"二次処理後に固液分離した中和沈澱物をフッ素含有水原水によって洗浄し、沈澱物中のCaと原水のフッ素とを反応させてCaF2を生成させることによって中和沈澱物のCaF2濃度を高める一次処理工程高純度化工程、一次処理したスラリーを沈降分離してCaF2主体の濃縮沈澱物を回収する工程CaF2回収工程、濃縮沈澱物を分離した残液に石灰類を加えて液中に残るフッ素と反応させてCaF2を生成させる二次処理工程中和工程、二次処理したスラリーを固液分離してCaF2を含む中和沈澱物を回収する工程中和沈澱物回収工程、回収した中和沈澱物を一次処理工程に返送する工程中和沈澱物返送工程を有することを特徴とするフッ化カルシウムの回収方法。一次処理したスラリーを分岐し、一方のスラリーをCaF2回収工程に送り、残余のスラリーを二次処理工程に送る請求項1に記載するフッ化カルシウムの回収方法。一次処理工程に返送した中和沈澱物を高純度化槽に導入してフッ素含有水原水によって洗浄してCaF2濃度を高めた後に、この一次処理したスラリーを分岐してCaF2回収工程の第1凝集槽に導いて高分子凝集剤を添加し、次に第1沈降槽に導入してCaF2主体の濃縮沈澱物を沈降分離させ、回収した該濃縮沈澱物を第2中和槽に導入してアルカリを加えて中和し、脱水してCaF2を回収する請求項1または請求項2に記載するフッ化カルシウムの回収方法。中和沈澱物回収工程の固液分離を二段階に行い、二次処理後中和工程後のスラリーを1段目の第2凝集槽に導入し、高分子凝集剤を添加して1段目の第2沈降槽に導入し、CaF2を含む中和沈澱物を固液分離した後に、この残液を2段目の第3凝集槽に導入して高分子凝集剤および無機凝集剤を添加して2段目の第3沈降槽に導入し、懸濁物を沈降させて分離する請求項1~請求項3の何れかに記載するフッ化カルシウムの回収方法。一次処理工程の高純度化槽のpHを0~4に制御し、二次処理工程の中和槽のpHを4~7に制御する請求項1~請求項4の何れかに記載するフッ化カルシウムの回収方法。高純度化槽のスラリー固体濃度が60~150gLであり、第2沈降槽の中和沈澱物のスラリー固体濃度が300~600gLである請求項1~請求項5の何れかに記載するフッ化カルシウムの回収方法。一次処理工程に返送した中和沈澱物を導入して原水で洗浄する高純度化槽、高純度化槽から抜き出したスラリーを沈降分離してCaF2主体の濃縮沈澱物を回収する第1沈降槽、この濃縮沈澱物を分離した残液に石灰類を加えて液中に残るフッ素と反応させてCaF2を生成させる第1中和槽、第1中和槽から抜き出したスラリーを沈降分離してCaF2を含む中和沈澱物を回収する第2沈降槽、回収した中和沈澱物を一次処理工程に返送する管路を有することを特徴とするフッ化カルシウムの回収装置。請求項7に記載する回収装置において、高純度化槽と第1沈降槽の間に分岐管路が設けられており、該分岐管路の一方は第1中和槽に接続し、該分岐管路の他方は第1凝集槽を介して第1沈降槽に接続しており、該第1沈降槽には第2中和槽を介して脱水機が接続しているフッ化カルシウムの回収装置。請求項7または請求項8に記載する回収装置において、第1中和槽と第2沈降槽の間に第2凝集槽が設けられており、第2沈降槽には第3凝集槽を介して第3沈降槽が接続しており、第2凝集槽にて高分子凝集剤が添加され、第2沈降槽にてCaF2を含む中和沈澱物が沈降分離され、第3凝集槽にて高分子凝集剤および無機凝集剤が添加され、第3沈降槽にて懸濁物が沈降分離されるフッ化カルシウムの回収装置。