起振体と、該起振体の外周に配置され該起振体の回転により撓み変形される可撓性を有した筒形状の外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する剛性を有した第1内歯歯車と、該第1内歯歯車に並設され前記外歯歯車と内接噛合する剛性を有した第2内歯歯車と、を備えた撓み噛合い式歯車装置において、前記外歯歯車と前記第1内歯歯車の噛合い部および前記外歯歯車と前記第2内歯歯車の噛合い部の少なくとも一方は、第1領域と該第1領域よりも軸方向内側に位置する第2領域とを有し、且つ、前記第1領域において、前記外歯歯車の径方向内側に隙間が設けられ、前記外歯歯車は、組立て前の状態において、前記第1領域に対応する部分の歯先径が前記第2領域に対応する部分の歯先径より大きく、且つ該歯先径が該第1領域と該第2領域との間で非連続的に変化するか、該歯先径の軸方向における変化率が該第1領域と該第2領域とで異なることを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。起振体と、該起振体の外周に配置され該起振体の回転により撓み変形される可撓性を有した筒形状の外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する剛性を有した第1内歯歯車と、該第1内歯歯車に並設され前記外歯歯車と内接噛合する剛性を有した第2内歯歯車と、を備えた撓み噛合い式歯車装置において、前記外歯歯車と前記第1内歯歯車の噛合い部および前記外歯歯車と前記第2内歯歯車の噛合い部の少なくとも一方は、第1領域と該第1領域よりも軸方向内側に位置する第2領域とを有し、且つ、前記第1領域において、前記外歯歯車の径方向内側に隙間が設けられ、前記第1、第2内歯歯車は、組立て前の状態において、前記第1領域に対応する部分の歯先径が前記第2領域に対応する部分の歯先径より小さく、且つ該歯先径が該第1領域と該第2領域との間で非連続的に変化するか、該歯先径の軸方向における変化率が該第1領域と該第2領域とで異なることを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。請求項1または2において、前記外歯歯車または前記第1、第2内歯歯車の前記第2領域に対応する部分の歯先径は、軸方向で一定とされていることを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。請求項1において、前記外歯歯車の前記第1領域に対応する部分の歯先径は、軸方向外側の歯先径が軸方向内側の歯先径より大きく、軸方向に直線的または曲線的に変化することを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。請求項2において、前記第1、第2内歯歯車の前記第1領域に対応する部分の歯先径は、軸方向外側の歯先径が軸方向内側の歯先径より小さく、軸方向に直線的または曲線的に変化することを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。起振体と、該起振体の外周に配置され該起振体の回転により撓み変形される可撓性を有した筒形状の外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する剛性を有した第1内歯歯車と、該第1内歯歯車に並設され前記外歯歯車と内接噛合する剛性を有した第2内歯歯車と、を備えた撓み噛合い式歯車装置において、前記外歯歯車と前記第1内歯歯車の噛合い部および前記外歯歯車と前記第2内歯歯車の噛合い部の少なくとも一方は、第1領域と該第1領域よりも軸方向内側に位置する第2領域とを有し、且つ、前記第1領域において、前記外歯歯車の径方向内側に隙間が設けられ、前記外歯歯車および前記第1、第2内歯歯車のうち少なくとも一方の歯厚は、前記第1領域に対応する部分の方が前記第2領域に対応する部分より大きいことを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。請求項6において、前記歯厚は、前記第1領域と前記第2領域との間で非連続的に変化するか、該歯厚の軸方向における変化率が該第1領域と該第2領域とで異なることを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。請求項6または7において、前記外歯歯車または前記第1、第2内歯歯車の前記第2領域に対応する部分の歯厚は、軸方向で一定とされていることを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。請求項6乃至8のいずれかにおいて、前記外歯歯車または前記第1、第2内歯歯車の前記第1領域に対応する部分の歯厚は、軸方向外側の歯厚が軸方向内側の歯厚より大きく、軸方向に直線的または曲線的に変化することを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。請求項1乃至9のいずれかにおいて、前記起振体と前記外歯歯車との間に、転動体と該転動体の外側に配置される外輪とを有する起振体軸受を備え、当該撓み噛合い式歯車装置に負荷がかかった状態において、前記外歯歯車の前記2つの噛合い部の間に位置する部分の内周面が前記外輪の外周面に接触する構成とされていることを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。請求項1乃至10のいずれかにおいて、更に、前記外歯歯車には、前記第1領域に対応する部分と前記第2領域に対応する部分との間に溝が設けられていることを特徴とする撓み噛合い式歯車装置。