"Ni基合金からなる基材の表面にCr濃縮層およびNi-Al合金層を形成した熱処理炉用部材であって、前記基材を構成するNi基合金が、Cr:14.0-35.0重量,Fe:0.1-25.0重量,Al:0.1-1.5重量未満,Ti:0.001-0.4重量,C:0.005-0.15重量,Mn:0.1-1.0重量,Si:0.1-1.0重量を含有し、残部がNiおよび不可避不純物からなる組成を有するNi基合金であり、前記Ni-Al合金層が、厚さ:10~200μm、組成:Al;10~60重量とし、残りをNiと不可避不純物からなり、前記Cr濃縮層が、前記Ni-Al合金層の直下に形成されていることを特徴とする耐浸炭性にすぐれた熱処理炉用部材。前記基材を構成するNi基合金が、さらに、aCo:0.1-4.0重量,bMo:7.0-17.0重量,cW:0.1-4.5重量,dNb:0.1-4重量,Ta:0.1-4重量の内の1種または2種,前記a~dの内の1種または2種以上を含有することを特徴とする請求項1に記載の耐浸炭性にすぐれた熱処理炉用部材。前記熱処理炉部材が、ラジアントチューブであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の耐浸炭性にすぐれた熱処理炉用部材。ところが、特許文献1に開示された技術は、雰囲気中で表面にアルミナを分散させることを意図して、基材そのもののAl含有量を高めた発明であるが、基材のAl含有量を高めることにより、基材の伸びが低下しチューブを製造する際の曲げ加工中に割れるなどの懸念があった。さらに、加工が可能だとしても、最大4のAl含有量では表面を完全なアルミナ皮膜で覆うことが出来ず、高真空状態でない還元性の浸炭ガス環境では耐浸炭性が十分でないという課題があった。また、特許文献2に開示された技術は、めっき皮膜を改質することにより、浸炭を防止する発明であるが、めっき皮膜は皮膜に欠陥が多くあり、浸炭ガスは欠陥を通じて基材/めっき皮膜界面に到達し、局部的に基材の浸炭が進み、めっき膜が剥がれてしまう。これにより、長期間に亘り高い耐浸炭性を維持することができないという課題があった。そこで、本発明が解決しようとする技術的課題、すなわち、本発明の目的は、浸炭環境で使用される熱処理炉部材、特にラジアントチューブの素材に適した耐浸炭性にすぐれた熱処理炉用部材を提供することにある。そこで、前記課題を解決すべく本発明者らが鋭意研究を重ねた結果、最表面にNi-Al合金層を、その直下にCr濃縮層を有するニッケル基合金製部材を、ガス浸炭雰囲気で使用される熱処理炉用部材、特にラジアントチューブとして適用することにより、長期間に亘り高い耐浸炭性を維持することを可能とし、前記課題を解決できるという知見を得たのである。本発明の構成は、1Ni基合金からなる基材の表面にCr濃縮層およびNi-Al合金層を形成した熱処理炉用部材であって、前記基材を構成するNi基合金が、Cr:14.0-35.0重量,Fe:0.1-25.0重量,Al:0.1-1.5重量未満,Ti:0.001-0.4重量,C:0.005-0.15重量,Mn:0.1-1.0重量,Si:0.1-1.0重量を含有し、残部がNiおよび不可避不純物からなる組成を有するNi基合金であり、前記Ni-Al合金層が、厚さ:10~200μm、組成:Al;10~60重量とし、残りをNiと不可避不純物からなり、前記Cr濃縮層が、前記Ni-Al合金層の直下に形成されていることを特徴とする耐浸炭性にすぐれた熱処理炉用部材。2前記基材を構成するNi基合金が、さらに、aCo:0.1-4.0重量,bMo:7.0-17.0重量,cW:0.1-4.5重量,dNb:0.1-4重量,Ta:0.1-4重量の内の1種または2種,前記a~dの内の1種または2種以上を含有することを特徴とする1に記載の耐浸炭性にすぐれた熱処理炉用部材。