設備の周波数生成ユニットが既定の周波数値に基づき生成する周波数信号を校正するために用いられる周波数校正方法であって、前記方法が、基準信号を提供する工程と、前記基準信号に基づき同じ周波数を有し、相互間が固定位相によって隔てられた複数の位相シフト信号を生成する工程と、前記周波数信号の第1トリガ状態において始まり、前記周波数信号の別の第1トリガ状態において終止するクロックマスクを設定する工程と、前記クロックマスクの開始時間点から前記基準信号に第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内において、前記位相シフト信号に第2トリガ状態が発生した回数Nd1をカウントする工程と、前記クロックマスクの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき、前記基準信号が発生したサイクル数Nbをカウントする工程と、前記クロックマスクの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき、前記周波数信号が発生したサイクル数Niをカウントする工程と、前記クロックマスクの終了時間点から前記基準信号に第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内において、前記位相シフト信号に第2トリガ状態が発生した回数Nd2をカウントする工程と、Fi={Ni/[NbNd/M]}×Fbの式により前記周波数信号の周波数値Fiを取得する工程と、周波数修正ユニットが前記既定の周波数値と前記周波数信号の周波数値Fi間の差値に基づいて、前記周波数生成ユニットの出力を調整し、前記周波数生成ユニットが生成する前記周波数信号の周波数値を前記既定の周波数値と合致させる工程を含み、そのうち、Fbが前記基準信号の周波数であり、Fb>Fi、Nd=Nd1-Nd2、Mが前記位相シフト信号の数であり、M≧2であることを特徴とする、周波数校正方法。前記第1トリガ状態が、立ち上がりエッジトリガ状態及び立ち下がりエッジトリガ状態のうちのいずれかであり、前記第2トリガ状態が、立ち上がりエッジトリガ状態及び立ち下がりエッジトリガ状態のうちのいずれかであることを特徴とする、請求項1に記載の周波数校正方法。前記クロックマスクが含む前記周波数信号の発生するサイクル数Ni値がNi≧2であることを特徴とする、請求項1に記載の周波数校正方法。生成される前記位相シフト信号の個数が4つまたは8つであることを特徴とする、請求項1に記載の周波数校正方法。前記基準信号の周波数Fbを既定値で置き換える工程を含むことを特徴とする、請求項1に記載の周波数校正方法。前記固定位相の値が360/M-1であることを特徴とする、請求項1に記載の周波数校正方法。設備の周波数生成ユニットが既定の周波数値に基づき生成する周波数信号を校正するために用いられる周波数校正システムであって、前記システムが、前記周波数生成ユニットに接続され、前記周波数信号を受信するために用いられる周波数信号入力端と、前記周波数信号入力端に接続され、前記周波数信号を受信し、且つ周波数がFbである基準信号を生成し、前記基準信号に基づいて同じ周波数を有し、相互間が固定位相によって隔てられたM個の位相シフト信号を生成するために用いられ、且つ前記周波数信号の第1トリガ状態において開始し、前記周波数信号の別の第1トリガ状態において終了するクロックマスクを生成するために用いられ、且つ前記クロックマスクの開始時間点から前記基準信号に第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内において、前記位相シフト信号に第2トリガ状態が発生した回数Nd1をカウントするために用いられ、且つ前記クロックマスクの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき、前記基準信号に前記第1トリガ状態が発生した回数Nbをカウントするために用いられ、且つ前記クロックマスクの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき、前記周波数信号に第1トリガ状態が発生した回数Niをカウントするために用いられ、且つ前記クロックマスクの終了時間点から前記基準信号に第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内において、前記位相シフト信号に第2トリガ状態が発生した回数Nd2をカウントするために用いられ、且つ前記数値Fb、M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を出力するために用いられるカウンタと、前記カウンタに接続され、前記数値を受信し、Fi={Ni/[Nb]}×Fbの式に基づいて演算を行い、前記周波数信号の周波数値Fiを取得するために用いられる演算装置と、前記演算装置及び前記周波数生成ユニットに接続され、前記既定の周波数値と前記周波数信号の周波数値Fi間の差値に基づき、前記周波数生成ユニットの出力を調整し、前記周波数生成ユニットが生成する前記周波数信号の実際の周波数値と前記既定の周波数値を合致させる周波数修正ユニットを含み、そのうちFb>Fi、Nd=Nd1-Nd2、M≧2であることを特徴とする、周波数校正システム。