"パターン孔が形成されたメッシュマスクの上面にスキージユニットを当接させてスキージング方向に摺動させるスキージング動作を行うことにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記基板を下受けして保持する基板下受部と、前記スキージユニットを昇降させるとともに前記スキージング方向に移動させるスキージ移動機構とを備え、前記スキージユニットは、前記ペーストを貯留する本体部の下面側から下窄まり状態で相対向した1対の摺接部材を対向方向をスキージング方向に合わせて下方に延出させて構成され、前記本体部に貯留された前記ペーストを加圧しながら前記メッシュマスクの上面に前記摺接部材を当接させてスキージング方向に摺動することにより、前記ペーストを前記摺接部材の間に設けられた印刷開口を介して前記前記パターン孔内に充填する密閉型スキージ機構であり、前記スキージング動作において、前記印刷開口を介しての前記パターン孔へのペーストの充填に先立って、前記1対の摺接部材のうちスキージング方向の前方側に位置する第1の摺接部材がスキージング方向へ移動することにより、前記メッシュマスクの上面において前記密閉型スキージ機構の外部に供給されたペーストを前記パターン孔内に充填することを特徴とするスクリーン印刷装置。パターン孔が形成されたメッシュマスクの上面にスキージユニットを当接させてスキージング方向に摺動させるスキージング動作を行うことにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記スキージユニットは、前記ペーストを貯留する本体部の下面側から下窄まり状態で相対向した1対の摺接部材を対向方向をスキージング方向に合わせて下方に延出させて構成され、前記本体部に貯留された前記ペーストを加圧しながら前記メッシュマスクの上面に前記摺接部材を当接させてスキージング方向に摺動することにより、前記ペーストを前記摺接部材の間に設けられた印刷開口を介して前記前記パターン孔内に充填する密閉型スキージ機構であり、基板下受部に下受け保持された前記基板を前記メッシュマスクに対して位置決めする基板位置決め工程と、前記メッシュマスクの上面において前記密閉型スキージ機構の外部にペーストを供給するペースト供給工程と、前記スキージユニットを前記メッシュマスクの上面で摺動させるスキージング工程とを含み、前記スキージング工程において、前記印刷開口を介しての前記パターン孔へのペーストの充填に先立って、前記1対の摺接部材のうちスキージング方向の前方側に位置する第1の摺接部材がスキージング方向へ移動することにより、前記密閉型スキージ機構の外部に供給されたペーストを前記パターン孔内に充填することを特徴とするスクリーン印刷方法。しかしながら上述の密閉型スキージ機構は一般に良好な充填性を備えているものの、メッシュのパターンが微細なメッシュマスクを対象とする場合などさらに印刷難度が高いものを対象とするには、必ずしも必要十分な充填性を確保することができない場合が生じている。そこで本発明は、印刷難度が高いメッシュマスクを対象として、良好な充填性を確保することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が形成されたメッシュマスクの上面にスキージユニットを当接させてスキージング方向に摺動させるスキージング動作を行うことにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記基板を下受けして保持する基板下受部と、前記スキージユニットを昇降させるとともに前記スキージング方向に移動させるスキージ移動機構とを備え、前記スキージユニットは、前記ペーストを貯留する本体部の下面側から下窄まり状態で相対向した1対の摺接部材を対向方向をスキージング方向に合わせて下方に延出させて構成され、前記本体部に貯留された前記ペーストを加圧しながら前記メッシュマスクの上面に前記摺接部材を当接させてスキージング方向に摺動することにより、前記ペーストを前記摺接部材の間に設けられた印刷開口を介して前記前記パターン孔内に充填する密閉型スキージ機構であり、前記スキージング動作において、前記印刷開口を介しての前記パターン孔へのペーストの充填に先立って、前記1対の摺接部材のうちスキージング方向の前方側に位置する第1の摺接部材がスキージング方向へ移動することにより、前記メッシュマスクの上面において前記密閉型スキージ機構の外部に供給されたペーストを前記パターン孔内に充填する。