"A少なくとも下記の2工程を経由して得られる、平均粒径が1nm以上、300nm以下の微粒子と、工程1金属ハロゲン化物と、アルコールとを炭化水素溶媒中で接触させる工程、工程2工程1で得られた成分と有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物とを接触させる工程、B下記一般式Iまたは一般式IIで表される遷移金属化合物とを含むオレフィン重合用触媒の存在下、エチレンの単独重合、もしくはエチレンと炭素原子数3~20の直鎖状または分岐状のα-オレフィンとを共重合させ、下記Eを満たすエチレン系重合体粒子の製造方法。Eデカリン溶媒中、135°Cで測定した極限粘度[η]が5~50dl/g式I中、Mは周期表第4、5族の遷移金属原子を示し、mは1~4の整数を示し、R1~R5は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、これらのうちの2個以上が互いに連結して環を形成していてもよく、R6は、水素原子、1級または2級炭素のみからなる炭素数1~4の炭化水素基、炭素数4以上の脂肪族炭化水素基、アリール基置換アルキル基、単環性または二環性の脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基およびハロゲン原子から選ばれ、nは、Mの価数を満たす数であり、Xは、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、酸素含有基、イオウ含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、アルミニウム含有基、リン含有基、ハロゲン含有基、ヘテロ環式化合物残基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、nが2以上の場合は、Xで示される複数の基は互いに同一でも異なっていてもよく、またXで示される複数の基は互いに結合して環を形成してもよい。式II中、Mは、チタニウム、ジルコニウム、ハフニウムを示し、R11~R18は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、これらのうちの隣接する2個以上が互いに連結して環を形成していてもよく、X1およびX2は、互いに同一でも異なっていてもよく、炭化水素基、酸素含有基、イオウ含有基、ケイ素含有基、水素原子またはハロゲン原子を示し、Yは、2価の炭化水素基、2価のハロゲン化炭化水素基、2価のケイ素含有基、2価のゲルマニウム含有基、2価のスズ含有基、-O-、-CO-、-S-、-SO-、-SO2-、-Ge-、-Sn-、-NR-、-PR-、-POR-、-BR-または-AlR-ただし、Rは、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ハロゲン化炭化水素基、アルコキシ基である前記アルコールが、炭素原子数1~25のアルコールから選ばれる2種のアルコールの組み合わせであって、その2種のアルコールの炭素原子数の差が4以上である、請求項1に記載のエチレン系重合体粒子の製造方法。前記2種のアルコールが、炭素原子数2~12のアルコールと、炭素原子数13~25のアルコールとの組み合わせである、請求項2に記載のエチレン系重合体粒子の製造方法。前記2種のアルコールが、炭素原子数2~12のアルコールから選ばれる2種のアルコールの組み合わせである、請求項2に記載のエチレン系重合体粒子の製造方法。前記B遷移金属化合物が、一般式Iにおいて、Mが、周期表第4族の遷移金属原子であり、mは2であり、R1は、炭素原子数1~20の直鎖状または分岐状の炭化水素基、炭素原子数3~20の脂環族炭化水素基、または炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基から選ばれる基を示し、R2~R5は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、または炭化水素基を示し、R6は、炭素原子数5以上の脂肪族炭化水素基、アリール基置換アルキル基、単環性または二環性の脂環族炭化水素基、および芳香族炭化水素基から選ばれ、Xは、水素原子、ハロゲン原子、または炭化水素基を示す、請求項1~4のいずれか1項に記載のエチレン系重合体粒子の製造方法。前記エチレンの単独重合、もしくはエチレンと炭素原子数3~20の直鎖状または分岐状のα-オレフィンとの共重合が、多段重合で行われる、請求項1~5のいずれか1項に記載のエチレン系重合体粒子の製造方法。請求項1~6のいずれか1項に記載の製造方法により得られる、平均粒径が、10nm以上3000nm未満の範囲にあるエチレン系重合体粒子。請求項1~6のいずれか1項に記載の製造方法により得られたエチレン系重合体粒子を用いる延伸成形体の製造方法。固相延伸成形法で得られる請求項8に記載の延伸成形体の製造方法。請求項8または9に記載の製造方法により得られる延伸成形体。前記背景技術から鑑みた、本発明が解決しようとする課題は、延伸成形性に優れた超高分子量エチレン系重合体粒子を工業上ハンドリングよく、さらに低コストで得ることができる製造方法を提供すること、および、当該粒子を用いて製造される延伸成形体を提供することである。本発明者らは、上記の課題を解決するために検討した結果、特定の工程を経て得られる微粒子と特定の遷移金属化合物とを含むオレフィン重合用触媒の存在下におけるエチレン系重合体粒子の製造方法によれば、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。なお、前記特許文献1~6には、本発明における微粒子と遷移金属化合物とを組み合わせた例はなく、また、当該組み合わせにより得られるオレフィン重合用触媒を用いて得られたエチレン系重合体粒子が延伸成形した際の物性上好ましい旨の開示も示唆もない。すなわち、本発明に係るエチレン系重合体粒子の製造方法は、A少なくとも下記の2工程を経由して得られる、平均粒径が1nm以上、300nm以下の微粒子と、工程1金属ハロゲン化物と、アルコールとを炭化水素溶媒中で接触させる工程、工程2工程1で得られた成分と有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物とを接触させる工程、B下記一般式Iまたは一般式IIで表される遷移金属化合物とを含むオレフィン重合用触媒の存在下、エチレンの単独重合、もしくはエチレンと炭素原子数3~20の直鎖状または分岐状のα-オレフィンとを共重合させ、下記Eを満たすことを特徴とする。Eデカリン溶媒中、135°Cで測定した極限粘度[η]が5~50dl/g式I中、Mは周期表第4、5族の遷移金属原子を示し、mは、1~4の整数を示し、R1~R5は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、これらのうちの2個以上が互いに連結して環を形成していてもよく、R6は、水素原子、1級または2級炭素のみからなる炭素数1~4の炭化水素基、炭素数5以上の脂肪族炭化水素基、アリール基置換アルキル基、単環性または二環性の脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基およびハロゲン原子から選ばれ、nは、Mの価数を満たす数であり、Xは、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、酸素含有基、イオウ含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、アルミニウム含有基、リン含有基、ハロゲン含有基、ヘテロ環式化合物残基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、nが2以上の場合は、Xで示される複数の基は互いに同一でも異なっていてもよく、またXで示される複数の基は互いに結合して環を形成してもよい。式II中、Mは、チタニウム、ジルコニウム、ハフニウムを示し、R11~R18は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、これらのうち隣接する2個以上が互いに連結して環を形成していてもよく、X1およびX2は、互いに同一でも異なっていてもよく、炭化水素基、酸素含有基、イオウ含有基、ケイ素含有基、水素原子またはハロゲン原子を示し、Yは、2価の炭化水素基、2価のハロゲン化炭化水素基、2価のケイ素含有基、2価のゲルマニウム含有基、2価のスズ含有基、-O-、-CO-、-S-、-SO-、-SO2-、-Ge-、-Sn-、-NR-、-PR-、-POR-、-BR-、または-AlR-ただし、Rは、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ハロゲン化炭化水素基、アルコキシ基である本発明において、前記A微粒子を得るに当たり工程1で用いられるアルコールは、炭素原子数1~25のアルコールから選ばれる2種のアルコールの組み合わせであって、その2種のアルコールの炭素原子数の差は、4以上であることが好ましい。また、該アルコールは、炭素原子数2~12のアルコールと、炭素原子数13~25のアルコールとの組み合わせ、もしくは、炭素原子数2~12のアルコールから選ばれる2種のアルコールの組み合わせであることが好ましい。本発明において、前記B遷移金属化合物は、一般式Iにおいて、Mは周期表第4族の遷移金属原子を示し、mは2であり、R1は、炭素原子数1~20の直鎖状または分岐状の炭化水素基、炭素原子数3~20の脂環族炭化水素基、または炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基から選ばれる基を示し、R2~R5は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、または炭化水素基を示し、R6は、炭素原子数5以上の脂肪族炭化水素基、アリール基置換アルキル基、単環性または二環性の脂環族炭化水素基および芳香族炭化水素基から選ばれ、Xは、水素原子、ハロゲン原子、または炭化水素基を示すことが好ましい。本発明において、前記エチレンの単独重合、もしくはエチレンと炭素原子数3~20の直鎖状または分岐状のα-オレフィンとの共重合は、多段重合で行われることが好ましい。本発明に係るエチレン系重合体粒子は、前記製造方法により得られ、平均粒径が10nm以上、3000nm未満の範囲にあることを特徴とする。本発明に係る延伸成形体の製造方法は、前記製造方法により得られたエチレン系重合体粒子を用いることを特徴とする。本発明において、延伸成形体は固相延伸成形法で得られることが好ましい。本発明に係る延伸成形体は、前記延伸成形体の製造方法によって得られる。本発明に係るエチレン系重合体粒子の製造方法は、特定の工程を経て得られる微粒子をオレフィン重合用触媒の必須の構成成分として含むことにより、エチレン系重合体粒子の重合槽壁や攪拌翼などへのファウリングを極少に抑えることができ、さらに、当該方法により得られたエチレン系重合体粒子を延伸成形した際に、高強度の成形体を得ることができる。このように、本発明は、エチレン系重合体粒子の製造時における工業上の有利性およびエチレン系重合体粒子の物性上の優位性という2つの効果が高度にバランスしたものである。以下、本発明に係るエチレン系重合体粒子の製造方法、該製造方法によって得られるエチレン系重合体粒子、該エチレン系重合体粒子から製造される延伸成形体についてさらに詳細に説明する。なお、本発明においてエチレン系重合体粒子とはエチレンを主成分とする重合体粒子を意味し、エチレン単独重合体粒子およびエチレンとα-オレフィンとの共重合体粒子を包含する。<オレフィン重合用触媒>本発明に係るエチレン系重合体粒子の製造方法に用いるオレフィン重合用触媒は、A特定の工程により得られる、平均粒径が1nm以上、300nm以下の微粒子と、B一般式Iまたは一般式IIで表される遷移金属化合物とを含むことを特徴とする。以下、上記A、B成分、および、必要に応じて用いることのできるその他の成分について詳述する。[A平均粒径が1nm以上、300nm以下の微粒子]本発明で用いられる平均粒径が1nm以上、300nm以下の微粒子は、少なくとも下記の2工程を経由して得られる。工程1金属ハロゲン化物と、アルコールとを炭化水素溶媒中で接触させる工程、工程2工程1で得られた成分と有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物とを接触させる工程、以下、各工程の内容および各工程において用いられる化合物について説明する。○工程1工程1は、金属ハロゲン化物とアルコールとを炭化水素溶媒中で接触させて、金属ハロゲン化物のアルコール錯体を形成させ、液状状態とする工程である。工程1は、通常金属ハロゲン化物が液状状態となる反応条件であれば特に制限はないが、通常、常圧加熱下、または加圧加熱下で行われる。常圧加熱下で行う場合は、使用する炭化水素溶媒の沸点までの温度を任意に選択することができ、加圧加熱下で行う場合は、使用する炭化水素溶媒またはアルコールの加圧下での沸点までの温度を任意に選択することができる。工程1で金属ハロゲン化物とアルコールとを炭化水素溶媒中で接触させるに当たっては、通常の撹拌混合で実行可能である。撹拌に用いる機器としては、一般に用いられる公知の攪拌機などを挙げることができる。金属ハロゲン化物本発明で用いられる金属ハロゲン化物の好ましい例としては、CdCl2型またはCdI2型の層状結晶構造を有するイオン結合性化合物が挙げられる。CdCl2型結晶構造を有する化合物として具体的には、例えばCdCl2、MnCl2、FeCl2、CoCl2、NiI2、NiCl2、MgCl2、ZnBr2、CrCl3などが挙げられる。CdI2型結晶構造を有する化合物として具体的には、例えばCdBr2、FeBr2、CoBr2、NiBr2、CdI2、MgI2、CaI2、ZnI2、PbI2、MnI2、FeI2、CoI2、MgOH2、CaOH2、CdOH2、MnOH2、FeOH2、CoOH2、NiOH2、ZrS4、SnS4、TiS4、PtS4などが挙げられる。これらのうち好ましくは、CdBr2、FeBr2、CoBr2、NiBr2、CdI2、MgI2、CaI2、ZnI2、PbI2、MnI2、FeI2、CoI2、CdCl2、MnCl2、FeCl2、CoCl2、NiI2、NiCl2、MgCl2、ZnBr2であり、より好ましくは、MnCl2、FeCl2、CoCl2、NiCl2、MgCl2であり、最も好ましくは、MgCl2である。上記のようなイオン結合性化合物は、最終的に触媒中に含まれていればよく、必ずしもイオン結合性化合物自体を用いなければならないわけではない。したがって、触媒の調製時に、イオン結合性化合物を形成しうる化合物を用いてイオン結合性化合物を形成させて最終的に触媒中に存在させるようにしてもよい。つまり、CdCl2型またはCdI2型の結晶構造のいずれにも属さない化合物を用いて、触媒の調製の途中で、該化合物とハロゲン含有化合物または水酸基含有化合物とを接触反応させ、最終的に得られる触媒中においてイオン結合性化合物としてもよい。