"操作桿の傾倒角度と被検眼を検査する検査手段の位置とが対応しており、前記検査手段の移動可能範囲が前記操作桿の傾倒可能範囲よりも広い眼科装置であって、前記操作桿の傾倒により生じる電気信号を検出することにより前記操作桿の傾倒角度を検出する検出手段と、前記傾倒角度に対応する前記検査手段の位置を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された位置に前記検査手段を移動させる移動手段と、前記算出手段による算出処理の中断または再開を切り替える切替手段と、を備えることを特徴とする眼科装置。前記切替手段により前記算出処理が中断された場合、前記移動手段は、前記操作桿が傾倒されても、前記切替手段により前記算出処理が中断された時の前記検出手段の位置を保持することを特徴とする請求項1に記載の眼科装置。前記操作桿の前記傾倒可能範囲は、前記操作桿の傾倒支点を中心とした円の周および内部であることを特徴とする請求項1または2に記載の眼科装置。前記切替手段は、前記操作桿に配置された釦の押下の有無により、前記算出処理の中断または再開を切り替えることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の眼科装置。特許文献1に開示されている電気ステージ部を操作するジョイスティック、特許文献2に開示されている装置によれば、従来の手動駆動式ジョイスティック機構により近い操作が可能である。しかしながら、特許文献1に開示されている電動ジョイスティックでは、この手動ジョイスティックが有する滑り操作が考慮されていない。そのため、操作桿がある傾倒角度を有する時に左右軸のアライメントが一致した場合、その傾倒角度を保持した状態で前後動の傾倒操作を行う必要がある。そのため、前後のアライメント時に左右方向のアライメントがずれ易くなり操作し難いという課題がある。また、粗動動作と微動動作とが一体型のジョイスティックで実現可能な構成であり、粗動時には操作桿を一定角度以上傾倒させる必要がある。そのため粗動動作から微動動作に切り替えた際は、操作桿は必ず傾倒しており、検査部を粗動時に停止した位置から動かすことなく操作桿を中立状態に起こす事が困難である。また、特許文献2に記載の装置は、移動速度の設定が上下動のみに限定されており、前後左右動でのアライメントしやすさについては、考慮されていない。特許文献3に記載の装置に示されている誤動作防止機構は、操作対象の可動範囲とジョイスティックの操作範囲とが一致している装置において有効である。そのため眼科装置のように微動動作および粗動動作が必要であり、検査部の移動範囲がジョイスティックの移動範囲よりも十分大きい装置には適用が難しく、また滑り機構については考慮されていないという課題がある。上記の課題に鑑み、本発明は、手動ジョイスティックが有する滑り操作と同様の操作性を有する電動ジョイスティックを、単純な構成で実現することを目的とする。上記の目的を達成する本発明に係る眼科装置は、操作桿の傾倒角度と被検眼を検査する検査手段の位置とが対応しており、前記検査手段の移動可能範囲が前記操作桿の傾倒可能範囲よりも広い眼科装置であって、前記操作桿の傾倒により生じる電気信号を検出することにより前記操作桿の傾倒角度を検出する検出手段と、前記傾倒角度に対応する前記検査手段の位置を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された位置に前記検査手段を移動させる移動手段と、前記算出手段による算出処理の中断または再開を切り替える切替手段と、を備えることを特徴とする。本発明によれば、手動ジョイスティックが有する滑り操作と同様の操作性を有する電動ジョイスティックを、単純な構成で実現することができる。第1実施形態図1は、本発明に係る眼科装置10の全体構成を示す図である。眼科装置は、主要な構成として、被検者の顔を支持する顔受け部112を有するベース100と、ベース100上に設けられた駆動部116と、駆動部116上に取り付けられた検査部110と、操作部材である電動ジョイスティック101と、を備える。図1において、ベース100に対してフレーム102は左右方向以下、x軸方向に移動可能である。x軸方向の駆動機構は、ベース100上に固定されたx軸駆動モータ103と、モータ出力軸に連結された送りねじ不図示と、送りねじ上をx軸方向に移動可能でありフレーム102に固定されたナット不図示を備える。図3で後述するシステム制御部201からの回転信号がx軸駆動モータ103に伝わり、x軸駆動モータ103により送りねじが回転し、ナットを介してフレーム102がx軸方向に移動する。