"100°C以上の耐熱性を有する樹脂成分中に、少なくとも黒色顔料、無機充填材を含有させた黒色樹脂フィルムAの片面または両面に、透明金属酸化物膜Bが形成された黒色耐熱遮光フィルムであって、黒色樹脂フィルムAは、表面の波長380~780nmにおける最大正反射率が1.5以下となるように微細凹凸が形成され、透明金属酸化物膜Bは、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分とし、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた1種類以上の元素を添加成分として含むことにより、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける光遮光性の指標である平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が1.0以下、表面抵抗値が1×106Ω/□以下となるようにしたことを特徴とする黒色耐熱遮光フィルム。透明金属酸化物膜Bは、金属含有量が金属/酸素原子数比として0.6以下であることを特徴とする請求項1に記載の黒色耐熱遮光フィルム。透明金属酸化物膜Bは、膜厚が5~250nmであることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。透明金属酸化物膜Bは、波長380~780nmにおける平行光線透過率透明ガラス基板上に形成して測定が、平均値で70以上であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。透明金属酸化物膜Bは、波長380~780nmにおける最大正反射率透明ガラス基板上に形成して測定が、20以下であることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色耐熱遮光フィルムは、明度Lが20~30であることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さRaが0.05~2.1μmであることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色樹脂フィルムAは、樹脂成分がポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた1種類以上の樹脂を主成分とすることを特徴とする請求項1または7に記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色樹脂フィルムAは、厚みが5~250μmであることを特徴とする請求項1、7、8のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色樹脂フィルムAは、明度Lが28~35であることを特徴とする請求項1、7~9のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色樹脂フィルムAは、算術平均高さRaが0.1~2.2μmであることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色顔料は、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、ケッチェンブラック又はペリレンブラックから選ばれた1種以上からなる顔料であることを特徴とする請求項1、7~11のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色顔料の含有量が、耐熱性樹脂固形物100重量部に対して、5~22重量部であることを特徴とする請求項1、7~12のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。黒色顔料の平均粒子径が、1μm以下であることを特徴とする請求項1、7~13のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。無機充填材は、アルミニウム、チタン、珪素または亜鉛から選ばれた1種類以上の元素を主成分とする金属酸化物であることを特徴とする請求項1、7~14のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。無機充填材の含有量が、耐熱性樹脂固形物100重量部に対して、2~35重量部であることを特徴とする請求項1、7~15のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。無機充填材の平均粒子径が、0.01~10μmであることを特徴とする請求項1、7~16のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。請求項1~17のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞り。ウェハーレベルチップサイズパッケージWLCSP構造のカメラモジュールに使用される請求項18に記載の耐熱性に優れた絞り。請求項1~17のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れたシャッター羽根。請求項1~17のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた光量調整モジュール用絞り羽根。請求項1~17のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けてなる耐熱遮光テープ。本発明では、上記従来技術の問題点に鑑み、大気中100°C以上かつ85°C×90RHの高温高湿環境下でも導電性、高遮光性、低反射性、低光沢性、黒色性を維持することができ、シャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根、耐熱遮光テープなどとして使用できる黒色耐熱遮光フィルムなどを提供することを目的とする。本発明者らは、上述した従来の課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、100°C以上の耐熱性を有するポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれる1種類以上の樹脂を用いた黒色樹脂フィルム上に、使用温度環境に応じて、表面に波長380~780nmにおける最大正反射率が1.5以下である、微細凹凸を形成するとともに、その上に特定の透明金属酸化物膜を均一に形成することで、この黒色耐熱遮光フィルムは、波長380~780nmにおける光遮光性の指標である平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が1.0以下となり、基材である黒色樹脂フィルムよりも導電性、高遮光性、低反射性、低光沢性、黒色度などの特性をさらに向上でき、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラ、液晶プロジェクターなどの絞りや羽根部材として利用できることを確認して、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の第1の発明によれば、100°C以上の耐熱性を有する樹脂成分中に、少なくとも黒色顔料、無機充填材を含有させた黒色樹脂フィルムAの片面または両面に、透明金属酸化物膜Bが形成された黒色耐熱遮光フィルムであって、黒色樹脂フィルムAは、表面の波長380~780nmにおける最大正反射率が1.5以下となるように微細凹凸が形成され、透明金属酸化物膜Bは、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分とし、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた1種類以上の元素を添加成分として含むことにより、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける光遮光性の指標である平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が1.0以下、表面抵抗値が1×106Ω/□以下となるようにしたことを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第2の発明によれば、第1の発明において、透明金属酸化物膜Bは、金属含有量が金属/酸素原子数比として0.6以下であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第3の発明によれば、第1または2の発明において、透明金属酸化物膜Bの膜厚が5~250nmであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第4の発明によれば、第1~3のいずれかの発明において、透明金属酸化物膜Bは、波長380~780nmにおける平行光線透過率透明ガラス基板上に形成して測定が、平均値で70以上であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。一方、本発明の第5の発明によれば、第1~4のいずれかの発明において、透明金属酸化物膜Bは、波長380~780nmにおける最大正反射率透明ガラス基板上に形成して測定が、20以下であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第6の発明によれば、第1~5のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムは、明度Lが20~30であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第7の発明によれば、第1~6のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さRaが0.05~2.1μmであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第8の発明によれば、第1または第7のいずれかの発明において、黒色樹脂フィルムAは、樹脂成分がポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた1種類以上の樹脂を主成分とするフィルムであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第9の発明によれば、第1,7または8のいずれかの発明において、黒色樹脂フィルムAの厚みが5~250μmであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第10の発明によれば、第1または第7~9の発明において、黒色樹脂フィルムAは、明度Lが28~35であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第11の発明によれば、第1または7~10のいずれかの発明において、黒色樹脂フィルムAは、算術平均高さRaが0.1~2.2μmであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。一方、本発明の第12の発明によれば、第1または7~11の発明において、黒色顔料は、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、ケッチェンブラック又はペリレンブラックから選ばれた1種以上からなる顔料であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第13の発明によれば、第1または7~12のいずれかの発明において、黒色顔料の含有量が、耐熱性樹脂固形物100重量部に対して、5~22重量部であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第14の発明によれば、第1または7~13のいずれかの発明において、黒色顔料の平均粒子径が、1μm以下であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第15の発明によれば、第1または7~14のいずれかの発明において、無機充填材は、アルミニウム、チタン、珪素または亜鉛から選ばれた1種類以上の元素を主成分とする金属酸化物であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第16の発明によれば、第1または7~15のいずれかの発明において、無機充填材の含有量が、耐熱性樹脂固形物100重量部に対して、2~35重量部であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第17の発明によれば、第1または7~16のいずれかの発明において、無機充填材の平均粒子径が、0.01~10μmであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。