"入口流路と出口流路を有するバルブボディと、前記バルブボディ上に配設されたボンネットと、前記ボンネットを上下方向に貫通して設けられたステムと、前記入口流路から前記出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイアフラムと、前記ダイアフラムを押圧する押圧体とを備えており、前記ステムの下端には上向きのネジ穴が形成され、前記ネジ穴には頭部を有するネジが螺合されており、前記押圧体は、前記ネジの頭部と前記ステムの下端との間に挟持されることにより、前記ステムに対して回転可能に接続されていることを特徴とする流体制御器。前記ネジが、前記ネジ穴に螺合された後に拡径されていることを特徴とする請求項1記載の流体制御器。前記ネジは、該ネジの長さ方向を貫通する貫通穴を有しており、前記貫通穴に対してピンを圧入した後に該ピンを抜くことにより前記ネジが拡径されていることを特徴とする請求項2記載の流体制御器。前記ネジ穴の上方には、該ネジ穴と連続する非ネジ穴部が形成されており、前記非ネジ穴部の径は、前記貫通穴の径より大きいことを特徴とする請求項3記載の流体制御器。前記ボンネット及び前記押圧体は、金属板をプレス成型して形成されていることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の流体制御器。前記ボンネットは、有底円筒状のカップを上下逆向きにした形状であって、下方に向けて開放されており、前記ボンネットの下端部にはフランジが溶接されており、前記フランジは、前記ボンネットの内部において、前記押圧体の上下動をガイドするガイドを周方向に有しており、前記押圧体の外縁部には、周方向に凹部が形成されており、前記凹部の夫々に対して前記ガイドが嵌まっていることを特徴とする請求項5記載の流体制御器。本発明は、上記した従来技術が有する問題点を解決すべくなされたものであって、操作時にステムが回転した場合に押圧体が同時に回転することがなく、ダイアフラムに対して不要な応力が作用することでダイアフラムの破損や寿命の低下を招くことがなく、加えて金属の板材をプレス成型した押圧体を使用することができるため軽量化を図ることが可能である流体制御器を提供するものである。請求項1に係る発明は、入口流路と出口流路を有するバルブボディと、前記バルブボディ上に配設されたボンネットと、前記ボンネットを上下方向に貫通して設けられたステムと、前記入口流路から前記出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイアフラムと、前記ダイアフラムを押圧する押圧体とを備えており、前記ステムの下端には上向きのネジ穴が形成され、前記ネジ穴には頭部を有するネジが螺合されており、前記押圧体は、前記ネジの頭部と前記ステムの下端との間に挟持されることにより、前記ステムに対して回転可能に接続されていることを特徴とする流体制御器に関する。請求項2に係る発明は、前記ネジが、前記ネジ穴に螺合された後に拡径されていることを特徴とする請求項1記載の流体制御器に関する。請求項3に係る発明は、前記ネジは、該ネジの長さ方向を貫通する貫通穴を有しており、前記貫通穴に対してピンを圧入した後に該ピンを抜くことにより前記ネジが拡径されていることを特徴とする請求項2記載の流体制御器に関する。請求項4に係る発明は、前記ネジ穴の上方には、該ネジ穴と連続する非ネジ穴部が形成されており、前記非ネジ穴部の径は、前記貫通穴の径より大きいことを特徴とする請求項3記載の流体制御器に関する。請求項5に係る発明は、前記ボンネット及び前記押圧体は、金属板をプレス成型して形成されていることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の流体制御器に関する。請求項6に係る発明は、前記ボンネットは、有底円筒状のカップを上下逆向きにした形状であって、下方に向けて開放されており、前記ボンネットの下端部にはフランジが溶接されており、前記フランジは、前記ボンネットの内部において、前記押圧体の上下動をガイドするガイドを周方向に有しており、前記押圧体の外縁部には周方向に凹部が形成されており、前記凹部に対して前記ガイドが嵌まっていることを特徴とする請求項5記載の流体制御器に関する。請求項1に係る発明によれば、ステムの下端には上向きのネジ穴が形成され、ネジ穴には頭部を有するネジが螺合されており、押圧体は、ネジの頭部とステムの下端との間に挟持されることにより、ステムに対して回転可能に接続されているから、操作時にステムが回転した場合に押圧体が同時に回転することがなく、ダイアフラムに対して不要な応力が作用することでダイアフラムの破損や寿命の低下を招くことがない。