"基板を支持するチャックと、二方向に配列した複数のミラーの角度を変更して光ビームを変調する空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を含むヘッド部を有し、直線偏光の光ビームを照射する光ビーム照射装置と、前記光ビーム照射装置のヘッド部と前記チャックに支持された基板との間に配置され、前記光ビーム照射装置のヘッド部から照射された光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾け、前記チャックに支持された基板へ光ビームを斜めに照射する光偏向素子と、前記チャックと前記光ビーム照射装置とを相対的に移動する移動手段とを備えたことを特徴とする配向膜の露光装置。前記光偏向素子を複数備え、各光偏向素子は、前記光ビーム照射装置のヘッド部から照射された光ビームの進行方向をそれぞれ異なる方向へ傾け、前記複数の光偏向素子を、前記光ビーム照射装置のヘッド部と前記チャックに支持された基板との間に切り替えて配置する手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の配向膜の露光装置。前記光偏向素子を回転して、前記光偏向素子により傾けられる光ビームの進行方向を切り替える手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の配向膜の露光装置。前記光偏向素子は、溝の断面形状が鋸歯状である透過型ブレーズド回折格子であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の配向膜の露光装置。前記チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された基板の表面の高さの変位に応じて、前記光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、前記光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する手段とを備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の配向膜の露光装置。前記チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された基板の表面の高さの変位分だけ、前記チャックと前記光ビーム照射装置とを相対的に基板の表面に垂直な方向へ移動する手段とを備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の配向膜の露光装置。前記検出手段は、検出光を前記チャックに支持された基板へ斜めに照射する投光部と、検出光が基板の表面で反射された反射光を受光する受光部とを有し、受光部で受光した反射光の位置の変化から、基板の表面の高さの変位を検出することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の配向膜の露光装置。基板をチャックで支持し、チャックと、二方向に配列した複数のミラーの角度を変更して光ビームを変調する空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を含むヘッド部を有し、直線偏光の光ビームを照射する光ビーム照射装置とを、相対的に移動し、光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾ける光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に配置して、光ビーム照射装置から照射された直線偏光の光ビームを、光偏向素子からチャックに支持された基板へ斜めに照射し、光偏向素子から斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板を走査して、基板に塗布された配向膜に液晶の配列方向を整える配向特性を付与することを特徴とする配向膜の露光方法。光ビームの進行方向をそれぞれ異なる方向へ傾ける複数の光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に切り替えて配置することを特徴とする請求項8に記載の配向膜の露光方法。光偏向素子を回転して、光偏向素子により傾けられる光ビームの進行方向を切り替えることを特徴とする請求項8に記載の配向膜の露光方法。光偏向素子として、溝の断面形状が鋸歯状である透過型ブレーズド回折格子を用いることを特徴とする請求項8乃至請求項10のいずれか一項に記載の配向膜の露光方法。チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出し、検出した基板の表面の高さの変位に応じて、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給することを特徴とする請求項8乃至請求項11のいずれか一項に記載の配向膜の露光方法。チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出し、検出した基板の表面の高さの変位分だけ、チャックと光ビーム照射装置とを相対的に基板の表面に垂直な方向へ移動することを特徴とする請求項8乃至請求項11のいずれか一項に記載の配向膜の露光方法。検出光をチャックに支持された基板へ斜めに照射し、検出光が基板の表面で反射された反射光を受光し、受光した反射光の位置の変化から、基板の表面の高さの変位を検出することを特徴とする請求項12又は請求項13に記載の配向膜の露光方法。特許文献1に記載の様に、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成するためには、直線偏光の紫外光を、配向領域毎に異なる方向から斜めに照射する必要がある。そのため、従来は、フォトリソグラフィー技術で用いられる、マスクと基板との間に微小な間隙プロキシミティギャップを設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置と同様の構成を用い、露光する配向領域以外の領域を覆うマスクを設けて、露光光照射装置からマスクへ直線偏光の露光光を斜めに照射していた。