円の中心に配置した、内側から外側へ遮蔽面積が増大する絞り機構であって、前記絞り機構が、複数枚の扇状薄板を備え、前記複数枚の扇状薄板を、円形を形成するように、扇形の要かなめ部分を前記円の中心方向に、扇形の扇沿部分を前記円の円周方向に配置して、互いに重なり合わせ、前記複数枚の扇状薄板を、扇形の扇沿近傍において、留め具により相互に回動可能に固定し、更に、前記扇状薄板の各々の、扇形の要部分に、円の中心から半径方向外側に延びる長穴を設け、前記扇状薄板の各々の、前記長穴を、連結用留め具で、回転及び摺動可能に締結し、前記扇状薄板を前記円の円周方向に駆動すると、前記複数枚の扇状薄板が、前記円の内側から外側へ前記円の直径を増加するように開閉し、遮蔽面積を変化させる、絞り機構。前記複数枚の扇状薄板のうち、重なり合った最下部に設置された扇状薄板において、前記長穴を、更に、円の中心から偏心した固定ピンと係合させ、前記固定ピンに沿って摺動可能とすることにより、前記最下部に設置された扇状薄板が、前記固定ピンに沿った直線運動のみを行い、前記最下部に設置された扇状薄板以外の扇状薄板が、回転運動を行い、前記複数枚の扇状薄板のうち、重なり合った最上部に設置された扇状薄板の円周方向の回転角度と、前記絞り機構の直径とが、対応する関係を有する、請求項1に記載の絞り機構。内側から外側へ遮蔽面積が増大する第1の絞り機構と、外側から内側へ遮蔽面積が増大する第2の絞り機構と、を備え、前記第1の絞り機構を、円の中心部に配置し、前記第2の絞り機構を、前記円の外縁部に配置して、前記第1の絞り機構と、前記第2の絞り機構との間に、リング状の開口部を形成し、前記第1の絞り機構と、前記第2の絞り機構とを、それぞれ独立に、又は連動させて操作し、前記第1の絞り機構と前記第2の絞り機構の開閉方向を任意に変化させて、前記リング状の開口部のリング直径と、前記リング状の開口部の開口面積と、を任意に変化させる、リング型絞り機構。前記第1の絞り機構が、請求項2に記載の絞り機構である、請求項3に記載のリング型絞り機構。前記第2の絞り機構が、複数枚の弓形薄板と、2つのリング状の板と、を備え、前記複数枚の弓形薄板のそれぞれの両端部に、それぞれピンを取り付け、一方の端部の前記ピンを、一方のリング状の板に等間隔に開けた穴に、回転可能に係合させ、他方の端部の前記ピンを、他方のリング状の板に放射状に開けた細長い穴に、摺動可能に係合させ、前記複数枚の弓形薄板を、前記2つのリング状の板の間に挟み、絞り羽根として組み合わせ、前記2つのリング状の板を、相対的に回転させることによって、前記複数枚の弓形薄板で形成する前記第2の絞り機構の開口部を、同心円状に開閉させる、請求項3又は4に記載のリング型絞り機構。更に、前記第1の絞り機構と前記第2の絞り機構の開閉速度を任意に変更させる、請求項3から5のいずれか1項に記載のリング型絞り機構。前記第1の絞り機構と前記第2の絞り機構の動作を一体で又は個別に制御する制御システムを備える、請求項3から6のいずれか1項に記載のリング型絞り機構。光を照射する対象物が、球表面や円錐表面のような場合、照射位置が対称中心軸より離れるに従って、光源と照射位置との距離が変化する。この場合、距離に応じて光の照射強度が減衰してしまう。通常の絞り機構は、球表面や円錐表面のような対象物に対して、一律な強度の光を同条件で照射するものであるために、中心部と周辺部とでは、対象物に対する光の照射量が不均一になる。そこで、本発明は、本発明の絞り機構を光学絞り機構として利用した場合に、光源と照射位置との相対距離に応じた照射条件で光を照射し、照射位置に依存しない均一な光量を、連続的に照射することを目的とする。また、本発明は、上述の絞り機構を、光学絞り機構として利用するのみならず、本発明の絞り機構の特徴を生かして、様々な分野へ応用することを目的とする。