検査時に被検査体に接触する端部を有する導電性のプランジャと、前記プランジャが摺動可能に挿入された導電性のバレル、一端側が前記プランジャに接続され且つ検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリング、前記バレルに設けられ測定機器に接続可能なバレル側電気的接続部、前記スプリングの他端側に設けられ測定機器に接続可能なスプリング側電気的接続部、前記バレルと前記スプリング側電気的接続部との間を電気絶縁する絶縁体を備えたスプリングプローブ。スプリングの一端は前記プランジャの反コンタクトヘッド側に接続され、前記絶縁体は前記スプリングを覆うように前記バレルの一端に配置され、前記スプリング側電気的接続部は前記絶縁体を貫通して設けられていることを特徴とする請求項1に記載のスプリングプローブ。スプリングは前記スプリング側電気的接続部と前記プランジャのコンタクトヘッドの間に位置しており、前記プランジャが貫通するよう配置され、前記スプリング側電気的接続部は前記絶縁体と前記スプリングの間に位置し、前記絶縁体は前記バレルと前記スプリング側電気的接続部の間に位置していることを特徴とする請求項1に記載のスプリングプローブ。絶縁体及び前記バレルが挿入されるソケットを更に備え、前記ソケットは前記バレルと電気的に接続されるソケットバレル端子と、前記スプリング側電気的接続部と電気的に接続されるソケットスプリング側電気的接続部と、前記ソケットバレル端子と前記ソケットスプリング側電気的接続部を電気的に絶縁させるソケット絶縁体とを備えたことを特徴とする請求項2に記載のスプリングプローブ。スプリング側電気的接続部及び前記絶縁体は、前記プランジャが貫通する貫通孔が形成された円盤形状であることを特徴とする請求項3に記載のスプリングプローブ。スプリング側電気的接続部は、貫通孔に対して切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求項5に記載のスプリングプローブ。検査時に被検査体に当接するプランジャが摺動可能に挿入されたバレルを測定機器に接続可能なバレル側電気的接続部及び検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリングを測定機器に接続可能なスプリング側電気的接続部を有するスプリングプローブの前記バレル側電気的接続部に接続され、前記バレルと前記プランジャの摺動接点に流れる電流を測定する電流測定器、前記スプリングプローブのバレル側電気的接続部と前記スプリング側電気的接続部に接続され、前記バレルと前記プランジャの摺動接点の電圧降下を測定する電圧測定器、前記電流測定器及び前記電圧測定器からの信号に基づき検出された前記バレルと前記プランジャの摺動接点の接触抵抗値と、前記バレルと前記プランジャの摺動接点の基準抵抗値とを比較し、その比較差が設定した値に達すれば摩耗検出信号を出力する制御計算機を備えたスプリングプローブの摩耗検出装置。請求項1乃至6のいずれか一項に記載のスプリングプローブを用いたことを特徴とする請求項7に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。スプリングプローブのバレルがスルーホールに挿入されて実装される基板と、前記スプリングプローブを前記基板に固定するナットを更に備え、前記基板には、前記スプリング側電気的接続部と前記電圧測定器とを電気的に接続するスプリング用配線接続部と、前記バレル側電気的接続部と前記電流測定器とを電気的に接続するバレル用配線接続部が設けられていることを特徴とする請求項7または8に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。表示器が内蔵され、前記ナットを覆うように前記基板に固定されたキャップと、前記計算制御装置からの制御により前記表示器を点灯するための信号を発信する信号出力器を更に備え、前記基板には、前記表示器と前記信号出力器とを電気的に接続する表示用配線接続部が設けられていることを特徴とする請求項9に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。表示器はLEDであることを特徴とする請求項10に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。プランジャと、前記プランジャが摺動可能に挿入されたバレルとの摺動接点を流れる電流を測定し、前記プランジャと前記バレルの摺動接点の電圧降下を測定し、前記両測定の結果からスプリングプローブのプランジャとバレルの摺動接点の接触抵抗値を算出し、前記プランジャと前記バレル間の摺動接点の基準抵抗値と算出された前記接触抵抗値とを比較して前記プランジャと前記バレルとの摺動接点の摩耗を検出することを特徴とするスプリングプローブの摩耗検出方法。