"先端がダイアフラムに接続されたクロスヘッドの末端を、付勢部材の付勢力によりカムに当接させるカム駆動の直動ダイアフラムポンプを複数並列に接続し、各直動ダイアフラムポンプのカム形状を、前記複数のダイアフラムの瞬時の吐出流量の総和を常に一定とする形状であって、吐出行程の初期に発生する吐出量の減少を補償するために吐出量の減少量以上にポンプ室容積を減少させる補償行程が、吸引行程と前記吐出行程との間に実行される形状とし、各直動ダイアフラムポンプに、前記補償行程およびそれに対応する吸引行程の一部において、前記付勢部材の付勢力に抗して前記クロスヘッドの退避を機械的に制限することで前記クロスヘッドとカムとの当接を制限する調節手段を設け、当該調節手段による退避制限位置を調整することで前記補償行程での容積減少量が調整される、ことを特徴とする無脈動ポンプ。ここで、この特許文献1では、ダイアフラムポンプとして、プランジャの往復運動を、油などの作動流体を介してダイアフラムに伝達する油圧式ダイアフラムポンプを用いている。かかる油圧式ダイアフラムポンプは、油を嫌う場面では使用し辛いという問題があった。そのため、油を嫌う場面では、作動流体油を介することなく、往復運動子の動きを直接、ダイアフラムに伝達する直動式ダイアフラムポンプが多用されていた。しかし、こうした直動式ダイアフラムポンプは、吐出圧力の変動の影響を大きく受けるため、吐出精度が悪く、無脈動ポンプとしては、はなはだ限定されたものであった。特に、吐出開始時には、ダイアフラムの有効面積の微小変化や、機械的ながたなどに起因する流量の減少が生じることがあり、この吐出開始時における流量の減少により、瞬時の合成吐出量が変動し、脈動が生じるという問題があった。つまり、従来、油汚染を嫌う場面でも使用可能で、性能の良い無脈動ポンプはなかった。なお、往復運動子の駆動機構としては、カムカムフォロア機構やスライダークランク機構などの他に、スプリングバック機構も知られている。スプリングバック機構は、非特許文献1に開示されているように、往復運動子の末端を、スプリングの付勢力によりカムに当接させ、これにより往復運動子をカムの回転に応じて往復駆動させる機構である。このスプリングバック機構を駆動機構として採用した直動式ダイアフラムにより無脈動ポンプを構成する場合には、次のような問題があった。従来、駆動機構としてスプリングバック機構を採用したポンプには、平均流量を調整するために、スプリングの付勢力に抗して往復運動子のカム方向への移動を制限するストッパが設けられていた。従来は、このストッパにより、往復運動子の戻り量を制限することにより流量波形を変えて平均流量を制御していた。ここで、無脈動ポンプにおいては、各ポンプでの流量波形が予め設定されたとおりにすることが重要である。換言すれば、上述したストッパのように、平均流量を変化させるために流量波形を変えた場合には、合計吐出流量が変動することになり、脈動が発生することになる。そのため、スプリングバック機構を無脈動ポンプに応用する場合には、平均流量の調整にストッパは用いず、往復運動子の駆動回転数を変更する周波数制御を行なうことが必要となる。しかし、この周波数制御では、平均流量を調整することはできても、上述した吐出開始時における流量の減少の補正はできず、結果として、微小な脈動が生じてしまっていた。つまり、従来のスプリングバック機構を、そのまま直動ダイアフラムポンプの駆動機構として採用したとしても、油汚染を嫌う場面でも使用可能で、性能の良い無脈動ポンプを得ることは困難であった。そこで、本発明では、油汚染を嫌う場面でも使用可能で、性能の良い無脈動ポンプを提供することを目的とする。本発明の無脈動ポンプは、先端がダイアフラムに接続されたクロスヘッドの末端を、付勢部材の付勢力によりカムに当接させるカム駆動の直動ダイアフラムポンプを複数並列に接続し、各直動ダイアフラムポンプのカム形状を、前記複数のダイアフラムの瞬時の吐出流量の総和を常に一定とする形状であって、吐出行程の初期に発生する吐出量の減少を補償するために吐出量の減少量以上にポンプ室容積を減少させる補償行程が、吸引行程と前記吐出行程との間に実行される形状とし、各直動ダイアフラムポンプに、前記補償行程およびそれに対応する吸引行程の一部において、前記付勢部材の付勢力に抗して前記クロスヘッドの退避を機械的に制限することで前記クロスヘッドとカムとの当接を制限する調節手段を設け、当該調節手段による退避制限位置を調整することで前記補償行程での容積減少量が調整される、ことを特徴とする。