"発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させることを特徴とする波長掃引光源装置。第一の手段と、第二の手段は、同一の素子で構成されたことを特徴とする請求項1に記載の波長掃引光源装置。第一の手段と、第二の手段は、回折格子を用いたものである請求項2に記載の波長掃引光源装置。前記回折格子の周期が等しいことを特徴とする請求項3に記載の波長掃引光源装置。前記回折格子同士が、平行に配されたことを特徴とする請求項3に記載の波長掃引光源装置。前記回折格子は、前記光増幅媒体より入射する光が、該回折格子の回折面に垂直に入射するよう配されたことを特徴とする請求項3に記載の波長掃引光源装置。前記回折格子は、透過型であることを特徴とする請求項3に記載の波長掃引光源装置。前記回折格子は、反射型であることを特徴とする請求項3に記載の波長掃引光源装置。第一の手段と、第二の手段は、音響光学素子を用いたものであることを特徴とする請求項2に記載の波長掃引光源装置。前記選択手段は、空間変調素子であることを特徴とする請求項1に記載の波長掃引光源装置。前記空間変調素子は、回転型のスリットを用いてなることを特徴とする請求項10に記載の波長掃引光源装置。前記空間変調素子は、ライトバルブであることを特徴とする請求項10に記載の波長掃引光源装置。前記ライトバルブは、リボン状の金属箔を用いて光を反射させる素子であることを特徴とする請求項12に記載の波長掃引光源装置。前記ライトバルブは、可動式のマイクロミラーを用いた素子であることを特徴とする請求項12に記載の波長掃引光源装置。前記ライトバルブは、音響光学素子、表面弾性波素子のいずれかを用いたものであることを特徴とする請求項12に記載の波長掃引光源装置。前記選択手段は、光が透過する開口部を備えた遮光性の部材を用いたものであることを特徴とする請求項1に記載の波長掃引光源装置。請求項1に記載の波長掃引光源装置を用いた光源部と、前記光源部からの光を検体に照射し、検体からの反射光を伝達させる検体測定部と、前記光源部からの光を参照ミラーに照射し、該参照ミラーからの反射光を伝達させる参照部と、前記検体測定部からの反射光と前記参照部からの反射光とを干渉させる干渉部と、前記干渉部からの干渉光を検出する光検出部と、前記光検出部で検出された光に基づいて、前記検体の断層像を得る画像処理部と、を有することを特徴とする光干渉断層撮像装置。特許文献1に開示された光源装置は、回折格子の機械的な駆動により、光の入射角を変化させて波長選択を行うことから、高速な波長掃引には向かない。特許文献2に開示された光源装置は、レーザ媒体の端面と空間変調素子とで構成される共振器の中に回折格子を固定し、回折格子で波長分散された光を空間変調素子の電気的駆動により選択して出射するもので、100KHz以上の掃引速度が得られるとしている。しかしながら、特許文献2の装置は集光レンズ1624の空間変調素子1608側をテレセントリックとする必用があり、回折格子1606、集光レンズ1624及び空間変調素子1608の位置を精密に調整しないと戻り光がレーザ媒体に戻らず発振には至らない。実際のところ、これら3つの部材をある程度精度良く、組み立てた場合にあっては、掃引範囲内の極狭い波長範囲で発振が得られる可能性はある。ところが、掃引範囲内の全域で発振し、光強度が安定な光源装置を構成するには、精密な計測と厳密な位置決めといった困難な作業を必用とし、光源装置を構成するのは容易なことではないというのが実状である。本発明は、所望の波長範囲で、安定的に発振可能で且つ高速に波長掃引可能な光源装置を提供することを目的とする。本発明により提供される波長掃引光源装置は、発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させることを特徴とする。本発明の装置では、共振器内に、光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備える。分散した波長の異なる光束同士を平行化させる第二の手段を非集光光学素子で構成したことにより第一の手段と第二の手段との位置を決めることで、波長に応じて光束を選択する選択手段と、第一の手段及び第二の手段との位置精度は、さほど厳密に調整されなくとも安定的に発振可能な波長掃引光源装置を構成できる。また、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段により選択された所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させることで高速な波長掃引が可能となる。本発明の波長掃引光源装置は、光増幅媒体を含む共振器内に設けた複数の分散素子により光束の波長分散と分散により生じた波長の異なる光束同士の平行化を行い、高速駆動可能な空間変調器により波長選択する波長可変光源を包含する。以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。図1は、本発明の波長掃引光源装置の一例を示す模式図である。図1において、101は光増幅器であり、内部に光増幅媒体としての活性層102を有している。106は活性層102より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段としての回折格子、107は第一の手段106により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成した第二の手段としての回折格子である。109は回折格子107を経た複数の光束から所定波長の光束を選択する選択手段としての空間変調素子である。光増幅器101に不図示の電源より電気的エネルギーが印加されると活性層102内で放射光が発生し、放射光は増幅されて光増幅器101の一方の端面103側と無反射コートを施した他方の端面104側に伝播する。無反射コート端面104を通過した放射光は空間に光110として放射され、この光110は非点収差を持つため波面は非光軸対称な波面だが、必用に応じて設けられる光学系105により光軸対象の球面波に変換される。