"厚さが0.5mm以下の部位を有する金属製微小部品であって、少なくとも前記0.5mm以下の部位における結晶粒径が25μm以下であることを特徴とする微小部品。少なくとも前記厚さが0.5mm以下の部位において、鉄基合金基地中に結晶粒径が5μm以下の炭化物が分散した金属組織を示すことを特徴とする、請求項1に記載の微小部品。ステンレス鋼合金からなることを特徴とする請求項2に記載の微小部品。前記ステンレス鋼合金が、JIS規格に規定されるSUS440相当の合金であることを特徴とする請求項3に記載の微小部品。前記微小部品の質量が5mg以下であることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の微小部品。前記微小部品の密度比が90以上であることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の微小部品。前記微小部品の厚さが最小の部位に対して、結晶粒径が前記厚さの1/3以下であることを特徴とする、請求項1~6のいずれかに記載の微小部品。前記微小部品が、歯車形状を有し、前記厚さが0.5mm以下の部位が歯部の歯元であることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の微小部品。原料粉末に熱可塑性樹脂とワックスからなるバインダを35~60体積添加し加熱混練して原料を調整する原料調整工程と、前記原料を所定量、押型の型孔内に充填する充填工程と、前記押型内の前記原料をパンチで加圧して成形する加圧成形工程と、前記加圧成形工程の後に得られた成形体を抜き出す抜き出し工程と、抜き出された成形体を加熱してバインダを除去する脱バインダ工程と、脱バインダされた成形体を加熱して粉末どうしを拡散結合させる焼結工程とを備えた微小部品の製造方法において、前記成形体が厚さが0.5mm以下の部位を有しており、前記原料粉末として粒径が25μm以下の粉末を用いることを特徴とする微小部品の製造方法。前記原料粉末が、鉄を主成分として含むとともに炭素および炭素と炭化物を形成する元素を含んだ合金粉末であることを特徴とする請求項9に記載の微小部品の製造方法。前記合金粉末として、ステンレス鋼合金粉末を使用することを特徴とする請求項10に記載の微小部品の製造方法。前記合金粉末として、JIS規格に規定されるSUS440相当の合金粉末を使用することを特徴とする請求項11に記載の微小部品の製造方法。前記脱バインダ工程を、大気圧の還元雰囲気中で行うことを特徴とする請求項9~12のいずれかに記載の微小部品の製造方法。前記焼結工程を、大気圧の還元雰囲気中で行うことを特徴とする請求項9~13のいずれかに記載の微小部品の製造方法。ところで、金属の結晶粒は高温に曝されると、結晶粒の内あるものが隣接する結晶粒を吸収して成長し、結晶粒が増大する現象が生じる。この現象を結晶粒の成長というが、これは結晶粒界の持つ全界面のエネルギーを減少させて全体としてより安定な状態となろうとするために生じる現象である。特に、元々の結晶粒が微細であればあるほど、結晶粒界の量が多く界面の持つエネルギーが大きいことから、微細な結晶粒からの成長が生じ易い。粉末冶金法による機械部品の製造においては、焼結工程において原料粉末どうしの拡散による接合を生じさせる焼結を行うが、焼結による拡散駆動のエネルギーが充分に与えられる温度領域では、同時に結晶粒の界面エネルギーを減少する方向に駆動するエネルギーが与えられることとなり、焼結工程において、金属の結晶粒は成長し易い。一般の歯車部品等においては、元々の歯部の厚さが数mmと大きいため、結晶粒がある程度成長してもそれほど大きな問題とはならない。しかしながら、上記の特許文献3、4等に記載の製造方法により得られる金属製の微小部品のように、例えば図1に示すような歯元の厚さd1および/またはd2が0.5mm以下のような微小部品の場合、結晶粒の成長が生じて図9aに示すように歯部1aが一つの結晶に成長すると、歯部1aと本体1bとの結晶粒界1cが歯元近傍に位置するとともに、この結晶粒界1cが単一の結晶粒界として形成される。これは、結晶粒が界面の持つエネルギーを最小にする、すなわち結晶の界面の面積を最小となるように成長する結果、歯元近傍の最も厚さの小さい部分が結晶粒界となるよう成長するためである。