"圧電体を形成するための前駆体溶液であって、前記前駆体溶液に含まれる金属に配位した配位子のうち、90以上が同じ種類の配位子である、前駆体溶液。請求項1において、前記同じ種類の配位子は、酢酸基、ブトキシエトキシ基、2-エチルヘキシル基、ジエタノールアミノ基、メトキシエトキシ基、アセチルアセトナート基のいずれか1種である、前駆体溶液。請求項1または2において、溶媒に対して10質量以上の水をさらに含む、前駆体溶液。請求項1から3のいずれか1項において、前記前駆体溶液は、ポリエチレングリコールをさらに含む、前駆体溶液。請求項1ないし4のいずれか1項に記載の前駆体溶液を塗布する工程と、塗布された前記前駆体溶液を脱脂する工程と、脱脂された前記前駆体溶液を焼成する工程と、を含む、圧電素子の製造方法。請求項5に記載の圧電素子の製造方法を含む、液体噴射ヘッドの製造方法。請求項6に記載の液体噴射ヘッドの製造方法を含む、液体噴射装置の製造方法。しかしながら、前駆体溶液を用いた薄膜の圧電体層の製造工程においては、乾燥脱脂焼成などの熱処理プロセスにおける有機成分の脱離温度が、圧電体層の圧電特性の面内均一性などに影響する。薄膜の圧電体層の製造工程の乾燥脱脂焼成プロセスでは、基板上に塗布された前駆体溶液において、溶媒の蒸発、配位子の分解などの熱分解反応が生じる。しかしながら、このような熱分解反応が生じる温度は限定的ではなく、一定の温度範囲を有する。したがって、基板面内における実際の反応温度において個体差が生じる結果、得られる圧電体層の圧電特性にバラつきが生じる。また、前駆体溶液が、溶質配位子として複数の有機化合物を含有する場合、熱分解反応が生じる温度の範囲がより大きくなり、製品の圧電特性の安定性に大きく影響してしまう。また、特に基板サイズが大きくなるほどこの影響は顕著となる。本発明はこのような事情に鑑み、液相法で圧電体層を製造した場合に得られる圧電体層の圧電特性の面内均一性を向上させることができる前駆体溶液、前記前駆体溶液を用いた圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、および液体噴射装置の製造方法を提供することを目的とする。本発明に係る前駆体溶液は、圧電体を形成するための前駆体溶液であって、前記前駆体溶液に含まれる金属に配位した配位子のうち、90以上が同じ種類の配位子である。これによれば、圧電体層の製造工程の熱処理プロセスにおいて、前駆体溶液に係る熱分解反応が発生する温度範囲を小さくし、より限定的とすることができる。したがって、製造工程の熱処理プロセスの温度マージンを広域化するこができるため、液相法により得られる圧電体層の圧電特性の面内均一性を向上させる前駆体溶液を提供することができる。本発明に係る前駆体溶液において、前記同じ種類の配位子は、酢酸基、ブトキシエトキシ基、2-エチルヘキシル基、ジエタノールアミノ基、メトキシエトキシ基、アセチルアセトナート基のいずれか1種であってもよい。本発明に係る前駆体溶液において、溶媒に対して10質量以上の水をさらに含んでいてもよい。これによれば、溶質の溶解性が向上するため、溶液中に沈殿物がより生じにくい前駆体溶液を提供することができる。本発明に係る前駆体溶液において、ポリエチレングリコールをさらに含んでいてもよい。これによれば、焼成後に得られる圧電体層の膜質を向上させることができる前駆体溶液を提供することができる。本発明に係る圧電素子の製造方法は、本発明に係る前駆体溶液を塗布する工程と、塗布された前記前駆体溶液を脱脂する工程と、脱脂された前記前駆体溶液を焼成する工程と、を含む。これによれば、圧電特性の面内均一性が向上した圧電体層を備えることにより、信頼性が向上した圧電素子を得ることができる。本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、本発明に係る圧電素子の製造方法を含む。このような液体噴射ヘッドの製造方法によれば、信頼性の高い液体噴射ヘッドを得ることができる。本発明に係る液体噴射装置の製造方法は、本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法を含む。このような液体噴射装置の製造方法によれば、信頼性の高い液体噴射装置を得ることができる。以下に、本発明を適用した実施形態の一例について図面を参照して説明する。ただし、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。本発明は、以下の実施形態およびその変形例を自由に組み合わせたものを含むものとする。1.前駆体溶液まず、本実施形態に係る前駆体溶液について説明する。本実施形態に係る前駆体溶液は、複合酸化物を液相法によって製造するための前駆体溶液ゾル液である。製造される複合酸化物としては、チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,TiO3:PZT、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,Ti,NbO3:PZTNなどのペロブスカイト型の複合酸化物が挙げられる。本実施形態に係る前駆体溶液によって製造される複合酸化物は、圧電特性を有する圧電体層であることができる。本実施形態に係る前駆体溶液によって形成される複合酸化物は、圧電特性を有する限り特に限定されず、上記のような鉛を含む鉛系複合酸化物、又は鉄酸ビスマスBiFeO3:BFOなどの鉛を含まない非鉛系複合酸化物であってもよい。