羽根車と、前記羽根車の外周に形成されるディフューザと、前記ディフューザを流れた流体を次段の前記羽根車に導くリターン流路と、を有してなる段を少なくとも1つ備え、前記羽根車の回転で前記流体を圧縮する遠心圧縮機であって、前記ディフューザの流路面積が、当該ディフューザの入口部から当該ディフューザの出口部まで略一定に形成されていることを特徴とする遠心圧縮機。外装を形成するシュラウドに形成される第1壁面と、前記羽根車が取り付けられる回転軸を支持するハブに形成される第2壁面と、が互いに対向した間の空間として前記ディフューザが形成され、前記流路面積が略一定になるように、前記入口部から前記出口部に向かって、前記第1壁面と前記第2壁面の間隔が狭まっていることを特徴とする請求項1に記載の遠心圧縮機。平面で形成される前記第1壁面と、平面で形成される前記第2壁面と、の少なくとも一方が、前記入口部から前記出口部に向かって、前記回転軸の軸方向と直交する平面に対して傾斜していることを特徴とする請求項2に記載の遠心圧縮機。前記リターン流路に、上流側に配置された固定翼からなる固定ガイドベーンと、下流側に配置され、前記次段の羽根車に流れ込む前記流体の流れ角を変更可能な可動翼からなる可動ガイドベーンと、を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の遠心圧縮機。しかしながら、特許文献1~3に開示される遠心圧縮機ターボ型圧縮機、ターボ圧縮機は、定格運転されるときに最も効率よく最高出力が得られるように構成され、部分負荷運転されるときの効率については考慮されていない。したがって、従来開示されている遠心圧縮機は、部分負荷運転されるときに効率が低下する場合がある。そこで、本発明は、効率よく部分負荷運転できる遠心圧縮機を提供することを課題とする。前記課題を解決するため、本発明は、羽根車と、前記羽根車の外周に形成されるディフューザと、前記ディフューザを流れた流体を次段の前記羽根車に導くリターン流路と、を有してなる段を少なくとも1つ備え、前記羽根車の回転で前記流体を圧縮する遠心圧縮機であって、前記ディフューザの流路面積が、当該ディフューザの入口部から当該ディフューザの出口部まで略一定に形成されていることを特徴とする。本発明によると、効率よく部分負荷運転できる遠心圧縮機を提供できる。以下、本発明の実施形態について、適宜図を参照して詳細に説明する。本実施形態に係る遠心圧縮機1は、例えば、図1に示すように構成される冷凍装置100に備わっている。冷凍装置100は、被冷却物例えば水の熱を冷媒となる流体例えば蒸気で吸収して被冷却物を冷却する装置であり、モータ6によって駆動される遠心圧縮機1で圧縮された気体状の冷媒が凝縮器2で冷却されて凝縮し、過冷却液の状態になる。そして、蒸発器5で蒸発気化するときに被冷却物から気化熱を吸収して被冷却物を冷却する。冷凍装置100において遠心圧縮機1に導入される直前の冷媒は、図1、図2に示すように、状態ST1圧力:P1、エンタルピ:H1の気体であり、遠心圧縮機1で断熱圧縮されて状態ST2、ST3を経由して状態ST4圧力:P2、エンタルピ:H2になる。冷媒は遠心圧縮機1によって断熱圧縮されるため、状態ST4の冷媒は、圧力、エンタルピともに状態ST2より高くなる。すなわち、P2>P1、H2>H1である。なお、本実施形態における遠心圧縮機1は2段式とし、状態ST2は1段目から吐出された冷媒の状態圧力:Peco、エンタルピ:H1’とする。また、状態ST3は2段目に導入される冷媒の状態圧力:Peco、エンタルピ:H1’’であり、エンタルピが微小に低下H1’→H1’’している。これは、後記するようにエンタルピの低いフラッシュ蒸気がエコノマイザ4から導入されるためである。また、状態ST2、ST3の圧力Pecoは、エコノマイザ4で発生するフラッシュ蒸気の圧力となる。遠心圧縮機1で圧縮されて状態ST4となった冷媒は凝縮器2に導入され、圧力P2を維持したままエンタルピがH3まで低下して過冷却液に凝縮されて状態ST5圧力:P2、エンタルピ:H3H3<H1になる。そして、凝縮器2で凝縮された冷媒は、状態ST5のまま受液器3を通過し、エコノマイザ4に導入される。状態ST5の冷媒はエコノマイザ4でエンタルピが一定H3のままPecoまで減圧され状態ST6、フラッシュ蒸気と高圧液に分離される。