"圧電材料を含む振動体を振動させ、前記振動体の端面に突設された凸部を対象物に接触させることによって、前記対象物を移動させる圧電モーターであって、前記振動体の凸部が突出した状態で、前記振動体を保持する振動体ケースと、前記振動体ケースから前記凸部が突出した方向であるX方向に向かって移動可能な態様で前記振動体ケースを収容する収容ケースと、前記振動体ケースを前記X方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースを、前記X方向と交差するY方向から前記収容ケースに向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体が付勢する側と反対側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向に転動可能な側圧転動体が、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか一方に設けられ、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか他方には、前記側圧転動体が転動する転動溝が形成されており、前記側圧弾性体が付勢する側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向および前記Y方向の何れとも交差するZ方向から前記振動体ケースを前記収容ケースに向けて付勢する押さえ弾性体と、前記押さえ弾性体との間で前記振動体ケースを挟んで前記X方向に転動可能な押さえ転動体とが設けられていることを特徴とする圧電モーター。請求項1に記載の圧電モーターであって、前記側圧転動体が前記転動溝に面する側の側面は、前記側圧転動体の回転中心から外側に向けて凸の曲面形状に形成されており、前記転動溝の断面は、前記側圧転動体に当接する部分が末狭まりのV字形状に形成されていることを特徴とする圧電モーター。請求項1に記載の圧電モーターであって、前記側圧転動体が前記転動溝に面する側の側面は、前記側圧転動体の回転中心から外側に向けて所定角度で末狭まりとなるV字形状に形成されており、前記転動溝の断面は、前記側圧転動体に当接する部分が前記所定角度で末狭まりとなるV字形状に形成されていることを特徴とする圧電モーター。請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを備える駆動装置。請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを備える印刷装置。請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを備えるロボットハンド。請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーター、または請求項6に記載のロボットハンドを備えるロボット。把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行うことを特徴とする電子部品検査装置。把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体の凸部が突出した状態で、前記振動体を保持する振動体ケースと、前記振動体ケースから前記凸部が突出した方向であるX方向に向かって移動可能な態様で前記振動体ケースを収容する収容ケースと、前記振動体ケースを前記X方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースを、前記X方向と交差するY方向から前記収容ケースに向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体が付勢する側と反対側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向に転動可能な側圧転動体が、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか一方に設けられ、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか他方には、前記側圧転動体が転動する転動溝が形成されており、前記側圧弾性体が付勢する側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向および前記Y方向の何れとも交差するZ方向から前記振動体ケースを前記収容ケースに向けて付勢する押さえ弾性体と、前記押さえ弾性体との間で前記振動体ケースを挟んで前記X方向に転動可能な押さえ転動体とが設けられていることを特徴とする電子部品検査装置。電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、前記電子部品を把持する把持装置と、前記把装置を互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、前記検査ソケットから見て前記第1軸上または前記第2軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第1軸および前記第2軸の方向への位置および前記第3軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第1軸または前記第2軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品検査装置であって、前記制御装置は、前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第1制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第2制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第3制御部と、を備えており、前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品検査装置。把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記電子部品の位置合わせを行うことを特徴とする電子部品搬送装置。