"鋼材又は超硬合金から成る母材と、該母材の加熱状態でIVB族の元素を含む投射粒子が投射されることにより該母材の表面に形成された、該投射粒子に含まれるIVB族の元素と該母材に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素との金属間化合物層と、該金属間化合物層の上に成膜されたダイヤモンド層とを含むことを特徴とするダイヤモンド被膜被着部材。IVB族の元素を含む投射粒子を、鋼材又は超硬合金から成る加熱された母材の表面に投射して、該投射粒子に含まれるIVB族の元素と該母材に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素との金属間化合物層を母材表面に形成し、該金属間化合物層の上にダイヤモンド層を成膜することを特徴とするダイヤモンド被膜被着部材の製造方法。前記IVB族の元素またはIVB族の元素を含む粒子は、たとえばSi粒子またはSiを含む粒子であることを特徴とする請求項2のダイヤモンド被膜被着部材の製造方法。前記母材は、高速度鋼、工具鋼などの鉄族元素であるFeを含む鋼材または、超硬合金であることを特徴とする請求項2または3のダイヤモンド被膜被着部材の製造方法。前記金属間化合物層は、10μm乃至100μmの膜厚を有することを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1のダイヤモンド被膜被着部材の製造方法。前記母材は850乃至1200°Cの温度で加熱され、前記投射粒子は、該母材に、0.05乃至1.0g/secの投射量で投射されることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1のダイヤモンド被膜被着部材の製造方法。しかしながら、上記のような従来のダイヤモンド被膜被着部材においては、母材に対して必ずしも十分なダイヤモンド被膜の付着強度が得られていないという問題があった。本発明は以上の事情を背景として為されたもので、その目的とするところは、高い密着強度で母材の表面にダイヤモンド被膜が比較的容易に設けられるダイヤモンド被膜被着部材を提供することにある。かかる目的を達成するために、本発明のダイヤモンド被膜被着部材は、鋼材又は超硬合金から成る母材と、該母材の加熱状態でIVB族の元素を含む投射粒子が投射されることにより、該母材の表面に形成された該投射粒子と該母材に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素との金属間化合物層と、該金属間化合物層の上に成膜されたダイヤモンド層とを含むことを特徴とする。また、上記ダイヤモンド被膜被着部材の製造方法の要旨とするところは、IVB族の元素を含む投射粒子を、鋼材又は超硬合金から成る加熱された母材の表面に投射して、該投射粒子に含まれるIVB族の元素と該母材に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素との金属間化合物層を母材表面に形成し、該金属間化合物層の上にダイヤモンド層を成膜することを特徴とする。本発明のダイヤモンド被膜被着部材およびダイヤモンド被膜被着部材の製造方法によれば、母材の表面とダイヤモンド層との間に、IVB族の元素を含む粒子が、鋼材又は超硬合金から成る加熱された母材の表面に投射されることで形成された、投射粒子に含まれるIVB族の元素と母材に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素との金属間化合物層が設けられている。このため、金属間化合物層は金属間化合物として母材に強固に固着しており、その金属間化合物層の上に成膜されたダイヤモンド層と母材に含まれる鉄族元素との反応による黒鉛化がその金属間化合物層により防止されるので、高い密着力を有する安定したダイヤモンド被膜が工具母材上に得られる。ここで、好適には、前記IVB族の元素またはIVB族の元素を含む粒子は、たとえばSi粒子またはSiを含む粒子である。