"ポリグリコール酸樹脂から形成された研磨装置用ワークピース保持リングであって、ロックウェル硬度が100以上であることを特徴とする該研磨装置用ワークピース保持リング。温度270°C及び剪断速度122sec-1で測定した溶融粘度が100~10,000Pasであるポリグリコール酸樹脂から形成された請求項1に記載の研磨装置用ワークピース保持リング。結晶化温度が、120~195°Cであるポリグリコール酸樹脂から形成された請求項1に記載の研磨装置用ワークピース保持リング。ポリグリコール酸樹脂を押出成形することにより形成されたものである請求項1乃至3のいずれか1項に記載の研磨装置用ワークピース保持リング。ポリグリコール酸樹脂を射出成形することにより形成されたものである請求項1乃至3のいずれか1項に記載の研磨装置用ワークピース保持リング。本発明の課題は、耐磨耗性及び耐久性に優れるとともに、研磨中にウエハを傷つけることがなく、かつ、環境負荷が小さい研磨装置用ワークピース保持リングを提供することにある。本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意研究した結果、ポリグリコール酸樹脂を用いて、特定のロックウエル硬度を有するリングを作製したところ、研磨装置用ワークピース保持リングとして優れた性能を発揮することを見いだした。すなわち、本発明のワークピース保持リングは、耐磨耗性や耐久性などの性能に優れ、衝突によるウエハの損傷を防ぐことができるとともに、易分解性であるので使用後の廃棄が容易である。本発明は、これらの知見に基づいて完成するに至ったものである。かくして、本発明によれば、ポリグリコール酸樹脂以下、PGAということがある。から形成された研磨装置用ワークピース保持リングであって、ロックウェル硬度が100以上であることを特徴とする該研磨装置用ワークピース保持リングが提供される。また、本発明によれば、実施の態様として、以下1~4の研磨装置用ワークピース保持リングが提供される。1温度270°C及び剪断速度122sec-1で測定した溶融粘度が100~10,000PasであるPGAから形成された前記の研磨装置用ワークピース保持リング。2結晶化温度が、120~190°CであるPGAから形成された前記の研磨装置用ワークピース保持リング。3PGAを押出成形することにより形成されたものである前記の研磨装置用ワークピース保持リング。4PGAを射出成形することにより形成されたものである前記の研磨装置用ワークピース保持リング。本発明は、PGAから形成された研磨装置用ワークピース保持リングであって、ロックウェル硬度が100以上であることを特徴とする該研磨装置用ワークピース保持リングであることによって、耐磨耗性及び耐久性に優れるとともに、研磨中にウエハを傷つけることがなく、かつ、環境負荷が小さい研磨装置用ワークピース保持リングを提供することができるという効果を奏する。本発明のワークピース用保持リングは、シリコンウエハの研磨工程等で好適に用いることができる。1.ポリグリコール酸樹脂本発明におけるPGAは、式:-O-CH2-CO-で表されるグリコール酸繰り返し単位を有する単独重合体又は共重合体であり、土壌または海中などの自然界に存在する微生物または酵素により分解される生分解性材料である。また、本発明におけるPGAは、グリコール酸繰り返し単位が、好ましくは70質量以上、より好ましくは85質量以上、更に好ましくは95質量以上、特に好ましくは98質量以上であり、最も好ましくは99質量以上である実質的にPGAホモポリマーである。グリコール酸繰り返し単位の割合が小さすぎると、PGAに期待される分解性、耐熱性、強度等が乏しくなり、また、PGAが本来有している結晶性が損われ、得られるワークピース保持リングの耐摩耗性や耐久性が低下するおそれがある。PGAにおける、該グリコール酸繰り返し単位以外の繰り返し単位は、好ましくは30質量以下、より好ましくは15質量以下、更に好ましくは5質量以下、特に好ましくは2質量以下であり、最も好ましくは1質量以下の割合で用いられ、グリコール酸繰り返し単位以外の繰り返し単位を含まないホモポリマーであることが好ましい。重量平均分子量Mw本発明のワークピース保持リングを形成するPGAは、重量平均分子量Mwが、通常5~150万、好ましくは7~120万、より好ましくは10~100万、特に好ましくは12~80万の範囲のものである。PGAの重量平均分子量Mwは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPC装置によって求めたものである。