従来の上記処理方法において、回収汚泥を硝酸や塩酸で洗浄してCaF2以外のCa塩を除去する方法は硝酸や塩酸のコストが増え、また排水の酸性が高くなるので後処理が必要になる。二水石膏を第一反応槽に返送する処理方法は、反応に非常に長い時間がかかり、また処理水はpHが低くフッ素濃度が排水基準まで下がらないため後処理を必要とする。さらに、初期排水のpHが酸性だと反応性が悪く、pH調整も必要となる。CaF2沈澱工程を多段に行う処理方法は回分式で大量処理が困難であり、排水、処理水、フッ化カルシウム回収物の取り出し口が変更していくため、装置および操作が煩雑になる。また、液性がアルカリになりやすく、フッ素濃度が排水基準を達成しない危険がある。本発明は従来の上記問題を解決した回収方法および回収装置を提供する。本発明の回収方法によれば、排水の水質変動によらずに、フッ化カルシウム純度が高く、結晶性の良いフッ化カルシウムを容易に回収することができる。本発明は以下の構成を有するフッ化カルシウムの回収方法および回収装置に関する。1二次処理後に固液分離した中和沈澱物をフッ素含有水原水によって洗浄し、沈澱物中のCaと原水のフッ素とを反応させてCaF2を生成させることによって中和沈澱物のCaF2濃度を高める一次処理工程高純度化工程、一次処理したスラリーを沈降分離してCaF2主体の濃縮沈澱物を回収する工程CaF2回収工程、濃縮沈澱物を分離した残液に石灰類を加えて液中に残るフッ素と反応させてCaF2を生成させる二次処理工程中和工程、二次処理したスラリーを固液分離してCaF2を含む中和沈澱物を回収する工程中和沈澱物回収工程、回収した中和沈澱物を一次処理工程に返送する工程中和沈澱物返送工程を有することを特徴とするフッ化カルシウムの回収方法。2一次処理したスラリーを分岐し、一方のスラリーをCaF2回収工程に送り、残余のスラリーを二次処理工程に送る上記1に記載するフッ化カルシウムの回収方法。3一次処理工程に返送した中和沈澱物を高純度化槽に導入してフッ素含有水原水によって洗浄してCaF2濃度を高めた後に、この一次処理したスラリーを分岐してCaF2回収工程の第1凝集槽に導いて高分子凝集剤を添加し、次に第1沈降槽に導入してCaF2主体の濃縮沈澱物を沈降分離させ、回収した該濃縮沈澱物を第2中和槽に導入してアルカリを加えて中和し、脱水してCaF2を回収する上記1または上記2に記載するフッ化カルシウムの回収方法。4中和沈澱物回収工程の固液分離を二段階に行い、二次処理後中和工程後のスラリーを1段目の第2凝集槽に導入し、高分子凝集剤を添加して1段目の第2沈降槽に導入し、CaF2を含む中和沈澱物を固液分離した後に、この残液を2段目の第3凝集槽に導入して高分子凝集剤および無機凝集剤を添加して2段目の第3沈降槽に導入し、懸濁物を沈降させて分離する上記1~上記3の何れかに記載するフッ化カルシウムの回収方法。5一次処理工程の高純度化槽のpHを0~4に制御し、二次処理工程の中和槽のpHを4~7に制御する上記1~上記4の何れかに記載するフッ化カルシウムの回収方法。6高純度化槽のスラリー固体濃度が60~150gLであり、第2沈降槽の中和沈澱物のスラリー固体濃度が300~600gLである上記1~上記5の何れかに記載するフッ化カルシウムの回収方法。また、本発明は以下の構成を有するフッ化カルシウムの回収装置に関する。7一次処理工程に返送した中和沈澱物を導入して原水で洗浄する高純度化槽、高純度化槽から抜き出したスラリーを沈降分離してCaF2主体の濃縮沈澱物を回収する第1沈降槽、この濃縮沈澱物を分離した残液に石灰類を加えて液中に残るフッ素と反応させてCaF2を生成させる第1中和槽、第1中和槽から抜き出したスラリーを沈降分離してCaF2を含む中和沈澱物を回収する第2沈降槽、回収した中和沈澱物を一次処理工程に返送する管路を有することを特徴とするフッ化カルシウムの回収装置。