"回折格子型かつ反射型の空間光変調器の検査装置であって、複数の格子要素が一列に配列され、各格子要素が、配列方向に垂直な長手方向に伸びる1つの可動反射面と1つの非可動反射面との組合せであり、前記各格子要素への電圧の付与により、前記可動反射面が、前記非可動反射面に垂直な方向に移動可能である前記空間光変調器を保持する保持部と、連続する少なくとも1つの格子要素を検査対象として、前記少なくとも1つの格子要素のみに照射光を照射する照射部と、前記少なくとも1つの格子要素に電圧を付与する電圧付与部と、前記長手方向に平行な軸を中心とする所定の角度範囲の各角度位置に関して、前記少なくとも1つの格子要素からの光の強度を測定することにより、測定角度強度分布を取得する測定部と、前記電圧付与部および前記測定部を制御することにより、複数の電圧値のそれぞれにおける測定角度強度分布を取得する制御部と、を備えることを特徴とする空間光変調器の検査装置。請求項1に記載の空間光変調器の検査装置であって、前記少なくとも1つの格子要素における可動反射面と非可動反射面との高さの差を、パラメータとして含む演算により求められる理論角度強度分布と、測定角度強度分布とを比較することにより、前記複数の電圧値のそれぞれにおける前記パラメータの値を決定する演算部をさらに備えることを特徴とする空間光変調器の検査装置。請求項2に記載の空間光変調器の検査装置であって、前記少なくとも1つの格子要素が1つの格子要素であることを特徴とする空間光変調器の検査装置。請求項2または3に記載の空間光変調器の検査装置であって、前記照射部において、前記照射光の波長が切り替え可能であることを特徴とする空間光変調器の検査装置。請求項2ないし4のいずれかに記載の空間光変調器の検査装置であって、前記演算において前記可動反射面の傾き角がパラメータとして含まれることを特徴とする空間光変調器の検査装置。請求項1ないし5のいずれかに記載の空間光変調器の検査装置であって、前記測定部が、ラインセンサと、前記少なくとも1つの格子要素からの光を前記ラインセンサへと導くfθレンズと、を備えることを特徴とする空間光変調器の検査装置。請求項1ないし6のいずれかに記載の空間光変調器の検査装置であって、前記少なくとも1つの格子要素からの光を前記測定部へと導く楕円面鏡をさらに備え、前記少なくとも1つの格子要素が前記楕円面鏡の一方の焦点に配置され、前記測定部が前記楕円面鏡の他方の焦点に配置されることを特徴とする空間光変調器の検査装置。回折格子型かつ反射型の空間光変調器の検査方法であって、前記空間光変調器において、複数の格子要素が一列に配列され、各格子要素が、配列方向に垂直な長手方向に伸びる1つの可動反射面と1つの非可動反射面との組合せであり、前記各格子要素への電圧の付与により、前記可動反射面が、前記非可動反射面に垂直な方向に移動可能であり、前記空間光変調器の検査方法が、a連続する少なくとも1つの格子要素を検査対象として、前記少なくとも1つの格子要素のみに照射光を照射する工程と、b前記a工程に並行して、前記少なくとも1つの格子要素に電圧を付与しつつ、前記長手方向に平行な軸を中心とする所定の角度範囲の各角度位置に関して、前記少なくとも1つの格子要素からの光の強度を測定することにより、測定角度強度分布を取得する工程と、c前記b工程における電圧値を変更しつつ、前記b工程を繰り返すことにより、複数の電圧値のそれぞれにおける測定角度強度分布を取得する工程と、を備えることを特徴とする空間光変調器の検査方法。請求項8に記載の空間光変調器の検査方法であって、d前記少なくとも1つの格子要素における可動反射面と非可動反射面との高さの差を、パラメータとして含む演算により求められる理論角度強度分布と、測定角度強度分布とを比較することにより、前記複数の電圧値のそれぞれにおける前記パラメータの値を決定する工程をさらに備えることを特徴とする空間光変調器の検査方法。請求項9に記載の空間光変調器の検査方法であって、前記少なくとも1つの格子要素が1つの格子要素であることを特徴とする空間光変調器の検査方法。請求項9または10に記載の空間光変調器の検査方法であって、前記照射光の波長が切り替え可能であることを特徴とする空間光変調器の検査方法。請求項9ないし11のいずれかに記載の空間光変調器の検査方法であって、前記演算において前記可動反射面の傾き角がパラメータとして含まれることを特徴とする空間光変調器の検査方法。