把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体の凸部が突出した状態で、前記振動体を保持する振動体ケースと、前記振動体ケースから前記凸部が突出した方向であるX方向に向かって移動可能な態様で前記振動体ケースを収容する収容ケースと、前記振動体ケースを前記X方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースを、前記X方向と交差するY方向から前記収容ケースに向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体が付勢する側と反対側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向に転動可能な側圧転動体が、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか一方に設けられ、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか他方には、前記側圧転動体が転動する転動溝が形成されており、前記側圧弾性体が付勢する側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向および前記Y方向の何れとも交差するZ方向から前記振動体ケースを前記収容ケースに向けて付勢する押さえ弾性体と、前記押さえ弾性体との間で前記振動体ケースを挟んで前記X方向に転動可能な押さえ転動体とが設けられていることを特徴とする電子部品搬送装置。電子部品を把持する把持装置と、互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品搬送装置であって、前記把持装置は、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品搬送装置。しかし特許文献2の技術では、圧電モーターの小型化が難しいという問題があった。これば次のような理由による。先ず、振動体を収容した第1ケースは第2ケース内で摺動しなければならないので、第1ケースと第2ケースとの間には隙間が発生する。また、圧電モーターを動作させると、対象物からの反力が振動体の凸部に作用する。対象物からの反力で、第1ケースが第2ケースとの間の隙間で動くと、振動体の凸部が対象物から逃げる形となって対象物の駆動量や駆動力が低下する。そこで、特許文献2の技術では、第1ケースが第2ケースとの隙間で動かないように、第2ケース内で第1ケースを第2ケースに押し付けておく機構が必要となる。しかも、第1ケースと第2ケースとの隙間は、第1ケースを押し付ける方向に直交する2方向の何れにも生じるから、第1ケースを第2ケースに押し付ける機構も、2方向のそれぞれの隙間について必要となる。このため、特許文献2の技術では、圧電モーターが大型化してしまうという問題があった。この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、圧電モーターを小型化することが可能な技術の提供を目的とする。上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、圧電材料を含む振動体を振動させ、前記振動体の端面に突設された凸部を対象物に接触させることによって、前記対象物を移動させる圧電モーターであって、前記振動体の凸部が突出した状態で、前記振動体を保持する振動体ケースと、前記振動体ケースから前記凸部が突出した方向であるX方向に向かって移動可能な態様で前記振動体ケースを収容する収容ケースと、前記振動体ケースを前記X方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースを、前記X方向と交差するY方向から前記収容ケースに向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体が付勢する側と反対側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向に転動可能な側圧転動体が、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか一方に設けられ、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか他方には、前記側圧転動体が転動する転動溝が形成されており、前記側圧弾性体が付勢する側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向および前記Y方向の何れとも交差するZ方向から前記振動体ケースを前記収容ケースに向けて付勢する押さえ弾性体と、前記押さえ弾性体との間で前記振動体ケースを挟んで前記X方向に転動可能な押さえ転動体とが設けられていることを要旨とする。このような本発明の圧電モーターにおいては、振動体の凸部を振動体ケースごと、加圧弾性体を用いて付勢して対象物に接触させ、振動体を振動させることによって、対象物を移動させることができる。また、振動体ケースは、側圧弾性体によってY方向から収容ケースに向けて付勢され、側圧弾性体が付勢する側とは反対側の振動体ケースと収容ケースとの間には側圧転動体が設けられている。このため、振動体ケースは、収容ケースにY方向に付勢されて、Y方向のガタが発生し難い振動体ケースと収容ケースとの間の隙間で振動体ケースが動き難い状態でX方向に滑らかに移動できる。さらに、振動体ケースは、側圧弾性体が付勢する側で押さえ弾性体によってZ方向から収容ケースに向けて付勢されており、側圧弾性体が付勢する側の振動体ケースと収容ケースとの間には、押さえ弾性体との間で振動体ケースを挟んで押さえ転動体が設けられている。尚、加圧弾性体、側圧弾性体、押さえ弾性体としては、弦巻バネを好適に用いることができる。また、側圧転動体、押さえ転動体としては、回転軸を有する部材円柱形、円錐形、紡錘形、球形、樽型形状などのいわゆる回転体形状の部材であれば、どのような部材であっても用いることができる。こうすれば、振動体ケースは、側圧弾性体が付勢する側では押さえ弾性体によってZ方向に付勢されているので、Z方向のガタが発生することを抑制することができる。また、側圧弾性体が付勢する側と反対側は、側圧転動体と転動溝との嵌め合いによってZ方向の移動が規制されている。すなわち、Y方向のガタを抑制するための側圧転動体および転動溝を利用して、Z方向のガタを抑制することができる。このため、側圧弾性体が付勢する側と反対側にはZ方向のガタを抑制する機構を設ける必要が無いので、圧電モーターを小型化することが可能となる。