"被加熱物の一方の主面に対向して配置される一方の発熱体と、他方の主面に対向して配置される他方の発熱体と、前記一方の発熱体における前記被加熱物との対向面の裏面側に配置される一方の誘導加熱コイル群と、前記他方の発熱体における前記被加熱物との対向面の裏面側に、前記被加熱物を基点として前記一方の誘導加熱コイル群と対称に配置される他方の誘導加熱コイル群と、前記一方の誘導加熱コイル群および前記他方の誘導加熱コイル群を並列に、且つ前記被加熱物を基点として面対称な配置関係となる誘導加熱コイルに対して、投入する電流の位相が逆向きとなるように接続した電力供給手段とを有することを特徴とする誘導加熱装置。前記一方の誘導加熱コイル群と前記他方の誘導加熱コイル群は、それぞれ円環状に形成されて同心円上に配置された複数の誘導加熱コイルから成ることを特徴とする請求項1に記載の誘導加熱装置。前記一方の誘導加熱コイル群と前記他方の誘導加熱コイル群とを構成する各誘導加熱コイルの内、対称配置された誘導加熱コイルはそれぞれ組を成し、前記電力供給手段は、各組を成す誘導加熱コイルに対して同じ電流値を供給するための複数のインバータを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の誘導加熱装置。前記一方の発熱体と前記他方の発熱体の厚みをそれぞれt、前記一方の発熱体と前記他方の発熱体における磁束の浸透深さをδとした場合に、t<1.5δの関係を満たすように、前記一方の発熱体と前記他方の発熱体の厚みを定めたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の誘導加熱装置。特許文献1に開示されている誘導加熱装置によれば、急速加熱が可能となり、かつウエハの面内温度分布制御が可能となる。一方、急速加熱の要望がさらに加速した場合、ウエハの表裏面間において温度差が生じ、ウエハに反りなどが生ずる可能性がある。これを解消する方法として、ウエハを一対のサセプタで挟み込み、ウエハを表裏両面から加熱するという方法が考えられる。しかしこの場合でも、表裏面の加熱制御を各々独立して行った場合には、ウエハ表裏面の温度分布がばらついてしまう場合がある。また、表面に金属膜などが貼付されているウエハを加熱する場合には、漏洩磁束の影響によりウエハ自体が誘導加熱され、ウエハ全体としての加熱バランスが崩れてしまったり、金属膜が焼損したりする虞がある。そこで本発明では、被加熱物であるウエハ表裏面における温度差を生じさせず、かつウエハ表面に金属膜などが形成されている場合であっても、ウエハ自体が発熱することによる温度分布のバラツキや金属膜の焼損を無くすことのできる誘導加熱装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するための本発明に係る誘導加熱装置は、被加熱物の一方の主面に対向して配置される一方の発熱体と、他方の主面に対向して配置される他方の発熱体と、前記一方の発熱体における前記被加熱物との対向面の裏面側に配置される一方の誘導加熱コイル群と、前記他方の発熱体における前記被加熱物との対向面の裏面側に、前記被加熱物を基点として前記一方の誘導加熱コイル群と対称に配置される他方の誘導加熱コイル群と、前記一方の誘導加熱コイル群および前記他方の誘導加熱コイル群を並列に、且つ前記被加熱物を基点として面対称な配置関係となる誘導加熱コイルに対して、投入する電流の位相が逆向きとなるように接続した電力供給手段とを有することを特徴とする。また、上記のような特徴を有する誘導加熱装置において前記一方の誘導加熱コイル群と前記他方の誘導加熱コイル群は、それぞれ円環状に形成されて同心円上に配置された複数の誘導加熱コイルから成るようにすると良い。このような構成とすることで、同一半径における加熱領域が単一の誘導加熱コイルでまかなわれることとなる。このため、大径ウエハの枚葉加熱を行なう上で放熱と加熱のバランスを制御することが容易となる。また、上記のような特徴を有する誘導加熱装置では、前記一方の誘導加熱コイル群と前記他方の誘導加熱コイル群とを構成する各誘導加熱コイルの内、対称配置された誘導加熱コイルはそれぞれ組を成し、前記電力供給手段は、各組を成す誘導加熱コイルに対して同じ電流値を供給するための複数のインバータを有するようにすると良い。