"外部からの圧力により撓み、気密容器の一部を構成するためのダイヤフラムに、その一面側及び他面側に励振電極が形成された圧電振動子を、当該ダイヤフラムの撓みに応じて応力が発生すると共に当該ダイヤフラムに隙間が介在するように固定する工程と、前記ダイヤフラムを容器形成部材に固定して、内部に前記圧電振動子が収納されるように気密容器を形成する工程と、前記気密容器の形成後に、ダイヤフラムに加わる圧力に対する圧電振動子の発振周波数を調整するために、ダイヤフラムの表面に樹脂からなり、当該ダイヤフラムと共に撓む薄膜を形成する工程と、を備えたことを特徴とする圧力センサーの製造方法。前記気密容器の形成後に、予め設定された圧力雰囲気で圧電振動子を発振させる工程と、前記圧電振動子の発振周波数を測定する工程と、測定された発振周波数に基づいて、前記薄膜の厚さ及びダイヤフラムにおける薄膜を形成する領域の少なくとも一方を決定する工程と、を備え、決定した厚さ及び領域あるいは厚さ及び領域のうちいずれか一方に基づいて前記薄膜を形成することを備えたことを特徴とする請求項1記載の圧力センサーの製造方法。前記気密容器の形成後に、予め設定した位置からのダイヤフラムのずれ量を検出する工程と、前記ずれ量に基づいて前記薄膜の厚さ及び薄膜を形成する領域の少なくとも一方を決定する工程と、を備え、決定した厚さ及び領域あるいは厚さ及び領域のうちいずれか一方に基づいて前記薄膜を形成することを備えたことを特徴とする請求項1記載の圧力センサーの製造方法。ダイヤフラムの厚さは1mm以下であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の圧力センサーの製造方法。前記容器形成部材は気密容器の側壁と底部とをなし、前記ダイヤフラムは容器形成部材上に設けられる気密容器の蓋をなし、前記薄膜は側壁の内縁上に、ダイヤフラムを補強するために設けられることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の圧力センサーの製造方法。外部からの圧力により撓むように構成されたダイヤフラムを備えた圧力センサーにおいて、請求項1ないし5のいずれか一つの方法により製造されたことを特徴とする圧力センサー。本発明は、このような事情の下になされたものであり、その目的は、圧電振動子の発振周波数に基づいて周囲の圧力を検出する圧力センサーにおいて、圧力センサー間で感度のばらつきを抑えることができる技術を提供することである。本発明の圧力センサーの製造方法は、外部からの圧力により撓み、気密容器の一部を構成するためのダイヤフラムに、その一面側及び他面側に励振電極が形成された圧電振動子を、当該ダイヤフラムの撓みに応じて応力が発生すると共に当該ダイヤフラムに隙間が介在するように固定する工程と、前記ダイヤフラムを容器形成部材に固定して、内部に前記圧電振動子が収納されるように気密容器を形成する工程と、前記気密容器の形成後に、ダイヤフラムに加わる圧力に対する圧電振動子の発振周波数を調整するために、ダイヤフラムの表面に樹脂からなり、当該ダイヤフラムと共に撓む薄膜を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。前記圧力センサーの製造方法の具体的な態様としては、例えば下記の通りである。1前記気密容器の形成後に、予め設定された圧力雰囲気で圧電振動子を発振させる工程と、前記圧電振動子の発振周波数を測定する工程と、測定された発振周波数に基づいて、前記薄膜の厚さ及びダイヤフラムにおける薄膜を形成する領域の少なくとも一方を決定する工程と、を備え、決定した厚さ及び領域あるいは厚さ及び領域のうちいずれか一方に基づいて前記薄膜を形成する。2前記気密容器の形成後に、予め設定した位置からのダイヤフラムのずれ量を検出する工程と、前記ずれ量に基づいて前記薄膜の厚さ及び薄膜を形成する領域の少なくとも一方を決定する工程と、を備え、決定した厚さ及び領域あるいは厚さ及び領域のうちいずれか一方に基づいて前記薄膜を形成する。