本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が形成されたメッシュマスクの上面にスキージユニットを当接させてスキージング方向に摺動させるスキージング動作を行うことにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記スキージユニットは、前記ペーストを貯留する本体部の下面側から下窄まり状態で相対向した1対の摺接部材を対向方向をスキージング方向に合わせて下方に延出させて構成され、前記本体部に貯留された前記ペーストを加圧しながら前記メッシュマスクの上面に前記摺接部材を当接させてスキージング方向に摺動することにより、前記ペーストを前記摺接部材の間に設けられた印刷開口を介して前記前記パターン孔内に充填する密閉型スキージ機構であり、基板下受部に下受け保持された前記基板を前記メッシュマスクに対して位置決めする基板位置決め工程と、前記メッシュマスクの上面において前記密閉型スキージ機構の外部にペーストを供給するペースト供給工程と、前記スキージユニットを前記メッシュマスクの上面で摺動させるスキージング工程とを含み、前記スキージング工程において、前記印刷開口を介しての前記パターン孔へのペーストの充填に先立って、前記1対の摺接部材のうちスキージング方向の前方側に位置する第1の摺接部材がスキージング方向へ移動することにより、前記密閉型スキージ機構の外部に供給されたペーストを前記パターン孔内に充填する。本発明によれば、内部で加圧されたペーストを1対の摺接部材の間の印刷開口から充填する構成の密閉型スキージ機構を備えたスキージユニットによるスキージング動作において、印刷開口を介してのパターン孔へのペーストの充填に先立って、1対の摺接部材のうちスキージング方向の前方側に位置する第1の摺接部材がスキージング方向へ移動してメッシュマスクの上面において密閉型スキージ機構の外部に供給されたペーストをパターン孔内に充填することにより、印刷難度が高いメッシュマスクを対象として、良好な充填性を確保することができる。次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照してスクリーン印刷装置1の構造を説明する。このスクリーン印刷装置1は、パターン孔が形成されたメッシュマスクの上面にスキージユニットを当接させてスキージング方向に摺動させるスキージング動作を行うことにより、パターン孔を介して基板に半田接合用や回路形成用のペーストを印刷する機能を有するものである。図1、図2において、スクリーン印刷装置1の基板位置決め部2の上方には、スクリーン印刷部10が配設されている。基板位置決め部2は、Y軸テーブル3およびX軸テーブル4よりなる移動テーブル上にθ軸テーブル5を段積みし、その上に第1Z軸テーブル6A、第2Z軸テーブル6Bを配設し、さらに第2Z軸テーブル6B上に基板下受部7を配設して構成されている。第1Z軸テーブル6Aはθ軸テーブル5の上面に固定されており、第1Z軸テーブル6Aを駆動することにより固定ベース6aに対して昇降ベース6bが昇降する。また第2Z軸テーブル6Bを駆動することにより、昇降ベース6bに対して下受けベース7aとともに基板下受部7が昇降する。基板下受部7は基板搬送機構図示省略によって上流側装置からX方向に搬入された印刷対象の基板8を下受けして保持する。昇降ベース6bには、1対のクランプ部材9がブラケット6cを介して保持されている。クランプ部材9は開閉駆動機構図示省略によってY方向に開閉し、閉状態において基板下受部7に下受けされた基板8を両側から挟み込んでクランプ固定する。基板位置決め部2の上方に配設されたスクリーン印刷部10は、スクリーンマスクとして金属の細線を織り合わせたメッシュ部12bを有するメッシュマスク12をホルダ11に装着して構成されており、メッシュマスク12には印刷対象の基板8の印刷部位に対応したパターン孔12a図3参照が開孔されている。