本実施形態に係る前駆体溶液は、所望の複合酸化物を構成する金属の有機金属化合物と、溶媒とを混合攪拌加熱調整して得られる前駆体溶液であって、本実施形態に係る前駆体溶液において、溶液に含まれる金属に配位した配位子金属錯体の配位子のうち、90以上が同じ種類の配位子である。したがって、本実施形態に係る前駆体溶液は金属錯体配位化合物を含む。金属錯体は、溶液の調整時の配位子交換により形成される。前駆体溶液に含まれる金属錯体は、形成される複合酸化物に含有される金属を有し、例えばPZT複合酸化物を形成する場合には、チタン、ジルコニウム、および鉛を含有する錯体である。その詳細は後述される。本実施形態に係る前駆体溶液の調整に用いられる溶媒は、例えば、カルボン酸や、有機溶媒を用いることができる。カルボン酸としては、特に限定されないが、酢酸、プロピオン酸、オクチル酸カプリル酸などが挙げられる。有機溶媒としては、特に限定されないが、アルコール類、エーテル類、エステル類、グリコール誘導体、ケトン類、芳香族炭化水素、脂肪族炭化水素などが挙げられる。有機溶媒の具体的例としては、イソプロピルアルコール、n-プロピルアルコール、iso-ブチルアルコール、sec-ブチルアルコール、tert-ブチルアルコール、iso-ペンチルアルコール、n-ブチルアルコール、ジイソプロピルエーテル、ジ-n-ブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジ-n-ブチルエーテル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸n-ブチル、プロピオン酸エチル、n-酪酸エチル、エチレングリコールジアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルメチルセロソルブ、エチレングリコールモノエチルエーテルセロソルブ、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートセロソルブアセテート、エチレングリコールーモノーノルマル-ブチルエーテルブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチルケトンアセトン、ジエチルケトン、ジn-プロピルケトン、ジiso-プロピルケトン、メチルエチルケトン、メチルn-プロピルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルn-ブチルケトン、メチルiso-ブチルケトン、メチルtert-ブチルケトン、メチルiso-ペンチルケトン、エチルn-プロピルケトン、エチルiso-プロピルケトン、エチルn-ブチルケトン、キシレン、トルエン、n-オクタンなどの一般的な有機溶媒などが挙げられる。本実施形態に係る前駆体溶液の調整に用いられる有機金属化合物は、作製する目的の複合酸化物に含まれる金属に対応して適宜決定される。例えば、本実施形態に係る前駆体溶液が、金属としてチタン、ジルコニウム、および鉛を含むPZT複合酸化物をゾルゲル法によって製造するための前駆体溶液である場合、調整に添加される有機金属化合物は、チタン化合物、ジルコニウム化合物、および鉛化合物となる。例えば、作製する目的の複合酸化物が、PZT複合酸化物であった場合、調整に添加される有機金属化合物の具体的な例として以下のものが挙げられる。チタン化合物としては、例えば、公知のアルコキシドを用いることができる。チタニウムアルコキシドとしては、配位子として炭素数が3~8のアルコキシ基を有するものであればよく、例えば、チタニウムテトラ-n-プロポキシド、チタニウムテトライソプロポキシド、チタニウムテトラ-n-ブトキシド、チタニウムテトラ-iso-ブトキシド、チタニウムテトラ-sec-ブトキシド、チタニウムテトラ-tert-ブトキシド、チタニウムテトラ-n-ペントキシド、チタニウムテトラ-sec-ペントキシド、チタニウムテトラ-tert-ペントキシド、チタニウムテトラ-n-ヘキソキシド、チタニウムテトラ-sec-ヘキソキシド、チタニウムテトラ-n-ヘプトキシド、チタニウムテトラ-sec-ヘプトキシド、チタニウムテトラ-n-オクトキシドおよびチタニウムテトラキス2-エチルヘキシルオキシドなどが挙げられ、単体あるいは混合体として用いることが可能である。ジルコニウム化合物としては、例えば、公知のアルコキシドを用いることができる。ジルコニウムアルコキシドとしては、配位子として炭素数が3~8のアルコキシ基を有するものであればよく、例えば、ジルコニウムテトラ-n-プロポキシド、ジルコニウムテトライソプロポキシド、ジルコニウムテトラ-n-ブトキシド、ジルコニウムテトラ-iso-ブトキシド、ジルコニウムテトラ-sec-ブトキシド、ジルコニウムテトラ-tert-ブトキシド、ジルコニウムテトラ-n-ペントキシド、ジルコニウムテトラ-sec-ペントキシド、ジルコニウムテトラ-tert-ペントキシド、ジルコニウムテトラ-n-ヘキソキシド、ジルコニウムテトラ-sec-ヘキソキシド、ジルコニウムテトラ-n-ヘプトキシド、ジルコニウムテトラ-sec-ヘプトキシド、ジルコニウムテトラ-n-オクトキシドおよびテトラキス2-エチルヘキシルオキシオルトジルコネートなどが挙げられ、単体あるいは混合体として用いることが可能である。また、これらのジルコニウムアルコキシドがブタノールなどのアルコールに溶解したものを、添加してもよい。鉛化合物としては、例えば、酢酸鉛II三水和物、酢酸鉛IV三水和物、硝酸鉛を用いることができ、取り扱いの容易性から酢酸鉛II三水和物を用いることが好ましい。