ウエハを受入れおよび保持するための少なくとも2つのトングアームと、前記アームを駆動するように構成された駆動機構とを備える、少なくとも1つの前記ウエハを交換するための装置であって、前記駆動機構が、前記アームの第1及び第2の運動を提供するように構成され、前記駆動機構は、上昇装置及びマニピュレータ駆動部を備え、前記上昇装置により可能となる前記第1の運動は、前記アームの上側位置から下側位置へのまたはその逆の鉛直方向を向いた運動を含み、前記マニピュレータ駆動部により可能となる前記第2の運動が、前記アームの水平方向を向いたトング様運動をし、前記アームは、ウェハを把持するための把持手段を有し、前記アーム及び前記把持手段はトング様の構造を有し、前記把持手段が、ロボットにより前記アームがウェハをフロントロード及びバックロードすることを可能にするハウジングの前側及び後側から自由にアクセス可能なように、前記アームが前記マニピュレータ起動部上に形成され、懸架される、装置。前記駆動機構が、前記アームの前記第2の運動を制御するためのレバー装置及び前記アームの前記第1の運動を制御するためのスピンドル手段を備える、請求項1に記載の装置。前記駆動機構が、その水平方向を向いた前記アームの運動を行うとき、前記アームを少なくとも1つの保持位置に移動させ、および少なくとも1つの解放位置に移動させ、又はその逆に移動させるように構成されている、請求項1に記載の装置。前記駆動機構が、前記アームを2つの異なる保持位置に、および前記保持位置に対応する2つの解放位置に移動させるように構成されている、請求項1乃至3のいずれかに記載の装置。前記アームが、延長部材を備える、請求項1乃至4のいずれかに記載の装置。前記把持手段が、把持される前記ウエハの半径または直径または円周に適応された少なくとも1つの溝付きの円形リングセクションを備える、請求項1乃至5に記載の装置。前記装置が、駆動部材の少なくとも一部を含むハウジングを備える、請求項1乃至6のいずれかに記載の装置。前記駆動機構が、少なくとも1つの駆動モータを備える、請求項1乃至7のいずれかに記載の装置。前記アームが、前記駆動機構に固定されている、請求項1乃至8のいずれかに記載の装置。装置が、前記ウェハを検知するための、および/または前記アームの位置を検知するためのセンサ手段を備える、請求項1乃至9のいずれかに記載の装置。装置が、前記アームの前記運動を制御するための制御手段を備える、または制御手段と接続されている、請求項1乃至10のいずれかに記載の装置。aウェハを交換するために、請求項1から11のいずれかに記載の装置を交換領域内に配置する工程と、b第1の移送手段によって第1のウエハを第1の位置から交換領域へ移送する工程と、c前記第1のウェハを前記装置内にロードする工程と、d第2の移送手段によって第2のウェハを前記交換領域へ移送する工程と、e前記第2のウェハを前記第2の移送手段から前記第1の移送手段へロードする工程と、f前記第1のウェハを前記装置から前記第2の移送手段へ移送する工程と、g前記第2の移送手段によって前記第2のウェハを前記第2の位置へ移送する工程とを含む、ウエハをハンドリングまたは移送するための方法。第1および第2の移送手段および請求項1乃至11のいずれかに記載の装置を備える、請求項12に記載の方法を実施するためのハンドリングライン。前記第1の移送手段または前記第2の移送手段が、x-yステージまたはチャックまたはロボットのいずれかである、請求項13に記載のハンドリングライン。これらおよびその他の欠点が、大きなフットプリントを有する複雑なハンドリングシステムを使用することを回避し、それにもかかわらずスループットをかなり増加させることができる、ハンドリングシステムの一部としての装置を提供するという、本発明の目的に至った。本発明の解決法は、請求項1に記載の装置の提供によって得られる。さらなる有利な発展形態は、各従属請求項の一部である。ここまでで、一般に、本発明は、ディスク様の部材を受入れおよび保持するための少なくとも2つのトング様のアームと、前記アームを駆動するように構成された駆動機構とを備える、少なくとも1つのディスク様の部材、たとえばウェハを交換するための装置であって、前記機構が、前記アームの第1および第2の運動を提供するように構成され、前記第1の運動が、前記アームの上側位置から下側位置へのまたはその逆の鉛直方向を向いた運動を含み、前記第2の運動が、前記アームの水平方向を向いたトング様の運動を含む装置である。本発明の装置は、たとえば、有利なことに、1つのアームハンドリングシステムおよび、ディスク部材またはウェハを、たとえば検査ステーション内に移送する移動システムのチャックのロード位置に対して、一直線にまたは一列に間単に配置することができる。