"真空チャンバと、この真空チャンバ内に設置されたシール材のディスペンサを含むシールディスペンサ部と、真空チャンバ内の前記シールディスペンサ部の隣に配置され液晶滴下ノズルを含む液晶滴下部と、真空チャンバ内の前記液晶滴下部の隣に配置された下降する圧着定盤を備えたフィルム貼り合わせ部と、真空チャンバ内に配置された光学フィルムの供給部と、前記供給部から供給された前記光学フィルムの側部を保持して前記圧着定盤の下方に移動させる保持機構と、前記真空チャンバ内で基板を前記ディスペンサ部、前記液晶滴下部及び前記貼り合わせ部にこの順に搬送する移動装置と、前記保持機構を制御する制御装置とを有し、前記保持機構は、前記光学フィルムの幅方向両側の側部を保持する1対の保持部材と、この保持部材を前記光学フィルムの移動方向に移動させる駆動部材と、を有することを特徴とする基板への光学フィルム貼付装置。前記保持機構は、更に、前記保持部材よりも前記供給部側にて、前記光学フィルムの幅方向両側の側部を保持する1対の他の保持部材と、この他の保持部材を前記光学フィルムの移動方向に移動させる他の駆動部材と、を有し、前記制御装置は、前記圧着定盤により前記光学フィルムを前記基板に対して押圧する際に、前記保持部材と前記他の保持部材が、いずれも前記光学フィルムの側部を保持して、前記光学フィルムにその長手方向に張力を付与するように前記保持部材及び前記他の保持部材を制御することを特徴とする請求項1に記載の基板への光学フィルム貼付装置。前記制御装置は、前記圧着定盤により前記光学フィルムを前記基板に対して押圧している状態で、前記他の保持部材が前記光学フィルムの側部を保持し、前記保持部材が、前記光学フィルムの側部の保持を解除して、前記圧着定盤よりも前記供給部側の位置に戻るように、前記保持部材及び前記他の保持部材を制御することを特徴とする請求項2に記載の基板への光学フィルムの貼付装置。前記制御装置は、前記保持部材が戻った後、前記保持部材が前記光学フィルムの側部を保持して、前記基板へ貼付された光学フィルムを前記圧着定盤と前記保持部材との間で保持し、その後、前記他の保持部材が前記光学フィルムの側部の保持を解除するように、前記保持部材及び前記他の保持部材を制御することを特徴とする請求項3に記載の基板への光学フィルムの貼付装置。前記圧着定盤よりも前記供給部側の位置に、前記光学フィルムを切断して前記光学フィルムの長手方向に分断するカッターが設置されており、前記制御装置は、前記圧着定盤と前記保持部材との間で、前記光学フィルムを保持している間に前記カッターにより前記光学フィルムを切断することを特徴とする請求項4に記載の基板への光学フィルムの貼付装置。前記保持部材及び前記他の保持部材は、静電チャックにより前記光学フィルムの側部を保持することを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載の基板への光学フィルムの貼付装置。前記真空チャンバにおける前記シールディスペンサ部及び前記貼り合わせ部に夫々対応する位置に、夫々第1及び第2のロードロック室が設けられており、前記基板は前記第1のロードロック室を経由して前記真空チャンバ内の前記シールディスペンサ部に挿入され、貼り合わせ後の基板は前記貼り合わせ部から前記第2のロードロック室を経由して前記真空チャンバから外部に搬出されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板の光学フィルムへの貼付装置。しかしながら、特許文献1乃至4に開示された偏光フィルムを基板に貼付する装置においては、偏光フィルムを基板上に貼付する際に、真空チャンバ内で薄いシート状の偏光フィルムを基板上に保持し、偏光フィルムと基板とのアライメントをとった状態で、偏光フィルムの撓み及びしわが発生しないように偏光フィルムを基板に貼り合わせることが難しく、従来から種々のしわ改善技術が考案されているものの、未だ、十分ではないという問題点がある。また、表示パネルに対応する大きさに切断された偏光フィルムを、1枚ずつ基板上に貼付するために、処理効率が悪いという問題点がある。