"一次ポートと二次ポートとに繋がる弁通路を有するハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、前記弁通路を閉じる閉位置と前記弁通路を開く開位置との間で移動して前記弁通路の開度を調整する弁体と、前記弁体を閉位置方向に付勢する復帰用ばねと、印加される印加電圧又は印加電流に応じた駆動力を前記復帰用ばねの付勢に抗するように前記弁体に与えて前記弁体を前記開位置方向に移動させる弁体駆動手段とを備え、前記一次ポートを介して前記弁通路に供給される高圧の燃料ガスの圧力を前記弁体駆動手段の駆動力に応じた圧力に調圧して前記二次ポートから出力するガス用調圧弁において、前記ハウジング内に形成され、前記二次ポートに繋がる圧力帰還室と、前記圧力帰還室の圧力を前記励磁力に抗する方向に受圧し、前記圧力帰還室の圧力に応じて前記弁体を前記閉位置へと移動させる第1シール部材と、前記弁体と前記ハウジングとの間隙に介在し、前記弁体を摺動支持する軸受部材と、前記軸受部材より前記弁通路側に設けられ、前記間隙を封止する第2シール部材と、前記第2シール部材より更に前記弁通路側に設けられ、前記間隙を封止する第3シール部材と、を備え、前記第3シール部材と前記第2シール部材との間には、前記二次ポートに繋がっているバッファ室が形成されている、ガス用調圧弁。前記二次ポートと前記圧力帰還室とは、圧力帰還通路よって繋がっており、前記圧力帰還通路は、前記弁体に形成されている、請求項1に記載のガス用調圧弁。前記二次ポートと前記圧力帰還室とは、圧力帰還通路よって繋がっており、前記圧力帰還通路は、前記ハウジングに形成されている、請求項1に記載のガス用調圧弁。前記圧力帰還通路は、前記バッファ室にも繋がっている、請求項3又は4に記載のガス用調圧弁。前記ハウジングは、前記弁体が前記閉位置に位置する際に着座する弁座部であって、前記開位置方向に対して直交する弁座面を備える弁座部を有し、前記弁体は、前記開位置方向に直交する弁体面で前記弁座面に着座するようになっている、請求項1乃至4の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記弁通路は、前記弁座部と前記弁体との間に形成されるオリフィスより下流側の二次ポートに繋がる二次側通路を有し、前記弁体駆動手段は、前記二次側通路外であって前記弁体を挟んで前記弁座部と反対側の位置に設けられ、前記駆動力によって前記弁体を引き上げて前記開位置方向に移動させるようになっている、請求項5に記載のガス用調圧弁。前記弁座部は、前記二次側通路において前記一次ポート側の開口である弁口の外縁に沿って形成され、前記弁体に向かって前記開位置方向に突出しており、前記弁体は、前記弁座部に対向する位置にシート部材を有しており、前記シート部材は、その一表面が前記弁体面を成し、その弁体面で前記弁座部の頂部に着座するようになっている、請求項6に記載のガス用調圧弁。前記弁体は、前記一次ポートの一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面の受圧面積と前記一次圧を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面の受圧面積とが同一になるように形成されている、請求項1乃至7の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記弁体は、前記一次ポートの一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面の受圧面積が前記一次圧を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面の受圧面積よりも小さくなるように形成されている、請求項1乃至7の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記圧力帰還室は、前記軸受部材に対して前記第2シール部材と反対側に位置しており、前記第1シール部材は、前記軸受部材と前記圧力帰還室との間に位置してそれらの間を塞いでいる、請求項1乃至9の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記圧力帰還室は、前記弁通路と前記弁体駆動手段との間に位置しており、前記第1シール部材は、前記弁体駆動手段と前記圧力帰還室との間に位置してそれらの間を塞いでいる、請求項1乃至10の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記第1シール部材は、ダイアフラムシールであり、前記第2シール部材は、摩擦抵抗が小さい低圧シールである、請求項1乃至11の何れか1つに記載のガス用調圧弁。第3シール部材は、摩擦抵抗が小さく、さらに始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールである、請求項1乃至12の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流がゼロのときは、前記復帰用ばねにより前記弁体を前記閉位置にするノーマルクローズ形になっている、請求項1乃至13の何れか1つに記載のガス用調圧弁。特許文献1に記載の燃料電池システムでは、燃料ガスの圧力を多段階で減圧すべく複数のレギュレータが必要である。しかし、複数のレギュレータを設けると、構成要素が多くなり、またレギュレータを設けるためのスペースが必要である。そうすると、システム全体が大型化してコストが高くなったり、システム全体の重量が大きくなったりする。特に、構成要素のスペースが限られ、軽量化が望まれている自動車では、前述するシステムを搭載することは好ましくない。また、複数のレギュレータを設けることで、システム系の圧力損失が大きくなるので、燃料電池又はガスエンジンの最低作動圧力に対して高圧タンクの使用限界圧力を高めに設定しなければならない。そうすると、高圧タンク内において使用できる燃料ガスの量がレギュレータを設けない場合に比べて少なくなり、自動車の走行航続距離が縮まる。このように、複数のレギュレータを追加すると、様々な不都合が生じる。また、前述のように、従来のインジェクタ及び電磁式調圧弁単体では、それらの上流側圧力が高い時において、低負荷状態で燃料ガスの圧力制御することは困難である。更に、電磁式調圧弁等のシール方式としてダイアフラム方式を用いることがあるが、ダイアフラムシールは一般的に耐圧強度が低いため、高圧の燃料ガスを取り扱う際、ダイアフラムの破損により燃料ガスが大気中に漏れるおそれがある。これに対して、Oリング方式の場合、高圧時における予期しない外的要因により燃料ガスが大気中に漏れるおそれがある。そこで本発明は、高圧の燃料ガス環境下であっても、その二次圧をより正確に目標圧力に調圧可能で、且つ大気中への燃料ガス漏れを防止できるガス用調圧弁を提供することを目的としている。本発明のガス用調圧弁は、一次ポートと二次ポートとに繋がる弁通路を有するハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、前記弁通路を閉じる閉位置と前記弁通路を開く開位置との間で移動して前記弁通路の開度を調整する弁体と、当該弁体を閉位置方向に付勢する復帰用ばねと、印加される印加電圧又は印加電流に応じた駆動力を前記復帰用ばねの付勢に抗するように前記弁体に与えて該弁体を前記開位置方向に移動させる弁体駆動手段とを備え、前記一次ポートを介して前記弁通路に供給される高圧の燃料ガスの圧力を前記弁体駆動手段の駆動力に応じた圧力に調圧して前記二次ポートから出力するガス用調圧弁において、前記ハウジング内に形成され、前記二次ポートに繋がる圧力帰還室と、前記圧力帰還室の圧力を前記駆動力に抗する方向に受圧し、前記圧力帰還室の圧力に応じて前記弁体を前記閉位置へと移動させる第1シール部材と、前記弁体と前記ハウジングとの間の間隙に介在し、前記弁体を摺動支持する軸受部材と、前記軸受部材より前記弁通路側に設けられ、前記間隙を封止する第2シール部材と、前記第2シール部材より更に前記弁通路側に設けられ、前記間隙を封止する第3シール部材と、を備え、前記第3シール部材と前記第2シール部材との間には、前記二次ポートに繋がっているバッファ室が形成されているものである。本発明に従えば、弁体駆動手段の駆動力を変えることで弁通路の開度を変えて二次圧を調圧することができる。この二次圧は、圧力帰還室に導かれており、第1シール部材は、圧力帰還室の二次圧を受圧して弁体を閉位置へと移動させるようになっている。二次圧、駆動力、及び復帰用ばねによる付勢力等、弁体に作用する力が釣り合った状態から二次圧が低下すると、第1シール部材は、弁体を開位置の方に移動させて弁通路の開度を広げて二次圧を昇圧させる。これにより、弁体に作用する力が釣り合う状態に戻る。このように釣り合った状態に戻すことで二次圧が元の圧力に戻される。つまり、二次圧は、弁体駆動手段の駆動力に応じた一定圧力に戻され、一次圧の変動に関わらず前記一定圧力で保持される。