真空蒸着装置内にて成膜ドラムを有する巻取装置によって走行する高分子フィルム基材上に金属膜層を蒸着により形成する金属蒸着フィルムの製造方法であり、予めマージン部が形成された高分子フィルム基材の上に成膜ドラム上にて金属膜層を蒸着してマージン部を有する金属蒸着フィルムを形成した後に、前記マージン部を有する金属蒸着フィルムの高分子フィルム基材側が前記成膜ドラムから剥離する箇所の全域を0.1~10Paの不活性ガス雰囲気下とし、前記剥離する箇所の全域に向けて真空紫外線を5~100mW/cm2照射した後に、前記マージン部を有する金属蒸着フィルムを巻取リールに巻取ることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。前記高分子フィルム基材がポリプロピレンPP或いはポリエチレンテレフタレートPETであることを特徴とする請求項1に記載の金属蒸着フィルムの製造方法。前記金属膜層が金属酸化膜層であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の金属蒸着フィルムの製造方法。従来の巻取式真空蒸着装置内で成膜ドラムと金属蒸着フィルムとの剥離箇所に生じる静電気力を低減する方法では、その効果が充分であるとは言えず、特に、マージン部金属蒸着がなされていない部分を有する金属蒸着フィルムでは、そのフィルム面での帯電が不均一であり、生じる静電気力も不安定でばらつきが大きく、成膜ドラムから剥離後の金属蒸着フィルムに放電痕、巻姿、裏面傷などの不具合を生じ易かった。本発明では、上述の問題点を解決し、マージン部を有する金属蒸着フィルムと成膜ドラムとの剥離箇所の静電気力が低減され、成膜ドラムから剥離後のマージン部を有する金属蒸着フィルムに放電痕、裏面傷が見られず、金属蒸着フィルムを製造する方法を提供する。本発明者らは、鋭意検討の結果、マージン部を有する金属蒸着フィルムと成膜ドラムとの剥離箇所に、特定の不活性ガス圧力雰囲気下にて、その全域に渡り、真空紫外線を5~100mW/cm2照射することにより、その剥離箇所の静電気力が著しく低減され、マージン部を有する金属蒸着フィルムと成膜ドラムとの剥離が円滑になされ、放電痕、裏面傷が見られず、巻姿も良好な金属蒸着フィルムが製造できることを見出した。即ち、本発明の金属蒸着フィルムの製造方法は、真空蒸着装置内にて成膜ドラムを有する巻取装置によって走行する高分子フィルム基材上に金属膜層を蒸着により形成する金属蒸着フィルムの製造方法であり、予めマージン部が形成された高分子フィルム基材の上に成膜ドラム上にて金属膜層を蒸着してマージン部を有する金属蒸着フィルムを形成した後に、前記マージン部を有する金属蒸着フィルムの高分子フィルム基材側が前記成膜ドラムから剥離する箇所の全域を0.1~10Paの不活性ガス雰囲気下とし、前記剥離する箇所の全域に向けて真空紫外線を5~100mW/cm2照射した後に、前記マージン部を有する金属蒸着フィルムを巻取リールに巻取ることを特徴とする。マージン部を有する金属蒸着フィルムと成膜ドラムとの剥離箇所全域に蓄積された静電気エネルギーを無理なく放出するためには、剥離箇所の全域の圧力を不活性ガスにより適度な圧力Paレベルに上昇させる必要があり、不活性ガス雰囲気の圧力帯域が0.1~10Paであると良好な効果が得られる。圧力帯域が0.1Pa未満、或いは、10Paを超えると、その効果は減少する。本発明で意味するマージン部とは、予め高分子フィルム基材上にオイル蒸着などのマスキングにより形成され、成膜ドラム上にて金属膜層が蒸着されずに、剥離時に照射された真空紫外線が透過する部分であり、例えば、フィルムコンデンサ用として使用される場合は、電極マージン部、T型電極マージン部などとして使用される。マージン部を有する金属蒸着フィルムでは、そのフィルム面での帯電が不均一であり、生じる静電気力も不安定でばらつきが大きく、剥離後の金属蒸着フィルムに放電痕、巻姿、裏面傷などの不具合が生じ易く、従来の様な、液体蒸気を噴射する、成膜ドラムの内部に永久磁石を設置する、成膜ドラムに40KHz~100KHzの高周波電位を印加するなどの方法では、その解決が難しかった。本発明では、その剥離箇所の全域に向けて、所定量の真空紫外線を照射することにより、真空紫外線が金属蒸着フィルムのマージン部を透過し、そのフィルム全体の電荷の帯電が均質化され、且つ、真空紫外線の有する除電作用により、マージン部を有する金属蒸着フィルムと成膜ドラムとの円滑な剥離が可能となる。