更に、特許文献5に開示された光学フィルムの貼付装置も、偏光板はカセット又はマガジン等に保管されていて、このカセット又はマガジンから枚葉で取り出され、円筒部材に供給される。従って、この特許文献5に開示された光学フィルムの貼付装置も、処理効率が低いという問題点がある。特許文献6及び7に開示された技術は、キャリアフィルムに張り合わされた異方性導電膜を基板に貼付する方法であり、この異方性導電膜とキャリアフィルムとの2層構造のテープは、ロール状で供給され、リールに装着されたロールから巻き解かれて、基板上に供給されるが、このテープは、偏光フィルムのような薄いものではなく、また、キャリアフィルムに貼り合わされているので、撓み及びしわの発生が問題となることはないため、これらの特許文献6及び7においては、撓み及びしわの防止手段は開示されていない。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、光学フィルムのように薄いシート状のものを、気泡及び異物の巻き込みがなく、撓み及びしわを発生させることなく、高効率で基板上に貼付することができる基板への光学フィルム貼付装置を提供することを目的とする。本発明に係る基板への光学フィルムの貼付装置は、真空チャンバと、この真空チャンバ内に設置されたシール材のディスペンサを含むシールディスペンサ部と、真空チャンバ内の前記シールディスペンサ部の隣に配置され液晶滴下ノズルを含む液晶滴下部と、真空チャンバ内の前記液晶滴下部の隣に配置された下降する圧着定盤を備えたフィルム貼り合わせ部と、真空チャンバ内に配置された光学フィルムの供給部と、前記供給部から供給された前記光学フィルムの側部を保持して前記圧着定盤の下方に移動させる保持機構と、前記真空チャンバ内で基板を前記ディスペンサ部、前記液晶滴下部及び前記貼り合わせ部にこの順に搬送する移動装置と、前記保持機構を制御する制御装置とを有し、前記保持機構は、前記光学フィルムの幅方向両側の側部を保持する1対の保持部材と、この保持部材を前記光学フィルムの移動方向に移動させる駆動部材と、を有することを特徴とする。この基板への光学フィルム貼付装置において、例えば、前記保持機構は、更に、前記保持部材よりも前記供給部側にて、前記光学フィルムの幅方向両側の側部を保持する1対の他の保持部材と、この他の保持部材を前記光学フィルムの移動方向に移動させる他の駆動部材と、を有し、前記制御装置は、前記圧着定盤により前記光学フィルムを前記基板に対して押圧する際に、前記保持部材と前記他の保持部材が、いずれも前記光学フィルムの側部を保持して、前記光学フィルムにその長手方向に張力を付与するように前記保持部材及び前記他の保持部材を制御することを特徴とするものである。更に、上記基板への光学フィルム貼付装置において、例えば、前記制御装置は、前記圧着定盤により前記光学フィルムを前記基板に対して押圧している状態で、前記他の保持部材が前記光学フィルムの側部を保持し、前記保持部材が、前記光学フィルムの側部の保持を解除して、前記圧着定盤よりも前記供給部側の位置に戻るように、前記保持部材及び前記他の保持部材を制御することを特徴とする。更にまた、この基板への光学フィルムの貼付装置において、例えば、前記制御装置は、前記保持部材が戻った後、前記保持部材が前記光学フィルムの側部を保持して、前記基板へ貼付された光学フィルムを前記圧着定盤と前記保持部材との間で保持し、その後、前記他の保持部材が前記光学フィルムの側部の保持を解除するように、前記保持部材及び前記他の保持部材を制御することを特徴とする。更にまた、この基板への光学フィルムの貼付装置において、例えば、前記圧着定盤よりも前記供給部側の位置に、前記光学フィルムを切断して前記光学フィルムの長手方向に分断するカッターが設置されており、前記制御装置は、前記圧着定盤と前記保持部材との間で、前記光学フィルムを保持している間に前記カッターにより前記光学フィルムを切断することを特徴とする。上記いずれかの基板への光学フィルムの貼付装置において、例えば、前記保持部材及び前記他の保持部材は、静電チャックにより前記光学フィルムの側部を保持することを特徴とする。