"基板の上面に接触されたマスク上でスキージを摺動させて基板上にペーストを転写させるスクリーン印刷機に備えられ、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置であって、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷機のマスククリーニング装置。基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上で摺動されて基板上にペーストを転写させるスキージと、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置とを備え、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷機。しかしながら、上記のように整流部を有したノズルを用いてマスククリーニングを行う場合、ノズル内の空気の流れをマスクの種類に応じた最適なものとするためには、整流部の整流孔の大きさや隣接する整流孔同士のピッチ間隔が異なる複数種類のノズルを予め用意したうえで、マスクを変えるごとにノズルを交換する必要があったため、コストが高くなり、作業性もよくないという問題点があった。そこで本発明は、マスクを替えるごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性を向上させることができるマスククリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供することを目的とする。請求項1に記載のマスククリーニング装置は、基板の上面に接触されたマスク上でスキージを摺動させて基板上にペーストを転写させるスクリーン印刷機に備えられ、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置であって、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられている。請求項2に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上で摺動されて基板上にペーストを転写させるスキージと、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置とを備え、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられている。本発明では、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられており、マスクの種類を変えるときにはそのマスクの種類に応じた大きさ及びピッチ間隔の整流孔を有した整流板のみをノズルに対して着脱交換すればよいので、マスクごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性の向上を図ることができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1及び図2において、スクリーン印刷機1は、基板2上に設けられた多数の電極3のそれぞれに半田等のペーストPtをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行する装置であり、基台10上に設けられた基板搬入コンベア11、基板保持ユニット12及び基板搬出コンベア13、基板保持ユニット12の上方に設けられたマスクホルダ14、マスクホルダ14によって水平姿勢に保持されたマスク15、マスク15の上方に設けられたスキージヘッド16、マスク15の下方に設けられたカメラユニット17及びマスククリーナ18並びに基台10内に設けられて各部の作動制御を行う制御装置19を備えている。基板搬入コンベア11はスクリーン印刷機1の外部から投入された基板2を搬入し図1中に示す矢印R1、基板保持ユニット12に受け渡す。基板搬出コンベア13は基板保持ユニット12から受け取った基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する図1中に示す矢印R2。すなわち、基板2は基板搬入コンベア11、基板保持ユニット12、基板搬出コンベア13の順で搬送され、この基板2の移動方向をX軸方向オペレータOPから見た左右方向とする。また、このX軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向オペレータOPから見た前後方向とし、上下方向をZ軸方向とする。基板保持ユニット12は、XYZロボットから成るユニット移動機構12AによってXY平面内での移動回転も含む及びZ軸方向への移動が自在なユニットベース21、ユニットベース21に取り付けられて基板2のX軸方向への搬送及び所定の作業位置図1に示す位置への位置決めを行う一対のコンベア22、ユニットベース21に設けられた下受け部昇降シリンダ23、下受け部昇降シリンダ23によって昇降され、コンベア22によって作業位置に位置決めされた基板2の両端がコンベア22から上方に離間するように基板2を下方から持ち上げ支持する下受け部24及びY軸方向に開閉自在に設けられ、下受け部24により持ち上げ支持された基板2の両側部をY軸方向から挟んでクランプして保持する一対のクランプ部材25を備えている。図3において、マスク15は基板2上の電極3の配置に対応して設けられた多数のパターン孔15hを有した矩形の金属板から成るマスク本体15a、マスク本体15aの周囲に設けられた樹脂例えばポリエステル製のメッシュ状の膜部材15b及び膜部材15bの外周部を支持する矩形枠状のマスク枠15wから成る。図3において、マスクホルダ14は、基台10の上方をY軸方向に延びた断面L字状の左右一対のレール部材14aから成り、マスク15はこれら左右一対のレール部材14aによってX軸方向に対向する左右両辺が下方から支持される。