"固定用部材と、前記固定用部材により直接もしくは間接的に一端側が固定されたアクチュエータ素子と、前記アクチュエータ素子の少なくとも一部分に配設された補強部材とを備えた駆動装置。前記アクチュエータ素子は、前記一端側の幅広部と他端側の幅狭部とを有し、前記補強部材が、前記幅狭部の少なくとも一部分に配設されている請求項1に記載の駆動装置。前記補強部材が、前記幅広部の少なくとも一部分にも配設されている請求項2に記載の駆動装置。前記補強部材が、前記幅狭部から前記幅広部へわたって連続的に配設されている請求項3に記載の駆動装置。前記補強部材が、前記アクチュエータ素子における前記幅狭部および前記幅広部に倣った幅の形状からなる請求項4に記載の駆動装置。レンズを駆動するレンズ駆動装置として構成されている請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の駆動装置。各々が前記レンズの光軸と直交する駆動面を有する複数のアクチュエータ素子が、前記レンズの光軸に沿って前記駆動面同士が対向するように配置され、前記複数のアクチュエータ素子の一端側がそれぞれ、前記固定用部材により固定され、前記レンズを保持するためのレンズ保持部材と、前記複数のアクチュエータ素子の各他端と前記レンズ保持部材の端部とを連結する連結部材とを備えた請求項6に記載の駆動装置。前記アクチュエータ素子の剛性をS1、前記補強部材の剛性をS2としたとき、S2>S1を満たす請求項7に記載の駆動装置。前記連結部材の剛性をS3としたとき、更に、S2>S3かつS1≧S3を満たす請求項8に記載の駆動装置。前記レンズ保持部材が、前記レンズを保持する保持部と、前記保持部を支持すると共に、前記保持部と前記連結部材とを接続する接続部とを有し、前記アクチュエータ素子の駆動面同士の間に、前記保持部が配置されている請求項7に記載の駆動装置。前記固定用部材に、前記保持部を部分的に挟む込むための開口が形成されている請求項10に記載の駆動装置。前記アクチュエータ素子の剛性をS1、前記補強部材の剛性をS2としたとき、S2>S1を満たす請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の駆動装置。前記アクチュエータ素子が、対向する一対の主面を有する平板状からなり、前記一対の主面のうちの少なくとも一方の面上に、前記補強部材としての補強層が配設されている請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の駆動装置。前記アクチュエータ素子が、ポリマーアクチュエータ素子である請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の駆動装置。前記ポリマーアクチュエータ素子は、一対の電極膜と、前記一対の電極膜の間に挿設された高分子膜とを有する請求項14に記載の駆動装置。前記アクチュエータ素子が、圧電素子またはバイメタル素子である請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の駆動装置。レンズと、前記レンズを駆動する駆動装置とを備え、前記駆動装置は、固定用部材と、前記固定用部材により直接もしくは間接的に一端側が固定されたアクチュエータ素子と、前記アクチュエータ素子の少なくとも一部分に配設された補強部材とを有するレンズモジュール。レンズと、前記レンズにより結像されてなる撮像信号を取得する撮像素子と、前記レンズを駆動する駆動装置とを備え、前記駆動装置は、固定用部材と、前記固定用部材により直接もしくは間接的に一端側が固定されたアクチュエータ素子と、前記アクチュエータ素子の少なくとも一部分に配設された補強部材とを有する撮像装置。アクチュエータ素子を形成する工程と、前記アクチュエータ素子の少なくとも一部分に補強部材を形成する工程と、前記アクチュエータ素子の一端側を、固定用部材により直接もしくは間接的に固定させる工程とを含む駆動装置の製造方法。前記補強部材を形成する工程は、前記アクチュエータ素子上に補強層を形成する工程と、前記アクチュエータ素子および前記補強層をそれぞれ、所定の形状に切り抜く工程とを含む請求項19に記載の駆動装置の製造方法。以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。1.実施の形態アクチュエータ素子としてポリマーアクチュエータ素子を用いた例2.変形例変形例1,2補強層が幅広部および幅狭部を有する例変形例3アクチュエータ素子として圧電素子を用いた例変形例4アクチュエータ素子としてバイメタル素子を用いた例3.適用例1,2駆動装置をレンズモジュールおよび撮像装置に適用した例<実施の形態>[駆動装置1の全体構成]図1は、本発明の一実施の形態に係る駆動装置駆動装置1の概略構成を、平面図X-Y平面図,上面図で模式的に表したものである。また、図2Aは、この駆動装置1の側面構成Z-X側面構成を模式的に表したものであり、図2Bは、図2Aの一部符号P1で示した領域付近を拡大して表したものである。駆動装置1は、駆動対象物9を駆動ここではZ軸に沿って駆動する片持ち梁式のアクチュエータであり、支持部材11、固定用部材12、アクチュエータ素子13、補強層18補強部材および電圧供給部19を備えている。支持部材11は、駆動装置1全体を支持するためのベース部材基体であり、ここではXY平面上に延在するように配置されている。この支持部材11は、例えば液晶ポリマー等の硬質な樹脂材料からなる。固定用部材12は、アクチュエータ素子13の一端側固定側を固定するための部材であり、支持部材11上においてZ軸方向に立設されている。この固定用部材12もまた、例えば液晶ポリマー等の硬質な樹脂材料からなる。