"複数本の同軸電線を少なくとも端部で平面状に配列し、端末部の外部導体をグランドバーで挟んで一括して半田固定するケーブルの製造方法であって、絶縁体が発泡樹脂からなる前記複数本の同軸電線を一列に並べて整列保持する第1の工程前記複数本の同軸電線の端末部の外被を除去して外部導体を露出させる第2の工程、露出された前記外部導体を電線配列上面側に集めてフラット状にし、前記絶縁体を露出させる第3の工程、ベース部片の両端にフォーミングされた折り曲げ部を介して第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片を有するグランドバーを準備する第4の工程、前記ベース部片上に電線配列下面側の露出された前記絶縁体の根元部分を載せ、前記電線配列上面側に露出している前記絶縁体および外部導体上にスペーサ部材を重ねる第5の工程、前記スペーサ部材の上に前記第1の折り重ね部片を折り重ねて、前記スペーサ部材と前記同軸電線の絶縁体を挟持する第6の工程、折り重ねた前記第1の折り重ね部片上を跨いで、前記電線配列上面側に集めてフラット状にされた状態の外部導体を折り返す第7の工程、前記折り返された外部導体部分の上に、半田材を挟んで前記第2の折り重ね部片を折り重ねて、前記第1の折り重ね部片と前記第2の折り重ね部片で、前記折り返された外部導体部分を挟持する第8の工程、前記グランドバーを加熱して、前記第1の折り重ね部片と前記第2の折り重ね部片間で、前記折り返された外部導体部分を半田付け固定する第9の工程、前記スペーサ部材を引き抜く第10の工程、前記折り返された外部導体部分の前記第1の折り重ね部片と前記第2の折り重ね部片間からはみ出る余分な部分を除去する第11の工程、を備えていることを特徴とするケーブルの製造方法。前記第3の工程と第5の工程の間で、中心導体を露出させ整列保持する工程を備えることを特徴とする請求項1に記載のケーブルの製造方法。前記第4の工程で、前記グランドバーのベース部を、実装する回路基板のグランド導体に半田付け固定することを特徴とする請求項2に記載のケーブルの製造方法。前記請求項1~3のいずれか1項に記載のケーブルの製造方法により製造されたケーブルであって、グランドバーは、ベース部片の両端にフォーミングされた折り曲げ部を介して第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片を有し、少なくとも3つに折り重ねることが可能な形状で、前記ベース部片と前記第1の折り重ね部片との間で、平面状に配列された同軸電線の発泡樹脂からなる絶縁体を挟持し、前記第1の折り重ね部片と前記第2の折り重ね部片で、前記第1の折り重ね部片を跨ぐように折り返された外部導体を挟持し一括して半田固定されていることを特徴とするケーブル。同軸電線は、例えば、図1A,Bに示すように、中心導体2、絶縁体3、外部導体4、外被5を同軸的に配して構成される。同軸電線の細径化を図るために、中心導体2と外部導体4との間の絶縁体3の誘電率を小さくして絶縁体の厚さを薄くするようにしている。絶縁体3には、比較的に誘電率が小さいフッ素樹脂を用いられるが、これを発泡させて微小な気泡を多数形成して、誘電率をさらに下げている。しかしながら、絶縁体に発泡樹脂を用いて、特許文献1に開示のように、グランドバーで絶縁体と外部導体を上下から挟み、圧力と熱を加えて半田固定を行うと、絶縁体が局所的に潰れて所定の絶縁抵抗値または耐電圧が得られないことがある。本発明は、上述した実状に鑑みてなされたもので、発泡樹脂からなる絶縁体の局所的な潰れを抑制して、外部導体をグランドバーで挟んで圧力と熱で半田固定することが可能なケーブルの製造方法および該製造方法によるケーブルを提供することを目的とする。本発明によるケーブルの製造方法は、複数本の同軸電線を少なくとも端部で平面状に配列し、端末部の外部導体をグランドバーで挟んで一括して半田固定したケーブルの製造方法で、以下の第1~第11の工程を備えている。