"平板状の第1の電極と、前記第1の電極に対向し、当該第1の電極との間に外力に対して可塑性又は弾性を有する第1の誘電体を狭持して配設される第2の電極と、前記第2の電極に対向し、当該第2の電極との間に前記第1の誘電体に対して相対的に硬質な第2の誘電体を狭持して配設される第3の電極と、前記第3の電極の表面を被覆して積層される第3の誘電体と、前記第3の電極における前記第3の誘電体が積層されている側の測定面と前記第1の電極との間の電位差を測定する第1の測定手段と、前記第2の電極と前記第1の電極との間の電位差を測定する第2の測定手段と、前記第2の電極をグランドに接続する第1接続状態と、前記第3の電極をグランドに接続する第2接続状態とを切り替える切替手段とを備え、測定の対象となる測定対象物の前記第3の誘電体への接近を、前記第1接続状態における前記第1の測定手段の測定結果に基づいて検出し、前記測定対象物による前記第3の誘電体への押圧を、前記第2接続状態における前記第2の測定手段の測定結果に基づいて検出することを特徴とする多機能センサ。請求項1に記載の多機能センサにおいて、前記測定対象物の種別、誘電率及び前記第1の電極と前記第2電極との距離を関連付けて記憶する対象情報記憶手段と、前記第2の測定手段の測定結果から得られる前記第1の電極と前記第2電極との距離、及び、前記第1の測定手段の測定結果に基づいて、前記測定対象物の誘電率を演算し、前記対象情報記憶手段から、演算した前記誘電率に関連付けられている前記測定対象物の種別を特定する種別特定手段とを備えることを特徴とする多機能センサ。請求項1又は2に記載の多機能センサにおいて、前記測定対象物の誘電率が予め特定されている場合に、前記第1の測定手段の測定結果に基づいて、前記測定対象物の接近距離を算出する距離算出手段を備えることを特徴とする多機能センサ。請求項1ないし3のいずれかに記載の多機能センサにおいて、前記第2の測定手段の測定結果に基づいて、前記測定対象物の押圧力を演算する押圧力演算手段を備えることを特徴とする多機能センサ。請求項1ないし4のいずれかに記載の多機能センサにおいて、一の方向に延出した線状の複数の前記第1の電極を平行に併設し、前記第1の電極の延出方向に対して垂直な方向に延出した線状の複数の前記第2の電極及び前記第3の電極を平行に併設し、前記第1の測定手段及び/又は前記第2の測定手段の測定結果に基づいて、前記測定対象物の接近位置及び押圧位置を検出することを特徴とする多機能センサ。請求項5に記載の多機能センサにおいて、前記第1の電極並びに前記第2及び第3の電極が交差する複数の交点のうち、前記測定対象物の押圧位置を含む押圧領域を画定する4つの前記交点を特定する交点特定手段と、特定された4つの前記各交点における前記第2の測定手段の測定結果に基づいて、前記押圧領域における押圧位置を演算する押圧位置演算手段とを備えることを特徴とする多機能センサ。しかしながら、特許文献1に示す技術は、指以外の操作体が装置に触れるまでその存在を確認することができず、また、指以外の操作体が装置に触れても、その操作体を識別することはできないという課題を有する。本発明は、測定対象物の種別に関わらず、その接近及び押圧を正確に検出する多機能センサを提供する。本願に開示する多機能センサは、平板状の第1の電極と、前記第1の電極に対向し、当該第1の電極との間に外力に対して可塑性又は弾性を有する第1の誘電体を狭持して配設される第2の電極と、前記第2の電極に対向し、当該第2の電極との間に前記第1の誘電体に対して相対的に硬質な第2の誘電体を狭持して配設される第3の電極と、前記第3の電極の表面を被覆して積層される第3の誘電体と、前記第3の電極における前記第3の誘電体が積層されている側の測定面と前記第1の電極との間の電位差を測定する第1の測定手段と、前記第2の電極と前記第1の電極との間の電位差を測定する第2の測定手段と、前記第2の電極をグランドに接続する第1接続状態と、前記第3の電極をグランドに接続する第2接続状態とを切り替える切替手段とを備え、測定の対象となる測定対象物の前記第3の誘電体への接近を、前記第1接続状態における前記第1の測定手段の測定結果に基づいて検出し、前記測定対象物による前記第3の誘電体への押圧を、前記第2接続状態における前記第2の測定手段の測定結果に基づいて検出するものである。このように、本願に開示する多機能センサにおいては、測定対象物が第3の誘電体に接近する場合には、第1の測定手段により第3の電極における第3の誘電体が積層されている側の測定面と第1の電極との間の電位差を測定することで、測定対象物の接近を正確に検出することができると共に、測定対象物が第3の誘電体を押圧する場合には、第2の測定手段により第2の電極と第1の電極との間の電位差を測定することで、測定対象物の押圧を正確に検出することができるという効果を奏する。