"先端部側に開口部を有する箱状に形成された本体部と、前記開口部を閉塞するように前記本体部に配設された板状の多孔質体と、球状体を整列させる挿通孔が形成されて前記多孔質体の外面側に配設された整列シートとを備えて、前記本体部と前記多孔質体とによって形成される内部空間が減圧されたときに当該多孔質体を介して行われる吸気によって前記挿通孔の形成部位に前記球状体を吸着する球状体吸着ヘッドであって、前記本体部は、前記内部空間において前記多孔質体の内面に当接して当該多孔質体を支持する支持部を備えて構成されている球状体吸着ヘッド。前記支持部は、前記本体部の側壁部から前記開口部の中央部に向けて延出するように形成されて前記内部空間における当該開口部側を複数の領域に区画する隔壁で構成されている請求項1記載の球状体吸着ヘッド。前記隔壁は、前記内部空間における前記本体部の基端部側を区画せずに、当該内部空間の前記開口部側を区画するように当該本体部の前記先端部側に形成されている請求項2記載の球状体吸着ヘッド。前記本体部の先端部側の端面との間で段差を有すると共に、前記多孔質体を位置決めし、かつ当該多孔質体の外周縁部を支持する段部が前記開口部の縁部に形成されている請求項1から3のいずれかに記載の球状体吸着ヘッド。互いに重ね合わせた状態で配設された複数の前記多孔質体を備え、前記整列シートに隣接する多孔質体は、当該多孔質体の平均空孔径が他の前記多孔質体の平均空孔径よりも短くなるように形成されている請求項1から4のいずれかに記載の球状体吸着ヘッド。請求項1から5のいずれかに記載の球状体吸着ヘッドと、前記球状体を吸着させる吸着位置に前記球状体吸着ヘッドを搬送すると共に前記球状体を吸着している前記球状体吸着ヘッドを搭載対象体の配置位置まで搬送する搬送装置とを備えて、前記球状体を前記搭載対象体に搭載する球状体搭載装置。ところが、上記の搭載ヘッドには、以下の問題点があることを本願発明者は見出した。すなわち、この搭載ヘッドでは、真空吸引空間を真空吸引することにより、真空吸引空間の開口部を閉塞するように装着された板状の多孔質体を通して行われる吸気によって導電性ボールを吸着している。この場合、この搭載ヘッドでは、板状の多孔質体が1つの大きな真空吸引空間の開口部を閉塞するように装着されている。つまり、この搭載ヘッドでは、多孔質体の外周縁部だけが、真空吸引空間の開口部の縁部によって支持されている。このため、真空吸引空間が真空吸引されて負圧となったときには、多孔質体に加わる外部の大気圧により、真空吸引空間の内部側に向けて中央部が凹むようにして多孔質体が変形湾曲するおそれがある。このように多孔質体が変形したときには、導電性ボールが収容されている容器の上方に搭載ヘッドを位置させて導電性ボールの吸着を行わせる際に、穴開きプレートの中央部が導電性ボールから離間し、これに起因して、中央部の穴に導電性ボールが吸着されないおそれがある。また、中央部の穴に導電性ボールが吸着されたとしても、搭載対象体ワークの上部に搭載ヘッドを位置させた状態において、穴開きプレートの中央部が基板から離間することとなるため、吸着を解除したときに、中央部に吸着されていた導電性ボールが、搭載対象体における電極の上に正しく落下しないおそれもある。したがって、この搭載ヘッドを用いて導電性ボールの搭載を行ったときには、搭載対象体における電極の一部に導電性ボールが搭載されない欠陥が生じるおそれがある。本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、搭載対象体に対して球状体を確実に搭載させ得る球状体吸着ヘッドおよび球状体搭載装置を提供することを主目的とする。上記目的を達成すべく請求項1記載の球状体吸着ヘッドは、先端部側に開口部を有する箱状に形成された本体部と、前記開口部を閉塞するように前記本体部に配設された板状の多孔質体と、球状体を整列させる挿通孔が形成されて前記多孔質体の外面側に配設された整列シートとを備えて、前記本体部と前記多孔質体とによって形成される内部空間が減圧されたときに当該多孔質体を介して行われる吸気によって前記挿通孔の形成部位に前記球状体を吸着する球状体吸着ヘッドであって、前記本体部は、前記内部空間において前記多孔質体の内面に当接して当該多孔質体を支持する支持部を備えて構成されている。また、請求項2記載の球状体吸着ヘッドは、請求項1記載の球状体吸着ヘッドにおいて、前記支持部は、前記本体部の側壁部から前記開口部の中央部に向けて延出するように形成されて前記内部空間における当該開口部側を複数の領域に区画する隔壁で構成されている。