"圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、を有し、前記振動体に伸縮振動と屈曲振動とを発生させることによって前記対象物を移動させる圧電モーターであって、前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、を備えることを特徴とする圧電モーター。請求項1に記載の圧電モーターであって、前記皿バネ受け部には、前記皿バネ受け部に当接する前記皿バネの角部が嵌る第1溝が形成されており、前記押さえ蓋には、前記押さえ蓋に当接する前記皿バネの角部が嵌る第2溝が形成されていることを特徴とする圧電モーター。請求項1または請求項2に記載の圧電モーターであって、前記皿バネ受け部または前記押さえ蓋の一方には、前記皿バネが外周部分で嵌る凹部が形成されていることを特徴とする圧電モーター。請求項1または請求項2に記載の圧電モーターであって、前記皿バネ受け部または前記押さえ蓋の一方には、前記皿バネが内周部分で嵌る凸部が形成されていることを特徴とする圧電モーター。請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターを備える駆動装置。請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターを備える印刷装置。請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターを備えるロボットハンド。請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーター、または請求項7に記載のロボットハンドを備えるロボット。把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行うことを特徴とする電子部品検査装置。把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、ことを特徴とする電子部品検査装置。電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、前記電子部品を把持する把持装置と、前記把装置を互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、前記検査ソケットから見て前記第1軸上または前記第2軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第1軸および前記第2軸の方向への位置および前記第3軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第1軸または前記第2軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、前記移動装置の動作を制御する制御装置と、を備える電子部品検査装置であって、前記制御装置は、前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第1制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第2制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第3制御部と、を備えており、前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品検査装置。把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記電子部品の位置合わせを行うことを特徴とする電子部品搬送装置。把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。電子部品を把持する把持装置と、互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品搬送装置であって、前記把持装置は、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品搬送装置。しかし、提案されている技術では、振動体が発生するエネルギーを、対象物の駆動のために効率よく利用することが困難であるという問題があった。これは、振動体の両側を屈曲方向から支持しているため、振動体の振動が保持ケースを介して外部に伝わり易く、外部に伝わった振動は、対象物を駆動するために利用することができないためである。この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、対象物を効率よく駆動することが可能な圧電モーターの提供を目的とする。上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、を有し、前記振動体に伸縮振動と屈曲振動とを発生させることによって前記対象物を移動させる圧電モーターであって、前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、を備えることを特徴とする。このような構成を有する本発明の圧電モーターにおいては、振動体ケースに収容された振動体は、振動体の屈曲方向と交差する方向から、緩衝部によって両側を挟持されているので、振動体の振動が振動体ケースに伝わり難く、従って、対象物を効率よく駆動することができる。また、緩衝部は、動的粘弾性を有する材料を含んで形成されているので、振動体の振動は、緩衝部が変形する際に減衰され、この意味からも振動体ケースに伝わり難い。尚、動的粘弾性tanδとは、次のような指標である。材料を引っ張りモードにおいて正弦波ひずみεを与えると、材料にも正弦波の応力σが生じるが、応力σの位相は、入力されたひずみに対して位相δだけ遅れが生じる。この位相δを用いて材料の動的な粘性を定量化した指標が、動的粘弾性tanδである。