"通過する歩行者に対して側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、該ジェット除塵部と連通して配置された通過する歩行者に対してエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すフィルタ付送風機を備えたエアーシャワー部とを備え、前記エアーシャワー部をクリーンルームの入口に連通させて配置したことを特徴とするクリーンルームの除塵装置。前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部の床をエアーが通過可能な床構造とし、該床構造の下部側からエアーを回収して前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部のエアー吹き出し部に個別に還流することを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの除塵装置。前記エアーシャワー部は、前記クリーンルームとの隣接部にエアーカーテン形成部が配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーンルームの除塵装置。前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部の床面に歩行速度及び前進誘導を教示する表示灯を歩行路に沿って複数配置したことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のクリーンルームの除塵装置。前記表示灯の周囲に着地位置と体の向きを表す表示部を形成したことを特徴とする請求項4に記載のクリーンルームの除塵装置。前記ジェット除塵部は、複数のジェット気流噴射領域を有し、隣接するジェット気流噴射領域間にイオナイザが配置されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のクリーンルームの除塵装置。しかしながら、上記特許文献1及び2に記載の従来例にあっては、少なくともクリーンルームの入口に開閉ドアが設けられている。このクリーンルーム開閉ドアは、一般的にクリーンルーム圧力と気密性の維持、又は隣接室間のクリーンエアーの流れ込み洗浄度変化を抑制する意味で設けられる。このドアはクリーンルームに向かう入室者1人又は数名が通過する毎に開閉されるので、例えば出勤時のようにクリーンルームへの入場者が多数いる場合には、一定区人数毎に区画処理することと更にドアを開閉することで渋滞が発生し、スムーズな入場を行うことができないという未解決の課題がある。また、クリーンルームへの入場者がエアーシャワーを浴びる際に、所定時間立ち止まる必要があり、ここでも渋滞が生じるという未解決の課題がある。さらに、上記特許文献2に記載の従来例にあっては、エアーシャワーの後段にエアーシャワーを浴びるクリーンアップ室が設けられているので、塵埃除去率を高めることができるものであるが、エアーシャワー室及びクリーンアップ室間にもドアを配置するようにしており、クリーンルーム入場者のスムーズな入場を行うことができない。特に、多くの入場者を有する生産工場等では、クリーンルームへの全入室時間が非常に長くなるのが通例である。また、ドアの開閉により室間の圧力変動オーバーシュートによる突発流等の外乱発生のリスクが高い。そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、クリーンルームへの入室者が長い時間立ち止まる必要がなく、渋滞を生じることを防止して、クリーンルームへのスムーズに入室することができるクリーンルームの除塵装置を提供することを目的としている。上記目的を達成するために、本発明の一の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、通過する歩行者に対して側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、該ジェット除塵部と連通して配置された通過する歩行者に対してエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すフィルタ付送風機を備えたエアーシャワー部とを備え、前記エアーシャワー部をクリーンルームの入口に連通させて配置したことを特徴としている。また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部の床をエアーが通過可能な床構造とし、該床構造の下部側からエアーを回収して前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部のエアー吹き出し部に個別に還流することを特徴としている。また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記エアーシャワー部は、前記クリーンルームとの隣接部にエアーカーテン形成部が配置されていることを特徴としている。