従って、ガス用調圧弁は、圧力制御性が高く、高圧の燃料ガスをより正確に目標圧力に可変調圧することができる。また、本発明では、第3シール部材より軸受部材側に第2シール部材が配置されているので、第3シール部材から燃料ガスが漏れても、第2シール部材によって軸受部材側に燃料ガスが漏れることがない。更に、第3シール部材と第2シール部材との間にバッファ室が形成され、このバッファ室が二次ポートに繋がっている。それ故、第3シール部材から燃料ガスが漏れても、バッファ室に入り二次側に導くことができる。このように、ガス用調圧弁は、第3シール部材から漏れた燃料ガスを二次側に導く安全構造となっており、軸受け部材が収容される空間が外部と繋がっていても燃料ガスが外部に放出されることを防ぐことができる。更に、本発明では、軸受部材を設けることで、弁体を円滑に移動させることが可能になり、目標圧力に対する追従性を向上させることができる。そして、間隙において、軸受部材より弁通路側に第2シール部材が設けられているので、燃料ガスが軸受部材の方に流入することがなく、軸受部材が燃料ガスに曝されることがない。これにより、燃料ガスに対する腐食耐性がない材料を軸受部材に使用することが可能になり、選択できる材料が増える。また、例えば軸受部材をグリス潤滑したときに、使用したグリスが燃料ガスと共に二次ポート側に流出することを防ぐことができる。これにより、弁体の円滑な移動を実現するとともに、燃料ガスへのグリスの混入を防ぐことができる。上記発明において、前記二次ポートと前記圧力帰還室とは、圧力帰還通路よって繋がっており、前記圧力帰還通路は、前記弁体に形成されていることが好ましい。上記構成に従えば、ハウジングに圧力帰還通路を形成する必要がなくなり、ハウジングの剛性を向上させ、また燃料ガスが大気に漏れでることを抑えることができる。また、本発明の別形態として、前記二次ポートと前記圧力帰還室とは、圧力帰還通路よって繋がっており、前記圧力帰還通路は、前記ハウジングに形成されていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体に通路を形成する必要がなくなるので、弁体の径を小さくすることができる。これにより、ガス用調圧弁自体を小形化することができる。上記発明において、前記圧力帰還通路は、前記バッファ室にも繋がっていることが好ましい。上記構成に従えば、バッファ室に漏れた燃料ガスを圧力帰還通路によって二次側に導くことができる。これにより、圧力帰還通路とは別の通路を形成する必要がなくなり、弁体及びハウジングの小形化を図ることができる。つまり、ガス用調圧弁の小形化を図ることができる。上記発明において、前記ハウジングは、前記弁体が前記閉位置に位置する際に着座する弁座部であって、前記開位置方向に対して直交する弁座面を備える弁座部を有し、前記弁体は、前記開位置方向に直交する弁体面で前記弁座面に着座するようになっていることが好ましい。上記構成に従えば、弁座部の弁座面及び弁体の弁体面がともに開位置方向に直交しているので、繰り返し使用して弁座部又は弁体が経年的に変形しても開位置方向に塑性変形する。それ故、繰り返して使用してもシート径が殆ど変わることがなく、調圧特性が変化しない。それ故、信頼性、及び調圧特性の安定性を向上させることができる。上記発明において、前記弁通路は、前記弁座部と前記弁体との間に形成されるオリフィスより下流側の二次ポートに繋がる二次側通路を有し、前記弁体駆動手段は、前記二次側通路外であって前記弁体を挟んで前記弁座部と反対側の位置に設けられ、前記駆動力によって前記弁体を引き上げて前記開位置方向に移動させるようになっていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体駆動手段により前記弁体を挟んで弁体面と反対側から前記弁体を引いて開位置方向に移動させることができるプル型構造でガス用電磁式調圧弁が構成されているので、弁体の弁体面側にある二次側通路外に弁体駆動手段を配置することができる。これにより、弁体駆動手段を二次側通路に配置して弁体を開位置方向に押すようなプッシュ型構造の電磁式調圧弁と同じ二次側通路の流路面積を確保しつつ、プッシュ型構造の電磁式調圧弁よりもオリフィスの径即ち、シート径を小さくすることができる。このようにシート径を小さくすることで弁体のストロークに対する弁通路開度の変化を小さくできる。それ故、プッシュ型構造のガス用電磁式調圧弁よりも弁通路開度の微調整ができるようになり、ガス用電磁式調圧弁の調圧精度の安定性を向上させることができる。上記発明において、前記弁座部は、前記二次側通路において前記一次ポート側の開口である弁口の外縁に沿って形成され、前記弁体に向かって前記開位置方向に突出しており、前記弁体は、前記弁座部に対向する位置にシート部材を有しており、前記シート部材は、その一表面が前記弁体面を成し、その弁体面で前記弁座部の頂部に着座するようになっていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体は移動部材であるため着座位置にバラツキがあるが、弁座部を突出させているので、弁体の弁体面を広くすることで多少のバラツキがあっても弁体を弁座部に確実に着座させることができる。また、弁口の外縁に沿って弁座部が形成されているので、弁口の内径寸法と弁座部の内径寸法とを略一致させることができる。これにより、必要な流路面積を確保しつつシート径を小さくすることができ、ガス用電磁式調圧弁の調圧精度の安定性を向上させることができる。上記発明において、前記弁体は、前記一次ポートの一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面の受圧面積と前記一次圧を前記閉方向の方に受圧する第2受圧面の受圧面積とが同一になるように形成されていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体が一次圧から受ける作用力を相殺することができる。これにより、一次圧の変動に起因する二次圧の変動を無くすことができ、二次圧の圧力制御性を更に向上させることができる。また、弁体駆動手段の駆動力を小さくすることができる。それ故、ガス用調圧弁を小形化することができる。上記発明において、前記弁体は、前記一次ポートの一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面の受圧面積が前記一次圧を前記閉方向の方に受圧する第2受圧面の受圧面積よりも小さくなるように形成されていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体が一次圧から閉位置方向への作用力を受けるようになる。これにより、一次圧が急激に変動して高くなっても、弁体が開位置の方に移動して弁通路が開くようなことがない。また、弁体が一次圧から閉位置方向への作用力を受けることで、弁体駆動手段が作動しないとき、弁体が閉位置にて保持される。それ故、弁通路をしっかり閉じることができ、弁体駆動手段が作動していないときに燃料ガスが一次側から二次側に漏れることを防ぐことができる。上記発明において、前記圧力帰還室は、前記軸受部材に対して前記第2シール部材と反対側に位置しており、前記第1シール部材は、前記軸受部材と前記圧力帰還室との間に位置してそれらの間を塞いでいることが好ましい。上記構成に従えば、圧力帰還室に導かれた燃料ガスが軸受部材の方に流入することを第1シール部材によって防ぐことができる。これにより、軸受部材に使用する材料の選択が増加し、軸受部材をグリス潤滑してもグリスが燃料ガスに混入することがない。また、本発明の別形態として、前記圧力帰還室は、前記弁通路と前記弁体駆動手段との間に位置しており、前記第1シール部材は、前記弁体駆動手段と前記圧力帰還室との間に位置してそれらの間を塞いでいることが好ましい。上記構成に従えば、弁体駆動手段側に燃料ガスが流れることを防ぐことができる。これにより、弁体駆動手段が燃料ガスに曝されることを防ぐことができ、燃料ガスが腐食性流体の場合、弁体駆動手段の構成部材が腐食することを防ぐことができる。また、弁体駆動手段を大気中に配しても、燃料ガスが弁体駆動手段を介して大気に流出することを防ぐことができる。上記発明において、前記第1シール部材は、ダイアフラムシールであり、前記第2シール部材は、摩擦抵抗が小さい低圧シールであることが好ましい。上記構成に従えば、第1シール部材にダイアフラムシールを採用することで、第1シール部材による摺動摩擦を無くすことができる。また、第2シール部材に摩擦抵抗の小さい低圧シールを採用することで、摺動摩擦を抑えることができる。これにより、弁体を滑らかに動かすことができ、一次圧が変動したときや駆動力を変更した時等、駆動力に応じた一定圧に二次圧を素早く調圧することができる。従って、二次圧の応答性を向上することができる。上記発明において、第3シール部材は、摩擦抵抗が小さく、さらに始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールであることが好ましい。