"同一軸心上に配置された固定部及び可動部と、前記軸心となる断面円形のシャフトと、前記シャフトのラジアル方向に配置される前記固定部と前記可動部との間に介在して前記シャフトを支持し、且つ前記可動子をスラスト方向に弾性支持する軸受と、を備え、前記固定部及び前記可動部のうち前記ラジアル方向に相互に対面する対向面同士の間に所定寸法のギャップを形成し、前記固定部に対して前記可動部を往復動可能に構成したリニアアクチュエータであり、前記軸受が、固定部又は可動部のうち相対的に前記ラジアル方向外側に配置した部材に対する固定部分であるアウタ固定部と、固定部又は可動部のうち相対的に前記ラジアル方向内側に配置した部材に対する固定部分であるインナ固定部とを有し、当該インナ固定部に凹部を形成したものであり、前記固定部又は前記可動部のうち相対的に前記ラジアル方向内側に配置した部材が、前記インナ固定部に向かって前記スラスト方向に突出し、且つ前記インナ固定部に形成した凹部に係合可能な突部を有するインナスペーサを備えていることを特徴とするリニアアクチュエータ。前記インナ固定部が、前記シャフトを直接支持するシャフト挿通孔を有し、前記凹部をインナ固定部のうち前記シャフト挿通孔から前記ラジアル方向に離間した位置に形成している請求項1に記載のリニアアクチュエータ。しかしながら、シャフトは、リニアアクチュエータを構成する部材のうち最も長尺な部材であり、しかも可動部を固定部に対して正確に往復動させるガイドとしても機能する部材である。このようなシャフトのうち少なくとも軸受及びインナ部を挿通する領域全体を円形以外の異形状に加工する処理には、極めて高い精度が要求され、コストアップにもつながる。また、シャフトの外形状に応じたシャフト挿通孔を軸受及びインナ部にも高精度な加工が要求され、円柱状のシャフトを適用する場合と比較して加工作業性及び組付容易性の点で劣る。そして、シャフトやシャフト挿通孔の加工精度が低い場合には、シャフトの軸受との間、及びシャフトとインナ部との間でそれぞれガタツキが生じ、所期の正確な位置決め状態を維持できずに、永久磁石と磁極面との間に所定のギャップを確保できない事態も想定される。本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、断面円形のシャフトを適用しつつ、シャフトのラジアル方向内側に配置したインナ部とラジアル方向外側に配置したアウタ部との対向面間に所定寸法のギャップを保つことができ、所期の機能を有効に発揮可能なリニアアクチュエータを提供することにある。すなわち、本発明は、同一軸心上に配置された固定部及び可動部と、軸心となる断面円形のシャフトと、シャフトのラジアル方向に配置される固定部と可動部との間に介在してシャフトを支持し、且つシャフトの軸方向と直交する面における固定部及び可動部の移動を規制した状態でスラスト方向に動作可能な軸受と、を備え、固定部及び可動部のうちラジアル方向に相互に対面する対向面同士の間に所定寸法のギャップを形成し、固定部に対して可動部を往復動可能に構成したリニアアクチュエータに関するものである。ここで、本発明のリニアアクチュエータは、可動部を固定部の外側可動部を相対的に軸から遠い方に配置したアウタ可動型リニアアクチュエータ、可動部を固定部の内側可動部を相対的に軸に近い方に配置したインナ可動型リニアアクチュエータ、の何れをも包含するものである。また、アウタ可動型リニアアクチュエータであれば、シャフトは固定部に属する部品となり、インナ可動型リニアアクチュエータであれば、シャフトは可動部に属する部品となる。そして、本発明に係るリニアアクチュエータは、軸受として、固定部又は可動部のうち相対的にラジアル方向外側に配置した部材以下アウタ部と称するに対する固定部分であるアウタ固定部と、固定部又は可動部のうち相対的にラジアル方向内側に配置した部材以下インナ部と称するに対する固定部分であるインナ固定部とを有し、インナ固定部に凹部を形成したものを適用するとともに、インナ部として、インナ固定部に向かってスラスト方向に突出し且つインナ固定部に形成した凹部に係合可能な突部を有するインナスペーサを備えたものを適用していることを特徴としている。