"複数のノズルが形成されたノズル基板と、各ノズルに連通した複数の液室と各液室の一部を構成する振動板と各液室に対応して該振動板と一体的に形成された複数の電気機械変換素子とを有する液室基板と、各液室に液体を供給する複数の液体供給路が形成された液体供給基板と、各液体供給路に連通した共通液室が形成されたフレーム基板とが、順次積層され、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とが配線部材を介して接続されている液滴吐出ヘッドであって、前記ノズル基板は、複数のノズルからなるノズル列が、そのノズル列の長手方向と交差する方向に少なくとも3列以上並べるように形成され、前記駆動回路部材は、前記ノズル列の長手方向と交差する方向に並んでいる前記複数のノズル列のうち、その並び方向における第4N2番目及び第4N3番目Nは0又は自然数に位置する互いに隣り合う2列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、前記フレーム基板の外面に対向させて設けられ、前記駆動回路部材は、前記2列のノズル列について用いられる前記電気機械変換素子の駆動と、前記2列のノズル列の少なくとも一つに隣り合う他の1列又は2列のノズル列について用いられる前記電気機械変換素子の駆動とに、共通に用いられることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液室基板、前記液体供給基板及び前記フレーム基板それぞれに対して前記駆動回路部材を投影した投影領域に、前記2列のノズル列にそれぞれ対応する前記液室基板の液室、前記液体供給基板の液体供給路及び前記フレーム基板の共通液室がそれぞれ重なるように構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項2の液滴吐出ヘッドにおいて、前記2列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の液体供給路及び複数の共通液室はそれぞれ一つの隔壁を介して隣り合うように構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1乃至3のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とを接続する前記配線部材は、前記液体供給基板を貫通するように形成された開口部を通るように配設されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1乃至4のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記駆動回路部材は、プリント回路基板を介して前記フレーム基板の外面に対向するように設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1乃至4のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記フレーム基板の前記液体供給基板を配置した側とは反対側に緩衝薄板及び薄板フレーム基板が更に積層され、前記駆動回路部材は前記薄板フレーム基板に接合され、前記駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とを接続する前記配線部材は、前記液体供給基板、前記フレーム基板、前記緩衝薄板、及び前記薄板フレーム基板それぞれを貫通するように形成された開口部を通るように配設されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1乃至6のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル基板は、前記ノズル列を4列又は8列並べるように形成したものであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項7の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル基板のノズル列は8列であり、前記ノズル列の並び方向における第4番目及び第5番目に位置する互いに隣り合う2列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の液体供給路及び複数の共通液室はそれぞれ、一つの隔壁を介して隣り合うように構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。複数のノズルが形成されたノズル基板と、各ノズルに連通した複数の液室と各液室の一部を構成する振動板と各液室に対応して該振動板と一体的に形成された複数の電気機械変換素子とを有する液室基板と、各液室に液体を供給する複数の液体供給路が形成された液体供給基板と、各液体供給路に連通した共通液室が形成されたフレーム基板とが、順次積層され、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とが配線部材を介して接続されている液滴吐出ヘッドであって、前記順次積層される複数の基板同士の接合代のうち、少なくとも一方の基板が半導体基板で構成される基板同士の接合代の長さを、半導体基板以外で構成される基板同士の接合代の長さよりも短くしたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項9の液滴吐出ヘッドにおいて、半導体基板で構成される前記液室基板と、半導体基板又は半導体基板以外で構成される前記液体供給基板との接合代の長さを、L1とし、前記液体供給基板と、半導体基板以外で構成される前記フレーム基板との接合代の長さを、L2としたとき、L1≦L2を満たすように構成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項10の液滴吐出ヘッドにおいて、前記フレーム基板の前記液体供給基板を配置した側とは反対側に緩衝薄板及び薄板フレーム基板が更に積層され、前記フレーム基板と、半導体基板以外で構成される前記緩衝薄板との接合代の長さを、L3としたとき、L1≦L2≦L3、かつ、L1<L3を満たすように構成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項9乃至11のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、少なくとも前記ノズル基板、前記液室基板、前記液体供給基板及び前記フレーム基板のそれぞれの端部を覆うように設けられたカバー部材を備え、前記カバー部材は、少なくとも前記ノズル基板、前記液室基板及び前記液体供給基板の端縁によって形成される階段状の傾斜に対応するように設けられた傾斜面を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1乃至12のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記液滴が、画像形成に用いられるインク滴であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1乃至13のいずれかの液滴吐出ヘッドを搭載したことを特徴とする液滴吐出装置。