"エンジンの排気管に設けられ銀系触媒からなる第1選択還元型触媒と、前記第1選択還元型触媒より排ガス下流側の前記排気管に設けられ銅系触媒、鉄系触媒又はバナジウム系触媒からなる第2選択還元型触媒と、前記第1選択還元型触媒より排ガス上流側の前記排気管に設けられ前記第1選択還元型触媒に向けて炭化水素系液体を噴射可能な液体噴射ノズルと、前記液体噴射ノズルに液体噴射量調整弁を介して前記液体を供給する炭化水素系液体供給手段と、前記第1選択還元型触媒に関係する排ガスの温度を検出する第1温度センサと、前記第1温度センサの検出出力に基づいて前記液体噴射量調整弁を制御するコントローラとを備えた排ガス浄化装置。前記第2選択還元型触媒より排ガス下流側の前記排気管に設けられ貴金属系触媒からなる第3選択還元型触媒を更に備えた請求項1記載の排ガス浄化装置。前記第3選択還元型触媒が前記第2選択還元型触媒より排ガス下流側の前記排気管に設けられ、前記第2選択還元型触媒と前記第3選択還元型触媒との間の前記排気管に設けられ前記第2選択還元型触媒に向けて炭化水素系液体を噴射可能な補助液体噴射ノズルと、前記補助液体噴射ノズルに補助液体噴射量調整弁を介して前記液体を供給する補助炭化水素系液体供給手段と、前記第3選択還元型触媒に関係する排ガスの温度を検出する第2温度センサとを更に備え、前記コントローラが前記第1及び第2温度センサの各検出出力に基づいて前記液体噴射量調整弁及び前記補助液体噴射量調整弁をそれぞれ制御するように構成された請求項2記載の排ガス浄化装置。前記第1選択還元型触媒より排ガス上流側であって前記液体噴射ノズルより排ガス下流側の前記排気管に設けられ前記排ガス中のNOxを硝酸塩の状態で吸蔵しかつこの吸蔵したNOxを還元するNOx吸蔵還元型触媒を更に備えた請求項1記載の排ガス浄化装置。前記第1選択還元型触媒より排ガス上流側であって前記NOx吸蔵還元型触媒より排ガス下流側の前記排気管に設けられ前記排ガス中のNOxを硝酸塩の状態で吸蔵しかつこの吸蔵したNOxを還元するとともに前記排ガス中のパティキュレートを捕集するNOx吸蔵還元型触媒付フィルタを更に備えた請求項4記載の排ガス浄化装置。前記第1選択還元型触媒がハニカム担体に銀ゼオライト又は銀アルミナをコーティングして構成され、前記第2選択還元型触媒がハニカム担体に銅ゼオライト、鉄ゼオライト又はバナジウム系酸化物をコーティングして構成された請求項1、4又は5いずれか1項に記載の排ガス浄化装置。前記第3選択還元型触媒がハニカム担体に貴金属系触媒をコーティングして構成された請求項2又は3記載の排ガス浄化装置。前記液体噴射ノズルより排ガス上流側の排気管に前記排ガス中のパティキュレートを捕集するパティキュレートフィルタが設けられた請求項1記載の排ガス浄化装置。前記NOx吸蔵還元型触媒がハニカム担体にアルカリ金属、アルカリ土類金属及び希土類からなる群より選ばれた1種又は2種以上の酸化物をコーティングして構成された請求項4又は5記載の排ガス浄化装置。しかし、上記従来の特許文献1に示されたディーゼルエンジン排ガス浄化装置では、NOx低減触媒として例えば白金-アルミナ系触媒を用いると、その活性温度域が200°C前後であり、温度活性域が狭いという問題点があった。また、上記従来の特許文献2に示された内燃機関の排気浄化装置では、還元剤として尿素を用いているため、排気浄化装置を車両に搭載する場合、車両に尿素水を貯留する尿素水タンクを燃料タンクとは別に設けなければならず、また尿素水タンクに尿素水を補給する作業が比較的煩わしい問題点があった。本発明の第1の目的は、排ガスの高温域においてNOxの低減効率を向上できる、排ガス浄化装置を提供することにある。本発明の第2の目的は、還元剤として、尿素水ではなく、比較的取扱いの容易な燃料等の炭化水素系液体を用いることができる、排ガス浄化装置を提供することにある。本発明の第3の目的は、排ガスの低温域から高温域までの幅広い温度域にわたってNOxを効率良く低減できる、排ガス浄化装置を提供することにある。種々のガス成分を計測できる分析計を用いてエンジンの排ガス成分を分析したところ、銀系触媒を通過したエンジンの排ガス中にアンモニアが含まれていることが分かった。このため、上記アンモニアを種々の触媒と組合せてNOx低減性能などを向上できないか調べたところ、銀系触媒の排ガス下流側に銅系触媒、鉄系触媒又はバナジウム系触媒を設置すると、銅系触媒、鉄系触媒又はバナジウム系触媒上でアンモニアとNOxが反応してNOxを低減できることを見出し、本発明をなすに至った。本発明の第1の観点は、図1に示すように、エンジン11の排気管16に設けられ銀系触媒からなる第1選択還元型触媒21と、第1選択還元型触媒21より排ガス下流側の排気管16に設けられ銅系触媒、鉄系触媒又はバナジウム系触媒からなる第2選択還元型触媒22と、第1選択還元型触媒21より排ガス上流側の排気管16に設けられ第1選択還元型触媒21に向けて炭化水素系液体24を噴射可能な液体噴射ノズル26と、液体噴射ノズル26に液体噴射量調整弁31を介して上記液体24を供給する炭化水素系液体供給手段27と、第1選択還元型触媒21に関係する排ガスの温度を検出する第1温度センサ41と、第1温度センサ41の検出出力に基づいて液体噴射量調整弁31を制御するコントローラ38とを備えた排ガス浄化装置である。本発明の第2の観点は、第1の観点に基づく発明であって、更に図2に示すように、第2選択還元型触媒22より排ガス下流側の排気管16に設けられ貴金属系触媒からなる第3選択還元型触媒53を更に備えたことを特徴とする。本発明の第3の観点は、第2の観点に基づく発明であって、更に図2に示すように、第3選択還元型触媒53が第2選択還元型触媒22より排ガス下流側の排気管16に設けられ、第2選択還元型触媒22と第3選択還元型触媒53との間の排気管16に設けられ第3選択還元型触媒53に向けて炭化水素系液体24を噴射可能な補助液体噴射ノズル56と、補助液体噴射ノズル56に補助液体噴射量調整弁61を介して上記液体24を供給する補助炭化水素系液体供給手段57と、第3選択還元型触媒53に関係する排ガスの温度を検出する第2温度センサ72とを更に備え、コントローラ38が第1及び第2温度センサ41,72の各検出出力に基づいて液体噴射量調整弁31及び補助液体噴射量調整弁61をそれぞれ制御するように構成されたことを特徴とする。本発明の第4の観点は、第1の観点に基づく発明であって、更に図3に示すように、第1選択還元型触媒21より排ガス上流側であって液体噴射ノズル26より排ガス下流側の排気管16に設けられ排ガス中のNOxを硝酸塩の状態で吸蔵しかつこの吸蔵したNOxを還元するNOx吸蔵還元型触媒81を更に備えたことを特徴とする。