"硫酸、過酸化水素及び含窒素化合物を含有することを特徴とする、透明導電性薄膜及び透明導電性薄膜積層体のエッチングに用いられるpH7.0未満のエッチング液。含窒素化合物がR1R2R3Nで表されるアミンR1~R3はそれぞれ水素、-CnH2n1n=1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、-CnH2n1n=5~8で表されるシクロアルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基若しくはシクロアルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、5~8員環を有するラクタムNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含む、R1-CONR2R3で表されるアミドR1~R3はそれぞれ水素、-CnH2n1n=1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、R1R2N-CH2m-NH-n-CH2m-NR3R4m:2~5、n:0~8、R1~R4はそれぞれ水素、-CnH2n1n=1~6で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~6で表される分岐アルキル基、前記アルキル基および分岐アルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したものから選択されるで表されるポリアルキレンポリアミン、R1-CNで表されるニトリルR1は-CnH2n1n=1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基の1つまたは複数の水素を-OHまたは-CNに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、オキサジンNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含む、テトラヒドロオキサジンNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含むから選択される少なくとも1種以上である請求項1記載のエッチング液。フッ化物イオン以外のハロゲン化物イオンを含まない請求項1又は2記載のエッチング液。フッ化物イオンを含まない請求項1~3のいずれか1項に記載のエッチング液。透明導電性薄膜が、スズドーピングのインジウム酸化物ITO、亜鉛ドーピングのインジウム酸化物IZO、ガリウムドーピングの酸化亜鉛GZO、又はアルミニウムドーピングの酸化亜鉛AZOである、請求項1~4のいずれか1項に記載のエッチング液。透明導電性薄膜積層体が、請求項5で示される透明導電性薄膜および金属薄膜による積層体である請求項1~4のいずれか1項に記載のエッチング液。金属薄膜が、銀又は銀合金による請求項1~6のいずれか1項に記載のエッチング液。請求項1~7のいずれか1項に記載のエッチング液を使用してエッチングを行う方法。従って、本発明の課題は、透明導電性薄膜積層体をエッチングする際に、アンダーカット無くエッチングでき、排水処理性に負担のかからないウェットエッチング液を提供することにある。本発明者らは上記課題を解決すべく、鋭意検討を重ねた結果、硫酸、過酸化水素、および含窒素化合物を含有するエッチング液により、アンダーカット無くエッチングでき、排水処理性に負担のかからないことを見いだすことができた。すなわち、本発明は硫酸、過酸化水素および含窒素化合物を含有する透明導電性薄膜及び透明導電性薄膜と金属薄膜を含む積層膜のエッチング液組成物に関する。また、透明性導電性薄膜が、スズドーピングのインジウム酸化物ITO、亜鉛ドーピングのインジウム酸化物IZO、ガリウムドーピングの酸化亜鉛GZO、及びアルミニウムドーピングの酸化亜鉛AZOである、前記エッチング液に関する。また、透明導電性薄膜積層体が、前記透明性導電薄膜および金属薄膜による積層体である前記エッチング液に関する。また、銀又は銀合金からなる金属薄膜を使用した透明導電性薄膜積層体の前記エッチング液に関する。また、前記エッチング液を使用して、エッチングする方法に関する。本発明のエッチング液の組成物は、透明導電性薄膜及び透明導電性積層体をアンダーカット無くエッチングすることができる。また、酢酸やシュウ酸などキレート性の有機酸を使用しなくともよいため、排水処理性が良好である。以下に、本発明の実施の形態について詳述する。本発明のエッチング液の組成物は、硫酸、過酸化水素、含窒素化合物の含有を特徴としているpH7.0未満の処理液であり、透明導電性薄膜はこのような液によってエッチングされるものであればいずれを用いても良い。好適にはITO、IZO、GZO及びAZOが挙げられる。より具体的には次のエッチング液、及びエッチング方法を提供する。1硫酸、過酸化水素及び含窒素化合物を含有することを特徴とする、透明導電性薄膜及び透明導電性薄膜積層体のエッチングに用いられるpH7.0未満のエッチング液。