バルブ筐体と、前記バルブ筐体内にバルブ室を構成し、当該バルブ室内の流体の圧力によって変位するダイヤフラムと、を備え、前記バルブ筐体には、前記バルブ室に連通し、前記バルブ筐体の前記バルブ室へ流体が流入する第1の流体ポートと、前記バルブ筐体の前記第1の流体ポートの周縁に位置する弁座と、ポンプが接続されて当該ポンプによる流体の吸引圧力によって前記バルブ室から流体が流出する第2の流体ポートと、が形成され、前記弁座に当接し、当該第1の流体ポートから前記バルブ室への流体の流入を遮断する方向へ前記弁座を与圧して、前記第1の流体ポートから前記バルブ室への流体の流入を遮断する弁部を備え、前記弁部は、前記吸引圧力による前記ダイヤフラムの変位によって前記弁座から離間し、前記第1の流体ポートから前記バルブ室への流体の流入を開放させる、順止バルブ。前記弁部は、前記弁座に当接する弁体部と、前記ダイヤフラムと前記ダイヤフラムに対向する前記バルブ筐体の面との間に位置する弾性部と、前記弁体部と前記弾性部との間を繋ぐ軸部と、を備え、前記弾性部は、前記弁体部を前記弁座側へ前記軸部を介して附勢する、請求項1に記載の順止バルブ。前記ダイヤフラムは、前記バルブ筐体内を分割して前記バルブ室と背圧室とを構成し、前記バルブ室と前記背圧室の流体の圧力差によって変位し、前記バルブ筐体には、前記ポンプの吐出圧力を前記背圧室へ印加する第3の流体ポートが更に形成された、請求項1又は2に記載の順止バルブ。前記バルブ筐体には、流体の供給を受けて発電する発電セルが接続されて前記ポンプによる流体の吐出圧力によって前記背圧室から流体が前記発電セルへ流出する第4の流体ポートが更に形成された、請求項3に記載の順止バルブ。請求項1から4のいずれかに記載の順止バルブと、前記順止バルブの前記第1の流体ポートに接続される燃料貯蔵部と、前記順止バルブの前記第2の流体ポートに接続されるポンプと、を備える燃料電池システム。そこで本発明は、能動素子を用いることなく弁の開閉が可能で、発電セルへの過剰供給を防止できる順止バルブ、及びこの順止バルブを備える燃料電池システムの提供を目的とする。本発明の順止バルブは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。1バルブ筐体と、前記バルブ筐体内にバルブ室を構成し、当該バルブ室内の流体の圧力によって変位するダイヤフラムと、を備え、前記バルブ筐体には、前記バルブ室に連通し、前記バルブ筐体の前記バルブ室へ流体が流入する第1の流体ポートと、前記バルブ筐体の前記第1の流体ポートの周縁に位置する弁座と、ポンプが接続されて当該ポンプによる流体の吸引圧力によって前記バルブ室から流体が流出する第2の流体ポートと、が形成され、前記弁座に当接し、当該第1の流体ポートから前記バルブ室への流体の流入を遮断する方向へ前記弁座を与圧して、前記第1の流体ポートから前記バルブ室への流体の流入を遮断する弁部を備え、前記弁部は、前記吸引圧力による前記ダイヤフラムの変位によって前記弁座から離間し、前記第1の流体ポートから前記バルブ室への流体の流入を開放させる。この構成の順止バルブを燃料電池システムに適用した場合には、燃料貯蔵部が第1の流体ポートに接続され、ポンプが第2の流体ポートに接続される。この構成において、吸引圧力をポンプに生じさせ、当該吸引圧力によって流体をバルブ室から第2の流体ポートを介して流出させると、ダイヤフラムの変位によって弁部が弁座から離間する。これにより、弁が開き、流体が第1の流体ポートからバルブ室へ流入する。そして、ポンプの駆動を停止すると、弁部が弁座を再び与圧するため、弁が閉じた状態となる。これにより、燃料貯蔵部内の圧力が極めて高くなった場合でも、弁部が第1の流体ポートからバルブ室への流体の流入を遮断するため、発電セルへの過剰供給を防止できる。特に、ポンプが、燃料カートリッジから流体を搬送する燃料搬送手段として機能するだけでなく、順止バルブに加える吸引圧力を発生させる手段としても機能する。すなわち、流体の搬送に連動して動作し、ポンプによって生じる吸引圧力との比較により過剰供給を防止することができるので、より適切な供給を行うことができる。また、燃料電池システムを簡易な構造にすることができる。以上より、この構成の順止バルブによれば、能動素子を用いることなく弁を開閉でき、発電セルへの過剰供給を防止できる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。