被反応流体の混合および/または反応を進行させるための混合部と流路形成体からなるマイクロ流路に、超音波振動を付与する超音波振動付与手段とを備え、内筒と外筒から形成される低温領域用マイクロ流路閉塞防止装置において、前記低温領域用マイクロ流路閉塞防止手段が、前記内筒内に混合部と流路形成体からなるマイクロ流路を組み、内筒外部から超音波振動を付与することを特徴とする低温領域用マイクロ流路閉塞防止装置。前記低温領域用マイクロ流路の閉塞防止装置において、前記超音波振動付与手段の超音波振動子を冷却するための冷却手段および除湿するための除湿手段とを備えたことを特徴とする請求項1に記載の低温領域用マイクロ流路閉塞防止装置。前記低温領域用マイクロ流路の閉塞防止装置において、前記超音波振動付与手段を冷却および除湿するために、冷却され且つ除湿された圧空あるいは計器圧空を用いることを特徴とする請求項1に記載の低温領域用マイクロ流路閉塞防止装置。被反応流体の混合および/または反応を進行させるための混合部と流路形成体からなるマイクロ流路に、超音波振動を付与する超音波振動付与工程とを備え、内筒と外筒から形成される低温領域用マイクロ流路閉塞防止方法において、前記低温領域用マイクロ流路閉塞防止工程が、前記内筒内に混合部と流路形成体からなるマイクロ流路を組み、内筒外部から超音波振動を付与することを特徴とする低温領域用マイクロ流路閉塞防止方法。前記低温領域用マイクロ流路閉塞防止方法において、前記超音波振動付与工程にて超音波振動子を冷却するための冷却工程および除湿するための除湿工程とを備え低温での結露を防止することを特徴とする請求項4に記載の低温領域用マイクロ流路閉塞防止方法。前記低温領域用マイクロ流路の閉塞防止方法において、前記超音波振動付与手段を冷却および除湿するために、冷却され且つ除湿された圧空あるいは計器圧空を用いて冷却し且つ結露を防止することを特徴とする請求項4に記載の低温領域用マイクロ流路閉塞防止方法。上記各マイクロリアクタにおけるマイクロ流路は、断面積が数mm2以下という狭い流路であるため、流体の高粘性化または顆粒や結晶の析出を伴う反応用途に用いた場合に、流路が閉塞することがある。流路の閉塞は、定期的にマイクロリアクタを分解清掃したり、マイクロ流路に洗浄流体を流したりすることで予防または対処することができるが、これらメンテナンスに費やす作業コスト及び時間コストが多くかかり、生産性の低下を招く要因となっていた。しかし、先行技術文献欄に紹介した、特許文献1に記載の工程および/または手段により適宜マイクロ流路内の閉塞を除去することができていたが、流体の高粘性化または顆粒や結晶の析出を伴う反応用途の中には、例えば、ジアゾ化反応の様に、通常0°C以下の低温域での反応条件で、かつ反応生成物が塩析するためスラリー状となるような事例、あるいは還元反応などによる金属微粒子生成ではスラリ状でかつ10°C以下の冷却を必要とする事例など数多く存在し、これらの低温での反応は反応速度が速く、混合部と流路形成体を含むマイクロ流路内で被反応流体が閉塞してしまう恐れがあった。一方熱冷媒室内の熱冷媒が低温で運転された場合、超音波振動装置冷却用の冷却用ガス循環部に循環される冷却用ガスが、露点温度以下に下がるため結露し、電気的構造から結露による損傷を受け易い構造である該超音波振動装置を破損することがあり、適用が難しいという問題があった。上記目的は、下記の発明により達成される。請求項1および請求項4の発明によると、被反応流体の混合および/または反応を進行させるための混合部と流路形成体からなるマイクロ流路に、超音波振動を付与する超音波振動付与手段とを備え、内筒と外筒から形成される低温領域用マイクロ流路閉塞防止装置において、前記低温領域用マイクロ流路閉塞防止手段が、前記内筒内に混合部と流路形成体からなるマイクロ流路を組み、内筒外部から超音波振動を付与することを特徴とする。