内燃機関の排気弁又は吸気弁を駆動可能な弁駆動ピストン及び弁駆動シリンダを有する弁駆動装置と、前記弁駆動シリンダに油圧を供給する油圧ユニットと、前記弁駆動ピストンの変位を計測する変位計と、前記弁駆動装置を制御する制御装置と、を有する内燃機関の動弁試験装置において、前記制御装置は、前記弁駆動ピストンの実変位に対して前記変位計が測定した変位信号の遅れを補正する変位計遅れ補正データを記憶し、前記弁駆動ピストンを駆動しようとする目標リフト波形を前記変位計遅れ補正データで補正し、前記弁駆動装置を制御することを特徴とする内燃機関の動弁試験装置。前記制御装置は、前記内燃機関のクランク角度及び回転数データを取得し、前記弁駆動装置の動作特性に基づく応答振幅減衰と動作遅れとを演算した補償波形をさらに記憶し、前記弁駆動ピストンを駆動しようとする目標リフト波形に、前記補償波形を加えて補償された目標リフト波形である補償目標リフト波形を作成し、前記補償目標リフト波形を前記変位計遅れ補正データで補正し、補正された前記補償目標リフト波形でドライブ波を生成し前記弁駆動装置を制御する請求項1に記載の内燃機関の動弁試験装置。前記制御装置は、補正された前記補償目標リフト波形で前記弁駆動ピストンを駆動して実応答波形を取得し、補正された前記補償目標リフト波形と前記実応答波形との差が目標誤差に到達しない場合には、補正された前記補償目標リフト波形を前記補償波形及び前記変位計補正遅れデータでさらに補正する請求項2に記載の内燃機関の動弁試験装置。ところで、特許文献1に記載の弁駆動装置では、自由な弁制御が可能となるものの、油圧アクチュエータの動作遅れに起因する弁動作遅れが生じる。そこで、変位計が弁駆動ピストンを計測し、弁駆動装置は変位計の変位データを弁制御にフィードバックしている。しかしながら、弁駆動ピストンが高回転となると、弁制御には変位計の応答特性を考慮する必要がでてくる。本発明は、上述した課題を解決するものであり、変位計の応答特性に起因する弁動作のずれを低減できる内燃機関の動弁試験装置を提供することを目的とする。上述の目的を達成するために本発明の内燃機関の動弁試験装置は、内燃機関の排気弁又は吸気弁を駆動可能な弁駆動ピストン及び弁駆動シリンダを有する弁駆動装置と、前記弁駆動シリンダに油圧を供給する油圧ユニットと、前記弁駆動ピストンの変位を計測する変位計と、前記弁駆動装置を制御する制御装置と、を有する内燃機関の動弁試験装置において、前記制御装置は、前記弁駆動ピストンの実変位に対して前記変位計が測定した変位信号の遅れを補正する変位計遅れ補正データを記憶し、前記弁駆動ピストンを駆動しようとする目標リフト波形を前記変位計遅れ補正データで補正し、前記弁駆動装置を制御することを特徴とする。これにより、変位計の応答特性に起因する弁動作のずれを低減できる。変位計の応答特性を考慮し、変位計の信号の遅れを緩和するよう、目標リフト波形で形成するドライブ波を意図的に遅らせる。これにより、実際の弁駆動ピストンの応答は、所望の応答で弁駆動される。本発明の望ましい態様として、前記制御装置は、前記内燃機関のクランク角度及び回転数データを取得し、前記弁駆動装置の動作特性に基づく応答振幅減衰と動作遅れとを演算した補償波形をさらに記憶し、前記弁駆動ピストンを駆動しようとする目標リフト波形に、前記補償波形を加えて補償された目標リフト波形である補償目標リフト波形を作成し、前記補償目標リフト波形を前記変位計遅れ補正データで補正し、補正された前記補償目標リフト波形でドライブ波を生成し前記弁駆動装置を制御することが好ましい。これにより、変位計の応答特性を考慮し、変位計の信号の遅れを緩和するよう、精度の高くなっている補償目標リフト波形を意図的に遅らせる。また、油圧による弁駆動ピストンの応答振幅減衰と動作遅れが補償され、所望の応答で弁駆動できる。また、油圧アクチュエータは出力が高く、内燃機関での高回転の追従も可能となる。また、クランクシャフトによってカムシャフトを駆動する機構はカムの位相が固定であるが、本実施形態の内燃機関の動弁試験装置はそのような機構を有さない。このため、本実施形態の内燃機関の動弁試験装置では、吸排気弁の開閉タイミング、リフト量、作動角又は排気弁及び吸気弁の開閉時期のオーバーラップ等の弁動作プロフィールを任意に変更できる自由度の高い内燃機関の動弁試験装置とすることができる。