作業空間を画成するグローブボックスと、該グローブボックスに装着されるグローブと、前記グローブボックスへのワークの搬入のために設けられるサイドボックスと、前記グローブボックスへガスを導入するためのガス供給機構と、前記グローブボックスからガスを排気するためのガス排気機構と、前記グローブボックスの内部圧力を検出する内部圧力検出手段と、グローブボックスの外部圧力を検出する外部圧力検出手段と、前記内部圧力検出手段及び前記外部圧力検出手段によって検出された内部圧力及び外部圧力の圧力差が一定となるように制御する圧力制御手段とを少なくとも具備するグローブボックス装置において、グローブボックス内に流入するガスの総量を検出する流入量検出手段と、該流入量検出手段によって検出されたたガスの総量が、所定値以上となった場合にガス漏れを判定するガス漏れ判定手段と、該ガス漏れ判定手段によってガス漏れが判定された場合に、警報を発する警報手段と、前記ガス漏れ判定手段によってガス漏れが判定された場合にガスの導入を停止するガス漏れ回避手段とを具備することを特徴とするグローブボックス装置。前記流入量検出手段は、前記ガス供給機構を流れるガスの流量を検出する流量検出手段と、該流量検出手段によって検出された流量に基づいてグローブボックス内に流入するガスの総量を演算する流入量演算手段とによって構成され、前記流入量検出手段によって検出されたガスの流量と流れる時間に基づいて供給されるガスの総量を演算することを特徴とする請求項1記載のグローブボックス装置。さらに、前記ガス供給機構を流れるガスの流量を一定値に規定するガス流量規定手段を具備し、前記流入量検出手段は、ガス供給機構をガスが流れる時間を検出する時間検出手段を具備し、前記ガス流量規定手段によって規定されたガスの流量と、時間検出手段によって検出された時間に基づいて供給されるガスの総量を検出することを特徴とする請求項1記載のグローブボックス装置。前記ガス漏れ判定手段において用いられる所定値は、サイドボックスの容積であることを特徴とする請求項2又は3記載のグローブボックス装置。前記ガス漏れ判定手段において用いられる所定値は、グローブ内の容積の略2倍であることを特徴とする請求項2又は3記載のグローブボックス装置。前記ガス漏れ判定手段において用いられる所定値は、サイドボックスの容積及びグローブ内の容積の略2倍のいずれか大きい方であることを特徴とする請求項2又は3記載のグローブボックス装置。前記ガス漏れ回避手段は、前記グローブボックスが設置された空間が密閉空間である場合、前記ガス漏れ判定手段によってガス漏れが判定された場合に、前記空間に外気を導入することを特徴とする請求項1~6のいずれか1つに記載のグローブボックス装置。前記ガス漏れ回避手段は、前記グローブボックスが設置された空間が密閉空間である場合、前記ガス漏れ判定手段によってガス漏れが判定された場合に、前記空間から排気を行うことを特徴とする請求項1~7のいずれか1つに記載のグローブボックス装置。不純物や水分及び酸素を極端に嫌うワークを処理するために、グローブボックス内に高純度不活性ガスを封入し、グローブボックス外部からグローブボックス内にグローブを延出させて前記ワークを処理するグローブボックスにあっては、その内部が密閉空間であるがために、外気の圧力変動、内部の温度の変化によって外部との間に気圧差を生じることがある。このグローブボックスの内部と外部との圧力差が大きい場合には、ゴム製手袋であるグローブがグローブボックス内部に引き込まれたり、グローブボックスから押し出されたりして作業性に大きな影響を与えるという不具合が生じていた。このため、グローブボックス装置においては、上述した特許文献のように、グローブボックスの内部と外部との圧力差をゼロ近傍に保つ機構が装備されている。圧力差をゼロ近傍に保つ手段として、その内部圧力が外部圧力よりも高い場合には、何らかの排気系を用いて内部封入ガスを外部に排出し、また内部圧力が外部圧力よりも低い場合には、ガス供給機構を用いて、封入ガスを供給し、グローブボックスの内部と外部の圧力差をゼロ近傍に保つ機構を装置しているものである。上述した特許文献に開示されているグローブボックスの圧力を制御する装置においては、ピンセット、カッター或いは鋭利な部品によって、ゴム製グローブに孔や亀裂が生じた場合、グローブボックスの内部と外部との圧力差をゼロにするために、封入ガスを供給し続けるという不具合が生じる。またグローブボックスの封入ガスとして多くの場合不活性ガス窒素を用いているため、グローブボックスが設置されている空間が狭小である場合、酸素欠乏に陥る危険が高くなるという問題点があった。