また、第1の測定手段により測定面と第1の電極との間の電位差を測定するため、測定対象物が導電体、非導電体に関わらず、電位差の変化を測定して測定対象物の接近及び接触を検出することができるという効果を奏する。さらに、第2の電極をグランドに接続する第1接続状態と、第3の電極をグランドに接続する第2接続状態とを切り替える切替手段を備え、測定対象物の接近を、第1接続状態における第1の測定手段の測定結果に基づいて検出し、測定対象物の押圧を、第2接続状態における第2の測定手段の測定結果に基づいて検出するため、測定対象物の接近及び押圧を必要な情報のみから高精度に検出することができるという効果を奏する。本願に開示する多機能センサは、前記測定対象物の種別、誘電率及び前記第1の電極と前記第2電極との距離を関連付けて記憶する対象情報記憶手段と、前記第2の測定手段の測定結果から得られる前記第1の電極と前記第2電極との距離、及び、前記第1の測定手段の測定結果に基づいて、前記測定対象物の誘電率を演算し、前記対象情報記憶手段から、演算した前記誘電率に関連付けられている前記測定対象物の種別を特定する種別特定手段とを備えるものである。このように、本願に開示する多機能センサにおいては、測定対象物の種別、誘電率及び前記第1の電極と前記第2電極との距離を関連付けて記憶し、記憶されている情報から、第1の測定手段及び第2の測定手段の測定結果に基づいて測定対象物の種別を特定するため、測定対象物の種別が未知の場合であってもその種別を特定することができ、高機能なセンサを実現することができるという効果を奏する。本願に開示する多機能センサは、前記測定対象物の誘電率が予め特定されている場合に、前記第1の測定手段の測定結果に基づいて、前記測定対象物の接近距離を算出する距離算出手段を備えるものである。このように、本願に開示する多機能センサにおいては、測定対象物の誘電率が予め特定されている場合に、測定対象物の接近距離を算出するため、測定対象物とセンサとの距離を測定することができ、高機能なセンサを実現することができるという効果を奏する。本願に開示する多機能センサは、前記第2の測定手段の測定結果に基づいて、前記測定対象物の押圧力を演算する押圧力演算手段を備えるものであるこのように、本願に開示する多機能センサにおいては、第2の測定手段の測定結果に基づいて、測定対象物の押圧力を演算するため、高機能なセンサを実現することができるという効果を奏する。本願に開示する多機能センサは、一の方向に延出した線状の複数の前記第1の電極を平行に併設し、前記第1の電極の延出方向に対して垂直な方向に延出した線状の複数の前記第2の電極及び前記第3の電極を平行に併設し、前記第1の測定手段及び/又は前記第2の測定手段の測定結果に基づいて、前記測定対象物の接近位置及び押圧位置を検出するものである。このように、本願に開示する多機能センサにおいては、第1の電極と第2、第3の電極とがマトリックス状に直交して配設されているため、測定対象物の接近及び押圧を面で捉えることができ、測定対象物の接近位置及び押圧位置を正確に検出して、高機能なセンサを実現することができるという効果を奏する。本願に開示する多機能センサは、前記第1の電極並びに前記第2及び第3の電極が交差する複数の交点のうち、前記測定対象物の押圧位置を含む押圧領域を画定する4つの前記交点を特定する交点特定手段と、特定された4つの前記各交点における前記第2の測定手段の測定結果に基づいて、前記押圧領域における押圧位置を演算する押圧位置演算手段とを備えるものである。このように、本願に開示する多機能センサにおいては、押圧位置を含む大まかな押圧領域を四方4つの交点により特定し、それぞれの第2の測定手段による測定結果に基づいて、押圧領域における押圧位置を演算により求めるため、電極をある程度間引いて配設しても、演算により正確な押圧位置を特定することができ、センサの構成を簡素化することができるという効果を奏する。以下、本発明の実施の形態を説明する。本実施形態の全体を通して同じ要素には同じ符号を付けている。