"バッチ式処理手段からの少なくとも1つの二酸化炭素含有流を精製するシステムであって、a前記バッチ式処理手段から、少なくとも二酸化炭素、1種又は複数種の共溶媒、及び1種又は複数種の汚染物を含む少なくとも1つの汚染された流れを取り除き、多相汚染流を生成する前記汚染流の圧力を低下させるステップと、b前記多相汚染流を中間圧力分離器へ運ぶステップと、c前記多相汚染流を、前記中間圧力分離器中で、中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流と中間圧力の溶媒及び汚染物に富む流れに分離するステップと、d前記多相汚染流の輸送を低圧力分離器へ切り換えるステップと、eステップdの前記多相汚染流を、前記低圧力分離器中で、低圧力の二酸化炭素に富む蒸気流と低圧力の溶媒及び汚染物に富む流れに分離するステップとを含むシステム。前記中間圧力分離器からの前記多相汚染流の輸送を、圧力、温度、流量及び時間からなる群から選択される測定値を用いて、前記低圧力分離器へ切り換えるステップをさらに含む、請求項1に記載のシステム。前記中間の二酸化炭素に富む蒸気流を、蒸留、相分離、化学反応、濾過、吸収、吸着及び合体からなる群から選択されるさらなる精製システムへ運び、二酸化炭素とは異なる蒸気圧を有する汚染物と共溶媒をさらに取り除いて精製流を形成するステップをさらに含む、請求項1に記載のシステム。前記さらなる精製システムが二酸化炭素よりも低い蒸気圧を有する汚染物を除去する、請求項7に記載のシステム。前記さらなる精製システムから回収された精製二酸化炭素流の一部が前記処理手段へ再循環される、請求項7に記載のシステム。前記中間圧力分離器が相分離器又は多段分離システムを含む、請求項1に記載のシステム。バッチ式処理手段からの少なくとも1つの二酸化炭素含有流を精製するシステムであって、a1種又は複数種の第1の共溶媒及び精製二酸化炭素を処理手段へ供給し、前記処理手段中に第1の汚染流を形成するステップと、b多相の形態の前記第1の汚染流を、第1の中間又は低圧力分離器へ運び、前記第1の汚染流を分離するステップと、c第2の共溶媒及び精製二酸化炭素を前記処理手段へ供給し、前記処理手段中で第2の汚染流を形成するステップと、d多相の形態の前記第2の汚染流を第2の中間又は低圧力分離器へ運び、前記第2の汚染流を分離するステップとを含むシステム。前記第1及び第2の中間又は低圧力分離器の上流に、前記処理手段に近接した1個又は複数個の減圧バルブをさらに含む、請求項14に記載のシステム。前記第1の汚染流が前記第1の中間圧力分離器に運ばれて第1の中間圧力の二酸化炭素蒸気流と第1の中間圧力の共溶媒及び汚染物に富む流れに分離される、請求項14に記載のシステム。前記第1の汚染流の輸送が前記第1の低圧力分離器へ切り換えられる、請求項16に記載のシステム。本発明の目的は、関連技術の欠点を克服するために、少なくとも1つのバッチ式処理手段から放出された不連続的な二酸化炭素流から二酸化炭素を回収する方法及びシステムを提供することである。本発明の他の目的は、処理手段が大気圧力に対して排気できるようにすることである。本発明のさらなる目的は、酸や塩基などの、腐食性、有毒又は有害な物質を含む流れを精製及び/又は排気洗浄システムにさらに移動することである。本発明のさらなる目的は、処理手段の運転中に、さらなる精製システムへの供給に伴うプロセス条件の変動を減衰させることである。本発明の他の目的及び態様は、当業者であれば明細書、図面及び本明細書に添付される特許請求の範囲を検討することによって明らかになるであろう。前述の目的は本発明のシステム及び方法によって満たされる。本発明の第1の態様によれば、少なくとも1つのバッチ式処理手段からの少なくとも1つの二酸化炭素含有流を精製するシステムが提供される。該システムは、a少なくとも1つのバッチ式処理手段から、少なくとも二酸化炭素、1種又は複数種の溶媒、及び1種又は複数種の汚染物を含む、少なくとも1種の汚染された流れを取り除き、多相汚染流を生成する各汚染流の圧力を低下させるステップと、b各多相汚染流を少なくとも1個の中間圧力分離器へ運ぶステップと、c多相汚染流を、主として各中間圧力分離器中で、主として蒸気溶媒を含む、中間圧力の二酸化炭素に富む流れと、汚染物に富む流れとに分離するステップと、d多相汚染流の輸送を低圧分離器へ切り換えるステップと、eステップdの多相汚染流を、低圧分離器中で、低圧の二酸化炭素に富む流れと低圧の溶媒及び汚染物に富む流れに分離するステップとを含む。