ロードポートであって、前面と、後面と、第1及び第2の垂直側面とを有し、該前面が、半導体加工物が存在する時にそれを保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成されたポートドアと、前記ポートドアが前記容器ドアにインタフェースで接続する際に通過する開口部を有するように形成されたフレームと、前記ポートドアの制御された位置決め及び移動をもたらすように該ポートドアに接続された位置決めデバイスと、前記ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面の各々を超えて外方に延びるように該ポートドアの前記後面に接続され、該ポートドア及び前記フレームの両方に対して制御方式で可動であるように形成された可動閉鎖機構と、前記フレームの前記開口部に近接して該フレーム上に配置され、かつ前記可動閉鎖機構と係合するように形成された静止閉鎖機構と、を含み、前記静止閉鎖機構と係合する前記可動閉鎖機構の移動が、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する、ことを特徴とするロードポート。前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で実質的に垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項1に記載のロードポート。前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部に対して垂直方向に前記ポートドアを移動するように形成され、前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部内で水平方向に前記ポートドアを移動するように形成される、ことを特徴とする請求項1に記載のロードポート。前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後の位置で該ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面のそれぞれの1つを超えて外方に各々が延びる1対の案内部材として形成され、該対の案内部材の各々が、該ポートドアに対して実質的に垂直な方向にかつ実質的に同時の方式で移動するように形成され、前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ固定された1対のカムプレートとして形成され、該対のカムプレートの各々が、前記対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、ことを特徴とする請求項1に記載のロードポート。前記対の案内部材がそれぞれ接続される1対のドライブプレートと、対のドライブ軌道の各々が前記ポートドアの前記後面に接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を実質的に垂直な方向に向けるような向きにされた前記対のドライブプレートがそれぞれ接続される1対のドライブ軌道と、前記対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、前記ドライブ源の仕事を前記対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、を更に含むことを特徴とする請求項4に記載のロードポート。前記機械的リンケージは、前記ポートドアに対して実質的に水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの実質的に水平な移動が、前記対のドライブプレートと該対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記対の案内部材との各々の実質的に等しくかつ同時の垂直移動を引き起こすように、該対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項5に記載のロードポート。前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、前記モータは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記実質的に水平な方向に移動するように、前記ポートドアに対して該実質的に水平な方向に向けられる、ことを特徴とする請求項6に記載のロードポート。前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、前記空圧シリンダは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記実質的に水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、ことを特徴とする請求項6に記載のロードポート。前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ固定された1対の案内部材として形成され、前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後かつ外側のそれぞれの位置で該ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面に沿ってそれぞれ配置された1対の可動カムプレートとして形成され、該対の可動カムプレートの各々が、該ポートドアに対して実質的に垂直な方向にかつ実質的に同時の方式で移動するように形成され、該対の可動カムプレートの各々が、前記対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カムプレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、ことを特徴とする請求項1に記載のロードポート。前記対の可動カムプレートがそれぞれ接続される1対のドライブプレートと、対のドライブ軌道の各々が前記ポートドアの前記後面に接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を実質的に垂直な方向に向けるような向きにされた前記対のドライブプレートがそれぞれ接続される1対のドライブ軌道と、前記対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、前記ドライブ源の仕事を前記対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、を更に含むことを特徴とする請求項9に記載のロードポート。前記機械的リンケージは、前記ポートドアに対して実質的に水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの実質的に水平な移動が、前記対のドライブプレートと該対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記対の可動カムプレートとの各々の実質的に等しい垂直移動を引き起こすように、該対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項10に記載のロードポート。前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、前記モータは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記実質的に水平な方向に移動するように、前記ポートドアに対して該実質的に水平な方向に向けられる、ことを特徴とする請求項11に記載のロードポート。前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、前記空圧シリンダは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記実質的に水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、ことを特徴とする請求項11に記載のロードポート。前記対の可動カムプレートは、前記対のドライブプレートのそれぞれの部分として形成されることを特徴とする請求項10に記載のロードポート。