ところで、空間光変調器の格子要素を検査する際に、画像記録や描画用の光の強度を測定するのみでは不十分な場合があり、格子要素を適切に検査することが可能な新規な手法が求められている。本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、検査対象である格子要素を適切に検査することを目的としている。請求項1に記載の発明は、回折格子型かつ反射型の空間光変調器の検査装置であって、複数の格子要素が一列に配列され、各格子要素が、配列方向に垂直な長手方向に伸びる1つの可動反射面と1つの非可動反射面との組合せであり、前記各格子要素への電圧の付与により、前記可動反射面が、前記非可動反射面に垂直な方向に移動可能である前記空間光変調器を保持する保持部と、連続する少なくとも1つの格子要素を検査対象として、前記少なくとも1つの格子要素のみに照射光を照射する照射部と、前記少なくとも1つの格子要素に電圧を付与する電圧付与部と、前記長手方向に平行な軸を中心とする所定の角度範囲の各角度位置に関して、前記少なくとも1つの格子要素からの光の強度を測定することにより、測定角度強度分布を取得する測定部と、前記電圧付与部および前記測定部を制御することにより、複数の電圧値のそれぞれにおける測定角度強度分布を取得する制御部とを備える。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の空間光変調器の検査装置であって、前記少なくとも1つの格子要素における可動反射面と非可動反射面との高さの差を、パラメータとして含む演算により求められる理論角度強度分布と、測定角度強度分布とを比較することにより、前記複数の電圧値のそれぞれにおける前記パラメータの値を決定する演算部をさらに備える。請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の空間光変調器の検査装置であって、前記少なくとも1つの格子要素が1つの格子要素である。請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載の空間光変調器の検査装置であって、前記照射部において、前記照射光の波長が切り替え可能である。請求項5に記載の発明は、請求項2ないし4のいずれかに記載の空間光変調器の検査装置であって、前記演算において前記可動反射面の傾き角がパラメータとして含まれる。請求項6に記載の発明は、請求項1ないし5のいずれかに記載の空間光変調器の検査装置であって、前記測定部が、ラインセンサと、前記少なくとも1つの格子要素からの光を前記ラインセンサへと導くfθレンズとを備える。請求項7に記載の発明は、請求項1ないし6のいずれかに記載の空間光変調器の検査装置であって、前記少なくとも1つの格子要素からの光を前記測定部へと導く楕円面鏡をさらに備え、前記少なくとも1つの格子要素が前記楕円面鏡の一方の焦点に配置され、前記測定部が前記楕円面鏡の他方の焦点に配置される。請求項8に記載の発明は、回折格子型かつ反射型の空間光変調器の検査方法であって、前記空間光変調器において、複数の格子要素が一列に配列され、各格子要素が、配列方向に垂直な長手方向に伸びる1つの可動反射面と1つの非可動反射面との組合せであり、前記各格子要素への電圧の付与により、前記可動反射面が、前記非可動反射面に垂直な方向に移動可能であり、前記空間光変調器の検査方法が、a連続する少なくとも1つの格子要素を検査対象として、前記少なくとも1つの格子要素のみに照射光を照射する工程と、b前記a工程に並行して、前記少なくとも1つの格子要素に電圧を付与しつつ、前記長手方向に平行な軸を中心とする所定の角度範囲の各角度位置に関して、前記少なくとも1つの格子要素からの光の強度を測定することにより、測定角度強度分布を取得する工程と、c前記b工程における電圧値を変更しつつ、前記b工程を繰り返すことにより、複数の電圧値のそれぞれにおける測定角度強度分布を取得する工程とを備える。請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の空間光変調器の検査方法であって、d前記少なくとも1つの格子要素における可動反射面と非可動反射面との高さの差を、パラメータとして含む演算により求められる理論角度強度分布と、測定角度強度分布とを比較することにより、前記複数の電圧値のそれぞれにおける前記パラメータの値を決定する工程をさらに備える。