"ノズル形成面に開口した複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を有する流路ユニットと、該流路ユニットのノズル形成面とは反対側の面に接合され、少なくとも前記圧力室と対向する部分が貫通した挿通口を有する補強部材と、該補強部材の前記流路ユニットとは反対側の面の一部に一端面が固定される固定部材、および、該固定部材から先端部を突出させた状態で基端部が該固定部材に支持されると共に前記流路ユニットの前記圧力室に対向する部分に先端部が固定される複数の圧電振動子を有する振動子ユニットと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路ユニットに前記補強部材を重ね合わせて接合する補強部材接合工程と、振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とをそれぞれ撮影手段により撮影し、前記振動子ユニット及び前記流路ユニットの相対位置を認識する位置認識工程と、前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を動かして、前記撮影手段で撮影された振動子ユニットの位置決め基準の位置と流路ユニットの位置決め基準の位置とに基づいて、当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整する第1位置調整工程と、前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を前記ノズル形成面に垂直な方向に移動させ、前記補強部材の挿通口に各圧電振動子の先端部を挿通させる第2位置調整工程と、該第1位置調整工程および第2位置調整工程で前記振動子ユニットと前記流路ユニットとを位置決めした状態で、前記流路ユニットの前記圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に前記固定部材を前記補強部材に固定する振動子ユニット固定工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。前記第1位置調整工程では、前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を動かして、振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とが前記ノズル形成面に平行な面内において重なるように当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記流路ユニットは、前記ノズル形成面とは反対側の面において前記圧力室を封止する膜材と、該膜材を挟んで前記圧力室の一部と対向する島部を備え、前記振動子ユニット固定工程では、前記圧電振動子の先端部を当該島部に固定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記流路ユニットの位置決め基準として、複数の前記島部のうち少なくとも2つを用いたことを特徴とする請求項3に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記流路ユニットの位置決め基準として、前記流路ユニットに設けられた少なくとも2つ以上のアライメントマークを用いたことを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記振動子ユニットの位置決め基準として、複数の前記圧電振動子のうち少なくとも2つを用いたことを特徴とする請求項1から請求項5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。ところで、近年の記録ヘッドの小型化にともない、流路ユニットに対する圧電振動子の位置決め精度の向上が求められている。上記のような記録ヘッドの製造方法では、圧電振動子側に位置決め部を設け、この位置決め部をヘッドケースハウジングや圧力室壁に度当てることでノズル形成面に対して振動子先端の位置決めをしているが、その位置決め精度については、位置決め部や当該位置決め部が当接する部分の形状寸法精度に依存する。このため、場合によっては圧力室に対する圧電振動子先端部の位置が大きくずれる虞があった。これにより、記録ヘッドの液体噴射特性ノズルから噴射される液体の量や、ノズルから噴射された液体の飛翔速度が設計上目標とする値からずれる虞があった。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、流路ユニットに対する圧電振動子の位置決め精度を高めることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することにある。