基板面に対し垂直方向に光を出射する面発光レーザを有する面発光レーザ素子と、前記面発光レーザの光をモニタするための受光素子と、前記面発光レーザ素子及び前記受光素子を設置するための領域が設けられているパッケージと、透明部材により形成された前記面発光レーザの光を透過する窓部を有し、前記面発光レーザ及び受光素子を覆うリッドと、を有し、前記透明部材において、前記面発光レーザ素子からの光が入射する面には、前記光の一部を反射する反射膜が設けられており、前記反射膜が設けられている面とは反対側の面には前記光の反射を防止する反射防止膜が設けられており、前記透明部材は、前記基板面に対し傾いた角度で設置されており、前記面発光レーザから出射された光の一部は前記反射膜において反射され、前記受光素子に入射するように、前記リッドは前記パッケージに接続されていることを特徴とする光デバイス。基板面に対し垂直方向に光を出射する面発光レーザを有する面発光レーザ素子と、前記面発光レーザの光をモニタするための受光素子と、前記面発光レーザ素子及び前記受光素子を設置するための領域が設けられているパッケージと、透明部材により形成された前記面発光レーザの光を透過する窓部を有し、前記面発光レーザ及び受光素子を覆うリッドと、を有し、前記透明部材において、前記反射膜が設けられている面とは反対側の面には前記光の反射を防止する反射防止膜が設けられており、前記透明部材は、前記基板面に対し傾いた角度で設置されており、前記面発光レーザから出射された光の一部は、空間若しくは空間における気体と前記透明部材との屈折率の差により反射され、前記受光素子に入射するように、前記リッドは前記パッケージに接続されていることを特徴とする光デバイス。前記面発光レーザ素子は前記パッケージの底面に設置されており、前記受光素子は、前記底面よりも高い位置に設置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光デバイス。前記受光素子は、前記パッケージの前記底面上に設けられた段部の上に設置されており、前記底面と前記段部との間には、配線が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の光デバイス。前記受光素子における受光面は、円形状であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の光デバイス。前記反射防止膜に代えて、前記透明部材の表面には、前記光の波長よりも小さなピッチの凹凸部が設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の光デバイス。前記反射膜は誘電体多層膜であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の光デバイス。前記反射膜における反射率は、前記面発光レーザから出射される光の波長において、3~15であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の光デバイス。前記リッドにはリッド接続部が設けられており、前記パッケージにはパッケージ接続部が設けられており、前記リッド接続部と前記パッケージ接続部とは接着剤により接続されるものであって、前記水分透過領域は、前記パッケージ接続部と前記リッド接続部との間に前記接着剤を塗布しない領域を設けることにより形成されるものであることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の光デバイス。前記水分透過領域における開口部分の大きさは、2μm以下であることを特徴とする請求項9に記載の光デバイス。前記透明部材は、前記面発光レーザからの出射光に垂直な面に対し、10°以上傾斜していることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の光デバイス。前記リッドは透明な樹脂材料により一体成型により形成されているものであることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の光デバイス。前記樹脂材料は、PMMA、シクロオレフィンコポリマー系樹脂、ポリエステル系樹脂のうち、いずれか1つにより形成されていることを特徴とする請求項12に記載の光デバイス。前記リッドは、リッド本体部に前記透明部材が接合されているものであって、前記リッド本体部は金属材料により金型により形成されており、前記透明部材は500°C以下の温度で溶融する低融点ガラスにより、前記リッド本体部の内側より固着したものであることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の光デバイス。前記面発光レーザ素子には、前記面発光レーザが複数設けられていることを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載の光デバイス。前記面発光レーザの数は、10以上であることを特徴とする請求項15に記載の光デバイス。光によって被走査面を走査する光走査装置であって、請求項1から16のいずれかに記載の光デバイスを有する光源と、前記光源からの光を偏向する光偏向部と、前記光偏向部により偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、を有することを特徴とする光走査装置。像担持体と、前記像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する請求項17に記載の光走査装置と、を有することを特徴とする画像形成装置。前記像担持体は複数であって、前記画像情報は、多色のカラー情報であることを特徴とする請求項18に記載の画像形成装置。しかしながら、上述した方法では、2つの問題点がある。1つは、窓部となる透明部材の上面及び下面における界面反射は、4~5程度と低く、この程度の反射率では、フォトダイオード等の受光素子において受光した光の起電流は小さく、ノイズ等に埋もれてしまう。この結果、S/Nが低く、面発光レーザの光量制御を正確に行なうことができない。もう1つは、窓部となる透明部材の上面及び下面における光の反射によるエタロン効果により、干渉により光量変動が生じ、正確な光量モニタを行なうことができなくなるというものである。例えば、特許文献4では、傾斜させた窓部となる透明部材に反射制御層を設けることにより所望の反射強度のモニタ光を得る方法が記載されている。しかしながら、この方法では、窓部となる透明部材における上面及び下面の界面において反射した光をモニタ光として用いるものであるが、光の干渉により光量変動が生じ、正確で安定的にモニタ光を検出することができない。尚、特許文献5についても同様である。また、特許文献10には、エタロン効果が生じない構造の面発光レーザモジュールが開示されている。この方法は、窓部となる透明部材の一部に金属からなる反射コーティング面を設け、この反射コーティング面において出射光を反射し、受光素子であるフォトダイオードに反射光を入射させる構造のものである。この方法では、反射コーティング面において出射光の反射率は、50~60と高いため、透過する光も少なくなり、干渉により生じるエタロン効果の影響も少なくなるものと推察される。しかしながら、反射コーティング面の設けられている領域は、光スポットの周辺でありモニタ光として十分な光量を確保することができず、信頼性の高い光量モニタを行なうことができない。また、反射コーティング面の設けられている領域では、反射率が高いため透過光が少なくなり、光スポットのビーム形状ビームプロファイルが不均一となり、窓部となる透明部材を介し出射された光の光スポットの光量分布は、ガウシアン分布からずれた形状の分布となってしまう。よって、本発明は、光スポット内の光量分布に影響を与えることなく、また、所望の光量のモニタ光を得ることのできる光デバイス、及び、この光デバイスを用いた光走査装置、画像形成装置を提供することを目的とする。本発明は、基板面に対し垂直方向に光を出射する面発光レーザを有する面発光レーザ素子と、前記面発光レーザの光をモニタするための受光素子と、前記面発光レーザ素子及び前記受光素子を設置するための領域が設けられているパッケージと、透明部材により形成された前記面発光レーザの光を透過する窓部を有し、前記面発光レーザ及び受光素子を覆うリッドと、を有し、前記透明部材において、前記面発光レーザ素子からの光が入射する面には、前記光の一部を反射する反射膜が設けられており、前記反射膜が設けられている面とは反対側の面には前記光の反射を防止する反射防止膜が設けられており、前記透明部材は、前記基板面に対し傾いた角度で設置されており、前記面発光レーザから出射された光の一部は前記反射膜において反射され、前記受光素子に入射するように、前記リッドは前記パッケージに接続されていることを特徴とする。