"目標対象物の領域のイメージを構築するためのイメージデータを提供する方法であって、基準目標対象物の基準回折パターンを提供するステップと、前記基準回折パターンに基づいて、プローブ関数のための初期推測値を決定するステップと、前記プローブ関数のための前記初期推測値、及び、対象物関数のための初期推測値に基づく反復プロセスによって、少なくとも1つの検出器によって検出された放射強度に応じた目標対象物のためのイメージデータを決定するステップとを含む方法。前記基準回折パターンは、前記少なくとも1つの検出器によって検出された放射強度に基づくものである、請求項1に記載の方法。前記少なくとも1つの検出器によって検出された放射線は、前記基準目標対象物から反射されたものである、請求項1に記載の方法。前記少なくとも1つの検出器によって検出された放射線は、前記基準目標対象物中を伝達されたものである、請求項1に記載の方法。前記プローブ関数のための前記初期推測値を用いて、1つの目標対象物又は複数の目標対象物のためのイメージデータを決定する、請求項1から4の何れか1つに記載の方法。前記基準目標対象物は、第1の目標対象物であり、前記第1の目標対象物のためにイメージデータを決定する、請求項1から5の何れか1つに記載の方法。前記基準目標対象物は、キャリブレーションの目的のみに用いられる目標対象物である、請求項1から6の何れか1つに記載の方法。プローブ関数のための初期推測値を決定するステップが、前記基準目標対象物のプローブ領域に入射した放射パワーを、前記基準回折パターンに基づいて推定し、前記プローブ関数のための前記初期推測値が、推定された平均強度と等しい平均強度を有するように、前記プローブ関数のための前記初期推測値を選択することを含む、請求項1から7の何れか1つに記載の方法。平均強度を推定することが、前記基準回折パターンについて高速フーリエ変換を行って、複数の複素数のマトリックスを生成し、複数の前記複素数の複数の絶対値を加算して、実数を生成し、前記プローブ関数のための前記初期推測値を選択することが、前記実数の平方根を求めて、実数値Nを生成し、前記プローブ関数Pのための前記初期推測値を、P=MN/K、但し、Mは前記プローブ領域を表すマトリックスであり、Kは規格化因子である、になるように選択することを含む、請求項8に記載の方法。Kは、マトリックスMにおける値の和である、請求項9に記載の方法。前記プローブ領域の評価を提供するステップを更に含み、マトリックスMにおける値が、評価されたプローブ領域外においてはゼロであり、評価されたプローブ領域内では1であり、Kは、マトリックスMにおける複数の1の値に等しい、請求項9に記載の方法。コンピュータによって実行可能な複数の指示を含む機械可読データ記憶媒体であって、コンピュータによって実行されるときに、請求項1から11の何れか1つによる方法を実施する機械可読データ記憶媒体。そこで、本発明の目的は、上述した問題を少なくとも部分的に軽減することである。タイコグラフィ法は、反射モード照射ビームが目標試料から反射する又は伝達モード照射ビームが目標試料中に伝達するの何れにおいても実施される撮像に適用できる。ここで、伝達transmissiontransmissivetransmitという用語を用いた場合には、反射reflectionreflectivereflectという用語を同様に用いてもよかったと理解すべきである。本発明によれば、目標対象物の領域のイメージを構築するためのイメージデータを提供する方法であって、基準目標対象物の基準回折パターンを提供し、前記基準回折パターンに基づいて、プローブ関数のための初期推測値を決定し、前記プローブ関数のための前記初期推測値、及び、対象物関数のための初期推測値に基づく反復プロセスによって、少なくとも1つの検出器によって検出された放射強度に応じた目標対象物のためのイメージデータを決定することを含む方法が提供される。前記基準回折パターンは、前記少なくとも1つの検出器によって検出された放射強度に基づくものであってもよい。前記少なくとも1つの検出器によって検出された放射線は、前記基準目標対象物から反射されたもの、又は、前記基準目標対象物中を伝達されたものであってもよい。前記プローブ関数のための前記初期推測値を用いて、1つの目標対象物又は複数の目標対象物のためのイメージデータを決定するものでもよい。