請求項10に記載の発明は、請求項9に記載の空間光変調器の検査方法であって、前記少なくとも1つの格子要素が1つの格子要素である。請求項11に記載の発明は、請求項9または10に記載の空間光変調器の検査方法であって、前記照射光の波長が切り替え可能である。請求項12に記載の発明は、請求項9ないし11のいずれかに記載の空間光変調器の検査方法であって、前記演算において前記可動反射面の傾き角がパラメータとして含まれる。本発明によれば、複数の電圧値のそれぞれにおける測定角度強度分布を取得することにより、検査対象である格子要素を適切に検査することができる。請求項2および9の発明では、可動反射面と非可動反射面との高さの差と、電圧値との関係を取得することができ、請求項3および10の発明では、パラメータの値をより精度よく決定することができる。請求項4および11の発明では、電圧値の変化に対する測定角度強度分布の変化が一の波長の照射光において小さい場合に、他の波長の照射光を利用することにより、パラメータの値をより精度よく決定することができる。請求項5および12の発明では、可動反射面の傾き角と電圧値との関係も取得することができる。まず、本発明に係る検査装置の検査対象である空間光変調器について説明する。図1は、空間光変調器9の拡大図である。空間光変調器9は、格子の深さを変更することができる回折格子であり、半導体装置製造技術を利用して製造されるMEMSMicroElectroMechanicalSystemsである。本実施の形態に用いられる回折格子型の光変調器は、例えば、GLVグレーティングライトバルブシリコンライトマシーンズサニーベール、カリフォルニアの登録商標である。回折格子型かつ反射型の空間光変調器9では、可動リボン91および固定リボン92が所定の配列方向に交互に平行に配列される。各リボン91,92は、配列方向に垂直な長手方向に細長い形状を有する。可動リボン91と固定リボン92とはほぼ同じ幅以下、リボン幅という。であり、両者は一定のピッチにて密に配列される。可動リボン91は背後の基準面に対して相対的に昇降可能であり、固定リボン92は基準面に対して固定される。空間光変調器9において1つの格子要素90は、1組の可動リボン91および固定リボン92により構成される。したがって、複数の格子要素90は配列方向にリボン幅の2倍に相当する配列ピッチにて一列に配列される。空間光変調器9では、例えば、8000個の格子要素90が配列される。可動リボン91の上面は、基準面に平行かつ配列方向に垂直な方向に細長い帯状の可動反射面911である。固定リボン92の上面も、基準面に平行かつ配列方向に垂直な方向に細長い帯状の固定反射面921である。したがって、各格子要素90は、本質的には、可動反射面911と非可動反射面である固定反射面921との組合せである。可動リボン91の両端は支持されており、可動リボン91と基準面との間における電位差電圧が変更されることにより、可動リボン91の撓み量が変化する。すなわち、可動反射面911は、電圧の付与により固定反射面921に垂直な方向に移動可能である。これにより、基準面に垂直な方向における可動反射面911と固定反射面921との間の距離が変化する。図2は、空間光変調器9から±1次回折光L1が出射される状態を示す図である。±1次回折光L1が出射される状態では、可動反射面911にて反射される光の光路、すなわち、可動反射面911を経由する光の光路と、固定反射面921にて反射される光の光路、すなわち、固定反射面921を経由する光の光路との光路長差が、波長の0倍以上の整数倍に半波長を加えた長さとなる。これにより、可動反射面911にて反射された光と固定反射面921にて反射された光とが回折方向において強め合い、0次回折光または正反射光は出射されない。例えば、光が空間光変調器9に垂直に入射すると仮定した場合、可動反射面911と固定反射面921との高さの差d1がn1/2λ/2であることにより、光路長差がn1/2λとなる。ただし、nは0以上の整数であり、λは入射する光の波長である。実際には、配列方向に垂直、かつ、可動反射面911および固定反射面921に対して傾斜した方向から入射光は入射するため、可動反射面911と固定反射面921との高さの差は、n1/2λ/2ではない。後述の図3のd2に関しても同様である。