また、本発明は、基板面に対し垂直方向に光を出射する面発光レーザを有する面発光レーザ素子と、前記面発光レーザの光をモニタするための受光素子と、前記面発光レーザ素子及び前記受光素子を設置するための領域が設けられているパッケージと、透明部材により形成された前記面発光レーザの光を透過する窓部を有し、前記面発光レーザ及び受光素子を覆うリッドと、を有し、前記透明部材において、前記反射膜が設けられている面とは反対側の面には前記光の反射を防止する反射防止膜が設けられており、前記透明部材は、前記基板面に対し傾いた角度で設置されており、前記面発光レーザから出射された光の一部は、空間若しくは空間における気体と前記透明部材との屈折率の差により反射され、前記受光素子に入射するように、前記リッドは前記パッケージに接続されていることを特徴とする。また、本発明は、前記面発光レーザ素子は前記パッケージの底面に設置されており、前記受光素子は、前記底面よりも高い位置に設置されていることを特徴とする。また、本発明は、前記受光素子は、前記パッケージの前記底面上に設けられた段部の上に設置されており、前記底面と前記段部との間には、配線が形成されていることを特徴とする。また、本発明は、前記受光素子における受光面は、円形状であることを特徴とする。また、本発明は、前記反射防止膜に代えて、前記透明部材の表面には、前記光の波長よりも小さなピッチの凹凸部が設けられていることを特徴とする。また、本発明は、前記反射膜は誘電体多層膜であることを特徴とする。また、本発明は、前記反射膜における反射率は、前記面発光レーザから出射される光の波長において、3~15であることを特徴とする。また、本発明は、前記リッドにはリッド接続部が設けられており、前記パッケージにはパッケージ接続部が設けられており、前記リッド接続部と前記パッケージ接続部とは接着剤により接続されるものであって、前記水分透過領域は、前記パッケージ接続部と前記リッド接続部との間に前記接着剤を塗布しない領域を設けることにより形成されるものであることを特徴とする。また、本発明は、前記水分透過領域における開口部分の大きさは、2μm以下であることを特徴とする。また、本発明は、前記透明部材は、前記面発光レーザからの出射光に垂直な面に対し、10°以上傾斜していることを特徴とする。また、本発明は、前記リッドは透明な樹脂材料により一体成型により形成されているものであることを特徴とする。また、本発明は、前記樹脂材料は、PMMA、シクロオレフィンコポリマー系樹脂、ポリエステル系樹脂のうち、いずれか1つにより形成されていることを特徴とする。また、本発明は、前記リッドは、リッド本体部に前記透明部材が接合されているものであって、前記リッド本体部は金属材料により金型により形成されており、前記透明部材は500°C以下の温度で溶融する低融点ガラスにより、前記リッド本体部の内側より固着したものであることを特徴とする。また、本発明は、前記面発光レーザ素子には、前記面発光レーザが複数設けられていることを特徴とする。また、本発明は、前記面発光レーザの数は、10以上であることを特徴とする。また、本発明は、光によって被走査面を走査する光走査装置であって、前記記載の光デバイスを有する光源と、前記光源からの光を偏向する光偏向部と、前記光偏向部により偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、を有することを特徴とする。また、本発明は、像担持体と、前記像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する前記記載の光走査装置と、を有することを特徴とする。また、本発明は、前記像担持体は複数であって、前記画像情報は、多色のカラー情報であることを特徴とする。本発明によれば、光スポット内における光量分布に影響を与えることなく、また、所望の光量のモニタ光を得ることのできる光デバイスを提供することができるとともに、この光デバイスを用いることにより、高画質な画像を得ることが可能な光走査装置、画像形成装置を提供することができる。本発明の実施の形態について説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。第1の実施の形態第1の実施の形態は、複数の面発光レーザにより構成される面発光レーザアレイを有する面発光レーザモジュールである。尚、本実施の形態において説明する面発光レーザモジュールは、本実施の形態における光デバイスである。これまでの面発光レーザを用いた光源モジュールは端面発光レーザを用いた光源モジュールと異なり、モニタ光学系を必要としていた。このようにモニタ光学系を有する光源ユニット400は、一例として図1に示されるように、レーザモジュール500と光学モジュール600とで構成されていた。このレーザモジュール500は、面発光レーザモジュール510、この面発光レーザモジュール510を駆動制御する不図示のレーザ制御装置、この面発光レーザモジュール510及びレーザ制御装置が実装されているPCBPrintedCircuitBoard基板580を有している。また、光学モジュール600は、第1の部分610と第2の部分630から構成されている。第1の部分610は、ハーフミラー611、集光レンズ612、及びフォトダイオード613を有している。また、第2の部分630は、カップリングレンズ631、及び開口板632を有している。第1の部分610は、面発光レーザモジュール510のZ側であって、面発光レーザアレイチップから射出された光の光路上にハーフミラー611が位置するように配置されている。ハーフミラー611に入射した光の一部は-Y方向に反射され、集光レンズ612を介してフォトダイオード613で受光される。フォトダイオード613は、モニターフォトダイオードとなっており、受光光量に応じた信号光電変換信号をレーザモジュール500のレーザ制御装置に出力する。第2の部分630は、第1の部分610のZ側であって、ハーフミラー611を透過した光の光路上にカップリング631が位置するように配置されている。カップリング631は、ハーフミラー611を透過した光を略平行光とする。開口板632は、開口部を有し、カップリング631を介した光を整形する。開口板632の開口部を通過した光が、光源ユニット400から射出される光となる。しかしながら、このモニタ用のフォトダイオード613にレーザ光を導入する光学系を組み込むコストが、これら光源ユニット400の高価格化の原因となっている。このため、発明者は、本実施の形態における面発光レーザモジュールを発明するに至った。面発光レーザモジュール図2及び図3に基づき、本実施の形態における面発光レーザモジュールについて説明する。本実施の形態における面発光レーザモジュールは、凹部を有するパッケージ10、面発光レーザ素子20、モニタ用のフォトダイオード30、透明な材料透明部材により形成されたリッド40を有している。面発光レーザ素子20は、複数の面発光レーザがアレイ状に形成されているものであり、面発光レーザアレイチップともいう。面発光レーザ素子20は、パッケージ10の凹部の底面11に設置されており、凹部の周辺であって底面11よりも高い段部12にモニタ用のフォトダイオード30が設置されている。また、パッケージ10には、リッド40と接続するためのパッケージ接続部13が設けられている。パッケージ10は、セラミックスにより形成されたCLCCCeramicLeadedChipCarrierと呼ばれるフラットパッケージである。このパッケージ10は、凹部を有しており、セラミックスと複数の不図示のリード配線となる金属配線の多層構造となっている。尚、パッケージ10は、セラミックス以外の材料、例えば樹脂材料により形成されたものであってもよい。このリード配線は、面発光レーザ素子20が設置される領域より放射状に外側に向かって伸びるように形成されており、パッケージ10の内部の金属配線を介し、パッケージ10の外側の不図示の電極端子と接続されている。また、面発光レーザ素子20が設置される領域には、金属膜が設けられており、この金属膜は、ダイアタッチエリアとも呼ばれるものであり、共通電極になっている。面発光レーザ素子20は、この金属膜上にAuSn等の半田材を用いてダイボンドされており、このようにして、面発光レーザ素子20は、凹部の底面に設置される。また、フォトダイオード30は、段部12においてダイボンドされている、フォトダイオード30のアノード電極とパッケージ10の金属配線とがワイヤボンディングにより電気的に接続され、裏面に形成されたフォトダイオード30のカソードは導電性接着剤により接地されている。一方、リッド40は、凹状に形成されており、面発光レーザ素子20からの光を透過する窓部41となる透明部材が設けられている。更に、リッド40は窓部41となる透明部材と接続される筒状部42と、筒状部42の端が曲げられた構造のリッド接続部43を有している。リッド接続部43は、パッケージ10におけるパッケージ接続部13と接続するためのものである。リッド40は光を透過する樹脂材料により一体成型されることにより形成されている。