"電磁波の入射方向に応じて電磁波の射出方向を変える射出方向分離部と、前記射出方向分離部から射出された電磁波のエネルギーを感知して、該感知したエネルギーの大きさに応じた強さの検知信号をそれぞれ出力する複数のセンサと、前記複数のセンサのそれぞれから前記検知信号を受信可能であって、前記センサから前記検知信号を受信すると、該検知信号を送信したセンサに対応づけられた電磁波の到来方向の情報を含む表示信号を出力する処理部と、複数の電磁波の到来方向をそれぞれ表示可能であって、前記表示信号を受信すると電磁波の到来方向を表示する表示部とを、備えることを特徴とする電磁波可視化装置。請求項1に記載の電磁波可視化装置であって、前記表示部は、前記検知信号を送信したセンサに対応づけられた電磁波の到来方向を表示する際に、前記検知信号の強さに応じた表示を行うことを特徴とする電磁波可視化装置。請求項1に記載の電磁波可視化装置であって、前記処理部は、前記センサから受信した検知信号の強さが所定値以上の場合に、該検知信号を送信したセンサに対応づけられた電磁波の到来方向の情報を含む表示信号を出力することを特徴とする電磁波可視化装置。請求項1ないし請求項3に記載の電磁波可視化装置であって、前記射出方向分離部は、電磁波レンズで構成されることを特徴とする電磁波可視化装置。請求項4に記載の電磁波可視化装置であって、前記電磁波レンズはルネベルグレンズで構成され、前記複数のセンサは柔軟性のある低反射電磁界シートで構成されることを特徴とする電磁波可視化装置。請求項4に記載の電磁波可視化装置であって、前記電磁波レンズは、電磁波の入射方向に沿って直列に配置された複数の非球面レンズで構成されることを特徴とする電磁波可視化装置。請求項1ないし請求項3に記載の電磁波可視化装置であって、前記射出方向分離部は、それぞれ電磁波が直接入射される複数のアンテナで構成されることを特徴とする電磁波可視化装置。請求項1ないし請求項7に記載の電磁波可視化装置であって、測定対象の画像を撮影し、該撮影した画像の画像信号を出力するカメラ部を備え、前記処理部は、前記カメラ部からの画像信号と前記センサからの検知信号とを受信すると、前記画像信号と前記検知信号を送信したセンサに対応づけられた電磁波の到来方向の情報とを含む表示信号を出力し、前記表示部は、前記表示信号を受信すると、前記画像信号による画像上に重ねて、前記電磁波の到来方向の表示を行うことを特徴とする電磁波可視化装置。請求項1ないし請求項8に記載の電磁波可視化装置であって、前記処理部は前記複数のセンサの位置と電磁波の到来方向とを対応づけたテーブルを有しており、前記検知信号を出力したセンサの位置情報を基に前記テーブルを参照し電磁波の到来方向情報を得ることを特徴とする電磁波可視化装置。請求項1ないし請求項9に記載の電磁波可視化装置であって、前記射出方向分離部は、複数、互いに離間して設けられ、前記処理部は、前記複数のセンサからの検知信号に基づき、電磁波発生源から前記複数の射出方向分離部へ入射する電磁波の検知角度をそれぞれ求めて、該求めたそれぞれの検知角度により、前記電磁波発生源の3次元位置情報を含む表示信号を出力し、前記表示部は、前記電磁波発生源の3次元位置表示を行うことを特徴とする電磁波可視化装置。特許文献1に記載の技術では、装置の表面をセンサで走査するため、装置のどの部位から電磁ノイズが放射しているのかを捉えやすい。一方で、走査するために電磁ノイズのリアルタイム性は失われ、バースト的に放射される電磁ノイズは捉えにくいという問題がある。また、特許文献2に記載の技術ではマルチパスの影響を受けやすく、マルチパスの影響を軽減しようとすると特許文献3に記載の技術のように、段階的に到来方向推定を行う必要があり、リアルタイム性が失われる可能性がある。また、特許文献4に記載の技術では、受信センサにアンテナを用いており、アンテナ間の干渉を避け、かつ分解能を上げるためにはアンテナを機械的に操作する必要がある。