"固定プレートと、4つの回転アクチュエータと、4つの周辺駆動機構と、可動プレートと、を備え、4つの前記回転アクチュエータが4つの前記周辺駆動機構を介して前記可動プレートを駆動するパラレル機構において、4つの前記回転アクチュエータは、隣接する2つの前記回転アクチュエータの回転軸が直交し、対向する2つの前記回転アクチュエータの回転軸が平行となるように前記固定プレートの4方向に設置され、全ての前記周辺駆動機構は、上アームと、下アームと、前記上アームと前記下アームとを連結する上ジョイントと、前記下アームと前記可動プレートとを連結する下ジョイントとを有し、全ての前記上アームは、対応する前記回転アクチュエータの回転子と一体化された1つのバーで構成され、前記可動プレートは、前記可動プレートの面方向に沿った軸回りの回転1自由度を含む少なくとも4自由度で駆動されることを特徴とするパラレル機構。前記可動プレートは、前記可動プレートの面方向に沿ったX軸回りの回転1自由度、及び、前記可動プレートの面方向に沿い前記X軸に直交するY軸回りの回転1自由度のうち、いずれか一方を含む4自由度で駆動されることを特徴とする請求項1記載のパラレル機構。すべての前記下アームは、平行リンクで構成され、すべての前記上ジョイントは、回転対偶で構成されて対偶軸が対応する前記回転アクチュエータの回転軸及び連結する前記平行リンクの節と平行するように設置され、4つの前記下ジョイントのうち、対向する2つの前記下ジョイントは、共に回転対偶で構成されてそれぞれ対偶軸が連結する前記平行リンクの節と平行するように設置され、残りの2つの前記下ジョイントは、共に2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶で構成され、それぞれ前記平行リンク側の対偶軸が連結する前記平行リンクの節と平行し、前記可動プレート側の対偶軸が隣接する前記回転アクチュエータの回転軸に平行する同一直線上にあるように設置されることを特徴とする請求項2記載のパラレル機構。前記残りの2つの下ジョイントのうち、いずれか1つ以上を球面ジョイントとすることを特徴とする請求項3記載のパラレル機構。4つの前記周辺駆動機構のうち、対向する2つの前記周辺駆動機構においては、それぞれの下アームは平行リンクで構成され、それぞれの前記上ジョイントと前記下ジョイントとは共に回転対偶で構成されて対偶軸が対応する回転アクチュエータの回転軸、連結する平行リンクの節に平行するように設置され、残りの2つの前記周辺駆動機構においては、それぞれの下アームは1つのバーで構成され、それぞれの前記上ジョイントと前記下ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成されることを特徴とする請求項2記載のパラレル機構。前記可動プレートは、前記可動プレートの面方向に沿ったX軸回りの回転1自由度、及び、前記可動プレートの面方向に沿い前記X軸に直交するY軸回りの回転1自由度の両方を含む4自由度で駆動されることを特徴とする請求項1記載のパラレル機構。前記固定プレートの中心と前記可動プレートの中心とが、2つの球面ジョイントと1つのバーとで連結され、すべての前記下アームは、平行リンクで構成され、すべての前記上ジョイントは、回転対偶で構成されて対偶軸が対応する前記回転アクチュエータの回転軸及び連結する前記平行リンクの節と平行するように設置され、すべての前記下ジョイントは、2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶で構成され、前記平行リンク側の対偶軸が連結する前記平行リンクの節と平行し、対向する2つの前記下ジョイントの前記可動プレート側の対偶軸が隣接する前記回転アクチュエータの回転軸に平行する同一直線上にあるように設置されることを特徴とする請求項6記載のパラレル機構。前記全ての下ジョイントのうち、3つ以下を球面ジョイントとすることを特徴とする請求項7記載のパラレル機構。前記固定プレートの中心と前記可動プレートの中心とが、2つの球面ジョイントと1つのバーとで連結され、4つの前記周辺駆動機構のうち、対向する2つの前記周辺駆動機構においては、それぞれの前記下アームは平行リンクで構成され、それぞれの前記上ジョイントは回転対偶で構成されて対偶軸が対応する前記回転アクチュエータの回転軸及び連結する前記平行リンクの節に平行するように設置され、それぞれの前記下ジョイントは2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶で構成され、前記平行リンク側の対偶軸が連結する前記平行リンクの節と平行し、対向する2つの前記周辺駆動機構の前記下ジョイントの可動プレート側の対偶軸が隣接する回転アクチュエータの回転軸に平行する同一直線上にあるように設置され、残りの2つの前記周辺駆動機構においては、それぞれの前記下アームは1つのバーで構成され、それぞれの前記上ジョイントと前記下ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成されることを特徴とする請求項6記載のパラレル機構。前記固定プレートの中心と前記可動プレートの中心とが、2つのユニバーサルジョイントと1つのバーとで連結され、すべての前記下アームは、1つのバーで構成され、すべての前記周辺駆動機構において、前記上ジョイントと前記下ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成されることを特徴とする請求項6記載のパラレル機構。前記可動プレートは、前記可動プレートの面方向に沿ったX軸回りの回転1自由度、及び、前記可動プレートの面方向に沿い前記X軸に直交するY軸回りの回転1自由度の両方を含む5自由度で駆動されることを特徴とする請求項1記載のパラレル機構。前記可動プレートに設けられたエンドエフェクタと、中心駆動機構と、をさらに備え、前記中心駆動機構は、前記固定プレートの中心に設置された旋回アクチュエータと、直動アクチュエータと、前記直動アクチュエータの上端を前記旋回アクチュエータの可動子に連結する上部中心ジョイントと、前記直動アクチュエータの下端と前記エンドエフェクタとを連結する下部中心ジョイントと、前記可動プレートの中心に設置されて前記X軸及び前記Y軸の両方に直交するZ軸回りに1自由度で回転できるように前記エンドエフェクタを拘束するベアリングと、で構成され、前記エンドエフェクタは、4つの前記回転アクチュエータと前記旋回アクチュエータ及び前記直動アクチュエータの駆動によって、6自由度で駆動されることを特徴とする請求項11記載のパラレル機構。すべての前記下アームは、平行リンクで構成され、すべての前記上ジョイントは、回転対偶で構成されて対偶軸が対応する前記回転アクチュエータの回転軸及び連結する前記平行リンクの節と平行するように設置され、すべての前記下ジョイントは、2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶で構成され、前記平行リンク側の対偶軸が連結する前記平行リンクの節と平行し、対向する2つの前記可動プレート側の対偶軸が隣接する前記回転アクチュエータの回転軸に平行する同一直線上にあるように設置され、前記上部中心ジョイントと前記下部中心ジョイントとは、共に2自由度回転対偶で構成されることを特徴とする請求項12記載のパラレル機構。4つの前記周辺駆動機構のうち、対向する2つの前記周辺駆動機構においては、それぞれの前記下アームは平行リンクで構成され、それぞれの前記上ジョイントは、回転対偶で構成されて対偶軸が対応する前記回転アクチュエータの回転軸及び連結する前記平行リンクの節と平行するように設置され、それぞれの前記下ジョイントは、2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶で構成され、前記平行リンク側の対偶軸が連結する前記平行リンクの節と平行し、2つの前記可動プレート側の対偶軸が隣接する前記回転アクチュエータの回転軸に平行する同一直線上にあるように設置され、残りの2つの前記周辺駆動機構においては、それぞれの前記下アームは1つのバーで構成され、それぞれの前記上ジョイントと前記下ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成され、前記上部中心ジョイントと前記下部中心ジョイントとは、共に2自由度回転対偶で構成されることを特徴とする請求項12に記載のパラレル機構。