また、上記いずれかの基板への光学フィルムの貼付装置において、例えば、前記真空チャンバにおける前記シールディスペンサ部及び前記貼り合わせ部に夫々対応する位置に、夫々第1及び第2のロードロック室が設けられており、前記基板は前記第1のロードロック室を経由して前記真空チャンバ内の前記シールディスペンサ部に挿入され、貼り合わせ後の基板は前記貼り合わせ部から前記第2のロードロック室を経由して前記真空チャンバから外部に搬出されることを特徴とする。本発明によれば、真空チャンバ内で、シール材の塗布、液晶滴下、及び光学フィルムの基板への貼り合わせの3つの工程を連続して実施することができるので、従来のように、3つの工程の夫々において行っていた基板とステージとの位置合わせが本実施形態では不要となり、処理速度が向上する。また、一連の工程を真空チャンバ内で行うため、光学フィルムの貼付時に、気泡及び異物の巻き込みが生じることを防止できる。更に、光学フィルムには、適度の張力を印加した状態で基板に貼付することができるので、光学フィルムに撓み及びしわが発生することを防止することができる。以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は、本発明の実施形態に係る光学フィルム貼付装置の配置を示す平面図、図2はその変形例を示す平面図、図3は、図1に示す装置の構成を示す正面図である。図1に示すように、本実施形態においては、真空チャンバ1内に、ガラス基板10のシールディスペンサ装置と、ガラス基板10への液晶滴下ODF:OneDropFill装置と、ガラス基板10への光学フィルム12を巻回したロール11から、光学フィルム12を巻き解いて、光学フィルム12をガラス基板10に貼り合わせる貼合せ装置とが配置されている。また、この真空チャンバ1には、真空チャンバ1内にその真空を破壊せずにガラス基板10を導入するためのロードロック室2が設置され、更に、真空チャンバ1内からその真空を破壊せずに光学フィルム貼り合わせ後の基板10を取り出すためのロードロック室3が設置されている。そして、真空チャンバ1内には、その基板導入用ロードロック室2の近傍に、シールディスペンサ部Aが配置され、基板排出用ロードロック室3の近傍に、光学フィルム貼り合わせ部Cが配置され、シールディスペンサ部Aと貼り合わせ部Cとの間に、液晶滴下ODF部Bが配置されている。これにより、ロードロック室2から真空チャンバ1内に導入されたガラス基板10に対し、シールディスペンサ部Aで、ガラス基板10の縁部に、紫外線硬化シール材を被着する。そして、液晶滴下部Bで、ガラス基板10におけるシール材に取り囲まれた部分に液晶を滴下する。その後、液晶が滴下されたガラス基板10を貼り合わせ部Cに移動させ、ガラス基板10上に、光学フィルム12を貼り合わせる。そして、この光学フィルム12を貼り合わせたガラス基板10を、ロードロック室3を経て、外部に取り出す。なお、ロードロック室2,3と、シールディスペンサ部A、液晶滴下部B及び貼り合わせ部Cの配置は、上記実施形態に限らず、種々の形態が可能である。例えば、図2に示すように、基板10の移動方向白抜き矢印にて示すが直線になるように、真空チャンバ1a内にシールディスペンサ部A、液晶滴下部B及び貼り合わせ部Cを配置すると共に、真空チャンバ1aに対してロードロック室2a、3aを配置することも可能である。図3は図1に示す光学フィルム貼付装置の構成を示す正面図である。真空チャンバ1内に台座4が設置されており、この台座4上に、移動装置40が配置されている、この移動装置40は、最下段に設けられた第1ステージ43と、その上の第2ステージ45と、その上の第3ステージ46と、更にその上の第4ステージ47とを備えている。第4ステージ47上に基板10が載置され、この基板10は静電チャック等により、第4ステージ47に固定される。モータ42により回転する螺棒41が第1ステージ43に螺合しており、この螺棒41の正逆回転により、第1ステージ43はシールディスペンサ部Aから液晶滴下部Bを経て貼り合わせ部Cまで、x方向に往復移動する。第2ステージ45は第1ステージ43に対して、x方向に垂直の水平方向であるy方向に往復移動可能に第1ステージ43に支持されており、モータ44の正逆回転により、第2ステージ45はy方向に往復移動する。