これを回避するために、設置室に酸素検知器を装備し、酸素欠乏に陥る前に酸素濃度低下を検知する必要が生じる。このため、本願発明は、簡易な構造で、グローブボックスからの漏れを検出して警報を発するグローブボックス装置を提供するものである。したがって、本願発明は、作業空間を画成するグローブボックスと、該グローブボックスに装着されるグローブと、前記グローブボックスへのワークの搬入のために設けられるサイドボックスと、前記グローブボックスへガスを導入するためのガス供給機構と、前記グローブボックスからガスを排気するためのガス排気機構と、前記グローブボックスの内部圧力を検出する内部圧力検出手段と、グローブボックスの外部圧力を検出する外部圧力検出手段と、前記内部圧力検出手段及び前記外部圧力検出手段によって検出された内部圧力及び外部圧力の圧力差が一定となるように制御する圧力制御手段とを少なくとも具備するグローブボックス装置において、グローブボックス内に流入するガスの総量を検出する流入量検出手段と、該流入量検出手段によって検出されたたガスの総量が、所定値以上となった場合にガス漏れを判定するガス漏れ判定手段と、該ガス漏れ判定手段によってガス漏れが判定された場合に、警報を発する警報手段と、前記ガス漏れ判定手段によってガス漏れが判定された場合にガスの導入を停止するガス漏れ回避手段とを具備することにある。尚、前記ガスは、窒素等の不活性ガスであることが望ましい。これによって、グローブボックス内の圧力降下によってガスを導入する場合、ガスの流量を演算してガス流入量が所定値以上となった場合に、ガス漏れを検知できるため、迅速にガス漏れ処理を行うことができるものである。また、前記流入量検出手段は、前記ガス供給機構を流れるガスの流量を検出する流量検出手段と、該流量検出手段によって検出された流量に基づいてグローブボックス内に流入するガスの総量を演算する流入量演算手段とによって構成され、前記流入量検出手段によって検出されたガスの流量と流れる時間に基づいて供給されるガスの総量を演算するものであることが望ましい。この場合、ガス供給機構を流れるガスの流量を検出し、この流量と流れる時間によって供給されるガスの総量を演算できるため、ガスの総量を確実に検出できるものである。さらに、本願発明に係るグローブボックスは、前記ガス供給機構を流れるガスの流量を一定値に規定するガス流量規定手段を具備し、前記流入量検出手段は、ガス供給機構をガスが流れる時間を検出する時間検出手段を具備し、前記ガス流量規定手段によって規定されたガスの流量と、時間検出手段によって検出された時間に基づいて供給されるガスの総量を検出することが望ましい。この場合、ガス供給機構を流れるガスの流量を一定値に規定することによって、流れる時間を検出するだけで、供給されるガスの総量を演算できるため、流量計を用いることなくガスの総量が検出できるものである。また、前記ガス漏れ判定手段において用いられる所定値は、サイドボックスの容積であることが望ましい。ワークの出し入れの際に、サイドボックスに供給されるガスは通常グローブボックスから供給される場合が多く、この場合グローブボックス内のガスの容積はサイドボックス分低下することが想定されるからである。さらにまた、前記ガス漏れ判定手段において用いられる所定値は、グローブ内の容積の略2倍であることが望ましい。グローブが作業空間内に引き込まれた状態と飛び出した状態では、グローブボックス内の容積の変化は、グローブの容積の2倍となるからである。さらに、前記ガス漏れ判定手段において用いられる所定値は、サイドボックスの容積及びグローブ内の容積の略2倍のいずれか大きい方であることが望ましい。大きい方を選択することによって、ガス漏れ状態を確実に検出することが可能となるものである。さらにまた、前記ガス漏れ回避手段は、前記グローブボックスが設置された空間が密閉空間である場合、前記ガス漏れ判定手段によってガス漏れが判定された場合に、前記空間に外気を導入することが望ましく、また、前記ガス漏れ回避手段は、前記グローブボックスが設置された空間が密閉空間である場合、前記ガス漏れ判定手段によってガス漏れが判定された場合に、前記空間から排気を行うことが望ましい。これによって、グローブボックスが密閉空間に設置された場合には、作業員の安全を確保できるものである。本願発明によれば、グローブボックスに流入するガスの量を検出することによってガス漏れを判定することができることから、グローブボックスが設置された空間の酸素濃度が低下する前にガスの漏れを検出できるため、作業員の安全を確保することができ、且つ補充すべきガス量の無駄な排出を抑制できるものである。