透明材料を通過したレーザービームをその裏面で集光させ、該集光点で該透明材料の裏面に接触する流動性物質がレーザービームを吸収し、該透明材料の融点付近まで温度上昇させるとともに高い圧力を発生させることにより、該透明材料の該集光点でのエッチング加工を行うレーザー誘起背面式の透明基板微細加工に使用される流動性物質であって、レーザービーム吸収物質、及び該物質を高濃度に溶解して流動性物質とする溶媒に加え、それ自体、レーザービームに対する吸収特性を有していないが、前記レーザービーム吸収物質の発熱に伴い分解して、加工精度、加工速度を向上させる加工促進物質を添加することを特徴とする流動性物質。前記レーザービーム吸収物質として、食用黄色4号色素、食用黄色5号色素、食用赤色104号色素、赤色213号色素、緑色401号色素などの水溶性色素の少なくとも一つを使用し、前記溶媒として水を使用し、前記加工促進物質として、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩、安息香酸ナトリウム塩などのベンゼン誘導体有機酸塩を添加したことを特徴とする請求項1に記載の流動性物質。前記レーザー吸収物質として食用黄色5号色素を使用した場合、該食用黄色5号色素の飽和水溶液溶液1mLあたり0.01~1.0gのパラトルエンスルホン酸ナトリウム塩を前記加工促進物質として添加したことを特徴とする請求項2に記載の流動性物質。前記レーザー吸収物質として食用黄色5号色素を使用した場合、該食用黄色5号色素の飽和水溶液1mLあたり0.01~1.0gの安息香酸ナトリウム塩を前記加工促進物質として添加したことを特徴とする請求項2記載の流動性物質。前記レーザー吸収物質として食用赤色105号色素、赤色213号色素、ローダミン6G色素などの有機溶媒に溶解可能な色素の少なくとも一つを使用し、前記溶媒としてエタノールを使用し、トルエン、ベンゼンなど、照射するレーザービームの波長に吸収領域を持たない芳香族化合物誘導体を加工促進物質として添加することを特徴とする請求項1に記載の流動性物質。前記レーザー吸収物質としてローダミン6G色素を使用した場合、前記加工促進物質としてトルエンを使用し、エタノールに対してトルエンを体積比で0.1~3の割合で混合し、前記ローダミン6G色素の該混合液の飽和溶液とした請求項5に記載の流動性物質。このようなレーザー誘起背面式の透明基板微細加工方法は、従来の紫外光を用いる方法などと対比して、一万分の一程度のエネルギーのレーザー強度で十分であり、真空雰囲気が不要で、しかも一段階で連続的に透明材料を精密かつ微細なエッチングを可能とする点では画期的であるが、レーザービームが、例えばガラス等の透明材料を透過して流動性物質に到達する必要があるため、透明材料の光透過率が低い場合には、裏面の加工が起こる前に入射面の損傷が生じるという問題点があり、レーザービームの強度を過度に上げることができず、加工効率に限界がある。また、透過率が高い場合でも、加工効率を高めるためにレーザービームの強度を上げても、透明材料の裏面の集光部分において、流動性物質の温度圧力の上昇が安定せず、未加工部分が残存し、加工精度を低下させることがあった。このような、未加工部分の発生は、例えば、ガラス材料にマーキングをする場合には、マーキング内容の読み取りができなくなる等加工品位を低下させる。また、これを避けるためには、未加工部分は同一箇所のビーム走査を多数繰り返すことにより、見かけ上未加工部分を低減することができるが、その場合は加工に時間がかかることとなり、さらに、加工の深さに不均一が生じるため、加工溝をマイクロ流路として用いる場合などに問題になる。そこで、本発明は、こうしたレーザー誘起背面式の透明基板微細加工方法において、裏面で加工が起こるのに必要なエネルギー値を低減するとともに、加工効率を上げながら未加工部分による加工精度低下を防止することを目的としている。このような目的を達成するため、発明者は、ガラス裏面に存在するセル内の流動性物質に注目し、レーザー集光時の発熱効率を高めることにより、低強度のレーザービームでも効率よく、しかも精度の高い加工を実現した。ここで、上記特許文献1、2には、セル内の流動性物質に関しては、ピレンのアセトン溶液、ベンジルのアセトン溶液、ピレンのテトラヒドロフラン溶液、ローダミン6Gのエタノール溶液、フタロシアニンのエタノール溶液などのような芳香族環を含む有機化合物の溶液、有機色素化合物を含む溶液、ベンゼン、トルエン、四塩化炭素などのような液体状の化合物などが挙げられている。