"把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置であって、前記周縁に当接させる第1の把持体を有した第1の把持板と、前記周縁に当接させる第2の把持体を有した第2の把持板と、を有し、前記第1の把持体と、前記第2の把持体と、が互いに接離するように、前記第1の把持板および前記第2の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部と、前記把持部を昇降させる昇降部と、前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、を備え、前記動作制御部は、第1の昇降動作、前記開閉動作、前記第1の昇降動作と同じ方向に昇降させる第2の昇降動作をこの順で機械的に制御すること、を特徴とする把持装置。前記把持部は、前記第1の把持板の移動方向と、前記第2の把持板の移動方向と、を互いに逆向きとさせる開閉同期部をさらに備えたこと、を特徴とする請求項1記載の把持装置。前記動作制御部は、カムを有し、前記カムにより、前記第1の昇降動作、前記開閉動作、前記第2の昇降動作をこの順で機械的に制御すること、を特徴とする請求項1または2に記載の把持装置。前記第1の昇降動作と前記第2の昇降動作とが上昇動作である場合には、前記開閉動作は前記被処理物の周縁に前記第1の把持体と前記第2の把持体とを当接させる動作であること、を特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の把持装置。前記第1の昇降動作と前記第2の昇降動作とが下降動作である場合には、前記開閉動作は前記被処理物の周縁から前記第1の把持体と前記第2の把持体とを離隔させる動作であること、を特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の把持装置。前記開閉同期部は、ラックアンドピニオン機構またはリンク機構を有し、前記ラックアンドピニオン機構または前記リンク機構により、前記第1の把持板の移動方向と、前記第2の把持板の移動方向と、を互いに逆向きとさせること、を特徴とする請求項2~5のいずれか1つに記載の把持装置。モータと、前記モータの回転軸に取り付けられたネジ軸と、前記ネジ軸に螺合され、前記モータの回転運動を直進運動に変換するとともに前記直進運動を前記動作制御部に伝達するナット部と、を有した駆動部を備え、前記動作制御部は、前記モータの回転運動により前記ネジ軸に沿って移動することを特徴とする請求項1~6のいずれか1つに記載の把持装置。前記カムは、前記昇降部に設けられたカムフォロアが係合するカム孔を有し、前記カム孔は、第1の傾斜部と、前記第1の傾斜部に連設された水平部と、前記水平部に連設された第2の傾斜部と、を有したことを特徴とする請求項3記載の把持装置。前記動作制御部は、互いに対向して設けられた1組の前記カムを有し、前記1組のカムの各々には、2個のカム孔が設けられ、前記1組のカムに設けられたすべてのカム孔は、相似形状を有したことを特徴とする請求項3または8記載の把持装置。前記把持部は、前記第2の把持板を取り付ける取付板を有し、前記駆動部は、前記動作制御部と連動して移動する開閉板を有し、前記開閉板は、前記取付板の端面と当接可能に設けられた第1の突出部を有し、前記動作制御部の移動にともない前記開閉板が移動し、前記開閉板の移動により第1の突出部と前記取付板とを介して前記把持部における開閉動作を行うこと、を特徴とする請求項7~9のいずれか1つに記載の把持装置。前記駆動部は、前記モータを取り付けるベース板と、前記ベース板から立設した係止部と、を有し、前記開閉板は、前記係止部と当接可能に設けられた第2の突出部を有し、前記第2の突出部が前記係止部に当接することで前記開閉板の移動が停止し、前記開閉板の移動が停止することで前記把持部における開閉動作が停止すること、を特徴とする請求項10記載の把持装置。請求項1~11のいずれか1つに記載の把持装置と、前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を備えたことを特徴とする搬送装置。前記把持装置は、上下に配置されるように2つ設けられ、上方に位置する第1の把持装置の昇降動作と、前記第1の把持装置の下方に位置する第2の把持装置の昇降動作とが相互に逆方向とされることを特徴とする請求項12記載の搬送装置。前記移動部は、水平多関節ロボット、垂直多関節ロボット、直交ロボット、単軸ロボットからなる群より選ばれたいずれかであることを特徴とする請求項12または13記載の搬送装置。請求項1~11のいずれか1つに記載の把持装置と、前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を有する搬送装置と、複数の被処理物を積層するようにして収納する収納部と、前記被処理物に処理を施す処理部と、を備えたことを特徴とする処理装置。請求項1~11のいずれか1つに記載の把持装置を用いて収納部から未処理の被処理物を取り出す工程と、前記収納部から取り出された前記未処理の被処理物に処理を施す工程と、前記処理が施された被処理物を前記把持装置を用いて前記収納部に収納する工程と、を備えたことを特徴とする電子デバイスの製造方法。前記収納部から未処理の被処理物を取り出す工程において取り出された場所と、前記処理が施された被処理物を前記収納部に収納する工程において収納される場所と、が同一であることを特徴とする請求項16記載の電子デバイスの製造方法。