内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光手段によってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置において、レーザ出力検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを具備することを特徴とするレーザ点火装置。内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光手段によってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置において、励起光源劣化検出手段として、上記励起光源から放射された励起レーザの一部の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折された励起レーザの一部を検出する励起光検出センサとを具備することを特徴とするレーザ点火装置。内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光手段によってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置において、レーザ出力検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを具備し、励起光源劣化検出手段として、上記励起光源から放射された励起レーザの一部の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折された励起レーザの一部を検出する励起光検出センサとを具備することを特徴とするレーザ点火装置。内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、レーザ出力検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを設け、上記戻り光検出センサの出力に基づいて検知された実際の出力パルス数が、上記電子制御装置から発信された一の点火信号に対して上記レーザ発振器から発振すべきパルスレーザの目標パルス数よりも少ないときには、上記駆動電流の印加時間を長くし、又は、上記駆動電流を大きくすることを特徴とするレーザ点火装置の制御方法。内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、励起光源劣化検出手段として、上記励起光源から放射された励起レーザの一部の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折された励起レーザの一部を検出する励起光検出センサとを設け、上記励起光検出センサによって検知された出力のピーク電圧が、予め初期状態において上記励起光検出センサによって検知された出力のピーク電圧初期値よりも低いときには、上記駆動電流の印加時間を長くし、又は、上記駆動電流を大きくすることを特徴とするレーザ点火装置の制御方法。内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、レーザ発振器劣化検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを設け、上記戻り光検出センサの出力に基づいて検知された実際の出力パルス数が、上記電子制御装置から発信された一の点火信号に対して上記レーザ発振器から発振すべきパルスレーザの目標パルス数よりも少ないときに、上記駆動電流の印加時間を長くし、又は、上記駆動電流を大きくした後、再度検出した出力パル数が上記目標パルス数よりも少ないときには、上記レーザ発振器の劣化と判定することを特徴とするレーザ点火装置の制御方法。内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、レーザ発振器劣化検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを設け、上記励起光源から励起レーザが出力されているにもかかわらず、上記戻り光検出センサの出力が所定の閾値以下のときには、上記励起光源と上記レーザ発振器とが接続されていないと判定し、上記励起光源からの励起レーザの発振を停止することを特徴とするレーザ点火装置の制御方法。