本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル形成面に開口した複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を有する流路ユニットと、該流路ユニットのノズル形成面とは反対側の面に接合され、少なくとも前記圧力室と対向する部分が貫通した挿通口を有する補強部材と、該補強部材の前記流路ユニットとは反対側の面の一部に一端面が固定される固定部材、および、該固定部材から先端部を突出させた状態で基端部が該固定部材に支持されると共に前記流路ユニットの前記圧力室に対向する部分に先端部が固定される複数の圧電振動子を有する振動子ユニットと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路ユニットに前記補強部材を重ね合わせて接合する補強部材接合工程と、振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とをそれぞれ撮影手段により撮影し、前記振動子ユニット及び前記流路ユニットの相対位置を認識する位置認識工程と、前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を動かして、前記撮影手段で撮影された振動子ユニットの位置決め基準の位置と流路ユニットの位置決め基準の位置とに基づいて、当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整する第1位置調整工程と、前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を前記ノズル形成面に垂直な方向に移動させ、前記補強部材の挿通口に各圧電振動子の先端部を挿通させる第2位置調整工程と、該第1位置調整工程および第2位置調整工程で前記振動子ユニットと前記流路ユニットとを位置決めした状態で、前記流路ユニットの前記圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に前記固定部材を前記補強部材に固定する振動子ユニット固定工程と、を含むことを特徴とする。この方法によれば、振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とをそれぞれ撮影手段により撮影し、振動子ユニット及び流路ユニットの相対位置を認識するので、両ユニットの相対的な位置の調整を正確に行うことができる。その結果、振動子ユニットの圧電振動子の流路ユニットに対する位置決め精度を高めることができ、ひいては液体噴射特性のばらつきを抑えることができる。また、補強部材の挿通口に各圧電振動子の先端部を挿通して流路ユニットの圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に固定部材を補強部材の一部に固定するので、他の部材、特にヘッドケースの製造誤差等により生じる応力等の影響を受け難くすることができる。即ち、振動子ユニットがヘッドケースに接合されないので、ヘッドケースと振動子ユニットとの間に隙間を設けることができ、これにより、ヘッドケースの製造誤差等の影響が振動子ユニットに及ぶことを抑制できる。上記方法において、前記第1位置調整工程では、前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を動かして、振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とが前記ノズル形成面に平行な面内において重なるように当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整する構成を採用することが望ましい。上記各方法において、前記流路ユニットは、前記ノズル形成面とは反対側の面において前記圧力室を封止する膜材と、該膜材を挟んで前記圧力室の一部と対向する島部を備え、前記振動子ユニット固定工程では、前記圧電振動子の先端部を当該島部に固定する構成を採用することが望ましい。また、上記方法において、前記流路ユニットの位置決め基準として、複数の前記島部のうち少なくとも2つを用いた構成を採用することが望ましい。この方法によれば、圧電振動子が接続される島部を直接撮影することで、振動子ユニットに対する流路ユニットの位置決めをより正確に行うことができる。さらに、前記流路ユニットの位置決め基準として、前記流路ユニットに設けられた少なくとも2つ以上のアライメントマークを用いた構成を採用することが望ましい。この方法によれば、撮影手段が認識し易い任意の位置にアライメントマークを設けることができ、位置認識がし易くなる。また、上記各方法において、前記振動子ユニットの位置決め基準として、複数の前記圧電振動子のうち少なくとも2つを用いた構成を採用することが望ましい。この方法によれば、圧電振動子を直接撮影することで、流路ユニットに対する振動子ユニットの位置決めを一層正確に行うことができる。以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、液体噴射装置として、図1に示すインクジェット式記録装置1以下、単にプリンターというを例示する。プリンター1は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッドユニット2以下、単に記録ヘッドユニットというが取り付けられると共に、記録ヘッドユニット2とインクカートリッジ3とから構成されるキャリッジ4と、記録ヘッドユニット2の下方に配設されたプラテン5と、キャリッジ4を記録紙6ノズル37から噴射された液体が着弾する着弾対象の一種の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構7と、紙幅方向に直交する方向である紙送り方向に記録紙6を搬送する紙送り機構8等を備えて概略構成されている。ここで、紙幅方向とは、主走査方向記録ヘッドユニット2の往復移動方向であり、紙送り方向とは、副走査方向即ち、記録ヘッドユニット2の走査方向に直交する方向である。キャリッジ4は、主走査方向に架設されたガイドロッド9に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構7の作動により、ガイドロッド9に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ4の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー10によって検出され、検出信号が位置情報として制御部図示せずに送信される。