"矩形状の薄板基板の1枚を、収める基板保持枠体であり、平面視矩形状の金属枠部を有し、1中央部が下方に湾曲した前後の金属枠と該金属枠に沿って枠内側に延設した基板支持板と2平坦な左右の金属枠部と該金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板と3前後左右の金属枠部と基板支持板の境界部または金属枠部の外周に、金属枠部の表面および裏面に沿って形成されている嵌合部との1から3で構成されている基板保持用枠体であって、前記湾曲した前後の金属枠部から延設した基板支持板の基板支持面の形状がその中央部において下方に湾曲した形状であって、以下に定義する撓み率δ/Lが、70/1500≦δ/L≦150/1500の範囲になるように、基板を撓めて支持する基板支持面を有することを特徴とする基板保持用枠体。撓み率δ/L=基板支持面の最大撓み深さδ/基板支持面の長さL前記湾曲した前後の金属枠に沿って枠内側に延設した基板支持板の基板支持面の断面形状が、その両端部では、直線状でその範囲を除く中央部分が、下方に湾曲した形状であることを特徴とする請求項1記載の基板保持用枠体。前記基板支持板の基板保持幅が30mmから100mmの範囲であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の基板保持用枠体。基板保持用枠体に、基板を納めて、該基板保持用枠体を10mmから15mmの間隔で積み重ね可能であることを特徴とする請求項1または請求項3記載の基板保持用枠体。請求項1乃至請求項4のいずれか1の請求項に記載する基板保持用枠体に、基板を載置した状態の基板保持用枠体を、嵌合部の嵌め合わせにより多段に積み重ねし、最上段の基板保持用枠体の嵌合部に上蓋の嵌合部を嵌め合わせて封じ、かつ上蓋が基板に接触せず、最下段の基板保持用枠体の嵌合部にインナーパレットの嵌合部を嵌め合わせて封じ、かつ上蓋とインナーパレット間を結束ベルトで結束し、防振パレットに載せて搬送可能にしたことを特徴とする基板の梱包体。基板保持用枠体に、基板を納めて、該基板保持用枠体を10mmから15mmの間隔で積み重ねられていることを特徴とする請求項5記載の基板の梱包体。基板が、表示装置に用いるガラス基板またはプラスチック基板であることを特徴とする請求項6に記載する基板の梱包体。このような中、近年、特に、液晶表示装置用フラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター基板の製造が要求されており、カラーフィルター基板やその中間工程基板の輸送方法、保管装置は、さらに一層の、輸送効率向上による輸送コスト低減や保管場所の省スペース化が求められている。一方カラーフィルター基板やその中間工程基板のの安全な取扱いも重要な課題となって来ている。ちなみに、第6世代といわれる基板は、1500mm×1850mmのサイズ、第8世代は、2200mm×2500mmのサイズ、第9世代は、2400mm×2800mmのサイズとなっている。カラーフィルター基板には、ガラス材料が使用されているが、表示装置の大型化や多面付け化の要請に伴い、ガラス基板が大サイズ化し、基板の両辺を支持した場合は、中央部分でかなりの撓みが生じるのが実情であり、平面な状態で、輸送、保管することはできない。このようなガラス基板を嵩高にならないように、高い密度で集積して搬送保管することは、保管スペースの節減のみだけではなく、取り扱い装置や搬送装置の大型化を防ぎ、ひいては、資源の節減や製造コストの低減に寄与することになる。従来、使用されている基板保持枠では、フォークリフトによる搬送やトラック輸送の際、振動を受け、ガラス基板の縁辺部等に破損が生じる問題があった。僅かな破損であっても、飛散したガラス粉はその梱包体全体に影響を与え、また、製造装置に混入する場合には製造ライン全体を対しても影響を与える問題があった。また振動による基板保持枠からの発塵および外部からの異物の混入など輸送による品質問題もあった。