本発明の実施形態は、機構の簡易化、軽量化を図ることができる把持装置、搬送装置、処理装置、および電子デバイスの製造方法を提供する。実施形態に係る把持装置は、把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置である。また、把持装置は、前記周縁に当接させる第1の把持体を有した第1の把持板と、前記周縁に当接させる第2の把持体を有した第2の把持板と、を有し、前記第1の把持体と、前記第2の把持体と、が互いに接離するように、前記第1の把持板および前記第2の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部を備えている。またさらに、把持装置は、前記把持部を昇降させる昇降部と、前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、を備えている。そして、前記動作制御部は、第1の昇降動作、前記開閉動作、前記第1の昇降動作と同じ方向に昇降させる第2の昇降動作をこの順で機械的に制御する。また、他の実施形態に係る搬送装置は、上記の把持装置と、前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を備えている。また、他の実施形態に係る処理装置は、上記の把持装置と、前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を有する搬送装置と、複数の被処理物を積層するようにして収納する収納部と、前記被処理物に処理を施す処理部と、を備えている。また、他の実施形態に係る電子デバイスの製造方法は、上記の把持装置を用いて収納部から未処理の被処理物を取り出す工程と、前記収納部から取り出された前記未処理の被処理物に処理を施す工程と、前記処理が施された被処理物を前記把持装置を用いて前記収納部に収納する工程と、を備えている。本発明の実施形態によれば、機構の簡易化、軽量化を図ることができる把持装置、搬送装置、処理装置、および電子デバイスの製造方法が提供される。以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。図1は、本実施の形態に係る把持装置を例示するための模式斜視図である。図2は、本実施の形態に係る把持装置を例示するための模式分解図である。図3は、比較例に係る受け渡しの様子を例示するための模式図である。なお、図1、図2中の矢印X、Y、Zは互いに直交する三方向を表しており、例えば、X、Yは水平方向、Zは鉛直方向を表している。まず、比較例に係る受け渡しの様子を例示する。図3は、一例として、一連の処理作業の途中の段階を表している。例えば、一連の処理作業において行われる載置部55図8を参照での被処理物Wの受け渡しの様子を表している。この場合、載置部55の上部には処理済の被処理物Wが載置され、載置部55の下部には未処理の被処理物Wが載置されているものとしている。また、処理部と載置部55との間において被処理物Wの搬送を行う搬送装置には、アーム101、102が設けられているものとする。なお、アーム101は、アーム102の上方に設けられ被処理物Wを把持する図示しない把持装置が備えられている。また、搬送装置に設けられた図示しない昇降部は、アーム101、102に対して共用とされ、アーム101、102が同時に昇降するようになっている。アーム101、102は搬送装置により載置部55の前に位置決めされ被処理物Wの受け渡しが開始される。まず、図3aに示すように、図示しない昇降部により処理済の被処理物Wを把持したアーム101の高さ方向の位置を位置決めする。この際、処理済の被処理物Wの下面位置が、載置部55の当該被処理物Wを保持させる保持部90の上面位置よりもわずかに高い位置に位置決めされる。この様に、アーム101を一旦停止させて保持部90の上方の所定の位置に位置決めさせることにより、被処理物Wを保持部90へ載置する際に、被処理物Wと保持部90とが接触する際の衝撃を少なくすることができる。そのため、被処理物Wを保持部90に載置する際に、被処理物Wが跳ねたり、位置がずれたりすることを抑制することができる。次に、図3bに示すように、アーム101を載置部55の方向に移動させる。載置部55の内部に挿入された被処理物Wの下面位置は、保持部90の上面位置よりもわずかに高い位置に位置決めされる。そして、被処理物Wの把持を開放し、図示しない昇降部によりアーム101を下降させて、処理済の被処理物Wを保持部90に載置する。この際、アーム101は、そのまま下降して、処理済みの被処理物Wを載置した保持部90と、これの下方に隣接する保持部90との間の位置に位置決めされる。次に、図3cに示すように、アーム101を載置部55から離れる方向に移動させる。次に、図3dに示すように、未処理の被処理物Wを載置部55から取り出すために、アーム102の高さ方向の位置を位置決めする。この際、載置部55に載置されている未処理の被処理物Wの下面と、アーム102との間にわずかに隙間ができる様な位置に位置決めされる。この様に、アーム101を一旦停止させて保持部90の下方の所定の位置に位置決めさせることにより、被処理物Wをアーム102で保持する際に、被処理物Wとアーム102とが接触する際の衝撃を少なくすることができる。そのため、被処理物Wをアーム102で保持する際に、被処理物Wが跳ねたり、位置がずれたりすることを抑制することができる。