"入力ガス流内の酸素とオゾンのうちの少なくとも一方の濃度レベルを測定する装置であって、実質的に全ての酸素又はオゾンを、出力ガス流内の水に変換することができる触媒を含む触媒コンバータと、触媒コンバータに結合され、出力ガス流中の水の濃度レベルを測定するよう構成された検知器とを含み、上記検知器が空洞リング‐ダウン分光計を含んでいて、該空洞リング‐ダウン分光計が、水素と反応した後に分析される入力ガス流内の酸素又はオゾンの濃度を200ppt~2.5ppmの範囲で測定するように構成されている装置。上記触媒が酸素を水に変換することができる、請求項1に記載の装置。上記触媒がオゾンを水に変換することができる、請求項1に記載の装置。入力ガス流内の酸素とオゾンのうちの少なくとも一方を含む不純物の濃度レベルを測定する装置であって、実質的に全ての不純物を、出力ガス流内の検出可能な種類へ変換するよう選択されている触媒を含む触媒コンバータと、触媒コンバータに結合され、出力ガス流中の検出可能な種類の濃度レベルを測定するよう構成された、空洞リング‐ダウン分光計を含む検知器と、触媒コンバータに結合され、水素と触媒とが接触するよう構成された水素源とを含んでいて、上記空洞リング‐ダウン分光計が、水素と反応した後に分析される入力ガス流内の酸素又はオゾンの濃度を200ppt~2.5ppmの範囲で測定するように構成されている装置。水素源が水素発生器を含む、請求項4に記載の装置。水素源が触媒上に事前吸着された水素を含む、請求項4に記載の装置。触媒がニッケルを含む、請求項1に記載の装置。ニッケルが、ニッケルウールおよびニッケルガーゼの少なくとも1つを含む、請求項7に記載の装置。触媒コンバータが触媒を収容するチャンバを含み、そのチャンバが、本質的に不活性材料から成る内部表面を有する、請求項1に記載の装置。不活性材料が銅を含む、請求項9に記載の装置。触媒を含む触媒コンバータを用いて、入力ガス流内の酸素とオゾンのうちの少なくとも一方の濃度レベルを決定する方法であって、入力ガス流を触媒コンバータへ入力する入力過程と、触媒コンバータ内の酸素又はオゾンを出力ガス流中の水に変換する変換過程と、空洞リング‐ダウン分光計により、出力ガス流内の水の存在を検出する検出過程とを含んでいて、上記空洞リング‐ダウン分光計が、水素と反応した後に分析される入力ガス流内の酸素又はオゾンの濃度を200ppt~2.5ppmの範囲で測定するように構成されている方法。入力ガス流における水のバックグラウンドレベルの存在を検出する過程を、入力過程の前に、あるいは入力過程と実質的に同時の何れかにさらに含む、請求項11に記載の方法。検出過程が、水の濃度レベルを測定する過程をさらに含む、請求項11に記載の方法。変換過程では酸素を水に変換する、請求項11に記載の方法。変換過程ではオゾンを水に変換する、請求項11に記載の方法。触媒を含む触媒コンバータを用いて、入力ガス流内の酸素とオゾンのうちの少なくとも一方を含む不純物の濃度レベルを決定する方法であって、入力ガス流を触媒コンバータへ入力する入力過程と、不純物を出力ガス流内の検出可能な種類に変換する変換過程と、空洞リング‐ダウン分光計により、出力ガス流内の検出可能な種類の存在を検出する検出過程と、水素源を提供する過程と、水素源を触媒コンバータに接続して、水素と触媒とを接触させる過程とを含んでいて、上記空洞リング‐ダウン分光計が、水素と反応した後に分析される入力ガス流内の酸素又はオゾンの濃度を200ppt~2.5ppmの範囲で測定するように構成されている方法。水素源を提供する過程が、水素発生器を提供することを含む、請求項16に記載の方法。水素源を提供する過程が、触媒上へ水素を事前吸着することを含む、請求16に記載の方法。触媒がニッケルを含む、請求項11に記載の方法。ニッケルが、ニッケルウールおよびニッケルガーゼの少なくとも1つを含む、請求項19に記載の方法。触媒コンバータが、本質的に不活性材料から成る内部表面を有するチャンバを含み、触媒がそのチャンバに収容されている、請求項11に記載の方法。