例えば、MgCl2またはMgI2を形成させて最終的に触媒成分中に存在させる場合には、これらを形成しうる化合物として、還元能を有するマグネシウム化合物および還元能を有しないマグネシウム化合物を出発物質として用いることができる。還元能を有するマグネシウム化合物としては、例えば下式で表される有機マグネシウム化合物が挙げられる。XnMgR2n式中、nは0≦n<2であり、Rは水素または炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数6~21のアリール基または炭素原子数5~20のシクロアルキル基であり、nが0である場合2個のRは同一でも異なっていてもよい。Xはハロゲンである。このような還元能を有する有機マグネシウム化合物として具体的には、ジメチルマグネシウム、ジエチルマグネシウム、ジプロピルマグネシウム、ジブチルマグネシウム、ジアミルマグネシウム、ジヘキシルマグネシウム、ジデシルマグネシウム、オクチルブチルマグネシウム、エチルブチルマグネシウムなどのジアルキルマグネシウム化合物;エチル塩化マグネシウム、プロピル塩化マグネシウム、ブチル塩化マグネシウム、ヘキシル塩化マグネシウム、アミル塩化マグネシウムなどのアルキルマグネシウムハライド;ブチルエトキシマグネシウム、エチルブトキシマグネシウム、オクチルブトキシマグネシウムなどのアルキルマグネシウムアルコキシド;その他エチルマグネシウムハイドライド、プロピルマグネシウムハイドライド、ブチルマグネシウムハイドライドなどのアルキルマグネシウムハイドライドが挙げられる。還元能を有しない有機マグネシウム化合物の具体的な例としては、メトキシ塩化マグネシウム、エトキシ塩化マグネシウム、イソプロポキシ塩化マグネシウム、ブトキシ塩化マグネシウム、オクトキシ塩化マグネシウムなどのアルコキシマグネシウムハライド;フェノキシ塩化マグネシウム、メチルフェノキシ塩化マグネシウムなどのアリロキシマグネシウムハライド;エトキシマグネシウム、イソプロポキシマグネシウム、ブトキシマグネシウム、n-オクトキシマグネシウム、2-エチルヘキソキシマグネシウムなどのアルコキシマグネシウム;ジフェノキシマグネシウム、メチルフェノキシマグネシウムなどのアリロキシマグネシウム;ラウリン酸マグネシウム、ステアリン酸マグネシウムなどのマグネシウムのカルボン酸塩などが挙げられる。その他マグネシウム金属、水素化マグネシウムなどを用いることもできる。これら還元能を有さないマグネシウム化合物は、上述した還元能を有するマグネシウム化合物から誘導した化合物、または触媒の調製時に誘導した化合物であってもよい。還元能を有さないマグネシウム化合物を、還元能を有するマグネシウム化合物から誘導するには、例えば、還元能を有するマグネシウム化合物を、ポリシロキサン化合物、ハロゲン含有シラン化合物、ハロゲン含有アルミニウム化合物、エステル、アルコール、ハロゲン含有化合物、またはOH基や活性な炭素-酸素結合を有する化合物と接触させればよい。なお、上記の還元能を有するマグネシウム化合物および還元能を有さないマグネシウム化合物は、例えばアルミニウム、亜鉛、ホウ素、ベリリウム、ナトリウム、カリウムなどの他の有機金属化合物との錯化合物、複化合物を形成していてもよく、または混合物であってもよい。さらに、マグネシウム化合物は単独であってもよく、上記の化合物を2種以上組み合わせてもよく、また液状状態で用いても固体状態で用いてもよい。還元能を有するマグネシウム化合物または還元能を有さないマグネシウム化合物が固体である場合、後述するアルコールを用いて液状状態にすることが好ましい。アルコール本発明で用いられるアルコールとしては、炭素原子数1~25のアルコールが挙げられる。具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、2-エチルヘキサノール、オクタノール、ドデカノール、オクタデシルアルコール、オレイルアルコール、2-ブチルオクタノール、2-ヘキシルデカノール、2-ヘキシルドデカノール、2-オクチルデカノール、2-オクチルドデカノール、イソヘキサデカノール、イソエイコサノール、ベンジルアルコール、フェニルエチルアルコール、クミルアルコール、イソプロピルアルコール、イソブチルアルコール、イソプロピルベンジルアルコールなどの炭素原子数1~25のアルコール類;トリクロロメタノール、トリクロロエタノール、トリクロロヘキサノールなどの炭素原子数1~25のハロゲン含有アルコール類;フェノール、クレゾール、キシレノール、エチルフェノール、プロピルフェノール、ノニルフェノール、クミルフェノール、ナフトールなどの低級アルキル基を有してもよい炭素原子数6~25のフェノール類などが挙げられる。これらのアルコールは1種単独で用いることもできるし、2種以上を混合して用いることもできる。このうち、以下の観点から2種のアルコールを混合して用いることが好ましい。前記2種のアルコールとしては、当該アルコールが含まれる金属ハロゲン化物のアルコール錯体と、後述する有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物との反応性の違いに着目して区分けされる。このような2種のアルコールを組み合わせて用いることが好ましい理由は、以下のように推察している。有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物との反応性が高いアルコールから得られる金属ハロゲン化物のアルコール錯体は、有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物との接触反応によって、当該金属ハロゲン化物のアルコール錯体からアルコールが引き抜かれ、金属ハロゲン化物の微粒子の核となる部分を迅速に生成することができる。一方、有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物との反応性が相対的に低いアルコールから得られる金属ハロゲン化物のアルコール錯体は、前記の微粒子の核となる部分が形成されたのちに、当該金属ハロゲン化物のアルコール錯体からアルコールが引き抜かれ、微粒子の核の外側に金属ハロゲン化物が析出し、本発明のA成分として規定する平均粒径の微粒子が形成されていくと考えられる。このため、本発明のA成分である微粒子は、小径ながらも粒度分布が狭くなることが期待でき、極めて小さい微粒子、例えば前記の核のようなサイズの粒子の副生物の混入が少なくなると想定できる。後述するエチレン系重合体粒子は、この微粒子の粒度の影響を極めて受けやすいので、本発明のA成分である微粒子をオレフィン重合用触媒の構成要素として用いれば、不定形のエチレン系重合体粒子が生成し難く、ナノサイズの重合体であっても反応槽などへのファウリングが起こり難いのではないかと考えられる。上述したアルコールの、有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物との反応性の違いについては、以下のi~ivに示すようなアルコールの分子構造の違いに起因するものと想定できる。i直鎖状、分岐状の違いii脂肪族、脂環族、芳香族の違いiii炭素原子数の違いiv上記i~iiiの組み合わせこれらのうち、例えば、iii炭素原子数の違い、具体的には、R-OHで表されるアルコールのRの炭素原子数を指標とした場合、炭素原子数が相対的に少ないアルコールと、炭素原子数が相対的に多いアルコールに区分けすることができる。この際、炭素原子数が相対的に少ないアルコールは、一般的に有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物との反応性が高く、一方、炭素原子数が相対的に多いアルコールは、有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物との反応性が低いものに該当する。なお、当該炭素原子数による区分けによると、一つの実施態様では炭素原子数が相対的に少ないアルコールに該当するアルコールも、もう一方のアルコールの種類によっては、炭素原子数が相対的に多いアルコールと認定されることもある。例えば、2-エチルヘキサノールを例とすると、もう一方のアルコールとして2-オクチルドデカノールを使用した場合、炭素原子数が相対的に少ないアルコールに相当し、もう一方のアルコールとしてイソブチルアルコールを使用した場合、炭素原子数が相対的に多いアルコールに相当する。これはあくまで反応性に着目したものであるため、一つの種類のアルコールがいずれの区分けに該当しても問題は生じない。ここで、前記2種のアルコールを組み合わせて使用する場合、上記反応性の観点から生じる効果の発現を考慮すると、該2種のアルコールの炭素原子数の差が4以上であることが好ましい。具体的なアルコールの組み合わせとしては、炭素原子数が2~12のアルコールと、炭素原子数が13~25のアルコールとの組み合わせや、炭素原子数2~12のアルコールから選ばれる2種のアルコールの組み合わせなどが挙げられる。ここで、前記炭素原子数が2~12のアルコールは、炭素原子数が2~10であることがより好ましく、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、2-エチルヘキサノール、ヘプタノール、オクタノールから選ばれるアルコールであることが特に好ましい。また、炭素原子数が13~25のアルコールは、炭素原子数が15~25であることがより好ましく、16~25であることがさらに好ましく、2-ヘキシルデカノール、2-ヘキシルドデカノール、2-オクチルデカノール、2-オクチルドデカノール、イソヘキサデカノール、イソエイコサノール、オクタデシルアルコール、オレイルアルコールから選ばれるアルコールであることが特に好ましい。なお、炭素原子数が13~25のアルコールのように、炭素原子数が相対的に多いアルコールがオレフィン重合用触媒中に存在する場合には、エチレンの重合反応をマイルドに進行させることが期待でき、その結果、重合時の発熱の偏在が抑制されることも期待できる。重合発熱偏在の抑制は、生成した重合体鎖が絡み合い構造を取ることの抑制に繋がり、結果として、固相延伸成形体などの延伸成形体性能向上につながると考えられる。金属ハロゲン化物を液状状態にするに当たり、用いるアルコールの量は、金属ハロゲン化物が溶解する量であれば特に制限はないが、金属ハロゲン化物1モル当たり、0.1~50モルであり、好ましくは0.5~30モルであり、より好ましくは1~20モルであり、さらに好ましくは2~15モルである。なお、上述の好ましい態様であるアルコールを2種混合して用いる場合には、炭素原子数が相対的に少ないアルコールと、炭素原子数が相対的に多いアルコールとの割合は、金属ハロゲン化物が溶解する量であれば特に制限はないが、炭素原子数が相対的に多いアルコールの割合の下限が、10mol、好ましくは20mol、より好ましくは30molであり、上限が95mol、好ましくは、90mol、より好ましくは85molである。炭化水素溶媒本発明で用いられる炭化水素溶媒には、特に制限がないが、具体的には、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカン、ドデカン、灯油などの脂肪族炭化水素;シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロペンタンなどの脂環族炭化水素;ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素;エチレンクロリド、クロルベンゼン、ジクロロメタンなどのハロゲン化炭化水素またはこれらの混合物などを挙げることができる。これらのうち、溶解性と反応温度の観点からデカン、ドデカン、トルエン、キシレン、クロロベンゼンが好ましく用いられる。金属ハロゲン化物を液状状態にするに当たり、用いられる炭化水素溶媒の量は、金属ハロゲン化物が溶解する量であれば特に制限はないが、金属ハロゲン化物1モル当たり、0.1~100モルであることが好ましく、より好ましくは0.2~50モルであり、さらに好ましくは0.3~40モルであり、特に好ましくは0.5~30モルである。○工程2工程2は、工程1で得られた液状状態の金属ハロゲン化物のアルコール錯体に有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物を接触させて、溶解した金属ハロゲン化物を析出させ、微粒子を製造する工程である。工程2は、通常溶解した金属ハロゲン化物が析出する反応条件で行われるが、好ましくは、温度-50~200°C、より好ましくは、-20~150°C、さらに好ましくは0~120°Cで行われる。また、工程2の進行においては、有機アルミニウム化合物、および/または、有機アルミニウムオキシ化合物を溶液中に添加するに当たり、反応器内の溶液を攪拌混合しながら行う。攪拌混合は、通常の撹拌条件であってもよいが、高速で攪拌混合することを要することもある。高速攪拌に用いる機器としては、一般に乳化機、分散機として市販されているものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ウルトラタラックスIKA社製、ポリトロンキネマティカ社製、TKオートホモミクサー特殊機化工業社製、ナショナルクッキングミキサー松下電器産業社製などのバッチ式乳化機、エバラマイルダー荏原製作所社製、TKパイプラインホモミクサー、TKホモミックラインフロー特殊機化工業社製、コロイドミル日本精機社製、スラッシャー、トリゴナル湿式微粉砕機三井三池化工機製、キャビトロンユーロテック社製、ファインフローミル太平洋機工社製などの連続式乳化機、クレアミックスエムテクニック社製、フィルミックス特殊機化工業社製などのバッチまたは連続両用乳化機、マイクロフルイダイザーみづほ工業社製、ナノメーカー、ナノマイザーナノマイザー社製、APVゴーリンゴーリン社製などの高圧乳化機、膜乳化機冷化工業社製などの膜乳化機、バイブロミキサー冷化工業社製などの振動式乳化機、超音波ホモジナイザーブランソン社製などの超音波乳化機などを挙げることができる。また、高速で攪拌混合する場合、攪拌速度としては5000rpm以上が好ましい。有機アルミニウム化合物本発明で用いることのできる有機アルミニウム化合物としては、下記式Al-1、Al-2またはAl-3で表される化合物が挙げられる。RanAlX3nAl-1式Al-1中、Raは炭素原子数1~12の炭化水素基であり、Xはハロゲン原子または水素原子であり、nは1~3である。炭素原子数1~12の炭化水素基は、例えばアルキル基、シクロアルキル基またはアリール基であり、具体的には、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、イソブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、トリル基などである。このような有機アルミニウム化合物としては、具体的には以下のような化合物が挙げられる。トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソプロピルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、トリ2-エチルヘキシルアルミニウムなどのトリアルキルアルミニウム;イソプレニルアルミニウムなどのアルケニルアルミニウム;ジメチルアルミニウムクロリド、ジエチルアルミニウムクロリド、ジイソプロピルアルミニウムクロリド、ジイソブチルアルミニウムクロリド、ジメチルアルミニウムブロミドなどのジアルキルアルミニウムハライド;メチルアルミニウムセスキクロリド、エチルアルミニウムセスキクロリド、イソプロピルアルミニウムセスキクロリド、ブチルアルミニウムセスキクロリド、エチルアルミニウムセスキブロミドなどのアルキルアルミニウムセスキハライド;メチルアルミニウムジクロリド、エチルアルミニウムジクロリド、イソプロピルアルミニウムジクロリド、エチルアルミニウムジブロミドなどのアルキルアルミニウムジハライド;ジエチルアルミニウムハイドライド、ジイソブチルアルミニウムハイドライドなどのアルキルアルミニウムハイドライドなどが挙げられる。また、下記式で表される有機アルミニウム化合物を用いることもできる。RanAlY3nAl-2式Al-2中、Raは上記式Al-1と同様であり、Yは-ORb基、-OSiRc3基、-OAlRd2基、-NRe2基、-SiRf3基または-NRgAlRh2基であり、nは1~2であり、Rb、Rc、RdおよびRhはメチル基、エチル基、イソプロピル基、イソブチル基、シクロヘキシル基、フェニル基などであり、Reは水素、メチル基、エチル基、イソプロピル基、フェニル基、トリメチルシリル基などであり、RfおよびRgはメチル基、エチル基などである。式Al-2で表される有機アルミニウム化合物としては、具体的には、以下のような化合物が用いられる。iRanAlORb3nで表される化合物、例えばジメチルアルミニウムメトキシド、ジエチルアルミニウムエトキシド、ジイソブチルアルミニウムメトキシド、ジエチルアルミニウム-2-エチルヘキソキシドなどのアルキルアルミニウムアルコキシド。iiRanAlOSiRc33nで表される化合物、例えばEt2AlOSiMe3、iso-Bu2AlOSiMe3、iso-Bu2AlOSiEt3など。iiiRanAlOAlRd23nで表される化合物、例えばEt2AlOAlEt2、iso-Bu2AlOAliso-Bu2など。ivRanAlNRe23nで表される化合物、例えばMe2AlNEt2、Et2AlNHMe、Me2AlNHEt、Et2AlNMe3Si2、iso-Bu2AlNMe3Si2など、vRanAlSiRf33nで表される化合物、例えばiso-Bu2AlSiMe3など。viRanAlNRg-AlRh23nで表される化合物、例えばEt2AlNMe-AlEt2、iso-Bu2AlNEtAliso-Bu2など。また、有機アルミニウム化合物として、第I族金属とアルミニウムとの錯アルキル化物である下記式Al-3で表される化合物を用いることができる。M1AlRj4Al-3式Al-3中、M1はLi、Na、Kであり、Rjは炭素原子数1~15の炭化水素基である。具体的には、LiAlC2H54、LiAlC7H154などが挙げられる。上述した有機アルミニウム化合物のうち、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリヘキシルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、ジエチルアルミニウムクロリド、エチルアルミニウムセスキクロリド、エチルアルミニウムジクロリド、ジイソブチルアルミニウムハイドライドが特に好ましい。溶解した金属ハロゲン化物を析出させ、微粒子を製造するに当たり、用いられる有機アルミニウム化合物の量は、金属ハロゲン化物1モル当たり、0.1~50モルであることが好ましく、より好ましくは0.2~30モルであり、さらに好ましくは0.5~20モルであり、特に好ましくは1.0~10モルである。有機アルミニウムオキシ化合物本発明で用いることのできる有機アルミニウムオキシ化合物は、従来公知のアルミノキサンであってもよく、また特開平2-78687号公報に例示されているようなベンゼン不溶性の有機アルミニウムオキシ化合物であってもよい。有機アルミニウムオキシ化合物としては、具体的には、メチルアルミノキサン、エチルアルミノキサン、イソブチルアルミノキサンなどが挙げられる。従来公知のアルミノキサンは、例えば下記のような方法によって製造することができ、通常、炭化水素溶媒の溶液として得られる。1吸着水を含有する化合物または結晶水を含有する塩類、例えば塩化マグネシウム水和物、硫酸銅水和物、硫酸アルミニウム水和物、硫酸ニッケル水和物、塩化第1セリウム水和物などの炭化水素媒体懸濁液に、トリアルキルアルミニウムなどの有機アルミニウム化合物を添加して、吸着水または結晶水と有機アルミニウム化合物とを反応させる方法。2ベンゼン、トルエン、エチルエーテル、テトラヒドロフランなどの媒体中で、トリアルキルアルミニウムなどの有機アルミニウム化合物に直接水、氷または水蒸気を作用させる方法。3デカン、ベンゼン、トルエンなどの媒体中でトリアルキルアルミニウムなどの有機アルミニウム化合物に、ジメチルスズオキシド、ジブチルスズオキシドなどの有機スズ酸化物を反応させる方法。なお前記アルミノキサンは、少量の有機金属成分を含有していてもよい。また、回収された上記のアルミノキサン溶液から溶媒または未反応有機アルミニウム化合物を蒸留して除去した後、得られたアルミノキサンを溶媒に再溶解またはアルミノキサンの貧溶媒に懸濁させてもよい。アルミノキサンを調製する際に用いられる有機アルミニウム化合物として具体的には、前記有機アルミニウム化合物として例示したものと同様の有機アルミニウム化合物を挙げることができる。これらのうち、トリアルキルアルミニウム、トリシクロアルキルアルミニウムが好ましく、トリメチルアルミニウムが特に好ましい。上記のような有機アルミニウム化合物は、1種単独でまたは2種以上を組み合わせて用いられる。アルミノキサンの調製に用いられる溶媒としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、クメン、シメンなどの芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカン、ドデカン、ヘキサデカン、オクタデカンなどの脂肪族炭化水素、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロオクタン、メチルシクロペンタンなどの脂環族炭化水素、ガソリン、灯油、軽油などの石油留分または上記芳香族炭化水素、脂肪族炭化水素、脂環族炭化水素のハロゲン化物、とりわけ塩素化物、臭素化物などの炭化水素溶媒が挙げられる。さらにエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル類を用いることもできる。これらの溶媒のうち特に芳香族炭化水素または脂肪族炭化水素が好ましい。また、本発明で用いられるベンゼン不溶性の有機アルミニウムオキシ化合物は、60°Cのベンゼンに溶解するAl成分がAl原子換算で通常10以下、好ましくは5以下、特に好ましくは2以下であるもの、すなわち、ベンゼンに対して不溶性または難溶性であることが好ましい。本発明で用いることのできる有機アルミニウムオキシ化合物としては、下記一般式IIIで表されるボロンを含んだ有機アルミニウムオキシ化合物も例として挙げることができる。一般式III中、R21は炭素原子数が1~10の炭化水素基を示し、4つのR22は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数が1~10の炭化水素基を示す。前記一般式IIIで表されるボロンを含んだ有機アルミニウムオキシ化合物は、下記一般式IVで表されるアルキルボロン酸と、有機アルミニウム化合物とを、不活性ガス雰囲気下に不活性溶媒中で、-80°C~室温の温度で1分~24時間反応させることにより製造できる。R22-BOH2IV一般式IV中、R22は前記一般式IIIにおけるR22と同じ基を示す。前記一般式IVで表されるアルキルボロン酸の具体的な例としては、メチルボロン酸、エチルボロン酸、イソプロピルボロン酸、n-プロピルボロン酸、n-ブチルボロン酸、イソブチルボロン酸、n-ヘキシルボロン酸、シクロヘキシルボロン酸、フェニルボロン酸、3,5-ジフルオロボロン酸、ペンタフルオロフェニルボロン酸、3,5-ビストリフルオロメチルフェニルボロン酸などが挙げられる。これらの中では、メチルボロン酸、n-ブチルボロン酸、イソブチルボロン酸、3,5-ジフルオロフェニルボロン酸、ペンタフルオロフェニルボロン酸が好ましい。これらは1種単独でまたは2種以上を組み合わせて用いられる。このようなアルキルボロン酸と反応させる有機アルミニウム化合物として具体的には、前記有機アルミニウム化合物として例示したものと同様の有機アルミニウム化合物を挙げることができる。前記有機アルミニウム化合物としては、トリアルキルアルミニウム、トリシクロアルキルアルミニウムが好ましく、特にトリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムが好ましい。これらは1種単独でまたは2種以上を組み合わせて用いられる。上記のような有機アルミニウムオキシ化合物は、1種単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。溶解した金属ハロゲン化物を析出させ、微粒子を製造するに当たり、用いられる有機アルミニウムオキシ化合物の量は、金属ハロゲン化物1モル当たり、0.1~50モルであることが好ましく、より好ましくは0.2~30モルであり、さらに好ましくは0.5~20モルであり、特に好ましくは1.0~10モルである。なお、金属ハロゲン化物を析出させる場合に使用する有機アルミニウムオキシ化合物の量は、特許文献1に記載されている有機アルミニウムオキシ化合物を助触媒として用いている量と比べると微量である。○微粒子少なくとも上記の工程1および工程2を経て得られる微粒子は、動的光散乱法で測定した平均粒径が1nm以上、300nm以下、好ましくは1nm以上、250nm以下、より好ましくは1nm以上、200nm以下、さらに好ましくは1nm以上、150nm以下、さらにより好ましくは1nm以上、100nm以下、特に好ましくは1nm以上、50nm以下である。このような大きさを有する微小の粒子を用いることが好ましい理由としては、以下の様なことが考えられる。前記の微粒子を触媒の担体として用いることで、担体の比表面積が大きくなるため、後述するB遷移金属化合物を担持した場合に生成されるエチレン重合時の活性点間の距離が長くなる。このように活性点間距離が長くなると、活性点廻りの発熱が少なくなり、生成するエチレン系重合体の結晶化温度が低くなり、ラメラ厚みが薄くなる。また、生成するエチレン系重合体の重合体分子鎖の絡み合いを少なくすることも可能となる。このような特徴から、本発明における微粒子を触媒の担体として用いると、得られるエチレン系重合体粒子は、延伸時に結晶部の破砕が容易となるため、延伸性が高くなり、結果として配向度が高くなり高強度が発現すると予想される。また、このような大きさを有する微粒子を触媒の担体として用いることで、上述の通り担体の比表面積が大きくなるため、既存の担体と同様の活性点間距離を確保する場合、担体粒子当たりの遷移金属化合物の担持量を増やすことが可能となり、触媒重量当たりのオレフィン重合活性を高くできる。さらに、重合時にモノマーの拡散が良好となり、また、後述するC遷移金属化合物と反応してイオン対を形成する化合物や、D有機アルミニウムオキシ化合物をオレフィン重合用触媒の成分として用いた場合には、これらの化合物と担体に担持したB遷移金属化合物との接触確率が高まるため、効率よく活性点が形成されると考えられる。このような特徴から、本発明における微粒子を触媒の担体として用いると、触媒活性を向上させることも可能となるものと予想される。[B遷移金属化合物]本発明で用いられる遷移金属化合物は、後述するエチレン系重合体粒子の極限粘度や結晶化度などを実現できる限り、公知のメタロセン化合物や、いわゆるポストメタロセンなどの特定の有機遷移金属錯体化合物を制限なく使用することができる。本発明におけるオレフィン重合用触媒に含まれるB遷移金属化合物としては、特に特許文献2に記載の、いわゆるフェノキシイミン配位子を有する有機遷移金属錯体が好ましい。具体的には、下記一般式Iの様な構造式を有する有機遷移金属錯体が好ましい態様として挙げられる。上記一般式Iにおいて、Mは周期表第4、5族の遷移金属原子を示し、好ましくは4族の遷移金属原子である。具体的には、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタルなどであり、より好ましくはチタン、ジルコニウム、ハフニウムであり、特に好ましくはチタンまたはジルコニウムである。なお、一般式IにおいてNとMとを繋ぐ点線は、一般的にはNがMに配位していることを示すが、本発明においては配位していてもしていなくてもよい。上記一般式Iにおいて、mは1~4の整数、好ましくは2~4の整数、さらに好ましくは2を示す。上記一般式Iにおいて、R1~R5は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、これらのうちの2個以上が互いに連結して環を形成していてもよい。前記ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。前記炭化水素基としては、炭素原子数1~30の直鎖状または分岐状の脂肪族炭化水素基、炭素原子数3~30の環状炭化水素基、または炭素原子数6~30の芳香族炭化水素基が挙げられる。具体的には、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、t-ブチル基、ネオペンチル基、n-ヘキシル基などの炭素原子数が1~30、好ましくは1~20、さらに好ましくは1~10の直鎖状または分岐状のアルキル基;ビニル基、アリル基、イソプロペニル基などの炭素原子数が2~30、好ましくは2~20の直鎖状または分岐状のアルケニル基;エチニル基、プロパルギル基など炭素原子数が2~30、好ましくは2~20、さらに好ましくは2~10の直鎖状または分岐状のアルキニル基;シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、アダマンチル基などの炭素原子数が3~30、好ましくは3~20、さらに好ましくは3~10の環状飽和炭化水素基;シクロペンタジエニル基、インデニル基、フルオレニル基などの炭素数5~30の環状不飽和炭化水素基;フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、ターフェニル基、フェナントリル基、アントラセニル基などの炭素原子数が6~30、好ましくは6~20、さらに好ましくは6~10のアリール基;トリル基、iso-プロピルフェニル基、t-ブチルフェニル基、ジメチルフェニル基、ジ-t-ブチルフェニル基などのアルキル置換アリール基;などが挙げられる。