少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記突起部の運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置であって、前記振動体が、基部と、突起部を備え、前記突起部は、前記基部に対して面外方向に伸びる、前記被駆動体の駆動方向と直交した方向に平行に形成された2つの壁部及び前記被駆動体の駆動方向と平行に形成された2つの壁部と、前記それぞれの各壁部の間を連結して形成された前記被駆動体との接触面を備えた接触部と、によって構成されていることを特徴とする振動波駆動装置。前記突起部は、前記それぞれの各壁部を含む前記接触部と前記基部の間に空間を有する構造に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の振動波駆動装置。前記突起部と前記電気-機械エネルギ変換素子に挟まれた前記基部の一部の領域に、貫通穴が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動波駆動装置。前記突起部が、前記基部に設けられた複数のスリット又は切り欠きを介して該基部を構成する一つの部材から一体的に形成され、前記それぞれの各壁部に隣接する前記基部がお互いに接することなく構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の振動波駆動装置。少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置における振動体の製造方法であって、前記突起部と前記振動体とを一体的に形成するための一つの部材を用意し、前記部材の一部の領域に複数のスリット又は切り欠きを形成する工程と、前記スリット又は切り欠きに挟まれた部分の一部で、前記駆動方向と直交した方向に平行な2つの壁部と前記駆動方向と平行に2つの壁部を有した前記突起部を、曲げ加工又は絞り加工を用いて形成する工程と、を有することを特徴とする振動体の製造方法。しかしながら、特許文献2の振動アクチュエータの構成では以下に述べるようにモータの高速化に限界がある。送り方向X方向の振動振幅を拡大させる方法の1つとして突起部の高さを高くすることが挙げられる。しかし、特許文献2の振動子601において突起部の高さを高くすると送り方向の突起部の剛性が低くなり駆動効率が落ちると共に、上記Mode-Bである突上げモードにおいて突起部先端の振動角度を所望の値にする上で、必ずしも満足の得られないこととなる。その結果、Z方向の不要振幅が生じスライダとの接触が不安定になる。一方、特許文献1の振動子では、突起高さを高くすると高速化を実現することが出来るものの、製造上におけるコストの点で課題を有している。本発明は、上記課題に鑑み、低コストで製造することができ、高速化を図ることが可能となる振動波駆動装置とその振動体の製造方法の提供を目的とするものである。本発明の振動波駆動装置は、少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記突起部の運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置であって、前記振動体が、基部と、突起部を備え、前記突起部は、前記基部に対して面外方向に伸びる、前記被駆動体の駆動方向と直交した方向に平行に形成された2つの壁部及び前記被駆動体の駆動方向と平行に形成された2つの壁部と、前記それぞれの各壁部の間を連結して形成された前記被駆動体との接触面を備えた接触部と、によって構成されていることを特徴とする。また、本発明の振動波駆動装置における振動体の製造方法は、少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波駆動装置における振動体の製造方法であって、前記突起部と前記振動体とを一体的に形成するための一つの部材を用意し、前記部材の一部の領域に複数のスリット又は切り欠きを形成する工程と、前記スリット又は切り欠きに挟まれた部分の一部で、前記駆動方向と直交した方向に平行な2つの壁部と前記駆動方向と平行に2つの壁部を有した前記突起部を、曲げ加工又は絞り加工を用いて形成する工程と、を有することを特徴とする。本発明によれば、低コストで製造することができ、高速化を図ることが可能となる振動波駆動装置とその振動体の製造方法を実現することができる。本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。[実施例1]実施例1として、本発明の振動波駆動装置の構成について説明する。本実施例の振動波駆動装置は、少なくとも、バネ性を有する突起部が形成された振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動するように構成される。