指紋読み取りセンサデバイスにおいて、指紋採取時に指紋センサデバイスに指が置かれた際、その指の電気抵抗値を検知する抵抗値センサとその指の静電容量値を検知する容量値センサをグランドパッドを介してモノリシックに配置し、前記抵抗値センサに付属する抵抗検知回路により、該抵抗値センサのパットに接触している指の電気抵抗値RXを計測し、前記容量値センサに付属する容量値センサに付属する容量検知回路により、該容量値センサのパッドに接触している指の静電容量CXを計測し、計測された電気抵抗値RXと静電容量CXにより被検体である指の真偽、或いは指の状態を判定する領域を、実際に指紋の凹凸を読取るセンサ領域以外の位置に具備する事を特徴とする半導体指紋読み取りセンサ。抵抗検知回路は、被検体の抵抗値RXに対して既知の基準抵抗RSを設けた分圧回路で構成し、該回路には定められた周波数の印加電圧を加え、測定すべき指の電気抵抗値RXを既知の基準抵抗RSに対する分圧電圧として計測するようにした請求項1記載の半導体指紋読取りセンサ。容量検知回路は被検体の静電容量CXに対して既知の基準容量Csを設けた分圧回路で構成され、該回路には定められた周波数の印加電圧を加え、該回路の三つのスウィッチング素子、SW1、SW2、SW3をステップ1では電圧を印加するスウィチング素子Sw1をオフし、SW2、SW3をオンして回路上の全てのコンデンサの電荷をクリアーにし、ステップ2ではスウィッチング素子SW1をオンし、SW2とSW3をオフすると、前記回路に充電用に設けられた容量Ccにチャージし、ステップ3ではスウィッチング素子SW1、SW2、SW3をオフして容量Ccにチャージされた電荷を容量CsとCxに移動蓄電し、測定すべき被検体の静電気容量Cxを既知の基準容量Csに対する分圧電圧として計測するようにし、ステップ4ではチャージされた電荷をリセットするようにした請求項1記載の半導体指紋読取りセンサ。前記センサデバイスに設けられたレジスタに外部から定められたコマンド信号を送ることに依り、前記抵抗値センサまたは容量値センサがアクティブ状態になり、それらからの出力は、アナログデジタル変換され記憶素子に蓄えられ、外部からの出力要求に応じて検知値を読取る機能を有する事を特徴とする請求項1記載の半導体指紋読取りセンサ。前記センサデバイスが、小電力モードの待機状態にあっても抵抗値センサをアクティブ状態に保ち、外部からの出力要求に応じて出力される検知値の変動を監視し、指が置かれた際に検知値が変動することを確認後、前記センサデバイスを稼動状態に起動させる機能を有する事を特徴とする請求項1記載の半導体指紋読取りセンサ。前記センサデバイスに指として被検体が置かれた状態で、抵抗値センサおよび容量値センサから出力される値を読みとって指の電気抵抗値と静電容量値が、人体に備わるべき値の範囲かをチェックし、または両センサから出力される両測定値が被検体表面が濡れているまたは乾燥している状態に有するべき値としてみた場合に、互いに矛盾しないかを判定、または抵抗値および容量値が一定値とならず、変動しているかをそれぞれ判断して、置かれた被検体が生体の一部であることを判定する機能を有する事を特徴とする請求項1に記載の指紋読取りセンサ。前記センサデバイスに被検体が置かれた状態で、前記請求項6に従い生体の指であると判定された後に、抵抗値センサから出力される値の大小および容量値センサから出力される値の大小を読みとって指の表面の濡れ具合または乾燥具合を判断し、その結果をフィードバックし、採取された指紋画像の濃淡情報が著しく濃いか、または薄い場合、指紋の凹凸を読取るセンサを構成する各ピクセルに設けられた指の凹凸情報の信号増幅回路のゲインとアナログデジタル変換回路の上限、下限オフセット制御回路の特性値を最適な値に自動調節する機能を有する事を特徴とする請求項1記載の指紋読取りセンサ。そこで、本願発明は指紋読み取りセンサに実装され、小型で低コストしかも処理時間の早い半導体指紋読取りデバイスであって、本人確認の為に提供される指紋を読取る際、その指被検体が、生体か否かを高い精度で判別するとともに、被検体が指と認識された後には、指の状態濡れまたは乾燥具合等に応じて、採取条件を自動調節し、指紋の正確な凹凸を読取る機構を有する半導体指紋読取りデバイスを提供することを課題とする。