本発明の他の態様によれば、少なくとも1個の処理手段からの少なくとも1つの二酸化炭素含有流を精製するシステムが提供される。該システムは、a1種又は複数種の第1の共溶媒及び精製二酸化炭素を1つ又は複数の処理手段へ供給し、各処理手段中で第1の汚染流を形成するステップと、b多相の形態の各第1の汚染流を少なくとも1個の第1の中間圧力又は低圧力分離器へ運び、第1の汚染流を分離するステップと、c1種又は複数種の第2の共溶媒及び精製二酸化炭素を処理手段へ供給し、処理手段中で第2の汚染流を形成するステップと、d多相の形態の各第2の汚染流を少なくとも1個の第2の中間圧力又は低圧力分離器へ運び、第2の汚染流を分離するステップとを含む。本発明の目的及び利点は、添付の図面と共にその好ましい実施形態の詳細な以下の説明から明らかになるであろう。同様の数字は同じ形を表す。本発明において、二酸化炭素含有流が、1個又は複数個の処理チャンバを含む1つ又は複数の処理手段から取り除かれる。処理手段は、チャンバ中の圧力を大気条件へ放出して、不連続式又はバッチ式で運転される。処理手段から取り出された汚染物含有流は1個又は複数個の圧力容器へ運ばれ、そこで流れは二酸化炭素蒸気流と液体汚染物含有流へ分離される。詳細には、手段を出る二酸化炭素含有流は以下の非制限的な実施形態によって処理し、さらに使用するために処理チャンバへ再循環して戻すことができる。図1は本発明の一態様による処理システムの概要図を示す。精製された二酸化炭素流1及び1種又は複数種の共溶媒2及び3は処理手段10へ運ばれる。処理手段10は、互いに独立に運転することのできる1個又は複数個のチャンバ4、5を含むことができることが認められよう。手段は二酸化炭素流が少なくともその運転時間の一部で、近臨界、臨界、又は超臨界になるように運転される。本明細書に用いられる用語の臨界及び超臨界二酸化炭素は、当業者であれば、CO2の超臨界温度及び圧力、典型的に、それぞれ87.8°F及び1085psiaに等しい、又はそれ以上の温度及び圧力を有することであることを容易に理解するであろう。近臨界の二酸化炭素は-49°F~87.8°Fの温度、及び1085psia以上又は等しい圧力で存在する。JohnMcHandyら、NoyesPublications,Copyright,1998の超臨界流体洗浄の基礎技術及び応用SupercriticalFluidCleaningFundamentalsTechnologyandApplicationsを参照されたい。その中で、二酸化炭素及び共溶媒が組合わされ、フォトレジスト除去を含む任意の数の作業のひとつを行う。これらの共溶媒は水及びアセトンを含んで広範囲に選択することができる。したがって、処理手段10を出る排出物は二酸化炭素、共溶媒及び汚染物例えばフォトレジストなどの不揮発性物質である。チャンバ4及び5を出る流れ20、30は、当初はそれぞれ処理手段の運転圧力である。無論、運転圧力及び温度は実施される運転による。処理手段の適切な最大運転圧力範囲は、約800~5000psigである。適切な運転温度範囲は、約-50~300°Fである。流れ20、30は高圧バルブ21、31を通過させて処理チャンバを典型的に200~800psigの低圧へ減圧させる。特別の理論に束縛されることは望まないが、超臨界条件において、処理チャンバを出る流れは単一相の混合物として存在してもよく、或いは存在しなくてもよい。しかし、流れが処理手段を出て、低圧へ絞られると、流れは多相になる。典型的に、多相流は蒸気、液体、及び固体成分を含む。多相の存在は、配管、計器又はプロセス装置の汚染を招き、且つ/又は望ましくない流れ特性すなわち詰まり又は層化流を生成することがある。これらの望ましくない流れ条件は排気洗浄システムを含む下流の装置を損傷するであろう。さらに、多相流の腐食性質は、同様に下流の装置への悪影響に加担するであろう。原料流20、30の処理チャンバ4、5での圧力が、分離器40に関する圧力の予め定めた値よりも超えるので、高圧バルブの下流の、得られる低圧の二酸化炭素、共溶媒、及び汚染物含有流22、23の各々は、中間圧力分離器40へ送られる。予め定めた圧力差は約0~約50psigであることが好ましい。予め定めた圧力差は約2psigであることが最も好ましい。処理手段10を出る二酸化炭素、共溶媒、及び汚染物含有流20、30は、中間圧力分離器40を利用して、中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流42、及び中間圧力の共溶媒と汚染物に富む液体流43へ分離される。