"薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、少なくとも一部が通気性部材で形成され、内部に洗浄媒体を閉じ込め該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて洗浄を行なう洗浄空間が形成された内チャンバーと、非通気性部材で形成され、内側に前記内チャンバーを包み込んで前記内チャンバー内に気体を流通させる空間が形成された外チャンバーと、前記内チャンバー内において気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルと前記外チャンバー内の空気を吸引する吸引手段を備え前記外チャンバーと前記内チャンバーそれぞれには、前記被洗浄体が通過可能な開口部が形成されており、前記洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることを特徴とする洗浄装置。請求項1に記載の洗浄装置において、前記被洗浄体が前記内チャンバー内へ通過できる開口部が、前記外チャンバーと前記内チャンバーに形成され、前記吸引手段による吸引が、外チャンバー内を外チャンバーの外側に対して陰圧に保つものであることを特徴とする洗浄装置。請求項1または請求項2に記載の洗浄装置において、前記非定常的な気流を、洗浄ノズルの方向の変化により発生させることを特徴とする洗浄装置。請求項1または請求項2に記載の洗浄装置において、前記洗浄ノズルが複数の洗浄ノズルであり、該複数の洗浄ノズルから断続的に気流を発生させるとともに該複数の洗浄ノズルから噴出する気流の組み合わせを変化させることにより、前記非定常的な気流を発生させることを特徴とする洗浄装置。請求項1から請求項4のいずれかに記載の洗浄装置において、前記洗浄媒体の形状を非平面形状としたことを特徴とする洗浄装置。請求項1から請求項5のいずれかに記載の洗浄装置において、洗浄媒体に切込み部を形成したことを特徴とする洗浄装置。請求項1から請求項6のいずれかに記載の洗浄装置において、前記内チャンバーに、前記外チャンバーの外部と連通し、開閉状態が切り替え可能な洗浄媒体の投入口と排出口を設け、前記投入口に洗浄媒体を一定量供給する定量供給手段を接続したものであり、該定量供給手段はフィルム状材料を切断加工して洗浄媒体を製造する装置であって、洗浄媒体の一定量の確保が加工完了の前段階の計量により行なわれることを特徴とする洗浄装置。薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置における洗浄方法であって、少なくとも一部が通気性部材で形成された内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第1の工程と、該第1の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去するとともに、非通気性部材で形成され内側に前記内チャンバーを包み込んだ外チャンバー内の気体を吸引する第2の工程と、該第2の工程において使用した洗浄媒体に気流を吹きつけるとともに外チャンバー内の気体を吸引して、該洗浄媒体を内チャンバーから排出する第3の工程の各工程を順に繰り返すことを特徴とする洗浄方法。薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置における洗浄方法であって、少なくとも一部が通気性部材で形成された内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第1の工程と、該第1の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去するとともに、非通気性部材で形成され内側に前記内チャンバーを包み込んだ外チャンバー内の気体を吸引する第2の工程と、該第2の工程において使用した洗浄媒体に気流を吹きつけるとともに外チャンバー内の気体を吸引して、該洗浄媒体を内チャンバーから排出する第3の工程の各工程を同時に行なうことを特徴とする洗浄方法。このように、粘度が高く流動性が低い液体や半固体の付着性の強い汚れの除去においては、充分な洗浄が行なえないという課題があった。これに対して本発明は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを洗浄する装置において、上記のような特に付着性の強い汚れを除去するのに適した洗浄装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するための手段である本発明の特徴は次の通りである。本発明の洗浄装置は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、少なくとも一部が通気性部材で形成され、内部に洗浄媒体を閉じ込め該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて洗浄を行なう洗浄空間が形成された内チャンバーと、非通気性部材で形成され、内側に前記内チャンバーを包み込んで前記内チャンバー内に気体を流通させる空間が形成された外チャンバーと、前記内チャンバー内において気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルと前記外チャンバー内の空気を吸引する吸引手段を備え、前記外チャンバーと前記内チャンバーそれぞれには、前記被洗浄体が通過可能な開口部が形成されており、前記洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることを特徴とする。