原料となる塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を中和して水酸化インジウムとし、これを焙焼して酸化インジウムを製造する方法であって、水酸化ナトリウム水溶液に塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を添加し、pHを9~10に調整して水酸化インジウムを発生させ、発生した水酸化インジウムを濾過し、これをpH8~9の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾過して回収し、更にこれをpH4~5の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾別したのち、焙焼することを特徴とする酸化インジウムの製造方法。原料となる塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を中和して水酸化インジウムとし、これを焙焼して酸化インジウムを製造する方法であって、水浴に、水酸化ナトリウム水溶液と塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を同時に添加し、pHを9~10に調整して水酸化インジウムを発生させ、発生した水酸化インジウムを濾過し、これをpH8~9の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾過して回収し、更にこれをpH4~5の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾別したのち、焙焼することを特徴とする酸化インジウムの製造方法。焙焼後の酸化インジウム塩素含有量が、5ppm以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の酸化インジウムの製造方法。焙焼後の酸化インジウムのナトリウム含有量が10ppm以下であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の酸化インジウムの製造方法。インジウム含有スクラップを塩酸で溶解して塩化インジウム溶液の原料とすることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の酸化インジウムの製造方法。原料を中和して水酸化インジウムを発生させた後、水酸化インジウム以外の成分を除去することを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載の酸化インジウムの製造方法。請求項1~6のいずれか一項に記載の酸化インジウムの製造方法によって得られた塩素含有量が5ppm以下であることを特徴とする酸化インジウム。請求項1~7のいずれか一項に記載の酸化インジウムの製造方法によって得られたナトリウム含有量が10ppm以下であることを特徴とする酸化インジウム。本発明は、上記の問題を解決するために、原料となる塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を水酸化ナトリウムにより中和して水酸化インジウムとし、これを焙焼して酸化インジウムを製造する工程において、該工程中に含有する塩素及びナトリウムを、効率的に、低コストで除去することができる酸化インジウムの製造方法及びこれによって得られた低塩素かつ低ナトリウム含有酸化インジウムを提供することを課題とする。本発明の酸化インジウムの製造方法は、その1として、原料となる塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を中和して水酸化インジウムとし、これを焙焼して酸化インジウムを製造する方法であって、水酸化ナトリウム水溶液に、塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を添加し、pHを9~10に調整して水酸化インジウムを発生させ、発生した水酸化インジウムを濾過し、これをpH8~9の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾過して回収し、更にこれをpH4~5の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾別したのち、焙焼することを特徴とする。