ほぼ平坦な表面を有する支持部14と、前記支持部から吊り下げられ、前記支持部の表面の平面と平行に動くことができる共振器16と、前記共振器を作動させる手段17と、前記支持部から吊り下げられた少なくとも1つの圧電抵抗ひずみゲージ20;20、40;56、58;72、72a、74、74a;94、96、98、100;122、124、126、128を含む、前記共振器の変位を検出する手段18とを含む、圧電抵抗検出を伴う共振装置であって、少なくとも1つの弾性要素22;22、44;22、46;68、68a、70、70a;90、92;122、124も含み、前記共振器は前記弾性要素を介して前記支持部に固定され、前記要素は、前記共振器の変位の非線形状態が現れるしきい値を高くすることができるように、たわみ弾性であることを特徴とする、共振装置。前記圧電抵抗ひずみゲージは、少なくとも1つの圧電抵抗材料を含むスタックを含む、請求項1に記載の装置。前記ひずみゲージおよび前記弾性要素は、ほぼ直線的であり、互いの延長部ではない、請求項1または2のいずれかに記載の装置。前記共振器はビーム状23であり、前記ひずみゲージ20および前記弾性要素22はそれぞれ前記ビームの2つの対向する側面に配置される、請求項3に記載の装置。2つのほぼ直線的なひずみゲージ20、40を含み、前記共振器はビーム状23であり、前記2つのひずみゲージは、それぞれ前記ビームの2つの対向する側面に互いの延長部として配置され、前記弾性要素22は前記側面の一方に配置される、請求項3に記載の装置。前記共振器はビーム状23であり、前記弾性要素22;22、46は前記ビームの一方の端部に配置され、前記ビームとゼロ以上90°未満の角度を形成する、請求項3に記載の装置。2つのほぼ直線的なひずみゲージ56、58を含み、前記共振器は、2つのほぼ平行なビーム50、52および前記2つのビーム間の弾性接続部54を有する音叉の形状を有し、前記弾性要素22は前記弾性接続部に配置され、前記2つのひずみゲージは、それぞれ前記音叉の両方のビームに互いの延長部として配置される、請求項3に記載の装置。ほぼ直線的な2つのたわみ弾性要素68、70を含み、前記共振器はビーム状23であり、前記ビームの両方の端部は、前記支持部14の表面の平面と平行に変位することができ、前記2つの弾性要素は、それぞれ前記ビームの端部の一方で前記ビームの2つの対向する側面に配置される、請求項3に記載の装置。ほぼ直線的であり、それぞれ前記ビーム23の他方の端部で前記ビームの2つの対向する側面に配置された2つの他のたわみ弾性要素68a、70aを含む、請求項8に記載の装置。少なくとも2つのひずみゲージ122、124、126、128を含み、前記ひずみゲージ122、124の少なくとも1つはたわみ弾性であり、前記たわみ弾性要素は、たわみ弾性である前記ひずみゲージによって構成される、請求項3に記載の装置。前記共振器、各ひずみゲージおよび各弾性要素は、表面技術によって形成される、請求項1から10のいずれか一項に記載の装置を製造する方法。本発明の目的は、共振器と、共振器の変位量の検出手段とを含む共振装置であり、これらの検出手段は、少なくとも1つの圧電抵抗ゲージを含む。この装置では、対称的な境界条件、すなわち、共振器の両方の端部で同じ条件を可能にし、固定部でのひずみの損失を最小限にしながら、共振器は高い振動振幅を有することができ、すなわち、非常に広い振幅の領域にわたって線形のままである振動状態を有することができる。これを達成するために、共振器を支持部に固定し、共振器は支持部からたわみ弾性の少なくとも1つの要素を介して吊り下げられる。加えて、装置の好適な実施形態では、スペクトル雑音密度Sxおよび、したがって出力雑音は低く、すなわち、装置の伝達利得は高い。この結果を得るために、圧電抵抗ゲージが対象である力を増幅するためにてこが存在する。より正確には、本発明の目的は、圧電抵抗検出を伴う共振装置であって、装置は、ほぼ平坦な表面を有する支持部と、支持部から吊り下げられ、支持部の表面の平面と平行に動くことができる共振器と、共振器を作動させる手段と、支持部から吊り下げられた少なくとも1つの圧電抵抗ひずみゲージを含む、共振器の変位を検出するための手段とを含み、装置は、少なくとも1つの弾性要素も含み、共振器は弾性要素を介して支持部に固定され、要素は、共振器の変位の非線形状態が現れるしきい値を高くすることができるように、たわみ弾性であることを特徴とする。