すべての前記下アームは、1つのバーで構成され、すべての前記周辺駆動機構において、前記上ジョイントと前記下ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成され、前記上部中心ジョイントと前記下部中心ジョイントとは、共に2自由度回転対偶で構成されることを特徴とする請求項12記載のパラレル機構。前記可動プレートに設けられたエンドエフェクタと、中心駆動機構と、をさらに備え、前記中心駆動機構は、直動アクチュエータと、前記直動アクチュエータの上端を前記固定プレートの中心に連結する上部中心ジョイントと、前記直動アクチュエータの下端を前記可動プレートの中心に連結する下部中心ジョイントと、固定子が前記可動プレートの下面に設置され可動子が前記エンドエフェクタと連結する旋回アクチュエータと、で構成され、前記エンドエフェクタは、4つの前記回転アクチュエータと前記旋回アクチュエータ及び前記直動アクチュエータの駆動によって、6自由度で駆動されることを特徴とする請求項11記載のパラレル機構。すべての前記下アームは、平行リンクで構成され、すべての前記上ジョイントは、回転対偶で構成されて対偶軸が対応する前記回転アクチュエータの回転軸及び連結する前記平行リンクの節と平行するように設置され、すべての前記下ジョイントは、2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶で構成され、前記平行リンク側の対偶軸が連結する前記平行リンクの節と平行し、対向する2つの前記可動プレート側の対偶軸が隣接する前記回転アクチュエータの回転軸に平行する同一直線上にあるように設置され、前記上部中心ジョイントと前記下部中心ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成されることを特徴とする請求項16に記載のパラレル機構。4つの前記周辺駆動機構のうち、対向する2つの前記周辺駆動機構においては、それぞれの前記下アームは平行リンクで構成され、それぞれの前記上ジョイントは、回転対偶で構成されて対偶軸が対応する前記回転アクチュエータの回転軸及び連結する前記平行リンクの節と平行するように設置され、それぞれの前記下ジョイントは、2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶で構成され、前記平行リンク側の対偶軸が連結する前記平行リンクの節と平行し、2つの前記可動プレート側の対偶軸が隣接する前記回転アクチュエータの回転軸に平行する同一直線上にあるように設置され、残りの2つの前記周辺駆動機構においては、それぞれの前記下アームは1つのバーで構成され、それぞれの前記上ジョイントと前記下ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成され、前記上部中心ジョイントと前記下部中心ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成されることを特徴とする請求項16に記載のパラレル機構。すべての前記下アームは、1つのバーで構成され、すべての前記周辺駆動機構において、前記上ジョイントと前記下ジョイントとは、少なくとも1つの球面ジョイントを含む2自由度以上の回転対偶で構成され、前記上部中心ジョイントと前記下部中心ジョイントとは、共に2自由度回転対偶で構成されることを特徴とする請求項16に記載のパラレル機構。しかしながら、上記従来技術は、4つの連鎖が並行運動の力を発生すると同時に回転運動のトルクも発生する必要がある。ロボットに高速並行運動をさせるために、平行リンクにねじりトルクがあまり掛からないように連鎖間のねじり量を小さくしなければならないので、可動プラットフォームの回転変形を大きく拡大する増幅装置が必要になる。また、その増幅装置は可動プラットフォームの大きな負担にならないようにすると、出力精度を上げることが困難となる。すなわち、上記従来技術では、高速化と高精度化を両立させることが困難であるという問題があった。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、高速化と高精度化を共に達成することができる、少なくとも4自由度で駆動するパラレル機構を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、固定プレートと、4つの回転アクチュエータと、4つの周辺駆動機構と、可動プレートと、を備え、4つの前記回転アクチュエータが4つの前記周辺駆動機構を介して前記可動プレートを駆動するパラレル機構において、4つの前記回転アクチュエータは、隣接する2つの前記回転アクチュエータの回転軸が直交し、対向する2つの前記回転アクチュエータの回転軸が平行となるように前記固定プレートの4方向に設置され、全ての前記周辺駆動機構は、上アームと、下アームと、前記上アームと前記下アームとを連結する上ジョイントと、前記下アームと前記可動プレートとを連結する下ジョイントとを有し、全ての前記上アームは、対応する前記回転アクチュエータの回転子と一体化された1つのバーで構成され、前記可動プレートは、前記可動プレートの面方向に沿った軸回りの回転1自由度を含む少なくとも4自由度で駆動されるパラレル機構が適用される。高速化と高精度化を共に達成することができる、少なくとも4自由度で駆動するパラレル機構を実現できる。<第1実施形態>以下、第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態は、4自由度駆動のパラレル機構100を構成するものである。本実施形態のパラレル機構100は、図1に示すように、固定プレート1と、4つの回転アクチュエータ31,32,33,34と、4つの周辺駆動機構41,42,43,44と、可動プレート2とを有する。以下では、機構の配置などを説明しやすくするため、固定プレート1の中心を原点oとしてxoy平面が固定プレート1と平行するように絶対座標xyzoを設け、可動プレート2の中心を原点OとしてXOY平面が可動プレート2と平行するように相対座標XYZOを設ける。回転アクチュエータ31,33は、絶対座標原点oに対して対称となりそれぞれの回転軸がy軸と平行となるようにx軸上に配置される。また、回転アクチュエータ32,34は、絶対座標原点oに対して対称となりそれぞれの回転軸がx軸と平行となるようにy軸上に配置される。すべての周辺駆動機構41~44は、上アーム411,421,431,441と、下アーム412,422,432,442と、上アーム411,421,431,441と下アーム412,422,432,442とを連結する上ジョイント413,423,433,443及び下アーム412,422,432,442と可動プレート2とを連結する下ジョイント414,424,434,444とを備える。上アーム411,421,431,441のすべては、回転アクチュエータ31,32,33,34の回転子と一体化された1本のバーで構成されxoy平面と直交する平面上で振り回される。一方、下アーム412,422,432,442のすべては、回転対偶により連結される2本ずつが平行な4本の節により構成される平行リンクで構成される。以下、平行リンクを構成する4本の節のうち、上ジョイントと連結される節を上節、下ジョイントと連結される節を下節と称する。また、上ジョイント413,423,433,443のすべては、回転対偶であり、対偶軸が平行リンクの上節及び対応する回転アクチュエータ31,32,33,34の回転軸と平行するように設置される。また、下ジョイント424,444は、共に回転対偶で構成され、それぞれの対偶軸が平行リンク422,442の下節及びX軸と平行するように設置される。一方、下ジョイント414,434は共に2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶例えば、ユニバーサルジョイントで構成され、それぞれの平行リンク側の対偶軸が平行リンク412,432の下節に平行し、そして下ジョイント414の可動プレート側の対偶軸と下ジョイント434の可動プレート側の対偶軸とが共にX軸或いはX軸に平行する直線上にあるように設置される。以下、パラレル機構100の動作原理について説明する。