"アルカリ可溶性樹脂A、光重合開始剤B、撥インク剤Cおよび溶媒Eを含むネガ型感光性樹脂組成物であって、前記撥インク剤Cが、下式1で表される基または下式2で表される基を含む側鎖を有する重合体であり、前記溶媒Eが、沸点が165°C以上、かつFedorの溶解度パラメータが8.0~8.5である溶媒E1を、前記溶媒Eの全量に対して、10~100質量の割合で含むことを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。-CFXRf1式1中、Xは水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基を示し、Rfはエーテル性酸素原子を有していてもよい水素原子の少なくとも1つがフッ素原子に置換された炭素原子数1~20のアルキル基、またはフッ素原子を示す。-SiR10R11On-SiR12R13R142式2中、R10、R11、R12およびR13はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、またはアリール基を示し、R14は水素原子または炭素原子数1~10のエーテル性酸素原子または窒素原子を含んでいてもよいアルキル基を示し、nは1~200の整数を示す。前記撥インク剤Cが、前記式1で表される基を含む側鎖を有し、フッ素原子含有量が5~35質量である、請求項1に記載のネガ型感光性樹脂組成物。前記撥インク剤Cが、さらにエチレン性二重結合を含む側鎖および酸性基を含む側鎖を有し、質量平均分子量Mwが1.2×104~15×104である、請求項1または2に記載のネガ型感光性樹脂組成物。前記溶媒E1が、下式3で表される化合物から選ばれる、請求項1~3のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。R1OC2H4OsR23式3中、R1は炭素原子数が1~10のアルキル基、R2は炭素原子数が2~10のアルキル基を示し、sは1~10の整数を示す。前記溶媒E1が、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルである、請求項1~4のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。前記溶媒Eが、さらに、脂肪族環構造を有し、かつFedorの溶解度パラメータが9.5以上である溶媒E2を、前記溶媒Eの全量に対して、10~40質量の割合で含む、請求項1~5のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。さらに黒色着色剤Dを含む、請求項1~6のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。前記光重合開始剤Bが、下式4で表されるO-アシルオキシム化合物である、請求項1~7のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。式4中、R3は、水素原子、R61またはOR62を示し、該R61およびR62は、それぞれ独立に、炭素原子数1~20のアルキル基、シクロアルカン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数3~8のシクロアルキル基、炭素原子数2~5のアルケニル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数6~30のフェニル基またはベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~30のフェニルアルキル基を示す。R4は、水素原子、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数3~8のシクロアルキル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数6~30のフェニル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~30のフェニルアルキル基、炭素原子数2~20のアルカノイル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のベンゾイル基、炭素原子数2~12のアルコキシカルボニル基またはベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のフェノキシカルボニル基、またはシアノ基を示す。R5は、炭素原子数1~20のアルキル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数6~30のフェニル基またはベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~30のフェニルアルキル基を示す。R6、R7、R8およびR9は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ハロゲン原子、ニトロ基、R61、OR62、炭素原子数2~20のアルカノイル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のベンゾイル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のベンジルカルボニル基、炭素原子数2~12のアルコキシカルボニル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のフェノキシカルボニル基、炭素原子数1~20のアミド基を示す。R0は、R61、OR62、シアノ基またはハロゲン原子を示す。aは0または1~3の整数である。基板表面を画素形成用の複数の区画に仕切る形に形成された隔壁であって、請求項1~8のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物の硬化膜からなることを特徴とする隔壁。基板表面に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子であって、前記隔壁が請求項9に記載の隔壁で形成されていることを特徴とする光学素子。本発明者らの知見によれば、330nm以下の光が遮光された光で露光した場合、酸素による表面硬化阻害が顕著なため、現像工程での膜表面の溶解が容易となり、従来の感光性樹脂組成物を用いた場合には、隔壁表面の撥インク性が不充分になる問題がある。感光性樹脂組成物中の撥インク剤の量を単純に増量する方法も考えられるが、隔壁内部にも撥インク剤が残留し、側壁まで撥インク化されることが考えられる。本発明は、330nm以下の光が遮光された光で露光した場合においても、表面の撥インク性および側面の親インク性が良好な隔壁を形成できるネガ型感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また本発明は、該感光性樹脂組成物を硬化することにより形成される、330nm以下の光が遮光された光で露光した場合においても、表面の撥インク性および側面の親インク性が良好な隔壁ならびに該隔壁を有する光学素子を提供することを目的とする。本発明は、以下[1]~[10]の構成を有するネガ型感光性樹脂組成物、隔壁、光学素子を提供する。[1]アルカリ可溶性樹脂A、光重合開始剤B、撥インク剤Cおよび溶媒Eを含むネガ型感光性樹脂組成物であって、前記撥インク剤Cが、下式1で表される基または下式2で表される基を含む側鎖を有する重合体であり、前記溶媒Eが、沸点が165°C以上、かつFedorの溶解度パラメータが8.0~8.5である溶媒E1を、前記溶媒Eの全量に対して、10~100質量の割合で含むことを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。