セラミックス粉体とバインダとを少なくとも含むペーストを用いて成形された焼成前のセラミックスグリーン成形体の製造方法であって、平面部を有する上面と、側面とが交差する部分が角形状を呈するセラミックスグリーン成形体を、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置する第1工程と、前記第1工程後、前記複数のセラミックスグリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各セラミックスグリーン成形体の上面の縁部において外側に向かって下がる傾斜部を形成するとともに前記傾斜部と前記セラミックスグリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第2工程と、を含む、セラミックスグリーン成形体の製造方法。セラミックス材料である圧電材料からなる少なくとも2つの圧電層と少なくとも1つの内部電極とが積層された積層体である本体部と、前記本体部の側面の少なくとも一部を覆い且つ前記内部電極と接続する側面電極と、を備えた、焼成体である圧電デバイスの焼成前の成形体であるセラミックスグリーン成形体の製造方法であって、平面部を有する上面と、側面とが交差する部分が角形状を呈する、前記本体部に対応するセラミックスグリーン成形体を、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置する第1工程と、前記第1工程後、前記複数のセラミックスグリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各セラミックスグリーン成形体の上面の縁部において外側に向かって下がる傾斜部を形成するとともに前記傾斜部と前記セラミックスグリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第2工程と、前記第2工程後、前記各セラミックスグリーン成形体の側面に前記側面電極に対応するグリーン側面電極を形成する第3工程と、を含む、セラミックスグリーン成形体の製造方法。請求項1又は請求項2に記載のセラミックスグリーン成形体の製造方法において、前記基材上に載置された複数のセラミックスグリーン成形体の高さは同じであり、前記弾性体は板状を呈していて、前記弾性体の硬度がショア硬度Aで15~50であり、前記弾性体を押し付ける圧力は5~40kgfcm2であり、前記セラミックスグリーン成形体を上方からみたときの前記傾斜部の長さは0.01~1.0mmであり、前記傾斜部の傾斜角度は0.1~15.0°であり、前記円弧部の半径は0.002~0.020mmである、セラミックスグリーン成形体の製造方法。セラミックス粉体とバインダとを少なくとも含むペーストを用いて成形された焼成前のセラミックスグリーン成形体の製造方法であって、平面部を有する上面と、側面とが交差する部分が角形状を呈するセラミックスグリーン成形体を、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置する第1工程と、前記第1工程後、前記複数のセラミックスグリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各セラミックスグリーン成形体の上面の縁部と前記セラミックスグリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第2工程と、を含む、セラミックスグリーン成形体の製造方法。セラミックス材料である圧電材料からなる少なくとも2つの圧電層と少なくとも1つの内部電極とが積層された積層体である本体部と、前記本体部の側面の少なくとも一部を覆い且つ前記内部電極と接続する側面電極と、を備えた、焼成体である圧電デバイスの焼成前の成形体であるセラミックスグリーン成形体の製造方法であって、平面部を有する上面と、側面とが交差する部分が角形状を呈する、前記本体部に対応するセラミックスグリーン成形体を、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置する第1工程と、前記第1工程後、前記複数のセラミックスグリーン成形体に対して弾性体を上方から押し付けることによって、前記各セラミックスグリーン成形体の上面の縁部と前記セラミックスグリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部を形成する第2工程と、前記第2工程後、前記各セラミックスグリーン成形体の側面に前記側面電極に対応するグリーン側面電極を形成する第3工程と、を含む、セラミックスグリーン成形体の製造方法。請求項4又は請求項5に記載のセラミックスグリーン成形体の製造方法において、前記基材上に載置された複数のセラミックスグリーン成形体の高さは同じであり、前記弾性体は板状を呈していて、前記弾性体の硬度がショア硬度Aで15~50であり、前記弾性体を押し付ける圧力は5~40kgfcm2であり、前記円弧部の半径は0.002~0.020mmである、セラミックスグリーン成形体の製造方法。請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載のセラミックスグリーン成形体の製造方法において、前記セラミックスグリーン成形体は、縦0.2~15.0mm、横0.1~15.0mm、高さ0.01~15.0mmの直方体状を呈している、セラミックスグリーン成形体の製造方法。