内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、励起光源劣化検出手段として、上記励起光源から放射された励起レーザの一部の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折された励起レーザの一部を検出する励起光検出センサとを設け、上記励起光検出センサによって検知された出力のピーク電圧と、予め初期状態において上記励起光検出センサによって検知された出力のピーク電圧初期値との差が所定の閾値を超えるときには、上記励起光源の劣化と判定することを特徴とするレーザ点火装置の制御方法。ところが、特許文献1にあるような、従来のレーザ点火装置において、エンジヘッドの限られた搭載スペースにレーザ発振器を搭載した場合、十分に冷却することが困難となる上に、周囲の温度変化が大きく、レーザ発振器の温度変化や劣化により、発振されるレーザのパルス間隔が変化し、点火時期を適正な値に制御できない虞がある。また、従来のレーザ点火装置において、搭載性を考慮してエンジンヘッドには集光レンズ等の光学系部品のみを載置して、レーザ発振装置をエンジンヘッドの外に設けた場合には、レーザ発振装置と光学系部品との間を光ファイバ等の伝送手段を介して両者を接続することになるが、車両運転者の安全を確保するために、光ファイバの接続状態を確実に検出する必要がある。一方、特許文献2にあるようなレーザ加工装置においてレーザ発振器は、水冷装置などによって十分に冷却できる環境に置かれているので、元々レーザ発振器の温度変化による発振パルスの変化が少ない上に、加工装置としての用途を満たすためには、レーザ出力のエネルギ量が基準波形に一致すれば、レーザ発振器から発振されるパルス間隔やパルス数までは問題とならず、上述のように車両に搭載する上での課題について考慮した構成になっていない。また、特許文献2にあるような従来のレーザ発振器の補正方法では、実際にレーザ発振器から放射された光の一部をビームスプリッタによって分岐し、光センサによって検出して、レーザ出力の補正に用いているが、このような分岐手段をエンジンヘッドの限られた搭載スペースに設けることは困難である。加えて、従来のように、レーザ発振器から発振された高いエネルギ状態のパルスレーザの一部を分岐させて光センサを用いて検出することにより、出力補正を行ったのでは光センサの劣化が早くなる虞がある。本発明は、かかる実情に鑑みなされたもので、小型でエンジンへの搭載性に優れ、かつ、信頼性、安全性に優れたレーザ点火装置とその制御方法を提供することを目的とする。請求項1の発明では、内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光手段によってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置において、レーザ出力検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを具備する。請求項2の発明では、内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光手段によってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置において、励起光源劣化検出手段として、上記励起光源から放射された励起レーザの一部の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折された励起レーザの一部を検出する励起光検出センサとを具備する。請求項3の発明では、内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光手段によってエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置において、レーザ出力検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを具備し、励起光源劣化検出手段として、上記励起光源から放射された励起レーザの一部の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折された励起レーザの一部を検出する励起光検出センサとを具備する。