物面と像面との間に複数のレンズ群が配置され、物面側の物体を変倍して像面側に投影する投影光学系であって、物面側に臨むレンズ群又は像面側に臨むレンズ群が少なくとも2枚の正の屈折力を有するレンズから構成され、該2枚のレンズのうちの1枚は最も外側に配置され、残りの1枚は下記の条件式を満たしかつその最も外側に配置されたレンズの内側に隣接して配置され、最も外側のレンズを残りの1枚のレンズに対して光軸方向に離反接近させることにより変倍を行うことを特徴とする投影光学系。0≧q>-0.72...1ここで、符号qは、レンズの形状ファクターを規定する数値であり、残りの1枚のレンズの二つの面のうち最も外側に配置されたレンズに近い側の面の曲率半径をr2、残りの1枚のレンズの二つの面のうち最も外側に配置されたレンズから遠い側の面の曲率半径をr1としたとき、q=r2-r1/r2r1...2ただし、r1、r2の符号は、光線の進む方向をと規定して、曲率中心の位置が側にあるか-側にあるかによって定義している。最も外側に配置されて移動するレンズの焦点距離をf1、残りの1枚のレンズであって、前記曲率半径r1、r2によって規定されるレンズの焦点距離をf2とするとき、下記の条件式を満たすことを特徴とする請求項1に記載の投影光学系。3f2>f1>1.1f2...3前記物面にマスクが配置され、前記像面にワーク基板が配設され、前記マスクのパターン像が前記ワーク基板の表面に投影され、前記物面側又は前記像面側がテレセントリックであることを特徴とする請求項2に記載の投影光学系。前記物面にマスクが配置され、前記像面にワーク基板が配設され、前記マスクのパターン像が前記ワーク基板の表面に投影され、前記物面側及び前記像面側がテレセントリックであることを特徴とする請求項2に記載の投影光学系。その特許文献1に開示の投影光学系は、倍率調整時に、物面側のレンズ群と像面側のレンズ群との間に存在する内部レンズ群を光軸に沿って移動させる構成である。ところが、この特許文献1に開示の投影光学系では、倍率調整時に、内部レンズ群が一般に絞りに近いため、内部レンズ群の移動精度の厳密性が要求される。そこで、物面と像面との間に複数のレンズ群が配置され、物面側の物体を変倍して像面側に投影する投影光学系において、最も像面側又は物面側に存在するレンズを光軸方向に移動させることにより、変倍を行うことが考えられる。しかしながら、最も像面側又は物面側に存在するレンズを光軸方向に移動させることにすると、その移動後のレンズを通過する光線の状態がその移動前のレンズを通過する光線の状態に対して変化するため、一般的に収差、とりわけ歪曲収差が発生する。本発明は、レンズの移動精度を厳密に管理しなくとも高倍率の変倍を行うことができかつ歪曲収差が極力変化しないようにすることのできる投影光学系を提供することにある。本発明に係る投影光学系は、物面と像面との間に複数のレンズ群が配置され、物面側の物体を変倍して像面側に投影するものである。この投影光学系は、物面側に臨むレンズ群又は像面側に臨むレンズ群が少なくとも2枚の正の屈折力を有するレンズから構成されている。この2枚のレンズのうちの1枚は最も外側に配置されている。残りの1枚は下記の条件式を満たしかつその最も外側に配置されたレンズの内側に隣接して配置され、最も外側のレンズを残りの1枚のレンズに対して光軸方向に離反接近させることにより変倍を行うことを特徴とする。0≧q>-0.72...1ここで、符号qは、レンズの形状ファクターを規定する数値であり、残りの1枚のレンズの二つの面のうち最も外側に配置されたレンズに近い側の面の曲率半径をr2、残りの1枚のレンズの二つの面のうち最も外側に配置されたレンズから遠い側の面の曲率半径をr1としたとき、q=r2-r1/r2r1...2ただし、r1、r2の符号は、光線の進む方向をと規定して、曲率中心の位置が側にあるか-側にあるかによって定義している。最も外側に配置されて移動するレンズの焦点距離をf1、残りの1枚のレンズであって、前記曲率半径r1、r2によって規定されるレンズの焦点距離をf2とするとき、下記の条件式を満たすことが望ましい。3f2>f1>1.1f2...3本発明によれば、レンズの移動精度を厳密に管理しなくとも高倍率の変倍を行うことができかつ歪曲収差が極力変化しないようにすることができる。露光装置の概略構成図1は本発明に係る露光装置の光学系の概要を示す説明図である。この図1において、1は光源部、2はコールドミラー、3は露光シャッター、4は紫外線i線バンドパスフィルター、5はインテグレータレンズ、6はコリメータレンズ、7は平面鏡、8はマスクステージ、9はマスクブラインド、10は投影レンズ保持筒、11は倍率補正機構、12は露光ステージである。なお、その露光シャッター3は、露光の際には、光学系の光路から適宜退避される。