"シリコン1.5~3重量、マンガン0.2~0.5重量、クロム21~23重量、モリブデン0.5~1.5重量、アルミニウム1.5~3重量、ニオブ0.2~0.8重量を含有し、且つ残量が鉄及び不可避的な不純物からなり、フェライト単相であるステンレス鋼。半導体ウエーハを加工する装置において、切削水又は研削水が付着する環境下で用いられる部材の材料として用いられる請求項1に記載のステンレス鋼。ところで、半導体ウエーハに対して切削又は研磨等の加工を施す切削装置又は研磨装置等以下、必要に応じて加工装置というは、切削水又は研削水以下、必要に応じて切削水等というを用いて半導体材料を切削したり研磨したりする。このため、半導体ウエーハを支持するチャックテーブル及びブレードを保持して回転させるスピンドル等も、切削水等が付着する環境で使用される。半導体ウエーハの加工精度を確保するため、チャックテーブル及びスピンドルは、振動を吸収する能力以下、制振能力というが高い制振材料で製造される。現在知られている制振材料としては、例えば、マンガン系制振合金M2052、鉄-アルミニウム系合金ALFE又はインテリアル等があるが、これらはいずれも耐食性が低い。このため、これらの制振材料は、切削水等が付着する環境下においては、錆及び溶出が発生するおそれがあるため使用することができない場合が多い。加工装置のチャックテーブル及びスピンドル等は、SUS430又はSUS431が用いられることが多いが、これらも切削水等が付着する環境下において使用すると、発錆が生じることがある。また、加工装置のチャックテーブル及びスピンドル等には、さらに高い制振能力が求められる。本発明は、制振能力及び耐食性を向上させたステンレス鋼を提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、シリコン1.5~3重量、マンガン0.2~0.5重量、クロム21~23重量、モリブデン0.5~1.5重量、アルミニウム1.5~3重量、ニオブ0.2~0.8重量を含有し、且つ鉄残量及び不可避的な不純物からなり、フェライト単相であるステンレス鋼である。本発明は、半導体ウエーハを加工する装置の切削水又は研削水が付着する環境下において用いられる部材の材料として用いられることが好ましい。本発明は、制振能力及び耐食性を向上させたステンレス鋼を提供することができる。このため、従来加工装置に適用されているステンレス鋼に代えて本発明に係るステンレス鋼を適用すれば、加工装置のチャックテーブル及びスピンドル等の制振能力を向上させて加工精度を向上させることができるとともに、錆の発生も抑えることができる。以下、発明を実施するための形態実施の形態について説明する。本発明は、下記に記載する実施の形態の内容に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。ステンレス鋼とは、耐食性を向上させる目的で、クロム又はクロム及びニッケルを含有させた合金鋼である。一般にはクロム含有量が約11以上の鋼をステンレス鋼といい、主としてその組織によって、マルテンサイト系、フェライト系、オーステナイト系、オーステナイトフェライト系及び析出硬化系の五つに分類されるJISG0203。本実施の形態に係るステンレス鋼は、シリコンSiを1.5~3重量、マンガンMnを0.2~0.5重量、クロムCrを21~23重量、モリブデンMoを0.5~1.5重量、アルミニウムAlを1.5~3重量、ニオブNbを0.2~0.8重量を含有し、且つ残量が鉄及び不可避的な不純物からなり、組織はフェライト単相である。このように、本実施の形態に係るステンレス鋼は、一般的なステンレス鋼、例えば、SUS304等と比較すると、Si及びAlの含有割合を大きくしてある。Alは、振動減衰能力を向上させることによりステンレス鋼の制振能力を向上させる。ステンレス鋼がAlを含有すると耐食性が低下するので、Siを含有することによりAlに起因する耐食性の低下を抑制している。Cr、Mo、Nbは耐食性を向上させる。特に、Mo及びNbは、隙間腐食、粒界腐食の耐性を向上させる。このような組成とすることにより、本実施の形態に係るステンレス鋼は、Alによって高い制振能力を有し、Si、Cr、Mo、Nbにより耐食性、特に、発錆に対する高い耐性高耐発錆性を有する。このため、本実施の形態に係るステンレス鋼を加工装置のスピンドル及びチャックテーブルに用いると、切削水等の付着による錆はほとんど発生しない。また、制振能力が高いため、切削時又は研磨時において発生した振動は、スピンドル及びテーブルチャックで効率よく吸収されるので、ブレード等の工具及びウエーハの振動が効率よく抑制される。その結果、ウエーハの加工精度を確保することができる。本実施の形態に係るステンレス鋼の組成について説明する。シリコンの含有量が少なくなるとステンレス鋼の耐食性が低下し、多くなると脆化、すなわち脆くなりやすい。このため、シリコンの含有量は1.5重量以上3重量以下であることが好ましい。