2上記1において含窒素化合物がR1R2R3Nで表されるアミンR1~R3はそれぞれ水素、-CnH2n1n=1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、-CnH2n1n=5~8で表されるシクロアルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基若しくはシクロアルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、5~8員環を有するラクタムNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含む、R1-CONR2R3で表されるアミドR1~R3はそれぞれ水素、-CnH2n1n=1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、R1R2N-CH2m-NH-n-CH2m-NR3R4m:2~5、n:0~8、R1~R4はそれぞれ水素、-CnH2n1n=1~6で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~6で表される分岐アルキル基、前記アルキル基および分岐アルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したものから選択されるで表されるポリアルキレンポリアミン、R1-CNで表されるニトリルR1は-CnH2n1n=1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基の1つまたは複数の水素を-OHまたは-CNに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、オキサジンNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含む、テトラヒドロオキサジンNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含むから選択される少なくとも1種であるエッチング液。3上記1又は2において、フッ化物イオン以外のハロゲン化物イオンを含まないことを特徴とするエッチング液。4上記1~3の何れかにおいて、フッ化物イオンを含まないことを特徴とするエッチング液。5上記1~4の何れかにおいて、透明導電性薄膜が、スズドーピングのインジウム酸化物ITO、亜鉛ドーピングのインジウム酸化物IZO、ガリウムドーピングの酸化亜鉛GZO、又はアルミニウムドーピングの酸化亜鉛AZOであるエッチング液。6上記1~4の何れかにおいて、透明導電性薄膜積層体が、上記5で示される透明導電性薄膜および金属薄膜による積層体であるエッチング液。7上記1~6の何れかにおいて、金属薄膜が、銀又は銀合金である、エッチング液。8上記1~7の何れかのエッチング液を使用してエッチングを行う方法。透明導電性膜と共に積層体を構成する金属薄膜は、単体としての比抵抗が低い銀またはその合金が好適である。銀合金としてはAg-Pd-Cu、Ag-Pd、Ag-Cu-Au、Ag-Ru-Cu、Ag-Ru-Auなどがあり、特にAg-Pd-CuAPCが好適である。本発明のエッチング液の組成の濃度は以下の通りである。硫酸の濃度は、好ましくは0.01~5.0重量、さらに好ましくは0.05~1.0重量である。硫酸濃度が高い場合は透明導電性膜のアンダーカットの進行が懸念され、低い場合はエッチング速度が極端に低下する。過酸化水素濃度は、好ましくは0.05~5.0重量、さらに好ましくは0.1~1.0重量である。過酸化水素濃度が高い場合はアンダーカットの進行が懸念され、低い場合はエッチング速度が極端に低下する。含窒素化合物の濃度は、好ましくは0.01~5.0重量である。含窒素化合物が低い場合はアンダーカット抑制効果が充分得られない。含窒素化合物濃度がこれ以上に上昇しても、効果は大きく得られないばかりか、コスト面で不利が生ずる。含窒素化合物は、R1R2R3Nで表されるアミンR1~R3はそれぞれ水素、-CnH2n1n1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、-CnH2n-1n=5~8で表されるシクロアルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基若しくはシクロアルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、5~8員環を有するラクタムNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含む、R1-CONR2R3で表されるアミドR1~R3はそれぞれ水素、-CnH2n1n=1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、R1R2N-CH2m-NH-n-CH2m-NR3R4m:2~5、n:0~8、R1~R4はそれぞれ水素、-CnH2n1n=1~6で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~6で表される分岐アルキル基、前記アルキル基および分岐アルキル基の1つまたは複数の水素を-OHに置換したものから選択されるで表されるポリアルキレンポリアミン、R1-CNで表されるニトリルR1は-CnH2n1n=1~8で表されるアルキル基、-CnH2n1n=3~8で表される分岐アルキル基、前記アルキル基、分岐アルキル基の1つまたは複数の水素をOHまたは-CNに置換したもの、1つまたは複数のC-C単結合を二重結合または三重結合に置換したものから選択される、オキサジンNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含む、テトラヒドロオキサジンNと結合する水素が前記アルキル基または分岐アルキル基で置換されているものを含むが好適である。