脆性板を吸着する吸着面を同一平面上に有する複数の吸着部と、該複数の吸着部で吸着された前記脆性板に局所的に応力を印加してクラックを形成する加工ヘッドと、前記複数の吸着部の間に予め設定される仮想線に沿って前記加工ヘッドを移動させる移動手段とを有する脆性板の切断装置において、前記仮想線上の複数の点で、前記仮想線と直交する方向であって、前記吸着面と平行な方向における、前記吸着部間の間隙を独立に調節する調節手段と、前記加工ヘッドの位置に基づいて、前記調節手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする脆性板の切断装置。前記制御手段は、前記加工ヘッドが前記仮想線の一端側から他端側に向かうとき、前記調節手段を制御して、前記仮想線上の複数の点のうち、前記仮想線の一端に近い点から順次、前記間隙を広げるのを開始する請求項1に記載の脆性板の切断装置。前記複数の吸着部のうち、2つの吸着部は、前記仮想線を挟んで向かい合っており、それぞれ、前記仮想線と直交する方向であって、前記吸着面と平行な方向に可撓性を有し、前記制御手段は、前記調節手段を制御して、前記2つの吸着部をそれぞれ撓ませる請求項1または2に記載の脆性板の切断装置。前記複数の吸着部のうち、2つの吸着部は、前記仮想線を挟んで向かい合っており、前記2つの吸着部の一方が、前記仮想線と直交する方向であって、前記吸着面と平行な方向に可撓性を有し、前記制御手段は、前記調節手段を制御して、前記一方の吸着部のみを撓ませる請求項1または2に記載の脆性板の切断装置。前記調節手段は、前記吸着部を駆動するピエゾアクチュエータを有し、前記ピエゾアクチュエータが、前記仮想線に沿って複数設けられている請求項1~4のいずれか一項に記載の脆性板の切断装置。脆性板を吸着する吸着面を同一平面上に有する複数の吸着部によって前記脆性板を吸着する第1のステップと、前記複数の吸着部で吸着された前記脆性板に局所的に応力を印加してクラックを形成する加工ヘッドを、前記複数の吸着部の間に予め設定される仮想線に沿って移動させる第2のステップとを有する脆性板の切断方法において、前記第2のステップにおいて、前記加工ヘッドの位置に基づいて、前記仮想線上の複数の点で、前記仮想線と直交する方向であって、前記吸着面と平行な方向における、前記吸着部間の間隙を独立に調節することを特徴とする脆性板の切断方法。前記第2のステップにおいて、前記加工ヘッドが前記仮想線の一端側から他端側に向かうとき、前記仮想線上の複数の点のうち、前記仮想線の一端に近い点から順次、前記間隙を広げるのを開始する請求項6に記載の脆性板の切断方法。ところで、脆性板を板厚方向に貫通するクラックの形成は、脆性板が大面積になるほど、困難である。脆性板が大面積になるほど、脆性板の剛性が高くなるので、また、脆性板と脆性板を載置する台との摩擦力が大きくなるので、脆性板が変形し難いためである。この問題は、脆性板の外周部よりも、脆性板の中央部で顕著であり、クラックの形成が途中で止まることがあった。そこで、脆性板の切断時に、脆性板の変形を助けるため、上記特許文献1に記載の移動機構を利用することが考えられるが、この移動機構には下記の問題点がある。図9は、従来の問題点の説明図である。図9に示す移動機構は、脆性板101を吸着する吸着面を同一平面上に有する2つの吸着部102、103を、吸着面と平行に矢印方向に離間させる駆動源104を有する。この機構は、脆性板101が完全に2つに分断されるまで、吸着部102、103を離間できない。吸着部102、103同士の隙間を、一端側と他端側で同じように広げようとするからである。従って、クラックの形成を助けることができない。加えて、吸着部102、103同士の隙間を、一端側と他端側で同じように広げようとするため、脆性板2の全体に引張応力が印加され、実際の切断位置が切断予定線からずれるという問題もある。この問題は、スクライブ線を形成することなく、脆性板を切断する場合に顕在化する。