"半導体圧力センサ本体の一方の面に一方の面が接合されこの半導体圧力センサ本体の他の面を隙間を有して覆いモールド材よりなるモールドパッケージとを具備する半導体圧力測定装置において、凹部を有する2個の耐圧性の耐圧カバー部材と、この耐圧カバー部材の前記凹部の開口部が対向配置されこの凹部内に隙間を有して前記モールドパッケージが配置され前記凹部の前記開口部が互いに溶接接合されて形成される耐圧カバーと、前記耐圧カバーに設けられ前記隙間に連通する信号取出し孔と、この信号取出し孔に集中して配置された8個の信号端子と、前記信号取出し孔を介して前記隙間に充填され前記モールドパッケージの前記モールド材よりヤング率の大きな接着材よりなる充填体と、を具備したことを特徴とする差圧圧力測定装置。このような装置においては、以下の問題点がある。このような装置においては、高圧の流体測定を行う場合、モールドパッケージ9の耐圧が持たないため、使用できない。本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、耐圧が向上された差圧圧力測定装置を提供することにある。このような課題を達成するために、本発明では、請求項1の差圧圧力測定装置においては、半導体圧力センサ本体の一方の面に一方の面が接合されこの半導体圧力センサ本体の他の面を隙間を有して覆いモールド材よりなるモールドパッケージとを具備する半導体圧力測定装置において、凹部を有する2個の耐圧性の耐圧カバー部材と、この耐圧カバー部材の前記凹部の開口部が対向配置されこの凹部内に隙間を有して前記モールドパッケージが配置され前記凹部の前記開口部が互いに溶接接合されて形成される耐圧カバーと、前記耐圧カバーに設けられ前記隙間に連通する信号取出し孔と、この信号取出し孔に集中して配置された8個の信号端子と、前記信号取出し孔を介して前記隙間に充填され前記モールド材よりヤング率の大きな接着材よりなる充填体と、を具備したことを特徴とする。本発明の請求項1によれば、次のような効果がある。高圧の流体測定を行う場合、モールドパッケージにかかる圧力が充填体を通して耐圧カバーに伝達され、モールドパッケージが破損するのを防ぐことが出来る差圧圧力測定装置が得られる。充填体は信号取出し孔から注入されるので、信号端子のハーメチックシールも兼ねることが出来る差圧圧力測定装置が得られる。充填体は、モールドパッケージよりヤング率の大きな接着材が用いられたので、モールドパッケージの耐圧負荷が軽減出来る差圧圧力測定装置が得られる。以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1のA矢視図、図3は図1のB-B断面図である。図において、図4と同一記号の構成は同一機能を表す。以下、図4との相違部分のみ説明する。図1において、2個の耐圧性の耐圧カバー部材21は、凹部221を有する。耐圧カバー22は、この耐圧カバー部材21の凹部221の開口部が対向配置され、この凹部221内に隙間23を有してモールドパッケージ9が配置され、凹部221の開口部が互いに溶接24接合されて形成される。信号取出し孔25は、耐圧カバー22に設けられ、隙間23に連通する。8個の信号端子26は、この信号取出し孔25に集中して配置されている。充填体27は、信号取出し孔25を介して、隙間23に充填され、モールドパッケージ9のモールド材よりヤング率の大きな接着材よりなる。なお、耐圧カバー22は、この場合は、充填体27よりヤング率の大きい材料が用いられている。そして、図3に示す如く、信号配線31,32,33,34は、それぞれのワイヤボンド11の一方端と信号端子26の一方端とを、圧力センサ8の周囲を迂回して、電気的に接続する。導圧管41は、耐圧カバー22に設けられ、一端が導圧孔14に連通する。以上の構成において、導圧管41に測定圧力PHが加わり、導圧管13に測定圧力PLが加わると、ダイアフラム3は測定圧力PH-測定圧力PLの圧力差により変位する。この変位を半導体圧力検出素子4により電気的に検出すれば、測定圧力PH-測定圧力PLに対応した電気信号出力が得られる。電気信号出力は、信号端子26を介して、外部に取り出される。この結果、高圧の流体測定を行う場合、モールドパッケージ9にかかる圧力が充填体27を通して耐圧カバー22に伝達され、モールドパッケージ9が破損するのを防ぐことが出来る差圧圧力測定装置が得られる。充填体27は信号取出し孔25から注入されるので、信号端子26のハーメチックシールも兼ねることが出来る差圧圧力測定装置が得られる。充填体27は、モールドパッケージよりヤング率の大きな接着材が用いられたので、モールドパッケージ9の耐圧負荷が軽減出来る差圧圧力測定装置が得られる。耐圧カバー22は、充填体27よりヤング率の大きい材料が用いられているので、充填体27の耐圧負荷が軽減出来る差圧圧力測定装置が得られる。なお、前述の実施例では、導圧管13に圧力PLが加わると説明したが、導圧管13側を真空封止することで、高圧用の絶対圧計として使用できることは、勿論である。なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。"