"被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段とを具備し、該切削手段は、該切削ブレードを前端に装着したスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの前端部に固定され該切削ブレードを挟んで両側に配設され該切削ブレードに両側から切削液を供給するためのノズルアセンブリを有するホイールカバーとを備えた切削装置において、該ノズルアセンブリは、該スピンドルハウジングに装着されるブロックと、上端が該ブロックに固定され下端が該切削ブレードの刃先周辺部まで延材し且つ該切削ブレード側の側面に複数の噴射スリットを有する円筒形状のパイプノズルとからなり、該ブロック及び該パイプノズルの内部には切削液供給路が形成され、該切削液は該ブロックの内部の切削液供給路を介して該パイプノズルの内部の切削液供給路へと供給され、該ブロック内部の該切削液供給路は、上流側の縦孔部と、該縦孔部の内径よりも小さく、該パイプノズルの外径と略同等の内径のパイプノズル挿入孔とから形成され、該パイプノズルの上端部には該上端部の開口を内側から外方向へ押し広げられて拡径された拡径部が形成されており、該パイプノズル挿入孔に挿入された該パイプノズルは該拡径部が該パイプノズル挿入孔の上端部に掛止して該ブロックに固定されていることを特徴とする切削装置。ブレードクーラーノズルを固定するためのろう付と呼ばれる固定方法は、溶融させたろうを接合部分に行き渡らせて固定するため、水漏れが発生しにくく、細かな部品の結合方法として採用できるという利点があるが、ろう付作業実施者の技量により接合強度にムラが発生しやすいという欠点もある。このため、ブレードクーラーノズルが経年の使用によりブロックから下側へ脱落する不具合が発生することが懸念される。このような不具合が発生すると、加工中の半導体ウェーハに深刻な傷を形成してしまうことになる。特に、半導体製造プロセスにおいて製品完成間近の工程となるダイシング工程にて発生する不具合は、以前の工程が無駄になるなど、損失して甚大となるため、不具合発生を確実に防止するための技術が望まれていた。そこで、本発明は、切削液を供給するノズルの脱落防止が図られた切削装置を提供することを目的とする。請求項1に記載の発明によると、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段とを具備し、該切削手段は、該切削ブレードを前端に装着したスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの前端部に固定され該切削ブレードを挟んで両側に配設され該切削ブレードに両側から切削液を供給するためのノズルアセンブリを有するホイールカバーとを備えた切削装置において、該ノズルアセンブリは、該スピンドルハウジングに装着されるブロックと、上端が該ブロックに固定され下端が該切削ブレードの刃先周辺部まで延材し且つ該切削ブレード側の側面に複数の噴射スリットを有する円筒形状のパイプノズルとからなり、該ブロック及び該パイプノズルの内部には切削液供給路が形成され、該切削液は該ブロックの内部の切削液供給路を介して該パイプノズルの内部の切削液供給路へと供給され、該ブロック内部の該切削液供給路は、上流側の縦孔部と、該縦孔部の内径よりも小さく、該パイプノズルの外径と略同等の内径のパイプノズル挿入孔とから形成され、該パイプノズルの上端部には該上端部の開口を内側から外方向へ押し広げられて拡径された拡径部が形成されており、該パイプノズル挿入孔に挿入された該パイプノズルは該拡径部が該パイプノズル挿入孔の上端部に掛止して該ブロックに固定されていることを特徴とする切削装置が提供される。本発明によると、ブロック内のパイプノズル挿入孔に挿入されたパイプノズルは拡径部がパイプノズル挿入孔の上端部に掛止するため、パイプノズルの脱落を確実に防止することができ、脱落に伴う不具合の発生を防止できる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は半導体ウェーハをダイシングして個々のチップデバイスに分割することのできる本発明の一実施形態に係る切削装置2の外観を示している。切削装置2の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル4が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像ユニットによって撮像された画像が表示されるCRT等の表示モニタ6が設けられている。図2に示すように、ダイシング対象のウェーハWの表面においては、第1のストリートS1と第2ストリートS2とが直交して形成されており、第1のストリートS1と第2のストリートS2とによって区画されて多数のデバイスDがウェーハW上に形成されている。ウェーハWは粘着テープであるダイシングテープTに貼着され、ダイシングテープTの外周縁部は環状フレームFに貼着されている。