歯車の歯元部分には応力が集中し、最も強度が必要となる部位であるが、図9aのように歯元近傍部分に単一の結晶粒界が配置されると、単一の結晶粒界から破断が生じ、歯部の折損が生じ易くなる。図9bは、このような結晶粒が成長した微小歯車の歯元部近傍の光学顕微鏡写真像であり、写真中左側が歯先であり、右側が歯車本体部である。図9bより、実際に結晶粒が成長して、歯車の歯元部近傍に結晶粒界が配置されていることがわかる。本発明は、上記のような例えば歯元の厚さが0.5mm以下のような微小な部位を有する金属製微小部品において、結晶粒の成長を抑制し、少なくとも微小な部位を多結晶で構成した微小部品およびその製造方法を提供することを目的とする。[微小部品の金属組織]本発明が対象とする厚さが0.5mm以下の部位を有する微小部品の一例を図1に示す。図1の微小部品は歯車を有し、歯部の歯元の厚さd1およびd2の一方もしくは両方が0.5mm以下の厚さとなっている。本発明の金属製微小部品においては、このような0.5mm以下の厚さとなる部位を、図2に示すように多結晶として構成する。このように0.5mm以下の厚さとなる部位を多結晶として構成すると、歯元が最小となる部位において、多数の結晶が存在し、結晶粒界が多数で構成されるとともに屈曲して構成される。このため、歯元強度が著しく向上する。このような効果を発揮するために、厚さが0.5mm以下の部位における最大結晶粒径は25μm以下とする。なお、本発明における厚さが0.5mm以下の部位とは、上記微小歯車の歯元部のように、その両側で厚さが大きくなる部位例えばアンダーカット形状であり、原料の流入を阻害するする部位のことを意味する。上記の多結晶の金属組織を得やすくするため、金属組織中に金属炭化物が分散する金属組織とすると、炭化物が結晶粒の成長を阻害するするため効果的である。なお、図2において小さな○は結晶粒界に析出した金属炭化物を示す。このような効果を得るため炭化物の結晶粒径は5μm以下とすることが好ましい。[微小部品の製造方法]上記のような金属組織を示す微小部品は、特許文献1、2に記載された製造方法、すなわち、原料粉末に熱可塑性樹脂とワックスからなるバインダを35~60体積添加して、加熱混練して原料を調整する原料調整工程と、原料を所定量、押型の型孔内に充填する充填工程と、押型内の原料をパンチで加圧して成形する加圧成形工程と、加圧成形工程の後に得られた粉末成形体を抜き出す抜き出し工程と、抜き出された粉末成形体を加熱してバインダを除去する脱バインダ工程と、脱バインダされた粉末成形体を加熱して粉末どうしを拡散結合させる焼結工程とを備えた微小部品の製造方法において、原料粉末として粒径が25μm以下の粉末を用いることにより製造することができる。このような粒径の原料粉末を結晶粒が粗大化しないように焼結することで、上記のように多結晶となる金属組織とする。ここで、粉末冶金法で一般的な押型法による焼結部品の原料粉末では、押圧による緻密化のため、主原料粉末母粉は圧縮性を考慮して純鉄粉末を用い、鉄を強化する炭素や銅等の元素については黒鉛粉末や銅粉末等の単味粉末の形態でこれらを添加混合した混合粉末の形態で用いることが一般的であるが、本発明が対象とする微小部品の場合、上記のような混合法による原料粉末を用いると、黒鉛粉末や銅粉末等から純鉄粉末に炭素や銅等の元素が拡散する際に黒鉛粉末や銅粉末が存在していた箇所に空隙が生じるカーケンダルボイドが発生して、微小な歯元に空隙が形成される虞がある。このため、本発明の微小部品の製造方法においては、原料粉末として全成分を均一に合金化した鉄合金粉末を用いることが好ましい。このように原料粉末に炭素等の強化元素を予め合金化しておけば、焼結による元素の拡散に伴う空隙の発生を防止することができる。焼結後の結晶粒の粒径を25μm以下とするため、原料粉末として最大粒径が25μm以下のものを用いる。このような原料粉末を結晶粒が成長しないよう焼結することで微小部品の結晶粒の粒径を25μm以下とすることができる。なお、原料粉末の粒径は細かいものほど好適であるが、上記のような鉄合金粉末は、気相合成法や還元法等の微粒子製造法によって製造することが難しい。このため、鉄合金粉末は、現在のところ一般的なアトマイズ法により製造する他ないが、アトマイズ法により製造した鉄合金粉末を微粉のみ分級して使用するとコストが増大する。