"ウエハー容器をパージする方法であって、穴を形成する内向面を有するグロメットと、前記穴の中に少なくとも部分的に配置された作動部材と、を有するウエハー容器を選択する段階、ここで、前記グロメットは弾性材料で作られており、前記穴は流路を形成しており、前記作動部材は前記穴の内向面において弾性材料とシール係合しており、前記グロメットはウエハー容器の外側に露出した弾性部を有しており、前記弾性部は着座面を提供しており、前記弾性部の着座面をパージ用ノズルに接触させる段階、前記ノズルからの力で前記弾性部を圧縮することによって、前記グロメットをパージ源と連結する段階、及びパージガスをウエハー容器に導入する段階を有することを特徴とする方法。前記ウエハー容器がドアと下向きの面を有するグロメットとを有しており、前記ウエハー容器の下から前記グロメットを前記ノズルと係合する段階を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。前記グロメットの軸に対して垂直である前記グロメットの一面に前記ノズルを係合する段階を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記ノズルの接触部は、前記グロメットの穴の周囲であり且つ該穴から径方向に離間していることを特徴とする請求項1に記載の方法。ウエハー容器をパージする方法であって、ドアを有する開閉式の容器とグロメットとを備えるウエハー容器を選択する段階、ここで、前記グロメットは弾性材料で作られており、前記グロメットは軸と一面と内部を貫通する開口部とを有し、前記グロメットは前記容器の外部から内部への流路を提供しており、前記グロメットの一面は前記軸に垂直な平面であり且つ前記流路の周囲に位置しており、前記グロメットの一面をパージ用ガス源に連結する段階、ノズルからの力で前記グロメットの弾性材料を前記グロメットの平面上に軸方向に圧縮することによって、前記流路の径方向外側において前記グロメットと前記ノズルとの間をシールする段階、及び前記容器の内部にある少なくとも一部のガスを前記パージ用ガス源からのガスで置換する段階を有することを特徴とする方法。前記容器の内部にあるガスを置換する段階は、真空によって前記ウエハー容器の内部にあるガスを吸い出すことによって行われることを特徴とする請求項5に記載の方法。前記ノズルの接触箇所は、前記グロメットの穴の周囲であり且つ該穴から径方向に離間していることを特徴とする請求項5に記載の方法。前記グロメットの軸に垂直な前記グロメットの平面に前記ノズルを係合する段階を含むことを特徴とする請求項5に記載の方法。前記作動部材は逆止弁であることを特徴とする請求項1に記載の方法。前記グロメット内の逆止弁によってパージ用ガスの流れを制御する段階を含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。ウエハー容器の外部に露出したグロメットを有するウエハー容器をパージする方法であって、パージ源とグロメットとを接続する段階と、ウエハー容器内部にパージ用の気体を注入する段階とを含む方法。ウエハー容器にパージ用逆止弁を固定する方法であって、グロメットの穴に逆止弁を挿入し、グロメットをウエハー容器の受容構造に挿入することを含む方法。実施例の詳細な説明図1Aは、ウエハー容器102、底部104及び囲み部106を有するウエハー容器組立体100の一例を図示している。底部104はウエハー容器102を外気108から隔離することができる内部空間を形成するために囲み部106と密封的に係合するためのものである。図1に示すように、ウエハー容器102はその内部に複数のシリコンウエハを保持し、位置を決めるための複数の構成部材110を有することができる。通常、構成部材110は隣接するウエハーとの接触が最小となるようシリコンウエハを保持し位置決めし、これによって、シリコンウエハの加工及び/または輸送中に起こり得るウエハーの損傷を減らすことができる。図1Bは、開口した前部104、前部ドア105、及び囲み部107を有しFOUPsまたはFOSBとして知られる他の形状のウエハー容器組立体103を図示している。ウエハーWは開口した前部から水平方向に取り出すことができる。内部側に形成されたスロットはウエハーを保持する。シールを備えた前部ドア105は、外気から隔離された内部空間を形成するために囲み部107と密封的に係合する。ウエハー容器の構造は、参照によってここに導入する、例えばバートらBhattetalの複合基板キャリヤという名称の米国特許第6428729号に記載されている。加えて、前開口部及びそこに係止するドアを有し、FOUPsまたはFOSBsとして知られるウエハー搬送容器は本出願の出願人によって所有され、参照によってここに導入する、例えば米国特許第6354601号、同5788082号、同6010008号に記載されている。