また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、側圧転動体が転動溝に面する側の側面は、側圧転動体の回転中心から外側に向けて凸の曲面形状に形成し、転動溝の断面は、側圧転動体に当接する部分が末狭まりのV字形状となるように形成することとしてもよい。尚、転動溝の断面をV字形状に形成するとは、少なくとも側圧転動体と当接する部分はV字形状に形成することを意味している。従って、転動溝の断面は完全なV字形状でなくてもよく、例えば、V字の角の部分は角になっていなくてもよい。こうすれば、側圧弾性体によって側圧転動体を転動溝に押し付けることで、転動溝に対して側圧転動体を位置決めすることができる。その結果、振動体ケースのZ方向へのガタの発生を、容易に抑制することができる。また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、側圧転動体が転動溝に面する側の側面は、側圧転動体の回転中心から外側に向けて所定角度で末狭まりとなるV字形状とし、転動溝の断面は、側圧転動体に当接する部分が所定角度で末狭まりとなるV字形状に形成することとしてもよい。このようにしても、側圧弾性体によって側圧転動体を転動溝に押し付けることで、転動溝に対して側圧転動体を位置決めすることができる。その結果、振動体ケースのZ方向へのガタの発生を抑制できる。また、側圧転動体と転動溝とを線接触させることができるので、側圧転動体と転動溝との当接部分での耐荷重が大きくなり、圧電モーターの出力を大きくすることが可能となる。また、上述した本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成しても良い。本発明の圧電モーターは小型に製造することが可能なので、本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成してやれば、小型な駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを得ることができる。また、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品検査装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、検査ソケットに対する電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。上述したように、本発明の圧電モーターは小型に製造可能であるから、電子部品検査装置の小型化を実現することが可能となる。あるいは、本発明の電子部品検査装置は、次のような態様で把握することもできる。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体の凸部が突出した状態で、前記振動体を保持する振動体ケースと、前記振動体ケースから前記凸部が突出した方向であるX方向に向かって移動可能な態様で前記振動体ケースを収容する収容ケースと、前記振動体ケースを前記X方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースを、前記X方向と交差するY方向から前記収容ケースに向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体が付勢する側と反対側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向に転動可能な側圧転動体が、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか一方に設けられ、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか他方には、前記側圧転動体が転動する転動溝が形成されており、前記側圧弾性体が付勢する側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向および前記Y方向の何れとも交差するZ方向から前記振動体ケースを前記収容ケースに向けて付勢する押さえ弾性体と、前記押さえ弾性体との間で前記振動体ケースを挟んで前記X方向に転動可能な押さえ転動体とが設けられていることを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。更に、上述した本発明の電子部品検査装置は次のような態様、すなわち、電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、前記電子部品を把持する把持装置と、前記把装置を互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、前記検査ソケットから見て前記第1軸上または前記第2軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第1軸および前記第2軸の方向への位置および前記第3軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第1軸または前記第2軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品検査装置であって、前記制御装置は、前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第1制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第2制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第3制御部と、を備えており、前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。このような構成の電子部品検査装置は、把持装置に設けられた第1ないし第3の圧電モーターを用いて電子部品の姿勢を調整した後、検査ソケットに装着することができる。ここで、本発明の圧電モーターは、小型に製造可能なので、把持装置に設ける第1ないし第3の圧電モーターとして特に優れている。更には、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品搬送装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。