"板状ワークを収容する溝が所定間隔ごとに複数形成された左右の側壁と、該左右の側壁を連結する連結部と、板状ワークを出し入れする開口部と、を有するカセットであって、該側壁と該連結部は脱着可能に形成され、該連結部は左右方向に延びる部材で構成され、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる該連結部を使用することにより複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するカセットに調整可能なカセット。しかし、様々なサイズのワークに対応したカセットを個別に準備するのでは、管理が煩雑となり、コスト的観点からも問題がある。本発明は、このような問題点にかんがみなされたもので、様々なサイズのワークに対応可能なカセットを提供することを目的とする。本発明は、板状ワークを収容する溝が所定間隔ごとに複数形成された左右の側壁と、左右の側壁を連結する連結部と、板状ワークを出し入れする開口部と、を有するカセットに関するもので、側壁と連結部は脱着可能に形成され、連結部は左右方向に延びる部材で構成され、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することにより複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するカセットに調整可能としている。本発明は、側壁と連結部とを脱着可能とし、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することとしたため、側壁を共通化し、連結部を交換するだけで種々の大きさの板状ワークに対応したカセットを形成することができる。図1に示すカセット10は、半導体ウェーハ等の板状の被加工物板状ワークを複数収容可能な収容器であり、左右に一対の側壁2を備えている。それぞれの側壁2は起立状態にあり、その上部及び下部は、左右方向に延びる部材である棒状の連結部3aによってそれぞれ連結されている。連結部3aは、側壁2の外側面21側から挿入されるネジ30によって側壁2に対して脱着可能に固定される。一対の側壁2の対面した面側には、板状ワークを収容する溝22が所定間隔ごとに複数形成されている。個々の溝22は、外側面21側に向けて窪んだ凹状に形成されている。カセット10の前部には、カセット10に対する板状ワークの出し入れを行う際の出入口となる開口部23aが形成されている。図2に示すように、左右の側壁2は、その前部及び後部がそれぞれ連結部3aによってそれぞれ連結されている。すなわち、一対の側壁2は、4つの棒状の連結部3aによって連結されている。図2に示すように、個々の側壁2は、カセット10の開口部23a側の薄肉部24と、カセット10の後方側の厚肉部25とから構成されている。図1に示すように、薄肉部24の上部及び下部に厚肉部25が一体に形成された構成となっている。図2に示すように、薄肉部24の内側の面同士が互いに対面しているとともに、厚肉部25の内側の面同士が互いに対面している。溝22は、薄肉部24の内側面に形成されており、溝22に板状ワークW1の端部が載置されることにより、板状ワークW1が溝22において支持された状態でカセット1に収容される。カセット10に収容できるワークW1の大きさは、例えば4インチとする。厚肉部25には、棒状の突き当て部4を収容して支持するための収容穴250,251がそれぞれ形成されている。突き当て部4は、カセット10に収容されるワークの後方側におけるストッパとなるもので、小径の板状ワークW1をカセット10に収容する場合には収容穴250に突き当て部4を挿入し、それよりも大径の板状ワークをカセット10に収容する場合には収容穴251に突き当て部4を挿入する。図1乃至図3の例では、収容穴250に突き当て部4を収容した状態を示している。なお、図示の例における収容穴は2つであるが、収容すべきワークの大きさに応じて3つ以上形成されていてもよい。図2に示した板状ワークW1よりも大径のワークをカセットに収容する場合は、ネジ30を緩めて連結部3aを側壁2から取り外し、図4に示すように、図1及び図2に示した連結部3aよりも長い連結部3bを一対の側壁2に連結し、ネジ30によって固定する。側壁2は、図1乃至図3に示したものと同じものを使用する。このように、連結部3aよりも長い連結部3bを側壁2に連結することにより、図1に示した開口部23aよりも左右方向の幅が広い開口部23bが形成され、図2に示したワークW1よりも大径のワークW2を開口部23bを介して出し入れすることが可能となるカセット11が形成される。カセット11に収容できるワークW2の大きさは、例えば6インチとする。図5に示すように、ワークW1よりも大径のワークW2をカセット11に収容する場合は、収容穴251に突き当て部4を挿入する。そうすると、突き当て部4は、大径のワークW2が溝22に載置され収容した際にワークW2が過度に後方側に押し込まれるのを防止するストッパとなる。図6に示すように、収容穴251に突き当て部4を挿入すると、突き当て部4は、収容穴250に挿入した場合よりも後方側に位置する。以上のように、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することにより、複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するカセットに調整可能となる。図7に示すように、各種加工装置においては、カセットがカセットステージ5に載置されて使用される。カセットステージ5には、複数箇所に位置決め用穴50が直線状に並んだ状態で複数形成されている。この位置決め用穴50は、位置決めブロック51を固定するためのピン50aを挿入するために形成されている。位置決めブロック51は、載置しようとするカセットの位置を案内するためにカセットステージ5に固定される。カセットステージ5には位置決めブロック51が複数配置され固定される。位置決めブロック51の固定位置は、載置しようとするカセットの大きさにあわせて調整される。図7に示すように、カセットステージ5には、カセット有無識別センサ60と、その両側のカセットサイズ識別センサ61a、61bとが配設されている。カセット有無識別センサ60及びカセットサイズ識別センサ61a、61bとしては、例えば反射型光センサを使用することができる。カセット有無識別センサ60とカセットサイズ識別センサ61aとの間の距離、及び、カセット有無識別センサ60とカセットサイズ識別センサ61bとの間の距離は、側壁2の厚肉部25の厚みDよりも短くなっており、図1乃至図6に示したカセット10,11のいずれかをカセットステージ5に載置した状態では、厚肉部25は、隣り合う2つのセンサの上方、すなわち、カセット有無識別センサ60及びカセットサイズ識別センサ61aの上方、または、カセット有無識別センサ60及びカセットサイズ識別センサ61bの上方に位置する。図7の例では、厚肉部25は、カセット有無識別センサ60とカセットサイズ識別センサ61aの上方に位置している。この場合、カセット有無識別センサ60は、カセットが載置されていると判断し、カセットサイズ識別センサ61aは、4インチワーク用のカセット10が載置されていると判断する。6インチワーク用のカセット11をカセットステージ5に載置するときは、図8に示すように、位置決めブロック51の固定位置を、互いが離れる位置に変更する。そして、位置決めブロック51によってガイドされる位置に6インチワーク用のカセットを載置すると、カセット有無識別センサ60及びカセットサイズ識別センサ61bの上方に厚肉部25が位置する。したがって、カセット有無識別センサ60は、カセットが載置されていると判断し、カセットサイズ識別センサ61bは、6インチワーク用のカセット10が載置されていると判断する。カセットがカセットステージ5に載置されていないときは、カセット有無識別センサ60がカセットが載置されていないと判断する。また、カセット有無識別センサ60がカセットが載置されていないと判断したにもかかわらず、カセットサイズ識別センサ61a,61bのいずれかがカセットのサイズを識別した場合は、カセットが正常な状態で載置されていないと判断する。カセット有無識別センサ60がカセットが載置されていると判断したにもかかわらず、カセットサイズ識別センサ61a,61bのいずれもがカセットのサイズを識別できなかった場合も、カセットが正常な状態で載置されていないと判断する。このように、カセットに厚肉部25を設け、厚肉部25がカセット有無識別センサ60及び片方のカセットサイズ識別センサの上方を覆うように構成することにより、1つのカセット有無識別センサ60によっていずれのサイズのカセットの有無も判断できるようになるため、個々のサイズのカセットごとにカセット有無識別センサを配設する必要がなく、センサの数を減らすことができる。"