8上記7に記載する回収装置において、高純度化槽と第1沈降槽の間に分岐管路が設けられており、該分岐管路の一方は第1中和槽に接続し、該分岐管路の他方は第1凝集槽を介して第1沈降槽に接続しており、該第1沈降槽には第2中和槽を介して脱水機が接続しているフッ化カルシウムの回収装置。9上記7または上記8に記載する回収装置において、第1中和槽と第2沈降槽の間に第2凝集槽が設けられており、第2沈降槽には第3凝集槽を介して第3沈降槽が接続しており、第2凝集槽にて高分子凝集剤が添加され、第2沈降槽にてCaF2を含む中和沈澱物が沈降分離され、第3凝集槽にて高分子凝集剤および無機凝集剤が添加され、第3沈降槽にて懸濁物が沈降分離されるフッ化カルシウムの回収装置。本発明の回収方法は、二次処理後に固液分離した中和沈澱物をフッ素含有水原水によって洗浄し、沈澱物中のCaと原水のフッ素とを反応させてCaF2を生成させるので、中和沈澱物に含まれるCaF2純度を高めることができ、純度90以上、好ましくは純度95以上のCaF2を容易に回収することができる。さらにフッ素の回収率が向上し、好ましくは99以上の非常に高いフッ素回収率を達成することができる。CaF2を含む中和沈澱物を固液分離して一次処理工程に返送し、これを原水によって洗浄する循環処理を行うので、中和沈澱物に含まれるCaF2が種晶となり、原水のフッ素と反応してCaF2結晶が成長するので、粗粒なCaF2結晶を得ることができる。中和沈澱物を酸洗浄するのではなく、原水によって洗浄するので、排水の酸性度が高くならず、酸使用によるコスト高も無い。また排水のフッ素濃度も低く、排水基準8mgL以下に適合する。一次処理したスラリーを分岐し、一方のスラリーをCaF2回収工程に送り、残余のスラリーを二次処理工程に送る構成にすれば、第1沈降槽で沈降分離する固形分の濃度管理が容易になる。また第1沈降槽の液量が少なくなるので凝集剤の使用量が低減でき、第1沈降槽の容量を小さくすることができる。中和沈澱物回収工程の固液分離を二段階に行い、二次処理後のスラリーを1段目の第2凝集槽に導入して高分子凝集剤を添加した後に1段目の第2沈降槽に導入して中和沈澱物を固液分離し、この残液を2段目の第3凝集槽に導入して高分子凝集剤および無機凝集剤を添加し、2段目の第3沈降槽に導入して懸濁物を沈降分離すれば、微細なフッ化カルシウム微粒子を分離することができ、確実に排水基準以下まで全フッ素濃度を低減することができる。以下、本発明を実施形態に基づいて具体的に説明する。本発明の回収方法は、二次処理後に固液分離した中和沈澱物をフッ素含有水原水によって洗浄し、沈澱物中のCaと原水のフッ素とを反応させてCaF2を生成させることによって中和沈澱物のCaF2濃度を高める一次処理工程高純度化工程、一次処理したスラリーを沈降分離してCaF2主体の濃縮沈澱物を回収する工程CaF2回収工程、濃縮沈澱物を分離した残液に石灰類を加えて液中に残るフッ素と反応させてCaF2を生成させる二次処理工程中和工程、二次処理後のスラリーを固液分離してCaF2を含む中和沈澱物を回収する工程中和沈澱物回収工程、回収した中和沈澱物を一次処理工程に返送する工程中和沈澱物返送工程を有することを特徴とするフッ化カルシウムの回収方法である。本発明の回収方法ないし回収装置の構成を図1に示す。図示する処理工程において、フッ素含有水原水10は一次処理工程の高純度化槽11に導入される。