当該装置と方法により、低温反応を示す被反応流体の混合および/または反応工程時の低温で且つ速い反応に対応できる。また、請求項2および請求項5の発明によると、前記低温領域用マイクロ流路の閉塞防止装置において、前記超音波振動付与手段を冷却するための冷却手段および除湿するための除湿手段とを備えたことを特徴とする。当該装置と方法により、低温反応を示す被反応流体の混合および/または反応工程時の低温で且つ速い反応に対し、冷却用ガス循環部に循環される冷却用ガスが、露点温度以下に下がるため超音波振動付与手段部が結露し、前記手段が電気的構造であることから結露による損傷を受け易い構造に対し冷却手段および除湿するための除湿手段を備えることにより前記超音波振動付与手段の破損を未然に防ぐことができる。さらに、請求項3および請求項6の発明によると、前記低温領域用マイクロ流路の閉塞防止装置において、前記超音波振動付与手段を冷却および除湿するために、冷却され且つ除湿された圧空あるいは計器圧空を用いることを特徴とする。これにより、工場圧空あるいは、計器圧空を用いることにより請求項2および請求項5と同様に低温反応を示す被反応流体の混合および/または反応工程で、超音波振動付与手段部が露点温度以下に下がるために結露し、前記手段が電気的構造から結露による損傷を受け易い構造であることから、結露による損傷を受け易い構造に対し冷却するための冷却手段および除湿するための除湿手段を備えることにより前記超音波振動付与手段の損傷を未然に防ぐことができる。マイクロ流路は、断面積が数mm2以下という狭い流路であるため、流体の高粘性化または顆粒や結晶の析出を伴う反応用途に用いた場合に、流路が閉塞することがある。しかし、マイクロリアクタを分解清掃したり、マイクロ流路に洗浄流体を流したりすることで予防または対処することができるが、メンテナンスに費やす作業コスト及び時間コストが多くかかり、生産性の低下を招くものであった。先行文献1には、マイクロ流路を形成するマイクロ流路形成体に超音波振動付与手段を備え、超音波振動付与手段が発した超音波振動が、熱冷媒を介してマイクロ流路内を流れる被反応流体に伝わり、この振動特性が、マイクロ流路内の被反応流体の分子が微少振動を発生して、分子間の結合を阻止する、これにより反応進行中に生じ得る高粘性流体または顆粒や結晶の析出の蓄積が回避され、その結果、マイクロ流路の閉塞を防止することが記載されている。しかし、前記被反応流体の反応を進行させるためのマイクロ流路を形成する流路形成体と、流路形成体に超音波振動を付与する超音波振動付与手段とを備えるマイクロ流路の閉塞防止装置を低温20°C~20°Cにおいては、特許文献1に記載の工程および/または手段では解決をなし得なかった。本願発明により、低温で且つ閉塞防止を要求される反応系に対して、適用領域を低温領域の範囲まで広範囲に拡大することが可能となる。また、マイクロリアクタによる生産装置への適用において、閉塞防止方法の適用領域を低温領域の範囲まで広範囲に拡大することができる。以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。ここで、従来技術においても同等の機能を示す場合、本願発明の説明に用いた同じ符号を用いて説明する。図1は超音波振動子13の概略構成を示す正面断面図、図2は本発明に係る冷却除湿用圧空流路のフロー構成を示す概略図である。さらに、図3は本発明に係るマイクロ流路閉塞防止装置を備えたマイクロ化学プラントを示す構成概要図である。図4は実施例1の試験結果を示し、図5は実施例2の試験結果を示す。また、図6は、従来のマイクロ流路閉塞防止装置を備えたマイクロ化学プラントを示す構成概要図であり、図7は従来のマイクロ流路閉塞防止装置10の構成概要を示す正面一部断面図であり、図8は従来のマイクロ流路閉塞防止装置10の構成概要を示す側面一部断面図を示す。