具体的には、最大粒径が1μmより小さい粉末は高価であるため好ましくない。この点から原料粉末の最大粒径が1~25μmとなる原料粉末が好ましい。また、上記製造方法によれば微小部品の厚さが最小の部位の厚さが0.5mm以下の0.25mm、あるいは0.1mmであっても容易に製造可能であるが、微小部品の厚さが最小の部位の厚さに対して、結晶粒径が1/3よりも大きいと微小部品の厚さが最小の部位に配置される結晶の数が少なくなって、多結晶とすることによる強度向上の効果が乏しくなる。このため最大粒径が20~25μmとなる原料粉末を用いる場合、微小部位の厚さが最小の部位の厚さは0.075mm以上であることが好ましく、0.1mm以上であるとさらに好ましい。また、そのような微小部位の厚さが0.075mmよりも小さい場合には、原料粉末の最大粒径が小さいもの、例えば最大粒径が16μm以下のものを用いることが好ましい。一方、原料粉末の粒径が小さくなるほど、焼結時の結晶粒成長が顕著となるが、最大粒径が1μm程度の原料粉末を用いる場合、微小部位の厚さは0.01mm程度まで小さくても製造可能である。本発明の微小部品は、例えば歯元の厚さが0.5mm以下のような、厚さが0.5mm以下の部位を有する金属製微小部品であっても、少なくとも厚さが0.5mm以下の部位における結晶粒径を25μm以下として、多結晶としたため、歯元の強度が確保される。また、本発明の微小部品の製造方法では、上記の微小部品を低コストで量産可能である。1微小部品本実施形態では、例えば図3に示すような微小歯車Gを製造する。図3に示す微小歯車Gは、外径1mm、厚さ0.1mmの円板部4の上部に、歯先径0.5mm、歯数10、歯元の厚さ0.05mmの平歯車部8が形成され、平歯車部8の上面の中央に軸部5が形成され、円板部4の下面の中央に軸部6が形成された構成である。2原料粉末原料粉末は、カーケンダルボイドの発生を防止するため、全成分を均一に合金化した鉄合金粉末を用いることが好ましい。原料粉末の大きさは上述のとおり、最大粒径が25μm以下のものを用いる。鉄合金粉末の製造には通常のアトマイズ噴霧法が用いられるが、微粉のみ製造できるよう、溶湯を微細に噴霧アトマイズして製造してもよく、通常の噴霧を行って得られた合金粉末を分級して用いてもよい。分級は、通常行われる篩分級や、気流による空気分級等により行う。前述のように、原料粉末は、鉄合金粉末中に、炭素とともに炭素と金属炭化物を容易に形成する元素Cr、Mo、V等を合金化しておくことが好ましい。この場合、鉄基地中に金属炭化物が分散する金属組織となるが、金属炭化物が結晶粒の成長を抑制して結晶粒径の制御が容易となる。例えば、Cr:0.8~20質量、Mo:0.5~5質量、V:0.5~3質量1種または2種以上を含有するとともに、C:0.6~2.2質量を含有する鉄合金粉末を用いることができる。上記の原料粉末となる鉄合金粉末はステンレス合金粉末組成を有するとともに必要な量の炭素も合金化した鉄合金粉末を用いることが好ましい。このような原料粉末を用いて微小部品を製造すると、得られる微小部品は炭化物が分散するステンレス鋼から構成される。ここで、JIS規格に規定されるSUS440相当の合金粉末は、炭化物形成元素としてクロム等の元素を含有するとともに炭素を含有するため、本発明の微小部品の原料粉末として好適である。これを原料粉末として用いて微小部品を製造すると、得られる微小部品はJIS規格に規定されるSUS440相当の合金から構成される。3原料調整工程バインダは、熱可塑性樹脂とワックスからなる。熱可塑性樹脂は、原料に可塑性を付与するために用いられ、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアセタール、ポリエチレンビニルアセテート等が用いられる。ワックスは原料、特に金属粉末と金型ダイおよびパンチを含むとの間の金属接触を防止して加圧成形時に金属粉末の均一な流動を実現するとともに、抜き出し時の粉末成形体と金型間の摩擦を低減して抜き出しやすくするために添加され、パラフィンワックス、ウレタンワックス、カルナバワックス等が用いられる。このような作用を有する熱可塑性樹脂とワックスは、20:80~60:40の範囲で構成すると好適なバインダとなる。