ガラスフィルムと支持体とを積層したガラスフィルム積層体であって、前記ガラスフィルムの接触面と前記支持体の接触面との積層部に、接着力が相対的に強い領域と弱い領域とが設けられていることを特徴とするガラスフィルム積層体。前記支持体が支持ガラスであり、前記ガラスフィルムの接触面及び前記支持ガラスの接触面のうち少なくとも一方に、表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とが設けられていることを特徴とする請求項1に記載のガラスフィルム積層体。前記支持ガラスの接触面に、前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とが設けられていることを特徴とする請求項2に記載のガラスフィルム積層体。前記表面粗さが相対的に小さい領域は、表面粗さRaが2.0nm以下であることを特徴とする請求項2又は3に記載のガラスフィルム積層体。前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とは、表面粗さRaの差が0.1nm以上であることを特徴とする請求項2から4のいずれかに記載のガラスフィルム積層体。前記接触面の外周部に前記表面粗さが相対的に小さい領域を有し、前記外周部に囲まれた内部に、前記表面粗さが相対的に大きい領域を有することを特徴とする請求項2から5のいずれかに記載のガラスフィルム積層体。前記接触面の角部に、前記表面粗さが相対的に小さい領域を有することを特徴とする請求項2から5のいずれかに記載のガラスフィルム積層体。前記接触面の外周部に、前記表面粗さが相対的に大きい領域を有し、前記外周部に囲まれた内部に、前記表面粗さが相対的に小さい領域を有することを特徴とする請求項2から5のいずれかに記載のガラスフィルム積層体。前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とが、前記接触面に帯状に交互に設けられていることを特徴とする請求項2から5のいずれかに記載のガラスフィルム積層体。前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとは、縁部の少なくとも一部において段差を設けて積層されていることを特徴とする請求項2から9のいずれかに記載のガラスフィルム積層体。ガラスフィルムと支持ガラスとを積層したガラスフィルム積層体の製造方法であって、前記ガラスフィルムの接触面及び前記支持ガラスの接触面のうち少なくとも一方の一部領域を粗面化する工程と、前記接触面同士を接触させた状態で前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとを積層する工程とを有することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、オーバーフローダウンドロー法で成形されていることを特徴とする請求項11に記載のガラスフィルムの製造方法。前記粗面化は、フッ酸によるエッチング処理、大気圧プラズマによるエッチング処理、薄膜の形成による粗面化、サンドブラストによる粗面化処理の中から選択されるいずれか1種又は2種以上であることを特徴とする請求項11又は12に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。支持ガラスの接触面及びガラスフィルムの接触面のうち少なくとも一方に、表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設ける第1の工程と、前記支持ガラスの接触面と前記ガラスフィルムの接触面とを貼り合わせることによってガラスフィルム積層体とする第2の工程と、前記ガラスフィルム積層体に対して製造関連処理を行う第3の工程と、前記製造関連処理後に前記ガラスフィルムを前記支持ガラスから剥離する第4の工程とを有することを特徴とするガラスフィルムの製造方法。しかしながら、支持ガラス基板を剥離した後に粘着性物質がガラスフィルムに残存し、汚れの原因となるという問題がある。さらに、最終的に積層体のガラスフィルムを支持ガラス基板から剥離して、ガラスフィルムのみとする際に、支持ガラス基板上の粘着剤層の粘着力を強く設定した場合は、その引っ張り応力に耐えられず、脆性材料であるガラスフィルムが破損し易いという問題がある。また、粘着剤層の粘着力を弱く設定した場合は、支持ガラス基板とガラスフィルムとの接着が不十分となり、製造関連処理の際に支持ガラス基板とガラスフィルムとがずれることに起因する位置決めミスやパターニングのずれ等が生じるおそれがある。