それは確かに、国際公開第2010015963号が、2つのひずみゲージを介して支持部から吊り下げられた共振器を形成するビームを含む電気機械変換器を記述する場合である。しかし、これらのゲージはそれらの個々の軸に沿ってのみ弾性である。本発明の目的を形成する装置では、逆に、1つまたは複数のひずみゲージに加えて、少なくとも1つのたわみ弾性要素が使用され、共振器は弾性要素を介して支持部に固定される。この要素は、非線形性が現れるしきい値を高くすることができる。このようなたわみ弾性要素は、共振器がより高い運動の自由度を有することを可能にし、例えば、共振器がビーム状である場合、要素は共振器にその軸に沿った運動の自由度と、回転運動自由度とを与える。支持部の平面内で低い曲げ剛性を有する直線要素が好適である。このとき必要とされるすべては、要素が、例えば10より大きい、大きい縦横比要素の長さの幅との比を有することである。本発明の具体的な実施形態によれば、圧電抵抗ひずみゲージは、少なくとも1つの圧電抵抗性材料を含むスタックを含む。本発明の目的を形成する装置の好適な実施形態によれば、ひずみゲージおよび弾性要素は、ほぼ直線的であり、互いの延長部ではない。圧電抵抗ゲージに加えられる力を増幅させることができる上述したてこが、このようにして得られる。本発明の目的を形成する装置の具体的な実施形態によれば、共振器はビーム状であり、ひずみゲージおよび弾性要素は、それぞれこのビームの2つの対向する側面に配置される。他の具体的な実施形態によれば、装置は2つのほぼ直線的なひずみゲージを含み、共振器はビーム状であり、2つのひずみゲージは、それぞれ互いの延長部としてビームの2つの対向する側面に配置され、弾性要素は、側面の一方に配置される。他の具体的な実施形態によれば、共振器はビーム状であり、弾性要素はビームの一方の端部に配置され、ビームとゼロ以上90度未満の角度を形成する。他の具体的な実施形態によれば、装置は2つのほぼ直線的なひずみゲージを含み、共振器は、2つのほぼ平行なビームおよび2つのビーム間の弾性接続部を有する音叉の形状を有し、弾性要素は弾性接続部に配置され、2つのひずみゲージは、それぞれ互いの延長部として音叉の両方のビームに配置される。他の具体的な実施形態によれば、装置は、ほぼ直線的な2つのたわみ弾性要素を含み、共振器はビーム状であり、ビームの両方の端部は、支持部の表面の平面と平行に変位することができ、2つの弾性要素は、それぞれビームの端部の一方で、ビームの2つの対向する側面に配置される。この場合、装置は、2つの他のたわみ弾性要素を含むことができ、2つの他のたわみ弾性要素は、ほぼ直線的で、それぞれビームの端部の一方で、ビームの2つの対向する側面に配置される。他の具体的な実施形態によれば、装置は少なくとも2つのひずみゲージを含み、これらのひずみゲージの少なくとも1つはたわみ弾性であり、たわみ弾性である要素は、たわみ弾性ひずみゲージによって構成される。本発明は、本発明の目的を形成する装置を製造するための方法にも関し、この方法では、共振器、各ひずみゲージおよび各弾性要素が表面技術によって形成される。本発明は、純粋に指示として制限的な意味ではなく添付図面を参照して以下に与えられる例示的な実施形態の説明を読むことで、よりよく理解されるであろう。図5は、本発明の1つの目的である共振装置の具体的な実施形態の概略上面図である。この図に示す装置は、表面がほぼ平坦な支持部14または基板と、支持部14から吊り下げられ、支持部の表面の平面と平行に動くことができる共振器16と、共振器16を作動させる手段17と、共振器16の変位を検出する手段18とを含む。図5に示す例では、これらの検出手段18は、単一の圧電抵抗ひずみゲージ20を含む。このゲージは、ビーム状であり、したがってほぼ直線的である。加えて、このゲージは、支持部14から吊り下げられており、支持部14から解放されている。このゲージは、圧電抵抗性材料製であってもよく、または、少なくとも1つの圧電抵抗性材料を含むスタックを含んでもよい。本発明によれば、共振器は支持部14に直接固定されず、図5に示す装置は弾性要素22も含み、弾性要素22を介して共振器は支持部14に固定される。