前記基準目標対象物は、第1の目標対象物であり、前記第1の目標対象物のためにイメージデータを決定するものでもよい。前記基準目標対象物は、キャリブレーションの目的のみに用いられる目標対象物であってもよい。プローブ関数のための初期推測値を決定することが、前記基準目標対象物のプローブ領域に入射した放射パワーを、前記基準回折パターンに基づいて推定し、前記プローブ関数のための前記初期推測値が、推定された平均強度と等しい平均強度を有するように、前記プローブ関数のための前記初期推測値を選択することを含んでいてもよい。平均強度を推定することが、前記基準回折パターンについて高速フーリエ変換を行って、複数の複素数のマトリックスを生成し、複数の前記複素数の複数の絶対値を加算して、実数を生成し、前記プローブ関数のための前記初期推測値を選択することが、前記実数の平方根を求めて、実数値Nを生成し、前記プローブ関数Pのための前記初期推測値を、P=MN/K、但し、Mは前記プローブ領域を表すマトリックスであり、Kは規格化因子である、になるように選択することを含んでいてもよい。Kは、マトリックスMにおける値の和であってもよい。前記プローブ領域の評価を提供することを更に含んでいてもよく、マトリックスMにおける値が、評価されたプローブ領域外においてはゼロであり、評価されたプローブ領域内では1であり、Kは、マトリックスMにおける複数の1の値に等しい。また、本発明は、コンピュータによって実行可能な複数の指示を含む機械可読データ記憶媒体であって、コンピュータによって実行されるときに、上記方法を実施する機械可読データ記憶媒体を提供する。本発明の実施態様を適用して、プローブ関数の反復改善中に発散の尤度を減少又は消去させることによって、ePIE法及びシステムの性能を改善することができる。図面において、同一の符号は同一の構成要素を示す。図1は、目標対象物の構造に関する情報に対応するイメージデータを決定するために、散乱パターンをどのように展開し使用するかを示している。当然のことながら、用語目標対象物とは、放射線の散乱を生じさせる入射放射線の経路に置かれた試料又は物品をいう。また当然のことながら、この目標対象物は、入射放射線に対して少なくとも部分的に透過的である。この目標対象物は、特定の反復構造を有していてもよく、又は、これを有していなくてもよい。又は、この目標対象物は、散乱パターンを反射した放射線に基づいて測定する場合には、全体又は部分的に反射特性を有していてもよい。入射放射線10は目標対象物11に当てられる。用語放射線とは、放射源からのエネルギーとして広義に解釈すべきであることは当然である。これは、X線、電子及び/又は音波等の放出粒子を含む電磁放射線を含むものである。このような放射線は、波動関数Ψrによって表わされる。この波動関数は、当業者によって理解されているように、実数部と虚数部とを含んでいる。これは、波動関数係数及び位相によって表わされる。ΨrはΨrの複素共役であって、ΨrΨr=|Ψr|2であり、ここで|Ψr|2は、波動関数に関して測定される強度である。入射放射線10は、試料11を通過してこれを越えるときに散乱される。存在する入射放射線の波動関数として、試料は、この試料の目標の前の側における入射放射線の波動関数に関する振幅及び位相の双方において変更される。生じ得る散乱は、フーリエ回折、屈折、及び/又はフレネル回折、及び、他のタイプの散乱を含み、ここにおいて、入射放射線の特性が、試料の後に伝播された結果として変更される。CCD検出器12等の配列された複数の検出器が、試料から遠く離れて配置され、回折平面13で回折パターンが形成される。複数の検出器12が、試料から距離DこのDは、回折パターンが、点光源から有効に形成されるのに十分に長い距離であるだけ離れて位置している場合には、フーリエ回折パターンが形成されることになる。複数の検出器を近く位置させることによって、回折平面が試料に近接して形成される場合には、フレネル回折パターンが形成されることになる。入射放射線10は、目標対象物11の第1の面に当る。入射放射線は、試料で散乱を生じ、伝達された放射線は、回折平面13に伝播され、そこで、回折パターンが形成される。図2は、図1のプロセスをより詳細に示している。放射線10は、例えば、弱いレンズによっておおよその位置で焦点に合わせられ、その結果として、目標対象物の第1の面の領域が照射される。