ロードポートであって、前面と、後面と、第1及び第2の垂直側面とを有し、該前面が、半導体加工物が存在する時にそれを保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成されたポートドアと、前記ポートドアが前記容器ドアにインタフェースで接続する際に通過する開口部を有するように形成されたフレームと、前記ポートドアの制御された位置決め及び移動をもたらすように該ポートドアに接続された位置決めデバイスと、前記ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面の各々を超えて外方に延びるように該ポートドアの前記後面に接続された静止閉鎖機構と、前記フレームの前記開口部に近接して前記フレーム上に配置され、かつ前記静止閉鎖機構と係合するように形成され、該フレーム及び前記ポートドアにの両方に対して制御方式で可動であるように形成された可動閉鎖機構と、を含み、前記静止閉鎖機構と係合する前記可動閉鎖機構の移動が、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する、ことを特徴とするロードポート。前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で実質的に垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項15に記載のロードポート。前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部に対して垂直方向に前記ポートドアを移動するように形成され、前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部内で水平方向に前記ポートドアを移動するように形成される、ことを特徴とする請求項15に記載のロードポート。前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後の位置で該ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面のそれぞれの1つを超えて外方に各々が延びる1対の案内部材として形成され、前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ配置された1対の可動カムプレートとして形成され、該対のカムプレートの各々が、該フレーム及び前記ポートドアの両方に対して実質的に垂直な方向にかつ実質的に同時の方式で移動するように形成され、該対の可動カムプレートの各々が、前記対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためのその可動カムプレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、ことを特徴とする請求項15に記載のロードポート。前記対の可動カムプレートがそれぞれ接続される1対のドライブプレートと、前記対のドライブプレートがそれぞれ接続され、対のドライブ軌道の各々が、前記フレームに接続され、かつ実質的に垂直な方向のそれに接続された該ドライブプレートの誘導された移動に向けられた1対のドライブ軌道と、前記対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、前記ドライブ源の仕事を前記対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、を更に含むことを特徴とする請求項18に記載のロードポート。前記機械的リンケージは、前記フレームに対して実質的に水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの実質的に水平な移動が、前記対のドライブプレート及び該対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記対の可動カムプレートの各々の実質的に等しくかつ同時の垂直移動を引き起こすように、該対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項19に記載のロードポート。前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、前記モータは、固定位置で前記フレームに接続され、前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及び該それに接続された運動伝達プレートを前記実質的に水平な方向に移動するように、前記フレームに対して該実質的に水平な方向に向けられる、ことを特徴とする請求項20に記載のロードポート。前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、前記空圧シリンダは、固定位置で前記フレームに接続され、前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記実質的に水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、ことを特徴とする請求項20に記載のロードポート。前記対の可動カムプレートは、前記対のドライブプレートのそれぞれの部分として形成されることを特徴とする請求項19に記載のロードポート。前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ配置された1対の案内部材として形成され、該対の案内部材の各々が、実質的に同時の方式で実質的に垂直な方向に移動するように形成され、前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後かつ外側のそれぞれの位置で該ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面に沿ってそれぞれ固定された1対のカムプレートとして形成され、該対のカムプレートの各々が、前記対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、ことを特徴とする請求項15に記載のロードポート。前記対の案内部材がそれぞれ接続される1対のドライブプレートと、対のドライブ軌道の各々が、前記フレームに接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を実質的に垂直な方向に向けるような向きにされた前記対のドライブプレートがそれぞれ接続される1対のドライブ軌道と、前記対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、前記ドライブ源の仕事を前記対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、を更に含むことを特徴とする請求項24に記載のロードポート。前記機械的リンケージは、前記フレームに対して実質的に水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの実質的に水平な移動が、前記対のドライブプレートと該対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記対の案内部材との各々の実質的に等しい垂直移動を引き起こすように、該対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項25に記載のロードポート。前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、前記モータは、固定位置で前記フレームに接続され、前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記実質的に水平な方向に移動するように、前記フレームに対して該実質的に水平な方向に向けられる、ことを特徴とする請求項26に記載のロードポート。前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、前記空圧シリンダは、固定位置で前記フレームに接続され、前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記実質的に水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、ことを特徴とする請求項26に記載のロードポート。