並列接続された複数のランプからなるランプ群に対して1個設けられた光量センサからの出力に基づいて所定時間のセンサ積算値を求め、前記センサ積算値を過去に求めたセンサ積算値と比較することによりランプの不点を判断する不点検知方法において、前記過去に求めたセンサ積算値が、前記センサ積算値より2周期以上前に求めたセンサ積算値であり、かつ前記センサ積算値より前50時間内に求めたものであることを特徴とするランプの不点検知方法。前記過去に求めたセンサ積算値が、前記センサ積算値より2周期前に求めたセンサ積算値であることを特徴とする請求項1に記載のランプの不点検知方法。前記センサ積算値を求めた後、前記センサ積算値と基準値を比較した後に、前記センサ積算値と前記過去に求めたセンサ積算値とを比較することを特徴とする請求項1または2に記載のランプの不点検知方法。並列接続された複数のランプからなるランプ群に対して1個の光量センサと、前記光量センサからの出力に基づいて所定時間のセンサ積算値を求める積算部と、前記センサ積算値を記憶する記憶部と、ランプの不点を判断する判断部とを有し、前記判断部は、前記センサ積算値と前記記憶部に記憶された過去に求めたセンサ積算値とを比較することによりランプの不点を判断し、前記過去に求めたセンサ積算値が、前記センサ積算値より2周期以上前に求めたセンサ積算値であり、かつ前記センサ積算値より前50時間内に求めたものであることを特徴とするランプの不点検知装置。前記過去に求めたセンサ積算値が、前記センサ積算値より2周期前に求めたセンサ積算値であることを特徴とする請求項4に記載のランプの不点検知装置。前記判断部は、前記センサ積算値と基準値とを比較した後に、前記センサ積算値と前記過去に求めたセンサ積算値とを比較することを特徴とする請求項4または5に記載のランプの不点検知装置。しかしながら、特許文献1や2に記載されたような従来の装置ではランプ1本につき高価な検出器が1個必要となり、光照射装置が大型になってランプの本数が多くなるとコストがかかるという問題があった。一方、単純に検知器の数を減らすだけでは、不点を的確に検知することは難しかった。1個の検出器で複数のランプの光量を検出する場合には、ランプが消灯しても検出される光量は0にはならず、減少するだけである。そして、検出された光量が減少した場合に、その原因が経時劣化等やランプ出力設定が下げられたことではなく、ランプの不点であることを的確に判断する必要があるからである。本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、より少ない個数の検出器を用いてランプの不点を検知することができる不点検知方法および不点検知装置を提供することを目的とする。本発明のランプの不点検知方法は、並列接続された複数のランプからなるランプ群に対して1個設けられた光量センサからの出力に基づいて所定時間のセンサ積算値を求め、前記センサ積算値を過去に求めたセンサ積算値と比較することによりランプの不点を判断する不点検知方法であって、前記過去に求めたセンサ積算値が、前記センサ積算値より2周期以上前に求めたセンサ積算値であり、かつ前記センサ積算値より前50時間内に求めたものであることを特徴とする。ここで、ランプ群とは、1個の光量センサによってまとめて光量が感知される複数のランプのことをいう。並列接続された2個以上のランプが存在する場合において、その2個以上のランプ全体を1つのランプ群として1個の光量センサを設けてもよいし、並列接続された4個以上のランプが存在する場合において、その4個以上のランプ全体をそれぞれ複数のランプからなる複数のランプ群に分け、各ランプ群に対して各1個の光量センサを設けてもよい。いずれも場合も本発明に含まれる。また、センサ積算値とは、光量センサの出力を必要に応じてデジタル変換等したものを、複数回足し合わせたものをいう。複数のランプに対して1個の光量センサを用いて、実質的に問題のない精度で、1個のランプの不点を検知するためには、センサ積算値を過去のセンサ積算値と比較することが有効である。このとき、過去のセンサ積算値を上記の範囲に限定することで、不点発生によって照射光量が安定しない時間を含むセンサ積算値を除外することができる。つまり、センサ積算値を求める所定時間を通してランプが健全であった過去のセンサ積算値と、所定時間を通してランプが不点であった直近のセンサ積算値とを比較することができる。その結果、より精度良く不点を判断できるという効果が得られる。好ましくは、前記過去に求めたセンサ積算値が、前記センサ積算値より2周期前に求めたセンサ積算値であることを特徴とする。