仮に周辺駆動機構41,43の下ジョイント414,434を周辺駆動機構42,44の下ジョイント424,444と同じように1自由度の回転対偶をもつものとすると、すべての周辺駆動機構41~44の上ジョイントの対偶軸が平行リンクの上節及び対応する回転アクチュエータ31~34の回転軸と平行するように設置されているため、可動プレート2は姿勢が変えられず並進3自由度移動しかできない。ところが、周辺駆動機構41,43の下ジョイント414,434は共に2自由度回転対偶で構成され、そしてこの2つの下ジョイント414,434の可動プレート側の対偶軸が共にX軸上にあるように設置されたため、可動プレート2は並進運動すると同時に、可動プレート2の面方向に沿った軸であるX軸に対して回転運動もできるようになる。よって、4つの回転アクチュエータ31~34を制御することによって並進3自由度及びX軸まわりの回転1自由度で一意的に可動プレート2を4自由度で駆動することができる。また、可動プレート2をZ軸まわりに回転させないため、平行リンクに長手方向のねじりトルクを発生させる必要がなくなるので、精度に大きく影響する平行リンクの長手方向のねじり量が小さくなる。また、前述した従来技術のように可動プレートの負担となる増幅装置も不要である。このように、本実施形態のパラレル機構100を用いることによって、平行リンクに長手方向のねじりトルクを発生させることがなく可動プレート2を完全にパラレルで駆動することができるので、高速化と高精度化を共に達成させることができる4自由度駆動のパラレル機構を実現することができる。なお、可動プレート2のY軸まわりの回転及びZ軸まわりの回転は、周辺駆動機構42及び周辺駆動機構44によって拘束できるので、周辺駆動機構41の下ジョイント414と周辺駆動機構43の下ジョイント434とのいずれか1つ以上を球面ジョイントとしても良い。なお、上記第1実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。1-1全ての下ジョイントを2自由度回転対偶で構成する場合本変形例のパラレル機構100Aは、図2に示すように、上記第1実施形態における周辺駆動機構42,44の下ジョイント424,444を共に1軸回転対偶から2自由度回転対偶へ置き換え、また固定プレート1の中心と可動プレート2の中心とを拘束機構5で連結する構成となっている。図2において、下ジョイント424,444は共に2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶であり、それぞれの平行リンク側の対偶軸が平行リンク422,442の下節に平行し、そして下ジョイント424の可動プレート側の対偶軸と下ジョイント444の可動プレート側の対偶軸とが共にY軸或いはY軸に平行する直線上にあるように設置される。拘束機構5は、1つのバーで構成される中心ロッド51と、中心ロッド51を固定プレート1の中心点oに連結する上部中心ジョイント52と、中心ロッド51を可動プレート2の中心点Oに連結する下部中心ジョイント53とで構成され、そして上部中心ジョイント52と下部中心ジョイント53とを共に球面ジョイントとする。下ジョイント424,444は共に2自由度回転対偶となり、そして下ジョイント424の可動プレート側の対偶軸と下ジョイント444の可動プレート側の対偶軸とが共にY軸上にあるように設置されたため、可動プレート2はY軸に対して回転できるようなる。一方、固定プレート1の中心oと可動プレート2の中心Oとが拘束機構5によって連結されたため、可動プレート2の中心Oが固定プレート1の中心oを中心とする球面上における2自由度x軸及びy軸回りの回転自由度での変位しかできないようになる。よって、可動プレート2は、x軸及びy軸、並びに、可動プレート2の面方向に沿った軸であるX軸及びY軸に対して回転4自由度で変位できる。本変形例によれば、上記第1実施形態と較べ、可動プレート2の並進運動が制限されたが、多くの回転運動が実現できるようになる。また、可動プレート2のZ軸まわりの回転は、4つの周辺駆動機構41~44のいずれか1つだけによって拘束できるので、残りの3つの周辺駆動機構の下ジョイントのいずれか1つ以上を球面ジョイントとしても良い。1-22つの周辺駆動機構の上下ジョイントを球面ジョイントで構成する場合本変形例のパラレル機構100Bは、図3に示すように、上記第1実施形態における周辺駆動機構41,43の下アーム412,432を平行リンクから1つのバーに置き換え、また周辺駆動機構41,43の上ジョイント413,433と下ジョイント414,434を全て球面ジョイントに置き換えた構成となっている。周辺駆動機構42,44は、上ジョイント423,443の対偶軸がそれぞれ平行リンク422,442の上節及び回転アクチュエータ32,34の回転軸と平行するように設置され、そして下ジョイント424,444の対偶軸がそれぞれ平行リンク422,442の下節及びX軸と平行するように設置され、また、回転アクチュエータ32,34の回転軸がx軸と平行するように設置されたため、X軸が常にx軸に平行となるように可動プレート2が拘束される。一方、周辺駆動機構41,43は、上ジョイント413,433と下ジョイント414,434の全てが球面ジョイントであるため、可動プレート2に対して自由度の拘束がない。よって、上記第1実施形態と同じく可動プレート2は4つの回転アクチュエータ31~34の駆動制御によって並進3自由度及び可動プレート2の面方向に沿った軸であるX軸まわりの回転1自由度を含む4自由度で変位することができる。本変形例によれば、上記第1実施形態と較べ、球面ジョイントを用いたため可動範囲が狭くなるが、下アーム412,432が共に1つのバーで構成されたため機構が簡単になる。また、周辺駆動機構41の上ジョイント413と下ジョイント414のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。同じく、周辺駆動機構43の上ジョイント433と下ジョイント434のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。1-3固定可動プレートを連結しつつ2つの周辺駆動機構に球面ジョイントを用いる場合本変形例のパラレル機構100Cは、図4に示すように、上記第1実施形態における周辺駆動機構42,44の下アーム422,442を平行リンクから1つのバーに置き換え、そして周辺駆動機構42,44の上ジョイント423,443と下ジョイント424,444を全て球面ジョイントに置き換え、また、固定プレート1の中心と可動プレート2の中心とを拘束機構5で連結する構成となっている。図4において、拘束機構5は1つのバーである中心ロッド51と、中心ロッド51を固定プレート1の中心点oに連結する上部中心ジョイント52と、中心ロッド51を可動プレート2の中心点Oに連結する下部中心ジョイント53とで構成され、そして上部中心ジョイント52と下部中心ジョイント53とを共に球面ジョイントとする。本変形例によれば、上記第1実施形態と較べ、周辺駆動機構42,44の上ジョイント423,443と下ジョイント424,444の全てが球面ジョイントであるため、可動プレート2に対してY軸まわりの回転の拘束が開放されるが、代わりに固定プレート1の中心oと可動プレート2の中心Oとが拘束機構5によって連結されたため、可動プレート2の中心Oが固定プレート1の中心oを中心とする球面上における2自由度x軸及びy軸回りの回転自由度での変位しかできないようになる。よって、上述した変形例1-1と同じく可動プレート2はx軸及びy軸、並びに、可動プレート2の面方向に沿った軸であるX軸及びY軸に対して回転4自由度で変位できる。上述の変形例1-1と較べ、本変形例の技術を用いた場合は、球面ジョイントを用いたため可動範囲が狭くなるが、下アーム422,442が共に1つのバーになったため機構が簡単になる。また、周辺駆動機構42の上ジョイント423と下ジョイント424のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。同じく、周辺駆動機構44の上ジョイント443と下ジョイント444のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。