"第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに転着する転写装置であって、前記第1接着シートを介して前記板状部材を支持する第1シート支持手段と、前記第1シート支持手段で支持された板状部材の第2面に前記第2接着シートの一方の面を対向配置可能な第2シート支持手段と、前記第1接着シートの他方の面に当接可能な当接面を有する当接手段と、前記板状部材と前記第2接着シートとを相対接近させて当該板状部材に前記第2接着シートを貼付する押圧手段と、前記第1接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付部分よりも外側の外周部分を切断する切断手段と、を備えることを特徴とする転写装置。前記板状部材は、複数のチップに個片化され、または、複数のチップに個片化可能に形成され、前記第1シート支持手段と前記当接手段とを相対移動させることで前記第1接着シートを引っ張って前記個片化された各チップ、または、前記個片化可能とされた各チップの間隔を拡張可能に設けられたエキスパンド手段を有することを特徴とする請求項1に記載の転写装置。前記押圧手段は、前記第2接着シートを押圧する押圧ローラを備え、前記押圧ローラは、平面に展開した形状が、前記板状部材の面形状、または、間隔が拡げられた前記板状部材の面形状と同形状に形成された凸部を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の転写装置。第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに転着する転写方法であって、前記第1接着シートを介して前記板状部材を支持する工程と、前記板状部材の第2面に前記第2接着シートの一方の面を対向配置させる工程と、前記第1接着シートの他方の面に当接面を当接させる工程と、前記板状部材と前記第2接着シートとを相対接近させて当該板状部材に前記第2接着シートを貼付する工程と、前記第1接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付部分よりも外側の外周部分を切断する工程と、を有することを特徴とする転写方法。しかしながら、特許文献1に記載の装置では、第1UVテープが剥離されたチップを搬送する際、当該第1UVテープが剥離された面に塵や埃の不純物が付着してしまう。このため、不純物が付着したチップを半導体装置に組み込むと、その半導体装置の歩留まりを低下させてしまうという不都合が生じる。このような不都合は、第1UVテープをチップから剥離しなければ生じないが、第2フレームに貼り付けられたチップを後工程に搬送する搬送手段に、第1フレームをも搬送する構成を追加しなければならなくなる。このため、搬送手段に特別な構成を追加しなければならないので、装置の大型化や制御の複雑化を招くという別の不都合が生じる。本発明の目的は、後工程へ板状部材を搬送する搬送手段に特別な構成を追加することなく、転写後の板状部材に不純物が付着することを抑制して搬送することが可能な転写装置および転写方法を提供することにある。前記目的を達成するために、本発明の転写装置は、第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに転着する転写装置であって、前記第1接着シートを介して前記板状部材を支持する第1シート支持手段と、前記第1シート支持手段で支持された板状部材の第2面に前記第2接着シートの一方の面を対向配置可能な第2シート支持手段と、前記第1接着シートの他方の面に当接可能な当接面を有する当接手段と、前記板状部材と前記第2接着シートとを相対接近させて当該板状部材に前記第2接着シートを貼付する押圧手段と、前記第1接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付部分よりも外側の外周部分を切断する切断手段と、を備える、という構成を採用している。この際、本発明の転写装置では、前記板状部材は、複数のチップに個片化され、または、複数のチップに個片化可能に形成され、前記第1シート支持手段と前記当接手段とを相対移動させることで前記第1接着シートを引っ張って前記個片化された各チップ、または、前記個片化可能とされた各チップの間隔を拡張可能に設けられたエキスパンド手段を有する、ことが好ましい。また、本発明の転写装置では、前記押圧手段は、前記第2接着シートを押圧する押圧ローラを備え、前記押圧ローラは、平面に展開した形状が、前記板状部材の面形状、または、間隔が拡げられた前記板状部材の面形状と同形状に形成された凸部を有する、ことが好ましい。一方、本発明の転写方法は、第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに転着する転写方法であって、前記第1接着シートを介して前記板状部材を支持する工程と、前記板状部材の第2面に、前記第2接着シートの一方の面を対向配置させる工程と、前記第1接着シートの他方の面に当接面を当接させる工程と、前記板状部材と前記第2接着シートとを相対接近させて当該板状部材に前記第2接着シートを貼付する工程と、前記第1接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付部分よりも外側の外周部分を切断する工程と、を有する、という構成を採用している。以上のような本発明によれば、第2接着シートを板状部材に貼付した後、第1接着シートの外周部分を切り離すので、板状部材を第1接着シートと第2接着シートとで覆いながら搬送でき、この搬送途中で板状部材に不純物が付着することを抑制できる。また、第1接着シートの外周部に貼付されたフレーム部材により板状部材を支持し、当該フレーム部材を第1シート支持手段で支持する構成としても、第1接着シートの外周部分を切断することで、搬送前にフレーム部材を切り離すことができる。