請求項13の液滴吐出ヘッドが搭載された液滴吐出装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。しかしながら、上記特許文献1~3に開示されている構成は、駆動IC又は圧電素子が、共通液室としてのインクプール室やリザーバ部と同じ層に設けられているため、共通液室の容量を十分に確保できないおそれがある。共通液室は、クロストークなどを緩和させるため、より大きな容積があるほうが有利であり、また各液室へのインクの供給量たとえば全チャンネル同時吐出したときに最大流量となるを確保するための容積が必要となる。各液室へのインクの供給量が少ないと必然的に駆動周波数を低くせざるを得なくなり、ヘッド特性に大きな影響を与える。このようなことを考慮すると、共通液室はより大きなサイズが必要とされ、その結果、インクジェットヘッドの小型化が難しく、コストが高くなってしまう問題がある。また、一般的にインクジェットヘッドはいろいろな材料で構成された複数の基板を接合、接着することにより構成されている。接合、接着はインクの漏れなどがあってはならないため、シール性の確保が優先される。そのため、例えばノズルが形成されたノズル基板とノズルに連通する液室が形成された液室基板との接合代はなるべく長い長さを要求されることになるが、その要求は小型化及び低コストには反することになる。一方、接着の信頼性は、接着されるもの、接着剤などの条件により異なるが、一般的には材料の平面性、表面粗さ、表面の清浄度、表面エネルギーなどによって左右される。平面性、表面粗さ、表面の清浄度が悪いと接着性は劣る。また、表面エネルギーは小さいと濡れ性が悪く、接着性も劣る。たとえば、シリコン基板など平面性、表面粗さなどが優れている材料からなる基板は、接着性が良く、接合代はかなり少なくてもシール性を確保することは難しくない。一方、ポリイミドフィルムなどは表面エネルギーが小さいため接着力が弱く、あらかじめ、表面処理をしたり、接着代を長く取る必要があった。また、ステンレス板などの金属材料は比較的表面エネルギーは高いが、プレス加工されている場合などは平面性が悪く、接着代を長く取ることによりシール性を確保していた。インクジェットヘッド全体を考えた場合、接合される基板の長さはシール性の悪い、言い換えれば接着代が長い材料に基準を置いていた。そのため、積層される各基板がその基準の基板と同じ長さになり、特にコストの高い液室基板、液体供給基板が大きくなることにより、大幅なコストアップとなっていた。本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、共通液室の容量を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる液滴吐出ヘッド、並びに、その液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置及び画像形成装置を提供することである。また、本発明の他の目的は、互いに積層される基板間のシール性を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる液滴吐出ヘッド、並びに、その液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置及び画像形成装置を提供することである。上記目的を達成するために、請求項1の発明は、複数のノズルが形成されたノズル基板と、各ノズルに連通した複数の液室と各液室の一部を構成する振動板と各液室に対応して該振動板と一体的に形成された複数の電気機械変換素子とを有する液室基板と、各液室に液体を供給する複数の液体供給路が形成された液体供給基板と、各液体供給路に連通した共通液室が形成されたフレーム基板とが、順次積層され、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とが配線部材を介して接続されている液滴吐出ヘッドであって、前記ノズル基板は、複数のノズルからなるノズル列が、そのノズル列の長手方向と交差する方向に少なくとも3列以上並べるように形成され、前記駆動回路部材は、前記ノズル列の長手方向と交差する方向に並んでいる前記複数のノズル列のうち、その並び方向における第4N2番目及び第4N3番目Nは0又は自然数に位置する互いに隣り合う2列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、前記フレーム基板の外面に対向させて設けられ、前記駆動回路部材は、前記2列のノズル列について用いられる前記電気機械変換素子の駆動と、前記2列のノズル列の少なくとも一つに隣り合う他の1列又は2列のノズル列について用いられる前記電気機械変換素子の駆動とに、共通に用いられることを特徴とするものである。また、請求項2の発明は、請求項1の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液室基板、前記液体供給基板及び前記フレーム基板それぞれに対して前記駆動回路部材を投影した投影領域に、前記2列のノズル列にそれぞれ対応する前記液室基板の液室、前記液体供給基板の液体供給路及び前記フレーム基板の共通液室がそれぞれ重なるように構成されていることを特徴とするものである。また、請求項3の発明は、請求項2の液滴吐出ヘッドにおいて、前記2列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の液体供給路及び複数の共通液室はそれぞれ一つの隔壁を介して隣り合うように構成されていることを特徴とするものである。また、請求項4の発明は、請求項1乃至3のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とを接続する前記配線部材は、前記液体供給基板を貫通するように形成された開口部を通るように配設されていることを特徴とするものである。また、請求項5の発明は、請求項1乃至4のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記駆動回路部材は、プリント回路基板を介して前記フレーム基板の外面に対向するように設けられていることを特徴とするものである。また、請求項6の発明は、請求項1乃至4のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記フレーム基板の前記液体供給基板を配置した側とは反対側に緩衝薄板及び薄板フレーム基板が更に積層され、前記駆動回路部材は前記薄板フレーム基板に接合され、前記駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とを接続する前記配線部材は、前記液体供給基板、前記フレーム基板、前記緩衝薄板、及び前記薄板フレーム基板それぞれを貫通するように形成された開口部を通るように配設されていることを特徴とするものである。