"補助質量と、当該補助質量を駆動し且つ駆動状態においてバネ力及び減衰力を発生させるアクチュエータとを備え、当該アクチュエータにより前記補助質量を駆動した際の反力を利用して、制振対象の振動を抑制するアクティブ制振装置であり、推定した前記アクチュエータの誘導起電力を当該アクチュエータの推力定数で割ることで前記アクチュエータの動作速度を推定する速度推定部と、前記速度推定部で推定した前記アクチュエータの動作速度を積分または不完全積分することで推定可能な前記アクチュエータの振動変位に剛性ゲインを乗じた値、及び前記速度推定部で推定した前記アクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値を含む剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、当該アクティブ制振装置の剛性特性及び減衰特性を制御する剛性減衰制御部と、前記アクチュエータの位相遅れを補償するアクチュエータ位相補償部とを備え、前記剛性減衰制御部が、当該アクティブ制振装置の固有振動数を前記制振対象の振動の周波数よりも小さくなるように前記剛性ゲインを設定したものであることを特徴とするアクティブ制振装置。前記制振対象の加速度信号をフィードバックする制振対象加速度信号フィードバック部を備えている請求項1に記載のアクティブ制振装置。推定した前記アクチュエータの動作速度の微分値をフィードバックすることにより、当該アクティブ制振装置の慣性特性を制御する慣性制御部を備えている請求項1又は2に記載のアクティブ制振装置。補助質量と、前記補助質量を駆動し且つ駆動状態においてバネ力及び減衰力を発生させるアクチュエータとを備え、当該アクチュエータにより前記補助質量を駆動した際の反力を利用して、制振対象の振動を抑制するアクティブ制振装置の制御方法であって、推定した前記アクチュエータの誘導起電力を当該アクチュエータの推力定数で割ることで前記アクチュエータの動作速度を推定する速度推定ステップと、前記速度推定ステップで推定したアクチュエータの動作速度を積分または不完全積分することで推定可能なアクチュエータの振動変位に剛性ゲインを乗じた値、及び前記速度推定ステップで推定したアクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値を含む剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、当該アクティブ制振装置の剛性特性及び減衰特性を制御する剛性減衰制御ステップと、前記アクチュエータの位相遅れを補償するアクチュエータ位相補償ステップとを有し、前記剛性制御ステップにおいて、当該アクティブ制振装置の固有振動数を制振対象の振動の周波数よりも小さくなるように剛性ゲインを設定することを特徴とするアクティブ制振装置の制御方法。ところで、従来のアクティブ制振装置では、剛性特性及び減衰特性を制御する際に必要な情報であるアクチュエータの変位を変位センサによって検出していた。また、従来のアクティブ制振装置では、アクチュエータの位相のずれが一定限度を超えた場合に、一定の周波数を出力し続ける状態となって不要な発振が生じてしまうことも考えられる。本発明は、このような問題に着目してなされたものであって、主たる目的は、変位センサを不要としつつ適切な剛性制御及び減衰制御を行うことができ、コストの削減及び構造の簡素化を図るとともに、アクチュエータの位相遅れに起因する無用な発振を防ぐことが可能なアクティブ制振装置、及びその制御方法を提供することにある。すなわち本発明は、補助質量と、補助質量を駆動し且つ駆動状態においてバネ力及び減衰力を発生させるアクチュエータとを備え、アクチュエータにより補助質量を駆動した際の反力を利用して、制振対象の振動を抑制するアクティブ制振装置に関するものである。ここで、制振対象とは、構造物や機器であるか否かを問わず、振動し得るものであればよい。また、制振対象が構造物全体や機器全体であったり、或いは構造物や機器のうちある特定の領域や部分であってもよい。制振対象としては、例えば、ロボットアームやマウンタ装置、露光装置などの半導体関連機器、半導体用搬送車、プラント配管類などの自己の振動を抑制する必要がある機器や構造物を挙げることができる。