本発明は、このような課題を解決すべく、鋭意研究して完成されたものである。上記課題を解決する本発明の要旨の第1は、矩形状の薄板基板の1枚を、収める基板保持枠体であり、平面視矩形状の金属枠部を有し、1中央部が下方に湾曲した前後の金属枠と該金属枠に沿って枠内側に延設した基板支持板と2平坦な左右の金属枠部と該金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板と3前後左右の金属枠部と基板支持板の境界部または金属枠部の外周に、金属枠部の表面および裏面に沿って形成されている嵌合部との1から3で構成されている基板保持用枠体であって、前記前後の金属枠部から延設した基板支持板の基板支持面の形状が中央部に向かい下方に湾曲した形状であって、以下に定義する撓み率δ/Lが、70/1500≦δ/L≦150/1500の範囲になるように、基板を撓めて支持する基板支持面を有することを特徴とする基板保持用枠体、にある。撓み率δ/L=基板支持面の最大撓み深さδ/基板支持面の長さL上記において、前記湾曲した前後の金属枠部に沿って枠内側に延設した基板支持板の基板支持面の断面形状が、その両端部では直線状であり、その範囲を除く中央部分が、下方に湾曲した形状である、ようにすることができる。大型の湾曲した枠体の作成は、高精度を維持する事は、難しいが両端部を直線状にすることにより、高精度が維持しやすく、また作成にかかる費用も安くできる。また、前記基板支持板の基板保持幅が30mmから100mmの範囲である場合には基板の振動をよりよく抑制することができる。なお、基板保持幅は、基板の裏面を枠体周辺で保持する各辺の幅であり、基板の清浄度を保つために接触面積を極力少なくすることが要求される。基板支持板の上面には、記載はしてないがガラス基板など破損し易い材料を保持する場合は、基板と接触する部分には、傷などを防ぐ為の樹脂製の基板支持部材や樹脂製のテープなどが装着されている。一般に基板を安定して保持するには、基板保持幅を大きくする必要があるが、大きすぎると基板支持板自体の振動によるバタツキが生じ、発塵の原因にもなる。さらに上記において、基板保持用枠体に、基板を納めて、該基板保持用枠体を10mmから15mm間隔で積み重ね可能にすることもできる。枠体を短い間隔で積み重ねる場合は、保管や輸送効率、省スペースに寄与することができる。上記課題を解決する本発明の要旨の第2は、基板を載置した状態の上記基板保持用枠体を、嵌合部の嵌め合わせにより多段に積み重ねし、最上段の基板保持用枠体の嵌合部に上蓋の嵌合部を嵌め合わせて封じ、かつ上蓋が基板に接触しないようにし、最下段の基板保持用枠体の嵌合部にインナーパレットの嵌合部を嵌め合わせて封じ、かつ上蓋とインナーパレット間を結束ベルトで結束し、防振パレットに載せて搬送可能にしたことを特徴とする基板の梱包体、にある。本発明の基板保持用枠体は、前記前後の金属枠部から延設した基板支持板の基板支持面の形状が中央部に向かい下方に湾曲した形状であって、撓み率δ/Lが、70/1500≦δ/L≦150/1500の範囲であるため、基板を撓めて支持する基板支持面を有する構造により基板が搬送時に受ける振動の加速度に対して、基板の変位量が最小となるように、前後の基板支持板の基板支持面の形状が設計されている。そのため、トラックによる輸送やフォークリフト搬送等の振動による基板の上下動が少なく、基板の破損を少なくでき安全に搬送、保管することができる。本発明の基板保持用枠体は、基板支持面の長さが、1000mm~1200mm程度を超える場合は、前記前後の金属枠体の基板支持板断面の基板支持面の形状がその両端部では直線状にされ、その範囲を除く中央部分が、下方に湾曲した形状にされている構造を有する場合には、基板の裏面を保持する面積を増やすことにより振動による基板の上下動を少なくして搬送できる。