本発明の第1の目的は、製造関連処理を行う際にはガラスフィルムを強固に支持体によって支持させつつ、製造関連処理後にガラスフィルムを各種デバイスに組み込む際には、支持体からガラスフィルムを容易に剥離させることを可能にすることである。本発明の第2の目的は、ガラスフィルムを支持体から剥離した後において、粘着剤がガラスフィルムに残存することを確実に防止することを可能とするガラスフィルム積層体を提供することである。本発明は、ガラスフィルムと支持体とを積層したガラスフィルム積層体であって、前記ガラスフィルムの接触面と前記支持体の接触面との積層部に、接着力が相対的に強い領域と弱い領域とが設けられていることを特徴とするガラスフィルム積層体を提供する。ここで、本発明で用いる支持体には、ガラスやセラミック等の無機材料で形成されたもの、樹脂材料や金属材料で形成されたものが含まれる。また、接着力が相対的に弱い領域は、接着力が無い領域であっても良い。さらに、本発明のガラスフィルム積層体には、前記ガラスフィルムの接触面と前記支持体の接触面とを直接接触させて接着させたもの、前記ガラスフィルムの接触面と前記支持体の接触面とを粘着剤層接着剤層を介して接着させたものが含まれる。前者の場合、前記支持体をガラスで形成し支持ガラス、前記ガラスフィルムの接触面及び前記支持ガラスの接触面のうち少なくとも一方に、表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設けた構成にする。後者の場合、粘着剤層接着剤層を、接着力が相対的に強い層領域と弱い層領域とを有する構成とし、あるいは、積層部の一部領域に粘着剤層接着剤層を設けない構成とする。本発明において、前記支持体をガラスで形成し支持ガラス、前記ガラスフィルムの接触面及び前記支持ガラスの接触面のうち少なくとも一方に、表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とが設けられている構成とすることが好ましい。例えば、前記支持ガラスの接触面に、前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設けることができる。前記表面粗さが相対的に小さい領域は、表面粗さRaが2.0nm以下であることが好ましい。また、前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とは、表面粗さRaの差が0.1nm以上であることが好ましい。本発明において、前記接触面の外周部に前記表面粗さが相対的に小さい領域を有し、前記外周部に囲まれた内部に、前記表面粗さが相対的に大きい領域を有する構成とすることができる。あるいは、前記接触面の角部に、前記表面粗さが相対的に小さい領域を有する構成とすることができる。あるいは、前記接触面の外周部に、前記表面粗さが相対的に大きい領域を有し、前記外周部に囲まれた内部に、前記表面粗さが相対的に小さい領域を有する構成とすることができる。あるいは、前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とが、前記接触面に帯状に交互に設けられている構成とすることができる。また、前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとが、縁部の少なくとも一部において段差を設けて積層されている構成とすることができる。また、本発明は、ガラスフィルムと支持ガラスとを積層したガラスフィルム積層体の製造方法であって、前記ガラスフィルムの接触面及び前記支持ガラスの接触面のうち少なくとも一方の一部領域を粗面化する工程と、前記接触面同士を接触させた状態で前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとを積層する工程とを有する構成を提供する。上記構成において、前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、オーバーフローダウンドロー法で成形されていることが好ましい。また、前記粗面化は、フッ酸によるエッチング処理、大気圧プラズマによるエッチング処理、薄膜の形成による粗面化、サンドブラストによる粗面化処理の中から選択されるいずれか1種又は2種以上とすることができる。また、本発明は、支持ガラスの接触面及びガラスフィルムの接触面のうち少なくとも一方に、表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設ける第1の工程と、前記支持ガラスの接触面と前記ガラスフィルムの接触面とを貼り合わせることによってガラスフィルム積層体とする第2の工程と、前記ガラスフィルム積層体に対して製造関連処理を行う第3の工程と、前記製造関連処理後に前記ガラスフィルムを前記支持ガラスから剥離する第4の工程とを有するガラスフィルムの製造方法を提供する。