複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層を含む圧電体と、前記圧電層の、前記圧電体の前記流路ユニットと反対側の面である第一面とは異なる面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された複数の表面電極とを有し、前記流路ユニットに接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備え、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層を含む圧電体と、前記圧電層の、前記圧電体の前記流路ユニットと反対側の面である第一面とは異なる面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有し、前記流路ユニットに接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、平坦な押圧面で前記第一面を前記流路ユニットに向けて押圧して、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成された表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。前記表面電極形成工程において、隣接する前記表面電極列の間の隙間の幅が、各表面電極列における前記表面電極の間の隙間の幅よりも大きくなるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする請求項2に記載の液体吐出装置の製造方法。前記表面電極形成工程において、複数の前記表面電極列を構成する前記表面電極が一定の配列間隔で配列され、且つ、隣接する前記表面電極列における前記表面電極の位置が、前記配列間隔の半分の長さだけ互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする請求項2又は3に記載の液体吐出装置の製造方法。前記圧電体が、前記流路ユニットと反対側の面が前記第一面となった前記圧電層を含んでおり、前記複数の個別電極が、前記第一面に形成されており、前記表面電極形成工程において、前記第一面に、複数の前記表面電極と同時に、前記複数の個別電極を形成することを特徴とする請求項2~4のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。基材と、前記基材と対向するように配置された圧電層を含む圧電体と、前記圧電層の、前記圧電体の前記基材と反対側の面である第一面とは異なる面に形成された共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面に、前記共通電極との間に前記圧電層を挟むようにそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有し、前記基材に接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備えたアクチュエータ装置の製造方法であって、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、平坦な押圧面で前記第一面を前記基材に向けて押圧して、前記基材と前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。ここで、特許文献1に記載されているように、流路ユニットと圧電アクチュエータとを互いに積層して接着する際には、例えば、ヒータなどによって、圧電アクチュエータの上面を、流路ユニットに向けて押圧するが、このとき、接着剤が流路ユニットと圧電アクチュエータとの間からはみ出してくる。そして、はみ出した接着剤が、最上層を形成する圧電層の上面にせり上がってきて、圧電層の上面の個別電極が形成された部分に到達してしまうと、ノズルからのインクの吐出特性が変動してしまう虞がある。本発明の発明者は、最上層を形成する圧電層に表面電極が形成されている場合、表面電極がその厚みの分だけ圧電層の表面から突出しているため、流路ユニットと圧電アクチュエータとを接着する際にヒータが表面電極に密着し、圧電アクチュエータの上面にせり上がってきた接着剤の流れがヒータと密着した表面電極によってせき止められることに気が付いた。そこで、本発明の発明者は、最上層を形成する圧電層の上面の、圧電層の縁と個別電極と対向する部分との間に、圧電層の縁に沿って延びた長尺の表面電極を形成することによって、最上層を形成する圧電層の上面にせり上がってきた接着剤が、個別電極が形成された部分に到達してしまうのを防止することを考えた。しかしながら、最上層を形成する圧電層に、このような長尺の表面電極を形成すると、表面電極と圧電層の線膨張係数の差により、表面電極の焼き付け時など圧電アクチュエータを作製する際の加熱によって、圧電アクチュエータが大きく反ってしまう。そのため、この場合には、反った圧電アクチュエータを、平坦な状態に延ばして流路ユニットに接着することになるが、反った圧電アクチュエータを平坦な状態に延ばす際に、圧電層にクラックが発生したり、平坦な状態に延ばしたときに圧電層に加わる応力により、圧電アクチュエータの吐出特性が変動して、ノズルからのインクの吐出特性にばらつきが生じたりする虞がある。本発明の目的は、圧電アクチュエータの流路ユニットや基材と反対側の面にせり上がってきた接着剤が、個別電極と対向する部分に到達してしまうのを防止することができ、且つ、圧電アクチュエータの反りも低減することが可能な液体吐出装置及びアクチュエータ装置の製造装置、並びに、ノズルからのインクの吐出特性にばらつきの少ない液体吐出装置を提供することである。