これにより、制御部はこのリニアエンコーダー10からの位置情報に基づいてキャリッジ4記録ヘッドユニット2の走査位置を認識しながら、記録ヘッドユニット2による記録動作噴射動作等を制御することができる。次に記録ヘッドユニット2について説明する。図2は、記録ヘッドユニット2の分解斜視図、図3は、記録ヘッドユニット2の平面図、図4aは、記録ヘッドユニット2の正面図、図4bは、記録ヘッドユニット2の底面図、図4cは、記録ヘッドユニット2の側面図である。また、図5は、図3におけるA-A線の断面図、図6は、図4におけるB-B線の断面図、図7は、図4におけるC-C線の断面図である。本実施形態の記録ヘッドユニット2は、キャリッジ4の下側記録動作時の記録紙6側の部分を構成しており、上部にはインク液体の一種を貯留したインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられている。また、記録ヘッドユニット2は、図2に示すように、インクカートリッジ3が取り付けられる架台12と、架台12の下部に備えられた回路基板13と、回路基板13を挟んで架台12の下方インクカートリッジ3とは反対側に取り付けられる記録ヘッド14と、記録ヘッド14を保護するヘッドカバー15とを備えている。架台12は、記録ヘッドユニット2の上部を構成する部材である。本実施形態の架台12は、インクカートリッジ3からインクを導入するインク導入部材17と、インク導入部材17の下部に装着される環状のシール部材18と、シール部材18の内側に配置される接続流路部材19と、接続流路部材19の下部に装着される複数のフィルター20と、これらのフィルター20を挟んで接続流路部材19の下方に取り付けられる上流基礎部材21と、から構成されている。インク導入部材17は、上面に複数のインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられるインクカートリッジ装着部22を備えている。このインクカートリッジ装着部22の底部上面には、装着される各インクカートリッジ3に対応して複数のインク導入針23が形成されている。本実施形態では、4色のインク例えば、シアンインク、マゼンタインク、イエローインク、ブラックインクに対応して、4本のインク導入針23が列設されている図2等参照。インク導入針23の内部には流路が形成されており、当該流路はインク導入流路24の一部として機能する図5等参照。そして、インク導入針23がインクカートリッジ3に挿入されることで、インク導入流路24とインクカートリッジ3内部とが連通する。これにより、記録ヘッドユニット2内にインクを導入することができる。また、インク導入流路24の下端部は、インク導入部材17の下側に接合される接続流路部材19に形成された中間流路27後述に連通可能に形成されている。シール部材18は、内面が接続流路部材19の外周に沿うように環状に形成された、樹脂等から成る弾性部材である。このシール部材18は、インク導入部材17と上流基礎部材21の間に挟まれ、同様にインク導入部材17と上流基礎部材21の間に挟まれる接続流路部材19の周囲を密封する。接続流路部材19は、4本のインク導入針23にそれぞれ対応して形成された中間流路27を4つ有する平板状の部材である。この中間流路27は、一端がインク導入部材17のインク導入流路24に連通し、他端が上流基礎部材21のインク供給路29後述にそれぞれフィルター20を介して連通している。ここで、フィルター20は、接続流路部材19の中間流路27と上流基礎部材21のインク供給路29の間に装着され、流路内のインクに混入した気泡や異物をインクと共にインク供給路29に供給されないようにするための部材であり、4本の流路に対応して4つ備えられている。なお、フィルター20は、通過するインクの流路抵抗を減らすためにインク導入流路24や記録ヘッド14内の流路に比べて大きめに形成されており、これに合わせて中間流路27の下端部をフィルター20に向けて拡径させ、下側の開口径をフィルター20と略同じ大きさに揃えている。上流基礎部材21は、架台12の下端部分を構成する部材であり、下面には、回路基板13を挟んで記録ヘッド14が接合されている。また、この上流基礎部材21の上面には、接続流路部材装着部28が形成されており、接続流路部材19が装着される。また、接続流路部材装着部28の中央には、インク供給路29が板厚方向に貫通して形成されている。このインク供給路29は、上側でフィルター20を介して接続流路部材19の中間流路27と連通し、下側で記録ヘッド14のヘッドケース48に形成されたケース流路70後述と連通する。なお、インク供給路29における上側フィルター側の開口径は、フィルター20と略同じ大きさに揃えられており、下側フィルターとは反対側に向けて縮径している。また、インク供給路29の下端は、上流基礎部材21の下面より下側記録ヘッド14側に延出しており、後述する回路基板13の流路挿通孔34に挿通されている。これにより、インク供給路29の下端は、回路基板13を挟んでケース流路70と液密に接合することができる。そして、上流基礎部材21が、間にシール部材18、接続流路部材19およびフィルター20を挟んでインク導入部材17と接合されることで、架台12を形成している。このとき、インク導入流路24、中間流路27およびインク供給路29がそれぞれ連通し、一連の上流側インク流路が形成される。この上流側インク流路によってインクカートリッジ3内のインクが記録ヘッド14に送られることになる。