なお、調整に用いられる有機金属化合物例えば、PZT複合酸化物の場合、チタン化合物、ジルコニウム化合物、および鉛化合物の混合モル比調整の混合比は、得られる圧電体層の圧電特性を考慮して適宜決定される事項である。例えば、PZT複合酸化物の場合、Pb:Zr:Ti=1.05~1.25:0.46~0.56:0.44~0.54モル比となるように調整することが好ましい。上述のように、本実施形態に係る前駆体溶液に含まれる金属に配位した配位子のうち、90以上が同じ種類の配位子である。言い換えれば、本実施形態に係る前駆体溶液中に含まれる金属錯体に配位した配位子のうち、主要な配位子最も存在する割合が多い配位子の割合は90以上である。これによれば、含まれる金属配位子の種類の単一性が高まるため、複合酸化物の製造工程における熱処理工程乾燥脱脂などにおいて、前駆体溶液に係る熱分解反応が発生する温度領域が小さくなる。したがって、本実施形態に係る前駆体溶液を用いた場合、圧電体層の製造工程の熱処理プロセスにおいて、温度マージンを広域化することができる。なお、本実施形態に係る前駆体溶液の主要な配位子の種類は特に限定されず、用いられる溶媒や有機化合物の種類、調整割合によって適宜決定される事項である。主要な配位子としては、例えば、酢酸基、ブトキシエトキシ基、2-エチルヘキシル基、ジエタノールアミノ基、メトキシエトキシ基、アセチルアセトナート基などが挙げられる。また、酢酸基などの側鎖がより短い配位子を選択することで、圧電体層の製造工程の熱処理プロセスを低温化することができる。また、本実施形態に係る前駆体溶液は、上述された溶媒に対して10質量以上の水をさらに含んでいてもよい。一般的に、チタン化合物やジルコニウム化合物を添加することによって沈殿物例えばオキシ酢酸ジルコニウムが生成することがあるが、これにより、沈殿物の生成を抑制することができる。すなわち、水が添加されることにより前駆体溶液の溶解性が向上し、沈殿物の生成を抑制することができる。また、本実施形態に係る前駆体溶液は、高分子化合物をさらに含んでいてもよい。高分子化合物は、ポリエチレングリコールであってもよい。これにより、溶液の粘度を調整することができ、得られる圧電体膜の膜質を向上させることができる。本実施形態に係る前駆体溶液の調整方法製造方法は、溶液に含まれる金属に配位した配位子金属錯体の配位子のうち、90以上が同じ種類の配位子とすることができる限り、特に限定されない。以下では、一例として、PZT複合酸化物をゾルゲル法によって製造するための、前駆体溶液の製造方法について説明する。本実施形態に係る前駆体溶液の製造方法においては、溶媒を準備し、該溶媒に金属原料となる有機化合物を添加する。例えば、PZT複合酸化物の前駆体溶液を調整する場合、金属原料となる有機化合物を溶媒に添加する工程は、チタン化合物を添加する工程と、ジルコニウム化合物を添加する工程と、鉛化合物を添加する工程と、を有する。金属原料を添加する工程の順序は特に限定されないが、例えば、溶媒にチタン化合物とジルコニウム化合物を添加し、室温攪拌し、鉛化合物を添加し、加熱攪拌を行ってもよい。加熱攪拌は、例えば、30°C以上120°C以下のオイルバスで30分以上の加熱攪拌を行うことができる。加熱攪拌を行う時間の上限は特に限定されないが、例えば、300以下としてもよい。これにより、溶媒および金属原料チタン化合物、ジルコニウム化合物、鉛化合物において配位子交換が起こり、金属錯体を含む前駆体溶液を得ることができる。なお、加熱攪拌を行った後に、室温攪拌を行ってもよい。なお、加熱攪拌を行わず、室温攪拌のみを行ってもよい。また、溶媒に対して10質量以上の水を添加する場合、どの段階で行ってもよいが、チタン化合物を添加する工程、およびジルコニウム化合物を添加する工程の後であって、鉛化合物を添加する工程の前であることが好ましい。これにより、沈殿物の生成をより確実に抑制することができる。すなわち、一般的に、チタン化合物やジルコニウム化合物を添加することによって沈殿物例えばオキシ酢酸ジルコニウムが生成することがあるが、本実施形態に係る前駆体溶液の製造方法では、水を添加することにより溶解性を向上させ、沈殿物の生成を抑制することができる。なお、水を添加する工程は、1回に限定されず、総添加量が溶媒に対して10質量以上となるように複数回行ってもよい。また、水を添加した後、ポリエチレングリコールなどの高分子化合物を添加してもよい。これにより、溶液の粘度を調整することができ、得られる圧電体膜の膜質を向上させることができる。なお、高分子化合物を添加する工程は、1回に限定されず、複数回行ってもよい。以上より、本実施形態に係る前駆体溶液を構成することができる。本実施形態に係る前駆体溶液によれば、前駆体溶液に含まれる金属錯体に配位した配位子のうち、90以上が同じ種類の配位子である。一般的に、前駆体溶液に含まれる金属配位子の種類によって、熱分解反応により脱離する温度範囲が異なる。したがって、本実施形態に係る前駆体溶液のように、配位子の単一性が高い場合、複合酸化物の製造工程における熱処理工程乾燥脱脂などにおいて、前駆体溶液に係る熱分解反応が引き起こされる温度領域が小さくなる。言い換えれば、熱処理工程乾燥脱脂などにおいて熱分解反応を確実に行うことができる温度範囲が小さく、かつ限定的となるため、熱処理の温度マージンを広域化することができる。そのため、基板上に塗布された前駆体溶液において、より限定的な温度範囲でもって溶媒の蒸発、配位子の分解などの熱分解反応をより確実に行うことができる。これによって面内における各領域の熱反応温度の固体差が是正されることで、得られる圧電体層の圧電特性の面内均一性を向上させることができる。