上記炭化水素基は、水素原子がハロゲンで置換されていてもよく、そのような水素原子がハロゲンで置換された炭化水素基として、例えば、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロフェニル基、クロロフェニル基などの炭素原子数1~30、好ましくは1~20のハロゲン化炭化水素基が挙げられる。また、上記炭化水素基は、他の炭化水素基で置換されていてもよく、そのような炭化水素基で置換された炭化水素基として、例えば、ベンジル基、クミル基などのアリール基置換アルキル基などが挙げられる。さらにまた、上記炭化水素基は、ヘテロ環式化合物残基;アルコシキ基、アリーロキシ基、エステル基、エーテル基、アシル基、カルボキシル基、カルボナート基、ヒドロキシ基、ペルオキシ基、カルボン酸無水物基などの酸素含有基;アミノ基、イミノ基、アミド基、イミド基、ヒドラジノ基、ヒドラゾノ基、ニトロ基、ニトロソ基、シアノ基、イソシアノ基、シアン酸エステル基、アミジノ基、ジアゾ基、アミノ基がアンモニウム塩となったものなどの窒素含有基;ボランジイル基、ボラントリイル基、ジボラニル基などのホウ素含有基;メルカプト基、チオエステル基、ジチオエステル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、チオアシル基、チオエーテル基、チオシアン酸エステル基、イソチアン酸エステル基、スルホンエステル基、スルホンアミド基、チオカルボキシル基、ジチオカルボキシル基、スルホ基、スルホニル基、スルフィニル基、スルフェニル基などのイオウ含有基;ホスフィド基、ホスホリル基、チオホスホリル基、ホスファト基などのリン含有基;ケイ素含有基;ゲルマニウム含有基;またはスズ含有基を有していてもよい。前記ヘテロ環式化合物残基としては、ピロール、ピリジン、ピリミジン、キノリン、トリアジンなどの含窒素化合物、フラン、ピランなどの含酸素化合物、チオフェンなどの含硫黄化合物などの残基、およびこれらのヘテロ環式化合物残基に炭素原子数が1~30、好ましくは1~20のアルキル基、アルコキシ基などの置換基がさらに置換した基などが挙げられる。前記ケイ素含有基としては、シリル基、シロキシ基、炭化水素置換シリル基、炭化水素置換シロキシ基などが挙げられ、より具体的には、メチルシリル基、ジメチルシリル基、トリメチルシリル基、エチルシリル基、ジエチルシリル基、トリエチルシリル基、ジフェニルメチルシリル基、トリフェニルシリル基、ジメチルフェニルシリル基、ジメチル-t-ブチルシリル基、ジメチルペンタフルオロフェニルシリル基などが挙げられる。これらの中では、メチルシリル基、ジメチルシリル基、トリメチルシリル基、エチルシリル基、ジエチルシリル基、トリエチルシリル基、ジメチルフェニルシリル基、トリフェニルシリル基などが好ましく、特にトリメチルシリル基、トリエチルシリル基、トリフェニルシリル基、ジメチルフェニルシリル基が好ましい。前記炭化水素置換シロキシ基として具体的には、トリメチルシロキシ基などが挙げられる。前記ゲルマニウム含有基または前記スズ含有基としては、前記ケイ素含有基のケイ素をゲルマニウムまたはスズに置換した基が挙げられる。上記炭化水素基が有していてもよい基として挙げた基のうち、アルコキシ基として具体的には、メトキシ基、エトキシ基、n-プロポキシ基、イソプロポキシ基、n-ブトキシ基、イソブトキシ基、t-ブトキシ基などが挙げられ、アリーロキシ基として具体的には、フェノキシ基、2,6-ジメチルフェノキシ基、2,4,6-トリメチルフェノキシ基などが挙げられ、エステル基として具体的には、アセチルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、メトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、p-クロロフェノキシカルボニル基などが挙げられ、アシル基として具体的には、ホルミル基、アセチル基、ベンゾイル基、p-クロロベンゾイル基、p-メトキシベンゾイル基などが挙げられ、アミノ基として具体的には、ジメチルアミノ基、エチルメチルアミノ基、ジフェニルアミノ基などが挙げられ、イミノ基として具体的には、メチルイミノ基、エチルイミノ基、プロピルイミノ基、ブチルイミノ基、フェニルイミノ基などが挙げられ、アミド基として具体的には、アセトアミド基、N-メチルアセトアミド基、N-メチルベンズアミド基などが挙げられ、イミド基として具体的には、アセトイミド基、ベンズイミド基などが挙げられ、チオエステル基として具体的には、アセチルチオ基、ベンゾイルチオ基、メチルチオカルボニル基、フェニルチオカルボニル基などが挙げられ、アルキルチオ基として具体的には、メチルチオ基、エチルチオ基などが挙げられ、アリールチオ基として具体的には、フェニルチオ基、メチルフェニルチオ基、ナフチルチオ基などが挙げられ、スルホンエステル基として具体的には、スルホン酸メチル基、スルホン酸エチル基、スルホン酸フェニル基などが挙げられ、スルホンアミド基として具体的には、フェニルスルホンアミド基、N-メチルスルホンアミド基、N-メチル-p-トルエンスルホンアミド基などが挙げられる。上記炭化水素基としては、特に、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、t-ブチル基、ネオペンチル基、n-ヘキシル基などの炭素原子数1~30、好ましくは1~20の直鎖状または分岐状のアルキル基;フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、ターフェニル基、フェナントリル基、アントラセニル基などの炭素原子数6~30、好ましくは6~20のアリール基;これらのアリール基にハロゲン原子、炭素原子数1~30、好ましくは1~20のアルキル基もしくはアルコキシ基、炭素原子数6~30、好ましくは6~20のアリール基もしくはアリーロキシ基などの置換基が1~5個置換した置換アリール基が好ましい。R1~R5は、前述のようにヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基またはスズ含有基になり得るが、これらの例としては、上記炭化水素基の説明にて例示したものと同様のものが挙げられる。上記一般式IのR1~R5のうちR1については、オレフィン重合触媒活性の観点および高分子量のエチレン系重合体を与えるという観点から、炭素原子数1~20の直鎖状または分岐状の炭化水素基、炭素原子数3~20の脂環族炭化水素基、または炭素原子数6~20の芳香族炭化水素基から選ばれる基であることが好ましい。上記一般式Iにおいて、R6は、水素原子、1級または2級炭素のみからなる炭素数1~4の炭化水素基、炭素数4以上の脂肪族炭化水素基、アリール基置換アルキル基、単環性または二環性の脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基およびハロゲン原子から選ばれる。これらのうち、オレフィン重合触媒活性の観点、高分子量のエチレン重合体を与えるという観点および重合時の水素耐性の観点から、炭素原子数4以上の脂肪族炭化水素基、アリール基置換アルキル基、単環性または二環性の脂環族炭化水素基および芳香族炭化水素基から選ばれる基であることが好ましく、より好ましくはt-ブチル基などの分岐型炭化水素基;ベンジル基、1-メチル-1-フェニルエチル基クミル基、1-メチル-1,1-ジフェニルエチル基、1,1,1-トリフェニルメチル基トリチル基などのアリール置換アルキル基;1位に炭化水素基を有するシクロヘキシル基、アダマンチル基、ノルボルニル基、テトラシクロドデシル基などの炭素数6~15の脂環族または複式環構造を有する脂環族炭化水素基が挙げられる。上記一般式Iにおいてnは、Mの価数を満たす数であり、上記一般式IにおいてXは、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、酸素含有基、イオウ含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、アルミニウム含有基、リン含有基、ハロゲン含有基、ヘテロ環式化合物残基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、nが2以上の場合は、Xで示される複数の基は互いに同一でも異なっていてもよく、またXで示される複数の基は互いに結合して環を形成してもよい。Xにおいて、前記ハロゲン原子、炭化水素基、ヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、スズ含有基としては、上記R1~R5の説明で例示したものと同様のものが挙げられる。これらのうち、好ましくはハロゲン原子や炭化水素基である。本発明において一般式Iで表される遷移金属化合物は、前述した特許文献3に記載の製造方法により制限なく製造することができる。また、本発明におけるオレフィン重合用触媒に含まれる遷移金属化合物としては、下記一般式IIで表されるメタロセン系化合物も挙げられる。一般式II中、Mは、チタニウム、ジルコニウム、ハフニウムを示す。一般式IIにおいて、R11~R18は、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、またはスズ含有基を示し、これらのうちの隣接する2個以上が互いに連結して環を形成していてもよい。R11~R18において、前記ハロゲン原子、炭化水素基、ヘテロ環式化合物残基、酸素含有基、窒素含有基、ホウ素含有基、イオウ含有基、リン含有基、ケイ素含有基、ゲルマニウム含有基、スズ含有基としては、上記一般式IのR1~R5の説明で例示したものと同様のものが挙げられる。一般式IIにおいて、X1およびX2は、互いに同一でも異なっていてもよく、炭化水素基、酸素含有基、イオウ含有基、ケイ素含有基、水素原子またはハロゲン原子を示す。一般式IIにおいて、Yは、2価の炭化水素基、2価のハロゲン化炭化水素基、2価のケイ素含有基、2価のゲルマニウム含有基、2価のスズ含有基、-O-、-CO-、-S-、-SO-、-SO2-、-Ge-、-Sn-、-NR-、-PR-、-POR-、-BR-または-AlR-ただし、Rは、互いに同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、ハロゲン化炭化水素基、アルコキシ基であるを示す。Yにおいて、前記炭化水素基、酸素含有基、イオウ含有基、ケイ素含有基、ハロゲン原子としては、上記一般式IのR1~R5の説明で例示したものと同様のものが挙げられる。上記のようなメタロセン系化合物の好ましい例示としては、国際公開01/27124号パンフレットや、国際公開2004/029062号パンフレットなどに記載された構造の化合物が挙げられる。これらのうち、本発明に特に好ましく用いることのできるメタロセン系化合物の例示としては、ジフェニルメチレンシクロペンタジエニル2,7-ジtert-ブチルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレンシクロペンタジエニル3,6-ジtert-ブチルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレンシクロペンタジエニルオクタメチルオクタヒドロジベンゾフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジp-トリルメチレンシクロペンタジエニル2,7-ジtert-ブチルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジp-トリルメチレンシクロペンタジエニル3,6-ジtert-ブチルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジp-トリルメチレンシクロペンタジエニルオクタメチルオクタヒドロジベンゾフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジp-クロロフェニルメチレンシクロペンタジエニル3,6-ジtert-ブチルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジp-クロロフェニルメチレンシクロペンタジエニルオクタメチルオクタヒドロジベンゾフルオレニルジルコニウムジクロリドなどが挙げられる。さらには、上記記載化合物のジルコニウムをハフニウムやチタニウムに変えた化合物や、シクロペンタジエニルを3-tert-ブチル-5-メチル-シクロペンタジエニル、3,5-ジメチル-シクロペンタジエニル、3-tert-ブチル-シクロペンタジエニル、3-メチル-シクロペンタジエニルなどに変えた化合物なども好ましい例として挙げられる。[オレフィン重合用触媒に用いることのできるその他の成分]本発明に係るエチレン系重合体粒子の製造方法に用いるオレフィン重合用触媒は、上述したA,B成分を含むことを必須とする。当該エチレン系重合体粒子の製造方法をより高活性で行うことや、得られるエチレン系重合体粒子の物性を調整する目的において、当該オレフィン重合用触媒にA,B成分以外のその他の成分を追加で用いることもできる。当該その他の成分は、A,B成分を含むオレフィン重合用触媒の性能を阻害させない限りにおいて、特に制限することなく用いることができる。それらのうち、代表的に用いられ得る、C:B成分と反応してイオン対を形成する化合物、およびD有機アルミニウムオキシ化合物について、以下に説明する。[C:B成分と反応してイオン対を形成する化合物]本発明において、オレフィン重合用触媒の成分として用いることのできる、B成分と反応してイオン対を形成する化合物Cとしては、有機アルミニウム化合物、ハロゲン化ホウ素化合物、ハロゲン化リン化合物、ハロゲン化イオウ化合物、ハロゲン化チタン化合物、ハロゲン化シラン化合物、ハロゲン化ゲルマニウム化合物、ハロゲン化錫化合物などが挙げられる。これらのうち、有機アルミニウム化合物としては、上述したA微粒子の製造に用いられる有機アルミニウム化合物を好ましい化合物として例示できる。また、ハロゲン化ホウ素化合物、ハロゲン化リン化合物、ハロゲン化イオウ化合物、ハロゲン化チタン化合物、ハロゲン化シラン化合物、ハロゲン化ゲルマニウム化合物、ハロゲン化錫化合物としては、具体的には以下の化合物などが用いられる。