球面波110は回折格子106により、波長に応じて分散され、分散した光束同士は、回折格子107を経て平行な状態で空間変調素子108上に集光する。空間変調素子108は複数の画素を備えおり、画素を選択的に反射モード状態、非反射モード状態と切替できるように構成されている。図1の光源装置では、活性層102中で発生した複数波長を含む光110が回折格子106により波長に応じて分散され、分散された光束同士が回折格子107により互いに平行とされた状態で空間変調素子108の画素面に垂直に入射する。空間変調素子108を構成する画素を選択的に反射モードとすることで、空間変調素子108と光増幅器101の端面103とで光共振器が構成され、所定波長の光113が端面103より出射される。異なる波長の複数の光束は、空間変調素子108の別々の画素に入射するので、反射モードとなる画素を選択することで、出射面103より出射される光の波長を変化させることができる。つまり、レーザの発振波長が変化可能となる。画素の選択を順次行うと出射される光の波長を順次変化させることができ波長掃引光源を構成できる。以下、図2を参照しながら本発明の特徴である光の波長に応じて光束を分散させる第一の手段、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる第二の手段を用いた原理について説明する。図2は、図1における回折格子106と回折格子107と光束110の関係を示す模式図である。距離d離間して配された2つの回折格子106及び107格子ピッチは共にPとするに、波長λ1とλ2からなる光束110が回折格子106側より入射する。そのときの入射角θ1と射出角回折角φ1は光軸からの角度、時計回りを正として、として表わされる。いま、一次回折光のみに注目し、回折方向が光束の進行方向の左側を正、右側を負とすると、回折格子106では、m=-1となり、1式は、となる。φ1はλの関数であり、波長が大きければφ1は大きくなり、回折角が大きくなることを示す。このことは波長に依存して光束が分散されることを表わしている。同様に回折格子107では、と表され、この場合、一次回折光が左側に回折するので、m=1となり,で表される。二つの回折格子同士を平行に配置すると、であるので、これを2、4式に代入することにより、となる。従って、光束が回折格子106に垂直に入射すると、回折格子107を出射する光束は回折格子面に対して垂直に出射こととなる。つまり、となる。以上より、2枚の回折格子を用いることにより波長の異なる光束同士を平行化し得ることが理解される。回折格子106と回折格子107との距離をdとして、回折格子107より出射される光束の幅分散幅は以下の式で表される。ここで、回折格子106、107のピッチPを1.5μm、両者の間隔dを10mmとして、中心波長1.15μm、掃引幅±60nm、つまり1.09μm~1.21μmの可変波長光源を考える。回折角φ1は1式より、50.1±3.6°となり、波長の異なる光束同士の分散幅Δは7式より、3.1mmとなる。3.1mmの範囲に分散した光束を空間変調素子108を構成する画素により選択してミラー109により光増幅媒体101に戻すことにより、光増幅媒体101の出射端面103とミラー109とで共振器が構成され、1.09μmから1.21μmの範囲で波長が変化するレーザ発振を実現できる。本発明において、光の波長に応じて光束を分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成した第二の手段は、静的素子として、回折格子透過型,反射型、プリズム、さらには回折格子とプリズムを合体させたグリズム等を採用することができる。また、動的な素子として、時間的空間的に進行波を発生させる音響光学素子AcousticOpiticaldevice:AOを採用することもできる。第一の手段と、第二の手段とを別の光学素子で構成することも原理的には可能であるが、同一の光学素子で構成すると、2種の手段を配置する位置精度は、さほど厳密に調整する必用がなくなり好適である。ここで同一の光学素子とは、回折格子であれば実質的に同一のピッチで、同一の厚さのものをいい、音響光学素子であれば、実質的に同一の進行速度と同一の格子ピッチを発生させることができるものをいう。空間変調素子複数の光束から所定波長の光束を選択する選択手段について、詳しくは後述するが、この素子によると空間変調素子を構成する波長選択部位に入射する光の波長に応じて、所定波長の光束を光増幅媒体に帰還させることができる。以上、静的な分散素子を用いた原理を説明したが、次に動的な分散素子について説明する。図5は、音響光学素子AOの原理説明図である。図5aの音響光学素子は、超音波振動子53と吸収材52とに挟まれた結晶媒質50から構成されている。媒質材料としては、二酸化テルルTeO2,水晶SiO2,ガラスSF6等が用いられ、材料により結晶媒質内で超音波の進行速度に違いがある。ドライバー51によって駆動される中心周波数fCが、そのまま超音波振動の周波数となり、媒質内を進行速度νm/Secで進行する進行波54を生ずる。そのとき形成される屈折率の粗密波の波長Pは8式で表される。図5bは、図5aの音響光学素子における粗密波の位置時間的変化を示す説明図である。結晶媒質内の超音波の進行速度は、例えば、二酸化テルルTeO2場合、ShearModeで617m/Sec、LongitudonalModeで4200m/Secである。また、駆動周波数つまり超音波の振動数は数10MHz~百数10MHzの範囲で使用されることが多い。時間的、空間的に媒質中を伝播する進行性回折格子を波長分散素子として用いる場合は、回折光が進行性回折格子によりドップラーシフトを受け、光の振動数が超音波の振動数だけシフトすることに注意する必要がある。音響光学素子による光束の回折にはブラッグ回折とラマンナース回折があるが、入射角と回折角の関係は、両者とも1式で表される。また、両者とも回折した波長は入射光の波長に対しfCの量の周波数シフトを生じる。ブラッグ回折はラマンナース回折に比べ、回折効率が一般的に高い。