支持層と、前記支持層の上に配置された金属材料からなる反射層と、前記反射層の上に配置され、少なくとも陰極、有機EL発光層、陽極が前記反射層側から順に積層された有機EL光源層と、前記有機EL光源層の上に配置された光透過層と、を備え、前記支持層は前記反射層と接する面に凹凸構造をもち、前記反射層は前記支持層の凹凸構造に起因する凹凸構造をもち、前記有機EL光源層は前記反射層の凹凸構造に起因する凹凸構造をもち、前記光透過層は前記有機EL光源層と接する面に前記有機EL光源層の凹凸構造に起因する凹凸構造をもつことを特徴とする有機EL光源。前記光透過層は、前記光透過層の凹凸構造によって形成されたレンズ機能を備えている請求項1に記載の有機EL光源。前記光透過層は、前記光透過層の凹凸構造によって形成された複数の集光レンズを備え、それらの集光レンズが配列されてマイクロレンズアレイが形成されている請求項2に記載の有機EL光源。前記支持層の前記反射層配置面とは反対側の面に金属層を備えている請求項1から3のいずれか一項に記載の有機EL光源。前記陰極は、前記有機EL発光層側の面に、前記反射層の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造を備えている請求項1から4のいずれか一項に記載の有機EL光源。前記陰極が形成されておらず、前記反射層が前記有機EL光源層の前記陰極として機能する請求項1から4のいずれか一項に記載の有機EL光源。前記反射層は、前記有機EL発光層側の面に、前記反射層の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造を備えている請求項6に記載の有機EL光源。従来の有機EL光源は180°全方位に対して発光する。しかし、この特性は、例えば高輝度を必要とするプロジェクター機器において目標に対しての照射量が不十分であり、光の損失の観点から十分ではなかった。有機EL光源において発光層からの光を効率よく取り出すために、発光層とは分離して光学ミクロ構造体を配置する技術が開示されている例えば特許文献1を参照。。しかし、単位面積あたりの発光面積が縮小するという問題があった。本発明の目的は、有機EL光源において単位面積あたりの発光面積を増大させることである。本発明に係る有機EL光源は、支持層と、上記支持層の上に配置された金属材料からなる反射層と、上記反射層の上に配置され、少なくとも陰極、有機EL発光層、陽極が上記反射層側から順に積層された有機EL光源層と、上記有機EL光源層の上に配置された光透過層と、を備えている。上記支持層は上記反射層と接する面に凹凸構造をもっている。上記反射層は上記支持層の凹凸構造に起因する凹凸構造をもっている。上記有機EL光源層は上記反射層の凹凸構造に起因する凹凸構造をもっている。上記光透過層は上記有機EL光源層と接する面に上記有機EL光源層の凹凸構造に起因する凹凸構造をもっている。ここで、有機EL光源層は、陰極と陽極に挟まれた有機EL発光層が発光する構成であればどのような構成であってもよい。本発明の有機EL光源において、上記光透過層は、上記光透過層の凹凸構造によって形成されたレンズ機能を備えているようにしてもよい。ここでのレンズ機能は、有機EL光源層からの光を集光させるものであってもよいし、発散させるものであってもよい。また、光透過層はレンズ機能を必ずしも備えていなくてもよい。また、上記光透過層は上記光透過層の凹凸構造によって形成された複数の上記集光レンズを備え、それらの集光レンズが配列されてマイクロレンズアレイが形成されているようにしてもよい。また、上記支持層の上記反射層配置面とは反対側の面に金属層を備えているようにしてもよい。また、上記陰極は、上記有機EL発光層側の面に、上記反射層の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造を備えているようにしてもよい。また、上記陰極が形成されておらず、上記反射層が上記有機EL光源層の上記陰極として機能するようにしてもよい。この場合、上記反射層は、上記有機EL発光層側の面に、上記反射層の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造を備えているようにしてもよい。本発明の有機EL光源は、支持層の凹凸構造に起因する凹凸構造をもつ反射層と、反射層の凹凸構造に起因する凹凸構造をもつ有機EL光源層と、を備えているので、有機EL光源層が平坦な場合に比べて単位面積あたりの発光面積を増大させることができる。単位面積あたりの発光面積の増大は輝度の向上に貢献する。