-CFXRf1式1中、Xは水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基を示し、Rfはエーテル性酸素原子を有していてもよい水素原子の少なくとも1つがフッ素原子に置換された炭素原子数1~20のアルキル基、またはフッ素原子を示す。-SiR10R11On-SiR12R13R142式2中、R10、R11、R12およびR13はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、またはアリール基を示し、R14は水素原子または炭素原子数1~10のエーテル性酸素原子または窒素原子を含んでいてもよいアルキル基を示し、nは1~200の整数を示す。[2]前記撥インク剤Cが、前記式1で表される基を含む側鎖を有し、フッ素原子含有量が5~35質量である、[1]のネガ型感光性樹脂組成物。[3]前記撥インク剤Cが、さらにエチレン性二重結合を含む側鎖および酸性基を含む側鎖を有し、質量平均分子量Mwが1.2×104~15×104である、[1]または[2]のネガ型感光性樹脂組成物。[4]前記溶媒E1が、下式3で表される化合物から選ばれる、[1]~[3]のいずれかのネガ型感光性樹脂組成物。R1OC2H4OsR23式3中、R1は炭素原子数が1~10のアルキル基、R2は炭素原子数が2~10のアルキル基を示し、sは1~10の整数を示す。[5]前記溶媒E1が、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルである、[1]~[4]のいずれかのネガ型感光性樹脂組成物。[6]前記溶媒Eが、さらに、脂肪族環構造を有し、かつFedorの溶解度パラメータが9.5以上である溶媒E2を、前記溶媒Eの全量に対して、10~40質量の割合で含む、[1]~[5]のいずれかのネガ型感光性樹脂組成物。[7]さらに黒色着色剤Dを含む、[1]~[6]のいずれかのネガ型感光性樹脂組成物。[8]前記光重合開始剤Bが、下式4で表されるO-アシルオキシム化合物である、[1]~[7]のいずれかのネガ型感光性樹脂組成物。式4中、R3は、水素原子、R61またはOR62を示し、該R61およびR62は、それぞれ独立に、炭素原子数1~20のアルキル基、シクロアルカン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数3~8のシクロアルキル基、炭素原子数2~5のアルケニル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数6~30のフェニル基またはベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~30のフェニルアルキル基を示す。R4は、水素原子、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数3~8のシクロアルキル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数6~30のフェニル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~30のフェニルアルキル基、炭素原子数2~20のアルカノイル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のベンゾイル基、炭素原子数2~12のアルコキシカルボニル基またはベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のフェノキシカルボニル基、またはシアノ基を示す。R5は、炭素原子数1~20のアルキル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数6~30のフェニル基またはベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~30のフェニルアルキル基を示す。R6、R7、R8およびR9は、それぞれ独立に、水素原子、シアノ基、ハロゲン原子、ニトロ基、R61、OR62、炭素原子数2~20のアルカノイル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のベンゾイル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のベンジルカルボニル基、炭素原子数2~12のアルコキシカルボニル基、ベンゼン環中の水素原子がアルキル基に置換されていてもよい炭素原子数7~20のフェノキシカルボニル基、炭素原子数1~20のアミド基を示す。R0は、R61、OR62、シアノ基またはハロゲン原子を示す。aは0または1~3の整数である。[9]基板表面を画素形成用の複数の区画に仕切る形に形成された隔壁であって、[1]~[8]のいずれかのネガ型感光性樹脂組成物の硬化膜からなることを特徴とする隔壁。[10]基板表面に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子であって、前記隔壁が[9]の隔壁で形成されていることを特徴とする光学素子。本発明のネガ型感光性樹脂組成物によれば、330nm以下の光を遮光して露光した場合においても、表面の撥インク性および側面の親インク性が良好な隔壁を製造できる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物があれば、表面の撥インク性および側面の親インク性が良好な隔壁ならび該隔壁を具備する光学素子が得られる。本明細書におけるFedorの溶解度パラメータとは、RFFedors、Polym.Eng.Sci.、14、147、1974で提案されている推算式により算出された値である。単位はcal/cm31/2であり、25°Cにおける値を基準値として用いる。また、Fedorの溶解度パラメータを省略してSP値ということもある。本明細書におけるメタアクリロイル...とは、メタクリロイル...とアクリロイル...の総称である。メタアクリル酸、メタアクリレート、メタアクリルアミド、メタアクリル樹脂もこれと同様である。本明細書における式1で表される基を、基1という。他の基も同様である。本明細書における式11で表される単量体を、単量体11という。他の単量体、化合物についても同様である。本明細書における側鎖とは、繰り返し単位が主鎖を構成する重合体において、主鎖を構成する炭素原子に結合する、水素原子またはハロゲン原子以外の基である。本明細書における全固形分とは、ネガ型感光性樹脂組成物が含有する成分のうち、隔壁形成成分をいい、ネガ型感光性樹脂組成物を140°Cで24時間加熱して溶媒を除去した、残存物である。具体的には、溶媒E等の隔壁形成過程における加熱等により揮発する揮発性成分以外の全成分を示す。なお、全固形分の量は仕込み量からも計算できる。本明細書においては、ネガ型感光性樹脂組成物を塗布した膜を塗膜、それを乾燥させた状態を膜、さらに、それを硬化させて得られる膜を硬化膜という。本明細書において、隔壁の表面は、隔壁の上面のみを示す用語として用いる。したがって、隔壁の表面には、隔壁の側面は含まれない。本明細書におけるインクとは、乾燥硬化した後に、例えば光学的、電気的に機能を有する液状組成物を総称するものであり、従来から用いられている着色材料に限定されるものではない。また、上記インクを注入して形成される画素についても同様に、隔壁で仕切られた、光学的、電気的な機能を有する区分を表すものとして用いられる。