1-4固定可動プレートを連結しつつ全ての周辺駆動機構に球面ジョイントを用いる場合本変形例のパラレル機構100Dは、図5に示すように、上述した変形例1-3における周辺駆動機構41,43の下アーム412,432を共に平行リンクから1つのバーに置き換え、そして周辺駆動機構41,43の上ジョイント413,433と下ジョイント414,434を全て球面ジョイントに置き換え、また、拘束機構5の上部中心ジョイント52と下部中心ジョイント53とを共にユニバーサルジョイントとした構成となっている。周辺駆動機構41~44は、上ジョイントと下ジョイントの全てが球面ジョイントで構成されているため、可動プレート2に対して自由度の拘束がなくなる。ところが、拘束機構5の上部中心ジョイント52と下部中心ジョイント53とを共にユニバーサルジョイントとしたため、ユニバーサルジョイントの2つの対偶軸に同時に直交する軸、すなわちZ軸まわりの回転が拘束される。すなわち、可動プレート2は上部中心ジョイント52の2つの対偶軸及び下部中心ジョイント53の2つの対偶軸すなわち可動プレート2の面方向に沿った軸であるX軸及びY軸に対して回転4自由度で変位できる。本変形例によれば、前述した変形例1-1と較べ、球面ジョイントを用いたため可動範囲が狭くなるが、下アーム412~442の全てを1つのバーで構成できるため機構が簡単になる。また、全ての周辺駆動機構41~44では、上ジョイントと下ジョイントとのどれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。<第2実施形態>次に、第2実施形態について図を参照して説明する。本実施形態は、6自由度駆動可動プレートは5自由度駆動、エンドエフェクタは1自由度駆動のパラレル機構1000を構成するものである。本実施形態のパラレル機構1000は、図6に示すように、固定プレート1001、4つの周辺駆動機構1041~1044、中心駆動機構1005、可動プレート1002、及びエンドエフェクタ1003を有する。本実施形態においても、前述の第1実施形態と同様に、機構の配置などを説明しやすくするため、固定プレート1001の中心を原点oとしてxoy平面が固定プレート1001と平行するように絶対座標xyzoを設け、可動プレート1002の中心を原点OとしてXOY平面が可動プレート1002と平行するように相対座標XYZOを設ける。すべての周辺駆動機構1041~1044は、回転アクチュエータ1410~1440と、上アーム1411~1441と、下アーム1412~1442と、上アーム1411~1441と下アーム1412~1442とを連結する上ジョイント1413~1443及び下アーム1412~1442と可動プレート1002とを連結する下ジョイント1414~1444とを備える。回転アクチュエータ1410,1430は、絶対座標原点oに対して対称となりそれぞれの回転軸がy軸と平行となるようにx軸上に配置される。また、回転アクチュエータ1420,1440は、絶対座標原点oに対して対称となりそれぞれの回転軸がx軸と平行となるようにy軸上に配置される。上アーム1411,1421,1431,1441のすべては、回転アクチュエータ1410~1440の回転子と一体化された1本のバーで構成され、xoy平面と直交する平面上で振り回される。一方、下アーム1412,1422,1432,1442のすべては、回転対偶により連結される2本ずつが平行な4本の節により構成される平行リンクで構成される。また、上ジョイント1413,1423,1433,1443のすべては、回転対偶であり、対偶軸が平行リンクの上節及び対応する回転アクチュエータ1410~1440の回転軸と平行するように設置される。また、下ジョイント1414,1424,1434,1444のすべては2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶例えば、ユニバーサルジョイントで構成され、平行リンク側の対偶軸が平行リンクの下節に平行し、そして下ジョイント1424と下ジョイント1444との2つの可動プレート側の対偶軸が共にX軸或いはX軸に平行する直線上にあるように設置され、下ジョイント1414と下ジョイント1434との2つの可動プレート側の対偶軸が共にY軸或いはY軸に平行する直線上にあるように設置される。中心駆動機構1005は、旋回アクチュエータ1050と、直動アクチュエータ1051と、上部中心ジョイント1052及び下部中心ジョイント1053と、ベアリング1054とを備える。旋回アクチュエータ1050は、その回転軸が固定プレート1001の平面方向に直交するように固定プレート1001の中心に設置される。一方、直動アクチュエータ1051は、2自由度回転対偶である上部中心ジョイント1052を介して旋回アクチュエータ1050の可動子に連結される。また、エンドエフェクタ1003は、Z軸のみ回転できるようにベアリング1054によって可動プレート1002の中心に拘束され、そして、2自由度回転対偶である下部中心ジョイント1053を介して直動アクチュエータ1051に連結される。以下、パラレル機構1000の動作原理について説明する。仮に周辺駆動機構1041~1044の下ジョイント1414~1444のすべてを対偶軸が平行リンクの下節に平行するような1自由度の回転対偶で構成すると、すべての周辺駆動機構1041~1044の上ジョイント1413~1443の対偶軸が平行リンクの上節及び対応する回転アクチュエータ1410~1440の回転軸と平行するように設置されているため、可動プレート1002は姿勢が変えられず並進3自由度移動しかできない。ところが、周辺駆動機構1041~1044の下ジョイント1414~1444のすべては、2自由度回転対偶で構成され、そして対向する2つの下ジョイントの可動プレート側の対偶軸が共にX軸又はY軸上にあるように設置されているため、可動プレート1002は並進運動すると同時にX軸及びY軸に対して回転運動もできるようになる。すなわち、可動プレート1002のZ軸回りの回転のみは拘束されている。また、直動アクチュエータ1051を制御することによって固定プレート1001と可動プレート1002との中心間の距離が決められる。よって、4つの回転アクチュエータ1410~1440と1つの直動アクチュエータ1051を制御することによって、並進3自由度と可動プレート2の面方向に沿った軸であるX軸及びY軸回りの回転2自由度で一意的に可動プレート1002を5自由度で駆動することができる。一方、エンドエフェクタ1003は、ベアリング1054によってZ軸まわりの回転のみで駆動できるように可動プレート1002に拘束され、そして旋回アクチュエータ1050を制御することによってZ軸まわりの回転が一意的に決められる。従って、4つの回転アクチュエータ1410~1440と直動アクチュエータ1051及び旋回アクチュエータ1050を制御することによって6自由度で一意的にエンドエフェクタ1003を駆動することができる。このように、本実施形態のパラレル機構1000を用いることによって、平行リンクに長手方向のねじりトルクを発生させることがなく可動プレート1002を完全にパラレルで駆動することができるので、高速化と高精度化を共に達成させることができる5自由度駆動エンドエフェクタ1003については6自由度駆動のパラレル機構を実現することができる。また、4つの回転アクチュエータ1410~1440と旋回アクチュエータ1050とはパラレルになっているため、パラレル機構1000を軽量化することができる。直動アクチュエータ1051は他の5つのアクチュエータ1410~1440,1050とシリアルになっているが、その重心をなるべく固定プレート1001に近いところに設置すれば、4つの回転アクチュエータ1410~1440の負担を軽減できる。一方、旋回アクチュエータ1050は可動プレート1002を回すことがなく直接エンドエフェクタ1003を駆動するので、もともとの負荷が軽いため、直動アクチュエータ1051の分を加えても高速運転には支障がない。また、エンドエフェクタ1003のZ軸まわりの回転は旋回アクチュエータ1050によって独立に駆動されて任意の回転量を実現できる。X軸まわりとY軸まわりとの回転可能範囲は共に±180°近く達成できる。なお、すべての駆動はパラレルか直交かになっているため、各アクチュエータ1410~1440,1050,1051の駆動精度を平均化及び独立化でき、各アクチュエータの駆動精度が相乗されるシリアル機構に比べて高精度化も実現できる。