本発明の第1の実施形態本実施形態に係る多機能センサについて、図1ないし図7を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る多機能センサの概略図、図2は、本実施形態に係る多機能センサの機能ブロック図、図3は、本実施形態に係る多機能センサにおいて測定対象物が接近する場合の回路図、図4は、本実施形態に係る多機能センサにおいて測定対象物が接近する場合の処理を示す図、図5は、本実施形態に係る多機能センサにおいて測定対象物が押圧する場合の回路図、図6は、本実施形態に係る多機能センサにおいて測定対象物が押圧する場合の処理を示す図、図7は、本実施形態に係る多機能センサにおいて測定対象物の種別を特定する処理の説明図である。図1において、本実施形態に係る多機能センサ1は、平板状の第1電極10と、第1電極10に対向し、第1電極10との間に外力に対して可塑性又は弾性を有する柔軟な第1誘電体11を狭持して配設される第2電極12と、第2電極12に対向し、第2電極との間に第1誘電体11に対して相対的に硬質な第2誘電体13を狭持して配設される第3電極14と、第3電極14の表面を被覆して積層される第3誘電体15とを備える。なお、第1の誘電体11は空気層でもよい。多機能センサ1は、例えば図1A、Bに示す指や図1C、Dに示すペンのような測定対象物20の接近及び押圧を検出する。このとき、第3誘電体15に接近及び押圧する測定対象物20を検出する。以下の説明では、測定対象物20が接近する側の面図1における上側の面を測定面とし、その反対側の面図1における下側の面を基板面とする。本実施形態においては、測定対象物20の接近時は、第3電極14の測定面と第1電極10の測定面との間の電位差を測定することで、その接近や接近距離を検出することができる。測定対象物20の押圧時は、第2電極12の基板面と第1電極10の測定面との間の電位差を測定することで、その押圧や押圧力を検出することができる。それぞれの測定結果に基づいて、測定対象物20の接近及び押圧が検出される。図2に、本実施形態に係る多機能センサ1のブロック図を示す。多機能センサ1は、測定対象物20の接近及び押圧を検出するセンサ部21と、センサ部21における第3電極14の測定面と第1電極10の測定面との間の電位差を測定する第1測定部22と、センサ部21における第2電極12の基板面と第1電極10の測定面との間の電位差を測定する第2測定部23と、第2電極12をグランドに接続する第1接続状態と第3電極14をグランドに接続する第2接続状態との切り替えを行う切替部24と、測定対象物20の種別ごとに少なくとも誘電率が関連付けられて記憶されている対象情報記憶部30の情報から、第1測定部22及び第2測定部23の測定結果に基づいて、測定対象物20の種別を特定する種別特定部26と、測定対象物20の誘電率が特定されている場合に、測定対象物20の接近距離を算出する距離算出部27と、測定対象物20が押圧している場合に、第2測定部23の測定結果に基づいて、押圧力を演算する押圧力演算部28と、距離算出部27の算出結果、種別特定部26の特定結果及び押圧力演算部28の演算結果等の出力部31への出力を制御する出力制御部29とを備える。なお、測定対象物20の誘電率が予め特定されている場合は、種別特定部26及び対象情報記憶部30を備えないようにしてもよい。次に、図3及び図4を用いて、測定対象物20が接近する場合の処理について説明する。測定対象物20が接近する場合は、図3に示すように、スイッチS1及びS2がAに接続された状態第1接続状態での測定結果から、その接近を検出することができる。すなわち、第2電極12がグランドに接続され、第1測定部22により第1電極10と第3電極14との間の電位差が測定される。図4に示すように図4Aは測定対象物20の接近時、図4Bは測定対象物20の接触した瞬間を示す、このときに測定される第1誘電体11、第2誘電体13及び第3誘電体15の静電容量をC2、測定対象物20が検出される測定面の静電容量をC3、測定対象物20を通る静電容量をC5、Cfとすると、静電容量Cは、C=C2C3C5Cfで表せる。ここで対象が接地されている場合、対象を介してグランドに落ちるため、C5Cfを無視することができる。このとき、C1及びC4は、第2電極12を通してグランドに落ちるため、無視することができる。C3、C5及びCfは、測定対象物20の誘電率及び接近距離により変化する。すなわち、誘電率が特定されていれば接近距離を正確に算出することができる。また、測定対象物20の種別が未知で、誘電率が特定されていない場合であっても、後述する方法により、その種別を特定することが可能となる。なお、C3、C5及びCfの測定をより精度よく行うためには、第1電極10と第3電極14とが俯瞰で一部重複しないように配設されることが望ましい。すなわち、図4に示すように、第1電極10が第3電極14に比べて幅広に形成されることが望ましい。