光出射面を有する光源と、正の光学パワーを持ち、前記光源の前記光出射面の1点から射出される光束を平行光に変換するコリメータレンズとを備えた、干渉計に用いられる干渉計用コリメータ光学系であって、負の光学パワーを持ち、一方の面が平面で他方の面が凹面からなる平凹レンズをさらに備え、前記光源を物体としたときの前記平凹レンズの倍率の絶対値は、1よりも小さく、前記平凹レンズは、前記光源の前記光出射面に前記平面を密着させて、前記光源と前記コリメータレンズとの間に配置されていることを特徴とする干渉計用コリメータ光学系。以下の条件式1を満足することを特徴とする請求項1に記載の干渉計用コリメータ光学系;f/B>FL1ただし、f:コリメータレンズの焦点距離B:平凹レンズの倍率の絶対値FL:平凹レンズおよびコリメータレンズを含む全系の焦点距離である。以下の条件式2をさらに満足することを特徴とする請求項2に記載の干渉計用コリメータ光学系;f/B-f>tn-t2ただし、t:平凹レンズの芯厚n:平凹レンズの材料の設計波長での屈折率である。前記光源の前記光出射面は、発光面で発光された光束を取り込んで導光する導光部材の光束射出側の端面で構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の干渉計用コリメータ光学系。請求項1から4のいずれかに記載の干渉計用コリメータ光学系と、前記コリメータ光学系にて平行光に変換された光束を分離して固定鏡および移動鏡に導く一方、前記固定鏡および前記移動鏡にて反射された各光束を合成して干渉させるビームスプリッタとを備えていることを特徴とする干渉計。請求項5に記載の干渉計と、前記干渉計から出力される干渉光の検知信号に基づいて、波長ごとの光の強度を示すスペクトルを生成するスペクトル生成部とを備えていることを特徴とする分光器。ところで、近年では、分光器の小型化、高性能化が益々要求されており、用いられる光学系の小型化がさらに必要となったり、明るくて大きな光源、すなわち、光出射面を持ち、点光源とみなせない光源を用いることが必要となってきている。しかし、点光源とはみなせない光源を用いた干渉計では、どのようなコリメータレンズを用いても、軸上光束に対して軸外光束が傾く。なお、軸上光束とは、光源の光出射面におけるコリメータレンズの光軸と交わる点軸上の1点から射出されてコリメータレンズで平行光に変換された光束を指す。また、軸外光束とは、光源の光出射面における光軸外の1点から射出されてコリメータレンズで平行光に変換された光束を指す。このように軸外光束が軸上光束に対して傾くと、軸上光束と軸外光束とで光路長に差が生じるため、干渉計では干渉光のコントラストが低下し、分光器では分光性能が低下する。したがって、小型で高性能の干渉計および分光器を実現するためには、点光源とはみなせない光源を用いた構成で、軸上光束に対する軸外光束の傾きを小さく抑えることが必要となるが、このような技術は未だ提案されていない。なお、点光源とはみなせない光源を用いた場合でも、例えば焦点距離の長いコリメータレンズを用いることにより、上記光源を点光源とみなして、軸外光束の傾きを小さく抑えるようにすることも可能である。しかし、これではレンズ全長が長くなってしまい、小型の干渉計ひいては分光器を実現することができない。本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、点光源とはみなせない光源を用いた場合でも、光学系の全長の増加を抑えながら、軸外光束が軸上光束に対して傾くのを抑えることができ、これによって小型で高性能の干渉計や分光器を実現することができるコリメータ光学系と、それを備えた干渉計および分光器とを提供することにある。本発明の干渉計用コリメータ光学系は、光出射面を有する光源と、正の光学パワーを持ち、前記光源の前記光出射面の1点から射出される光束を平行光に変換するコリメータレンズとを備えた、干渉計に用いられる干渉計用コリメータ光学系であって、負の光学パワーを持ち、一方の面が平面で他方の面が凹面からなる平凹レンズをさらに備え、前記光源を物体としたときの前記平凹レンズの倍率の絶対値は、1よりも小さく、前記平凹レンズは、前記光源の前記光出射面に前記平面を密着させて、前記光源と前記コリメータレンズとの間に配置されていることを特徴としている。光出射面を持つ光源点光源とはみなせない光源とコリメータレンズとの間に、負の光学パワーを持つ平凹レンズを配置した構成では、この平凹レンズにより光源の虚像が作られ、見かけ上、光源の虚像の位置からコリメータレンズに光を射出しているのと等価な状態となる。このとき、光源に対する平凹レンズの倍率の絶対値が1よりも小さいので、コリメータレンズに対する見かけの光源の大きさ虚像の大きさを元の光源よりも小さくすることができ、コリメータレンズにて平行光に変換された軸外光束が軸上光束に対して傾くのを抑えることができる。しかも、光源の光出射面に平面を密着させて平凹レンズを配置しているため、コリメータレンズの焦点距離を長くすることなく、上記の効果を得ることができる。したがって、光出射面を持つ光源を用いた場合でも、光学系の全長の増加を抑えながら、軸外光束の傾きを抑えることができる。よって、本発明のコリメータ光学系を干渉計や分光器に適用した場合には、軸上光束と軸外光束とで光路長に差が生じるのを抑えて、干渉光のコントラストが低下するのを抑えることができ、分光性能の低下を抑えることができる。その結果、小型で高性能の干渉計ひいては分光器を実現することができる。本発明の干渉計用コリメータ光学系は、以下の条件式1を満足することが望ましい。すなわち、f/B>FL1ただし、f:コリメータレンズの焦点距離B:平凹レンズの倍率の絶対値FL:平凹レンズおよびコリメータレンズを含む全系の焦点距離である。光源の見かけの大きさ平凹レンズによって作られる虚像の大きさを小さくする効果は、負の光学パワーを持つ平凹レンズの倍率で決まり、実際の焦点距離全系の焦点距離にはよらない。