また、有機化合物、有機色素、無機顔料、あるいは炭素などの微粒子などを分散して作った溶液や、有機化合物、有機色素、無機顔料、あるいは炭素粉末などの微粒子や微結晶で作った流動性粉体などが挙げられている。これらの流動性物質は、用いるレーザービームの波長に対して高い吸収率を有する必要がある。そのために流動性物質は、溶解して特定のレーザービームの波長に高い吸収性をもつレーザービーム吸収性物質色素、ピレン、ベンジル、ローダミン6Gなど、その物質を高濃度例えば、0.1moldm-3以上の濃度に溶解可能な液体状物質、すなわち溶媒アセトン、テトラヒドロフラン、エタノールなどに溶解したものからなるが、本発明では、それ自体レーザービームを吸収する機能、あるいは、レーザー吸収物質を多量に溶解する機能をもたないが、レーザービームの吸収によってつくられる流動性物質の高温高圧状態の発生に伴って反応し、付加的に熱や圧力を発生させて、あるいは、反応生成物がガラスに付着するなどして付加的な熱や圧力の発生源となることによって加工効率、加工精度を促進する加工促進物質を添加することにより、レーザービーム集光時の加工効率、加工精度を高めるようにした。具体的には、本発明のレーザー誘起背面式の透明基板微細加工に使用される流動性物質は、次のように構成される。1透明材料を通過したレーザービームをその裏面で集光させ、該集光点で該透明材料の裏面に接触する流動性物質がレーザービームを吸収し、該透明材料の融点付近まで温度上昇させるとともに高い圧力を発生させることにより、該透明材料の該集光点でのエッチング加工を行うレーザー誘起背面式の透明基板微細加工に使用される流動性物質であって、レーザービーム吸収物質、及び該物質を高濃度に溶解して流動性物質とする溶媒に加え、それ自体、レーザービームに対する吸収特性を有していないが、前記レーザービーム吸収物質の発熱に伴い分解して加工精度、加工速度の向上させる加工促進物質を添加した。2上記1の流動性物質において、前記レーザービーム吸収物質として、食用黄色4号色素、食用黄色5号色素、食用赤色104号色素、赤色213号色素、緑色401号色素などの水溶性色素の少なくとも一つを使用し、前記溶媒として水を使用し、前記加工促進物質として、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩、安息香酸ナトリウム塩などのベンゼン誘導体有機酸塩を添加した。3上記2の流動性物質において、前記レーザービーム吸収物質として食用黄色5号色素を使用した場合、食用黄色5号色素の飽和水溶液溶液1mLあたり0.01~1.0gのパラトルエンスルホン酸ナトリウム塩を前記加工促進物質として添加した。4上記2の流動性物質において、前記レーザービーム吸収物質が食用黄色5号色素を使用した場合、食用黄色5号色素の飽和水溶液1mLあたり0.01~1.0gの安息香酸ナトリウム塩を前記加工促進物質として添加した。5上記1の流動性物質において、前記レーザービーム吸収物質として食用赤色105号色素、赤色213号色素、ローダミン6G色素などの有機溶媒に溶解可能な色素の少なくとも一つを使用し、前記溶媒としてエタノールを使用し、トルエン、ベンゼンなど、照射するレーザービームの波長に吸収領域を持たない芳香族化合物誘導体を加工促進物質として添加した。6上記5の流動性物質において、前記レーザービーム吸収物質としてローダミン6G色素を使用した場合、前記加工促進物質としてトルエンを使用し、エタノールに対してトルエンを体積比で0.1~3の割合で混合し、前記ローダミン6G色素の該混合液の飽和溶液とした。本発明によれば、レーザービーム吸収物質、及び該物質を高濃度に溶解して流動性物質とする溶媒に加え、それ自体、レーザービームに対する吸収特性を有していないが、前記レーザービーム吸収物質の発熱に伴い分解して、熱や圧力を付加的に発生させる加工促進物質を添加したので、必要とするレーザービーム強度に対する加工閾値を低下させ、より低強度のレーザビームによる加工を可能にするともに、同一のレーザービームの強度を使用した場合、従来の流動性物質と比較して加工効率を増大させ、未加工部分の発生を抑制した安定した加工が実現できる。以下、図面を参照しつつ本発明の実施例について説明する。