また、請求項3記載の球状体吸着ヘッドは、請求項2記載の球状体吸着ヘッドにおいて、前記隔壁は、前記内部空間における前記本体部の基端部側を区画せずに、当該内部空間の前記開口部側を区画するように当該本体部の前記先端部側に形成されている。また、請求項4記載の球状体吸着ヘッドは、請求項1から3のいずれかに記載の球状体吸着ヘッドにおいて前記本体部の先端部側の端面との間で段差を有すると共に、前記多孔質体を位置決めし、かつ当該多孔質体の外周縁部を支持する段部が前記開口部の縁部に形成されている。また、請求項5記載の球状体吸着ヘッドは、請求項1から4のいずれかに記載の球状体吸着ヘッドにおいて、互いに重ね合わせた状態で配設された複数の前記多孔質体を備え、前記整列シートに隣接する多孔質体は、当該多孔質体の平均空孔径が他の前記多孔質体の平均空孔径よりも短くなるように形成されている。また、請求項6記載の球状体搭載装置は、請求項1から5のいずれかに記載の球状体吸着ヘッドと、前記球状体を吸着させる吸着位置に前記球状体吸着ヘッドを搬送すると共に前記球状体を吸着している前記球状体吸着ヘッドを搭載対象体の配置位置まで搬送する搬送装置とを備えて、前記球状体を前記搭載対象体に搭載する。請求項1記載の球状体吸着ヘッドによれば、内部空間において多孔質体の内面に当接して多孔質体を支持する支持部を備えて本体部を構成したことにより、支持部を内部空間の中央部に配置することで、多孔質体の中央部分を支持することができる。このため、この球状体吸着ヘッドによれば、本体部の内部空間の減圧に伴って大気圧が加わったときの中央部分が凹むような多孔質体の変形を十分に少なく抑えることができる。したがって、この球状体吸着ヘッドによれば、多孔質体の外周縁部だけが支持されて多孔質体が変形するおそれのある従来の吸着ヘッドとは異なり、多孔質体の変形によって中央部が吸着対象の球状体が収容されている収容容器から離間することに起因して整列シートにおける中央部の挿通孔に球状体が吸着されない事態を防止して、整列シートにおける全ての挿通孔に球状体を確実に吸着させることができる。また、この球状体吸着ヘッドによれば、多孔質体の変形が十分に少なく抑えられているため、整列シートにおける全ての挿通孔に球状体が吸着されている球状体吸着ヘッドを搭載対象体としての基板の端子に向けて降下させた際に、全ての球状体を各端子に対して十分に近接させることができる。したがって、この球状体吸着ヘッドによれば、全ての球状体が各端子の上に正しく落下して、全ての端子に球状体を確実に搭載することができる。また、請求項2記載の球状体吸着ヘッドによれば、本体部の側壁部から開口部の中央部に向けて延出するように形成されて内部空間における開口部側を複数の領域に区画する隔壁で支持部を構成したことにより、本体部の剛性を高めることができるため、内部空間の減圧に伴って本体部に大気圧が加わったときの本体部の変形を十分に少なく抑えることができる。したがって、この球状体吸着ヘッドによれば、内部空間の減圧に伴う多孔質体の変形をさらに少なく抑えることができる結果、搭載対象体としての基板の端子に対する球状体の搭載をさらに確実に行うことができる。また、請求項3記載の球状体吸着ヘッドによれば、内部空間における本体部の基端部側を区画せずに、内部空間の開口部側を区画するように本体部の先端部側に隔壁を形成したことにより、隔壁によって区画された各領域を形成する各空間が、区画されていない非区画領域を形成する空間を介して繋がっているため、非区画領域に連通する排気孔から空気を吸引することで、区画された各領域を均等に減圧することができる。したがって、この球状体吸着ヘッドによれば、区画された各領域のうちの特定の領域だけが他の領域よりも低圧となって、多孔質体におけるその領域に対向する部位が局所的に変形する事態を確実に防止することができる結果、搭載対象体としての基板の端子に対する球状体の搭載を一層確実に行うことができる。また、請求項4記載の球状体吸着ヘッドによれば、段部を備えて本体部を構成したことにより、段部に多孔質体をはめ込むだけで、開口部を確実に閉塞するように多孔質体を位置決めすることができると共に、平面方向への多孔質体の移動を確実に規制することができ、かつ多孔質体の外周縁部を段部によって確実に支持させることができる。