このため、この方式でもリアルタイム性が失われる。上述したように、特許文献1~4の技術では、電磁ノイズの発生源をリアルタイムに可視化することが困難である。そこで、本発明では、電磁ノイズの発生源をリアルタイムに可視化することのできる電磁波可視化装置を提供する。本願は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、本発明の代表的な構成は、次のとおりである。すなわち、電磁波の入射方向に応じて電磁波の射出方向を変える射出方向分離部と、前記射出方向分離部から射出された電磁波のエネルギーを感知して、該感知したエネルギーの大きさに応じた強さの検知信号をそれぞれ出力する複数のセンサと、前記複数のセンサのそれぞれから前記検知信号を受信可能であって、前記センサから前記検知信号を受信すると、該検知信号を送信したセンサに対応づけられた電磁波の到来方向の情報を含む表示信号を出力する処理部と、複数の電磁波の到来方向をそれぞれ表示可能であって、前記表示信号を受信すると電磁波の到来方向を表示する表示部とを、電磁波可視化装置が備えることを特徴とする。本発明によれば、リアルタイムに電磁波の発生源を可視化することが可能である。本発明の実施形態における電磁波可視化装置の構成について、図1と図2を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る電磁波可視化装置の構成図である。図2は、本実施形態に係る電磁波可視化装置による測定例を示す図である。図1に示すように、本実施形態では、電磁波可視化装置は、電磁波の到来方向入射方向に応じて電磁波の射出方向を分離する分離機能を有する射出方向分離部11と、電磁波のエネルギーによって電圧を誘起する複数のセンサ121、122、123を配置したセンサ部12と、測定対象の画像を撮影し該撮影した画像の画像信号を出力する撮像部であるカメラ部14と、センサ部12やカメラ部14からの信号を処理する処理部13と、表示部15とを備える。各センサ121、122、123は、処理部13と、それぞれ伝送線路12dにより信号接続されている。カメラ部14は、処理部13と、伝送線路14dにより信号接続されている。表示部15は、処理部13と、伝送線路13dにより信号接続されている。射出方向分離部11は、例えば、電磁波レンズで構成され、レンズに入射する電磁波を収束させるとともに、入射する電磁波の到来方向に応じて、レンズから射出する電磁波の射出方向や射出位置を変え、複数の電磁波の到来方向に対してはそれぞれ異なる位置に収束させる、つまり焦点を結ぶようにするものである。レンズの詳細は後述する。センサ部12は、射出方向分離部11から射出された電磁波のエネルギーを感知して該感知したエネルギーの大きさに応じた強さの検知信号を出力するセンサ121、122、123を複数配置している。したがって、レンズに入射する電磁波の収束位置焦点に対応する位置にあるセンサが検知信号を出力するようになっている。すなわち、レンズに入射する電磁波の収束位置に応じて、検知信号を出力するセンサが異なるものである。処理部13は、センサ部12の複数のセンサのそれぞれから検知信号を受信可能であって、その内部にはセンサ位置と電磁波の到来角度、すなわち電磁波の到来方向情報とを対応付けたテーブルを有している。センサ部12のセンサのいずれかから検知信号を受信すると、該検知信号を送信したセンサの位置情報から、このテーブルを参照してセンサ位置に対応する電磁波の到来方向情報を得て、当該電磁波の到来方向情報と前記受信した検知信号の強さ情報とを含む表示信号を出力する。また、処理部13では、カメラ部14で撮影した画像の画像信号を受信しており、この画像信号に、電磁波到来方向情報と検知信号の強さ情報とを含む信号を重ね合わせた表示信号を作成して、表示部15へ出力する。