さらに、第2電極12については、第3電極14よりも幅狭に形成することで、より精度よくC3、C5及びCfの測定を行うことが可能となる。また、図5及び図6を用いて、測定対象物20が押圧する場合の処理について説明する。測定対象物20が押圧する場合は、図5に示すように、スイッチS1及びS2が切替部24によりBに接続された状態第2接続状態での測定結果から、その押圧を検出することができる。すなわち、第3電極14がグランドに接続され、第2測定部23により第1電極10と第2電極12との間の電位差が測定される。図6に示すように図6Aは測定対象物20による押圧前、図6Bは測定対象物20による押圧後を示す、このときに測定される第1誘電体11の静電容量をC4とすると、静電容量Cは、C=C4∝1/dで表せるdは、第1電極10と第2電極12との距離を示す。このとき、C1、C2、C3、C5及びCfは、第3電極14を通してグランドに落ちるため、無視することができる。C4は、第1電極10と第2電極12との距離により変化する。測定対象物20による押圧がなされていない場合は、柔軟な誘電体である第1誘電体11の形状が変化しないことから、C4は一定となる。測定対象物20がセンサ部21に接触して押圧した場合は、第1誘電体11が圧縮される。第1誘電体11の圧縮量は、測定対象物20からの押圧力及び第1誘電体11の硬度ヤング率等により決まることから、C4を測定することで測定対象物20の押圧力を測定することができる。図3及び図5のように、切替部24による接続の切り替えを常時行い、第1測定部22と第3測定部23との測定結果を選択的に取得することで、測定対象物20の接近及び押圧を測定することができる。また、センサ部21を能動的に動かして測定対象物20に接触させることで、測定対象物20の硬さ、すべり度等を検出することも可能となる。なお、測定対象物20が第3誘電体15に接触した瞬間を検出する接触検出部を備え、切替部24が、接触検出部が測定対象物20の接触を検出していないときに、図3に示すようにスイッチS1及びS2がAに接続された状態とし、接触検出部が測定対象物20の接触を検出したときに、図5に示すようにスイッチS1及びS2がBに接続された状態に切り替える構成にしてもよい。また、測定対象物20が人の場合、通常は体の一部が地面に接地されているため、グランドに繋がっている構成となる。前述したように、本実施形態に係る多機能センサは、測定対象物20の種別が未知の場合であっても、その種別を特定することができる。測定対象物20の種別を特定する処理について、図7を用いて説明する。図7のグラフは、横軸に測定対象物20と第1電極10との距離d、縦軸に第1測定部22及び第2測定部23が測定した静電容量CC1が第1測定部22の測定結果、C2が第2測定部23の測定結果を示す。グラフ中のA、Bはそれぞれ異なる種別の測定対象物20である。まず、測定の流れを説明する。測定対象物20が接近する際は、測定対象物20の種別が未知の場合、第1測定部22の測定結果から測定対象物20の接近距離やその種別を特定することができないが、第1測定部22の電位差の変化により、何かが近づいた近くにあることを検出することは可能である。このとき、第2測定部23の測定結果から電位差が変化しないため、測定対象物20がセンサに接触していないことを検出することができる。測定対象物20が接触して押圧する際は、第2測定部23の測定結果から押圧力を検出する。その押圧力、すなわち測定対象物20と第1電極10との距離と、C1の測定結果とから測定対象物20の誘電率を検出し、測定対象物20の種別を特定する。予め必要な情報としては、距離dにおけるC1とC2の結果又は演算により距離dと静電容量C2との関係d=fC2を求めておく。また、誘電率εと距離dとの関係ε=fC1,d:ただし、押圧時はd=fC2より取得を求めておく。これらの関係に加えて、測定対象物20の種別と誘電率とを関連付けて例えば、εAがA、εBがB、対象情報記憶部30に記憶しておく。測定対象物20が接近している場合は、C1の値がC1△のとき、測定対象物20がA又はB距離d1A△又はd1B△の可能性があり、測定対象物20の種別及び接近距離を特定することができない。同時に、C2の測定結果から、C2に変化がなく、測定対象物20が接触していないことを検出することができる。測定対象物20が押圧している場合は、C2の値の変化により押圧を検出することができる。この場合、C2の値がC2○のとき、d=fC2より距離がd2○を検出することができる。そして、d2とC1との関係ε=fC1,d=fC1,fC2から誘電率εを検出し、測定対象物20の種別を特定することができる。