本発明によれば、前記ガラスフィルムの接触面と前記支持体の接触面との積層部に、接着力が相対的に強い領域と弱い領域とが設けられていることから、接着力が相対的に強い領域により、支持体上にガラスフィルムを強固に積層させた状態で、安定して製造関連処理を施すことができる。加えて、接着力が相対的に弱い領域を有することから、製造関連処理後に接着力の相対的に弱い領域からガラスフィルムを容易に剥離することができる。従って、支持体とガラスフィルムとの接着力が全体的に強すぎることに起因するガラスフィルム剥離時の破損を防止しつつ、接着力が全体的に弱すぎることに起因する製造関連処理時におけるガラスフィルムの不当な剥離脱落を防止することができる。前記支持体をガラスで形成し支持ガラス、前記ガラスフィルムの接触面及び前記支持ガラスの接触面のうち少なくとも一方に、表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設けることにより、表面粗さが相対的に大きい領域以下、粗面というではガラスフィルムと支持ガラスとが弱い力で接着し、表面粗さが相対的に小さい領域以下、平滑面というではガラスフィルムと支持ガラスとが強い力で接着する。平滑面同士の接触では、両表面に存在する水酸基同士が水素結合することが可能な程に、両表面間の距離が小さくなると考えられ、そのため密着性が良く、接着剤を使用しなくてもガラスフィルムの接触面と支持ガラスの接触面とを強固に安定して接着させることが可能となると考えられている。これにより、支持ガラス上にガラスフィルムを強固に積層させた状態で安定して製造関連処理を施すことができると共に、製造関連処理後においては粗面からガラスフィルムを容易に剥離することができる。また、接着剤を使用しないため、支持ガラスからガラスフィルムを剥離したとしても、接着剤が全く残存しないガラスフィルムとすることができる。前記支持ガラスは再利用可能であるため、前記支持ガラスの接触面に、前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設ける構成とすることにより、例えば支持ガラスの接触面の一部領域に対して粗面化処理を一度行えば、再度の粗面化処理を行うことなく、該支持ガラスをそのまま再利用することができるので、製造工程の簡略化になる。また、ガラスフィルムは、デバイスのガラス基板として使用するため、裏面側であっても粗面化処理を行うことは、好ましくない場合がある。前記表面粗さが相対的に小さい領域は、表面粗さRaが2.0nm以下であると、ガラスフィルムと支持ガラスとをより強固に接着させることができる。前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とは、表面粗さRaの差が0.1nm以上であると、支持ガラスとガラスフィルムとを適切に接着させることができ、製造関連処理時において良好な位置決めを可能としつつ、製造関連処理後には、支持ガラスからガラスフィルムを容易に剥離することが可能となる。よって、接着性と剥離性とのバランスをとることが可能となる。前記接触面の外周部に前記表面粗さが相対的に小さい領域を有し、前記外周部に囲まれた内部に、前記表面粗さが相対的に大きい領域を有する構成とすることにより、ガラスフィルムと支持ガラスとを接触面の外周部に沿って少ない接着面積で強固に接着させることができる。また、製造関連処理工程に溶媒を使用する工程を有していたとしても、ガラスフィルムと支持ガラスとの隙間から溶媒が浸入することを防止することができる。前記接触面の角部に、前記表面粗さが相対的に小さい領域を有する構成とすることにより、ガラスフィルムの角部を支持ガラスと強固に接着させることができ、より少ない接着面積でガラスフィルムと支持ガラスとを積層することができる。前記接触面の外周部に、前記表面粗さが相対的に大きい領域を有し、前記外周部に囲まれた内部に、前記表面粗さが相対的に小さい領域を有する構成とすることにより、支持ガラスからガラスフィルムを剥離する際に、ガラスフィルムの外周部から容易に剥離を開始することができる。前記表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とが、前記接触面に帯状に交互に設けられている構成とすることにより、前記帯状の領域の長手方向にガラスフィルムの剥離を行うことにより、一定の力で安定して支持ガラスとガラスフィルムとの剥離を行うことができる。前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとは、縁部の少なくとも一部において段差を設けて積層されている構成とすることにより、支持ガラスからガラスフィルムが食み出している場合は、ガラスフィルムと支持ガラスとをより容易かつ確実に剥離することが可能となる。