"撮像手段により撮影された検査対象物の表面の画像を表示手段に表示する水中検査装置であって、前記検査対象物に対し、照射する光の角度を上下方向および左右方向に調整する関節を有する照明手段と、前記撮像手段により撮影された画像から前記検査対象物の表面の色調を示す画像パラメータを算出する画像処理手段と、前記画像パラメータを用いて照明状態を評価する照明判定手段と、前記照明判定手段からの判定結果を用いて、前記照明手段における照明角を制御する照明制御手段とを備えることを特徴とする水中検査装置。請求項1記載の水中検査装置において、前記画像パラメータは、カラー画像のコントラストを示す性質を有する量であり、YUV変換後の輝度信号Y、若しくはHIS変換後の彩度信号S若しくは輝度信号I、HSV変換後の明度信号V、若しくはYIQ変換後の変換後の輝度信号Y、若しくはHLS変換後の輝度信号L、のいずれかに前記当する量であることを特徴とする水中検査装置。請求項1記載の水中検査装置において、さらに、前記撮像手段により撮影された画像から欠陥の有無を判定する欠陥判定手段を備えることを特徴とする水中検査装置。請求項3記載の水中検査装置において、前記欠陥判定手段は、前記画像パラメータの値と予め設定した閾値を比較し、欠陥の有無を判定することを特徴とする水中検査装置。請求項1記載の水中検査装置において、前記画像パラメータを用いて前記撮像手段の焦点を合わせる焦点制御手段を備えることを特徴とする水中検査装置。請求項1記載の水中検査装置において、前記水中検査装置は、3次元的な泳動を可能にするとともに前記撮像手段を搭載した検査用ビークルを備え、さらに、前記画像パラメータを用いて前記撮像手段の振動を抑制する振動抑制手段を備えることを特徴とする水中検査装置。ここで、特許文献1の装置は、撮像装置と照明の位置関係を、手動により変更できる構成である。しかしながら、本発明で対象としている水中検査装置は、対象箇所の状態により、検査員の主観によらず、照明の最適角度を決定する必要がある。すなわち、割れクラックのように原子炉容器の内壁面に開口している欠陥の場合、その欠陥に照明からの光を照射する角度によって、欠陥の見え方が異なり、撮像する際には、最適の照射角度で照明からの光を照射する必要がある。特許文献2および特許文献3に記載の装置は、撮像装置と照明の位置関係を固定して用いるため、照明の最適角度を決定する用途では使用できないものである。本発明の目的は、上記課題を解決するために、画像情報のみを用いて、対象物への照明の照射角度を最適に設定することができる水中検査装置を提供することにある。1上記目的を達成するために、本発明は、撮像手段により撮影された検査対象物の表面の画像を表示手段に表示する水中検査装置であって、前記検査対象物に対し、照射する光の角度を上下方向および左右方向に調整する関節を有する照明手段と、前記撮像手段により撮影された画像から前記検査対象物の表面の色調を示す画像パラメータを算出する画像処理手段と、前記画像パラメータを用いて照明状態を評価する照明判定手段と、前記照明判定手段からの判定結果を用いて、前記照明手段における照明角を制御する照明制御手段とを備えるようにしたものである。かかる構成により、画像情報のみを用いて、対象物への照明の照射角度を最適に設定することができるものとなる。2上記1において、好ましくは、前記画像パラメータは、カラー画像のコントラストを示す性質を有する量であり、YUV変換後の輝度信号Y、若しくはHIS変換後の彩度信号S若しくは輝度信号I、HSV変換後の明度信号V、若しくはYIQ変換後の変換後の輝度信号Y、若しくはHLS変換後の輝度信号L、のいずれかに前記当する量である。3上記1において、好ましくは、前記撮像手段により撮影された画像から欠陥の有無を判定する欠陥判定手段を備えるようにしたものである。4上記3において、好ましくは、前記欠陥判定手段は、前記画像パラメータの値と予め設定した閾値を比較し、欠陥の有無を判定するようにしたものである。5上記1において、好ましくは、前記画像パラメータを用いて前記撮像手段の焦点を合わせる焦点制御手段を備えるようにしたものである。6上記1において、好ましくは、前記水中検査装置は、3次元的な泳動を可能にするとともに前記撮像手段を搭載した検査用ビークルを備え、さらに、前記画像パラメータを用いて前記撮像手段の振動を抑制する振動抑制手段を備えるようにしたものである。本発明によれば、画像情報のみを用いて、対象物への照明の照射角度を最適に設定することができる。