直線状の搬送路を有する搬送部材を備え、前記搬送部材に与えられる振動により被搬送材を搬送する振動式直進フィーダにおいて、前記搬送部材が取り付けられる上部振動体とその下方に配される下部振動体とを、搬送方向の上流側と下流側で第1の板ばねにより連結し、前記下部振動体を防振弾性体で支持するとともに、前記上部振動体の下方で下部振動体と干渉しない位置に配されるウェイトを、前記第1の板ばねよりも剛性の高い第2の板ばねで上部振動体に連結し、前記ウェイトに電磁石を取り付け、前記上部振動体に前記電磁石と鉛直方向で対向する可動鉄心を取り付けることにより、前記搬送部材に振動を与える加振機構を形成し、前記搬送部材と上部振動体と可動鉄心とからなる上部振動系の質量を、前記ウェイトと電磁石とからなる下部振動系の質量よりも小さくしたことを特徴とする振動式直進フィーダ。前記加振機構を、前記下部振動体の中央部にあけた孔を貫通するように配置したことを特徴とする請求項1に記載の振動式直進フィーダ。前記下流側の第1の板ばねを鉛直方向に延びるように組み込み、前記上流側の第1の板ばねは水平線に対して50~70°の傾斜角度で傾けて組み込んだことを特徴とする請求項1または2に記載の振動式直進フィーダ。前記加振機構の組込位置を搬送方向に移動可能としたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の振動式直進フィーダ。前記防振弾性体をコイルばねとしたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の振動式直進フィーダ。前記加振機構のウェイトが、前記可動鉄心および電磁石の下方を覆う本体部と、前記可動鉄心および電磁石の周囲を覆う筒状部とからなり、その筒状部の下端を全周にわたって本体部に接続したものであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の振動式直進フィーダ。上記のような振動式直進フィーダでは、通常、加振機構を構成する電磁石と可動鉄心とが水平方向で対向するように配置されており、その隙間をトラフの振幅量よりも大きくとる必要がある一方、電磁石と可動鉄心の隙間を大きくするほど多量の電流が電磁石に流れて運転コストが高くなるので、トラフの振幅量が比較的小さく抑えられている。ところが、被搬送材が粉状の医薬品や食品等、軽量で積層状態になったときに振動の伝達効率が低いものである場合は、トラフの振幅量が小さいために、被搬送材が部分的にブリッジ状態となったり停滞したりするトラブルが生じやすい。これに対して、加振機構の電磁石と可動鉄心とを鉛直方向で対向するように配置して、その間に生じる吸引力の方向をトラフの振動方向と大きく変えることにより、その隙間の寸法を従来と同程度にして電力消費量を増やすことなく、トラフの振幅量を大きくとれるようにすることが考えられる。しかしながら、上記のようにしてトラフの振幅量を大きくとった場合、下部振動体の振幅も大きくなるので、下部振動体と床面との間に防振ゴムや防振用板ばね等の防振弾性体を設けていても、下部振動体の振動を十分に吸収しきれず、その振動が直進フィーダの周辺に設置されている外部の装置の架台等へ伝播してしまうおそれがある。特に、直進フィーダの周辺に秤等を使用した高精度の計測装置を設置しているような場合には、外部に伝搬した振動が不具合を引き起こしやすい。そこで、本発明は、被搬送材を直線的に搬送する振動式直進フィーダにおいて、搬送の安定性を向上させるとともに、外部への振動の伝播を抑えることを課題とする。上記の課題を解決するため、本発明は、直線状の搬送路を有する搬送部材を備え、前記搬送部材に与えられる振動により被搬送材を搬送する振動式直進フィーダにおいて、前記搬送部材が取り付けられる上部振動体とその下方に配される下部振動体とを、搬送方向の上流側と下流側で第1の板ばねにより連結し、前記下部振動体を防振弾性体で支持するとともに、前記上部振動体の下方で下部振動体と干渉しない位置に配されるウェイトを、前記第1の板ばねよりも剛性の高い第2の板ばねで上部振動体に連結し、前記ウェイトに電磁石を取り付け、前記上部振動体に前記電磁石と鉛直方向で対向する可動鉄心を取り付けることにより、前記搬送部材に振動を与える加振機構を形成し、前記搬送部材と上部振動体と可動鉄心とからなる上部振動系の質量を、前記ウェイトと電磁石とからなる下部振動系の質量よりも小さくした構成を採用した。