そして、本発明に係るアクティブ制振装置は、推定したアクチュエータの誘導起電力をアクチュエータの推力定数で割ることでアクチュエータの動作速度を推定する速度推定部と、速度推定部で推定したアクチュエータの動作速度を積分または不完全積分することで推定可能なアクチュエータの振動変位に剛性ゲインを乗じた値、及び速度推定部で推定したアクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値を含む剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、アクティブ制振装置の剛性特性及び減衰特性を制御する剛性減衰制御部と、アクチュエータの位相遅れを補償するアクチュエータ位相補償部とを備え、剛性減衰制御部が、アクティブ制振装置の固有振動数を制振対象の振動の周波数よりも小さくなるように剛性ゲインを設定したものであることを特徴としている。このような本発明のアクティブ制振装置であれば、推定したアクチュエータの誘導起電力をアクチュエータの推力定数で割ることでアクチュエータの動作速度を推定し、この推定した動作速度を積分または不完全積分することによってアクチュエータの振動変位を算出するように構成しているため、変位センサが不要となり、また速度センサも必須ではなくなり、構造の簡素化及び低コスト化を図ることができる。そして、本発明のアクティブ制振装置では、その算出した振動変位に剛性ゲインを乗じた値と、速度推定部で推定したアクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値とを含む剛性減衰制御信号をフィードバックすることによって剛性特性及び減衰特性を制御する剛性減衰制御部において、アクティブ制振装置の固有振動数を制振対象の振動の周波数よりも十分に小さくなるように剛性ゲインを設定しているため、この剛性減衰制御信号に基づいてアクチュエータを駆動させた場合、少なくともアクティブ制振装置のバネ要素の影響をなくした状態で好適に制振対象の振動を好適に抑制することができる。さらに、本発明のアクティブ制振装置では、アクチュエータの位相遅れを補償するアクチュエータ位相補償部を備えているため、アクチュエータの位相遅れに起因する不要な発振を防止抑制することができる。また、本発明のアクティブ制振装置であれば、剛性減衰制御部により、剛性特性を上述した特性アクティブ制振装置の固有振動数を制振対象の振動の周波数よりも十分に小さくなるように設定した剛性ゲインをアクチュエータの振動変位に乗じた値に制御するとともに、減衰特性を、アクティブ制振装置自体の共振を起こさせない程度に制御することによって理想的なスカイフックダンパを実現することができる。また、剛性減衰制御部により、剛性特性を上述した特性に制御するとともに、減衰特性を、アクティブ制振装置の最適減衰係数に近付けるように制御することによって理想的なフードダンパを実現することができる。特に、剛性減衰制御部が、速度推定部で推定したアクチュエータの動作速度を不完全積分することによって推定可能なアクチュエータの動作速度に剛性ゲインを乗じた値を含む剛性減衰制御信号をフィードバックするものであれば、出力が飽和してしまうという不具合を防止できる。また、本発明では、推定したアクチュエータの動作速度の微分値をフィードバックすることにより、アクティブ制振装置の慣性特性を制御する慣性制御部を備えたアクティブ制振装置とすることもできる。このようなアクティブ制振装置であれば、アクチュエータの質量が増加または減少したような特性とすることが可能になる。さらに、本発明では、制振対象の加速度信号をフィードバックする制振対象加速度信号フィードバック部を備えたアクティブ制振装置とすることもできる。このような態様であれば、加速度信号から算出可能な制振対象の絶対速度をフィードバックすることができ、絶対速度に比例した力を与えるように制御することにより、良好なスカイフックダンパ特性を得ることができる。また、本発明のアクティブ制振装置の制御方法は、補助質量を駆動し且つ駆動状態においてバネ力及び減衰力を発生させるアクチュエータとを備え、当該アクチュエータにより前記補助質量を駆動した際の反力を利用して、制振対象の振動を抑制する方法であって、推定したアクチュエータの誘導起電力をアクチュエータの推力定数で割ることでアクチュエータの動作速度を推定する速度推定ステップと、速度推定ステップで推定したアクチュエータの動作速度を積分または不完全積分することで推定可能なアクチュエータの振動変位に剛性ゲインを乗じた値、及び速度推定ステップで推定したアクチュエータの動作速度に減衰ゲインを乗じた値を含む剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、当該アクティブ制振装置の剛性特性及び減衰特性を制御する剛性減衰制御ステップと、アクチュエータの位相遅れを補償するアクチュエータ位相補償ステップとを有し、剛性制御ステップにおいて、当該アクティブ制振装置の固有振動数を制振対象の振動の周波数よりも小さくなるように剛性ゲインを設定することを特徴としている。