請求項1に記載の発明によれば、円の中心に配置した、内側から外側へ遮蔽面積が増大する絞り機構であって、絞り機構が、複数枚の扇状薄板を備え、複数枚の扇状薄板を、円形を形成するように、扇形の要かなめ部分を円の中心方向に、扇形の扇沿部分を円の円周方向に配置して、互いに重なり合わせ、複数枚の扇状薄板を、扇形の扇沿近傍において、留め具により相互に回動可能に固定し、更に、扇状薄板の各々の、扇形の要部分に、円の中心から半径方向外側に延びる長穴を設け、扇状薄板の各々の、長穴を、連結用留め具で、回転及び摺動可能に締結し、扇状薄板を円の円周方向に駆動すると、複数枚の扇状薄板が、円の内側から外側へ円の直径を増加するように開閉し、遮蔽面積を変化させる、絞り機構が提供される。すなわち、請求項1の発明では、円の内側から外側へ円の直径を増加させるように開閉し、遮蔽面積を変化させる、絞り機構が提供される。この絞り機構においては、複数枚の扇状薄板を、全体が円形となるように、互いに重なるように配置しており、扇状薄板を、中心から外側に向かって又は中心の周りに押し引きすることにより、内側から外側に展開する遮蔽面積を、変化させる。請求項2に記載の発明によれば、複数枚の扇状薄板のうち、重なり合った最下部に設置された扇状薄板において、長穴を、更に、円の中心から偏心した固定ピンと係合させ、固定ピンに沿って摺動可能とすることにより、最下部に設置された扇状薄板が、固定ピンに沿った直線運動のみを行い、最下部に設置された扇状薄板以外の扇状薄板が、回転運動を行い、複数枚の扇状薄板のうち、重なり合った最上部に設置された扇状薄板の円周方向の回転角度と、絞り機構の直径とが、対応する関係を有する、請求項1に記載の絞り機構が提供される。すなわち、請求項2の発明では、円の内側から外側へ円の直径を増加させるように開閉し、遮蔽面積を変化させる、絞り機構において、最下部の扇状薄板には、直径方向の直線運動のみをさせ、遮断面の中心が移動せず、また、中心となる締結部分で自由回転をしないように構成した。この場合、開閉運動を行っても、最下部に設置される扇状薄板が扇状薄板を止めるためのピンと干渉しないように、最下部に設置される扇状薄板には、他の扇状薄板よりも長い穴を設けることが好ましい。請求項3に記載の発明によれば、内側から外側へ遮蔽面積が増大する第1の絞り機構と、外側から内側へ遮蔽面積が増大する第2の絞り機構と、を備え、第1の絞り機構を、円の中心部に配置し、第2の絞り機構を、円の外縁部に配置して、第1の絞り機構と、第2の絞り機構との間に、リング状の開口部を形成し、第1の絞り機構と、第2の絞り機構とを、それぞれ独立に、又は連動させて操作し、第1の絞り機構と第2の絞り機構の開閉方向を任意に変化させて、リング状の開口部のリング直径と、リング状の開口部の開口面積と、を任意に変化させる、リング型絞り機構が提供される。すなわち、請求項3の発明では、内側から外側に展開する第1の絞り機構と、外側から内側に展開する第2の絞り機構と、を組み合わせることにより、リング状の開口部を形成し、このリング状の開口部のリング直径や開口面積を変更することができ、また、第1の絞り機構と第2の絞り機構とは、個別に独立して開閉することができ、又は、両者を機械的に又は作用的に接続して連動させ、1の操作で両者を開閉させることができ、これによって、このリング型絞り機構を例えば光学絞りとして利用する場合には、リング状の開口部を通過する光の位置と光量とを任意に変化させることができる。請求項4に記載の発明によれば、第1の絞り機構が、請求項2に記載の絞り機構である、請求項3に記載のリング型絞り機構が提供される。すなわち、請求項4の発明では、内側から外側に展開する第1の絞り機構において、複数枚の扇状薄板を、全体が円形となるように、互いに重なるように配置して構成し、中心から外側に向かって又は中心の周りに扇状薄板を押し引きすることにより、第1の絞り機構の内側から外側に展開する遮蔽面積を変化させる。請求項5に記載の発明によれば、第2の絞り機構が、複数枚の弓形薄板と、2つのリング状の板と、を備え、複数枚の弓形薄板のそれぞれの両端部に、それぞれピンを取り付け、一方の端部のピンを、一方のリング状の板に等間隔に開けた穴に、回転可能に係合させ、他方の端部のピンを、他方のリング状の板に放射状に開けた細長い穴に、摺動可能に係合させ、複数枚の弓形薄板を、2つのリング状の板の間に挟み、絞り羽根として組み合わせ、2つのリング状の板を、相対的に回転させることによって、複数枚の弓形薄板で形成する第2の絞り機構の開口部を、同心円状に開閉させる、請求項3又は4に記載のリング型絞り機構が提供される。