図10は、従来の別の問題点の説明図である。図10に示す移動機構は、2つの吸着部102、103の一端側を連結するヒンジ105と、ヒンジ105を中心として2つの吸着部102、103を矢印方向に開脚させる駆動源106とを有する。この機構も、脆性板101が完全に2つに分断されるまで、吸着部102、103を開脚できない。吸着部102、103同士の隙間を、一端側と他端側で同時に広げようとするからである。従って、クラックの形成を助けることができない。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、大面積の脆性板を切断可能な脆性板の切断装置および脆性板の切断方法を提供することを目的とする。上記目的を解決するため、本発明は、脆性板を吸着する吸着面を同一平面上に有する複数の吸着部と、該複数の吸着部で吸着された前記脆性板に局所的に応力を印加してクラックを形成する加工ヘッドと、前記複数の吸着部の間に予め設定される仮想線に沿って前記加工ヘッドを移動させる移動手段とを有する脆性板の切断装置において、前記仮想線上の複数の点で、前記仮想線と直交する方向であって、前記吸着面と平行な方向における、前記吸着部間の間隙を独立に調節する調節手段と、前記加工ヘッドの位置に基づいて、前記調節手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする脆性板の切断装置を提供する。また、上記目的を解決するため、本発明は、脆性板を吸着する吸着面を同一平面上に有する複数の吸着部によって前記脆性板を吸着する第1のステップと、前記複数の吸着部で吸着された前記脆性板に局所的に応力を印加してクラックを形成する加工ヘッドを、前記複数の吸着部の間に予め設定される仮想線に沿って移動させる第2のステップとを有する脆性板の切断方法において、前記第2のステップにおいて、前記加工ヘッドの位置に基づいて、前記仮想線上の複数の点で、前記仮想線と直交する方向であって、前記吸着面と平行な方向における、前記吸着部間の間隙を独立に調節することを特徴とする脆性板の切断方法を提供する。本発明によれば、大面積の脆性板を切断可能な脆性板の切断装置および脆性板の切断方法を提供することができる。以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、各図面において、同一のまたは対応する構成については同一のまたは対応する符号を付して説明を省略する。[第1の実施形態]図1は、本発明の第1の実施形態による脆性板の切断装置の斜視図である。図2~図3は、図1の切断装置の動作の説明図であって、図1の切断装置の要部平面図である。なお、図2~図3において、図面を見やすくするため、電極32の図示を省略する。各図面において、X方向は、吸着部の吸着面と平行な方向であって、仮想線と直交する方向を表し、Y方向は、吸着部の吸着面と平行な方向であって、仮想線と平行な方向を表す。なお、X方向およびY方向は、吸着面が地面に対して水平に配置される場合、水平方向である。本実施形態の切断装置10は、脆性板であるガラス板2を切断する装置である。ガラス板2は、ソーダライムガラスや無アルカリガラス、石英ガラスなどの一般的なガラスで構成される。切断装置10は、ガラス板2の表面の切断予定線4に沿って、スクライブ線溝線を形成する手段を有していない。切断装置10の構成が簡略になり、また、ガラス板2の表面の損傷が抑えられるためである。切断予定線とは、切断箇所となる予定の仮想線のことである。切断予定線4の始点および終点は、ガラス板2の外周部6と交差している。切断予定線4の始点近傍において、切断の起点となる初期クラックがガラス板2に予め形成されていても良いが、工程数を削減するため、初期クラックは予め形成されていなくても良い。ガラス板2の大きさは、特に限定されないが、例えばガラス板2が矩形状の場合、ガラス板2の短辺の寸法が20mm以上であって良い。