さらに、有機EL光源層の上に配置された光透過層は、有機EL光源層と接する面の凹凸構造によって形成されたレンズ機能を備えているようにすれば、そのレンズ機能は輝度向上に貢献する。光透過層がレンズ機能を備えていることにより、別途レンズを用意する必要がなくなる。また、有機EL光源とレンズとの位置合せ調整も不要である。また、支持層の反射層配置面とは反対側の面に金属層を備えているようにすれば、有機EL光源の放熱性を向上させることができる。また、有機EL光源層の陰極は、有機EL発光層側の面に、反射層の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造を備えているようにすれば、光取り出し効率の向上が図られ、光損失が低減される。有機EL光源において、光損失の理由として、陰極に用いられている金属の表面で生じるプラズモンへのエネルギー移動がある。有機EL光源は発光位置と陰極の距離が例えば100nmナノメートル程度と短いために、光エネルギーが伝播光になる前にプラズモンに吸収されてしまう。有機EL発光層で発光する光は表面プラズモンと同程度の波数を含んでおり、発光エネルギーが表面プラズモンに移動していまい、主に熱として損出される。この損失を防ぐために、陰極表面にナノメートルオーダーの凹凸をつけることで表面プラズモンを共鳴させる。これにより、プラズモンに移動したエネルギーを再び伝播光として取り出すことができる。また、有機EL光源層の陰極が形成されておらず、反射層が有機EL光源層の陰極として機能するようにすれば、反射層及び陰極が形成されている場合に比べて構造が単純になる。さらに、この構造において、反射層は、有機EL発光層側の面に、反射層の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造を備えているようにすれば、光取り出し効率の向上が図られ、光損失が低減される。図1は本発明の一実施例の断面を拡大して示した模式的な断面図である。図2はこの実施例の模式的な断面図である。図3はこの実施例の模式的な斜視図である。図1は図2の断面の一部分を拡大して図示したものである。図2は図3のA-A位置の断面を示している。有機EL光源は、支持層1、反射層3、有機EL光源層5、光透過層7を備えている。支持層1は、1単独層として構成される場合と、2保持機能を有する基材層上に形成される場合とがある。2保持機能を有する基材層上に形成される場合、基材としての材料は、例えばガラス、金属、プラスチック、セラミックスなどを挙げることができる。支持層1の材質は、例えば樹脂材料、SOGSpinOnGlass材料、薄膜材料、銅やアルミニウム、ステンレスなどの金属材料、それらの材料層の積層構造によって形成されている。薄膜材料は、例えば、蒸着法やスパッタリング法で形成される薄膜材料、PMMCPolyMethylMethacrylate系、PCPolycarbonate系、POpolyolefin系などのプラスチック材料、プラスチック材料薄層上の薄膜材料などを挙げることができる。支持層1の厚みは例えば001~05mmミリメートルである。支持層1の上に反射層3が配置されている。支持層1は反射層3と接する面に凹凸構造を備えている。ここで、凹凸構造として、例えば、数十μmマイクロメートル~数mmの周期性を有する曲面構造マイクロレンズやシリンダー形状、数μm~数十μmの周期性を有する曲面構造微小マイクロレンズや微小シリンダー形状、数十μm~数百μmの周期性を有する多面体構造ピラミッド形状:四角錘形状、正四面体形状などを挙げることができる。反射層3は、支持層1の凹凸構造に起因する凹凸構造を備えている。反射層3は、金属材料、ここではアルミニウムによって形成されている。反射層3の厚みは例えば005~05μmである。反射層3の材料として、アルミニウムの他に、例えばアルミニウム合金や銀、銀合金、真空蒸着法で形成される誘電体多層膜などを挙げることができる。反射層3の上に有機EL光源層5が配置されている。反射層3は、有機EL光源層5と接する面に、反射層3の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造3aを備えている。超微細凹凸構造3aは、例えばウェットエッチング技術、金属材料を用いたガラスモールド技術、NIPナノインプリント技術、半導体製造工法写真製版及びエッチングによって形成される。有機EL光源層5は、反射層3の凹凸構造に起因する凹凸構造を備えている。有機EL光源層5は、下層側から順に、電子輸送層5a、有機EL発光層5b、正孔輸送層及び陽極5cを備えている。