この点で、本発明の装置は、ハンドリングシステムから、駆動機構によって駆動されるそのトング様のアームによってディスク様の部材を受入れ、保持または格納することができ、ディスク様の部材またはウェハを本発明の装置のアーム内に配置した後、アンロードされたハンドリングシステムが、たとえばチャックから、検査ステーションから出てくる別のウェハを取り出すことができる。これらの工程が完成される場合、本発明の装置は、格納されたウェハを、そのトング様のアームによって、検査ステーション内に移送されるロード位置またはチャック上に、移送または配置または交換するために大いに有利である。もちろん、ここで説明したサイクルは、他の方式でも回転する。したがって、本発明の装置が適用された場合、ウェハなしでのハンドリングシステムのいかなる運動も回避することができる。本発明によると、ディスク様の部材という用語は、その意味において、本発明の装置を用いて交換または移送することができる、または本発明のプロセス内で使用されるように構成されたいかなる種類の部材も含んでいることを強調すべきである。したがって、本発明の意味においては、ディスク様の部材は、たとえば、ウェハのように丸くても、またはプレートのように矩形であっても、またはいかなる適切な形状であってもよい。本発明の有利なさらなる発展形態によると、トング様のアームの運動を制御または支配するレバー装置および/またはスピンドル手段が、設けられている。すなわち、レバー装置および/またはスピンドル手段は、本発明の駆動機構とともに、トング様のアームの1つの保持位置への、および1つの解放位置への、およびその逆の移動を少なくとも保証する。保持位置は、この位置で、アームがディスク様の部材またはウェハを受入れおよび/または保持する準備ができており、解放位置ではアームが、ディスク様の部材がアームによって投入または排出することができるように開放されることを特徴とする。それによって、特に、アームが、ディスク様の部材またはウェハを投入または把持する場合、アームとディスク様の部材の間の距離は、それぞれ、ディスク様の部材に損傷がないように保証される。本発明の装置の追加の有利なさらなる発展形態によると、駆動装置は、上昇装置およびマニピュレータ駆動部に分離されている。マニピュレータ駆動部は、アームに平面内のトング様の運動を行わせる。一方、上昇装置は、アームおよび/またはマニピュレータを上下に、すなわち、アームのトング様の運動の平面に対して好ましくは垂直な方向に動かす。有利なことには、両方の運動、およびしたがって両方の装置は独立に制御することができる。また、本発明の別の好ましい実施形態によると、駆動機構またはマニピュレータ駆動部が、アームを2つの異なる保持位置に、および保持位置に対応する2つの解放位置に移動させる機能を備えることが提供される。この種の機能は、異なる種類のディスク様の部材、たとえば異なる直径を有するウェハのために本発明の装置を使用する可能性を与える。現時点では、本発明の装置は、200mmまたは300mmの直径を有するウェハの占有のためにたとえば使用することができる。これに関連して、本発明は、アームの一部である延長部材を備え、このことは、フィード開口またはアームの間の距離を柔軟に調節することを有利には可能にする。このことは、2つまたは3つの異なる直径だけでなく、すべての種類の直径のディスクを交換するために本発明の装置を使用する可能性を開く。装置が、アームがディスク様の部材を把持することを助ける把持手段を備える場合、本発明の装置をさらに積極的に発展させる本発明の別の構造要素が与えられる。把持手段は、本発明の装置またはトング様のアームによって保持または把持されるとき、ディスク様の部材の縁部と接触する。その目的のために、有利なことには、把持手段は、前記把持されるディスク様の部材の半径または直径または円周に適応された少なくとも1つの溝付きの円形リングセクションを備える。コンパクトなアセンブリを提供するために、本発明の装置は、トング様のアームのための駆動部材の一部が収容される少なくともハウジングを備える。それによって、ディスク部材を把持するために、アームがそれを通って延びている開口が設けられている。有利なことには、さらに、装置およびアームがそれぞれ、フロントロードまたはバックロードされることを可能にするようにして、アームが形成されることが示されている。前側は、ここでは、アームが延びている側であり、後側は、前側と反対の側である。本発明のさらなる発展形態によると、本発明の装置または駆動機構は、少なくとも1つの駆動モータを備える。この駆動モータは、一方では、レバー装置および/またはスピンドルを介してトング様のアームの鉛直運動を駆動し、他方で、アームの水平運動をまた駆動する。