3ダイヤフラムの厚さは1mm以下である。4前記容器形成部材は気密容器の側壁と底部とをなし、前記ダイヤフラムは容器形成部材上に設けられる気密容器の蓋をなし、前記薄膜は側壁の内縁上に、ダイヤフラムを補強するために設けられる。本発明の圧力センサーは、外部からの圧力により撓むように構成されたダイヤフラムを備えた圧力センサーにおいて、上記の製造方法により製造されたことを特徴とする。本発明によれば、内部の気密空間に収納された圧電振動子がダイヤフラムの撓みに応じて応力が発生するように容器を形成した後、ダイヤフラムの表面に樹脂からなる薄膜を形成する。これによって、容器の形成後にダイヤフラムに加わる圧力に対する圧電振動子の発振周波数を調整することができるため、圧力センサー間で感度のばらつきを抑えることができる。また、この薄膜によりダイヤフラムの強度を高め、破損を防止することもできる。本発明に係る製造方法により製造される圧力センサー1について、その縦断側面図である図1を参照しながら説明する。圧力センサー1は、図1に示すように例えば矩形の容器11を構成するベース21、囲み部材であるスペーサー22、ダイヤフラム3、感度調整膜4がこの順番に下側から上側へ向けて積層されて構成されている。容器11の内部空間12は気密空間として形成され、当該内部空間12に圧電振動子である水晶振動子5が設けられている。前記ベース21、スペーサー22及びダイヤフラム3は、例えばZカットの水晶により構成されている。水晶振動子5は、圧電片として例えばATカットされた水晶片51を備えており、水晶片51は長方形に形成されている。図2a、bは、夫々水晶振動子5の一面上面、他面下面を夫々示しており、水晶片51の一面及び他面には当該水晶片51を励振させるための励振電極52a、52bが形成されている。励振電極52a、52bから水晶片51の短辺に向かって互いに逆方向に引き出された引き出し電極53a、53bが形成されている。容器11の上蓋をなすダイヤフラム3の中央部の下面には、図3に示すように水晶振動子5の一面側に臨む円形の凹部31が形成されている。凹部31の直径は、水晶振動子5の長さ方向の長さよりも短く形成されている。凹部31が形成されることにより、ダイヤフラム3の中央部の厚みが周縁部の厚みに比べて小さくなっており、この中央部は薄肉部32として構成されている。図1に示すようにダイヤフラム3の上面一面は、例えば車両に設けられたタイヤの内部空間などの測定雰囲気1Aに臨み、ダイヤフラム3はその測定雰囲気1Aの圧力に応じて変形する。即ち、測定雰囲気1Aの圧力が容器11の内部空間12の圧力よりも大きくなったときにダイヤフラム3は容器11の内側へ撓むことになる。前記薄肉部32は、この内側への撓みを大きくする役割を有する。図中Hで示すダイヤフラム3の厚さは、例えば1mm以下に構成される。ダイヤフラム3の他面下面には、ダイヤフラム3の周縁から凹部31に向けて導電膜からなる導電路33,34が互いに逆方向に伸びており、導電路32、33は凹部31の開口縁まで伸びている。導電路33、34は、例えばCr膜及びAu膜からなる積層膜であり、Cr膜がダイヤフラム3側に設けられた下地膜を構成し、Au膜がCr膜を被覆している。水晶振動子5は、その長さ方向の両端部がダイヤフラム3の凹部31の外周縁部分に例えば低融点ガラスペーストからなる接着材13を介して固定され、両持ち梁構造としてダイヤフラム3に支持されている。図1では便宜上水晶振動子5の一端側に設けられた接着材13のみ示している。水晶振動子5の他面側の引き出し電極43bと前記導電路34とが導電性部材14により電気的に接続されており、導電性部材14は、例えばAg銀ペーストにより構成される。前記スペーサー22とベース21とは容器本体2を構成する。スペーサー22は角型のリング状に形成されており、容器11の側壁部をなし、前記内部空間12を形成している。ベース21は角型の板であり、容器11の底部をなす。