"Aアルカリ可溶性高分子、B光重合開始剤、及びCエチレン性不飽和二重結合を有する化合物を含む感光性樹脂組成物であって、該B光重合開始剤は、2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体又はアクリジン化合物であり、そして該Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として下記一般式I:{式中、R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表し、Aは、C2H4又はC3H6であり、-A-On1-及び-A-On3-において、-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよく、該配列がブロックである場合には、-C2H4-O-及び-C3H6-O-のいずれが-B-O-基側であってもよく、Bは、炭素数4~8の2価のアルキル鎖であり、n1は、0~10の整数であり、n3は、0~10の整数であり、n1n3は、0~10の整数であり、そしてn2は1~20の整数である。}で表される化合物を含む、前記感光性樹脂組成物。前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式II:{式中、R3及びR4は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n4及びn7は、それぞれ独立に、0~20の整数であり、n4n7は、0~40の整数であり、n5及びn6は、それぞれ独立に、1~20の整数であり、n5n6は、2~40の整数であり、そして-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよく、該配列がブロックである場合には、-C2H4-O-及び-C3H6-O-のいずれがビスフェノール基側であってもよい。}で表される化合物をさらに含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。前記一般式IIにおいて、n4及びn7は、それぞれ独立に、1~20の整数であり、そしてn4n7は、2~40の整数である、請求項2に記載の感光性樹脂組成物。前記Aアルカリ可溶性高分子は、スチレン及び/又はベンジルメタアクリレートを共重合物成分として含むアルカリ可溶性高分子から選択される、請求項1~3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。前記一般式Iにおいて、n2は1~10の整数であり、そしてn1n3は0である、請求項1~4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、分子内に少なくとも一つのウレタン結合を有する化合物をさらに含む、請求項1~5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式III:{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n8及びn9は、それぞれ独立に、3~40の整数であり、そして-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよい。}で表される化合物をさらに含む、請求項1~6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式IV及び/又はV:{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n10~n12は、それぞれ独立して、1~30の整数である。}{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n10~n12は、それぞれ独立して、1~30の整数である。}で表される化合物をさらに含む、請求項1~7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、分子内にイソシアヌル基を有する化合物をさらに含む、請求項1~8のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。前記Aアルカリ可溶性高分子の配合量が、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき40質量~80質量であり、前記B光重合開始剤の配合量が、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき0.1質量~20質量であり、前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の配合量が、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき5質量~50質量である、請求項1~9のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。支持フィルム上に請求項1~10のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂層が積層されている感光性樹脂積層体。基板上に請求項11に記載の感光性樹脂積層体をラミネートするラミネート工程、マスクを介して該感光性樹脂積層体を露光する露光工程、及び未露光部を除去する現像工程を含む、レジストパターンが形成された基板の製造方法。請求項12に記載の方法により製造された基板をエッチングするか、又はめっきすることにより回路基板を形成する方法。特許文献1及び2に記載されている耐薬品性とは、アルカリ水溶液又はめっき液を対象としたものであり、エッチング工程で用いられる酸性薬品の耐性については開示されていないし、現像性又は凝集性に関する開示もない。現像液分散安定性に優れ、凝集物の発生が抑制され、適度な現像性、硬化レジストの柔軟性、及び良好な耐エッチング性を有する感光性樹脂組成物を提供する必要性が未だ存在する。上記現状に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、現像液分散安定性に優れ、凝集物の発生が抑制され、適度な現像性、硬化レジストの柔軟性、及び良好な耐エッチング性を有する感光性樹脂組成物、等を提供することである。本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意研究し実験を重ねた結果、以下の技術的手段によりかかる課題を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下の通りのものである。[1]Aアルカリ可溶性高分子、B光重合開始剤、及びCエチレン性不飽和二重結合を有する化合物を含む感光性樹脂組成物であって、該B光重合開始剤は、2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体又はアクリジン化合物であり、そして該Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として下記一般式I:{式中、R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表し、Aは、C2H4又はC3H6であり、-A-On1-及び-A-On3-において、-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよく、該配列がブロックである場合には、-C2H4-O-及び-C3H6-O-のいずれが-B-O-基側であってもよく、Bは、炭素数4~8の2価のアルキル鎖であり、n1は、0~10の整数であり、n3は、0~10の整数であり、n1n3は、0~10の整数であり、そしてn2は1~20の整数である。