"複数の制御ループLii=1~nの設定値SPiが同時に変更されたとき、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiにしたときに各制御ループLiの制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な制御量変化時間を推定する制御量変化時間推定手段と、各制御ループLiに共通の前記制御量変化時間で制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な操作量出力MUiを制御ループLi毎に推定する必要出力推定手段と、前記操作量出力MUiを各制御ループLiの操作量出力上限値OHiとして一時的に設定する出力上限設定手段と、制御ループLi毎に設けられ、設定値SPiと制御量PViを入力として制御演算により操作量MViを算出し、操作量MViを前記操作量出力上限値OHi以下に制限する上限処理を実行して、上限処理後の操作量MViを対応する制御ループLiの制御アクチュエータに出力する制御手段とを備えることを特徴とする制御装置。請求項1記載の制御装置において、さらに、制御量変化の経過を判断して、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiに復帰させる出力上限復帰手段を備えることを特徴とする制御装置。請求項1または2記載の制御装置において、前記制御量変化時間推定手段は、設定値SPiの変更に伴う制御量PViの変更量ΔPViを制御ループLi毎に算出する制御量変更量算出手段と、現在の操作量MViの状態から操作量MViを規定出力上限値MOiにしたときの制御量PViの変化レートTHiを制御ループLi毎に算出する制御量変化レート算出手段と、前記変化レートTHiと変更量ΔPViとに基づいて、現在の操作量MViの状態から操作量MViを規定出力上限値MOiにしたときに制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な制御量変化時間を制御ループLi毎に算出する時間算出手段と、制御ループLi毎の制御量変化時間のうち、その最大値を各制御ループLiに共通の制御量変化時間として選出する最大値選出手段とから構成されることを特徴とする制御装置。請求項1乃至3のいずれか1項に記載の制御装置において、前記設定値SPiは温度設定値であり、前記制御量PViは温度であり、前記設定値SPiの変更は前記制御量PViを昇温方向に変化させるものであり、前記制御量変化時間は昇温時間であることを特徴とする制御装置。複数の制御ループLii=1~nの設定値SPiが同時に変更されたとき、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiにしたときに各制御ループLiの制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な制御量変化時間を推定する制御量変化時間推定ステップと、各制御ループLiに共通の前記制御量変化時間で制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な操作量出力MUiを制御ループLi毎に推定する必要出力推定ステップと、前記操作量出力MUiを各制御ループLiの操作量出力上限値OHiとして一時的に設定する出力上限設定ステップと、設定値SPiと制御量PViを入力として制御演算により操作量MViを算出し、操作量MViを前記操作量出力上限値OHi以下に制限する上限処理を実行して、上限処理後の操作量MViを対応する制御ループLiの制御アクチュエータに出力する制御ステップとを備えることを特徴とする制御方法。請求項5記載の制御方法において、さらに、制御量変化の経過を判断して、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiに復帰させる出力上限復帰ステップを備えることを特徴とする制御方法。請求項5または6記載の制御方法において、前記制御量変化時間推定ステップは、設定値SPiの変更に伴う制御量PViの変更量ΔPViを制御ループLi毎に算出する制御量変更量算出ステップと、現在の操作量MViの状態から操作量MViを規定出力上限値MOiにしたときの制御量PViの変化レートTHiを制御ループLi毎に算出する制御量変化レート算出ステップと、前記変化レートTHiと変更量ΔPViとに基づいて、現在の操作量MViの状態から操作量MViを規定出力上限値MOiにしたときに制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な制御量変化時間を制御ループLi毎に算出する時間算出ステップと、制御ループLi毎の制御量変化時間のうち、その最大値を各制御ループLiに共通の制御量変化時間として選出する最大値選出ステップとから構成されることを特徴とする制御方法。