さらに高純度化槽11には二次処理工程から返送された中和沈澱物17が供給される。一次処理後のスラリーは第1沈降槽13に導入され、濃縮した沈澱物が沈降分離される。抜き出された濃縮沈澱物は脱水機14に導入され、フッ化カルシウムが回収される。第1沈降槽13から抜き出された液分は二次処理工程の中和槽15に導入される。該中和槽15には石灰類18が添加される。中和槽15を経たスラリーは第2沈降槽16に導入され、中和沈澱物17が沈降分離される。抜き出された中和沈澱物17は一次処理工程の高純度化槽11に返送される循環工程が形成されている。一方、第2沈降槽16から抜き出された二次処理水は系外に排出される。高純度化槽11、第1沈降槽13、中和槽15、第2沈降槽16にはおのおの攪拌機12が設けられている。沈降槽13、16にはシックナー等を用いることができる。本発明の回収方法において、フッ素含有水原水はフロン分解処理から生じる排水や半導体工場の排水、あるいはその他、フッ素を含む水である。一次処理工程の高純度化槽11に、フッ素含有水原水10を導入し、さらに二次処理工程から返送された中和沈澱物17を導入し、フッ素を含む原水によって中和沈澱物17を洗浄濯ぎ洗いする。原水を用いて濯ぎ洗いすることによって沈澱物中のCaと原水のフッ素が反応してCaF2が生成し、中和沈澱物のCaF2純度が高くなると共に原水のフッ素回収率が向上する。高純度化槽11のpHは、pH=0~4が良く、pH=15~35が好ましい。このpH範囲では金属水酸化物が析出せず、かつ中和沈澱物中に残留する石灰類が溶解して反応するので好ましい。高純度化槽のスラリーの固体濃度は60~150gLが好ましい。該スラリーの固体濃度が60gLより低いと、CaF2の結晶成長が十分ではなく、粒子径が小さくなる。スラリーの固体濃度が60gL以上では例えば粒径10μm前後のCaF2結晶を含むフッ化カルシウムを回収することができる。一方、スラリーの固体濃度が150gLより高いと、沈降分離に過度の負荷がかかるので好ましくない。上記pH範囲およびスラリーの固体濃度範囲になるように原水と中和沈澱物の導入量を制御すると良い。高純度化槽11において、槽内を攪拌して中和沈澱物を原水で十分に洗浄した後に、槽内のスラリーを第1沈降槽13に移す。第1沈降槽13において、スラリーは静置され、濃縮した沈澱物と液分に固液分離される。第1沈降槽13には必要に応じて高分子凝集剤を添加するとよい。スラリー中の固形分が濃縮分離する時間静置する。この第1沈降槽13から抜き出された濃縮沈澱物は脱水機14に導入され、フッ化カルシウムが回収される。なお、濃縮沈澱物の酸度が高い場合には脱水前に中和剤アルカリを加えて中和するとよい。中和剤としては苛性ソーダ、ソーダ灰、炭酸カルシウム、消石灰、生石灰、カーバイド滓などを用いることができる。なお、この脱水機としては加圧ろ過機、フィルタープレス、遠心沈降脱水機、遠心ろ過脱水機、真空ろ過機、ベルトプレス、スクリュープレス、ハイドロサイクロンなどを使用することができる。一方、第1沈降槽13から抜き出された液分残液は二次処理工程の中和槽15に導入される。該中和槽15には石灰類18が添加される。石灰類18として炭酸カルシウム、消石灰、生石灰、カーバイド滓などを用いることができる。中和槽15において、上記残液は石灰類によって中和され、残液に含まれるフッ素と石灰類が反応してCaF2が生成する。この中和処理によってフッ素はCaF2として固定され沈澱する。石灰類の添加量は液中のフッ素量に対してやや過剰量が適当である。