第3ステージ46は第2ステージ45に対し、上下方向z方向に往復移動可能に支持されており、螺棒48がその軸方向を垂直にし、下端部を第2ステージ45に固定して設置されている。そして、この螺棒48は第3ステージ46に螺合しており、第3ステージ46は螺棒48をモータ又は手動により正逆回転させることにより、上下方向に往復移動することができる。また、第3ステージ46上には、第4ステージ47が垂直軸の回りに正逆回転可能に支持されており、これにより、第4ステージ47上の基板10は垂直軸の回りのθ軸方向の位置を調整することができる。貼り合わせ部Cには、この貼り合わせ部Cに停止した第4ステージ47上の基板10の上方に、圧着定盤51が設置されている。この圧着定盤51は、真空チャンバ1の天板に上下動可能に支持された支持部材52に、その面を水平にして固定されており、支持部材52に支持されて、上下動可能になっている。真空チャンバ1の天板には、支持部53が設置されており、螺棒54がその軸方向を垂直にして、支持部53に支持されている。この螺棒54は支持部53内でこの支持部53に螺合しており、螺棒54がモータ55の正逆回転により回転したときに、螺棒54は、その軸方向に上下動する。螺棒54の下端には、圧着定盤51が固定されており、従って、モータ55の正逆回転により、圧着定盤51は第4ステージ47上のガラス基板10に対して接近離隔移動する。偏光フィルム等の光学フィルム12は、ロール状に巻回されて供され、このロール11が真空チャンバ1内の軸方向を水平にしたリールに装着される。このロール11から巻き解かれた光学フィルム12はガイドロール9により案内されて圧着定盤51と基板10との間に供給される。この圧着定盤51の近傍には、静電チャックによりフィルム12の側部を保持するフィルム保持部材8a、8bが設置されており、このフィルム保持部材8a、8bは水平方向に移動して、光学フィルム12を基板10上に供給する。また、圧着定盤51の近傍には、光学フィルム12を切断するカッター33が設置されている。更に、真空チャンバ1の天板には、圧着定盤51に設けた孔を介して基板10に設けたアライメントマークを検出するラインCCDカメラ23,24が設置されている。また、シールディスペンサ部Aには、その真空チャンバ1の天板に2個のCCDカメラ20,21が設置されており、液晶滴下部Bには、その真空チャンバ1の天板にラインCCDカメラ22が設置されている。そして、シールディスペンサ部Aには、基板10の縁部にシール材を噴出するシールディスペンサ31が設置されており、液晶滴下部Bには、基板10の中央部分に液晶を滴下する液晶滴下ノズル32が設置されている。図4aはフィルム保持部材8aの構造を示し、bはその配置を示す図である。なお、他のフィルム保持部材7a、7b、8bの構造も、フィルム保持部材8aと同様である。台座61上に移動部材62が配置され、移動部材62上にステージ63が配置され、このステージ63上にフィルム保持部材8aが設置されている。移動部材62には螺棒64が螺合しており、この螺棒64の正逆回転により、移動部材62は螺棒64の軸方向、即ちx方向に往復移動することができる。光学フィルム12は、ロール11からx方向の逆方向に繰り出される。また、移動部材62の上に配置されたステージ63は、ステージ63に螺合する螺棒65の正逆回転により、光学フィルム12の繰り出し方向に垂直の方向y方向に若干移動することができる。ステージ63上のフィルム保持部材8aは、フィルム12の側方の縁部を上下から挟むように、x方向に垂直の断面でみてコ字形をなすハウジング71を有し、このハウジング71の水平に延びる上方の張り出し部分には、その下面に誘電体部72が設けられている。そして、この誘電体部72に接触するようにして、2個の電極73,74がy方向に離隔してハウジング71内に内蔵されており、電極73,74には、電源75から直流電圧が印加されるようになっている。このように構成されたフィルム保持部材8aにおいては、光学フィルム12の縁部がハウジング71の上方及び下方の張り出し部分の間に挿入される。