本発明の第5の観点は、第4の観点に基づく発明であって、更に図4に示すように、第1選択還元型触媒21より排ガス上流側であってNOx吸蔵還元型触媒81より排ガス下流側の排気管16に設けられ排ガス中のNOxを硝酸塩の状態で吸蔵しかつこの吸蔵したNOxを還元するとともに排ガス中のパティキュレートを捕集するNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91を更に備えたことを特徴とする。本発明の第6の観点は、第1、第4又は第5のいずれかの観点に基づく発明であって、更に図1に示すように、第1選択還元型触媒21がハニカム担体に銀ゼオライト又は銀アルミナをコーティングして構成され、第2選択還元型触媒22がハニカム担体に銅ゼオライト、鉄ゼオライト又はバナジウム系酸化物をコーティングして構成されたことを特徴とする。本発明の第7の観点は、第2又は第3の観点に基づく発明であって、更に図2に示すように、第3選択還元型触媒53がハニカム担体に貴金属系触媒をコーティングして構成されたことを特徴する。本発明の第8の観点は、第1の観点に基づく発明であって、更に液体噴射ノズル26より排ガス上流側の排気管にパティキュレートフィルタが設けられたことを特徴とする。本発明の第9の観点は、第4又は第5の観点に基づく発明であって、更に図3に示すように、NOx吸蔵還元型触媒81がハニカム担体にアルカリ金属、アルカリ土類金属及び希土類からなる群より選ばれた1種又は2種以上の酸化物をコーティングして構成されたことを特徴とする。本発明の第1の観点の排ガス浄化装置では、排ガスの高温域において、エンジンの排ガスとともに、液体噴射ノズルから噴射された炭化水素系液体が銀系の第1選択還元型触媒に流入すると、この第1選択還元型触媒上でアンモニアが生成され、このアンモニアを含む排ガスが銅系、鉄系又はバナジウム系の第2選択還元型触媒に流入すると、この第2選択還元型触媒上でアンモニアとNOxが反応して、NOxの還元反応とアンモニアの酸化反応とが促進される。この結果、排ガスの高温域における排ガス中のNOxの低減効率を向上できる。本発明の第2の観点の排ガス浄化装置では、排ガスの低温域において、炭化水素系液体を液体噴射ノズルから噴射すると、炭化水素系液体が第1及び第2選択還元型触媒で反応することなく、排ガス中のNOxの還元性能を発現する貴金属系の第3選択還元型触媒上で排ガス中のNOxと反応して、NOxが速やかに還元されるので、排ガスの低温域においてNOxを効率良く低減できる。一方、排ガスの高温域において、エンジンの排ガスとともに、液体噴射ノズルから噴射された炭化水素系液体が第1選択還元型触媒に流入すると、この第1選択還元型触媒上でアンモニアが生成され、このアンモニアを含む排ガスが第2選択還元型触媒に流入すると、この第2選択還元型触媒上でNOxがアンモニアと反応してN2に還元されるので、排ガスの高温域においてNOxを効率良く低減できる。この結果、幅広い温度域にわたってNOxを大幅に低減できる。本発明の第3の観点の排ガス浄化装置では、第2選択還元型触媒と第3選択還元型触媒との間に設けられた補助液体噴射ノズルから炭化水素系液体を噴射すると、液体噴射ノズルから噴射された炭化水素系液体の不足分を補うことができる。この結果、貴金属系の第3選択還元型触媒の性能を更に向上させることができる。本発明の第4の観点の排ガス浄化装置では、排ガスの低温域で、エンジンの排ガスがNOx吸蔵還元型触媒に流入すると、排ガス中のNOxの大部分がこのNOx吸蔵還元型触媒に吸蔵される。これにより大気に排出されるNOxが低減される。排ガスが高温になると、液体噴射ノズルから噴射された炭化水素系液体がNOx吸蔵還元型触媒に吸蔵されたNOxと還元反応を起こしてNOxが無害化されるとともに、このNOx吸蔵還元型触媒で生成された水素が排ガス中のNOxの一部を還元する。また液体噴射ノズルから噴射された炭化水素系液体のうちNOx吸蔵還元型触媒を通過した余剰の炭化水素系液体と、上記NOx吸蔵還元型触媒で生成された水素とが銀系の第1選択還元型触媒に流入すると、この第1選択還元型触媒上でアンモニアが生成されるとともにその量が増加し、NOx吸蔵還元型触媒における炭化水素系液体の酸化反応で発生した熱により高温になりしかもアンモニアを含む排ガスが銅系、鉄系又はバナジウム系の第2選択還元型触媒に流入すると、この第2選択還元型触媒上でアンモニアとNOxが反応して、NOxの還元反応とアンモニアの酸化反応とが促進される。これによりNOxが無害化される。この結果、排ガスの低温域から高温域までの幅広い温度域にわたって、排ガス中のNOxを効率良く低減できる。また車両に搭載した場合、還元剤として尿素水を貯留する尿素水タンクを燃料タンクとは別に設ける必要があり、またこの尿素水タンクに尿素水を補給する作業が比較的煩わしい従来の内燃機関の排気浄化装置と比較して、本発明では、還元剤として軽油等の炭化水素系液体を用いるため、車両に搭載した場合、燃料タンクとは別に新たなタンクを設ける必要がなく、また還元剤の取扱いが比較的容易になる。本発明の第5の観点の排ガス浄化装置では、排ガスの低温域で、エンジンの排ガスがNOx吸蔵還元型触媒に流入すると、排ガス中のNOxの大部分がこのNOx吸蔵還元型触媒に吸蔵され、NOx吸蔵還元型触媒を通過したNOxの残部を含む排ガスがNOx吸蔵還元型触媒付フィルタに流入すると、排ガス中のNOxの残部がこのNOx吸蔵還元型触媒付フィルタに吸蔵されるとともに、排ガス中のパティキュレートがNOx吸蔵還元型触媒に捕集される。これにより排ガスの低温域において、大気に排出されるNOxが更に低減されるとともに、大気に排出されるパティキュレートも低減できる。排ガスが高温になって、液体噴射ノズルから噴射された炭化水素系液体がNOx吸蔵還元型触媒に流入すると、この炭化水素系液体がNOx吸蔵還元型触媒に吸蔵されたNOxと還元反応を起こしてNOxが無害化されるとともに、このNOx吸蔵還元型触媒で生成された水素が排ガス中のNOxの一部を還元し、NOx吸蔵還元型触媒を通過した炭化水素系液体がNOx吸蔵還元型触媒付フィルタに流入すると、この炭化水素系液体がNOx吸蔵還元型触媒付フィルタに吸蔵されたNOxと還元反応を起こしてNOxが無害化されるとともに、排ガス中のパティキュレートがNOx吸蔵還元型触媒に捕集され、更にNOx吸蔵還元型触媒付フィルタで生成された水素が排ガス中のNOxの一部を還元する。また上記炭化水素系液体のうちNOx吸蔵還元型触媒及びNOx吸蔵還元型触媒付フィルタを通過した余剰の炭化水素系液体と、上記NOx吸蔵還元型触媒及びNOx吸蔵還元型触媒で生成された水素とが銀系の第1選択還元型触媒に流入すると、この第1選択還元型触媒上でアンモニアが生成されるとともにその量が増加し、NOx吸蔵還元型触媒及びNOx吸蔵還元型触媒付フィルタにおける炭化水素系液体の酸化反応で発生した熱により高温になりしかもアンモニアを含む排ガスが銅系、鉄系又はバナジウム系の第2選択還元型触媒に流入すると、この第2選択還元型触媒上でアンモニアとNOxが反応して、NOxの還元反応とアンモニアの酸化反応とが促進される。