この場合、投射粒子に含まれるSi元素と母材に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素たとえばMo、Cr、Wなどとの金属間化合物層として、母材表面にシリサイド層が強固に形成される。また、その金属間化合物層の上に成膜されたダイヤモンド層と母材に含まれる鉄族元素との反応による黒鉛化がそのシリサイド層により防止される。また、シリサイド層はダイヤモンド結合であるので、ダイヤモンド層との間の結合力が高く、一層、高い密着力を有する安定したダイヤモンド被膜が母材上に得られる。また、好適には、前記母材は、高速度鋼、工具鋼などの鉄族元素であるFeを含む鋼材、または、超硬合金である。これらの鋼材或いは超硬合金から成る母材の表面に形成された金属間化合物層により、母材に含まれる鉄族元素とダイヤモンド層との反応が防止されるので、高い密着力を有する安定したダイヤモンド被膜が母材上に得られる。前記金属間化合物層は、10μm乃至100μmの膜厚を有する。化合物層が10μm乃至100μmの膜厚であれば凹凸に拘わらず確実に母材に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素とダイヤモンド層との反応が防止されて、高い密着力を有する安定したダイヤモンド被膜が母材上に得られる。金属間化合物層の膜厚が10μmを下回ると、確実に母材に含まれる鉄族元素とダイヤモンド層との反応が防止され難くなり、100μmを超えると、ダイヤモンド被膜の接着強度を高める効果が飽和する。また、前記投射粒子が投射されるに際して、前記母材は850乃至1200°C、好適には900乃至1100°Cの温度で加熱され、その母材には、0.05乃至1.0g/secの量の投射粒子が投射される。母材温度が850°Cを下回ると、或いは投射粒子の量が0.05g/secを下回ると、母材上に形成される金属間化合物層が薄くなって均一でなくなるので、母材に含まれる鉄族元素とダイヤモンド層との反応が十分に防止されない。母材温度が1200°Cを上回ると、或いは投射粒子の量が1.0g/secを上回ると、母材の変形や投射される圧力、粒子のムラにより均一な合金層が形成されなくなるので、母材に含まれる鉄族元素とダイヤモンド層との反応防止効果が安定しない。本発明のダイヤモンド被膜部材は、耐摩耗性が要求される切削工具などの加工工具、すなわちダイヤモンド被膜工具に好適に適用されるが、鋼材、超硬合金を基材として表面がダイヤモンド被膜で被覆されているものであれば、加工工具以外のものにも同様に適用され得る。切削工具としては、エンドミルやタップ、ドリルなどの回転切削工具の他、バイト等の非回転式の切削工具、或いは転造工具など、種々の加工工具に適用される。また、ダイヤモンド被膜部材の母材を構成する超硬合金は、たとえば、Ti、ZrなどのIVA族金属、V、NbなどのVa族金属、Cr、MoなどのVIa族金属の炭化物とVIII族金属との擬二元系合金から成り、WC-Co系や、WC-TiTa,NbC-Co系など、炭化物結晶がCo中に埋め込まれた組織をもち、鉄族元素であるCoを少なくとも含有している。ダイヤモンド被膜部材の母材としては、Coの含有量が多い超微粒子超硬合金であってもよい。金属間化合物層は、たとえば、投射粒子に含まれるSiと、鋼材又は超硬合金から成る母材に含まれる鉄族元素Fe、Co、Mo、Ti、Ni、Wなどとが相互拡散或いは合金化することで母材表面に形成された金属間化合物すなわち金属ケイ化物である。この金属間化合物は、金属をMとしたとき、M2Siが多く作られるが、MSi、MSi2なども多く知られており、さらにM3Si、M2Si3、MSi3などもある。具体的には、金属間化合物は、たとえば鉄シリサイドFe3Si、コバルトシリサイドCoSi2、モリブデンシリサイドSi2Mo、チタンシリサイドTiSi2、タングステンシリサイドSi2Wのうちの少なくとも1つから成るシリサイド層である。このようにして得られる金属間化合物は単層であってもよいし、複層であってもよい。投射工程で用いられる投射粒子は、Siの他に、IVB族の元素たとえばGeが用いられてもよく、また、それらの混合物であってもよい。