振動型センサ素子と、この振動型センサ素子を振動可能に支持する下蓋と、前記振動型センサ素子を制御する制御回路素子と、これらを収納するパッケージとを備えた振動型センサ装置において、前記振動型センサ素子は、振動子とこの振動子を支持する支持部と、この支持部に接続された接続部からなり、前記下蓋は、一対の固定部と、この一対の固定部を接続する梁からなり、前記振動型センサ素子における前記接続部と前記支持部の境界部分、あるいは、前記下蓋における前記境界部分と対峙する部分に、前記下蓋と前記振動型センサ素子との対峙間隔を部分的に広げた拡開部を設け、前記固定部と前記接続部を接着剤で接合するとともに前記拡開部を前記接着剤の非流入部分としたことを特徴とする振動型センサ装置。拡開部の角部分を曲面としたことを特徴とする請求項1に記載の振動型センサ装置。下蓋における固定部と梁の境界部分に拡開部をさらに設けたことを特徴とする請求項1に記載の振動型センサ装置。しかしながら、振動型センサ素子と下蓋を接着剤で張り合わせる場合、これらの当接面内において接着剤の拡散を抑制することが困難であり、結果として振動子の振動を支える支点位置がバラツキ、振動型センサ装置の検出レベルが安定しないという問題があった。そこで、本発明はこのような問題を解決し、振動型センサ装置の検出レベルを安定させることを目的とする。そして、この目的を達成するために本発明は、振動型センサ素子と、この振動型センサ素子を振動可能に支持する下蓋と、振動型センサ素子を制御する制御回路素子と、これらを収納するパッケージとを備えた振動型センサ装置において、振動型センサ素子は、振動子とこの振動子を支持する支持部と、この支持部に接続された接続部からなり、下蓋は、一対の固定部と、この一対の固定部を接続する梁からなり、振動型センサ素子における接続部と支持部の境界部分、あるいは、下蓋における境界部分と対峙する部分に、下蓋と振動型センサ素子との対峙間隔を部分的に広げた拡開部を設け、この拡開部を接着剤の非流入部分としたのである。この構造により本発明は、振動型センサ装置の検出レベルを安定させることが出来るのである。以下、本発明の一実施の形態における振動型センサ装置について図を用いて説明する。図1に示す振動型センサ装置は、コリオリ力を利用して角速度を検出するものであり、その基本的な構造は、セラミクスからなる一端開口のパッケージ1の内部に角速度を検出する振動型センサ素子2と、この振動型センサ素子2を制御する制御回路素子3を配置し、パッケージ1の開口部を上蓋4で封口する構造となっている。なお、振動型センサ素子2は制御回路素子3の上面に下蓋5を介在させることで、振動型センサ素子2を制御回路素子3の上部にて振動可能に支持する構成としている。また、振動型センサ素子2は、図2に示すように、振動型センサ素子2の外周部分において対向する一対の辺を外部接続用の接続部6とし、この一対の接続部6の両端部間を接続する一対の支持部7と、この一対の支持部7の中央部間に接続された振動子8からなる平板構造で構成されている。また、この振動子8は、日の字形の枠9の中央部分から略対称に延びる4つののの字形の振動腕10と、各振動腕10の先端に設けられた錘部11が設けられている。なお、振動型センサ素子2には、各振動腕10を矢印で示す方向に基本振動させる一対の駆動電極12、コリオリ力により生じる撓みを検出する検出電極13a、13b、13cや、電極パッド14、およびこれらを適宜接続する配線電極特に図示せずが設けられている。なお、駆動電極12や検出電極13a、13b、13cは、特に図示していないが、PZTからなる圧電体層をAuからなる上部電極とPtからなる下部電極で挟んだ積層電極構造であり、制御電圧を印加することで電極が伸縮し、コリオリ力により振動腕10が撓むことで電極が伸縮しこれにより検出信号を生成する構造となっている。そして、この振動型センサ素子2による角速度の検出については、各振動腕10に設けられた一対の駆動電極12に制御回路素子3から所定の周波数の制御信号を印加することで、各駆動電極12の伸縮作用により振動腕10の先端に設けられた錘部11を矢印で示すように斜め方向に基本振動させる。この状態においてX軸周りに角速度が印加された場合は、錘部11がZ軸方向に振動し、このZ軸方向の振動に伴い検出電極13aに生じる信号を制御回路素子3に出力し検出信号を形成する。また、Y軸周りに角速度が印加された場合は、錘部11がZ軸方向に振動し、このZ軸方向の振動に伴い検出電極13bに生じる信号を制御回路素子3に出力し検出信号を形成する。また、Z軸周りに角速度が印加された場合は、錘部11がY軸方向に振動し、このY軸方向の振動に伴い一対の検出電極13cに生じる信号を制御回路素子3に出力し検出信号を形成する。