第1の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層を含む圧電体と、前記圧電層の、前記圧電体の前記流路ユニットと反対側の面である第一面とは異なる面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された複数の表面電極とを有し、前記流路ユニットに接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備え、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極が形成されていることを特徴とする。第2の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層を含む圧電体と、前記圧電層の、前記圧電体の前記流路ユニットと反対側の面である第一面とは異なる面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有し、前記流路ユニットに接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、平坦な押圧面で前記第一面を前記流路ユニットに向けて押圧して、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成された表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする。第6の発明に係るアクチュエータ装置の製造方法は、基材と、前記基材と対向するように配置された圧電層を含む圧電体と、前記圧電層の、前記圧電体の前記基材と反対側の面である第一面とは異なる面に形成された共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面に、前記共通電極との間に前記圧電層を挟むようにそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有し、前記基材に接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備えたアクチュエータ装置の製造方法であって、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、平坦な押圧面で前記第一面を前記基材に向けて押圧して、前記基材と前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする。これらの発明によると、圧電体の第一面に形成された表面電極は、その厚みの分だけ第一面から突出しているため、流路ユニットと圧電アクチュエータとを接着する際に、平坦な押圧面で圧電層の第一面を押圧すれば、押圧面が表面電極に密着する。したがって、流路ユニットと圧電アクチュエータとの間からはみ出して、圧電体の第一面にせり上がろうとする接着剤の一部は、押圧面と密着した表面電極によってせき止められる。一方、表面電極によってせき止められなかった接着剤は、表面電極の間の隙間に流れ込むが、隣接する表面電極列の間において、圧電体の縁から個別電極に向かう方向と直交する、表面電極列の列方向に流れるため、第一面の個別電極と重なる部分に到達しにくい。以上のことから、流路ユニットと圧電アクチュエータとの間からはみ出した接着剤が、第一面の個別電極に対向する部分に流れ込んでしまうのを防止することができる。さらに、複数の表面電極列が形成されるように複数の表面電極を形成しているため、複数の表面電極の代わりにこれらの表面電極が一体となった表面電極を形成した場合に比べて、圧電アクチュエータを作製する際の加熱による圧電アクチュエータの反りを低減することができる。したがって、流路ユニットと圧電アクチュエータとを接着する際に、圧電層にクラックが生じたり、圧電層の個別電極と対向する部分に大きな応力が加わって圧電アクチュエータの駆動特性、すなわち、ノズルからのインクの吐出特性にばらつきが生じたりするのを防止することができる。第3の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第2の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記表面電極形成工程において、隣接する前記表面電極列の間の隙間の幅が、各表面電極列における前記表面電極の間の隙間の幅よりも大きくなるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする。本発明によると、表面電極の間の隙間に流れ込んだ接着剤は、圧電体の縁から個別電極と重なる部分に向かう方向に延びた、幅の狭い各表面電極列を構成する表面電極の間の隙間よりも、圧電体の縁から個別電極と重なる部分に向かう方向と直交する方向に延びた、幅の広い表面電極列の間の隙間に流れ込みやすくなる。したがって、接着剤が、第一面の個別電極と重なる部分にさらに到達しにくくなる。第4の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第2又は第3の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記表面電極形成工程において、複数の前記表面電極列を構成する前記表面電極が一定の配列間隔で配列され、且つ、隣接する前記表面電極列における前記表面電極の位置が、前記配列間隔の半分の長さだけ互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする。本発明によると、ある表面電極列を構成する表面電極の間の隙間と、この隙間から最も近い位置にある、当該表面電極列に隣接する表面電極列を構成する表面電極の間の隙間との距離が均一になるため、圧電アクチュエータのどの部分においても均一に、接着剤が、圧電層の流路ユニットと反対側の面の個別電極と重なる部分に到達しにくくなる。第5の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第2~第4のいずれかの発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記圧電体が、前記流路ユニットと反対側の面が前記第一面となった前記圧電層を含んでおり、前記複数の個別電極が、前記第一面に形成されており、前記表面電極形成工程において、前記第一面に、複数の前記表面電極と同時に、前記複数の個別電極を形成することを特徴とする。本発明によると、表面電極と個別電極とを同時に形成することができるので、液体吐出装置の製造工程を簡略化することができる。本発明によれば、流路ユニットと圧電アクチュエータとを接着する際に、流路ユニットと圧電アクチュエータとの間からはみ出した接着剤が、第一面の個別電極に対向する部分に流れ込んでしまうのを防止することができる。さらに、圧電アクチュエータの、作製時の加熱による反りを低減することができる。以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。図1に示すように、本実施の形態に係るプリンタ1は、キャリッジ2、インクジェットヘッド3、用紙搬送ローラ4などを備えている。キャリッジ2は、走査方向図1の左右方向に延びたガイド部材5に沿って、走査方向に往復移動する。インクジェットヘッド3は、キャリッジ2に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル15図2参照からインクを吐出する。用紙搬送ローラ4は、記録用紙Pを、走査方向と直交する紙送り方向図1の手前方向に搬送する。そして、プリンタ1においては、用紙搬送ローラ4により紙送り方向に搬送される記録用紙Pに、キャリッジ2とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド3からインクを吐出することによって、記録用紙Pに印刷を行う。次に、インクジェットヘッド3について説明する。本発明に係る液体吐出装置としてのインクジェットヘッド3は、平面視での形状が略矩形であり、図2、図3に示すように、ノズル15や圧力室10などのインク流路が形成された流路ユニット21と、圧力室10内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータ22とを備えている。流路ユニット21は、略矩形の4枚のプレート31~34が互いに積層されることによって形成されている。ここで、4枚のプレート31~34のうち、最も下方に配置されたプレート34を除く3枚のプレート31~33は、ステンレスなどの金属材料からなり、プレート34は、ポリイミドなどの合成樹脂材料からなる。あるいは、プレート34もプレート31~33と同様、金属材料によって構成されていてもよい。プレート31には、走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有する、複数の圧力室10が形成されている。複数の圧力室10は、紙送り方向に配列されることによって圧力室列8を形成しており、プレート31には、このような圧力室列8が、走査方向に4列に配列されている。プレート32には、圧力室10の長手方向の両端部と対向する部分に、それぞれ、略円形の貫通孔12、13が形成されている。プレート33には、マニホールド流路11が形成されている。マニホールド流路11は、4つの圧力室列8に対応して紙送り方向に4列に延びており、各圧力室列8を構成する複数の圧力室10の略右半分と対向している。また、マニホールド流路11には、その下端部に設けられたインク供給口9からインクが供給される。また、プレート33には、複数の貫通孔13と対向する部分に略円形の複数の貫通孔14が形成されている。プレート34には、複数の貫通孔14と対向する部分に複数のノズル15が形成されている。そして、流路ユニット21においては、マニホールド流路11が貫通孔12を介して複数の圧力室10に連通しており、さらに、各圧力室10が、貫通孔13、14を介してノズル15に連通している。すなわち、流路ユニット21には、マニホールド流路11の出口から圧力室10を経てノズル15に至る個別インク流路が複数形成されている。圧電アクチュエータ22は、振動板41、圧電層42、複数の個別電極43、共通電極44等を備えている。振動板41は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室10を覆うように、接着剤55により流路ユニット21の上面に接着されている。なお、振動板41は、次に説明する圧電層42とは異なり、圧電材料以外の材料によって構成されていてもよい。圧電層42は、振動板41と同様の圧電材料からなり、振動板41の上面に複数の圧力室10にまたがって連続的に形成されている。なお、本実施の形態では、互いに積層された振動板41と圧電層42とをあわせたものが、本発明に係る圧電体に相当する。