しかしながら、マスクを用いた従来の方式は、露光する基板の種類毎にマスクを交換する必要がある。また、従来のプロキシミティ露光装置に用いられる露光光照射装置は、露光光を照射する方向を変更することができないため、各配向領域を露光する度に基板をチャックから取り外して基板の向きを回転させる必要がある。そのため、タクトタイムが長くなって、スループットが低下するという問題がある。さらに、マスクを用いた従来の方式では、マスクに自重によるたわみが生じるため、マスクと基板との間のギャップが場所によって異なり、露光光をマスクから基板へ斜めに照射すると、露光光が基板へ照射される位置がマスクと基板との間のギャップに応じて変動し、露光精度が低下するという問題がある。本発明の課題は、マスクを用いることなく、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成することである。また、本発明の課題は、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成する際、タクトタイムを短縮して、スループットを向上させることである。さらに、本発明の課題は、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を精度良く形成することである。本発明の配向膜の露光装置は、基板を支持するチャックと、二方向に配列した複数のミラーの角度を変更して光ビームを変調する空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を含むヘッド部を有し、直線偏光の光ビームを照射する光ビーム照射装置と、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に配置され、光ビーム照射装置のヘッド部から照射された光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾け、チャックに支持された基板へ光ビームを斜めに照射する光偏向素子と、チャックと光ビーム照射装置とを相対的に移動する移動手段とを備えたものである。また、本発明の配向膜の露光方法は、基板をチャックで支持し、チャックと、二方向に配列した複数のミラーの角度を変更して光ビームを変調する空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を含むヘッド部を有し、直線偏光の光ビームを照射する光ビーム照射装置とを、相対的に移動し、光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾ける光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に配置して、光ビーム照射装置から照射された直線偏光の光ビームを、光偏向素子からチャックに支持された基板へ斜めに照射し、光偏向素子から斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板を走査して、基板に塗布された配向膜に液晶の配列方向を整える配向特性を付与するものである。光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾ける光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に配置して、光ビーム照射装置から照射された直線偏光の光ビームを、光偏向素子からチャックに支持された基板へ斜めに照射し、光偏向素子から斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板を走査して、基板に塗布された配向膜に液晶の配列方向を整える配向特性を付与するので、光ビーム照射装置の空間的光変調器を駆動する駆動回路へ供給する描画データを変更して、所望の位置及び所望の形状の配向領域を露光することができる。従って、マスクを用いることなく、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成することができる。さらに、本発明の配向膜の露光装置は、光偏向素子を複数備え、各光偏向素子が、光ビーム照射装置のヘッド部から照射された光ビームの進行方向をそれぞれ異なる方向へ傾け、複数の光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に切り替えて配置する手段を備えたものである。また、本発明の配向膜の露光方法は、光ビームの進行方向をそれぞれ異なる方向へ傾ける複数の光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に切り替えて配置するものである。あるいは、本発明の配向膜の露光装置は、光偏向素子を回転して、光偏向素子により傾けられる光ビームの進行方向を切り替える手段を備えたものである。また、本発明の配向膜の露光方法は、光偏向素子を回転して、光偏向素子により傾けられる光ビームの進行方向を切り替えるものである。光ビームの進行方向をそれぞれ異なる方向へ傾ける複数の光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に切り替えて配置し、あるいは、光偏向素子を回転して、光偏向素子により傾けられる光ビームの進行方向を切り替えるので、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成する際、各配向領域を露光する度に基板をチャックから取り外して基板の向きを回転させる必要が無い。従って、タクトタイムが短縮されて、スループットが向上する。さらに、本発明の配向膜の露光装置は、光偏向素子が、溝の断面形状が鋸歯状である透過型ブレーズド回折格子であるものである。また、本発明の配向膜の露光方法は、光偏向素子として、溝の断面形状が鋸歯状である透過型ブレーズド回折格子を用いるものである。光偏向素子として、透過型ブレーズド回折格子を用いることにより、光偏向素子を透過する際の光ビームの損失が少なく済む。さらに、本発明の配向膜の露光装置は、チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出する検出手段と、検出手段により検出された基板の表面の高さの変位に応じて、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する手段とを備えたものである。