したがって、パラレル機構1000は、広可動範囲、高速かつ高精度を同時に達成することができる。なお、上記第2実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。2-1旋回アクチュエータを可動プレートに設けた場合本変形例のパラレル機構1000Aは、図7に示すように、上記第2実施形態における中心駆動機構1005の上部中心ジョイント1052及び下部中心ジョイント1053を変更すると共に、旋回アクチュエータ1050を可動プレート1002に設けた構成となっている。中心駆動機構1005は、旋回アクチュエータ1050と、直動アクチュエータ1051と、上部中心ジョイント1052及び下部中心ジョイント1053とを備える。旋回アクチュエータ1050は、回転軸が可動プレート1002の平面方向に直交するように可動プレート1002の下面に設置される。一方、直動アクチュエータ1051は、上端が球面ジョイントである上部中心ジョイント1052を介して固定プレート1001の中心に連結され、また下端が球面ジョイントである下部中心ジョイント1053を介して可動プレート1002の中心に連結される。また、エンドエフェクタ1003は、旋回アクチュエータ1050の可動子に直接連結される。なお、上部中心ジョイント1052と下部中心ジョイント1053のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。本変形例によれば、上記第2実施形態と較べ、旋回アクチュエータ1050が可動プレート1002に設置されたため、4つの回転アクチュエータ1410~1440と直動アクチュエータ1051の負荷が重くなり、可動プレート1002の並進運動とX軸及びY軸まわりの回転運動の加速度が減るが、エンドエフェクタ1003が直接旋回アクチュエータ1050に連結されたため、Z軸まわりの回転加速度及び精度が高くなる。2-22つの周辺駆動機構の上下ジョイントを球面ジョイントで構成する場合本変形例のパラレル機構1000Bは、図8に示すように、上記第2実施形態における周辺駆動機構1042,1044の下アーム1422,1442を平行リンクから1つのバーに置き換え、そして周辺駆動機構1042,1044の上ジョイント1423,1443と下ジョイント1424,1444を全て球面ジョイントに置き換えた構成となっている。仮に周辺駆動機構1041の下ジョイント1414及び周辺駆動機構1043の下ジョイント1434を共に対偶軸が平行リンクの下節に平行するような1自由度の回転対偶で構成すると、Y軸が常にy軸に平行となるように可動プレート1002が拘束される。すなわち、可動プレート1002はX軸まわりとZ軸まわりの2自由度の回転運動が拘束される。ところが、周辺駆動機構1041の下ジョイント1414及び周辺駆動機構1043の下ジョイント1434は共に、2自由度回転対偶で構成され、可動プレート側の対偶軸が共にX軸上にあるように設置されたため、可動プレート1002のX軸まわりの回転の拘束が開放される。一方、周辺駆動機構1042,1044は、上ジョイント1423,1443と下ジョイント1424,1444との全てが球面ジョイントであるため、可動プレート1002に対して自由度の拘束がない。よって、上記第2実施形態と同じく、可動プレート1002は4つの回転アクチュエータ1410~1440と直動アクチュエータ1051を制御することによって並進3自由度とX軸及びY軸まわりの回転2自由度で一意的に5自由度で駆動されるため、エンドエフェクタ1003は4つの回転アクチュエータ1410~1440と直動アクチュエータ1051及び旋回アクチュエータ1050を制御することによって6自由度で一意的に駆動される。本変形例によれば、上記第2実施形態と較べ、球面ジョイントを用いたため可動範囲が狭くなるが、下アーム1422,1442が共に1つのバーで構成されたため機構が簡単になる。なお、周辺駆動機構1042の上ジョイント1423と下ジョイント1424のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。同じく、周辺駆動機構1044の上ジョイント1443と下ジョイント1444のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。2-3旋回アクチュエータを可動プレートに設け、2つの周辺駆動機構に球面ジョイントを用いる場合本変形例のパラレル機構1000Cは、図9に示すように、上記変形例2-2における中心駆動機構1005の上部中心ジョイント1052及び下部中心ジョイント1053を変更した構成となっている。中心駆動機構1005は、旋回アクチュエータ1050と、直動アクチュエータ1051と、上部中心ジョイント1052及び下部中心ジョイント1053とを備える。旋回アクチュエータ1050は、回転軸が可動プレート1002の平面方向に直交するように可動プレート1002の下面に設置される。一方、直動アクチュエータ1051は、上端が球面ジョイントである上部中心ジョイント1052を介して固定プレート1001の中心に連結され、また下端が球面ジョイントである下部中心ジョイント1053を介して可動プレート1002の中心に連結される。また、エンドエフェクタ1003は、旋回アクチュエータ1050の可動子に直接連結される。なお、上部中心ジョイント1052と下部中心ジョイント1053のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。上記変形例2-2と較べ、本変形例のパラレル機構1000Cは、旋回アクチュエータ1050が可動プレート1002に設置されたため、4つの回転アクチュエータ1410~1440と直動アクチュエータ1051との負荷が重くなり可動プレート1002の並進運動とX軸及びY軸まわりの回転運動との加速度が減るが、エンドエフェクタ1003が直接旋回アクチュエータ1050に連結されたため、Z軸まわりの回転加速度及び精度が高くなる。2-4全ての周辺駆動機構に球面ジョイントを用いる場合本変形例のパラレル機構1000Dは、図10に示すように、上記第2実施形態における4つの周辺駆動機構1041~1044の下アーム1412~1442のすべてを平行リンクから1つのバーに置き換え、そして上ジョイント1413~1443及び下ジョイント1414~1444の全てを球面ジョイントに置き換え、また、中心駆動機構1005を変更した構成となっている。中心駆動機構1005は、旋回アクチュエータ1050と、直動アクチュエータ1051と、上部中心ジョイント1052及び下部中心ジョイント1053とを備える。旋回アクチュエータ1050は、回転軸が固定プレート1001の平面方向に直交するように固定プレート1001の中心に設置される。一方、直動アクチュエータ1051は、上端が2自由度回転対偶である上部中心ジョイント1052を介して旋回アクチュエータ1050の可動子に連結され、下端が2自由度回転対偶である下部中心ジョイント1053を介して可動プレート1002の中心に連結される。また、エンドエフェクタ1003は、直接可動プレート1002の下面に設置される。周辺駆動機構1041~1044は、上ジョイント1413~1443と下ジョイント1414~1444の全てが球面ジョイントで構成されているため、可動プレート1002に対して自由度の拘束がなくなるが、代わりにユニバーサルジョイントとした中心駆動機構1005の上部中心ジョイント1052と下部中心ジョイント1053とは、ユニバーサルジョイントの2つの対偶軸のまわりに回転するように可動プレート1002を拘束する。本変形例によれば、上述の第2実施形態と較べ、周辺駆動機構1041~1044の上ジョイント1413~1443と下ジョイント1414~1444に球面ジョイントを用いたため並進運動の可動範囲が狭くなるが、下アーム1412~1442のすべてが1つのバーになったため機構が簡単になる。なお、すべての周辺駆動機構1041~1044における上ジョイントと下ジョイントのいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。2-5旋回アクチュエータを可動プレートに設け、全ての周辺駆動機構に球面ジョイントを用いる場合本変形例のパラレル機構1000Eは、図11に示すように、上記変形例2-4の旋回アクチュエータ1050を可動プレート1002に設けた構成となっている。