また、請求項5記載の球状体吸着ヘッドによれば、互いに重ね合わせた状態で配設された複数の多孔質体を備え、整列シートに隣接する多孔質体を、その多孔質体の平均空孔径が他の多孔質体の平均空孔径よりも短くなるように形成することにより、例えば、原料粒子を焼成焼結して作製されるセラミックス製の複数の多孔質体を用いるときに、整列シート側に配設される多孔質体整列シートに隣接する多孔質体の平均空孔径を短く規定すると共にその多孔質体の厚みを薄く形成して十分な通気性を確保し、本体部の基端部側に配設される多孔質体他の多孔質体の平均空孔径を長く規定すると共にその多孔質体の厚みを厚く形成して十分な剛性を確保することで、複数の多孔質体によって十分な吸引力および十分な剛性の双方を確保することができる。したがって、この球状体吸着ヘッドによれば、整列シートにおける全ての挿通孔に球状体をより確実に吸着させることができる結果、全ての端子に球状体をより確実に搭載することができる。また、請求項6記載の球状体搭載装置は、上記の球状体吸着ヘッドを備えたことにより、上記球状体吸着ヘッドが有する効果と同様の効果を実現することができる。以下、球状体吸着ヘッドおよび球状体搭載装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。最初に、図1に示す半田ボール搭載装置1の構成について説明する。半田ボール搭載装置1は、球状体搭載装置の一例であって、同図に示すように、吸着ヘッド11、吸引機構12、収容容器13、搬送装置14および制御部15を備え、球状体の一例としての微小な球状粒体である半田ボールマイクロボール300図4参照を搭載対象体としての基板400の端子401に搭載可能に構成されている。この場合、半田ボール300は、直径L1同図参照が80μm程度の球状に構成されている。また、半田ボール300は、半田ボール搭載装置1によって基板400の端子401に搭載された後に加熱溶融されることにより、基板400上にボールグリッドアレイBGAを構成する。吸着ヘッド11は、球状体吸着ヘッドの一例であって、図2,3に示すように、全体として直方体状に形成され、半田ボール300を吸着可能に構成されている。具体的には、吸着ヘッド11は、図3,5に示すように、本体部21、多孔質体22および整列シート23を備えて構成されている。本体部21は、図3,5に示すように、側壁部31a~31d以下、区別しないときには側壁部31ともいう、および基端部側壁部32を備えて、開口部42aを有する箱状に形成されている。また、開口部42aの縁部には、本体部21における先端部21a側の端面両図における上側の端面との間で段差を有すると共に、多孔質体22を位置決めし、かつ多孔質体22の外周縁部を支持する機能を有する段部41が形成されている。また、本体部21は、図3,5に示すように、支持部に相当する隔壁33を備えて構成されている。この場合、隔壁33は、本体部21の各側壁部31a~31dから開口部42aの中央部に向けて延出するように形成されている。また、隔壁33の先端部図3,5における上端部には、多孔質体22の内面22bに線的に当接するリブ33a一例として、断面円弧状のリブが形成されている。さらに、隔壁33は、図3に示すように、その高さが各側壁部31a~31dの段部41から基端部側壁部32の内面32aまでの長さ深さの2/3程度に規定されている。つまり、隔壁33は、本体部21の先端部21a側開口部42a側に形成されている。この構成により、本体部21と多孔質体22とによって形成される内部空間42の開口部42a側のみが隔壁33によって4つの区画領域43a~43d図5参照:以下、区別しないときには区画領域43ともいうに区画され、内部空間42における基端部21b側の部分は区画されない状態となっている以下、内部空間42における区画されていない領域を非区画領域44ともいう:図3参照。また、以上の構成により、この本体部21では、非区画領域44を形成する空間と内部空間42における開口部42a側の空間とが、各区画領域43をそれぞれ形成する各空間を介して連通している。また、図3に示すように、基端部側壁部32の中央部には、内部空間42この例では、非区画領域44に連通して、内部空間42内の空気を排出するための排気孔32bが形成されている多孔質体22は、一例として、連続気泡構造のセラミックスによって形成されて、図5に示すように長方形の薄板状に構成されている。また、多孔質体22は、図3に示すように、本体部21の開口部42aを閉塞するようにして、本体部21の先端部21a側に配設されている。