音響光学偏向器であって、回折結晶と、前記回折結晶に接続された少なくとも1つのRFドライバと、前記回折結晶を貫く光回折路であって、前記RFドライバに応答する屈折特性を有する、前記光回折路と、前記RFドライバに接続されたドライバ回路であって、第1の周波数から第2の周波数に及ぶ拡張された周波数範囲を掃引する、前記ドライバ回路とを含み、前記第1の周波数および前記第2の周波数は、1オクターブを超える周波数範囲に及ぶ、音響光学偏向器。開口絞りと、ブランキング間隔基準を生成する回路とをさらに含み、前記ブランキング間隔基準は、前記光回折路を横断するビームを、ブランキング時間にわたってブランキングされるようにし、前記ブランキング時間により、1オクターブを超える拡張された周波数範囲の利用が制限されて、前記開口絞り内の任意の点における前記音響光学偏向器のブランキングされていない動作周波数範囲が1オクターブ未満となる、請求項1に記載の音響光学偏向器。開口絞りおよびブランキング回路をさらに含み、前記ブランキング回路は、前記光回折路を伝播するビームを、前記ドライバ回路からの高周波数と低周波数との間の不連続部分が前記光回折路を伝播する際にブランキングされるようにして、前記音響光学偏向器のブランキングされていない動作周波数が前記1オクターブを超える拡張された周波数範囲を掃引する前記ドライバ回路に起因して、前記開口絞り内の少なくとも1つの点においてほぼ1オクターブに近づく、請求項1に記載の音響光学偏向器。開口絞りをさらに含み、前記ドライバ回路は、駆動周波数の不連続部分が前記開口絞りを横断するのに必要な時間にほぼ等しい時間にわたって、掃引周波数を、前記第1の周波数を上回る1オクターブを超えて継続的に上昇させる、請求項1に記載の音響光学偏向器。開口絞りをさらに含み、前記ドライバ回路は、駆動周波数の不連続部分が前記開口絞りを通過するのに必要な時間よりも短い時間にわたって、掃引周波数を、低周波数を上回る1オクターブを超えて継続的に上昇させる、請求項1に記載の音響光学偏向器。前記回折結晶とワークピースとの間に配置された視野絞りをさらに含み、ブランキングと前記視野絞りの孔との組み合わせにより、開口内の任意の点からの回折された放射が、前記1オクターブを超える拡張された周波数範囲にわたって前記視野絞りを通過することを不可とされる、請求項1~4のうちいずれか一項に記載の音響光学偏向器。前記第1の周波数と前記第2の周波数との間の比は、少なくとも1.10オクターブである、請求項1~6のうちいずれか一項に記載の音響光学偏向器。前記第1の周波数と前記第2の周波数との間の比は、少なくとも1.20オクターブである、請求項1~6のうちいずれか一項に記載の音響光学偏向器。前記第1の周波数と前記第2の周波数との間の比は、少なくとも1.30オクターブである、請求項1~6のうちいずれか一項に記載の音響光学偏向器。音響光学偏向器を駆動する方法であって、前記音響光学偏向器は、回折結晶と、開口とを含み、前記開口は、照明光源と前記回折結晶との間に配置され、前記方法は、前記回折結晶に駆動信号を印加することであって、前記駆動信号は、1オクターブを超える周波数範囲を掃引する、前記印加すること、前記駆動信号の周波数範囲の不連続部分が、前記開口の孔によってビームに露出された前記回折結晶の一部を伝播する際、前記回折結晶上に前記開口の孔を通じて方向付けられる少なくとも1つのビームをブランキングすることを含む、方法。前記不連続部分が前記開口の孔を通過するのに必要な時間にほぼ等しい時間にわたって1オクターブを超えて継続的に上昇する周波数を用いて前記回折結晶を駆動することをさらに含む、請求項10に記載の方法。前記不連続部分が前記開口の孔を通過するのに必要な時間よりも短い時間にわたって1オクターブを超えて継続的に上昇する周波数を用いて前記結晶を駆動することをさらに含む、請求項10に記載の方法。前記開口を通じて前記結晶上に方向付けられた前記ビームを視野絞りを介して中継することをさらに含み、前記ブランキングと、前記視野絞りの孔との組み合わせは、前記視野絞りを通過する回折された放射を、1オクターブ未満の駆動信号によって回折された放射に制限する、請求項10に記載の方法。少なくとも1.20オクターブの範囲の音響周波数を用いることをさらに含む、請求項10~13のうちいずれか一項に記載の方法。本記載の技術は、1オクターブを超える拡張された周波数範囲を音響光学偏向器駆動のために適用し、これにより、帯域幅を1オクターブ未満までに制限する設計経験則を打ち破る。