すなわち、搬送部材が取り付けられる上部振動体と、上部振動体に第2の板ばねで連結されるウェイトとの間に電磁石と可動鉄心を鉛直方向で対向させた加振機構を形成し、搬送部材側の振幅がウェイト側の振幅よりも大きくなるように各部材の質量バランスを設定することにより、搬送部材の振幅量を大きくとって軽量の被搬送材も安定して搬送できるようにするとともに、上部振動体を第2の板ばねよりも剛性の低い第1の板ばねと防振弾性体で支持して、防振構造を2段にすることにより、外部への振動の伝播を抑えられるようにしたのである。上記の構成において、前記加振機構は、前記下部振動体の中央部にあけた孔を貫通するように配置することが望ましい。このようにすれば、直進フィーダの高さ寸法を大きくすることなく、第2の板ばねの固定位置間のスパン固定スパンを広げて許容振幅量を大きくできるので、搬送部材を一層大きい振幅で振動させて軽量の被搬送材の搬送安定性をさらに向上させることができる。前記下流側の第1の板ばねを鉛直方向に延びるように組み込み、前記上流側の第1の板ばねは水平線に対して50~70°の傾斜角度で傾けて組み込めば、搬送部材の全長にわたり安定した振動角が得られるので、これによっても搬送安定性の向上を図ることができる。前記加振機構の組込位置を搬送方向に移動可能とすれば、被搬送材の搬送状態に応じて加振機構の組込位置を移動させることにより、搬送方向の上流側と下流側の振動角のバランスを調整して、搬送の安定化を図ることができる。前記防振弾性体としてはコイルばねを用いることが望ましい。防振ゴムや防振用板ばねに比べて低剛性のコイルばねを用いることにより、外部への振動の伝播を一層効果的に抑えることができる。また、前記加振機構のウェイトは、前記可動鉄心および電磁石の下方を覆う本体部と、前記可動鉄心および電磁石の周囲を覆う筒状部とからなり、その筒状部の下端を全周にわたって本体部に接続したものとするとよい。このようにすれば、ウェイト自体がコンパクトな加振機構用カバーとなり、従来のようなサイズの大きいカバーを不要とすることができるとともに、加振機構への水や埃の侵入経路がウェイトの筒状部と上部振動体との間の隙間だけになるので、水や埃の侵入による加振機構のトラブルを生じにくくすることができる。本発明の振動式直進フィーダは、上述したように、搬送部材が取り付けられる上部振動体と、上部振動体に第2の板ばねで連結されるウェイトとの間に電磁石と可動鉄心を鉛直方向で対向させた加振機構を形成し、搬送部材側の振幅がウェイト側の振幅よりも大きくなるように各部材の質量バランスを設定したものであるから、被搬送材が軽量のものでも搬送部材の振幅量を大きくとって安定して搬送することができる。しかも、上部振動体を第2の板ばねよりも剛性の低い第1の板ばねと防振弾性体で支持して、防振構造を2段にしているので、搬送部材の振幅量を大きくとっても外部への振動の伝播を効果的に抑えることができる。以下、図面に基づき、本発明の実施形態を説明する。この振動式直進フィーダは、粉状の医薬品や食品等の被搬送材を搬送するもので、図1および図2に示すように、直線状の搬送路1aを有するトラフ搬送部材1と、トラフ1が取り付けられる上部振動体2と、その下方に配される下部振動体3と、両振動体2、3を搬送方向の上流側と下流側で連結する第1の板ばね4a、4bと、上部振動体2の下面に取り付けられる加振機構5と、下部振動体3を弾性支持するコイルばね防振弾性体6とで基本的に構成されている。また、下部振動体3の上流側端部には、トラフ1の上流側の振動角を調整するためのカウンターウェイト7が取り付けられている。これらの各構成部材は、被搬送材への鉄錆の混入防止のために、後述する加振機構5の一部以外の全てをステンレス鋼製としている。前記上部振動体2は、板状の部材であり、トラフ1下部の取付ブロック1bの下面にネジ止めされる。その搬送方向の両端部は、それぞれ上流側と下流側の第1の板ばね4a、4bの組込姿勢に応じた角度で下方へ曲げられている。また、両側部は下方へほぼ垂直に曲げられており、これにより加振機構5へ水や埃が侵入しにくくなるとともに、上部振動体2自体の剛性が高められている。そして、中央部には加振機構5取付用の固定ネジ8を通す長孔2aが搬送方向と平行に2つ設けられ、加振機構5の組込位置を搬送方向に移動できるようになっている。前記下部振動体3の中央部には、加振機構5を貫通させ、運転中も加振機構5と干渉しない大きさの孔3aがあけられている。また、下部振動体3を支持するコイルばね6は、搬送方向の上流側と下流側に2つずつ設けられており、その上端部が下部振動体3に、下端部が床面Fにそれぞれ固定されている。前記第1の板ばね4a、4bは、上流側の板ばね4aが水平線に対して約60°の傾斜角度で組み込まれ、下流側の板ばね4bが鉛直方向に延びるように組み込まれている。