回転軸とハウジングとの嵌合間に回転密封環と静止密封環とが対向して配置されたメカニカルシール装置であって、前記回転軸に連結されて回転シール面を有し、前記回転軸の軸心を中心として円環状に配置されると共に仕切壁により仕切られて形成された複数の円弧状溝が前記回転シール面に設けられた前記回転密封環と、前記回転密封環の回転シール面に対向する静止シール面を有する前記静止密封環と、前記静止密封環を前記回転密封環に向けて押圧する付勢手段と、前記静止密封環の前記静止シール面に形成されて、圧力ガスを供給する流体供給通路と連通可能な吐出開口部と、を具備し、前記吐出開口部の周方向長さW3が、前記仕切壁の周方向長さW1に対して1/2以上W3≧W1/2に形成され、前記吐出開口部の周方向長さW3が、前記円弧状溝の周方向長さW2より小さくW3<W2形成されているメカニカルシール装置。前記吐出開口部は、円形状又は円弧状に開口するように形成されている請求項1記載のメカニカルシール装置。前記回転密封環の前記回転シール面又は前記静止密封環の前記静止シール面の少なくともいずれか一方に、前記回転軸の回転により動圧を発生する動圧発生溝が形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載のメカニカルシール装置。前記仕切壁は、前記回転シール面より相対的に低く、且つ、前記円弧状溝の底面より相対的に高く形成されている請求項1~3の何れかに記載のメカニカルシール装置。本発明は、回転密封環の振動を抑制すると共にシール面同士の接触を防止して被密封流体への摩耗粉の混入を防止することが可能なメカニカルシール装置を提供することを目的とする。本発明は、上述のような技術的課題を解決するために成されたものであって、その技術的解決手段は以下のように構成されている。請求項1に係る本発明のメカニカルシール装置は、回転軸とハウジングとの嵌合間に回転密封環と静止密封環とが対向して配置されたメカニカルシール装置であって、前記回転軸に連結されて回転シール面を有し、前記回転軸の軸心を中心として円環状に配置されると共に仕切壁により仕切られて形成された複数の円弧状溝が前記回転シール面に設けられた前記回転密封環と、前記回転密封環の回転シール面に対向する静止シール面を有する前記静止密封環と、前記静止密封環を前記回転密封環に向けて押圧する付勢手段と、前記静止密封環の前記静止シール面に形成されて、圧力ガスを供給する流体供給通路と連通可能な吐出開口部と、を具備し、前記吐出開口部の周方向長さW3が、前記仕切壁の周方向長さW1に対して1/2以上W3≧W1/2に形成され、前記吐出開口部の周方向長さW3が、前記円弧状溝の周方向長さW2より小さくW3<W2形成されているものである。本発明では、回転密封環の回転シール面に円弧状溝を周方向に沿って形成する。また、吐出開口部の周方向長さW3が円弧状溝の周方向長さW2より小さくW3<W2形成する。これにより、圧力流体の圧縮性に起因したニューマティックハンマ現象が抑制されるので、回転密封環の振動が発生し難くなる。また、本発明では、回転シール面に2以上の円弧状溝を形成し、隣接する円弧状溝同士の間を仕切壁により仕切る。これにより、一方のシール面が他方のシール面に対して傾斜した場合であっても、当該シール面同士の間隔が狭まった側に位置する円弧状溝における圧力が高くなり、この圧力が傾斜を復元させる復元力として作用するので、シール面同士の接触が防止される。さらに、本発明では、吐出開口部の周方向長さW3を、仕切壁の周方向長さW1の1/2以上W3≧W1/2とする。これにより、十分な浮上力を常時確保することが出来、シール面同士の非接触状態を良好に維持することが可能となる。請求項2に係る本発明のメカニカルシール装置は、前記吐出開口部が、円形状又は円弧状に開口するように形成されているものである。吐出開口部の具体的な開口形状として、例えば、円形形状や円弧形状を挙げることが出来る。請求項3に係る本発明のメカニカルシール装置は、前記回転密封環の前記回転シール面又は前記静止密封環の前記静止シール面の少なくともいずれか一方に、前記回転軸の回転により動圧を発生する動圧発生溝が形成されているものである。請求項4に係る本発明のメカニカルシール装置は、前記仕切壁が、前記回転シール面より相対的に低く、且つ、前記円弧状溝の底面より相対的に高く形成されているものである。