帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有することを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。前記調整手段は、1枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも1回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート貼付方法。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート製造方法。ところで、剥離シートRLにあっては、材料コストを低減するために、25μm前後の薄手のものが採用される機会が多くなっている。このような薄手の剥離シートRLが採用された原反を特許文献1の装置で使用すると、図4Bに示されるように、切断刃HCの刃先が剥離シートRLに入り込まなくなり、ピールプレートで切込CUの内側に形成された接着シートと、その外側に形成された不要シートとを確実に切り離すことができず、当該接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。ここで、図4Bにおいて、切断刃HCの刃先が剥離シートRLに入り込むように当該切断刃HCとプラテンローラPRとの相対間隔を再調整することで、接着シートを確実に不要シートから切り離すようにできる。ところが、この場合、切込CUが形成された位置における剥離シートRLの厚みが薄くなり過ぎてしまうので、少しの外力を受けただけで接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが原反RSから抜け落ちてしまったり、ピールプレートで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまい、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を発生してしまう、という不都合を招来する。[発明の目的]本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。本発明において、前記カッター部を変位させて前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する、という構成を採ることが好ましい。更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うとよい。また、前記調整手段は、1枚の接着シート形成に対し、前記カッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも1回ずつ行って前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成可能に設けられる、という構成を採ることができる。更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段とを備え、前記調整手段は、前記切込の形成中に前記間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整することで、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。本発明によれば、カッター部と受圧部との間隔を調整することにより、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが接着シートの内側領域に対応する切込の深さより深く形成できるので、接着シートの繰出方向先端部を確実に不要シートから切り離すことができる。これにより、従来のように接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することができる。このとき、接着シートの内側領域に対応する切込の深さは、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に比べて浅く形成されているが、接着シートの繰出方向先端部さえ不要シートと切り離しできれば、接着シートの剥離の進行に伴って当該接着シートは、接着シートの内側領域に対応する切込に沿って不要シートから切り離される。また、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シートの切込の深さより浅くなっているので、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を抑制することができる。このとき、特許文献1の装置のように、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シート部分が、ピールプレートで接着シートと一緒に抜けてしまうことがあるが、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが浅いので、接着シートと一緒に抜けてしまった剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、当該剥離シート部分は剥離シートの正規の回収方向に引っ張って回収されるようになる。なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、前述と同様に切込が形成された原反を準備でき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、前述したように接着シートの剥離及び貼付を難なく行えるようになる。更に、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する構成とした場合、当該カッター刃の一部領域が摩耗等によって劣化しても、他の領域で接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成することができる。また、初期剥離領域での切断を複数回行うことで、接着シートの繰出方向先端部をより確実に不要シートから切り離すことができる。更に、調整手段がカッター部と受圧部との離間接近動作を少なくとも1回ずつ行って接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成する構成とすれば、接着シートの繰出方向先端部を効果的に不要シートから切り離すことができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書において、特に明示しない限り、左、右、上、下は、図1を基準として用いる。図1~図3において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWF及びリングフレームRFを吸着支持するテーブル11と、このテーブル11を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ12と、帯状の剥離シートRLと、その一方の面に仮着された帯状シートWSとにより構成された原反RSを繰り出し可能な繰出手段14と、この繰出手段14により繰り出された原反RSの帯状シートWSに切込CUを形成し、当該切込CUの内側に接着シートASを形成するとともに、当該切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、不要シートUSを巻き取り可能な巻取手段16と、剥離シートRLを折り返して接着シートASを剥離シートRLから剥離する剥離手段としての剥離板18と、この剥離板18で剥離された接着シートASをリングフレームRF及びウエハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ19とを備えて構成されている。帯状シートWSは、基材シートBSと、この基材シートBSの一方の面に積層された接着剤層ADとを備え、当該接着剤層ADを介して剥離シートRLに仮着されている。なお、ウエハWFの下面には保護シートPSが貼付されている。