"外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、水蒸気と水とに分離する気液分離器と、前記気液分離器の気相部の蒸気を、蒸気利用設備に送る蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記蒸気取出し経路に上流側から第1圧力計と蒸気圧縮機とが設けられると共に、前記蒸気圧縮機の出力を制御する制御装置が設けられており、前記制御装置は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1が、同箇所の設定温度Tset1に近づくように求められる出力値1と、前記第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、前記蒸気圧縮機の出力を制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。前記出力値1は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1と、同箇所の設定温度Tset1とに基づいてPID制御により求められ、前記出力値2は、前記第1圧力計の測定値P1と、前記設定圧力値Pset1とに基づいてPID制御により求められる請求項1記載のヒートポンプ式蒸気生成装置。外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、水蒸気と水とに分離する気液分離器と、前記気液分離器の気相部の蒸気を、蒸気利用設備に送る蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記蒸気取出し経路に上流側から第1圧力計と蒸気圧縮機と第2圧力計とが設けられると共に、前記蒸気圧縮機の出力を制御する制御装置が設けられており、前記制御装置は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1が、同箇所の設定温度Tset1に近づくように求められる出力値1を設定値とし、第2圧力計の測定値P2が、前記出力値1に近づくように求められる出力値3と、前記第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、前記蒸気圧縮機の出力を制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。前記出力値1は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1と、同箇所の設定温度Tset1とに基づいてPID制御により求められ、前記出力値2は、前記第1圧力計の測定値P1と、前記設定圧力値Pset1とに基づいてPID制御により求められ、前記出力値3は、前記第2圧力計の測定値P2と、前記出力値1とに基づいてPID制御により求められる請求項3記載のヒートポンプ式蒸気生成装置。外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、水蒸気と水とに分離する気液分離器と、前記気液分離器の気相部の蒸気を、蒸気利用設備に送る蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記蒸気取出し経路に上流側から第1圧力計と蒸気圧縮機とが設けられると共に、前記蒸気圧縮機の出力を制御する制御装置が設けられており、前記制御装置は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定圧力P3が、同箇所の設定圧力Pset2に近づくように求められる出力値4と、前記第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、前記蒸気圧縮機の出力を制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。前記出力値4は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定圧力P3と、同箇所の設定圧力Pset2に基づいてPID制御により求められ、前記出力値2は、前記第1圧力計の測定値P1と、前記設定圧力値Pset1とに基づいてPID制御により求められる請求項5記載のヒートポンプ式蒸気生成装置。特許文献1では、ヒートポンプ式蒸気生成装置において使用されているヒートポンプ媒体の臨界温度は、およそ150°Cであるため、ヒートポンプ式蒸気生成装置では、約120~130°Cの蒸気を生成することが限界である。