請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載のセラミックスグリーン成形体の製造方法において、前記第1工程では、前記基材上に載置された、前記複数のセラミックスグリーン成形体に対応する部分が互いに間隔をあけて含まれる1枚の平板状のグリーン体に対して機械加工を施すことにより、前記複数のセラミックスグリーン成形体が前記基材上に互いに間隔をあけて載置される、セラミックスグリーン成形体の製造方法。作用効果本実施形態に係る圧電デバイスの製造方法では、平板状の基材上に載置された複数個のグリーン圧電デバイス対応部に対して平板状の弾性体が上方から押し付けられる。この結果、グリーン圧電デバイス対応部の上面の縁部において、上記傾斜部及び円弧部が形成される。これにより、複数のグリーン圧電デバイス対応部の上面の縁部から上述した鋭い角形状やバリ等を簡易に且つ同一工程で除去することができる。本発明は上記実施形態に限らず、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。例えば、上記実施形態においては、本体部10が、圧電層11と内部電極12が交互に積層された積層体であるが、本体部10が圧電材料のみからなる内部電極を有さない圧電体であってもよい。また、本体部10が圧電材料以外のセラミックス材料のみからなる内部電極を有さないセラミックス体であってもよい。また、上記実施形態では、基材上に載置された複数のグリーン圧電デバイス対応部が互いに間隔をあけて含まれる1枚の平板状のグリーン成形体に対して機械加工を施すことにより、複数のグリーン圧電デバイス対応部が基材上に互いに間隔をあけて載置されている。これに対し、初めから個別に成形された複数のグリーン圧電デバイス対応部が基材上に互いに間隔をあけて載置されてもよい。10...本体部、11...圧電層、12...内部電極、20...側面電極以下、図面を参照しながら本発明による圧電デバイスの実施形態について説明する。構成図1、図2に示すように、本実施形態に係る圧電デバイスは、焼成体であり、直方体状の本体部10と、本体部10の側面の少なくとも一部を覆うように本体部10に設けられた側面電極20と、を備える。本体部10は、圧電材料からなる複数本例では6つの圧電層11と、複数本例では5つの層状の内部電極12とを有し、最上層及び最下層として圧電層11が位置し且つ圧電層11と内部電極12とが交互に積層された積層体である。圧電層11と内部電極12の各層は互いに平行に積層されている。従って、本体部10は、平面であり且つ互いに平行な上面部と下面部を備えている。本体部10のサイズ焼成後は、例えば、縦0.2~100mm、横0.1~100mm、高さ0.01~100mmである。各圧電層11焼成後の厚さは1.0~1000μmであり、各内部電極12焼成後の厚さは0.3~50μmである。側面電極20は、内部電極12と電気的に接続されている。より具体的には、図2に示すように、3つの内部電極12A、及び側面電極20A以下、これらを総称して第1電極群と呼ぶが互いに電気的に接続され、2つの内部電極12B、及び側面電極20B以下、これらを総称して第2電極群と呼ぶが互いに電気的に接続されている。第1、第2電極群は、絶縁体である圧電層11を介して接続されることによって、互いに電気的に絶縁されている。換言すると、互いに電気的に接続された3つの内部電極12Aと、互いに電気的に接続された2つの内部電極12Bとは、櫛歯状の電極を構成している。側面電極20焼成後の厚さは0.5~10.0μmである。なお、本例では、内部電極が5層となっているが、内部電極の層の数は特に限定されないゼロであってもよい。図2に示すように、本体部10の上面の縁部上方からみて四角状の枠部及び下面の縁部下方からみて四角状の枠部において、外側に向かって下がる傾斜部が形成され、且つ、前記傾斜部と本体部10の側面とが交差する部分に円弧部が形成されている。この圧電デバイスでは、第1、第2電極群の間に与える電位差を調整することによって圧電層11従って、本体部10の変形量が制御され得る。この原理を利用することによって、この圧電デバイスは、対象物の位置を制御するアクチュエータとして利用され得る。この対象物として、光学レンズ、磁気ヘッド、光ヘッド等が挙げられる。また、この圧電デバイスでは、圧電層11従って、本体部10の変形量に応じて第1、第2電極群の間に発生する電位差が変化する。この原理を利用することによって、この圧電デバイスは、超音波センサ、加速度センサ、角速度センサ、衝撃センサ、質量センサ等の各種センサとしても利用され得る。圧電層11の材料圧電材料としては、圧電セラミックス、電歪セラミックス、強誘電体セラミックス、或いは反強誘電体セラミックスが採用されることが好適である。具体的な材料としては、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸ナトリウムビスマス、ニオブ酸カリウムナトリウム、タンタル酸ストロンチウムビスマス等を単独であるいは混合物として含有するセラミックスが挙げられる。側面電極20、及び内部電極12の材料電極材料としては、室温で固体であり、導電性に優れた金属で構成されていることが好ましく、例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、鉛等の金属単体、もしくはこれらの合金が採用され得る。製造方法次に、上記圧電デバイスの製造方法について説明する。以下、焼成前であることは、対応する部材の名称にグリーンを付し、或いは、対応する部材の符号の末尾にgを付すことによって示される。本例では、先ず、図3に示すように、平板状の基材上に、圧電デバイスに対応する部分以下、グリーン圧電デバイス対応部と呼ぶが所定の間隔をおいてマトリクス状に複数個3×7個整列した状態で含まれる1枚の大きなグリーン積層体が形成される。