本願は、上記実情に鑑み、指紋読み取りセンサデバイスにおいて、指紋採取時に指紋センサデバイスに指が置かれた際、その指の電気抵抗値を検知する抵抗値センサ以下、Rセンサと記すと、その指の静電容量値を検知する容量値センサ以下、Cセンサと記す並びにそれら二つのパッドと対を成すグランドパッドをモノリシックに配置し、前記Rセンサに付属する抵抗検知回路により、Rセンサのパットに接触している指の電気抵抗値RXを計測し、前記Cセンサに付属するCセンサに付属する容量検知回路により、Cセンサのパッドに接触している指の静電容量CXを計測し、計測された電気抵抗値RXと静電容量CXの計測値により被検体である指の真偽、或いは指の状態等を判定する領域を、実際に指紋の凹凸を読取るセンサ領域以外の位置に配置するものである。次に、電気抵抗値RXと静電容量CXの計測値により被検体である指の真偽、或いは指の状態等を判定する原理を説明すると、1電気抵抗値RX及び静電容量CXが、人体の持つ固有の電気抵抗値数メガオーム及び静電容量値数ピコファラッドの許容範囲にあること、2両値の間に抵抗値は大きく容量値も大きい又は抵抗値は小さく容量値も小さいと言った理屈に合わない矛盾が無いこと、3電気抵抗値RXおよび静電容量値Cxが緩やかな変動があること、1、2、3が確認されれば、提供された被検体が正しく生体の指と判別される。逆に、1、2、3とは矛盾する結果が出た場合、例えば抵抗値は大きく容量値も大きい又は抵抗値は小さく容量値も小さい場合は、被検体が人工的な材料から成っていることを表す。そこで、本発明はセンサデバイスに指として被検体が置かれた状態で、RセンサおよびCセンサから出力される値を読みとって指の電気抵抗値と静電容量値が、人体に備わるべき値の範囲かをチェックし、または両センサから出力される両測定値が被検体表面が濡れているまたは乾燥している状態に有するべき値としてみた場合に、互いに矛盾しないかを判定、または抵抗値および容量値が一定値とならず、変動しているかをそれぞれ判断して、置かれた被検体が生体の一部であることを判定する機能を有する指紋読取りセンサを提供するものである。なお、電圧値がアナログ信号で得られる電気抵抗値RXと静電容量値CXはこれをデジタル化して判断乃至比較してもよく、このため本発明ではセンサデバイスに設けられたレジスタに外部から定められたコマンド信号を送ることに依り、前記抵抗値センサまたは容量値センサがアクティブ活性状態になり、それらからの出力は、アナログデジタル変換され記憶素子に蓄えられ、外部からの出力要求に応じて検知値を読取る機能を有する半導体指紋読取りセンサを提供するものである。本発明ではセンサデバイスが、小電力モードの待機状態にあってもRセンサをアクティブ状態に保ち、外部からの出力要求に応じて出力される検知値の変動を監視し、指が置かれた際に検知値が変動することを確認後、前記センサデバイスを稼動状態に起動させる機能を有する半導体指紋読取りセンサを提供するものである。一方、被検体が生体の指と判断された場合においても電気抵抗値RXと静電容量値CXの結果から、被験指の濡れ具合あるいは乾燥具合が判断できる。即ち、電気抵抗値RXが小さく、静電容量値CXが大きければ濡れ、その逆であればと乾燥と判断できる。また、光学式指紋読取センサや静電容量検知方式の読取センサでは通常、被検指が濡れている場合は指紋画像の濃淡レベルは暗く、乾燥している場合、濃淡レベルは薄くなるが、計測された電気抵抗値RX、静電容量値CXに応じて採取指紋画像の濃淡条件を適切に調整することができる。この調節の際には、指紋画像の一部または全部を採取して画像の濃淡情報も合わせて総合的に判断、調節することもできる。そこで、本発明ではセンサデバイスに被検体が置かれた状態で、生体の指であると判定された後に、Rセンサから出力される値の大小および容量値センサから出力される値の大小を読みとって指の表面の濡れ具合または乾燥具合を判断し、その結果をフィードバックし、採取された指紋画像の濃淡情報が著しく濃い一般的に指が濡れている時か、または薄い一般的に指が乾いている場合、指紋の凹凸を読取るセンサを構成する各ピクセルに設けられた指の凹凸情報の信号増幅回路のゲインとアナログデジタル変換回路の上限、下限オフセット制御回路の特性値を最適な値に自動調節する機能を有する指紋読取りセンサを提供するものである。指紋による本人確認を行う際に、指紋読取センサに置かれた被検体が間違いなく生体の指であること、或いは生体の指であった場合その濡れ具合等の指の状態を高い精度で判別するとともに、被検者の指の状態に合わせて指紋画像の読取り条件を自動調節することにより常に最適な条件で指紋画像を採取することが実現できる。