検出された前記プランジャと前記バレルの摺動接点の摩耗が所定値になれば、表示器を表示させることを特徴とする請求項12に記載のスプリングプローブの摩耗検出方法。従来のスプリングプローブの摩耗監視方法においては、繰り返し測定のために追加の時間を必要とし、タクトタイムに制約のある検査工程に対しての適用は困難である。また、スプリングプローブのプランジャと被検査体との間の接点における摩耗を監視する方法であるため、プランジャとバレルとの摺動接点の摩耗による劣化を検出することはできない。特に、プランジャのみを交換することが可能な外ばね式のスプリングプローブにおいては、バレルを含めた交換が必要となる時期を知るためプランジャとバレルの間の摺動接点における摩耗を検出することが必要となる。この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、スプリングプローブのプランジャとバレルの間の摺動接点における摩耗による電気抵抗の変化を、検査工程において追加の時間を必要とすることなく測定し、スプリングプローブの交換が必要となる時期を検出するに適したスプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法を得るものである。この発明に係わるスプリングプローブにおいては、検査時に被検査体に接触する端部を有する導電性のプランジャが摺動可能に挿入された導電性のバレルに測定機器が接続可能なバレル側電気的接続部を設けるとともに、一端側がプランジャに接続され且つ検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリングの他端側に測定機器が接続可能なスプリング側電気的接続部を設けたものである。この発明に係わるスプリングプローブの摩耗検出装置及び摩耗検出方法においては、プランジャと、プランジャが摺動可能に挿入されたバレルとの摺動接点を流れる電流を測定すると共に、プランジャとバレルの摺動接点の電圧降下を測定し、両測定の結果からスプリングプローブのプランジャとバレルの摺動接点の接触抵抗値を算出し、且つプランジャとバレル間の摺動接点の基準抵抗値と算出された接触抵抗値とを比較してプランジャとバレルとの摺動接点の摩耗を検出するものである。この発明は、バレルとスプリングに測定機器が接続可能な電気的接続部を夫々設けることにより、被検査体製品の検査と同時にスプリングプローブのプランジャとバレル間の摺動接点における摩耗を検出することができ、タクトタイムに制約のある検査工程に対して適用できる。また、この発明は、バレルとスプリングに設けられた電気的接続部に測定機器を接続して、バレルとプランジャの摺動接点の接触抵抗を検出することで摺動接点における摩耗を検出することができ、スプリングプローブの交換が必要となる時期が明確となることから、スプリングプローブの設置方法を見直し改善して交換周期を長くすることや、適切な交換周期を知り交換費用を低減することが可能となる。実施の形態1図1は、この発明を実施するための実施の形態1における外ばね式のスプリングプローブの摩耗検出装置の構成ブロック図を示すものである。また、図2は、図1のスプリングプローブの摩耗検出装置におけるスプリングプローブのみを分解して示した断面図である。以下、これらの図に基づき説明する。図1、図2において、スプリングプローブ26は被検査体25と直接接触して検査を行うものであり、導電体であるコンタクトヘッド10を先端部に有し、例えばベリリウム銅で構成される導電性のプランジャ11と、このプランジャ11が摺動可能に挿入され、プランジャ11に有するプランジャ側摺動接点14と接触して摺動するバレル側摺動接点23を有する、例えばベリリウム銅でなる導電性の筒状のバレル13と、プランジャ11と電気的に接続され、バレル13とは電気的に絶縁されており、導電性、例えばピアノ線炭素鋼からなるスプリング12と、このスプリング12とバレル13の間に位置しており、スプリング12とバレル13を電気的に絶縁する絶縁物からなる絶縁体15、スプリング12と電気的に接続され導電性、例えばベリリウム銅であるスプリング端子スプリング側電気的接続部16から構成されている。図3はスプリング端子16及び絶縁体15を図の上方向から見た断面図図2のA―A断面であり、図5は、バレル13を図の上方向から見た断面図図2のB―B断面である。また、27はバレル13に設けられ、スプリング端子16とは電気的に絶縁されているバレル端子バレル側電気的接続部である。