しかしながら、特許文献1に記載の撓み噛合い式歯車装置においては、撓み噛合い式歯車装置にかかる負荷によって内歯および外歯の摩耗が進行すると、バックラッシが増加し、該撓み噛合い式歯車装置が組み込まれている機器の精度低下の要因となるという問題があった。そこで、本発明は、前記の問題点を解決するべくなされたもので、外歯歯車の外歯若しくは内歯歯車の内歯の摩耗によるバックラッシの増加を抑制可能とする撓み噛合い式歯車装置を提供することを課題とする。本発明は、起振体と、該起振体の外周に配置され該起振体の回転により撓み変形される可撓性を有した筒形状の外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する剛性を有した第1内歯歯車と、該第1内歯歯車に並設され前記外歯歯車と内接噛合する剛性を有した第2内歯歯車と、を備えた撓み噛合い式歯車装置において、前記外歯歯車と前記第1内歯歯車の噛合い部および前記外歯歯車と前記第2内歯歯車の噛合い部の少なくとも一方が、第1領域と該第1領域よりも軸方向内側に位置する第2領域とを有し、且つ、前記第1領域において、前記外歯歯車の径方向内側に隙間が設けられ、前記外歯歯車が、組立て前の状態において、前記第1領域に対応する部分の歯先径が前記第2領域に対応する部分の歯先径より大きく、且つ該歯先径が該第1領域と該第2領域との間で非連続的に変化するか、該歯先径の軸方向における変化率が該第1領域と該第2領域とで異なることにより、前記課題を解決したものである。本発明においては、外歯歯車が、組立て前の状態において、第1領域に対応する部分の歯先径が第2領域に対応する部分の歯先径より大きく、且つ歯先径が第1領域と第2領域との間で非連続的に変化するか、歯先径の軸方向における変化率が第1領域と第2領域とで異なる形状をしているので、回転開始前の状態において、外歯歯車と第1、第2内歯歯車は、第1領域のバックラッシが第2領域のバックラッシより小さい状態で噛み合っていることになる。そのため、第1領域における小さいバックラッシでの起動回転開始が可能となる。一方、運転中回転中に負荷が増大した場合、第1領域において外歯歯車の径方向内側に隙間が設けられているので、外歯歯車の第1領域に対応する部分は、径方向内側、すなわち内歯歯車から離れる方向に変形することができる。そのため、第1領域における外歯歯車の磨耗が抑制され、起動時のバックラッシ低減という第1領域における外歯歯車の機能が損なわれることも抑制される。なお、歯先径が第1領域と第2領域との間で非連続的に変化するか、歯先径の軸方向における変化率が第1領域と第2領域とで異なるについては、両方の状態を総括して歯先径が、第1領域と第2領域とで段階的に変化すると表現することもできる。また、歯先径が第1領域と第2領域との間で非連続的に変化するとは、軸方向の特定位置第1領域と第2領域の境界に該当する位置で、軸方向に対して90度の傾きで歯先径が変化することをいう。また、上記課題は、内歯歯車の形状を工夫することによっても解決可能であり、この場合には、本発明は、起振体と、該起振体の外周に配置され該起振体の回転により撓み変形される可撓性を有した筒形状の外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する剛性を有した第1内歯歯車と、該第1内歯歯車に並設され前記外歯歯車と内接噛合する剛性を有した第2内歯歯車と、を備えた撓み噛合い式歯車装置において、前記外歯歯車と前記第1内歯歯車の噛合い部および前記外歯歯車と前記第2内歯歯車の噛合い部の少なくとも一方が、第1領域と該第1領域よりも軸方向内側に位置する第2領域とを有し、且つ、前記第1領域において、前記外歯歯車の径方向内側に隙間が設けられ、前記第1、第2内歯歯車が、組立て前の状態において、前記第1領域に対応する部分の歯先径が前記第2領域に対応する部分の歯先径より小さく、且つ該歯先径が該第1領域と該第2領域との間で非連続的に変化するか、該歯先径の軸方向における変化率が該第1領域と該第2領域とで異なる、と捉えられる。なお、上記のように、外歯及び内歯の歯先ではなく、外歯及び内歯の歯厚に着目することも可能であり、その場合、本発明は、起振体と、該起振体の外周に配置され該起振体の回転により撓み変形される可撓性を有した筒形状の外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する剛性を有した第1内歯歯車と、該第1内歯歯車に並設され前記外歯歯車と内接噛合する剛性を有した第2内歯歯車と、を備えた撓み噛合い式歯車装置において、前記外歯歯車と前記第1内歯歯車の噛合い部および前記外歯歯車と前記第2内歯歯車の噛合い部の少なくとも一方が、第1領域と該第1領域よりも軸方向内側に位置する第2領域とを有し、且つ、前記第1領域において、前記外歯歯車の径方向内側に隙間が設けられ、前記外歯歯車および前記第1、第2内歯歯車のうち少なくとも一方の歯厚は、前記第1領域に対応する部分の方が前記第2領域に対応する部分より大きい、と捉えることも可能である。本発明によれば、外歯歯車の外歯若しくは内歯歯車の内歯の摩耗によるバックラッシの増加が抑制可能となる。以下、図面を参照して、本発明の第1実施形態の一例を詳細に説明する。なお、図4~図6では、外歯や内歯や隙間の様子が分かるようにそれらを誇張して示している。最初に、本実施形態の全体構成について、概略的に説明する。