旋回アクチュエータ1050は、回転軸が可動プレート1002の平面方向に直交するように可動プレート1002の下面に設置される。一方、直動アクチュエータ1051は、上端が2自由度回転対偶である上部中心ジョイント1052を介して固定プレート1001の中心に連結され、また下端が2自由度回転対偶である下部中心ジョイント1053を介して可動プレート1002の中心に連結される。また、エンドエフェクタ1003は、旋回アクチュエータ1050の可動子に直接連結される。なお、上部中心ジョイント1052と下部中心ジョイント1053のいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。本変形例によれば、上述の変形例2-4と較べ、旋回アクチュエータ1050が可動プレート1002に設置されたため、4つの回転アクチュエータ1410~1440と直動アクチュエータ1051の負荷が重くなり、可動プレート1002の並進運動とX軸及びY軸まわりの回転運動の加速度が減るが、エンドエフェクタ1003が直接旋回アクチュエータ1050に連結されたため、Z軸まわりの回転加速度及び精度が高くなる。なお、すべての周辺駆動機構1041~1044における上ジョイントと下ジョイントのいずれか1つをユニバーサルジョイントとしても良い。<第3実施形態>次に、第3実施形態について図を参照して説明する。本実施形態は、6自由度駆動可動プレートは4自由度駆動、エンドエフェクタは2自由度駆動のパラレル機構2000を構成するものである。図12に示すように、本実施形態のパラレル機構2000は、固定プレート2001、4つの周辺駆動機構2041~2044、中心駆動機構2005、可動プレート2002、差動機構2100、及びエンドエフェクタ2003を有する。エンドエフェクタ2003は、可動プレート2002の下方に第1回転軸2104回りに回転可能に設けられている。なお、本実施形態においても、固定プレート2001の中心を原点oとしてxoy平面が固定プレート2001と平行するように絶対座標xyzoを設け、可動プレート2002の中心を原点OとしてXOY平面が可動プレート2002と平行するように相対座標XYZOを設ける。周辺駆動機構2041~2044の構成は、前述のパラレル機構100,1000と基本的に同様であるが、本実施形態ではY軸方向に対向する周辺駆動機構2042,2044の下ジョイント2424,2444が、2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶例えば、ユニバーサルジョイントで構成されており、X軸方向に対向する周辺駆動機構2041,2043の下ジョイント2414,2434が、1自由度回転対偶で構成されている。周辺駆動機構2041~2044のその他の構成については説明を省略する。中心駆動機構2005は、固定プレート2001に設置された2つの旋回アクチュエータ2050と、各旋回アクチュエータ2050の駆動力をエンドエフェクタ2003に伝達するための2つの伝達バー2051と、2つの上部中心ジョイント2052及び下部中心ジョイント2053と、可動プレート2002にx軸方向に沿って設置された2つの第1ベアリング2055と、2つの第2回転軸2054とを有している。2つの旋回アクチュエータ2050は、その回転軸が固定プレート2001の平面方向に直交するように、この例ではx軸方向に沿って固定プレート2001に設置される。伝達バー2051は、伸縮可能な入れ子構造となっており、且つ、図示しない突起と溝との係合等により、旋回アクチュエータ2050の回転駆動力を第2回転軸2054に伝達可能な構造となっている。この伝達バー2051の上端は、2自由度回転対偶である上部中心ジョイント2052を介して旋回アクチュエータ2050の可動子に連結され、伝達バー2051の下端は、2自由度回転対偶である下部中心ジョイント2053を介して第2回転軸2054に連結される。第2回転軸2054は、Z軸に平行する軸回りに1自由度で回転できるように第1ベアリング2055によって拘束されている。差動機構2100は、第2回転軸2054の回転によりウォームギア2101を介して回転される対向配置された一対の傘歯車2102と、これら一対の傘歯車2102の両方に噛合する傘歯車2103とを有している。傘歯車2103は、第1回転軸2104によりエンドエフェクタ2003と連結されている。旋回アクチュエータ2050の駆動により、一対の傘歯車2102が同じ方向に回転された場合には、傘歯車2103及びエンドエフェクタ2003はX軸に平行な軸回りに回転駆動される。一方、一対の傘歯車2102が互いに異なる方向に回転された場合には、エンドエフェクタ2003は第1回転軸2104回りに回転駆動される。このように、差動機構2100は、エンドエフェクタ2003を第1回転軸2104回りの回転1自由度、及び、X軸に平行な軸回りの回転1自由度を含む2自由度で駆動させる。以上のパラレル機構2000によれば、4つの回転アクチュエータ2410~2440を制御することによって並進3自由度及びY軸まわりの回転1自由度で一意的に可動プレート2002を4自由度で駆動することができる。一方、エンドエフェクタ2003は、上述したように可動プレート2002に対し2自由度で駆動される。従って、4つの回転アクチュエータ2410~2440と2つの旋回アクチュエータ2050を制御することによって6自由度で一意的にエンドエフェクタ2003を駆動することができる。このように、本実施形態のパラレル機構2000を用いることによって、平行リンクに長手方向のねじりトルクを発生させることがなく可動プレート2002を完全にパラレルで駆動することができるので、高速化と高精度化を共に達成させることができる6自由度駆動のパラレル機構を実現することができる。また、差動機構2100でウォームギア2101を用いるため、エンドエフェクタ2003の回転2自由度の駆動トルクを増大できる。その結果、旋回アクチュエータ2050の減速機を省略することが可能となり、旋回アクチュエータ2050の小型化、ひいてはパラレル機構2000の小型化を図ることができる。なお、以上ではウォームギア2101を用いて第2回転軸2054の回転を傘歯車2102に伝えるようにしたが、ウォームギアに代えてハイポイドギアや傘歯車を用いてもよい。また、以上では可動プレート2002がY軸回りの回転1自由度を含む4自由度で駆動し、エンドエフェクタ2003がX軸に平行な軸回りを含む回転2自由度で駆動する構成としたが、X軸とY軸の対応関係を反対にし、可動プレート2002がX軸回りの回転1自由度を含む4自由度で駆動し、エンドエフェクタ2003がY軸に平行な軸回りを含む回転2自由度で駆動する構成としてもよい。この場合には、中心駆動機構2005の2つの旋回アクチュエータ2050、伝達バー2051及び第1ベアリング2055をy軸Y軸方向に沿ってそれぞれ配置し、周辺駆動機構2041,2043の下ジョイント2414,2434を2自由度回転対偶例えば、ユニバーサルジョイントで構成すればよい。なお、上記第3実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。3-1可動プレートに回動可能な第2可動プレートを設置する場合上記第3実施形態では、差動機構2100を用いることでエンドエフェクタ2003を2自由度で駆動させるようにしたが、これに限らず、可動プレートに対し回動可能な第2可動プレートを設け、この第2可動プレートにエンドエフェクタを設置することで、エンドエフェクタを2自由度で駆動させるようにしてもよい。図13に示すように、本変形例のパラレル機構3000は、固定プレート3001、4つの周辺駆動機構3041~3044、中心駆動機構3005、可動プレート3002、及びエンドエフェクタ3003を有する。エンドエフェクタ3003は、可動プレート3002の下方に回転軸3054B回りに回転可能に設けられている。周辺駆動機構3041~3044の構成は、前述のパラレル機構2000と基本的に同様であるが、本変形例ではX軸方向に対向する周辺駆動機構3041,3043の下ジョイント3414,3434が、2つの対偶軸が互いに直交する2自由度回転対偶例えば、ユニバーサルジョイントで構成されており、Y軸方向に対向する周辺駆動機構3042,3044の下ジョイント3424,3444が、1自由度回転対偶で構成されている。