グロメット124、125用の受容構造109が囲み部の底壁中にあり得る。図2はウエハー容器セクション120の一例である。一つの形式の実施例において、セクション120はウエハー容器の側部のふた、底部のふた若しくはドアである。他形式の実施例においては、セクション120は取り外しができず、開くことのできない壁面である。セクション120は開口部122、123の形をしたアクセス構造と、開口部122、123の内部に設置されたグロメット124、125、及び複数の状態用開口部126を有して描かれている。ウエハー容器と接続するための探針や他のモニタ要素のようなセンサーのための構造を提供するため、一般に、複数の状態用開口部126がふた部120上の望む場所に配置できる。例えば、センサーと特定の状態用開口部126との間の接続はウエハー処理段階等の状態に関する情報を提供することができる。ある実施例においては、開口部122はセクション120の内側への流体の移動を円滑にし、これによって、ウエハー容器内部への気体や他の流体の導入を円滑にすることができる。同様に、開口部123はウエハー容器内にある気体や流体が外気に排出できるようにセクション120を通じたウエハー容器の外部への流体の移動を与える。つまりこの実施例においては、開口部122は流入口であり、開口部123は流出口である。図2に描かれている実施例はセクション120に二つの開口部122、123を有するが、セクション120に4、5、6、それ以上のアクセス構造を有する実施例も想定しており、それらもこの開示の範囲内のものである。図2に示すように、グロメット124は開口部122を密閉するために開口部122の内部に設置されており、グロメット125は開口部123を密閉するために開口部123の内部に設置されている。以下に説明するように、グロメット124、125はそれぞれ対応する開口部122、123の内部に対するシールを形成し、グロメットを通る少なくとも一つの穴もしくは流路を提供する。ある実施例においては、グロメット124、125の本体がそれぞれ開口部122、123の内部の特徴と一致する断面形状をとっており、対応する開口部152、153を密閉し実質的に塞ぐ大きさにされている。当業者は、開口部122、123の断面の形状と大きさが、特定のウエハー容器に対する気体の流れの要件と操作圧によって導き出されることを認識するであろう。関連する実施例図示しないにおいては、グロメット124が二つの異なる流路を有している。図3はグロメット124、125の一つの実施例を示している。この実施例によるグロメット124、125は、ほぼ円筒状の本体128を有する。一つの形式の実施例において、本体128は必要な密閉特性を有するゴム、シリコン、もしくは他の種類の弾性体や重合体によって形成されている。本体128は円筒状の壁の外側に沿って環状に配されたシール用の特徴構造を任意的に備える。グロメット124、125は本体128の中央を通る穴132も有する。穴132を形成する本体128の内向面は、穴132内に少なくとも部分的に位置する作動部材134に対してシールするため、任意的にシール用の特徴構造図示しないを有する。一実施例において、作動部材132は逆止弁のような弁である。他の実施例においては、作動部材132は流体用フィルタである。また他の実施例においては、作動部材132は温度センサーや流量センサー、圧力センサー、ガス濃度センサー、物質検出計、近接センサーといったセンサーである。別の実施例では、作動部材132は単に流路204を流体が通るのを防ぐための栓である。図4はふた部150の一例を図示している。ふた部150は、ふた用囲み部170、係止部材172,174、カム176及び外側ふたセクション178を含む。カム176は係止部材172,174と連結しており、カム176の回転が係止部材172、174を作動させ、これによって突起180がハウジング170にある開口部182を通って突出すると共に、ハウジング170を他の囲み部図示しないにロックする。外側ふたセクション178は係止部材172,174とカム176の上に組み付けられている。ふた部150もアクセス構造160,161を備える。アクセス構造160は流入用開口部152と流導管157を含む。アクセス構造161は流出用開口部153と流導管158を有する。流導管157,158はそれぞれ、ウエハー容器の外側から内側へかけてのふた部150の厚みを通って延びる高さを有するほぼ円筒状の壁を有している。流導管157,158は作動サブアッセンブリ162、163をそれぞれ保持する。図5A、5Bは作動サブアッセンブリ162,163をより詳細に図示している。