"第1光反射面を有し第1揺動軸回りに揺動可能に形成された第1可動板を備え、前記第1可動板が揺動することによって、光源から前記第1光反射面に入射される光を反射走査する第1走査手段と、前記第1走査手段の光走査方向については楕円の長軸側の円弧形状に湾曲し、前記第1走査手段の光走査方向と直交する方向については前記円弧形状を延設した形状の反射面を有し、前記第1走査手段から入射される光を反射する楕円ミラーと、第2光反射面を有し第2揺動軸回りに揺動可能に形成された第2可動板を備え、前記第2可動板が揺動することによって、前記楕円ミラーからの光を前記第1走査手段の光走査方向と直交する方向に反射走査する第2走査手段と、前記第1及び第2可動板を各揺動軸回りに揺動させる駆動信号を前記第1及び第2走査手段にそれぞれ供給する駆動手段と、を備え、前記楕円を含む基準平面の垂直方向から見て前記第1光反射面上の反射点を前記基準平面に投影した点が前記楕円の一方の焦点と一致するように前記第1走査手段を配置し、前記基準平面の垂直方向から見て前記第2光反射面上の反射点を前記基準平面に投影した点が前記一方の焦点と前記楕円ミラー間に位置する他方の焦点と一致し、かつ、前記基準平面に対して前記第1走査手段と反対側に位置するように前記第2走査手段を配置して構成することを特徴とする光走査装置。前記第1走査手段と前記第2走査手段は、1個のチップ上に一体形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。前記第1走査手段は、前記第1揺動軸と直交する方向で前記第1可動板を均等に分割して形成した複数の第1分割可動板を備え、各第1分割可動板は、それぞれの前記第1揺動軸を有して形成され、前記第2走査手段は、前記第2揺動軸と直交する方向で前記第2可動板を均等に分割して形成した複数の第2分割可動板を備え、各第2分割可動板は、それぞれの前記第2揺動軸を有して形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置。ところで、特許文献1に記載された光走査装置において、広範囲な光走査が可能なように、光測距装置の対象領域やプロジェクタの投影面の走査画角、特に水平方向の走査画角を大きくすることが求められている。この要求を満たすように、従来の光走査装置は、例えば、可動板のx軸回りの光走査方向が、光測距装置においては対象領域の水平方向と一致し、プロジェクタにおいては投影面の水平方向と一致するように走査手段を配置し、駆動手段から走査手段に入力するx軸回り用の駆動信号の大きさ例えば、駆動電流値の大きさを高めることにより可動板のx軸回りの機械角を大きくすることにより、走査画角を大きくさせている。しかしながら、従来の光走査装置において、駆動信号の大きさを高めることで機械角を大きくして走査画角を大きくすると、二次元ガルバノミラーの揺動軸の機械的な強度を越えてその揺動軸回りの機械角を大きくすることができないため、走査画角を大きくするにも限度があるという課題がある。本発明は、このような課題に着目してなされたものであり、駆動信号の大きさを高めることなく走査画角を大きくすることが可能な光走査装置を提供することを目的とする。本発明の一側面よる光走査装置は、第1光反射面を有し第1揺動軸回りに揺動可能に形成された第1可動板を備え、前記第1可動板が揺動することによって、光源から前記第1光反射面に入射される光を反射走査する第1走査手段と、前記第1走査手段の光走査方向については楕円の長軸側の円弧形状に湾曲し、前記第1走査手段の光走査方向と直交する方向については前記円弧形状を延設した形状の反射面を有し、前記第1走査手段から入射される光を反射する楕円ミラーと、第2光反射面を有し第2揺動軸回りに揺動可能に形成された第2可動板を備え、前記第2可動板が揺動することによって、前記楕円ミラーからの光を前記第1走査手段の光走査方向と直交する方向に反射走査する第2走査手段と、前記第1及び第2可動板を各揺動軸回りに揺動させる駆動信号を前記第1及び第2走査手段にそれぞれ供給する駆動手段と、を備え、前記楕円を含む基準平面の垂直方向から見て前記第1光反射面上の反射点を前記基準平面に投影した点が前記楕円の一方の焦点と一致するように前記第1走査手段を配置し、前記基準平面の垂直方向から見て前記第2光反射面上の反射点を前記基準平面に投影した点が前記一方の焦点と前記楕円ミラー間に位置する他方の焦点と一致し、かつ、前記基準平面に対して前記第1走査手段と反対側に位置するように前記第2走査手段を配置して構成されている。