトダイオード温度に関係する所与のパラメータ毎にフォトダイオード信号に掛けなければならないスケーリング係数を含み得る。1つまたは複数の前記パラメータは、多項式例えば5次多項式または温度に関係するパラメータの他の数値的関数の係数であってもよい。例えば、LED校正データは、LED光出力の波長の出力信号の感度への影響をLED温度に関係するパラメータに関連付ける多項式の1つまたは複数のパラメータを含み得る。LED校正データとフォトダイオード校正データは、少なくとも2次元1つはLED温度に関係するパラメータに対応するものを有するルックアップテーブルの形式を取り得る。他の次元はフォトダイオード温度に関係するパラメータに対応し得る。補償信号はLEDの温度とフォトダイオードの温度に対し補償されることが好ましい。補償信号は、測定された検体ガス濃度に、または測定された検体ガス濃度の対数に比例した信号、または補償信号であってよく、例えばフォトダイオード出力信号例えばフォトダイオード電流に比例してもよく、LEDの温度とフォトダイオードの温度に敏感な影響を補償するのに適切であれば増加または低減されてもよい。本発明の第2の態様によれば、ガス試料収容室と、発光ダイオードLEDと、ガス試料収容室を通った後にLEDから自らに入射する光に応答してフォトダイオード出力信号通常は電流を出力するように動作可能なフォトダイオードと、LEDの温度に関係するパラメータを測定するLED温度測定装置と、フォトダイオードの温度に関係するパラメータを測定するフォトダイオード温度測定装置と、フォトダイオード出力信号、LEDの温度に関係する測定されたパラメータ、およびフォトダイオードの温度に関係する測定されたパラメータを考慮して、ガス試料収容室内の検体ガスの濃度を示す補償信号を出力するように動作可能な補償モジュールと、を含む光吸収ガスセンサが提供される。例えば、補償モジュールは、フォトダイオード出力信号、LEDの温度に関係する測定されたパラメータ、およびフォトダイオードの温度に関係する測定されたパラメータを考慮して、ガス試料収容室内の検体ガスの濃度を示す補償信号を出力するように構成された電子回路、またはフォトダイオード出力信号、LEDの温度に関係する測定されたパラメータ、およびフォトダイオードの温度に関係する測定されたパラメータを考慮して、ガス試料収容室内の検体ガスの濃度を示す補償信号をプロセッサに決定させるプロセッサ実行プログラムコードコンピュータ可読記憶媒体に蓄積された、を含み得る。補償モジュールは、LED温度に関係するパラメータおよび独立にフォトダイオード温度に関係するパラメータを有するフォトダイオード出力信号の変動に関する格納された校正データを考慮するように動作可能であることが好ましい。格納された校正データは、本発明の第1の態様の方法により得られたフォトダイオード校正データとLED校正データであってもよいし、またはそれらから導出されてもよい。格納された校正データがアルゴリズムのパラメータであるかまたはそれを含む場合、補償モジュールは通常、特定のまたは各格納されたパラメータを考慮して少なくとも1つのアルゴリズムを計算するように動作可能である例えば、構成またはプログラムされる。格納されたパラメータはスケーリング係数であってよく、前記アルゴリズムは乗算であってもよい。好ましくは、アルゴリズムは非線型である。格納されたパラメータのいくつかまたはすべては多項式または他の関数のパラメータであってもよい。補償モジュールは、フォトダイオード温度に関係する測定されたパラメータとLED温度に関係する測定されたパラメータの零検体ガス濃度において予想されるフォトダイオード出力信号を考慮してもよい。したがって、補償モジュールは、LEDの様々な温度とフォトダイオードの様々な温度における所与の検体ガス濃度に対するフォトダイオード出力信号の振幅の差異を補償するように動作可能であってよい。補償モジュールは、所与の検体ガス濃度のフォトダイオード出力信号例えば、電流と零検体ガス濃度のフォトダイオード電流との比の差異を、LED温度LED温度に関係する測定されたパラメータにより示されるにより補償し得る。したがって、補償モジュールは、第1のフォトダイオード出力信号と第2のフォトダイオード出力信号の測定に応答して第1の検体ガス濃度を示す信号と第2の検体ガス濃度を示す信号とを出力するように動作可能であってよい。ここで、第1のフォトダイオード出力信号と第2のフォトダイオード出力信号の比はLED温度と伴に変化する第1と第2の検体ガス濃度とLED温度の少なくともある範囲で。動作中、補償信号を決定する工程は、フォトダイオード温度に関係する測定されたパラメータに依存する補償係数をフォトダイオード出力信号例えばフォトダイオード電流に掛ける工程を含み得る。このとき、補償信号を決定する工程は、フォトダイオード出力信号と補償係数の積と基準値との差異を決定する別の工程を含み得る。