これにより、回転密封環の振動とシール面同士の接触とを効果的に抑制することが可能となる。以上説明してきたように、本発明によれば、圧力流体の圧縮性に起因するニューマティックハンマ現象が抑制されながらも、回転シール面と静止シール面との間に接触が適切に防止される。従って、回転密封環の振動を抑制すると共にシール面同士の接触を防止して被密封流体への摩耗粉の混入を防止することが可能なメカニカルシール装置を提供することが出来る。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の実施形態に係るメカニカルシール装置の断面図、図2は本発明の第1実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環を示す正面図、図3は図2のIIIIII線に沿った断面斜視図、図4Aは図3のIVAIVA線に沿った断面図、図4Bは回転密封環が一方向に回転した際に生じる動圧を示すグラフ、図4Cは回転密封環が他方向に回転した際に生じる動圧を示すグラフ、図5は図3のVV線に沿った断面図、図6は本発明の第1実施形態に係るメカニカルシール装置の静止密封環を示す正面図、図7は図6のVIIVII線に沿った断面斜視図である。本発明の実施形態に係るメカニカルシール装置1は、図1に示すように、回転軸100とハウジング140との間をシールすることが可能な非接触メカニカルシール装置である。このメカニカルシール装置1は、図1に示すように、回転軸100に連結された回転部材110に装着され、回転軸100と共に回転可能な回転密封環10と、この回転密封環10に対して軸方向に沿って対向するように配置された静止密封環20と、回転密封環10に向かって静止密封環20を付勢するスプリング31を介して静止密封環20を保持すると共にハウジング140に装着された保持部材30と、を備えている。第1実施形態に係るメカニカルシール装置1の回転密封環10は、図1及び図2に示すように、方形形状の断面を持つリング部材であり、回転部材110に装着されている。このため、この回転密封環10は、回転軸100と共に正回転方向図中のR1方向及び逆回転方向図中にてR2方向に回転可能となっている。この回転密封環10を構成する材料としては、例えば、炭化珪素材、特殊鋼、カーボン材、セラミック材、及び、超硬合金材等を挙げることが出来る。この回転密封環10の回転シール面11には、図2及び図3に示すように、6個の円弧状溝12が周方向に沿って実質的に等間隔に形成されている。この6個の円弧状溝12は、回転シール面11において回転軸心を中心とする円を形成するように配置されており、シール面11、21同士が対向した際に、後述する静止シール面21に形成された吐出開口部23に対向可能なような位置に配置されている。各円弧状溝12は、吐出開口部23の周方向長さW3が当該円弧状溝12の周方向長さW2より小さくW3<W2なるように形成されている。また、各円弧状溝12の径方向に沿った幅は、静止密封環20に形成された吐出開口部23の半径以上であり、且つ、静止密封環20のシール面21の径方向に沿った幅より小さくなっている。さらに、各円弧状溝12の深さは、最深部で約3mm以下であり、好ましくは約2mm以下、より好ましくは0.5mm以下である。なお、この円弧状溝12が深くなるに従って、回転密封環10の振動が大きくなる。隣接する円弧状溝12同士の間には、当該円弧状溝12同士を仕切っている仕切壁13がそれぞれ形成されている。これにより、回転シール面11が静止シール面21に対して傾斜した場合であっても、傾斜により円弧状溝12同士に生じた圧力差を、傾斜を復元させる復元力として利用することが出来るので、シール面11、21同士の接触を防止することが可能となっている。この仕切壁13は、吐出開口部23の周方向長さW3が当該仕切壁13の周方向長さW1に対して1/2以上W3≧W1/2となるように形成されている。これに対し、吐出開口部23の周方向長さW3を、仕切壁13の周方向長さW1に対して1/2未満W3<W1/2とすると、十分な浮上力を確保することが出来ない。さらに、この回転密封環10の回転シール面11には、図2に示すように、複数の第1及び第2動圧発生溝14a、14bが形成されている。