被加工物を保持する被加工物保持機構と、該被加工物保持機構に保持された被加工物を旋削するためのバイト工具を備えた旋削手段と、を具備するバイト工具を備えた加工装置において、該被加工物保持機構は、被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを支持する冷却部材と、該冷却部材を支持する基台と、該冷却部材に冷却水を供給する冷却水供給手段と、該冷却部材に供給された冷却水を保持テーブルに向けて噴射するシャワーノズルと、を具備している、ことを特徴とするバイト工具を備えた加工装置。該シャワーノズルは、該保持テーブルを囲繞して設けられた環状のノズル部材からなり、環状のノズル部材の内周壁に複数の噴出口が設けられている、請求項1記載のバイト工具を備えた加工装置。而して、上述したバイト工具を備えた加工装置においては、被加工物を保持する被加工物保持手段が熱膨張すると、被加工物保持手段の保持面に保持された板状物の高さ位置が高くなるため、板状物の表面に突出して形成された複数個の電極の先端部を設定された値より余分に旋削してしまうという問題がある。本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、被加工物を保持する被加工物保持手段の熱膨張を抑制することができるバイト工具を備えた加工装置を提供することにある。上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する被加工物保持機構と、該被加工物保持機構に保持された被加工物を旋削するためのバイト工具を備えた旋削手段と、を具備するバイト工具を備えた加工装置において、該被加工物保持機構は、被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを支持する冷却部材と、該冷却部材を支持する基台と、該冷却部材に冷却水を供給する冷却水供給手段と、該冷却部材に供給された冷却水をチャックテーブルに向けて噴射するシャワーノズルと、を具備している、ことを特徴とするバイト工具を備えた加工装置が提供される。上記シャワーノズルは、保持テーブルを囲繞して設けられた環状のノズル部材からなり、環状のノズル部材の内周壁に複数の噴出口が設けられている。本発明によるバイト工具を備えた加工装置は、被加工物を保持する被加工物保持機構が被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを支持する冷却部材と、該冷却部材を支持する基台と、冷却部材に冷却水を供給する冷却水供給手段と、冷却部材に供給された冷却水を保持テーブルに向けて噴射するシャワーノズルとを具備しているので、冷却水供給手段によって冷却部材に供給された冷却水によって冷却部材が冷却されるとともに、該冷却部材に支持されている保持テーブルが冷却されるため、保持テーブルの熱膨張が抑制される。そして、冷却部材に流入され冷却部材を介して保持テーブルを冷却した冷却水がシャワーノズルに流入し、シャワーノズルから保持テーブルに向けて噴射せしめられるため、保持テーブルおよび該保持テーブルに保持された被加工物が冷却されるので、保持テーブルおよび該保持テーブルに保持された被加工物の熱膨張が抑制される。以下、本発明に従って構成されたバイト工具を備えた加工装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。図1には本発明に従って構成されたバイト工具を備えた加工装置の斜視図が示されている。図示の実施形態におけるバイト工具を備えた加工装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部図1において右上端に設けられ実質上鉛直に上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に旋削手段としての旋削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。旋削ユニット3は、支持基台31と該支持基台31に装着されたスピンドルユニット32を具備している。支持基台31は、後面両側に上下方向に延びる一対の脚部311、311が設けられており、この一対の脚部311、311に上記一対の案内レール221、221と摺動可能に係合する被案内溝312、312が形成されている。このように直立壁22に設けられた一対の案内レール221、221に摺動可能に装着された支持基台31の前面には支持部材313が装着され、この支持部材313にスピンドルユニット32が取り付けられる。