不活性材料が銅を含む、請求項21に記載の方法。入力ガス流内の酸素とオゾンのうちの少なくとも一方の濃度レベルを測定する装置であって、実質的に全ての酸素又はオゾンを、出力ガス流内の水に変換することができる触媒を含む触媒コンバータと、触媒コンバータに入力ガス流を入力する入力手段と、空洞リング‐ダウン分光計を含み、出力ガス流内の水の存在を検出する検出手段とを含んでいて、上記空洞リング‐ダウン分光計が、水素と反応した後に分析される入力ガス流内の酸素又はオゾンの濃度を200ppt~2.5ppmの範囲で測定するように構成されている装置。上記触媒が酸素を水に変換することができる、請求項23に記載の装置。上記触媒がオゾンを水に変換することができる、請求項23に記載の装置。触媒コンバータに結合され、水素と触媒とを接触させる手段をさらに含む、請求項23に記載の装置。入力ガス流内の酸素とオゾンのうちの少なくとも一方を含む不純物の濃度を測定する装置であって、実質的に全ての不純物を、出力ガス流内の検出可能な種類に変換する触媒を含む触媒コンバータと、触媒コンバータに入力ガス流を入力する入力手段と、空洞リング‐ダウン分光計を含み、出力ガス流内の検出可能な種類の存在を検出する検出手段と、触媒コンバータに結合され、水素と触媒とを接触させる水素発生器を含んでいて、上記空洞リング‐ダウン分光計が、水素と反応した後に分析される入力ガス流内の酸素又はオゾンの濃度を200ppt~2.5ppmの範囲で測定するように構成されている装置。入力ガス流内の酸素とオゾンのうちの少なくとも一方を含む不純物の濃度を測定する装置であって、実質的に全ての不純物を、出力ガス流内の検出可能な種類に変換する触媒を含む触媒コンバータと、触媒コンバータに入力ガス流を入力する入力手段と、空洞リング‐ダウン分光計を含み、出力ガス流内の検出可能な種類の存在を検出する検出手段と、触媒コンバータに結合され、水素と触媒とを接触させる水素発生器とを含み、上記触媒が、触媒上に事前吸着された水素を含み、上記空洞リング‐ダウン分光計が、水素と反応した後に分析される入力ガス流内の酸素又はオゾンの濃度を200ppt~2.5ppmの範囲で測定するように構成されている装置。触媒がニッケルを含む、請求項23に記載の装置。ニッケルが、ニッケルウールおよびニッケルガーゼの少なくとも1つを含む、請求項29に記載の装置。触媒コンバータが、配送前の損失がなく、実質的に酸素又はオゾンの全てを触媒に配送する配送手段を含む、請求項23に記載の装置。配送手段が、本質的に不活性材料から成る内部表面を有するチャンバを含み、触媒がチャンバ内に収容されている、請求項31に記載の装置。不活性材料が銅を含む、請求項31に記載の装置。したがって、非常に低濃度のガスサンプルに存在するある種類の簡便な定量を可能にする分析技術の必要性は続くことになる。従来技術の短所に鑑みて、本発明は、ガス流内の不純物の分析に、高レベルな感度を達成する装置および方法を提供する。1つの態様では、本発明は、入力ガス流内の不純物の濃度レベルを測定する装置である。本装置は触媒コンバータを含んでおり、この触媒コンバータは、実質的に全ての不純物を、出力ガス流内の検出可能な種類へ変換するよう選択された触媒、および、触媒コンバータへ結合され、出力ガス流内の検出可能な種類の濃度レベルを測定するよう適合された検知器を含んでいる。他の態様では、本発明は、触媒を含む触媒コンバータの使用により、入力ガス流内の不純物の濃度レベルを測定する方法である。本方法は、入力ガス流を触媒コンバータに入力するステップ;不純物を出力ガス流内の検出可能な種類に変換するステップ;および、出力ガス内流の検出可能な種類の存在を検出するステップを含んでいる。さらに他の態様では、本発明は、入力ガス流内の不純物の濃度レベルを測定する装置である。本装置は、実質的に全ての不純物を、出力ガス流内の検出可能な種類へ変換する触媒を含む触媒コンバータ、および触媒コンバータ内へ入力ガス流を入力する入力手段;および、出力ガス流内の検出可能な種類の存在を検出する検出手段を含んでいる。