例えば、内燃機関の動弁試験において、燃焼が不安定となる負荷領域でも内燃機関の運転の安定化を図り、かつ燃焼効率を高めることができるリフトパターンを見出すことができる。これにより、カムシャフトの弁駆動装置の設計へフィードバックして高性能なカムシャフトの弁駆動装置を作ることに寄与できる。本発明の望ましい態様として、前記制御装置は、補正された前記補償目標リフト波形で前記弁駆動ピストンを駆動して実応答波形を取得し、補正された前記補償目標リフト波形と前記実応答波形との差が目標誤差に到達しない場合には、補正された前記補償目標リフト波形を前記補償波形及び前記変位計補正遅れデータでさらに補正することが好ましい。これにより、精度の高い実応答とすることができる。本発明の内燃機関の動弁試験装置によれば、変位計の応答特性に起因する弁動作のずれを低減できる。本発明を実施するための形態実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。本実施形態について、図面を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る内燃機関の動弁試験装置の構成図である。図2は、弁駆動装置の概要図である。図3は、制御装置の構成図である。本実施形態に係る内燃機関の動弁試験装置100以下、動弁試験装置という。に用いられる動弁装置は、シリンダブロック3内での燃焼用ピストン2の上下動に伴い、エンジンバルブとしての排気弁4a及び吸気弁4bを駆動する装置である。図1に示すように、動弁試験装置100は、内燃機関1エンジンに設置される弁駆動装置10と、内燃機関1の状態を計測する計測装置20、21と、弁駆動装置10に油圧を供給する油圧ユニット30と、弁駆動装置10を制御する制御装置80と、信号ラインI1、I2、I3、I4、I5と、油圧ラインO1及びO2と、を有している。なお、ダイナモ200は、電力変換装置である。ダイナモ200は、必須の構成要素ではなく付加要素であり、例えば後述する試験装置として使用する場合に用いる。図2に示すように、弁駆動装置10は、弁駆動シリンダ11と、弁駆動シリンダ11内に移動可能に収納された弁駆動ピストン12と、弁駆動ピストン12を駆動するためのサーボ弁13と、弁駆動ピストン12の位置を計測する変位計15とを有している。図1に示すように内燃機関1は、シリンダブロック3と、クランクケース9と、燃焼用ピストン2と、クランクシャフト7と、コネクティングロッド8とを有している。燃焼用ピストン2とクランクシャフト7とがコネクティングロッド8で連結されている。このような構造により、燃焼用ピストン2の往復運動がクランクシャフト7で回転運動に変換される。また、図1及び図2に示すように内燃機関1は、排気弁4a及び吸気弁4bと、弁ロッド5と、バルブスプリング6とを有している。排気弁4a、吸気弁4bは、各々、弁ロッド5の下端に固定されており、弁ロッド5に設けられたバルブスプリング6により閉弁方向に力が付勢されている。弁駆動装置10は、内燃機関1上に搭載され、弁駆動ピストン12が弁ロッド5と接続されている。又は、弁駆動装置10は、弁閉止時にわずかな隙間をあけ配置される。これにより、弁駆動ピストン12を駆動すると、弁ロッド5に応じて排気弁4a及び吸気弁4bが駆動される。なお、弁駆動ピストン12が弁ロッド5と接続される場合には、バルブスプリング6は不要となる。図2に示す弁駆動シリンダ11内に移動可能に収納された弁駆動ピストン12は、油圧アクチュエータであって、弁駆動ピストン12は弁駆動シリンダ11に油圧が供給されると伸びて排気弁4a又は吸気弁4bを開動作させる。また弁駆動ピストン12は弁駆動シリンダ11から油圧が排出されると縮んで排気弁4a又は吸気弁4bを閉動作させる。サーボ弁13は、弁駆動シリンダ11の外部側面に取り付けられている。サーボ弁13は、後述する油圧ユニット30と油圧の供給ラインである油圧ラインO1及び戻りラインである油圧ラインO2で接続されている。サーボ弁13は、制御装置80からの信号ラインI2の指示に基づいて弁駆動シリンダ11への油圧の供給又は弁駆動シリンダ11から油圧の排出を制御する。例えば、サーボ弁13は、スプール、油路、電磁コイル等により構成されている。変位計15は、弁駆動シリンダ11での弁駆動ピストン12の位置を計測し、計測した位置データを制御装置80へ出力する。