全波長域に亘って連続スペクトルを有する光を放射する装置光源と、試験対象物を置く試料台と、前記装置光源の光を前記試料台に導き前記試験対象物に照射する導光用光学系と、を筐体に備え、前記装置光源と前記導光用光学系の間に、前記装置光源の光のスペクトル特性を他の光源の光のスペクトル特性に変えるスペクトル補正フィルタを着脱自在に設け、前記スペクトル補正フィルタを交換することにより、前記試験対象物に所望の他の光源の光のスペクトル特性の光を照射可能にしたことを特徴とする照射装置。前記導光用光学系は、前記スペクトル補正フィルタを透過した光が入射するロッドインテグレータを備え、集光角が0度~30度の範囲の光を前記装置光源から前記スペクトル補正フィルタ及び前記ロッドインテグレータに順次入射させたことを特徴とする請求項1に記載の照射装置。前記スペクトル補正フィルタと前記導光用光学系の間に、減光フィルタを交換自在に設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載の照射装置。透過光量を連続的に可変する透過開口を有した調光板と、透過率が異なる複数の前記減光フィルタを担持し、前記調光板の前段、又は後段に設けられた減光板と、を備え、前記調光板の透過開口を透過する光量の透過割合、及び前記減光板の減光フィルタの透過率の組み合わせで調光したことを特徴とする請求項3に記載の照射装置。Na個の減光フィルタを担持するとともに、入射光の全量を透過する透過割合100の開口を更に有する2枚の前記減光板を備え、前記調光板の最小透過割合をTbとした場合に、1段階目を透過率100とし当該透過率100に最小透過割合Tbを順次乗じて求められたNa1の2乗段階の各調光段階の透過率のうち、2~Na1段階の各透過率を1枚目の減光板の各減光フィルタの透過率とし、[Na1×m1]段階ただしmは1以上であり、Na1×m1<Na1の2乗を満たす整数の透過率を2枚目の減光板の各減光フィルタの透過率としたことを特徴とする請求項4に記載の照射装置。前記調光板を前記導光用光学系の前段に設けたことを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載の照射装置。色素増感型太陽電池は耐光性が低く太陽光の照射により劣化し易いため、通常、色素増感太陽電池は、室内で使用される機器に多く用いられる。このような色素増感型太陽電池の発電効率等の特性評価には、従来の擬似太陽光装置が用いられているものの、擬似太陽光を照射すると、色素増感型太陽電池の劣化を早めてしまうこととなり、また、室内での使用状況を考慮した適切な特性評価をすることができない、という問題がある。そこで、色素増感型太陽電池の特性評価のための光源装置を、Si太陽電池に用いる擬似太陽光装置と別途に設置する必要があり、そうすると、コストが増大し、また複数の光源装置を取り扱う必要が生じることから操作やメンテナンスが煩雑になる。本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、Si太陽電池や色素増感型太陽電池等の種々の太陽電池のように、特性評価等の試験に際し照射すべき適切な光源が異なるデバイスを試験する場合であっても、これらの光源を個別に用意することなく試験を可能にする照射装置を提供することを目的とする。この明細書には、2010年7月26日に出願された日本国特許出願特願2010-166726の全ての内容がふくまれる。上記目的を達成するために、本発明は、全波長域に亘って連続スペクトルを有する光を放射する装置光源と、試験対象物を置く試料台と、前記装置光源の光を前記試料台に導き前記試験対象物に照射する導光用光学系と、を筐体に備え、前記装置光源と前記導光用光学系の間に、前記装置光源の光のスペクトル特性を他の光源の光のスペクトル特性に変えるスペクトル補正フィルタを着脱自在に設け、前記スペクトル補正フィルタを交換することにより、前記試験対象物に所望の他の光源の光のスペクトル特性の光を照射可能にしたことを特徴とする照射装置を提供する。また本発明は、上記照射装置において、前記導光用光学系は、前記スペクトル補正フィルタを透過した光が入射するロッドインテグレータを備え、集光角が0度~30度の範囲の光を前記装置光源から前記スペクトル補正フィルタ及び前記ロッドインテグレータに順次入射させたことを特徴とする。また本発明は、上記照射装置において、前記スペクトル補正フィルタと前記導光用光学系の間に、減光フィルタを交換自在に設けたことを特徴とする。