ここで、アウタ可動型リニアアクチュエータであれば、可動部がアウタ部であり、固定部がインナ部である。また、インナ可動型リニアアクチュエータであれば、可動部がインナ部であり、固定部がアウタ部である。このような構成を採用したアクチュエータであれば、シャフトとして断面円形のものを適用することができ、アウタ部及びインナ部をそれぞれアウタ固定部及びインナ固定部によって共通の軸受に固定しているため、シャフトの軸回りにアウタ部、インナ部及び軸受が傾動振動した場合であっても、これらアウタ部、インナ部及び軸受の相対位置関係を所定の位置関係に保つことができる。したがって、このようなリニアアクチュエータであれば、アウタ部及びインナ部の相互に対面する対向面同士の間に平行な一定寸法のギャップを確保した状態を維持することができ、所期の機能を有効に発揮する。また、軸受を介してアウタ部とインナ部との相対位置を固定することができることから、アウタ部及びインナ部の各対向面をそれぞれ平坦な面に設定することも可能になり、各対向面を相互に平行な部分円弧状に設定することが要求される態様と比較して、加工性の点で極めて有利である。なお、本発明では、各対向面を相互に平行な部分円弧状に設定することを除外するものではなく、設計仕様等に応じて各対向面を相互に平行な部分円弧状、あるいは部分多角形状に設定することもできる。また、本発明に係るアクチュエータでは、インナ部としてインナスペーサを備えたものを適用し、インナスペーサに設けた突部と軸受のインナ固定部に形成した凹部に係合させるという比較的簡単な構成でインナ部と軸受との相対位置を正確に設定することができる。そして、シャフトとして加工性及び組立容易性に優れた概略円柱状のものを適用することができるため、シャフト自体のコストダウン、ひいてはリニアアクチュエータ全体のコストダウンを図ることができる。本発明では、インナ固定部における凹部の形成箇所は特に限定されることはないが、特に好適な形成箇所としては、インナ固定部がシャフトを直接支持するシャフト挿通孔を有するものである場合に、インナ固定部のうちシャフト挿通孔からシャフトのラジアル方向に離間した位置を挙げることができる。これは、アウタ部及びインナ部の対面部同士の間に確保すべきギャップが、シャフトを直接支持するシャフト挿通孔よりもシャフトのラジアル方向外側に形成される点に着目したことに基づく。すなわち、本発明のリニアアクチュエータにおいて、仮に突部を凹部に係合させた状態で両部突部、凹部間に寸法誤差などにより僅かな隙間が生じ、その隙間分だけ軸受またはインナ部がシャフトの軸回りに若干傾動したとしても、突部と凹部との係合位置がシャフトを直接支持するシャフト挿通孔よりもシャフトのラジアル方向外側の位置、つまり、シャフト挿通孔よりもギャップが形成されるべき箇所に近い位置に設定されていれば、突部と凹部の係合位置がシャフト挿通孔に連続する位置シャフトの軸心の直近にある態様と比較して、インナ部の外向面がシャフトの軸回りに傾動する程度振り幅を小さくすることができ、対向面であるインナ部の外向面とアウタ部の内向面との相対位置変化を最小限に抑えて、ギャップの寸法変化を防止抑制することができる。本発明によれば、断面円形のシャフトを適用してコストダウンを図ることができるとともに、シャフトのラジアル方向内側に配置したインナ部とラジアル方向外側に配置したアウタ部との対向面間に所定寸法のギャップを常に保つことができ、所期の機能を有効に発揮可能なリニアアクチュエータを提供することができる。以下、本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータ1を図面を参照して説明する。本実施形態で示すリニアアクチュエータ1は、図1~図5に示すように、固定部2の外側に可動部3を配設したアウタ可動型のリニアアクチュエータである。すなわち、本実施形態では、可動部3が本発明における固定部又は可動部のうち相対的にシャフトのラジアル方向外側に配置した部材に相当し、固定部2が本発明における固定部又は可動部のうち相対的にラジアル方向内側に配置した部材に相当する。