ロードポートを作動させる方法であって、フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階であって、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアが、該ポートドアの前面に固定され、該フレームの該開口部内に該ポートドアを位置決めする段階が、該容器のドア開口部内に該容器ドアを位置決めする段階に対応する前記フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階と、第1の方向に前記ポートドアに接続された可動閉鎖機構を該第1の方向に該ポートドアを移動することなく移動し、それによって該可動閉鎖機構が、前記フレームに固定された静止閉鎖機構と係合するように移動される段階であって、該静止閉鎖機構と係合する該可動閉鎖機構の移動が、該ポートドアの前面と前記容器ドアとの間に閉鎖力を印加する前記移動される段階と、前記閉鎖力が前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に印加される間に前記容器に該容器ドアを固定する段階と、を含むことを特徴とする方法。前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で実質的に垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項29に記載の方法。前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの第1及び第2の垂直側面のそれぞれの1つを超えて外方に各々が延びる1対の案内部材を含み、該ポートドアに接続された該可動閉鎖機構の前記第1の方向の移動が、該対の案内部材の実質的に同時の方式の実質的に垂直な方向の移動に対応し、前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ固定された1対のカムプレートとして形成され、該対のカムプレートの各々が、前記対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、ことを特徴とする請求項29に記載の方法。前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ固定された1対の案内部材として形成され、前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの第1及び第2の垂直側面に沿ってそれぞれ配置された1対の可動カムプレートとして形成され、該対の可動カムプレートの各々が、実質的に同時の方式で実質的に垂直な方向に移動するように形成され、該対の可動カムプレートの各々が、前記対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カムプレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、ことを特徴とする請求項29に記載の方法。ロードポートを作動させる方法であって、フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階であって、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアが、該ポートドアの前面に固定され、該フレームの該開口部内に該ポートドアを位置決めする段階が、該容器のドア開口部内に該容器ドアの位置決めする段階に対応する前記フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階と、前記フレームに接続された可動閉鎖機構を第1の方向に前記ポートドア又は該フレームを該第1の方向に移動することなく移動し、それによって該可動閉鎖機構が該ポートドアに固定された静止閉鎖機構と係合するように移動される段階であって、該静止閉鎖機構と係合する該可動閉鎖機構の移動が、該ポートドアの前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する前記移動される段階と、前記閉鎖力が前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に印加される間に前記容器に該容器ドアを固定する段階と、を含むことを特徴とする方法。前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で実質的に垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項33に記載の方法。前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの第1及び第2の垂直側面のそれぞれの1つを超えて外方に各々が延びる1対の案内部材として形成され、前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ配置された1対の可動カムプレートとして形成され、該対の可動カムプレートの各々が、実質的に同時の方式で実質的に垂直な方向に移動するように形成され、該対の可動カムプレートの各々が、前記対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カムプレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、ことを特徴とする請求項33に記載の方法。前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ配置された1対の案内部材として形成され、該対の案内部材の各々が、実質的に同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの第1及び第2の垂直側面に沿ってそれぞれ固定された1対のカムプレートとして形成され、該対のカムプレートの各々が、前記対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこにある該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、ことを特徴とする請求項33に記載の方法。一実施形態において、ロードポートを開示する。ロードポートは、前面と、後面と、第1及び第2の垂直側面とを有するポートドアを含む。ポートドアの前面は、存在する時に、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成される。ロードポートは、ポートドアが容器ドアにインタフェースで接続する開口部を有するように形成されたフレームを含む。ロードポートは、ポートドア制御された位置決め及び移動をもたらすようにポートドアに接続された位置決めデバイスも含む。可動閉鎖機構が、ポートドアの第1及び第2の垂直側面の各々を超えて外方に延びるようにポートドアの後面に接続される。可動閉鎖機構は、ポートドア及びフレームに対して制御方式で可動であるように形成される。静止閉鎖機構が、フレームの開口部に近接してフレーム上に配置され、かつ可動閉鎖機構と係合するように形成される。静止閉鎖機構と係合する可動閉鎖機構の移動は、ポートドアの前面と容器ドアの間に閉鎖力を印加する。別の実施形態において、ロードポートを開示する。ロードポートは、前面と、後面と、第1及び第2の垂直側面とを有するポートドアを含む。ポートドアの前面は、存在する時に、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成される。ロードポートは、ポートドアが容器ドアにインタフェースで接続する開口部を有するように形成されたフレームを含む。ロードポートは、ポートドア制御された位置決め及び移動をもたらすようにポートドアに接続された位置決めデバイスも含む。静止閉鎖機構が、ポートドアの第1及び第2の垂直側面の各々を超えて外方に延びるようにポートドアの後面に接続される。可動閉鎖機構が、フレームの開口部に近接してフレーム上に配置され、かつ静止閉鎖機構と係合するように形成される。可動閉鎖機構は、フレーム及びポートドアに対して制御方式で可動であるように形成される。静止閉鎖機構と係合する可動閉鎖機構の移動は、ポートドアの前面と容器ドアの間に閉鎖力を印加する。別の実施形態において、ロードポートを作動させる方法を開示する。本方法は、フレームの開口部内にポートドアを位置決めするための作動を含む。半導体加工物を保持するための容器の容器ドアが、ポートドアの前面に固定される。フレームの開口部におけるポートドアの位置決めは、容器のドア開口部における容器ドアの位置決めに対応する。本方法は、第1の方向にポートドアを移動することなく第1の方向にポートドアに接続された可動閉鎖機構を移動するための作動も含む。このようにして、可動閉鎖機構は、フレームに固定された静止閉鎖機構と係合するように移動される。静止閉鎖機構と係合する可動閉鎖機構の移動は、ポートドアの前面と容器ドアの間に閉鎖力を印加する。本方法は、閉鎖力がポートドアの前面と容器ドアの間に印加される間に容器に容器ドアを固定するための作動を更に含む。