また本発明は、上記照射装置において、透過光量を連続的に可変する透過開口を有した調光板と、透過率が異なる複数の前記減光フィルタを担持し、前記調光板の前段、又は後段に設けられた減光板と、を備え、前記調光板の透過開口を透過する光量の透過割合、及び前記減光板の減光フィルタの透過率の組み合わせで調光したことを特徴とする。また本発明は、上記照射装置において、Na個の減光フィルタを担持するとともに、入射光の全量を透過する透過割合100の開口を更に有する2枚の前記減光板を備え、前記調光板の最小透過割合をTbとした場合に、1段階目を透過率100とし当該透過率100に最小透過割合Tbを順次乗じて求められたNa1の2乗段階の各調光段階の透過率のうち、2~Na1段階の各透過率を1枚目の減光板の各減光フィルタの透過率とし、[Na1×m1]段階ただしmは1以上であり、Na1×m1<Na1の2乗を満たす整数の透過率を2枚目の減光板の各減光フィルタの透過率としたことを特徴とする。また本発明は、上記照射装置において、前記調光板を前記導光用光学系の前段に設けたことを特徴とする。本発明によれば、装置光源と導光用光学系の間に、装置光源の光のスペクトル特性を他の光源の光のスペクトル特性に変えるスペクトル補正フィルタを着脱自在に設け、このスペクトル補正フィルタを交換することにより、試験対象物に所望の他の光源の光のスペクトル特性の光を照射可能にしたため、特性評価等の試験に際し照射すべき適切な光源が異なるデバイスを試験する場合であっても、これらの光源を個別に用意することなく試験を行うことができる。以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。<第1実施形態>図1は、本実施形態に係る照射装置1の概略構成を示す図である。この照射装置1は、Si太陽電池、及び色素増感型太陽電池の特性評価の光源に用いられる装置であり、評価対象がSi太陽電池の場合には擬似太陽光を照射し、また評価対象が色素増感型太陽電池の場合には照明光を照射する。この照明光は、室内照明灯具の光源の光を模した光である。本実施形態では、室内照明灯具の光源の照射光として、蛍光灯の光、白色LEDの光、及びハロゲンランプの光がそれぞれ選択的に照射可能に構成されている。なお、室内照明灯具の光源、或いは屋内照明光源として、上記以外の光源としても良く、また街路灯等の屋外照明灯具の光源の光を模した光を照明光としても良いことは勿論である。照射装置1は、図1に示すように、箱形の筐体2を備える。この筐体2には、装置光源4と、試験対象たる試料本実施形態ではSi太陽電池、あるいは色素増感型太陽電池試料台6と、装置光源4の光を試料台6に導き試験対象物に照射する導光用光学系8とが内設されており、さらに、装置光源4と導光用光学系8との間にフィルタ群9が配置されている。装置光源4は、ランプ10と、ランプ10の放射光を集光する反射鏡12とを備え、上方鉛直上向き方向に向けて光を出力するように構成されている。ランプ10は、全波長域でブロードなスペクトル特性を有し、例えばキセノンランプやハロゲンランプが用いられ得るが、ハロゲンランプは短波長側約400~500nm以下の波長でのスペクトル成分が他の波長域よりも小さいため、本実施形態ではキセノンランプを用いることとしている。ここで、本実施形態において、上記の全波長域が指す波長帯域は、照射装置1で行われる各種の試験のそれぞれで必要な各帯域を含む帯域である。例えば、太陽電池の特性評価にあっては、Si結晶系の太陽電池を試験対象とした場合、擬似太陽光として400nm~1100nmの帯域の光が要求され、また、Siアモルファス系の太陽電池を試験対象とした場合には、擬似太陽光として350nm~750nmの帯域の光が要求され、さらに、色素増感型太陽電池の場合は照射光として400nm~900nmの帯域の光が要求される。したがって、これらの試験を照射装置1で行う場合には、350nm~1100nmの波長帯域が全波長域に相当し、かかる全波長域にブロードなスペクトル特性の光を装置光源4が放出する。試料台6は、試料14を載置する平らな載置面を有する。この試料台6の真上には、試料台6から最大約650mm離れて位置に光の出射開口16が設けられており、この出射開口16から順次拡がる光が試料台6に照射される。この試料台6は、図示せぬ昇降機構或いは台座を介在させる等して出射開口16に向けて高さ位置を下限位置P0~上限位置P1の範囲で調整可能に構成されており、これにより試料台6での光照射の照射範囲を調整できるようになっている。本実施形態では、試料台6が下限位置P0に位置するときには、約500mm四方の範囲に均一に光が照射され、また、上限位置P1に位置するときには、約150mm四方の範囲に均一に光りが照射される。