また、この圧電体においては、圧電層42がその最上層を形成しており、圧電層42の上面42Aが、圧電体の流路ユニット21と反対側の面である、本発明に係る第一面を形成している。複数の個別電極43は、それぞれ、圧力室10よりも一回り小さい略楕円形状を有しており、圧電層42の上面の、複数の圧力室10の略中央部と対向する部分に形成されている。また、各個別電極43のノズル15と反対側図2の右側の端部は、圧力室10と対向しない部分まで延びており、その先端部が接続端子43Aとなっている。接続端子43Aには、図示しない配線部材を介して図示しないドライバICが接続されており、複数の個別電極43には、ドライバICにより、グランド電位及び駆動電位例えば、20V程度のいずれかが選択的に付与される。共通電極44は、振動板41と圧電層42との間圧電層42の第一面とは異なる面に形成されており、複数の個別電極43との間にそれぞれ圧電層42を挟んでいる。ここで、圧電層42の個別電極43と共通電極44とに挟まれた部分は、その厚み方向に分極されている。また、共通電極44は、複数の個別電極43が形成された領域よりも外側圧電層42の縁部側まで延びている。圧電層42の上面42Aには、圧電層42の4つの縁42B~42Eの近傍に、それぞれ、縁42B~42Eと複数の個別電極43との間に位置するように複数の表面電極45が形成されている。複数の表面電極45は、それぞれ、導電材料が充填された引出部としてのスルーホール46を介して共通電極44と接続されており、これにより、共通電極44は、上面42Aに引き出されている。圧電層42の図2における左右の縁42B、42Cの近傍に形成された複数の表面電極45は、それぞれ、縁42B、42Cに沿って紙送り方向に配列されることによって形成された表面電極列47を3列形成している。3列の表面電極列47は、走査方向に沿って配列されている縁42B、42Cから圧電層42の上面42Aの中央に向かって形成されている。ここで、上記3列の表面電極列47は、それぞれ、表面電極45が紙送り方向に一定の配列間隔Dで配列されることによって形成されており、隣接する表面電極列47を形成する表面電極45同士は、紙送り方向にD/2だけずれて配置されている。これにより、隣接する表面電極列47における、表面電極45の間の隙間48の位置が、紙送り方向に互いにずれている。また、各表面電極列47における表面電極45の間の隙間48の幅がW1となっているとともに、隣接する表面電極列47の間の隙間49の幅が隙間48の幅W1よりも大きいW2となっている。圧電層42の図2における上下の縁42D、42Eの近傍に形成された複数の表面電極45は、それぞれ、縁42D、42Eに沿って走査方向に配列されることによって形成された表面電極列50を3列形成している。3列の表面電極列50は、紙送り方向に沿って配列されている縁42D、42Eから圧電層42の上面42Aの中央に向かって形成されている。ここで、上記3列の表面電極列50は、それぞれ、表面電極45が走査方向に一定の配列間隔Dで配列されることによって形成されており、隣接する表面電極列50を形成する表面電極45同士は、走査方向にD/2だけずれて配置されている。これにより、隣接する表面電極列50における、表面電極45の間の隙間51の位置が、紙送り方向に互いにずれている。また、各表面電極列50における表面電極45の間の隙間51の幅がW1となっているとともに、隣接する表面電極列47の間の隙間52の幅が隙間51の幅W1よりも大きいW2となっている。また、これら複数の表面電極45は、図示しない配線部材を介して図示しないドライバICに接続されており、共通電極44は、ドライバICにより常にグランド電位に保持されている。ここで、圧電アクチュエータ22を駆動して、ノズル15からインクを吐出させる方法について説明する。インクジェットヘッド3においては、予め複数の個別電極43が全てグランド電位に保持されている。そして、あるノズル15からインクを吐出させるためには、当該ノズル15に対応する個別電極43の電位をグランド電位から駆動電位に切り替える。すると、駆動電位が付与された個別電極43とグランド電位に保持されたグランド電極との間の電位差により、圧電層のこれらの電極に挟まれた部分には、その厚み方向の電界が発生する。この電界の方向は圧電層42の分極方向と平行であるので、圧電層42のこの部分は、厚み方向と直交する水平方向に収縮し、圧電層42及び振動板41の圧力室10と対向する部分が圧力室10側に凸となるように変形する。これにより、圧力室10の容積が小さくなって圧力室10内のインクの圧力が上昇し、このインクの圧力上昇によって、圧力室10に連通するノズル15からインクが吐出される。次に、インクジェットヘッド3の製造方法について説明する。インクジェットヘッド3を製造するためには、まず、図5aに示すように、流路ユニット21及び圧電アクチュエータ22とを別々に作製する。ここで、圧電アクチュエータ22は、複数の個別電極43、共通電極44、複数の表面電極45などが形成された、振動板41及び圧電層42となる2枚の圧電シートを互いに積層させて焼成することによって作製するが、このとき、圧電層42となる圧電シートの上面に、印刷により、複数の個別電極43と複数の表面電極45とを同時に形成する表面電極形成工程。ここで、圧電層42となる圧電シート上に形成された個別電極43及び表面電極は、その厚みの分だけ上面42Aから僅かに突出しているが、印刷により個別電極43と表面電極45とを同時に形成しているので、個別電極43と表面電極45の、上面42Aからの突出量はほぼ同じとなっている。