高圧液は、エンタルピがH4まで低下した状態ST8圧力:Peco、エンタルピ:H4となり、さらに絞り膨張されて、エンタルピが一定のまま圧力P1まで減圧し、状態ST9圧力:P1、エンタルピ:H4になる。そしてエコノマイザ4から吐出された冷媒は蒸発器5に導入され、被冷却物の熱を気化熱として吸収して蒸発気化する。このときに、エンタルピがH1まで上昇して状態ST1圧力:P1、エンタルピ:H1になって遠心圧縮機1に導入される。なお、エコノマイザ4で発生したフラッシュ蒸気は、圧力がPecoのままエンタルピが上昇して状態ST7の状態になり、遠心圧縮機1の1段目と2段目の間に戻される。本実施形態に係る冷媒は、図2に示すように状態遷移しながら、図1に示す冷凍装置100を循環し、遠心圧縮機1で圧縮されて蒸発器5で気化して被冷却物を冷却する。そして、本実施形態に係る冷凍装置100に備わって冷媒を断熱圧縮する遠心圧縮機1は、例えば図3に示すように、2段式のターボ型遠心圧縮機であり、1段目の羽根車8の吸込口8aの上流にはインレットガイドベーン15が備わっている。インレットガイドベーン15は、遠心圧縮機1に冷媒を導入する導管に備わる可動弁であり、導管の開度を調節して冷凍装置100を流通する冷媒の流量を設定する機能を有する。そのため図示しない制御装置によって制御される。遠心圧縮機1の1段は、モータ6図1参照の回転駆動力で回転する回転軸7にほぼ等間隔で取り付けられる羽根車8の1つと、羽根車8の流出口8bに連通するように羽根車8の外周に形成されるディフューザ9と、ディフューザ9と次段の羽根車8の吸込口8aを連結し、ディフューザ9を流れた冷媒を次段の羽根車8の吸込口8aに導くリターン流路12と、を含んで構成される。また、リターン流路12には、冷媒の流れを整流する固定ガイドベーン13が設置されている。さらに、最終段本実施形態では2段目の羽根車8の流出口8bには、冷媒の動圧を静圧に変換しながら冷媒を遠心圧縮機1の外部に排出するスクロール14が接続されている。固定ガイドベーン13は、遠心圧縮機1が定格運転されるときに、リターン流路12を流れる冷媒の流れ角を羽根車8の吸込口8aにおける入口角と一致させる機能を有する。以下、ディフューザ9の羽根車8側の端部開口部をディフューザ入口部9a、ディフューザ9のリターン流路12側の端部開口部をディフューザ出口部9bと称する。また、ディフューザ9は、ディフューザ入口部9aの側を上流、ディフューザ出口部9bの側を下流とする。さらに、リターン流路12はディフューザ9の側を上流、次段の羽根車8の側を下流とする。ディフューザ9及びリターン流路12は、回転軸7の回転中心CLを中心として回転軸7の径方向に広がる空間であり、遠心圧縮機1の筐体の外側を構成するシュラウド10と、回転軸7を固定するハブ11と、の間の空間として、ともに回転軸7の径方向に広がる壁状に形成されて互いに対向するシュラウド側壁面10a第1壁面とハブ側壁面11a第2壁面とに挟まれて形成される。そして、本実施形態においては、ハブ側壁面11aは回転軸7の軸方向と直交する平面垂直面として形成される。以下、ディフューザ9におけるシュラウド側壁面10aとハブ側壁面11aの間隔をディフューザ幅と称する。また、図4に示すように、ディフューザ入口部9aにおけるシュラウド側壁面10aとハブ側壁面11aの間隔をディフューザ入口幅とし、ディフューザ出口部9bにおけるシュラウド側壁面10aとハブ側壁面11aの間隔をディフューザ出口幅とする。本実施形態においては、ディフューザ入口幅がWIN、ディフューザ出口幅がWOUTのディフューザ9とする。ディフューザ入口部9aは、ディフューザ9の羽根車8側の開口部であって、回転軸7の回転中心CLを中心とする所定の半径で、羽根車8の外周に沿って1周に亘って開口している。そして、回転軸7の回転中心CLを中心とするディフューザ入口部9aの半径をディフューザ入口外径と称し、その値をRINとする。なお、ディフューザ入口外径は、羽根車8の外径と略等しくなる。また、ディフューザ出口部9bは、ディフューザ9のリターン流路12側の開口部であって、回転軸7の回転中心CLを中心とする所定の半径でディフューザ入口部9aと同心円状に1周に亘って開口している。そして、回転軸7の回転中心CLを中心とするディフューザ出口部9bの半径をディフューザ出口外径と称し、その値をROUTとする。ディフューザ出口部9bは、ディフューザ入口部9aのさらに外周、つまり、ディフューザ入口部9aより回転軸7の回転中心CLから離れた位置に形成され、ディフューザ出口外径はディフューザ入口外径より大きくなる。