大いに有利なことには、本発明によると、本発明の装置はまた、ディスク様の部材を検知するための、すなわち、本発明の装置の内部にディスク様の部材があるかどうかを装置に告知するための、および/またはトング様のアームの位置を検知するためのセンサ手段を備える。後者の目的のために、センサは、たとえば、アームの互いに対する少なくとも2つの異なる相対位置を示すことができるように、アームに関して対にして配置することができる。この点で、センサの一方は、たとえば、各アームの保持位置を示すことができ、他方は、各アームの解放位置を示すことができる。本発明の装置が、異なる直径のディスク様の部材に対する寸法にされている場合、同じことが適用され、各ディスク様の部材に対して、保持および解放位置を、センサの配置を介してまたはセンサの読取りを介して定義することができる。さらに、所定の高さに対するアームの高さを示すセンサを設けることができる。本発明の別の態様によると、本発明の装置は、好ましくは、アームおよび/またはモータ駆動部などを制御するための制御手段を備える、またはそれと接続可能である。この目的のために、適切なインターフェイスおよび少なくとも1つのマイクロコントローラが設けられている。上記で述べたことに加えて、本発明のさらなる目的は、本発明の装置を使用することによって、複雑なハンドリングシステムを使用することを回避するが、それにもかかわらずスループットをかなり増加させる方法を提供することである。この問題点の解決法は、請求項15に請求されたような方法によって示されている。ここで、上記で説明した装置が、ディスク様の部材を交換するための交換領域内に配置され、その目的のために、第1の位置からの第1の移送手段によって、第1のディスク様の部材が交換領域に移送され、交換領域で、第1のディスク様の部材が本発明の装置内にロードされ、第1のディスク様の部材がロードされた後、またはそれと平行して、またはロードされる前でさえも、第2の移送手段によって、第2のディスク様の部材が交換領域に移送され、第2のディスク様の部材、第1の移送手段がアンロードされた後、第2のディスク様の部材が、第2の移送手段から第1の移送手段へロードされ、第2の移送手段をアンロードした後、本発明の装置によって把持、ロードまたはチャージされた第1のディスク様の部材が、本発明の装置から第2の移送手段へ移送され、これが行われた場合、第2のディスク様の部材を、第2移送手段を用いて第2の位置へ移送することができる、ディスク様の部材、たとえばウェハをハンドリングまたは移送するための方法が定義される。サイクルは再び開始することができる。本発明のさらに別の目的は、ここに説明した方法を達成するためのハンドリングラインを提供することである。本発明のハンドリングラインは、本方法を実施するためのそれぞれの手段を備える。このようにして、特に、このハンドリングラインは、第1または第2の移送手段のいずれかを代替するためのx-yステージまたはチャックおよび/またはロボットを備えることができる。図1および図2は、以下で一般に高速交換ステーションFSS-1と呼ぶ、本発明の装置のデザインを示している。本発明の高速交換ステーションは、駆動機構100と、トング様のアーム107aおよび107bとを備える。駆動機構100の推進力は、モータ101によって供給される。モータ101は、ハウジング102の最上部部分に固定され、駆動機構100のハウジング102の中央に取り付けられており、カムプレート104を回転させる。ハウジング102は、そのシリンダジャケット内に開口102aおよび102bを有し、開口102aおよび102bが互いに対向して配置されている円筒形の箱構造を有する。モータ101の駆動軸101aは、プレート104の取付孔104c内に固定されている。ディスクまたはプレート104は、ディスク104上カム構造103aおよび103bを反映している高さの、変化のある三次元形状を有する2つの背の高い円またはリング104aおよび104bを有する図4も参照。回転プレート104および駆動軸101aは、ハウジング102の下側部分すなわち底面の中央でベアリング105によって支持されている。ハウジングの内部の中央に配置されて、モータ101を収容する空間112が設けられている。空間は、モータを包囲する壁113によって形成され、ハウジング102の上側部分すなわち上部表面とともに、モータの幾何形状、たとえば円筒形に適応されており、上側部分に壁113が一体に取り付けられ、そこからハウジングの底部およびプレート104へ下向きに延びている。壁113は、その内側ではモータ101と接触しており、その外側では滑動ベアリング106の内側部分にある。この滑動ベアリング106の反対側または外側の部分は、カム構造または輪郭部103bを有する内円104b上の2つのローラ117aおよび117bとともに走行する支持構造110110aおよび110bの開口部の内側にある。