撓み噛合い式歯車装置100は、図1~図5に示す如く、起振体104と、起振体104の外周に配置され起振体104の回転により撓み変形される可撓性を有した筒形状の外歯歯車120A、120B120と、外歯歯車120Aが内接噛合する剛性を有した減速用内歯歯車130A第1内歯歯車と、減速用内歯歯車130Aに並設され外歯歯車120Bと内接噛合する剛性を有した出力用内歯歯車130B第2内歯歯車と、を備えているなお、減速用内歯歯車130Aと出力用内歯歯車130Bを併せて、単に内歯歯車130とも称する。そして、外歯歯車120Aと減速用内歯歯車130Aの噛合い部129Aおよび外歯歯車120Bと出力用内歯歯車130Bの噛合い部129Bはそれぞれ、第1領域Fpと第1領域Fpよりも軸方向O内側に位置する第2領域Spとを有している。第1領域Fpにおいて、外歯歯車120の径方向R内側に隙間Gpが設けられている。ここで、外歯歯車120は、組立て前の状態において、第1領域Fpに対応する部分の外歯歯車120の中心から外歯124の歯先までの距離を表す歯先径が第2領域Spに対応する部分の歯先径より大きくされている。そして、その歯先径の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なるようにされている。即ち、歯先径が第1領域Fpと第2領域Spとで段階的に変化するようにされている。なお、噛合い部129A129Bは、図4で示せば、外歯124A124Bと内歯128A128Bとの重なり部分をいう。そして、第1、第2領域Fp、Spは、噛合い部129A129Bを構成して、図4で示す如く、一点鎖線BLの位置で互いの境界が規定されている。第1、第2領域Fp、Spにおいて実際に外歯124と内歯128とが接触している部分がそれぞれ、第1接触部129AA129BA、第2接触部129AB129BBとして模式的に表示してある。この実施形態では、外歯歯車120が、組立て前の状態において、歯先径の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なるようにされており、内歯128との関係でいえば、第1領域Fpにおける外歯124の歯先Ttoと内歯128の歯先Ttiとの距離Lfの変化率Rfと、第2領域Spにおける外歯124の歯先Ttoと内歯128の歯先Ttiとの距離Lsの変化率Rsとが段階的に異なっている後述。以下、各構成要素について詳細に説明を行う。起振体104は、図2、図3に示す如く、略柱形状である。詳しく説明すると、起振体104は、偏心偏心量Lした位置を中心とする一定の曲率半径r1による噛合い範囲FAを備え、複数の曲率半径を組み合わせた形状とされている。そして、起振体104は、噛合い範囲FAで、外歯歯車120A、120Bと減速用内歯歯車130A、出力用内歯歯車130Bとの噛合い状態を実現するようにされている。起振体104には、中央に図示しない入力軸が挿入される入力軸孔106が形成されている。入力軸が挿入され回転した際に、起振体104が入力軸と一体で回転するように、入力軸孔106にはキー溝108が設けられている。起振体軸受110は、図1、図2、図4に示す如く、起振体104の外側と外歯歯車120の内側との間に配置される軸受である。図4に示す如く、起振体軸受110A110Bは、内輪112、保持器114A114B、転動体としてのころ116A116Bと、外輪118A118Bと、から構成される。内輪112は、起振体軸受110A、110Bに対して一体化されており、起振体104の外周に接触配置され、ころ116A、116Bに接触している。ころ116A116Bは保持器114A114Bに回転可能に保持されている。なお、ころ116A116Bは、円柱形状であればよく、ニードル形状も含む。転動体としては、ボールを用いてもよい。外輪118A118Bは、ころ116A116Bの外側に配置される。外輪118A118Bは、起振体104の回転により撓み変形し、その外側に配置される外歯歯車120A120Bを変形させる。なお、図4に示す如く、外輪118A118Bの端部118AA118BAは、軸方向Oで外周面が外側に向かって径方向Rの内側に傾斜しており、外輪118A118Bの中央部の厚みTcに比べて薄くされている厚みTee。このため、外輪118A118Bの外側に配置される外歯歯車120との間には、軸方向Oの外側に向かって拡大する隙間Gpが設けられている。この実施形態では、隙間Gpは、軸方向Oの第1領域Fpと第2領域Spとを分離する一点鎖線BLの位置から形成されている。外歯歯車120は、図1、図2、図4、図5に示す如く、基部材122と、外歯124と、から構成され筒形状とされている。基部材122は、可撓性を有した筒状部材であり、起振体軸受110の外側に配置される。即ち、外歯歯車120は、起振体軸受110の転動体によって回転可能に支持されている。図5に示す如く、組立て前の状態においては、外歯歯車120は撓まず、基部材122は軸方向に平行とされている。これに対し、図4、図6Aに示す如く、組立て後、即ち外歯歯車120を起振体軸受110の外側に配置させて内歯歯車130の内側に組込んだ後の状態においては、外歯歯車120は径方向R内側に若干撓み、外歯歯車120は破線の形状から実線の形状に変形する。なお、この状態で、図4、図6Aに示す如く、隙間Gpは確保される。図2、図4、図5に示す如く、外歯124124A、124Bは軸方向Oに分割された形態であるが、それぞれを支持する基部材122が一体とされ共通とされている。外歯124A124Bは、軸方向Oの第1領域Fpと第2領域Spとを分離する一点鎖線BLの位置で、外歯端部124AA124BAとその内側の外歯中央部124AB124BBとに分けられている。図5Aに示す如く、外歯124A124Bの歯厚Thoは外歯端部124AA124BAから外歯中央部124AB124BBにかけて軸方向Oで一定とされ、外歯124A124Bの歯面Tfoは軸方向Oに平行とされている。