"ガス供給管路Lの出口端部に設けた開閉弁V0の上流部へ分岐状に且つ解離自在にその入口側端部を連結すると共にその出口側端部をガス流出側へ連結する分岐管路Lbと、分岐管路Lbの出口側に設けた開閉弁V’と、開閉弁V’に流れるガス圧力及びガス温度を検出する圧力検出器Pd及び温度検出器Tdと、圧力検出器Pd及び温度検出器Tdからの検出信号が入力され、分岐管路Lbを流通するガス流量を演算する演算制御装置CPとからなり、ガス供給装置GFのガス供給管路Lの出口端部に設けた開閉弁V0の上流部へ分岐状に且つ解離自在に連結することを特徴とするガス供給装置用流量制御器の流量測定装置。複数種のガスを各流量制御器を通して切換え可能にガス使用箇所へ供給するガス供給装置に於いて、前記ガス供給装置のガス供給路Lに、分岐管路Lbとその出口側に設けた開閉弁Vと分岐管路Lbのガス圧力検出器Pd及びガス温度検出器Tdと演算制御装置CPとから成る流量測定装置Uを分岐状に連結すると共に、当該流量測定装置Uの開閉弁V’をガス流出側に接続し、先ず、前記流量制御装置の各流量制御器の出口側開閉弁V01~V0n及びガス供給管路Lの出口端部の開閉弁V0を閉鎖すると共に流量測定装置Uの開閉弁V’を開放し、次に、被測定流量制御器の出口側開閉弁のみを開放して設定流量のガスを前記流量測定装置Uへ流入させ、ガス圧力及びガス温度が安定した後開閉弁V’を閉鎖し、ガス圧力が設定圧P1に達した時刻t1に於いて第1回のガス温度T1及びガス圧力P1を計測し、その後前記ガス圧力が設定圧P2に達した時刻t2に於いて第2回のガス温度T2及びガス圧力P2を計測し、前記各計測値からガス流量QをQ=22.4V/RΔt×P2/T2-P1/T1但し、Vは分岐管路Lb及びガス供給管路Lの合計内容積、Rはガス定数、Δtはt2-t1であるとして演算することを特徴とするガス供給装置用流量制御器の流量測定方法。複数種のガスを各流量制御器を通して切換え可能にガス使用箇所へ供給するガス供給装置に於いて、前記ガス供給装置のガス供給路Lに、分岐管路Lbとその出口側に設けた開閉弁Vと分岐管路Lbのガス圧力検出器Pd及びガス温度検出器Tdと演算制御装置CPとから成る流量測定装置Uを分岐状に連結すると共に、当該流量測定装置Uの開閉弁V’をガス流出側に接続し、先ず、前記流量制御装置の各流量制御器の出口側開閉弁Vo1~Von及びガス供給管路Lの出口端部の開閉弁V0を閉鎖すると共に流量測定装置Uの開閉弁V’を開放し、次に、被測定流量制御器の出口側開閉弁のみを開放して設定流量のガスを前記流量測定装置Uへ流入させ、ガス圧力及びガス温度が安定した後開閉弁V’を閉鎖し、ガス圧力の上昇率ΔP/Δtを計測すると共に、流量Qを、QΔP/Δt×V/RT但し、Vは分岐管路Lb及びガス供給管路Lの合計内容積、Rはガス定数、Δtは測定時間、Tは気体温度であるとして演算することを特徴とするガス供給装置用流量制御器の流量測定方法。流量測定装置Uを、入口側端部をガス供給管路Lへまた出口側端部をガス流出側へ夫々連結する分岐管路Lbと、分岐管路Lbの出口側に設けた開閉弁V’と、開閉弁V’に流れるガス圧力及びガス温度を検出する圧力検出器Pd及び温度検出器Tdと、圧力検出器Pd及び温度検出器Tdからの検出信号が入力され、分岐管路Lbを流通するガス流量を演算ずる演算制御装置CPと、開閉弁Vへ駆動用流体を供給する電磁弁EVと、電磁弁EVへ駆動用流体を供給する駆動用流体源DGSと、演算制御装置CPへの入出力ボードIOと、電源装置ESとから構成するようにした請求項2又は請求項3に記載のガス供給装置用流量制御器の流量測定方法。