このようなバインダを原料全体に対する割合が35~60体積となるように鉄合金粉末等の原料粉末に混合して原料を調整する。4成形工程4-1成形金型装置図4a~d、図5a~dは、図3に示す微小歯車Gの粉末成形体7Aを成形するための成形金型装置と成形工程を示している。まず、図4により成形金型装置の構成を説明する。同図で符号10は押し型であり、この押し型10は、上ダイ20と下ダイ30とから構成されている。上下のダイ20,30は、いずれも上下方向に移動可能に設けられ、上下方向に互いに離接可能に配設されている。上ダイ20は、外側ダイ21と内側ダイ25とから構成されている。これら外側ダイ21と内側ダイ25は、それぞれ水平な下面21a,25aを有している。外側ダイ21には、上下方向に貫通する円筒状孔22が形成されており、この円筒状孔22に、円筒状の内側ダイ25が摺動自在に挿入されている。そして、外側ダイ21の円筒状孔22の下端部により、微小歯車Gの円板部4を形成する。内側ダイ25の内部には、上下方向に延び、上方に開口する原料貯留部26が形成されている。原料貯留部26は円筒状の内周面を有しており、その下端部内周面は、下方に向かうに従って先細りとなる円錐状のテーパ部26aに形成されている。そして内側ダイ25の内部には、テーパ部26aの下端から下方に延び、内側ダイ25の下面25aに開口する上パンチ孔27が形成されている。上パンチ孔27は原料貯留部26と同心状で、この上パンチ孔27と原料貯留部26との間が、ゲート28として形成されている。上パンチ孔27の内径は、微小歯車Gの軸部5,6の直径と同等に設定されている。内側ダイ25の原料貯留部26には、上方の開口から、可塑性を有する原料Pが投入されて貯留される。原料Pとしては、上記の鉄合金粉等の金属粉末に、熱可塑性樹脂とワックスからなるバインダを35~60体積程度の比率で添加し混練したもの等が用いられる。原料貯留部26には、上方の開口からプランジャ40が摺動自在に挿入されている。プランジャ40の軸心には、上パンチ50が、プランジャ40の摺動方向である上下方向に沿って貫通されている。上パンチ50は、下降すると下端部が上パンチ孔27に摺動しながら挿入される。この時、ゲート28は上パンチ50で閉じられる。また、ゲート28が閉じた状態から上パンチ50を上昇させると、図4bに示すように上パンチ50は上パンチ孔27から抜けてゲート28が開くようになっている。下ダイ30は、上ダイ20の外側ダイ21の下面21a、および内側ダイ25の下面25aが当接する水平な上面30aを有している。下ダイ30には、微小歯車Gの平歯車部8の外径よりも小さい内径の円筒状孔31が上下に開口して形成されており、この円筒状孔31に、内側ダイ32が上下方向に摺動自在に挿入されている。図6に示すように、円筒状孔31の上端部の内周面には、微小歯車Gの平歯車部8の歯列を造形する内歯列31aが形成されている。内側ダイ32の中心には下パンチ孔33が形成されており、この下パンチ孔33には、下パンチ60が摺動自在に挿入されている。内側ダイ32および下パンチ60は、上ダイ20側のプランジャ40および上パンチ50と同軸的に配設されている。4-2充填工程上記成形金型装置を用いて微小歯車Gの粉末成形体7Aを成形する工程を説明する。始めに、上ダイ20の内側ダイ25を、外側ダイ21に対して、内側ダイ25の下面25aと下ダイ30の上面30aとの間に微小歯車Gの円板部4の厚さに等しい隙間を設けた状態とし、外側ダイ21の下面21aと下ダイ30の上面30aとを当接させて型締めする。そして、上ダイ20側において、上パンチ50を、下端面が内側ダイ25の下面25aと面一になる状態まで挿入してゲート28を閉じる。下ダイ30側においては、内側ダイ32を、円筒状孔31の上端部の内歯列31aが露出するまで下ダイ30の上面30aよりも下方に位置付け、さらに、下パンチ60を内側ダイ32の上面よりも下降させる。これにより、押し型10内に、上ダイ20側に微小歯車Gの円板部4に対応する部分を有し、下ダイ30側に微小歯車Gの平歯車部8と軸部5に対応する部分を有するキャビティ11を形成する。一方、上ダイ20側の内側ダイ25の原料貯留部26に原料Pをほぼ充満させ、プランジャ40の先端を原料貯留部26に挿入する図4a。次いで、上パンチ50を上昇させて上パンチ孔27から抜き、ゲート28を開ける。