この範囲であれば、耐食性を確保できるとともに、適度な延性を確保することができる。アルミニウムの含有量が少なくなるとステンレス鋼の硬度が低下し、多くなると延性が低下する。このため、アルミニウムの含有量は1.5重量以上3重量以下が好ましい。この範囲であれば、適度な硬度及び延性を確保することができる。その結果、ステンレス鋼の製造時においては、圧延がしやすくなるので生産性が向上するとともに、品質も向上する。また、加工装置の部材としての性能も確保できる。Crの含有量は、21重量以上23重量以下が好ましい。Crの含有量をこの範囲とすることにより、ステンレス鋼の組織はフェライトになる。そして、Niをほとんど添加しなくても、ステンレス鋼の耐食性を確保することができる。Nbの含有量は、0.2重量以上0.8重量以下が好ましい。Moの含有量は、0.5重量~1.5重量が好ましい。このように、Nb及びMoを添加することにより、Crと炭素とが結合した炭化物が結晶粒界に析出する粒界腐食を抑制して、ステンレス鋼の耐食性を向上させることができる。また、Moの含有量を上述した範囲とすることにより、本実施の形態に係るステンレス鋼において、不動態皮膜の局部補修能力を向上させる作用を有効に発揮させることができる。Mnの含有量は、0.2重量以上0.5重量以下とすることが好ましい。本実施の形態に係るステンレス鋼は、上記の組成に加えて、チタンTiとニッケルNiとの少なくとも一方を0.5重量以下含有していてもよい。これらの元素は、ステンレス鋼の耐食性を向上させる。Niは、硫酸又は塩酸等の非酸化性の酸に対する耐食性を高める作用がある一方、オーステナイト相を固定化する作用がある。本実施の形態に係るステンレス鋼は、組織がフェライト単相であることから、この組織とするためにNiの含有量は上記の範囲内とすることが好ましい。Tiは、CrとCとが結合した炭化物がステンレス鋼の結晶粒界に析出する粒界腐食を抑制して耐食性を向上させる作用がある。本実施の形態に係るステンレス鋼は、振動が与えられてから所定の振幅まで減衰するまでの時間が、SUS303及びSUS430の1/5~1/4程度である。この結果から、本実施の形態に係るステンレス鋼の制振能力は、SUS303及びSUS430の4倍~5倍であるといえる。また、本実施の形態に係るステンレス鋼は、SUS303及びSUS430比較して、極めて高い耐食性を有している。製造方法本実施の形態に係るステンレス鋼は、一般的なステンレス鋼と同様の製造方法によって製造することができ、例えば、次のような工程を有する製造方法により製造できる。なお、下記の製造方法には限定されない。工程1:本実施形態に係るステンレス鋼の成分に調整された鋼材を、真空高周波溶解炉で溶解させる。工程2:溶融した鋼材を鋳造し、鋼塊を得る。工程3:得られた鋼塊のスケール及び鋳砂をサンドブラスト等により除去する。工程4:スケール等が除去された鋼塊を熱間鍛造することにより粗成形する。工程5:粗成形された鋼塊を圧延して、圧延材を得る。工程6:圧延材を焼き鈍しする。上述した工程1~6により、本実施の形態に係るステンレス鋼が得られる。このように、本実施の形態に係るステンレス鋼は、一般的なステンレス鋼と同様の製造方法で製造できるので、特別な設備、特別な工程及び特別な処理は不要である。その結果、既存の製造設備を利用して製造できるので新たな設備投資が不要になり、製造コストの増加を抑制できるという利点がある。以上、本実施の形態に係るステンレス鋼は、高い制振性能と高い耐食性とを両立することができる。このため、本実施の形態に係るステンレス鋼は、半導体ウエーハに対して切削又は研磨等の加工を施す切削装置又は研磨装置等のチャックテーブル、スピンドル及びホイールカバー等といった、切削水又は研削水が付着する環境で使用する部材の材料として好適である。また、本実施の形態に係るステンレス鋼はフェライト系であるため、Niの使用量を低減でき、コストの上昇を抑制できる。上述した実施の形態に係るステンレス鋼を、上述した工程1~6によって製造し、性能を評価した。工程1の真空高周波溶解炉による鋼材の溶融温度は1800°C、工程4の熱間鍛造の温度は1200°Cとした。製造したステンレス鋼の組成は、Siが2.0重量、Mnが0.3重量、Niが0.3重量、Crが22重量、Moが1.0重量、Alが2.0重量、Tiが0.3重量、Nbが0.5重量、残量がFeである。このステンレス鋼を実施例とした。比較例1としてSUS303を、比較例2としてSUS430を評価した。機械的性質の評価実施例、比較例1及び比較例2の機械的性質を評価した。評価項目及び評価結果を表1に示す。耐力0.2耐力、引張強さ、伸び及び絞りは、実施例、比較例1及び比較例2に対する引張試験の結果から求めた。硬さは、実施例、比較例1及び比較例2に対するロックウェル硬さ試験により求めた。比重は、20°Cの環境下で、実施例、比較例1及び比較例2の単位体積あたりの質量を求めた。熱伝導率は、レーザーフラッシュ法により求めた。