三フッ化ホウ素、三塩化ホウ素、三臭化ホウ素などのハロゲン化ホウ素化合物;三塩化リン、三臭化リン、三ヨウ化リン、五塩化リン、五臭化リン、オキシ塩化リン、オキシ臭化リン、メチルジクロロホスフィン、エチルジクロロホスフィン、プロピルジクロロホスフィン、ブチルジクロロホスフィン、シクロヘキシルジクロロホスフィン、フェニルジクロロホスフィン、メチルジクロロホスフィンオキシド、エチルジクロロホスフィンオキシド、ブチルジクロロホスフィンオキシド、シクロヘキシルジクロロホスフィンオキシド、フェニルジクロロホスフィンオキシド、メチルフェニルクロロホスフィンオキシド、ジブロモトリフェニルホスホラン、テトラエチルホスホニウムクロリド、ジメチルジフェニルホスホニウムヨージド、エチルトリフェニルホスホニウムクロリド、アリルトリフェニルホスホニウムクロリド、ベンジルトリフェニルホスホニウムクロリド、アリルトリフェニルホスホニウムブロミド、ブチルトリフェニルホスホニウムブロミド、ベンジルトリフェニルホスホニウムブロミドなどのハロゲン化リン化合物;二塩化イオウ、塩化チオニル、塩化スルフリル、臭化チオニルなどのハロゲン化イオウ化合物;四フッ化チタン、四塩化チタン、四臭化チタン、四ヨウ化チタン、メトキシトリクロロチタン、エトキシトリクロロチタン、ブトキシトリクロロチタン、エトキシトリブロモチタン、ブトキシトリブロモチタン、ジメトキシジクロロチタン、ジエトキシジクロロチタン、ジブトキシジクロロチタン、ジエトキシジブロモチタン、トリメトキシクロロチタン、トリエトキシクロロチタン、トリブトキシクロロチタン、トリエトキシブロモチタンなどのハロゲン化チタン化合物;四塩化ケイ素、四臭化ケイ素、四ヨウ化ケイ素、メトキシトリクロロシラン、エトキシトリクロロシラン、ブトキシトリクロロシラン、エトキシトリブロモシラン、ブトキシトリブロモシラン、ジメトキシジクロロシラン、ジエトキシジクロロシラン、ジブトキシジクロロシラン、ジエトキシジブロモシラン、トリメトキシクロロシラン、トリエトキシクロロシラン、トリブトキシクロロシラン、トリエトキシブロモシラン、メチルトリクロロシラン、エチルトリクロロシラン、ブチルトリクロロシラン、フェニルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、ジエチルジクロロシラン、ジブチルジクロロシラン、ジフェニルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、トリエチルクロロシラン、トリブチルクロロシラン、トリフェニルクロロシランなどのハロゲン化シラン化合物;四フッ化ゲルマニウム、四塩化ゲルマニウム、四ヨウ化ゲルマニウム、メトキシトリクロロゲルマニウム、エトキシトリクロロゲルマニウム、ブトキシトリクロロゲルマニウム、エトキシトリブロモゲルマニウム、ブトキシトリブロモゲルマニウム、ジメトキシジクロロゲルマニウム、ジエトキシジクロロゲルマニウム、ジブトキシジクロロゲルマニウム、ジエトキシジブロモゲルマニウム、トリメトキシクロロゲルマニウム、トリエトキシクロロゲルマニウム、トリブトキシクロロゲルマニウム、トリエトキシブロモゲルマニウムなどのハロゲン化ゲルマニウム化合物;四フッ化錫、四塩化錫、四臭化錫、四ヨウ化錫、メトキシトリクロロ錫、エトキシトリクロロ錫、ブトキシトリクロロ錫、エトキシトリブロモ錫、ブトキシトリブロモ錫、ジメトキシジクロロ錫、ジエトキシジクロロ錫、ジブトキシジクロロ錫、ジエトキシジブロモ錫、トリメトキシクロロ錫、トリエトキシクロロ錫、トリブトキシクロロ錫、トリエトキシブロモ錫、メチルトリクロロ錫、エチルトリクロロ錫、ブチルトリクロロ錫、フェニルトリクロロ錫、ジメチルジクロロ錫、ジエチルジクロロ錫、ジブチルジクロロ錫、ジフェニルジクロロ錫、トリメチルクロロ錫、トリエチルクロロ錫、トリブチルクロロ錫、トリフェニルクロロ錫などのハロゲン化錫化合物。これらの化合物は単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせてもよい。また、炭化水素、ハロゲン化炭化水素に希釈してもよい。これらのC成分として例示される化合物の具体例のうち、好ましくは、トリアルキルアルミニム、アルケニルアルミニウム、ジアルキルアルミニウムハライド、アルキルアルミニウムセスキハライド、アルキルアルミニウムジハライド、アルキルアルミニウムハイドライド、アルキルアルミニウムアルコキシド、iso-Bu2AlOSiMe3、iso-Bu2AlOSiEt3、Et2AlOAlEt2、iso-Bu2AlOAliso-Bu2、LiAlC2H54、ハロゲン化シラン化合物およびハロゲン化チタン化合物であり、より好ましくは、トリアルキルアルミニウム、アルケニルアルミニウム、ジアルキルアルミニウムハライド、アルキルアルミニウムセスキハライド、アルキルアルミニウムジハライド、アルキルアルミニウムハイドライド、アルキルアルミニウムアルコキシドが挙げられ、より好ましくは、トリアルキルアルミニウムおよびアルキルアルミニウムハライドであり、さらに好ましくは、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリヘキシルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、ジエチルアルミニウムモノクロライド、ジイソブチルアルミニウムモノクロライド、エチルアルミニウムセスキクロライド、エチルアルミニウムジクロライドである。[D有機アルミニウムオキシ化合物]本発明において、オレフィン重合用触媒の成分として用いることのできるD有機アルミニウムオキシ化合物としては、上述したA微粒子を製造する際の工程2で用いられる有機アルミニウムオキシ化合物として説明したものと同様のものを用いることができる。<エチレン系重合体の製造方法>本発明に係るエチレン系重合体粒子の製造方法は、上記のようなA微粒子、B遷移金属化合物を含むオレフィン重合用触媒の存在下、エチレンを単独重合、もしくはエチレンと炭素原子数3~20の直鎖状または分岐状のα-オレフィンとを共重合させる。本発明に係るエチレン系重合体粒子の製造方法では、重合は、懸濁重合などの液相重合法または気相重合法のいずれにおいても実施できる。液相重合法において用いられる不活性炭化水素媒体として具体的には、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカン、ドデカン、灯油などの脂肪族炭化水素;シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロペンタンなどの脂環族炭化水素;ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素;エチレンクロリド、クロルベンゼン、ジクロロメタンなどのハロゲン化炭化水素またはこれらの混合物などを挙げることができ、オレフィン自身を溶媒として用いることもできる。上記のようなオレフィン重合用触媒を用いて、オレフィンの重合を行うに際してB成分は、反応容積1リットル当り、B成分中の金属原子として、通常1011~10ミリモル、好ましくは109~1ミリモルとなるような量で用いられる。A成分1g当たり、B成分は、通常104~100ミリモル、好ましくは103~50ミリモルとなるような量で用いられる。また、C成分を用いる場合には、C成分とB成分中の全遷移金属原子Mとのモル比C/Mが通常0.01~100000、好ましくは0.05~50000となるような量で用いられる。また、D成分を用いる場合には、D成分とB成分中の全遷移金属原子Mとのモル比D/Mが通常0.01~100000、好ましくは0.05~50000となるような量で用いられる。このようなオレフィン重合用触媒を用いたオレフィンの重合温度の下限は-20°C、好ましくは0°C、さらに好ましくは20°C、特に好ましくは30°Cであり、オレフィンの重合温度の上限は、150°C、好ましくは120°C、さらに好ましくは100°C、特に好ましくは80°Cである。特に本発明において得られたエチレン系重合体粒子を固相延伸成形する場合、重合温度の上記範囲は、触媒活性と重合体分子鎖の絡み合い抑制とのバランスの観点から特に好ましいと考えられる。重合圧力は、通常、常圧~10MPa、好ましくは常圧~5MPaの条件下である。本発明のエチレン系重合体の製造方法は、重合反応の条件を変えて二段以上に分けて反応を行う、いわゆる多段重合方法であってもよい。前記多段重合方法を採用する場合、多段重合工程のある一つの工程において得られるエチレン系重合体の極限粘度[η]が、2dl/g以上、30dl/g以下、好ましくは3dl/g以上、28dl/g以下、より好ましくは5dl/g以上、25dl/g以下である。本発明におけるエチレン系重合体の製造方法の好ましい態様としてより具体的には、後述するa工程とb工程とを含む、いわゆる二段重合が好ましい例である。さらに詳細には、a工程で、極限粘度[η]が2dl/g以上、30dl/g以下、好ましくは3dl/g以上、28dl/g以下、より好ましくは5dl/g以上、25dl/g以下のエチレン系重合体を製造し、他の工程以後、b工程と称すで、極限粘度[η]が15dl/gを超えて50dl/g以下、好ましくは20dl/gを超えて48dl/g以下、より好ましくは23dl/gを超えて45dl/g以下のエチレン系重合体を製造する条件でエチレン系重合体を製造することが好ましい。ただし、前記a工程とb工程とでは異なる[η]の重合体を生成することが好ましい。前記a工程とb工程とを実施する順番は、特に制限はされないが、相対的に低分子量のエチレン系重合体成分を製造する工程をa工程とすると、このa工程を最初に行い、相対的に高分子量のエチレン系重合体成分を製造するb工程を引き続いて行うことが好ましい。この場合、a工程で製造された成分の極限粘度は、当該成分の一部をサンプリングした実測値として得ることができる。また、b工程で製造された成分の極限粘度は後述する式に基づいて算出される。また、前記a工程で形成される成分aと、b工程で形成される成分bとの質量比の上限および下限は、それぞれの成分の極限粘度にもよるが、成分aの上限は好ましくは50、より好ましくは40、さらに好ましくは35であり、下限は、好ましくは5、より好ましくは10である。一方、成分bの上限は、好ましくは95、より好ましくは90であり、下限は50、好ましくは60、より好ましくは65である。この質量比は、各工程でのエチレン吸収量測定や、各工程で得られた樹脂を少量かつ規定量をサンプリングし、その質量やスラリー濃度、樹脂中の触媒成分の含有率などから各工程での樹脂生成量を計算することによって決定することができる。また、二段目に製造された重合体の極限粘度は以下の式に基づいて算出する。[η]1×w1[η]2×w2=[η]t式中、[η]1はa工程で生成した重合体の極限粘度、[η]2はb工程で生成した重合体の極限粘度、[η]tは最終生成物の極限粘度、w1はa工程の質量分率、w2はb工程の質量分率をそれぞれ示す。上記のとおり、本発明に係るエチレン系重合体を二段重合で行うことが好ましい理由としては、以下のように推察している。本発明において用いられるオレフィン重合用触媒により、エチレンや必要に応じて用いられる他のオレフィンとの重合反応を行う場合、その重合反応は触媒成分中の触媒活性点で起こる。生成した重合体は活性点から離れていくため、重合反応初期に生成する重合体は生成するエチレン系重合体粒子の表面部に、重合反応後期に生成する重合体は組成物粒子の内部に、それぞれ偏在すると推測される。すなわち、木の年輪と類似した構成を有すると考えられる。したがって、本発明で二段以上に反応条件を分けてエチレン系重合体を製造する場合、一段目に製造するエチレン系重合体の極限粘度[η]が、最終的に得られるエチレン系重合体の[η]より低くなる条件で製造すると、組成物粒子表面に相対的に分子量の低い重合体が存在する可能性が高く、固相延伸成形の際に粒子同士が圧着し易いと考えられる。また、本発明では前記のような特定の触媒を用いて得られるエチレン系重合体であるため、部分的に融解し易い重合体ができているものと推測される。また、本発明で用いられるオレフィン重合用触媒は、いわゆるシングルサイト触媒である。このため、前記の低分子量部と高分子量部が偏在する構造の部位が、より均一、かつ、微細に分布することが予想される。このため、後述する固相延伸成形時に、均一な延伸が起こり延伸中の切断が起こり難いため、高い延伸倍率を示すと考えられる。本発明においてエチレン系重合体の重合反応は、回分式、半連続式、連続式のいずれの方法においても行うことができる。上記のような多段階の重合工程で製造する場合は、回分式を採用することが好ましい。回分式プロセスで得られるエチレン系重合体は、組成物粒子毎の一段目の重合工程と二段目の重合工程で得られるエチレン系重合体のバラツキが少なく、均一分散構造により有利であると考えられるためである。得られるオレフィン重合体の分子量は、重合系に水素を存在させるか、または重合温度や重合圧力を変化させることによって調節することができる。さらに、オレフィン重合用触媒中に存在させるC成分またはD成分の量により調節することもできる。本発明において重合するオレフィンとしては、少なくともエチレンを含む炭素原子数が2~30、好ましくは2~20の直鎖状または分岐状のα-オレフィン、例えばエチレン、プロピレン、1-ブテン、2-ブテン、1-ペンテン、3-メチル-1-ブテン、1-ヘキセン、4-メチル-1-ペンテン、3-メチル-1-ペンテン、1-オクテン、1-デセン、1-ドデセン、1-テトラデセン、1-ヘキサデセン、1-オクタデセン、1-エイコセン;炭素原子数が3~30、好ましくは3~20の環状オレフィン、例えばシクロペンテン、シクロヘプテン、ノルボルネン、5-メチル-2-ノルボルネン、テトラシクロドデセン、2-メチル-1,4,5,8-ジメタノ-1,2,3,4,4a,5,8,8a-オクタヒドロナフタレン;極性モノマー、例えばアクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、ビシクロ2,2,1-5-ヘプテン-2,3-ジカルボン酸無水物などのα,β-不飽和カルボン酸、これらのナトリウム塩、カリウム塩、リチウム塩、亜鉛塩、マグネシウム塩、カルシウム塩などのα,β-不飽和カルボン酸金属塩;アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸n-プロピル、アクリル酸イソプロピル、アクリル酸n-ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸tert-ブチル、アクリル酸2-エチルヘキシル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n-プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸n-ブチル、メタクリル酸イソブチルなどのα,β-不飽和カルボン酸エステル;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、カプロン酸ビニル、カプリン酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニル、トリフルオロ酢酸ビニルなどのビニルエステル類;アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、イタコン酸モノグリシジルエステルなどの不飽和グリシジルエステルなどが挙げられる。