本発明の基板保持用枠体および基板の梱包体は、湾曲した基板支持枠体を用いて、例えば、第6世代のガラス基板1500mm1850mm厚み0.7mmを搬送した場合、トラックでの輸送時において通常生じる振動の加速度30m/s2において、振動振幅を5mm未満に抑えることができる。それにより、基板間隔を10mm~15mm程度に短縮し積載することが可能となる。また加速度30m/s2で振動させた際の上下の基板の相互間の振動の位相差が1mm以内であることにより、基板間隔を10mm~15mm程度に短縮して積載しても上下の基板は、ほぼ同じ方向に振動することにより基板同士の接触を防止することができる。振動による基板の上下動が少ないので金属枠の厚みを薄くし、基板間間隔を接近させられるので、枠体に収納された高密度の基板集積体を実現できる。従来第6世代のガラス基板1500mm1850mm0.7mmtは基板の撓みの為、基板を積層する際、基板同士が接触しない為には、30mm程度の間隔が必要であり、輸送手段のコンテナの高さ制限の為、積層は60段に積み上げるのが限界であったが、10mmの間隔が可能となり、150段まで積層した梱包が可能となった。このことは、基板の保管スペースの節減、輸送効率の向上と共に、製造装置の小型化、効率化にも寄与するものである。さらに、本発明の基板保持用枠体は、嵌合部を金属枠部自体にではなく、枠体自体や基板の荷重を受けない金属枠部の内周側に形成したので、誤って枠体を重ねた場合にも嵌合部が変形し難く、位置合わせが不完全になることが少ない。以下、まず本発明の基板保持用枠体について、図面を参照して説明する。図1は、基板保持用枠体を示す図であって、Aは斜視図、Bは平面図である。図1Aの斜視図のように、基板保持用枠体10は、平面視は矩形状の枠体であるが、前側と後側の辺の中央部が下方重力方向に湾曲した枠体となっている。図1Bの平面図ように、四辺にフレーム状の金属枠部1111a,11b,11c,11dからなるを有している。この金属枠部11部分が、多段に積み重ねる基板保持用枠体10と基板の全重量を支える構造部材となっている。金属枠部11の左右側の辺11a,11bは平坦な直線状の金属枠部であるが、前後側辺11c,11dは、前記のように下方に湾曲した形状にされている。四周の金属枠部11からは、基板Aが接触して載せられる定幅の基板支持板1313a,13b,13c,13dが内周側に延長して設けられている。左右の基板支持板13a,13bと前後の基板支持板13c,13dは重ならないようにするため、重なる部分の左右支持板は切り欠きされている。基板支持板13により囲まれる領域Kは開口域である。この領域の全体と基板支持板13にかけて、基板Aが載せられることになる。図1Bでは、基板Aの前後左右縁が均等の幅fで基板支持板13に載っている状態が示されている。この基板支持板の前後の支持板13c,13dの断面形状基板Aが載る面の形状を湾曲形状にすることに本発明の特徴がある。その詳細については後に詳述する。なお、枠体の前後と左右は、本来、対向する2辺のいずれを前後または左右としても良いが、本明細書では、区別し易いように矩形状の基板の長辺側の2辺を左右辺としている。図1Bに示すように、fは、基板支持板の基板を保持している部分の基板外側の端部から内方向の長さである。金属枠部11と基板支持板13の間には金属枠部11に沿って、上下に重ねる枠体の位置合わせを行う嵌合部12が形成されている。図1Bでは図示されないが、下面内周に沿っても嵌合部が形成されているものである図4参照。また、左右の金属枠部11a,11bの外側には、手掛部15が形成されている。手掛部15は、ロボットアーム等で枠体を把持する部分である。基板支持板13と嵌合部12、手掛部15は、通常金属枠部11と同質の材料からなっている。ただし、この嵌合部12は、金属枠部11と基板支持板13の間ではなく、金属枠部11の外周側に沿って形成しても良いものである。この明細書および図面では、説明を簡潔にするため、金属枠部11と基板支持板13の間に嵌合部12があるもののみを記載している。