一般式RfOCFCOOMnで表されるパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩の水溶液またはアルコール溶液を、120°C以下の温度で残溶媒量が1重量以下になるまで噴霧乾燥させ、得られたパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩を120°C以上の温度で加熱し、ビニル化反応させることを特徴とするパーフルオロアルキルビニルエーテルの製造法。噴霧乾燥されるパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩の水溶液またはアルコール溶液の濃度が30~40重量である請求項1記載のパーフルオロアルキルビニルエーテルの製造法。噴霧乾燥後のパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩の粒子径が20~300μmである請求項1記載のパーフルオロアルキルビニルエーテルの製造法。アルカリ金属塩が、ナトリウム塩、カリウム塩またはセシウム塩である請求項1記載のパーフルオロアルキルビニルエーテルの製造法。本発明の目的は、廃溶媒処理の問題を発生させることがなく、高収率でパーフルオロアルキルビニルエーテルを得る方法を提供することにある。かかる本発明の目的は、一般式RfOCFCOOMnで表されるパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩の水溶液またはアルコール溶液を、120°C以下の温度で残溶媒量が1重量以下になるまで噴霧乾燥させ、得られたパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩を120°C以上の温度で加熱し、ビニル化反応させることによって達成される。本発明に係る製造法によれば、パーフルオロアルキルビニルエーテルを高収率、高選択的に得ることが可能となるといったすぐれた効果を奏する。得られたパーフルオロアルキルビニルエーテルは、フッ素系ポリマーに極少量添加することにより、ポリマーの耐圧縮永久歪特性を改善することができる。出発物質であるパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩は、対応するカルボン酸フロライドRfOCFCOFnを、これに対して4~5倍モルのアルカリ金属、好ましくはナトリウム、カリウム、セシウムなどの水溶液またはアルコール溶液に添加し、反応させることによって調製される。かかる方法によると、アルカリ金属フッ化物が等量あるいは2倍モル副生することとなるが、最終工程のビニル化反応においても同様のアルカリ金属フッ化物が生じることとなるので、パーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩に含有させた状態のままであっても特に問題にはならない。ここで、溶媒となる水、アルコール量は、好ましくは生じるカルボン酸金属塩濃度が30~40程度となるように調整される。これ以下の低濃度溶液を用いた場合、次工程の噴霧乾燥工程における濃縮効率が下がることとなり、一方これ以上の高濃度溶液を用いた場合には、溶液が飽和濃度に達した状態で噴霧乾燥工程でスラリーを噴霧乾燥することとなり、これによって乾燥粉末の粒子径の不安定化につながるようになる。また、反応温度は特に限定されないが、中和工程で生じたフッ化水素酸を効率よく中和するため、好ましくは50°C以下に設定される。また、別の方法として、出発物質であるパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩は、対応するカルボン酸フロライドを、低級アルコールを用いて、カルボン酸エステルへと変換した後、これを加溶媒分解させることによっても調製することができる。エステル化の際に用いられるアルコールは、炭素数1~4の低級アルコールが好ましく、さらに好ましくはメタノール、エタノールが用いられる。エステル化の際にはフッ化水素が発生するので、設備保護の観点からフッ化水素のトラップ剤として、好ましくはトリアルキルアミン、ピリジンなどの塩基、あるいはフッ化ナトリウムが用いられる。続くアルカリ加溶媒分解においては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化セシウムなどアルカリ金属水酸化物、好ましくは水酸化カリウムが、カルボン酸エステルに対して20~30倍モルの割合で用いられ、また溶媒としては、炭素数1~4の低級アルコールまたは水が、好ましくは生じるカルボン酸アルカリ金属塩の濃度が30~40重量となるように用いられる。この理由は、前方法と同様である。後者の調製法によると、加溶媒分解の際にフッ化水素が生じないので、アルカリ金属水酸化物の使用量が抑えられ、かつ金属フッ化物を生じない点で有利であるが、前者の調製法と比べてエステル化工程が加わることから一段階反応工程が多くなる点で製造工程上不利となる。なお、炭素数2~12のパーフルオロアルキレン基を有するジカルボン酸フロライドは、ジグライムまたはテトラグライムの存在下でFOCRf′CFOまたはFOCCFOに、ヘキサフルオロプロピレンオキシドを反応させることによって製造される。以上の方法によって得られたパーフルオロアルキルカルボン酸アルカリ金属塩の水溶液またはアルコール溶液は、スプレードライヤー、流動式乾燥床など噴霧乾燥機を用いて、溶媒の除去が行われる。噴霧乾燥は、水溶液の場合は乾燥空気中に吹き込むことにより、またメタノール等の有機溶媒溶液の場合には、空気の代わりに加温した窒素を吹き込むことによって行われる。溶媒として用いられた水またはアルコールが乾燥粉末に残存すると、ビニル化工程でビニル基にフッ化水素が付加した化合物が生成し、反応選択性が低下するため好ましくない。従って、好ましくは残溶媒量は1重量以下であり、さらに好ましくは02重量以下となるように噴霧乾燥が行われる。