これによりNOxが無害化される。この結果、排ガスの低温域から高温域までの幅広い温度域にわたって、排ガス中のNOxを更に効率良く低減できるとともに、排ガス中のパティキュレートを低減できる。本発明の第8の観点の排ガス浄化装置では、液体噴射ノズルより排ガス上流側の排気管に設けられたパティキュレートフィルタにより排ガス中のパティキュレートを捕集することができる。次に本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。<第1の実施の形態>図1に示すように、ディーゼルエンジン11の吸気ポートには吸気マニホルド12を介して吸気管13が接続され、排気ポートには排気マニホルド14を介して排気管16が接続される。吸気管13には、ターボ過給機17のコンプレッサハウジング17aと、ターボ過給機17により圧縮された吸気を冷却するインタクーラ18とがそれぞれ設けられ、排気管16にはターボ過給機17のタービンハウジング17bが設けられる。コンプレッサハウジング17aにはコンプレッサ回転翼図示せずが回転可能に収容され、タービンハウジング17bにはタービン回転翼図示せずが回転可能に収容される。コンプレッサ回転翼とタービン回転翼とはシャフト図示せずにより連結され、エンジン11から排出される排ガスのエネルギによりタービン回転翼及びシャフトを介してコンプレッサ回転翼が回転し、このコンプレッサ回転翼の回転により吸気管13内の吸入空気が圧縮されるように構成される。排気管16の途中には銀系触媒からなる第1選択還元型触媒21が設けられ、第1選択還元型触媒21より排ガス下流側の排気管16には銅系触媒、鉄系触媒又はバナジウム系触媒からなる第2選択還元型触媒22が設けられる。第1及び第2選択還元型触媒21,22は排気管16より大径のケース23に収容される。第1選択還元型触媒21はモノリス触媒であって、コージェライト製のハニカム担体に銀ゼオライト又は銀アルミナをコーティングして構成される。具体的には、銀ゼオライトからなる第1選択還元型触媒21は、銀をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。また銀アルミナからなる第1選択還元型触媒21は、銀を担持させたγ-アルミナ粉末又はθ-アルミナ粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。第2選択還元型触媒22はモノリス触媒であって、コージェライト製のハニカム担体に銅ゼオライト、鉄ゼオライト又はバナジウム系酸化物をコーティングして構成される。具体的には、銅ゼオライトからなる第2選択還元型触媒22は、銅をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。また鉄ゼオライトからなる第2選択還元型触媒22は、鉄をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。更にバナジウム系酸化物からなる第2選択還元型触媒22は、バナジウム酸化物のみの粉末を含むか、或いはバナジウム酸化物にチタン酸化物及びタングステン酸化物を含有する混合酸化物粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングしてそれぞれ構成される。一方、第1選択還元型触媒21より排ガス上流側の排気管16には、第1選択還元型触媒21に向けて炭化水素系液体24を噴射可能な液体噴射ノズル26が設けられる。この液体噴射ノズル26には炭化水素系液体供給手段27が接続される。炭化水素系液体供給手段27は、液体噴射ノズル26に一端が接続された液体供給管28と、この液体供給管28の他端に接続され液体24が貯留されたタンク29と、液体噴射ノズル26から噴射される液体24の噴射量を調整する液体噴射量調整弁31とを有する。上記炭化水素系液体24は、この実施の形態では、軽油等の燃料である。また液体噴射量調整弁31は、液体供給管28に設けられ液体噴射ノズル26への液体24の供給圧力を調整する圧力調整弁32と、液体噴射ノズル26の基端に設けられ液体噴射ノズル26を開閉するノズル開閉弁33とからなる。更に圧力調整弁32とタンク29との間の液体供給管28にはタンク29内の液体24を液体噴射ノズル26に供給可能なポンプ30が設けられる。圧力調整弁32は第1~第3ポート32a~32cを有する三方弁であり、第1ポート32aはポンプ30の吐出口に接続され、第2ポート32bは液体噴射ノズル26に接続され、第3ポート32cは戻り管34を介してタンク29に接続される。圧力調整弁32がオンすると、ポンプ30により圧送された液体24が第1ポート32aから圧力調整弁32に流入し、この圧力調整弁32で所定の圧力に調整された後、第2ポート32bから液体噴射ノズル26に圧送される。また圧力調整弁32がオフすると、ポンプ30により圧送された液体24が第1ポート32aから圧力調整弁32に流入した後、第3ポート32cから戻り管34を通ってタンク29に戻される。第1選択還元型触媒21より排ガス上流側の排気管16には、第1選択還元型触媒21に関係する排ガスの温度、この実施の形態では、第1選択還元型触媒21を流れる直前の排ガスの温度を検出する第1温度センサ41が設けられる。またエンジン11の回転速度は回転センサ36により検出され、エンジン11の負荷は負荷センサ37により検出される。第1温度センサ41、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力はコントローラ38の制御入力に接続され、コントローラ38の制御出力は圧力調整弁32、ポンプ30及びノズル開閉弁33にそれぞれ接続される。コントローラ38にはメモリ39が設けられる。このメモリ39には、エンジン回転速度、エンジン負荷、第1選択還元型触媒21入口第1選択還元型触媒を流れる直前の排ガス温度等に応じた圧力調整弁32の圧力、ノズル開閉弁33の開閉回数、ポンプ30の作動の有無が予め記憶される。なお、この実施の形態では、第1温度センサを第1選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管に設けたが、第1選択還元型触媒より排ガス下流側であって第2選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管に第1温度センサを設けたり、或いは第1選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管と、第1選択還元型触媒より排ガス下流側であって第2選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管とに第1温度センサをそれぞれ設けてもよい。