アクチュエータ素子13は、駆動対象物9をZ軸に沿って駆動するための素子であり、ここでは平板状薄板形状のポリマーアクチュエータ素子からなる。このアクチュエータ素子13は、一端側固定用部材12側から他端側駆動対象9側,可動側への長さがL1となっている。また、アクチュエータ素子13の幅については、ここでは、固定用部材12側の幅W11が、駆動対象物9側の幅W12よりも大きくなっているW11>W12。すなわち、このアクチュエータ素子13は、固定用部材12側の幅広部と、駆動対象物9側の幅狭部とを有している。なお、このポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子13の詳細構成については、後述する図3。補強層18は、アクチュエータ素子13の少なくとも一部分に配設されることによってアクチュエータ素子13の強度機械的強度を補強するための部材であり、ここでは、アクチュエータ素子13の表面および裏面一対の主面の双方の面上に設けられている。ただし、補強層18が、アクチュエータ素子13の表面および裏面のうちの片方の面上に設けられているようにしてもよい。このような補強層18は、例えば、上記したアクチュエータ素子13における幅狭部幅W12の部分の少なくとも一部分に配設されているようにするのが望ましい。このアクチュエータ素子13の幅狭部は、後述するように、素子の変位変形に対する寄与が相対的に小さい部分であるからである。ここでは、補強層18は、アクチュエータ素子13の幅狭部だけでなく、上記した幅広部幅W11の部分の少なくとも一部分にも設けられている。具体的には、補強層18が、アクチュエータ素子13の幅狭部から幅広部へわたって連続的一体的に配設されている。このような補強層18は、例えば、ポリイミドPIやポリエチレンナフタレートPEN等の樹脂材料などからなる。電圧供給部19は、アクチュエータ素子13に対して駆動用電圧Vdを供給することにより、アクチュエータ素子13を駆動する変形させるためのものである。このような電圧供給部19は、例えば半導体素子等を用いた電気回路からなる。なお、電圧供給部19によるアクチュエータ素子13ポリマーアクチュエータ素子の駆動動作の詳細については、後述する図4。[アクチュエータ素子13の詳細構成]次に、図3を参照して、ポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子13の詳細構成について説明する。図3は、アクチュエー素子13の断面構成Z-X断面構成を表したものである。アクチュエータ素子13は、イオン導電性高分子化合物膜51以下、単に高分子化合物膜51という。の両面に、一対の電極膜52A,52Bが形成された断面構造を有している。換言すると、アクチュエータ素子13は、一対の電極膜52A,52Bと、これらの電極膜52A,52Bの間に挿設された高分子化合物膜51とを有している。なお、アクチュエータ素子13および電極膜52A,52Bは、それらの周囲が、高弾性を有する材料例えばポリウレタンなどからなる絶縁性の保護膜によって覆われていてもよい。高分子化合物膜51は、電極膜52A,52Bの間に所定の電位差が生じることにより湾曲を生じるようになっている。この高分子化合物膜51にはイオン物質が含浸されている。ここでのイオン物質とは、高分子化合物膜51内を伝導することが可能なイオン全般を指しており、具体的には、水素イオンや金属イオン単体、またはそれら陽イオンおよび/または陰イオンと極性溶媒とを含むもの、あるいはイミダゾリウム塩などのそれ自体が液状である陽イオンおよび/または陰イオンを含むものを意味する。前者としては、例えば、陽イオンおよび/または陰イオンに極性溶媒が溶媒和したものが挙げられ、後者としては、例えばイオン液体が挙げられる。高分子化合物膜51を構成する材料としては、例えばフッ素樹脂あるいは炭化水素系などを骨格としたイオン交換樹脂が挙げられる。このイオン交換樹脂としては、陽イオン物質が含浸される場合には陽イオン交換樹脂が好ましく、陰イオン物質が含浸される場合には陰イオン交換樹脂が好ましい。陽イオン交換樹脂としては、例えば、スルホン酸基あるいはカルボキシル基などの酸性基が導入されたものが挙げられる。具体的には、酸性基を有するポリエチレン、酸性基を有するポリスチレンあるいは酸性基を有するフッ素樹脂などである。中でも、陽イオン交換樹脂としては、スルホン酸基あるいはカルボン酸基を有するフッ素樹脂が好ましく、例えばナフィオンデュポン株式会社製が挙げられる。高分子化合物膜51に含浸されている陽イオン物質としては、有機や無機など、その種類を問わない。例えば、金属イオン単体、金属イオンと水とを含むもの、有機陽イオンと水とを含むもの、あるいはイオン液体など種々の形態が応用可能である。金属イオンとしては、例えば、ナトリウムイオンNa、カリウムイオンK、リチウムイオンLiあるいはマグネシウムイオンMg2などの軽金属イオンが挙げられる。また、有機陽イオンとしては、例えば、アルキルアンモニウムイオンなどが挙げられる。これらの陽イオンは、高分子化合物膜51中において水和物として存在している。よって、陽イオンと水とを含む陽イオン物質が高分子化合物膜51中に含浸されている場合には、アクチュエータ素子13では、水の揮発を抑制するために全体として封止されていることが好ましい。イオン液体とは、常温溶融塩とも言われるものであり、燃性および揮発性が低い陽イオンと陰イオンとを含んでいる。イオン液体としては、例えば、イミダゾリウム環系化合物、ピリジニウム環系化合物あるいは脂肪族系化合物などが挙げられる。中でも、陽イオン物質は、イオン液体であることが好ましい。揮発性が低いため、高温雰囲気中あるいは真空中においてもアクチュエータ素子13が良好に動作するからである。