この場合でも、金属間化合物が生成される。投射工程に先立って母材表面を粗面化するための粗面化工程が、必要に応じて、設けられる。粗面化工程は、例えば電解研磨などの化学的腐食や、SiC等の砥粒などによるサンドブラストが好適に用いられる。ダイヤモンド被膜のコーティングにはCVD法が好適に用いられ、マイクロ波プラズマCVD法やホットフィラメントCVD法が適当であるが、高周波プラズマCVD法等の他のCVD法を用いることもできる。このようにして得られるダイヤモンド被膜は単層であってもよいし、複層であってもよい。以下、本発明の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は、本発明が適用された硬質被膜被覆工具の一例であるエンドミル10を説明する図であって、軸心と直角方向から見た正面図を示している。図2は、図1のエンドミル10の刃部14の表面付近の断面図である。このエンドミル10の工具母材12は、WCを主成分とする硬質相の平均粒径が1μm以下でCoの含有量が5~10wtの超微粒子超硬合金にて構成されており、その基材すなわち工具母材12にはシャンクおよび刃部14が一体に設けられている。刃部14には、切れ刃として外周刃および底刃が設けられているとともに、その刃部14の表面にはシリサイド層18を介してダイヤモンド被膜16がコーティングされている。図1の斜線部はダイヤモンド被膜16を表している。上記エンドミル10は、図3に示す工程を経て製造されたものである。工具母材研削工程に対応するステップS1では、工具鋼或いは超硬合金に研削加工等を施すことにより、切れ刃として外周刃および底刃を有する工具母材12が形成される。次いで、投射工程に対応するステップS2では、酸処理等によるCoの除去処理を行うことなく、図4に示す投射装置20を用いて投射粒子28を上記刃部14の表面に投射し、工具母材12の表面に、たとえば、投射粒子28に含まれるSiと工具母材12に含まれるCoとの合金Si2Coから成る化合物層であるシリサイド層18が形成される。図4に示すように、投射装置20は、気密に構成されたチャンバー22と、チャンバー22内において被処理物である工具母材12を支持する支持台24と、支持台24に支持された工具母材12を加熱するために支持台24の周囲に設けられた誘導加熱コイル26と、支持台24に支持された工具母材12に向けて投射粒子28および不活性ガス30を投射或いは噴射する粒子噴射ノズル32とを、備えている。投射装置20は、加熱された工具母材12の表面に投射粒子28を衝突させて、投射粒子28に含まれる元素を拡散させることにより金属間化合物層或いは合金層を形成する表面処理装置としても機能している。上記支持台24は、工具母材12の表面のうちのダイヤモンド被膜コーティングを施す領域を粒子噴射ノズル32から噴射される投射粒子28に露出させるために、必要に応じて工具母材12を軸心まわりに回転させる機構が備えられる。チャンバー22内の粒子噴射ノズル32には、電磁弁36を介してアルゴンガス等の不活性ガス30を供給するガスボンベ38及び流量圧力制御弁40が接続されている。この流量圧力制御弁40では、たとえば噴射速度が数十m乃至数千m/秒となるように、流量または圧力が設定される。この流量圧力制御弁40は、調整弁42およびガス供給管44を介して粒子供給器46に接続されている。粒子供給器46は、投射粒子28を収容する容器であって、調整弁48を通して粒子噴射ノズル32へ投射粒子28を供給するとともに、投射粒子28の供給に関して余剰の不活性ガス30を調整弁50を通してチャンバー22内へ供給する。また、チャンバー22には、チャンバー22内のガスを排気する排気ポンプなどから成る排気装置52が接続されている。誘導加熱コイル26に接続された高周波印加装置54は、単一又は複数の周波数の高周波電流を誘導加熱コイル26に供給する。制御装置60には、チャンバー22内に配置されてチャンバー22内の酸素濃度を検出する酸素センサ62の酸素濃度信号SS、および、支持台24に配置されて工具母材12の表面温度を検出する温度センサ64からの表面温度信号STが、それぞれ供給されるようになっている。