また、請求項7の発明は、請求項1乃至7のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル基板は、前記ノズル列を4列又は8列並べるように形成したものであることを特徴とするものである。また、請求項8の発明は、請求項7の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル基板のノズル列は8列であり、前記ノズル列の並び方向における第4番目及び第5番目に位置する互いに隣り合う2列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の液体供給路及び複数の共通液室はそれぞれ、一つの隔壁を介して隣り合うように構成されていることを特徴とするものである。また、請求項9の発明は、複数のノズルが形成されたノズル基板と、各ノズルに連通した複数の液室と各液室の一部を構成する振動板と各液室に対応して該振動板と一体的に形成された複数の電気機械変換素子とを有する液室基板と、各液室に液体を供給する複数の液体供給路が形成された液体供給基板と、各液体供給路に連通した共通液室が形成されたフレーム基板とが、順次積層され、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とが配線部材を介して接続されている液滴吐出ヘッドであって、前記順次積層される複数の基板同士の接合代のうち、少なくとも一方の基板が半導体基板で構成される基板同士の接合代の長さを、半導体基板以外で構成される基板同士の接合代の長さよりも短くしたことを特徴とするものである。また、請求項10の発明は、請求項9の液滴吐出ヘッドにおいて、半導体基板で構成される前記液室基板と、半導体基板又は半導体基板以外で構成される前記液体供給基板との接合代の長さを、L1とし、前記液体供給基板と、半導体基板以外で構成される前記フレーム基板との接合代の長さを、L2としたとき、L1≦L2を満たすように構成したことを特徴とするものである。また、請求項11の発明は、請求項10の液滴吐出ヘッドにおいて、前記フレーム基板の前記液体供給基板を配置した側とは反対側に緩衝薄板及び薄板フレーム基板が更に積層され、前記フレーム基板と、半導体基板以外で構成される前記緩衝薄板との接合代の長さを、L3としたとき、L1≦L2≦L3、かつ、L1<L3を満たすように構成したことを特徴とするものである。また、請求項12の発明は、請求項9乃至11のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、少なくとも前記ノズル基板、前記液室基板、前記液体供給基板及び前記フレーム基板のそれぞれの端部を覆うように設けられたカバー部材を備え、前記カバー部材は、少なくとも前記ノズル基板、前記液室基板及び前記液体供給基板の端縁によって形成される階段状の傾斜に対応するように設けられた傾斜面を有することを特徴とするものである。また、請求項13の発明は、請求項1乃至12のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記液滴が、画像形成に用いられるインク滴であることを特徴とするものである。また、請求項14の発明は、請求項1乃至13のいずれかの液滴吐出ヘッドを搭載したことを特徴とするものである。また、請求項15の発明は、請求項13の液滴吐出ヘッドが搭載された液滴吐出装置を備えたことを特徴とするものである。本発明によれば、ノズル列の長手方向と交差する並び方向における第4N2番目及び第4N3番目Nは0又は自然数に位置する互いに隣り合う2列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、駆動回路部材が設けられている。これにより、駆動回路部材は、その駆動回路部材で駆動される上記2列のノズル列に対応する複数の電気機械変換素子に対して比較的近い位置から駆動することができる。しかも、その駆動回路部材は、上記2列のノズル列について用いられる電気機械変換素子の駆動だけでなく、その2列のノズル列の少なくとも一つに隣り合う他の1列又は2列のノズル列について用いられる電気機械変換素子の駆動にも、共通に用いられる。従って、一つの駆動回路部材で3列又は4列のノズル列について用いられる複数の電気機械変換素子を駆動することができ、ノズル列ごとに駆動回路部材を設ける場合に比較して小型化及び低コスト化を図ることができる。更に、各液体供給路に連通した共通液室は、電気機械変換素子を有する液室基板とは異なるフレーム基板に形成されているとともに、上記駆動回路部材は、その共通液室が形成されたフレーム基板の外面に対向するように設けられている。これにより、共通液室は、電気機械変換素子や駆動回路部材との干渉を考慮することなく、フレーム基板に形成することができるため、共通液室の容量が、電気機械変換素子や駆動回路部材によって制約を受けにくくなる。よって、共通液室の容量を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる。また、本発明によれば、前記順次積層される複数の基板同士の接合代のうち、少なくとも一方の基板が半導体基板で構成される基板同士の接合代の長さを、半導体基板以外で構成される基板同士の接合代の長さよりも短くすることにより、接着性に優れている半導体基板同士の接合代の長さを相対的に短くして小型化及び低コスト化を図りつつ、半導体基板以外で構成される接着性に劣る基板同士の接合代の長さを相対的に長くして基板間のシール性を確保することができる。よって、全体として互いに積層される基板間のシール性を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる。以下に、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの概略構成図である。図2は、図1のインクジェットヘッドの長手方向端部の透過概略図である。図3は、図2のA-A線における断面図であり、主に圧電素子と液室の周辺の構成を詳細に説明する図である。図1に示すように、本実施形態に係るインクジェットヘッドは、複数のノズル2が形成されたノズル基板1に、各ノズル2に連通した複数の液室3を設けた液室基板12と、液室3にインク導入路を介して液滴のもとになる液体であるインクを供給するための液滴供給経路としてのインク供給溝6が形成された液体供給基板7と、各インク供給溝6に連通した共通液室8が形成されたフレーム基板9とが順次積層された構成となっている。液室基板12は、液体供給基板7のインク供給溝6と連通したインク導入路5と、そのインク導入路5と液室3との間の設けられた流体抵抗部4とを有している。