一方、ガラスフィルムから支持ガラスが食み出している場合は、ガラスフィルムの端部を打突等から適切に保護することが可能となる。また、本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、前記ガラスフィルムの接触面及び前記支持ガラスの接触面のうち少なくとも一方の一部領域を粗面化する工程と、前記接触面同士を接触させた状態で前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとを積層する工程とを有するので、上述したガラスフィルム積層体を容易に製造することができる。前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスは、オーバーフローダウンドロー法で成形されていると、表面粗さが小さく平滑性の高い表面を有するので、その表面の一部領域を粗面化することにより、上述したガラスフィルム積層体をより一層容易に製造することができる。前記粗面化が、フッ酸によるエッチング処理、大気圧プラズマによるエッチング処理、薄膜の形成による粗面化、サンドブラストによる粗面化処理の中から選択されるいずれか1種又は2種以上であると、適宜マスキングテープ等を使用することにより、粗面化された領域と粗面化されていない領域とからなる接触面を容易に作製することができる。また、本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、支持ガラスの接触面及びガラスフィルムの接触面のうち少なくとも一方に、表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設ける第1の工程と、前記支持ガラスの接触面と前記ガラスフィルムの接触面とを貼り合わせることによってガラスフィルム積層体とする第2の工程と、前記ガラスフィルム積層体に対して製造関連処理を行う第3の工程と、前記製造関連処理後に前記ガラスフィルムを前記支持ガラスから剥離する第4の工程とを有するので、様々な用途のために製造関連処理がなされたガラスフィルムを、容易に製造することができる。以下、本発明に係るガラスフィルム積層体の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本発明に係るガラスフィルム積層体1は、図1に示す通り、ガラスフィルム2と支持ガラス3とで構成される。支持ガラス3の接触面には、表面粗さが相対的に小さい平滑面4と表面粗さが相対的に大きい粗面5とが設けられ、ガラスフィルム2と支持ガラス3とは、接着剤等を使用することなく積層されている。ガラスフィルム2は、ケイ酸塩ガラスが用いられ、好ましくはシリカガラス、ホウ珪酸ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。ガラスフィルム2にアルカリ成分が含有されていると、表面において陽イオンの脱落が発生し、いわゆるソーダ吹きの現象が生じ、構造的に粗となる。この場合、ガラスフィルム2を湾曲させて使用していると、経年劣化により粗となった部分から破損する可能性がある。尚、ここで無アルカリガラスとは、アルカリ成分アルカリ金属酸化物が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ金属酸化物が1000ppm以下のガラスのことである。本発明でのアルカリ金属酸化物の含有量は、好ましくは500ppm以下であり、より好ましくは300ppm以下である。ガラスフィルム2の厚みは、好ましくは300μm以下、より好ましくは5μm~200μm、最も好ましくは5μm~100μmである。これによりガラスフィルム2の厚みをより薄くして、適切な可撓性を付与することができる。また、ガラスフィルム2の厚みを薄くすると、ハンドリング性が困難で、かつ、位置決めミスやパターニング時のずれ等の問題が生じやすくなるおそれがあるが、本発明では支持ガラス3を使用することにより、製造関連処理を容易に行うことができる。一方、ガラスフィルム2の厚みが5μm未満であると、ガラスフィルム2の強度が不足がちになり、ガラスフィルム積層体1からガラスフィルム2を剥離して、デバイスに組み込む際に破損を招き易くなる。他方、ガラスフィルム2の厚みが300μmを超えると、ガラスフィルムに可撓性を付与させ難くなるおそれがある。支持ガラス3は、ガラスフィルム2と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等が用いられる。