"フォトエッチングにより複数のガス拡散用貫通孔および位置合わせ用貫通孔が形成された2以上の金属板を、前記各金属板の位置合わせ用貫通孔を合わせて積層し、前記各金属板のガス拡散用貫通孔により前記積層された方向に沿って連続的に延在するガス拡散用貫通路を形成するようにした燃料電池用ガス拡散層において、前記ガス拡散用貫通路の断面積は、セパレータの反応ガス流路の反応ガス入口部から反応ガス出口部に近づくほど大きい、ことを特徴とする燃料電池用ガス拡散層。前記金属板は、鉄、鉄合金、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金のうちの1以上の金属より成ることを特徴とする請求項1に記載の燃料電池用ガス拡散層。前記金属板は、貴金属めっき或いは導電性樹脂の被覆が施されていることを特徴とする請求項1または2に記載の燃料電池用ガス拡散層。前記被覆は、金、白金、及びパラジウムのうちの1以上の貴金属より成ることを特徴とする請求項3に記載の燃料電池用ガス拡散層。前記被覆は、導電性フィラーと樹脂との混合物である導電性樹脂より成ることを特徴とする請求項3に記載の燃料電池用ガス拡散層。前記導電性フィラーが繊維状もしくは粒子状カーボン、導電性粉体、またはその混合物であることを特徴とする請求項5に記載の燃料電池用ガス拡散層。前記複数の金属板が積層された方向における前記ガス拡散層の貫通抵抗値が10mΩcm2以下であることを特徴とする請求項1に記載の燃料電池用ガス拡散層。前記各金属板のガス拡散用貫通孔の形状または配置の少なくとも一方が異なっており、前記ガス拡散用貫通路は、前記各金属板のガス拡散用貫通孔の一部が重複された部分で構成されている、ことを特徴とする請求項1~7に何れか1項記載の燃料電池用ガス拡散層。既定の金属板にフォトレジストを形成する第1工程、ガス拡散用貫通孔および位置合わせ用貫通孔をパターニングしたフォトマスクを介して、前記第1工程を経た前記金属板を露光および現像し、フォトレジストをパターニングする第2工程、前記第2工程を経た前記金属板をウェットエッチングし、複数のガス拡散用貫通孔および位置合わせ用貫通孔を形成する第3工程、前記第3工程を経た前記金属板に塗布されたフォトレジストを剥離する第4工程、および、前記第4工程を経た2以上の前記金属板を前記位置合わせ用貫通孔を合わせて積層し、前記各金属板のガス拡散用貫通孔により前記積層された方向に沿って連続的に延在するガス拡散用貫通路を形成する第5工程を含むことを特徴とする燃料電池用ガス拡散層の製造方法。本発明の第一の目的は、従来の技術における上述した問題点に鑑みてなされたものであり、導電性、強度、ガス透過性、水管理能力の良好な燃料電池用ガス拡散層を提供することであり、本発明の第二の目的は、そのような燃料電池用ガス拡散層を容易に低コストで簡便に製造する方法を提供することである。上記課題を解決するために、ここに提案する燃料電池用ガス拡散層は、フォトエッチングにより複数のガス拡散用貫通孔および位置合わせ用貫通孔が形成された2以上の金属板を、前記各金属板の位置合わせ用貫通孔を合わせて積層し、前記各金属板のガス拡散用貫通孔により前記積層された方向に沿って連続的に延在するガス拡散用貫通路を形成するようにした燃料電池用ガス拡散層において、前記ガス拡散用貫通路の断面積は、セパレータの反応ガス流路の反応ガス入口部から反応ガス出口部に近づくほど大きいことを特徴とする。すなわち、本発明の燃料電池用ガス拡散層は、フォトエッチングにより複数のガス拡散用貫通孔および位置合わせ用貫通孔が形成された2以上の金属板を、セパレータ側から触媒層側までガス拡散用貫通孔が連続するように、位置合わせ用貫通孔を合わせて積層させた燃料電池用ガス拡散層において、セパレータの反応ガス流路の反応ガス入口部から反応出口部方向に対し、ガス拡散用貫通孔の開孔面積が傾斜的に大きくなることを特徴とする上記課題を解決するために、上記の燃料電池用ガス拡散層は、前記金属板が、鉄、鉄合金、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金のうちの1以上の金属より成ることを特徴とする。上記課題を解決するために、上記の燃料電池用ガス拡散層は、特に、前記金属板は、貴金属めっき或いは導電性樹脂の被覆が施されていることを特徴とする。