また、本発明の第18の発明によれば、第1~17の発明において、黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞りが提供される。また、本発明の第19の発明によれば、第18の発明において、黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞りであって、ウェハーレベルチップサイズパッケージWLCSP構造のカメラモジュールに利用できることを特徴とする絞りが提供される。また、本発明の第20の発明によれば、第1~17の発明において、黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れたシャッター羽根が提供される。また、本発明の第21の発明によれば、第1~17のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた光量調整モジュール用絞り羽根が提供される。さらに、本発明の第22の発明によれば、第1~17のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けてなる耐熱遮光テープが提供される。本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さRaで0.05~2.1μmの表面粗さを有し、100°C以上の耐熱性を有する樹脂成分に、少なくとも黒色顔料と無機充填材を含有して、厚みが5~200μmである黒色樹脂フィルムとし、特定の表面粗さとして、その上に特定の透明金属酸化物膜を形成しているため、可視光域波長380~780nmにおいて低反射性、高遮光性、低光沢性を発揮することができ、様々な光学部材に有用である。また、耐熱性の樹脂成分が少なくとも黒色顔料と無機充填材を含有しているので、フィルム内部は黒色であり、打ち抜き加工端面の色も黒色となる。さらに黒色顔料による光吸収とともに、無機充填材が分散されているため、無機充填材の表面凹凸性によって、端面での反射、光沢を防止することが可能となり、最近のデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラ、液晶プロジェクターなどの小型化、薄肉化の要望に対応した絞り材として極めて有用である。さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、樹脂フィルムのため従来の金属薄板をベースにした遮光板に比べて軽量性に優れている。また、カーボンブラックなどの黒色顔料と無機充填材を含浸したポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトンなどの高耐熱性の樹脂フィルムを用い、さらに、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分として、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた1種類以上の添加成分を含有する透明金属酸化物膜を樹脂フィルム表面に形成するので大気中100°C以上の高温環境下でも耐熱性を有する軽量な黒色耐熱遮光フィルムが実現でき、表面および加工端面の低反射性、低光沢性、高遮光性、黒色性も損なわれないことから、液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根材や、リフロー工程による組み立てに対応できる固定絞り材、シャッター羽根材並びに耐熱遮光テープとして利用することができるため、工業的価値が極めて高い。また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、厚みが25μm以下と薄い場合では、更なる軽量化が達成できるとともに遮光性を損なうことがないため、高速シャッターのシャッター羽根にも有効である。よって、駆動モーターの小型化が可能であり、光量調整モジュール用絞り装置や機械式シャッターの小型化が実現するなどのメリットがある。さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの片面または両面に粘着層を設けた耐熱遮光テープは、FPCに貼り付けることで、CCD、CMOSなどの撮像素子の背面から漏れた光を吸収して通過を阻止することができる。そのため、漏れ光の撮像素子への再入射を抑制でき、撮像品質の安定化に寄与できる。以下、本発明の黒色耐熱遮光フィルム、その製造方法、及びその用途について説明する。1.黒色耐熱遮光フィルム図1、図2に本発明にかかる黒色耐熱遮光フィルムの概略を示す。図1は、黒色樹脂フィルムの片面に、透明金属酸化物膜が形成された構成であり、図2は、黒色樹脂フィルムの両面に、透明金属酸化物膜が形成された構成である。本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、100°C以上の耐熱性を有し、算術平均高さRaが0.05~2.1μmである、厚み5~250μmのポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート又はポリエーテルサルフォンから選ばれた1種類以上の樹脂成分に、少なくとも黒色顔料と無機充填材が含有され、表面を粗雑化した黒色樹脂フィルムを基材として用いる。そして、この黒色樹脂フィルムAの片面もしくは両面に、膜中の金属成分含有量が金属/酸素原子数比として0.6以下である厚み5~250nmの透明金属酸化物膜Bが形成されている。本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上であり、最大正反射率が1.0以下である。基材の黒色樹脂フィルムの最大正反射率が低いほど、透明金属酸化物膜を形成した後の最大正反射率は低くなり、極めて低い反射性を得ることができる。本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、黒色樹脂フィルム表面に特定の透明金属酸化物膜が形成されていることから、フィルム表面に導電性を付与することができる。一般的に、表面抵抗値は108Ω/□以下であれば帯電防止用途に利用することができるとされている。本発明では、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫から選ばれる1種類以上の金属酸化物を主成分とした透明金属酸化物膜やこれらにアルミニウム、ガリウム、チタン、マグネシウム、アンチモン、珪素、タングステンから選ばれた1種類以上の添加元素と酸素を含有する透明金属酸化物膜を表面抵抗値が1×1013Ω/□以上と導電性のない黒色樹脂フィルム表面に形成しているので、1×106Ω/□以下の表面抵抗値まで下げることができ、導電性を付与することができる。これにより黒色耐熱遮光フィルムの打ち抜き加工で得られる絞りや羽根材同士が加工時または動作時に静電気により付着しにくいという利点が生まれる。また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの黒色度L値は、20~30であり、極めて黒色度が高い。そして正反射率が低いほど、L値は小さくなり、フィルムの黒色度は高くなり、低正反射率と黒色度が要求されるデジタルカメラやカメラ付き携帯電話用の絞り材、羽根材として有用である。さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さRaが0.05~2.1μmであり、好ましくは0.2~2.0μmであることが必要である。このような表面粗さ算術平均高さRaであれば黒色耐熱遮光フィルムの低反射性、黒色度が実現できる。本発明の黒色耐熱遮光フィルムの厚みは、5~250μmである。好ましくは10~150μmであり、より好ましくは20~100μmである。5μmよりも薄いものでは、ハンドリング性に劣るため、フィルムに傷や折れ目などの表面欠陥が付きやすく、250μmより厚いと、小型化、薄肉化が進む絞り装置や光量調整モジュールへの搭載ができなくなるおそれがある。1黒色樹脂フィルムA1-1樹脂成分本発明の黒色耐熱遮光フィルムでは、100°C以上の耐熱性を有する、耐熱樹脂フィルムを基板として用いる。樹脂フィルムを構成する樹脂成分は、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート又はポリエーテルサルファンから選ばれた1種以上の耐熱性樹脂で構成されている。ポリエチレンテレフタレートは耐熱性が約105°Cであり、105°C以下の温度環境下で利用することができる。ポリカーボネートは耐熱性が約140°Cであり、140°C以下の温度環境下で利用することができる。また、ポリエチレンナフタレートは耐熱性が約200°Cであり、155~200°Cの温度環境下で利用することができる。また、ポリイミド、ポリアミドイミド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、又はポリエーテルサルフォンは耐熱性が200°C以上であり、200°C以上の環境下でも利用できる。特に、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトンは耐熱温度が300°C以上と非常に優れているため、300°C以上の温度環境下で利用することができる。このように、黒色耐熱遮光フィルムの使用温度環境に応じた樹脂フィルムを用いればよい。1-2黒色顔料また、上記黒色樹脂フィルムAは、上記耐熱性樹脂に、黒色顔料が含有されて黒色化していなければならない。特に、カメラ付き携帯電話などのカメラモジュールに搭載される固定絞りでは、黒色以外の着色フィルム表面に黒色塗膜を形成し、外観上黒色化しても、このような遮光板では打ち抜き加工後の端面における反射や光沢を抑制する効果が得られない。黒色顔料を耐熱性樹脂に含有させる目的は、上述のように、遮光フィルム表面の黒色化と、打ち抜き加工後の表面および端面での光吸収による遮光完全遮光性効果を得ることにある。黒色顔料としては、従来公知の各種のもの、例えば、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、ペリレンブラック、又はケッチャンブラックから選ばれる1種以上が挙げられ、これらの中でも、黒色顔料として特に、カーボンブラック、チタンブラックが好ましい。カーボンブラックとしては、ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック等を用いることができる。黒色度と着色力の優れたカーボンブラックとしては、一般に一次粒子径が小さいものが適切であり、平均粒子径は、1μm以下、特に0.5μm以下、さらには0.1μm以下であるものが望ましい。平均粒子径が、1μmより大きいと光沢度は低くなるが、遮光性が低下するので好ましくない。ただし、小さくなりすぎて平均粒子径が0.01μm未満になると凝集が大きくなるので好ましくない。チタンブラックは、チタンの酸化または二酸化チタンの還元により得られるもので、例えば二酸化チタンと一酸化チタン及び/又は窒化チタンを構成成分とする黒色顔料である。均一な色調のフィルムを得るために、例えば、カーボンブラックとして、東海カーボン社製の7100F、チタンブラックとしてジェムコ社製の13M等、チタンブラックとして、例えば三菱マテリアル株の市販品が使用できる。また、アニリンブラックとして、アイシーアイジャパン社製のMONOLITEBLACKB、無機顔料ヘマタイトとして、日本フェロ社製のヘマタイトV-700、さらにペリレンブラックとして、BASF社製のPaliogenBlackK-0084が挙げられる。上記黒色顔料の含有量は、平均粒子径や黒色顔料の種類、樹脂の種類成分や厚みなどによって異なるが、耐熱性樹脂固形物100重量部に対して5~22重量部であることが好ましい。この範囲で適宜調節すれば、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上となり、遮光性に優れた黒色樹脂フィルムが得られる。より好ましくは、8~20重量部、特に好ましくは、10~15重量部である。黒色顔料の含有量が5重量部未満では、波長380~780nmにおける光学濃度は4.0未満となり、黒色樹脂フィルム片面または両面に透明金属酸化物膜を形成しても遮光性は得られない。また、22重量部を超えると、平均光学濃度は4.0以上となり、完全遮光性は得られるが、混合物の粘性が非常に高くなり、均一なフィルムを作製することが困難となる。1-3無機充填材本発明の黒色耐熱遮光フィルムにおいて、無機充填材とは、アルミニウム、チタン、珪素、又は亜鉛から選ばれる1種類以上の金属元素を含有した酸化物である。具体的には、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化亜鉛などが挙げられる。この無機充填材は、黒色樹脂フィルムAの剛性を強化することとともに、艶消しすることを目的として含有され、さらに打ち抜き加工端面で、微細な表面凹凸を生じることにより、光散乱する効果を有している。よって、フィルム表面だけでなく、打ち抜き加工後の端面においても低反射性、低光沢度を発現することができる。無機充填材の平均粒子径は、特に制限されないが、10μm以下であることが望ましい。