すなわち動的粘弾性が大きい、すなわち位相δが大きい、ということは与えられたひずみを材料の内部での伝達遅れを生じる。言い換えると、振動の伝達をより遅くさせ、振動体ケースへ振動が伝わることを抑制することができる。また、緩衝部は、押さえ蓋で圧縮された皿バネによって振動体に押し付けられている。このため、振動体や緩衝部の寸法が、振動体の挟持方向振動体の屈曲方向と交差する方向にばらついても、皿バネの弾性変形によって寸法ばらつきを吸収することができる。また、皿バネは、振動体の振動方向伸縮方向および屈曲方向に対しては変形しにくい形状となっている。加えて、押さえ蓋によって押し付けられることによって、皿バネの角が皿バネ受け部および押さえ蓋に食い込むので、皿バネ受け部や押さえ蓋との間で皿バネが滑ることもない。従って、振動体の振動方向振動体の伸縮方向および屈曲方向および対象物から反力を受ける方向に対しては、皿バネ受け部から押さえ蓋までをほぼ剛体として扱うことができる。このため、本発明によれば、振動体や緩衝部の挟持方向への寸法ばらつきは、皿バネが変形することによって吸収し、それでいながら、振動体の振動方向や対象物から反力を受ける方向に対しては、皿バネを設けたことによる影響は何ら生じない。その結果、振動体や緩衝部の厚さを実測して、振動体に対する緩衝部を選別して組み付けるなどの面倒な作業が不要となり、圧電モーターを容易に製造することが可能となる。また、このことによって圧電モーターの性能面に何らの悪影響が生じることもない。また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、皿バネの角部が当接する皿バネ受け部の部分に、角部が嵌る溝第1溝を予め形成しておき、皿バネの角部が当接する押さえ蓋の部分に、角部が嵌る溝第2溝を予め形成しておいてもよい。こうすれば、皿バネ受け部や押さえ蓋の材料を、皿バネよりも硬い材料あるいは表面に熱処理を施した材料などを用いることが可能となる。また、第1溝や第2溝を深めに形成しておくことで、皿バネ受け部や押さえ蓋との間で皿バネを確実に保持することができるので、皿バネ受け部や押さえ蓋との間で皿バネが滑ることをより確実に防止することができる。また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、皿バネ受け部または押さえ蓋の一方に、皿バネが外周部分で嵌る凹部を形成してもよい。こうすれば、皿バネ受け部と皿バネと押さえ蓋とを重ねて組み付ける際に、凹部に皿バネを嵌め込んでおくことができるので、組み付け作業が容易となる。尚、組み付け作業を容易とする観点からは、皿バネが大きくは動かないように、皿バネの外周部分が凹部に緩く嵌れば十分である。しかし、皿バネが動かないような状態で、皿バネの外周部分が凹部に嵌るようにしておけば、単に組み付け作業が容易になるだけでなく、圧電モーターの動作中に、皿バネ受け部あるいは押さえ蓋との間で皿バネが動くことをより確実に防止することが可能となる。また、凹部の上面視の形状押さえ蓋で押し付ける方向から見た形状としては、皿バネが外周部分で嵌れば十分であり、従って、皿バネと同じく円形としてもよいが、たとえば多角形形状などとすることも可能である。また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、皿バネ受け部または押さえ蓋の一方に、皿バネが内周部分で嵌る凸部を形成してもよい。このようにしても、皿バネ受け部と皿バネと押さえ蓋とを重ねて組み付ける際に、凸部に皿バネを嵌め込んでおくことができるので、組み付け作業が容易となる。尚、組み付け作業を容易とする観点からは、皿バネが大きくは動かないように、皿バネの内周部分が凸部に緩く嵌れば十分である。しかし、皿バネが動かないような状態で、皿バネの内周部分が凸部に嵌るようにしておけば、単に組み付け作業が容易になるだけでなく、圧電モーターの動作中に、皿バネ受け部あるいは押さえ蓋との間で皿バネが動くことをより確実に防止することが可能となる。また、凸部の上面視の形状押さえ蓋で押し付ける方向から見た形状としては、皿バネが内周部分で嵌れば十分であり、従って、皿バネと同じく円形としてもよいが、たとえば多角形形状などとしても構わない。また、上述した本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成しても良い。本発明の圧電モーターは、小型で且つ高い駆動精度を実現することが可能であり、しかも容易に製造することができる。従って、本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成してやれば、小型で高性能な駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを容易に製造することができる。また、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品検査装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、検査ソケットに対する電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。上述したように、本発明の圧電モーターは小型で高い駆動効率と高い駆動精度とを実現することが可能であり、しかも容易に製造することができる。このため、電子部品検査装置に組み込む圧電モーターとして優れている。また、上述した本発明の電子部品検査装置は次のような態様で把握することも可能である。すなわち、本発明の電子部品検査装置は、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。