制御装置60は、たとえばマイクロコンピュータにより構成されており、予め記憶されたプログラムに従って、入力された作業者の操作信号、酸素濃度信号SS、表面温度信号STを処理し、工具母材12の加熱温度、投射粒子28の噴射速度および噴射量、不活性ガス30の噴射量および噴射タイミングを予め設定された作動となるように、電磁弁36、調整弁42、調整弁48、調整弁50、排気装置52、高周波印加装置54を制御する。このように構成された投射装置20では、たとえば工具母材12を850~1200°Cの温度に加熱し、投射粒子28を0.05~1.0g/secの投射量で工具母材12の表面に投射し、工具母材12の表面に均一なSiと工具母材12中の鉄族元素との金属間化合物層であるシリサイド層18を工具母材12の表面に10μm以上の厚さ、好適には10~100μmの膜厚で形成する。工具母材12が工具鋼、高速度鋼などの鋼材である場合は、鉄シリサイドSi2Feが形成される。工具母材12がたとえばWC-Co系や、WC-TiTa,NbC-Co系の超硬合金である場合は、コバルトシリサイドCoSi2、チタンシリサイドTiSi2、タングステンシリサイドSi2Wなどのうちの少なくとも1つが形成される。図3のダイヤモンド被膜コーティング工程S3では、たとえば図5に示すマイクロ波プラズマCVD装置70を用いて、上記シリサイド層18の表面にダイヤモンド粒子を生成成長させてダイヤモンド被膜16をコーティングする。ダイヤモンド被膜16は、所定の耐摩耗性が得られるように、例えば5~15μm程度の膜厚で形成され、シリサイド層18の表面の細かな凹凸によって高い密着性で設けられる。図5のマイクロ波プラズマCVD装置70は、反応炉72、マイクロ波発生装置74、原料ガス供給装置76、真空ポンプ78、および電磁コイル80を備えて構成されている。円筒状の反応炉72内にはテーブル82が設けられ、ダイヤモンド被膜16をコーティングすべき複数の工具母材12がワーク支持具86に支持されて、それぞれ刃部14が上向きになる姿勢で配置されるようになっている。マイクロ波発生装置74は、例えば2.45GHz等のマイクロ波を発生する装置で、このマイクロ波が反応炉72内へ導入されることにより工具母材12が加熱されるとともに、マイクロ波発生装置74の電力制御によって加熱温度が調節される。観察窓88より輻射温度計を使い、工具母材12の刃部14の加熱温度表面温度を検出し、予め定められた所定の加熱温度になるようにマイクロ波発生装置74の電力をフィードバック制御する。また、反応炉72内の上部には、工具母材12の様子を観察したり、真空状態を保持するための石英ガラス製板90が設けられている。原料ガス供給装置76は、メタンCH4や水素H2、一酸化炭素COなどの原料ガスを反応炉72内に供給するためのもので、それ等のガス流量を制御する流量制御弁、流量計などを備えて構成されている。真空ポンプ78は、反応炉72内の気体を吸引して減圧するためのもので、圧力計92によって検出される反応炉72内の圧力値が予め定められた所定の圧力値になるように、真空ポンプ78のモータ電流などがフィードバック制御される。電磁コイル80は、反応炉72内を取り巻くように反応炉72の外周側に円環状に配設されている。ダイヤモンド被膜16のコーティング処理は、核生成過程と結晶成長過程とから成り、核生成過程では、メタンおよび水素の流量調節を行うとともに、工具母材12およびシリサイド層18の表面温度が700~900°Cの範囲内で定められた設定温度になるようにマイクロ波発生装置74を調節し、反応炉72内のガス圧が2.7×102Pa~2.7×103Paの範囲内で定められた設定圧になるように真空ポンプ78を作動させて、その状態を0.1時間~2時間程度継続する。これにより、前記シリサイド層18の表面に、ダイヤモンドの結晶成長の起点となる核の層が付着される。