このようなアクティブ制振装置の制御方法であれば、剛性減衰制御ステップにおいて、推定算出したアクチュエータの振動変位に所定の剛性ゲインを乗じた値を少なくとも含む剛性減衰制御信号を出力するように構成しているため、変位センサが不要であり、構造の簡素化及び低コスト化を図ることができる。そして、本発明に係るアクティブ制振装置の制御方法では、剛性減衰制御ステップにおいて、アクティブ制振装置の固有振動数を制振対象の振動の周波数よりも十分に小さくなるように剛性ゲインを設定することにより、アクティブ制振装置のバネ要素の影響を排除することができ、良好な制振機能を得ることができる。さらに、本発明のアクティブ制振装置の制御方法であれば、アクチュエータの位相遅れを補償するアクチュエータ位相補償ステップを有するため、アクチュエータの位相遅れに起因する不要な発振を防止抑制することができる。本発明によれば、変位センサが不要でありながらも、制振対象の振動を好適に抑制することができるとともに、アクチュエータの位相遅れに起因する不要な発振を防止抑制することが可能なアクティブ制振装置、及びその制御方法を提供することができる。以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。本実施形態に係るアクティブ制振装置X以下、制振装置Xと称する場合もあるは、図1及び図2に示すように、補助質量1と、補助質量1を駆動するアクチュエータ2とを備え、アクチュエータ2により補助質量1を駆動した際の反力を利用して、制振対象Tの振動を抑制するものである。このような制振装置Xを制振対象Tに固定装着し、制振対象Tに生じている振動を補助質量1及びアクチュエータ2を駆動させた状態では、その状態をモデル化した模式図である図2、及びその状態のブロック線図である図3に示すように、制振対象Tの振動系以下制振対象主系T1と称する、及び制振装置Xの振動系以下制振装置機械系X1と称するが形成され、制振装置Xは、制振対象Tの振動を打ち消す方向に補助質量1をアクチュエータ2で動かすことによって制振効果を発揮する。このような制振装置Xは、アクティブ動吸振器Activedynamicdamperとも称される。なお、図2及び図3のm0k0c0は、それぞれ制振対象Tの質量主系質量、制振対象主系T1のバネ定数、制振対象主系T1の減衰係数を意味し、m1k1c1は、それぞれ補助質量1、制振装置機械系X1のバネ定数、制振装置機械系X1の減衰係数を意味する。また、図3における符号2はアクチュエータのうち特に電気系を示す。本実施形態では、制振装置Xを例えばロボットアームやマウンタ装置、露光装置などの半導体関連機器、半導体用搬送車、プラント配管類などの自己の振動を抑制する必要がある機器や構造物などの制振対象Tに装着することができ、アクチュエータ2に制振力加振力を発生させて、制振対象Tに発生する上下方向重力方向の振動を制振装置Xによって抑制できるように構成している。補助質量1は、例えば錘等であり、図2に示すように、バネ要素k及び減衰要素cによって支持保持されている。本実施形態では、アクチュエータ2後述するレシプロモータMを構成する部材がバネ要素kや減衰要素cとして機能する。本実施形態に係る制振装置Xは、図1に示すように、補助質量1及びアクチュエータ2に加えて、アクチュエータ2を駆動する電流駆動電流を検出する電流検出部3と、電流検出部3から出力される電流値Ia等に基づいてアクチュエータ2の動作速度移動速度を推定する速度推定部4と、速度推定部4の出力値である推定速度値を不完全積分処理1/Tis1した値に剛性ゲインk1aを乗じた値、及び推定速度値に減衰ゲインc1aを乗じた値を剛性減衰制御信号としてフィードバックすることにより制振装置機械系X1の剛性特性及び減衰特性を所望の特性に制御する剛性減衰制御部5と、剛性減衰制御部5から出力される剛性減衰制御信号等に基づき、アクチュエータ2に発生させるべき力に応じてアクチュエータ2に印加するべき電流の指令値を求めて出力する印加電流指令生成部6と、印加電流指令生成部6の出力値電流指令値に応じたアクチュエータ2を駆動するための電流をアクチュエータ2に供給するパワーアンプ7とを備えたものである。