試験体に装着されてその内部の酸素を検出する酸素検出計であって、金属製でその表面が酸化物膜で被覆されたフィラメントと、グリッドと、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の電源と、フィラメントより高い電位をグリッドに与えるグリッド用の電源と、を備え、フィラメント用の電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、前記フィラメントとグリッドとの間でのエミッション電流を測定する検出手段を更に備えて、検出手段で測定したエミッション電流から酸素を検出するようにしたことを特徴とする酸素検出計。前記金属がイリジウムであり、酸化物膜が酸化イットリウムからなることを特徴とする請求項1記載の酸素検出計。本発明は、以上の点に鑑み、簡単な構成で、しかも、省スペース化を図ることができ、その上、試験体内に残留するガスのうち特定ガス成分たる酸素H2O、CO2等の酸素含有ガスを含むのみを効率よく検出することができるようにした低コストの酸素検出計を提供することをその課題とするものである。上記課題を解決するために、本発明は、試験体に装着されてその内部の酸素を検出する酸素検出計であって、金属製でその表面が酸化物膜で被覆されたフィラメントと、グリッドと、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の電源と、フィラメントより高い電位をグリッドに与えるグリッド用の電源と、を備え、フィラメント用の電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、前記フィラメントとグリッドとの間でのエミッション電流を測定する検出手段を更に備えて、検出手段で測定したエミッション電流から酸素を検出するようにしたことを特徴とする。本発明によれば、減圧下にて測定対象物の試験体内の酸素を検出する場合、上記の如く、酸素は電子親和力が大きいため、試験体内に残留する酸素H2O、CO2等の酸素含有ガスを含むが、母材を被覆する金属酸化物表面から電子を奪って酸素負イオン等として吸着する。フィラメントの金属酸化物膜に酸素が吸着すると、ポテンシャル障壁が形成されて電子が放出され難くなる。このため、フィラメントの温度、つまり、フィラメントに印加する電圧が同一であっても、酸素の吸着量に応じてエミッション電流が変化する。従って、エミッション電流と試験体内の酸素濃度との関係を予め取得しておけば、測定したエミッション電流から酸素濃度を検出することができる。このように本発明では、フィラメントと、グリッドと、フィラメント用の電源と、グリッド用の電源と、エミッション電流を測定する検出手段とから酸素検出計が構成されるため、部品点数が少なくて簡単な構成でかつ低コストである。しかも、試験体内の酸素を検出するに際しては、少なくともフィラメントとグリッドとのみを試験体に装着すればよいため、省スペース化を図ることができ、その上、試験体内に残留する特定ガス成分たる酸素H2O、CO2等の酸素含有ガスを含むのみを効率よく検出することができる。本発明において、前記金属がイリジウムであり、酸化物膜が酸化イットリウムからなるものであることが好ましい。以下、図面を参照して、真空チャンバ気密容器や配管などの試験体に装着されて、減圧下で試験体内部の酸素濃度を検出するために用いられる本発明の実施形態の酸素検出計を説明する。図1を参照して、Mは、本実施形態の酸素検出計である。酸素検出計Mは、イリジウムからなる母材金属の表面をメッキ処理により酸化イットリウムで被覆した棒状のフィラメント1と、フィラメントの周囲を囲うように配置される筒状のグリッド2とを備える。そして、これらの部品が図外の試験体内に存するように設置される。フィラメント1の両端は、フィラメント用の電源E1に電気的に接続されている。また、グリッド2は、グリッド用の電源E2の正の出力側に電気的に接続され、グリッド2に対してフィラメント1より高い電位をこのグリッド2に与えるようになっている。電源E2の負の出力側は、フィラメント用の電源E1の負の出力側に接続されてアース接地されている。また、電源E2の負の出力側には、フィラメント1とグリッド2との間を流れるエミッション電流Ieを測定するエミッション電流用の電流計検出手段3が介設されている。また、酸素検出計Mは、コンピュータ、メモリやシーケンサ等を備えた制御部Cを備え、この制御部Cは、上記電源E1、E2の作動や電流計3からの出力の処理を統括制御するようになっている。試験体内の酸素濃度を測定するのに際しては、先ず、電源E1によりフィラメント1に所定値の直流電流Ifを通電してフィラメント1を点灯させ、熱電子を放出させる。そして、電源E2によりグリッド2に所定電位を与えてグリッド2とフィラメント1との間の電位差で熱電子をグリッド2側に引き込む。このとき、熱電子がグリッド2に到達してエミッション電流Ieが生じる。ここで、減圧下の試験体内に残留する酸素は電子親和力が大きいため、この酸素H2O、CO2等の酸素含有ガスを含むが、フィラメント1の被覆する金属酸化物表面から電子を奪って酸素負イオン等として吸着する。フィラメント1の金属酸化物膜に酸素が吸着すると、ポテンシャル障壁が形成されて電子が放出され難くなる。このため、フィラメント1の温度、つまり、電源E1によりフィラメント1に印加する電圧Vfが同一であっても、酸素の吸着量に応じてエミッション電流Ieが変化する。そこで、試験体に酸素検出計Mを装着し、減圧下例えば、1Paで、フィラメント1に一定の電圧例えば、2Vを印加し、この状態で、試験体内に酸素ガスを導入して、エミッション電流と試験体内の酸素濃度との関係を予め取得し、これを制御部Cのメモリに記憶させておく。これにより、測定したエミッション電流Ieから試験体内の酸素濃度が検出できる。以上説明したように、本実施形態の酸素検出計Mは、フィラメント1と、グリッド2と、フィラメント用の電源E1と、グリッド用の電源E2と、エミッション電流を測定する電流計3とから構成されるため、部品点数が少なくて簡単な構成でかつ低コストである。しかも、試験体内の酸素を検出するに際しては、少なくともフィラメント1とグリッド2とのみを試験体に装着すればよいため、省スペース化を図ることができ、その上、試験体内に残留する特定ガス成分たる酸素H2O、CO2等の酸素含有ガスを含むのみを効率よく検出することができる。以上の効果を確認するために、次のような実験を行った。図外の試験体に上記酸素検出計Mの構成部品たるフィラメント1とグリッド2とを装着し、試験体を一旦真空引き1Paまでし、減圧下で所定時間保持した。その後、電圧Vfを2.07V、電流Ifを1.9Aとして電源E1よりフィラメント1に通電すると共に、電圧Vgを200Vとしてグリッドに電位を印加し、この状態で、試験体内に酸素ガスを一定流量で導入したつまり、試験体内の酸素濃度を変化させた。図2は、試験体内の酸素濃度とエミッション電流との関係を示すグラフである。これによれば、試験体内の酸素濃度が変化すると、エミッション電流も変化することが確認された。これにより、試験体内の酸素濃度とエミッション電流との相関が予め判っていれば、本実施形態のものが酸素検出計として利用できることが判る。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、棒状のフィラメント1の周囲に筒状のグリッド2を配置したものを例に説明したが、フィラメント1及びグリッドの形態は上記のものに限定されるものではなく、公知のどのような形態のものでも本発明を適用でき、また、フィラメントの材質も、金属製でその表面が酸化物膜で被覆されたものであればよい。