本発明の酸化インジウムの製造方法は、その2として、原料となる塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を中和して水酸化インジウムとし、これを焙焼して酸化インジウムを製造する方法であって、水浴に、水酸化ナトリウム水溶液と塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を同時に添加し、pHを9~10に調整して水酸化インジウムを発生させ、発生した水酸化インジウムを濾過し、これをpH8~9の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾過して回収し、更にこれをpH4~5の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾別したのち、焙焼することを特徴とする。本発明の、その3として、前記焙焼後の酸化インジウム塩素含有量が5ppm以下であることを特徴とする前記1~2のいずれかに記載の酸化インジウムの製造方法を提供する。本発明の、その4として、前記焙焼後の酸化インジウムのナトリウム含有量が10ppm以下であることを特徴とする前記1~3のいずれかに記載の酸化インジウムの製造方法を提供する。本発明の、その5として、インジウム含有スクラップを塩酸で溶解した塩化インジウム水溶液を原料とし、また中和剤に水酸化ナトリウムを使用することを特徴とする前記1~4のいずれかに酸化インジウムの製造方法を提供する。本発明の、その6として、原料を中和して水酸化インジウムを発生させた後、水酸化インジウム以外の成分を除去することを特徴とする、前記1~5のいずれかに記載の酸化インジウムの製造方法を提供する。本発明の、その7として、前記1~6のいずれかに記載の酸化インジウムの製造方法によって得られた塩素含有量が5ppm以下であることを特徴とする酸化インジウムを提供する。本発明の、その8として、前記1~7のいずれかに記載の酸化インジウムの製造方法によって得られたナトリウム含有量が10ppm以下であることを特徴とする酸化インジウムを提供する。本発明は、原料となる塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を水酸化ナトリウムにより中和して水酸化インジウムとし、これを焙焼して酸化インジウムを製造する工程において、該工程中に含有する塩素及びナトリウムを、効率的に、低コストで除去することができる酸化インジウムの製造方法及びこれによって得られた低塩素かつ低ナトリウム含有酸化インジウムを提供することができるという優れた効果を有する。本発明の酸化インジウムの製造方法は、従来の製造方法であった水酸化インジウムの水洗を塩素とナトリウムが除去できるまで繰り返し洗浄を行う又は他のコストのかかる手段を選択する必要がなく、水酸化インジウムを製造する段階で、すでに低塩素化、低ナトリウム化を実現することができる。さらに、本発明で製造した酸化インジウムは、例えば、インジウム-錫酸化物ITOスパッタリングターゲット等の焼結体ターゲットを製造する場合において、焼結性に優れ、密度及び歩留まりが向上し、ターゲットの品質を向上させることができる効果を有する。本発明の酸化インジウムの製造方法は、水酸化ナトリウム水溶液に、原料となる塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を添加し、pHを9~10に調整して水酸化インジウムを発生させ、発生した水酸化インジウムを濾過する。この工程Aで、pH9未満では、水酸化インジウムの生成凝集効果が低下するので、pH9以上とすることが必要である。また、pH9未満では、洗浄の際に極端に塩素が洗浄し難くなるため、pH9以上とすることが必要である。さらに、pH10を超えると、洗浄の際にナトリウムが洗浄しにくくなるため、pH10以下とすることが必要である。次に、前記工程Aで得た水酸化インジウムをpH8~9の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾過して回収し、更にこれをpH4~5の液に分散させて攪拌洗浄し、水酸化インジウムを濾別する工程B。この工程Bで得られた水酸化インジウムを焙焼するという工程を採る。この工程Bで、pH8未満では、水酸化インジウムの生成凝集効果が低下するので、pH8以上とすることが必要である。