第1動圧発生溝14aは、図3に示すように略L字形状を有していると共に、図4Aに示すようにR1方向に向かうに従い上昇するように傾斜した底面を有している。なお、図4Aは、図3のIVAIVA線に沿った断面図であり、外周側に位置する一対の第1及び第2動圧発生溝14a、14bを、回転軸心に沿って且つ回転シール面11の周方向に沿って切断した断面図である。この第1動圧発生溝14aは、図4Bに示すように回転軸100によるR1方向の回転により動圧を発生させることが可能となっている。これに対し、第2動圧発生溝14bは、図3に示すように第1動圧発生溝14aと周方向に沿って線対称な形状を有していると共に、図4Aに示すようにR2方向に向かうに従い上昇するように傾斜した底面を有している。この第2動圧発生溝14bは、図4Cに示すように回転軸100によるR2方向の回転により動圧を発生させることが可能となっている。従って、回転密封環10が静止密封環20に対してR1方向又はR2方向の何れの方向に回転しても動圧を発生させることが可能となっている。これにより、回転方向が異なる回転軸に対しても、同一のメカニカルシール装置1を用いることが可能となり、メカニカルシール装置1の互換性の向上を図ることが出来る。なお、図4B及び図4Cは動圧発生溝の断面形状に対する動圧の発生分布を示しており、同図において、上段のグラフの横軸は、下段に示す動圧発生溝の断面における位置を示している。このような2種類の動圧発生溝14a、14bは、図2に示すように、円弧状溝12の外周側に周方向に沿って交互に配置されている。同様に、円弧状溝12の内周側にも、2種類の動圧発生溝14a、14bが周方向に沿って交互に配置されている。従って、本実施形態では、第1及び第2動圧発生溝14a、14bが、回転シール面11において周方向に複数配置されていると共に径方向にも複数配置されている。各動圧発生溝14a、14bは、各円弧状溝12に連通している。各動圧発生溝14a、14bの深さD1は、図5に示すように、その最深部において、円弧状溝12の深さD2以下となっているD1≦D2、具体的には、各動圧発生溝14の最深部の深さD1は、5×10-3mm~3×10-2mmの範囲とすることが好ましい。以上のような動圧発生溝14a、14bを回転シール面11に形成することにより、静圧に加えて動圧を発生させることが出来る。第1実施形態に係るメカニカルシール装置1の静止密封環20は、図1及び図6に示すように、略L字形状の断面を持つリング部材であり、回転軸100と共に回転しないように、保持部材30により保持されている。この静止密封環20を構成する材料としては、例えば、カーボン材、特殊鋼、炭化珪素材、セラミック材、及び、超硬合金材等を挙げることが出来る。この静止密封環20の内部には、図1及び図7に示すように、当該静止密封環20の静止シール面21に向かって貫通した流体供給通路22が形成されている。この流体供給通路22の一方の端部は、静止シール面21において吐出開口部23で開口している。この吐出開口部23は、静止シール面21に周方向に沿って実質的に等間隔に8個形成されている。各吐出開口部23の周方向長さW3は1mm~5mm程度である。なお、本実施形態では、この吐出開口部23を円形形状の開口として説明したが、本発明においては特にこの形状に限定されず、例えば、楕円形状や長孔形状の開口であっても良く、後述の第8実施形態のように円弧状の開口としても良い。これに対して、当該流体供給通路22の他方の端部は、圧力流体を供給可能な流体供給装置50に連通している。そして、メカニカルシール装置1は、流体供給装置50から流体供給路22を介して供給された圧力流体を吐出開口部23から回転シール面11に向かって吹き出すことにより、回転シール面11と静止シール面21との間に圧力流体を供給することが可能となっている。流体供給装置50から供給される圧力流体としては、例えば、窒素ガスN2等の不活性ガスを挙げることが出来る。第1実施形態に係るメカニカルシール装置1の保持部材30は、図1に示すように、略L字形状の断面を持つリング部材である。この保持部材30には、静止密封環20に対向する位置に、複数の凹部32が周方向に沿って実質的に等間隔に形成されている。この各凹部32にはスプリング31が収容されており、このスプリング31の先端が静止密封環20の一端面に取り付けられている。