3前記熱処理炉部材が、ラジアントチューブであることを特徴とする1または2に記載の耐浸炭性にすぐれた熱処理炉用部材。である。次に、各構成要素の限定理由について詳述する。Ni-Al合金層:Alは酸素との親和性が高いため、還元性環境であっても極低分圧の酸素により高温環境においてアルミナを形成する。これにより、浸炭ガスに対する耐浸炭性を発揮できる。また、表面に形成されるアルミナは、合金からの形成したものであるため、密着性が非常に高く簡単に剥離しない。さらに、Ni-Al層/Cr濃縮層と基材は後述する方法により、拡散による金属結合のため一体化しており、すぐれた耐剥離性を発揮する。1厚さ:10~200μm厚さが、10μm未満では、高温での保護性の高い緻密なアルミナを形成するのには不十分である。一方、200μmを超えると基材との熱膨張差などにより、高温での繰り返し使用中にNi-Al合金層に亀裂などが発生し易くなるため好ましくない。そこで、Ni-Al合金層の厚さは、10~200μmと定めた。2組成:Al;10~60重量とし、残りをNiと不可避不純物Alが10重量未満だと、保護性の高い緻密なアルミナを形成するのには不十分である。一方、60重量を超えるとアルミニウムに近い挙動となり、高温環境でNi-Al合金層が溶融してしまうため好ましくない。Alと不可避不純物以外はNiであるが、基材成分に含まれるCrMoFeWの合計値が25重量以下含有することは許容される。合計値を超えた場合、Ni-Al合金層が脆化し亀裂発生の原因となってしまうため好ましくない。Cr濃縮層:基材とNi-Al合金層の間にCr-richな合金層Cr濃縮層を有することにより、Ni-Al合金層からAlが基材に拡散して、基材のAl含有量が増加することによる脆化を抑制できる。同時に表面でのNi-Al合金層を維持することにも役立ち、それにより環境中で形成されたアルミナ層が欠損した場合でも自己再生可能とさせる。Cr濃縮層中に含有するCr含有量は、40以上であることが望ましい。基材のNi基合金:Cr:14.0-35.0重量,Fe:0.1-25.0重量,Al:0.1-1.5重量未満,Ti:0.001-0.4重量,C:0.005-0.15重量,Mn:0.1-1.0重量,Si:0.1-1.0重量を含有し、さらに必要に応じてaCo:0.1-4.0重量,bMo:7.0-17.0重量,cW:0.1-4.5重量,dNb:0.1-4重量,Ta:0.1-4重量の内の1種または2種、前記a~dの内の1種または2種以上を含有し、残部がNiおよび不可避不純物からなる組成を有するNi基合金。Cr:Crは、Ni-Al合金層と基材の間にCr濃縮層を形成させるために必須である。前述したように、Cr濃縮層の中間層を有することにより、Ni-Al合金層からのAlの拡散消失を防ぐことができる。ところが、Crを14.0重量未満含有しても中間層に十分なCrが濃縮せず、結果、Alの拡散消失を防止する効果が得られない。一方、35.0重量を超えて含有すると加工が困難となり、ラジアントチューブの形成が困難となる。したがって、Crの含有量は14.0~35.0重量とした。一層好ましくは、15.0~32.0重量である。Fe:Feは、基材であるNi基合金を所望の部材に加工する際の熱間加工性を向上させる効果がある。ところが、0.1重量未満含有しても所望の効果が得られず、一方、25.0重量を超えて含有すると表面のNi-Al合金層にFeが許容範囲を超えて含有するので好ましくない。したがって、Feの含有量は0.1~25.0重量とした。一層好ましくは、15.0~22.0重量である。Al:Alは、表面側にあるNi-Al合金層が欠落した際に、Cr濃縮層と基材の間に内部酸化によるアルミナ層を形成することにより長寿命化に寄与するために添加される。