また同様に、フレーム102に対してフレーム106は上下方向以下、y軸方向に移動可能である。y軸方向の駆動機構は、フレーム102上に固定されたy軸駆動モータ104と、モータ出力軸に連結された送りねじ105と、送りねじ上をy軸方向に移動可能でありフレーム106に固定されたナット114を備える。システム制御部201からの回転信号がy軸駆動モータ104に伝わり、y軸駆動モータ104により送りねじが回転し、ナットを介してフレーム106がy軸方向に移動する。さらに、フレーム106に対してフレーム107は前後方向以下、z軸方向に移動可能である。z軸方向の駆動機構は、フレーム107上に固定されたz軸駆動モータ108と、モータ出力軸に連結された送りねじ109と、送りねじ上をz軸方向に移動可能でありフレーム106に固定されたナット115を備える。システム制御部201からの回転信号がz軸駆動モータ108に伝わり、z軸駆動モータ108により送りねじが回転し、ナットを介してフレーム107がz軸方向に移動する。以上の各軸の駆動原理により、検査部110はxyz軸それぞれ独立に駆動可能である。また、各軸のモータx軸駆動モータ103、y軸駆動モータ104、z軸駆動モータ108の動作量は、ジョイスティック101からの後述の入力信号に基づいてシステム制御部201により決定される。フレーム107上には測定を行うための検査部110が固定されている。例えば非接触式の眼圧計の場合、検査部110の被検者側端部には、前眼部観察用対物レンズ111や対物レンズ中心に位置し眼圧測定に必要な空気を排出するためのノズル不図示が設けられている。前眼部観察用対物レンズ111から入った被検眼Eの前眼部像は、検査部110に配置された不図示の光学系を経て、図3で後述するCCD205に結像されている。また、検査部110の検者側端部には、被検眼Eを観察するための表示部材であるLCDモニタ109が設けられている。CCD205上に結像された前眼部像は、システム制御部201により、アライメント指標と共にLCDモニタ109に表示される。なお、本実施形態では、ジョイスティック101から得られた電気信号に基づき、検査部110がy軸方向に駆動する構成となっている。しかし、本発明は、検査部110の左右前後方向の2次元平面内を電気的に駆動する点に特徴があり、上下方向については電気駆動方式に限定されない。そのため、上下方向の駆動についてベルト伝動機構に代表される機械駆動方式の構成を有する眼科装置であっても、本発明は有効である。図2は、ジョイスティック101の構成を示す。ジョイスティック101は、操作桿1と、測定開始スイッチ2と、測定部座標保持スイッチ3と、回転ダイアル4と、エンコーダ機構5Y軸エンコーダ入力部5と、ポテンショセンサ6XZ軸傾倒角度入力部6と、を備える。操作桿1は、桿下部の不動点を動作支点とし、ある一定角度まで傾けることが可能である。操作桿1の傾きは、ジョイスティック内部に構成されたポテンショセンサ6により検出される。ポテンショセンサ6は、x軸およびz軸のそれぞれの軸に対応した2つの可変抵抗6aおよび6bで構成され、互いの位置関係が直角になるように配置されている。操作桿1が傾けられると、傾倒方向はx軸成分とz軸成分とに分解され、その傾倒角度からそれぞれの軸の傾きに対応した抵抗値を得ることができる。ポテンショセンサ6で得られた抵抗値は図3で後述するシステム制御部201により読み取られ、操作桿1の傾倒方向とその角度とを一意に決定することが可能である。なお本実施形態中では、ポテンショセンサ6は可変抵抗として説明するが、ロータリエンコーダ等の光センサや磁気センサを用いて検出してもよい。回転ダイアル4は、操作桿1と同軸となるように配置されている。回転ダイアル4の内部には検査部110をy軸方向に駆動させるための電気信号を発するエンコーダ機構不図示が構成されている。回転ダイアル4が操作桿1の同軸上を時計回りあるいは反時計回りに回転すると、エンコーダ機構により単位時間当たりの回転角と回転方向とが検出される。システム制御部201は、検出された値から検査部110のy軸方向の移動量と向きとを決定し、検査部110をy軸に沿って駆動させる。また、操作桿1の上部は、装置固有の測定を開始させる測定開始スイッチ2を有している。さらに、操作桿1は、動作変更入力部として、測定部座標保持スイッチ3を有している。この測定部座標保持スイッチ3の詳細については後述する。図3は、眼科装置10のシステムブロック図を示す。