高分子化合物膜51を挟んで互いに対向する電極膜52A,52Bは、それぞれ1種あるいは2種以上の導電性材料を含んでいる。電極膜52A,52Bは、導電性材料粉末同士がイオン導電性高分子により結着されたものが好ましい。電極膜52A,52Bの柔軟性が高まるからである。導電性材料粉末としてはカーボン粉末が好ましい。導電性が高く、比表面積が大きいため、より大きい変形量が得られるからである。カーボン粉末としては、ケッチェンブラックが好ましい。イオン導電性高分子としては、上記した高分子化合物膜51の構成材料と同様のものが好ましい。電極膜52A,52Bは、例えば、以下のようにして形成される。すなわち、分散媒に導電性材料粉末とイオン導電性高分子とを分散させた塗料を、高分子化合物膜51の両面に塗布したのち、乾燥させる。また、導電性材料粉末とイオン導電性高分子とを含むフィルム状のものを、高分子化合物膜51の両面に圧着するようにしてもよい。電極膜52A,52Bは、多層構造になっていてもよく、その場合、高分子化合物膜51の側から順に、導電性材料粉末同士がイオン導電性高分子により結着された層と金属層とが積層された構造を有していることが好ましい。これにより、電極膜52A,52Bの面内方向において電位がより均一な値に近づき、より優れた変形性能を得られるからである。金属層を構成する材料としては、金あるいは白金などの貴金属が挙げられる。金属層の厚さは任意であるが、電極膜52A,52Bに電位が均一になるように連続膜となっていることが好ましい。金属層を形成する方法としては、めっき法、蒸着法あるいはスパッタ法などが挙げられる。高分子化合物膜51の大きさ幅および長さは、駆動対象物9の大きさや重量、あるいは高分子化合物膜51において必要とされる変位量変形量に応じて、任意に設定可能である。高分子化合物膜51の変位量は、例えば、要求される駆動対象物9の変位量Z軸方向に沿った移動量に応じて設定されるようになっている。[駆動装置1の製造方法]本実施の形態の駆動装置1は、例えば次のようにして製造することができる。すなわち、まず、アクチュエータ素子13を形成する。具体的には、ここでは上記した構造のポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子13を形成する。次いで、このアクチュエータ素子13の少なくとも一部分に、前述した材料からなる補強層18を、例えば接着剤等によって貼り付けることにより形成する。続いて、アクチュエータ素子13の一端側を、支持部材11上に立設された固定用部材12によって固定させる。また、それと共に、電圧供給部19を構成する所定の回路半導体チップ等を取り付ける。以上により、図1および図2に示した駆動装置1が完成する。[駆動装置1の作用効果]続いて、本実施の形態の駆動装置1の作用および効果について説明する。1.アクチュエータ素子13の動作最初に、図4を参照して、ポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子13の動作について説明する。図4は、このアクチュエータ素子13の動作を、断面図を用いて模式的に表したものである。まず、陽イオン物質として、陽イオンと極性溶媒とを含むものを用いた場合について説明する。この場合、電圧無印加状態におけるアクチュエータ素子13は、陽イオン物質が高分子化合物膜51中にほぼ均一に分散することから、湾曲することなく平面状となる図4A。ここで、図4B中に示した電圧供給部19によって電圧印加状態とする駆動用電圧Vdの印加を開始すると、アクチュエータ素子13は以下のような挙動を示す。すなわち、例えば電極膜52Aがマイナスの電位、電極膜52Bがプラスの電位となるように電極膜52A,52Bの間に所定の駆動用電圧Vdを印加すると、陽イオンが極性溶媒と溶媒和した状態で電極膜52A側に移動する。この際、高分子化合物膜51中では陰イオンがほとんど移動できないため、高分子化合物膜51では、電極膜52A側が膨潤し、電極膜52B側が収縮する。これにより、アクチュエータ素子13は全体として、図4Bに示したように電極膜52B側に湾曲する。こののち、電極膜52A,52Bの間の電位差を無くして電圧無印加状態とする駆動用電圧Vdの印加を停止すると、高分子化合物膜51中において電極膜52A側に偏っていた陽イオン物質陽イオンおよび極性溶媒が拡散し、図4Aに示した状態に戻る。また、図4Aに示した電圧無印加状態から、電極膜52Aがプラスの電位、電極膜52Bがマイナスの電位となるように、電極膜52A,52Bの間に所定の駆動電圧Vdを印加すると、陽イオンが極性溶媒と溶媒和した状態で電極膜52B側に移動する。この場合、高分子化合物膜51では、電極膜52A側が収縮し電極膜52B側が膨潤するので、アクチュエータ素子13は全体として、電極膜52A側に湾曲する。次に、陽イオン物質として、液状の陽イオンを含むものであるイオン液体を用いた場合について説明する。この場合においても、電圧無印加状態では、イオン液体が高分子化合物膜51中にほぼ均一に分散しているので、アクチュエータ素子13が図4Aに示した平面状となる。ここで、電圧供給部19によって電圧印加状態とする駆動用電圧Vdの印加を開始すると、アクチュエータ素子13は以下のような挙動を示す。すなわち、例えば電極膜52Aがマイナスの電位、電極膜52Bがプラスの電位となるように電極膜52A,52Bの間に所定の駆動電圧Vdを印加すると、イオン液体のうちの陽イオンが電極膜52A側に移動し、陰イオンは陽イオン交換膜である高分子化合物膜51中を移動できない。このため高分子化合物膜51では、その電極膜52A側が膨潤し、電極膜52B側が収縮する。これにより、アクチュエータ素子13は全体として、図4Bに示したように電極膜52B側に湾曲する。