なお、本実施形態の切断装置10は、ガラス板2を切断するとしたが、シリコン基板、サファイア基板などの他の脆性板を切断しても良い。切断装置10は、ガラス板2を吸着する複数の吸着部21、22、複数の吸着部21、22で吸着されたガラス板2にクラック8を形成する加工ヘッド30、加工ヘッド30を複数の吸着部21、22に対して相対的に移動させる移動手段40を有する。複数の吸着部21、22は、ガラス板2を吸着する吸着面23、24を同一平面上に有している。吸着面23、24は地面に対して水平に配置されて良い。吸着面23、24には、吸着孔不図示が設けられている。吸着孔は、真空ポンプなどの吸気源と接続されている。複数の吸着部21、22の間には、仮想線50が予め設定されている。仮想線50の寸法形状は、切断予定線4の寸法形状に合わせて設定される。仮想線50の形状は、本実施形態では直線状に設定されているが、切断予定線4の形状に合わせて設定される限り、曲線状に設定されていても良く、特に限定されない。仮想線50の左側に配置される吸着部21の数、仮想線50の右側に配置される吸着部22の数は、本実施形態では、1つであるが、複数であっても良く、特に限定されない。2つの吸着部21、22は、仮想線50を間に挟んで向かい合っており、それぞれ、所定方向X方向に可撓性を有している。この可撓性は、吸着部21、22の幅、吸着部21、22の材料などにて定まる。吸着部21、22の材料としては、例えばエポキシやテフロン登録商標、ポリ塩化ビニル、MCナイロン登録商標などの合成樹脂、炭素鋼やステンレス鋼、アルミニウム、チタン合金などの金属が用いられる。加工ヘッド30は、ガラス板2を基準として、複数の吸着部21、22とは反対側に配置されている。加工ヘッド30は、複数の吸着部21、22で吸着されたガラス板2に局所的に応力を印加して、クラック8を形成する。クラック8は、スクライブ線のないガラス板2を板厚方向に貫通する。図4は、加工ヘッドの説明図である。加工ヘッド30は、ガラス板2に局所的に熱応力を印加するため、ガラス板2を局所的に加熱する加熱源を有する。加熱源としては、例えば放電電極31が用いられる。放電電極31は、ガラス板2の表面に向けて先細りの先端部を有している。これによって、ガラス板2の加熱範囲を狭窄できる。放電電極31は、電極32と、回路33を介して電気的に接続されている。電極32および回路33は、加工ヘッド30の外部に設けられている。電極32は、アースされていて良い。電極32は、例えば、図1に示すように、吸着部21の吸着部22側の側端面に設けられている。電極32は、吸着部21と共に撓み変形するように、所定方向X方向に可撓性を有している。電極32のX方向における幅は、ガラス板2の加熱範囲を狭窄するため、例えば0.2~2mmであって良い。回路33は、放電電極31に交流電流を印加する高周波電源34、放電電極31に印加される交流電流の周波数やデューティ比、電圧を変調する変調器35などで構成される。高周波電源34は、放電電極31に交流電流を印加して、放電電極31または/および電極32とガラス板2の間に形成される隙間に放電を生じさせ、ガラス板2の表面または/および裏面を局所的に放電加熱する。また、高周波電源34は、放電電極31に交流電流を印加して、ガラス板2に交番電界を印加し、ガラス板2の内部を局所的に誘電加熱する。これによって、ガラス板2を板厚方向に貫通するクラック8が形成される。放電の安定化のため、放電電極31または/および電極32の周辺の雰囲気は、窒素雰囲気やアルゴン雰囲気などの不活性雰囲気であることが好ましく、減圧雰囲気であることがより好ましい。移動手段40図1参照は、吸着部21、22に対して加工ヘッド30を相対的に移動させる手段である。移動手段40は、吸着部21、22側を移動させても良いし、加工ヘッド30側を移動させても良く、両側を移動させても良い。移動手段40は、仮想線50に沿って加工ヘッド30を移動させる。移動手段40は、例えば、加工ヘッド30をY方向に案内するガイドレール42、加工ヘッド30をY方向に移動させる駆動源44を有している。