本発明の洗浄装置は更に、前期被洗浄体が前期内チャンバー内へ通過できる開口部が、前記外チャンバーと前記内チャンバーに形成され、前記吸引手段による吸引が、外チャンバー内を外チャンバーの外側に対して陰圧に保つものであることを特徴とする。本発明の洗浄装置は更に、前記非定常的な気流を、洗浄ノズルの方向の変化により発生させることを特徴とする。本発明の洗浄装置は更に、前記洗浄ノズルが複数の洗浄ノズルであり、該複数の洗浄ノズルから断続的に気流を発生させるとともに該複数の洗浄ノズルから噴出する気流の組み合わせを変化させることにより、前記非定常的な気流を発生させることを特徴とする。本発明の洗浄装置は更に、前記洗浄媒体の形状を非平面形状としたことを特徴とする。本発明の洗浄装置は更に、洗浄媒体に切込み部を形成したことを特徴とする。本発明の洗浄装置は更に、前記内チャンバーに、前記外チャンバーの外部と連通し、開閉状態が切り替え可能な洗浄媒体の投入口と排出口を設け、前記投入口に洗浄媒体を一定量供給する定量供給手段を接続したものであり、該定量供給手段はフィルム状材料を切断加工して洗浄媒体を製造する装置であって、洗浄媒体の一定量の確保が加工完了の前段階の計量により行なわれることを特徴とする。本発明の洗浄方法は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置における洗浄方法であって、少なくとも一部が通気性部材で形成された内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第1の工程と、該第1の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去するとともに、非通気性部材で形成され内側に前記内チャンバーを包み込んだ外チャンバー内の気体を吸引する第2の工程と、該第2の工程において使用した洗浄媒体に気流を吹きつけるとともに外チャンバー内の気体を吸引して、該洗浄媒体を内チャンバーから排出する第3の工程の各工程を順に繰り返すことを特徴とする。本発明の洗浄方法は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置における洗浄方法であって、少なくとも一部が通気性部材で形成された内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第1の工程と、該第1の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去するとともに、非通気性部材で形成され内側に前記内チャンバーを包み込んだ外チャンバー内の気体を吸引する第2の工程と、該第2の工程において使用した洗浄媒体に気流を吹きつけるとともに外チャンバー内の気体を吸引して、該洗浄媒体を内チャンバーから排出する第3の工程の各工程を同時に行なうことを特徴とする。本発明は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることにより、気流の向きや強さを変化させることができ、被洗浄体に貼り付いた洗浄媒体に対して様々な方向から気流を作用させることができる。よって、被洗浄体に付着性の強い汚れが付いていたとしても、洗浄媒体の滞留を低減させ、移動させることができ、洗浄品質を向上させることができる。≪洗浄装置の第1の実施形態≫本発明の実施形態について説明する。図1から図3は本発明に係る洗浄装置の第1の実施形態を示しており、図1のAおよびBは洗浄装置の正面図および側面図を示し、図2のAおよびBは図1におけるAA断面図およびBB断面図を示している。図3のAおよびBは洗浄装置の動作状態を示すもので図1におけるBB断面図を示している。図1から図3において、3は6面を有する立方体の外チャンバーであり内部に洗浄媒体2の飛翔のための気体を流通させる空間を形成するものである。この外チャンバー3の内部に洗浄空間を形成する内チャンバー4が設けられている。外チャンバー3には側面のうち対向する二つの面に、排気口5aと排気口5bがそれぞれ設けられており、側面のうち他の対向する二つの面に開口部6aと開口部6bがそれぞれ設けられている。外チャンバー3の開口部6aおよび開口部6bが設けられている面の外側にはそれぞれスライド板7aおよびスライド板7bが取付けられている。スライド板7aおよびスライド板7bには、下部にそれぞれ回転ノズル8aおよび回転ノズル8bが取り付けられており、スライド板7aの上部には洗浄媒体投入口9が設けられ、スライド板7bの上部には洗浄媒体排出口10が設けられている。スライド板7aおよびスライド板7bは、外チャンバー3の外面に密着してそれぞれが独立して上下方向にスライド可能に取りつけられており、スライド板7aを、回転ノズル8aまたは洗浄媒体投入口9が開口部6aと接合してそれぞれが開口部6aと連通する位置に移動させることができ、スライド板7bを、回転ノズル8bまたは洗浄媒体排出口10が開口部6bと接合してそれぞれが開口部6bと連通する位置に移動させることができる。すなわち、スライド板7aスライド板7aの移動により、開口部6aおよび開口部6bの連通状態を切り換えることができる。この移動のためにスライド板7aおよびスライド板7bには、モータやエアシリンダ等のアクチュエータ等の駆動手段および駆動力を伝達してスライド板7aおよびスライド板7bを移動させる駆動力伝達手段図示せずが接続されている。