機器又は配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としてのアルカリを作用させてスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で発泡源を添加するか、又は気泡を吹き込みながら行うことを特徴とするアルカリによるスケールの洗浄方法。前記気泡は、その気泡径が100nm~100μmの微細気泡であることを特徴とする請求項1に記載のアルカリによるスケールの洗浄方法。前記発泡源は過酸化水素又は過炭酸ナトリウムであることを特徴とする請求項1に記載のアルカリによるスケールの洗浄方法。前記洗浄時における洗浄液のpHは9以上であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のアルカリによるスケールの洗浄方法。前記洗浄時の圧力は、0.001~0.09MPaであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のアルカリによるスケールの洗浄方法。前記スケールは二酸化珪素を含むものであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のアルカリによるスケールの洗浄方法。前記特許文献1に記載されている従来構成のスケール除去方法は、スケールの除去に先立って機器内や配管内を減圧下に置く方法であり、その後に空気や蒸気を流入させてスケールを除去するものである。しかしながら、機器や配管の内壁面に強固に付着したスケールは、短時間減圧下に置くだけでは十分に剥離しやすい状態には到らず、その後に物理的な除去手段でスケールを取り除くことは困難である。すなわち、減圧下でスケール表面の一部が剥離しやすくなり、その剥離しやすくなったスケールをその後の物理的な除去手段で取り除くことができるに過ぎないのであり、スケールの除去効率は低いという問題があった。本発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものであり、その目的とするところは、スケールの溶解率を高めることができるとともに、スケールの溶解時間を短縮することができ、スケールの除去効率を向上させることができるアルカリによるスケールの洗浄方法を提供することにある。上記の目的を達成するために、請求項1に記載の発明のアルカリによるスケールの洗浄方法は、機器又は配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としてのアルカリを作用させてスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で発泡源を添加するか、又は気泡を吹き込みながら行うことを特徴とする。請求項2に記載の発明のアルカリによるスケールの洗浄方法は、請求項1に係る発明において、前記気泡は、その気泡径が100nm~100μmの微細気泡であることを特徴とする。請求項3に記載の発明のアルカリによるスケールの洗浄方法は、請求項1に係る発明において、前記発泡源は過酸化水素又は過炭酸ナトリウムであることを特徴とする。請求項4に記載の発明のアルカリによるスケールの洗浄方法は、請求項1から請求項3のいずれか一項に係る発明において、前記洗浄時における洗浄液のpHは9以上であることを特徴とする。請求項5に記載の発明のアルカリによるスケールの洗浄方法は、請求項1から請求項4のいずれか一項に係る発明において、前記洗浄時の圧力は、0.001~0.09MPaであることを特徴とする。請求項6に記載の発明のアルカリによるスケールの洗浄方法は、請求項1から請求項5のいずれか一項に係る発明において、前記スケールは二酸化珪素を含むものであることを特徴とする。本発明によれば、次のような効果を発揮することができる。請求項1に係る発明のアルカリによるスケールの洗浄方法では、機器又は配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としてのアルカリを作用させてスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄が減圧状態で発泡源を添加するか、又は気泡を吹き込みながら行われる。このため、減圧状態と、気泡とにより機器又は配管の内壁面に付着したスケールの剥離が促されるとともに、スケールを形成する化合物がアルカリと反応して溶解する。すなわち、減圧状態と、気泡と、アルカリによるスケールの溶解反応との相乗的な働きに基づいて、スケールの溶解を著しく促進させることができる。従って、本発明のアルカリによるスケールの洗浄方法によれば、スケールの溶解率を高めることができるとともに、スケールの溶解時間を短縮することができ、スケールの除去効率を向上させることができるという効果を奏する。以下、本発明を具体化した実施形態について詳細に説明する。本実施形態のアルカリによるスケールの洗浄除去方法は、水タンク、熱交換器、冷却器、凝縮器等の機器、水配管等の配管の内壁面に付着したスケールを洗浄、除去するためのものである。すなわち、該スケールに、洗浄剤としてのアルカリを作用させてスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で行うとともに、発泡源を添加するか、又は気泡を吹き込みながら行うものである。スケールを形成する化合物としては、二酸化珪素SiO2のほか、有機物などが挙げられる。この洗浄方法を実施する際には、前処理として酸を用いた洗浄を行うことが望ましい。