本発明の無脈動ポンプは、作動流体を用いることなくダイアフラムを撓ませるダイアフラムポンプであって、補償運動によるポンプ室容積の減少量が調節可能なダイアフラムポンプを用いているため、吐出圧力の変化による脈動の発生に対しても機械的な調整をすることで脈動を最小にすることが可能であり、油汚染を嫌う場面でも使用可能である。以下、本発明の実施形態を図面に従って説明する。図1は、本実施形態に係る無脈動ポンプ10の概略構成を示す図である。また、図2、図3は、無脈動ポンプ10に設けられたダイアフラムポンプ12の概略構成を示す図である。なお、図2は、図6における動作ポイントa1での、図3は、図6における動作ポイントa2でのダイアフラムポンプ12の様子を示している。無脈動ポンプ10は、図1に示すように、二つのダイアフラムポンプ12A,12Bを含む。これらのダイアフラムポンプ12A,12Bは同一の構造を有しており、以下において、これらを区別する必要がないときには、添字アルファベットを省略し、単にダイアフラムポンプ12という。各ダイアフラムポンプ12は、ポンプ室14や、クロスヘッド24、当該クロスヘッド24を往復進退させる駆動機構、後述する補償運動によるポンプ室容積の減少量を調節する調節機構などを備えている。ポンプ室14は、クロスヘッド24の往復進退に伴い容積が増減し、これにより、対象流体を吸引または吐出する閉鎖空間である。ポンプ室14の一側面は、弾性で変形可能材からなるダイアフラム16で覆われており、当該ダイアフラム16が撓むことでポンプ室14の容積が増減するようになっている。本実施形態では、一側面が開口した深皿状部材18の開口部を、ダイアフラム16で覆うことで、ポンプ室14を構成している。このポンプ室14は、吸引側逆止弁20を介して吸引管44に、吐出側逆止弁22を介して吐出管46に接続されている図1参照。吸引管44は、対象流体の供給源図示せずに連結された管であり、この吸引管44を介してポンプ室内に対象流体が導かれる。また、吐出管46は、対象流体を出力する管である。各ダイアフラムポンプ12に接続された吐出管46は、最終的には、一本の出力管48に合流する。この出力管48に流れる対象流体の流量は、二つのダイアフラムポンプ12A,12Bからの吐出流量の合計量となる。本実施形態では、この出力管48に流れる対象流体の瞬時の流量が常時一定になるように、各ダイアフラム16の駆動を制御している。吸引側逆止弁20は、ポンプ室14の容積が増加するときには、対象流体のポンプ室14への流入を許容し、ポンプ室14の容積が減少するときには、対象流体のポンプ室14への流入を阻害するように作用する。また、吐出側逆止弁22は、ポンプ室14の容積が増加するときには、対象流体のポンプ室14からの流出を阻害し、ポンプ室14の容積が減少するときには、対象流体のポンプ室14からの流出を許容するように作用する。クロスヘッド24は、往復進退することによりダイアフラム16を撓ませる往復運動子として機能するもので、その一端がダイアフラム16に連結された棒状部材である。このクロスヘッド24は、略円筒形の筐体26内において、長軸方向に往復進退可能に設置されている。このクロスヘッド24が往復進退し、ダイアフラム16が撓むことで、対象流体の吸引吐出が行なわれる。すなわち、クロスヘッド24が進出し、ダイアフラム16がポンプ室内側に撓むと、ポンプ室14の容積が減少する。そして、ポンプ室14の容積減少に伴い、ポンプ室14の内部には、吸引管44および吸引側逆止弁20を介して、対象流体が流入する。一方、クロスヘッド24が退避し、ダイアフラム16がポンプ室外側に撓むと、ポンプ室14の容積が増加する。そして、ポンプ室14の容積増加に伴い、ポンプ室14の内部に貯留された対象流体は、吐出側逆止弁22および吐出管46を介して、ポンプ室14の外部に吐出される。クロスヘッド24の中間部分からは、略円板状の鍔体32が突出形成されている。この鍔体32は、当然ながら、クロスヘッド24とともに進退するようになっている。略円筒形の筐体26の内部には、当該筐体26の内部空間を仕切る二つの壁、すなわち、中間壁28および後端壁30が形成されている。中間壁28および後端壁30の中央には、クロスヘッド24が挿通される孔が形成されており、両壁28,30の間にはスプリング34等が収容される空間31が形成されている。この空間31は、既述の鍔体32の進退範囲が収まるような位置サイズに設定されている。中間壁28と鍔体32との間には、鍔体32、ひいては、クロスヘッド24を、ポンプ室14から離れる方向に付勢するスプリング34が設けられている。