それに対して、図5Bに示す如く、外歯124A124Bの歯先Ttoの高さは、外歯端部124AA124BAの最端部で最大Ho1とされ、当該一点鎖線BLの位置で最小Ho2となるように直線的に変更されている。即ち、外歯歯車120の第1領域Fpに対応する部分である外歯端部124AA124BAの歯先径は、軸方向O外側の歯先径が軸方向O内側の歯先径よりも大きく、軸方向Oに直線的に変化している。外歯中央部124AB124BBでは、歯先Ttoの高さが当該一点鎖線BLの位置の歯先Ttoの高さHo2と同一で一定とされている。即ち、第2領域Spに対応する部分である外歯中央部124AB124BBの歯先径は、軸方向Oで一定とされている。このようにして、外歯歯車120は、組立て前の状態において、第1領域Fpに対応する部分外歯端部124AA、124BAの歯先径が第2領域Spに対応する部分外歯中央部124AB、124BBの歯先径より大きく、且つ歯先径の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なるようにされている。なお、外歯124は、理論噛合を実現するようにトロコイド曲線に基づいて歯形が決定されている。減速用内歯歯車130Aは、図2、図4に示す如く、剛性を有した部材で形成されている。減速用内歯歯車130Aは、外歯歯車120Aの外歯124Aの歯数よりもii=2、4、枚だけ多い歯数を備える。減速用内歯歯車130Aには、図示しないケーシングがボルト孔132Aを介して固定される。そして、減速用内歯歯車130Aは、外歯歯車120Aと噛合することによって、起振体104の回転の減速に寄与する。減速用内歯歯車130Aの内歯128Aは、第1、第2領域Fp、Spでその歯先Ttiと歯厚Thiとが軸方向Oと平行とされている面取り部を除く。即ち、減速用内歯歯車130Aの第1、第2領域Fp、Spに対応する部分である内歯128Aの歯先径は、軸方向Oで一定とされている。内歯128Aは、トロコイド曲線に基づいた外歯124Aに理論噛合するように成形されている。一方、出力用内歯歯車130Bも、図2、図4に示す如く、減速用内歯歯車130Aと同様に、剛性を有した部材で形成されている。出力用内歯歯車130Bは、外歯歯車120Bの外歯124Bの歯数と同一の内歯128Bの歯数を備え等速伝達、その歯先Ttiと歯厚Thiとは第1、第2領域Fp、Spで軸方向Oと平行とされている面取り部を除く。即ち、出力用内歯歯車130Bの第1、第2領域Fp、Spに対応する部分である内歯128Bの歯先径は、軸方向Oで一定とされている。ここで、図6Aに示す如く、第1領域Fpにおける外歯124A124Bの歯先Ttoと内歯128A128Bの歯先Ttiとの距離は、最端部面取り部を除くで歯先同士の重なっている距離が長く、最大符号L1となる。これに対して、第1領域Fpと第2領域Spとの境界となる一点鎖線BLの位置で当該距離は、歯先同士の重なっている距離が短く、最小符号L2となる。このため、第1領域Fpにおける外歯124の歯先Ttoと内歯128の歯先Ttiとの距離Lfの変化率Rfは式1で表される。Rf=Lf/O1=Lo1-Lo2/O1>01同様に考えて、第2領域Spにおける外歯124A124Bの歯先Ttoと内歯128A128Bの歯先Ttiとの距離は、一定の値符号Lo2となる。このため、第2領域Spにおける外歯124の歯先Ttoと内歯128の歯先Ttiとの距離Lsの変化率Rsは式2で表される。Rs=Ls/O2=Lo2-Lo2/O2=02即ち、第1領域Fpにおける距離Lfの変化率Rfが第2領域Spにおける距離Lsの変化率Rsよりも大きくされているRf>Rsことにより、外歯124A124Bの歯先Ttoと内歯128A128Bの歯先Ttiとの距離は第1領域Fpと第2領域Spとで段階的に異なるようにされている。なお、出力用内歯歯車130Bには、図示しない出力軸がボルト孔132Bを介して取り付けられて、外歯歯車120Bの自転と同一の回転が外部に出力される。次に、撓み噛合い式歯車装置100の動作について、図2、図3、図6を用いて説明する。図示しない入力軸の回転により、起振体104が回転すると、その回転状態に応じて、外歯歯車120が起振体軸受110を介して撓み変形する即ち、外歯歯車120Bは外歯歯車120Aと同位相で撓み変形する。外歯歯車120が起振体104で撓み変形されることにより、噛合い範囲FAで、外歯124が径方向Rで外側に移動して、内歯歯車130の内歯128に噛合する。噛合に際して、起振体軸受110A、110Bは、軸方向Oでそれぞれ、外歯124Aを支持する部分と、外歯124Bを支持する部分とされている。このため、減速用内歯歯車130Aと外歯124Aとの噛合を原因とするころ116Bのスキュー、及び出力用内歯歯車130Bと外歯124Bとの噛合を原因とするころ116Aのスキュー、のそれぞれが防止されている。そして、外歯124は、軸方向Oにおいて、減速用内歯歯車130Aに噛合する部分外歯124Aと出力用内歯歯車130Bに噛合する部分外歯124Bとに分割されている。このため、外歯歯車120Aと減速用内歯歯車130Aとが噛合する際に、仮に外歯124Bに変形などがあってもその変形で外歯124Aに変形を生じさせることがない。同様に、外歯歯車120Bと出力用内歯歯車130Bとが噛合する際に、仮に外歯124Aに変形などがあってもその変形で外歯124Bに変形を生じることがない。つまり、外歯124を分割しておくことで、一方の外歯124A124Bの変形で他方の外歯124B124Aを変形させてその噛合関係を悪化させるといったことを防ぐことができる。