この弱いレンズは、勿論、1組の複数のプレート、及び、電子ビーム用の電圧供給手段、又は、X線用の反射面等の適切な焦点装置を備えていてもよい。この弱く集まる焦点は、厳密な放射ビームを実質的に制限するのに十分である。勿論、強く集束された放射線を用いることは可能であるが、放射線を強く集束させる必要はない。ここで、目標対象物は、対象物関数Orを提供し、これは、問題の対象物を通過する結果としての入射波内に導入される位相及び振幅の変化を表している。目標対象物で入射した照射に係る放射線は、プローブ関数Prを示しており、これは、レンズや他の光学部品によって形成されるコースティック又は照射プロファイルによって生じる照射関数を形成する。Prは、対象物の面で求められるこの波動場の不動の複素数値である。出射波関数Ψr,Rは、散乱放射線が目標対象物の下流側の面を出るときの、この散乱放射線を限定する。この出射波が空間を通って伝播されるときに、これは、回折平面13で回折パターンΨuを形成することになる。勿論、弱い又は実に強い焦点調節を対象物に対して行うこと以外に、対象物の後ろのアパーチャを用いて、非集束の照射を用いることも可能である。アパーチャを目標対象物の後ろに位置させて、調査用の目標の領域を選択する。このアパーチャはマスクに形成されており、従って、このアパーチャは、サポートを定義する。サポートとは、関数がゼロでないところの関数の領域である。換言すれば、このサポート以外では、関数はゼロである。従って、サポート以外では、マスクは放射線の透過を阻止する。用語アパーチャとは、放射線の局部伝達関数をいう。これを、0から1の間のモジュラス値を有する二次元の複素変数で表わすことができる。様々な透過率の物理的なアパーチャの領域を有するマスクがその例である。従って、入射放射線は試料の上流側に当り、これが伝播されると、試料によって散乱が生ずる。従って、試料波Orは、対象物との相互作用の後、放射線の出射波関数として形成される。このように、Orは二次元の複素関数を表して、Or但し、rは二次元座標であるにおける各点は、複素数であるこれと関連を有していたものである。Orは出射波を物理的に表わしており、これは、平面波によって照射された対象物から発せられる。例えば、電子の散乱の場合には、問題の対象物を通過した結果として、入射波中に導入された位相及び振幅の変更を表すものである。このアパーチャは、プローブ関数Pr又は伝達関数をもたらし、これは、分析のための対象物の出射波関数の一部を選択する。勿論、アパーチャを選択すること以外に、透過回折格子又は他のこの種のフィルター関数を、目的物関数の下流側に位置させてもよい。プローブ関数Pr-Rは、アパーチャ伝達関数であり、アパーチャは位置Rに置かれている。このプローブ関数を、モジュラス及び位相によって与えられる複素数値を伴った複素関数として表わすことができ、このモジュラス及び位相は、プローブによって、そこに入射する完全平面波に導入されるモジュラス及び位相の変更を表す。出射波関数Ψr,Rは、放射線がアパーチャを出るときのこの放射線の出射波関数である。この出射波関数Ψr,Rは、回折平面での回折パターンΨuを形成する。ここで、rは実空間におけるベクトル座標であり、uは回折空間におけるベクトル座標である。散乱した放射線を検出するところの回折平面を試料側に近接するように移動させた場合には、図1に関して記載された、形成に係るアパーチャを有する実施態様、及び、図2に関して記載された、アパーチャを有しない実施態様の双方によって、フーリエ回折パターンでなく、フレネル回折パターンを検出する。この場合、出射波Ψr,Rから回折パターンΨuまでの伝播関数は、フーリエ変換ではなく、フレネル変換である。図3は、本発明の実施形態に係る反復プロセスを示しており、この反復プロセスを用いて、特定のタイプのイメージデータを回復することができ、この特定のタイプのイメージデータを用いて、1組の回折パターンから対象物の領域のイメージを構築することができる。ここに示された反復プロセス30は、対象物における推測31、及び、用いられたプローブ関数の形成における推測32から始まる。次いで、これらの初期推測値は、反復プロセスにおいて推測を実施することによって置き換えられる。