また、本発明の配向膜の露光方法は、チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出し、検出した基板の表面の高さの変位に応じて、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給するものである。あるいは、本発明の配向膜の露光装置は、チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出する検出手段と、検出手段により検出された基板の表面の高さの変位分だけ、チャックと光ビーム照射装置とを相対的に基板の表面に垂直な方向へ移動する手段とを備えたものである。また、本発明の配向膜の露光方法は、チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出し、検出した基板の表面の高さの変位分だけ、チャックと光ビーム照射装置とを相対的に基板の表面に垂直な方向へ移動するものである。光ビーム照射装置から照射された直線偏光の光ビームを、光偏向素子からチャックに支持された基板へ斜めに照射するため、チャックの表面の高さのばらつきや基板の厚さのばらつきにより、チャックに支持された基板の表面の高さが場所によって異なると、そのままでは、光ビームが基板へ照射される位置が変動する。本発明では、チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出し、検出した基板の表面の高さの変位に応じて、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給し、あるいは、検出した基板の表面の高さの変位分だけ、チャックと光ビーム照射装置とを相対的に基板の表面に垂直な方向へ移動するので、チャックに支持された基板の表面の高さが場所により異なっても、光ビームが基板へ照射される位置が変動せず、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域が精度良く形成される。さらに、本発明の配向膜の露光装置は、検出手段が、検出光をチャックに支持された基板へ斜めに照射する投光部と、検出光が基板の表面で反射された反射光を受光する受光部とを有し、受光部で受光した反射光の位置の変化から、基板の表面の高さの変位を検出するものである。また、本発明の配向膜の露光方法は、検出光をチャックに支持された基板へ斜めに照射し、検出光が基板の表面で反射された反射光を受光し、受光した反射光の位置の変化から、基板の表面の高さの変位を検出するものである。光学的手法を用いて基板の表面の高さの変位が精度良く検出され、配向領域がさらに精度良く形成される。本発明によれば、光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾ける光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に配置して、光ビーム照射装置から照射された直線偏光の光ビームを、光偏向素子からチャックに支持された基板へ斜めに照射し、光偏向素子から斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板を走査して、基板に塗布された配向膜に液晶の配列方向を整える配向特性を付与することにより、光ビーム照射装置の空間的光変調器を駆動する駆動回路へ供給する描画データを変更して、所望の位置及び所望の形状の配向領域を露光することができる。従って、マスクを用いることなく、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成することができる。さらに、本発明によれば、光ビームの進行方向をそれぞれ異なる方向へ傾ける複数の光偏向素子を、光ビーム照射装置のヘッド部とチャックに支持された基板との間に切り替えて配置し、あるいは、光偏向素子を回転して、光偏向素子により傾けられる光ビームの進行方向を切り替えることにより、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成する際、タクトタイムを短縮して、スループットを向上させることができる。さらに、本発明によれば、光偏向素子として、透過型ブレーズド回折格子を用いることにより、光偏向素子を透過する際の光ビームの損失を少なくすることができる。さらに、本発明によれば、チャックに支持された基板の表面の高さの変位を検出し、検出した基板の表面の高さの変位に応じて、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給し、あるいは、検出した基板の表面の高さの変位分だけ、チャックと光ビーム照射装置とを相対的に基板の表面に垂直な方向へ移動することにより、チャックに支持された基板の表面の高さが場所により異なっても、光ビームが基板へ照射される位置が変動するのを防止して、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を精度良く形成することができる。さらに、本発明によれば、検出光をチャックに支持された基板へ斜めに照射し、検出光が基板の表面で反射された反射光を受光し、受光した反射光の位置の変化から、基板の表面の高さの変位を検出することにより、光学的手法を用いて基板の表面の高さの変位を精度良く検出して、配向領域をさらに精度良く形成することができる。図1は、本発明の一実施の形態による配向膜の露光装置の概略構成を示す図である。また、図2は本発明の一実施の形態による配向膜の露光装置の側面図、図3は本発明の一実施の形態による配向膜の露光装置の正面図である。露光装置は、ベース3、Xガイド4、Xステージ5、Yガイド6、Yステージ7、θステージ8、チャック10、ゲート11、光ビーム照射装置20、リニアスケール31,33、エンコーダ32,34、レーザー測長系、レーザー測長系制御装置40、ステージ駆動回路60、及び主制御装置70を含んで構成されている。なお、図2及び図3では、レーザー測長系のレーザー光源41、レーザー測長系制御装置40、ステージ駆動回路60、及び主制御装置70が省略されている。