本明細書における撥インク性とは、上記インクをはじくために、撥水性と撥油性の両方を適度に有する性質をいい、例えば、後述の方法で評価できる。また、ネガ型感光性樹脂組成物から得られる膜および硬化膜において、撥インク剤が表面移行して形成される、他の領域より撥インク剤が高濃度に存在する表面層を撥インク剤層という。撥インク剤層の厚さは、例えば、膜について表層エッチングと撥インク性の評価を組み合わせた後述の方法で測定できる。以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、本明細書において特に説明のない場合、は質量を表す。[アルカリ可溶性樹脂A]本発明におけるアルカリ可溶性樹脂Aは、1分子中に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂である。アルカリ可溶性樹脂Aが分子中にエチレン性二重結合を有することで、ネガ型感光性樹脂組成物の露光部は、光重合開始剤Bから発生したラジカルにより重合して硬化する。このように硬化した露光部分はアルカリ現像液にて除去されない。また、アルカリ可溶性樹脂Aが分子中に酸性基を有することで、アルカリ現像液にて、硬化していないネガ型感光性樹脂組成物の未露光部を選択的に除去することができる。その結果、隔壁を形成することができる。なお、アルカリ可溶性樹脂Aは実質的に、後述の撥インク剤Cが有する基1または基2を含有しないことが好ましい。前記酸性基としては、特に制限されないが、カルボキシ基、フェノール性水酸基、スルホ基およびリン酸基等が挙げられ、これらは1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。前記エチレン性二重結合としては、特に制限されないが、メタアクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基およびビニルオキシアルキル基等の付加重合性を有する二重結合が挙げられ、これらは1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。なお、エチレン性二重結合基が有する水素原子の一部または全てが、アルキル基、好ましくはメチル基で置換されていてもよい。アルカリ可溶性樹脂Aとしては、特に限定されないが、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する樹脂A1-1、エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂A1-2、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する単量体A1-3等が挙げられる。これらは1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。樹脂A1-1は、例えば、以下のiまたはの沸点未満であることが好ましく、溶媒E1の沸点より10°C以上低いことが特に好ましい。ネガ型感光性樹脂組成物の塗膜の乾燥時に、溶媒E2が膜内に長い時間存在することで、撥インク剤Cとその他の固形成分との間に働く斥力が抑制される。溶媒E2の沸点を溶媒E1の沸点より低く設定することで、溶媒E2が乾燥工程で先に蒸発し、組成物中に存在しなくなり、撥インク剤Cの表面移行を阻害しない。溶媒E2において、上記観点から、その沸点は100~210°Cが好ましく、100~200°Cが特に好ましい。溶媒E2のSP値は上記の通り9.5以上である。溶媒E2のSP値の上限は特に限定されないが、撥インク剤Cがネガ型感光性樹脂組成物中で凝集するのを抑制する点から、12.0が上限として挙げられる。溶媒E2の具体例としては、シクロヘキサノン沸点:155°C、SP値:9.8やγ-ブチロラクトン沸点:204°C、SP値:10.5等が挙げられる。また、本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、溶媒Eとして、上述の溶媒E1および溶媒E2以外の溶媒E3を必要に応じて含有してもよい。溶媒E3としては、上記アルカリ可溶性樹脂Aや撥インク剤Cの合成に使用した溶媒等が、アルカリ可溶性樹脂Aや撥インク剤Cとともにネガ型感光性樹脂組成物に配合される場合の溶媒等が挙げられる。なお、上記アルカリ可溶性樹脂Aや撥インク剤Cの合成に使用する溶媒としては、上記溶媒E1や溶媒E2を用いる場合もある。ネガ型感光性樹脂組成物がこれら配合成分由来の溶媒E1や溶媒E2を含有する場合には、それぞれについて、これらを含む溶媒E1および溶媒E2の各総量により算出される、溶媒Eにおける溶媒E1および溶媒E2の含有量がそれぞれ上記範囲となるように調整すればよい。溶媒E3としては、溶媒Eとしての上記機能を阻害しないものであれば特に制限されない。溶媒E3の沸点は、SP値にもよるが、溶媒E1による効果を阻害しないために、溶媒E1の沸点未満であることが好ましく、溶媒E1の沸点より10°C以上低いことが特に好ましい。溶媒E3において、上記観点から、その沸点は70~210°Cが好ましく、80~200°Cが特に好ましい。溶媒E3のSP値は、上記溶媒E1および必要に応じて用いられる溶媒E2との相溶性、およびネガ型感光性樹脂組成物に用いる固形成分の溶解性や分散性の観点から、7.8~12.0が好ましい。したがって、アルカリ可溶性樹脂Aや撥インク剤Cをその合成に用いた溶媒と共にネガ型感光性樹脂組成物に配合する場合には、合成時に用いる溶媒としてこのような沸点やSP値を有する溶媒を選択することが好ましい。溶媒E3の具体的としては、プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートPGMEA、沸点:146°C、SP値:8.7、ジエチレングリコールジメチルエーテルMDM、沸点:162°C、SP値:8.1、ジプロピレングリコールジメチルエーテルDMM、沸点:171°C、SP値:7.9、酢酸シクロヘキシルCHXA,沸点:173°C、SP値:9.2、イソプロピルアルコールIPA、沸点:82°C、SP値:11.6、酢酸ブチルBA、沸点:126°C、SP値:8.7等が挙げられる。溶媒Eにおける溶媒E3の含有量は、溶媒Eの全量から溶媒E1および溶媒E2の量を引いた量であり、具体的には、溶媒Eの全量に対して1~90質量の割合が好ましく、20~80質量が特に好ましい。なお、溶媒Eの具体的な態様として、溶媒E1のみで構成される、溶媒E1と溶媒E2および/または溶媒E3で構成される態様が挙げられる。溶媒Eが溶媒E1と溶媒E2で構成される場合の好ましい配合割合質量比として、溶媒E1:溶媒E2=85:15~70:30が挙げられる。溶媒Eが溶媒E1と溶媒E3で構成される場合の好ましい配合割合質量比として、溶媒E1:溶媒E3=90:10~30:70が挙げられる。また、溶媒Eが溶媒E1、溶媒E2、および溶媒E3で構成される場合の好ましい配合割合質量比として、溶媒E1:溶媒E2:溶媒E3=30~75:15~30:10~55が挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物における溶媒Eの含有割合は、ネガ型感光性樹脂組成物の組成や用途等により異なるが、ネガ型感光性樹脂組成物中に50~99質量の割合で配合されるのが好ましく、60~95質量がより好ましく、65~90質量が特に好ましい。[架橋剤F]本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物は、ラジカル硬化を促進する任意成分として、架橋剤Fを含んでもよい。