スクリーン印刷部10の上方には、メッシュマスク12上でスキージング動作を行うスキージユニットおよびペースト膜形成機構29が、スキージ移動機構20によって一体的に移動自在に配設されている。ここではスキージユニットとして密閉型スキージ機構13が用いられている。密閉型スキージ機構13は、結合部材15によって保持された印刷部14を備えており、印刷部14の内部に貯留されたペーストPをシリンダ16によって加圧してパターン孔12a図3に充填する構成となっている。ペースト膜形成機構29はメッシュマスク12の上面に覆うペーストPの塗膜を形成する機能を有しており、密閉型スキージ機構13のスキージング方向における前方ここではY方向右側に、密閉型スキージ機構13と同期してスキージング方向に移動可能であって且つメッシュマスク12に対して昇降する成膜部材29bを有する構成となっている。メッシュマスク12の上面にペーストPを供給し、成膜部材29bをメッシュマスク12の上面に対して所定の隙間を保った状態でペースト膜形成機構29を水平移動させることにより、メッシュマスク12の上面には所定厚みのペースト膜Pが形成される図6参照。次に図3を参照して、スキージ移動機構20、密閉型スキージ機構13およびペースト膜形成機構29の構成を説明する。スキージ移動機構20は、移動プレート22をY方向に移動させるY軸移動機構21および移動プレート22の上面に設けられたスキージ昇降機構23A,23Bおよびペースト膜形成機構29を昇降させる膜形成昇降機構24を備えている。スキージ昇降機構23A,23B、膜形成昇降機構24はそれぞれ昇降アクチュエータを備えている。スキージ昇降機構23A,23Bおよび膜形成昇降機構24からは、それぞれ下方に昇降軸23a、昇降軸24aが延出しており、昇降軸23a、昇降軸24aはガイド軸23b、ガイド軸24bによってガイドされて昇降する。昇降軸23aの下端部には、昇降ブロック23cおよび結合部材15を介して密閉型スキージ機構13が結合されており、昇降軸24aの下端部には、ホルダ29aに保持されたスキージ形状の成膜部材29bが結合されている。スキージ昇降機構23A,23Bを駆動することにより、密閉型スキージ機構13はメッシュマスク12に対して昇降する。したがって、スキージ昇降機構23A,23BおよびY軸移動機構21は、密閉型スキージ機構13を昇降させるとともにスキージング方向に移動させるスキージ移動機構となっている。また膜形成昇降機構24を駆動することにより、成膜部材29bはメッシュマスク12に対して昇降する。ペースト膜形成機構29の機能を説明する。メッシュマスク12の上面にペーストPを供給した状態で、成膜部材29bをメッシュマスク12の上面に対して所定の成膜隙間を保つ位置まで接近させ、ペースト膜形成機構29を水平方向へ移動させることにより、メッシュマスク12の上面にはペーストPが成膜部材29bによって延展された所定厚みのペースト膜P図7参照が形成される。このペースト膜Pは、スキージング動作においてペーストPが充填されたパターン孔12aの上面側をペースト膜Pによって覆うことによってパターン孔12a内のペーストPの乾燥の進行を防止する作用を有している。これにより、パターン孔12a内におけるペーストPによる目詰まりを防止することができる。ここで、本実施の形態において用いられるメッシュマスク12について説明する。図3の拡大図に示すように、メッシュマスク12は金属の細線を織り合わせたメッシュ部12bにおいて、パターン孔12a以外の範囲を封止樹脂12cによって封止して構成されている。このようなメッシュマスクは、回路形成用印刷など印刷パターンが連続した線状のパターン孔によって構成されて通常の金属板を用いたメタルマスクではスクリーンマスクを形成することができないような用途に用いられる。メッシュマスクを用いたスクリーン印刷においては、パターン孔12a内にもメッシュ部12bが存在することから、パターン孔12a内にペーストPを完全に押し込むことが難しいという充填性の問題がある。またメタルマスクと比較して面内方向の伸縮性が大きくかつ曲げ剛性が小さいという強度特性を有していることから、密閉型スキージ機構13をスキージング方向に移動させるスキージング動作においてメッシュマスク12全体を基板8の上面に密着させずに、密閉型スキージ機構13によって押し付けられる部位のみを基板8に当接させるオフコンタクト印刷に適している。