図2を用いて説明した静的な2つ回折格子を並べるのと同様に、時間的、空間的に進行する動的な回折格子を複数個用いることにより静的な回折格子と同様な作用を生じさせることができ、本発明の第一の手段及び第二の手段として採用することができる。しかし、上述したように、進行波の回折格子を用いる場合は、光の周波数に超音波の周波数が加算あるいは減算されるので、このドップラー効果の影響をキャンセルするように進行波の進む方向と回折方向を2つのAOで逆にすることが好適である。ただし、このような構成すると、2つのAOのうち後段のAOの回折格子形成領域の幅を光の分散幅に応じた幅とする必要が生ずる。しかし、AOの動的な回折格子の特徴を用いると、必ずしも分散幅に応じた幅が必要とはならない。そのような構成として、2つのAO素子の駆動周波数を同時に変調することが挙げられる。これによるとAO素子の回折光が作る光軸上のみで波長可変させる系が実現できる。この系は、回折効率の高いブラッグ回折を利用して構成するのが好適である。次に図4を用いてブラッグ回折について説明する。図4では、図5と同じ部位には同じ番号を付している。音響光学素子の進行波の進行方向に垂直な面に対して、入射角θで光が入射し、回折角φ=-θで出射する場合に、AOの進行波の波面に対し、正反射の関係になり、回折効率が最も高くなる。このときの角をブラッグ回折角θBという。ブラッグ回折の時の波長λと超音波の中心周波数fCとの関係は次式で表される。νはAO結晶内の超音波の進行速度である。ここでブラッグ回折角θBを固定すると波長λと駆動周波数fCは反比例の関係にある。例えば、θBをθB=35mrad2.0°と固定し、二酸化テルルをShearModeで使用すると、光の波長λを1.09~1.21μmの範囲としたときの駆動周波数fCは9式より、39.6~35.7MHzとなる。この場合、ブラッグ回折光がつくる光軸上のみに反射または透過可能な微小な開口を配置することで微小な開口に到達する光束のみを光増幅媒体に戻すことにより、発振波長を可変なレーザを実現できる。つまり、このAOを2つ組合せることによりドップラー効果をキャンセルでき、AOの駆動周波数を10mSecで39.6~35.7MHzに変化させることで、挿引発振波長が1.09μm~1.21μm、100KHzの光源装置が実現できる。本例の詳細は、実施例6、実施例7で後述する。以上、説明したように、複数の分散素子を組合せて用いることで、光を波長に応じて分散させた複数の光束とし、分散した光束を互いに平行化させることが可能となる。次に複数の光束から所定波長の光束を選択する選択手段としての空間変調器の説明をする。空間変調素子としては、単一もしくは複数の微小な開口列を有し開口部に入射した光束を反射もしくは透過させる素子ライトバルブの他、進行性回折格子であるAOや電気光学素子ElectricOpiticaldevice:EO等を採用することができる。尚、遮光性の部材に光を透過する開口部を設け、開口部より光を透過させる素子を用いることもできる。まず、進行波を用いない空間変調素子について説明する。こうした空間変調素子は、数μmから数百μmの画素もしくは開口が一次元もしくは二次元的に並んでおり、この画素開口に入射した光束を所定方向に反射、又は透過させるタイプのものである。この空間変調器の例としてリボン状の金属箔を基板上に配して構成され、光を反射回折させるマイクロオプトエレクトロ機械素子について図3を参照して説明する。図3aはリボンを用いた反射回折素子を示す模式図である。この素子はリボン301とよばれる幅数μm、長さ数100μmの静電機能をもつ金属箔を基板302上にx方向に配列して構成されている。リボンの数本で一つの画素が構成され、リボンの各々は静電力により撓ますことで、隣のリボンとの段差として、波長λλは入射する光束の波長の4分の一の変位を生ずる。図3bはこのx方向のリボン列の断面を示し、一画素を6本のリボンで構成している例である。ここで光束350がこの画素に入射するとする。図3b左では6本のリボンの段差はないため、この画素は正反射が発生しミラーとして作用する。一方図3b右では、リボンが交互にλ/4の段差を生ずるよう変位しているので、位相型回折格子として機能する。これにより隣通しの反射光の位相がλ/2となり、隣のリボンの反射光と打ち消しあうため、画素としての正反射光は発生しない。正反射光が発生しない分は回折光として発生することになる。ここでは正反射光を利用する空間変調器として作用するので、この画素は図3左ではON、図3右ではOFF状態となる。図3cの1~3は、空間変調器のリボンの変位とレーザ発振との関係を示す模式図である。図3c1では、時間の経過に対するリボンの状態を示し、図3c2ではリボンの状態に対応した反射スペクトルを、図3c3ではレーザの発振波長を、それぞれ示している。アの時刻のリボンの状態に注目すると、図に示すようにリボン列内の左側に反射画素が形成している。この画素の位置で反射すると光増幅媒体に戻る反射スペクトルは2に示される画素の幅に関係したある広がりを持ったプロファイルになる。このような反射スペクトルが光増幅媒体にもどると反射スペクトルの幅の中でいくつかの縦モードが立つ。しかし、縦モードは反射プロファイルのピークの波長にエネルギーの集中が起こるので発振波長は、反射スペクトルのピークの波長となる。次に時刻イ~エの状態に注目すると、時間とともにリボンの反射画素が右に移動し、発振波長も同様に変化することが理解される。つぎに可変波長レーザの波長挿引速度について説明する。リボンの変位を駆動制御する周波数は約10MHzである。したがって1000画素を用いて100KHz以上の挿引速度を出すためには10画素が反射スペクトルに関与することになるが、上述のように、反射スペクトルのピークがレーザの発振波長を決めるので、100KHz以上の波長挿引速度を達成し得る光源を実現できる。空間変調器の例としてリボン状の金属箔を用いた反射回折素子を挙げたが、同様に、可動式のマイクロミラーを1次元もしくは2次元に配置し、それぞれのミラーの傾きを制御することで空間変調できるマイクロミラー素子や反射型液晶パネルなどを用いることもできる。次に、進行性回折格子を用いた空間変調素子について説明する。