回路基板13は、表面にIC、抵抗等の電装部品が実装されると共に一側の端部にコネクター32が形成されており、上記した架台12と記録ヘッド14の間に装着されている。この回路基板13は、後述する記録ヘッド14の振動子ユニット46を構成するフレキシブルケーブル33が接合されている。また、コネクター32には、一端をプリンター1の制御部に接続した信号ケーブル図示せずの他端が接続される。そのため、信号ケーブルを通じてプリンター1の制御部から送られてくる駆動信号等を、回路基板13およびフレキシブルケーブル33を介して振動子ユニット46に供給することができる。これにより、記録ヘッド14のインクの噴射動作を制御している。また、インク供給路29に対応する箇所には、板厚方向に貫通した流路挿通孔34が形成されている。この流路挿通孔34にインク供給路29の下端を挿通して、回路基板13より下方でインク供給路29とヘッドケース48のケース流路70図10参照を接続している。次に記録ヘッド14の構成について詳しく説明する。図8~図10は記録ヘッド14の断面図であり、図8は、図5における領域Dの拡大図、図9は、図7における領域Eの拡大図、図10は、記録ヘッド14の構成をより簡略化して要部を拡大した断面図である。本実施形態における記録ヘッド14は、ノズル形成面36に開口した複数のノズル37にそれぞれ連通する複数の圧力発生室38本発明の圧力室に相当を有する流路ユニット39と、この流路ユニット39のノズル形成面36とは反対側の面に接合され、少なくとも圧力発生室38と対向する部分が板厚方向に貫通した挿通口40を有する補強部材41と、この補強部材41の流路ユニット39とは反対側の面における挿通口40の縁部に一端面が固定される固定板42本発明の固定部材に相当、および、固定板42から先端部を突出させた状態で基端部がこの固定板42に支持されると共に流路ユニット39の圧力発生室38に対向する部分に先端部が固定される複数の圧電振動子44圧電振動子群45を有する振動子ユニット46と、この振動子ユニット46の一部を内部に収容する収容空部47を有するヘッドケース48と、を備えている。まず、流路ユニット39について説明する。流路ユニット39は、ノズルプレート49、流路形成基板50、及び振動板51から構成され、ノズルプレート49を流路形成基板50の一方の表面に、振動板51をノズルプレート49とは反対側となる流路形成基板50の他方の表面にそれぞれ配置して積層し、接着等により一体化することで形成される。ノズルプレート49は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル37を列状に開設したステンレス鋼製の薄いプレートである。本実施形態では、例えば、180個のノズル37を列状に開設し、これらのノズル37によってノズル列を構成している。したがって、ノズルプレート49の下面流路形成基板50とは反対側の面が本発明のノズル形成面36となる。また、本実施形態のノズルプレート49は、ノズル列を左右対称に2列、主走査方向に横並びに設けている。流路形成基板50は、リザーバー52、インク供給口53、及び圧力発生室38からなる一連のインク流路を形成する板状部材である。本実施形態の流路形成基板50は、シリコンウェハーをエッチング処理することで作製されている。上記の圧力発生室38は、ノズル37の列設方向ノズル列方向に対して直交する方向に細長い室であり、隔壁で区画された状態で各ノズル37に対応して複数列状に形成されている。そして、この圧力発生室38の列が、流路形成基板50においてノズル列に直交する方向記録動作時の主走査方向に並べて2列形成されている。インク供給口53は、圧力発生室38とリザーバー52との間を連通する流路幅の狭い狭窄部として形成されている。また、リザーバー52は、複数の圧力発生室38に共通なインクが導入される空部である。このリザーバー52の一部は、中央ノズル37の列設方向と直交する方向において2列のノズル列の間に向けて延在しており、振動板51の中央部に開設された後述するインク導入口と連通している。このため、リザーバー52は、振動板51のインク導入口、補強部材41の貫通流路61、ヘッドケース48のケース流路70、および、上記した架台12の上流側インク流路を介してインクカートリッジ3と連通すると共に、インク供給口53を介して対応する各圧力発生室38に連通する。その結果、リザーバー52はインクカートリッジ3に貯留されたインクを各圧力発生室38に供給することができる。なお、本実施形態では、4色のインクカートリッジ3に対応して、2列のリザーバー52のうちの一方のリザーバー52を隔壁で区画して3つに分割することで、合計4つのリザーバー52を形成し、分割していないリザーバー52を使用頻度の高い色例えば、ブラックインクに割り当てている。振動板51は、ステンレス鋼等の金属製の支持板54上にPPSポリフェニレンサルファイド等の樹脂フィルム55本発明における膜材に相当をラミネート加工した二重構造の複合板材であり、補強部材41の貫通流路61後述と対応するリザーバー52とを繋げるインク導入口を上下方向に貫通させている。本実施形態では、4つのリザーバー52に対応して4つのインク導入口を中央ノズル37の列設方向と直交する方向において2列のノズル列の間に列設させている。また、振動板51は、圧力発生室38の一方の開口面ノズルプレート49とは反対側の面を封止して、この圧力発生室38の容積を変動させるためのダイヤフラム部58を形成すると共に、リザーバー52の一方の開口面ノズルプレート49とは反対側の面を封止するコンプライアンス部59を形成している。