}で表される化合物を含む、前記感光性樹脂組成物。[2]前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式II:{式中、R3及びR4は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n4及びn7は、それぞれ独立に、0~20の整数であり、n4n7は、0~40の整数であり、n5及びn6は、それぞれ独立に、1~20の整数であり、n5n6は、2~40の整数であり、そして-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよく、該配列がブロックである場合には、-C2H4-O-及び-C3H6-O-のいずれがビスフェノール基側であってもよい。}で表される化合物をさらに含む、[1]に記載の感光性樹脂組成物。[3]前記一般式IIにおいて、n4及びn7は、それぞれ独立に、1~20の整数であり、そしてn4n7は、2~40の整数である、[2]に記載の感光性樹脂組成物。[4]前記Aアルカリ可溶性高分子は、スチレン及び/又はベンジルメタアクリレートを共重合物成分として含むアルカリ可溶性高分子から選択される、[1]~[3]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。[5]前記一般式Iにおいて、n2は1~10の整数であり、そしてn1n3は0である、[1]~[4]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。[6]前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、分子内に少なくとも一つのウレタン結合を有する化合物をさらに含む、[1]~[5]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。[7]前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式III:{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n8及びn9は、それぞれ独立に、3~40の整数であり、そして-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよい。}で表される化合物をさらに含む、[1]~[6]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。[8]前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式IV及び/又はV:{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n10~n12は、それぞれ独立して、1~30の整数である。}{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n10~n12は、それぞれ独立して、1~30の整数である。}で表される化合物をさらに含む、[1]~[7]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。[9]前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、分子内にイソシアヌル基を有する化合物をさらに含む、[1]~[8]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。[10]前記Aアルカリ可溶性高分子の配合量が、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき40質量~80質量であり、前記B光重合開始剤の配合量が、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき0.1質量~20質量であり、前記Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の配合量が、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき5質量~50質量である、[1]~[9]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。[11]支持フィルム上に[1]~[10]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂層が積層されている感光性樹脂積層体。[12]基板上に[11]に記載の感光性樹脂積層体をラミネートするラミネート工程、マスクを介して該感光性樹脂積層体を露光する露光工程、及び未露光部を除去する現像工程を含む、レジストパターンが形成された基板の製造方法。[13][12]に記載の方法により製造された基板をエッチングするか、又はめっきすることにより回路基板を形成する方法。本発明により、現像液分散安定性に優れ、凝集物の発生が抑制され、適度な現像性、硬化レジストの柔軟性、及び良好な耐エッチング性を有しており、良好な導体パターンを形成するために好適な感光性樹脂組成物、及び該組成物から成る感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体、等を提供するこができる。以下、本発明を実施するための形態以下、実施の形態と略記する。について詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。<感光性樹脂組成物>本実施の形態では、感光性樹脂組成物は、Aアルカリ可溶性高分子、B光重合開始剤、及びCエチレン性不飽和二重結合を有する化合物を含む。<Aアルカリ可溶性高分子>Aアルカリ可溶性高分子とは、カルボキシル基を含有したビニル系樹脂のことであり、例えば、メタアクリル酸、メタアクリル酸エステル、メタアクリロニトリル、メタアクリルアミド等の共重合体である。Aアルカリ可溶性高分子は、カルボキシル基を含有し、そして酸当量が100~600であることが好ましい。酸当量は、現像耐性が向上し、解像度及び密着性が向上する点から、100以上が好ましく、現像性及び剥離性が向上する点から600以下が好ましい。酸当量は、より好ましくは250~450である。Aアルカリ可溶性高分子の重量平均分子量は、5,000以上500,000以下であることが好ましい。Aアルカリ可溶性高分子の重量平均分子量は、現像凝集物の性状、感光性樹脂積層体とした場合のエッジフューズ性、カットチップ性などの未露光膜の性状の観点から、5,000以上であることが好ましく、現像性が向上する点から500,000以下が好ましい。ここで、エッジフューズ性とは、感光性樹脂積層体としてロール状に巻き取った場合にロールの端面から感光性樹脂組成物層がはみ出す現象である。カットチップ性とは、未露光膜をカッターで切断した場合にチップが飛ぶ現象のことで、チップが感光性樹脂積層体の上面などに付着すると、後の露光行程などでマスクに転写し不良の原因となる。Aアルカリ可溶性高分子の重量平均分子量は、より好ましくは、5,000以上300,000以下であり、さらに好ましくは10,000以上200,000以下である。Aアルカリ可溶性高分子は、例えば、下記の2種類の単量体の中から、各々一種又はそれ以上の単量体を共重合させることにより得られる。第一の単量体は、分子中に重合性不飽和基を一個有するカルボン酸又は酸無水物である。