石灰類の添加量が少なくなると液中のフッ素残留量が多くなり、中和処理後の排水に含まれるフッ素濃度を排水基準以下に下げることが難しくなる。中和槽15のpHは、pH=4~7が良く、pH=55~65が好ましい。pHが4より低いと水中のフッ素残留が増えるので好ましくない。またpHが7より高いと石灰類の溶け残りが過大になるので好ましくない。第2沈降槽16のスラリーの固体濃度は300~600gLが好ましい。スラリーの固体濃度が300gLより低いと種晶が少ないためフッ化カルシウム粒子の結晶性が悪化する。スラリーの固体濃度が600gLより高いとスラリーの流動性が低下して配管やポンプを閉塞させる。上記pH範囲およびスラリーの固体濃度範囲になるように液分に対する石灰類の添加量を調整すると良い。中和槽15において、槽内を攪拌して十分に中和反応を進めた後に、槽内のスラリーを第2沈降槽16に移す。第2沈降槽16において、スラリーは静置され、濃縮した沈澱物と液分に固液分離される。第2沈降槽16には必要に応じて凝集剤を添加するとよい。凝集剤としては高分子凝集剤、または無機凝集剤、またはその両方を使用することができる。スラリーが沈澱物と上澄み液に分離する時間静置する。第2沈降槽16から抜き出された中和沈澱物は管路を通じて一次処理工程の高純度化槽11に返送される循環処理工程が形成されている。中和沈澱物には石灰類が残留しているので、これを高純度化槽11に返送し、中和沈澱物に残留している未反応の石灰類と原水に含まれているフッ素とを反応させてCaF2を生成させることによって、中和沈澱物のCaF2純度を高めると共に、フッ素の回収率を高める。この洗浄濃縮処理によって、高純度のCaF2を回収することができる。原水に重金属類が含まれている場合、原水に石灰類を加えて中和処理する際に、CaF2と共に金属水酸化物が沈澱し、中和沈澱物中にこの金属水酸化物が含まれるが、この中和沈澱物を洗浄槽に返送し、pH=0~4、好ましくはpH=15~35の範囲で洗浄することによって金属水酸化物は溶解するので、不純物の少ない高純度のCaF2を回収することができる。具体的には、純度約90以上、好ましくは純度約95のCaF2を回収することができる。本発明の回収方法において、一次処理したスラリーを分岐してCaF2を回収する工程と中和沈澱物の回収と残液の処理を二段階に行う工程を含む処理方法を図2に示す。図2の処理工程では、一次処理工程に返送した中和沈澱物を導入する高純度化槽21と、高純度化槽21から抜き出したスラリーを沈降分離する第1沈降槽22との間に分岐管路23が設けられている。分岐管路23の一方は第1中和槽27に接続しており、分岐管路23の他方は第1凝集槽24を経て第1沈降槽22に接続している。第1沈降槽22には第2中和槽25を経て脱水機26が接続している。第2沈降槽29から抜出された中和沈澱物の全部または一部は管路32を通じて高純度化槽21に返送される。高純度化槽21にはフッ素含有水原水が導入され、中和沈澱物は原水によって洗浄され、沈澱物中のCaと原水のフッ素が反応してCaF2が生成し、沈澱物のCaF2純度が高い濃縮澱物が形成される。高純度化槽11のpHは、pH=0~4が良く、pH=15~35が好ましい。高純度化槽のスラリーの固体濃度は60~150gLが好ましい。高純度化槽21から抜出されたスラリーは分岐管路23を通じて、一方は第1中和槽27に導入され、他方は第1凝集槽24を経て第1沈降槽22に導入される。濃縮澱物のスラリーを分岐して処理することによって、スラリーの処理が容易になる。