このとき、試料台6の位置を下限位置P0から上限位置P1に近づけるにつれて照射範囲が縮小することから、単位面積当たりの光量が増加することとなり、試料台6の位置を可変することによっても光量を調整することができる。なお、次に述べる導光用光学系8と試料台6の間に、光線を平行光化する光学系を介在させて、試料台6の位置にかかわらずに常に一定の照射範囲とする構成としても良い。導光用光学系8は、装置光源4の光の照度分布及び色分布を均一にして、照射面での照度ムラ及び色ムラの発生を抑制するものであり、インテグレータ光学素子の一つであるガラスロッドロッドインテグレータ18と、レンズユニット20とを備え、これらが同一の光軸K2上に配置されている。装置光源4の光軸K1上には、装置光源4の光の進行方向を水平方向に変えるミラー22が配置されており、当該ミラー22での反射光がガラスロッド18の入射端面18Aに入射され照度ムラの無い光が出射端面18Bから出力されてレンズユニット20に入射される。レンズユニット20は、入射光線のビーム径を拡大して出力するものであり、投影レンズ位置調整機構43に担持されている。投影レンズ位置調整機構43はレンズユニット20を光軸K2方向に可動して位置を調整する。当該レンズユニット20の出射端20Aの光軸K2上には、レンズユニット20の光の進行方向を直下方向に変えるミラー24が配置されている。このミラー24の反射光の光軸K3上には上記試料台6が位置し、これにより、ミラー24の直下に設置された試料台6に光が導かれて照射される。フィルタ群9については後述する。次いで、筐体2の構造について説明すると、筐体2の内部は、大別して、装置光源4を点灯する電気回路などの各種の電気回路を収めた電気部品室30と、装置光源4を収めた光源室32と、導光用光学系8を収めた光学系室34と、試料台6を収めた試料設置室36とに仕切られている。電気部品室30及び光源室32は上下に積層配置され、それらと横並びに隣接して試料設置室36が配置され、また、光源室32及び試料設置室36の上には、これら光源室32から試料設置室36に亘って光学系室34が設けられている。かかる構成においては、装置光源4、導光用光学系8、及び試料台6が門型下方開放のコ字状に配置されるため、照射装置1の幅寸法を抑えた小型な装置となる。電気部品室30、光源室32及び光学系室34のそれぞれには、メンテナンス用の開閉扉40A~40Cが設置されている。また、電気部品室30には内部冷却用のプロペラファン50が設けられ、光学系室34には装置光源4の直上にランプ冷却用ファン52と、フィルタ群9の直上にフィルタ冷却用ファン53が設けられ、試料設置室36にはフード内排気ファン54が設けられている。光源室32には、装置光源4を光軸K1に沿って昇降し、また光軸K1に対して垂直方向に移動して位置決め自在にするXYZ可動調整ステージ42が設けられている。また、光源室32の直上には、照度計等を内蔵した、ランプ位置出し用のモニター機構56が配置されている。ランプ10の交換時などには、XYZ可動調整ステージ42により装置光源4の位置を調整することで、装置光源4の光軸K1が所定の位置に合わせられる。さて、フィルタ群9は、導光用光学系8の入射側に配置されており、装置光源4の光のスペクトル特性を変換して所望の照明光とするとともに、照度を調整するものであり、スペクトル特性を変えるスペクトル補正フィルタ60と、照度を調整するための2枚のND減光フィルタ62とを備え、これらが導光用光学系8の光軸K2に沿って積層配置されている。スペクトル補正フィルタ60は、例えば誘電体多層膜から成り、装置光源4の光のスペクトル特性を、所望の他の光源のスペクトルのプロポーショナルに近づける光透過特性を有した光学フィルタ濾光板である。これら、スペクトル補正フィルタ60、及びNDフィルタ減光フィルタ62は図示せぬ光学マウントに着脱自在に設けられている。上述の通り、フィルタ群9は、導光用光学系8と装置光源4との間に配置され、また装置光源4から導光用光学系8に至る光路はミラー22によりL字状に折り曲げられていることから、このミラー22の近傍に上記光学系室34の開閉扉40Cを設けることで、この開閉扉40Cからフィルタ群9及び装置光源4のランプ10のそれぞれにアクセスして交換等の作業を行うことができる。なお、ランプ10の点灯中でもフィルタ群9を手動で安全に手動交換できるように、フィルタ群9を交換するための専用の交換機構を内蔵しても良い。本実施形態では、スペクトル補正フィルタ60として、ランプ10のスペクトル特性を太陽光のスペクトル特性に変換して擬似太陽光を生成するフィルタと、上述の照明光を生成するフィルタとが予め用意されている。