支持ガラス3については、ガラスフィルム2との30~380°Cにおける熱膨張係数の差が、5×10-7/°C以内のガラスを使用することが好ましい。これにより製造関連処理の際に熱処理を行ったとしても、膨張率の差による熱反り等が生じ難く、安定した積層状態を維持できるガラスフィルム積層体1とすることが可能となる。支持ガラス3の厚みは、400μm以上であることが好ましい。支持ガラス3の厚みが400μm未満であると、支持ガラス単体で取り扱う場合に、強度の面で問題が生じる可能性があるからである。支持ガラス3の厚みは、400μm~700μmであることが好ましく、500μm~700μmであることが最も好ましい。これによりガラスフィルム2を確実に支持することが可能となる。本発明に使用されるガラスフィルム2及び支持ガラス3は、ダウンドロー法によって成形されていることが好ましい。ガラスフィルム2の表面をより滑らかに成形することができるからである。特に、図2に示すオーバーフローダウンドロー法は、成形時にガラス板の両面が、成形部材と接触しない成形法であり、得られたガラス板の両面透光面には傷が生じ難く、研磨しなくても高い平滑性を得ることができるからである。これにより、ガラスフィルム2と支持ガラス3とを平滑面4においてより強固に接着させることが可能となる。断面が楔型の成形体7の下端部71から流下した直後のガラスリボンGは、冷却ローラ8によって幅方向の収縮が規制されながら下方へ引き伸ばされて所定の厚みまで薄くなる。次に、前記所定厚みに達したガラスリボンGを徐冷炉アニーラで徐々に冷却し、ガラスリボンGの熱歪を除き、ガラスリボンGを所定寸法に切断して、ガラスフィルム2及び支持ガラス3が成形される。支持ガラス3の接触面には、図1に示す通り、平滑面4と粗面5とが設けられている。支持ガラス3の接触面にガラスフィルム2を貼り合わせることにより、平滑面4では密着性がよいため、ガラスフィルム2と支持ガラス3とが強い力で接着しつつ、粗面5ではガラスフィルム2と支持ガラス3とが弱い力で接着する。これにより、支持ガラス3上にガラスフィルム2を強固に積層させた状態で製造関連処理を施すことができると共に、製造関連処理後においては粗面5からガラスフィルム2を容易に剥離することができる。尚、図1、図3、図4の平面図において、支持ガラス3の接触面における粗面5については、斜線を付している。また、図1、図4、及び図5の断面図において、粗面5については、太線で表示をしている。支持ガラス3の接触面における平滑面4の表面粗さRaは2.0nm以下であることが好ましい。平滑面4のRaが2.0nm以下であることにより、ガラスフィルム2と支持ガラス3の単位面積当たりにおける接着面積が増加することで密着性が向上し、ガラスフィルム2と支持ガラス3とを強固に接着させることができる。ガラスフィルム2の接触面の表面粗さRaも、2.0nm以下であることが好ましい。ガラスフィルム2及び支持ガラス3の接触面の平滑面の表面粗さRaは、それぞれ1.0nm以下であることがより好ましく、0.5nm以下であることがさらに好ましく、0.2nm以下であることが最も好ましい。支持ガラス3の接触面における平滑面4と粗面5との表面粗さRaの差は、0.1nm以上が好ましく、0.3nm以上がより好ましい。これにより、平滑面4において支持ガラス3とガラスフィルム2とを適切に接着させることができ、かつ、支持ガラス3からガラスフィルム2を容易に剥離することが可能となる。一方、表面粗さRaの差が0.1nm未満であると、表面粗さに差を設けた効果が得られ難い。また、支持ガラス3の接触面における平滑面4と粗面5との表面粗さRaの差は、接着性と剥離性という観点からは特に限定されないが、粗面形成の省力化の観点から、2000nm以下が好ましい。支持ガラス3の接触面において、平滑面4と粗面5との割合は、1:1000~5:1であることが好ましい。接着性と剥離性との調和を図るため、1:500~4:1であることがより好ましく、1:200~3:1であることが最も好ましい。なお、ガラスフィルム2の接触面に平滑面4と粗面5とを設ける場合も、上記と同様の割合にするのが好ましい。図1に示す通り、支持ガラス3の接触面の外周部に沿って平滑面4が設けられ、平滑面4に囲まれた内部に、表面粗さRaが相対的に大きい粗面5が設けられている構成とすることができる。これにより、少ない接着面積でガラスフィルム2と支持ガラス3とをガラスフィルム積層体1の外周部に沿って強固に接着させることができる。製造関連処理工程に液体を使用する工程を有していたとしても、ガラスフィルム2と支持ガラス3との隙間から液体が浸入することを防止することができ、ガラスフィルム2と支持ガラス3とが容易に剥離するのを防止することができる。図3に示す通り、支持ガラス3の接触面の角部31に平滑面4を有している構成としても良い。