例えば、メタアクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル等が挙げられる。とりわけ、メタアクリル酸が好ましい。ここで、メタアクリルとは、アクリル又はメタクリルを意味する。第二の単量体は、非酸性で、分子中に重合性不飽和基を少なくとも一個有する単量体である。例えば、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、n-プロピルメタアクリレート、iso-プロピルメタアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、iso-ブチルメタアクリレート、tert-ブチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレート、ビニルアルコールのエステル類、例えば、酢酸ビニル、メタアクリロニトリル、スチレン、スチレン誘導体等が挙げられる。とりわけ、メチルメタアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、スチレン、スチレン誘導体、及びベンジルメタアクリレートが好ましい。Aアルカリ可溶性高分子中の共重合物成分としては、スチレン又はスチレン誘導体が好ましく、その共重合割合は20質量~60質量であることが好ましい。該共重合割合は、十分な凝集性及び耐エッチング性等を有するという観点から、20質量以上が好ましく、適度な現像性及び硬化膜柔軟性を有する観点から、60質量以下が好ましい。該共重合割合は、より好ましくは20質量~50質量であり、さらに好ましくは20質量~30質量である。さらに、共重合物成分として、スチレン又はスチレン誘導体、メタアクリル酸メチル、及びメタアクリル酸を共重合したものが好ましい。また、上記とは別に優れた解像性を得るためには、スチレン又はスチレン誘導体の共重合割合は40質量~60質量であることが好ましく、さらに、共重合物成分として、スチレン又はスチレン誘導体、メタアクリル酸メチル、及びメタアクリル酸を共重合したものが好ましい。感光性樹脂組成物中のAアルカリ可溶性高分子の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、40質量~80質量の範囲であることが好ましく、50質量~70質量であることがより好ましい。該配合量は、エッジフューズ性の観点から、40質量以上であることが好ましく、現像時間の観点から、80質量以下であることが好ましい。<B光重合開始剤>前記感光性樹脂組成物は、2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体、又はアクリジン化合物をB光重合開始剤の必須成分として含む。これらの具体例としては、例えば、2-o―クロロフェニル-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-o―クロロフェニル-4,5-ジメトキシフェニルイミダゾール二量体、2-o―フルオロフェニル-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-o―メトキシフェニル-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-p―メトキシフェニル-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体、9-フェニルアクリジン、1,7-ビス9,9-アクリジニルヘプタン等のアクリジン誘導体などが挙げられる。2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体、又はアクリジン化合物に加えて、感光性樹脂組成物にさらに含有させてよい光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、N,N’-テトラメチル-4,4’-ジメチルアミノベンゾフェノンミヒラ―ケトン、N,N’-テトラエチル-4,4’-ジアミノベンゾフェノン、4-メトキシ-4’-ジメチルアミノベンゾフェノン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モノホルノフェニル―ブタノン-1、2-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノ-プロパノン-1等の芳香族ケトン、2-エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ベンズアントラキノン、2-フェニルアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノン、1,4-ナフトキノン、9,10-フェナントラキノン、2-メチル-1,4-ナフトキノン、2,3-ジメチルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンジルメチルケタール等のベンジル誘導体、N-フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノンなどが挙げられる。これらの光重合開始剤は単独で使用しても2種類以上併用してもよい。感光性樹脂組成物中のB光重合開始剤の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、0.1質量~20質量であることが好ましい。該配合量は、充分な感度を得るという観点から、0.1質量以上であることが好ましく、レジスト底面にまで光を充分に透過させ、良好な高解像性を得るという観点から、20質量以下であることが好ましい。該配合量のより好ましい範囲は0.5質量~10質量である。<Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物>Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物とは、文字通り、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物を意味する。Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物としては、例えば、ジメタアクリレート類が挙げられる。なお、メタアクリレートとは、アクリレート又はメタクリレートを意味する。感光性樹脂組成物は、Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として下記一般式I:{式中、R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表し、Aは、C2H4又はC3H6であり、-A-On1-及び-A-On3-において、-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよく、該配列がブロックである場合には、-C2H4-O-及び-C3H6-O-のいずれが-B-O-基側であってもよく、Bは、炭素数4~8の2価のアルキル鎖であり、n1は、0~10の整数であり、n3は、0~10の整数であり、n1n3は、0~10の整数であり、そしてn2は1~20の整数である。}で表される化合物を含む。ここで、上記一般式Iで表されるようなジメタアクリレートを他の発明特定事項と組み合わせて感光性樹脂組成物とする場合に、現像液分散安定性に優れ、凝集物の発生が抑制され、適度な現像性、硬化レジストの柔軟性、及び良好な耐エッチング性を有する感光性樹脂組成物が提供されるメカニズムについての詳細は不明であるが、以下のような作用が推察される。