上述したように、本発明の圧電モーターは小型に製造可能であるため、電子部品搬送装置に設ける圧電モーターとして優れている。あるいは、本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体の凸部が突出した状態で、前記振動体を保持する振動体ケースと、前記振動体ケースから前記凸部が突出した方向であるX方向に向かって移動可能な態様で前記振動体ケースを収容する収容ケースと、前記振動体ケースを前記X方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースを、前記X方向と交差するY方向から前記収容ケースに向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体が付勢する側と反対側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向に転動可能な側圧転動体が、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか一方に設けられ、前記振動体ケースまたは前記収容ケースの何れか他方には、前記側圧転動体が転動する転動溝が形成されており、前記側圧弾性体が付勢する側の前記振動体ケースと前記収容ケースとの間には、前記X方向および前記Y方向の何れとも交差するZ方向から前記振動体ケースを前記収容ケースに向けて付勢する押さえ弾性体と、前記押さえ弾性体との間で前記振動体ケースを挟んで前記X方向に転動可能な押さえ転動体とが設けられていることを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。更には、上述した本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、電子部品を把持する把持装置と、互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品搬送装置であって、前記把持装置は、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。A.装置構成:B.圧電モーターの動作原理:C.変形例:C-1.第1変形例:C-2.第2変形例:D.適用例:A.装置構成:図1は、本実施例の圧電モーター10の大まかな構成を示した説明図である。図1aには、本実施例の圧電モーター10の全体図が示されており、図1bには分解組立図が示されている。図1aに示されるように、本実施例の圧電モーター10は、大まかには、本体部100と、基台部200とから構成されている。本体部100は基台部200内に取り付けられており、その状態で一方向に移動可能となっている。尚、本明細書中では、本体部100の移動方向をX方向と称する。また、図中に示すように、X方向と直交する方向を、それぞれY方向、Z方向と称するものとする。本体部100および基台部200は、それぞれ複数の部品が組み合わされて構成されている。たとえば基台部200は、略矩形形状をした基板230の上面の両側に、第1側壁ブロック210および第2側壁ブロック220が止めネジ240で締結されることによって構成されている図1bを参照のこと。圧電モーター10を組み立てる際には、本体部100の上方から、第1側壁ブロック210および第2側壁ブロック220を、止めネジ240を用いて基板230に取り付ける。また、第1側壁ブロック210には、前方ハウジング212、中央ハウジング214、後方ハウジング216の3つの凹部が形成されている。そして、第1側壁ブロック210を基板230に取り付ける際には、前方ハウジング212に前方側圧バネ212sを収納し、後方ハウジング216に後方側圧バネ216sを収納した状態で取り付ける。その結果、本体部100は、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sによって第2側壁ブロック220に押しつけられた状態となる。また、本体部100の側面の、第2側壁ブロック220に面する側には、円柱形状の前側コロ102rおよび後側コロ106rが取り付けられている。尚、コロとは、回転軸を有する部材いわゆる回転体形状の部材の総称であり、たとえば円柱形、円錐形、紡錘形、球形、樽型形状などの部材が含まれる。更に、本体部100の側面には加圧バネ222sが設けられている。この加圧バネ222sは、前側コロ102rの後ろ側の箇所で本体部100をX方向に押圧している。尚、本実施例では、基台部200が本発明の収容ケースに対応する。また、加圧バネ222sが本発明の加圧弾性体に対応し、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが本発明の側圧弾性体に対応し、前側コロ102rおよび後側コロ106rが本発明の側圧転動体に対応する。また、前側コロ102rおよび後側コロ106rが設けられた側と反対側の本体部100の側面には、Z方向図面上では上方に向けて押さえコロ104rが設けられている。第1側壁ブロック210を取り付けた状態では、この押さえコロ104rは、第1側壁ブロック210の中央ハウジング214に収納される。また、本体部100の押さえコロ104rが設けられた部分の裏面側と、基板230との間には、押さえバネ232sが設けられている。このため、押さえコロ104rは中央ハウジング214の内面に対してZ方向図面上では上方に押しつけられた状態となっている。尚、本実施例では、押さえバネ232sが本発明の押さえ弾性体に対応し、押さえコロ104rが本発明の押さえ転動体に対応する。図2は、反対側から見た圧電モーター10の分解組立図である。図示されているように、第2側壁ブロック220が本体部100と向かい合う面には、前側コロ102rに対応する位置に前側コロ溝102tが設けられるとともに、後側コロ106rに対応する位置に後側コロ溝106tが設けられている。このため、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sによって第2側壁ブロック220に本体部100が押し付けられると、前側コロ102rが前側コロ溝102tに嵌まり、後側コロ106rが後側コロ溝106tに嵌まる。尚、本実施例では、前側コロ溝102tおよび後側コロ106rが本発明の転動溝に対応する。図3は、本実施例の本体部100の構造を示す分解組立図である。本体部100は、大まかには、振動体ケース120内に振動部110が収納された構造となっている。