また、金属の板材をプレス成型した押圧体を使用した場合に採用することができる構造であるため、流体制御器の軽量化を図ることが可能である。請求項2に係る発明によれば、ネジがネジ穴に螺合された後に拡径されていることから、使用に伴ってネジがネジ穴内で回転することが防止され、適切な螺合状態ダイアフラムを押圧する押圧体がステムに対して回転可能に接続された状態を長期間にわたって維持することが可能となる。請求項3に係る発明によれば、ネジが、該ネジの長さ方向を貫通する貫通穴を有しており、前記貫通穴に対してピンを圧入した後に該ピンを抜くことにより拡径されていることから、ネジ穴に螺合した状態のネジを容易に且つ確実に拡径することが可能である。請求項4に係る発明によれば、ネジ穴の上方には該ネジ穴と連続する非ネジ穴部が形成されており、非ネジ穴部の径は貫通穴の径より大きいことから、ピンを圧入する際に先端を非ネジ穴部まで到達させることで、ピンが貫通穴を確実に貫通した状態となる。これにより、ネジを全長に亘って均等に拡径させることが可能となる。請求項5に係る発明によれば、ボンネット及び押圧体が金属板をプレス成型して形成されていることから、無垢材から削り出した場合に比べて肉厚を薄くすることができ、流体制御器を軽量化することが可能となる。また、錆の発生を抑制することができる。更に、研磨工程を削減することができるため、表面に微細空孔を有さないボンネット及び押圧体を備えた流体制御器を得ることができる。請求項6に係る発明によれば、ボンネットは、有底円筒状のカップを上下逆向きにした形状であって下方に向けて開放されており、ボンネットの下端部にはフランジが溶接されており、フランジはボンネットの内部において押圧体の上下動をガイドするガイドを周方向に有しており、押圧体の外縁部には周方向に凹部が形成されており、凹部に対してガイドが嵌まっていることから、仮にステムを介して押圧体に回転力が加わったとしても、ガイドが回り止めの機能を発揮し、押圧体が回転することが確実に防がれる。また、凹部及びガイドが周方向に等間隔で複数設けられていれば、押圧体が傾くことなく安定して上下動するようになる。以下、本発明に係る流体制御器の好適な実施形態について、適宜図面を参照しながら説明する。図1は本発明に係る流体制御器の全体構造を示す部分断面正面図、図2は本発明に係る流体制御器の要部拡大断面斜視図、図3は本発明に係る流体制御器の要部拡大断面正面図、図4は図3の要部拡大図、図5は本発明に係る流体制御器の要部分解断面斜視図である。本発明に係る流体制御器は、入口流路と出口流路を有するバルブボディ1と、バルブボディ1の入口流路から出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイアフラム2と、ダイアフラム2を作動させるアクチュエータ3とを備えている。バルブボディ1は、流体の入口となる入口流路1aと、流体の出口となる出口流路1bとを備えている。ダイアフラム2は、バルブボディ1に設けられた流路内底面に対して当接離反昇降することにより、入口流路1aから出口流路1bへの流体の流通を許容又は遮断する。ダイアフラム2は、屈曲性、耐食性、耐熱性に優れた弾性素材から形成されている。素材としては、四沸化エチレン樹脂PTFE、三弗化塩化エチレン樹脂PCTFE、四弗化エチレン-パーフロロアルキルビニルエーテル共重合樹脂PFA等の合成樹脂や、天然ゴム、ニトリルゴム、スチレンゴム、ブタジエンイソブチレン合成ゴム、ポリクロロプレンゴム、ブチルゴム、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴムFPM、エチレンプロピレンゴムEPDM等のゴムが好適に使用される。図示例では、合成樹脂層とゴム層の二層構造からなるダイアフラム2が使用されている。アクチュエータ3は、バルブボディ1上に配設されたボンネット4と、ボンネット4を上下方向に貫通して設けられたステム5と、ダイアフラム2を押圧する押圧体6と、ボンネット4上に配設されてステム5を上下動させる駆動機構7とを備えている。ボンネット4は、有底円筒状のカップを上下逆向きにしたカップの底面を上に配置した形状であって、下方に向けて開放されている。ボンネット4の上部カップの底面に相当する部分には穴4aが形成されており、ステム5はこの穴4aを通ってボンネット4を上下に貫通している。ボンネット4の下端部にはフランジ8が溶接されている。フランジ8は、バルブボディ1の上端部のフランジとの間でダイアフラム2を挟持する部分であって、ボルト挿通用の貫通穴8aと、押圧体6の上下動をガイドするガイド8bを有している。