前記繰出手段14は、原反RSを支持する支持軸25と、この支持軸25から繰り出されて切断手段15を通過する前の原反RSを挟み込む第1駆動ローラ27及び第1ピンチローラ28と、剥離板18を経た後の剥離シートRLを挟み込む第2駆動ローラ31及び第2ピンチローラ32と、これらを通過した後の剥離シートRLを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸34とを備えている。各駆動ローラ27、31は、駆動機器としての回動モータDM1、DM2を介して回転可能に設けられている。前記切断手段15は、繰り出される原反RSの帯状シートWS側に配置され、駆動機器としての回動モータDM3によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ36と、原反RSを間に挟んでダイカットローラ36と対向配置され、ダイカットローラ36の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ37と、ダイカットローラ36を左右方向に移動させて当該ダイカットローラ36とプラテンローラ37との相対間隔を調整可能な調整手段38とを備えている。なお、プラテンローラ37は、図示しない機構によりダイカットローラ36と連動して回転可能に設けられている。前記ダイカットローラ36は、回動モータDM3と共にブラケット39を介して調整手段38に支持されている。ダイカットローラ36は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃40を備え、帯状シートWSにリングフレームRFの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込CUを形成可能に設けられている。また、切断刃40は、例えば、ダイカットローラ36の回転方向に270°の範囲に亘って設けられ、その高さは、450μmに設定されている。ここで、切断刃40によって形成された接着シートASは、帯状シートWSの繰出方向原反RSが支持軸25から巻取軸34に向かう方向先端領域が切断刃40の先端40aにより形成される。この先端40aにより形成された接着シートAS部分が、剥離板18によって剥離シートRLから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Saとなり、この初期剥離領域Saに対応する切込CU部分が初期切込CU1とされる。また、初期剥離領域Saの剥離の次に剥離される領域、つまり、接着シートASにおいて初期剥離領域Sa以外の全領域が、接着シートの内側領域としての次期剥離領域Sbとなり、この次期剥離領域Sbに対応する切込CU部分が次期切込CU2とされ、接着シートの繰出方向後端部は、切断刃40の後端40bにより形成される。なお、次期剥離領域Sbは、初期剥離領域Sa以外の全領域に限られず、初期剥離領域Saに隣接して当該初期剥離領域Saの剥離の次に剥離される接着シートASの一部領域としてもよい。前記調整手段38は、ブラケット39に連結された出力軸38Aを備え、当該出力軸38Aを左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータとしての機能と、図3A中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に出力軸38Aを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸38Aを図3A中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ36を同図中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に180°回転駆動することで、ダイカットローラ36の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、初期切込CU1を形成する領域を切断刃40の後端40bに変更可能となり、切断刃40の先端40a及び後端40bの何れでも初期剥離領域Saに対応する初期切込CU1を形成可能となり、先端40a及び後端40bの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用することが可能となる。なお、変位手段は、調整手段38から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。ここで、切断手段15には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反RSにエネルギーを付与しながら切込CUを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ36、37から離れた位置から切込CUの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。前記巻取手段16は、切断手段15により切込CUを形成した後の不要シートUSに掛け回されて当該不要シートUSを剥離シートRLから剥離する剥離ローラ50と、剥離ローラ50を経た後の不要シートUSを巻き取る巻取軸51とを備えて構成されている。巻取軸51は、駆動機器としての回動モータDM4を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートUSを巻き取り可能となっている。次に、本実施形態における接着シートASの貼付方法について説明する。まず、支持軸25に支持された原反RSを第1駆動ローラ27と第1ピンチローラ28との間、及び、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との間を通過させる。そして、剥離シートRLから帯状シートWSを剥離し、当該帯状シートWSを剥離ローラ50に掛け回した後、そのリード端を巻取軸51に固定する。また、剥離シートRLは、剥離板18の先端で折り返して第2駆動ローラ31と第2ピンチローラ32との間を通過させ、そのリード端を巻取軸34に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートWSの厚みは100μm、剥離シートRLの厚みは25μmのものが採用されている。また、調整手段38によって、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との相対間隔を調整する。本実施形態では、切断刃40の先端40aが初期切込CU1を形成する際、当該先端40aとプラテンローラ37との間隔CL1が5μmになるように設定され、切断刃40の先端40a以外が切込CUを形成する際、切断刃40とプラテンローラ37との間隔CL2が20μmになるように設定されている。本実施形態では、図1に示されるように、ダイカットローラ36の回転方向における切断刃40が形成されていない領域の中央をダイカットローラ36のスタート位置Stとし、当該スタート位置Stがプラテンローラ37に再接近した状態で、ダイカットローラ36の回転を停止させておく。そして、回動モータDM1~DM4を連動させて原反RSを繰り出すと、切断刃40により基材シートBS側から剥離シートRL側に向かって切込CUが形成され、帯状シートWSは、切込CUの内側の接着シートASと、切込CUの外側の不要シートUSとに区分される。この接着シートASの形成過程では、先ず、ダイカットローラ36が図3A中矢印方向に回転し、スタート位置Stから45°回転した時点で初期切込CU1の形成が開始される。そして、この時点から設定角度α1として例えば5°回転した時点までが間隔CL1とされて初期切込CU1が形成される。なお、設定角度α1は、0°~45°の範囲で変更してもよい。その後、調整手段38を作動させて間隔CL2図3B参照が20μmになるように調整し、切断刃40により次期切込CU2が形成されて次期剥離領域Sbが形成される。よって、初期切込CU1に対応する剥離シートRLには、深さが20μmの切込CUが形成されることとなり、初期切込CU1が確実に剥離シートRLに入り込み、これにより、初期剥離領域Saが不要シートUSと切り離され易くなる。また、次期切込CU2に対応する剥離シートRLには、深さが5μmの切込CUが形成されることとなり、これにより、次期剥離領域Sbに対応する剥離シートRL部分は、初期剥離領域Saに対応する剥離シートRL部分に比べて切断され難くなる。