前後の辺11c,11dは、同じ形状で湾曲しており、湾曲した金属枠部11から基板支持板13c,13dが延設されている。この基板支持板13c,13dの上面に基板Aが載せられるので、その面の形状が、枠体に基板を載せて搬送する際の基板Aの安定性に影響を与える。従来技術では、この湾曲形状を、基板の自然な撓み形状に合わせるとするものが多いが、1500mm×1850mmサイズのガラス基板厚み0.7mmの長辺側端縁を支持し自然な撓み形状にした場合、350mm程度も短辺の中央部が沈む形状になり、実用的な湾曲形状ではなかった。本発明では、後述するように各種の試験を行った結果、湾曲形状は、撓み率δ/L=基板支持面の最大撓み深さδ/基板支持面の長さL、とした場合に、撓み率δ/Lが、70/1500≦δ/L≦150/1500の範囲にある、ようにすることを提案するものである。ここで、基板支持面とは、基板支持板と基板とが接触している面を意味し、基板との相対的関係で定まる面のことである。例えば、後側辺の基板支持板13dの曲面の長さが、1800mmであって、そこに、1500mmのガラス基板を載せた場合は、接触している面である基板支持面の曲面に沿った長さLは1500mmである。すなわち、δやLは、基板保持用枠体単独で定まる数値ではない。図2は、基板保持用枠体の湾曲する後側辺の正面図であり、基板Aが湾曲した基板保持用枠体に載せられた状態を示している。この状態で、基板Aの断面形状は、前後の基板支持面とほぼ同一の湾曲形状となっている。理解の容易のため、左右の金属枠部11a,11bと基板支持板13a,13bの断面も図示している。なお、説明の都合上、後側辺としているが前側辺も同一湾曲形状にされる。基板Aの裏面を支持する前後側辺の基板支持面の長さ図2に置いて距離Lに対する最大撓み深さ図2に置いて距離δの比率δ/Lとした場合、撓み率δ/Lが、70/1500≦δ/L≦150/1500の範囲にあることが搬送中の振動を少なくできることが解明されている。ただし、前後側辺の金属枠体の基板支持板断面の形状が、その両端部から30mm~150mmの範囲図2中、ElとEr部分では直線状にされていても、その範囲を含む部分が該撓み率の湾曲形状にされていれば、振動による影響は同様に少なくできることも明らかにされている。左右の基板支持板13a,13bの端部は、前後の基板支持板13c,13dとは重ならないようにするために図1Bのように切り欠かれている。図1B中、符号fは、基板Aと基板支持板が接触する幅であり、基板保持幅というものとする。この基板保持幅も基板に振動を与えた場合の基板の安定性に影響する。この詳細についても後述する。図3は、基板保持用枠体に基板を載せる状態の外観斜視図である。基板保持用枠体10に基板Aを載せる場合は、静止させた状態の基板保持用枠体10に対して、上方から基板Aを下降させて載置しても良いが、製造装置から出された基板Aを一旦平面な架台上に停止させ、その状態で基板保持用枠体10を架台の周囲下方から上昇させて基板Aを掬い上げるように載せる方法が、基板Aへの落下異物防止の観点より、一般に用いられる。基板Aは基板支持板13面に沿って置かれるが、自重により撓んだ状態になる。その際、基板Aの機能層面は上面にされ、上段の基板保持用枠体10の基板支持板13面にも接しないようにされる。図4は、図1Aの左右の金属枠体のz-z線での断面図である。Aは、基板保持用枠体に基板を載置する前であり、基板保持用枠体を3段に積み重ねした状態の図である。Bは、基板保持用枠体に基板を載置した状態で枠体を3段に積み重ねした状態の図である。いずれも左側断面のみが図示されているが、右側にも対称形の断面形状が現れる。3段としたのは例示であり、実際はさらに多段にする。基板保持用枠体10を既に基板Aを載せた他の基板保持用枠体10に順次積み重ねることにより、枠体の多段積み重ね体にすることができる。