光源部1は水銀ランプ1aと回転楕円鏡1bから構成されている。水銀ランプ1aは回転楕円鏡1bの第1焦点位置に配置されている。水銀ランプ1aからの発光光束は回転楕円鏡1bによって反射されて第2焦点位置に集光される。この第2焦点位置に集光された発光光束は、コールドミラー2によって赤外波長よりも長波長の赤外線が除去されかつ可視赤外光の波長よりも短い短波長域の光束が反射されてバンドパスフィルター4に導かれる。紫外線i線以外の波長域の光線がこのバンドパスフィルター4によってカットされて、露光用光束Pとしてインテグレータレンズ5に導かれる。露光用光束Pは、そのインテグレータレンズ5によって光量分布が概略一様とされて、コリメータレンズ6に導かれる。そのコリメータレンズ6は、その第2焦点位置に焦点を有する。露光用光束Pはそのコリメータレンズ6によって平行光束にされ、平面鏡7により光路が折り曲げられてマスクステージ8に導かれる。マスクステージ8にはマスク13が設けらている。このマスク13にはワーク基板14に形成すべきマスクパターン13’が形成されている。そのマスク13は、後述するワーク基板14とのアライメントを行うためのアライメントマーク13aを有する。そのマスクステージ8は、図示を略す駆動機構によって横X方向及び縦Y方向に移動可能とされている。マスクブラインド9は、露光用光束Pによりワーク基板14を露光する際には、光学系の投影光路から適宜退避される。投影レンズ保持筒10の内部には、投影光学系を構成する投影レンズ群GU図2参照が設けられている。この投影レンズ群GUはマスク13のパターンをこの実施例1では拡大してワーク基板14に結像させる。ワーク基板14は、露光ステージ12に載置されている。そのワーク基板14は、例えば、正方形である。そのワーク基板14には、適宜箇所にアライメントマーク14aが予め形成されている。その露光ステージ12は、図示を略す駆動機構によって横X方向及び縦Y方向に移動可能とされている。なお、この図1には、アライメントマーク13a、14aが肉眼で視認可能な大きさで図示されているが、これは誇張して示したもので、実際には肉眼では目視し難い大きさである。倍率補正機構11は、横方向倍率補正機構15と縦方向倍率補正機構16と歪み変形形成機構17とから構成されている。これらの機構15、16、17について、必要とあれば、特願2010123750号出願日:2010年5月31日を参照されたい。投影レンズ群の詳細構成実施例1投影レンズ群GUは、図2に示すように、物面側マスク13が設けられている側から像面側ワーク基板14が設けられている側に向かって、順に第1群Gr1、第2群Gr2、第3群Gr3、第4群Gr4、第5群Gr5、第6群Gr6の6群の構成とされている。第2群Gr2と第3群Gr3との間には、絞りMIが設けられている。第1群Gr1は5枚のレンズから構成され、図2に示すように、各レンズには、マスク13の側から順にL1~L5の符号が付されている。第2群Gr2は3枚のレンズから構成され、各レンズには、マスク13の側から順にL6~L8の符号が付されている。第3群Gr3は3枚のレンズから構成され、マスク13の側から順にL9~L11の符号が付されている。第4群Gr4は2枚のレンズから構成され、マスク13の側から順にL12、L13の符号が付されている。第5群Gr5、第6群Gr6も2枚のレンズから構成され、マスク13の側から順にそれぞれL14~L17の符号が付されている。第1群Gr1、第6群Gr6は、少なくとも二枚以上のレンズを有しかつ投影レンズ群GUのうち最も外側に位置するレンズ群である。ここでは、第1群Gr1は、二枚以上のレンズを有しかつ物面側に位置するレンズ群である。第6群Gr6は、二枚以上のレンズを有しかつ像面側に位置するレンズ群である。表1は、その投影レンズ群GUの実施例1のレンズ設計データを示している。その図2には、マスク13、ワーク基板14を投影レンズ群GUの光学構成要素とみなして、マスク13の面を面番号1、ワーク基板14の面を面番号37として、マスク13が存在する側からワーク基板14が存在する側に向かって投影レンズ群GUの各光学構成要素に順に表1に示す面番号に対応する数字が付されている。その表1に示す曲率半径は、投影レンズ群GUの各光学構成要素に対応する面の曲率半径であり、単位はmmである。この曲率半径は、光線がマスク13からワーク基板14に向かう方向をとして、曲率中心が面の凸形状に対して側にあるか-側にあるかによって、正、負の符号が付されている。なお、表1では、は省略されている。例えば、第1群Gr1のレンズL1の面番号2の曲率半径は、である。これは、この第1群Gr1のレンズL1の面2がマスク13が存在する側に向かって凸であることを意味する。