図3は、左側の5つの格子要素90から0次回折光L0が出射される様子を示す図である。0次回折光L0を出射する格子要素90では、可動リボン91が撓むことにより可動反射面911が基準面901に近づき、可動反射面911を経由する光の光路と、固定反射面921を経由する光の光路との光路長差が、波長の0倍以上の整数倍となる。これにより、可動反射面911にて反射された光と固定反射面921にて反射された光とが強め合い、1次回折光は出射されない。例えば、光が空間光変調器9に垂直に入射すると仮定した場合、可動反射面911と固定反射面921との高さの差d2がnλ/2であることにより、光路長差がnλとなる。ただし、nは0以上の整数である。図4は、本発明の一の実施の形態に係る空間光変調器の検査装置1以下、単に変調器検査装置1という。の構成を示す図である。図4の変調器検査装置1では、図1の空間光変調器9の検査が行われる。変調器検査装置1は、本体11と、本体11に接続されたコンピュータ10とを備える。本体11は、空間光変調器9が載置されるステージ21と、ステージ21を移動する移動機構22と、ステージ21上の空間光変調器9に向けて照射光を照射する照射部3と、空間光変調器9からの光が入射する楕円面鏡4と、当該光の楕円面鏡4における反射光が入射する測定部5とを備える。ステージ21および移動機構22は、本体11の基台111上に設けられ、照射部3、楕円面鏡4および測定部5は、基台111から直立する背面板112に固定される。空間光変調器9は、リボン91,92の配列方向が図1中のX方向に平行であり、リボン91,92の長手方向が図1中のY方向に平行となる状態にて、ステージ21上にて保持される。移動機構22は、保持部であるステージ21を、図4中のX方向へと移動するX方向移動部221と、X方向移動部221をX方向に垂直なY方向へと移動するY方向移動部222とを備える。なお、X方向およびY方向に垂直な図4中のZ方向にステージ21を移動する機構や、Z方向に平行な軸を中心としてステージ21を回動する機構が、移動機構22に追加されてもよい。照射部3は、光出射部31と、光出射部31からの照射光をYZ平面に平行な光軸J1に沿ってステージ21へと導く光学系32とを備え、光出射部31は複数の光源311を有する。照射部3では、複数の光源311のうちの1つの光源311のみが選択的に駆動され、当該光源311からの光が光学系32によりコリメートされ、照射光としてステージ21上の空間光変調器9に照射される。本実施の形態では2つの光源311が設けられ、例えば、一方の光源311は波長355nmナノメートルのレーザ光を出射する半導体レーザであり、他方の光源311は波長400nmのレーザ光を出射する半導体レーザである。このように、照射部3では、照射光の波長が切り替え可能である。空間光変調器9上における照射光のスポット照射領域の直径はリボン幅よりも大きく、リボン幅の2倍よりも小さい。これにより、照射部3では、1つの格子要素90の両方のリボン91,92のみへの照射光の照射が可能である。図5は、楕円面鏡4および空間光変調器9を示す図であり、図4中の-Y側からY方向を向いて見た楕円面鏡4および空間光変調器9を示している。図6は、楕円面鏡4および測定部5を示す図であり、図4中のY側から-Y方向を向いて見た楕円面鏡4および測定部5を示している。なお、図6では測定部5の内部を簡略化して示している。楕円面鏡4は回転楕円体面の一部であり、図4に示す変調器検査装置1では、空間光変調器9上における照射光のスポットは楕円面鏡4の一方の焦点P1に配置され、測定部5は楕円面鏡4の他方の焦点P2近傍に配置される。焦点P1,P2はYZ平面に平行な同一の面以下、参照面という。上に配置される。空間光変調器9において1つの格子要素90のみに照射光が照射される場合に、当該格子要素90から0次回折光のみが出射されるときには、参照面に含まれる経路M0図4ないし図6にて細い実線にて示す。におよそ沿って0次回折光が測定部5に導かれる。また、当該格子要素90から±1次回折光のみが出射されるときには、参照面に対して傾斜した2つの経路M1図4ないし図6にて破線にて示す。におよそ沿って±1次回折光が測定部5に導かれる。2つの経路M1は参照面に対して面対称であり、空間光変調器9と楕円面鏡4との間における経路M1を参照面上に投影した線は、部分的に経路M0に重なる。