請求項5乃至7のいずれか1項に記載の制御方法において、前記設定値SPiは温度設定値であり、前記制御量PViは温度であり、前記設定値SPiの変更は前記制御量PViを昇温方向に変化させるものであり、前記制御量変化時間は昇温時間であることを特徴とする制御方法。特許文献1に開示された制御方法の場合、昇温過程の途中でPID制御演算手段例えば調節計とSP演算手段例えば上位コントローラとの信号伝達機能に異常が発生したときには、やむを得ず通常の制御動作に戻すか、昇温自体を中断するかが必要になり、いずれにしろ予定されていた制御動作を継続できなくなるという問題点があった。なお、以上のような問題点は、昇温制御に限らず、例えば降温制御や圧力制御においても同様に発生する。本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、設定値変更時において、制御演算手段とそれ以外の手段との間で行われる信号伝達の頻度を減らしつつ、各制御ループの制御量が変更後の設定値に達する時間がほぼ同じになるように制御することができる制御方法および装置を提供することを目的とする。本発明の制御装置は、複数の制御ループLii=1~nの設定値SPiが同時に変更されたとき、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiにしたときに各制御ループLiの制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な制御量変化時間を推定する制御量変化時間推定手段と、各制御ループLiに共通の前記制御量変化時間で制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な操作量出力MUiを制御ループLi毎に推定する必要出力推定手段と、前記操作量出力MUiを各制御ループLiの操作量出力上限値OHiとして一時的に設定する出力上限設定手段と、制御ループLi毎に設けられ、設定値SPiと制御量PViを入力として制御演算により操作量MViを算出し、操作量MViを前記操作量出力上限値OHi以下に制限する上限処理を実行して、上限処理後の操作量MViを対応する制御ループLiの制御アクチュエータに出力する制御手段とを備えることを特徴とするものである。また、本発明の制御装置の1構成例は、さらに、制御量変化の経過を判断して、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiに復帰させる出力上限復帰手段を備えることを特徴とするものである。また、本発明の制御装置の1構成例において、前記制御量変化時間推定手段は、設定値SPiの変更に伴う制御量PViの変更量ΔPViを制御ループLi毎に算出する制御量変更量算出手段と、現在の操作量MViの状態から操作量MViを規定出力上限値MOiにしたときの制御量PViの変化レートTHiを制御ループLi毎に算出する制御量変化レート算出手段と、前記変化レートTHiと変更量ΔPViとに基づいて、現在の操作量MViの状態から操作量MViを規定出力上限値MOiにしたときに制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な制御量変化時間を制御ループLi毎に算出する時間算出手段と、制御ループLi毎の制御量変化時間のうち、その最大値を各制御ループLiに共通の制御量変化時間として選出する最大値選出手段とから構成されることを特徴とするものである。また、本発明の制御装置の1構成例において、前記設定値SPiは温度設定値であり、前記制御量PViは温度であり、前記設定値SPiの変更は前記制御量PViを昇温方向に変化させるものであり、前記制御量変化時間は昇温時間である。また、本発明の制御方法は、複数の制御ループLii=1~nの設定値SPiが同時に変更されたとき、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiにしたときに各制御ループLiの制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な制御量変化時間を推定する制御量変化時間推定ステップと、各制御ループLiに共通の前記制御量変化時間で制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な操作量出力MUiを制御ループLi毎に推定する必要出力推定ステップと、前記操作量出力MUiを各制御ループLiの操作量出力上限値OHiとして一時的に設定する出力上限設定ステップと、設定値SPiと制御量PViを入力として制御演算により操作量MViを算出し、操作量MViを前記操作量出力上限値OHi以下に制限する上限処理を実行して、上限処理後の操作量MViを対応する制御ループLiの制御アクチュエータに出力する制御ステップとを備えることを特徴とするものである。