振動部110は、圧電材料によって直方体形状に形成された振動体112と、振動体112の長手方向X方向の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部114と、振動体112の一方の側面を4分割して設けられた4枚の表電極116などから構成されている。尚、図3では示されていないが、4枚の表電極116が設けられた側と反対側の側面には、側面のほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極はグランドに接地されている。尚、本実施例では、駆動凸部114が本発明の凸部に対応する。振動部110は、表電極116および裏電極が設けられた両側面図3では、Z方向の両側面から樹脂製の緩衝部材130で挟まれた状態で、振動体ケース120に収納される。更に、表電極116側の緩衝部材130の上から、押さえ板140、皿バネ142、および押さえ蓋144が載せられて、押さえ蓋144が止めネジ146で振動体ケース120に締結される。このため振動部110は、皿バネ142のバネ力によって押さえ付けられながらも、樹脂製の緩衝部材130が剪断変形することによって、振動体ケース120内で振動体112が振動し得る状態で収納されている。B.圧電モーターの動作原理:図4は、圧電モーター10の動作原理を示す説明図である。圧電モーター10は、振動部110の表電極116に一定周期で電圧を印加したときに、振動部110の駆動凸部114が楕円運動することによって動作する。振動部110の駆動凸部114が楕円運動するのは次の理由による。先ず、周知のように振動体112は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図4aに示すように、4つの表電極116の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、振動体112は長手方向X方向に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体112が長手方向X方向に伸縮を繰り返す動作を伸縮振動と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数共振周波数は、振動体112の物性と、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTとによって決定される。また、図4bあるいは図4cに示すように、互いに対角線の位置にある2つの表電極116を組表電極116aおよび表電極116dの組、あるいは表電極116bおよび表電極116cの組として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体112は、長手方向X方向の先端部駆動凸部114が取り付けられた部分が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図4bに示したように、表電極116aおよび表電極116dの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体112は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図4cに示したように、表電極116bおよび表電極116cの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体112の動作を屈曲振動と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体112の物性と、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTとによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある2つの表電極116に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体112は右方向あるいは左方向Y方向に大きく首を振って振動する。ここで、図4aに示した伸縮振動の共振周波数も、図4bあるいは図4cに示した屈曲振動の共振周波数も、振動体112の物性や、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTによって決定される。従って、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTを適切に選んでやれば、2つの共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体112に対して、図4bあるいは図4cに示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図4bあるいは図4cに示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図4aの伸縮振動も誘起される。その結果、図4bに示す態様で電圧を印加した場合には、振動体112の先端部分駆動凸部114が取り付けられた部分が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図4cに示す態様で電圧を印加した場合には、振動体112の先端部分が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。圧電モーター10は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体112の駆動凸部114を対象物に押しつけた状態で、図4cに示すような楕円運動を発生させる。すると駆動凸部114は、振動体112が伸張する際には対象物に押しつけられた状態で左から右に向かってあるいは右から左に向かって移動した後、振動体112が収縮する際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、駆動凸部114から受ける摩擦力によって一方向に駆動されることになる。以上に説明した圧電モーター10の動作原理から明らかなように、圧電モーター10は、駆動凸部114を対象物に押しつけた状態で使用する必要がある。このため、本実施例の圧電モーター10では、駆動凸部114を備える本体部100が基台部200に対して移動可能となっており、本体部100と基台部200との間に設けられた加圧バネ222sによって、本体部100から突き出た駆動凸部114を対象物に押しつけるようになっている図1参照。