このとき、補償信号を決定する工程は、LED校正データを考慮して差異を補正する工程を含み得る。この工程は、LED温度に関係するパラメータの非線型補正を行う工程を含み得る。LEDの温度に関係するパラメーとフォトダイオードの温度に関係するパラメータは、LEDとフォトダイオードのいずれか1つの温度に関係するパラメータを測定することにより、そしてLEDとフォトダイオードとの温度差に関係するパラメータを測定することにより、測定することができることもあり得ることを当業者は理解するだろう。LED、フォトダイオード、およびガス試料収容室は、発光ダイオードからの光がガス試料収容室を通過しそして任意選択的にフォトダイオード上に1回または複数回反射されるように構成される。したがって、ガス試料収容室内の目的ガス状検体の濃度は、フォトダイオードにより測定される波長領域内の電磁放射の減衰から決定することができる。通常、フォトダイオード信号の受信光に対する感度は、少なくともLEDのピーク出力光強度が光吸収ガスセンサの動作温度範囲内で変化する波長帯内の受信光の波長に余り敏感でない。LEDとフォトダイオードは、同じ基板および/またはエピ層組成および構造を有する半導体内に、通常は異なる不純物添加で形成され得る。LEDとフォトダイオードは、ガリウム砒素GaAs基板上に成長されたアンチモン化アルミニウムインジウム材料In1-xAlxSbで形成され得る。発光ダイオードとフォトダイオードはそれぞれ、ガリウム砒素GaAs基板上に成長する狭バンドギャップIII-V材料であるインジウムアルミニウムアンチモン材料In1-xAlxSbで形成され得る。その不純物添加は、目的検体例えばガス状二酸化炭素が強く吸収する波長に対応する狭い波長領域の光を発光ダイオードに発射させるためにバンドギャップを調節するように選択される。好適な発光ダイオードとフォトダイオードの形成は、欧州特許第0864180号明細書、欧州特許第0992094号明細書、そしてHaigh,M.K.etal.,AppliedPhysicsLetters,vol.90,2311162007に開示されており、その全体を参照により本明細書に援用する。本発明の第1または第2の態様に関連して上に述べた任意選択的機能は、本発明の第1と第2の態様の両方の任意選択的機能である。第3の態様では、本発明は、ガス試料収容室と、発光ダイオードLEDと、ガス試料収容室を通った後にLEDから自らに入射する光に応答してフォトダイオード出力信号通常は電流を出力するように動作可能なフォトダイオードと、LEDの温度に関係するパラメータを測定するLED温度測定装置と、フォトダイオードの温度に関係するパラメータを測定するフォトダイオード温度測定装置と、格納された校正データを考慮して補償信号を出力するように動作可能な補償モジュールと、を含む光吸収ガスセンサであって、格納された校正データは本発明の第1の態様の本方法により得られる、光吸収ガスセンサに拡張される。格納された校正データは通常、PROM、EPROM、またはEEPROM等のメモリに格納される。本発明は、第4の態様では、ガス試料収容室と、光源例えば発光ダイオードと、自らにより受信された光の量に敏感な出力信号例えば電流を生成するように動作可能な光センサ例えばフォトダイオードと、を含む検体ガスを検出するための光吸収ガスセンサであって、ガス試料収容室の内壁は、反射性であり、光源を有する第1の複合放物型コレクタと、第1の複合放物型コレクタに対向する光センサを有する第2の複合放物型コレクタとを画定する、光吸収ガスセンサに拡張される。通常、第1と第2の複合放物型コレクタは交差する。したがって、ガス試料収容室の内壁のほぼすべてまたはすべては、2つの対向して交差する複合放物型コレクタにより画定され得る。通常、ガス試料収容室の内壁は、光源から光センサに延びる軸を中心に回転対称に延びている。したがってガス試料収容室は通常、細長く直線状である。次に本発明の例示的実施形態について以下の図を参照して説明する。図1を参照すると、光吸収ガスセンサ1は、ガス試料が拡散により1つまたは複数の開口6を通過することができるガス試料室4を画定する本体2を有する。発光ダイオード8は光源として機能し、LED駆動回路10により駆動される。フォトダイオード12は光センサとして機能し、フォトダイオード接合上にかかる光に依存する出力電流を有する。フォトダイオードからの電流は、ガス試料室内の検体ガスの濃度に関係する補償信号を出力16を介し供給するマイクロコントローラを含む制御および補償回路14により増幅され処理される。ガス試料室は、当業者に知られた多数の構成のうちの任意のものを有してもよく、LEDからの光がLEDとフォトダイオード間で1回または複数回反射されるように通常は反射内面を含む。例示的構成は図7に示され、さらに後で検討される。LEDとフォトダイオードは互いに隣接してまたは遠く離れて置かれてもよい。