更に、上述した本発明の電子部品検査装置は、次のような態様、すなわち、電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、前記電子部品を把持する把持装置と、前記把装置を互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、前記検査ソケットから見て前記第1軸上または前記第2軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第1軸および前記第2軸の方向への位置および前記第3軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第1軸または前記第2軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、前記移動装置の動作を制御する制御装置と、を備える電子部品検査装置であって、前記制御装置は、前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第1制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第2制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第3制御部と、を備えており、前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。このような構成の電子部品検査装置は、把持装置に設けられた第1ないし第3の圧電モーターを用いて電子部品の姿勢を調整した後、検査ソケットに装着することができる。ここで、本発明の圧電モーターは、小型であり、対象物を効率よく、尚且つ対象物を精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるので、把持装置に設ける第1ないし第3の圧電モーターとして特に優れている。更には、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品搬送装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。上述したように、本発明の圧電モーターは小型であり、対象物を効率良く、尚且つ精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるから、電子部品搬送装置に組み込む圧電モーターとして特に優れている。あるいは、本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、前記押さえ蓋によって圧縮される皿バネと、前記皿バネと前記緩衝部との間に設けられた皿バネ受け部と、ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。更には、上述した本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、電子部品を把持する把持装置と、互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品搬送装置であって、前記把持装置は、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。A.装置構成:B.圧電モーターの動作原理:C.振動体の挟持構造:D.変形例:E.適用例:A.装置構成:図1は、本実施例の圧電モーター10の大まかな構成を示した説明図である。図1aには、本実施例の圧電モーター10の全体図が示されており、図1bには分解組立図が示されている。図1aに示されるように、本実施例の圧電モーター10は、大まかには、本体部100と、基台部200とから構成されている。本体部100は基台部200内に取り付けられており、その状態で一方向に移動可能となっている。尚、本明細書中では、本体部100の移動方向をX方向と称する。また、図中に示すように、X方向と直交する方向を、それぞれY方向、Z方向と称するものとする。本体部100および基台部200は、それぞれ複数の部品が組み合わされて構成されている。たとえば基台部200は、略矩形形状をした基板230の上面の両側に、第1側壁ブロック210および第2側壁ブロック220が止めネジ240で締結されることによって構成されている図1bを参照のこと。圧電モーター10を組み立てる際には、本体部100の上方から、第1側壁ブロック210および第2側壁ブロック220を、止めネジ240を用いて基板230に取り付ける。また、第1側壁ブロック210には、前方ハウジング212、中央ハウジング214、後方ハウジング216の3つの凹部が形成されている。そして、第1側壁ブロック210を基板230に取り付ける際には、前方ハウジング212に前方側圧バネ212sを収容し、後方ハウジング216に後方側圧バネ216sを収容した状態で取り付ける。その結果、本体部100は、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sによって第2側壁ブロック220に押しつけられた状態となる。また、本体部100の側面の、第2側壁ブロック220に面する側には、前側コロ102rおよび後側コロ106rが取り付けられている。更に、本体部100の側面には加圧バネ222sが設けられている。この加圧バネ222sは、前側コロ102rの後ろ側の箇所で本体部100をX方向に押圧している。尚、本実施例では、本体部100をX方向に押圧する加圧バネ222sが、本発明の付勢手段に対応する。また、前側コロ102rおよび後側コロ106rが設けられた側と反対側の本体部100の側面には、Z方向図面上では上方に向けて押さえコロ104rが設けられている。第1側壁ブロック210を取り付けた状態では、この押さえコロ104rは第1側壁ブロック210の中央ハウジング214に収容される。また、本体部100の押さえコロ104rが設けられた部分の裏面側と、基板230との間には、押さえバネ232sが設けられている。このため、押さえコロ104rは中央ハウジング214の内面に対してZ方向図面上では上方に押しつけられた状態となっている。図2は、本実施例の本体部100の構造を示す分解組立図である。本体部100は、大まかには、振動体ケース120内に振動部110が収容された構造となっている。