"流路が形成された流路形成基板と、前記流路と連通するノズル穴を有するノズル板と、前記流路に圧力変化を生じさせるアクチュエーターと、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、赤外線顕微鏡を用いて、前記液体噴射ヘッドを、前記ノズル板側から観察する工程を含み、前記ノズル板の材質は、シリコンである、液体噴射ヘッドの検査方法。請求項1において、前記液体噴射ヘッドを観察する工程では、前記流路形成基板と前記ノズル板との間の接着状態を観察する、液体噴射ヘッドの製造方法。請求項1または2において、前記液体噴射ヘッドを検査する工程では、前記流路形成基板に生じた欠陥および前記ノズル板に生じた欠陥を観察する、液体噴射ヘッドの製造方法。具体的には、流路形成基板とノズル板との接着状態の目視による外観検査は、例えば、検査対象となるノズル板の表面の状態と、良品と不良品となる品質の限界を示した限度サンプルの表面の状態と、を目視によって比較して行う。この外観検査では、ノズル板の表面を見て接着状態を判定しなければならないため、良品か不良品かの判定が難しく、良品が不良品と判定されたり、不良品が良品と判定されたりする場合がある。また、破壊検査は、例えば、一連の接着工程で製造された製品、または同一日に接着された製品のなかから一部を抜き取り、その製品を破壊して行う。そのため、例えば、全数検査ができず、完全な品質保証ができない。このように従来の検査方法では、信頼性の高い検査を行うことができないという問題があった。本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、信頼性の高い検査を行うことができる液体噴射ヘッドの検査方法を提供することにある。本発明に係る液体噴射ヘッドの検査方法は、流路が形成された流路形成基板と、前記流路と連通するノズル穴を有するノズル板と、前記流路に圧力変化を生じさせるアクチュエーターと、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、赤外線顕微鏡を用いて、前記液体噴射ヘッドを、前記ノズル板側から観察する工程を含み、前記ノズル板の材質は、シリコンである。このような液体噴射ヘッドの検査方法によれば、非破壊で、流路形成基板とノズル板との間の接着状態や流路形成基板に生じた欠陥およびノズル板に生じた欠陥を明瞭に観察することができる。したがって、信頼性の高い検査を行うことができる。本発明に係る液体噴射ヘッドの検査方法において、前記液体噴射ヘッドを観察する工程では、前記流路形成基板と前記ノズル板との間の接着状態を観察してもよい。このような液体噴射ヘッドの検査方法によれば、流路形成基板とノズル板との間の接着状態について、信頼性の高い検査を行うことができる。本発明に係る液体噴射ヘッドの検査方法において、前記液体噴射ヘッドを検査する工程では、前記流路形成基板に生じた欠陥および前記ノズル板に生じた欠陥を観察してもよい。このような液体噴射ヘッドの検査方法によれば、流路形成基板に生じた欠陥およびノズル板に生じた欠陥について、信頼性の高い検査を行うことができる。以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。1.液体噴射ヘッドまず、本発明に係る検査の対象となる液体噴射ヘッドの一例として、当該液体噴射ヘッドがインクジェット式記録ヘッドである場合について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明に係る検査の対象となる液体噴射ヘッド100を模式的に示す分解斜視図である。図2は、液体噴射ヘッド100を模式的に示す平面図である。図3は、液体噴射ヘッド100を模式的に示す断面図である。なお、図3は、図2のIII-III線断面図である。図2および図3では、便宜上、保護基板40、駆動回路60の図示を省略している。液体噴射ヘッド100は、図1~図3に示すように、アクチュエーター10と、流路形成基板30と、保護基板40と、ノズル板50と、駆動回路60と、を含む。アクチュエーター10は、振動板12a,12bと、圧電素子13と、を有する。アクチュエーター10は、図1~図3に示すように、1つの圧力発生室32に対して1つ配置されている。振動板12a,12bは、流路形成基板30上に形成されている。振動板12a,12bは、可撓性を有し、圧電体16の動作によって変形屈曲することができる。これにより、圧力発生室32の容積を変化させることができる。