"試料46を検査するための共焦点レーザー走査顕微鏡20において、照明光線24を発生させる光源22と、前記照明光線24が試料46を光学式に走査するように該照明光線24を転向させるスキャンユニット38と、前記照明光線24を試料46から出る検出光48から切り離すメインビームスプリッター34と、前記照明光線24から切り離された前記検出光48を少なくとも部分的に透過させる検出用ピンホールアパーチャー50と、前記検出用ピンホールアパーチャー50を透過した前記検出光48を検出する少なくとも2つの検出ユニット102,104,106と、放射方向において前記検出用ピンホールアパーチャー50と前記検出ユニット102,104,106との間に配置され、前記検出光48を少なくとも2つの光束70,72,74に分断して前記光束70,72,74内部でスペクトル分割する光学要素62と、を備えた共焦点レーザー走査顕微鏡。前記光学要素62が少なくとも2つの異なる表面を有し、これらの表面からそれぞれ前記光束70,72,74の1つが放出される、請求項1に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。前記光学要素62がプリズム機構64,66,68を含んでいる、請求項1または2に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。前記光束70,72,74の少なくとも1つの波長範囲80,82,84が、検出前にスペクトル境界付け要素によりスペクトル境界付けされる、請求項1から3までのいずれか一つに記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。前記スペクトル境界付け要素が絞り86,88,90および/または光誘導ファイバー110,112,114を含んでいる、請求項4に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。前記検出光の、スペクトル境界付けされた前記波長範囲80,82,84に相当する部分92,94,96が、その波長に関し可変である、請求項4または5に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。前記スペクトル境界付け要素が変位可能に配置されることで、前記部分92,94,96がその波長に関し可変である、請求項6に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。前記光束70,72,74を前記スペクトル境界付け要素へ誘導し、前記スペクトル境界付けされた検出光の前記部分92,94,96の波長を変化させるために変位可能および/または回転可能に配置される少なくとも1つの検出ミラー120,122,124が設けられている、請求項6または7に記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。前記部分92,94,96の波長を変化させるため、前記光学要素62が回転可能および/または変位可能に配置されている、請求項6から8までのいずれか一つに記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。前記光学要素62が前記検出光48を少なくとも3つまたはそれ以上の光束70,72,74に分断し、該光束70,72,74内部でスペクトル分割させる、請求項1から9までのいずれか一つに記載の共焦点レーザー走査顕微鏡20。試料46の検査方法において、照明光線24を発生させ、該照明光線24を、試料46を光学式に走査するように転向させ、前記照明光線24を、試料46から出る検出光48から切り離し、前記検出光48の横断面を検出用ピンホールアパーチャー50により境界付けし、境界付けした前記検出光48を検出ユニット102,104,106により検出し、前記検出用ピンホールアパーチャー50と前記検出ユニット102,104,106との間で前記検出光48を少なくとも2つの光束70,72,74に分断し、該光束70,72,74内部でスペクトル分割する、ようにした方法。本発明の課題は、共焦点レーザー走査顕微鏡および試料の検査方法において、検出光の異なるスペクトル範囲を簡単に検査できるようにすることである。この課題は、独立請求項に記載の構成によって解決される。有利な構成は従属項に記載されている。本発明は、第1の特徴によれば、試料を検査するための共焦点レーザー走査顕微鏡に関わる。本発明によるレーザー走査顕微鏡は、照明光線を発生させる光源を有している。スキャンユニットは、照明光線を、試料を光学式に走査するように転向させる。メインビームスプリッターは、照明光線を、試料から出る検出光から切り離す。照明光から切り離された検出光は、検出用ピンホールアパーチャーを透過する。検出装置は、検出用ピンホールアパーチャーを透過した検出光を検出する。本発明は、放射方向において検出用ピンホールアパーチャーと検出ユニットとの間に光学要素が配置され、該光学要素が、検出光を少なくとも2つの光束に分断して該光束内部でスペクトル分割することを特徴としている。光学要素を検出光線方向において検出用ピンホールアパーチャーの後方に配置することにより、検出光の2つまたはそれ以上の波長範囲を2つまたはそれ以上の光束の形態で検出することが可能になる。これにより、検出すべき波長範囲を特に精密に互いに分離させ、特定および/または検出することが可能になる。この場合、光束の波長は、よって検出光の検出すべきスペクトル範囲は自由に選定でき、および/または、自動的に選定できる。他の利点は、レーザー走査顕微鏡の特に堅固な構成が可能になること、透過率が優れていることである。また、このように構成されたレーサー走査顕微鏡はFLIM、FCS、FRETでの使用にも適している。