噴射孔の流路面積を変化させる噴射孔制御機構5がMEMSにより形成され、前記噴射孔制御機構5は、内燃機関に燃料を噴出させる複数の噴射孔521が形成された基板52と、前記噴射孔521を各噴射孔521毎に独立して開閉する複数の弁部材53とを備えることを特徴とする燃料噴射弁。前記弁部材53は、前記基板52の表面上をスライドして前記噴射孔521を開閉することを特徴とする請求項1に記載の燃料噴射弁。全ての前記噴射孔521に向かって流れる燃料の流れを断続する1つの主弁体2を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の燃料噴射弁。目標燃料噴射量が所定値以下のときに、前記複数の噴射孔521のうち一部の噴射孔521が全閉されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の燃料噴射弁。前記弁部材53は、通電時に磁界を形成する金属パターン534が形成され、電磁反発力により駆動されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の燃料噴射弁。前記噴射孔制御機構5は、前記弁部材53への通電を制御する制御回路55を備えることを特徴とする請求項5に記載の燃料噴射弁。前記基板52の一方の面に前記弁部材53が配置され、前記基板52の他方の面に前記制御回路55が配置されていることを特徴とする請求項6に記載の燃料噴射弁。しかしながら、弁体のストロークを可変制御する形式の燃料噴射弁では、弁体のストロークひいては燃料流路の面積を精度よく制御することが容易ではなく、したがって、低噴射量域での噴射量制御精度を十分に向上させることができないという問題があった。本発明は上記点に鑑みて、低噴射量域での噴射量制御精度を向上させることを目的とする。上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、噴射孔の流路面積を変化させる噴射孔制御機構5がMEMSにより形成され、噴射孔制御機構5は、内燃機関に燃料を噴出させる複数の噴射孔521が形成された基板52と、噴射孔521を各噴射孔521毎に独立して開閉する複数の弁部材53とを備えることを特徴とする。これによると、複数の噴射孔521を各噴射孔521毎に独立して開閉することにより、噴射孔521の合計流路面積を変化させて噴射率を制御することができる。そして、噴射孔521を開閉する構成であるため、弁体のストロークを可変制御する形式の燃料噴射弁よりも、燃料流路の面積を精度よく制御することができ、低噴射量域での噴射量制御精度を向上させることができる。請求項2に記載の発明のように、請求項1に記載の燃料噴射弁において、弁部材53として、基板52の表面上をスライドして噴射孔521を開閉するものを用いることができる。請求項3に記載の発明では、請求項1または2に記載の燃料噴射弁において、全ての噴射孔521に向かって流れる燃料の流れを断続する1つの主弁体2を備えることを特徴とする。これによると、噴射孔521を開閉して噴射率を制御し、主弁体2により噴射時間を制御して、噴射量を制御することができる。請求項4に記載の発明では、請求項1ないし3のいずれか1つに記載の燃料噴射弁において、目標燃料噴射量が所定値以下のときに、複数の噴射孔521のうち一部の噴射孔521が全閉されることを特徴とする。これによると、低噴射量域では噴射率を小さくし、その分噴射時間を長くすることにより、低噴射量域での噴射量制御精度を向上させることができる。請求項5に記載の発明のように、請求項1ないし4のいずれか1つに記載の燃料噴射弁において、弁部材53として、通電時に磁界を形成する金属パターン534が形成され、電磁反発力により駆動されるものを用いることができる。請求項6に記載の発明のように、請求項5に記載の燃料噴射弁において、噴射孔制御機構5は、弁部材53への通電を制御する制御回路55を備えることができる。請求項7に記載の発明のように、請求項6に記載の燃料噴射弁において、基板52の一方の面に弁部材53を配置し、基板52の他方の面に制御回路55を配置することができる。なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る燃料噴射弁は、内燃機関の燃料噴射制御装置に用いられて、内燃機関の各気筒に燃料ガソリンを噴射供給するものであり、図示しない電子制御装置以下、燃料噴射制御装置用ECUというによりその駆動が制御される。その燃料噴射制御装置用ECUは、周知のマイクロコンピュータシステムを中心に構成され、CPU、ROM、RAM、入出力インターフェースI/O等を備える。そして、燃料噴射制御装置用ECUは、内燃機関の運転状態に応じて燃料噴射量や点火時期等の制御信号を演算し、その制御信号を燃料噴射弁やイグナイタに出力する。