本発明による光走査装置によれば、楕円ミラーの反射面の湾曲形状を形成する楕円を含む基準平面に第1光反射面の反射点を投影した点が楕円の一方の焦点と一致するように第1走査手段を配置すると共に、基準平面に第2光反射面の反射点を投影した点が一方の焦点と楕円ミラー間に位置する他方の焦点と一致し、かつ、基準平面に対して第1走査手段と反対側に位置するように第2走査手段を配置する構成であるため、楕円ミラーの一方の焦点から楕円ミラーの反射面に向かって入射される光を楕円ミラーの他方の焦点に収光するという楕円ミラーの特性を利用することで、第2光反射面で反射される光の走査画角を、第1走査手段の機械角によって定まる走査画角よりも大きくすることができる。このように、駆動信号の大きさは従来と同じでよいため、駆動信号の大きさを高めることなく走査画角を大きくすることができる。また、従来と同じ走査画角でよい場合は、駆動信号の大きさを従来よりも小さくすることができるため、省電力化することもできる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施形態による光走査装置の概略構成を示す斜視図であり、図2は、本実施形態の光走査装置の概略構成を示すブロック図である。この光走査装置1は、入射されたレーザ光を反射走査して二次元走査するものである。以下の説明では、光走査装置1を、レーザ光を対象領域内で二次元走査して対象領域内に存在する物体までの距離を計測する光測距装置の光走査手段として用いる場合で説明する。図1に示すように、本実施形態による光走査装置1は、入射されるレーザ光を反射走査する電磁駆動型の第1走査手段2と、入射されるレーザ光を第1走査手段2の光走査方向と直交する方向に反射走査する電磁駆動型の第2走査手段3と、楕円ミラー4と、第1走査手段2及び第2走査手段3を駆動する駆動手段5図2参照、図1では図示省略と、を備える。図2に示す光走査ユニット6は、上記第1走査手段2、第2走査手段3及び楕円ミラー4を備えて構成されたものであり、レーザ光を走査する主要部である。なお、図1においては、図の簡略化のため、後述する図6に示した固定部31は省略している。上記第1走査手段2は、図1に示すように、平板状の第1光反射面2aを有し第1揺動軸2b回りに揺動可能に形成された第1可動板2cを備え、第1可動板2cが揺動することによって、光源から第1光反射面2aに入射される光を走査角θ1で反射走査して楕円ミラー3に入射するように構成されている。このような第1走査手段2としては、例えば、本出願人により提案された特許第2722314号公報に記載の一次元走査型の半導体ガルバノミラー以下単に、一次元ガルバノミラーと言うを用いることができる。そして、第1走査手段2は、図1及び後述する図4に示すように、楕円を含む基準平面の垂直方向から見て第1光反射面2a上の反射点である中心点2dを基準平面に投影した点が楕円の一方の焦点F1と一致するように配置されている。なお、本実施形態においては、第1走査手段2は、第1揺動軸2b回りの光走査方向X方向が光測距装置の対象領域の水平方向と一致するように配置されている。上記第2走査手段3は、図1に示すように、平板状の第2光反射面3aを有し第1揺動軸2bと直交する第2揺動軸3b回りに揺動可能に形成された第2可動板3cを備え、第2可動板3cが揺動することによって、楕円ミラー4からの光を第1走査手段2の光走査方向X方向と直交する方向Y方向に反射走査するように構成されている。このような第2走査手段3としては、例えば、第1走査手段2と同様に前述した一次元ガルバノミラーを用いることができる。この第2走査手段3は、図1及び図4に示すように、基準平面の垂直方向から見て第2光反射面3a上の反射点である中心点3dを基準平面に投影した点が一方の焦点F1と楕円ミラー4間に位置する他方の焦点F2と一致し、かつ、図1に示すように、基準平面に対して第1走査手段2と反対側に位置するように配置されている。