表示部15は、複数のノイズの位置をそれぞれ表示可能であって、処理部13から表示信号を受信すると、該表示信号に含まれる電磁波到来方向情報と検知信号の強さ情報とに基づき、測定対象における電磁波発生位置と検知信号の強さ、すなわち電磁波の強さとを、例えばLCDLiquidCrystalDisplay等に表示する。また、表示部15は、処理部13から受信した表示信号を表示することで、カメラ部14で撮影した画像も同時に表示する。このように、表示部15では、電磁波到来方向情報と検知信号の強さ情報とを含む情報が、カメラ部14で撮影された測定対象の画像に重ねられて表示される。図2の例で説明すると、例えば測定対象16のノイズ源17から発生した電磁波18を、射出方向分離部である電磁波レンズ11で分離、つまり、電磁波の到来方向に応じて電磁波レンズ11から射出する電磁波の射出方向を変え、センサ部12へ入射させる。センサ部12では、電磁波レンズ11を透過した電磁波が入射してエネルギーが誘起されたセンサが、誘起されたエネルギーの大きさに応じた強さの検知信号を出力する。処理部13では、検知信号を出力したセンサ位置番号と検知信号の強さとを認識する。処理部13の内部には、センサ位置番号と電磁波の到来角度とを対応づけたテーブルを有しており、検知信号を出力したセンサの位置情報を基にテーブルを参照し電磁波の到来角度を得る。このようにして電磁波の到来角度により測定対象において電磁波の発生位置情報を得ることができる。また、処理部13では、カメラ部14で撮影した画像の画像信号を受信しており、この画像信号に、センサ位置情報を基に得られる電磁波の到来方向、すなわち測定対象における電磁波の発生位置情報と、検知信号の強さ情報、すなわち電磁波の強さ情報とを含む信号を重ね合わせた表示信号を作成して、表示部15へ出力する。表示部15は、処理部13から受信した表示信号を表示することで、カメラ部14で撮影した画像上に、測定対象16のノイズ源17の位置と、ノイズの大きさを表示し、電磁波の可視化を実現する。図2の例では、表示部15に、測定対象16の画像16aが表示され、さらに、その画像上に、ノイズ源17の画像17aの位置とノイズの大きさが表示されている。ノイズの大きさは、画像17aの大きさで示されているが、別の方法、例えば、相対的な数値表示により、色で表しても良く、また画面上に数値を表示しても良い。なお、処理部13は、センサ部12のセンサのいずれかから検知信号を受信すると、受信した検知信号の強さが所定値以上の場合に、該受信した検知信号の強さ情報を含まず、該検知信号を送信したセンサに対応づけられた電磁波の到来方向情報のみを含む表示信号を出力するよう構成することもできる。この場合、表示部15は、センサの位置を表示する際に、検知信号の強さに関わらない表示を行う。例えば、図2の例では、ノイズの大きさは、検知信号の強さに関わらず一定の大きさで表示される。第1実施例次に、射出方向分離部11に電磁波レンズであるルネベルグレンズを用いる第1実施例を、図3を用いて説明する。図3は、本発明の第1実施例に係るルネベルグレンズを説明する図である。電磁波レンズの一つであるルネベルグレンズ11aは、レンズを形成する球体の比誘電率εrを、外周から中心に向かってεr=1からεr=2に徐々に変化させた構造体である。このレンズに電磁波が入射すると、到来角によりレンズの表面のある位置に焦点を結ぶ。例えば図3に示すように、電磁波32、電磁波33のように到来角の異なる電磁波がレンズに入射した場合、電磁波32は焦点32fに収束し、電磁波33は焦点33fに収束する。異なる到来方向から入射した複数の電磁波は、それぞれ異なる一点に収束するため、電磁波が収束した焦点位置から、その電磁波の到来方向が分かる。ルネベルグレンズ11aの中心から距離rの位置の比誘電率εrの理想値は、レンズの直径を2Rとすると以下の式に従う。