従来のマイクロ化学プラント100では、図6に示すように、マイクロ流路閉塞防止装置10、混合部20、第1流体供給部30、第2流体供給部40、熱冷媒循環部50、冷却用ガス循環部60、制御部70及び電源80を備えていた。また、マイクロ流路閉塞防止装置10は、図7、図8に示すように、流路形成体11、ケーシング12及び超音波振動子13を備えていた。本発明では、従来のマイクロ化学プラント100を示す図6に比して、図3に示す様に、反応速度が速い低温反応時のマイクロ流路内で被反応流体に適用させる為の構成として、被反応流体が第1流体供給部30、第2流体供給部40から、配管34、配管44を通じて個々に供給される混合部20をマイクロ流路閉塞防止装置10の内筒1および外套2から構成されるケーシング12の内筒1の中に移動した構成とし、混合部20と流路形成体11を合わせてマイクロ流路Rとしている。さらに、図3に示す様に冷却用ガス循環部60は、冷却用ガス生成部61、除湿部65、ブロワ62およびバルブ63を配管64を用いて接続した構成となっており、除湿部65を冷却用ガス循環部60内に設けたことが、本発明の一つの特徴である。また、本発明では、従来技術同様マイクロ化学プラント100の流路形成体11は、長尺可撓性のチューブ体をコイル状に巻回したものである。このチューブ体は、流れ方向に垂直な面で切ったときの断面積が1マイクロm2以上且つ数mm2以下の中空部を有し、この中空部が流れ方向に連続することでマイクロ流路Rの混合部20以降部分を形成している。流路形成体11の材質は、マイクロ流路Rを流れる被反応流体、被反応途中流体及び被反応済流体の種類に応じて、これら各流体により浸食または腐食されないものとされる。例えば、ステンレス鋼やハステロイ米国ヘインズインターナショナル社の登録商標等の金属またはテフロン登録商標等の耐薬品性または耐腐食性の高い樹脂などを用いることができる。図3に示す様に、マイクロ流路閉塞防止装置10の内筒1、外筒2、横蓋3及び横蓋4からなるケーシング12は、その内部には、熱冷媒室12H及び冷却用ガス室12Cが形成される。内筒1は、第1流体L1と第2流体L2を混合および/または反応する合流点R0とマイクロミキサのエレメントから構成された混合部流路形成体21を内部に位置する混合装置20および流路形成体11を囲繞する円筒体である。外筒2は、内筒1と同心状に配置した状態で内筒1を入れ子状とした円筒体である。横蓋3は、外筒2及び内筒1の一端側にそれらの開口を閉塞するように設けられる。横蓋3の中央部には、混合部20の一端に連通し第1流体L1と第2流体L2の入口となる入口ポート11I、11IIが設けられる。横蓋4は、外筒2及び内筒1の他端側にそれらの開口を閉塞するように設けられる。横蓋4の中央部には、マイクロ流路Rの他端に連通し反応済流体L4の出口となる出口ポート11Dが設けられる。熱冷媒室12Hは、内筒1の内周面と横蓋3の内側面と横蓋4の内側面とにより囲まれた密閉空間であり、この密閉空間を熱冷媒熱媒または冷媒W1が循環するようになっている。熱冷媒W1には、例えば冷水、温水などが用いられる。冷却用ガス室12Cは、外筒2の内周面と内筒1の外周面と横蓋3の内側面と横蓋4の内側面とにより囲まれた密閉空間であり、この密閉空間を冷却用ガスW2が循環するようになっている。冷却用ガスW2には、例えば冷却圧空等の低温気体が用いられる。内筒1には、熱冷媒室12Hに連通し熱冷媒W1の入口となる入口ポート1I、及び出口となる出口ポート11Dが形成される。外筒2には、冷却用ガス室12Cに連通し冷却用ガスW2の入口となる入口ポート2I、及び出口となる出口ポート2Dが形成される。前記ケーシング12の円筒1の横蓋3の端面には、流体温度センサ14が設けられている。流体温度センサ14は、熱冷媒室12Hを流れる熱冷媒W1の温度を測定してその温度信号S1を制御部70に送るように構成される。構成によっては、流体温度センサ14の取り付け位置を横蓋4の端面側に設けても良い。