これにより、上パンチ孔27を介してキャビティ11と原料貯留部26とが連通する。上パンチ孔27はキャビティ11の一部を構成し、この状態からプランジャ40を押し込んで下降させ、原料Pを、ゲート28から上パンチ孔27を含むキャビティ11に必要量2mg注入する図4b。このときのプランジャの圧力は例えば5~8MPa程度で充分である。4-3加圧成形工程次いで、上パンチ50を下方に押し込んでゲート28を閉じ、さらに上パンチ50を押し込むことにより、キャビティ11内の原料Pを例えば0.1MPa程度の圧力で圧縮する図4c~d。これにより、原料Pは塑性流動して金型に密着することで、上ダイ20側に円板部4と軸部6が造形され、下ダイ30側に平歯車部8と軸部5が造形されて、微小歯車Gの粉末成形体7Aが成形される。4-4抜き出し工程次に、押し型10の型開きに移り、まず、上ダイ20の外側ダイ21を上昇させて円板部4を露出させてから図5a、上パンチ50で粉末成形体7Aを押さえながら、外側ダイ21と内側ダイ25を上昇させて軸部6を露出させる図5b。次いで、下ダイ30を下降させて平歯車部8を露出させ図5c、さらに下ダイ30および内側ダイ32を下降させて軸部5を下パンチ孔33から抜き出す図5d。この後、上ダイ20側の全体を上昇させれば粉末成形体7Aを取り出すことができる。以上が1つの粉末成形体7Aを圧縮成形するサイクルであり、この後、再び図4aの状態に戻して上記工程を繰り返し、粉末成形体7Aを複数得る。上記の成形工程は一例であり、上記のように原料粉末にバインダを添加、混練した可塑性の原料を用い、金型装置のキャビティに充填した後、金型例えばパンチを駆動して原料を押圧して塑性流動させて金型内壁に原料を密着させて粉末成形体を造形する方法であれば差し支えなく、他に特許文献3、4等の成形金型装置および成形方法により成形することができる。同じ可塑性の原料を用いる射出成形法においては、ランナ部およびゲート部を介してキャビティに原料を導くため、これらのランナ部およびゲート部の壁面における接触抵抗によりキャビティに原料を充填するための圧力が損失し、微小なキャビティに原料を充填する際に、過大な圧力例えば100~200MPaが必要となる。しかも微小なキャビティに原料を充満しようと射出圧力を増加すると、流動しやすいバインダ成分のみが微小なキャビティに流動してしまい、健全な粉末成形体を得ることが難しい。しかしながら、上記の可塑性の原料を金型装置のキャビティに充填した後、金型例えばパンチを駆動して原料を押圧して塑性流動させ、金型内壁に原料を密着させて粉末成形体を造形する方法では、定量に充填された原料を金型を駆動して所望の形状へ成形するため、金型のキャビティへの充填の圧力は低圧でよく、また、原料に加圧圧力が均等に加わるため微小なキャビティへバインダ成分が分離することなく原料が充填され、効率的に微小な粉末成形体を成形することができる。5脱バインダ工程上記のようにして得られた粉末成形体は、バインダ成分が含まれるため、これを除去するため粉末成形体をバインダ成分の熱分解温度以上の温度に加熱して脱バインダ工程を行う。バインダは、熱可塑性樹脂とワックスからなるが、熱可塑性樹脂およびワックスの熱分解温度近傍の昇温速度が速いと、熱可塑性樹脂およびワックスが急激にガス化して膨張し、粉末成形体の型くずれを引き起こすので、少なくとも熱可塑性樹脂およびワックスの熱分解温度近傍の昇温は緩やかに行う。この観点から脱バインダ工程は、第1段階としてワックスの昇華温度近辺で一旦保持してバインダ成分中のワックス分を除去した後、第2段階として熱可塑性樹脂の熱分解温度近辺で再度保持して熱可塑性樹脂分を除去する、2段階の加熱保持工程とすることが好ましい。また、熱分解に伴うガス発生を徐々に行うために、熱可塑性樹脂およびワックスは熱分解温度の異なる複数のものを配合して用いることが好ましい。6焼結工程上記のバインダの除去を行った後の粉末成形体では、金属粉末どうしは未だ拡散しておらず、金属的に結合していない状態であり、極めて脆い。そこで、金属粉末どうしを金属的に拡散結合させるため焼結を行う。焼結温度は鉄の拡散が生じる800°C以上の温度で、かつ結晶粒が成長して結晶粒径が25μmを越えないような温度範囲で行う。