フッ化ビニリデン系樹脂、無機粒子、凝集剤および溶剤を含有する紡糸原液を芯液とともに二重環状ノズルから乾湿式紡糸または湿式紡糸して得られる中空繊維を、凝固浴中に浸漬して相分離を誘起させた後固化させ、次いで中空繊維を延伸してから無機粒子、凝集剤、溶剤を抽出するための浸漬処理を行うことによりフッ化ビニリデン系多孔質膜を製造するに際し、紡糸原液として、フッ化ビニリデン系樹脂、無機粒子、凝集剤および溶剤を含有し、溶剤に対する無機粒子の重量比を40~80とし、かつ無機粒子に対する凝集剤の重量比を68~80としたものを用いることを特徴とするフッ化ビニリデン系多孔質膜の製造方法。無機粒子として、シリカが用いられる請求項1記載のフッ化ビニリデン系多孔質膜の製造方法。凝集剤として、多価アルコール類またはポリグリセリン脂肪酸エステル類が用いられる請求項1記載のフッ化ビニリデン系多孔質膜の製造方法。溶剤として、γブチロラクトンまたはεカプロラクトンが用いられる請求項1記載のフッ化ビニリデン系多孔質膜の製造方法。請求項1記載の方法によって製造されたポリフッ化ビニリデン系多孔質膜。膜分離活性汚泥法に用いられる請求項5記載のポリフッ化ビニリデン系多孔質膜。本発明の目的は、製造時の環境負荷が低く、力学的特性、耐薬品性、透水性、分画性能にすぐれた多孔質膜の製造方法を提供することにある。かかる本発明の目的は、フッ化ビニリデン系樹脂、無機粒子、凝集剤および溶剤を含有する紡糸原液を芯液とともに二重環状ノズルから乾湿式紡糸または湿式紡糸して得られる中空繊維を、凝固浴中に浸漬して相分離を誘起させた後固化させ、次いで中空繊維を延伸してから無機粒子、凝集剤、溶剤を抽出するための浸漬処理を行うことによりフッ化ビニリデン系多孔質膜を製造するに際し、紡糸原液として、溶剤に対する無機粒子の重量比を40~80とし、かつ無機粒子に対する凝集剤の重量比を68~80としたものを用いることによって達成される。本発明方法によって得られるフッ化ビニリデン系多孔質膜は、実用に耐え得る透水性、分画性能を有する上、膜構造の連結性が高いため、力学的特性が高いといったすぐれた効果を奏する。フッ化ビニリデン系多孔質膜は、フッ化ビニリデン系樹脂、無機粒子、凝集剤および溶剤を含有する紡糸原液を芯液とともに二重環状ノズルから乾湿式紡糸または湿式紡糸して得られる中空繊維を、凝固浴中に浸漬して相分離を誘起させた後固化させ、次いで中空繊維を延伸してから無機粒子、凝集剤、溶剤のいずれかを抽出するための浸漬処理を行うことにより製造され、紡糸原液としては、フッ化ビニリデン系樹脂、無機粒子、凝集剤および溶剤を含有し、溶剤に対する無機粒子の重量比を40~80とし、かつ無機粒子に対する凝集剤の重量比を68~80としたものが用いられる。フッ化ビニリデン系樹脂としては、フッ化ビニリデンのホモポリマー、フッ化ビニリデンと他の共重合可能なモノマーとの共重合体あるいはこれらの混合物が用いられる。フッ化ビニリデン樹脂と共重合可能なモノマーとしては、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロペン、トリフルオロクロロエチレン、フッ化ビニルなどの少なくとも一種を用いることができ、好ましくは力学的特性および耐薬品性の高さから、ポリフッ化ビニリデンが用いられる。無機粒子としては、粒子分布が狭く、多孔質膜の核となり、薬品などによる抽出が容易であるものが用いられ、例えばシリカ、珪酸マグネシウム、珪酸アルミニウム、珪酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、リン酸カルシウム、鉄、亜鉛などの金属酸化物または水酸化物、ナトリウム、カリウム、カルシウムなどの塩類などが挙げられる。これらの中でも好ましくはフッ化ビニリデン樹脂と溶剤との相溶状態を安定化させ、さらに孔径を制御することができ、かつ凝集性を有する無機粒子として、特に好ましくはシリカが用いられる。無機粒子は通常、粒径または凝集性を有する粒子の凝集粒子径が1μm以下、好ましくは01~1μmのものが用いられる。凝集剤としては、無機粒子と親和性があり、無機粒子の凝集性を向上させるもの、例えばグリセリンなどの多価アルコール類あるいはポリグリセリン脂肪酸エステル類などが用いられる。溶剤としては、フッ化ビニリデン樹脂とともにSL型の熱誘起相分離法を発現し、水溶性であるγブチロラクトン、εカプロラクトンなどが用いられる。以上の必須成分よりなる紡糸原液は、溶剤に対する無機粒子の重量比が40~80、好ましくは40~60であって、無機粒子に対する凝集剤の重量比は68~80、好ましくは70~75のものが用いられる。