また、結晶成長過程は、例えばメタンの濃度が1~4の範囲内で定められた設定値になるようにメタンおよび水素のガス流量調節を行うとともに、シリサイド層18の表面温度が800~900°Cの範囲内で定められた設定温度になるようにマイクロ波発生装置74を調節し、反応炉72内のガス圧が1.3×103Pa~6.7×103Paの範囲内で定められた設定圧になるように真空ポンプ78を作動させ、その状態を所定時間継続して前記核を起点としてダイヤモンドを結晶成長させることにより、所定の膜厚のダイヤモンド被膜16が得られる。なお、上記核生成過程および結晶成長過程を繰り返すことにより、微結晶で多層構造のダイヤモンド被膜16を形成することもできる。このようにして製造されたエンドミル10によれば、工具母材12の表面に金属間化合物としてシリサイド層18が強固に設けられ、そのシリサイド層18の上にダイヤモンド被膜16をコーティングするため、工具母材12が鋼材や鉄族元素を含む超硬合金から成るものであっても、シリサイド層18によって工具母材12内の鉄族元素とダイヤモンドとの反応による変質が阻止されるので、高い密着性でダイヤモンド被膜16をコーティングでき、高い耐久性が得られる。また、従来のように、Coの除去処理や、工具母材12の表面を粗面化した後に、TiAlN、CrAlN、VAlNに例示されるIVA族、VA族、VIA族の何れかに属する金属とアルミニウム窒化物との固溶体からなる中間層をPVD法を用いて設けることが、不要になり、簡単且つ安価にエンドミル10が製造できる。また、シリサイド層18が工具母材12に対して高い密着性を有し且つダイヤモンド結合をもつので、ダイヤモンド被膜16は工具母材12に対して高い密着強度を有している。また、投射粒子28は、前記IVB族の元素またはIVB族の元素を含む粒子であってSi粒子である。この場合、投射粒子28に含まれるSi元素と工具母材12に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素たとえばMo、Cr、Wなどとの金属間化合物層として、工具母材12表面にシリサイド層18が強固に形成される。また、そのシリサイド層18の上に成膜されたダイヤモンド被膜16と工具母材12に含まれる鉄族元素との反応による黒鉛化がそのシリサイド層18により防止される。また、シリサイド層18はダイヤモンド結合であるので、ダイヤモンド被膜16との間の結合力が高く、一層、高い密着力を有する安定したダイヤモンド被膜16が工具母材12上に得られる。また、工具母材12は、高速度鋼、工具鋼などの鉄族元素であるFeを含む鋼材、または、超硬合金である。これらの鋼材或いは超硬合金から成る工具母材12の表面に形成されたシリサイド層18により、工具母材12に含まれる鉄族元素とダイヤモンド被膜16との反応が防止されるので、高い密着力を有する安定したダイヤモンド被膜16が母材上に得られる。また、シリサイド層18は、10μm乃至100μmの膜厚を有する。シリサイド層18が10μm乃至100μmの膜厚であれば凹凸に拘わらず確実に工具母材12に含まれる鉄族元素又は超硬合金に含まれる元素とダイヤモンド被膜16との反応が防止されて、高い密着力を有する安定したダイヤモンド被膜16が工具母材12上に得られる。また、投射粒子28が投射されるに際して、工具母材12は850乃至1200°C、好適には900乃至1100°Cの温度で加熱され、その工具母材12には、0.05乃至1.0g/secの量の投射粒子28が投射されるので、均一なシリサイド層18が得られる。次に、本発明の効果を具体的に明らかにするために行った実験例1、2、3を以下に説明する。<実験例1>図4に示す投射装置20において、不活性ガス30で置換したチャンバー22内において、鋼材S45C製のペレット状の試験片を1000°Cに加熱し、それに対して、最大粒径50μmのSi粒子を0.4MPaの圧力で0.1g/secの量で60秒間投射して試験片の表面をシリサイド化し、50~70μmの厚みの安定したシリサイド層を形成した。次いで、図5に示すマイクロ波プラズマCVD装置70を用いて、その試験片の表面のシリサイド層の上に、12μmの厚みのダイヤモンド被膜を形成した。図6は上記試験片の表面の断面をシリサイド層を拡大して撮像した電子顕微鏡写真を描いた図であり、図7はそのシリサイド層の表面をX線回折XRDを用いて解析した波形を、シリサイド層が設けられていない試験片の波形と対比して示す図である。