また、図4における28はスプリング端子16及び絶縁体15の中心部をプランジャ11が貫通するための貫通孔、29はスプリング端子16及び絶縁体15に設けられた貫通孔28から外側に向かう切り欠きである。図1において、24はプランジャ11の抜け落ち防止用であり、バレル13の内部で最も細い部分であるバレル入口の細径部、31はスプリングプローブを挿入して固定するバレル支持基板、32はスプリングプローブ26のバレル13をバレル支持基板31に挿入するためのバレル挿入用スルーホールリング状の導電体がバレル支持基板31に埋め込まれている構造、33はバレル支持基板31の表面に設けられ、スプリングプローブ26のスプリング端子16と当接して電気的に接続され、スプリング端子16からの電流が流れるスプリング電圧測定パターンスプリング用配線接続部、34はバレル支持基板31の表面に設けられ、表示器であるランプを点灯させるために送られてきたランプ点灯信号を出力するランプ制御信号パターン表示用配線接続部、35はバレル支持基板31の表面に設けられ、ランプを点灯させるための回路の接地側電極であるランプ制御信号GNDパターン表示用配線接続部、41はスプリングプローブ26のバレル13をバレル支持基板31に接続固定するためのナット、42はスプリングプローブ26の劣化によって交換が必要なときに点灯する表示器としてのLEDランプ、43はランプ42を制御する信号が流れるランプ制御信号配線、44はランプ42を制御する信号が流れるランプ制御信号GND配線、45はバレル支持基板31にランプ42を接続固定するためのランプ付きキャップ、46はナット41とランプ付きキャップ45の間の空間であるナット設置口である。ここでのパターンとは、バレル支持基板31に直接埋め込まれているもので、導電性のものである。ここで、ランプ付きキャップ45は、ナット41がスプリングプローブ26のバレル13と接続されたと同時に、ナット41の締め付けによってバレル支持基板31に固定されるナット41とランプ付きキャップ45は予め固定されている構造。図6はスプリングプローブをバレル支持基板31に接続固定したときのランプ付きキャップ45の下部を図の上方向から見た断面図図1のC―C断面であり、図7はスプリングプローブ26をバレル支持基板31に接続固定したときのランプ付きキャップ45の上部を上方向から見た上面図図1のD―D面である。本実施の形態においては、上記のようなLEDを備えたランプ付きキャップ45が接続されているが、このランプ付きキャップ45が接続されていない場合においても、スプリングプローブの摺動接触部の接触抵抗は求めることができるので、必ずしもランプ付きキャップ45を取り付ける必要はない。また、ここではランプの素子としてLEDを用いているが、使用するランプの種類としては他のものでもよい。図1において、52はスプリングプローブ26に信号を供給するための信号発生器、53はスプリングプローブ26に印加される電流の値を計測するための電流測定器、54はスプリングプローブ26の摺動抵抗の電圧降下を測定するための電圧測定器、55は制御計算機51から出力された信号により、ランプ42を点灯させる信号を出力するディジタル信号出力器、56はディジタル信号出力器55の負荷抵抗器、51は測定されたスプリングプローブの摺動抵抗が変化しているかどうかを判断して摩耗を検出し、ランプを点灯させるディジタル信号を制御している制御計算機である。構成としては、バレル支持基板31のバレル挿入用スルーホール32にスプリングプローブ26のバレル13を挿入し、バレル13をナット41で締め付けて固定させる。さらに、バレル支持基板31に締結したナット41の上側を覆うようにランプ付きキャップ45を接続固定する。バレル挿入用スルーホール32の下部は、バレル端子27を電流測定器53に電気的に接続するためのバレル用配線接続部となっている。制御計算機51は電圧測定器54及び信号発生器52及びディジタル信号出力器55と接続されている。電圧測定器54は、スプリング電圧測定パターン及びバレル挿入用スルーホール32と接続されており、信号発生器52は電流測定器53と接続され、電流測定器53はバレル挿入用スルーホール32と接続されており、ディジタル信号出力器55は負荷抵抗器56及びランプ制御信号GNDパターンに接続され、負荷抵抗器56はランプ制御信号パターンと接続されている。スプリングプローブ26を用いて被検査体25の検査を実施する検査を行う場合には、スプリングプローブ側の基板自体が動き、被検査体25は固定されていることが多い。しかし、スプリングプローブ26側の基板自体が固定され、被検査体25が動く場合の検査も可能である。スプリングプローブ26を用いた被検査体25を検査するときは、信号発生器52から信号が出力され、これがスプリングプローブ26のバレル13に入力される。