図1は一実施形態に係る燃料噴射弁の構成を示す正面断面図、図2は図1の燃料噴射弁における要部の構成を拡大して示す正面断面図、図3は図2のキャップの下面図である。この、図1~図3に示すように、燃料噴射弁の主要部は、バルブボディ1、主弁体2、電磁アクチュエータ3、コネクタ4、および噴射孔制御機構5に大別される。略筒状をなすバルブボディ1の先端部には、燃料の流路となるボディ部燃料通路孔11が形成されている。バルブボディ1内部には、主弁体2を摺動可能に収容する摺動孔12、および、ボディ部燃料通路孔11を囲む弁座13が形成されている。ニードル形状の主弁体2には、その軸方向の上下二位置に摺接部21が形成されており、この摺接部21が摺動孔12に摺動自在に当接している。また、この主弁体2において、摺接部21に周方向に隣接する部位には平坦部22が形成されており、平坦部22と摺動孔12との間に形成される隙間を燃料が流通するようになっている。主弁体2には、バルブボディ1の弁座13に当接する当接部23が形成されており、主弁体2は、その当接部23が弁座13に当接してボディ部燃料通路孔11を閉じる閉弁位置と、当接部23が弁座13から所定量だけ離れてボディ部燃料通路孔11を開く開弁位置との間で移動可能となっている。換言すると、主弁体2は、後述する噴射孔制御機構5の全ての噴射孔521に向かって流れる燃料の流れを断続するものである。電磁アクチュエータ3は、アーマチュア31、ステータ32、ケーシング33、電磁コイル34、およびリターンスプリング35を備えている。アーマチュア31、ステータ32、およびケーシング33は、磁性体金属からなり、磁気回路を構成している。アーマチュア31は、主弁体2に一体移動可能に連結され、リターンスプリング35によって常に主弁体2の閉弁向きに付勢されている。筒状のステータ32は、アーマチュア31と同軸上に配設され、その一端側がアーマチュア31と対向している。ステータ32の他端側は、燃料の流入口になっている。ステータ32のフランジ部が筒状のケーシング33の端部にかしめ固定されており、ステータ32とケーシング33とによって形成された空間に、円筒状の電磁コイル34が収容されている。コネクタ4は、ケーシング33の端部にコネクタハウジング41がモールド成形により形成されており、コネクタハウジング41内に、燃料噴射制御装置用ECUからの制御信号を取り込むための複数の端子42が配設されている。そして、一部の端子42が電磁コイル34に接続されていて、燃料噴射制御装置用ECUにより電磁コイル34への通電が制御されるようになっている。次に、噴射孔制御機構5について説明する。なお、図4は図1の噴射孔制御機構5における要部の構成を拡大して示す平面図、図5は図4のA部を拡大して示す平面図、図6は図5のB-B線に沿う断面図、図7は噴射孔制御機構5の回路構成を示す回路図である。この噴射孔制御機構5は、複数の噴射孔を各噴射孔毎に独立して開閉することにより、噴射孔の合計流路面積を変化させて噴射率を制御するものであり、MEMS技術を用いて形成される。図2~図7に示すように、噴射孔制御機構5は、バルブボディ1の先端部外側に位置し、ボディ部燃料通路孔11を覆うようにして配設されている。具体的には、樹脂またはセラミックよりなる有底円筒状のキャップ51がバルブボディ1に接着剤にて接着されており、このキャップ51内に、他の構成部品が収容されている。キャップ51内には、シリコンよりなる基板52が固定されている。この基板52には、内燃機関に燃料を噴出させる円形の噴射孔521が複数個本例では4個形成されている。これらの噴射孔521は、燃料流れに対して並列に配置されている。キャップ51の底部には、燃料の流路となる円形のキャップ部燃料通路孔511が複数個本例では4個形成されている。このキャップ部燃料通路孔511は、噴射孔521よりも径が大きく設定されている。そして、噴射孔521がキャップ部燃料通路孔511にて塞がれない位置関係で、キャップ51と基板52が積層されている。基板52の一方の面には、噴射孔521を各噴射孔毎に独立して開閉する細長い薄板状のシリコンよりなる可動電極53が複数個本例では4個実装されている。なお、可動電極53は本発明の弁部材に相当する。可動電極53には、基板52とバンプ接合される接合板部531が両端に形成され、噴射孔521を開閉する弁板部532が電極長手方向中間部に形成されている。また、可動電極53には、接合板部531と弁板部532とを繋ぐ連結板部533が形成されている。この連結板部533は、接合板部531や弁板部532よりも細くなっており、連結板部533が変形することにより弁板部532が基板52の表面上をスライド可能になっている。また、可動電極53には、通電時に磁界を形成する金属パターン534が形成されている。