また、前駆体溶液が、溶質配位子として複数の有機化合物を含有する場合、熱分解反応が生じる温度の幅が大きくなり、製品の品質安定性に大きく影響してしまう。しかしながら、本実施形態に係る前駆体溶液は、複合酸化物がより多くの金属を含むことに起因した圧電特性の面内における不均一化を低減することができ、圧電素子の信頼性の向上に寄与することができる。また、基板サイズがより大面積化することに起因した圧電特性の面内における不均一化も低減することができるため、圧電素子の商業的生産性を向上させ、製造コスト低減することができる。2.実験例以下に実験例を示し、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実験例によって何ら限定されるものではない。2.1前駆体溶液の作製[実施例1]酢酸を溶媒として準備し、これにチタニウムテトライソプロポキシドTi原料を添加した後、ジルコニウムテトラ-n-ブトキシドのn-ブタノール溶液Zr原料を添加して室温にて30~60分の室温攪拌を行った。次に、純水溶媒比25質量を添加して室温攪拌をおこなった。次に、ポリエチレングリコールを添加して攪拌し、これに酢酸鉛II三水和物Pb原料を添加して、50~90°Cにて60~90分の加熱撹拌を行った。以上により、PZT前駆体溶液を作製した。[実施例2]酢酸を溶媒として準備し、これにチタニウムテトライソプロポキシドTi原料を添加した後、ジルコニウムテトライソプロポキシドZr原料を添加して30~60分の室温攪拌をおこなった。次に、純水溶媒比25を添加して室温攪拌を行った。次に、酢酸鉛IIPb原料と、添加した酢酸鉛IIの3倍のモル比の純粋を添加し、30~60分の室温攪拌を行った。以上により、PZT前駆体溶液を作製した。[実施例3]2-n-ブトキシエタノールを溶媒として準備し、チタニウムテトライソプロポキシドTi原料を添加した後、ジルコニウムテトライソプロポキシドZr原料を添加して50~90°Cにて2~5時間の加熱攪拌をおこなった。次に、加熱温度を保持したまま減圧留去し、イソプロパノールの除去をおこなった。次に、2-n-ブトキシエトキシ鉛IIPb原料を添加し、2~5時間の室温攪拌を行った。これに2-n-ブトキシエタノールを加えて濃度調整を行った。以上により、PZT前駆体溶液を作製した。実施例42-n-ブトキシエタノールを溶媒として準備し、チタニウムテトライソプロポキシドTi原料を添加した後、ジルコニウムテトライソプロポキシドZr原料を添加して続いて、2-n-ブトキシエトキシ鉛IIPb原料を添加し、50~90°Cにて30分~2時間の攪拌を行った。これに2-n-ブトキシエタノールを加えて濃度調整を行った。以上により、PZT前駆体溶液を作製した。[実施例5]2エチルヘキサン酸およびn-オクタンを溶媒として準備し、これにチタニウムテトライソプロポキシドを添加した後、酢酸鉄、酢酸バリウム、および酢酸マンガンを添加して室温にて30~60分の室温攪拌を行った。これに酢酸ビスマスを添加して、50~90°Cにて60~90分の加熱撹拌を行った。以上により、BiFeMn-BaTi前駆体溶液以下、BFM-BT前駆体溶液と言うを作製した。[比較例]2-n-ブトキシエタノールとジエタノールアミンを溶媒として準備し、これにチタニウムテトライソプロポキシドTi原料を添加して60~90分の室温攪拌を行った。次に、酢酸鉛II三水和物Pb原料とジルコニウムアセチルアセトナートZr原料を添加し、50~90°Cにて2~5時間の加熱攪拌を行った。次に、ポリエチレングリコールを加え、60~90分の室温攪拌を行った。以上により、PZT前駆体溶液を作製した。2.2前駆体溶液中の主要な配位子の割合実施例1~実施例5、および比較例の前駆体溶液について、溶液中に含まれる各種金属配位子の割合より具体的には、全体の配位子数に対する主要な配位子数の割合を次の方法により算出した。エドワーズ社製RV3Fのロータリーポンプ到達真空度0.2Paを用いて実施例1~実施例5、および比較例の前駆体溶液中の溶媒を可能な限り減圧留去した。これを、DMSO-d6中に溶解させ、バリアン社製のFT-NMR装置500NBにて1H-NMR測定を実施し、そのピーク積分比から、溶液中に含まれる各種金属配位子の割合を算出した。ピーク積分比の算出には、SpecManagerACDInc社製を用いて行った。ここで、溶媒と金属配位子の区別は、ピークのケミカルシフトおよびOH基に由来するピーク積分比を利用した。図1~図6は、実施例1~実施例5、および比較例に係る1H-NMRスペクトル測定結果である。図1は、実施例1に係る前駆体溶液の1H-NMRスペクトルを示している。図1に示すように、酢酸基、ブトキシ基、イソプロポキシ基を検出し、ピーク積分比より算出した各金属配位子のモル比は、酢酸基:ブトキシ基:イソプロポキシ基=916:15:1であった。したがって、実施例1に係る前駆体溶液に含まれる金属配位子のうち98が酢酸基であることが確認された。図2は、実施例2に係る前駆体溶液の1H-NMRスペクトルを示している。図2に示すように、酢酸基、イソプロポキシ基を検出し、ピーク積分比より算出した各金属配位子のモル比は、酢酸基:イソプロポキシ基=39:1であった。したがって、実施例2に係る前駆体溶液に含まれる主要な金属配位子である酢酸基の割合は98であることが確認された。図3は、実施例3に係る前駆体溶液の1H-NMRスペクトルを示している。図3に示すように、ブトキシエトキシ基のみを検出した。したがって、実施例3に係る前駆体溶液に含まれる主要な金属配位子であるブトキシエトキシ基の割合は97であることが確認された。