そして、アーム102を載置部55の方向に移動させる。載置部55の内部に挿入されたアーム102は、未処理の被処理物Wの下方に位置決めされる。その後、図示しない昇降部によりアーム102を上昇させて、未処理の被処理物Wをアーム102上に載置する。この際、アーム102は、そのまま上昇して、受け取った未処理の被処理物Wが載置されていた保持部90と、これの上方に隣接する保持部90との間の位置に位置決めされる。アーム102上に載置された未処理の被処理物Wは図示しない把持装置により把持される。次に、図3eに示すように、アーム102を載置部55から離れる方向に移動させる。この様にして、処理済の被処理物W、未処理の被処理物Wの受け渡しが行われる。なお、処理部における処理済の被処理物W、未処理の被処理物Wの受け渡しも同様の動作で行うようにすることができる。この様に、搬送装置に設けられた図示しない昇降部は、アーム101、102に対して共用とされ、アーム101、102が同時に昇降するようになっている。そのため、2つの保持部90において被処理物Wを受け渡す場合には、図3に例示をしたように、被処理物Wを1つずつ受け渡すことが必要となる。この場合、アーム101、102毎に昇降部を設けるようにすれば、2つの保持部90において被処理物Wを同時に受け渡すことができる。しかしながら、アーム101、102には被処理物Wを把持する把持装置を設ける必要があり、これとは独立に別駆動される昇降部を設けるものとすれば、機構の複雑化、重量化などを招くことになる。次に、図1、図2に戻って、本実施の形態に係る把持装置について例示をする。図1、図2に示すように、把持装置1には、把持部27、昇降部28、動作制御部14、駆動部20が設けられている。把持部27には、被処理物Wを把持するための把持板24第2の把持板、把持板26第1の把持板が設けられている。把持板26は、X方向に延出するようにして設けられ、一方の端部には被処理物Wの周縁に当接させるための把持体25b第1の把持体が設けられている。また、把持板26の上面には被処理物Wを載置することができるようになっている。把持板26の他方の端部には取付板29が設けられている。取付板29は、Y方向に延出するようにして設けられ、一方の端部にはバネポスト22aが設けられている。取付板29には、後述するラック18a、ガイドブロック19aが取付けられる。把持板24は、把持板26を挟んで対称な位置に2つ設けられている。把持板24は、X方向に延出するようにして設けられ、一方の端部には被処理物Wの周縁に当接させるための把持体25a第2の把持体がそれぞれ設けられている。把持板24の他方の端部には取付板23が設けられている。取付板23は、Y方向に延出するようにして設けられている。取付板23には、後述するラック18b、ガイドブロック19bが取付けられる。なお、3つの把持体2つの把持体25aと把持体25bを被処理物Wの周縁に当接させる場合を例示したが、把持体は2つ以上であればよい。ただし、3つ以上の把持体を用いるものとすれば、被処理物Wの把持を安定させることができる。バネ22の一方の端部に設けられたフックはバネポスト22aに掛けられ、他方の端部に設けられたフックは後述するバネポスト22bに掛けられる。把持板26の先端は、把持板24の先端よりもX方向に突出した位置に設けられ、把持体25bの位置も把持体25aの位置よりもX方向に突出した位置となっている。被処理物Wは把持板26の上面に載置され、被処理物Wの周縁に把持体25a、25bを当接させるとともにバネ22により付勢力を加えることで被処理物Wを把持することができるようになっている。開閉同期部18は、開閉動作において、把持板26の移動方向と、把持板24の移動方向と、を互いに逆向きとさせる。開閉同期部18には、ラック18a、ラック18bと、これらに係合するピニオン歯車18cが設けられている。ピニオン歯車18cは、後述するベース板16の上面から立設された図示しない軸に回転自在に取り付けられている。前述したように、取付板29にはラック18aが取り付けられ、取付板23にはラック18bが取り付けられているので、把持板26、把持板24のいずれか一方を移動させると、いずれか他方は反対の方向に移動することができる。そのため、把持部27に載置された被処理物Wの把持、または把持の開放を行うことができる。なお、開閉同期部18として、いわゆるラックアンドピニオン機構を例示したがこれに限定されるわけではない。被処理物Wの把持、または把持の開放を機械的に同期させて行わせることのできる機構を適宜用いることができる。例えば、リンク機構などを用いるようにすることもできる。なお、本実施の形態においては、開閉動作において把持板24と把持板26とが互いに逆向きに動作する機構に関して例示しているが、必ずしも把持板24と把持板26とが移動しなくてもよい。すなわち、把持板24または、把持板26のいずれか片方を動作させて被処理物Wを把持開放するようにしてもよい。この場合、把持板24のみを動作させる場合には、ベース板16に把持板26を固定すればよい。このようにすれば、把持板26の移動に伴って移動するガイドブロック19aを省略することができる。また、把持板24と把持板26とが同期して移動する必要がなくなるため、開閉同期部18を省略することができ、構造を簡略にすることができる。また、把持板26のみを動作させる場合には、把持板24と取付板23とを接続せずに把持板24をベース板16に固定すればよい。この場合、取付板23が移動することで開閉同期部18が作用し、把持板26のみが開閉動作することになる。