露光装置は、これらの他に、基板1をチャック10へ搬入し、また基板1をチャック10から搬出する基板搬送ロボット、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。なお、以下に説明する実施の形態におけるXY方向は例示であって、X方向とY方向とを入れ替えてもよい。図1及び図2において、チャック10は、基板1の受け渡しを行う受け渡し位置にある。受け渡し位置において、図示しない基板搬送ロボットにより基板1がチャック10へ搬入され、また図示しない基板搬送ロボットにより基板1がチャック10から搬出される。チャック10は、基板1の裏面を真空吸着して支持する。基板1の表面には、ポリイミド等の高分子化合物から成る配向膜が塗布されている。基板1の露光を行う露光位置の上空に、ベース3をまたいでゲート11が設けられている。ゲート11には、複数の光ビーム照射装置20が搭載されている。なお、本実施の形態は、8つの光ビーム照射装置20を用いた露光装置の例を示しているが、光ビーム照射装置の数はこれに限らず、本発明は1つ又は2つ以上の光ビーム照射装置を用いた露光装置に適用される。図4は、光ビーム照射装置の概略構成を示す図である。光ビーム照射装置20は、光ファイバー22、レンズ23、ミラー24、DMDDigitalMicromirrorDevice25、投影レンズ26a,26b、DMD駆動回路27、偏光子28、及びレーザー変位計を含んで構成されている。光ファイバー22は、レーザー光源ユニット21から発生された紫外光の光ビームを、光ビーム照射装置20内へ導入する。光ファイバー22から射出された光ビームは、レンズ23を透過した後、偏光子28を透過して直線偏光となり、ミラー24で反射されてDMD25へ照射される。DMD25は、光ビームを反射する複数の微小なミラーを直交する二方向に配列して構成された空間的光変調器であり、各ミラーの角度を変更して光ビームを変調する。DMD25により変調された光ビームは、照射光学系の投影レンズ26a,26bを含むヘッド部20aから照射される。DMD駆動回路27は、主制御装置70から供給された描画データに基づいて、DMD25の各ミラーの角度を変更する。なお、偏光子28は、レンズ23とミラー24の間に限らず、光ビーム照射装置20内で光ビームの光路中の任意の位置に設置することができる。図2及び図3において、チャック10は、θステージ8に搭載されており、θステージ8の下にはYステージ7及びXステージ5が設けられている。Xステージ5は、ベース3に設けられたXガイド4に搭載され、Xガイド4に沿ってX方向へ移動する。Yステージ7は、Xステージ5に設けられたYガイド6に搭載され、Yガイド6に沿ってY方向へ移動する。θステージ8は、Yステージ7に搭載され、θ方向へ回転する。Xステージ5、Yステージ7、及びθステージ8には、ボールねじ及びモータや、リニアモータ等の図示しない駆動機構が設けられており、各駆動機構は、図1のステージ駆動回路60により駆動される。θステージ8のθ方向への回転により、チャック10に搭載された基板1は、直交する二辺がX方向及びY方向へ向く様に回転される。Xステージ5のX方向への移動により、チャック10は、受け渡し位置と露光位置との間を移動される。露光位置において、Xステージ5のX方向への移動により、各光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームが、基板1をX方向へ走査する。また、Yステージ7のY方向への移動により、各光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームによる基板1の走査領域が、Y方向へ移動される。図1において、主制御装置70は、ステージ駆動回路60を制御して、θステージ8のθ方向へ回転、Xステージ5のX方向への移動、及びYステージ7のY方向への移動を行う。図5は、DMDのミラー部の一例を示す図である。光ビーム照射装置20のDMD25は、光ビーム照射装置20からの光ビームによる基板1の走査方向X方向に対して、所定の角度θだけ傾いて配置されている。DMD25を、走査方向に対して傾けて配置すると、直交する二方向に配列された複数のミラー25aのいずれかが、隣接するミラー25a間の隙間に対応する箇所をカバーするので、配向膜の露光を隙間無く行うことができる。なお、本実施の形態では、Xステージ5によりチャック10をX方向へ移動することによって、光ビーム照射装置20からの光ビームによる基板1の走査を行っているが、光ビーム照射装置20を移動することにより、光ビーム照射装置20からの光ビームによる基板1の走査を行ってもよい。また、本実施の形態では、Yステージ7によりチャック10をY方向へ移動することによって、光ビーム照射装置20からの光ビームによる基板1の走査領域を変更しているが、光ビーム照射装置20を移動することにより、光ビーム照射装置20からの光ビームによる基板1の走査領域を変更してもよい。例えば、チャック10を固定し、各光ビーム照射装置20を搭載したゲート11をXY方向へ移動するステージを設け、各光ビーム照射装置20をXY方向へ移動する構成としてもよい。その場合、ゲート11の位置を3軸で検出するレーザー測長系を設け、後述する主制御装置70の描画制御部71は、レーザー測長系の検出結果に基づき、各光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給する描画データのXY座標を決定する。図1及び図2において、ベース3には、X方向へ伸びるリニアスケール31が設置されている。リニアスケール31には、Xステージ5のX方向への移動量を検出するための目盛が付けられている。また、Xステージ5には、Y方向へ伸びるリニアスケール33が設置されている。リニアスケール33には、Yステージ7のY方向への移動量を検出するための目盛が付けられている。図1及び図3において、Xステージ5の一側面には、リニアスケール31に対向して、エンコーダ32が取り付けられている。エンコーダ32は、リニアスケール31の目盛を検出して、パルス信号を主制御装置70へ出力する。また、図1及び図2において、Yステージ7の一側面には、リニアスケール33に対向して、エンコーダ34が取り付けられている。エンコーダ34は、リニアスケール33の目盛を検出して、パルス信号を主制御装置70へ出力する。