後述する空間光変調器9の検査では、格子要素90に付与される電圧すなわち、可動リボン91と基準面との間に付与される電圧の値は様々に変更され、多くの電圧値において、0次回折光および±1次回折光が混在した光が測定部5に入射する。図6の測定部5は、多数の受光素子がX方向に一次元に配列されたラインセンサ1次元アレイ光量センサ51と、楕円面鏡4から入射する光をラインセンサ51へと導くレンズ群52とを備え、レンズ群52はfθレンズ521を含む。実際には、図4に示すように、楕円面鏡4と測定部5との間における経路M1を参照面上に投影した線は、焦点P2にて経路M0と交差する。したがって、レンズ群52には、参照面に平行、かつ、経路M0楕円面鏡4と測定部5との間における経路M0に垂直な方向にのみパワーを有するシリンドリカルレンズ図示省略が設けられ、0次回折光および±1次回折光の双方がラインセンサ51へと導かれる。参照面に垂直かつ空間光変調器9と楕円面鏡4との間における経路M0を含む面上において、照射光が照射される格子要素90から楕円面鏡4へと向かうとともに経路M0に対する角度が互いに相違する複数の光線を想定すると、これらの光線は、楕円面鏡4およびレンズ群52を介して、ラインセンサ51の互いに異なるX方向受光素子の配列方向の位置へと導かれる。すなわち、ラインセンサ51の複数の受光素子が、格子要素90の長手方向Y方向に平行かつ照射光の照射位置を通過する軸を中心とする所定の角度範囲の複数の角度位置にそれぞれ対応付けられる。したがって、ラインセンサ51の複数の受光素子からの出力信号は、当該軸を中心とする角度強度分布配向分布を示す。測定部5では、ラインセンサ51において複数の受光素子が一定のピッチにて配列されており、入射角度に比例した像高となるfθレンズ521を用いることにより、角度強度分布において光強度が取得される角度位置の間隔をほぼ一定にすることが可能である。以下の説明では、測定部5にて取得される角度強度分布を測定角度強度分布という。なお、測定角度強度分布は、参照面に垂直かつ空間光変調器9と楕円面鏡4との間における経路M0を含む面上において照射位置を中心とする角度強度分布と実質的に等価である。ここで、測定角度強度分布における角度範囲は、少なくとも0次光および±1次回折光の強度が取得可能な範囲である。このとき、照射光レーザ光の波長がλであり、格子要素90の配列ピッチがDである場合に、0次回折光および±1次回折光のそれぞれにおける経路M0,M1からの拡がり角すなわち、当該経路を含む任意の面上において、当該経路を中心として、主な回折強度が集中する角度範囲の片側半分は、一般的にλ/D[rad]にて表される。したがって、楕円面鏡4および測定部5は、経路M0,M1に対して拡がり角を考慮した範囲に含まれる光の強度が少なくとも測定可能なように設けられる。なお、照射光の波長が長い場合には、拡がり角が大きくなって、測定角度強度分布の分解能が実質的に増大すると捉えることもできる。図7は、変調器検査装置1の機能構成を示すブロック図である。破線にて囲む構成は、本体11の構成の一部であり、図7の他の構成は、コンピュータ10により実現される。変調器検査装置1は、ステージ21上の空間光変調器9に接続される電圧付与部6と、変調器検査装置1の全体制御を担う制御部101と、測定部5からの出力信号に基づいて照射光が照射される格子要素90の状態を取得する演算部102とをさらに備える。図8は、変調器検査装置1が空間光変調器9を検査する動作の流れを示す図である。空間光変調器9の検査では、まず、図4の照射部3からの照射光の出射が開始されるステップS11。本動作例では、一方の光源311のみが用いられる。続いて、移動機構22を制御することにより、空間光変調器9において検査すべき格子要素90以下、対象格子要素90という。が、照射光の照射位置すなわち、楕円面鏡4の焦点P1に配置されるステップS12。例えば、対象格子要素90を0次回折光が出射される状態とし、対象格子要素90に隣接する格子要素90を±1次回折光が出射される状態として、空間光変調器9の配列方向への微小距離の移動、および、測定部5からの出力信号の確認を繰り返すことにより、対象格子要素90を照射光の照射位置に配置することが可能である。もちろん、他の手法により、対象格子要素90が照射位置に配置されてよい。続いて、電圧付与部6により対象格子要素90に予め定められた初期値の電圧が付与されるとともに、測定部5にて測定角度強度分布が取得され、演算部102に入力されるステップS13。