イメージ関数のためのこれらの初期推測値は、ランダム分布であってもよく、また、他の測定又は事前に行われた計算に基づく、事前に計算された近似であってもよい。プローブ関数のための初期推測値について以下に詳述する。複数の試料ポイントにおいて推測をモデル化する。従って、これらは、マトリックスによって表わされる。これらのマトリックスは、コンピュータ又は他のこの種の処理装置によって格納され、処理される。これらの試料ポイントは、適切に等間隔に配置され、矩形状のアレイを構成する。k回の反復後のプローブ関数の推測をPkrで表わし、k回の反復後に回収されたイメージをOkrで表わす。従って、プローブ関数及び対象物関数のための最初の推測は、それぞれP0r及びO0rであり、ここにおいて、rは適切な座標ベクトルである。対象物及びプローブ関数の相対位置に関する現時点の並進{へいしん}ベクトルをRkで表わせば、推測に係る対象物分布とプローブ関数との間の相互作用は下式によってモデル化される:これは現時点での出射波面である。本発明の実施形態によれば、反復プロセスを用いて、対象物の推測33を更新する。更新されたプローブ関数の推測34もまた反復計算される。対象物の更新に関して言えば、第1のステップは、ステップ35において、出射波面Ψr,Rkを決定することである。これは、上記式1を用いて行われる。次のステップは、この出射波面を測定平面まで伝播させることであり、これは、コヒーレント波面のための伝播の適切なモデルを用いて実行される。この伝播を作用素Tによって表わす。ステップ36において示された順変換係数Tは、伝播された波面Ψkuを生成する。ここで、uは測定平面における基準座標である。Ψkuは複素数値であるため、これを下記の通り表わすことができる:次いで、モデル化されたこの波面を測定された回折パターンと比較しなければならない。対象物での推定が正しい場合には、次の等式がkの値毎に適用できる。伝播された出射波面のモジュラスは、記録された回折パターン強度の平方根と等しい。一般的にはそうではないが、対象物での推測に係るものは、試料ポイントにおける真の対象物を正確に表わすものではない。相等しいことを強化するために、伝播された出射波面のモジュラスを、下記の通り、記録された回折パターン強度の平方根で置き換える:ステップ37において、伝播された出射波面のモジュラスが、記録された回折パターン強度の平方根で置き換えられる。次いで、補正された波面は、逆伝播作用素を用いて、対象物の平面に伝播される:この逆伝播ステップ39は、補正された出射波面Ψ’kr,Rkを提供する。次いで、更新ステップ40の演算が行われて、改善された対象物の推測値Ok1rを生成する。更新ステップ40は、下記に従って実施される:この更新関数は、図3においてU1と表示されており、これは、対象物の推測Ok1rの更新を生成する。パラメータaは、対象物の変化率を左右する。この数値が高くなると、更新に係る対象物の推測における安定性が欠如するに至るため、この数値を0から2の間に調節すべきである。本発明の実施形態によれば、プローブ関数を、対象物関数とほぼ同様に再構築する。プローブ関数の推測は対象物の推測の更新と共に実行させる。勿論、プローブ関数を任意的に、対象物関数よりも多い又は少ない回数で更新することも可能である。これを実施するために、キャリブレーション回折パターンとして作用する更なる回折パターンを、システムから取り除かれた目標対象物と共に、測定平面において記録してもよい。このキャリブレーション回折パターンを、目標対象物を位置する前に、又は、上述した回折パターンを測定した後に目標対象物を取り除いた後で、記録してもよく、また、目標対象物を正しく位置する前後に記録された複数の回折パターンの組合せであってもよい。また、キャリブレーション回折パターンを、目標対象物の代わりに、キャリブレーション対象物511と共に、測定平面に記録してもよい。また、キャリブレーション回折パターンを、目標対象物を位置させる前に記録したり、又は、上述した以前の回折パターンの測定後、目標対象物を取り除いた後に記録してもよく、また、目標対象物を正しく位置する前後に記録された複数の回折パターンの組合せであってもよい。又は、キャリブレーション回折パターンを、目標対象物の代わりに、キャリブレーション対象物511と共に、測定平面に記録してもよい。