そして、電源75から電極73,74に直流電圧を印加すると、誘電体部72に正及び負の電荷が出現し、フィルム12を構成する基材の表面に、夫々負及び正の電荷が誘起される。そして、この誘電体部72の電荷とフィルム12の表面の電荷とが静電的に吸着し合い、所謂、静電チャックで、保持部材8aがフィルム12の縁部を保持する。保持部材8aと7aは、同時に通電されると共に同時に通電を解除され、対となって、フィルム12の縁部を静電チャックする。また、保持部材8bと7bも、同時に通電されると共に同時に通電を解除され、対となって、フィルム12の縁部を静電チャックする。これにより、螺棒64がモータ等により回転駆動されて、移動部材62が基板10に向けて移動すると、保持部材8a及び7aにより保持された光学フィルム12が基板10に向けて移動する。なお、保持部材8a、7aの動作と、保持部材8b、7bの動作は、夫々、独立的に行われる。即ち、保持部材8a、7aは第1の保持機構、保持部材8b、7bは第2の保持機構を構成する。次に、上述のごとく構成された基板への光学フィルム貼付装置の動作について説明する。図5a乃至c、図6d乃至f、図7g乃至iは、第1の保持機構及び第2の保持機構と、圧着定盤51の動きを工程順に示す図である。先ず、図1に示すように、ロードロック室2内にガラス基板10を挿入し、ロードロック室2内を真空に吸引する。その後、ロードロック室2内と真空チャンバ1内とを連結する扉を開にし、ロードロック室2内から基板10を真空チャンバ1内の第4ステージ47上に移載する。基板10は、静電チャック等により第4ステージ47に固定される。そして、シールディスペンサ部Aにおいて、CCDカメラ20,21により、基板10の表面のアライメントマークを撮像し、基板10を所定位置に位置合わせした後、ディスペンサ31から基板10の縁部に紫外光で硬化するUVシール材を噴射する。その後、モータ42を回転させて第1ステージ43を液晶滴下部Bに移動させる。そして、ラインCCDカメラ22により基板10の表面のアライメントマークを撮像し、基板10を所定位置に位置合わせしつつ、基板10の表面中央部に、液晶滴下ノズル32から液晶を滴下する。図13はこの液晶滴下部Bにおける基板のリアルタイムアライメント工程を示す図である。ラインCCDカメラ22は基板10の進行方向であるx方向に垂直のy方向に2個設置されており、基板10の幅方向の両端部近傍を撮影するようになっている。また、液晶滴下ノズル32は、この基板10の幅方向であるy方向に、複数個が1列に配置されている。そして、基板10がx方向に進行すると、ラインCCDカメラ22が基板10の表面に設けられたアライメントマーク81を検出する。図13dに示すように、基板10の幅方向の一方の端部に設けられたラインCCDカメラ22は、視野領域82にて、基板10の表面を観察しており、基板10の表面に形成されたアライメントマーク81がこの視野領域82内で観測される。その結果、観測されたアライメントマーク81が視野領域82の中心線83からずれている場合偏倚がy方向にΔy、モータ44を回転させて、ステージ45を-y方向逆y方向にΔyだけ移動させる。これにより、図13eに示すように、基板10は、-y方向にΔyだけ移動し、基板10上のアライメントマーク81と視野領域82の視野中心線83とが一致する。そうすると、ラインCCDカメラ22と、液晶滴下ノズル32との位置関係は一定であるから、液晶滴下ノズル32から液晶が滴下される位置は、常に、基板10上の所定の位置になり、複数個のノズル32から液晶を基板上に均一に且つ適切に滴下することができる。なお、ラインCCDカメラ22は、基板10の幅方向の両端部に夫々設けることなく、少なくとも、基板10の表面のいずれか1箇所において、アライメントマークを検出するようにしてもよい。液晶滴下ノズル32は、基板10上に液晶を均一に滴下するために、複数個設けることが好ましい。このようにして、基板10のアライメントをとりつつ、液晶を基板上に滴下することができる。その後、第1ステージ43を光学フィルムの貼り合わせ部Cに移動させ、図5aに示すように、第4ステージ47上の基板10を圧着定盤51の下方に位置させる。