本発明によれば、設定値SPiの変更時点において各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを1回設定した後は、設定値SPiの変更に伴う制御の途中で操作量出力上限値OHiを更新する必要は原則的にない。したがって、制御手段例えば調節計とそれ以外の手段例えば上位コントローラとの間で行われる信号伝達の頻度を減らすことができるので、操作量出力上限値OHiを設定した後に制御手段とそれ以外の手段との信号伝達に異常が発生しても、各制御ループLiの制御量PViが変更後の設定値SPiに達する時間がほぼ同じになるように予定どおりの制御動作を継続することができる。[発明の原理]代表的な昇温能力例えば最大出力時の昇温レートを予め記憶しておき、任意の出力上限値操作量MV出力上限値に絞ったときの昇温レートを推定し、昇温完了までの推定時間が各制御ループでほぼ同じになるような出力上限値を求める。これにより、各制御ループの昇温完了時間が概ね等しくなり、最も効率的な立ち上げ方に近づけることができる。この制御方法では、出力上限値を昇温開始時点において1回決定した後は、昇温途中で出力上限値を更新する必要は原則的にない。したがって、仮にPID制御演算手段例えば調節計と出力上限演算手段例えば上位コントローラとの信号伝達に異常が発生しても、予定されていた制御動作を継続できるようになる。ただし、何らかの出力上限微修正操作などを必要に応じて行なえる信号伝達状態にあるならば、適宜行なってもよい。小型の調節計では、アルゴリズムの記憶容量や1制御周期当りの演算量も限られている。したがって、各制御ループにおける最大出力時の昇温時間をまず算出し、算出した各制御ループの昇温時間から最大のものを抽出し、その昇温時間近傍を所要時間とした場合に各制御ループの出力上限を低くする程度を求めるという演算手順が好ましい。なお、以上の原理は昇温制御に限らず、降温制御についても同様に成り立つ。[実施の形態]以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態に係る制御装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態の制御装置は、複数の制御ループLii=1~n、nは2以上の整数の設定値SPiが同時に変更されたとき、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiにしたときに各制御ループLiの制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な昇温時間TLを推定する昇温時間推定部1と、各制御ループLiに共通の昇温時間TLで制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な操作量出力MUiを制御ループLi毎に推定する必要出力推定部2と、操作量出力MUiを各制御ループLiの操作量出力上限値OHiとして一時的に設定する出力上限設定部3と、制御量変化の経過を判断して、各制御ループLiの操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiに復帰させる出力上限復帰部4と、制御ループLi毎に設けられた制御部5-iとから構成される。制御部5-iは、設定値SPi入力部6-iと、制御量PVi入力部7-iと、PID制御演算部8-iと、出力上限処理部9-iと、操作量MVi出力部10-iとから構成される。なお、本実施の形態では、制御装置を図5に示した加熱装置に適用するものとして説明する。この場合、図5に示した調節計101-iが制御部5-iとなる。図2は制御量変化時間推定手段となる昇温時間推定部1の構成を示すブロック図である。昇温時間推定部1は、制御量PVi変更量ΔPVi算出部11と、制御量PVi変化レートTHi算出部12と、時間算出手段となる昇温時間TLi推定部13と、最大値選出部14とから構成される。以下、制御装置の動作について説明する。図3は制御装置の動作を説明するフローチャートである。各制御ループLii=1~nの設定値SPiは、加熱装置のオペレータによって設定され、設定値SPi入力部6-iを介してPID制御演算部8-iに入力される図3ステップS100。また、設定値SPiは、設定値SPi入力部6-iを介して昇温時間推定部1に入力される。