2001年12月12日に出願された米国特許出願第10/017,367号;2002年5月29日に出願された米国特許出願第10/157,400号;米国特許第5,528,040号明細書;米国特許第5,973,864号明細書;米国特許第6,097,555号明細書;米国特許第6,172,823Bl号公報;および、米国特許第6,172,824Bl号公報の全ての開示は、参照により明白に本明細書に組み込まれる。次に、本発明を図を参照して説明するが、これは制限よりも、むしろ説明を意図するものであり、これにより、本発明の説明が容易になされることが含まれている。図は、正しい縮尺となっておらず、設計図を意図したものではない。本発明は、ガス流内の低レベルの不純物濃度を、質的に測定する装置および方法を提供する。概して、この装置および方法は、触媒を用いて不純物を検出可能な種類に変換するコンバータを通して、ガス流を通過させ、その後、コネクタ、バルブ、レギュレータ、およびチューブ、あるいはパイプなど、典型的なガス取り扱い装置によりコンバータへ取り付けられた適当な検知器により、その濃度を測定することに関連している。この技術は、様々な不純物の濃度測定に適応可能であり、さらに、検知器のタイプの選択と同様に、不純物のタイプと濃度は、コンバータのタイプおよび構造の選択における2つの決定ファクターとなっている。ここで図1を参照すると、ここでは、酸素濃度測定装置10を入力ガス流12に提供する、本発明の典型的実施例が示されている。こうした入力ガス流は、例えば、半導体処理で使用可能である。酸素を検出可能なガスの非制限例は、例えば、窒素、ヘリウム、アルゴン、および水素を含んでいるが、他のものが使用されてもよい。装置10は、触媒を収容したチャンバ図示せずを含む、触媒コンバータ14を含んでいる。チャンバは、チャンバ自体が入力ガス流内の酸素量を変化させないならば、ガスの取り扱いに適したいかなる材料で構成されていてもよい。酸素に使用される条件下では、チャンバ全体が不活性材料から構成されていてもよい。また、入力ガス流内に存在する、他の構成要素が不活性であってもよい。代替的に、このチャンバは、内部にこうした材料が単に裏打ちされているだけでもよい。こうした材料の非制限例は、石英と銅を含んでいる。1つの典型的実施例では、チャンバは、本質的に銅で構成されている。チャンバのサイズおよび寸法は、本質的には酸素の全てが確実に水へ変換されるよう、入力ガス内の酸素と触媒の間に十分な接触時間がある後述ならば、本発明の実行に重要ではない。1つの典型的実施例では、チャンバは銅のチューブである。通常、このチューブの内径はおよそ1mm~およそ20mmであり、さらに、通常、チューブの長さはおよそ2cm~およそ100cmである。1つの典型的実施例では、内径はおよそ3/16インチおよそ4.8mmであり、さらに、長さはおよそ20インチである。チャンバは、入力ガス流内の実質的に全ての酸素を水へ変換するよう選択された触媒を含んでおり、続いて水が適切な検知器により検出されることになる。本発明に従って、水素と組み合わせることにより、事実上、入力ガス流内の酸素から水への変換を提供する触媒が使用可能である。触媒の物理的構成は、例えばビーズ、ファイバー、不規則微粒子、はスパン構造、あるいは、チャンバ内に封入された場合に、以下に述べるように、触媒コンバータ14へ十分なガスを流すことが可能になる、他の形状およびサイズを含む、本質的にいかなる粒径あるいは形状も網羅可能である。適当な触媒の非制限例は、ニッケル、特に、ニッケルウールあるいはニッケルガーゼを含んでいる。およそ0.038mmの直径を有する典型的ニッケルウールは、マサチューセッツ州北部チェムスフォードのエグゼターアナリティカルExeterAnalytical社製のものが利用可能である。適当なニッケルガーゼ100メッシュ、ワイヤ直径0.114mmは、マサチューセッツ州ワードヒルのアルファアエサルAlfaAesar製のものが利用可能である。