これにより、保持しておくべき過去のセンサ積算値の数を減らすことができ、全体の処理を単純にすることができる。好ましくは、前記センサ積算値を求めた後、前記センサ積算値と基準値を比較した後に、前記センサ積算値と前記過去に求めたセンサ積算値とを比較することを特徴とする。これにより、不点判断の精度をより高くすることができる。本発明のランプの不点検知装置は、並列接続された複数のランプからなるランプ群に対して1個の光量センサと、前記光量センサからの出力に基づいて所定時間のセンサ積算値を求める積算部と、前記センサ積算値を記憶する記憶部と、ランプの不点を判断する判断部とを有し、前記判断部は前記センサ積算値と前記記憶部に記憶された過去に求めたセンサ積算値とを比較することによりランプの不点を判断し、前記過去に求めたセンサ積算値が、前記センサ積算値より2周期以上前に求めたセンサ積算値であり、かつ前記センサ積算値より前50時間内に求めたものであることを特徴とする。センサ積算値を、このような条件を満たす過去のセンサ積算値と比較することによって、より精度良く不点を判断できるという効果が得られる。好ましくは、前記過去に求めたセンサ積算値が前記センサ積算値より2周期前に求めたセンサ積算値であることを特徴とする。これにより、保持しておくべき過去のセンサ積算値の数を減らすことができ、全体の処理を単純にすることができるので、より故障の少ない不点検知装置とすることができる。好ましくは、前記判断部は、前記センサ積算値と基準値とを比較した後に、前記センサ積算値と前記過去に求めたセンサ積算値とを比較することを特徴とする。これにより、不点判断の精度をより高くすることができる。本発明の不点検知方法によれば、複数のランプに対して1個の光量センサを用いるので、装置全体のコストを下げることができる。また、実質的に問題のない精度で、複数のランプのうちの1個のランプの不点を検知することができる。図1は、本発明の第1の実施形態にかかる不点検知方法を用いるための光照射装置の構成を示すブロック図である。図1において、光照射装置11は照射器具12と点灯装置13からなり、不点検知装置14を具備している。照射器具12は、1つのインバータ21とトランス27、および10本のランプ22を備えている。10本のランプ22はすべて並列に接続されており、それらの出力はインバータ21によってまとめて制御される。10本のランプ22は、それぞれ2本のランプからなる5つのランプ群を形成している。各ランプ群に対して各1個のフォトダイオード光量センサ、以下PDと略す。24が備えられている。個々のランプの照射面に向けてUV-可視光変換フィルタ26と光ファイバ23の一端が配置され、光ファイバ23の他端はPD24に向けて配置されている。PD24からの出力信号線には、信号変換器25が接続されている。ランプ22には、エキシマランプなど各種のランプを用いることができる。ランプ22が紫外線ランプ、特に遠紫外線ランプの場合には、それに対応する光量センサが高価なことが多いので、本発明の効果が特に大きい。PD24は、対象となるランプ22の照射光スペクトルに応じて適宜選択することができる。また、PD24は、必要に応じて、余分な波長の光をカットするための光学フィルターを備えたものであってもよい。点灯装置13は、ブレーカ31、スイッチ32を備えており、外部からの電源はこれらを通って、照明器具12に供給される。また、点灯装置13は、外部電源から直流電源33とプログラマブルコントローラPLC34を備えている。PLC34は、内蔵するプログラムを変更することによって、内部に種々の機能を有する装置を構成することができる。本実施形態においては、PLC34の内部に、インバータ21の出力を制御するための出力制御装置35、所定時間のセンサ積算値を求める積算部36、過去のセンサ積算値を記憶する記憶部37およびランプの不点を判断するための判断部38が構成具備されている。積算部36、記憶部37、判断部38の機能は後述する。不点検知装置14は、上記各部分装置のうち、光ファイバ23、PD24、信号変換器25、積算部36、記憶部37、判断部38によって構成されている。次に、本実施形態の不点検知方法の動作を説明する。ランプ22が点灯中は、紫外照射光がUV-可視光変換フィルタで変換され、光ファイバ23を通り、2本分が1つにまとめられて、PD24で光電変換される。PD24からの出力信号例えば、0~10μAの電流は、信号変換器25によって、より伝達に適した信号例えば4~20mAの電流に変換され、積算部36でセンサ積算値が求められる。