このスプリング34は、クロスヘッド24をカム体38に近づける方向に付勢する付勢手段として機能するもので、カム体38と協働して、クロスヘッド24を往復進退させる駆動機構を構成する。このスプリング34の付勢力により、後述する当接板36とカム体38とが当接した状態が保たれる。後端壁30のうち鍔体32との対向位置には、雌ネジが形成されている。この雌ネジには、その先端が空間31の内部に突出し、ユーザにより回される調節ボルト40が螺合されている。この調節ボルト40は、退避してきたクロスヘッド24より正確にはクロスヘッド24の鍔体32に当接して、クロスヘッド24の更なる退避を規制する調節手段として機能するものである。この調節ボルト40は、その先端は、鍔体32に当接するようになっており、往復運動方向図2における左右方向における鍔体32との当接位置は、適宜、調節できるようになっている。そして、この当接位置を調節することにより、カム体38とクロスヘッド24との当接が解除される解除期間が調節され、ひいては、補償運動によるポンプ室容積の減少量が調節されるが、これについては後に詳説する。クロスヘッド24の後端は、後端壁30より外側に突出しており、このクロスヘッド24の後端には略円板状の当接板36が固着されている。この当接板36と当接する位置には、モータ42により回転駆動するカム体38が設けられている。このカム体38は、クロスヘッド24より正確にはクロスヘッド24の当接板36と当接した状態で回転することで当該クロスヘッド24の往復運動を規定するもので、スプリング34と協働して、クロスヘッド24を往復進退させる駆動機構を構成するものである。このカム体38は、図2に示すように、略卵型の偏心形状となっている。本実施形態のカム体38は、クロスヘッド24を進出させて対象流体をポンプ室14から吐出させる吐出運動と、クロスヘッド24を退避させて対象流体をポンプ室14に吸引させる吸引運動と、後述する補償運動とを行なわせ得る形状となっている。より具体的には、本実施形態のカム体38の外形は、回転に伴いクロスヘッド24との当接位置が徐々にポンプ室14に近づく吐出範囲と、回転に伴いクロスヘッド24との当接位置が徐々にポンプ室14から離れる吸引範囲と、回転に伴いクロスヘッド24との当接位置が僅かにポンプ室14に近づく補償範囲と、が連なった形状となっている。このカム体38で規定されるクロスヘッド24の往復運動プロフィールを図4を参照して説明する。図4は、二つのダイアフラムポンプ12のクロスヘッド24の速度の時間変化を示す図である。二つのクロスヘッド24の速度波形は、位相が180°ずれているのみで、形状は同一である。流体の吐出において損失がないとすれば、吐出流量は、クロスヘッド24の速度とダイアフラムの有効面積との積に比例する。したがって、吐出行程中、ダイアフラムの有効面積が変わると瞬時流量も変化する。個々のダイアフラムポンプ12の運動は、速度vが正である吐出期間Pdと、速度vが負である吸引期間Psと、さらに吐出期間Pdと吸引期間Psとの間の期間である補償期間Pcを繰り返す。吐出期間Pdは、クロスヘッド24がポンプ室側に進出し、その容積を縮小するように運動し、ポンプ室14内の対象流体を吐出する期間である。また、吸引期間Psは、クロスヘッド24が後退し、ポンプ室14の容積を拡大するように運動し、ポンプ室14内に吸引管44より対象流体を吸い込む期間である。補償期間Pcは、吐出期間Pd初期における吐出量の減少に対応するために設けられた期間であり、クロスヘッド24の速度は正であるが、この期間における対象流体の吐出は原則ない期間である。吐出期間Pdは、さらに一方のダイアフラムポンプ12のみで対象流体の吐出を行う単独吐出期間Pd1と、双方のポンプの吐出を合成する合成吐出期間Pd2とからなる。合成吐出期間Pd2の合成された吐出流量は、単独吐出期間Pd1の吐出流量に一致する。この結果、二つのダイアフラムポンプ12の合成吐出流量は常に一定となる。図5は、クロスヘッド24の速度vと、そのクロスヘッド24に対応するダイアフラムポンプ12の吐出流量qの詳細を示す図である。補償期間Pcを設けなかった場合、クロスヘッド24の速度vは破線で示すように吐出期間Pdの開始と共に増速するが、実際の吐出流量qは、実線で示すように吐出期間Pdの開始初期において、吐出しなくなる場合も含め、減少する。このときの吐出量の減少は図中斜線ハッチングを施した部分の面積Ssに相当する。この減少は、各種の損失によって生じるものであり、無脈動ポンプ10の無脈動性を阻害する場合がある。また、この吐出量の減少量は、当該ポンプの運転条件、ポンプの個体差などにより異なる。