この場合は、取付板23、開閉同期部18を省略することはできないが、把持板24とベース板16とを一体化することができるので、構造を簡略にすることができる。この様に、把持板24または把持板26が互いに接離する方向に相対的に移動可能な把持部とすることで、被処理物Wの把持開放を行うこともできる。昇降部28には、ベース板16が設けられている。ベース板16の上面には、1組のガイドレール19が互いに平行となるようにしてX方向に延出するように設けられている。ガイドレール19には、ガイドレール19上を滑動するガイドブロック19a、19bがそれぞれ設けられている。そのため、ガイドブロック19aに取り付けられた取付板29を介して把持板26をX方向に移動させることができる。また、ガイドブロック19bに取り付けられた取付板23を介して把持板24をX方向に移動させることができる。ガイドレール19の外側であって、ベース板16のX方向における中央近傍には1組の軸受け21が設けられている。軸受け21の孔部21aには後述する軸75が挿通されており、軸75に沿って昇降部28を昇降させることができるようになっている。そのため、昇降部28は、これに取り付けられた把持部27を昇降させることができる。ベース板16のY方向の側面には、カムフォロア17が設けられている。カムフォロア17は、X方向に沿って、片側の側面に2つずつ設けられている。ベース板16の上面にはバネポスト22bが立設され、バネポスト22bにはバネ22のフックが掛けられている。動作制御部14には、1組のカム13が設けられている。カム13は、X方向に延出するようにして設けられている。カム13の主面はY方向と直交しており、カム13の主面にはカム13を貫通するカム孔13aが設けられている。カム孔13aは第1の傾斜部13a1と、水平部13a2と、第2の傾斜部13a3とを有し、カムフォロア17が係合するようになっている図4を参照。そのため、カム孔13aの形状に倣って昇降部28を所定のタイミングで昇降させることができる。本実施の形態においては、4個のカムフォロア17と2個の軸受21を使用している。そのため、昇降部28がZ軸に垂直な状態XY面に平行な状態となったまま昇降移動させることができる。また、本実施の形態では互いに対向して設けられた1組のカムを有し、カムには、2個のカム孔が設けられている。そして、1組のカムに設けられたすべてのカム孔は、相似形状を有しているため、昇降部28を安定して昇降移動させることができる。しかしながら、カムフォロア17、軸受21の数はこれに限定されるわけではない。ガイド機構やリンク機構などを用いることでカムフォロア17、軸受21の数を、例えば、1個または2個に削減することができる。カム13の端部近傍には取付板15b、15cがそれぞれ設けられている。取付板15bは後述するガイドブロック8に取り付けられ、取付板15cは後述するガイドブロック7に取り付けられている。そのため、ガイドブロック8に取り付けられた取付板15b、ガイドブロック7に取り付けられた取付板15cを介して動作制御部14をX方向に移動させることができる。カム13の取付板15cが設けられた側の端部近傍であって、カム13同士の間には、カム13同士を連結する連結板15が設けられている。連結板15にはボス部15aが設けられ、ボス部15aには後述するナット部4を挿通するための孔15a1が設けられている。取付板15cにはバネポスト11aが設けられている。バネ12の一方の端部に設けられたフックはバネポスト11aに掛けられ、他方の端部に設けられたフックは後述するバネポスト11bに掛けられる。駆動部20には、ベース板40が設けられている。ベース板40の上面には、1組のガイドレール71が互いに平行となるようにしてX方向に延出するように設けられている。ガイドレール71には、ガイドレール71上を滑動するガイドブロック7、8、9がそれぞれ設けられている。ベース板40の一方の端部にはブラケット40aが設けられ、ブラケット40aにはモータ2が取り付けられている。モータ2は、例えば、サーボモータ、パルスモータなどの制御モータなどとすることができる。モータ2の回転軸には、カップリング72を介してネジ軸3が取り付けられている。ネジ軸3の両端近傍には、軸受け73、74が設けられ、ネジ軸3を回転自在に支持するようになっている。ネジ軸3にはナット部4が螺合されている。ナット部4は、ボス部15aに設けられた孔15a1に挿通され、ナット部4の端部に設けられたフランジ部4aがボス部15aに取り付けられている。そのため、モータ2の回転運動を直進運動に変換し、これを動作制御部14に伝達することができるようになっている。なお、モータ2の回転による各部の動作に関しては後述する。ガイドレール71の内側であって、ベース板40のX方向における中央近傍には1組の軸75が立設されている。前述したように、軸75は軸受け21の孔部21aを挿通するようになっている。ガイドブロック9には、開閉板10が設けられている。開閉板10の一端には上方に向かって突出する突出部10a第1の突出部と、ベース板40の外側に向けて突出する突出部10b第2の突出部とが設けられている。突出部10aは、取付板23の端面と当接するようになっている。突出部10bは、ベース板40の上面に立設された係止部40bと当接するようになっている。開閉板10の上面にはバネポスト11bが立設され、バネポスト11bにはバネ12のフックが掛けられている。