本願発明は、従前の流量測定ユニットU1を用いた流量制御器の流量測定に於ける上述の如き問題、即ち、流量測定ユニットU1の流体入口側と流体出口側の夫々にバルブV1,V2を設けているが、この入口側バルブV1を設けたことにより生ずる流体抵抗が増加したり、入口側バルブV1に電磁弁、駆動流体用配管等からなる駆動用機構を必要とし、その組立費が増加すること、駆動特性に起因する動作遅延やタイミング調整が必要になること等の問題を解決すると共に、流量測定に必要な流体供給管路Lと分岐接続管路Lsと流量測定ユニットU1の内部容積Vtとの合計内容積Vの算定に手数が掛かると云う問題を解決し、小型で,簡単にガス供給装置に付設することができ、しかも簡単な操作でもって高精な流量測定を出来るようにしたガス供給装置用流量制御器の流量測定装置と、これを用いた流量測定方法の提供を発明の主目的とするものである。本願請求項1の発明は、ガス供給管路Lの出口端部に設けた開閉弁V0の上流部へ分岐状に且つ解離自在にその入口側端部を連結すると共にその出口側端部をガス流出側へ連結する分岐管路Lbと、分岐管路Lbの出口側に設けた開閉弁V’と、開閉弁V’を流れるガス圧力及びガス温度を検出する圧力検出器Pd及び温度検出器Tdと、圧力検出器Pd及び温度検出器Tdからの検出信号が入力され、分岐管路Lbを流通するガス流量を演算ずる演算制御装置CPとからなり、ガス供給装置GFのガス供給管路Lの出口端部に設けた開閉弁V0の上流部へ分岐状に且つ解離自在に連結することを発明の基本構成とするものである。本願請求項2の発明は、複数種のガスを各流量制御器を通して切換え可能にガス使用箇所へ供給するガス供給装置に於いて、前記ガス供給装置のガス供給路Lに、分岐管路Lbとその出口側に設けた開閉弁V’と分岐管路Lbのガス圧力検出器Pd及びガス温度検出器Tdと演算制御装置CPとから成る流量測定装置Uを分岐状に連結すると共に、当該流量測定装置Uの開閉弁V’をガス流出側に接続し、先ず、前記流量制御装置の各流量制御器の出口側開閉弁V01~V0n及びガス供給管路Lの出口端部の開閉弁V0を閉鎖すると共に流量測定装置Uの開閉弁V’を開放し、次に、被測定流量制御器の出口側開閉弁のみを開放して設定流量のガスを前記流量測定装置Uへ流入させ、ガス圧力及びガス温度が安定した後開閉弁V’を閉鎖し、ガス圧力が設定圧P1に達した時刻t1に於いて第1回のガス温度T1及びガス圧力P1を計測し、その後前記ガス圧力が設定圧P2に達した時刻t2に於いて第2回のガス温度T2及びガス圧力P2を計測し、前記各計測値からガス流量QをQ=22.4V/RΔt×P2/T2-P1/T1但し、Vは分岐管路Lb及びガス供給管路Lの合計内容積、Rはガス定数、Δtはt2-t1であるとして演算t2に於いて第2回のガス温度T2及びガス圧力P2を計測し、前記各計測値からガス流量QをQ=22.4V/RΔt×P2/T2-P1/T1但し、Vは分岐管路Lb及びガス供給管路Lの合計内容積、Rはガス定数、Δtはt2-t1であるとして演算することを発明の基本構成とするものである。