まず、本発明で使用する加工装置の概要を図1に示す。全固体レーザー発振器1から出力されるレーザービームは、ビームエキスパンダー2により拡大された後、ガルバノ走査鏡3、F-θレンズ4、ミラー5を介して、石英ガラス等の透明材料6に照射され、その裏面に集光するようになっている。一方、透明材料6の裏面には、流動性物質を収容するセル7の開口面が押圧され、シールリングなどにより液密に封止され、流動性物質に直接接触している。全固体レーザー発振器1及びガルバノ走査鏡3は、制御用コンピューター8により制御され、予め入力された加工情報に基づいて、全固体レーザー発振器1から出力されるレーザービームの強度及びガルバノ走査鏡3による照射位置が制御される。透明材料6を通過したレーザービームをその裏面で集光し、その集光点で、透明材料6の裏面に接触する流動性物質がレーザービームを吸収して、レーザー誘起光熱反応により、高温、高圧状態をつくり加工が行われる。したがって、制御用コンピューター8に予め形状や深さ等の加工情報を入力しておけば、レーザービームの強度及びガルバノ走査鏡3による照射位置が連続的に制御され、透明材料6の裏面に加工情報に沿った加工を行うことができる。以下、各実施例に沿って、本発明の流動性物質を説明する。実施例1この実施例では、レーザービーム吸収物質として食用黄色5号色素、これを溶解する溶媒として水、そして、加工促進物質としてパラトルエンスルホン酸ナトリウム塩を使用し、食用黄色5号色素の飽和水溶液にパラトルエンスルホン酸ナトリウム塩を溶液1mLあたり0.25g添加した溶液を流動性物質として調製し、これをセル7内に収容して加工を実施した。比較例として、加工促進物質であるパラトルエンスルホン酸ナトリウム塩を添加せず、レーザービーム吸収物質である食用黄色5号色素のみの飽和水溶液をセル7内に収容される流動性物質として、Nd:YVO4レーザーの第3高調波波長355nm、パルス幅20nsのレーザーパルス光を、パルス繰り返し周波数10kHz、レーザー強度0.04mJpulse-1の条件で出射し、F-θレンズを通して集光し、ガルバノ走査鏡により60mm/sの速度で走査した。厚さ1.3mmのソーダライムガラス基板を通して、その基板の裏面に配置した食用黄色5号色素の飽和水溶液とガラスの界面に対する照射をしたところ、同一線上のビーム走査を2回繰り返しても加工は起こらなかった。そこで、全固体レーザー発振器1の出力を上げ、強度を0.06mJpulse-1まで上昇させたところ、同一線上のビーム走査を2回繰り返すことによって、はじめて幅11μm、深さ0.8μmの溝が形成された。一方、本実施例の流動物質をセル7内に収容して加工を実施したところ、レーザー強度0.04mJpulse-1での照射によっても溝構造が形成された。同一線上のビーム走査を2回繰り返すことによって得られた溝構造にはクラックの発生等の損傷はまったく見られず、幅は9μm、深さ0.3μmであった。さらに、強度を0.06mJpulse-1まで増加することにより得られた溝は幅は13μm、深さ1.2μmであり、同条件で加工促進物質であるパラトルエンスルホン酸塩を加えずに作成された場合と比較して溝深さが1.5倍に増加し、しかも、得られた溝構造にはクラックの発生等の損傷、あるいは溝深さが所定の値に満たない未加工部分はまったく発生しなかった。この実施例では、食用黄色5号色素の飽和水溶液に対し、加工促進物質として、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩を溶液1mLあたり0.25g添加した溶液を流動性物質として調製したが、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩の添加量は、加工促進効果や、水に対する飽和濃度、さらには、食用黄色5号色素の溶解濃度への影響等に基づいて、適宜定めればよい。一般的には、溶液1mLあたり0.01~1.0gが好適である。実施例2次に、実施例2では、上記のレーザービーム吸収物質である食用黄色5号色素の飽和水溶液に対し、加工促進物質として安息香酸ナトリウム塩を溶液1mLあたり0.12g添加した溶液を調製した。この溶液を使用して加工を実施したところ、レーザー強度0.04mJpulse-1での照射によっても溝構造が形成された。同一線上のビーム走査を2回繰り返すことによって得られた溝構造にはクラックの発生等に起因する損傷はまったく見られず、幅は7μm、深さ0.2μmであった。