上記課題を解決するために、上記の燃料電池用ガス拡散層は、特に、前記被覆が、金、白金、及びパラジウムのうちの1以上の貴金属より成ることを特徴とする。上記課題を解決するために、上記の燃料電池用ガス拡散層は、特に、前記被覆が、導電性フィラーと樹脂との混合物である導電性樹脂より成ることを特徴とする。上記課題を解決するために、上記の燃料電池用ガス拡散層は、特に、前記導電性フィラーが繊維状もしくは粒子状カーボン、導電性粉体、またはその混合物であることを特徴とする。上記課題を解決するために、上記の燃料電池用ガス拡散層は、特に、前記複数の金属板が積層された方向における前記ガス拡散層の貫通抵抗値、すなわち、前記ガス拡散層のセパレータ側から触媒層側に到る貫通抵抗値が10mΩcm2以下であることを特徴とする。上記課題を解決するために、上記の燃料電池用ガス拡散層は、前記各金属板のガス拡散用貫通孔の形状または配置の少なくとも一方が異なっており、前記ガス拡散用貫通路は、前記各金属板のガス拡散用貫通孔の一部が重複された部分で構成されていることを特徴とする。上記課題を解決するために、ここに提案する燃料電池用ガス拡散層の製造方法は、既定の金属板にフォトレジストを形成する第1工程、ガス拡散用貫通孔および位置合わせ用貫通孔をパターニングしたフォトマスクを介して、前記第1工程を経た前記金属板を露光および現像し、フォトレジストをパターニングする第2工程、前記第2工程を経た前記金属板をウェットエッチングし、複数のガス拡散用貫通孔および位置合わせ用貫通孔を形成する第3工程、前記第3工程を経た前記金属板に塗布されたフォトレジストを剥離する第4工程、および、前記第4工程を経た2以上の前記金属板を前記位置合わせ用貫通孔を合わせて積層し、前記各金属板のガス拡散用貫通孔により前記積層された方向に沿って連続的に延在するガス拡散用貫通路を形成する第5工程を含むことを特徴とする。本発明によれば、導電性、強度、ガス透過性、水管理能力の良好な燃料電池用ガス拡散層を実現することができ、さらに、そのような燃料電池用ガス拡散層を容易に低コストで簡便に製造する方法を実現できる。以下、適宜、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳述することにより本発明を明らかにする。図1は本発明の一つの実施の形態における第一の態様の燃料電池用ガス拡散層の説明断面図である。また、図2は図1の燃料電池用ガス拡散層の説明上面図である。更に、図3は上記実施の形態における第二の態様の燃料電池用ガス拡散層の説明断面図である。また、図4は図3の燃料電池用ガス拡散層の説明上面図である。図1ないし図4の実施の形態の燃料電池用ガス拡散層は、フォトエッチングにより複数のガス拡散用貫通孔6および位置合わせ用貫通孔7が形成された1以上の金属板3、4、5を、セパレータ側各図における上方または下方から触媒層側各図における下方または上方までガス拡散用貫通孔6が連続するように位置合わせ用貫通孔7を合わせて積層させて構成される。より詳細には、金属板3、4、5を位置合わせ用貫通孔7を合わせて積層し、各金属板3、4、5のガス拡散用貫通孔6により金属板3、4、5が積層された方向に沿って連続的に延在するガス拡散用貫通路60を形成することで燃料電池用ガス拡散層を構成する。上記実施の形態に用いる金属板3、4、5への貫通孔形成方法については、まず、金属板にネガ型又はポジ型のフォトレジストを形成する。次に、透光又は遮光部位からなる所望のパターンが形成されたフォトマスクを介して露光、現像を行い、同パターンに形成したフォトレジストを設ける。最後に、金属板を腐食可能なエッチング液を用いてエッチングを行い、所定の貫通孔を形成する。最後に、エッチング加工終了後のフォトレジストは、剥離液に浸漬することで膨潤剥離する。上記実施の形態に用いる金属板の材質については、ウェットエッチングが可能であれば、特に限定するところではない。比較的温和なエッチング液条件で加工可能な材料として、鉄、鉄合金、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金を好適に用いることができる。特に薄板としても堅牢性が高く、かつ通過するガス、水に対しての耐食性が高いものとして、ステンレス類の鉄合金が好ましい。