スピンドルユニット32は、支持部材313に装着されたスピンドルハウジング321と、該スピンドルハウジング321に回転自在に配設された回転スピンドル322と、該回転スピンドル322を回転駆動するための駆動源としてのサーボモータ323とを具備している。回転スピンドル322の下端部はスピンドルハウジング321の下端を越えて下方に突出せしめられており、その下端には円板形状のバイト工具装着部材324が設けられている。なお、バイト工具装着部材324には、バイト工具33が着脱可能に装着される。ここで、バイト工具33のバイト工具装着部材324への着脱構造について、図2を参照して説明する。バイト工具装着部材324には、外周部の一部に上下方向に貫通するバイト取り付け穴324aが設けられているとともに、このバイト取り付け穴324aと対応する外周面からバイト取り付け穴324aに達する雌ねじ穴324bが設けられている。このように構成されたバイト工具装着部材324のバイト取り付け穴324aにバイト工具33を挿入し、雌ねじ穴324bに締め付けボルト330を螺合して締め付けることにより、バイト工具33はバイト工具装着部材324に着脱可能に装着される。なお、バイト工具33は、図示の実施形態においては超鋼合金等の工具鋼によって棒状に形成されたバイト本体331と、該バイト本体331の先端部に設けられたダイヤモンド等で形成された切れ刃332とによって構成したものが用いられている。このように構成されバイト工具装着部材324に装着されているバイト工具33は、上記回転スピンドル322が回転することにより、後述する被加工物保持手段を構成するチャックテーブルの被加工物を保持する保持面と平行な面内で回転せしめられる。図1に戻って説明を続けると、図示の実施形態におけるバイト工具を備えた加工装置は、上記旋削ユニット3を上記一対の案内レール221、221に沿って上下方向後述する被加工物保持手段を構成するチャックテーブルの保持面と垂直な方向に移動せしめる旋削ユニット送り機構4を備えている。この旋削ユニット送り機構4は、直立壁22の前側に配設され実質上鉛直に延びる雄ねじロッド41を具備している。この雄ねじロッド41は、その上端部および下端部が直立壁22に取り付けられた軸受部材42および43によって回転自在に支持されている。上側の軸受部材42には雄ねじロッド41を回転駆動するための駆動源としてのパルスモータ44が配設されており、このパルスモータ44の出力軸が雄ねじロッド41に伝動連結されている。支持基台31の後面にはその幅方向中央部から後方に突出する連結部図示していないも形成されており、この連結部には鉛直方向に延びる貫通雌ねじ穴が形成されており、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド41が螺合せしめられている。従って、パルスモータ44が正転すると支持基台31即ち旋削ユニット3が下降即ち前進せしめられ、パルスモータ44が逆転すると支持基台31即ち旋削ユニット3が上昇即ち後退せしめられる。図1および図3を参照して説明を続けると、ハウジング2の主部21の後半部上には略矩形状の加工作業部211が形成されており、この加工作業部211には被加工物保持機構5が配設されている。被加工物保持機構5は、移動基台51とこの移動基台51に配設され板状の被加工物を保持するチャックテーブル52とを含んでいる。移動基台51は、上記加工作業部211上に前後方向直立壁22の前面に垂直な方向である矢印23aおよび23bで示す方向に延在する一対の案内レール23、23上に摺動自在に載置されており、後述する被加工物保持機構移動手段56によって図1に示す被加工物搬入搬出域24図3において実線で示す位置と上記スピンドルユニット32を構成するバイト工具33と対向する加工域25図3において2点鎖線で示す位置との間で移動せしめられる。次に、上記チャックテーブル52について、図4を参照して説明する。図示の実施形態におけるチャックテーブル52は、アルミニウム等の金属材によって円盤状に形成された保持テーブル521と、該保持テーブル521を支持する円盤状の冷却部材522と、該冷却部材522を支持する円柱状の基台523とからなっており、上記移動基台51上に配設されている。保持テーブル521は、下面に冷却部材522の上面に形成された嵌合凹部522aに嵌合する嵌合凸部521aが設けられている。このように形成された保持テーブル521の上面である保持面には同心円状に形成された複数の環状溝からなる吸引溝521bが設けられており、この該吸引溝521bは中心部に軸方向に設けられた吸引通路521cに連通されている。