また、pH8未満では、洗浄の際に極端に塩素が洗浄し難くなるため、pH8以上とすることが必要である。さらに、pH9を超えると、洗浄の際にナトリウムが洗浄しにくくなるため、pH9以下とすることが必要である。次に、前記工程Aと工程Bにより得た凝集した水酸化インジウムを、濾過して回収し、さらに濾過後の水酸化インジウムを水洗した後、焙焼して酸化インジウムを製造する。この結果、塩素が著しく低減した酸化インジウムを得ることができる。酸化インジウム中の塩素含有量は、5ppm以下にすることが可能となる。従来は、原料となる塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液に、水酸化ナトリウム水溶液を添加する工程が採られていたので、全く逆の工程と言える。酸化インジウム中の塩素含有量は、前記の通り5ppm以下とすることができるが、これによって、この酸化インジウムを用いて例えば、ITOスパッタリングターゲットを製造した場合には、焼結性が向上し、密度を高くすることが容易となり、不良品の発生が少なくなって歩留まりが向上し、結果としてターゲットの品質を向上させることができる。水酸化物粒子表面は、液性が酸性の場合はプラス、アルカリ性の場合はマイナスに帯電しており、アルカリ性の場合は塩素イオン自体がマイナスに帯電しているため水酸化物表面に吸着され難い。しかし、水酸化インジウムはpH3程度から発生するため、塩化インジウムに水酸化ナトリウムを添加して中和する過程で、酸性領域において、塩素イオンを吸着することになる。最終的にpHをアルカリ性にしても、吸着された塩素は除去し難い。これが従来法では、塩化インジウムから水酸化インジウムを製造する段階で、塩素を高濃度に含有する原因と考えられる。本願発明では、アルカリ性を保ちながら、水酸化ナトリウムによる中和となるため、水酸化インジウム表面に塩素イオンが吸着され難く、その結果塩素イオンが大きく低下することが可能となった。以上から明らかなように、塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を中和して水酸化インジウムとする際に、アルカリ性を保つことができれば、水浴に、水酸化ナトリウム水溶液と塩化インジウム水溶液又は塩化インジウムを主成分とする金属塩が含まれる水溶液を同時に添加しても、同様に、水酸化インジウムに吸着した塩素を低減できることが理解できるであろう。この場合、同様にpHを9~10に調整して水酸化インジウムを発生させ、発生した水酸化インジウムを濾過して回収し、濾過後の水酸化インジウムを水洗した後、焙焼して、酸化インジウムとすることができる。これによって、酸化インジウム中の塩素含有量は、5ppm以下にすることが可能となる。しかしこの場合、中和剤として用いているナトリウムが残留してしまうという欠点があった。これは、アルカリ性でマイナスに帯電した水酸化物に、ナトリウムが吸着されやすいためである。この課題を解決するため、鋭意検討した結果、洗浄水に弱酸性の液を用いることで、ナトリウムが洗浄できることを発見した。より具体的には、得られた水酸化物を水に懸濁させた後、硝酸を用いて懸濁液のpHを4~5に調整し、攪拌し、濾過することで、水酸化物中のナトリウムを10ppm未満まで低減できる。このとき、pHを4未満にしてしまうと、インジウムの再溶解が激しくなり、インジウムの収率が極端に悪化するため注意が必要である。また、pHが5より大きい場合には、ナトリウムを洗浄する効果が小さいために、洗浄に大量の水が必要となる。また、中和後の水酸化インジウムを初めから酸性の液で洗浄すると、わずかな塩素が再吸着されてしまうため、塩素の除去効果が得られにくい。このため、中和後の水酸化物は、固液分離後、一度pH8~9程度の弱アンモニア水にて洗浄し、塩素を除去した後、pH4~5の水にて洗浄することで、ナトリウムも除去することができる。原料の調整本願発明において使用する原料は、基本的には塩化インジウム水溶液であるが、塩化インジウムを主成分とし、他の金属塩が含まれる水溶液を使用することもできる。例えば、ITOスパッタリングターゲットのスクラップを塩酸で溶解し、水酸化インジウムと水酸化錫の混合溶液を作成することが可能である。この他、IZO、IGO、IGZO等のスパッタリングターゲットのスクラップ等を使用することができ、塩化インジウムを主成分とするものであれば、特に制限はない。