光学的配置は、目的検体の波長特性内の光の減衰がフォトダイオードからの電流に影響を与えるように選択される。したがって、LEDは規定範囲の出力波長温度に敏感であるにもかかわらずを有してよく、フォトダイオードは規定範囲の出力波長に敏感であってよく、および/または波長帯域通過フィルタが設けられてもよい。LED駆動回路は温度感知回路18を含む。温度感知回路はLEDとフォトダイオードの両端の順電圧Vfをそれぞれ測定することによりLEDフォトダイオードの温度を判断する。順電圧を測定することにより温度を判断するのに好適な回路は、国際公開第2009/019467号パンフレットGasSensingSolutionsLimitedに開示されている。フォトダイオードの温度の測定を可能にするために、サーミスタ20がフォトダイオードに搭載される。温度に敏感な他の部品、例えば抵抗線例えば白金ワイヤまたは熱電対を採用できるであろう。フォトダイオードの温度もまたその順電圧VFから判断できるであろう。制御および補償回路は2つのルックアップテーブルを格納するメモリ22を含む。第1のルックアップテーブルは複数のフォトダイオード温度のそれぞれの補償係数Aを格納する。第2のルックアップテーブルは複数のLED温度のそれぞれの1つまたは複数の補償値Bを格納する。補償係数AとBは、センサが製造された際の校正工程中に計算され格納された。これについてはさらに後で検討する。使用中、制御および補償回路は、以下の手順により、測定されたフォトダイオード電流、測定されたLED温度、および測定されたフォトダイオード温度からガス濃度を判断する。測定されたフォトダイオード温度に関連する補償係数Aの値は、第1のルックアップテーブルに格納された値を直接採用することにより、または測定されたフォトダイオード温度の上と下の温度に対し格納された値の間を補間することによりのいずれかにより、得られる。次に、フォトダイオード電流SにAを掛ける。これにより、フォトダイオード温度と無関係であるが目的検体ガスの存在により影響を受ける信号を得る。次に、この温度補償信号レベルS×Aは、目的ガスが存在しないときに予想される信号レベルと比較され通常、Aの値の大きさは、目的ガスが存在しないときのフォトダイオード電流とAとのこの所定の積を考慮して計算される、差Dが計算される。Dは検体による吸収を示す。次に測定されたLED温度は1つまたは複数の補償値Bを参照するために使用される。再び、正確な測定されたLED温度に対するBの値または値群が無ければ、Bはより高い温度とより低い温度に対するBの値間の補間により得られる。いくつかの実施形態では、Bはスケーリング係数であり、センサは補償出力信号CとしてD×Bを出力する。他の実施形態では、Bの値は非線型関数の係数である。一実施形態では、5次多項式の係数であるいくつかのBの値が存在する。5次多項式は、計算されることにより、温度の非線型関数であるDの倍数である補償出力信号を与える。5次多項式または他のアルゴリズムが採用される場合、数式多項式の場合には係数のパラメータは補間により個々に得ることができる、または、恐らくより正確には、アルゴリズムは、測定されたLED温度より少なくとも高い1つと少なくとも低い1つを含む2つの異なる温度のそれぞれにおいて計算することができ、その結果の値が補間に使用される。これは独立に得られる。別の実施形態では、Bの値は測定されたガス濃度対それぞれのLED温度に対する吸収Dのルックアップテーブルの値である。例示的実施形態では、27個のルックアップテーブル27の異なる測定されたLED温度のそれぞれに対し1つずつが提供され、それぞれのルックアップテーブルはDをガス濃度に関連付ける。ルックアップテーブルが提供する温度の1つと測定されたLED温度が同じでなければ、ガス濃度補償信号として機能するはより高い温度とより低い温度に対するテーブル間の補間により決定される。したがって、出力信号は測定されたフォトダイオード電流から導出されるが、フォトダイオード温度とLED温度の両方が補償される。LED温度の補償は非線型であってよいので、LED温度の補償は、単にLEDによる光出力の量の変化ではなくLEDによる光出力のスペクトルの変化から生じる影響を考慮することができる。ルックアップテーブルに格納されるデータは、センサが最初に製造されたときの校正手順後にメモリに書き込まれる。センサは、ガス試料収容室内にまたはガス試料収容室に近接してのいずれかに、LEDとフォトダイオードがセンサ内に搭載された状態で組み立てられるので、少なくとも光学的経路通常はガスセンサ全体は校正が始まる前に既に組み立てられている。センサが検出するように設計されている目的検体の無視できる濃度だけを含む第1の校正用ガスがガスセンサに導入される。これはガス試料収容室中に拡散する。ガスセンサに電源が投入され、発光ダイオードが光を発射し、フォトダイオード出力電流の測定結果が採取される。