上記構成に従えば、弁体を滑らかに動かすことができると共に、弁体の応答性を向上させることができる。また、高圧シールであるので、一次圧に対する耐圧性能が向上し、一次ポートから供給される一次圧の限界圧力を向上させることができる。上記発明において、前記弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流がゼロのときは、前記復帰用ばねにより前記弁体を前記閉位置にするノーマルクローズ形になっていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流を遮断することで、弁通路を緊急遮断することができる。本発明によれば、高圧の燃料ガス環境下であっても、その二次圧をより正確に目標圧力に調圧可能で、且つ大気中への燃料ガス漏れを防止できるガス用調圧弁を提供することができる。以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の第1~第22実施形態に係る調圧弁1,1A~1V、及びそれを備える燃料ガス供給システム2を説明する。なお、実施形態における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、調圧弁1,1A~1V及び燃料ガス供給システム2に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下に説明する調圧弁1,1A~1V及び燃料ガス供給システム2は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。[燃料ガス供給システム]燃料ガス供給システム2は、水素ガスや圧縮天然ガス等の燃料ガスが高圧で貯蔵される高圧タンク3に設けられている。燃料ガス供給システム2は、燃料電池やガスエンジン等の燃料ガス消費器に繋がっており、高圧の燃料ガスを所望の低圧に調圧して燃料ガス消費器に供給するようになっている。このように構成される燃料ガス供給システム2は、容器元弁4、圧力センサ5、及び演算制御器6を備えている。容器元弁4は、オンタンク型で構成され、高圧タンク3の開口部に設けられている。なお、容器元弁4は、オンタンク型に限られず、インタンク形であってもよい。容器元弁4は、電磁式調圧弁1と電磁式遮断弁7とを有している。電磁式遮断弁7は、高圧タンク3から燃料ガス消費器に繋がる供給路2aに設けられている。電磁式遮断弁7は、いわゆる電磁開閉弁であり、そこに送信される信号に応じて供給路2aを開閉する機能を有している。また、供給路2aには、電磁式遮断弁7の下流側に電磁式調圧弁1が設けられている。電磁式調圧弁1は、高圧の燃料ガスを調圧する機能を有している。更に、供給路2aには、電磁式調圧弁1より下流側に圧力センサ5が設けられている。圧力センサ5は、供給路2aに流れる燃料ガスの圧力を検出するようになっている。圧力センサ5は、信号線8を介して演算制御器6に繋がっており、検出された圧力に応じた検出圧力信号が演算制御器6に入力されるようになっている。また、演算制御器6には、目標圧力に応じた目標圧力指令信号が図示しない入力手段や制御装置等から入力されるようになっている。演算制御器6は、目標圧力指令信号と検出圧力信号との差分を演算し、この差分に応じた大きさの電流を電磁式調圧弁1に流すようになっている。電磁式調圧弁1は、流された電流に応じた一定圧力に高圧の燃料ガスを調圧するようになっている。以下では、燃料ガス供給システム2に設けられる電磁式調圧弁1について詳述する。なお、第1実施形態の電磁式調圧弁1は、燃料ガス供給システム2に設けられる電磁式調圧弁の一例に過ぎず、他に様々な実施形態がある。以下では、第1実施形態の電磁式調圧弁1に続けて、幾つかの代表的な実施形態について詳述する。[第1実施形態]<電磁式調圧弁の構成>図2に示す第1実施形態の電磁式調圧弁1は、ハウジング12を備えている。ハウジング12は、高圧タンク3図1参照の開口部にシールを達成した状態で取付けられている。ハウジング12には、一次ポート12a、弁体孔12b、及び二次ポート12cが形成されている。一次ポート12aは、電磁式遮断弁7図1参照に繋がっており、ハウジング12に形成されている一次側通路12dを介して弁体孔12bに繋がっている。弁体孔12bは、上下に延在する軸線L1に沿って延在しており、下側が塞がり、上側が開口している。弁体孔12bは、その断面が円形状になっており、その中間部分に残余部より大径に形成された弁空間12eを有している。一次側通路12dは、この弁空間12eに繋がっている。また、弁体孔12bは、ハウジング12に形成されている二次側通路12fを介して二次ポート12cに繋がっている。二次側通路12fは、前記弁空間12eより上側の二次側領域12gにて前記弁体孔12bと繋がっている。そして、二次ポート12cは、供給路2a図1参照を介して燃料ガス消費器と繋がっている。このように一次ポート12aと二次ポート12cとは、一次側通路12d、弁空間12e、二次側領域12g及び二次側通路12fを介して繋がっている。これら一次側通路12d、弁空間12e、二次側領域12g及び二次側通路12fによって、一次ポート12aと二次ポート12cとを繋ぐ弁通路13が構成されている。このように構成されているハウジング12は、座部15を有している。座部15は、二次側領域12gと弁空間12eとを繋ぐ開口付近に位置しており、この開口の周りを外囲するように形成されている。また、ハウジング12には、弁体孔12bの軸線L1に沿って弁体14が挿入されており、弁体14は、その先端部つまり、上端部14aを二次側領域12gに挿入した状態で座部15に着座している。弁体14は、大略的に円柱状になっており、先端部14a側にテーパ部14bを有している。テーパ部14bは、上側に向かって先細りのテーパ形状になっており、弁体14が図2に示すような閉位置に位置しているときに座部15に着座し、弁通路13を塞いでいる。弁体14のテーパ部14bより下端14d側は、二次側領域12gの内径と略同じの外径を有している。また、ハウジング12は、弁空間12eの下側にシール取付部16を有している。シール取付部16は、ハウジング12の内面に周方向全周にわたって形成されている。シール取付部16の内径は、二次側領域12gの孔径及び弁体14の外径と略一致している。また、ハウジング12のシール取付部16より下側の内径は、シール取付部16の内径より大径になっている。これにより、ハウジング12と弁体14との間には、大略円環状の軸受部材収容空間17が形成され、この軸受部材収容空間17には、軸受部材18が収容されている。軸受部材18は、大略的に円筒状に形成されており、例えばボールガイド、ボール軸受、又はすべり軸受によって構成されている。軸受部材18は、弁体14に外装されて弁体14とハウジング12との間に介在し、弁体14を支持している。この軸受部材18により、弁体14は、ハウジング12内を軸線L1に沿って上下方向に円滑に移動できるようになっている。なお、軸受部材18は、弁体14の動きを更に滑らかにし、且つ耐久性を向上させるべくグリス潤滑されている。このように軸受部材18が配置された軸受部材収容空間17の下側には、そこを塞ぐべく、ダイアフラムシール19が設けられている。第1シール部材であるダイアフラムシール19は、いわゆるダイアフラムであり、大略的に円環状になっている。ダイアフラムシール19の外縁部がハウジング12に取付けられ、内縁部が弁体14に取付けられている。詳述すると、ハウジング12は、上下に2つに分割可能に構成されており、それら2つの部分の間にダイアフラムシール19の外縁部が挟まれることでハウジング12に取付けられている。また、ダイアフラムシール19の内縁部は、弁体14の下端部とそこに取り付けられた取付け部材14cとで挟むことで、弁体14に取付けられている。そして、ハウジング12のシール取付部16には、軸受部材収容空間17の上側を塞ぐべく高圧シール部材20が設けられている。第3シール部材である高圧シール部材20は、摩擦抵抗が少なく、始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールであり、例えば、フッ素樹脂等により表面処理されたOリングである。高圧シール部材20は、シール取付部16の内周部に嵌め込むように取付けられ、弁体14とシール取付部16との間の間隙を封止している。また、シール取付部16には、低圧シール部材21が設けられている。第2シール部材である低圧シール部材21は、大略円環状のOリングであり、摩擦抵抗を小さくすべく樹脂等により表面処理がされている。低圧シール部材21は、高圧シール部材20より軸受部材18側に位置しており、シール取付部16の内周部に嵌め込むように取付けられている。低圧シール部材21は、シール取付部16と弁体14との間の間隙を封止し、高圧シール部材20と低圧シール部材21との間にバッファ室22を形成している。