この吐出量の減少を補うために、前述の補償期間Pcが設けられている。このとき補償期間Pcにおいて、クロスヘッド24は、進出方向に運動し、ダイアフラム16の伸び、機械的駆動部分のがた、ポンプ室14内のエア、逆止弁20,22の漏れなどによる体積損失を埋めるように、あらかじめポンプ室14の容積を減少方向に補正する。この損失を補償するためのクロスヘッド24の運動以下、補償運動と記すは、対象流体を吐出する方向の運動となるが、このときには吐出は原則行われない。このときのクロスヘッド24の補償運動によって減少するポンプ室14の容積は、図中おいて砂目ハッチングを施した台形部分の面積Scに相当する。ここで、このクロスヘッド24の補償運動によるポンプ室14の容積減少分の面積Scは、理想的には、損失による吐出量の減少量の面積Ssと等しくするべきである。しかし、損失による吐出量減少が生じることはあらかじめ想定されるが、その量Ssは、実際にはポンプの設計時点で見込むことが難しく、またポンプの運転圧力などの運転条件によっても変動する。補償運動によるポンプ室14容積減少量Scは、クロスヘッド24の動き、すなわちカム体38のプロフィールにより与えられるが、このプロフィールを後から変更するのは手間を要し、また運転条件の変化に対応して適宜変更することも困難である。そこで、本実施形態の無脈動ポンプ10においては、あらかじめ補償運動によるポンプ室14容積減少量Scを、損失による吐出量の減少量Ssの想定される最大値以上に設定しSs<Sc、これらの差分Sa=Sc-Ssに相当するポンプ室14容積を、調節ボルト40と鍔体32との当接位置、ひいては、カム体38とクロスヘッド24との当接が解除される解除期間を調節することで相殺している。すなわち、クロスヘッド24が、カム体38のプロフィール通りに進退する場合、クロスヘッド24は、補償動作の開始時点吸引動作の終了時点において最も退避しており、その後、徐々に進出することになる。図3に示すように、最も退避する前に、鍔体32が調節ボルト40に当接すると、クロスヘッド24は、それ以上退避することができない。この場合、クロスヘッド24とカム体38との当接が解除され、クロスヘッド24が静止することになる。この静止期間中は、当然ながら、ポンプ室14の容積減少は生じず、補償運動が中断されることになる。ここで、こうした静止期間は、調節ボルト40の位置に応じて変化する。すなわち、調節ボルト40がポンプ室14側に進出し、鍔体32と当接する位置がポンプ室14側に近づけば近づくほど、静止期間が長くなり、補償運動によるポンプ室14の容積減少量が小さくなる。本実施形態では、この原理を利用して、補償運動によるポンプ室14容積減少量を調節している。なお、本実施形態では、補償運動によるポンプ室14容積減少量を確実に調節するために、調節ボルト40の可動範囲を、カム体38で規定された補償運動中のクロスヘッド24の可動範囲に対応して設定している。すなわち、調節ボルト40が存在しない場合、クロスヘッド24は、補償運動開始時に最も退避した第一位置にあり、補償運動終了時には規定量だけ進出した第二位置にある。本実施形態の調節ボルト40の可動範囲は、クロスヘッド24が第一位置にあるときに鍔体32と当接する位置から、クロスヘッド24が第二位置にあるときに鍔体32と当接する位置までとしている。図6は、補償運動によるポンプ室14容積減少量Scを調節ボルト40で調節する様子を示す図である。図6の上段は、調節ボルト40を、最も退避させた場合、すなわち、クロスヘッド24が第一位置にあるときにのみ鍔体32と当接する位置に調節した場合におけるクロスヘッド24の速度の時間変化を示している。この場合、調節ボルト40により退避が阻害されることはないため、クロスヘッド24は、カム体38で規定されるプロフィール通り進退し、補償運動も当初規定どおり行なわれる。したがって、補償運動による容積減少量は、当初規定どおりScとなる。図6の下段は、調節ボルト40を、最も進出させた場合、クロスヘッド24が第二位置にあるときに鍔体32と当接する位置に調節した場合におけるクロスヘッド24の速度の時間変化を示している。なお、図において破線は、カム体38で規定された速度変化を示している。この場合、調節ボルト40は、補償期間中、鍔体32と当接し続けることになる。その結果、補償期間中、クロスヘッド24とカム体38との当接が解除され、クロスヘッド24は静止したままとなり、ポンプ室14の容積を減少させる補償運動は行なわれないことになる。つまり、この場合、補償運動による容積減少量は0となる。