"基板上に形成したチップ含む液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記基板へダイシング加工する際にダイシングテープを貼り付ける前記基板のテープ貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられる凹状のパターンの側面を傾斜面とし、前記テープ貼り付け面と前記ダイシングテープとの界面に空間が残らないように前記ダイシングテープを貼り付けて前記チップを分離形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。前記ダイシングテープは、少なくともその基材が、前記凹状のパターンの高さより厚く形成されていることを特徴とする請求項1記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。基板へのダイシング時のダイシングテープの貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられた凹状のパターンの側面を傾斜面としたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。インクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記インクジェットヘッドとして請求項3記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とするインクカートリッジ。液滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドとして請求項3記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とするインクジェット記録装置。振動板の変形によって液体を輸送するマイクロアクチュエータにおいて、請求項3記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とするマイクロアクチュエータ。特許文献1の手法の方法、液滴吐出ヘッドを作り込んだ張り合わせ基板をダイシングにより分割する際に切り屑がノズルなどに入り込みにくい構造となるが、基板裏面のパターンとダイシングテープの間に切り屑が入り込むことがあり、この切り屑による不具合については言及されていない。特許文献2に記載の手法の場合、シリコン基板のダイシングテープ貼り付け面側に形成したパターンとダイシングテープ間の隙間に切り屑が入り込み、チップ側面部に切り屑異物が付着し後の工程で異物となり問題になる可能性がある。ダイシングテープ貼り付け面側にシリコン基板とテープ間に空間ができてしまうようなパターン形成がされていた場合、該基板とテープ間にできた隙間には洗浄水も入り込み難いため、ダイシング時のSi切り屑が空間に入り込み、その側壁に付着したものはダイシング後の洗浄では除去することができない。このため、後の搬送工程や組立工程で振動等により移動し液室内などに再付着し異物となる可能性がある。本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ダイシング時におけるダイシングテープと基板間の隙間を無くすことで、ダイシング切り屑が基板とテープ間の隙間に侵入し異物となることを最小限に抑えることで、他の部材との組立後の液滴吐出ヘッドのノズル詰まり等による歩留り低下を改善し、低コスト化を図る。本発明に係る、基板上に形成したチップ含む液滴吐出ヘッドの製造方法は、基板へダイシング加工する際にダイシングテープを貼り付ける基板のテープ貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられる凹状のパターンの側面を傾斜面として、テープ貼り付け面とダイシングテープとの界面に空間が残らないようにダイシングテープを貼り付けてチップを分離形成することを特徴としている。本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法において、ダイシングテープは、少なくともその基材が、凹状のパターンの高さより厚く形成されていることを特徴としている。本発明に係る液滴吐出ヘッドは、基板へのダイシング時のダイシングテープの貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられた凹状のパターンの側面を傾斜面としたことを特徴としている。本発明に係る、インクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジは、インクジェットヘッドとして前記液滴吐出ヘッドを有することを特徴としている。本発明に係る、液滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置は、インクジェットヘッドとして前記液滴吐出ヘッドを有することを特徴としている。本発明に係る、振動板の変形によって液体を輸送するマイクロアクチュエータは、前記液滴吐出ヘッドを有することを特徴としている。本発明によれば、基板へダイシング加工する際にダイシングテープを貼り付ける基板のテープ貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられる凹状のパターンの側面を傾斜面とし、テープ貼り付け面とダイシングテープとの界面に空間が残らないようにしたので、ダイシングテープをパターンに追従させて貼り付けることができる。このため、ダイシング時におけるダイシングテープと基板間の隙間を極めて少なくすことができ、ダイシング時の切り屑が基板とテープ間の隙間に侵入して異物となることを最小限に抑えられるので、歩留りの改善を図れる。これにより、他の部材との組立後の液滴吐出ヘッドのノズル詰まり等による歩留り低下を改善でき、低コストでヘッド生産を行える。本発明にかかるインクカートリッジによれば、インクジェットヘッドとして液滴吐出ヘッドを用いて液体タンクを一体化したので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。本発明に係るインクジェット記録装置によれば、液滴を吐出するインクジェットヘッドとして液滴吐出ヘッドを搭載したので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。本発明に係るマイクロアクチュエータによれば、マイクロマシン技術により基板上に形成された液滴吐出ヘッドを有するので、異物による不良発生や歩留り低下を改善することができるので、小型、低コストを図ることができる。以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。各実施形態において、同一機能を有する部材には、第1の実施形態で用いた符号と同一符号を付し、詳細な説明は簡略または省略する。第1の実施形態図1は、本発明の第1の実施形態における液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。