信号によって流れる電流はスプリングプローブ26のバレル13を伝わり、内部のプランジャ11、コンタクトヘッド10を通過して、被検査体25へと流れている。被検査体25に電流が流れることにより、被検査体25の検査が可能になる。次に、摺動接点抵抗の摩耗検出の動作について説明する。まず、信号発生器52から信号がスプリングプローブ26のバレル13と接続するバレル挿入用スルーホール32に印加される。被検査体25の検査時には、制御計算機51の制御により信号発生器52から信号によって流れる電流Imを発生し、被検査体25に印加する。スプリングプローブ26のバレル13に印加された電流Imは、プランジャ側摺動接点14とバレル側摺動接点23間の摺動接点、プランジャ11、コンタクトヘッド10と被検査体25間の接触接点を通過する。プランジャ側摺動接点14とバレル側摺動接点23間の摺動接点において、摺動部の摩耗により電気抵抗Rsが大きくなった場合は、摺動部抵抗の電圧降下はVs=Rs×Imであるので、プランジャ11とバレル13の間の電位差Vsが大きくなる。この電位差Vsは、バレル13及びプランジャ11からスプリング12と電気的に接続されているスプリング端子16を介して電圧測定器54に入力しており、制御計算機51の制御によって電圧測定器54で測定することができる。スプリング12に流れこむ電流によってスプリング12の電気抵抗による電圧降下が生じ、測定誤差が発生するため、電圧測定器54は入力インピーダンスが十分大きい例えば10MΩものを使用し、スプリング12に流れる電流を微小に抑えることで、その影響を防ぐ。印加信号経路に信号発生器52から出力された信号によって流れる電流Im検査のためスプリング端子に流れる電流は電流測定器53により測定することができる。電圧測定器54及び電流測定器53での測定結果Vs及びImを制御計算機51に入力した後、プランジャ側摺動接点04-バレル側摺動接点12間の摺動接点抵抗RsはRs=Vs/Imを計算することで求められる。摺動接点抵抗Rsの計算結果を予め計算機52の不揮発メモリに記録した判定値と比較することで、プランジャ側摺動接点04及びバレル側摺動接点12の摩耗の有無を判定することができる。判定値としては検査をする上でスプリングプローブの摺動接点に許される最大限の抵抗値よりも小さい値を設定する。以上説明したように、本発明のスプリングプローブの摩耗検出装置は、被検査体25の検査と同時にスプリングプローブ26のプランジャ11とバレル13間の摺動接点における摩耗を検出することができるので、タクトタイムに制約のある検査工程に対しても適用できる。また、スプリングプローブ26の交換が必要となる時期が明確となることから、スプリングプローブ26の設置方法を見直し改善して交換周期を長くすることや、適切な交換周期を知り交換費用を低減することが可能となる。なお、上記では外ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置について説明したが、次にこのスプリングプローブの摩耗検出装置おけるスプリングプローブの実施の形態について説明する。図2はそのような実施の形態を示す断面図である。なお、相当部分には図1と同一符号を付してその説明を省略する。図2において、スプリング12はバレル13の外側でコンタクトヘッド10とスプリング端子16の間に位置しており、コンタクトヘッド10、スプリング端子16、プランジャ11と電気的に接続されている。このような構成のスプリングプローブを、外ばね式スプリングプローブとする。バレル13内側においてプランジャ側摺動接点14とバレル側摺動接点23で摺動接点部を形成する。被検査体25がコンタクトヘッド10に接したときに、被検査体25とバレル13間はプランジャ11と摺動接点部を通して電気的に接続される。また、被検査体25とスプリング端子16はプランジャ11とスプリング12を通して電気的に接続される。以上説明したように、このスプリングプローブは、測定するための端子部分を設けることにより、被検査体25の検査と同時にスプリングプローブの摺動抵抗を測定することができる。外ばね式スプリングプローブは、端子台等の大型で耐久性が求められる用途に適している。また、外ばね式スプリングプローブはバレル13、スプリング12、プランジャ11、スプリング端子16、コンタクトヘッド10を一体として交換する必要はなく、交換費用を低減するためにプランジャ11のみの交換が可能となっている。なお、上記ではスプリング端子16の形状について特定していないが、スプリング端子16の形状を特定する場合の実施の形態を説明する。図3はそのような実施の形態を示す断面図図2のA―A断面である。図3においてスプリング端子16はプランジャ11が貫通する貫通孔28が形成された円盤状の構成になっている。