前記カウンタが、ベースバンド信号の生成に用いられるベースバンド生成モジュールと、前記ベースバンド生成モジュールに接続され、前記ベースバンド信号を逓倍して前記基準信号にする周波数逓倍ユニットと、前記周波数信号入力端に接続され、前記周波数信号を受信し、前記周波数逓倍ユニットに接続され、前記基準信号を受信して、前記数値M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を生成し、かつ前記数値Fb、M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を出力するために用いられるプログラマブルゲートアレイと、を含むことを特徴とする、請求項7に記載の周波数校正システム。前記演算装置が、前記数値Fbを既定値で置き換えるために用いられることを特徴とする、請求項8に記載の周波数校正システム。前記演算装置が、コントロールユニット及びコンピュータ装置のうちのいずれかであることを特徴とする、請求項7に記載の周波数校正システム。前記第1トリガ状態が、立ち上がりエッジトリガ状態及び立ち下がりエッジトリガ状態のうちのいずれかであり、前記第2トリガ状態が、立ち上がりエッジトリガ状態及び立ち下がりエッジトリガ状態のうちのいずれかであることを特徴とする、請求項7に記載の周波数校正システム。本発明の目的は、周波数測定の速度と正確性を高めることにある。本発明の別の目的は、全自動プログラム制御の周波数校正方法及びそのシステムを提供することにある。本発明の別の目的は、電子設備そのものに自己校正機能を具備させることにある。上述の目的及びその他目的を達するため、本発明の周波数校正方法は、設備の周波数生成ユニットが既定の周波数値に基づき生成する周波数信号を校正するために用いられ、この方法が、基準信号を提供する工程と、前記基準信号に基づき、同じ周波数を有し、且つ相互間が固定位相によって隔てられた複数の位相シフト信号を生成する工程と、前記周波数信号の第1トリガ状態において開始し、前記周波数信号の別の第1トリガ状態において終了するクロックマスクを設定する工程と、前記クロックマスクの開始時間点から前記基準信号に第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内において、前記位相シフト信号に第2トリガ状態が発生した回数Nd1をカウントする工程と、前記クロックマスクの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき、前記基準信号が発生したサイクル数Nbをカウントする工程と、前記クロックマスクの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき、前記周波数信号が発生したサイクル数Niをカウントする工程と、前記クロックマスクの終了時間点から前記基準信号に第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内において、前記位相シフト信号に第2トリガ状態が発生した回数Nd2をカウントする工程と、Fi={Ni/[Nb]}×Fbの式により前記周波数信号の周波数値Fiを取得する工程と、周波数修正ユニットが前記既定の周波数値と前記周波数信号の周波数値Fi間の差値に基づき、前記周波数生成ユニットの出力を調整し、前記周波数生成ユニットが生成する前記周波数信号の実際の周波数値と前記既定の周波数値を合致させる工程を含み、そのうちFbが前記基準信号の周波数であり、Fb>Fi、Nd=Nd1-Nd2、Mが前記位相シフト信号の個数であり、M≧2である。上述の目的及びその他目的を達するため、本発明はさらに設備の周波数生成ユニットが既定の周波数値に基づいて生成する周波数信号を校正するために用いられる周波数校正システムを提供し、このシステムが、前記周波数生成ユニットに接続され、前記周波数信号を受信するために用いられる周波数信号入力端と、前記周波数信号入力端に接続され、前記周波数信号を受信し、且つ周波数がFbである基準信号を生成し、前記基準信号に基づいて同じ周波数を有し、且つ相互間が固定位相によって隔てられたM個の位相シフト信号を生成するために用いられ、且つ前記周波数信号の第1トリガ状態において開始し、前記周波数信号の別の第1トリガ状態において終了するクロックマスクを生成するために用いられ、且つ前記クロックマスクの開始時間点から前記基準信号に第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