すなわち、ROUT>RINとなる。このように、ディフューザ入口部9aは、回転軸7の回転中心CLを中心として、ディフューザ入口外径がRINで羽根車8の外周に沿って1周に亘って開口する開口部であり、羽根車8の外周に沿ったディフューザ入口部9aの長さ以下、入口周長と称するは、2×RIN×πで示される。πは円周率である。また、ディフューザ入口幅が、ディフューザ入口部9aの全周に亘って一定WINの場合、入口周長にディフューザ入口幅を積算すると、ディフューザ入口部9aの開口面積とすることができる。このように算出されるディフューザ9の開口面積は、ディフューザ9における冷媒の流路を形成する開口面積であって、本実施形態において冷媒の流路ディフューザ9の流路面積と称する。そして、ディフューザ入口部9aにおける流路面積を入口部流路面積と称し、その値をSdINとすると、入口部流路面積SdINは次式1で示される。SdIN=2×RIN×π×WIN1同様に、ディフューザ出口部9bにおける開口面積流路面積を出口部流路面積と称し、その値をSdOUTとすると、出口部流路面積SdOUTは次式2で示される。SdOUT=2×ROUT×π×WOUT2また、図4に示すように、ディフューザ9において、回転軸7の回転中心CLを中心とする半径以下、ディフューザ半径と称するがRA但し、ROUT>RA>RINとなる任意の位置中間部Aにおける、回転軸7の周方向に沿った長さ周長は、2×RA×πであり、中間部Aにおけるディフューザ幅をWAとすると、任意の中間部Aにおける流路面積値をSdAとするは、次式3で示される。SdA=2×RA×π×WA3ちなみに、入口部流路面積は、式3におけるディフューザ半径RAをディフューザ入口外径RIN、ディフューザ幅WAをディフューザ入口幅WINに置き換えた値である。同様に、出口部流路面積は、式3におけるディフューザ半径RAをディフューザ出口外径ROUT、ディフューザ幅WAをディフューザ出口幅WOUTに置き換えた値である。従来、ディフューザ9図3参照においては、シュラウド側壁面10a図3参照もハブ側壁面11a図3参照と同様に回転軸7図3参照の軸方向と直交する平面垂直面で形成され、シュラウド側壁面10aとハブ側壁面11aが略平行になるため、ディフューザ入口部9a図3参照からディフューザ出口部9b図3参照まで、ディフューザ幅式3におけるWAが一定になる。したがって、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで、ディフューザ半径式3におけるRAが長くなるのにしたがって、式3で示される流路面積が増大する。例えば、図5に破線従来例で示されるように、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで流路面積が増大する。また、遠心圧縮機1図3参照が部分負荷運転される場合、羽根車8図3参照の回転によって加速、昇圧された冷媒がディフューザ9図3参照を流れるとき、図6に破線従来例で示すように、ディフューザ入口部9aにおいて、シュラウド側壁面10a図3参照の側とハブ側壁面11a図3参照の側で冷媒の流速以下、冷媒流速と称するに差が生じ、ハブ側壁面11aの側における冷媒流速が、シュラウド側壁面10aの側における冷媒流速より遅くなるような流速分布となる。このように、ハブ側壁面11aの側の冷媒流速がシュラウド側壁面10aの側の冷媒流速より遅くなる冷媒の流れを偏流と称する。遠心圧縮機1図3参照は、定格運転されるときに偏流が小さくなるように設計され、定格運転されるときは偏流が小さくなるが、遠心圧縮機1が部分負荷運転されるときは偏流が大きくなる。そして、偏流によってハブ側壁面11a図3参照の側で冷媒流速が低下すると、ハブ側壁面11aの側に壁面境界層が発達して減速損失が発生する。さらに、ディフューザ9図3参照を流れる間に冷媒流速は低下するが、特に遠心圧縮機1図3参照が部分負荷運転される場合、シュラウド側壁面10a図3参照の側に比べて冷媒流速の遅いハブ側壁面11a図3参照の側では、シュラウド側壁面10aの側より大きく冷媒流速が低下する。そして、シュラウド側壁面10a側とハブ側壁面11a側の冷媒流速の差がディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bに向かって大きくなる。