つまり、光源の見かけの大きさを小さくする実際の効果は、コリメータレンズ単独での焦点距離を負レンズの倍率で割った値で評価することができる。以下、この値のことを、実効果を得るための焦点距離、すなわち、実効果の焦点距離と称する。一方、光源と平凹レンズ特に負の光学パワーを与える凹面との距離が増大するほど、決められた倍率を与える平凹レンズの焦点距離は長くなり、これによって実際の焦点距離が長くなるとともに、光学系の全長が長くなる。したがって、光学系の全長の増加を確実に抑えるためには、平凹レンズの凹面を光源に十分に近づけることが必要であり、このことは、実際の焦点距離を実効果の焦点距離よりも短くすることで実現できる。つまり、条件式1を満足することにより、平凹レンズの凹面を光源に十分に近づけた状態で、光源の見かけの大きさを小さくすることができ、芯厚の薄い平凹レンズを用いて、光学系の全長をあまり長くすることなく、軸外光束の傾きを小さく抑えることができる。本発明の干渉計用コリメータ光学系は、以下の条件式2をさらに満足することが望ましい。すなわち、f/B-f>tn-t2ただし、t:平凹レンズの芯厚n:平凹レンズの材料の設計波長での屈折率である。平凹レンズの配置による光学系の全長の増加を抑える効果は、平凹レンズを配置することによるレンズ全長光学長の伸びと、平凹レンズによる実際の光学長の伸びとによって評価することができる。レンズ全長の伸びは、実効果の焦点距離とコリメータレンズ単独の焦点距離との差に相当し、f/B-fで表される。一方、実際の光学長の伸びは、tn-tで表される。レンズ全長の伸びに対して、実際の光学長の伸びが大きいと、光源からコリメータレンズまでの距離が伸びることになり、光学系の全長の増加を抑える効果が小さくなる。条件式2を満足することにより、光学系の全長の増加を確実に抑えながら、軸外光束の傾きを抑えることができる。つまり、条件式2を満足することにより、平凹レンズの配置による光学系の全長の増加を抑える効果を高めることができる。本発明の干渉計用コリメータ光学系において、前記光源の前記光出射面は、発光面で発光された光束を取り込んで導光する導光部材の光束射出側の端面で構成されていることが望ましい。発光面で発光された光束を導光部材で導光する構成とすることで、導光部材よりも後段の光学系に対する、光源特に発光面で発生する熱の影響を低減することができるともに、光源特に発光面の配置の自由度を増大させることができる。本発明の干渉計は、上述した本発明の干渉計用コリメータ光学系と、前記コリメータ光学系にて平行光に変換された光束を分離して固定鏡および移動鏡に導く一方、前記固定鏡および前記移動鏡にて反射された各光束を合成して干渉させるビームスプリッタとを備えていることが望ましい。この構成では、コリメータ光学系にて、軸上光束と軸外光束とで光路長に差が生じるのを抑えることができるので、干渉光のコントラストが低下するのを抑えることができる。本発明の分光器は、上述した本発明の干渉計と、前記干渉計から出力される干渉光の検知信号に基づいて、波長ごとの光の強度を示すスペクトルを生成するスペクトル生成部とを備えていることが望ましい。本発明の干渉計によれば、軸上光束と軸外光束とで光路長に差が生じるのを抑えて、干渉光のコントラストが低下するのを抑えることができるので、その干渉計を分光器が備えていることにより、波長ごとの光の強度を示すスペクトルに基づく分光分析を精度よく行うことができる。本発明によれば、光出射面を持つ光源を用いた場合でも、光学系の全長の増加を抑えながら、コリメータレンズに対する見かけの光源の大きさを小さくして、軸外光束が傾くのを抑えることができる。これにより、小型で高性能の干渉計ひいては分光器を実現することができる。本発明の実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通りである。干渉計および分光器について図1は、本実施形態の分光器の概略の構成を模式的に示す説明図である。分光器1は、フーリエ変換分光分析装置FTIR;FourierTransformInfraredSpectroscopyであり、干渉計2と、演算部3と、出力部4とを有している。演算部3は、干渉計2から出力される信号干渉光の検知信号をA/D変換およびフーリエ変換することにより、各波長波数=1/波長の光の強度を示すスペクトルを生成するスペクトル生成部である。出力部4は、演算部3にて生成されたスペクトルを出力例えば表示する。干渉計2は、マイケルソン型の干渉計で構成されており、コリメータ光学系11と、BSビームスプリッタ12と、補償板13と、移動鏡14と、固定鏡15と、光検出器16と、駆動機構21図2参照とを備えている。なお、BS12と光検出器16との間の光路中に集光光学系が配置されていてもよい。また、移動鏡14と固定鏡15の位置関係は、逆であってもよい。コリメータ光学系11は、光源31から出射される光を平行光に変換してBS12に導く光学系であるが、その詳細については後述する。BS12は、コリメータ光学系12から出射される光束を2光束に分離して、それぞれを移動鏡14および固定鏡15に導く一方、移動鏡14および固定鏡15にて反射された各光束を合成して干渉させるビームスプリッタである。このBS12は、平板型のビームスプリッタで構成されている。補償板13は、BS12の厚み分の光路長、および光がBS12を透過する際の屈折による光路シフトを補正するための基板例えばガラス基板である。移動鏡14および固定鏡15は、BS12で分離された各光束を反射させる反射鏡であり、移動鏡14は駆動機構21によって並進駆動され、固定鏡15は固定されている。光検出器16は、BS12から出射される干渉光を受光して検出し、演算部3に出力する。駆動機構21は、BS12と移動鏡14との間の光路長が変化するように移動鏡14を平行移動させる機構である。図2は、駆動機構21の概略の構成を示す説明図である。