内において、前記位相シフト信号に第2トリガ状態が発生した回数Nd1をカウントするために用いられ、且つ前記クロックマスクの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき、前記基準信号に前記第1トリガ状態が発生した回数Nbをカウントするために用いられ、且つ前記クロックマスクの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき、前記周波数信号に第1トリガ状態が発生した回数Niをカウントするために用いられ、且つ前記クロックマスクの終了時間点から前記基準信号に第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内において、前記位相シフト信号に第2トリガ状態が発生した回数Nd2をカウントするために用いられ、且つ前記数値Fb、M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を出力するために用いられるカウンタと、前記カウンタに接続され、前記数値を受信し、Fi={Ni/[Nb]}×Fbの式に基づいて演算を行い、前記周波数信号の周波数値Fiを取得するために用いられる演算装置と、前記演算装置及び前記周波数生成ユニットに接続され、前記既定の周波数値と前記周波数信号の周波数値Fi間の差値に基づき、前記周波数生成ユニットの出力を調整し、前記周波数生成ユニットが生成する前記周波数信号の実際の周波数値と前記既定の周波数値を合致させる周波数修正ユニットを含み、そのうちFb>Fi、Nd=Nd1-Nd2、M≧2であることを特徴とする。一実施例において、前記カウンタは、ベースバンド信号を生成するために用いるベースバンド生成モジュールと、前記ベースバンド生成モジュールに接続され、前記ベースバンド信号を逓倍して前記基準信号にする周波数逓倍ユニットと、前記周波数信号入力端に接続され、前記周波数信号を受信し、前記周波数逓倍ユニットに接続され、前記基準信号を受信して、前記数値M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を生成し、かつ前記数値Fb、M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を出力するために用いられるプログラマブルゲートアレイを含む。一実施例において、前記演算装置はコントロールユニット及びコンピュータ装置のうちのいずれかである。一実施例において、前記第1トリガ状態は立ち上がりエッジトリガ状態と立ち下がりエッジトリガ状態のうちのいずれかである。一実施例において、前記第2トリガ状態は立ち上がりエッジトリガ状態と立ち下がりエッジトリガ状態のうちのいずれかである。一実施例において、前記クロックマスクが含む前記周波数信号の発生するサイクル数Ni値はNi≧2である。一実施例において、生成される前記位相シフト信号の個数は4つまたは8つである。一実施例において、前記基準信号の周波数Fbは直接既定値で置き換えることができる。これにより、本発明の周波数校正方法及びそのシステムは、迅速且つ正確な多位相処理方式で測定エラーを排除し、且つ位相シフト信号の生成数に伴い測定の精度を数倍高め、且つ同期したトリガに基づいて全自動プログラム制御の目的を達することができ、さらに回路占用面積を小さくする効果も達せられ、さらに従来の周波数カウンタを使用する必要なく、比較的小さい回路面積で周波数校正の目的を達することができる。本発明の目的、特徴及び効果についての理解を深めるため、下記の具体的な実施例に基づき、添付の図面を組み合わせ、本発明について以下で詳細に説明する。本発明周波数校正方法の具体的な実施例において述べる各工程は別途明記されている場合を除き、その他の工程は相互に入れ替えることができ、排列された説明順序に基づいて工程実行の前後順序を定めるものではない。このほか、本発明の周波数校正システムの具体的な実施例における接続という語は、直接接続に限定されず、中間にほかのユニットが接続されていてもよい。さらに、ここでいう第1トリガ状態、第2トリガ状態とは、立ち上がりエッジトリガ状態及び立ち下がりエッジトリガ状態のうちのいずれかを含み、第1トリガ状態、第2トリガ状態の間は相互に排他的ではなく、即ち、第1トリガ状態と第2トリガ状態は同時に立ち上がりエッジトリガ状態である、または同時に立ち下がりエッジトリガ状態であってもよい。図1に本発明の一実施例における周波数校正方法の運用タイミング図を示す。この実施例では8つの位相シフト信号を例として示しているが、当業者であれば分かるように、2つ以上の位相シフト信号があれば測定エラーを排除して正確性を高めることが可能である。本発明の実施例における周波数校正方法は、設備の周波数生成ユニットが既定の周波数値に基づいて生成する周波数信号を校正するために用いられ、周波数信号の測定は2つの段階の測定を含むことができ、以下の工程を含む。