上下の枠体の積み重ねは、枠体10の下側の嵌合部12bの下面と、枠体10の上側の嵌合部12aの上面とが係合することにより嵌め合わせされ、位置合わせが確実に行われる。基板保持用枠体10は、最大150段程度に積み重ねできる。金属枠部11には、軽量化の目的からアルミやアルミ合金等の材料を使用する。図のように、断面が矩形状または正方形状であって、中空構造を好適に採用できる。図4の場合、基板支持板13は金属枠部11の上面から延出して設けられているが、下面側から延設して基板支持板13としてもよい。基板支持板13の金属枠部に沿う部分は、上側嵌合部12aとなっている。下側嵌合部12bは金属枠部11の下面から短く延出する突起片として設けられている。基板支持板13を下側にした場合は、この突起片を上面側から突出するようにしてもよい。基板支持板13は、一定幅H1で設ける。H1は、30mm~150mm程度であるが、前記の基板保持幅fは、50mm程度得られれば良い。左右の金属枠部11a,11bに設ける基板支持板13a,13bは、基板Aの形状に沿わせるため、角度αで下方に屈曲されている。前後の金属枠部11c,11dの基板支持板13c,13dは、長さ方向は例えば、1500mm幅基板の場合、最も深く撓んだ中央部分で、両端から50mmから150mmの範囲とするのが好ましい。内周方向側は下方には屈曲させないで良い。前記の図4の場合、1500mm×1850mmサイズのガラス基板厚み、0.7mmで、段ピッチ間隔d図4A参照を10mm~15mmとすることができる。基板のサイズが一層大型化すれば、撓み量は大きくなるが、撓みの程度が一定同一品種内でばらつきがない。であれば、均一な撓み量となるので同一の段ピッチ間隔を採用できる。金属枠部11の四隅は、図1Aに図示のように、樹脂製等のコーナーピース16を端部に嵌め込みして連結できるが、可能であれば溶接等で接合してもよい。コーナーピースの場合、金属枠部11との連結部が平滑に接続されるように注意する。コーナーピース16内に差し込みされる金属枠部11は切削して薄肉化し、コーナーピース16の表面と金属枠部11の表面との間に段差が生じないようにする。コーナーピース16自体にも嵌合溝を形成するのが好ましい。金属枠部11とコーナーピース16は、2辺の角度が直角に維持されるように、ボルトとナットで強く固定される。次に、本発明の基板の梱包体について説明する。図5は、基板を載せた基板保持用枠体を多段に重ね、インナーパレット、防振パレットを用いて梱包した状態の図である。すなわち、各1枚の基板を載せた状態の基板保持用枠体10を、金属枠体の嵌合部の嵌め合わせにより多段に積み重ねし、最上段の基板保持用枠体の嵌合部に上蓋21の嵌合部を嵌め合わせして封じ、かつ上蓋21が基板に接触しないようにし、最下段の基板保持用枠体の嵌合部に基板の湾曲形状を納め基板に接触しない形状にされたパレットインナーパレット30の嵌合部を嵌め合わせて封じ、かつ上蓋とインナーパレット間を結束ベルト23で結束し、さらに防振パレット40に載せ、フォークリフト搬送や貨物としてトラック輸送可能にされるのが通常である。材質と製法に関する実施形態基板保持用枠体10は、枠部材に構造強度を有する金属材料等を使用する。基板保持用枠体10自体と基板Aの合計荷重に耐える必要があるからである。例えば、前記第6世代の場合、1枚のガラス基板が5.1kg、基板保持用枠体が5.5kgになるので、150段にした場合、1.6トン以上となる。従って、金属枠部11に使用する材料には、軽量で腐食を生じない金属材料を使用できる。具体的には、純アルミニウム、ジュラルミンアルミ、銅3.5~5.5、マグネシウム系、アルミニウム-マンガン系等のアルミニウム合金等を使用できる。これらの材料を中空押し出し加工して枠形を製造することができる。金属枠部は、直線状の2辺と湾曲した円弧状の2辺を4隅で連結して構成される。湾曲した円弧状の辺は、連続した一体で作製しても可能であるが、大型基板用では、1辺の長さが長くなり、製作する上で治具の大型化もあり、技術面、コスト面で難しくなる。