別の実施形態において、ロードポートを作動させる方法を開示する。本方法は、フレームの開口部内にポートドアを位置決めするための作動を含む。半導体加工物を保持するための容器の容器ドアが、ポートドアの前面に固定される。フレームの開口部におけるポートドアの位置決めは、容器のドア開口部における容器ドアの位置決めに対応する。本方法は、第1の方向にポートドア又はフレームを移動することなく第1の方向にフレームに接続された可動閉鎖機構を移動するための作動も含む。このようにして、可動閉鎖機構は、ポートドアに固定された静止閉鎖機構と係合するように移動される。静止閉鎖機構と係合する可動閉鎖機構の移動は、ポートドアの前面と容器ドアの間に閉鎖力を印加する。本方法は、閉鎖力がポートドアの前面と容器ドアの間に印加される間に容器に容器ドアを固定するための作動を更に含む。本発明の他の態様及び利点は、一例として本発明を示す添付図面に関連して行う以下の詳細説明からより明らかになるであろう。以下の詳細説明では、本発明を完全な理解することができるように多くの特定の詳細に対して説明する。しかし、本発明は、これらの特定の詳細の一部又は全てがなくても実施することができることが当業者には明らかであろう。他の例において、公知の処理における作動は、本発明を不要に曖昧にしないように詳細説明を割愛している。処理ツールのためのロードポートの様々な実施形態を本明細書に開示する。本明細書に開示するロードポートの各実施形態には、ロードポート上に位置決めされて、ポートドアと容器の容器ドアとの間に増大した力を印加するように形成されたポートドア位置決め装置、例えば、FOUPが装備される。本明細書に開示するあらゆるロードポート実施形態は、本質的にあらゆる処理ツールと共に使用することができ、清浄な処理ツール内部環境を必要とする処理ツールの利用に特に適している。例えば、一実施形態において、ロードポートは、半導体製造処理ツールへのアクセスポータルが得られるように使用することができる。この実施形態において、ロードポートは、処理ツール内部の清浄度を損なうことなく処理ツール内でロボットハンドラにより容器から加工物を取り出すか又は容器に入れることができるようにいくつかの加工物を収容するように形成された容器を受け取り、支持し、かつ作動させるように構成される。各加工物は、半導体製造処理によって形成される本質的にあらゆるタイプの物品を表すことができる。例えば、加工物は、取りわけ、半導体ウェーハ、フラットパネルディスプレイ、太陽電池パネルを表すことができる。説明しやすいように、加工物という用語は、処理ツール内に受け取られるか又は処理ツールから取り出されるあらゆるタイプの物品を指すために本明細書で使用する。本明細書に開示するロードポート実施形態にインタフェースで接続するように形成された容器は、いくつかの加工物を収容するように形成されて機械的に開放可能な容器ドアを装備した本質的にあらゆるタイプの容器とすることができる。容器は、例えば、取りわけ、前部開放統合ポッドFrontOpeningUnifiedPodFOUP、標準機械的インタフェースStandardMechanicalInterfaceSMIFポッド、レチクル容器、フラットパネルディスプレイ搬送デバイスを表すことができる。説明しやすいように、用語容器は、いくつかの半導体加工物を収容するように形成され、かつ機械的に開放可能なドアを装備したあらゆるタイプの容器を指すために本明細書で使用する。従来の半導体ウェーハ製造における加工物サイズは、300mmの直径により形成されていた。しかし、半導体ウェーハ製造における次世代の加工物サイズは、より大きい直径、例えば、450mmにより形成されることが予想される。加工物サイズの増大により、容器の大型化及びこれに対応してロードポートアーキテクチャ内のポートドアの大型化が必要である。加工物のサイズの増大には、加工物の大型化に伴う容器ペイロード総重量がそれまでの小型の加工物に伴う容器ペイロード総重量の約2~3倍であるような加工物の厚みの増大も含まれる。一実施形態において、可撓性加工物保持アセンブリが、容器ドアの内部側面上に配置され、かつ容器ドアが閉鎖された時に加工物を容器内で所要の位置に保持するように形成される。加工物に対して可撓性加工物保持アセンブリによってもたらされる保持効果は、容器ドアの閉鎖を通じて達成され、容器ドアの閉鎖により、容器内の加工物の各々に対して可撓性加工物保持器から保持力が印加される。容器ドアの閉鎖は、容器から除去された時に容器ドアがそれに固定されるポートドアによりもたらされる。ポートドアは、容器ドアが容器のドア開口部内に確実に着座するように閉鎖力に対して向けられる力の合計を克服するのに十分な閉鎖力を容器ドアに対して掛ける必要がある。ポートドアの閉鎖力に対して向けられる力の合計には、容器の内側で各加工物を可撓性加工物保持器に係合させるのに必要とされる総力及び容器ドアの周囲周りの気密シールを可能にするのに必要とされる力が含まれる。一実施形態において、容器ドアの周囲周りの気密シールは、容器ドアが確実に押圧される必要があるシリコーン又はゴムなどのような可撓性シールによって達成される。図1に関して説明したような従来のロードポートにおいて、ポートドア30は、アーム32に接続され、ポートドア30の移動は、アーム32の移動により行われる。従って、従来の実施形態において、ポートドア30と容器ドア74の間に印加される閉鎖力は、容器70に向けて水平方向33にアーム32の移動によって供給すべきである。300mmの直径の従来の半導体加工物サイズに対して、一般的なポートドア30閉鎖力必要量は、2~10ポンドの範囲であり、アーム32によって供給することができた。しかし、新しい大型化された半導体の加工物のサイズ、例えば、450mmの直径に対して、ポートドア30閉鎖力の実質的な増大が必要であり、アーム32により確実に行うことができるものではない。より具体的には、容器サイズの増大のためのペイロード重量の増大及びポートドア周囲シール長の増大には、併せて、100ポンド又はそれよりも大きいものになる可能性があるポートドア閉鎖力の実質的な増大が必要である。また、本質的なポートドア閉鎖力の増加には、容器内の加工物スタック高さの増大による容器高さの増大に関連するポートドア高さの増大が伴う。ポートドア高さの増大により、可動アーム32/ポートドア30アセンブリのモーメントアーム長さの増大がもたらされる。閉鎖力必要量の増大及びモーメントアーム長さの増大の組合せにより、ポートドアアーム位置決め機構に関するモーメントの有意な増大をもたらし、これは、容器閉鎖処理中にポートドアの角度的及び軸線方向の偏向を引き起こす可能性があり、これは、容器における容器ドアの適切な配置及び着座を妨げ兼ねない。例えば、容器ドアは、容器内に不適切に着座する可能性があり、従って、可撓性加工物保持器アセンブリは、全ての加工物とは確実に係合することができず、及び/又は容器ドアは、容器ドアの周囲周りに配置されたシールと確実に係合することができず、及び/又はポートドア上のラッチは、容器ドア内のレセプタクルと確実に係合することができない。ポートドアの偏向/位置決めの制御不能の影響により、結果として、加工物損傷の可能世及び/又は確実に容器ドアを閉鎖して容器外壁において正しい位置において物理的にロックすることができないことが発生する可能性がある。従って、容器ドアを確実に閉鎖することができないと、加工物損傷又は汚れ、並びに加工ツールの正常な作動の妨げが発生する可能性がある。更に、容器を開いた時にラッチキーに係合する前にポートドアのラッチキーが容器ドア内のそれぞれのレセプタクル内に確実に位置決めされることを保証するために、容器ドアに向けて等しい距離だけポートドアを押し進める必要がある。ポートドア偏向/位置決めの制御不能により、容器を開いた時に容器ドアに対するポートドアの適切な位置決めが妨げられる可能性がある。本明細書に開示するロードポート実施形態により、容器ドアがポートドアに固定されたか否かに関わらず、ポートドアの許容不能角度的/位置的偏向になり兼ねない不利なモーメント荷重を招くことなく、関連の高いポートドア閉鎖力による水平ポートドア移動の制御の手段が得られる。不利なモーメント荷重を招くことなく所要の閉鎖力が得られるように、本明細書に開示するロードポート実施形態は、印加された閉鎖力ベクトルの作用線が可撓性加工物保持器アセンブリ及び容器ドア周囲シールの組合せによって生成される抵抗力ベクトルと真反対であるように、ポートドアアセンブリに水平変位力を印加する独立した移動制御機構を実施する。図2Aは、本発明の一実施形態によるロードポート200を示している。ロードポート200は、前面230と、後面232と、第1及び第2の垂直側面234/236と、上部水平側面238と、底部水平側面240とを有するポートドア201を含む。