"導電性支持体上に中間層と感光層を有する電子写真感光体において、前記中間層が無機顔料と結着樹脂とを含有し、前記中間層中の無機顔料の体積比率が30体積以上50体積以下であり、前記無機顔料中の酸化チタン含有率が70質量以上90質量以下であり、かつ、前記無機顔料の比表面積が70m2/g以上、140m2/g以下であり、前記中間層は、電界強度2.5×105V/cmに於ける体積抵抗率が5×1011Ωcm以上、1×1013Ωcm以下であることを特徴とする電子写真感光体。前記無機顔料の酸化チタン以外の無機成分が、水酸化アルミニウムによる処理に由来する事を特徴とする請求項1に記載の電子写真感光体。前記結着樹脂が共重合ポリアミド樹脂であることを特徴とする請求項1または2に記載の電子写真感光体。前記感光層は電荷発生層と電荷輸送層とから成り、電荷輸送層には下記一般式1で表される電荷輸送物質を含有することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の電子写真感光体。式中、R1~R4は、各々独立に水素、置換基を有してもよい炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基を表わす。前記一般式1で表される電荷輸送物質が下記式1-1で表される電荷輸送物質であることを特徴とする請求項4に記載の電子写真感光体。前記感光層は電荷発生層と電荷輸送層とから成り、電荷輸送層には下記一般式2で表される電荷輸送物質を含有することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の電子写真感光体。式中、R5~R9は、各々独立に水素、置換基を有してもよい炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基を表わす。前記一般式2で表される電荷輸送物質が下記式2-1で表される電荷輸送物質であることを特徴とする請求項6に記載の電子写真感光体。電子写真感光体、帯電手段、露光手段、現像手段、クリーニング手段、および転写手段を有する電子写真装置において、前記電子写真感光体が、請求項1~7のいずれかに記載の電子写真感光体であることを特徴とする電子写真装置。前記露光手段としてLED光源を用い、前記現像手段として一成分現像方式を用いたことを特徴とする請求項8に記載の電子写真装置。電子写真感光体と、帯電手段、露光手段、現像手段、クリーニング手段および転写手段から選ばれる少なくとも一つの手段とを含んで一体に支持され、電子写真装置本体に着脱自在とされたプロセスカートリッジにおいて、前記電子写真感光体が、請求項1~7のいずれかに記載の電子写真感光体であることを特徴とするプロセスカートリッジ。本発明は、上記従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、導電性支持体上に順次中間層と感光層を設けてなる電子写真感光体において、繰り返し使用においても特性の変化が少なく、また残留電位上昇及び黒ポチ画像発生の少ない電子写真感光体を提供するとともに、この電子写真感光体を用いた電子写真装置及びプロセスカートリッジを提供することを目的とする。本発明者らは前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、前記課題は中間層用に少なくとも無機顔料の酸化チタンが水酸化アルミニウムで表面処理されたものを用い、酸化チタンの含有率、比表面積を適正な範囲に保ち、更に中間層中の無機顔料の体積比率、及び中間層の体積抵抗率を適正な範囲に保つことにより感光体の繰り返し使用による特性の変化が少なく、残留電位上昇、黒ポチ画像発生の少ない電子写真感光体が提供できることを見いだした。無機顔料中の酸化チタンの含有率が70質量未満では不純物の影響で、繰り返し使用により残留電位上昇を引き起こし、90質量を超えると中間層中の体積抵抗率が著しく低下し、繰り返しの使用で画像品質が低下し黒ポチ、かぶり等が発生してくる。また、比表面積が70m2/g未満であると分散処理が容易になる一方、顔料と樹脂の隠蔽性が悪くなり、中間層の体積抵抗率が低下し異常画像が発生し易くなる、一方140m2/gを超えると無機顔料表面積が多くなる事により液粘度が上昇し易くなり、分散性、中間層の安定生産が難しくなる。無機顔料体積比率が30未満であると、中間層の体積抵抗率が上昇し、残留電位の増加が起こり、50を超えると中間層の塗膜品質が悪くなり密着性が低下する問題を引き起こす。また、電界強度2.5×105V/cmにおける中間層の体積抵抗が5×1011Ωcm未満では基盤からの異常電流により黒ポチや地かぶり等が発生し、1×1013Ωcmを超えると感度低下、残留電位上昇を引き起こす。上記課題を解決する本発明は以下の通りである。1導電性支持体上に中間層と感光層を有する電子写真感光体において、前記中間層が無機顔料と結着樹脂とを含有し、前記中間層中の無機顔料の体積比率が30体積以上50体積以下であり、前記無機顔料中の酸化チタン含有率が70質量以上90質量以下であり、かつ、前記無機顔料の比表面積が70m2/g以上、140m2/g以下であり、前記中間層は、電界強度2.5×105V/cmに於ける体積抵抗率が5×1011Ωcm以上、1×1013Ωcm以下であることを特徴とする電子写真感光体。2前記無機顔料の酸化チタン以外の無機成分が、水酸化アルミニウムによる処理に由来する事を特徴とする1記載の電子写真感光体。3前記結着樹脂が共重合ポリアミド樹脂であることを特徴とする1または2に記載の電子写真感光体。