エキシマレーザー光エネルギーを発生するエキシマレーザー発生器10と、前記エキシマレーザー発生器10で発生されたエキシマレーザー光エネルギーをレンズと反射鏡で成り立った光学システム20を介して受けてウェーハ30のそれぞれの単位露光面積を露光させる露光装置40と、前記エキシマレーザー発生器10で発生されたエキシマレーザー光エネルギー値をエキシマレーザー発生器10からネットワークライン60を介して受けることと同時に、前記露光装置40で単位露光面積を露光させることに使った露光エネルギー値を露光装置40からネットワークライン60を介して受けて単位露光面積を露光させるのに使った露光エネルギー値を前記エキシマレーザー発生器10で発生されたエキシマレーザー光エネルギー値で分けた値に100を掛けてリアルタイムで光伝達効率値を算出するデータサーバー50と、前記エキシマレーザー発生器10と前記露光装置40の間に設置された光学システム20の不良または汚染を予測するように前記ネットワークライン60を介して前記データサーバー50で算出された光伝達効率値を受ける統制室サーバー70で構成されていることを特徴とする露光用光エネルギーの伝達効率値算出システム。前記露光装置40からウェーハ30上のセルの単位露光面積の横値及び縦値を算出してセルの単位露光面積を算出するセル面積算出ステップと、前記セル面積算出ステップで算出したセルの単位露光面積を露光させた光エネルギー値を算出する露光用光エネルギー算出ステップと、前記露光用光エネルギー算出ステップ後に、前記エキシマレーザー発生器10で前記ウェーハ30の該当の単位露光面積を露光させるために発生されたすべてレーザーパルスとそれぞれのパルスのエネルギー値を算出する各パルスのエネルギー値算出ステップと、前記各パルスのエネルギー値算出ステップで算出された光学システム20の開始地点であるエキシマレーザー発生器10でのエネルギー値と終了地点である前記露光装置40でのエネルギー値を比べて光伝達効率値を算出する光伝達効率値算出ステップを含むことを特徴とする露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法。前記光伝達効率値算出ステップで算出された光伝達効率値は、前記露光装置40設置の時の初期値と比べて一定比率以上減少した場合光学システム20が汚染したと判別することを特徴とする、請求項2に記載の露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法。前記光伝達効率値が前記露光装置40設置の時の初期値と比べて10以上減少した場合前記光学システム20が汚染したと判別することを特徴とする、請求項3に記載の露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法。前記光伝達効率値が前記露光装置40設置の時の初期値と比べて20以上減少した場合前記光学システム20が汚染したと判別することを特徴とする、請求項3に記載の露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法。前記光伝達効率値が前記露光装置40設置の時の初期値と比べて30以上減少した場合前記光学システム20が汚染したと判別することを特徴とする、請求項3に記載の露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法。したがって、本発明は前記さまざまな問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、エキシマレーザー発生器で発生された光エネルギーが多様な光学システムをパスしながら最終的にウェーハを露光させるために使われた光エネルギーとエキシマレーザー発生器で発生された光エネルギーの百分率をリアルタイムで算出することができる露光用光エネルギーの伝達効率値算出システム及び算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法を提供することにある。本発明の他の目的は、光伝達効率値の低下による露光時間の増加と半導体生産性の低下を防止することと同時に、エキシマレーザー発生器と露光装置の間の光学システムの不良または汚染を予測することができる露光用光エネルギーの伝達効率値算出システム及び算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法を提供することにある。前記目的を達成するための本発明の露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムは、エキシマレーザー光エネルギーを発生するエキシマレーザー発生器と、前記エキシマレーザー発生器で発生されたエキシマレーザー光エネルギーをレンズと反射鏡で成り立った光学システムを介して受けてウェーハのそれぞれの単位露光面積を露光させる露光装置と、前記エキシマレーザー発生器で発生されたエキシマレーザー光エネルギー値をエキシマレーザー発生器からネットワークラインを介して受けることと同時に、前記露光装置で単位露光面積を露光させることに使った露光エネルギー値を露光装置からネットワークラインを介して受けて単位露光面積を露光させるのに使った露光エネルギー値を前記エキシマレーザー発生器で発生されたエキシマレーザー光エネルギー値で分けた値に100を掛けてリアルタイムで光伝達効率値を算出するデータサーバーと、前記エキシマレーザー発生器と前記露光装置の間に設置された光学システムの不良または汚染を予測するように前記ネットワークラインを介して前記データサーバーで算出された光伝達効率値を受ける統制室サーバーで構成されていることを特徴とする。