駆動機構21は、2つの板ばね2223を剛体2425を介して平行に配置し、一方の板ばね22上に形成した圧電素子26の伸縮によって共振する平行板ばねで構成されている。移動鏡14は、例えば板ばね22上に形成されており、駆動機構21による共振によって並進駆動される。例えば、水平方向に伸びるような電圧を圧電素子26に印加することにより、板ばね2223は同図の実線のように変形し、その結果、移動鏡14は下方にBS12から遠ざかる方向に変位する。一方、水平方向に縮むような電圧を圧電素子26に印加することにより、板ばね2223は同図の破線のように変形し、その結果、移動鏡14は上方にBS12に近づく方向に変位する。このように、圧電素子26の伸縮によって共振する平行板ばねで駆動機構21を構成することにより、圧電素子26を駆動する際の駆動電圧が小さくても、小型の構成で移動鏡14を大きく変位させることができ、干渉計2の分解能を向上させる点で有利となる。なお、駆動機構21は、VCMボイスコイルモータや静電アクチュエータを用いて、移動鏡14を並進駆動する構成であってもよい。また、定常状態静止状態が移動ストロークの中点付近にある別の駆動方法レールによる平行移動などを用いてもよい。さらに、4本のばねを用いて移動鏡14を共振させる構成であってもよい。上記の構成において、コリメータ光学系11から出射される光束は、BS12での透過および反射によって2光束に分離される。分離された一方の光束は移動鏡14で反射され、他方の光束は固定鏡15で反射され、それぞれ元の光路を逆戻りしてBS12で重ね合わせられ、干渉光として試料図示せずに照射される。このとき、駆動機構21によって移動鏡14を連続的に移動させながら試料に光が照射されるが、BS12から各反射鏡移動鏡14、固定鏡15までの光路長の差が波長の整数倍のときは、重ね合わされた光の強度は最大となる。一方、移動鏡14の移動によって2つの光路長に差が生じている場合には、重ね合わされた光の強度に変化が生じる。試料を透過した光は、光検出器16に入射し、そこで時間的インターフェログラムとして検出される。干渉計2の光検出器16から出力される信号は、演算部3にてA/D変換およびフーリエ変換され、スペクトルとして出力部4で出力される。したがって、このスペクトルに基づき、試料の特性材料、構造、成分量などを知ることができる。コリメータ光学系について次に、上述したコリメータ光学系11について説明する。コリメータ光学系11は、光源31と、平凹レンズ32と、コリメータレンズ33とを有して構成されている。光源31は、一定の面積を有する光出射面31aから光を射出するものである。本実施形態では、光源31は、例えば近赤外光波長900~2600nmを出射する光源34と、光ファイバ35導光部材とを有して構成されており、光源34の発光面34aで発光された光束を光ファイバ35が取り込んで導光し、光ファイバ35の光束射出側の端面35aから射出する。したがって、光源31の光出射面31aは、光ファイバ35の光束射出側の端面35aで構成されていることになり、光源34発光面34aを1次光源とすると、光出射面31a端面35aは2次光源を構成することになる。このように、発光面34aで発光された光束を光ファイバ35で導光する構成とすることにより、光源34発光面34aをコリメータレンズ33以降の光学系から離して配置することができる。これにより、光源34発光面34aで発生する熱が光学系の各構成部品に与える影響を低減できるとともに、光源34発光面34aの配置の自由度を増大させることができる。コリメータレンズ33は、正の光学パワーを持つ正レンズであり、光源31の光出射面31aの1点から射出される光束を平行光に変換する。なお、光学パワーとは屈折力とも言い、焦点距離の逆数で表される。コリメータレンズ33は、例えば非球面単レンズで構成されているが、色収差を少なくした複数レンズからなるコリメータで構成されてもよいし、回転楕円鏡を用いたコリメータで構成されてもよい。平凹レンズ32は、負の光学パワーを持つ負レンズである。ここで、図3は、平凹レンズ32を拡大して示す断面図である。同図に示すように、平凹レンズ32は、一方の面が平面32aで他方の面が凹面32bからなり、光源31の光出射面31aに平面32aを密着させて、光源31とコリメータレンズ33との間に配置されている。光源31を物体としたときの平凹レンズ32の倍率の絶対値は、1よりも小さい。なお、負レンズの倍率は、通常、負の値で表現されるが、正の値で表現されることもある。例えば、負レンズの倍率を射出距離/入射距離で表す場合は、射出距離も入射距離も正の値であるため、倍率は正の値となる。本実施形態では、負レンズの倍率を正の値で表した場合、負の値で表した場合の両方に対応するため、上記のように負レンズの倍率の絶対値を考えることにする。本実施形態のように、光出射面31aを持つ、点光源とはみなせない光源31と、コリメータレンズ33との間に、負レンズである平凹レンズ32を配置すると、平凹レンズ32により光源31の虚像Qが作られ、見かけ上、光源31の虚像Qの位置からコリメータレンズ33に光を射出しているのと等価な状態となる。このとき、光源31に対する平凹レンズ32の倍率の絶対値が1よりも小さいので、コリメータレンズ33に対する見かけの光源31の大きさ虚像Qの大きさを、元の光源31よりも小さくすることができ、コリメータレンズ33にて平行光に変換された軸外光束が軸上光束に対して傾くのを抑えることができる。しかも、光源31の光出射面31aに平面32aを密着させて平凹レンズ32を配置しているため、コリメータレンズ33の焦点距離を長くすることなく、上記の効果を得ることができる。したがって、光出射面31aを持つ光源31を用いた場合でも、平凹レンズ32を配置することによるコリメータ光学系11の全長の増加を抑えながら、軸外光束の傾きを抑えることができる。