これは、共振器の変位の非線形状態が現れるしきい値を高くすることができる。図5に示す例では、共振器16はビーム状である。弾性要素22もビーム状であり、したがって、ひずみゲージ20または圧電抵抗ゲージのようにほぼ直線的である。しかし、このゲージ20および弾性要素22は、互いの延長部ではなく、見て分かるように、これらの個々の軸X1およびX2は別々に設定される。加えて、ゲージ20および要素22は、それぞれ、共振器を形成するビーム23の2つの対向する側面に配置される。検出手段は固定部24および26を含み、固定部24および26を介してゲージ20および要素22はそれぞれ支持部14に取り付けられる。図5に示す例では、ゲージ20および要素22の両方は、ビーム23と垂直に配置され、要素22の一方の端部はビーム23の一方の端部28に近接し、要素22の他方の端部は固定部26に取り付けられ、ゲージ20の一方の端部は、ビーム23の端部28から離れて設定されたビーム23の点30に配置され、ゲージ20の他方の端部は固定部24に取り付けられる。この例では、作動手段17は、静電型のものであり、支持部14に取り付けられた電極32を含む。交流電圧源34が、ビーム23に関する交流電圧を電極32に印加するために含まれる。ビーム23がこのようにして励起されると、ビーム23は、支持部14の表面の平面と平行に振動し、これは図5中で両矢印36によって記号的に表されている。ビーム23の共振を励起するために、静電的手段以外の手段、例えば、圧電的、熱的または電磁的手段を用いることができる。要素22または吊り下げビームは開放され、加えて、要素22の縦横比、すなわち、その長さのその幅との比は、大きくすべきであり、例えば、5より大きくすべきだが好適には10より大きくすべきであることが好ましい。そうすれば要素22は、ビーム23の動きにきわめて小さい抵抗のみを生じ、圧電抵抗ゲージ20が対象となるひずみを最大化する。実際に、要素22の縦横比を考慮すると、一方では、この要素22のその軸X2での引張り圧縮剛性はきわめて大きく、したがって、てこ効果、および、ゲージに働く力の増幅の利点が得られ距離は小さくすべきであり、例えば、ビーム23の長さの3分の1未満にするべきであることが好ましい、しかし、他方では、要素22の曲げ剛性は低く、この要素はしたがって、ビーム23の横への曲げ運動にきわめて小さく抵抗する。圧電抵抗ゲージのこの寸法は、このゲージによって発生されるジョンソン雑音と、ゲージが対象となるひずみとの間で最良の妥協を達成するように選択されなければならず、ひずみはゲージの横断面に反比例する。第1に、したがって、非常に短く、横断面ができるだけ小さいゲージが選択される。ゲージの相対位置も、ゲージが対象となるひずみを最大化するために選択される。したがってこの位置は、選択された適切な動作モードに依存する。例えば、図5の場合では、モード1と呼ばれる共振モードに関する限りでは、最適な位置は、ビーム23の端部28および点30間の距離L1がビーム23の長さLの10程度になるような位置であると推定することができる。本発明の1つの目的である装置、例えば図5に示す装置と、文献4に記載された装置との間の設計の違いは、装置が読み取られる方法をどのようにも変えず、本発明では、ここでも、読み取られるのは、1つまたは複数の圧電抵抗ゲージの抵抗の変化である。本発明では、機械的構造が変更されているが、それにもかかわらずこの読み取りは、ゲージ20および要素22の個々の固定部24および26間に読み取り手段38を接続することによって可能である。このときこれらの固定部24および26は、導電性材料で作られる。これはさらに、読み取り手段が間に接続される2つの固定部に関して、後に与えられるすべての例で同じである。そして当然、すべての例では、読み取りに使用される共振器および各弾性要素も、電流を伝導することができる材料、例えば圧電抵抗材料で作られる。したがってゲージ20の抵抗の変化は、従来は、電気的接続部として使用される2つの固定部間で読み取られる。この読み取りは、直接、またはロックイン増幅器を使用して、またはホイートストンブリッジを使用して、または参照が行われる文献3で説明されているような、より洗練された技術によって行うことができる。逆に、この方法によって読み取られる抵抗の変化は、吊り下げビーム22も圧電抵抗材料で作られている場合、吊り下げビーム22の抵抗の変化を含む。