ここで、進行性とは、例えば屈折率の粗密波もしくは表面形状の凹凸が媒質中を空間的に進行しながら伝播する性質のことである。ここでは、AOやEOを使った例について説明する。これらの空間変調素子はAOやEOの駆動制御により、伝播媒質中に屈折率の粗密が一部少なくても一画素分欠落させて進行性回折格子を構成するものである。この進行性回折格子の粗密の欠落した部分が空間変調素子のON状態の画素として機能する。光増幅媒体より放出された光は、2つの回折格子により波長分散と、平行化がなされた光束となって、空間変調素子に入射する。空間変調素子の進行性回折格子が形成されている部分はOFFの画素として作用し、進行性回折格子が形成されていない領域が、透過もしくは反射してONの画素となる。反射の場合はそこで光増幅媒体に光束が戻る。透過の場合は透過位置の後方に設置したミラーにより反射され光束が光増幅媒体に戻る。そして屈折率の粗密が欠落したONの画素は媒質中を伝播媒質中を媒質に固有な高い進行速度で進行する。この高い進行速度により100KHz以上の波長挿引速度を実現することができる。以下、音響光学素子AcousticOpiticaldevice:AOを用いた空間変調素子について説明をする。AO変調素子はAO素子とその透過光を反射するミラーの組み合わせで構成される。この反射ミラーはレーザを構成する一方の共振器を構成するものである。次にAOの変調原理であるラマンナース回折について図5aを用いて説明する。ブラッグ回折の説明で述べたように、振動子53を駆動することによりAO結晶媒質50内に屈折率の粗密波54が進行する。ラマンナース回折でも同様にこのときの格子ピッチPは、駆動周波数fC、超音波振動の結晶媒質内の進行速度νm/Secを用いて8式で表される。ラマンナース回折は1式の入射角θを0とした場合であり、超音波の伝播速度νと駆動周波数fCと回折角φRとの関係は以下の式で表される。例えば、λ=1.15μm、ν=3300m/Sec、駆動周波数fC=80MHzとすると、±1次回折光の角度は、1.6°となる。図5bはAOの結晶媒質内の超音波の進行方向をx方向として屈折率の粗密の分布を示す。矢印の方向から光束が入射すると、図5bの屈折率の一定で粗密がない部分画素に対応では、この光束は0次回折光として透過する。一方、図5bの屈折率分布の周期が存在する部分は、ラマンナース回折を起こし±1次,±2次回折光が発生する。この±1次以上の回折光は、実施例4で後述するように、光増幅媒体には戻らないようにアパーチャーなどで遮蔽することが好適である。AO素子の透過位置の後方にミラーを配置することで、このミラーを用いて反射型空間変調素子として機能させることができる。つぎに、このAOを空間変調素子として用いた可変波長レーザの発振例を説明する。図5bのONの画素は、図3を用いて説明したと同様に、時間経過とともに屈折率の粗密として進行する。この画素の位置で反射するとレーザに戻る反射スペクトルは画素の幅に関係したある広がりを持ったプロファイルになる。このような反射スペクトルが光増幅媒体に戻ると反射スペクトルの幅の中でいくつかの縦モードが立つ。しかし、縦モードは反射プロファイルのピークの波長にエネルギーの集中が起こるので発振波長は、反射スペクトルのピークの波長となる。具体的な挿引速度の例を次に示す。上述した分散幅Δ=3.1mmをもち、超音波の進行速度を3300m/Secとすると、1100kHzの高速な挿引速度を実現することができる。進行性回折格子を用いた空間変調素子としては、この他、圧電効果を利用したEOデバイスや表面弾性波を利用した表面弾性波デバイスSurfaceAcousticWavedeviceを用いることも可能である。これらの空間変調素子を構成する画素で光を反射させて用いる場合には、光増幅媒体を光路中に挟んで構成される一対の共振器の片方の機能をも兼ねる。本発明において光を増幅させる光増幅媒体としては、例えば、半導体レーザを構成する活性層や、半導体光増幅器SOASemiconductorOpticalAmplifierを構成する活性層、エルビウムやネオジウム等を含有する希土類添加イオンドープ光ファイバー、光ファイバー中に色素を添加して色素により増幅を行うもの等を用いることができる。半導体光増幅器は、基本的には半導体レーザから共振器を外し、光の増幅過程を利用するもので、共振器を構成しないように、端面での反射を抑えた構造をとっている。しかし本発明の光源装置では、共振器内に光増幅媒体を有することから、半導体光増幅器の一端をミラーとして機能させ、他端に分散手段である第一の手段側に光を効率的に放出させるために無反射コートを施すことが好適である。この場合、半導体光増幅器の一端を、劈開面で構成された共振器の一方とすると共に、光源装置の光出射面として機能させることができる。または半導体レーザの一方の端面に無反射コートを施して用いることができる。半導体レーザや半導体光増幅器は、小型で且つ高速制御が可能であり、光源装置のコンパクト化、高速制御の観点から好ましい。半導体レーザや半導体光増幅器を構成する活性層は、一般的な半導体レーザを構成する化合物半導体等を用いることができ、具体的にはInGaAs系、InAsP系、GaAlSb系、GaAsP系、AlGaAs系、GaN系等の化合物半導体を挙げることができる。これらの活性層は、利得の中心波長が、例えば、840nm、1060nm、1150nm、1300nm、1550nm等の中から光源の用途等に応じて適宜、選択して採用することができる。希土類添加光ファイバーは、高利得で良好な雑音特性を得るためには好適である。色素添加光ファイバーは、蛍光色素材料やそのホスト材料などを適宜選択することで可変波長の選択肢が増すという利点がある。本願発明は、光干渉断層撮像装置OCT装置を包含する。本発明の光干渉断層撮像装置は、本発明の光源装置を備えたことを特徴とするものである。ここで、OCT装置における挿引波長幅と検体の厚み方向の分解能、及び、挿引波長のサンプリングピッチ幅と被検体の厚み方向の検出可能な幅について述べる。挿引波長のサンプリング波長間隔ΔλとOCT装置によって検出可能な検体の厚み方向光軸方向の最大幅Lは原理的に以下の関係がある。