金属枠部は、ガラス基板を保持する面であり、一体でガラス基板が馴染む湾曲する面を持っていれば。分割して作製して後で連結しても良い。コーナーピース16には、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系プラスチック材料、超高分子量ポリエチレンUHMW-PE、ナイロン66、ナイロン610といったポリアミド系樹脂、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトンPEEK等のプラスチック材料を使用できる。これらの材料を金型を用いインジェクション成形して製造できる。基板支持板の湾曲形状について基板を湾曲させて保管する考えは、既述のように先行技術にも見られるが、その基板支持板の湾曲形状は、自然な撓み形状に合わせる方法が主として行われてきた。しかし、基板が大サイズ化すると、撓み量が300mmから500mm程度にもなり、搬送時の揺動が大きく、実用に供し得ない状態になってきている。1500mm1850mmサイズ厚み0.7mmのガラス基板の両端長辺を単純支持した場合の自然な撓み量を、レーザー変位計で測定した結果、短辺の中央部の最大撓み量は約350mmであり、この結果より多項式で近似すると数1のようになる。図9は、これを表すグラフである。なお、横座標xは、原点0,0からの基板距離mm、縦座標yは、水平面に対する撓み量mmである。一方、有限要素法による強度解析の結果では、1500mm1850mmサイズ0.7mmtのガラス基板の長辺2辺を支持した場合の最大撓み量は、350mmで、ガラス基板に働く最大応力は44MPaとなる。この値は、一般的なガラス破壊応力の47MPaに近くガラスへダメージを与える危険性が非常に大きい状態である。ガラス基板の破壊を防ぐ為には、ガラス基板に懸かる応力は、前述の最大応力に対して安全率1/3以下での支持が安全上望ましい。前記ガラス基板の短辺2辺の中央部の撓み状態は、実際の取扱いで約100mm程度が安定していることより、短辺の最大撓み量を100mmとして、数1に係数を掛けて撓み形状をシミュレートした。この状態でのガラス基板に懸かる最大応力は、有限要素法による強度解析の結果、約11MPaとなり、ガラス基板に対する破壊応力の安全率が確保できると考えられる。次に、1両短辺2辺が湾曲し、長辺2辺が直線状の湾曲枠体で前記ガラス基板を支持した場合と、2短辺2辺と長辺2辺の4辺が直線状の平面枠体で支持した場合の撓み及び応力について、有限要素法で強度解析を行った。その結果を、図10と図11を参照して説明する。図10は、要素法による強度解析にて長辺方向が直線で、短辺方向が最大撓み100mmの枠体でガラス基板を支持した場合の最大応力と撓み形状を表すグラフである。図10に示すように、矢印x1のガラス基板の短辺方向は、枠体の短辺の湾曲形状に沿った撓み曲線となり、矢印x2のガラス基板の長辺中央部同士を結ぶ中央線の撓みは、枠体の短辺の湾曲形状に沿った撓みとほぼ同じである。即ち長辺側の基板端から中央部に向かい枠体の撓みに倣って100mm下方に撓みが生じている。しかし、この撓みは枠体に倣った撓みであり、ガラス基板の自重による撓みは、ほぼ無い状態といえる。これに対してガラス基板の長辺方向は、矢印y1の枠体の長辺の直線上の枠に沿った部分は枠体と同じ位置で直線状で、矢印y2のガラス基板の短辺中央部も長辺方向は、基板端部に対して100mm下方の位置で直線状である。短辺の中央部同士を結ぶ中心線の撓みは、ほぼ無い状態となる。即ちガラス基板の短辺は、湾曲枠体に保持された状態で、ガラス基板の長辺方向は、直線状で撓みの殆ど無い状態である。この場合のガラス基板に懸かる最大応力は、11.1MPaで応力の分布は、長辺方向に伸びたなだらかな分布である。即ちこの状態で振動した場合、ガラス基板の破壊応力の1/3以下で安全な応力で短辺、長辺ともしっかり保持された状態と考えられる。