光偏向ミラーを有する偏向反射器と、一次元方向の光の移動を検出する光検出器と、を有し、前記光偏向ミラーで反射した偏向光を前記光検出器で検出する光学測定装置であって、前記光偏向ミラーに光を照射する光源と、前記光偏向ミラーで反射した偏向光を前記一次元方向と異なる方向に拡散し、該異なる方向以外には拡散しないレンズ系と、を有し、前記光検出器は、前記レンズ系で前記一次元方向と異なる方向に拡散した光を検出することを特徴とする光学測定装置。前記光偏向ミラーで反射した偏向光を複数の光に分離するビームスプリッタを有し、前記レンズ系は、前記ビームスプリッタにより分離された各光の光路上に設置されており、各レンズ系を構成するレンズのアレイ方向が各々異なっており、前記光検出器は、各レンズ系で拡散した光の光路上に設置されていることを特徴とする請求項1記載の光学測定装置。前記偏向反射器は、前記偏向ミラーを複数の軸で回転し、前記レンズ系の数は、前記軸の数と同じであり、各々の前記レンズ系を構成するレンズのアレイ方向は、前記偏向ミラーの軸と平行であることを特徴とする請求項2記載の光学測定装置。前記偏向反射器と前記ビームスプリッタとの間に凸レンズを有し、前記光偏向ミラーが前記凸レンズの焦点位置に位置することを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の光学測定装置。前記レンズ系を構成するレンズのピッチと、前記レンズ系に入射する光のビーム径と、の関係は、前記レンズのピッチが前記光のビーム径より広くなっており、前記光検出器に断続して入る光の遮断部分を補間することを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の光学測定装置。前記レンズ系を構成するレンズのピッチと、前記レンズ系に入射する光のビーム径と、の関係は、前記レンズのピッチが前記光のビーム径より狭くなっており、前記光源は、コヒーレンスの低い光を発することを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の光学測定装置。ところで、上述した図15、図19に示す光学測定装置20において、光検出器としてのPSD素子10として、例えば、図16Aに示すような直線的な光スポットの移動を検出する一次元タイプの素子を用いた場合は、光偏向器4の光偏向ミラー6で反射した偏向光DBがPSD素子10の受光面10aに入射するように設計することになる。上述した設計で構築した光学測定装置20は、図15、図19に示す偏向方向DAの矢印方向に光偏向ミラー6の軸が可動するように光偏向器4を制御した場合は、図16Aに示すPSD素子10の受光面10aと同一方向図16Bに示すX方向に光偏向ミラー6が可動し、偏向光DBがPSD素子10の受光面10aに入射することになる。しかし、図15、図19に示す偏向方向DAの矢印方向と直交する方向に光偏向ミラー6の軸が可動するように光偏向器4を制御した場合は、図16Aに示すPSD素子10の受光面10aと直交する方向図16Bに示すY方向に光偏向ミラー6が可動し、光偏向ビームDBがPSD素子10の受光面10aに入射できず、PSD素子10の受光面10aから外れてしまうことになる。この問題は、光偏向ミラー6を多軸に同時に可動するように光偏向器4を制御した場合に顕著に発生する。このようなことから、図16Aに示すような一次元方向の光の移動を検出する光検出器を用いた場合に、光偏向ミラー6で反射した偏向光DBが光検出器で確実に検出できるようにしたいのが現状である。なお、特許文献1特開2009109305号公報には、MEMSMicroElectroMechanicalSystemsミラー素子検査装置における共振周波数レーザビームの走査角が最大角となる駆動周波数、や最大光学振り角共振周波数における反時計方向の最大光学振り角および時計方向の最大光学振り角の測定に関する技術が開示されており、このMEMSミラー素子検査装置に用いられる光検出器ジッタセンサ、ウォブルセンサなどでも、一次元方向の光の移動を検出する際に、上述した問題が発生するおそれがある。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、一次元方向の光の移動を検出する光検出器を用いた場合に、光偏向ミラーで反射した偏向光を確実に検出することが可能な光学測定装置を提供することを目的とする。かかる目的を達成するために、本発明は、以下の特徴を有する。本発明にかかる光学測定装置は、光偏向ミラーを有する偏向反射器と、一次元方向の光の移動を検出する光検出器と、を有し、前記光偏向ミラーで反射した偏向光を前記光検出器で検出する光学測定装置であって、前記光偏向ミラーに光を照射する光源と、前記光偏向ミラーで反射した偏向光を前記一次元方向と異なる方向に拡散し、該異なる方向以外には拡散しないレンズ系と、を有し、前記光検出器は、前記レンズ系で前記一次元方向と異なる方向に拡散した光を検出することを特徴とする。本発明によれば、一次元方向の光の移動を検出する光検出器を用いた場合に、光偏向ミラーで反射した偏向光を確実に検出することができる。<本実施形態の光学測定装置の概要>まず、図1~図3を参照しながら、本実施形態の光学測定装置の概要について説明する。本実施形態の光学測定装置は、光偏向ミラー201を有する偏向反射器200と、一次元方向の光の移動を検出する光検出器第1の光検出器500、または、第2の光検出器700と、を有し、光偏向ミラー201で反射した偏向光を光検出器500または700で検出する光学測定装置である。本実施形態の光学測定装置は、光偏向ミラー201に光を照射する光源100と、光偏向ミラー201で反射した偏向光を一次元方向と異なる方向に拡散し、該異なる方向以外には拡散しないレンズ系第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400、または、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600と、を有し、光検出器500または700は、レンズ系400または600で一次元方向と異なる方向に拡散した光を検出する。