濃縮澱物スラリーを分岐せずに全量を沈降槽に導入する場合には沈降槽での固形分の濃度管理を十分に行う必要がある。沈降槽からの抜出量が多過ぎると固形分濃度が低下してCaF2粒子の成長が進まず、結晶化が抑制されるおそれが生じる。また、抜出量が少ないと固形分濃度が高くなり、機器のトラブルや配管閉塞などを生じるおそれがある。濃縮澱物スラリーを分岐して処理すれば固形分濃度の管理などが容易になる。スラリーの一部は分岐して第1中和槽27に導入されるので、第1沈降槽22では沈降分離した固形分の全量を抜出せばよく、また液量が少なくなるので凝集剤の使用量も低減でき、第1沈降槽の容量を小さくすることができる。第1沈降槽22に導入する液量は、高純度化槽21から抜出したスラリーの全液量に対して20~80volが適当であり、45~65volが好ましい。この液量が20volより少ないと濃縮澱物の抜出量が減少し、系内の固形分濃度が高すぎて機器のトラブルや配管閉塞を招く懸念があり、この液量が80volより多いと濃縮澱物の抜出量が過大になり固形分濃度が低下してしまうためCaF2粒子の成長や結晶化が抑制される懸念がある。分岐された濃縮澱物スラリーは第1凝集槽24に導入され、高分子凝集剤が添加された後に第1沈降槽22に導入され、CaF2濃度の高い沈殿物が沈降分離される。この沈殿物の酸度が高い場合には第2中和槽25に導入し、苛性ソーダ、ソーダ灰、炭酸カルシウム、消石灰、生石灰、カーバイド滓などの中和剤を添加して中和した後に、脱水機26に導入し、脱水してCaF2主体の固形分を回収する。なお、脱水したときに発生する濾過水は二次処理工程の第2沈降槽に戻して利用するとよい。さらに、図2の処理工程は、中和沈澱物の回収と残液の処理を二段階に行うように形成されている。分岐管路23の一方に接続している第1中和槽27には第2凝集槽28を経て第2沈降槽29が接続しており、第2沈降槽29には第3凝集槽30を経て第3沈降槽31が接続している。さらに第2沈降槽29には高純度化槽21に至る返送管路32が接続している。各槽には撹拌機33が設けられている。分岐された濃縮澱物スラリーの一部は第1中和槽27に導入され、石灰類が添加されて中和される。濃縮澱物スラリーに含まれるフッ素は石灰類と反応してCaF2が生成する。第1中和槽27のpHは、pH=4~7が良く、pH=55~65が好ましい。第2沈降槽28のスラリーの固体濃度は300~600gLが好ましい。中和処理したスラリーは第2凝集槽28に導入され、高分子凝集剤を添加した後に第2沈降槽29に導入されて、CaF2を含む中和沈澱物が沈降分離される。分離した中和沈殿物の全部または一部は管路32を通じて高純度化槽21に返送される。中和沈殿物が沈降分離された残液を第3凝集槽30に導入して高分子凝集剤および無機凝集剤を添加し、残液に懸濁している微細なCaF2粒子を凝集してフロックにする。これを第3沈降槽31に導入し、懸濁物を沈降分離する。上記二段階処理を行わずに中和沈殿物を沈降分離した場合、残液中のフッ素濃度は排水基準値の8mgL以下に低下しているが、微細なフッ化カルシウム粒子の懸濁物が存在し、この懸濁物によって全フッ素濃度が排水基準より高くなっている場合がある。上記二段階の処理を行うことによって、残液中の懸濁物を除去してフッ素濃度を大幅に低減することができる。一段目第2沈降槽の沈降分離は粗取り工程であり、高分子凝集剤を添加し、比較的大きな粒子からなるフロックを形成して沈降させる。このフロックは概ね30分静置後には沈降して濃縮沈澱物になるが、上澄み液残液には粒子径5μm程度の微粒子が50mgL~200mgL程度残留している。