また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記エアーシャワー部及び前記ジェット除塵部の床面に歩行速度及び前進誘導を教示する表示灯を歩行路に沿って複数配置したことを特徴としている。また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記表示灯の周囲に着地位置と体の向きを表す表示部を形成したことを特徴としている。また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵装置は、前記ジェット除塵部は、複数のジェット気流噴射領域を有し、隣接するジェット気流噴射領域間にイオナイザが配置されていることを特徴としている。本発明によれば、通過する歩行者に側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部とこのジェット除塵部と連通して配置された通過する歩行者に対してエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すフィルタ付送風機を備えたエアーシャワー部とを備え、エアーシャワー部をクリーンルームの入口に連通させて配置したので、互いに隣接するクリーンルーム及びエアーシャワー部とエアーシャワー部及びジェット除塵部との間に開閉ドアを設ける必要がないとともに、クリーンルームの入室者が長く立ち止まることなく、歩行状態で通過するだけで、必要な除塵効果を得ることができ、渋滞が発生することを確実に防止することができるという効果が得られる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の一実施形態を示す全体構成図である。図中、1はクリーンルームであって、このクリーンルーム1の入口2に入室管理室3が配置されている。この入室管理室3は、クリーンルーム1とドアを介在させることなく連通している。入室管理室3には、クリーンルーム1とは反対側における外部の更衣前室との間に開閉ドア4が配置され、この開閉ドア4の上部と天井との間に入室管理室3内の圧力を調整する差圧ダンパー5が配置されている。また、入室管理室3には開閉ドア4とクリーンルーム1の入口2との間に、クリーンスーツを清浄な状態で保管する開閉自在なクリーンスーツ保管室6を有する更衣室7と、靴の履き替えを行う靴履替領域8と除塵装置9とがこれらの順に配置されている。この入退室管理室3では、クリーンルーム1との間にドアが介在しないので、クリーンルーム1内を15Pa~30Paに加圧する加圧エアーがそのまま導入充填されて加圧状態となり、この加圧状態の圧力が差圧ダンパー5によって調整される。このため、クリーンルーム1からの加圧エアーが除塵装置9、靴履替領域8及び更衣室7を、この順に通って差圧ダンパー5から排気されることになり、入退室管理室3で浮遊する塵埃がクリーンルーム1に侵入することが防止されている。除塵装置9は、図2及び図3に示すように、靴履替領域8側に配置されたジェット除塵部10と、このジェット除塵部10に一端が連通し、他端がクリーンルーム1の入口2に連通するエアーシャワー部30とを備えている。ジェット除塵部10は、図2~図4に示すように、クリーンルーム1への入室者が通過する歩行通路11に沿って3つのジェット気流噴射領域12a~12cが形成されている。各ジェット気流噴射領域12a~12cのそれぞれは、図4に示すように、歩行通路11を挟む左右両側にジェット気流噴射機構13が左右対称的に設けられている。このジェット気流噴射機構13は、図2に示すように、前後2列で上下方向に4個のジェット気流を噴射するパンカルーバー14a~14dが前後方向に所定間隔を保って2列配列されている。これらパンカルーバー14a~14dのうち最上部のパンカルーバー14aは、図4に示すように、歩行者の腕部から腰部にかけてジェット気流を吹き付けるように垂直面から例えば45°の噴射角でジェット気流を噴射する。残りの3つのパンカルーバー14b~14dは、最上部のパンカルーバー14aから下方に離れた位置に上下方向の距離を短くして配置され、図4に示すように、噴射するジェット気流が互いに重なって歩行者の下肢に集中的に噴射されるように例えば垂直面から45°の角度でジェット気流を噴射する。また、ジェット気流噴射機構13は、シロッコファン等で構成される加圧気体を送風する送風機15を有する。この送風機15の送風出口側に、塵埃除去率の高い高性能フィルタHEPA:HighEfficiencyParticulateAirFilter16を介して加圧気体を2列のパンカルーバー14a~14dに分配する圧力室17が配置されている。さらに、ジェット除塵部10の床には、パンカルーバー14a~14dによって吹き付けられたジェット気流を通過させるグレーチング床18が配置されている。