図6Aに示す如く、第1領域Fpにおける外歯124A124Bの歯先Ttoと内歯128A128Bの歯先Ttiとの距離Lo1は、第2領域Spにおける外歯124A124Bの歯先Ttoと内歯128A128Bの歯先Ttiとの距離Lo2よりも長く保たれるLo1>Lo2。このため、第1領域Fpでは第2領域Spに比べて、深い噛合いを実現することができるバックラッシが小さい。一方、負荷時には、外歯124A124Bに外周から力が加わり、外歯端部124AA124BAが径方向Rの内側の隙間Gpに逃げて変形し、隙間Gpが減少する。即ち、図6Bに示す如く、第1領域Fpにおける外歯124A124Bの歯先Ttoと内歯128A128Bの歯先Ttiとの距離Lo1’は、第2領域Spにおける外歯124A124Bの歯先Ttoと内歯128A128Bの歯先Ttiとの距離Lo2とほぼ同じくなるLo1’≒Lo2。つまり、第1領域Fpでは、無負荷時に比べて噛合いの深さは浅くなる。従って、負荷時に外歯124A124B及び内歯128A128Bの摩耗が発生しても、無負荷時には外歯歯車120の変形が回復し、負荷時の摩耗が回避されている第1領域Fpにおける外歯124A124Bと内歯128A128Bが再び深く噛合うようになり、バックラッシの増加が抑制される。ここで、本実施形態においては、負荷時に、外歯歯車120の内周面が起振体軸受110の外輪118A、118Bの外周面に接触するような隙間Gpを設けているが、これに限定されず、例えば外歯歯車が、内周側に変形した後にも、起振体軸受の外輪との間に隙間が残存するように隙間Gpを設定してもよい。なお、本実施形態では、内歯128の歯先径が第1、第2領域Fp、Spにかかわらず軸方向Oで一定とされているので、外歯の歯先径だけでも、上述した噛合いの変化に対応したバックラッシの変化を同じく説明することができる。外歯歯車120Aと減速用内歯歯車130Aとの噛合位置は、起振体104の回転に伴い回転移動する。ここで、起振体104が1回転すると、外歯歯車120Aは減速用内歯歯車130Aとの歯数差だけ、回転位相が遅れる。つまり、減速用内歯歯車130Aによる減速比は外歯歯車120Aの歯数-減速用内歯歯車130Aの歯数/外歯歯車120Aの歯数として求めることができる。外歯歯車120Bと出力用内歯歯車130Bとは共に歯数が同一であるので、外歯歯車120Bと出力用内歯歯車130Bとは互いに噛合する部分が移動することなく、同一の歯同士で噛合することとなる。このため、出力用内歯歯車130Bから外歯歯車120Bの自転と同一の回転が出力される。結果として、出力用内歯歯車130Bからは、起振体104の回転を減速用内歯歯車130Aによる減速比に基づいて減速した出力を取り出すことができる。本実施形態においては、外歯歯車120が、組立て前の状態において、第1領域Fpに対応する部分の歯先径が第2領域Spに対応する部分の歯先径より大きく、且つ歯先径の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なる形状をしているので、回転開始前の状態において、外歯歯車120と内歯歯車130は、第1領域Fpのバックラッシが第2領域Spのバックラッシより小さい状態で噛み合っていることになる。そのため、第1領域Fpにおける小さいバックラッシでの起動回転開始が可能となる。一方、運転中回転中に負荷が増大した場合、第1領域Fpの外歯歯車120の径方向R内側に隙間Gpが設けられているので、外歯歯車120の第1領域Fpに対応する部分は、径方向R内側、すなわち内歯歯車130から離れる方向に変形することができる。そのため、第1領域Fpにおける外歯歯車120の磨耗が抑制され、起動時のバックラッシ低減という第1領域Fpにおける外歯歯車120の機能が損なわれることも抑制される。また、本実施形態においては、図4、図5A、Bに示す如く、外歯歯車120と内歯歯車130の第2領域Spに対応する部分の歯先径は、軸方向Oで一定とされている。このため、第2領域Spでは、軸方向Oで均一なトルク伝達がなされるので、撓み噛合い式歯車装置100に大きな負荷がかった際にも安定したトルク伝達が可能となり、外歯124及び内歯128の局所的な摩耗を防止することができる。また、本実施形態においては、外輪118A118Bの端部118AA118BAの外周面を傾斜させて、その中央部に比べて端部118AA118BAの厚みを薄くすることで、上述してきた隙間Gpを設けている。このため、隙間Gpを容易に、且つ正確に設けることができる。即ち、本実施形態においては、外歯歯車120の外歯124A124B若しくは内歯歯車130の内歯128A128Bの摩耗によるバックラッシの増加が抑制可能となる。本発明について第1実施形態を挙げて説明したが、本発明は第1実施形態に限定されるものではない。即ち本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでも無い。例えば第1実施形態においては、隙間Gpは径方向Rで第1領域Fpの内側のみに設けられていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図7A、Bに示す第2実施形態の如くであってもよい。図7Aは無負荷時の起振体軸受と外歯歯車と内歯歯車との関係の概略を示し、図7Bは負荷時の起振体軸受と外歯歯車と内歯歯車との関係の概略を示す。なお、図7A、Bにおいては保持器の図示は省略する以降の図も同様。また、図7Aでは、外歯歯車が、内歯歯車の内側に組み込んだ後の状態となっており、外歯歯車は本来、図4、図6Aに示した如く、若干撓んだ形状となる。しかし、その若干の撓みの図示は省略する以降の図も同様。第2実施形態では、図7A、Bに示す如く、軸方向Oで2つの噛合い部229A、229Bの互いに向かい合う端部であって、径方向Rで外歯歯車220と外輪218A、218Bとの間に別の隙間Gpcを設けている。