1実施態様では、前記光学要素は少なくとも2つの異なる表面を有し、これらの表面からそれぞれ前記光束の1つが放出される。これにより、検出光を異なる光束に分割することが容易になる。これに関連して、前記表面が異なっているということは、これら表面がたとえばエッジまたは屈曲部によって互いに分離されているということを意味している。有利な実施態様によれば、前記光学要素はプリズム機構を含んでいる。プリズム機構は2つ、3つ、またはそれ以上の異なるプリズムを有していてよい。たとえば、プリズム機構は各光束に対し1つのプリズムを有していてよい。他の構成によれば、すでに光束に分解された検出光をスペクトル境界付けするため、個々の光束の波長範囲が境界付けされる。これは、好ましくは、たとえば絞りおよび/または光誘導ファイバーを含んでいるスペクトル境界付け要素を用いて行なわれる。これに関連して、1つの光束の、スペクトル境界付けされた前記波長範囲に相当する部分が、その波長に関し可変であれば特に有利である。換言すれば、光束の内部で検出光のより小さな部分を可変に選定してこれを目的に応じて検出することが可能になる。前記部分をその波長に関して可変性にすることは、たとえばスペクトル境界付け要素を変位可能にすること、可動ミラーを設けること、および/または、前記光学要素を回転または変位させることによって確保されている。本発明は、第2の特徴によれば、試料の検査方法に関わり、すなわち照明光線を発生させ、該照明光線を、試料を光学式に走査するように転向させるようにした試料の検査方法に関わる。前記照明光線を、試料から出る検出光から切り離す。前記検出光の横断面を検出用ピンホールアパーチャーにより境界付けする。境界付けした前記検出光を検出ユニットにより検出する。前記検出用ピンホールアパーチャーと前記検出ユニットとの間で前記検出光を少なくとも2つの光束に分断し、該光束内部でスペクトル分割する。図面において、同一の構成および機能の構成要素は同一の参照符号で表わしている。図1は共焦点レーザー走査顕微鏡20を示している。レーザー走査顕微鏡20は光源22を有し、該光源は照明光線24を発生させる。光源22は少なくとも1つのレーザーを有し、該レーザーが発生させる光は特定の波長、小さな波長範囲または大きな波長範囲を有している。たとえば光源22は、白色光とも呼ばれる広帯域のレーザー光を発生させる白色光レーザーを含んでいてよい。これとは択一的に、2つまたはそれ以上のレーザーが設けられていてもよい。レーザー走査顕微鏡20は蛍光顕微鏡の分野で多くの適用例に適しており、特に蛍光光線を検出するのに適している。とりわけレーザー走査顕微鏡20が適しているのは、異なる蛍光マーカーの蛍光光線を別々に検出することである。さらに、レーザー走査顕微鏡20は前記FLIM,FCS,FRETを実施するために適している。照明光線24はレーザー光線源22から出て、転向ミラー26とフィルタ28とを介して第1のレンズ30へ誘導される。照明光線24は第1のレンズ30を通過した後、照明用ピンホールアパーチャー32を通過し、メインビームスプリッター34に当たる。メインビームスプリッター34は照明光線24を第2のレンズ36を介してスキャンユニット38へ誘導する。スキャンユニット38は好ましくは1つまたは複数のミラーを有しており、該ミラーは、制御信号に反応して移動方向40に位置調整可能であるように位置調整要素と連結されている。スキャンユニット38は照明光線24を、対物レンズを形成している第3のレンズ42および第4のレンズ44を介して試料46へ誘導する。試料は、照明光線24がスキャンユニット38によって転向されることにより、照明光線24を用いて光学式に走査される。試料46から出る検出光48は、第3および第4のレンズ42,44を介してスキャンユニット38に達し、そして第2のレンズ36を通ってメインビームスプリッター34に達する。メインビームスプリッター34は検出光48を検出用ピンホールアパーチャー50を介して検出装置60へ供給する。検出光48は好ましくは蛍光光線である。これとは択一的に、検出光48は、試料46から反射した光をも含んでいてよく、或いは、透過照明のケースでは透過光をも含んでいてよい。検出光48はスキャンユニット38の位置に依存して検出され、その結果検出を行なっているどの時点でも、試料46のどの領域から検出光48が出ているのかがわかり、試料46の像の作成を可能にする。図2は検出装置60の第1実施形態を示す。検出装置60は光学要素62を含み、該光学要素は好ましくはプリズム機構として構成されている。光学要素62は第1のプリズム64と、第2のプリズム66と、第3のプリズム68とを含んでいる。光学要素62は検出光48を複数の光束70,72,74に分割する。特に、第1の光束70は第1のプリズム64の第1の表面71から出る。第2の光束72は第2のプリズム66の第2の表面73から出る。第3の光束74は第3のプリズム68の第3の表面75から出る。第1の光束70は第1の波長範囲80の波長を備えた光を含み、第2の光束72の検出光48は第2の波長範囲82の検出光48を含み、第3の光束74の検出光48は第3の波長範囲84の検出光48を含んでいる。光学要素62は、たとえば米国特許第4084180A1明細書に示されたプリズム機構に従って構成されていてよい。調整絞り86により第1の光束70から第1のスペクトル部分92が切り取られる。第2の調整絞り88により第2の光束72から検出光48の第2のスペクトル部分94が切り取られる。第3の調整絞り90により第3の光束74から検出光48の第3のスペクトル部分96が切り取られる。スペクトル部分92,94,96は対応する光束70,72,74の帯域幅部分とも呼ばれる。従ってスペクトル部分92,94,96は、光束70,72,74の対応する波長範囲80,82,84から切り取られた小さな波長部分の光を含んでいる。