第1選択還元型触媒より排ガス下流側であって第2選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管に第1温度センサを設けた場合、この第1温度センサにより第1選択還元型触媒出口第1選択還元型触媒を流れた直後の排ガスの温度が検出される。また第1選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管と、第1選択還元型触媒より排ガス下流側であって第2選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管とに第1温度センサをそれぞれ設けた場合、即ち第1選択還元型触媒の直前及び直後に第1温度センサをそれぞれ設けた場合、第1選択還元型触媒入口第1選択還元型触媒を流れる直前の排ガス温度と第1選択還元型触媒出口第1選択還元型触媒を流れた直後の排ガス温度とがそれぞれ検出されるため、両温度の平均値を算出することにより、第1選択還元型触媒を流れている排ガスの温度を検出できる。このように構成された排ガス浄化装置の動作を説明する。排ガスが高温域例えば、250~500°Cにあることを第1温度センサ41が検出すると、コントローラ38は第1温度センサ41、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力に基づいて炭化水素系液体供給手段27のポンプ30を作動させ、圧力調整弁32をオンし、かつノズル開閉弁33のオンオフを繰返すことにより、液体噴射ノズル26から炭化水素系液体24を間欠的に噴射する。この液体噴射ノズル26から噴射された炭化水素系液体24がガス化して銀系の第1選択還元型触媒21に流入すると、この触媒21上でアンモニアが生成される。これは、軽油等の炭化水素系液体24を構成するHC成分アルカンが、第1選択還元型触媒21に吸着し、NOxと酸素が第1選択還元型触媒21上で反応して、イソシアネート種N=C=O、C=Nなどの反応中間体ができ、この反応中間体に水が付加することにより、アンモニアが生成されたものと推定される。第1選択還元型触媒21で生成されたアンモニアを含む排ガスが銅系、鉄系又はバナジウム系の第2選択還元型触媒22に流入すると、次の式1~式3に示すように、第2選択還元型触媒22上で排ガス中のNOxNO及びNO2がアンモニアと反応してN2に還元される。NONO22NH3→2N23H2O...14NO4NH3O2→4N26H2O...26NO28NH3→7N212H2O...3この結果、排ガスの高温域における排ガス中のNOxの低減効率を向上できる。<第2の実施の形態>図2は本発明の第2の実施の形態を示す。図2において図1と同一符号は同一部品を示す。この実施の形態では、第2選択還元型触媒22より排ガス下流側の排気管16に白金ゼオライトや白金アルミナ等の貴金属系触媒からなる第3選択還元型触媒53が設けられる。この第3選択還元型触媒53は排気管16より大径のケース54に収容される。また第3選択還元型触媒53はモノリス触媒であって、コージェライト製のハニカム担体に白金ゼオライト又は白金アルミナ等の貴金属をコーティングして構成される。具体的には、白金ゼオライトからなる第3選択還元型触媒53は、白金をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。また白金アルミナからなる第3選択還元型触媒53は、白金を担持させたγ-アルミナ粉末又はθ-アルミナ粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。一方、第2選択還元型触媒22と第3選択還元型触媒53との間の排気管16には、第3選択還元型触媒53に向けて炭化水素系液体24を噴射可能な補助液体噴射ノズル56が設けられる。この補助液体噴射ノズル56には補助炭化水素系液体供給手段57が設けられる。補助炭化水素系液体供給手段57は、補助液体噴射ノズル56に一端が接続された補助液体供給管58と、補助液体噴射ノズル56から噴射される液体24の噴射量を調整する補助液体噴射量調整弁61とを有する。上記補助液体供給管58の他端はポンプ30と圧力調整弁32との間の液体供給管28に接続される。また補助液体噴射量調整弁61は、補助液体供給管58に設けられ補助液体噴射ノズル56への液体24の供給圧力を調整する補助圧力調整弁62と、補助液体噴射ノズル56の基端に設けられ補助液体噴射ノズル56を開閉する補助ノズル開閉弁63とからなる。補助圧力調整弁62は第1~第3ポート62a~62cを有する三方弁であり、第1ポート62aはポンプ30の吐出口に接続され、第2ポート62bは補助液体噴射ノズル56に接続され、第3ポート62cは補助戻り管64を介してタンク29に接続される。補助圧力調整弁62がオンすると、ポンプ30により圧送された液体24が第1ポート62aから補助圧力調整弁62に流入し、この補助圧力調整弁62で所定の圧力に調整された後、第2ポート62bから補助液体噴射ノズル56に圧送される。また補助圧力調整弁62がオフすると、ポンプ30により圧送された液体24が第1ポート62aから補助圧力調整弁62に流入した後、第3ポート62cから補助戻り管64を通ってタンク29に戻される。第1選択還元型触媒21より排ガス上流側の排気管16には、第1選択還元型触媒21に関係する排ガス温度、この実施の形態では、第1選択還元型触媒21を流れる直前の排ガスの温度を検出する第1温度センサ41が設けられる。また第2選択還元型触媒22より排ガス下流側であって第3選択還元型触媒53より排ガス上流側の排気管16には、第3選択還元型触媒53に関係する排ガスの温度、この実施の形態では、第3選択還元型触媒53を流れる直前の排ガスの温度を検出する第2温度センサ72が設けられる。またエンジン11の回転速度は回転センサ36により検出され、エンジン11の負荷は負荷センサ37により検出される。第1温度センサ41、第2温度センサ72、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力はコントローラ38の制御入力に接続され、コントローラ38の制御出力は圧力調整弁32、ポンプ30、ノズル開閉弁33、補助圧力調整弁62及び補助ノズル開閉弁63にそれぞれ接続される。