4前記感光層は電荷発生層と電荷輸送層とから成り、電荷輸送層には下記一般式1で表される電荷輸送物質を含有することを特徴とする1~3のいずれかに記載の電子写真感光体。式中、R1~R4は、各々独立に水素、置換基を有してもよい炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基を表わす。5前記一般式1で表される電荷輸送物質が下記式1-1で表される電荷輸送物質であることを特徴とする4に記載の電子写真感光体。6前記感光層は電荷発生層と電荷輸送層とから成り、電荷輸送層には下記一般式2で表される電荷輸送物質を含有することを特徴とする1~3のいずれかに記載の電子写真感光体。式中、R5~R9は、各々独立に水素、置換基を有してもよい炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基を表わす。7前記一般式2で表される電荷輸送物質が下記式2-1で表される電荷輸送物質であることを特徴とする6に記載の電子写真感光体。8電子写真感光体、帯電手段、露光手段、現像手段、クリーニング手段、および転写手段を有する電子写真装置において、前記電子写真感光体が、1~7のいずれかに記載の電子写真感光体であることを特徴とする電子写真装置。9前記露光手段としてLED光源を用い、前記現像手段として一成分現像方式を用いたことを特徴とする8に記載の電子写真装置。10電子写真感光体と、帯電手段、露光手段、現像手段、クリーニング手段および転写手段から選ばれる少なくとも一つの手段とを含んで一体に支持され、電子写真装置本体に着脱自在とされたプロセスカートリッジにおいて、前記電子写真感光体が、1~7のいずれかに記載の電子写真感光体であることを特徴とするプロセスカートリッジ。本発明によれば、繰り返し使用においても帯電立ち上がり遅れが少なく、また残留電位上昇及び黒ポチ画像発生の少ない電子写真感光体、これを用いた電子写真装置およびプロセスカートリッジが提供される。本発明の電子写真感光体についてさらに説明する。本発明の電子写真感光体は、導電性支持体上に中間層と感光層を有する電子写真感光体にであって、特に中間層の構成に特徴がある。本発明における中間層は、無機顔料と結着樹脂とを含有しており、中間層における無機顔料の体積含有比率が30体積以上50体積以下であり、無機顔料中の酸化チタン含有率が70質量以上90質量以下であり、前記無機顔料の比表面積が70m2/g以上、140m2/g以下であり、かつ、中間層は、電界強度2.5×105V/cmに於ける体積抵抗率が5×1011Ωcm以上1×1013Ωcm以下であることを特徴とする。本発明の特徴について以下詳述する。1無機顔料中の酸化チタン含有率本発明においては中間層が無機顔料と結着樹脂とを含有しており、前記無機顔料中の酸化チタン含有率を70質量以上90質量以下に設定する。無機顔料の酸化チタンの含有率が70質量未満では不純物の影響で、繰り返し使用により残留電位上昇を引き起こし、90質量を超えると中間層中の体積抵抗率が著しく低下し、繰り返しの使用で画像品質が低下し黒ポチ、かぶり等が発生してくる。無機顔料中の酸化チタン含有率はJISK5116記載の方法で行うことが出来る。本発明において使用される酸化チタン微粒子は水酸化アルミニウム処理されていることが好ましい。水酸化アルミニウム処理酸化チタン微粒子は、例えば次のようにして製造することができる。例えば塩化アルミニウム等のアルミニウム塩の水溶液中に平均1次粒径が10nmから20nm程度のルチル型酸化チタン微粒子を分散させておき、その中に苛性ソーダ等のアルカリを加えて、水酸化アルミニウムを酸化チタン微粒子の表面に析出させる。次いでその酸化チタン微粒子を500°C程度で強熱することにより水酸化アルミニウム処理酸化チタンを得る。水酸化アルミニウム処理酸化チタンは上記方法で作成することも出来るが、市販された無機顔料として好ましい製品としては石原産業製のTTO-51Aがある。比表面積、酸化チタン含有率が異なる製品としてはTTO-55A等があるが、本発明の範囲に入らない為好ましいものではない。2比表面積本発明における無機顔料の比表面積は簡易BET法による窒素ガスの吸着により求めた値とする。本発明では比表面積を70m2/gから140m2/gとする。比表面積が70m2/g未満であると分散処理が容易になる一方、顔料と樹脂の隠蔽性が悪くなり、中間層の体積抵抗率が低下し異常画像が発生し易くなる、一方140m2/gを超えると無機顔料表面積が多くなる事により液粘度が上昇し易くなり、分散性、中間層の安定生産が難しくなる。3体積抵抗率中間層の体積抵抗率は、アルミニウム基盤上に中間層をシートコーターを用いて成膜し、100°Cで10分乾燥させた。中間層膜厚を1μmとした。続いて、中間層上に金電極を蒸着させ、アルミニウム基盤と金電極間の体積抵抗率をHP社製ハイレジスタンスメーター4339Aで計測した。本発明では電界強度2.5×105V/cmにおける中間層の体積抵抗率が5×1011Ωcm以上、1×1013Ωcm以下とする。5×1011Ωcm未満では所定の帯電特性を得ることができず、濃度ムラ等発生しやすくなり、また基盤からの異常電流により黒ポチや地かぶり等が発生する。1×1013Ωcmを超えると感度低下、残留電位上昇を引き起こす。4無機顔料の体積含有比率無機顔料と結着樹脂との体積含有比率は、無機顔料と結着樹脂の比重より換算した混合体積比率で表す。体積含有比率は比重に基づいて重量を体積換算した値として算出する。