即ち、第2実施形態では、撓み噛合い式歯車装置に負荷がかかった状態において、外歯歯車220の2つの噛合い部229A、229Bの間に位置する部分の内周面が外輪218A、218Bの外周面に接触する構成とされている。具体的には、図7Bに示す2本の一点鎖線BLcの間の外輪218A、218Bの互いに向かい合う端部の外周面が傾斜してその厚みTecがそれぞれの中央部分の厚みTcに比べて薄くされていることで、隙間Gpcが設けられている。このため、図7Aに示す如く、第1実施形態と同じく、第1領域Fpでは第2領域Spに比べて深い噛合いを実現することができるバックラッシが小さい。一方、負荷時には、外歯224A224Bに外周から力が加わり、第1実施形態と同じく、隙間Gpが減少する。同時に、外歯中央部224AB224BBの端部224ABA224BBAも径方向Rの内側の隙間Gpに逃げて変形し、隙間Gpcが減少する。即ち、図7Bに示す如く、第1領域Fpと2本の一点鎖線BLcの間の第2領域Spの部分を除く第2領域Spとは噛合いの深さがほぼ同等となり、2本の一点鎖線BLcの間の第2領域Spの部分ではそれよりも噛合いの深さが浅くなる。つまり、第1領域Fpと2本の一点鎖線BLcの間の第2領域Spの部分では無負荷時に比べて噛合いの深さは浅くなる。従って、負荷時に外歯224A224B及び内歯228A228Bの摩耗が発生しても、無負荷時には外歯歯車の変形が回復し、負荷時の摩耗が回避されている第1領域Fpと第2領域Spの端部における外歯224A224Bと内歯228A228Bとが再び深く噛合うようになり、バックラッシの増加が一層抑制される。なお、第2領域Spの端部における外歯の歯先が第1領域Fpにおける外歯の歯先と同様の形状となっている場合には、バックラッシの増加が更に一層抑制される。なお、この実施形態においても外歯歯車が内周側に変形した後にも、起振体軸受の外輪との間に隙間が残存するように隙間Gpを設定してもよい以降の実施形態についても同様。また、第1実施形態においては、外歯歯車120の第1領域Fpに対応する部分の歯先径は、軸方向O外側の歯先径が軸方向O内側の歯先径より大きく、軸方向に直線的に変化していた図5B、図8Aが、本発明はこれに限定されない。例えば、図8Bに示す第3実施形態の如く、外歯歯車の第1領域Fpに対応する部分である外歯端部324BAの歯先径は、軸方向Oに曲線的に変化していてもよい。なお、図8Bの点線で示されているのが図8Aの外歯124Bの形状である。或いは、図8Cに示す第4実施形態の如く、外歯歯車の第1領域Fpに対応する部分である外歯端部424BAの歯先径が、軸方向Oで途中まで一定とされ、そこから外歯中央部424BBとの境界線一点鎖線BLの位置まで直線的に変化していてもよい。この場合にも、歯先径の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なることとなる。或いは、図8Dに示す第5実施形態の如く、軸方向Oで外歯524Bの外歯端部524BAの歯先Ttoの高さHo1が、外歯中央部524BBの歯先Ttoの高さHo2よりも高く、いずれの歯先径も軸方向Oで一定とされていることで、歯先径が第1領域Fpと第2領域Spとで段階的に変化するようにしてもよいこの場合は、内歯の歯先Ttiの高さが一定とされて、外歯歯車の外歯424Bで軸方向Oの特定位置第1領域Fpと第2領域Spの境界線一点鎖線BLの位置で、軸方向Oに対して90度の傾きで歯先径が変化していることから、歯先径が第1領域Fpと第2領域Spとの間で非連続的に変化していることを実現している。或いは、図8Eに示す第6実施形態の如く、第1実施形態の外歯124Bの形状に軸方向Oで外歯端部624BAと外歯中央部624BBとを分離する溝Gr、即ち第1領域Fpに対応する部分と第2領域Spに対応する部分との間に溝Grを設けていてもよい。このような構成によれば、負荷がかかったときに、外歯歯車の第1領域の内周側への変形が円滑となる。また、第1、第2実施形態においては、隙間Gpは、外輪の端部の外周面を傾斜させ外輪の厚みを薄くするTc→Teeことで設けていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図9Aに示す第7実施形態の如く、外輪718A、718Bの厚みTを軸方向Oで変化させずに、外歯歯車720の内周面の端部720AA、720BBの径をその中央部の径に比べて大きく形成することで、隙間Gpを設けてもよい。或いは外輪の端部の厚みをその中央部に比べて薄くするとともに、外歯歯車の内周面の端部の径をその中央部の径に比べて大きく形成することで隙間Gpを設けてもよい。或いは、図9Bに示す第8実施形態の如く、径方向Rで外歯824A、824Bの外歯端部824AA、824BAの内側に起振体軸受810A、810Bを配置しない、即ち、径方向Rで外歯中央部824AB、824BBの内側にだけ起振体軸受810A、810Bを配置する意味的にはTee=0のことことで、隙間Gpを設けてもよい。或いは、径方向Rで外歯中央部の内側に存在する外輪が外歯端部の内側には配置されない構成であってもよい。或いは、図9Cに示す第9実施形態の如く、ころ916A、916Bの回転軸Kを軸方向Oに対して傾斜させることで隙間Gpを設けるようにしてもよい。具体的には、図9Cで示す如く、起振体軸受910に1対のテーパころ軸受を用い、そのころ916A、916Bの傾斜に沿って均一な厚みTeeが形成された外輪918A、918Bを用いる。そして軸方向Oに平行な内周面を持つ外歯歯車920をその外側に配置させ、外輪918A、918Bと外歯歯車920との間に隙間Gpを設けてもよい。