さらに、照明光を生成するスペクトル補正フィルタ60には、蛍光灯の光を生成するフィルタ、白色LEDの光を生成するフィルタ、及びハロゲンランプの光を生成するフィルタがそれぞれ予め用意されている。そして、これらのスペクトル補正フィルタ60の中から所望の光に対応するものを選択してフィルタ群9に設置することで、試料14に照射する光を所望の光源の光とすることができる。スペクトル補正フィルタ60の交換時には、スペクトル補正フィルタ60の透過特性の違いにより、試料台6に照射される光量が変わることから、光量を等しくしつつ照明光だけを変えた試験ができない。そこで、フィルタ群9には、光量調整用のNDフィルタ62が着脱自在に設けられ、所望の光量を得るに適切な減光率のNDフィルタ62に交換することで、スペクトル補正フィルタ60の交換後の光量を一定にできるように構成されている。これにより、所望の照明光ごとに光源を用意せずとも、各照明光での試験を同一の光量で行うことができる。特に、蛍光灯は光量が比較的小さいため、大きな光量での試験が困難であるが、本実施形態によれば、蛍光灯の照明光を擬似太陽光と同程度の大光量で照射して試験を行うことができる。また蛍光灯は、経年劣化による光量変化が大きく光量を一定にしての試験が困難であるが、本実施形態によれば、蛍光灯よりも安定したランプ10から蛍光灯の照明光を生成するため、蛍光灯の照明光の光量を一定にして再現性の良い試験を行うことができる。また、照射装置1にあっては、フィルタ群9と導光用光学系8の間に、透過光量を連続的に可変する調光板64が設けられている。調光板64は円盤の円周に沿って、開口幅が漸次変化するスリットを設けた金属スリット板である。調光板64は、ユーザ操作に応じて図示せぬ駆動モータによって回転駆動され、回転駆動量に応じて試料台6への照射光量を連続的に可変する。このように調光板64で光量調整可能とすることで、NDフィルタ62を交換して光量を調整するよりも大きなレンジで調整することができる。また、NDフィルタ62のみでは、連続的な調光を行うことができないものの、かかる調光板64により連続的な調光が可能になる。さらに、調光板64による調光だけでは、低光量に絞った時に照射ムラが発生するが、NDフィルタ62を併用することで、かかる照射ムラの発生を抑えることができる。なお、本実施形態では、調光板64として、円盤型の金属スリット板を用いる構成を例示したが、これに限らない。すなわち、調光板64としては、駆動量と透過光量とが比例する構造であれば任意の構造を採用することができ、例えば円盤型に代えて、スライド移動することで透過光量を漸次増加/減少させる開口を有した、スライド式の直動型としても良い。またNDフィルタ62減光フィルタも、照射面における照度分布や分光スペクトル変化に影響を与えないものであれば、例えば、透明板を重ねたものや、拡散板、メッシュ状構造の板等、もしくはこれらを組み合わせたものでも良い。これらフィルタ群9及び調光板64は、導光用光学系8の入射側、及び出射側のいずれにも配置できるが、入射側装置光源4と導光用光学系8の間に配置することで、フィルタ群9を光が透過することによって生じる色ムラや照度ムラをガラスロッド18で打ち消すことができる。また、フィルタ群9においては、装置光源4から導光用光学系8にかけてスペクトル補正フィルタ60とNDフィルタ62の配列順で、これらが配置される。これにより、NDフィルタ62で反射された光がランプ10へ戻り、例えばランプ電極付近に戻り光が集光して電極の早期磨耗が進行してしまうのを軽減することができる。また、照射装置1では、スペクトル補正フィルタ60とNDフィルタ62の配列順によって反射鏡12への戻り光を軽減する構成に加えて、フィルタ群9を光軸K1に対して所定角度例えば5°だけ傾けて配置することでも、フィルタ群9からの戻り光がランプ10に集光しないようにしている。またフィルタ群9のスペクトル補正フィルタ60及びNDフィルタ62を手動で交換する構成に限らず、例えば、使用され得るスペクトル補正フィルタ60及びNDフィルタ62を全て光軸K2の近くに予め設けておき、ユーザ等によって選択された適宜のスペクトル補正フィルタ60及びNDフィルタ62を光軸K2上に自動に配置する機構を設ける構成としても良い。また、装置光源4の光は、上述の通り、反射鏡12で集光しながらフィルタ群9に入射することから、フィルタ群9に入射する光線の外周部では、図2に拡大して示すように、フィルタ群9への入射角が0度直入射から角度θ=集光角の1/2だけずれることとなる。この角度θが大きくなるとすなわち集光角が大きいと、フィルタ群9のスペクトル補正フィルタ60及びNDフィルタ62のそれぞれのフィルタ特性にズレが生じ、照明光として所望の特性が得られなくなる。