したがって、吊り下げビーム22の抵抗の変化がゲージ22の抵抗の有用な変化と比較して無視できることを確実にすることが必要である。これを達成するために、例えば、ゲージ22に与えられるより大きい横断面を吊り下げビーム22に与えることができ、または、その抵抗およびそのゲージ率を低減するために、吊り下げビーム22に局所的にドープすることができ、または再び、共振器を構成するビーム23の両側にゲージ20および吊り下げビーム22を配置し、これらの個々の抵抗変化をこれらが同じ符号になるように設計することができる。それぞれの軸が一致し、吊り下げビームに対してオフセットした2つのほぼ直線的な圧電抵抗ゲージを使用することもできる。これは、ゲージが共振器の両側に配置される場合、差動的な読み取りを可能にする。図6の例は、この可能性を概略的に示す。この図に示す装置は、その固定部が符号42を有するほぼ直線的な圧電抵抗ゲージ40を含むという事実によって、図5の装置と区別される。見て分かるように、ゲージ20および40は、ビーム23の2つの対向する側面に配置され、同じ軸X1を有する。図6の場合では、差動的読み取りが使用され、読み取り手段は、固定部26および42間に接続され、ゲージ40の抵抗の値RΔRを決定することができる第1の読み取り手段38と、固定部26および24間に接続され、ゲージ20の抵抗の値RΔRを決定することができる第2の読み取り手段38aとを含む。2つの吊り下げビームを使用することもできる。このとき、全体的な剛性は増加するが、2つの吊り下げビームが電気的に接続される場合、装置のアクセス抵抗は減少し、これらは並列に取り付けられた2つの抵抗を構成する。これを図7によって概略的に示す。この図に示す装置は、他の吊り下げビーム44を含む事実によって、図5に示す装置と区別される。見て分かるように、2つのたわみ弾性要素を構成する両方の吊り下げビーム22および44は、ビーム16の同じ側にあり、共通の固定部26を有する。2つの吊り下げビームは、共振器を形成するビームの2つの端部の一方に配置されても配置されなくてもよく、共振器の他方の端部で並列に接続された2つの他の吊り下げビームを有することさえ可能である。圧電抵抗ゲージに関しては、図6の場合と異なり、これらを共振器16の端部28および吊り下げビーム22間に配置することができる。ビーム状の弾性要素を、ビーム状共振器の軸に、または、異なった軸に沿って配置することもできる。後者の場合、共振器の軸に沿った配置は大いに好ましくなく、したがって振動振幅は、非線形状態の出現前に大幅には増加せず、逆に、弾性要素22に関係付けられた固定部26に受け継がれるひずみは最小化され、ゲージ20が受けるひずみは最大化される。およびの両方の場合を、図8および9によって概略的に示す。図8の例は、図8の場合、ビーム状弾性要素22がビーム23の端部28に取り付けられ、ビーム23の軸X3に沿って延在する事実によって、図5の例と区別される。図9の例では、ビーム状弾性要素22はビーム23の端部28に取り付けられるが、この要素の軸X2は、0α90°となるように、ビーム23の軸X3と角度αを形成する。図9は、ビームの形状を有する他のたわみ弾性要素46をビーム23の端部28に有する可能性も示す。これに関係付けられた固定部は符号48を有し、要素46の軸X4は軸X3に対して傾斜する。図9の例では、要素22および46は、軸X3に関して互いに対して対称である。上述した例のいくつかでのように、要素22および46は、同じ固定部を有することができ、その場合、並列の抵抗を構成することができる。図10によって概略的に示す本発明の他の例では、共振器16は音叉の形状を有する。見て分かるように、これは、2つの平行ビーム50および52と、ビームの2つの個々の端部間の弾性リンク54とを含む。ビーム状の弾性要素22が弾性リンク54の領域に配置され、これは好適にはビーム50および52の軸と平行に延在する。2つのほぼ直線的な圧電抵抗ゲージ56および58は、それぞれビーム50および52に互いの延長部として配置される。ゲージ56および58の固定部は、それぞれの符号60および62を有する。見て分かるように、音叉を作動させるように設計された2つの電極64および66は、それぞれビーム50および52と対面して配置される。