即ち、一般式Iで表されるジメタアクリレートは-B-O-で示される基を有しており、一般に使用されるエチレンオキシド基又はプロピレンオキシド基と比較して、分子鎖が長く、また側鎖を有さないために主鎖の自由度が高く、化学構造の柔軟性テンティング性と呼ぶことがあるに優れるものと推察される。また、エーテル結合は一般に、酸により酸素に隣接する炭素が求核置換反応を受けて開裂する傾向にあるが、一般式Iで表されるジメタアクリレートが有する-B-O-で示される基は、酸による開裂反応部位の割合がエチレンオキシド基又はプロピレンオキシド基より少なく、耐酸性耐エッチング性と呼ぶことがあるに優れるものと推察される。更に、一般式Iで表されるジメタアクリレートが有する-B-O-で示される基は高い親油性を有し、現像凝集物となり易いフェニル含有開始剤の分散安定性に優れる凝集物の発生が抑制されるものと推察される。なお、適度な現像性についても、一般式Iで表されるジメタアクリレートの有する適度な親油性に由来するものと推察される。上記一般式Iで表される化合物においては、n1及びn3は、0の整数であることが好ましい。すなわち、n1n3は、0の整数であることが好ましい。より詳細には、上記一般式Iで表される化合物は、例えば、下記一般式VI:{式中、R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表し、そしてn2は、好ましくは、1~20の整数であり、より好ましくは、1~15の整数であり、特に好ましくは1~10の整数である。}で表されるポリブチレングリコールジメタアクリレートであることが、エッジフューズ性、製造容易性などの観点から好ましい。より具体的には、例えば、ブチレングリコールジメタアクリレート、ジブチレングリコールジメタアクリレート、トリブチレングリコールジメタアクリレート、テトラブチレングリコールジメタアクリレート、ペンタブチレングリコールジメタアクリレート、ヘキサブチレングリコールジメタアクリレート、へプタブチレングリコールジメタアクリレート、オクタブチレングリコールジメタアクリレート、ノナブチレングリコールジメタアクリレート、デカブチレングリコールジメタアクリレート、ウンデカブチレングリコールジメタアクリレート、ドデカブチレングリコールジメタアクリレート、トリデカブチレングリコールジメタアクリレート、テトラデカブチレングリコールジメタアクリレート、ペンタデカブチレングリコールジメタアクリレートなどが挙げられる。上記一般式I及びVIで表される化合物においては、n2は、1~20の整数であることが好ましく、1~15の整数であることがより好ましく、1~10の整数であることが特に好ましい。n2は、硬化膜柔軟性の観点から、1以上であることが好ましく、一方で、耐エッチング性の観点から、20以下であることが好ましい。より好ましくは、n2は、5~10の整数である。感光性樹脂組成物中の上記一般式I又はVIで表される化合物の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、1質量~15質量が好ましい。該配合量は、硬化膜柔軟性を得るという観点から、1質量以上が好ましく、耐エッチング性の観点から、15質量以下が好ましい。該配合量のより好ましい範囲は、1質量~10質量であり、さらに好ましい範囲は3質量~10質量である。また、感光性樹脂組成物は、Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式II:{式中、R3及びR4は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n4及びn7は、それぞれ独立に、0~20の整数であり、n4n7は、0~40の整数であり、n5及びn6は、それぞれ独立に、1~20の整数であり、n5n6は、2~40の整数であり、そして-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよく、該配列がブロックである場合には、-C2H4-O-及び-C3H6-O-のいずれがビスフェノール基側であってもよい。}で表される化合物をさらに含むことが、更に柔軟性を向上させる観点から好ましい。ここで、上記一般式I又はVIで表される化合物と、上記一般式IIで表される化合物とを併用した場合に、より柔軟性が向上した感光性樹脂組成物が実現されるメカニズムについての詳細は不明であるが、以下のような作用が推察される。即ち、一般式I又はVIで表される化合物と、上記一般式IIで表される化合物とを併用した場合、光重合の反応性が向上するものと推察される。そして、これによって露光後の硬化膜がより強靭なものとなり、良好なじん性が発現するものと推察される。上記一般式II中、n4及びn7は、それぞれ独立に、0~20の整数であり、n4n7は、0~40の整数であり、n5及びn6は、それぞれ独立に、1~20の整数であり、n5n6は、2~40の整数である。また、n4n5n6n7の下限は2以上、一方で、その上限は40以下であることが好ましい。n4n5n6n7は、硬化膜の柔軟性の観点から、2以上であることが好ましく、一方で、解像性の観点から、40以下であることが好ましい。また、耐エッチング性の観点から、n4n5n6n7のより好ましい範囲の下限は4以上、上限は20以下であり、さらに好ましい範囲の下限は6以上、上限は12以下である。また、テント性の観点からは、n4n5n6n7のより好ましい範囲の下限は16以上、上限は40以下であり、さらに好ましい範囲の下限は30以上、上限は40以下である。さらに、n4及びn7は、それぞれ独立して、1~10の整数であることが好ましく、n4n7は、1~20の整数であることがより好ましく、一方で、n5n6は、2~20の整数であることがより好ましい。上記一般式IIで表される化合物の具体例としては、ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2モルのエチレンオキサイドを付加したエチレングリコールのジメタクリレート又はビスフェノールAの両端にそれぞれ平均5モルのエチレンオキサイドを付加したエチレングリコールのジメタクリレート、ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均6モルのエチレンオキサイドと平均2モルのプロピレンオキサイドを付加したアルキレングリコールのジメタクリレート、ビスフェノールAの両端に平均15モルのエチレンオキサイドと平均2モルのプロピレンオキサイドを付加したアルキレングリコールのジメタクリレートを付加したアルキレングリコールのジメタクリレートなどが挙げられる。感光性樹脂組成物中の上記一般式IIで表される化合物の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、5質量~20質量であることが好ましい。該配合量は、耐エッチング性を得るという観点から、5質量以上であることが好ましく、硬化膜柔軟性の観点から、20質量以下であることが好ましい。該配合量のより好ましい範囲は、5質量~15質量であり、さらに好ましい範囲は、7質量~15質量である。感光性樹脂組成物は、Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式III:{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n8及びn9は、それぞれ独立に、3~40の整数であり、そして-C2H4-O-及び-C3H6-O-の繰り返し単位の配列は、ランダムであってもブロックであってもよい。}で表される化合物をさらに含むことが、硬化膜柔軟性を向上させる観点から好ましい。