ポートドア201の前面230は、存在する時に、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成される。ロードポート200は、ポートドア201が容器ドアにインタフェースで接続する開口部211を有するように形成されたフレーム205を含む。一実施形態において、フレーム205は、BOLTSプレートとして形成される。位置決めデバイス203は、矢印213によって示すような垂直方向及び矢印215によって示すようなフレーム205に向う/から離れる水平方向のポートドア制御された位置決め及び移動をもたらすようにポートドアに接続される。一実施形態において、位置決めデバイス203は、フレーム205に向う/から離れる水平方向215のポートドア201の移動をもたらすために水平方向215に実質的に線形に移動するように形成される。しかし、別の実施形態において、位置決めデバイス203は、フレーム205に向う/から離れるポートドア201の移動がたとえ厳密には線形ではなく、幅広い円弧を描きながらであるとしても実質的に水平方向であるように、ポートドア201から実質的に遠く離れる方向にいるピボット点に関してフレーム205に向けて/から離れる方向にピボット回転するように形成される。図2Aの実施形態において、位置決めデバイス203は、アーム部材として形成される。しかし、他の実施形態において、位置決めデバイス203は、それぞれ、矢印213及び215によって示すように、垂直及び水平方向にポートドア201を位置決めして移動することができる異なるタイプの構造部材として形成することができる。ロードポート200は、ポートドア201の第1及び第2の垂直側面234/236の各々を超えて外方に、すなわち、水平に延びるようにポートドア201の後面232に接続された可動閉鎖機構207A/Bを含む。可動閉鎖機構207A/Bは、ポートドア201及びフレーム205に対して制御方式で可動であるように形成される。図2Aの実施形態において、可動閉鎖機構207A/Bは、矢印213によって示すように実質的に垂直な方向に移動するように形成される。ポートドア201は、可動閉鎖機構207A/Bがポートドア201に対して移動する時に一定の垂直位置に位置決めデバイス203によって保持することができることを理解すべきである。ロードポート200は、フレーム205の開口部211の近くでフレーム205上に配置された静止閉鎖機構209A/Bも含む。静止閉鎖機構209A/Bは、ポートドア201に接続された可動閉鎖機構207A/Bと係合するように画定かつ配置される。位置決めデバイス203は、可動閉鎖機構207A/Bが静止閉鎖機構209A/Bと係合する準備ができているようにフレーム205の開口部211内にポートドア201を位置決めするように作動させることができる。次に、静止閉鎖機構209A/Bと係合する可動閉鎖機構207A/Bの移動は、ポートドア201の前面230と容器ドアの間に閉鎖力を印加する。閉鎖力は、ポートドア201の前面230と容器ドアの間で実質的に垂直な方向に向けられる。容器ドアは、容器を閉鎖するために容器ドアと入れ替わった時のようなポートドア201の前面230に固定される場合があり、又は容器ドアは、容器から容器ドアを除去した時のような開口部211に近い状態に保たれる容器内に配置される場合があることを理解すべきである。図2Aに示すような一実施形態において、可動閉鎖機構は、各々がポートドア201の後面232の背後の位置でポートドア201の第1及び第2の垂直側面234/236のそれぞれの1つを超えて外方に延びる1対のローラ206A/Bを含む。この実施形態において、1対のローラ206A/Bの各々は、フレーム205に平行な実質的に水平な方向な向きに配置された中心ピンの軸線周りに回転するように形成される。1対のローラ206A/Bの各々の中心ピンは、矢印213によって示すようにポートドア201に対して実質的に垂直な方向の可動閉鎖機構207A/Bの移動が1対のローラ206A/Bの各々をポートドア201に対して実質的に垂直な方向に移動するように可動閉鎖機構207A/Bに固定される。また、可動閉鎖機構207A/Bは、実質的に同時に1対のローラ206A/Bの移動を引き起こすように形成される。他の実施形態において、1対のローラ206A/Bは、取りわけ、1対の剛性ガイドピン又は1対の回転可能ガイドピンのような異なる形の案内部材と置換することができることを理解すべきである。また、図2Aのロードポート実施形態において、静止閉鎖機構209A/Bは、それぞれ、フレーム205の開口部211の垂直の側面の近くに固定された1対のカムプレート209A/Bとして形成される。1対のカムプレート209A/Bの各々は、可動閉鎖機構209A/Bが位置決めされて静止閉鎖機構209A/Bと係合するように移動した時に1対のローラ206A/Bのそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネル210A/Bを含む。各チャンネル210A/Bは、閉鎖力を印加するようにその中でのローラ206A/Bの移動を容器ドアに垂直に向かうポートドアの移動に変換するように形成される。図2Bは、本発明の一実施形態によるローラ206A/Bがカムプレート209A/Bと係合する準備ができているようにポートドア201が閉鎖待機位置にある固定カムプレート209A/Bに対する可動閉鎖機構207A/Bのローラ206A/Bの側面図を示している。ポートドア201は、位置決めデバイス203により閉鎖待機位置に移動される。閉鎖処理中に、位置決めデバイス203は、フレーム205に垂直の方向でのポートドア201の水平移動を可能にしながらポートドア201の垂直位置を維持するように作動される。一実施形態において、位置決めデバイス203の移動に関連付けられた水平ドライブは、閉鎖処理中にフレーム205に垂直の方向にポートドア201の自由な水平移動を可能にするために離脱される。別の実施形態において、位置決めデバイス203の移動に関連付けられた水平ドライブは、係合したままであるが、閉鎖処理中にフレーム205に垂直の方向にポートドア201の水平移動に追従する/水平移動を支持するように作動される。図2Cは、本発明の一実施形態による固定カムプレート209A/Bのチャンネルに沿って移動するローラ206A/Bの側面図を示している。可動閉鎖機構207A/Bが垂直方向217に移動すると、ローラ206A/Bは、カムプレート209A/Bのチャンネル210A/Bに接触して方向219に追従する。ポートドア201の垂直位置は、位置決めデバイス203により固定した状態に保持され、かつチャンネル210A/Bは、フレーム205に向けて斜めであるので、チャンネル210A/Bに沿ったローラ206A/Bの移動は、フレーム205に垂直の実質的に水平な方向221にポートドア201の対応する移動を引き起こし、従って、ポートドア201は、開口部211を通過して容器閉鎖処理を実行する。水平方向221に印加された閉鎖力は、垂直方向に可動閉鎖機構207A/Bを移動するように印加された垂直の力217及び垂直方向217に対して形成されるようなチャンネル210A/Bの角度218に依存することを理解すべきである。一実施形態において、水平方向221に印加された閉鎖力は、垂直方向に可動閉鎖機構207A/Bを移動するように印加された垂直の力217とチャンネル210A/B角度218の正接との積に比例する。また、ポートドア20里が剛性構造として形成されるので、垂直方向に可動閉鎖機構207A/Bを移動するように本質的な垂直の力217を印加することができる。従って、相応に有意なポートドア201閉鎖力を水平方向221に取得することができる。1つの例示的な実施形態において、本明細書に開示する補完的な可動閉鎖機構及び静止閉鎖機構により最大200ポンドまでのポートドア201閉鎖力を生成することができる。図2Dは、本発明の一実施形態によるポートドア201の完全に閉鎖された後の位置にある固定カムプレート209A/Bのチャンネル210A/B内のローラ206A/Bの側面図を示している。一実施形態において、チャンネル210A/Bは、ポートドア201の完全な閉鎖に必要であるよりも長く形成され、ポートドア201の閉鎖は、制御手段により停止される。一実施形態において、ポートドア201の閉鎖を停止する制御手段は、可動閉鎖機構207A/Bを移動するために接続されたドライブ源の制御を通じて達成される。様々な例示的な実施形態において、ドライブ源は、電動モータ、サーボモータ、ステッパモータ、又は可動閉鎖機構207A/Bの移動をもたらすように機械的に接続することができ、かつロードポート機器に関連付けられた環境要件に準拠した本質的にあらゆる他のタイプのモータとすることができる。