超音波振動子13は、図1に示すように、超音波発生源となる圧電材131、圧電材131の上部に付設された上側電極132、下部に付設された下側電極133および下側電極133の表面に貼り付けられた吸音材134、及び上側電極132の表面に貼り付けらた音響整合層135からなる。超音波振動子13は、電源80から電力の供給を受けるようになっている。超音波振動子13が発する振動の特性は、制御信号S3により可変とされる。超音波振動子13は、従来のマイクロ流路閉塞防止装置の構成と同等であるので、従来構成からなる図8を用いて説明する。図1に示す超音波振動子13の上側表面超音波放射面136を凹型に湾曲させて湾曲面にできる可燒性タイプとしても良い。上記内筒1の外周面と超音波振動子13を密着させて取付ける手段としては、接着剤を介した固着方法あるいはボルト止めによる固着方法などにより取付けられる。図3に戻って、ケーシング12内の円筒1内に設けられた混合部20は、混合前の被反応流体である第1流体L1と、第2流体L2とを合流させた後、両流体を混合および/または反応させる装置であり、第1流体L1及び第2流体L2のそれぞれを導入するための入口ポート20I1および入口ポート20I2、混合済みの被反応流体L3を導出するための出口ポート20D、並びに入口ポート20I1及び入口ポート20I2と出口ポート20Dとの間に被反応流体を混合および/または反応させる合流点R0が設けられる。また、混合および/または反応直後の被混合流体を十分混合および/または反応させる様に、混合部20内には前記合流点R0に接続したマイクロミキサのエレメントから構成された混合部流路形成体21を内部に位置する。また、前記混合部20内には記載されている様に、内部に合流点R0および混合部流路形成体21を構成されているが、混合部20は、素材が金属や樹脂などからなる剛体であることと、マイクロ流路が微小径である為、当該ケーシング12内に充満している熱冷媒W1を介して内筒1と外筒2間の冷却用ガス室12Cに設けられた加振するための超音波振動装置13の振動が十分伝わる構造となっている。第1流体供給部30は、第1流体貯留タンク31、ポンプ32及びバルブ33を備え、配管34を介して混合装置20の入口ポート20I1に接続され、第1流体L1を所定の圧力で圧送可能に構成される。第2流体供給部40は、第1流体供給部30と同様に、第2流体貯留タンク41、ポンプ42及びバルブ43などを備え、配管44を介して混合装置20の入口ポート20I2に接続され、第2流体L2を所定の圧力で圧送可能に構成される。熱冷媒循環部50は、熱冷媒貯留タンク51、ポンプ52、バルブ53及び温度制御部55を備え、配管54を介してマイクロ流路閉塞防止装置10の入口ポート1I及び出口ポート1Dに接続され、熱冷媒W1を熱冷媒室12Hで所定の流量で循環させるように構成される。冷却用ガス循環部60は、冷却用ガス生成部61、除湿部65、ブロワ62及びバルブ63を備え、配管64を解してマイクロ流路閉塞防止装置10の入口ポート2I及び出口ポート2Dに接続され、熱冷媒W1を冷熱用ガス室12Cで所定の圧力で循環させるように構成される。制御部70は、流体温度センサ14から送られた温度信号S1に基づいて、マイクロ流路Rを流れる被反応流体L3の温度が反応に最適な温度となるように、熱冷媒W1を加熱または冷却して、上記被反応流体L3の温度を制御する構成とされる。この制御は制御信号S2により行われる。また、制御部70は、反応形態に応じて超音波振動子13が発する振動の特性が変化するように、電源80の振幅及び振動数を設定可変とされる。振動の特性は、マイクロ流路Rを流れる被反応流体L3の分子が微少振動を発生して、分子間の結合を阻止するものが選択される。この制御は制御信号S3により行われる。次に、マイクロ化学プラント100の動作及び効果について説明する。図3において、第1流体供給部30及び第2流体供給部40からそれぞれ所定の圧力で導出された第1流体L1及び第2流体L2は、マイクロ流路閉塞防止装置10内に組み込まれた混合部20に導入される。