図1に示すように、入力する周波数信号Fiを除き、測定動作の開始前または同期してまず基準信号Fbを提供し、前記基準信号に基づいて同じ周波数のマルチレベル位相シフト信号Fb-p1~Fb-p8を生成し、各レベルの位相シフト信号Fb-p1~Fb-p8間が固定の位相で隔てられる。前記基準信号Fbは、周波数信号の周波数を求めるための基礎とする周波数として用いられる。位相シフト信号は前記基準信号Fbから生成され、通常はプログラマブルゲートアレイ中のデジタルクロックマネージャモジュールを利用して位相シフト信号の生成を完了することができる。本実施例について見ると、8つの位相シフト信号Fb-p1~Fb-p8を有するため、2組のデジタルクロックマネージャを利用して達成することができ、そのうち1組のデジタルクロックマネージャが基準信号Fbを4つの位相シフト信号に分解する。しかしながら、当業者であれば分かるように、1組のデジタルクロックマネージャのみを使用しても、使用者はそのうちの4つの位相シフト分解の動作を選択的にシャットダウンすることができ、即ち、1組のデジタルクロックマネージャのみを使用する状況下でも基準信号Fbを2つまたは3つの位相シフト信号に分解することができる。このため、使用者は必要に基づきデジタルクロックマネージャの運用を組み合わせて必要な位相シフト信号数を選択することができる。位相シフト信号間の間隔はデジタルクロックマネージャが360度の位相を各位相シフト信号に等分し、例えば位相シフト信号の数がM個の場合、間隔位相は360/となる。続いてクロックマスクmkを設定する。クロックマスクmkは周波数信号Fiの第1トリガ状態において開始し、周波数信号Fiの別の第1トリガ状態において終了する。本実施例における第1トリガ状態は、立ち上がりエッジトリガ状態を例とし、即ち、クロックマスクmkが周波数信号Fiに同期し、周波数信号Fiのある立ち上がりエッジトリガ状態下で同期的にトリガされてもよい。クロックマスクmkはハイレベル状態が維持され、既定のサイクル数の周波数信号Fiを経てから停止し、すなわち、クロックマスクmkは周波数信号Fiの別の第1トリガ状態で停止する。図1の実施例では、クロックマスクmkが周波数信号Fiの第7の第1トリガ状態において終止しており、この場合6つの周波数信号Fiのサイクル数が経過し、周波数信号Fiのサイクル数Ni=6を得ることができ、即ち、Ni=-1である。そのうち、周波数信号Fiのサイクル数Niは少なくとも1とし、2以上を最良とする。クロックマスクmkが初期化されると、測定動作が展開される。図1を参照する。基準信号Fbは周波数信号Fiと同期されているとは限らないため、測定される基準信号Fbのサイクル数Nbのうち、経過した時間は実際上クロックマスクmkの範囲と合致せず、これがフロントエンドエラー及びバックエンドエラーを引き起こす。これは基準信号Fbと周波数信号Fiが異なり、かつカウントの方式が通常直接立ち上がりエッジトリガ状態または立ち下がりエッジトリガ状態の回数を取ってカウントされるためである。このため、基準信号Fbが発生するサイクル数Nbは前記クロックマスクmkの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき測定して得られる。周波数信号Fiが発生するサイクル数Niは前記クロックマスクmkの時間区間内において、前記第1トリガ状態に基づき測定して得られる。前述の第1トリガ状態に基づくとは、基準信号Fbのサイクル数のカウント基礎がフロントエンドエラー時間区間の終点の状態と一致しており、すなわち、図1に示す例でいうと、基準信号Fbのサイクル数のカウント開始点は立ち上がりエッジトリガ箇所からカウントが開始され、立ち下がりエッジトリガ箇所から基準信号Fbのサイクル数のカウントが開始されるのではない。逆に、フロントエンドエラーの時間区間が、クロックマスクmkの開始時間点から基準信号Fbに立ち下がりエッジトリガ状態が発生するまでの時間区間に変わったとき、フロントエンドエラー時間区間の終点の状態は立ち下がりエッジトリガ状態になり、基準信号Fbのサイクル数のカウント開始点は立ち下がりエッジトリガ箇所からカウントの基礎とするように変える必要がある。このため、本発明の実施例においては、前記位相シフト信号を利用して前述のフロントエンドエラー及びバックエンドエラーを排除する。以下では信号のタイミング経過に基づいてフロントエンドエラー及びバックエンドエラーを説明する。フロントエンドエラーにおいては、クロックマスクmkの開始時間点から基準信号Fbに第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内で、前記位相シフト信号Fb-p1~Fb-p8に第2トリガ状態立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジトリガ状態が発生する回数Nd1をカウントする。