この支持構造110は、2つのアーム107aおよび107bを保持している。アーム107aおよび107bは、矩形の形状であり、それぞれ2つの脚部115a、115bおよび116a、116bを、すなわち上側脚部115aおよび116a、および上側脚部115bおよび116bを備える。単純化のために、アーム107aおよび107bの一方のみの構造および機能をさらに説明する。ここで、アーム107aおよび107bは、互いに反対すなわち鏡像関係に配置されていることを除いて、同じ構造および機能である。アーム107aの上側脚部115aは、ハウジング102の開口部102a内に挿入されており、または開口部102aを通って延びており、以下で説明する所定の環境下で上側脚部115aが水平線と保持アーム110aのそれぞれに対するその角度を変化させることを可能にするためのレバー装置を形成するために、支持構造110の保持アーム110aの支柱114aに移動可能に取り付けられている。その端部がFSS-1ハウジング102の内側にある上側脚部115aは、その端部に回転自在に固定されているローラ108aを有し、ローラ108aは、回転プレート104の第2の三次元形状103aによって支持されている、上側脚部115a、したがって支持構造アーム110aもまた、ばね109aによって輪郭円104aまたはカム構造103aに下向きに保持されている、または押圧されている。この目的のために、ばね109aは、上側脚部115aおよび輪郭部103aにそれぞれ及ぼされる力に応じて、ローラ108aとベアリング支柱114aの間の点で、上側脚部116aおよびハウジング102の底部部分に固定されている。このようにして、プレート104を回転させることによって、支持構造110のローラ117aおよび117bがカム構造103bの三次元形状を追従し、アーム107aおよび107bのローラ108aおよび108bが、カム構造103aの三次元形状を追従することになり、それによって、アーム107a、107bがトング様の運動を行う。2つのカム構造103aおよび103bの2つの輪郭形状の間に違いがあり、このことが、支持構造110およびアーム107107aおよび107bの間の相対位置の変化を生じさせる。この点で、図1は、プレート104の回転の際、押し上げられる支持構造110を示しており、アームはその上側脚部115aおよび116aとともに、同じ高さまで押し上げられる。これは、アームがウェハ118を保持することができる、または、ウェハがない場合、ウェハハンドリングシステムのロボットハンドラからウェハを受け入れるまたは格納することができる状況である。図2は、プレート104の回転の際、下降する支持構造を示しており、アーム支持部103aもさらに下降する。図2に示すプレート104の角度位置では、アーム107aおよび107bそれぞれのローラ108aおよび108bが、ローラ117aおよび117bの高さよりも低い高さに押し下げられ、その結果、アーム107bの反時計方向の運動およびアーム107aの時計方向の運動が、下降位置でのカム構造の高さの差に依存する所定の角度にまで生じ、それによって、側脚部115bおよび116bがトングのアームのように横に押しやられる。この場合、アーム107107aおよび107bは、下降位置へ開放し、ウェハ118をチャック120へ解放する、またはウェハ118をチャック120から受け取る。ウェハを保持するためのアームのグリッパまたは保持ゾーン119119aおよび119bは、2つの円形リングまたはリムセクション119aおよび119bから成り、その半径はウェハの半径に適応されている図3。図1または2の断面図で見ることができるように、リングセクション119aおよび119bが保持溝を備え、溝の断面はLからわずかに外れている。この点で、鉛直部分は、下側部分と90°よりも大きい角度を成している。このようにして、ウェハを狭窄したり損傷を与えたりすることなく、ウェハを保持ゾーン119内に容易に把持することができる。アーム107の保持位置では、ウェハは、溝の下側部分に着座しており、溝の鉛直部分または立ち上がり縁部は、運動中、ウェハ118を所定の位置、すなわち半径に保持する。このことは、図3でさらに良く見ることができる。ここで、破線は、グリッパまたは保持ゾーンの端部を示している。FSS-1の把持機構は、アーム107aおよび107bが上昇すなわち保持位置に押し上げられたとき、アーム107が十分な幅に開き、十分ゆっくりと閉じ、それによって、グリッパ119はウェハに接触することなくウェハを通過させる。この運動を達成するために、輪郭部またはカム構造103aおよび103bが、図5に示すように提供される。図5は、輪郭部のリング104aおよび104bのカム103aおよび103bの投影図を一部示している図4。