詳しくは、ダイヤフラム部58は、圧力発生室38に対応した部分の支持板54にエッチング加工を施し、当該部分を環状に除去して圧電振動子44の自由端部の先端を接合するための島部60を複数形成することで構成されている。この島部60は、圧力発生室38の平面形状と同様に、ノズル37の列設方向と直交する方向に細長いブロック状であり、この島部60の周りの樹脂フィルム55が弾性体膜として機能する。また、コンプライアンス部59として機能する部分、すなわちリザーバー52に対応する部分は、このリザーバー52の開口形状に倣って支持板54がエッチング加工で除去されて樹脂フィルム55のみとなっている。次に補強部材41について説明する。補強部材41は、流路ユニット39の振動板51に接合されるヘッドケース48よりも剛性が高い板状の部材である。例えば、樹脂製のヘッドケース48の線膨張率は、流路ユニット39を構成する基板の線膨張率と比較して大きいため、温度や湿度が変化したときの変形量も大きくなる。このようなヘッドケース48の変形が、流路ユニット39や振動子ユニット46に悪影響を及ぼさないように、ヘッドケース48と流路ユニット39との間に補強部材41を介在させて補強している。このため、補強部材41は流路ユニット39よりも剛性が高いことが望ましく、本実施形態では、流路ユニット39よりも厚みのあるステンレス鋼板で形成されている。また、補強部材41は複数並べた圧力発生室38又はダイヤフラム部58と対向する箇所に、板厚方向に貫通した挿通口40を、各圧力発生室38の列に対応して2列開口している。この挿通口40には、後述する振動子ユニット46の圧電振動子群45の先端部が挿通されており、挿通口40のヘッドケース48側の開口縁部には、振動子ユニット46の固定板42の端面圧電振動子44の自由端部が突出している側の端面が接合されている。さらに、補強部材41の流路ユニット39とは反対側の面には、ヘッドケース48が、後述する収容空部47と挿通口40が連通する状態で接合されている。そして、補強部材41の2列の挿通口40の間には、一端がヘッドケース48のケース流路70と連通し、他端が振動板51のインク導入口と連通する貫通流路61が、合計4つ並べて形成されている図11C等参照。この貫通流路61によって、ヘッドケース48側からのインクを、インク導入口を介してリザーバー52に供給することができる。なお、列設した各貫通流路61を結んだ仮想直線上における補強部材41の両端部には、基準穴63が開口している図11C等参照。この基準穴63は、流路ユニット39側に形成された基準穴図示せずと位置が揃えられている。これらの基準穴にヘッドケース48の位置決め突起部75後述を挿通することで、流路ユニット39、補強部材41、及びヘッドケース48の相対位置が規定される。また、補強部材41の流路ユニット39と対向する部分の一部には、図10に示すように、当該流路ユニット39とは反対側に窪ませて成る凹室65が形成されている。本実施形態では、凹室65は複数のコンプライアンス部59に亘って一連に形成されている。そして、補強部材41には、この凹室65に一端が連通する補強部材側大気開放通路66が、板厚方向に貫通した状態で形成されている。本実施形態の補強部材側大気開放通路66は、列設した各貫通流路61を結んだ仮想直線上に1つ形成されている。そして、この補強部材側大気開放通路66の他端は、ヘッドケース48に形成されたケース側大気開放通路71後述に連通して一連の大気開放通路67を形成している。大気開放通路67は、補強部材41と流路ユニット39を接合することによって凹室65が密閉されることを防ぐために設けられた空気の逃げ道であり、上端部が架台12とヘッドケース48の隙間に開放されることで、該隙間を介して大気と連通する。そして、ヘッドケース48は、例えば、エポキシ系樹脂などの樹脂により作製され、中空箱体状のケース本体48aと、該ケース本体48aの上端において当該ケース本体48aから側方に延出した板状部48bとから構成されている。このケース本体48aの下面架台12とは反対側の面には、補強部材41が接着固定されている。また、ケース本体48aの内部には、補強部材41の挿通口40と連通される収容空部47が形成され、この収容空部47内に振動子ユニット46の一部が収容されている。本実施形態では、2列の挿通口40に対応して収容空部47が2列形成されており、各収容空部47は、固定板42、圧電振動子群45の上部、および、フレキシブルケーブル33の下部を収容している。また、収容空部47は、内壁が振動子ユニット46に当接しないように、平面視における振動子ユニット46の面積或いは挿通口40の開口面積よりも十分に大きい開口面積で開口している。特に、固定板42が収容空部47の内壁に接合しないように、固定板42と対向する側の内壁は、挿通口40の縁に対応する位置から固定板42とは反対側に向けて後退した位置に形成されている。これにより、図10に示すように、固定板42の背面圧電振動子群45が接合されている面とは反対側の面と収容空部47の内壁との間には、間隙Sが設けられている。また、ヘッドケース48と補強部材41とを接合した状態で、挿通口40の内壁と収容空部47の内壁との間には段差が生じ、これにより、挿通口40の縁部には、後述する固定板42の端面が接合される面が形成されている。さらに、2列の収容空部47の間には、ヘッドケース48の高さ方向に貫通したケース流路70が4本並べて形成されている。このケース流路70は、上端が架台12の上流側インク流路上流基礎部材21のインク供給路29に連通し、下端が補強部材41の貫通流路61に連通している。これにより、インクカートリッジ3からのインクを上流側インク流路、ケース流路70、貫通流路61、インク導入口を介してリザーバー52に供給することができる。