体積比率が30体積未満では中間層の特性が結着樹脂の特性に左右され、特に温湿度の変化及び繰り返し使用において残留電位が大きく変化し、画像のムラ等が発生しやすくなる。また、50体積を超えると中間層の層中に空隙が多くなり、例えば、電荷発生層との接着性が低下し、さらに75体積を超えると空気が溜まるようになり、これが感光層の塗布乾燥時において気泡の原因となって塗布欠陥となってしまう。体積比率算出方法無機顔料の重量より換算した無機顔料体積:Vf樹脂の重量より換算した樹脂体積:Vr無機顔料体積含有比率=Vf/VfVr×100中間層の結着樹脂としてはスチレン、酢酸ビニル、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル等によるビニル化合物の重合体や共重合体、シリコーン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリビニルホルマール樹脂、ポリエステル樹脂、セルロースエステル樹脂、セルロースエーテル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂等が挙げられる。樹脂の中ではポリアミド樹脂が繰り返し使用に伴う残留電位の上昇、中間層用液安定性、成膜性、の点で好ましく、更に好ましくは、6ナイロン、66ナイロン、610ナイロン、12ナイロンの3種類又は4種類の共重合させた共重合ポリアミドが環境に対する安定性で好ましい。本発明における中間層の膜厚は、0.1~50μmの範囲に設定することが望ましく、さらに望ましくは1~8μmの範囲である。中間層の膜厚が0.1μmよりも薄くなると、中間層としての機能が不充分で、前露光疲労に対する効果が少なくなり、逆に、中間層の膜厚が50μmを超えると塗膜面の平滑性が失われ、8μmを越えると感光体の感度が低下し、かつ前露光疲労に対する効果は維持されても、環境変動に対する効果がなくなる。本発明の電子写真感光体に用いられる導電性支持体としては、体積抵抗1010Ωcm以下の導電性を示すもの、例えば、アルミニウム、ニッケル、クロム、ニクロム、銅、金、銀、白金などの金属、酸化スズ、酸化インジウムなどの金属酸化物を、蒸着またはスパッタリングにより、フィルム状もしくは円筒状のプラスチックまたは紙に被覆したもの、あるいは、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ステンレスなどの板及びそれらを、押し出し、引き抜きなどの工法で素管化後、切削、超仕上げ、研摩などの表面処理した管などを使用することができる。また、特公昭52-36016号公報に開示されたエンドレスニッケルベルト、エンドレスステンレスベルトも導電性支持体として用いることができる。この他、支持体上に導電性粉体を適当な結着樹脂に分散して塗工したものについても、本発明の導電性支持体として用いることができる。この導電性粉体としては、カーボンブラック、アセチレンブラック、またアルミニウム、ニッケル、鉄、ニクロム、銅、亜鉛、銀などの金属粉、あるいは導電性酸化スズ、ITOなどの金属酸化物粉体などが挙げられる。また、同時に用いられる結着樹脂には、ポリスチレン、スチレン-アクリロニトリル共重合体、スチレン-ブタジエン共重合体、スチレン-無水マレイン酸共重合体、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアリレート樹脂、フェノキシ樹脂、ポリカーボネート、酢酸セルロース樹脂、エチルセルロース樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリビニルトルエン、ポリ-N-ビニルカルバゾール、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、アルキド樹脂などの熱可塑性、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂が挙げられる。このような導電性層は、これらの導電性粉体と結着樹脂を適当な溶剤、例えば、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、メチルエチルケトン、トルエンなどに分散して塗布することにより設けることができる。さらに、適当な円筒導電性支持体上にポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリスチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレン、塩化ゴム、テフロン登録商標などの素材に前記導電性粉体を含有させた熱収縮チューブによって導電性層を設けてなるものも、本発明の導電性支持体として良好に用いることができる。次に、本発明の電子写真感光体を構成する感光層について説明する。感光層は単層型構成でも電荷発生層と電荷輸送層を積層した機能分離型構成でもよいが、機能分離型構成を例として以下説明する。すなわち、電荷発生層は、電荷発生物質を主成分として形成される層であり、必要に応じて結着樹脂を用いることもある。電荷発生物質としては、無機系材料と有機系材料を用いることができる。無機系材料としては、結晶セレン、アモルファスセレン、セレン-テルル、セレン-テルル-ハロゲン、セレン-ヒ素化合物や、アモルファスシリコンなどが挙げられる。アモルファスシリコンにおいては、ダングリングボンドを水素原子、ハロゲン原子でターミネートしたものや、ホウ素原子、リン原子などをドープしたものが良好に用いられる。