すなわち、請求項5の発明では、外側から内側へ展開する第2の絞り機構において、複数枚の弓形薄板を、全体がリング状となるように、互いに重なり合うように配置して、第2の絞り機構の外側から内側に展開する遮蔽面積を変化させる。請求項6に記載の発明によれば、更に、第1の絞り機構と第2の絞り機構の開閉速度を任意に変更させる、請求項3から5のいずれか1項に記載のリング型絞り機構が提供される。すなわち、請求項6の発明では、例えば第1の絞り機構と第2の絞り機構とを、それぞれ、電動モータによって駆動し、この電動モータの駆動速度を変化させることによって、リング状の開口部のリング直径や開口面積を任意に変化させることに加え、リング直径や開口面積の変化の速度を、任意に変更させる。請求項7に記載の発明によれば、第1の絞り機構と第2の絞り機構の動作を一体で又は個別に制御する制御システムを備える、請求項3から6のいずれか1項に記載のリング型絞り機構が提供される。すなわち、請求項7の発明では、例えば第1の絞り機構と第2の絞り機構とを、それぞれ電動モータによって駆動し、又は第1の絞り機構と第2の絞り機構とを連結して1の電動モータによって駆動し、更に、これらの電動モータをコンピュータ制御することにより、リング直径や開口面積の変化や、変化の速度を、様々な形状の対象物に対応して、均一な光の照射量となるように、又は意図的に光の照射量を変化させて、自動的に制御することができ、有利である。各請求項に記載の発明によれば、本発明の絞り機構を、光学絞り機構として利用した場合に、光源と照射位置との相対距離に応じた照射条件で光を照射し、照射位置に依存しない均一な光量を、連続的に照射するという、共通の効果を奏する。以下、添付図面を用いて本発明の実施形態について説明する。なお、複数の添付図面において、同一又は相当する部材には、同一の符号を付している。まず、絞りの原理について説明する。図2aは、スルーホールによる光ビームの成形を示す図であり、光源から発生した光1は、中心部に円形の開口部3を有するアパーチャー2によって成形され、外周部の一部が遮蔽され、中心部の光ビームだけが通過し、光照射ステージ4の表面に照射される。一方、図2bは、光ビームの成形に平板形状のフォトマスク6を利用した場合を例示している。フォトマスク6は、光を透過する基材5と光を遮蔽する部分7とから構成されており、光源から発生した光1は、フォトマスク6の中央部分の円形マスクパターンで遮蔽される。フォトマスク6の、光を透過する基材5の、遮蔽されていない部分を透過した光は、光照射ステージ4の表面に照射される。しかし、上記2つの手法では開口部は固定されており、開口部の形状を連続的に変化させることができない。次に、図3を参照しながら開閉機能付きの開口絞り機構について説明する。開口絞り機構10では、複数枚の薄板の羽根板が互いに重なり合うように配置され、相互の羽根板を係合させる機構によって、開口直径を変化させることができる。図3aは開口部の面積が最大の場合の開口絞り機構10を示しており、図3bは開口部の面積が最小の場合の開口絞り機構10を示している。開口絞り機構10は、最大開口時と最小開口時の間の任意の中間位置に設定することが可能であり、開口直径を連続的に変更することができる。この開口絞り機構10に対して、光源として、均一の強度分布を有する光源を利用した場合、開口部を通過して成形された光ビームは、均一の強度分布を有しており、この光ビームを照射する対象物が球状表面や円錐表面の場合には、光源と照射位置との間の距離が変化するため、照射対象物の中心部と周辺部との照射量が不均一となる。そこで、本発明では、図4に示したリング型絞り機構を提案する。図4は、本発明のリング型絞り機構の原理を、模式的に示したものであり、本発明のリング型絞り機構は、内側から外側へ遮蔽面積が増大する第1の絞り機構18と、外側から内側へ遮蔽面積が増大する第2の絞り機構19とが、同心円上に配置されており、それぞれの絞り機構は独立して、又は連動して開閉動作を行うことができる。