一方、角度θが小さすぎるとすなわち集光角が小さいと、ガラスロッド18に入射して多重反射する光の成分が減少することから、ガラスロッド18の透過時に照度ムラを十分に打ち消す程の多重反射を得るためには、ガラスロッド18を延長しなければならない。そこで、本実施形態では、角度θが0度~15度となるように、すなわち集光角が0度~30度となるように反射鏡12で光を集光し、フィルタ群9に入射することで、フィルタ群9のフィルタ特性のズレを抑えつつ、またガラスロッド18を延長することなく照度ムラを十分に打ち消すことができる。また、本実施形態では、フィルタ群9とガラスロッド18との間に、集光レンズ65が設けられている。すなわち、図2に示すように、フィルタ群9の光を集光レンズ65を通すことで光軸K1に対する角度γが大きくなり、ガラスロッド18に、角度θよりも大きな角度γを付けて入射斜入射させることができる。これにより、上記集光角を小さくしてフィルタ群9に入射する角度θを小さくしたとしても、集光レンズ65の通過により角度γが大きくなることから、ガラスロッド18を延長することなく、均一化に十分な反射回数が得られ、またフィルタ群9でのフィルタ特性のズレを抑えることができる。図3は、照射装置1が試料台6に照射する照射光のスペクトル特性を示す図であり、図3Aはスペクトル補正フィルタ60が無い場合、図3Bはスペクトル補正フィルタ60に擬似太陽光を生成するフィルタを用いた場合、図3Cはスペクトル補正フィルタ60に蛍光灯の照明光を生成するフィルタを用いた場合、図3Dはスペクトル補正フィルタ60に白色LEDの照明光を生成するフィルタを用いた場合、図3Eはスペクトル補正フィルタ60にダイクロクールハロゲンランプの照明光を生成するフィルタを用いた場合をそれぞれ示す。なお、これらの図において、目標スペクトルは、試料に照射すべき実際の光源実際の擬似太陽光、蛍光灯、白色LED、ダイクロクールハロゲンランプのスペクトル特性を示している。これらの図に示すように、照射装置1によれば、スペクトル補正フィルタ60を交換することで、実際の擬似太陽光、蛍光灯、白色LED、及びダイクロクールハロゲンランプのそれぞれの光が生成されている。そして、太陽電池の試験を行う場合には、試料台6に太陽電池を載置し、太陽電池の種類に応じてフィルタ群9のスペクトル補正フィルタ60を交換する。すなわち、太陽電池がSi太陽電池の場合には、擬似太陽光生成用のスペクトル補正フィルタ60に交換し、また色素増感型太陽電池の場合には、蛍光灯、白色LED、或いはダイクロクールハロゲンランプの光を生成するスペクトル補正フィルタ60に交換して試験を行う。このとき、試料台6の高さ位置を可変することで照度を可変し、またNDフィルタ62を交換することで光量を調整する。これにより、Si太陽電池、及び色素増感型太陽電池の両方の試験を1つの照射装置1で行うことができる。また、色素増感型太陽電池にあっては、色素の種類によって特性が異なるものの、照射装置1によれば、スペクトル補正フィルタ60を適宜に交換することで、各光源ごとに発電効率が良好な色素の種類を見つけ出すこともできる。また、装置光源4のランプ10にキセノンランプを用いることで、蛍光灯や白色LEDを光源としたときよりも、蛍光灯や白色LEDの照明光として大きな光量を得ることができることから、加速試験を行うことも可能となる。このように、本実施形態によれば、装置光源4と導光用光学系8の間に、装置光源4の光のスペクトル特性を他の光源の光擬似太陽光、蛍光灯の光、白色LEDの光、ダイクロクールハロゲンランプの光のスペクトル特性に変えるスペクトル補正フィルタ60を着脱自在に設け、このスペクトル補正フィルタ60を交換することにより、試料14に所望の他の光源の照明光を照射可能にした。これにより、特性評価等の試験に際し照射すべき適切な光源が異なるSi太陽電池と色素増感型太陽電池のそれぞれを試験する場合であっても、これらの光源を個別に用意することなく照射装置1を用いて試験を行うことができる。また本実施形態によれば、導光用光学系8は、スペクトル補正フィルタ60を透過した光が入射するロッドインテグレータたるガラスロッド18を備え、集光角が0度~30度となるように反射鏡12で集光して装置光源4からスペクトル補正フィルタ60及びガラスロッド18に順次入射する構成とした。この構成により、フィルタ群9のフィルタ特性のズレを抑えつつ、またガラスロッド18を延長することなく照度ムラを十分に打ち消すことができる。また、フィルタ群9の後段にガラスロッド18が配置されることから、フィルタ群9によって生じた色ムラや照度ムラをガラスロッド18で打ち消し、これら色ムラや照度ムラの無い光を試料14に照射することができる。