この場合、光束70,72,74はスペクトル分断された検出光48に対応している。換言すれば、プリズム機構を用いて検出光48を光束70,72,74に粗分断することが行われ、光束70,72,74の内部では、検出光48をスペクトル部分92,94,96に特に微細に精密に分割することが行われる。調整絞り86,88,90を対応する絞り調整方向98へ変位させることにより、スペクトル部分92,94,96の波長を変化させることが可能になる。スペクトル部分92,94,96の波長を変化させることにより、検出すべき検出光48を試料46で使用される蛍光マーカーの種々の蛍光最大値に適合させることが可能になる。スペクトル部分92,94,96の形態で残った検出光48は、フォーカスレンズ100を介して対応する検出ユニット102,104,106へ誘導され、特に第1の光束70に付設されている第1の検出ユニット102、第2の光束72に付設されている第2の検出ユニット104、第3の光束74に付設されている第3の検出ユニット106へ誘導される。検出ユニット102,104,106は、たとえば、検出した検出光48を電気信号に変換して制御ユニット図示せずに供給するPMTダイオード、APDダイオード、またはフォトダイオードを含んでいる。図3は検出装置60の第2実施形態を示す。この第2実施形態は、光学要素62の点、検出光48を光束70,72,74に分断する点、光束70,72,74に付設される検出ユニット102,104,106の点で図1に図示した第1実施形態に対応している。第1実施形態と異なるのは、調整絞り86,88,90の代わりに光導波路110,112,114が設けられていることにより、光束70,72,74がスペクトル境界付けされることである。光導波路110,112,114としては光誘導ファイバーたとえばガラスフィバーを使用することができる。特に、第1の光束70は第1の光導波路110へカップリングされ、第2の光束72は第2の光導波路112へカップリングされ、第3の光束74は第3の光導波路114へカップリングされる。。光導波路110,112,114の横断面は対応する光束70,72,74の横断面よりも小さく、これが光束70,72,74の検出光48のスペクトル境界付けを生じさせる。検出光48の、光導波路110,112,114から出る部分92,94,96は、対応する検出ユニット102,104,106へ当たる。部分92,94,96と特にこれら部分92,94,96の波長とは、光導波路110,112,114を光導波路調整方向116に沿って移動させることで変化させることができる。このため、光導波路110,112,114は対応する位置調整装置と連結されている。図4は検出装置の第3実施形態を示している。この実施形態は、プリズム機構62の形状と、光導波路110,112,114を設けた点とで図3の第2実施形態に対応している。図を簡潔にするため、図4では検出装置102,104,106と部分92,94,96との図示を省略した。第2実施形態の検出装置60と異なるのは、第3実施形態の場合、光導波路110,112,114は可動に配置されておらず、プリズム機構が回転可能に配置されている点である。特に光学要素62は、特にプリズム機構は、その検出光48側がまず参照線118に対し平行になるように、そしてプリズム機構の回転後に参照線118に対し角度αを成すように回転させることができる。プリズム機構の回転により、光束70,72,74は異なる方向に放射される。光束70,72,74のスペクトル分割のために、回転角に依存して、光束70,72,74の異なる波長範囲が光導波路110,112,114に入射し、これによって、この図には図示していない部分92,94,96の波長を変化させることができる。図5は検出装置60の第4実施形態を示すもので、この実施形態は実質的に図4の実施形態に対応しており、すなわち第3実施形態に対応している。図5では、部分92,94,96および検出ユニット102,104,10の図示は省略した。第4実施形態のプリズム機構が回転可能であったこととは異なり、プリズム機構は固定されている。しかし、光束70,72,74の放射方向には、プリズム機構と光導波路110,112,114との間に第1のミラー120、第2のミラー122、または第3のミラー124が配置されている。ミラー120,122,124はミラー調整方向126に沿って移動可能および/またはこれに対し回転可能に配置され、その結果ミラー120,122,124の位置に依存して光束70,72,74の異なるスペクトル範囲を光導波路110,112,114にカップリング可能であり、このことはこの図には図示していない部分92,94,96の波長に影響する。さらに、ミラー120,122,124の回転により、部分92,94,96の光スペクトルが伸縮し、これによって、検出すべき光の帯域幅を調整することができる。検出装置60のこれら図示した実施形態により、検出光48を検出用ピンホールアパーチャー50の背後で光束70,72,74の形態でスペクトル分離検出することが可能になる。これは、使用者に対し、検出光48の検出すべき波長範囲をさらに微細に部分92,94,96の形態で分離させて検出することを可能にさせる。この場合、図示していない実施形態では、部分92,94,96の形態での分離を省略して、光束70,72,74全体を検出してもよい。さらに、これとは択一的に、検出ユニット102,104,106のセンサ感知面を制限することによって部分92,94,96のセパレーションを行なってもよい。特に、センサ感知面は光束70,72,74の横断面よりも小さくてよく、その結果光束70,72,74の部分92,94,96のみが検知される。これを回転可能なプリズム機構と組み合わせると、部分92,94,96の波長を特に簡単に変更させることができる。さらに、図示した実施形態を互いに組み合わせてもよい。"