2前記弁部は、前記弁座に当接する弁体部と、前記ダイヤフラムと前記ダイヤフラムに対向する前記バルブ筐体の面との間に位置する弾性部と、前記弁体部と前記弾性部との間を繋ぐ軸部と、を備え、前記弾性部は、前記弁体部を前記弁座側へ前記軸部を介して附勢することが好ましい。この構成において、吸引圧力をポンプに生じさせ、当該吸引圧力によって流体をバルブ室から流出孔を介して流出させると、ダイヤフラムが弾性部を押し下げながら下降する。これにより、弁体部が連動して弁座から離間し、弁が開く。即ち、流体が流入孔からバルブ室へ流入する。そして、ポンプの駆動を停止すると、弾性部が弁体部を弁座側へ軸部を介して附勢することにより弁体部が弁座に当接して与圧するため、弁が閉じる。また、燃料貯蔵部内の圧力が極めて高くなった場合でも、弁体部が第1の流体ポートからバルブ室への流体の流入を遮断するため、発電セルへの過剰供給を防止できる。また、一度過剰供給を遮断したとしても正常状態に戻れば再び供給を開始することができ、繰り返し使用ができる。3前記ダイヤフラムは、前記バルブ筐体内を分割して前記バルブ室と背圧室とを構成し、前記バルブ室と前記背圧室の流体の圧力差によって変位し、前記バルブ筐体には、前記ポンプの吐出圧力を前記背圧室へ印加する第3の流体ポートが更に形成されることが好ましい。この構成では、燃料貯蔵部が第1の流体ポートに接続され、ポンプの流入孔が第2の流体ポートに接続され、ポンプの吐出孔が第3の流体ポートに接続される。4前記バルブ筐体には、流体の供給を受けて発電する発電セルが接続されて前記ポンプによる流体の吐出圧力によって前記背圧室から流体が前記発電セルへ流出する第4の流体ポートが更に形成されることが好ましい。この構成では、燃料貯蔵部が第1の流体ポートに接続され、ポンプの流入孔が第2の流体ポートに接続され、ポンプの吐出孔が第3の流体ポートに接続され、発電セルが第4の流体ポートに接続される。また、本発明の燃料電池システムは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。5上記1~4のいずれかに記載の順止バルブと、前記順止バルブの前記第1の流体ポートに接続される燃料貯蔵部と、前記順止バルブの前記第2の流体ポートに接続されるポンプと、を備える。この構成により、上記1~4のうちいずれかに記載の順止バルブを用いることで、当該順止バルブを備える燃料電池システムにも同様の効果を奏する。この発明によれば、能動素子を用いることなく弁を開閉でき、発電セルへの過剰供給を防止できる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。《第1の実施形態》以下、本発明の第1の実施形態に係る順止バルブ101について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る順止バルブ101を備える燃料電池システム100のシステム構成図である。燃料電池システム100は、燃料であるメタノールを貯蔵する燃料カートリッジ102と、順止バルブ101と、メタノールを輸送するマイクロポンプ103以後、ポンプ103と称する。と、ポンプ103からメタノールの供給を受けて発電する発電セル104と、を備える。ダイレクトメタノール型燃料電池DMFCにおいては、燃料であるメタノールの輸送を行うポンプ103を備えている。一般に、弁方式のポンプ103には弁による逆止機能はあるが、順止機能は無い。順止機能の無いポンプ103を用いると、上流側の圧力順方向の圧力がメタノールに印加される場合に、ポンプ103の非作動時にもメタノールが流れてしまう。そのため、この実施形態では、ポンプ103と組み合わせて使用し、ポンプ圧力を利用して弁の開閉を行う順止バルブ101を用いる。順止バルブ101は、詳細を後述するが、ダイヤフラム20とともにバルブ室30を構成するバルブ筐体40を備える。バルブ筐体40には、燃料カートリッジ102が接続される第1の流体ポートとしての流入孔41と、ポンプ103が接続される第2の流体ポートとしての流出孔42とが形成されている。燃料電池システム100では、ポンプ103によるメタノールの吸引圧力P2によってメタノールが燃料カートリッジ102から流入孔41を介してバルブ室30へ流入する。そして、ポンプ103によるメタノールの吸引圧力P2によってバルブ室30から流出孔42を介してポンプ103へメタノールが流出する。そして、メタノールはポンプ103によって発電セル104へ供給される。図2Aは、本発明の第1の実施形態に係る順止バルブ101の平面図である。図2Bは、図2Aに示すS-S線の断面図である。順止バルブ101は、図2ABに示すように、可動部となるダイヤフラム20と、バルブ筐体40と、弁部50と、を備える。