Y軸移動機構21の構成を説明する。移動プレート22の下面にはナット部材26が結合されており、ナット部材26に螺合した送りねじ27は、モータ28によって回転駆動される。モータ28を駆動することにより、移動プレート22は水平移動し、したがってスキージ昇降機構23A,23Bに結合された密閉型スキージ機構13、膜形成昇降機構24に結合されたペースト膜形成機構29もそれぞれ水平移動する。密閉型スキージ機構13を下降させた状態で、モータ28を駆動することにより、密閉型スキージ機構13はメッシュマスク12上で水平移動する。すなわち、モータ28、送りねじ27およびナット部材26は、密閉型スキージ機構13をメッシュマスク12上で水平移動させるY軸移動機構21を構成する。密閉型スキージ機構13の下部には、メッシュマスク12の表面に当接してペーストPをパターン孔12aに充填する印刷部14が設けられている。印刷部14を構成する本体部30は、メッシュマスク12の幅方向に細長形状のブロック状部材であり、本体部30の長さ寸法は印刷対象の基板8の幅寸法をカバーするように設定される。本体部30には、ペーストPが貯溜されたカートリッジ31が着脱自在に装着される凹部30aが形成されている。カートリッジ31には予め所定量のペーストPが貯溜されており、印刷時に本体部30に装着される。カートリッジ31の上面の開口には、内部のペーストPを加圧する加圧板32が嵌入している。加圧板32は上方に配置されたシリンダ16のロッド16aと結合されており、シリンダ16を駆動することにより、加圧板32はカートリッジ31内で上下動する。シリンダ16を所定の圧力で駆動することにより、カートリッジ31内のペーストPを加圧板32によって所定の圧力で押し下げる。カートリッジ31の底面はペーストPの押出し板31aとなっており、押出し板31aには多数の開口31bが設けられている。押出し板31aの下方には、本体部30の底部に装着された絞り板33が配置されており、絞り板33にはカートリッジ31の押出し板31aと同様に多数の開口33aが設けられている。ペーストPを貯留する本体部30の下面側からは、内側斜め方向に下窄まり状態で相対向した1対の摺接部材34A、34Bが、対向方向をスキージング方向に合わせて下方に延出して設けられている。2枚の摺接部材34A、34Bと本体部30の下面とによって囲まれた空間はペーストPを収容する印刷空間35を構成し、2枚の摺接部材34A、34Bの間は、加圧されたペーストPをメッシュマスク12のパターン孔12aに充填して印刷する印刷開口35aを形成する。シリンダ16で下方に押圧することにより、カートリッジ31内のペーストPは加圧され、押出し板31aの開口31bおよび絞り板33の開口33aを通過して絞られながら下方に押し出される。このようにペーストPが絞られることにより、ペーストPの粘度が低下しスクリーン印刷に適した性状に改質される。そして押し出されたペーストPは、相対向した1対の摺接部材34A、34Bと本体部30の下面とによって囲まれた印刷空間35に到達する。摺接部材34A、34Bは可撓性を有する板状部材であって、印刷空間35のスキージング方向の前後壁を形成し、密閉型スキージ機構13を下降させた状態では、摺接部材34A、34Bの下端部がメッシュマスク12の上面に当接する。印刷動作時には、本体部30内のカートリッジ31に貯留されたペーストPを加圧しながらメッシュマスク12の上面に摺接部材34A、34Bを当接させてスキージング方向に摺動することにより、ペーストPを摺接部材34A、34Bの間に形成された印刷開口35aを介してパターン孔12a内に充填する。そして密閉型スキージ機構13を移動させることにより各パターン孔12a内に順次ペーストPが充填される。全てのパターン孔12a内にペーストPが充填されたならば、第1Z軸テーブル6Aを駆動して基板下受部7によって保持された基板8を下降させる。これにより、基板8へのペーストPのスクリーン印刷が完了する。このスクリーン印刷において、メッシュマスク12として充填性に難があるメッシュマスクを用いる場合にあっても、ペーストPを加圧してパターン孔12a内に押し込むことにより、良好な充填性を確保することができる。