このような構成によれば、第8実施形態と同様に外歯歯車920の内周面を加工することなく、加えてより大きなトルク伝達をすることが可能となる。また、上記実施形態においては、外歯歯車は、組立て前の状態において、第1領域Fpに対応する部分の歯先径が第2領域Spに対応する部分の歯先径より大きく、且つ歯先径が第1領域Fpと第2領域Spとの間で非連続的に変化するか、歯先径の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なるようにしていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図10A、B、図11A、Bに示す第10実施形態の如く内歯歯車の形状を工夫するようにしてもよい。図10Aは内歯歯車の概略を示す側面図を示し、図11Bはその正面図を示す。図11Aは無負荷時の起振体軸受と外歯歯車と内歯歯車との関係の概略を示し、図11Bは負荷時の起振体軸受と外歯歯車と内歯歯車との関係の概略を示す。第10実施形態では、内歯歯車1030は、第1領域Fpに対応する部分の歯先径が第2領域Spに対応する部分の歯先径より小さく、且つ歯先径の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なるようにされている。なお、内歯歯車1030の歯先径は、内歯歯車1030の中心から内歯1028の歯先までの距離で表される。具体的には、図10A、図11Aに示す如く、内歯1028A1028Bが、軸方向Oの第1領域Fpと第2領域Spとを分離する一点鎖線BLの位置で、内歯端部1028AA1028BAと内歯中央部1028AB1028BBとに分けられている。図10Bに示す如く、内歯1028A1028Bの歯厚Thiは内歯端部1028AA1028BAから内歯中央部1028AB1028BBにかけて軸方向Oで一定とされ、内歯1028A1028Bの歯面Tfiは軸方向Oに平行とされている。それに対して、図10Aに示す如く、内歯1028A1028Bの歯先Ttiの高さは、内歯端部1028AA1028BAの最端部で最大Hi1とされ、当該一点鎖線BLの位置で最小Hi2となるように直線的に変更されているなお、図示しないが曲線的に変更されていてもよい。即ち、内歯歯車1030の第1領域Fpに対応する部分である内歯端部1028AA1028BAの歯先径は、軸方向O外側の歯先径が軸方向O内側の歯先径よりも小さく、軸方向Oに直線的に変化している。内歯中央部1028AB1028BBでは、歯先Ttiの高さが当該一点鎖線BLの位置の歯先Ttiの高さHi2と同一で一定とされている。即ち、第2領域Spに対応する部分である内歯中央部1028AB1028BBの歯先径は、軸方向Oで一定とされている。なお、外歯1024A1024Bの歯先Ttoの高さは軸方向Oで同一とされている。図11Aに示す如く、第1領域Fpにおける外歯1024A1024Bの歯先Ttoと内歯1028A1028Bの歯先Ttiとの距離Li1は、第2領域Spにおける外歯1024A1024Bの歯先Ttoと内歯1028A1028Bの歯先Ttiとの距離Li2よりも長く保たれるLi1>Li2。このため、第1領域Fpでは第2領域Spに比べて、深い噛合いを実現することができるバックラッシが小さい。一方、負荷時には、外歯1024A1024Bに外周から力が加わり、外歯端部1024AA1024BAが径方向Rの内側の隙間Gpに逃げて変形し、隙間Gpが減少する。即ち、図11Bに示す如く、第1領域Fpでは、無負荷時に比べて噛合いの深さは浅くなる。従って、負荷時に外歯1024A1024B及び内歯1028A1028Bの摩耗が発生しても、無負荷時には外歯歯車の変形が回復し、負荷時の摩耗が回避されている第1領域Fpにおける外歯1024A1024Bと内歯1028A1028Bが再び深く噛合うようになり、バックラッシの増加が抑制される。なお、第10実施形態では、内歯1028A1028Bの歯先径だけが軸方向Oで変化していたが、外歯及び内歯の歯先径が軸方向Oで変化してもよい。また、第10実施形態では、内歯歯車1030の第1領域Fpに対応する部分の歯先径が軸方向Oに直線的に変化していたが、第3実施形態に準じて軸方向Oに曲線的に変化してもよい。また、上記実施形態においては、外歯歯車と内歯歯車の第2領域Spに対応する部分の歯先径は、軸方向Oで一定とされていたが、本発明はこれに限定されず、いずれの歯先径も軸方向Oで一定とされていなくてもよい。また、上記実施形態においては、外歯及び内歯の歯先に着目していたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図12A、B、図13A、Bに示す第11実施形態の如く外歯と内歯の歯厚に着目してもよい。図12Aは外歯歯車の組立て前の状態における概略を示す正面図を示し、図12Bはその側面図を示す。図13Aは無負荷時の起振体軸受と外歯歯車と内歯歯車との関係の概略を示し、図13Bは負荷時の起振体軸受と外歯歯車と内歯歯車との関係の概略を示す。なお、歯厚の大小については、径方向Rで同じ距離で比べるものとする。第11実施形態では、外歯歯車1120の歯厚は、第1領域Fpに対応する部分の方が第2領域Spに対応する部分より大きくされている。具体的には、図12A、図13Aに示す如く、外歯1124A1124Bが、軸方向Oの第1領域Fpと第2領域Spとを分離する一点鎖線BLの位置で、外歯端部1124AA1124BAと外歯中央部1124AB1124BBとに分けられている。