これらの様々な例示的な実施形態において、ドライブ源モータは、制御ポートドア201の閉鎖が停止されるための手段をもたらすように作動させることができる。更に、様々な実施形態において、ポートドア201の閉鎖を停止するようにドライブ源、例えば、モータを誘導するように異なるタイプのトリガ機構を実施することができる。例えば、光センサ、機械式スイッチ、電気スイッチ、電気的センサ、又は本質的にあらゆる他のタイプの位置検出デバイスの1つ又はそれよりも多くを利用し、ポートドア201位置フィードバック信号を供給することができ、ポートドア201位置フィードバック信号を使用し、可動閉鎖機構207A/B及びポートドア201の適切な移動停止を行うようにドライブ源を制御することができる。また、符号化器制御式モータがドライブ源として使用される実施形態において、モータの移動停止及びポートドア201の対応する移動停止を制御する符号化器設定を行うことができる。別の代替的な実施形態において、ポートドア201の移動を停止するためにポートドア201及びフレーム205の間にいくつかのハードストップを配置することができる。この一実施形態の例では、ハードストップは、フレーム205の背面上に取り付けられ、対応する接点要素は、ポートドア201上に取り付けられる。この実施形態において、ポートドア201の閉鎖は、補完的な可動閉鎖機構及び静止閉鎖機構を手段として、ポートドア201上の接点要素がフレーム205上のハードストップに接触するまで続行し、従って、フレーム205の前面に対してポートドア201前面230平面の正確かつ剛性の位置決めがもたらされる。また、接点要素及び/又はハードストップは、ポートドア201前面230平面の向き調節を可能にするようにポートドア201周囲周りの厚み及び位置を調節可能にすることができる。上述のようなハードストップの使用は、一例として、可動閉鎖機構207A/Bの移動をもたらすように接続された空圧シリンダドライブ源のような特定のタイプの圧力制御式ドライブ源と対になった時に特に有用である可能性がある。更に、別の代替的な実施形態において、チャンネル210A/Bの長さは、ポートドア201の完全な閉鎖停止を行うように形成することができる。又は代替的に、止めネジは、ポートドア201の調節可能な完全な閉鎖停止を行うようにチャンネル210A/Bの末端に配置することができる。図2Eは、本発明の一実施形態によるポートドア201が閉鎖待機位置にある固定カムプレート209A/Bの代替構成の側面図を示している。ローラ206A/Bは、可動閉鎖機構207A/Bの垂直移動により固定カムプレート209A/Bのチャンネル210A/Bと係合する準備ができている。しかし、この実施形態において、固定カムプレート209A/Bは、水平方向230のローラ206A/Bの移動をもたらす水平クリアランスチャンネル212も含む。この実施形態において、閉鎖待機位置からのポートドア201の閉鎖に2つの選択肢が利用可能である。1つの選択肢は、チャンネル210A/Bを通過するようにローラ206A/Bを移動して図2B-2Dに関して上述したように高い力閉鎖を印加するために垂直方向に可動閉鎖機構207A/Bを移動することである。別の選択肢は、水平方向のポートドア201の移動に230を引き起こし、従って、ローラ206A/Bにクリアランスチャンネル212を通過させるために可動閉鎖機構207A/Bを移動せずに水平方向230に位置決めアーム203を移動することである。図3Aは、本発明の別の実施形態によるロードポート300を示している。図3つのAのロードポート300は、本質的に図2Aのロードポート200と同様のものであり、ローラ206A/B及びカムプレート209A/Bは、互いに対して実質的に交換される。ロードポート300は、図2Aに関して上述したように、ポートドア201、位置決めデバイス203、及びフレーム205を含む。この実施形態において、ロードポート300は、ポートドア201の第1及び第2の垂直側面234/236の各々を超えて外方に、すなわち、水平に延びるようにポートドア201の後面232に接続された可動閉鎖機構307A/Bを含む。可動閉鎖機構307A/Bは、矢印213によって示すように、ポートドア201及びフレーム205に対して制御方式で可動であるように形成される。ポートドア201は、可動閉鎖機構207A/Bがポートドア201に対して移動する時に一定の垂直位置に位置決めデバイス203によって保持することができる。各可動閉鎖機構は、カムプレート301A/Bを含む。ロードポート300は、フレーム205の開口部211の近くでフレーム205上に配置された静止閉鎖機構303A/Bも含む。静止閉鎖機構303A/Bは、ポートドア201に接続された可動閉鎖機構307A/Bと係合するように形成されたローラ305A/Bを含む。ローラ305A/Bの各々は、静止閉鎖機構303A/Bに固定されたそれぞれの中心ピンに関して回転するように形成される。他の実施形態において、ローラ305A/Bは、取りわけ、剛性ガイドピン又は回転可能ガイドピンのような異なる形の案内部材と置換することができることを理解すべきである。位置決めデバイス203は、可動閉鎖機構307A/Bのカムプレート301A/Bの各々が静止閉鎖機構303A/Bのそれぞれのローラ305A/Bと係合する準備ができているように、フレーム205の開口部211内にポートドア201を位置決めするように作動させることができる。静止閉鎖機構303A/Bと係合する可動閉鎖機構307A/Bの移動は、ポートドア201の前面230と容器ドアの間に閉鎖力を印加する。閉鎖力は、ポートドア201の前面230と容器ドアの間に実質的に垂直な方向に向けられる。図3Bは、本発明の一実施形態によるカムプレート301A/Bがローラ305A/Bと係合する準備ができているようにポートドア201が閉鎖待機位置にある固定ローラ305A/Bに対する可動閉鎖機構307A/Bのカムプレート301A/Bの側面図を示している。ここでもまた、閉鎖中に、位置決めデバイス203は、フレーム205に垂直の方向でのポートドア201の水平移動を可能にしながらポートドア201の垂直位置を維持するように作動される。図3Cは、本発明の一実施形態によるローラ305A/Bに沿って移動するカムプレート301A/Bのチャンネルの側面図を示している。可動閉鎖機構307A/Bが垂直方向317に移動される時に、カムプレート301A/Bチャンネル310A/Bは、固定ローラ305A/Bに接触して方向319に追従する。ポートドア201の垂直位置は位置決めデバイス203により固定した状態に保持され、かつチャンネル310A/Bはフレーム205に向けて斜めであるので、ローラ305A/Bに沿ったチャンネル310A/Bの移動は、フレーム205に垂直の実質的に水平な方向321にポートドア201の対応する移動を引き起こし、ポートドア201は、開口部211を通過して容器閉鎖処理を実行する。図3Dは、本発明の一実施形態によるポートドア201の完全に閉鎖された後の位置にある可動カムプレート301A/B及び固定ローラ305A/Bの側面図を示している。ポートドア201の移動停止に関する図2Dに関して上述した様々な実施形態は、図3Dの実施形態において、ポートドア201の移動停止の制御に等しく適用可能であることを理解すべきである。図4Aは、本発明の別の実施形態によるロードポート400を示している。ロードポート400は、図2Aに関して上述したように、ポートドア201、位置決めデバイス203、及びフレーム205を含む。この実施形態において、ロードポート400は、ポートドア201の第1及び第2の垂直側面234/236の各々を超えて外方に、すなわち、水平に延びるようにポートドア201の後面232に接続された静止閉鎖機構401A/Bを含む。図4に示す例示的な実施形態は、静止閉鎖機構401A/Bとして1対の固定カムプレート401A/Bを利用し、1対の固定式カムプレート401A/Bの各々は、それぞれの傾斜チャンネル410A/Bを有するように形成される。ロードポート400は、フレーム205の開口部211の近くでフレーム205上に配置された可動閉鎖機構403A/Bも含む。可動閉鎖機構403A/Bは、静止閉鎖機構401A/Bと係合するように形成される。図4の例示的な実施形態において、可動閉鎖機構403A/Bは、それぞれのローラ404A/Bを含む。他の実施形態において、ローラ404A/Bは、取りわけ、剛性ガイドピン又は回転可能ガイドピンのような異なる形の案内部材と置換することができることを理解すべきである。可動閉鎖機構403A/Bは、矢印213によって示すように、フレーム205及びポートドア201に対して制御されて垂直に移動されるように形成される。