また、液室基板12は、図3に示すように、液室3の一部を構成する振動板16と、その振動板16と一体的に形成された電気機械変換素子としての圧電素子18とを有している。圧電素子18の上面には上電極14が接合され、圧電素子18の下面には共通の下電極13が接合されている。上電極14と下電極13との間には絶縁層17が形成されている。また、圧電素子18及び上電極14は、液体供給基板7側に突出するように液室基板12上に設けられているため、液体供給基板7の対応箇所には、圧電素子18及び上電極14と空間的に干渉しないように凹部26が形成されている。また、図3に示すように、液室基板12の複数の液室3は、その液室基板12に一体形成されている側壁12aにより個別に区切られている。フレーム基板9は、液体供給基板7と接合する液室基板12の配置側と反対側に設けられている。圧電素子18を駆動する駆動回路部材としての駆動IC26は、ヘッド本体のフレーム基板9の液体供給基板7側とは反対側の外面に対向させて設置している。より詳しくは、フレーム基板9の液体供給基板7を配置した側とは反対側に緩衝薄板29及び薄板フレーム基板30が更に積層されており、駆動IC26は、プリント回路基板としてのFPC32を介して薄板フレーム基板30上に接合されている。緩衝薄板29は、インク滴の吐出時に、共通液室8に発生する圧力変動を減少するための部材である。また、薄板フレーム基板30は、ダンパフレーム基板としても機能し、その上部に適宜配線され、駆動IC26が接合されたFPC31が接合されている。駆動IC26の電極パッドと、複数の圧電素子18それぞれの上電極14の端部に設けられたパッド15とは、配線部材としてのワイヤー22,23を介して接続されている。各ワイヤー22,23は、液体供給基板7、フレーム基板9、緩衝薄板29及び薄板フレーム基板30それぞれを貫通するように形成された開口部24,25を通るように配設されている。また、駆動IC26の電極パッドとFPC32の電極パッドとの間も配線部材としてのワイヤー20を介して接続されている。駆動IC11からワイヤー22,23を介して圧電素子18に所定の電圧が印加されると、液室3に圧力を発生させることができる。例えば、駆動IC26に画像信号が入力されると、駆動IC26は、画像信号に基づいて各圧電素子18に電圧を印加し、圧電素子18に接するように液室基板12に一体形成されている振動板16を変形させる。変形した振動板16は液室3内に充填されているインクに圧力を発生させる。この液室3内に発生した圧力により、ノズル2からインクが吐出し、記録紙に対して画像を記録することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッドにおいて、ノズル基板1は、複数のノズルからなるノズル列が、そのノズル列の長手方向インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向に4列並べるように形成されている。すなわち、図1の紙面に垂直な方向インクジェットヘッドの長手方向に複数のノズルが所定間隔で形成されたノズル列が、図1の左右方向インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向に4列形成されている。このように4列のノズル列を構成するすべてのノズルがノズル基板1に一体的に形成されているため、位置精度があがり、画質が向上する。また、本実施形態では、駆動IC26は、図1の左右方向インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向に並んでいる4列のノズル列のうち、その並び方向における第4N2番目及び第4N3番目Nは0又は自然数に位置する互いに隣り合う2列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、フレーム基板9の外面に対向させて設けられている。より具体的には、4列のノズル列の並び方向における2番目及び3番目に位置する互いに隣り合う2列のノズル列図中の中央側の2つのノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、フレーム基板9の外面に対向させて設けられている。更に、駆動IC26は、上記中央側の2列のノズル列について用いられる各圧電素子18の駆動と、その2列のノズル列に外側から隣り合う他の2列のノズル列について用いられる各圧電素子18の駆動とに、共通に用いられる。すなわち、本実施形態の場合は、4列のノズル列のすべてについて用いられる各圧電素子18の駆動に、単一の駆動IC26が用いられるように構成されている。従って、従来の4個の駆動ICを一つの駆動IC26にまとめることができ、駆動IC26を設置するスペースも小さくすることができるため、小型化及び低コスト化に大きく寄与することができる。また、本実施形態では、液室基板12、液体供給基板7及びフレーム基板9それぞれに対して駆動IC26を投影した投影領域に、上記中央側の2列のノズル列にそれぞれ対応する液室基板12の液室3、液体供給基板7のインク供給溝6及びフレーム基板9の共通液室8がそれぞれ重なるように構成されている。更に、上記中央側の2列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数のインク供給溝6は一つの隔壁33を介して隣り合うように構成されている。また、上記中央側の2列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の共通液室8についても、一つの中央壁34を介して隣り合うように構成されている。これらの構成により、上記4列のノズル列の並び方向図1の左右方向におけるサイズを小さくすることができる。特に、従来のようにノズル列ごとに共通液室8及びその周辺の構造を個別に独立構成した場合に比して、中央の2つの共通液室8を区切る中央壁34の厚さをほぼ半減することができるため、インクジェットノズルの一層の小型化が可能となる。また、本実施形態のインクジェットヘッドは、駆動ICが設けられている上面側及びその角部を保護するように天板保護フレーム35が設けられている。また、ノズル基板1が設けられている下面側の外周角部には、印刷時の紙の接触に対する保護、シール性確保などのため、ノズルカバー27が設けられている。次に、図1乃至図3を参照して、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程の例及び各部の材料例について説明する。液室基板12はシリコン基板で構成され、片面に下電極13がスパッタなどで成膜され、その上に圧電素子18が形成される。圧電素子18は所定の長さ、幅にパターニングされる。その上に絶縁層17が必要部に成膜され、さらに圧電素子18上に上電極14が成膜される。さらに上電極14の電極取り出し用部には金などで形成されたパッド15図2参照が形成されている。次に、液室基板12には、ガラスまたはシリコン基板で構成された液体供給基板7が接合される。