本実施形態の光学測定装置は、上記構成を有することで、光検出器500または700は、レンズ系400または600で一次元方向と異なる方向に拡散した光を検出するため、光偏向ミラー201で反射した偏向光を確実に検出することができる。以下、添付図面を参照しながら、本実施形態の光学測定装置について詳細に説明する。第1の実施形態まず、図1~図3を参照しながら、第1の実施形態の光学測定装置の構成例について説明する。図1は、光学測定装置の構成例を示す俯瞰図であり、図2は、光学測定装置を第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600のレンズアレイ方向と同一方向A方向から見た図であり、図3は、光学測定装置を第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600のレンズアレイ方向と直交する方向B方向から見た図である。本実施形態の光学測定装置は、光源100と、偏向反射器200と、ビームスプリッタ300と、第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400と、第1の光検出器500と、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600と、第2の光検出器700と、を有して構成する。本実施形態では、測定対象の偏向反射器200は、2軸の光偏向ミラー201を有して構成する。第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400は、第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400のレンズアレイ方向X方向が光偏向ミラー201の一方の軸と平行となるように配置しており、また、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600は、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600のレンズアレイ方向Y方向が光偏向ミラー201の他方の軸と平行となるように配置している。本実施形態の光学測定装置は、光源100から出射してコリメートされた光は、偏向反射器200の光偏向ミラー201に照射し、光偏向ミラー201で反射した偏向光は、光偏向ミラー201の偏向位置に対応した方向に出射し、ビームスプリッタ300に照射する。ビームスプリッタ300に照射した光は、ビームスプリッタ300で2本の光に分離される。2本の光は、ビームスプリッタ300で偏向された第1の光と、ビームスプリッタ300を透過した第2の光と、である。ビームスプリッタ300で偏向された第1の光は、第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400に照射し、第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400により第1の光が第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400のレンズアレイ方向X方向に扇状に広げられる。第1の光検出器500は、第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400で扇状になった光401が横切るように配置されている。第1の光検出器500は、PSDを用いることで、その扇状の光401がPSDの受光面を横切った位置yを光の検出位置として検出することができる。光の検出位置yは、偏向反射器200の光偏向ミラー201の動作に従ってPSDの受光面の方向y方向に移動するため、第1の光検出器500で検出した光の検出位置yと、その光を第1の光検出器500で検出した検出時間tと、の関係から、光偏向ミラー201で反射した光の移動速度vyを把握することができる。光の移動速度vyは、例えば、以下の式2で求めることができる。vy=y1y2t2t1式2但し、y1y2は、光の検出位置であり、t2は、検出位置y2を検出した検出時間であり、t1は、検出位置y1を検出した検出時間である。なお、上記式2は、説明の簡略のため、2つの検出位置y1y2、検出時間t1t2を基に移動速度vyを求める式であるが、複数の検出位置、検出時間を基に移動速度を求めることも可能であることは言うまでもない。また、ビームスプリッタ300を透過した第2の光は、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600に照射し、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600により第2の光が第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600のレンズアレイ方向Y方向に扇状に広げられる。第2の光検出器700は、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600で扇状になった光601が横切るように配置されている。第2の光検出器700は、PSDを用いることで、その扇状の光601がPSDの受光面を横切った位置xを光の検出位置として検出することができる。光の検出位置xは、偏向反射器200の光偏向ミラー201の動作に従ってPSDの受光面の方向x方向に移動するため、第2の光検出器700で検出した光の検出位置xと、その光を第2の光検出器700で検出した検出時間tと、の関係から、光偏向ミラー201で反射した光の移動速度vxを把握することができる。光の移動速度vxは、上述した式2を用いて求めることができる。