このとき、照射部3により対象格子要素90のみに照射光が照射されることにより、対象格子要素90の周辺の格子要素90による影響回折光の回り込み等を受けることなく、測定角度強度分布が精度よく求められる。一方、演算部102では、空間光変調器9の検査にて利用される複数の理論角度強度分布が予め準備されている。具体的には、図3に示す格子要素90の可動反射面911と固定反射面921との高さの差以下、リボンギャップという。、および、当該可動反射面911の傾き角ここでは、リボンの長手方向に平行な軸を中心として可動反射面911が傾く角度のそれぞれをある値と仮定して、1つの格子要素90のみに照射光を照射した場合における角度強度分布が、周知の演算により理論角度強度分布として求められる。演算部102では、パラメータであるリボンギャップ、および、可動反射面911の傾き角の双方の値の組合せを複数通りに変更しつつ、各組合せにおける理論角度強度分布が求められて準備される。図9.Aないし図9.Cは理論角度強度分布を示す図であり、縦軸は、入射光強度に対する回折光の強度比である回折効率を示し、横軸は角度位置を示す。図9.Aは、リボンギャップが光路長差4mλ/4ただし、mは0以上の整数であり、λは照射光の波長である。に相当する値既述のように、可動反射面911および固定反射面921に対して傾斜した方向から照射光が入射するため、リボンギャップは光路長差4mλ/4の半分よりも小さい。であり、可動反射面911の傾き角が0°である場合の理論角度強度分布を示し、図9.Bは、リボンギャップが光路長差4m1λ/4に相当する値であり、可動反射面911の傾き角が0°である場合の理論角度強度分布を示し、図9.Cは、リボンギャップが光路長差4m2λ/4に相当する値であり、可動反射面911の傾き角が0°である場合の理論角度強度分布を示す。1組の可動リボン91および固定リボン92である格子要素90のみから出射される光の理論角度強度分布は、図9.Bの場合に非対称性を示す。上記ステップS13にて取得される測定角度強度分布は、複数の理論角度強度分布と比較され、これらの理論角度強度分布から測定角度強度分布に近似するものが特定される。すなわち、測定角度強度分布と複数の理論角度強度分布とのフィッティングが行われる。そして、特定された理論角度強度分布の取得時におけるリボンギャップ、および、可動反射面911の傾き角の値が、対象格子要素90におけるリボンギャップ、および、可動反射面911の傾き角の値として求められるステップS14。パラメータの値が取得されると、対象格子要素90に付与する電圧の値以下、電圧値という。が変更され、測定角度強度分布が取得されるステップS15,S13。そして、当該測定角度強度分布に基づいて、リボンギャップ、および、可動反射面911の傾き角の値が求められるステップS14。このように、変調器検査装置1では、制御部101が電圧付与部6および測定部5を制御することにより、対象格子要素90に複数の電圧値を順次付与しつつ、各電圧値に対する測定角度強度分布が取得される。そして、演算部102において、複数の電圧値のそれぞれに対してリボンギャップ、および、可動反射面911の傾き角の値が求められる。対象格子要素90に対する検査が完了するとステップS15、対象格子要素90に隣接する格子要素90が新たな対象格子要素90とされ、当該対象格子要素90が照射光の照射位置に移動するステップS16,S12。このとき、ステージ21を格子要素90の配列方向に配列ピッチだけ移動することにより、対象格子要素90のみに照射光が照射される。そして、上記処理と同様にして、複数の電圧値におけるリボンギャップ、および、可動反射面911の傾き角の値が求められるステップS13~S15。変調器検査装置1では、全ての格子要素90のそれぞれを対象格子要素90として、複数の電圧値におけるリボンギャップ、および、可動反射面911の傾き角の値が求められステップS16,S12~S15、その後、照射部3からの照射光の出射が停止されて、空間光変調器9の検査が完了するステップS17。例えば、対象物上に画像を記録する画像記録装置に空間光変調器9が用いられる場合には、上記検査にて取得された特性リボンギャップと電圧値との関係や、傾き角と電圧値との関係等を利用して、画像記録時における光量が一定となるように、各格子要素90の制御が行われる。