このスプリング31は、静止密封環20を回転密封環10側に押圧している。以上のような回転密封環10、静止密封環20及び保持部材30から構成されるメカニカルシール装置1は、以下のように、回転軸100とハウジング140との間に取り付けられる。先ず、図1に示すように、回転軸100には回転部材110がOリング41を介して固着されている。この回転部材110の段部の側周面にOリング42を設け、この段部にOリング42でシール可能に回転密封環10が嵌着されている。そして、回転密封環10は、第1押さえ部材120により固定されている。さらに、回転部材110及び第1押さえ部材120は回転軸100に第2押さえ部材130を介して固定されている。この第2押さえ部材120は回転軸100と互いに螺合して、回転部材110と第1押さえ部材120とが締め付けて固定されている。次いで、静止密封環20は、図1に示すように、その一端面でスプリング31を介して保持部材30に保持されていると共に、その側面で2つのOリング43、44を介して保持部材30に保持されており、保持部材30に対して軸方向に沿って相対移動可能となっている。保持部材30の内周面には、スナップリング33が取り付けられており、保持部材30の内周孔からの静止密封環20の抜け出し防止が図られている。また、保持部材30には、静止密封環20に形成された流体供給通路22と流体供給装置50とを連通させるための流体供給通路34が当該保持部材30の内部を貫通するように形成されている。そして、この保持部材30は、回転軸100と共に回転しないように、2つのOリング45、46を介装しながらハウジング140に固定されている。本実施形態に係るメカニカルシール装置1は、例えば硫化水素や弗化水素等の被密封流体が存在する高圧環境と、当該高圧環境より圧力が相対的に低い低圧環境例えば真空等と、の間に配置される。この際、シール面11、21同士の間に圧力流体を供給する流体供給装置50の圧力P0が、高圧環境における圧力P1、及び、低圧環境における圧力P2の何れよりも大きくP0>P1>P2、又は、P0>P2>P1なるように設定されている。以上のように構成されるメカニカルシール装置1では、保持部材30及び静止密封環20に形成された流体供給通路34、22を介して流体供給装置50から圧力流体が供給されると、回転シール面11に向かって吐出開口部23から圧力流体が吹き出され、回転シール面11と静止シール面21との間に圧力流体が供給される。そして、この圧力流体が、スプリング31の弾性力との釣り合うように、静止シール面21を回転シール面11から離遠させる方向に付勢することにより、静圧によってシール面11、21同士の間を非接触状態でシールすることが可能となっている。この際、回転シール面11に向かって吐出開口部23から吹き出した圧力流体が、回転シール面11に形成された円弧状溝12に導入される共にシール面11、21同士の間にも広がり、圧力流体の圧縮性に起因したニューマティックハンマ現象が抑制され、回転密封環10の振動が抑制される。図8Aは本発明の第2実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環を示す正面図、図8Bは本発明の第2実施形態に係るメカニカルシール装置の静止密封環を示す正面図である。本発明の第2実施形態に係るメカニカルシール装置は、図8Aに示すように、回転密封環10の回転シール面11に、複数の円弧状溝12及び動圧発生溝14a、14bに加えて、導入通路15が設けられている点で第1実施形態と異なるが、その他の点は第1実施形態と同様である。本実施形態における導入通路15は、回転シール面11において円弧状溝12の内周側に周方向に沿って配置された第1及び第2動圧発生溝14a、14bからさらに内周側に突出するように形成された溝である。この導入通路15の深さは、例えば、3×10-3mm~15×10-3mmである。この導入通路15は、回転シール面11において圧力流体により非接触でシールされる部分よりさらに内周側に突出しており、静止回転環20の内周側に位置する高圧環境と連通することが可能となっている。