本明細書に用いられる用語の蒸気流及び液体流は、当業者であれば、それぞれ少なくとも50質量パーセントの蒸気と液体の相を意味することを容易に理解するであろう。さらに、圧力分離器40は、単一相分離器又は多相流を分離することのできる多段分離器とすることができることを理解するであろう。多段分離器の例は還流凝縮器である。汚染物液体流43中に放出される二酸化炭素の量は、中間圧力相分離器40を典型的に約-100°F~200°Fの範囲の温度に加熱することによって制御することができる。分離器の運転温度は32°F~120°Fであることが好ましい。分離器の発生温度は50°F~120°Fであることが最も好ましい。さらに、中間相分離器40に関する圧力は、中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流42が、中間分離器40を出る蒸気流42を圧縮する必要なしに、さらに精製手段80、83へ送ることができるように選択される。典型的に、中間分離器40は約200~900psigの範囲、さらに好ましくは約250~450psigの圧力で運転される。処理チャンバ4、5の圧力は処理手段が大気圧に戻ると低下し、したがって、中間分離器40へ運ばれた原料流20、30の圧力は低下する。流れ20、30と中間圧力分離器40の間の圧力差が予め定めた値例えば2psigに到達すると、高圧バルブ21、31は閉じ、低圧バルブ24、34は開く。低圧力の二酸化炭素、共溶媒及び汚染物含有流25、35は低圧力分離器50へ送られ、低圧力の共溶媒及び汚染物に富む液体流53及び低圧力の二酸化炭素に富む蒸気流52を発生する。低圧力分離器50は典型的に処理手段が完全に減圧されるようにほぼ大気圧で運転される。汚染物液体流53中に放出される二酸化炭素の量は、低圧力の相分離器50を典型的に約-100°F~200°Fの範囲の温度に加熱することによって制御することができる。分離器の運転温度は32°F~120°Fであることが好ましい。分離器の運転温度は50°F~120°Fであることが最も好ましい。低圧力分離器50を出る低圧力の共溶媒及び汚染物に富む液体流53は、収集ドラム63などの廃棄物に運び、低圧力の二酸化炭素に富む蒸気流は一連のコアレッサcoalescer60へ運ぶことができ、蒸気流に捕捉されたあらゆるエアゾールが除去される。この好ましい実施形態は、低圧の二酸化炭素、共溶媒及び汚染物流22、32を中間圧力分離器又は低圧力分離器へ運ぶ基準として圧力差を用いるが、他の因子を用いることができる。それらの代替の因子の例は、流れ22、23に関する圧力、温度、又は流量、及び中間圧力分離器又は処理手段に関する圧力若しくは温度を含む。圧力、温度又は流量を用いて処理手段と中間分離器の差を計算することができる。代りに、処理手段の減圧時間又は圧力低下の速度又は温度上昇速度を用いて、流れ22、23を中間又は低圧分離器へ送るかどうかを決定することができる。これらの計算の全ては、測定量として流量、温度、圧力又は時間を用い、適切な切り換え点を決定するのに利用される。コアレッサ60に捕捉されたエアゾールは廃棄物収集ドラム63に送ることができ、回収された蒸気はさらなる精製のため排気洗浄システムへ送ることができる。中間圧力分離器40を出る中間圧力の共溶媒及び汚染物に富む液体流43を低圧力分離器50へ送ることができ、低圧力分離器は汚染物に富む蒸気流43を低圧力の酸化炭素に富む蒸気流52と低圧力の共溶媒及び汚染物に富む液体流53へさらに分離することが好ましい。低圧力の共溶媒及び汚染物に富む液体流53は廃棄物収集ドラム63へ送ることができる。本発明の一態様によれば、処理手段を、圧力、温度又は流量など、この流れに関するプロセスパラメータの操作によって運転する間、中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流42に関する流量44は比較的固定された値に保たれる。例えば、処理手段の運転中に、中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流42中に配置されたバルブ45を操作して、この流れに配置された流れ測定デバイス44の一定の流量読み取り値を維持することができる。このようにして、中間圧力容器40の圧力は変動するであろうが、その出力流量は一定に保たれるであろう。