つまり、ディフューザ9の任意の中間部Aで、ディフューザ入口部9aより偏流が大きくなる。そして、遠心圧縮機1の部分負荷運転によって冷媒流速が大きく低下するハブ側壁面11aの側には、壁面境界層の発達による損失減速損失が発生する。したがって、ディフューザ9における偏流を小さく抑える構成が好ましい。また、ディフューザ9図3参照における偏流が大きくなると、シュラウド側壁面10a図3参照の側からハブ側壁面11a図3参照の側に向かって、図7に破線従来例で示すように流れ角が減少し、この流れ角の減少にともなって、シュラウド側壁面10aの側とハブ側壁面11aの側の間に冷媒の主流の方向と異なった方向の流れ2次流れが発生する。このような2次流れは、主流と混合するときに損失混合損失を発生するため、2次流れの発生を抑制する構成が好ましい。そこで、本実施形態は、ディフューザ入口部9a図3参照からディフューザ出口部9b図3参照まで、流路面積が略一定となるディフューザ9図3参照を備える遠心圧縮機1図3参照とする。前記したように、従来のディフューザ9の流路面積は、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bに向かって、ディフューザ半径の増加にともなって増大する。したがって、本実施形態に係る遠心圧縮機1は、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bに向かってディフューザ幅が狭くなる構成とし、ディフューザ半径の増加に伴う流路面積の増大をディフューザ幅の減少で吸収して流路面積が略一定になるように構成する。ディフューザ9図3参照における流路面積がディフューザ入口部9a図3参照からディフューザ出口部9b図3参照まで略一定の場合、ハブ側壁面11a図3参照の側に比べて速い冷媒流速でシュラウド側壁面10a図3参照の側を流れる冷媒がハブ側壁面11aの側に拡散する流量が、ディフューザ出口部9bに向かって流路面積が広がる場合に比べて多くなる。つまり、流路面積がディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで一定の場合、シュラウド側壁面10aの側を流れる高速の冷媒がハブ側壁面11aの側に向かって多く拡散され、その結果としてハブ側壁面11aの側を流れる冷媒の冷媒流速が高くなり、ディフューザ9における偏流が小さくなる。前記したように本実施形態では、ディフューザ入口部9a図3参照からディフューザ出口部9b図3参照に向かってディフューザ幅が狭くなる構成とする。例えば、ディフューザ入口部9aにおける入口部流路面積SdINは、2×RIN×π×WINであり、ディフューザ出口部9bにおける出口部流路面積SdOUTは、2×ROUT×π×WOUTである。したがって、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでの流路面積の増加率SdOUT/SdINは、2×ROUT×π×WOUT/2×RIN×π×WINである。ディフューザ入口部9a図3参照からディフューザ出口部9b図3参照まで流路面積が一定の場合、流路面積の増加率は1であり、2×ROUT×π×WOUT/2×RIN×π×WIN=1となる。したがって、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで流路面積を一定にするためには、ディフューザ出口部9bにおけるディフューザ出口幅WOUTが、ディフューザ入口幅WINのRIN/ROUT倍に縮小されていればよい。また、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで流路面積が一定の場合、図4に示す任意の中間部Aディフューザ半径:RAにおけるディフューザ幅WAは、次式4で示される。WA=RIN/RA×WIN4つまり、中間部Aは、ディフューザ半径RAがディフューザ入口外径RINのRA/RIN倍の点であり、ディフューザ入口幅WINをRIN/RA倍に縮小して、中間部Aにおける流路面積を入口部流路面積SdINと等しくする。ちなみに、ディフューザ入口幅WINは、式4におけるディフューザ半径RAをディフューザ入口外径RINに置き換えた値であり、ディフューザ出口幅WOUTは、式4におけるディフューザ半径RAをディフューザ出口外径ROUTに置き換えた値である。