作動サブアッセンブリ162は流入用サブアッセンブリであり、本体202と穴205を有するグロメット154を含む。作動サブアッセンブリ162はさらに、穴204に挿入できる逆止弁211と、フィルタ210を有する。フィルタ210の実施例は、HEPAろ過のような適した技術の粒子フィルタや同様のものを含む。作動サブアッセンブリ163は本体203と穴205を有するグロメット155を含む排出用サブアッセンブリである。任意に、作動サブアッセンブリ162、163は、作動カートリッジとしてそれぞれの構成部品を予め組み付けられたものである。図5Cは作動部分組立品162の流導管157への組み付けを図示している。フィルタ210はグロメット154の底部と流導管157の保持面164との間で定位置に保持される。グロメット154は流導管157内部に装着されて、流導管157の内壁と共にシールを形成する。逆止弁211はグロメット154を通る流路204内に密封可能に装着され、図5Cに示されるように下向きの流れが許容されるように調整されている。上述したとおり、ふた部150またはウエハー容器組立体のセクション120のような囲み部のいずれの部位にある開口部152、153もこの開示にあるグロメットによって密閉することができる。ある実施例において、グロメットは囲み部内に位置し、囲み部の長軸方向に延びる穴を有する本体を含む。加えて、この開示のグロメットの実施例は、穴に設置された作動部材を含むことができる。作動部材は、穴を通る気体や他の流体の流れを調節できる逆止弁やフィルタ、センサー、それらの組み合わせを有することができる。ウエハー搬送容器のドアと/または囲み部上の流入口と流出口の両方を密閉するためにグロメットを用いることができるように、この開示中で採用されている逆止弁は、穴の内部で方向付けられ得る。加えて、以下に記述するように、グロメット本体の設計によってはさらにO-リングなどを付け加える必要なく、開口部の密閉を容易にする。この開示のグロメットの実施例はグロメット本体、逆止弁と/またはフィルタを組み合わせて一体のカートリッジとすることができ、これによって全体的にグロメットの密封性を向上させ、ウエハー搬送容器組立体のより簡単な構成を可能とする。幾つかの実施例においては、グロメットの軸方向の長さは約1/8インチ3175×103mから1インチ254×102mであり、他の実施例では、約3/8インチ9525×103mから3/4インチ1905×102mである。加えて、この開示のグロメットの実施例は約1/4インチ635×103mから1.5インチ381×102mの直径であり、他の実施例においては、約1/2インチ127×102mから3/4インチ1905×102mの直径である。当業者は、さらに別の範囲のグロメットの軸方向の長さと直径が想定され、かつこの開示の範囲内のものであることを認識するであろう。グロメットは多くの方法によって従来技術のO-リングと区別することができる。例えば、グロメット構造は弾性体を提供し、これは貫通穴を有するほぼ円筒状の形状であり、その穴も円筒状である。その穴は挿入された作動部品の長さの、全体又はほぼ全体を含むのに十分な長さである。グロメットはその軸に対し垂直な平面を少なくとも一つは有するのが好ましい。そのような面はパージ装置の一部である突起部やノズルのための着座面として効果的に利用できる。体積としては、グロメットはその中の作動部品より大きいのが好ましい。グロメットの断面積は軸方向に延びる穴の断面積より大きいため、軸平面に断面積を有する。グロメットは内部を通る軸方向に延びた開口部又は穴の直径よりも長い軸方向長さを有する。O-リングがほぼ円形の断面図を示すのに対し、グロメットは非円形断面と、円筒状の内向面と、円筒状の外向面と平面状の端面とを有する。図6Aと6Bは、この開示中の実施例における気体パージ用装置を表す断面図である。例示したグロメット300、302は、内部308と外部310を有する例示したウエハー容器のアクセス構造304と306にそれぞれ設置されている。アクセス構造304,306はウエハー容器の壁部またはドア312内に形成されており、それぞれパージ用ポートとして機能している。アクセス構造304は、グロメット300と密封可能に係合するための特別な形状を有する支持体314を有する。同様に、グロメット302と係合するための形状を有する支持体316をアクセス構造306は有する。図に示すように、グロメット300と302は、支持体314と316の特定の内部表面との流体密封接触を作るための様々なシール用特徴構造318、320を有している。図6Aは流入装置を図示しており、図6Bは流出装置を図示している。それぞれの装置について流れの方向が示されている。