コントローラ38に設けられたメモリ39には、エンジン回転速度、エンジン負荷、第1選択還元型触媒21入口第1選択還元型触媒21を流れる直前の排ガス温度等に応じた圧力調整弁32の圧力、ノズル開閉弁33の開閉回数、ポンプ30の作動の有無が予め記憶されるとともに、エンジン回転速度、エンジン負荷、第3選択還元型触媒53入口第3選択還元型触媒53を流れる直前の排ガス温度等に応じた補助圧力調整弁62の圧力、補助ノズル開閉弁63の開閉回数、ポンプ30の作動の有無が予め記憶される。なお、この実施の形態では、第2温度センサを第2選択還元型触媒より排ガス下流側であって第3選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管に設けたが、第3選択還元型触媒より排ガス下流側に第2温度センサを設けたり、或いは第2選択還元型触媒より排ガス下流側であって第3選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管と、第3選択還元型触媒より排ガス下流側の排気管とに第2温度センサをそれぞれ設けてもよい。第3選択還元型触媒より排ガス下流側の排気管に第2温度センサを設けた場合、この第2温度センサにより第3選択還元型触媒出口第3選択還元型触媒を流れた直後の排ガス温度が検出される。また第2選択還元型触媒より排ガス下流側であって第3選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管と、第3選択還元型触媒より排ガス下流側の排気管とに第2温度センサをそれぞれ設けた場合、即ち第3選択還元型触媒の直前及び直後に第2温度センサをそれぞれ設けた場合、第3選択還元型触媒入口第3選択還元型触媒を流れる直前の排ガス温度と第3選択還元型触媒出口第3選択還元型触媒を流れた直後の排ガス温度とがそれぞれ検出されるため、両温度の平均値を算出することにより、第3選択還元型触媒を流れている排ガスを検出できる。上記以外は第1の実施の形態と同一に構成される。このように構成された排ガス浄化装置の動作を説明する。エンジン11の始動直後のように、排ガス温度が150°C未満と極めて低い場合には、第1選択還元型触媒21の入口側の排ガス温度が低過ぎて第1~第3選択還元型触媒21,22,53によりNOxを殆ど還元できないので、コントローラ38は、第1温度センサ41、第2温度センサ72、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力に基づいて、炭化水素系液体供給手段27のポンプ30は不作動状態にし、圧力調整弁32及びノズル開閉弁33をオフにして、液体噴射ノズル26から炭化水素系液体24を噴射しない状態に保つとともに、補助圧力調整弁62及び補助ノズル開閉弁63をオフにして、補助液体噴射ノズル56から炭化水素系液体24を噴射しない状態に保つ。排ガス温度が上昇して低温域例えば150~250°Cになると、コントローラ38は第1温度センサ41、第2温度センサ72、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力に基づいて、炭化水素系液体供給手段27のポンプ30を作動させ、圧力調整弁32をオンし、かつノズル開閉弁33のオンオフを繰返して、液体噴射ノズル26から比較的少量の炭化水素系液体24を間欠的に噴射するとともに、補助圧力調整弁62をオンし、かつ補助ノズル開閉弁63のオンオフを繰返して、補助液体噴射ノズル56から比較的少量の炭化水素系液体24を間欠的に噴射する。液体噴射ノズル26から噴射された炭化水素系液体24は、ガス化して第1選択還元型触媒21に流入するけれども、排ガスの低温域における第1選択還元型触媒21上での排ガス中のNOxの還元性能の発現が僅かであるため、第1選択還元型触媒21での炭化水素系液体24の消費は少なく、ガス化した炭化水素系液体24の大部分は第1選択還元型触媒21を通過して、第2選択還元型触媒22に流入する。排ガスの低温域における第2選択還元型触媒22上での排ガス中のNOxの還元性能の発現も僅かであるため、第2選択還元型触媒22での炭化水素系液体24の消費は少なく、ガス化した炭化水素系液体24の大部分は第2選択還元型触媒22を通過して、第3選択還元型触媒53に流入する。上記液体噴射ノズル26から噴射された殆ど全ての炭化水素系液体24は、補助液体噴射ノズル56から噴射された炭化水素系液体24とともに、ガス化して第3選択還元型触媒53に流入する。この第3選択還元型触媒53は排ガスの低温域においてNOxの還元性能を大きく発現するので、上記ガス化した炭化水素系液体24は第3選択還元型触媒53上で排ガス中のNOxと反応して、NOxが速やかに還元される。この結果、排ガスの低温域においてNOxが効率良く低減される。排ガス温度が更に上昇して高温域例えば、250~500°Cになると、コントローラ38は第1温度センサ41、第2温度センサ72、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力に基づいて圧力調整弁32及びノズル開閉弁33を制御して、液体噴射ノズル26から比較的多量の炭化水素系液体24を間欠的に噴射するとともに、補助圧力調整弁62及び補助ノズル開閉弁63を制御して、補助液体噴射ノズル56から比較的少量の炭化水素系液体24を間欠的に噴射する。なお、排ガス温度が300°C以上になったときに補助液体噴射ノズル56からの炭化水素系液体24の噴射を停止する。液体噴射ノズル26から噴射された炭化水素系液体24がガス化して銀系の第1選択還元型触媒21に流入すると、この触媒21上でアンモニアが生成される。このアンモニアを含む排ガスが銅系、鉄系又はバナジウム系の第2選択還元型触媒22に流入すると、次の式1~式3に示すように、第2選択還元型触媒22上で排ガス中のNOxNO及びNO2がアンモニアと反応してN2に還元される。NONO22NH3→2N23H2O...14NO4NH3O2→4N26H2O...26NO28NH3→7N212H2O...3この結果、排ガスの高温域における排ガス中のNOxの低減効率を向上できる。また補助液体噴射ノズル56から噴射された炭化水素系液体24が第3選択還元型触媒53に流入すると、この炭化水素系液体24は排ガス温度300°C未満の低温域における第3選択還元型触媒53上でのNOx低減に寄与することができる。この結果、排ガスの低温域から高温域の幅広い温度域にわたってNOxを大幅に低減できる。また第2選択還元型触媒22から余剰の炭化水素系液体24や余剰のアンモニアが排出された場合、これらの炭化水素系液体24やアンモニアの余剰分は第3選択還元型触媒53で酸化されるため、大気中に排出されることはない。<第3の実施の形態>図3は本発明の第3の実施の形態を示す。図3において図1と同一符号は同一部品を示す。この実施の形態では、第1選択還元型触媒21より排ガス上流側であって液体噴射ノズル26より排ガス下流側の排気管16にNOx吸蔵還元型触媒81が設けられる。