つまり、この角速度センサは一つの振動型センサ素子2で3軸の角速度を検出する構成となっている。また、この3軸の角速度を検出するための振動型センサ素子2を振動可能に支持する下蓋5は、図3に示すように、振動型センサ素子2の振動腕10と錘部11の振動領域を確保するため、この部分に対向する領域に貫通孔15を設けた田の字形の平板構造であり、振動型センサ素子2の接続部6が接着される一対の固定部16と、この一対の固定部16を連結するために王字形に配置された梁17a、17bにより構成されている。そして、図2に示す振動型センサ素子2の接続部6と支持部7の境界部と対峙する部分、つまり下蓋5における固定部16と両外側の梁17aの境界部分に、図4に示すように振動型センサ素子2と下蓋5の対峙間隔18を部分的に広げた拡開部19を設けた構成としており、これにより、振動型センサ装置の検出レベルを安定させている。すなわち、振動型センサ素子2と下蓋5を接着剤20で張り合わせる場合、振動型センサ素子2と下蓋5が互いに平板構造となっていると、塗布した接着剤20が接続部6と支持部7の連結部分のような狭小スペースでは毛細管現象により支持部7側に流れ込みやすくなるが、このような部分に接合面の対峙間隔18を部分的に広げた拡開部19を設けることで、この部分で毛細管現象が絶たれ拡開部19内にも接着剤20が流入せず、この拡開部19より外側に対する接着剤20の拡散が防止できる。そして、この振動型センサ素子2は、振動子8を振動可能に支持するため、下蓋5における固定部16の上面に振動型センサ素子2の接続部6を接着し、振動型センサ素子2を接着剤20の厚み分だけ下蓋5から浮かせて、振動型センサ素子2の接続部6から導出された支持部7で振動子8を懸架した状態としている。従って、この振動子8の支点となる部分は、固定部16と接続部6を接着する接着剤20による接合端となるものであり、この接合端が接着剤の非流入部分となる拡開部19で位置規制されるので、振動子8の支点位置のバラツキを防止でき、振動型センサ装置の検出レベルを安定させることができる。なお、この拡開部19は、毛細管現象を抑制するものであることから、接着剤20で接合する基板間の対峙間隔18を部分的に広げることが重要であるが、必要以上に大きく設定することはない。つまり、一般に知られている塗布された接着剤20の余剰分を収容するために設ける凹部に比べて、非常に浅く設定できるので、拡開部19を設けることによる素子強度の低下は極めて小さく抑えられる。また、その大きさについても、接着剤20の流れ込みを阻止する部分に設けるものであるので不要に素子を大型化させることはない。また、拡開部19の表面粗さをその周辺部分に位置する振動型センサ素子2や下蓋5の表面粗さより大きくしておくことで、接着剤20に作用する界面張力を大きくすることができ、接着剤20の拡開部19への流れ込みを抑制でき、さらに拡開部19の形状においてその角部分を曲面で構成することで、角部分への応力集中を防止でき界面張力の作用を有効に活用でき、拡開部19への流れ込みをさらに抑制することができる。また、このような振動型センサ素子2や下蓋5は、ウエハを用いた多数個一括成形により形成するもので、振動型センサ素子2であれば、シリコンからなる振動型センサ素子2用ウエハにスパッタリングにより電極形成するとともにドライエッチングにより所定の外形形状に加工する。また、下蓋5においてもシリコンからなる下蓋5用ウエハをドライエッチングにより所定の形状に加工する。そして、下蓋5用ウエハの所定の位置に接着剤20を塗布し振動型センサ素子2用ウエハを張り合わせて接着固定し、その後、ダイシングにより図5の破線で示す部分で切断することで下蓋5により振動可能に懸架された振動型センサ素子2を一括成形している。そして、この様なウエハプロセスにおいて、振動型センサ素子2と下蓋5を接着する場合、接着剤20は固定部16の全体に塗布するのではなく、図5に示すように必要量を部分的に塗布するものである。従って、振動型センサ素子2用ウエハを張り合わせた際に、塗布位置以外の接着必要領域に接着剤20を十分に回り込ませる必要がある。よって、拡開部19を設けることで接着不要領域への回り込みが抑制できるとともに、その抑制された接着剤20が個々の下蓋5の連結部分などの接着必要領域を含む固定部16の隅々にまで回り込ませることができ、ダイシングによる個片分割時の素子クラックの発生等を抑制することができる。また、上述した実施形態においては、振動型センサ素子2における振動子8の支点となる接続部6と支持部7の境界部分にのみ拡開部19を設けた構成としたが、下蓋5には固定部16の中央部分にも補強用の梁17bが設けられていることから、この補強用の梁17bと固定部16との境界部にも拡開部19を設けても接着不要領域への回り込みが抑制できる。