噴霧乾燥時の乾燥温度は、高いほど残溶媒量が少なくなるが、同時にカルボン酸金属塩の熱分解も進行するので、120°C以下が好ましく、さらに好ましくは100~120°Cに設定される。粒子径は任意に設定することができるが、スプレードライヤーを使用した場合には、残溶媒量との兼ね合いから20~300μmとすることが好ましい。スプレードライヤーを使用する場合、粒子径の調整はアトマイザーとよばれる液体を噴霧拡散する円盤型ノズルの回転数で吹き飛ばす液滴のサイズを変更することにより行われる。噴霧乾燥工程によって得たカルボン酸アルカリ金属塩は、加温し、脱炭酸反応を生じさせることでビニル化を進行させることができる。ビニルエーテルは、高温下では不安定であり重合しやすいので、蒸留塔、コンデンサー、受器および大型攪拌設備を取り付けた反応容器で、生じたビニルエーテルを蒸留回収しながら熱分解反応を行うことが好ましい。一般的に、120°C以上、好ましくは150~250°Cの間でビニル化反応が行われる。次に、実施例について本発明を説明する。実施例122 ́[ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩水溶液の調製攪拌装置および冷却装置を備えた容量50LのSUS製オートクレーブに、48重量水酸化カリウム水溶液107kgおよび水107kgを加え、20°Cまで冷却した。次に、純度96重量の22 ́3333 ́3 ́3 ́オクタフルオロ22 ́[ジオキシ]ビスFOCCFOCF2CF2OCFCOF100kgを反応温度が50°Cを超えないように、攪拌しながらゆっくりと滴下した。反応溶液の温度がそれ以上上昇しないことを確認した後冷却を停止し、室温条件下で8時間攪拌を続けた。カートリッジフィルターを通じて反応混合物を回収し、無色透明の液体310kgを得た。得られた液体について19FNMR測定を実施し、既知の22 ́[1122テトラフルオロ12エタンジイル]ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩KOOCCFOCF2CF2OCFCOOKと同等のスペクトルであることが確認された。また、水溶液10gをガラス製シャーレに分取し、100°Cのオーブンで重量変化が1以内となるまで完全に乾燥させたところ、白色の粉末43gが得られたことから、得られた水溶液の全固形分濃度を43とした。なお、19FNMRでの定量より、ジカルボン酸カリウム塩水溶液の濃度は36重量であり、これに基づく回収率は987であった。なお、前記固形分濃度43中、ジカルボン酸カリウム塩は36重量であったことから、副生成物のKFが7重量であると算出される。22 ́[ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩粉末の調製得られた22 ́[ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩水溶液30kgについて、スプレードライヤーを用いて、乾燥空気の入口温度180°C、出口温度120~125°C、水溶液供給速度11kg時間で噴霧乾燥処理を行ったところ、目視粒径80~200μm、残溶媒量19重量の白色粉末127kgが得られた。19FNMR測定を実施し、既知の22 ́[1122テトラフルオロ12エタンジイル]ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩と同等のスペクトルであることが確認され、また19FNMRでの定量より、ジカルボン酸カリウム塩の純度は805重量であった。得られた22 ́[ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩の白色粉末125kgを、攪拌装置、コンデンサー、受器、温度計および窒素導入ラインを備えた容量120LのSUS製反応容器に入れ、攪拌しながら減圧下、100°Cで24時間の加温を行った。粉体の含水率が02重量であることを確認した後、攪拌しながら窒素を微量流しつつ昇温させ、160°Cで8時間の加熱攪拌を行ったところ、粗生成物54kgが得られた。19FNMR測定を実施し、既知の1122テトラフルオロ12ビス[オキシ]エタンCF2CFOCF2CF2OCFCF2と同等のスペクトルであることが確認され、また、ガスクロマトグラフィーによる測定を併用し、構造不明低沸点不純物目的物ジビニルエーテルHF付加副生成物=3489170であることが確認された。実施例2実施例1と同様に調製された22 ́[ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩水溶液43kgを、噴霧乾燥器を使用して、乾燥空気温度120°C、水溶液供給速度71kg時間の条件下で噴霧乾燥処理を行ったところ、粒子径100~200μm、残溶媒量03重量の白色粉末を185kgが得られた。19FNMR測定を行い、既知の22 ́[ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩と同等のスペクトルであることが確認され、また19FNMRでの定量からジカルボン酸カリウム塩の純度は808重量であった。得られた22 ́[ビス]ビス[2333テトラフルオロプロパン酸]二カリウム塩の白色粉末12kgを、実施例1と同様の条件下で加温を行い、粉体の含水率が02重量であることを確認した後、攪拌しながら窒素を微量流しつつ昇温させ、160°Cで12時間の加熱攪拌を行ったところ、粗生成物49kgが得られた。19FNMR測定を実施し、既知の1122テトラフルオロ12ビス[オキシ]エタンCF2CFOCF2CF2OCFCF2と同等のスペクトルであることが確認され、また、ガスクロマトグラフィーによる測定を併用し、構造不明低沸点不純物目的物ジビニルエーテルHF付加副生成物=3090565であることが確認された。