11は被洗浄体1を挟んで上下方向に搬送する送りローラであり、被洗浄体1は、送りローラ11により外チャンバー3と内チャンバー4を貫通して上下方向の一方にまたは往復方向に移動し、この移動の過程で被洗浄体1の内チャンバー4内を通過する部分が洗浄される。この送りローラ11にはモータ等の回転駆動手段および駆動力伝達機構図示せずが接続されている。内チャンバー4は六面を有する立方体で、その外側を外チャンバー3によって包み込まれるように配置されている。この内チャンバー4の内部に、洗浄媒体2を閉じ込め飛翔させて洗浄を行なう洗浄空間が形成される。内チャンバー4を形成する6面のうち、スライド板7aおよびスライド版7b側の開口部6aおよび開口部6bを有する2面は、外チャンバー3の面が内チャンバー4の面として用いられており、残りの上下面および外チャンバー3の排気口5aおよび排気口5bに面する2つの側面はパンチング板やメッシュからなる通気面12に形成されている。すなわち、開口部6aおよび開口部6bは内チャンバー4が外部と連通するものであり、排気口5aおよび排気口5bは外チャンバー3が外部と連通するものである。内チャンバー4の通気面12は、洗浄媒体2は通過できないが気流は通過できるもので、パンチング板の開口穴やメッシュのサイズは、洗浄に用いることができる通常サイズの洗浄媒体2は通過できないが、被洗浄体1から除去した汚れや劣化により分断されて小さくなった洗浄媒体2は通過できるような大きさのものである。内チャンバー4内には、開口部6aおよび開口部6bに回転ノズル8aおよび8bが接合した状態において開口部6aおよび開口部6bを介して、被洗浄体1の両面に向けて回転ノズル8aおよび回転ノズル8bから気流が噴射され、これにより洗浄媒体2を被洗浄体1に吹き付けて洗浄を行う。外チャンバー3は、内チャンバー4の外側を包み込むように配置されており、内チャンバー4の通気面12を通過した気流、被洗浄体1から除去した汚れ、および劣化により分断されて小さくなった洗浄媒体2等を排気口5aおよび排気口5bから排出する機能を果たす。外チャンバー3の排気口5aおよび排気口5bには図4に示すように集塵機13が接続されている。集塵機13は、外チャンバー3内の気体を吸引して、被洗浄体1から除去した汚れおよび内チャンバー4の通気面12を通過した小さくなった洗浄媒体2を、フィルタ13aにより回収するものである。集塵機13には、排気口5aおよび排気口5bの他にスライド板7aおよびスライド板7bの洗浄媒体排出口10が接続されている。これらと集塵機13とは3方弁14を介して接続され、集塵機13の吸引力を排気口5aおよび排気口5b側に作用させるか、洗浄媒体排出口10側に作用させるかを切り換えられる構成となっている。洗浄媒体2による洗浄中には、3方弁14を排気口5aおよび排気口5b側に切り換えて、被洗浄体1から除去した汚れおよび内チャンバー4の通気面12を通過した小さくなった洗浄媒体2を、集塵機13により回収する。なお、15は洗浄媒体回収器であり、所定サイズより大きい洗浄媒体2、例えばあまり使用されずに内チャンバー4から漏出して排出された洗浄媒体2や、後述するように内チャンバー4のスリットの隙間から漏出した洗浄媒体2を、再利用するためにこの洗浄媒体回収器15により分離回収する。外チャンバー3と内チャンバー4には、それぞれの上下面に、平板状の被洗浄体1が外チャンバー3と内チャンバー4を貫通して上下方向に通過できるスリット16およびスリット17が設けられている。図5に示すように、この構造においては、被洗浄体1から除去した汚れや劣化した洗浄媒体2は矢印Aで示す気流によって内チャンバー4の通気面12を通過して外チャンバー3内へ移動するとともに、矢印Bで示す気流によって内チャンバー4のスリット17の隙間を通過して外チャンバー3側に移動する。また、使用中のまだ劣化していない洗浄媒体2が同様に矢印Cで示すように内チャンバー4のスリット17の隙間から外チャンバー3側に漏出することがある。一方、外チャンバー3内の気体は排気口5aおよび排気口5bを介して集塵機13により吸引されているので、内チャンバー4から外チャンバー3内へ流入してきた気体は矢印Dで示すように排気口5aおよび排気口5b側へ移動する。また、外チャンバー3内は、集塵機13の吸引により、外チャンバー3の外側に対して陰圧となっているので、矢印Eで示すように外チャンバー3の外側から外チャンバー3のスリット16の隙間を通って外チャンバー3内へ流入する気流が生じる。この気流はその流速が大きいため、外チャンバー3のスリット16の隙間から洗浄媒体2等が外チャンバー3の外側に漏出することはなく、このことは外チャンバー3と内チャンバー4のスリット16およびスリット17に被洗浄体1が存在しないときも同様である。外チャンバー3内へ流入してきた気体は矢印Fで示すように排気口5aおよび排気口5b側へ移動し、排気口5aおよび排気口5bから排出された洗浄媒体2、汚れ等は、洗浄媒体回収器15または集塵機13により回収される。スライド板7aおよびスライド板7bには回転ノズル8aおよび回転ノズル8bが取り付けられている。回転ノズル8aおよび回転ノズル8bは、可撓性チューブノズルを用いた回転式ノズルであり、スライド板7aおよびスライド板7bには開口部6aおよび開口部6bと同じ径の開口面を有する円錐状の回転ガイド18aおよび回転ガイド18bが形成されている。回転ノズル8aおよび回転ノズル8bの可撓性チューブノズルは、高圧気体供給装置図示せずに接続され、供給される高圧気体により回転ガイド18aおよび回転ガイド18bのガイドの範囲において変位しながら、気体を噴射する。