このスクリーン印刷装置は上記のように構成されており、次にこのスクリーン印刷装置によって実行されるスクリーン印刷方法について、図4,図5,図6、図7を参照して説明する。ここでは図において左側から右側に向かう方向がスキージング方向として規定されている。すなわち左右1対のクランプ部材9をそれぞれクランプ部材9A、9Bと記載して区別し、クランプ部材9Aからクランプ部材9Bに向かう方向がスキージング方向となる。まず印刷対象の基板8を基板位置決め部2に搬入して、第2Z軸テーブル6Bを駆動して基板下受部7によって下受けして保持し、クランプ部材9A、クランプ部材9Bによって両側からクランプする。次いで基板下受部7に下受け保持された基板8を、メッシュマスク12に対して位置決めする基板位置決め工程。すなわち第1Z軸テーブル6Aを上昇させて、図4aに示すように、メッシュマスク12の下面から所定のギャップGだけ隔てた高さ位置に基板8を保持するとともに、基板位置決め部2によってメッシュマスク12に対して基板8の水平方向の位置を合わせる。次にメッシュマスク12の上面において、密閉型スキージ機構13の外部にペーストPを供給するペースト供給工程。すなわち、図4bに示すように、スキージングの起点であるクランプ部材9A側において、密閉型スキージ機構13の前方にペーストPを供給する。そしてこの後、密閉型スキージ機構13をメッシュマスク12の上面で摺動させるスキージング工程が開始される。すなわち、スキージ昇降機構23A、23Bを駆動して、図4cに示すように、密閉型スキージ機構13を下降させ矢印a、摺接部材34A、摺接部材34B図3をメッシュマスク12の上面に押し付けてメッシュマスク12の下面をスキージング起点であるクランプ部材9Aに当接させる。このとき、メッシュマスク12上に供給されたペーストPは、密閉型スキージ機構13のスキージング方向側の摺接部材34Bの前方に位置している。そして図4dに示すように、Y軸移動機構21を駆動して密閉型スキージ機構13を往路方向矢印b方向に移動させて、摺接部材34A、摺接部材34Bをメッシュマスク12の上面で摺動させる。このとき、シリンダ16によって加圧板32を押し下げ矢印c、密閉型スキージ機構13内のペーストPを加圧することにより、ペーストPがメッシュマスク12のパターン孔12a内に充填される。このスキージング動作におけるペーストPの充填動作について、図6を参照して説明する。図6aは摺接部材34A、摺接部材34Bをメッシュマスク12に摺接させた印刷部14が矢印g方向に進行する過程におけるパターン孔12aへのペーストPの充填状態を示している。このスキージング工程においては、印刷部14の摺接部材34A、摺接部材34Bの間の印刷開口35aを介してのパターン孔12aへのペーストPの充填に先立って、1対の摺接部材34A、摺接部材34Bのうちスキージング方向の前方側に位置する摺接部材34B第1の摺接部材がスキージング方向へ移動することにより、密閉型スキージ機構13の外部に供給されたペーストPをパターン孔12a内に充填する。すなわち、図6bに示すように、密閉型スキージ機構13の移動に伴って摺接部材34Bは密閉型スキージ機構13の外部に供給されたペーストPをメッシュマスク12の上面に沿って進行方向矢印h方向に掻き寄せる。そしてこの摺接部材34Bの移動によりペーストPにはローリング方向矢印i方向の流動が生じ、この結果メッシュマスク12上のペーストPはパターン孔12a内に押し込まれる。このとき、パターン孔12a内にはメッシュ部12bが存在してペーストPの流動を阻害するため、この時点ではパターン孔12a内にペーストPが完全に充填された状態には至らない。次いで、密閉型スキージ機構13がさらにスキージング方向に移動することにより、摺接部材34Aと摺接部材34Bとの間の印刷開口35aの下方にパターン孔12aが位置する。この状態では、印刷空間35内のペーストPが加圧板32によって加圧された圧力矢印jによってパターン孔12a内に押し込まれる。これにより、摺接部材34Bによるスキージングでは充填不足の状態であったパターン孔12a内にさらにペーストPが押し込まれ、パターン孔12a内にメッシュ部12bが存在するメッシュマスク12を対象とする場合にあっても、良好な充填状態を実現することが可能となっている。