窓部41となる透明部材は、面発光レーザ素子20の面発光レーザから出射された光が、光を出射した面発光レーザに戻らないように、面発光レーザの出射光に垂直な面に対し所定の傾斜となるように形成されている。尚、この傾斜角度は、面発光レーザからの出射光のうち、窓部41となる透明部材において反射した反射光がフォトダイオード30に入射するように、所定の角度となるように形成されている。具体的には、本実施の形態では、この傾斜角度は、約17°となるように形成されている。また、このリッド40を形成している樹脂材料の表面における反射率は約5.2である。パッケージ10とリッド40とは、パッケージ接続部13とリッド接続部43とにおいて接着剤等により接続されるが、本実施の形態における面発光レーザモジュールでは、パッケージ接続部13とリッド接続部43とが接着剤等により接続されている領域51と接続されていない領域52とを有している。このように、パッケージ接続部13とリッド接続部43とが接続されていない領域52を設けることにより、この領域52を介し、水分等の湿気を排出し調整することができる。即ち、パッケージ接続部13とリッド接続部43とを完全に接続してしまった場合、パッケージ10とリッド40により囲まれた面発光レーザモジュール内部において、接着剤等を介し進入した水分により、急激な温度変化が生じる場合があり、この場合には面発光レーザモジュール内部において結露が生じてしまう。このような結露が生じてしまう面発光レーザモジュールは、致命的な欠陥品となってしまう。本実施の形態では、図2に示すように、リッド40を透明な樹脂材料により一体成型により作製するとともに、リッド40とパッケージ10との接続を接着材により接着することにより、低コストで面発光レーザモジュールを形成することができる。また、接着剤により接着しているため、接着剤を介し水分が面発光レーザモジュールの内部に進入し、結露が発生してしまうことを避けるため、リッド接続部43とパッケージ接続部13とが接続されていない領域52を設けたものである。このような領域52を設けることにより、領域52を介し、面発光レーザモジュールの内部より水分を排出させることができる。尚、本実施の形態では、この領域52は水分透過領域ともいう。水分透過領域は、ゴミ等を侵入させることなく水分を透過させることができるものであればよい。具体的には、本実施の形態においてパッケージ10はセラミックスにより形成されている。このパッケージ10の表面の粗さを非接触3次元測定装置NH-3SP三鷹光器株製により、10μm角の範囲において、測定したところ約2μmであった。リッド40のリッド接続部43における面を略平坦なものとして考えると、領域52では、パッケージ10の表面粗さ程度の隙間、即ち、2μm以下の開口しか形成されないため、2μmを超える大きさのゴミ等を進入させることなく、水分の排出を行うことが可能である。よって、水分透過領域として適した構造となっている。尚、パッケージ10における表面粗さはパッケージ10の製造方法や、パッケージを構成するセラミックス材料により異なるが、面発光レーザモジュールにおいて光量変動の少ない安定したレーザ発振を得るためには、表面粗さは1μm~2μmであることが好ましい。また、本実施の形態における面発光レーザモジュールは、図2及び図4に示されるように、窓部41となる透明部材の内側の面下面には、反射膜45が形成されており、外側の面上面には、反射防止膜46が形成されている。これにより、面発光レーザ素子20から出射された光を高い反射率で反射させて、フォトダイオード30に入射させることができる。これにより、フォトダイオード30にモニタ光として十分な光量の光を入射させることができ、また、上面に反射防止膜46を設けることにより、上面における界面反射を減らすことができ、エタロン効果の影響を低減することができる。即ち、特許文献10に記載されている方法では、図5に示すように、レーザ光の中心から離れた領域5Aにおける光を反射するため、光量が少なく、モニタ光としては十分な光量を得ることができず、光量モニタの信頼性が低くなる。また、領域5Aにおいては、反射率が50~60と高い分、透過光量が減少するため、光スポットの光量分布が不均一となってしまう。しかしながら、本実施の形態では、図6に示すように、光スポットの光量の高い部分の光が反射するため、モニタ光として十分な光量を得ることができ、また、光スポットの光量分布に影響を与えることはない。本実施の形態では、反射率は3~15であることが好ましく、更には、5~12が好ましい。あまり反射率が低いと、モニタ電流が低くなるため、フォトダイオード30において検出された信号がノイズに埋もれてしまい、S/Nが低下するため、面発光レーザ素子20における面発光レーザの光量制御を正確に行なうことができなくなるからである。また、あまりに反射率が高いと、面発光レーザより出射されたレーザ光のロス量が多くなるため、面発光レーザモジュールの外に出射されるレーザ光の光量が低下してしまうからである。このような観点から、透明部材の下部における反射を考えた場合、上述した望ましい反射率の範囲に入るならば下部に反射層を設けずに、空間もしくは空間の気体と透明部材の屈折率との差を利用した材料そのものの反射を利用することができれば、更に良好な結果をもたらす。即ち、材料そのものの屈折率を用いた反射ならば、薄膜作製におけるばらつきが排除でき、安定したモニタ電流を得ることができる。また、反射層を形成する必要がなくなるため、そのコストは当然安くなる。また、反射防止膜46は、反射率が1以下であることが好ましく、更には、0.5以下であることが好ましい。これにより、図6における領域6Aにおける光の一部を反射させてフォトダイオード30に入射させることができる。尚、反射膜45は、所定の透過率で光を透過する薄い金等からなる金属膜、または、誘電体多層膜からなるミラーにより形成されている。誘電体多層膜は、ミラーとしての機能を有するように、所定の厚さの高屈折率材料と低屈折率材料とを交互に積層することにより形成されたものである。高屈折率材料としては、ZnS-SiO2、TiO2等が挙げられ、低屈折率材料としては、SiO2等が挙げられる。また、反射防止膜46は、窓部41となる透明部材の屈折率よりも低い屈折率を有する誘電体膜、または、所定の膜厚の高屈折率材料と低屈折率材料とを交互に積層形成した誘電体多層膜により形成されている。また、上述した反射防止膜46に代えて、図7に示すように、窓部41となる透明部材の上面に凹凸部47を設けた構造のものであってもよい。具体的には、リッド40を形成する際に、窓部41となる透明部材の上面に凹凸部47が形成されるように、凹凸形状の形成された金型を用い、樹脂材料を流し込むことにより形成することができる。この際、形成される凹凸部47のピッチPtは、面発光レーザ素子20から出射された光の波長よりも狭く、50nm~500nmである。このような凹凸部47を設けることにより、凹凸部47の界面における光の散乱等により、窓部41となる透明部材の面に垂直方向の光を減らすことができ、エタロン効果を防ぐことができる。ところで、面発光レーザモジュール内部に水分を進入させないためには、図8に示すような金属製のリッド700をパッケージ10と溶接により接合する方法が考えられる。この金属製のリッド700は、金属により形成された筒状のリッド本体部701の一方の側にカバーガラス702が設けられており、リッド本体部701の他方の側には折曲げられたリッド接続部703が設けられている。この金属製のリッド700とパッケージ10とは、リッド接続部703とパッケージ接続部13において、溶接により完全に接合することにより外部から水分等の進入を防ぐことができる。この際、窓部となる透明部材であるカバーガラス702の下面に反射膜45を設け、上面に反射防止膜46を設けた構造のものであってもよい。この場合においても、図示しないが、反射防止膜46に代えて、カバーガラス702の上面における表面加工により凹凸部を設けたものであってもよい。また、本実施の形態では、図9に示すように、リッド40の筒状部42の一部に水分透過領域となる水分透過部44を設けた構造のものであってもよい。この水分透過部44は、ゴアテックスGore-TexWLゴアアソシエイツ社製等の防水透湿性素材、または、2μm以下の開口を有するメッシュ等のフィルタにより形成されている。例えば、このフィルタは、1μm以上、2μm以下の開口を有するメッシュにより形成されている。このようなリッド40を用いた場合では、パッケージ接続部13とリッド接続部43とにおいて接続されない領域を設けることなく、すべてパッケージ接続部13とリッド接続部43とが接着剤等により接続されている領域51となるように、樹脂材料により接着してもよい。以上より、本実施の形態における面発光レーザモジュールは、パッケージ10とリッド40との間に水分透過領域を設けることにより、また、リッド40に水分透過調整機能を有する水分透過領域となる水分透過部44を設けることにより、内部に侵入した水分を外部に効果的に排出することができ、急激な温度変化においても結露の発生を防ぐことができる。