上記楕円ミラー4は、第1走査手段2から入射される光を反射するものであり、第1走査手段2の光走査方向については楕円の長軸A1側の円弧形状に湾曲し、第1走査手段2の光走査方向と直交する方向については円弧形状を延設した形状の反射面4aを有している。すなわち、反射面4aは、図1に示すように、楕円を含む基準平面に対して垂直方向に、楕円の長軸A1側の円弧の一部A図1に太線で示した破線部、以下において、単に円弧Aと言うをシフトさせたときに得られる形状でその表面が形成される。この楕円ミラー4は、2つの焦点を有しており、一方の焦点F1から反射面2aに向けて出射される光を楕円ミラー4側の焦点である他方の焦点F2に収光させるという特性を有している。なお、図1において、楕円ミラー4は、図の簡略化のため、反射面4aのみ示したが、実際には、図3に示すように厚みを有している。ここで、楕円ミラー4の前述した収光特性を利用するためには、反射面4aに向けて光を出射する点と、反射面4aによって反射された光が収光する点とを、楕円を含む基準平面と同一平面上に位置させることが一般的な前提条件であるが、同一平面上に出射点及び収光点が位置していなくても、以下の位置関係を満足すれば、楕円ミラー4の収光特性を利用することができる。すなわち、基準平面の垂直方向から見て出射点を基準平面に投影した点が楕円の一方の焦点F1と一致し、基準平面の垂直方向から見て収光点を基準平面に投影した点が一方の焦点F1と楕円ミラー4間に位置する他方の焦点F2と一致し、かつ、基準平面が出射点と収光点間に位置するという位置関係を満足すれば、この場合においても楕円ミラー4の収光特性を利用することができる。本実施形態において、図1及び図4に示すように、反射面2aに向けて光を出射する点としての第1光反射面2aの中心点2dを基準平面に投影した点が一方の焦点F1と一致し、反射面2aによって反射された光が収光する点としての第2光反射面3aの中心点3dを基準平面に投影した点が一方の焦点F1と楕円ミラー4間に位置する他方の焦点F2と一致し、かつ、第1光反射面2aの中心点2dと第2光反射面3aの中心点3dの間に基準平面が位置するように、第1走査手段2と第2走査手段を配置している。これにより、第1走査手段2の中心点2dで反射された光は、楕円ミラー4を介して第2走査手段3の中心点3dに収光される。図4は、本実施形態における光走査装置1の走査画角θ2の拡大状況を説明する図で、第1走査手段2の第1揺動軸2b回りの機械角φが最大φmaxのときに、基準平面に対して垂直方向を示す図1のB方向から見たときの、光の収光状況を示した図である。この図から分かるように、第1光反射面2aの中心点2dに入射された光は、第1可動板2cが揺動することにより、反射走査され楕円ミラー4に入射される。そして、この楕円ミラー4に入射された光は、第2光反射面3aの中心点3dに収光される。このとき、第1走査手段2から楕円ミラー4に向かう光の光路が楕円ミラー4の長軸A1に対して成す角度θは最大機械角φmaxの2倍と等しく、この最大機械角φmaxの4倍が第1走査手段2の走査角θ1図1参照となる。そして、楕円ミラー4から第2走査手段3までの光の光路が楕円ミラー4の長軸A1に対して成す角度θ’の2倍が対象領域における水平方向の走査画角θ2図1参照となる。すなわち、θ1、θ及びφmax、並びにθ2とθ’は、それぞれ下記の1式、2式を満たす関係にある。θ1=2θ=4φmax1θ2=2θ’2ここで、図4から分かるように、角度θ’は、角度θよりも大きくなる。これにより、第2光反射面4aで反射され、対象領域内に出射される光の水平方向の走査画角θ2=2θ’を、第1揺動軸2b回りの最大機械角φmaxによって定まる走査画角、すなわち、走査角θ1=2θよりも大きくすることができる。ここで、中心点2d,3d並びに焦点F1,F2が前述した位置関係を満足する場合、走査角θ1と走査画角θ2との間には、下記の3式を満たす関係が成りたつ。