主制御装置70は、エンコーダ32のパルス信号をカウントして、Xステージ5のX方向への移動量を検出し、エンコーダ34のパルス信号をカウントして、Yステージ7のY方向への移動量を検出する。図6は、レーザー測長系の動作を説明する図である。なお、図6においては、図1に示したゲート11及び光ビーム照射装置20が省略されている。レーザー測長系は、公知のレーザー干渉式の測長系であって、レーザー光源41、レーザー干渉計42,44、及びバーミラー43,45を含んで構成されている。バーミラー43は、チャック10のY方向へ伸びる一側面に取り付けられている。また、バーミラー45は、チャック10のX方向へ伸びる一側面に取り付けられている。レーザー干渉計42は、レーザー光源41からのレーザー光をバーミラー43へ照射し、バーミラー43により反射されたレーザー光を受光して、レーザー光源41からのレーザー光とバーミラー43により反射されたレーザー光との干渉を測定する。この測定は、Y方向の2箇所で行う。レーザー測長系制御装置40は、主制御装置70の制御により、レーザー干渉計42の測定結果から、チャック10のX方向の位置及び回転を検出する。一方、レーザー干渉計44は、レーザー光源41からのレーザー光をバーミラー45へ照射し、バーミラー45により反射されたレーザー光を受光して、レーザー光源41からのレーザー光とバーミラー45により反射されたレーザー光との干渉を測定する。レーザー測長系制御装置40は、主制御装置70の制御により、レーザー干渉計44の測定結果から、チャック10のY方向の位置を検出する。図4において、光ビーム照射装置20のヘッド部20aの下方には、図示しない光偏向素子移動装置が設けられている。図7は、光偏向素子移動装置の配置を示す図である。図7において、光偏向素子移動装置50は、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に設置されている。図8aは光偏向素子移動装置の上面図、図8bは光偏向素子移動装置の側面図である。光偏向素子移動装置50は、装置ベース51、ガイド53、移動テーブル54a,54b、モータ55、軸受56、ボールねじ57、ナット58、及び固定具59を含んで構成されている。図8aにおいて、装置ベース51には、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームが通過する開口52が設けられている。装置ベース51の上面には、X方向へ伸びるガイド53が設置されており、ガイド53には、移動テーブル54a,54bが搭載されている。また、装置ベース51の上面には、2つのモータ55が取り付けられており、各モータ55は、光偏向素子駆動回路90により駆動される。各モータ55の回転軸には、ボールねじ57がそれぞれ接続されており、各ボールねじ57は、軸受56により回転可能に支持されている。図8bにおいて、移動テーブル54aには、一方のボールねじ57により移動するナット58が、固定具59により取り付けられている。同様に、移動テーブル54bには、他方のボールねじ57により移動するナット58が、固定具59により取り付けられている。各モータ55により各ボールねじ57を回転すると、移動テーブル54a,54bが、ガイド53に沿ってY方向へ移動する。図8aにおいて、移動テーブル54a,54bには、破線で示す開口が設けられており、移動テーブル54a,54bの上面には、光偏向素子29a,29bが搭載されている。光偏向素子29a,29bは、後述する様に、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾け、光ビームをチャック10に支持された基板1へ斜めに照射する。本実施の形態では、光偏向素子29a,29bとして、溝の断面形状が鋸歯状である透過型ブレーズド回折格子が用いられている。図8aにおいて、光偏向素子29a,29b上の実線で示す矢印は、光偏向素子29a,29bにより光ビームが傾けられる方向を示している。なお、この光偏向素子29a,29bにより光ビームが傾けられる方向は、1つの例であって、配向膜に付与したい配向特性のプレチルト方向、及び基板1に塗布された配向膜の性質等に応じて、光偏向素子29a,29bを適切な角度に設置することができる。例えば、図8aにおいて、光偏向素子29a,29b上の破線で示す矢印は、光偏向素子29a,29bにより光ビームが傾けられる方向の他の例を示している。以下、本発明の一実施の形態による配向膜の露光方法について説明する。図9及び図10は、光偏向素子移動装置の動作を説明する図である。図9a及び図10aは光偏向素子移動装置の上面図、図9b及び図10bは光偏向素子移動装置の側面図である。基板1の配向膜にプレチルト方向が180度異なる2種類の配向領域群を形成する場合、光偏向素子駆動回路90は、主制御装置70の制御により、光偏向素子移動装置50の各モータ55を駆動して、移動テーブル54a,54bを移動させ、光偏向素子29a,29bを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に切り替えて配置する。図9a,bは、光偏向素子29aを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に配置した状態を示している。また、図10a,bは、光偏向素子29bを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に配置した状態を示している。図11及び図12は、本発明の一実施の形態による配向膜の露光方法を説明する図である。図9a,bに示す様に、光偏向素子29aを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に配置したとき、図11に示す様に、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームは、光偏向素子29aを透過してその進行方向が左斜め下方へ傾けられ、基板1に対して右斜め上方から照射される。図11において、露光装置は、チャック10と光ビーム照射装置20とを相対的に移動し、光偏向素子29aから斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板1を矢印で示す走査方向へ走査する。