一方、第1群Gr1のレンズL1の面番号3の曲率半径は-である。これは、この第1群Gr1のレンズL1の面3がワーク基板14が存在する側に向かって凸であることを意味する。なお、曲率半径∞は、面が平面であることを意味している。面間隔は、各光学構成要素の互いに隣り合う面であってかつ面番号の大きい面と面番号の小さい面との間の幾何学的距離である。その単位もmmである。最大の面番号の次には、光学構成要素が存在しないので、表1の該当欄には、便宜上、面間隔0.0000として数値が示されている。また、表1において、符号nは、屈折率を意味しており、ここでは、各レンズL1ないしL17の三種の波長λλ=359、365、374nmに対する屈折率nが示されている。その図2には、この投影レンズ群GUの波長λ365nmi線の光線の光路図が示されている。ここでは、マスク13の物高h0~h3の各点から出射された光線が投影レンズGUを通過してワーク基板14の各像高h0’~h3’の各点に結像される光路図が示されている。その図2において、符号P0~P3は物高h0~h3の各点から出射された主光線を示している。この主光線P0~P3は、投影レンズGUの光軸ZO図3参照に対して平行に進んで、第1群Gr1のレンズL1の面番号2の面に入射し、各群Gr1~Gr6により屈折されつつ投影レンズGUを進行し、第6群Gr6のレンズL17の面番号36の面から光軸ZOに対して平行に出射され、ワーク基板14の面番号37の面に到達する。符号P0’~P3’は、面番号36の面から出射された主光線を示している。この実施例1では物面側及び像面側がテレセントリックであるが、物面側又は像面側がテレセントリックであっても良い。また、この実施例1では、第6群Gr6の最もワーク基板14に近い外側のレンズL17が移動レンズとされている。そのレンズ17の移動機構Tiについては後述することにする。まず、最もワーク基板14に近い外側のレンズL17を移動させることにした理由を以下に述べる。各群Gr1~Gr5、第6群Gr6のレンズL16を固定し、図3に拡大して示すように、レンズL17を光軸ZOに沿って平行にワーク基板14面番号37に近づく方向に移動させると、レンズL17の面番号35の面に対する入射高さhが高くなる方向に変化するので、倍率が大きくなる。反対に、第6群Gr6のレンズL16を固定し、レンズL17を光軸ZOに沿って平行にワーク基板面番号3714から遠ざかる方向に移動させると、レンズL17の面番号35の面に対する入射高さhが低くなる方向に変化するので、倍率が小さくなる。しかしながら、このように、各群Gr1~Gr5のうち最も像側に存在する第6群Gr6のうちの最も像面に近いレンズL17を移動させることにすると、その最も像側に存在する第6群Gr6のうちのレンズL17を通過する光線の移動後の光学設計値が移動前の光学設計値と異なることになるので、各種の収差が発生し、特に歪曲収差が発生する。ベンディングの説明そこで、収差補正手段の一つとしてのベンディング手法形状ファクターを規定する手法を用いる。このベンディング手法によると、形状ファクターq値が下記の式によって定義される。以下、q値について説明する。図4に示す単レンズLの焦点距離fを一定に保ったまま、曲率半径r1、r2を変える操作を行うとき、q=r1r2/r2-r1このq値を変化させると、レンズLのパワーを保ったまま収差を変化させることができるレンズ設計著者:高橋友刀出版社:東海大学出版会。ここで、このベンディング手法を第6群Gr6のうちのレンズL16に適用する。レンズL16に対する主光線P3は、図3に示すように、光軸ZOに対して高い位置にあり、光軸ZO上の主光線P0は低い位置にあるので、レンズL16の結像に関する収差の影響は小さく、主として歪曲収差を左右する。レンズL16において、主光線P3の曲げ量を面番号33の面、面番号34の面に均等に配分することにより、レンズL17に入射する主光線P3の歪曲収差を減少させることができる。そこで、下記の1式を満たすように0≧q>-0.72...1レンズL16の面番号33の面の曲率半径r2、面番号34の面の曲率半径r1を設計した。この式1を満たすように、レンズL16を設計することにより、レンズL17を移動させて変倍した場合でも、歪曲収差を抑制できる。レンズL16の形状ファクターq値が式1の0よりも大きくなると、面番号33の面曲率半径r1の面において主光線P3が強く曲げられすぎ、歪曲収差を含めてその他の軸外収差を良くする補正する設計が困難となる。レンズL16の形状ファクターq値が-0.72よりも小さくなると、歪曲収差を含めてその他の軸外収差をより良く補正することができるが、レンズL16により歪曲収差の補正負担量が大きくなるため、レンズL17を移動させて変倍を行うと、歪曲収差が変化する。