そして、図5bに示すように、ラインCCDカメラ23,24により基板10の表面のアライメントマークを撮像し、第2ステージ45,第3ステージ46及び第4ステージ47を微調整して、基板10の位置を貼り合わせ部Cにおける所定の位置に、高精度で位置合わせする。この基板10の位置合わせは任意である。そして、ロール11から光学フィルム12を繰り出し、ローラ9を介して、光学フィルム12の先端部を第1の保持機構の保持部材8a、7a図5には保持部材8aのみ現れる及び第2の保持機構の保持部材8b、7b図5には保持部材8bのみ現れるに導く。その後、保持部材8a、7aに通電して、保持部材8a、7aにより光学フィルム12の先端部の側部を静電チャックにより保持する。保持部材8b、7bには通電しない。そして、図5cに示すように、保持部材8a、7aを白抜き矢印にて示すように前方逆x方向に移動させ、光学フィルム12をロール11から繰り出す。このとき、保持部材8b、7bは給電していないので、光学フィルム12を静電チャックすることはなく、光学フィルム12はこの停止した保持部材8b、7bを通過する。なお、保持部材8a等は、図4に示すように、螺棒64の回転により移動部材62を逆x方向に移動させることにより、前方逆x方向に移動させるので、光学フィルム12はその幅方向に揺動することはなく、直進性を保持して前方逆x方向に進行する。なお、保持部材8a、7aにより光学フィルム12を静電チャックした場合、静電チャックの際又はその後、光学フィルム12に幅方向にたるみが生じたときは、保持部材8a、7aの螺棒65を回転させて、ステージ63を相互に離隔する方向保持部材8aの場合は逆y方向に若干移動させることにより、光学フィルム12を適度の張力をもって、緊張させることができる。そして、図6dに示すように、保持部材8a、7aを更に前方逆x方向に移動させる。このとき、ローラ9側のラインCCDカメラ24により、ガラス基板10上のアライメントパターンと、光学フィルム12上のアライメントパターンとを同時に撮像し、光学フィルム12とガラス基板10とのアライメントを確認する。仮に、ガラス基板10上のアライメントパターンと、光学フィルム12上のアライメントパターンとがずれている場合は、保持部材8a、7aを、両者の螺棒65を同一量回転させることにより、保持部材8a、7aの間隔を一定に保持したまま、保持部材8a、7aをy方向又は逆y方向、即ち、光学フィルム12の幅方向に移動させる。これにより、光学フィルム12の幅方向の位置が調整されて、光学フィルム12とガラス基板10との間のアライメントをとることができる。このようにして、保持部材8a、7aは、光学フィルム12と基板10とのアライメントのずれを補正しつつ、前方逆x方向に移動して、光学フィルムを走行させる。図8a、b及び図9a、bは、上述の光学フィルム12とガラス基板10との間で、リアルタイムでアライメントをとる方法を示す平面図である。図9は図8の一部拡大図である。図8a及び図9aに示すように、光学フィルム12は、第1保持機構の保持部材8a、7aにより静電チャックにより保持されて走行しており、その後方には、第2保持機構の保持部材8b、7bが配置されている。そして、基板10には、ライン状のリアルタイムアライメント用パターン81が形成されており、光学フィルム12には、同様にライン状のリアルタイムアライメント用パターン91が形成されている。そして、ラインCCDカメラ24により、パターン81とパターン91とがギャップGでずれていることが検出された場合には、光学フィルム12を保持している保持部材8a、7aの位置を、前述のごとく、光学フィルム12の幅方向に調整して、図8b及び図9bに示すように、パターン81とパターン91とが一致するように調整する。このようにして、基板10と光学フィルム12との位置合わせを、光学フィルム12の走行中にリアルタイムで行うことができる。なお、保持部材8a、7aを光学フィルム12の幅方向に移動させる代わりに、基板10を支持している第4ステージ47をy又は逆y方向に移動させて、基板10と光学フィルム12とのアライメントをとってもよい。次いで、図6eに示すように、保持部材8a、7aが更に進行して、ラインCCDカメラ23が光学フィルム12上の特定のアライメントマークを認識すると、保持部材8a、7aが停止し、光学フィルム12の走行が停止する。