絶縁体が発泡樹脂からなる複数本の同軸電線を一列に並べて整列保持する第1の工程複数本の同軸電線の端末部の外被を除去して外部導体を露出させる第2の工程、露出された外部導体を電線配列上面側に集めてフラット状にし、絶縁体を露出させる第3の工程、ベース部片の両端にフォーミングされた折り曲げ部を介して第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片を有するグランドバーを準備する第4の工程、ベース部片上に電線配列下面側の露出された絶縁体の根元部分を載せ、電線配列上面側に露出している絶縁体および外部導体上にスペーサ部材を重ねる第5の工程、スペーサ部材の上に第1の折り重ね部片を折り重ねて、スペーサ部材と同軸電線の絶縁体を挟持する第6の工程、折り重ねた第1の折り重ね部片上を跨いで、電線配列上面側に集めてフラット状にされた状態の外部導体を折り返す第7の工程、折り返された外部導体部分の上に、半田材を挟んで第2の折り重ね部片を折り重ね、第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片で、折り返された外部導体部分を挟持する第8の工程、グランドバーを加熱して、第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片で、折り返された外部導体部分を半田付け固定する第9の工程、スペーサ部材を引き抜く第10の工程、折り返された外部導体部分の第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片での挟持部からはみ出る余分な部分を除去する第11の工程。上記の製造方法で、第3の工程と第5の工程の間で、中心導体を露出させ整列保持する工程を備えるようにしてもよい。また、第4の工程で、グランドバーのベース部を、実装する回路基板のグランド導体に半田付け固定した状態で、以後の工程を実施するようにしてもよい。また、本発明によるケーブルは、上記の工程を経ての製造されたケーブルであって、グランドバーがベース部片の両端にフォーミングされた折り曲げ部を介して第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片を有し、少なくとも3つに折り重ねることが可能な形状で、ベース部片と第1の折り重ね部片との間で、平面状に配列された同軸電線の発泡樹脂からなる絶縁体を挟持し、第1と第2の折り重ね部片で、第1の折り重ね部片を跨ぐように折り返された外部導体を挟持し一括して半田固定されている。本発明によれば、発泡樹脂からなる絶縁体は、スペーサ部材によりグランドバーのベース部片と第1の折り重ね部片との間で、上方からの圧力と熱が抑制される形態となる。このため、絶縁体に悪影響を与えることなく、グランドバーの第1と第2の折り重ね部片間で、折り返された外部導体に圧力と熱を加えて一括して半田固定することが可能となる。この結果、絶縁体の局所的な潰れを低減することができ、絶縁体の絶縁抵抗値を所定の値に維持することができる。図により本発明の実施の形態を説明する。本発明のケーブルは、図1に示すような低容量の同軸電線同軸ケーブルともいう1aまたは1bの複数本を、各同軸電線の端部で一列に並ぶ平面状に配列してなる。図1Aに示す低容量の同軸電線1aは、中心導体2、発泡樹脂からなる絶縁体3、外部導体4を同軸状に配し、その外周を外被5で覆った形状で、外被外径が、例えば、05mm以下の極細で形成されているものが対象とされる。各同軸電線は、少なくとも端部でフラットに配列されている。端部以外では、各電線が束ねられていわゆる丸ケーブルとされていてもよい。全長に亘ってフラットに配列されているフラットケーブルでもよい。同軸電線1aの中心導体2は、銅または銀もしくは錫メッキ銅合金線からなる撚り線例えば、7本の素線が用いられ、絶縁体3は、フッ素樹脂等を発泡させて微小な空泡を有する発泡樹脂で、外径が02~033mmで成形される。