"水晶片と、該水晶片のいずれかの一主面または両主面に成膜形成されたSiO2層からなる厚肉部と、前記厚肉部の何れかの一面または上下表面に形成された電極と、からなることを特徴とする水晶振動子。前記SiO2層が蒸着またはスパッタリングにより形成されることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。水晶片と、該水晶片のいずれかの一主面または両主面に段階的に表面積を徐々に小さくして順次成膜形成されたSiO2層からなる厚肉部と、前記厚肉部の最上部に形成された前記SiO2層の何れかの一面または上下表面に形成された電極と、からなることを特徴とする水晶振動子。前記段階的に形成された厚肉部の外表面が、なだらかな斜面から形成されていることを特徴とする請求項3に記載の水晶振動子。請求項1から4に記載の水晶振動子を搭載したことを特徴とする水晶発振器。しかしながら、この種の従来の水晶振動子では、コンベックス加工またはベベル加工時間が永くかかり、また加工のバラツキが大きいため生産性が悪く、かつ、加工する水晶片を損傷する恐れがあった。また、水晶片の外周部をウエットエッチングして加工するものでは、人工水晶原石の品質や結晶溶解の方位依存性により、ウエットエッチングによるメサ部加工の際、エッチングチャンネルが発生し、水晶片の穴あき、欠け、特性不良等の問題を起こす恐れがあった。また、ドライエッチングによるメサ部加工では、高額なドライエッチング装置や設備投資が必要であった。さらに、水晶基板の主面に原料ガスを吐出させてエピタキシャル成長させて水晶膜を形成してメサ部を構成する方法では、テトラシランガス等の有毒ガスを用いるため、作業時の危険性があった。また、水晶振動片上に複数の電極膜を積層してコンベックス形状またはメサ部を形成する方法では、振動エネルギーの閉じ込め効果は期待できるものの、コンベックス形状全体に電極材料を使うため水晶振動子自体が高価になる恐れがあった。そこで、上記した課題を解決するため、本発明の水晶振動子では、水晶片水晶ブランクの何れかの一主面または両主面に単一層または多層をSiO2膜を蒸着またはスパッタリングにより積層して形成して、メサ形状またはベベル形状に近似した形状を簡単に形成した水晶振動子を得るようにする。本発明の水晶振動子は、水晶片と、該水晶片のいずれかの一主面または両主面に成膜形成されたSiO2層からなる厚肉部と、前記厚肉部の何れかの一面または上下表面に形成された電極と、からなることを特徴とする。また、本発明の水晶振動子は、前記SiO2層が蒸着またはスパッタリングにより形成されることを特徴とする。さらに、本発明の水晶振動子は、水晶片と、該水晶片のいずれかの一主面または両主面に段階的に表面積を徐々に小さくして成膜積層して形成されたSiO2層からなる厚肉部と、厚肉部の最上部に形成された前記SiO2層の何れかの一面または上下表面に形成された電極と、からなることを特徴とする。本発明の水晶振動子は、前記段階的に形成された厚肉部の外表面がなだらかな斜面から形成されていることを特徴とする。本発明の水晶振動子は、水晶発振器に搭載されることを特徴とする。蒸着またはスパッタリングのような、簡単で、かつ高価でない成膜装置により水晶片の主面上にSiO2膜を単一または段階的に積層して形成するので、廉価かつ高い生産性をもって高品質な、振動エネルギーの閉じ込め効果が高い水晶振動子が得られる。以下、本発明の水晶振動子の実施例を添付した図面に基いて説明する。図1aは、本発明の水晶振動子の実施例1の水晶振動子の平面図、図1bは、図1aに示したI-I矢視断面図である。図1に示すように、本発明の実施例1の水晶振動子1は、例えばATカットした平面視矩形状の平板の水晶片水晶ブランク10の両主面表面にSiO2膜11を蒸着またはスパッタリングにより成膜して厚肉部メサ部Mを形成し、厚肉部であるメサ部Mの両主面に導電性金属、例えば、金からなる電極12を蒸着またはメッキで形成する。そして、これにより、この厚肉部Mメサ部の内部に振動エネルギーが閉じ込められて、ベベル部、コンベックス部を形成したのと同様のCI値、Q値等の周波数特性が良い、かつ、スプリアスの発生を抑制できる水晶振動子が得られる。また、図2に示すように、本発明の実施例2の水晶振動子1は、前述した実施例1と同様に、例えば、ATカットした平面視方形状の平板上の水晶片10の両主面の表面にSiO2膜11a,11b,11c,11dを蒸着またはスパッタリングにより順次段階的に多層例えば、4層に積層して厚肉部Mコンベックス部を形成し、厚肉部Mの最上層のSiO2膜の上表面に導電性金属からなる電極12を形成する。とくに、実施例2の水晶振動子1では、図1bに示すように、水晶片10の両主面に直接形成される方形のSiO2層11aの表面積を最大とし、積層階数が上に進むにつれて順次それらの面積が狭くなるように構成されているので、これらSiO2層は全体として山型部Mとなっている。そして、この山型部Mは、水晶片10を挟んで表裏対称形状となっているので、水晶振動子1は、全体としてコンベックス状となり、振動エネルギーの質量の大きい中心部コンベックス部に閉じ込めることができるようになる。したがって、水晶片10の両主面にコンベックス部を形成したのと同様に、CI値、Q値等の周波数特性の良い水晶振動子1が得られる。さらに、図3に示すように、本発明の実施例3の水晶振動子1は、前述した実施例2と同様に、水晶片10の両主面にコンベックス部MをSiO2膜を蒸着またはスパッタリングにより複数層成膜して形成するが、コンベックス部Mの形成面Sを前記実施例2のように階段状に形成せずに、なだらかな斜面カーブ部Sに形成する。これによりコンベックス部Mの電気機械結合係数が向上する。この実施例3において、なだらかな斜面Sを形成するには、水晶片10の両主面へのSiO2膜の蒸着またはスパッタリング時に、図3c図3bのA矢視部分拡大図に示すように、内側先端部13a,13bを断面視曲面状に形成したマスク13を用いる。"