上記実施の形態に用いる金属板の板厚については、金属板の貫通孔径を決定する因子となるため、最終的に金属板を積層した際の貫通孔形状を考慮して、適宜選択する必要がある。図5は、本発明の一つの実施の形態としての燃料電池用ガス拡散層の製造方法における金属板の表面片面からフォトエッチングした貫通孔の説明断面図を示す図である。ウェットエッチングにおいては、図5に示すように、フォトレジスト2直下でのサイドエッチングが進行するため、エッチングファクターを最大とする加工方法を用いた場合においても2.6程度である。ここでエッチングファクターEFとはレジスト開口径をW1、金属板1のエッチング部分の開口径をW2、深さをDとすると式4で表される。EF=2D/W2-W1..................4上記エッチングファクターより、フォトレジスト2の開口径分を考慮すると、板厚以下の貫通孔径を得ることは難しい。金属板1の板厚を薄くすることにより最小貫通孔径を小さくすることが可能であるが、金属板1の板厚を小さくしすぎると金属板1単体の堅牢性が低下する問題がある。また、金属板3、4、5を積層したガス拡散層全体の厚みとして、水管理のために100~500μm、より好ましくは200μm程度必要であり、積層枚数の増加による接触抵抗の増加が懸念される。さらには、材質によっては、薄板化による加工費から材料単価が大きくなり、高コスト化を招く恐れもあるので、材質により適宜選択する必要がある。上記実施の形態に用いるフォトレジスト2の材料としては、エッチング液に対しての耐薬品性を有していれば、特に限定されるものでない。フォトレジスト2としては、ネガ型、ポジ型のいずれのレジストも使用可能である。ネガ型フォトレジストとしては、重クロム酸系やポリケイ皮酸ビニル系や環化ゴムアジド系などが挙げられる。また、ポジ型フォトレジストとしては、ナフトキノンアジド系やノボラック樹脂系などが挙げられる。液状フォトレジストをエッチング層上に塗布する場合には、スピンコーター、ロールコーター、ディップコーターなど通常使用されるフォトレジストコート方法を用いる。ドライフィルムレジストを用いる場合にはラミネーターを用いる。また、印刷レジストをパターン印刷しても良い。上記実施の形態に用いるフォトレジスト2の厚みについては、使用するフォトレジスト材料、金属板材料および所望のパターン寸法によるが、金属板単板においてもガス拡散用貫通孔径100μm程度のある程度の微細なパターン形成が必要となるため、ウェットエッチング下におけるフォトレジスト2の密着性が確保できれば、極力薄いほうが好ましい。フォトレジストを薄くすることによって、露光の拡散による精度誤差を抑制するだけでなく、ウェットエッチング時のエッチング液の拡散性を向上させることが可能となり、より微細で高アスペクト比の加工が可能となる。上記実施の形態に用いるフォトレジスト2の開口幅については、使用する各材料、エッチング条件により適宜選択する必要がある。フォトレジスト2の開口幅を大きくすると、ウェットエッチング時のエッチング液の拡散性が向上するため、より高アスペクト比の加工が可能となるが、開口幅の分だけ貫通孔径は大きくなる。逆に、フォトレジスト2の開口幅を小さくすると、ウェットエッチング時のエッチング液の拡散性が悪くなるため、アスペクト比の小さい加工となり、結果として、貫通孔が形成されるまでエッチングを進行させた際に貫通孔径が大きくなってしまう問題がある。上記実施の形態に用いるウェットエッチング液については、塩化第二鉄または塩化第二銅を用いることが望ましい。特に、鉄やアルミニウム系の金属には塩化第二鉄を用いることが好ましい。塩化第二鉄および塩化第二銅は、塩素または塩素酸化合物などの酸化性物質をエッチング加工の際に同時に混合することにより、反応生成物である塩化第一鉄または塩化第一銅を再生することが可能となる。塩化第二鉄FeCl3を用いた場合を例に取ると、エッチング加工の際の反応生成物である塩化第一鉄FeCl2は、式56のように、再び塩化第二鉄に再生される。塩素を混合した場合2FeCl2Cl2→2FeCl3.........5塩素酸ナトリウムを混合した場合6FeCl26HClNaClO3→6FeCl3NaCl3H2O...6上記実施の形態に用いるウェットエッチング液の濃度については、所望の貫通孔形状により適宜選択する必要がある。