L1×tanθ1/2=L2×tanθ2/23但し、L1は、図4に示すように、第1走査手段2の機械角φが最大φmaxのときに第1走査手段2から楕円ミラー4に向かう光の光路長の長軸A1方向の成分の長さであり、L2は、第1走査手段2の機械角φが最大φmaxのときに楕円ミラー4から第2走査手段3に向かう光の光路長の長軸A1方向の成分の長さである。例えば、第1走査手段2の走査角θ1が30°の場合であって、このときの、L1とL2の比がL1:L2=2:1になるように反射面2aの湾曲形状が設計された楕円ミラー4を用いた場合は、走査画角θ2は、上記3式より、約56.3°となり、第1揺動軸2b回りの最大機械角φmaxによって定まる走査画角すなわち、θ1=30°の約1.8倍に拡大される。なお、走査画角の拡大率K=θ2/θ1は、約1.8倍の場合で説明したが、拡大率Kは、これに限らず、楕円ミラー4の形状が、下記の4式で示される楕円の公式を満たし、かつ、θ1とθ2とが、2つの焦点から楕円までの距離の和は楕円の長径の2倍であるという下記の5式で示される楕円の定理を満たせば、どのような拡大率Kでも実現することができる。x2/a2y2/b2=14W/2sinθ1W/2sinθ2=2a5但し、xは、長軸A1と短軸A2の交点を原点とする2次元座標における長軸A1側の座標であり、yは、長軸A1と短軸A2の交点を原点とする2次元座標における短軸A2側の座標であり、aは、楕円の長径であり、bは、楕円の短径である。また、Wは、楕円ミラー4の有効幅であり、第1走査手段2の第1揺動軸2b回りの機械角φが最大φmaxのときに、第1走査手段2から楕円ミラー4への光が入射する点のy座標の2倍すなわち、y=W/2である。図5は、図1に示す光走査装置1の部分拡大図であり、第1走査手段2の揺動中に、楕円ミラー4による収光点がずれる状況を誇張して示した図である。図1においては、第1走査手段2で反射走査された光が楕円ミラー4の反射面2aに沿う走査軌跡は、楕円の長軸A1側の一部の円弧A太線で示した破線部と一致するものとして示したが、実際の走査軌跡は、図5に一点鎖線で示した実円弧A’のようになり、円弧Aと完全に一致しない。このように、実際の走査軌跡が円弧Aとずれているため、楕円ミラー4から第2走査手段3に向かう光は、第1走査手段2の機械角φに応じた距離だけ、中心点3dからずれて収光される。すなわち、例えば、第1走査手段2の機械角φが最大φmaxのとき、第1走査手段2から楕円ミラー4に入射された光図5のa1又はa2の収光点と、第2走査手段3の中心点3dとのずれ量は最大となり、第1走査手段2の機械角φが小さくなるに従い、そのずれ量は小さくなり、第1走査手段2の機械角φがゼロのとき、第1走査手段2から楕円ミラー4に入射された光図4のa3の収光点は、第2走査手段3の中心点3dと一致する。このように、第1走査手段2の揺動中に第2光反射面3aにおける収光点がずれるため、対象領域における二次元走査の走査軌跡は、このずれに応じて定まる。また、二次元走査可能な範囲も収光点のずれに応じて定まる。例えば、光走査装置1を光測距装置の光走査手段に用いる場合は、収光点のずれに応じて定まる二次元走査可能な範囲を対象領域よりも広くなるように設定すると共に、対象領域に設定する各画素にレーザ光を照射できるように、収光点のずれに応じて定まる走査軌跡に基づいて、光走査装置1に入射するレーザ光の投光タイミングを設定すればよい。図6は、各走査手段2,3の具体例としての一次元ガルバノミラー30,30’の構成を示している。本実施形態において、第1走査手段2としての一次元ガルバノミラー30以下において第1ガルバノミラー30と言うと、第2走査手段3としての一次元ガルバノミラー30’以下において第2ガルバノミラー30’と言うはそれぞれ別体で形成されているが、それぞれの基本構成は同じである。各ガルバノミラー30,30’は、それぞれ枠状の固定部31と、固定部31の内側に配置されて第1揺動軸2b又は第2揺動軸3bとしての一対のトーションバー32,32によって揺動可能に支持された可動板33と、を備える。但し、各ガルバノミラー30,30’のトーションバー32,32等の寸法等は設計仕様に応じてそれぞれ設定されている。