本願請求項3の発明は、複数種のガスを各流量制御器を通して切換え可能にガス使用箇所へ供給するガス供給装置に於いて、前記ガス供給装置のガス供給路Lに、分岐管路Lbとその出口側に設けた開閉弁V’と分岐管路Lbのガス圧力検出器Pd及びガス温度検出器Tdと演算制御装置CPとから成る流量測定装置Uを分岐状に連結すると共に、当該流量測定装置Uの開閉弁V’をガス流出側に接続し、先ず、前記流量制御装置の各流量制御器の出口側開閉弁Vo1~Von及びガス供給管路Lの出口端部の開閉弁V0を閉鎖すると共に流量測定装置Uの開閉弁V’を開放し、次に、被測定流量制御器の出口側開閉弁のみを開放して設定流量のガスを前記流量測定装置Uへ流入させ、ガス圧力及びガス温度が安定した後開閉弁Vを閉鎖し、ガス圧力の上昇率ΔP/Δtを計測すると共に、流量Qを、QΔP/Δt×V/RT但し、Vは分岐管路Lb及びガス供給管路Lの合計内容積、Rはガス定数、Δtは測定時間、Tは気体温度であるとして演算することを発明の基本構成とするものである。請求項4の発明は、請求項2または請求項3の発明に於いて、流量測定装置Uを、入口側端部をガス供給管路Lへまた出口側端部をガス流出側へ夫々連結する分岐管路Lbと、分岐管路Lbの出口側に設けた開閉弁V’と、開閉弁V’に流れるガス圧力及びガス温度を検出する圧力検出器Pd及び温度検出器Tdと、圧力検出器Pd及び温度検出器Tdからの検出信号が入力され、分岐管路Lbを流通するガス流量を演算ずる演算制御装置CPと、開閉弁V’へ駆動用流体を供給する電磁弁EVと、電磁弁EVへ駆動用流体を供給する駆動用流体源DGSと、演算制御装置CPへの入出力ボードIOと、電源装置ESとから構成するようにしたものである。本発明に於いては、上記容積Vは、窒素ガス等を用いてガス流量Qの時の圧力上昇率を測定することにより、VΔt×Q×R×T/ΔP但し、Qは流量、Pは流体圧、Tは温度、Rは気体定数、ΔP/Δtは圧力上昇率であるにより容易に求めることが出来る。即ち、開閉弁V1を設けなくても、流量測定に必要な分岐管路Lb及びガス供給管路Lの合計内容積Vを簡単に算定することが出来るため、流量制御器の流量測定操作がより簡単となる。また、本発明に於いては、流量測定装置Uの分岐管路Lbに設ける開閉弁V’をその出口側端のみに設ける構成としているため、流量測定装置Uの小型化及び構造の簡素化が図れるだけでなく、ガス流路抵抗の引下げが可能となる。また、ガス供給装置GFの運転中は常時2次側のガス供給管路Lのガス圧を圧力検出器Pdによって監視することができ、流量計測が可能な圧力状態か否かを事前に即座に確認することができる。また、流量測定操作に際しても、測定スタートの信号に対して圧力異常の状態にあれば即座にアラームの発信ができるだけでなく、常時2次側のガス供給管路Lの圧力状態を監視することができるので、圧力検出器Pdをガス供給管路Lのガス圧モニターとして活用することができる。更に、流量制御器が圧力式流量制御装置の場合には、圧力検出器Pdの検出信号を流量制御器の流量制御範囲の下限値を示すアラームとしても活用することができる。図1は本発明に係るガス供給装置用流量制御器の流量測定装置の構成を示す説明図であり、また、図2は流量制御器の測定方法の実施形態を示す説明図であって、ガス供給装置GFに設けた圧力式流量制御器FCSの流量測定を行う場合を示している。図1及び図2において、GFはガス供給装置、FCS1~FCSnは流量制御器、Go~Gnは供給ガス種、L1~Ln、Lはガス供給管路、Lsは分岐接続管路、Lbは分流管路、V00~V0nは開閉弁、V0は開閉弁、V’は開閉弁、CHはプロセスチャンバ、VPは真空ポンプ、Tdは温度検出器、Pdは圧力検出器、Bは分岐点、Fは接続用フランジ、EVは電磁弁、DGSは駆動用流体源、Tuは駆動用流体供給管、IOは入出力ポート、ESはDC電源、1は圧力調整器、2は圧力計、34は開閉弁、Uは流量測定装置、CPは演算制御装置であり、ガス供給装置GFからガス供給管路L、開閉弁V0を通してプロセスチャンバCHへ所定のガス種が切替え供給されている。