中間圧力分離器40を出る中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流42をさらに精製して、蒸気流中の酸や塩基など腐食性で毒性のある有害な物質を除去し、他の装置への安全な移動を容易にすることができる。可能性のあるさらなる精製手段は、反応、蒸留、相分離器、濾過、吸着、吸収又は合体を含む。例えば、酸が存在すれば、蒸気流42は、蒸気流42を反応手段74へ運ぶ前に、熱交換器70及び任意選択的にトリムヒーター72を利用して予備加熱することができる。当業者であれば、石灰石又はアルミナ床を含む従来の中和手段を利用できることを理解するであろう。反応器手段74を出る中和された流れ75は、フィルター76を通過させ、流れに捕捉された粒子を除去する。続いて、中和された流れ75は熱交換器70を通って運ばれ、典型的に約50°F~200°Fの範囲の温度に冷却される。次いで、中和された流れは、CO2と異なる蒸気圧を有する、水、炭化水素及び他の汚染物などのあらゆる残留物質を除去するであろうさらなる精製手段80へ運ぶことができる。それらのさらなる精製手段は、中央CO2精製器CentralCO2Purifier及び超臨界二酸化炭素の再循環RecycleforSupercriticalCarbonDioxide、代理人整理番号3011.1003-001及び3011.004-001に開示されており、その全体は参照により本明細書に組み込まれている。これらの出願に示されているように、第2のさらなる精製手段80は、他の手段からの二酸化炭素流81を処理し、次いで二酸化炭素流82を他の処理手段へ配分するように、汎用性がある。二酸化炭素流78がさらに精製されると、運転級の精製二酸化炭素流1が形成され、処理手段10へ再循環して戻される。典型的に、精製二酸化炭素流1は10ppm未満の不純物を含み、1ppm未満の不純物が最も好ましい。前述のように、処理手段10はバッチ式又は不連続的に運転される。したがって、多相流20、30の温度と圧力は大きく変動する。蒸留カラム、熱交換器及び切り換え式床吸着システムなど、多くの二酸化炭素精製及び再循環システムの構成要素は、流れ特性が不十分であれば運転が非常に不完全であり、或いは全く機能しない。さらなる精製システムに関するプロセスパラメータ及び構成を変化させて、そのシステムで一定の流量を維持することができる。代りに、運転級の精製二酸化炭素11の迂回流を再循環ラインから取り除いて中間圧力分離器40へ運び、二酸化炭素に富む蒸気流42が連続的に精製ユニットへ供給されることを確実にすることができる。任意選択的に、迂回流11は、中間圧力分離器40を迂回して、二酸化炭素に富む蒸気流42へ直接運ぶことができる。精製二酸化炭素流11を迂回させるさらなる利点は、それが連続的な流量を提供し、それによって二酸化炭素が処理手段の供給ライン中で停滞するのを防止することである。停滞した二酸化炭素はエラストマー又は他の粒子を滲出させてプロセスラインからの汚染物を発生させ、それらを濃縮して処理手段中に堆積させることがある。また、迂回させた液体二酸化炭素11は、処理手段の下流の汚染されたラインを、それらの汚染が起きた場合に、清浄化することができよう。実際には、チャンバ及び/又は手段の運転の時を指定して、汚染された流れを放出するチャンバ及び/又は手段の数を最小にすることができる。本発明の他の態様において、2つのシステムが並列に設けられ、精製二酸化炭素に続いて少なくとも2種の分離した共溶媒流が処理手段に加えられる。並列の分離システムの使用は、例えば、共溶媒が収集され再循環されるならば、若しくは使用する共溶媒が互いに相溶性がなければ、有利である。図2を参照すれば、共溶媒及び汚染物のない二酸化炭素流1と共に第1の共溶媒2が処理手段10に加えられる。その中に共溶媒2を含む汚染流20、30は、中間圧分離器40及び/又は低圧分離器50へ運ばれ、上述のようにして処理される。続いて第2の共溶媒3が共溶媒及び汚染物のない二酸化炭素流1と共に処理手段10に加えられる。その中に共溶媒3を含む汚染流又は源流20、30は処理手段から排気される。これらの流れは第2の中間圧力分離器120又は第2の低圧力分離器130へ運ばれる。この構成の利点のひとつは、第2の廃棄物収集ドラム143に集められるであろう第2の共溶媒3とは独立に、第1の共溶媒2を廃棄物収集ドラム63に集めることができることである。その中に共溶媒2を有する汚染流20、30は、本発明の第1態様を参照して上述のようにして処理される。図2に示したように、この実施形態において、その中に共溶媒3を有する汚染物含有流20、30は処理手段10を出る。