このNOx吸蔵還元型触媒81は排ガス中のNOxを硝酸塩の状態で吸蔵しかつこの吸蔵したNOxを炭化水素の存在下で還元するように構成される。またNOx吸蔵還元型触媒81はコージェライト製のハニカム担体にNOx吸蔵材をコーティングして構成される。NOx吸蔵材は、Li,K等のアルカリ金属の酸化物、Ba等のアルカリ土類金属の酸化物、又はLa,Ce,Pr,Nd等の希土類の酸化物、或いは上記アルカリ金属の酸化物、上記アルカリ土類金属の酸化物及び上記希土類金属の酸化物からなる群より選ばれた2種以上の混合酸化物を有する。上記NOx吸蔵還元型触媒81は、第1及び第2選択還元型触媒21,22とともに、排気管16より大径のケース82に収容される。上記以外は第1の実施の形態と同一に構成される。このように構成された排ガス浄化装置の動作を説明する。排ガス温度が例えば180°C未満と低い場合には、コントローラ38は、第1温度センサ41、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力に基づいて、炭化水素系液体供給手段27のポンプ30は不作動状態にし、圧力調整弁32及びノズル開閉弁33をオフにして、液体噴射ノズル26から炭化水素系液体24を噴射しない状態に保つ。このときエンジン11の排ガスがNOx吸蔵還元型触媒81に流入すると、排ガス中のNOxの大部分がこのNOx吸蔵還元型触媒81に固体の硝酸塩硝酸イオンNO3を持つ塩の状態で吸蔵される。この結果、排ガスの低温域におけるNOxの大気中への排出を低減できる。排ガス温度が例えば180°C以上と高くなると、コントローラ38は第1温度センサ41、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力に基づいて炭化水素系液体供給手段27のポンプ30を作動させ、圧力調整弁32をオンし、かつノズル開閉弁33のオンオフを繰返すことにより、液体噴射ノズル26から炭化水素系液体24を間欠的に噴射する。このときの1回の噴射量は比較的多く設定され、排ガス中の空気過剰率λが1以下になるように炭化水素系液体24が噴射される。即ち、液体噴射ノズル26から噴射された炭化水素系液体24がガス化して炭化水素HCが生成され、この炭化水素HCと排ガス中の酸素O2とが反応して二酸化炭素CO2と水素H2が生成されることにより、排ガス中の空気過剰率λが1以下になる。そして炭化水素の残部がNOx吸蔵還元型触媒81に流入すると、NOx吸蔵還元型触媒81に硝酸塩NO3を持つ塩の形態で吸蔵されているNOxと炭化水素HCが反応して二酸化炭素CO2、水H2O及び窒素N2が生成される。即ち、炭化水素がNOx吸蔵還元型触媒81に吸蔵されたNOxと還元反応を起こしてNOxが無害化される。ここで、炭化水素HCと排ガス中の酸素O2との反応により生成された水素H2は、NOx吸蔵還元型触媒81において還元剤として機能するため、この水素H2により排ガス中のNOxの一部が還元される。一方、余剰の炭化水素が排ガスとともに銀系の第1選択還元型触媒21に流入すると、この触媒21上で第1の実施の形態と同様にアンモニアが生成される。ここで、NOx吸蔵還元型触媒81における炭化水素HCと排ガス中の酸素O2との反応により生成された水素H2のうち余剰の水素H2が排ガスとともに第1選択還元型触媒21に流入すると、この水素H2によりアンモニアの生成量が増加する。第1選択還元型触媒21で生成されかつその生成量が増加したアンモニアを含む排ガスが銅系、鉄系又はバナジウム系の第2選択還元型触媒22に流入すると、第1の実施の形態と同様に、第2選択還元型触媒22上で排ガス中のNOxNO及びNO2がアンモニアと反応して窒素N2に還元され、NOxが無害化される。ここで、第2選択還元型触媒22に流入する排ガスの温度は、NOx吸蔵還元型触媒81における炭化水素の酸化反応で発生した熱により高温になっているので、第2選択還元型触媒22における排ガス中のNOxの還元反応が速やかに進む。この結果、排ガスの高温域における排ガス中のNOxの低減効率を向上できる。従って、排ガスの低温域から高温域までの幅広い温度域にわたってNOxを効率良く低減できる。<第4の実施の形態>図4は本発明の第4の実施の形態を示す。図4において図3と同一符号は同一部品を示す。この実施の形態では、第1選択還元型触媒21より排ガス上流側であってNOx吸蔵還元型触媒81より排ガス下流側の排気管16にNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91が設けられる。このNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91は排ガス中のNOxを硝酸塩の状態で吸蔵しかつこの吸蔵したNOxを炭化水素の存在下で還元するとともに、排ガス中のパティキュレートを捕集するように構成される。またNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91はコージェライト製のハニカム担体にNOx吸蔵材をコーティングして構成される。ハニカム担体は、多孔質の隔壁で仕切られた多角形断面を有し、これらの隔壁により多数の互いに平行に形成された貫通孔の相隣接する入口部と出口部を封止部材により交互に封止することにより構成される。そして、ハニカム担体の入口部から導入されたエンジンの排ガスが多孔質の隔壁を通過する際に、この排ガスに含まれるパティキュレートが捕集されて、出口部から排出されるようになっている。またNOx吸蔵材は、Li,K等のアルカリ金属の酸化物、Ba等のアルカリ土類金属の酸化物、又はLa,Ce,Pr,Nd等の希土類の酸化物、或いは上記アルカリ金属の酸化物、上記アルカリ土類金属の酸化物及び上記希土類金属の酸化物からなる群より選ばれた2種以上の混合酸化物を有する。上記NOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91は、NOx吸蔵還元型触媒81、第1選択還元型触媒21及び第2選択還元型触媒22とともに、排気管16より大径のケース92に収容される。上記以外は第3の実施の形態と同一に構成される。このように構成された排ガス浄化装置の動作を説明する。排ガス温度が例えば180°C未満と低い場合には、コントローラ38は、第1温度センサ41、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力に基づいて、炭化水素系液体供給手段27のポンプ30は不作動状態にし、圧力調整弁32及びノズル開閉弁33をオフにして、液体噴射ノズル26から炭化水素系液体24を噴射しない状態に保つ。