以下、図1~図7を用いて、本発明の第1の実施形態による水中検査装置の構成及び動作について説明する。なお、本実施形態の水中検査装置は、原子炉内の欠陥検査、特に構造物を目視検査する際に用いられるものである。最初に、図1を用いて、本実施形態による水中検査装置を用いた水中検査作業時の機器配置について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態による水中検査装置を用いた水中検査作業時の機器配置図である。原子炉1の内部には、シュラウド2,上部格子板3,炉心支持板4,シュラウドサポート5等の構造物がある。これらの構造物は水中に配置されている。また、原子炉1の上部には、作業スペースであるオペレーションフロア6があり、また同じく上方には、燃料交換装置7がある。原子炉1の内部に進入させたカメラユニット8は、カメラ固定治具9を用いて固定し、制御装置10に接続される。制御装置10は、カメラユニット8を動作させるための電力を供給するとともに、検査対象箇所において目視検査を実施するために、映像の通信を行う。また、制御装置10には表示装置11が接続され、カメラユニット8に搭載した撮像手段からの画像を表示する。さらに、制御装置10にはコントローラ12を接続し、検査員13aが操作する。なお、燃料交換装置7の上では、カメラ操作員13bがカメラ固定治具9を用いて、カメラユニットの位置を調整する。また、制御装置10は、カメラユニット8に搭載した撮像手段により撮像された画像を、表示装置11に表示するための表示画像を生成する画像表示処理手段、および、カメラユニット8の自動制御を可能にするための制御手段を備えている。次に、図2および図3を用いて、本実施形態による水中検査装置に用いるカメラユニット8の構成について説明する。図2は、本発明の第1の実施形態による水中検査装置に用いるカメラユニットの構成を示す鳥瞰図である。図3は、本発明の第1の実施形態による水中検査装置に用いるカメラユニットの構成を示すブロック図である。図2に示すように、カメラユニット8の内部には、カメラ22、レンズ23およびレンズ23を駆動するレンズ駆動ステージ24を内蔵してある。レンズ23は、レンズ駆動ステージ24により移動され、焦点を合わせる構造としている。ここで、レンズ駆動ステージ24は、リニア駆動超音波モータが望ましいが、直線駆動できるアクチュエータであればよいものである。なお、レンズ23の前面は、レンズカバー24で保護してある。また、カメラユニット8には、上部に照明ユニット20が具備されており、その先端には照明21が取り付けられている。照明ユニット20は、カメラ固定治具9に直接取り付けてあるが、接続部分は、上下方向に向きを変化させるための照明ユニット上下移動関節26で接続されている。さらに、照明21の左右の向きを変えるため、複数の照明ユニットリンク27A,27b,27cを、照明ユニット左右移動関節28A,28bで接続している。ここで、カメラ固定治具9の延在する方向,すなわち、図1における原子炉1の上下方向をZ軸方向とする。Z軸に対して互いに直交する2方向をX軸方向,Y軸方向とする。ここで、X軸方向は、カメラ22の光軸方向としている。Y軸方向は、Z軸及びX軸のそれぞれに直交する方向である。照明ユニット上下移動関節26は、図中に破線で示す方向に角度Φを変えることができる。照明ユニット上下移動関節26は、照明21をX-Z平面内で、Y軸廻りに角度を変えることができる。角度Φは、例えば、カメラ22の光軸に対して、0度~45度程度である。照明ユニット左右移動関節28A,28bは、図中の一点鎖線で示す方向に角度θを変えることができる。照明ユニット左右移動関節28A,28bは、照明21をX-Y平面内で、Z軸廻りに角度を変えることができる。角度θは、例えば、Z軸廻りに、X軸方向を0度とすると、-45度~45度の範囲で可変できる。ここで、カメラ22は、光軸上の撮像領域IAにある被写体原子炉1の内壁面を撮影する。一方、照明21は、この撮像領域IAに光を照射する。このとき、照明ユニット上下移動関節26及び照明ユニット左右移動関節28A,28bを駆動することで、撮像領域IAに当たる光の角度撮像領域IAに対する照明21からの光軸破線の為す角度を変えることができる。すなわち、撮像領域IAに対して、照明21からの光が照射される角度を変えることができ、このとき、光が照射される範囲は、常に撮像領域IAとなるように、照明ユニット上下移動関節26及び照明ユニット左右移動関節28A,28bは駆動される。