この大きなグリーン積層体は、本体部10に対応するグリーン積層体部を含む。本体部10に対応するグリーン積層体部は、圧電層11に対応するグリーン圧電シートと、内部電極12に対応するグリーン電極膜とが交互に積層されて形成される。グリーン圧電シートは、ドクターブレード法等の周知の手法の一つを利用して前記圧電材料を含むペーストを成形することによって形成される。グリーン圧電シート上へのグリーン電極膜の形成は、スクリーン印刷等の周知の手法の一つを利用して前記電極材料を含むペーストを成形することによってなされる。グリーン圧電シートとグリーン電極膜との圧着性をより確実とするため、グリーン圧電シートとグリーン電極膜との間にグリーン接着層が介装されてもよい。この場合、グリーン圧電シート上へのグリーン接着層の形成は、塗付等の周知の手法の一つを利用してなされる。次いで、図3に示す切断線2点鎖線を参照に沿って切断加工、パンチ加工等の機械加工を施す。この結果、図4及び図5に示すように、基材上において、複数個3×7個の同形の直方体状のグリーン圧電デバイス対応部を同一工程で取り出すことができる。図6は、取り出された1つのグリーン圧電デバイス対応部の図2に対応する断面を示す。図6に示すように、本例では、グリーン圧電デバイス対応部は、本体部10に対応するグリーン積層体10gから構成される。グリーン積層体10gは、最上層及び最下層として圧電シート11gが位置し且つ圧電シート11gと電極膜12gとが交互に積層された積層体である。図6に示すように、上記機械加工によって取り出されたグリーン圧電デバイス対応部における上面と側面側面は、前記機械加工によって現れた面であるとが交差する部分上面の縁部は、鋭い角形状となり易い。或いは、同部分にバリ等が発生し易い。次に、図7及び図8に示すように、基材上に載置された複数個のグリーン圧電デバイス対応部に対して平板状の弾性体が上方から押し付けられる。弾性体は、シリコンゴム等の材料で構成され、弾性体の硬度がショア硬度Aで15~50である。また、弾性体を押し付ける圧力単位面積あたりの押し付け力は5~40kgfcm2である。また、本例では、隣り合うグリーン圧電デバイス対応部の間隔隙間の幅は0.5~5.0mmである。図8に示すように、押し付けられた弾性体の下面における隣り合うグリーン圧電デバイス対応部間の隙間に対応する部分は、加圧に基づく弾性変形によって同隙間に入り込む下方に向けて膨らむ。これに伴い、図9に示すように、グリーン圧電デバイス対応部の上面の縁部上方からみて四角状の枠部が、変形した弾性体の下面の形状輪郭に沿って変形する。この結果、グリーン圧電デバイス対応部の上面の縁部において、外側に向かって下がる傾斜部が形成され、且つ、前記傾斜部とグリーン圧電デバイス対応部の側面とが交差する部分前記傾斜部の端部に円弧部が形成される。これにより、複数のグリーン圧電デバイス対応部の上面の縁部から上述した鋭い角形状やバリ等が簡易に且つ同一工程で除去され得る。図9に示すように、グリーン圧電デバイス対応部を上方からみたときの前記傾斜部の長さLaは0.01~1.0mmである。前記傾斜部の傾斜角度θaは0.1~15.0°である。前記円弧部の半径Raは0.002~0.020mmである。なお、前記傾斜部はなくてもよい。上述した傾斜部及び円弧部の形成は、グリーン圧電デバイス対応部の下面の縁部下方からみて四角状の枠部においても行われる。具体的には、図7及び図8に示した工程の後、基材上に載置された複数個のグリーン圧電デバイス対応部のそれぞれが、上下反転されて基材上の同じ位置に再載置される。そして、図7及び図8に示した工程と同様に、基材上に載置された複数個のグリーン圧電デバイス対応部に対して平板状の弾性体が上方から押し付けられる。この結果、図10に示すように、グリーン圧電デバイス対応部の下面の縁部下方からみて四角状の枠部においても、グリーン圧電デバイス対応部の上面の縁部と同様に、傾斜部及び円弧部が形成される。次に、図11に示すように、グリーン圧電デバイス対応部の側面の所定箇所に、側面電極20に対応するグリーン側面電極20gが形成される。この形成は、スクリーン印刷等の周知の手法の一つを利用して前記電極材料を含むペーストを成形することによってなされる。そして、図11に示したグリーン圧電デバイス対応部に対し、所定温度で所定時間に亘って焼成が実行される。この結果、図1及び図2に示す圧電デバイス焼成後が得られる。作用効果本実施形態に係る圧電デバイスの製造方法では、平板状の基材上に載置された複数個のグリーン圧電デバイス対応部に対して平板状の弾性体が上方から押し付けられる。この結果、グリーン圧電デバイス対応部の上面の縁部において、上記傾斜部及び円弧部が形成される。これにより、複数のグリーン圧電デバイス対応部の上面の縁部から上述した鋭い角形状やバリ等を簡易に且つ同一工程で除去することができる。本発明は上記実施形態に限らず、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。例えば、上記実施形態においては、本体部10が、圧電層11と内部電極12が交互に積層された積層体であるが、本体部10が圧電材料のみからなる内部電極を有さない圧電体であってもよい。また、本体部10が圧電材料以外のセラミックス材料のみからなる内部電極を有さないセラミックス体であってもよい。また、上記実施形態では、基材上に載置された複数のグリーン圧電デバイス対応部が互いに間隔をあけて含まれる1枚の平板状のグリーン成形体に対して機械加工を施すことにより、複数のグリーン圧電デバイス対応部が基材上に互いに間隔をあけて載置されている。これに対し、初めから個別に成形された複数のグリーン圧電デバイス対応部が基材上に互いに間隔をあけて載置されてもよい。