拡張された周波数範囲と、タイミングの良いビームブランキングとの組み合わせにより、ビームブランキングによって消費されるいわゆるチャープ信号の比率が低下する。その結果、掃引信号の有効部分が増加する。本発明の特定の局面について、特許請求の範囲、明細書および図面中に記載がある。以下、図面を参照つつ、本発明について詳細に説明する。本発明を例示するために、好適な実施形態について説明するが、これらの実施形態は、特許請求の範囲によって規定される範囲に限定されない。当業者であれば、本記載において多様な改変例が可能であることを理解する。開示される装置および方法は、AOD動作が1オクターブに制限される設計経験則を否定する。本発明者らは、少なくとも6.1MHz/μsの拡張された周波数チャープを用いてAODを駆動して、経験則を否定する。この拡張周波数チャープは、AODを通過する光線のAOD駆動帯域幅の増加および掃引角度の増加に対応する。AOD中において発生した周波数増加により、回折も増加する。従来1オクターブ未満に限定されていたAOD駆動帯域幅とは対照的に、1.3オクターブの帯域幅のシステムについて説明する。設計経験則において回避される問題として、ゴースト像がある。AOD回折結晶は、0次経路上の入来ビームを一次経路および二次経路に沿って、そして可能な場合はさらなる経路に沿って回折させる。一次経路および二次経路は、1オクターブだけ分離される。1オクターブ帯域幅を超える帯域幅を利用するように設計されたシステムは、二次経路に沿った回折の結果、ワークピース上にゴースト像を容易に生成し得る。開示の技術において教示される対策の組み合わせにより、1オクターブの設計経験則を必要とするゴースト像問題が軽減される。すなわち、開口フレーミングおよびブランキングblanking間隔の組み合わせにより、設計経験則とは対照的に、1オクターブを超えるAOD駆動帯域幅の利用が可能となる。図1は、簡略化された光学系内におけるAODを備えた視野絞りfieldstopの利用を示す。照明光源からの光ビーム101a、101bおよび101cは、時に角度104ブラッグ角度として知られるにおいて、回折結晶110の光学経路を通じて投射される。この光は、開口絞りaperturestop103を通過する。開口絞り103は、第1の縁部105および第2の縁部106を有する。AODは、少なくとも1つのRFドライバ111、時に複数のRFドライバによって駆動される。複数のRFドライバは、相互の位相関係によって操作され得る。RFドライバは、AOD中において音波113を発生させる。105から106への距離をほぼ同時に進む電波または光波とは対照的に、音波は、AOD結晶を通じて開口の幅を移動する際、一定の無視できない伝播時間を有する。この伝播時間に起因して、音波の周波数がAOD結晶の幅にわたって変化する。加えて、音波の強度がこの幅にわたって低下する。このような低下に対し、システムは補償を行うように設計され得る。結晶の回折特性は、音波の局所的周波数に依存する。図中、光線101a、101bおよび101cについて図示される若干異なる回折角度が、結晶内の異なる局所的音響周波数に応答する。これが、AODを通過する回折光線と、非回折光線の延長との間の角度により図示される。レンズ素子117および119は、回折光線を視野絞り120へと中継する。視野絞りは、音響周波数の高調波が視野絞りを通過することを回避する。例えば、図2において、200MHz回折信号によって最低光線回折101cが発生して、最低光線回折101cが視野絞り120の縁部126の範囲内に入る場合、200MHz信号の高調波である400MHz回折信号は光線を回折させ、これにより光線は絞りの反対側縁部125によって遮られる。縁部125および126間の隙間は、利用最低周波数の高調波が視野絞りから外れることができるよう、充分に小さい。図2に示す視野絞り120は、右側開口縁部から200~380MHzの駆動周波数に対応するようなサイズにされる。光線経路101cは、200MHz231、380MHz232および2200または400MHz233の駆動周波数についてトレースされる。視野絞りにおいて、200MHz信号231は、縁部126において視野絞りを通過する。380MHz信号232は、反対側の縁部125において視野絞りを通過する。400MHz信号233は視野絞りによって遮られ、縁部125の左側に当たる。光線経路101aは、270、450および2270または540MHz241、242、243の駆動周波数についてトレースされる。予測されるように、光線101aが270MHz信号241によって回折されると、光線は視野絞りを通過する。