この変位としては、例えば特開2006-246928号公報または特開2008-253892号公報に記載されているように、ガイドの内周に沿って旋回したり、ガイドの内側の直径方向に周期的に振幅したり、またはガイド内を振幅しながら旋廻する等がある。なお、回転ノズル8aおよび回転ノズル8bの回転範囲に洗浄媒体2が侵入して回転の妨げとならないように、回転ノズル8aおよび回転ノズル8bが内チャンバー4と接合する箇所には洗浄媒体2の侵入防止用メッシュ19を設けている。被洗浄体1の汚れが付着性の強い汚れの場合、図6に示すように、洗浄媒体2が汚れ1aによって被洗浄体1に付着し動かなくなってしまい、洗浄媒体2が同じ場所にとどまり続ける滞留が生じる場合がある。なお、滞留としては流速の小さい場所で洗浄媒体2が動かなくなってしまう場合もある。このような場合には、洗浄媒体2の真上から付着面に垂直に気流を吹きつけた場合気流aの場合には、洗浄媒体2を動かす力は弱いが、気流を洗浄媒体2から離れた位置に付着面に垂直に吹きつけた場合気流bの場合や、付着面に対し斜めから気流を吹き付けた場合気流cの場合には洗浄媒体2を被洗浄体1から剥がす力が作用するため、比較的容易に洗浄媒体2を動かすことが可能である。すなわち、付着性の強い汚れでも内チャンバー4内や被洗浄体1に洗浄媒体2を滞留させないためには、洗浄ノズルは、様々な場所に向けて、様々な角度で噴射することが求められる。すなわち、洗浄ノズルとして非定常的な気流を発生させるものが求められる。非定常的な気流とは、時間とともに噴射状態が変化する気流のことで、断続的に噴射する気流や時間的に噴射の強弱がある気流、時間とともに噴射の向きが変化する気流などを指すものである。この要求に対しては、気流の噴射方向が周期的に変動する回転式ないし揺動式のノズルを用いた場合、気流を一箇所に集中させ、気流の噴射方向を変えることで広い面積をカバーできるため、気流の消費量を抑えて強い気流を作用させることができる。さらに、噴射された直接の気流の他、内チャンバー4の壁面で反射した気流も加わり、様々な方向から気流を作用させることができる。このように内チャンバー4内や被洗浄体1に洗浄媒体2を滞留させず、循環させることができるので、洗浄効率、洗浄品質を高くすることができる。洗浄ノズルの噴射方向の回転や揺動の方法としては、洗浄ノズルから噴出する気流の力を利用する方法モータ等の外部駆動力を不要にできる。モータ等の外部駆動力を用いる方法回転や揺動の周期や範囲を制御できるなど、適した方法を選択することができる。この実施形態においては、洗浄ノズルとして、上記のように可撓性チューブノズルを用いた回転ノズル8aおよび回転ノズル8bを用いている。スライド板7aの洗浄媒体投入口9には、洗浄媒体2の定量供給装置20が接続される。図7は定量供給装置20の例を示すもので、シート状またはロール状原反のフィルム状材料を、加工ユニット20aにより切断、折り曲げ加工して洗浄媒体2を製造し、加工済みの洗浄媒体2を供給の一定量ごとに供給部20bに保持して、内チャンバー4内に投入するものである。この例においては洗浄媒体2の加工装置を定量供給装置20として用いており、例えば洗浄媒体2の一定量を材料段階等、加工完了の前段階で、重量、大きさ等を計量することにより供給の定量性と安定性を確保することが比較的容易である。なお、加工装置を用いないで、加工済みの洗浄媒体2を供給するようにしてもよい。定量供給装置20としては、各種の粉粒体の定量供給装置の中から、洗浄媒体2の特性にあったものを選定して用いることもできる。ただし、薄片状の洗浄媒体2の場合には一般的な粉粒体に比べてかさ密度が一定になりにくく流動性も悪いため、粉粒体の定量供給装置を用いた場合には供給の定量性と安定性を充分に確保する必要がある。スライド板7bの洗浄媒体排出口10には、上記したように、図4に示すように集塵機13が接続されている。洗浄媒体排出中には、上記のように3方弁14を洗浄媒体排出口10側に切り換えて、使用後の被洗浄体1を集塵機13により吸引する。本発明の実施形態において用いる洗浄媒体2の例を、図8から図12に示す。図に示す洗浄媒体2は、面積が1~1000mm2、厚み1~500μm程度の樹脂フィルム、布、紙、金属、セラミクス等の薄片を、種々の形態に加工したものである。なお、洗浄媒体を総称する場合には洗浄媒体2とし、ここに示す特定の形態を指す場合にはそれぞれに符号をつけて説明する。図8に示す洗浄媒体21は、平面状の薄片を折って全面に山折り部21aと谷折り部21bを連続的に形成し、凹凸および高さを有するようにしたものである。図9に示す洗浄媒体22は、平面状の薄片の内側の位置に1対の切り込み22a、22bを設け、この切り込み22a、22bの間および切り込み22a、22bと隣接する辺の間に、山折り部22c、22d、22eおよび谷折り部22f,22g,22hを形成して、凹凸および高さを有するようにしたものである。図9においては切り込みは1対しか形成していないが、切り込みを3以上形成して、同様の形状を薄片の全面に形成するようにしてもよい。図10に示す洗浄媒体23は、平面状の薄片の対向する辺から内側に向かう1対の切り込み23a,23bを形成し、切込み23a,23bにより分離された各部分を折って、辺と並行な方向の山折り部23c、23dと谷折り部23e,23fを形成して、凹凸および高さを有するようにしたものである。図9の場合と同様に同様の形状を薄片の全面に形成するようにしてもよい。図11に示す洗浄媒体24は、平面状の薄片に、二等辺直角三角形の直角に交差する2辺を切り込んだ切り込み24aを形成し、二等辺直角三角形の残りの斜辺を上方へ折り曲げて立ち上がり部24bを形成したものを多数形成して、凹凸および高さを有するようにしたものである。