これにより、ガラスフィルム2の接触面の角部を支持ガラス3と強固に接着させることができ、少ない接着面積でガラスフィルム2と支持ガラス3とを積層することができる。図4に示す通り、支持ガラス3の外周部に粗面5を有し、粗面5に囲まれた内部に、平滑面4が設けられている構成としても良い。これにより、支持ガラス3からガラスフィルム2を剥離する際に、容易に剥離を開始することができる。ガラスフィルム2の中央部のみを接触させることにより、ガラスフィルム2が撓んだ状態で接着することがない。これにより、製造関連処理時の際に不利な凹凸が生じるのを確実に防止することができる。尚、製造関連処理において、溶媒を使用する工程を有する場合は、ガラスフィルム積層体1側部にマスキングテープを貼ることもできる。図5に示す通り、支持ガラス3の接触面において、帯状の粗面5と帯状の平滑面4とが交互に設けられている構成とすることができる。粗面5及び平滑面4の長手方向図5aでの上下方向にガラスフィルム2の剥離を行うことにより、支持ガラス3とガラスフィルム2との接着力が一定であるため、一定の力で剥離することで安定して支持ガラス3とガラスフィルム2との剥離を行うことができる。支持ガラス3の接触面に、表面粗さの相対的に大きい領域と小さい領域を設ける手段として、例えば以下の方法を挙げることができる。表面品位が優れた支持ガラス3の接触面の一部をマスキングテープ等によって保護し、物理的手段、又は化学的手段を使用することで粗面化処理を行う。処理後にマスキングテープを除去することによって、マスキングテープ等で保護された平滑面4と粗面化された粗面5とが接触面に形成される。物理的な粗面化手段としては、支持ガラス3の接触面をマスキングテープ等によって保護した後に、露出した面をサンドブラストによって粗面化する方法や、薄膜を形成することによって粗面化する方法等が上げられる。特に支持ガラスの表面精度が良好な場合は、支持ガラス3の接触面をマスキングテープ等によって保護した後に、露出した面に対してアルミナや酸化セリウムを使用した研磨を施すようにしても良い。また、化学的な粗面化手段としては、フッ酸によるエッチングや、大気圧プラズマを使用する方法等が挙げられる。図6は、ガラスフィルム2と支持ガラス3とを縁部において段差6を設けて積層したガラスフィルム積層体1を示している。図6aでは、ガラスフィルム2よりも支持ガラス3が食み出すように段差61が設けられている。これにより、ガラスフィルム2の端部をより適切に保護することができる。尚、図6aの形態の場合は、図4に関連して説明したように、ガラスフィルム2の周辺部に粗面5を有する形態が好ましい。周辺部が粗面5であるため、ガラスフィルム2と支持ガラス3の間に薄板状の部材樹脂シート等を差し込むことによって、ガラスフィルム2と支持ガラス3とを容易に剥離することができる。一方、図6bでは、支持ガラス3よりもガラスフィルム2が食み出した状態で段差62が設けられている。これにより、ガラスフィルム2と支持ガラス3の剥離開始時において、ガラスフィルム2のみを容易に把持することが可能となり、両者をより容易かつ確実に剥離することが可能となる。段差62は、ガラスフィルム積層体1の周辺部の少なくとも一部に設けられていればよく、例えば、ガラスフィルム積層体1が平面視矩形状の場合は、4辺のうち少なくとも1辺に設けられていればよい。また、支持ガラス3の4隅の一部に切り欠きオリフラを設けることによって、段差を設けてもよい。尚、図6bの形態の場合は、図1に関連して説明したように、ガラスフィルム2の周辺部に平滑面4を有する形態が好ましい。周辺部が平滑面4であるため、製造関連処理に溶媒を使用する場合に、溶媒がガラスフィルム2と支持ガラス3との間から浸入するのを防止することができる。ガラスフィルム3の食み出し量は、0.1mm~20mmであることが好ましい。0.1mm未満であると、剥離開始時においてガラスフィルム2の縁部を把持し難くなる可能性があり、20mmを超えるとガラスフィルム積層体1の側縁に打突等の外力が加わった場合にガラスフィルム2が破損する可能性がある。さらに、ガラスフィルム積層体1の端部において、ガラスフィルム2の縁部から支持ガラス3の縁部を食み出させて形成された段差と、支持ガラス3の縁部からガラスフィルム2の縁部を食み出させて形成された段差4の両方の段差が形成されたガラスフィルム積層体1とすることにより、ガラスフィルム2と支持ガラス3とを夫々同時に把持することが可能となり、さらに容易にガラスフィルム2を剥離させることが可能となる。各段差は、相互に近接させて形成することが最も好ましい。本発明に係るガラスフィルム積層体1のガラスフィルム2の表面に、成膜、焼成、洗浄、パターンニング等、様々な電子デバイス製造関連処理が行われる。