ダイヤフラム3、スペーサー22及びベース21は、例えば低融点ガラスペーストなどの不図示の接着材により互いに接合されている。続いて、感度調整膜4について圧力センサー1の上面を示した図4も参照しながら説明する。感度調整膜4は例えばエポキシ樹脂により構成されており、ダイヤフラム3上にその外縁に沿って角型のリング状に形成されている。ダイヤフラム3の変形に追従して感度調整膜4も変形する。この感度調整膜4は、ダイヤフラム3の変形量を調整し、所定の圧力雰囲気において水晶振動子5から出力される発振周波数が許容範囲内に収まるようにするために設けられている。より詳しく説明すると、背景技術の項目で説明したようにダイヤフラム3を薄く構成することにより、当該ダイヤフラム3における所定の圧力雰囲気での変形量がダイヤフラム3ごとにばらつく場合があるため、圧力センサー1ごとに感度調整膜4はその寸法を変えて成膜され、各圧力センサー1間の感度のばらつきを抑えるように形成されている。圧力センサー1ごとに変更される前記寸法とは、例えば図1にH1で示す厚さと、図4にL1で示す圧力センサー1の長さ方向の径の大きさ、即ち膜の形成領域とである。圧力センサー1の幅方向の径の大きさは、この例では圧力センサー1ごとに一定に構成される。また、この感度調整膜4は、ダイヤフラム3を補強する役割を有している。後述のシミュレーションに示されるように、圧力センサー1の使用時にダイヤフラム3において、スペーサー22の内縁に接する領域Rの圧力が高くなる。そこで、この領域Rを補強して破損を防ぐために、感度調整膜4の内縁は、例えば当該領域Rよりも内側に位置するように構成されているダイヤフラム3に設けられた導電路33,34は、圧力センサー1の外部に設けられた外部導電路35、36を介して水晶振動子5を発振させる発振回路37に接続されている。発振回路37の後段側には、圧力センサー1から出力された信号の周波数を計測すると共に、計測された周波数に基づいて測定雰囲気1Aの圧力を計測する計測部38が設けられている。測定雰囲気1Aの圧力が高くなると、ダイヤフラム3の撓みが大きくなり水晶振動子5に加わる引っ張り応力が上昇して、水晶振動子5の共振周波数が変化し、この共振周波数の変化に応じて発振周波数が変化する。図5は、図1よりも測定雰囲気1Aの圧力が高くなり、ダイヤフラム3の撓みが大きくなった状態を示している。このように、変化した周波数信号が外部導電路35、36及び発振回路37を介して計測部38に出力される。例えば計測部38では、例えば予め作成してメモリ不図示に記憶した周波数と圧力との関係データとから、周波数の計測値に対応する圧力値が読み出され、測定雰囲気1Aの圧力が検出される。測定雰囲気1Aの圧力が低くなると、ダイヤフラム3の撓みが小さくなり、水晶振動子5に加わる引っ張り応力が減少して、水晶振動子5の共振周波数が変化する。そして、圧力が高くなったときと同様に発振周波数に基づいて、測定雰囲気1Aの圧力が検出される。続いて、第1の実施形態に係る圧力センサー1の製造方法について図6~図9を参照しながら説明する。ダイヤフラム3形成用のウエハ61、スペーサー22形成用のウエハ62及びベース21形成用のウエハ63を用意する。これらウエハ61~63は、例えばZカットされた水晶板により構成されている。この例ではこれらのウエハ61~63から夫々、圧力センサー1の構成部品であるダイヤフラム3、スペーサー22、ベース21を4つ同時に製造できるように、各ウエハ61~63の縦横にこれらの各部品の形成領域64~66を4つずつ設定する。既述の凹部31を形成するために、ウエハ61における前記部品形成領域64についてフォトリソグラフィーによりパターンを備えたマスクを形成する。そして、前記マスクのパターンに沿ってエッチングを行い、凹部31を形成する。然る後、ウエハ61~63における部品形成領域64~66に対してフォトリソグラフィーによりダイヤフラム3、スペーサー22、ベース21の各外形を形成するためのパターンを備えたマスクを形成する。