図12に示す洗浄媒体25および26は、平面状の薄片を円筒または四角筒状に形成して全体を立方体とし、その周面に四角形の3辺を切り込み、残りの1辺を上方へ折り曲げて立ち上がり部25aまたは26aを形成して、凹凸および高さを有するようにしたものである。油やグリスのような付着性の強い汚れを除去する場合には、図6に示すように洗浄媒体2が被洗浄体1や内チャンバー4に接触する接触部Xの面積を減らすことにより、付着力を低減することができ、除去が容易となる。図8から図12に示す洗浄媒体21~26は、山折り部と谷折り部、立ち上がり部、および筒状形状により、凹凸および高さを有する非平面形状または立体的な形状としたものであり、これにより被洗浄体1との接触部Xの面積を減らすことができ、更に、付着した洗浄媒体と被洗浄体1の付着面との間に気流が入り込みやすいため、気流による力を作用させやすく、分離が容易になる。また、洗浄媒体21~26を非平面形状または立体的な形状としたことにより、内チャンバー4のスリット17の隙間から洗浄媒体21~26が漏出しにくくなり、洗浄媒体21~26を有効に利用することができるようになる。また、図8から図12に示す洗浄媒体21~26は、切り込み部を形成しているので、使用に伴って破断しやすく、使用とともにチャンバー内で循環しながら切り込み部から破断して細かくなっていく。また、折り目は、ミシン目のような切り込みとしてもよく、このようにすれば、使用に伴って、ミシン目で分割され細かくなりやすくなる。なお、折り目以外でもあらかじめ分割したい形状にミシン目を入れておけば、同様にこのミシン目で分割され細かくなりやすくなる。このような形態にすることにより、使用して汚れが付着した洗浄媒体21~26は、破断により、大きさが小さくなって内チャンバー4のメッシュやパンチング穴等の通気面12から使用中に排出されるため、洗浄媒体21~26に付着した汚れが被洗浄体1に再付着しにくく、被洗浄体1の洗浄品質を高めることができる。なお、洗浄媒体2の薄片の形状は、矩形、円形、楕円形、三角形、多角形とすることができ、立体状の形態についても筒状の他種々の形態とすることができる。また、洗浄媒体2の材質や大きさ、厚みは、被洗浄体1の形状や材質、および被洗浄体1に付着している付着物の性質や付着強度等に応じて適切なものを選択して使用する。次に第1の実施形態の洗浄装置の動作について説明する。第1の実施形態の洗浄装置において洗浄は次のような工程により行なわれる。1洗浄媒体投入工程まず最初に洗浄媒体2を内チャンバー4へ投入する。この工程においては、図3のAに示すように、スライド板7aを下方位置に移動して開口部6aに洗浄媒体投入口9を接合させるとともに、スライド板7bを上方位置に移動させて開口部6bに回転ノズル8bを接合させる。この状態において回転ノズル8bは非駆動状態であり、開口部6bは回転ノズル8bによって蓋をされた閉状態となっている。そして、図4の3方弁14を排気口5aおよび排気口5b側に切り換えて、集塵機13の吸引力を排気口5aおよび排気口5b側に作用させる。これにより、洗浄媒体投入口9に接続された洗浄媒体2の定量供給装置20の供給部20bから一定量の洗浄媒体2が、洗浄媒体投入口9および開口部6aを経由して内チャンバー4内へ移動し、内チャンバー4内へ新たな洗浄媒体2が投入される。この場合、集塵機13の吸引力により、洗浄媒体2が内チャンバー4から外に漏れることはない。2洗浄工程所定量の洗浄媒体2が供給されたら、次に、内チャンバー4内に被洗浄体1を搬送するとともに、内チャンバー4内において薄片状の洗浄媒体2を被洗浄体1に吹きつけ、被洗浄体1の汚れを除去する。この工程においては、図2のAおよびBに示すように、スライド板7aおよびスライド板7bを上方位置に移動して開口部6aおよび開口部6bにそれぞれ回転ノズル8aおよび回転ノズル8bを接合させる。この状態において、回転ノズル8aおよび回転ノズル8bを駆動させてこれらから気体を噴射させて内チャンバー4内の洗浄媒体2に吹き付ける。同時に、図4の3方弁14を排気口5aおよび排気口5b側に切り換えた状態を維持して集塵機13の吸引力を排気口5aおよび排気口5b側に作用させる。そして、薄板状の被洗浄体1を、外チャンバー3の上部のスリット16から挿入して送りローラ11で搬送し、内チャンバー4の上下のスリット17を通過して外チャンバー3の下部のスリット16まで到達させる。この間に、内チャンバー4内の洗浄媒体2を被洗浄体1に吹き付けて被洗浄体1の汚れを除去するとともに、被洗浄体1から除去した汚れおよび内チャンバー4の通気面12を通過した小さくなった洗浄媒体2を、集塵機13により回収する。3洗浄媒体排出工程次に、洗浄工程において使用した洗浄媒体2に気流を吹き付けて内チャンバー4から排出する。この工程においては、図3のBに示すように、スライド板7bを下方位置に移動して開口部6bに洗浄媒体排出口10を接合させるとともに、スライド板7aを上方位置に移動させて開口部6aに回転ノズル8aを接合させる。この状態において回転ノズル8aは駆動状態を維持しており、回転ノズル8aから気体を噴射させて内チャンバー4内の洗浄媒体2に吹き付ける。そして、図4の3方弁14を、洗浄媒体排出口10側に切り換えて、集塵機13の吸引力を洗浄媒体排出口10側に作用させる。このように、回転ノズル8aを駆動させながら洗浄媒体排出口10より吸引することで、汚れの付着した洗浄媒体2を完全に排出することができる。