バックエンドエラーにおいては、クロックマスクmkの終了時間点から基準信号Fbに第1トリガ状態が発生するまでの時間区間内で、前記位相シフト信号Fb-p1~Fb-p8に第2トリガ状態立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジトリガ状態が発生する回数Nd2をカウントする。前述の前記位相シフト信号Fb-p1~Fb-p8に第2トリガ状態が発生するとは、フロントエンドエラーに立ち上がりエッジトリガ状態を前記第2トリガ状態とすることを選択したとき、バックエンドエラーに立ち上がりエッジトリガ状態を前記第2トリガ状態とすることを選択し、反対に、フロントエンドエラーに立ち下がりエッジトリガ状態を前記第2トリガ状態とすることを選択したとき、バックエンドエラーに立ち下がりエッジトリガ状態を前記第2トリガ状態とすることを選択することを指す。図1の例でいうと、立ち上がりエッジトリガ状態を前記第2トリガ状態と選択しているため、図1中のNd1は3であり、Nd2は5である。後続の計算において、Nd1の回数をNd2の回数から減じ、実際にクロックマスクmkの範囲内で校正する必要があるサイクル数を取得し、フロントエンド及びバックエンドのエラーを排除する。上述の各数値を取得した後、周波数信号Fiの周波数の計算を行うことができ、次の式に基づいて取得される。Fi={Ni/[NbNd/M]}×Fb1そのうち、Ndは校正値であり、Nd=、Mは前記位相シフト信号の個数であり、M≧2、即ち生成する前記位相シフト信号の個数は少なくとも2個とする。続いて本発明の実施例の方法が正確度のレベルを高めることについて説明する。周波数信号Fiの周波数は基本的に次の式で決定される。Ni/Fi=Nb/Fb2式2は次のように書き換えることもできる。Fi≒Ni/Nb×Fb3式3を満たす条件は基準信号Fbの周波数が周波数信号Fiの周波数より大きいことである。しかしながら、前述から分かるように、フロントエンド及びバックエンドのエラー校正を行わない場合、式で取得される周波数信号Fiの周波数が不正確になる。正確な計算法は、フロントエンドエラーを補ってバックエンドエラーを消去する必要があり、すなわち、この二段階の周波数測定を経てクロックマスクmkの範囲に完全に合致させることができる。このため、校正値Ndの演算結果から最後にいくつの数値を補うまたは消去するかを得ることができる。さらに、式からは位相シフト信号の数が多いほど、向上できる正確度の倍数が高くなることも分かる。つまり、本発明の実施例における方法はフロントエンドエラー及びバックエンドエラーの校正を行わない方法と比べ少なくとも8倍正確度を高める。図2に本発明の一実施例における周波数校正方法の運用フロー図を示す。同時に図1のタイミングに基づいた運用フローを参照しながら説明する。まずS101周波数信号Fi、基準信号Fb、複数の位相シフト信号Fb-p1~Fb-p8を提供する。S102続いて周波数信号Fiに同期してクロックマスクmkを作動させる。次にS103フロントエンドエラーカウント値Nd1を取得する。続いてS104クロックマスクmkを閉じて周波数信号Fi及び基準信号Fbのサイクル数カウント値NiとNbを取得する。さらにS105バックエンドエラーカウント値Nd2を取得する。続いてS106式1の結果演算を行い、Fi値を取得する。最後にS107周波数修正ユニットが既定の周波数値と前記周波数信号の周波数値Fi間の差値に基づき、前記周波数生成ユニットの出力を調整し、前記周波数生成ユニットが生成する前記周波数信号の実際の周波数値と前記既定の周波数値を合致させ、例えば、同じまたは差が一定の範囲内となるように調整する。続いて図3に本発明の一実施例における周波数校正システムのブロック図を示す。前記周波数校正システム100は、周波数信号入力端110、カウンタ120、演算装置130、周波数修正ユニット140を含み、設備中の周波数生成ユニット200が既定の周波数値に基づいて生成する周波数信号を校正するために用いられる。周波数信号入力端110は前記周波数生成ユニット200に接続され、前記周波数信号Fiを受信するために用いられる。カウンタ120は前記周波数信号入力端110に接続され、前記周波数信号Fiを受信し、且つカウンタ120は前述の基準信号Fb、相互間が固定相位で隔てられたM個の位相シフト信号、クロックマスクmk、前記位相シフト信号にフロントエンドエラー区間内で第2トリガ状態が発生する回数Nd1、前記クロックマスクmk内で前記基準信号Fbに第1トリガ状態が発生する回数Nb、前記クロックマスクmk内で前記周波数信号Fiに第1トリガ状態が発生する回数Ni、前記位相シフト信号にバックエンドエラー区間内で第2トリガ状態が発生する回数Nd2を生成し、且つ前記数値Fb、M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を出力するために用いられる。