図2に積算部36の動作を示す。ランプ群Xに対するPD24からの信号をτP秒間隔でサンプリングしてデジタル値に変換しΔIx、これをA回積算することにより、所定時間積算時間τAτA=τP×Aのセンサ積算値Ixを求めることができる。ランプ点灯中はこの処理が繰り返される。以下、n周期目に求めたセンサ積算値IxをIxnで表すことにする。積算時間τA、サンプリング間隔τP、積算回数Aの好ましい範囲は次のとおりである。紫外線ランプの不点を検知する場合、被照射物への照射処理が完了するまでに不点を判定することが求められる。この照射処理時間は処理内容によって異なるが、最短でも5秒程度である。したがって、照射処理の内容にかかわらず、照射処理が完了するまでに不点を判定するためには、積算時間τAは1.5秒以下であることが好ましい。一方、十分な制度を得るためには、積算回数Aは5回以上であることが好ましい。また、サンプリング間隔τPを小さく設定しすぎると、PLC34の能力やPLCに内蔵するプログラム容量などによって、実際のサンプリング間隔が一定しないという問題が発生する。そのため、τPは0.01秒以上であることが好ましく、0.02秒以上であることがさらに好ましい。例えばτAは1秒間、τPは0.1秒間隔、Aは10回とすることができる。図3に判断部38の動作を示す。上記のとおりに求められたセンサ積算値Ixnは、記憶部37に記憶されるとともに、判断部38において不点判断に用いられる。判断部38は、センサ積算値Ixnを取得し、これを基準値と比較して、基準値以上である場合には正常である不点ランプがないと判断する。センサ積算値Ixnが基準値より小さい場合には、判断部38は、センサ積算値Ixnをさらに記憶部37に記憶された過去のセンサ積算値Ixmm<nと比較して、Ixn≧Ixmであれば正常であると判断する。前記基準値は、センサ積算値Ixnがこれ以上の場合には、すべてのランプが点灯していると判断される値である。ランプ群がL本のランプからなる場合に、その内の1本が消灯すると、ランプ群の照射光量は1/Lだけ減少する。しかし、本実施形態においてPD24に検出される光強度の減少量は1/Lより小さくなる。図4に示すように、1本のランプ222が消灯しても、不点ランプに対応するUV-可視光変換フィルタ262と光ファイバ232には、隣接するランプ221、223からの漏れ光が入射するためである。漏れ光の量は、ランプと光ファイバの配置その他の装置の形状等に依存するが、装置が適切に設計されていれば、通常は数以下に抑えることができる。したがって、L本全部が点灯しているときのセンサ積算値から1/L×補正係数だけ減じた値を基準値とし、補正係数を50~90とするのが好ましい。本実施形態では、1本のランプが消灯したときの光量の減少量を1/2×80とし、ランプ群を構成するランプが2本とも点灯している場合のセンサ積算値の60を基準値とした。ランプ群を構成するすべてのランプが点灯しているときのセンサ積算値の値は、ランプの仕様、装置の形状等に基づいて予め定めておき、記憶部37に記憶しておいてもよい。あるいは、ランプの使用初期に実測されたセンサ積算値に基づいて定めて、記憶部37に記憶しておいてもよい。光照射装置11が単純なオン-オフ制御でなく、ランプ出力を連続的に変えられる場合には、出力設定によってランプの照射光量が変化する。本実施形態では、出力制御装置35によってインバータ21を制御し、ランプ出力を連続的に変化させることが可能であるため、ランプ出力が意図的に低下させられた場合にも不点と誤検知しないことが求められる。これに対しては、判断部38において、ランプ出力に関する出力制御装置35からの情報を受け取り、この情報に基づいて基準値を修正することが好ましい。ランプの出力と照射光量の関係は、ランプの仕様によって予め知ることができるので、出力と照射光量の関係式、換算表等を記憶部37に記憶しておき、判断部38からこれを読み出して利用することができる。次にセンサ積算値Ixnと過去のセンサ積算値Ixmm<nとの比較について説明する。センサ積算値Ixnが基準値より小さい場合でも、不点や意図した出力変更以外の原因、例えばランプや測定系の累積的な汚れ等によることがあり得る。そのため、センサ積算値Ixnを過去のセンサ積算値Ixmと比較し、これ以上であれば不点ではないと判断する。なお、IxnがIxm以上であるとは、両者がセンサ積算値の測定誤差の範囲内で同じであるときも含む。また、光照射装置運転開始直後などで、比較すべきIxmがないときは、IxnとIxmの比較は行わない。