振動部110は、圧電材料によって直方体形状に形成された振動体112と、振動体112の長手方向X方向の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部114と、振動体112の一方の側面を4分割して設けられた4枚の表電極116などから構成されている。尚、図2では示されていないが、4枚の表電極116が設けられた側と反対側の側面には、側面のほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極はグランドに接地されている。尚、本実施例では、駆動凸部114が本発明の凸部に対応する。振動部110は、表電極116および裏電極が設けられた両側面図2では、Z方向の両側面から、動的粘弾性を有する材料ポリイミド樹脂や、ゴム、エラストマーなどで形成された緩衝部130で挟まれた状態で、振動体ケース120に収容される。更に、表電極116側の緩衝部130の上から、金属材料で形成された皿バネ受け部140、皿バネ142、および押さえ蓋144が載せられて、押さえ蓋144が止めネジ146で振動体ケース120に締結される。このため振動部110の振動体112は、皿バネ142の弾性力によって押さえ付けられながらも、樹脂製の緩衝部130が剪断変形することによって振動体ケース120内で振動体112が振動し得る状態で収容される。B.圧電モーターの動作原理:図3は、圧電モーター10の動作原理を示す説明図である。圧電モーター10は、振動部110の表電極116に一定周期で電圧を印加したときに、振動部110の駆動凸部114が楕円運動することによって動作する。振動部110の駆動凸部114が楕円運動するのは次の理由による。先ず、周知のように圧電材料は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図3aに示すように、4つの表電極116の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、圧電材料で形成された振動体112は長手方向X方向に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体112が長手方向X方向に伸縮を繰り返す動作を伸縮振動と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数共振周波数は、振動体112の物性と、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTとによって決定される。また、図3bあるいは図3cに示すように、互いに対角線の位置にある2つの表電極116を組表電極116aおよび表電極116dの組、あるいは表電極116bおよび表電極116cの組として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体112は、長手方向X方向の先端部駆動凸部114が取り付けられた部分が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図3bに示したように、表電極116aおよび表電極116dの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体112は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図3cに示したように、表電極116bおよび表電極116cの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体112の動作を屈曲振動と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体112の物性と、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTとによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある2つの表電極116に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体112は右方向あるいは左方向Y方向に大きく首を振って振動する。ここで、図3aに示した伸縮振動の共振周波数も、図3bあるいは図3cに示した屈曲振動の共振周波数も、振動体112の物性や、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTによって決定される。従って、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTを適切に選んでやれば共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体112に対して、図3bあるいは図3cに示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図3bあるいは図3cに示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図3aの伸縮振動も誘起される。その結果、図3bに示す態様で電圧を印加した場合には、振動体112の先端部分駆動凸部114が取り付けられた部分が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図3cに示す態様で電圧を印加した場合には、振動体112の先端部分が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。圧電モーター10は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体112の駆動凸部114を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させる。