したがって、それ以上の温度の蒸気を生成することができないという問題点がある。特許文献2では、蒸発器で生成された蒸気の圧力が低いため、所望の温度圧力の蒸気を出力するためには、大容量の圧縮機を使用する必要があり装置が大型化すると共にコストが高くなる。また、圧縮機の動力も大きくなるため、蒸気生成効率が悪くなるという問題点がある。したがって、本発明の目的は、蒸気利用設備を所望温度に効率よく加温することが可能なヒートポンプ式蒸気生成装置を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の第1のヒートポンプ式蒸気生成装置は、外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、水蒸気と水とに分離する気液分離器と、前記気液分離器の気相部の蒸気を、蒸気利用設備に送る蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記蒸気取出し経路に上流側から第1圧力計と蒸気圧縮機とが設けられると共に、前記蒸気圧縮機の出力を制御する制御装置が設けられており、前記制御装置は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1が、同箇所の設定温度Tset1に近づくように求められる出力値1と、前記第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、前記蒸気圧縮機の出力を制御することを特徴とする。前記出力値1は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1と、同箇所の設定温度Tset1とに基づいてPID制御により求められ、前記出力値2は、前記第1圧力計の測定値P1と、前記設定圧力値Pset1とに基づいてPID制御により求められることが好ましい。また、本発明の第2のヒートポンプ式蒸気生成装置は、外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、水蒸気と水とに分離する気液分離器と、前記気液分離器の気相部の蒸気を、蒸気利用設備に送る蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記蒸気取出し経路に上流側から第1圧力計と蒸気圧縮機と第2圧力計とが設けられると共に、前記蒸気圧縮機の出力を制御する制御装置が設けられており、前記制御装置は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1が、同箇所の設定温度Tset1に近づくように求められる出力値1を設定値とし、第2圧力計の測定値P2が、前記出力値1に近づくように求められる出力値3と、前記第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、前記蒸気圧縮機の出力を制御することを特徴とする。前記出力値1は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1と、同箇所の設定温度Tset1とに基づいてPID制御により求められ、前記出力値2は、前記第1圧力計の測定値P1と、前記設定圧力値Pset1とに基づいてPID制御により求められ、前記出力値3は、前記第2圧力計の測定値P2と、前記出力値1とに基づいてPID制御により求められることが好ましい。また、本発明の第3のヒートポンプ式蒸気生成装置は、外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、水蒸気と水とに分離する気液分離器と、前記気液分離器の気相部の蒸気を、蒸気利用設備に送る蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記蒸気取出し経路に上流側から第1圧力計と蒸気圧縮機とが設けられると共に、前記蒸気圧縮機の出力を制御する制御装置が設けられており、前記制御装置は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定圧力P3が、同箇所の設定圧力Pset2に近づくように求められる出力値4と、前記第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、前記蒸気圧縮機の出力を制御することを特徴とする。前記出力値4は、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定圧力P3と、同箇所の設定圧力Pset2に基づいてPID制御により求められ、前記出力値2は、前記第1圧力計の測定値P1と、前記設定圧力値Pset1とに基づいてPID制御により求められることが好ましい。