本実施形態のアクティブ制振装置Xでは、アクチュエータ2として、補助質量1を往復運動させるリニアアクチュエータを適用している。リニアアクチュエータとして、ボイスコイルモータを適用することもできるが、本実施形態では、電磁力を利用したレシプロモータMを適用している。このレシプロモータMは、図4乃至図6に示すように、制振対象Tに固定される固定子21と、固定子21に対して往復動可能な可動子22と、固定子21及び可動子22の同一軸心上に配置され可動子22と一体に往復動可能な軸23と、自らが弾性変形することにより可動子22及び軸23を固定子21に対して往復動可能に支持する板バネ24とを備えたものである。固定子21は、内部に可動子22の移動を許容する空間を有する筒状をなし、軸23の長手方向軸方向にリング状の鋼板を積層した積層コア21aと、積層コア21aのうち可動子22に対面し得る領域に配置した永久磁石21bと、積層コア21aの所定部分に巻回したコイル21cとを有する図5参照。ここで、軸方向に隣り合う永久磁石21b同士の極、及び可動子22を挟んで対向する永久磁石21b同士の極が相互に異なるように配置設定している。また、可動子22は、リング状の鋼板を積層したものであり、適宜の手段で軸23に固定されている。本実施形態では、可動子22と補助質量1とを軸23で接合し、制振対象Tの抑制するべき振動の方向と可動子22の往復動方向推力方向とが一致するように、固定子21を制振対象Tに固定している図4参照。そして、コイル21cに所定方向正方向の電流を流した場合、コイル21c及び永久磁石21b等の作用により、図5に矢印φ1で示す磁束経路が形成され、可動子22は重力に逆らう方向上方向、矢印F1方向に移動し、コイル21cに所定方向とは逆方向負方向の電流を流した場合、図6に矢印φ2で示す磁束経路が形成され、可動子22は重力方向下方向、矢印F2方向に移動する。このように、可動子22に作用する推力の方向F1,F2は、コイル21cに流す電流の方向により決定される。そのため、コイル21cに正方向及び負方向の電流を交互に流すことにより可動子22を軸方向に沿った一直線上で往復駆動振動させることが可能となる。これにより、軸23を介して板バネ24で保持している補助質量1を往復駆動させることができる。可動子22が受ける推力の大きさは、コイル21cに流す電流の大きさに比例し、本実施形態の制振装置Xでは、印加電流指令生成部6からパワーアンプ7に出力する電流指令値に基づいて可動子22及び補助質量1の加速度を制御することにより、制振対象Tの振動を低減するように構成している。なお、図4に示すようなリニアアクチュエータ2は、軸23を滑らせて往復動可能に支持するのではなく、板バネ24が、可動子22を軸23の上端側及び下端側の2箇所で保持し、自ら弾性変形することによって可動子22を軸方向に往復動可能に支持するため、可動子22には摩耗も摺動抵抗も生じず、長期に亘る使用を経た後でも軸23を支持する精度が低下することがなく、高い信頼性を得ることができるとともに、摺動抵抗に起因する消費電力の損失がなく性能の向上を図ることができる。電流検出部3は、例えば電流センサを用いて構成したものであり、パワーアンプ7からアクチュエータ2に供給される電流Iaを検出する。その検出値Iaを速度推定部4に出力している。また、本実施形態の制振装置Xは、電流検出部3で検出した電流値Iaをパワーアンプ7の入力側に戻す電流フィードバック制御部8を備え、この電流フィードバック制御部に電流フィードバック回路制御部Gcを設けている。この電流フィードバック回路制御部Gcは、図7に示すように比例要素kcPで構成したり、図8に示すように比例要素kcPと積分要素1/sとの組み合わせによって構成することができる。このような電流フィードバック回路制御部Gcからの出力値電流フィードバック指令値をパワーアンプ7の入力側に戻す電流フィードバック制御を行うことにより、高い周波数でも十分な応答性を得ることができ、アクチュエータの位相遅れを補償することができる。すなわち、この電流フィードバック制御部8が本発明のアクチュエータ位相補償部として機能する。速度推定部4は、制振装置X単体のブロック線図である図9に示すように、誘導起電力eTに基づいてアクチュエータ2の動作速度v1を推定するものである。