こののち、電極膜52A,52Bの間の電位差を無くして電圧無印加状態とする駆動用電圧Vdの印加を停止すると、高分子化合物膜51中において電極膜52A側に偏っていた陽イオンが拡散し、図4Aに示した状態に戻る。また、図4Aに示した電圧無印加状態から、電極膜52Aがプラスの電位、電極膜52Bがマイナスの電位となるように、電極膜52A,52Bの間に所定の駆動電圧Vdを印加すると、イオン液体のうちの陽イオンが電極膜52B側に移動する。この場合、高分子化合物膜51では、電極膜52A側が収縮し電極膜52B側が膨潤するので、アクチュエータ素子13は全体として、電極膜52A側に湾曲する。2.駆動装置1の動作この駆動装置1では、上記したアクチュエータ素子13の変形湾曲に応じて、駆動対象物9が駆動される。これにより、図2A中の矢印で示したように、駆動対象物9がZ軸に沿って移動可能変位可能となる。ここで、駆動装置1における特徴的部分の作用効果について、比較例と比較しつつ詳細に説明する。図5は、比較例1に係る駆動装置駆動装置101の概略構成および動作を模式的に表したものであり、Aは平面構成X-Y平面構成,上面構成を、Bは側面構成Z-X側面構成を、それぞれ示す。また、図6は、比較例2に係る駆動装置駆動装置201の概略構成および動作を模式的に表したものであり、Aは平面構成X-Y平面構成,上面構成を、Bは側面構成Z-X側面構成を、それぞれ示す。比較例1まず、図5に示した比較例1の駆動装置101では、本実施の形態の駆動装置1とは異なり、補強層18が設けられていない。また、この駆動装置101では、アクチュエータ素子103の幅W101が、固定用部材12側から駆動対象物9側にわたって一律同一となっている。すなわち、アクチュエータ素子103全体の幅W101は、本実施の形態のアクチュエータ素子13の幅具体的には、幅狭部の幅W12と比べて大きくなっているW101>W12。ところで、このような片持ち梁型のアクチュエータでは、設計の自由度構造の小型化の観点等から、片持ち梁の幅をできるだけ小さくしたほうが望ましいと言える。しかしながら、この比較例1の駆動装置101では、アクチュエータ素子103の幅W101が大きく太くなっているため、駆動装置101全体としての構造の小型化設計の自由度の向上を図ることが困難である。比較例2一方、図6に示した比較例2の駆動装置201では、本実施の形態の駆動装置1と同様に、アクチュエータ素子13が、固定用部材12側の幅広部幅W11と、駆動対象物9側の幅狭部幅W12とを有している。したがって、上記比較例1の駆動装置101と比べ、駆動装置201全体としての構造の小型化設計の自由度の向上を図ることが可能となっている。しかしながら、この比較例2の駆動装置201では、本実施の形態の駆動装置1とは異なり補強層18が設けられていないため、片持ち梁の幅が小さい幅W12ことに起因して、アクチュエータ素子13の強度機械的強度を確保することが困難である。したがって、例えば図6Bに示したように、アクチュエータ素子13によって駆動対象物9を十分に駆動するここでは、Z軸の正方向上方向に変位させることができない場合が生じ得る。すなわち、駆動対象物9を片持ち梁によって支えなくてはならない都合上、一定の幅を確保し、駆動対象物9を支えるに足る強度機械的強度をアクチュエータ素子13にもたせる必要があるのである。このようにして、上記した比較例1,2の駆動装置101,201では、所望の駆動特性を維持しつつ小型化設計の自由度の向上を図ることが困難である。これに対して本実施の形態の駆動装置1では、図1および図2に示したように、アクチュエータ素子13の少なくとも一部分に補強層18が設けられている。これにより、アクチュエータ素子13の幅特に幅狭部の幅W12を狭くした場合であっても、その機械的強度が確保される。また、本実施の形態の駆動装置1では、補強層18の設置場所について以下のことも言える。すなわち、まず、アクチュエータ素子13では、可動側の部分図2A中の符号P12で示した領域参照と比べ、固定側の部分図2A中の符号P11で示した領域参照のほうが、変形の際の曲率が大きくなる。また、梁の長さによる変位拡大効果を考慮すると、可動側の部分と比べて固定側の部分のほうが、アクチュエータ素子13の先端駆動対象物9の近傍での変位に貢献している。したがって、アクチュエータ素子13の変位変形に大きく寄与しているのは固定側の部分であり、変位への寄与が相対的に小さい部分例えば、符号P12付近の部分については、補強層18によって拘束されたとしても、駆動対象物9の変位量には影響が少ないと言える。一方、アクチュエータ素子13の発生力については、片持ち梁型のアクチュエータにおける剛性曲げ剛性が十分に確保されている場合には、固定側部分の幅ここでは幅広部の幅W11が大きくなるのに応じて略比例して、発生力が増加する。これらのことから、アクチュエータ素子13の固定側幅広部の幅W11を十分に大きくしたうえで、例えば片持ち梁の中央部符号P12付近の部分や先端部に補強層18を設けることが望ましいと言える。これにより、アクチュエータ素子13の機械的強度を十分に確保しつつ、固定側部分以外幅狭部の幅W12を飛躍的に小さく設定することができるからである。以上のように本実施の形態では、アクチュエータ素子13の少なくとも一部分に補強層18を設けるようにしたので、アクチュエータ素子13の幅特に幅狭部の幅W12を狭く設定しつつ、その機械的強度を確保することができる。よって、駆動特性を維持しつつ小型化を図ることが可能となり、設計の自由度を向上させることも可能となる。また、特にアクチュエータ素子13としてポリマーアクチュエータ素子を用いるようにしたので、他の方式のアクチュエータ素子後述する圧電素子やバイメタル素子等を用いた場合と比べ、以下の利点も得られる。