そして、中間部Aがディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで移動する間の各位置、つまり、ディフューザ半径RAがディフューザ入口外径RINからディフューザ出口外径ROUTまで変化するときの各位置において、式4で算出されるディフューザ幅となるディフューザ9とする。つまり、本実施形態に係る遠心圧縮機1のディフューザ9は、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bに向かって、ディフューザ幅がRIN/ROUTの割合で減少するように構成される。この構成によって、図5に実線本実施例で示すように、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで流路面積が一定になる。そして、図6に実線本実施例で示すように、シュラウド側壁面10aの側とハブ側壁面11aの側の冷媒流速の差が、ディフューザ入口部9aと、ディフューザ9図3参照の任意の位置例えば、中間部Aと、でほぼ一定になるという効果、つまり、遠心圧縮機1図3参照が部分負荷運転される場合であっても偏流が小さくなるという効果を奏する。このことによって、ディフューザ9におけるハブ側壁面11aの側の冷媒流速の低下が抑制されて壁面境界層の発達が抑制され、遠心圧縮機1が部分負荷運転される場合の減速損失が軽減される。また、図7に実線本実施例で示すようにシュラウド側壁面10aの側からハブ側壁面11aの側に向かう流れ角の減少が小さくなる。このことは2次流れが小さくなることを示し、2次流れによる混合損失が軽減される。このように、ディフューザ入口部9a図3参照からディフューザ出口部9b図3参照まで流路面積が一定のディフューザ9図3参照では、減速損失及び混合損失がともに軽減されることによって、特に、遠心圧縮機1図3参照が部分負荷運転される場合の流量損失が改善される。具体的に、図8に示すように、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでディフューザ幅が一定に構成されるディフューザ9の流量損失破線:従来例に比べ、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bに向かって流路面積が一定の、本実施形態に係るディフューザ9では、流量損失を小さくできる実線:本実施例。さらに、ディフューザ9における偏流が小さくなることによって、リターン流路12に設置される固定ガイドベーン13図3参照への流入条件が改善され、リターン流路12における流量損失が改善される。つまり、ディフューザ9からリターン流路12に流入するときの冷媒の偏流が小さくなる。そして、図8に示すように、リターン流路12における流量損失を、従来の形状のディフューザ9を備える場合破線:従来例に比べ、実線本実施例で示すように小さくできる。また、ディフューザ入口部9a図3参照からディフューザ出口部9b図3参照まで一定の流路面積となるディフューザ9図3参照を有する、本実施形態に係る遠心圧縮機1図3参照では、図8に示すようにディフューザ9及びリターン流路12における流量損失が、定格運転時図8にRで示す流量のときを含む全域で改善される。つまり、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで一定の流路面積となるディフューザ9を有する遠心圧縮機1は、定格運転される場合であっても、ディフューザ9におけるハブ側壁面11a図3参照の側での冷媒流速の低下、及び、シュラウド側壁面10a図3参照からハブ側壁面11aに向かう流れ角の変化をともに抑制でき、遠心圧縮機1が定格運転される場合のディフューザ9における減速損失、及び、混合損失を軽減できる。このように、本実施形態に係る遠心圧縮機1図3参照は、ディフューザ入口部9a図3参照からディフューザ出口部9b図3参照に向かって、流路面積が一定になるようにディフューザ幅が減少するディフューザ9図3参照を備える。この構成によって、ディフューザ9及びリターン流路12図3参照の流量損失を軽減することができ、例えば部分負荷運転される遠心圧縮機1の効率を向上できる。なお、ディフューザ9の任意の中間部Aにおけるディフューザ幅は前記した式4で示され、式4におけるディフューザ半径RAがディフューザ入口外径RINからディフューザ出口外径ROUTまで変化するようにディフューザ幅WAを設定すると、ディフューザ幅WAは、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで、図9に実線で示すように曲線状に変化する。