また、列設した各ケース流路70を結んだ仮想直線上には、下端が補強部材側大気開放通路66に連通し、上端が記録ヘッド14と架台12の部材間に大気開放したケース側大気開放通路71が、ヘッドケース48の高さ方向に貫通して形成されている。なお、ケース本体48aの下面において、ケース流路70の周囲、ケース側大気開放通路71の周囲、および当該ケース本体48aの周囲には、補強部材41とは反対側に窪んだシール材接着部73が形成されており、ここにシール材74が導入されてヘッドケース48と補強部材41が接着固定されている図10参照。これにより、ヘッドケース48と補強部材41の間で連通するケース流路70と貫通流路61、ケース側大気開放通路71と補強部材側大気開放通路66、および収容空部47と挿通口40のそれぞれの接合箇所の周囲が密封されている。また、ケース本体48aの下面において、補強部材41の基準穴63と対向する箇所には、当該基準穴63に挿入する位置決め突起部75が下方に向けて突設されている図2参照。上述のように、この位置決め突起部75が補強部材41および流路ユニット39の基準穴63に挿通されることにより、各部材の相対位置が規定されるようになっている。さらに、板状部48bの下面には、ヘッドケース48のケース本体48aを挟んで両側に2個ずつヘッドカバー位置決め部76が突設されている図4等参照。このヘッドカバー位置決め部76が後述するヘッドカバー基準穴81に挿入されることで、ヘッドケース48に対してヘッドカバー15が位置決めされる。次に、振動子ユニット46について説明する。本実施形態の振動子ユニット46は、フレキシブルケーブル33、圧電振動子群45および固定板42から構成されている。圧電振動子群45を構成する圧電振動子44圧力発生素子の一種は、基材である圧電振動板を数十μm程度の極めて細い幅に切り分けることで、縦方向に細長い櫛歯状に形成されている。この圧電振動子44は縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子44として構成されている。また、各圧電振動子44は、固定端部を固定板42上に接合することにより、自由端部を固定板42の先端縁端面よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態で固定されている。そして、各圧電振動子44における自由端部の先端は、補強部材41の挿通口40に挿通されて、それぞれ流路ユニット39におけるダイヤフラム部58を構成する島部60に接合される。一方、各圧電振動子44の固定端部側には、固定板42とは反対側にフレキシブルケーブル33が電気的に接続されている。このフレキシブルケーブル33の表面には、各圧電振動子44の駆動等を制御するための制御用IC等が実装されている。フレキシブルケーブル33の圧電振動子44とは反対側の端部は、回路基板13に電気的に接続されている。また、各圧電振動子44を支持する固定板42は、圧電振動子44からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板材によって構成されており、本実施形態では、厚さが1mm程度のステンレス鋼板によって作製されている。この固定板42の補強部材41側の端面の一部は、補強部材41の挿通口40の縁部に接着固定されている。本実施形態では、固定板42の補強部材41と対向する端面において、圧電振動子44とは反対側の角部が面取りされた面取り部77が形成されており、この面取り部77に接合剤の一種であるUV硬化樹脂78を塗布して補強部材41と接続した後、UV照射によりUV硬化樹脂78を硬化させることで、固定板42を補強部材41に固定している。このように構成された記録ヘッド14では、島部60に圧電振動子44の先端面が接合されているので、この圧電振動子44の自由端部を伸縮させることで圧力発生室38の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力発生室38内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド14は、この圧力変動を利用してノズル37からインク滴を噴射吐出させる。ヘッドカバー15は、ヘッドケース48に接続され、流路ユニット39やヘッドケース48を保護する金属製の部材である。このヘッドカバー15は、薄板部材によって作製され、ヘッドケース48の側面を囲繞すると共に、下端がノズルプレート49側に略90度屈曲してノズル形成面36に当接している。このヘッドカバー15のノズル形成面36に当接する面は、ノズル37を露出するように枠状に形成されている。また、ヘッドカバー15の上端は、側方に向けてフランジ部80が突設され、このフランジ部80にヘッドカバー基準穴81が開設されている。このヘッドカバー基準穴81はヘッドケース48のヘッドカバー位置決め部76に挿通して、ヘッドカバー15を位置決めしている。本実施形態では、ヘッドケース48のケース本体48aを挟んで両側に2個ずつヘッドカバー基準穴81を設けている図4参照。次に上記のような記録ヘッド14の製造方法について説明する。この記録ヘッド14の製造方法は、流路ユニット39に補強部材41を重ね合わせて接合する補強部材接合工程と、振動子ユニット46の位置決め基準と流路ユニット39の位置決め基準とをそれぞれカメラ83により撮影し、振動子ユニット46及び流路ユニット39の相対位置を認識する位置認識工程と、振動子ユニット46を動かして、振動子ユニット46の位置決め基準の位置と流路ユニット39の位置決め基準の位置とに基づいて、当該振動子ユニット46と流路ユニット39の相対的な位置を調整する第1位置調整工程と、第1位置調整工程で位置決めした状態で、振動子ユニット46をノズル形成面36に垂直な方向に移動させ、補強部材41の挿通口40に各圧電振動子44の先端部を挿通させる第2位置調整工程と、該第1位置調整工程および第2位置調整工程で振動子ユニット46と流路ユニット39とを位置決めした状態で、流路ユニット39の圧力発生室38に対応する部分にそれぞれ接合すると共に固定板42を補強部材41の挿通口40の縁部に固定する振動子ユニット固定工程と、を経る。