請求項4の発明では、内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、レーザ出力検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを設け、上記戻り光検出センサの出力に基づいて検知された実際の出力パルス数が、上記電子制御装置から発信された一の点火信号に対して上記レーザ発振器から発振すべきパルスレーザの目標パルス数よりも少ないときには、上記駆動電流の印加時間を長くし、又は、上記駆動電流を大きくする。請求項5の発明では、内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、励起光源劣化検出手段として、上記励起光源から放射された励起レーザの一部の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折された励起レーザの一部を検出する励起光検出センサとを設け、上記励起光検出センサによって検知された出力のピーク電圧が、予め初期状態において上記励起光検出センサによって検知された出力のピーク電圧初期値よりも低いときには、上記駆動電流の印加時間を長くし、又は、上記駆動電流を大きくする。請求項6の発明では、内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、レーザ発振器劣化検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを設け、上記戻り光検出センサの出力に基づいて検知された実際の出力パルス数が、上記電子制御装置から発信された一の点火信号に対して上記レーザ発振器から発振すべきパルスレーザの目標パルス数よりも少ないときには、上記駆動電流の印加時間を長くし、又は、上記駆動電流を大きくした後、再度検出した出力パル数が上記目標パルス数よりも少ないときには、上記レーザ発振器の劣化と判定する。請求項7の発明では、内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、レーザ発振器劣化検出手段として、上記レーザ発振器から発振されたパルスレーザの戻り光の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折されたパルスレーザの戻り光を検出する戻り光検出センサとを設け、上記励起光源から励起レーザが出力されているにもかかわらず、上記戻り光検出センサの出力が所定の閾値以下のときには、上記励起光源と上記レーザ発振器とが接続されていないと判定し、上記励起光源からの励起レーザの発振を停止する。請求項8の発明では、内燃機関に設けられ、該機関を制御する電子制御装置から機関の運転状況に応じて発信される点火信号に従って、励起光源を駆動する駆動電流を印加し、該励起光源から放射された励起レーザをレーザ発振器によってエネルギ密度の高いパルスレーザとして発振させ、集光レンズによってさらにエネルギ密度を高めて燃焼室内の混合気の点火を行うレーザ点火装置の制御方法であって、励起光源劣化検出手段として、上記励起光源から放射された励起レーザの一部の進行方向を屈折させる光学素子と、該光学素子によって屈折された励起レーザの一部を検出する励起光検出センサとを設け、上記励起光検出センサによって検知された出力のピーク電圧と、予め初期状態において上記励起光検出センサによって検知された出力のピーク電圧初期値との差が所定の閾値を超えるときには、上記励起光源の劣化と判定する。請求項1の発明によれば、上記戻り光検出センサの出力によって上記レーザ発振器の状態を検知することが可能となり、上記レーザ発振器の温度変化によって実際に発振されたパルスレーザの発振間隔が変動したときに目標とする発振間隔に一致させるよう補正することが可能となる。また、従来のように、レーザ発振器から発振されたエネルギ密度の高いパルスレーザそのものを分光して検出するのではなく、エネルギ密度の低い戻り光を検出するため、上記出力検出手段そのものが劣化し難くなり耐久性が向上する上に、小型化も容易である。請求項2の発明によれば、上記励起光検出センサの出力によって上記励起光源の劣化状態を検知することが可能となり、上記励起光源の劣化状態応じて該励起光源を駆動する駆動電流を補正して、上記励起光源から放射される励起光の出力を安定化させることが可能となる。また、パルスレーザに比べてエネルギ密度の低い励起レーザの一部を検出するため、光学系の劣化が起こり難く、耐久性が向上する上に、小型化も容易である。