変位計15には、例えばLVDTLinearVariableDifferentialTransformer:差動変圧器のような非接触式の変位センサが用いられている。ここで、変位計15は、弁駆動ピストン12の位置を計測することができるが、弁駆動ピストンの駆動が高回転となると、応答の遅れが生じるおそれがある。また、弁駆動ピストン12の変位計15は信号ラインI3を通じて、上述した制御装置80へ接続されている。この信号ラインI3の伝達経路も応答の遅れの要因となることがある。図1に示す計測装置20は、内燃機関1の回転数を計測するエンコーダである。また、計測装置21は、内燃機関1のクランク角度を計測するクランク角センサである。計測装置20、21で計測された内燃機関1の回転数情報及びクランク角度情報は、制御装置80へ出力される。ここで、回転数というときには、各クランク角度での単位時間当たりの角度変化である回転速度をいうものとする。制御装置80は、弁駆動装置10を制御する装置である。図1に示すように、制御装置80は、信号ラインI1を介して油圧ユニット30を起動又は停止する制御を行う。また、制御装置80は、信号ラインI2を介してサーボ弁13を制御できる。また、制御装置80は、信号ラインI3、I4、I5を介して変位計15及び計測装置20、21に接続されている。次に、図3を用いて、制御装置80を説明する。図3に示す制御装置80は、入力処理回路81と、入力ポート82と、処理部90と、記憶部94と、出力ポート83と、出力処理回路84と、を有する。処理部90は、例えば、CPUCentralProcessingUnit:中央演算装置91と、RAMRandomAccessMemory92と、ROMReadOnlyMemory93とを含んでいる。制御装置80には、表示装置85と、入力装置86とが付随していてもよい。制御装置80には、表示装置85と、入力装置86とが必要に応じて接続可能である。また制御装置80は表示装置85と、入力装置86とがなくても動作可能である。処理部90と、記憶部94と、入力ポート82及び出力ポート83とは、バス87、バス88、バス89を介して接続される。バス87、バス88及びバス89により、処理部90のCPU91は、記憶部94と、入力ポート82及び出力ポート83と相互に制御データをやり取りしたり、一方に命令を出したりできるように構成される。入力ポート82には、入力処理回路81が接続されている。入力処理回路81には、例えば、計測データisが接続されている。そして、計測データisは、入力処理回路81に備えられるノイズフィルタやA/Dコンバータ等により、処理部90が利用できる信号に変換されてから、入力ポート82を介して処理部90へ送られる。これにより、処理部90は、必要な情報を取得することができる。計測データisは、例えば変位計15、計測装置20、21から信号ラインI3、I4、I5を介して取得した変位データ、クランク角度データ、回転数データである。出力ポート83には、出力処理回路84が接続されている。出力処理回路84には、表示装置85や、外部出力用の端子が接続されている。出力処理回路84は、表示装置制御回路、弁駆動装置等の制御信号回路、信号増幅回路等を備えている。出力処理回路84は、処理部90が算出したサーボ弁13への信号データを表示装置85に表示させる表示信号として出力したり、サーボ弁13へ伝達する指示信号idとして出力したりする。表示装置85は、例えば液晶表示パネルやCRTCathodeRayTube等を用いることができる。指示信号idは、サーボ弁13へ信号ラインI2を介して伝達される。記憶部94は、動弁試験装置100の動作手順を含むコンピュータプログラム等が記憶されている。ここで、記憶部94は、RAMのような揮発性のメモリ、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリ、ハードディスクドライブあるいはこれらの組み合わせにより構成することができる。上記コンピュータプログラムは、処理部90へすでに記録されているコンピュータプログラムとの組み合わせによって、動弁試験装置100の動作手順を実行するものであってもよい。また、この制御装置80は、コンピュータプログラムの代わりに専用のハードウェアを用いて、動弁試験装置100の動作手順を実行するものであってもよい。