上記一般式IIIで表される化合物において、硬化膜柔軟性を向上させる観点から、n8及びn9は、それぞれ独立に、3以上の整数であることが好ましく、5以上の整数であることがより好ましい。上記一般式IIIで表される化合物の具体例としては、例えば、平均9モルのプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドをさらに平均1モル付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレートなどが挙げられる。感光性樹脂組成物中の上記一般式IIIで表される化合物の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、1質量~20質量であることが好ましい。該配合量は、硬化膜柔軟性を得るという観点から、1質量以上であることが好ましく、耐エッチング性の観点から、20質量以下であることが好ましい。該配合量のより好ましい範囲は、3質量~15質量であり、さらに好ましい範囲は、5質量~10質量である。感光性樹脂組成物は、Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、下記一般式IV及び/又はV:{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n10~n12は、それぞれ独立して、1~30の整数である。}{式中、R5及びR6は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基であり、n10~n12は、それぞれ独立して、1~30の整数である。}で表される化合物をさらに含むことが、硬化膜柔軟性を向上させる観点から好ましい。上記一般式IV又はVで表される化合物において、硬化膜柔軟性を向上させる観点から、n10~n12は、それぞれ独立して、1以上の整数であることが好ましく、3以上の整数であることがより好ましい。上記一般式IV又はVで表される化合物の具体例としては、例えば、平均18モルのプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドをさらに両端にそれぞれ平均7モルずつ付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレート、平均18モルのプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドをさらに両端にそれぞれ平均3モルずつ付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレート、平均12モルのプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドをさらに両端にそれぞれ平均3モルずつ付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレート、平均6モルのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールにプロピレンオキサイドをさらに両端にそれぞれ平均6モルずつ付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレートなどが挙げられる。感光性樹脂組成物中の上記一般式IV又はVで表される化合物の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、1質量~30質量であることが好ましい。該配合量は、耐エッチング性を得るという観点から、1質量以上であることが好ましく、硬化膜柔軟性の観点から、30質量以下であることが好ましい。該配合量のより好ましい範囲は、5質量~25質量であり、さらに好ましい範囲は、5質量~23質量である。感光性樹脂組成物は、Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、分子内に少なくとも一つのウレタン結合を有する化合物をさらに含むことが好ましい。具体的には、ヘキサメチレンジイソシアナート、トリレンジイソシアナート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソアナート等のジイソシアナート化合物と、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、オリゴエチレングリコールメタアクリレート、オリゴプロピレングリコールメタアクリレートなどのヒドロキシメタアクリレート化合物と反応で得られるウレタン化合物が挙げられる。分子内に少なくとも一つのウレタン結合を有する化合物は、例えば、耐エッチング性の観点から、ヘキサメチレンジイソシアナート、トリレンジイソシアナート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソアナート等のジイソシアナート化合物と、オリゴプロピレングリコールメタアクリレートとの反応で得られるウレタン化合物であることが好ましい。感光性樹脂組成物中の、上記分子内に少なくとも一つのウレタン結合を有する化合物の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、5質量~20質量であることが好ましい。該配合量は、耐エッチング性を得るという観点から、5質量以上が好ましく、凝集性の観点から、20質量以下が好ましい。該配合量のより好ましい範囲は8質量~20質量であり、さらに好ましい範囲は8質量~17質量である。感光性樹脂組成物は、Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、分子内にイソシアヌル基を有する化合物をさらに含むことが好ましい。具体的には、分子内にイソシアヌル基を有する化合物としては、例えば、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ε-カプロラクトン変性モノ-2-アクリロキシエチルイソシアヌレート、ε-カプロラクトン変性ビス-2-アクリロキシエチルイソシアヌレート、ε-カプロラクトン変性トリス-2-アクリロキシエチルイソシアヌレート、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性ジアクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性トリアクリレート、イソシアヌル酸プロピレンオキサイド変性アクリレート、イソシアヌル酸プロピレンオキサイド変性ジアクリレート、イソシアヌル酸プロピレンオキサイド変性トリアクリレートなどが挙げられる。感光性樹脂組成物中の分子内にイソシアヌル基を有する化合物の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、1質量~20質量であることが好ましい。該配合量は、耐エッチング性を得るという観点から、1質量以上が好ましく、硬化膜柔軟性の観点から、20質量以下が好ましい。該配合量のより好ましい範囲は1質量~15質量であり、さらに好ましい範囲は2質量~10質量である。