つまり、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでシュラウド側壁面10aはディフューザ9側が凸になるように湾曲した曲面になり、シュラウド10の製造時にシュラウド側壁面10aを曲面に加工する必要がある。換言すると、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでディフューザ9の流路面積が精度よく一定になるためには、シュラウド側壁面10aがディフューザ9側が凸になる曲面で形成されることが必要になる。しかしながら、このことによって、シュラウド10の製造コストが高くなる。そこで、例えば、ディフューザ入口幅がWINの場合、ディフューザ出口幅をWOUT=WIN×RIN/ROUTとし、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bに向かって、ディフューザ幅がWINからWIN×RIN/ROUTまで、図9に破線で示すように直線的に減少する構成としてもよい。この構成によると、例えば、平面で形成されるシュラウド側壁面10aを、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bに向かってディフューザ幅が減少するように、回転軸7図4参照の軸方向と直交する平面に対して傾斜する傾斜面とすることで、ディフューザ9の流路面積をディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで略一定にすることができる。この場合、シュラウド側壁面10aを曲面に加工する必要がなくなり、シュラウド10の製造コストを低く抑えることができる。つまり、シュラウド側壁面10aが曲面で形成されて、ディフューザ9の流路面積がディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで一定である構成に加え、シュラウド側壁面10aが平面で形成されて回転軸7の軸方向と直交する平面に対して傾斜し、ディフューザ9の流路面積がディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで略一定である構成としてもよい。例えば、シュラウド側壁面10aが平面で形成されて回転軸7図4参照の軸方向と直交する平面に対して傾斜する構成の場合、図9に破線で示すようにディフューザ幅はディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bに向かって直線的に減少することから、任意の中間部Aにおいて、ディフューザ幅WAFとディフューザ半径RAの関係は、次式5で示される。RA=αWAFβ5なお、α及びβは所定の係数である。ディフューザ入口部9aではディフューザ入口幅がWIN、ディフューザ入口外径がRINであり、ディフューザ出口部9bではディフューザ出口幅がWOUT、ディフューザ出口外径がROUTであることから、所定の係数α及びβは、それぞれ次式6A、6Bのように求められる。α=RIN-ROUT/WIN-WOUT6Aβ=RIN-RIN-ROUT/WIN-WOUT×WIN6B式5より、中間部Aにおけるディフューザ幅は、RA-β/αで算出され、式6A、6Bで示されるα、βを代入すると、シュラウド側壁面10aが平面の場合の任意の中間部Aにおけるディフューザ幅WAFは、次式7で示される。なお、ディフューザ出口幅は、RIN/ROUT×WINとした。WAF=WIN×RINROUT-RA/ROUT7一方、例えばシュラウド側壁面10aが曲面で形成されてディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで流路面積が一定の場合、任意の中間部Aのディフューザ幅WAは前記した式4で示される。中間部Aにおける流路面積SdAは、式3で示されることから、シュラウド側壁面10aが平面の傾斜面で形成される場合、式7で示されるディフューザ幅WAFを式4で示されるディフューザ幅WAで除した割合だけ、ディフューザ9の流路面積が一定の場合に比べて変化することになる。