第2の絞り機構19は、図3で説明した、開口絞り機構である。光源から発生した光1は、本発明のリング型絞り機構において、周辺部に配置された、外側から内側へ遮蔽面積が増大する第2の絞り機構19と、中央部に配置された、内側から外側へ遮蔽面積が増大する第1の絞り機構18と、によって形成された、リング状の開口部20を通過し、光照射ステージ4の表面に照射される。図4aはリング状の開口部20のリング直径が最大の場合を示しており、図4bはリング状の開口部20のリング直径が最小の場合を示している。本発明のリング型絞り機構は、このリング直径とリングの幅とを連続的に変化させることができ、すなわち、リング直径とリングの開口面積とを、連続的に変化させることができる。図1は、本発明のリング型絞り機構の一実施形態を示す組立図の上面図である。図1に記載のリング型絞り機構の実施形態では、機構全体の形状を保持するための外枠23と、円の中心に配置した内側から外側へ遮蔽面積が増大する第1の絞り機構24と、円の外縁部に配置した外側から内側へ遮蔽面積が増大する第2の絞り機構25と、第1の絞り機構24と第2の絞り機構25の開閉動作を連動させる接続ジグ26と、を備えている。外側から内側へ展開する第2の絞り機構25は、複数枚の弓形薄板と、2つのリング状の板と、を備え、複数枚の弓形薄板のそれぞれの両端部に、それぞれピンを取り付け、一方の端部のピンを、一方のリング状の板に等間隔に開けた穴に、回転可能に係合させ、他方の端部のピンを、他方のリング状の板に放射状に開けた細長い穴に、摺動可能に係合させ、複数枚の弓形薄板を、2つのリング状の板の間に挟み、絞り羽根として組み合わせ、2つのリング状の板を、相対的に回転させることによって、複数枚の弓形薄板で形成する開口部を、同心円状に開閉させ、開口直径を変化させることができる。内側から外側へ展開する第1の絞り機構24は、複数枚の扇状薄板を、円形状に互いに重なるように配置し、個々の扇状薄板には、長穴を設け、長穴には、第1の絞り機構24の中心に配置された留め具を係合させている。第1の絞り機構24は、この扇状薄板を、外側から中心に向かって押し引きすることにより、又は、扇状薄板を、中心周りに回転させることにより、絞りの遮蔽面積を変化させる。図1aはリング状の開口部27の直径が最大となる場合を示しており、図1bはリング状の開口部27の直径が最小となる場合を示している。第1の絞り機構24と第2の絞り機構25とは、それぞれ独立してその遮蔽面積を変化させることができるので、リング状の開口部27のリングの直径とリング幅とを任意に変化させることができる。すなわち、このリング型絞り機構は、開口部のリングの直径と開口面積とを、任意に変化させることができる。次に、図5と図6を参照しながら、具体的なリング型絞り機構の利用例について説明する。図5では、半導体素子の製造技術として広く用いられているフォトリソグラフィーにおいて、本発明のリング型絞り機構を利用する場合を説明し、本発明の顕著な効果について説明する。一般的な半導体素子の製造プロセスでは、基板としてSiウエハー等が用いられる。通常、Siウエハーは、平板形状であるが、ベアリング表面の微細加工等、基材が球体や円錐形状のような立体表面を有している場合もある。しかし、図5に例示すように、立体の紫外線感光性樹脂33の表面の断面形状を、ある基準座標においてfxと表し、立体の紫外線感光性樹脂33の表面頂上とフォトマスク32の紫外線吸収体表面との距離がg0である場合に、紫外線の照射位置を、立体の紫外線感光性樹脂33の表面頂上を通る対称中心軸からxだけ離すと、立体の紫外線感光性樹脂33の表面とフォトマスク32の紫外線吸収体表面との間の距離gxは、式1で表されるように変化してしまう。gx=g0h0-fx1ここで、h0は、立体の紫外線感光性樹脂33の表面頂上の、基準位置からの高さである。また、厚みがgで線吸収係数μの物質層を紫外線が透過する場合、初期強度をI0とすると、物質層の厚みの変化に伴い、透過紫外線の強度Iは、式2で表されるように変化してしまう。I=I0eμg2図6を参照しながら、上述の2つの式を説明する。