このとき、露光光のパターンや基板1に塗布された配向膜の性質等に応じて、プレチルト方向が露光光の進行方向に沿う場合、基板1の配向膜には、プレチルト方向が図面左側となる配向特性が付与される。また、プレチルト方向が露光光の進行方向と逆方向に沿う場合、基板1の配向膜には、プレチルト方向が図面右側となる配向特性が付与される。一方、図10a,bに示す様に、光偏向素子29bを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に配置したとき、図12に示す様に、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームは、光偏向素子29bを透過してその進行方向が右斜め下方へ傾けられ、基板1に対して左斜め上方から照射される。図12において、露光装置は、チャック10と光ビーム照射装置20とを相対的に移動し、光偏向素子29bから斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板1を矢印で示す走査方向へ走査する。このとき、露光光のパターンや基板1に塗布された配向膜の性質等に応じて、プレチルト方向が露光光の進行方向に沿う場合、基板1の配向膜には、プレチルト方向が図面右側となる配向特性が付与される。また、プレチルト方向が露光光の進行方向と逆方向に沿う場合、基板1の配向膜には、プレチルト方向が図面左側となる配向特性が付与される。なお、光偏向素子29a,29bから光ビームを基板1へ照射する方向は、図11及び図12に示した例に限らず、配向膜に付与したい配向特性のプレチルト方向、及び基板1に塗布された配向膜の性質等に応じ、光偏向素子29a,29bを設置する角度を変更して、光偏向素子29a,29bから光ビームを基板1へ照射する方向を適切に設定することができる。また、光偏向素子29a,29bから光ビームを基板1へ照射する方向と、光ビームによる基板1の走査方向の組合せは、図11及び図12に示した例に限らず、露光光のパターンや基板1に塗布された配向膜の性質等に応じて、適宜決定される。光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾ける光偏向素子29a,29bを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に配置して、光ビーム照射装置20から照射された直線偏光の光ビームを、光偏向素子29a,29bからチャック10に支持された基板1へ斜めに照射し、光偏向素子29a,29bから斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板1を走査して、基板1に塗布された配向膜に液晶の配列方向を整える配向特性を付与するので、光ビーム照射装置20のDMD25を駆動するDMD駆動回路27へ供給する描画データを変更して、所望の位置及び所望の形状の配向領域を露光することができる。従って、マスクを用いることなく、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成することができる。そして、光ビームの進行方向をそれぞれ異なる方向へ傾ける複数の光偏向素子29a,29bを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に切り替えて配置するので、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成する際、各配向領域を露光する度に基板1をチャック10から取り外して基板1の向きを回転させる必要が無い。従って、タクトタイムが短縮されて、スループットが向上する。本発明の他の実施の形態として、光偏向素子移動装置50の代わりに、光偏向素子を回転する光偏向素子回転装置を設けてもよい。図13は、光偏向素子回転装置の配置を示す図である。図13において、光偏向素子回転装置50’は、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に設置されている。図14及び図15は、光偏向素子回転装置の動作を説明する図である。図14a及び図15aは光偏向素子回転装置の上面図、図14b及び図15bは光偏向素子回転装置の側面図である。光偏向素子回転装置50’は、装置ベース51、テーブル台54c、及び回転テーブル54dを含んで構成されている。図14a及び図15aにおいて、装置ベース51には、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームが通過する開口52が設けられている。装置ベース51の上面には、テーブル台54cが搭載されており、テーブル台54cの上面には、回転テーブル54dが搭載されている。回転テーブル54dには、ボールねじ及びモータ等の図示しない駆動機構が設けられており、駆動機構は、光偏向素子駆動回路90’により駆動される。回転テーブル54dの上面には、光偏向素子29が搭載されている。テーブル台54c及び回転テーブル54dには、破線で示す開口が設けられている。光偏向素子29は、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾け、光ビームをチャック10に支持された基板1へ斜めに照射する。本実施の形態では、光偏向素子29として、溝の断面形状が鋸歯状である透過型ブレーズド回折格子が用いられている。図14a及び図15aにおいて、光偏向素子29上の矢印は、光偏向素子29により光ビームが傾けられる方向を示している。図14及び図15において、基板1の配向膜にプレチルト方向が180度異なる2種類の配向領域群を形成する場合、光偏向素子駆動回路90’は、主制御装置70の制御により、光偏向素子回転装置50’の回転テーブル54dの駆動機構を駆動して、光偏向素子29を180度回転させ、光偏向素子29により傾けられる光ビームの進行方向を切り替える。図14aは、回転前の状態を示している。このとき、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームは、図11と同様に、光偏向素子29を透過してその進行方向が左斜め下方へ傾けられ、基板1に対して右斜め上方から照射される。図15aは、回転後の状態を示している。このとき、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射された光ビームは、図12と同様に、光偏向素子29を透過してその進行方向が右斜め下方へ傾けられ、基板1に対して左斜め上方から照射される。