本実施形態では、アクチュエータ2のコイル電流及び指令電圧から誘導起電力eTを推定し、この誘導起電力eTをアクチュエータ2の推力定数KTで割ることでアクチュエータ2の動作速度v1を推定するように構成している。指令電圧は、パワーアンプ7に入力される電流指令値にパワーアンプゲインGPAを乗じることによって求めることができる。なお、アクチュエータ2の端子電圧を検出する電圧検出部を別途設け、この電圧検出部で検出した電圧値を利用して誘導起電力eTを推定するようにしてもよい。一方、アクチュエータ2のコイル端子電圧は、アクチュエータ2に供給される電流本実施形態では電流検出部3で検出した電流値Iaにコイル21cの逆特性LSRを乗じることによって求めることができる。そして、この速度推定部4は、推定した推定速度値v1を剛性減衰制御部5に出力する。なお、速度推定部4として、誘導起電力を指令電圧とアクチュエータ2の端子電圧とから求め、この誘導起電力からアクチュエータ2可動子22の動作速度を推定するように構成したものを用いることもできる。剛性減衰制御部5は、図9に示すように、速度推定部4の出力値である推定速度値v1の不完全積分値である振動変位の推定値x1アクチュエータ2の振動変位x1の推定値に剛性ゲインk1aを乗算した値、推定速度値v1に減衰ゲインc1aを乗算した値とを剛性減衰制御信号としてフィードバックすることにより、制振装置Xの剛性特性及び減衰特性を調整するものである。具体的に、この剛性減衰制御部5は、制振装置機械系X1の固有振動数を制振対象Tの振動の周波数ωよりも低くなるようにし、且つ減衰を打ち消し得るように剛性ゲインk1a及び減衰ゲインc1aを設定し、これら設定した剛性ゲインk1a及び減衰ゲインc1aに基づく剛性減衰制御信号を印加電流指令生成部6に出力する。なお、剛性減衰制御部5には制振対象Tの周波数情報制振対象Tの振動の周波数情報が予め入力されている。また、本実施形態では、推定速度値を不完全積分処理することで剛性ゲインk1aを乗算する対象値である振動変位を求めているようにしているため、図10に示すように、積分処理であれば生じ得る不具合、つまり単独の積分回路にわずかな直流電流成分が入力されると、回路の電圧制限や積分演算時の有効桁数の制限によって飽和してしまい、必要な交流電流成分を出力することができないという不具合を防止することができる。そして、本実施形態の剛性減衰制御部5は、剛性ゲインk1a及び減衰ゲインをそれぞれ次の値に設定している。-k1≦k1a式1-c1≦c1a式2ここで、式1におけるk1は制振装置機械系X1のバネ定数を意味し、式2におけるc1は制振装置機械系X1の減衰係数を意味する。このように、本実施形態では、アクティブ制振装置Xのバネ要素と減衰要素の影響をなくすように剛性特性及び減衰特性を制御している。そして、本実施形態の制振装置Xは、このような剛性減衰制御部5により、剛性ゲインk1aに制振装置機械系X1の振動変位を乗じた値、及び減衰ゲインc1aに制振装置機械系X1アクチュエータ2の動作速度を乗じた値の加算値を、アクチュエータ2に発生させる推力を指令する推力指令値剛性減衰制御信号に相当し、以下では力指令値と称する場合もあるとして出力する。印加電流指令生成部6は、アクチュエータ2に印加するべき電流の指令値を、剛性減衰制御部5からの出力値である力指令値をアクチュエータ2の推力定数KTで割った値を、さらに濾波器61を通して得られる剛性減衰制御電流指令値から生成するものである。濾波器61は、バンドパスフィルタやハイパスフィルタなどを用いて構成することができる。そして、この印加電流指令生成部6は、生成した電流指令値をパワーアンプ7に出力する。ここで、図2及び図9に示すように、上述した電流フィードバック制御部8は、印加電流指令生成部6の一部として捉えることができる。すなわち、印加電流指令生成部6は、アクチュエータ2に印加するべき電流の指令値を求めるに際して、電流フィードバック制御部8からの出力値である電流フィードバック指令値を反映させ、この反映させた電流指令値をパワーアンプ7に向かって出力するように構成している。また、本実施形態に係る制振装置Xは、図3に示すように制振対象Tの速度信号をフィードバックする制振対象加速度信号フィードバック部9を備えている。本実施形態では、制振対象Tの速度を制振対象Tの質量m0に力が作用することで発生する加速度α0の検出値α0をフィルタ部91に通してパワーアンプ7の入力側に戻し、アクチュエータ2に印加するべき電流の指令値を求めるに際して、制振対象加速度信号フィードバック部9からの出力値である加速度信号フィードバック値を反映させ、この反映させた加速度信号フィードバック値をパワーアンプ7に向かって出力するように構成している。