予測されるように、開口絞り103の左縁部105における光線101aは、540MHz信号243によって回折されると、視野絞り120の孔openingのずっと外側に当たる。しかし、光線101aが450MHz駆動周波数242によって回折されると、光線は視野絞りを通過するようにみえる。動作範囲が200~380MHzである場合、ビームのブランキングにより、このようなことは実際には発生しない。光線101cについて、視野絞りは、1オクターブの駆動周波数のみが利用可能であるという経験則に基づく。これとは対照的に、光線101aについては、視野絞りは、1オクターブを超え得る周波数を通過するようにみえる。なぜならば、450MHzは、2200または400MHzよりも大きいからである。同様にビームのブランキングにより、このようなことは実際には発生しない。図2に示すように、周波数の範囲全体は1オクターブを超える範囲であるが、開口絞り内における各点101a、101b、101cにおいて、1オクターブ未満が用いられる。最低周波数を有する開口縁部106が1オクターブ例えば、図2に示すような200~380MHzに近づいたとき、周波数範囲が限定される。図6は、開口絞りを配置することが可能な位置のうちいくつかを示す。一般的に、開口絞りは、照明がコリメートされるかまたはほぼコリメートされる位置に配置することができる。開口は好適には、回折が発生する位置の近隣に設けられる。理想的には、開口は605において回折結晶内に埋設される。より実際的には、開口は、AODの直前603または後方607に配置され得る。実際的なシステムにおいて、望遠鏡telescopeL5~L6はコリメータL7とAODとの間に配置され得、かつ/または、望遠鏡L3-L4がAODと最終レンズL2との間に配置され得る。L1は円筒レンズであり、AOD中の見かけの円筒レンズ効果を補償する。開口絞りを配置することができる605に相当する開口面は、601および/または609において見出すことができる。開口絞りは視野絞りの後方に配置され得る点に留意されたい。視野絞りは、AODとワークピースとの間あるいは像面またはその近隣例えば、望遠鏡L3~L4内またはワークピースの近隣に設けられるべきである。図3は、ブランキング時間が開口103の孔の幅105~106と相互に影響する様態を示す。図3の一般的配置構成において、ブランキング時間は、音波が結晶110を通じて開口絞りの孔にわたって縁部105から縁部106へと伝播するのに必要な時間である。換言すると、充填時間filltimeは、超音波がAOD中の開口を通じて開口を充填するのに必要な時間である。ビームをブランキング遮断することにより、チャープ信号中の不連続部分が孔を横断している間、結晶が偏向器として機能する事態を回避する。波313は、ブランキング直前の結晶中のチャープ位置を示す。最高周波数は、左側から右側へと結晶を伝播する。チャープ信号が最高周波数から最低周波数へと低下すると、不連続部分は最高周波数を追随する。波314は、開口の中間における不連続部分を示す。波315は、開口の離隔縁部106へと通過する不連続部分を示す。波313~315は、不連続部分通過時のビームのブランキングと、ビーム回折についての結晶の不使用とを主に示す。この革新的なチャープは、以下の2つの点において有利である。すなわち、第1に、より広い周波数範囲の利用が可能となり、その結果より広い走査角度が可能となる。第2に、合計時間のうちより少ない時間だけブランキングすることを可能とし、あるいはより高いチャープ率を利用することが可能となり、これにより走査がより高速となる。図4~図5は、チャープ信号に比例してブランキング時間が低減する様子を示す。図4は、従来技術のチャープが結晶を通じて左から右へと伝播する様子を示す。x軸は、AOD結晶内のチャープの位置を示すグラフ中、最初に発生した周波数を右側に示す。y軸は、周波数が1オクターブを通じて1xから2xへとに変化する様子を示す。図中、低い周波数は先ず結晶を横断するが、反対の配置構成も可能である。AODは、ランプramp間の不連続部分またはステップ図3、313を参照が左側の近隣開口孔105に到達するまでは、チャープが結晶を通過する際に利用可能である。不連続部分が離隔開口孔106を通過するまで、ブランキングは継続する315を参照。不連続部分が開口孔を通過する際、従来技術のチャープを用いて、チャープ周波数範囲のうちのある割合においてビームがブランキングされる。図5に示す革新的なチャープは、1.3オクターブを超えることにより、設計経験則を否定する。