図4は、実施例4に係る前駆体溶液の1H-NMRスペクトルを示している。図4に示すように、ブトキシエトキシ基とイソプロポキシ基を検出し、ピーク積分費より算出した各金属配位子のモル比は、ブトキシエトキシ基:イソプロポキシ基=10:1であった。したがって、実施例3-2に係る前駆体溶液に含まれる主要な金属配位子であるブトキシエトキシ基の割合は91であることが確認された。図5は、実施例5に係る前駆体溶液の1H-NMRスペクトルを示している。図5に示すように、2-エチルヘキシル基のみを検出した。したがって、実施例5に係る前駆体溶液に含まれる主要な金属配位子である2-エチルヘキシル基の割合は100であることが確認された。図6は、比較例に係る前駆体溶液の1H-NMRスペクトルを示している。図6に示すように、ブトキシエトキシ基、イソプロポキシ基、ジエタノールアミノ基、アセチルアセトナート基を検出し、ピーク積分比より算出した各金属配位子のモル比は、ブトキシエトキシ基:イソプロポキシ基:ジエタノールアミノ基:アセチルアセトナート基=100:20:49:18であった。したがって、比較例に係る前駆体溶液に含まれる主要な金属配位子であるブトキシエトキシ基の割合は、53であることが確認された。2.3脱離した配位子の数実施例1~実施例5、および比較例の前駆体溶液について、室温から750°Cまでの脱離ガス成分分析をおこなった。実施例1~5、比較例の主要な金属配位子とその割合、および200°C以上で脱離した金属配位子の種類の数の評価結果を表1示した。表1に示すように、主要な金属配位子の割合が90以上を占める実施例1~5では、200°C以上で脱離する金属配位子は1種類のみであった。これに対し、主要な金属配位子の割合が53である比較例では、200°C以上で脱離する金属配位子は3種類存在した。すなわち、実施例1~5では、含まれる金属配位子の種類の単一性が高いため、脱脂温度域200~400°Cにおいて、主要な配位子のみ蒸発分解を起こすことが確認された。これに対し比較例では、含まれる金属配位子の種類の単一性が低いため、脱脂温度域200~400°Cにおいて、複数の種類の配位子が蒸発分解を起こすことが確認された。2.4圧電特性結晶性圧電変位の面内均一性実施例1に係る前駆体溶液と比較例に係る前駆体溶液を用いて圧電特性結晶性圧電変位の面内均一性を測定した。まず、実施例1および比較例に係る前駆体溶液のそれぞれを、Pt下部電極膜厚約170nm付きの基板に塗布し、100~200°C主溶媒の沸点以上の温度に加熱して3~30分保持した乾燥工程。その後、250~420°Cに加熱して3~30分保持した脱脂工程。脱脂されたそれぞれの膜を、550~800°Cに加熱して5~30分保持することで結晶化させた焼成工程。この乾燥脱脂焼成工程を数回繰り返し、計12層のPZT薄膜を形成した。PZT薄膜の膜厚は約10μmであった。ここで、焼成して得られたPZT薄膜についてパナリティカル製のXRD装置X‘PertProMPDを用い、XRD測定をおこなった。回折パターンから100面に由来するピーク半価幅を求めた。ここで、実施例1に係る前駆体溶液では、脱脂温度を300°C、350°C、370°C、400°C、および420°Cに設定し、それぞれピーク半価幅を測定した。また、比較例に係る前駆体溶液では、脱脂温度を250°C、280°C、340°C、および400°Cに設定し、それぞれピーク半価幅結晶性を測定した。次に、得られたPZT薄膜の上にIr上部電極膜厚約100nmをスパッタリングで積層し、圧電素子を得た。圧電素子のウエハ面内の圧電変位をアグザクト社製のダブルビームレーザー干渉計を用いて算出した。圧電変位は、1kHz、±25V、三角波、300pulseの条件で測定した。圧電素子のウエハ面内における圧電変位は、各サンプルにおいてWf面内を等間隔に40点測定した。図7は、実施例1および比較例に係る前駆体溶液を用いて上記の複数の脱脂温度にて作製したPZT薄膜のぞれぞれのピーク半価幅の測定結果をプロットした図である。図7に示されるように、実施例1におけるピーク半価幅の脱脂温度に対する変化幅傾きは、比較例におけるピーク半価幅の脱脂温度に対する変化幅よりも小さい。すなわち、脱脂温度の変動した場合でも、実施例1に係る前駆体溶液を用いることで、圧電体層の結晶性がより安定することが確認された。また、圧電変位の測定の結果、平均値に対する変位の変動幅が±2以内であった圧電素子の割合は、比較例に係る前駆体溶液を用いた圧電素子では76であったのに対し、実施例1に係る前駆体溶液を用いた圧電素子では82であった。すなわち、脱脂温度の変動した場合でも、実施例1に係る前駆体溶液を用いることで、圧電体層の変位特性がより安定することが確認された。3.圧電素子次に、本実施形態に係る圧電素子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態に係る圧電素子の製造方法を適用した圧電素子100の一例を模式的に示す断面図である。まず、圧電素子100を説明した後に、本実施形態に係る圧電素子の製造方法を説明する。圧電素子100は、図8に示すように、第1電極10と、圧電体層20と、第2電極30と、を含むことができる。圧電素子100は、例えば、基板1上に形成されている。基板1は、例えば、半導体、絶縁体で形成された平板である。基板1は、単層であっても、複数の層が積層された構造であってもよい。基板1は、上面が平面的な形状であれば内部の構造は限定されず、例えば、内部に空間等が形成された構造であってもよい。基板1は、可撓性を有し、圧電体層20の動作によって変形屈曲することのできる振動板を含んでいてもよい。