このような構成とすることで、組を成す各誘導加熱コイルには、電流値の等しい電流が供給されることとなる。よって、被加熱物の表裏面における加熱バランスが取れる。よって、被加熱物ウエハの反りを抑制することが容易となる。さらに、上記のような特徴を有する誘導加熱装置では、前記一方の発熱体と前記他方の発熱体の厚みをそれぞれt、前記一方の発熱体と前記他方の発熱体における磁束の浸透深さをδとした場合に、t<1.5δの関係を満たすように、前記一方の発熱体と前記他方の発熱体の厚みを定めるようにすると良い。このような構成とした場合、発熱体を透過した磁束漏洩磁束が被加熱物に直接到達する可能性が生ずる。しかし、漏洩磁束は上記構成により相殺されることとなる。発熱体の厚みを薄くすることで、熱容量の減少に伴う加熱効率の増加を招き、急速昇温に有利となる。上記のような特徴を有する誘導加熱装置によれば、被加熱物であるウエハ表裏面における温度差の発生を抑制することができる。また、ウエハ表面に金属膜などが形成されている場合であっても、ウエハ自体が発熱することによる温度分布のバラツキや金属膜の焼損を無くすことができる。以下、本発明の誘導加熱装置に係る実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は、実施形態に係る誘導加熱装置の全体構成を示すブロック図である。また、図2は、実施形態に係る誘導加熱装置の加熱部の構成を示す分解斜視図である。実施形態に係る誘導加熱装置10は、加熱部12と電源部電力供給手段14とを基本として構成される。加熱部12は、一方の発熱体としてのサセプタ18、他方の発熱体としてのサセプタ20、一方の誘導加熱コイル群22、および他方の誘導加熱コイル群24を基本として構成される。サセプタ18およびサセプタ20は、被加熱物としての半導体ウエハ以下、単にウエハ16と称すを挟持するように、ウエハ16の上面側および下面側に、それぞれ対向するように配置される。なお、サセプタ18とウエハ16、およびウエハ16とサセプタ20との間には、図示しない支持部材を配置することで、所定の空間を保つようにすることが望ましい。支持部材の構成材料としては、磁束の影響を受けることが無く、耐熱性の高い素材、例えば石英などとすると良い。このような構成とすることで、ウエハ16を表面、裏面の両方から加熱することが可能となり、ウエハ16の表裏面における温度差の発生を抑制することができる。また、ウエハ16の表裏面における温度差の発生を抑制することにより、表裏面の温度差に起因するウエハ16の反りも抑制することができる。一方の誘導加熱コイル群22は、サセプタ18におけるウエハ配置面と反対側の主面裏面に対向して配置される。サセプタ18と一方の誘導加熱コイル群22との間には、図示しない支持部材を配置するようにしても良いが、石英板不図示などによりコイル配置領域とプロセス領域とを遮蔽することで、コンタミネーションを防ぐことも可能となる。一方の誘導加熱コイル群22は、円環状略C型に形成した複数の誘導加熱コイル22a~22fを、同芯円上に隣接配置して構成される。他方の誘導加熱コイル群24は、サセプタ20におけるウエハ配置面と反対側の主面に対向して配置される。サセプタ20と他方の誘導加熱コイル群24との間には、図示しない支持部材を配置するようにしても良いが、石英板不図示などによりコイル配置領域とプロセス領域とを遮蔽することで、コンタミネーションを防ぐことも可能となる。他方の誘導加熱コイル群24は、上述した一方の誘導加熱コイル群22と同様に、円環状略C型に形成した複数の誘導加熱コイル24a~24fを、同芯円上に隣接配置して構成される。ここで、一方の誘導加熱コイル群22を構成する誘導加熱コイル22a~22fと、他方の誘導加熱コイル群24を構成する誘導加熱コイル24a~24fとは、ウエハ16を基点として厚み方向に面対称配置する。本実施形態では、厚み方向に面対称な配置関係とされる各誘導加熱コイル22a~22f,24a~24fについてそれぞれ組を構成し、各組単位で個別の加熱ゾーン本実施形態においては、ゾーン1~ゾーン6を構成するように詳細を後述する電源部14に接続される。