各制御ループLiの制御量PVi温度は、制御ループLi毎に設けられた温度センサ図5の例では温度センサ102-iによって測定され、制御量PVi入力部7-iを介してPID制御演算部8-iに入力されるステップS101。また、制御量PViは、制御量PVi入力部7-iを介して昇温時間推定部1に入力される。次に、昇温時間推定部1は、各制御部5-iから取得した設定値SPiが同時に同方向ここでは昇温方向に変更されたときステップS102においてYES、各制御部5-iの操作量出力上限値OHiをオペレータが予め設定した規定出力上限値MOi例えば100にしたときに制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な昇温時間TLを推定する。具体的には、昇温時間推定部1は、設定値SPi変更前の操作量MViを取得し、操作量MViを操作量出力上限値OHi=MOiにした場合の制御ループLi毎の昇温時間TLiを求め、その最大値を各制御ループLiに共通の昇温時間TLとする。まず、昇温時間推定部1内の制御量PVi変更量ΔPVi算出部11は、各制御部5-iから取得した設定値SPiと制御量PViとに基づいて、設定値SPiの変更に伴う制御量PViの変更量ΔPViを制御ループLi毎に次式のように算出するステップS103。ΔPVi=SPi-PVi1昇温時間推定部1内の制御量PVi変化レートTHi算出部12は、各制御部5-iから現在の操作量MVi設定値SPi変更前の操作量MViを取得し、この操作量MViの状態から最大出力MVi=MOi=100.0にしたときの制御量PViの変化レートTHiを制御ループLi毎に次式のように算出するステップS104。すなわち、制御量PVi変化レートTHi算出部12は、制御部5-iから取得した操作量MViを式2に代入して制御量PViの変化レートTHiを算出する。THi=THoi{ΔMi/MOi-MVi}=THoi{100.0/100.0-MVi}2THoiは、操作量MVi=0.0の状態から最大出力MVi=100.0にしたときすなわち操作量上昇幅ΔMiが100.0のときの制御量PViの既知の変化レートである。ここでは、加熱装置を対象としているので、THi,THoiは共に昇温レート[sec./°C]である。式2は、THoiを操作量上昇幅MOi-MVi=100.0-MViで換算する数式である。なお、設定値SPiと制御量PViとに応じた制御はステップS104よりも後ろのステップで行われるので、制御量PVi変化レートTHi算出部12が各制御部5-iから操作量MViをステップS104の時点で取得すれば、この操作量MViは設定値変更前の操作量となる。次に、昇温時間TLi推定部13は、制御量PViの変化レートTHiと変更量ΔPViとに基づいて、現在の操作量MViの状態から最大出力MVi=100.0にしたときに制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な昇温時間TLiを制御ループLi毎に次式のように算出するステップS105。TLi=THiΔPVi3最後に、最大値選出部14は、制御ループLi毎の昇温時間TLiのうち、その最大値を各制御ループLiに共通の昇温時間TLとして選出するステップS106。TL=maxTLi4式4のmaxが最大値を選出する関数を意味していることは言うまでもない。これで、昇温時間推定部1の処理が終了する。次に、必要出力推定部2は、既知の変化レートTHoiと昇温時間TLと制御量PViの変更量ΔPViと現在の操作量MViとに基づいて、各制御ループLiに共通の昇温時間TLで制御量PViが設定値SPiまで達するのに必要な操作量出力MUiを制御ループLi毎に次式のように算出するステップS107。MUi={ΔMiTHoi/TL/ΔPVi}MVi={100.0THoi/TL/ΔPVi}MVi5式5は、式2において、分母のMOi=100.0をMUiに置換し、THi=TL/ΔPViに置換し、MUiについて解くことにより得られる数式である。出力上限設定部3は、オペレータが予め設定した現在の操作量出力上限値OHi=MOiを出力上限復帰部4に記憶させた上で、必要出力推定部2が算出した操作量出力MUiを各制御部5-iの操作量出力上限値OHiとして制御ループLi毎に設定するステップS108。なお、ステップS103~S108の処理は、設定値SPiが変更されたときに1回だけ行えばよい。次に、制御部5-iのPID制御演算部8-iは、設定値SPi入力部6-iから入力された設定値SPiと制御量PVi入力部7-iから入力された制御量PViに基づいて、周知のPID制御演算により操作量MViを算出するステップS109。出力上限処理部9-iは、以下の式のような操作量MViの上限処理を行うステップS110。IFMVi>OHiTHENMVi=OHi6すなわち、出力上限処理部9-iは、操作量MViが操作量出力上限値OHiより大きい場合、操作量MVi=OHiとする上限処理を行う。