具体的にはアセトアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、アセトニトリル、アミルアミン、アリルアミン、イソブチルアミン、イソプロパノ-ルアミン、イソプロピルアミン、N-エチルエタノールアミン、モルホリン、N-エチルモルホリン、エチレンジアミン、カプロラクタム、ジアミルアミン、ジエタノールアミン、ジエチルアミン、ジエチレントリアミン、シクロヘキシルアミン、ジメチルアミン、テトラエチレンペンタミン、N,N,N’,N’-テトラメチルエチレンジアミン、トリエタノールアミン、2-ピロリドン、N-メチルピロリドン、N-メチルホルムアミド、モノエタノールアミン、モノメチルアミン及びモノエチルアミンが挙げられるがこれに限定されるものではない。アミン、アミド及びラクタムが好ましく、特に好ましくはカプロラクタム、シクロヘキシルアミン、2-ピロリドンである。含窒素化合物の含有により、過酸化水素の分解反応が抑制されると共に、アンダーカットの抑制が出来る。処理液のpHは7.0未満が好適である。pHが7.0以上のアルカリ性では、透明導電性薄膜のエッチングが困難である。本発明の処理液には、公知の過酸化水素を分解抑制させる添加剤を加えることも可能である。添加剤の例として、フェナセチン、芳香族スルホン酸、芳香族カルボン酸、グリコールエーテル、アゾール類などがあるが、これらに特に限定されるわけではない。本発明のエッチング液においては、フッ化物イオンを除くハロゲン化物イオンは金属薄膜に使用される銀、又は銀合金と不溶性のハロゲン化銀を形成し、エッチング反応中に下層の透明導電性薄膜のエッチングを直接阻害し、及びエッチング液中で固形物となるため、混入を避けることが望ましい。フッ化物イオンについても、エッチング処理自体には悪影響を与えないものの排水処理性に問題があり環境に負荷を与えるため、やはり混入を避けることが望ましい。本発明のエッチング液の使用方法としてはバッチ式による浸漬や、スプレー処理などが挙げられるが、これらに特に限定されるものではない。エッチング液の使用温度は50°C以下が好ましい。高温では、エッチング速度が過剰になり、アンダーカットのおそれがある上に、過酸化水素の分解が促進される。<エッチング試験>以下に、実施例と比較例を挙げて本発明を詳細に説明する。本発明はこれら実施例に限定されるものではない。ガラス基材上の透明導電性薄膜及び透明導電性積層体にドライフィルムフォトレジストを塗布し、現像によりパターン作成して試験片を作成した。その後、エッチング液に浸漬してエッチングした。エッチング液の組成残部は水、pH及び温度を表1に示す。エッチング時間を表2に示す。評価ドライフィルムに覆われていない部分の導電率の変化よりエッチング完了時間を測定し、エッチング完了時間の2倍時間におけるドライフィルムパターンの残存率をもって、アンダーカットの評価を行った。結果を表2に示す。○はアンダーカットなし、△はわずかにアンダーカットあり、×は大きいアンダーカットがあったことを示す。なお-ははく離できなかったことを示す。以上の結果から、硫酸好ましくは0.01~5.0重量、さらに好ましくは0.05~1.0重量、過酸化水素好ましくは0.05~5.0重量、さらに好ましくは0.1~1.0重量、含窒素化合物好ましくは0.01~5.0重量を含有し、かつpH7.0未満のエッチング液は、透明導電性薄膜及び透明導電性薄膜積層体のエッチングにおいて、アンダーカットを生じない優れたエッチング液であることがわかる。<排水処理試験>硫酸0.2重量、過酸化水素水0.5重量、εカプロラクタム0.5重量の本発明処理液に銀イオンを1000mg/L添加した廃液を作成した。この液を10倍希釈してから、水酸化カルシウムでpHを12.5に調整し、重亜硫酸ナトリウムを0.2g/L添加して24時間常温で放置した。その後、硫酸にてpHを10.5に調整し、高分子凝集剤日本表面化学株製W-836を添加して凝集させ、ろ過を行って排水処理液を作成した。この廃液と排水処理液の分析をおこなった。結果は表3のとおりである。比較例として、以下のエッチング液の例を考察する。即ち、特開2004-156070に記されているりん酸54.0質量、硝酸2.2質量、酢酸33.0質量の排水処理を行う場合は、水酸化カルシウムの添加により不溶性のりん酸カルシウムを生成させて、沈降分離させる必要があり、りん酸量の約1.63倍にあたるりん酸カルシウムを生成させる事になる。これは、大量の希釈水とスラッジの処理が必要になるため、排水処理は甚だ困難である。以上より、本発明の処理液は廃水処理性が良好である。"