本発明の第1のヒートポンプ式蒸気生成装置によれば、制御装置によって、蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1が、同箇所の設定温度Tset1に近づくように求められる出力値1と、第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、蒸気圧縮機の出力を制御するので、排熱回収器に供給される排熱量に応じて、気液分離器の気相部の蒸気圧力が所定値以下に下がらないように抑制しつつ、蒸気利用設備における所定箇所の温度T1が設定温度Tset1に近づくように、蒸気圧縮機の出力を制御して、気液分離器内の圧力を低下させすぎることなく、高温の蒸気を効率よく蒸気利用設備に供給することができ、速やかに所望温度まで昇温できる。したがって、シンプルなシステム構成で、供給される排熱を最大限に利用しつつ、高温の蒸気を安定して出力できるヒートポンプ式蒸気生成装置を提供することができる。また、本発明の第2のヒートポンプ式蒸気生成装置によれば、制御装置によって、前記蒸気利用設備における所定箇所の測定温度T1が、同箇所の設定温度Tset1に近づくように求められる出力値1を設定値とし、第2圧力計の測定値P2が、出力値1に近づくように求められる出力値3と、第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、蒸気圧縮機の出力を制御するので、いわゆるカスケード制御によって、蒸気利用設備における所定箇所の温度をより迅速に設定温度Tset1に近づけることができる。また、本発明の第3のヒートポンプ式蒸気生成装置によれば、制御装置によって、蒸気利用設備における所定箇所の測定圧力P3が、同箇所の設定圧力Pset2に近づくように求められる出力値4と、第1圧力計の測定値P1が、気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように求められる出力値2とを比較して、低い方の出力値となるように、蒸気圧縮機の出力を制御するので、気液分離器内の圧力を低下させすぎることなく、高温の蒸気を効率よく蒸気利用設備に供給することができる。[第1の実施形態]図1に示すように、このヒートポンプ式蒸気生成装置は、排熱回収器1の出口側から伸びた配管L1が、圧縮機2、媒体凝縮器3、膨張機5の順に経由して、排熱回収器1の入り口側に接続したヒートポンプ循環経路20を備える。ヒートポンプ循環経路20では、ヒートポンプ媒体が循環流通しており、ヒートポンプ媒体を介して外部熱源から送られてくる熱媒体この実施形態では、熱媒体として排温水を使用しているの熱を回収するとともに、給水源から送られてくる供給水にヒートポンプ媒体の熱を伝熱して蒸気を生成するように構成されている。ヒートポンプ媒体としては、臨界温度が高く、地球温暖化係数が低く、オゾン破壊係数の低いものが好ましく用いられる。このような媒体としては、1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパン構造式:CHF2CH2CF3、R245fa、n-ペンタン構造式:C5H12、1,1,1,2,2,3,3-ヘプタフルオロ-3-メトキシプロパン構造式:C3F7OCH3、3M社製品名:HFE-7000等が挙げられる。これらは、いずれも臨界温度が150°C以上であり、地球温暖化係数が低く、オゾン破壊係数が低い。外部熱源から伸びた、排温水が流通する配管L2は、排熱回収器1を経由して系外に接続している。給水源から伸びた、供給水が流通する配管L3は、給水ポンプP1、媒体凝縮器3の順に経由して、気液分離器7の気相部に接続している。気液分離器7の気相部には、蒸気利用設備40に接続する蒸気取出し用の配管L4が設けられている。この配管L4には、上流から、第1圧力計31、蒸気圧縮機35の順に配置されている。蒸気圧縮機35は、第1圧力計31の測定値P1と、蒸気利用設備40に設けられた温度計33の測定値T1に基づき、制御装置50によって駆動が制御されている。また、気液分離器7の液相部には、系外の排水系へと伸びる配管L5と、媒体凝縮器3に接続する配管L6が設けられている。次に、本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置の動作について、熱の流れに沿って説明する。排温水について工場排水系等の外部熱源から送られる排温水は、配管L2を流通し、排熱回収器1を通過して排水として系外へと送られる。