感光性樹脂組成物は、Cエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として、上記一般式I~VIで表される化合物、分子内に少なくとも一つのウレタン結合を有する化合物、分子内にイソシアヌル基を有する化合物から成る群から選ばれる化合物に加えて、下記に示す光重合可能なエチレン性不飽和化合物を含むこともできる:具体的には、光重合可能なエチレン性不飽和化合物としては、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールメタアクリレート、2-ジP-ヒドロキシフェニルプロパンメタアクリレート、グリセロ-ルトリメタアクリレートトリメチロールトリメタアクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロ-ルプロパントリメタアクリレート、ポリオキシエチルトリメチロ-ルプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリト-ルテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリト-ルペンタメタアクリレート、トリメチルプロパントリグリシジルエ-テルトリメタアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールメタアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールメタアクリレート等が挙げられる。これらは、単独で使用しても、2種類以上併用してもよい。感光性樹脂組成物中のCエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の配合量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とした場合、5質量~50質量であることが好ましい。該配合量は、感度、解像性、密着性の観点から、5質量以上であることが好ましく、コールドフロー、及び硬化レジストの剥離遅延を抑えるという観点から、50質量以下であることが好ましい。該配合量は、より好ましくは25質量~45質量である。<ロイコ染料、フルオラン染料、着色物質>感光性樹脂組成物は、ロイコ染料、フルオラン染料又は着色物質を含有してもよい。これらの染料を含有することにより露光部分が発色するので視認性の点で好ましく、また、検査機などが露光のための位置合わせマーカーを読み取る場合、露光部と未露光部のコントラストが大きい方が認識し易く有利である。ロイコ染料としては、トリス4-ジメチルアミノフェニルメタン[ロイコクリスタルバイオレット]、ビス4-ジメチルアミノフェニルフェニルメタン[ロイコマラカイトグリーン]が挙げられる。とりわけ、コントラストが良好となる観点から、ロイコ染料としては、ロイコクリスタルバイオレットを用いることが好ましい。フルオラン染料としては、2-ジベンジルアミノフルオラン、2-アニリノ-3-メチル-6-ジエチルアミノフルオラン、2-アニリノ-3-メチル-6-ジブチルアミノフルオラン、2-アニリノ-3-メチル-6-N-エチル-N-イソアミルアミノフルオラン、2-アニリノ-3-メチル-6-N-メチル-N-シクロヘキシルアミノフルオラン、2-アニリノ-3-クロル-6-ジエチルアミノフルオラン、2-アニリノ-3-メチル-6-N-エチル-N-イソブチルアミノフルオラン、2-アニリノ-6-ジブチルアミノフルオラン、2-アニリノ-3-メチル-6-N-エチル-N-テトラヒドロフルフリルアミノフルオラン、2-アニリノ-3-メチル-6-ピペリジノアミノフルオラン、2-o-クロロアニリノ-6-ジエチルアミノフルオラン、2-3,4-ジクロルアニリノ-6-ジエチルアミノフルオランなどが挙げられる。感光性樹脂組成物中のロイコ染料又はフルオラン染料の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、0.1質量~10質量であることが好ましい。当該含有量は、露光部分と未露光部分のコントラストの観点から、0.1質量以上が好ましく、保存安定性を維持という観点から10質量以下が好ましい。着色物質としては、例えば、フクシン、フタロシアニングリーン、オーラミン塩基、パラマジエンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレンジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブルー、マラカイトグリーン保土ヶ谷化学株製アイゼン登録商標MALACHITEGREEN、ベイシックブルー20、ダイアモンドグリーン保土ヶ谷化学株製アイゼン登録商標DIAMONDGREENGHが挙げられる。感光性樹脂組成物中の着色物質の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、0.001質量~1質量であることが好ましい。該含有量は、取扱い性向上という観点から、0.001質量以上、保存安定性を維持するという観点から、1質量以下であることが好ましい。<ハロゲン化合物>本発明の実施形態では、密着性及びコントラストの観点から、感光性樹脂組成物中にロイコ染料と下記ハロゲン化合物を組み合わせて用いることが好ましい。ハロゲン化合物としては、例えば、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンジル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルフォン、四臭化炭素、トリス2,3-ジブロモプロピルホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1-トリクロロ-2,2-ビスp-クロロフェニルエタン、クロル化トリアジン化合物などが挙げられ、とりわけトリブロモメチルフェニルスルフォンが好ましい。感光性樹脂組成物中のハロゲン化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、0.01質量~3質量であることが好ましい。該配合量は密着性及びコントラストを得るという観点から、0.01質量以上であることが好ましく、保存安定性の観点から、3質量以下であることが好ましい。<ラジカル重合禁止剤、ベンゾトリアゾール類、カルボキシベンゾトリアゾール類>また、感光性樹脂組成物の熱安定性、保存安定性を向上させるために、感光性樹脂組成物は、ラジカル重合禁止剤、ベンゾトリアゾール類、及びカルボキシベンゾトリアゾール類から成る群から選ばれる少なくとも1種以上の化合物をさらに含有してもよい。ラジカル重合禁止剤としては、例えば、p-メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミン、tert-ブチルカテコール、塩化第一銅、2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾール、2,2’-メチレンビス4-メチル-6-tert-ブチルフェノール、2,2’-メチレンビス4-エチル-6-tert-ブチルフェノール、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、ジフェニルニトロソアミンなどが挙げられる。ベンゾトリアゾール類としては、例えば、1,2,3-ベンゾトリアゾール、1-クロロ-1,2,3-ベンゾトリアゾール、ビスN-2-エチルヘキシルアミノメチレン-1,2,3-ベンゾトリアゾール、ビスN-2-エチルヘキシルアミノメチレン-1,2,3-トリルトリアゾール、ビスN-2-ヒドロキシエチルアミノメチレン-1,2,3-ベンゾトリアゾールなどが挙げられる。カルボキシベンゾトリアゾ-ル類としては、例えば、4-カルボキシ-1,2,3-ベンゾトリアゾ-ル、5-カルボキシ-1,2,3-ベンゾトリアゾ-ル、N-N,N-ジ-2-エチルヘキシルアミノメチレンカルボキシベンゾトリアゾ-ル、N-N,N-ジ-2-ヒドロキシエチルアミノメチレンカルボキシベンゾトリアゾ-ル、N-N,N-ジ-2-エチルヘキシルアミノエチレンカルボキシベンゾトリアゾ-ルなどが挙げられる。