また、絶縁体15においても、スプリング端子16と同様にプランジャ11が貫通する貫通孔28が形成されていた円盤状の構成になっている。プランジャ11は、被検査体25に接触するとスプリング端子16の中央部の貫通孔28を通って上下に移動する。そのとき、スプリング12はコンタクトヘッド10が被検査体25によって押し上げられ、スプリング端子16と接触し、電流が流れる。また、絶縁体15がスプリング端子とバレル13の間に位置しているので、電気的に絶縁されるため、バレル13にはスプリングからの電流は流れない。以上説明したように、このスプリングプローブは、測定するための端子部分を2つにすることにより、被検査体25の検査と同時にスプリングプローブの摺動抵抗を測定することができる。なお、上記ではスプリング端子の形状が円盤状になっていたが、スプリング端子の一部が切り欠き状になっている場合の実施の形態を説明する。図4はそのような実施の形態を示す断面図である。図4において、スプリング端子22はプランジャ11が貫通する貫通孔28が形成された円盤状のであり、その一部分に切り欠きがある構成になっている。また、絶縁体15の構成も、スプリング端子22と同様にプランジャ11が貫通する貫通孔28が形成された円盤状のであり、その一部分に切り欠きがある構成になっている。プランジャ11は、被検査体25に接触するとスプリング端子16の中央部を通って上下に移動する。そのとき、スプリング12はコンタクトヘッド10が被検査体25によって押し上げられ、スプリング端子22の残っている部分と接触し、電流が流れる。また、絶縁体15がスプリング端子22とバレル13の間に位置しているので、電気的に絶縁されるため、バレル13にはスプリング12からの電流は流れない。以上説明したように、本実施の形態によるスプリングプローブは、測定するための端子部分を2つにすることにより、被検査体25の検査と同時にスプリングプローブの摺動抵抗を測定することができる。また、スプリング端子16及び絶縁体15の構成で切り欠きをつけた場合には、被検査体のみを検査し、摺動接点の摩擦抵抗を測定できないような既存のスプリングプローブ本発明のスプリングプローブ26において、スプリング端子16及び絶縁体15がない場合の構造の設備にも、後付けでスプリング端子を設置することができる。このことにより、新規のスプリングプローブのみならず、既存のスプリングプローブにも本発明の効果を適用することができ、また、既存の設備をそのまま利用するので、初期投資を削減することができる。実施の形態2上記実施の形態1では外ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置について説明したが、次に、内ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置の場合の実施の形態を説明する。図8は、内ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置の実施の形態を示す構成ブロック図である。また、図9は、図8のスプリングプローブの摩耗検査装置におけるスプリングプローブのみを示した断面図である。図8において、相当部分には図1、図2と同一符号を付してその説明を省略する。構成としては、バレル支持基板31にスプリングプローブ26のバレル13を挿入し、バレル13をナット41で締め付けて固定させる。さらに、バレル支持基板31に締結したナット41の上側を覆うようにランプ付きキャップ45を装着する。制御計算機51は電圧測定器54及び信号発生器52及びディジタル信号出力器55と接続されている。電圧測定器54は、スプリング電圧測定パターン33及びバレル挿入用スルーホール32と接続されており、信号発生器52は電流測定器53と接続され、電流測定器53はバレル挿入用スルーホール32と接続されており、ディジタル信号出力器55は負荷抵抗器56及びランプ制御信号GNDパターン35に接続され、負荷抵抗器56はランプ制御信号パターンと接続されている。バレル挿入用スルーホール32の下部は、バレル13を電流測定器53に電気的に接続するためのバレル用配線接続部となっている。次に、動作について説明する。まず、信号発生器52から信号がスプリングプローブ26のバレル13と接続するバレル挿入用スルーホール32に印加される。被検査体25の検査時には、制御計算機51の制御により信号発生器52から信号によって流れる電流Imを発生し、被検査体25に印加する。スプリングプローブ26のバレル13に印加された電流Imは、プランジャ側摺動接点14とバレル側摺動接点23間の摺動接点、プランジャ11、コンタクトヘッド10と被検査体25間の接触接点を通過する。