そのため、突出部10bが係止部40bにより係止されていない場合には、バネ12の付勢力により開閉板10、動作制御部14とが一体的に移動する。突出部10bが係止部40bにより係止された場合には、開閉板10の移動が停止する。一方、動作制御部14はバネ12の付勢力に抗して移動を続ける。そのため、後述する把持部27の開閉動作、把持部27の昇降動作Z方向の移動を行わせることができる。次に、本実施の形態に係る把持装置1の作用について例示をする。図4~図6は、把持装置1の作用について例示をするための模式図である。図4a、図5a、図6aに示すように、動作制御部14カム13が突出端モータ2がある側とは反対の側にある時には、カムフォロア17が上昇端位置、すなわち、把持部27が上昇端位置にある。この際、バネ22の付勢力によって把持板26がモータ2の側に引き込まれる。そのため、開閉同期部18の作用により把持板24が突出するので把持部27は被処理物Wを把持する状態閉状態となる。なお、図5aに示すように、突出部10aと取付板23、および、突出部10bと係止部40bとの間には隙間がある。次に、モータ2により動作制御部14をモータ2の側に移動させるとカム13も同方向に移動することになる。そのため、図4b、図5b、図6bに示すように、カム孔13aの第1の傾斜部13a1に沿ってカムフォロア17が下降、すなわち、把持部27が下降する。この様にして、被処理物Wを把持した状態閉状態のまま把持部27を下降させることができる。次に、図4c、図5c、図6cに示すように、モータ2により動作制御部14をモータ2の側にさらに移動させると、カム孔13aの水平部13a2に沿ってカムフォロア17が移動する。カム孔13aの水平部13a2にカムフォロア17が侵入した際には、突出部10aと取付板23とが当接するようになっている。そのため、カム孔13aの水平部13a2に沿ってカムフォロア17が移動する際に突出部10aにより取付板23が押されて、把持板24がモータ2の側に引き込まれる。この際、開閉同期部18の作用により把持板26が突出するので把持部27は被処理物Wを開放する状態開状態となる。また、カム孔13aの水平部13a2の端部にまでカムフォロア17が移動した際には、突出部10bと係止部40bとが当接するようになっている。そのため、突出部10bと係止部40bとが当接することで、取付板23の移動が停止されるので前述した被処理物Wの開放動作が停止する。この様にして、把持部27のZ方向位置を一定に保ったまま被処理物Wを開放する状態開状態とすることができる。この場合、把持板24のみを動作させるためにベース板16に把持板26を固定した構成においては、把持板26は移動せず、把持板24のみが移動して、被処理物Wを開放する状態となる。一方、把持板26のみを動作させるためにベース板16に把持板24を固定した構成においては、把持板24は移動せず、把持板26のみが移動して、被処理物Wを開放する状態となる。なお、この場合、取付板23、開閉同期部18が上記の説明と同様の動作をし、把持板26が被処理物Wから離れた状態となる。次に、図4d、図5d、図6dに示すように、モータ2により動作制御部14をモータ2の側にさらに移動させると、カム孔13aの第2の傾斜部13a3に沿ってカムフォロア17が下降、すなわち、把持部27が下降する。そのため、被処理物Wを開放した状態開状態のまま把持部27を下降させることができる。以上のようにして、把持部27の開閉動作、把持部27の昇降動作Z方向の移動を行わせることができる。なお、モータ2により動作制御部14をモータ2の側とは反対の側に移動させれば、前述した手順とは逆の手順により把持部27の開閉動作、把持部27の昇降動作Z方向の移動を行わせることができる。すなわち、動作制御部14は、第1の傾斜部13a1における第1の昇降動作、水平部13a2における開閉動作、第2の傾斜部13a3における第1の昇降動作と同じ方向に把持部27を昇降させる第2の昇降動作をこの順で機械的に制御することができる。つまり、動作制御部14は、昇降動作をさせるとともに、昇降動作と開閉動作とのタイミングを合わせる。また、動作制御部14は、カム13を有し、このカム13により、第1の昇降動作、開閉動作、第2の昇降動作をこの順で機械的に制御する。この場合、第1の昇降動作と第2の昇降動作とが上昇動作である場合には、開閉動作は被処理物Wの周縁に把持体25aと把持体25bとを当接させる動作把持動作とすることができる。また、第1の昇降動作と第2の昇降動作とが下降動作である場合には、開閉動作は被処理物Wの周縁から把持体25aと把持体25bとを離隔させる動作開放動作とすることができる。なお、昇降部28の昇降方向はZ軸方向に限定されるわけではなく、把持部27に設けられた把持板26の上面被処理物Wが載置される面をXY面から傾けたまま把持部27を昇降させるようにしてもよい。つまり、第1の昇降動作と第2の昇降動作とが同じ方向であれば、昇降部28の昇降方向は任意の方向とすることができる。本実施の形態によれば、被処理物Wの把持/開放動作と、被処理物Wの昇降動作とを共通の駆動部により行うことができる。そのため、把持装置の機構の簡易化、軽量化を図ることができる。また、図3に例示をしたもののように、把持/開放動作と昇降動作とを別々の駆動部により行うものとすれば、相手側の動作を確認した上で動作を行う必要がある。すなわち、いわゆるインターロックをかける必要がある。そのため、タイムラグが生じて、被処理物Wの受け渡しに要する時間が長くなるおそれがある。