酸素を水へ変換する他の適当な触媒材料は、触媒技術の熟練者には既知であるが、非制限例をあげると、プラチナおよびパラジウムを含んでいてもよい。チャンバは、酸素から水への変換を実質的に妨げないなら、さらに水が出力ガス流内でチャンバを出る際に水の正確な分析を妨げないなら、触媒に加えて他の材料を含んでいてもよい。水素源16は、水素と触媒が接触するよう適合された方法で触媒コンバータ14と結合され、それにより、水への変換のために、酸素が接触する触媒の動的表面を提供する。代替的に、1つの典型的実施例では、水素源は触媒自体であり、事前吸着した水素を含んでいる。事前吸着した水素を伴う、こうした触媒/水素源の例は、ミズーリ州セントルイスのシグマ-アルドリッチSigma-Aldrich社製のRaney登録商標事前水素添加ニッケルである。こうした結合した触媒/水素源は、単独で、あるいは追加水素ガス源と結合して使用されてもよい。通常、水媒体中で商業的に利用可能なRaney登録商標事前水素添加ニッケルの場合は、触媒が酸素分析に使用される前に、例えば、真空乾燥、および/または、乾燥窒素あるいは水素ガス流をニッケル上へ通すことにより、脱水が実行されていなければならない。水素源16は、本質的に純粋水素、あるいは、例えば窒素、ヘリウム、もしくはアルゴンなどの希釈ガスと水素の混合物であってもよいが、タンク図示せずを含んでいてもよい。代替的に、本発明の他の典型的実施例では、水素源16は水素発生器である。こうした水素発生器は、当技術分野で既知であり、テキサス州アービングのマセソントライガスMathesonTriGas、およびペンシルベニア州プラムステッドビルのスコットスペシャルティガスイズScottSpecialtyGasesなどの会社から商業的に利用可能である。こうした水素発生器は、通常、非常に低い酸素含有量を有する、非常に純粋な水素源を提供するので、本発明に従う使用に特に適している。水素源16からの水素あるいは水素混合物は、通常、入力ガス流12がコンバータに入るポイント付近で触媒コンバータ14へと供給され、ガス取り扱い技術分野で既知の標準計量装置を用いて以下で説明する量で計量される。図1に示したように、レギュレータ18は簡便な水素圧力を提供するよう使用可能であり、質量流量コントローラ20は単位時間あたりの所望ガス量の計量に使用可能である。図1は、レギュレータ18および質量流量コントローラ20の使用を示しているが、これらのうちいずれかあるいは両方が不在であってもよく、あるいは、代替流量制御装置が使用されていてもよい。一般に、十分に純粋な水素のいかなる源も使用可能である。水素純度の必要レベルは、入力ガス流内の酸素レベルに応じて、さらに、測定に要求される正確さおよび精度レベルに応じて、変化する。水素は、実質的に触媒活性に影響し得る程度の量の、触媒被毒材料を含んでいてはならない。こうした触媒被毒材料は、触媒技術の熟練者には周知であり、例えば硫化水素を含んでいる。水素は、入力ガス流内の酸素測定への干渉を最小にするよう、含有している酸素は、可能な限り少量でなければならない。通常、最大およそ2.5ppmの酸素含有量を有する入力ガス流の分析に対して、水素源によりガス流に与えられる酸素含有量は、およそ0.1ppbより低いことが好ましい。したがって、例えば、触媒コンバータ14に入る時点で、0.5レベルの水素がガス流内に存在しているなら、水素源は、およそ0.1ppb/0.5=20ppbより少ない酸素を含んでいることが好ましい。ある種の状況では、測定感度の減少をもたらすことになるかもしれないが、より高いレベルであってもよい。加えて、測定感度および精度は、入力ガス流内に既に存在している水もし存在しているならの量により影響を受け、高レベルとなると感度の低下が生じる。したがって、ガスサンプル自体内の水は、例えば酸素トラッピングなど、簡便ないかなる手段こうした手段が測定を妨げないならによって取り除かれてもよい。