一方、有機系材料としては、公知の材料を用いることができる。例えば、金属フタロシアニン、無金属フタロシアニンなどのフタロシアニン系顔料、アズレニウム塩顔料、スクエアリック酸メチン顔料、カルバゾール骨格を有するアゾ顔料、トリフェニルアミン骨格を有するアゾ顔料、ジフェニルアミン骨格を有するアゾ顔料、ジベンゾチオフェン骨格を有するアゾ顔料、フルオレノン骨格を有するアゾ顔料、オキサジアゾール骨格を有するアゾ顔料、ビススチルベン骨格を有するアゾ顔料、ジスチリルオキサジアゾール骨格を有するアゾ顔料、ジスチリルカルバゾール骨格を有するアゾ顔料、ペリレン系顔料、アントラキノン系または多環キノン系顔料、キノンイミン系顔料、ジフェニルメタン及びトリフェニルメタン系顔料、ベンゾキノン及びナフトキノン系顔料、シアニン及びアゾメチン系顔料、インジゴイド系顔料、ビスベンズイミダゾール系顔料などが挙げられる。これらの電荷発生物質は、単独または2種以上の混合物として用いることができる。電荷発生層に必要に応じて用いられる結着樹脂としては、ポリアミド、ポリウレタン、エポキシ樹脂、ポリケトン、ポリカーボネート、ポリアリレート、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリビニルケトン、ポリスチレン、ポリ-N-ビニルカルバゾール、ポリアクリルアミドなどが挙げられる。これらの結着樹脂は、単独または2種以上の混合物として用いることができる。また、必要に応じて低分子電荷輸送物質を添加してもよい。電荷発生層に併用できる電荷輸送物質には電子輸送物質と正孔輸送物質がある。電子輸送物質としては、例えば、クロルアニル、ブロムアニル、テトラシアノエチレン、テトラシアノキノジメタン、2,4,7-トリニトロ-9-フルオレノン、2,4,5,7-テトラニトロ-9-フルオレノン、2,4,5,7-テトラニトロキサントン、2,4,8-トリニトロチオキサントン、2,6,8-トリニトロ-4H-インデノ1,2-bチオフェン-4-オン、1,3,7-トリニトロジベンゾチオフェン-5,5-ジオキサイドなどの電子受容性物質が挙げられる。これらの電子輸送物質は、単独または2種以上の混合物として用いることができる。正孔輸送物質としては、以下の電子供与性物質が挙げられ、良好に用いられる。例えば、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、トリフェニルアミン誘導体、9-p-ジエチルアミノスチリルアントラセン、1,1-ビス-4-ジベンジルアミノフェニルプロパン、スチリルアントラセン、スチリルピラゾリン、フェニルヒドラゾン類、α-フェニルスチルベン誘導体、チアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、フェナジン誘導体、アクリジン誘導体、ベンゾフラン誘導体、ベンズイミダゾール誘導体、チオフェン誘導体などが挙げられる。これらの正孔輸送物質は、単独または2種以上の混合物として用いることができる。電荷発生層は、電荷発生物質、溶媒及び結着樹脂を主成分とするが、その中には、増感剤、分散剤、界面活性剤、シリコーンオイル等のいかなる添加剤が含まれていてもよい。電荷発生層を形成する方法としては、大きく分けて真空薄膜作製法と、溶液分散系からのキャスティング法が挙げられる。前者の方法としては、真空蒸着法、グロー放電分解法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、CVD法などが用いられ、上述した無機系材料、有機系材料を用いて良好に形成することができる。また、キャスティング法によって電荷発生層を設けるには、上述した無機系もしくは有機系電荷発生物質を必要ならば結着樹脂と共にテトラヒドロフラン、シクロヘキサノン、ジオキサン、ジクロロエタン、ブタノンなどの溶媒を用いてボールミル、アトライター、サンドミルなどにより分散し、分散液を適度に希釈して塗布することにより、形成できる。塗布は、浸漬塗工法やスプレーコート法、ビードコート法などを用いて行なうことができる。以上のようにして設けられる電荷発生層の膜厚は、0.01~5μm程度が適当であり、好ましくは0.05~2μmである。一方、電荷輸送層は、電荷輸送物質と結着樹脂成分を主成分とする混合物ないし共重合体を適当な溶剤に溶解ないし分散し、これを塗布、乾燥することにより形成できる。本発明において、電荷輸送物質成分としては一般式1で表される電荷輸送物質が化学的に安定であり、電荷輸送層が一般的な膜厚より薄い場合でも安定した光減衰を示す。具体的な電荷輸送物質として式1-1~式1-5で表される電荷輸送物質が優れており、その中でも式1-1特に優れている。また、これらの電荷輸送物質に限定されるものではない。式中、R1~R4は、各々独立に水素、置換基を有してもよい炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基を表わす。また、電荷輸送物質成分としては一般式2で表される電荷輸送物質が化学的に安定であり、露光後電位も低く安定である。電荷輸送層が一般的な膜厚より薄い場合でも安定した光減衰を示す。具体的な電荷輸送物質として式2-1~式2-5で表される電荷輸送物質が優れており、その中でも式2-1が特に優れている。また、これらの電荷輸送物質に限定されるものではない。式中、R5~R9は、各々独立に水素、置換基を有してもよい炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基を表わす。