外部導体4は、中心導体2に用いた素線と同様な導線を螺旋状に巻付けて横巻きという形成され、外被5は、ポリエチレンテレフタレートPET等のテープ巻き、または、フッ素樹脂の押出被覆で形成される。なお、テープ巻きの場合は、成形と比べて被覆厚さを薄くすることができる。また、図示していないが外部導体が導線を編組したものであってもよい。図1Bに示す低容量の同軸電線1bは、図1Aと同様な構成であるが、中心導体2に単線を用い、絶縁体3に発泡フッ素樹脂テープを巻付けて形成した例である。発泡フッ素樹脂テープの巻付けによる絶縁体3の形成は、押出し成形で厚さの薄い発泡絶縁体を形成することが難しい場合に、有効で実現しやすい。しかし、発泡フッ素樹脂テープは、中心導体2との接着性が悪いため、絶縁体3の外周に押え巻として接着PETテープ3’を巻付けておくのが好ましい。また、この接着PETテープ3’は、絶縁体3および外部導体4から分離しやすいように接着剤が付与されていない面を内側にして巻付ける必要があることから、2層で巻付けるのが好ましい。また、外部導体4および外被5の形成は、図1Aの場合と同様である。図2は、本発明によるケーブルの一例を示し、図2Aはグランドバーの取付け状態を示す斜視図、図2Bは正面図、図2Cは側面の断面図で、回路基板に接続した状態で示してある。ケーブル10は、図1で説明したような同軸電線1a,1bの複数本を、一列で平面状に配列し、その少なくとも一方の端末部で外部導体4をグランドバー11で挟んで一括して半田12で固定して構成される。グランドバー11は、帯状の導電金属板からなり、ベース部片11aの両端に第1の折り重ね部片11bと第2の折り重ね部片11cを有し、少なくとも3つに折り重ねることが可能なように形成される。ベース部片11aと第1の折り重ね部片11bの間で、同軸電線の露出された発泡樹脂からなる絶縁体3を挟持する。露出された外部導体4は、第1の折り重ね部片11bの外面を跨ぐようにして折り返され、その折り返し部分4aを一括して第1の折り重ね部片11bと第2の折り重ね部片11cとで挟み、半田12で固定される。上記のケーブル10は、例えば、図2Cに示すように、回路基板20に接続することができる。回路基板20の実装面には、接地導体21や信号導体22等が配置されていて、接地導体21上にはグランドバー11のベース部片11aが半田等により接続固定され、同軸電線の外部導体4が一括して接地接続される。また、同軸電線の中心導体2は、信号導体22上にそれぞれ接続される。図3~図13は、本発明によるケーブルの製造方法を説明する図で、図3は、製造工程の概略を示すフロー図である。以下、図3のフローにしたがって、それぞれの製造工程について説明する。第1の製造工程S1は、複数本の同軸電線を整列保持させる工程で、図4にその実施形態を示す。同軸電線1a,1bは、図1で説明した絶縁体3が発泡樹脂からなる電線が用いられ、所定長さの複数本の同軸電線1a,1bを平行一列にして平面状に配列し、例えば、ポリイミドテープ13例えば、カプトン米国デュポン社の登録商標テープを貼り付けて、同軸電線の配列状態を保持する。なお、このポリイミドテープ13は、外被5を除去する位置より0~1mm程度離れた位置で貼り付けるのが望ましい。第2の製造工程S2は、同軸電線の先端部分の外被を除去して外部導体を露出させる工程で、図4~図5にその実施形態を示す。まず、外被5に貼り付けたポリイミドテープ13をマスクとして、炭酸ガスレーザ等で同軸電線1a,1bの外被5に切込み5aを入れ、先端部分の外被5bを除去可能な状態にする。なお、炭酸ガスレーザによる切込みは、絶縁体3にダメージを与えないようにパワーを下げて行い、その操作回数も1回とするのが望ましい。次いで、図5に示すように、切込まれた先端部分の外被5bを除去して外部導体4を露出させる。なお、外被5bの除去には、被覆セミストリップ装置を用い、端末の折れ曲がり等に注意する。