0°から10°までは、両方の輪郭部103a、103bは、10mmの高さに安定している。10°から80°までは両方の輪郭部は平行に降下し、そのため、図5の投影図では、輪郭部は同一の線である。このようにして、プレートまたはディスク104の回転が、アームの開放なしでのアームの下向きの運動に至る図6a、7aおよび6b、7bも参照。80°の後、外側輪郭部103aが内側輪郭部103bよりも多く降下する、すなわちマイナス2mmまで降下する。したがって、アーム107aおよび107bは、支柱114aおよび114bの周りを回転して、グリッパ119およびアームをそれぞれ開放する図6c、7c。100°から170°まで、両方の輪郭部は、一定の差で平行に移動し、それによってアームは上昇するが、開いたままである図6d、7d。170°から180°までは、外側の輪郭部103aが内側の輪郭103bと同じ高さに来る。アームは再び閉じる図6e、7e。360°までの同じ方向のプレート104のさらなる運動が、上記で説明した移送運動を繰り返す。しかし、記載された配置サイクルの代わりに、ディスク104の運動が反転した場合、取り上げサイクルは、初期化され、配置サイクルの終了位置で始まり、配置サイクルの開始すなわち上昇位置で終わる。この機能性はまた、図7aから7eに示されており、アーム107107aおよび107bが最初に10mmの高さからゼロレベル点まで下降して、アーム107の最大下降位置を標す。ディスクのさらなる回転によって、アームの開放およびウェハのチャック上への配置に至る。後ろ向きに、すなわち、360°位置から180°位置へ、または180°位置から0°位置へ回転させることによって、ウェハを、チャックから取り上げて上側すなわち格納位置へ運ぶことができる。このようにして、機能性が、1つのウェハのみを扱うことができるハンドリングツールによるチャックでのウェハの高速交換を可能にする。それによって、1つのアームのみを有するロボットが新しいウェハをFSS-1に配置し、ウェハ保持構造119aおよび119bの外縁を越えるために高さの高い正確な中央位置へウェハを移動させることによって、FSS-1が閉じられる。その後、ロボット図示せずがウェハを支持構造上へ下ろし、配置する。ここで、ロボットが古いウェハをチャックから取り上げる。ウェハがチャックから取り外された後、FSS1が、図6aから6eまたは7aから7bの順序で動くことによって、ウェハをチャック120上に配置する。FSS-1は、次のウェハを受ける準備ができており、高速交換サイクルが、最初から開始することができる。以下は、本発明の装置のさらなる実施形態FSS-2の正面透視図が示されている図8を参照する。図8に示されているFSS-2は、トング様のアーム207右側アーム207aおよび左側アーム207bと、駆動機構201とを備える。アーム207のそれぞれは、ガイド部材208208a右側アームおよび208b左側アーム、延長部材209209a右側アームおよび209b左側アーム、脚部210210a右側アームおよび210b左側アーム、グリッパ9999a右側アームおよび99b左側アームから成る。駆動機構201は、上昇装置202とマニピュレータ駆動部203とから構成されている。アーム207a、207bの適切な制御、支配または駆動をし、それによって、グリッパ99a、99bが、トング様の運動でチャックやロボットなどからウェハを取り上げ、保持および解放することができるようにすることが、マニピュレータ駆動部の目的である。上昇装置202は、アクチュエータ205が中央に取り付けられた矩形のベースプレートを包囲している。ベースプレート204の前端の隅に、ベースプレート204は、ベースプレート取付用の通し孔を備える。アクチュエータ205は、片側にスピンドル216を有する線形アクチュエータである。アクチュエータ205をベースプレート204上に収容するために、ベースプレート204は、中央に配置された通し孔をさらに備え、それを通ってアクチュエータスピンドル216が延びている。アーム207aと207bの運動によって定義された平面図に対して垂直な方向にマニピュレータ駆動部203を上昇させることが、上昇装置202の機能である。このため、上昇装置202は、マニピュレータ駆動部203のハウジング227の上面にそのスピンドル216および線形ガイド210アクチュエータの右側面への線形ガイド210aおよび左側面への線形ガイド210bを介して固定されている。線形ガイド210a、210bは、ピン212212aおよび212b図9と、上昇運動をガイドするガイド211211aおよび211bから成る。ピン212は、線形アクチュエータ205に対して対称的に配置されており、それぞれの孔を通って延びている。孔は、ベースプレート204によって構成されている。