すると駆動凸部114は、振動体112が伸張する際には対象物に押しつけられた状態で左から右に向かってあるいは右から左に向かって移動した後、振動体112が収縮する際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、駆動凸部114から受ける摩擦力によって一方向に駆動されることになる。また、対象物が受ける駆動力は、駆動凸部114との間で生じる摩擦力に等しいから、駆動力の大きさは、駆動凸部114と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部114が対象物に押しつけられる力とによって決定される。以上に説明した圧電モーター10の動作原理から明らかなように、圧電モーター10は、駆動凸部114を対象物に押しつけた状態で、振動体112を伸縮方向X方向および屈曲方向Y方向に振動させて使用する。このため振動体112は、伸縮方向および屈曲方向の振動を許容した状態で、振動体ケース120内に収容しておく必要がある。また、振動体112を振動させて対象物を移動させる際には、対象物からの反力が駆動凸部114に作用する。この反力によって振動体112が振動体ケース120内で動くと、対象物に対して十分な駆動力を伝達することができなくなり、駆動凸部114の移動量が減少するので対象物の駆動量も小さくなる。更に、本体部100の逃げ量は常に安定しているとは限らないから、対象物の駆動量が不安定となってしまう。そこで本実施例の圧電モーター10では、図2に示すように、振動体ケース120内で、振動体112の屈曲方向に交差する方向Z方向から、振動体112の両側面を緩衝部130で挟持することによって振動体112を保持する構造を採用している。この保持構造では、緩衝部130が剪断方向に変形することによって振動体112の振動を許容し、且つ、緩衝部130が剪断方向に変形する時の剛性によって、対象物からの反力で動かないように振動体112を保持しておくことができる。もっとも、この保持構造は、圧電材料で形成されているため製造ばらつきの生じ易い振動体112を、ポリイミド樹脂で形成されているため製造ばらつきの生じ易い緩衝部130で両側から挟持した構造となっている。このため、振動体112および緩衝部130での製造ばらつきが累積するので厚さ方向Z方向の寸法に大きなばらつきが生じ易い。そして緩衝部130は、対象物からの反力を受けても振動体112が動かない程度の剛性が必要なので、この寸法のばらつきを緩衝部130で吸収することは困難である。そこで、本実施例の圧電モーター10では、振動体112を単に緩衝部130で挟持するのではなく、皿バネ受け部140や、皿バネ142、押さえ蓋144によって緩衝部130を振動体112に押し付けて振動体112を挟持する構造を採用している。C.振動体の挟持構造:図4は、本実施例の振動部110の断面を取ることによって、振動体112を挟持する構造を示した説明図である。図示されるように、振動体112は、Z方向の両側を緩衝部130に挟まれた状態で振動体ケース120内に収容されている。そして、振動体ケース120に収容された振動体112および緩衝部130の上からは、皿バネ受け部140と皿バネ142と押さえ蓋144とが載せられて、止めネジ146で押さえ蓋144が振動体ケース120に取り付けられている。尚、緩衝部130は接着剤によって振動体112に貼り付けられている。このようにすることで、製造ばらつきが発生し易い振動体112および緩衝部130を重ねた状態で、振動体ケース120内に容易に収容することが可能となる。以下、この理由について説明する。図5は、製造ばらつきが発生し易い振動体112および緩衝部130を重ねた状態で振動体ケース120内に容易に収容可能な理由を示す説明図である。振動体112、緩衝部130、皿バネ受け部140、および皿バネ142は、押さえ蓋144で振動体ケース120内に収容されるが、これらの中で振動体112や皿バネ受け部140は、Z方向にはほとんど変形しない。従って、振動体112や緩衝部130の製造ばらつきによる厚さ方向Z方向への寸法ばらつきは、残りの部分緩衝部130および皿バネ142での圧縮変形によって吸収しなければならない。また、振動体112や皿バネ受け部140は振動体112が振動する方向Y方向およびX方向にもほとんど変形しないので、振動体112が振動する動きは、残りの部分緩衝部130あるいは皿バネ142での剪断変形によって吸収する必要がある。それでいながら、緩衝部13あるいは皿バネ142は、対象物を駆動した時に振動体112が受ける反力を支えなければならない。図5aは、押さえ蓋144と皿バネ142と皿バネ受け部140とが重ねられた部分を拡大して表示することによって、振動体112や緩衝部130の製造ばらつきによる厚さ方向Z方向への寸法ばらつきを吸収する様子を示した説明図である。皿バネ142は、厚さ方向Z方向への圧縮に対してはバネとして働くので、緩衝部130よりも剛性が小さい。このため、たとえ振動体112および緩衝部130の寸法が厚さ方向Z方向にばらついたとしても、皿バネ142がZ方向に撓むことによって厚さ方向の寸法のばらつきを吸収することができる。尚、皿バネ142が皿バネ受け部140と押さえ蓋144との間で圧縮される際に、皿バネ142は角の部分が皿バネ受け部140および押さえ蓋144に押し付けられる。このため、皿バネ受け部140の表面には、皿バネ142の角が押し付けられる部分が凹んで第1溝140dが形成される。同様に、押さえ蓋144の表面にも、皿バネ142の角が押し付けられる部分が凹んで第2溝144dが形成される。これら第1溝140dおよび第2溝144dは、皿バネ142が厚さ方向の寸法のばらつきを吸収する働きとは関係はないが、振動体112の振動を吸収したり、対象物からの反力を受け止めたりする際には有効に機能する。図5bには、緩衝部130および皿バネ142が振動体112の振動を吸収しつつ、対象物からの反力を支える様子が示されている。皿バネ142は、厚さ方向Z方向への圧縮に対しては剛性が小さいが、剪断方向Y方向あるいはX方向への剪断変形に対しては大きな剛性を有している。