図示の例では、振動板12a,12bは、2層であるが、その層数は特に限定されない。振動板12aの材質は、例えば、酸化シリコンであり、振動板12bの材質は、例えば、酸化ジルコニウムである。なお、図示はしないが、振動板12a,12bを設けずに、第1電極14が振動板であってもよい。すなわち、第1電極14が、圧電体16に電圧を印加するための一方の電極としての機能と、圧電体16の動作によって変形することのできる振動板としての機能と、を有していてもよい。圧電素子13は、第1電極14と、圧電体16と、第2電極18と、を有する。圧電素子13は、流路形成基板30上に設けられている。圧電素子13は、駆動回路60に電気的に接続され、駆動回路の信号に基づいて、動作振動、変形することができる。第1電極14は、振動板12b上に形成されている。第1電極14の形状は、例えば、層状または薄膜状である。第1電極14の厚みは、例えば、50nm以上300nm以下とすることができる。また、第1電極14の平面形状は、第2電極18が対向配置されたときに両者の間に圧電体16を配置できる形状であれば、特に限定されず、例えば、矩形である。第1電極14の材質は、例えば、ニッケル、イリジウム、白金などの各種の金属、それらの導電性酸化物例えば酸化イリジウムなど、ストロンチウムとルテニウムの複合酸化物SrRuOx:SRO、ランタンとニッケルの複合酸化物LaNiOx:LNOなどである。第1電極14は、例示した材料の単層構造でもよいし、複数の材料を積層した構造であってもよい。第1電極14の機能の一つとしては、第2電極18と一対になって、圧電体16に電圧を印加するための一方の電極例えば、圧電体16の下方に形成された下部電極となることが挙げられる。第1電極14は、図示の例では、複数の圧電素子13の共通電極である。第1電極14は、配線図示せずを介して、駆動回路60と電気的に接続されている。圧電体16は、第1電極14上に形成されている。圧電体16は、例えば、第1電極14の上面および側方、並びに振動板12bの上方に形成されている。圧電体16の厚さは、例えば、300nm以上3000nm以下とすることができる。圧電体16は、圧電材料によって形成される。そのため、圧電体16は、第1電極14および第2電極18によって電圧が印加されることで変形することができる。この変形により振動板12a,12bは、変形屈曲することができる。これにより、圧力発生室流路32に圧力変化を生じさせることができる。圧電体16の材質は、一般式ABO3で示されるペロブスカイト型酸化物たとえば、Aは、Pbを含み、Bは、ZrおよびTiを含む。が好適である。このような材料の具体例としては、チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,TiO3、チタン酸バリウムBaTiO3、ニオブ酸カリウムナトリウムK,NaNbO3などが挙げられる。第2電極18は、圧電体16上に形成されている。第2電極18は、第1電極14に対向配置されている。第2電極18の厚みは、例えば、50nm以上300nm以下とすることができる。第2電極18の平面形状は、第1電極14に対向配置されたときに両者の間に圧電体16を配置できる形状であれば、特に限定されず、例えば、矩形である。第2電極18の材質は、例えば、第1電極14の材質として列挙した上記材料である。第2電極18の機能の一つとしては、圧電体16に電圧を印加するための一方の電極例えば、圧電体16の上方に形成された上部電極となることが挙げられる。第2電極18は、配線19を介して、駆動回路60と電気的に接続されている。流路形成基板30は、アクチュエーター10振動板12aの下に設けられている。流路形成基板30の材質は、例えば、シリコンである。流路形成基板30がノズル板50と振動板12aとの間の空間を区画することにより、図1に示すように、リザーバー液体貯留部34と、リザーバー34と連通する供給口36と、供給口36と連通する圧力発生室32が設けられている。図示の例では、リザーバー34と、供給口36と、圧力発生室32と、が区別されているが、これらはいずれも液体の流路であって、このような流路はどのように設計されても構わない。また、例えば、供給口36は、図示の例では、流路の一部が狭窄された形状を有しているが、設計に従って任意に形成することができ、必ずしも必須の構成ではない。リザーバー34は、外部例えばインクカートリッジから保護基板40および振動板12a,12bに設けられた貫通孔38を通じて供給されるインクを、一時貯留することができる。リザーバー34内のインクは、供給口36を介して、圧力発生室32に供給される。