また、図4に示すように光偏向ミラー201の基準面角度0度に対して45度の方向で光源100から光を入射し、その時の光偏向ミラー201で反射した偏向光が光検出器第1の光検出器500、第2の光検出器700に垂直に入射するように設計しておけば、光偏向ミラー201の傾き角度θに対して光検出器500、700と偏向光との角度は、2θとなるので、光検出器500、700と光偏向ミラー201との間の距離をLとして、光検出器500、700で検出した光の検出位置をPとすれば、光偏向ミラー201の角度θと、光の検出位置Pと、距離Lと、の関係は、以下の式3のようになる。tan2θPL式3このため、偏向光ミラー201の角度θは、光検出器500、700で光の検出位置Pを得ることで、その光の検出位置Pを基に、以下の式4で求めることができる。θ=tan1PL2式4<本実施形態の光学測定装置の作用効果>このように、本実施形態の光学測定装置は、一次元方向の光の移動を検出する第1、第2の光検出器500、700と、光偏向ミラー201と、光偏向ミラー201で反射した偏向光を、第1、第2の光検出器500、700の一次元方向と異なる方向に拡散する第1、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ400、600と、を有し、第1、第2の光検出器500、700は、第1、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ400、600で一次元方向と異なる方向に拡散した光401、601を検出することになる。これにより、光偏向ミラー201で反射した偏向光を確実に第1、第2の光検出器500、700で検出し、一次元方向の光の移動を検出することができる。即ち、第1、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ400、600で光を扇状に広げているため、第1、第2の光検出器500、700は、第1、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ400、600で扇状に広げられた光401、601を確実に検出し、一次元方向の光の移動を検出することができる。例えば、図5aに示すように、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600が無い場合は、ある角度の光偏向ミラー201で反射した偏向光が第2の光検出器700のPSDの受光面の方向x方向を通過するようにしていても、光偏向ミラー201がx方向と直交する方向y方向にも傾くと、光偏向ミラー201で反射した偏向光は、そのy方向にも変位することになる。その結果、図5bに示すように、光偏向ミラー201で反射した偏向光は、第2の光検出器700から外れてしまうことになる。その結果、第2の光検出器700で光の検出位置xを検出することができず、上述した光偏向ミラー201で反射した光の移動や、光偏向ミラー201の角度θを把握することができなくなってしまう。このため、本実施形態の光学測定装置は、図6aに示すように、光偏向ミラー201と第2の光検出器700との間に第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600を設置することにしている。これにより、光偏向ミラー201で反射した偏向光は、図6bに示すように第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600によりy方向に扇形に広げることができる。図6bに示すように第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600で扇形に広がった光601は、第2の光検出器700を横切るため、第2の光検出器700は、光の位置情報を絶えず検出することができる。このため、上述した光偏向ミラー201で反射した光の移動や、光偏向ミラーの角度θを把握することができる。なお、図5、図6は、光偏向ミラー201と第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600と第2の光検出器700との関係について説明した。しかし、光偏向ミラー201と第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400と第1の光検出器500との関係も上記と同様に、光偏向ミラー201と第1の光検出器500との間に第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400を設置することで、第1の光検出器500は、光の位置情報を絶えず検出することができるため、上述した光偏向ミラー201で反射した光の移動や、光偏向ミラー201の角度θを把握することができる。また、本実施形態の光学測定装置は、光偏向ミラー201で反射した偏向光を複数の光に分離するビームスプリッタ300を有し、第1、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ400、600は、ビームスプリッタ300で分離した光を第1、第2の光検出器500、700の一次元方向と異なる方向に拡散し、第1、第2の光検出器500、700は、第1、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ400、600で一次元方向と異なる方向に拡散した光401、601を検出することになる。このため、本実施形態の光学測定装置は、光偏向ミラー201の2軸方向x、y方向の光を同時に検出することができる。第2の実施形態次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態の光学測定装置は、図7に示すように、偏向反射器200とビームスプリッタ300との間に凸レンズ800を有し、偏向反射器200の光偏向ミラー201が凸レンズ800の焦点位置に位置するようにしている。