このような導入通路15を形成することにより、流体供給装置50からの圧力流体の供給が途絶えた場合に、高圧環境に存在する被密封流体を導入通路15を介して動圧発生溝14a内に自動的に導入することが出来、この動圧発生溝14a、14bにより生じる動圧によりシール面11、21同士の接触を回避することが可能となっている。図9Aは本発明の第3実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環を示す正面図、図9Bは本発明の第3実施形態に係るメカニカルシール装置の静止密封環を示す正面図である。本発明の第3実施形態に係るメカニカルシール装置は、図9Aに示すように、回転密封環10の回転シール面11に、第1及び第2動圧発生溝14a、14bに代えて、第3及び第4動圧発生溝16a、16bが形成されている。第3の動圧発生溝16aは、円弧状溝12から傾斜しながら外周側に延びていると共に、その終点が回転シール面11内に設定されている。これに対し、第4動圧発生溝16bは、円弧状溝12から傾斜しながら内周側に延びており、その終点が回転シール面11内に設定されており、円弧状溝12を基準として第3動圧発生溝16aと線対称に形成されている。図10Aは本発明の第4実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環を示す正面図、図10Bは本発明の第4実施形態に係るメカニカルシール装置の静止密封環を示す正面図である。本発明の第4実施形態に係るメカニカルシール装置は、図10Aに示すように、第1実施形態における回転密封環10の回転シール面11図2参照から第1及び第2動圧発生溝14a、14bをなくすと共に、図10Bに示すように、第1実施形態における静止密封環20の静止シール面21図6参照に第1及び第2動圧発生溝24a、24bを追加した点で第1実施形態と異なるが、その他の構成は第1実施形態と同様である。静止シール面21に形成された第1及び第2動圧発生溝24a、24bは、第1実施形態において詳述した回転シール面11に形成された第1及び第2動圧発生溝14a、14bと同様の構成である。このように、回転シール面11に代えて静止シール面21に第1及び第2動圧発生溝24a、24bを形成しても、静圧に加えて動圧を発生させることが出来る。図11Aは本発明の第5実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環を示す正面図、図11Bは本発明の第5実施形態に係るメカニカルシール装置の静止密封環を示す正面図である。本発明の第5実施形態に係るメカニカルシール装置は、図11Aに示すように、第2実施形態における回転密封環10の回転シール面11図8A参照から第1及び第2動圧発生溝14a、14b並びに導入通路15をなくすと共に、図11Bに示すように、第2実施形態における静止密封環20の静止シール面21図8B参照に第1及び第2動圧発生溝24a、24b並びに導入通路25を追加した点で第2実施形態と異なるが、その他の構成は第2実施形態と同様である。なお、静止シール面21に形成された導入通路25は、第2実施形態において詳述した回転シール面11に形成された導入通路15と同様の構成である。図12Aは本発明の第6実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環を示す正面図、図12Bは本発明の第6実施形態に係るメカニカルシール装置の静止密封環を示す正面図である。本発明の第6実施形態に係るメカニカルシール装置は、図12Aに示すように、第3実施形態における回転密封環10の回転シール面11図9A参照から第3及び第4動圧発生溝16a、16bをなくすと共に、図12Bに示すように、第3実施形態における静止密封環20の静止シール面21図9B参照に第3及び第4動圧発生溝26a、26bを追加した点で第3実施形態と異なるが、その他の構成は第3実施形態と同様である。なお、静止シール面21に形成された第3及び第4動圧発生溝26a、26bは、第3実施形態において詳述した回転シール面11に形成された第3及び第4動圧発生溝16a、16bと同様の構成である。図13Aは本発明の第7実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環を示す部分斜視図、図13Bは本発明の第7実施形態に係るメカニカルシール装置の静止密封環を示す正面図、図14Aは図13AのXIVAXIVA線に沿った断面斜視図、図14Bは図13BのXIVBXIVB線に沿った断面斜視図、図15は図14AのXVXV線に沿った断面斜視図である。