図11は、有限要素法による強度解析にて4辺がフラットな枠体でガラス基板を支持した場合の応力と撓み形状を表すグラフである。これに対して図11のように4辺フラットな枠体でガラス基板を支持した場合は、矢印x2及びy2の部分で最大撓みは基板中央部で10.4mmと撓み量は小さいが、矢印x1及びy1の枠体に沿った基板の端部が1mm程度枠体より浮きが生じる。即ちガラス基板の端部が枠体から浮き保持が不安定となる。また、最大応力は、13.4MPaで4コーナー部に懸かり、応力分布も中央部に向かい傾斜が大きい。即ちこの状態で振動した場合基板が上下に揺れ安定性の無い保持状態であると考えられる。この推測が正しいことを実証するために、後述するように、15001850mmサイズ厚み0.7mmのガラス基板を使用し、短辺の撓み率が60/1500~350/1500の範囲の各種撓み率の基板保持用枠体を用いて、振動試験を行った。その結果は、表1に示されるように、70/1500~150/1500の範囲が良好な結果を示すことが確認された。なお、撓み曲線として、数1に係数を乗じた曲線が適切なことを説明したが、この曲線は、図12に示すように円周の一部円弧に近似する曲線であるので、両端部の直線部を除く中央部の該湾曲形状部は、撓み率の近似した円弧でもよいことになる。円弧にした場合、曲率半径は、4020mm~1850mmとなる。以上の結果より1500mm1850mmサイズ0.7mmtのガラス基板に対して中央部で100mm程度下向きに撓ませた状態において、ガラス基板が受ける応力は、ガラス破壊応力の1/3以下となることより、撓み量を100mmとし、ガラス基板の周辺部における基板保持幅について振動振幅、品質等の検討を行った。表2に示すように基板保持量としては30mmから100mmが適用可能範囲であった。振動試験方法ガラス基板を湾曲した基板保持用枠体に載せ、インナーパレット上に2段に重ねた状態でフォークリフトのフォークに載せ加速度30m/s2で振動させた時のガラス基板の振動振幅をレーザー変位計で測定し、各種湾曲トレイにおけるガラス基板の振動振幅の比較を行った。図8は、振動による振幅測定方法を説明する図である。測定方法は、図8に示すように、2つのレーザー変位計R1,R2を同時に用い、各振動付与時における基板の位置を比較することにより、位相差を測定することができる。図8の場合、レーザー変位計R1は、上段のガラス基板からの反射光を測定し、R2は、下段のガラス基板の反射光を測定する状態になっている。同時における位相が静止時と比較して変化が小さければ、位相変化は小さいことになる。レーザー変位計は、キーエンスLK-G80等を使用でき、本試験も当該測定機によった。なお、30m/s2は、実際にトラック輸送した際に測定した振動の加速度でもある。振動試験結果前記試験方法にて、15001850mm0.7mmtのガラス基板を短辺の撓み率が60/1500、70/1500、80/1500、100/1500、150/1500,200/1500、350/1500の各種撓み率で基板の基板保持幅は50mmでの応力および振動振幅を表1に示す。基板にかかる応力は撓み率が100/1500の場合で11.1MPaであり、撓み率がこれより小さい場合は、基板にかかる応力は、11.1MPa以下である。これは、ガラス破壊応力の47MPaの1/3以下であり、ガラス基板へのダメージは少なくガラス基板の破壊に対して問題ない。撓み率が150/1500で応力15MPaとガラス破壊応力の47MPaのほぼ1/3となり撓み率がこれより大きいと基板のかかる応力も大きくなり、ガラス基板に対するダメージが大きいと推察される。基板の振幅の観点から撓み率をみると、撓み率が60/1500では振幅が6mmであり、撓み率が70/1500では、振幅が4mmであるのに対して、撓み率が100/1500では、振幅が2mmとなった。撓み率が大きくなる程、振動による振幅が小さくなる。撓み率が150/1500より大きい場合は、振幅は2mm以下となる。