圧力発生室32は、振動板12a,12bの変形により容積が変化する。圧力発生室32はノズル穴52と連通しており、圧力発生室32の容積が変化することによって、ノズル穴52からインク等の液体が吐出される。ノズル板50は、ノズル穴52を有する。ノズル穴52からは、インクが吐出される。ノズル板50には、例えば、複数のノズル穴52が一列に設けられている。ノズル板50の材質は、例えば、シリコンである。保護基板40は、アクチュエーター10の上方に形成されている。保護基板40には、圧電素子13を収容するための凹部41が形成されている。これにより、保護基板40は、圧電素子13アクチュエーター10の一部を封止するための封止板として機能する。保護基板40は、例えば、圧電素子13を外部雰囲気から保護することができる。保護基板40の材質は、例えば、シリコン、ステンレス鋼SUS、ガラスである。駆動回路60は、保護基板40上に形成されている。駆動回路60は、アクチュエーター10を駆動させることができる。具体的には、駆動回路60は、第1電極14および第2電極18との間に電圧を印加して駆動信号を与えて、アクチュエーター10を駆動させることができる。液体噴射ヘッド100では、図3に示すように、流路形成基板30と、ノズル板50とが接着剤70によって接着される。しかし、例えば、流路形成基板30とノズル板50との間に異物Fがあると、図3に示すように、流路形成基板30やノズル板50に欠陥D1,D2が生じる場合がある。また、例えば、製造工程において、接着剤70の塗布状態が悪いと、接着剤70の途切れが発生する。本実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法では、このような不良に対する検査を行う。なお、上記の例では、液体噴射ヘッド100がインクジェット式記録ヘッドである場合について説明した。しかしながら、本発明に係る検査の対象となる液体噴射ヘッドは、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED面発光ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどであってもよい。2.液体噴射ヘッドの検査方法次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法について説明する。本実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法は、赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド100をノズル板50側から観察する工程を含む。赤外線顕微鏡は、赤外線源からの赤外線を、照射光学系を介して、試料ここでは、液体噴射ヘッド100に照射し、試料で反射された赤外線を対物光学系で集光し、検出器で検出する顕微鏡である。本工程では、この赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド100をノズル板50側図3に示す観察方向Aから観察する。すなわち、赤外線をノズル板50側から液体噴射ヘッド100に照射し、液体噴射ヘッド100で反射された赤外線を検出することにより、液体噴射ヘッド100の観察を行う。ノズル板50の材質は、赤外線が透過するシリコンである。したがって、赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド100をノズル板50側から観察することにより、非破壊で、ノズル板50、接着剤70、および流路形成基板30を観察することができる。本工程では、流路形成基板30とノズル板50との間の接着状態を観察する。ここで、接着状態の観察とは、流路形成基板30とノズル板50との間の接着剤70の塗布状態を観察することをいう。例えば、接着剤70が隙間なく塗布されているか否か、流路形成基板30とノズル板50との間に異物Fが侵入していないか等を観察することをいう。さらに、本工程では、流路形成基板30に生じた欠陥D1およびノズル板50に生じた欠陥D2図3参照を観察する。図4は、赤外線顕微鏡を用いて液体噴射ヘッド100を観察した結果の画像である。図4では、液体噴射ヘッド100をノズル板50側から観察した。また、観察に用いた赤外線の波長は、700nm~1300nmである。図4に示すように、流路形成基板30、接着剤70、およびノズル板50に生じた欠陥D2が明瞭に観察された。