溶融粘度本発明のワークピース保持リングを形成するPGAは、温度270°C、剪断速度122sec-1の条件下において測定した溶融粘度が、好ましくは100~10,000Pas、より好ましくは200~5,000Pas、更に好ましくは300~2,000Pas、特に好ましくは400~1,500Pasの範囲である。PGAの溶融粘度は、JISK7199に準拠し、キャピログラフを用いて測定したものである。溶融粘度が小さすぎると、ワークピース保持リングの機械物性が著しく低下し、耐摩耗性や耐久性が十分でないおそれがある。溶融粘度が大きすぎると、成形性が損なわれるおそれがある。結晶化温度Tc2また、本発明のワークピース保持リングを形成するPGAは、示差走査熱量計DSCを用いて測定した結晶化温度Tc2が、好ましくは120~195°C、より好ましくは122~185°C、更に好ましくは125~175°C、特に好ましくは127~165°C、最も好ましくは130~150°Cの範囲である。結晶化温度Tc2は、JISK7121に準拠し、DSCを用いて、窒素雰囲気中で求めたものである。具体的には、PGA試料5mgを、窒素雰囲気下、30°Cから、結晶の融解ピークが消失する結晶融点Tmより高い270°Cまで、20°C/分の昇温速度で加熱し、270°Cで2分間保持した後、溶融状態にある試料を、20°C/分の降温速度で冷却する際に、熱量曲線に現れる結晶化による発熱ピークの極大点を示す温度を、結晶化温度Tc2の測定値とする。結晶化温度Tc2が低すぎると、研磨装置用ワークピース保持リングの機械物性が著しく低下し、耐摩耗性や耐久性が十分でないおそれがある。結晶化温度Tc2が高すぎると、成形性が損なわれるおそれがある。PGAの結晶化温度Tc2は、PGAの分子量や、用いたコモノマーの種類等によって変動させることができる。結晶融点Tm及びガラス転移温度Tgさらに、本発明のワークピース保持リングを形成するPGAは、結晶融点Tmが、200°C以上であることがより好ましく、210°C以上であることが特に好ましい。また、ガラス転移温度Tgが、25~50°Cの範囲であることが好ましい。結晶融点Tmまたはガラス転移温度Tgが低すぎると、研磨装置用ワークピース保持リングの機械物性が低下し、耐摩耗性や耐久性が不足するおそれがある。結晶融点Tmまたはガラス転移温度Tgが高すぎると、成形性が損なわれるおそれがある。結晶融点Tmの上限は、通常245°Cである。最も好ましく使用されるPGAは、結晶融点Tmが約220°C、及びガラス転移温度Tgが約38°Cのものである。結晶融点Tm及びガラス転移温度Tgは、DSCを用いて、窒素雰囲気中で求めたものである。2.ポリグリコール酸樹脂の製造方法本発明におけるPGAは、従来より知られているPGAの製造方法によって得ることができ、例えば、以下の1または2の方法によって製造することができる。1グリコール酸の二量体エステルであるグリコリドを、必要に応じてグリコール酸繰り返し単位以外の繰り返し単位を形成するコモノマーとともに、少量の触媒例えば、有機カルボン酸錫、ハロゲン化錫、ハロゲン化アンチモン等のカチオン触媒の存在下に、約120~270°C、好ましくは130~260°C、より好ましくは140~250°Cの温度に加熱して、3分間~50時間、好ましくは5分間~30時間、より好ましくは10分間~20時間開環重合する方法によってPGAを得る。開環重合は、塊状重合法または溶液重合法によることが好ましく、塊状重合がより好ましい。2グリコール酸またはグリコール酸アルキルエステルを、必要に応じてグリコール酸繰り返し単位以外の繰り返し単位を形成するコモノマーとともに、触媒の存在下または不存在下に、1に記載した温度及び時間の条件で加熱して、脱水または脱アルコールする重縮合法によってPGAを得る。分子量調節のために、ラウリルアルコールなどの高級アルコールや水などを分子量調節剤として使用することができる。また、物性改良のために、グリセリンなどの多価アルコールを添加してもよい。塊状重合の重合装置としては、押出機型、パドル翼を持った縦型、ヘリカルリボン翼を持った縦型、押出機型やニーダー型の横型、アンプル型、板状型、管状型など様々な装置の中から、適宜選択することができる。また、溶液重合には、各種反応槽を用いることができる。生成したPGAを固体状態とした後、所望により、更に固相重合を行ってもよい。