本願発明では、前記第1流体L1及び第2流体L2が流入される混合部20は、マイクロ流路閉塞防止装置10のケーシング12内に組み込まれ、ケーシング12の内筒1の外部と外筒2の内部間の冷却用ガス室12Cに設けられた超音波振動子13が発する超音波振動を付与されることにより、熱冷媒室12H内の熱冷媒W1によって当該発明の場合は、冷却され、低温内での混合および/または反応が促進される。混合部20に導入された第1流体L1及び第2流体L2は、合流点R0で合流した後、混合および/または反応直後の被混合流体を十分混合および/または反応させる様に、混合部20内には前記合流点R0に接続したマイクロミキサのエレメントから構成された混合部流路形成体21を内部に位置する。マイクロミキサのエレメントから構成された混合部流路形成体21の流路内を通過することで混合および/または反応を十分進行させていき、混合および/または反応を終えた後、被反応流体L3として導出される。混合部20から導出された被反応流体L3は、流路形成体11を通過しながら反応を進行させ、最終的には反応済流体L4として出口ポート11Dから導出される。第1流体L1及び第2流体L2が混合部20に導入され混合および/または反応を進行させ、被反応流体L3として導出されるとともに、さらに、被反応流体L3がマイクロ流路R内で反応を進行させている最中に、超音波振動子13は、超音波振動を発している。超音波振動子13が発した超音波振動は、内筒1に伝わった後、熱冷媒W1を介して混合部20と流路形成体11からなるマイクロ流路Rに伝わる。マイクロ流路Rに伝わった超音波振動は、マイクロ流路R内を流れる被反応流体L3に伝わる。この超音波振動の振動特性は、被反応流体L3の分子が微少振動を発生して、分子間の結合を阻止する値に設定される。つまり、マイクロ流路R内の被反応流体L3には、被反応流体L3の各分子が微少振動を発生して、分子間の結合を阻止する振動数及び振幅の超音波振動が付与される。これにより反応進行中に生じ得る高粘性流体または顆粒や結晶の析出の蓄積が回避され、その結果、マイクロ流路Rの閉塞が防止される。また、マイクロ流路R内で被反応流体L3が停止しているときも、上述と同様な理由で、マイクロ流路Rの閉塞が防止される。本形態では、超音波振動子13は、熱冷媒W1を超音波振動の伝搬媒体として、混合部20と流路形成体11から形成されるマイクロ流路Rに超音波振動を付与する。これにより、マイクロ流路Rに付与される超音波振動が、局所的にならず、マイクロ流路Rの全体に一様に付与されるため、マイクロ流路Rの全体に亘って隈の無い閉塞防止を達成することができる。一方、熱冷媒W1は、熱冷媒室12H内で所定の流量で循環している。熱冷媒W1は、流体温度センサ14から送られた温度信号S1を基に、マイクロ流路Rを流れる被反応流体L3の温度が反応の進行に最適な温度となるように、熱冷媒循環部50内の温度制御部55により加熱または冷却されて温度制御される。これにより、高精度で良質の反応を達成することができる。このように熱冷媒W1は、一つの密閉空間である熱冷媒室12H内で超音波伝搬用及び温度調節用の両方の機能を備えるようになっており、装置効率が良い。また、冷却用ガス室12C内には、冷却用ガスW2が所定の流量で循環している。これにより、超音波振動を発することに伴う超音波振動子13自体の発熱による温度上昇を抑制することができ、温度上昇による超音波振動子13の誤動作や発生振動数の変動など無く安定した運転をすることができる。また、本願発明の低温での混合および/または反応をおこなう低温領域用マイクロ流路閉塞防止装置10では、熱冷媒室12H内の熱冷媒W1が露点温度以下に下がるにつれて、冷却用ガス室12Cの冷却用ガスW2も露点温度以下に下がり結露してしまい、電気的構造から結露による損傷を受け易い構造である該超音波振動子13を破損してしまい、適用が難しいという点を解決するために、前記結露に対し、冷却用ガス循環部60内に、除湿部65を設けた。