感光性樹脂組成物全体に対する、ラジカル重合禁止剤、ベンゾトリアゾ-ル類、及びカルボキシベンゾトリアゾ-ル類の合計含有量は、好ましくは0.01質量~3質量であり、より好ましくは0.05質量~1質量である。該含有量は、感光性樹脂組成物に保存安定性を付与するという観点から、0.01質量以上が好ましく、感度を維持し染料の脱色を抑える観点から、3質量以下が好ましい。<可塑剤>感光性樹脂組成物は、必要に応じて可塑剤を含有してもよい。このような可塑剤として、例えば、ジエチルフレートなどのフタル酸エステル類、o-トルエンスルホン酸アミド、p-トルエンスルホン酸アミド、クエン酸トリブチル、クエン酸トリエチル、アセチルクエン酸トリエチル、アセチルクエン酸トリ-n-プロピル、アセチルクエン酸トリ-n-ブチル、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリプロプレンレングリコールアルキルエーテルなどが挙げられる。感光性樹脂組成物中の可塑剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分質量を100質量とするとき、好ましくは1質量~50質量、より好ましくは1~30質量である。該含有量は、現像時間の遅延を抑え、硬化膜に柔軟性を付与するという観点から、1質量以上、硬化不足又はコールドフローを抑えるという観点から、50質量以下が好ましい。<溶剤>感光性樹脂組成物を溶解する溶剤としては、メチルエチルケトンMEKに代表されるケトン類、メタノール、エタノール又はイソプロパノールに代表されるアルコール類などが挙げられる。当該溶剤は、支持フィルム上に塗布する感光性樹脂組成物の溶液の粘度が25°Cで500mPas~4000mPasとなるように、感光性樹脂組成物に添加することが好ましい。<感光性樹脂積層体>本実施の形態では、感光性樹脂積層体は、感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂層及び支持フィルムを含む。また、感光性樹脂層は支持フィルムに積層されていることが好ましい。必要により、感光性樹脂層の支持フィルム側とは反対側の表面に保護層を有してもよい。支持フィルムとしては、露光光源から放射される光を透過する透明なものが望ましい。このような支持フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体フィルムなどが挙げられる。これらのフィルムは、必要に応じて延伸されたものも使用可能であり、ヘーズ5以下のものであることが好ましい。フィルムの厚みは、薄い方が画像形成性及び経済性の面で有利であるが、強度を維持するために10μm~30μmのものが好ましく用いられる。感光性樹脂積層体に用いられる保護層の重要な特性は、感光性樹脂層との密着力について支持フィルムよりも保護層の方が充分小さく、容易に剥離できることである。例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなどが保護層として好ましく使用できる。また、特開昭59-202457号公報に示された剥離性の優れたフィルムを用いることもできる。保護層の膜厚は10μm~100μmが好ましく、10μm~50μmがより好ましい。感光性樹脂積層体における感光性樹脂層の厚さは、用途において異なるが、好ましくは5μm~100μm、より好ましくは7μm~60μmであり、薄いほど解像度は向上し、また厚いほど膜強度が向上する。さらに、高いテント性を必要としないエッチング用途には、感光性樹脂積層体における感光性樹脂層の厚さは、10μm~20μmが好ましい。耐エッチング性の観点から、10μm以上であり、解像性の観点から、20μm以下である。<感光性樹脂積層体の作製方法>支持フィルム、感光性樹脂層、及び必要により保護層を順次積層し感光性樹脂積層体を作製する方法としては、既知の方法を採用することができる。例えば、感光性樹脂層に用いる感光性樹脂組成物を、これらを溶解する溶剤と混ぜ合わせ均一な溶液にし、まず支持フィルム上にバーコーター又はロールコーターを用いて塗布し、次いで乾燥して、支持フィルム上に感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂層を積層することができる。次いで必要により、感光性樹脂層上に保護層をラミネートすることにより感光性樹脂積層体を作製することができる。<レジストパターンを有する基板の製造方法>以下、感光性樹脂積層体を用いて、レジストパターンが形成された基板を製造する方法の一例を説明する。所望により、このように製造された基板をエッチングするか、又はめっきすることにより回路基板又はプリント配線板を製造することができる。感光性樹脂積層体を用いて、レジストパターンが形成された基板、並びに該基板を用いた回路基板又はプリント配線板を製造する方法は、以下の工程を含む。なお、工程4及び4’は、それらのいずれか、又はそれらの両方を利用することが可能である。1ラミネート工程感光性樹脂積層体の保護層を剥がしながら、ホットロールラミネーターを用いて銅張積層板、フレキシブル基板等の基板上に感光性樹脂積層体を密着させる工程。2露光工程所望の配線パターンを有するマスクフィルムを支持体例えば、支持フィルムなど上に密着させて活性光源を用いて露光を施すか、又は所望の配線パターンを直接描画によって露光を施す工程。3現像工程露光後、感光性樹脂層上の支持体を剥離し、続いてアルカリ水溶液の現像液を用いて未露光部を現像除去してレジストパターンを基板上に形成する工程。アルカリ水溶液としては、例えば、Na2CO3又はK2CO3の水溶液を用いることができる。アルカリ水溶液は、感光性樹脂層の特性に合わせて適宜選択されるが、約0.2質量~2質量の濃度、約20°C~40°CのNa2CO3水溶液が一般的である。上記の各工程を経てレジストパターンを得ることができるが、場合により、さらに約100°C~300°Cの加熱工程を行うこともできる。この加熱工程を実施することにより、更なる耐薬品性向上が可能となる。加熱には熱風、赤外線、遠赤外線の方式の加熱炉を用いることができる。4エッチング工程形成されたレジストパターン上からエッチング液を吹き付けて、レジストパターンによって覆われていない銅面をエッチングする工程。エッチング工程は酸性エッチング、アルカリエッチングなど使用する感光性樹脂積層体に適した方法で行なわれる。4’めっき工程銅めっき、はんだめっきなどを用いて、レジストパターンが形成された基板にめっきを行う工程。めっき処理の方法としては、基板を電極として電気めっきを行う方法などが挙げられる。5剥離その後、レジストパターンを現像液よりも強いアルカリ性を有する水溶液により基板から剥離する。剥離用のアルカリ水溶液についても特に制限はないが、濃度約2質量~5質量、温度約40°C~70°CのNaOH、KOHなどの水溶液が一般に用いられる。剥離液に、少量の水溶性溶媒を加えることもできる。上述の通り、本実施の形態は、アルカリ性水溶液によって現像可能な感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を支持体上に積層した感光性樹脂積層体、該感光性樹脂積層体を用いて基板上にレジストパターンを形成する方法、及び該レジストパターンの用途、等に関する。これら感光性樹脂組成物、等は、プリント配線板の製造、フレキシブルプリント配線板の製造、ICチップ搭載用リードフレーム以下、リードフレームという。