中心駆動機構3005は、固定プレート3001に設置された2つの旋回アクチュエータ3050A,3050Bと、2つの伝達バー3051A,3051Bと、2自由度回転対偶である2つの上部中心ジョイント3052A,3052B及び下部中心ジョイント3053A,3053Bと、可動プレート3002に設置された1つの第1ベアリング3055Aと、2つの回転軸3054A,3054Bとを有している。2つの旋回アクチュエータ3050A,3050Bは、その回転軸が固定プレート3001の平面方向に直交するように、この例ではx軸方向に沿って固定プレート3001に設置されており、旋回アクチュエータ3050Bは、固定プレート3001の中心に設置されている。伝達バー3051A,3051Bは、伸縮可能且つ旋回アクチュエータ3050A,3050Bの回転駆動力を回転軸3054A,3054Bに伝達可能である。回転軸3054A,3054Bのうち、回転軸3054Aは、Z軸に平行する軸回りに1自由度で回転できるように第1ベアリング3055Aによって拘束されており、その下部にボールねじ3056を有している。一方、可動プレート3002の下方には、連結板3006及び1自由度の回転対偶3007を介して第2可動プレート3008が設けられている。この第2可動プレート3008にはスライダ3009がプレート上を移動可能に設けられており、このスライダ3009が1自由度の回転対偶3011を介してボールねじ3056と連結されている。そして、1自由度の回転対偶3007および3011は共にY軸に平行な軸回りに回動可能となるように設置されている。これにより、第2可動プレート3008は、回転軸3054Aの回転によって可動プレート3002に対しY軸に平行な軸回りに回動可能となっている。また、第2可動プレート3008には、第2ベアリング3055Bが設けられており、回転軸3054Bを第2可動プレート3008の面方向に直交する軸回りに1自由度で回転できるように拘束する。なお、回転軸3054Bは、可動プレート3002の中心位置に設けられた開口3010を貫通して設けられている。このような構成により、エンドエフェクタ3003は、回転軸3054B回りの回転1自由度、及び、Y軸に平行な軸回りの回転1自由度を含む2自由度で駆動される。以上のパラレル機構3000によれば、4つの回転アクチュエータ3410~3440を制御することによって並進3自由度及びX軸まわりの回転1自由度で一意的に可動プレート3002を4自由度で駆動することができる。一方、エンドエフェクタ3003は、上述したように可動プレート3002に対し2自由度で駆動される。従って、4つの回転アクチュエータ3410~3440と2つの旋回アクチュエータ3050A,3050Bを制御することによって6自由度で一意的にエンドエフェクタ3003を駆動することができる。また、前述のパラレル機構2000のようにウォームギアや傘歯車を有する差動機構2100を設けないため、ギア機構によるバックラッシュを無くすことができる。なお、以上では可動プレート3002がX軸回りの回転1自由度を含む4自由度で駆動し、エンドエフェクタ3003がY軸に平行な軸回りを含む回転2自由度で駆動する構成としたが、X軸とY軸の対応関係を反対にし、可動プレート3002がY軸回りの回転1自由度を含む4自由度で駆動し、エンドエフェクタ3003がX軸に平行な軸回りを含む回転2自由度で駆動する構成としてもよい。この場合には、中心駆動機構3005の2つの旋回アクチュエータ3050A,3050B及び伝達バー3051A,3051B等をy軸Y軸方向に沿ってそれぞれ配置し、周辺駆動機構3042,3044の下ジョイント3424,3444を2自由度回転対偶例えば、ユニバーサルジョイントとした上で、第2可動プレート3008を可動プレート3002に対しX軸に平行な軸回りに回動可能な構成とすればよい。3-2伝達バーを上アームの中に挿通させる場合以上では、伝達バーを4つの周辺駆動機構の内部空間に配設した構成としたが、これに限らず、伝達バーを上アームの中に挿通させた構成としてもよい。図14は、本変形例のパラレル機構4000における4つの周辺駆動機構4041~4044のうちの1つの周辺駆動機構4043を抽出して示した図である。この図14に示すように、周辺駆動機構4043は、上アーム4431と、下アーム4432と、上アーム4431と下アーム4432とを連結する上ジョイント4433及び下アーム4432と可動プレート4002とを連結する下ジョイント4434とを備える。上アーム4431は、途中に屈曲部4435を有する円筒状の中空パイプ構造となっており、金属等の剛性の高い材料で構成されている。この上アーム4431の上端部は回転アクチュエータ4430の回転子4436と連結されており、回転子4436の軸回りにx-z平面上で振り回される。一方、下アーム4432は平行リンクで構成されている。本変形例の中心駆動機構4005の2つの伝達バー4051のうち、周辺駆動機構4043側の伝達バー4051は、上アーム4431の内部に挿通された第1バー4056及び第2バー4057と、下アーム4432と平行して配設された第3バー4058とを有している。第1バー4056の上端は、ユニバーサルジョイント4052を介して固定プレート4001に設置された旋回アクチュエータ4050の可動子に連結されており、下端には傘歯車4201が設けられている。この第1バー4056は、上アーム4431の内部に設置されたベアリング4202によって上アーム4431屈曲部4435より上側の部分の筒軸回りに1自由度で回転できるように拘束されている。また、第2バー4057の下端は、ユニバーサルジョイント4059を介して第3バー4058に連結されており、上端には傘歯車4201と噛合する傘歯車4203が設けられている。この第2バー4057は、上アーム4431の内部に設置されたベアリング4204によって上アーム4431屈曲部4435より下側の部分の筒軸回りに1自由度で回転できるように拘束されている。また、第3バー4058の下端は、2自由度回転対偶である下部中心ジョイント4053を介して第2回転軸4054に連結される。第2回転軸4054は、Z軸に平行する軸回りに1自由度で回転できるように第1ベアリング4055によって拘束されている。なお、ユニバーサルジョイント4052は、その中心点が回転アクチュエータ4430の回転子4436の回転軸上となるように配置されており、ユニバーサルジョイント4059は、その中心点が下アーム4432の平行リンクの上節の回転軸上となるように配置されている。このような構造により、伝達バー4051は、上アーム4431の内部に挿通され、屈曲部4435に設けられた傘歯車4201,4203を介して旋回アクチュエータ4050の駆動力を第2回転軸4054に伝達することが可能となっている。パラレル機構4000の他の部分の構成は、図示は省略するが、前述したパラレル機構2000と同様である。すなわち、本変形例のパラレル機構4000は、前述したパラレル機構2000における周辺駆動機構2043と、対応する側の旋回アクチュエータ2050、伝達バー2051、上部中心ジョイント2052及び下部中心ジョイント2053を、図14に示す構成に置き換えた構成となっている。したがって、第2回転軸4054の回転によって、図12に示す差動機構2100のウォームギア2101を介して傘歯車2102が回転されることになる。以上のパラレル機構4000によれば、前述の第3実施形態と同様の効果を得ることができる。また、伝達バー4051を上アーム4431の内部に収納できるので、外観性が向上する。さらに、4つの周辺駆動機構4041~4044の内部空間が空になるので、当該空間を別の用途に使用することも可能である。なお、以上では傘歯車を用いて第1バー4056の回転を第2バー4057に伝えるようにしたが、傘歯車に代えてウォームギアを用いてもよい。この場合、第2回転軸4054の駆動トルクを増大できるので、旋回アクチュエータ4050の減速機を省略することが可能となり、旋回アクチュエータ4050の小型化、ひいてはパラレル機構4000の小型化を図ることができる。また、以上では、前述したパラレル機構2000における周辺駆動機構2043を図14に示す構成に置き換えた構成としたが、X軸に沿って対向配置された周辺駆動機構2041,2043の両方について図14に示す構成に置き換えた構成としてもよい。