回転軸と、前記回転軸に軸受を介して支持されたウォームホイールと、前記ウォームホイールに動力伝達可能に噛み合うウォームと、を備えたウォーム減速機において、前記回転軸から径方向に延出するアームと、前記ウォームホイール内に形成され、前記アームの先端が挿入されるとともに、粘性流体が封入された空間と、前記アームの先端と前記空間との間で形成され周方向に作用する緩衝器と、を備えることを特徴とするウォーム減速機。請求項1に記載のウォーム減速機において、前記アームの先端と前記空間が近接した場合にのみ、前記緩衝器内の前記粘性流体の粘性抵抗が作用することを特徴とするウォーム減速機。請求項1または請求項2に記載のウォーム減速機において、前記緩衝器の固定部に直列に、または前記アームの先端と前記空間との間に形成された前記緩衝器と並列に弾性体を配置することを特徴とするウォーム減速機。請求項1~請求項3のうちいずれか一項に記載のウォーム減速機において、前記回転軸の角度と、前記回転軸に作用するトルクと、前記ウォームホイールの角度と、に基づき、前記回転軸と前記ウォームホイールの角度差が0となるように、フィードバック制御により前記ウォームを回転制御することを特徴とするウォーム減速機。このウォーム減速機では、ウォームホイールの歯先面に形成された突部により、ウォームホイールの歯とウォームの歯底との間の頂隙が詰められている。そして、ウォームおよびウォームホイールの噛み合い部分において、突部の先端は、ウォームの歯底上を適度な摩擦抵抗を発生しつつ摺動する。バックラッシに起因する歯当たり時の衝突速度が抑制されることにより、歯打ち音の発生が低減される。しかしながら、ステアリングホイールの回転操作が開始されたとき、ウォームホイールを介して、ウォームには自身を回転させようとする力が作用する。ウォームが回転するためには、ウォームホイールを介してウォームに伝達される力が、ウォームとウォームホイールとの間に働く静止摩擦力に打ち勝つ必要がある。そしてその静止摩擦が大きくなる分だけウォームおよびウォームホイールの円滑な回転が阻害されることにより、いわゆる引っ掛かり感が発生するおそれがある。さらに、バックラッシを詰めることにより、ウォームとウォームホイールとの噛み合いによる摩擦抵抗が増大すると、エネルギーロスが増加するため、省エネ上好ましくない。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、ウォームとウォームホイールとの噛み合い部分での歯打ち音の発生を抑制しつつ、円滑に動作させることができるウォーム減速機を提供することにある。上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、回転軸と、前記回転軸に軸受を介して支持されたウォームホイールと、前記ウォームホイールに動力伝達可能に噛み合うウォームと、を備えたウォーム減速機において、前記回転軸から径方向に延出するアームと、前記ウォームホイール内に形成され、前記アームの先端が挿入されるとともに、粘性流体が封入された空間と、前記アームの先端と前記空間との間に形成され周方向に作用する緩衝器と、を備えることを要旨とする。上記構成によれば、ウォームホイールは径ラジアル方向に機構が分割され、軸受を介して回転軸に結合されている。そして、回転軸から延びたアームの先端とウォームホイール内の粘性流体が充填された空間との間に、ある程度のガタを持って緩衝器を形成する。緩衝器は、回転軸の回転にともない周方向に作用する。これにより、ウォームとウォームホイールとの歯面同士の接触時の衝撃を緩和できるため、バックラッシを詰めることなく歯打ち音を低減できる。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のウォーム減速機において、前記アームの先端と前記空間が近接した場合にのみ、前記緩衝器内の前記粘性流体の粘性抵抗が作用することを要旨とする。