式中、もしくは図中で、xと示した値は、図5の立体の紫外線感光性樹脂33の表面頂上を通る対称中心軸から照射位置までの距離を表し、距離xの位置に照射する場合のリング型絞り機構のリング直径は2xで表される。従って、リング直径が、最小値から最大値に向かって増加する場合には、フォトマスク32の紫外線吸収体表面と紫外線感光性樹脂33の表面との距離は、図6aのように変化する。そのため、フォトマスク32の紫外線吸収体表面と立体の紫外線感光性樹脂33の表面とのギャップを透過する紫外線は、このギャップを満たしている物質の線吸収係数μと、厚みgに対して、指数関数的に変化する。この関係を念頭に置き、それぞれのリング直径において、適切な照射時間を選択すれば、フォトマスク32の紫外線吸収体表面と立体の紫外線感光性樹脂33の表面とのギャップに依らず、均一な照射量で露光することができる。また、本発明のリング型絞り機構は、照射対象物の形状が同心円状に変化するものであれば、様々な形状に適用できるため、照射対象物としては、円錐形状や円錐穴形状等の、様々な立体的な曲面を有する基材に対して適用することができ、平面に対しても適用することができる。また、フォトマスクは、複数のフォトマスクを併用してもよい。以上は、本発明のリング型絞り機構の用途と、これを利用する効果について説明するために、本発明のリング型絞り機構を、半導体素子の製造技術として広く用いられているフォトリソグラフィーに適用する場合について、例示して説明したが、用途によっては、このようなフォトマスクを全く使用しない場合もあり、フォトマスクの有無は、本発明を限定するものではなく、また、本発明は、光学絞りに限定するものではない。図5では、任意の断面形状を有する同心円上の凸型立体構造体の外表面に、紫外線感光性樹脂を塗布した場合を、例示したが、同じ形状の上下を反転させ、凹型立体構造体の内表面に紫外線感光性樹脂を塗布した場合についても、フォトマスク32の紫外線吸収体表面と紫外線感光性樹脂の表面との間の距離gxの式を変えるだけで、本発明のリング型絞り機構を同様に利用することができる。更に、本発明は、照射対象物の形状が同心円状に変化するものであれば、様々な形状に適用できるため、照射対象物としては、図7のa、bに示すような球体の外表面や内表面、c、dに示すような円錐体の外表面や内表面に、紫外線感光性樹脂を塗布した対象物に対しても、フォトマスク32の紫外線吸収体表面と紫外線感光性樹脂の表面との間の距離gxの式を変えるだけで、適用することができ、また、平面の対象物に対しても、フォトマスク32の紫外線吸収体表面と紫外線感光性樹脂の表面との間の距離gxを一定値にするだけで、適用することができる。[第1の絞り機構]図8を参照しながら、本発明のリング型絞り機構の、第1の絞り機構の実施例について説明する。本機構は扇状薄板35を複数枚互いに重なり合うように配置し、扇状薄板同士を留め具36、例えば、リベット、により回動可能に固定し、開閉動作に支障を出さないように扇状薄板35の端面を処理している。扇状薄板35の要かなめ部分には、支点用の長穴を設け、これを連結用留め具37、例えば、ねじ、で締結することによって、連結した複数枚の扇状薄板35のそれぞれを、これらが形成する円の直径方向に直線運動させ、遮蔽面積を変化させる。また、この絞り機構では、遮断面の中心が移動せず、更に、中心となる締結部分で自由回転をしないことが要求されるので、これらの要求を満たすために、第1の絞り機構の支柱43には、最下部に設置した扇状薄板38を止めるための穴39を、支柱43の中心に対して偏心させて設け、穴39にピン40を係合させ、最下部に設置した扇状薄板38がピン40によって案内されて摺動し、直径方向の直線運動のみを行うように構成した。更に、最下部に設置した扇状薄板38の長穴は、第1の絞り機構を開閉運動させた場合に、扇状薄板38の運動がピン40と干渉しないように、他の扇状薄板の長穴よりも長い穴とした。この構造により、最下部の扇状薄板が、支柱43に対して直径方向の直線運動のみを行い、他の扇状薄板が、支柱43周りの回転運動と支柱43に対する直径方向の直線運動をすることによって、第1の絞り機構の直径を決定することができ、中心が移動しないものとなる。