ルネベルグレンズ11aでは、連続的に比誘電率εrが変化していくことが望ましいが、実際には図4に示すように、比誘電率εrがレンズ11aの中心からの距離rに対して非連続的階段状に変化するように形成設定されている。図4は、第1実施例に係るルネベルグレンズの比誘電率の理想値と実際の設定値の例であり、縦軸は比誘電率εr、横軸はr/Rである。図4において、41は理想値であり、42は実際の設定値である。r/Rが1に近づくほど、つまり、球状のレンズ表面に近づくほど比誘電率εrが1に近づき、r/Rが0に近づくほど、つまり、球状のレンズ中心に近づくほど比誘電率εrが2に近づいている。なお、比誘電率εrが一定の物質に穴をあけて実効的な誘電率を変化させることで、ルネベルグレンズ11aを実現することもできる。また、本実施例では球状のルネベルグレンズを用いたが、射出方向分離部11として用いるレンズはルネベルグレンズに限らず、電磁波到来方向に応じた射出方向分離機能を有していればどのような形状でもよく、例えば、非球面レンズを用いることもできる。電磁波レンズとセンサ部を組み合わせた測定装置の例を、図5を用いて説明する。図5は、第1実施例に係る電磁波レンズとセンサ部を組み合わせた測定装置の例である。球形のルネベルグレンズ11aの左半分図5における左半分を電磁波入射部とし、右半分をセンサ部12で覆っている。左半分の電磁波入射部に入射した電磁波32及び電磁波33は、その入射方向に応じて、右半分の球面上の異なる位置に焦点を結ぶ。このルネベルグレンズ11aの焦点位置に対応する位置に、センサ121、12212nを配置することで、電磁波の到来方向とそのエネルギーの大きさ電磁波の強さを検知する。各センサの信号は、それぞれ信号伝送線路12dを経由して処理部13に伝送される。図5の例では、電磁波32はセンサ12nに収束し、電磁波33はセンサ121に収束している。次に、第1実施例のセンサ部12について、図6と図7を用いて説明する。図6は、第1実施例に係るセンサ部であるシート状の低反射電磁界センサの俯瞰図である。図7は、図6の低反射電磁界シートの断面図である。本実施例の低反射電磁界センサは、後述するようにマッシュルーム状の金属の周期構造で実現される。図6に示すように、板状の誘電体20の表面である第1層に、金属パッチ21が周期状に配置されている。詳しくは、複数の金属パッチ21が行方向横方向と列方向縦方向に、碁盤の目状に配置されている。例えば、行方向には、金属パッチ211、212、213が配置されている。各金属パッチ21は、抵抗25により接続されている。各金属パッチ21の中央には、それぞれ、後述するビア22が設けられている。各金属パッチ21は、測定する電磁波の波長λに対して十分小さい大きさであり、金属パッチ21の1辺の長さは、1/10λ以下である。例えば、測定する電磁波の周波数が2.4GHzの場合は、金属パッチ21の1辺の長さは12.5mm以下とする。金属パッチ21は、本実施例では正方形の金属板であるが、正方形に限られるものではない。図7に示すように、誘電体20の裏面近くに、第1層と平行な第2層として導体であるグランド24が、誘電体20の面と略同じ大きさの面として設けられている。グランド24は、誘電体20を挟んで導体であるビア22により、各金属パッチ21と接続されている。詳しくは、金属パッチ211はビア221によりグランド24と接続され、金属パッチ212はビア222によりグランド24と接続され、金属パッチ213はビア223によりグランド24と接続される。図7に示すように、誘電体20の裏面には、電圧センサ27が抵抗25と1対1で対応するように設けられている。抵抗25の両端部には、電圧センサ27と接続するための導体である電圧センサ用ビア26が設けられ、誘電体20とグランド24を貫通して、電圧センサ27に接続されている。グランド24には、電圧センサ用ビア26を通す穴が設けられており、グランド24と電圧センサ用ビア26は電気的に導通しないようになっている。