特に5μm以下、さらには1μm以下であるものが好ましい。平均粒子径が、10μmより大きいと光沢度は低くなるが、遮光性が低下することがあり好ましくない。ただし、小さくなりすぎて平均粒子径が0.01μm未満になると凝集が大きくなるので好ましくない。無機充填材の含有量は、平均粒子径や無機充填材の種類、樹脂の種類成分や厚みなどによって異なるが、耐熱性樹脂固形物100重量部に対して、2~35重量部が好ましい。さらに好ましいのは5~30重量部であり、特に好ましいのは8~25重量部である。2重量部未満では、フィルム表面の正反射率が高く、加工端面においては平坦な面が多く形成されるため、反射、光沢度が大きくなり、好ましくない。また、35重量部を超えると、フィルムの粘性が高くなり、無機充填材の凝集による表面欠陥が発生しやすくなるため、安定的にフィルムを作製することができないため好ましくない。なお、上記黒色樹脂フィルムには、黒色顔料や無機充填材のほかに、必要により、安定剤、酸化防止剤、可塑剤、防曇剤、滑剤を適宜含有させてもよい。2黒色樹脂フィルムの表面粗さと物性さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、該黒色樹脂フィルムの表面粗さ算術平均高さRaが0.1~2.2μmであり、好ましくは0.3~2.0μmであることが必要である。このような表面粗さ算術平均高さRaを該黒色樹脂フィルムに形成し、さらに以下に詳述する透明金属酸化物を形成することで黒色耐熱遮光フィルムの基材以上の低反射性、黒色度を実現できるようになる。また、光の遮光性の指標である光学濃度が4.0以上であることが必要である。また、フィルム表面の波長380~780nmにおける正反射率が1.0以下であることも必要である。また、該黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる固定絞りや絞り羽根は、得られる加工端面部の色が黒色であり無機充填材を含有していることから、端面に入射した迷光は吸収または散乱され、端面での反射、光沢化を防止することが可能となり、デジタル撮影機器の固定絞りや機械的シャッター装置の絞り羽根、もしくは、液晶プロジェクターの光量絞り装置の羽根材として用いたときに、光学系内で反射光によって発生する迷光の出現を回避できる。また、黒色樹脂フィルム表面の波長380~780nmにおける最大正反射率は1.5以下であることが必要である。最大正反射率が1.5を超えると、正反射率を低下させるため黒色樹脂フィルム上に形成する透明金属化合物膜の膜厚が厚くなりすぎるため、製造コストの面で好ましくない。さらに、基板となる黒色樹脂フィルムの明度は、Lで28~35であることが好ましい。ここで、L値は色彩のCIE表色系で表される明度白黒度を表し、可視光域での分光反射率から求められ、L値が小さいほど黒色度が高いことを意味する。L値は黒色顔料の含有量で調整でき、上記黒色顔料の含有量が樹脂固形物100重量に対して5~22重量であれば達成できる。Lが35を超えると、基板表面に透明金属酸化物膜を形成した場合、基板に比べ、黒色度は向上し、L値は小さくなるが、30以下にはならない。また、L値が28未満では黒色樹脂フィルム中の黒色顔料を多くしなければならず、この場合は、黒色顔料の含有量が22重量を超えてしまうので、フィルムの粘性が高くなり、均一な黒色顔料の分散が得られず、良好なフィルム表面状態が得られなくなり、黒色樹脂フィルムの算術平均高さRa、正反射率、光学濃度、光沢度にばらつきが生じるため好ましくない。3透明金属酸化物膜B本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、上記黒色樹脂フィルムAの片面もしくは両面に、酸化亜鉛系膜、インジウム-錫酸化物系膜、酸化錫系膜など特定の透明金属酸化物膜Bが形成された構造をしている。該透明金属酸化物膜は、基材である黒色樹脂フィルムの表面が凹凸化されているので、透明金属酸化物膜の表面凹凸性がさらに増加され、艶消し効果、低反射効果も得られるようになる。本発明において透明金属酸化物膜は、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫から選ばれた1種以上の金属酸化物を主成分とし、添加成分として、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンら選ばれた1種以上の元素からなる金属酸化物を含有している。また、この透明金属酸化物膜を透明ガラス基板上に形成した場合、膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率が70以上、最大正反射率が20以下である。本発明の具体的な透明金属酸化物膜としては、酸化アンチモンSb2O3-酸化錫SnO2系、酸化インジウムIn2O3-酸化錫SnO2系、酸化インジウムIn2O3-酸化チタンTiO2系、酸化インジウムIn2O3-酸化タングステンWO3系、酸化亜鉛SnO2やアルミニウム、ガリウム、マグネシウムなどが添加された酸化亜鉛系の酸化物膜が挙げられる。これら酸化錫系、酸化亜鉛系、酸化インジウム物-酸化錫系などは一般に透明導電膜と呼ばれており、導電性を有している。そのため、表面抵抗値が1013Ω/□以上と導電性のない黒色樹脂フィルムの表面にこのような透明酸化物膜を被覆することで、黒色耐熱遮光フィルムの表面抵抗値は106Ω/□オームパースクウェーと呼ぶ以下まで低減され、導電性が付与される。これにより、打ち抜き加工時に打ち抜き加工品同士が静電気によって付着することや打ち抜き品が打ち抜き用金型に付着するという問題が発生しにくくなるため、ハンドリングがしやすいという利点が生まれる。透明金属酸化物膜中の金属含有量は、金属/酸素原子数比で0.6以下であることが好ましい。上記透明金属酸化物膜中の金属含有量として、金属/酸素原子数比は例えばXPSX線光電子分光分析装置を用いて分析できる。金属含有量は、透明金属酸化物を構成する主成分及び添加成分を含む金属酸化物中の金属元素の原子数の和を金属酸化物中の酸素の原子数で除した比率である。膜の最表面は酸素が多く結合されているため、真空中で数十nmの深さまでスパッタリングで除去し、その後に測定すれば膜中の金属/酸素原子数比を定量化することができる。金属成分の含有量は、金属/酸素原子数比が0.6を超えて多くなる場合は、金属酸化物膜は着色し、透明性を損なうとともに光吸収性が生じ、透明ガラス基板上に形成して測定される、透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平行光線透過率が70未満となり、高透過性が得られない。また、膜中の金属成分が多くなるため、膜表面における正反射率が大きくなり、最大正反射率は20を超えてしまう。さらに、高温環境下および高温高湿下での金属成分の酸化が顕著になり、平行光線透過率や正反射率が変化し、膜が変色してしまう。また、透明金属酸化物膜の材質も黒色樹脂フィルムと同様に、使用温度環境に応じて、適切なものを選定すればよく、例えば280°C以下であれば、酸化錫系、酸化亜鉛系、酸化インジウム-酸化錫系とすればよい。膜中の金属成分の含有量が金属/酸素原子数比が0.6以下であれば、波長380~780nmにおける平均平行光線透過率が70以上、最大正反射率は20以下を達成でき、酸化錫系、酸化亜鉛系、酸化インジウム-酸化錫系など高温環境下、高温高湿下にて優れた耐久性を有するため、耐久性に優れた黒色耐熱遮光フィルムとすることが可能となる。また、このような透明金属酸化物膜を黒色樹脂フィルム上に形成することで、光閉じ込め効果による反射防止効果が発現され、基材の黒色樹脂フィルム以上に黒色耐熱遮光フィルム表面の最大正反射率の低減とフィルムの黒色度を向上することが可能となる。なお、透明金属酸化物膜中に、アルミニウム、チタン、インジウム、錫、亜鉛、珪素、アンチモン、ガリウム、マグネシウム、タングステンや酸素以外の他の元素が、上記の特徴が損なわれない程度に含まれていても構わない。例えば、窒素が含有しても透明金属酸化物膜や黒色耐熱遮光フィルムの特性を満足できていれば構わない。一般に、スパッタリング成膜の原料として使うスパッタリングターゲットは、真空溶解鋳造やホットプレス法などによって作製される。一般的に、高純度なスパッタリングターゲットが得られるが、微量ながら不純物としてFe、Ni、Co、Cu、Mn、Nb、Taなどの元素が作製工程上含有される場合もあり、含有された元素は、透明金属酸化物膜中にも含まれることになる。こうして、透明金属酸化物膜中に、上記元素が含まれるようになっても、上記の透明金属酸化物膜の特徴が損なわれなければ構わない。本発明の透明金属酸化物膜の膜厚は5~250nmである。5nm未満では、膜厚が薄すぎて、反射防止効果が得られなく、さらに膜厚の制御が困難となってしまう。250nmを超えると、成膜時間が非常に長くなるため、生産性に劣るため好ましくない。また、透明金属酸化物膜は、単膜でよいが、2種類以上の透明金属酸化物膜の積層膜であっても黒色耐熱遮光フィルムの特性を満足できていれば構わない。2.黒色耐熱遮光フィルムの製造方法本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、100°C以上の耐熱性を有する、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート又はポリエーテルサルファンから選ばれた1種類以上の耐熱性樹脂を樹脂成分として使用する。これに、少なくとも上記黒色顔料と更に無機充填材を原料として用いて、黒色樹脂フィルムAに成形し、その後、表面を粗雑化し、その上に透明金属酸化物膜Bを形成して製造される。また、上記黒色樹脂フィルムには、必要により、安定剤、酸化防止剤、可塑剤、防曇剤、滑剤を適宜含有してもよい。1黒色樹脂フィルムAの製造まず、上記耐熱性樹脂と黒色顔料、無機充填材などの材料を用意して、溶剤を含む耐熱樹脂溶液に、黒色顔料と無機充填材を混合する。混合溶液を得るには、通常の攪拌混合器、たとえばヘンセルミキサー、又はバンバリーミキサー、ロールミルなどを用いて攪拌混合すればよい。溶剤としては、例えば、各種アルコール、テトラヒドロフラン、ジグライムなどのエーテル系溶剤、N-メチル-2-ピロリドン、N,N’-ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドンなどのアミド系溶剤、ジクロヘキサン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶剤、γ-ブチロラクトンやテトラメチルウレアなど有機化合物を使用できる。溶剤の種類は、樹脂の耐熱性と乾燥温度を考慮して、選択すればよいが、乾燥条件である室温~200°Cにおいて蒸発しうるものが好ましい。この乾燥条件は、樹脂の耐熱性に応じて、適宜、最適な条件とすればよい。次に、得られた上記混合溶液から任意の方法によって支持体上に塗工し、大気中、一定温度で混合溶液を固め、支持体から剥がし、フィルムを生成する。その後の乾燥工程で溶剤を除去することにより、最終的に黒色樹脂フィルムが得られる。ここで、支持体としては、ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチックフィルム、不織布、ドラムなどが使用され、特に制限されないが、その表面が粗雑化されたものが好ましい。塗工方法としてはダイコーター、ドクターブレードコーター、グラビアコーター、リバースロールコーター、ノズルコーターなど公知の塗布法が用いられるが、特にこれらに限定されない。また、乾燥後、所定のフィルム厚みになるように、任意の支持体への塗布量を適宜調整し、塗布後常圧または減圧下で加熱処理して残留溶剤を除去する。また、乾燥条件は、混合物中の溶剤が加熱除去され、かつ厚み分布が均一なフィルムが得られるように、加熱温度を樹脂の耐熱性を考慮して、決めればよい。例えば、80~300°Cとし、加熱時間を30~120分の間で適宜調整すればよい。2黒色樹脂フィルム表面への凹凸形成本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、上記の方法で得られた黒色樹脂フィルムの両表面に微細な凹凸を形成し、この処理により、該黒色樹脂フィルム両表面に低反射性、低光沢性を発現させる。黒色樹脂フィルム両表面に微細な凹凸を形成する方法は、例えばショット材を使用したマット処理、ナノインプリンティング加工などを用いることができ、特に制限されない。マット処理加工の場合は、ショット材に珪砂、アルミナ、セラミックビーズまたはガラスビーズなどを使用することが一般的であるが、ショット材はこれらに限定されない。ショット材の平均粒子径は、例えば、50~300μmとすることができる。マット処理加工の方法として、一般的にショットブラストとエアーブラストと呼ばれる方法が知られている。ショットブラスト法は、高速で回転するブレードにショット材を送り、ショット材を噴射してフィルムに当てる方法であり、フィルムを一定の搬送速度では搬送しながら表面凹凸を形成する。ショット材を噴射する装置は1台であっても複数台であっても構わない。また、エアーブラスト法は、圧縮空気を使用する場合と、ブロワーファンによってショット材を射出する方法である。