本発明において、結着樹脂成分として用いることのできる高分子化合物としては、例えば、ポリスチレン、スチレン/アクリロニトリル共重合体、スチレン/ブタジエン共重合体、スチレン/無水マレイン酸共重合体、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアリレート樹脂、ポリカーボネート、酢酸セルロース樹脂、エチルセルロース樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリビニルトルエン、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、アルキド樹脂などの熱可塑性または熱硬化性樹脂が挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらの高分子化合物は単独または2種以上の混合物として、また、電荷輸送物質と共重合化して用いることができる。電荷輸送物質として用いることのできる材料は、上述の低分子型の電子輸送物質、正孔輸送物質が挙げられる。電荷輸送物質の使用量は高分子化合物100質量部に対して20~200質量部、好ましくは50~100質量部程度である。電荷輸送層塗工液を調製する際に使用できる分散溶媒としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、ジオキサン、テトラヒドロフラン、エチルセロソルブなどのエーテル類、トルエン、キシレンなどの芳香族類、クロロベンゼン、ジクロロメタンなどのハロゲン類、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類等を挙げることができる。本発明における電荷輸送層の膜厚は10μm~30μmの範囲に設定することが望ましく、更に望ましくは15μm~25μmの範囲である。電荷輸送層の膜厚は10μm未満では帯電性が不足する場合があり、30μmを超えるとホール輸送過程での電荷の拡散が増加するので解像度が低下する。15μm~25μmの範囲は帯電性と解像度のバランスが優れる範囲となるためより好ましい。次に、本発明の電子写真装置について説明する。図1は本発明における電子写真感光体の一構成例を示す概略断面図であり、感光体は導電性支持体1、下引き層2及び感光層3によって形成されている。図2は本発明における電子写真感光体の他の構成例を示す概略断面図であり、感光体は、導電性支持体1、下引き層2、感光層3とからなり、感光層3は電荷発生層3aと電荷輸送層3bとから構成されている。図3は本発明における電子写真装置の一例を示す概略構成図である。図3に示すように、本発明の電子写真装置は、前記電子写真感光体感光体101、帯電手段帯電装置102、露光手段画像露光系103、現像手段現像装置104、転写手段転写装置105を具備して構成されている。本構成例では、感光体101へ潤滑剤202を供給する潤滑剤供給手段201を備えている。上記電子写真装置を用いて画像形成を行う場合、先ず帯電装置ここではロール形状の接触帯電装置102により±400~1400Vの電圧が感光体101に印加されて感光体が帯電する。帯電により感光体101に電荷が付与荷電された後、画像露光系103により潜像形成が行われる。原稿像がCCD電荷結合素子で読み取られ、読み取られた原稿像は400~780nmのLDやLEDのデジタル信号に変換されて、感光体上に結像される。電子写真装置の小型化と前記電荷輸送物質との相性から発光波長が780nmのLEDを書き込み光源を用いることが好ましい。結像によって感光層では電荷分離が行われ、感光体101に潜像が形成される。原稿に応じた潜像形成が行われた感光体101は、現像装置104により現像剤で現像されて、原稿像が顕像化トナー像化される。次に、感光体101上のトナー像は、転写装置105により給紙されるコピー用紙109に転写された後、定着装置108に送られてハードコピー化される。一方、転写後の感光体101は、クリーニング装置106クリーニングブラシ106b及び弾性ゴムクリーニングブレード106aで構成により、残留したトナー像が清掃され清浄化される。クリーニング後の感光体にはトナー像を形成された後の潜像原稿像が多少なりとも保持されているため、消去し均一化するために除電装置一般に赤色光が使用される107で除電され、次の潜像形成の準備を終え一連の複写プロセスが終了する。本発明の電子写真感光体を電子写真装置に搭載して用いれば、繰り返し使用に対しても帯電立ち上がり遅れや残留電位の上昇が少なく、また形成される画像上に黒ポチなどの異常画像の発生が少ない。また、繰り返し使用においても電子写真感光体の劣化が少ないため、長期間に亘って安定した高品質の画像が得られる。また、上記に示すような電子写真装置は、複写装置、ファクシミリ、プリンター内に固定して組み込まれていてもよいが、プロセスカートリッジの形でそれら装置内に組み込まれてもよい。プロセスカートリッジとは、電子写真感光体感光体を内蔵し、他に帯電手段、露光手段、現像手段、クリーニング手段および転写手段から選ばれる少なくとも一つの手段を含んで一体に支持され、電子写真装置本体に着脱自在とされた1つの装置部品である。プロセスカートリッジとすることによって、電子写真装置をコンパクトに構成することができるほか、簡単でかつ着実なメンテナンス作業が可能となり、さらに部品の交換を容易とすることが可能であり、長期間残留電位の上昇や画像上に黒ポチの発生がなく品質の高い優れた画像が得られる。以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。