また、皿バネ142の上面側および下面側の角は、それぞれ押さえ蓋144の第2溝144dおよび皿バネ受け部140の第1溝140dに嵌り込んでいるので、皿バネ受け部140や押さえ蓋144との間で皿バネ142が滑ることもない。従って、振動体112のY方向あるいはX方向への動きに対しては、皿バネ受け部140から押さえ蓋144までの部分はほとんど剛体として考えてよい。このため、振動体112の振動は、もっぱら緩衝部130が剪断変形することによって吸収される。また、対象物から受ける反力も、もっぱら緩衝部130が剪断変形することによって支えることになる。尚、皿バネ受け部140の第1溝140dや、押さえ蓋144の第2溝144dは、皿バネ142が滑らないようにする機能を有している。従って、皿バネ142が滑ろうとした時の引っかかりになれば十分であって、図5に例示したように明確なへこみが形成される必要はない。たとえば、表面にうっすらと傷が付いただけの小さなへこみであっても、皿バネ142が滑ろうとしたときの引っかかりとして機能するので、本実施例の第1溝140dや第2溝144dに該当する。以上の説明から明らかなように、皿バネ受け部140と押さえ蓋144との間に設けられた皿バネ142は、緩衝部130を振動体112に押し付ける方向Z方向に対しては、緩衝部130よりも剛性の小さいバネとして機能する。このため、たとえ振動体112および振動体ケース120の製造ばらつきによって厚さ方向Z方向に大きな寸法ばらつきが生じても、皿バネ142によって吸収することができる。その結果、振動体112および振動体ケース120を厚さ方向Z方向の寸法によって選別して組み立てるなどの面倒な作業をすることなく、簡単に振動体ケース120内に収容することができる。また、振動体112が振動する方向Y方向およびX方向あるいは対象物から反力を受ける方向主にY方向に対しては、皿バネ受け部140から押さえ蓋144までの部分はほとんど剛体として働くので、皿バネ142が設けられていることは何ら影響を与えない。このため、緩衝部130が振動体112の振動を吸収し、且つ対象物からの反力を支える機能には、何らの悪影響を与えることがない。その結果、本実施例の振動体112の挟持構造によれば、性能面での何ら悪影響を与えることなく、圧電モーター10を容易に製造することが可能となる。尚、以上の説明から明らかなように、皿バネ142は皿バネ受け部140と押さえ蓋144との間に設けられていればよい。従って、図6に示されるように、皿バネ142の向きは、上下を逆にしても設けても構わない。D.変形例:上述した本実施例の圧電モーター10には、種々の変形例が存在する。以下では、これらの変形例について簡単に説明する。尚、以下の変形例では、上述した本実施例の圧電モーター10と異なる部分に焦点を当てて説明し、本実施例の圧電モーター10と同様な構成については、同じ番号を付すこととして説明を省略する。D-1.第1変形例:上述した実施例では、組み付ける前の皿バネ受け部140や押さえ蓋144には、第1溝140dや第2溝144dは形成されていないが、組み付け時に皿バネ142に押し付けられて、皿バネ142の角が食い込むことによって、皿バネ受け部140の第1溝140dや、押さえ蓋144の第2溝144dが形成されるものとして説明した。しかし、皿バネ受け部140や押さえ蓋144の表面に、第1溝140dや第2溝144dを予め形成しておいてもよい。こうすれば、皿バネ受け部140や押さえ蓋144の材料を、皿バネ142よりも硬く摩耗に強い材料たとえば、表面に熱処理を施した材料などを用いることが可能となる。また、第1溝140dや第2溝144dを深めに形成しておくことで、皿バネ受け部140や押さえ蓋144との間で皿バネ142を、よりしっかりと保持することができるので、皿バネ142が滑ることをより確実に防止することができる。D-2.第2変形例:上述した実施例および変形例では、皿バネ142は、皿バネ受け部140と押さえ蓋144との間で、単に挟まれているものとして説明した。しかし、皿バネ受け部140あるいは押さえ蓋144の少なくとも一方に凹部を形成して、この凹部に皿バネ142が外周部分で嵌り込むようにしてもよい。図7は、第2変形例の挟持構造を示した断面図である。図7aに示した例では、押さえ蓋144に凹部144cが形成されており、この凹部144cに、皿バネ142が緩く嵌り込んでいる。また、図7bに示した例では、皿バネ受け部140に凹部140cが形成されており、この凹部140cに皿バネ142が緩く嵌り込んでいる。このようにすれば、皿バネ受け部140と皿バネ142と押さえ蓋144とを重ねて振動体ケース120に組み付ける際に、皿バネ142が大きく動いてしまうことがないので、組み付け作業が容易になる。尚、皿バネ受け部140に形成される凹部140cや、押さえ蓋144に形成される凹部144cは、皿バネ142が外周部分で嵌り込むような形状であればよい。従って、皿バネ142を圧縮方向Z方向から見た時の外周形状は円形であるが、圧縮方向Z方向から見た時の凹部140cや凹部144cの形状は、円形に限らず、正方形などの多角形形状としてもよい。また、以上の説明では、凹部140cあるいは凹部144cに対して皿バネ142が緩く嵌り込んでいるものとして説明した。従って、皿バネ142は、皿バネ受け部140と押さえ蓋144との間に組み付けられて圧縮力を受けるまでは、凹部140cあるいは凹部144cの中で、多少ではあるが動き得る状態となっている。しかし、凹部140cあるいは凹部144cの中で皿バネ142が動かないように、皿バネ142が外周部分で嵌り込むようにしてもよい。こうすれば、皿バネ142を容易に組み付けることが可能であると同時に、圧電モーター10の動作中に、振動体112の振動や対象物から受ける反力によって、皿バネ受け部140あるいは押さえ蓋144との間で皿バネ142が滑ってしまうことを確実に防止することが可能となる。D-3.第3変形例:また、上述した第2変形例では、皿バネ受け部140の凹部140cあるいは押さえ蓋144の凹部144cに対して、皿バネ142が外周部分で嵌り込むものとして説明した。