一実施例において、前記カウンタ120は、ベースバンド生成モジュール121、周波数逓倍ユニット123、プログラマブルゲートアレイ125を含むことができる。ベースバンド生成モジュール121はベースバンド信号の生成に用いられる。通常はコストを抑えるため水晶発振子を利用して比較的低いベースバンドを生成し、前記ベースバンド生成モジュール121に接続された周波数逓倍ユニット123によりベースバンドを上げ、前記基準信号Fbとする。通常はベースバンドを周波数信号Fiの可能な周波数範囲より大きくなるまで上げる。つまり、異なる種類の周波数信号に対し異なる基準信号Fbの周波数値を対応させることができ、当然、基準信号Fbの周波数が高いほど適用できる範囲が広くなる。プログラマブルゲートアレイ125は、位相シフト生成回路として用いるデジタルクロックマネージャ、上微分または下微分立ち上がりエッジトリガまたは立ち下がりエッジトリガを行い、Nd1とNd2をカウントするために用いる微分回路、クロックマスクmkを生成し、周波数信号Fiと基準信号Fbに対してカウントを行うために用いるマスク回路等を含むことができ、これにより、前記プログラマブルゲートアレイ125は前記数値M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を生成し、これらの数値Fb、M、Nb、Ni、Nd1、Nd2を出力するために用いることができる。プログラマブルゲートアレイは周知のデバイスであり、本発明の実施例の測定システムはその内部に含まれる各論理素子を利用して本発明の目的を達成しており、且つ本発明の実施例中で使用する方法下では比較的少ない論理素子を使用することができ、大面積のプログラマブルゲートアレイチップが不要なため、回路が占用する面積を減少し、製品サイズを縮小することができる。例えば、演算装置の演算機能もプログラマブルゲートアレイ内に組み込む場合、必要な論理素子の数量が大幅に増加して、回路占用面積が増加してしまい、構造上の設計によって、プログラマブルゲートアレイで同じ演算の処理を達成しようとすると論理方式で処理する必要があり、速度は速いが論理素子のニーズが膨大になり、内部に演算構造回路を含む特殊プログラマブルゲートアレイもあるが、少ない論理素子空間で高速演算処理を行うことはできても、コストが高すぎてしまう。演算装置130は前記カウンタ120に接続され、前記数値を受信し、且つ前述の式1に基づいて演算を行い、前記周波数信号Fiの周波数値を取得するために用いられる。そのうち、前記演算装置130は、コントロールユニットMCUまたはコンピュータ装置とすることができる。コントロールユニットとする場合、前記コントロールユニットは通常カウンタ120と同一の回路板上に設置され、周波数校正システム100全体が1つのモジュール上に統合されて、直接設備内に配置し、自己校正機能を達成させることができる。しかしながら、前記演算装置130は外部のコンピュータ装置とすることもでき、測定モジュールは各データ値を提供するのみで、あらゆる計算は前記コンピュータ装置が処理してもよい。周波数修正ユニット140は前記演算装置130及び前記周波数生成ユニット200に接続され、前記既定の周波数値と前記周波数信号の周波数値Fi間の差値に基づいて、前記周波数生成ユニット200の出力を調整し、前記周波数生成ユニット200が生成する前記周波数信号の周波数値が前記既定の周波数値と合致するようにするために用いられる。さらに、エラーをより一層減らすため、生成された基準信号Fbに対してあらかじめ高精度の測定を行ってもよく、即ち、ベースバンド生成モジュール及び周波数逓倍ユニットが実際に生成する周波数が与えられた表示値すなわち、ベースバンド生成モジュールと周波数逓倍ユニットの規格書に記載された値と異なるため発生するエラーを回避するため、分解能が基準信号Fbより高い周波数の高精密周波数カウンタを利用してあらかじめモジュールが生成する基準信号Fbに対して測定を行い、且つこの測定値を既定値として演算装置130に直接保存することができる。さらには、信号生成器を利用して正確な周波数信号を提供し、基準信号の周波数値を逆に推測してもよく、この推測した周波数値を前記既定値として直接演算装置130中に保存してもよい。これにより、毎回の測定において、基準信号Fbの周波数値は前記既定値を使用し、ベースバンド生成モジュール及び周波数逓倍ユニットの規格上に表示されたパラメータを選択して使用する必要がなくなる。上述をまとめると、本発明の周波数校正方法及びそのシステムは迅速且つ正確な多位相処理方式で校正過程における周波数信号に対する測定に生じるエラーを排除し、且つ位相シフト信号の生成に伴い測定の精度を数倍高めることができ、本発明の実施例によればエラーを8倍減少できる8つの位相シフト信号に対応。また同期したトリガに基づいて全自動プログラム制御の目的を達し、かつ回路占用面積を小さくする効果も達せられる。