ディフューザ9の流路面積の変化量をΔSとすると、ディフューザ9の流路面積の変化量ΔSは、次式8で示される。ΔS=WAF/WA=RINROUT-RA/ROUT/RIN/RA=RA×RINROUT-RA/RIN×ROUT8式8は中間部Aのディフューザ半径RAの二次式であり、ディフューザ半径RAがRINROUT/2のとき、つまり、ディフューザ入口部9aとディフューザ出口部9bの中央において、流路面積の変化量ΔSが最大になることがわかる。換言すると、シュラウド側壁面10aが平面の傾斜面で形成される場合は、ディフューザ入口部9aとディフューザ出口部9bの中央において流路面積が最大になる。そして、流路面積の変化量ΔSの最大値ΔSMAXは、次式9で示される。ΔSMAX=RINROUT2/4×RIN×ROUT9ディフューザ出口外径がディフューザ入口外径のK倍、つまり、ROUT=KRINとすると、式9は次式10のように示される。ΔSMAX=K12/4K10例えば、ディフューザ出口外径がディフューザ入口外径の1.5倍の場合、K=1.5となり、流路面積の変化量の最大値は1.042となる。このことは、ディフューザ9の長さディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでの距離がディフューザ入口外径RINの0.5倍に相当する長さの場合、シュラウド側壁面10aが平面の傾斜面で形成されると、シュラウド側壁面10aが曲面で形成されてディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで流路面積が一定になる場合に比べて、流路面積が最大で4.2変化することを示す。このように、シュラウド側壁面10aが平面の傾斜面で形成される場合、ディフューザ9の長さに応じて流路面積が変化することがわかる。そして、本実施形態においては、式10で示される流路面積の変化量の最大値ΔSMAXが所定値以内例えば、10以内であれば、前記したように、ディフューザ9における壁面境界層の発達の抑制による減速損失の軽減効果、及び2次流れの抑制による混合損失の軽減効果が得られることが実験等によって明らかになった。つまり、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで、流路面積の変化が所定値以内例えば、10以内で変化するとき、ディフューザ9の流路面積がディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで略一定とすることができる。以上のように、本実施形態に係る遠心圧縮機1図3参照は、部分負荷運転される場合であっても、ディフューザ9図3参照に発生する壁面境界層の発達を抑制することができ、減速損失を軽減できる。また、ディフューザ9における2次流れの発生を抑制することができ、混合損失を軽減できる。したがって、遠心圧縮機1は、部分負荷運転される場合であってもディフューザ9における流量損失を軽減することができ、効率よく部分負荷運転できる。さらに、遠心圧縮機1が定格運転される場合の流量損失も軽減できる。なお、本発明は発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜設計変更が可能である。例えば、図10に示すように、リターン流路12に、1つの固定ガイドベーン13図3参照の代わりに2つのガイドベーン上流ガイドベーン19、下流ガイドベーン20が配設される構成であってもよい。上流ガイドベーン19は、リターン流路12において下流ガイドベーン20の上流、すなわち、ディフューザ9側に設置される。そして、上流ガイドベーン19は、固定される固定ガイドベーン固定翼であり、下流ガイドベーン20は、次段の羽根車8へ流入する冷媒の流れ角を調節可能に駆動装置21で駆動される可動ガイドベーン可動翼である構成が好ましい。この構成によると、羽根車8の吸込口8aにおける入口角と冷媒の流れ角とを好適に一致させることができ、冷媒が羽根車8に流入するときの流量損失を軽減できる。図3に示すようにリターン流路12に備わる固定ガイドベーン13は、遠心圧縮機1が定格運転される場合に、リターン流路12を流れる冷媒の流れ角と、羽根車8の吸込口8aにおける入口角を好適に一致させることができる。しかしながら遠心圧縮機1が部分負荷運転される場合、リターン流路12を流れる冷媒の流量が減少してリターン流路12を流れる冷媒の流れ角と羽根車8の吸込口8aにおける入口角が一致せず、冷媒が羽根車8に流入するときに流量損失が発生することがある。