このため上澄み液は白く懸濁しており、長時間静置しても清澄化しない。そこで、二段目第3沈降槽の沈降分離を行う。この沈降分離は精密分離であり、無機凝集剤と高分子凝集剤を併用して微細フッカル粒子を凝集させフロック化する。この二段階処理において、高分子凝集剤は市販の一般品を用いることができる。無機凝集剤としてはポリ硫酸鉄、塩化鉄、硫酸第一鉄、ポリ塩化アルミニウム、硫酸バンドなどを使用することができる。これらのなかでポリ硫酸鉄が好ましい。一段目の沈降分離は高分子凝集剤を05mgL~10mgL程度添加して10分~30分程度静置すればよい。高分子凝集剤の添加量が上記範囲より少ないとフロックが小さいため凝集効果が低く、これより多いと高分子凝集剤が過剰に吸着しすぎて凝集効果が弱くなる。二段目のポリ硫酸鉄は01gL~1gL程度、好ましくは01gL~08gL程度、および高分子凝集剤を05mgL~10mgL程度添加して5分~30分程度静置すればよい。これらの添加量が上記範囲より少ないとフロックが小さいため凝集効果が低く、これより多いと回収フッ化カルシウム中の鉄分濃度が上昇するため品質が低下してしまい好ましくない。なお、何れの場合にも、連続的に処理する場合には沈降速度1mhr以上の沈降槽を用いるとよい。また、第3沈降槽31で沈降分離した沈殿物は二次処理工程に戻さず、フッ化カルシウム回収工程の第2中和槽25に導入するとよい。以下、本発明の実施例を比較例と共に示す。洗浄槽および中和槽に代えてポリテトラフルオロエチレン製ビーカを用い、沈降槽に代えてポリテトラフルオロエチレン製メスシリンダーを用いた。フッ素濃度などの測定方法を以下に示す。フッ素濃度原水またはスラリーをサンプリングして吸引ろ過し、ろ液に含まれているフッ素濃度をイオンクロクロマトグラフ法電気伝導度検出器にて測定した。サンプルは必要に応じて希釈した。沈澱物の蛍光X線分析沈澱物をサンプリングして吸引ろ過する.ろ紙上の固形分を105°Cで24時間乾燥し、乾燥粉末を乳鉢で粉砕して蛍光X線分析に供し、ガラスビード法によって定性分析した。沈澱物の粉末X線回折沈澱物をサンプリングして吸引ろ過する.ろ紙上の固形分を105°Cで24時間乾燥し、乾燥粉末を乳鉢で粉砕して粉末X線回折測定に供した。測定条件は、X線管球:Cu、電圧:40kV、管電流:40mA、発散スリット1°、散乱スリット:1°、受光スリット:03mm、2θ:2°-70°、スキャンスピード:002°sec。スラリーの固体濃度所定容量のスラリーをサンプリングする。定量ろ紙にて吸引ろ過する。回収物を105°Cで24時間乾燥する。デシケーターにて放冷した後、固形分の重量を測定する。沈降速度1Lのメスシリンダーにスラリーを入れる。必要に応じて高分子凝集剤を1~5mgL添加する。多孔付き攪拌棒にて約1分間均一攪拌する。攪拌棒を取出してスラリーを静置沈降させる。一定時間経過後の沈降界面を記録し、単位時間あたりの界面の減少速度=沈降速度を計算する。安定容積十分に沈降分離した後の沈澱物の容積を計測する。スラリー全容積と沈澱物容積の比を安定容積とする。実施例1図1の処理工程に従って実施した。フッ素含有水1000mLをビーカに取り、これに炭酸カルシウム54gLを投入し、30分間マグネティックスターラーにて攪拌した。pHは12から56に上昇した。反応後に高分子凝集剤を4mgL添加し、メスシリンダーに移して2時間静置して沈降分離させた。上澄み液850mLを処理水として廃棄し、スラリー状の中和沈澱物150mLを回収した。