塩化第二鉄および塩化第二銅は、濃度によって反応速度および加工面の表面粗さが変化する。特に、塩化第二鉄は、2.5mol/L付近に反応速度の極大を持ち、その前後で特に鉄系合金において表面粗さが小さくなるため、上記濃度付近で調整することがより好ましい。上記実施の形態に用いるウェットエッチング液の温度については、高温ほど反応速度が増加し、加工速度が向上するため、40°C以上、より好ましくは50°C以上であることが好ましい。上記実施の形態に用いるウェットエッチング液の供給方法については、スプレー法、パドル法、ディップ法や噴流法などが挙げられるが、特にスプレー法が好ましい。スプレー法により、金属板幅方向への液捌けを促進し、中央部のエッチング液滞流液ダマリが抑制され、液を均一かつ連続的に供給することが可能となり、高精度かつ高アスペクト加工、加工速度を良好にするとこができる。上記実施の形態に用いるウェットエッチング後のフォトレジストの剥離液については、熱アルカリ溶液、ジメチルホルムアミド等の有機溶剤が挙げられるが、使用する金属材料を腐食しないものを適宜選択する必要がある。例えば、アルミニウム系材料を使用する場合、熱アルカリ溶液は侵食作用があるため、使用することができない。特に、鉄系材料を使用する場合、熱アルカリ溶液を使用することにより、フォトレジストの剥離と同時に表面の脱脂効果もあるため、大変有効である。上記実施の形態に用いる金属板3、4、5のガス拡散用貫通孔6のパターン形状については、碁盤目状、丸ドット状、ストライプ状等が挙げられるが、セパレータの流路構造によって適宜選択する必要がある。特に、あらゆる方向に対して堅牢性が高く、金属板3、4、5を積層してガス拡散層とした際の最終的なガス拡散用貫通路60の予測設計が容易である碁盤目状が好ましい。上記実施の形態に用いる金属板3、4、5を積層しガス拡散層とする工程については、ガス拡散用貫通孔6と別部分にウェットエッチングで同時作製した位置合わせ用貫通孔7を用いる。画像認識により装置的に合わせても良いし、スタックの際には位置決めピンを用意し、ピンを上記位置合わせ用貫通孔7に差し込むことで積層しても良い。図4は、上記実施の形態における金属板3、4、5の単板を積層した燃料電池用ガス拡散層一部分の一例の説明上面図である。また、図3は、上記実施の形態における金属板3、4、5の単板を積層した燃料電池用ガス拡散層の一部分を例示する説明断面図である。上記実施の形態に用いる金属板3、4、5を積層し燃料電池用ガス拡散層とする積層構造については、例えば図3、図4のように、第1、第2、および、第3の各金属板3、4、5の全てのガス拡散用貫通孔6のパターン位置金属板の面内方向での位置すなわちガス拡散用貫通孔6の形状または配置が揃うように位置合わせ用貫通孔7を利用して位置合わせして積層し、金属板3、4、5のガス拡散用貫通孔6の内壁が、金属板3、4、5が積層された方向に沿って直線状に連続するガス拡散用貫通路60としても良い。しかしながら、このように金属板3、4、5のガス拡散用貫通孔6の内壁が直線状に連続するガス拡散用貫通路60はガス拡散性、水排出性が問題なくとも、水保持性が問題となる場合がある。また、金属板3、4、5に形成されたガス拡散用貫通孔6で、金属板3、4、5を積層してガス拡散層とした際のガス拡散用貫通路60の径が決まってしまうため、10μm以下といったより微細なガス拡散用貫通路60を有したガス拡散層を作製することは極めて困難である。好ましくは、例えば図1、図2のように第1、第2、および、第3の各金属板3、4、5のそれぞれのガス拡散用貫通孔6のパターン位置を変更し金属板の面内方向での位置をずらせて、それぞれが折り重なるように位置合わせ用貫通孔7を利用して位置合わせして配置する方法が良い。すなわち、各金属板3、4、5のガス拡散用貫通孔6の形状または配置の少なくとも一方を異ならせ、ガス拡散用貫通路60を、各金属板3、4、5のガス拡散用貫通孔6の一部が重複された部分で構成する方法がよい。この配置方法により、ガス拡散用貫通路60の最小孔径は、ウェットエッチングの加工限界に制約されることなく、より微細にすることができる。さらには、ガス拡散層の平行方向にもガスおよび水分の流動が可能となるため、更なるガス拡散性、水管理能力の向上が可能となる。