これにより、ウェーハWはダイシングテープTを介してフレームFに支持された状態となり、図1に示したウェーハカセット8中にウェーハが複数枚例えば25枚収容される。ウェーハカセット8は上下動可能なカセットエレベータ9上に載置される。ウェーハカセット8の後方には、ウェーハカセット8から切削前のウェーハWを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット8に搬入する搬出入機構10が配設されている。ウェーハカセット8と搬出入機構10との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域12が設けられており、仮置き領域12には、ウェーハWを一定の位置に位置合わせする位置合わせ機構14が配設されている。仮置き領域12の近傍には、ウェーハWと一体となったフレームFを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送機構16が配設されており、仮置き領域12に搬出されたウェーハWは、搬送機構16により吸着されてチャックテーブル18上に搬送され、このチャックテーブル18に吸引されるとともに、複数の固定機構19によりフレームFが固定されることでチャックテーブル18上に保持される。チャックテーブル18は、回転可能且つX軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル18のX軸方向の移動経路の上方には、ウェーハWの切削すべきストリートを検出するアライメント機構20が配設されている。アライメント機構20は、ウェーハWの表面を撮像する撮像ユニット22を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像ユニット22によって取得された画像は、表示モニタ6に表示される。アライメント機構20の左側には、チャックテーブル18に保持されたウェーハWに対して切削加工を施す切削ユニット24が配設されている。切削ユニット24はアライメント機構20と一体的に構成されており、両者が連動してY軸方向及びZ軸方向に移動する。切削ユニット24は、回転可能なスピンドル26の先端に切削ブレード28が装着されて構成され、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード28は撮像ユニット22のX軸方向の延長線上に位置している。以上の構成とする切削装置2においては、被加工物としてのウェーハWを保持する保持手段として機能するチャックテーブル18と、保持手段に保持された被加工物を切削するための切削ブレード28を備えた切削手段としての切削ユニット24が具備された構成となっている。図3は、切削ユニット24の斜視図を示すものであり、切削ユニット24は、切削ブレード28を前端に装着したスピンドル26を回転自在に支持するスピンドルハウジング29と、スピンドルハウジング29の前端部に固定され、切削ブレード28を挟んで両側に配設され切削ブレード28に両側から切削液を供給するためのノズルアセンブリ41を有するホイールカバー40と、を含む。ホイールカバー40は、スピンドルハウジング29に対して固定されるとともに、下方に切削ブレード28を収容する空間を形成し、切削ブレード28を上側から覆うように構成されている。ホイールカバー40の一端側便宜上後端側とするには、図示せぬ切削液供給手段から切削液が供給される切削液供給用ブロック71が設けられている。この切削液供給用ブロック71の下部において、切削ブレード28と対向する部位には噴射ノズル72が設けられており、ジョイント73を介して供給される切削液が切削ブレード28に対して噴射されるように構成されている。切削液供給用ブロック71において、噴射ノズル72を挟んでパイプノズル43,44と反対側の部位には、ウェーハ洗浄用ノズル74,75が設けられており、ジョイント76を介して供給される切削液がウェーハに対して噴射されるように構成されている。ホイールカバー40の他端側便宜上前端側とするには、図示せぬ切削液供給手段から切削液が供給されるノズルアセンブリ41が設けられている。ノズルアセンブリ41は、図示せぬエアーシリンダのピストンロッドに連結され、ホイールカバー40から離れた位置に移動させることで、切削ブレード28の交換作業などを可能とすべく構成される。図4及び図5に示されるように、ノズルアセンブリ41は、ホイールカバー40に装着されるブロック42と、一対のパイプノズル43,44を備えている。ブロック42は、前述のピストンロッドに連結されるものであり、直方体形状のブロック本体42aと、ブロック本体42aから延設されて図示せぬピストンロッドに連結するための連結部42b図5を有する。ブロック本体42aの上側から上下中途部にかけて2本の縦孔部42c,42dが形成されており、縦孔部42c,42dにて切削液供給路42g,42hの一部が形成される。