"光源からの照明光により照明される試料を結像する撮像光学系と、該撮像光学系により結像された前記試料を撮像する撮像素子と、を有する撮像装置であって、前記試料と前記撮像素子との間の光路上に配置され、前記照明光に対して複屈折性を有する複屈折平行平板と、前記照明光の偏光状態を、無偏光または円偏光と、前記撮像光学系の光軸に対する動径方向の偏光または接線方向の偏光と、に切り替え可能な偏光状態切替手段と、を備えており、前記複屈折平行平板の光学軸の方向は、前記撮像光学系の光軸方向に対して平行な方向であることを特徴とする撮像装置。前記光軸方向における前記複屈折平行平板の厚さをd、前記照明光の波長をλ、前記撮像光学系の開口数をNA、前記複屈折平行平板の常光線および異常光線に対する屈折率の夫々をno、neとするとき、d≦1.52/|no-ne|λ/NA2なる条件式を満足することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。前記光源は、互いにインコヒーレントである複数のコヒーレント点光源からなる部分コヒーレント光源であって、前記偏光状態切替手段は、前記複数のコヒーレント点光源の夫々からの光束の偏光状態を切り替えることにより、前記照明光の偏光状態を切り替え可能であることを特徴とする請求項1または2に記載の撮像装置。光源からの照明光により照明される試料を結像する撮像光学系と、該撮像光学系により結像された前記試料を撮像する撮像素子と、を有する撮像装置であって、前記試料と前記撮像素子との間の光路上に配置され、前記照明光に対して複屈折性を有する複屈折平行平板を備え、該複屈折平行平板の光学軸の方向は、前記撮像光学系の光軸方向に対して垂直な方向であることを特徴とする撮像装置。前記光軸方向における前記複屈折平行平板の厚さをd、前記照明光の波長をλ、前記撮像光学系の開口数をNA、前記複屈折平行平板の常光線および異常光線に対する屈折率の夫々をno、neとするとき、d≦1.27/|no-ne|λ/NA2なる条件式を満足することを特徴とする請求項4に記載の撮像装置。前記光源は、互いにインコヒーレントである複数のコヒーレント点光源からなる部分コヒーレント光源であることを特徴とする請求項4または5に記載の撮像装置。前記複屈折平行平板は、前記試料を被覆するカバーガラスであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像装置。しかし、特許文献1における画像処理装置では複雑な画像処理が必要であり、画像取得に掛かる時間が長くなってしまう。また、複屈折部材による収差や屈折率の分散などの影響によって、画像の解像度が低下してしまうため、焦点深度を拡大する必要がない場合は、撮像光学系の照明光を高解像度の像を取得するための偏光状態にすることが望まれる。しかし、上述したいずれの特許文献においても、複屈折結晶の光学軸に対して平行方向または垂直方向の偏光状態とすることしか記載されておらず、高解像度の像を取得するための適切な偏光状態に関する記述がない。そこで本発明は、試料を適切な偏光状態の照明光で照明し、撮像光学系における焦点深度の拡大または高解像度の画像取得を実現することができる撮像装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するための、本発明の一側面としての撮像装置は、光源からの照明光により照明される試料を結像する撮像光学系と、該撮像光学系により結像された前記試料を撮像する撮像素子と、を有する撮像装置であって、前記試料と前記撮像素子との間の光路上に配置され、前記照明光に対して複屈折性を有する複屈折平行平板と、前記照明光の偏光状態を、無偏光または円偏光と、前記撮像光学系の光軸に対する動径方向の偏光または接線方向の偏光と、に切り替え可能な偏光状態切替手段と、を備えており、前記複屈折平行平板の光学軸の方向は、前記撮像光学系の光軸方向に対して平行な方向であることを特徴とする。本発明の更なる目的またはその他の特徴は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施の形態によって明らかにされる。本発明によれば、試料を適切な偏光状態の照明光で照明し、撮像光学系における焦点深度の拡大または高解像度の画像取得を実現することができる撮像装置を提供することができる。