架橋剤Fとしては、1分子中に2つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない化合物が好ましい。ネガ型感光性樹脂組成物が架橋剤Fを含むことにより、露光時におけるネガ型感光性樹脂組成物の硬化性が向上し、低い露光量でも隔壁を形成することができる。架橋剤Fとしては、ジエチレングリコールジメタアクリレート、テトラエチレングリコールジメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、1,9-ノナンジオールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ε-カプロラクトン変性トリス-2-アクリロキシエチルイソシアヌレート、ビス{4-アリルビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシイミドフェニル}メタン、N,N’-m-キシリレン-ビスアリルビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシイミド、ウレタンアクリレート等が挙げられる。光反応性の点から多数のエチレン性二重結合を有することが好ましい。なお、これらは1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。架橋剤Fとしては、市販品を使用することができる。市販品としては、KAYARADDPHA商品名、日本化薬社製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物、NKエステルA-9530商品名、新中村化学工業社製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物、NKエステA-9300商品名、新中村化学工業社製、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、NKエステルA-9300-1CL商品名、新中村化学工業社製、ε-カプロラクトン変性トリス-2-アクリロキシエチルイソシアヌレート、BANI-M商品名、丸善石油化学社製、ビス{4-アリルビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシイミドフェニル}メタン、BANI-X商品名、丸善石油化学社製、N,N’-m-キシリレン-ビスアリルビシクロ[2.2.1]ヘプト-5-エン-2,3-ジカルボキシイミド等が挙げられる。ウレタンアクリレートとしては、日本化薬社製のKAYARADUXシリーズが挙げられ、具体的商品名としては、UX-3204、UX-6101、UX-0937、DPHA-40H、UX-5000、UX-5002D-P20等が挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の架橋剤Fの含有割合は、3~50質量が好ましく、5~40質量が特に好ましい。上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物のアルカリ現像性が良好となる。[微粒子G]本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物は、必要に応じて、微粒子Gを含んでいてもよい。ネガ型感光性樹脂組成物が微粒子Gを含むことにより、ネガ型感光性樹脂組成物から得られる隔壁は熱垂れが防止された耐熱性に優れる隔壁となる。微粒子Gとしては、各種無機系、有機系の微粒子が使用可能であるが、塩基性高分子分散剤を吸着能の点から、マイナスに帯電しているものが好ましく用いられる。無機系としては、シリカ、ジルコニア、フッ化マグネシウム、スズドープ酸化インジウムITO、アンチモンドープ酸化スズATO等が挙げられる。有機系としては、ポリエチレン、ポリメチルメタクリレートPMMA等が挙げられる。耐熱性を考慮すると、無機系微粒子が好ましく、入手容易性や分散安定性を考慮すると、シリカ、またはジルコニアが特に好ましい。さらに、ネガ型感光性樹脂組成物の露光感度を考慮すると、微粒子Gは、露光時に照射される光を吸収しないことが好ましく、超高圧水銀灯の主発光波長であるi線365nm、h線405nm、g線436nmを吸収しないことが特に好ましい。微粒子Gの粒子径は、隔壁の表面平滑性が良好となることから、平均粒子径が1μm以下であることが好ましく、200nm以下が特に好ましい。微粒子Gとしてはシリカが好ましい。シリカとしては、コロイダルシリカが好ましい。一般にコロイダルシリカとしては、水に分散されたシリカヒドロゾル、水が有機溶媒に置換されたオルガノシリカゾルがあるが、有機溶媒を分散媒として用いたオルガノシリカゾルが好ましい。このようなオルガノシリカゾルとしては、市販品を用いることが可能であり、市販品としては、いずれも日産化学工業社製の商品名で、PMA-STシリカ粒子径:10~20nm、シリカ固形分:30質量、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:70質量。、NPC-STシリカ粒子径:10~20nm、シリカ固形分:30質量、n-プロピルセロソルブ:70質量。、IPA-STシリカ粒子径:10~20nm、シリカ固形分:30質量、イソプロピルアルコール2-プロパノール:70質量。等が挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の微粒子Gの含有割合は、5~35質量が好ましく、10~30質量が特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、ポストベークによる撥インク性の低下抑制効果があり、上記範囲の上限値以下であると、ネガ型感光性樹脂組成物の貯蔵安定性が良好になる。[シランカップリング剤H]本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物は、必要に応じて、シランカップリング剤Hを含んでいてもよい。ネガ型感光性樹脂組成物がシランカップリング剤Hを含むことで、ネガ型感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の基材密着性を向上させることができる。シランカップリング剤Hとしては、テトラエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、ポリオキシアルキレン鎖含有トリエトキシシラン、イミダゾールシラン等が挙げられる。これらは1種を用いても2種以上を併用してもよい。シランカップリング剤Hとしては、市販品を使用することができる。市販品としては、KBM5013商品名、信越化学社製、3-アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中のシランカップリング剤Hの含有割合は、0.1~20質量が好ましく、1~10質量が特に好ましい。上記範囲の下限値以上であると、ネガ型感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の基材密着性が向上し、上記範囲の上限値以下であると、撥インク性が良好である。[熱硬化剤I]本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物は、必要に応じて、熱硬化剤Iを含んでいてもよい。ネガ型感光性樹脂組成物が熱硬化剤Iを含むことで、隔壁の耐熱性および耐透水性を向上させることができる。