詳しくは、例えば、抵抗251の両端部に、電圧センサ用ビア261,262が設けられ、電圧センサ271に接続され、抵抗252の両端部に、電圧センサ用ビア263,264が設けられ、電圧センサ272に接続されている。電圧センサ27は、電圧センサ用ビア26を介して、抵抗25の両端に誘起する電圧を検出する。詳しくは、例えば、電圧センサ271は抵抗251の両端に誘起する電圧を検出し、電圧センサ272は抵抗252の両端に誘起する電圧を検出し、電圧センサ273は抵抗253の両端に誘起する電圧を検出する。電圧センサ27は、例えば、増幅器やAD変換器や電圧測定器等により構成される。電磁波が、低反射電磁界シートを構成する金属パッチ21のいずれかに照射されると、照射された金属パッチ21に接続された抵抗25にのみ電圧が誘起されるため、その抵抗25に接続された電圧センサ27の位置から電磁波の到来方向がわかる。このとき、抵抗25を波動インピーダンスと同様の377Ωとすれば、空間とセンサ部12のインピーダンスが整合され、電磁波が反射せずセンサ部12に電磁波のエネルギーが吸収される。次に、第1実施例に係るカメラ位置について、図8を用いて説明する。図8は、第1実施例に係るカメラ位置補正を説明する図である。測定対象16の画像を撮影するためのカメラは、図8に示すカメラ81のように、レンズ中央中心位置に配置できればよいが、レンズ中央に配置すると、電磁波の測定の際に障害物となる。そこで、実際には、カメラ82のように、レンズ中央からカメラ位置差分83だけ離した位置に配置する。カメラ82で得られる実際の画像82bは、カメラがレンズ中心にある場合の画像81bと比較して、カメラ位置差分83だけ位置がずれているので、カメラ位置差分83の中心位置補正を行う。また、カメラの最大視野角θは既知であり、前述したように、センサ部12で測定した電磁波の到来角度情報は、センサ部の位置と電磁波の到来角度情報を対応づけたテーブルを参照して得られる。カメラ82の視野角とレンズ部11とセンサ部12による電磁界測定結果の視野角とを合わせ、該両視野角を合わせた状態で、カメラ82で測定対象16の画像を撮影するとともに、レンズ部11とセンサ部12で電磁波を測定し、処理部13で、カメラ位置差分83の中心位置補正を行い、両者の画像を重ねて、表示部15に表示することにより、電磁波解析の可視化を実現する。誘電体20の材質は、例えば薄いポリイミドであり、柔軟性を有し、折り曲げ可能である。したがって、ルネベルグレンズ11aの球面に沿って、低反射電磁界シートを取り付けることが容易となる。そのほかに、板状のセンサを分割してレンズに沿わせても良い。本実施例では、電磁波の検出用に電圧を測定する電圧センサ27を用いたが、電磁波のエネルギーを検出できるものであれば別のもの、例えば電力を測定する素子等であってもよい。また、本実施例では、電磁波吸収素子として正方形状の金属パッチ21を用いて低反射電磁界センサを構成したが、無反射でなくとも電磁波を吸収し、素子間にエネルギーを生じさせる素子であればどのような形であってもよい。また、センサ部12と処理部13は分離型としたが、一体型としてもよい。また、本実施例では、電磁波の発生位置を表示するとともに電磁波のエネルギーの大きさを表示する構成としたが、電磁波のエネルギーの大きさを表示しない構成、つまり、所定値以上のエネルギーを有する電磁波の発生位置のみを表示する構成とすることも可能である。以上説明した第1実施例によれば、次の効果を得ることができる。1電磁波の到来方向を検知して、リアルタイムに表示することができる。2電磁波のエネルギーの大きさを検知して、リアルタイムに表示することができる。3射出方向分離部としてルネベルグレンズを用いるので、到来する電磁波を収束することが簡易に実現できる。4センサ部として柔軟な低反射電磁界シートを用いるので、ルネベルグレンズに取り付けることが容易となる。