ガイド8bは、ボンネット4の内部において内方向に延びた後に上方向に延びており即ち断面L字状に延びており、周方向に等間隔で複数箇所図示例では6箇所に形成されている。ステム5は、ボンネット4とその上部の駆動機構7を上下方向に貫通しており、その下端部には押圧体6が接続されている。ステム5の上端部と中途部には、上部受け部材9aと下部受け部材9bとからなる受け部材が外嵌されている。上部受け部材9aは、後述する上部カバー13aにより支持されており、下部受け部材9bは、後述する下部カバー13bにより支持されている。ステム5の中途部下部受け部材9bのやや上方には、外縁に立ち上がり部を有する略円板状のピストン10が外嵌されている。ピストン10は、スナップリング11とスペーサリング12により上下から挟持されており、これらピストン10、スナップリング11、スペーサリング12は、ステム5と共に上下動する。駆動機構7は、カバー13と、カバー13の内部に収容されたコイルバネ14と、コイルバネ14の下端部を受けるピストン10とを備えている。カバー13は、有底円筒状のカップを上下逆向きにしたカップの底面を上に配置した形状であって下方に向けた開放された上部カバー13aと、上部カバー13aの下方開放部分を塞ぐように溶接された略円板状の下部カバー13bとから構成されている。上部カバー13aの内側面には、上方位置にコイルバネ14の上端部を受けるバネ受け板18が、下方位置にピストン10の下端位置を定めるピストン受け板15が、夫々固定されている。ピストン受け板15と下部カバー13bの間には空間16が形成されており、上部カバー13aの側面には空間16に高圧エアを導入するための導入口17が取り付けられている。下部カバー13bは、ボンネット4の上部に溶接やねじ込み等によって固定されている。導入口17から空間16に高圧エアが導入されると、ピストン10がコイルバネ14の付勢力に抗して上昇し、これに伴ってステム5が上昇する。高圧エアの導入が無くなると、コイルバネ14の付勢力によりピストン10は下降し、これに伴ってステム5も下降する。押圧体6は、上部押圧体6aと下部押圧体6bとから構成されている。上部押圧体6aと下部押圧体6bは、互いの外縁部周縁部において接合一体化されており、中央部においては両部材の間に空間6cが形成されている。上部押圧体6aの中央部にはステム5の下端部が接続されており、押圧体6はステム5の上下動に伴って上部押圧体6aと下部押圧体6bの間で圧縮弾性変形する空間6cが縮むことが可能となっている。下部押圧体6bの下面には、貫通穴19に挿入された吊り金具22によりダイアフラム2が接続される。これにより、ステム5の上下動に伴ってダイアフラム2も上下動する。下部押圧体6bの外縁部は上部押圧体6aの外縁部より上方に突出しており、この突出部分には周方向に等間隔で複数図示例では6つの凹部6dが形成されている。凹部6dは内向きに凹んで上下方向に延びており、夫々の凹部6dにはフランジ8のガイド8bが嵌まっている。フランジ8はボンネット4に固定されているため、ステム5を介して押圧体6に回転力が加わったとしても、ガイド8bが回り止めの機能を発揮し、押圧体6は回転しない。バルブボディ1、ボンネット4、フランジ8、押圧体6、ピストン10、上部カバー13a、下部カバー13bは、従来の流体制御器と同様にステンレス等の金属の無垢材から削り出して形成したものであってもよいが、金属板板材又はフープ材のプレス成型により形成することが好ましい。バルブボディ1は、金属板板材又はフープ材のプレス成型により形成した複数の部品を溶接して組み立てたものであることが好ましい。複数の部品を溶接して組み立てる場合、例えば、入口流路部と、出口流路部と、入口流路部と出口流路部とを繋ぐ連結部と、連結部の上方でボンネットを支持するフランジ部、の4つの部品を溶接して組み立てる構成とすることができる。このように、金属板のプレス成型により形成した部品を使用し、これらを溶接等により接合して流体制御器を製作することにより、金属の無垢材から削り出した部品を使用した場合に比べて流体制御器を軽量化することが可能となる。また、錆の発生を抑制することができる。更に、研磨工程を削減することができるため、表面に微細空孔を有さないボンネット及び押圧体を備えた流体制御器を得ることができる。上部押圧体6aは、ネジ20によりステム5と接続されている。以下、上部押圧体6aとステム5の接続構造について詳細に説明する。ステム5の下端には上向きのネジ穴5aが形成されており、このネジ穴5aに、ネジ部及び該ネジ部よりも大径の頭部20aを有するネジ20が螺合されている。ステム5の下端部には、上方に大径部5dが、下方に小径部5cが夫々形成されており、ネジ穴5aは小径部5cから大径部5dにかけて形成されている図4,5参照。