なお、制振対象Tの速度は、適宜箇所に設けた速度センサ図示省略や、加速度信号α0を積分等の処理をすることで検出することができる。フィルタ部91は、比例要素のみで構成する第1態様、積分要素又は直流成分に対する積分機能を有しない不完全積分要素によって構成する第2態様、ハイパスフィルタまたはバンドパスフィルタで構成する第3態様、これら3つの態様の何れかで構成したり、あるいは組み合わせで構成することができる。ここで、第2態様の積分要素としては、図11に示すように、加速度信号を速度信号に変換するものや、加速度信号を変位信号に変換するものを挙げることができ、不完全積分要素としては、図12に示すように、加速度信号を振動速度信号に変換するものや、加速度信号を振動変位信号に変換するものを挙げることができる。パワーアンプ7は、アクチュエータ2に発生させるべき力に応じた電流をリニアアクチュエータ2に供給するものである。本実施形態のパワーアクチュエータ7は、印加電流指令生成部6の出力値である電流指令値に電流フィードバック指令値及び加速度信号フィードバック値を減算処理して得られる値に、所定のパワーアンプゲインGPAを乗じ、その乗算値である指令電圧をアクチュエータ2に出力するように構成している。次に、本実施形態に係る制振装置Xの動作及び制振方法、並びに作用を図3、図9及び図13を参照して説明する。図9に示すように、制振装置機械系X1を制振対象Tに装着していない状態でアクチュエータ2に作用する推力faによって可動子22及び補助質量1を駆動させた場合、制振装置機械系X1の動作速度v1推力faを質量m1補助質量1で割った値に比例する力、具体的には制振装置機械系X1の動作速度v1に減衰係数c1を乗じた値に相当する力が減衰力として発生するとともに、制振装置機械系X1の振動変位x1速度の積分値に比例した力、具体的には制振装置機械系X1の振動変位x1にバネ定数k1を乗じた値に相当する力がバネ力として発生し、これらバネ力及び減衰力がアクチュエータ2の推力faを小さくする下げる方向に作用する。また、制振対象主系T1は、制振装置Xが装着されていない状態で加振周波数成分の振動加振力fdが生じた場合、制振対象主系T1の変位x0に比例したバネ力制振対象主系T1の変位x0にバネ定数k0を乗じた値に相当する力が発生するとともに、制振対象主系T1の動作速度v0に比例する減衰力制振対象主系T1の動作速度v0に減衰係数c0を乗じた値に相当する力が発生し、これらバネ力及び減衰力が振動fdを小さくする下げる方向に作用する。このような制振対象Tに本実施形態の制振装置Xを装着した場合、図3に示すように、アクチュエータ2の推力fa及びアクチュエータ2の推力faによって生じるバネ力及び減衰力が制振対象Tにも作用する。ここで、制振装置X制振装置機械系X1の補助質量1とバネ定数k1とによって決まる制振装置X制振装置機械系X1の固有振動数を制振対象Tの固有周波数ωよりも低くするとともに、制振装置X制振装置機械系X1の減衰係数c1を制振装置X自体の共振を起こさせない程度に設定し、さらに、制振対象Tの絶対速度に比例した力を与えるように制御すれば良好なスカイフックダンパ特性を発揮し、制振対象Tの振動を抑制することができる。上記の点を考慮し、本実施形態の制振装置Xは、通電状態においてアクチュエータ2によって補助質量1を往復駆動させている場合図13のS1;Y、先ず、電流検出部3でパワーアンプ7からアクチュエータ2に供給される電流を検出し、その検出値Iaを速度推定部4に出力する電流検出ステップS2。次いで、本実施形態の制振装置Xは、速度推定部4において、指令電圧と電流検出部3からの出力値電流値Iaとから誘導起電力eTを推定し、この誘導起電力eTをアクチュエータ2の推力定数KTで割ることでアクチュエータ2の動作速度を推定する動作速度推定ステップS3。ここで、制振装置機械系X1の動作速度に応じてアクチュエータ2には誘導起電力eT制振装置機械系X1の動作速度をアクチュエータ2の推力定数KTで割った値が生じ、その分だけアクチュエータ2の端子電圧は下がるが、制振装置Xを制振対象Tに取り付けた場合、図3に示すように、制振装置機械系X1の動作速度v1には制振対象主系T1の動作速度v0も含まれることになる。したがって、アクチュエータ2に実際に生じる誘導起電力eTは、制振装置機械系X1の動作速度v1から制振対象主系T1の動作速度v0を引いた値v1-v0に応じた値となる。