すなわち、駆動用電圧Vdを低く抑えて低消費電力化を図ることが可能となると共に、低コストで製造することも可能となる。<変形例>続いて、上記実施の形態の変形例変形例1~4について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。[変形例1,2]図7Aは、変形例1に係る駆動装置駆動装置1Aの概略構成を、平面図X-Y平面図,上面図で模式的に表したものである。また、図7Bは、変形例2に係る駆動装置駆動装置1Bの概略構成を、平面図X-Y平面図,上面図で模式的に表したものである。図7Aに示した変形例1の駆動装置1Aは、上記実施の形態の駆動装置1において、アクチュエータ素子13および補強層18の代わりに、アクチュエータ素子13Aおよび補強層18Aをそれぞれ設けたものであり、他の構成は同様となっている。アクチュエータ素子13Aは、上記実施の形態のアクチュエータ素子13と同様に、固定用部材12側の幅広部幅W11と、駆動対象物9側の幅狭部幅W12とを有している。そして、補強層18Aは、アクチュエータ素子13Aにおけるこれらの幅狭部および幅広部に倣った幅の形状となっている。すなわち、補強層18Aもまた、固定用部材12側の幅広部18A1と、駆動対象物9側の幅狭部18A2とを有している。なお、この例では、幅広部18A1の平面形状が矩形状となっている。一方、図7Bに示した変形例2の駆動装置1Bは、上記実施の形態の駆動装置1において、アクチュエータ素子13および補強層18の代わりに、アクチュエータ素子13Bおよび補強層18Bをそれぞれ設けたものであり、他の構成は同様となっている。アクチュエータ素子13Bもまた、アクチュエータ素子13と同様に、固定用部材12側の幅広部幅W11と、駆動対象物9側の幅狭部幅W12とを有している。そして、補強層18Bは、アクチュエータ素子13Bにおけるこれらの幅狭部および幅広部に倣った幅の形状となっている。すなわち、補強層18Bもまた、固定用部材12側の幅広部18B1と、駆動対象物9側の幅狭部18B2とを有している。なお、この例では、幅広部18B1の平面形状が、三角形状固定部材12側から駆動対象物9側に向けて徐々に幅が狭くなる三角形状となっている。このように、これらの変形例1,2では、補強層18A,18Bが、アクチュエータ素子13A,13Bにおけるこれらの幅狭部および幅広部に倣った幅の形状となっているようにしたので、駆動対象物9が特に重い場合であっても、アクチュエータ素子13A,13Bにおける機械的強度をより確保し易くすることが可能となる。[変形例3]図8は、変形例3に係る駆動装置に適用されるアクチュエータ素子アクチュエータ素子13Cの概略構成および動作を、斜視図で模式的に表わしたものである。本変形例の駆動装置では、上記実施の形態で説明したポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子13の代わりに、以下説明する圧電素子からなるアクチュエータ素子13Cを設けたものとなっている。この圧電素子は、XY平面上に延在する導体板61と、この導体板61の両面に配置された一対の圧電体62A,62Bと、導体板61および圧電体62A,62Bの一端側を固定する一対の固定用部材63A,63Bとからなる。導体板61は、例えばリン青銅等の材料からなる。圧電体62A,62Bはそれぞれ、例えばチタン酸ジルコン酸鉛PZT等の圧電性材料からなる。なお、これらの圧電体62A,62Bにはそれぞれ、それらの厚み方向Z軸方向に沿って所定の分極処理が施されており、それらの分極方向は互いに同じ方向になっているものとする。このような構成の圧電素子からなるアクチュエータ素子13Cでは、圧電体62A,62Bに対してそれぞれ所定の駆動用電圧Vdが印加されると、以下のように動作する。すなわち、一方の圧電体ここでは圧電体62AがX軸方向に沿って伸びる一方、他方の圧電体ここでは圧電体62BがX軸方向に沿って縮む。その結果、アクチュエータ素子13C全体では、その厚み方向Z軸方向に沿って湾曲屈曲し、Z軸方向の変形量dが生ずる。なお、駆動用電圧Vdの極性を反転させれば、それに伴って逆方向の変形量dが得られる。このようにして、駆動用電圧Vdを供給することにより、圧電素子がアクチュエータ素子として機能する。よって、このような圧電素子をアクチュエータ素子13Cとして用いた本変形例の駆動装置においても、上記実施の形態と同様の作用により同様の効果を得ることが可能である。[変形例4]図9は、変形例4に係る駆動装置に適用されるアクチュエータ素子アクチュエータ素子13Dの概略構成および動作を、側面図Z-X側面図で模式的に表わしたものであり、Aは動作前の状態を、Bは動作後の状態をそれぞれ示す。本変形例の駆動装置では、上記実施の形態で説明したポリマーアクチュエータ素子からなるアクチュエータ素子13の代わりに、以下説明するバイメタル素子からなるアクチュエータ素子13Dを設けたものとなっている。このバイメタル素子は、XY平面上に延在する一対の金属板熱膨張率が互いに異なる高膨張性金属板72Aおよび低膨張性金属板72Bと、これらの金属板の一端側を固定する一対の固定用部材73A,73Bとからなる。高膨張性金属板72Aおよび低膨張性金属板72Bは、互いに貼り合わせられることにより積層構造を形成するようになっている。高膨張性金属板72Aおよび低膨張性金属板72Bはそれぞれ、例えば、鉄FeとニッケルNiとの合金にマンガンMnやクロムCr、銅Cuなどの金属を添加した材料からなる。これらの添加量を異ならせることにより、互いの熱膨張率が異なるものとなるようになっている。このような構成のバイメタル素子からなるアクチュエータ素子13Dでは、図9Aに示した平坦状態動作前状態と比べて高い温度状態とすると、高膨張性金属板72Aのほうが、低膨張性金属板72Bと比べてより多く膨張する。