詳しく説明すると、まず、図示しないアライメント装置のワークセット台に流路ユニット39をセットする。このとき、流路ユニット39は、基準穴にワークセット台に突設した位置決めピン図示せずが挿通され位置が規定されている。次に、補強部材41をアライメント装置の図示しない把持機構により把持し、流路ユニット39を補強部材41の上部に移動させる。この状態で、補強部材41または流路ユニット39に接着剤を塗布する。その後、把持機構を垂直方向ノズル形成面36に垂直な方向に移動させ、ワークセット台の位置決めピンに補強部材41の基準穴63を挿通させると共に、流路ユニット39と補強部材41を接合する補強部材接合工程。なお、把持機構は、接着剤が硬化するまでの間に亘って補強部材41を流路ユニット39に接続した状態で支持しており、その後、接着剤が硬化すれば、把持機構による補強部材41の把持を解除する。次に、把持機構によって振動子ユニット46固定板42を把持し、ワークセット台に載置されている補強部材41が接合された流路ユニット39の上部に振動子ユニット46を移動させる。本実施形態では、2つの把持機構図示せずによって2つの振動子ユニット46を同時に把持している。この状態で、アライメント装置に備えたカメラ83本発明における撮影手段を用いて、振動子ユニット46および流路ユニット39の位置決め基準を撮影する。なお、本実施形態では、各部材のノズル列方向における両端部に、流路ユニット39の位置決め基準を撮影する下方カメラ83bおよび振動子ユニット46の位置決め基準を撮影する上方カメラ83aをそれぞれ備えている図11参照。まず、振動子ユニット46の位置決め基準として、一方の振動子ユニット46の複数の圧電振動子44のうち両端に位置する圧電振動子44の自由端部の先端を、2つの上方カメラ83aで同時に撮影する。また、流路ユニット39の位置決め基準として、振動子ユニット46の位置決め基準である各圧電振動子44に対応する流路ユニット39の島部602列に列設した複数の島部60のうち一方に列設した複数の島部60の両端に位置する島部60を、補強部材41に開口した挿通口40の上部から2つの下方カメラ83bで同時に撮影する。各部材に形成された位置決め基準は、カメラ83によって撮影されて、モニターなどに映し出される。映し出された画像には、基準マーク例えば、十字マーク等の図記号。図示せずが重畳する状態で表示されるようになっている。これにより、位置決め基準と基準マークとのズレ量が認識される。その結果、流路ユニット39に対する一方の振動子ユニット46の相対位置を認識することができる位置認識工程。次に、カメラ83を並行に移動させて、同様に他方の振動子ユニット46についても流路ユニット39に対する相対位置を認識する。この位置認識工程で認識した相対位置に基づいて、ノズル形成面に平行な面内において、振動子ユニット46の位置決め基準として用いた圧電振動子44の位置と、これに対応する流路ユニット39の位置決め基準として用いた島部60とが重なるように、各把持機構をX方向、Y方向、およびθ方向補強部材41の中心を通るZ方向を軸とする回転方向にそれぞれ移動させて、各振動子ユニット46の位置決めをする第1位置調整工程。そして、上記位置決めをした状態で、各圧電振動子44の先端部に接着剤を塗布すると共に、固定板42の面取り部77にUV硬化樹脂78を塗布する。その後、各把持機構によって各振動子ユニット46をノズル形成面に垂直な方向に移動させ、補強部材41の挿通口40に各圧電振動子44の先端部を挿通して島部60に当接させると共に、固定板42を補強部材41の挿通口40の縁部に当接させる第2位置調整工程。これにより、固定板42振動子ユニット46のノズル形成面に垂直な方向における位置決めをすることができる。この状態で、各固定板42に塗布したUV硬化樹脂78にUVを照射し、UV硬化樹脂78を硬化させて、固定板42を補強部材41に固定し、把持機構による固定板42の把持を解除する。そして、ある程度の時間が経つと島部60と圧電振動子44の先端部との間の接着剤が硬化し、両者が固定される振動子ユニット固定工程。図12参照。ここで、振動子ユニット46の固定板42が、UV硬化樹脂78にUVを照射することによって即座に固定されるため、島部60と圧電振動子44が接着剤の硬化によって固定されるまでの間、把持機構を用いて振動子ユニット46を支持する必要が無く、製造時間を短縮することができる。その後、把持機構図示せずによってヘッドケース48を把持し、補強部材41および振動子ユニット46が接合された流路ユニット39の上部にヘッドケース48を移動させる。この状態で、補強部材41のヘッドケース48側の面における所定の位置にシール材74を塗布する。その後、ヘッドケース48を補強部材41に向けて垂直方向に移動させ、収容空部47内に振動子ユニット46の一部を収容すると共に、補強部材41の基準穴63および流路ユニット39の基準穴63にヘッドケース48の位置決め突起部75を挿通し、ヘッドケース48と補強部材41を接合するヘッドケース固定工程。図13参照。そして、この補強部材41等が接続されたヘッドケース48をアライメント装置から取り外した後、ヘッドカバー15を流路ユニット39側から近づけて、ヘッドケース48に位置決め固定する。