以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明するが、本発明は以下に限られるものではない。初めに、図1を用いて本実施形態における撮像装置100の構成について説明する。撮像装置100は、照明装置110、試料ステージ131、撮像光学系140、制御ユニット150、モニタおよび入力装置151、撮像素子120および撮像ステージ121を備えている。照明装置110は、光源111で照明光を発生させ、ビーム整形系112と、偏光状態切替手段113と、不図示の照明光学系とを介して、試料130を照明している。この偏光状態切替手段113は、光源111からの照明光を所望の偏光状態に切り替えることが可能であり、例えば複数の偏光素子含み、その夫々を選択可能な構成などが挙げられる。ここで、偏光状態切替手段113は撮像光学系140の瞳141とほぼ共役な位置に配置されているとする。なお、図1ではミラー115によって照明光を偏向させて試料130を照明しているが、ミラー115を介さずに直接試料130を照明する構成としてもよい。試料ステージ131は移動機構不図示に接続されており、撮像対象の試料130を支持して駆動可能な構成となっている。また、撮像素子120はCCDやCMOSセンサなどの光電変換素子であり、XY方向およびZ方向光軸方向に移動可能な撮像ステージ121に支持されている。なお、試料ステージ131および撮像ステージ121は、試料130と撮像素子120とが光学的に共役となるように配置される。撮像光学系140は、照明装置110によって照明された試料130を結像する光学系であり、レンズのみからなる光学系、凹面鏡とレンズを有する光学系カタディオプトリック光学系、または回折光学素子を有する光学系等を使用することができる。また、色収差の補正が必要な場合には、互いに分散値アッベ値の異なるガラス材からなる複数のレンズを使用したり、回折光学素子をレンズと組み合わせて構成したりすることができる。試料130と撮像素子120との間の光路上撮像光学系140の光軸上に配置された複屈折平行平板50は、複屈折部材からなる。この複屈折平行平板50は、図1に示す撮像光学系140と撮像素子120との間だけでなく、例えば試料130と撮像光学系140との間に配置してもよい。なお、撮像光学系140内に複屈折平行平板50を含ませてもよいが、着脱可能となる構成にすることが好ましい。制御ユニット150は、各部の駆動制御を行うものであり、試料ステージ131および撮像ステージ121の移動や、モニタおよび入力装置151から入力される情報に基づいて照明装置110の制御を行う。例えば、撮像装置の使用者の入力に応じて、偏光状態切替手段113を制御し、照明光の偏光状態を切り替える。制御ユニット150による制御情報やその他の情報は、モニタおよび入力装置151に表示される。なお、試料ステージ131、撮像光学系140、および撮像ステージ121は、例えば、床等に載置されたベースフレームにダンパ等を介して支持されるステージ鏡筒定盤不図示の上に設けられる。また、撮像光学系140は、複屈折平行平板50における常光線または異常光線のいずれか一方を基準として設計し、撮像素子120は、基準とした光線による焦点位置に配置することが好ましい。次に、撮像装置100における撮像方法について、図2を用いて詳細に説明する。なお、図2は撮像装置100における光路を示した要部概略図である。まず、光源111からの照明光を、照明光学系114の瞳面近傍に配置された偏光状態切替手段113により、所望の偏光状態詳細は後述に切り替える。そして、照明光学系114を介して試料130が照明され、試料130からの光束は撮像光学系140介して、複屈折部材からなる複屈折平行平板50によって常光線と異常光線に分けられる。撮像光学系140はこの各光線によって、例えば図2のように、位置61と位置62の2つの焦点位置に像を形成する。これは、常光線および異常光線の夫々に対して、複屈折部材の屈折率が異なる値をとるためであり、各屈折率の値は複屈折部材の種類と照明光の波長により決定される。なお、複屈折平行平板50の厚さ光軸方向の長さが大きくなるほど、2つの焦点位置の間隔分離も大きくなる。