以下、部は全て質量部を表す。[実施例1]以下の手順でアルミニウム支持体上に中間層、電荷発生層、電荷輸送層を順次形成して実施例1の電子写真感光体感光体を作製した。中間層用塗工液無機顔料として、比表面積が85m2/g、酸化チタン含有率が83である水酸化アルミニウム表面処理酸化チタン18.7重量部、結着樹脂として共重合ポリアミドアミランCM8000東レ製6.1部、分散溶媒としてメタノール70mlとプロパノール30ml、分散メディアとして0.6φ:ジルコニアボールPTZ50mlを200mlのマヨネーズ瓶に入れ、ペイントシェーカーで15時間分散処理を行った。分散後に容器にメタノール35mlとプロパノール15mlを加えて1時間ほど攪拌させて、分散メディアをろ過して中間層用塗工液を作成した。中間層の形成この中間層用塗工液を、φ30mm、厚さ0.8mmおよびφ24mm、厚さ0.8mmのアルミニウム支持体に浸漬塗工法によって塗布し、135°Cで20分間乾燥して、厚み2μmの中間層を形成した。得られた中間層の無機顔料体積比率は無機顔料体積Vf=187/4.2=4.452樹脂体積Vr=6.1/1.12=5.446無機顔料体積比率=4.452/4.4525.446=45である。この時の中間層の体積抵抗率は1.2×1012Ωcmであった。電荷発生剤の生成電荷発生剤として使用するチタニルフタロシアニンの製法を示す。1,3-ジイミノイソインドリン29.2gとスルホラン200mlを混合し、窒素気流下でチタニウムテトラブトキシド20.4gを滴下する。滴下終了後、徐々に180°Cまで昇温し、反応温度を170°C~180°Cの間に保ちながら5時間撹拌して反応を行なった。反応終了後、放冷した後析出物を濾過し、クロロホルムで粉体が青色になるまで洗浄し、つぎにメタノールで数回洗浄し、さらに80°Cの熱水で数回洗浄した後乾燥し、粗チタニルフタロシアニンを得た。粗チタニルフタロシアニンを20倍量の濃硫酸に溶解し、100倍量の氷水に撹拌しながら滴下し、析出した結晶をろ過、ついで洗浄液が中性になるまで水洗いを繰り返し、チタニルフタロシアニン顔料のウェットケーキを得た。得られたこのウェットケーキ2gをテトラヒドロフラン20gに投入し、4時間攪拌を行なった。これにメタノール100gを追加して、1時間攪拌を行なった後、濾過を行ない、乾燥して、本発明のチタニルフタロシアニン粉末を得た。得られたチタニルフタロシアニン粉末を、下記の条件によりX線回折スペクトル測定したところ、Cu-Kα線波長1.542Åに対するブラッグ角2θが27.2±0.2°に最大ピークと最低角7.3±0.2°にピークを有し、かつ7.4~9.4°の範囲にピークを有さず、かつ26.3°にピークを有さないチタニルフタロシアニン粉末を得られた。電荷発生層の形成得られたチタニルフタロシアニン顔料15gとポリビニルブチラールエスレックBX-1:積水化学社製8g、メチルエチルケトン500gをビーズミリング分散により顔料の平均粒径が0.2μmになるように調製し電荷発生層用塗工液を浸漬塗布した。電荷輸送層の形成ポリカーボネートユーピロンZ200:三菱ガス化学社製10重量部下記式1の電荷輸送物質8部テトラヒドロフラン80部を溶解させた。続いて、電荷輸送層塗工液を前記電荷発生層上に塗布し、125°Cで20分間乾燥して膜厚23μmの電荷輸送層を形成し、電子写真感光体を作製した。[実施例2]実施例1記載の中間層用無機顔料重量を9.80g無機顔料体積比率:30に変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は5.0×1012Ωcmであった。[実施例3]実施例1において、中間層用無機顔料重量を22.9g無機顔料体積比率:50に変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は6.0×1011Ωcmであった。[実施例4]実施例1において、中間層用無機顔料を、比表面積が70m2/g、酸化チタン含有率が80である水酸化アルミニウム表面処理酸化チタンに変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は6.0×1011Ωcmであった。[実施例5]実施例1において、中間層用無機顔料を、比表面積が140m2/g、酸化チタン含有率が75質量である、水酸化アルミニウム表面処理酸化チタンに変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は8.0×1012Ωcmであった。[実施例6]実施例1において、中間層用無機顔料を比表面積が80m2/g、酸化チタン含有率が70質量である水酸化アルミニウム表面処理酸化チタンに変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は、9.0×1012Ωcmであった。[実施例7]実施例1において、中間層用無機顔料を比表面積が75m2/g、酸化チタン含有率が90質量である、水酸化アルミニウム表面処理酸化チタンに変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は、5.0×1011Ωcmであった。