請求項3の発明によれば、請求項1の発明の効果と請求項2の発明の効果とが重畳的に得られ、さらに安定したパルスレーザの発振が可能となり、点火装置としての信頼性が向上する。加えて、上記戻り光検出センサの出力と上記励起光検出センサの出力との相違から、上記励起光源と上記レーザ発振器との間で励起光の漏れの有無を検知し、上記内燃機関を運転する運転者の安全を確保することも可能となる。請求項4の発明によれば、上記レーザ発振器の温度上昇により、出力されるパルスレーザの発振間隔が長くなったときに、目標とする発振間隔に一致させることが可能となり、内燃機関の運転状況に応じた適切な点火が実現される。請求項5の発明によれば、上記励起光源の劣化により、励起光の出力が低下したときに、励起光の出力を安定させることが可能となり、内燃機関の運転状況に応じた適切な点火が実現される。請求項6の発明によれば、速やかに上記レーザ発振器の異常を検知し、交換を促すことが可能となり、点火装置としての信頼性が確保される。請求項7の発明によれば、上記励起光源と上記レーザ発振器との接続がはずれた場合に確実にレーザ光の外部への漏れを防止し、運転者の安全を確保することが可能となり、点火装置としての信頼性、安全性が確保される。請求項8の発明によれば、速やかに上記歴光源の異常を検知し、交換を促すことが可能となり、点火装置としての信頼性が確保される。本発明のレーザ点火装置は、レーザ媒質の温度変化や半導体レーザの劣化によって発生するパルスレーザの発振周期の変動に対して、パルスレーザの戻り光、又は、励起レーザのいずれか一方又は両方を検出して、実際に発振されたパルスレーザの発振周期を検知し、燃焼条件に適したパルス数、又は、レーザ出力となるように補正して、高過給エンジン、高圧縮エンジン、希薄混合気エンジン等の難着火性の内燃機関において安定した着火の実現を図るものである。図1を参照して、本発明の第1の実施形態におけるレーザ点火装置100の概要について説明する。なお、本発明において、適用される内燃機関を限定するものではないが、本図に示すように、内燃機関7、シリンダヘッド70、吸気筒71、吸気バルブ711、排気筒72、排気バルブ722、図略のシリンダブロック、ピストンによって、燃焼室73が区画され、シリンダヘッド70に固定されたレーザ点火プラグ4の先端を燃焼室73に対向させ、燃焼室73内に導入された混合気中にパルスレーザを集光して混合気の点火を図るものである。本実施形態におけるレーザ点火装置100は、レーザ発振器41から発振されたパルスレーザLSRPLSの戻り光REFPLSを検出して、半導体レーザ1に印加する駆動電流の制御にフィードバックさせ、レーザ発振器41の温度変化に伴う出力パルス間隔の増減、及び、出力パルス数の増減を補正することによって、内燃機関の安定した点火を実現可能としたことを特徴としている。レーザ点火装置100は、励起光源として設けた半導体レーザ1と、半導体レーザ1を駆動する駆動回路2と、レーザ発振器の状態を検知するために設けたレーザ出力検出手段3と、内燃機関8のシリンダヘッド70に載置されるレーザ点火プラグ4と、出力エネルギ決定手段5と、これらを制御する電子制御装置ECU6とによって構成されている。半導体レーザ1は、GaAlAs、InGaAs等の結晶材料で形成されたレーザダイオードが用いられ、駆動回路2からの駆動電流D1、又は、DAMDの印加により励起レーザLSRPMPを放射する。半導体レーザ1から放射された励起レーザLSRPMPは、光ファイバ10、35、レーザ出力検出手段3を介して、レーザ点火プラグ4に伝送される。本実施形態において、レーザ出力検出手段3は、パルスレーザ戻り光REFPLSの進行方向を屈折させる光学素子として設けられたビームスプリッタ30と、ビームスプリッタ30によって進行方向が屈折されたパルスレーザ戻り光REFPLSを検出する戻り光検出センサ31とによって構成されている。ビームスプリッタ30は、石英ガラス等からなり、略平板状に形成された光学素子300のレーザ発振器41に対向する側の表面に、励起レーザLSRPMPは透過し、パルスレーザLSRPLSの戻り光REFPLSは反射する戻り光部分反射膜301が形成されたハーフミラーとなっており、励起レーザの進行方向に対して45°の角度で配置されている。戻り光検出センサ31には、例えば、GaAs、Si、AlGaSb、InGaAs、GaAsN等をの半導体素子を含むフォトダイオード又は、フォトトランジスタ等が用いられている。