5金属パッチや抵抗等により構成される低反射電磁界センサを用いるので、到来する電磁波のエネルギーを効率よく吸収できる。加えて、抵抗を波動インピーダンスと同様の377Ωとすると、さらに、到来する電磁波のエネルギーを効率よく吸収できる。第2実施例次に、射出方向分離部11に非球面レンズを用いる第2実施例を、図9を用いて説明する。図9は、第2実施例に係る複数枚の電磁波レンズを有する射出方向分離部を説明する図であり、ここでは、電磁波レンズとして非球面レンズ11b,11cを用いている。また、センサ部12は平面状としているが、平面状に限られるものではない。他の構成は、第1実施例と同様なので説明を省略する。図9に示すように、電磁波の入射方向に沿って直列に、非球面レンズ11b、非球面レンズ11cの2枚を並べて配置し、大口径の非球面レンズ11bで集めた電磁波エネルギーを、非球面レンズ11cでさらに収束して、センサ部12に伝える。図9の例では、非球面レンズ11bに対し水平方向から入射した電磁波実線で示すは、非球面レンズ11bで収束されて非球面レンズ11cに入射し、非球面レンズ11cでさらに収束されて、センサ124で焦点を結んでいる。また、非球面レンズ11bに対し斜め方向から入射した電磁波破線で示すは、非球面レンズ11bで収束されて非球面レンズ11cに入射し、非球面レンズ11cでさらに収束されて、センサ123で焦点を結んでいる。非球面レンズの形状や枚数は、センサ12が受信できるエネルギー強度をかせげれば、任意の形状、枚数でよい。このように、第2実施例の射出方向分離部11は、電磁波検知の高感度化のためにレンズの大口径化を図る場合に有効である。焦点位置での電磁波のエネルギーはレンズの有効開口面積によって決まるため、レンズを大口径にするほどエネルギーを集めやすい。また、レンズを複数枚配置することにより、効率的にエネルギーを集めることができる。第3実施例次に、射出方向分離部11にアンテナを用いる第3実施例を、図10を用いて説明する。図10は、第3実施例に係るパラボラアンテナを用いた射出方向分離部を説明する図である。センサ部12は平面状としているが、平面状に限られるものではない。他の構成は、第1実施例と同様なので説明を省略する。電磁波を分離し増幅する機能を有するのは、レンズのみではない。例えば、パラボラアンテナのようなアンテナでも実現可能である。図10に示すように、第3実施例では、複数のパラボラアンテナ11d1、11d2、11d3、11d4を、各アンテナが電磁波発生源からの電磁波をそれぞれ直接入射できるよう、アレー状に配置する。各パラボラアンテナは、互いに角度を変化させて設置し、電磁波の到来方向に対する反射波の焦点位置を変化させる。図10の例では、アンテナ11d1は、図10において横方向に入射する電磁波181を、反射し射出してセンサ121に収束させ、アンテナ11d2は、電磁波181よりもやや下向きの電磁波182を、反射し射出してセンサ122に収束させ、アンテナ11d3は、電磁波182よりもやや下向きの電磁波183を、反射し射出してセンサ123に収束させ、アンテナ11d4は、電磁波183よりもやや下向きの電磁波184を、反射し射出してセンサ124に収束させる。このように、各パラボラアンテナの焦点の位置に、センサ121、122、123、124を配置することで、それぞれ特定の方向からの電磁波のみを検知し、その到来方向を推定する。第4実施例次に、センサ部12として、行毎及び列毎に電圧センサを設ける第4実施例を、図11ないし図14を用いて説明する。図11は、第4実施例に係るセンサ部である低反射電磁界シートの俯瞰図である。図12は、第4実施例に係る低反射電磁界シートのグランドパターン図である。図13は、第4実施例に係る行電圧センサ配線を示す図である。図14は、第4実施例に係る列電圧センサ配線を示す図である。本実施例の低反射電磁界センサは、第1実施例のセンサと同様に、金属パッチと金属パッチの中央に配置したビアで形成されるマッシュルーム型の金属の周期構造で実現される。