また本実施形態によれば、スペクトル補正フィルタ60と導光用光学系8の間に、2枚のNDフィルタ62を着脱自在に設けたため、スペクトル補正フィルタ60を適宜に交換した場合でも、NDフィルタ62の減光率を適宜に調整することで光量を一定に維持することができる。また、装置光源4とNDフィルタ62の間にスペクトル補正フィルタ60が介在することとなるから、NDフィルタ62で反射された光による装置光源4への戻り光が抑えられ、当該戻り光によるランプ10の損傷を防止することができる。また本実施形態によれば、駆動量に応じて透過光量を可変する調光板64を導光用光学系8の前段本実施形態では、ガラスロッド18の前に設ける構成としたため、調光板64で光量調整可能とすることで、NDフィルタ62を交換して光量を調整するよりも大きなレンジで調整することができる。また、NDフィルタ62のみでは、連続的な調光を行うことができないものの、かかる調光板64により連続的な調光が可能になる。さらに、調光板64による調光だけでは、低光量に絞った時に照射ムラが発生するが、NDフィルタ62を併用することで、かかる照射ムラの発生を抑えることができる。<第2実施形態>本実施形態では、調光機能を備えた調光装置70により調光する構成の照射装置100を説明する。図4は本実施形態に係る照射装置100の構成を示す図である。なお、同図において、図1と同一の部材については、同一の符号を付して説明を省略する。同図に示すように、照射装置100では、第1実施形態における調光板64と、スペクトル補正フィルタ60及びNDフィルタ62すなわち、フィルタ群9との配置位置に、調光装置70を配置し、当該調光装置70による調光を制御する調光コントローラ71を備える点において第1実施形態で説明した照射装置1と構成を異にしている。図5は調光装置70の正面側斜視図である。また図6は調光装置70の構成を示す図であり、図6Aは正面図、図6Bは背面図、図6Cは上面図、図6Dは側面図である。調光装置70は、光軸K2に配置され、入射する光を調光するものであり、本実施形態では、更に、スペクトル特性を変更する機能も備えている。すなわち、調光装置70は、図5及び図6に示すように、1枚の金属調光板164と、複数枚図示例では3枚のフィルタホルダ162と、これらが上記光軸K2に沿って積層配置されている。図7は、金属調光板164の構成を示す図である。金属調光板164は、同図に示すように、横長矩形状のベース板180に支持片181を一体に備えて略T字状を成し、ベース板180には、横長の透過開口として、縦方向の開口幅Wが横方向に向かうに従って次第に小さくなる、いわゆる涙滴型の涙滴型スリット182が設けられている。支持片181は、後述するスライド移動機構192に支持されて、当該スライド移動機構192によって横方向にスライド移動される。涙滴型スリット182の開口幅Wは、最大となる位置Qaで光束断面よりも大きくすなわち、開口率が100、涙滴型スリット182に遮蔽されずに透過する光量の割合以下、透過割合と言うが100となり、横方向に行くにしたがって開口幅W開口率が連続的に狭まり透過割合が減少する。すなわち、涙滴型スリット182を横方向にスライド移動して涙滴型スリット182と光軸K2の交差位置を変えることで透過割合が連続的に可変される。ただし、開口幅Wがある程度小さくなると、照度ムラが顕著に生じることから、本実施形態では、照度ムラが顕著にならない開口幅Wまでを使用限度としている。本実施形態では、透過割合が70となる開口幅Wが使用限度とされており、この位置Qbから透過割合が100となる上記Qaまでがスライド移動範囲となっている。図8は、フィルタホルダ162の構成を示す図である。フィルタホルダ162は、NDフィルタ62或いはスペクトル補正フィルタ60を担持するホルダ部材であって、図8に示すように、金属調光板164と同様に、横長矩形状のベース板183に支持片184を一体に備えて略T字状を成し、ベース板183には、複数のフィルタ装着開口185が横一列に設けられている。各フィルタ装着開口185には、互いに透過率が異なるNDフィルタ62、或いはスペクトル特性が互いに異なるスペクトル補正フィルタ60が装着される。フィルタ装着開口185の径は、少なくとも入射光束よりも大きく、フィルタ装着開口185にNDフィルタ62及びスペクトル補正フィルタ60のいずれも装着しなければ、当該フィルタ装着開口185を透過率100の開口として使用できる。具体的には、フィルタホルダ162を用いず金属調光板164のみでの調光を実行可能にするために、図10に示すように、左端部のフィルタ装着開口185にはNDフィルタ62が装着されておらず、入射光量の全量が透過し透過割合が100とされている。