本発明の黒色耐熱遮光フィルムでは、所定の算術平均高さRaと光沢度、健全なフィルム外観が達成できればよいので、その方法はこれらに限定されない。黒色樹脂フィルムに形成される表面凹凸の大きさは、マット処理加工中のフィルム搬送速度、搬送回数とショット材の種類、大きさ、射出圧力に依存するので、本発明においては、これらの条件を最適化してフィルム表面の算術平均高さRa値が0.1~2.2μmとなるように表面処理を行うことが重要である。ショット材として、例えば平均粒子径100μmの珪砂を用いた場合、3~8m/分のフィルム搬送速度、搬送回数1~3回、かつ10~30kg/m2の射出圧力とすることができる。マット処理加工後のフィルムは、水で洗浄してショット材を除去した後、乾燥する。洗浄乾燥条件は特に制限されないが、例えば1~5分水洗し、70~120°Cで1~3分乾燥させることが好ましい。本発明のようにフィルム両面をマット処理加工する場合では、片面処理後、フィルムを裏返し、同様の処理を行う。ここで、算術平均高さRaとは、算術平均粗さとも言われ、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計して平均した値である。黒色樹脂フィルムの表面粗さが、上記のように算術平均高さRaで0.1~2.2μmとなるような条件を採用することが必要である。更に、0.3~2.0μmの微細凹凸構造となるようにすることがより好ましい。算術平均高さRaが0.1μmより小さいと、表面に十分な低反射性や低光沢性は得られず、黒色樹脂フィルム上に透明金属酸化物を形成しても所望の低反射性、黒色度は得られない。また、算術平均高さRaが2.2μmを超えると、フィルム表面の凹凸が大きくなるため、フィルム厚が薄い場合にはマット処理加工によって、フィルムに穴やしわが起こりやすくなり、更にはフィルムが断裂するなどして、フィルムの歩留まりが悪くなるため、好ましくない。3透明金属酸化物膜の形成次に、この黒色樹脂フィルムAの両表面に酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分とし、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた1種類以上の元素を添加成分とした透明金属酸化物膜Bを形成する。本発明の透明金属酸化物膜の形成方法は、特に制限されず、真空蒸着法、イオンビームアシスト蒸着法、ガスクラスターイオンビームアシスト蒸着法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法、バイアススパッタリング法、ECRElectronCyclotronResonanceスパッタリング法、高周波RFスパッタリング法、熱CVDChemicalVaporDeposition法、プラズマCVD法、光CVD法等の公知の方法を適宜採用することができる。本発明では、透明金属酸化物膜をスパッタリング法で製造することが好ましい。スパッタリング法で製造することで、基材上に均一かつ高い密着力を有して形成することができるからである。透明金属酸化物膜は、塗布法でも形成できるが、上記方法と比べて膜の均一性が得られないので好ましくない。透明金属酸化物膜をスパッタリング成膜で製造するには、製造装置は、特に制限されないが、例えば、図3に示すような巻取り式スパッタリング装置を使用することが好ましい。ロール状の黒色樹脂フィルム基材1が巻き出しロール2にセットされ、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプ3で成膜室である真空槽内4を排気した後、巻き出しロール10から搬出された黒色樹脂フィルム基材1が途中、冷却キャンロール5の表面を通って、巻取りロール6で巻き取られていく構成をとる巻取り式スパッタリング装置を用いることができる。冷却キャンロール5の表面の対向側にはマグネトロンカソード7が設置され、このカソードには膜の原料となるターゲット8が取り付けられている。なお、巻き出しロール10、冷却キャンロール5、巻取りロール6などで構成されるフィルム搬送部は、隔壁9でマグネトロンカソード7と隔離されている。透明金属酸化物膜を形成するターゲットとしては、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫を主成分として、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた1種以上の元素と酸素からなる添加成分から構成されたターゲットを用いる。また、ターゲット製造上、不可避的に含まれる元素例えば、鉄、炭素、ジルコニアなどが不純物として混入しても黒色耐熱遮光フィルムの特性を満足すれば、構わない。スパッタリング成膜では、ガス圧は、装置の種類などによっても異なるので一概に規定できないが、例えば、1.0Pa以下、好ましくは0.2~0.8Paのスパッタリングガス圧で、アルゴンガス、もしくは、酸素ガスを0.05以内で混合したアルゴンガス中に、酸素ガスを導入したアルゴンと酸素の混合ガスを、スパッタリングガスとして用いる方法が採用できる。これにより、基板樹脂フィルムに到達するスパッタリング粒子が高エネルギーとなるため、耐熱樹脂フィルム基材上に形成された膜とフィルムとの間に強い密着性が発現される。成膜時のガス圧が0.2Pa未満であると、ガス圧が低いためスパッタリング法でのアルゴンプラズマが不安定となり、成膜した膜の膜質が悪くなる。また、0.2Pa未満であると、反跳アルゴン粒子が基板上に堆積した膜を再スパッタリングする機構が強くなり、緻密な膜の形成を阻害しやすくなる。また、成膜時のガス圧が0.8Paを超えた場合では、基板に到達するスパッタリング粒子のエネルギーが低いため樹脂フィルム基材との密着力が弱くなり、膜が剥がれてしまい好ましくない。また、アルゴンガスに対する酸素ガスの流量比は、スパッタ電力、ターゲットの材質、成膜ガス圧などに影響するため、一概に規定できないが、本発明の透明金属酸化物膜では、膜中の金属含有量が金属/酸素原子数比として0.6以下かつその膜厚が5~250nmにおいて、波長380~780nmにおける平均平行光線透過率が70以上、最大正反射率が20以下を満足できる酸素ガス流量比であればよい。また、成膜時のフィルム表面温度は、フィルムの熱変形に大きく影響する。最も耐熱性の優れたポリイミドフィルムでも表面温度は400°C以下で成膜する必要がある。フィルムの種類によっては、130°C以上に温度を上げると、ガラス転移点や分解温度を越えてしまうため、例えば、ポリエチレンテレフタレートでは、成膜時のフィルム表面温度はなるべく低温、例えば100°C以下で行うことが望ましい。また、製造コストに着目しても、加熱時間や加熱のための熱エネルギーを考慮すると、なるべく低温で成膜を行うことがコスト低減には有効である。成膜時のフィルム表面温度は、90°C以下が好ましく、85°C以下がより好ましい。また、成膜中には樹脂フィルム基材はプラズマから自然加熱される。ガス圧とターゲットへの投入電力やフィルム搬送速度を調整することで、ターゲットから基材に入射する熱電子やプラズマからの熱輻射によって成膜中の樹脂フィルム基材の表面温度を所定の温度に維持することは容易である。ガス圧は低いほど、投入電力は高いほど、フィルム搬送速度は遅いほどプラズマからの自然加熱による加熱効果は高くなる。成膜時、フィルムを冷却キャンに接触させている場合でも、自然加熱の影響でフィルム表面の温度は冷却キャン温度よりはるかに高い温度となる。しかし、ターゲットを冷却キャンと対向する位置に設置するスパッタリング装置では、自然加熱によるフィルム表面の温度は、フィルムが冷却キャンで冷却されながら搬送されるため、キャンの温度にも大きく依存し、なるべく成膜時の自然加熱の効果を利用するのであれば、冷却キャンの温度を高めにして搬送速度を遅くすることが効果的である。金属膜の膜厚は、成膜時のフィルムの搬送速度とターゲットへの投入電力で制御され、搬送速度が遅いほど、またターゲットへの投入電力が大きいほど厚くなる。また、黒色樹脂フィルムAの片面に透明金属酸化物膜を形成しても良いが、両面に、実質的に同じ膜厚、かつ同じ組成の透明金属酸化物膜Bが形成すれば、黒色樹脂フィルムAに対して対称型の膜構造を形成することから、成膜時の膜応力による遮光フィルムの変形を抑制できる。3.黒色耐熱遮光フィルムの用途本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラの固定絞り、機械的シャッター羽根や、一定の光量のみ通過させる絞りアイリス、更には液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置オートアイリスの絞り羽根、また、CCD、CMOSなどの撮像素子裏面へ入射する光を遮光する耐熱遮光テープとして利用できる。1絞り本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、そのまま特定の形状に打ち抜き加工を行って、光量調整モジュール用絞り装置オートアイリスの、複数の絞り羽根として適用される。加工端面は、端面に光が入射した時に、加工端面が黒く見え光沢性が低いものとなる。また、基板としてポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトンを用いた本発明の黒色耐熱遮光フィルムはリフロー工程中の加熱環境下においても遮光性、低反射性、低光沢性などの特性が変化しないため耐熱性に優れており、さらに打ち抜き加工性にも優れているため、カメラ付き携帯電話やデジタルカメラなどの小型化、低背化の要求に対応したWLCSP構造のリフローカメラモジュール用の絞り材として極めて有用である。この製法では、例えばウェハー例えばシリコンなど面に等間隔でCCD、CMOSなどの撮像素子が実装され、その上に赤外線カットフィルター、レンズ、絞りなどのレンズユニットなどカメラモジュールを構成する主な部品がウェハーの上に実装され、最終的にダイシングなどで個々のカメラモジュールに分離することが特徴である。レンズユニット構成部品の絞りについては、ウェハー状の黒色耐熱遮光フィルムから、金型を使用した打ち抜き加工やレーザー加工によってウェハー内に等間隔に配列したリング状の絞りが多数形成される。カメラ付き携帯電話やデジタルカメラでのカメラモジュール用絞りは、リング状を呈しているため、従来の製法のように、カメラモジュール構成部品を個々に、順次組み立てていく場合のように打ち抜き加工時に、リング状の絞りをシートから脱落させ、その後ピックアップする方法ではなく、不要な部分のみウェハーから脱落させ、ウェハー内で、ある幅をもったリードによって、個々の絞りが連続的につながった形状になるように加工される。この得られたウェハー状の絞りを例えば、耐熱レンズが多数形成されたウェハーと組み合わせて、撮像素子が搭載されたウェハー上に同時に実装し、その後、個々のカメラモジュールにダイシングしていけばよい。液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置は、使用中、ランプ光の照射による加熱に常時曝される。そのため、本発明の黒色耐熱遮光フィルムを加工して製造された耐熱性と遮光性に優れた絞り羽根を搭載した光量調整モジュールへの有用である。また、レンズユニットを製造する際に、リフロー工程で固定絞りや機械式シャッターを組み立てる場合においても、本発明の黒色耐熱遮光フィルムを加工して得た固定絞りやシャッター羽根を用いると、リフロー工程中の加熱環境下においても遮光性などの特性が変化しないため非常に有用である。さらに、車載ビデオカメラモニターのレンズユニット内の固定絞りも、夏場の太陽光による高温環境下に曝されるため、同様の理由から本発明の黒色遮光板から作製した固定絞りを適用することが有用である。2耐熱遮光テープまた、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、その片面、または両面に粘着層を設けることで耐熱遮光テープまたはシートとすることができる。粘着層を形成するための粘着剤は、特に限定されず、従来、粘着シート用として使用されているものの中から温度、湿度などの使用環境に適した粘着材を選択することができる。一般的な粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ポリウレタン系粘着材剤、ポリエステル系粘着剤、あるいはシリコーン系粘着剤などを用いることができる。特に、携帯電話のレンズユニットをリフロー工程で組み立てる場合では、耐熱性が要求されるので、耐熱性の高いアクリル系粘着剤やシリコーン系粘着剤が好ましい。また、黒色耐熱遮光フィルムに粘着層を形成する方法としては、例えばバーコード法、ロールコート法、グラビアコート法、エアドクターコート法、ドクターブレード法、ラミネート法など、従来公知の方法により行うことができる。小型化、薄肉化したデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話では、搭載される構成部品も小型で、薄肉のものが使用される。前記のとおり、CCD、CMOSなどの撮像素子や撮像素子が搭載されるFPCが薄肉の場合、撮像素子の前面からの漏れ光以外にもFPCを透過し、FPCの配線回路が撮像域に写り込み、撮像の品質が劣化してしまう。