このときエンジン11の排ガスがNOx吸蔵還元型触媒81に流入すると、排ガス中のNOxの大部分がこのNOx吸蔵還元型触媒81に固体の硝酸塩硝酸イオンNO3を持つ塩の状態で吸蔵され、NOx吸蔵還元型触媒81を通過したNOxの残部を含む排ガスがNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91に流入すると、排ガス中のNOxの残部がこのNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91に固体の硝酸塩硝酸イオンNO3を持つ塩の状態で吸蔵されるとともに、排ガス中のパティキュレートがNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91に捕集される。この結果、排ガスの低温域において、NOxの大気中への排出を第3の実施の形態の排ガス浄化装置より低減できるとともに、パティキュレートの大気中への排出を低減できる。排ガス温度が例えば180°C以上と高くなると、コントローラ38は第1温度センサ41、回転センサ36及び負荷センサ37の各検出出力に基づいて炭化水素系液体供給手段27のポンプ30を作動させ、圧力調整弁32をオンし、かつノズル開閉弁33のオンオフを繰返すことにより、液体噴射ノズル26から炭化水素系液体24を間欠的に噴射する。このときの1回の噴射量は比較的多く設定され、排ガス中の空気過剰率λが1以下になるように炭化水素系液体24が噴射される。即ち、液体噴射ノズル26から噴射された炭化水素系液体24がガス化して炭化水素HCが生成され、この炭化水素HCと排ガス中の酸素O2とが反応して二酸化炭素CO2と水素H2が生成されることにより、排ガス中の空気過剰率λが1以下になる。そして炭化水素の残部がNOx吸蔵還元型触媒81に流入すると、NOx吸蔵還元型触媒81に吸蔵されている硝酸塩NO3を持つ塩と炭化水素HCが反応して二酸化炭素CO2、水H2O及び窒素N2が生成される。即ち、炭化水素がNOx吸蔵還元型触媒81に吸蔵されたNOxと還元反応を起こしてNOxが無害化される。ここで、炭化水素HCと排ガス中の酸素O2との反応により生成された水素H2は、NOx吸蔵還元型触媒81において還元剤として機能するため、この水素H2により排ガス中のNOxの一部が還元される。NOx吸蔵還元型触媒81を通過した炭化水素がNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91に流入すると、NOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91に硝酸塩NO3を持つ塩の形態で吸蔵されているNOxと炭化水素HCが反応して二酸化炭素CO2、水H2O及び窒素N2が生成される。即ち、炭化水素がNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91に吸蔵されたNOxと還元反応を起こしてNOxが無害化される。ここで、炭化水素HCと排ガス中の酸素O2との反応により生成された水素H2は、NOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91において還元剤として機能するため、この水素H2により排ガス中のNOxの一部が還元される。また排ガス中のパティキュレートがNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91に捕集される。一方、余剰の炭化水素が排ガスとともに銀系の第1選択還元型触媒21に流入すると、この触媒21上で第1の実施の形態と同様にアンモニアが生成される。ここで、NOx吸蔵還元型触媒81及びNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91における炭化水素HCと排ガス中の酸素O2との反応により生成された水素H2のうち余剰の水素H2が排ガスとともに第1選択還元型触媒21に流入すると、この水素H2によりアンモニアの生成量が増加する。第1選択還元型触媒21で生成されかつその生成量が増加したアンモニアを含む排ガスが銅系、鉄系又はバナジウム系の第2選択還元型触媒22に流入すると、第1の実施の形態と同様に、第2選択還元型触媒22上で排ガス中のNOxNO及びNO2がアンモニアと反応して窒素N2に還元され、NOxが無害化される。ここで、第2選択還元型触媒22に流入する排ガスの温度は、NOx吸蔵還元型触媒81及びNOx吸蔵還元型触媒付フィルタ91における炭化水素の酸化反応で発生した熱により高温になっているので、第2選択還元型触媒22における排ガス中のNOxの還元反応が速やかに進む。この結果、排ガスの高温域における排ガス中のNOxの低減効率を向上できる。従って、排ガスの低温域から高温域までの幅広い温度域にわたって、排ガス中のNOxを第3の実施の形態より効率良く低減できるとともに、排ガス中のパティキュレートを低減できる。なお、上記第1~第4の実施の形態では、本発明の排ガス浄化装置をディーゼルエンジンに適用したが、本発明の排ガス浄化装置をガソリンエンジンに適用してもよい。また、上記第1~第4の実施の形態では、本発明の排ガス浄化装置をターボ過給機付ディーゼルエンジンに適用したが、本発明の排ガス浄化装置を自然吸気型ディーゼルエンジン又は自然吸気型ガソリンエンジンに適用してもよい。また、上記第2の実施の形態では、排ガスの低温域において液体噴射ノズルから少量の炭化水素系液体を噴射し、補助液体噴射ノズルから少量の炭化水素液体を噴射し、排ガスの高温域において液体噴射ノズルから多量の炭化水素系液体を噴射し、補助液体噴射ノズルから少量の炭化水素液体を噴射し、排ガス温度300°C以上で補助液体噴射ノズルからの炭化水素液体の噴射を停止したが、排ガスの低温域で補助液体噴射ノズルのみから炭化水素系液体を噴射し、排ガスの高温域で液体噴射ノズルのみから炭化水素液体を噴射してもよい。更に、上記第1及び第2の実施の形態の排ガス浄化装置において、液体噴射ノズルより排ガス上流側の排気管にパティキュレートフィルタを設けてもよい。この場合、パティキュレートフィルタにより排ガス中のパティキュレートを捕集することができるので、第1~第3選択還元型触媒にパティキュレートが付着するのを防止できる。次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく説明する。<実施例1>図1に示すように、排気量8000ccのターボ過給機付ディーゼルエンジン11の排気管16に、排ガス上流側から順に第1選択還元型触媒21及び第2選択還元型触媒22を設けた。また第1選択還元型触媒21より排ガス上流側の排気管16に、炭化水素系液体24を噴射する液体噴射ノズル26を設けた。なお、第1選択還元型触媒21は、銀をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして作製した銀系の触媒であった。