本グラフ中、0.3単位の周波数掃引が未だブランキングされているが、チャープ掃引は1.3オクターブである。従来技術と対照的に、ブランキングにより失われたチャープの割合は、.3/1.0から.3/1.3へ、すなわち、.30から.23へ低下している。この革新的チャープから得られた設計向上は、最適化無しに実現することが可能である。例えば、AODのための駆動信号は、不連続部分が結晶の活性部分を伝送することが可能となるのに必要な時間よりも長く1オクターブを超えて上昇し得、これにより、補償のためのブランキングが誇張される。あるいは、駆動信号は、不連続部分が開口を横断するのに必要な時間よりも短い時間にわたって1オクターブを超え得る。その後、潜在的に利用可能なデューティサイクルの一部がブランキングに用いられる。最も一般的には、使用されかつブランキングされていない駆動周波数範囲の割合を、少なくとも5パーセント、または好適には約10パーセントだけ向上させると有用であると考えられる。チャープ周波数範囲を増加させ、その結果として得られる潜在的な回折を10パーセント以上増加させると有用である。上記実施形態に基づいて、少なくとも1.10、1.15、1.20、1.25または1.30オクターブの拡張されたAOD駆動周波数範囲またはこれらのメリット数値のうちいずれか2つの間の周波数範囲が産業的に有用であることが判明した。理論的には、周波数範囲はさらに高く、すなわち2.00以上にすることが可能である。一般的に、AODのスループットは、帯域幅増加とともに増加する。回折に用いられるチャープ部分は、最大で1オクターブにまたはこれよりも若干少なく制限され、残りのチャープ周波数範囲はブランキングされ、これは充填時間に対応する。実際的にいうと、走査長さは一定であり得るが、掃引はより速く実行でき、それと同時により多くのチャープサイクルがブランキング時間によって消費される。走査に対応するチャープ部分は、最大で1オクターブにまたはこれよりも若干少なく制限され、残りのチャープはブランキングされる。チャープの異なる部分は、開口内の異なる点についてブランキングされる。ブランキング時間は、超音波が開口を横断するのに必要な時間に等しいまたは若干短い。周波数範囲が広がるほど、ブランキング時間の間、1オクターブから外れた周波数がチャープされる。そのため、広い周波数範囲は、高い走査速度および高い画素クロックに相当する。広い帯域幅および高データレートが得られるように選択されたバランスは、所望される高画素レートの利用形態に依存する。1オクターブの周波数範囲これは、低周波数の2倍の高周波数であるを超えると、スループットの利得は、範囲が増加するほど低下する。このトレードオフの1つの実際的目標として、周波数範囲として約1.3オクターブがある。実際には、2.0オクターブ以上の周波数範囲を用いると、不利なトレードオフを生み出すことが予想される。タイミング精度における現在の実際的制限に起因して、より高い周波数範囲限界としては、1.65オクターブがあり得る。より高速のクロックおよびコンピューティングが実際的コストで利用可能となると、この限界は変化し得る。特定の実施形態開示の技術は、装置、方法、製造物またはソフトウェアとして実行することができる。1つの装置は、音響光学偏向器である。音響光学偏向器は、回折結晶と、回折結晶に接続された少なくとも1つのRFドライバと、回折結晶を貫通する光回折路とを含む。光回折路は、RFドライバに応答する回折特性を有する。ドライバ回路が、RFドライバに接続される。RFドライバは、第1の周波数から第2の周波数に及ぶ拡張された周波数範囲を掃引する。第1の周波数および第2の周波数は、1オクターブを超える周波数範囲に及ぶ。RF駆動により、回折結晶を通じて音波が発生する。拡張された周波数範囲は、掃引のブランキングされた部分とは異なり、掃引周波数の有効部分workingportionを増加させる。この利得は、多様な様態で表すことができる。いくつかの実施様態において、音響光学偏向器は、ブランキング間隔基準を生成する回路をさらに含む。ブランキング間隔基準は、光回折路を横断するビームを、ブランキング時間にわたってブランキングさせる。ブランキング時間は、1オクターブを超える拡張された周波数範囲の利用を制限し、これにより、音響光学偏向器のブランキングされていない動作周波数範囲は1オクターブ未満となる。他の実施様態において、音響光学偏向器は、ブランキング回路をさらに含む。ブランキング回路は、光回折路を横断するビームを、ドライバ回路からの高周波数と低周波数との間の不連続部分が光回折路を伝播する際に、ブランキングさせる。