この第1の絞り機構は、最上段に設置した扇状薄板に固定したハンドル41のみを動かすことによって開閉することができ、開閉容易であり、最下部の扇状薄板が、支柱43に対して直径方向の直線運動のみを行い、支柱43周りの回転運動を行わないので、ハンドル41の回転角度と、扇状薄板の形成する円の直径との関係が、一義的な関係となる。第1の絞り機構によって遮断される円板の直径Dinは、式3で近似することができる。Din=Din-K1θin3ここで、θinは、第1の絞り機構のハンドルの回転角度であり、第1の絞り機構によって遮断される円板直径が最大Dinの時をハンドル角度0°としている。K1は比例定数である。扇状薄板の材料は金属に限定するものではなく、樹脂等様々な材料を利用することができ、この機構は、扇状薄板を重ね合わせることにより円形を作り出しているため、光の透過率が異なる材料を利用すれば、任意の波長成分を持つ光を選択的に取り出すという、更に有利な効果を発揮することができる。また、第1の絞り機構における扇状薄板の重ね合わせ方を変えれば、回転方向に対する開閉方向を逆にすることができるので、本発明の第1の絞り機構では、回転方向と、それに伴う開閉方向とを、任意に選択することができる。第2の絞り機構図9を参照しながら、本発明のリング型絞り機構の、第2の絞り機構の実施例について説明する。第2の絞り機構は、複数枚の弓形薄板45を、絞り羽根として組み合わせたものである。弓形薄板45の絞り羽根の両端部には、それぞれピンが取り付けられている。一方の端部のピンは、蜂の巣と呼ばれるリング状の板46に等間隔に開けられた穴に、回転可能に係合し、もう一方の端部のピンは、矢車と呼ばれるリング状の板47に放射状に開けられた細長い穴48に、摺動可能に係合している。このようにして何枚もの羽根を蜂の巣と矢車で挟んだ形にして、この2つのリング状の板を、相対的に回転させることによって、複数枚の弓形薄板45の絞り羽根で形成する絞りの大きさを変化させる。第2の絞り機構によって得られる開口直径Doutは、第2の絞り機構のレバー50の回転角度をθoutとし、開口直径が最大Doutの時レバーの回転角度θoutを0°とすると、式4で近似することができる。K2は比例定数である。Dout=Dout-K2θout4リング型絞り機構図10を参照しながら、リング型絞り機構の実施例について説明する。図10に示すリング型絞り機構は、実施例1の第1の絞り機構と実施例2の第2の絞り機構とを組み合わせて構成した機構である。この実施例では、第2の絞り機構のリング状の板46を円筒の中に組み込み、透明な円形台座51に固定し、第1の絞り機構の支柱43を、この透明な円形台座51の中心に固定し、第1の絞り機構を第2の絞り機構の上に設置している。円筒の高さは、第1の絞り機構の最上面に設置してある扇状薄板の位置より高くなっており、ここに透明円板49を、円盤の中心が円筒の中心と一致するように設置している。透明円板49には、円盤の中心から偏心した位置に穴加工が施されており、その穴に第1の絞り機構のハンドル41を挿入する。透明円板49を回転させると、ハンドル41はこの穴に対して常に線接触しながら回転し、第1の絞り機構を開閉することができる。また、第2の絞り機構は、レバー50により開閉する。従って、第1の絞り機構の回転角度と第2の絞り機構の回転角度とをそれぞれ調節し、第1の絞り機構と第2の絞り機構との間にリング状の開口部を形成して、本発明のリング型絞り機構を構成し、この構成によって、リング状の開口部の直径と、リングの幅とを、任意に変化させることができる。上述の構成に対して、更に、透明円板49に施された穴とレバー50とを、締結部品52で連結すると、第1の絞り機構と第2の絞り機構との間にリング状の開口部を形成し、1の動作で、リング状の開口部の直径と、リングの幅とを、同時に任意に変化させることができる。リング状の開口部の直径と、リングの幅とを、任意に変化させることができるということは、言い換えれば、リング状の開口部の直径と、開口面積とを、任意に変化させることができるということである。