光偏向素子29を回転して、光偏向素子29により傾けられる光ビームの進行方向を切り替えるので、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成する際、各配向領域を露光する度に基板1をチャック10から取り外して基板1の向きを回転させる必要が無い。従って、タクトタイムが短縮されて、スループットが向上する。本発明では、光偏向素子29,29a,29bから基板1へ光ビームを斜めに照射するため、チャック10の表面の高さのばらつきや基板1の厚さのばらつきにより、チャック10に支持された基板1の表面の高さが場所によって異なると、そのままでは、光ビームが基板1へ照射される位置が変動する。図16は、基板の表面の高さの変位による光ビームの照射位置の変動を説明する図である。基板1の表面の高さが実線1aである場合と、基板1の表面の高さが破線1bである場合とで、基板1の表面の高さの変位をΔZとする。光ビームの基板1の表面への入射角がαであるとき、基板1の表面の高さが実線1aである場合と、基板1の表面の高さが破線1bである場合とで、光ビームが基板1の表面へ照射される位置の変動ΔPは、ΔP=ΔZtanα式1となる。図4において、レーザー変位計は、投光部81と受光部82とから成る。投光部81は、レーザー光源81aとレンズ81bとを含んで構成され、レーザー光源81aから発生した検出光を、レンズ81bからチャック10に支持された基板1へ斜めに照射する。受光部82は、レンズ82aとCCDラインセンサー82bとを含んで構成され、検出光が基板1の表面で反射された反射光を、レンズ82aにより集光して、CCDラインセンサー82bで受光する。図16において、検出光の基板1の表面への入射角がβであるとき、基板1の表面の高さが実線1aである場合と、基板1の表面の高さが破線1bである場合とで、CCDラインセンサー82bにより受光される反射光の受光位置の変化Δεは、Δε=MΔZ/cosβMは、レンズ82aの倍率となる。従って、基板1の表面の高さの変位ΔZは、ΔZ=1/MΔεcosβとなり、レーザー変位計の受光部82は、CCDラインセンサー82bで受光した反射光の位置の変化から、基板1の表面の高さの変位を検出する。図4において、主制御装置70は、光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ描画データを供給する描画制御部を有する。図17は、描画制御部の概略構成を示す図である。描画制御部71は、メモリ72、バンド幅設定部73、中心点座標決定部74、及び座標決定部75を含んで構成されている。なお、図17では、1つの光ビーム照射装置20のレーザー変位計の受光部82のみが示され、他の7つの光ビーム照射装置20のレーザー変位計の受光部82が省略されている。メモリ72は、各光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給する描画データを、そのXY座標をアドレスとして記憶している。バンド幅設定部73は、メモリ72から読み出す描画データのY座標の範囲を決定することにより、光ビーム照射装置20のヘッド部20aから照射される光ビームのY方向のバンド幅を設定する。レーザー測長系制御装置40は、露光位置における基板1の露光を開始する前のチャック10のXY方向の位置を検出する。中心点座標決定部74は、レーザー測長系制御装置40が検出したチャック10のXY方向の位置から、基板1の露光を開始する前のチャック10の中心点のXY座標を決定する。図1において、光ビーム照射装置20からの光ビームにより基板1の走査を行う際、主制御装置70は、ステージ駆動回路60を制御して、Xステージ5によりチャック10をX方向へ移動させる。基板1の走査領域を移動する際、主制御装置70は、ステージ駆動回路60を制御して、Yステージ7によりチャック10をY方向へ移動させる。図17において、中心点座標決定部74は、エンコーダ32,34からのパルス信号をカウントして、Xステージ5のX方向への移動量及びYステージ7のY方向への移動量を検出し、チャック10の中心点のXY座標を決定する。座標決定部75は、中心点座標決定部74が決定したチャック10の中心点のXY座標に基づき、光偏向素子29,29a,29bによる光ビームの傾きに合わせて、各光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給する描画データのXY座標を決定する。そして、座標決定部75は、レーザー変位計の受光部82が検出した基板1の表面の高さの変位に応じて、決定したXY座標を、上述の式1を用いて算出したΔP分だけ補正する。メモリ72は、座標決定部75が補正したXY座標をアドレスとして入力し、入力したXY座標のアドレスに記憶された描画データを、各光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ出力する。なお、レーザー変位計の投光部81及び受光部82は、光ビーム照射装置20から照射される光ビームが傾斜するX方向に配置し、算出したΔPを、この配置に応じて、チャック10のXY座標に変換して、描画データのXY座標の補正を行う。チャック10に支持された基板1の表面の高さの変位を検出し、検出した基板1の表面の高さの変位に応じて、光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給するので、チャック10に支持された基板1の表面の高さが場所により異なっても、光ビームが基板1へ照射される位置が変動せず、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域が精度良く形成される。また、検出光をチャック10に支持された基板1へ斜めに照射し、検出光が基板1の表面で反射された反射光を受光し、受光した反射光の位置の変化から、基板1の表面の高さの変位を検出するので、光学的手法を用いて基板1の表面の高さの変位が精度良く検出され、配向領域がさらに精度良く形成される。また、レーザー変位計の投光部81及び受光部82を、各光ビーム照射装置20に設置し、描画データの座標の補正を光ビーム照射装置20毎に行うので、基板の表面が複雑に起伏する場合に対応することができる。