排熱回収器1では、排温水の熱を、配管L1を流通するヒートポンプ媒体に伝熱してヒートポンプ媒体を加温する。ヒートポンプ媒体について排熱回収器1にて、排温水との熱交換により加温されたヒートポンプ媒体は、圧縮機2に送られる。圧縮機2では、ヒートポンプ媒体を所定の圧力まで圧縮して高温高圧にする。この高温高圧になったヒートポンプ媒体は、媒体凝縮器3を通過して、配管L3を流通する供給水との熱交換に利用される。媒体凝縮器3では、高温高圧になったヒートポンプ媒体の熱を、配管L3を流通する被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する。媒体凝縮器3を通過したヒートポンプ媒体は、膨張機5に送られ、所定圧力まで減圧したのち、排熱回収器1に再び導入して、配管L2を流通する排温水の熱回収に用いられる。供給水について給水源から給水ポンプP1で供給される供給水は、供給水の質量流量Q1が、配管L4から取出される蒸気の質量流量Q2及び配管L5からの排水流量Q3との合計量Q2Q3となるように制御される。次に、供給水は、配管L6から送られてくる、気液分離器7内の温水循環水と合流して、循環水と供給水との混合水が形成され、媒体凝縮器3に送液される。媒体凝縮器3に導入された混合水は、前述したように高温高圧になったヒートポンプ媒体の熱を回収し、温水及び蒸気の気液二相流を生成して、気液分離器7に送られる。気液分離器7では、温水及び蒸気の気液二相流を蒸気と温水とに分離する。そして、気液分離器7の気相部に貯留された蒸気は、蒸気圧縮機35で所定の温度及び圧力まで圧縮し、蒸気利用設備40に供給される。また、気液分離器7の液相部に貯留された温水は、配管L6を通して配管L3内を流通する供給水と混合して循環利用される。気液分離器7の液相部に接続された配管L5からは、循環水系統の塩分の濃縮防止を目的としてブローダウンするために、定期的又は一時的に系外に排水する。制御装置50での制御について次に、制御装置50で行われる制御について、図2の制御ブロック図を用いて説明する。PID制御器61に、蒸気利用設備40の蒸気需要先に設けられた温度計33の測定値T1が入力される。PID制御器61では、測定値T1が予め設定した設定温度Tset1に近づくようにPID制御して出力値1を得て、出力値1をローレベルセレクター65に入力する。また、PID制御器62に、第1圧力計31の測定値P1が入力される。PID制御器62では、測定値P1が予め設定した気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように制御して出力値2を得て、出力値2をローレベルセレクター65に入力する。ここで、出力値2は設定圧力値Pset1において出力できる最大値を示すことになる。ローレベルセレクター65では、入力された出力値1と、出力値2とを比較して、小さい方の出力値を選択してインバータ67に入力する。インバータ67では、入力された出力値を、蒸気圧縮機35の回転数指令値に変換し、得られた回転数指令値を蒸気圧縮機35に入力して蒸気圧縮機35の駆動を制御する。蒸気圧縮機35の回転数を上げて駆動力を高めることで、蒸気利用設備40に供給する蒸気温度を高めることができる。このため、温度計33の測定値T1が予め設定した設定温度Tset1に近づくように蒸気圧縮機35の駆動を制御することで、目的温度の蒸気を蒸気利用設備40に供給することができる。しかしながら、蒸気圧縮機35の駆動力を高めるに伴い、蒸気圧縮機35の入り口圧力、すなわち、気液分離器7の気相部の圧力が低下する傾向にある。気液分離器7の気相部の圧力が低下すると、蒸気の取出しが困難になったり、液相部の水面が安定しなくなったり、気液分離器7から媒体凝縮器3に循環水を供給する際に、送液ポンプがキャビテーションを起こす等の問題が生じる。この実施形態によれば、温度計33の測定値T1が予め設定した設定温度Tset1に近づくようにPID制御して出力値1を得ると共に、第1圧力計31の測定値P1が予め設定した設定圧力値Pset1に近づくようにPID制御して出力値2を得て、出力値1及び出力値2のいずれか小さい方の値に基づき、蒸気圧縮機35の駆動を制御しているので、気液分離器7の気相部の圧力低下を生じさせることなく、高温の蒸気を蒸気利用設備40に供給して、蒸気利用設備40を速やかに所望温度まで加温できる。[第2の実施形態]次に、図3を用いて、本発明を適用するヒートポンプ式蒸気生成装置の第2の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態のヒートポンプ式蒸気生成装置と同一箇所は同一符号を付して、その説明を省略する。