支持片184は、後述するスライド移動機構192に支持されて、当該スライド移動機構192によって横方向にスライド移動されることで、光軸K2が通るNDフィルタ62、或いはスペクトル補正フィルタ60が可変される。これにより、透過率が段階的に可変され、或いはスペクトルが変更される。なお、以下の説明では、NDフィルタ62を担持したフィルタホルダ162を、NDフィルタホルダ減光板と称して符号162Aを付し、またスペクトル補正フィルタ60を担持したフィルタホルダ162を補正フィルタホルダとして符号162Bを付すことで、それぞれを区別する。調光装置70は、前掲図5及び図6に示すように、略矩形の装置基板187を備え、装置基板187の正面側には、1枚の金属調光板164、2枚のNDフィルタホルダ162A、及び1枚の補正フィルタホルダ162Bが光軸K2に沿って重なるように、それぞれ可動支持片188に支持されている。この装置基板187の正面側には、横方向に延びるレール186が上下方向に並列に配置されており、各レール186に可動支持片188がスライド移動自在に取り付けられている。このとき、図6Dに示すように、2枚のNDフィルタホルダ162A、及び1枚の補正フィルタホルダ162Bは、フィルタ面での反射光を光軸K2から反れた方向に反射して装置光源4への戻りを防止すべく、光軸K2に対して角度γが90°±α例えばα=約5°となるように光軸K2に対して傾斜して支持されている。一方、装置基板187の背面側には、可動支持片188ごとに、駆動モータ189、プーリー191、及び駆動モータ189とプーリー191に掛け渡されるタイミングベルト190が設けられている。タイミングベルト190には可動支持片188の背面側に突出した背面側突出片188A図6Bが連結されており、駆動モータ189によるタイミングベルト190の駆動によって可動支持片188がスライド移動される。すなわち、これら可動支持片188、レール186、駆動モータ189、プーリー191及びタイミングベルト190を備えて上記スライド移動機構192が構成されている。調光コントローラ71は、光量の増減を指示する操作子、並びにスペクトル特性の変更を指示する操作子共に図示略を備え、光量の増減指示に基づいて、調光装置70の駆動モータ189を駆動し、金属調光板164の透過割合とNDフィルタホルダ162AのNDフィルタ62との組み合わせを自動で可変することで光の透過率を変えて調光制御するとともに、スペクトル特性の変更指示に基づいて、駆動モータ189を駆動し、補正フィルタホルダ162Bのスペクトル補正フィルタ60を自動で変えてスペクトル特性を変更する。かかる調光装置70を備えることで、NDフィルタ62やスペクトル補正フィルタ60を手動で交換する必要がなく、光量やスペクトルの調整作業が容易となる。ここで、本実施形態では、金属調光板164の最小透過割合をTb本実施形態では75、NDフィルタホルダ162Aが担持するNDフィルタ62の数をNa本実施形態では、Na=3とした場合に、当該金属調光板164の透過割合と、2枚のNDフィルタホルダ162AのNDフィルタ62の透過率との組み合わせにより、100からTbの[Na1×Na1]乗本実施形態では、約1.0までの間で連続的な調光を可能にしている。詳述すると、Na個本実施形態では3個のNDフィルタ62を担持する2枚のNDフィルタホルダ162Aによれば、各NDフィルタホルダ162Aが更に100透過率の開口として機能するフィルタ装着開口185を1つずつ備えることを考慮すると、Na1×Na1段階本実施形態では31×31=16段階の調光段階が実現可能である。そして、図9Aに示すように、調光の1段階目を透過率100とし、この透過率100に最小透過割合Tbを順次乗じてNa1×Na1段階図示例は、16段階の各調光段階の透過率を求め、これらの調光段階のうち、2~Na1段階図示例では2~4段階の各透過率を1枚目のNDフィルタ62の透過率とし、[Na1×m1]段階ただしmは1以上の整数であって、<Na1の2乗を満たす整数図示例では、5、9、13の透過率を2枚目のNDフィルタ62のそれぞれの透過率とする。図10に、金属調光板164の透過割合範囲、及びNDフィルタホルダ162Aへの透過率の割り振り結果を模式的に示す。このように割り振った結果、図9Bに示すように、2枚のNDフィルタホルダ162Aの各NDフィルタ62の透過率が、2枚のNDフィルタホルダ162AのNDフィルタ62の組み合わせで、Na1×Na1段階で透過率を段階的に可変できるようになる。