図1及び図2において、スキージヘッド16は、マスクホルダ14に保持されたマスク15の上方領域をY軸方向に移動自在に設けられたプレート状のベース部材41、ベース部材41に取り付けられてピストンロッド42aをベース部材41の下方に突出させた2つのスキージ昇降シリンダ42、各スキージ昇降シリンダ42のピストンロッド42aの下端に取り付けられてX軸方向に延びたスキージ保持具43及び各スキージ保持具43に上端部が保持されて斜め下方に延びた薄板部材から成る2つのスキージ44を備えている。図1及び図2において、カメラユニット17は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ17aと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ17bを備えて成る。カメラユニット17は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構17Aによってマスク15の下方領域を水平面内方向に移動される。図4a,bにおいて、マスククリーナ18は、X軸方向に延びて上端に矩形の真空吸引口31aを有したノズル31及びノズル31の真空吸引口31aに上方から接し、真空吸引口31aの開口部を含む幅を有してY軸方向に横断して延びたペーパー部材32を有して成る。ペーパー部材32のノズル31の真空吸引口31aの上面に接してY軸方向に延びた部分はマスククリーナ18におけるクリーニング面18aとなっており、このクリーニング面18aは、ノズル31を挟んでY軸方向に対向配置された一対のローラ部材33図2も参照の回転によるペーパー部材32のY軸方向への送り動作によって更新される。ノズル31は一対のローラ部材33とともにY軸方向及びZ軸方向に移動自在に設けられており、マスククリーナ18は、ノズル31の上端の真空吸引口31aによりペーパー部材32クリーニング面18aをマスク15の下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスク15に対してY軸方向に相対移動することで、マスク15の下面に付着したペーストPtを拭き取って除去する。図4a,b及び図5a,bにおいて、マスククリーナ18のノズル31内には、真空吸引時にノズル31内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔34aを有した長尺の板部材から成る整流板34が設けられている。この整流板34は、ノズル31の長手方向X軸方向の一端部側の壁面に開口して形成された整流板挿入口31bからノズル31内に挿入され、ノズル31の内壁面を水平面内方向に延びて設けられた整流板挿入溝31cによって長手方向の両側辺を支持されてノズル31内に着脱自在に取り付けられる。整流板34の長手方向X軸方向の一方側の端部に直角に折り曲げられて成る折り曲げ部34bは、整流板34を整流板挿入溝31cから引き抜くときのつまみ部として利用される。図5bに示すように、本実施の形態では、整流板34に形成される各整流孔34aはその長手方向の中心軸Sが整流板34の長手方向の中心軸Jと直交する水平面内の線S0に対して傾いた配置で設けられているが、整流板34における整流孔34aの設け方は特に限定されない。なお、本実施の形態のように、各整流孔34aの長手方向の中心軸Sが整流板34の長手方向の中心軸Jと直交する水平面内の線S0に対した傾いた方向に延びて設けられていると、各整流孔34aの長手方向の中心軸Sが整流板34の長手方向の中心軸Jと直交する水平面内の線S0と平行に延びて設けられている場合よりも、マスククリーナ18をマスク15に対して相対移動させて図5b中に矢印P行うマスククリーニングの際、より多くのマスク15の下面領域を整流孔34aが通過することになるので、効率のよいマスククリーニングを行うことができる。図4b及び図5aにおいて、整流板挿入溝31cはノズル31内を上下方向に複数並んで設けられており、ノズル31内に一又は複数の整流板34を取り付けることができるようになっている。図4a,bはノズル31の内部に4つの整流板挿入溝31cが上下方向に並んで設けられ、そのうちの2つの整流板挿入溝31cに2つの整流板34が取り付けられている例であるが、ノズル31の内部に設けられる整流板挿入溝31cの数は任意であり、取り付けられる整流板34の数も任意である。また、ノズル31は、図6a,bに示すように、ノズル31内の中央部にノズル31の長手方向に延びる仕切り壁31dが設けられた形状を有していてもよく、この場合には、仕切り壁31dの両側面にも整流板挿入溝31cの一部を形成することで、仕切り壁31dを挟む両位置に整流板34を取り付けることができる。図6a,bのように、ノズル31内の中央部に仕切り壁31dが設けられている場合には、ノズル31によるペーパー部材32のマスク15の下面への押し付け面積が仕切り壁31dの上面の分だけ増大するので、マスク15の下面のペーストPtの拭き取り効率を向上させることができる。基板保持ユニット12のコンベア22による基板2の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板2に対する下受け部24による下受け動作及び一対のクランプ部材25によるクランプ動作は、制御装置19が下受け部昇降シリンダ23を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構12B図2の作動制御を行うことによってなされ、基板2を保持した基板保持ユニット12の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置19が前述のユニット移動機構12Aの作動制御を行うことによってなされる。また、基板搬入コンベア11による基板2の搬入動作及び基板搬出コンベア13による基板2の搬出動作も制御装置19によってなされる。