出力軸が1箇所のみの中空軸モータに、廻り止めされるネジ軸を挿通させ、前記ネジ軸に螺合させてネジナットを設置し、前記ネジナットと、噛合させた内歯ギアと外歯ギアを介して、前記中空軸モータを連結させることにより、前記中空軸モータの回転駆動力を、前記ネジナット、前記ネジ軸へと伝達可能にさせたことを特徴とする電動シリンダ。しかしながら、この上記特許文献1に関する電動シリンダは、サーボモータもしくはサーボモータと同等の性能を持つ中空軸モータが両端に出力軸を要している場合の発明であり、サーボモータの出力軸が片側1箇所の場合は適用できない。そこで、本発明では、高圧ポンプ用の往復運動する動力装置として活用される特許文献1の構造を考慮しつつ、サーボモータの出力軸が1箇所の場合に対応可能な電動シリンダを提供することを目的とする。上記目的達成の為に、請求項に基づき下記0009乃至0013記載の発明を提案する。なお、以下の説明では便宜上、図中にて矢印Xで示す方向を、ネジ軸の軸方向と呼称する。請求項1に記載の発明は、ネジ軸が挿通された中空軸なるサーボモータの1つの出力軸に、フランジを連結させ、フランジと、内歯ギア外歯ギアを噛合させた継手を連結させる。さらに継手と、ネジ軸に螺合されるネジナットを連結させることで、サーボモータの回転駆動力を、ネジナットに伝達可能にさせた装置となる。ここで、ネジナットに伝達されたサーボモータの回転駆動力を、ネジ軸の直線運動にさせるべくネジ軸を回転抑制させる。回転抑制法として、本発明では、本装置の外周に廻り止めガイドを設置することを提案する。なお廻り止めガイドは、電動シリンダ装置のガイド支持機構の名称で出願済特願2011-30426号公報の発明を利用する。ネジ軸の両先端部に取り付けたアームを、本装置外周にてガイドシャフトと連結させ、ガイドシャフトをネジ軸の軸方向に移動可能にイケールに取り付けた装置である。なお、図中に示す上記ガイド支持機構以外にも、搬送側にてネジ軸を回転抑制する装置も可能である。また、ネジ軸にボールネジ溝と、ボールスプライン溝をクロスして設け、軸方向に設けられたボールスプライン溝に鋼球を組み込み、スプライン用ナットを軸方向の一定位置に回転も移動もしないよう固定し、廻り止め機構とすることでネジ軸を直動させることも可能である。従って、サーボモータの回転駆動力をネジロッドへ伝達させることにより、回転を抑制したネジ軸が軸方向へ直線移動する。サーボモータの正逆回転を繰り返すことでネジ軸が軸方向へ往復運動を達成し、ネジ軸の両先端部にプランジャを取付けることで、シリンダ内の液体を圧送させる装置となる。また、上記0009乃至0012記載の発明は、中空軸サーボモータの出力軸が1つに対し、ネジナットを1つ備えているが、ネジナットを2つ備えることも可能である。サーボモータを挟み、対向配置させた2つのネジナットをネジ軸へ螺合させて設置し、サーボモータの出力軸と連結するフランジに出力を2箇所設け、継手及びネジナットを各々連結させることで、上記0009乃至0012記載の発明と同等の作用を有する。長ストローク移動の場合、このネジナットを2つ備えたシリンダの方が、安定性も高く最適である。本装置には、特許文献1の両端フランジ型モータを備える電動シリンダ装置の装置同様、本装置の緩衝部として、出力軸―ネジナット間に、内歯ギア外歯ギアを噛合させた継手が備わっている。本装置内に緩衝部を設けることで、本装置運転時に起こりうる部品の熱膨張による変位、組立誤差及び機械誤差を、ギアの噛合部にて吸収する構造であることから、機械要素部の変位等に影響されることなく運転が可能となる。同じく、特許文献1の電動シリンダの装置同様、構造上のシリンダ容量も大きく、また消耗品も無い為、部品交換も不要であり、サーボモータまたは同等の中空軸モータを擁するシリンダ装置に対応可能な装置であることから、高圧ポンプ用の動力装置として、または搬送位置決め装置として最適なシリンダとなっている。以下本考案の形態を図1乃至図3に基づき、説明する。図1は、本発明の形態に係る電動シリンダ装置の正面断面図及び右側面図である。中空軸サーボモータ1にネジ軸2を挿通させ、中空軸サーボモータ1の出力軸である出力軸フランジ3に、継手4を連結させる。さらに接続軸5を介して、ネジナット6に連結させることにより、中空軸モータ1の回転駆動力をネジナット6に伝達させている。このとき、ネジナット6は、ハウジング7により回転自在に支持され、ハウジング7はイケール10にて固定されている。ここで、ネジナット6に伝達された中空軸サーボモータ1の回転駆動力を、ネジ軸2の直線運動にさせるべくネジ軸2を回転抑制させる。回転抑制法として、本発明では本装置の外周に、図中符号10乃至13からなる廻り止めガイドを設置することを提案する。なお、前記符号10乃至13からなる廻り止めガイドは、電動シリンダ装置のガイド支持機構の名称で出願済特願2011-30426号公報の発明である。廻り止め機構に関しては、ボールスプラインを利用する方法等もあり、限定しない従って、中空軸サーボモータ1の駆動の際、廻り止めガイド10乃至13により回転を抑制されたネジ軸2が、軸方向へ直線移動するという作用を有し、中空軸サーボモータ1の正逆回転を繰り返すことで軸方向へ往復運動を達成する。その際、ネジ軸2の両先端部にプランジャ8を取り付けることにより、シリンダ9内の液体を圧送させる装置となる。なお、図中の継手4に関しては、内歯ギア外歯ギアを噛合させて成り立っている。これは、装置の組立の際の簡易容易を追究し、はめ込み式として組み立て易く構築したものであるが、同時に、ギアの螺合部が、運転時に起こりうる熱膨張による変位、組立誤差及び機械誤差等のズレを吸収する緩衝部の役割も果たしている。図2は、図1に対してネジナット6を反転移設させてネジ軸2に螺合させた際の電動シリンダ装置の正面断面図である。構造的な改造は不要で、ネジナット6を反転移設させても同等の作用を有する。上記図1、図2に記載の本発明は、中空軸サーボモータの出力軸が1つに対して1つのネジナットを要していたが、別の構造として、2つのネジナットを要する事も可能である。図3は2つのネジナットを要した電動シリンダ装置の正面断面図である。中空軸サーボモータ1にネジ軸2を挿通させ、中空軸サーボモータ1を挟み対向配置させたネジナット6a及び6bをネジ軸2に各々螺合させ設置する。中空軸サーボモータ1に連結する出力軸フランジ3に、継手4a、4bを連結させ、継手4aは接続軸を介してネジナット6aへ、継手4bは接続軸5bを介してネジナット6bへ動力を各々伝達させ、ネジナット6a及びネジナット6bが同等の回転力を成す事で、回転を抑制されたネジ軸2が軸方向へ直線移動する作用を有する。