また、動弁試験装置100の動作手順は、予め用意されたプログラムをパーソナルコンピュータやワークステーション、あるいは制御用コンピュータ等のコンピュータシステムで実行することによって実現することもできる。また、このプログラムは、ハードディスク等の記録装置、フレキシブルディスクFD、ROM、CD-ROM、MO、DVD、フラッシュメモリ等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータによって記録媒体から読み出されることによって実行することもできる。なお、ここでいうコンピュータシステムとは、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、コンピュータ読み取り可能な記録媒体には、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線網を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものを含むものとする。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。次に、図1から図4を用いて、内燃機関の動弁試験装置の動作を説明する。図4は、本実施形態に係る内燃機関の動弁試験装置の動作を示すフローチャートである。図4に示すように、制御装置80は、計測装置20、21からリアルタイムに内燃機関1のクランク角度及び回転数データを取得するステップS1。例えば、4ストロークエンジンでは燃焼用ピストン2が2往復する間に、吸気圧縮膨張排気の4行程を行うことで1サイクルを完結する。制御装置80は、この1サイクル分の目標リフト波形を生成するステップS2。次に、制御装置80は、目標リフト波形と同一のドライブ波を生成するステップS3。制御装置80は、ドライブ波で弁駆動ピストン12を駆動し、弁駆動ピストン12の変位を変位計15で検出し、クランク角度毎に応答波形として記憶部94又はRAM92に記憶する。制御装置80は、変位データをフィードバックしドライブ波との偏差を算出しPID制御するステップS4。制御装置80は、弁駆動ピストン12の応答波形データを取得しステップS5、目標リフト波形と応答波形との差誤差を演算する。図5は、本実施形態に係る補償波形の一例を示す説明図である。図5には、横軸をクランク角度、縦軸をリフト量とした目標リフト波形と、その補償波形の一例が記載されている。例えば、制御装置80は、図5に示す目標リフト波形Trと、応答波形Resとの差を演算する。制御装置80が演算した差が目標誤差例えば±0.1mmの範囲内以下でないならばステップS6、No、制御装置80は、図5に示す補償波形Txを演算するために、逆伝達関数の演算の手順を行うステップS7。図6は、本実施形態に係る逆伝達関数の演算の手順を説明するフローチャートである。動弁試験装置100の制御装置80は、ドライブ波xと応答波形Resを記憶部94又はRAM92に記憶するステップS81。次に、制御装置80は、弁駆動装置10の動特性計算を行うステップS82。上述した1サイクルの目標リフト波形Tr及び応答波形Resは、クランク角度をインデックスとして回転数と共に記憶されているので、これを時間の経過に伴う、時刻をインデックスとした時間ドライブ波及び時間応答波形に変換する。時間ドライブ波に対する時間応答波形の時間に関する位相ずれが弁駆動装置10の動作遅れ特性であり、時間ドライブ波に対する時間応答波形の振幅減衰が弁駆動装置10の応答振幅減衰特性である。動作遅れと応答振幅減衰を合わせて弁駆動装置10の動特性動作特性と呼ぶ。制御装置80は、弁駆動装置10の動特性を時間ドライブ波と時間応答波形から計算し、記憶部94又はRAM92に記憶する。動作特性は伝達関数Res=Gxの形で計算する。次に、制御装置80は、弁駆動装置10の動作特性の逆動特性計算を行うステップS84。逆動特性計算としては、例えば、逆伝達関数を計算する。すなわち、弁駆動装置10の動作特性の逆動特性計算は、上述した動作特性が伝達関数の形で計算されていると、動作特性の伝達関数の逆関数である逆伝達関数x=G-1Resを計算すればよい。次に、制御装置80は、目標リフト波形時間目標リフト波形Trから応答波形時間応答波形Resを引いた偏差波形Eを生成する。