振動板の材質としては、例えば、酸化シリコン、酸化ジルコニウム、これらの積層体が挙げられる。第1電極10は、基板1上に形成されている。第1電極10の形状は、例えば、層状または薄膜状である。第1電極10の厚みは、例えば、50nm以上300nm以下である。第1電極10の平面形状は、第2電極30が対向して配置されたときに両者の間に圧電体層20を配置できる形状であれば、特に限定されない。第1電極10の材質としては、例えば、ニッケル、イリジウム、白金などの各種の金属、それらの導電性酸化物例えば酸化イリジウムなど、ストロンチウムとルテニウムとの複合酸化物SrRuOx:SRO、ランタンとニッケルとの複合酸化物LaNiOx:LNOが挙げられる。第1電極層10は、上記に例示した材料の単層構造でもよいし、複数の材料を積層した構造であってもよい。第1電極10は、第2電極30と一対になって、圧電体層20に電圧を印加するための一方の電極例えば、圧電体層20の下方に形成された下部電極となることができる。なお、基板1が振動板を有さず、第1電極10が振動板としての機能を有していてもよい。すなわち、第1電極10は、圧電体層20に電圧を印加するための一方の電極としての機能と、圧電体層20の動作によって変形することのできる振動板としての機能と、を有していてもよい。また、図示はしないが、第1電極10と基板1との間には、例えば、両者の密着性を付与する層や、強度や導電性を付与する層が形成されてもよい。このような層の例としては、例えば、チタン、ニッケル、イリジウム、白金などの各種の金属、それらの酸化物の層が挙げられる。圧電体層20は、第1電極10上に形成されている。圧電体層20の厚みは、例えば、300nm以上3000nm以下である。圧電体層20の結晶構造は、モノクリニック構造であってもよい。圧電体層20は、100に優先配向していてもよい。圧電体層20は、本発明に係る前駆体溶液を用いて形成されることができる。圧電体層20の材質としては、例えば、PZT、PZTNが挙げられる。圧電体層20は、圧電性を有することができ、第1電極10および第2電極30によって電圧が印加されることで変形することができる。第2電極30は、圧電体層20上に形成されている。第2電極30は、圧電体層20を介して、第1電極10と対向して配置されている。第2電極30の形状は、例えば、層状または薄膜状の形状である。第2電極30の厚みは、例えば、50nm以上300nm以下である。第2電極30の平面形状は、第1電極10に対向して配置されたときに両者の間に圧電体層20を配置できる形状であれば、特に限定されない。第2電極30の材質としては、例えば、第1電極10の材質として上記に列挙したものを適用することができる。第2電極30の機能の一つとしては、第1電極10と一対になって、圧電体層20に電圧を印加するための他方の電極例えば、圧電体層20の上方に形成された上部電極となることが挙げられる。次に、本実施形態に係る圧電素子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図9は、本実施形態に係る圧電素子の製造工程を模式的に示す断面図である。本実施形態に係る圧電素子の製造方法は、本実施形態に係る前駆体溶液を塗布する工程と、塗布された前記前駆体溶液を脱脂する工程と、脱脂された前記前駆体溶液を焼成する工程と、を含む。図9に示すように、基板1上に、第1電極10を形成する。第1電極10は、例えば、スパッタ法、めっき法、真空蒸着法などにより導電層を成膜し、該導電層をパターニングすることによって形成される。次に、第1電極10上に、前駆体層22を成膜する。前駆体相22は、本発明に係る前駆体溶液を用いて、液相法により形成される。より具体的には、本発明に係る前駆体溶液を、例えばスピンコート法により、第1電極10が形成された基板1上に塗布して、前駆体層22を形成する塗布工程。スピンコートの塗布条件回転数や時間等は、本発明に係る前駆体溶液の粘度や、前駆体層22の膜厚などによって、適宜決定される。次に、前駆体層22を加熱して乾燥させる乾燥工程。乾燥温度としては、前駆体層22の溶媒前駆体溶液の溶媒が蒸発するように設定することが好ましく、例えば、140°C以上180°C以下で、5分以上30分以下の保持時間で行われる。次に、乾燥された前駆体層22を加熱して脱脂する脱脂工程。これにより、前駆体層22に含まれる有機成分前駆体溶液に含まれる有機成分を、例えば、CO2、H2O、アルコール、炭化水素等として離脱させることができる。脱脂温度としては、例えば、350°C以上500°C以下で、5分以上30分以下の保持時間で行われる。以上の、塗布工程、乾燥工程、および脱脂工程を複数回繰り返すことにより、所望の膜厚を有する前駆体層22を得ることができる。図8に示すように、脱脂した前駆体層22を、焼成によって結晶化して、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体層20を形成する焼成工程。焼成工程は、例えば、RTARapidThermalAnnealingにより、酸素雰囲気中で、650°C以上800°C以下の熱処理によって行われる。次に、圧電体層20上に、第2電極30を形成する。第2電極30は、例えば、スパッタ法、めっき法、真空蒸着法などにより導電層を成膜し、該導電層をパターニングすることによって形成される。第2電極30を形成するためのパターニングにおいて、圧電体層20も一括にパターニングしてもよい。以上の工程により、本実施形態に係る圧電素子100を製造することができる。