図6の中段は、調節ボルト40を、可動範囲中間まで進出させた場合におけるクロスヘッド24の速度の時間変化を示している。この場合、調節ボルト40は、補償期間が開始してからより正確には吸引期間の終了間近から、補償期間の途中まで、鍔体32と当接し続けることになる。その結果、クロスヘッド24は、補償期間の前半においては静止し、後半において進出することになる。その結果、補償運動によるポンプ室14の容積減少量は、カム体38で規定された減少量Scの約半分となる。なお、この中段において、吐出期間の終了間際である動作ポイントa1は、ダイアフラムポンプ12が図2に示す状態になるポイントであり、補償期間の開始前後である動作ポイントa2は、ダイアフラムポンプ12が図3に示す状態になるポイントである。このように、調節ボルト40の進出量を調整することで、補償運動による容積減少量を調節できる。無脈動ポンプ10を駆動する際には、各ポンプごとに微妙に異なる損失による吐出量の減少量Ssに応じて、調節ボルト40の進出量を調節し、補償運動によるポンプ室14の容積減少量が、損失による吐出量の減少量Ssに等しくなるようにする。具体的には、容積減少量は、次のような方法で調節される。まず、出力管48に脈動の波の高さを検知する脈動センサを設けておき、脈動をモニタリングしておく。規定の閾値以上の波高さの脈動が検知されれば、調節ボルト40を、まずは、微少量、第一方向例えば進出方向に移動させる。その状態で、脈動の波高さが低くなれば、脈動の波高さが規定の閾値以下になるまで、第一方向への移動を継続する。一方、調節ボルト40の進出により、脈動の波高さが高くなれば、調節ボルト40を、先ほどとは逆方向の第二方向例えば退避方向に移動させる。そして、脈動の波高さが規定の閾値以下になるまで、この第二方向への移動を継続する。そして、このように、調節ボルト40の位置を調節することにより、脈動のない好適な流体吐出が可能となる。以上の説明から明らかなとおり、本実施形態によれば、油圧を用いない直動式ダイアフラムポンプ12でありながら、脈動のない好適な流体吐出が可能となる。その結果、本実施形態の無脈動ポンプ10は、油汚染を嫌う場面などでも用いることができる。なお、本実施形態では、クロスヘッド24とカム体38との当接解除期間、ひいては、補償運動による容積減少量を調節する調節手段として、調節ボルト40を採用している。しかし、クロスヘッド24とカム体38との当接解除期間を調節できるのであれば、他の機構を採用してもよい。例えば、図7に示すように、鍔体32の後端面に全周にわたって当接し得る当接部材を用いて、当接解除期間を調節してもよい。この実施形態において、当接部材50は、その中央にクロスヘッド24が進退自在に挿通される部材である。この当接部材50は、その外周に第一歯車が形成される円板部51と当該円板部51の後端に接続された筒部52とに大別される。円板部51の前端面は、クロスヘッド24に固定された鍔体32の後端面に前周にわたって当接し、クロスヘッド24の更なる退避を阻害する。また、円板部51の外周には、後述する第二歯車54と歯合する第二歯車54が形成されている。筒部52の外周面には雄ネジが形成されており、筐体26の対応する位置には、当該雄ネジに螺合する雌ネジが形成され、互いに螺合している。筐体26の内部に形成された雌ネジは、当接部材の回転に伴い、当該当接部材を往復運動方向に進退させる機能をもつ。筐体26のうち、第一歯車に対応する位置には、当該第一歯車と歯合する第二歯車54が取り付けられている。この第二歯車54の回転軸56は、筐体26外部に突出している。ユーザは、適宜、この回転軸56を回転させることで、第二歯車54を回転させることができる。この第二歯車54および回転軸56が、ユーザからの操作を受けて、当接部材50に軸周りの回転運動を与える操作部材として機能する。ユーザが回転軸56を回転させることにより第二歯車54が回転すると、当該第二歯車54に歯合する第一歯車、ひいては、当接部材50全体が回転する。当接部材50全体が回転すると、筒部52の外周に形成された雄ネジと筐体26内部に形成された雌ネジとの螺合関係により、当接部材50全体が進退することになる。そして、当接部材50全体が進退し、円板部51の前端面の位置が変化する。これにより、鍔体32との当接位置、ひいては、補償期間中におけるポンプ室14の容積減少量が調節される。つまり、当接部材50のような構成を用いた場合であっても、補償期間中におけるポンプ室14の容積減少量が調節でき、ひいては、脈動のない好適な流体吐出が可能となる。"