この場合、多孔質体22は、本体部21における各側壁部31a~31dの段部41にはめ込まれるように配設されている。この多孔質体22が本体部21に配設された状態では、同図に示すように、各側壁部31a~31dの段部41の上面、および各隔壁33におけるリブ33aの先端部が、多孔質体22の内面22bに当接した状態となり、多孔質体22は段部41および各隔壁33によって支持されている。また、この状態では、段部41の側面41aに多孔質体22の端面が当接または近接しており、これにより、多孔質体22が本体部21に対して位置決めされると共に、平面方向への多孔質体22の移動が規制されている。整列シート23は、図5に示すように、多孔質体22よりも大きい長方形の薄板状に形成され、図3に示すように、多孔質体22を覆うようにして多孔質体22の外面22a側に配設されている。また、整列シート23は、搭載対象体としての基板400における端子401の配列と同じ配列で形成されて、半田ボール300を整列させる機能を有する複数の挿通孔51を備えている。この場合、図4に示すように、挿通孔51の直径L2は、半田ボール300の直径L1この例では、80μmよりも短い40μm程度に規定されている。また、整列シート23は、一例として、樹脂シートで形成されている。この吸着ヘッド11では、本体部21と多孔質体22とによって形成される内部空間42が排気によって減圧され、それに伴って多孔質体22を介して行われる吸気により、多孔質体22の外面22a側に配設されている整列シート23における挿通孔51の形成部位に半田ボール300を吸着するこの例では、挿通孔51の縁部に吸着する:図4参照と共に、内部空間42が常圧に復帰したとき減圧が解除されたときに半田ボール300の吸着を解除することが可能となっている。吸引機構12は、配管を介して吸着ヘッド11の排気孔32bに接続された図外の真空ポンプおよび電磁弁等を備えて構成され、制御部15の制御に従って吸着ヘッド11の内部空間42の空気を吸引する。収容容器13は、図6に示すように、半田ボール300を収容可能に構成されている。また、収容容器13は、図外の給気機構からの空気の供給によって収容している半田ボール300を浮遊させることが可能となっている。また、収容容器13の上部には、吸着ヘッド11による余剰な半田ボール300の吸着を規制するための規制作用を有する規制用プレート61が取り付けられている。この場合、規制用プレート61は、その厚みL3図4参照が半田ボール300の直径L1この例では、80μmよりも薄い75μm程度に規定された板状に構成されている。また、規制用プレート61には、吸着ヘッド11における整列シート23を規制用プレート61に近接または、接触させた状態図6参照において、吸着ヘッド11における整列シート23の各挿通孔51に対向する位置に挿通孔62が形成されている。この場合、挿通孔62の直径L4は、図4に示すように、半田ボール300の直径L1この例では、80μmよりも長く、かつ直径L1の2倍よりも短い100μm程度となるように形成されている。搬送装置14は、制御部15の制御に従い、収容容器13の配置位置吸着位置、および基板400の配置位置に吸着ヘッド11を搬送する。制御部15は、半田ボール搭載装置1を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部15は、搬送装置14を制御して吸着ヘッド11を収容容器13の配置位置、およびに基板400の配置位置に搬送させる。また、制御部15は、吸引機構12を制御して吸着ヘッド11の内部空間42の空気を吸引させる。次に、半田ボール搭載装置1を用いて半田ボール300を基板400の端子401に搭載する方法、およびその際の半田ボール搭載装置1の動作について、図面を参照して説明する。なお、この例では、吸着ヘッド11における本体部21の先端部21a側を下向きにした状態で半田ボール300を吸着するものとする。この半田ボール搭載装置1では、開始操作がされたときに、制御部15が、搬送装置14を制御して、吸着ヘッド11を収容容器13の上方に搬送させ、次いで、図6に示すように、吸着ヘッド11における整列シート23と収容容器13の規制用プレート61とが近接または、接触するように吸着ヘッド11を降下させる。続いて、制御部15は、吸引機構12を制御して、吸着ヘッド11の内部空間42の空気を吸引させる。