あるいは、除湿された圧空あるいは計器圧空露点40°Cがあらかじめ準備あるいはすでに備わっている工場へ当該マイクロリアクタを設置する場合、図2に示すように、図3に記載の冷却用ガス循環部冷却手段60の替わりに流量計66、バルブ63および除湿器圧空用67から構成される設備を本装置に適用することにより、冷却用ガス循環部60と置換することもできる。この場合流量計66を介して圧空配管を入り口ポート2Iへ接続し、一定流量の乾燥圧空を流入させ、外筒2内の冷却用ガス室12Cの冷却と結露防止とを行った後、出口ポート2Dよりの冷却用ガスW1を図3に記載の様に循環せずにワンパスにて流出させる簡便な方法を用いることもできる。上述の実施形態においてマイクロ流路Rは、内部に合流点R0およびマイクロエレメントからなる混合部流路形成体21を含む混合部20と流路形成体11からなる。尚、流路形成体11は長尺可撓性のチューブ体をコイル状に巻回したもの以外に、図示していないが長尺可撓性のチューブ体を単に直線状に配置したものであってもよい。以上、本発明の実施形態について説明を行ったが、上に開示した実施形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこの実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、更に特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。即ち、マイクロ流路閉塞防止装置10の全体または一部の構造、形状、サイズ、材質、個数などは、本発明の趣旨に沿って種々に変更することができる。また、本発明は、化学反応の有無に拘わらず、あらゆる混合および/または反応に適用することが可能である。ここでは、あらかじめ調整されたスラリ流体について、マイクロ流路Rでの閉塞防止効果を確認すること、ならびに超音波振動子13および外筒2内部での結露防止効果を確認することを目的として、下記実施した。実施例1図3に示す混合部流路形成体21を内部に位置する混合装置20および流路形成体11を内筒1内に取込んだ構成で、熱冷媒W1温度を-7ないし-10°Cとして、超音波振動子超音波付与手段13を起動した状態で濃度50のスラリ状流体を第1流体貯留タンク31からポンプ32を用いて送り、超音波振動付与手段13の作動時の流体圧力変化をポンプ32に内蔵された圧力計により測定した。また、同条件で、超音波振動付与手段13の停止時の流体圧力変化をポンプ32に内蔵された圧力計により測定した。図4に上記2条件の運転時の結果を比較したグラフに示すように、低温運転時の場合でも超音波振動付与手段13の作動時には閉塞防止効果があることが確認できた。また、冷却用ガス循環部60内に除湿部65を備えた条件下では、超音波振動子13廻りおよび外筒2内部の結露は観察されず、結露防止効果も確認できた。実施例2実施例1と同様に図3に示す混合部流路形成体21を内部に位置する混合装置20を内筒1内に取込んだ構成で、図2に示す冷却および除湿用圧空流路のフロ構成で除湿された圧空を用いた構成とした。熱冷媒W1温度を10°Cとして、超音波振動子超音波付与手段13を起動した状態で、被混合流体を第1流体貯留タンク31ならびに第2流体貯留タンク41からポンプ32およびポンプ42を用いて送り、混合部流路形成体21で混合および/または反応を行ない、混合部流路形成体21への超音波振動の付加の有無による流体圧力状況をポンプ32内蔵の圧力計により圧力を測定した。その結果、図5のグラフに示すように、低温運転時の場合でも超音波付与手段13により反応スラリ状流体からなる被反応流体に対して安定した運転が可能であり、閉塞防止効果があることが確認できた。また同時に、超音波振動子13廻りおよび外套2内部の結露は観察されず、結露防止効果も確認できた。