処理ラインとして前段に第1冷却器を配置した第1デシカントロータの処理ゾーンと、前段に第2冷却器を配置した第2デシカントロータの処理ゾーンと、前段に第3冷却器を配置した第3デシカントロータの処理ゾーンとを直列に連通し、第1ファンを第1デシカントロータの処理ゾーン下流から室内側への供給と排気ラインとの分岐点の間に配置し、第1冷却器側から外気を吸い込み順次第2デシカントロータ及び第3デシカントロータの処理ゾーンで処理して超低露点の給気を室内側に供給し、室内からの還気を前記第1ファンの上流であって第2冷却器又は第3冷却器の上流に合流させて循環させるとともに、再生ラインとして前段に第3再生器を配置した第3デシカントロータの再生ゾーンと、前段に第2再生器を配置した第2デシカントロータの処理ゾーンと、前段に第1再生器を配置した第1デシカントロータの処理ゾーンとを直列に連通し、排気のための第2ファンを配置し、前記室内側に供給する前記給気の一部を第3デシカントロータの再生ゾーンに供給し、順次第2デシカントロータの再生ゾーン、第1デシカントロータの再生ゾーンを通過させるとともに、少なくとも前記冷却器のいずれかの下流に蒸発器と、少なくとも前記再生器のいずれかの上流に凝縮器と、圧縮器とからなるヒートポンプ回路を組み込んで各デシカントロータの再生器は80°C以下で加熱するとようにしたことを特徴とする超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機。前記請求項1に記載の超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機において、前記ヒートポンプ回路の蒸発器は前記第2冷却器の下流に配置し、前記凝縮器は第1乃至第3の凝縮器に分割して、それぞれ第1凝縮器は第1再生器の上流、第2凝縮器は第2再生器の上流、第3凝縮器は第3再生器の上流にそれぞれ配置したことを特徴とする請求項1に記載の超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機。しかしながら、上述した従来の低露点デシカント空調機は、再生ゾーンに140°C程度の高温空気が必要であり、また、パージゾーンを設けなければならないことから、次のような問題点がある。1再生空気温度が、100°C少なくとも80°C以上の高温であり、熱源に蒸気または電気ヒータを用いる必要があること。2蒸気源を使用することが多いが、蒸気の生産時にCO2を大量に生じる場合があり、CO2の削減に寄与できないこと。3再生器に他の機器からの80°C以下の温水の排熱が利用できないこと。4除湿器の除湿性能を上げるため、パージが必要になること。5再生側より処理側への熱移動が大きいため、処理側では温度が上がり、熱源の冷却負荷が増加する。本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、80°C以下で再生可能なデシカントロータ低温再生型乾式除湿器を多段に配置することにより、使用する部材も通常一般事務所空調の耐熱性のものが使用可能となった超低露点温度の乾燥空気を室内に供給するデシカント空調機で、かつ、熱源負荷をより軽減させることが可能なデシカント空調機を提供することにある。上記課題を解決するために、請求項1の発明は、処理ラインとして前段に第1冷却器を配置した第1デシカントロータの処理ゾーンと、前段に第2冷却器を配置した第2デシカントロータの処理ゾーンと、前段に第3冷却器を配置した第3デシカントロータの処理ゾーンとを直列に連通し、第1ファンを第1デシカントロータの処理ゾーン下流から室内側への供給と排気ラインとの分岐点の間に配置し、第1冷却器側から外気を吸い込み順次第2デシカントロータ及び第3デシカントロータの処理ゾーンで処理して超低露点の給気を室内側に供給し、室内からの還気を前記第1ファンの上流であって第2冷却器又は第3冷却器の上流に合流させて循環させるとともに、再生ラインとして前段に第3再生器を配置した第3デシカントロータの再生ゾーンと、前段に第2再生器を配置した第2デシカントロータの処理ゾーンと、前段に第1再生器を配置した第1デシカントロータの処理ゾーンとを直列に連通し、排気のための第2ファンを配置し、前記室内側に供給する前記給気の一部を第3デシカントロータの再生ゾーンに供給し、順次第2デシカントロータの再生ゾーン、第1デシカントロータの再生ゾーンを通過させるとともに、少なくとも前記冷却器のいずれかの下流に蒸発器と、少なくとも前記再生器のいずれかの上流に凝縮器と、圧縮器とからなるヒートポンプ回路を組み込んで各デシカントロータの再生器は80°C以下で加熱するようにした超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機である。