この際に、内部空間42が減圧され、これに伴って多孔質体22内の通気経路連続気泡を通って多孔質体22の外面22a側の空気が吸引吸気される。なお、各図では、多孔質体22および後述する多孔質体222a,222bにおける通気経路連続気泡の図示を省略する。ここで、この吸着ヘッド11では、図3に示すように、多孔質体22における外周縁部の内面22bが各側壁部31a~31dの段部41に当接して、外周縁部が各側壁部31a~31dによって支持されると共に、多孔質体22における中央部分の内面22bが支持部としての各隔壁33の先端部に当接して、中央部分が各隔壁33によって支持されている。つまり、この吸着ヘッド11では、多孔質体22の外周縁部だけではなく中央部分も支持されている。このため、この吸着ヘッド11では、本体部21の内部空間42の減圧に伴って大気圧が加わったときの中央部分が凹むような多孔質体22の変形が十分に少なく抑えられている。また、この吸着ヘッド11では、本体部21の側壁部31から延出するように形成されて内部空間42を複数の区画領域43に区画する隔壁33で支持部が構成されている。このため、隔壁33によって本体部21の剛性が高められており、この結果、本体部21の内部空間42の減圧に伴って本体部21に大気圧が加わったときの本体部21の変形が十分に少なく抑えられて、本体部21の変形に伴う多孔質体22の変形も十分に少なく抑えられている。また、この吸着ヘッド11では、内部空間42の開口部42a側のみを区画するように本体部21の先端部21a側に隔壁33が形成されているため、隔壁33によって区画された各区画領域43を形成する各空間が、区画されていない非区画領域44を形成する空間を介して繋がっている。このため、非区画領域44に連通する排気孔32bから空気を吸引することで、各区画領域43を均等に減圧することが可能となっている。次いで、制御部15は、図外の給気機構から収容容器13内に空気を供給させる。この際に、空気の供給によって収容容器13に収容されている半田ボール300が浮遊させられる。また、図7に示すように、収容容器13内で浮遊している半田ボール300が、吸着ヘッド11の多孔質体22を介して行われる吸気に伴う吸引力によって多孔質体22の外面22a側に引き寄せられて、収容容器13の規制用プレート61に形成されている挿通孔62を通って吸着ヘッド11の整列シート23における挿通孔51の形成部位挿通孔51の縁部に吸着される。この場合、この吸着ヘッド11では、上記したように、本体部21の内部空間42が減圧されている状態における中央部分が凹むような多孔質体22の変形が十分に少なく抑えられている。このため、この吸着ヘッド11では、多孔質体22の外周縁部だけが支持されて多孔質体22が変形するおそれのある従来の吸着ヘッドとは異なり、多孔質体22の変形によって中央部が収容容器13の規制用プレート61から離間し、これに起因して整列シート23における中央部の挿通孔51の形成部位に半田ボール300が吸着されない事態が防止されて、整列シート23における全ての挿通孔51の形成部位挿通孔51の縁部に半田ボール300が確実に吸着される。一方、半田ボール300が微小なため、半田ボール300同士が互いに引き合う力が重量に対して相対的に大きく、この結果、図7に示すように、整列シート23における挿通孔51の形成部位に吸着された半田ボール300以下、この半田ボール300を搭載対象の半田ボール300ともいうに他の半田ボール300以下、この半田ボール300を余剰の半田ボール300ともいうが付着する。続いて、制御部15は、収容容器13に対する空気の供給を停止させることにより、半田ボール300の浮遊を停止させる。次いで、制御部15は、搬送装置14を制御して、図8に示すように、吸着ヘッド11を上方に移動させる。この際に、吸着ヘッド11の整列シート23が収容容器13の規制用プレート61から離間するため、挿通孔51の形成部位に吸着されている搭載対象の半田ボール300と余剰の半田ボール300との間に介在している規制用プレート61の規制作用により、余剰の半田ボール300が搭載対象の半田ボール300から引き離される結果、同図に示すように、余剰の半田ボール300が自重によって落下する。続いて、制御部15は、搬送装置14を制御して、図9に示すように、基板400の配置位置の上方に吸着ヘッド11を移動させ、次いで、図10に示すように、吸着ヘッド11に吸着されている半田ボール300の先端部が基板400の端子401に近接する位置に吸着ヘッド11を降下させる。