操作量MVi出力部10-iは、出力上限処理部9-iによって上限処理された操作量MViを制御対象実際の出力先は図5の例ではヒータ103-iに出力するステップS111。制御部5-iは制御ループLiに対応して設けられているので、ステップS100,S101,S109~S111の処理は制御部5-i毎に実施されることになる。次に、出力上限復帰部4は、昇温開始時点設定値SPiが変更され操作量出力上限値OHiがMOiからMUiに設定変更された時点から、昇温時間TLのA倍例えばA=1.5の時間が経過したときにステップS112においてYES、オペレータが予め設定した規定出力上限値MOiを各制御部5-iの操作量出力上限値OHiとして制御ループLi毎に設定するステップS113。なお、操作量出力上限値OHiの規定出力上限値MOiへの復帰までの目安とされる経過時間については、昇温時間TLに基づくものに限られず、予めオペレータが設定した固定時間が経過したときに操作量出力上限値OHiを規定出力上限値MOiに復帰させるようにしてもよい。制御装置は、以上のようなステップS100~S113の処理を例えばオペレータの指示によって制御が終了するまでステップS114においてYES、一定時間毎に行う。図4Aは、図5に示した3ゾーンの加熱制御系を従来技術で制御した昇温結果を示している。ここでは、制御ゾーンZ1の温度PV1を制御する制御ループL1の調節計101-1に設定される操作量出力上限値をOH1=MO1=100、制御ゾーンZ2の温度PV2を制御する制御ループL2の調節計101-2に設定される操作量出力上限値をOH2=MO2=100、制御ゾーンZ3の温度PV3を制御する制御ループL3の調節計101-3に設定される操作量出力上限値をOH3=MO3=100としている。この例では、一般に、オーバーシュートの少ない綺麗な昇温が難しいと認識されている低温領域での昇温を行っている。図4Aによると、制御ループL2の温度PV2が制御ループL3からの熱干渉の影響もあって大きくオーバーシュートすることが分かる。一方、制御ループL1の温度PV1は、制御ループL2のオーバーシュート傾向に伴うPID制御によるヒータ103-2の出力低下の影響を受けて、昇温終盤で昇温ペースが低下する。図4Bは、図5に示した3ゾーンn=3の加熱制御系を本実施の形態の制御装置で制御した昇温結果を示している。ここでは、規定出力上限値をMO1=MO2=MO3=100とし、昇温開始時に制御ループL1の制御部5-1調節計101-1に設定される操作量出力上限値をOH1=MU1=100、昇温開始時に制御ループL2の制御部5-2調節計101-2に設定される操作量出力上限値をOH2=MU2=72、昇温開始時に制御ループL3の制御部5-3調節計101-3に設定される操作量出力上限値をOH3=MU3=95としている。図4Bによると、昇温完了までの推定時間が各制御ループでほぼ同じになるような出力上限値MU1,MU2,MU3で制御されていることが分かる。昇温ペースを揃えることにより、制御ループL2の温度PV2のオーバーシュート傾向が抑制される。さらに、このオーバーシュート傾向の抑制により制御ループL2の制御が安定するので、制御ループL1の温度PV1の昇温ペースも安定する。以上のように、本実施の形態では、制御部5-i例えば調節計とそれ以外の装置例えば上位コントローラとの間で行われる信号伝達の頻度を減らすことができるので、昇温開始時に操作量出力上限値OHiを設定した後に制御部5-iとそれ以外の装置との信号伝達に異常が発生しても、各制御ループLiの制御量PViが変更後の設定値SPiに達する時間がほぼ同じになるように予定どおりの制御動作を継続することができる。また、本実施の形態では、操作量MVi自体を直接的に変化させるのではなく、操作量出力上限値OHiを一定時間だけ別な固定値に変化させるだけなので、操作量MViには無意味な上下動は発生しない。したがって、PID制御演算への悪影響も発生せず、不自然さのない制御応答波形が得られる。なお、本実施の形態では、昇温制御の場合を例に挙げて説明しているが、これに限るものではなく、本発明は例えば降温制御や圧力制御にも適用することができる。本実施の形態の制御装置は、制御部5-iとそれ以外の装置昇温時間推定部1、必要出力推定部2、出力上限設定部3および出力上限復帰部4の2つの装置に分かれるが、各々の装置は、CPU、記憶装置およびインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。各々の装置のCPUは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施の形態で説明した処理を実行する。"