また、2μm以上のゴミ等のダストが面発光レーザモジュールの内部に侵入すると光学特性が変化してしまう恐れがあるが、本実施の形態では、水分を透過させつつ、2μm以上のゴミ等のダストの進入を防ぐことができる。よって、本実施の形態における面発光レーザモジュールでは光量変動の少ない安定したレーザ発振を行うことができる。また、円筒状のリッド40を用いた場合について説明したが、リッドの形状は角形の柱状のものであってもよい。例えば、図10に示すように四角の筒状のリッド60であってもよい。このリッド60は、傾斜した窓部61となる透明部材、四角の筒状の筒状部62、四角形状のリッド接続部63を有するものである。このようなリッド60において、リッド接続部63の4辺のうち3辺に接着剤を塗布し、残りの1辺に接着剤を塗布しない領域とすることにより、この接着剤を塗布しない領域が水分透過領域となる。また、例えば、図11に示すように四角の筒状のリッド70であってもよい。このリッド70は、傾斜した窓部71となる透明部材、四角の筒状の筒状部72、四角形状のリッド接続部73を有し、筒状部72には、水分透過領域となる水分透過部74を設けた構造のものである。このようなリッド70において、リッド接続部73の4辺のすべてに接着剤を塗布し、パッケージ10と接着することも可能である。図2に示す構造の本実施の形態における面発光レーザモジュールにおいて、85°C85の高温高湿試験を行ったところ、結露が生じないことが確認された。一方、接着剤により接続されていない領域52を設けることなく、パッケージ接続部13とリッド接続部43とを全面において接着剤で接着したものでは、85°C85の高温高湿試験を行ったところ、約10時間経過した頃に結露が確認された。尚、パッケージ接続部13とリッド接続部43とを接着するための接着剤としては、エポキシ系もしくはアクリル系の安価な接着剤を用いることができる。また、図2、図3、図8、図9においては、面発光レーザ素子20とパッケージ10とを接続するためのワイヤボンドは省略されている。また、本実施の形態におけるリッド40は、透明の樹脂材料により形成されているが、このような樹脂材料は、面発光レーザから出射される光を透過する材料である必要がある。このような材料としては、化1に示すようにメタクリル樹脂PMMA:Polymethylmethacrylateが適している。PMMAはアクリル酸エステルあるいはメタクリル酸エステルの重合体で、透明性の高い非晶質の合成樹脂である。その特徴はプラスチック随一の透明度を持つことであり、光学的特性はプラスチックのなかで最も優れている。また、耐候性、外観、表面光沢、表面硬度も良好である。また、加熱して軟化させても白化しないことも長所である。また、他の透明な樹脂材料としては、化2に示すシクロオレフィンコポリマーCOC系樹脂が挙げられる。COCは環状オレフィン構造を有する非晶性の透明樹脂であり、PMMAに匹敵する光学特性やポリカーボネートPC:Polycarbonateと同等以上の耐熱性、低吸水性に由来する高度な寸法安定性など優れた性能を有する樹脂である。さらに水蒸気バリア性、剛性、耐熱性も非常に良好である。また、他の透明な樹脂材料としては、ポリエステル系樹脂等も挙げられる。面発光レーザ次に、面発光レーザ素子20である面発光レーザアレイチップに形成される面発光レーザについて説明する。面発光レーザアレイは、複数の面発光レーザが2次元的にアレイ状に配列されているものであり、面発光レーザアレイチップは、このような面発光レーザアレイを一つのチップとしたものである。図12に基づき面発光レーザアレイを構成する一つの面発光レーザ100について説明する。尚、図12aは面発光レーザ100のXZ面における断面図であり、図12bは面発光レーザ100のYZ面における断面図である。また、本明細書では、前述のとおり、レーザ発振方向をZ軸方向とし、Z軸方向に垂直な面内における互いに直交する2つの方向をX軸方向及びY軸方向として説明する。面発光レーザ100は、発振波長が780nm帯の面発光レーザであり、基板101、バッファ層102、下部半導体DBR103、下部スペーサ層104、活性層105、上部スペーサ層106、上部半導体DBR107、コンタクト層109などを有している。更に、活性層105、上部スペーサ層106、上部半導体DBR107、コンタクト層109及び下部スペーサ層104の一部にはメサ110が形成されており、メサ110の上部にはp側電極113が形成されており、基板101の裏面にはn側電極114が形成されている。更に、保護層111が形成されており、この保護膜111が形成される際に、透明層111A及び111Bが形成されている。図12に示すように、上部半導体DBR107における低屈折率層の1つには、p-AlAsからなる電流狭窄層108が厚さ30nmで形成されている。この電流狭窄層108の挿入位置は、電界の定在波分布において、活性層105から3番目となる節に対応する位置である。尚、電流狭窄層108は、メサ110を形成した後、熱酸化等を行うことにより周辺部における選択酸化領域108aと電流狭窄領域108bとが形成される。ここで、図8に示される面発光レーザモジュールについて、より詳細に説明する。図8に示される面発光レーザモジュールは、面発光レーザ素子20は、10チャネル以上の多発光チャネル面発光レーザアレイ10以上の面発光レーザを有する面発光レーザアレイであり、フォトダイオード30とともに、集積化されたパッケージ10に収納されている。尚、パッケージ10には、ダストの侵入を防ぐため、リッド本体部701に透明部材となるカバーガラス702が設けられたリッド700が被せられている。この透明部材となるカバーガラス702は、面発光レーザの光軸に対して傾斜させて配置されている。傾斜させて配置している理由の一つが、透明部材であるカバーガラス702からの反射による戻り光が、レーザ出射口に侵入しないようにするためであり、面発光レーザの光変動を防止するためである。また、もう一つの理由は、面発光レーザ素子20は、パッケージ10の底面11に設置されており、面発光レーザ素子20における面発光レーザから出射された光は、透明部材であるカバーガラス701を透過し、面発光レーザモジュールの外に出射される。この際、面発光レーザより出射されたレーザ光の一部は、カバーガラス701の表面又は裏面において反射され、この反射された光がフォトダイオード30に入射するように、カバーガラス702を傾斜させて配置させている。即ち、カバーガラス702において反射した光をモニタ光とするためである。しかしながら、カバーガラス702において反射した光をモニタ光として用いる場合、前述したように、カバーガラス702の表面と裏面との反射光による干渉によりエタロン効果が発生するという問題点がある。エタロン効果とは、透明部材の平行な上下面の距離に応じた多重反射が生じ、それが周波数に応じた光干渉となって波長に対する正弦波を描くようになる現象である。具体的には、チャネルが多くなると、例えば、発明者の経験に基づくならば、特に、10チャネル以上の多発光チャネル面発光レーザアレイでは温度による周波数変動が顕著であり、これによりモニタ光源強度の振動が生じ、線形的なモニタ電流を検出することができなくなるのである。次に、パッケージ10に設置されるフォトダイオード30の位置について説明する。図13はパッケージ10内において、面発光レーザ素子20とフォトダイオード30とが、同じ底面11に設置されている場合の面発光レーザモジュールを示し、図14はパッケージ10内において、面発光レーザ素子20が設置されている底面11よりも0.3mm高い段部722の上にフォトダイオード30が設置されている場合の面発光レーザモジュールを示す。尚、リッド700には、リッド本体部701に透明部材であるカバーガラス701が低融点ガラス711により接合されている。図15には、図13に示す構造の面発光レーザモジュールにおけるフォトダイオード30の面上に到達する半値のレーザスポットのサイズを計算した結果を示し、図16には、図14に示す構造の面発光レーザモジュールにおけるフォトダイオード30の面上に到達する半値のレーザスポットのサイズを計算した結果を示す。尚、図13及び図14において、X軸方向とは、面発光レーザ素子20の中心とフォトダイオード30の中心とを結ぶ直線の方向であり、Y軸方向とは、パッケージ10の底面11に平行であって、X軸方向に垂直な方向である。各々の透明部材であるカバーガラス702の傾き角度は、図13及び図14において、リッド700の右上となる部分を固定した状態で、カバーガラス702の角度を変化させたものである。そして、それらX、Y軸方向における半値レーザスポットを掛け合わせることでレーザ面積を求めグラフ化している。図15及び図16に示されるように、フォトダイオード30を面発光レーザ素子20が設置されているパッケージ10の底面11よりも高い段部722の上に設置することにより、フォトダイオード30の面上に投影されるレーザスポットの面積が小さくなっている。