眼科装置10は、ジョイスティック101と、システム制御部201と、xz軸傾倒角度入力部6と、y軸エンコーダ入力部5と、測定開始スイッチ2と、測定部座標保持スイッチ3と、各種センサ入力部202と、操作パネル203と、メモリ204と、CCD205と、LCDモニタ109と、測定用光源207と、顎受モータ113と、x軸駆動モータ103と、y軸駆動モータ104と、z軸駆動モータ108と、を備える。システム制御部201は、各種構成要素を制御し、各種入力信号を検知し、入力された信号を解析し、および各種出力を制御する。ここで、ジョイスティック101と、LCDモニタ109と、顎受モータ113と、x軸駆動モータ103と、y軸駆動モータ104と、z軸駆動モータ108とは、図1のそれぞれの参照番号に対応する。測定開始スイッチ2と、測定部座標保持スイッチ3と、y軸エンコーダ入力部5と、xz軸傾倒角度入力部6とは、図2のそれぞれの参照番号に対応する。各種センサ入力部202は、駆動部の移動限界を検出するリミットセンサ等である。操作パネル203は、検者が装置の各種設定を行うためのパネルである。メモリ204は、各種データの書き込み、読み出しが可能なメモリである。CCD205は、被検眼像Eを撮像する。測定用光源207は、被検眼Eを照明する。それでは、検者がジョイスティック101を操作した時の検査部110の制御方法ついて詳細に説明する。検者が操作桿1を任意の方向に傾倒させると、傾倒はポテンショセンサ6により、x軸とz軸とのそれぞれの成分に分解される。各軸の傾倒角度の成分はそれぞれ抵抗値として検出され、不図示のA/D変換器を通して、システム制御部201に送られる。ここで、図4aおよび図4bは、システム制御部201が操作桿1の傾倒角度から位置座標を算出する方法を説明する図である。システム制御部201は、x軸とz軸とのそれぞれに対して同じ方法で変換を行っているが、理解を容易にするためx軸のみを用いて説明する。図4aは、x軸の傾倒角度と抵抗値との関係を表している。操作桿1が直立位置にある時、傾倒角度は0°であるため、その抵抗値はR2Ωとなる。また操作桿1は最大±20°まで傾倒可能である。最大傾倒角度まで傾けた時の抵抗値は、図4aより、それぞれR1Ω、R3Ωとなる。本実施形態では、最大傾倒時にポテンショセンサ6に負荷がかからないように、操作桿1に保護用のメカストッパを設け、ポテンショセンサ6の全領域を使用しない機構を用いている。図4bは、抵抗値と操作桿座標との関係を表している。次に、システム制御部201は、図4bに示される関係を用いて、読み込まれた抵抗値から操作桿1の位置座標を算出する。抵抗値がR2の時の位置座標は0であり、抵抗値がR1およびR3の時の位置座標は、それぞれ-100と100になるように変換される。一例として、検者がx軸方向右方向に傾倒角θxだけ操作桿1を傾けたとする。その時の抵抗値はRxとなりシステム制御部201に読み込まれ、位置座標Jxに変換される。z軸についても同様の変換がなされ、操作桿1がz軸方向にθz傾けられた場合、操作桿1のz軸座標位置はJzとなる。操作桿1を斜め方向に倒した場合、傾倒角度はx軸とz軸成分に分解され、上記の変換を用いて、位置情報Jx、zとして算出される。図5を参照して、操作桿1の最大座標範囲および検査部110の最大可動範囲を説明する。図5aは、操作桿1の傾倒角度から変換された操作桿1の最大座標範囲を示しており、図5bは、検査部110の最大可動範囲を座標で示したものである。図5のx軸方向にだけ着目すると、検査部110の可動範囲-500~500は、操作桿1の傾倒範囲-100~100に対して十分大きい事が分かる。これは一般的な眼科装置の大きな特徴の一つである。すなわち、操作桿の傾倒角度と被検眼を検査する検査部の位置とが対応しており、検査部の移動可能範囲が操作桿の傾倒可能範囲よりも広いことを意味する。眼科装置の検査部110は、左右両方の被検眼を測定する必要があるため、各被検眼の詳細アライメントに必要な可動範囲に加えて、左右眼の眼幅長分の可動範囲も必要になる。一方、各被検眼での微細アライメント機能がジョイスティック101に対して求められる。検査部110の可動範囲と操作桿1の可動範囲とを一致させてしまうと、操作桿1の傾倒角度に対する検査部110の移動量が大きくなりすぎ、微細アライメントができない。また、図6は、操作桿1が左に傾けられた状態図6aと、中心位置にいる状態図6bでの、z軸方向の可動範囲をそれぞれ示している。ジョイスティック101は、その最大動作領域を確保するため円状の可動範囲を有している。