以上に説明したように、変調器検査装置1では、対象格子要素90に複数の電圧値を順次付与しつつ、各電圧値の付与時において、対象格子要素90の長手方向に平行な軸を中心とする所定の角度範囲の各角度位置に関して、対象格子要素90からの光の強度を測定することにより、測定角度強度分布が取得される。このように、複数の電圧値のそれぞれにおける測定角度強度分布を取得することにより、検査対象である格子要素90の可動リボン91が電圧値の変化に応じて変形しているか否か等、格子要素90を適切に検査することができる。また、演算部102では、格子要素90におけるリボンギャップをパラメータとして含む演算により求められる理論角度強度分布と、測定角度強度分布とを比較することにより、複数の電圧値のそれぞれにおける当該パラメータの値が決定される。これにより、リボンギャップと電圧値との関係を取得することができ、対象格子要素90の挙動電圧に対する挙動を詳細に取得することができる。さらに、当該演算において可動反射面911の傾き角もパラメータとして含まれることにより、当該傾き角と電圧値との関係も取得することができ、対象格子要素90の挙動をより詳細に取得することができる。次に、変調器検査装置1における他の動作例について説明する。本動作例では、一の光源311を用いて一の波長の照射光にて図8のステップS11~S17の動作を行った後、他の光源311を用いて他の波長の照射光にて図8のステップS11~S17の動作が行われる。ここで、格子要素90では、mを0以上の整数、λを照射光の波長として、光路長差が4m1λ/4近傍となるリボンギャップの場合、および、光路長差が4m3λ/4近傍となるリボンギャップの場合に、リボンギャップの単位距離の変化に対する角度強度分布の変化の度合い変化率が極大となる。また、光路長差が4mλ/4近傍となるリボンギャップの場合、および、光路長差が4m2λ/4近傍となるリボンギャップの場合に、リボンギャップの単位距離の変化に対する角度強度分布の変化相違の度合いが極小となる。したがって、本動作例では、一の波長λの照射光において、光路長差が4mλ/4近傍となるリボンギャップが求められる電圧値、および、光路長差が4m2λ/4近傍となるリボンギャップが求められる電圧値において、他の波長の照射光に基づいて求められるリボンギャップの値が採用される。すなわち、変調器検査装置1では、電圧値の変化に対する測定角度強度分布の変化が一の波長の照射光において小さい場合に、他の波長の照射光が利用される。これにより、パラメータの値をより精度よく決定することができる。上記手法は、図8のステップS13,S14を照射光の波長を切り替えて繰り返す、または、ステップS13~S15を照射光の波長を切り替えて繰り返すことにより実現されてもよい。また、出射する光の波長が互いに異なる3以上の光源が照射部3に設けられてもよい。変調器検査装置1では、リボンの配列方向に連続する複数の格子要素90以下、対象格子要素群という。が検査対象であってもよい。この場合、照射部3において照射領域の大きさを変更する機構例えば、光学系32に含まれるレンズを光軸J1に沿って移動する機構が設けられ、対象格子要素群の全てのリボンのみに照射光が照射される。そして、図8を参照して説明した上記処理例と同様に、各電圧値において測定角度強度分布が取得される。図10.Aないし図10.Cは理論角度強度分布を示す図であり、図10.Aは、対象格子要素群の全ての格子要素90におけるリボンギャップが光路長差4mλ/4に相当する値である場合の理論角度強度分布を示し、図10.Bは、リボンギャップが光路長差4m1λ/4に相当する値である場合の理論角度強度分布を示し、図10.Cは、リボンギャップが光路長差4m2λ/4に相当する値である場合の理論角度強度分布を示す。ここでは、対象格子要素群に含まれる全ての格子要素90における可動反射面911の傾き角が0°であるものとしている。また、対象格子要素群は5個の格子要素90にて構成される。各電圧値における測定角度強度分布は複数の理論角度強度分布と比較され、これらの理論角度強度分布から測定角度強度分布に近似するものを特定することにより、各電圧値におけるリボンギャップの値が求められる。これにより、リボンギャップと電圧値との関係を取得することができ、対象格子要素群の動作を詳細に取得することができる。