各調光段階の間は、金属調光板164の最小透過割合Tbを乗じて得られる範囲であるから、各調光段階の間、金属調光板164の透過割合を可変することで連続的に調光でき、又最小段階使用時にもさらに金属調光板164が使えるので、結果として、100からTbの[Na1×Na1]乗までの間を連続的に調光できることとなる。具体的には、調光コントローラ71は、光量を増減させる場合、透過率が各段階の間は、金属調光板164をスライド移動して調光し、段階が変わる場合には、金属調光板164の透過割合を100にした上で2枚のNDフィルタホルダ162AのNDフィルタ62の組み合わせを変えることで調光の段階を変えるように、各駆動モータ189を駆動する。また、実際にはNDフィルタ62は、目的の透過率に製作することが難しく、設計値から透過率が数のズレが生じることが多い。その為、実際には図9の各調光段階の透過率も設計値からズレたり、各調光段階の間が100~75以上の差が生じてしまう場合がある。そこで、金属調光板164については、照度ムラに影響なく実際に使える透過割合の範囲を上記の最小透過割合Tbよりも更に低い割合例えば65程度まで対応可能に予め余裕を持たせて設計し、また調光コントローラ71で金属調光板164を動かせる範囲も100~最小透過割合Tb以下の余裕を持たせた範囲例えば65までとすることで、上記のようなズレが生じても全範囲が連続調光できる。このように、本実施形態によれば、第1実施形態の効果に加え、金属調光板164と、互いに透過率が異なる複数のNDフィルタ62を有するNDフィルタホルダ162Aとで調光することで、照度ムラの発生を抑えつつ、広い範囲を連続的に調光できる。特に、金属調光板164の最小透過割合をTbとした場合に、1段階目を透過率100とし当該透過率100に最小透過割合Tbを順次乗じて求められたNa1の2乗段階の各調光段階の透過率のうち、2~Na1段階の各透過率を1枚目のNDフィルタホルダ162Aの各NDフィルタ62の透過率とし、また[Na1×m1]段階ただしmは1以上であり、Na1×m1<Na1の2乗を満たす整数の透過率を2枚目のNDフィルタホルダ162Aの各NDフィルタ62の透過率とすることで、1~Na1×Na1段階に亘る、100からTbの[Na1×Na1]乗までの間を、照度ムラや分光スペクトルが大きく変化することなく連続的に調光できる。なお、上述した各実施形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意に変形及び応用が可能である。例えば、第1実施形態において、照射装置1が実現する光源は、上述した実施形態での例示に限らず、例えば誘電体多層膜のスペクトル補正フィルタ60を用いて実現可能であれば任意であり、また、スペクトル補正フィルタ60の枚数は2枚~3枚であっても良い両面コート型、片面コート型のどちらを用いるかで枚数が変わることは勿論である。また例えば、NDフィルタ62の枚数は1枚に限らず、複数枚重ねて目的の透過率として使用しても良い。また、例えば第1実施形態において、フィルタ群9を導光用光学系8の入射側ではなく出射側に設けても良い。また、導光用光学系8のインテグレータ光学素子としてはガラスロッド18以外の他の光学素子を用いても良い。また、各実施形態において、照射装置1の試料として、Si太陽電池、及び色素増感型太陽電池を例示したが、これに限らず、CIS系太陽電池や有機薄膜太陽電池、その他化合物太陽電池等の任意の太陽電池であっても良い。また、太陽電池以外の試料としても良いことは勿論である。また、各実施形態において、図11に示すように、筐体2の中に、光学基準面を構成するベース板295を筐体2の内側面と接しないように設置し、このベース板295に、ランプ10及び反射鏡12を有する装置光源4、及び導光用光学系8を含む各種の光学素子を組み付け固定した照射装置200を構成しても良い。この構成により、光学基準面たるベース板295が筐体2と接しない二重構造となるため、搬送時等の外力により光学素子が影響を受けにくく、特に光学素子配置が歪むことなく光学系光軸などを維持できる。また装置光源4の反射鏡12をはじめとした光学素子はすべて、光学基準面たるベース板295に、それぞれ機械加工された保持治具によって取り付ける構成とされており、これにより高精度で各光学素子の位置決めが可能になっている。特に、光学基準面たるベース板295を支える脚は、全て同時加工することで長さを等しくした光学基準用支柱296で構成されており、これらの光学基準用支柱296を筐体2の底面を構成する土台2Aに垂直に立設してベース板295を支持することで、ベース板295の光学基準面を水平に維持し、より高精度に各光学素子の位置決めが可能になっている。