レーザー強度を0.06mJpulse-1まで増加することにより得られた溝は幅は12μm、深さ1.1μmであり、先に示した食用黄色5号色素の飽和水溶液を使用した場合と比較して、溝深さが1.4倍に増加し、しかも、得られた溝構造にはクラックの発生等の損傷、あるいは溝深さが所定の値に満たない未加工部分はまったく発生しなかった。図2に、実施例1、2及び比較例の加工深さとレーザーエネルギー依存特性図を示す。この図から分かるように、加工促進物質として、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩を使用した実施例1、安息香酸ナトリウム塩を使用した実施例2とも、これらを添加しない食用黄色5号色素の飽和水溶液比較例と比較して、加工が開始されるレーザービーム強度、すなわち加工閾値が低下し、しかも、同一のレーザービームの強度に対し、加工深さを増大できることを示している。この実施例では、食用黄色5号色素の飽和水溶液に、加工促進物質として安息香酸ナトリウム塩を溶液1mLあたり0.12g添加した溶液を流動性物質として調製したが、安息香酸ナトリウム塩の添加量は、上述のように、加工促進効果や、水に対する飽和濃度、さらには、食用黄色5号色素の溶解濃度への影響等に基づいて適宜定めればよい。一般的には、溶液1mLあたり0.01~1.0gが好適である。図3に、食用黄色5号色素、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩、安息香酸ナトリウム塩のレーザービームに対する吸収スペクトル図を示す。この図から分かるように、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩あるいは安息香酸ナトリウム塩は、照射したレーザービームの波長355nmに対して、はるかに短い波長の範囲に吸収領域を有し、それ自体はこの波長のレーザービームを全く吸収しないことが分かる。このようなパラトルエンスルホン酸ナトリウム塩、安息香酸ナトリウム塩が、レーザービーム強度の加工閾値を低下させ、加工効率、加工精度を高める理由を解析するため、レーザー誘起背面式の透明基板微細加工の概念図を図4に示す。入射したレーザーは溶液内の色素分子によって吸収されて熱に変換され、前述のようにに2000度まで温度上昇し上記非特許文献1また、レーザービーム吸収直後の圧力が10-200MPaになる上記非特許文献2。このような高温、高圧下では、この領域に存在する色素や溶媒の分子は一部分解し、この領域に存在する、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩、安息香酸ナトリウム塩も、高温にさらされることで分解し、結合エネルギーが解放されることで、熱や圧力を放出する、あるいは、分解物がガラスに付着するなどして付加的な熱や圧力の発生源として機能し、この領域のエネルギー密度増加に寄与することでエッチング加工を促進しているものと推測される。したがって、流動性物質として水を溶媒とした水溶液を利用しているにもかかわらず、効率、精度の高い加工を実現することができ、有機溶媒を使用する場合と比較して、環境に優しく、しかも、解放空間での加工が可能になることから、設備投資を大幅に低減させることができる。なお、実施例1、2では、溶媒として水を使用し、使用する波長355nmのレーザービームに対し高い吸収率を示す水溶性のレーザービーム吸収物質として、食用黄色5号色素を使用したが、水溶性のレーザービーム吸収物質としては、このほかに、食用黄色4号色素、食用赤色104号色素、赤色213号色素、緑色401号色素などが挙げられ、これらの一つ、あるいはこれらを適宜混合して使用してもよい。また、加工促進物質としては、パラトルエンスルホン酸ナトリウム塩、安息香酸ナトリウム塩で代表される、いわゆる、水溶性のベンゼン誘導体有機酸塩が有効である。したがって、透明材料の材質、求められる加工精度あるいは照射するレーザービームの波長によって、レーザービーム強度の加工閾値を低下させるとともに、同一のレーザービームの強度に対し加工効率を増大させ、しかも未加工部分の発生を抑制した安定した加工が行われるよう、これらの水溶性レーザービーム吸収物質及び加工促進物質を種々組み合わせればよい。