ハロゲンランプにより伝熱板を照射し、該照射された伝熱板からの伝熱により被加熱物を加熱する加熱ユニットにおいて、前記伝熱板が、光透過性を有する保持体と、該保持体の被加熱物側に設けられ、該保持体を透過した光を吸収して発熱する伝熱体とからなり、前記保持体の光源側表面が鏡面加工され、該鏡面加工した表面の面粗さRaμmは、該伝熱体より輻射される輻射光の波長2.5μmより小さな値であることを特徴とする加熱ユニット。上記の出願により、加熱応答性が良く、伝熱体の変形がない伝熱板を供えた加熱ユニットを提案したが、本発明はこれらの提案加熱ユニットの改良に関するものである。すなわち、これらの加熱ユニットにおいては、伝熱体からの輻射はその表面、即ち、被加熱物側表面から被加熱物に向けたものしか利用されておらず、裏面側、即ち、光源ランプ側表面側からの輻射が利用されていないので、光源のエネルギーが有効に利用されていない。そこで、本発明の目的は、伝熱体から被加熱物側への輻射を増加させることにより、光源からの照射光のエネルギーを有効に利用することができる加熱ユニットを提供しようとするものである。この発明の課題を解決するための手段は、ハロゲンランプにより伝熱板を照射し、該照射された伝熱板からの伝熱により被加熱物を加熱する加熱ユニットにおいて、前記伝熱板が、光透過性を有する保持体と、該保持体の被加熱物側に設けられ、該保持体を透過した光を吸収して発熱する伝熱体とからなり、前記保持体の光源側表面が鏡面加工され、該鏡面加工した表面の面粗さRaμmは、該伝熱体より輻射される輻射光の波長2.5μmより小さな値であることを特徴とするものである。この発明によれば、保持体下面を鏡面加工することにより、伝熱板から光源側への輻射の少なくとも一部が、反射され伝熱体側に戻されてこれを再加熱することにより、被加熱物への輻射量を増加することができる。本発明の実施例を図1乃至第8図を用いて説明する。図1は、本発明の実施例1に係る加熱ユニットの構成を示す断面図である。図において、光源1がユニット本体5に複数本設けられている。該光源1は、例えば、ハロゲンランプ等の白熱ランプ、キセノンランプやメタルハライドランプ等の放電ランプなどである。本体5の光源1の上方には、前記光源1からの光を透過する保持体2と、その上面に設けられて、該保持体2を透過した光源1からの光を吸収して発熱する伝熱体3とからなる伝熱板4が設けられている。そして、半導体ウエハやガラス基板などの被加熱物6は該伝熱板4の上方に配置されている。前記保持体2は、石英ガラス、硼珪酸ガラス、焼結石英ガラス、アルミノ珪酸ガラス等のガラス、ガラスセラミック、透光性アルミナ、サファイア等から成る。これら素材は、金属やカーボングラファイトに比べて熱膨張係数が小さいので、変形が起こりにくく、化学的に堅牢で耐熱性に優れており、紫外域または可視域の光を透過し発熱が少ない。また、伝熱体3はダイアモンドライクカーボンDLC、酸化クロム等の金属酸化物、窒化アルミニウムや窒化ボロン等の窒化物、炭化珪素、珪化モリブデン等のシリサイド、などから成る。または、モリブデン、クロム、カーボン等を含有した諸ガラスや諸セラミックスから成る。これら素材は、化学的に堅牢で耐熱性に優れており、紫外域から可視域の光を遮断して発熱し、熱伝導率が高い。前記保持体2への伝熱体3の形成コーティング等は、ダイアモンドライクカーボンDLCの場合はCVDにより、また、金属酸化物、窒化物、炭化珪素の場合は、塗布焼成やプラズマ溶射、印刷等により、そして、シリサイドの場合は、CVD、スパッタ、あるいは蒸着後に加熱して形成する。CVD、塗布、溶射、印刷、スパッタ、蒸着を利用すると、保持体2に多少の凹凸があった場合でも、伝熱体3の厚さを所望の厚さに制御して形成することができる。図2は詳細部分図で、前記伝熱体3の上面、即ち、被加熱物6側の表面3Aを拡散面加工してある。一般に物体からの輻射量は、その表面積に比例するところ、上記拡散面加工により、該表面3Aの表面積は、裏面、即ち、光源1側の表面3Bより増大する。その結果、光源1から保持体2を透過してきた光により加熱される伝熱体3からの輻射は、下方、即ち、光源1側への輻射量より、上方、即ち、被加熱物6側への輻射量が増大する。そのため、光源1からの照射エネルギーがより有効に利用できる。上記の伝熱体3の上面3Aの拡散面加工としては、機械的な粗研磨加工やフロスト加工、切削加工、または、化学的なエッチング加工などにより表面に凹凸を形成するものであればよい。