具体的には図1に示されるように、本実施例の振動子111は、矩形の薄板状に形成された圧電素子107と、この圧電素子107の一端面に接合されて一体化される振動体101とにより構成されている。振動体101には、スライダ不図示と接触する2つの突起部109、110が設けられており、この突起部109、110を介してスライダと振動体101とが加圧接触している。圧電素子107に交流電界を印加すると、振動子111に2つの曲げ振動モードが励振され、突起部109、110の接触面には楕円運動が励振される。その結果、突起部109、110と加圧接触しているスライダは、摩擦駆動力を受け、X方向送り方向に駆動される。ここで、振動体の構成について説明する。振動体は、基部と突起部とによって形成される。そして、この突起部は基部に対して面外方向に伸びる上記被駆動体の駆動方向と直交した平行な方向に形成された2つの壁部及び上記被駆動体の駆動方向と平行な方向に形成された2つの壁部とを備える。また、これらそれぞれの各壁部の間を連結して形成された上記被駆動体との接触面を有する接触部を備える。具体的には、振動体101は、基部102と突起部109、110からなる。これらの突起部109、110は、従来の技術で示した図7b-1と同様の2次の曲げモード送りモードの節部近傍に形成されている。突起部109、110は、4つの壁部14a、14b、14c、14dと接触部16と固定部13a、13b、13c、13dからなる。接触部16は、スライダに押圧接触される接触面を表面に形成している。壁部14a、14bは同一のZY面内にある。つまり突起部109、110は送り方向X方向と直交した方向Y方向に平行な2つの付け根を有する。接触部16を高い位置に形成すればするほど、X方向の剛性が低下し、駆動力を十分に伝えることができない。そこで、X方向の剛性を高め、振動子が発生する推力に対する変形量が振動振幅に対して十分小さくなるように、壁部14a、14bのX方向の幅の大きさを決定する。壁部14c、14dは壁部14a、14bと直交した方向に形成している。図6bは本実施例の形態から壁部14c、14dを除いた振動体と圧電素子が接着された状態でFEM解析を行った結果であるが、壁部14a、14bのみでは、突上げモード図7に示すMode-Bを励振した際、接触部16下の圧電素子のZ方向の変位方向と反対方向に接触部16が変位し、安定した駆動をさせることが出来ない。図6aは本実施例の形態の振動体101と圧電素子107が接着された状態でFEM解析を行った結果の突上げモード図であるが、壁部14c、14dを設け、接触部16を支えることで、突上げモードを励振した際、接触部16下の圧電素子107のZ方向の変位方向と同じ方向に接触部16が変位し安定した駆動をさせることが出来る。また、壁部14c、14dを設けることで、X方向に対する剛性を大きくすることもでき、駆動力を十分に伝えることが出来る。図1に示す構成にしつつ、スライダにバネ性を持たせることで振動子111とスライダは良好な接触状態を実現できる。また、高速化のために突起部109、110の高さを高くしても突起部109、110は壁部14a、14bによりスライダの駆動方向であるX方向の剛性が確保されているため、振動子111の駆動力を効率良くスライダに伝達することが出来る。また、図7に示す剛体の突起部503-1、504-1が設けられている振動体501と比較し、本実施例の振動体101では突起部109、110がバネ性を有する構造に構成される。更に、突起部109、110は、上記それぞれの各壁部を含む接触部16と基部102の間に空間を有する構造に構成される。一般に、振動体101の板厚が小さいほど、曲げ剛性が小さくなるので、本実施例の形態にすることで、突上げモードでの曲げ剛性が小さくなり、その結果電力効率を高くすることが出来る。つぎに、本実施例の振動波駆動装置における振動体101の製造方法の例を以下に説明する。本実施例では、振動体の材質としてステンレス材料、特に耐摩耗性の高いSUS420J2やSUS440Cなどを用いている。突起部109、110は板材からプレス加工等により別体で成形する。基部102は平板を用いる。突起部109、110を基部102に位置決めした後、突起部109、110と基部102の接触している固定部13a、13b、13c、13dをレーザー溶接や接着等で接合することにより、振動体101を製作する。以上の本実施例の構成によれば、突起部が送り方向と平行な方向に2つの壁部を有し、また送り方向と垂直な方向に2つの壁部を有することで、突起部を高くしても突上げモードの際、突起部の接触部を圧電素子と同じ方向に変位させることができる。これにより、スライダと安定接触することができ、モータの高速化が可能となる。[実施例2]図2を用いて、本発明における実施例2の構成例について説明する。振動体201には、スライダ不図示と接触する2つの突起部209、210が設けられており、この突起部209、210を介してスライダと振動体201とが加圧接触している。