液体供給基板7はインク供給溝6及び液室基板12上のパッド15を露出するための開口部切り欠き部24があらかじめエッチングなどで形成されている。液室基板12は、液体供給基板7を土台として、所定の厚さまで薄く加工、研磨される。例えば、液室基板12の厚さは100μm以下が好ましい。その後、液室基板12について、液室3と、流体抵抗部4と、インク供給溝6を介して共通液室8と連通する開口部となるインク導入路5とが、エッチングなどで形成される。図2に示すように、流体抵抗部4の幅を液室3の幅より小さくすることにより、流体抵抗として機能するようになっている。次に、液室基板12にノズル基板1を接合し、液体供給基板7の、液室基板12の接合面とは逆側の面にフレーム基板9を接合する。フレーム基板9には少なくともノズル列液室3が並ぶ方向あたり1個のインク導入路が設けられている。次に、緩衝薄板29及び薄板フレーム基板30をフレーム基板9に接合し、駆動IC26をFPC32を介して薄板フレーム基板30に接合し、その後、配線部材としての導電性のワイヤー22,23によって駆動IC26とパッド15とをワイヤーボンディング接合する。なお、ノズル基板1、フレーム基板9、駆動IC11の接合、あるいはワイヤーボンディングの順序は適宜変更が可能である。駆動IC11のFPC32への接続は、より接続長さ幅を短くするため、ワイヤーボンディングが好適である。また、接合温度が比較的低い接合方法としてもワイヤーボンディング接合は好ましい方法である。また、図1に示すように接合対象同士配線箇所に段差があるような場合の接合方法としてもワイヤーボンディングが最適である。また、液体供給基板7はシリコン基板で構成することができるが、よりコストダウンするにはガラスで構成し、たとえばサンドブラスト工法で加工することでよりコストダウンが可能となる。また、フレーム基板9はガラス基板で構成することができるが、よりコストダウンをするために、樹脂で構成することが好ましい。ただし、駆動IC26の接合時にかなりの高温がかかるため、特に液晶ポリマーやPPS、エポキシ樹脂などの耐熱樹脂がより好ましい。図4は、本発明の他の実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの概略構成図である。図1乃至3に示す実施形態と同様に機能する構成については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。図4のインクジェットヘッドでは、ノズル基板1は、複数のノズルからなるノズル列が8列並べるように形成されている。すなわち、図4の紙面に垂直な方向インクジェットヘッドの長手方向に複数のノズルが所定間隔で形成されたノズル列が、図1の左右方向インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向に8列形成されている。このように8列のノズル列を構成するすべてのノズルがノズル基板1に一体的に形成されているため、位置精度があがり、画質が向上する。また、図4の実施形態では、2つの駆動IC26を用いている。2つの駆動IC26の一方は、図4の左右方向インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向に並んでいる8列のノズル列の並び方向における2番目及び3番目に位置する互いに隣り合う2列のノズル列図中の左から2番目及び3番目のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、フレーム基板9の外面に対向させて設けられている。更に、もう一方の駆動IC26は、8列のノズル列の並び方向における6番目及び7番目に位置する互いに隣り合う2列のノズル列図中の左から6番目及び7番目のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、フレーム基板9の外面に対向させて設けられている。上記2つの駆動IC26はそれぞれ、4列のノズル列のすべてについて用いられる各圧電素子18の駆動に共通に用いられるように構成されている。すなわち、図中の左側の駆動IC26は、図中の左から第1番目から第4番目の4列のノズル列のすべてについて用いられる各圧電素子18の駆動に共通に用いられ、図中の右側の駆動IC26は、図中の左から第5番目から第8番目の4列のノズル列のすべてについて用いられる各圧電素子18の駆動に共通に用いられる。従って、従来の8個の駆動ICを二つの駆動IC26にまとめることができ、駆動IC26を設置するスペースも小さくすることができるため、小型化及び低コスト化に大きく寄与することができる。また、図4のインクジェットヘッドにおける他の構成は、図1~図3で示した実施形態の構成と同様であり、図1~図3の実施形態のインクジェットヘッドと同様な効果を奏することができる。図5は、本発明の更に他の実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの概略構成図である。なお、図1乃至4に示す実施形態と同様に機能する構成については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。本実施形態に係るインクジェットヘッドは、ノズル基板1に2列のノズル列が形成されている。また、液室基板12に形成されている圧電素子18と駆動IC26とを接合するため、フレーム基板9、液体供給基板7それぞれの中央部に開口部25、24が設けられ、液室基板12の中央部からワイヤーボンディングにより、パッド15と駆動IC26とを接合するように構成されている。また、フレーム基板9の開口部25を挟んで、各液室に対応する圧電素子毎に複数の駆動IC26が設けられ、パッド15は、それぞれの駆動IC26と結合される構成となっている。フレーム基板9には、液体供給基板7との接合面に臨むように共通液室8が設けられ、その共通液室8とインク供給溝6とが連通するように構成されている。また、フレーム基板9の液体供給基板7を配置した側とは反対側に緩衝薄板29及び薄板フレーム基板30が更に積層されており、駆動IC26は、FPC32を介して薄板フレーム基板30上に接合されている。なお、FPC32にもフレーム基板9の開口25に対応した開口を設けているため、液室基板12中央部のパッド15と駆動IC26とのワイヤーボンディングを妨げることがない。また、ノズル基板1、液室基板12、液体供給基板7の端部外周には、印刷時の紙の接触、シール性確保などでノズルカバー27が接合されている。また、駆動ICが設けられている上面側及びその角部を保護するように天板保護フレーム35が設けられている。また、図5のインクジェットヘッドにおいて、各層の材料として、例えば次のような材料で構成される。ノズル基板1はステンレス板例えば、厚さ50μmで構成され、液室基板12及び液体供給基板7は半導体基板としてのシリコンウェハで構成される。また、フレーム基板9はステンレス板例えば、厚さ0.4mmを3枚積層接着したもので構成され、緩衝薄板29はポリイミドフィルム例えば、厚さ25μmで構成される。