その結果、アクチュエータ素子13D全体では、その厚み方向Z軸方向に沿って湾曲屈曲し、Z軸方向の変形量dが生ずる。したがって、図示しないヒーター等の加熱手段を用いて高膨張性金属板72Aおよび低膨張性金属板72Bの温度を変化させることにより、バイメタル素子がアクチュエータ素子として機能する。よって、このようなバイメタル素子をアクチュエータ素子13Dとして用いた本変形例の駆動装置においても、上記実施の形態と同様の作用により同様の効果を得ることが可能である。<適用例>続いて、上記実施の形態および変形例1~4に係る駆動装置の適用例レンズモジュールおよび撮像装置への適用例:適用例1,2について説明する。[適用例1]携帯電話機8の構成図10および図11は、上記実施の形態等の駆動装置の適用例1に係る撮像装置を備えた電子機器の一例として、撮像機能付き携帯電話機携帯電話機8の概略構成を斜視図で表わしたものある。この携帯電話機8では、2つの筐体81A,81B同士が、図示しないヒンジ機構を介して折り畳み自在に連結されている。図10に示したように、筐体81Aの一方側の面には、各種の操作キー82が複数配設されると共に、その下端部にマイクロフォン83が配設されている。操作キー82は使用者ユーザによる所定の操作を受け付けて情報を入力するためのものである。マイクロフォン83は、通話時等における使用者の音声を入力するためのものである。筐体81Bの一方側の面には、図10に示したように、液晶表示パネル等を用いた表示部84が配設されると共に、その上端部には、スピーカー85が配設されている。表示部84には、例えば、電波の受信状況や電池残量、通話相手の電話番号、電話帳として登録されている内容相手先の電話番号や氏名等、発信履歴、着信履歴等の各種の情報が表示されるようになっている。スピーカー85は、通話時等における通話相手の音声等を出力するためのものである。図11に示したように、筐体81Aの他方側の面にはカバーガラス86が配設されていると共に、筐体81A内部のカバーバラス86に対応する位置に撮像装置2が設けられている。この撮像装置2は、物体側カバーガラス86側に配置された、本適用例に係るレンズモジュール4と、像側筐体81Aの内部側に配置された撮像素子3とにより構成されている。撮像素子3は、レンズモジュール4内のレンズ後述するレンズ40により結像されてなる撮像信号を取得する素子である。この撮像素子3は、例えば電荷結合素子CCD:ChargeCoupledDeviceやCMOSComplementaryMetalOxideSemiconductorを搭載したイメージセンサからなる。撮像装置2の構成図12は、撮像装置2の要部構成を斜視図で表したものであり、図13は、この撮像装置2におけるレンズモジュール4の構成を分解斜視図で表したものである。また、図14は、このレンズモジュール4の概略構成を、A側面図Z-X側面図およびB平面図X-Y平面図で模式的に表したものである。レンズモジュール4は、光軸Z1に沿って像側撮像素子3側から物体側へと順にZ軸上の正方向に沿って、支持部材11、補強層181、アクチュエータ素子131、レンズ保持部材14およびレンズ40、補強層182ならびにアクチュエータ素子132を備えている。なお、図12では、レンズ40の図示を省略している。このレンズモジュール4はまた、固定用部材12、連結部材151A,151B,152A,152B、固定電極130A,130B、押え部材16およびホール素子17A,17Bを備えている。なお、これらのレンズモジュール4の部材のうちのレンズ40を除いたものが、本発明におけるレンズ駆動装置の一具体例に対応している。支持部材11は、ここでは、レンズモジュール4全体を支持するためのベース部材基体となっている。固定用部材12は、ここでは、アクチュエータ素子131,132の一端をそれぞれ固定するための部材となっている。この固定用部材12は、像側図12および図13における下側から物体側上側へと向けて配置された、下部固定用部材12D、中央中部固定用部材12Cおよび上部固定用部材12Uの3つの部材からなる。下部固定用部材12Dと中央固定用部材12Cとの間には、アクチュエータ素子131の一端および固定電極130A,130Bの一端がそれぞれ、挟み込まれて配置されている。一方、中央固定用部材12Cと上部固定用電極12Uとの間には、アクチュエータ素子132の一端および固定電極130A,130Bの他端がそれぞれ、挟み込まれて配置されている。また、これらのうちの中央固定用部材12Cには、レンズ保持部材14の一部後述する保持部14Bの一部を部分的に挟み込むための開口12C0が形成されている。これにより、レンズ保持部材14の一部がこの開口12C0内を移動できるようになるため、スペースを有効活用することができ、レンズモジュール4の小型化を図ることが可能となる。固定電極130A,130Bは、アクチュエータ素子131,132における電極膜前述した電極膜52A,52Bに対して、前述した電圧供給部19からの駆動用電圧Vdを供給するための電極である。これらの固定電極130A,130Bはそれぞれ、例えば金Auもしくは金めっきされた金属等からなり、コの字状となっている。これにより、固定電極130A,130Bはそれぞれ、中央固定用部材12Cの上下Z軸に沿った両側面を挟み込むようになっており、一対のアクチュエータ素子131,132に対して少ない配線で並列に同じ電圧を印加することが可能となっている。また、固定電極130A,130Bを金めっきされた金属材料から構成した場合、表面の酸化等による接触抵抗の劣化を防ぐことができる。レンズ保持部材14は、レンズ40を保持するための部材であり、例えば液晶ポリマー等の硬質な樹脂材料からなる。