以下、この発明の実施例について、図面により説明する。本願発明の実施例1に係るグローブボックス装置1は、たとえば図1に示すように、設置室50内に配置されるもので、所定の容積Vbを有するグローブボックス2と、このグローブボックス2に被処理体としてのワークを搬入するためにグローブボックス2に近接して設けられる容積Vsを有するサイドボックス3と、前記グローブボックス2に装着され、グローブボックス2の内部に収容されるワークを処理する容積Vhのグローブ44aと、前記グローブボックス2に窒素等の不活性ガスなどのガスを導入するためのガス供給機構5と、グローブボックス2からガスを排出するための排出系10と、前記ガス供給機構5及び排出系10を制御するためのコントロールユニット20とによって少なくとも構成されるものである。また、前記グローブボックス2には、内部圧力を検出する圧力センサ13が設けられ、サイドボックス3にはサイドボックス3の内部圧力を検出する圧力センサ15が設けられる。また、前記サイドボックス3へのガスの導入は、この実施例では、サイドボックス3とグローブボックス2の圧力を同一にするため、グローブボックス2内の封入ガスをサイドボックス3に流すための導入経路8によって行われるが、ガス供給機構5から直接導入するようにしても良いものである。前記ガス供給機構5は、図示しないガスタンクと連通され、ポンプ等の駆動力によってグローブボックス2にガスを供給するもので、通過するガスの流量を測定する流量計16と、配管を開閉する開閉弁7とを具備する。また、前記サイドボックス2への導入経路8は開閉弁9によって開閉される。さらにまた、前記排気系10は、たとえば、排気配管を開閉する図示しない開閉弁、ガスが有害である場合に排気から有害成分を除去するフィルター等の浄化装置を具備するものであり、さらに前記設置室50からの排気を行うための排気口30を設けるようにしても良いものである。また、前記設置室50には、外気酸素を導入する吸気装置40が設けられる。さらに、前記コントロールユニット20は、前記流量計16からの信号が入力され、前記ガス供給機構5によって供給されるガスの流量を検出する流量検出部21と、この流量検出部21からの信号に基づいてガス供給機構5によって供給されるガスの総流入量ΔVを演算する流量演算部22と、前記グローブボックス2の内部圧力を検出する圧力センサ13からの信号、サイドボックス3の内部圧力を検出する圧力センサ15からの信号及び外気圧力センサ14からの外部圧力を検出する圧力センサ15からの信号が入力され、それぞれの信号をデータ化して演算制御部24に出力する圧力演算部23と、上記信号に基づいて制御信号を演算する総合演算部24と、この総合演算部24の演算結果に基づいて、前記開閉弁7、開閉弁8及び排気系10及び吸気装置40を制御する制御部25と、前記演算部24においてガス漏れが判定された場合に、ガス漏れがあることを表示する警報表示部26とによって構成されるものである。前記コントロールユニット20において実行されるデータ処理及び制御は、たとえば図2のフローチャート図で示されるものである。以下、ステップ100から開始されるフローチャート図に従ってデータ処理及び制御について説明する。最初に、ステップ110においてグローブボックス2内の内部圧力Piと外部圧力Poとの圧力差ΔPΔP=Pi-Poが所定値-αより小さいか否かが判定される。このステップ110の判定において圧力差ΔPが所定値-αより小さい場合Yには、グローブボックス2内に圧力が外部圧力に比べて低すぎることが判定されるため、ステップ140に進んで、開閉弁7を開放してガスを導入し内部圧力Piを上昇させるものである。また圧力差ΔPが所定値-α以上である場合Nにはステップ120に進む。このステップ120においては、グローブボックス2内の内部圧力Piと外部圧力Poとの圧力差ΔPが所定値αより大きいか否かが判定される。この圧力差ΔPが所定値αよりも大きい場合Yには、ステップ130に進んで排気系10を作動させてガスを排出し内部圧力Piを降下させるものである。また、圧力差ΔPが所定値α以下である場合には、ステップ110に回帰し、ステップ110及び120において圧力差ΔPの変化を監視し続けるものである。言い換えると、ステップ110及び120において、グローブボックス2の内部圧力Piと外部圧力Poとの圧力差ΔPが所定範囲α≦ΔP≦α以内であるか否かが判定され、圧力差ΔPが所定範囲よりも大きい場合には、ガスは排出し、小さい場合にはガスを導入するようにして、圧力差が所定の範囲内となるように制御されるものである。