これにより、光偏向ミラー201から反射した偏向光が凸レンズ800を透過した場合に、その透過した光が光軸と平行になり光線逆進の原理、一定の角度でビームスプリッタ300に入射することになる。その結果、ビームスプリッタ300で分離された光第1の光と第2の光は、2つの凹シリンドリカルレンズアレイ第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400と第2のシリンドリカルレンズアレイ600に垂直に入射することができる。凹シリンドリカルレンズアレイ400、600に光が垂直に入射した場合は、光検出器第1の光検出器500、第2の光検出器700で検出した光の検出位置x、yに誤差が発生しないため、光偏向ミラー201の角度θを精度良く検出することができる。以下、図7~図11を参照しながら、第2の実施形態について説明する。まず、図7~図9を参照しながら、第2の実施形態の光学測定装置の構成例について説明する。図7は、光学測定装置の構成例を示す俯瞰図であり、図8は、光学測定装置を第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600のレンズアレイ方向と同一方向A方向から見た図であり、図9は、光学測定装置を第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600のレンズアレイ方向と直交する方向B方向から見た図である。本実施形態の光学測定装置は、偏向反射器200とビームスプリッタ300との間に凸レンズ800を新たに設けている。この場合、偏向反射器200の光偏向ミラー201が凸レンズ800の焦点位置となるように配置する。光偏向ミラー201が凸レンズ800の焦点位置となるように配置することで、光偏向ミラー201で反射した偏向光が凸レンズ800を透過した場合に、その透過した光が光軸と平行になり光線逆進の原理、一定の角度でビームスプリッタ300に入射することになる。その結果、ビームスプリッタ300で分離された光第1の光と第2の光は、2つの凹シリンドリカルレンズアレイ第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400と第2のシリンドリカルレンズアレイ600に垂直に入射することができる。なお、図10aに示すように、凸レンズ800が無い場合は、光偏向ミラー201で反射した偏向光が第2の光検出器700の前に配置されている第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600に斜めに入射する場合がある。光が第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600に斜めに入射する場合は、図11aに示すように、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600の屈折により第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600中の光路が曲げられ、第2の光検出器700で検出する光の検出位置xは、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600が無いときよりもずれてしまうことになる。このずれは、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600への入射角、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600のレンズの厚さ、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600の屈折率により変化する。このため、図10aに示すように、凸レンズ800が無い場合は、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600への入射角度についての補正が必要になる。また、第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600の材質、レンズの厚さ、取り付け精度などのばらつきが第2の光検出器700で検出する光の検出位置xの誤差の原因となるため、角度補正が複雑になるうえ、誤差も大きくなってしまうことになる。なお、第2の光検出器700で検出した光の検出位置xの誤差は、光偏向ミラー201の角度θの誤差になるため、光偏向ミラー201の角度θを精度良く検出することができなくなる。このため、本実施形態では、図10bに示すように、凸レンズ800を設け、光偏向ミラー201で反射した偏向光が第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600に垂直に入射するようにしている。図11bに示すように、光が第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600に垂直に入射する場合は、第2の光検出器700で検出する光の検出位置xに上述した誤差が発生しないため、光偏向ミラー201の角度θを精度良く検出することができる。なお、図11では、光偏向ミラー201と第2の凹シリンドリカルレンズアレイ600と第2の光検出器700との関係について説明した。しかし、光偏向ミラー201と第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400と第1の光検出器500との関係も上記と同様に、凸レンズ800を設けることで、第1の光検出器500で検出する光の検出位置yに上述した誤差が発生しないため、光偏向ミラー201の角度θを精度良く検出することができる。<本実施形態の光学測定装置>このように、本実施形態の光学測定装置は、偏向反射器200とビームスプリッタ300との間に凸レンズ800を設け、且つ、光偏向ミラー201が凸レンズ800の焦点位置となるように配置する。