また、挿引波長の上限、下限をそれぞれλ1、λ2とし、OCTによって検出可能な検体の厚み方向光軸方向の分解能ΔLは、以下の式で示される。具体例で示すと、検出可能な検体の厚み方向光軸方向の最大幅Lは、サンプリング波長間隔Δλを0.15nm、中心挿引波長λを1.15μmとすると11式により、L=8.8mmとなる。また、検出可能な検体の厚み方向光軸方向の分解能ΔLは、挿引波長の上限λ1、下限λ2をそれぞれ、1.09μm、1.21μmとすると、ΔL=5.5μmとなる。以下、具体的な実施例を挙げて、本発明を詳細に説明する。尚、煩雑を避けるためにこれまでの説明に使用した図と同一の部位には原則同一の符号を付すようにしている。実施例1及び比較例1図1は、2つの透過型回折格子を用いた本発明の光源装置の例を示す模式図である。図1において、101はレーザ発振する機能を有する光増幅器、102は光増幅媒体としての活性層、103は光増幅器101の一方の端面で共振器ミラーの機能と出力光を取り出す機能のため半透過ミラーとなっている。104は無反射コートを施した光増幅器の他方の端面である。110は活性層102から空間に放射した光束で、活性層のゲイン幅に依存した波長に幅のあるものである。105は空間に放射した光束110の形状を整形し、108の空間変調器に集光する光学系である。106は光束110を波長分散させる第一の回折格子であり、107は分散された波長の異なる光束同士を平行化する第二の回折格子である。回折格子106、107の格子ピッチは共に1.5μmで、両者を15mm離間させて平行に配置する。111は分散により得られた波長の長い光束、112は波長の短い光束をそれぞれ示し、109は空間変調器によって選択された波長の光束を活性層102に戻すための反射ミラーである。本実施例では、InGaAs層とGaAs層とを交互に積層して構成される量子井戸構造を有する厚み1μmの活性層102を備えた光増幅器101を用いた。光増幅器101を構成する活性層102に電気的エネルギーが与えられると放射光を発生する。この放射光は活性層102のなかで増幅し共振器103側と無反射コート104側に伝播する。無反射コート104を通過した放射光は空間に放射される。この光束110は非点収差を持つため波面は非光軸対称な波面になる。ここで光学系105により光軸対象の球面波に変換する。この球面波は光を波長に応じて分散する回折格子106と分散した光束を平行化させる回折格子107を透過後、空間変調器108上に集光する。活性層102より放射された光光束110は、回折格子の回折面に対して垂直に入射されるので入射角θ1=0となる。上述の1式~6式で示したように、回折格子107出射の際の角度もφ2=0となる。半透ミラー103より出射される出力光113を光スペクトラムアナライザーで測定すると中心波長を1.15μm、波長掃引幅を1.09~1.21μmとするレーザ光が検出される。尚、中心波長1.15μm及び短波長端1.09μm,長波長端1.21μmの回折角は3式により、それぞれ50.1°、46.6°、53.8°となる。また、短波長端と長波長端の幅Δは、7式より、Δ=4.6mmとなる。ここで、従来技術の光源装置に相当する比較例を示す。つまり、この比較例は図16に示した光源装置に相当するものである。図16に示した集光レンズ1624の焦点距離をfoとし、光増幅器1601の近傍のビーム整形レンズ1605の焦点距離をfbとする。また、光増幅器1601の活性層の厚みは0.001mmとして考える。以上の条件における集光レンズ1624の光軸方向の安定度δz,光軸と垂直方向の安定度をδyとする。集光レンズ1624の位置がδzもしくはδyずれたときの光束は、本来の照射されるべき位置からδθだけ偏向する。このδθ偏向した光束が活性層のなかに戻るには、活性層中心から境界までの距離が0.0005mmなので、以下の式を満たさなければならない。ここで、fb=3mmとすると、となる。δz,δy方向の許容量を算出する。まずδzについて考察すると、光束幅は上記のようにΔとすると、この時のδθはδzの関数として、以下の14式で表される。つぎにδyについて考察すると、となる。いまΔ=4.6mm、fo=15mmとする。これは実施例1の回折格子107を集光レンズで置き換えたことに相当する。13、14、15式より次の値が得られる。即ち、となる。以上のことから、集光レンズ1624を用いる従来の光源装置では、光軸の許容位置がz方向で17μm以下、y方向で0.013μm13nm以下となることが理解される。特にy方向については、ナノメートルオーダーの精密さを要求する極めて厳しいものとなる。一方、本発明の光源装置においては、分散した光束を平行化させる手段として非集光光学素子回折格子を用いることで、z方向、y方向の許容量δz、δyは、原理的に制限がなく、実際上は機械的干渉で制限されるのみとなる。即ち、本発明の光源装置では、掃引範囲内の全域で発振し、光強度が安定な光源装置を構成するのに極めて精密な計測と厳密な位置決めといった困難は作業を必用とせず、簡易に光源装置を構成できる。実施例2図6を用いて実施例2の光源装置について述べる。本例は、回折格子として回折効率の高いブレーズド反射型回折格子を用いた例である。本例の光源装置は、光の利用効率が高いことに加え、反射型として光路を折り返しているため、光軸方向サイズをコンパクトにできるという特長がある。166は光増幅器101からの放射光110を分散させるところの反射型ブレーズド回折格子であり、167は波長分散させた光束110同士を平行にする166と同じ反射型ブレーズド回折格子である。108は受光位置に応じて所定波長の光束を選択的に活性層に戻すためのリボン状の金属箔を用いた空間変調器である。151は活性層から出射した楕円形状の光束を平行にするコリメータ、152はその楕円形状の光束を円形にすることで平面波にするビーム成形プリズムである。153は平面になった光束を空間変調器108上に集光させるための集光レンズである。光増幅器101の出射端面で共振器の一方のミラーを構成する113より出射されるレーザ光は、コリメータレンズ154、ビーム成形プリズム155、カップリングレンズ156を経てファイバー115に入光する。