このとき、本実施の形態では、上面42Aの縁42B~42E近傍の部分に、それぞれ、間隔をあけて配列された複数の表面電極45を形成しているので、大型の表面電極を形成した場合に比べて、圧電シートの焼成時に、圧電層42と表面電極45との線膨張係数の差によって圧電層42に加わる応力が小さくなる。したがって、焼成による圧電アクチュエータ22の反りを低減することができる。次に、流路ユニット21の上面及び圧電アクチュエータ22の下面の少なくともいずれか一方に熱硬化性の接着剤55を塗布する。続いて、図5bに示すように、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを積層させ、ヒータ60により、圧電層42の上面42Aを流路ユニット21に向けて下方に押圧しつつ加熱することによって、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着材55で接着する接着工程。ヒータ60は、金属材料などからなり、その下面が平坦な押圧面60Aとなっており、ヒータ60の押圧面60Aにより圧電層42の上面42Aを押圧すると、上面42Aから僅かに突出した個別電極43及び表面電極45が、ヒータ60の押圧面60Aと密着する。なお、このとき、ヒータ60を下方に移動させることによって、押圧面60Aで上面42Aを流路ユニット21に向けて押圧してもよいし、流路ユニット21及び圧電アクチュエータが設置された台などを固定されたヒータ60に向かって上方に移動させることによって、押圧面60Aで上面42Aを流路ユニット21に向けて押圧してもよい。そして、ヒータ60により、圧電層42の上面を流路ユニット21に向けて下方に押圧すると、図5bに示すように、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22との間から接着剤55がはみ出し、はみ出した接着剤55が振動板41及び圧電層42の側面を通って上面42Aまでせり上がってくる。本実施の形態では、上述したように、圧電層42の縁42B~42Eの近傍に、それぞれ、複数の表面電極45が形成されており、これら複数の表面電極45がヒータ60の押圧面60Aと密着している。したがって、上面42Aにせり上がってきた接着剤55の一部は、押圧面60Aと密着した表面電極45によってせき止められ、これにより、接着剤55が上面42Aの個別電極43が形成された部分に流れ込んでしまうのが防止される。また、本実施の形態では、複数の表面電極45が隙間48、49、51、52をあけて配列されているため、接着剤55の一部は、図6に示すように、これらの隙間48、49、51、52を流れる図6では、隙間48、49に流れ込んだ接着剤を示している。しかしながら、本実施の形態では、接着剤55は、隙間48、51においては圧電層42の縁42B~42Eから、表面電極45が形成された部分に向かって流れるものの、隙間49、52においては、圧電層42の縁42B~42Eから、表面電極45が形成された部分に向かう方向と直交する方向に流れる。したがって、隙間48、49、51、52を流れる接着剤55は、上面42Aの個別電極43が形成された部分には到達しにくい。さらに、本実施の形態では、隙間49、52の幅W2が、隙間48、51の幅W1よりも大きいため、接着剤55は、幅の狭い隙間48、51から幅の広い隙間49、52へは流れ込みやすいが、幅の広い隙間49、52から幅の狭い隙間48、51には流れ込みにくい。したがって、接着剤55はさらに、上面42Aの個別電極43が形成された部分に到達しにくくなる。そして、本実施の形態では、このように接着剤55が上面42Aの個別電極43が形成された部分に到達してしまうのが防止されていることにより、ノズル15からのインクの吐出特性にばらつきが生じてしまうのを防止することができる。また、本実施の形態では、各表面電極列47、50において、表面電極45が一定の配列間隔Dで配列されているとともに、隣接する表面電極列47、50において、表面電極45が配列間隔Dの半分D/2だけずれて配置されているため、ある表面電極列47、50における各隙間48と、各隙間48に最も近い、隣接する表面電極列47、50の隙間48との、表面電極45の配列方向に関する距離が全てD/2となる。したがって、上面42Aの縁42B~42Eの全域において、せり上がってきた接着剤55が個別電極43と対向する部分に到達してしまうのを均一に防止することができる。また、圧電アクチュエータ22に反りがある場合、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着する際に、反った圧電アクチュエータ22を平坦に延ばして接着を行うこととなる。しかしながら、本実施の形態では、上述したように、複数の表面電極45が形成されていることにより、圧電アクチュエータ22の反りが低減されている。したがって、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着する際に、圧電アクチュエータ22を平坦に延ばすことによって、圧電層42に大きな応力が加わるのを防止することができる。そして、これにより、圧電層42にクラックが生じたり、圧電アクチュエータ22の駆動特性、すなわち、ノズル15からのインクの吐出特性にばらつきが生じたりするのを防止することができる。次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては、適宜その説明を省略する。上述の実施の形態では、各表面電極列47、50を構成する表面電極45が、一定の配列間隔Dで配列されているとともに、隣接する表面電極列47、50において、表面電極45が、その配列方向にD/2だけずれていたが、これには限られない。