ピン212は、ガイドクランプ206206aおよび206bによってベースプレートに取り付けられ、ガイド211と協動する。ガイド211は、フランジを用いてハウジング227の上部表面に固定されている。このようにして、アクチュエータ205がケーブル214を介しての電流によって適切に荷電されている場合、アクチュエータ205は、そのスピンドルとともに、マニピュレータ駆動部203のハウジング227を上下に動かすことができる。ハウジング227の前側の、前面の中央位置で、ホルダ213がハウジング227に取り付けられており、ウェハ215の存在を検知またはチェックする走査センサ226を担持している。すなわち、走査センサ226は、アーム207がウェハを支持しているかどうかを検知する。センサ226は、ホルダ213の自由端に固定され、それによって、2つの異なる直径、たとえば200mmと300mmの、少なくとも1つのウェハまたはディスクを検知することができるように、ホルダはハウジング227から延びる。ここで図9を見ると、図8の交換装置FSS-2の後側を見ることができる。ここで、マニピュレータ駆動部のハウジング227のバックプレートが取り外されていることに留意されたい。したがって、図9は、マニピュレータ駆動部203の機能要素を自由に示している。この中で、2つの側面を区別することができる。右側の機構は、右側のアーム207aを駆動し、左側の機構は、左側のアーム207bを駆動する。両方の側の技術的な特徴は同じである。したがって、技術部分についての以下の説明を、右手側のみに限定することにする。右側の駆動機構は、ブラケット248a248bによって保持されている、ブラケットナット219a219bの雌ねじと協動する親ねじ218a218bを駆動するモータまたは線形アクチュエータ217a217bを備え、それによって、親ねじ218a218bの方向の向きsenseに応じて、ブラケットナット219aが左か右のいずれかに動かされる。親ねじナット220a220bは、ブラケットナット219a219bを固定している。ブラケットナット219a219b自体は、ガイド部材208a208bと結合されている線形スライド221a221bと接続されている図8参照。線形スライド221a221bは、親ねじ218a218bと平行な線形ガイド222a222bによってガイドされている。2対のリミットセンサ223a223bおよび224a224bが、線形スライド221a221bのガイド路に沿って配置されている。センサ223a223b、224a224bは、線形スライド221a221bに収容されているフラグセンサ225a225bと相互作用する。第1のセンサのペア223a223bは、200mmウェハを、アームのグリッパ99bによって解放/取上げまたは保持することができるように、ガイド路に沿って配置されている。このことは、ブラケットナット219a219bおよびガイド部材208a208bがそれぞれ左側へ動かされた場合左側のガイド部材208bが右側に動かされる場合も同様である、ペア223a223bの内側センサ223a’223b’が、センサフラグ225a225bを介して、アーム207a207bまたはグリッパ99a99bがウェハ215を保持するための右位置を有することを示し図8、一方、ガイド部材208a208bまたはグリッパ99a99bが右左へ動かされた場合、ペア223a223bの外側センサ223a223bが、フラグセンサ225a225bを介して、ガイド部材208a208bまたはグリッパ99a99bが、チャック上に残されたまたはチャックから取り上げられる予定のウェハとの干渉がないように十分遠くまで移動し、したがって、いずれの場合にもウェハ215の損傷が生じないことを示す。第2のペアのセンサ224a224bは、300mmの直径を有するウェハまたはディスクに対して同じ機能を有する。このようにして、本発明の交換装置は、有利には、異なる直径のディスク様の部材またはウェハを交換する可能性を備える。さらに、マニピュレータ駆動部203と上昇装置202の間の距離を示す、ハウジング227の上板の内側のさらなるセンサまたはリミットスイッチ249が設けられている。図8および9によるFSS-2の別の有利な特徴は、本発明の交換装置をフロントならびにバックロードにすることができることである。構造的には、これは、アーム207aおよび207bが、グリッパ99a、99bがハウジング227の前側および後側から自由にアクセス可能であるように、マニピュレータ駆動部203上に形成され、懸架されることによって提供される。その機能のために、ハウジング227のガイド開口を通って延びているガイド部材208aおよび208bの一部がクランク結合され、脚部210a、210bは調節可能な延長部材209a、bに取り付けられ、延長部材209a、bはそれぞれのガイド部材208a、208bおよび脚部210a、210bと連接し、それによって、グリッパ99a、99bおよび脚部210a、210bのハウジング227のベースプレート251の外側面に対する偏移が達成される。