これに対して、皿バネ受け部140あるいは押さえ蓋144から突設された凸部に対して、皿バネ142が内周部分で嵌り込むようにしてもよい。図8は、第3変形例の挟持構造を示した断面図である。図8aに示した例では、皿バネ受け部140から凸部140bが突設されており、この凸部140bに対して皿バネ142が、内周部分で緩く嵌り込んでいる。また、図8bに示した例では、押さえ蓋144から凸部144bが突設されており、この凸部144bに対して皿バネ142が、内周部分で緩く嵌り込んでいる。このようにしても、皿バネ受け部140と皿バネ142と押さえ蓋144とを重ねて振動体ケース120に組み付ける際に、皿バネ142が大きく動いてしまうことがないので、組み付け作業が容易になる。尚、皿バネ受け部140の凸部140bや、押さえ蓋144の凸部144bは、皿バネ142が内周部分で嵌り込むような形状であればよい。従って、皿バネ142を圧縮方向Z方向から見た時に、皿バネ142の内周形状は円形であるが、圧縮方向Z方向から見た時の凸部140bや凸部144bの形状は、円形に限らず、正方形などの多角形形状としてもよい。また、第3変形例においても、凸部140bあるいは凸部144bに対して皿バネ142が緩く嵌り込んでいるものとして説明した。従って、凸部140bあるいは凸部144bに対して皿バネ142を嵌め込んだだけでは、多少ではあるが、皿バネ142が動き得る。しかし、凸部140bあるいは凸部144bに嵌め込まれると動かないように、皿バネ142が内周部分で嵌り込むようにしてもよい。このようにしても、皿バネ142を容易に組み付けることが可能であると同時に、圧電モーター10の動作中に、皿バネ受け部140あるいは押さえ蓋144との間で皿バネ142が滑ってしまうことを確実に防止することが可能となる。E.適用例:上述した本実施例の圧電モーター10は、小型で対象物を精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるので、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。図9は、本実施例の圧電モーター10を組み込んで構成された電子部品検査装置600を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置600は、大まかには基台610と、基台610の側面に立設された支持台630とを備えている。基台610の上面には、検査対象の電子部品1が載置されて搬送される上流側ステージ612uと、検査済みの電子部品1が載置されて搬送される下流側ステージ612dとが設けられている。また、上流側ステージ612uと下流側ステージ612dとの間には、電子部品1の姿勢を確認するための撮像装置614と、電気的な特性を検査するために電子部品1がセットされる検査台616とが設けられている。尚、電子部品1の代表的なものとしては、半導体や、CLDやOLEDなどの表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイスなどが挙げられる。また、本実施例の検査台616は、本発明の検査ソケットに対応する。また、支持台630には、基台610の上流側ステージ612uおよび下流側ステージ612dと平行な方向Y方向に移動可能にYステージ632が設けられており、Yステージ632からは、基台610に向かう方向X方向に腕部634が延設されている。更に、腕部634の側面には、X方向に移動可能にXステージ636が設けられている。そして、Xステージ636には、撮像カメラ638と、上下方向Z方向に移動可能なZステージを内蔵した把持装置650が設けられている。また、把持装置650の先端には、電子部品1を把持する把持部652が設けられている。更に、基台610の前面側には、電子部品検査装置600の全体の動作を制御する制御装置618も設けられている。尚、本実施例では、Xステージ636、Yステージ632、および把持装置650に内蔵されたZステージが、本発明の移動装置に対応する。以上のような構成を有する電子部品検査装置600は、次のようにして電子部品1の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品1は、上流側ステージ612uに載せられて、検査台616の近くまで移動する。次に、Yステージ632およびXステージ636を動かして、上流側ステージ612uに載置された電子部品1の真上の位置まで把持装置650を移動させる。このとき、撮像カメラ638を用いて電子部品1の位置を確認することができる。そして、把持装置650内に内蔵されたZステージを用いて把持装置650を降下させて、把持部652で電子部品1を把持すると、そのまま把持装置650を撮像装置614の上に移動させて、撮像装置614を用いて電子部品1の姿勢を確認する。続いて、把持装置650に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品1の姿勢を調整する。そして、把持装置650を検査台616の上まで移動させた後、把持装置650に内蔵されたZステージを動かして電子部品1を検査台616の上にセットする。把持装置650内の微調整機構を用いて電子部品1の姿勢が調整されているので、検査台616の正しい位置に電子部品1をセットすることができる。そして、検査台616を用いて電子部品1の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台616から電子部品1を取り上げた後、Yステージ632およびXステージ636を動かして、下流側ステージ612dの上まで把持装置650を移動させ、下流側ステージ612dに電子部品1を置く。その後、下流側ステージ612dを動かして、検査が終了した電子部品1を所定位置まで搬送する。図10は、把持装置650に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置650内には、把持部652に接続された回転軸654や、回転軸654が回転可能に取り付けられた微調整プレート656などが設けられている。