この実施形態では、気取出し用の配管L4に、上流側から順に、第1圧力計31、蒸気圧縮機35、第2圧力計32が配置されている。そして、蒸気圧縮機35が、第1圧力計31の測定値P1と、第2圧力計32の測定値P2と、蒸気利用設備40に設けられた温度計33の測定値T1に基づき、制御装置51によって駆動が制御されるように構成されている。制御装置51で行われる制御について、図4の制御ブロック図を用いて説明する。PID制御器61に、蒸気利用設備40の蒸気需要先に設けられた温度計33の測定値T1が入力される。PID制御器61では、測定値T1が予め設定した設定温度Tset1に近づくようにPID制御して出力値1を得て、出力値1をPID制御器63に入力する。そして、PID制御器63では、PID制御器61から出力された出力値1を設定値とし、第2圧力計32の測定値P2が、出力値1に近づくようにPID制御して出力値3を得て、出力値3をローレベルセレクター66に入力する。また、PID制御器62に、第1圧力計31の測定値P1が入力される。PID制御器62では、測定値P1が予め設定した気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように制御して出力値2を得て、出力値2をローレベルセレクター65に入力する。ここで、出力値2は設定圧力値Pset1において出力できる最大値を示すことになる。ローレベルセレクター66では、入力された出力値2と、出力値3とを比較して、小さい方の出力値を選択してインバータ67に入力する。インバータ67では、入力された出力値を、蒸気圧縮機35の回転数指令値に変換し、得られた回転数指令値を蒸気圧縮機35に入力して蒸気圧縮機35の駆動を制御する。この実施形態によれば、温度計33の測定値T1が予め設定した設定温度Tset1に近づくようにPID制御して出力値1を得て、この出力値1を設定値として、第2圧力計32の測定値P2が、出力値1に近づくようにPID制御して出力値3を得ている。この出力値3は、カスケード制御方式によって得られた出力値であるので、出力値3をローレベルセレクターで選択し、出力値3に基づき蒸気圧縮機35の駆動を制御した場合、速やかに目的温度の蒸気を蒸気利用設備40に供給することができる。蒸気利用設備40の熱容量が大きく、応答が悪い場合に特に有効である。また、この実施形態においても、出力値3と、第1圧力計31の測定値P1が予め設定した設定圧力値Pset1に近づくようにPID制御して得た出力値2のいずれか小さい方の値に基づき、蒸気圧縮機35の駆動を制御しているので、気液分離器7の気相部の圧力低下を生じさせることなく、高温の蒸気を蒸気利用設備40に供給して、蒸気利用設備40を速やかに所望温度まで加温できる。第2の実施形態の構成によれば、第2の実施形態の構成に比べて、加熱対象物の温度上昇のオーバーシュートを抑制できる利点がある。[第3の実施形態]図5を用いて、本発明を適用するヒートポンプ式蒸気生成装置の第3の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態のヒートポンプ式蒸気生成装置と同一箇所は同一符号を付して、その説明を省略する。この実施形態では、蒸気利用設備が、ボイラー45から供給される蒸気と、気液分離器7から取出されるヒートポンプからの蒸気とを集合及び分配させる配管を備えた蒸気共通ヘッダ41であり、蒸気共通ヘッダ41内に、内部の雰囲気圧力を計測する第3圧力計34が配置されている。そして、蒸気圧縮機35が、第1圧力計31の測定値P1と、蒸気共通ヘッダ41に設けられた第3圧力計34の測定値P3に基づき、制御装置52によって駆動が制御されるように構成されている。制御装置52で行われる制御について、図6の制御ブロック図を用いて説明する。PID制御器64に、蒸気共通ヘッダ41に設けられた第3圧力計34の測定値P3が入力される。PID制御器64では、測定値P3が予め設定した蒸気共通ヘッダ41の設定圧力Pset2に近づくようにPID制御して出力値4を得て、出力値4をローレベルセレクター65に入力する。また、PID制御器62に、第1圧力計31の測定値P1が入力される。PID制御器62では、測定値P1が予め設定した気液分離器の設定圧力値Pset1に近づくように制御して出力値2を得て、出力値2をローレベルセレクター65に入力する。ここで、出力値2は設定圧力値Pset1において出力できる最大値を示すことになる。ローレベルセレクター65では、入力された出力値4と、出力値2とを比較して、小さい方の出力値を選択してインバータ67に入力する。