また、上記ガス拡散用貫通路60は、ガス拡散層の外側に配されるセパレータの反応ガス流路の反応ガス入口部から反応出口部方向に対し、ガス拡散用貫通路60の開孔面積が傾斜的に大きくなるように構成する。すなわち、ガス拡散用貫通路60の断面積は、セパレータの反応ガス流路の反応ガス入口部から反応ガス出口部に近づくほど大きく形成する。これにより、触媒層全面へのより均一な反応ガスの供給が可能となる。ガス拡散用貫通路60の密度を全面で均等にすると、反応ガス入口部近傍の反応ガス流路からの触媒層に対する反応ガス拡散量が大きくなり、その影響による圧力損失により、反応ガス出口部近傍の反応ガス量が不足する。これにより、反応ガス出口部近傍でのプラッキングが多発し電池性能が低下する問題がある。また、触媒層への反応ガス供給が不均一となることで、反応ガス入口部近傍の触媒反応が過剰となるため、部分的な劣化を促進させることとなる。結果として触媒層全体の寿命が低下することが懸念される。上記実施の形態に用いる金属板3、4、5の接触抵抗、耐久性等の物性をさらに改善するために、金属板3、4、5を貴金属めっきで被覆しても良い。貴金属としては、金、白金、及びパラジウムが挙げられる。特に、接触抵抗が低く、耐食性の高い金が望ましい。ステンレス等の単独で反応ガスおよび水に対する耐食性を有するものは、ピンホールがあっても構わないため、薄膜めっきであっても大きな問題はない。但し、銅等の耐食性の伴わない材質に関しては、ピンホールがない厚膜めっきを施す必要があり、厚膜過ぎると高コスト化の懸念がある。上記と同様の目的として、金属板3、4、5に導電性樹脂を被覆しても良い。貴金属めっきと比較して安価であり、厚膜を形成してもコスト的な問題が少ない。被覆方法としては、ディッピング、スプレー、静電塗装法等の各種ウェットコーティング方法が挙げられる。特に、方法が簡便なディッピング法が好ましい。上記実施の形態に用いる導電性樹脂は、導電性フィラーと樹脂の混合物である。導電性フィラーとしては、繊維状導電性フィラーあるいは粉体状導電性フィラーが望ましい。繊維状導電性フィラーとしては、具体的には、例えば、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブなどから選ばれる1種あるいは2種以上のカーボン繊維を挙げることができる。上記実施の形態において、繊維状導電性フィラーと粉体状導電性フィラーを併用すると導電性樹脂自体の導電性をさらに低減できる。粉体状導電性フィラーとしては、十分な導電性を有し、発電環境下で十分な耐食性を有するものであれば特に制限はなく、具体的には、例えば、アセチレンブラック、バルカン、ケッチェンブラック等のカーボン粉体、WC、TiCなどの金属炭化物、TiN、TaNなどの金属窒化物、TiSi,ZrMoSiなどの金属珪化物およびAg,Auなどの耐食性金属などから選ばれた1種ないし2種以上の混合物を挙げることができる。上記実施の形態に用いる導電性樹脂を構成する樹脂成分としては、ウェットコーティングが可能であれば特に制限はなく、具体的には、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂、芳香族ポリイミド樹脂、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、などから選ばれた1種ないし2種以上の混合物を用いることができる。上記実施の形態に用いる導電性樹脂における樹脂成分と導電性フィラーの比率は、用いられる金属板材質により異なるが、導電性フィラーの含有量が少ないと必要な導電性が確保できず、また、導電性フィラーの含有量が多すぎると、ウェットプロセスに不適合なインク粘度の増加、機械的強度の低下が懸念される。具体的な指標としては、膜形成した際に樹脂成分中の導電性フィラーの重量比率が30重量以上90重量以下であることが好ましく、さらに好ましくは60重量以上85重量未満が望ましい。上記実施の形態に用いるガス拡散層の貫通方向抵抗値、即ち、ガス拡散層のセパレータ側から触媒層側に到る貫通抵抗値は、スタック圧を想定した加圧環境下である1~5MPaで10mΩcm2以下、さらに好ましくは1mΩcm2以下が望ましい。