電源部14は、例えば図1に示すように、三相交流電源28、コンバータ30、チョッパ3232a~32f、インバータ3434a~34f、および温度制御部36を基本として構成される。コンバータ30は、三相交流電源28から入力される三相交流電流を直流に変換して、後段に接続されるチョッパ32へと出力する純変換部である。チョッパ32は、コンバータ30から出力される電流の通流率を変化させ、インバータ34に入力する電流の電圧を変化させる電圧調整部である。インバータ34は、チョッパ32により電圧調整された直流電流を、交流電流へと変換して誘導加熱コイル群22,24へ供給する逆変換部である。なお、本実施形態で例に挙げる誘導加熱装置10のインバータ34は、誘導加熱コイル群22,24と共振コンデンサとを直列に配置した直列共振型のインバータとする。また、各加熱ゾーンを構成する組を成す誘導加熱コイル例えば誘導加熱コイル22aと誘導加熱コイル24a、誘導加熱コイル22bと誘導加熱コイル24b、等にはそれぞれ、組単位で個別にインバータ34、およびチョッパ32が接続されている。なお、インバータ34から誘導加熱コイル22a~22f,24a~24fへの出力電流の制御は、温度制御部36からの入力信号に基づいて行うものとする。各インバータ34a~34fには、一方の誘導加熱コイル群22と他方の誘導加熱コイル群24における対称位置に位置する各誘導加熱コイル組を成す誘導加熱コイルが並列に接続されている。また、各インバータ34は図3に示すように、各組を成す誘導加熱コイル22a~22f,24a~24fに対し、投入される電流の位相が逆向きとなるように接続されている。このような構成とした場合、図3に示すように、サセプタ18を透過した誘導加熱コイル22aからの漏洩磁束と、サセプタ20を透過した誘導加熱コイル24aからの漏洩磁束との旋回方向が互いに逆向きとなる。このため、2つの漏洩磁束は互いに打ち消し合うこととなる。ここで、仮にウエハ16の表面に金属膜が形成されている場合従来では、漏洩磁束はウエハ16表面の金属膜に対しても投入されることとなり、ウエハ16表面では、渦電流による発熱が生ずることとなってしまう。これに対し本実施形態に係る誘導加熱装置10では、金属膜を介した発熱の要因となる漏洩磁束を打ち消すことで、漏洩磁束による直接加熱を避け、ウエハ16全体としての加熱バランスが崩れることを避けることができる。従来、漏洩磁束の発生を抑制する構成の1つとしては、単純にサセプタ18,20の厚みを厚くする手段が考えられていた。しかし、本実施形態に係るような構成とした場合、サセプタ18,20の厚みは、磁束の漏洩が生ずる範囲にまで薄くすることができるようになる。サセプタ18,20を透過した漏洩磁束は、金属膜を有するウエハに影響を与える事無く相殺されるからである。ここで、サセプタ18,20に対する電流の浸透深さをδとした場合、サセプタ18,20の厚みtを1.5δ未満、すなわちtとδの関係でt<1.5δを満たすように厚みを定めることで磁束の漏洩が生ずるため、漏洩磁束打消しによる効果を活かすことができる。なお、サセプタ18,20の厚みを薄くすることによれば、サセプタの熱容量が減少し、投入磁束に対する発熱割合が増加することとなる。このため、ウエハ16を急速昇温する場合に有利となる。温度制御部36は、温度センサ2626a~26cにより検出されたサセプタ20の温度を比較し、温度検出点間の温度勾配を求め、この温度勾配に基づいて予想予測した加熱ゾーン間の温度バランスに応じて、各誘導加熱コイル22a~22f,24a~24fに投入する電力を定め、インバータ34、およびチョッパ32に対して制御信号入力信号を出力する役割を担う。上記のような構成の電源部14によれば、コンバータ30から出力された電流の電圧をチョッパ32により制御し、チョッパ32から出力された直流電流をインバータ34により変換、周波数調整することができる。このため、チョッパ32により出力電力を制御することができ、インバータ34により、複数のコイルが隣接して配置された一方の誘導加熱コイル群22および他方の誘導加熱コイル群24へ投入される電流の周波数との位相調整を行うことができる。