図18は、本発明の他の実施の形態による配向膜の露光装置の概略構成を示す図である。本実施の形態は、θステージ8とチャック10との間に昇降機構9を設け、チャック10の底面にガイドブロック10aを取り付け、昇降機構9を駆動する昇降機構駆動回路61を備えたものである。その他の構成要素は、図1に示した実施の形態と同様である。昇降機構9は、Zガイド9aと直動モータ9bとを含んで構成されている。Zガイド9aは、チャック10の底面に設けたガイドブロック10aを上下Z方向に案内する。直動モータ9bは、昇降機構駆動回路61により駆動され、ロッド9cがチャック10の底面に接触しながら昇降して、チャック10を上下Z方向に移動する。主制御装置70は、レーザー変位計の受光部82が検出した基板1の表面の高さの変位に応じて、昇降機構駆動回路61を制御し、基板1の表面の高さの変位分だけチャック10を上下Z方向に移動させて、光ビーム照射装置20からチャック10に支持された基板1の表面までの距離を一定に保つ。なお、本実施の形態では、チャック10をZ方向へ移動することにより、各光ビーム照射装置20からチャック10に支持された基板1の表面までの距離を一定に保っているが、ゲート11に昇降機構を設けて、各光ビーム照射装置20をZ方向へ移動することにより、各光ビーム照射装置20からチャック10に支持された基板1の表面までの距離を一定に保ってもよい。チャック10に支持された基板1の表面の高さの変位を検出し、検出した基板1の表面の高さの変位分だけ、チャック10と光ビーム照射装置20とを相対的に基板1の表面に垂直な方向へ移動するので、チャック10に支持された基板1の表面の高さが場所により異なっても、光ビームが基板1へ照射される位置が変動せず、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域が精度良く形成される。なお、以上説明した実施の形態では、レーザー変位計の投光部81及び受光部82を、各光ビーム照射装置20に設置していたが、レーザー変位計の投光部81及び受光部82を、ゲート11の下方の1箇所又は複数箇所に設置して、基板上の代表点1箇所又は任意の複数箇所で基板の表面の高さの変位を検出する構成としてもよい。その場合、チャック10のX方向への移動に従い、検出した基板1の表面の高さの変位を、各光ビーム照射装置20に対する平均変位に置き換えて、各光ビーム照射装置20へ供給する描画データのXY座標の補正、またはチャック10のZ方向への移動を行う。また、基板1の表面の高さの変位の検出は、露光時にリアルタイムで行ってもよく、予め露光前に行ってもよい。また、回帰平面又は回帰曲面を定め、チャックのXY方向の位置に従って、チャックのZ方向の移動を制御してもよい。また、以上説明した実施の形態では、基板の配向膜にプレチルト方向が180度異なる2種類の配向領域群を形成していたが、プレチルト方向がほぼ90度ずつ異なる4種類の配向領域群を形成する場合には、図11及び図12に示す様にして光ビームによる基板の走査を行った後、基板をほぼ90度回転させてから、再び、図11及び図12に示す様にして光ビームによる基板の走査を行えばよい。また、以上説明した実施の形態では、プレチルト方向が基板の長辺又は短辺に平行であったが、表示用パネルの特性として、プレチルト方向を基板の長辺又は短辺に対して斜めにする必要がある場合は、基板をXY方向に対して回転させた状態で光ビームによる基板の走査を行うことにより、所望のプレチルト方向を得ることができる。以上説明した実施の形態によれば、光ビームを透過させて光ビームの進行方向を傾ける光偏向素子29,29a,29bを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に配置して、光ビーム照射装置20から照射された直線偏光の光ビームを、光偏向素子29,29a,29bからチャック10に支持された基板1へ斜めに照射し、光偏向素子29,29a,29bから斜めに照射された直線偏光の光ビームにより基板1を走査して、基板1に塗布された配向膜に液晶の配列方向を整える配向特性を付与することにより、光ビーム照射装置20のDMD25を駆動するDMD駆動回路27へ供給する描画データを変更して、所望の位置及び所望の形状の配向領域を露光することができる。従って、マスクを用いることなく、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成することができる。さらに、光ビームの進行方向をそれぞれ異なる方向へ傾ける複数の光偏向素子29a,29bを、光ビーム照射装置20のヘッド部20aとチャック10に支持された基板1との間に切り替えて配置し、あるいは、光偏向素子29を回転して、光偏向素子29により傾けられる光ビームの進行方向を切り替えることにより、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成する際、タクトタイムを短縮して、スループットを向上させることができる。さらに、光偏向素子29,29a,29bとして、透過型ブレーズド回折格子を用いることにより、光偏向素子29,29a,29bを透過する際の光ビームの損失を少なくすることができる。さらに、チャック10に支持された基板1の表面の高さの変位を検出し、検出した基板1の表面の高さの変位に応じて、光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、光ビーム照射装置20のDMD駆動回路27へ供給し、あるいは、検出した基板1の表面の高さの変位分だけ、チャック10と光ビーム照射装置20とを相対的に基板1の表面に垂直な方向へ移動することにより、チャック10に支持された基板1の表面の高さが場所により異なっても、光ビームが基板1へ照射される位置が変動するのを防止して、1つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を精度良く形成することができる。さらに、検出光をチャック10に支持された基板1へ斜めに照射し、検出光が基板1の表面で反射された反射光を受光し、受光した反射光の位置の変化から、基板1の表面の高さの変位を検出することにより、光学的手法を用いて基板1の表面の高さの変位を精度良く検出して、配向領域をさらに精度良く形成することができる。"