図3は、カメラユニット8と、制御装置10のシステムの接続状態を示している。CCDカメラ22は、図2のカメラユニット8の内部に備えられる。GUI32は、図1の表示装置11とコントローラ12からなる。図1の制御装置10の内部には、システム制御手段30と、画像処理手段31と、照明用ドライバ32と、照明関節モータ用ドライバ33a,33b,33cと、レンズ移動ステージ用ドライバ34と、欠陥判定手段35とが備えられる。システム制御手段30の中には、照明判定手段30Aと、照明制御手段30Bとが備えられる。システム制御手段30は、照明用ドライバ32、照明関節モータ用ドライバ33a~33c、レンズ移動ステージ用ドライバ34に、それぞれ接続され、表示装置11とコントローラ12からなるGUI32により制御される。その結果、照明用ドライバ32は、照明21を制御する。また、照明関節モータ用ドライバ33a~33cは照明ユニット上下移動関節26および照明ユニット左右移動関節28A,28bを制御する。さらに、レンズ移動ステージ用ドライバ34はレンズ駆動ステージ24を制御する。また、画像処理手段31は、カメラ22に接続されており、システム制御手段30に指令を与えるための画像処理を行う。照明判定手段30Aは、照明が最適角度となっているかどうかを判定する。照明制御手段30Bは、照明判定手段30Aの判定に基づいて、照明関節モータ用ドライバ33a~33cを制御して、照明22の照射角度が最適になるように制御する。欠陥判定手段35は、画像処理手段31から得られる画像情報に基づいて、欠陥を自動判定する。次に、図4から図7を用いて、本実施形態による水中検査装置における画像処理方法の内容について説明する。図4及び図5は、本発明の第1の実施形態による水中検査装置における画像処理方法の内容を示すフローチャートである。図6及び図7は、本発明の第1の実施形態による水中検査装置における画像処理方法の説明図である。図3に示した画像処理手段31は、図4に示すように、画像処理を実行する。すなわち、処理を開始後、照明判定手段30A及び照明制御手段30Bが最適照明制御ステップ01を行い、最適な照明状態を設定し、欠陥判定手段35が欠陥判定ステップS02をした後、終了処理を実施する。なお、ステップ01の最適照明制御の内容の詳細は、図5を用いて後述する。また、ステップ02の欠陥判定の内容の詳細は、図7を用いて後述する。次に、図5を用いて、最適照明制御ステップ01の詳細な手順を説明する。初めに、照明判定手段30Aは、照明状態を判定するために用いる、画像のパラメータ後述を設定するステップS10。画像パラメータは、対象物である原子炉の内壁の表面の色調を示すものであり、例えば、色空間としてYUVを用いる場合、YUV変換後の輝度信号Yである。次に、照明制御手段30Bは、照明を初期位置に移動するステップS11。照明位置は、上下左右方向に、移動できるものとし、2次元走査により、最適な角度を設定する。例えば、上下方向に、0度~45度の範囲で角度を変えることができ、また、左右方向に、-45度~45度の範囲で角度を変えられるものとすると、初期位置を、例えば、上下方向に45度で、左右方向に-45度の角度位置とする。これを初期位置として、開始するステップS11。次に、照明判定手段30Aは、この初期位置で画像を取り込みステップS12、画像パラメータを算出し記録するステップS13。画像パラメータの取込みは、撮像領域の中央付近の所定の領域例えば、50ピクセル×50ピクセルの領域として、この領域の画像パラメータ例えば、YUV変換後の輝度信号Yの平均値を算出し、記録する。次に、照明判定手段30Aは、照明の位置が、最も右に位置しているかどうかを判定しステップS14、位置していなければ、照明制御手段30Bは、照明ユニット左右移動関節28A,28bの内部の左右移動モータを所定量駆動しステップS15、ステップS16からステップS17に戻り、再度、画像取り込みから繰り返すステップS12。すなわち、ステップS12~S15を繰り返すことで、上下方向に45度で、左右方向に-45度の角度位置を初期位置として、上下方向の角度は変えずに、左右方向を-45度~45度まで変えて、それぞれの所定角度移動する毎に、画像パラメータを算出する。このようにして、上下方向を同じ角度としたまま、左右方向を順次変えたとき、画像パラメータは、例えば、図7Aに示すように、左右角度を横軸とし、画像パラメータを縦軸とするような特性が得られる。