陽極は透明電極であり、例えばITOIndiumTinOxideなどによって形成されている。有機EL光源層5の厚みは例えば1μmである。この実施例で、反射層3は有機EL光源の陰極として機能する。なお、有機EL光源層5は、上記構成に限定されるものではなく、陰極反射層3と陽極に挟まれた有機EL発光層が発光する構成であればどのような構成であってもよい。例えば、有機EL光源層5は電子注入層や正孔注入層をさらに備えていてもよい。有機EL光源層5の上に光透過層7が配置されている。光透過層7は、有機EL光源層5と接する面に、有機EL光源層5の凹凸構造に起因する凹凸構造を備えている。光透過層7の凹凸構造は、有機EL光源層5と接する面に複数のマイクロレンズ7aを形成している。それらのマイクロレンズ7aの配列はマイクロレンズアレイを形成している。光透過層7の上面有機EL光源層5とは反対側の面は平坦に形成されている。光透過層7は、例えば樹脂材料、SOG材料、薄膜材料、それらの材料層の積層構造によって形成されている。光透過層7の厚みは最も厚い部分で例えば2~3mmである。光透過層7には複数の機能をもたせることができる。例えば、光透過層7は有機EL発光層5の保護層として機能する。また、光透過層7は有機EL発光層5に対して絶縁層として機能する。また、光透過層7の下面有機EL発光層5と接する面に反射防止構造が形成されているようにしてもよい。また、光透過層7の上面有機EL光源層5とは反対側の面に反射防止構造が形成されているようにしてもよい。また、光透過層7の上面と下面の両方に反射防止構造が形成されているようにしてもよい。これらの最上面空気に接する面の反射防止構造は、例えば、複数の積層膜や、有機EL光源層5が発光する光の波長よりも短い周期で形成された超微細凹凸構造によって実現される。また、光透過層7にマイクロレンズ7aとは別の光学機能が形成されていてもよい。例えば、光透過層7は偏光制御機能を備えていてもよい。また、光透過層7はマイクロレンズ7aとは別のレンズ機能を備えていてもよい。この実施例の有機EL光源は、支持層1の凹凸構造に起因する凹凸構造をもつ反射層3と、反射層3の凹凸構造に起因する凹凸構造をもつ有機EL光源層5と、を備えている。これにより、この実施例の有機EL光源は、有機EL光源層が平坦な場合に比べて単位面積あたりの発光面積を増大させることができる。単位面積あたりの発光面積が増大は輝度の向上に貢献する。さらに、光透過層7は、有機EL光源層5と接する面の凹凸構造によってマイクロレンズ7aを備えている。マイクロレンズ7aは輝度向上に貢献する。さらに、光透過層7がマイクロレンズ7aを備えていることにより、別途レンズを用意する必要がなくなる。また、有機EL光源5とマイクロレンズ7aとの位置合せ調整も不要である。また、反射層3は、有機EL光源層5と接する面に、反射層3の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造3aを備えている。これにより、反射層3の表面にナノメートルオーダーの凹凸をつけることで表面プラズモンを共鳴させ、プラズモンに移動したエネルギーを再び伝播光として取り出すことができる。その結果、光取り出し効率の向上が図られ、光損失が低減される。図4は、図1から図3を参照して説明された実施例の製造工程の一例を説明するための断面図である。以下に説明する工程aからcは図4中のaからcに対応している。a支持層1の一表面に凹凸構造が形成される。この凹凸構造は、例えばマイクロレンズアレイの製造に用いられるウェットエッチング技術、樹脂成形技術インサート成形、インジェクションやコンプレッション成形技術、プレス技術、ガラスモールド技術などによって形成される。b支持層1の凹凸構造が配置された領域を含んで、支持層1上に反射層3と有機EL光源層5がその順に形成される。反射層3は、例えば真空蒸着技術、スパッタリング技術によって形成される。有機EL光源層5は真空蒸着技術、スピンコート法やインクジェット法などの印刷技術によって形成される。反射層3は支持層1の上に均一な膜厚で形成される。これにより、反射層3は支持層1の凹凸構造に起因する凹凸構造をもつ。有機EL光源層5は反射層3の上に均一な膜厚で形成される。これにより、有機EL光源層5は反射層3の凹凸構造に起因する凹凸構造をもつ。また、有機EL光源層5の上に、反射防止膜や反射防止構造を形成してもよい。c反射層3及び有機EL光源層5を覆って、支持層1の上に光透過層7が形成される。