本実施形態では、異常光線に対する屈折率よりも常光線に対する屈折率の方が小さい場合を考えると、常光線は位置61で像を形成し、異常光線はそれよりも後ろの位置62で像を形成することになる。よって撮像素子不図示を位置61に配置した場合は、焦点が合った常光線による像と、焦点が合っていない異常光線による像とが重ね合わさった状態で撮像されることになる。従来の撮像方法では、照明光の偏光状態を制御することで焦点位置を位置61と位置62とで切り替え、常光線または異常光線のみで形成された像を撮像し、取得した各画像を比較してボケの少ない方を選択することにより焦点深度を拡大していた。しかし、本実施形態に係る複屈折平行平板50の厚さに対しては、位置61と位置62との距離が十分小さくなるため、各位置における像が重ね合わさった状態でも十分認知できる画像を取得できることになる。そこで、本実施形態における偏光状態切替手段113は、撮像光学系140の焦点深度を拡大したい場合、照明光を無偏光偏光ではない光にすることで、常光線と異常光線とを均一に発生させ、各光線によって形成される像を均一に重ね合わせている。このことにより、常光線および異常光線が形成する夫々の像を重ね合わせた状態で撮像しても、ボケの少ない画像を取得することができる。すなわち、本実施形態における撮像装置100では、複雑な画像処理を要することなく焦点深度を拡大することができる。なお、偏光状態切替手段113により照明光を円偏光にすることによっても、無偏光照明と同様の効果を得ることができる。ここで、複屈折平行平板50の適切な厚さについて説明する。常光線および異常光線による焦点位置の分離は、複屈折平行平板50の厚さdの増加だけでなく、常光線に対する屈折率noと異常光線に対する屈折率neとの差Δnの増加によっても大きくなる。ここで、照明光の波長をλ、撮像光学系140の開口数をNAとすると、主観評価により焦点位置の分離がλ/NA2程度であれば、各焦点位置における像が重ね合わさった状態でもボケの少ない画像を取得でき、焦点深度を拡大できることを確認した。そこで、あるΔnが与えられた時に、焦点位置の分離がλ/NA2になる厚さdをシミュレーションすると、以下の結果が得られた。まず、複屈折平行平板50の光学軸が撮像光学系140の光軸と平行な場合は、図3aに示すように、厚さdが1.52/Δnλ/NA2以下であれば、焦点位置の分離がλ/NA2以下になる。すなわち、d≦1.52/|no-ne|λ/NA2なる条件式を満足するように設計すればよい。また、複屈折平行平板50の光学軸が撮像光学系140の光軸と垂直な場合は、図3bに示すように、厚さdが1.27/Δnλ/NA2以下であれば、焦点位置の分離がλ/NA2以下になる。すなわち、d≦1.27/|no-ne|λ/NA2なる条件式を満足ように設計すればよい。よって、本実施形態における撮像装置100では、複屈折部材の光学軸の方向を考慮して、上記の範囲に収まるように複屈折平行平板50の厚さを設計することが望ましい詳細は後述。上述したように、位置61において常光線が形成する像と、位置62において異常光線が形成する像とを重ね合わせて撮像した場合、位置61または62のいずれかに一方に焦点が合った像を撮像する場合と比較して、取得画像の解像度は低下する。よって、試料130の高解像度の画像を取得したい場合は、照明光の分離が生じないように偏光状態を設定する必要がある。そこで、本実施形態に係る偏光状態切替手段113は、照明光が図4aの矢印が示す方向動径方向、もしくは動径方向に垂直な図4bの矢印が示す方向接線方向、のいずれかの偏光状態に切り替えることができるようにしている。これらは、光束断面での偏光の空間分布が略均一な直線偏光に対して、その分布が放射状もしくは同心円状になる軸対称偏光と呼ばれる偏光状態である。このような偏光状態の照明光を用いることにより、デフォーカス収差の発生を抑制することができ、高解像度の画像を取得することができる。以上より、本実施形態に係る撮像装置100によれば、偏光状態切替手段113において照明光の偏光状態を切り替えることで、焦点深度を拡大させた画像取得焦点深度拡大モード、または解像度を上げた画像取得高解像モードを実現することが可能である。