次に、照明判定手段30Aは、ステップS14で、最も右に位置していた場合すなわち、同じ上下方向の角度の中で、左右方向の角度変化が終了したと判定された場合、次に、最も下段に位置しているかどうかを判定しステップS18、位置していなければ、照明制御手段30Bは、照明ユニット上下移動関節26の中の上下移動モータを駆動させステップS19、上下の照射角度を変更する。すなわち、例えば、初期位置では、上下方向に45度の角度としていた場合、次に、上下方向を40度となるように、上下移動モータを駆動する。そして、ステップS20からステップS17に戻り、再度、画像取り込みから繰り返すステップS12。すなわち、ステップS12~S15を繰り返すことで、上下方向に40度で、左右方向を-45度~45度まで変えて、それぞれの所定角度移動する毎に、画像パラメータを算出する。このようにして、上下方向を同じ角度としたまま、左右方向を順次変えたとき、画像パラメータは、例えば、図7Bに示すように、左右角度を横軸とし、画像パラメータを縦軸とするような特性が得られる。さらに、ステップS18の判定で、最下段まで照射を完了したと判定された場合、照明判定手段30Aは、全ての画像パラメータを比較し、画像パラメータの最大値を与える、照明位置を判定しステップS21、照明制御手段30Bは、その位置に照明22を移動させるステップS22。この最大値に関しては、図7を用いて後述する。次に、図6を用いて、対象物の表面の色調を示す画像パラメータの例について説明する。最適な照明状態を判定するための画像パラメータは、色空間によって異なる。色空間として、HSVを選択した場合は明度V、HISを選択した場合は強度I、また、YIQ,YUV、HLS、YCbCr、YPbPr、等の輝度と色差に分離する空間を選択した場合は、輝度Y若しくはLを用いて、照明状態を判定する。すなわち、画像パラメータは、カラー画像のコントラストを示す性質を有する量であり、YUV変換後の輝度信号Y、若しくはHIS変換後の彩度信号S若しくは輝度信号I、HSV変換後の明度信号V、若しくはYIQ変換後の変換後の輝度信号Y、若しくはHLS変換後の輝度信号L、のいずれかに該当する量である。なお、欠陥の性状によって、最適な画像パラメータが異なる。例えば、欠陥が割れである場合でも、その開口部の向きや形状により、YUV変換後の輝度信号Yが最適な場合もあるし、HIS変換後の彩度信号Sが最適な場合もある。また、欠陥が錆の場合には、最適な画像パラメータは、割れ場合とは異なる。そこで用いる画像パラメータは複数として、それぞれの画像パラメータ毎に、角度と画像パラメータの関係を求めておく。その上で、最適照明位置角度が求まると、その中で、最大値が得られるような最適画像パラメータを用いるようにする。次に、図7を用いて、画像パラメータと、照明位置関係の例について説明する。図7Aに示す画像パラメータ40は、検査対象面に対して、上下方向にφ3の角度を以って、左方から角度θを-θ1~θ1に振って、照明を当てた時に得られた画像パラメータの値である。ここで、画像パラメータ40の最大値は、M1とする。同様に、図7Bの画像パラメータ42は上下方向の角度をφ2とした時の値である。ここで、画像パラメータ42の最大値は、M2とする。また、図7Cの画像パラメータ44は上下方向の角度をφ3とした時の値である。ここで、画像パラメータ44の最大値は、M3とする。また、最大値M3が得られた角度はθ3である。そして、図7A~図7Cにおける画像パラメータの最大値M1,M2,M3を比較することで、上下方向をφ3としたとき、かつ、左右方向の角度をθ3とした時に、最大値が得られると判定する。この位置が、ステップS21によって判定された最適照明位置である。そして、ステップS22では、照明ユニット上下移動関節26および照明ユニット左右移動関節28A,28bを駆動して、上下方向が角度φ3で、かつ、左右方向が角度θ3となるように、照明22の角度を制御する。その上で、後述の欠陥判定を実行する。次に、図4のステップ02の欠陥の判定方法について、説明する。図7Aに丸で示す注目領域41,図7Bに丸で示す注目領域43,図7Cに丸で示す注目領域45に欠陥があるものとする。一方、画像パラメータには、予め、欠陥と判定すべき閾値46を設定しておく。照明の角度を変化させることで、1回でもその閾値を超えれば、欠陥と判定する。図7の例では、図7Cに示すように、上下方向φ3、左右方向θ3の時に、閾値46を超えており欠陥と判定する。以上説明したように、本実施形態によれば、取得画像中の色調変化を表わす明度、強度、輝度、のいずれかの特徴量を用いて、最適な照明状態を設定することができる。