図12Aに示す如く、外歯1124A1124Bの歯厚は、外歯端部1124AA1124BAの最端部で最大Tho1とされ、当該一点鎖線BLの位置で最小Tho2となるように一定の増分でいわば直線的に変更されているなお、図示しないがいわば曲線的に変更されていてもよい。即ち、外歯歯車1120の第1領域Fpに対応する部分である外歯端部1124AA1124BAの歯厚は、軸方向O外側の歯厚が軸方向Oの内側の歯厚より大きく、軸方向Oに直線的曲線的に変化している。外歯中央部1124AB1124BBでは、歯厚が当該一点鎖線BLの位置の歯厚Tho2と同一で一定とされている。即ち、第2領域Spに対応する部分である外歯中央部1124AB1124BBの歯厚は、軸方向Oで一定とされている。このようにして、外歯歯車1120の歯厚は、歯厚の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なるようにされている。それに対して、図12Bに示す如く、外歯1124A1124Bの歯先Ttoの高さは、外歯端部1124AA1124BAから外歯中央部1124AB1124BBにかけて軸方向で一定Hoとされている。なお、内歯1128A1128Bの歯厚Thiは、軸方向Oで一定とされ、軸方向Oに歯面Tfiが平行とされている。即ち、内歯歯車1130の第2領域Spに対応する部分の歯厚は、軸方向Oで一定とされている。図13Aに示す如く、第1領域Fpにおける外歯1124A1124Bの歯厚Tho1と内歯1128A1128Bの歯厚Thiとの和は、最端部で最大となる。これに対して、第1領域Fpと第2領域Spとの境界となる一点鎖線BLの位置で当該和が最小となる。このため、第1領域Fpにおける歯厚の和の変化率Qfは式3で表される。Qf=Tho1Thi-Tho2Thi/O1=Tho1-Tho2/O1>03同様に考えて、第2領域Spにおける外歯1124A1124Bの歯厚Tho2と内歯1128A1128Bの歯厚Thiとの和は、一定の値となる。このため、第2領域Spにおける歯厚の和の変化率Qsは式4で表される。Qs=Tho2Thi-Tho2Thi/O2=04即ち、第1領域Fpにおける歯厚の和の変化率Qfが第2領域Spにおける歯厚の和の変化率Qsよりも大きくされていることにより、外歯1124A1124Bの歯厚と内歯1128A1128Bの歯厚Thiとの和が第1領域Fpと第2領域Spとで段階的に異なるようにされている。このため、第1領域Fpでは第2領域Spの第2接触部1129AB1129BBに比べて、第1接触部1129AA1129BAにおける接触圧力を高く保つことができるバックラッシが小さい。一方、負荷時には、外歯1124A1124Bに外周から力が加わり、外歯端部1124AA1124BAが径方向Rの内側の隙間Gpに逃げて変形し、隙間Gpが減少する。即ち、図13Bに示す如く、第1領域Fpでは、無負荷時に比べて噛合いの深さは浅くなる。従って、負荷時に外歯1124A1124B及び内歯1128A1128Bの摩耗が発生しても、無負荷時には外歯歯車の変形が回復し、負荷時の摩耗が回避されている第1領域Fpにおける外歯1124A1124Bと内歯1128A1128Bが再び深く噛合うようになり、バックラッシの増加が抑制される。なお、第11実施形態では、外歯歯車1120の歯厚Thoだけが変化していたが、外歯歯車及び内歯歯車の両方の歯厚Tho、Thi若しくは内歯の歯厚Thiのみにおいて第1領域Fpに対応する部分の方が第2領域Spに対応する部分より大きくされていてもよい。また、第11実施形態では、外歯歯車1120の歯厚は、歯厚の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なるようにされていたが、第5実施形態と同様の思想に基づき軸方向Oの特定位置第1領域Fpと第2領域Spの境界線の位置で、軸方向Oに対して90度の傾きで歯厚が変化することで、歯厚が第1領域Fpと第2領域Spとの間で非連続的に変化するようにしてもよい。第11実施形態においては、第10実施形態までとは異なり、歯厚Tho、Thiに着目した実施形態の一例を示したに過ぎない。即ち、歯厚Tho、Thiに着目することで、上述してきた実施形態と同様の実施形態が可能である。例えば、撓み噛合い式歯車装置に負荷がかかった状態において、外歯歯車の2つの噛合い部の間に位置する部分の内周面が外輪の外周面に接触する構成とされていてもよい。或いは、外歯歯車には、第1領域Fpに対応する部分と第2領域Spに対応する部分との間に溝が設けられていてもよい。また、第11実施形態においては、外歯歯車1120及び内歯歯車1130の第2領域Spに対応する部分の歯厚は、軸方向Oで一定とされていたが、本発明はこれに限定されず、いずれの歯厚も軸方向Oで一定とされなくてもよい。なお、外歯歯車および内歯歯車の歯厚については、第1領域Fpと第2領域Spで連続的に変化してもよいし、歯厚の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで同一とされていてもよい。また、上記実施形態においては、径方向Rで隙間Gpを2つの噛合い部の第1領域Fpの内側にそれぞれ設けていたが、本発明はこれに限定されず、少なくとも1つの噛合い部の第1領域Fpの内側に隙間Gpが設けられていればよい。また、上記実施形態においては、起振体軸受が内輪と外輪とを備えていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、内輪がなく起振体と一体とされていてもよいし、外輪がなく転動体が直接的に外歯歯車を回転可能に支持してもよい。また、上記実施形態においては、外歯にトロコイド曲線に基づいた歯形としたが、本発明はこれに限定されない。外歯は、円弧歯形でもよいし、その他の歯形を用いてもよい。