もっとも、このように本体部100を基台部200に対して移動可能とした場合、本体部100は、駆動凸部114を対象物に押しつける方向X方向に移動するだけでなく、Y方向やZ方向にも移動しうる。そして、Y方向やZ方向に移動するガタつくことによって本体部100が対象物から逃げると、対象物に十分な駆動力を伝達することができなくなったり、駆動凸部114の移動量が減少して対象物の駆動量が少なくなる等の弊害が生ずる。ここで、本体部100のガタつきのうち、Y方向のガタつきには、次のような成分が含まれる。図5は、本体部100のY方向のガタつきの成分を示した説明図である。図5には、本体部100の移動方向が矢印によって示されている。本体部100のY方向のガタつきには、図5aに示されるように、本体部100がY方向に平行移動する成分や、図5bに示されるように、Z方向を回転軸として本体部100が振れ回るように動作する成分が含まれる。本実施例の圧電モーター10では、Y方向のこれら2種類のガタつきを、2つの側圧バネ前方側圧バネ212s,後方側圧バネ216sと、2つのコロ前側コロ102r,後側コロ106rとを用いて防止する。図6は、本実施例の圧電モーター10が本体部100のY方向のガタつきを防止する方法を示した説明図である。尚、図6には、X方向とY方向とによって規定される平面XY平面で断面を取ったときの、圧電モーター10の内部構造が示されている。図示されているように、本体部100実際には振動体ケース120は、第1側壁ブロック210との間に設けられたバネ前方側圧バネ212s,後方側圧バネ216sによって第2側壁ブロック220に押しつけられている。これにより、本体部100がY方向に平行移動する動き図5aを参照が防止される。また、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sは、一端側駆動凸部114が設けられた側と他端側とで本体部100を押し付けているので、本体部100がZ方向を回転軸として振れ回る動き図5bを参照も防止される。その結果、本体部100がY方向にガタつくことを防止できる。加えて、本体部100と第2側壁ブロック220との間には前側コロ102rおよび後側コロ106rが設けられているので、本体部100は第2側壁ブロック220に押しつけられながらも、X方向に滑らかに移動することができる図7は、本体部100のZ方向のガタつきの成分を示した説明図である。Z方向のガタつきには、図7aに示されるように、本体部100がZ方向に平行移動する成分や、図7bに示されるように、Y方向を回転軸として、本体部100が上下に振れ回る成分や、図7cに示されるように、X方向を回転軸として、本体部100が左右に振れ回る成分が含まれる。そこで、これらZ方向の3つのガタつきを次のようにして防止する。図8は、本実施例の圧電モーター10が本体部100のZ方向のガタつきを防止する方法を示した説明図である。尚、図8には、図6のAA断面を矢印の方向から見たときの、圧電モーター10の内部構造が示されている。図示されているように、本体部100は、基板230との間に設けられた押さえバネ232sによって、図面右側の位置で第1側壁ブロック210に押し付けられている。また、押さえバネ232sが設けられた側と反対側図面左側には、後側コロ106rおよび前側コロ102r、図示は省略が設けられており、後側コロ106rは、第2側壁ブロック220の後側コロ溝106tに嵌められ、前側コロ102rは、第2側壁ブロック220の前側コロ溝102t図示は省略に嵌められる。本体部100の図面左側は、コロ前側コロ102r,後側コロ106rとコロ溝前側コロ溝102t,後側コロ溝106tとの嵌め合いによって、Z方向への移動が規制される。また、本体部100の図面右側は、押さえバネ232sによって第1側壁ブロック210に押し付けられZ方向への移動が規制される。このため、本体部100がZ方向に平行移動する動き図7aを参照や、X方向を回転軸として本体部100が振れ回る動き図7cを参照が防止される。また、コロ前側コロ102r,後側コロ106rとコロ溝前側コロ溝102t,後側コロ溝106tとの嵌め合いは、本体部100の一端側駆動凸部114が設けられた側と他端側とに設けられている図6を参照。従って、Y方向を回転軸として本体部100が上下に振れ回る動き図7bを参照も防止される。その結果、本体部100がZ方向にガタつくことを防止可能となる。加えて、本体部100と第1側壁ブロック210との間には押さえコロ104rが設けられているので、本体部100は第1側壁ブロック210に押しつけられながらも、X方向に滑らかに移動することができる。このように本実施例の圧電モーター10では、本体部100のY方向のガタつきを防止するための前側コロ102r,後側コロ106rを利用して、Z方向のガタつきも防止している。このため、1つの押さえバネ232sと1つの押さえコロ104rとを設けるだけで、Z方向の3成分のガタつきを同時に防止することができる。従って、Z方向のガタつきを防止する目的で、別途、押さえバネ等を設ける必要がなく、その結果として、ガタつきがなく、高精度で対象物を駆動可能でありながら、小型の圧電モーター10を実現することが可能となる。C.変形例:上述した本実施例の圧電モーター10には、種々の変形例が存在する。以下では、これらの変形例について簡単に説明する。尚、以下の変形例では、上述した本実施例の圧電モーター10と異なる部分に焦点を当てて説明し、本実施例の圧電モーター10と同様な構成については、同じ番号を付すこととして説明を省略する。C-1.第1変形例:図9は、第1変形例の圧電モーター20の構造を示す断面図である。図6に示した実施例の圧電モーター10では、前側コロ102rおよび後側コロ106rが振動体ケース120側に設けられており、前側コロ溝102tおよび後側コロ溝106tは第2側壁ブロック220側に設けられていた。これに対して、図9に示す第1変形例の圧電モーター20では、前側コロ102rおよび後側コロ106rが第2側壁ブロック220の側に設けられており、前側コロ溝102tおよび後側コロ溝106tは振動体ケース120側に設けられている。こうすれば、本体部100の重量を小さくすることができるので、本体部100がX方向に移動し易くすることができる。C-2.