移動手段40は、本実施形態では、加工ヘッド30を直線状に移動させるものであるが、切断予定線4の形状に合わせて、加工ヘッド30を曲線状に移動させるものであっても良く、特に限定されない。加工ヘッド30が仮想線50に沿って移動されることで、クラック8の先端位置が切断予定線4に沿って移動する。クラック8の先端位置は、加工ヘッド30の近傍にある。切断装置10は、例えば図1に示すように、吸着面23、24同士の間隙を調節する調節手段60と、調節手段60を制御する制御手段70とをさらに有する。調節手段60は、仮想線50上の複数の点で、吸着部21、22同士のX方向における間隙L図3参照を独立に調節する手段である。例えば、調節手段60は、吸着部21、22を駆動するピエゾアクチュエータ61を有している。ピエゾアクチュエータ61は、仮想線50に沿って複数設けられている。各ピエゾアクチュエータ61は、所定方向X方向に伸縮可能となっており、例えば図1に示すように、一端部で吸着部21に連結されており、他端部で吸着部22に連結されている。各ピエゾアクチュエータ61が伸縮すると、吸着部21、22の一部がそれぞれ仮想線50に対して接離する。その結果、吸着部21、22同士の間隙Lが部分的に変化し、吸着部21、22に吸着されたガラス板2が変形する。ピエゾアクチュエータ61の変位量は可変であるので、間隙Lが可変であり、ガラス板2の変形量が可変である。制御手段70は、加工ヘッド30の位置に基づいて、調節手段60を制御する手段である。制御手段70は、加工ヘッド30の位置情報を、移動手段40の駆動源44を制御する制御部、または、加工ヘッド30の位置を検出する検出センサから得ている。制御手段70は、例えばコンピュータなどで構成される。本実施形態の切断装置10は、例えば図1に示すように、吸着部21、22を基準として、仮想線50とは反対側に配設され、ガラス板2を移動可能に支持する支持部81、82をさらに有している。支持部81、82のガラス板2を支持する面上面83、84は、吸着部21、22の吸着面23、24と略同一平面上にある。支持部81、82の支持面83、84には、給気孔不図示が設けられている。給気孔は圧縮ガス源に接続されている。なお、支持面83、84が十分平滑な面を有し、ガラスとの接触摩擦がほとんど無い状態でガラスを支持できる場合、給気孔は不要である。次に、図2~図3を再度参照して、上記構成の切断装置10の動作について説明する。以下の切断装置10の動作は、主に制御手段70の制御下で実現される。先ず、図2に示すように、複数の吸着部21、22の吸着面23、24、および複数の支持部81、82の支持面83、84上に、ガラス板2が載置される。吸着面23、24と直交する方向から見たとき、仮想線50と切断予定線4とが重なっている。仮想線50は、切断予定線4の全体に亘って配置されている。また、吸着面23、24と直交する方向から見たとき、電極32と切断予定線4とが重なっている。電極32は、切断予定線4の全体に亘って配置されている。2つの吸着部21、22は、電極32を介して接触している。次いで、吸気源が作動し、吸着孔内が減圧され、吸着面23、24にガラス板2が吸着される。続いて、圧縮ガス源が作動し、給気孔内に圧縮ガスが供給され、圧縮ガスの風圧によって、支持面83、84とガラス板2の接触圧が軽減される。次いで、移動手段40が、加工ヘッド30を仮想線50の一端近傍まで移動させ、加工ヘッド30の放電電極31に、高周波電源34から交流電流が供給される。これにより、加工ヘッド30がガラス板2の外周部6を局所的に加熱し、外周部6に応力を印加するので、外周部6を板厚方向に貫通するクラック8が形成される。次いで、図3に示すように、加工ヘッド30は、仮想線50に沿って移動されながら、ガラス板2に局所的に応力を印加して、クラック8の先端位置を移動させる。このとき、制御手段70は、加工ヘッド30の位置に基づいて、調節手段60を制御して、仮想線50上の複数の点で、間隙Lを独立に調節する。