こうした水の除去手段は、カリフォルニア州サンディエゴのアエロネクスAeronex製のモデルSS‐70KF‐N‐4R清浄器など、商業的に利用可能な水分トラップ図示せずを含んでいてもよい。また同じ理由で、キャリアガスあるいは水素源により偶然に導入され得る水は、測定感度および精度を減少させるので、最小にすべきである。一般に、固有の上方酸素検出限界L100万分の1、あるいは他の単位を有する検知器の、実際の上方の検出限界LAは、方程式LA=L-B/2により与えられる。ここで、Bは出力ガス流内の水のバックグラウンドレベルである。バックグラウンド水レベルBは、測定を二度一度は酸素から水への触媒変換があり、一度は変換がない実行することにより、簡便に測定可能である。図1に示した、本発明の1つの典型的実施例では、装置10は、チェックバルブ22、および、任意に第2チェックバルブ23を含んでいてもよく、これらの両方がガスの逆流を防いでいる。こうした配置により、測定されるべき酸素を含む入力ガス流12は、触媒による変換を受けることなく検知器26へ方向付けることができ、その結果、触媒コンバータ14と同様にバックグラウンド水の測定が可能となる。その後、触媒コンバータ14からの出力ガス流は、経路28に沿って検知器26へ流れることになる。この配置により、事前および事後の水変換レベルが決定され、その結果、バックグラウンドレベルが計算される。事前変換レベルは、事後変換レベルの、前に、後に、あるいは同時に決定されてもよい。加えて、要素22、23はチェックバルブであってもよいが、フロースイッチなどの単方向フロー制御が、チェックバルブ22、23のいずれかあるいは両方と置き換られていてもよく、そして、処理制御器図示せずの制御の下にあってもよいと考えられる。本発明の他の代替的実施例では、入力ガス12が、経路24、28に分けられるようにバルブ22、23が動作可能であるので、検知器が同時測定を実行するよう適合されている場合、同時に検知器26により水レベル測定が実行される。図1は、チェックバルブ22、23を使う実施例を示しているが、他のガス取り扱い構成が、バックグラウンド水、および酸素から水への変換に由来する水の、両方の測定の提供に使用可能である。さらに他の典型的実施例では、バックグラウンド水の測定手段がなく、触媒コンバータ14からの出力ガス流だけが検知器26へ供給される。こうした配置は、例えば、入力ガス流12内の水のバックグラウンドレベルが無視可能であることが判明していたり、あるいは濃度レベルが既知であるアプリケーションに適しているだろう。検知器26は、触媒コンバータ14と結合されて、出力ガス流内の水の濃度レベルを決定するよう適合されている。検知器26は、ガス流内の低濃度の水測定に適するいかなるタイプであってもよく、さらに、例えば電気化学セルを含んでいてもよい。こうした電気化学セルの適切な例は、トレーサーTracer、アクアボルトAquavolt、およびアキュポイントAccupointという名前で販売されている、ペンシルベニア州ウォーリントンのミーコMeeco社製のものが利用可能である。選択された正確な電気化学セル検知器に応じて、出力ガス流における水分の含有量が、1ppbと同程度にまで低く、さらに、20ppmと同程度にまで高い、下方検出限界で測定可能である。検知器26は、例えば赤外線放射などの、電磁波の吸収を測定するよう適合されていてもよい。本明細書に使用されるように、赤外線という用語は、スペクトルの、近赤外線、中赤外線、および遠赤外線領域のいずれか、あるいは全てにおける放射を意味している。例えば、フーリエ変換分光計が使用可能である;こうした分光計は、分析技術で周知であり、さらに、様々な構成およびモデルで商業的に広く利用可能である。1つの典型的実施例では、検知器26は、空洞リング‐ダウン分光器CRDSを含んでいる。