なお、パルスレーザ戻り光REFPLSは、特定の波長例えば、1064nmを有しており、励起レーザLSRPMPの波長例えば、808nmとなっているので、どちらの波長も検知するセンサ例えば、Si、InGaAsを用いる場合は、励起レーザLSRPMPの波長800~815nmをカットする光学フィルタ等を光検出センサ31の入射面に装着するのが望ましい。レーザ点火プラグ4は、略筒状に形成したプラグ筐体45内に同軸上に並べられた、励起光集光光学系部品40、レーザ発振器41、ビームエキスパンダ42、集光レンズ43、保護カバー44によって構成されている。レーザ発振器41は、入射面からの励起レーザLSRPMPを透過する励起光透過膜410と、レーザ媒質内で発生した励起光よりも長い波長の光を全反射する蛍光部分反射膜411と、レーザ媒質412と、可飽和吸収体413と、部分反射鏡414とによって共振器を構成している。レーザ媒質412内で発生した励起レーザLSRPMPよりも長い波長の光が共振し、可飽和吸収体413の固有の閾値を超えるまで増幅される。共振増幅されたレーザ光が閾値を超えると可飽和吸収体413が受動Qスイッチとして作用し、瞬間的にエネルギ密度の高いパルスレーザLSRPLSとして出射される。このとき、パルスレーザLSRPLSの一部は、パルスレーザ戻り光REFPLSとして、レーザ発振器41から光ファイバ35を介して、ビームスプリッタ30に戻る。パルスレーザ戻り光REFPLSは、ビームスプリッタ30の戻り光部分反射膜301によってパルレーザ戻り光REFPLSの進行方向に直交する側面方向に反射され、さらにその進行方向に設けた戻り光検出センサ31に入光する。戻り光検出センサ31は、パルスレーザLSRPLSの実際に出力された発振パルス数に一致するパルスレーザ戻り光REFPLSのパルス数PLS2、及び/又は、パルスレーザLSRPLSの出力に比例するパルスレーザ戻り光REFPLSの強度を検出し、戻り光信号30を出力する。レーザ出力検出手段3から出力された戻り光信号30は、出力エネルギ決定手段5に入力される。出力エネルギ決定手段5では、戻り光信号30の入力前は、ECU6から発信された点火信号IGt及び目標パルス数PLS1からなる制御目標値60に従って、駆動回路2を駆動するための標準的な駆動信号50が発信され、点火信号IGtに応じたタイミングで駆動回路2から標準的な駆動電流D1が半導体レーザ1に印加される。また、出力エネルギ決定手段5では、戻り光信号30の入力後には、入力された検出パルス数PLS2と目標パルス数PLS1との差からレーザ発振器41の状態を検知し、補正後パルス数PLSAMDを実現するために、駆動回路2を駆動するための駆動信号50を補正して発信し、点火信号IGtに応じたタイミングで駆動回路2から補正後駆動電流DAMDが半導体レーザ1に印加される。駆動回路2からの駆動電流D1又はDAMDの印加によって、半導体レーザ1からレーザ発振器41の状態に応じた励起レーザLSRPMPがレーザ発振器41に放射される。なお、補正後駆動電流DAMDの具体的な補正方法については、図6、7を参照して後述する。レーザ発振器41から発振されたパルスレーザLSRPLSは、ビームエキスパンダ42によって所定のビーム径を有する平行光となるように調整される。ビームエキスパンダ42は、パルスレーザLSRPLSのビーム径を拡大する凹レンズ420と平行光となるように屈折させる凸レンズ421とによって構成されている。ビームエキスパンダ42によって平行光に調整されたパルスレーザLSRPLSは、集光手段として設けた集光レンズ43によって、燃焼機関8の燃焼室83内の所定の空間位置に配置した集光点FPに集光され、さらに高いエネルギ密度となって燃焼室内に図略の燃料噴射装置を用いて導入された混合気を着火する。なお、集光点FPの位置は、適用する内燃機関の燃焼特性に応じて適宜変更可能である。さらに、本実施形態において、半導体レーザ1から励起レーザLSRPMPが出力されているにもかかわらず、戻り光検出センサ31から出力された戻り光出力信号30が所定の閾値以下のときには、半導体レーザ1とレーザ発振器41とを接続する光ファイバ35が外れる等の励起レーザLSRPMPを伝送する経路が接続されていない状態と判定し、励起レーザLSRPMPの発振を停止する。なお、本判定結果を利用して、併せて燃料噴射やエンジン始動用スタータの起動を停止しても良い。