これらの半値レーザスポットからX軸方向及びY軸方向におけるガウシアン分布を作成し、フォトダイオード30の受光面積に、どれほどのエネルギー割合で入射するのかを計算し、X軸方向とY軸方向における割合を掛け合わせることにより、レーザスポットとして入射するエネルギーの割合を算出した。これらの値をグラフ化したもの、即ち、図13における面発光レーザモジュールにおけるカバーガラス702の傾きと受光割合との関係を図17に示し、図14における面発光レーザモジュールにおけるカバーガラス702の傾きと受光割合との関係を図18に示す。図17及び図18に示されるように、フォトダイオード30を面発光レーザ素子20が設置されているパッケージ10の底面11よりも高い段部722の上に設置することにより、受光パワー割合は、透明部材であるカバーガラス702の角度を広くすることができる。尚、図13及び図14において、透明部材であるカバーガラス702において反射した光がパッケージ10の内部で乱反射し、そして多発光チャネル面発光レーザの出射口に戻り光として入射することを防ぐため、リッド700の内部に反射防止コート等を施すことも効果的である。更に、面発光レーザ素子20が設置されているパッケージ10の底面11よりも高い段部722の上にフォトダイオード30の設置することにより、フォトダイオード30が設置されている段部722の下、即ち、段部722と底面11との間に面発光レーザ素子20に接続される配線を形成することができる。これにより、多発光チャネル面発光レーザにおける複雑な配線をパッケージ10の形状の対称性を保ったデザインを選択することができる。これにより、パッケージ10をセラミックス製パッケージにより形成する場合、焼成した際の歪みを極めて小さくすることができる。こうして、面発光レーザ素子20における面発光レーザの出射角度を安定的に垂直とすることができ、書き込み用レーザとしての特性を簡便に向上させることができるようになった。これは10チャネル以上の多発光チャネル面発光レーザアレイにおいて非常に重要なことである。また、これにより、不良率が減りコストを削減することが可能となった。また、この場合、フォトダイオード30の受光面が円形状であることで、フォトダイオード30へ入射する受光パワー割合におけるチャネル間のばらつきが滑らかになり、1つのフォトダイオード30にて、10チャネル以上の多発光チャネルのレーザ制御が容易になった。受光面が矩形のフォトダイオード30を用いた場合には、円形状楕円形状のレーザスポットの位置の差異が矩形のコーナーにおいてチャネルごとに滑らかな変化とならないため、1つのフォトダイオード30にて多数のレーザチャネルの制御が困難であった。また、このようにリッド700にはめ込まれた透明部材となるカバーガラス702からの反射をモニタ電流として利用する場合、非常に精密な角度制御が必要となる。多数のレーザチャネルの個々のモニタ電流において最大値と最小値との差異を20以内に収めるためには、その角度ばらつきは、3σで±1°以下が要求される。本課題を解決するために本発明者らが鋭意検討した結果、リッド本体部701が金属製で金型によって成型されており、透明部材であるカバーガラス702を500°C以下で溶融する低融点ガラス711を用いてリッド本体部701の内側から固着することで、パッケージ10及びリッド700に囲まれた空間の内部が完全に密封されて酸素や水分による腐食が起こらない、良好な角度精度を有する面発光レーザモジュールとなる光デバイスを得ることができるようになった。尚、500°C以下で溶融する低融点ガラス711を用いる理由は、一般的なガラスは、550°C程度から変形を始めるため、接合に用いる材料としては、ガラス製透明部材が殆ど変形することなく、長い溶融接着時間に耐えられるものであることが求められている。低融点ガラスは、ソーダ石灰ガラスを基準として作製され、融点の温度による明確な定義はないものと思われるが、一般的なガラスに比べて融点の低いガラスである。上述したように、低融点ガラスは、通常、ガラス等の材料の接合等に用いられるため、溶融温度は低くなるように形成されている。上述のように、本実施の形態においては、非常に厳密な角度制御が必要になるのだが、例えば、これまで用いられてきたような図19に示されるようなガラス790の傾斜では角度のばらつきが生じ表1参照、本実施の形態における用途には適さない。19°となるようにカバーガラス702またはガラス790の傾斜角度を狙って、図14及び図19における構造の面発光レーザモジュールにおいて、各々の実装を行った場合における、ガラスの傾斜のばらつきのデータを表1に示す。その精度、ばらつきは、図19に示す構造のものに対し、図14に示す構造の面発光レーザモジュールにおいて非常に良好な値を示しており、本実施の形態における面発光レーザモジュールの効果を示すものである。尚、リッド700のリッド本体部701に金属製のリッドを用いる場合、非常に精密な角度を持つリッド700を作製することができるが、反面ややコストが高くなるというデメリットを有する。特に、シーム溶接で密封する場合では、その手間と装備がコスト高の原因ともなる。そこで、リッド700の取り付けをシーム溶接ではなく接着剤にて封止をすることでコストを安くすることができる。よって、本実施の形態においては、接着剤による実装も選択可能であり、このような構造のものとしては、前述した図2及び図3に示す構造の面発光レーザモジュールが挙げられる。しかし、パッケージ10にガラスなどを接着剤で封止密封すると、接着剤は微量の水分を透過させてしまう性質を有しており、面発光レーザモジュール内部の水分量が徐々に高まってしまう。そのようになったところで急激な温度変化が生じると、その面発光レーザモジュールの内部は結露を起こしてしまうことが懸念される。面発光レーザモジュールの特性の評価次に、上述した面発光レーザ素子により形成される面発光レーザモジュールの特性について説明する。面発光レーザモジュール及び光源ユニットとして、図1に示した構造を模した光学系を利用して特性の評価を行った。特性評価として、出射された光の光量をフォトダイオードPDにて検出する。得られる理想的な波形データを図20aに示す。しかしながら、戻り光の影響を受けると、光量が不安定となり変動が生じる。図20bにおいて模式的に、光量変動がある場合の異常波形125aを光量変動のない正常波形125bと比較して示す。図20bに示されるように、異常波形125aは、波形の前半部分に波を打つように現れることが多いが、これに限らず、後半部分に波を打つように現れる場合もある。また、周波数も1kHzの場合や、もっと大きい、例えば、数100kHzの波形においても、波形変動が生じる場合がある。特に、1kHzにおける波形を画像形成装置に必要な1ラインを安定して描く際の基準とした場合、その安定性は画像形成装置によっては、5レベルの変動であっても問題となる。ここで、画像形成装置に必要な特性として、この特性値を定量化する方法について説明する。一般的には、熱によるレーザ光量の変動を評価する指標であり、ドループ値として利用されている。具体的には、図20aに示すように、レーザ立ち上がり時間帯の光量と、十分に時間が経過した状態の時間帯での光量の差をとる。その一例として、1kHzでデューティー比が50の波形を示している。DrPa-Pb/PaPa:時間Taにおける光出力値Pb:時間Tbにおける光出力値上式で示される数値Dr単位:をドループ値として定義する。本実施の形態では、1kHzでデューティーが50、Taは1kHzにおける1μsecの位置で、Tbは480μsecの位置とした。光出力は14mW相当とし、測定温度は25°Cになるように温調冶具で調整した。本実施の形態では上記のような出力、温度としているが、利用される出力値、温度に対して、本測定が行われるので、これに限定されるものではない。また、上記周波数、デューティー比、および、Ta、Tbは、画像形成装置として、高精度な画像を形成する上で、必要な条件となる。また、面発光レーザを複数配列し面発光レーザアレイとした場合、1つ1つのドループ値が一致してないと、形成される画像の視認性が著しく悪化する。面発光レーザアレイの特性として、ドループ値の最大値と最小値の差以下これをばらつきと表現するを小さくする必要がある。しかし、先の異常波形125a等が現れると、ばらつきは大きくなる。そこで、このドループ値のばらつきを以下の式に満たすことを条件とした。ドループのばらつき=Drmax-DrminDrmax:複数ある素子の中で最もDr値が大きい素子のDr値Drmin:複数ある素子の中で最もDr値が小さい素子のDr値上記条件でのドループのばらつきが、3を超えたところで、画像を形成した時に、視認性が顕著に悪化する。1素子における大きいドループ値による画像劣化は、複数素子を配列してなる面発光レーザにおいても、同様である。