ダイヤフラム20は、円板状に形成されている。ダイヤフラム20は、周縁部21がバルブ筐体40に載置し接合されてバルブ筐体40とともにバルブ室30を構成する。ここで、ダイヤフラム20の上部には大気圧P0が加わる。ダイヤフラム20の材質は、耐メタノール性の高いゴム、例えばエチレンプロピレンゴムまたはシリコーンゴム等が好ましいがこれに限るものではない。バルブ筐体40は、略正方形板状に形成されている。バルブ筐体40には、バルブ室30に連通し、バルブ筐体40のバルブ室30へ流体が流入する流入孔41と、流入孔41に連通する開口部47と、バルブ筐体40の流入孔41の周縁に位置する凹に曲面状の弁座46と、ポンプ103が接続されてポンプ103による流体の吸引圧力P2によってバルブ室30から流体が流出する流出孔42と、が形成されている。また、バルブ筐体40には、ダイヤフラム20の周縁部21が接合される環状の側壁部49が形成されている。ここで、ダイヤフラム20は、弁部50の弾性部51の上端に当接するようダイヤフラム20の流入孔41側を凸にしてダイヤフラム20が反った状態で側壁部49上に接合されることが好ましい。このように接合する理由は、仮にダイヤフラム20を張った状態で側壁部49上に接合した場合、ダイヤフラム20の張力の影響で、後述の圧力差に影響を及ぼす可能性があるからである。なお、バルブ筐体40の材質は、耐メタノール性の高い樹脂、例えばPPSPolyphenylenesulfide樹脂等からなる。バルブ筐体40は、モールド金型を用いて射出成形することにより形成される。弁部50は、傘状に形成されている。弁部50は、弁座46に当接するよう配置され、流入孔41からバルブ室30への流体の流入を遮断する方向へ弁座46を与圧して、流入孔41からバルブ室30への流体の流入を遮断する。また、弁部50は、ダイヤフラム20の変位によって弁座46から離間し、流入孔41からバルブ室30への流体の流入を開放させる。弁部50はゴム部材を用いることが好ましく、耐メタノール性の高いゴム、例えばシリコーンゴム等を用いることができるが、これに限るものではない。詳述すると、弁部50は、ダイヤフラム20と当該ダイヤフラム20が対向するバルブ室30の面との間に位置する傘カバー状の弾性部51と、弁座46に当接して、流入孔41からバルブ室30への流体の流入を遮断する球状の弁体部53と、弾性部51と弁体部53との間を繋ぐ棒状の軸部52と、を有する。弁体部53の曲率は、弁座46の曲率と等しい。弾性部51は、傘が閉じる方向へ変形することにより、弁体部53を軸部52を介して弁座46側へ持ち上げる。そして、弾性部51は、弁体部53を弁座46に当接させて弁座46を与圧力Fで与圧する。なお、弁部50は、弾性部51をバルブ筐体40の流入孔41から挿入することにより流入孔41に配置される。ここで、順止バルブ101の弁開閉動作を説明する。図3Aは、弁閉時における図2Aに示すS-S線の断面図である。図3Bは、弁開時における図2Aに示すS-S線の断面図である。ダイヤフラム20の中央部22は、燃料カートリッジ102内の圧力P1[gage]及び与圧力Fとポンプ103による吸引圧力P2[gage]との圧力差によって変位する。詳述すると、弁体部53と弁座46との当接面積をA1とし、ダイヤフラム20の中央部22の流入孔41側の面の面積をA2としたとき、|P2|≦P1A1/A2-A1F/A2-A1であれば、ダイヤフラム20の中央部22は変位せず、弁部50が閉じた状態となる図3A参照。一方、|P2|>P1A1/A2-A1F/A2-A1であれば、ダイヤフラム20の中央部22が流入孔41側へ下降し、弁部50が開いた状態となる図3B参照。そのため、|P2|>P1A1/A2-A1F/A2-A1を満たす吸引圧力P2をポンプ103に生じさせ、当該吸引圧力P2によって流体をバルブ室30から流出孔42を介して流出させると、ダイヤフラム20の中央部22が弁部50の弾性部51を押し下げながら下降する。これにより、弾性部51は傘が開く方向へ変形していき、弁体部53は連動して弁座46から離間するため、弁部50が開く図3B参照。即ち、流体が燃料カートリッジ102から流入孔41を介してバルブ室30へ流入する。ここで、燃料カートリッジ102内で通常時に発生する圧力P1の範囲は、例えば100kPaまでの範囲であり、ポンプ103の発生できる吸引圧力P2に比べて高くなることもある。しかし、この実施形態の順止バルブ101における弁の開閉には、上述したように|P2|≦P1A1/A2-A1F/A2-A1|P2|>P1A1/A2-A1F/A2-A1の式が成立している。