この場合もまた、このキャリブレーション回折パターンを、目標対象物を位置させる前に記録したり、又は、上述した以前の回折パターンの測定後、目標対象物を取り除いた後に記録してもよく、また、目標対象物を正しく位置する前後に記録された複数の回折パターンの組合せであってもよい。キャリブレーション対象物511は、既知数の対象物関数を有する対象物であり、従って、測定された回折パターンと、対象物関数からプローブ関数を導き出すことができる。即ち、プローブ関数そのもののキャリブレーション回折パターンを、目標対象物なしで記録してもよい。この回折パターンの測定について、図4に示す。図5には他の配列が示されており、ここにおいては、目標対象物の代わりに、既知数の対象物関数を有するキャリブレーション対象物511を用いて、キャリブレーション回折パターンを測定する。キャリブレーション回折パターンは、測定値Ωpuとして示される。ステップ32では、P0rが、以下に詳述するように、プローブ関数の初期推測値として選ばれる。以上に詳述した修正/更新ステップと同様に、更新ステップ46を行うことによって、更新関数U2を用いる。この更新関数は以下の通りである:この更新関数の結果として、プローブ関数のための現行の評価値が生成される。パラメータβは、プローブの推測値の変化率を左右する。この数値が高くなると、更新に係る対象物の推測における安定性が欠如するに至るため、この数値を0から2の間に調節すべきである。プローブ関数のための現行の評価値をステップ35で用いて、出射波面を生成してもよい。幾つかの実施形態において利用することが可能な、図3の反復方法の代替手段が国際公開公報WO2010/064051号に記載されている。上述したように、アルゴリズムの逸れに起因して、このアルゴリズムでは正確なイメージを生成することができない場合がある。本発明者等は、プローブ波面の強度がその初期推定値に正確に組み入れられない場合に、この逸れが生ずることを発見した。モデル化された推定された強度が過度に大きかったり、又は、小さかったりした場合に、ePIEの各反復によって、試料とプローブとの推定値が生成されるが、これらの推定値は、以前の反復から生じた推定値よりも正確ではなく、従って、アルゴリズムが逸れる。本発明の実施形態によれば、基準試料を用いて測定された基準回折パターンを利用したePIEに、プローブの強度の初期推定を与えることによって、この逸れを回避し、少なくする。この回折パターンを、目標試料から測定されたものと同様に記録してもよく、また、これらのパターンのうちの1つを実際に、幾つかの実施形態において、基準回折パターンとして用いてもよい。測定に係るものが、基準試料から反射される放射線である場合には、基準回折パターンは、入射プローブの強度の大部分を反射する試料の領域からのものであることが好ましい。測定に係るものが、基準試料中を透過した放射線である場合には、基準回折パターンは、入射プローブの強度の大部分を伝播する領域からのものであることが好ましい。これにより、基準回折パターンの強度がプローブの強度とほぼ等しくなることが確保される。基準試料の選択を特に限定するものでなく、上述したように、目標試料であってもよい。また、キャリブレーション対象物511を用いて、キャリブレーション回折パターンを決定する場合には、このキャリブレーション回折パターンを、基準回折パターンとして用いてもよい。測定された回折パターンを用いて、プローブの領域における試料に入射した放射線のパワーを計算する。次いで、プローブの領域に関する適切な知識と共に、このように計算されたパワーを用いて、プローブの領域全体に亘る入射放射線の平均強度、又は、平均振幅を導き出す。ここで、用いられたプローブの領域とは、測定に係る回折パターンを生ぜしめる、試料の領域を意味する。一例としてのこの実施形態によれば、初期のプローブが、基準回折パターン例えば、基準試料を用いて測定された強度に高速フーリエ変換FFTを実施することによって形成される。これにより、複素数のマトリックスが得られ、次いで、その絶対値を加算して、プローブの領域に入射した放射線のパワーの代表値を得る。次いで、その合計値の平方根を求めて、プローブの領域全体に取り入れられた放射線のRMS振幅を代表する、単一の実数値Nを得る。ここで、この領域についての評価を行う。この領域外では、真のプローブが強度において低レベルになって、プローブの形状が荒れる。