溶剤に対する無機粒子の重量比がこれより高くなると膜構造の連結性が低下するため力学的特性が低下するようになり、一方これより少ない重量比で用いられると多孔質膜に形成される孔の体積分率が低下するため、透水性、分画性能が低下するようになる。また、無機粒子に対する凝集剤の重量比がこれより高くなると無機粒子の粗大な凝集体が形成されてしまうようになり、一方これより少ない重量比で用いられると無機粒子の凝集が不十分となるため、所望の孔径を得ることが困難となり、透水性、分画性能が低下するようになる。紡糸原液は、テトラエチレングリコール、グリセリンなどの芯液または空気、窒素などの気体とともに二重環状ノズルから押し出し、一般的にポリフッ化ビニリデン系多孔質膜の製造法で行われている乾湿式紡糸または湿式紡糸によって紡糸されて中空繊維が得られ、この中空繊維は水などの凝固浴中に浸漬して相分離を誘起させた後固化させ、次いで中空繊維を延伸してから、凝集剤、溶剤および芯液を抽出するため約40~95°Cの水中への浸漬および無機粒子を抽出するため水酸化ナトリウム水溶液などへの浸漬処理が行われる。浸漬処理後、さらに熱水などにより洗浄を行い、必要に応じて乾燥させることにより多孔質中空糸膜が製造される。次に、実施例について本発明を説明する。実施例、比較例1~4所定割合のポリフッ化ビニリデン、疎水性シリカ、εカプロラクトンおよびグリセリンをヘンシェルミキサにより混合した。得られた混合物を、二軸混練押し出し機を用い、165°Cで加熱混練してペレットとした後、このペレットを別の二軸押出機に投入し、二重環状ノズルにより中空部内にテトラエチレングリコールを芯液として供給しながら、150°Cにて押し出し、押出物を約3cm空走させた後、20重量の硫酸ナトリウム水溶液からなる水浴中を通過させて中空繊維を得た。次いで、溶剤、凝集剤および無機粒子の大部分が中空繊維に残存している状態で、90°Cの熱水中で繊維方向に15倍の長さとなるように延伸し、続いて95°Cの水中に180分間浸せきすることにより、凝集剤であるグリセリン、溶剤であるεカプロラクトンおよび芯液であるテトラエチレングリコールを除去した。さらに、40°Cの5重量水酸化ナトリウム水溶液に120分間浸せきして無機粒子を除去し、90°Cの熱水で洗浄することにより中空糸膜を得た。得られた中空糸膜についての中空糸膜性状を、用いられたポリフッ化ビニリデン、εカプロラクトン、疎水性シリカおよびグリセリンよりなる混合物の重量比、溶剤に対する無機粒子の重量比および無機粒子に対する凝集剤の重量比と共に次の表に示した。表実施例比較例1比較例2比較例3比較例4混合物重量比:ポリフッ化ビニリデン3030303030疎水性シリカ1715252017グリセリン1210201015εカプロラクトン4145254038無機粒子溶剤41331005045凝集剤無機粒子7167805088中空糸膜性状外径125127123125124内径066068062066065純水透過速度62003200750076006100分画粒子径0504061613引張強度2620112221破断時伸び211031211以上の各項目の測定、算出方法は、次の通りである。純水透過係数有効長15cmの両端開放型中空糸膜モジュールを用い、温度25°C、圧力01MPaの条件下、純水を原水として中空糸膜の内側から外側にろ過して時間当りの透水量を測定し、単位膜面積、単位時間、01MPa当りの透水量に換算した数値で算出した。分画粒子径異なる粒子径を有する少なくとも2種類の単分散ラテックスを、05質量ドデシルスルホン酸ナトリウム水溶液を用いて希釈し、ラテックス濃度001の懸濁液を調製した。このラテックス懸濁液100mlをビーカーに入れ、チューブポンプにて有効長約12cmの湿潤した膜に対し、線速01m秒にて外表面から003MPaの圧力にて供給し、膜の両端から透過液を出すことで、ラテックス懸濁液のろ過を行った。ろ過した液は、ビーカーに戻し、液的に閉鎖系にてろ過を行った。ろ過10分後に、中空糸膜の両端からの透過液およびビーカーからの供給液をそれぞれサンプリングし、分光光度計を用いて600nmの吸光度を測定し、以下の式によりラテックス阻止率を測定した。ラテックス阻止率=100×ラテックス阻止率の曲線Fが対数正規分布の累積分布関数で表されると仮定して、測定値にフィッティングして、Fが90となるxの値を求め、これを分画粒子径とした。F=100×12×erfc√2σの平均値、σはInの標準偏差である。引張破断強度、引張破断伸度引張試験機を用い、温度25°C、相対湿度40~70の雰囲気内で、膜をチャック間距離50mm、速度200mm分の条件で引張り、破断時の荷重と変位から以下の式に従い引張破断強度、引破断伸度を算出した。引張破断強度=破断時荷重膜断面積引張破断伸度=100×破断時変位50