多段に積層するトレイ間隔は、狭い程省スペースとなり、有効であるが、今回のトレイ設計は、トレイ間隔を10mm、即ち10mmピッチで150段のガラス保持枠体を設計するに対して、ガラス基板が振動した際に許容される振幅は最大で5mm以下であり、基板の振幅および基板にかかる応力の許容範囲から枠体の撓み率は70/1500から150/1500とした。最も良い状態は、振幅変位が2.5mm以内で基板にかかる応力がガラス破壊応力の1/3以下だと撓み率が100/1500から150/1500の範囲となる。基板保持幅についての試験結果を表2に示す。撓み率を100/1500で20mmから150mmで各種基板保持幅を換え、振動試験を行った。基板保持幅が20mmで、振幅が5mmであり基板保持幅が50mmで振幅が2mmになる。この基板保持幅が20mmから50mmの間では、基板保持幅が増加するにつれて振幅が小さくなったが、基板保持幅が100mmで振幅3mm、基板保持幅が150mmでは、振幅5mmとなり、基板保持幅が50mmを超すと基板保持幅が大きくなると振幅が大きくなった。これは、基板を保持している基板支持板が長くなり、基板支持体自体のバタツキが生じ始め、基板保持幅が長くなり過ぎると基板支持体自体の振動が基板に伝わり、基板の振幅が増加したことによる。表2に示すように基板保持量としては30mmから100mmが適用可能範囲であった。図6は、撓み率100/1500の基板保持用枠体に基板を積載し、基板保持幅50mmで加速度を与えた場合の、基板の振幅変位状態を示すグラフである。図7は、基板を積載した基板保持用枠体に加速度を与えた場合の、上下に隣り合う基板の位相変位状態を示すグラフである。15001850mm0.7mmtのガラス基板を短辺の撓み率が100/1500で基板保持幅を50mmとして枠体にガラス基板を載せ、この枠体を2層に積層して振動試験を行った。図8の方法で測定した結果を各ガラス基板の中央部のそれぞれのガラス基板の振幅変位の状態が図7に示す。ガラス基板を枠体に保持し積層して輸送する場合は、それぞれ上下に位置するガラス基板同士の振動する位相ずれが大きいと振幅は小さい場合でも上下のガラス基板の接触による破損の要因となる。2枚積載した状態でそれぞれのガラス基板の振動の位相について測定した結果、最大の位相ずれで1mmであり、上下のガラス基板の振動の位相ずれは問題無いことが確認できた。アルミニウム合金材料を使用して、1500mm×1850mmサイズ基板用の基板保持用枠体10を製造した。まず、図1図示の金属枠部を中空押し出し加工して製造した。左右の金属枠部11a,11bはそのまま使用したが、前後の金属枠部11c,11dは押し出し後、基板Aの撓み形状に合わせる曲げ加工を行った。撓み率δ/Lは、100/1500となるようにした。金属枠部11の厚み段ピッチdを10mmとし、金属枠幅w1を30mmとした。各部の肉厚は、3mmから5mmとなった。嵌合部12の幅w2を15mmとし、基板支持板13の幅H1を100mmとした。四隅の金属枠部を加工し、ポリアミド樹脂製のコーナーピース16に嵌め込みできるようにして接続した。完成した基板保持用枠体10を使用して基板Aの移載を前記移載用架台とロボットアームを使用して試験したが、円滑に機能することが確認された。この基板保持用枠体に、1500mm1850mmサイズ厚み0.7mmのガラス基板を積載した。基板保持幅fは、4周囲共に50mmとなった。基板保持用枠体を150段積層し、このように段積みされた枠体を、最下段に基板の湾曲形状を納め基板に接触しない形状にされたパレットインナーパレットを介して、さらに防振パレットに載せ、最上段に上蓋を載せ、結束ベルトで固定した。ガラス基板を含めた梱包体は、総重量1.8トンで、全高さは2.1mとなった。こ状態でフォークリフト搬送や貨物としてトラック輸送する試験を行ったが、ガラス基板の破損傷も無く品質上の異物付着も無い良好な結果が得られた。"