これは、コンピュータにおいて、マトリックスMによって示され、その値は、プローブが閾値強度未満であると考えられるゼロ0と、閾値超であると考えられる一1である。Mにおける1の合計値を算出して、実数値Kを得る。次いで、初期プローブの推定値は、コンピュータにおいて、マトリックスPによって表わされる。即ち、マトリックスMにおける各項にNを乗じ、Kによって減算する。この結果とし得、プローブ関数の初期推測値が得られ、この推測値は、プローブの領域全体において平均化された入射放射線とほぼ同一の振幅を有し、従って、ほぼ同一の強度を有する。プローブ関数の初期推測値は、プローブの近接領域以外ではゼロであり、プローブの領域内では、一定の均一な値である。当業者には明らかなように、上述した数学的な演算の幾つか又はすべてをコンピュータを用いて実施することができる。これらの実施形態によれば、適切な強度を有するプローブ関数のための初期推測値を提供し、測定された基準回折パターンに基づいて、推測に係るプローブ関数の強度を推測に係る平均強度になるように選択することによって、プローブ関数の反復改善中における逸れの尤度を減少又は除去させる。幾つかの好ましい実施形態においては、プローブの強度の推定値を、複数の目標試料からの複数の反復アルゴリズムプロセスにおいて用いてもよい。即ち、調査に係る目標試料毎のためにプローブの強度の初期推測値を収集しなくてもよい。図6は、イメージデータを提供するための装置を示しており、この装置は、図1及び2に示された上述した実施形態による目標対象物の領域の高解像度イメージを構成するために使用される。放射線源50は、目標11の選択された領域に弱集束させるレンズ51上に照射をもたらす。入射放射線は、入射波関数52と出射波関数53とを有している。この出射波関数は、距離Dに亘って伝播され、そこにおいて、複数の検出器12上に回折パターンが形成される。この距離Dは、伝播に係る出射波関数53が遠視野においてフーリエ回折パターンを形成するように、十分に長いことが有利である。この検出器アレイは、少なくとも1つの検出器を提供し、これは、目標対象物11によって散乱した放射線の強度を検出することができる。位置決め手段54が設けられており、これは、マイクロアクチュエータであってもよく、これは、目標対象物を、目標対象物に関して所望の1又は複数の位置に位置決めすることができる。このようにして、源50からの放射線が、目標11の上流側の面の異なる複数の位置に入射される。また、伝播に係る出射波関数53が近視野において検出器配列上にフレネル回折パターンを形成するように、距離Dを十分に短くすることが有利な場合がある。制御ユニット55は、制御信号をマイクロアクチュエータに供給し、検出器アレイ12における複数のピクセル検出器の各々からの強度測定結果を受け取る。この制御ユニット55は、マイクロプロセッサ56及びデータ格納手段57を、ユーザインターフェースと共に含んでおり、このユーザインターフェースは、ユーザディスプレイやユーザ入力キーパッドを含んでいてもよい。この制御ユニットは、遠隔制御用のラップトップ59又はPC等の更なる処理デバイスに接続される。また、この制御ユニット55を、ラップトップやPCによって提供してもよいことは勿論である。制御ユニット55は、イメージデータの生成をリアルタイムで自動的に制御する。また、ユーザは、ユーザインターフェース58を用いて、イメージング用の目標対象物の複数の領域を選択したり、更なるユーザ入力を提供したりすることができる。使用中に、放射線源50は、レンズ51に放射線を供給する。目標対象物11は、制御ユニット55の制御下において、アクチュエータ54によって選択的に位置決めされる。この放射線は回折パターンを形成し、これは、検出器アレイ12における複数の検出器の各々によってそれぞれの位置で検出される。これらの検出器からの検出結果は、制御ユニットに入力され、データ格納手段57に格納される。イメージデータを導き出すために単一の位置のみを用いる場合には、マイクロプロセッサは、このように検出された情報を、上述したアルゴリズムに関する情報を含むプログラム指示と共に用いて、イメージデータを導き出す。しかしながら、イメージデータをファイナライズするために1又はそれを超える更なる位置が必要な場合には、制御ユニットは、次いで、アクチュエータ54に信号を発し、このアクチュエータは、試料を他の選択された位置に移動させる。