本実施形態は、本発明のアクチュエータを用いた液滴吐出ヘッドであり、インク液滴を基板の面部に設けたノズル孔から吐出させるサイドシューター方式の例を示すものである。本実施形態の液滴吐出ヘッド50は、図1に示すように、インクを吐出する複数のノズル孔20を有するノズル基板2と、図示しない周知の吐出室、振動板、圧電素子を形成した液室基板1と、圧電素子保護空間を形成配置した保護基板3の3枚の基板を重ねた積層構造となっている。液室基板1はシリコン基板であり、保護基板3はシリコン又ガラス基板からなる。ノズル基板2は、金属SUS、Ni等からなるため、液室基板1と保護基板3を張り合わせた状態でチップ分割を行い、その後、別途分割されたノズル板チップと張り合わせる工法が取られる。シリコンウェハをチップに分割する手法として、一般的なダイシングを用いる。このダイシングは、周囲にダイヤモンド粉が付いたブレードを高速回転させ、当該ブレードをチップが切り出される線に沿って動かしウェハを切断する方法である。液室基板1と保護基板3の張り合わせ基板10をダイシングにより分割する際に、微細パターンが形成された液室基板1側がダイシング時の衝撃によりダメージを受けることを避けるために、図2に示すように、液室基板1のパターン形成面1A側にダイシングテープ30を貼り付け、保護基板3側からダイシングブレードを当てて切断する。このときダイシングテープ30が張られたパターン形成面1A、すなわちテープ貼付面1Aには、チップ分割後にノズル接合を行なう際に液室基板1とノズル基板2とを仮留めするための接着剤塗布用の凹状のパターン4がチップ四隅に形成されている。パターン4は、チップ分割後のノズル板接合時に仮止めを行なうためのもので、チップ周辺から接着剤等を供給できるようにダイシングライン5を跨ぐように配置されている。このパターン4を液室形成と同じリソエッチ工法で形成すると、図3aに示すように、凹状のパターン4の底面4Aの両側に位置する側面4B、4Cが垂直に近いものになり、ダイシング部分に空間40が形成されてしまう。液室基板1とダイシングテープ30の間にできた空間隙間40には洗浄水も入り込み難いため、ダイシング時の切り屑45が空間40に入り込み、異物となってその側面40A、40Bに付着する可能性がある。そこで本実施形態では、図3bに示すように、ダイシングライン5に重なるように液室基板1に設けられた凹部のパターン4の深さ方向の形状を、底部4Aの両側に位置する側面41B、41Cを傾斜面として形成し、ダイシングテープ30と液室基板1との間に空間40が形成され難いようにしている。特にダイシングテープ30の貼り付け時に、減圧下でテープ貼り付けを行なうことで、ダイシングテープ30が凹状のパターン4の形状に馴染むため、更に空間40を形成され難くすることができる。このように、液室基板1へダイシング加工する際にダイシングテープ30を貼り付ける基板のテープ貼り付け面1A側に、ダイシングライン5と重なるように設けられる凹状のパターン4の側面41B、41Cを傾斜面とし、テープ貼り付け面1Aとダイシングテープ30との界面に空間40が残らないようにしたので、ダイシングテープ30をパターン4に追従させて貼り付けることができる。このため、ダイシング時におけるダイシングテープ30と液室基板1間の空間隙間40を極めて少なくすことができ、ダイシング時の切り屑45が液室基板1とテープ間の空間隙間40に侵入して異物となることを最小限に抑えられるので、歩留りの改善を図れる。これにより、他の部材との組立後の液滴吐出ヘッド50のノズル詰まり等による歩留り低下を改善でき、低コストでヘッド生産を行える。図3aに示す液室基板1のパターン4の垂直な側面40B、40Cを、図3bに示すように傾斜した側面41B、41Cとすることで、ダイシングテープ30を接着剤塗布用のパターン4に追従させて貼り付けることができ、それにより空間40が低減して、ダイシング時に液室基板1の凹状のパターン4のダイシングテープ30が他の部分より深く切られるので、少なくとも接触層30Aを除くテープの基材30Bの厚みTがパターン4の深さT1より厚くしている。これによりダイシング時にダイシングテープ30が切断されて切断片による加工装置への悪影響を及ぼすことを防止することができる。これにより生産工程における異常を低減し安定した生産が可能となる。チップ仮止め用パターンとなる接着剤塗布用のパターン4の形成は、液室基板1の場合は他のパターン形成とは別にKOH等によるアルカリエッチで傾斜した側面41B、41Cを形成しても良いし、図4aに示すように、リソエッチ法を用いて接着剤塗布用のパターン4のみのレジストパターン11に傾斜した側面11B、11Cを形成し、図4bに示すように、それを液室基板Si基板1へ転写して傾斜面41B、41Cする方法でも良い。図4aに示すように、レジストパターン11への側面11B、11Cの形状は、例えば特許4070412号公報に記載されている、マスク透過率を部分的に調整したグラデーションマスク9を用いることで形成することができる。なお、上記に記載した膜厚等の数値や材料はこれに限ったものではない。第2の実施形態本形態は、本発明に係るインクカートリッジに関するもので、図5を参照して説明する。このインクカートリッジ200は、ノズル20等を有する第1の実施形態で説明した液滴吐出ヘッド50をインクジェットヘッド61として備え、このインクジェットヘッド61に対してインクを供給するインクタンク62を一体化したものである。このようにインクタンク一体型のインクカートリッジ200の場合、インクジェットヘッド61の低コスト化、信頼性向上は、ただちにインクカートリッジ全体の低コスト化、信頼性向上につながるので、上述したようにインクジェットヘッド61の低コスト化、高信頼性化、製造不良を低減することで、インクカートリッジ200の歩留まり、信頼性が向上し、ヘッド一体型のインクカートリッジ200の低コスト化を図ることができる。第3の実施形態本形態は、本発明に係る液滴吐出ヘッド50を記録ヘッド94として搭載したインクジェット記録装置の一例に関するものであり、図6及び図7を参照して説明する。なお、図6は同記録装置の斜視説明図、図7は同記録装置の機構部の側面説明図である。このインクジェット記録装置300は、記録装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ93、キャリッジ93に搭載した液滴吐出ヘッド50からなる記録ヘッド94、記録ヘッド94へインクを供給するインクカートリッジ95等で構成される印字機構部82等を収納している。記録装置本体81の下方部には、前方側から多数枚の記録媒体となる用紙83を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイ84を記録装置本体81に抜き差し自在に装着することができ、また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができ、給紙カセット84或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。