酸を用いた洗浄を行うことにより、スケールとしての炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム等の炭酸塩のほか、鉄酸化物、銅酸化物等の金属酸化物を溶解させることができる。このような酸による前処理を例えばpH5以下の酸性条件下に、0.001~0.09MPaという減圧状態で行うことにより、炭酸塩等のスケールを効率良く溶解させることができる。このように、酸に溶解するスケールを除去した後にアルカリを用いてスケールの洗浄を行うことにより、アルカリによるスケールの洗浄を効率良く実施することができる。なお、アルカリによるスケールの洗浄を実施した後に、酸を用いた洗浄を実施することも可能である。前記洗浄剤のアルカリ塩基性物質は、スケールを形成する化合物と反応して該化合物を溶解させるものである。このアルカリとしては、水酸化ナトリウムNaOH、水酸化カリウムKOH等の苛性アルカリ強アルカリが好ましい例として挙げられる。例えば、スケールを形成する化合物としての二酸化珪素珪酸は、水酸化ナトリウムと次式のように溶解反応し、珪酸ナトリウムNa2SiO3、水に可溶と水を生成して溶解する。SiO22NaOH→Na2SiO3H2O前記減圧状態における圧力は、常圧0.1MPaより低い圧力であればよいが、0.001~0.09MPaであることが好ましく、0.005~0.05MPaであることがさらに好ましい。この圧力が0.001MPaを下回る場合には、そのような高真空を得るための設備の構築が難しく、現実的ではない。その一方、0.09MPaを上回る場合には、減圧による効果が得られ難く、スケールの洗浄効果が低下する。前記発泡源は洗浄液中に気泡を発生させるためのものであり、過酸化水素又は過炭酸ナトリウムが用いられる。過酸化水素を用いることにより分解生成物として酸素の気泡が得られ、過炭酸ナトリウムにより分解生成物として同じく酸素の気泡が得られる。前記気泡は、水タンク等の機器、水配管等の配管の内壁面に付着したスケールの剥離を促すとともに、アルカリによるスケールの溶解反応を促進するためのものである。その気泡の気泡径は100nm~100μmの微細気泡ナノバブル又はマイクロバブルであることが好ましい。このような微細気泡はマイクロナノバブル発生装置で容易に発生させることができ、ガスとしては空気のほか、酸素ガス、炭酸ガス等が用いられる。この微細気泡により、機器又は配管の内壁面に付着したスケールの剥離が促されると同時に、該微細気泡が減圧状態で体積膨張して破壊されるときに生ずる超音波振動によりスケールの剥離が一層促進される。前記微細気泡の気泡径が100μmより大きい場合には、微細気泡の機能が十分に発揮されず、スケールの溶解率が低下する。その一方、気泡径が100nmより小さい場合には、そのような微細気泡は独立して存在することが難しく、気泡径に見合う微細気泡の働きが得られ難いとともに、そのような微細気泡を発生させる装置の構築が難しくなる。前記スケールの洗浄時における洗浄液のpHは9以上のアルカリ性であることが望ましく、11以上のアルカリ性であることがさらに望ましい。このようなアルカリ性の条件下で、前記スケールを形成する化合物とアルカリとの溶解反応が進行する。このpHが9を下回る場合には、洗浄剤としてのアルカリとスケールを形成する化合物との反応が阻害され、スケールの溶解が進行し難くなって好ましくない。次に、本実施形態におけるアルカリによるスケールの洗浄方法について作用を説明する。さて、水タンク等の機器、水配管等の配管の内壁面に付着したスケールを洗浄する場合には、機器又は配管内にアルカリの水溶液を注入するとともに、機器又は配管内を所定の減圧状態に設定し、かつ洗浄液に発泡源を添加するか、又は機器又は配管内に微細気泡を吹き込む。すると、機器又は配管の内壁面に付着したスケールは、減圧作用により内壁面から剥がれるような力を受ける。同時に、微細気泡は減圧によって体積膨張し、その後破裂し、膨張した気泡の破裂により超音波振動が生じてスケールが内壁面から浮き上がるような力を受ける。加えて、機器又は配管の内壁面から剥がれ又は浮き上がったスケールにはアルカリが反応し、そのスケールが溶解する。このとき、機器又は配管の内壁面から剥がれ又は浮き上がったスケールはアルカリとの接触面積が増えて反応しやすくなり、溶解反応が促される。さらに、この溶解反応が、気泡微細気泡に基づく洗浄液の撹拌により促進される。言い換えれば、減圧状態と、気泡と、アルカリによるスケールの溶解反応とが相俟って相乗的に作用し、機器又は配管の内壁面に強固に付着したスケールの剥離、溶解を著しく進行させることができる。以上説明した実施形態によって発揮される効果を以下にまとめて記載する。1本実施形態のアルカリによるスケールの洗浄方法では、機器又は配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としてのアルカリを作用させてスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄が減圧状態で発泡源を添加するか、又は気泡を吹き込みながら行われる。このため、減圧状態と、気泡の吹き込みとにより機器又は配管の内壁面に付着したスケールの剥離が促されるとともに、スケールを形成する化合物がアルカリと反応して溶解する。すなわち、減圧状態と、気泡と、アルカリによるスケールの溶解反応との相乗的な働きに基づいて、スケールの溶解を著しく促進させることができる。