尚、前記所定値αは、1.3kPaとすることが望ましいが、場合によってはこれ以外の数値を適用することもできるものである。ステップ140においてガスの導入が行われると同時に、ステップ150でガス導入機構5を流れる流量が流量計16よりの信号に基づいて流量検出部21において検出され、さらにステップ160において検出された流量と流れた時間の積をとり、供給されたガスりょうの総流入量ΔVを演算する。この内部圧力の降下によるガス導入が、グローブボックス2からサイドボックス3へのガスの移動によるものの場合、圧力変動ΔPgは、VsPoVbVsPo:初期圧力となるものであることから、補充すべきガスの体積ΔVnは、サイドボックス3の容積Vsと等しい量となる。また、内部圧力降下によるガス導入が、グローブ4がグローブボックス2内にあった状態グローブ4aからグローブボックス2から飛び出した状態グローブ4になった場合、圧力変動は、ΔPgは、VhPo/Vb-Vhとなるものであることから、補充すべきガスの体積ΔVnは、グローブ4の容積の2倍2Vhと等しい量となる。このため、補充すべきガスの体積ΔVnは、Vs又は2Vhのいずれかであるため、ガス漏れを判定する閾値βは、Vsγ若しくは2Vhγとなる。それぞれの場合で、閾値を変更しても良いが、この実施例ではVsと2Vhの大きい方を選択し、Vs2Vhである場合には、閾値βとしてVsγを用い、Vs2Vhである場合には閾値βとして2Vhγを用いるものである。よって、ステップ170において、ステップ160で演算された総流入量ΔVが閾値β以上であるか否かが判定され、閾値β以下である場合Nには、ステップ110に回帰して圧力変化の監視を継続する。また、演算された総流入量δVが閾値以上である場合Yには、必要以上にガスが供給されていることから、ガス漏れであることを判定し、ステップ180において警報を表示してガス漏れを警告すると共に、ステップ190に進んでガス漏れの回避処理として、開閉弁7を閉鎖してガスの供給を停止するものである。また、回避処理として、上記開閉弁7の閉鎖と同時に、排気系10を作動させて設置室50に開口する排気口30から設置室50内の空気を排気するようにしても良いものである。この場合、補充すべきガスに有害成分が含まれる場合には、排気系10には有害成分を除去する浄化装置が設けられるため、設置室50の外に有害成分が漏洩することを防止できるものである。さらに、ガス漏れによって設置室50内の酸素濃度が不足することも考慮されるため、吸気装置40を作動させて酸素を積極的に取り込むようにしてもよいものである。上記処理の後、上記工程はステップ200において終了するものである。以上のことから、本願発明によれば、グローブボックス2に流入するガスの量を検出することによってガス漏れを判定することができることから、グローブボックス2が設置された設置室50の酸素濃度が低下する前にガスの漏れを検出できるため、作業員の安全を確保することができ、且つ補充すべきガス量の無駄な排出を抑制できるものである。本願発明の実施例2に係るグローブボックス装置1は、図3に示すように、図1における流量計16を省略し、前記開閉弁7を流れるガスの量を一定値εに規定するために、開閉弁7の弁開度θを調整するものである。この弁開度θは、機械的に調整しても、電気的に調整しても良いものである。また、コントロールユニット20では、制御部25によって開閉弁7が開弁した時間t1と閉弁した時間t2とを検出してガス供給機構5をガスが流れる時間tを検出する時間検出部27を設けるものである。これによって、供給されるガスの総流入量ΔVは、εtであることから、時間tに比例するため、時間tを判定することによってガスの総流入量ΔVを判定することが可能となるものである。このため、実施例2では、図4に示すように、ステップ140においてガスが導入されると、ステップ155で時間tをカウントし、ステップ165で時間tが所定値σより大きいか否かを判定し、所定値σより大きい場合には、上述したステップ180に進んで警報表示を行い、ステップ190に進んで上述した回避処理を行うものである。また、所定値σ以下の場合Nには、ステップ110に回帰し、圧力監視作業を継続するものである。以上の実施例2においても、実施例1と同様の効果を上げることができるものであり、さらに流量計を省略することができるというコスト面での効果を有するものである。尚、実施例2において、実施例1と同一のもの及び同様の効果を奏するものについては同一の符号を付してその説明を省略する。