また、ビニルシクロヘキサン、ジエンまたはポリエンなどを用いることもできる。ジエンまたはポリエンとしては、炭素原子数4~30、好ましくは4~20の2個以上の二重結合を有する環状または鎖状の化合物が用いられる。具体的には、ブタジエン、イソプレン、4-メチル-1,3-ペンタジエン、1,3-ペンタジエン、1,4-ペンタジエン、1,5-ヘキサジエン、1,4-ヘキサジエン、1,3-ヘキサジエン、1,3-オクタジエン、1,4-オクタジエン、1,5-オクタジエン、1,6-オクタジエン、1,7-オクタジエン、エチリデンノルボルネン、ビニルノルボルネン、ジシクロペンタジエン;7-メチル-1,6-オクタジエン、4-エチリデン-8-メチル-1,7-ノナジエン、5,9-ジメチル-1,4,8-デカトリエン;さらに芳香族ビニル化合物、例えばスチレン、o-メチルスチレン、m-メチルスチレン、p-メチルスチレン、o,p-ジメチルスチレン、o-エチルスチレン、m-エチルスチレン、p-エチルスチレンなどのモノまたはポリアルキルスチレン;メトキシスチレン、エトキシスチレン、ビニル安息香酸、ビニル安息香酸メチル、ビニルベンジルアセテート、ヒドロキシスチレン、o-クロロスチレン、p-クロロスチレン、ジビニルベンゼンなどの官能基含有スチレン誘導体;3-フェニルプロピレン、4-フェニルプロピレン、α-メチルスチレンなどが挙げられる。<エチレン系重合体粒子>本発明に係るエチレン系重合体粒子の製造方法により得られるエチレン系重合体粒子は、以下の特徴を有することが好ましい。i極限粘度[η]が、5~50dl/gの範囲であり、ii平均粒径が、10nm以上、3000nm未満の範囲であり、iii結晶化度が、70以上である。上記の極限粘度[η]は、デカリン溶媒中、135°Cで測定した値である。極限粘度[η]の範囲は、5~50dl/g、好ましくは10~45dl/g、より好ましくは15~40dl/gである。5dl/g未満では、延伸繊維の強度が不足し、50dl/gを超えるとプレス、延伸でポリオレフィン粉体の粒界の接合が不十分で、均一な延伸が困難となる。上記エチレン系重合体粒子は微小粒子の集合体で形成されており、微小粒子の平均粒径は走査型電子顕微鏡SEMで観察を行うことで決定される。エチレン系重合体粒子の微小粒子の平均粒径は10nm以上、3000nm未満、好ましくは10nm以上、2000nm未満、より好ましくは10nm以上、1000nm未満である。このような平均粒径の範囲の構造を有するエチレン系重合体粒子は、比表面積が大きいためエチレン系重合体粒子同士を接触させたとき接触面積が広くなり、固相延伸成形法で成形する際の粒子同士の圧着が起こり易くなる。その結果、延伸時に粒子同士の界面破断が起こり難くなり、高い延伸倍率での成形が可能となる。また、上記エチレン系重合体粒子は、微小粒子の集合体から形成されているため微小粒子間に空間が広く存在することにより、圧着成形時に均一な圧着履歴を受け、欠陥の少ない均一な構造を形成することができる。その結果、延伸時に欠陥による破断が起こり難くなり、高い延伸倍率での成形が可能となる。上記エチレン系重合体粒子の結晶化度は、示差走査熱量測定装置DSCを用いてその融解熱量から算出される値である。エチレン系重合体粒子の結晶化度の下限は、通常は70、好ましくは75、より好ましくは80である。結晶化度の上限については、高ければ高いほど高強度の成形体を得ることができ、体積収縮などの歪みや変形が起こり難い傾向にあるため、当該数値を設定することに意味はないが、あえて設定するのであれば、99、好ましくは97、より好ましくは95である。本発明に係るエチレン系重合体粒子は、上述したオレフィン重合用触媒の存在下、例示されたオレフィン類を重合もしくは共重合することにより得ることができる。これらの中でも、本発明に係るエチレン系重合体粒子は、エチレンの単独重合体、エチレンと少量のα-オレフィン、例えばプロピレン、1-ブテン、4-メチル-1-ペンテン、1-ペンテン、1-ヘキセン、1-オクテン、1-デセンなどとを共重合して得られるエチレンを主体とした結晶性の共重合体が好ましく挙げられるが、結晶化度を高める観点や後述する固相延伸成形における延伸性の観点からは、エチレンの単独重合体であることが好ましい。一方、成形品に耐クリープ性などが必要とされる場合には、プロピレンなどが共重合されていることが好ましい。エチレンの単独重合体であっても使用するオレフィン重合用触媒によっては、分岐構造を有するエチレン系重合体が得られることがあるが、本発明のエチレン系重合体は、特定の遷移金属化合物を含む担持型オレフィン重合用触媒を用いているため、このような分岐が極めて少ないと考えられる。このような重合体が得られる重合法であれば、分子構造制御の自由度がより高くなり、後述する固相延伸成形体などの性能向上に有利である。<エチレン系重合体から得られる延伸成形体およびその製造方法>本発明に係るエチレン系重合体から得られる延伸成形体は、上記のエチレン系重合体粒子を公知のポリエチレン用延伸成形法で成形することによって得られる。本発明の延伸成形体は、上記のA成分である、特定の工程を経て得られる微粒子をオレフィン重合用触媒の必須の構成成分として含んでいるものを用いて重合されたエチレン系重合体粒子から得られるものであるため、エチレン系重合体の重合体分子鎖の絡み合いが少なく、高い延伸倍率での成形が可能となる。その結果、得られる成形体の配向度が高くなり、高強度が発現する。また、該エチレン系重合体粒子は、微小粒子の集合体で形成されているため微小粒子間に空間が広く存在することにより、圧着成形時に均一な圧着履歴を受け、欠陥の少ない均一な構造を形成することができる。したがって、延伸時に欠陥による破断が起こり難くなり、高い延伸倍率での成形が可能となる。その結果、得られる成形体の配向度が高くなり、高強度が発現する。また、本発明の延伸成形体は、極限粘度[η]が高いエチレン系重合体粒子を用いているので、高強度の成形体が得られる傾向にある。さらに、本発明の延伸成形体は、平均粒径が小さいエチレン系重合体粒子を用いているので、比表面積が大きく、延伸成形時にエチレン系重合体粒子同士の接触面積が広くなり、粒子同士の圧着が起こり易くなる。そのため、延伸時に粒子同士の界面破断が起こり難くなり、高い延伸倍率での成形が可能となる。その結果、得られる成形体の配向度が高くなり、高強度が発現する。本発明の延伸成形体の中でも特に好ましくは、固相延伸成形法で得られる延伸成形体である。固相延伸成形は溶媒を用いずに成形する方法であるため、成形設備が比較的シンプルであり、また環境への悪影響も少ない成形法である。このような方法で延伸成形体を提供することは、社会への貢献度が高いと考えられる。本発明に係るエチレン系重合体粒子は、固相延伸成形を行う場合、極めて高い延伸性能を示すので、高い強度を有する繊維、フィルム、シート、骨代替材料などの生体材料などを得ることができる。固相延伸成形条件は、上記のエチレン系重合体を用いること以外は、公知の条件を制限することなく用いることができる。例えば、本発明のエチレン系重合体を、1MPa以上の圧力で圧着してシート状に成形し、これを比較的高温で引張延伸したり、ロールなどを用いて圧力をかけながら延伸したりする方法が挙げられる。この圧着工程、延伸工程などの成形の温度は、エチレン系重合体の粒子の融点以下であることが好ましいが、実質的に溶融流動が起こらなければ融点以上での成形となっても構わない。好ましくは本発明に係るエチレン系重合体の融点プラス5°C程度を上限とし、融点マイナス30°C程度を下限とする温度範囲であることが好ましい。本発明に係るエチレン系重合体を用いた成形体の延伸性、すなわち延伸倍率や得られる延伸成形体の物性は、後述する実施例に記載の方法延伸倍率、延伸時最大応力、延伸成形体の強度および弾性率で決定される。本発明に係るエチレン系重合体粒子を用いると上記の延伸倍率が50倍以上の延伸成形体を得ることができる。より好ましくは80倍以上、さらに好ましくは100倍以上、特に好ましくは120倍以上である。本発明に係るエチレン系重合体粒子を用いることにより、延伸時の引張応力は、従来の重合体に比して低い。したがって、より均一な延伸が可能となる傾向がある。延伸時の応力は30MPa以下であることが好ましく、25MPa以下であることがより好ましく、23MPa以下であることがさらに好ましく、20MPa以下であることがさらに好ましく、16MPa以下であることが特に好ましい。本発明の延伸成形体は、高い延伸倍率での成形が可能であるので高い引張弾性率および引張強度を有することが期待される。得られる延伸成形体の引張弾性率は、80GPa以上であることが好ましく、120GPa以上であることがさらに好ましく、140GPa以上であることが特に好ましい。また、得られる延伸成形体の強度は、2GPa以上であることが好ましく、2.5GPa以上であることがさらに好ましく、3GPa以上であることが特に好ましい。以下に、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はその要旨を逸脱しない限り下記の実施例に限定されないことはいうまでもない。以下の実施例において、微粒子の平均粒径、エチレン系重合体粒子の極限粘度[η]、結晶化度、平均粒径および延伸成形体の各種物性は、下記の方法に拠って測定した。微粒子平均粒径微粒子の平均粒径を動的光散乱法で測定するに当たっては、Zetasizerシスメックス社製NanoZSを用いて、温度25°Cのトルエン溶液中で測定した。極限粘度[η]極限粘度[η]は、超高分子量エチレン系重合体粒子をデカリンに溶解させ、温度135°Cのデカリン中で測定した。結晶化度および融点DSCエスアイアイナノテクノロジー社製DSC6220を用いて、以下のような方法で測定した。秤量:5mg程度昇温速度:10°C/min測定温度範囲:0°C~200°C融点:融解のピークトップ温度結晶化度:70°Cから180°Cまでベースラインを引いた差分の熱量から融解熱量をポリエチレン100結晶の融解熱量である290J/gで除した値走査型電子顕微鏡SEMエチレン系重合体粒子の平均粒径は、走査型電子顕微鏡日本電子社製JSM-6510LVを用いて、倍率10000倍で観察した。観察した画像から10個の重合体粒子を選択し、その平均粒径を算出した。延伸倍率エチレン系重合体粒子を温度136°C、圧力7MPaで30分間、加圧することで、厚さ約500μmのプレスシートを作製し、縦35mm×横7mmの矩形に切り出す。高密度ポリエチレンにて直径10mmφの円柱形状の射出成形品を作成し、この成形品を中心軸にそって半割りする以下、これをビレットという。上記の切り出したシートを、ビレットの半割りした平面部分に挟んで固定する。東洋精機製作所製キャピラリーレオメーターIIBを120°Cに加熱し、先に作製したビレットをシリンダー内にセットする。押込み棒を用いてビレットを上部より2mm/secの速度で押込み、凹型テーパー形状のノズルを通過させることによって圧縮延伸する。シリンダー径と凹型テーパー形状のノズルの出口径を元に計算した断面積の比は6:1であり、シートはノズルを通過する間に長手方向に6倍に延伸される。次いで、上記の予備延伸で得られた延伸シートを切り出して、標線間距離が5mmとなるように標線をシートにマーキングする。チャック間を7mmに設定した引張試験機インストロン社製、万能試験機1123型に得られたシートをセットし、温度135°C、引張速度が14mm/分の条件で、前記予備延伸と同じ方向に一軸延伸する。測定は3回~5回行い、破断時の標線間距離を初期の標線間距離5mmで除した値を二回目延伸倍率とした。上記二回目延伸倍率に、前記圧縮延伸での延伸倍率である6倍を乗じた値を当該評価の延伸倍率として評価する。延伸成形体の強度引張試験機インストロン社製、万能試験機1123型を用いて、温度23°C、チャック間30mm、引張速度30mm/minの条件で短冊状に切削した延伸成形体の延伸方向の引張強度を測定した。[実施例1][成分a-1の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き2Lガラス容器に、無水塩化マグネシウム76.2g0.80mol、脱水デカン332g、2-エチルヘキシルアルコール260.4g2.0mol、および2-オクチルドデシルアルコール119.4g0.4molを装入し、155°Cで4時間反応を行い、均一透明溶液とした。次いで、この均一透明溶液を脱水デカンで希釈し、Mg原子換算で0.2mmol/mLの均一透明な成分a-1を得た。[成分A-1の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き2Lガラス容器に、脱水トルエン1Lを装入し、液温を50°Cに維持し、成分a-1をMg原子換算で4.0mmol装入し、次いでトリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で16mmolをゆっくりと滴下装入し、微粒子成分A-1を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、40nmであった。[エチレン重合]前記成分A-1を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、液温を10°Cまで冷却し、下記遷移金属化合物B-1をZr原子換算で0.002mmolを装入し、10°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、塩酸を加えた4Lのメタノールに投入しポリマーを全量析出させ、ろ過した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、22.3gであり、触媒活性は22.3kg/mmol-Zrh、[η]は18.7dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は190nmであった図1。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図2。得られたポリエチレンを用いて、前記延伸倍率測定方法に記載の通り、プレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例2][成分A-2の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、液温を50°Cに維持し、実施例1と同様にして合成した成分a-1をMg原子換算で0.32mmol装入し、次いでトリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で1.28mmolをゆっくりと滴下装入し、微粒子成分A-2を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、40nmであった。