[実施例8]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式1-2の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例9]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式1-3の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例10]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式1-4の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例11]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式1-5の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例12]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式2-1の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例13]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式2-2の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例14]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式2-3の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例15]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式2-4の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例16]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式2-5の電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例17]実施例1において、23μmの電荷輸送層の膜厚を25μmとした以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例18]実施例1において、23μmの電荷輸送層の膜厚を15μmとした以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例19]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて式Aで表される電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例20]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて下記式Bで表される電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[実施例21]実施例1において、式1-1の電荷輸送物質に変えて下記式Cで表される電荷輸送物質を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。[比較例1]実施例1において、中間層用無機顔料重量を7.62g無機顔料体積比率:25に変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は1.2×1013Ωcmであった。[比較例2]実施例1において、中間層用無機顔料重量を28.0g無機顔料体積比率:55に変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は3.0×1011Ωcmであった。[比較例3]実施例2において、中間層用無機顔料の比表面積を85m2/g、酸化チタン処理なし含有率を98質量変えた以外は実施例2と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は7.0×1010Ωcmであった。[比較例4]実施例3において、中間層用無機顔料の比表面積を85m2/g、酸化チタン処理なし含有率を98質量に変えた以外は実施例3と同様にして電子写真感光体を製作した。この時の中間層の体積抵抗率は3.0×1010Ωcmであった。[比較例5]実施例1において、中間層用無機顔料を、比表面積が45m2/g、酸化チタン含有率が93質量である水酸化アルミニウム表面処理酸化チタンに変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は2.0×1011Ωcmであった。[比較例6]実施例2において、中間層用無機顔料を、比表面積が45m2g、酸化チタン含有率が93質量水酸化アルミニウム表面処理酸化チタンに変えた以外は実施例2と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は3.0×1011Ωcmであった。[比較例7]実施例1において、中間層用無機顔料を、比表面積が80m2g、酸化チタン含有率が90質量であるオクチルシラン表面処理酸化チタンに変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は6.0×1010Ωcmであった。