印字機構部82は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ93にはイエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出する記録ヘッド94を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ93には記録ヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95を交換可能に装着している。インクカートリッジ95は、その上部に大気と連通する大気口、その下部に記録ヘッド94へインクを供給する供給口を、その内部にインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により記録ヘッド94へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッド94としてここでは各色に対応した4つのヘッドを備えているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個の記録ヘッドでもよい。キャリッジ93は、後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド92に摺動自在に載置している。このキャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、図6に示す主走査モータ97で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト100を張装し、このタイミングベルト100をキャリッジ93に固定しており、主走査モータ97の正逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。給紙カセット84にセットした用紙83を記録ヘッド94の下方側に搬送するために、給紙カセット84から用紙83を分離給装する給紙ローラ101及びフリクションパッド102と、用紙83を案内するガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ104と、この搬送ローラ104の周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ104からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ106とを設けている。搬送ローラ104は図6に示す副走査モータ107によってギヤ列を介して回転駆動される。記録ヘッド94の下方には、キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ104から送り出された用紙83を記録ヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材109が配設されている。この印写受け部材109よりも用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111と拍車112及び用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ113及び拍車114が配置されている。搬送コロ111と排紙ローラ113及び拍車112と拍車114の間には、排紙経路を形成するガイド部材115,116が配設されている。インクジェット記録装置300では、記録時にキャリッジ93を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド94を駆動することにより、停止している用紙83にインクを吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送後次の行の記録を行う。そして記録終了信号または、用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙83を排紙する。図6において、キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置117を配置している。回復装置117は周知のキャッピング手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ93は印字待機中にはこの回復装置117側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド94をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止されている。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド94の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、記録装置本体81の下部に設置された図示しない廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。このような構成のインクジェット記録装置300において、液滴吐出ヘッド50を記録ヘッド94として搭載しているので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。また、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。第4の実施形態本実施形態は、本発明の構成をマイクロアクチュエータの一形態であるマイクロポンプに応用したものである。このマイクロポンプの動作原理について図8を基に説明する。マイクロポンプ500は、複数の電圧素子PZT7が設けられた振動板8が複数設けられており、流路33の中を流体が流れる構造となっている。図では省略しているが振動板8は複数の絶縁膜による積層構造になっている。流路基板1の流路33に上から蓋をしている基板9を接合する際にチップ隅に設けられた接着剤塗布用の凹状のパターン4を使用して接合する。チップダイシングの際にパターン4は、その側面41B、41Cを傾斜面に形成されているので、異物が付着し難い構造であるため、流路33へダイシング由来のゴミが入り込み、歩留りが低下することを防ぐことができるので、小型で低コストなマイクロポンプ500を生産できる。このマイクロポンプ500は、振動板8を図中右側から順次駆動することによって、流路33内の流体に矢印方向へ流れが生じ、流体の輸送が可能となる。本実施形態では振動板8を複数設けた例を示したが、振動板8は一つでも良く、また輸送効率を上げるために弁などを設けても良い。上述の実施形態では、本発明の適用例として液滴吐出ヘッドとなるインクジェットヘッド61、マイクロポンプ500を例に説明したが、これ以外の光学デバイス、マイクロアクチュエータなどにも応用可能である。"