これにより、1オクターブを超える拡張された周波数範囲を掃引するドライバ回路に起因して、音響光学偏向器のブランキングされない動作周波数がほぼ1オクターブに近づく。別の実施様態は、開口絞りを含む。開口絞りは、回折結晶の前方において光回折路に沿って配置される。この実施様態において、ドライバ回路は、掃引周波数を、駆動周波数の不連続部分が開口絞りを横断するのに必要な時間にほぼ等しい時間にわたって、第1の周波数よりも1オクターブ上を超えて上昇させ続ける。ほぼ等しいとは、2パーセント以内を意味する。あるいは、掃引周波数は、駆動周波数の不連続部分が開口絞りを横断するのに必要な時間よりも短い時間にわたって、低周波数の1オクターブ上を超えて上昇し続けることもできるし、または、その時間よりも長い時間にわたって、低周波数の1オクターブ上を超えて上昇し続けることもできる。その場合、上記したように性能ペナルティが発生する。これらの実施様態のうちいずれかは、視野絞りをさらに含み得る。視野絞りは、回折結晶と、ワークピースとの間に配置される。ブランキングおよび視野絞りの孔の組み合わせにより、1オクターブを超える拡張された周波数範囲にわたって回折された放射が視野絞りを通過することが不可とされる。第1の周波数と第2の周波数との間の比の範囲により、商業的に有用な結果が得られる。開示される5つの比/-3パーセントを挙げると、1.10、1.15、1.20、1.25および1.30オクターブがある。少なくともこれらの有利な数値である第1の周波数と第2の周波数との間に比の利用がさらに開示される。これらの比の理論については、上記に記載している。オクターブ比の範囲は、これらの比例えば、1.10~1.20または1.15~1.30のうちいずれか2つによって制約を受け得る。音響光学偏向器を駆動する方法として開示される技術も表すことができる。音響光学偏向器は、回折結晶と、開口とを含む。開口は、照明光源と、回折結晶との間に配置される。方法は、回折結晶に駆動信号を印加することを含む。駆動信号は、1オクターブを超える周波数範囲を掃引する。方法は、駆動信号の周波数範囲の不連続部分が開口の孔によってビームに露出された回折結晶の一部を伝播する際に、開口の孔を通じて回折結晶上に方向付けられる少なくとも1つのビームをブランキングすることをさらに含む。いくつかの実施様態において、方法は、不連続部分が開口の孔を通過するのに必要な時間にほぼ等しい時間にわたって、1オクターブを超えて継続的に上昇する周波数を用いて回折結晶を駆動することをさらに含む。拡張された周波数範囲とブランキングとの間のこの関係は、多様な他の様態で表すことが可能であり、その結果若干異なる範囲の請求項が得られる。方法は、不連続部分が開口の孔を通過するのに必要な時間にわたって、1オクターブを超えて継続的に上昇する周波数を用いて結晶を駆動することをさらに任意選択的に含む。方法は、開口を通じて結晶上に方向付けられたビームを視野絞りを介して中継することを含み得る。ブランキングと、視野絞りの孔との組み合わせにより、視野絞りを通過し、ワークピースに到達する回折された放射が、開口内における任意の点に対して1オクターブ未満の駆動信号によって回折された放射に制限される。装置の実施様態の文脈において上述したように、第1の周波数と第2の周波数との間の比の範囲により、商業的に有用な結果が得られる。開示される5つの比/-3パーセントは、1.10、1.15、1.20、1.25および1.30オクターブを含む。少なくともこれらの有利な数値である第1の周波数と第2の周波数との間の比を利用することもさらに開示される。これらの比の理論については、上記している。オクターブ比の範囲は、これらの比、または有利な数値のうちいずれか2つ例えば、1.10~1.20または1.15~1.30によって制限され得る。対応する製造物は、コンピュータ命令を含む固定記憶媒体である。コンピュータ命令がプロセッサまたはコントローラ上において実行されると、プロセッサまたはコントローラおよび関連付けられた装置は、記載の方法のうちいずれかを実行する。あるいは、コンピュータ命令が適切なハードウェアと組み合わせられると、記載の装置のうちいずれかが得られる。対応するソフトウェアは、方法の実行または装置の構成要素を対象とし得る。ソフトウェアがプロセッサまたはコントローラ上において実行されると、プロセッサまたはコントローラおよび関連付けられた装置は、記載の方法のうちいずれかを実行する。あるいは、ソフトウェアが適切なハードウェアと組み合わせられると、記載の装置のうちいずれかが得られる。