例えば、焦点深度拡大モードで画像を取得したい場合、使用者が入力装置151で焦点深度拡大モード選択の入力をすることで、撮像装置100は照明光を無偏光または円偏光に設定し、試料130を撮像する。この時、偏光状態切替手段113においては、偏光解消板やハエの目レンズ、または円偏光フィルタなどを選択することができる。一方、高解像モードで画像を取得したい場合は、使用者が入力装置151で高解像モード選択の入力をすることで、撮像装置100は照明光を図4aに示す動径方向偏光または図4bに示す接線方向偏光に設定し、試料130を撮像する。なお、照明光が可視光の場合、偏光状態切替手段113によって液晶素子などの偏光素子を選択することにより、動径方向または接線方向の偏光状態にすることができる。以下、本発明の好ましい実施例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。本実施例では、図5に示すような遮光部材に矩形開口が設けられたものを試料130として撮像する。図5における座標系x,yは、試料130もしくは試料130の像の各位置の座標を表している。ここで、一般的に撮像装置で試料を観察する際は、試料をカバーガラス厚さ約140μmで被覆してプレパラートを作成するが、本実施例では図6に示すように、カバーガラスに複屈折部材を用いることで、これを複屈折平行平板50とみなしている。複屈折部材からなるカバーガラスを透過した光は、図1で示す撮像光学系140と撮像素子120との間に複屈折平行平板50を配置した場合と同様に、複屈折によって2つの光線に分離される。すなわち、図6における撮像素子120で得られる画像は、2つの焦点位置における画像が積算されたものとなる。以上より、本実施例では、試料130を被覆するカバーガラスを複屈折平行平板50とすることで、撮像光学系140の設計を変えることなく、容易に本発明の構成を実現することができる。また、照明装置110においては、光源111を部分コヒーレント光源、照明光学系114をケーラー照明系として、この照明光学系114の瞳面には図7のような強度分布が形成されているとする。図7における座標系f,gは、照明光学系114の瞳面の各位置の座標を表しており、白で示したピクセルは強度が1で、黒で示したピクセルは強度が0である。また、灰色で描かれた円は、照明光学系114の瞳を表している。この白で示したピクセルの1つ1つはコヒーレント点光源を表しており、各コヒーレント点光源は互いにインコヒーレントであるとする。すなわち本実施例では、光源111部分コヒーレント光源を、互いにインコヒーレントである複数のコヒーレント点光源の集まりとみなしている。このような光源111および照明光学系114を有する照明装置110において、コヒーレント点光源の夫々を所望の方向の偏光にすることで、図4に示すような偏光照明を実現することができる。次に、本実施例に係る撮像装置100における、焦点深度拡大モードおよび高解像モードの効果を説明する。ここでは、複屈折平行平板カバーガラス50として厚さ140μmの水晶を使用し、この複屈折平行平板50の光学軸の方向を、撮像光学系140の光軸に対して平行な方向にした場合を考える。なお、照明光の波長λを546.1nm、撮像光学系140のNAを0.7とする。このような条件下では、複屈折平行平板50の常光線に対する屈折率noは1.54617、異常光線に対する屈折率neは1.55535であり、各光線同士の焦点位置の分離は、約0.774×λ/NA2となる。まず、焦点深度拡大モードの場合は、偏光状態切替手段113によって照明光を無偏光または円偏光とすることで、焦点位置が0.774×λ/NA2だけ異なる2つの像が重ね合わさった画像を取得する。この状態で、図5に示す試料130の中心開口が形成する像のコントラストが、デフォーカスに応じてどのように変化するかを測定した結果、図8に示す実線のようになった。ベストフォーカスデフォーカスが0nmの位置でのコントラストは約82であるが、デフォーカスの増大に従ってコントラストは低下していき、デフォーカスが1125nmの位置ではコントラストは約51となっている。ここで、本実施例の効果を検証するために、この撮像装置100において、カバーガラスを複屈折性のない通常のガラスで作成した場合、すなわち複屈折平行平板50を備えない場合を考える。