チャックテーブル52を構成する冷却部材522の下面には、基台523の上面に形成された嵌合凹部523aに嵌合する嵌合凸部522bが設けられている。このように形成された冷却部材522は、中心部に軸方向に設けられ上記吸引通路521cに連通する連通路522cと、上記保持テーブル521を冷却するための渦巻き状に形成された冷却水流通路522dと、該冷却水流通路522dの中心部に連通する冷却水導入通路522eと、冷却水流通路522dの外周端に連通する冷却水排出通路522fを備えている。このように構成された冷却部材522の連通路522cは、基台523に設けられた連通路523bを介して吸引手段524に接続されている。吸引手段524は、吸引源524aと、該吸引源524aと連通路523bを接続する配管524bと、該配管524bに配設された電磁開閉弁524cとからなっている。この電磁開閉弁524cは、除勢している状態では閉路しており、附勢すると開路するようになっている。従って、電磁開閉弁524cが附勢されると、配管524b、連通路523b、連通路522cおよび吸引通路521cを介して吸引溝521bに負圧が作用し、保持テーブル521の上面である保持面に載置された被加工物が吸引保持される。また、冷却部材522に設けられた冷却水流通路522dに連通する冷却水導入通路522eは、基台523に設けられた連通路523cを介して冷却水供給手段525に接続されている。冷却水供給手段525は、冷却水供給源525aと、該冷却水供給源525aと連通路523cとを接続する供給配管525bと、該供給配管525bに配設された電磁開閉弁525cとからなっている。上記電磁開閉弁525cは、除勢している状態では閉路しており、附勢すると開路するようになっている。従って、電磁開閉弁525cが附勢されると、冷却水供給源525aから冷却水が供給配管525b、連通路523c、冷却水導入通路522eを介して冷却水流通路522dに流入し、冷却水排出通路522fを介して排出せしめられる。この結果、冷却部材522が冷却されるとともに、該冷却部材522に支持されている保持テーブル521が冷却されるため、保持テーブル521の熱膨張が抑制される。なお、上述したように冷却水流通路522dに流入され冷却部材522を冷却した冷却水は、冷却水排出通路522fを介して後述するシャワーノズルに送られる。図3および図4を参照して説明を続けると、図示の実施形態における被加工物保持機構5は、上記冷却部材522に供給された冷却水を保持テーブル521に向けて噴射するシャワーノズル53を具備している。このシャワーノズル53は、図示の実施形態においては環状のノズル部材531からなり、上記チャックテーブル52を挿通する穴を有し移動基台51およびチャックテーブル52とともに移動可能に配設されたカバー部材54上に保持テーブル521を囲繞して配設されている。環状のノズル部材531は、パイプ材によって環状に形成され、内周壁に保持テーブル521に向けて開口する複数の噴射口531aが設けられているとともに、底壁に冷却水流入口531bが設けられている。このように構成された環状のノズル部材531は、冷却水流入口531bが上記カバー部材54に設けられた連通路541および冷却水流入管532を介して上記冷却部材522に設けられた冷却水排出通路522fに連通されている。従って、冷却部材522に設けられた冷却水流通路522dに流入され冷却部材522を冷却した冷却水は、冷却水排出通路522fから冷却水流入管532、連通路541、冷却水流入口531bを介してシャワーノズル53に流入し、シャワーノズル53を構成する環状のノズル部材531に設けられた複数の噴射口531aから保持テーブル521に向けて噴射せしめられる。この結果、保持テーブル521が冷却されるため、保持テーブル521および該保持テーブル521に保持された被加工物の熱膨張が抑制される。図3を参照して説明を続けると、図示の実施形態におけるバイト工具を備えた加工装置は、上記被加工物保持機構5を一対の案内レール23、23に沿って矢印23aおよび23bで示す方向に移動せしめる被加工物保持機構移動手段56を具備している。被加工物保持機構移動手段56は、一対の案内レール23、23間に配設され一対の案内レール23、23と平行に延びる雄ねじロッド561と、該雄ねじロッド561を回転駆動するパルスモータ562を具備している。雄ねじロッド561は、上記移動基台51に設けられたねじ穴511と螺合して、その先端部が一対の案内レール23、23を連結して取り付けられた軸受部材563によって回転自在に支持されている。パルスモータ562は、その駆動軸が雄ねじロッド561の基端と伝動連結されている。