また、欠陥の有無を判定することが可能になる。次に、図8~図10を用いて、本発明の第2の実施形態による水中検査装置の構成及び動作について説明する。なお、本実施形態による水中検査装置を用いた水中検査作業時の機器配置は、図1に示したものと同様である。また、本実施形態による水中検査装置に用いるカメラユニットの構成は、図2及び図3に示したものと同様である。図8及び図10は、本発明の第2の実施形態による水中検査装置における画像処理方法の内容を示すフローチャートである。図9は、本発明の第2の実施形態による水中検査装置における画像処理方法の説明図である。本実施形態による水中検査装置を用いた水中検査作業時の機器配置は、図3のシステム制御手段30において、レンズ駆動ステージ用ドライバ34を自動的に駆動する手段を設けた点で異なる。画像処理手段31において、カメラ22に対してレンズ23の焦点が合致しているかどうかを、判定する手順を追加したものであり、以下、第1の実施形態と異なる点のみ説明する。最初に、図8を用いて、画像処理方法について説明する。本実施形態では、図4に対して、ステップS03の焦点制御が追加されている。すなわち、処理を開始後、システム制御手段30は、焦点制御ステップS03、照明判定手段30A及び照明制御手段30Bが最適照明制御ステップS01を行い、最適な照明状態を設定し、欠陥判定手段35が欠陥判定ステップS02をした後、終了処理を実施する。図9は撮影画像のイメージを示しており、図9Aは焦点が合っていない状態、図9Bは焦点が合っている合焦している状態を示している。合焦していない画像50において、合焦していない検査対象物51が存在するものとする。合焦判定に用いる映像ライン52は、画像の上部から下部までスキャンする。スキャンした際、第1の実施形態の図7の画像パラメータと同一の判定をする。図10を用いて、システム制御手段30による焦点制御の手順を説明する。第1の実施形態では、照明の状態を判定する基準として、画像パラメータを用いたが、本実施形態では、焦点が合致しているか否かの判定に、画像パラメータを用いるものである。合焦は2つの領域のコントラストの大小により判定できるので、2つの領域の画像パラメータの差を抽出するようにしている。焦点制御処理ステップS03では、システム制御手段30は、まず画像をキャプチャするステップS30。その画像に対し、対象領域を抽出する処理をするステップS31。対象領域は、撮像領域の中央付近の近接する2つの領域である。例えば、撮像領域の中央付近に、50ピクセル×50ピクセルの領域であって、互いに近接若しくは隣接する領域を設定する。次に、システム制御手段30は、抽出した対象領域に対し、2つの領域のそれぞれの画像パラメータの平均値を求め、2つの平均値の差を合焦判定信号として抽出しステップS32、その値を評価ステップS33して前回の合焦判定信号よりも値が小さければ、モータドライバを駆動ステップS34し、画像取り込み処理に戻る。最適照明制御ステップS02以降の処理は、第1の実施形態と同一である。以上説明したように、本実施形態によれば、焦点が合っていない検査画像に対しても、取得画像中の色調変化を表わす画像パラメータを用いて、焦点および照明を同時に最適化し、欠陥の有無を判定することが可能になる。次に、図11~図16を用いて、本発明の第3の実施形態による水中検査装置の構成及び動作について説明する。本実施形態による水中検査装置を用いた水中検査作業時の機器配置は、図1に示した検査用のカメラユニット8の代わりに検査用ビークル60を用い、カメラ固定治具の代わりにビークル用ケーブル61を用いている点が異なる。本実施形態は、第1の実施形態と同一目的を達成しようとするものであるが、カメラを搭載する機器が、固定型ではなく、泳動型の検査用ビークル60であるため、上下左右方向の振れを抑制するために取得画像の振動を抑制する機能を追加した点も異なる。なお、他の構成、画像処理方法、表示方法は同一である。最初に、図11を用いて、本実施形態による水中検査装置を用いた水中検査作業時の機器配置について説明する。図11は、本発明の第3の実施形態による水中検査装置を用いた水中検査作業時の機器配置図である。原子炉1の中に、検査用ビークル60を投入し、ビークル用ケーブル61を介して、制御装置10A、表示装置11、コントローラ12Aを接続している。コントローラ12Aは、ビークル操作員13aが操作し、また、ビークル用ケーブル61は、操作補助員13bが捌き、その位置を調整する。