図2B~図2Dに関して説明したものと同様に、静止閉鎖機構401A/Bのカムプレート401A/Bのチャンネル410A/Bにローラ404A/Bを係合させる可動閉鎖機構403A/Bの移動は、ポートドア201の前面230と容器ドアの間に閉鎖力を印加する。図5は、本発明の別の実施形態によるロードポート500を示している。ロードポート500は、図2Aに関して上述したように、ポートドア201、位置決めデバイス203、及びフレーム205を含む。この実施形態において、ロードポート500は、ポートドア201の第1及び第2の垂直側面234/236の各々を超えて外方に、すなわち、水平に延びるようにポートドア201の後面232に接続された静止閉鎖機構501A/Bを含む。図5に示す例示的な実施形態は、静止閉鎖機構501A/Bに接続された1対の固定ローラ503A/Bを含む。他の実施形態において、ローラ503A/Bは、取りわけ、剛性ガイドピン又は回転可能ガイドピンのような異なる形の案内部材と置換することができることを理解すべきである。ロードポート500は、フレーム205の開口部211の近くでフレーム205上に配置された可動閉鎖機構505A/Bも含む。可動閉鎖機構505A/Bは、静止閉鎖機構501A/Bと係合するように形成される。図5の例示的な実施形態において、可動閉鎖機構505A/Bは、1対の可動カムプレート505A/Bとして形成され、各可動カムプレート505A/Bは、それぞれの傾斜チャンネル510A/Bを有する。可動閉鎖機構505A/Bは、矢印213によって示すように、フレーム205及びポートドア201に対して制御されて垂直に移動されるように形成される。図3B~図3Dに関して説明したものと同様に、静止閉鎖機構501A/Bに接続されたローラ503A/Bにそれぞれの傾斜チャンネル510A/Bを係合させるフレーム205上のカムプレート505A/Bの移動は、ポートドア201の前面230と容器ドアの間に閉鎖力を印加する。図6は、本発明の一実施形態による図2Aのロードポート実施形態におけるポートドア201の例示的な実施を示している。可動閉鎖機構207A/Bは、1対のドライブプレート601A/Bにより形成され、1対のローラ206A/Bは、それにそれぞれ接続される。ここでもまた、他の実施形態において、1対のローラ206A/Bは、取りわけ、1対の剛性ガイドピン又は1対の回転可能ガイドピンのような異なる形の案内部材と置換することができることを理解すべきである。ローラ206A/Bの各々は、ポートドア201の後面232の後の位置でポートドア201の垂直側面234/236のそれぞれの1つを超えて外方に延びる。一実施形態において、1対のドライブ軌道603A/Bが、ポートドア201の後面232に接続される。ドライブプレート601A/Bの各々は、ドライブ軌道603A/Bのそれぞれの1つに接続され、かつドライブプレート601A/Bの各々が接続されたドライブ軌道603A/Bに沿って移動するように形成される。ドライブ軌道603A/Bの各々は、ドライブ軌道603A/Bの各々に接続されたドライブプレート601A/Bの移動を実質的に垂直な方向213に誘導するような向きに配置される。一実施形態において、ドライブ軌道603A/Bは、ベアリングレール上の金属スライドとして形成される。しかし、他の実施形態において、ドライブ軌道603A/Bは、ドライブ軌道603A/Bがドライブ軌道603A/Bに接続されたドライブプレート601A/Bの線形移動をもたらし、かつ処理環境仕様に準拠している限り、他の方法で形成することができる。別の実施形態において、ドライブ軌道603A/Bは、ポートドア201内に、又はポートドア201に接続された部材内に形成された1対の垂直な向きに配置されたガイドチャンネルにより置換することができる。この実施形態において、ドライブプレート601A/Bの各々は、摺動部材がガイドチャンネルに沿って移動することができるように、保持されてその対応するガイドチャンネルに収まる摺動部材を有するように構成することができる。ポートドア201アセンブリは、それぞれのドライブ軌道603A/Bに沿った1対のドライブプレート601A/Bの移動を制御するように形成されたドライブ源も含む。また、機械的リンケージが、ドライブ源の仕事を1対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成される。図6の例示的な実施形態において、機械的リンケージは、ポートドア201に対して607を実質的に水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレート605として形成される。一実施形態において、いくつかのガイドローラ609が、運動伝達プレート605の水平な向きに配置された縁部と係合するように配置される。このようにして、ガイドローラ609は、ポートドア201に対して実質的に水平な方向607に運動伝達プレート605の移動を誘導する。更に、いくつかのスロット611この例示的な実施形態での2つのスロット611が、運動伝達プレート605内に形成される。スロット611に対応するガイドピン613は、ポートドア201の後面232に固定される。ガイドピン613は、スロット611を通って延びてスロット611内で移動するように形成される。スロット611が実質的に水平な方向607に延びるように構成されるので、固定ガイドピン613とのスロット611のインタフェース接続は、実質的に水平な方向607に運動伝達プレート605を案内することを補助する。運動伝達プレート605は、方向607の運動伝達プレート605の実質的に水平な移動が、1対のローラ206A/Bの対応する垂直移動と共に垂直方向213に1対のドライブプレート601Aの各々の実質的に等しくかつ垂直移動を引き起こすように、1対のドライブプレート601A/Bの各々と係合するように形成される。図6の実施形態において、運動伝達プレート605は、1対の傾斜スロット615を含む。また、1対のドライブプレート601A/Bの各々は、ドライブプレート601A/Bの各々に剛的に接続され、かつ1対の傾斜スロット615のそれぞれの1つにおいて移動するように構成されたそれぞれのピン617を含む。傾斜スロット615の各々は、ポートドア201と平行な基準面内の描かれているように垂直方向213からオフセットしている共通角度627に沿って延びるように構成される。運動伝達プレート605が水平方向607に移動する時に、各ドライブプレート601A/Bのピン617は、運動伝達プレート605のそれぞれのスロット615によって係合されることは認められるものとする。このようにして、スロット615の共通角度627により、運動伝達プレート605の水平移動は、それぞれのドライブ軌道603A/Bに沿ったドライブプレート601A/Bの垂直移動に変換される。図6の例示的な実施形態において、ドライブ源は、モータ619による回転が得られるようにモータ619に接続された送りネジ625を有するモータ619である。モータ619は、固定位置でポートドア201の後面232に剛的に接続される。例えば、ブラケットアセンブリ621は、ポートドア201にモータ619を接続するのに使用することができることを理解すべきである。モータ619は、電気的に電力を供給されかつ制御されるように接続される。送りネジ625と補完的にネジ切りされたナット623は、送りネジ625を受け取るために運動伝達プレート605に剛的に接続される。送りネジ625及びナット623は、ナット623内の送りネジ625の回転が実質的に水平方向607にナット623及び送りネジ625に接続された運動伝達プレート605を移動するようにポートドア201に対して実質的に水平方向607な向きに配置される。従って、送りネジ625を回転させるモータ619の作動は、運動伝達プレート605の水平移動及びドライブプレート601A/Bの対応する垂直移動をもたらすものである。広範な例示的な実施形態において、モータ619は、電動モータ、サーボモータ、ステッパモータ、又はドライブプレート601A/Bの移動の制御を行うように機械的に接続することができ、かつロードポート機器に関連付けられた環境要件に準拠した本質的にあらゆる他のタイプのモータとすることができる。これらの様々な例示的な実施形態において、モータ619は、制御ポートドア201の閉鎖が開始及び停止されるための手段の制御を行うように作動させることができる。更に、様々な実施形態において、ポートドア201の閉鎖を停止するようにモータ619を指令するように異なるタイプのトリガ機構を実施することができる。