<第4実施形態>次に、第4実施形態について図を参照して説明する。本実施形態は、6自由度駆動可動プレートは3自由度駆動、エンドエフェクタは3自由度駆動のパラレル機構5000を構成するものである。図15は、本変形例のパラレル機構5000における3つの周辺駆動機構5041~5043のうちの1つの周辺駆動機構5043を抽出して示した図である。図15に示すように、本実施形態のパラレル機構5000は、固定プレート5001、この固定プレート5001の周方向3箇所に均一配置された3つの周辺駆動機構5041~5043、中心駆動機構5005、可動プレート5002、手首機構5100、及びエンドエフェクタ5003を有する。なお、本実施形態においても、固定プレート5001の中心を原点oとしてxoy平面が固定プレート5001と平行するように絶対座標xyzoを設け、可動プレート5002の中心を原点OとしてXOY平面が可動プレート5002と平行するように相対座標XYZOを設ける。周辺駆動機構5041~5043は、固定プレート5001及び可動プレート5002の周方向3箇所に均一配置されており、いずれも前述のパラレル機構4000の周辺駆動機構4043と同様の構成である。本実施形態では、いずれの周辺駆動機構5041~5043の下ジョイント5414~5434も、1自由度回転対偶で構成されている。周辺駆動機構5041~5043のその他の構成については説明を省略する。中心駆動機構5005は、固定プレート5001に設置された3つの旋回アクチュエータ5050と、各旋回アクチュエータ5050の駆動力をエンドエフェクタ5003に伝達するための3つの伝達バー5051と、3つの上部中心ジョイント5052及び下部中心ジョイント5053と、可動プレート5002の周方向3箇所に均一配置された3つの第1ベアリング5055と、3つの第2回転軸5054とを有している。中心駆動機構5005の伝達バー5051は、前述したパラレル機構4000の伝達バー4051と同様の構造であり、周辺駆動機構5043の上アーム5431の内部に挿通され、屈曲部5435に設けられた傘歯車5201,5203を介して旋回アクチュエータ5050の駆動力を第2回転軸5054に伝達することが可能となっている。図示は省略するが、他の2つの周辺駆動機構5041,5042においても同様に伝達バー5051が上アーム5411,5421の内部に挿通された構造となっている。上記構成により、3つの回転アクチュエータ5410~5430を制御することによって並進3自由度で一意的に可動プレート5002を駆動することができる。一方、エンドエフェクタ5003は、手首機構5100によって、可動プレート5002に対し3自由度で駆動される。この手首機構5100の詳細構造について図16を用いて説明する。図16に示すように、手首機構5100は、第1手首部材5010と、第2手首部材5011と、エンドエフェクタ5003をF軸回りに回動させる治具支持部5013とを有する。手首部材5010,5011は、各々相対回転することによって、手首機構5100をD軸回りに回転させたり、E軸回りに曲げることが可能である。第1手首部材5010、第2手首部材5011、及び治具支持部5013は、3つの旋回アクチュエータ5050により駆動される。3つの旋回アクチュエータ5050の回転駆動力は、各周辺駆動機構5041~5043に対応して設けられた3つの伝達バー5051及び第2回転軸5054を介して、第1手首部材5010、第2手首部材5011、及び治具支持部5013に伝達される。前述したように、3つの第2回転軸5054は可動プレート5002に設けられた第1ベアリング5055に保持されており、各第2回転軸5054の下端部にはギア5036~5038が設けられている。また、可動プレート5002の下面には支持部材5041が設けられており、この支持部材5041の内側には軸受5051を介して円筒軸5052がD軸回りに回転可能に支持されている。円筒軸5052の上端に設けられたギア5053は、第2回転軸5054のギア5036と噛合している。また、円筒軸5052の下端にはフランジ5054が設けられている。さらに、円筒軸5052の内側には、軸受5055が嵌合されており、この軸受5055の内周側には円筒軸5056がD軸回りに回転可能に支持されている。この円筒軸5056の上端にはギア5057が設けられており、このギア5057には第2回転軸5054のギア5037が噛合している。また、円筒軸5056の下端には、ベベルギア5058が設けられている。そして、円筒軸5056の内側には軸受5059が嵌合されており、この軸受5059の内周側には円筒軸5060がD軸回りに回転可能に支持されている。円筒軸5060の上端にはギア5061が設けられており、このギア5061には第2回転軸5054のギア5038が噛合している。また円筒軸5060の下端には、ベベルギア5062が設けられている。さらに、円筒軸5060の内側には中空部材5063が挿通されており、この中空部材5063の上端は可動プレート5002の下面に固着されている。また、中空部材5063の下端にはベベルギア5046が設けられている。円筒軸5052のフランジ5054には、第1手首部材5010のケース5064が取り付けられている。このケース5064は、内側の軸受5065を介して円筒軸5066をE軸回りに回動可能に支持している。円筒軸5066の上端には、ベベルギア5058と噛合するベベルギア5067が設けられている。また、円筒軸5066の下端には、フランジ5068が設けられている。さらに、円筒軸5066の内側には軸受5069が嵌合されており、この軸受5069の内周側には円筒軸5070がE軸回りに回転可能に支持されている。また、円筒軸5070の上端には、ベベルギア5062と噛合するベベルギア5071が設けられている。さらに、円筒軸5070の下端には、ベベルギア5072が設けられている。そして、円筒軸5070の内側には軸受5073が嵌合されている。この軸受5073の内周側には中空部材5074がE軸回りに回転可能に支持されている。中空部材5074の上端には、中空部材5063のベベルギア5046と噛合するベベルギア5075が設けられている。さらに、中空部材5074の下端には、ベベルギア5076が設けられている。また、円筒軸5066のフランジ5068には、第2手首部材5011のケース5077が取り付けられている。このケース5077は、内側の軸受5078を介して治具支持部5013をF軸回りに回転可能に支持している。さらに、治具支持部5013の上端には、ベベルギア5072に噛合するベベルギア5080が設けられている。また、治具支持部5013の下端には、フランジ5081が設けられている。このフランジ5081にエンドエフェクタ5003が取り付けられている。治具支持部5013の内側には軸受5082が嵌合されている。この軸受5082の内周側には中空部材5083がF軸回りに回転可能に支持されている。この中空部材5083の上端には、ベベルギア5076に噛合するベベルギア5084が設けられている。以上のような構成により、手首機構5100は、エンドエフェクタ5003をD軸回りの回転1自由度、E軸回りの回転1自由度、及びF軸回りの回転1自由度を含む3自由度で駆動させる。以上のパラレル機構5000によれば、3つの回転アクチュエータ5410~5430を制御することによって並進3自由度で一意的に可動プレート5002を駆動することができる。一方、エンドエフェクタ5003は、上述したように可動プレート5002に対し3自由度で駆動される。従って、3つの回転アクチュエータ5410~5430と3つの旋回アクチュエータ5050を制御することによって6自由度で一意的にエンドエフェクタ5003を駆動することができる。このように、本実施形態のパラレル機構5000を用いることによって、平行リンクに長手方向のねじりトルクを発生させることがなく可動プレート5002を完全にパラレルで駆動することができるので、高速化と高精度化を共に達成させることができる6自由度駆動のパラレル機構を実現することができる。また、以上既に述べた以外にも、上記各実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。その他、一々例示はしないが、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。"