なお、水溶性のレーザービーム吸収物質については、いずれの場合も、選択した加工促進物質の存在下において、析出が発生しない飽和濃度とすることが好ましい。実施例3実施例3では、レーザービーム吸収物質として、ローダミン6G色素、これを溶解する溶媒としてエタノール、そして、加工促進物質としてトルエンを、エタノールに対し体積比1:1で混合し、ローダミン6G色素の飽和溶液を流動性物質として調製した。この種の加工に用いられている、Nd:YVO4レーザーの第2高調波波長532nm、パルス幅35ns、パルス周波数5kHzのレーザーパルス光を使用し、F-θレンズを通して集光し、ガルバノ走査鏡により60mm/sの速度で厚さ1.3mmのソーダライムガラス基板を走査した。なお、エタノールは、ローダミン6Gを1mLあたり最大0.2moldm-3の濃度で溶解できるため、ローダミン6Gを高濃度で溶解する溶媒として機能を有している。一方、トルエンも液体状ではあるが、溶解可能なローダミン6G色素はエタノールの10000分の1以下であり、また、トルエン自体は、波長532nmのレーザービームを吸収する機能はない。比較例として、流動性物質としてレーザービーム吸収物質であるローダミン6G色素を溶媒であるエタノールに溶解し、加工促進物質を加えない飽和溶液を用いた場合には、レーザー強度0.044mJpulse-1での照射によっては、加工は開始されず、レーザー強度0.067mJpulse-1で初めて溝構造の形成が確認された図5。しかし、その加工形状には、図6と同じ図形を描画しているにもかかわらず未加工部分がみられた。さらに、レーザー強度を0.120mJpulse-1以上にするとクラックの発生がみられた。これに対し、本実施例の流動性物質を使用した場合、強度0.044mJpulse-1での照射によっても溝構造が形成され、同一線上のビーム走査を2回繰り返すことによって得られた溝構造にはクラックの発生等の損傷はまったく見られず、幅は21μm、深さ0.7μmであった。さらに、レーザー強度を0.067mJpulse-1まで増加することにより得られた溝は幅が24μm、深さ1.8μmであり、この場合でも図6に見られるように、未加工部分の発生は見られなかった。レーザー強度0.086mJpulse-1では、深さ2.9μmの溝が得られており、同条件でトルエンを含まない比較例の溶液により作成された溝と比較して溝深さが2.9倍に増加し、得られた溝構造にはクラックの発生等の損傷はまったく見られなかった。ただし、レーザー強度を0.108mJpulse-1以上にすると、図7に見られるように、クラックの発生が生じた図8に、本実施例の流動性物質を使用した場合のレーザー強度に対する加工状態についての実験結果を、エタノールのみの場合と比較して示す。この図から分かるように、本実施例の場合に、0.031mJpulse-1から、一部未加工部分が存在するものの、加工が行われ、0.058mJpulse-1から0.097mJpulse-1に到るまで、精度の高い加工を実現することができる。これに対し、エタノールのみの場合は、0.050mJpulse-1で加工が開始されるものの、未加工部分が発生し、しかも、0.120mJpulse-1から、クラックの発生がみられ、精度の高い加工が不可能であった。なお、実施例3では、エタノールに対してトルエンを体積比で0.1~3の溶媒としてエタノールを使用し、使用する波長532nmのレーザービームに対し高い吸収率を示すレーザービーム吸収物質として、ローダミン6G色素を使用したが、レーザービーム吸収物質としては、このほかに、食用赤色105号色素、赤色213号色素などが挙げられ、これらの一つ、あるいはこれらを適宜混合して使用してもよい。また、加工促進物質としては、トルエンのほか、ベンゼンなど、照射するレーザービームの波長に吸収領域を持たない芳香族化合物誘導体が有効である。したがって、透明材料の材質、求められる加工精度あるいは照射するレーザービームの波長によって、レーザーエネルギーの加工閾値を低下させるとともに、同一のレーザーエネルギーに対し加工効率を増大させ、しかも未加工部分の発生を抑制した安定した加工が行われるよう、これらのレーザービーム吸収物質及び加工促進物質を種々組み合わせればよい。なお、有機溶媒溶解性のレーザービーム吸収物質については、いずれの場合も、選択した加工促進物質の存在下において、析出が発生しない飽和濃度とすることが好ましい。