本発明の黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けた耐熱遮光テープは、粘着層によって、CCDやCMOSなどの撮像素子の裏面側周辺部に貼り付けることができるから、CCD、CMOSなどの撮像素子裏面へ入射する光を遮光するために有用である。次に、本発明について、実施例、比較例を用いて具体的に説明する。なお、黒色耐熱遮光フィルムの膜の構成、及び評価は以下の方法で行った。算術平均高さRa樹脂フィルム基材の算術平均高さRaは、表面粗さ計株東京精密製:サーフコム570Aで測定した。膜の組成透明金属酸化物膜の組成O/Me原子数比:Meは金属成分は、XPSVGScientific社製:ESCALAB220i-XLで定量分析した。なお定量分析の際には、膜の表面20~30nmをスパッタエッチングしてから、膜内部の組成分析を実施した。平均光学濃度、平均平行光線透過率、最大正反射率得られた黒色耐熱遮光フィルムについて、分光光度計日本分光製:V-570を使用し、波長380nm~780nmの可視光域の遮光性、透過率と正反射率を測定した。また、透明金属酸化物を光学ガラス基板に成膜したものについても、透過率と正反射率を測定した。光学濃度ODと記すは、分光光度計で測定される透過率Tを用いて以下の式に従って、算出した。なお、透過率は、樹脂フィルム基板や光学ガラス基板を含めた数値とした。光学濃度OD=Log1/T完全な遮光性を得るためには、波長380~780nmにおける黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度は4.0以上であることが必要である。また、平行光線透過率は、入射光に対する入射光と平行な透過光の割合のことである。測定した波長380~780nmにおける透明金属酸化物膜の平行光線透過率から求められる平均平行光線透過率光学ガラス基板を含むが70以上であれば良好とした。また正反射率は、反射光が反射の法則に従い、入射光の入射角に等しい角度で表面から反射していく光の反射率のことを言い、入射角は5°で測定した。波長380~780nmにおける正反射率から求められる黒色耐熱遮光フィルムの最大正反射率が0.3以下であれば良好とした。平均光学濃度、平均平行光線透過率は、波長380~780nmの各波長に対する算術平均値である。膜表面の明度L得られた膜および耐熱遮光フィルムの明度L値についてはCIE国際照明委員会で基準化され、日本でもJISJISZ8729に規格化された表色系測定に準拠し、色彩計BYK-GardnerGmbH社製:商品名スペクトロガイドにて、光源D65、視野角10°で測定した。導電性得られた黒色耐熱遮光フィルムの表面抵抗値をJISK6911に基づき測定した。表面抵抗値は、1×106Ω/□未満であれば良好とした。耐熱性耐熱遮光フィルムの耐熱性については、オーブンアドバンテック社製:型番DRD320DAにて、100°C、200°C、270°Cで30分の条件で、加熱処理を行い、平均光学濃度、最大正反射率、表面抵抗値をチェックした。耐熱試験後の平均光学濃度、最大正反射率は耐熱試験前と比べて、その差が平均光学濃度では0.2以下、最大正反射率では0.1以下であれば変化は無いこととした。表面抵抗値の変化は、耐熱試験後の表面抵抗値が1×106Ω/□未満であれば良好であり、表中無と表記した。高温高湿環境下での耐久性耐熱遮光フィルムの高温高湿環境下での耐久性ついては、温度85°C、湿度85RHで500時間処理し、平均光学濃度、最大正反射率、表面抵抗値の変化の有無をチェックした。試験後の平均光学濃度、最大正反射率は試験前と比べて、その差が平均光学濃度では0.2以下、最大正反射率では0.1以下であれば変化は無いこととした。表面抵抗値の変化は、耐熱試験後の表面抵抗値が1×106Ω/□未満であれば良好であり、表中無と表記した。密着性膜のフィルム基材に対する密着性は、耐熱試験、高温高湿試験後に行い、JISC0021クロスカット試験に基づき評価した。評価は、膜剥がれがない場合は良好とし、膜剥がれがあるものは不適切とした。実施例1ポリアミドイミド樹脂に溶剤としてメチルエチルケトンを加え、樹脂溶液の固形物100重量部に対して、黒色顔料としてカーボンブラック東海カーボン社製、商品名:7100F、平均粒子径0.05μmを12.0重量部、無機充填材としてシリカ電気化学工業社製、商品名:球状シリカFB-302X、平均粒子径6.2μmを20.0重量部含有し、ローラーミルを用いて混合し、黒色ポリアミドイミド樹脂溶液を作製した。次に、ブレードコーターを用いて、加熱乾燥後のフィルム厚みが25μmとなるように、支持体であるポリエチレンテレフタレートPETフィルムの表面に、上記樹脂溶液を塗工し、大気中、室温で固めた。その後、固めた黒色ポリアミドイミド樹脂溶液を支持体から剥がした後、150°Cで1時間加熱後、さらに250°Cで1時間加熱乾燥し、黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。その後、上記黒色ポリアミドイミドフィルムの表面に凹凸を形成するために、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に固定し、マット処理装置に通紙した。そして、ショット材として硅砂平均粒子径100μmを用い、5m/分の速度でフィルムを搬送しながら、20kg/m2の硅砂をショットした後、水で3分間水洗し、80°Cで2分間乾燥した。次に、フィルムを裏返し、同様のマット処理加工を施し、表1に示すとおり、算術平均高さRaが0.42μmの表面凹凸を形成した。この黒色ポリアミドイミドフィルムは、波長380~780nmにおける平均光学濃度は、4.0以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、0.38、表面光沢度は4であった。明度L値は30であった。なお、表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。次に、黒色ポリアミドイミドフィルムの表面に酸化アルミニウムAl2O3-酸化亜鉛ZnO膜を形成する。予め、図3の巻取り式マグネトロンスパッタリング装置のカソードに、酸化アルミニウムAl2O3-酸化亜鉛ZnOターゲット150×600×6mmtを取り付け、該ターゲットに対向するように黒色ポリアミドイミドフィルムの基板を取り付けた。スパッタリング成膜は、該ターゲットと基板との距離を75mmとし、チャンバ内の真空度が2×10-4~1×10-4Paに達した時点で、純度99.9999質量のアルゴンガスを、さらに酸素ガスをアルゴンガス流量に対して5容積の流量をチャンバ内に導入してガス圧0.3Paとした。次に、直流電力4kWをターゲット-基板間に投入して、プラズマを発生させた。基板を加熱することなく、さらに基板を走行しながら、基板上に所定の膜厚の膜を形成するようにした。こうして、黒色ポリアミドイミドフィルムの両表面に透明な酸化アルミニウムAl2O3-酸化亜鉛ZnO膜を膜厚50nm形成した。また、透明な酸化アルミニウム-酸化亜鉛膜を光学ガラスコーニング社製品名7059基板の片面に同様に、膜厚50nmをフィルムに形成した試料も作製した。ガラス基板上に形成した透明金属酸化物膜の組成をXPSX線光電子発光分析装置で分析した結果、Al含有量はAl/O原子数比として0.42であった。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜は、波長380~780nmにおける膜自体の平均平行光線透過率が90、最大正反射率が10と透明な膜であった。また、黒色ポリアミドイミドフィルムを基板として作製した上記、黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さRaが0.37μmであった。また、波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上となり、最大正反射率は0.25、膜の明度L値は25と、完全遮光性を有し、低反射で黒色度が非常に高くなった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度Lも小さくなり、黒色度は向上した。また、フィルム表面の表面抵抗値は3×104Ω/□となり、導電性があった。大気中、温度100°C、200°C、270°C、保持時間30分で行った耐熱試験と温度85°C、湿度85RH、保持時間500時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。表1に、黒色耐熱遮光フィルムの膜の構成、表2に特性をまとめた。こうして作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例2実施例1において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さRaを0.10μmとし、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が1.50、表面光沢度は8、明度L値が35となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板として用いた。これ以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの厚み、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さRaは0.05μmであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与できた。耐熱試験、耐環境試験でも実施例1と同様に特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例3実施例1において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さRaを1.00μmとし、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が0.25、表面光沢度は4、明度L値が29となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板とした。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さRaは0.60μmであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与できた。耐熱試験、耐環境試験でも実施例1と同様に特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例4実施例1において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さRaを2.20μmとし、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上、表面光沢度は4、最大正反射率が0.13、明度Lが28となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板とした。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さRaは2.10μmであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与できた。耐熱試験、耐環境試験でも実施例1と同様に特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。比較例1実施例1において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さRaを2.30μmとし、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上、表面光沢度は4、最大正反射率が0.12、明度L値が28となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。しかし、マット処理時に、算術平均高さRaを増すために、搬送回数を実施例4よりも増やしたためフィルムに無数のピンホールが形成され、歩留まりが悪かった。ピンホールが形成されていない部分について、評価したところ、表2に示すように黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さRaは2.20μmであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなった。また、導電性も付与できた。大気中、温度100°C、200°C、270°C、保持時間30分で行った耐熱試験と温度85°C、湿度85RH、保持時間500時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高くなったが、外観的に健全なフィルムが得られなかったことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。