上記構成によれば、アームの先端がウォームホイール内の空間に近接し、粘性流体の粘性抵抗摩擦が増加した場合、ウォームとウォームホイールとの歯面同士の接触による衝撃が緩和される。請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載のウォーム減速機において、前記緩衝器の固定部に直列に、または前記アームの先端と前記空間との間に形成された前記緩衝器と並列に弾性体を配置することを要旨とする。上記構成によれば、緩衝器の固定部分に弾性体を介在させることにより、この弾性体に流体の抵抗力を作用させたり、あるいは、緩衝器に並列にアームの先端とウォームホイール内の空間との間を弾性体で繋ぐことによって、この弾性体に流体の抵抗力を発生させることにより、ウォームとウォームホイールとの歯面同士の接触による衝撃をより吸収緩和できる。請求項4に記載の発明は、請求項1~請求項3のうちいずれか一項に記載のウォーム減速機において、前記回転軸の角度と、前記回転軸に作用するトルクと、前記ウォームホイールの角度と、に基づき、前記回転軸と前記ウォームホイールの角度差が0となるように、フィードバック制御により前記ウォームを回転制御することを要旨とする。上記構成によれば、回転軸に設けられたトルクセンサにより検出される操舵トルクが所定値以下の場合に、ウォームホイールとアームのそれぞれに設けた角度センサにより検出した角度より演算した角度差が0近傍になるまでウォームに連結されたアシスト用モータを回転駆動する。これにより、ウォームホイールとアームとが一方に接触したままの状態で直進走行に移った場合、ウォームの噛み合い摩擦をステアリングシャフトから分離した状態にできるため、操舵フィーリングの低下を抑制できる。ウォームとウォームホイールとの噛み合い部分での歯打ち音の発生を抑制しつつ、円滑に動作させることができるウォーム減速機を提供できる。以下、本発明を、電動パワーステアリング装置に具体化した一実施の形態を図に基づいて説明する。図1に示すように、電動パワーステアリング装置1において、ステアリングホイール2と一体回転するステアリングシャフト3は、ステアリングホイール2側からコラムシャフト8、インターミディエイトシャフト9およびピニオンシャフト10の順に連結されている。ピニオンシャフト10は、これに直交して設けられるラック軸5のラック部分5aに噛合されている。ステアリング操作にともなうステアリングシャフト3の回転は、ピニオンシャフト10およびラック部分5aからなるラックアンドピニオン機構4によりラック軸5の往復直線運動に変換される。この往復直線運動が、ラック軸5の両端に連結されたタイロッド11を介して図示しないナックルアームに伝達されることにより、転舵輪タイヤ12の舵角が変更される。また、電動パワーステアリング装置1は、操舵系にステアリング操作を補助するための操舵補助アシスト力を付与する操舵力補助装置パワーアシストユニット13、および操舵力補助装置13の作動を制御する電子制御装置以下、ECUという14を備えている。操舵力補助装置13の駆動源であるモータ15は、ウォーム16およびウォームホイール17からなる減速機構以下、ウォーム減速機という18を介してコラムシャフト8に作動連結されている。モータ15の回転力はウォーム減速機18により減速されて、この減速された回転力がアシスト力として操舵系、正確にはコラムシャフト8に伝達される。ECU14は、このアシスト力を以下のようにして制御する。すなわち、ECU14は、転舵輪12等に設けられる車速センサ19を通じて車速Vを、また、コラムシャフト8のトーションバーに設けられるトルクセンサ7を通じてステアリングホイール2に印加される操舵トルクτを取得する。そして、ECU14は、これら車速Vおよび操舵トルクτに基づき目標アシスト力を算出し、この算出される目標アシスト力を発生させるためモータ15の給電制御を行う。このモータ15の給電制御を通じて操舵系に印加されるアシスト力が制御される。図2は、ウォーム減速機18のウォームホイール部分の正面図である。