この式では、ダイヤフラム面積A2と当接面積A1との面積差が、燃料カートリッジ102内の圧力P1とポンプ103による吸引圧力P2との圧力差を吸収する関係となっている。そのため、この実施形態の順止バルブ101では、ポンプ103が圧力P1に比べ小さな吸引圧力P2で弁部50を開くことができる。ここで、当該面積差が大きくなるよう、ダイヤフラム20の中央部22の直径は10mm以上で、弁体部53の直径は1mm以下であることが好ましい。そして、ポンプ103の駆動を停止すると、弾性部51が弁体部53を弁座46側へ軸部52を介して持ち上げることにより弁体部53が弁座46に当接して与圧するため、弁が閉じる図3A参照。また、環境温度の上昇などによって燃料カートリッジ102内の圧力P1が吸引圧力P2に比べて極めて高くなった場合例えば500kPa、上記の式の右辺の値が大きくなるため、弁部50が閉じた状態となる図3A参照。即ち流体が弁体部53により遮断されるため、発電セル104への過剰供給を防止できる。以上より、この実施形態の順止バルブ101によれば、能動素子を用いることなく弁を開閉でき、発電セル104への過剰供給を防止できる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。特に、ポンプ103が、燃料カートリッジ102から流体を搬送する燃料搬送手段として機能するだけでなく、順止バルブ101に加える吸引圧力P2を発生させる手段としても機能する。すなわち、流体の搬送に連動して動作し、ポンプ103によって生じる吸引圧力P2との比較により過剰供給を防止することができるので、より適切な供給を行うことができる。また、燃料電池システム100を簡易な構造にすることができる。また、この実施形態の順止バルブ101を用いることで、燃料電池システム100においても同様の効果を奏する。さらに、能動素子を駆動するために必要な駆動回路及び電力なども不要であるため、当該順止バルブ101を備える燃料電池システム100では省エネルギー化小型化も図ることができる。《第2の実施形態》図4は、本発明の第2の実施形態に係る順止バルブ201を備える燃料電池システム200のシステム構成図である。図5Aは、本発明の第2の実施形態に係る順止バルブ201の平面図である。図5Bは、図5Aに示すT-T線の断面図である。この実施形態における順止バルブ201が第1の実施形態に係る順止バルブ101と相違する点は、バルブ筺体40第1のバルブ筺体に加えて、バルブ筐体45第2のバルブ筺体を設けた点である。その他の構成については同じである。詳述すると、バルブ筐体45は、その側壁部48がダイヤフラム20の周縁部21に接合され、バルブ筺体40の側壁部49とともに周縁部21を挟持する。ダイヤフラム20は、バルブ筺体40及びバルブ筐体45内を分割してバルブ室30と背圧室31とを構成する。ダイヤフラム20は、バルブ室30の流体の圧力P2[gage]と背圧室31の流体の圧力P3[gage]との圧力差によって変位する。バルブ筐体45には、ポンプ103の吐出圧力P3を背圧室31へ印加する流入孔43が形成されている。この実施形態の燃料電池システム200では、メタノールが燃料カートリッジ102から順止バルブ201のバルブ室30へ流入孔41を介して流入する。そして、ポンプ103によるメタノールの吸引圧力によってバルブ室30から流出孔42を介してポンプ103へメタノールが流出する。そして、メタノールはポンプ103によって流入孔43を介して背圧室31へ吐出されるとともに発電セル104へ供給される。次に、順止バルブ201の弁開閉動作を説明する。図6Aは、弁閉時における図5Aに示すT-T線の断面図である。図6Bは、弁開時における図5Aに示すT-T線の断面図である。ダイヤフラム20の中央部22は、燃料カートリッジ102内の圧力P1及び与圧力Fとポンプ103の発生圧力P3-P2との圧力差によって変位する。詳述すると、弁体部53と弁座46との当接面積をA1とし、ダイヤフラム20の中央部22の流入孔41側の面の面積をA2としたとき、P3-P2≦P1―P3A1/A2-A1F/A2-A1であれば、ダイヤフラム20の中央部22は変位せず、弁部50が閉じた状態となる図6A参照。一方、P3-P2>P1―P3A1/A2-A1F/A2-A1であれば、ダイヤフラム20の中央部22が流入孔41側へ下降し、弁部50が開いた状態となる図6B参照。そのため、P3-P2>P1―P3A1/A2-A1F/A2-A1を満たす圧力P3-P2をポンプ103に生じさせ、当該吸引圧力によって流体をバルブ室30から流出孔42を介して流出させると、ダイヤフラム20の中央部22が弁部50の弾性部51を押し下げながら下降する。