比較例2実施例1において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さRaを0.08μmとし、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が1.60、表面光沢度が10、明度L値が36となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さRaは0.04μmであった。また、平均光学濃度や表面抵抗値は実施例1と同等であったが、最大正反射率は高く、明度は大きい結果であった。また、耐熱試験、耐環境試験は良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性はあるものの、正反射率が高く、黒色度が低いため、低正反射率と黒色が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。実施例5実施例1において、黒色樹脂フィルムの厚みを5μmとし、樹脂フィルム表面の算術平均高さRaを0.43μmとし、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が0.34、表面光沢度が5、明度L値が29となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さRaは0.38μmであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。また、耐熱試験、耐環境試験でも良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例6実施例1において、黒色樹脂フィルムの厚みを100μmとし、樹脂フィルム表面の算術平均高さRaを0.42μmとし、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が0.35、表面光沢度は5、明度L値が31となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。また、耐熱試験、耐環境試験でも良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例7実施例1において、黒色樹脂フィルムの厚みを250μmとし、樹脂フィルム表面の算術平均高さRaを0.42μmとし、波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上、最大正反射率が0.35、表面光沢度は5、明度L値が30となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値、算術平均高さRaは実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。また、耐熱試験、耐環境試験でも良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例8実施例1において、黒色樹脂フィルムへの金属酸化物膜のスパッタリング時のアルゴンガスに対する酸素流量比を10とし、膜中の金属成分の含有量を金属/酸素原子数比として0.10、波長380~780nmにおける最大正反射率を0.35に変えた。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した酸化アルミニウム-酸化亜鉛膜Al2O3-ZnO膜は透明であることがわかり、また波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は87、最大正反射率は13であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有し、また最大正反射率は0.22、明度L値は25と、低反射で黒色度が非常に高くなった。また、表面抵抗値は7×104Ω/□となり、導電性を有した。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。また、導電性が付与された。大気中、温度100°C、200°C、270°C、保持時間30分で行った耐熱試験と温度85°C、湿度85RH、保持時間500時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例9実施例1において、黒色樹脂フィルムへの金属酸化物膜のスパッタリング時のアルゴンガスに対する酸素流量比を1とし、膜中の酸素含有量を金属/酸素原子数比として0.60、波長380~780nmにおける最大正反射率を0.38に変えた。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は80、最大正反射率は15であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有し、また最大正反射率は0.27、明度L値は26と、低反射で黒色度が非常に高くなった。また、表面抵抗値は2×104Ω/□となり、導電性を有した。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。また、耐熱試験、耐環境試験でも特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。比較例3実施例1において、黒色樹脂フィルムへの金属酸化物膜のスパッタリング時のアルゴンガスに対する酸素流量比を14とし、膜中の金属成分の含有量を金属/酸素原子数比として0.70、波長380~780nmにおける最大正反射率を0.45に変えた。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した酸化アルミニウム-酸化亜鉛膜Al2O3-ZnO膜は透明であることがわかり、また波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は75、最大正反射率は22であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有していたが、最大正反射率は1.10、明度L値は36と、最大正反射率が高く、黒色度は小さいことがわかった。なお、表面抵抗値は実施例1と同等であった。また、耐熱試験、耐環境試験でも特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性を有しているが、正反射率が高く、黒色度が低いため、低正反射率と黒色が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。実施例10実施例1において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を5nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は92、最大正反射率は19であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例11実施例1において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を100nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属化合物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は86、最大正反射率は9であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例12実施例1において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を200nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は83、最大正反射率は8であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与できた。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例13実施例1において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を250nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は82、最大正反射率は5であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上した。また、表面抵抗値は実施例1と同等であった。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。比較例4実施例1において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を4nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は92、最大正反射率は23であった。平均平行光線透過率は高いが、最大正反射率は20を超え、高いものであった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有していたが、最大正反射率は1.40、明度L値は37と、最大正反射率が高く、黒色度は小さいことがわかった。表面抵抗値は2×105Ω/□であった。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性を有しているが、正反射率が高く、黒色度がひくいため、低正反射率と黒色が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。比較例5実施例1において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を255nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は80、最大正反射率は5であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有し、また最大正反射率は0.20、明度L値は24となった。表面抵抗値は実施例1と同等であった。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性を有し、正反射率、明度も良好であるが、膜厚が非常に厚いため低製造コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。実施例15実施例1において、用いたターゲットの種類を酸化インジウムIn2O3-酸化チタンTiO2ターゲットに変え、透明金属酸化物膜の種類を酸化インジウムIn2O3-酸化チタンTiO2膜に変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。なお、アルゴンガス流量に対する酸素ガス流量は3容積とした。光学ガラス上に形成した酸化インジウムIn2O3-酸化チタンTiO2膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は92、最大正反射率は7であった。また、金属含有量は金属/酸素原子数比として0.35であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有し、また最大正反射率は0.27、明度L値は24と、低反射で黒色度が非常に高くなった。表面抵抗値は、5×104Ω/□となり、導電性が付与できた。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。大気中、温度100°C、200°C、270°C、保持時間30分で行った耐熱試験と温度85°C、湿度85RH、保持時間500時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例16実施例15において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜中の金属含有量を金属/酸素原子数比として0.6に変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類や膜厚は実施例15と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は86、最大正反射率は13であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率膜の明度L値、表面抵抗値は実施例15と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性も付与できた。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。