インバータ67では、入力された出力値を、蒸気圧縮機35の回転数指令値に変換し、得られた回転数指令値を蒸気圧縮機35に入力して蒸気圧縮機35の駆動を制御する。この実施形態によれば、第3圧力計34の測定値P3が、予め設定した蒸気共通ヘッダ41の設定圧力Pset2に近づくようにPID制御して出力値4を得ると共に、第1圧力計31の測定値P1が予め設定した設定圧力値Pset1に近づくようにPID制御して出力値2を得て、出力値4及び出力値2のいずれか小さい方の値に基づき、蒸気圧縮機35の駆動を制御しているので、気液分離器7の気相部の圧力低下を生じさせることなく、高温の蒸気を蒸気共通ヘッダ41に安定供給できる。実施例1図1に示すヒートポンプ式蒸気生成装置を使い、第1圧力計31の圧力が0.10MPaG120°C飽和蒸気になるようにヒートポンプ循環経路20の圧縮機2、膨張機5を運転した。第1圧力計31の設定圧力値Pset1は、0.04MPaG110°C飽和蒸気に設定した。この状態で、PID制御器62の出力は100であった。蒸気利用設備40加熱対象物を入れ、温度計33にて温度を測定した。温度計33の測定値T1は30°Cであった。設定温度Tset1を130°Cとした場合、この状態でPID制御器61の出力は100であった。加熱対象物の乾燥を開始するために蒸気圧縮機35を起動した。設定温度Tset1を130°Cとし、蒸気圧縮機35をインバータ67のスロースタート機能を使って起動し、すぐに100運転となったが、第1圧力計31の測定圧力P1が0.04MPaGになるとPID制御器62の出力が低下して40運転となった。5時間経過後、温度計33の測定値T1は128°Cとなり、PID制御器61の出力値1が低下し20となり、蒸気圧縮機35は20運転となった。第1圧力計31の測定値P1は0.04MPaGから上昇を始め、0.10MPaGとなり安定した。蒸気圧縮機35は、運転回転数がしだいに低下し、温度計33の測定値T1が132°Cとなると、PID制御器61の出力値1は0となり蒸気圧縮機35は停止した。実施例2図3に示すヒートポンプ式蒸気生成装置を使い、第1圧力計31の圧力が0.10MPaG120°C飽和蒸気になるようにヒートポンプ循環経路20の圧縮機2、膨張機5を運転した。第1圧力計31の設定圧力値Pset1は、0.04MPaG110°C飽和蒸気に設定した。この状態で、PID制御器62の出力は100であった。蒸気利用設備40加熱対象物を入れ、温度計33にて温度を測定した。温度計33の測定値T1は30°Cであった。また、圧力計32にて、蒸気利用設備40内に供給される雰囲気の圧力を測定した。蒸気圧縮機35の起動前の圧力計32の測定値P2は0MPaGであった。設定温度Tset1を130°Cとした場合、この状態でPID制御器61の出力は100であった。PID制御器63の設定値は、PID制御器61の出力値1の0-100に対し、0~0.26MPaG140°C飽和蒸気に割り付けた。加熱対象物の乾燥を開始するために蒸気圧縮機35を起動した。設定温度Tset1を130°Cとし、蒸気圧縮機35をインバータ67のスロースタート機能を使って起動し、すぐに38運転となった。この時、圧力計32の測定値P2は0.26MPaGであり、PID制御器63の出力値3は38であった。また、第1圧力計31の測定圧力P1は0.06MPaGであり、PID制御器62の出力値2は100であった。5時間経過後、温度計33の測定値T1は128°Cとなり、PID制御器61の出力値1が73に低下し、PID制御器63の出力値3が20となり蒸気圧縮機35は20運転となった。第1圧力計31の測定値P1は0.06MPaGから上昇を始め、0.10MPaGとなり安定した。温度計33の測定値T1が130°Cとなると、PID制御器63の出力値3は0となり蒸気圧縮機35は停止した。実施例3図5に示すヒートポンプ式蒸気生成装置を使い、第1圧力計31の圧力が0.10MPaG120°C飽和蒸気になるようにヒートポンプ循環経路20の圧縮機2、膨張機5を運転した。第1圧力計31の設定圧力値Pset1は、0.04MPaG110°C飽和蒸気に設定した。この状態で、PID制御器62の出力は100であった。共通蒸気ヘッダー41は、ボイラーからの蒸気とヒートポンプからの蒸気を集合分配させる配管を備えており、圧力計34の測定値P3は0.37MPaG150°C飽和蒸気であり、設定圧力値Pset2は0.40MPaGとした。この状態でPID制御器64の出力は100であった。蒸気圧縮機35をインバータ67のスロースタート機能を使って起動し、すぐに100運転となったが、第1圧力計31の測定圧力P1が0.04MPaGになるとPID制御器62の出力が低下し、蒸気圧縮機35は30で連続運転となった。"