バッファ室22は、高圧シール部材20の上側と下側の圧力差を小さくして高圧シール部材20周辺からの漏れを抑制するとともに、弁体14の移動時に高圧シール部材20の周辺から漏れ出た燃料ガスを捕捉するようになっている。また、捕捉された燃料ガスは、バッファ室22と軸受収容空間17との間が低圧シール部材21によって封止されているため、軸受収容空間17の方へと漏れ出ることないようになっている。なお、高圧シール部材20及び低圧シール部材21は、弁体14の外周部に嵌め込むように取り付けてもよい。このように上下両側がダイアフラムシール19、及び低圧シール部材21により塞がれた軸受部材収容空間17は、ハウジング12内に形成されている他の空間例えば、弁空間12eや二次側領域12g等から遮断されて隔てられている。このように隔てられている軸受部材収容空間17は、ハウジング12に形成された大気連通路23により大気に開放されている。それ故、軸受部材18を潤滑するグリスは、燃料ガスに曝されることがなく、また、ハウジング12内の他の空間、例えば弁空間12eや二次ポート12cに漏れることがない。従って、グリスの枯渇を抑制し、軸受部材18の潤滑状態を良好に維持することができる。これにより、軸受部材18の耐久性を向上させ得ると共に、弁体14を円滑に移動させることができる。また、グリスが燃料ガスに混入することも防ぐことができる。また、弁体孔12bのダイアフラムシール19より下側には、圧力帰還室24が形成されている。圧力帰還室24は、ハウジング12の底部、ダイアフラムシール19及び弁体14の下端部によって囲まれた大略円板状の空間である。圧力帰還室24と軸受部材収容空間17との間にダイアフラムシール19が位置しており、それらの間がダイアフラムシール19によって塞がれている。また、圧力帰還室24は、均圧通路25によって弁通路13の二次側領域12gに繋がっている。均圧通路25は、弁体14内に形成されており、帰還室側連通部25aと、二次側連通部25bと、帰還部25cとを有している。帰還室側連通部25aは、圧力帰還室24に開口しており、そこから弁体14の軸線本実施形態では、軸線L1に略一致に沿って先端部14aまで延在している。そして、帰還室側連通部25aは、弁体14の先端部14aに形成されている二次側連通路25bに繋がっている。二次側連通部25bは、弁体14を半径方向に貫通するように延在しており、その両端が二次側領域12gに開放されている。帰還部25cは、弁体14を半径方向に貫通しており、内側で帰還室側連通部25aに繋がり、その両端がバッファ室22に開口している。これによりバッファ室22は、均圧通路25を介して圧力帰還室24や二次側領域12gに繋がっている。このように、均圧通路25は、二次ポート12cと圧力帰還室24とを繋ぎ、圧力帰還室24に二次圧p2を供給する。また、均圧通路25は、二次ポート12cとバッファ室22とを繋ぎ、バッファ室22に漏れ出た燃料ガスを圧力帰還室24や二次ポート12cに導くようになっている。即ち、バッファ室22に捕捉された燃料ガスは、均圧通路25を介して二次側領域12gに戻るようになっている。つまり、電磁式調圧弁1は、弁空間12e等の一次側の領域から漏れた燃料ガスを外側へ漏れさせることなく二次側の領域へと戻すことができる安全構造の弁となっている。なお、二次圧p2は大気圧との差圧が小さいため、低圧シール部材21周辺から軸受収容空間17への漏れは殆どない。それ故、バッファ室22の二次圧p2が大気へと漏れ出ることを防ぐことができる。また、弁体14は、フランジ14eを有している。フランジ14eは、テーパ部14bより下側に周方向全周にわたって形成されており、テーパ部14bから更に半径方向外方に向かって突出している。フランジ14eは、シール取付部16の上端に対向するように位置している。フランジ14eとシール取付部16の上端との間には、復帰用ばね26が配置されている。復帰用ばね26は、いわゆる圧縮コイルばねであり、圧縮された状態で弁体14に外装され、弁体14を閉位置方向弁体14が閉位置に向かう方向に付勢している。付勢された弁体14は、座部15に着座し、弁通路13を塞いでいる。ハウジング12の開口端部即ち、上端部には、復帰用ばね26の付勢に抗する力を弁体14に与えるべく、電磁比例ソレノイド27が設けられている。弁体駆動手段である電磁比例ソレノイド27は、ハウジング12の開口端部の外周に螺合して固定されている。電磁比例ソレノイド27は、ソレノイドコイル28を有している。ソレノイドコイル28は、大略的に円筒状に形成され、その下端側にハウジング12が嵌挿されている。ソレノイドコイル28は、大略円筒状のケース28aを有し、その中にボビン28bとコイル線28cとが設けられている。ボビン28bもまた大略円筒状に形成され、このボビン28bにコイル線28cに巻きつけることによってソレノイドコイル28が構成されている。このソレノイドコイル28内には、下端部にヨーク29が設けられ、上端部がカバー30によって塞がれている。そして、ヨーク29とカバー30との間に可動部材31が設けられている。可動部材31は、磁性材料か成り、大略円柱状に形成されている。可動部材31は、軸線L1に沿って配置されている。可動部材31の外径は、ソレノイドコイル28の内径より小さくなっており、可動部材31とソレノイドコイル28との間には、円環状のガイド部材32が介在している。ガイド部材32は、非磁性体から成り、可動部材31を軸線L1に沿って上下方向に摺動可能に支持している。ヨーク29は、この可動部材31の下端部と間隔をあけた状態で上下に対向している。ヨーク29は、磁性材料、例えば電磁ステンレス鋼から成り、大略円環状に形成されている。ヨーク29は、ソレノイドコイル28に電流を流すことで磁化し、可動部材31を吸引するようになっている。また、可動部材31の上端部とカバー30との間には、圧縮コイルばね34が設けられており、圧縮コイルばね34により可動部材31が弁体14側へと付勢されている。可動部材31の下端部には、押圧部材33が設けられている。押圧部材33は、軸線L1に沿って延在し、ヨーク29内に挿通されている。押圧部材33の基端部は、可動部材31に固定されている。押圧部材33の先端は、部分球面状に形成されている。押圧部材33は、可動部材31を介して圧縮コイルばね34により付勢され、その先端が弁体14の先端部14aに押し付けられて当接している。このように配置されている押圧部材33は、ソレノイドコイル28に電流を流して可動部材31をヨーク29の方に吸引させることで電流に応じた力で弁体14を開位置方向に押して弁通路13を開くようになっている。このように構成されている電磁式調圧弁1は、弁体14のテーパ部14b及びフランジ14eの上面第1受圧面に相当する受圧面P1で高圧タンク3から弁空間12eに導かれた一次圧p1を開位置方向に受圧し、フランジ14eの下面第2受圧面に相当する受圧面P2において、前記一次圧p1を閉位置方向に受圧している。なお、受圧面P1は、平面視でテーパ面において二次側領域12gより半径方向外側の領域である。各受圧面P1,P2において、一次圧p1は、互いに抗する方向に作用しており、互いに打ち消し合っている。受圧面P1,P2の受圧面積は、弁体14のフランジ14eより下端14d側と二次側領域12gの内径つまり、シート径とが略同じ外径を有しているので、略同一になっている。それ故、受圧面P1で受ける一次圧p1による作用力と、受圧面P2で受ける一次圧p1による作用力とが互いに相殺され、弁体14における一次圧p1の変動による影響を防ぐことができる。また、電磁式調圧弁1は、弁体14の先端及びテーパ部14bのテーパ面受圧面P3において二次側領域12gを流れる二次圧p2を開位置方向に受圧し、ダイアフラムシール19及び弁体14の下端14d受圧面P4において圧力帰還室24に導かれた二次圧p2を閉位置方向に受圧する。なお、受圧面P4は、平面視で二次側領域12gに重なる領域である。また、受圧面P3,P4でにおいて、二次圧p2は、互いに抗する方向に作用している。しかし、弁体14は、シート径r1と略同じ外径r2を有し、ダイアフラムシール19の有効径r3が前記シート径r1及び弁体14の外径r2より大きくなっている。その故、二次圧p2を開位置方向に受圧する受圧面P3に比べて二次圧p2を閉位置方向に受圧する受圧面P4の方がダイアフラムシール19の有効面積の分だけ受圧面積が大きくなっている。これにより、弁体14には、各受圧面P3,P4で受ける二次圧p2による作用力が完全に相殺されず、各受圧面P3,P4における受圧面積の差に応じた作用力が閉位置方向に作用している。また、弁体14は、復帰用ばね26に閉位置方向に付勢されて座部15に着座している。このように弁体14が二次圧p2による作用力及び復帰用ばね26によって閉位置方向に付勢されており、電磁式調圧弁1は、ノーマルクローズ形の弁として構成されている。これにより、ソレノイドコイル28流す電流を遮断することで弁通路13を緊急遮断することができるようになっている。<電磁式調圧弁の動作>以下では、図2を参照しながら電磁式調圧弁1の動作について説明する。