そして、本実施形態の速度推定部4動作速度推定ステップS3では、この誘導起電力eTと同等の誘導起電力eTに基づいてアクチュエータ2単体の動作速度を推定するように構成しているため、速度推定部4で推定して剛性減衰制御部5に出力する値は、制振装置機械系X1の動作速度v1から制振対象主系T1の動作速度v0を引いた値v1-v0となる。引き続いて、本実施形態の制振装置Xは、予め剛性減衰制御部5に入力されている制振対象Tの振動周波数情報に基づいて、剛性減衰制御部5により、制振装置Xの固有振動数が制振対象の振動の周波数ωよりも十分低くなるように剛性特性を制御するとともに、且つ制振装置機械系X1の減衰c1を打ち消す減衰特性となるように、上記式1及び式2に基づいて剛性ゲインk1a,減衰ゲインc1aを設定し、設定した剛性ゲインk1aに速度推定部4からの出力値アクチュエータ2の動作速度v1-v0の不完全積分値を乗じた値と、設定した減衰ゲインc1aに速度推定部4からの出力値アクチュエータ2の動作速度v1-v0を乗じた値とを力指令値として印加電流指令生成部6に出力する剛性減衰制御ステップS4。次いで、本実施形態の制振装置Xは、印加電流指令生成部6により、剛性減衰制御部5からの出力値である力指令値をアクチュエータ2の推力定数KTで除した値を濾波器61に通して得られる剛性減衰制御電流指令値に基づいて、対パワーアンプ供給電流指令値を生成する印加電流指令生成ステップS5。本実施形態では、印加電流指令生成部6印加電流指令生成ステップS5において、さらに、対パワーアンプ供給電流指令値と電流フィードバック指令値と加速度信号フィードバック値とを対応付け、この対応付けた電流指令値をパワーアンプ7に向かって出力する電流指令値出力ステップS6。ここで、電流指令値出力ステップS7では、対パワーアンプ供給電流指令値と電流フィードバック指令値とを対応付けてアクチュエータ2の位相遅れを補償していることから、本発明のアクチュエータ位相補償ステップと捉えることができる。また、電流指令値出力ステップS7では、対パワーアンプ供給電流指令値と加速度信号フィードバック値とを対応付けていることから、制振対象の加速度信号をフィードバックする制振対象加速度信号フィードバックステップと捉えることができる。そして、本実施形態の制振装置Xは、電流指令値出力ステップS6で出力した電流指令値に、パワーアンプ7によって所定のパワーアンプゲインGPAを乗じた指令電圧をアクチュエータ2に出力する電圧指令出力ステップS7。これにより、アクチュエータ2の可動子22に、指令電圧に応じた電流を推力定数KTで乗じた値である推力faが作用する。この推力faを受けて往復動する可動子22により補助質量1を往復駆動させ、その反力を用いて制振対象Tの振動を低減することができる。この際、制振装置機械系X1のバネ定数k1及び減衰係数c1はそれぞれ剛性減衰制御部5で設定した剛性ゲインk1a及び減衰ゲインc1aによって調整されたものであるため、アクチュエータ2の可動子22及び補助質量1制振装置機械系X1は制振対象Tの振動の周波数ωよりも十分に低い固有振動数で振動し、また、減衰を0に近付けて制振装置X自体の共振を起こさせない程度に設定していることから、制振対象Tの振動を0に近付けることができ、良好な制振効果を得ることができる。また、本実施形態に係る制振装置Xは、制振対象Tの絶対速度をフィードバックして、絶対速度に比例した力を与えるように構成しているため、理想的なスカイフックダンパとして作用する。ここで、図14には、本実施形態に係る制振装置Xにより剛性減衰制御を行った場合のゲインと周波数との関係を相対的に太い線で示し、比較例として剛性減衰制御を行わない場合のゲインと周波数との関係を相対的に細い線で示している。同図から把握できるように、本実施形態に係る制振装置Xでは、剛性減衰制御部5によってアクチュエータ2の共振特性を調整することができる。具体的には、上述した剛性制御を行うことによって制振装置Xの固有振動数を低下させて、共振周波数を低く設定することによってゲイン特性の平坦な領域が同図におけるP2とP1との差だけ広がり、加速度信号フィードバック部9での制御可能周波数帯域が拡大する。また、上述した減衰制御を行うことによってアクチュエータ2の減衰特性を調整することができ、外乱に対する共振特性の調整も可能になる。