制御装置80は、偏差波形に上述した逆動特性を作用させ補償波形Txを生成する。例えば、偏差波形に前記逆伝達関数を作用させると補償波形Txが計算できるステップS85。なお、本実施形態では、制御装置80が補償波形Txの各成分を作成したが、制御装置80とは異なるコンピュータシステムで補償波形の各成分を作成し、補償波形の各成分のデータを伝送して記憶部94又はRAM92に記憶するようにしてもよい。また、実際の弁駆動装置10の動特性動作特性を元に補償波形を作成したが、シミュレーションで補償波形を作成してもよい。まず、予め、弁駆動装置10アクチュエータの解析モデルを作成する。解析モデルは、高次の常微分非線形方程式で記述され、コンピュータを用いた数値計算により、その解として弁駆動ピストン12の変位等を求めることができる。弁駆動装置10アクチュエータの解析モデルは、弁駆動ピストン12の質量、ストローク、弁駆動ピストン12と弁駆動シリンダ11との間の摩擦係数、バルブスプリング6のばね定数、弁駆動シリンダ11への油圧の供給及び排出と弁駆動シリンダ11内での油の圧縮、供給と排出を切り替えるサーボ弁13動作の遅れ等を考慮して作成される。解析可能なモデルでは、ドライブ波で弁駆動装置10アクチュエータを駆動したときの応答波形が計算できる。作成した解析モデルを用いて、内燃機関1エンジンの回転数毎に弁駆動装置10アクチュエータの解析モデルにドライブ波の入力を与え、その入力に対する応答をコンピュータでシミュレーションする。そして、上述した補償波形の作成手順にて補償波形を作成することができる。制御装置80のCPU91が補償波形をRAM92のワークエリアに読み込む手順を行ったうえで、制御装置80は次の補償目標リフト波形生成ステップS8の手順に進む。動弁試験装置100の制御装置80は、補償目標リフト波形を生成する手順を行うステップS8。ステップS8において、上述した補償目標リフト波形が新たな目標リフト波形とされる。図7は、本実施形態に係る補償目標リフト波形の一例を示す説明図である。図7に示すように、補償目標リフト波形Tr2は、上述した応答波形Resとより近似しているはずである。しかしながら、弁駆動ピストン12の動作を変位計15以外の例えばレーザー変位計で計測すると、応答波形Res2となっており、遅れmがある場合がある。この遅れmは弁駆動ピストン12が高回転となると、再現しやすくなることが多い。図8は、本実施形態に係る内燃機関の動弁試験装置のブロック線図を示す説明図である。図9は、較正用変位計と変位計との変位信号比較を示す説明図である。図10は、本実施形態に係る補償後の較正用変位計と変位計との変位信号比較を示す説明図である。図8に示す本実施形態に係る内燃機関の動弁試験装置は、例えば、変位計15の他に、高精度のレーザー変位センサ等の較正用変位計15Aを有している。較正用変位計15Aは、弁駆動ピストン12と共に駆動する測定部12Aの変位を計測している。これにより、変位計15と、較正用変位計15Aとは同じ駆動をしている弁駆動ピストン12を計測している。変位計15のLVDTセンサと、較正用変位計15Aのレーザー変位センサとを比較すると、較正用変位計15Aのレーザー変位センサの方が、応答速度が速い。このため図9に示すように、変位計15と、較正用変位計15Aとは同時に弁駆動ピストン12の変位を計測すると、変位計15の変位信号に遅れが生じることがある。このため、制御装置80は、CPU91により、遅れを演算し、図10に示す変位計15と、較正用変位計15Aとの変位信号に時間的な遅れがない状態となるよう差分データを演算する。制御装置80は、差分データを変位計遅れ補正データとして記憶部94又はRAM92に記憶する。これにより、変位計遅れ補正データは、弁駆動ピストン12の実変位に対して変位計15が測定した変位信号の遅れを補正する情報となる。変位計遅れ補正データは、定数の場合もある。また、変位計遅れ補正データは、弁駆動ピストン12の駆動する回転数の関数の場合もある。制御装置80は、変位計15と、較正用変位計15Aとの差分データではなくて、変位計15の特性データより、変位計遅れ補正データを算出し、記憶部94又はRAM92に記憶してもよい。