センサ積算値Ixnと比較する過去のセンサ積算値Ixmは、Ixnより少なくとも2周期前以前に求めたセンサ積算値であることが好ましい。これは、不点が発生した場合に、不点発生時を含む積算区間のセンサ積算値は不点発生前のPDからの出力と不点発生後のPDからの出力と基づいて算出されるため、このセンサ積算値を用いて比較を行うと誤差が大きいからである。Ixnを2周期前以前に求めたセンサ積算値Ixmm≦n-2と比較することによって、誤差要因を排して的確な判断を行うことができる。また、エキシマランプなどが不点となった場合には、サンプリング間隔τP例えば0.01秒と比べても十分に短い時間内にその光量が0になるので、Ixnを2周期前に求めたセンサ積算値Ixmm=n-2と比較すれば、誤差要因を排して的確な判断を行うことができる。Ixnと比較する過去のセンサ積算値Ixmを2周期前に求めた値とすることで、後述するランプ光量の経時変化の影響を小さくできる点で好ましい。また、記憶部37に保持する過去のセンサ積算値の数を減らすことができるので、記憶部37、判断部38等の動作が単純になるという点でも好ましい。一方、IxnとIxmとを求めた時間の間が開きすぎていると、不点以外の要因によるセンサ積算値の変化が誤差要因となる。ランプの光量は、経時劣化により、50時間で0.5程度低下することがある。また、ランプの光量は、ランプ自身の温度変化により、20秒間で0.5程度変動することがある。以上より、IxnとIxmとを求めた時間の間は、50時間より短いことが好ましく、20秒より短いことがさらに好ましい。以上を要するに、センサ積算値Ixnと比較する過去のセンサ積算値Ixmは、Ixnより2周期以上前に求めたセンサ積算値であり、かつIxnより前50時間内に求めたものであることが好ましく、Ixnより前20秒内に求めたものであることがより好ましい。さらに、IxmはIxnより2周期前に求めたセンサ積算値であることが、特に好ましい。以上に述べた不点の判断例を、図5および図6を用いて説明する。図5は、積算区間n-1中にランプが不点となった場合のセンサ積算値の変化を模式的に示したものである。図5では、センサ積算値Ixnが基準値より小さく、かつ、過去のIxn-2より小さいので、不点と判断される。このとき、区間n-1内ではΔIxの変化が激しく、センサ積算値Ixn-1は大きな誤差を含むが、IxnをIxn-2と比較することによって、より正確な判断が可能となる。図6は、区間n-1中にランプの出力が人為的に下げられた場合のセンサ積算値および基準値の変化を模式的に示したものである。図6では、区間n-1においてランプ出力に応じて基準値が下げられたため、Ixnは基準値以上となり、正常と判断される。次に、本発明の第2の実施形態を説明する。本実施形態の光照射装置、光照射器具および不点検知装置の構成は、第1の実施形態と同じく、図1で表される。本実施形態の不点検知方法では、判断部38において、ランプ群Xのセンサ積算値Ixnを、さらに他のランプ群Yのセンサ積算値Iynとも比較する。図7に、本実施形態の判断部38の動作を示す。判断部38では、第1の実施形態と同じくセンサ積算値Ixnと基準値との比較、Ixnと過去のセンサ積算値Ixmm<nとの比較を行った結果正常と判断されない場合には、さらに他のランプ群Yのセンサ積算値Iynとの比較を行い、IxnがIyn以上である場合には、正常と判断し、IxnがIynより小さい場合には不点と判断する。前述のとおり、センサ積算値Ixnは、ランプの経時劣化や温度変化、あるいは意図した電力調節によって減少する場合がある。かかる場合において、基準値をランプ出力に応じて修正しないことや基準値の設定が悪いことによって、Ixnと基準値との比較の結果異常と判断されても、この方法によれば、IxnとIynとの比較によって不点の誤検知を防ぐことができる。なお、本発明は上記の実施形態に限られるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の実施形態が可能である。例えば、上記実施形態では、並列接続された10本のランプを2本ずつ5つのランプ群に分けたが、すべてのランプを1つのランプ群としてもよいし、ランプ群を構成するランプの数は2本に限られないし、それぞれのランプ群を構成するランプの数は異なっていてもよい。また、ランプは累積使用時間が長くなると、劣化によって照射光量が低下することがある。かかる照射光量の低下が問題となる場合には、実測値に基づいて基準値を適宜下方修正することができる。