ソレノイドコイル28に電流を流すと、可動部材31に励磁力駆動力が作用し、可動部材31がヨーク29の方へ吸引される。これにより、弁体14が押圧部材33によって開位置方向に押されて座部15から離れる。そうすると、弁通路13が開かれ、弁空間12eの燃料ガスが二次側領域12gへと流れる。この際、弁体14と座部15との間に形成されるオリフィス図示せずにより弁空間12eから二次側領域12gに流れる燃料ガスが二次圧p2に減圧される。このように、電磁式調圧弁1は、ソレノイドコイル28に電流を流すと、弁体14が押圧部材33によって押されて弁通路が開くように構成されているつまり、プッシュ型の電磁式調圧弁である。二次側領域12gの燃料ガスは、二次側通路12fを通って二次ポート12cから排出されると共に、均圧通路25を通って圧力帰還室24に導かれる。ダイアフラムシール19は、圧力帰還室24に導かれた燃料ガスの二次圧p2を受圧する。弁体14は、可動部材31が受ける励磁力、受圧面P3,P4で夫々受ける二次圧p2による作用力、及び復帰用ばね26のばね力が釣り合う位置まで移動する。つまり、前記力が釣り合うように弁通路13の開度つまり、オリフィスの開度を調整して二次側領域12gに流れる燃料ガスの二次圧p2を調整する。これにより、二次圧p2がソレノイドコイル28に流す電流に応じた圧力つまり、目標圧力になる。例えば、二次圧p2が目標圧力より低い場合、励磁力が二次圧p2による作用力より大きくなり、弁体14が座部15から離れるように開位置方向に移動する。弁体14は、二次圧p2による作用力、励磁力、及び復帰用ばね26のばね力が釣り合う位置まで移動し、それに伴って弁通路13の開度が広がって二次圧p2が上昇する。これにより、二次圧p2が目標圧力に調圧される。それ故、電磁式調圧弁1は、一次圧p1が変動してもそれに合わせて弁通路13の開度を制御し、二次圧p2を目標圧力に調圧することができる。そのため、一次圧p1を予め一定圧に減圧しなくても電磁式調圧弁1単体で、高圧の燃料ガスを低圧の目標圧力まで減圧して調圧することができる。従って、電磁式調圧弁1は、圧力制御性が高い。また、電磁式調圧弁1では、受圧面P1及び受圧面P2の受圧面積を略同一にしているので、弁体14が一次圧p1から受ける作用力を相殺されている。これにより、一次圧p1の変動に起因する二次圧p2の変動を抑えることができる。それ故、高圧の燃料ガスに対する圧力制御性を向上させることができ、二次圧p2を従来の電磁式調圧弁より正確に制御することができる。また、一次圧p1から受ける作用力を相殺することで、電磁比例ソレノイド27の励磁力を小さくすることができ、電磁式調圧弁1を小形化することができる。また、電磁式調圧弁1では、一次圧p1と二次圧p2との差圧が大きいので、弁体14が移動したときに、高圧シール部材20において弁空間12eからバッファ室22に燃料ガスに僅かに漏れ出ることがある。しかし、電磁式調圧弁1は、高圧シール部材20より軸受部材収容空間17側に低圧シール部材21が配置されているので、高圧シール部材20から燃料ガスが漏れても、低圧シール部材21によって軸受部材収容空間17に燃料ガスが漏れることがない。更に、バッファ室22が均圧通路25を介して圧力帰還室24や二次側領域12g等に繋がっており、高圧シール部材20で漏れ出た燃料ガスを二次側へと戻す安全構造となっている。それ故、高圧シール部材20から漏れ出た燃料ガスが電磁式調圧弁1の外部に放出されることがない。つまり、大気中に燃料ガスが漏れ出ることがない。また、ダイアフラムシール19を採用することで、弁体14移動時の摺動摩擦を無くすことができる。また、摩擦抵抗の少ない低圧シール部材21を採用することで、極力、摺動摩擦を抑えることができる。このように弁体14に作用する摺動摩擦を抑えることで弁体14を滑らかに動かすことができる。これにより、目標圧力に二次圧を素早く調圧することができるようになり、二次圧の応答性が向上する。更に、高圧シール部材20を採用することで、電磁式調圧弁1の一次圧p1に対する耐圧性能が向上し、一次ポート12aから供給される一次圧の限界圧力を向上させることができる。また、燃料ガス供給システム2では、電磁式調圧弁1の上流側に電磁式遮断弁7を設けることで、遮断機能を有する2つの弁1,7によって高圧タンク3と燃料ガス消費器との間を遮断することができる。これにより、燃料ガス供給システム2の安全性が向上する。また、高圧タンク3の開口部に電磁式調圧弁1を配置することで、高圧タンク3からの出力圧力レベルが低圧になり、燃料ガス供給システム2の安全性が大幅に向上する。[第2実施形態]本発明の第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と構成が類似している。そこで、第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aの構成に関して第1実施形態の電磁式調圧弁1と異なる構成についてだけ説明し、同一の構成については、同一の符合を付して説明を省略する。第3実施形態以降についても同様である。本発明の第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aは、図3に示すようにハウジング12Aに圧力帰還通路35を有している。圧力帰還通路35は、弁通路13の二次側通路12fと圧力帰還室24とを繋ぐように形成されており、圧力帰還室24に二次圧p2を導くようになっている。また、弁体14Aでは、均圧通路25Aの帰還室側連通部25aの下側即ち、圧力帰還室側の開口が閉じられており、バッファ室22が二次側領域12gだけに繋がっている。このように構成される第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第3実施形態]本発明の第3実施形態に係る電磁式調圧弁1Bは、図4に示すように弁体14Bを有している。弁体14Bは、高圧シール部材20及び低圧シール部材21との間に半径方向内方に凹む周回溝36が形成されている。周回溝36は、弁体14Bの外周に全周にわたって形成されており、ハウジング12Bの内周面と共に高圧シール部材20及び低圧シール部材21との間にバッファ室22Bを形成している。また、ハウジング12Bには、圧力帰還通路35Bが形成されている。圧力帰還通路35Bは、二次側通路12fと圧力帰還室24とを繋ぐと共に、二次側通路12fとバッファ室22Bとも繋いでいる。これにより、圧力帰還通路35Bにより圧力帰還室24に二次圧p2を導くことができると共に、バッファ室22に漏れ出た燃料ガスを二次側に戻すことができる。このように構成される第3実施形態に係る電磁式調圧弁1Bは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第4~第6実施形態]本発明の第4~第6実施形態に係る電磁式調圧弁1C~1Eは、第1~第3実施形態に係る電磁式調圧弁1,1A,1Bに夫々類似している。第4~第6実施形態に係る電磁式調圧弁1C~1Eは、第1~第3実施形態に係る電磁式調圧弁1,1A,1Bと同じ点で夫々異なっている。以下では、その異なる点についてだけ説明し、同一の構成については説明を省略する。第4~第6実施形態に係る電磁式調圧弁1C~1Eは、図5~図7に示すように、弁体14C~14Eを夫々有している。弁体14C~14Eは、先端部14aがハウジング12,12A、12Bの開口付近まで延在している。弁体14C~14Eの先端部14aには、軸受部材37が外装されている。軸受部材37は、大略円筒状になっており、例えばボールガイド、ボール軸受、又はすべり軸受によって構成されている。軸受部材37は、先端部14aとハウジング12との間に介在して弁体14C~Eを支持している。これにより、弁体14C~Eが上下方向に円滑に移動できるようになっている。このように構成される第4~第6実施形態に係る電磁式調圧弁1C~1Eでは、弁体14C~14Eの上下両端部が軸受部材18,37によって夫々支持されるので、弁体14C~14Eを精度よく動かすことができるので、より圧力制御性を向上させることができる。その他、第4~第6実施形態に係る電磁式調圧弁1C~1Eは、第4~第6実施形態に係る電磁式調圧弁1,1A,1Bと同様の作用効果を夫々奏する。[第7実施形態]第7実施形態に係る電磁式調圧弁1Fでは、図8に示すように、弁体14Fの先端部14aがハウジング12の開口付近まで延在しており、この先端部14aに押圧部材33Fの先端部が螺合により接合されている。また、ハウジング12Fの開口付近には、ダイアフラムシール19Fが設けられている。ダイアフラムシール19Fの外縁部は、ハウジング12Fに取付けられ、内縁部が弁体14Fに取付けられている。詳述すると、ダイアフラムシール19Fの外縁部は、上下に2つに分割されるハウジング12Fの各部位の間に挟まれ、また内縁部は、押圧部材33Fと弁体14との間に挟まれている。ダイアフラムシール19Fが設けられているハウジング12Fの開口付近は、二次側領域12gの内径より大きい内径を有しており、圧力帰還室24Fを形成している。