そして、出力電流における周波数の位相を同期位相差を0にする事または0に近似させる事、あるいは定められた間隔に保つことで、隣接配置された誘導加熱コイル22a~22f,24a~24fの間の相互誘導の影響を回避することができる。また、複数の誘導加熱コイル22a~22f,24a~24fのそれぞれに対する投入電力を制御することで、サセプタ18,20、さらにはウエハ16の温度分布制御を行うことができる。上記のような構成の誘導加熱装置10ではウエハ16の熱処理を行う際、次のような制御が成される。まず、複数の誘導加熱コイル22a~22f,24a~24fのそれぞれに対して所定の電力を投入し、サセプタ18,20を加熱した後、組を成す誘導加熱コイル例えば誘導加熱コイル22aと誘導加熱コイル24a、誘導加熱コイル22bと誘導加熱コイル24b等の間に配置された温度センサ26のそれぞれにより発熱体の温度を検出し、温度制御部36に送信する。温度制御部36ではまず、検出点本実施形態の場合3点の温度から各加熱ゾーンにおけるサセプタ20の温度を推測する線形補間を実施する。ここで線形補間とは、図4に示すように、検出点の温度を直線で結び、その直線上に各加熱ゾーンの位置関係を結びつける直線上に加熱ゾーンの位置をプロットすることにより、直線上のプロット点における温度を、各加熱ゾーンの温度と推測するものである。次に温度制御部36では、線形補間により得られた推測温度と、現在各誘導加熱コイル24a~24f22a~22fに対して投入している電力値指令値を関連付けることで、線形補間により得られた推測温度を補正する図5参照。具体的には、現在の指令値が、ゾーン1<ゾーン2であれば、ゾーン2の温度が高めと推測することができる。このため、ゾーン1を低め、ゾーン2を高めに補正するといったものであれば良い。このような補正を行うことにより、各加熱ゾーン間の温度バランスを考慮した温度予測値を得ることができる。また補正に関しては、ゾーン1を加熱する誘導加熱コイル22a,24aに与えている指令値と、ゾーン2を加熱する誘導加熱コイル22b,24bに与えている指令値の比率ゾーン1/ゾーン2又はゾーン2/ゾーン1から導き出せる傾きを、線形補間によって得られた検出点に重ね合わせる。そして、重ね合わせによって得られた断続的な直線をそれぞれ直線で繋ぐことにより、各加熱ゾーン間の温度バランスを考慮した温度予測値を得るというものであっても良い。ここで温度予測値を得る補正は、装置ごとの特性に応じて試験もしくはシミュレーションを行うことにより、その結果に合わせた補正を行うことが好適である。このようにして得られた温度予測値に対して温度制御部36は、温度勾配加熱ゾーン間を結ぶ直線の傾きが無くなるような加熱温度補正を行う電力指令値を算出する図6参照。ここで電力指令値の算出は、装置ごとの特性に応じて試験もしくはシミュレーションを行うことにより、シミュレーション等の結果に合わせた算出方法が採られる。なお、大まかな温度補正としては、温度予測値によって得られる傾きと反対の傾きを持つ図6に示す折れ線グラフの上下を反転させた傾きグラフに応じた比率の電力指令値を各加熱ゾーンへの温度補正値とすれば良い。このようにして得られた電力指令値を各誘導加熱コイル群22,24に接続されたインバータ34、およびチョッパ32に出力することで、各誘導加熱コイル22a~22f,24a~24fに対する投入電力が制御される。上記のような構成の誘導加熱装置10によりウエハ16の加熱を行なうことによれば、ウエハ16の表裏面における温度差を抑制することができる。また、ウエハ16の表面に金属膜などが形成されている場合であっても、ウエハ16自体が発熱することによる温度分布のバラツキを無くすことができる。図1に示す実施形態では、組を成す誘導加熱コイル例えば誘導加熱コイル22aと誘導加熱コイル24aは、共通のインバータ、およびチョッパに接続される構成としていた。しかしながら、組を成す誘導加熱コイルに対してそれぞれ個別のインバータ、およびチョッパを接続することで、より詳細な温度分布制御を行うことが可能となる。"