熱硬化剤Iとしては、アミノ樹脂、2個以上のエポキシ基を有する化合物、2個以上のヒドラジノ基を有する化合物、ポリカルボジイミド化合物、2個以上のオキサゾリン基を有する化合物、2個以上のアジリジン基を有する化合物、多価金属類、2個以上のメルカプト基を有する化合物、ポリイソシアネート化合物等が挙げられる。中でも、形成された隔壁の耐薬品性が向上する点から、アミノ樹脂、2個以上のエポキシ基を有する化合物または2個以上のオキサゾリン基を有する化合物が特に好ましい。ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の熱硬化剤Iの含有割合は、0.1~20質量が好ましく、1~20質量が特に好ましい。上記範囲であると、得られるネガ型感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。[リン酸化合物J]本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物は、必要に応じて、リン酸化合物Jを含んでいてもよい。ネガ型感光性樹脂組成物がリン酸化合物Jを含むことで、基材との密着性を向上させることができる。リン酸化合物しては、モノメタアクリロイルオキシエチルフォスフェート、ジメタアクリロイルオキシエチルフォスフェート、トリスメタアクリロイルオキシエチルフォスフェート等が挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中のリン酸化合物Jの含有割合は、0.1~10質量が好ましく、0.1~1質量が特に好ましい。上記範囲であると、得られるネガ型感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の基材との密着性が良好となる。[その他の添加剤]本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤、紫外線吸収剤等を使用することができる。[ネガ型感光性樹脂組成物]本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂A、光重合開始剤B、撥インク剤Cおよび溶媒Eを含有する。さらに、必要に応じて、黒色着色剤D、架橋剤Fを含有する。さらに、上記の微粒子G、シランカップリング剤H、熱硬化剤I、リン酸化合物Jおよびその他の添加剤を含有してもよい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物を製造する方法としては、特に制限されず、上記各成分の所定量を秤量し一般的な方法混合することで製造できる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、通常のネガ型感光性樹脂組成物と同様にフォトリソグラフィ等の材料として用いられ、得られた硬化膜は隔壁等として、通常のネガ型感光性樹脂組成物の硬化膜が用いられる光学素子の部材として、使用することが可能である。上記特定の撥インク剤Cとその他固形成分に、沸点およびFedorの溶解度パラメータ等に特徴を有する化合物溶媒E1を含む溶媒Eを組み合わせた本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いれば、上記の通り、330nm以下が遮光された光で露光した場合でも、撥インク性が良好な表面と親インク性が良好な側面を有する隔壁を形成できる。ネガ型感光性樹脂組成物の好ましい組み合わせ本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、用途や要求特性に合わせて組成と配合比を適宜選択することが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物における各種配合成分の好ましい組成を以下に示す。<組み合わせ1>アルカリ可溶性樹脂A:ビスフェノールA型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、上記式A1-2a~A1-2cで表されるエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂から選ばれる少なくとも1つの樹脂であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に10~60質量、光重合開始剤B:O-アシルオキシム系化合物であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に3~6質量撥インク剤C:1分子中に式1で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖と、酸性基を有する側鎖とを有する化合物から選ばれる少なくとも1つの撥インク剤であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に0.05~20質量、黒色着色剤D:カーボンブラック、有機顔料から選ばれる少なくとも1つの着色剤であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に20.95~60質量、溶媒E:該溶媒Eの全量に対して、沸点が165°C以上、かつFedorの溶解度パラメータが8.0~8.5である溶媒E1を30~90質量、溶媒E3としてPGMEAを10~70質量それぞれ含有する、溶媒Eをネガ型感光性樹脂組成物中に65~90質量、架橋剤F:1分子中に2つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない化合物であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に5~40質量、微粒子G:平均粒子径が200nm以下でマイナスに帯電しているシリカ微粒子であって、ネガ型感光性組成物における全固形分中に10~30質量、シランカップリング剤H:テトラエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、ポリオキシアルキレン鎖含有トリエトキシシラン、イミダゾールシランから選ばれる少なくとも1つの化合物であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に1~10質量、<組み合わせ2>アルカリ可溶性樹脂A、光重合開始剤B、撥インク剤C、黒色着色剤D、架橋剤F、微粒子Gおよびシランカップリング剤Hは組み合わせ1と同様であり、溶媒Eが以下である。溶媒E:該溶媒Eの全量に対して、沸点が165°C以上、かつFedorの溶解度パラメータが8.0~8.5である溶媒E1を30~75質量、脂肪族環構造を有し、Fedorの溶解度パラメータが9.5以上、かつ沸点が溶媒E1の沸点未満である溶媒E2を15~30質量、溶媒E3としてPGMEAを10~55質量それぞれ含有する、溶媒Eをネガ型感光性樹脂組成物中に65~90質量。