この圧力帰還室24Fは、二次側領域12gと電磁比例ソレノイド27の内空間27aとの間に位置している。また、圧力帰還室24Fと電磁比例ソレノイド27の内空間電磁比例ソレノイド27内の空間27aとの間には、ダイアフラムシール19Fが位置しており、それらの間がダイアフラムシール19Fによって塞がれている。なお、圧力帰還室24Fが電磁比例ソレノイド27側にあるので、均圧通路25Fは、二次側領域12gとバッファ室22とを繋ぐように構成されている。このように構成される第7実施形態に係る電磁式調圧弁1Fは、他の実施形態に係る電磁式調圧弁1,1A~1Eと同様に、ダイアフラムシール19Fにおいて二次圧p2を閉位置方向に受けている。ダイアフラムシール19Fの有効受圧面積が弁体14Fの受圧面P4の受圧面積よりも大きくなっている。それ故、二次圧p2に応じて弁通路13の開度を調整、二次圧p2を目標圧力に制御することができる。また、第7実施形態に係る電磁式調圧弁1Fは、圧力帰還室24Fと電磁比例ソレノイド27の内空間27aとの間がダイアフラムシール19Fにより塞がれているので、燃料ガスがハウジング12から電磁比例ソレノイド27の内空間27aに流れ出ることがない。それ故、燃料ガスが電磁比例ソレノイド27の内空間27aを介して大気中に放出されることが無いので、電磁比例ソレノイド27を大気に配置することができる。このように電磁比例ソレノイド27を大気に配置できるので、燃料ガスに水素ガス等の腐食性流体を使用した時に、その腐食性流体に電磁比例ソレノイド27の各構成部材が曝露されることを防ぐことができる。それ故、各構成部材が腐食することを防ぐことができる。その他、第7実施形態に係る電磁式調圧弁1Fは、第7実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第8実施形態]第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gは、図9に示すように、ハウジング12Gには、軸線L1に沿って弁体孔12bが形成され、弁空間12eの下側に二次側領域12gがある。また、ハウジング12Gは、二次側領域12gにおける弁空間12e側の開口付近に座部15Gを有しており、座部15Gは、その開口の周りを外囲するように形成されている。更に、ハウジング12Gの弁体孔12bには、軸線L1に沿って弁体14Gが挿入されている。弁体14Gは、その下端側に下方に向うにつれて先細りになっているテーパ部14bを有しており、テーパ部14bの先端部分を二次側領域12gに突っ込んだ状態で座部15Gに着座している。ハウジング12Gは、弁空間12eより上側に軸受部材収容空間17を有し、それらの間にシール取付部16を有している。シール取付部16には、第1実施形態の場合と同様に、弁空間12e側に高圧シール部材20が設けられ、軸受部材収容空間17側に低圧シール部材21が設けられている。そして、高圧シール部材20と低圧シール部材21との間には、バッファ室22が形成されている。また、軸受部材収容空間17には、大略円筒状の軸受部材18が弁体14Gに外装された状態で収容されている。軸受部材18は、ハウジング12Gと弁体14Gとの間に介在して弁体14Gを支持している。これにより、弁体14Gが上下方向に円滑に移動できるようになっている。また、ハウジング12Gの開口端部の外周には、電磁比例ソレノイド27Gが螺合して固定されている。電磁比例ソレノイド27Gは、ソレノイドコイル28と固定磁極29Gを有している。固定磁極29Gは、ソレノイドコイル28の上側開口部にそこを塞ぐように設けられている。また、ソレノイドコイル28内には、可動部材31Gが設けられている。可動部材31Gは、磁性材料か成る大略円柱状の部材である。可動部材31Gは、その上端が固定磁極29Gに対向し、その下端側がハウジング12Gの弁体孔12bに挿入されている。可動部材31Gとソレノイドコイル28との間には、非磁性体から成る円環状のガイド部材32が介在している。可動部材31Gの下端は、弁体14Gの上端部まで達しており、その下端に弁体14Gの上端部が螺合されて固定されている。また、ハウジング12Gの弁体孔12bでは、その開口端部と軸受部材収容空間17との間が弁空間12eと同様に大径になっており、そこには、ダイアフラムシール19Gが設けられている。ダイアフラムシール19Gは、軸受部材収容空間17の上側に位置しており、その外縁部がハウジング12Gに取付けられ、内縁部が弁体14Gに取付けられている。詳述すると、ダイアフラムシール19Gの外縁部は、上下に2つに分割されるハウジング12Gの各部位の間に挟まれ、また内縁部は、可動部材31Gと弁体14Gとの間に挟まれている。これによりハウジング12Gの弁体孔12bにおいてダイアフラムシール19Gより上側の領域が圧力帰還室24Gになる。また、ハウジング12Gには、圧力帰還通路35Gが形成されており、この圧力帰還通路35Gによって圧力帰還室24Gと二次側領域12gとが繋がっている。これにより、圧力帰還室24Gに二次圧p2が導かれる。また、可動部材31Gは、その下端側の外周面にフランジ31aを有している。フランジ31aは、半径方向外方に突出しており、周方向全周にわたって形成されている。ハウジング12Gは、フランジ31aの上面に対向する位置に受け部12hを有している。この受け部12hとフランジ31aとの間には、復帰用ばね26Gが配置されている。復帰用ばね26Gは、いわゆる圧縮コイルばねであり、圧縮された状態で可動部材31Gに外装され、可動部材31Gを介して弁体14Gを閉位置方向に付勢している。他方、電磁比例ソレノイド27に電流を流すと、復帰用ばね26Gのばね力に抗する方向即ち、開位置方向の励磁力が可動部材31に作用する。第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gでは、弁体14Gのテーパ部14bより上側但し、可動部材31Gに螺合されている部分を除くがシート径と略同一の外形を有している。それ故、受圧面P1フランジ14eの上面及び受圧面P2テーパ部14bのテーパ面の受圧面積が略同一になっている。それ故、弁体14Gが受圧面P1及び受圧面P2で夫々受ける一次圧p1による作用力が相殺され、弁体14における一次圧p1の変動による影響を防ぐことができる。他方、受圧面P3の受圧面積は、受圧面P4の受圧面積に対してダイアフラムシール19Gの有効受圧面積の分だけ大きくなっている。受圧面P3及び受圧面P4では、閉位置方向及び閉位置方向の互いに抗する方向に二次圧p2による作用力を夫々受けており、各作用力が互いに打ち消し合うように作用しているが、各受圧面P3,P4の受圧面積の差に応じた作用力が弁体14Gに作用する。このように二次圧p2による作用力が弁体14Gに閉位置方向に作用し、弁体14が復帰用ばね26Gに閉位置方向に付勢されている。それ故、電磁式調圧弁1Gは、ノーマルクローズ形の弁として構成されている。このように構成される第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gは、ソレノイドコイル28に電流を流すと、弁体14Gを閉位置方向に動かすべく弁体14Gを上方に引き上げるように構成されているつまり、プル型の電磁式調圧弁である点を除き、第1実施形態の電磁式調圧弁1と同じ動作で二次圧p2を目標圧力に調圧することができる。また、第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gは、第1実施形態の電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第9実施形態]本発明の第9実施形態に係る電磁式調圧弁1Hは、第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gと構成が類似している。そこで、第9実施形態に係る電磁式調圧弁1Gの構成に関して第1実施形態の電磁式調圧弁1と異なる構成についてだけ説明し、同一の構成については、同一の符合を付して説明を省略する。第10実施形態についても同様である。第9実施形態に係る電磁式調圧弁1Hは、図10に示すように弁体14Hを有している。弁体14Hは、高圧シール部材20及び低圧シール部材21との間に半径方向内方に凹む周回溝36Hが形成されている。周回溝36Hは、弁体14Hの外周に全周にわたって形成されており、ハウジング12Hの内周面と共に高圧シール部材20及び低圧シール部材21との間にバッファ室22Hを形成している。バッファ室22Hは、圧力帰還通路35Hに繋がっており、バッファ室22に漏れ出た燃料ガスは、圧力帰還通路35Hを介して圧力帰還室24Gや二次側領域12g等の二次側に戻される。このように構成される第9実施形態に係る電磁式調圧弁1Hは、第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gと同様の作用効果を奏する。