ECU6は、制御目標値60として、内燃機関7の運転状況に応じて、点火時期を決定する点火信号IGtと共に、その点火信号IGtに対してレーザ発振器41から発振されるパルスレーザLSRPLSの目標パルス数PLS1を制御目標値60として、出力エネルギ決定手段5に発信する。図2を参照して、本発明の第2の実施形態におけるレーザ点火装置100aの概要について説明する。上記実施形態におけるレーザ点火装置100は、レーザ発振器41から発振されたパルスレーザLSRPLSの戻り光REFPLSを検出して、レーザ発振器41の変動を補正する構成を示したが、本実施形態においては、励起光源劣化検出手段3aとして、励起レーザLSRPMPの反射光REFPMPを検出して、半導体レーザ1の劣化を検出し、半導体レーザ1の劣化に伴う励起レーザLSRPMPの出力低下と、それに起因してレーザ発振器41から発振されるパルスレーザLSRPLSの出力低下を補正して、安定した点火の実現を可能とするものである。なお、以下の説明において、上記実施形態と同様の構成については同じ符号を付したので、説明を省略し、各実施形態における特徴的な部分を中心に説明する。本実施形態において、励起光源劣化検出手段3aは、励起レーザLSRPMPの一部を屈折させて励起レーザ反射光REFPMPとして取り出す光学素子として設けられたビームスプリッタ30aと、ビームスプリッタ30aによって進行方向が屈折された励起レーザ反射光REFPMPを検出する励起光検出センサ33とによって構成されている。ビームスプリッタ30aは、石英ガラス等からなり略平板状に形成された光学素子300の半導体レーザ1に対向する側の表面に励起レーザLSRPMPの一部を反射する励起レーザ部分反射膜302が形成されたハーフミラーとなっており、励起レーザLSRPMPの進行方向に対して45°の角度で配置されている。励起光検出センサ33には、例えば、GaAs、Si、AlGaSb、InGaAs、GaAsN等をの半導体素子を含むフォトダイオード、フォトトランジスタ等が用いられている。なお、励起レーザ反射光REFPMPは、特定の波長例えば、808nmを有しており、パルスレーザ戻り光REFPLSの波長例えば、1064nmとなっているので、どちらの波長も検知するセンサ例えば、Si、InGaAsを用いる場合は、励起レーザLSRPMPの波長800~815nmをカットする光学フィルタ等を光検出センサ31の入射面に装着するのが望ましい。励起光検出センサ33で検出される励起レーザ反射光REFPMPの強度は、励起レーザLSRPMPの強度に比例するので、これを閾値判定することにより、半導体レーザ1の劣化状態を検出することができる。さらに、励起光検出センサ33の出力34のピーク電圧V1をエネルギ出力決定手段5aに入力して半導体レーザ1に印加する駆動電流の補正にフィードバックさせることによって、半導体レーザ1の劣化に伴う出力低下を補うことができる。本実施形態において、エネルギ出力決定手段5aで行われる出力補正方法及び半導体レーザ1の劣化状態の判定方法について説明する。半導体レーザ1の温度が一定の条件において、半導体レーザ1に所定の駆動電流D1を流したときに励起光検出センサ33で検出される励起反射光REFPMPの出力電圧VINと所定の閾値電圧VREFとを比較して劣化判定を行うことができる。例えば、予めECU6に初期状態における励起光検出センサ33の出力電圧VINのピーク値をピーク電圧初期値V0として記憶し、一定時間経過したときの励起光検出センサ33の出力電圧のピーク値V1をピーク電圧初期値V0と比較し、ピーク電圧差V1―V0が所定の閾値以下である場合には、励起光検出センサ33の出力電圧のピーク値V1が初期ピーク値V0に一致するように、半導体レーザ1に印加する駆動電流を増加するように補正後駆動信号DAMDを決定することによって、半導体レーザ1から放射される励起レーザLSRPMPを安定化させることが可能となる。さらに、ピーク電圧V1の学習を繰り返し、供給電力が所定の電源容量を超える場合、又は、ピーク電圧差V1-V0が予め設定した所定の閾値を超えたときには、半導体レーザ1の劣化と判定し、自己診断信号として劣化状態であることを記憶したり、警告灯を点灯する等により運転者に半導体レーザ1の交換を促したりすることができる。なお、半導体レーザ1の劣化判定は、通常の駆動電流よりも低い電力で行い、レーザ発振器41からパルスレーザLSRPLSが発振されない条件下で行うのが望ましく、ECU6から点火信号IGtが発信されない、エンジンの停止中や、半導体レーザ1の温度が一定の状態で実施するのが良い。