本実施形態において、第1ガルバノミラー30は、第1ガルバノミラー30の光走査方向が対象領域の水平方向と一致するように配置され、第2ガルバノミラー30’は、第2ガルバノミラー30’のトーションバー32,32が第1ガルバノミラー30のトーションバー32,32と直交するように配置されている。可動板33の中央部には第1光反射面2a又は第2光反射面3aとしてのミラー34が形成され、可動板33の周縁部には駆動コイル35が形成されている。駆動コイル35の端部は、固定部31に形成された電極端子36,36に接続されている。また、駆動コイル35に磁界を作用させる一対の第1永久磁石37,37が固定部31を挟んでそれぞれ対向配置されている。なお、固定部31、トーションバー32,32及び可動板33は、半導体基板から一体的に形成されている。各ガルバノミラー30,30’は、駆動コイル35に流れる電流例えば、交流電流と、永久磁石37,37による磁界と、によって可動板33にローレンツ力が作用し、その結果、可動板33が一次元方向に揺動する。第1ガルバノミラー30では、可動板33が揺動することによってミラー34に入射されるレーザ光が第1揺動軸2bとしてのトーションバー32,32の軸回り方向に走査角θ1で反射走査されて楕円ミラー4に入射される。第2ガルバノミラー30’では、可動板33が揺動することによって入射されるレーザ光が第2揺動軸3bとしてのトーションバー32,32の軸回り方向に反射走査されて対象領域に出射される。これにより、第1ガルバノミラー30のミラー34に入射されたレーザ光が対象領域内で二次元走査される。このとき、対象領域の水平方向の走査画角θ2は、走査角θ1よりも大きくなっている。図2に戻って、前記駆動手段5は、各ガルバノミラー30,30’をそれぞれのトーションバー32,32の軸回りに揺動させる駆動信号を、各ガルバノミラー30,30’に供給するものであり、例えば、駆動回路5aによって構成されている。この駆動回路5aは、各ガルバノミラー30,30’用の駆動信号例えば、交流電流を、各ガルバノミラー30,30’の可動板33が有するトーションバー32,32回りの共振周波数にそれぞれ合わせて設定された駆動周波数で、電極端子36,36を介して駆動コイル35に供給する。以下において、第1ガルバノミラー30用の駆動信号を第1駆動信号と言い、第2ガルバノミラー30’用の駆動信号を第2駆動信号と言う。次に、以上のような構成を有する光走査装置1の動作について、図1~図3に基づいて説明する。なお、以下の説明では、第1ガルバノミラー30の走査角θ1は30°であり、L1とL2の比はL1:L2=2:1である場合を一例として説明する。まず、駆動回路5aは、第1ガルバノミラー30用に初期設定された駆動周波数で第1駆動信号を、駆動コイル35に供給することにより、第1ガルバノミラー30をトーションバー32,32の軸回り方向水平方向に揺動させる。同時に、駆動回路5aは、第2ガルバノミラー30’用に初期設定された駆動周波数で第2駆動信号を、駆動コイル35に供給することにより、第2ガルバノミラー30’をトーションバー32,32の軸回り方向垂直方向に揺動させる。ここで、第1ガルバノミラー30のミラー34の中心点2dに入射された光は、この可動板33が揺動することにより、反射走査され楕円ミラー4に入射され、この楕円ミラー4に入射された光は、第2ガルバノミラー30’のミラー34のほぼ中心点3dに収光される。そして、この収光された光は、第2ガルバノミラー30’の可動板33が揺動することにより、ミラー34で反射走査され対象領域に出射される。ここで、楕円ミラー4から第2ガルバノミラー30’までの光の光路が楕円ミラー4の長軸A1に対して成す角度θ’は、第1ガルバノミラー30から楕円ミラー4までの光の光路が楕円ミラー4の長軸A1に対して成す角度θよりも大きくなる。このとき、出射光の水平方向の走査画角θ2は、前述した3式より、約56.3°となり、走査画角θ2は、第1ガルバノミラー30の最大機械角φmaxによって定まる走査画角すなわち、θ1=30°の約1.8倍に拡大される。このように、本実施形態による光走査装置1によれば、駆動信号の大きさは従来と同じでよいため、駆動信号の大きさを高めることなく走査画角θ2を大きくすることができる。