反射型ブレーズド回折格子を溝本数600本/mm、ブレーズド角30°として構成すると1次回折光の効率は80以上になる。波長分散素子および光束の平行化素子として、2つの反射型ブレーズド回折格子を用いると、回折効率が高いことに加え、光路を折り返した光源装置となるので波長制御性に優れ、且つ長さを抑えたコンパクトな光源装置を構成できる。実施例3図7に示した光源装置の例について述べる。本例の装置は、実施例2の装置を光軸方向にさらにコンパクト化したものである。本例の装置は、実施例2の装置と同じく2つのブレーズド反射型回折格子と折り返し光学系を採用すると共に、光増幅器105とブレーズド反射型回折格子166との間に半透明ミラー176を配置して出力光を光増幅器101が作る光軸からはずした方向に取り出す光学系を採用している。これにより実施例2に示した光増幅器が作る光軸の延長上に出力側のレンズの配置する構成に比較して、一層のコンパクト化が図れるという特長がある。また、一方向出射の光増幅器を用いることができるので、実用上安価な光源が実現できる。図7の装置では、光増幅器101から放射した光光束110は、まず光学系105により平行光に変換される。さらに光束110は半透明ミラー176を一部が透過し残りは反射し光束110’としてファイバー115の方向に向かう。透過した光束は集光レンズ145により、反射型ブレーズド回折格子166、167で反射されて空間変調器108と共振器を兼ねた素子に光の波長に応じて、例えばリボン状の金属箔を用いた空間変調器の所定の画素に集光する。空間変調器108で選択された波長の光束は反射されて、再び反射型ブレーズド回折格子167及び166で反射される。次いで反射光は半透明ミラー176を透過して光増幅器101に入り光増幅される。さらに光増幅器101で光増幅された光は光増幅器101の端面133で反射し、さらに光増幅されながら光束110として、光学系105に向かう。ここで半透ミラー176の反射吸収によるエネルギーのロスがあってもレーザ発振が動作するように半透ミラーの透過率は設計されている。以上の繰り返しにより波長選択された光束がレーザ発振し、その一部は半透明ミラー176を介して集光レンズ125を通り出力ファイバー115に導かれる。このような構成とすることで増幅された光は、光束110とは非軸外方向ここではほぼ垂直方向の光束110’として導き、出力光113として取り出すことできる。本例の装置は、光増幅器が作る光軸の延長上に出力側のレンズの配置した実施例2に示した装置に比較して一層のコンパクト化が図れるという特長がある。また、一方向出射の光増幅媒体を用いることができるので、安価な光源を構成できる。実施例4本例は、実施例1の光源装置の空間光変調器108として音響光学素子AOを用いた例である。AOを用いた空間変調器の原理は、発明を実施するための形態で詳細に説明した通りである。つまり、伝播媒質中に屈折率の粗密が一部少なくても一画素分欠落した進行性回折格子を生成させ、この欠落部分をONの画素、進行性回折格子が形成されている部分をOFFの画素として利用するものである。図8を参照して以下説明する。尚、図8では図1で示した部位と同様の部位には同じ番号を付している。光増幅器101より出射され、2つの回折格子106及び107により波長の分散化と平行化がなされた光束は、空間変調器108に入射する。AOを構成する伝搬媒質中を屈折率の粗密波184が進行し、進行性回折格子が形成されている部分はOFFの画素、進行性回折格子が形成されていない領域が透過もしくは反射してONの画素となる。反射の場合はそこで選択された光束は、光増幅媒体102側に戻り、透過の場合は後方に配置してあるミラー109により光増幅媒体102側に戻る。そしてONの画素は媒質中を媒質に固有な高い速度で進行する。この高い進行速度により100KHz以上の波長挿引速度を実現することができる。187は活性層102からの楕円光束を円形に整形し集光させる光学系であり、図8ではレンズ1枚を示しているが、複数枚で構成してもよい。188はAOからの回折光を遮光する開口であり、189は開口188から広がった光束をAO108の後ろに配置した共振器を構成するミラー109上に集光させる集光レンズである。ここで、活性層102の出力端で無反射膜104が施してある面と共振器のミラー109は光学的に共役関係にある。一方、開口188と共振器のミラー109は非共役関係になっている。これによりAOによる0次以外の±1次などの回折光は開口188で遮光され、活性層102側には戻らない。活性層102として実施例1で述べたのと同様の活性層を用い、回折格子についても離間させる距離を10mmとした以外、実施例1と同様に配置する。これにより中心波長を1.15μm、波長掃引幅を1.09~1.21μmとするレーザ光が得られる。ここでAOは、媒質を構成する結晶のサイズに制限があるので、回折格子106、107の間隔をd=10mmとしており、短波長端と長波長端の分散幅Δは、7式より、Δ=3.1mmに広がる。AOの進行速度を3300m/Sec、AOの駆動周波数を80MHzとすると波長1.15μmで一次回折光の回折角は1.6°となる。少なくともこの±1次回折光を遮蔽するように開口188の径と集光レンズ189の焦点距離を決めることにより、挿引速度1MHz以上の高速な波長挿引光源が実現できる。実施例5本例は、空間変調器として表面弾性波素子SAWデバイスを用いる例である。図9abは、表面弾性波素子SAWデバイスを示す模式図である。この素子を用いると、表面弾性波の速度が4000m/Secと高速なため、挿引周波数が1MHz以上の波長挿引速度が得られると共に、SAWデバイスがAOに比べて薄いことから、より小型の光源装置が構成できる。SAWデバイスを用いた空間変調器としての原理は、実施例4で述べたのと同様である。電極に高周波の電圧をかけて超音波振動させることにより進行性回折格子がSAWデバイス中を進行する。ここでSAWデバイスの駆動を周期的に一時休止させるような間欠的な駆動する。こうすると屈折率と面形状変化の粗密が、約一画素分欠落した進行性回折格子が形成される。この欠落した部分がONの画素と作用する。