圧電素子不図示は、実施例1と同様に振動体201の突起部209、210とは反対側の面に接着されている。圧電素子に交流電界を印加すると、振動子に2つの曲げ振動モードが励振され、突起部209、210の接触面には楕円運動が励振される。その結果、突起部209、210と加圧接触しているスライダは、摩擦駆動力を受け、X方向送り方向に駆動される。本実施例においては、突起部と電気-機械エネルギ変換素子に挟まれた基部の一部の領域には貫通穴が設けられている。そして振動体201は、このような貫通穴21が設けられた平板状の基部202と、突起部209、210とからなる。これらの突起部209、210は、従来の技術で示した図7b-1と同様の2次の曲げモード送りモードの節部近傍に形成されている。ここで、突起部209、210は、4つの壁部24a、24b、24c、24dと接触部26とからなる。接触部26は、スライダに押圧接触される接触面を表面に形成している。壁部24a、24bは同一のZY面内にある。つまり突起部209、210は送り方向X方向と直交した方向Y方向に平行な2つの付け根を有する。本実施例においても実施例1と同様に、X方向の剛性を高め、振動子が発生する推力に対する変形量が振動振幅に対して十分小さくなるように、壁部24a、24bのX方向の幅の大きさを決定する。壁部24c、24dは壁部24a、24bと直交した方向に形成している。実施例1と同様に、壁部24a、24bのみでは、上記突上げモードを励振した際、接触部26下の圧電素子のZ方向の変位方向と反対方向に接触部26が変位し安定した駆動をさせることが出来ない。壁部24c、24dを設け接触部26を支えることで、突上げモードを励振した際、接触部26下の圧電素子のZ方向の変位方向と同じ方向に接触部26が変位し安定した駆動をさせることが出来る。壁部24c、24dを設けることで、X方向に対する剛性を大きくすることもでき、駆動力を十分に伝えることが出来る。図2に示す構成にしつつ、スライダにバネ性を持たせることで振動子とスライダは良好な接触状態を実現できる。また、図7に示す剛体の突起部503-1、504-1が設けられている振動体501と比較し、本実施例の振動体201では突起部209、210がバネ性を有する構造に構成される。更に、突起部209、210は、上記それぞれの各壁部を含む接触部26と圧電素子の間に空間を有する構造に構成される。一般に、振動体の板厚が小さいほど、曲げ剛性が小さくなるので、本実施例の形態にすることで、突上げモードでの曲げ剛性が小さくなり、その結果電力効率を高くすることが出来る。つぎに、本実施例の振動波駆動装置における振動体201の製造方法の例を以下に説明する。本実施例では、振動体の材質としてステンレス材料、特に耐摩耗性の高いSUS420J2やSUS440Cなどを用いている。突起部209、210と基部202は平板部材から一体的に成形する。突起部209、210は、平板から絞り加工により成形する。[実施例3]図3、図4を用いて、本発明における実施例3の構成例について説明する。振動体301には、スライダ不図示と接触する2つの突起部309、310が設けられており、この突起部309、310を介してスライダと振動体301とが加圧接触している。圧電素子不図示は、実施例1と同様に振動体301の突起部309、310とは反対側の面に接着されている。圧電素子に交流電界を印加すると、振動子に2つの曲げ振動モードが励振され、突起部309、310の接触面には楕円運動が励振される。その結果、突起部309、310と加圧接触しているスライダは、摩擦駆動力を受け、X方向送り方向に駆動される。振動体301は、複数に分断された平板状の基部302と突起部309、310からなる。つまり、振動体301の接触部36下には貫通穴31があり、突起部309、310を取り除いた時に基部302が複数に分かれるように複数の切り欠き部32が設けられている。切り欠き部32によりX方向と平行な基部の端部が分離し、Y方向と平行な基部の端部に切り欠き部は存在しない。これらの突起部309、310は、従来の技術で示した図7b-1と同様の2次の曲げモード送りモードの節部近傍に形成されている。突起部309、310は、4つの壁部34a、34b、34c、34dと接触部36とからなる。接触部36は、スライダに押圧接触される接触面を表面に形成している。壁部34a、34bは同一のZY面内にある。つまり突起部309、310は送り方向X方向と直交した方向Y方向に平行な2つの付け根を有する。本実施例においても実施例1と同様に、X方向の剛性を高め、振動子が発生する推力に対する変形量が振動振幅に対して十分小さくなるように、壁部34a、34bのX方向の幅の大きさを決定する。壁部34c、34dは壁部34a、34bと直交した方向に形成している。実施例1と同様に、壁部34a、34bのみでは、上記した突上げモードを励振した際、接触部36下の圧電素子のZ方向の変位方向と反対方向に接触部36が変位し安定した駆動をさせることが出来ない。