また、薄板フレーム基板30はステンレス板例えば、厚さ0.1mmで構成され、天板35はPPS樹脂の成型品で構成される。このような構成の場合、もっとも短く接合代を設定できるのは、シリコンウェハどうしの液室基板12と液体供給基板7との接合代であるが、シール性確保に必要な接合代L1の長さを決定するのはノズル基板1ステンレス板と液室基板12シリコンウェハとの接合代である。そこで、本実施形態では、ノズル基板1から上部に行くほど基板の長さを長くし、接合代が順次長くなる設定になっている。すなわち、シリコンウェハで構成される液体供給基板7から下の接合代をL1とし、上部のフレーム基板9から天板35までの接合代をL4としたとき、L1<L4を満たすように構成している。この構成により、フレーム基板9から天板35までの接合代を長くすることによりシール性を確保し、コストが高くなる液室基板12、液体供給基板7の長さを他の基板フレーム基板9から天板35と比較して短く設定できるので、シール性確保と同時に大幅なコストアップを抑えることができる。なお、図5のインクジェットヘッドの構成例では、液体供給基板7が半導体基板シリコンウェハで構成されているが、液体供給基板7は半導体基板以外の基板で構成されていてもよい。例えば、液体供給基板7はガラス基板ガラスウェハで構成されていてもよい。図6は、本発明の更に他の実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの端部の概略構成図である。なお、図1乃至4及び図5に示す実施形態と同様に機能する構成については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。本実施形態のインクジェットヘッドにおいても、図5の構成と同様に、ノズル基板1から上部に行くほど基板の長さを長くし、接合代が順次長くなる設定になっている。特に、本実施形態では、半導体基板で構成される基板同士の接合代の長さをL1とし、半導体基板で構成される基板と半導体基板以外で構成される基板との接合代の長さをL2とし、半導体基板以外で構成される基板同士の接合代の長さをL3としたとき、L1≦L2≦L3、かつ、L1<L3を満たすように構成している。より具体的には、図6に示すように、半導体基板としてのシリコンウェハどうしで構成される液室基板12と液体供給基板7との接合代の長さをL1とし、シリコンウェハで構成される液体供給基板7とステンレス板で構成されるフレーム基板9との接合代L2とし、そのフレーム基板9とポリイミドフィルムで構成される緩衝薄板29との接合代をL3としたとき、L1≦L2≦L3、かつ、L1<L3を満たすように構成している。このように上部に行くほど基板の長さを長くして接合代が順次長くなるように設定することにより、フレーム基板9と緩衝薄板29との間のシール性を確保し、特にコストが高くなる液室基板12、液体供給基板7の長さを他の基板と比較し短く設定できるので、シール性確保と同時に大幅なコストアップを抑えることが出来る。また、図6のインクジェットヘッドでは、前述のように各基板の構成材料の接着性と小型化、コストダウンとを考慮することにより、図中の上にいくほど最下面側のフレーム基板9から最上面側の天板35にいくほど接合代が長くなるため、図示のように積層された基板の端部に段々の傾斜が形成される。この基板端部の傾斜を利用して、ノズルカバー27は傾斜に沿って大きな面取りをつけることができる。ノズルカバー27の役割のひとつに、画像を記録する用紙の搬送時に起きるヘッド本体への衝突による破壊を防ぐものがある。そのため、実質ヘッド本体を大きくすることなく、用紙がヘッド本体の端部に向かって搬送される構成の場合でも、図6の実施形態のようにノズルカバー27に形成した大きな面取りにより、用紙の搬送時に起きるヘッド本体への衝突を回避し、用紙を所定の記録位置に搬送することができる。なお、図6のインクジェットヘッドの構成例では、液体供給基板7が半導体基板シリコンウェハで構成されているが、液体供給基板7は半導体基板以外の基板で構成されていてもよい。例えば、液体供給基板7はガラス基板ガラスウェハで構成されていてもよい。図7は、上記各実施形態に係るインクジェットヘッドのプリンタへの搭載例を示す図である。シリアルプリンタに搭載する場合、たとえば、C、M、Y、Bkインクをそれぞれ供給した4個のインクジェットヘッド60を、図7aに示すようにインクジェットヘッドの横幅方向に並べて主走査方向に走査するキャリッジに搭載し、副走査である紙送りと各インクジェットヘッド60を搭載した図示しないキャリッジの主走査をすると同時に、送られてくる画像信号により各インクジェットヘッド60からインクを吐出し画像を紙などに記録することができる。よく知られているようにシリアルプリンタの横寸法は少なくとも、紙幅とヘッドユニットこの場合4個のインクジェットヘッドの幅の2倍が必要になる。したがって、インクジェットヘッドの横幅寸法がシリアルプリンタの小型化の重要な要因となっている。本発明の実施形態に係るインクジェットヘッド60を使用することにより、より小型のシリアルプリンタを作ることができ、同時にコストダウンも可能となる。また、シリアルプリンタだけではなく、図7bに示すように、本発明の実施形態に係る複数図示の例では4個のインクジェットヘッド60を紙幅方向に一列に並べて、紙送りのみで記録するいわゆるライン型ヘッドユニットを構成できる。このライン型ヘッドユニットでは、紙幅方向に対して垂直方向に非常に幅が狭いヘッドユニットを構成できる。そのため、4色のライン型ヘッドユニットを構成した場合、紙送り方向のヘッド幅は非常に小さくなり、ラインプリンタそのものも小型化ができ、同時にコストダウンが可能となる。図8は、上記各実施形態に係るインクジェットヘッドを適用可能なインクカートリッジを示す概略斜視図である。このインクカートリッジ50は、ノズル孔2等を有する上述した実施形態の何れかのインクジェットヘッド61と、このインクジェットヘッド61に対してインクを供給するインクタンク62とを一体化したものである。特に、図7aに示したような、シリアルプリンタに搭載可能なインクカートリッジである。このように、インクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの低コスト化、信頼性向上は、直ちにインクカートリッジ全体の低コスト化、信頼性向上に繋がるので、上述したように低コスト化、高信頼性化、製造不良低減することで、インクカートリッジの歩留まり、信頼性が向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図れる。図9は、上記各実施形態に係るインクジェットヘッドを適用可能な画像形成装置としてのインクジェット記録装置を示す斜視図である。図10は図9のインクジェット記録装置の機構部の側面図である。このインクジェット記録装置は、記録装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ93、このキャリッジ93に搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部82等を収納している。