指紋読み取りセンサデバイスにおいて、指紋採取時に指紋センサデバイスに指が置かれた際、その指の電気抵抗値を検知するRセンサとその指の静電容量値を検知するCセンサ並びにそれら二つのパッドと対を成すグランドパッドをモノリシックに配置し、前記Rセンサに付属する抵抗検知回路により、Rセンサのパットに接触している指の電気抵抗値RXを計測し、前記Cセンサに付属する容量検知回路により、Cセンサのパッドに接触している指の静電容量CXを計測し、計測された電気抵抗値RXと静電容量CXにより被検体である指の真偽、或いは指の状態等を判定する領域を実際に指紋の凹凸を読取るセンサ領域以外の位置に具備する事を特徴とする半導体指紋読み取りセンサ。以下、本発明による半導体指紋センサの実施方法について図を参照して説明する。図1は、半導体指紋読み取りセンサ3の上に指を当てて指紋を採取している情況を模式的に示したものである。この図1の例では、この半導体指紋読み取りセンサ3の指紋読み取り領域2の外で且つ上部に複数のRセンサとCセンサの配列を設けた領域1がある。この図で、4は半導体指紋読み取りセンサ3の制御回路部を示し、センサデバイスの外部との信号の接続端子列5がある。領域1の中のRセンサとCセンサの構成要素14を図2に拡大して示す。図2は、半導体指紋読み取りセンサ3の指側にRセンサとCセンサの受感用パッドとして抵抗値を検知するPAD/R11と容量を検知するPAD/C12の間にグランドに接続されるパッド13が、並べて配置されている。指がPAD/R11とグランド13にまたがって触れた状態で抵抗値RXが、指がPAD/C12とグランド13をまたがって触れた場合の容量値CXが、測定すべき目的の値になる。成人の指紋の谷線と隆線のピッチが約600μm程度である事を考慮して、各パッドの長さLは、1本以上の指紋の隆線が置かれるように数mm程度とし、パッドの幅H及びパッド間の幅を例えば200μmとする。ただし、このサイズは、後述する寄生容量を小さく抑える制約の中で選択される。図2に示されるような配列を持った構成要素14が、領域1の中に複数配列されている。領域1の中の構成要素14の断面図を図3に示す。図2および図3で、簡単のために指の大きさは、構成要素に比べて実際より大きく描かれていることに注意されたい。この図3で、抵抗値を検知するPAD/R11の下層に抵抗検知回路21が、容量を検知するPAD/C12の下層に容量値を測定する容量検知回路22が夫々接続される。現実には、PAD/R11と抵抗検知回路との間に浮遊抵抗、PAD/C12と容量検知回路22との間に寄生容量CPが存在する。また、この図3では、各パッドがパシベーション膜層20の表面に配置されているように見えるが、実際には、パシベーション膜層20の表面より数μm下に配置されてもよい。抵抗検知回路21と容量検知回路22の具体的な回路図をそれぞれ図4と図5に示す。抵抗検知回路21は、被検体の抵抗値RXに対して既知の基準抵抗RSを設けた分圧回路で構成され、PAD/R11に被検体の指を置き、回路21には定められた周波数の印加電圧を加え、そのとき発生する指の電気抵抗値RXを既知の基準抵抗RSに対する分圧電圧を計測し、計測された電圧値は、基準電圧値Vref1を入力されたADコンバータ23によりデジタル化されてデジタル信号として出力される。次に図5に沿って容量検知回路22の測定原理について説明する。容量検知回路22は、被検体の静電容量CXに対して既知の基準容量Csを設けた分圧回路で構成される。なお、この実施例では回路22には初期の充電用にコンデンサCcが設けられ、三つのスウィッチング素子SW1、SW2、SW3が設けられる。表1は、容量検知回路22の一使用例である三つのスウィッチング素子SW1、SW2、SW3のオンオフ開閉切換ステップシーケンスをさせた場合の回路22の動作を示すものである。この表によると、ステップ1では、電圧を印加するスウィッチング素子SW1をオフ開くし、残りの二つのスウィッチング素子SW2とSW3をオン閉じる状態にすることにより、容量検知回路22の上の全てのコンデンサの電荷をリセットクリアー放電し、次にステップ2ではSW1をオン閉じるし、電荷を駆動すると共に、SW2とSW3をオフ開く状態にすることにより、コンデンサCCがチャージ充電される。ステップ3で、三つのスウィッチング素子をオフ開く状態にすることにより、CCにチャージされた電荷が移動し、二つのコンデンサCSとCXの容量に応じて蓄電される。