そして、その凹凸形状としては、図3に示すように種々の形状であってよい。図3Aは、山形の凸部7Aを多数形成したものであり、図3Bは連続凸状部7Bを形成したものであり、図3cは多数の凹部7Cを形成したものである。図4は異なる実施例2の詳細部分図で、保持体2の下面、即ち、光源1側の表面2Bを鏡面加工してある。該鏡面加工した表面2Bの面粗さRaは、輻射光の波長λより小さな値とする。こうすることにより、加熱された伝熱体3から輻射される輻射光のうち、一定の入射角以上の輻射光は該鏡面で全反射して伝熱体3方向に戻され、該伝熱体3を再加熱する。そして、その上表面3Aから被加熱物6に輻射される。これにより、伝熱体3の下面3Bから下方への輻射光の少なくとも一部を被加熱物6側に戻すことにより、有効利用することができる。図5は他の実施例3の詳細部分図で、伝熱板4の保持体2の下方、即ち、光源1側の下方に輻射反射層10を設けてある。該輻射反射層10は、光源1からの光は透過し、伝熱体3からの輻射光は反射するような多層膜反射層からなっている。光源1からの入射光は、光源1がハロゲンランプの場合、図6に示すようにタングステンフィラメントの色温度が、2200Kを越えると、25μm以上の波長域の放射は少なくなる。一方、伝熱体3からの輻射光は、図7に示すように25μm以上の波長域のスペクトルである。従って、輻射反射層10は、これらの両スペクトルを考慮して、2.0~2.5μmの領域以下の波長の光を透過し、該領域以上の波長の光を反射するような特性をもつものであればよく、このような条件を満たす多層膜の構成素材としては、Al2O3、SiO、SiO2、MgF2、AlF3などの低屈折材と、TiO2、Ta2O5、Si、ZrO2、Y2O3などの高屈折材から選択された材料の組み合わせで得られる。上記実施例3においては、前記図4の実施例2と同様に、加熱された伝熱体3から下方に向う輻射光を輻射反射層10によって伝熱体3方向に戻し、これを再加熱する。こうして、光源1により加熱された伝熱体3からの輻射光を有効に利用することができる。なお、上記輻射反射層10の透過波長の特性を光源1としてハロゲンランプを用いた場合のスペクトルで説明したが、他のランプ、例えばキセノンランプやメタルハライドランプの場合であっても、2.0~2.5μmの領域以下の波長の光を透過する特性であれば、これらのランプからの放射光に対してもその殆どを透過することになり、実用上まったく問題はない。ところで、上記実施例3においては、輻射反射層10を伝熱板4の下方に配置したものを示したが、これに限られない。図8に他の実施形態を示し、図8Aに示すものでは、輻射反射層10は、保持体2の上面、即ち、保持体2と伝熱体3の間に設けられている。また、図8Bに示すものでは、輻射反射層10は、伝熱板4の保持体2の下面に設けられている。これら図8に示すいずれの輻射反射層10も、前記図5に示すものと同様の多層膜からなるものである。これらの輻射反射層10が、前記図5の輻射反射層10と同様の機能を奏することは容易に理解できるであろう。即ち、輻射反射層10は、伝熱体3から光源1方向への輻射を再度伝熱体3に戻すものであればよく、伝熱体3と光源1の間に設けられていればよい。なお、本発明の伝熱板の実施例において、伝熱体は、保持体の上表面に形成された構成について説明してきたが、特願2004-40744号で示すように、伝熱体と保持体との間に間隙子を設けた構成でも良い。本構成においては、輻射光の反射の機能は、保持体の上表面に持たせることが好ましい。また、上記各実施例においては、加熱ユニットは上向きに照射し、被加熱物6は該加熱ユニットの上方に配置するものとして説明したが、これに限られないことは勿論であり、加熱ユニットが下向き、或いは、横向きなど任意の向きであってよく、被加熱物6はその加熱ユニットの伝熱板4に対向配置されていればよい。以上のように、本発明においては、光源と伝熱板を供えた加熱ユニットにおいて、伝熱板を、光源光を透過する保持体と、その上面に設けた伝熱体とにより構成し、該伝熱体の上面を拡散面加工し、あるいは、保持体の下面を鏡面加工し、あるいは、伝熱体と光源の間に輻射反射層を設けたことにより、光源により加熱された伝熱体から被加熱物側へ輻射される輻射光を増大させることができるので、光源からの照射エネルギーを有効に利用して加熱処理ができるという優れた効果を奏するものである。