また、本発明の露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法は、前記露光装置からウェーハ上のセルの単位露光面積の横値及び縦値を求めてセルの単位露光面積を算出するセル面積算出ステップと、前記セル面積算出ステップで算出したセルの単位露光面積を露光させた光エネルギー値を算出する露光用光エネルギー算出ステップと、前記露光用光エネルギー算出ステップ後に、前記エキシマレーザー発生器で前記ウェーハの該当の単位露光面積を露光させるために発生されたすべてレーザーパルスとそれぞれのパルスのエネルギー値を算出する各パルスのエネルギー値算出ステップと、前記各パルスのエネルギー値算出ステップで算出された光学システムの開始地点であるエキシマレーザー発生器でのエネルギー値と終了地点である前記露光装置でのエネルギー値を比べて光伝達効率値を算出する光伝達効率値算出ステップを含むことを特徴とする。前で説明したところのように本発明の露光用光エネルギー伝達効率値算出システム及び算出システムを利用した光エネルギーの伝達効率値算出方法によれば、エキシマレーザー発生器で発生された光エネルギーが多様な光学システムをパスしながら最終的にウェーハを露光させるために使われた光エネルギーとエキシマレーザー発生器で発生された光エネルギーの百分率をリアルタイムで算出することができるし、光伝達効率値の低下による露光時間の増加と半導体生産性の低下を防止することと同時に、エキシマレーザーと露光装置の間の光学システムの不良または汚染を予測することができるというすぐれた效果がある。以下、本発明の一実施例による露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムに関して添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例による光エネルギーの伝達効率値算出システムを概略的に図示した図面で、図2は本発明においてエキシマレーザー発生器で発生された光エネルギーを光学システムを介して受けてウェーハ上の単位面積を露光させたウェーハを概略的に図示した図面である。図1及び図2に示すように、本発明の一実施例による露光用光エネルギー伝達効率値算出システムは、エキシマレーザー光エネルギーを発生するエキシマレーザー発生器10と、前記エキシマレーザー発生器10で発生されたエキシマレーザー光エネルギーをレンズと反射鏡で成り立った光学システム20を介して受けてウェーハ30のそれぞれの単位露光面積を露光させる露光装置40と、前記エキシマレーザー発生器10で発生されたエキシマレーザー光エネルギー値をエキシマレーザー発生器10からネットワークライン60を介して受けることと同時に、前記露光装置40で単位露光面積を露光させることに使った露光エネルギー値を露光装置40からネットワークライン60を介して受けて単位露光面積を露光させるのに使った露光エネルギー値を前記エキシマレーザー発生器10で発生されたエキシマレーザー光エネルギー値で分けた値に100を掛けてリアルタイムで光伝達効率値を算出するデータサーバー50と、前記エキシマレーザー発生器10と前記露光装置40の間に設置された光学システム20の不良または汚染を予測するように前記ネットワークライン60を介して前記データサーバー50で算出された光伝達効率値を受ける統制室サーバー70で構成されている。前記ネットワークライン60は、前記データサーバー50で算出した光伝達効率値を統制室サーバー70に送るように前記エキシマレーザー発生器10、露光装置40及びデータサーバー50にそれぞれ接続されている。図2において、前記ウェーハに直四角形に分割された領域は、それぞれのセルを意味して前記セルに番号を付けたことはセル番号を表示する。次に、このように構成された本発明の一実施例による露光用光エネルギーの伝達効率値算出システムの作用及び效果に対して説明する。先に、前記露光装置40からウェーハ30上の単位露光面積の横及び縦値を算出して該当単位露光面積に適用された光エネルギー値を算出することと同時に、前記エキシマレーザー発生器10で上記ウェーハ30の該当の単位露光面積を露光させるために発生されたすべてレーザーパルスとそれぞれのパルスのエネルギー値を算出する。このように算出された光学システム20の開始地点であるエキシマレーザー発生器10でのエネルギー値と終了地点である前記露光装置40でのエネルギー値を比べて光伝達効率値を求める。例えば説明すれば、図2に図示したところのように前記露光装置40から求められたウェーハ30の58番目セルの単位露光面積が横×縦=2.58cm、縦値が2.61cmであり、該当の単位露光面積の露光のための発生されたレーザーパルスの数が290個であり、そのそれぞれのパルスのエネルギーが7.5mJ、7.48mJ、..7.51mJ、7.47mJなどになって290個パルスの全体エネルギーの総合が2170mJと言えば、前記ウェーハ30上58番目セルの単位露光面積を露光させるのに使われたエネルギーは、55.4mJ/cm2×2.58cm×2.61cm=373.05252mJとなる。これによって前記58番目のセルの単位面積を露光させるのに使われた55.4mJ/cm2の露光前記エキシマレーザー発生器10で発生された290個のパルス数の総エネルギー値は、2170mJなのですべて光エネルギー伝達効率値は、/×100=373.05252/2170×100=17.2となる。このように算出された光伝達効率値は、データサーバー50に保存することと同時に、リアルタイムで前記データサーバー50で算出した光伝達効率値は、ネットワークライン60を介して統制室サーバー70にそれぞれ出力される。前記データサーバー50で算出された光伝達効率値は、前記露光装置40設置の時の初期値と比べて一定比率以上減少した場合光学システム20が汚染したと判別する。前記説明において、特定実施例として開示して説明したが、本発明は、ここに限定されるのではなくて、例えば本発明の概念を離脱しない範囲内でこの技術分野の通常の知識を持った者によっていろいろに設計変更することができることは、勿論である。