図3を参照して、本発明の第3の実施形態におけるレーザ点火装置100bの概要について説明する。本実施形態におけるレーザ点火装置100bは、上述の第1の形態におけるレーザ点火装置100の特徴と第2の実施形態におけるレーザ点火装置100aの特徴との両方を備えたものである。したがって、本実施形態によれば、レーザ発振器41の温度変化に伴うパルスレーザ出力の変動と、半導体レーザ1の劣化に伴うパルスレーザ出力の変動との両方を抑制し、さらに安定した点火を実現できる。本実施形態において、レーザ出力検出手段と励起光源劣化検出手段とを兼ね備えた検出手段3bは、パルスレーザ戻り光REFPLSの進行方向を屈折させると共に、励起レーザLSRPMPの一部を屈折させて励起レーザ反射光REFPMPとして取り出す光学素子として設けられたビームスプリッタ30bと、ビームスプリッタ30bによって進行方向が屈折されたパルスレーザ戻り光REFPLSを検出する戻り光検出センサ31と、ビームスプリッタ30bによって進行方向が屈折された励起レーザ反射光REFPMPを検出する励起光検出センサ33とによって構成されている。さらに、本実施形態におけるレーザ出力決定手段5bは、ECU6から内燃機関7の運転状況に応じて発振された点火信号IGt、目標パルスPLS1と、戻り光検出センサ31の出力32PLS2と、励起光検出センサ33の出力34V1、V0とに基づいて、レーザ発振器41の温度状態、半導体レーザ1の劣化状態との両方に対して、補正後パルスPLSAMDが目標パルスPLS1に近づくように駆動回路2から半導体レーザ1に印加される駆動電流D1を補正後駆動電流DAMDに補正する。また、本実施形態によれば、第1の実施形態の効果と第2の実施形態の効果との両方が得られるだけでなく、パルスレーザ戻り光REFPLSと励起レーザ反射光REFPMPとの比較から、光ファイバ35とレーザ点火プラグ4との接続状態を検知することも可能となる。図4を参照して、本発明の第4の実施形態におけるレーザ点火装置100cに用いられるレーザ出力検出手段3cの概要について説明する。上記実施形態においては、パルスレーザ戻り光REFPLS又は、励起レーザ反射光REFPMPを分光する光学素子として、ビームスプリッタ30、30a、30bを用いた例を示したが、本実施形態においては、半導体レーザ1から放射された励起レーザLSRPMPを集光する励起光集光光学系部品40の一部をレーザ出力検出手段3cの光学素子30cに利用しつつ、半導体レーザ1と、戻り光検出センサ31c、励起光検出センサ33cと共に半導体レーザ1を封止保護するパッケージ36内に一体的に載置し、レーザ出力検出手段3cの小型化を図ったものである。本実施形態においては、複数の半導体レーザ1が直列に接続され、外部に引き出された正電源端子200及び負電源端子201に接続されている。それぞれの半導体レーザ1の励起レーザLSRPMPの放射位置には、光ファイバ10cの一方の端が配設され、光ファイバ10c内を励起レーザLSRPMPが伝送されるようになっている。光ファイバ10cの他方の端には、光学素子30cが配設されている。光学素子30cは、半導体レーザ1に対向する側入力側の表面には、いわゆるARコーティングと呼ばれる、励起レーザLSRPMPの反射を抑制し、透過効率を向上させた減反射皮膜302cが形成され、レーザ発振器41の側に対向する表面出力側の表面には、レーザパルス戻り光REFPLSを反射する戻り光反射皮膜301cが形成されている。また、光学素子30cは、光ファイバ10c内を伝送された励起レーザLSRPMPを集光する励起光集光光学系部品の一部を兼ねており、励起レーザLSRPMPが平行光となるように調整して、光ファイバ35cに入光している。さらに、光学素子30cと光ファイバ35cとの間隙から漏れる、レーザパルス戻り光REFPLSと励起レーザ反射光REFPMPとのそれぞれを、石英、BK7等からなる光ガイド部311、331を介して戻り光検出センサ31cと励起光検出センサ33cに入光させる。戻り光検出センサ31cは、外部に引き出された一対の戻り光出力端子310、311に接続されている。励起光検出センサ33cは、外部に引き出された一対の励起光出力端子330、331に接続されている。