[比較例8]実施例1において、中間層用無機顔料を、比表面積が90m2/g、酸化チタン含有率が80質量である、水酸化アルミニウム処理、シリカ処理、シリコーン処理をこの順に施した酸化チタンに変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は3.0×1013Ωcmであった。[比較例9]実施例1において、中間層用無機顔料の比表面積を160m2/g、酸化チタン含有率が88質量、水酸化アルミニウム表面処理酸化チタンに変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。このときの中間層の体積抵抗率は、5.0×1011Ωcmであった。[比較例10]実施例1において、中間層用樹脂をメチルメトキシ化6ポリアミド:FR-101鉛市製に変えた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。この時の体積抵抗率は8.0×1010Ωcmであった。[比較例11]実施例1において、中間層塗工液作成時に、同一材料比率にてクレアミクスCLS-1.5Sエムテクニクス社製にて1時間分散処理した以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を製作した。この時の体積抵抗率は3.0×1010Ωcmであった。実施例1~21、比較例1~11で得た電子写真感光体の中間層で用いた無機顔料の比表面積、酸化チタン含有率及び中間層における無機顔料の体積比率、中間層の体積抵抗率を表1に示す。[評価方法]初期及び疲労試験後の静電特性の評価電子写真感光体評価装置山梨電子工業社製を用い、実施例、比較例で作製された電子写真感光体を温度23°C、湿度50の環境下N/Nで、スコロトロン方式で感光体への放電電流25μAを流した時の感光体の表面電位V0を計測する。その後、表面電位が-700Vになるように放電電流を調節し、波長780nmの半導体レーザーで照射した、表面電位が1/2-350Vに減衰した時の露光エネルギー量:半減露光エネルギー量E12を計測した。また、1.0μJ/cm2の露光エネルギーを照射した時の感光体表面電位を残留電位VLとし、初期と1000サイクル疲労後に測定した。疲労試験後の電位偏差として初期電位V0-疲労試験後V0=ΔV0とし、同様にVLについても初期電位VL-疲労試験後VL=ΔVLの電位変化を算出した。黒点、チリの評価図3に示されるような電子写真装置株式会社リコー製imagioMPC2200に搭載し、A4サイズPPC用紙を縦方向送りで30万枚通紙試験を実施した。画像評価は白ベタ画像を出力した際の黒点、チリ数を目視にて計測した。<評価指標>○:ドラム周期に発生する黒点なし×:ドラム周期に発生する黒点がある解像度評価黒点、チリの評価と同様に図3に示されるような電子写真装置を用いて、1mm範囲に細線が1本から8本まで描かれた画像パターンを用いて評価した。<評価指標>◎:細線形成本数が6本以上○:細線形成本数が5本×:細線形成本数が4本以下画像モアレ評価図3に示されるような電子写真装置株式会社リコー製IPSIOSPC220は一成分現像方式であり、書き込み光源のLDを波長780nmのLEDに置き換えたものを用いた。ハーフ濃度パターンを印字しドラム周期で発生する干渉模様を評価した。<評価指標>○:ドラム周期で発生する干渉模様なし×:ドラム周期で発生する干渉模様あり膜厚変化評価渦電流式接触膜厚計フィッシャースコープMMS株式会社フィッシャーインストルメンツ製を用いてドラム中心位置、ドラム円周6点の膜厚を計測し、膜厚変化を測定した。液安定性評価試験管に、中間層塗工液を10ml入れ、暗所で放置を1ヶ月行い、試験管の下に沈降した顔料の幅沈降幅Lmlを計測した。<評価指標>○:L≦0.1ml分散性良好△:0.1ml<L≦0.5ml×:0.5ml<L分散性不十分評価結果を表2に示す。表2から分かる様に、本発明範囲の感光体は、全般的に初期電気特性、疲労後の電位変化、30万枚印字後の黒点チリ、モアレ特性、液安定性が優れていることがわかる。さらに実施例18記載の感光体においては初期膜厚15μmであるが30万枚印字後の膜厚約8μmにおいても、黒点、チリの発生をことより、本発明の感光体および電子写真プロセスを用いることで長期に安定な画像を提供できることがわかる。一方、比較例1の感光体は本発明範囲外の無機顔料体積比率であるために、疲労試験後の電気特性変化で偏差が大きく耐久性の点で不十分である。また比較例2の感光体は本発明範囲外の無機顔料体積比率で、体積抵抗率も低い為に塗工液の安定性、画像評価で黒点、チリが発生するなど十分な特性が得られない比較例3、4は無機顔料中の酸化チタンの含有率、体積抵抗率が本発明範囲外である為に疲労試験による帯電低下、画像評価による黒点、チリ、が発生し十分な品質が得られない。比較例5、6は本発明範囲外の無機顔料中の酸化チタン含有率、比表面積、体積抵抗率であるために黒点、チリが発生し、比較例5においては、モアレの発生があり十分な品質が得られない比較例7は本発明範囲外の体積抵抗率である為に黒点、チリが発生し、十分な品質が得られない比較例8は本発明範囲外の体積抵抗率であるために、疲労試験後の電位変化が大きく、耐久性の点で十分では無い。比較例9は本発明範囲外の比表面積である為に、モアレの発生、液安定性が悪い為に安定した生産ができない。比較例10は本発明範囲外の体積抵抗率であるために、画像評価で黒点、チリが発生し十分な品質が得られない。比較例11は本発明範囲外の体積抵抗率である為に画像評価で黒点、ちりが発生し、液安定性が悪くなる。以上記述したように、本発明を用いることで高い画像品質、感光対の耐久性、液安定性を獲得することができる。"