そのため、操作桿1が中心位置にある時、z軸方向の可動範囲が最大になり、x軸方向の傾倒角度が大きくなるに従って、z軸方向の可動範囲が狭まる構造になっている。当然のことながら、z軸方向に操作桿1を傾倒させた場合、x軸方向の可動範囲が狭まる構造となっている。また、x軸方向の傾倒角度が大きい状態で、操作桿1をz軸方向に大きく動かそうとすると、操作桿1はその可動範囲の縁に沿う形でx軸の中心方向に向かい、x軸の傾倒角度を維持することができない。次に図7のフローチャートおよび、図8乃至図10を参照して、本実施形態に係るアライメント時の制御について説明する。図7のステップS700において、システム制御部201は、眼科装置を初期化する。この初期化処理では、システム制御部201は、3軸の各モータを駆動し、検査部110を座標原点である初期位置まで移動させる。また、駆動部の操作桿1の直立位置の原点座標J00と、検査部110の原点座標U0,0とを一致させる。その後、眼科装置の電源が切られるまでの間、以下のステップS701乃至ステップS708までの各処理を一定周期で繰り返すように制御する。ステップS701において、システム制御部201は、被検眼の測定が開始され検者が操作桿1を傾倒させると、電気信号に基づいてその傾倒角度を検出する処理を開始する。ステップS702において、システム制御部201は、図4で説明した抵抗値-座標変換により、検出された傾倒角度を操作桿1の位置座標へ変換する処理を開始する。ステップS703において、システム制御部201は、次に、測定部座標保持スイッチ3が押下されて入力信号が検出されたか否かを判定する。測定部座標保持スイッチ3が押下されたと判定された場合S703;YES、ステップS706へ進む。一方、測定部座標保持スイッチ3が押下されていないと判定された場合S703;NO、ステップS704へ進む。ステップS704において、システム制御部201は、メモリ204に格納された操作桿1の位置座標Jn-1と、現在の位置座標Jnとの差分情報△Jを算出する。例えば、メモリ204に格納された位置座標がJn-150,50であり、現在の位置座標がJn60,40である場合、操作桿座標の差分情報は、△J10-10として算出される。ステップS705において、システム制御部201は、操作桿座標の差分情報△Jに基づき、検査部110の移動量△Uを決定する。本実施形態における眼科装置では、ジョイスティック101の操作と検査部110の移動量とが1対1で対応している。そのため、差分情報が△J10-10である場合、検査部110の移動量も同様に、△U=△J10、-10として決定される。ステップS706において、システム制御部201は、検査部110の移動量△Uに基づいて、移動後の検査部110位置座標を決定する。移動後の検査部110の位置座標は、Un=Un-1△Uにより求められ、その算出結果はメモリ204に格納される。この時、移動後の位置座標が図5bで示した検査部110の可動範囲を超えている場合、可動範囲の極値が算出結果としてメモリ204に格納される。一方、ステップS703の判定処理で測定部座標保持スイッチ3が押下されていないと判定された場合、ステップS704とステップS705との各処理が行われないため、操作桿位置の差分情報は△J=0と判断され、検査部110の位置座標Uは更新されない。ステップS707において、システム制御部201は、決定された検査部110の位置座標Uに基づいて、x軸駆動モータ103とz軸用駆動モータ108とに駆動用信号を送信し、検査部110の位置を移動させる。すなわち、測定部座標保持スイッチ3の押下の有無により、検査部110の移動後の位置を算出する算出処理を中断させることと、算出処理を再開させることと、を切り替える切替処理が実行されることになる。ステップS708において、システム制御部201は、操作桿1の座標位置の情報をJn-1としてメモリ204に格納する。ステップS709において、システム制御部201は、眼科装置の電源がONの状態であるか否かを判定する。電源がONの状態であると判定された場合S709;YES、ステップS701へ戻る。一方、電源がOFFの状態であると判定された場合S709;NO、処理を終了する。図8は、電源投入直後の操作桿1の位置座標と検査部110の位置座標との関係を表しており、測定部座標保持スイッチ3が押下されていない時の操作桿1と検査部110との位置座標を表している。図8の斜線部で示された領域は、操作桿1の傾倒領域を検査部110の動作領域に投影したものであり、その範囲はU0を原点として、半径が操作桿1の座標範囲と同じ100の円形状となっている。