他の構成は、第1実施例と同様なので説明を省略する。図11に示すように、板状の誘電体50の表面である第1層に金属パッチ51が周期状に配置されている。詳しくは、複数の金属パッチ51が行方向横方向と列方向縦方向に、碁盤の目状に配置されている。例えば、1行目には、金属パッチ511、512、513が配置され、1列目には、金属パッチ511、5121、5131が配置されている。各金属パッチ51の間は、抵抗55により接続されている。各金属パッチ51の中央には、それぞれ、後述するビア52が設けられている。各金属パッチ51は、第1実施例の金属パッチ21と同様に、測定する電磁波の波長λに対して十分小さい大きさであり、金属パッチ51の1辺の長さは、1/10λ以下である。また、誘電体50は、例えば薄いポリイミドであり、柔軟性を有し、折り曲げ可能である。第1実施例と同様に、誘電体50を挟んで、第1層と平行な第2層として導体であるグランド54が、誘電体50の面と略同じ大きさの面として設けられている。第4実施例に係る低反射電磁界シートのグランドパターン図を図12に示す。グランド54は、誘電体50を挟んで導体であるビア52により、各金属パッチ51と接続されている。詳しくは、金属パッチ511はビア521によりグランド54と接続され、金属パッチ512はビア522によりグランド54と接続され、金属パッチ513はビア523によりグランド54と接続される。さらに、グランド54との間で誘電体50を挟んで、図13に示す行電圧センサ配線57が設けられ、さらに、誘電体50の裏面には、図13に示す行電圧センサ配線57との間で誘電体50を挟んで、図14に示す列電圧センサ配線67と行電圧センサ58と列電圧センサ68が設けられている。行電圧センサ58は、行電圧センサ用ビア56を介して、行電圧センサ配線57に接続されている。列電圧センサ68は、直接、列電圧センサ配線67に接続されている。抵抗55の両端部には、導体である電圧センサ用ビア53が設けられている。電圧センサ用ビア53は、誘電体50とグランド54を貫通し、行電圧センサ配線57と列電圧センサ配線67を介して、行電圧センサ58と列電圧センサ68に接続されている。グランド54には、電圧センサ用ビア53を通す穴が設けられており、グランド54と電圧センサ用ビア53は電気的に導通しないようになっている。詳しくは、例えば、1行1列目の抵抗551の両端部に、電圧センサ用ビア531,532が設けられる。電圧センサ用ビア531は、行電圧センサ配線571と列電圧センサ配線671に接続され、電圧センサ用ビア532は、行電圧センサ配線572と列電圧センサ配線672に接続される。行電圧センサ581には、行電圧センサ配線571と572が接続され、列電圧センサ681には、列電圧センサ配線671と672が接続されている。かくして、抵抗551の両端は、行電圧センサ581と列電圧センサ681に接続される。同様にして、1行2列目の抵抗552の両端は、行電圧センサ581と列電圧センサ682に接続され、1行3列目の抵抗553の両端は、行電圧センサ581と列電圧センサ683に接続されている。また、2行1列目の抵抗5521の両端は、行電圧センサ582と列電圧センサ681に接続され、3行1列目の抵抗5531の両端は、行電圧センサ583と列電圧センサ681に接続されている。行電圧センサ58は、電圧センサ用ビア53を介して、同じ行の抵抗55に誘起する電圧を検出し、列電圧センサ68は、電圧センサ用ビア53を介して、同じ列の抵抗55に誘起する電圧を検出する。詳しくは、例えば、行電圧センサ581は、1行目の抵抗551、552、553に誘起する電圧を検出し、列電圧センサ681は、1列目の抵抗551、5521、5531に誘起する電圧を検出する。したがって、行電圧センサ58と列電圧センサ68により、どの抵抗55に電圧が誘起したかがわかる、つまり、電磁波の到来方向がわかる。