このレンズ保持部材14は、中心が光軸Z1上になるようにして配置され、レンズ40を保持する環状の保持部14Bと、この保持部14Bを支持すると共に保持部14Bと後述する連結部材151A,151B,152A,152Bとを接続する接続部14Aとからなる。また、保持部14Bは、一対のアクチュエータ素子131,132における後述する駆動面同士の間に配置されている。アクチュエータ素子131,132はそれぞれ、レンズ40の光軸Z1と直交する駆動面X-Y平面上の駆動面を有し、この光軸Z1に沿って駆動面同士が対向するように配置されている。これらのアクチュエータ素子131,132はそれぞれ、レンズ保持部材14およびレンズ40を、後述する連結部材151A,151B,152A,152Bを介して光軸Z1に沿って駆動するためのものである。また、アクチュエータ素子131,132はそれぞれ、ここでは前述したポリマーアクチュエータ素子からなる。これらのアクチュエータ素子131,132はそれぞれ、ここでは図14Bに示したように、固定用部材12側の幅広部幅W21と、可動側連結部材151A,151B,152A,152B側の幅狭部幅W22とを有している。ここで、図15に断面図Z-X断面図で示したように、アクチュエータ素子131では、電極膜52Aが、下部固定用部材12D側の固定電極130Bと電気的に接続され、電極膜52Bが、中央固定用部材12C側の固定電極130Aと電気的に接続されている。一方、アクチュエータ素子132では、電極膜52Aが、中央固定用部材12C側の固定電極130Aと電気的に接続され、電極膜52Bが、上部固定用部材12U側の固定電極130Bと電気的に接続されている。なお、図15中に図示はしていないが、下部固定用部材12D側の固定電極130Bから上部固定用部材12U側の固定電極130Bまでの各部材電極はそれぞれ、図13中に示した押え部材16板ばねによって一定の圧力で挟み込まれるようにして固定されている。これにより、大きな力を与えてもアクチュエータ素子131,132を破壊することがなく、これらのアクチュエータ素子131,132が変形した際も安定して電気的な接続が可能となる。補強層181,182はそれぞれ、上記実施の形態で説明した補強層18に対応するものであり、ここでは、平板状のアクチュエータ素子131,132における一方の面裏面側に選択的に設けられている。ただし、このような補強層181,182を、アクチュエータ素子131,132における双方の面表面および裏面側に設けるようにしてもよい。連結部材151A,151B,152A,152Bはそれぞれ、アクチュエータ素子131,132の各他端と、接続部14Aの端部との間を互いに連結接続するための部材である。具体的には、連結部材151A,151Bはそれぞれ、接続部14Aの下端部とアクチュエータ素子131の他端との間を連結し、連結部材152A,152Bはそれぞれ、接続部14Aの上端部とアクチュエータ素子132の他端との間を連結するようになっている。これらの連結部材151A,151B,152A,152Bはそれぞれ、例えばポリイミドフィルム等のフレキシブルフィルムからなり、各アクチュエータ素子131,132と同等以下好ましくは同一以下の剛性曲げ剛性を有する柔軟な材料からなることが望ましい。これにより、連結部材151A,151B,152A,152Bがアクチュエータ素子131,132の湾曲方向とは逆方向に湾曲する自由度が生まれ、アクチュエータ131,132と連結部材151A,151B,152A,152Bとからなる片持ち梁における断面形状が、S字状の曲線を描くようになる。その結果、接続部14AがZ軸方向に沿って平行移動することが可能となり、保持部14Bおよびレンズ40が支持部材11に対して平行状態を保ったまま、Z軸方向に駆動されるようになる。なお、上記した剛性曲げ剛性としては、例えばバネ定数を用いることができる。ここで、アクチュエータ素子131,132の剛性曲げ剛性をS1、補強層181,182の剛性曲げ剛性をS2とすると、以下の1式を満たすようにするのが望ましい。これにより、アクチュエータ素子131,132の幅をより小さく設定することが可能となり、レンズモジュール4のより小型化を図ることができるからである。また、連結部材151A,151B,152A,152Bの剛性曲げ剛性をS3とすると、1式に加え、更に以下の2式および3式の双方をも満たすようにするのがより望ましい。これにより、アクチュエータ素子131,132の幅を更に小さく設定することが可能となり、レンズモジュール4の更なる小型化を図ることができるからである。S2>S1......1S2>S3......2S1≧S3......3レンズモジュール4の作用効果図16は、レンズモジュール4の動作を斜視図で表したものであり、Aは動作前の状態を、Bは動作後の状態をそれぞれ示す。このレンズモジュール4では、図16A,Bに示したように図中の矢印、一対のアクチュエータ素子131,132によってレンズ保持部材14が駆動されることにより、レンズ40がその光軸Z1に沿って移動可能となる。このようにしてレンズモジュール4では、アクチュエータ素子131,132を用いた駆動装置レンズ駆動装置によって、レンズ40がその光軸Z1に沿って駆動される。ここで、本適用例においても上記実施の形態と同様に、アクチュエータ素子131,132の少なくとも一部分に補強層181,182が設けられている。これにより、図14Bに示したように、アクチュエータ素子131,132の幅特に幅狭部の幅W22を狭くした場合であっても、その機械的強度が確保される。したがって、アクチュエータ素子131,132の面積を縮小することができ、より大口径の光学素子ここでは口径R1が大きなレンズ40をレンズモジュール4内に搭載することが可能となる。