ここで、図4aは、コリメータ光学系11において、平凹レンズ32を配置していない場合の軸外光束の光路を示しており、図4bは、コリメータ光学系11において、平凹レンズ32を配置した場合の軸外光束の光路を示している。これらの光路図より、平凹レンズ32を配置することによって、コリメータレンズ33の光軸外から出射された軸外光束の傾きが小さく抑えられていることがわかる。したがって、干渉計2においては、軸上光束と軸外光束とで光路長に差が生じるのを抑えることができ、これらの光束の干渉によって、本来の干渉光移動鏡での反射光と固定鏡での反射光との干渉光のコントラストが低下するのを抑えることができる。その結果、分光器1においては、分光性能の低下を抑えることができる。つまり、小型で高性能の干渉計2ひいては分光器1を実現することができる。なお、従来の特許文献1の構成では、光源とコリメータレンズ正レンズとの間に配置される負レンズは、光源側に凸面を向けたメニスカス形状で、光源から比較的遠くに配置されており特許文献1の表4参照、ほとんど正レンズと一体になっている。このため、レンズ系の全長がほぼ焦点距離と等しくなり、大きな光学系となってしまっている。また、例えば光源に近いところに負レンズを配置しても、光源側に凸面を向けている場合、光源の大きさを無視できないような系では、光源近くの凸面の影響で、軸外光ほど集光方向光軸に近づく方向に曲げられる。このため、負レンズの光源に対する倍率を1倍より小さくしても、見かけの光源の大きさ虚像の大きさは倍率比ほど小さくならず、軸外光の角度が緩くなる効果が少ない。また、負レンズが光源側に凸のメニスカス形状では、負レンズを光源と密着して配置することができないので、正レンズコリメータレンズを単独で配置するよりも、レンズ全長がかなり長くなる。この点、本実施形態の構成では、光源31とコリメータレンズ33との間に配置される負レンズは、光源31側が平面32aの平凹レンズ32であり、しかも、平面32aを光源31の光出射面31aに密着させて平凹レンズ32を配置しているため、特許文献1のようにレンズ全長が長くなることなく、軸外光の傾きを小さく抑えることができる。したがって、本実施形態の構成は、従来の構成に比べて、コリメータ光学系11、干渉計2および分光器1の小型化、高性能化に非常に有利なものとなる。条件式について次に、平凹レンズ32を配置することによって軸外光束の傾きを抑えるにあたって、コリメータ光学系11の全長の増加を抑えるための条件式について説明する。本実施形態のコリメータ光学系11は、以下の条件式1を満足することが望ましい。すなわち、f/B>FL1ただし、f:コリメータレンズの焦点距離mmB:平凹レンズの倍率の絶対値FL:平凹レンズおよびコリメータレンズを含む全系の焦点距離mmである。光源31の見かけの大きさ虚像Qの大きさを小さくする効果は、負レンズ平凹レンズ32の倍率で決まり、実際の焦点距離全系の焦点距離にはよらない。つまり、光源31の見かけの大きさを小さくする実際の効果は、コリメータレンズ33単独の焦点距離fを負レンズの倍率Bで割った値f/Bで評価することができる。以下では、f/Bの値のことを、実効果の焦点距離と称する。つまり、負レンズの倍率Bが小さいほど、実効果の焦点距離が長くなり、光源31の見かけの大きさを小さくする効果が高くなる。一方、光源31と平凹レンズ32特に負の光学パワーを与える凹面32bとの距離が増大するほど、決められた倍率を与える平凹レンズ32の焦点距離は長くなり、実際の焦点距離全系の焦点距離が長くなる。したがって、光源31の見かけの大きさを小さくする効果を得る際に、レンズ全長の増加を確実に抑えるためには、平凹レンズ32の凹面32bを光源31に十分に近づけた、芯厚の薄い平凹レンズ32を用いることが必要であり、このためには、実際の焦点距離を実効果の焦点距離よりも短くする必要がある。よって、条件式1を満足することにより、平凹レンズ32の凹面32bを光源31側に十分に近づけて、光学系の全長をあまり長くすることなく、光源31の見かけの大きさを小さくして、軸外光束の傾きを小さく抑えることができる。この点について、図面を用いてさらに説明する。図5aは、本実施形態のコリメータ光学系11を模式的に示す説明図であり、負レンズ特に平凹レンズ32の凹面32bが光源31に近い位置にある場合を示している。また、図5bは、参考例のコリメータ光学系11’を模式的に示す説明図であり、負レンズ32’が光源31から離れて配置されている場合を示している。なお、Oは、光源31の位置を示し、O’は、コリメータレンズ33の焦点位置を示し、Lはコリメータレンズ33の位置を示す。コリメータ光学系11の実際の焦点距離全系の焦点距離FLは、図中のOL’で表される。なお、実際の焦点距離とは、光源31から出射される光束拡散光が平行光になる場合に、光源31からの光線と平行となる光線とが交わる点位置L’と、光源31位置Oとの距離である。実効果の焦点距離f/Bを図中のPLとするとただしPとOとは一致しない、図5aのように、平凹レンズ32が薄く、負の光学パワーを持つ凹面32bが光源31に十分近い場合には、実際の焦点距離OL’のほうが実効果の焦点距離PLよりも短くなり、コンパクトな系を実現できる。一方、図5bのように、負レンズ32’が光源31から遠かったり、負レンズ32’が光源31側に凸のメニスカスレンズの場合には、実際の焦点距離OL’のほうが実効果の焦点距離PLよりも長くなり、系は小さくならない。このように、図5abの関係からも、実際の焦点距離OL’を実効果の焦点距離PLよりも短くすることにより、平凹レンズ32を配置する構成であっても、その芯厚を薄くして、光学系の全長の増加を確実に抑えることができると言える。また、本実施形態のコリメータ光学系11は、以下の条件式2をさらに満足することが望ましい。すなわち、f/B-f>tn-t2ただし、t:平凹レンズの芯厚mmn:平凹レンズの材料の設計波長での屈折率である。なお、設計波長とは、例えば、光源31が出射する近赤外光における最短波長波長900nmを考えることができる。