原料粉末として炭素および炭素と炭化物を形成する元素を含んだ鉄合金粉末を用いる場合は炭化物が結晶粒の成長を抑制するので1000~1200°C程度の温度で30~60分間保持しするのが好適である。上記のように焼結することにより密度比90以上の微小部品を製造することができる。ここで、原料粉末として炭素および炭素と炭化物を形成する元素を含んだ鉄合金粉末を用いる場合において、焼結雰囲気が酸素を含有すると鉄合金粉末に含まれる炭素が雰囲気中の酸素と結合し脱炭されて炭化物が析出せず、炭化物による結晶粒成長抑制の作用が得られなくなるため、還元雰囲気とすることが好ましい。また、焼結雰囲気が真空雰囲気減圧雰囲気であると、鉄合金粉末表面に吸着している水分および酸素が鉄合金粉末に含まれる炭素と結合して脱炭されて炭化物が析出せず、炭化物による結晶粒成長抑制の作用が得られなくなるため、大気圧下とすることが好ましい。7微小部品焼結体上記の工程により得られた微小部品焼結体の外観のSEM写真像を図7に示す。図7aは右側に米国の10セント硬貨を比較として並べたSEM写真像であり、図7bは図7aの微小部品焼結体を拡大したSEM写真像である。また、図7cは同じ微小部品焼結体を米粒と比較して米粒の写真下側に3個角度を変えて並べたSEM写真像である。なお、図7cにおいては、米粒の左に別の微小部品を3個並べてある。このように、上記の製造方法によれば、従来にない微小な金属製の部品を製造することが可能である。なお、上記の製造方法により、得られる微小部品の質量は5mg以下上記例は2mgとすることができる。ただし、金属粉末を原料として用いることから、好適に製造できる質量は0.1mg以上である。本発明は上記のような微小歯車Gに限定されるものではなく、微小カム、コンタクトプローブ、微小バランサーおよび内視鏡用等の微小鉗子等あらゆる微小部品に適用可能である。1原料粉末JIS規格のSUS440C相当の組成を有するガスアトマイズ鉄合金粉末を用意し、空気分級して最大粒径が20μmのものを原料粉末として用意した。2原料調整工程熱可塑性樹脂としてポリアセタール軟化点:110°C、融点:180°C、ワックスとしてパラフィンワックス軟化点:39°C、融点61°Cを用意し、熱可塑性樹脂とワックスを4:6の比で混合したバインダを用意した。上記の原料粉末に、このバインダを原料全体に対して40体積添加し、配合、混練して原料を調整した。3成形工程図4および図5の成形金型装置を用い、上述のように充填工程、成形工程および抜き出し工程を経て図3に示す形状の粉末成形体の成形を行った。原料のキャビティへの充填時の圧力は5MPa、成形圧力は0.1MPaとして行った。4焼結工程得られた圧粉体をバインダが熱分解する500°Cまで加熱して120分間保持して脱バインダ工程を行った。このときの雰囲気ガスはアンモニア分解ガス雰囲気を用いた。脱バインダ工程の後、表1に示す焼結温度および焼結雰囲気をアンモニア分解ガス雰囲気表中のAXと、アンモニア分解ガス雰囲気表中のAXに少量の酸素ガスを混合した酸素混合ガス雰囲気表中のAXO2として焼結を行った。焼結時間焼結温度での保持時間は60分である。得られた焼結体試料の歯車部で軸に対して鉛直方向に切断し、観察のため樹脂に埋め込んだ後、鏡面研磨し、ピクリン酸飽和水溶液で腐食し、光学顕微鏡で金属組織を観察し、結晶粒の最大径を測定した。この結果を表1に併せて示す。また、図8に試料番号04図8aと試料番号05図8bの断面光学顕微鏡写真像を示す。表1より、焼結雰囲気としてアンモニア分解ガス雰囲気AXを用いた試料試料番号01~04、06は、焼結温度を高くするに従って結晶粒の最大径が大きくなる傾向を示すが、いずれの場合も結晶粒は25μm以下の範囲となっている。これは析出分散したクロム炭化物が結晶粒の成長を抑制した結果と考えられる。その一方で、焼結雰囲気として酸素混合ガス雰囲気AXO2を用いた試料試料番号05は炭素が雰囲気ガス中の酸素と反応して脱炭され、クロム炭化物が析出せず、このため結晶粒が粗大に成長している。特に本実施例の場合、焼結体が微小であるため容易に鉄合金中の炭素が脱炭されたものと考えられる。以上より、結晶粒径を25μm以下に抑制して焼結するためには、鉄を主成分として含むとともに、炭素および炭素と炭化物を形成する元素を含んだ鉄合金粉末を使用して、金属組織中に炭化物を分散させると、結晶粒を容易に制御できることが確認された。"