つまり、その画素位置に対応する波長の光束が0次光としてそのまま選択的に基板との界面で反射する。尚、この界面は共振器の一方のミラーとして作用する。反射した光束は活性層102に戻りその波長でレーザ発振する。一方、屈折率と面形状変化の粗密がある部分は回折光が発生し、0次反射光は発生しないのでOFFの画素として作用する。その画素から発生する0次光以外の回折光は、活性層側に戻るが途中に配された開口や活性層の開口で遮蔽されレーザ発振には寄与しない。図9aにおいて、921は表面弾性波素子、922及び923は表面弾性波を発生させる電極である。924は電極922、923に電圧を印加する駆動電源回路である。図9bは、表面弾性波素子921の模式的断面図である。912は圧電効果のある薄膜で、例えばリチウムナイオベートLiMbO3を用いることができる。絶対屈折率noは2.232、実効屈折率neは2.156である。911は圧電性薄膜912を保持する基板であり、この基板911と圧電膜912との界面は挿引波長の入射光に対して反射膜として機能する。表面弾性波は、電極922及び923に高周波の交流電圧をかけることにより屈折率と表面形状の粗密となって表面を伝播する。その速度は4000m/Secである。電極922及び923の幅を1μmとし、これらを1μmの隙間を設けて配置すると、ピッチPが4μmの表面波が伝播する。このとき±1次回折光は±16.7°となる。また、電極に電圧を印加したときのリチウムナイオベート膜の屈折率の変化を0.024、屈折率が変化する深さを波長4μmの3倍、12μmとすると光路長差は0.288μmとなる。これは入射光の波長λ=1.15に対しλ/4に当たるので、このとき回折光の0次光の強度は0となる。実施例6以上の実施例では光増幅媒体からの放射光の波長分散と光束の平行化するための素子として、2つの静的な回折格子を用いた。本実施例は、時間的にも空間的にも動的な進行性の進行波を用いる回折格子で構成した例である。進行性回折格子の基本的概念は発明を実施するための形態の項で上述した通りである。この方式では音響光学素子AOによるブラッグ回折のうち、一定の角度でブラッグ回折する波長を選択して光増幅媒体側に戻すことでレーザ発振を起こさせる。9式に従ってAOの駆動周波数fCを走査させるとブラッグ回折角θBが一定であるのでλが走査することになる。これにより波長挿引光源を実現することができる。本実施例のように2つのAOを用いることで進行性回折格子のために発生する波長のドップラーシフトをキャンセルすることができる。図10aを用いて本実施例の装置を説明する。図10aにおいて、1006は光増幅媒体からの放射光を分散化する第一のAOであり、1007は第一のAO1006により分散した光束を平行化する第二のAOである。ここで、第一のAO1006と第二のAO1007における回折の位置は、振動子1053側、1054側からの距離を等しくし、同一ピッチの粗密波が到達する位置になるようにしてある。1027は2つのAO1006及び1007を同時に駆動するためのドライバーである。1028はAO1007により並行化した光束から特定の波長の光束を選択するための開口であり、1009は光増幅器1001の端面103と共振器を構成するミラーである。105は光増幅器101からの光束をミラー1009上に集光させる集光レンズである。以下、実施例の動作について述べる。まず、2つのAO1006及び1007をドライバー1027により周波数f1で駆動しておく。次に、光増幅器101に不図示の電源より電気エネルギーを印加することで光増幅器101で発生した光は集光レンズ105を通過後、第一のAO1006に入る。このとき発生する回折光の回折角ブラッグ回折角と波長との関係は9式で示した通りであり、AO1006への入射角がブラッグ回折角θBとなる。図10aから明らかなようにθBは固定である。第一のAO1006により回折する光の波長をλ1として、この回折した光束は同一周波数で駆動している第二のAO1007へ入り同様なブラッグ回折を生ずる。その後、開口1028により所定波長の光束が選択波長幅を制限されてミラー1009に到達する。ミラー2009で反射した波長λ1の光束は往路と同じ光路を経て光増幅器101の活性層に入り、半透ミラー103までの間で増幅される。さらに半透ミラー103で反射した光束はミラー1009との間を往復することで増幅され、波長λ1の出力光113が半透ミラー103より出射される。次にドライバー1027の駆動周波数をf2に変化させる。すると屈折率の粗密のピッチである回折格子のピッチが変わる。ブラッグ回折角θBは一定なので、回折波長は9式に従い波長λ2と変化する。これを模式的に示したのが図10bである。ここでAO1006、1007によるドップラーシフトについて説明する。一般に進行性回折格子を用いると回折光の波長はドップラーシフトを受ける。AO1006では進行波の進む方向と同じ側に回折しているので、回折光の周波数は、AO1006の駆動周波数f1だけ加算される。一方、AO1007では進行波の進む方向と逆側に回折しているので-f1だけ加算される、つまりf1だけ減算されることになる。従って、AO1006とAO1007でAOの進行波と逆な回折を組合わせることにより、ドップラーシフトをキャンセルすることができ、安定なレーザ発振を実現できる。具体的な数値を示すと以下の通りである。AO結晶内の超音波の伝播速度を3300m/Sec、ブラッグ回折角=35mrad2°とし、実施例1と同様の活性層用いることで、λ1=1.21,λ2=1.09μmとする。これを9式に当てはめると、f1=35.7MHz、f2で=39.6MHzとなる。従って、AOの駆動周波数を35.7~39.6MHzの範囲で変化させることにより、レーザの発振波長を1.21~1.09μmの範囲で変化させることができる。この駆動周波数を、例えば10μSecの周期で、f1からf2に鋸歯波状として連続的に変化させることにより、100KHzの波長挿引光源が実現できる。また、本実施例では、空間変調器に相当する部分を遮光部材に形成した開口で構成することで、安価な波長挿引光源が実現できる。実施例7本例の光源装置の模式図を図11に示す。