第2変形例:上述した本実施例の圧電モーター10では、本体部100の側面に設けられるコロ前側コロ102r,後側コロ106rは円柱形であり、コロ溝前側コロ溝102t,後側コロ溝106tは矩形溝であるものと説明した。ここで、コロおよびコロ溝の形状は、圧電モーターに求められる性能に応じて次のように変更することとしてもよい。図10は、第2変形例の圧電モーターの構造を示す断面図である。図10には、2種類の圧電モーター30,40について、図6に示したAA断面の位置で断面をとり、この断面を矢印の方向から見た様子が示されている。先ず、図10aに示した圧電モーター30では、前側コロ302rおよび後側コロ306rのコロ溝前側コロ溝302tおよび後側コロ溝306tに面する側の側面が、コロの回転中心から外側に向けて凸の曲面形状に形成されており、前側コロ溝302tおよび後側コロ溝306tはV溝となっている。また、図10では、前側コロ溝302tおよび後側コロ溝306tの断面がV字形状であるものとした。しかし、図11に例示したように、前側コロ溝302tおよび後側コロ溝306tは、前側コロ302rあるいは後側コロ306rに接する部分が、V字形状の斜面を構成していれば良い。従って、V字形状の角の部分2つの斜面を延長すると交わる部分の形状は、たとえば、図11aに示したように、曲面形状いわゆるRが付けられた状態となっていても良い。あるいは図11bに示したように、平面形状となっていても良いし、図11cに示したように、複数の平面によって構成される形状となっていても良い。このような圧電モーター30では、コロ前側コロ302r,後側コロ306rをコロ溝前側コロ溝302t,後側コロ溝306tに押し付けることで、コロ溝に対してコロを位置決めすることができる。その結果、Z方向のガタつきを容易に抑制することができる。このため、製造が容易でありながら、高い駆動精度が要求される圧電モーターを実現しようとする場合に望ましい。また、図10bに示した圧電モーター40では、前側コロ402rおよび後側コロ406rがソロバン玉形に形成されており、前側コロ溝402tおよび後側コロ溝406tはV溝となっている。このような圧電モーター40においても、コロ前側コロ402r,後側コロ406rをコロ溝前側コロ溝402t,後側コロ溝406tに押し付けることで、コロ溝に対してコロを位置決めすることができる。その結果、Z方向のガタつきを容易に抑制することができる。また、コロとコロ溝とを線接触させることができるので、コロとコロ溝との当接部分での耐荷重が大きくなり、圧電モーターの出力を大きくすることが可能となる。このため、高い駆動精度と、高出力との両方が要求される圧電モーターを実現しようとする場合に望ましい。D.適用例:上述した本実施例の圧電モーター10あるいは各種変形例の圧電モーター20,30,40は、小型で対象物を精度良く駆動することができるから、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。図12は、本実施例の圧電モーター10を組み込んで構成された電子部品検査装置600を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置600は、大まかには基台610と、基台610の側面に立設された支持台630とを備えている。基台610の上面には、検査対象の電子部品1が載置されて搬送される上流側ステージ612uと、検査済みの電子部品1が載置されて搬送される下流側ステージ612dとが設けられている。また、上流側ステージ612uと下流側ステージ612dとの間には、電子部品1の姿勢を確認するための撮像装置614と、電気的な特性を検査するために電子部品1がセットされる検査台616とが設けられている。尚、電子部品1の代表的なものとしては、半導体や、CLDやOLEDなどの表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイスなどが挙げられる。また、本実施例の検査台616は、本発明の検査ソケットに対応する。また、支持台630には、基台610の上流側ステージ612uおよび下流側ステージ612dと平行な方向Y方向に移動可能にYステージ632が設けられており、Yステージ632からは、基台610に向かう方向X方向に腕部634が延設されている。また、腕部634の側面には、X方向に移動可能にXステージ636が設けられている。そして、Xステージ636には、撮像カメラ638と、上下方向Z方向に移動可能なZステージを内蔵した把持装置650が設けられている。また、把持装置650の先端には、電子部品1を把持する把持部652が設けられている。更に、基台610の前面側には、電子部品検査装置600の全体の動作を制御する制御装置618も設けられている。尚、本実施例では、支持台630に設けられたYステージ632や、腕部634や、Xステージ636や、把持装置650が、本発明の電子部品搬送装置に対応する。また、本実施例では、Xステージ636、Yステージ632、および把持装置650に内蔵されたZステージが、本発明の移動装置に対応する。以上のような構成を有する電子部品検査装置600は、次のようにして電子部品1の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品1は、上流側ステージ612uに載せられて、検査台616の近くまで移動する。次に、Yステージ632およびXステージ636を動かして、上流側ステージ612uに載置された電子部品1の真上の位置まで把持装置650を移動させる。このとき、撮像カメラ638を用いて電子部品1の位置を確認することができる。そして、把持装置650内に内蔵されたZステージを用いて把持装置650を降下させて、把持部652で電子部品1を把持すると、そのまま把持装置650を撮像装置614の上に移動させて、撮像装置614を用いて電子部品1の姿勢を確認する。続いて、把持装置650に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品1の姿勢を調整する。そして、把持装置650を検査台616の上まで移動させた後、把持装置650に内蔵されたZステージを動かして電子部品1を検査台616の上にセットする。把持装置650内の微調整機構を用いて電子部品1の姿勢が調整されているので、検査台616の正しい位置に電子部品1をセットすることができる。そして、検査台616を用いて電子部品1の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台616から電子部品1を取り上げた後、Yステージ632およびXステージ636を動かして、下流側ステージ612dの上まで把持装置650を移動させ、下流側ステージ612dに電子部品1を置く。