この時の両コンデンサに掛かる電圧VSとVXの値は、容量に応じて分圧されるので、この値を計測する。チャージされた電荷は、ステップ4でリセット放電される。測定された電圧の値は、基準電圧Vref2を入力されたADコンバータ24によりデジタル化されてデジタル信号として出力される。図5に示された容量検知回路22のオンオフ開閉切換ステップシーケンス表1による静電容量CXの測定方法は、コンデンサCCを用いた点において、類似の静電容量測定方法例えば特許文献3とは異なることに注意すべきである。すなわち、指紋の凹凸に応じた極く僅かな容量の変化を測定する目的では、特許文献3にあるように周期的な電圧を直接印加することは測定精度を著しく欠くことになるので、本願実施例では容量検知回路22に初期充電用のコンデンサCcを設けることにより、測定精度を高めるようにしている。また、コンデンサCCは本願実施例ではフィルターの役割も担うものである。また、図5の容量検知回路22ではスウィッチング素子の制御回路部は簡単のために省略されている。以上、回路の図4と図5からも判るように、この回路の構成要素はパッシブ素子のみから構成され至って単純な構成であるため、その実装は容易であり、しかも温度の変化に対しても基準電圧との相対値を用いるため影響を受けにくく、安定した動作と出力が保証される。この出力値RXとCXに基づき生体か否かの判断は、次のようにして行われる。説明の簡単のために両検知回路のADコンバータ23と24からの出力を4ビットすなわち0~15までの離散値を出力するものとし、この値の範囲を次のように3通りに分類する。すなわち、0~2までを非常に低い値、13~15までを非常に高い値、3~12の範囲の値を正常な値と呼ぶ。この正常な値の範囲が一般に知られた生体の特性値に対応し、この範囲の中で環境条件に応じて変化しうる範囲を表すようにパラメータを調整する。出力値RXとCXとが、この範囲内に在り、定まった時間、例えば数百μ秒の間に一定値を取らず変動し、RXの値が増加すれば、CXの値は減少するあるいはその逆にRXの値が減少すれば、CXの値は増加すると言った具合に互いに逆の変化が起こる場合に被検体は生体と判断できる。被検体が生体の指であると結論付けられた後に先の三つのデジタル出力値の範囲を更に細分して、指の状態に応じた指紋採取条件の自動調節を行う。被検体が生体の指であると結論付けられた指につても、測定値RXとCXの値の正常な値の範囲を3~5、6~10、10~12の三段階に分ければ、Rxが3~5、Cxが10~12の範囲は指の状態は湿った状態にあり、Rxが10~12、Cxが3~5の範囲は指の状態は乾燥した状態にある。指による光源の反射、透過や散乱と言った所謂光学式指紋読取センサ又は指の静電容量及び電界検知式の指紋読取センサにより採取される指紋画像の濃淡情報によれば、指が湿った状態にある場合は、指紋画像の濃淡レベルは暗くなり、指が乾燥した状態にある場合は指紋画像の濃淡レベルは薄くなる傾向にある。指紋画像のセンシング機能に備わった指紋の凹凸の検知のためのセンサの感度を上下させることにより指紋画像の濃淡レベルを調整する事が可能となる。具体的には、光学式指紋読取センサの場合は、受光部の開閉またはシャッター速度の調整特許文献1、静電容量検知式指紋読取センサの場合は、増幅回路のゲイン及び容量のオフセットを調整することになる。表2は、Rxが3~5、Cxが10~12、Rxが10~12、Cxが3~5における指紋画像の濃淡レベルと、この場合の静電容量検知式指紋読取センサの対応策を表したものである。すなわち、表2の測定結果が一列目のような場合、湿った指と判断だれる。この場合、実際に指紋画像を採取すると指紋画像の濃淡レベルは、暗くなっている。この画像の画質を改善するために、指紋の凹凸を読取るセンサを構成する各ピクセルに設けられた信号の増幅回路のゲインを小さくし、アナログデジタル変換回路のオフセット制御回路の限界値を広げることにより、全体の画質は正常に緩和される。この場合、自動調節の推移を正確に確認するために、実際に採取された指紋画像データの全部または一部を用いて画像の濃淡レベルデータの平均値及び標準偏差の値を合わせて自動調節に用いても良い。自動調節の具体的な方法の例としては、指紋画像の濃淡レベルの標準偏差の値を最小にするようにゲインとオフセットの値を線形計画法リニアプログラミングにより最適化することができる。