これに対し、本実施の形態によれば、把持/開放動作、昇降動作の手順を機械的に制御することができるので、不要なタイムラグが生ずることがない。また、正確な動作を高速で行わせることができる。そのため、被処理物Wの受け渡しに要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。次に、本実施の形態に係る搬送装置について例示をする。本実施の形態に係る搬送装置は、前述した把持装置1を備えたものとすることができる。例えば、把持装置1と、把持装置1の位置を変化させる移動部と、を備えたものとすることができる。図7は、本実施の形態に係る搬送装置を例示するための模式斜視図である。図7に例示をした搬送装置50は、把持装置1と、移動部としていわゆるダブルアーム型の水平多関節ロボットと、を備えた場合である。図7に示すように、搬送装置50には、把持装置1、水平多関節ロボット51が設けられている。また、水平多関節ロボット51には、支持部52、アーム53、アーム54が設けられている。アーム53、アーム54は、支持部52の上端に設けられた可動部52aの上面に設けられている。アーム53は、可動部52aの上面に設けられた第1アーム53aと、第1アーム53a上に軸支された第2アーム53bとを備えている。アーム54は、可動部52aの上面に設けられた第1アーム54aと、第1アーム54a上に軸支された第2アーム54bとを備えている。支持部52には、可動部52aを矢印A方向に昇降させる図示しない昇降駆動部と、可動部52aを矢印B方向に旋回させる図示しない旋回駆動部とが設けられている。また、支持部52には、第1アーム53a、第2アーム53bを伸縮動作させる図示しない伸縮駆動部と、第1アーム54a、第2アーム54bを伸縮動作させる図示しない伸縮駆動部とが設けられている。そして、第2アーム53bの先端部と、第2アーム54bの先端部と、には把持装置1がそれぞれ設けられている。また、第2アーム53bと把持装置1とは、コの字状を呈する部材56で接続されている。そのため、第2アーム53bと把持装置1との間には空間が形成されることになる。この空間は、アーム54が伸縮した際に第2アーム54bに設けられた把持装置1が通過可能となるような縦横寸法となっている。なお、水平多関節ロボット51としては既知の技術を適用させることができるので、詳細な説明は省略する。第1アーム53a、第2アーム53bに設けられた2つの把持装置1の間隔は、それぞれの把持装置1が被処理物Wを把持開放する際に図4,5,6の各bcにおけるカムフォロアの位置に至ったときに、保持部90のピッチ間隔の整数倍に等しくなるように調整することができる。このように2つの把持装置1の間隔を調整することで、被処理物Wを把持した把持装置1が被処理物Wを保持部90に載置する動作と、被処理物Wを把持していない把持装置1が被処理物Wを保持部90から受け取る動作とを同時に行うことができる。なお、保持部90における載置、受け取りに関しては後述する。次に、本実施の形態に係る搬送装置50の作用について例示をする。ここでは、一例として、本実施の形態に係る搬送装置50における被処理物Wの受け渡しについて例示をする。図8は、本実施の形態に係る搬送装置における被処理物の受け渡しの様子を例示するための模式図である。なお、図8は、一例として、一連の処理作業の途中の段階を表している。例えば、一連の処理作業において行われる載置部55図8を参照での被処理物Wの受け渡しの様子を表している。この場合、載置部55の上部には処理済の被処理物Wが載置され、載置部55の下部には未処理の被処理物Wが載置されているものとしている。また、前述した水平多関節ロボット51のアーム53、アーム54などは省略して描いている。まず、図8aに示すように、アーム53、アーム54が水平多関節ロボット51により載置部55の前に位置決めされ被処理物Wの受け渡しが開始される。この際、上方に位置する把持装置1第1の把持装置の一例に相当するの把持板24、把持板26には処理済の被処理物Wが載置、把持され、下方に位置する把持装置1第2の把持装置の一例に相当するの把持板24、把持板26には被処理物Wが載置されていないものとする。また、上方に位置する把持装置1に把持された被処理物Wの下面位置は、前述した第1の昇降動作により下降した際に、保持部90の上面位置よりもわずかに高い位置となるように位置決めされる。下方に位置する把持装置1の把持板24、把持板26の上面位置は、前述した第2の昇降動作により上昇した際に、保持部90に保持された未処理の被処理物Wをわずかに持ち上げることができる様な位置に位置決めされる。次に、図8bに示すように、アーム53、アーム54を伸縮させて、上方に位置する把持装置1に把持された処理済の被処理物Wと、下方に位置する把持装置1の把持板24、把持板26を載置部55の内部に挿入する。そして、上方に位置する把持装置1を作用させて処理済の被処理物Wを保持部90に載置する。また、下方に位置する把持装置1を作用させて保持部90から未処理の被処理物Wを受け取る。このような動作を行う場合、例えば、上方に位置する把持装置1の第1の昇降動作と第2の昇降動作とを下降動作、下方に位置する把持装置1の第1の昇降動作と第2の昇降動作とを上昇動作とすることができる。つまり、上方に位置する把持装置1の昇降動作と、これの下方に位置する把持装置1の昇降動作とが相互に逆方向とされるようにすることができる。