請求項2の発明は、前記請求項1に記載の超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機において、前記ヒートポンプ回路の蒸発器は前記第2冷却器の下流に配置し、前記蒸発器は第1乃至第3の凝縮器に分割し、それぞれ第1凝縮器は第1再生器の上流、第2凝縮器は第2再生器の上流、第3凝縮器は第3再生器の上流に配置したことを特徴とする。本発明によれば、少なくとも3台のデシカントロータを直列に配置し、給気した室内から大量の還気を第1ファンの上流に循環処理するようにし、かつ、給気の一部を再生ゾーンに通過させて排気するようにし、さらに、冷却器と再生器にヒートポンプ回路の蒸発器と凝縮器とを組み込んだので、従来のパージゾーンを設けたデシカント空調機と同等の超低露点-50°CDPが実現可能となり、再生空気が80°C以下で良いのでパージゾーンが必要でなくなることから、従来の超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機と比べて、次のような利点がある。パージゾーンが不要であること。デシカントロータに低温再生乾式除湿器を用いることができること。ヒートポンプ回路の蒸発器と凝縮器とを組み込んだことにより、これがデシカント空調機の一部熱源負荷を受け持つので、中央熱源の負荷が軽減される。再生空気が80°C以下となることから、事務所用空調機のパネル等の部材も使用可能となること。再生器には80°C以下の温水でもよいので、他の施設の排熱を容易に再生器に利用することが可能であり、蒸気源が不必要になること。本発明の好適な実施例1を図面に沿って説明する。実施例図1は、実施例の超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機1の系統図であって、主に直列に配置される第1デシカントロータ21、第2デシカントロータ22、第3デシカントロータ23から構成される。そして、各デシカントロータの除湿する処理ゾーンの上流側には冷却器が配置され、第1デシカントロータ21の前段には第1冷却器31、第2デシカントロータ22の前段には第2冷却器32、第3デシカントロータ23の前段には第3冷却器33がそれぞれ配置される。また、各デシカントロータを加熱する再生ゾーンの上流側には再生器が配置され、空気の流れ順に第3デシカントロータ23の前段には第3再生器43、第2デシカントロータ22の前段には第2再生器42、第1デシカントロータ21の前段には第1再生器41がそれぞれ配置される。この第1~3デシカントロータは、各再生器が低温度の80°C以下の温水で加熱しているので、高温再生型乾式除湿器を用いる場合のパージゾーンを設けてはいない。更に、本実施例では、図2に示すようなヒートポンプ回路の蒸発器と凝縮器とを、図1のデシカント空調機1に組み込んだものであるが、これはデシカント空調機1の冷却器負荷と再熱器負荷の一部をヒートポンプ回路の蒸発器と凝縮器で受け持つことにより、中央熱源の負荷を軽減するようにしたものである。図2のヒートポンプ回路のブロック図に示すように、組み込まれるヒートポンプ回路は、圧縮器95と蒸発器94と3つの凝縮器919293から構成される。圧縮器95から出力されるガス化した冷媒は、先ず並列の第1凝縮器91と第2凝縮器92に分岐されて各凝縮器9192で再生空気を加熱し、更に、合流して第3の凝縮器93に供給して再生空気を加熱すると同時に冷媒も液化する。その後、液化された冷媒は蒸発器94に供給されて処理空気を冷却すると同時に冷媒はガス化して、圧縮器95に戻り循環系を形成する。次に、これらのヒートポンプ回路の蒸発器と凝縮器の図1のデシカント空調機1への組み込みを説明する。図1に示すように、ヒートポンプ回路の蒸発器94は第2冷却器32の直後の下流に配置し、第1凝縮器91は第1再生器41の直前の上流、第2凝縮器92は第2再生器42の直前の上流、第3凝縮器93は第3再生器43の直前の上流に配置した。これらのうち、本実施例の超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機においては、外気変動や室内負荷変動が生じると、冷却器31及び冷却器33の入口空気温度は大きく変動するが、冷却器32の入口空気温度の変動は非常に少ない。