熱膨張率は、実施例、比較例1及び比較例2の試料を0°Cから100°Cまで一定速度で昇温させたときにおける熱膨張率である。0°Cのときの試料長をL0、100°Cのときの試料長をL100とすると、熱膨張率は、L100-L0/100×L0となる。孔食電位は、JISG0577に規定されるステンレス鋼の孔食電位測定方法により測定した動電位法孔食電位V’C,PITである。表1の結果から理解できるように、実施例は、比較例1、比較例2よりも大きい耐力、引張強さ及び硬さロックウェル硬さを有している。加工装置のチャックテーブル、スピンドル及びホイールカバー等には、例えば、SUS430比較例2が用いられることが多いが、上記の評価結果から理解できるように、実施例は、比較例2よりも機械的強度が高いので、チャックテーブル等の材料として好適に使用することができる。制振性能の評価図1は、制振性能の評価方法の説明図である。制振性能は、供試体を加振することにより供試体に発生する振動が減衰する特性振動減衰特性で評価した。振動減衰特性が高い、すなわち振動が早く減衰するほど制振性能は高い。実施例、比較例1及び比較例2のステンレス鋼を素材として、直径Dが20mm、長さLが500mmの丸棒の供試体2を用意した。図1に示すように、供試体2の一端部に加速度センサ3を装着する。加速度センサ3が検出した信号は、計測装置4に入力される。供試体2を加振する場合、供試体2の長手方向における所定の位置に、供試体2からの高さHが100mmの位置から50gの鉄球5を落下させて供試体2に衝突させる。鉄球5が衝突する供試体2の所定の位置は、例えば、加速度センサ3が装着された供試体2の一端部から4×L/5本例では400mmの位置とする。このようにして、供試体2を加振する。加速度センサ3は供試体2の加速度を検出する。計測装置4は、加速度センサ3が検出した加速度を取得して供試体2の振動の時間変化を求める。図2は、振動減衰特性の評価結果を示す図である。図2のC1は比較例1の振動減衰特性、C2は比較例2の振動減衰特性、Eは実施例の振動減衰特性である。図2の縦軸は振動の振幅加速度の大きさ、横軸は時間秒である。図2に示すように、比較例1SUS303及び比較例2SUS430と同等の振幅振動値Aになるのに、SUS303は0.2秒、SUS430は0.27秒要する。これに対して、実施例は、0.05秒である。このように、実施例は、比較例1、比較例2に対して4倍~5倍の振動減衰能を有しており、高い制振性能を有するといえる。耐食性の評価耐食性を評価するため、実施例、比較例1及び比較例2の発錆実験を行った。発錆実験は、直径20mm、長さが20mmの丸棒の供試体を実施例、比較例1及び比較例2それぞれについて用意し、これらに塩水を噴霧して錆が発生する時間を調査した。発錆実験は、JISZ2371平成12年2月20日改正、2005確認に規定する塩水噴霧試験方法に従った。図3から図5は、発錆実験の結果を示す図である。図3は比較例1の評価結果、図4は比較例2の評価結果、図5は実施例の評価結果である。上述した表1に、供試体に錆が発生した時間塩水噴霧発錆時間を示す。比較例1は塩水の噴霧を開始してから50時間で、比較例2は20時間で錆の発生が認められた。そして、図3、図4に示すように、比較例1及び比較例2は240時間で相当量の錆が発生している。なお、錆は、図3、図4に現れている黒い斑点状の部分である。これに対し、実施例の評価結果を示す図5には、図3、図4に見られるような黒い斑点状の部分は現れていない。このことから、実施例は、1000時間の時点で錆の発生は認められないことが理解できる。このように、実施例は、比較例1SUS304及び比較例2SUS430に対して、高い耐食性を有していることが理解できる。添加元素の影響Si及びAlについて含有量を1.0重量から3.5重量の間で変化させて、これらの元素の含有量がステンレス鋼の特性に与える影響を調査した。Siは、含有量が1.0重量を下回るとステンレス鋼の耐食性が低下する。より具体的には、上述した発錆実験において、1000時間で錆の発生が認められた。また、Siは、含有量が3.5重量を上回るとステンレス鋼の延性が低下し、脆性を呈するようになる。このため、加工装置の部材の材料、特に切削水等が付着する環境で使用される部材の材料としての性能を確保できないおそれがある。なお、延性又は脆性は、引っ張り破断試験によって評価した。Alは、含有量が1.0重量を下回るとステンレス鋼の硬度が低下して、加工装置の部材、特にチャックテーブル及びスピンドル等の材料としての性能を確保できないおそれがある。また、Alは、含有量が3.5重量を上回るとステンレス鋼の延性が低下する。より具体的には、伸び及び絞りの値が小さくなる。その結果、ステンレス鋼の製造時においては圧延が困難になるおそれがある。上記結果から、Si及びAlの含有量は、それぞれ1.5重量以上3.0重量以下が好ましい。このような範囲であれば、切削水等が付着する環境で使用される加工装置の部材の材料としての性能を確保できるとともに、ステンレス鋼の生産性も向上する。"