その後、下流側ステージ612dを動かして、検査が終了した電子部品1を所定位置まで搬送する。図13は、把持装置650に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置650内には、把持部652に接続された回転軸654や、回転軸654が回転可能に取り付けられた微調整プレート656などが設けられている。また、微調整プレート656は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、X方向およびY方向に移動可能となっている。ここで、図13に斜線を付して示されるように、回転軸654の端面に向けて回転方向用の圧電モーター10θが搭載されており、圧電モーター10θの駆動凸部図示は省略が回転軸654の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター10θを動作させることによって、回転軸654および把持部652をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能となっている。また、微調整プレート656に向けてX方向用の圧電モーター10xと、Y方向用の圧電モーター10yとが設けられており、それぞれの駆動凸部図示は省略が微調整プレート656の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター10xを動作させることによって、微調整プレート656および把持部652をX方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター10yを動作させることによって、微調整プレート656および把持部652をY方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能となっている。従って、図12の電子部品検査装置600は、圧電モーター10θ、圧電モーター10x、圧電モーター10yを動作させることにより、把持部652で把持した電子部品1の姿勢を微調整することが可能である。尚、本実施例では、圧電モーター10x、圧電モーター10yがそれぞれ本発明の第1の圧電モーター、第1の圧電モーターに対応し、圧電モーター10θが本発明の第3の圧電モーターに対応する。また、回転軸654や、微調整プレート656、圧電モーター10θ、圧電モーター10x、圧電モーター10yによって構成される微調整機構が、本発明の駆動装置に対応する。図14は、本実施例の圧電モーター10を組み込んだ印刷装置700を例示した斜視図である。図示した印刷装置700は、印刷媒体2の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置700は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ701や、排出口702や、複数の操作ボタン705が設けられている。また、背面側には供給トレイ703が設けられている。供給トレイ703に印刷媒体2をセットして操作ボタン705を操作すると、供給トレイ703から印刷媒体2が吸い込まれて、印刷装置700の内部で印刷媒体2の表面に画像が印刷された後、排出口702から排出される。印刷装置700の内部には、印刷媒体2上で主走査方向に往復動するキャリッジ720と、キャリッジ720の主走査方向への動きをガイドするガイドレール710が設けられている。また、図示したキャリッジ720は、印刷媒体2上にインクを噴射する噴射ヘッド722や、キャリッジ720を主走査方向に駆動するための駆動部724などから構成されている。噴射ヘッド722の底面側印刷媒体2に向いた側には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体2に向かってインクを噴射することができる。また、駆動部724には、圧電モーター10m,10sが搭載されている。圧電モーター10mの駆動凸部図示は省略はガイドレール710に押しつけられている。このため、圧電モーター10mを動作させることで、キャリッジ720を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター10sの駆動凸部114は、噴射ヘッド722に対して押しつけられている。このため、圧電モーター10sを動作させることで、噴射ヘッド722の底面側を印刷媒体2に近付けたり、印刷媒体2から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷媒体2として、いわゆるロール紙を用いる印刷装置700では、画像を印刷したロール紙を切断する機構が必要となる。このような場合には、キャリッジ720にカッターを取り付けて主走査方向に移動させれば、ロール紙を切断することも可能である。図15は、本実施例の圧電モーター10を組み込んだロボットハンド800を例示した説明図である。図示したロボットハンド800は、基台802から複数本の指部803が立設されており、手首804を介してアーム810に接続されている。ここで、指部803の根元の部分は基台802内で移動可能となっており、この指部803の根元の部分に駆動凸部114を押しつけた状態で圧電モーター10fが搭載されている。このため、圧電モーター10fを動作させることで、指部803を移動させて対象物を把持することができる。また、手首804の部分にも、手首804の端面に駆動凸部114を押しつけた状態で圧電モーター10rが搭載されている。このため、圧電モーター10rを動作させることで、基台802全体を回転させることが可能である。図16は、ロボットハンド800を備えたロボット850を例示した説明図である。図示されるようにロボット850は、複数本のアーム810と、それらアーム810の間を屈曲可能な状態で接続する関節部820とを備えている。また、ロボットハンド800はアーム810の先端に接続されている。そして、関節部820には、関節部820を屈曲させるためのアクチュエーターとして圧電モーター10jが内蔵されている。このため、圧電モーター10jを動作させることにより、それぞれの関節部820を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。"