そして、マスクのパターンに沿って各ウエハ61~63を厚さ方向にエッチングして、ウエハ61~63にダイヤフラム3、スペーサー22、ベース21の外形を夫々形成する。図6aは、凹部31と、ダイヤフラム3の外形とが形成された状態のウエハ61を示している。また、図6b、cは、スペーサー22、ベース21の外形が夫々形成された状態のウエハ62、63を示している。なお、これらの図6a~図6cにおいては、図を見やすくするためにエッチングによりウエハの表裏が貫通された領域にハッチングを付しており、従って各ハッチングはウエハの断面を示すものではない。これら各部品の外形は、ウエハ61~63を互いに重ね合わせたときに既述の容器11が4つ同時に形成される位置に形成される。なお、図中60はエッチングされずにウエハ61~63に残された保持部であり、ダイヤフラム3、スペーサー22、ベース21をこれらウエハ61~63に保持させる。また、ATカットのウエハから水晶振動子5の製造を行う。この水晶振動子5の製造方法としては、ダイヤフラム3の外形を形成する場合と同様に前記ウエハをエッチングして水晶片41の外形を形成した後、スパッタによりその外形に金属膜を形成する。次いで、フォトリソグラフィーにより、前記金属膜上にパターンを備えたマスクを形成し、前記パターンに沿って金属膜をエッチングして、励振電極52a、52b及び引き出し電極53a、53bを形成する。続いて、ウエハ61に形成したダイヤフラム3の下面にスパッタにより金属膜を形成し、フォトリソグラフィー及びエッチングにより、その金属膜から導電路33、34を形成する図7a、b。そして、図7cに示すように、水晶振動子5の上面の長さ方向の両端部をダイヤフラム3の凹部31の外周縁部に接着材13を介して貼り合わせ、大気中で400°C~500°Cに加熱する。これによって、上記したように水晶振動子5の長さ方向の両端がダイヤフラム3に固定される。然る後、図7dに示すようにダイヤフラム3に導電性部材14を塗布して、水晶振動子5の引き出し電極53bと導電路33とを電気的に導通させる。そして、酸素を含んだ雰囲気で400°C~500°Cの温度で焼成し、当該導電性部材14中の溶媒及びバインダーを除去する。続いて、ウエハ61とウエハ62とウエハ63とを低融点ガラスペーストなどの接着材を介して重ね合わせ、窒素雰囲気中で300°C~400°Cに加熱して、これらウエハ61、62、63を互いに接着し、容器11を形成する。この接着後ダイシングを行い、容器11がウエハ61~63から切り離される図8a。続いて、予め設定された圧力の雰囲気に容器11を設置し、外部導電路35、36を介してダイヤフラム3の導電路33、34を、図1で示したように発振回路37及び計測部38に接続する図8b。そして、発振回路37により水晶振動子5を発振させ、その水晶振動子5から出力される信号の周波数を計測部38により測定する。図10は、前記計測部38により測定される発振周波数の範囲と、前記発振周波数を許容範囲内に収めるために要する感度調整膜4の膜厚H1と、既述の径の長さL1との対応関係を示したテーブル71である。このテーブル71の各数値は予め実験を行うことにより設定しておく。ユーザは、このテーブルを参照して、測定された周波数に対応する前記膜厚H1と、径の長さL1とを決定する。そして、ユーザは容器11から外部導電路35、36を一旦取り外した後、容器11を樹脂塗布装置に搬送する。この樹脂塗布装置は、容器11の位置を固定する冶具65と、液体状のエポキシ樹脂69を吐出するノズル66と、を備えている。ノズル66は冶具65に固定された容器11上を移動自在に構成され、その移動する領域及びノズル66ノズル66から供給される樹脂の流量がコンピュータにより制御される。ユーザは前記コンピュータにより、決定した膜厚H1及び径の長さL1で感度調整膜4が形成されるように、ノズル66の移動領域及びノズル66からの樹脂の吐出流量の設定を行う。例えば冶具65,65により容器11のダイヤフラム3を側方から押圧して固定した後、図9aに示すように設定した移動領域をノズル66が移動すると共に設定した流量で樹脂69がダイヤフラム3に供給される。