なお、それぞれの把持装置1の昇降動作を上述した方向とは逆方向に行い、上方に位置する把持装置1が保持部90から未処理の被処理物Wを受け取り、下方に位置する把持装置1が処理済の被処理物Wを保持部90に載置するようにしてもよい。上下の把持装置1におけるそれぞれの昇降動作を同時、且つ逆方向に行うようにすれば、被処理物Wの取り置き載置及び受け取りを同時に行うことができる。そのため、1回のアームの伸縮昇降動作で被処理物Wの同時交換を行うことができ、図3に示す搬送動作を行う比較例に対して、被処理物Wの交換動作時間をほぼ1/2に短縮することができる。なお、把持装置1の作用に関しては前述したものと同様のため詳細な説明は省略する。次に、図8cに示すように、アーム53、アーム54を伸縮させて、上方に位置する把持装置1の把持板24、把持板26と、下方に位置する把持装置1に把持された未処理の被処理物Wを載置部55から離れる方向に移動させる。アーム54に設けられた把持装置1は、伸縮時に前述した部材56により形成された空間を通り抜けることにより、アーム53に設けられた把持装置1と干渉しないようになっている。この様にして、処理済の被処理物W、未処理の被処理物Wの受け渡しが行われる。なお、後述する収納部61、処理部65a~65dにおける処理済の被処理物W、未処理の被処理物Wの受け渡しも同様の動作で行うようにすることができる。なお、移動部としてダブルアーム型の水平多関節ロボット51を備えた場合を例示したがこれに限定されるわけではない。把持装置1の位置を変化させることができるものを適宜選択することができる。例えば、いわゆる垂直多関節ロボット、直交ロボット、単軸ロボットなどとしてもよい。本実施の形態によれば、把持装置に被処理物Wの把持と開放とを行わせることができるとともに、受け渡しの際の昇降動作をも行わせることができる。そのため、複数の受け渡し位置において同時に被処理物Wの受け渡しを行うことができる。また、把持/開放動作、昇降動作の手順を機械的に制御することができるので、不要なタイムラグが生ずることがない。また、正確な動作を高速で行わせることができる。また、把持装置の機構の簡易化、軽量化を図ることができるので、移動部の負荷軽減、動作の高速化などを図ることができる。そのため、被処理物Wの受け渡しに要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。次に、本実施の形態に係る処理装置について例示をする。本実施の形態に係る処理装置は、前述した把持装置1と、把持装置1の位置を変化させる移動部と、を有する搬送装置50を備えたものとすることができる。例えば、搬送装置50と、複数の被処理物Wを積層するようにして収納する収納部と、被処理物Wに処理を施す処理部と、を備えたものとすることができる。図9は、本実施の形態に係る処理装置について例示をするための模式図である。図9に示すように、処理装置60には、収納部61、搬送装置50a、搬送装置50b、載置部55、移動部62、処理部65a~65dなどが設けられている。収納部61は、複数の被処理物Wを積層するようにして収納するものとすることができる。例えば、フープFOUP;FrontOpeningUnifiedPodと呼ばれるウェーハを複数枚収納することができる密閉ケースとすることができる。搬送装置50a、搬送装置50bは、前述した搬送装置50と同様のものとすることができる。載置部55は、例えば、図7に例示をしたような複数の被処理物Wを積層するようにして載置するものとすることができる。この場合、搬送装置50bは、前述した搬送装置50と同様に把持装置1を用いて図8に示した動作を行うものとすることができる。搬送装置50aは、収納部61と載置部55との間において被処理物Wを移載する。この場合、複数の被処理物Wを把持搬送できる搬送装置50aとすることで、移載回数を少なくしてもよい。また、搬送装置50bは、収納部61と処理部65との間で被処理物Wを移載するものとしてもよい。なお、載置部55は必ずしも必要ではなく、収納部61、搬送装置50a、搬送装置50b、処理部65a~65dのレイアウトなどに応じて適宜設けるようにすることができる。図10は、本実施の形態に係る処理装置における被処理物W受け渡しの様子を例示するための模式図である。なお、以下においては、処理済みの被処理物W1と未処理の被処理物W2とを、単に、被処理物Wと表すこともある。図10aは載置部55の最上段側における受け渡しを表し、図10bは載置部55の中段における受け渡しを表し、図10cは載置部55の最下段側における受け渡しを表している。図10a~cに例示をしたものは、搬送装置50aによる被処理物Wの移載と、搬送装置50bによる被処理物Wの移載とを並行して行う場合の移載動作を表す図である。前述したように搬送装置50aは収納部61と載置部55との間で被処理物Wの移載を行い、搬送装置50bは処理部65a~65bと載置部55との間で被処理物Wの移載を行う。載置部55は、被処理物Wを保持する保持部90を複数備えている。また、載置部55は、搬送装置50aと搬送装置50bとがそれぞれアクセスできるような開口55a、55bを有している。また、搬送装置50aには、複数の被処理物Wを同時に移載できるように複数の把持装置201が設けられている。また、搬送装置50bには、上下に2つの把持装置1が設けられている。搬送装置50aは、載置部55の最上段から数えてN1段目の保持部90から、未処理の被処理物W2の収納を始めるようにする。ここで、図10に示すように、Nは、間隔Aの間に設けられた保持部90の数とすることができる。