上部押圧体6aの中央部には穴6fが形成されており、この穴6fにステム5の小径部5cが貫入されている。小径部5cの下面と上部押圧体6aの下面とは略面一となっており、上部押圧体6aの上面は大径部5dの下面に当接している。上部押圧体6aは、ネジ20の頭部とステム5の下端との間に挟持されている。これにより、押圧体6とステム5とが接続されているが、この接続状態において押圧体6はステム5に対して回転可能となっている。尚、押圧体6がステム5に対して回転可能とは、ステム5を固定した状態で押圧体6のみを回転することができること、換言すればステム5が回転した時に押圧体6が回転しないことを意味する。押圧体6がステム5に対して確実に回転可能な状態となるように、小径部5cの高さを、上部押圧体6aの厚さよりも大きく設定することが好ましい。即ち、上部押圧体6aの上面が大径部5dの下面に当接した状態において、小径部5cの下面が上部押圧体6aの下面から突出するように設定することが好ましい。これにより、ネジ20を完全にねじ込んだ状態図4参照においても、ネジ20の頭部20aの上面と上部押圧体6aの下面との間に微小な隙間クリアランスが生じるため、押圧体6がステム5に対して確実に回転可能な状態となる。隙間の大きさは0.1~0.2mmとすることが好ましい。また、小径部5cを形成する代わりに、ネジ穴5aに段差等を設け、ネジ20を一定以上ねじ込んだら停止するようにしておくことで、小径部5cが無くても、ネジ20の頭部20aの上面と上部押圧体6aの下面との間に微小な隙間クリアランスを生じさせることができる。上記したように、押圧体6がステム5に対して回転可能に接続されていることにより、操作時にステム5が回転した場合でも押圧体6が同時に回転することがない。そのため、ダイアフラム2に対して不要な応力ねじり応力等が作用することでダイアフラムの破損や寿命の低下が生じることが防がれる。ネジ20は、その長さ方向を貫通する貫通穴20bを有しており、ネジ穴5aに螺合された後に拡径されている。ネジ20の拡径は、ネジ20をネジ穴5aに螺合した後、貫通穴20bに対して該貫通穴20bよりも大径のピン21を圧入し図6参照、その後、ピン21を貫通穴20bから抜くことにより行われる。このように、ネジ20がネジ穴5aに螺合された後に拡径されていることにより、ネジ20がネジ穴5aに対して強固に固定され、使用に伴ってネジ20がネジ穴5a内で回転することが防止される。そのため、適切な螺合状態ダイアフラムを押圧する押圧体がステムに対して回転可能に接続された状態を長期間にわたって維持することが可能となる。ネジ穴5aの上方には、該ネジ穴5aと同軸に連続する非ネジ穴部5bが形成されている。この非ネジ穴部5bの径は、貫通穴20bの径より大きく設定されている。このような非ネジ穴部5bを形成することにより、ピン21を圧入する際に先端を非ネジ穴部5bまで到達させることで、ピン21が貫通穴20bを確実に貫通した状態となる。これにより、ネジ20を全長に亘って均等に拡径させることが可能となる。図7は本発明の第二実施形態に係る流体制御器の全体構造を示す部分断面正面図、図8は本発明の第二実施形態に係る流体制御器の要部断面正面図、図9は本発明の第二実施形態に係る流体制御器の要部拡大断面正面図、図10は本発明の第二実施形態に係る流体制御器の要部分解断面斜視図である。この第二実施形態に係る流体制御器は、上述した図1~図5に示す流体制御器以下、第一実施形態と称すと基本構成は同じであるため、同じ構成については同じ符号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ以下に説明する。第一実施形態の流体制御器は操作機構7が空圧作動式であるのに対して、第二実施形態の流体制御器は操作機構7が手動式ハンドル式である。この手動式操作機構の構造はハンドルの回転に伴ってステムが上下動する従来公知の構造である。第二実施形態の流体制御器は、上部押圧体6aの上面とステム5の大径部5dの下面との間、及び、上部押圧体6aの下面とネジ20の頭部20aの上面の間に、夫々ドーナツ板状のパッキン2324が介装されている。パッキン2324の材質としては、カーボン入りPTFE等が使用される。このようなパッキン2324を設けることにより、操作機構7のハンドルを手動で操作回転してステム5を回転させた場合に、ステムの大径部5dの下面がパッキン23の接触面との間で滑り、ネジ20の頭部20aの上面がパッキン24の接触面との間で滑ることとなる。そのため、ステム5の回転力が押圧体6に伝達されることがなく、押圧体6が回転することがない。これにより、ダイアフラムに対して不要な応力が作用してダイアフラムの破損や寿命の低下を招くことがない。"