このため、板状部材を搬送する搬送手段にフレーム部材を搬送する特別な構成を追加する必要がなくなり、装置の大型化や制御の複雑化を防止できる。また、第1シート支持手段と当接手段とが相互に作用して各チップの間隔を拡張可能に設けられている構成とすれば、後工程において、チップ間隔を拡げる工程を省略することができる。さらに、板状部材の面形状または、間隔が拡げられた板状部材の面形状に対応する凸部を有する押圧ローラを採用すれば、板状部材の外側に位置する第1接着シートと第2接着シートとが接着してしまうことを防止できる。以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。また、本実施形態では、特に明示しない限り、上、下、左、右といった方位を示す用語は、図1を基準として用いる。図1において、転写装置1は、第1面W1が第1接着シートS1の一方の面上面に貼付された板状部材としてのウェハWの第2面W2を第2接着シートS2の一方の面下面に貼付して、ウェハWを第2接着シートS2に転着するものであり、第1接着シートS1を介してウェハWを支持する第1シート支持手段2と、第1シート支持手段2で支持されたウェハWの第2面W2に第2接着シートS2の一方の面下面を対向配置可能な第2シート支持手段3と、第1接着シートS1の他方の面下面に当接可能な当接面41を有する当接手段4と、ウェハWと第2接着シートS2とを相対接近させてウェハWに第2接着シートS2を貼付する押圧手段5と、第1接着シートS1におけるウェハWが貼付された貼付部分よりも外側の外周部分を切断する切断手段6と、第1シート支持手段2と当接手段4とを相対移動可能に設けられたエキスパンド手段7とを備えている。第1接着シートS1の一方の面には、接着剤層AD1が設けられており、当該接着剤層AD1にウェハWおよび、第1リングフレームRL1が貼付されている。ここで、ウェハWの第1面W1には、図示しない回路が形成されており、当該第1面W1が第1接着シートS1に貼付されている。なお、第1接着シートS1、特に第1接着シートS1を構成する図示しない基材シートは、塑性変形しやすい材料により形成されていることが好ましい。このような材料としては、特に限定されることはないが、ポリビニルアルコールなどが挙げられる。また、第2接着シートS2の一方の面には、接着剤層AD2が設けられており、当該接着剤層AD2に第2リングフレームRL2が貼付されている。第1シート支持手段2は、支持板21と、この支持板21の下面に設けられた駆動機器であるリニアモータ22と、リニアモータ22の出力軸23に設けられた略L字板状の押さえ部材24とを備え、エキスパンド手段7で支持されている。第2シート支持手段3は、支持板31と、この支持板31の上面に設けられた駆動機器であるリニアモータ32と、リニアモータ32の出力軸33に設けられた略L字板状の押さえ部材34とを備え、図示しない駆動機器である多関節ロボット等の搬送手段に支持されている。当接手段4は、支持フレーム4Aの上部におけるフランジ部4Bの上面に設けられた円筒状の凹テーブル42と、凹テーブル42の底部に固定された支持軸43の上端部に設けられた吸引テーブル44とを備えている。吸引テーブル44の上面は、第1接着シートS1に当接する当接面41を構成し、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって当接面41から空気を吸引することで、第1接着シートS1を吸引保持可能に設けられている。押圧手段5は、左右方向に延びる駆動機器であるリニアモータ51と、リニアモータ51のスライダ52に設けられた駆動機器であるエアシリンダ53と、エアシリンダ53により上下方向に移動する支持部54と、支持部54に支持されて前後方向紙面直交方向に延びる支持軸55に回転可能に支持された押圧ローラ56とを備えている。押圧ローラ56の外周面には、弾性部材で形成された凸部57が設けられている。この凸部57は、平面に展開した形状図2中、ウェハWの外周に一点鎖線で示すが円形であり、間隔が拡げられたウェハWの平面形状と同形状に設定されている。切断手段6は、支持軸43を囲うように設けられた駆動機器である回動モータ中空モータ61と、回動モータ61の出力軸62から左右方向に延びるアーム63の先端に取り付けられたエアシリンダ64と、エアシリンダ64の駆動により上下方向に移動可能なカッタ65とを備えている。エキスパンド手段7は、フランジ部4Bに支持された駆動機器である直動モータ71を備え、直動モータ71の出力軸72に支持板21が支持されている。以上の転写装置1において、ウェハWを第2接着シートS2に転着する手順を説明する。なお、ウェハWは、第1接着シートS1の一方の面に貼付された状態でダイシング工程によって複数のチップWAに個片化されている。まず、図1に示すように、第1接着シートS1を介して第1リングフレームRL1と一体化されたウェハWを搬送し、第1リングフレームRL1を左右のリニアモータ22の駆動により支持板21と押さえ部材24とで挟み込んで支持させる。一方、第2リングフレームRL2に貼付された第2接着シートS2を搬送し、第2リングフレームRL2を左右のリニアモータ32の駆動により支持板31と押さえ部材34とで挟み込んで支持させる。次に、直動モータ71の駆動により第1シート支持手段2を下方に移動させ、第1接着シートS1の他方の面に当接面41を当接させ、さらに直動モータ71の駆動を続行させると、図3Aに示すように、第1接着シートS1が引っ張られてチップWAの間隔が拡げられる。チップWAの間隔が予め設定された距離に達したことが図示しないセンサによって検知されると、直動モータ71の駆動が終了するとともに、吸引テーブル44により第1接着シートS1の吸引保持を開始する。