そして、本実施形態の制振装置Xは、アクチュエータ2による補助質量1の往復駆動が停止すれば上述の処理を停止し図13のS8;Y、アクチュエータ2による補助質量1の往復駆動が継続している間は、上述した電流検出ステップS2から電圧指令出力ステップS6を継続して繰り返す図13のS8;Nことにより、制振対象Tの振動を効果的に抑制することができる。ここで、補助質量1の往復駆動が停止する場合としては、電源Pからアクチュエータ2への通電状態が切断された場合や、通電状態において抑制すべき振動が生じていない場合、或いは制振モードが選択されていない場合等を挙げることができる。また、本実施形態の制振装置Xは、電流検出部3によって検出した電流値Iaやパワーアンプ7に入力される指令電圧に基づいて動作速度推定部4によりアクチュエータ2制振装置機械系X1の動作速度を推定するように構成しているため、アクチュエータ2の固定子21に対する補助質量1の相対値変位、速度、加速度を検出する各種センサ変位センサ、速度センサ、加速度センサが不要となり、コストの削減を図ることができる。しかも、本実施形態では、アクチュエータ2の位相遅れを補償することができるように電流フィードバック制御を採用しており、この電流フィードバック制御を行うに際して必須となる電流検出部3を利用してアクチュエータ2制振装置機械系X1の動作速度を推定するように構成しているため、部品の共用化を好適に図ることができる。なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した制振装置が、スカイフックダンパとして機能するスカイフックダンパ制御と、フードダンパとして機能するフードダンパ制御とで切替可能に構成されたものであってもよい。スカイフックダンパ制御時には、上述した制御方法を採用すればよい。一方、フードダンパ制御を行う場合には、制振装置Xの減衰係数c1を最適減衰係数に近付けるように減衰ゲインc1aを設定するとともに、加速度信号フィードバック部9のフィルタ部91を通る経路を使用しないようにして、制振対象Tの相対速度に比例する力を与えるように制御する。このような制御を採用することにより、理想的なフードダンパとして機能する制振装置を実現できる。また、図15に示すように、推定したアクチュエータ2の動作速度の微分値をフィードバックすることによりアクティブ制振装置の慣性特性を制御する慣性制御部10を備えた制振装置にすることも可能である。このような慣性制御部10を備えた制振装置であれば、アクチュエータ2の可動部の質量が増加または減少したような特性とすることも可能になる。さらに、上述した実施形態では、アクチュエータの位相遅れを補償するアクチュエータ位相補償部として、電流フィードバック部を用いて構成した態様を例示したが、図16に示すように、微分回路または不完全微分回路を有する電流位相補償回路Gdによってアクチュエータ位相補償部を構成することもできる。電流位相補償回路Gdは、図17に示すように、比例要素Kdpと微分要素sとの組み合わせで実現したり、図18に示すように、比例要素Kdpと不完全微分要素s/Ti3s1との組み合わせで実現することができる。また、上述した実施形態では、アクチュエータに生じる誘導起電力を基にアクチュエータ制振装置機械系の動作速度を推定する態様を示したが、アクチュエータの固定子に対する補助質量の速度または加速度を検出する各センサ速度センサ、加速度センサのうち少なくとも1つを備え、センサの検出値を基にアクチュエータ制振装置機械系の動作速度を検出又は推定する構成であっても構わない。また、剛性減衰制御部剛性減衰制御ステップにおいて剛性ゲインを乗じる対象値であるアクチュエータ制振装置機械系の変位は、速度センサや加速度センサによるセンシング値検出値を基に所定の演算処理によって推定算出した値であってもよい。同様に、剛性減衰制御部剛性減衰制御ステップにおいて減衰ゲインを乗じる対象値であるアクチュエータ制振装置機械系の動作速度は、速度センサや加速度センサによるセンシング値検出値を基に所定の演算処理によって推定算出した値であってもよい。さらに、剛性減衰制御部が、速度推定部で推定したアクチュエータの動作速度を、不完全積分処理ではなく、積分処理することで推定可能なアクチュエータの振動変位に剛性ゲインを乗じた値を含む剛性減衰制御信号をフィードバックすることにより、アクティブ制振装置の剛性特性を制御するものであってもよい。また、電流フィードバック制御を採用していない制振装置であってもよい。その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。"