プランジャ側摺動接点14とバレル側摺動接点23間の摺動接点において、摺動部の摩耗により電気抵抗Rsが大きくなった場合は、摺動部抵抗の電圧降下はVs=Rs×Imであるので、プランジャ11とバレル13の間の電位差Vsが大きくなる。この電位差Vsは、バレル13及びプランジャ11からスプリング12と電気的に接続されているスプリング端子16を介して電圧測定器54に入力しており、制御計算機51の制御によって電圧測定器54から測定することができる。スプリング12に流れこむ電流によってスプリング12の電気抵抗による電圧降下が生じ、測定誤差が発生するため、電圧測定器54は入力インピーダンスが十分大きい例えば10MΩものを使用し、スプリング12に流れる電流を微小に抑えることで、その影響を防ぐ。印加信号経路に流れる電流Imは電流測定器53により測定することができる。電圧測定器54及び電流測定器53での測定結果Vs及びImが制御計算機51に入力された後、プランジャ側摺動接点14-バレル側摺動接点23間の摺動接点抵抗RsはRs=Vs/Imを計算することで求められる。摺動接点抵抗Rsの計算結果を予め制御計算機51の不揮発メモリに記録した判定値と比較することで、プランジャ側摺動接点14及びバレル側摺動接点23の摩耗の有無を判定することができる。判定値としては検査をする上でスプリングプローブの摺動接点に許される最大限の抵抗値よりも小さい値を設定する。以上説明したように、本発明のスプリングプローブの摩耗検出装置は、被検査体25の検査と同時にスプリングプローブ26のプランジャ11とバレル13間の摺動接点における摩耗を検出することができるので、タクトタイムに制約のある検査工程に対しても適用できる。また、同方法によりスプリングプローブ26の交換が必要となる時期が明確となることから、スプリングプローブ26の設置方法を見直し改善して交換周期を長くすることや、適切な交換周期を知り交換費用を低減することが可能となる。なお、上記は内ばね式スプリングプローブの摩耗検出装置について説明したが、次に、このスプリングプローブの摩耗検出装置に使用されるスプリングプローブについて説明する。図9はそのような実施の形態を示す断面図である。図9に示すように、絶縁体15は筒状のものであって、バレル13に螺合にて結合されており、上端部にはスプリング端子16が貫通して設けられている。スプリング12は、絶縁体15内に配置され、プランジャ11には巻かれておらず、その一端がプランジャ11の一端と接続されている。また、スプリング端子16の一端とスプリング12の他端が接続されている。スプリング12は絶縁体15及びバレル13の内部に位置している。このような構成のスプリングプローブを、例えば内ばね式スプリングプローブとする。バレル13内側においてプランジャ側摺動接点14とバレル側摺動接点23で摺動接点部を形成する。被検査体25がコンタクトヘッド10に接したときに、被検査体とバレル13間はプランジャ11と摺動接点部を通して電気的に接続される。また、被検査体とスプリング端子16はプランジャ11とスプリング12を通して電気的に接続される。以上説明したように、このスプリングプローブは、測定するための端子部分を2つにすることにより、被検査体25の検査と同時にスプリングプローブの摺動抵抗を測定することができる。また、内ばね式スプリングプローブは、電子回路基板の検査等の小さく精密な接触を要する用途に適している。なお、上記では、スプリングプローブ26をバレル支持基板31に挿入し使用する構造について述べたが、バレル支持基板31を使用しないでスプリングプローブ26を使用する場合について下記に述べる。そこで、スプリングプローブ26にソケットを接続する場合の実施の形態を説明する。図10はそのような実施の形態を示すソケットの断面図である。図10において、18は図9に示されるスプリングプローブを挿入して使用するためのソケット、19はソケットに設けられスプリングプローブのバレル13を他と電気的接続することができるソケットバレル端子、20はスプリングプローブの絶縁体15と螺合にて結合し、バレル13とスプリング12を電気的に絶縁するためのソケット絶縁体、21はスプリングプローブのスプリング12とスプリング端子16を通して電気的に接続されるソケットスプリング端子である。スプリングプローブ26をソケット18に挿入装着した状態では、スプリング12はソケット内に位置している。被検査体25がコンタクトヘッド10に接したときに、被検査体25とソケットバレル端子19はプランジャ11、摺動接点部14、23、バレル13、ソケット18を通して電気的に接続される。また、被検査体25とソケットスプリング端子21はプランジャ11、スプリング12、スプリング端子16を通して電気的に接続される。