[エチレン重合]前記成分A-2を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、前記遷移金属化合物B-1をZr原子換算で0.0004mmolを装入し、全圧が0.8MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、62.8gであり、触媒活性は314.0kg/mmol-Zrh、[η]は26.7dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は390nmであった図3。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図4。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例3][成分A-3の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、液温を50°Cに維持し、実施例1と同様にして合成した成分a-1をMg原子換算で0.16mmol装入し、次いでトリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で0.64mmolをゆっくりと滴下装入し、微粒子成分A-3を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、40nmであった。[エチレン重合]前記成分A-3を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、下記遷移金属化合物B-2をZr原子換算で0.0002mmolを装入し、全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、34.8gであり、触媒活性は348.4kg/mmol-Zrh、[η]は34.8dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は300nmであった図5。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図6。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例4]前記実施例3にて調製した成分A-3を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、前記遷移金属化合物B-2をZr原子換算で0.0002mmolを装入し、全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、65°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、30.4gであり、触媒活性は304.0kg/mmol-Zrh、[η]は28.4dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は310nmであった図7。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図8。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例5][成分a-2の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lガラス容器に、無水塩化マグネシウム47.6g0.50mol、脱水デカン65g、2-エチルヘキシルアルコール97.6g0.75mol、および2-オクチルドデシルアルコール223.9g0.75molを装入し、155°Cで4時間反応を行い、均一透明溶液とした。次いで、この均一透明溶液を脱水デカンで希釈し、Mg原子換算で0.2mmol/mLの均一透明な成分a-2を得た。[成分A-4の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、液温を50°Cに維持し、成分a-2をMg原子換算で0.75mmol装入し、次いでトリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で2.25mmolをゆっくりと滴下装入し、微粒子成分A-4を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、30nmであった。[エチレン重合]前記成分A-4を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、下記遷移金属化合物B-3をTi原子換算で0.0015mmolを装入し、全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、28.5gであり、触媒活性は38.0kg/mmol-Tih、[η]は23.8dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は250nmであった図9。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図10。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例6][成分A-5の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lガラス容器に、脱水トルエン750mLおよびトリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で20.0mmolを装入し、ホモジナイザーエムテクニック社製クレアミックスCLM-1.5S、回転数15000rpmによる強撹拌下、液温を20°Cに保持しながら、実施例1と同様にして合成した成分a-1をMg原子換算で20mmolをゆっくりと滴下装入し、15分間反応させた。次いで、液温を50°Cに昇温し3分間反応させることで、微粒子成分A-5を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、50nmであった。[エチレン重合]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、エチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、トリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で0.05mmol、前記成分A-5をMg原子換算で0.50mmol、前記遷移金属化合物B-3をTi原子換算で0.001mmolを装入し、全圧が0.3MPaとなるようにエチレンガスを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、24.9gであり、触媒活性は49.8kg/mmol-Tih、[η]は24.8dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は220nmであった図11。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図12。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例7][成分A-6の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、液温を50°Cに維持し、実施例1と同様にして合成した成分a-1をMg原子換算で1.0mmol装入し、次いでトリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で3.0mmolをゆっくりと滴下装入し、微粒子成分A-6を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、40nmであった。[エチレン重合]前記成分A-6を含む反応液に水素濃度500ppmを含むエチレンを吹き込み、液相および気相を飽和させた。次いで、下記遷移金属化合物B-4をTi原子換算で0.005mmolを装入し、全圧が0.8MPaとなるように水素濃度500ppmを含むエチレンを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、43.3gであり、触媒活性は17.3kg/mmol-Tih、[η]は23.8dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は150nmであった図13。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図14。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例8]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、水素濃度500ppmを含むエチレンを吹き込み、液相および気相を飽和させた。次いで、トリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で0.04mmol、前記実施例6で調製した成分A-5をMg原子換算で0.40mmol、前記遷移金属化合物B-4をTi原子換算で0.002mmolを装入し、全圧が0.8MPaとなるように水素濃度500ppmを含むエチレンを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、26.5gであり、触媒活性は26.5kg/mmol-Tih、[η]は27.5dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は230nmであった図15。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図16。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例9][成分a-3の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lガラス容器に、無水塩化マグネシウム47.6g0.50mol、脱水デカン65g、2-エチルヘキシルアルコール97.6g0.75mol、および2-オクチルドデシルアルコール223.9g0.75molを装入し、155°Cで4時間反応を行い、均一透明な成分a-3を調製した。[成分A-7の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lガラス容器に、前記a-3100mLMg原子換算で100mmol、2-オクチルドデシルアルコール89.6g300mmolを装入し、155°Cで4時間反応を行った。次いで、液温を0°Cまで冷却し、脱水デカン50mL、および脱水クロロベンゼン560mLを装入し、ホモジナイザーエムテクニック社製クレアミックスCLM-1.5S、回転数15000rpmによる強撹拌下、液温を0°Cに維持しながら、トリエチルアルミニウム138mmolをゆっくりと滴下装入した。その後、液温を4時間かけて80°Cに昇温し、80°Cを維持しながら、再びトリエチルアルミニウム158mmolをゆっくりと滴下装入し、さらに1時間反応した。反応終了後、ろ過にて固体部を採取し、脱水トルエンにて充分洗浄し、脱水トルエンを加えて微粒子成分A-7を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、150nmであった。[固体触媒成分Eの調製]充分に窒素置換した撹拌機付き300mLガラス容器に脱水トルエン100mLを装入し、上記で調製した微粒子成分A-7をMg原子換算で5.0mmol装入した。次いで、下記遷移金属化合物B-5のトルエン溶液をZr原子換算で0.025mmol滴下装入し、室温で1時間反応させることで固体触媒成分Eを合成した。[エチレン重合]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに、脱水ヘプタン500mLを装入し、エチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、トリエチルアルミニウムをAl原子換算で1.25mmol、前記固体触媒成分EをZr原子換算で0.00015mmol装入し、全圧が0.8MPaになるようにエチレンガスを供給しながら、65°Cで1時間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、15.6gであり、触媒活性は103.7kg/mmol-Zrh、[η]は20.0dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は1050nmであった図17。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例10][成分a-4の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き2Lガラス容器に、無水塩化マグネシウム95.2g1.0mol、脱水デカン442mLおよび2-エチルヘキシルアルコール390.6g3.0molを装入し、145°Cで4時間反応を行い、均一透明溶液とした。次いで、この均一透明溶液を脱水デカンで希釈し、Mg原子換算で0.2mmol/mLの溶液を得た。次いで、充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、液温を50°Cに維持し、先に得た溶液を0.80mL装入し、さらにイソブチルアルコールを0.96mmolゆっくり滴下装入し、15分間攪拌して、成分a-4を得た。[成分A-8の調製]上記調製方法により得られた成分a-4全量に対して、トリエチルアルミニウムをAl原子換算で1.68mmolゆっくりと滴下装入し、微粒子成分A-8を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、70nmであった。[エチレン重合]前記成分A-8を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、前記遷移金属化合物B-2をZr原子換算で0.0001mmolを装入し、全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、14.8gであり、触媒活性は296.2kg/mmol-Zrh、[η]は29.7dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は690nmであった図18。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図19。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例11][成分a-5の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き2Lガラス容器に、無水塩化マグネシウム95.2g1.0mol、脱水デカン442mLおよび2-エチルヘキシルアルコール390.6g3.0molを装入し、145°Cで4時間反応を行い、均一透明溶液とした。