装置本体81の下方部には前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイでもよい84を抜き差し自在に装着することができる。また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができ、給紙カセット84或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。印字機構部82は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持している。このキャリッジ93にはイエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド94の複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ93にはヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95を交換可能に装着している。インクカートリッジ95は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有している。この多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクを僅かな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド94を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。ここで、キャリッジ93は後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド92に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ97で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト100を張装し、このタイミングベルト100をキャリッジ93に固定しており、主走査モータ97の正逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。一方、給紙カセット84にセットした用紙83を記録ヘッド94の下方側に搬送するために、給紙カセット84から用紙83を分離給装する給紙ローラ101及びフリクションパッド102と、用紙83を案内するガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ104と、この搬送ローラ104の周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ104からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ106とを設けている。搬送ローラ104は副走査モータ107によってギヤ列を介して回転駆動される。キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ104から送り出された用紙83を記録ヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材109を設けている。この印写受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111、拍車112を設け、さらに用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ113及び拍車114と、排紙経路を形成するガイド部材115、116とを配設している。記録時には、キャリッジ93を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド94を駆動することにより、停止している用紙83にインクを吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙83を排紙する。また、キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置117を配置している。この回復装置117は図示しないキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ93は、印字待機中には、回復装置117側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド94をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド94の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去されて吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜図示せずに排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。このように、このインクジェット記録装置においては上記実施形態に係るインクジェットヘッドを搭載しているので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができ、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。なお、上記各実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、DNAの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドスポッタなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。以上、上記図1乃至4及び図7乃至10で示した実施形態によれば、ノズル列の長手方向と交差する並び方向における第4N2番目及び第4N3番目Nは0又は自然数に位置する互いに隣り合う2列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、駆動IC26が設けられている。これにより、駆動IC26は、その駆動IC26で駆動される2列のノズル列に対応する複数の圧電素子18に対して比較的近い位置から駆動することができる。しかも、その駆動IC26は、上記2列のノズル列について用いられる圧電素子18の駆動だけでなく、その2列のノズル列の少なくとも一つに隣り合う他の1列又は2列のノズル列について用いられる圧電素子18の駆動にも共通に用いられる。従って、一つの駆動IC26で3列又は4列のノズル列について用いられる複数の圧電素子18を駆動することができ、ノズル列ごとに駆動IC26を設ける場合に比較して小型化及び低コスト化を図ることができる。