また、間隔Aは、搬送装置50bにおいて上側に位置する把持装置1と、下側に位置する把持装置1とがそれぞれ被処理物Wを把持または開放する際の高さ方向における把持板24、26間の間隔とすることができる。例えば、図10に示すものの場合には、Nは2となり、未処理の被処理物W2の収納は最上段から数えて3段目の保持部90から始められる。ここで、N1段目よりも上に未処理の被処理物W2が収納されていると、この部分が空くまでは搬送装置50bにより処理済みの被処理物W1を収納することができない。そこで、N1段目から未処理の被処理物W2の収納を行うようにすることで、搬送装置50bの待ち時間を短縮するようにしている。すなわち、最上段側の保持部90が空くことを待たずに最上段側から処理済みの被処理物W1を収納することができるようにすることで、搬送装置50bの待ち時間を短縮するようにしている。移動部62は、1列に配置された複数の収納部61において搬送装置50aによる被処理物Wの受け渡しを行うために設けられている。すなわち、所定の収納部61の前方に搬送装置50aを移動、位置決めさせるために設けられている。移動部62は、例えば、いわゆる単軸ロボットなどとすることができる。移動部62は必ずしも必要ではなく、収納部61の数やレイアウトなどに応じて適宜設けるようにすることができる。処理部65a~65dは、被処理物Wに各種処理を施すものを適宜選択することができる。例えば、被処理物Wがウェーハやガラス基板などの場合には、スパッタリング装置やCVDChemicalVaporDeposition装置などの各種の成膜装置、酸化装置、熱拡散装置やイオン注入装置などの各種のドーピング装置、アニール装置、レジスト塗布装置やレジスト剥離装置などの各種のレジスト処理装置、露光装置、ウェットエッチング装置やドライエッチング装置などの各種のエッチング処理装置、ウェット洗浄装置やドライ洗浄装置などの各種の洗浄装置、CMPChemicalMechanicalPolishing装置などを例示することができる。ただし、これらに限定されるわけではなく被処理物Wの処理に応じて適宜変更することができる。なお、これらの各種装置については既知の技術を適用することができるので詳細な説明は省略する。本実施の形態に係る処理装置60においては、収納部61、載置部55における被処理物Wの受け渡しを収納部61に面して設けられた搬送装置50aによって行う。この場合、移動部62によって所定の収納部61の前方に搬送装置50aを移動、位置決めさせる。また、処理部65a~65d、載置部55における被処理物Wの受け渡しを処理部65a~65dに面して設けられた搬送装置50bによって行う。なお、搬送装置50a、搬送装置50bによる被処理物Wの受け渡しは、前述した搬送装置50の場合と同様のためその説明は省略する。本実施の形態によれば、把持/開放動作、昇降動作の手順を機械的に制御することができるので、不要なタイムラグが生ずることがない。また、正確な動作を高速で行わせることができる。また、把持装置の機構の簡易化、軽量化を図ることができるので、搬送装置の負荷軽減、動作の高速化などを図ることができる。そのため、被処理物Wの受け渡しに要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。次に、本実施の形態に係る電子デバイスの製造方法について例示をする。本実施の形態に係る電子デバイスの製造方法においては、本実施の形態に係る把持装置を用いて被処理物Wの受け渡しを行う。すなわち、本実施の形態に係る把持装置を用いて収納部から未処理の被処理物を取り出す工程と、収納部から取り出された未処理の被処理物に処理を施す工程と、処理が施された被処理物を把持装置を用いて収納部に収納する工程と、を備えたものとすることができる。この場合、収納部における未処理の被処理物が取り出された場所に、処理が施された被処理物を元に戻すようにして収納することもできる。すなわち、収納部から未処理の被処理物を取り出す工程において取り出された場所と、収納部に収納する工程において処理済みの被処理物が収納される場所と、が同一となるようにすることもできる。本実施の形態によれば、把持/開放動作、昇降動作の手順を機械的に制御することができるので、不要なタイムラグが生ずることがない。また、正確な動作を高速で行わせることができる。また、把持装置の機構の簡易化、軽量化を図ることができるので、搬送装置の負荷軽減、動作の高速化などを図ることができる。そのため、被処理物Wの受け渡しに要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。以上、実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、把持装置1、搬送装置50、処理装置60などに設けられた各要素の形状、寸法、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、把持装置1において、ネジ軸3とナット部4を用いたものを例示したが、ベルトとプーリなどを用いてモータ2の回転運動を直進運動に変換してもよい。すなわち、動作制御部14を直進運動させることができるものであればよい。また、処理装置60における収納部、搬送装置、載置部、移動部、処理部などの数、レイアウトなどは例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。"