次に、図3Bに示すように、図示しない搬送手段の駆動により、第2シート支持手段3がウェハW近傍の予め設定された位置にまで下がったことが図示しないセンサによって検知されると、搬送手段の駆動が終了する。次いで、図3Cに示すように、エアシリンダ53の駆動により押圧ローラ56が下方に移動し、凸部57により第2接着シートS2をチップWAの第2面W2に所定の押圧力で押圧する。その後、リニアモータ51の駆動によって押圧ローラ56を右方向に移動させると、押圧ローラ56が時計回り方向に回転しながら順次チップWAに第2接着シートS2を貼付していく。そして、図4Dに示すように、凸部57における回転方向後端部がウェハWの右端に達すると、リニアモータ51の駆動が終了する。ここで、凸部57は、平面に展開した形状が、間隔が拡げられたウェハW平面形状と同形状に設定されているので、第2接着シートS2におけるウェハWの外周部が第1接着シートS1に貼付されることはない。次に、図4Eに示すように、エアシリンダ53の駆動により押圧ローラ56を上方に移動させた後、エアシリンダ64の駆動により、第1接着シートS1におけるウェハWの貼付部分S11よりも外側にカッタ65を突き刺す。そして、回動モータ61の駆動によりカッタ65を360°回転させると、図4Fに示すように、第1接着シートS1は、ウェハWが貼付された貼付部分よりも外側の外周部分で切断され、ウェハW上に貼付された貼付部分S11と第2リングフレームRL2に取り残された不要部分S12とに分離される。その後、吸引テーブル44の吸引を停止し、図示しない搬送手段の駆動により貼付部分S11が貼付されたウェハWは、第2接着シートS2を介して第2リングフレームRL2に貼付された状態のままピックアップ装置等の後工程に搬送されることとなる。なお、第1接着シートS1が塑性変形可能な材料により形成されているため、貼付部分S11が縮むように作用することはなく、間隔が拡げられたチップ間距離が縮まるようなことはない。後工程においてウェハWに貼付された貼付部分S11は、所定処理の直前に剥離されることとなる。本実施形態によれば、次のような効果がある。すなわち、第2接着シートS2をウェハWに貼付した後、第1接着シートS1の不要部分S12を切り離すので、ウェハWを第1接着シートS1と第2接着シートS2とで覆いながら搬送でき、この搬送途中でウェハWに不純物が付着することを抑制できる。また、第1リングフレームRL1を搬送する特別な構成を追加する必要がなくなり、装置の大型化や制御の複雑化を防止できる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、ウェハWのダイシング後に第1リングフレームRL1を第1接着シートS1から剥離し、第1接着シートS1のみを第1シート支持手段2で支持してもよい。また、第2シート支持手段3も、第1シート支持手段2と同様に、第2接着シートS2のみを支持する構成としても良い。そして、ウェハWは、チップWAに個片化された状態で、第1接着シートS1に貼付されている構成を例示したが、レーザによってチップWAに個片化可能とされた改質された状態で、第1接着シートS1に貼付されていてもよい。このような構成にすれば、エキスパンド手段7の駆動により第1接着シートS1が引っ張られることで、ウェハWをチップWAに個片化できる。また、第2接着シートS2を第1接着シートS1に近づけた後に、第1接着シートS1を引っ張り、チップWAを個片化するようにしてもよい。このような構成にすれば、チップWAに個片化する際、くず等が発生しても、第2接着シートS2がチップWAを覆うため、そのくず等が飛散することを防止できる。さらに、押圧ローラ56の凸部57は、平面に展開した形状が、ウェハWの面形状と同形状である構成を例示したが、ウェハWの面形状よりも大きい形状であっても良い。第1シート支持手段2と直動モータ71の個数としては、2個に限らず3個以上としてもよいし、1個としてもよい。また、第1シート支持手段2と直動モータ71の個数は、異なっていてもよい。例えば連結部材で連結された2個の第1シート支持手段2を、1個の直動モータ71で移動させてもよい。さらに、板状部材はダイシングされていないウェハWであってもよい。また、本発明における第1、第2接着シートS1,S2の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートと接着剤層AD1,AD2との間に中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよい。また、第1,第2接着シートS1,S2は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シートなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、板状部材としては、光ディスク、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、押圧手段5は、ブレード材、エア噴き付け、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができる。さらに、押圧手段5や切断手段6は、前記実施形態で示したもの以外のもので構成してもよく、押圧手段5は板状部材に第2接着シートS2が貼付できる限りにおいて、切断手段6は第1接着シートS1を切断できる限りにおいて何ら限定されるものではない。また、第2接着シートS2を固定しておき、ウェハWを移動させて接近させる構成としてもよいし、第2接着シートS2およびウェハW双方を移動させて接近させる構成としてもよい。さらに、第1シート支持手段2を固定しておき、当接手段4を移動させてエキスパンドしてもよいし、第1シート支持手段2および当接手段4双方を移動させてエキスパンドしてもよい。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。"