以上のように、変調器検査装置1では、連続する少なくとも1つの格子要素を検査対象として、当該少なくとも1つの格子要素のみに照射光を照射し、当該少なくとも1つの格子要素の測定角度強度分布を取得することにより、検査対象である格子要素を適切に検査することができる。また、リボンギャップをパラメータとして含む演算により求められる理論角度強度分布と、測定角度強度分布とを比較することにより、リボンギャップと電圧値との関係を取得することができる。ところで、リボンギャップが光路長差4m1λ/4に相当する値近傍である場合に、1つの格子要素90を対象格子要素90とするときには、図9.Bに示すように非対称性を示す理論角度強度分布が取得される測定角度強度分布において同様。これに対し、連続する複数の格子要素90を対象格子要素群とするときには、図10.Bに示すように、理論角度強度分布における非対称性が低減する測定角度強度分布において同様。したがって、検査対象が1つの格子要素である場合には、角度強度分布における非対称性を利用して、測定角度強度分布と理論角度強度分布とのフィッティングを精度よく行い、パラメータの値をより精度よく決定することが可能であるといえる。以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。上記実施の形態では、対象格子要素90または対象格子要素群からの光が楕円面鏡4を介して測定部5に導かれるため、測定部5を他の部材と干渉しない位置に配置することが容易に実現されるが、変調器検査装置1の設計によっては、楕円面鏡4を省略するとともに、測定部5が空間光変調器9の近傍に配置されてもよい。この場合、fθレンズ521の入射瞳位置に空間光変調器9が配置され、ラインセンサ51がレンズ群52の後側焦点位置に配置される。そして、対象格子要素90からの回折光が、fθレンズ521に直接入射し、ラインセンサ51へと導かれる。また、このような変調器検査装置1において、fθレンズ521と空間光変調器9との間に、屈折率が1以上である液体を供給することによりすなわち、液浸法により、広い角度範囲において角度強度分布を取得することが容易に可能となる。また、対象格子要素90または対象格子要素群のみへの照射光の照射は、対象格子要素90に対応する幅の開口を有するマスク部材を設けることによりプロキシミティ方式やプロジェクション方式にて実現されてもよい。測定部5ではfθレンズ521を設けることにより、ほぼ一定の角度位置間隔の角度強度分布をラインセンサ51を用いて取得することが可能となるが、変調器検査装置1に求められる精度によっては、fθレンズ521が省略され、微細なスリットが形成されたスリット板が単に設けられてもよい。また、図11に示すように、リボンの長手方向に垂直な面上において、空間光変調器9上の対象格子要素90を中心とする円弧上の経路K1に沿って1つの受光部51aを移動する機構を測定部5に設けることにより、測定角度強度分布が取得されてもよい。照射部3からの照射光は、必ずしも単一波長のレーザ光である必要はなく、ランプ等から出射される比較的広い波長帯の光が照射光として用いられてもよい。この場合に、例えば、対象格子要素90からの光を分光することにより、一の波長の光に関する測定角度強度分布が取得されてもよい。ただし、理論角度強度分布の演算を容易にするという観点では、照射光は、収束性に優れたレーザ光であることが好ましい。上記実施の形態では、各格子要素90が、基準面に対して昇降可能な可動リボン91の可動反射面911と、基準面に対して固定された固定リボン92の固定反射面921との組合せであるが、例えば、基準面に対して昇降可能な多数の可動リボンが一列に配列され、互いに隣接する2つの可動リボンの各組合せが1つの格子要素として取り扱われてもよい。この場合、2つの可動リボンの一方のみを昇降可能とし、他方を昇降不能非可動として回折光の出射が行われる。このように、空間光変調器9では、各格子要素が、配列方向に垂直な長手方向に伸びる1つの可動反射面と1つの非可動反射面との組合せであればよい。変調器検査装置1では、リボンギャップが必ずしも求められる必要はなく、複数の電圧値における測定角度強度分布に基づいて各格子要素90の動作の良否不良か否かの判定のみが行われてもよい。上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。"