図21には、21個の発光部ch1~ch21を有する面発光レーザアレイ、及び反射防止層を表面にコーティングしていない透明部材となるガラス板上下面合わせた反射率:約8.6を低融点ガラスによって融着させたメタルリッドを有し、この透明部材を面発光レーザアレイの射出面に対して傾斜させていない面発光レーザモジュール光デバイスAというにおけるドループ率が示されている。なお、各発光部には、モードフィルタは設けられていない。ドループ率は、大きいもので4、小さいものでは-1.5であった。これは、出力波形が異常波形となっており、その異常形状が、発光部によって一様でないことを示している。反射防止コーティングをしていない場合のわずか5.2という反射率でもこのようなばらつきが観測されてしまう。このように、発光部間にドループ率の大きなばらつきがある面発光レーザモジュールを用いると、高品質な画像を形成することができない。図22には、21個の発光部ch1~ch21を有する面発光レーザアレイ、及び反射防止層をガラスの上面、下面共にコーティングしているガラス板上下面合わせた反射率:約0.1を低融点ガラスによって融着させたメタルリッドを有し、このガラス板を面発光レーザアレイの射出面に対して傾斜させていない面発光レーザモジュール光デバイスBというにおけるドループ率が示されている。なお、各発光部には、モードフィルタは設けられていない。ドループ率は、大きいもので1.5、小さいもので0.2であり、飛躍的にばらつきが低減されているのが分かる。このように、反射率が非常に低い反射防止コーティングされたガラス板を用いることにより、戻り光への耐性が強くなり、ドループ率のばらつきが小さくなる。そして、異常波形の抑制、光量変動の抑制が可能となる。しかしながら、ガラス板を傾斜させなければ、本発明者らが目的とするフォトダイオードも一体型された構造の10チャネル以上の多発光チャネル面発光レーザを有する面発光レーザモジュールである光デバイスを作ることはできない。そこで、発明者らは、ガラス板上部に反射防止層を備え、ガラス板下部に780nmの波長に対して、10の反射率を示す層をコーティングしたガラス板を傾斜させて低融点ガラスによって融着させたメタルリッドを用い、その傾斜によって面発光レーザアレイへの戻り光を無くし、かつモニタ用フォトダイオードへモニタ光源を反射させた場合のドループ率のばらつきを調べた。図23には、21個の発光部ch1~ch21を有する面発光レーザアレイ、及びガラス板上部に反射防止層を備え、ガラス板下部に780nmの波長に対して、10の反射率を示す層をコーティングしたガラス板を傾斜させて低融点ガラスによって融着させたメタルリッドを用い、面発光レーザアレイの射出面に対して8°傾斜させた面発光レーザモジュール光デバイスCというにおけるドループ率が示されている。なお、各発光部には、モードフィルタは設けられていない。ドループ率は、大きいもので3、小さいもので0.5であり、上記光デバイスAよりもばらつきが低減されているのが分かる。しかしながら、上記光デバイスBよりもドループ率のばらつきは大きく、傾斜角8°ではまだ充分ではないといえる。図24には、21個の発光部ch1~ch21を有する面発光レーザアレイ、及びガラス板上部に反射防止層を備え、ガラス板下部に780nmの波長に対して、10の反射率を示す層をコーティングしたガラス板を傾斜させて低融点ガラスによって融着させたメタルリッドを用い、面発光レーザアレイの射出面に対して10°傾斜させた面発光レーザモジュール光デバイスDというにおけるドループ率が示されている。なお、各発光部には、モードフィルタは設けられていない。また、図25には、21個の発光部ch1~ch21を有する面発光レーザアレイ、及びガラス板上部に反射防止層を備え、ガラス板下部に780nmの波長に対して、10の反射率を示す層をコーティングしたガラス板を傾斜させて低融点ガラスによって融着させたメタルリッドを用い、面発光レーザアレイの射出面に対して15°傾斜させた面発光レーザモジュール光デバイスEというにおけるドループ率が示されている。なお、各発光部には、モードフィルタは設けられていない。また、図26には、21個の発光部ch1~ch21を有する面発光レーザアレイ、及びガラス板上部に反射防止層を備え、ガラス板下部には空気とガラスとの屈折率差を利用して反射できるようにコーティングをしていないガラス板を傾斜させて低融点ガラスによって融着させたメタルリッドを用い、該ガラス板を面発光レーザアレイの射出面に対して15°傾斜させた光デバイス光デバイスFというにおけるドループ率が示されている。なお、各発光部には、モードフィルタは設けられていない。光デバイスD及び光デバイスEでは、ドループ率のばらつきは、光デバイスBと同等、あるいはそれ以下であった。このように、反射防止層を表面にコーティングしていない透明部材との一体型樹脂リッドを用いても、それを傾斜させることで、反射防止コーティングされたガラスとそれを保持するメタルリッドを用いるのと同等の効果を期待できることが分かった。すなわち、反射のある透明部材を用いても、それを傾斜することで戻り光の問題は解決できるということである。また、本発明で用いたような10チャネルを越える多発光チャネル面発光レーザのドループ率が図24~29において、全てのチャネルにおいてその値が概ねそろっている。このように、反射面によって反射した多発光チャネルの数値を全てそろえることは非常に困難な技術であり、本発明の効果が非常によく確認できるところでもある。このようにして、本実施形態では、透明部材の傾斜角θが17°となるように、リッドが形成されている。面発光レーザモジュールの製造方法次に、図2及び図3に基づいて、本実施の形態における面発光レーザモジュールの製造方法について説明する。最初に、パッケージ10の凹部の底面11に、面発光レーザ素子20である面発光レーザアレイチップをダイボンドする。次に、面発光レーザ素子20である面発光レーザアレイチップにおける複数の電極パッドとパッケージ10における複数の不図示のリード金属配線とを各々ワイヤボンディングにより電気的に接続する。次に、パッケージ10の段部12に、フォトダイオード30をダイボンドする。次に、フォトダイオード30のアノード電極とパッケージ10の不図示のリード配線金属配線とをワイヤボンディングにより電気的に接続し、裏面のカソードは導電性接着剤により接地する。次に、面発光レーザ素子20である面発光レーザアレイチップとフォトダイオード30とが固定され、それぞれと電気的に接続されたパッケージ10にリッド40をパッケージ10に載置する。次に、パッケージ10に載置されたリッド40を固定するための接着剤紫外線硬化型樹脂系接着剤を塗布する。接着剤はパッケージ10におけるパッケージ接続部13とリッド40におけるリッド接続部43とにおいて接続するように塗布されるが、全面に塗布するのではなく、接続されていない領域52においては、接着剤が塗布されていない。これにより接着剤の塗布されなかった領域が、水分透過領域となる。また、図10に示すような四角形状のリッド60の場合では、4辺のうちの3辺近傍に接着剤を塗布する。例えば、図27に示すように、パッケージ10とリッド60の3辺近傍における接着剤塗布領域80において接着剤を塗布する場合、例えば、図28の矢印で示すような順序で接着剤の塗布が行われる。次に、接着剤の塗布が終了した後、接着剤を硬化させる。ここでは、紫外線照射装置に投入し、接着剤の硬化処理を行う。これにより、リッド40における窓部41となる透明部材は、面発光レーザ素子20である面発光レーザアレイチップにおける面発光レーザの光の出射方向に垂直な面に対して約17°傾斜した状態で、パッケージ10に固定される。尚、図29に示すように、図10に示すような四角形状のリッド60の場合では、パッケージ10とリッド60の対向する2辺近傍における接着剤塗布領域81において接着剤を塗布することも考えられる。この場合、より内部の水分上昇を抑え、結露などの不具合が生じにくいことが確認されている。また、図11に示すリッド70の場合では、4辺のすべてを接着剤により接着しても、リッド70には水分透過調整機能を有する水分透過部74を有しているため、結露等の問題が生じることはなかった。本実施の形態における説明では、リッド40の窓部41となる透明部材が面発光レーザ素子20である面発光レーザアレイチップにおける面発光レーザの光の出射方向に垂直な面に対して約17°傾斜した面発光レーザモジュールについて説明したが、これに限定されるものではなく、好ましくは傾斜角が10°以上であればよく、更には、傾斜角が15°以上であればより好ましい。面発光レーザアレイ次に、本実施の形態における面発光レーザアレイについて説明する。本実施の形態における面発光レーザアレイは、上述した面発光レーザが2次元的に複数形成されているものである。図30に基づき、本実施の形態における面発光レーザアレイ240について説明する。本実施の形態における面発光レーザアレイ240は、複数ここでは32個の発光部200となる面発光レーザが同一基板上に配置されている。