このとき、第2保持機構の保持部材8b、7bの電極にも電圧を印加し、保持部材8b、7bにより光学フィルム12を静電チャックにより保持する。これにより、保持部材8a、7aと保持部材8b、7bとにより、光学フィルム12が適度の張力で緊張状態に保持される。そして、図6fに示すように、ラインCCDカメラ23,24により、光学フィルム12上のアライメントマークと、基板10上のアライメントマークとを同時に撮像し、基板10と光学フィルム12とのアライメントを確認する。その結果、基板10と光学フィルム12とのアライメントマークがずれていた場合には、移動装置40の各ステージ43,45,47の位置を調整して、基板10のx方向、y方向及びθ方向の位置を修正する。このようにして、基板10と光学フィルム12とのずれを解消して高精度で相互に位置合わせをすることができる。その後、モータ55を回転させて、圧着定盤51を下降させ、光学フィルム12を基板10上に押圧する。このとき、光学フィルム12の押圧部と他の部分との高低差がある場合は、第4ステージ47をz軸方向に上昇させて、基板10を上昇させることにより、押圧時の光学フィルム12の押圧部と他の部分との高低差を解消するようにしても良い。図10は、上述のラインCCDカメラ23,24と、圧着定盤51と、光学フィルム12と、基板10との関係を示す斜視図、図11及び図12は圧着定盤51と光学フィルム12と基板10との配置関係を示す平面図である。前述のごとくして、基板10と圧着定盤51とのアライメントは終了しており、また、基板10と光学フィルム12との間の光学フィルム走行中のリアルタイムアライメントは実行されている。本工程においては、光学フィルム12を圧着定盤51及び基板10に対して所定の位置に停止させるために、光学フィルム12と基板10との間のアライメントをとる。即ち、図10に示すように、ラインCCDカメラ23,24は、光学フィルム12の走行方向逆x方向に2個配置され、それらが光学フィルム12の幅方向に各1対配置され、計4個のラインCCDカメラ23,24が貼り合わせ部Cに配置されている。そして、圧着定盤51には、その4隅部に、夫々透孔102,103が形成されており、この透孔102,103を介して、ラインCCDカメラ23,24は圧着定盤51の下方の光学フィルム12及び基板10を観察することができる。そして、図11に示すように、光学フィルム12には、その長手方向に延びる2本のライン上のアライメントマーク92が、光学フィルム12の両側縁に形成されており、ラインCCDカメラ23,24は、透孔102,103を介して、アライメントマーク92を観察することができる。そして、アライメントマーク92は基本的には光学フィルム12の長手方向に延びるライン状のマークであるが、このラインには、所定の間隔で基本ラインに垂直の付加マークが形成されており、図12に示すように、光学フィルム12が進行して、この付加マークの位置が透孔102,103内でラインCCDカメラ23,24により観察されたときに、光学フィルム12の進行を停止させる。なお、前述のごとく、基板10と圧着定盤51とのアライメントは、前工程で終了しているが、基板10の4隅部に基板マーク10aを設けて、ラインCCDカメラ23,24により、透孔102,103及び光学フィルム12を透過して、基板マーク10aを観察することにより、圧着定盤51と光学フィルム12とのアライメントに加えて、更に基板10とのアライメントも再度行うことができる。その後、図7gに示すように、UV光紫外光を基板10の縁部に照射し、圧着定盤51により応力を印加した状態で、紫外光により基板10の縁部のシール材を硬化させる。これにより、光学フィルム12が基板10の縁部に固着され、液晶がシール材により取り囲まれて基板10と光学フィルム12との間に保持される。なお、UV光の照射は、図12に示すように、圧着定盤51の縁部に設けた透孔104を介して行うことが好ましい。なお、透孔104は、図示の簡略化のために、図12にのみ示す。次いで、図7hに示すように、第1の保持機構の保持部材8a、7aへの給電を停止し、保持部材8a、7aによる光学フィルム12の静電チャックを解除する。