この場合に、上記と同様の測定をした結果、図8に示す点線のようになった。ベストフォーカス位置では、コントラストが約87になっており、複屈折平行平板50を備える場合よりも高い解像度を示すことがわかる。しかし、デフォーカスの増大に伴うコントラスト低下の割合は大きく、デフォーカスが1125nmの位置ではコントラストは約41まで低下していることがわかる。したがって、本実施例における撮像装置100で焦点深度拡大モードを設定した場合、フォーカス変動によるコントラストの低下を抑制することができ、撮像光学系140の焦点深度を拡大することができる。なお、厳密には複屈折平行平板50の挿入位置により、デフォーカス以外にも収差が発生するが、その収差は約2mλと小さく十分無視できる値である。一方、高解像モードで画像を取得する場合は、偏光状態切替手段113によって照明光の偏光状態を図4に示した偏光状態のいずれかにすることで、照明光の分離が生じないようにして像を形成する。例えば、照明光の偏光状態を図4bに示す接線方向偏光に設定した場合、像のコントラストのデフォーカス依存性は図8の点線で示したようになり、ベストフォーカス位置におけるコントラストが向上している。よって、本実施例における撮像装置100で高解像モードを設定した場合、高解像度の画像を取得することが可能になる。以上、本実施例に係る撮像装置100では、複屈折部材水晶でカバーガラスを作成し、その光学軸の方向を撮像光学系140の光軸に対して平行な方向にして、照明光を無偏光または円偏光にすることで、焦点深度を拡大することができる。また、照明光を動径方向偏光または接線方向偏光にすることで、高解像度の画像を取得することができる。本実施例では、実施例1と同じ構成の撮像装置100において、複屈折平行平板50カバーガラスの光学軸の方向を、撮像光学系140の光軸に対して垂直な方向にした場合を考える。なお、本実施例において、実施例1と同一または同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。このような構成において、常光線と異常光線との焦点位置の分離は約0.8967×λ/NA2となる。すなわち、実施例1で複屈折平行平板50の光学軸の方向を撮像光学系140の光軸に対して平行な方向にした場合と比較して、本実施例で撮像光学系140の光軸に対して垂直な方向にした場合の方が、複屈折の効果が顕著に現れることがわかる。焦点深度拡大モードとして実施例1と同様の測定を行った結果は、図9に示す実線のようになり、ベストフォーカス位置でのコントラストは約80であるが、デフォーカスが1125nmの位置でのコントラストは53となることがわかる。一方、複屈折平行平板50を備えない場合の測定結果は、図9に示す点線のようになり、ベストフォーカス位置ではコントラストが約87であり、デフォーカスが1125nmの位置ではコントラストは約41まで低下する。したがって、本実施例における撮像装置100で焦点深度拡大モードを設定した場合、フォーカス変動によるコントラストの低下を抑制することができ、撮像光学系140の焦点深度を拡大することができる。さらに、複屈折平行平板50の光学軸の方向を撮像光学系140の光軸に対して垂直な方向にすることで、実施例1と比較して、デフォーカスの増大に伴うコントラスト低下の割合を小さくすることができる。なお、複屈折平行平板50の光学軸の方向を、撮像光学系140の光軸に対して垂直な方向にした場合、照明光を図4に示したいずれの偏光状態に切り替えても、全ての光線に対する常光線と異常光線の割合を等しくすることはできない。すなわち、本実施例における撮像装置100では高解像モードにはならないため、焦点深度拡大モードと高解像度モードとを切り替える必要がある場合は、複屈折平行平板50の光学軸の方向を撮像光学系140の光軸に対して平行な方向にする必要がある。以上、本実施例に係る撮像装置100では、複屈折部材水晶でカバーガラスを作成し、その光学軸の方向を撮像光学系140の光軸に対して垂直な方向にして、照明光を無偏光または円偏光にすることで、焦点深度を拡大することができる。なお、本発明は上述した実施例に限定されないことは言うまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。"