光透過層7は、真空蒸着技術、スパッタリング技術、有機樹脂の塗布、ARAntiReflectionコート液の塗布、樹脂封止などの技術によって形成される。光透過層7において、有機EL光源層5と接する面に、有機EL光源層5の凹凸構造に起因する凹凸構造が形成される。その凹凸構造によって、有機EL光源層5と接する面に複数のマイクロレンズ7aが形成される。これにより、有機EL光源の製造が完了する。図5は、図1から図3を参照して説明した実施例の製造工程の他の例を説明するための断面図である。以下に説明する工程aからcは図4中のaからcに対応している。a光透過層7の一表面に複数のマイクロレンズ7a凹凸構造が形成される。マイクロレンズ7aは、例えばマイクロレンズアレイの製造技術によって形成される。bマイクロレンズ7aが配置された領域を少なくとも一部含んで、光透過層7の上に有機EL光源層5と反射層3がその順に形成される。反射層3と有機EL光源層5の形成に用いられる技術は上記と同じである。有機EL光源層5は光透過層7の上に均一な膜厚で形成される。これにより、有機EL光源層5は光透過層7のマイクロレンズ7a凹凸構造に起因する凹凸構造をもつ。反射層3は有機EL光源層5の上に均一な膜厚で形成される。これにより、反射層3は有機EL光源層5の凹凸構造に起因する凹凸構造をもつ。c反射層3及び有機EL光源層5を覆って、光透過層7の上に支持層1が形成される。支持層1の形成に用いられる技術は上記と同じである。支持層1において、有機EL光源層5と接する面に、有機EL光源層5の凹凸構造に起因する凹凸構造が形成される。これにより、有機EL光源の製造が完了する。図5cの断面図の上下を逆にすれば、図2と同様の構造になる。図6は、本発明の他の実施例の断面を拡大して示した模式的な断面図である。図1から図3と同じ部分には同じ符号が付される。それらの部分の説明は省略される。この実施例が図1から図3を参照して説明された実施例と異なる点は、支持層1の下面反射層3の配置面とは反対側の面に金属層9を備えている点である。金属層9は例えば銅やアルミニウムによって形成される。金属層9の厚みは例えば005~05μmである。金属層9が支持層1の下面に配置されていることにより、支持層1の放熱性が向上される。特に、支持層1が絶縁性材料によって形成されている場合に有効である。図7は、本発明のさらに他の実施例の模式的な斜視図である。図7中のB-B位置における断面の構造は図2と同じである。図7において、図1から図3と同じ部分には同じ符号が付される。それらの部分の説明は省略される。この実施例では、直線状の複数本のマイクロレンズ7aが縞状に配列されている。これにより、光量が大きい複数の位置が縞状に配列された有機EL光源が実現されている。図8は、本発明のさらに他の実施例の模式的な斜視図である。図8中のC-C位置における断面の構造は図2と同じである。図8において、図1から図3と同じ部分には同じ符号が付される。それらの部分の説明は省略される。この実施例では、内径が互いに異なるドーナツ状の複数本のマイクロレンズ7aが同心円上に配列されている。これにより、光量が大きい複数の位置が同心円上に配列された有機EL光源が実現されている。このように、本発明の有機EL光源は、光透過層7の有機EL光源層5と接する面に形成される凹凸構造の配置、大きさ、形状を制御することにより、所望の光量分布をもつ有機EL光源を実現できる。光透過層7の凹凸構造の配置、大きさ、形状は任意である。例えば、有機EL光源の光出射面において、周辺部の光量を比較的大きくしたり、周辺部の光量を比較的小さくしたり、一方向に光量を変化させたりすることができる。図9は本発明のさらに他の実施例の断面を拡大して示した模式的な断面図である。この実施例は、図1が参照されて説明された実施例と比較して、反射層3と電子輸送層5aの間に陰極5dをさらに備えている。有機EL光源層5は、下層側から順に、陰極5d、電子輸送層5a、有機EL発光層5b、正孔輸送層及び陽極5cを備えている。陰極5dは、有機EL発光層5b側の表面に、反射層3の凹凸構造よりも小さいナノメートルオーダーの超微細凹凸構造5eを備えている。また、図1を参照して説明された実施例と比較して、反射層3の表面には超微細凹凸構造3aが形成されていない。この実施例は、図1が参照されて説明された実施例と同じ作用及び効果を得ることができる。以上、本発明の実施例が説明されたが、材料、形状、配置、寸法等は一例であり、本発明はこれらに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内で種々の変更が可能である。