次に、第6群Gr6において、レンズL17の焦点距離をf1、レンズL16であって、曲率半径r1、r2によって規定されるレンズL16の焦点距離をf2とするとき、下記の条件式を満たすことが望ましい。3f2>f1>1.1f2...3レンズL17の焦点距離f1がレンズL16の焦点距離f2の1.1倍よりも小さくなると、すなわち、焦点距離f1が1.1f2よりも短いと、レンズL17による主光線P3の曲げ角度が大きくなりすぎて、レンズL17を移動させて変倍を行うと、歪曲が大きく変化する。レンズL17の焦点距離f1がレンズL16の焦点距離f2の3倍以上の大きさになると、すなわち、焦点距離f1が3f2よりも長くなると、レンズL17による主光線P3の曲げ角度が小さくなりすぎ、レンズL17の移動による変倍量が小さくなりすぎる。この実施例1では、r1=1819.3195、r2=-317.8843、q値は-0.7025である。変倍前の倍率は-1.400005、変倍後の倍率は-1.400130、倍率変化は89.0211ppm、f1は894.24、f2は435.28である。従って、q値は条件式1を満足し、f1は3式を満足している。また、変倍前後の物高と歪曲収差のグラフを図5に示す。この図5において、◆印は変倍前、すなわち、光学設計通りの位置にレンズL17が配置されている場合の各像高における歪曲量を示し、□印は変倍後、すなわち、設計値通りのレンズL17の位置からレンズL17を最も像面側に移動させた場合の各像高における歪曲量を示している。レンズL17の移動機構Tiの構成図6は第6群Grの移動機構の一例を示す断面図であり、図7は図6に示す矢印方向から第6群を目視した状態を示す図である。この図6、図7において、符号10Aは投影レンズ保持筒10の一部を構成する保持枠である。このレンズ保持枠10Aには、レンズL16が保持されている。このレンズ保持枠10Aの内部には可動レンズ保持枠10Bが設けられている。この可動レンズ保持枠10BにはレンズL17が保持されている。この可動レンズ保持枠10Bの外周にはラック部10Cが120度毎に形成されている。ラック部10Cには従動歯車10Dが噛み合わされている。従動歯車10Dの回転軸10D’は、例えばレンズ保持枠10Aに回転可能に支承されている。この従動歯車10Dには、駆動歯車10Eが噛合されている。駆動歯車10Eは駆動モータ10Mの出力軸10M’に固定されている。そのモータ10Mは例えばレンズ保持枠10Aにブラケット10A’を介して固定されている。モータ10Mを正逆回転させることにより、レンズL17をレンズL16から離反接近させ、これにより、変倍が行われる。この移動機構Tiでは、レンズL16とレンズL17との間隔を0.1mm増加させることが可能である。実施例2表2は、その投影レンズ群GUの実施例2のレンズ設計データを示している。この表2において示されている符号及び数値は表1に示す符号及び数値にそれぞれ対応している。図8にはその表2に示す設計値を有する投影光学系の光路図が示されている。この実施例2では、r1=981.8658、r2=-981.8658、q値は0.0000である。変倍前の倍率は-1.399954、変倍後の倍率は-1.400103、倍率変化は106.6535ppm、f1は785.26、f2は682.04である。従って、q値は条件式1を満足し、f1は3式を満足している。また、変倍前後の物高と歪曲収差のグラフを図9に示す。この図9から明らかなようにレンズL17の移動の前後において、歪曲の変化はほとんどない。実施例3表3は、その投影レンズ群GUの実施例3のレンズ設計データを示している。この表3において示されている符号及び数値は表1に示す符号及び数値にそれぞれ対応している。図10にはその表2に示す設計値を有する投影光学系の光路図が示されている。ここでは、第5群Gr5はレンズL14から構成され、第6群Gr6はレンズL15、L16、L17の三枚のレンズから構成されている。この実施例3では、r1=2000.0000、r2=-441.3637、q値は-0.6384である。変倍前の倍率は-1.400018、変倍後の倍率は-1.400093、倍率変化は53.7279ppm、f1は1665.25、f2は580.37である。従って、q値は条件式1を満足し、f1は3式を満足している。また、変倍前後の物高と歪曲収差のグラフを図11に示す。この図11から明らかなようにレンズL17の移動の前後において、歪曲の変化はほとんどない。以上、各実施例において説明したように、レンズL16とレンズL17との間隔を0.1mm増加させることによって行った場合、歪曲量の変化は1μm未満であった。これは、露光装置において、レイヤー間の重ね合わせに要求される精度を満足している。