このようにして、本実施形態の記録ヘッド14を作成することができる。このように、振動子ユニット46の位置決め基準と流路ユニット39の位置決め基準とをそれぞれカメラ83により撮影し、振動子ユニット46及び流路ユニット39の相対位置を認識するので、両ユニットの相対的な位置の調整を正確に行うことができる。その結果、振動子ユニット46の圧電振動子44の流路ユニット39に対する位置決め精度を高めることができ、ひいては液体噴射特性のばらつきを抑えることができる。また、補強部材41の挿通口40に各圧電振動子44の先端部を挿通して流路ユニット39の圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に固定板42を補強部材41の一部挿通口40の縁部に固定するので、他の部材、特にヘッドケース48の製造誤差等により生じる応力等の影響を受け難くすることができる。即ち、振動子ユニット46がヘッドケース48に接合されないので、ヘッドケース48と振動子ユニット46との間に隙間を設けることができ、これにより、ヘッドケース48の製造誤差等の影響が振動子ユニット46に及ぶことを抑制できる。また、流路ユニット39の位置決め基準として、島部60を用いた構成を採用したので、圧電振動子44が接続される島部60を直接撮影することで、振動子ユニット46に対する流路ユニット39の位置決めをより正確に行うことができる。さらに、振動子ユニット46の位置決め基準として、圧電振動子44を用いた構成を採用したので、圧電振動子44を直接撮影することで、流路ユニット39に対する振動子ユニット46の位置決めを一層正確に行うことができる。ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、2つの把持機構によって2つの振動子ユニット46を同時に把持したが、1つの把持機構によって1つずつ振動子ユニット46を把持してもよい。この場合、先に把持した振動子ユニット46を上記と同様にカメラ83によって位置認識した後、この情報に基づいて位置決めし、流路ユニット39に固定する。その後、次の振動子ユニット46を同様に把持し、同様に位置認識した後、位置決めして流路ユニット39に固定する。また、上記実施形態では、振動子ユニット46の位置決め基準として、複数の圧電振動子44のうち両端に位置する圧電振動子44を用いたが、これには限られず、これら以外の任意の2つの圧電振動子44を用いてもよく、さらに、3つ以上の圧電振動子44を用いてもよい。また、流路ユニット39の位置決め基準として、複数列設した島部60の両端に位置する島部60を用いたが、これには限られず、これら以外の任意の2つの島部60を用いてもよく、3つ以上の島部60を用いてもよい。さらに、流路ユニットの位置決め基準として、流路ユニットの振動板51の表面にアライメントマークを設け、これを撮影する構成とすることもできる。例えば、複数列設した島部60の列設方向両脇に、当該島部60をエッチングにより形成した工程と同様の工程でアライメントマークをエッチングして形成する。この構成によれば、カメラ83が認識し易い任意の位置にアライメントマークを設けることができ、位置認識がし易くすることができる。また、振動子ユニットの位置決め基準として、圧電振動子群45を形成した圧電振動板の残余の部分にアライメントマークを設けることもできる。さらに、上記実施形態では、カメラ83を4つ設けたが、カメラ83を1つだけ設けた構成を採用してもよい。この場合は、カメラ83がノズル形成面36に平行な面内を平行移動して流路ユニット39の各位置決め基準を撮影した後で、上下180度回転し、ノズル形成面36に平行な面内を平行移動して振動子ユニット46の各位置決め基準を撮影する。また、流路ユニット39の各位置決め基準を撮影する下方カメラ83bと、振動子ユニット46の各位置決め基準を撮影する上方カメラ83aの2つのカメラを設けることもできる。この場合は、両カメラ83a、83bがノズル形成面36に平行な面内を平行移動してそれぞれの位置決め基準を撮影する。さらに、各位置決め基準にそれぞれ対応した複数のカメラ83を設けることもできる。この場合は、カメラ83を移動させる必要が無いので、位置認識工程の時間を短縮することができる。また、上記実施形態では、把持機構を移動させて振動子ユニット46の流路ユニット39に対する位置決めをしたが、これには限らず、流路ユニット39を載置しているワークセット台を移動することで、流路ユニット39を移動させて流路ユニット39の振動子ユニット46に対する位置決めをしてもよい。あるいは、ワークセット台と振動子ユニット46の両方を移動させてもよい。同様に、振動子ユニット46を流路ユニット39に近づけて固定する場合も、ワークセット台、またはワークセット台と振動子ユニット46の両方を移動させることで、流路ユニット39を振動子ユニット46側に移動させてもよい。さらに、上記実施形態では、各振動子ユニット46の位置決めをしてから、各圧電振動子44の先端部に接着剤を塗布したが、これには限らず、各圧電振動子44の先端部に接着剤を塗布してから、各振動子ユニット46の位置きめをするようにしてもよい。そして、本発明は、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置,有機ELElectroLuminescenceディスプレイやFED面発光ディスプレイ等の電極を形成する電極製造装置,バイオチップ生物化学素子を製造するチップ製造装置,ごく少量の試料溶液を正確な量供給するマイクロピペット等の製造方法にも適用することができる。"