固相重合とは、PGAのガラス転移温度Tg以上結晶融点Tm未満の温度で加熱することにより、固体状態を維持したままで熱処理する操作を意味する。この固相重合により、未反応モノマー、オリゴマーなどの低分子量成分が揮発除去される。固相重合は、好ましくは1~100時間、より好ましくは2~50時間、特に好ましくは3~30時間で行われる。また、固体状態のPGAを、その結晶融点Tm38°C以上、好ましくは結晶融点Tm38°Cから結晶融点Tm100°Cまでの温度範囲内で溶融混練する工程により熱履歴を与えることによって、結晶性を制御してもよい。上記1または2の方法において使用することができるコモノマーとして、例えば、シュウ酸エチレン、すなわち1,4-ジオキサン-2,3-ジオン、ラクチド、ラクトン類例えば、β-プロピオラクトン、β-ブチロラクトン、ピバロラクトン、γ-ブチロラクトン、δ-バレロラクトン、β-メチル-δ-バレロラクトン、ε-カプロラクトン等、トリメチレンカーボネート、及び1,3-ジオキサンなどの環状モノマー;乳酸、3-ヒドロキシプロパン酸、3-ヒドロキシブタン酸、4-ヒドロキシブタン酸、6-ヒドロキシカプロン酸などのヒドロキシカルボン酸またはそのアルキルエステル;エチレングリコール、1,4-ブタンジオール等の脂肪族ジオールと、琥珀酸、アジピン酸等の脂肪族ジカルボン酸またはそのアルキルエステルとの実質的に等モルの混合物;などを挙げることができる。これらのコノマーの1種類または2種類以上を、グリコリド、グリコール酸またはグリコール酸アルキルエステルと適宜組み合わせて重合することにより、ポリグリコール酸共重合体を得ることができる。また、ポリグリコール酸共重合体は、PGAと、先にコノマーとして挙げた化合物等から形成された繰り返し単位を有する重合体とを、加熱下にエステル交換反応させることによって得られたものであってもよい。PGAの製造方法としては、1のグリコリドを開環重合する方法が、高分子量のPGAを得やすいので、好ましい。グリコリドとしては、その製造方法は特に限定されないが、本発明者らが開発した溶液相解重合法特開平9-328481号公報参照によると高純度のグリコリドを高収率で大量に得ることができるので好ましい。高純度のグリコリドを用いることにより、分子量が大きいPGAを容易に得ることができる。溶液相解重合法によるグリコリドの製造方法は、グリコール酸オリゴマーと230~450°Cの範囲内の沸点を有する少なくとも一種の高沸点極性有機溶媒とを含む混合物を、常圧下または減圧下に、該オリゴマーの解重合が起こる温度に加熱して該オリゴマーを該溶媒に溶解させ、次いで、該オリゴマーの融液相の残存率容積比が0.5以下になるまで同温度での加熱を更に継続して該オリゴマーを解重合させ、生成した2量体環状エステル、すなわちグリコリドを高沸点極性有機溶媒とともに留出させて、該留出物からグリコリドを回収する製造方法である。グリコール酸オリゴマーの解重合温度は、通常、230°C以上であり、好ましくは230~320°C、より好ましくは235~300°Cである。解重合は、常圧または減圧下に行うが、0.1~90.0kPa1~900mbarの圧力下で行うことが好ましい。前記高沸点極性有機溶媒としては、例えば、ジ2-メトキシエチルフタレート等のフタル酸ビスアルコキシアルキルエステル;ジエチレングリコールジベンゾエート等のアルキレングリコールジベンゾエート;ベンジルブチルフタレートやジブチルフタレート等の芳香族カルボン酸エステル;トリクレジルホスフェート等の芳香族リン酸エステル;などを挙げることができ、グリコール酸オリゴマーに対して、通常0.3~50倍量質量比、好ましくは0.5~20倍量の割合で使用する。高沸点極性有機溶媒とともに、必要に応じて、該オリゴマーの可溶化剤として、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、テトラエチレングリコールなどを併用することができる。その他の成分本発明で使用するPGAには、本発明の目的を損わない範囲において、他の熱可塑性樹脂、フィラー、または、可塑剤や帯電防止剤等の他の添加剤を配合することができる。本発明で使用するPGAに配合することができる他の熱可塑性樹脂としては、高温で安定な熱可塑性樹脂が好ましい。