更に、液体供給基板7の各インク供給溝6に連通した共通液室8は、圧電素子18を有する液室基板12とは異なるフレーム基板9に形成されているとともに、上記駆動IC26は、その共通液室8が形成されたフレーム基板9の外面に対向するように設けられている。これにより、共通液室8は、圧電素子18や駆動IC26との干渉を考慮することなく、フレーム基板9に形成することができるため、共通液室8の容量が、圧電素子18や駆動IC26によって制約を受けにくくなる。よって、共通液室8の容量を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる。また、本実施形態によれば、液室基板12、液体供給基板7及びフレーム基板9それぞれに対して駆動IC26を投影した投影領域に、前記2列のノズル列にそれぞれ対応する液室基板12の液室3、液体供給基板7のインク供給溝6及びフレーム基板9の共通液室8がそれぞれ重なるように構成されている。この構成により、ノズル列の並び方向図1の左右方向におけるサイズを小さくすることができる。また、本実施形態によれば、前記2列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数のインク供給溝6及び複数の共通液室8はそれぞれ一つの隔壁側壁33、中央壁34を介して隣り合うように構成されている。この構成により、ノズル列の並び方向図1の左右方向におけるサイズを小さくすることができる。特に、従来のようにノズル列ごとに共通液室8及びその周辺の構造を個別に独立構成した場合に比して、中央の2つの共通液室8を区切る中央壁34の厚さをほぼ半減することができるため、インクジェットノズルの一層の小型化が可能となる。また、本実施形態によれば、駆動IC26の電極と複数の圧電素子18それぞれの電極とを接続する配線部材としてワイヤー22,23は、液体供給基板7、フレーム基板9、緩衝薄板29及び薄板フレーム基板30それぞれを貫通するように形成された開口部24,25を通るように配設されている。これにより、駆動IC26の電極と複数の圧電素子18それぞれの電極とを短い配線経路で且つワイヤーボンディングと比較的簡易な方法で接続できる。また、本実施形態によれば、駆動IC26は、FPC32を介してフレーム基板9の外面に対向するように、薄板フレーム基板30に接合されている。これにより、薄板フレーム基板30の上部に適宜配線を行い、その配線された薄板フレーム基板30とFPC31とを接合できる。また、本実施形態によれば、フレーム基板9の液体供給基板7を配置した側とは反対側に緩衝薄板29及び薄板フレーム基板30が更に積層されている。緩衝薄板29により、インク滴の吐出時に、共通液室8に発生する圧力変動を減少させることができる。また、薄板フレーム基板30は、前述のようにFPC31が接合される面に適宜配線を施すことができる。また、本実施形態によれば、ノズル列を4列並べるように形成されたノズル基板1を用いた構成において、一つの駆動IC26を、4列のノズル列について用いられる複数の圧電素子18のすべての駆動に共通に用いることができる。また、本実施形態によれば、ノズル列を8列並べるように形成されたノズル基板1を用いた構成において、二つの駆動IC26をそれぞれ、4列のノズル列について用いられる複数の圧電素子18のすべての駆動に共通に用いることができる。また、8列のノズル列の並び方向における第4番目及び第5番目に位置する互いに隣り合う2列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数のインク供給溝6及び複数の共通液室8はそれぞれ、一つの隔壁を介して隣り合うように構成されている。このように、二つの駆動IC26それぞれが上方に位置する複数のインク供給溝6や複数の共通液室8だけでなく、駆動IC26が上方に位置しない上記第4番目及び第5番目のノズル列に対応する複数のインク供給溝6及び複数の共通液室8についても、それぞれ一つの隔壁側壁33、中央壁34を介して隣り合うように構成されているので、ノズル列の並び方向図1の左右方向におけるサイズを更に小さくすることができる。また、上記図5、6及び図7乃至10で示した実施形態によれば、順次積層される複数の基板同士の接合代のうち、少なくとも一方の基板が半導体基板シリコンウェハで構成される基板同士の接合代の長さを、半導体基板以外で構成される基板同士の接合代の長さよりも短くすることにより、接着性に優れている半導体基板同士の接合代の長さを相対的に短くして小型化及び低コスト化を図りつつ、半導体基板以外で構成される接着性に劣る基板同士の接合代の長さを相対的に長くして基板間のシール性を確保することができる。よって、全体として互いに積層される基板間のシール性を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる。また、本実施形態によれば、接着性に優れている半導体基板シリコンウェハで構成される液室基板12と、半導体基板又は半導体基板以外で構成される液体供給基板7との接合代の長さをL1とし、液体供給基板7と、半導体基板以外で構成される接着性に劣るフレーム基板9との接合代の長さをL2としたとき、L1≦L2を満たすように構成している。この構成では、接着性に優れている半導体基板からなる液室基板12と液体供給基板7との接合、及び液体供給基板7と接着性に劣るフレーム基板9との接合の順番で、接合代の長さを相対的に長くすることにより、小型化及び低コスト化を図りつつ基板間のシール性を確保することができる。また、本実施形態によれば、半導体基板以外でそれぞれ構成されるフレーム基板9と緩衝薄板29との接合代の長さをL3としたとき、L1≦L2≦L3、かつ、L1<L3を満たすように構成している。この構成では、接着性に優れている半導体基板からなる液室基板12と液体供給基板7との接合、液体供給基板7と接着性に劣るフレーム基板9との接合、及び接着性に劣る基板同士であるフレーム基板9と緩衝薄板29との接合の順番で、接合代の長さを相対的に長くすることにより、小型化及び低コスト化を図りつつ基板間のシール性を確保することができる。また、本実施形態によれば、少なくともノズル基板1、液室基板12、液体供給基板7及びフレーム基板9のそれぞれの端部を覆うように設けられたノズルカバー27を備え、そのノズルカバー27は、少なくともノズル基板1、液室基板12及び液体供給基板7の端縁によって形成される階段状の傾斜に対応するように設けられた傾斜面を有する。これにより、実質ヘッド本体を大きくすることなく、用紙がヘッド本体の端部に向かって搬送される構成の場合でも、ノズルカバー27に形成した大きな面取りにより、用紙の搬送時に起きるヘッド本体への衝突を回避し、用紙を所定の記録位置に搬送することができる。また、上記図7乃至図10で示した実施形態によれば、液吐出装置及び画像形成装置インクジェットプリンタに上記構成のインクジェットヘッドを用いることにより、それらの装置の小型化及び低コスト化を図ることができる。"