偏移は、好ましくは10mmである。図8または図9には示されていないが、表示された装置はもちろん、装置の運動の遠隔制御のために、それに接続された適切なインターフェイスまたはケーブルも備えている。図8および9のものと比較した場合、本発明のわずかに異なる実施形態が、図10に示されている。ここでは、図8または9の右側および左側の2つの親ねじ218a、218bおよび、したがってアーム207またはグリッパ99を駆動するために、2つのモータまたは線形アクチュエータ217a、217bが使用されているのではなく、1つのアクチュエータ217のみが使用されていることに違いがある、図8のトング様のアームを伴ったマニピュレータ駆動部の上面概略図が示されている。しかし、アーム207aおよび207bのトング様の運動を得るために、親ねじは、好ましくは、異なるねじリードを有する。すなわち、2つの親ねじを、たとえば、右側218aへの左手ねじ、および左側218bへの右手ねじ、またはその逆にすることができる。もちろん、アクチュエータまたはモータ217が、それぞれ同じリードを有する2つの親ねじ218aおよび218bのために1つの2つの異なる駆動方向を提供する場合も、同じ効果を達成することができる。このようにして、モータ217によって駆動された場合、2つの親ねじ218aおよび218bは、アーム207aおよび207bの平行でないトング様運動を生じさせる。図11の実施形態では、2つの親ねじ218a、214bのための2つの駆動軸229aおよび229bを備える単一のモータまたはアクチュエータ217図10が、ベルト駆動部231を用いて従動プーリ232を動かすプーリ230を駆動する、1つのみの駆動軸229を備えるモータ217に代替されている。従動プーリは、図8から10に記載のモータに対してと同様に、2つの親ねじ218aおよび218bと軸方向に接続されている。この種のアセンブリは、従動プーリ232と2つの親ねじ218aおよび218bの一方向の回転を提供するだけである。したがって、親ねじ218aおよび218bは、アーム207aおよび207bのトング様の運動のために反対方向のねじリードを有さなければならない。図12は、図10および11のように、上昇装置202の省略下図8、9での、マニピュレータ駆動部203およびトング様のアームのさらなる実施形態の上面概略図を示している。図10および11のように、上昇装置は図8および9と同様のままである。図12のマニピュレータ駆動部203は、トング様のアーム235235aおよび235bを駆動するためのギア駆動部233およびレバー装置234234aおよび234bを備える。ギア駆動部233は、噛合している2つのギア233aおよび233bから成る。ギアの一方233bは、プーリ232を介してプーリ238によって駆動され、交換の対称軸上のマニピュレータ203の内側の後方の位置を有する。このプーリ238は、アクチュエータまたはモータ237に取り付けられ、それによって駆動される駆動プーリ238の運動を伝達するベルト駆動部236を介して駆動される。図12のレバー装置234は、2つのレバー構造234aおよび234bを包囲している。レバー装置または構造234aおよび234bの一部は、トング様のアーム235aおよび235bである。レバー構造234aおよび234bのそれぞれは、アーム235aおよび235bの部分239aおよび239bを含む4つのレバー240、241、242の平行四辺形を形成している。レバー構造234のそれぞれにおいて、グリッパ99aおよび99bを用いてウェハを把持するために、アーム235およびしたがって部分239239aおよび239bもまた、ディスクまたはウェハの縁部の接線に対して平行な位置にされる。レバー構造234aおよび234bのそれぞれは、平行四辺形の縁部を形成している4つの円筒形のジョイントを備える。アーム239aおよび239bに対して平行なレバー242aおよび242bのジョイント245および246は、マニピュレータ駆動部203の内側に局所的に固定されており、レバー242がギアホイール233と平行に延び、ウェハの反対側のレバー242aおよび242bの端部のジョイント246aおよび246bが、ギアホイール233aおよび233bのハブ243aおよび243bと局所的に固定されている。さらに、レバー装置234a234bに対して、レバー240a左側240bと平行であるレバー241a左側241bが、取付点244を用いてピニオンまたはギア233a左側233bにピン接合されている。