ここで、図2は、リニアアクチュエータ1の正面図であり、図3は図2のy領域拡大図であり、図4は図2のx-x線断面図であり、図5は図4のz領域拡大図である。固定部2は、図4に示すように、インナコア固定子21と、インナコア21の外側に配設された永久磁石22と、永久磁石22を保持するとともにインナコア21を被覆し得るボビン23と、ボビン23の外周に巻回されたコイル24と、中心部に配設されたシャフト25とを備えたものである。インナコア21は、スラスト往復動方向Aに積層された薄板状をなす鋼板から構成されている。インナコア21は、図6同図はインナコア21の正面図であるに示すように、中央部に、シャフト25が挿通可能なシャフト挿通孔211を有し、外縁部のうちシャフト挿通孔211を挟んで対向する部分に、永久磁石22がセット可能な永久磁石セット部212をそれぞれ有するものである。本実施形態では、永久磁石セット部212をフラットな平坦面に設定している。永久磁石22は、インナコア21における一対の永久磁石セット部212にそれぞれ配設されたものである。対をなす永久磁石22は、シャフト25の軸に対して対称に配置される。本実施形態では、平板状をなす永久磁石22を適用している。したがって、フラットな平坦面である各永久磁石セット部212に固着された平板状をなす複数の永久磁石22の表面は面一ないし略面一になる図4及び図5参照。また、この永久磁石22の表面が、本発明における固定部及び可動部のうちラジアル方向に相互に対面する対向面同士における固定部の対向面に相当する。ボビン23は、スラスト方向Aに2分割され、シャフト25の軸方向A両端からインナコア21及び永久磁石22を挟み込んで被覆し得るものである。各ボビン23は、インナコア21に形成したシャフト挿通孔211よりも大径なシャフト挿通孔231と、コイル24が巻回可能な上下一対のコイル巻回用凹部232とを有する。シャフト25は、ボビン23のシャフト挿通孔231及びインナコア21のシャフト挿通孔211に貫通して取り付けたほぼ円柱状をなすものである。このシャフト25の軸方向はスラスト方向Aと同一である。コイル24は、ボビン23における各コイル巻回用凹部232にそれぞれ巻回され、シャフト25を挟んだ上部、下部の同方向に電流が流れるように結線されたものである。そして、電流の流れる方向を切り替えることにより、次に説明する可動部3を往復運動させることができる。なお、本実施形態では、対をなすボビン23を相互に接合して、さらにコイル24を各コイル巻回用凹部232にそれぞれ巻回してなる固定部2がほぼ直方体状となるように設定している。そして、本実施形態に係るリニアアクチュエータ1は、固定部2にインナスペーサ26を保持するスペーサ保持部27を形成している。具体的には、図6及び図7図7は図6のx-x線断面図であるに示すように、スラスト往復動方向Aに積層された薄板状をなす鋼板から構成した固定子21を、例えばスラスト方向A両端に配置したエンド鋼板群21eと、両エンド鋼板群21eに挟まれるセンター鋼板群21cとによって形成し、各エンド鋼板群21eにスラスト方向Aに窪ませた凹状のスペーサ保持部27を形成している。スペーサ保持部27の外形状は、インナスペーサ26の外形状に対応させた形状に設定されている。本実施形態では、スペーサ保持部27の外形状として、円の上端部及び下端部をそれぞれスラスト方向Aと直交する方向上方、下方に突出させた形状を採用している図6参照。インナスペーサ26は、スペーサ保持部27に保持されるものであり、図8~図10図8、図9、図10はそれぞれインナスペース26の全体斜視図、図8のB方向矢視図、図9のx-x線断面図であるに示すように、円環状をなすスペーサ本体261と、スペーサ本体261の上端部に形成した上方突出部262と、スペーサ本体261の下端部に形成した下方突出部263とを有するものである。スペーサ本体261の中央開口部はシャフト挿通孔264として機能する。