このように、第4実施例においては、行電圧センサ58で電圧が誘起される行を検知し、同時に列電圧センサ68で電圧が誘起される列を検知することで、電圧が誘起される素子の位置を検知することができる。第4実施例によれば、電圧センサの数を、第1実施例よりも少なくすることができる。なお、第4実施例においても、第1実施例と同様に、電圧を検知する電圧センサでなくとも、素子のエネルギーを検知できるセンサであればよい。また、以上の説明では、説明を簡易にするため、図11における横方向の抵抗、つまり、金属パッチ51間を横方向に接続する抵抗、例えば抵抗551等について、電圧センサ用ビア53や行電圧センサ配線57や行電圧センサ58や列電圧センサ配線67や列電圧センサ68を説明したが、縦方向の抵抗、例えば抵抗5511等についても、同様な、電圧センサ用ビアや行電圧センサ配線や行電圧センサや列電圧センサ配線や列電圧センサいずれも不図示を設けることができる。なお、縦方向の抵抗を設けない構成とすることも可能である。第5実施例次に、3次元における電磁波発生源の位置を特定できる第5実施例を、図15を用いて説明する。図15は、第5実施例に係る3次元電磁界測定装置の要部を示す図である。第5実施例においては、第1実施例におけるレンズ部11を、それぞれノイズ源からの電磁波を直接入射する複数のレンズ、図15の例では、2つのルネベルグレンズレンズ11f、11gで構成し、ノイズ源の距離を検知するものである。他の構成は、第1実施例と同様なので説明を省略する。図15に示すように、ノイズ源17に対し、レンズ11fと11gの電磁波入射側の半球面を向けて配置する。レンズ11fと11gの電磁波入射側と反対側の半球面には、それぞれ、センサ部12fと12gが設けられている。レンズ11fと11gの間の距離、つまり、レンズ11fの中心とレンズ11gの中心との間の距離をdxとする。ノイズ源17と、レンズ11f,11gの設置位置との間の距離、つまり、レンズ11fの中心とレンズ11gの中心を結ぶ直線に対し、ノイズ源17から下ろした垂線85の長さをd、交点を86とする。レンズ11gの中心と交点86との間の距離をaとすると、レンズ11fの中心と交点86との間の距離はdx-aとなる。ノイズ源17からの電磁波を、レンズ11fで検知した角度を検知角度α1、レンズ11gで検知した角度を検知角度α2とすると、距離dとの間に以下の数式が成り立つ。ここで式3をaについて解き、式2に代入すると以下の式を得られ、ノイズ源17までの距離dがわかる。球状のルネベルグレンズを使用した場合には、検知角度として、仰角と方位角の双方の情報を持つので、2つのレンズ11f,11gと2つのセンサ部12f,12gおよび処理部13により、3次元におけるノイズ源17の位置を検知することができる。2次元表示の表示部に表示する場合は、例えば、ノイズ源17の2次元位置ノイズの到来方向を表示し、この表示と併せて、ノイズ源17までの距離を数値例えば15mで表示するようにする。なお、本実施例では2つのレンズおよびセンサ部を用いる場合を示したが、レンズおよびセンサ部は、3つ以上の複数としてもよい。以上説明した第5実施例によれば、電磁波の到来方向つまり電磁波発生源の2次元位置と、電磁波発生源までの距離とを検知することができるので、電磁波発生源の3次元位置を特定することが容易となる。なお、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。上述の実施形態では、電磁波の発生位置とエネルギーの大きさとを、カメラで撮影した背景上に表示したが、カメラで撮影した背景を用いない構成、つまり、電磁波の相対的な発生位置とエネルギーの大きさとを表示する構成とすることも可能である。また、電磁波のエネルギーの大きさを表示しない構成、つまり、所定値以上のエネルギーを有する電磁波の発生位置のみを表示する構成とすることも可能である。"