この静電チャックの解除のためには、保持部材8a、7aの電極への印加電圧をオフにする他、反対電荷を与えるようにしても良い。なお、この時点で、第2の保持機構の保持部材8b、7bの静電チャックは解除しない。そして、螺棒64を回転させて、静電チャック解除後の保持部材8a、7aを第2の保持機構の保持部材8b、7bの近傍まで戻す。その後、第1の保持機構の保持部材8a、7aの電極に電圧を印加して、保持部材8a、7aにより光学フィルム12を静電チャックにより保持した後、第2の保持機構の保持部材8b、7bの電極への印加電圧をオフにして、保持部材8b、7bの静電チャックを解除する。この状態で、基板10上の光学フィルム12は圧着定盤51及び基板10と、保持部材8a、7aとにより、保持される。その後、カッター33を下降させて、光学フィルム12を切断する。次いで、図7iに示すように、カッター33を上昇させると共に、圧着定盤51を上昇させて、基板10の拘束を解除し、基板10をロードロック室3に移す。そして、ロードロック室3と真空チャンバ1との間を気密的に遮断し、ロードロック室3の真空を破壊して、ロードロック室3から光学フィルム貼付後の基板10を搬出する。このようにして、本実施形態によれば、真空チャンバ1内で、シール材の塗布シールディスペンサ部A、液晶滴下液晶滴下部B、及び光学フィルムの基板への貼り合わせ貼り合わせ部Cの3つの工程を連続して実施する。このため、従来のように、3つの工程の夫々において行っていた基板とステージとの位置合わせが本実施形態では不要となり、処理速度が向上する。また、液晶滴下工程において、ラインCCDカメラ22により基板上のアライメントマーク81を観測し、基板10の幅方向y方向の位置を調整しつつ、液晶を滴下するので、液晶滴下位置と基板との位置ずれを、リアルタイムにアライメントすることができるため、高精度で且つ処理速度が速い液晶注入が可能となる。更に、光学フィルム12を基板10に貼り合わせながら、リアルタイムでアライメントを行うことができ、これにより、高精度の貼り付け位置制度を実現することができる。特に、3次元3Dディスプレイの場合、光学フィルムの貼り付け位置制度が光学特性に大きな影響を及ぼす。このため、本実施形態は、3Dディスプレイの製造に極めて有益である。更にまた、本実施形態においては、ロール11から巻き解かれる光学フィルム12に一定のテンション張力を印加した状態で、光学フィルム12を基板10に貼り付けることができるので、光学フィルム12に撓み及びしわが発生することを抑制することができる。なお、上記実施形態では、光学フィルムの走行のために、光学フィルムを静電チャックにより保持しているが、本発明はこれに限らず、電磁クランプ及びメカニカルクランプ等の種々の手段を採用することができる。しかし、静電チャックの場合は、静電的に対象物を固定するので、ある程度過大な力が作用した場合には、保持部材と対象物とは相対的にずれることができる。このため、光学フィルム12に走行の過程で過大な荷重が印加されることが防止される。また、圧着定盤51は、静電チャック機能を有するものを使用することもできる。そして、この圧着定盤を光学フィルム12の幅方向に2個のユニットに分割し、基板10上に供給された光学フィルム12に前記2個のユニットを接触させ、静電チャックすると共に、ユニットを光学フィルム12の幅方向に相互に離隔する方向に若干移動させる。そうすると、仮に、光学フィルム12に幅方向の撓み又はしわが生じている場合は、この撓み又はしわを、光学フィルム12の幅方向に拡がる2個のユニットにより矯正することができる。更に、上記実施形態においては、フィルム12のアライメントマーク92を、圧着定盤51の透孔102,103を介して、ラインCCDカメラ23,24により観察することにより、光学フィルム12と圧着定盤51とのアライメントを行う場合について説明したが、図14及び図15に示すように、圧着定盤51の大きさを小さくすることにより、圧着定盤51の外側で、ラインCCDカメラ23,24により、光学フィルム12のアライメントマーク92を観察することができる。"