このような外縁形状を有するインナスペーサ26をスペーサ保持部27に圧入して保持させた状態で、インナスペーサ26の上方突出部262及び下方突出部263がスペーサ保持部27の対応する箇所に嵌合することによって、固定部2に対するインナスペーサ26の回転傾動を規制することができる。そして、このインナスペーサ26には、上方突出部262及び下方突出部263の所定箇所に軸受4板バネ41に向かってスラスト方向Aに突出した突部265を形成している。本実施形態では、上方突出部262の上端部、及び下方突出部263の下端部にそれぞれ突部265を設けている。このような形状をなすインナスペーサ26は一体成形品であることが好ましく、本実施形態では例えば焼結加工によって製造したインナスペーサ26を適用している。可動部3は、図1及び図4等に示すように、アウタコア可動子31と、可動スペーサ32とを備えたものである。アウタコア31は、薄板状をなす鋼板をスラスト方向Aに積層して結合したものである。本実施形態では、図11に示すように、アウタコア31及び可動スペーサ32をそれぞれ上下に二分割してなる可動部ユニット3Uを相互に組み付けることによって概略角筒状となる可動部3を適用しているが、二分割されていない可動子及び可動スペーサを用いてなる可動部を適用しても構わない。アウタコア31は、インナコア21よりもシャフト25のラジアル方向外側に配設されたものである。そして、アウタコア31のうち、可動スペーサ32よりも永久磁石22側に膨出し且つ永久磁石22と対向する面が磁極面311として機能し、この磁極面311を永久磁石22に対して平行となる面本実施形態ではフラットな平坦面に設定している。この磁極面311が、本発明の固定部及び可動部のうちラジアル方向に相互に対面する対向面同士における可動部の対向面に相当する。そして、相互に対向する可動子31の内向面と固定子21の外向面との間、すなわち磁極面311と永久磁石22との間に、所定寸法のギャップG本実施形態では直線状に延びる所定寸法のギャップGが形成されるようにしている図5参照。可動スペーサ32は、アウタコア31に直接連結されるとともに、連結装置として機能する軸受4を介して固定部2に連結されている。アウタコア31及び可動スペーサ32は、正面視ほぼ矩形をなすフレーム状のものである。このような可動子31と可動スペーサ32とを一体的に組み付けてなる可動部3は、図4に示すように、上端部及び下端部における幅方向中央部に可動子31及び可動スペーサ32をスラスト方向Aに貫通する上下一対の平行ピン33を設け、平行ピン33の両端部をそれぞれ可動スペーサ32よりもスラスト方向Aに突出させている。また、正面視矩形状をなす可動部3の四隅には厚み方向に貫通するボルト挿通孔3aを形成している図11参照。軸受4は、固定部2と可動部3とを同軸上に連結し、自らが弾性変形することにより可動部3を固定部2に対して往復動可能に支持するものであり、1枚又は積層された複数枚の板バネ41によって構成されたものである。板バネ41は、図4及び図12同図は板バネ41の正面図であるに示すように、枠状をなすフレーム部411と、相対的にラジアル方向内側に配置した固定部2インナ部に固定されるインナ固定部412と、相対的にラジアル方向外側に配置した可動部3アウタ部に固定されるアウタ固定部413と、インナ固定部412とアウタ固定部413とを連結するアーム部414とを一体に有する薄板状のものである。フレーム部411は、上下一対の短辺部411aと、左右一対の長辺部411bとを有するほぼ矩形状をなすものであり、四隅にそれぞれ厚み方向に貫通するボルト挿通孔411cを有するものである。インナ固定部412は、板バネ41の中央部に設けられ、シャフト25に設けた段部251とインナスペーサ26との間、又はインナスペーサ26とスリーブSとの間に挟持されるものである図4参照。また、このインナ固定部412は、シャフト25が挿通可能なシャフト挿通孔412aを有するほぼ円環状をなすリング部412bと、リング部412bの外縁において上端部及び下端部に形成され且つインナスペーサ26の突部265が係合可能な凹部412cとを有する図12参照。