[第10実施形態]第10実施形態に係る電磁式調圧弁1Jは、図11に示すように弁体14Jに均圧通路25Jが形成されている。均圧通路25Jは、連通部25dと、帰還部25eとを有している。連通部25dは、弁体14Jの軸線L1に沿って下端から上端まで貫通しており、帰還部25eは、半径方向に延在し、バッファ室22と連通部25dとを繋いでいる。また、可動部材31J内には、連絡室31bが形成されている。連絡室31bは、均圧通路25Jと連通しており、可動部材31Jに形成される連絡通路31cによって圧力帰還室24Gに繋がっている。このように構成される第10実施形態に係る電磁式調圧弁1Jは、均圧通路25J、連絡室31b及び連絡通路31cを介して二次側領域12gの二次圧p2が圧力帰還室24Gに導かれる。また、バッファ室22Gに漏れ出た燃料ガスは、均圧通路25J等を介して圧力帰還室24Gや二次側領域12g等の二次側に戻される。このように構成される第10実施形態に係る電磁式調圧弁1Jは、第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gと同様の作用効果を奏する。[第11~14実施形態]第11~14実施形態に係る電磁式調圧弁1K~1Nは、第1~第4実施形態に係る電磁式調圧弁1,1A~1Cと夫々類似しているが、図12~図15に示すように受圧面積A1及び受圧面積A2が異なっているという点で第1~第4実施形態に係る電磁式調圧弁1,1A~1Cと異なっている。以下では、その点について詳述する。第11~14実施形態に係る電磁式調圧弁1K~1Nでは、弁体14の外径r2がシート径r1より小さくなっている。それ故、受圧面P1の受圧面積が受圧面P2の受圧面積より小さくなっている。それ故、弁体14には、受圧面P1の受圧面積と受圧面P2の受圧面積との差に応じた一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用する。それ故、ソレノイドコイル28に流す電流を遮断した時の弁体14K~14Nの閉位置に向かう速度が速くなり、遮断性能が向上する。また、一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用しているので、弁体14K~14Nと座部15の着座部分のシール面圧が高くなる。それ故、電磁式調圧弁1D~1Gは、一次側から二次側へと燃料ガスが漏れ出ないようにしっかりと弁通路13を閉じることができる。その他、第11~14実施形態に係る電磁式調圧弁1K~1Nは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第15実施形態]第15実施形態に係る調圧弁1Oは、第1実施形態の電磁式調圧弁1と類似しており、図16に示すように電磁比例ソレノイド27に代えて圧電アクチュエータ27Oを備えている。弁体駆動手段である圧電アクチュエータ27Oは、圧電素子例えば、ピエゾ素子から成り、印加される印加電圧に応じた駆動力を発生し、押圧部材33を介して弁体14を開位置方向に動かして弁通路13を開くようになっている。この際、弁通路13は、発生する駆動力に応じた開度で開き、電磁式調圧弁1Oもまた、圧電アクチュエータ27Oに印加される印加電圧に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。その他、第15実施形態に係る調圧弁1Oは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[第16実施形態]第16実施形態に係る調圧弁1Pは、第1実施形態の電磁式調圧弁1と類似しており、図17に示すように電磁比例ソレノイド27に代えてフォースモータ27Pを備えている。フォースモータ27Pは、円筒状の永久磁石61の中に可動コイル62が挿入されており、可動コイル62に電流を流すと電流に応じた励磁力が発生し、この励磁力により可動コイル62がヨーク63内を下方に動くようになっている。可動コイル62が下方に動くことでそれに一体的に設けられている押圧部材33によって弁体14が開位置方向に押されて弁通路13が開く。この際、弁通路13は、発生する励磁力に応じた開度で開き、調圧弁1Pもまたフォースモータ27Pに流される電流に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。その他、第16実施形態に係る調圧弁1Pは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[第17実施形態]第17実施形態の調圧弁1Qは、第8実施形態の電磁式調圧弁1Gと類似しており、図18に示すように電磁比例ソレノイド27Gに代えて圧電アクチュエータ27Qを備えている。圧電アクチュエータ27Qは、電圧を印加させて圧電素子27a例えば、ピエゾ素子を収縮させることで、圧電素子27aに一体的に設けられている可動部材31Qを介して弁体14を開位置方向上方向に移動させて弁通路13を開くようになっている。この際、弁通路13は、発生する駆動力に応じた開度で開き、調圧弁1Qもまた、圧電アクチュエータ27Qに印加される印加電圧に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。その他、第17実施形態に係る調圧弁1Qは、第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gと同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[第18実施形態]第18実施形態の調圧弁1Rは、第8実施形態の電磁式調圧弁1Gと類似しており、図18に示すように電磁比例ソレノイド27Gに代えてフォースモータ27Rを備えている。フォースモータ27Rの可動コイル62には、可動部材31Rが一体的に設けられており、可動コイル62に電流を流して可動コイル62を移動させることで弁体14が開位置方向に移動して弁通路13が開くようになっている。この際、弁通路13は、発生する励磁力に応じた開度で開き、調圧弁1Rもまたフォースモータ27Rに流される電流に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。その他、第18実施形態に係る調圧弁1Rは、第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gと同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[第19実施形態]第19実施形態の電磁式調圧弁1Sは、第8実施形態に係る電磁式調圧弁1Gと類似しており、図20に示すように主に弁座部15Sの形状、弁体14Sの先端部14aの形状、及び復帰用ばね26Sの位置が異なっている。弁座部15Sは、二次側通路12fと弁空間12eとを繋ぐ開口である弁口10付近を囲むようにその外縁に沿って形成されている。弁座部15Sは、上方に向かって突出しており、弁座部15Sの頂部分で弁座面15aを形成している。この弁座面15aは、軸線L1に直交している。弁体14Sは、その先端部14aを弁座部15Sに対向させてハウジング12Gの弁体孔12bに位置しており、弁体14Sが下方に移動して閉位置に位置することで先端部14aが弁座部15Sに着座し、逆に弁体14Sが上方に移動して開位置に位置することで図20に示すように先端部14aが弁座部15Sから離れるようになっている。また、弁体14Sは、この先端部14aに調圧シート部材11を有している。調圧シート部材11は、ゴムや樹脂から成る大略円板状の部材であり、その外径は、弁座部15Sの径、即ちシート径r1より大径になっている。この調圧シート部材11は、弁座部15Sに対向するように配置されており、弁座部15Sの弁座面15aに着座する弁体面11aが軸線L1に直交するように形成されている。即ち、弁体14Sの調圧シート部材11が弁座面15aに対して垂直に当たるようになっている。また、弁体14Sの先端部14aは、残余部分に比べて大径に形成されており、先端部14aは、外周部にフランジ14eを有している。フランジ14eは、半径方向外側に突出しており、周方向全周にわたって延在している。フランジ14eの上面は、弁空間12eを規定する天井面に対向しており、フランジ14eの上面と前記天井面との間に復帰用ばね26Sが設けられている。復帰用ばね26Sは、いわゆる圧縮コイルばねであり、圧縮された状態で弁体14Sに外装され、弁体14Sを閉位置方向である下方に付勢している。付勢されることで、弁体14Sの先端部14aが弁座部15Sに着座して弁通路13を塞ぐようになっている。また、ハウジング12Gに形成される圧力帰還通路35は、バッファ室22に漏れ出た燃料ガスが圧力帰還通路35を介して圧力帰還室24Gや二次側通路12f等の二次側の領域に戻すようになっている。つまり、電磁式調圧弁1Sは、弁空間12e等の一次側の領域から漏れた燃料ガスを外側へ漏れさせることなく二次側の領域へと戻すことができる安全構造の弁となっている。