真空紫外線の照射量が5mW/cm2未満では、その効果は不足し、照射量が100mW/cm2を超えると、効果が飽和するばかりでなく、マージン部が劣化する傾向が見られる。本発明での真空紫外線とは、電磁波の一種で、紫外線の中で最も波長の短い10~20nm付近の領域を意味しており、波長帯の区分方法によっては、軟X線と一部が重ねることもある更に、本発明の金属蒸着フィルムの製造方法は、前記高分子フィルム基材がポリプロピレンPP或いはポリエチレンテレフタレートPETであることを特徴とする。高分子フィルム基材がポリプロピレンPP或いはポリエチレンテレフタレートPETであると、より良好な静電気力低減効果が得られ、特に、フィルムコンデンサ用として良好な特性を有する金属蒸着フィルムが得られる。更に、本発明の本発明の金属蒸着フィルムの製造方法は、前記金属膜層が金属酸化膜層であることを特徴とする。形成される金属膜層が金属酸化物であると、それ自体が誘電体となるために、電荷が蓄積し易くなり、巻取障害を引き起こし易くなるが、本発明の製造方法により、円滑な巻取りが可能となる。本発明の製造方法により、マージン部を有する金属蒸着フィルムと成膜ドラムとの剥離箇所の静電気力が低減され、成膜ドラムから剥離後のマージン部を有する金属蒸着フィルムに放電痕、裏面傷が見られず、巻姿も良好な金属蒸着フィルムを得ることができる。本発明の金属蒸着フィルムの製造方法の一実施形態につき、図1を参照に以下に詳細に説明する。図1は、金属蒸着フィルムを製造する真空蒸着装置を示しており、この真空蒸着装置1は、真空容器2内においてロール3から高分子フィルム基材4を巻き出し、オイル蒸着装置10にてマージン部となる部分にオイルを付着させた後、成膜ドラム5上に導き、成膜ドラム5上で抵抗加熱されたボート6からのアルミニウム、銅、亜鉛などの金属を蒸着して高分子フィルム基材4の片面に金属膜7を形成した後、その金属蒸着フィルム8を巻取リール9に巻取る構成である。この際、金属蒸着フィルム8の高分子フィルム基材側が成膜ドラム5から剥離する箇所以下、剥離箇所ともいう11の全域に向けて、ガス噴出装置12から不活性ガスを噴出し、圧力帯域を0.1~10Paとし、真空紫外線照射装置13より剥離箇所11に向けて真空紫外線14を5~100mW/cm2照射した後、金属蒸着フィルム8を巻取リール9に巻取ることにより、巻取られた金属蒸着フィルム8は、放電痕、裏面傷が見られず、巻姿も良好となる。0.1~10Paの不活性ガス雰囲気にて真空紫外線14が金属蒸着フィルム8のマージン部を透過することにより、そのフィルム全体の電荷の帯電が均質化され、且つ、真空紫外線14の有する除電作用により、金属蒸着フィルム8と成膜ドラム5との剥離箇所11に蓄積された静電気エネルギーが無理なく放出され、金属蒸着フィルム8と成膜ドラム5との円滑な剥離がなされる。真空紫外線14の照射量が5mW/cm2未満では、その効果は不足し、照射量が100mW/cm2を超えると、効果が飽和するばかりでなく、マージン部が劣化する傾向が見られる。不活性ガス雰囲気の圧力帯域が0.1Pa未満、或いは、10Paを超えると、その効果は減少する。本発明での真空紫外線14とは、電磁波の一種で、紫外線の中で最も波長の短い10~200nm付近の領域を意味しており、波長帯の区分方法によっては、軟X線と一部が重ねることもあるまた、高分子フィルム基材4の片面に金属膜7を形成した金属蒸着フィルム8を走行させながら、その金属膜7にレーザー加工機15にてT型の保安機構マージン部を形成しても良い。本発明にて用いられる高分子フィルム基材4は、ポリオレフィン系ポリエチレン、ポリプロピレン等、ポリエステル系ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等などがあげられ、特に限定しないが、ポリプロピレンPP或いはポリエチレンテレフタレートPETであると、特に効果が顕著に現れて好ましい。本発明にて高分子フィルム基材4の表面に蒸着される金属としては、Al、Zn、Cu、Ag、Au、Sn、Niあるいはこれらの合金など、導電性を有するものであれば特に限定されないが、Al、Zn、CuおよびSnなどが、特に、フィルムコンデンサの電気特性や生産性の面から好ましい。