他の熱可塑性樹脂の具体例としては、例えば、ポリ乳酸、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等の熱可塑性ポリエステル、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリアルキルメタアクリレート、ABS樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、フッ素樹脂等を挙げることができる。フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン/パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体、プロピレン/テトラフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン/クロロトリフルオロエチレン共重合体、エチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体等を挙げることができる。これら他の熱可塑性樹脂は、それぞれ単独でまたは2種類以上を組み合わせて使用することができる。他の熱可塑性樹脂の配合割合は、特に限定されないが、PGA100質量部に対して、通常100質量部以下、好ましくは50質量部以下、より好ましくは30質量部以下である。本発明で使用するPGAに配合することができるフィラーの具体例としては、アスベスト繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、ジルコニア繊維、窒化硼素繊維、窒化珪素繊維、硼素繊維、チタン酸カリ繊維などの無機繊維状物;ステンレス、アルミニウム、チタン、銅、真鍮等の金属からなる金属繊維状物;ポリアミド樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などの高融点樹脂からなる有機繊維状物;等の繊維状フィラーが挙げられる。また、フィラーとして、マイカ、シリカ、タルク、クレー、アルミナ、カオリン、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、炭酸ニッケル、炭酸亜鉛、炭酸マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄、フェライト、カーボンブラック、グラファイト、黒鉛、ガラスビーズ、石英粉末などの粒状または粉末状フィラーを挙げることができる。これらのフィラーは、それぞれ単独でまたは2種類以上を組み合わせて使用することができる。フィラーの配合割合は、特に制限されないが、PGA100質量部に対して、通常100質量部以下、好ましくは50質量部以下、より好ましくは30質量部以下である。本発明で使用するPGAに配合することができる他の添加剤としては、結晶核剤、末端封止剤、熱安定剤、光安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、帯電防止剤、防湿剤、防水剤、揆水剤、滑剤、離型剤、カップリング剤、染料、顔料、及び可塑剤などが挙げられる。可塑剤としては、ジメトキシエチルフタレート、ジオクチルフタレート、ジエチルフタレート、ベンジルブチルフタレート等のフタル酸エステル;ジエチレングリコールジベンゾエート、エチレングリコールジベンゾエート等の安息香酸エステル;アジピン酸オクチル、セバチン酸オクチル等の脂肪族二塩基酸エステル;アセチルクエン酸トリブチル等の脂肪族三塩基酸エステル;リン酸ジオクチル、リン酸トリクレジル等のリン酸エステル;エポキシ化大豆油等のエポキシ系可塑剤;ポリエチレングリコールセバケート、ポリプロピレングリコールラウレート等のポリアルキレングリコールエステル;等が挙げられる。これら他の添加剤は、それぞれ単独でまたは2種類以上を組み合わせて使用することができる。添加剤の配合割合は、それぞれの添加剤の種類と機能に応じて適宜選択することができるが、PGA100質量部に対して、通常30質量部以下、好ましくは20質量部以下、より好ましくは10質量部以下である。フィラーや他の添加剤を使用する際には、必要に応じて、集束剤または表面処理剤を使用することができる。集束剤または表面処理剤としては、例えば、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物、シラン系化合物、チタネート系化合物などの官能性化合物が挙げられる。これらの化合物は、予め表面処理若しくは収束処理を施して用いるか、または材料調製の際に添加剤等と同時に添加してもよい。3.