製造関連処理後にガラスフィルム2は、ガラスフィルム積層体1の支持ガラス3から剥離される。ガラスフィルム2と支持ガラス3の間に、シートを挿入することで、ガラスフィルム2の剥離を行う。当該シートは、強度が高く、表面が滑らかなものが好ましく、テフロン登録商標シートを使用することが好ましい。シートを浅く挿入することが好ましい。シートを深く挿入すると、シートとガラスの接触面積が大きくなり、摩擦力が増すため、剥離時にガラスフィルム2が破損するおそれがある。剥離後、ガラスフィルム2は、夫々目的とする用途に使用され、例えば電子デバイスのガラス基板等に適宜使用される。ガラスフィルム2を剥離した後の支持ガラス3は、再利用可能である。以上、上記実施形態では、支持ガラス3の接触面に表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設けたが、これには限定されず、ガラスフィルム2の接触面に表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設けても良い。また、支持ガラス3の接触面とガラスフィルム2の接触面の双方に、表面粗さが相対的に大きい領域と小さい領域とを設けても良い。以下、本発明のガラスフィルム積層体を実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例縦300mm、横300mm、厚み500μmの矩形状の透明なガラス板を支持ガラスとして使用した。支持ガラスの一角に、縦3mm、横3mmの直角三角形の切り欠きオリフラを設けた。支持ガラスの接触面に積層するガラスフィルムとして、縦298mm、横298mm、厚み100μmのガラスフィルムを使用した。支持ガラスとガラスフィルムは、日本電気硝子株式会社製の無アルカリガラス製品名:OA-10G、30~380°Cにおける熱膨張係数:38×10-7/°Cを使用した。オーバーフローダウンドロー法によって支持ガラスとガラスフィルムとを成形した。支持ガラスの接触面の4角をマスキングテープで保護し、1のフッ酸溶液を支持ガラスの接触面に塗布することで、粗面化処理を行った。フッ酸溶液を塗布してから30秒経過後に洗浄処理を行い、マスキングテープを除去することによって、マスキングテープで保護した面を平滑面、フッ酸処理面を粗面とした。支持ガラスの接触面における平滑面と粗面の表面粗さRaをVeeco社製AFMNanoscopeIIIaを用いて、スキャンサイズ10μm、スキャンレイト1Hz、サンプルライン512の条件で測定した。表面粗さRaは、測定範囲10μm四方の測定値から算出した。支持ガラス上の粗面の表面粗さRaは0.5nm、平滑面の表面粗さRaは0.2nmだった。ガラスフィルムの表面粗さRaは、0.2nmであった。その後、支持ガラスの接触面にガラスフィルムを積層させて、実施例のガラスフィルム積層体を得た。得られたガラスフィルム積層体について、ガラスフィルムの表面に洗浄処理、成膜処理を行ったところ、支持ガラスとガラスフィルムは良好に接着しており、問題なく処理時の位置決め、ハンドリングを行うことができた。支持ガラスの一角に設けた切り欠きオリフラ部にできる段差図5を参照から、テフロン登録商標シートを挿入し、挿入領域を広げていくことで、支持ガラスからガラスフィルムを剥離したところ、粗面から良好に剥離することができ、ガラスフィルムが破損することはなかった。比較例1支持ガラスの接触面に対して粗面化処理を行わなかった以外は、上述の実施例と同様の方法で、比較例1のガラスフィルム積層体を得た。尚、支持ガラス、ガラスフィルム共に接触面の表面粗さRaは0.2nmであった。得られた比較例1のガラスフィルム積層体について、ガラスフィルムの表面に成膜処理、洗浄処理を行ったところ、支持ガラスとガラスフィルムが良好に接着しており、問題なく処理時の位置決め、ハンドリングを行うことができた。しかし、処理後にテフロン登録商標シートが中央辺りまで挿入されたときにテフロン登録商標シートが撓み、接着力が強すぎることによりガラスフィルムが大きく曲がり、剥離時にガラスフィルムが破損するものが一部あった。比較例2支持ガラスの接触面にアルミナ及び酸化セリウムによる研磨処理を行うことにより、接触面の表面粗さRaが均一に2.2nmとなるように調整した。その後、支持ガラスの接触面にガラスフィルムを積層させることにより、比較例2のガラスフィルム積層体を作製した。得られた比較例2のガラスフィルム積層体について、ガラスフィルムの表面に洗浄処理、成膜処理を行ったところ、接着力が不十分な場合があり、処理時に支持ガラスがガラスフィルムから剥離するものが一部あり、位置決め、ハンドリングを良好に行うことができなかった。