図10に示す例では、読み取り手段38が固定部26および62間に接続され、電圧源34が電極64を励起する。しかしながら、電圧源34で両方の電極64および66を同時に励起することもできる。図11によって概略的に示す本発明の例では、共振器として使用されるビーム23は対称的な境界条件を有し、その端部の両方が支持部14の表面と平行に動くことができる。2つのほぼ直線的なたわみ弾性要素68および70は、ビーム23の2つの対向する側面に、ビーム23の端部の一方の近傍にそれぞれ配置され、これらの要素68および70は互いの延長部であり、これらの軸は一致する。圧電抵抗ゲージ72および74がビーム23の両方の対向する側面に配置され、これらのそれぞれの軸も一致する。ビーム72および74の固定部は、それぞれの符号76および78を有する。いくつかの励起電極が含まれてもよい。示した例では、それぞれ符号80、82、84および86を有する4つの励起電極が存在する。電極80および82は、ビーム23の側面の1つと対面し、電極84および86は、他方の側面と向かい合う。図11の例では、単に電極80は電圧源34によって励起され、読み取り手段は、圧電抵抗ゲージ72に関係付けられた固定部76と、弾性要素68および70と共通の固定部88との間に接続され、その場合、これらは並列に取り付けられた抵抗を形成する。変形例として、ビーム23の他方の端部の側に構成要素の同一の組立品が存在してもよく、等しい符号に文字aが割り当てられる。図11では、このように、たわみ弾性要素68aおよび70a、圧電抵抗ゲージ72aおよび74a、固定部76a、78a、共通固定部88a、電極82を励起する電圧源34a、並びに、固定部76aおよび固定部88a間に接続された読み取り手段38aを見ることができる。ビーム23の両方の端部が自由な図11に示す構成は、以下に示す種々の利点を有する。1この構成は、ゲージの抵抗変化の読み取りを常に可能にする。2対称的な境界条件を使用するが、同時に、大きい線形振動振幅を可能にする。実際に、弾性要素を形成する吊り下げビームは、好適には高い縦横比を有し、その場合これらは低い曲げ剛性を有し、したがって共振器はその軸にひずみを受けない。共振器は、振動振幅が増加する場合、伸張に対して自由である。その場合、中央平面の伸張の影響は完全に減少し、有用な振動振幅は、カンチレバー型共振器のそれに匹敵するようになる。3ビーム23の各端部では、両方の吊り下げビームが共通の固定部を有し、したがって電気的に接続される。見てきたように、これらはこのように並列の2つの抵抗に相当し、その等価抵抗は、単一の吊り下げビームの抵抗の2分の1に等しい。加えて、2つの吊り下げビームの一方が圧縮応力を受ける場合、他方は引張り応力を受ける。これらの抵抗変化の合計は結果としてゼロである。したがって図11の構成は、ゲージの有用な抵抗変化のみを読み取ることができ、吊り下げビームの抵抗変化を無視することができる。4見てきたように、同じ配置を、共振器の他方の端部のゲージおよび吊り下げビームに使用することができる。これは、2倍の値を有する信号を得るためか、構造を2つのモードで同時に共振させるために、検出ポートを構成する他の固定部を使用することを可能にする。5他のすべての場合のように、1つまたは複数の静電作動電極を使用することができる。これは、構造の特定の特権的モードが支持されることを可能にし、または、異なった周波数の2つの作動高調波を分離することを可能にする。図12によって概略的に示す例では、圧電抵抗ゲージおよび吊り下げビームは、共振器の中央に配置される。見て分かるように、この例では、共振器を形成するビーム23は、ビーム23の中央でビーム23の両側に配置されたたわみ弾性である2つのほぼ直線的な要素90および92を有し、要素90および92のそれぞれの軸は一致する。これらの要素の一方の側で、2つの圧電抵抗ゲージ94および96が、ビーム23の両側に配置され、これらのそれぞれの軸は一致する。要素90および92の他方の側で、2つの他の圧電抵抗ゲージ98および100が、ビーム23の両側に配置され、一致するそれぞれの軸を有する。要素90および92の固定部並びにゲージ94、96、98および100の固定部は、それぞれ、符号102、104、106、108、110および112を有する。