続いて、制御部15は、吸引機構12を制御して、吸引を停止させる。これにより、吸着ヘッド11の内部空間42が常圧に復帰し減圧が解除される、多孔質体22を介して行われる吸気が停止する結果、吸着ヘッド11による半田ボール300の吸着が解除される。ここで、多孔質体22の外周縁部だけが支持されて多孔質体22が変形するおそれのある従来の吸着ヘッドでは、基板400の端子401に向けて吸着ヘッドを降下させた際に、多孔質体22の変形によって中央部に吸着されていた半田ボール300が端子401から離間しているため、吸着が解除されたときに半田ボール300が端子401の上に正しく落下しないことに起因して、端子401の一部に半田ボールが搭載されない欠陥が生じるおそれがある。これに対して、この吸着ヘッド11では、上記したように、多孔質体22の変形が十分に少なく抑えられているため、基板400の端子401に向けて吸着ヘッド11を降下させた際に、吸着ヘッド11によって吸着されている全ての半田ボール300が各端子401に対して十分に近接する。このため、全ての半田ボール300が各端子401の上に正しく落下して、全ての端子401に半田ボール300が確実に搭載される。次いで、制御部15は、搬送装置14を制御して、同図に示すように、吸着ヘッド11を上方に移動させた後に初期位置に搬送させる。以上により、基板400の端子401への半田ボール300の搭載が完了する。このように、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、内部空間42において多孔質体22の内面22bに先端部が当接して多孔質体22を支持する隔壁33を備えて本体部21を構成したことにより、隔壁33を内部空間42の中央部に配置することで、多孔質体22の中央部分を支持することができる。このため、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、本体部21の内部空間42の減圧に伴って大気圧が加わったときの中央部分が凹むような多孔質体22の変形を十分に少なく抑えることができる。したがって、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、多孔質体22の外周縁部だけが支持されて多孔質体22が変形するおそれのある従来の吸着ヘッドとは異なり、多孔質体22の変形によって中央部が収容容器13の規制用プレート61から離間することに起因して整列シート23における中央部の挿通孔51の形成部位に半田ボール300が吸着されない事態を防止して、整列シート23における全ての挿通孔51の形成部位に半田ボール300を確実に吸着させることができる。また、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、多孔質体22の変形が十分に少なく抑えられているため、整列シート23における全ての挿通孔51の形成部位に半田ボール300が吸着されている吸着ヘッド11を基板400の端子401に向けて降下させた際に、全ての半田ボール300を各端子401に対して十分に近接させることができる。したがって、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、全ての半田ボール300が各端子401の上に正しく落下して、全ての端子401に半田ボール300を確実に搭載することができる。また、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、本体部21の側壁部31から延出するように形成されて内部空間42を複数の区画領域43に区画する隔壁33で支持部を構成したことにより、本体部21の剛性を高めることができるため、本体部21の内部空間42の減圧に伴って本体部21に大気圧が加わったときの本体部21の変形を十分に少なく抑えることができる。したがって、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、内部空間42の減圧に伴う多孔質体22の変形をさらに少なく抑えることができる結果、搭載対象体としての端子401に対する半田ボール300の搭載をさらに確実に行うことができる。