流量測定装置Uは、ガス供給管路Lの出口端部に設けた開閉弁V0の上流部へ分岐状に且つ解離自在に連結されて居り、ガス供給管路Lへ連結する入口側端部及びガス流出側へ連結する出口側端部とを有する直管状の適宜内径の分岐管路Lbと、分岐管路Lbの出口側に設けた流体圧駆動式のメタルダイヤフラム型開閉弁V’と、開閉弁V’の上流側のガス圧力及びガス温度を検出する圧力検出器Pd及び温度検出器Tdと、圧力検出器Pd及び温度検出器Tdからの検出信号が入力され、分岐管路Lbを流通するガス流量を演算ずる演算制御装置CPと、開閉弁V’へ駆動用流体を供給する電磁弁EVと、電磁弁EVへ駆動用流体を供給する駈装用流体源DGSと、演算制御装置CPへの入出力ボードIOと、電源装置ESとから構成されている。また、流量測定装置Uの圧力検出器Pd及び温度検出器Tdの各検出出力、開閉弁V’の制御信号等は演算制御装置CPへ入出力されており、後述するようにガス流量値の演算及び表示等が行われる。先ず、本願発明者は、図3の如き流量測定ユニットU’を作成し、これを用いて、ビルドアップによりガス圧力を上昇せしめ、ユニットU’内容積1.0996Lの内部のガス温度やガス圧力の変化を調査した。即ち、図1の実施形態に於いて、流量制御器FCSに代えて標準流量調整器を取り付けると共に、流量測定装置Uに代えて図3の流量測定ユニットU’を接続し、先ず開閉弁V02、V0n、V0を閉に、開閉弁V’を開にして、N2ガスを500sccmの流量で一定時間流通させ、N2ガスの流量、圧力、温度の安定を確認したあと、開閉弁V’を閉にして10秒間のビルドアップを行い、その間のユニットU’内のガス温度や圧力等の変化状態を観察した。尚、流量制御器にはフジキン製の流量レンジ1SLMのものを使用しており、ユニットU’の内容積Vは1.0996L既知に設定されている。また、ガス流量N2は500sccm、ビルドアップ時間は10secに設定している。更に外気温度室内温度は21.7°Cであった。図4は、上記上記ビルドアップにおける流量測定ユニットU’内のガス温度やガス圧力等の変化状態を示すものであり、曲線A1は流量制御器の流量出力、A2はガス圧力検出値、A3はガス温度検出値、A4は外気温度室内温度、A5は出口側開閉弁V’の制御信号を示すものである。尚、圧力検出器PdにはMKS製のバラトロンキャパシタンスマノメーターTYPE627DF.S.1000ToRRを、また温度検出器Tdには2.5mm径K熱電対素線タイプを、測定機器にはキーエンス製のデータロガーNR500を使用している。即ち、図4に於いて、t1点に於いて出口側開閉弁V’を閉にしてビルドアップを始めると、t2点に於いてタンク内のガス圧力は30.6Torrから94.1Torrにまで上昇する。また、タンク内のガス温度は徐々に上昇する。今、流量測定ユニットU’の出口側開閉弁V‘の閉鎖ビルドアップ開始時時刻t1第1回計測と、ビルドアップ完了後の時刻t2に於いて、第2回計測を行ってガス流入質量を演算することにより、ビルドアップ中に流入したガスのモル数を標準状態0°C、1aTmにおけるガス体積VGに換算すると、となり、流量測定ユニットU’内へのガス流量Qはとして演算できる。但しΔtはビルドアップ時間であり、Δt=t2-t1である。