上記で説明した図12による実施形態の構造要素に基づいて、アクチュエータ237が左側のギアホイール233bを駆動または回転させる場合、左右側のギアホイール233bが右に回転させることが提供される。レバー241aおよび241bが、それぞれのギアホイール233aおよび233bに固定され、かつハブ243aおよび243bと接合固定されているために、これらのレバーもまたそれぞれの方向に回転されることになる。すなわち、レバー241aは回転点243aの周りを右に回転し、レバー241bは回転点243bの周りを左に回転し、その際、レバー241aおよび241bと平行であるレバー240aおよび240bが、固定ジョイント245aおよび245bの周りのレバー241aおよび241bの運動を追従する。たとえば、レバー241bおよび240bを左に回転させることによって、それらの自由端247bと248bの距離は、ウェハ215に対して増加し、その結果、アーム235bの左への運動が生じる。レバー241bおよび240bが左へ同じ角度回転するため、アーム235の左への平行な偏移が存在する。左側のレバー構造235bについての機能的な説明は、レバーが反対方向に作用することを除いて、右側のレバー構造についてのものと同様である。このことはもちろん、その際にウェハ215が支持されて、把持または解放される、アームのトング様の運動を達成するために必要である。ここで図13を参照すると、図13は、たとえばウェハコンテナカセットから、たとえば検査ステーションへの両方図示せず、加速された本発明によるウェハのハンドリングプロセスまたは移送を示している。そのプロセスでは、検査されたばかりのウェハが、x-yステージのチャックによって交換領域EXRへ運ばれる。ここで、本発明の交換装置FSS-1およびFSS-2の1つが、配置され、ウェハ315が来るのを待機する図13A。交換装置FSS-2のアーム307aおよび307bが、その下降開放位置にある。機能上、このことは、ここで説明した実施形態の1つによる上昇装置202によって、またはマニピュレータ203によって、たとえば行うことができる。図13Bでは、チャック320を備えるx-yステージが、ウェハ315を本発明の交換ステーションFSS-2内へ、すなわちFSS-2のアームの間に移動させる。交換ステーションFSS-2は、本発明の駆動機構301およびアーム307aおよび307bを用いて、ウェハをチャックから把持および上昇させる、すなわちフロントロードする。チャック320からウェハを取り上げられると、検査される新しいウェハ315’が、ロボット350によって交換領域EXRへ運ばれる。ロボットが、新しいウェハ315’を、交換ステーションFSS-2の下のチャック320上へ配置する図13C。ここで、x-yステージが、チャック320を交換位置EXRから、新しいウェハ315’を有する検査ステーションへ進行される図13D。このロボット350がFSS-2から古いウェハ315を取り上げた後に、またはそれと平行して、古いウェハ315を持っているそのアームが本発明の交換ステーションFSS-2から進行される図13E。次に、チャック320およびロボット350が両方進行され、それによってロボット350が古いウェハ315を保持し、チャックが新しいウェハ315’を保持する図13F。図14Aから14Fは、交換ステーションFSS-2またはFSS-1が最初に新しいウェハ315’とともにバックロードされて、次に新しいウェハ315’をチャックへ解放することが異なる、図13Aから13Fと同じプロセスを示している。したがって、第1の図14Aは、交換領域EXRへ来るロボット350を示しており、ここでFSS-2はウェハ315’を受けるために待機する。交換位置に到着すると、ロボットは、FSS-2の下で、新しいウェハを、そのアームが上側保持位置にあるFSS-2上に配置する図14B。これと平行におよび/またはこの後に、x-yステージがそのチャックとともに、交換領域EXRまたは交換位置に来て、ここでFSSのアームが配置される。ロボットハンドラ350が、交換ステーションFSS-2から進行される図14C。交換位置に到着すると、ロボットが、古いウェハ315をx-yステージのチャックから取る図14D。ここで、ロボット350は、古いウェハ315を持っているそのアームをチャック320から進行させて、FSSが新しいウェハ315’をx-yステージのチャック320上に配置する図14E。次に、x-yステージが、新しいウェハ315’を持っているチャック320を進行させ、ロボット350がウェハ315を、たとえばコンテナカセットへ運ぶ。本発明の好ましい実施形態を説明してきたが、本発明は、頭記の特許請求の範囲内での他の調整および修正が可能であることを理解されたい。本発明は、追加の特徴およびその追加の利点とともに、以下の説明から最も良く理解されるであろう。