このように構成される電磁式調圧弁1Sでは、弁座部15Sと弁体14Sとの間に形成される円環状のオリフィス38により一次圧p1が二次圧p2へと減圧され、この減圧された二次圧p2が二次側通路12fを介して二次ポート12cに導かれている。なお、電磁式調圧弁1Sでは、弁体14Sは、その先端部14aのオリフィス38より内側の領域受圧面P3で二次圧p2を開位置方向に受圧し、ダイアフラムシール19Gの上面及び弁体14Sの基端面受圧面P4に二次圧p2を閉位置方向に受圧しており、これら2つの受圧面P3,P4において、二次圧p2を互いに抗する方向で受圧している。電磁式調圧弁1Sでは、ダイアフラムシール19Gの有効径r3が前記シート径r1オリフィス38の径と略一致より大きくなっており、受圧面P3の受圧面積A3に比べて受圧面P4の受圧面積A4の方が大きくなっている。そのため、2つの受圧面P3,P4の受圧面積A3,A4の差に応じた作用力が弁体14Sに対して閉位置方向に作用しており、電磁式調圧弁1Sは、第8実施形態の電磁式調圧弁1Gと同様、ノーマルクローズ形の弁として構成されている。なお、受圧面P1,P2の受圧面積は、略一致しており、弁体14Sが受圧する一次圧p1は相殺されている。電磁調圧弁1Sの動作は第8実施形態の電磁式調圧弁1Gと動作と略同じであるので、動作の説明については省略する。以下に説明する第20~22実施形態についても同様である。このように構成される電磁式調圧弁1Sは、弁座部15Sの弁座面15a及び弁体14Sの弁体面11aがともに軸線L1に直交している、つまり開位置方向に直交しているので、繰り返し使用して弁座部15S又は調圧シート部材11が開位置方向に塑性変形する。それ故、塑性変形してもシート径r1が変わることが殆どなく、繰り返し使用しても調圧特性が殆ど変化しない。それ故、電磁式調圧弁1Sの信頼性及び調圧特性の安定性を向上させることができる。また、電磁式調圧弁1Sは、第8実施形態の電磁式調圧弁1Gと同様に電磁比例ソレノイド27Gにより弁体14Sを引き上げて開位置方向に移動させることができるプル型構造で構成されているので、弁通路13外に電磁比例ソレノイド27Gを配置することができる。これにより、電磁式調圧弁1Sでは、電磁比例ソレノイド27Gを二次側通路12fに配置して弁体14Sを開位置方向に押すようなプッシュ型構造の電磁式調圧弁と同じ二次側通路11fの流路面積を確保しつつ、プッシュ型構造の電磁式調圧弁よりもオリフィス38の径即ち、シート径r1を小さくすることができる。このようにシート径r1を小さくすることで弁体14Sのストロークの変化に対する弁通路13の開度変化量が小さくなるので、プッシュ型構造のガス用電磁式調圧弁よりも弁通路13の開度の微調整ができるようになり、電磁式調圧弁1Sの安定性及び調圧精度を向上させることができる。更に、弁体14Sは、移動部材であるため着座位置にバラツキがあるが、突出する弁座部15Sに弁体面11aに着座させているので、弁体14Sの弁体面11aを弁座部15Sより広くすることで多少の着座位置のバラツキがあっても弁体14Sを弁座部15Sに確実に着座させることができる。また、弁口10の外縁に沿って弁座部15Sが形成されているので、弁口10の内径寸法と弁座部15Sの内径寸法が略一致しており、必要な流路面積を確保しつつシート径r1を小さくすることができる。これにより、電磁式調圧弁1Sの調圧精度の安定性を向上させることができる。なお、電磁式調圧弁1Sの弁体14Sの弁体面11a側に突起を設ける、即ち弁体14Sの先端に突起を設けてもよい。ただし、この場合、その突起部分の内径寸法を弁口10の内径寸法と同一にすると、突起部分が所定の着座位置から外れた位置、例えば弁口10上に着座したときに弁口10が閉じられないことが想定される。それ故、突起部分の内径寸法を弁口10の内径寸法より大きくして弁口10が確実に閉じられるような寸法関係にする必要がある。その他、第19実施形態に係る電磁式調圧弁1Sは、第8実施形態の電磁式調圧弁1Gと同様の作用効果を奏する。[第20実施形態]本発明の第20実施形態に係る電磁式調圧弁1Tは、第19実施形態に係る電磁式調圧弁1Sと構成が類似しており、第19実施形態の電磁式調圧弁1Sと異なる構成についてだけ説明する。そして、同一の構成については、同一の符合を付して説明を省略する。以下で説明する、第21及び第22実施形態についても同様である。本発明の第20実施形態に係る電磁式調圧弁1Tでは、図21に示すように、第10実施形態に係る電磁式調圧弁1Jの弁体14と同様に均圧通路25Jが弁体14Tに形成されている。この均圧通路25Jによって二次側通路12fと圧力帰還室24Gとが繋がっており、圧力帰還室24Gに二次圧p2が導かれるようになっている。そして、電磁式調圧弁1Tは、第19実施形態の電磁式調圧弁1Sと同様に、圧力帰還室24Gの二次圧p2をダイアフラムシール19Gが受圧し、この二次圧p2に応じて弁通路13の開度が調整されて二次圧p2が調圧される。なお、調圧シート部材11Tは、大略円環状に形成され、均圧通路25Jの下側の開口即ち、二次側通路12fに臨む開口を囲み、且つ前記開口の外縁から少し離れて位置している。また、電磁式調圧弁1Tでは、バッファ室22が均圧通路25Jによって二次側通路11fに繋がっており、バッファ室22に漏れ出た燃料ガスを二次側通路11fに戻すようになっている。これにより、電磁式調圧弁1Tもまた高圧シール部材20から漏れ出た燃料ガスを二次側へと戻す安全構造の弁となっている。このように構成される第20実施形態に係る電磁式調圧弁1Tは、第19実施形態に係る電磁式調圧弁1Sと同様の作用効果を奏する。[第21実施形態]本発明の第21実施形態に係る電磁式調圧弁1Uでは、第8実施形態の電磁式調圧弁1Gと同様に可動部材31Uがその外周面部にフランジ31aを有しており図22参照、このフランジ31aとそれに対向する位置にあるハウジング12のばね受け座12hとの間に復帰用ばね26Uが設けられている。復帰用ばね26Uは、圧縮された状態でばね受け座12hとフランジ31aとの間に介在し、可動部材31Uを介して弁体14Uを閉位置方向に付勢している。このように構成される第21実施形態に係る電磁式調圧弁1Uは、第19実施形態に係る電磁式調圧弁1Sと同様の作用効果を奏する。[第22実施形態]本発明の第22実施形態に係る電磁式調圧弁1Vでは、図23に示すように、弁体14Vの外径r2がシート径r1より小さくなっており、受圧面P1の受圧面積A1が受圧面P2の受圧面積より大きくなっている。それ故、2つの受圧面積A1,A2の差に応じた一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用する。また、一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用しているので、弁体14Vと弁座部15Sとの間の着座部のシール面圧が高くなっており、電磁比例ソレノイド27Gが作動しないときに弁体14Vが閉位置にて保持される。それ故、弁通路13をしっかり閉じることができ、着座したときの気密性が向上する。その他、第22実施形態に係る電磁式調圧弁1Vは、第19実施形態に係る電磁式調圧弁1Sと同様の作用効果を奏する。[その他の実施形態]本実施形態では、圧力帰還室24の二次圧p2をダイアフラムシール19で受圧しているが、必ずしもダイアフラムシールでなくてもよく、Oリングなどの低圧シール部材であってもよい。第19~第22実施形態の電磁式調圧弁1S~1Vでは、各々の弁体14S~14Vの外径r2は、フランジ14e及び可動部材31Gに螺合されている部分を除いて略均一になっているが、軸受部材18に支持される部分の外径を外径r2より大きくしてもよい。これにより、軸受部材18の内径を大きくすることができるので、弁体14S~14Vの直動性能を向上させることができ、弁体14S~14Vにおける着座位置のバラツキを低減することができる。その他の実施形態も同様である。また、第19~第22実施形態の電磁式調圧弁1S~1Vでは、低圧シール部材20と高圧シール部材21のシール径が略同一になっているが、必ずしも同一シール径にする必要はない。低圧シール部材21のシール径を高圧シール部材20のシール径よりも大きくすることで、弁体14S~14Vの基端部を太くすることができ、弁体14S~14Vの剛性を向上させることができる。これにより、より外乱に強い構造体にすることができる。逆に、低圧シール部材21のシール径を高圧シール部材20のシール径よりも小さくすることで、バッファ室22に導かれる二次圧p2による閉位置方向の力を弁体14S~14Vに作用させることができる。これにより、弁体14S~14Vが閉位置に保持される際の着座部の気密性を、より向上させることができる。なお、その他の実施形態でも同様である。第19~第22実施形態の電磁式調圧弁1S~1Vでは、弁体駆動手段として電磁比例ソレノイド17を例に挙げて説明しているが、第16~第18実施形態と同様にで電磁比例ソレノイド27Gに代えて圧電素子ピエゾ素子又はフォースモータを採用してもよい。"