すなわち、冷却器32は年間を通してほぼ一定の負荷を処理している。したがって、冷却器32の負荷の一部をヒートポンプ回路の蒸発器94で処理すれば、蒸発器の負荷変動を少なくすることができ、ヒートポンプ回路の安定した運転が可能となると同時に、その排熱をデシカント排気ラインの再生に利用すれば、中央熱源の負荷軽減に大きく貢献する。すなわち、本発明の実施例の超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機は、従来の高温再生型デシカント空調機と比べて、ドライルームRへの給気SAの温度が低いため、第3デシカントロータ23の再生器43の補助として配置する凝縮器92ヒートポンプ回路の冷媒温度が低くても、十分にそのエネルギーを利用することができることを見いだしたものである。したがって、この知見に基づけば、ヒートポンプ回路の凝縮器919293を直列多段に配列することができ、図2において、第3凝縮器93を第2凝縮器92や第1凝縮器91の下流に配置してもよく、第1凝縮器91、第2凝縮器92、第3凝縮器93と各再生器との組み合わせは実施例に限定する必要はなく、要は再生器の負荷が軽減されるように配置すればよい。また、蒸発器94も複数にしてもよく、第2デシカントロータ22以外の第1或いは第3デシカントロータ2123に配置してもよい。言い換えれば、少なくとも各冷却器のいずれかの下流にヒートポンプ回路の蒸発器と、少なくとも各再生器のいずれかの上流にヒートポンプ回路の凝縮器を配置して、デシカント空調機での中央熱源の負荷の一部をヒートポンプ回路の蒸発器と凝縮器で受け持って、中央熱源の負荷を軽減している。次に、図1で外気OAから室内に乾燥空気の給気SAを供給する処理ラインの構成から説明する。外気OAは第1ファン51により吸い込まれるが、ダンパ61により吸入量を規制されフィルター71により第1冷却器31で冷やされ、第1デシカントロータ21の処理ゾーン211を通過してある程度除湿される。本実施例での第1ファン51で吸い込まれる外気OA風量は1000CMH程度で、第1冷却器31直後の到達露点は924°CDP程度であった。この除湿された中間空気は、室内Rからの還気RAと混合され、第1ファン51により次の第2デシカントロータ22の前段の第2冷却器32で冷やされ、第2デシカントロータ22の処理ゾーン221を通過して更に除湿される。本実施例では、前記還気RA量は、1000CMH程度で到達露点は-40°CDP程度であるので、第1ファン51は合計2000CMHで到達露点は-2021°CDP程度となっている。この中間到達露点が-20°CDP程度に達した空気を第3冷却器33及び蒸発器94と、第2デシカントロータ22の処理ゾーン221を通過させ到達露点を-3546°CDP程度として、最終の第3デシカントロータ23に送風し更に除湿する。この第3デシカントロータ23の処理ゾーン231の上流には第3冷却器33が配置され、乾燥空気は冷却されて到達露点は-50°CDP程度まで除湿された後に、ドライルーム等の室内Rに給気通路81により給気され、一部は返還通路82から再生ラインに戻される。本実施例では給気全体の約50に当たる1000CMH程度の給気を返還通路82及び風量を制御するダンパ63を介して再生ラインに戻している。この戻し率は、多ければそれだけ乾燥度合いが高いが、室内の給気SAの量が少なくなるので、実際には戻し量は30から70が限度である。また、室内側には給気全体の50に当たる給気が供給されるが、その-50°CDP程度の乾燥空気の給気SAは室内Rを満たした後、大部分は1000CMH程度で到達露点は-40°CDP程度の還気RAとなって、ダンパ62によって風量制御されて、第1デシカントロータ21の処理ゾーン211の下流の直後で、第2冷却器32及び第2デシカントロータ22の上流に配置した第1ファン51の合流点Aに戻され循環される。この循環処理により-50°CDP程度の乾燥空気を維持している。なお、この場合に、還気RAの一部は漏れがあり、9CMH程度であるが外部に放出される。なお、第1ファン51の配置位置は、必ずしも、第1デシカントロータ21と第2冷却器32の間で合流点A直後でなくても、合流点Aの下流であって、第1冷却器31の下流から、後述する給気通路81と返還通路82との分岐点Bの上流との間であればよい。