図8に示すブロック線図では、目標リフト波形生成ブロック51、補償波形生成ブロック71と、変位計遅れ補正データブロック59と、PID制御ブロック55と、サーボ弁13と、弁駆動ピストン12と、弁駆動シリンダ11と、変位計15と、応答波形ブロック54とを含んでいる。目標リフト波形生成ブロック51の目標リフト波形Trの信号Pは、補償波形生成ブロック71の出力の信号Qと加算点52で加算され、補償目標リフト波形Tr2の信号Rとなる。なお、目標リフト波形Trを補償する必要がなければ、補償波形生成ブロック71での信号Qはなくなり、信号Rは目標リフト波形Trの信号Pと同じとなる。この加算された信号Rは、さらに変位計遅れ補正データブロック59の出力の信号Sと加算点52Aで加算され、信号Tとなる。変位計遅れ補正データブロック59では、制御装置80が上述した変位計遅れ補正データを、記憶部94又はRAM92からRAM92のワークエリアに読み出し、補償目標リフト波形Tr2を補正し、図7に示す補償目標リフト波形Raとする。つまり、制御装置80は、補償目標リフト波形Tr2に対して、図4に示す変位計遅れ補正を行うステップS9。ここで、CPU91は、応答波形ブロック54において、変位計15が弁駆動シリンダ11内で駆動する弁駆動ピストン12の変位データをフィードバックし、応答波形Resの信号Uに変換する。変位計遅れ補正データブロック59の補償目標リフト波形Raである信号Tは、信号Uと加算点53で加算フィードバック接続され、偏差信号Vとなる。つまり、制御装置80は、フィードバックした変位データの偏差を演算し補償されたドライブ波とする。そして補償されたドライブ波である偏差信号VがPID制御ブロック55へ送出される。PID制御ブロック55では、偏差の制御信号Vがサーボ弁13の制御信号Wへ変換される。これにより、図1に示す制御装置80は、サーボ弁13を制御する。サーボ弁13は、油圧Opを制御し、弁駆動シリンダ11内で例えばZ方向に駆動する弁駆動ピストン12を制御する。なお、上述した加算点において適宜補正ゲインを加えてもよい。補正ゲインは1でもよいが、装置特性変化や繰り返しによる過補償を考慮して0~1の可変値をとるようしていることが好ましい。また、図4に示す、逆伝達関数の演算の手順ステップS7と、補償目標リフト波形を生成する手順ステップS8とを省略し、目標リフト波形Trに対して、図4に示す変位計遅れ補正の手順ステップS9を行ってもよい。これにより、変位計15の応答特性に起因する弁動作のずれを低減できる。また、変位計15の応答特性を考慮し、変位計15の信号の遅れを緩和するよう、目標リフト波形Trを意図的に遅らせることができる。また、図4に示す、変位計遅れ補正の手順ステップS9が逆伝達関数の演算の手順ステップS7の前に行ってもよい。これにより、変位計15の応答特性を考慮し、変位計15の信号の遅れを緩和するよう、目標リフト波形Trを意図的に遅らせることができる。図4に示すように、制御装置80は、変位計遅れ補正の手順ステップS9により変位計遅れを補正した補償目標リフト波形Raで補償されたドライブ波を生成するステップS3。制御装置80は、補償されたドライブ波補償ドライブ波によりPID制御するステップS4。すなわち、制御装置80は、補償ドライブ波で弁駆動ピストン12を駆動し、弁駆動ピストン12の変位を変位計15で検出し、クランク角度毎に応答波形として記憶部94又はRAM92に記憶する。制御装置80は、応答波形である弁駆動ピストン12の変位データを取得しステップS5、目標リフト波形と応答波形との差誤差を演算する。演算した差が目標誤差例えば±0.1mmの範囲内以下でないならばステップS6、No、制御装置80は、図5に示す補償波形Txを演算するために、逆伝達関数の演算の手順を行うステップS7。本実施形態の制御装置80は、弁駆動ピストン12の応答波形データを取得しステップS5、目標リフト波形と応答波形との差誤差を演算し、演算した差が目標誤差例えば±0.1mmの範囲内以内となるまで、上述した補償波形Txにより補償された補償目標リフト波形の生成ステップS8を行うことになる。ステップS3からステップ9までの手順が目標誤差例えば±0.1mmの範囲内以内となるまで繰り返されるので、本実施形態の動弁試験装置は、目標誤差を達成した応答をするドライブ波を生成できる。これにより、精度の高い応答とすることができる。演算した差が目標誤差例えば±0.1mmの範囲内以下であればステップS6、Yes、応答振幅減衰と動作遅れが補償されたので補償を終了する。