従って、本実施形態のアルカリによるスケールの洗浄方法によれば、スケールの溶解率を高めることができるとともに、スケールの溶解時間を短縮することができ、スケールの除去効率を向上させることができるという効果を発揮することができる。2前記気泡は、その気泡径が100nm~100μmの微細気泡である。このため、ナノオーダー又はマイクロオーダーの微細気泡により、スケールの剥離やスケールを形成する化合物の溶解反応を有効に促進させることができる。3前記発泡源は過酸化水素又は過炭酸ナトリウムである。このため、気泡として酸素の気泡が容易に得られ、スケールの溶解促進を図ることができる。4前記洗浄時における洗浄液のpHは9以上に設定される。そのため、スケールを形成する化合物とアルカリとの溶解反応を十分に促すことができ、スケールの溶解を促進することができる。5前記洗浄時の圧力は0.001~0.09MPaである。従って、減圧に基づいて機器又は配管の内壁面に付着したスケールの剥離やさらにはスケールの溶解の効率を高めることができる。6前記スケールは二酸化珪素を含むものであることにより、その二酸化珪素をアルカリと反応させて容易かつ速やかに溶解させることができる。次に、実施例及び比較例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。実施例1及び比較例1~3圧力容器内に、濃度2.0質量に調整した水酸化ナトリウム水溶液100mlを注入し、そこにスケールを形成する化合物として二酸化珪素を投入した。その後、圧力容器内の圧力を0.1MPa常圧、比較例2及び3、0.02MPa実施例1に設定するとともに、マイクロナノバブル発生装置を使用して気泡径が100nm~100μmの微細気泡空気を吹き込み、スケールの洗浄を行った。比較例1では減圧0.02MPa下で微細気泡の吹き込みを行わず、比較例2では常圧下で微細気泡を吹き込み、比較例3では常圧下で微細気泡の吹き込みを行わなかった。そして、洗浄時間が0分、15分、30分、100分、150分及び200分経過する毎にスケールの溶解率を測定した。スケールの溶解率は、各洗浄時間におけるスケールの残量を測定することにより求めた。その結果を表1に示した。また、実施例1における洗浄液のpHは13であった。表1に示したように、実施例1ではスケールの洗浄を減圧状態で行うと同時に、微細気泡を吹き込みながら行ったことにより、スケールの溶解速度が速く、200分で溶解率が100に到る結果を得ることができた。その一方、減圧下で微細気泡の吹き込みを行わない比較例1、常圧下で微細気泡の吹き込みを行った比較例2及び常圧下で微細気泡の吹き込みを行わなかった比較例3では、スケールの溶解速度が遅く、十分な溶解率が得られなかった。実施例2及び比較例4圧力容器内に、濃度1.0質量に調整した水酸化ナトリウム水溶液と濃度0.35質量の過酸化水素が含まれるように過酸化水素水で調整した水溶液を注入し、そこにスケールを形成する化合物として二酸化珪素を投入した。その後、圧力容器内の圧力を0.1MPa常圧、比較例4、0.01MPa実施例2に設定してスケールの洗浄を行った。そして、洗浄時間が0分、30分、60分、90分及び120分経過する毎にスケールの溶解率を測定した。スケールの溶解率は、各洗浄時間におけるスケールの残量を測定することにより求めた。それらの結果を表2に示した。なお、実施例2における洗浄液のpHは12.9であった。表2に示したように、実施例2ではスケールの洗浄を減圧状態で行うと同時に、発泡源として過酸化水素を用いて行ったことにより、スケールの溶解率が十分に高くなる結果を得ることができた。その一方、常圧下でスケールの洗浄を行った比較例4では、実施例2に比べてスケールの溶解率が低い結果であった。実施例3及び比較例5圧力容器内に、濃度1.0質量に調整した水酸化ナトリウム水溶液と濃度0.35質量の過炭酸ナトリウムが含まれるように過炭酸ナトリウム水溶液で調整した水溶液を注入し、そこにスケールを形成する化合物として二酸化珪素を投入した。その後、圧力容器内の圧力を0.1MPa常圧、比較例5及び0.01MPa実施例3に設定してスケールの洗浄を行った。そして、洗浄時間が0分、30分、60分、90分及び120分経過する毎にスケールの溶解率を測定した。スケールの溶解率は、各洗浄時間におけるスケールの残量を測定することにより求めた。それらの結果を表3に示した。なお、実施例3における洗浄液のpHは12.8であった。表3に示したように、実施例3ではスケールの洗浄を減圧状態で行うと同時に、発泡源として過炭酸ナトリウムを用いて行ったことにより、スケールの溶解率が十分に高くなる結果を得ることができた。その一方、常圧下でスケールの洗浄を行った比較例5では、実施例3に比べてスケールの溶解率が劣る結果であった。なお、前記実施形態を次のように変更して具体化することも可能である。前記微細気泡の吹き込み量や気泡径は、機器又は配管の内壁面におけるスケールの生成量や減圧度とのバランスによって設定することができる。前記洗浄剤のアルカリとスケールを形成する化合物との溶解反応を促進させるため、アルカリの濃度や添加量を変更したり、pHを調節したり、加熱したりすることができる。前記洗浄剤としてのアルカリを、スケールを形成する化合物の種類等に応じて複数のアルカリを組合せて使用することも可能である。前記洗浄時における減圧状態は、減圧度を徐々に高めたり、徐々に低くしたり等、スケールの溶解程度に応じて適宜変化させることができる。前記アルカリ以外の洗浄剤として、界面活性剤、キレート化剤、ビルダー剤等をアルカリと併用することも可能である。