すなわち、各表面電極列47、50における表面電極45の配列間隔は一定でなくてもよいし、隣接する表面電極列47、50において、表面電極45が、その配列間隔の半分の長さとは異なる長さだけずれていてもよい。また、上述の実施の形態では、隣接する表面電極列47、50の間の隙間49、52の幅W2が、各表面電極列47、50における表面電極45の間の隙間48、51の幅W1よりも大きくなっていたが、隙間48、51の幅と隙間49、52の幅との大小関係は、これには限られず、例えば、隙間48、51の幅W1と隙間49、52の幅W2とがほぼ同じなっていてもよい。また、複数の隙間48、51の幅は、全て同じであることには限られず、複数の隙間48、51の幅が互いに異なっていてもよい。同様に、複数の隙間49、52の幅は、全て同じであることには限られず、複数の隙間49、52の幅が互いに異なっていてもよい。また、上述の実施の形態では、圧電層42の縁42B~42Eの近傍に、それぞれ、表面電極列47、50が3列配列されていたが、圧電層42の縁42B~42Eの近傍に、それぞれ、表面電極列47、50が2列又は4列以上配列されていてもよい。また、上述の実施の形態では、圧電層42の4つの縁42B~42Eと複数の個別電極43との間の部分に、それぞれ、複数の表面電極45が形成されていたが、例えば、縁42B、42Cと複数の個別電極43との間など、4つの縁42B~42Eのうちの一部の縁と、複数の個別電極43との間にのみ、表面電極45が形成されていてもよい。また、上述の実施の形態では、上面42Aに、印刷により個別電極43と表面電極45とを同時に形成しており、これにより、個別電極43と表面電極45とが、同程度、上面42Aから突出していたが、これには限られない。例えば、個別電極43と表面電極45とを別の工程で形成してもよい。さらに、この場合には、表面電極45を、上面42Aから個別電極43よりも大きく突出するように形成してもよい。この場合でも、ヒータ60の押圧面60Aと表面電極45とが密着するため、上述の実施の形態と同様、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22との間からはみ出した接着剤55が、上面42Aの個別電極43と対向する部分に到達してしまうのを防止することができる。また、上述の実施の形態では、個別電極43と共通電極44とに挟まれた圧電層42の上面が、上面42Aとなっていたが、これには限られない。一変形例変形例1では、図7に示すように、圧電層42の上面に圧電層42と同様の圧電材料からなるカバー層71がさらに形成されており、カバー層71の上面71Aが、本発明に係る第一面となっている。なお、変形例1では、振動板41、圧電層42及びカバー層71をあわせたものが、本発明に係る圧電体に相当する。また、カバー層71は、圧電材料以外の材料によって構成されていてもよい。また、上面71Aには、平面視で上述の実施の形態において表面電極45が形成されていた位置図2、図3参照と重なる部分、すなわち、カバー層71の縁71Bと個別電極43に対向する部分との間の部分に、複数の表面電極72が形成されている。また、上面71Aには、個別電極43と対向する部分に個別表面電極73が形成されている。複数の表面電極72は、それぞれ、圧電層42及びカバー層71に形成された導電材料が充填されたスルーホール74を介して共通電極44と接続されており、個別表面電極73は、カバー層71に形成された導電材料が充填されたスルーホール75を介して対応する個別電極43と接続されている。この場合でも、上述の実施の形態と同様、焼成時の圧電アクチュエータ22の反りを低減することができるとともに、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着する際に、これらの間からはみ出した接着剤55が、上面71Aのカバー層71の個別電極43及個別表面電極73と対向する部分に到達してしまうのを防止することができる。また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ22が、個別電極43と共通電極44とに挟まれた圧電層42を1層だけ備えたものであったが、圧電アクチュエータ22は、互いに積層されているとともに、それぞれが個別電極43と共通電極44とに挟まれた複数の圧電層42を含むものであってもよい。ただし、この場合には、最も上方に位置する圧電層42以外の圧電層42に形成された個別電極43を引き出すために、例えば、共通電極44を接続端子43Aと対向する部分を避けるように形成する必要がある。また、上述の実施の形態では、互いに積層させた圧電シートを焼成することによって圧電アクチュエータを作製したが、加熱を伴う他の方法によって圧電アクチュエータを作製してもよい。この場合でも、上述の実施の形態と同様、圧電アクチュエータの作製時の加熱によって、圧電層42と表面電極45との線膨張係数の差によって圧電層42に加わる応力が小さくなる。したがって、圧電アクチュエータ22の作製時の加熱による反りを低減することができる。また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッド及びその製造に本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、インク以外の液体を吐出する液体吐出装置及びその製造に本発明を適用することも可能である。さらには、圧電アクチュエータが流路ユニット以外の基材に接着される、液体吐出装置以外の装置アクチュエータ装置の製造に、本発明を適用することも可能である。