<組み合わせ3>アルカリ可溶性樹脂A:ビスフェノールA型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、上記式A1-2a~A1-2cで表されるエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂から選ばれる少なくとも1つの樹脂であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に10~60質量、光重合開始剤B:O-アシルオキシム系化合物であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に3~6質量撥インク剤C:1分子中に式1で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖と、酸性基を有する側鎖とを有する化合物から選ばれる少なくとも1つの撥インク剤であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に0.05~20質量、黒色着色剤D:カーボンブラック、有機顔料から選ばれる少なくとも1つの着色剤であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に20.95~60質量、溶媒E:該溶媒Eの全量に対して、沸点が165°C以上、かつFedorの溶解度パラメータが8.0~8.5である溶媒E1を30~75質量、脂肪族環構造を有し、Fedorの溶解度パラメータが9.5以上、かつ沸点が溶媒E1の沸点未満である溶媒E2を15~30質量、溶媒E3としてPGMEAを10~55質量それぞれ含有する、溶媒Eをネガ型感光性樹脂組成物中に65~90質量、架橋剤F:1分子中に2つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない化合物であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に4~40質量、微粒子G:平均粒子径が200nm以下でマイナスに帯電しているシリカ微粒子であって、ネガ型感光性組成物における全固形分中に10~30質量、シランカップリング剤H:テトラエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、ポリオキシアルキレン鎖含有トリエトキシシラン、イミダゾールシランから選ばれる少なくとも1つの化合物であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に1~10質量、熱硬化剤I:アミノ樹脂、2個以上のエポキシ基を有する化合物、2個以上のオキサゾリン基を有する化合物から選ばれる少なくとも1つの化合物であって、ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中に1~20質量。[隔壁およびその製造方法]本発明の隔壁は、基板表面に区画を設けるために形成される隔壁であって、上記本発明のネガ型感光性樹脂組成物の硬化膜からなる。本発明の隔壁は、光学素子の用途に好適に用いられ、上記ネガ型感光性樹脂組成物が黒色着色剤Dを含有する場合には、得られる隔壁はブラックマトリックスとしての適用が可能である。本発明の隔壁は、例えば、基板表面に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子用の隔壁に適用される。本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いて本発明の光学素子用の隔壁を製造する方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物を上記基板表面に塗布して塗膜を形成し塗膜形成工程、次いで、上記塗膜を乾燥して膜とし乾燥工程、次いで、上記膜の隔壁となる部分のみを露光して光硬化させ露光工程、次いで、上記光硬化した部分以外の膜を除去して上記膜の光硬化部分からなる隔壁を形成させ現像工程、次いで、必要に応じて上記形成された隔壁等をさらに熱硬化させるポストベーク工程ことにより、本発明の光学素子用の隔壁が製造できる。また、現像工程とポストベーク工程の間に、上記形成された隔壁等をさらに光硬化させるポスト露光工程を入れてもよい。基板の材質は特に限定されるものではないが、各種ガラス板;ポリエステルポリエチレンテレフタレート等、ポリオレフィンポリエチレン、ポリプロピレン等、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン、ポリイミド、ポリメタアクリル樹脂等の熱可塑性プラスチックシート;エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂の硬化シート等を使用できる。特に、耐熱性の点からガラス板、ポリイミド等の耐熱性プラスチックが好ましい。また、ポスト露光を、隔壁が形成されていない裏面基板側から行うこともあるため、透明基板であることが好ましい。基板のネガ型感光性樹脂組成物の塗布面は、塗布前に予めアルコール洗浄、紫外線/オゾン洗浄等で洗浄することが好ましい。塗膜形成工程塗布方法としては、膜厚が均一な塗膜が形成される方法であれば特に制限されず、スピンコート法、スプレー法、スリットコート法、ロールコート法、回転塗布法、バー塗布法等、通常の塗膜形成に用いられる方法が挙げられる。特に大面積に一度に塗布できるスリットコート法であることが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物が、溶媒Eの一部として溶媒E2を含む場合には、該組成物は再溶解性に優れ、スリットノズル周辺の乾燥物に起因する不具合等を解消できることから、特にスリットコート法において有利である。塗膜の膜厚は最終的に得られる隔壁の高さとネガ型感光性樹脂組成物の固形分濃度を勘案して決められる。塗膜の膜厚は、最終的に得られる隔壁の高さの500~2,000が好ましく、550~1,000が特に好ましい。塗膜の膜厚は03~100μmが好ましく、1~50μmが特に好ましい。乾燥工程上記塗膜形成工程で基板表面に形成された塗膜を乾燥し、膜を得る。乾燥によって、塗膜を構成するネガ型感光性樹脂組成物に含まれる溶媒を含む揮発成分が揮発、除去され、粘着性のない膜が得られる。この際、撥インク剤Cが膜表面近傍に移行する。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、乾燥工程における、撥インク剤Cの膜表面への移行が促進されるように、上記組成を採用したものであり、ここで得られる膜表面の撥インク剤層の厚さは、以下の露光工程、現像工程を経ても充分に残存する厚さとなっている。乾燥の方法としては、真空乾燥や加熱乾燥プリベークが好ましい。また、塗膜外観のムラを発生させず、効率よく乾燥させるために、真空乾燥と加熱乾燥を併用することがより好ましい。真空乾燥の条件は、各成分の種類、配合割合等によっても異なるが、10~500Paで10~300秒間行うことが好ましい。加熱乾燥は、基板とともに塗膜をホットプレート、オーブン等の加熱装置により、50~120°Cで10~2,000秒間行うことが好ましい。なお、乾燥温度と時間は、ネガ型感光性樹脂組成物に用いる溶媒Eの組成により、撥インク剤Cの塗膜表面への移行が促進されるような条件を選択する。例えば、溶媒Eとして、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルを含む溶媒を用いる場合には、乾燥温度は75~100°Cが好ましく、乾燥時間は30~300秒間が好ましい。ここで、乾燥工程後の撥インク剤層の厚さは、以下の露光工程により硬化膜とした後、通常の現像工程において、未露光部分とともに、わずかながら除去される硬化膜隔壁表面の厚さ以上であることが求められる。露光工程において、330nm以下の光を遮光して露光を行った場合には、現像により除去される硬化膜隔壁表面の厚さは増大すると想定される。330nm以下の光を遮光して露光を行った場合であっても、乾燥工程後の撥インク剤層の厚さが概ね60nm以上であれば、露光工程後の現像工程を経た後も、硬化膜隔壁表面の撥インク性は確保される。よって、乾燥工程の撥インク剤層の厚さは、60nm以上であり、側面を親インク性とする観点から、300nm以下であることが好ましい。上記撥インク剤層の厚さは、例えば、次の方法により測定できる。