よって、制御手段70は、加工ヘッド30の近傍詳細には、クラック8の先端およびその近傍において、ガラス板2に引張応力が作用するように、ガラス板2を変形できる。よって、大面積のガラス板2を切断することができる。加えて、制御手段70は、加工ヘッド30の移動方向前方詳細には、クラック8の先端の前方において、ガラス板2に圧縮応力が作用するように、ガラス板2を変形できる。よって、意図しない位置で、ガラス板2が切断されるのを抑制することができる。例えば、図2~図3に示すように、制御手段70は、加工ヘッド30が仮想線50の一端側から他端側に向かうとき、調節手段60を制御して、仮想線50上の複数の点のうち、仮想線50の一端に近い点から順次、間隙Lを広げるのを開始する。具体的には、制御手段70は、仮想線50に沿って間隔をおいて複数配置されるピエゾアクチュエータ61のうち、仮想線50の一端に近いピエゾアクチュエータ61から順次、伸長を開始する。このとき、2つの吸着部21、22の両方がそれぞれ撓むので、ガラス板2が滑らかに変形し、ガラス板2の破損が抑制される。制御手段70が間隙Lを広げるのを終了するタイミングは、仮想線50上の各点で異なって良い。即ち、制御手段70がピエゾアクチュエータ61の伸長を終了するタイミングは、ピエゾアクチュエータ61毎に異なっていて良い。制御手段70は、間隙Lの拡大が終了した点では、ガラス板2の切断が完了するまで、間隙Lを所定値例えば50μm以上に保つ。間隙Lが所定値以上に保たれることで、ガラス板2の切断面同士が擦れ合うのが防止され、ガラス板2の切断面の品質低下が防止される。間隙Lの上限値は、ガラス板2が破損しないように、ガラス板2の寸法形状、物性などに応じて設定される。間隙Lの上限値は、例えば1000μmである。ガラス板2が2つに分断されると、高周波電源34から放電電極31への交流電流の供給が停止される。また、吸着部21、22によるガラス板2の吸着が解除され、吸着部21、22からガラス板2が取り外される。最後に、圧縮ガス源から給気孔への圧縮ガスの供給が停止される。[第2の実施形態]上記第1の実施形態では、2つの吸着部が、仮想線を挟んで向かいあっており、それぞれ、所定方向X方向に可撓性を有する。2つの吸着部は、加工ヘッド30の移動に伴い、それぞれ、一端側から順次撓み変形される。これに対し、本実施形態では、2つの吸着部が、仮想線を挟んで向かい合っており、2つの吸着部の一方が、所定方向X方向に可撓性を有する。一方の吸着部のみが、加工ヘッドの移動に伴い、一端側から順次撓み変形される。以下、図5~図6に基づいて、本実施形態による切断装置の構成について説明するが、吸着部、調節手段、制御手段以外の構成は、上記第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。図5~図6は、本発明の第2の実施形態による脆性板の切断装置の動作の説明図である。図5は図2に対応する図、図6は図3に対応する図である。図5~図6に示すように、2つの吸着部21A、22が、仮想線50Aを挟んで向かい合っており、2つの吸着部21A、22の一方22が、所定方向X方向に可撓性を有する。他方の吸着部21Aは、仮想線50Aに対して固定されており、ガラス板2の切断予定線仮想線50Aの左右両側部分のうち、片側部分の全体を吸着する。他方の吸着部21Aの材料としては、特に限定されないが、例えばエポキシやテフロン登録商標、ポリ塩化ビニル、MCナイロン登録商標などの合成樹脂、炭素鋼やステンレス鋼、アルミニウム、チタン合金などの金属、炭化珪素や窒化珪素、ムライト、アルミナなどのセラミックスが用いられる。他方の吸着部21Aの吸着部22側の側端面に設けられる電極図4に示す電極32に対応する電極は、第1の実施形態と異なり、所定方向X方向に可撓性を有していなくても良い。吸着部21Aは撓み変形しないからである。