従って、パルスモータ562が正転すると被加工物保持機構移動手段56の移動基台が矢印23aで示す方向に移動し、パルスモータ562が逆転すると移動基台51が矢印23bで示す方向に移動せしめられる。このようにして矢印23aおよび23bで示す方向に移動せしめられる被加工物保持機構5は、図3において実線で示す被加工物搬入搬出域と2点鎖線で示す加工域に選択的に位置付けられる。また、被加工物保持機構5は、加工域においては所定範囲に渡って矢印23aおよび23bで示す方向に往復動せしめられる。図1に戻って説明を続けると、上記被加工物保持機構5を構成する移動基台51の移動方向両側には、横断面形状が逆チャンネル形状であって、上記一対の案内レール23、23や雄ねじロッド561およびパルスモータ562等を覆っている蛇腹手段61および62が付設されている。蛇腹手段61および62はキャンパス布の如き適宜の材料から形成することができる。蛇腹手段61の前端は加工作業部211の前面壁に固定され、後端は被加工物保持機構5のカバー部材54の前端面に固定されている。蛇腹手段62の前端は被加工物保持機構5のカバー部材54の後端面に固定され、後端は装置ハウジング2の直立壁22の前面に固定されている。被加工物保持機構5が矢印23aで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段61が伸張されて蛇腹手段62が収縮され、被加工物保持機構5が矢印23bで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段61が収縮されて蛇腹手段62が伸張せしめられる。図1に基づいて説明を続けると、装置ハウジング2の主部21における前半部上には、第1のカセット載置部11aと、第2のカセット載置部12aと、被加工物仮置き部13aと、洗浄部14aが設けられている。上記第1のカセット載置部11aには加工前の被加工物を収容する第1のカセット11が載置され、上記第2のカセット載置部12aには加工後の被加工物を収容する第2のカセット12が載置されるようになっている。上記被加工物仮置き部13aには、第1のカセット載置部11aに載置された第1のカセット11から搬出された加工前の被加工物を仮置きする被加工物仮置き手段13が配設されている。また、上記洗浄部14aには、加工後の被加工物を洗浄する洗浄手段14が配設されている。上記第1のカセット載置部11aと第2のカセット載置部12aとの間には被加工物搬送手段15が配設されている。この被加工物搬送手段15は、第1のカセット載置部11aに載置された第1のカセット11内に収納されている加工前の被加工物を被加工物仮置き手段13に搬出するとともに、洗浄手段14で洗浄された加工後の被加工物を第2のカセット載置部12aに載置された第2のカセット12に搬送する。上記被加工物仮置き部13aと被加工物搬入搬出域24との間には被加工物搬入手段16が配設されている。この被加工物搬入手段16は、被加工物仮置き手段13に載置された加工前の被加工物を被加工物搬入搬出域24に位置付けられた被加工物保持機構5のチャックテーブル52上に搬送する。上記被加工物搬入搬出域24と洗浄部14aとの間には被加工物搬出手段17が配設されている。この被加工物搬出手段17は、被加工物搬入搬出域24に位置付けられたチャックテーブル52上に載置されている加工後の被加工物を洗浄手段14に搬送する。上記第1のカセット11に収容される加工前の被加工物は、図5に示すように表面に複数個のデバイス110が格子状に形成され半導体ウエーハ10からなっている。半導体ウエーハ10に形成された複数個のデバイス110の表面には、それぞれ複数個のスタッドバンプ電極120が形成されている。このように各デバイス110の表面のスタッドバンプ電極120が形成され半導体ウエーハ10の表面には、図6に示すように合成樹脂からなるアンダーフィル材130が被覆され、スタッドバンプ電極120が埋設された状態となっている。上述した被加工物としての半導体ウエーハ10を収容した第1のカセット11は、装置ハウジング2の第1のカセット載置部11aに載置される。そして、第1のカセット載置部11aに載置された第1のカセット11に収容されていた加工前の半導体ウエーハ10が全て搬出されると、空になったカセット11に代えて複数個の加工前の半導体ウエーハ10を収容した新しいカセット11が手動で第1のカセット載置部11aに載置される。一方、装置ハウジング2の第2のカセット載置部12aに載置された第2のカセット12に所定数の加工後の半導体ウエーハ10が搬入されると、かかる第2のカセット12が手動で搬出され、新しい空の第2のカセット12が載置される。