また、図8は上記試験片の表面のダイヤモンド被膜を拡大して示す電子顕微鏡写真であり、図9は、上記試験片の表面のダイヤモンド被膜の形成を確認するために行ったラマン分光測定結果を示す波形を示している。図6は、電子顕微鏡写真のままで示した場合にはカラー表示が濃淡化されて識別が困難となるために図面化されたものである。図6からは、試験片の表面から62~76μmの深さまでの安定したシリサイド化が認められた。また、図7において、下段の波形に示すように、鉄シリサイドFe3Siを示す角度で丸印で示すピークが得られた。これに対して、シリサイド層が設けられていない試験片の上段の波形では、Feを示す角度で四角印で示すピークが得られた。次いで、図8では、ダイヤモンドの結晶が観察されており、ダイヤモンド被膜の形成が確認される。また、図9のラマン分光波形では、1332cm-1におけるピークが認められ、シリサイド層の上にダイヤモンド結合を有するダイヤモンド被膜が成膜されていることが確認される。<実験例2>図4に示す投射装置20において、不活性ガス30で置換したチャンバー22内において、鋼材S45C製のペレット状の試験片を1000°Cに加熱し、それに対して、最大粒径50μmのSi粒子を0.4MPaの圧力で0.01g/secの量で60秒間投射して試験片の表面をシリサイド化し、1/10程度の厚みのシリサイド層を形成した。次いで、図5に示すマイクロ波プラズマCVD装置70を用いて、その試験片の表面のシリサイド層の上に、12μmの厚みのダイヤモンド被膜を形成した。図10は上記試験片の表面の断面をシリサイド層を拡大して撮像した電子顕微鏡写真を描いた図であり、図11はそのシリサイド層上に形成されたダイヤモンド被膜を拡大して示す電子顕微鏡写真である。図10に示すように、試験片の表面に形成されたシリサイド層は5μm程度の厚みで不均一であるために、図11に示されるダイヤモンド被膜は試験片中の鉄族元素Feと反応して黒鉛化しており、強固に結晶化しておらずボロボロの状態が観察される。<実験例3>図4に示す投射装置20において、不活性ガス30で置換したチャンバー22内において、組成が異なるペレット状の試験片を異なる加熱温度に加熱した状態で、異なる材質の投射粒子28を異なる粒子供給量で投射し、次いで、図5に示すマイクロ波プラズマCVD装置70を用いて、その試験片の表面のシリサイド層の上に、12μmの厚みのダイヤモンド被膜を形成し、14種類の試験片を作成した。そして、試験片毎に、ダイヤモンド被膜形成前のシリサイド層の厚みを断面拡大写真を用いて測定するとともに、被着されたダイヤモンド被膜の被膜付着力を評価した。この被膜付着力は、800のSiCを投射メディアとして、圧力5kg/cm2の圧力で噴き付けたときに剥がれが発生するまでの時間を測定して、その時間が15秒を超えるものを合格判定とした。図12は、上記試験片のシリサイド層形成条件、シリサイド層の深さ、および、ダイヤモンド被膜の被膜付着力を示している。図12の本発明品1乃至11に示すように、投射粒子28の材質がSi、SiGe、SiCrであり、試験片がFe、Ni、Co、超硬合金であるとき、加熱温度が850~1200°C好適には900乃至1100°C範囲内、投射粒子28の供給量が0.05~1.0g/secの範囲内であれば、10~94μmのシリサイド層の深さが得られ、且つ、15秒以上のダイヤモンド被膜の被膜付着力が得られた。試験品1は加熱温度が800°Cと低過ぎ、試験品2は投射粒子28の供給量が0.01g/secと過少であり、試験品3は加熱温度が1300°Cと高過ぎるため、それぞれのシリサイド層の深さが10μmを下回っており、被膜付着力が不合格となったと考察される。以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、これ等はあくまでも一実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更,改良を加えた態様で実施することができる。"