なお、本実施形態において、図4に示す電極32に対応する電極は、一方の吸着部22の吸着部21A側の側端面に設けられても良く、この場合、吸着部22と共に撓み変形するように、所定方向X方向に可撓性を有する。2つの吸着部21A、22の間隙は、調節手段60Aで調節される。調節手段60Aは、一方の吸着部22を駆動するピエゾアクチュエータ61Aを有している。ピエゾアクチュエータ61Aは、仮想線50Aに沿って複数設けられている。各ピエゾアクチュエータ61Aは、所定方向X方向に伸縮可能となっており、例えば図5に示すように、一端部で吸着部21Aに連結されており、他端部で吸着部22に連結されている。各ピエゾアクチュエータ61Aが伸縮すると、吸着部22の一部が仮想線50Aに対して接離する。その結果、吸着部21A、22同士の間隙Lが部分的に変化し、吸着部21A、22に吸着されたガラス板2が変形する。ピエゾアクチュエータ61Aの変位量は可変であるので、間隙Lが可変であり、ガラス板2の変形量が可変である。本実施形態では、第1の実施形態と同様に、制御手段70Aが、加工ヘッド30の位置に基づいて、調節手段60A詳細には、ピエゾアクチュエータ61Aを制御して、仮想線50A上の複数の点で、間隙Lを独立に調節する。よって、第1の実施形態と同様の効果が得られる。例えば、制御手段70Aは、加工ヘッド30が仮想線50Aの一端側から他端側に向かうとき、調節手段60Aを制御して、仮想線50A上の複数の点のうち、仮想線50Aの一端に近い点から順次、間隙Lを広げるのを開始する。具体的には、制御手段70Aは、仮想線50Aに沿って間隔をおいて複数配置されるピエゾアクチュエータ61Aのうち、仮想線50Aの一端に近いピエゾアクチュエータ61Aから順次、伸長を開始する。ところで、本実施形態では、ピエゾアクチュエータ61Aの伸縮に伴って、一方の吸着部22のみが撓むので、ガラス板2の切断予定線仮想線50Aの左右両側部分のうち、図中の左側部分は変形せず、右側部分のみが変形する。よって、ガラス板2の切断予定線仮想線50Aの左右両側部分のうち、切断後に製品となる部分を変形させずに、切断後に廃棄される部分を変形させることが可能である。本実施形態の切断装置は、ガラス板2の側縁部を切除する場合などに好適である。ちなみに、第1の実施形態では、ガラス板2の切断予定線4の左右両側部分が変形するので、間隙Lの変化量が同じ場合、本実施形態に比べて、片側部分の変形量が減る。第1の実施形態の切断装置は、ガラス板2の切断予定線4の左右両側部分が製品となる場合に好適である。[第3の実施形態]上記第1の実施形態では、仮想線の両側に、それぞれ、1つの吸着部が配置されており、各吸着部が所定方向X方向に可撓性を有する。これに対し、本実施形態では、仮想線の両側に、それぞれ、複数の吸着部が配置されている。また、各吸着部が可撓性を有していない。以下、図7~図8に基づいて、本実施形態による切断装置の構成について説明するが、吸着部以外の構成は、上記第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。図7~図8は、本発明の第3の実施形態による脆性板の切断装置の動作の説明図である。図7は図2に対応する図、図8は図3に対応する図である。複数の吸着部21B-1~21B-7、22B-1~22B-7は、仮想線50Bに対して左右対称に配置されている。複数の吸着部21B-1~21B-7、22B-1~22B-7は、所定方向X方向に、独立に移動可能となっている。仮想線50Bを挟んで向かい合う2つの吸着部21B-n、22B-nの間隙Lは、調節手段60Bで調節される。調節手段60Bは、2つの吸着部21B-n、22B-nを駆動するピエゾアクチュエータ61Bを有している。ピエゾアクチュエータ61Bは、仮想線50Bに沿って複数設けられている。各ピエゾアクチュエータ61Bは、所定方向X方向に伸縮可能となっており、例えば図5に示すように、一端部で吸着部21B-nに連結されており、他端部で吸着部22B-nに連結されている。