図5aは、このようにして全てのパターン孔12aを対象としたスキージング動作を完了した状態を示しており、この状態では密閉型スキージ機構13はクランプ部材9B上に位置している。そして密閉型スキージ機構13のスキージング方向の前方には、スキージング動作に先立って供給されたペーストPが残留した状態で存在している。この後、密閉型スキージ機構13をスキージング方向と逆方向、すなわちクランプ部材9Bからクランプ部材9Aへ向かって移動させる復路動作が実行される。この復路動作では、密閉型スキージ機構13をスキージング起点の位置に戻すとともに、往路動作においてペーストPの充填が行われたパターン孔12aを覆うペースト膜Pを形成するための成膜動作を行う。すなわち、膜形成昇降機構24を駆動して、図5bに示すように、密閉型スキージ機構13を上昇させて矢印dメッシュマスク12から離隔させるとともに、ペースト膜形成機構29の成膜部材29bをメッシュマスク12の上面に対して接近させる矢印e。そしてこの状態で、密閉型スキージ機構13をペースト膜形成機構29とともに一体的にスキージング方向と逆方向、すなわちクランプ部材9Bからクランプ部材9Aに向かう方向矢印fへ移動させる。これにより、密閉型スキージ機構13の外部に供給されたペーストPは成膜部材29bによって延展され、メッシュマスク12の上面には所定厚みのペースト膜Pが形成される。このスキージング動作における成膜動作について、図7を参照して説明する。図7aにおいて、メッシュマスク12上にはペーストPが供給されており、成膜部材29bはメッシュマスク12から離隔した位置にある。成膜動作に移ると、まず成膜部材29bが下降し、成膜部材29bの下端部とメッシュマスク12の上面との間に規定のペースト膜厚みtに相当する成膜隙間が保たれる位置に成膜部材29bの高さを保持する。そしてこの状態で、ペースト膜形成機構29をスキージング方向と逆方向矢印k方向へ移動させる。これにより、メッシュマスク12上のペーストPは成膜部材29bによって延展され、図6cに示すように、メッシュマスク12の上面には所定厚みtのペースト膜Pが形成される。このペースト膜Pはメッシュマスク12のパターン孔12aの上面を覆うことから、パターン孔12a内のペーストPが直接大気に曝露されて乾燥固化することに起因するパターン孔12aの目詰まりを有効に防止することができる。上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷においては、内部で加圧されたペーストを1対の摺接部材34A、摺接部材34Bの間の印刷開口35aから充填する構成の密閉型スキージ機構13によるスキージング動作において、印刷開口35aを介してのパターン孔12aへのペーストPの充填に先立って、1対の摺接部材34A、摺接部材34Bのうちスキージング方向の前方側に位置する摺接部材34B第1の摺接部材がスキージング方向へ移動することにより、メッシュマスク12の上面において密閉型スキージ機構13の外部に供給されたペーストPをパターン孔12a内に充填するようにしたものである。これにより、印刷開口35aを介してのペーストPの充填と相俟ってさらに充填性を向上させることができ、印刷難度が高いメッシュマスク12を対象として、良好な充填性を確保することができる。なお本実施の形態においては、メッシュマスク12を対象としてオフコンタクト印刷によって印刷を行う例を示したが、メッシュマスク12の全面を基板8に当接させてスキージングを行うオンコンタクト印刷を行う場合にあっても本発明を適用することができる。また印刷実行工程にて密閉型スキージ機構13をスキージング方向へ移動させてパターン孔12aへペーストを充填する往路動作の後に、密閉型スキージ機構13をスキージング方向と逆方向へ移動させる復路動作において、ペースト膜形成機構29のホルダ29aをメッシュマスク12の上面に対して接近させた状態でスキージング方向と逆方向へ移動させて、メッシュマスク12の上面に密閉型スキージ機構13の外部に供給されたペーストPを成膜部材29bによって延展して所定厚みのペースト膜Pを形成するようにしている。これにより、パターン孔12aをペースト膜Pで覆うことができ、パターン孔12a内のペーストPの乾燥に起因する印刷不良を防止することができる。"