次いで、この均一透明溶液を脱水デカンで希釈し、Mg原子換算で0.2mmol/mLの溶液を得た。次いで、充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水ヘプタン500mLを装入し、液温を50°Cに維持し、先に得た溶液を0.8mL装入し、さらにイソブチルアルコールを0.96mmolゆっくり滴下装入し、15分間攪拌して、成分a-5を得た。[成分A-9の調製]上記調製方法により得られた成分a-5全量に対して、トリエチルアルミニウムをAl原子換算で1.68mmolゆっくりと滴下装入し、微粒子成分A-9を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、80nmであった。[エチレン重合]前記成分A-9を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、前記遷移金属化合物B-2をZr原子換算で0.0001mmolを装入し、全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、22.6gであり、触媒活性は452.0kg/mmol-Zrh、[η]は28.6dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は840nmであった図20。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図21。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表1に示す。[実施例12][成分A-10の調製]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、液温を50°Cに維持し、実施例1と同様にして合成した成分a-1をMg原子換算で0.24mmol装入し、次いでトリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で0.96mmolをゆっくりと滴下装入し、微粒子成分A-10を合成した。この反応液の一部を採取し、動的光散乱法により微粒子の平均粒径を測定したところ、40nmであった。[エチレン重合]前記成分A-10を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、前記遷移金属化合物B-2をZr原子換算で0.0003mmolを装入し、エチレン流量が0.5L/minとなるように水素濃度1000ppmを含むエチレンを供給しながら、50°Cで15分間重合反応を行った。重合終了後、一旦脱圧し、次いで全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで25分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、41.8gであり、触媒活性は209.0kg/mmol-Zrh、a工程で得られたポリエチレンの[η]は18.2dl/g、total[η]は33.9dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は305nmであった図22。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図23。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表2に示す。[実施例13][エチレン重合]前記成分A-10を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、前記遷移金属化合物B-2をZr原子換算で0.0003mmolを装入し、エチレン流量が0.5L/minとなるように水素濃度2000ppmを含むエチレンを供給しながら、50°Cで15分間重合反応を行った。重合終了後、一旦脱圧し、次いで全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで31分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、34.3gであり、触媒活性は149.0kg/mmol-Zrh、a工程で得られたポリエチレンの[η]は20.8dl/g、total[η]は34.7dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は257nmであった図24。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図25。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表2に示す。[実施例14][エチレン重合]前記成分A-10を含む反応液にエチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、前記遷移金属化合物B-2をZr原子換算で0.0003mmolを装入し、エチレン流量が0.5L/minとなるように水素濃度1000ppmを含むエチレンを供給しながら、50°Cで7.5分間重合反応を行った。重合終了後、一旦脱圧し、次いで全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで23分間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、42.7gであり、触媒活性は280.2kg/mmol-Zrh、a工程で得られたポリエチレンの[η]は18.2dl/g、total[η]は34.1dl/gであった。走査型電子顕微鏡観察によるポリマー粒子を構成する微小粒子の平均粒径は286nmであった図26。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図27。得られたポリエチレンを用いて、前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表2に示す。[比較例1]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lガラス容器に、脱水トルエン500mlを装入し、エチレンを吹き込み、液相および気相を飽和させた。液温を5°Cまで冷却し、メチルアルミノキサン以下MAOと記載することがあるをAl原子換算で0.50mmol、前記遷移金属化合物B-1をZr原子換算で0.0008mmol装入し、10°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、塩酸を加えた2Lのメタノールに投入しポリマーを全量析出させ、ろ過した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、5.5gであり、触媒活性は24.9kg/mmol-Zrh、[η]は38.5dl/gであった。走査型電子顕微鏡により得られたポリマー粒子を観察したところ、微小粒子の集合体といったモルフォロジーは観察されなかった図28。得られたポリエチレンを用いて前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表3に示す。本触媒系では、重合槽壁にポリマーが付着する現象、いわゆるファウリングが発生した図29。また、得られたポリエチレンの延伸性は低く、延伸成形体の強度も低かった。[比較例2]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに脱水トルエン500mLを装入し、エチレンガスを吹き込み、液相および気相を飽和させた。次いで、メチルアルミノキサンをAl原子換算で1.25mmol、前記遷移金属化合物B-4をTi原子換算で0.001mmol装入し、全圧が0.3MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで30分間重合反応を行った。重合終了後、塩酸を加えた2Lのメタノールに投入しポリマーを全量析出させ、ろ過した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、9.9gであり、触媒活性は19.5kg/mmol-Tih、[η]は36.5dl/gであった。走査型電子顕微鏡により得られたポリマー粒子を観察したところ、微小粒子の集合体といったモルフォロジーは観察されなかった図30。得られたポリエチレンを用いて前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表3に示す。得られたポリエチレンの延伸性および延伸成形体の強度は高いが、本触媒系では、重合槽壁にポリマーが付着する現象、いわゆるファウリングが発生した図31。[比較例3][固体成分Wの調製]窒素流通下、150°Cで5時間乾燥した平均粒径5μmのシリカゲルSiO230gを470mLの脱水トルエンに懸濁した後、メチルアルモキサンのトルエン溶液Al原子換算で3.07mmol/mL130mLを氷浴中0°Cで30分間にわたり滴下装入した。滴下終了後、氷浴中で30分間撹拌し、次いで95°Cまで昇温し、95°Cで4時間反応させた。反応終了後、デカンテーションにより上澄み液を除去し、得られた固体成分を脱水トルエンで3回洗浄することで、固体成分Wのトルエンスラリーを調製した。得られた固体成分Wの一部を採取し、濃度を調べたところ、スラリー濃度:0.15g/mL、Al濃度:1.20mmol/mL、Al/Si=0.81モル比、コールターカウンターによる平均粒径は5.3μmであった。[固体触媒成分Xの調製]充分に窒素置換した撹拌機付き300mLガラス容器に脱水トルエン150mLを装入し、上記で調製した固体成分Wのトルエンスラリーを固体部換算で1.34g装入した。次いで、前記遷移金属化合物B-1のトルエン溶液Zr原子換算で0.001mmol/mL40.0mLを滴下装入し、室温で1時間反応させた。その後、デカンテーションにより上澄み液を除去し、脱水トルエンで3回、脱水デカンで2回洗浄し、固体触媒成分Xのデカンスラリーを調製した。得られた固体触媒成分Xのデカンスラリーの一部を採取して濃度を調べたところ、Zr濃度0.000363mmol/mL、Al濃度0.0919mmol/mLであった。[エチレン重合]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに、脱水ヘプタン500mLを装入し、エチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、トリイソブチルアルミニウムをAl原子換算で0.35mmol、上記で調製した固体触媒成分XをZr原子換算で0.002mmol装入した。さらに、水素25mlを装入した後、全圧が0.8MPaとなるようにエチレンを供給しながら、50°Cで1時間重合反応を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、63.1gであり、触媒活性は31.6kg/mmol-Zrh、[η]は19.2dl/gであった。走査型電子顕微鏡により得られたポリマー粒子を観察したところ、微小粒子の集合体といったモルフォロジーは観察されなかった図32。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図33。得られたポリエチレンを用いて前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形体の強度を測定した。結果を表3に示す。得られたポリエチレンの延伸性は低く、延伸成形体強度の強度も低かった。[比較例4][固体成分Yの調製]充分に窒素置換した撹拌機付き2Lガラス容器に、無水塩化マグネシウム95.2g1.0mol、脱水デカン442mLおよび2-エチルヘキシルアルコール390.6g3.0molを装入し、145°Cで4時間反応を行い、均一透明溶液とした。次いで、別の充分に窒素置換した撹拌機付き1Lガラス容器に、前記均一透明溶液100mLMg原子換算で100mmol、脱水デカン610mLを装入し、ホモジナイザーエムテクニック社製クレアミックスCLM-1.5S、回転数10000rpmによる強撹拌下、液温を0°Cに維持しながら、トリエチルアルミニウム104mmolをゆっくりと滴下装入した。その後、液温を4時間かけて80°Cに昇温し、80°Cを維持しながら、再びトリエチルアルミニウム202mmolをゆっくりと滴下装入し、さらに1時間反応した。反応終了後、ろ過にて固体部を採取し、脱水トルエンにて充分洗浄し、200mLの脱水トルエンを加えて固体成分Yのトルエンスラリーとした。このトルエンスラリーの一部を採取し、動的光散乱法により固体成分Yの粒径を測定したところ、750nmであった。[固体触媒成分Zの調製]充分に窒素置換した撹拌機付き300mLガラス容器に脱水トルエン100mLを装入し、上記で調製した固体成分YのトルエンスラリーをMg原子換算で5.0mmol装入した。次いで、遷移金属化合物B-2のトルエン溶液Zr原子換算で0.001mmol/mL7.0mLを滴下装入し、室温で1時間反応させた。その後、デカンテーションにより上澄み液を除去し、脱水トルエンで3回、脱水デカンで2回洗浄し、固体触媒成分Zのデカンスラリーを調製した。得られた固体触媒成分Zのデカンスラリーの一部を採取して濃度を調べたところ、Zr濃度0.000234mmol/mLであった。[エチレン重合]充分に窒素置換した撹拌機付き1Lオートクレーブに、脱水ヘプタン500mLを装入し、エチレンを吹き込み、液相および気相をエチレンで飽和させた。次いで、トリエチルアルミニウムをAl原子換算で1.00mmol、固体触媒成分ZをZr原子換算で0.0001mmol装入し、全圧が0.8MPaになるようにエチレンを供給しながら、70°Cで3時間重合を行った。重合終了後、得られたポリマーをヘキサンで洗浄した後、80°Cで1時間減圧予備乾燥を行い、さらに110°Cにて10時間減圧乾燥した。得られたポリエチレンは、49.9gであり、触媒活性は166.2kg/mmol-Zrh、[η]は27.5dl/gであった。走査型電子顕微鏡により得られたポリマー粒子を観察したところ、微小粒子の集合体といったモルフォロジーは観察されなかった図34。また、重合槽の状態を確認したところ、ポリマーの付着は見られなかった図35。得られたポリエチレンを用いて前記実施例1と同様の方法でプレスシートを作製し、延伸倍率および延伸成形物の強度を測定した。結果を表3に示す。得られたポリエチレンの延伸性は低く、延伸成形体強度の強度も低かった。上述した、実施例と比較例を比較すれば明らかなように、本発明の実施例で重合した超高分子量ポリエチレンはファウリングが発生しないため、工業的にエチレン系重合体粒子の製造が可能であり、かつ、得られる延伸成形体の強度も高い傾向にある。"