第3の製造工程S3は、露出された外部導体4を電線配列面の上面側に集めてフラット状にし、絶縁体3を露出させる工程で、図6にその実施形態を示す。前工程で露出された外部導体4は、絶縁体3の下面側および側面側を含めて、電線配列面の上面側ポリイミドテープ13の貼り付け面とするに垂直状に引き出してまとめる。そして、これらの外部導体4をフラット形状に揃え、テープ材14を貼り付けて形状を保持する。なお、外部導体4は、ケーブル幅以下にまとめる必要はなく、なるべくムラのない均一なフラット形状とするのが望ましい。また、露出された絶縁体3には、接着テープ15を貼り付けて、露出された先端部分の折れ曲がり等を保護しておく。第4の製造工程S4は、グランドバーを準備する工程で、図7にその実施形態を示す。グランドバー11は、図2で説明したように、帯状の導電金属板からなり、ベース部片11aの両端に第1の折り重ね部片11bと第2の折り重ね部片11cを有し、少なくとも3つに折り重ねることが可能に形成される。ベース部片11aの両端の折り曲げ部11dは、第1の折り重ね部片11bと第2の折り重ね部片11cが、所定の位置から精度良く曲げられるように予めフォーミングしておくのが好ましい。なお、グランドバー11は、ケーブルが実装される回路基板20等の接地導体21に、ベース部片11aを半田付けした状態で準備するようにしてもよい。また、前記の第3の工程と第4の工程との間、または第4の工程の次に、絶縁体3の一部を除去して中心導体2を露出させる製造工程Snを入れることができる。この工程は、図8Aの実施形態で示すように、絶縁体3の先端部分を除去して中心導体2を、所定の長さで露出させるものである。絶縁体3の除去には、図6の接着テープ15を貼った状態のままで、レーザ等により切込みを入れ、次いで、接着テープ15と共に切込まれた絶縁体の小片を被覆セミストリップ装置で剥ぎとり、露出された中心導体2を半田処理する。なお、この後、図8Bに示すように、中心導体2が回路基板やコネクタ端子に接続までの間、保護テープ16を貼って保護しておくことが望ましい。なお、中心導体2が露出された後、前記の第4の工程でグランドバー11が、回路基板に固定される場合は、保護テープ16を剥ぎとって、回路基板上の信号導体に中心導体2を半田付けで電気接続する。グランドバー11が回路基板等に固定されない製造では、保護テープ16で保護した状態で、以下の製造工程で端末部を形成するようにしてもよい。また、中心導体2の露出は、別途行うこともでき、この場合は図8の工程は行わず、絶縁体3で覆ったままとしてもよい。第5の製造工程S5は、グランドバーのベース部片上に同軸電線を載せ、同軸電線の上にスペーサ部材を当てて入れる工程で、図9にその実施形態を示す。この工程では、図6あるいは図8の状態にある同軸電線1a,1bを、その電線配列下面側の露出された絶縁体3の根元部分が、グランドバーのベース部片11a上に接するように載置する。そして、電線配列上面側には、垂直に引き出してフラット状になっている外部導体4および絶縁体3の根元部分に重なるように、スペーサ部材17を入れる。スペーサ部材17は、金属板または硬質の樹脂板からなり、先端部分の厚さが014mm程度のヘラ形状のものが用いられる。第6の製造工程S6は、グランドバーの第1の折り重ね部片をスペーサ部材上に折り重ねて、同軸電線を挟持する工程で、図10にその実施形態を示す。第1の折り重ね部片11bは、フォーミング治具またはペンチ等で軽く曲げる。このとき、折り曲げ部11dは、端の同軸電線に潰れが生じないように直角に近い形でコ字状に曲げる。また、直線部分も、途中に曲げが生じないようにしてスペーサ部材17上に折り重ねる。第7の製造工程S7は、第1の折り重ね部片上に電線配列上面側に集めてフラット状にとなっている外部導体を折り返す工程で、図11にその実施形態を示す。外部導体4をフラット状に保持しているテープ材14を取り除いて、第1の折り重ね部片11bを跨ぐようにして折り返す。