これに対して、図17A,Bに示した比較例3に係るレンズモジュールレンズモジュール304では、本適用例のような補強層が設けられていないため、アクチュエータ素子302の面積が大きくなってしまう。具体的には、固定用部材12側の幅広部幅W301と、可動側連結部材151A,151B,152A,152B側の幅狭部幅W302とがそれぞれ、アクチュエータ素子131,132における幅W21,W22と比べて大きくなってしまう。このため、この比較例3のレンズモジュール304では、本適用例のレンズモジュール4と比べ、光学素子の口径ここではレンズ340の口径R301が小さくなってしまうことになるR1>R301。換言すると、この比較例3では、大口径の光学素子をレンズモジュール304内に搭載するのが困難となる。[適用例2]レンズモジュール4Aの構成図18は、適用例2に係るレンズモジュール4Aの概略構成を、A側面図Z-X側面図およびB平面図X-Y平面図で模式的に表したものである。本適用例のレンズモジュール4Aは、上記適用例1のレンズモジュール4において、補強層181,182の代わりに補強層181A,181B,182A,182Bを設けたものである。また、このレンズモジュール4Aでは、上記適用例1とは異なり、アクチュエータ素子131,132の梁の長さX軸方向の長さと比べ、連結部材151A,151B,152A,152BのX軸方向の長さのほうが長くなるように設定されている。補強層181A,181B,182A,182Bは、上記実施の形態で説明した補強層18に対応するものであり、ここでは、平板状のアクチュエータ素子131,132における双方の面表面および裏面側に設けられている。レンズモジュール4Aにおけるレンズ駆動装置の製造方法本適用例のレンズモジュール4Aのうち、特にレンズ駆動装置の部分アクチュエータ素子131,132、連結部材151A,151B,152A,152Bおよび補強層181A,181B,182A,182Bについては、例えば次のようにして製造することができる。図19および図20は、このレンズ駆動装置の部分を製造する工程の一例を、斜視図、平面図X-Y平面図または側面図Z-X側面図で表したものである。まず、図19Aに示したように、アクチュエータ素子131,132を構成するアクチュエータ素子130と、連結部材151A,151B,152A,152Bを構成する低剛性層150例えば、前述した剛性S3を示す材料からなる層とを、所定の間隔にて配置させる。次いで、図19Bに示したように、アクチュエータ素子130および低剛性層150の一面表面上に、補強層181A,182Aを構成する高剛性層180A例えば、前述した剛性S2を示す材料からなる層を、接着剤等を用いて貼り付ける。続いて、図19Cに示したように、アクチュエータ素子130および低剛性層150の他の一面裏面上に、補強層181B,182Bを構成する高剛性層180B例えば、前述した剛性S2を示す材料からなる層を、同様に接着剤等を用いて貼り付ける。このようにして、アクチュエータ素子130上に、補強層を構成する高剛性層180A,180Bをそれぞれ形成する。そののち、図20A中の破線で示した領域を、例えばパンチやレーザ光を用いた加工を用いて機械的に切り抜く。すなわち、アクチュエータ素子130、低剛性層150および高剛性層180A,180Bをそれぞれ、所定の形状に切り抜く。これにより、図20Bに示したように、図18に示したレンズモジュール4Aにおけるレンズ駆動装置が完成する。このような構成からなる本適用例のレンズモジュール4Aにおいても、上記適用例1と同様の作用により同様の効果を得ることが可能である。すなわち、アクチュエータ素子131,132の面積を縮小することができ、より大口径の光学素子口径R1が大きなレンズ40をレンズモジュール4A内に搭載することが可能となる。<その他の変形例>以上、実施の形態、変形例および適用例を挙げて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形態等で説明した接続部14Aおよび連結部材151A,151B,152A,152Bはそれぞれ、場合によっては設けないようにしてもよい。また、上記実施の形態等では、アクチュエータ素子の一端側が固定用部材によって直接固定されている場合について説明したが、この場合には限られない。すなわち、アクチュエータ素子の一端側が、固定用部材によって間接的に固定電極等を介して固定されているようにしてもよい。また、上記実施の形態等では、主に一対のアクチュエータ素子を設けた場合について説明したが、必ずしも一対ではなくてもよく、1つあるいは3つ以上のアクチュエータ素子を設けるようにしてもよい。更に、各アクチュエータ素子の形状については、上記実施の形態等に示したものには限定されず、またその積層構造についても、上記実施の形態等で説明したものに限定されず、適宜変更可能である。また、レンズモジュール駆動装置における各部材の形状や材料等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られない。例えば、補強部材の形状は、上記実施の形態等で説明した形状層状構造補強層等には限られず、他の形状であってもよい。加えて、上記実施の形態等では、本発明の駆動装置の一例として、レンズをその光軸に沿って駆動するレンズ駆動装置を挙げて説明したが、その場合には限られず、例えば、レンズ駆動装置がレンズをその光軸と直交する方向に沿って駆動するようにしてもよい。また、本発明の駆動装置は、そのようなレンズ駆動装置以外にも、例えば絞り特開2008-259381号公報等参照などを駆動する駆動装置等にも適用することが可能である。更に、本発明の駆動装置、レンズモジュールおよび撮像装置は、上記実施の形態等で説明した携帯電話機以外にも、種々の電子機器に適用することが可能である。"