また、記号は積を表す。平凹レンズ32の配置によるコリメータ光学系11の全長の増加を抑える効果は、平凹レンズ32の配置によるレンズ全長光学系全体の伸びと、平凹レンズ32による実際の光学長の伸びとによって評価することができる。レンズ全長の伸びは、実効果の焦点距離とコリメータレンズ33単独の焦点距離との差、すなわち、f/B-fに相当する。一方、実際の光学長の伸びは、tn-tで表され、平凹レンズ32の芯厚tが増大するほど、実際の光学長の伸びは大きくなる。レンズ全長の伸びに対して、実際の光学長の伸びが大きい、すなわち、平凹レンズ32の芯厚tが大きいと、光源31からコリメータレンズ33までの距離が伸びることになり、光学系の全長の増加を抑える効果が小さくなる。条件式2を満足するように、平凹レンズ32の芯厚を薄くすることにより、光学系の全長の増加を確実に抑えながら、軸外光束の傾きを抑えることができる。この点について、図面を用いてさらに説明する。図6aは、平凹レンズ32の芯厚が薄いコリメータ光学系11を模式的に示す説明図であり、図6bは、平凹レンズ32の芯厚が図6aよりも厚いコリメータ光学系11を模式的に示す説明図である。なお、ここでは、便宜上、平凹レンズ32を、平行平板41と、負の光学パワーを持つ負レンズ42とに分けて考える。なお、平行平板41の厚さt’は、平凹レンズ32の芯厚tに等しい。コリメータレンズ33の正の光学パワーのみによる焦点距離fは、LO’と表される。平凹レンズ32の負レンズ42によって虚像Qが作られる場合における、系全体の実効果の焦点距離f/BをPLとすると、レンズ全長の伸びは、f/B-f=PL-LO’=PO’である。一方、平行平板41を通る光線の長さを光学的に考えた光学長は、実際の平行平板41の厚さt’に使用波長設計波長に対する屈折率nを掛けてt’nと表される。したがって、平行平板41が存在することで、実際にはt’n-t’だけ光学長が伸びたように見える。この実際の光学長の伸びをOQとすると、OQは、平行平板41の厚さt’が大きいほど大きくなり、実際の系では、光源31からコリメータレンズ33までの距離が伸びる。このような芯厚の大きな負レンズを用いると、焦点距離の長いコリメータレンズ33を用いた場合と同じ結果となる。ここでは、平行平板41の厚さt’は、平凹レンズ32の芯厚tに等しい。したがって、平凹レンズ32の芯厚tが小さく、レンズ全長の伸びに対して実際の光学長の伸びが小さいと、平凹レンズ32を配置しても、実際のレンズ系の全長をあまり伸ばさずに、軸外光束の傾きを抑えることができると言える。つまり、条件式2を満足するように、平凹レンズ32の芯厚tを薄くすることにより、平凹レンズ32の配置による光学系の全長の増加を抑える効果が高くなる。実施例について次に、上述したコリメータ光学系11を含む干渉計2の実施例について説明する。実施例1および2は、図1の光学系に対応した数値実施例であり、そのコンストラクションデータは以下の通りである。なお、説明の理解をしやすくするために、固定鏡15側の光路と移動鏡14側の光路とで、コンストラクションデータを分けて記載する。図7aは、干渉計2における固定鏡15側の光路およびその光路上に位置する光学部材を示しており、図7bは、移動鏡14側の光路およびその光路上に位置する光学部材を示している。以下のコンストラクションデータにおいて、Sii=0、1、2、は物体側から数えてi番目の面を指す。具体的には、固定鏡15側の光路では、S0は光源31の光出射面31a平凹レンズ32の平面32a、S1は平凹レンズ32の凹面32b、S2およびS3はコリメータレンズ33の光入射面および光出射面、S4は仮想絞り面STO、S5はBS12の透過面、S6はBS12の反射透過面、S7はS6と同じ面、S8はS5と同じ面、S9は補償板13のBS12側の面、S10は補償板13のBS12とは反対側の面、S11は固定鏡15の反射面、S12はS10と同じ面、S13はS9と同じ面、S14はS8と同じ面、S15はS6と同じ面、S16はS9と同じ面、S17はS10と同じ面、S18は仮想干渉面、S19は光検出器16の受光面で、S18と同じ面をそれぞれ指す。なお、S9およびS10は、偏芯データを得るためのダミー面である。一方、移動鏡14側の光路では、S0は光源31の光出射面31a平凹レンズ32の平面32a、S1は平凹レンズ32の凹面32b、S2およびS3はコリメータレンズ33の光入射面および光出射面、S4は仮想絞り面STO、S5はBS12の透過面、S6はBS12の反射透過面、S7はS6と同じ面、S8はS5と同じ面、S9は補償板13のBS12側の面、S10は補償板13のBS12とは反対側の面、S11は移動鏡14の反射面、S12はS10と同じ面、S13はS9と同じ面、S14はS8と同じ面、S15はS6と同じ面、S16はS9と同じ面、S17はS10と同じ面、S18は仮想干渉面、S19は光検出器16の受光面で、S18と同じ面をそれぞれ指す。なお、S7およびS8は、偏芯データを得るためのダミー面である。また、RMDは面の特性を指し、反射面REFLまたは屈折面を指す。なお、RMDの欄においては、反射面のみを表記し、表記がない場合は屈折面を指す。また、屈折率の記載がないところは空気であることを指す。曲率半径および軸上面間隔の単位はmmである。ASPは、以下の光軸対称な式で表される非球面のデータを指す。光軸対称な式は、光源311から光検出器16に向かう光束の中心光線が進行する軸を光軸としたとき、その光軸方向をZ軸、メリディオナル断面内でZ軸に垂直な方向をY軸、サジタル断面内でZ軸に垂直な方向をX軸として、面頂点からの距離を以下のように表したものである。z=ch2/[1{1-1kc2h2}1/2]Ah4Bh6Ch8Dh10ここで、zは面のローカルなZ軸方向の面頂点からの位置、cは近軸の曲率で曲率半径の逆数1/mm、kは円錐定数、hはZ軸からの高さh2=x2y2、Aは4次の非球面係数、Bは6次の非球面係数、Cは8次の非球面係数、Dは10次の非球面係数である。