具体的には、図4に示す画像では、流路形成基板30の周囲に接着剤70が途切れなく存在している様子が観察されている。また、ノズル板50に生じた欠陥D2の位置や形状が明瞭に観察されている。このように、赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド100をノズル板50側から観察することにより、流路形成基板30とノズル板50との間の接着状態やノズル板50に生じた欠陥D2を明瞭に観察することができる。なお、ここでは、ノズル板50に生じた欠陥D2を観察した画像を示したが、赤外線顕微鏡では、流路形成基板30に生じた欠陥D1も同様に観察することができる。本実施形態に係る液体噴射ヘッド100の検査方法は、例えば、以下の特徴を有する。本実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法では、液体噴射ヘッド100を、赤外線顕微鏡を用いてノズル板50側から観察する工程を含む。ここで、ノズル板50の材質は、シリコンである。これにより、非破壊で、流路形成基板30とノズル板50との間の接着状態や流路形成基板30に生じた欠陥D1およびノズル板50に生じた欠陥D2を明瞭に観察することができる。したがって、液体噴射ヘッド100に対して、信頼性の高い検査を行うことができる。例えば、ノズル板50の材質がステンレス鋼であった場合、赤外線顕微鏡を用いても、ノズル板50側、保護基板40側、いずれの側からも流路形成基板30とノズル板50との間の接着状態や欠陥D1,D2を非破壊で観察することができない。本実施形態では、ノズル板50の材質をシリコンとすることで、流路形成基板30とノズル板50との間の接着状態や欠陥D1,D2を、非破壊で観察することができる。また、従来行われていた目視による外観検査では、ノズル板50の表面を見て接着状態を判断しなければならないため、良好か不良かの判定が難しく、良好な接着状態が不良と判定されたり、不良な接着状態が良好と判定されたりする場合がある。以下、詳細に説明する。目視による外観検査は、例えば、ノズル板50の表面を検査員が見て、ノズル板50の表面に凹凸が存在するなどの異常があった場合には不良と判定し、ノズル板50の表面が平坦な場合には良好と判定している。ここで、図3に示す接続部J1では、流路形成基板30とノズル板50との間に異物Fがあるため、ノズル板50の表面に凸形状ができ、目視による外観検査では不良と判定される。しかし、実際には、液体噴射ヘッド100の動作には影響しないインクのリーク等が生じない良好な接着状態である。また、図3に示す接続部J2では、ノズル板50の表面は平坦であるため、目視による外観検査では良好と判定される。しかし、実際には、接着剤70が途切れている存在しないため、不良な接着状態である。このように、目視による外観検査では、不良か良好かの判定が難しく、良好な接着状態が不良と判定されたり、不良な接着状態が良好と判断されたりする場合がある。しかしながら、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法によれば、直接、流路形成基板30とノズル板50との間の接着状態を確認できるため、このような問題が生じない。したがって、信頼性の高い検査を行うことができる。また、従来行われていた破壊検査では、全数検査ができず、完全な品質保証ができないという問題がある。本実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法は、非破壊検査であるため、全数検査が可能である。したがって、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法によれば、品質保証精度を向上できる。さらに、破壊時のノイズの影響がないため、より信頼性の高い検査ができる。さらに、良品を破壊しなくてもよいため、コストを低減できる。なお、上述の工程では、赤外線顕微鏡を用いて、流路形成基板30とノズル板50との間の接着状態や欠陥D1,D2を観察した場合について説明したが、赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド100のその他の箇所を観察してもよい。例えば、圧電素子13の第1電極14を観察してもよい。これにより、非破壊で、圧電素子13の第1電極14を明瞭に観察することができる。したがって、第1電極14の断線等の異常について、信頼性の高い検査を行うことができる。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。"