このアクチュエータは、試料を数多くの異なる位置のうちの1つに位置させることもできる。再位置決めの後に、検出器アレイ上に形成された更なる回折パターンを測定し、その結果を制御ユニットに格納する。一例として、アレイ12は、1200×1200ピクセルのCCDアレイであってもよい。更なる強度測定を必要としない場合には、この段階でイメージデータが、上述したアルゴリズムを用いた2組の新たに格納された結果に従って、制御ユニットによって生成される。生成されたままのイメージデータを表示したり、このイメージデータから生成された高解像度イメージを、PC上又はこの種の装置上のユーザインターフェース1209又は遠隔ディスプレイ上に表示してもよい。代替えとして、又は、付加的に、イメージデータそのものを利用して、例えば、予め決定された値に対して比較されるデータ値によって目標対象物に関連する特性を決定することもできる。アクチュエータを用いて、目標対象物を光学経路外に移動させて、目標対象物なしの回折パターンを測定することを可能にすることもできる。また、この移動を、他のアクチュエータ図示せずやユーザインターフェースによって行ってもよい。本発明の更に他の実施形態によれば、拡散器が目標の後ろのアパーチャを覆っている。この拡散器は、目標からの波面を拡散して、試料に入射した放射線を、測定された回折パターンにおいて、すべての回折角度に亘ってより均一に拡散させる。拡散器の位置に関して、照射関数又はプローブ関数を回復するために必要な測定を実施することによって、拡散器の効果を自動的に良好に回復することができる。従って、この拡散器は、目標からの波面を任意の方向に拡散するものでもよく、拡散器の特質を先験的に認識しておく必要はない。このような拡散器を用いることによって、回折パターンのダイナミックレンジを減少させる。大半の検出器は限定されたダイナミックレンジを有しているので、回折パターンのダイナミックレンジを減少させることによって、回折パターンのより忠実な表現を決定することができる。更に、試料に入射する放射線は、あらゆる回折角度に亘って広がるので、イメージデータを提供するために必要な入射束を減少させ、これによって、目標対象物に対して与える損傷の可能性を少なくすることができる。任意の伝達関数を有する如何なるタイプの拡散器を用いてもよい。当業者によって理解されているように、拡散器の選択は、使用される放射線の特性と、所望の拡散効果に依存する。例えば、可視光の場合は、拡散器を、すりガラスの拡散器から構成してもよい。本明細書中の発明の詳細な説明と特許請求の範囲にわたり、含むcompriseおよび含むcontainおよびこれらの変化形は、含むがこれに限定されるものではないことを意味し、他の部分、追加、要素、数値、またはステップを排除することを意図するものではないそして排除するものではない。本明細書中の発明の詳細な説明と特許請求の範囲にわたり、文脈が要求しない限り、単数は複数を含む。特に、不定冠詞が使用されるところには、文脈が要求しない限り、単数と同様に複数も考慮しているものとして明細書を解釈すべきである。発明の特定の側面、実施形態又は実施例と併せて記述された特徴、数値、特性、要素、化学的な部分またはグループは、ここに記述されたものと矛盾しない限り、ほかの側面、実施形態、または例にも適用可能であると解釈すべきである。本明細書添付した特許請求の範囲、要約書及び図面を含むに開示された特徴のすべて、及び/又は、このように開示された方法又はプロセスのステップのすべてを、これらの特徴及び/又はステップの少なくとも幾つかが相互に限定されるところの組合せを除き、如何なる組合せにおいてどのように組み合わせてもよい。本発明は、上述した実施形態の詳細な事項に限定されるものではない。本発明は、本明細書添付した特許請求の範囲、要約書及び図面を含むに開示された特徴のうちの新規な何れか1つ、又は、新規な組合せ、又は、このように開示された方法又はプロセスのステップのうちの新規な何れか1つ、又は、新規な組合せに及ぶものとする。読者の注意は、本願に関して本明細書と同時に、又は、それに先んじて提出され、本明細書と共に公衆の縦覧に付されるすべての書類及び文書に向けられるものであり、これらの書類及び文書の内容を、引用によりここに組み入れるものとする。"