温度は選択された範囲の温度全体にわたって変えられ、温度に対するフォトダイオード出力電流の応答が測定される。センサは、目的検体の規定濃度を含む第2の校正用ガスに晒される。第2の校正用ガスがガス試料収容室内で平衡状態になると、温度は選択された範囲の温度全体にわたって再び変えられ、第2の校正用ガスの存在下での温度に対するフォトダイオード出力電流の応答が測定される。この手順は、例えば異なる濃度の検体ガスを有する4つまたは5つの校正用ガスを使用して、繰り返される。検体ガスが無いときの温度に対するフォトダイオード出力電流の応答は、フォトダイオードへの単位入射光当たり生成される電流量の温度に伴う変化の関数である。したがって、Aの値は、実質的に零検体ガス濃度における温度に伴うフォトダイオード出力電流の応答から決定することができる。Bの値は、いくつかの校正用ガス濃度のそれぞれにおいて得られたLED温度に伴うフォトダイオード出力電流の応答から決定される。いくつかの実施形態では、フォトダイオード信号Sに現在のフォトダイオード温度に対して計算されたAの値を掛け、この結果は、目的ガスが存在しないときに予想される信号レベルと比較され、差Dは装置のその後の動作中に計算される。次に、Cが正しく計算されるようにするであろうBの値または値群が決定され、適用可能なLED温度および検体ガス濃度に対するルックアップテーブルに格納される。いくつかの実施形態では、Bの値が多項式の係数である場合、多項式を補正出力信号Cに最も良く適合させるBの値が計算され格納される。したがって、その結果のセンサは、フォトダイオードの感度へのフォトダイオード温度の影響、およびLEDにより発射された光の波長プロフィールへのLED温度の非線型影響の両方を補償することができる。いくつかの実施形態では、LEDとフォトダイオードの実際の温度は決してこのように計算されない。その代りに、LEDおよび/またはフォトダイオードの温度に関係する他の測定された特性が代用として使用される。例えば、LEDの両端の順電圧はLEDの温度に関係する特性であり、いくつかの実施形態では順電圧が測定され、値Bが順電圧の多くの値のそれぞれに対し格納される。したがって、LEDの両端の順電圧は、校正および動作期間中にLED温度の代用として使用される。同様に、サーミスタからの電流は、フォトダイオードの温度に関係するので、校正および動作期間中にフォトダイオード温度の代用として使用することができる。この場合、Aの値はサーミスタを通る電流の複数の値のそれぞれに対し格納され、サーミスタを通る測定電流に基づき動作中に参照される。図2~図4に、例示的実施形態からの実験データを示す。図2に、検体ガスこの例ではCO2の零濃度と次に4つの異なる非零ガス濃度における時間X軸対任意線型目盛Y軸上のフォトダイオード出力信号であって、4つの異なる温度のそれぞれにおいて同じ順序で同じガス濃度で繰り返されたフォトダイオード出力信号を示す。フォトダイオード温度の補償S×A後の同じデータを図3に示し、LED温度のさらなる補償後の報告ガス濃度信号Cを図4に示す。LED温度および独立にフォトダイオード温度に対し補償された出力を有するセンサを提供することにより、LEDとフォトダイオードは通常可能な距離よりさらに離れて存在し得る。例えば、図5の断面で示す光学的経路を有する第1のガスセンサがシミレーションされた。フォトダイオードにおいて受信されたLEDにより発射された光の割合は、導波管が高品質金メッキで被覆されたと想定すると59.6であり、導波管が低品質金メッキで被覆されたと想定すると23.7であった。しかし、図6の断面図に示すような光学的経路を有するガスセンサがシミレーションされた場合、LEDにより発射されフォトダイオードにおいて受信された光の割合は82.8高品質金メッキまたは62.1低品質金メッキだった。したがって、LEDとフォトダイオードが実質的に同じ温度のままであるために近接しなければならないという制約を削除することにより、より高い効率フォトダイオードにおいて受信された放射光の最大割合またはより低い品質としたがってより低いコストの反射被膜を同じ感度に対し採用できるようにする、センサの光学設計に対するより大きな自由度がある。図6の導波管は、互いに面した2つの対向複合放物型コレクタで形成される。この構成では、光の大部分は2~4回だけ反射される各放物型コレクタ上に1回または2回。LEDにより発射された光がフォトダイオードに到達する上に引用された割合により実証されるように、これは光ガスセンサ内の導波管の効率的な構成を提供する。光学的ガスセンサは、検体ガスが強く吸収する特に1つまたは複数の波長において光を生成および検出するLEDおよびフォトダイオードを選択することにより、二酸化炭素、一酸化炭素、メタン、水蒸気湿度を測定するための等の検体を検出するようにされ得る。当業者は、開示された本発明の範囲内で、さらなる変更と修正をなし得る。"