こうした検知器は、例えば、レーマンLehmannに対して発行された米国特許第5,528,040号明細書、および、全てレーマンLehmann他に対して発行された米国特許第5,973,864号明細書、ならびに米国特許第6,097,555号明細書、米国特許第6,172,823Bl号公報、ならびに米国特許第6,172,824Bl号公報において説明されている。また、適当なものは、ペンシルバニア州ウォーリントンのタイガーオプティクスTigerOpticsL.L.C.から商業的に利用可能であるようなCRDS分光計であり、その適当な例はMTO-1000という名で販売されている。CRDS検知器の使用により、非常に高い感度を得ることが可能となる。本発明によるなら、例えば、およそ200ppt1兆分の1~2.5ppm100万分の1の間の酸素レベルを定量化可能である。また、入力ガス流12が、例えば、窒素、ヘリウム、アルゴン、あるいは水素などのキャリアガスで第1希釈されているなら、CRDS検知器を用いることに、より高レベルの酸素濃度が測定可能となる。本発明によるならば、入力ガス流12の酸素含有量の測定装置10へは、本質的に入力ガス流内の全ての酸素を確実に水へ変換するために、動作中に十分な水素を提供するべきである。一般に、入力ガス流12に供給される水素の量は、酸素に対して過剰となっていなければならない。確実に変換を終了するには、水素対酸素の部分体積比は、およそ500:1以上の範囲であろう。標準的な比率は、およそ2000:1であろう。例えば、およそ0.5の水素含有量は、酸素レベルがおよそ2.5ppmと予想されるアプリケーションで使用可能である。実質的に、さらに大きな水素対酸素の比率が使用可能であり、さらに、事実上、不活性なキャリアガスが存在しない純粋水素が使用可能である。こうした多量の水素の使用は、主に、水素に伴ういかなる不純物の入力の増加を回避し、さらに、装置から未反応水素を放出させることによる潜在的な燃焼性の危険を回避し、さらに水素消耗に起因する不要なコストを回避する要望により、制限されてもよい。通常、およそ2.5ppmまでの酸素レベルの測定に対しては、反応前の入力ガス流12の水素含有量は、およそ0.25~およそ4であり、通常はおよそ0.5である。装置10が酸素から水への十分迅速で完全な変換を提供するために、さらに、水が検知器に達する前にしたがって測定されない前に凝固してしまうのを防ぐために、触媒コンバータ14内へ、および出力ガス流を検知器26に運ぶいかなる接続部品内へも高温が供給されてもよい。通常、ニッケル触媒が使用されているなら、触媒コンバータ14の温度はおよそ200°C~およそ500°Cの範囲、最も標準的にはおよそ200°C~およそ250°Cの範囲に維持される。好ましくは、およそ200°Cの温度が使用される。およそ200°Cからかなり低い温度では、酸素から水への変換が不完全となる傾向があり、また、およそ500°Cより高い温度では、少なくとも若干の場合に、変換が抑制され、酸素とニッケルの合成と同じく、酸素濃度が不当に低くなってしまうことになる。触媒コンバータ14の加熱は、オーブンなど、簡便ないかなる手段図示せずにより、あるいは電気抵抗テープの使用により達成可能である。また、触媒コンバータと検知器を接続する接続部分30も、凝固による水の損失を防ぐために、通常、およそ60°C~およそ100°Cの範囲で、最も一般的には、およそ80°Cに加熱されていてもよい。この加熱は、例えば電気加熱テープ32の使用を含む、いかなる簡便な手段によっても達成可能である。こうした接続部分30は、例えば電気研磨されたステンレススチールを含んでいてもよい。こうした材料に対して、およそ100°Cより高い温度は、ステンレススチールと水素の相互作用により、湿気を生成してしまうこともあり、そのため、通常は回避されることになろう。代替的に、接続部品は銅で製造されていたり、あるいは銅で裏打ちされていてもよい。また、例えば、加熱テープを用いる加熱は、触媒コンバータ14の上流において、入って来るガス流を予熱するために提供されてもよい。酸素から水への本質的に完全な変換が起こるよう、入力ガスは十分な時間だけ触媒コンバータ14内に滞在しなければならない。