壁部34c、34dを設け接触部36を支えることで、突上げモードを励振した際、接触部36下の圧電素子のZ方向の変位方向と同じ方向に接触部36が変位し安定した駆動をさせることが出来る。壁部34c、34dを設けることで、X方向に対する剛性を大きくすることもでき、駆動力を十分に伝えることが出来る。また、図7に示す剛体の突起部503-1、504-1が設けられている振動体501と比較し、本実施例の振動体301では突起部309、310がバネ性を有する構造に構成される。更に、突起部309、310は、上記それぞれの各壁部を含む接触部36と圧電素子の間に空間を有する構造に構成される。一般に、振動体の板厚が小さいほど、曲げ剛性が小さくなるので、本実施例の形態にすることで、突上げモードでの曲げ剛性が小さくなり、その結果電力効率を高くすることが出来る。図2に示す構成にしつつ、スライダにバネ性を持たせることで振動子とスライダは良好な接触状態を実現できる。つぎに、本実施例の振動波駆動装置における図3aに示す振動体301の製造方法の例を以下に説明する。本実施例では、振動体の材質としてステンレス材料、特に耐摩耗性の高いSUS420J2やSUS440Cなどを用いている。作製する振動体301の全長よりも寸法が大きな平板を用意し、図3bに示すように、切り欠き部やスリットを設け、同一の突起部の各壁部に隣接する基部がお互いに接しないようにする。前記切り欠き部の加工は、エッチングやプレス加工による打抜き等により行い、その後、突起曲げ部39a、39b、39c、39dを曲げ加工することにより突起部309、310を平板から一体で成型する。加工後の形状は図3aとなり、切欠き部の一部は幅の狭いスリットとなる。このように、スリット又は切り欠きに挟まれた部分である基部の一部を曲げ加工で突起部309、310を成形することで、加工前と加工後の突起部309、310の板厚をほぼ変えることなく加工が可能となる。その結果、板の高い伸び率が求められる絞出し加工や鍛造等と違い、作製できる突起部309、310の高さや形状の制約が少なくなる。また絞り加工と比べ突起部の板厚の減少が少なく剛性の大きい壁部34a、34b、34c、34dを成型することが出来る。振動子を支持するために振動体に支持部を一体で設ける場合は、振動体の振動を抑制しないように支持部を振動の節近傍に設ける。従来例の図7のモード図に示されるように、送りモードの振動の節は振動体のXZ面に平行な各端部に3か所、突上げモードの振動の節は振動体のYZ面に平行な各端部に2か所ある。振動体から支持部の腕部を延出する位置は送りモードの振動の節でも突上げモードの振動の節でもよい。振動体と支持部の固定部をつなぐ腕部は1つでも2つでもよい。図3aに示す形状で、支持部303の腕部39を振動体301の相対する2つの端部から各2本延出させる場合は、YZ面に平行な振動体301の端部にある突上モードにおける振動の節近傍から支持部303の腕部39を図5aに示すように延出する。これにより、支持部303の2つの腕部39間が曲げ加工前後で一定に保たれ、支持部303の一部が湾曲することを回避出来る。この時、Y方向に関して振動子の小型化が実現でき、Y方向に関して、振動子サイズの制約が小さくなる。支持部303の腕部39を振動体301の各端部から1本延出させる場合は、送りモードにおいて振動の節近傍に位置する、XZ面に平行な振動体301の端部の中央から支持部303の腕部39を延出することができる。これにより、支持部303の2つの腕部39間が曲げ加工前後で一定に保たれ、支持部303の一部が湾曲することを回避出来る。この時、X方向に関して振動子の小型化が実現でき、X方向に関して、振動子サイズの制約が小さくなる。次に本実施例の別の形態を説明する。図4aに示す振動体形状は、本実施例で示した図3aとは、基部302に設けられる複数の切り欠き部32の位置が異なり、切り欠き部32によりYZ面に平行な基部302の端部が分離し、XZ面に平行な基部302の端部に切り欠き部はない。図4aに示す振動体形状は、図4bに示す形状から、前述した方法と同様に加工出来る。図4aに示す形状で、支持部303の腕部39を振動体301の各端部から2本延出させる場合は、XZ面に平行な振動体301の端部に位置する送りモードにおける3つの振動の節のうち、中央を除いた2つの節近傍から図5bに示すように支持部303の腕部39を延出する。これにより、支持部303の2つの腕部39間が曲げ加工前後で一定に保たれ、支持部303の一部が湾曲することを回避出来る。この時、X方向に関して振動子の小型化が実現でき、X方向に関して、振動子サイズの制約が小さくなる。支持部303の腕部39を振動体301の各端部から1本延出させる場合は、送りモードにおいて振動の節近傍に位置する、XZ面に平行な振動体301の端部の中央から支持部の腕部39を延出する。この時、X方向に関して振動子の小型化が実現でき、X方向に関して、振動子サイズの制約が小さくなる。