切込CUを形成した後、次の切込CUを形成する前に、調整手段38を作動させ、先端40aとプラテンローラ37との間隔CL1が5μmになるように再度調整させる。切込CUの形成後、繰り出された原反RSは、剥離ローラ50で剥離シートRLから不要シートUSが剥離され、不要シートUSが巻取軸51に巻き取られる。このとき、剥離領域Saが不要シートUSと切り離され易くなっているので、接着シートASが不要シートUSと共に巻取軸51方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートUSが巻き取られた原反RSの接着シートASが剥離板18の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートASの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、初期切込CU1が確実に剥離シートRLに入り込んでいるので、初期剥離領域Saは確実に剥離シートRLから剥離され、剥離シートRLと共に第2駆動ローラ31方向に巻き取られるようなことはない。なお、初期剥離領域Saに対応する剥離シートRL部分も接着シートASと共に剥離板18から抜け出る場合がある。しかし、次期剥離領域Sbに対応する剥離シートRL部分が切断され難くなっているので、原反RSの繰出に伴って接着シートASと共に抜け出た剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、この接着シートASと共に抜け出た剥離シート部分に剥離板18の先端から第2駆動ローラ31方向に引っ張る力が働き、初期剥離領域Saに対応する剥離シートRL部分を確実に接着シートASから剥離することができる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ36は、図1に示されるように、スタート位置Stがプラテンローラ37に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートASの間隔を任意に調整することができる上、接着シートASの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームRFとウエハWFとがテーブル11上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ12を介してテーブル11が剥離板18の下方を右側から左側に搬送される。テーブル11が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル11の搬送に同期して第1及び第2駆動ローラ27、31が回転して原反RSが繰り出され、剥離板18の先端で接着シートASが剥離される。そして、剥離された接着シートASが押圧ローラ19による押圧力を受け、リングクレームRF及びウエハWFの各上面に貼付され、接着シートASを介してウエハWFとリングクレームRFとが一体化される。このとき、初期剥離領域Saに対応する剥離シートRL部分が確実に接着シートASから剥離されているので、剥離シートRL部分が付随した状態の接着シートASが被着体に貼付されるようなことはない。従って、このような実施形態によれば、1の切込CUの形成中に切断刃40とプラテンローラ37との間隔を変更することにより、切断刃40による切断で初期剥離領域Saが次期剥離領域Sbより切込深さを深くできるので、接着シートASが不要シートUSと共に剥離され、当該接着シートASが貼付不能となることを防止することが可能となる。しかも、次期剥離領域Sbに対応する剥離シートRL部分への切断刃40の切込深さが浅いので、切断手段15を経た後の原反RSから、接着シートASが抜け落ち、当該接着シートASの貼付が行えなくなることを防止できる。このように、前記実施形態によれば、剥離シートRLが薄厚化しても、これに対応して接着シートASの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができ、当該薄厚化によるコストダウンの要求に応じることが可能となる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、前記巻取手段16を省略し、剥離シートRLから不要シートUSを剥離せずに、剥離板18で接着シートASを剥離し、剥離シートRLと不要シートUSとを巻取軸34で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板18で初期剥離領域Saが剥離できず、接着シートASが不要シートUSと共に第2駆動ローラ31方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。また、切込Cの形成にあっては、各回動モータDM1~DM4を連動させて原反RSを繰り出し方向に往復動させ、1枚の接着シートAS形成に対し、初期剥離領域Saでの切断を複数回行ってもよい。更に、上記実施形体において、スタート位置Stから45°回転した時点で調整手段38を作動させ、切込CUから切断刃40を一旦引き抜き、再度切込CUに切断刃40を差し込み1枚の接着シートASの形成に対し、切断刃40とプラテンローラ37との離間動作と接近動作とを少なくとも1回ずつ行って初期剥離領域Saに対応する切込SUを形成するようにしてもよい。このとき原反RSの繰り出しを停止させてもよい。また、前記シート貼付装置10の剥離板18及び押圧ローラ19を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段15によって接着シートASを形成した後、当該接着シートASが剥離シートRLに仮着された原反RSが巻取軸34に巻き取られる。巻取軸34に巻き取られた原反RSは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸34に巻き取られた原反RSをその状態のまま切断手段を有しないシート貼付装置等で利用する場合、繰出手段14の繰出方向後端部が当該シート貼付装置等の初期剥離領域Saとなるので、少なくとも接着シートASにおける繰出手段14の繰出方向後端部の切込CUが他の領域に比べて深くなるように、調整手段38の設定を変更すればよい。更に、切断刃40の平面形状は、帯状シートWSに切込CUを形成して当該切込CUの内側を接着シートASとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。また、切断刃40は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。更に、調整手段38による切断刃40とプラテンローラ37との間隔は、原反RSの厚みや性質、特に剥離シートRSの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。更に、繰出手段14や剥離板18、押圧ローラ19は、種々の設計変更が可能である。また、原反RSを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。更に、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよいし、また、上記実施形態と同様の調整手段38をプラテンローラ37側にも設け、ダイカットローラ36を停止させた状態で、プラテンローラ37をダイカットローラ36に対して離間接近させたり、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37を相互に離間接近させたりして切断刃40とプラテンローラ37との間隔を調整するようにしてもよい。更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。また、被着体は、ウエハWFやリングフレームRFに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームRFに代えて、C字状やU字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームRFなしで単独の被着体を接着シートASの貼付対象としてもよい。