電源投入直後、システム制御部201により初期化されることによって、駆動部の操作桿1の直立位置の原点座標J00と、検査部110の原点座標U0,0とが一致する。また、メモリ204に格納されたそれぞれの位置座標は、Jn-1=J0=0,0、Un-1=U0=0,0である。検者により操作桿1が傾倒され、原点J0からJx1、z1まで移動すると、システム制御部201により、差分情報△Jx1、z1が算出される。差分情報△Jが得られると、移動量△Uが算出され、移動先の位置座標Unが、Un=Un-1△Uによって決定され、Un=0,0x1、z1=x1、z1と求められる。システム制御部201は、得られた座標情報に基づき各モータを駆動させ、検査部110をUnまで移動する。移動が終了すると、操作桿1の位置情報Jnおよび検査部110の位置情報Unをメモリ204にJn-1およびUn-1として格納する。検者が測定部座標保持スイッチ3を押下せずにジョイスティック101を操作した場合、システム制御部201は、以上の一連の制御を繰り返して検査部110を駆動する。従って、検者が操作桿1を左右方向x軸方向に傾倒した際には、検査部110は傾倒角度に応じた量だけ被検眼の眼幅方向x軸方向へ移動する。同様に、前後方向z軸方向に傾倒した際には、被検眼へ接近または離間する方向z軸方向へ移動する。すなわち、検者は操作桿1の傾倒操作を行うことにより、斜線で示された領域内において検査部110を自由に駆動することが可能となる。次に、図9を参照して、測定部座標保持スイッチ3が押下された時の制御について説明する。図8で説明した傾倒操作により、検査部110の位置座標が位置Ux1、z1まで移動された状態を前提として説明を行う。検査部110の位置座標がUx1、z1である時、操作桿1の位置座標は当然のことながらJx1、z1を示している。測定部座標保持スイッチ3が押下されると、メモリ204に格納された座標位置Ux1、z1の更新が行われない。そのため、測定部座標保持スイッチ3を押下した状態のまま、操作桿1を位置座標Jx1、z1から中立状態J0まで戻したとしても、検査部110は駆動しない。次に、操作桿1の位置座標がJ0の状態で測定部座標保持スイッチ3を離した場合、再び検査部110の位置座標の更新が始まり、ステップS701からステップS70808までの各処理により、検査部110の操作が可能になる。ここで、図9の斜線部は、以上の制御を行った後の検査部110の可動範囲を示している。ジョイスティック101を操作した際の検査部110の可動範囲は、図8では原点位置U0を中心とした半径100の円領域であった。それに対し、本制御を行った後では、同じ半径の円領域ではあるが、原点位置Ux1、z1が大きく変化している。次に、図10を参照して、操作桿1の位置座標がJx2z2である時に、測定部座標保持スイッチ3を離した場合の検査部110の可動範囲を説明する。図9の説明時と同様に、測定部座標保持スイッチ3を押下した時の検査部110の位置座標は、図8の操作終了時の位置座標Ux1z1であるとして説明を続ける。繰り返しになるが、測定部座標保持スイッチ3を押下した状態では、システム制御部201は、検査部110の位置座標Ux1z1を保持している。そのため、操作桿1をJx1z1からJx2z2まで移動させても、システム制御部201は、検査部110を駆動しない。しかし、操作桿1をJx2z2の位置に移動した後、測定部座標保持スイッチ3を離すと、検査部110の位置座標と操作桿1の位置座標との対応付けが再び開始される。この制御により、検査部110の可動範囲は、傾倒支点を原点とした同半径の円領域となる。ここで、原点中心の位置座標Ux3z3は、Ux3z3=x1z1-x2,z2=x1-x2z1-z2により計算される。以上のように、測定部座標保持スイッチ3を操作することで、操作桿1に対する検査部110の動作を有効化あるいは無効化することが可能であり、さらにその可動領域も変更することが可能である。この制御は、機械式ジョイスティックを操作した時の滑り動作と同様の機能を有している。そのため、本実施形態に係る制御を行うことで電動式ジョイスティックでも手動ジョイスティックと同様の滑り動作を再現することが可能である。最後に、本実施形態に係る制御を用いた場合の実際の測定手順について説明する。眼科装置の電源投入直後、システム制御部201は、検査部110を初期化する。システム制御部201は、その他にもメモリ204に格納されて装置の補正情報を読み出し、CCD205のゲイン設定、測定用光源207の初期設定等を行う。