研磨装置用ワークピース保持リング本発明のワークピース保持リングは、ロックウェル硬度が100以上であることを特徴とする。ロックウェル硬度本発明のワークピース保持リングは、ロックウェル硬度が100以上であり、好ましくは102以上、より好ましくは103以上、更に好ましくは104以上、特に好ましくは105以上である。ワークピース保持リングのロックウェル硬度が低すぎると、耐磨耗性や耐久性が低下する。ワークピース保持リングのロックウェル硬度の上限は特にないが、研磨中にウエハを傷つけることがない観点から、通常115、多くの場合112または110である。ワークピース保持リングのロックウェル硬度は、JISG0202に準拠して、ロックウェル硬さ試験Mスケールにより評価を行ったものである。ワークピース保持リングのロックウェル硬度を100以上とするためには、使用するPGAの溶融粘度を適切な範囲としたり、PGA組成物の組成を調整したり、成形方法や成形温度などの成形条件を適切に設定したり、成形後に熱処理を行ったりすることが挙げられ、また、これらを組み合わせて実施することで実現することができる。例えば、ワークピース保持リングの成形後に熱処理を行うと、ロックウェル硬度が更に高くなる場合がある。本発明によるロックウェル硬度が100以上である本発明のワークピース保持リングは、シリコンウエハなど平板状のワークピースの研磨に際して好適に使用することができる。本発明のワークピース保持リングは、通常、それ単独で研磨装置の保持リングリテーナまたはリテーナリングとして使用することができるが、所望により、セラミックス等の耐摩耗性素材で形成されたリングなどと複合化して使用することもできる。本発明のワークピース保持リングを使用する研磨装置としては、特に限定されず、例えば、図1、図3、図5などに示されている研磨装置を挙げることができる。本発明のワークピース保持リングの厚さや外径、内径などは、装着する研磨装置の大きさ、保持するシリコンウエハなどのワークピースの厚さや大きさなどに応じて適宜定めることができる。4.研磨装置用ワークピース保持リングの製造方法本発明のワークピース保持リングは、一般に用いられる熱可塑性樹脂の成形加工設備と成形加工方法により作製することができる。具体的には、PGAと必要に応じて他の成分とを混合し、1軸または2軸の押出機を使用して混練し、押し出して成形用ペレットを製造した後、押出成形または射出成形する方法や、必要な成分を混合し、直接、押出成形または射出成形する方法等が挙げられる。PGAと、必要に応じて、前記の他の熱可塑性樹脂、フィラー、または可塑剤等の他の添加剤の一種以上とを混練押出機に供給し、シリンダー温度をPGAの結晶融点Tm~255°C通常、200~255°Cとして溶融混練し、ストランド状に押出し、冷却、カットしてペレットを製造することが好ましい。PGAを押出成形することによりワークピース保持リングを形成する方法としては、1押出成形により平板を作製し、次いで、この平板を切削加工してワークピース保持リングを得る方法、2押出成形によりパイプ状成形体を作製し、次いで、このパイプ状成形体を輪切りにしてワークピース保持リングを得る方法等がある。また、PGAを、ワークピース保持リングの形状を有するキャビティを1個または2個以上備える冷却金型を用いて射出成形を行うことができ、キャビティ型を複数備えることにより、容易に多数のワークピース保持リングを同時に得ることができる。押出成形または射出成形などの方法によって作製したワークピース保持リングは、オーブン等の加熱装置を用いて熱処理すると、ロックウエル硬度が上がり、耐摩耗性や耐久性を更に向上させることができる場合があるので好ましい。熱処理は、先に述べたように、通常80~200°C、好ましくは90~150°C、より好ましくは100~140°Cの範囲の熱処理温度であり、熱処理を行う時間は、熱処理温度にもよるが、通常5分間~24時間、好ましくは1~10時間、より好ましくは2~7時間の範囲である。以下に合成例、実施例及び比較例を挙げて、本発明についてより具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例により限定されるものではない。PGAまたはワークピース保持リングの物性または特性の測定方法は、以下に示すとおりである。