また、室内還気と処理ラインとの合流点Aも、第1デシカントロータ21の処理ゾーン211の下流の直後でなくとも、前記第1ファン51の上流であれば、第1冷却器31の下流から第3デシカントロータ23の処理ゾーン231の上流の間に配置させればよく、到達露点は-50°CDP程度になるように室内還気を合流させて循環させればよい。先ず、図1で給気SAの一部が再生ゾーンを通過して外部に排気EAとなって排出される再生ラインの構成を説明する。第3デシカントロータ23の到達露点は-50°CDP程度までであり、その除湿空気の一部は室内へ給気され、また、その除湿空気の一部は再生ラインに戻される。その戻された除湿空気は、まず、第3デシカントロータ23の凝縮器93及び再生ゾーン232の前段の第3再生器43で加熱され、その後再生ゾーン232を通過して、第3デシカントロータ23の再生ゾーン232で湿気を飛ばし、次段の第2デシカントロータ22の再生ゾーン222に送風される。この第2デシカントロータ22では、その再生ゾーン222に凝縮器92及び第2再生器42が配置され、この第2再生器42の下流側での空気の到達露点は-3551°CDP程度程度であり、第2デシカントロータ22の再生ゾーン222で湿気を飛ばし、最終の第1デシカントロータ21の再生ゾーン212に送風される。この第1デシカントロータ21では、その再生ゾーン212に凝縮器91及び第1再生器41が配置され、この第1再生器41の下流側での空気の到達露点は-2023°CDP程度程度であり、さらに、第1デシカントロータ21の再生ゾーン212で湿気を飛ばし、第2ファン53によって、1000CMH程度が戸外に排気EAされる。なお、本実施例では第2ファン53を再生ライン下流の最後の戸外放出点Cに配置したが、排気EAを戸外に排出できるのであれば、分岐点Bから実施例の再生ラインの最後の戸外放出点Cとの間のどこに配置してもよい。本発明の特徴の1つは、デシカントロータの再生ゾーンの再生器として再生空気温度80°C以下の所謂低温再生乾式除湿器を用いて、超低露点-50°CDPの乾燥空気を得るものである。ここで、図1に、実施例での室内が無負荷の状態で各ライン上の風量及び露点温度の実験値を示して説明するが、勿論、室内に負荷がある場合の数値とは多少異なる。本発明の上記の課題を達成するため構成上の特徴の1つは、少なくとも、大量の給気を室内で処理した後、大量の還気を循環させることであり、第2デシカントロータの上流に返還する空気量は1000CMHで、実に50程度を循環させている。また、循環処理して給気した一部を直接再生ラインに戻しているが、この戻し率は、多ければそれだけ乾燥度合いが上がるが、室内の給気SAの量が少なくなるので、実際には戻し量は70から30が限度であり、本実施例での戻し率は50である。なお、本発明を実現するためには、少なくとも、次工程への処理空気以上の大量の還気を返還する必要があり、即ち、少なくとも30以上の返還量が必要であるが、余り多くすると室内への供給量が減るので70が上限である。本実施例は、以上のような構成であるので、大量の給気の循環処理を行い、また、従来のパージゾーンを設けた高温再生型乾式除湿器と同等の超低露点-50°CDPが実現可能となった。これにより、デシカントロータの再生ゾーンの再生器として再生空気温度80°C以下の所謂低温再生乾式除湿器を用いたので、通常のデシカント空調機の部品を使用でき、また、再生に他の施設の排熱を利用した温水が使用可能となる。以上のような構成であるので、従来のパージゾーンを設けた高温再生型乾式除湿器と同等の超低露点-50°CDPが実現可能となり、再生空気が80°C以下で良いのでパージゾーンが必要でなくなることから、従来の超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機と比べて、次のような利点がある。パージゾーンが不要であること。デシカントロータの再生器に低温再生乾式除湿器を用いることができること。ヒートポンプ回路の蒸発器と凝縮器とを組み込んだので、デシカント空調機の一部熱源負荷を受け持つことが出来、冷却器と再生器への中央熱源の負荷が軽減される。再生空気が80°C以下となることから、従来のデシカントロータ空調機のパネル等の部材も使用可能となること。再生器には80°C以下の温水でもいいので、他の施設の排熱を容易に再生器に利用が可能であり、蒸気源が不必要になること。なお、本発明の特徴を損なうものでなければ、上記の各実施例に限定されるものでないことは勿論である。