試料となる表面に撥インク剤層を有する膜、すなわち、ネガ型感光性樹脂組成物の塗膜を乾燥して得られる膜について、初期膜厚を測定した後、以下の現像に用いる現像液の濃度と処理時間を変えて、表層からエッチングにより除去される膜の厚さ以下、エッチング厚ともいう。が異なるサンプルを複数枚作製する。ここで、エッチング厚は、初期膜厚からこれらエッチング処理後の膜サンプルについて測定した膜厚を引いた値として求められる。ついで、エッチング処理後の膜サンプルについて熱処理を行った後、撥インク性の有無を、例えば、PGMEAの接触角が40度以上を撥インク性有、40度未満を無として確認する。この撥インク性の有無とエッチング厚との関係から撥インク剤層の厚さを求める。露光工程得られた膜の一部に所定パターンのマスクを介して露光を行う。露光部のネガ型感光性樹脂組成物は硬化し、未露光部のネガ型感光性樹脂組成物は硬化しない。照射する光としては、可視光;紫外線;遠紫外線;KrFエキシマレーザ、ArFエキシマレーザ、F2エキシマレーザ、Kr2エキシマレーザ、KrArエキシマレーザ、Ar2エキシマレーザ等のエキシマレーザ;X線;電子線等が挙げられる。また、照射光としては、波長100~600nmの光が好ましく、300~500nmの範囲に分布を有する光がより好ましく、i線365nm、h線405nmおよびg線436nmが特に好ましい。ミラープロジェクションMPA方式での露光方法を用いる場合には、330nm以下の光を遮光して露光光線が照射される。照射装置として、公知の超高圧水銀灯等を用いることができる。露光量は、i線基準で、5~1,000mJ/cm2が好ましく、10~200mJ/cm2が特に好ましい。また、カットフィルタ等により330nm以下の電磁波をカットした場合には、i線基準で、5~1,000mJ/cm2が好ましく、5~200mJ/cm2がより好ましく、10~100mJ/cm2がさらに好ましく、15~50mJ/cm2が特に好ましい。露光量が上記範囲の下限値以上であると、隔壁となるネガ型感光性樹脂組成物の硬化が充分であり、その後の現像で溶解や基板からの剥離が生じにくくなる。上記範囲の上限値以下であると、高い解像度が得られる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物から得られる硬化膜の表面は、カットフィルタ等により330nm以下の電磁波をカットした場合でも、特に撥インク性が良好である。現像工程現像液により現像し、未露光部分のネガ型感光性樹脂組成物を除去する。現像液としては、無機アルカリ類、アミン類、アルコールアミン類、第4級アンモニウム塩等のアルカリ類を含むアルカリ水溶液を用いることができる。また現像液には、溶解性の向上や残渣除去のために、界面活性剤やアルコール等の有機溶媒を添加することができる。現像時間現像液に接触させる時間は、5~180秒間が好ましい。また現像方法は液盛り法、ディッピング法、シャワー法等が挙げられる。現像後、高圧水洗や流水洗浄を行い、圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによって、基板表面の水分を除去できる。ポスト露光工程次に、必要に応じてポスト露光を行ってもよい。ポスト露光は隔壁が形成されている表面、または隔壁が形成されていない裏面基板側のいずれから行ってもよい。また、表裏両面から露光してもよい。露光量は、50mJ/cm2以上が好ましく、200mJ/cm2以上がより好ましく、1,000mJ/cm2以上がさらに好ましく、2,000mJ/cm2以上が特に好ましい。照射する光としては、紫外線が好ましく、光源として、公知の超高圧水銀灯または高圧水銀灯等を用いることができる。これらの光源は隔壁の硬化に寄与する600nm以下の光を発光し、かつ、隔壁の酸化分解の原因となる200nm以下の光の発光が少ないため、好ましく用いられる。さらに水銀灯に用いられている石英管ガラスが200nm以下の光をカットする光学フィルタ機能を有することが好ましい。光源としては、低圧水銀灯を用いることもできる。ただし、低圧水銀灯は200nm以下の波長の発光強度も高く、オゾンの生成により隔壁の酸化分解が起こり易いため、多量の露光を行うことは好ましくない。露光量は500mJ/cm2以下であることが好ましく、300mJ/cm2以下が特に好ましい。ポストベーク工程続いて、隔壁を加熱することが好ましい。ホットプレート、オーブン等の加熱装置により、5~90分間加熱処理をすることによって、隔壁および隔壁で区分された領域ドットとからなるパターンが形成される。加熱温度は150~250°Cが好ましく、180~250°Cが特に好ましい。加熱温度が上記範囲の下限値以上であると、隔壁の硬化が充分であり、充分な耐薬品性が得られ、その後のインクジェット塗布工程でインクを塗布した場合に、そのインクに含まれる溶媒により隔壁が膨潤したり、インクが滲んでしまうことがない。上記範囲の上限値以下であると、隔壁の熱分解が生じにくい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物から形成されるパターンは、隔壁の幅の平均が、100μm以下であることが好ましく、20μm以下であることが特に好ましい。隣接する隔壁間の距離ドットの幅の平均は、300μm以下であることが好ましく、100μm以下であることが特に好ましい。隔壁の高さの平均は、0.05~50μmであることが好ましく、0.2~10μmであることが特に好ましい。なお、ネガ型感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の撥インク性は、PGMEAの接触角で見積もることができ、PGMEAの接触角は40度以上が好ましく、45度以上が特に好ましい。上記範囲であると、インクジェット塗布液が隣接画素内に溢れ出ることによる混色を防ぐのに充分な撥インク性となる。本発明の隔壁が適用される光学素子としては、カラーフィルタ、有機EL素子等が挙げられる。[カラーフィルタの製造方法]上記のように基板表面に隔壁、例えば、ブラックマトリックスを形成した後、ブラックマトリックスで区分された領域内に、インクジェット法によりインクジェット装置を用いてインクを注入して画素を形成することで、カラーフィルタを製造できる。以下、隔壁がブラックマトリックスである場合を例に説明する。また、上記ブラックマトリックスが形成された基板においては、該ブラックマトリックスで仕切られた領域ドット内にインクを投入する前に、ドット内に露出した基板表面に、例えば、アルカリ水溶液による洗浄処理、紫外線洗浄処理、紫外線/オゾン洗浄処理、エキシマ洗浄処理、コロナ放電処理、酸素プラズマ処理等の方法で親インク化処理が施されてもよい。インクジェット装置としては、特に限定されるものではないが、帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等の各種の方法を用いた装置を用いることができる。画素の形状は、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、4画素配置型等の公知のいずれの配列とすることも可能である。インクジェット法に用いるインクは、主に着色成分とバインダー樹脂成分と溶剤とを含む。着色成分としては、耐熱性、耐光性等に優れた顔料および染料を用いることが好ましい。バインダー樹脂成分としては、透明で耐熱性に優れた樹脂が好ましく、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。水性のインクは、溶剤として水および必要に応じて水溶性有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として水溶性樹脂または水分散性樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。