すなわち、d2の値がd2○のとき、C1を参照することで測定対象物20の種別を特定C1がC1A○のとき測定対象物20は種別A、C1がC1B○のとき測定対象物20は種別Bと特定することが可能となる。なお、測定対象物20が既知の場合、対象情報記憶部30に記憶された接近距離dと静電容量値C1d=fC1との関係により接近距離を特定することができる。また、測定対象物20が押圧している場合は、C2の値の変化により押圧を検出できるd=fC2。ここで、接近距離dと静電容量C1の関係は、事前に測定対象物20を押圧させ、距離dと静電容量C2d=fC2より演算した距離dと静電容量C1の関係から演算することもできる。本発明の第2の実施形態本実施形態に係る多機能センサについて、図8を用いて説明する。図8は、本実施形態に係る多機能センサの上面図及び断面図である。なお、本実施形態において、前記第1の実施形態と重複する説明については省略する。図8Aに、多機能センサ1の上面図を示し、図8Bに、図8Aにおける矢印aの矢視図を示す。図8に示すように、本実施形態に係る多機能センサ1は、横方向に長い線状の複数の第1電極10が平行に併設され、縦方向に長い線状の複数の第2電極12及び第3電極14が平行に併設され、第1の実施形態の場合と同様に、第1電極10と第2電極12との間には、第1誘電体11が狭持され、第2電極12と第3電極14との間には、第2誘電体13が狭持され、第3電極14の表面を被覆して積層される第3誘電体15を備える。すなわち、第1の実施形態に係る多機能センサ1がマトリックス状に複数配設された構成となっている。第1ないし第3の各電極は、検出回路40に接続されており、それぞれの電極間の電位差が検出される。このような構成にすることで、測定対象物20の接近、接触及び押圧位置を正確に検出することができる。特に、このようなマトリックス状に電極を配設することで、第1の実施形態において前述したように、第1電極10が第3電極14よりも必然的に幅広となるため図8Bを参照、C3、C5及びCfの測定をより精度よく行うことが可能となる。本発明の第3の実施形態本実施形態に係る多機能センサについて、図9を用いて説明する。図9は、本実施形態に係る多機能センサの上面図である。なお、本実施形態において、前記各実施形態と重複する説明については省略する。図9において、第1電極10と第2及び第3電極12,14とがマトリックス状に交差して配設され、測定対象物20の押圧位置が特定できる構成となっているが、前記第2の実施形態と異なり、各電極が間引かれて配設されている。すなわち、交点a、b、c及びdで囲まれる領域が、第2の実施形態の場合と比べて大きくなっている点が異なる。本実施形態の場合は、各電極を間引いた分、各交点の測定結果を用いて演算処理を行うことで、正確な押圧位置を特定する。より具体的な処理の一例を説明する。まず、測定対象物20が押圧した押圧領域を特定する。この押圧領域は、マトリックス状に配設された電極の4つの交点で特定される。すなわち、交点特定部図示しないが、マトリックスを構成する複数の交点のうち、押圧力が大きい4つの交点ただし、相隣る4点で、且つ矩形を形成する4点であるを特定し、この4つの交点で区画される領域を押圧領域Xとする。次に、交点a、b、c及びdで区画される押圧領域Xに1~13の個別領域を設定しておく。この個別領域の設定は、使用環境に応じて任意に変更することが可能であり、設定された個別領域に合わせて、押圧位置演算部図示しないにより、以降に説明する演算処理が行われる。ここでは、1~13の個別領域が設定されているものとする。1~4の個別領域については、第2の実施形態の場合と同様に、測定対象物20が交点a、b、c又はdのいずれかの位置を所定の押圧力で押圧した場合に、その押圧力を検出することで押圧位置を特定することができる。5~13の個別領域については、各交点で検出された押圧力の割合から押圧位置を特定することができる。例えば、押圧力を1とすると、個別領域1が押圧された場合は、交点aで押圧力1が検出される。個別領域5が押圧された場合は、交点a及び交点bで押圧力0.5が検出される。個別領域9が押圧された場合は、交点aで押圧力0.6、交点b及び交点dで押圧力0.15、交点cで押圧力0.1が検出される。個別領域13が押圧された場合は、交点a、b、c及びdで押圧力0.25が検出される。このように、各交点で検出された押圧力の割合から、個別領域を特定し、正確な押圧位置を得ることができる。なお、上記押圧力の割合に応じた演算処理はあくまで一例を示したものであり、個別領域の設定状況に応じて演算方法が変更されるものである。