図2において、スキージヘッド16ベース部材41のY軸方向への往復移動動作は制御装置19が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構16M図2の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ44のベース部材41に対する昇降動作は、制御装置19がそのスキージ44に対応するスキージ昇降シリンダ42の作動制御を行ってスキージ保持具43を上下させることによってなされる。図2において、カメラユニット17の水平面内での移動動作は、制御装置19が前述のカメラユニット移動機構17Aの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ17aによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ17bによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置19によってなされ、下方撮像カメラ17aの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ17bの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置19に送信されて制御装置19の画像認識部19aにおいて画像認識処理される。マスククリーナ18の水平面内での移動と昇降移動は、制御装置19が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ移動機構18Aの作動制御を行うことによってなされる。また、マスククリーナ18が備えるペーパー部材32の送り動作は、制御装置19が前述の一対のローラ部材33を作動させることによってなされる。マスククリーナ18のノズル31による真空吸引動作は、制御装置19が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ作動機構18B図2の作動制御を行うことによってなされる。ノズル31による真空吸引動作が行われると、ノズル31の真空吸引口31aから吸い込まれた空気は整流板34に設けられた整流孔34aを通過してノズル31内を下方に流れるが図4b及び図6b中に示す矢印Q、このとき空気の流れ流速等は整流孔34aの大きさや隣接する整流孔34a同士のピッチ間隔等に応じたものとなる。このため、整流孔34aの大きさや隣接する整流孔34a同士のピッチ間隔が異なる複数種類の整流板34を予め用意しておき、マスク15を変えるごとに整流板34を交換するようにすれば、ノズル31内の空気の流れをマスク15の種類に応じた最適な状態にして効率のよいマスククリーニングを行うことができる。このような構成のスクリーン印刷機1が行うスクリーン印刷作業では、制御装置19は先ず、上流工程側の他の装置から基板2が送られてきたことを検知したところで基板搬入コンベア11と基板保持ユニット12のコンベア22を作動させ、スクリーン印刷機1内に基板2を搬入したうえで図7に示すステップST1。図8a、基板保持機構12Bの作動制御を行って基板2を保持する図7に示すステップST2。図8b。基板2の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ23で下受け部24を押し上げて基板2をコンベア22から浮いた状態に持ち上げる一方図8b中に示す矢印A1、一対のクランプ部材25を閉じる方向に駆動して基板2の両端を挟み込む図8b中に示す矢印B1ことによって行う。制御装置19は基板2を保持したら、カメラユニット移動機構17Aの作動制御を行い、下方撮像カメラ17aを基板2に設けられた基板側マーク2m図1の直上に位置させて下方撮像カメラ17aに基板側マーク2mの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ17bをマスク15に設けられたマスク側マーク15m図1及び図3の直下に位置させて上方撮像カメラ17bにマスク側マーク15mの撮像を行わせる。そして、得られた基板側マーク2mの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク15mの画像データからマスク15の位置を把握し、基板保持ユニット12を水平面内方向に移動させ、基板側マーク2mとマスク側マーク15mとが上下に対向するようにして、マスク15に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う図7に示すステップST3。制御装置19は、マスク15に対する基板2の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構12Aの作動制御を行って基板保持ユニット12を基台10に対して上昇させ図9a中に示す矢印C1、基板2を保持した一対のクランプ部材25がマスク15の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材25及び基板2それぞれの上面をマスク15の下面に接触させる図7に示すステップST4。図9a。これにより基板2上の電極3とマスク15のパターン孔15hとが合致した状態となる。制御装置19は基板2をマスク15に接触させたら、制御装置19に繋がるディスプレイ装置DP図2に、オペレータOPにペーストPtの供給を促すメッセージを表示する図7に示すステップST5。この表示に対してオペレータOPは、現時点でマスク15上に残っているペーストPtを目視し、そのペーストPtの量に基づいてペーストPtの供給補充を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストPtの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ図示せずにより、マスク15上にペーストPtの供給を行う。そしてオペレータOPは、ペーストPtの供給が終わり、或いはペーストPtの供給が不要と判断したときには、制御装置19に繋がる動作開始ボタンBT図2の操作を行う。