そして、グレーチング床18の下端側から送風機15の入口までの間にジェット気流を還流させるエアー還流路19が形成されている。また、ジェット除塵部10は、図2に示すように、隣接するジェット気流噴射領域12a~12cにおけるジェット気流噴射機構13のクリーンルーム1側に静電気を除電するイオナイザ20が上下方向に延長して配置されている。一方、エアーシャワー部30は、図2及び図3に示すように、歩行者通路31の天井側に4台のフィルタ付送風機としてのファンフィルタユニット32a~32dが歩行者通路31に沿って配設されている。これらファンフィルタユニット32a~32dのそれぞれは、上部側に吸引口が配設された送風ファン部33と、この送風ファン部33の下方側のエアー吹出し口に配置された高性能フィルタHEPAで構成されるフィルタ部34とで構成されている。そして、ファンフィルタユニット32a~32cについてはフィルタ部34が歩行者通路31側に設置されて、フィルタ部34を通じて除塵されたクリーンエアーが下方に向けて層流状態で送風される。これに対して、ファンフィルタユニット32dについてはフィルタ部34の下方にエアーカーテンを形成するエアーカーテン用カバー35が配設され、このエアーカーテン用カバー35のクリーンルーム1の入口2とは反対側の吐出口35aから送風されるクリーンエアーが床方向へのダウンフローを形成し、且つグレーチング床37の下側からこのダウンフローを吸引する構成となっている。これにより上方向から下方向への一方向性流、つまりプッシュプル方式の気流を形成することが出来る。言い換えると、外乱に強いエアーバリア的流線を得たエアーカーテン36が形成される。また、エアーシャワー部30でも、ジェット除塵部10と同様に、床に、ファンフィルタユニット32a~32dから吹き出されたクリーンエアーを通過させるグレーチング床37が配置されている。そして、図5に示すように、グレーチング床37の下端側から天井のファンフィルタユニット32a~32dの送風ファンの吸気口までの間に左右の側壁内を通ってエアーを還流させるエアー還流路38が形成されている。そして、前述したジェット除塵部10のジェット気流噴射機構13及びエアーシャワー部30のファンフィルタユニット32dを除く3つのファンフィルタユニット32a~32cは、図1に示すように、例えば靴履替領域8の除塵装置9側に配置された通過センサ39の検出信号が制御盤40に供給されて動作する。この制御盤40では、通過センサ39によって入室者の通過が検出されたときにジェット気流噴射機構13及びファンフィルタユニット32a~32cを作動状態に制御し、通過センサ39で入室者の通過を検知しなくなって所定時間が経過したときにジェット気流噴射機構13及びファンフィルタユニット32a~32cを非作動状態に制御する。ここで、通過センサ39としては、歩行者通路を挟んで対向する発光素子及び受光素子で構成され、発光素子の発光が通過者に遮られることにより、通過者の検知を行う。さらに、ジェット除塵部10及びエアーシャワー部30のグレーチング床37の下面には、図3に示すようにクリーンルーム1への入室者の歩行速度に応じた点滅を行う表示灯41が入室者を歩行させたい歩行経路に合わせて所定数配置されている。そして、各表示灯41の近傍には、歩行者の靴先が着地する位置及び歩行者の体の向きを表す表示部42が形成されている。ここで、表示部42は、先頭から第2番目のジェット気流噴射領域12a及び12bまでは入室者の歩行に合わせた片足分の足型表示42aとされ、第3番目のジェット気流噴射領域では、表示灯41を挟む位置に両足分の足型表示42bとされている。両足分の足型表示42bは、例えば手前側では背中を左側のジェット気流噴射機構13に向ける姿勢となる足型表示とされ、クリーンルーム1側の奥側の表示灯41を挟む位置では、背中側を右側のジェット気流噴射機構13側に向ける姿勢となる足型表示とされている。さらに、エアーシャワー部30では、1つ置きの表示灯41に対してそれぞれ左右交互の足型表示42cが描かれている。表示灯41は、ランプの点灯速度を変えることで、入室者の歩行速度を指示することができる。また、特定のランプを所望の時間だけ点灯もしくは消灯することで、歩行者へ特定のランプがある場所に所望の時間だけ滞在するよう指示することができる。表示灯41の取り付け位置により、入室者の歩行経路を指示してもよい。たとえば、表示灯41を蛇行して取り付けることで、入室者を蛇行して歩行させられ、ジェット除塵部10およびエアーシャワー部30での入室者の滞在時間をコントロールできる。表示部42は、足型表示に限定されるものではなく、たとえば矢印表示としてもよく、この矢印の向きを使って、歩行者の身体の向きをコントロールしてもよい。以上のような表示灯41または表示部42を、単独もしくは組み合わせて使うことで、入室者の歩行速度や歩行経路、身体の向き、滞在時間を制御でき、入室待ち渋滞を解消するよう制御したり、入室者の付着塵埃を低減し、清浄度を高めたりすることができる。次に、上記実施形態の動作について説明する。