なお、非球面データにおいて、E-n=×10-nを指す。また、XDEはX方向の平行偏芯、YDEはY方向の平行偏芯、ZDEはZ方向の平行偏芯の各量mmをそれぞれ指し、ADEはX軸周りの回転、BDEはY軸周りの回転、CDEはZ軸周りの回転の角度°をそれぞれ指す。GLBGiはSi面を基準とするグローバル偏芯表記がなければローカルな偏芯であることを指す。回転中心の座標は、入射光束の中央位置を原点としたときの位置である。なお、BS12は、X軸周りに回転するものとする。また、図7abにおいて、最初の光線は、左から右に向かって進行しZ軸方向、反射面があれば光線は右から左に向かって進むものとする計算の便宜上、角度が付いていても同じように考える。そして、軸上面間隔および屈折率は、光線が左から右に進むときにはプラスとし、右から左に進むときにはマイナスとする。光線が右から左に進むとき、再び反射面があれば光線は左から右に進み、軸上面間隔および屈折率はプラスとなる。波長900nmにおけるBK7_SCHOTTの屈折率は1.508997である。また、実施例1および2では、光源31からの光は、BS12に対して入射角30°で入射しているものとする。<実施例1>固定鏡側光路曲率半径軸上面間隔RMD屈折率S0INFINITY4000001508997光源S1160699623957平凹レンズ凹面S293213063324611508997コリメータレンズ光入射面ASP非球面データK000000A265511E03B206250E04C232303E05D0000000E00S34997692785702コリメータレンズ光出射面ASP非球面データK000000A443198E04B436195E05C195884E06D0170634E06S4INFINITY000000STOS5INFINITY0000001508997BS透過面XDE000000YDE000000ZDE1154701GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S6INFINITY000000反射面1508997BS反射透過面XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S7INFINITY1000001508997S6と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S8INFINITY110000S5と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG5ADE000000BDE000000CDE000000S9INFINITY100000ダミー補償板XDE000000YDE000000ZDE010000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S10INFINITY800000ダミー補償板XDE000000YDE000000ZDE100000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S11INFINITY800000反射面固定鏡XDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S12INFINITY100000AIRS10と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S13INFINITY010000S9と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S14INFINITY1000001508997S8と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG8ADE000000BDE000000CDE000000S15INFINITY010000AIRS6と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S16INFINITY1000001508997S9と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S17INFINITY800000S10と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S18INFINITY000000仮想干渉面XDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S19INFINITY000000仮想干渉面移動鏡側光路曲率半径軸上面間隔RMD屈折率S0INFINITY4000001508997光源S1160699623957平凹レンズ凹面S293213063324611508997コリメータレンズ光入射面ASP非球面データK000000A265511E03B206250E04C232303E05D0000000E00S34997692785702コリメータレンズ光出射面ASP非球面データK000000A443198E04B436195E05C195884E06D0170634E06S4INFINITY000000STOS5INFINITY0000001508997BS透過面XDE000000YDE000000ZDE115470GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S6INFINITY0000001508997BS反射透過面XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S7INFINITY100000ダミーS6と