本発明の第7実施形態に係るメカニカルシール装置は、図13A~図14Bに示すように、隣接する円弧状溝12同士の間に形成された仕切壁13が低くなっている点で第1実施形態と異なるが、その他の構成は第1実施形態と同様である。本実施形態における仕切壁13は、図15に示すように、円弧状溝12から当該仕切壁13の上面までの高さt0が、円弧状溝12の底面から回転シール面11までの高さt1より小さくなっているt0<t1。高さt0と高さt1との差t0-t1は0.2mm以下であることが好ましい。このように、仕切壁13を円弧状溝12の底面より相対的に高く形成し、且つ、円弧状溝12の底面より相対的に高く形成することにより、回転密封環10の振動とシール面11、12同士の接触とを効果的に抑制することが可能となる。図16Aは本発明の第8実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環を示す正面図、図16Bは本発明の第8実施形態に係るメカニカルシール装置の静止密封環を示す正面図、図17Aは図16AのXVIIAXVIIA線に沿った断面斜視図、図17Bは図16BのXVIIBXVIIB線に沿った断面斜視図、図18は本発明の第8実施形態に係るメカニカルシール装置の回転密封環と静止密封環との位置関係を説明するための図である。本発明の第8実施形態に係るメカニカルシール装置は、図16A~図17Bに示すように、回転シール面11に円弧状溝12が形成されていることに加えて、静止密封環10の吐出開口部23が円弧状に形成されている点で第1実施形態と異なるが、その他の構成は第1実施形態と同様である。本実施形態における静止密封環20の静止シール面21には、図16Bに示すように、円弧状の吐出開口部23が周方向に沿って実質的に等間隔に8個形成されている。この8個の吐出開口部23は、静止シール面21において、回転軸心を中心とする円を形成するように配置されていると共に、円弧状溝12と同心状で同一半径を有するように周方向に沿って配置されており、シール面11、21同士が対向した際に、回転シール面11に形成された円弧状溝12と対向することが可能となっている。このように円弧状溝12に加えて吐出開口部23を円弧状に形成することにより、ニューマティックハンマ現象がより効果的に抑制される。各吐出開口部23の底部に、流体供給通路22の吐出孔が形成されており、吐出開口部23と流体供給通路22とが連通している。各吐出孔は、吐出開口部23の略中央部に形成されていることが好ましい。本実施形態では、吐出開口部23の周方向長さW3が、円弧状溝12の周方向長さW2より小さく設定されW3<W2、好ましくは、吐出開口部23の周方向長さ幅W3が、円弧状溝12の周方向長さW2に対して1/2より小さく設定されているW3<W2/2。これにより、円弧状溝12と円弧状の吐出開口部23とに十分な容積比を確保することが出来、円弧状溝12の効果を得ることが可能となっている。また、本実施形態では、図16A、図16B及び図18に示すように、円弧状の吐出開口部23の周方向長さW3が、円弧状溝12同士を仕切っている仕切壁13の周方向長さW1より大きく設定されているW3>W1。また、図17A及び図17Bに示すように、円弧状溝12の深さt1が、円弧状の吐出開口部23の深さt2以下に設定されているt1≦t2。これにより、十分な浮上力を常時確保することが出来るので、シール面11、21同士の非接触状態を良好に維持することが可能となっている。なお、円弧状の吐出開口部23の周方向長さW3は小さいほど好ましい。なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。例えば、上述の実施形態では、回転シール面に円弧状溝に加えて動圧発生溝を形成するように説明したが、本発明においては特にこれに限定されず、回転シール面に円弧状溝のみを形成し、動圧発生溝を形成しなくても良い。以下、本発明をさらに具体化した実施例及び比較例により本発明の効果を確認した。以下の実施例及び比較例は、上述した実施形態で用いたメカニカルシール装置の効果を確認するためのものである。