各ピエゾアクチュエータ61Bが伸縮すると、吸着部21B-n、22B-nがそれぞれ仮想線50Bに対して接離する。その結果、吸着部21B-n、22B-n同士の間隙Lが変化し、吸着部21B-n、22B-nに吸着されたガラス板2が変形する。ピエゾアクチュエータ61Bの変位量は可変であるので、間隙Lが可変であり、ガラス板2の変形量が可変である。本実施形態では、第1の実施形態と同様に、制御手段70Bが、加工ヘッド30の位置に基づいて、調節手段60B詳細には、ピエゾアクチュエータ61Bを制御して、仮想線50B上の複数の点で、間隙Lを独立に調節する。よって、第1の実施形態と同様の効果が得られる。例えば、制御手段70Bは、加工ヘッド30が仮想線50Bの一端側から他端側に向かうとき、調節手段60Bを制御して、仮想線50B上の複数の点のうち、仮想線50Bの一端に近い点から順次、間隙Lを広げるのを開始する。具体的には、制御手段70Bは、仮想線50Bに沿って間隔をおいて複数配置されるピエゾアクチュエータ61Bのうち、仮想線50の一端に近いピエゾアクチュエータ61Bから順次、伸長を開始する。以上、本発明の第1~第3の実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲で、上記の実施形態に種々の変形や置換を加えることができる。例えば、上記の実施形態の切断装置10は、ガラス板2の表面にスクライブ線を形成する手段を有しないとしたが、有しても良い。この場合、加工ヘッド30は、スクライブ線を起点として、クラック8を形成する。また、上記の実施形態の放電電極31は、回路33を介して電極32と電気的に接続されているとしたが、電極32がなくても良い。電極32がない場合、放電電極31は、回路33を介してガラス板2に電気的に接続される。この場合、ガラス板2はアースされて良い。また、上記の実施形態の加工ヘッド30は、加熱源として、放電電極31を有するとしたが、放電電極31の代わりに、レーザ光源を有してもよい。レーザ光源としては、UVレーザ波長:355nm、グリーンレーザ波長:532nm、半導体レーザ波長:808nm、940nm、975nm、ファイバーレーザ波長:1060~1100nm、YAGレーザ波長:1064nm、2080nm、2940nmなどが挙げられる。また、上記の実施形態の加工ヘッド30は、加熱源に加えて、ガラス板2を局所的に冷却する冷却源を有していても良い。冷却源としては、例えば冷媒を吐出するノズルが用いられる。冷媒としては、冷却空気などのガス、冷水などの液体が用いられる。ガスと液体を組み合わせて用いても良い。また、上記の実施形態の加工ヘッド30は、ガラス板2を板厚方向に貫通するクラック8を形成するとしたが、クラック8の深さはガラス板2の板厚の50以上であれば良い。この場合、ガラス板2に触れる程度の力で、クラック8がガラス板2を板厚方向に貫通するので、調節手段6060A、60Bが間隙Lを広げるときに、クラック8がガラス板2を板厚方向に貫通する。また、上記の実施形態の加工ヘッド30は、加熱源を有するとしたが、加熱源の代わりに、外周部に複数の切り欠きが設けられたホイールカッターを有していても良い。このホイールカッターの外周部をガラス板2の表面に押しつけて転動させると、外周部がガラス板2に数μm食い込むだけで、クラック8の深さが板厚の80程度に達する。また、上記の実施形態の調節手段6060A、60Bにおいて、ピエゾアクチュエータ6161A、61Bは、仮想線5050A、50Bに沿って間隔をおいて複数設けられるとしたが、仮想線5050A、50Bに沿って移動可能な場合、1つのみ設けられても良い。また、上記の実施形態の調節手段6060A、60Bは、吸着部を駆動する駆動源として、ピエゾアクチュエータ6161A、61Bを有するとしたが、ピエゾアクチュエータ6161A、61Bの代わりに、ボールネジとサーボモータの組合せ、油圧シリンダや空気圧シリンダなどのシリンダ、または、ソレノイドを有してもよい。