上述したように、内燃機関の動弁試験装置100は、弁駆動ピストン12及び弁駆動シリンダ11を有し、内燃機関1の排気弁4a又は吸気弁4bの少なくとも一方を駆動可能な弁駆動装置10と、弁駆動シリンダ12に油圧を供給する油圧ユニット30と、弁駆動ピストン12の変位を計測する変位計15と、弁駆動装置10を制御する制御装置80と、を有する。制御装置80は、弁駆動ピストン12の実変位に対して変位計15が測定した変位信号の遅れを補正する変位計遅れ補正データを記憶し、弁駆動ピストン12を駆動しようとする目標リフト波形Trを変位計遅れ補正データで補正し、弁駆動装置10を制御する。これにより、変位計15の応答特性に起因する弁動作のずれを低減できる。また、変位計15の応答特性を考慮し、変位計15の信号の遅れを緩和するよう、目標リフト波形Trを意図的に遅らせる。これにより、実際の弁駆動ピストン12の応答は、所望の応答で弁駆動される。また、内燃機関の動弁試験装置100は、制御装置80が内燃機関1のクランク角度及び回転数データを取得し、弁駆動装置10の動作特性に基づく応答振幅減衰と動作遅れを逆伝達関数で演算した補償波形Txをさらに記憶し、弁駆動ピストン12を駆動しようとする目標リフト波形Trに、補償波形Txを加えて補償された補償目標リフト波形Tr2を作成し、補償された補償目標リフト波形Tr2を変位計遅れ補正データで補正し、補正された補償目標リフト波形Raでドライブ波を生成し弁駆動装置10を制御することが好ましい。これにより、変位計15の応答特性を考慮し、変位計15の信号の遅れを緩和するよう、精度の高くなっている補償目標リフト波形Tr2を意図的に遅らせる。このため実際の弁駆動ピストン12の応答振幅減衰と動作遅れが補償される精度がより高まり、所望の応答で弁駆動できる。また、油圧アクチュエータは出力が高く、内燃機関での高回転の追従も可能となる。また、クランクシャフトによってカムシャフトを駆動する機構はカムの位相が固定であるが、本実施形態の内燃機関の動弁試験装置はそのような機構を有さない。このため、本実施形態の内燃機関の動弁試験装置では、吸排気弁の開閉タイミング、リフト量、作動角又は排気弁及び吸気弁の開閉時期のオーバーラップ等の弁動作プロフィールを任意に変更できる自由度の高い内燃機関の動弁試験装置とすることができる。例えば、内燃機関の動弁試験において、燃焼が不安定となる負荷領域でも内燃機関の運転の安定化を図り、かつ燃焼効率を高めることができるリフトパターンを見出すことができる。これにより、カムシャフトの弁駆動装置の設計へフィードバックして高性能なカムシャフトの弁駆動装置を作ることに寄与できる。上述したように本実施形態の動弁試験装置100では、制御装置80は、補正した補償目標リフト波形Raの実応答データを取得し、補正した補償目標リフト波形Raと、実応答波形との差が目標誤差に到達しない場合には、補償目標リフト波形Raを補償波形Tx及び変位計補正遅れデータでさらに補正することが好ましい。これにより、精度の高い応答とすることができる。以上のように、本実施形態に係る動弁試験装置は、内燃機関の吸気弁又は排気弁を開閉駆動する試験機に適している。なお、本発明は、内燃機関の排気弁又は吸気弁を駆動可能な弁駆動ピストン及び弁駆動シリンダを有する弁駆動装置と、前記弁駆動シリンダに油圧を供給する油圧ユニットと、前記弁駆動ピストンの変位を計測する変位計と、前記弁駆動装置を制御する制御装置と、を有し、前記制御装置は、前記弁駆動ピストンの実変位に対して前記変位計が測定した変位信号の遅れを補正する変位計遅れ補正データを記憶し、前記弁駆動ピストンを駆動しようとする目標リフト波形を前記変位計遅れ補正データで補正し、前記弁駆動装置を制御する内燃機関の動弁装置にも適用できる。また、前記制御装置は、前記内燃機関のクランク角度及び回転数データを取得し、前記弁駆動装置の動作特性に基づく応答振幅減衰と動作遅れとを演算した補償波形をさらに記憶し、前記弁駆動ピストンを駆動しようとする目標リフト波形に、前記補償波形を加えて補償された目標リフト波形である補償目標リフト波形を作成し、前記補償目標リフト波形を前記変位計遅れ補正データで補正し、補正された前記補償目標リフト波形でドライブ波を生成し前記弁駆動装置を制御する内燃機関の動弁装置であると、より好ましい。