ところが、その含有量が0.1重量未満では所望の効果が得られず、1.5重量以上では加工性が著しく劣化し、ラジアントチューブ製造に必要な曲げ加工性を損なうため好ましくない。したがって、Alの含有量を0.1~1.5重量未満とした。一層好ましくは、0.2~0.8重量である。Ti:Tiは、浸炭で浸入する炭素をTiCとして固定することにより、基材の脆化を抑制する効果がある。ところが、その含有量が0.001重量未満では所望の効果が得られず、0.4重量を超えると高温での使用中に脆化し易くなるため好ましくない。したがって、Tiの含有量を0.001~0.4重量とした。一層好ましくは、0.002~0.01重量である。C:Cは、Cr炭化物などを析出させることにより高温強度向上に寄与するため含有する。ところが、0.005重量未満を含有しても所望の効果が得られず、一方、0.15重量を越えて含有すると、合金が脆化し、部材の素材となる板などへの形状付与が困難となるので好ましくない。したがって、Cの含有量を0.005~0.15重量に定めた。一層好ましい範囲は0.01~0.08重量である。Mn:Mnは、母相の結晶構造であるオーステナイト構造を安定化させることにより、熱間加工性を向上させるので、形状付与を容易にする作用がある。ところが、Mnが0.1重量未満含有しても所望の効果が得られず、一方、1.0重量を超えて含有すると逆に熱間加工性が劣化するので好ましくない。したがって、Mnの含有量を0.1~1.0重量とした。一層好ましくは、0.2~0.8重量である。Si:Siは、高温強度を高める効果がある。それにより、高温下で使用中に変形することを防止できる。ところが、Siを0.1重量未満含有しても所望の効果が得られず、一方、1.0重量を越えて含有すると、合金の脆化が顕在化し、部材の素材となる板などへの形状付与が困難となるので好ましくない。したがって、Siの含有量を0.1~1.0重量とした。一層好ましい範囲は0.2~0.8重量である。Co:Coは、高温強度/高温クリープ強度を高める効果がある。それにより、必要に応じて添加する。ところが、0.1重量未満含有しても所望の効果が得られず、一方、4.0重量を越えて含有すると、冷間加工性が悪化するのでチューブへの成形性を損なうため好ましくない。したがって、Coの含有量を0.1~4.0重量とした。一層好ましい範囲は0.2~3.0重量である。Mo:Moは、高温におけるクリープ強度を高める効果がある。そのため、高温環境下で荷重が加わることによる変形を防止する必要がある場合に、添加される。ところが、Moを7.0重量未満添加しても所望の効果が得られず、一方、17.0重量を越えて含有すると加工性の著しい低下をもたらすので好ましくない。したがって、Moの含有量を7.0~17.0重量に定めた。一層好ましい範囲は8.0~14.0重量である。W:Wは、熱膨張係数を下げる効果がある。そのため、高温~低温の熱サイクル疲労に対して効果があるため、必要に応じて添加される。ところが、Wを0.1重量未満添加しても所望の効果が得られず、一方、4.5重量を越えて含有すると加工性の著しい低下をもたらすので好ましくない。したがって、Wの含有量を0.1~4.5とした。一層好ましい範囲は0.2~1.0重量である。NbおよびTa:これら成分は、浸炭の原因となるCを固定化する効果がある。ところが、Nbの含有量が0.1重量未満では所望の効果が得られず、一方、4.0重量を越えて含有すると、加工性が劣化するので好ましくない。したがって、Nbの含有量を0.1~4.0重量とした。一層好ましい範囲は0.5~3.0重量である。同様に、Taの含有量が0.1重量未満では所望の効果が得られず、一方、4.0重量を越えて含有すると、加工性が劣化するので好ましくない。