当初、流れ20、30は処理手段の運転圧力、例えば2000psigである。汚染物含有流は処理手段10を減圧するために高圧バルブ100、110を通過させる。得られる多相二酸化炭素、共溶媒及び汚染物含有流101、111は、処理チャンバ4、5での源流20、30の圧力が分離器120に関して予め定めた圧力を超えるので、第2の中間圧分離器120へ運ばれる。予め定めた値は約2psigであることが好ましい。第2の中間圧力分離器120を用いて、処理手段10を出る汚染物含有流20、30を中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流122と中間圧力の共溶媒及び汚染物に富む液体流123へ分離する。この中間圧力分離器120は分離器へエネルギーを送達するためのヒーター121を含むことができる。すなわち、分離器120へ送達されたエネルギーは、共溶媒及び汚染物に富む液体流123の損失である二酸化炭素の量を制御する。中間圧力分離器120に関する圧力は、分離器120からの中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流122を、中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流122を圧縮することなくさらなる精製手段80、83によって精製することができるように選択される。中間圧力分離器に関する典型的な圧力は300psigである。汚染物含有流20、30の圧力が低下すると、処理手段での流れの圧力は第2の中間圧力分離器120内の圧力に近づく。これらの値の差が予め定めた値例えば2psigに達すると、高圧バルブ100、110は閉じ、低圧バルブ102、112は開く。得られるさらに低圧の二酸化炭素、共溶媒、及び汚染物含有流103、113は第2の低圧力分離器130へ運ばれる。また、第2の中間圧力分離器120を出る中間圧力の共溶媒及び汚染物に富む液体流123は、汚染物に富む液体流を低圧力の二酸化炭素に富む蒸気流132と低圧力の共溶媒及び汚染物液体流133にさらに分離する、第2の低圧力分離器130へ運ぶことができる。低圧力の共溶媒及び汚染物に富む液体流133は廃棄物収集ドラム143へ運ぶことができる。低圧力の二酸化炭素に富む蒸気流132は第2の一連のコアレッサ140へ運ぶことができ、エアゾールが除去される。捕捉されたエアゾール142は同様に廃棄物収集ドラム143へ排出することができる。第2コアレッサ141を離れる蒸気は排気洗浄システムへ運ばれる。所望するならば、中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流122に関する流れ124は、処理手段を運転する間、圧力、温度又は流量など、この流れに関するプロセスパラメータを操作することによって、比較的固定された値に保つことができる。例えば、中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流122の中に配置されたバルブ図示せずを操作して、この流れの中に配置された流量測定デバイス124の流量読み取り値を一定に維持することができる。このようにして、中間圧力容器120の圧力は変動するが、その出力流量は比較的一定に保たれるであろう。さらに、所望するならば、精製された二酸化炭素のいくらかを処理手段10の周りに通過させることによって一定の流量を維持することができる。迂回流14は、流れ12によって、第2の中間圧力分離器120又は中間分離器120の下流点のいずれかへ運ぶことができ、二酸化炭素に富む蒸気122を連続的に供給することが保証される。中間圧力の二酸化炭素に富む蒸気流122は第1の中間圧力分離器40を出る二酸化炭素に富む流れと結合させてさらに予備処理を行い、上述のように、この流れをさらなる精製手段83及び第2のさらなる精製手段80を通過させることによって、例えば腐食性で毒性のある有害な物質を除去することができる。代わりに、これらの流れはそれ自体の分離した第1の精製手段を通過させた後、しかし第2精製手段の前に結合することができる。所望するならば、第2コアレッサ140を離れる蒸気流141は第1コアレッサを離れる蒸気流61と混合することができる。本発明をその特定の実施形態を参照して詳細に説明したが、当業者であれば、添付の請求項の範囲から逸脱することなく、様々な変更と修正を行うことができ、等価のものを使用できることは明らかであろう。"