今、入室管理室3内にクリーンルーム1に入室する入室者や退室者が存在しないものとすると、この状態では、エアーシャワー部30におけるファンフィルタユニット32dを除くジェット除塵部10及びエアーシャワー部30の動作が停止されて省エネルギー化されている。この状態では、クリーンルーム1内の加圧エアーがエアーカーテン36を通じてエアーシャワー部30に入り、その後ジェット除塵部10を通り、靴履替え領域8及び更衣室7を通って差圧ダンパー5から外部に排気される。このため、除塵装置9に塵埃が浮遊していたとしても、この塵埃がクリーンルーム1内に侵入することは確実に阻止される。しかも、ファンフィルタユニット32dによって常時エアーカーテン36が形成されているので、このエアーカーテン36によって塵埃のクリーンルーム1側への侵入が確実に阻止される。なお、ファンフィルタユニット32dによって形成されるエアーカーテン36は、他のファンフィルタユニット32a~32cと同じタイミング、すなわち入室者がいない場合は動作を停止し、入室者がいる場合は作動状態に制御されることで、さらに省エネルギー化を図ることもできる。入室者が通過したあと、ジェット除塵部10およびエアーシャワー部30での空気置換が終われば、ジェット除塵部10およびエアーシャワー部30は清浄化されているので、ファンフィルタユニット32dは常時エアーカーテン36を形成しなくてもよいためである。また、クリーンルーム1を加圧制御しているので、入室者がいない場合にファンフィルタユニット32dの作動を停止しても、更衣室7側からクリーンルーム1側へ塵埃が流れ込む恐れが小さいためである。クリーンルーム1への入室者は、開閉ドア4から入室管理室3内に入り、更衣室7で外着を脱いてクリーンスーツ保管室6からクリーンスーツを取り出して着用する。次いで、靴履替え領域8で靴を履き替えてから除塵装置9に入る。このとき、通過センサ39で入室者の通過が検出されるので、その検出信号が制御盤40に送られてジェット除塵部10のジェット気流噴射機構13及びエアーシャワー部30のファンフィルタユニット32a~32cが作動状態に制御される。このため、入室者がジェット除塵部10に入ると、図4に示すように、左右のジェット気流噴射機構13のパンカルーバー14a~14dからジェット気流が通過者の体側に噴射される。このとき、パンカルーバー14aによって通過者の腕部及び腰部の塵埃が吹き飛ばされ、パンカルーバー14b~14dによって通過者の下肢部の塵埃が吹き飛ばされる。吹き飛ばされた塵埃はジェット気流とともにグレーチング床18を通過し、その下部に設けられたエアー還流路19を通じて左右側部のジェット気流噴射機構13の送風機15の吸気口に還流され、この送風機15から吹き出されるジェット気流が高性能フィルタHEPA16を通過することにより、除塵されてクリーンエアーとして通過者にジェット噴射される。このように、ジェット除塵部10では、ジェット気流によって通過者のクリーンスーツに付着している塵埃を下方のグレーチング床18に向かって吹き飛ばし、このグレーチング床18の下方に設けられたエアー還流路19を通じてジェット気流噴射機構13に還流されるので、吹き飛ばされた塵埃がジェット除塵部10で浮遊することがなく、確実に回収される。そして、このジェット除塵部10では、図3に示すように、通過者は床がグレーチング床18であるので、このグレーチング床18を視認しながら歩行することになる。このグレーチング床18の下面に表示灯41が配設され、この表示灯41が歩行速度及び前進誘導を教示するように点滅している。このため、通過者は表示灯41で教示される歩行速度例えば90cm/sec程度で歩行する。また、通過者は、表示灯41の近傍に足型表示42a及び42bが描かれているので、この足型表示42a及び42bにしたがって歩行する。このため、ジェット気流噴射領域12a及び12bでは、歩行通路11の略中央部を、前を向いて歩行する。これに対してジェット気流噴射領域12cでは、一瞬両足を揃えて背中を進行方向左側のジェット気流噴射機構13に向け、次いで一歩進んでから一瞬両足を揃えて背中を進行方向右側のジェット気流噴射機構13に向けることにより、クリーンスーツの前後の塵埃を吹き飛ばす。このように、通過者を表示灯41及び足型表示42a,42bで誘導することにより、適正な速度で歩行し、且つクリーンスーツの各部に隈なくジェット気流を浴びることにより、確実に除塵することができる。しかも、ジェット気流噴射領域12a~12cの隣接位置にはイオナイザ20が配置されているので、このイオナイザ20によってクリーンスーツの静電気の除電が行われ、浮遊する塵埃がクリーンスーツに再付着することを確実に防止することができる。その後、入室者がジェット除塵部10を通過すると、エアーシャワー部30に入る。このエアーシャワー部30では、同様に、表示灯41及び足型表示42cによって案内されて所定速度で歩行し、ファンフィルタユニット32a~32cから下方に向けて吹き出される層流状態のクリーンエアーによって再度塵埃の払い落としが行われる。