制御装置19は、ディスプレイ装置DPにペーストPtの供給を促すメッセージを表示した後、動作開始ボタンBTの操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い図7に示すステップST6、動作開始ボタンBTからの信号出力に基づいて、オペレータOPによって動作開始ボタンBTの操作がなされたことを検知したときには、スキージ44によるスキージングを行ってマスク15上のペーストPtを基板2に転写させる図7に示すステップST7。このスキージングは、具体的には、スキージヘッド16から2つのスキージ44のうちの一方を下降させ、マスク15の上面に当接させた状態を維持したままベース部材41をY軸方向に移動させることによって行う図9b中に示す矢印D。これによりマスク15上でスキージ44が摺動し、マスク15上のペーストPtはスキージ44によって掻き寄せられてマスク15のパターン孔15h内に押し込まれ、基板2の電極3上に転写される。なお、制御装置19は、スキージヘッド16を前方から後方に移動させてスキージングを行うときには後側のスキージ44をマスク15上に当接させ、スキージヘッド16を後方から前方に移動させてスキージングを行うときには前側のスキージ44をマスク15上に当接させるようにする。制御装置19は、スキージングを行って基板2にペーストPtを転写させたら、ユニット移動機構12Aを作動させて基板保持ユニット12を下降させ図10a中に示す矢印C2、マスク15から基板2及び一対のクランプ部材25を離間させて版離れを行う図7に示すステップST8。図10a。これにより基板2の電極3上にペーストPtが残留し、基板2にペーストPtが印刷される。制御装置19は版離れが終わったら、基板保持ユニット12による基板2の保持を解除する図7に示すステップST9。図10b。この基板2の保持の解除は、具体的には、制御装置19が基板保持機構12Bを作動させて一対のクランプ部材25を開かせたうえで図10b中に示す矢印B2、下受け部24を下降させ図10b中に示す矢印A2、基板2の両端を一対のコンベア22上に降ろすことによって行う。制御装置19は基板2の保持を解除したら、ユニット移動機構12Aを作動させて基板保持ユニット12を水平面内で移動させ、コンベア22の向きを整えたうえでコンベア22及び基板搬出コンベア13を作動させ、基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する図7に示すステップST10。制御装置19は基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う図7に示すステップST11。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。スクリーン印刷機1は上記手順によって基板2の1枚当たりのスクリーン印刷作業を行うが、このようなスクリーン印刷作業を数枚~十数枚或いは数十枚の基板2に対して行うと、マスク15の下面に付着したペーストPtペーストPtの残り滓によって印刷状態が不良になってくるおそれがある。このため本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、定期的にマスククリーナ18を用いたマスククリーニング作業を実行する。マスククリーニング作業では、先ず、オペレータOPは、これからマスククリーニングを行おうとするマスク15の種類に応じ、ノズル31内の空気の流れが最適なものとなる整流板34を予め用意された複数種の整流板34の中から選択し、その選択した整流板34を前述の要領でノズル31に取り付ける。オペレータOPは、マスク15の種類に応じた最適の整流板34をマスククリーナ18のノズル31に取り付けたら、前述の動作開始ボタンBTの操作を行う。制御装置19は、オペレータOPにより動作開始ボタンBTが操作されたことを検知したら、クリーナ移動機構18Aの作動制御を行って、マスククリーナ18をマスク実行領域であるマスク本体15aの下方に位置させ、そこからマスククリーナ18を上昇させて図11中に示す矢印W1、マスククリーナ18のクリーニング面18aをマスク15の下面に接触させる。制御装置19は、マスククリーナ18のクリーニング面18aをマスク15の下面に接触させたら、クリーナ移動機構18Aの作動制御を行い、ノズル31に真空吸引を行わせながら、マスククリーナ18をマスク15の下面沿ってY軸方向に移動させて、マスククリーナ18のクリーニング面18aペーパー部材32により、マスク15の下面に付着しているペーストPtの残り滓を拭き取る図11中に示す矢印W2及び矢印W3。そして、マスククリーナ18のクリーニング面18aがマスク本体15aの端部に達したことを検知したら、マスククリーナ18を下降させて、クリーニング面18aをマスク15の下面から離間させる図11中に示す矢印W4。これによりマスク15の1枚当たりのマスククリーニングが終了する。制御装置19は、マスク15の1枚当たりのマスククリーニングが終了したら、一対のローラ部材33を作動させてペーパー部材32の巻き取りを行い、クリーニング面18aを更新させる。以上説明したように、本実施の形態におけるマスククリーナ18マスククリーニング装置は、真空吸引時にノズル31内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔34aを有した一又は複数の整流板34がノズル31内に着脱自在に設けられており、マスク15の種類を変えるときにはそのマスク15の種類に応じた大きさ及びピッチ間隔の整流孔34aを有した整流板34のみをノズル31に対して着脱交換すればよいので、マスク15ごとにノズル31を交換する必要がなく、安価であるとともに作業性の向上を図ることができる。また、このマスククリーナ18を備えたスクリーン印刷機1は、マスククリーニングに要する作業時間を短縮することができるので、基板2の生産効率の向上を図ることができる。"