例えば、光センサ、機械式スイッチ、電気スイッチ、電気的センサ、又は本質的にあらゆる他のタイプの位置検出デバイスの1つ又はそれよりも多くを利用してポートドア201位置フィードバック信号を供給し、それを次に使用してモータ619を制御し、ドライブプレート601A/B及びポートドア201の適切な移動停止を行うことができる。また、モータ619が符号化器制御式モータである実施形態において、モータ619の移動停止及びドライブプレート601A/B及びポートドア201の対応する移動停止を制御する符号化器設定を行うことができる。ドライブ源は、モータ619/送りネジ625/ナット623のり組合せに限定されないことを理解すべきである。他の実施形態において、運動伝達プレート605に制御された水平移動を伝えるために異なるドライブ源及び構成を適用することができる。例えば、一実施形態において、ドライブ源は、それ自体に及び運動伝達プレート605に接続されたドライブロッドを有する空圧シリンダである。より具体的には、空圧シリンダは、固定位置でポートドア201の後面に接続され、ドライブロッドが、ドライブロッドの移動が実質的に水平方向に運動伝達プレートの移動に605を引き起こすように、運動伝達プレート605に接続される。更に別の実施形態において、ラックアンドピニオンシステム及び関連の駆動モータは、ピニオン歯車の円形移動を運動伝達プレート605に接続されたラック歯車の線形移動に、かつ運動伝達プレート605に接続されたラック歯車の線形移動をピニオン歯車の円形移動に変換するように形成することができる。また、本明細書に開示するロードポート200、300、400、500の代替的な実施形態において、可動閉鎖機構は、可動閉鎖機構の実質的に同時かつ等しい移動をもたらすために連携方式で作動するように共通に符号化された別々のそれぞれのドライブ源を用いて独立して移動することができる。特定的な実施形態に関わらず、垂直方向213にドライブプレート601A/Bを移動するように実行されるドライブ源及び対応する機械的リンケージは、最適に所要の維持を制限し、かつ半導体加工物の汚れの一因になり兼ねない粒子状物質生成を低減するように形成される。また、ポートドア201位置モニタリングデバイス及びドライブ源力モニタリングデバイスを利用し、半導体加工物及び/又は他のシステム要素を保護する保護手段をもたらすことができる。更に、図6の例示的なロードポートの実施は、図3A~図3Dに示すロードポート実施形態と共に利用することができることは認められるものとする。この場合に、カムプレート301A/Bは、ローラ601A/Bに取って代わるものである。カムプレート301A/Bは、ドライブプレート601A/Bの一部として形成することができ、又は別々に形成してドライブプレート601A/Bに接続することができる。一実施形態において、ロードポート200、300、400、500に関して説明した補完的な静止閉鎖機構及び可動閉鎖機構は、閉鎖力ベクトルの作用線が名目上ポートドア201の中心線を通過するように配置され、閉鎖力ベクトルの作用線は、通常は、閉鎖力に対して向けられる力の合計、例えば、容器の内側で各加工物に可撓性加工物保持器を係合させるのに必要とされる総力及び容器ドアの周囲周りの気密シールを可能にするのに必要とされる力の合計の作用線と真反対にある。別の実施形態において、ロードポート200、300、400、500に関して説明した補完的な静止閉鎖機構及び可動閉鎖機構は、閉鎖力ベクトルの作用線がポートドア201の中心線からオフセットするように配置されるが、閉鎖力に対して向けられる対向する力の合計を克服するように位置決めされる。また、ロードポート200、300、400、500に関して説明した補完的な静止閉鎖機構及び可動閉鎖機構を使用し、ポートドア201のシータ位置/向きを正確に制御することができることは認められるものとする。ポートドア201のシータ位置/向きは、x-y平面において、すなわち、水平平面においてy及びx基準方向の間を延びる角度214により定められる図2A内の座標軸を参照されたい。ポートドア201の適切なシータ位置/向きは、両方のそのポートドア201ラッチキー、例えば、図1のラッチキー60が対応する容器ドアレセプタクルに等しく挿入されることを保証する。ポートドア201の適切なシータ位置/向きは、容器ドアラッチ段が容器外壁の関連の凹部と正しく係合することを保証する。ポートドア201の適切なシータ位置/向きは、ポートドア201の反対側に対してポートドア201の片側の補完的な静止閉鎖機構及び可動閉鎖機構を調節することによって達成することができる。例えば、ポートドア201の片側の補完的な静止閉鎖機構及び可動閉鎖機構の位置は、フレーム205に対してポートドア201のシータ位置/向きを調節するようにフレーム205に垂直の方向に、すなわち、y基準方向に調節することができる。図7は、本発明の一実施形態による単一の組の補完的な静止閉鎖機構及び可動閉鎖機構705/701を実施するロードポート700を示している。この実施形態において、垂直の中心線703上で、単一の可動閉鎖機構701は、ポートドア201の上部水平側面238の近くに及びポートドア201のポートドア201の後面232に接続される。対応する固定単一静止閉鎖機構705は、単一の可動閉鎖機構701によって係合されるようにフレーム205上に取り付けられる。代替的な実施形態において、単一の可動閉鎖機構701は、フレーム205上に取り付けることができ、単一の静止閉鎖機構705は、ポートドア201の後面232上に取り付けることができる。このロードポート700構成を用いて、単一の組の補完的な静止閉鎖機構及び可動閉鎖機構の閉鎖駆動運動は、適切なポートドア201閉鎖をもたらすように位置決めデバイス203の水平ドライブと調整される。一実施形態において、単一の可動閉鎖機構701は、垂直に駆動することができるローラとして形成され、単一の静止閉鎖機構705は、カムプレートの傾斜チャンネル内のローラの移動がフレーム205に垂直の方向にポートドアの移動201を引き起こすようにローラを受け取るように適合するカムプレートとして形成される。別の実施形態において、単一の可動閉鎖機構701は、垂直に駆動することができるローラとして形成され、単一の静止閉鎖機構は、カムプレートの傾斜チャンネルに位置決めされたローラとのカムプレートの移動がフレームに垂直の方向にポートドアの移動201を引き起こすように、カムプレート内で受け取られるように適合するローラとして形成される。図8A~図8Dは、本発明の一実施形態によるロードポート200の作動シーケンスを示している。図8Aは、容器ドア803が閉鎖された構成であるロードポート200上に位置決めされた容器801を示している。容器801を開くために、ポートドア201は、容器ドア803にインタフェースで接続するように移動される。図8Bは、開口部211を通過するポートドア201の水平移動を可能にするために、フレーム203開口部211との垂直アラインメントにポートドア201を位置決めするように垂直に移動される位置決めデバイス203を示している。図8Cは、可動閉鎖機構209A/Bポートドア201に接続のローラ206A/Bが静止閉鎖機構フレーム205に接続のカムプレート209A/Bと係合するように位置決めされるように開口部211内にポートドア201を位置決めするように水平に移動される位置決めデバイス203を示している。図8Dは、ローラ206A/Bがカムプレート209A/Bのチャンネルを通過し、従って、容器ドア803にインタフェースで接続するように水平にポートドア201が移動されるように垂直に移動される可動閉鎖機構20A/Bを示している。位置決めデバイス203は、ポートドア201が容器ドア803にインタフェースで接続するために開口部211を通過する時に垂直位置にポートドア201を保持するように制御されることを理解すべきである。また、位置決めデバイス203は、それぞれ、補完的な可動閉鎖機構及び静止閉鎖機構207A/B及び209A/Bにより誘導される時に、ポートドア201の水平移動を可能にするように制御されることを理解すべきである。図8A~図8Dに関して上述した作動シーケンスは、例えば、容器ドア803内にポートドア201から延びるラッチキーによって容器ドア803がポートドア201に固定された状態で、容器801から容器ドア803を除去するために本質的に逆転させることができる。次に、図8A~図8Dに関して上述した作動シーケンスは、容器801内のその閉鎖された位置にある容器ドア803を置き換えるために繰り返すことができる。本発明をいくつかの実施形態に関して説明したが、上述の仕様を読みかつ図面を調べた当業者は、様々な変更、追加、置換、及びその均等物を認識することになることは認められるであろう。従って、本発明は、本発明の真の精神及び範囲に該当する全てのそのような変更、追加、置換、及び均等物を含むように意図している。