ガス拡散層はスタック部材の一部であるため、良好な導電性を有している必要がある。10mΩcm2以上になると、燃料電池全体の抵抗値として無視することができなくなり、電池性能の劣化に大きく寄与することになる。以上のように、本発明の実施の形態では、金属板3、4、5に貴金属めっき、導電性樹脂を被覆する態様を採ることも可能である。これにより、接触抵抗、耐久性等の物性をさらに改善することが可能である。以上説明した、上記実施の形態におけるガス拡散層では複数のガス拡散用貫通孔6が形成された金属板3、4、5を、セパレータ側から触媒層側まで連続するガス拡散用貫通路60が構成されるように、位置合わせ用貫通孔7の位置を合わせて複数積層してなることを特徴とする。そして、金属板3、4、5をウェットエッチングにより作製することにより、低コストかつ容易にガス拡散層を作製することが可能である。また、フォトリソグラフィによりパターン形状を決定できるため、全面に規格されたパターンおよび開口径のガス拡散用貫通路60を形成することができ、均一な反応ガスの供給、水管理が可能となる。また、セパレータの反応ガス流路の反応ガス入口部から反応出口部方向に対し、ガス拡散用貫通路60の開孔面積を傾斜的に大きくすることで、すなわち、ガス拡散用貫通路60の断面積を、セパレータの反応ガス流路の反応ガス入口部から反応ガス出口部に近づくほど大きく形成することで、触媒層全面により均一な反応ガス供給が可能となる。さらに、本実施の形態では金属板3、4、5を用いるため、高い機械的強度を有する。また、表面が平滑であるため、電解質膜を損傷することなく、発電性能の劣化を防止できる。さらに、積層構造とするため、3、4、5として金属薄板を使用することが可能となり、高アスペクトの特殊なウェットエッチング方法を用いなくとも、金属板単板では作製困難である10μm以下の微細な径のガス拡散用貫通路60を有した総厚数100μmのガス拡散層の作製が可能となる。これにより、均一な反応ガスの供給、水管理能力を向上させることができる。また、金属板3、4、5に貴金属めっき、導電性樹脂を被覆することも可能である。これにより、接触抵抗、耐久性等の物性をさらに改善することが可能である。そして、さらに、ガス拡散層のセパレータ側から触媒層側に到る貫通抵抗値が10mΩcm2以下であるような特徴的な仕様を実現できる。次に、上記実施の形態の実施例について説明する。なお、後述する実施例は一例であり、本発明はこの実施例のみに限定されるものではない。実施例金属板として厚み80μmのSUS316Lを用いた。この金属板のガス拡散層貫通孔を形成する箇所の外周部の4点に、孔径500μmの位置合わせ用貫通孔を、パンチングにより形成した。次いで、膜厚20μmのネガ型ドライフィルムレジストSUNFORTSPG-102、旭化成株式会社製を上記金属板両面にロールラミネータを用い、ロール温度110°C、ロール圧力0.3MPa、ラミネート速度1m/分で貼り合わせた。次に、所定方向に線幅が小さくなる線状の透光部で区画され、ガス拡散用貫通孔部分に相当する遮光部分面積が所定方向に大きくなる格子状パターンが配列されており、かつその外周部各辺に位置合わせ用貫通孔に相当する円状遮光部分が計4点構成されているフォトマスクを、上記金属板表裏面のパターン位置が一致するように設置し、紫外線露光処理を行った。さらに、30°C、1重量炭酸ナトリウム水溶液を、スプレー圧0.1MPaで上記金属板表裏面に噴射することで現像を行い、フォトマスクの露光部分にフォトレジストが残存した金属板を得た。同様に、上記格子状パターン位置を上記円状遮光部分に対して、フォトマスク平面の縦横方向にそれぞれ所定間隔ずつ変更したフォトマスクを用いて、露光および現像を行い、上記金属板と合わせて計4枚の金属板を得た。次に、65°C、3mol/L塩化第二鉄水溶液を用いて、スプレー圧0.5MPaで上記金属板の両面よりスプレーエッチングを行い、フォトレジストパターンを残した金属板を作製した。次に40°C、5重量苛性ソーダ水溶液に上記金属板を浸漬し、フォトレジストを剥離し、その後水洗後、エアーによって乾燥することで、貫通孔を有する金属板を得た。最後に、位置決め貫通孔4箇所を合わせて、上記金属板4枚を積層し、所定方向にガス拡散用貫通路の開孔面積を大きくしたガス拡散層を得た。"