まず、測定を開始するにあたり、検者は測定対象となる被検者の顎を顔受け部112に配置させ、額受け部不図示に被検者の額を当てることで、被検眼を固定させる。顎受け部112は、被検者の顔のサイズに応じて、顎受モータ113によりy軸方向上下方向に調整可能である。検者は、操作パネル203に配置された不図示の顎受け上下動スイッチを操作することで、被検者の顔のサイズに合わせ、最適な顎受けの高さに調整する。次に、検者は、LCDモニタ109に表示された被検眼Eを観察しながら、ジョイスティック101を動作させることにより、被検眼Eに対して検査部110のアライメントを行う。図11は、LCDモニタ109上の被検眼Eの前眼部像とアライメント指標の説明図である。Tcは被検眼Eの瞳中心を表しており、Mxy,Mzはシステム制御部201により合成されたアライメント指標を表している。検査部110を上下左右方向にアライメントする際には、検者はLCDモニタ109を観察しながら、被検眼Eの瞳中心TcをアライメントマークMxyの中に入れるようにジョイスティック101を操作する。眼科装置は、被検眼Eと検査部110との光軸が一致すると、Tcがアライメント指標Mxyの中に入る構造となっている。また、詳細な説明は省略するが、本実施形態に係る眼科装置は、被検眼Eと検査部110のz軸方向距離WDを自動的に検出可能であるとして説明を続ける。システム制御部201は、被検眼Eと検査部110との距離WDを検知し、アライメント指標Mzにより検者に被検眼Eと検査部110の位置関係を知らせる。距離WDが測定に最適な場合は、アライメントMz内のアイコン1100が表示される。また、距離WDが最適な位置よりも離れている場合は、被検眼Eへ接近する方向、すなわちz軸正方向に動かす必要があるため、上矢印のアイコン1101が表示される。逆に、距離WDが最適な位置よりも近い場合、すなわち被検眼Eに対して検査部110が接近している場合は、離間する方向すなわちz軸負方向に検査部110を動かす必要がある。そのため、下矢印のアイコン1102が表示される。検者は、LCDモニタ109に表示される被検眼Eの前眼部像と二つのアライメント指標Mxy,Mzのアイコンを見ながら、検査部110のアライメントを行い最適なアライメント位置になった時点で、測定開始スイッチ2を押下して計測を開始する。被検眼の固定が終了した時点で、LCDモニタ109上に表示されている被検眼Eとアライメント指標とが図11に示される関係であった場合、アライメントを行うことが必要となる。LCDモニタ109により、検者はアライメントを行うために、被検眼Eに対して検査部110を左方向および被検眼Eへ近接する方向へ移動する必要があることが分かる。そこで、まず検査部110を左方向に移動させるために、測定部座標保持スイッチ3を離した状態で、操作桿1を左方向へ傾倒させる。操作桿1を左方向へ傾倒させると、その傾倒角度に応じて検査部110は左方向に移動する。検者は、アライメント指標Mxyと被検眼中心Tcを観察しながら、両者が一致するまで操作桿1の傾倒角度を大きくしていく。アライメント指標Mxyと瞳中心Tcが一致した時点で、操作桿1の傾倒を止め、x軸向のアライメントを終了する。次に、検者はx軸方向のアライメントが終了したので、z軸方向のアライメントを開始する。ただし、操作桿1は、左方向へ傾倒状態であるため、そのままz軸方向のアライメントを行うのが難しい。そこで、測定部座標保持スイッチ3を押下したまま、操作桿1を中立位置まで戻す。この時、システム制御部201により、検査部110は駆動停止しているため、検査部110のx軸位置を動かすことなく操作桿1を操作することができる。操作桿1が中立状態に戻った後、アライメント指標Mzの指示に従いながら、検査部110を動作させアライメントを終了させる。本実施形態では、x軸方向のアライメントを先に行い、続けてz軸のアライメント操作を行ったが、逆の操作であってもよい。以上の制御により、従来の手動ジョイスティック機構と同様の操作が可能になり、検者に操作性の違和感を与えない電動ジョイスティック機構を提供することができる。その他の実施形態また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェアプログラムを、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータまたはCPUやMPU等がプログラムを読み出して実行する処理である。"