の製造、メタルマスク製造などの金属箔精密加工、BGAボールグリッドアレイ又はCSPチップサイズパッケージ等の半導体パッケージ製造、TABTapeAutomatedBonding又はCOFChipOnFilm:半導体ICをフィルム状の微細配線板上に搭載したものに代表されるテープ基板の製造、半導体バンプの製造、フラットパネルディスプレイ分野におけるITO電極、アドレス電極、電磁波シールドなどの部材の製造に好適なレジストパターンを与えることができ、好適である。以下、実施例1~14並びに比較例1及び2により、更に具体的に説明する。まず、実施例及び比較例の評価用サンプルの作製方法を説明し、次いで、得られたサンプルについての評価方法及びその評価結果を示す。1評価用サンプルの作製方法実施例及び比較例における評価用サンプルは以下のように作製した。<感光性樹脂積層体の作製>下記表1に示す組成但し、各成分の数字は固形分としての配合量質量部を示す。の感光性樹脂組成物及び溶媒を十分に攪拌、混合して感光性樹脂組成物調合液とし、支持体として16μm厚のポリエチレンテレフタラートフィルム三菱化学ポリエステルフィムル株製、R130-16の表面にバーコーターを用いて均一に塗布し、95°Cの乾燥機中で1.5分間乾燥して感光性樹脂組成層を形成した。感光性樹脂組成層の厚みは15μmであった。次いで、感光性樹脂組成層のポリエチレンテレフタラートフィルムを積層していない表面上に、保護層として19μm厚のポリエチレンフィルムタマポリ株製、GF-818を貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。下記表2に、表1中略号で表した感光性樹脂組成物調合液中の材料成分の名称を示す。<基板整面>現像性、耐エッチング性の評価基板として、35μm圧延銅箔を積層した1.6mm厚の銅張積層板を用いた。基板表面を湿式バフロール研磨スリーエム株製、スコッチブライト登録商標HD♯600、2回通しした。<ラミネート>感光性樹脂積層体のポリエチレンフィルムを剥がしながら、製面して60°Cに予熱した銅張り積層板に、ホットロールラミネーター旭化成株社製、AL-700により、ロール温度105°Cでラミネートした。エアー圧は0.35MPaとし、ラミネート速度は2.0m/minとした。<露光>感光性樹脂組成層の評価に必要なマスクフィルムを支持体であるポリエチレンテレフタラ-トフィルム上におき、実施例1~6、実施例9~14、並びに比較例1及び2については超高圧水銀ランプオーク製作所社製、HMW―801により70mJ/cm2の露光量で露光した。実施例7及び8については直接描画式露光装置日立ビアメカニクス株製、DI露光機DE-1DH、光源:GaN青紫ダイオード、主波長405±5nmにより15mJ/cm2の露光量で露光した。硬化膜柔軟性の評価サンプルに、上記したように作製した感光性樹脂積層体の支持体であるポリエチレンテレフタラ-トフィルム上に評価に必要なマスクフィルムをおき、実施例1~6、実施例9~14、並びに比較例1及び2については超高圧水銀ランプオーク製作所社製、HMW―801により70mJ/cm2の露光量で露光した。実施例7及び8については直接描画式露光装置日立ビアメカニクス株製、DI露光機DE-1DH、光源:GaN青紫ダイオード、主波長405±5nmにより15mJ/cm2の露光量で露光した。<現像>現像性及び耐エッチング性の評価基板については、ポリエチレンテレフタラートフィルムを剥離した後、アルカリ現像機フジ機工製、ドライフィルム用現像機を用いて30°Cの1質量Na2CO3水溶液を所定時間スプレーし、感光性樹脂層の未露光部分を溶解除去した。この際、最小現像時間の2倍の時間にて現像し、硬化レジストパターンを作製した。なお、最小現像時間とは、上述の通り、未露光部分の感光性樹脂層を溶解させるために要する最も短い時間をいう。硬化膜柔軟性の評価サンプルについては、ポリエチレンフィルムを剥離した後、最小現像時間の2倍の時間、同条件にて現像し硬化レジストを得た。<エッチング>現像によって、レジストパターンが形成された評価基板に、塩銅エッチング装置東京化工機株社製、塩銅エッチング装置を用いて塩化第二銅濃度250g/L、塩酸濃度3mol/Lである、50°Cの塩化第二銅エッチング液を所定時間スプレーし、銅張積層板上のレジストパターンにより被覆されていない部分の銅箔を溶解除去した。<剥離>エッチング後の評価基板に50°Cに加温した3質量の水酸化ナトリウム水溶液をスプレーして、硬化したレジストを剥離した。2サンプルの評価方法次に、サンプルの評価方法について説明する。i現像性上記1評価用サンプルの作製方法に従い、基板を作製し、ラミネートし、現像し、レジストパターンを得た。最小現像時間に基づき、以下のようにランク分けした:A:最小現像時間が14秒以上B:最小現像時間が10秒以上で、14秒未満C:最小現像時間が10秒未満ii耐エッチング性上記1評価用サンプルの作製方法に従い、ラミネート後15分経過した耐エッチング性評価用基板を、露光部と未露光部の幅が1:1の比率のラインパターンマスクを通して露光した。さらに最小現像時間の2倍の時間で現像し、銅箔がエッチングにより除去されるのに要する時間を最小エッチング時間とし、最小エッチング時間の1.4倍の時間でエッチングした。硬化レジストを水酸化ナトリウム水溶液にて剥離し、導体パターンを光学顕微鏡にて観察し、かかる観察結果に基づき、以下のようにランク分けした:A:導体パターンが直線的に形成されており、エッチング液の染み込みが見られないB:導体パターンが直線的に形成されているが、エッチング液の染み込みが見られるC:導体パターンが直線的に形成されておらず、凹凸が見られるiii硬化膜の柔軟性上記1評価用サンプルの作製方法に従い、作製した感光性樹脂積層体を5mm×40mmの長方形のマスクを通して露光した。さらに最小現像時間の2倍の時間で現像し、硬化レジストを得た。作製した5mm×40mmの硬化レジストを引っ張り試験機オリエンテック株社製、RTM-500にて100mm/minの速度にて引っ張り、その際の硬化レジストの伸度に基づき、以下のようにランク分けした:A:硬化レジストの伸度が45mm以上A:硬化レジストの伸度が40mm以上で、45mm未満B:硬化レジストの伸度が15mm以上で、40mm未満C:硬化レジストの伸度が15mm未満iv凝集性感光性樹脂積層体中の厚さ15μm、面積2.0m2の感光層を、200mlの1質量Na2CO3水溶液に溶解させ、循環式スプレー装置を用いて、スプレー圧0.1MPaで3時間に亘ってスプレーを行なった。その後、現像液を1日静置し、凝集物の発生を観察した。凝集物が多量に発生するとスプレー装置の底面及び側面に粉状のもの又は油状のものが観察される。現像液凝集性が良好な組成はこれら凝集物が全く発生しない。凝集性を、凝集物の発生状態に基づき、以下のようにランク分けした:A:凝集物が全く発生しないB:スプレー装置の底部、もしくは側面の一部に凝集物が見られるC:スプレー装置全体に凝集物が見られるvアルカリ可溶性高分子の酸当量酸当量とは、その中に1当量のカルボキシル基を有するアルカリ可溶性高分子の質量をいう。酸当量の測定は、平沼産業株製平沼自動滴定装置COM-555を使用し、0.1mol/Lの水酸化ナトリウムを用いて電位差滴定法により行われる。vi重量平均分子量重量平均分子量は、日本分光株製ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCポンプ:Gulliver、PU-1580型、カラム:昭和電工株製Shodex登録商標KF-807、KF-806M、KF-806M、KF-802.54本直列、移動層溶媒:テトラヒドロフラン、ポリスチレン標準サンプル昭和電工株製ShodexSTANDARDSM-105による検量線使用によりポリスチレン換算として求められる。3評価結果実施例及び比較例の評価結果を表1に示す。"