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S8INFINITY110000ダミーS5と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG5ADE000000BDE000000CDE000000S9INFINITY1000001508997補償板XDE000000YDE000000ZDE010000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S10INFINITY800000補償板XDE000000YDE000000ZDE100000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S11INFINITY800000反射面移動鏡XDE000000YDE000000ZDE1000000GLBG4ADE000000BDE000000CDE000000S12INFINITY1000001508997S10と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S13INFINITY010000S9と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S14INFINITY100000S8と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG8ADE000000BDE000000CDE000000S15INFINITY010000反射面S6と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S16INFINITY1000001508997S9と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S17INFINITY800000S10と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S18INFINITY000000仮想干渉面XDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S19INFINITY000000仮想干渉面スペックコリメータ光学系の焦点距離FL1427230mm物体側NA022000設計波長90000000nm光源の大きさφ05mm平凹レンズによる光源の倍率B05436正レンズ焦点距離f94267mm平凹レンズの厚みt4000mm平凹レンズ材料の屈折率n1508997f/B-f79145tn-t20359f/B1734123638<実施例2>固定鏡側光路曲率半径軸上面間隔RMD屈折率S0INFINITY4000001817934光源S12475809623957平凹レンズ凹面S293213063324611508997コリメータレンズ光入射面ASP非球面データK000000A265511E03B206250E04C232303E05D0000000E00S34997692785702コリメータレンズ光出射面ASP非球面データK000000A443198E04B436195E05C195884E06D0170634E06S4INFINITY000000STOS5INFINITY0000001508997BS透過面XDE000000YDE000000ZDE1154701GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S6INFINITY000000反射面1508997BS反射透過面XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S7INFINITY1000001508997S6と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S8INFINITY110000S5と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG5ADE000000BDE000000CDE000000S9INFINITY100000ダミー補償板XDE000000YDE000000ZDE010000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S10INFINITY800000ダミー補償板XDE000000YDE000000ZDE100000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S11INFINITY800000反射面固定鏡XDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S12INFINITY100000AIRS10と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S13INFINITY010000S9と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S14INFINITY1000001508997S8と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG8ADE000000BDE000000CDE000000S15INFINITY010000AIRS6と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S16INFINITY1000001508997S9と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S17INFINITY800000S10と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