重量平均分子量MwPGAの重量平均分子量Mwは、10mgの試料を、トリフルオロ酢酸ナトリウムを5mMの濃度で溶解させたヘキサフルオロイソプロパノールHFIPに、溶解させて10mLとした後、メンブレンフィルターでろ過して試料溶液を得て、この試料溶液の10μlをゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPC装置に注入して、下記の測定条件で分子量を測定することによって求めた。<GPC測定条件>装置:株式会社島津製作所製LC-9Aカラム:昭和電工株式会社製HFIP-806M2本直列接続プレカラム:HFIP-LG1本カラム温度:40°C溶離液:トリフルオロ酢酸ナトリウムを5mMの濃度で溶解させたHFIP溶液流速:1mL/min検出器:示差屈折率計分子量校正:分子量の異なる標準分子量のポリメタクリル酸メチル5種PolymerlaboratoriesLtd.製を用いて作成した分子量の検量線データを使用溶融粘度PGAの溶融粘度は、キャピログラフ1D株式会社東洋精機製作所製を用いて、温度270°C、剪断速度122sec-1の条件で測定した。結晶化温度Tc2PGAの結晶化温度Tc2は、株式会社島津製作所製のDSC-60を使用して、PGA試料5mgをアルミニウムパン中で秤量し、窒素雰囲気下、30°Cから270°Cまで、20°C/分の昇温速度で加熱し、270°Cで2分間保持した後、溶融状態にある試料を、20°C/分の降温速度で冷却した際に現れた結晶化による発熱ピークの極大点を示す温度を、結晶化温度Tc2の測定値とした。ロックウエル硬度ワークピース保持リングのロックウェル硬度は、松沢精機株式会社製のロックウエル硬さ試験機DRM-Mを用いて、JISG0202に準拠して、ロックウェル硬さ試験Mスケールを行って評価を行った耐磨耗性ワークピース保持リングの耐磨耗性は、ロータリーアブレージョンテスタ株式会社東洋精機製作所製を用いて、JISK7204に準拠し、テーバ摩耗試験摩耗輪:CS-17、荷重9.8Nにおけるワークピース保持リングの磨耗量吸引された摩耗粉で評価した。磨耗量Vmm3は、式:V=テーバ磨耗試験における磨耗量mg/ワークピース保持リングの密度g/cm3から求めた。摩耗量が50mm3以下であれば耐摩耗性は十分であり、摩耗量が30mm3以下であれば耐摩耗性が良好であり、摩耗量が20mm3以下であれば耐摩耗性が優れていると評価できる。耐久性ワークピース保持リングの耐久性は、ワークピース保持リングの厚みが、摩耗により3mm減少するまでのウエハの処理枚数によって評価した。2,000枚以上であれば耐久性は十分であり、2,500枚以上であれば耐久性が良好であり、3,000枚以上であれば耐久性が優れていると評価できる。実施例1重量平均分子量Mwが22万のPGA株式会社クレハ製。270°C、剪断速度122sec-1で測定した溶融粘度600Pas、結晶化温度Tc2135°Cに、安定剤としてモノ及びジステアリルアシッドフォスフェートのほぼ等モル混合物株式会社ADEKA製。商品名アデカスタブ登録商標AX-71300ppm添加したPGA組成物P-1を、平板成形用ダイを備えた単軸押出機に供給し、シリンダー温度250°Cで押し出し、厚み20mmの平板を作製した。この平板から、切削加工により、内径200mm、外径230mm、厚み20mmの研磨装置用ワークピース保持リングを切り出して作製した。このワークピース保持リングをウエハ研磨装置図5に示すタイプの研磨装置にセットし、ワークピース保持リングの厚みが3mm磨耗するまでウエハの研磨試験を繰り返し、ウエハの枚数を測定した。研磨処理試験の終了まで、研磨されたウエハに損傷はみられず、研磨処理試験の終了のワークピース保持リングに傷や割れ等はみられなかった。ワークピース保持リングのロックウエル硬度、及び摩耗量の値とともに、結果を表1に示す。また、前記の切り出した研磨装置用ワークピース保持リングを、オーブン内で120°Cで4時間熱処理を行った後、ウエハ研磨装置にセットして、同様にウエハの研磨処理試験を繰り返し、ウエハの枚数を測定した。研磨処理試験の終了まで、研磨されたウエハに損傷はみられず、研磨処理試験の終了のワークピース保持リングに傷や割れ等はみられなかった。ワークピース保持リングのロックウエル硬度、及び摩耗量の値とともに、結果を表1に示す。実施例2組成物P-1に代えて、末端封止剤としてN,N-2,6-ジイソプロピルフェニルカルボジイミドCDI川口化学工業株式会社製。商品名DIPCを0.3phr、及び、結晶核剤として窒化ホウ素BNBSCセラミックス株式会社製。商品名SPC1を300ppm添加したPGA組成物P-2を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、押出成形により平板を作製し、次いで、切削加工によりワークピース保持リングを切り出した。