尚、X軸方向は主走査対応方向であり、Y軸方向は副走査対応方向である。複数の発光部200は、すべての発光部200をY軸方向に伸びる仮想線上に正射影したときに等間隔d2となるように配置されている。このようにして、32個の発光部200は2次元的に配列されている。尚、本明細書では、発光部間隔とは2つの発光部200の中心間距離を意味する。また、図30では発光部200の数が32個であるものを示しているが、発光部200の個数は、複数であればよく、例えば、発光部200が40個のものであってもよい。図31には、図30における破線30A-30Bにおいて切断した断面図を示す。本実施の形態における面発光レーザアレイ240において、各発光部200は、前述した面発光レーザ100により構成されている。このため、面発光レーザアレイ240は、前述した面発光レーザ100と同様な方法により製造することが可能である。これにより、各発光部200間で均一な偏光方向を持つ単一基本横モードの複数のレーザ光を発する面発光レーザアレイを得ることができる。このようにして得られた面発光レーザアレイ240により、円形で且つ光密度の高い微小な光スポットを32個同時に、後述する感光体ドラム上に形成することが可能となる。また、面発光レーザアレイ240では、各発光部を副走査対応方向に延びる仮想線上に正射影したときの発光部間隔が等間隔d2であるので、点灯のタイミングを調整することにより、後述する感光体ドラム上において副走査方向に等間隔で発光部が並んでいる場合と同様な構成と捉えることができる。そして、例えば、上記間隔d2を2.65μm、後述する光走査装置の光学系の倍率を2倍とすれば、4800dpiドット/インチの高密度書込みができる。もちろん、主走査対応方向の発光部数を増加したり、副走査対応方向のピッチd1を狭くして間隔d2を更に小さくした構成のアレイ配置としたり、光学系の倍率を下げる等を行えばより高密度化することが可能であり、より高品質の印刷が可能となる。なお、主走査方向の書き込み間隔は、発光部の点灯のタイミングで容易に制御できる。ところで、本実施の形態における面発光レーザアレイ240において、隣接する2つの発光部200の間の溝は、各発光部の電気的及び空間的分離のために、5μm以上であることが好ましい。あまり狭いと製造時のエッチングの制御が難しくなるからである。また、メサ110の大きさ1辺の長さは10μm以上であることが好ましい。あまり小さいと動作時に熱がこもり、特性が低下するおそれがあるからである。尚、図32には、面発光レーザアレイ240における配線構造を示す。このように面発光レーザアレイ240では、2次元的に配列されている32個の発光部200、及び32個の発光部の周囲に設けられ各発光部200に対応した32個の電極パッド210を有している。また、各電極パッド210は、対応する発光部200と配線部材220によって電気的に接続されている。また、上述した2次元的に面発光レーザ100が配列された面発光レーザアレイ240に代えて、発光部200となる面発光レーザ100が1次元配列された面発光レーザアレイを用いてもよい。第2の実施の形態次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態における面発光レーザモジュールを用いた光走査装置1010及び画像形成装置としてのレーザプリンタ1000である。図33に基づき、本実施の形態におけるレーザプリンタ1000について説明する。本実施の形態におけるレーザプリンタ1000は、光走査装置1010、感光体ドラム1030、帯電チャージャ1031、現像ローラ1032、転写チャージャ1033、除電ユニット1034、クリーニングユニット1035、トナーカートリッジ1036、給紙コロ1037、給紙トレイ1038、レジストローラ対1039、定着ローラ1041、排紙ローラ1042、排紙トレイ1043、通信制御装置1050、及び上記各部を統括的に制御するプリンタ制御装置1060等を備えている。なお、これらは、プリンタ筐体1044の中の所定位置に収容されている。通信制御装置1050は、ネットワークなどを介した上位装置例えばパソコンとの双方向の通信を制御する。感光体ドラム1030は、円柱状の部材であり、その表面には感光層が形成されている。すなわち、感光体ドラム1030の表面が被走査面である。そして、感光体ドラム1030は、矢印Xで示す方向に回転するようになっている。帯電チャージャ1031、現像ローラ1032、転写チャージャ1033、除電ユニット1034及びクリーニングユニット1035は、それぞれ感光体ドラム1030の表面近傍に配置されている。そして、感光体ドラム1030の回転方向に沿って、帯電チャージャ1031→現像ローラ1032→転写チャージャ1033→除電ユニット1034→クリーニングユニット1035の順に配置されている。帯電チャージャ1031は、感光体ドラム1030の表面を均一に帯電させる。光走査装置1010は、帯電チャージャ1031で帯電された感光体ドラム1030の表面を、上位装置からの画像情報に基づいて変調された光束により走査し、感光体ドラム1030の表面に画像情報に対応した潜像を形成する。ここで形成された潜像は、感光体ドラム1030の回転に伴って現像ローラ1032の方向に移動する。なお、この光走査装置1010の構成については後述する。トナーカートリッジ1036にはトナーが格納されており、このトナーは現像ローラ1032に供給される。現像ローラ1032は、感光体ドラム1030の表面に形成された潜像にトナーカートリッジ1036から供給されたトナーを付着させて画像情報を顕像化させる。ここでトナーが付着した潜像以下では、便宜上トナー像ともいうは、感光体ドラム1030の回転に伴って転写チャージャ1033の方向に移動する。給紙トレイ1038には記録紙1040が格納されている。この給紙トレイ1038の近傍には給紙コロ1037が配置されており、この給紙コロ1037は、記録紙1040を給紙トレイ1038から1枚づつ取り出し、レジストローラ対1039に搬送する。このレジストローラ対1039は、給紙コロ1037によって取り出された記録紙1040を一旦保持するとともに、この記録紙1040を感光体ドラム1030の回転に合わせて感光体ドラム1030と転写チャージャ1033との間隙に向けて送り出す。転写チャージャ1033には、感光体ドラム1030の表面のトナーを電気的に記録紙1040に引きつけるために、トナーとは逆極性の電圧が印加されている。この電圧により、感光体ドラム1030の表面のトナー像が記録紙1040に転写される。ここで転写された記録紙1040は、定着ローラ1041に送られる。定着ローラ1041では、熱と圧力とが記録紙1040に加えられ、これによってトナーが記録紙1040上に定着される。ここで定着された記録紙1040は、排紙ローラ1042を介して排紙トレイ1043に送られ、排紙トレイ1043上に順次スタックされる。除電ユニット1034は、感光体ドラム1030の表面を除電する。クリーニングユニット1035は、感光体ドラム1030の表面に残ったトナー残留トナーを除去する。残留トナーが除去された感光体ドラム1030の表面は、再度帯電チャージャ1031に対向する位置に戻る。次に、図34に基づき光走査装置1010について説明する。光走査装置1010は、光源ユニット1110、不図示のカップリングレンズ及び開口板、シリンドリカルレンズ1113、ポリゴンミラー1114、fθレンズ1115、トロイダルレンズ1116、2つのミラー1117、1118、及び上記各部を統括的に制御する不図示の制御装置を備えている。尚、光源ユニット1110は、第1の実施の形態における面発光レーザモジュールを含む光源ユニット1110が用いられている。シリンドリカルレンズ1113は、光源ユニット1110から出射された光を、ミラー1117を介してポリゴンミラー1114の偏向反射面近傍に集光する。ポリゴンミラー1114は、高さの低い正六角柱状部材からなり、側面には6面の偏向反射面が形成されている。そして、不図示の回転機構により、矢印Yに示す方向に一定の角速度で回転されている。従って、光源ユニット1110から出射され、シリンドリカルレンズ1113によってポリゴンミラー1114の偏向反射面近傍に集光された光は、ポリゴンミラー1114の回転により一定の角速度で偏向される。fθレンズ1115は、ポリゴンミラー1114からの光の入射角に比例した像高をもち、ポリゴンミラー1114により一定の角速度で偏向される光の像面を、主走査方向に関して等速移動させる。トロイダルレンズ1116は、fθレンズ1115からの光をミラー1118を介して、感光体ドラム1030の表面に結像する。トロイダルレンズ1116は、fθレンズ1115を介した光束の光路上に配置されている。そして、このトロイダルレンズ1116を介した光束が、感光体ドラム1030の表面に照射され、光スポットが形成される。この光スポットは、ポリゴンミラー1114の回転に伴って感光体ドラム1030の長手方向に移動する。