この水溶液の成分組成の割合は、例えばITOスパッタリングターゲットの場合は、ITOスパッタリングターゲットの成分組成が反映されたものとなる。塩化錫を含有する塩化インジウムを水酸化ナトリウムにより中和して水酸化錫を含有する水酸化インジウムとし、これを焙焼により酸化錫を含有する酸化インジウムとすることができる。さらに、これを原料としてITOスパッタリングターゲットを再利用する場合には、スクラップ化される前のターゲット材と、回収後の材料とが組成的に変動する場合があるので、不足分を補って、ITOターゲットを再生することができる。以上については、ITOターゲットの再利用について述べたが、IZOターゲット等の他のスパッタリングターゲットにおいても同様に適用できる。水酸化インジウムのみの溶液とする場合には、水酸化インジウムを発生させた段階で、水酸化インジウム以外の成分を除去すれば良い。また、スクラップの再利用の段階で、不純物が混入する場合は、塩化インジウム又は水酸化インジウム溶液の段階で、当該不純物を除去することが望ましいと言える。酸化インジウムを含有するターゲットのスクラップから、水酸化インジウムを発生させる例を、ITOターゲットを例として説明すると、次のようになる。まず、ITOターゲットの研磨粉等のインジウム含有スクラップを塩酸で溶解する工程を採る。具体的には、インジウム含有スクラップ100kgに対して塩酸量を300L~600Lとし、温度100~110°Cで溶解する。この溶解温度は沸騰状態にある。溶解時間は約3~5時間程度であり、適宜調節する。塩酸量は300L~600Lとする。300Lは反応当量であり、600Lを超えて添加しても特に反応が促進するわけではないので、無駄である。上記塩酸量に調製し、かつ温度100~110°Cで溶解することにより、未溶解残渣を極力少なくできる。次に、このようにして得た塩化インジウム水溶液に対し、水酸化ナトリウム水溶液等を用いて、塩化インジウム水溶液のpH調製を行い、塩化インジウム水溶液のpHを1.5~2.0とする。水酸化ナトリウム水溶液以外に、水酸化カリウム水溶液を使用することもできる。これによって、スクラップ中に含有する殆どの錫を水酸化錫SnOH4として沈殿させ、これを除去することができる。残余の水酸化インジウムは、上記の処理をすることにより、酸化インジウムとすることができる。製造する材料酸化物に応じて、適宜選択できる。次に、実施例について説明する。なお、本実施例は発明の一例を示すためのものであり、本発明はこれらの実施例に制限されるものではない。すなわち、本発明の技術思想に含まれる他の態様及び変形を含むものである。以下に、実施例と対比して、比較例も説明する。実施例1水酸化ナトリウム水溶液に塩化インジウム水溶液を加えて中和し、水酸化インジウムを発生させ、これを焙焼して酸化インジウムとする例である。<実施例1の詳細>純水2240mlに、25水酸化ナトリウム水溶液157.4mlを加えて、アルカリ性にしておき、攪拌しながら、この液にIn:50g/Lの塩化In水溶液を10ml/minで添加し、液のpHを9.5とした。塩化インジウムに水酸化ナトリウムを添加して中和する過程で、常にアルカリ性を維持しており、水酸化インジウムへの塩素の吸着は認められなかった。総添加量は1100mlであった。発生した水酸化インジウムを濾過し、濾別した水酸化インジウムに純水9Lを加え、更に攪拌しながらアンモニア水を数滴加えてpHを8.5とした。これを濾過し、濾別した水酸化インジウムに純水9Lを加え、更に攪拌しながら硝酸を数滴加えてpHを5とした。これを濾過し、漏斗上で水洗した後に、水酸化物を950°Cにて焙焼して酸化インジウムとした。この酸化インジウムを分析したところ、塩素濃度は5ppmであり、ナトリウム濃度は10ppm未満であった。この塩素及びナトリウムを低減した酸化インジウムを用いて、ITOスパッタリングターゲットを製造したところ、焼結性が向上し、密度を高くすることが容易となり、不良品の発生が少なくなって歩留まりが向上し、結果としてターゲットの品質を向上させることができた。実施例2水浴に水酸化ナトリウム水溶液と塩化インジウム水溶液を同時に添加し、水酸化インジウムを発生させ、これを焙焼して酸化インジウムとする例である。<実施例2の詳細>純水2240mlを攪拌しながら、ここにIn:50g/Lの塩化In溶液を10ml/minで添加しつつ、25水酸化ナトリウム水溶液を約4.5mlずつ加えて、液のpHを10以上に保ち、水酸化インジウムを発生させた。