得られたワークピース保持リング熱処理なし、及び、熱処理ありを用いて、実施例1と同様にウエハの研磨処理試験を繰り返した。研磨処理試験の終了まで、研磨されたウエハに損傷はみられず、研磨処理試験の終了のワークピース保持リングに傷や割れ等はみられなかった。ワークピース保持リングのロックウエル硬度、及び摩耗量の値とともに、結果を表1に示す。比較例1PGA組成物P-1に代えて、後述する方法により合成したポリフェニレンサルファイド以下、PPSということがある。を使用したこと、及び、シリンダー温度を250°Cから290°Cに変更し、熱処理温度を120°Cから150°Cに変更したことを除いて、実施例1と同様にして、PPSから形成されたワークピース保持リングを得た。得られたワークピース保持リングを用いて、実施例1と同様にウエハの研磨処理試験を繰り返した。ワークピース保持リングのロックウエル硬度、及び摩耗量の値とともに、結果を表1に示す。ポリフェニレンサスファイドの合成比較例1において使用したPPSは、それ自体公知の以下の方法によって合成した。重合缶にN-メチル-2-ピロリドンNMP720kgと、46.21質量の硫化ナトリウムを含む硫化ナトリウム5水塩420kgとを仕込み、窒素ガスで置換後、攪拌しながら徐々に200°Cまで昇温して、水160kgを留出させた。この時、留出水と共に62モルのH2Sが揮散した。脱水工程後、重合缶にp-ジクロロベンゼン364kgと、NMP250kgとを加え、攪拌しながら220°Cで4.5時間反応させた。その後、攪拌を続けながら水59kgを圧入し、255°Cに昇温して5時間反応させた。反応終了後、室温付近まで冷却してから、内容物を100メッシュのスクリーンに通して粒状ポリマーを篩分し、アセトン洗浄及び水洗を行い、脱水後、105°Cで5時間乾燥した。このようにして得られたPPSの溶融粘度測定条件は、温度310°C、剪断速度1,216sec-1とした。は、210PaSであった。表1の結果から、PGA組成物から形成され、ロックウエル硬度が105.2~108.6で、また結晶化温度Tc2が120~195°Cの範囲内である実施例1及び2のワークピース保持リングは、摩耗量が15.6~17.6mm3と僅かであることから耐摩耗性に優れていること、及び、3,100~3,200枚のウエハを研磨処理することができ、耐久性に優れていることが分かった。特に、成形後に熱処理を行ったワークピース保持リングは、ロックウエル硬度が増加した結果、耐摩耗性及び耐久性が一層向上したことが分かった。これに対して、前記の方法によって合成されたPPSから形成され、ロックウエル硬度が100未満である比較例1のワークピース保持リングは、耐摩耗性及び耐久性に違いがあることが分かった。実施例3実施例1で作製したワークピース保持リングを、化学的機械研磨方式において使用される汎用のシリカ系スラリーpH=11に常温で1週間浸漬し、浸漬後の試験片の形状変化等を目視で観察した。評価基準は以下のとおりとした。評価結果を表2に示す。良好:リングの形状及び大きさに変化がみられない。不良:リングの形状または大きさの一方または両方に変化がみられる。消失:1週間後には、リングがみられない。実施例4実施例2で作製したワークピース保持リングを、実施例3と同様にして、シリカ系スラリーpH=11に常温で1週間浸漬し、試験片の形状変化等を目視で観察した。評価結果を表2に示す。実施例3及び4から、本発明のワークピース保持リングは、pH=11と高アルカリ性のシリカ系スラリーに1週間浸漬しても形状変化や寸法変化がなく、本来、分解性の樹脂であるPGAから形成した本発明のワークピース保持リングのスラリー耐性が良好であることが分かった。実施例5PGA組成物P-2を使用して、内径200mm、外径230mm、厚み20mmのキャビティを2個備える金型を用いて、ワークピース保持リングを射出成形した。このワークピース保持リングは、ロックウエル硬度107.1であって、摩耗量15.1mm3、ウエハ処理枚数3,200枚であり、耐摩耗性及び耐久性が良好であった。これらの結果から、本発明のPGAから形成されたワークピース保持リングは、シリコンウエハ等の研磨装置用に好適な耐摩耗性と耐久性、スラリー耐性を有しながら、使用後は、自然界に存在する微生物や酵素により容易に分解生分解されるので、環境負荷が小さいものであることが分かった。"