実施例1実施例1のメカニカルシール装置として、円弧状溝が形成された回転密封環と、円形形状の吐出開口部が形成された静止密封環と、を用いて、第1実施形態で説明した構成のメカニカルシール装置を作製した。実施例1では、円弧状溝の深さt1を1mmとし、円弧状溝の周方向長さW2を112mmとし、仕切壁の周方向長さW1を4mmとし、吐出開口部の周方向長さW3を2mmとした。この実施例1において作製したメカニカルシール装置の作製条件を表1に示す。この実施例1のメカニカルシール装置に対して、回転密封環の挙動に振動が発生したか否かの振動評価を行った。この振動評価は、圧力流体として窒素ガスを用い、0.3MPaGの圧力を印加しながら流量20Nl/minで流体供給装置からシール面同士の間に窒素ガスを供給した際に、回転密封環に生じる回転軸方向に沿った加速度を計測し、当該加速度の値に基づいて振動の有無の評価を行った。計測された加速度が0.05G未満である場合には振動無しと評価し、計測された加速度が0.05以上である場合には振動有りと評価した。この振動評価において、回転軸、回転部材、第1及び第2の押さえ部材等の回転密封環に連結される回転体の重量、及び、静止密封環と保持部材との間に介在しているスプリングのばね荷重をパラメータとして、このパラメータを変化させた31パターンの条件下で加速度を計測することにより、各条件下での振動評価を行った。図19は実施例1におけるメカニカルシール装置の振動評価の結果を示すグラフである。実施例2実施例2のメカニカルシール装置として、円弧状溝が形成され、仕切壁が低くなっている回転密封環と、円形形状の吐出開口部が形成された静止密封環と、を用いて、第7実施形態で説明した構成のメカニカルシール装置を作製した。実施例2では、円弧状溝の深さt1を1mmとし、円弧状溝の周方向長さW2を112mmとし、仕切壁の周方向長さW1を4mmとし、仕切壁の上部の削り量t1-t0を0.07mmとし、吐出開口部の周方向長さW3を2mmとした。この実施例2において作製したメカニカルシール装置の作製条件を表1に示す。この実施例2のメカニカルシール装置に対して31パターンの条件下で実施例1と同様の要領で振動評価を行った。図20は実施例2におけるメカニカルシール装置の振動評価の結果を示すグラフである。実施例3実施例3のメカニカルシール装置として、円弧状溝が形成された回転密封環と、円弧状の吐出開口部が形成された静止密封環と、を用いて、第8実施形態で説明した構成のメカニカルシール装置を作製した。この実施例3のメカニカルシール装置では、円弧状溝の深さt1を0.05mmとし、円弧状溝の周方向長さW2を112mmとし、仕切壁の周方向長さW1を4mmとし、吐出開口部の深さt2を0.5mmとし、吐出開口部の周方向長さW3を15.4mmとした。この実施例3において作製したメカニカルシール装置の作製条件を表1に示す。この実施例3のメカニカルシール装置に対して28パターンの条件下で実施例1と同様の要領で振動評価を行った。図21は実施例3におけるメカニカルシール装置の振動評価の結果を示すグラフである。比較例比較例のメカニカルシール装置として、円弧状溝が形成されていない回転密封環と、円弧状の吐出開口部が形成された静止密封環と、を用いて、従来構造のメカニカルシール装置を作製した。この比較例のメカニカルシール装置では、吐出開口部の深さt2を0.25mmとし、吐出開口部の周方向長さW3を112mmとした。この比較例において作製したメカニカルシール装置の作製条件を表1に示す。この比較例のメカニカルシール装置に対して28パターンの条件下で実施例1と同様の要領で振動評価を行った。図22は比較例におけるメカニカルシール装置の振動評価の結果を示すグラフである。考察上記の実施例1~3と比較例とを比較すると、回転シール面に円弧状溝を形成することにより、回転密封環の振動が低減されることが確認された。また、実施例1と実施例2とを比較すると、仕切壁の高さを回転シール面より低くすることにより、図19及び図20に示すように、回転密封環の振動が低減されることが確認された。さらに、実施例1及び2と実施例3とを比較すると、回転シール面に円弧状溝を形成することに加えて、静止シール面の吐出開口部を円弧状に形成することにより、図19~図21に示すように、回転密封環の振動が低減されることが確認された。