これにより、弾性部51は傘が開く方向へ変形していき、弁体部53は連動して弁座46から離間するため、弁部50が開く図6B参照。即ち、流体が燃料カートリッジ102から流入孔41を介してバルブ室30へ流入する。そして、ポンプ103の駆動を停止すると、弾性部51が弁体部53を弁座46側へ軸部52を介して持ち上げることにより弁体部53が弁座46に当接して与圧するため、弁が閉じる図6A参照。また、燃料カートリッジ102内の圧力P1が極めて高くなった場合でも、弁体部53が流入孔41からバルブ室30への流体の流入を遮断するため、発電セル104への過剰供給を防止できる図6A参照。従って、この実施形態の順止バルブ201によれば、順止バルブ101と同様の効果を奏する。また、この実施形態の順止バルブ201を用いることで、当該順止バルブ201を備える燃料電池システム200においても同様の効果を奏する。《第3の実施形態》図7は、本発明の第3の実施形態に係る順止バルブ301を備える燃料電池システム300のシステム構成図である。図8Aは、本発明の第3の実施形態に係る順止バルブ301の平面図である。図8Bは、図8Aに示すU-U線の断面図である。この実施形態における順止バルブ301が第2の実施形態に係る順止バルブ201と相違する点は、バルブ筐体45に流出孔44を形成した構造のバルブ筐体345である。その他の構成については同じである。詳述すると、バルブ筐体345には、発電セル104が接続され、ポンプ103による流体の吐出圧力P3によって背圧室31から流体が発電セル104へ流出する流出孔44が更に形成されている。この実施形態の燃料電池システム300では、メタノールが燃料カートリッジ102から順止バルブ301のバルブ室30へ流入孔41を介して流入する。そして、ポンプ103によるメタノールの吸引圧力によってバルブ室30から流出孔42を介してポンプ103へメタノールが流出する。そして、メタノールはポンプ103によって流入孔43を介して背圧室31へ吐出され、背圧室31を経由して流出孔44から発電セル104へ供給される。次に、順止バルブ301の弁開閉動作を説明する。図9Aは、弁閉時における図8Aに示すU-U線の断面図である。図9Bは、弁開時における図8Aに示すU-U線の断面図である。ダイヤフラム20の中央部22は、燃料カートリッジ102内の圧力P1及び与圧力Fとポンプ103の発生圧力P3-P2との圧力差によって変位する。詳述すると、弁体部53と弁座46との当接面積をA1とし、ダイヤフラム20の中央部22の流入孔41側の面の面積をA2としたとき、P3-P2≦P1―P3A1/A2-A1F/A2-A1であれば、ダイヤフラム20の中央部22は変位せず、弁部50が閉じた状態となる図9A参照。一方、P3-P2>P1―P3A1/A2-A1F/A2-A1であれば、ダイヤフラム20の中央部22が流入孔41側へ下降し、弁部50が開いた状態となる図9B参照。そのため、P3-P2>P1―P3A1/A2-A1F/A2-A1を満たす圧力P3-P2をポンプ103に生じさせ、当該吸引圧力によって流体をバルブ室30から流出孔42を介して流出させると、ダイヤフラム20の中央部22が弁部50の弾性部51を押し下げながら下降する。これにより、弾性部51は傘が開く方向へ変形していき、弁体部53は連動して弁座46から離間するため、弁部50が開く図9B参照。即ち、流体が燃料カートリッジ102から流入孔41を介してバルブ室30へ流入する。そして、ポンプ103の駆動を停止すると、弾性部51が弁体部53を弁座46側へ軸部52を介して持ち上げることにより弁体部53が弁座46に当接して与圧するため、弁が閉じる図9A参照。また、燃料カートリッジ102内の圧力P1が極めて高くなった場合でも、弁体部53が流入孔41からバルブ室30への流体の流入を遮断するため、発電セル104への過剰供給を防止できる図9A参照。従って、この実施形態の順止バルブ301によれば、順止バルブ101と同様の効果を奏する。また、この実施形態の順止バルブ301を用いることで、当該順止バルブ301を備える燃料電池システム200においても同様の効果を奏する。《その他の実施形態》以上の実施形態では流体としてメタノールを用いているが、当該流体が、気体、液体、気液混合流、固液混合流、固気混合流などのいずれであっても適用できる。なお、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。