比較例6実施例15において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜中の金属含有量を金属/酸素原子数比として0.7に変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類や膜厚は実施例15と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は78、最大正反射率は21であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、表面抵抗値は実施例15と同等であったが、最大正反射率は1.11、膜の明度L値は35となり、実施例15に比べ正反射率は高く、膜の黒色度は低下した。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性は有したが、正反射率が高く、そして黒色度が低いことからカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。実施例17実施例15において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を5nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例15と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は88、最大正反射率は10であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例15と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性が付与された。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例18実施例15において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を100nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例15と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は86、最大正反射率は9であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例15と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性も付与できた。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例19実施例15において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を250nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例15と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は84、最大正反射率は7であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例15と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性も付与された。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。比較例7実施例15において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を4nmに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の膜厚は実施例15と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は89、最大正反射率は10であった。表2に示すように黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有したが、最大正反射率は1.22、膜の明度L値は36、表面抵抗値は2×105Ω/□となり、実施例15より高くなった。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性は有したが、正反射率が高く、黒色度が低いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。実施例20実施例1において、用いたターゲットの種類を酸化亜鉛ZnO-酸化錫SnO2ターゲットに変え、透明金属酸化物膜の種類を酸化亜鉛ZnO-酸化錫SnO2に変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。なお、アルゴンガス流量に対する酸素ガス流量は、2容積とした。光学ガラス上に形成した酸化亜鉛ZnO-酸化錫SnO2膜の波長380~780nmにおける平均平行光線透過率は91、最大正反射率は9であった。また、酸化亜鉛ZnO-酸化錫SnO2膜中の金属含有量は金属/酸素原子数比として0.4であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有し、最大正反射率は0.17、明度L値は21と、低反射で黒色度が非常に高くなった。表面抵抗値は5×104Ω/□となり、導電性が付与された。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。大気中、温度100°C、200°C、270°C、保持時間30分で行った耐熱試験と温度85°C、湿度85RH、保持時間500時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例21実施例1において、黒色樹脂フィルムの樹脂の種類をポリイミド樹脂に変えた以外は、黒色顔料、無機充填材の種類及び含有量、フィルムの算術平均高さRa、フィルムの厚みは実施例1と同様にして、黒色ポリイミドフィルムを作製した。また、波長380~780nmにおける黒色ポリイミドフィルムの平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有し、最大正反射率は、0.38であった。また、表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。透明金属酸化物膜の種類や膜厚は実施例1と同様にして、黒色ポリイミドフィルムの両表面に透明金属酸化物膜を形成した。また、黒色ポリイミドフィルムを基板として作製した上記黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は、表2に示すように、4.0以上と完全遮光性を有し、最大正反射率は0.25、明度L値は26、表面抵抗値は3×104Ω/□となった。基板に用いた黒色ポリイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性も付与できた。大気中、温度100°C、200°C、270°C、保持時間30分で行った耐熱試験と温度85°C、湿度85RH、保持時間500時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例22実施例1において、黒色樹脂フィルムの樹脂の種類をポリエチレンテレフタレート樹脂に変えた以外は、黒色顔料、無機充填材の種類及び含有量、フィルムの算術平均高さRa、フィルムの厚みは実施例1と同様にして、黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムを作製した。なお、黒色ポリエチレンナフタレート樹脂溶液の乾燥処理では、100°Cで3時間加熱乾燥した。作製した黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムの両表面の算術平均高さRaは、0.40μmであった。また、波長380~780nmにおける平均光学濃度は、4.0以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、0.38であった。なお、表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。透明金属酸化物膜の種類や膜厚は実施例1と同様にして、黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムの両表面に透明金属酸化物膜を形成した。表2に示すように、黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムを基板として作製した上記黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性が付与された。また、耐熱試験では200°Cと270°Cではフィルムが変形した。耐環境試験の結果については、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例23実施例1において、黒色樹脂フィルムの樹脂の種類をポリエチレンナフタレート樹脂に変えた以外は、黒色顔料、無機充填材の種類及び含有量、フィルムの算術平均高さRa、フィルムの厚みは実施例1と同様にして、黒色ポリエチレンナフタレートフィルムを作製した。なお、黒色ポリエチレンナフタレート樹脂溶液の乾燥処理では、100°Cで3時間加熱乾燥した。作製した黒色ポリエチレンナフタレートフィルムの両表面の算術平均高さRaは、0.40μmであった。また、波長380~780nmにおける平均光学濃度は、4.0以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、0.38であった。なお、表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。透明金属酸化物膜をその種類や膜厚は実施例1と同様にして、黒色ポリエチレンナフタレートフィルムの両表面に形成した。表2に示すように、黒色ポリエチレンナフタレートフィルムを基板として作製した上記黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性が付与された。大気中、温度100°C、保持時間30分で行った耐熱試験と温度85°C、湿度85RH、保持時間500時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例24実施例1において、黒色樹脂フィルムの樹脂の種類をポリエーテルエーテルケトン樹脂に変えた以外は、黒色顔料、無機充填材の種類及び含有量、フィルムの算術平均高さRa、フィルムの厚みは実施例1と同様にして、黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムを作製した。なお、黒色ポリエーテルエーテルケトン樹脂溶液の乾燥処理では、100°Cで3時間加熱乾燥した。作製した黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムの両表面の算術平均高さRaは、0.42μmであった。また、波長380~780nmにおける平均光学濃度は、4.0以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、0.38であった。なお、表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。実施例1と同様にして黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムの両表面に透明金属酸化物膜を膜厚50nm形成した。表2に示すように、黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムを基板として作製した黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。基板に用いた黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度L値も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性が付与された。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例25実施例1において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック黒色顔料の含有量を5重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さRa、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は、4.0以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、0.40であった。また、表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。