然る後、容器11を例えば100°C~200°Cに加熱し、樹脂69を硬化させ、決定した膜厚H1及び径の長さL1で感度調整膜4が形成され、圧力センサー1が製造される図9b。その後、図1に示すように圧力センサー1は測定雰囲気1Aにダイヤフラム3が面するように設置されると共に部導電路35、36を介して再度発振回路37及び計測部38に接続される。この実施の形態では、容器11を形成した後に感度調整膜4を形成しているので、容器11の形成時に所定の圧力に対するダイヤフラム3の変形量がばらつくことで、水晶振動子5からの出力がばらついても、圧力センサー1ごとに個別に感度調整膜4の寸法を制御して形成することで、その変形のばらつきを補正することができる。従って、圧力センサー1の感度のばらつきを抑えることができる。ところで、感度調整膜4を構成する材料として樹脂を用いている理由について説明すると、樹脂により感度調整膜4を形成する代わりに金属を用いてスパッタリングや蒸着などにより感度調整膜4を形成しようとすると、容器11を真空雰囲気に置かなければならないし、より高温の雰囲気で処理を行うことになるため手間がかかる。また、これらスパッタリングや蒸着では成膜速度が遅いので処理時間が長くなってしまうおそれがある。しかし、樹脂により感度調整膜4を形成する場合は、大気雰囲気で形成でき、加熱温度も比較的低いし、成膜速度も早いので、容器11の形成後、速やかに且つ容易に感度調整膜4を形成して、圧力センサー1の特性を調整することができるという利点がある。この圧力センサー1では、使用時において大きな圧力がダイヤフラム3に加わった場合に、ダイヤフラム3において破損が起こりやすい領域R上に感度調整膜4が形成されているため、当該領域Rが補強され、圧力センサー1の使用時に破損が起こりにくい。このダイヤフラム3を補強するという観点から見ても、樹脂はヤング率が比較的小さいため、金属などのヤング率が高い材料に比べて補強効果が高いので好ましい。さらに、感度調整膜4を設けることで、取り扱う際にダイヤフラム3に傷が付くことを防いだり、圧力センサー1の製造後に行う落下試験の衝撃からダイヤフラム3を保護することができるという利点がある。また、ダイヤフラム3を例えばセラミックスなどにより構成し、当該ダイヤフラム3を研削して、その形状を制御することでダイヤフラム3の強度を高めることも可能であるが、上記の実施形態のように樹脂からなる膜を形成する方が容易にダイヤフラム3の強度を高め、圧力センサー1の製造が容易になるという利点がある。続いて、第2の実施形態に係る圧力センサーの製造方法について説明する。この第2の実施形態の圧力センサーでは、後述のようにダイヤフラム3のずれを容易に検出するために、例えばスペーサー22及びベース21が一体的に形成されている。これらスペーサー及びベース21は、例えばウエハ63をエッチングして、既述の内部空間12に相当する凹部を形成することにより行われる。そのような差異を除き、ウエハ61、63の加工からウエハ61、63を接着して容器11を形成するまで、第1の実施形態と同様に処理が行われる。図11は、そのように形成された容器11を示している。ところで、容器11の組み立ての精度によっては図11に示すようにダイヤフラム3と容器本体2とが、互いにずれて接着されて当該容器11が形成される場合がある。この第2の実施形態では、このようにダイヤフラム3と容器本体2とが互いにずれて接着された場合における圧力センサー1の感度のバラつきを抑えることを目的とする。容器11の組み立て後、カメラ66で上方から容器11を撮像する。例えばカメラ66に接続されたコンピュータは、得られた画像に基づき、図12に示すダイヤフラム3の長辺の中心点A1及び容器本体2の長辺の中心点A2を特定し、A1、A2の距離を検出する。さらに前記コンピュータは、前記画像に基づいて、図12に示すダイヤフラム3の短辺の中心点B1及び容器本体2の中心点B2を特定し、B1、B2の距離を検出する。