本実施形態では、リング部412bの上端部から上方へ突出した一対の上方突起部412d同士の間、リング部412bの下端部から下方へ突出した一対の下方突起部412e同士の間にそれぞれ凹部412cを形成している。すなわち、本実施形態では、凹部412cをインナ固定部412のうちシャフト挿通孔412aに連続しない位置、換言すればシャフト挿通孔412aから離間した位置に凹部412cを形成している。シャフト挿通孔412aを有するリング部412bはシャフト25を直接支持する軸受本体と捉えることができ、本実施形態では軸受本体の外縁部外縁沿いに凹部412cを形成した態様を採用している。そして、図3及び図4に示すように、板バネ41の凹部412cにインナスペーサ26の突部265を隙間無く係合させることによって、このインナスペーサ26を離脱不能に備えた固定部2と板バネ41とを相対回転不能な状態で位置決めすることができる。すなわち、インナスペーサ26に設けた突部265と軸受4板バネ41に形成した凹部412cとによって、軸受4と固定部2インナ部との相対位置を位置決めする第1位置決め手段を構成している。アウタ固定部413は、板バネ41の上端部及び下端部にそれぞれ設けられ、上方又は下方に開口する上方開口部413a又は下方開口部413bを有するほぼ部分円環状をなすものである。アウタ固定部413は、図4に示すように、可動スペーサ32とフランジ5具体的には第1フランジ部材51との間に挟持される。そして、可動部3に設けた上下一対の平行ピン33のうち、一方の平行ピン33を上方開口部413aに嵌挿するとともに、他方の平行ピン33を下方開口部413bに嵌挿することによって、可動部3と板バネ41とを相対回転不能な状態で位置決めすることができる。すなわち、可動部3の平行ピン33と軸受4板バネ41に形成した各開口部上方開口部413a,下方開口部413bとによって、軸受4と可動部3アウタ部との相対位置を位置決めする第2位置決め手段を構成している。アーム部414は、図12に示すように、インナ固定部412の所定複数箇所図示例では4箇所からフレーム部411における長辺部411bに向かって延びる第1アーム414aと、第1アーム414aの先端からフレーム部411における長辺部411bに対してほぼ平行をなして直線状に延びる第2アーム414bと、第2アーム414bの先端からアウタ固定部413に向かって延びる第3アーム414cとからなる。本実施形態では、計4本のアーム部414がインナ固定部412及びアウタ固定部413とともにほぼ8の字形状をなすようにしている。また、本実施形態では、可動部3を構成するアウタコア31及び可動スペーサ32をスラスト方向Aに貫通し、アウタ固定部413の上方開口部413a,下方開口部413bに挿通させた各ピン33の両端部を、フランジ5具体的には第1フランジ部材51に設けた溝部51aに嵌入している図4参照。また、フレーム部411に形成したボルト貫通孔411cは、可動部3及びフランジ5第1フランジ部材51、第2フランジ部材52にそれぞれ形成したボルト貫通孔図示省略に連通し、これら各貫通孔にボルトBを貫通させてナットNに締結している。フランジ部5は、図1及び4に示すように、スラスト方向Aに並列した第1フランジ部材51と第2フランジ部材52とによって構成されるものである。第1フランジ部材51は、スラスト方向Aに板バネ41に接触し得る位置に配置され、第2フランジ部材52はスラスト方向Aに第1フランジ部材51に接触し得る位置に配置される。第1フランジ部材51は、板バネ41のフレーム部411と略同一の枠状をなし、四隅に形成した厚み方向に貫通するボルト挿通孔と、上下端部における幅方向中央部に設けられ平行ピン33の端部をスラスト方向Aに若干のあそびのある状態で収容し得る溝部51aとを有するものである。また、第2フランジ部材52は、板バネ41のフレーム部411と略同一の枠状をなし、四隅に形成した厚み方向に貫通するボルト挿通孔と、高さ方向中央部分に形成したストッパ52aと、このストッパ52aの中央部分に形成されてシャフト25が挿通可能なシャフト挿通孔52bとを有するものである。この第2フランジ部材52は、リニアアクチュエータ1全体のうちスラスト方向Aの最も外側に配置される部材であり、カバー部材としても機能し得る。