また第2選択還元型触媒22は、銅をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして作製した銅系の触媒であった。この排ガス浄化装置を実施例1とした。<実施例2>図2に示すように、排気量8000ccのターボ過給機付ディーゼルエンジン11の排気管16に、排ガス上流側から順に第1選択還元型触媒21、第2選択還元型触媒22及び第3選択還元型触媒を設けた。また第1選択還元型触媒21より排ガス上流側の排気管16に、炭化水素系液体24を噴射する液体噴射ノズル26を設けた。更に第2選択還元型触媒22と第3選択還元型触媒53との間の排気管16に、炭化水素系液体24を噴射する補助液体噴射ノズル56を設けた。なお、第1選択還元型触媒21としては実施例1と同一の銀系の触媒を用い、第2選択還元型触媒22としては実施例1と同一の銅系の触媒を用いた。また第3選択還元型触媒53としては、白金をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして作製した白金系の触媒を用いた。この排ガス浄化装置を実施例2とした。<比較例1>排気量8000ccのターボ過給機付ディーゼルエンジンの排気管に、第1選択還元型触媒を設けた。また第1選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管に、炭化水素系液体を噴射する液体噴射ノズルを設けた。なお、第1選択還元型触媒は、銀をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして作製した銀系の触媒であった。この排ガス浄化装置を比較例1とした。<比較例2>排気量8000ccのターボ過給機付ディーゼルエンジンの排気管に、第3選択還元型触媒を設けた。また第3選択還元型触媒より排ガス上流側の排気管に、炭化水素系液体を噴射する補助液体噴射ノズルを設けた。なお、第3選択還元型触媒は、白金をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして作製した白金系の触媒であった。この排ガス浄化装置を比較例2とした。<比較試験1及び評価>エンジンの回転速度及び負荷を変化させて、排ガス温度を室温から600°Cまで徐々に上昇させたときの、実施例1及び比較例1の排ガス浄化装置によるNOx低減率を測定した。その結果を図5aに示す。また、実施例1の第1及び第2選択還元型触媒を通過した直後の排ガスに含まれるアンモニアの量をそれぞれ測定した。その結果を図5bに示す。図5aから明らかなように、比較例1の排ガス浄化装置ではNOx低減率が最大で約40であったのに対し、実施例1の排ガス浄化装置ではNOx低減率が最大で約60と高くなり、実施例1の排ガス浄化装置の方が比較例1の排ガス浄化装置より排ガス温度200~600°Cにわたって、NOx低減率が向上したことが分かった。また図5bから明らかなように、第1選択還元型触媒からのアンモニアの排出量は比較的多いのに対し、第2選択還元型触媒からのアンモニアの排出量は極めて少なくなった。このことから第1選択還元型触媒により生成されたアンモニアが第2選択還元型触媒におけるNOxの還元反応に消費されたものと考えられる。<比較試験2及び評価>エンジンの回転速度及び負荷を変化させて、排ガス温度を室温から600°Cまで徐々に上昇させたときの、実施例2及び比較例2の排ガス浄化装置によるNOx低減率を測定した。その結果を図6aに示す。また、実施例3の第1、第2及び第3選択還元型触媒を通過した直後の排ガスに含まれるアンモニアの量をそれぞれ測定した。その結果を図6bに示す。図6aから明らかなように、比較例2の排ガス浄化装置では200°C前後では高いNOx低減性能を発揮できたけれども、300°Cを越えるとNOxの低減性能を全く発揮しなかったのに対し、実施例2の排ガス浄化装置では排ガス温度150~600°Cにわたって、高いNOx低減性能を発揮することが分かった。また図6bから明らかなように、第1選択還元型触媒からのアンモニアの排出量は比較的多く、第2選択還元型触媒からのアンモニアの排出量は極めて少なくなり、更に第3選択還元型触媒からのアンモニアの排出量は殆どなかった。このことから第1選択還元型触媒により生成されたアンモニアが第2選択還元型触媒におけるNOxの還元反応に消費され、余剰のアンモニアが第3選択還元型触媒で酸化されたものと考えられる。<実施例3>図3に示すように、排気量8000ccのターボ過給機付ディーゼルエンジン11の排気管16に、排ガス上流側から順にNOx吸蔵還元型触媒81、第1選択還元型触媒21及び第2選択還元型触媒22を設けた。またNOx吸蔵還元型触媒81より排ガス上流側の排気管16に、炭化水素系液体24を噴射する液体噴射ノズル26を設けた。なお、NOx吸蔵還元型触媒81は、アルカリ金属の酸化物であるLi2Oと、希土類の酸化物であるLa2O3とを含むスラリーをハニカム担体にコーティングして作製した触媒であった。また第1選択還元型触媒21は、銀をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして作製した銀系の触媒であった。更に第2選択還元型触媒22は、銅をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして作製した銅系の触媒であった。この排ガス浄化装置を実施例3とした。<比較試験3及び評価>エンジンの回転速度及び負荷を変化させて、排ガス温度を室温から600°Cまで徐々に上昇させたときの、実施例3及び実施例1の排ガス浄化装置によるNOx低減率を測定した。その結果を図7に示す。図7から明らかなように、実施例1の排ガス浄化装置では、比較的高温の約200°CからNOx低減率が徐々に高くなっているのに対し、実施例3の排ガス浄化装置では、比較的低温の約150°CからNOx低減率が徐々に高くなっていることが分かった。また実施例1の排ガス浄化装置では、NOx低減率が最大で約60であったのに対し、実施例3の排ガス浄化装置では、NOx低減率が最大で約70と高くなったことが分かった。<比較試験4及び評価>エンジンの回転速度及び負荷を変化させて、排ガス温度を室温から600°Cまで徐々に上昇させたときの、実施例3及び実施例1の排ガス浄化装置によるトータルのNOx低減率を測定した。その結果を図8に示す。図8から明らかなように、実施例1の排ガス浄化装置ではトータルのNOx低減率が約40であったのに対し、実施例3の排ガス浄化装置ではトータルのNOx低減率が約60と高くなり、実施例3の排ガス浄化装置の方が実施例1の排ガス浄化装置よりトータルのNOx低減率が向上したことが分かった。"