また、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、内部空間42における本体部21の基端部21b側を区画せずに、内部空間42の開口部42a側を区画するように本体部21の先端部21a側に隔壁33を形成したことにより、隔壁33によって区画された各区画領域43を形成する空間が、区画されていない非区画領域44を形成する空間で繋がっているため、非区画領域44に連通する排気孔32bから空気を吸引することで、各区画領域43を均等に減圧することができる。したがって、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、特定の区画領域43だけが他の区画領域43よりも低圧となって、多孔質体22におけるその区画領域43に対向する部位が局所的に変形する事態を確実に防止することができる結果、搭載対象体としての端子401に対する半田ボール300の搭載を一層確実に行うことができる。また、この吸着ヘッド11および半田ボール搭載装置1によれば、段部41を備えて本体部21を構成したことにより、段部41に多孔質体22をはめ込むだけで、開口部42aを確実に閉塞するように多孔質体22を位置決めすることができると共に、平面方向への多孔質体22の移動を確実に規制することができ、かつ多孔質体22の外周縁部を段部41によって確実に支持させることができる。なお、球状体吸着ヘッドおよび球状体搭載装置は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、隔壁33の高さを側壁部31の段部41から基端部側壁部32の内面32aまでの長さの2/3程度に規定して、隔壁33を本体部21における開口部42a側先端部21a側に形成し、これによって内部空間42の開口部42a側のみを隔壁33によって区画するように吸着ヘッド11を構成した例について上記したが、隔壁33の高さを側壁部31の段部41から基端部側壁部32の内面32aまでの長さと同じ長さに規定して、内部空間42を複数に完全に区画する構成を採用することもできる。この場合、この構成では、隔壁33によって区画された各区画領域を構成する基端部側壁部32の各部分に排気孔32bをそれぞれ形成して、この各排気孔32bを介して吸引することで、各区画領域を均等に減圧することができる。また、隔壁33によって内部空間42を4つの区画領域43a~43dに区画した例について上記したが、区画領域43の数はこれに限定されず、2つ以上の任意の数に区画することができる。この場合、数多くの区画領域43に区画するときには、1つの区画領域43の大きさを中央部分ほど小さく外周部ほど大きく規定するつまり、隔壁33の密度を中央部分ほど密に外周部ほど疎にすることで、中央部のみに排気孔32bを設けたときにおける多孔質体22を介して行われる吸気の際の吸引力をより均一にすることができる。また、挿通孔51の直径L2が半田ボール300の直径L1よりも短く規定され、挿通孔51の縁部で半田ボール300を吸着する構成例について上記したが、挿通孔51の直径L2を半田ボール300の直径L1よりも長く規定して、挿通孔51内挿通孔51の形成部位の他の一例で半田ボール300を吸着する構成を採用することもできる。また、上記した吸着ヘッド11に代えて、図11に示す吸着ヘッド111を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記した各構成要素と同様の構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。この吸着ヘッド111は、同図および図12に示すように、上記した隔壁33に代えて、支持部としての複数の支柱133が形成された本体部121を備えて構成されている。この場合、支柱133は、基端部側壁部32の内面32aから内部空間42の開口部42aに向けて突出するように形成されている。また、支柱133は、その先端部に形成されている突起部133aが多孔質体22の内面22bに点的に当接することにより、多孔質体22を支持する。この吸着ヘッド111では、図11に示すように、多孔質体22における外周縁部の内面22bが各側壁部31a~31dの段部41の上面に当接して、外周縁部が各側壁部31a~31dによって支持されると共に、多孔質体22における中央部分の内面22bが各支柱133における突起部133aの先端部に当接して、中央部分が各支柱133によって支持されている。つまり、この吸着ヘッド111では、多孔質体22の外周縁部だけではなく中央部分も支持されている。