排出した洗浄媒体2は、集塵機13により回収される。≪洗浄装置の第2の実施形態≫図13は本件発明に係る洗浄装置の第2の実施形態を示しており、図13のAは正面断面図BにおけるAA断面図、Bは側面断面図AにおけるBB断面図、Cは平面断面図AにおけるCC断面図である。図13において、51は外チャンバーであり、断面が縦長楕円形の横円筒の両端面が閉じられたもので、内部に洗浄媒体2の飛翔のための気体を流通させる空間を形成するものである。この外チャンバー51の中に洗浄空間を形成する内チャンバー52が設けられている。内チャンバー52は外チャンバー51の中央部に形成された洗浄空間であり、外チャンバー51の周面のうち中央部の所定範囲の周面が内チャンバー52の周面として用いられなお、この周面を内チャンバー52の周面という、この周面の左右の両端面は実施形態1の内チャンバー52の両側面と同様なパンチング板やメッシュからなる通気面53に形成されている。内チャンバー52の周面には、洗浄媒体投入口55、洗浄媒体投入口54および洗浄媒体排出口56が設けられている。洗浄媒体投入口55は内チャンバー52の周面の頂部に設けられ、洗浄媒体投入口54は洗浄媒体投入口55より少し下がった位置に設けられ、洗浄媒体排出口56は底部に設けられている。洗浄媒体投入口54および洗浄媒体投入口55には洗浄媒体2が通過できるスリット状の開口部54aおよび55aが設けられている。外チャンバー51の周面底部の内チャンバー52の外側の位置、すなわち洗浄媒体排出口56の両側の位置には排気口57aおよび排気口57bが設けられている。洗浄媒体投入口54には、洗浄媒体加工手段58が接続される。洗浄媒体加工手段58は、第1の実施形態における定量供給装置20の加工ユニット20aと同様に、シート原反またはロール状の材料を、切断、折り曲げ加工して洗浄媒体2を製造するものであり、洗浄媒体投入口54の開口部54aを介して、製造した洗浄媒体2を一定量ごとに、または製造されるごとに連続的に内チャンバー52内に投入するものである。内チャンバー52の周面のうちの両側面には、8対の洗浄ノズル59がそれぞれの側面に設置されている。洗浄媒体投入口55には、連続供給ができる定量供給装置図示せずが接続されるもので、既に加工済みの洗浄媒体2をこの定量供給装置にセットし、一定量ごとにまたは連続的に内チャンバー52内に投入するものである。定量供給装置としては、例えば、第1の実施形態において示したように供給部を設けて洗浄媒体2を供給する一定量ごとに供給部に保持し、それを内チャンバー52内に一定量ごとに投入したり、連続して投入することができる。また、各種の粉粒体の定量供給装置の中から、洗浄媒体2の特性にあったものを選定して用いることもできる。洗浄媒体2は必要に応じ、洗浄媒体加工手段58に接続された洗浄媒体投入口54または洗浄媒体投入口55のいずれかから投入される。洗浄媒体排出口56および排気口57aおよび排気口57bには、第1の実施形態の場合と同様に、図4に示すように集塵機13が接続されている。洗浄媒体排出口56は洗浄動作中には、洗浄媒体排出口56はシャッター60で閉じられているが、内チャンバー52内の洗浄媒体2を排出する際には、シャッター60を開き、3方弁14を洗浄媒体排出口56側に切り換えて、使用後の被洗浄体1を集塵機13により吸引するともに、洗浄ノズル59を動作させて様々なパターンの気流を発生させることで、内チャンバー52内の洗浄媒体2を完全に排出する。洗浄媒体2による洗浄中には、洗浄ノズル59を動作させるとともに、3方弁14を排気口57aおよび排気口57b側に切り換えて、被洗浄体1から除去した汚れおよび内チャンバー52の通気面53を通過した小さくなった洗浄媒体2を、集塵機13により回収する。洗浄ノズル59は図13のBに矢印で示すように、様々な方向に向けて気流を噴射できるようになっている。更にこれらの洗浄ノズル59は、図14に示すようにノズル群A、ノズル群B、ノズル群B、のようにいくつかにグルーピングされ、それぞれのノズル群毎に個別に動作をONOFF制御できるようになっている。図14において実線はノズルON状態、破線はノズルOFF状態を示している。このように、洗浄ノズル59から断続的に気流を噴射することにより、非定常的な気流を発生させるようにしている。これにより連続的に気流を噴射する場合に比べて、気流に圧力変動が生じるため、付着している洗浄媒体2を剥がす効果がより高くなる。更に、図14のような洗浄ノズル59の制御パターンを用いて、複数のノズル群のON状態を組み合わせることで、内チャンバー52内に様々な気流すなわち非定常気流を発生させることができるため、内チャンバー52内や被洗浄体1に洗浄媒体2を滞留させずに、循環させることができる。また、同時にすべての洗浄ノズル59がONとなる場合に比べ、気流の消費量を抑えて強い気流を作用させることができるため、洗浄効率や洗浄品質を高くすることができる。洗浄ノズル59のグルーピングは、隣接する洗浄ノズル59を同一グループにする方法や、離れた位置同士の洗浄ノズル59を同一グループにする方法がある。隣接する洗浄ノズル59を同一グループにせず、離れた位置の洗浄ノズル59を同一グループにした場合には更に様々な非定常気流を発生さえることができる。外チャンバー51と内チャンバー52には、それぞれの楕円形の両端面に、平板状の被洗浄体1が外チャンバー51と内チャンバー52を貫通して左右方向に通過できるスリット61およびスリット62が設けられている。63は被洗浄体1を載置して搬送する送りローラであり、64は被洗浄体1を表裏両側から挟んでガイドするガイドローラである。