図11の光源装置は、実施例6の光源装置を基にしており、出力光113が実施例6とは反対のミラー1009側より出射される点が実施例6の装置との違いである。つまり光増幅器101の端面を構成する共振器103をミラーで構成し、反対側の共振器1009を半透ミラーで構成した以外は図10の装置と同様である。本例の装置は、出力がAO側となり入手しやすい片側ミラーの光増幅器を用いることで、実施例6に比べて安価な波長挿引光源が実現できる。実施例8本例の光源装置は、実施例1に示した装置における光変調器108に代えて、図12に示す回転型スリットスリットホイール1208を用いた例である。図12の回転型スリット1208は、回転円盤1220上に複数の透過型スリット1221が、円周上に一定の間隔で、かつその長手方向がその回転円盤の回転中心を通るように配置され、回転円盤1220の後方に反射ミラー共振器ミラー1225を配して構成されている。この装置では、光の分散領域1227を一つのスリットが通過することにより、分散領域内に存在する波長の光が連続的に選択されて反射ミラー1208により反射され発振波長掃引することになる。ここでは、透過型のスリットを採用した例を示したが、スリットを反射型として、スリットの機能と共振ミラー1225の機能を一体化してもよい。実施例9本例は、ファイバーリングレーザを用いた装置の例である。図13において、1335は光導波路であるファイバー、1132は光路の方向性を制御するサーキュレータ、101は光増幅器、1134は出力光113を取り出すために光を分岐するカップラーである。光増幅器101は、半導体光増幅器や希土類ドープ光ファイバーで構成する。光増幅媒体101からの放射光はカップラー1334で一部は出力側のファイバーに分かれ、残りは光ファイバー1335、サーキュレータ1332、集光レンズ105を介して、2つの回折格子166及び167側に導かれる。空間光変調器108とミラー109は前述したのと同様の部材で構成される。ここで波長選択した光束はサーキュレータ1332に戻り、再び光増幅器101内で増幅される。これを繰り返して光が増幅され、レーザ光113が出射される。本例の装置においては、ファイバー導波路を用いることで光路は空気揺らぎのない安定なものとなり、出力が極めて安定な可変波長光源が実現できる。実施例10本例は、本発明の波長挿引光源装置を備えた光干渉断層撮像装置OCTの例である。OCTは、一方のアーム測定部において得られる光軸方向に複数の界面を有する検体からの反射光と、他方のアーム参照部において得られる参照面からの反射光と、を干渉させ、光源の波長を挿引することにより得られる変調干渉信号をフーリエ変換して、断層情報を得る装置である。図14は、本発明のOCT装置の一例を示す模式図である。図14において1482は本発明の波長挿引光源装置を用いた光源部、1486は検体である眼を構成する眼底の網膜を示す。1490は眼底を走査するためのミラーであり、検体1486からの反射光を伝達させる光ファイバー1485と共に検体測定部を構成する。1488は参照ミラーであり、参照ミラーからの反射光を伝達させる光ファイバー1487と共に参照部を構成する。1484は検体測定部からの反射光光束と参照部からの反射光光束を合波して干渉部を構成するファイバーカップラーである。1495は干渉部からの干渉光変調干渉信号を検出する光検出部としての光電変換素子である。1496は電気的に検出した信号をデジタル化し、フーリエ変換などのデータ処理を行い、検体の断層画像を構築する画像処理部としてのコンピュータである。つまり、光検出部で検出された光に基づいて断層像が得られる。1497はその断層像を可視化するディスプレーである。光源部1482より出射された光束は、ファイバー1483を通り、カップラー1484で2方向に分岐する。分岐した一方の光束は、ファイバー1485を通り、検体である眼の網膜を照射する。そして反射光が同様にファイバー1485を再び通りファイバーカップラ1484に戻る。分岐した他方の光束はファイバー1487を通り参照ミラー1488を照射する。この反射光はファイバー1487を再び通りファイバーカップラー1484に戻る。カップラー1484で被検面からの反射光と参照面からの反射光が干渉した後、ファイバー1494を通って光電変換素子1495に入る。このとき光源部1482より出射される光の波長を12式に示すλ1からλ2式まで変化させると、前述のように断層構造に応じた変調干渉信号が得られる。この信号をデジタル化しコンピュータ116でフーリエ変換することにより断層信号が得られる。これはポイントとしての断層信号なので、ミラー110を走査して一次元方向の断層信号を測定し、ディスプレー1497により可視化することにより光断層像が得られる。ここで光源部1482を実施例1で示した光源装置で構成したものとして、空間変調器の画素数と画素ピッチについて述べる。OCT装置における検体の深さ方向の分解能と検出幅は光源スペクトルの波長挿引幅とスペクトル幅に依存することは前述した通りであり、11式のLが深さ方向の検出幅であり、12式が検出分解能となる。挿引波長のサンプリング間隔ΔλとOCTによって検出可能な被検体の厚み方向光軸方向最大幅Lは11式に示した通りである。実施例1の光源装置は、短波長端と長波長端の幅Δは、Δ=4.6mmであり、λ1-λ2=0.12μmである。Δ=4.6mmを光源装置を構成する空間変調器により1000分割するとΔλ=0.12nmとなり、本式に従うと、検出可能な被検体の厚み方向光軸方向最大幅はL=11mmとなる。また、このときの検出可能な検体の厚み方向光軸方向の分解能ΔLは12式より、ΔL=5.5μmとなる。画素数1000個、画素ピッチ4.6μmの空間変調器を光源装置に用いることにより、被検深さ11mm、分解能5.5μmのOCT装置が構成できる。本発明による光源装置により挿引速度が100KHz以上のため高速に光断層像が検出できまた検出深さ幅が広く深さ方向の検出分解能が高いOCT装置を提供できる。尚、本発明のOCT装置は、実施例で示した光源装置を光源部に用いたものは、勿論、本発明の光源装置を光源部に用いたものを包含する。"