これにより、ビームスプリッタ300で分離された光第1の光と第2の光は、第1の凹シリンドリカルレンズアレイ400と第2のシリンドリカルレンズアレイ600とに垂直に入射することができる。その結果、第1の光検出器500、第2の光検出器700で検出する光の検出位置x、yに誤差が発生しないため、光偏向ミラー201の角度θを精度良く検出することができる。第3の実施形態次に、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態は、図12aに示すように、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600のレンズのピッチαと、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600に入射する光のビーム径βと、の関係は、レンズのピッチαが光のビーム径βより広くなっていることを特徴とする。これにより、例えば、図12bに示すように、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600に入射する光が、その凹シリンドリカルレンズアレイ400、600のレンズの境界に位置する場合でも、光偏向ミラー201の移動を把握することができる。図12bに示すように、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600に入射する光が、その凹シリンドリカルレンズアレイ400、600のレンズの境界に位置する場合は、2つのレンズを通った光が重なり合って干渉を起こし、部分的な光線の消失が発生する場合がある。この場合、光検出器500、700で光の位置が検出できないことになる。しかし、光の位置が検出できなかった時間の前後の光の検出位置と検出時間とを基に未検出の光の位置を補間することで光偏向ミラー201の移動を把握することができる。第4の実施形態次に、第4の実施形態について説明する。第4の実施形態は、図13に示すように、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600のレンズのピッチαと、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600に入射する光のビーム径βと、の関係は、レンズのピッチαが光のビーム径βより狭くなっており、光源100は、コヒーレンスの低い光を発することにする。これにより、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600に入射する光のビーム径βがレンズのピッチαよりも大きく、複数のレンズに同時に入射した場合でも、複数のレンズを通った光が重なり合い、干渉を起こすことで生じる部分的な光線の消失が起こらず、光検出器500、700で連続的に光の位置を検出できる。以下、図14を参照しながら、本実施形態の光学測定装置について説明する。本実施形態の光学測定装置は、光源100としてLEDを使用し、図14に示すように、光源100と偏向反射器200との間に、レンズ群101と、アパーチャ102と、を配置している。光源100から出射した光は、レンズ群101とアパーチャ102とにより収束し、光源100から出射した光を収束させた光を偏向反射器200に出射させるようにしている。これにより、光源100から出射される光はコヒーレンスが低くなり、干渉距離が短くなるため、第1、第2の凹シリンドリカルレンズ400、600のレンズの境界で2つに分けられた光線も干渉することがなく、光線の一時的な消失を発生させないようにすることができる。このため、第1、第2の光検出器500、700で検出した光の検出結果を解析する際に、消失部分の補間処理などを行う必要がなくなる。その結果、光学測定装置の処理を簡素化することができる。なお、上述する実施形態は、本発明の好適な実施形態であり、上記実施形態のみに本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更を施した形態での実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、2軸の光偏向ミラー201の場合について説明した。しかし、上述した技術思想は、1軸の光偏向ミラー201や多軸の光偏向ミラー201についても適用可能であり、光偏向ミラーと光検出器との間に凹シリンドリカルレンズアレイを配置することで、光検出器で光を検出することができる。また、上述した実施形態では、光検出器でPSDを用いて光を連続的に検出する光学測定装置を例に説明した。しかし、特開2009109305号公報の図1~図3に開示されている光検出器第1ジッタセンサ31a、第2ジッタセンサ31b、ウォブルセンサ41で構成する光検出器を用いた光学測定装置にも適用可能である。また、上述した実施形態では、光偏向ミラー201と光検出器500、700との間に、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600を設け、光偏向ミラー201で反射した偏向光を凹シリンドリカルレンズアレイ400、600で一方向に拡散させ、その一方向に拡散させた光を光検出器500、700で検出することにした。しかし、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600のように光を一方向に拡散し、その一方向以外には光を拡散しないようにすることが可能であれば、凹シリンドリカルレンズアレイ400、600に限定せず、凸シリンドリカルレンズアレイ等の他のレンズ系を用いることが可能である。また、上記実施形態では、光偏向ミラー201と光検出器500、700との間に、1つの凹シリンドリカルレンズアレイ400、600を設けることにした。しかし、レンズ系の構成は、特に限定せず、複数のレンズを用いて光を一方向に拡散し、その一方向以外には拡散しないようにすることも可能である。