被洗浄体1は、送りローラ63により駆動されて、外チャンバー51と内チャンバー52を貫通して左右方向の一方にまたは往復方向に移動し、この移動の過程で被洗浄体1の内チャンバー52内を通過する部分が洗浄される。この送りローラにはモータ等の回転駆動手段および駆動力伝達機構図示せずが接続されている。この構造においては、第1の実施形態の場合と同様に、被洗浄体1から除去した汚れや劣化した洗浄媒体2が内チャンバー52のスリット62の隙間を通過して外チャンバー51側に移動したり、また同様に使用中の洗浄媒体2が内チャンバー52のスリット52の隙間から外チャンバー51側に漏出することが考えられるが、これらは、外チャンバー51に設けた排気口57aおよび排気口57bより排出される。この第2の実施形態の洗浄装置において、洗浄は次のような工程により行なわれる。1洗浄媒体投入工程まず最初に洗浄媒体2を内チャンバー52へ投入する。洗浄媒体2は、洗浄媒体加工手段58において製造したものを洗浄媒体投入口54を介して投入するか、またあらかじめ製造したものを定量供給装置にセットし、この定量供給装置にセットしたものを洗浄媒体投入口55を介して投入する。いずれの場合においても、洗浄媒体2を一定量投入するとともに、図4の3方弁14を排気口57aおよび排気口57b側に切り換えて、集塵機13の吸引力を排気口57aおよび排気口57b側に作用させこの状態を所定の時間継続させる。これにより、洗浄媒体2が洗浄媒体投入口54または洗浄媒体投入口55を介して、内チャンバー52内へ移動し、内チャンバー52内へ新たな洗浄媒体2が投入される。この工程においては、洗浄ノズル59は非駆動状態である。2洗浄工程内チャンバー52内へ所定量の洗浄媒体2が供給されたら、次に、平板状の被洗浄体1を、図13のAにおける右方向から外チャンバー51のスリット61および内チャンバー52のスリット62を通って外チャンバー51および内チャンバー52内に挿入し、内チャンバー52内を搬送して通過させる。被洗浄体1は、ガイドローラ64によって姿勢を垂直に保たれつつ送りローラ63によって搬送され、内チャンバー52を通過して外チャンバー51の反対側のスリット61まで到達し、この間に汚れが除去される。この状態においては、洗浄ノズル59を駆動させて、洗浄ノズル59から断続的に気流を噴射して内チャンバー52内の洗浄媒体2に吹き付け、これにより洗浄媒体2を被洗浄体1に吹き付ける。この工程においては、図4の3方弁14を排気口57aおよび排気口57b側に切り換えた状態を維持して、集塵機13の吸引力を排気口57aおよび排気口57b側に作用させた状態を維持させる。これにより、被洗浄体1から除去した汚れおよび内チャンバー52の通気面53を通過した小さくなった洗浄媒体2を、集塵機13により回収する。この洗浄動作中には、洗浄媒体排出口56はシャッター60で閉じられている。3洗浄媒体排出工程次に、洗浄工程において使用した洗浄媒体2を内チャンバー52から排出する。この工程において洗浄ノズル59は駆動状態を維持しており、洗浄ノズル59から気体を噴射させて内チャンバー52内の洗浄媒体2に吹き付ける。またこの工程においては、洗浄媒体排出口56のシャッター60を開けて、図4の3方弁14を、洗浄媒体排出口56側に切り換えて、集塵機13の吸引力を洗浄媒体排出口56側に作用させる。このように、洗浄ノズル59を駆動させながら洗浄媒体排出口56より吸引することで、洗浄後の汚れの付着した洗浄媒体2を排出することができる。排出した洗浄媒体2は、集塵機13により回収される。このように第1の実施形態の場合と同様に、上記1から3の各工程をシーケンシャルに行なう。また、第2の実施形態においては、上記1から3の各工程を同時に並行して行なうことができる。この場合には次のように行なう。a洗浄媒体2の投入および排出洗浄媒体2の投入は、洗浄中に連続して行なう。このために洗浄媒体加工手段58において製造した洗浄媒体2を洗浄媒体投入口54を介して連続して投入するか、または定量供給装置にセットした洗浄媒体2を洗浄媒体投入口55を介して連続して投入する。洗浄媒体2の排出は、洗浄媒体2の投入に合わせて洗浄中に連続して行なう。なお、各工程を同時に並行して行なう場合には、上記1の洗浄媒体投入工程と3の洗浄媒体排出工程を同時に行なうことになるが、洗浄力を一定に保つには、洗浄媒体2が内チャンバー52内に、常時一定量存在するようにすることが必要であり、このためには洗浄媒体2の投入量と排出量を同じ量とする。逆に、洗浄力を変化させるような場合には、洗浄媒体2の投入量と排出量を異なるようにし、内チャンバー52内に存在する洗浄媒体2の量を変えるようにする。例えば最初は洗浄力を強く徐々に弱くする場合には洗浄媒体2の投入量と排出量の差を徐々に変えていき、最初は内チャンバー52内に存在する洗浄媒体2の量を多くし、この量を徐々に少なくなるようにする。また、洗浄媒体2の入れ替えに要する時間は、上記1の洗浄媒体投入工程および上記3洗浄媒体排出工程を別々に行なう場合はこれらを短い時間で行なう方が良いがこれらの工程を同時並行に行なう場合には洗浄媒体2の汚れ程度を考慮して、単位時間あたりの投入量および排出量を設定することができる。例えば汚れの度合いが強い場合には、単位時間あたりの投入量を、単位時間あたりの投入量と洗浄力が比例する範囲内で、多くするようにして洗浄力を強化することができる。b洗浄洗浄は、内チャンバー52内へ洗浄媒体2の投入および内チャンバー52からの洗浄媒体2の排出が行なわれている間に行なわれる。