なお、上記各実施形態に示す多機能センサは、例えば、スイッチ、パソコン、携帯電話機、ゲーム等のタッチパネル、ロボットのアーム等に取り付ける触覚センサ、医療や福祉で用いられるベッドセンサ等の各分野において、広く応用することが可能である。本発明に係る多機能センサの検証として、以下の実験を行った。本実験には、図10に示す多機能センサ1を用いた。実験はLCRメータ周波数100kHz、印加電圧1Vを用い、X-Y軸電極間の静電容量を測定した。測定は、図3及び図5の2種類の接続状態で行う。図3の第1接続状態において、第3電極14をLCRメータ、第2電極12をグランドに接続する。図5の第2接続状態において、第3電極14をグランド、第2電極12をLCRメータに接続する。測定対象物20としては、指の代わりに接地したステンレスに薄いシリコンを表面に取り付けたものを指モデルとして用い、ロボットアームの先端に取り付け、センサと指モデルとの距離を調整した。接近時は、10mmから接触0mmまで2mm間隔で調整し、押圧時は、0mmから0.6mmまで0.2mm間隔で調整した。図11に測定結果を示す。図11Aは、静電容量Cと距離dとの関係を示し、図11Bは、静電容量C及び静電容量Cair測定対象物がない場合の静電容量の比と距離dとの関係を示す。図11Bから明らかなように、測定対象物20の接近時において、第1接続状態では指モデルが接触するまでの間、静電容量Cが減少していることがわかる。また、第2接続状態では接触するまでの間、静電容量Cがほとんど変化していないことがわかる。押圧時においては、第1接続状態及び第2接続状態のいずれの場合も、押し込み量が増加するにつれて静電容量Cが増加していることがわかる。上記の結果から、本発明に係る多機能センサは、第2接続状態において第2測定部23が、測定対象物20がセンサ部21に接触しているかどうかの判別を行い、接触している場合は、押圧力の検出を行う。そして、このときの測定結果をもとに、第1接続状態にて測定対象物20の誘電率の測定を行う。したがって、測定対象物20の接触状態に加えて、測定対象物20の誘電率に基づく材質識別及び距離検出が可能となる。次に、本発明に係る多機能センサをタッチパネルとして適用する場合の検出感度の向上に関する実験を行った。タッチパネル等の検出方法に用いられる投影型静電容量方式は、X軸とY軸方向の透明な電極のマトリックスにより構成され、指をタッチパネルに接触又は接近させることによるX-Y座標の静電容量変化を測定することで、接触及び接近する位置を測定することができる。本発明に係る多機能センサのように、補助電極としての第2電極12を備える構成とすることで、検出感度が大きく向上することを下記の実験示す。本実験には、図12に示す多機能センサ1を用いた。図12Aは補助電極第2電極12なしの多機能センサ、図12Bは補助電極第2電極12ありの多機能センサである。本実験では、透明な電極ではなく、ステンレス電極を用いた。実験はLCRメータ周波数100kHz、印加電圧1Vを用い、X-Y軸電極間の静電容量を測定した。このとき、補助電極は接地した。測定対象物20としては、指の代わりに接地したステンレスに薄いシリコンを表面に取り付けたものを指モデルとして用い、ロボットアームの先端に取り付け、センサと指モデルとの距離を調整した。距離は、20mmから接触0mmまで2mm間隔で調整した。図13に測定結果を示す。図13Aは、静電容量Cと距離dとの関係を示し、図13Bは、静電容量C及び静電容量Cair測定対象物がない場合の静電容量の比と距離dとの関係を示す。図13Aより、補助電極を備えることによりCの値が減少していることがわかる。また、それに伴い距離に対する静電容量の変化量も減少している。また、図13Bより、補助電極を備えることによりCairに対するCの変化率が大きくなっていることがわかる。このことより、補助電極を用いることで検出感度を向上させることが可能であることがわかる。これは、補助電極を用いることで、センサの検出面における静電容量の変化を大きくすることができたためである。次に、測定対象物の誘電率の検出についての検討を行う。実験として測定対象物をセンサの上に置き、その時の静電容量Cを測定した。測定対象物として比誘電率3のアクリル、比誘電率6のベークライト、導体であるアルミニウム及び指を用いた。図14に実験結果を示す。横軸に各測定対象物を、縦軸にCairに対するCのそれぞれの比を示す。実験結果より、補助電極ありの方が補助電極なしに比べ変化率が大きいことがわかる。このことより、補助電極を用いることでより高感度に接近、押圧の検出が可能となる。"