このため、この吸着ヘッド111においても、本体部21の内部空間42の減圧に伴って大気圧が加わったときの中央部分が凹むような多孔質体22の変形が十分に少なく抑えられる結果、上記した吸着ヘッド11と同様の効果を実現することができる。また、図13に示す吸着ヘッド211を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記した各構成要素と同様の構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。この吸着ヘッド211は、同図に示すように、互いに重ね合わせた状態で配設される2つ複数の一例の多孔質体222a,222b以下、区別しないときには多孔質体222ともいうを備えて構成されている。多孔質体222a,222bは、連続気泡構造のセラミックスによってそれぞれ形成されて、同図に示すように長方形の薄板状に構成されている。また、この例では、整列シート23側に配設される多孔質体222aの厚みが、本体部21の基端部21b側に配設される多孔質体222bの厚みよりも薄く形成されている。また、この例では、多孔質体222aの平均空孔径多孔質体222内に形成されている通気経路連続気泡の直径の平均値が多孔質体222bの平均空孔径よりも短くなるように形成されている。つまり、各多孔質体222の平均空孔径が互いに異なるように形成されている。ここで、セラミックス製のこの種の多孔質体は、ケイ素や金属の酸化物、ケイ素や金属の炭化物、およびケイ素や金属の窒化物などを主成分とする原料粒子を焼成焼結して作製される。このようにして作製される多孔質体は、原料粒子の平均粒径が長いほど平均空孔径が長く、原料粒子の平均粒径が短いほど平均空孔径が短く形成される。また、このようにして作製される多孔質体は、原料粒子の平均粒径が長いほど剛性が高くヤング率が大きく、原料粒子の平均粒径が短いほど剛性が低くヤング率が小さく形成される。つまり、この種の多孔質体は、平均空孔径が長いほど剛性が高く形成され、平均空孔径が短いほど剛性が低く形成される。一方、整列シート23に形成されている全ての挿通孔51の形成部位において半田ボール300を吸着させるには、整列シート23に隣接する多孔質体222aの外面における多孔質体222aの通気経路の開口部の少なくとも1つまたは、その一部を整列シート23の挿通孔51に対向させ、この通気経路の開口部を通して吸気を行わせる必要がある。このためには、平均空孔径を短く例えば、挿通孔51の直径L2よりも短い5μm~20μm程度に規定した通気経路が高い密度で隣接するように例えば、隣接する通気経路同士の間隔が、平均空孔径の1/2~2倍程度となるように多孔質体222aを形成する必要があり、この結果、多孔質体222aの剛性が低下する。この場合、多孔質体22を1つだけ備えた構成では、多孔質体22の厚みを厚くすることで剛性を高める方法も考えられるが、この方法では、連続気泡の平均空孔径が短くかつその連続気泡長が長くなるため、多孔質体222を介して行われる吸気の際の抵抗が大きくなり、これに起因して吸引力が低下することとなる。これに対して、この吸着ヘッド211では、2つの多孔質体222a,222bを備えているため、整列シート23側に配設される多孔質体222a整列シート23に隣接する多孔質体222の平均空孔径を短く規定すると共に多孔質体222aの厚みを薄く形成して十分な通気性を確保し、本体部21の基端部21b側に配設される多孔質体222b他の多孔質体222の平均空孔径を長く規定すると共に多孔質体222bの厚みを厚く形成して十分な剛性を確保することで、2つの多孔質体222a,222bによって十分な吸引力および十分な剛性の双方を確保することができる。また、この構成では、平均空孔径が異なる複数種類の多孔質体222aを予め用意し、半田ボール300の直径L1に応じて多孔質体222aや整列シート23を交換することで、直径L1の異なる複数種類の半田ボール300の吸着を行うことができる。なお、上記の例では2つの多孔質体222を備えているが、3つ以上の多孔質体222を備えた構成を採用することもできる。また、このように互いに重ね合わせた複数の多孔質体222を備えたときには、重ね合わせた状態における各多孔質体222の全体としての剛性を十分に高めることができるため、支持部としての隔壁33や支柱133を備えていない構成を採用することもできる。"