総添加量は、塩化インジウム溶液が1100ml、25水酸化ナトリウム水溶液が158.9mlであった。塩化インジウムに水酸化ナトリウムを添加して中和する過程で、常にアルカリ性を維持しており、水酸化インジウムへの塩素の吸着は認められなかった。発生した水酸化インジウムを濾過し、濾別した水酸化インジウムに純水9Lを加え、更に攪拌しながらアンモニア水を数滴加えてpHを8.5とした。これを濾過し、濾別した水酸化インジウムに純水9Lを加え、更に攪拌しながら硝酸を数滴加えてpHを5とした。これを濾過し、漏斗上で水洗した後に、水酸化物を950°Cにて焙焼して酸化インジウムとした。この酸化インジウムを分析したところ、塩素濃度は4ppmであり、ナトリウム濃度は10ppm未満であった。この塩素及びナトリウムを低減した酸化インジウムを用いて、ITOスパッタリングターゲットを製造したところ、焼結性が向上し、密度を高くすることが容易となり、不良品の発生が少なくなって歩留まりが向上し、結果としてターゲットの品質を向上させることができた。比較例1塩化インジウム溶液に、水酸化ナトリウム水溶液を加えて中和し、水酸化インジウムを発生させた例である。<比較例1の詳細>純水2240mlにIn:50g/Lの塩化In溶液1100mlを加えておき、これを攪拌しながら、ここに25水酸化ナトリウム水溶液を1ml/minで加えて、液のpHを9.5とした。25水酸化ナトリウム水溶液の総添加量は157.4mlであった。塩化インジウム水酸化ナトリウムを添加して中和する過程で、初期には酸性を示しており、水酸化インジウムへの塩素の吸着の可能性が高かった。発生した水酸化インジウムを濾過し、濾別した水酸化インジウムに純水9Lを加え、更に攪拌しながらアンモニア水を数滴加えてpHを8.5とした。これを濾過し、濾別した水酸化インジウムに純水9Lを加え、攪拌洗浄後これを濾過し、漏斗上で水洗した後に、水酸化物を950°Cにて焙焼して酸化インジウムとした。これを分析したところ、ナトリウム濃度は10ppm未満であったが、塩素濃度は310ppmであった。なお、前記水洗は、実施例1、2と同程度の液量を用いた洗浄とした。このように、塩化インジウム水溶液に、水酸化ナトリウムを添加してpH9.5とし、水酸化インジウムとする工程では、塩素が水酸化インジウムに吸着され、これを焙焼して酸化インジウムとしても、塩素の低減化は殆どできなかった。逆にナトリウムは、中和析出が酸性領域であり、水酸化物が正電荷に帯電していることから吸着されにくい。この塩素を高濃度に含有する酸化インジウムを用いて、ITOスパッタリングターゲットを製造したところ、焼結性が悪く、密度を高くすることが難しくなり、不良品の発生率が高くなり、歩留まりが低下した。比較例2水酸化ナトリウム水溶液に塩化インジウム水溶液を加えて中和し、水酸化インジウムを発生させ、pH8.5の液で洗浄後、純水で洗浄し、これを焙焼して酸化インジウムとする例である。<比較例2の詳細>純水2240mlに、25水酸化ナトリウム水溶液157.4mlを加えて、アルカリ性にしておき、攪拌しながら、この液にIn:50g/Lの塩化In水溶液を10ml/minで添加し、液のpHを9.5とした。塩化インジウムに水酸化ナトリウムを添加して中和する過程で、常にアルカリ性を維持しており、水酸化インジウムへの塩素の吸着は認められなかった。発生した水酸化インジウムを濾過し、濾別した水酸化インジウムに純水9Lを加え、更に攪拌しながらアンモニア水を数滴加えてpHを8.5とした。これを濾過し、濾別した水酸化インジウムに純水9Lを加え、攪拌洗浄後これを濾過し、漏斗上で水洗した後に、水酸化物を950°Cにて焙焼して酸化インジウムとした。これを分析したところ、塩素濃度は5ppmであったが、ナトリウム濃度は210ppmであった。なお、前記水洗は、実施例1、2と同程度の液量を用いた洗浄とした。このように、水酸化ナトリウム水溶液に塩化インジウム溶液を添加してpH9.5とし、水酸化インジウムとする工程では、常にアルカリ性であり、水酸化インジウムの表面が負に帯電するため、ナトリウムイオンが吸着され易く、洗浄の際に低pHでの洗浄を実施しなかった場合、ナトリウムが水洗により除去されず、水酸化物中に残留してしまう。このナトリウムを高濃度に含有する酸化インジウムを用いて、ITOスパッタリングターゲットを製造する場合は、ナトリウムが高濃度に含有されるターゲットとなるため、スパッタした膜が酸化により劣化しやすいものとなる。