したがって、Taの含有量を0.1~4.0重量に定めた。Taの含有量の一層好ましい範囲は0.5~3.0重量である。不可避不純物:不可避不純物としてはP,Sなどが挙げられるが、これら不純物は、高温加工などの合金製造時における割れや溶接部における高温割れの原因となる。したがって、できるだけ低減することが望ましい。本発明によれば、Ni基合金からなる基材の表面にCr濃縮層およびNi-Al合金層を形成した熱処理炉用部材であって、基材を構成するNi基合金が、Cr:14.0-35.0重量,Fe:0.1-25.0重量,Al:0.1-1.5重量未満,Ti:0.001-0.4重量,C:0.005-0.15重量,Mn:0.1-1.0重量,Si:0.1-1.0重量を含有し、残部がNiおよび不可避不純物からなる組成を有するNi基合金であり、Ni-Al合金層が、厚さ:10~200μm、組成:Al;10~60重量とし、残りをNiと不可避不純物からなり、Cr濃縮層が、Ni-Al合金層の直下に形成されていることによって、耐浸炭性が向上し、熱処理炉の寿命を飛躍的に向上させることが可能となった。以下に、本発明について、実施例を用いて説明する通常の高周波溶解炉を用いて溶解し鋳造して表1に示される成分組成を有するNi基合金からなる厚さ:40mm、重さ:約5Kgを有するインゴットを作製した。このインゴットを1230°Cで10時間均質化熱処理を施し、1000~1230°Cの範囲内に保持しながら、1回の熱間圧延で1mmの厚さを減少させつつ最終的に厚さ:3mmの薄板とし、ついで1200°Cで30分間保持し水焼入れすることにより固溶化処理を施した。3mm板を60°C、17HNO3-3HF溶液中で酸洗し、スケール除去した。次に、溶接管製造装置を用いてこの板から外径50.8mm、厚さ3mm、長さ1000mmの溶接管を製作した。各種Ni合金製パイプの内外面にNi-Al合金層を形成することにより、ラジアントチューブを模擬する本発明品表1および比較品表2のラジアントチューブを作製した。Ni-Al合金層の形成をしない600合金UNSN06600製パイプおよび601合金UNSN06601を従来品表3のラジアントチューブとした。Ni-Al合金層の形成は、カロライジング処理を用いた。基材をFe-Al合金粉末及びNH4Cl粉よりなる調合材と共に鋼製ケース内に埋め込み、ケースを密閉し、それを炉内にて900~1050°Cに加熱することによって表面にNi-Al合金層を、中間層にCr濃縮層を得た。温度や処理時間を変量にすることにより、所定の厚さ組成の合金層とした。図1に示すようにラジアントチューブを電気炉に挿入し、さらに管内に1050°Cの燃焼ガスを通気して、補助的に電気ヒーターによる加熱で1000°Cに保持した浸炭ガスH2-3CH4中にラジアントチューブ外面を曝した。500hの試験後、ラジアントチューブを炉から取り出し、中央部となる端から500mm付近の肉厚を測定し、最大減肉量を記載した。肉厚測定は、端から500mm付近を長手方向に直角となるように切断し、バリ取りを行ったのち、水洗しながらステンレス鋼製のワイヤーブラシを用いて付着物を十分に除去し、さらに水洗乾燥を行って、測定接触部が球型のマイクロメーターを用いて肉厚測定を円周上の5点について実施した。5点のうち最小値を選定し、初期肉厚よりこの試験後の肉厚を引いた値を減肉量として記載した。なお、初期厚さは、同様の方法で予め端部の肉厚を測定しておき、この肉厚を初期厚さとみなした。表1から明らかなように、本発明品によれば、耐浸炭性にすぐれ、減肉量が極めて少ないことが分かる。一方、比較品は、いずれも耐浸炭性に劣り試験中に皮膜に亀裂が入ったり、基材が割れたりした。この結果から、本発明による熱処理炉用部材は、耐浸炭性にすぐれ、熱処理炉の長寿命化に寄与するものであることが分かる。"