図12の例では、4つの作動電極が存在し、すなわち、ビーム23の一方の端部の両側に2つの電極114および116と、ビーム23の他方の端部の両側に2つの他の電極118および120とが存在する。加えて、例として、電極118は電圧源34を使用して励起され、読み取り手段38は固定部96および104間に接続される。1つまたは複数の吊り下げビームおよび1つまたは複数の圧電抵抗ゲージを使用する本発明の他の例を想像することができる。少なくとも2つの圧電抵抗ゲージを含み、これらのゲージの少なくとも1つが弾性で、弾性要素を構成し、弾性要素を介して共振器が支持部に固定される、本発明による装置を想像することもできる。このような装置の一例を図13に概略的に示す。図13では、共振器を形成し、4つのほぼ直線的な圧電抵抗ゲージ122、124、126および128を見ることができる。ゲージ122および124は、たわみ弾性であり、ビーム23の端部の一方の近傍でビーム23の両側に配置され、一致する軸を有する。たわみ弾性であってもよい他の2つのゲージ126および128は、ビーム23の他方の端部の近傍でビーム23の両側に配置され、やはり一致する軸を有する。ゲージ122、124、126および128の固定部は、個々の符号130、132、134および136を有する。図13の例では、4つの作動電極が存在し、すなわち、ビーム23の中央の近傍でビーム23の側面と対面して配置された2つの電極138および140と、他の側面と対面し、それぞれ電極138および140と対面して配置された2つの他の電極142および144とが存在する。加えて、例として、電極134は電圧源34を使用して励起され、読み取り手段38は固定部130および134間に接続される。本発明で使用される圧電抵抗ゲージを、ドープされたケイ素で作ることができる。これらは金属であってもよく、これを達成するために、ケイ素をアモルファス化されるまで非常に高濃度にドープすることができる。例えばNiSiまたはPtSiのような金属ケイ素化合物製のゲージを使用することもできる。ゲージを、ゲージの敏感な部分を構成するために、例えば金またはアルミニウム製の金属層を加えたシリコン要素から得ることもできる。本発明による装置を、表面技術を使用して製造することができる。製造方法の一例を、図14Aから14Cによって概略的かつ部分的に示す。第1の段階は、TiNiAuの層を、ケイ素ベース基板146、厚さが例えば04μmに等しいSiO2犠牲層148、および、厚さが例えば4μmに等しいケイ素層150を含むSOI基板上に加えることから構成される。接点152のような装置の接点は、フォトリソグラフィおよびエッチングによって境界を定められる。この後、装置の機械的構造154が、フォトリソグラフィおよび犠牲層148で停止するDRIEによって境界を定められる。この後、装置の構成要素は、決められた時間後に停止するフッ化水素酸への曝露によって開放される。これによって、ゲージ156のような1つまたは複数の圧電抵抗ゲージ、共振器158、1つまたは複数の弾性要素、および、共振器の1つまたは複数の励起電極が得られる。この方法では、フォトリソグラフィを電子ビームによって達成することができる。図15Aから15Dによって概略的に示す他の製造方法例によって、共振器自体、しかしとりわけ圧電抵抗ゲージおよび弾性要素を、トップダウン型の表面技術によって形成されるナノワイヤとすることができる。第1の段階は、SiO2、SiGeまたはSiで作ることができる犠牲層160を形成することである。次に活性層162が層160上に形成される。層162は、SiまたはSiGeで作られてもよい。これは、例えばビーム状であってもよい共振器、1つまたは複数の圧電抵抗ゲージ、および、1つまたは複数の弾性要素のような、装置の種々の要素またはパターンが形成される層である。次に、パターンを得るために必要な感光性樹脂マスク164が形成される。パターン166のようなこれらのパターンは、次に、活性層のフォトリソグラフィおよびエッチングによって画定される。レジストトリミングが事前に行われてもよい。次に、パターン166のサイズを減少させ、これらを丸めるために、酸化の後に続いて脱酸が行われる。次に、SiO2の場合は塩酸を使用して、または、SiGeの場合はメタン酸素型のプラズマを使用して、パターン166が開放される。