また、金属膜7が金属酸化膜であっても良く、蒸発過程において真空容器2に酸素や窒素などの反応性ガスを導入することにより、酸化物や窒化物のセラミックス薄膜を容易に形成することができる。形成される金属膜7が金属酸化物であると、それ自体が誘電体となるために、電荷が蓄積し易くなり、巻取障害を引き起こし易くなるが、本発明の製造方法により、円滑な巻取りが可能となる。真空蒸着装置内の成膜ドラムに達する前の巻取装置によって走行する表1に示す種類のフィルム基体厚さ12μm×幅600mmに、縦方向の3箇所に等間隔で幅10mmのマージン部をオイル蒸着により形成した後、そのマージン部を除く箇所に、蒸着厚みが膜抵抗にして1~300Ω/□であるAl蒸着膜を形成してAl蒸着フィルムを作製し、成膜ドラムからAl蒸着フィルムのフィルム基体側が剥離する箇所の全域を、気体噴出口からAr或いはNeガスを導入して表1に示すようなガス圧力雰囲気とし、更に、高砂熱学株製IRISYS-UV真空紫外線照射除電装置を使用して、真空紫外線を表1に示すように剥離する箇所の全域にわたり照射した後に、Al蒸着フィルムをリールに巻取った。表1において、PPはポリプロピレン、PETはポリエチレンテレフタレート、PEはポリエチレンである。これらのAl蒸着フィルムにつき、Al蒸着層のピンホール、フィルムの巻姿、フィルムの裏面傷を観察した。Al蒸着層のピンホールは、薄膜面側から強浸透性の液体を噴霧し、浸透させ裏面に滲出したかを目視にて観察した。フィルムの巻姿は、巻取られた原反を目視にて観察、皺が要因で発生するゲージバンドや巻取張力不安定により発生する蛇行による巻きズレ量を定規にて測定した。巻きズレがほとんど認められなかったものを○、わずかに巻きズレが認められたが使用可能な程度であったものを△、巻きズレが大きく使用に耐えないものを×とした。フィルムの裏面傷は、巻取り成膜された原反を巻き剥がし、成膜されたフィルムの巻取方向での縦傷を目視にて観察した。これらの結果を表1に示す。これらの結果より、本発明の製造方法により製造された金属蒸着フィルムは、マージン部を有する金属蒸着フィルムと成膜ドラムとの剥離箇所の静電気力が低減され、成膜ドラムから剥離後のマージン部を有する金属蒸着フィルムに放電痕、裏面傷が見られず、巻姿が良好であることがわかる。真空蒸着装置内の成膜ドラムに達する前の巻取装置によって走行する表2に示す種類のフィルム基体厚さ12μm×幅600mmに、縦方向の3箇所に等間隔で幅10mmのマージン部をオイル蒸着により形成した後、酸素ガスを導入しながら、そのマージン部を除く箇所に、蒸着厚みが膜抵抗にして1~300Ω/□である酸化Al蒸着膜を形成してAl蒸着フィルムを作製し、成膜ドラムから酸化Al蒸着フィルムのフィルム基体側が剥離する箇所の全域を、気体噴出口からArガスを導入して表2に示すようなガス圧力雰囲気とし、更に、高砂熱学株製IRISYS-UV真空紫外線照射除電装置を使用して、真空紫外線を表1に示すように剥離する箇所の全域にわたり照射した後に、酸化Al蒸着フィルムをリールに巻取った。表2において、PPはポリプロピレン、PETはポリエチレンテレフタレート、PEはポリエチレンである。これらの酸化Al蒸着フィルムにつき、酸化Al蒸着層のピンホール、フィルムの巻姿、フィルムの裏面傷を観察した。酸化Al蒸着層のピンホールは、薄膜面側から強浸透性の液体を噴霧し、浸透させ裏面に滲出したかを目視にて観察した。フィルムの巻姿は、巻取られた原反を目視にて観察、皺が要因で発生するゲージバンドや巻取張力不安定により発生する蛇行による巻きズレ量を定規にて測定した。フィルムの裏面傷は、巻取り成膜された原反を巻き剥がし、成膜されたフィルムの巻取方向での縦傷を目視にて観察した。これらの結果を表2に示す。これらの結果より、本発明の製造方法により製造された金属蒸着フィルムは、マージン部を有する金属酸化膜蒸着フィルムと成膜ドラムとの剥離箇所の静電気力が低減され、成膜ドラムから剥離後のマージン部を有する金属酸化膜蒸着フィルムに放電痕、裏面傷が見られず、巻姿も良好であることがわかる。以上、本発明の実施形態の製造方法について説明したが、本発明はこの記載に限定されることはなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。