コンピュータは、検出したA1A2の距離、B1B2の距離をディスプレイなどの表示手段に表示する。図13は、A1A2の距離の範囲と、B1B2の距離の範囲と、圧力センサー1の発振周波数を許容範囲内に収めるために要する感度調整膜4の膜厚H1と、既述の径の長さL1との対応関係を示したテーブル72である。ユーザは、このテーブル72にから得られたA1-A2の距離及びB1-B2の距離に対応する感度調整膜4の厚さH1及び前記径の長さL1を検索して決定する。このようなテーブルの各数値は、予め実験により設定しておく。感度調整膜4の厚さH1及び径の大きさL1を決定した後は、第1の実施形態と同様に冶具65によりダイヤフラム3を固定し、第1の実施形態と同様に感度調整膜4の形成を行う。図14は、このように感度調整膜4が形成された圧力センサー1を示している。この第2の実施形態においては、第1の実施形態と同様に、感度調整膜4を設けることでダイヤフラム3と容器本体2との接着位置のずれにより、圧力センサー間で発振周波数がばらつくことが抑えられる。結果として圧力センサー1の感度がばらつくことが抑えられる。また、第1の実施形態と同様に感度調整膜4により、ダイヤフラム3を補強することもできる。各実施形態において、感度調整膜4は、エポキシ樹脂に限られず、ポリイミド樹脂、Siシリコン系接着剤、レジストなどによる樹脂を用いてもよい。また、感度調整膜4の形状としては上記の例に限られず、ダイヤフラム3の表面全体に亘って形成してもよいし、感度調整膜4の周縁部の膜厚が高く、中央部の膜厚が低くなるように形成してもよい。また感度調整膜4を形成するにあたり、上記の実施形態ではノズルから樹脂を吐出するいわゆるディスペンス法を用いているが、スクリーン印刷法など他の方法により感度調整膜4を形成してもよい。上記の実施形態では、感度調整膜4の厚さ及び形成領域の両方を圧力センサー1ごとに変更しているが、厚さ及び形成領域のうちいずれか一方のみを変更するようにしてもよい。上記の実施形態では応力感応素子として水晶振動子を用いているが、代わりにLiTaO3、LiNbO3またはLa3GA5SiO14などの圧電単結晶を用いてもよい。ダイヤフラム3は水晶に構成されることに限られず、ガラス、Si、金属板、またはセラミックスにより構成してもよい。続いて、本発明に関連して行われたシミュレーションについて説明する。感度調整膜4が無い圧力センサー1サンプル1とすると、感度調整膜4を設けた圧力センサー1サンプル2とするにおいて、夫々の圧力センサー1のダイヤフラム3の厚さ方向に6kg/cm2の圧力が加わった状態を設定した。そして、ダイヤフラム3の面内における応力分布を調べた。図15はサンプル1の応力分布の結果を示したものである。実際の測定結果は応力の分布がカラーのグラデーションとしてモニターに出力されているが、図15ではその応力分布を等高線表示により概略的に示したものである。図の表示において、塗りつぶした箇所>網目を付した箇所>多数の点を付した箇所>斜線を付した箇所>無地の領域の順に強い応力が発生している。この図15に示すように、ダイヤフラム3とスペーサー22とを貼り合わせている部分、即ち領域R及びその周辺に応力が集中している。図16は、サンプル2の応力分布の結果をサンプル1と同様に模式的に示したものである。このサンプル2でもダイヤフラム3とスペーサー22とを貼り合わせている部分に応力が集中しているが、応力の集中している領域が狭くなり、サンプル1に比べて応力が面内に広く分散されている。サンプル1、サンプル2で最も応力が集中している箇所を夫々比較すると、サンプル2ではサンプル1に比べて30応力の低下が見られた。また、サンプル1、サンプル2でダイヤフラム3の感度を比較したところ、サンプル2のサンプル1に対する感度の低下は9に留まった。このシミュレーションから、感度調整膜4を設けることで感度を大きく低下させること無く、圧力センサー1を補強できることが確認された。"