縦孔部42c,42dには、上方からジョイント51c,51d図3参照がそれぞれ螺嵌され、図示せぬ切削液供給手段から供給される切削液が、ジョイント51c,51dを経由して切削液供給路42g,42hへと供給される。さらに、ブロック本体42aには、縦孔部42c,42dの各底部からブロック本体42aの下側に貫通するように、パイプノズル挿入孔42j,42kが形成されている。これにより、ブロック42内部の切削液供給路42g,42hは、上流側の縦孔部41c,41dと、縦孔部41c,41dの内径よりも小さく、パイプノズル43,44の外径と略同等の内径のパイプノズル挿入孔42j,42kと、から形成される。パイプノズル挿入孔42j,42kは、縦孔部41c,41dよりも下流側に形成される。パイプノズル43,44は、内部に切削液供給路43c,44cが形成される管部材であり、上下方向に伸びるように配置される縦管部43d,44dと、縦管部43d,44dよりも下方に位置する横管部43e,44eと、縦管部43d,44dと横管部43e,44eとを連結する部位となる屈曲管部43f,44fとを有しており、略L字状をなすように構成されるものである。パイプノズル43,44の縦管部43d,44dは、ブロック本体42aのパイプノズル挿入孔42j,42kに対し、縦孔部42c,42dと反対側のパイプノズル挿入孔42j,42kの開口部から挿入され、パイプノズル43,44の上端部43a,44aが縦孔部42c,42d内に位置するように配置される。これにより、パイプノズル43,44に形成される切削液供給路43c,44cが、ブロック本体42aに形成される切削液供給路42g,42hと連通する。ブロック本体42aのパイプノズル挿入孔42j,42kは離間して配置されており、パイプノズル挿入孔42j,42kに上端部43a,44aが挿入されたパイプノズル43,44は、互いに対向するように離間して配置される。これにより、パイプノズル43,44の横管部43e,44eは互いに対向して配置され、横管部43e,44eの間に切削ブレード28が配置されるレイアウトが実現される。パイプノズル43,44の横管部43e,44eにおいて、切削ブレード28に対向する側には、それぞれ複数の噴射スリット45sが間隔をあけて配置されており図5参照、切削液供給路43c,44cに供給された切削液が噴射スリット45sから放出され、切削ブレード28が冷却される。以上の構成とするノズルアセンブリ41は、スピンドルハウジング29に装着されるブロック42と、上端がブロック42に固定され下端となる横管部43e,44eが切削ブレード28の刃先周辺部まで延材し且つ切削ブレード28側の側面に複数の噴射スリット45sを有する円筒形状のパイプノズル43,44とからなり、ブロック42及びパイプノズル43,44の内部には切削液供給路42g,42h,43c,44cが形成され、切削液はブロック42を介してパイプノズル43,44へと切削液供給路42g,42h,43c,44cを通って供給される。そして、図4に示すように、パイプノズル43,44の上端部43a,44aには、この上端部43a,44aの開口を内側から外方向へ押し広げられて拡径された拡径部43k,44kが形成されている。この拡径部43k,44kの具体的な形成方法は特に限定されるのではないが、例えば、図6に示すように、パイプノズル43の上端部43aを縦孔部42cに挿入した状態とするとともに、縦孔部42cの上側の開放部からパイプノズル43の上端部43aの開口に棒状の治具60を垂直に挿入し、この治具60を傾けて拡径部43kを形成することができる。ブロック本体42aの下面42mにおけるパイプノズル挿入孔42jの開口部には、パイプノズル43の横管部43eの向きの固定や、ブロック本体42aとパイプノズル挿入孔42jの間の隙間の封止による切削液の漏れ防止などを目的として、ろう付け61がなされる。そして、以上の構成によれば、図4に示すように、ブロック42内のパイプノズル挿入孔42j,42kに挿入されたパイプノズル43,44は拡径部43k,44kがパイプノズル挿入孔42j,42kの上端部、つまりは、パイプノズル挿入孔42j,42kと縦孔部42c,42dの境界部46a,46bに掛止してブロック42ブロック本体42aに固定された状態とすることができる。この状態が実現されることにより、パイプノズル43,44がブロック42から抜け落ちることを確実に防止することが可能となる。なお、パイプノズル43,44とブロック本体42aの間にはろう付け61が施されるため、このろう付け61によってもパイプノズル43,44の脱落は防止されるものであるが、仮にこのろう付け61の箇所が剥離した場合であっても、本実施形態によれば、パイプノズル43,44の脱落を防止することが可能となるものである。加えて、図6に示される例により拡径部43kを形成することによれば、例えば、従来はろう付け61によってパイプノズル43の固定を行っていた構成に対し、パイプノズル43の上端部43aを押し広げるという簡易な工程を付加するだけで本発明を実施することができ、螺子などの追加部品を要することなく、容易にパイプノズル43の脱落防止の効果が得られる。"