図2に示すように、ウォームホイール17は、転がり軸受22を介して、コラムシャフト8図1参照の軸方向中間部以下、メイン軸という20に一体回転可能でかつ軸方向移動を規制されて結合されている。ウォームホイール17の内径側であるメイン軸20から径方向にアーム23が延出し、そのアーム23の先端は外径側のウォームホイール17内に形成された空間部25に挿入されている。空間部25には、粘性流体26が充填されており、このウォームホイール17内の空間部25とアーム23の先端とで緩衝器24が形成され、図2の緩衝器部分29が周方向に作動する。図3は、図2のウォーム減速機18のウォームホイール部分をA方向矢印から見た断面図である。ここで、ウォームホイール17内の空間部25に、ウォームホイールギヤ21とウォーム16との噛み合い部に封入される潤滑剤例えば、グリスと同じ潤滑剤を使用した粘性流体26が充填されている。また、緩衝器24は底面側から見た形状が円形を有している。図4は、図2のウォーム減速機18の緩衝器部分29を拡大した概念図である。図4に示すように、緩衝器24は、ウォームホイール17内の空間部25をオリフィス27、アーム23側をニードル28として構成されている。緩衝器24のオリフィス27とニードル28は、それぞれ段差が設けられた段付き円柱状に成形され、アーム23の先端が回転し互いに近接するほど粘性流体26が圧縮される断面積を増加させるように形成されている。さらに、上記オリフィス27およびニードル28が近接した場合にのみ、充填された粘性流体25の粘性抵抗Fが作用する。この場合の粘性流体26の流れに対する粘性抵抗Fは、回転周方向に対して反対方向に働く。さらに上記構成に加え、緩衝器24の固定部に直列に、または、アーム23とウォームホイール17内の空間部25との間に緩衝器24と並列に弾性体を配置することも可能である。本構成によれば、緩衝器24の固定部分に弾性体を介在させることにより、この弾性体に速度に依存する粘性流体26の抵抗力を作用させることにより、あるいは、アーム23の先端とウォームホイール17内の空間部25との間を弾性体で繋ぐことにより弾性体に距離に比例する粘性流体26の抵抗力を発生させ、弾性変形によって緩衝効果を高めて、より接触による衝撃を吸収緩和できる。続いて、ステアリング操作時の操舵トルクτが所定値以下の場合のウォーム減速機18の動作について説明する。図1を参照して、ECU14は、ウォームホイール17およびアーム23にそれぞれ装着された角度センサ図示せずの検出値から角度差θを演算する。トルクセンサ7により検出された操舵トルクτが所定値以下での操舵の場合、上記角度差θが0になるようにフィードバック制御位置制御を行いモータ15を回転駆動させ、ウォーム16を回転制御する。図5は、このときのウォームホイール17とアーム23との角度差θと粘性抵抗Fの関係をあらわす概念図である。図5に示すように、角度差θが0近傍の所定値以下であれば、粘性抵抗Fは0となり、所定の角度差θ以上で角度差θが増加するにともない粘性抵抗Fは比例して増加する。これにより、操舵トルクτが所定値以下でウォームホイール17とアーム23とが一方に接触したままの状態で直進走行に移った場合、ウォームホイール17とアーム23との角度差θが0近傍になるまでモータ15を回転駆動させ、ウォーム16を回転制御する。その結果、粘性抵抗Fが0となり、ウォーム16およびウォームホイール17の噛み合い摩擦をステアリングシャフト3から分離できるため、操舵フィーリングの低下を抑制できる。次に、上記のように構成された本実施形態のウォーム減速機の作用および効果について説明する。上記構成によれば、ウォームホイールは径方向に機構が分割され、外径側のウォームホイール17は、軸受22を介してメイン軸20に結合されている。そして、メイン軸20から径方向に延びたアーム23の先端とウォームホイール17内の粘性流体26が充填された空間部25との間に、ある程度のガタを持って緩衝器24を形成する。緩衝器24は、メイン軸20の回転にともない周方向に作用し、アーム23の先端がウォームホイール17内の空間部25に近接した場合、粘性流体26の粘性抵抗Fが増加する。