制御装置10A、表示装置11、コントローラ12Aの構成は、基本的に図3に示したものと同様である。但し、本実施形態では、図3のシステム制御手段30は、泳動型の検査用ビークル60における上下左右方向の振れを抑制するために取得画像の振動を抑制する手段を備えている。次に、図12を用いて、本実施形態による水中検査装置に用いる検査用ビークル60の構成について説明する。図12は、本発明の第3の実施形態による水中検査装置に用いる検査用ビークルの構成を示す鳥瞰図である。図12に、検査用ビークル60の構造を示す。検査用ビークル60には、目視検査のためのカメラユニット70を取り付けてある。また、3次元的な泳動を可能にするために、昇降用スラスタ71、推進用スラスタ72、並進旋回用スラスタ73A,73bを搭載している。また、図2に示したものと同様な照明ユニット20を備えている。照明ユニット20の照明22は、上下方向及び左右方向に角度を変えることができ、撮像領域における照明22から光の照射角を変えることができる。次に、図13~図16を用いて、本実施形態による水中検査装置における画像処理方法の内容について説明する。図13,図15及び図16は、本発明の第3の実施形態による水中検査装置における画像処理方法の内容を示すフローチャートである。図14は、本発明の第3の実施形態による水中検査装置における画像処理方法の説明図である。最初に、図13を用いて、画像処理方法の手順を説明する。処理を開始後、図3に示したシステム制御手段30は画像振動抑制ステップS04を行い、焦点制御ステップS03を行い、最適照明制御ステップS01を行い、最適な照明状態を設定し、欠陥判定手段35は欠陥判定ステップS02をした後、終了処理を実施する。焦点制御ステップS03は、図10にて説明した内容である。最適照明制御ステップS01は、図5にて説明した内容である。欠陥判定ステップS02は、図4にて説明した内容である。すなわち、画像振動抑制ステップS04が本実施形態特有のものであり、この点について以下に説明する。図14は、表示画像範囲のイメージを示している。時刻Ti-1における表示画像80に対し、時刻Tiにおける表示画像81は、X方向の画像シフト量82、Y方向の画像シフト量83の分だけ、ずらして表示する。なお、時刻Ti-1、時刻Tiいずれの場合でも、表示サイズに変化は無いため、シフトさせた分だけ、画像情報が無いことになるため、時刻Tiにおいて、ブランク領域84を挿入する。次に、図15および図16を用いて、図13における、画像振動抑制処理ステップS04の詳細な手順について説明する。画像振動抑制処理は、図3のシステム制御手段30によって実行される。まず、ステップS60において、時定数Nを入力する。次に、ステップS61で、時刻T0における初期画像処理を行う。ステップS62で初期撮影画像を読み込み、ステップS63でカメラのレンズによる歪みを補正し、ステップS63で初期画像を保存する。次に、ステップS65で、時定数Nにより定められる範囲の初期画像相関を算出し、ステップS66で、画像振れ量を算出する。なお、画像振れ量の算出方法については、図16を用いて後述する。その後、時系列に従って、画像補正処理ステップS68を行う。具体的には、画像振れ量を算出しステップS69、過去の振れ量を読み込みステップS70、平均値を算出しS71、画像をシフトしステップS72、その結果を表示するステップS73。この時、図14で示した通り、ブランク領域を画面の端に挿入して表示する。最後に、次のステップS74においてループ判定を行う。ステップS75において、操作員から終了の入力が無ければ、ステップS76から、ステップS77にジャンプし、ステップS67からステップS74までの処理を繰り返す。ここで、図16を用いて、ステップS66の画像振れ量算出の具体的手順について説明する。まず、ステップS80で現時刻Tiの画像を取得する。詳細には、ステップS81で現時刻の画像を取り込み、ステップS82で歪みを補正し、ステップS83で原画像として保存する。次に、ステップS84で前時刻Ti-1の画像を読み込み、ステップ85で画像相関演算をする。その結果、ステップS86で、図14に示したA,Bを画像振れ量を決定し、最後にステップS87で保存する。以上説明したように、本実施形態によれば、画像情報のみを用いて、画像の振れを修正し、なおかつ、焦点および照明を最適に調整した後、欠陥の判定を行うことが可能になり、ビークルを用いた様な振れの発生する画像を用いても、目視検査が可能になる。"