S18INFINITY000000仮想干渉面XDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S19INFINITY000000仮想干渉面移動鏡側光路曲率半径軸上面間隔RMD屈折率S0INFINITY4000001817934光源S12475809623957平凹レンズ凹面S293213063324611508997コリメータレンズ光入射面ASP非球面データK000000A265511E03B206250E04C232303E05D0000000E00S34997692785702コリメータレンズ光出射面ASP非球面データK000000A443198E04B436195E05C195884E06D0170634E06S4INFINITY000000STOS5INFINITY0000001508997BS透過面XDE000000YDE000000ZDE115470GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S6INFINITY0000001508997BS反射透過面XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S7INFINITY100000ダミーS6と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S8INFINITY110000ダミーS5と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG5ADE000000BDE000000CDE000000S9INFINITY1000001508997補償板XDE000000YDE000000ZDE010000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S10INFINITY800000補償板XDE000000YDE000000ZDE100000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S11INFINITY800000反射面移動鏡XDE000000YDE000000ZDE1000000GLBG4ADE000000BDE000000CDE000000S12INFINITY1000001508997S10と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S13INFINITY010000S9と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S14INFINITY100000S8と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG8ADE000000BDE000000CDE000000S15INFINITY010000反射面S6と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S16INFINITY1000001508997S9と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S17INFINITY800000S10と一致XDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S18INFINITY000000仮想干渉面XDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S19INFINITY000000仮想干渉面スペックコリメータ光学系の焦点距離FL145952mm物体側NA022000設計波長90000000nm光源の大きさφ05mm平凹レンズによる光源の倍率B05791正レンズ焦点距離f94267mm平凹レンズの厚みt4000mm平凹レンズ材料の屈折率n1817934f/B-f68515tn-t32717f/B1627818356ここで、従来技術として挙げた特許文献1特開2007-304103号公報の構成を比較例としたとき、実施例1、2および比較例のコリメータ光学系における各パラメータをまとめて表1に示す。上述したように、比較例では、光源とコリメータレンズとの間に配置される負レンズは、光源側に凸のメニスカス形状で、光源から離れて配置されているため、レンズ系の全長がほぼ焦点距離と等しくなり、大きな光学系となってしまっている。それゆえ、比較例1は、レンズ系の全長の増加を抑えるための条件式1を満足していない。これに対して、実施例1および2では、光源31とコリメータレンズ33との間に配置される負レンズが平凹レンズ32であり、その平面32aを光源31の光出射面31aに密着させているため、条件式12を同時に満足することが容易となり、平凹レンズ32の凹面32bを光源31側に十分に近づけて、コリメータ光学系11の全長の増加を抑えることが可能となる。したがって、実施例1および2は、比較例に比べて、小型でかつ高性能の干渉計2および分光器1を実現できていると言える。その他本実施形態特に実施例1および2では、光源31からの光がBS12に対して入射角30°で入射するように、BS12を傾けて配置しているが、例えば入射角が45°となるように、BS12を傾けて配置した場合であっても、上述した本実施形態の構成を適用することができ、これによって本実施形態と同様の効果を得ることができる。また、光源31とコリメータレンズ33との間に配置される負レンズ平凹レンズ32を、分散の大きな材料で構成することにより、色収差を低減することも可能である実施例2参照。本発明のコリメータ光学系は、本実施形態で説明したマイケルソン干渉計以外にも、ファブリペロー干渉計やコモンパス干渉計などに用いることができる。