したがって、触媒コンバータ14を通る入力ガス流12の流速は、速すぎてはいけない。SCCM1分あたりの標準立方センチメートルによる適当な流速は、チャンバの内径ならびに長さ、およびチャンバ内の空きスペース気相スペースの体積百分率、および触媒の表面積ならびに触媒活性に依存する。また、他のファクターも原因となろう。通常、空間速度が、触媒体積に対する体積流速の比率と定義される場合は、触媒コンバータ14を通る入力ガス流12の空間速度は、およそ5~およそ220秒-1が適切である。適切な流速は、熟練した当業者が最小の実験で容易に明察可能であるが、例えば、およそ5~およそ220秒-1の空間速度、触媒としてのおよそ1.5グラムのニッケルウールおよそ0.038mmの直径で梱包され、およそ200°Cで作動する、外径1/4インチ内径およそ3/16インチ、長さおよそ10~およそ20インチの銅のチューブに対しては、およそ50~およそ2000SCCMであればよい。本発明の他の実施例では、上述した酸素測定用の装置および方法は、オゾン、あるいは酸素とオゾンの混合物の分析に適合させることができる。この装置に対しては、上で概説した酸素測定のためのものと、本質的に同じ構成、条件、および動作パラメタで使用されてもよい。本発明は、本明細書の特定の実施例を参照して説明されているが、本発明を示された詳細に制限することは意図していない。むしろ、特許請求の範囲と同等物の意図ならびに範囲内の詳細で、さらに本発明から逸脱することなく様々な変更をなすことが可能であろう。実施態様1.入力ガス流内の不純物の濃度レベルを測定する装置であって、実質的に全ての不純物を、出力ガス流内の検出可能な種類へ変換するよう選択されている、触媒を含む触媒コンバータと、触媒コンバータへ結合され、出力ガス流中の検出可能な種類の濃度レベルを測定するよう適合された検知器とを含む装置。2.不純物が酸素である、1に記載の装置。3.不純物がオゾンである、1に記載の装置。4.水素と触媒とが接触するよう適合され、さらに、触媒コンバータへ結合された水素源をさらに含む、1に記載の装置。5.水素源が水素発生器を含む、4に記載の装置。6.水素源が触媒上に事前吸着された水素を含む、4に記載の装置。7.触媒がニッケルを含む、1に記載の装置。8.ニッケルが、ニッケルウールおよびニッケルガーゼの少なくとも1つを含む、7に記載の装置。9.触媒コンバータが触媒を収容するチャンバを含み、そのチャンバが、本質的に不活性材料から成る内部表面を有する、1に記載の装置。10.不活性材料が銅を含む、9に記載の装置。11.検知器が、電磁放射の吸収を測定するよう適合されている、1に記載の装置。12.電磁放射が赤外線を含む、11に記載の装置。13.検知器が、フーリエ変換赤外分光計を含む、11に記載の装置。14.検知器が、空洞リング‐ダウン分光計を含む、1に記載の装置。15.検知器が、蛍光分光計を含む、1に記載の装置。16.検知器が、電気化学セルを含む、1に記載の装置。17.入力ガス流内の酸素の濃度レベルを測定する装置であって、触媒を収容するチャンバを含む触媒コンバータであって、本質的に不活性な材料から成る内部表面を有し、触媒は、実質的に全ての酸素を出力ガス流内の水に変換するよう選択されているチャンバと、触媒コンバータへ結合され、水素と触媒との接触を提供するよう適合された水素源と、触媒コンバータと結合されて、出力ガス流内の水の濃度のレベルを測定するように適合させられる検知器とを含む装置。18.触媒がニッケルを含み、不活性材料が銅を含み、さらに、検知器が空洞リング‐ダウン分光計を含む、17に記載の装置。19.触媒を含む触媒コンバータを用いて、入力ガス流内の不純物の濃度レベルを決定する方法であって、入力ガス流を触媒コンバータへ入力するステップと、出力ガス流内の不純物を検出可能な種類に変換するステップと、出力ガス流内の検出可能な種類の存在を検出するステップとを含む方法。20.