図示の実施形態におけるバイト工具を備えた加工装置は以上のように構成されており、以下その作動について主に図1を参照して説明する。第1のカセット11に収容された被加工物としての加工前の半導体ウエーハ10は被加工物搬送手段15の上下動作および進退動作により搬送され、被加工物仮置き手段13に載置される。被加工物仮置き手段13に載置された半導体ウエーハ10は、ここで中心合わせが行われた後に被加工物搬入手段16の旋回動作によって被加工物搬入搬出域24に位置付けられている被加工物保持機構5のチャックテーブル52を構成する保持テーブル521上に載置される。保持テーブル521上に半導体ウエーハ10が載置されたならば、図4に示す吸引手段524の電磁開閉弁524cを附勢して開路する。この結果、上述したように吸引源524aから配管524b、連通路523b、連通路522cおよび吸引通路521cを介して吸引溝521bに負圧が作用し、保持テーブル521の上面である保持面に載置された半導体ウエーハ10が吸引保持される。保持テーブル521上に半導体ウエーハ10を吸引保持したならば、被加工物保持機構移動手段56図3参照を作動して被加工物保持機構5を矢印23aで示す方向に移動し、半導体ウエーハ10を保持したチャックテーブル52を加工域25に位置付ける。このようにして半導体ウエーハ10を保持したチャックテーブル52が加工領域25に位置付けられたならば、半導体ウエーハ10の表面に被覆されたアンダーフィル材130を旋削し、デバイス110の表面に形成された複数個のスタッドバンプ電極120をアンダーフィル材130の表面に露出させる旋削工程を実施する。上記旋削工程について、図7を参照して説明する。旋削工程は、回転スピンドル322を回転駆動し、バイト工具33が取り付けられたバイト工具装着部材324を図7において矢印Aで示す方向に例えば6000rpmの回転速度で回転する。そして、旋削ユニット3を下降させバイト工具33を所定の切り込み位置に位置付ける。次に、例えばバイト工具33の切れ刃332の旋削幅が20数μmの場合には、半導体ウエーハ10を保持したチャックテーブル52を図7において実線で示す位置から矢印Bで示す方向に例えば2mm/秒の送り速度で移動する。この結果、バイト工具装着部材324の回転に伴って回転するバイト工具33の切れ刃332によって半導体ウエーハ10の表面に被覆されたアンダーフィル材130を旋削するとともに、デバイス110の表面に形成された複数個のスタッドバンプ電極120が旋削され、図8に示すように半導体ウエーハ10の表面に被覆されたアンダーフィル材130の表面にスタッドバンプ電極120が露出せしめられる。上記旋削工程においては、図4に示す冷却水供給手段525の電磁開閉弁525cを附勢して開路する。電磁開閉弁525cが開路すると、上述したように冷却水供給源525aから冷却水が供給配管525b、連通路523c、冷却水導入通路522eを介して冷却水流通路522dに流入し、冷却水排出通路522fを介して排出せしめられる。この結果、冷却部材522が冷却されるとともに、該冷却部材522に支持されている保持テーブル521が冷却されるため、保持テーブル521の熱膨張が抑制される。このようにして冷却部材522に流入され冷却部材522を冷却した冷却水は、冷却水排出通路522fから冷却水流入管532および連通路541を介して冷却水流入口531bからシャワーノズル53に流入し、シャワーノズル53を構成する環状のノズル部材531に設けられた複数の噴射口531aから保持テーブル521に向けて噴射せしめられる。この結果、保持テーブル521が冷却されるため、保持テーブル521および該保持テーブル521に保持された半導体ウエーハ10の熱膨張が抑制される。上述したように半導体ウエーハ10の表面に被覆されたアンダーフィル材130を旋削し、デバイス110の表面に形成された複数個のスタッドバンプ電極120をアンダーフィル材130の表面に露出させる旋削工程が終了したら、旋削ユニット3を上昇せしめる。次に、チャックテーブル52を図1において矢印23bで示す方向に移動して被加工物搬入搬出域24に位置付け、チャックテーブル52を構成する保持テーブル521上の旋削加工された半導体ウエーハ10の吸引保持を解除する。そして、保持テーブル521による吸引保持が解除された半導体ウエーハ10は、被加工物搬出手段17により搬出されて洗浄手段14に搬送される。洗浄手段14に搬送された半導体ウエーハ10は、ここで洗浄される。洗浄手段14で洗浄された半導体ウエーハ10は、被加工物搬送手段15よって第2のカセット12の所定位置に収納される。