大気中、温度100°C、200°C、270°C、保持時間30分で行った耐熱試験と温度85°C、湿度85RH、保持時間500時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例26実施例1において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック黒色顔料の含有量を15.0重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さRa、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は、4.0以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、0.27であった。また、表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例27実施例1において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック黒色顔料の含有量を22.0重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さRa、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は、4.0以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、0.23であった。表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。比較例8実施例1において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック黒色顔料の含有量を23.0重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さRa、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。しかし、作製したフィルムはカーボンブラック含有量が高いため、カーボンブラックの均一な分散がされておらず、表面凹凸、平均光学濃度、最大正反射率、表面光沢度、明度L値など特性が不均一であり、良好なフィルムは得られなかった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、正反射率、明度などの特性がフィルム面内で非常にばらつくため、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。比較例9実施例1において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック黒色顔料の含有量を4.0重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さRa、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例1と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの算術平均高さRaは、0.42μm、波長380~780nmにおける平均光学濃度は3.7と完全遮光性を有していなかった。カーボンブラック含有量が少ないため、光吸収が不十分となったことが原因と考えられた。また、最大正反射率は0.31であり、明度L値は32と実施例1に比べ高くなった。また、表面抵抗値は1013Ω/□以上であった。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの明度L値は実施例1より若干高いものの、最大正反射率、表面抵抗値は実施例1と同等であった。しかし、平均光学濃度は3.7と完全遮光性を有していなかった。また、耐熱試験、耐環境試験でも良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性がないため、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。しかし、カメラモジュール内で完全遮光性が必要でない部品としては利用できる。実施例28実施例1において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の含有量を2.0重量部に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、算術平均高さRaは実施例1と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長380~780nmにおける最大正反射率は、0.39であり、また平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有した。明度L値は34であった。この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例1と同様にして透明金属酸化物膜を50nm形成し、黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例29実施例1において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の含有量を35.0重量部に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、算術平均高さRaは実施例1と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長380~780nmにおける最大正反射率は、0.21であり、また平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有した。明度L値は28であった。この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例1と同様にして透明金属酸化物膜を50nm形成し、黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L値、表面抵抗値は実施例1と同等であった。また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。比較例10実施例1において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の含有量を1.0重量部に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、算術平均高さRaは実施例1と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上で完全遮光性を有した。しかし、最大正反射率は、0.73、明度L値は40となり、最大反射率と明度L値が実施例1よりかなり高くなった。この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例1と同様にして透明金属酸化物膜を50nm形成し、黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長380~780nmにおける平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有していたが、最大正反射率は0.62、明度L値は38と、最大正反射率が高く、黒色度は小さいことがわかった。表面抵抗値は実施例1と同等であった。したがって、黒色耐熱遮光フィルムは、最大正反射率が非常に高いため、低反射率が要求されるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。比較例11実施例1において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の含有量を36.0重量部に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、算術平均高さRaは実施例1と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。しかし、無機充填材の含有量が多いため、フィルム表面の凹凸にバラツキが大きく、膜特性がフィルム面内で均一ではなかった。したがって、膜特性のフィルム面内の均一性がないためカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。実施例30実施例1において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の種類を酸化アルミニウムAl2O3に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の含有量、算術平均高さRaは実施例1と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長380~780nmにおける最大正反射率は、0.22であり、また平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有した。明度L値は29であった。この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例1と同様にして透明金属酸化物膜を50nm形成し、黒色耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L、表面抵抗値は実施例1と同等であった。耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例31実施例1において、黒色樹脂フィルム中の黒色顔料の種類をチタンブラックに変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の含有量、算術平均高さRaは実施例1と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長380~780nmにおける最大正反射率は、0.24であり、また平均光学濃度は4.0以上と完全遮光性を有した。この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例1と同様にして透明金属酸化物膜を50nm形成し、耐熱遮光フィルムを作製した。表2に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度L、表面抵抗値は実施例1と同等であった。耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。実施例32実施例1で作製した黒色耐熱遮光フィルムの両面に、耐熱性の高いアクリル系粘着剤住友スリーエム社製、商品名:9079を用いた厚さ50μmの粘着層を形成し、耐熱遮光テープを作製した。大気中、270°Cでの加熱処理後においても波長380~780nmにおける平均光学濃度が4.0以上の完全遮光性を有した。また、波長380~780nmにおける最大反射率が0.24と低反射率となり、加熱処理前後で平均光学濃度、最大正反射率、表面抵抗値の変化はなかった。実施例33実施例1で作製した黒色耐熱遮光フィルムの両面に微粘着層をもった保護シートをラミネートした。100mm角のシートに裁断し、シート内で80mmφの円内に、各絞りがその外周部でリードによって連結された構造の外径4mmφ、内径2mmφのリング状の絞りを打ち抜き加工で多数作製した。打ち抜き加工では、リング状の絞りに打ち抜き後、80mmφのウェハー状に打ち抜き加工し、微粘着保護シートを剥離し、絞りが多数形成されたウェハーを得た。金属顕微鏡で絞り表面の外観を観察したが、クラック、バリなどの欠陥は見られなかった。よって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、ウェハー状で絞り形状に打ち抜くことが可能で、個々の表面反射や光沢は低く、打ち抜きによるクラック、バリがないことから、WLCSP構造のカメラモジュール用絞り材として極めて有用である。比較例12実施例1で作製した、算術平均高さRaが0.42μmの表面凹凸を形成した黒色ポリアミドイミドフィルムの両面に、塗布法で、ポリオールポリエチレンアジペートとイソシアネート化合物ジイソシアネート、カーボンブラック、酸化亜鉛ZnO-酸化錫SnO2系導電性微粉末からなる導電層を被覆乾燥し、厚み5μmの導電層が両面に被覆された遮光フィルムを作製した。しかし、フィルム表面にはうねりや凹凸があり、算術平均高さRaが4.2μmと2.1μmを大幅に超え、フィルムの膜厚が不均一となった。膜厚が均一な部分について評価した結果、平均光学濃度は、4.0以上と完全遮光性を有し、最大正反射率は0.30、明度L値は32、表面抵抗値は1×105Ω/□であった。したがって、塗布法により作製した遮光フィルムの特性は良好であったが、表面形状が均一でないためカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。"