また、従来と同じ走査画角θ2でよい場合は、駆動信号の大きさを従来よりも小さくすることができるため、省電力化することもできる。なお、本実施形態においては、第1走査手段2の光走査方向が対象領域の水平方向と一致するように第1走査手段2を配置させ、対象領域の水平方向の走査画角を大きくさせた場合で説明したが、対象領域の垂直方向と一致するように第1走査手段2を配置させた場合は、垂直方向の走査画角を大きくすることができる。次に、本発明の第2実施形態による光走査装置について説明する。図7は、本発明に係る光走査装置の第2実施形態の概略構成を示す斜視図である。なお、図1の第1実施形態と同様の要素には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。また、本実施形態における光走査装置1の動作は、第1実施形態と同じであるため、説明を省略する。本実施形態において、第1走査手段2と第2走査手段3は、1個のチップ上に一体形成されている。各走査手段2,3の具体例としては、図6に示した第1ガルバノミラー30及び第2ガルバノミラー30’を用いて構成する。但し、本実施形態においては、図7に示すように、各走査手段2,3の固定部31は共通化されている。なお、図7においては、図の簡略化のため、各走査手段2,3の駆動コイル35、電極端子36,36及び永久磁石37,37は、図示省略している。図8は、図7に示した光走査装置1のC―C’矢視断面図である。図8から分かるように、本実施形態においても、例えば、第1光反射面2aの中心点2dを基準平面に投影した点が楕円の一方の焦点F1と一致し、第2光反射面3aの中心点3dを基準平面に投影した点が一方の焦点F1と楕円ミラー4間に位置する他方の焦点F2と一致し、かつ、中心点2dと中心点3dの間に基準平面が位置するという位置関係を満足させることができるため、第1実施形態と同様に、楕円ミラー4の収光特性を利用することができる。このように構成された本実施形態による光走査装置1によれば、第1実施形態と同様に、駆動信号の大きさを高めることなく走査画角θ2を大きくすることができる。さらに、本実施形態による光走査装置1によれば、1個のチップ上に各走査手段2,3を一体形成する構成であるため、組立時に、第1走査手段2に対する第2走査手段3の配置位置を調整する必要がない。したがって、第1走査手段2と第2走査手段3を別体で形成する第1実施形態と比較して、組立調整を簡素化することができる。図9は、上記第2実施形態の光走査装置1の変形例を示す図である。図9に示すように、本変形例では、第1走査手段2は、第1揺動軸2bと直交する方向で第1可動板2cを均等に分割して形成した複数の第1分割可動板2c’を備え、各第1分割可動板2c’は、それぞれの第1揺動軸2b’,2b’を有して形成され、第2走査手段3は、第2揺動軸3bと直交する方向で第2可動板3cを均等に分割して形成した複数の第2分割可動板3c’を備え、各第2分割可動板3c’は、それぞれの第2揺動軸2b’,2b’を有して形成されている。このように構成することにより、各分割可動板2c’、3c’の重さが分割前の各可動板2c、3cよりも軽くなるため、各分割可動板2c’、3c’の共振周波数が高くなる。したがって、駆動手段5から各走査手段2,3に供給する駆動信号の周波数を高くすることにより、光を高速走査することができる。また、本変形例において、複数の第1反射面2a’の面積の総和は、図7に示した分割前の第1反射面2aの面積と同じになるように形成されており、複数の第2反射面3a’の面積の総和は、分割前の第2反射面3aの面積と同じになるように形成されている。これにより、光走査装置1を光測距装置の対象領域からの反射光を受光する手段としても利用する場合、受光の光量を維持したまま光を高速走査することができる。なお、上記第1及び第2実施形態においては、光走査装置1を光測距装置の光走査手段として用いた場合で説明したが、光走査装置1は、これに限らず、レーザ走査型のプロジェクタにおける光走査手段としても用いることができる。この場合でも、従来と同じ駆動信号の大きさで、走査画角を大きくすることができるため、駆動信号の大きさを高めることなく走査画角を大きくすることができる。"