このとき、第1の折り重ね部片11bが動いて位置ズレが生じないようにして、第1の折り重ね部片11bのエッジに外部導体4が直角に当たるようにしっかりと曲げる。また、この時点で、折り曲げられている第1の折り重ね部片11bの長さが長い場合は、ニッパ等で切断する。第8の製造工程S8は、折り返された状態の外部導体の上に第2の折り重ね部片を折り重ねて外部導体を挟持する工程で、図12にその実施形態を示す。第2の折り重ね部片11cは、第1の折り重ね部片11bを曲げる時と同様にフォーミング治具またはペンチ等で軽く曲げる。折り曲げ部11dは、同軸電線に潰れが生じないように直角に近い形でコ字状に曲げ、外部導体4の折り返し部分4aを、第1の折り重ね部片11bと第2の折り重ね部片11cで挟持する。このとき、リボン状の半田材12図11参照を外部導体の折り返し部分4aと第2の折り重ね部片11cとの間に挟みこみ、第2の折り重ね部片11cの余長をカットする。そして、第2の折り重ね部片11cの自由端11eに半田ゴテを当てて、仮固定しておくのが望ましい。ここまでの工程で、グランドバー11の組み付けは、横断面で示すと、図12Bのようになる。第9の製造工程S9は、グランドバーを加熱して、第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片で、外部導体を半田付け固定する工程で、図13Aにその実施形態を示す。図12の仮固定された状態で、半田材12の部分にフラックスを塗布し、例えば、パルスヒート装置によりグランドバーを加熱する。半田材18の溶融状態を足踏みスイッチ等で調節しながら半田付けを行い、グランドバーの第1の折り重ね部片11bと第2の折り重ね部片11cとの間に、外部導体4の折り返し部分4aを半田固定する。この工程で、第1の折り重ね部片11bと第2の折り重ね部片11cとに圧力が加えられる状態となるが、スペーサ部材17により、同軸電線の絶縁体3に圧力および熱が加わるのを緩和することができる。このため、発泡樹脂からなる絶縁体3が局所的に潰れるのを軽減することができる。第10の製造工程S10は、スペーサ部材を除去する工程で、図13Bにその実施形態を示す。外部導体4の折り返し部分4aをグランドバーに半田固定した後は、スペーサ部材17は、引き抜いて除去する。スペーサ部材17の除去により、第1の折り重ね部片11bと絶縁体3との間に多少空隙が生じるが、絶縁体3は多少圧縮を受けた状態になっているので、スペーサ部材17の除去で圧縮から解放されて弾性復帰し、静電容量、耐電圧についても所定値に保つことができる。第11の製造工程S11は、第1の折り重ね部片と第2の折り重ね部片での挟持部からはみ出る外部導体の折り返し部分の余分な部分を除去する工程で、図13Cにその実施形態を示す。グランドバーで挟持した折り返し部分のはみ出し部分4bは、最終的は除去しておくのが好ましい。はみ出し部分4bは、根元部分が半田の浸み出しにより一体化されているので、ニッパ等で摘まんで2~3個所を折り曲げることで容易に破断することができる。また、複数本の同軸電線を整列保持したポリイミドテープ13も除去する。上述した工程を経て製造されたケーブルは、その端末部におけるグランドバーの接続による絶縁体への圧力と熱を緩和することができる。このため、絶縁体に発泡樹脂を用いても局所的な潰れを軽減することができ、絶縁体の絶縁抵抗値を所定の値に維持することができる。また、絶縁体に発泡樹脂を用いることで、誘電率を下げて絶縁体の厚さを薄くすることができ、細径化を可能とする。また、半田材の浸み出しをグランドバーの第1と第2の折り重ね部片間の近傍に限定することができ、同軸電線の曲げによる外部導体の破断も軽減することができる。上記の例では、同軸電線が単線であるものを示した。本発明では、同軸電線が二本のコアを共通シールドしたいわゆるツイナックス電線でもよい。ツイナックス電線の外部導体は横巻または編組いずれでもよい。またドレイン線が外部導体に添わされているものでもよい。"