図6Aの流入装置もグロメット300と保持構造314との接触面間に位置し、流体密閉されたフィルタ322を含んでいる。図6Aの流入装置は、示されている流れ方向にのみ流体が移動するようにするために設置された一方向弁組立体324を含む。同じように、図6Bの流出装置も、図示された流れ方向にのみ流体を移動させるために設置された一方向弁組立体326を有している。弁組立体324、326は、グロメット300と302の穴によって形成される流路328と330の内部にそれぞれ流体密閉される。グロメット300と302は、流路328と330内部に弁組立体324,326を定位置に確実に保持するため、保持構造332、334を有する。ある種の実施例においては、一方向弁324と326は、弁本体336、338と、外側密閉用リング340、342と、内側密閉用リング344、346と、可動ピストン348、350と、付勢用バネ352,354とを有している。作動中において、ウエハー容器の内部308に存在する空気すなわち気体を新しく導入した空気、気体もしくは他の流体によって置換するパージ作業の間に、流入装置と流出装置は協調して機能することができる。一つの実施例では、図6Bに図示したように減圧源360と内部空間308とが流出用ノズル362によって連結される。流出用ノズルはグロメット302の接触面364と接続するようになっている。グロメット302内に流出用ノズルによって下向きの力が生じると、グロメット302は圧縮するが、保持構造316のシール用内部表面と弁組立体326の外部表面それぞれとのシールは維持する。ある実施例においては、グロメット302と保持構造316との間のシールと弁組立体326は、流出用ノズル362によってグロメット302に加えられる下向きの力によって実際に改善され、あるいはより効果的になっている。減圧源360と内部空間308とが連結しているため、内部空間308に存在する流体は図6Bの流出口を通ってウエハー容器から吸引され、置換用流体がフィルタ322と図6Aの流入口を通って引き込まれる。関連する実施例図示しないにおいて、流出用ノズル362と似た形状であり、流出用ノズル362が流出口用グロメット302と連結しているのと同じ様式で流入口用グロメット300と連結している流入用ノズルによって、置換用流体供給源図示しないが内部空間308と繋がっている。別の実施例図示しないにおいては、グロメット302に流出用ノズルは連結しておらず、圧縮された置換用流体が流入用ノズルにより内部空間308へと運ばれる。この実施例では、置換された流体は図6Bの流出口から単純に排出される。グロメット300と302は通常、グロメットが密閉するために設計された開口部同じ断面形状を有している。例えば、ある実施例において、グロメット300,302はほぼ円形断面を有するほぼ円筒状の形をしている。しかしながら、当業者は、多様なグロメットの形状がこの開示の想定内にあることを認識するであろう。ある実施例では、グロメット300と302は同一の部品である。関連する実施例において、弁組立体324と326は同一の部品である。それ故ある種の実施例においては、同じ部品を用いて流入口と流出口の開口部の両方を密閉するために、この開示の部品を用いることができる。他の実施例では、保持構造332、334が弁組立体324、326を保持するのと同じまたは類似の方法によって、フィルタ322のようなフィルタを安定に保持するための付加的な保持構造図示しないをこの開示のグロメットはさらに有することができる。このように、予め組み立てた作動サブアッセンブリは、グロメット、弁、フィルタを一体のサブアッセンブリに組み込むことができる。この開示のグロメットのグロメット本体、フランジ、及びその他の部品は、重合体やエラストマを含む半導体加工用途への使用に適した素材によって構成されている。幾つかの実施例において、グロメット本体とフランジはフルオロエラストマーで構成されている。フルオロエラストマーの例はデュポンダウエラストマーズDupontDowElastomersからビトン登録商標VitonRの商品名で販売されているものが挙げられる。それに加えていくつかの実施例においては、基板容器の内部から弾性材を隔離するため、グロメット本体またはグロメットがその表面を覆うフルオロ重合体や他の不活性重合体を有することができる。一般的に重合体やフルオロ重合体によるコーティングは弾性グロメットの密封性を維持するようにある程度の柔軟性を有しているべきである。上記の実施例は説明を意図するものであり、限定するものではない。追加の実施例が請求項の範囲内にある。この発明は特定の実施例を参照して説明したが、当業者は本発明の精神と範囲から逸脱することなく形態と内容についての変更がなされることを認識するであろう。"