すなわち、感光体ドラム1030上を走査する。このときの光スポットの移動方向が主走査方向である。また、感光体ドラム1030の回転方向が副走査方向である。ポリゴンミラー1114と感光体ドラム1030との間の光路上に配置される光学系は、走査光学系とも呼ばれている。本実施形態では、走査光学系は、fθレンズ1115とトロイダルレンズ1116とから構成されている。なお、fθレンズ1115とトロイダルレンズ1116の間の光路上、及びトロイダルレンズ1116と感光体ドラム1030の間の光路上の少なくとも一方に、少なくとも1つの折り返しミラーが配置されてもよい。本実施の形態におけるレーザプリンタ1000では、第1の実施の形態における面発光レーザモジュールを用いているため、レーザプリンタ1000では書きこみドット密度が上昇しても印刷速度を落とすことなく印刷することができる。また、同じ書きこみドット密度の場合には印刷速度を更に速くすることができる。また、この場合には、各発光部からの光束の偏光方向が安定して揃っているため、レーザプリンタ1000では、高品質の画像を安定して形成することができる。尚、本実施の形態における説明では、画像形成装置としてレーザプリンタ1000の場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、レーザ光によって発色する媒体例えば、用紙に直接、レーザ光を照射する画像形成装置であってもよい。例えば、媒体が、CTPComputertoPlateとして知られている印刷版であってもよい。つまり、光走査装置1010は、印刷版材料にレーザアブレーションによって直接画像形成を行い、印刷版を形成する画像形成装置にも好適である。また、例えば、媒体が、いわゆるリライタブルペーパーであってもよい。これは、例えば紙や樹脂フィルム等の支持体上に、以下に説明するような材料が記録層として塗布されている。そして、レーザ光による熱エネルギー制御によって発色に可逆性を与え、表示/消去を可逆的に行うものである。透明白濁型リライタブルマーキング法とロイコ染料を用いた発消色型リライタブルマーキング法があり、いずれも適用できる。透明白濁型は、高分子薄膜の中に脂肪酸の微粒子を分散したもので、110°C以上に加熱すると脂肪酸の溶融により樹脂が膨張する。その後、冷却すると脂肪酸は過冷却状態になり液体のまま存在し、膨張した樹脂が固化する。その後、脂肪酸が固化収縮して多結晶の微粒子となり樹脂と微粒子間に空隙が生まれる.この空隙により光が散乱されて白色に見える。次に、80°Cから110°Cの消去温度範囲に加熱すると、脂肪酸は一部溶融し、樹脂は熱膨張して空隙を埋める。この状態で冷却すると透明状態となり画像の消去が行われる。ロイコ染料を用いたリライタブルマーキング法は、無色のロイコ型染料と長鎖アルキル基を有する顕消色剤との可逆的な発色及び消色反応を利用している。レーザ光により加熱されるとロイコ染料と顕消色剤が反応して発色し、そのまま急冷すると発色状態が保持される。そして、加熱後、ゆっくり冷却すると顕消色剤の長鎖アルキル基の自己凝集作用により相分離が起こり、ロイコ染料と顕消色剤が物理的に分離されて消色する。また、媒体が、紫外光を当てるとCシアンに発色し、可視光のRレッドの光で消色するフォトクロミック化合物、紫外光を当てるとMマゼンタに発色し、可視光のGグリーンの光で消色するフォトクロミック化合物、紫外光を当てるとYイエローに発色し、可視光のBブルーの光で消色するフォトクロミック化合物が、紙や樹脂フィルム等の支持体上に設けられた、いわゆるカラーリライタブルペーパーであってもよい。これは、一旦紫外光を当てて真っ黒にし、RGBの光を当てる時間や強さで、YMCに発色する3種類の材料の発色濃度を制御してフルカラーを表現し、仮に、RGBの強力な光を当て続ければ3種類とも消色して真っ白にすることもできる。このような、光エネルギー制御によって発色に可逆性を与えるものも上記実施形態と同様な光走査装置を備える画像形成装置として実現できる。また、像担持体として銀塩フィルムを用いた画像形成装置であってもよい。この場合には、光走査により銀塩フィルム上に潜像が形成され、この潜像は通常の銀塩写真プロセスにおける現像処理と同等の処理で可視化することができる。そして、通常の銀塩写真プロセスにおける焼付け処理と同等の処理で印画紙に転写することができる。このような画像形成装置は光製版装置や、CTスキャン画像等を描画する光描画装置として実施できる。本実施の形態おける光走査装置1010は、光源ユニット1110において第1の実施の形態における面発光レーザモジュールを有しているため、低コストで安定した光走査を行うことができる。また、第1の実施の形態における面発光レーザモジュールにおける面発光レーザ素子20は面発光レーザアレイチップであり、複数の発光部を有しているため、同時に複数の光走査が可能となり、画像形成の高速化を図ることができる。更に、本実施形態におけるレーザプリンタ1000では、光走査装置1010を備えているため、高品質の画像を形成することが可能となる。また、面発光レーザ素子20である面発光レーザアレイチップは、各発光部を副走査対応方向に延びる仮想線上に正射影したときの発光部間隔が等間隔d2であるので、点灯のタイミングを調整することで感光体ドラム1030上では副走査方向に等間隔で発光部が並んでいる場合と同様な構成と捉えることができる。そして、例えば、上記間隔d2を2.65μm、光走査装置1010の光学系の倍率を2倍とすれば、4800dpiドット/インチの高密度書込みができる。もちろん、主走査対応方向の発光部数を増加したり、副走査対応方向のピッチd1を狭くして間隔d2を更に小さくするアレイ配置としたり、光学系の倍率を下げる等を行えばより高密度化でき、より高品質の印刷が可能となる。なお、主走査方向の書き込み間隔は、発光部の点灯のタイミングで容易に制御できる。また、本実施の形態におけるレーザプリンタ1000では、書きこみドット密度が上昇しても印刷速度を落とすことなく印刷することができる。また、同じ書きこみドット密度の場合には印刷速度を更に速くすることができる。更に、各発光部からの光束の偏光方向が安定して揃っているため、高品質の画像を安定して形成することができる。第3の実施の形態次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、複数の感光体ドラムを備えるカラープリンタ2000である。図35に基づき、本実施の形態におけるカラープリンタ2000について説明する。本実施の形態におけるカラープリンタ2000は、4色ブラック、シアン、マゼンタ、イエローを重ね合わせてフルカラーの画像を形成するタンデム方式の多色カラープリンタであり、ブラック用の感光体ドラムK1、帯電装置K2、現像装置K4、クリーニングユニットK5、及び転写装置K6と、シアン用の感光体ドラムC1、帯電装置C2、現像装置C4、クリーニングユニットC5、及び転写装置C6と、マゼンタ用の感光体ドラムM1、帯電装置M2、現像装置M4、クリーニングユニットM5、及び転写装置M6と、イエロー用の感光体ドラムY1、帯電装置Y2、現像装置Y4、クリーニングユニットY5、及び転写装置Y6と、光走査装置2010と、転写ベルト2080と、定着ユニット2030などを備えている。各感光体ドラムは、図35において示される矢印の方向に回転し、各感光体ドラムの周囲には、回転順にそれぞれ帯電装置、現像装置、転写装置、クリーニングユニットが配置されている。各帯電装置は、対応する感光体ドラムの表面を均一に帯電する。帯電装置によって帯電された各感光体ドラム表面に光走査装置2010により光が照射され、各感光体ドラムに潜像が形成されるようになっている。そして、対応する現像装置により各感光体ドラム表面にトナー像が形成される。さらに、対応する転写装置により、転写ベルト2080上の記録紙に各色のトナー像が転写され、最終的に定着ユニット2030により記録紙に画像が定着される。光走査装置2010は、第1の実施の形態における面発光レーザモジュールを含む光源ユニットを、各々の色毎に有しており、第2の実施の形態において説明した光走査装置1010と同様の効果を得ることができる。また、カラープリンタ2000は、この光走査装置2010を備えているため、第2の実施の形態におけるレーザプリンタ1000と同様の効果を得ることができる。ところで、カラープリンタ2000では、各部品の製造誤差や位置誤差等によって色ずれが発生する場合がある。このような場合であっても、光走査装置2010の各光源が第1の実施の形態における面発光レーザモジュールを含む光源ユニットにより形成されているため、点灯させる発光部を選択することで色ずれを低減することができる。よって、本実施の形態におけるカラープリンタ2000では、第1の実施の形態における面発光レーザモジュールを用いているため、高品質の画像を形成することができる。以上、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。