圧電素子100の製造方法によれば、本実施形態に係る前駆体溶液を用いて、圧電体層20を形成することができる。本実施形態に係る前駆体溶液を用いて製造された圧電体層20は、上述のように、圧電特性の面内均一性が向上しており、高い信頼性を有することができる。そのため、本実施形態に係る圧電素子の製造方法によれば、信頼性の高い圧電素子100を得ることができる。なお、圧電素子100は、例えば、圧力発生室内の液体を加圧する圧電アクチュエーターとして、液体噴射ヘッドや、該液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置インクジェットプリンターなどに適用されてもよいし、圧電体層の変形を電気信号として検出する圧電センサー等その他の用途として用いてもよい。4.液体噴射ヘッド次に、本実施形態にかかる液体噴射ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。図10は、液体噴射ヘッド600の要部を模式的に示す断面図である。図11は、液体噴射ヘッド600の分解斜視図である。なお、図11では、図10と上下逆さまの状態を図示している。液体噴射ヘッド600は、本発明に係る圧電素子を有する。以下では、本発明に係る圧電素子として、圧電素子100を用いた例について説明する。液体噴射ヘッド600は、図10および図11に示すように、例えば、ノズル板610と、流路形成基板620と、振動板630と、圧電素子100と、筐体640と、を含む。なお、図11では、圧電素子100を簡略化して図示している。ノズル板610は、ノズル孔612を有することができる。ノズル孔612からは、液体インクが吐出される。ノズル板610には、例えば、複数のノズル孔612が設けられている。図11に示す例では、複数のノズル孔612は、一列に並んで形成されている。ノズル板610の材質としては、例えば、シリコン、ステンレス鋼SUSが挙げられる。流路形成基板620は、ノズル板610上図11の例では下に設けられている。流路形成基板620の材質としては、例えば、シリコンが挙げられる。流路形成基板620がノズル板610と振動板630との間の空間を区画することにより、リザーバー液体貯留部624と、リザーバー624と連通する供給口626と、供給口626と連通する圧力発生室622と、が設けられている。図11に示す例では、リザーバー624と、供給口626と、圧力発生室622と、が区別されているが、これらはいずれも液体の流路例えば、マニホールドということもできるであって、このような流路はどのように設計されても構わない。例えば、供給口626は、図示の例では流路の一部が狭窄された形状を有しているが、設計にしたがって任意に形成することができ、必ずしも必須の構成ではない。リザーバー624は、外部例えばインクカートリッジから、振動板630に設けられた貫通孔628を通じて供給されるインクを一時貯留することができる。リザーバー624内のインクは、供給口626を介して、圧力発生室622に供給されることができる。圧力発生室622は、例えば、複数のノズル孔612に対応して、複数設けられている。圧力発生室622は、振動板630の変形により容積が変化する。圧力発生室622はノズル孔612と連通しており、圧力発生室622の容積が変化することによって、ノズル孔612からインク等が吐出される。なお、リザーバー624および供給口626は、圧力発生室622と連通していれば、流路形成基板620とは別の部材図示せずに設けられていてもよい。振動板630は、流路形成基板620上図11の例では下に設けられている。圧電素子100は、振動板630上図11の例では下に設けられている。圧電素子100は、駆動回路図示せずに電気的に接続され、駆動回路の信号に基づいて動作振動、変形することができる。振動板630は、圧電素子100圧電体層20の動作によって変形し、圧力発生室622の内部圧力を適宜変化させることができる。筐体640は、図11に示すように、ノズル板610、流路形成基板620、振動板630、および圧電素子100を収納することができる。筐体640の材質としては、例えば、樹脂、金属が挙げられる。次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッド600の製造方法について、図面を参照しながら説明する。まず、流路形成基板620となる母材を準備する。母材としては、例えば110配向のシリコン単結晶基板を用いることができる。次に、母材に振動板630を形成する。振動板630は、例えば、スパッタ法により形成される。次に、図10に示すように、振動板630上に、上述した製造方法によって圧電素子100を形成する。次に、図10および図11に示すように、母材をパターニングし、所定の位置に、圧力発生室622、リザーバー624、および供給口626となる凹部を形成する。本実施形態では、母材として110配向のシリコン基板を用いているので、高濃度アルカリ水溶液を用いたウェットエッチング異方性エッチングが好適に採用される。高濃度アルカリ水溶液によるウェットエッチングの際には、例えば振動板630をエッチングストッパーとして機能させることができる。したがって、圧力発生室622等の形成を容易に行うことができる。次に、ノズルプレート610を、各ノズル孔612が各圧力発生室622となる凹部に対応するように位置合わせし、その状態で流路形成基板620に接合する。これにより、複数の圧力発生室622、リザーバー624、および複数の供給口626が形成される。ノズルプレート610と流路形成基板620との接合は、例えば接着剤による接着法や、融着法などを用いることができる。