入力ガス流における、検出可能な種類のバックグラウンドレベルの存在を検出するステップを、入力ステップの前に、あるいは入力ステップと実質的に同時の何れかにさらに含む、19に記載の方法。21.検出ステップが、検出可能な種類の濃度レベルを測定するステップをさらに含む、19に記載の方法。22.不純物が酸素である、19に記載の方法。23.不純物がオゾンである、19に記載の方法。24水素源を提供するステップと、水素と触媒との接触を提供するよう水素源を構成するステップとをさらに含む、19に記載の方法。25.水素源を提供するステップが、水素発生器を提供することを含む、24に記載の方法。26.水素源を提供するステップが、触媒上へ水素を事前吸着することを含む、24に記載の方法。27.触媒がニッケルを含む、19に記載の方法。28.ニッケルが、ニッケルウールおよびニッケルガーゼの少なくとも1つを含む、27に記載の方法。29.触媒コンバータが、本質的に不活性材料から成る内部表面を有するチャンバ、そのチャンバに収容された触媒を含む、19に記載の方法。30.不活性材料が銅を含む、29に記載の方法。31.検出ステップが、電磁放射の吸収を測定するステップをさらに含む、19に記載の方法。32.検出ステップが、赤外線の吸収を測定するステップをさらに含む、19に記載の方法。33.検知器が、フーリエ変換赤外分光計を含む、19に記載の方法。34.上記検出ステップが、検出可能な種類を検出するよう、空洞リング‐ダウン分光計を適合させるステップと、検出可能な種類の濃度レベルを測定するステップとをさらに含む、19に記載の方法。35.上記検出ステップが、検出可能な種類を検出するよう、電気化学セルを適合させるステップと、検出可能な種類の濃度レベルを測定するステップとをさらに含む、19に記載の方法。36.触媒を収容したチャンバを含み、そのチャンバが本質的に不活性材料からなる内部表面を有している触媒コンバータを用いるために、入力ガス流内の酸素濃度を測定する方法であって、入力ガス流を触媒コンバータへ入力するステップと、水素を触媒コンバータに入力するステップと、実質的に全ての酸素を出力ガス流内の水に変換するステップと、出力ガス流内の水の濃度レベルを測定するステップとを含む方法。37.触媒がニッケルを含み、不活性材料が銅を含み、および決定ステップが、電磁放射の吸収を測定するよう、空洞リング‐ダウン分光計を適合させるステップを含む、36に記載の方法。38.入力ガス流内の不純物濃度を測定する装置であって、実質的に全ての不純物を、出力ガス流内の検出可能な種類へ変換する触媒を含む触媒コンバータと、触媒コンバータに入力ガス流を入力する入力手段と、出力ガス流内の検出可能な種類の存在を検出する検出手段とを含む装置。39.検出手段が、検出可能な種類の濃度レベルを測定する手段をさらに含む、38に記載の装置。40.不純物が酸素である、38に記載の装置。41.不純物がオゾンである、38に記載の装置。42.水素と触媒との接触を提供する手段をさらに含む、38に記載の装置。43.接触を提供する手段が、水素発生器を含む、42に記載の装置。44.接触を提供する手段が、触媒上に事前吸着された水素を含む、42に記載の装置。45.触媒がニッケルを含む、38に記載の装置。46.ニッケルが、ニッケルウールおよびニッケルガーゼの少なくとも1つを含む、45に記載の装置。47.触媒コンバータが、配送前の損失がなく、実質的に不純物の全てを触媒に配送する手段を含む、38に記載の装置。48.配送手段が、本質的に不活性材料から成る内部表面を有するチャンバを含み、触媒がチャンバ内に収容されている、47に記載の装置。49.不活性材料が銅を含む、47に記載の装置。50.検出手段が、電磁放射の吸収を測定する手段を含む、38に記載の装置。51.検出手段が赤外線の吸収を測定する手段を含む、38に記載の装置。52.測定手段が空洞リング‐ダウン分光計を含む、51に記載の装置。53.測定手段が電気化学セルを含む、51に記載の装置。54.測定手段がフーリエ変換赤外分光計を含む、38に記載の装置。"