回収した中和沈澱物をビーカに移して原水800mLと混合し、30分間攪拌して中和洗浄物を洗浄した。洗浄後に高分子凝集剤を2mgL添加し、メスシリンダーに移して1時間静置して沈降分離させた。沈降した濃縮沈澱物の一部を採取した。残りは再びビーカに移し、炭酸カルシウムを添加し、30分間攪拌して中和反応させ、メスシリンダーに移して2時間静置して沈降分離させた。処理後のpH=58~62であった。上澄み液は処理水として廃棄し、スラリー状の中和沈澱物150mLを回収した。回収した中和沈澱物をビーカに移して原水800mLと混合して洗浄した。このときのpH=15であった。この操作を繰返し20回実施した。原水の含有イオンを表1に示す。処理条件を表2に示す。処理結果を表3および表4に示す。回収した濃縮沈澱物の化学成分を表5に示す。中和処理後に取り出した中和沈澱物のX線回折分析結果を図3に示す。5回繰返し処理して洗浄後に取り出した濃縮沈澱物について、X線回折分析結果を図4に示す。また、該濃縮沈澱物の走査型電子顕微鏡写真を図5に示す。粒子径5~10μm,サイコロ型のCaF2粒子が多数確認できた。表3に示すように、二次処理後の処理水のフッ素濃度は、処理数5回目以降で80mgL以下であり、排水基準に適合する。また、表4に示すように、本発明の処理方法は一次処理工程および二次処理工程の沈降速度は処理回数が多いほど早くなり、迅速に処理することができる。また、沈澱物の安定容積は概ね20~30であり、沈澱物の処理が容易である。さらに、表5に示すように、回収した濃縮沈澱物のCaF2純度は95wtであり、高純度のCaF2を回収することができる。比較例実施例1と同様のフッ素含有水1000mLをビーカに取り、炭酸カルシウム70gを投入し、30分間マグネティックスターラーにて攪拌した。このときのpH=55であった。反応後に高分子凝集剤を4mgL添加し、メスシリンダーに2時間静置して沈降分離した。上澄み液のフッ素濃度を測定したところ11mgLであった。一方、分離した濃縮スラリーを回収し、固形分を乾燥させて化学成分を測定したところ、CaCO3が13wt残留しており、CaF2純度は85wtであった。回収したCaF2の顕微鏡写真を図6に示す。図示するように、比較的小さいCaF2粒子が確認され、粒子形態もまばらであった。実施例2図2の処理工程に従って実施した。二次処理後に回収したスラリー状の中和沈澱物150mLを高純度槽21に戻し、原水850mLを供給して洗浄した。高純度槽21の固形分濃度は80gLであり、pHは15であった。高純度槽21から抜き出したスラリー1000mLを半々に分岐し、一方500mLを第1凝集槽24に導入し、高分子凝集剤を添加した後に第1沈降槽22に導入した。30分間静置後に濃縮沈澱物スラリー75mLを抜き出して、第2中和槽25に導入し、炭酸カルシウム25gを添加した後に、脱水機26に導入し、脱水してフッ化カルシウム60wtの固形分70gを回収した。分岐したスラリーの他方500mLを第1中和槽27に導入し、炭酸カルシウム25gを添加した。pHは15から62に上昇した。固形分濃度は130gLであった。これを第2凝集槽28に導入し、高分子凝集剤を2mg添加して第2沈降槽29に導入した。30分間静置して中和沈殿物120mLスラリー固体濃度540gLを沈降分離して回収した。残液380mLを第3凝集槽30に導入し、高分子凝集剤2mgとポリ硫酸鉄01gを添加して第3沈降槽31に導入し、10分間静置後に沈澱物15mLスラリー固体濃度15gLを沈降分離した。残液のフッ素濃度は3mgLであったので系外に放流した。"