従って、本発明のリング型絞り機構を、光学絞り機構として利用する場合には、任意の直径と任意のリング幅とを有する、リング状の光を得ることができる。また、第1の絞り機構と第2の絞り機構との連結において、円周方向相対角度を変えて連結することにより、直径を変化させながら一定幅のリング状の光を得ることや、直径を変化させながらリング状の光の幅を変化させることが可能である。また連結を解けば、それぞれ独立した動作が可能である。従って、第1の絞り機構と第2の絞り機構との駆動用に、例えば電動モータ等の駆動装置をそれぞれに取り付けて駆動することができ、或いは、第1の絞り機構と第2の絞り機構とを連結して、電動モータ等の駆動装置1台で駆動することもできる。更に、これらの駆動装置を有する場合には、駆動装置をコンピュータ制御して、コンピュータには、式1~4等を組み込み、リング状の光の直径と幅とを、対象物の形状に対応して自動的に制御すると、図5と図6で説明したフォトリソグラフィー等において、被照射体の任意の位置に、任意の強度の光を、自動的に連続して照射することができ、有利である。以上において、透明円板や透明な台座の材料は、ガラス素材に限らず、樹脂なども使用することができ、光の使用波長によって光の透過率が異なる材料を利用すれば、任意の波長成分を持つ光を選択的に取り出すという、更に有利な効果を発揮することができる。図11は、フォトマスク6に形成された同心円状の光遮蔽部7を利用して、円筒型被照射体70の表面の紫外線感光性樹脂に、リング状の縞模様を感光させる手法を示している。フォトマスク6の上部から光1、例えば紫外線、を照射すると、フォトマスク6を通過した同心円状の光紫外線は、ミラー面60で反射され、円筒型被照射体70の表面の紫外線感光性樹脂に照射され、円筒型被照射体70の表面に、リング状の縞模様を形成する。ミラー面60は、逆円錐状をしており、円筒型被照射体70の円筒中心軸と円錐の母線とのなす角度は、通常45度である。図12は、図11の原理を説明する図であり、フォトマスク6の上部から照射された光1は、フォトマスク6を通過して、図12では、円筒型被照射体70の円筒中心軸に対して平行な同心円状の2つの光線d1、d2となり、ミラー面60で反射され、円筒型被照射体70の円筒中心軸に対して直角方向の光線r1、r2となり、円筒型被照射体70の表面に2つのリング状の縞模様を形成する。ここで、図11、図12においてフォトマスク6で形成されるリング状の光線は、目的に応じて、1つ以上いくつでもよく、ミラー面60の円錐の母線とのなす角度は、円筒型被照射体70の表面上に照射するリング状の縞模様の要求に応じて、45度でなくてもよいが、いずれの場合においても、同心円状の光線は、それぞれの光線の幅が同一であっても、内側の光線と外側の光線とでは直径が異なるため、光量が異なる。すなわち、例えば図12b、cの内側の光線d1と、外側の光線d2とでは、d1の幅とd2の幅とが同一であっても、円筒型被照射体70の表面に照射された場合の光量は異なり、外側の光線による照射のほうが、内側の光線による照射よりも、光量が多くなる。これは、図12b、cにおいて、θが同一であっても、外側の光線のほうが内側の光線よりも、円弧の長さが長くなることから、容易に理解できるであろう。従って、光量を等しくしようとすると、内側の光線d1と、外側の光線d2との幅を変化させる調節が必要となり、或いは、濃淡フィルターやレンズ等を利用して光線の強度を調節する必要がある。このような場合、本願発明のリング型絞り機構を利用すると、同心円状の光線の直径と幅とを、任意に変化させることができるので、異なった直径の光線に対して、等しい光量となるように、光線の幅を調節することができ、円筒型被照射体70の表面に、任意の位置で、等しい光量の光線を照射することができる。従って、図11のフォトマスク6のようなフォトマスクを何枚も用意してこれを交換する必要がなく、連続的に、任意の位置に、一定の幅の縞模様を形成したり、或いは、任意の幅をもった縞模様を形成することができ、光量も任意に変化させることができ、有利である。