これにより、歯当たり時の衝突速度を小さくでき、ウォーム21とウォームホイール17との歯面同士の接触時の衝撃を緩和できるため、バックラッシを詰めることなく歯打ち音を低減できる。また、ウォーム21とウォームホイール17とが噛み合い始めたとき、若干の動力伝達が行われることにより、ウォーム16は緩やかに回転する。その後、本格的な動力伝達が開始される。このように、操舵初期時において、ウォーム16およびウォームホイール17は、それぞれ滑らかに回転を開始する。ここで、バックラッシに起因する歯打ち音の発生を抑制するために、ウォーム16とウォームホイール17との歯面同士を押し付け合うことによりバックラッシを最小限に維持する機構をウォーム減速機18に組み込むことも考えられる。この場合には、歯面同士が押し付けられる分だけ、ウォーム減速機18の作動開始時の静止摩擦が大きくなって、滑らかな作動が阻害されるおそれがある。この点、本実施形態によれば、バックラッシを存在させながらも、歯打ち音の発生を抑制することが可能である。また、バックラッシが存在することにより、ウォーム16およびウォームホイール17の円滑な作動、あるいは円滑な噛み合いが確保される。さらに、バックラッシを詰める必要がないので、ウォーム減速機18のエネルギーロスを抑制することができ、省エネ上好ましく、また安価である。また、上記実施形態のウォーム減速機18によれば、ウォーム16とウォームホイール17との噛み合い部分での歯打ち音の発生を抑制しつつ、ウォーム減速機18の作動初期時においてウォーム16およびウォームホイール17を円滑に動作させることができる。このため、本実施形態のウォーム減速機18は、電動パワーステアリング装置の減速機構として好適である。操舵初期時の、いわゆる引っ掛かり感の発生が抑制されるので、操舵フィーリングを向上させることが可能である。さらに、電動パワーステアリング装置に本実施形態のウォーム減速機18を使用したとき、タイヤ反力等の小刻みな高周波の逆入力が発生した場合、その振動トルクがステアリングシャフト3を介してステアリングホイール2に伝達されるおそれがあるのに対し、緩衝器24がこの微小振動を抑制すように作用する。加えて、アシスト力が発生しない程度の微小操舵トルクが出力される領域において、モータ15の慣性に起因して発生するステアリングホイール2における微小振動が抑制されるため、より操舵フィーリングを向上できる。上記構成を採用することにより、ウォーム16とウォームホイール17とが噛み合う際には、ウォーム16は自身の軸方向へ若干変位しながらウォームホイール17と噛み合うことになる。これにより、ステアリングホイール2の操舵初期における、ウォームホイール17およびウォーム16の歯面間の衝突が緩和される。また、ウォーム16の回転を妨げる要因が低減することにより、いわゆる引っ掛かり感についてもいっそうの低減が期待できる。以上のように、ウォームとウォームホイールとの噛み合い部分での歯打ち音の発生を抑制しつつ、円滑に動作させることができるウォーム減速機を提供できる。以上、本発明に係る一実施形態について説明したが、本発明はさらに他の形態で実施することも可能である。上記実施形態では、緩衝器のウォームホイール側のオリフィスおよびアーム側のニードルにそれぞれ段差を設けた円柱形状としたが、相対する面が単純な円錐面形状を有していてもよい。また、上記実施形態では、ウォームホイールに充填した粘性流体を密封していないが、ウォームホイールハウジングと一体成形にすることにより、あるいは、円板状に成形したアームをウォームホイール内の空間部にOリング等を介装して封止することにより密封状態に維持するようにしてもよい。上記実施形態では、周方向に一対の緩衝器を設けたが、複数の緩衝器を設けてもよい。また、アームに対して左右の緩衝器の個数が同数であれば、緩衝器は非対称に配置されていてもよい。さらに、上記実施形態では、電動パワーステアリング装置の減速機構を例に挙げて説明したが、他の装置の減速機構として適用してもよい。