次に、ノズルプレート610、流路形成基板620、振動板630、および圧電素子100を筐体640に収納する。以上の工程によって、本実施形態に係る液体噴射ヘッド600を製造することができる。液体噴射ヘッド600の製造方法によれば、信頼性の高い圧電素子100の製造方法を含む。したがって、信頼性の高い液体噴射ヘッド600を得ることができる。なお、上記の例では、圧電体層20を2つの電極10,30で挟む圧電素子100を用いて、撓み振動によって圧力発生室622の容積を変化させる液体噴射ヘッド600について説明した。しかしながら、本発明に係る液体噴射ヘッドは、上記の形態に限定されず、例えば、圧電体層と電極とを交互に積層させてなる圧電素子を固定基板に固定し、縦振動によって圧力発生室の容積を変化させる形態であってもよい。また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、圧電素子の伸張や収縮変形ではなく剪断変形によって圧力発生室の容積を変化させる、いわゆるシェアモード型の圧電素子を用いた形態であってもよい。また、上記の例では、液体噴射ヘッド600がインクジェット式記録ヘッドである場合について説明した。しかしながら、本実施形態の液体噴射ヘッドは、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED面発光ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどとして用いられることもできる。5.液体噴射装置次に、本実施形態にかかる液体噴射装置について、図面を参照しながら説明する。図12は、本実施形態にかかる液体噴射装置700を模式的に示す斜視図である。液体噴射装置700は、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。以下では、本発明に係る液体噴射ヘッドとして、液体噴射ヘッド600を用いた例について説明する。液体噴射装置700は、図12に示すように、ヘッドユニット730と、駆動部710と、制御部760と、を含む。液体噴射装置700は、さらに、装置本体720と、給紙部750と、記録用紙Pを設置するトレイ721と、記録用紙Pを排出する排出口722と、装置本体720の上面に配置された操作パネル770と、を含むことができる。ヘッドユニット730は、上述した液体噴射ヘッド600から構成されるインクジェット式記録ヘッド以下単にヘッドともいうを有する。ヘッドユニット730は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ731と、ヘッドおよびインクカートリッジ731を搭載した運搬部キャリッジ732と、を備える。駆動部710は、ヘッドユニット730を往復動させることができる。駆動部710は、ヘッドユニット730の駆動源となるキャリッジモーター741と、キャリッジモーター741の回転を受けて、ヘッドユニット730を往復動させる往復動機構742と、を有する。往復動機構742は、その両端がフレーム図示せずに支持されたキャリッジガイド軸744と、キャリッジガイド軸744と平行に延在するタイミングベルト743と、を備える。キャリッジガイド軸744は、キャリッジ732が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ732を支持している。さらに、キャリッジ732は、タイミングベルト743の一部に固定されている。キャリッジモーター741の作動により、タイミングベルト743を走行させると、キャリッジガイド軸744に導かれて、ヘッドユニット730が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Pへの印刷が行われる。なお、本実施形態では、液体噴射ヘッド600および記録用紙Pがいずれも移動しながら印刷が行われる液体噴射装置の例を示しているが、本発明の液体噴射装置は、液体噴射ヘッド600および記録用紙Pが互いに相対的に位置を変えて記録用紙Pに印刷される機構であればよい。また、本実施形態では、記録用紙Pに印刷が行われる例を示しているが、本発明の液体噴射装置によって印刷を施すことができる記録媒体としては、紙に限定されず、布、フィルム、金属など、広範な媒体を挙げることができ、適宜構成を変更することができる。制御部760は、ヘッドユニット730、駆動部710および給紙部750を制御することができる。給紙部750は、記録用紙Pをトレイ721からヘッドユニット730側へ送り込むことができる。給紙部750は、その駆動源となる給紙モーター751と、給紙モーター751の作動により回転する給紙ローラー752と、を備える。給紙ローラー752は、記録用紙Pの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラー752aおよび駆動ローラー752bを備える。駆動ローラー752bは、給紙モーター751に連結されている。制御部760によって供紙部750が駆動されると、記録用紙Pは、ヘッドユニット730の下方を通過するように送られる。ヘッドユニット730、駆動部710、制御部760および給紙部750は、装置本体720の内部に設けられている。液体噴射装置700によれば、高い信頼性を有する液体噴射ヘッド600を含む。したがって、液体噴射装置700は、高い信頼性を有することができる。なお、上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。"