パッケージ36は、熱伝導性の高い金属ケースや樹脂部材等からなり、半導体レーザ1及びレーザ出力検出部3cを構成する、光ファイバ10c、35c、光学素子30c、戻り光検出センサ31c、励起光検出センサ33cを一体的に封止し光学部品の損傷、汚染を防止するとともに、半導体レーザの熱を外部に放出するためのヒートシンクの役割を果たす。あるいは、パッケージ36は断熱性の高い樹脂を使ってエンジンからの入熱を遮断し半導体レーザ熱を放出する冷却装置を内部に装着する。本実施形態によれば、上記実施形態と同様の効果を発揮できるのに加えて、レーザ点火装置100cのさらなる小型化を図ることが可能となる。図5を参照して本発明の第5の実施形態におけるレーザ点火装置100dの概要について説明する。本実施形態においては、第4の実施形態と同様に、半導体レーザ1及びレーザ出力検出部3cを一体的にパッケージ36d内に封止すると共に、レーザ点火プラグ4dの頭部に載置し、コネクタ部37を形成して、コネクタ部37内に、一対の電源端子200、201、戻り光出力端子310、311、励起光出力端子330、331を配設し、駆動回路2及び出力エネルギ決定手段5とは、コネクタ部37に嵌合する図略のコネクタ部を備えたワイヤハーネスを介して接続可能としてある。さらに、燃焼室73から半導体レーザ1側への入熱を防止すると共に、半導体レーザ1で発生する熱を排出する冷却機構として、パッケージ36dを熱伝導率の高い金属材料によって形成し、その内側に配設された半導体レーザ1に接触させてヒートシンクとして利用したり、ヒートシンクに接していない半導体レーザ1の周囲を断熱性の樹脂で覆って、燃焼室73から放出される熱を遮断するようにするのが望ましい。加えて、シリンダヘッド70を冷却するエンジン冷却装置と、ヒートシンクとして設けられたパッケージ36dとを熱的に結合することにより、ヒートシンクの冷却効果を高めることができ、レーザ発振器41の温度環境の変化を少なくし、発振されるパルスレーザLSRPLSの発振パルスの変動幅を抑制することができる。また、励起レーザLSRPMPの波長を-30~130°Cの範囲において、例えば、808±3nmに制限する狭帯域化素子VolumeBraggGratingsVBG等の波長ロック機構を半導体レーザ1に組み込んだ構成としても良い。このような構成とすることによって、導体レーザ1及びレーザ点火プラグ4とが一体となり、駆動回路2と半導体レーザ1とは容易に分離可能となるので、プラグの着脱が容易となる上に、プラグ交換時の誤作動や、レーザ光の漏れにより、運転者等の安全を脅かす虞がない。図6を参照して、本発明のレーザ点火装置100の制御方法の他の例について説明する。上記実施形態においては、レーザ発振器41の温度が上昇し、発振周期が長くなったときに、駆動電流の印加時間を延ばして、補正後駆動電流DAMDとしたが、本実施形態においては、同様の場合に、駆動電流を大きくして、補正後駆動電流DAMDとした点が相違する。駆動電流を大きくすることにより、レーザ発振器41の温度が高くなっていても、Qスイッチの作動時間を短縮させることができ、補正後パルス数PLSAMDを目標パルス数PLS1と一致させることができる。図7を参照して、本発明のレーザ点火装置100の制御方法の一例について説明する。ECU7から点火信号IGtが発信されると、レーザ特性判定領域において、目標パルス数PLS1と、レーザパルス戻り光REFPLSの検出によって得られた出力パルスPLS2とが比較され、目標パルス数PLS1に一致するよう駆動電流が補正される。本実施形態においては、レーザ発振器41の温度上昇により、発振周期が長くなり、実際に発振されたパルスレーザLSRPLSのパルス数PLS2が、目標パルス数PLS1より少なくなった場合に、半導体レーザ1に印加する駆動電流を変更することなく、印加時間を長くすることによって、フィードバック反映領域において、補正後パルス数PLSAMDを目標パルス数PLS1と一致させることができる。さらに、レーザ発振器劣化検出手段として、戻り光検出センサ31の出力に基づいて検知された実際の出力パルス数PLS2が、ECU7から発信された一の点火信号IGtに対してレーザ発振器41から発振すべきパルスレーザLSRPLSの目標パルス数PLS1よりも少ないときに、駆動電流の印加時間を長くし、又は、駆動電流を大きくした補正後駆動電流DAMDで駆動してもなお、再度検出した出力パル数PLS2が目標パルス数PLS1よりも少ないときには、レーザ発振器41の劣化と判定することもできる。