これは、一般に、上流側と下流側の板ばねを同じ傾斜角度で組み込んだ場合、搬送部材の下流側の振動角が上流側よりも大きくなって、搬送が不安定になる傾向があるからである。すなわち、この実施形態では、下流側の板ばね4bの傾斜角度を上流側の板ばね4aよりも大きくすることにより、トラフ1の全長にわたって安定した振動角が得られ、搬送安定性が向上するようにしている。ここで、下流側の板ばね4bを鉛直方向に延びるように傾斜角度を90°として組み込んだのは、上部振動体2および下部振動体3の下流側の板ばね取付部を加工しやすくして、低コスト化を図るためである。このとき、トラフ1の搬送安定性を確保するには、上流側の板ばね4aの傾斜角度を50~70°にすることが好ましく、60°が最も好ましい。前記加振機構5は、図3に示すように、上部振動体2の下方に配されるウェイト9の本体部9aの上面に電磁石10を取り付け、この電磁石10と鉛直方向で対向する可動鉄心11を上部振動体2の下面に固定ネジ8で取り付け、ウェイト9と上部振動体2とを、電磁石10および可動鉄心11の取付部10a、11aを介して第1の板ばね4a、4bよりも剛性の高い第2の板ばね12で連結したものである。第2の板ばね12は、鉛直方向に延びるように組み込まれている。なお、電磁石10および可動鉄心11は、取付部10a、11aがステンレス鋼製で、それ以外が鉄製である。前記ウェイト9は、可動鉄心11および電磁石10の下方を覆う本体部9aと、可動鉄心11および電磁石10の周囲を覆う筒状部9bとからなり、その筒状部9bの下端を全周にわたって本体部9aに接続したもので、全体が下部振動体3と干渉しないように配されている。このため、ウェイト9自体がコンパクトな加振機構用カバーとなり、加振機構5への水や埃の侵入経路がウェイト9の筒状部9bと上部振動体2との間の隙間だけになるので、水や埃の侵入による加振機構5のトラブルが生じにくくなっている。また、その筒状部9bと上部振動体2との間の隙間にトラフ1の振動への影響が少ないスポンジ等を設置して、簡単にシール性を高めることもできる。この加振機構5では、電磁石10に交流電流を印加することにより、電磁石10が可動鉄心11を吸引する力が生じて上部振動体2とウェイト9を振動させる。このとき、電磁石10の駆動周波数を振動系全体の共振周波数に合わせて、効率よく大きな振幅が得られるようにする。上部振動体2が振動すると、これと一体に振動するトラフ1の搬送路1a上の被搬送材が略水平方向に直線的に搬送される。ここで、加振機構5の電磁石10と可動鉄心11は鉛直方向で対向するように配置されているので、その間に生じる吸引力の方向がトラフ1の振動方向と大きく異なっており、電磁石と可動鉄心を水平方向に対向させた場合と比べて、その隙間の寸法を同じにしてもトラフ1の振幅量を大きくとることができる。また、加振機構5全体が下部振動体3の中央部にあけた孔3aを貫通するように配置されているので、下部振動体3の上方に配置される場合と比べると、第2の板ばね12の固定スパンが広がって許容振幅量が大きくなっており板ばねの許容振幅量は固定スパンの2乗に比例する、トラフ1の振幅量を大きくとれる。さらに、この加振機構5では、上下の振動系で振幅と質量の積が同じになることから、トラフ1と上部振動体2と可動鉄心11とからなる上部振動系の質量を、ウェイト9と電磁石10とからなる下部振動系の質量よりも小さくして、トラフ1を効率よく大きな振幅で振動させられるようにしている。この振動式直進フィーダは、上述したように、トラフ1が取り付けられる上部振動体2と、上部振動体2に第2の板ばね12で連結されるウェイト9との間に電磁石10と可動鉄心11を鉛直方向で対向させた加振機構5を形成し、トラフ1側の振幅がウェイト9側の振幅よりも大きくなるように各部材の質量バランスを設定したので、被搬送材が軽量のものであっても、トラフ1の振幅量を大きくとって安定した搬送を行うことができる。また、加振機構5の組込位置が搬送方向に移動可能となっているので、被搬送材の搬送状態に応じて加振機構5の組込位置を移動させることにより、搬送方向の上流側と下流側の振動角のバランスを調整して、搬送状態を一層安定させることができる。しかも、上部振動体2を第2の板ばね12よりも剛性の低い第1の板ばね4a、4bと、防振ゴムや防振用板ばねに比べて低剛性のコイルばね6とで支持して、防振構造を2段にしているので、トラフ1の振幅量を大きくとっても外部への振動の伝播が少なく、周辺の計測装置等に悪影響を与えるおそれが少ない。なお、上述した実施形態では、上部振動体2に可動鉄心11を取り付け、ウェイト9に電磁石10を取り付けたが、これと逆に、電磁石を上部振動体に、可動鉄心をウェイトにそれぞれ取り付けるようにしてもよい。