このような各部品からなるリニアアクチュエータ1は、コイル24に通電していない状態では、永久磁石22から生じる磁力により、シャフト25が可動部3可動子31に対して所定位置に保持される。そして、コイル24に通電した場合には、コイル24に流れる電流により生じる磁界と永久磁石22から生じている磁界の向きとに基づき、可動部3がシャフト25に沿ってスラスト方向Aに往復動する。この際、シャフト25を支持する軸受4である板バネ41は、可動部3が往復動する際に、全体的に弾性変形しながら可動部3をスラスト方向Aに支持する。特に、板バネ41におけるアーム部414は、固定部2及び可動部3に直接固定されていないため、弾性変形し易く、往復動作する可動部3を適切に弾性支持することができる。そして、本実施形態に係るリニアアクチュエータ1では、シャフト25の軸方向Aに挟み得る位置に配置した一対の軸受4板バネ41によって可動部3と固定部2とを連結し、上述した第1位置決め手段によって軸受4板バネ41に対する可動部3の位置を固定するとともに、第2位置決め手段によって軸受4板バネ41に対する固定部2の位置を固定している。したがって、本実施形態に係るリニアアクチュエータ1は、軸円柱状のシャフト25を支持する軸受4によって固定部2及び可動部3の相対位置を固定することができ、アウタ部である可動部3の内向面を形成する磁極面311と、インナ部である固定部2の外向面を形成する永久磁石22との間に所定寸法のギャップGを確保することができる。その結果、相互に対面する対面部可動部3の内向面、固定部2の外向面同士の間、すなわち磁極面311と永久磁石22の表面との間に形成されるギャップG本実施形態では直線状に延びるギャップGの寸法を常に一定値に維持することができ、所期の機能を有効に発揮し得るものになる。このように、本実施形態に係るリニアアクチュエータ1は、構成部材のうちで最も長尺であって且つ可動部3の正確な往復動を実現するために必要な部品であるシャフト25として外形状が円形のものを適用することができる。したがって、例えばシャフトを介して軸受とインナ部である固定部との相対位置を位置決めするためにシャフトの外形状を円形以外の異形状に高精度に加工しなければならない態様と比較して、シャフト25に要するコストを安価にすることができ、リニアアクチュエータ1全体のコストダウンも実現することができる。また、シャフトとして外形状を円形以外の異形状に加工したものを適用した場合には、当然のことながらこのようなシャフトの外形状に対応するシャフト挿通孔を軸受やインナ部に形成しなければならず、高い加工精度が要求され、シャフト及びシャフト挿通孔の加工精度が低ければ、シャフトと軸受との間や、シャフトとインナ部との間でそれぞれがたつきが生じ得る。それに対して、本実施形態では単純な円柱状のシャフト25を適用しているため、このような円柱状のシャフト25を支持するための各シャフト挿通孔211,264,412aも単純な丸孔でよいため、シャフト25及び各シャフト挿通孔211,264,412aの何れにも高度な加工は要求されず、シャフト25と軸受4との間や、シャフト25とインナ部2との間でがたつきが生じ得る可能性を皆無またはほぼ皆無にすることができる。その結果、上述した所定寸法のギャップGを確保することができるとともに、リニアアクチュエータ1の作動時にがたつきに起因する不要な騒音や雑音を防止抑制することができ、リニアアクチュエータ1の静音性向上も図ることができる。さらに、本実施形態に係るリニアアクチュエータ1では、インナ部である固定部2と軸受4との相対的な位置決めを、固定部2に保持された状態でこの固定部2と軸受4との間に配置されるインナスペーサ26に設けた突部265と、軸受4に形成した凹部412cとを相互に係合させるという簡単な構造で実現している。特に、本実施形態では、インナスペーサ26として、焼結加工により成形した一体品を適用しているため、比較的簡単な処理でありながら高い寸法精度でインナスペーサ26全体、特に軸受4に向かってスラスト方向Aに突出した突部265を成形することができる。