この金属パターン534は、一方の接合板部531から他方の接合板部531まで延びるとともに、弁板部532の部位では渦巻き状になっている。この渦巻き状になった部位の中央部から一方の連結板部533図5の紙面下方側に至る間の埋設金属パターン部534aは、渦巻き状になった部位との短絡防止のために弁板部532内に埋設されている。基板52の一方の面には、可動電極53に対向して細長い薄板状のシリコンよりなる固定電極54が複数個本例では2個実装されている。より詳細には、1つの固定電極54は、2つの可動電極53に対向して配置されている。固定電極54は、その両端部で基板52とバンプ接合されている。また、固定電極54には、通電時に磁界を形成する金属パターン541が形成されており、この金属パターン541は、一方の端部から他方の端部まで延びている。基板52の他方の面には、可動電極53および固定電極54への通電を制御する制御回路55が設けられている。この制御回路55は、可動電極53の金属パターン534および固定電極54の金属パターン541に接続されている。コネクタ4の端子42のうちキャップ51まで延びた端子42は、キャップ51に設けられた中継配線56に接続されている。そして、この中継配線56と制御回路55は、金ワイヤ57にて接続されている。これにより、燃料噴射制御装置用ECUからの制御信号が制御回路55に入力され、制御回路55はその制御信号に基づいて可動電極53および固定電極54への通電を制御するようになっている。次に、上記構成になる燃料噴射弁における噴射孔制御機構5の作動について説明する。まず、可動電極53および固定電極54に通電されていないときには、弁板部532により噴射孔521が閉じられている図4参照。可動電極53および固定電極54に通電されると、弁板部532には固定電極54から遠ざかる向きの電磁反発力が作用する。この電磁反発力により、連結板部533が変形しつつ弁板部532が基板52の表面上を固定電極54から遠ざかる向きにスライドして、噴射孔521が開かれる図8参照。そして、4つの可動電極53のうち通電されている可動電極53のみが対応する噴射孔521を開き、したがって、4つの噴射孔521を各噴射孔521毎に独立して開閉することにより、噴射孔521の合計流路面積を変化させて噴射率を制御することができる。具体的には、燃料噴射制御装置用ECUにて演算された目標燃料噴射量が所定値以下のときに、4つのの噴射孔521のうち一部の噴射孔521を全閉にする。より詳細には、目標燃料噴射量が少ない運転領域、すなわち低噴射量域では、1つの噴射孔521のみを全開にして噴射率を小さくする。また、目標燃料噴射量の増加に伴って、開放される噴射孔521の数を増して噴射率を漸増する。さらに、目標燃料噴射量が最大噴射量に近い運転領域、すなわち高噴射量域では、全ての噴射孔521を開いて噴射率を最大にする。次に、上記構成になる燃料噴射弁の全体の作動について説明する。ステータ32の端部の流入口に流入した燃料は、ステータ32やアーマチュア31内を通って摺動孔12内に導かれる。そして、燃料噴射制御装置用ECUにより電磁コイル34へ通電されると、電磁力によりアーマチュア31および主弁体2がリターンスプリング35の付勢力に抗してステータ32側に吸引され、主弁体2の当接部23が弁座13から離れてボディ部燃料通路孔11が開かれる。このとき、噴射孔制御機構5においては、4つの噴射孔521のうち少なくとも1つの噴射孔521が開かれており、ボディ部燃料通路孔11を通過した燃料は、開かれた噴射孔521から内燃機関に噴射される。電磁コイル34への通電が停止されると、アーマチュア31および主弁体2はリターンスプリング35の付勢力により反ステータ32側に付勢され、主弁体2の当接部23が弁座13に当接してボディ部燃料通路孔11が閉じられ、燃料噴射が終了する。本実施形態では、噴射孔制御機構5により噴射率を制御し、主弁体2により噴射時間を制御して、噴射量を制御する。ここで、低噴射量域では、1つの噴射孔521のみを開いて噴射率を小さくするため、その分噴射時間が長くなり噴射量制御精度が向上する。また、噴射孔521を開閉する構成であるため、弁体のストロークを可変制御する形式の燃料噴射弁よりも、燃料流路の面積を精度よく制御することができ、低噴射量域での噴射量制御精度を向上させることができる。なお、上記実施形態においては、各噴射孔521を全開状態または全閉状態のいずれかに制御したが、各噴射孔521を全開状態、全閉状態、および中間開度状態図9参照に制御してもよい。具体的には、可動電極53に流す電流量を調整することにより弁板部532のスライド量を調整して、各噴射孔521の開度を調整することができる。これによると、噴射孔521を単に開閉する場合よりも、噴射孔521の合計流路面積をより細かに変化させることができる。