また、このソケット18はスプリングプローブを単体で使用するときに主に用いるものであり、前述のスプリングプローブの摩耗検出装置において、スプリングプローブのバレルと接続する基板を使用する場合においては、このソケット18を使用する必要はない。ソケットバレル端子19は、図8に示すスプリングプローブの摩耗検出装置において、電流測定器53及び電圧測定器54に接続され、ソケットスプリング端子21は電圧測定器54に接続される。以上説明したように、本実施の形態によるスプリングプローブは、測定するための端子部分を設けることにより、被検査体25の検査と同時にスプリングプローブの摺動抵抗を測定することができる。また、ソケットを使用するため、スプリングプローブの交換はソケットから抜き差しするのみであり、容易にスプリングプローブの交換をすることができる。実施の形態3次に、この発明の実施の形態3について説明する。図11はこの発明の実施の形態3におけるスプリングプローブの摩耗検出方法の手順を示すフローチャートであり、スプリングプローブ26を用いて被検査体25の検査を行うと同時に、スプリングプローブ26の摺動接点抵抗の摩耗を検出する方法を示している。図1、図8に示す実施の形態1、実施の形態2を参照して説明する。図11において、スプリングプローブを用いた被検査体の検査を開始とする。ステップ111図11において、まず、被検査体25はスプリングプローブのコンタクトヘッド10に接触する。ステップ112制御計算機51はコンタクトヘッド10に被検査体25が接触したことを感知してから、信号発生器52に対して、印加信号を出力するように制御指令を出力する。ステップ113その状態で摺動接点14、23の電気抵抗の判定を、検査のため設置している各スプリングプローブに対して行う。ステップ114ここからスプリングプローブの摺動接点抵抗の判定を開始する。ステップ119信号発生器52から発生した印加信号の電流Imについて、制御計算機51は電流測定器53から印加信号の電流Imの測定値を取得し制御計算機51のメモリ上の変数Aに格納する。ステップ120また、制御計算機51は電圧測定器54からスプリングプローブの摺動部抵抗の電圧降下Vsの測定値を取得し制御計算機51のメモリ上の変数Bに格納する。ステップ121制御計算機51は、メモリ上の変数AおよびBに格納した電流及び電圧の各測定値から、摺動接点の抵抗値RをR=B/Aとして計算する。ステップ122その後、制御計算機51に内蔵されている不揮発性メモリから摺動接点の抵抗値の判定値Tを読み込みステップ123、R<Tであるか判定する。ステップ124判定値Tは、スプリングプローブを用いた検査に影響がなく許容でき得る範囲の摺動接点の電気抵抗値を予め設定しておくものである。例えば、被検査体25のスプリングプローブ26と接する点からGNDまでの間の抵抗値をRwとして、被検査体25の検査のため定電圧Vaを信号発生器52からバレル13に印加した場合において、披検査体25へ印加される電圧Viにおいて、Vi=Va1-Pvと定義する誤差Pvが許容できる場合、信号発生器52からスプリングプローブ26の間の配線抵抗をR1、披検査体25とスプリングプローブ26の接触抵抗をRcとして、判定値TはTRw-R1Rcの範囲で設定する。摺動接点抵抗の判定時に制御計算機51よりディジタル信号出力器55を制御して、R<Tとならないスプリングプローブのランプ42を点灯ステップ126、R<Tとなるスプリングプローブのランプ42を消灯しステップ125、摺動接点抵抗に異常があり、交換が必要と想定されるスプリングプローブの設置箇所を、各スプリングプローブのランプ42の点灯状態によって表示する。ここで、摺動接点抵抗の判定を終了する。ステップ127判定値Tによる判定の結果、全てのスプリングプローブについてR<Tとなれば、ステップ115、被検査体25の検査を実施する。ステップ117また、判定値Tによる判定の結果、一つでもR<Tとならないスプリングプローブがあれば、全てのスプリングプローブについて判定を終えた後にスプリングプローブを用いた被検査体25の検査を中断する。ステップ116これで、スプリングプローブ26を用いた被検査体25の検査を終了とする。ステップ118以上説明したように、本発明のスプリングプローブの摩耗検出方法は、被検査体25の検査と同時にスプリングプローブ26のプランジャ11とバレル13間の摺動接点における摩耗を検出することができるので、タクトタイムに制約のある検査工程に対しても適用できる。また、同方法によりスプリングプローブ26の交換が必要となる時期が明確となることから、スプリングプローブ26の設置方法を見直し改善して交換周期を長くすることや、適切な交換周期を知り交換費用を低減することが可能となる。