加えて、本実施形態に係るリニアアクチュエータ1では、アウタ部である可動部3とインナ部である固定部2との対向面同士の間、すなわち磁極面311と永久磁石22との間に確保すべきギャップGが、シャフト25を直接支持するシャフト挿通孔264よりもシャフト25のラジアル方向外側に形成される点に着目し、インナスペーサ26の突部265と軸受4の凹部412cとの係合箇所を、シャフト25を直接支持する箇所シャフト挿通孔211,264,412aからシャフト25のラジアル方向に離間した位置に設定している。このような構成は以下の点で有利である。すなわち、本実施形態に係るリニアアクチュエータ1であれば、仮に突部265と凹部412cとを係合させた状態で両部突部265、凹部412c間に寸法誤差などにより僅かな隙間が生じ、その隙間分だけ軸受4またはインナ部である固定部2がシャフト25を中心に若干傾動したとしても、突部265と凹部412cとの係合位置がシャフト25を直接支持するシャフト挿通孔211,264,412aよりもシャフト25のラジアル方向外側の位置、つまり、シャフト挿通孔211,264,412aよりもギャップGが形成されるべき箇所にシャフト25のラジアル方向に近い位置に設定しているため、突部265と凹部412cの係合位置がシャフト挿通孔211,264,412aに連続する位置にある態様と比較して、インナ部である固定部2の外向面対面部、永久磁石22がシャフト25回りに傾動する程度振り幅を小さくする傾動を抑制することができ、当該外向面とアウタ部である可動部3の内向面との相対位置変化を最小限に抑えて、ギャップGの寸法変化を防止抑制することができる。特に、本実施形態に係るリニアアクチュエータ1は、軸受4のうちシャフト挿通孔412aを中央部分に形成したインナ固定部412の外縁部より具体的には円環形をなすリング部412b軸受本体の外縁部に凹部412cを形成している。この凹部412cを形成した箇所は、軸受4のうちインナ固定部412として機能する部分の最外縁部であることから、凹部412cの形成箇所を設計上採り得る範囲で最もシャフト挿通孔412aからシャフト25のラジアル方向に離間した位置に設定していることがわかる。とりわけ、本実施形態では、リング部412bの外縁部における180度位相の異なる位置に凹部412cを形成し、各凹部412cにインナスペーサ26の突部265を係合させているため、軸受4とインナ部である固定部2とを相互に正確且つ強固に相対位置決めした状態で組み付けることができる。なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、突部や凹部の数は適宜増減してもよい。また、突部の外形状及び凹部の形状は相互に対応していればよく、上述した実施形態で示した形状以外の形状を適用することもできる。また、インナスペーサは、焼結以外の方法で製造されたものであっても構わない。さらに、インナスペーサが、シャフト挿通孔を有するスペーサ本体と、このスペーサ本体よりも軸受に向かってスラスト方向に突出する突部とを一体的に有するもの一体品ではないものであってもよい。軸受のインナ固定部における凹部の形成箇所として、シャフト挿通孔に連続する箇所を選択することもできる。この凹部の形成箇所に応じて、インナスペースにおける突部の箇所も適宜変更すれば、突部と凹部との良好な係合状態を実現することができる。軸受を、複数の板バネを積層して構成したり、板バネに代えて、或いは加えて他の部材を用いて構成することもできる。また、固定部及び可動部の各対向面を相互に平行な部分円弧状の面に設定したり、相互に平行な部分多角形状の面に設定することもできる。また、上述した実施形態では、アウタ可動型のリニアアクチュエータを例示したが、インナ可動型のリニアアクチュエータであってもよい。また、リニアアクチュエータが、例えば、ボイスコイル形、ムービングマグネット形、或いはリニアソレノイド形であってもよい。その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。"