この場合も、ファンフィルタユニット32a~32cから吹き出される層流状態のクリーンエアーはグレーチング床37を通過して、その下部に配設されたエアー還流路38によって上方のファンフィルタユニット32a~32cの送風ファン部33に還流され、この送風ファン部33の吹き出し側に設けたフィルタ部34によって除塵されてクリーンエアーとして吹き出される。そして、入室者は最後にファンフィルタユニット32dで形成されるエアーカーテン36を通過してクリーンルーム1の入口2からクリーンルーム1内に入る。このように、上記実施形態によると、クリーンルーム1の入室者に対して、ジェット除塵部10でジェット気流によって塵埃を確実に吹き飛ばし、エアーシャワー部30で残留する塵埃を払い落とし、最後にエアーカーテン36によって最終的な払い落としを行うことができ、所謂洗濯機に例えると、ジェット除塵部10が洗いに相当し、エアーシャワー部30が濯ぎに相当し、エアーカーテン36が仕上げに相当し、3段階でクリーンスーツから塵埃を確実に払い落とすことができる。しかも、入室者が歩きながら除塵を行うことができ、ジェット除塵部10及びエアーシャワー室30がクリーンルーム1にドアを介することなく連通しているので、ドアの開閉による渋滞が生じることがなく、クリーンルーム1への入室をスムーズに行うことができる。加えて、ジェット除塵部10では、ジェット気流で塵埃をグレーチング床18に向かって吹き飛ばし、エアー還流路19を通じてジェット気流噴射機構に還流されるので、歩行により塵埃が誘引再付着することを低減できる。そして、エアーシャワー室30では、層流で塵埃をグレーチング床37に向かって移動させ、エアー還流路38を通じて送風ファン部33に還流されるので、歩行により塵埃が誘引再付着することを低減できる。しかも、ジェット除塵部10では、下部側にパンカルーバー12b~12dを集中的に配置し、さらに約45°の角度で斜め下方向にジェット気流を噴射するので、更衣時に更衣室床との接触を招き易く、付着塵埃が残り易い傾向にあるクリーンスーツの膝下部を含め確実に除塵することが出来る。クリーンスーツ保管室6では保管時を利用して塵埃を払い落とす目的から、その上方からクリーンエアーを吹き付ける方式を採用したので、前述のクリーンスーツ下部への噴射処置と併せて、クリーンスーツ上部と下部の集中除塵が容易となる。因みに、図6に示すように、通過者の身長に合わせて、パンカルーバー14a~14dを肩から腰下にかけて均等配置した場合には、通過者の下肢部に対する一番下側のパンカルーバー14dからの距離が一番遠くなり、下肢部に到達するジェット気流の流速が遅くなって効果的な除塵を行うことができない。しかしながら、本実施形態では、上述したように通過者の下肢部に集中的にジェット気流を噴射するので、下肢部での除塵を効果的に行うことができる。また、エアーシャワー部30のクリーンルーム1の入口2に近い位置に、エアーカーテン36を形成するようにしたので、除塵装置9とクリーンルーム1とをエアーカーテン36で遮断することができ、浮遊する塵埃がクリーンルーム1に達することを確実に防止することができる。この場合、エアーカーテン36の形成位置は、クリーンルーム1の入口2の直前に設けるよりは、入口2から離した位置に形成した方が、エアーカーテン36を形成する気流がクリーンルーム1内に影響することを抑制することができる。さらに、ジェット除塵部10及びエアーシャワー部30に通過者を誘導する表示灯41を配置し、この表示灯で歩行速度を教示するようにしたので、通過者の歩行速度を最適速度に誘導することができる。このとき、表示灯41をグレーチング床18,37の下面側に配置しているので、通過者の視認範囲内とすることができ、表示灯41を見ながら歩行することができる。また、表示灯41の周囲に足型表示42a~42cを形成したので、着地位置と体の向きとを通過者に報知することができ、除塵効果を向上させることができる。さらに、ジェット除塵部10のジェット気流噴射領域12a~12cの境界位置にイオナイザ20を配置したので、このイオナイザ20でクリーンスーツに帯電する静電気の除電を行うことができ、ジェット気流で吹き飛ばした塵埃がクリーンスーツに静電気によって再付着することを確実に防止することができる。なお、上記実施形態においては、除塵装置9のジェット除塵部10に3つのジェット気流噴射領域12a~12cを形成した場合について説明したが、ジェット気流噴射領域の配置数はクリーンスーツへの塵埃付着量に応じて任意の配置数に設定することができる。同様に、エアーシャワー部30に設けるファンフィルタユニットの配置数もジェット除塵部10での残留塵埃量に応じて任意の配置数とすることができる。また、上記実施形態においては、ジェット除塵部10及びエアーシャワー部30を直線状に形成した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、平面から見てC字状やU字状等の任意の形状に形成することができる。"