この洗浄中においては、洗浄ノズル59は駆動状態であり、洗浄ノズル59から気体を噴射させて内チャンバー52内に存在する洗浄媒体2に吹き付け、洗浄媒体2を被洗浄体1に吹き付ける。上記の各工程をシーケンシャルに行なう場合と同様に、被洗浄体1を内チャンバー52内に挿入して内チャンバー52内を通過させ外チャンバー51の反対側のスリット61まで到達させる間に、被洗浄体1の汚れが除去される。洗浄中においては、集塵機13の吸引力は排気口57aおよび排気口57b側と洗浄媒体排出口56側の両方に作用させる。このために、この洗浄方法の場合には、図4に示す構成とは異なり、図4に示す3方弁14を使用せずに、排気口57aおよび排気口57b側と洗浄媒体排出口56側が同時に集塵機13に接続されるような構成を用いる。このように上記1から3の各工程を同時に並行して行なう場合には、洗浄媒体2の投入を洗浄中に連続して行ない、かつ洗浄媒体2の排出を洗浄媒体2の投入に合わせて洗浄中に連続して行なって、入れ替えた新たな洗浄媒体2により洗浄を行なうとともに、洗浄後の汚れの付着した洗浄媒体2を排出する。洗浄媒体2の排出と投入を同時に連続的に行うことにより、内チャンバー52内の洗浄媒体2の量と汚れ度合いを一定に保つことができるため、洗浄品質を安定化させることができる。また、洗浄力のコントロールを行なうことができる。なお、本発明の実施形態においては、外チャンバーと内チャンバーそれぞれに、被洗浄体が通過可能なスリット状の開口部を有しているため、大きな被洗浄体であっても内チャンバーの大きさを小さくすることができ、内チャンバー内の洗浄媒体の密度を高めて効率的に洗浄することが可能になる。また、外チャンバーが内チャンバーを包み込み、外チャンバー内の空気を吸引して陰圧に保つ構成により、内チャンバーから漏れ出た汚れや洗浄媒体があったとしても、外チャンバーの外に漏出させることなく吸引手段で回収することができる。また、洗浄ノズルの向きを変化させることにより、ノズルを多数配置しなくても内チャンバーの内部に様々な方向の非定常的な気流を作用させることができ、少ないノズルの数で洗浄媒体の滞留を防止でき、装置構成が簡単になる。また、複数の洗浄ノズルから噴出する気流の組み合わせを変化させることにより、ノズル自体を動かすことなく非定常気流を発生できる。なお、この場合には定常的に吹きつける場合に比べ、総消費流量を抑えて強い気流を発生し、洗浄媒体の滞留を防止できるので、省エネルギー化が可能になる。また、洗浄媒体の形状を非平面形状としたことにより、内チャンバーに形成した開口部から洗浄媒体が漏れることを防ぐことができる。そして洗浄媒体が内チャンバーから漏れることなく繰り返し使えるため、洗浄媒体の寿命に達するまで有効に利用することができる。また、洗浄媒体に切り込み部を形成したことにより、使用とともにチャンバー内で循環しながら切り込み部から破断して細かくなっていく。したがって、使用して汚れが付着した洗浄媒体は、大きさが小さくなって自動的に排出されるため、洗浄媒体に付着した汚れが被洗浄体に再付着しにくく、被洗浄体の洗浄品質を高めることができる。また、洗浄媒体投入口に洗浄媒体の定量供給手段が接続され、前記定量供給手段がフィルムを切断加工する装置とすることで、フィルムの供給量の定量性が確保できる。更に、必要に応じて切断加工することにより、切断加工後のかさばる大量の洗浄媒体を蓄積しておくスペースが必要なくなるため、洗浄装置全体を小型化できる。更に、必要に応じて切断加工することにより、供給量の制御が容易になり、洗浄媒体の減少量に応じた供給量を設定できる。また、内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第1の工程と、該第1の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去する第2の工程と、該第2の工程において使用した洗浄媒体を内チャンバーから排出する第3の工程の各工程を順に繰り返すことにより、汚れの付着した洗浄媒体を完全に排出することができ、新たな洗浄媒体を投入することにより、高い洗浄品質が得られる。また、内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第1の工程と、該第1の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去する第2の工程と、該第2の工程において使用した洗浄媒体を内チャンバーから排出する第3の工程の各工程を同時に行なうことにより、内チャンバー内の洗浄媒体の量と汚れ度合いを一定に保つことができるため、洗浄品質を安定化させることができる。また、内チャンバーに洗浄媒体の排出口を設け、開閉状態が切り替え可能であることにより、内チャンバーに設けた洗浄媒体排出口を開状態にして、排出口から吸引しながら洗浄ノズルから気流を噴出させて、内チャンバー内の洗浄媒体を完全に排出することができる。汚れたり劣化したりした洗浄媒体を完全に排出することができるため、洗浄品質を高めることが可能になる。また、洗浄媒体の排出時以外は、洗浄媒体排出口を閉状態とすることで、使用中の洗浄媒体が洗浄媒体排出口に入り込むことを防止できる。また、内チャンバーに洗浄媒体投入口を設け、投入口の開閉状態が切り替え可能であることにより、吸引手段により内チャンバー内を陰圧にした状態で洗浄媒体投入口を開状態にして、洗浄媒体投入口から内チャンバー内に気流を流入させ、洗浄媒体を内チャンバーへ供給することができる。また、洗浄媒体の供給時以外は、洗浄媒体投入口を閉状態とすることで、使用中の洗浄媒体が洗浄媒体投入口に入り込むことを防止できる。"