また、微調整プレート656は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、X方向およびY方向に移動可能となっている。ここで、図10に斜線を付して示されるように、回転軸654の端面に向けて回転方向用の圧電モーター10θが搭載されており、圧電モーター10θの駆動凸部図示は省略が回転軸654の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター10θを動作させることによって、回転軸654および把持部652をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能となっている。また、微調整プレート656に向けてX方向用の圧電モーター10xと、Y方向用の圧電モーター10yとが設けられており、それぞれの駆動凸部図示は省略が微調整プレート656の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター10xを動作させることによって、微調整プレート656および把持部652をX方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター10yを動作させることによって、微調整プレート656および把持部652をY方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能となっている。従って、図9の電子部品検査装置600は、圧電モーター10θ、圧電モーター10x、圧電モーター10yを動作させることにより、把持部652で把持した電子部品1の姿勢を微調整することが可能である。尚、本実施例では、圧電モーター10x、圧電モーター10yがそれぞれ本発明の第1の圧電モーター、第2の圧電モーターに対応し、圧電モーター10θが本発明の第3の圧電モーターに対応する。また、回転軸654や、微調整プレート656、圧電モーター10θ、圧電モーター10x、圧電モーター10yによって構成される微調整機構が、本発明の駆動装置に対応する。図11は、本実施例の圧電モーター10を組み込んだ印刷装置700を例示した斜視図である。図示した印刷装置700は、印刷媒体2の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置700は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ701や、排出口702や、複数の操作ボタン705が設けられている。また、背面側には供給トレイ703が設けられている。供給トレイ703に印刷媒体2をセットして操作ボタン705を操作すると、供給トレイ703から印刷媒体2が吸い込まれて、印刷装置700の内部で印刷媒体2の表面に画像が印刷された後、排出口702から排出される。印刷装置700の内部には、印刷媒体2上で主走査方向に往復動するキャリッジ720と、キャリッジ720の主走査方向への動きをガイドするガイドレール710が設けられている。また、図示したキャリッジ720は、印刷媒体2上にインクを噴射する噴射ヘッド722や、キャリッジ720を主走査方向に駆動するための駆動部724などから構成されている。噴射ヘッド722の底面側印刷媒体2に向いた側には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体2に向かってインクを噴射することができる。また、駆動部724には、圧電モーター10m,10sが搭載されている。圧電モーター10mの駆動凸部図示は省略はガイドレール710に押しつけられている。このため、圧電モーター10mを動作させることで、キャリッジ720を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター10sの駆動凸部114は、噴射ヘッド722に対して押しつけられている。このため、圧電モーター10sを動作させることで、噴射ヘッド722の底面側を印刷媒体2に近付けたり、印刷媒体2から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷媒体2として、いわゆるロール紙を用いる印刷装置700では、画像を印刷したロール紙を切断する機構が必要となる。このような場合には、キャリッジ720にカッターを取り付けて主走査方向に移動させれば、ロール紙を切断することも可能である。図12は、本実施例の圧電モーター10を組み込んだロボットハンド800を例示した説明図である。図示したロボットハンド800は、基台802から複数本の指部803が立設されており、手首804を介してアーム810に接続されている。ここで、指部803の根元の部分は基台802内で移動可能となっており、この指部803の根元の部分に駆動凸部114を押しつけた状態で圧電モーター10fが搭載されている。このため、圧電モーター10fを動作させることで、指部803を移動させて対象物を把持することができる。また、手首804の部分にも、手首804の端面に駆動凸部114を押しつけた状態で圧電モーター10rが搭載されている。このため、圧電モーター10rを動作させることで、基台802全体を回転させることが可能である。図13は、ロボットハンド800を備えたロボット850を例示した説明図である。図示されるようにロボット850は、複数本のアーム810と、それらアーム810の間を屈曲可能な状態で接続する関節部820とを備えている。また、ロボットハンド800はアーム810の先端に接続されている。そして、関節部820には、関節部820を屈曲させるためのアクチュエーターとして圧電モーター10jが内蔵されている。このため、圧電モーター10jを動作させることにより、それぞれの関節部820を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。"