したがって、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで流路面積が一定略一定のディフューザ9で流量損失が軽減されてもリターン流路12で流量損失が発生し、ディフューザ9で流量損失が軽減する効果が薄れてしまう場合がある。そこで、リターン流路12における冷媒の流れ角を変更可能な下流ガイドベーン20を備え、リターン流路12を流れる冷媒の流れ角と、羽根車8の吸込口8aにおける入口角を、リターン流路12を流れる冷媒の流量によらず常に略一致させる構成とする。下流ガイドベーン20は、例えば、リターン流路12におけるシュラウド側壁面10aに垂直な回転軸21aを回転中心として回転駆動動作し、リターン流路12を流れる冷媒の流れ角を変更可能に構成される。そして回転軸21aは、駆動装置21によって回転駆動される。例えば、駆動装置21は、図示しない流量計が検出するリターン流路12における冷媒の流量に基づいて、予め設定されているマップデータ等を参照し、流量計が検出する流量に対応する羽根車8の吸込口8aにおける入口角を決定する。さらに、リターン流路12における冷媒の流れ角が、決定した入口角と略一致するように下流ガイドベーン20を動作させる構成とすればよい。この構成によって、羽根車8の吸込口8aにおける入口角と、リターン流路12を流れる冷媒の流れ角と、を常に略一致させることができる。したがって、遠心圧縮機1が部分負荷運転される場合にリターン流路12を流れる冷媒の流量に対応して、リターン流路12における冷媒の流れ角を、羽根車8の吸込口8aにおける入口角と略一致させることができ、冷媒が羽根車8に流入するときの流量損失を軽減できる。さらに、流路面積が一定略一定のディフューザ9を備えることによって、遠心圧縮機1が部分負荷運転している場合であってもディフューザ9からリターン流路12に流入するときの冷媒の偏流が小さくなり、遠心圧縮機1が定格運転しているときと近い状態にすることができる。したがって、遠心圧縮機1が部分負荷運転している場合であっても、下流ガイドベーン20の動作によって、遠心圧縮機1が定格運転しているときと同程度の精度で、羽根車8の吸込口8aにおける入口角とリターン流路12における冷媒の流れ角を一致させることができ、遠心圧縮機1が部分負荷運転しているときに冷媒が羽根車8に流入するときの流量損失を効果的に軽減できる。したがって、効率よく部分負荷運転できる遠心圧縮機1とすることができる。また、本実施形態においては、図3に示すように、ディフューザ9においてハブ側壁面11aが回転軸7の軸方向と直交する平面垂直面として形成され、シュラウド側壁面10aがハブ側壁面11aに対して傾斜して又は曲面で形成され、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでディフューザ9の流路面積を略一定にする構成としたが、この構成に限定されるものではない。例えば、シュラウド側壁面10aが回転軸7の軸方向と直交する平面垂直面として形成され、ハブ側壁面11aがシュラウド側壁面10aに対して傾斜して又は曲面で形成され、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでディフューザ9の流路面積を略一定一定にする構成であってもよい。又は、回転軸7の軸方向と直交する平面に対してシュラウド側壁面10aとハブ側壁面11aがともに傾斜してディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでディフューザ9の流路面積を略一定にする構成であってもよいし、シュラウド側壁面10aとハブ側壁面11aがともに曲面で形成されてディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまでディフューザ9の流路面積を一定略一定にする構成であってもよい。また、本実施形態においては、図3に示すように2段式の遠心圧縮機1としたが、羽根車8と、ディフューザ9と、リターン流路12と、を有してなる段が3つ以上備わる3段以上の遠心圧縮機図示せずにも本発明を適用できる。この場合、全てのディフューザ9において、ディフューザ入口部9aからディフューザ出口部9bまで、流路面積が一定略一定となる構成とすればよい。