また、油性のインクは、溶剤として有機溶剤を含み、バインダー樹脂成分として有機溶剤に可溶な樹脂を含みし、必要に応じて各種助剤を含む。なお、インクジェット法においては、上記インクジェット装置でドットにインクを注入した後、ドット内に形成されたインク層に対して、必要に応じて、乾燥、加熱硬化、紫外線硬化等の処理を行うことで画素が形成される。画素形成後、必要に応じて、保護膜層を形成する。保護膜層は表面平坦性を上げる目的とブラックマトリックスや画素部のインクからの溶出物が液晶層に到達するのを遮断する目的で形成することが好ましい。保護膜層を形成する場合は、事前にブラックマトリックスの撥インク性を除去することが好ましい。撥インク性を除去しない場合、オーバーコート用塗布液をはじき、均一な膜厚が得られないため好ましくない。ブラックマトリックスの撥インク性を除去する方法としては、プラズマアッシング処理や光アッシング処理等が挙げられる。さらに必要に応じて、カラーフィルタを用いて製造される液晶パネル等の高品位化のためにフォトスペーサをブラックマトリックス上に形成することが好ましい。[有機EL素子の製造方法]隔壁を形成する前に、ガラス等の透明基板にスズドープ酸化インジウム錫ITO等の透明電極をスパッタ法等によって製膜し、必要に応じて所望のパターンに透明電極をエッチングする。次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成し、ドットの親インク化処理後、インクジェット法を用いてドットに正孔輸送材料、発光材料の溶液を順次塗布、乾燥して、正孔輸送層、発光層を形成する。その後アルミニウム等の電極を蒸着法等によって形成することによって、有機EL素子の画素が得られる。以下に実施例を用いて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、例1~11は実施例、例21~24が比較例である。[評価方法]各測定は以下の方法で行った。数平均分子量Mn、質量平均分子量Mwゲルパーミエーションクロマトグラフィー法GPC法により、ポリスチレンを標準物質として測定した。撥インク剤C中のフッ素原子の含有率、エチレン性二重結合の量、酸価撥インク剤C中のフッ素原子の含有率は、1,4-ジトリフルオロメチルベンゼンを標準物質として、19FNMR測定により算出した。撥インク剤C中のエチレン性二重結合の量は、1,4-ジトリフルオロメチルベンゼンを標準物質として、1HNMR測定により算出した。撥インク剤Cの酸価mgKOH/gは、原料である単量体の配合割合から算出した理論値である。膜厚膜および硬化膜の膜厚は、高精度微細形状測定機SURFCORDERET4000A小坂研究所製を用いて測定した。[化合物の略語]合成例および実施例で用いた化合物の略語は以下の通りである。アルカリ可溶性樹脂AZCR1642:上式A1-2aで表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂日本化薬社製、商品名:ZCR-1642H、質量平均分子量Mw:5,800、酸価:100mgKOH/g、固形分:70質量、PGMEA:30質量。ZAR2001:ビスフェノールA骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂日本化薬製、商品名:ZAR2001H、質量平均分子量Mw:16,200、酸価:100mgKOH/g、固形分:70質量、PGMEA:30質量。光重合開始剤BOXE02:エタノン1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]-1-O-アセチルオキシム式4で表される化合物において、R3:メチル基、R4:メチル基、R5:エチル基、R6、R8、R9:水素原子、R7:2-メチルベンゾイル基で示される。BASF社製、商品名:OXE02。。NCI831ADEKA社製、商品名:アデカクルーズNCI-831。。撥インク剤Cの合成に用いた化合物MEK:2-ブタノン。C6FMA:CH2=CCH3COOCH2CH2CF26F単量体a1に該当する。。MAA:メタクリル酸単量体a4に該当する。。PME400:ブレンマーPME-400日本油脂社製、CH2=CCH3COOCH2CH2OkCH3、式中のkは分子間の平均値を示し、kの値は約9である。単量体a5の化合物12に該当する。。2-HEMA:2-ヒドロキシエチルメタクリレート単量体a3に該当する。。V-65:アゾ系重合開始剤和光純薬工業社製、商品名:V-65。AOI:2-アクリロイルオキシエチルイソシアネート昭和電工社製、商品名:カレンズAOI化合物z1に該当する。。DBTDL:ジブチル錫ジラウレート。BHT:2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール。黒色着色剤D高分子分散剤CB:カーボンブラック分散液平均2次粒径:120nm、カーボンブラック:20質量、アミン価18mgKOH/gのポリウレタン系高分子分散剤:5質量、PGMEA:75質量。。混合有機顔料:C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントイエロー139および高分子分散剤の10:5:5:5の混合物固形分:25質量、PGMEA:75質量。。溶媒Ei溶媒E1EDM:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル沸点:176°C、SP値:8.2。EDE:ジエチレングリコールジエチルエーテル沸点:189°C、SP値:8.2。BDM:ジエチレングリコールブチルメチルエーテル沸点:212°C、SP値:8.2。を含むネガ型感光性樹脂組成物を用いた例4~8および10~11は、再溶解性が良好であった。一方、表3において、Fedorの溶解度パラメータが8.0~8.5である溶媒を含まないネガ型感光性樹脂組成物を用いた例21および22では、隔壁表面の撥インク性、隔壁側面の親インク性および撥インク剤層の厚さが不充分であった。なお撥インク剤層の厚さが、それぞれ56nm未満、33nm未満と記載しているが、これはエッチングがそれぞれ56nmと33nmの時に硬化膜のPGMEAの接触角が40度未満であったことを表している。正確な撥インク剤層の厚さは評価していないが、隔壁表面に良好な撥インク性を付与するために必要な撥インク剤層の厚さである60nmより小さいことが分かる。Fedorの溶解度パラメータが8.5より大きい溶媒を用いた場合、撥インク剤がその他の固形分との間に働く斥力を抑制する結果、表面移行性が低下し、またFedorの溶解度パラメータが8.0より小さい場合、働く斥力が強すぎる結果、撥インク剤が膜内部で凝集してしまい、撥インク剤の表面移行性が低下したためと推定される。Fedorの溶解度パラメータが8.1で沸点が162°Cの溶媒を含むネガ型感光性樹脂組成物を用いた例23では、隔壁表面の撥インク性が不良で、撥インク剤層の厚さが不充分であった。沸点が165°C未満であると乾燥工程における塗膜の乾燥速度が速く、撥インク剤が充分に表面移行する前に溶媒が蒸発して、撥インク剤が表面移行できない状態になったためだと推定される。溶媒E1の溶媒Eの全量に対する割合が5質量であるネガ型感光性樹脂組成物を用いた例24では隔壁表面の撥インク性が不良で、撥インク剤層の厚さが60nm以下で不充分であった。溶媒E1の含有量が少ないため、撥インク剤が充分に表面移行する前に溶媒が蒸発して、撥インク剤が表面移行できない状態になったためと推定される。"