また、後述するように、上記各計測値から圧力上昇率ΔP/Δtを求め、この圧力上昇率を用いて、全内容積Vを、VΔt×Q×R×T/ΔP但し、Qは流量、Tは温度、Rは気体定数、ΔP/Δtは圧力上昇率であるとして演算する。[第1実施形態]図1及び図2を参照して、ガス供給装置GFの流量制御器FCSの流量測定に際しては、先ず流量測定装置Uをガス供給管路Lへ分岐状に接続する。次に、流量制御器FCS1を測定する場合は、開閉弁V00、V02、V0n、V0を閉鎖し、開閉弁V01、V‘を開にして、流量制御器FCS1から設定流量Qsのガス流を流量測定装置Uへ供給し、真空ポンプVPにより排気する。次に、流量測定装置Uの分岐管路Lb内のガス温度To及びガス圧力Poが落ち着くと、時刻t1に於いて出口側開閉弁V’を閉鎖してガスのビルドアップを開始すると共に、分岐管路Lb内のガス温度T1及びガス圧力P1を検出し、これを演算制御装置CPへ入力する。分岐管路Lb内へのガスのビルドアップが進行し、ガス圧力が設定値P2又は設定時刻t2に達すると、分岐管路Lb内の圧力P2及び温度T2を検出し、その検出値を演算制御装置CPへ入力する。尚、時刻t2における第2回目の圧力及び温度の検出が終れば、その後に出口側開閉弁V’を開放して、分岐管路Lb内のガスを排出する。一方、演算制御装置CPでは、前記検出値P1、T1、P2、T2及びビルドアップ時間ΔtΔt=t2-t1を用いて前記数式3により流量Qが演算され、前記流量調整器FCS1の設定流量Qsと演算流量Qとが対比され、所定の基準に基づいて流量調整器FCS1の流量制御性能の判定や測定が行われる。上記の如き測定操作を各流量制御器FCS1~FCSnについて行うことにより、ガス供給装置GFの流量調整器の測定が行われる。尚、本実施形態では、上記数式3を用いて流量Qの演算を行うようにしているが、上記第1回計測及び第2回計測の計測値から圧力上昇率を算定し、流量QをQ=ΔP/Δt×V/RTとして算出すると共に、当該算出値を基準にして流量制御器FCSの流量制御値の適否を判断するように出来る事は勿論である。本発明に於いては、上記流量Qの演算式に於ける内容積V、即ちプロセスチャンバCHへのガス供給よう開閉弁V0より上流側のガス供給管路Lの内容積と、分岐接続管Ls及び分岐管路Lbの内容積との合計値が既知であるとしているが、ガス供給装置GFの改修等によって上記内容積が変化したような場合には、変化後の内容積Vを測定する必要がある。この場合には、例えば、図2のガス種G0を窒素ガス等の理想気体に近いガスとし、先ず開閉弁V01~V0n、V0を閉、開閉弁V00、V1を開にして、分岐管路Lbへガスを流通させ、その圧力及び温度が設定値に落ち着くと、開閉弁V’を閉鎖して、時刻t1における圧力検出値P1、温度検出値T1を計測する。次に、適宜の時間経過後の時刻t2において圧力検出値P2、温度検出値T2を計測する。そして、上記各計測値から圧力上昇率ΔP/Δtを求め、この圧力上昇率を用いて、全内容積Vを、VΔt×Q×R×T/ΔP但し、Qは流量、Pは流体圧、Tは温度、Rは気体定数、ΔP/Δtは圧力上昇率であるとして演算する。尚、上記実施形態に於いては、流量制御器として圧力式流量制御装置を用いているが、これが熱式流量制御器であっても良い事は勿論である。また、接続用フランジについては、管継手等による接続や、ブロック状の継手部材等を用いた接続であっても良い事は勿論である。開閉弁V’等は、AOV空気作動式バルブを用いているが、電磁弁を用いることで、駆動用流体源DGS、駆動用流体供給管Tu、そして駆動用流体を制御する電磁弁EVを省略することも可能である。"