"Euで付活されたSr3Si13Al3O2N21属結晶を含む粒子を含有し、波長250~500nmの光で励起した際に波長490~580nmの間に発光ピークを有する発光を示す蛍光体であって、前記粒子は、表面から5nmまでの外側領域における前記結晶中の酸素濃度の平均値Oouterと、表面から5nmより深い内側領域における前記結晶中の酸素濃度の平均値Oinnerとの比Oouter/Oinnerが1.0~3.8であることを特徴とする蛍光体。前記蛍光体は、下記組成式1で表わされる組成を有することを特徴とする請求項1に記載の蛍光体。Sr1xEux3yAl3zSi13zO2uN21w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.30、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5波長250~500nmの光を発する発光素子と、前記発光素子からの光を受けて緑色発光する蛍光体を含有する緑色発光層とを具備し、前記緑色発光する蛍光体は請求項1または2に記載の蛍光体を含むことを特徴とする発光装置。前記発光素子は250~500nmの波長範囲の光を発し、波長580~660nmの間に発光ピークを有する赤色発光蛍光体を含有する赤色発光層をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の発光装置。前記発光素子は250~430nmの波長範囲の光を発し、波長580~660nmの間に発光ピークを有する赤色発光蛍光体を含有する赤色発光層、および波長400~490nmの間に発光ピークを有する青色発光蛍光体を含有する青色発光層をさらに具備することを特徴とする請求項3に記載の発光装置。請求項1に記載の蛍光体の製造方法であって、Sr原料、Al原料、Si原料およびEu原料を含む混合粉体を、窒素雰囲気中で熱処理する工程と、前記窒素雰囲気中での熱処理後、真空雰囲気中、400~600°Cで熱処理する工程と、前記真空雰囲気中での熱処理後、水素濃度1以上100未満のN2/H2の還元性雰囲気中で熱処理する工程とを具備することを特徴とする蛍光体の製造方法。前記真空雰囲気は、13.3Pa以下であることを特徴とする請求項6に記載の製造方法。本発明が解決しようとする課題は、高温下でも発光強度の低下の少ない蛍光体、これを用いた発光装置、およびかかる蛍光体の製造方法を提供することにある。実施形態の蛍光体は、Euで付活されたSr3Si13Al3O2N21属結晶を含む粒子を含有し、波長250~500nmの光で励起した際に波長490~580nmの間に発光ピークを有する発光を示す。前記粒子は、その表面から5nmまでの外側領域における前記結晶中の酸素濃度の平均値Oouterと、表面から5nmより深い内側領域における前記結晶中の酸素濃度の平均値Oinnerとの比Oouter/Oinnerが1.0~3.8であることを特徴とする。以下、実施形態を具体的に説明する。一実施形態にかかる蛍光体は、Eu付活されたSr3Si13Al3O2N21属結晶を含む粒子であって、波長250~500nmの光で励起した際に、波長490~580nmの間にピークを有する発光を示す。波長490~580nmの間に発光ピークを有するので、本実施形態にかかる蛍光体は緑色発光蛍光体である。Sr3Si13Al3O2N21属結晶とは、Sr3Al3Si13O2N21と実質的に同一の結晶構造を有する無機化合物をさす。Sr3Al3Si13O2N21結晶は斜方晶系であり、格子定数は、a=14.76Å、b=7.46Å、c=9.03Åである。すなわち、本実施形態にかかる蛍光体は、酸窒化物を母体とした無機化合物であり、この酸窒化物は共有結合性が高い。Sr3Si13Al3O2N21属結晶は、X線回折により同定することができる。対象となる蛍光体について測定したXRDプロファイルの回折ピーク位置が、Sr3Al3Si13O2N21について測定したXRDプロファイルの主要ピークについて一致した時に、当該結晶構造が同じものと特定される。具体的には、X線回折パターンの20°≦2θ≦70°における次の18ピークのうち、10ピーク以上が含まれる場合には、結晶構造が同じもの特定することができる。ただし、いずれのピークも±0.1°の範囲を含む。20.5°,21.6°,23.8°,25.8°,29.4°,31.0°31.7°,32.0°,34.2°,34.9°,36.1°,36.4°37.5°,38.4°,39.9°,61.5°,62.3°,63.0°したがって、Sr3Si13Al3O2N21属結晶は、Sr3Al3Si13O2N21のXRDプロファイルと同一のプロファイルを示す物質のみに限定されない。構成元素が他の元素と入れ替わることにより格子定数が一定の範囲内で変化した物質もまた、本実施形態におけるSr3Si13Al3O2N21属結晶に包含される。構成元素が他の元素で置き換わるものとは、例えば、Si、Al、OおよびNの少なくとも一種の元素の一部が次のように置換されることをさす。具体的には、Sr3Al3Si13O2N21結晶中の元素Siの位置が少なくとも1種の4価の元素で置換された結晶、Alの位置が少なくとも1種の3価の元素で置換された結晶、あるいはNの位置がOおよびCからなる群から選ばれる少なくとも1種の元素で置換された結晶のことである。ここで、4価の元素は、例えばGe、Sn、Ti、Zr、およびHfからなる群から選択され、3価の元素は、例えばB、Ga、In、Sc、Y、La、Gd、およびLuからなる群から選択される。また、Sr3Al3Si13O2N21結晶中の元素Oの一部が、NおよびCからなる群から選ばれる少なくとも1種の元素で置換されてもよい。ただし、Nおよび/またはCによるOの置換量は、99モル未満にとどめることが望まれる。Alの一部がSiで置き換わった構造、およびSiの一部がAlで置き換わった構造もまた、Sr3Al3Si13O2N21属結晶に含まれる。例えばSr3Al2Si14ON22、Sr3AlSi15N23、Sr3Al4Si12O3N20、Sr3Al5Si11O4N19、およびSr3Al6Si10O5N18等である。一実施形態にかかる緑色発光蛍光体の組成は、例えば下記組成式1で表わすことができる。Sr1xEux3yAl3zSi13zO2uN21w1の457nm励起における発光スペクトルは図15に示すとおりであった。図15に示す発光強度は、励起光源のピーク強度を1として求めた。図示するように緑色発光蛍光体G11~G13は、波長490~580nmにおける発光強度は、たかだか0.08である。図4に示した緑色発光蛍光体G1~G4の結果と比較すると、緑色発光蛍光体G11~G13は、十分な発光強度が得られないことがわかる。これは、窒素雰囲気中での熱処理の後、還元性雰囲気中での熱処理の前に、真空雰囲気中での熱処理が行なわれなかったことが原因であると推測される。緑色発光蛍光体G1~G13について、酸素濃度比Oouter/Oinnerと量子効率との関係を、図16にまとめて示す。図16に示されるように、酸素濃度比が小さすぎる場合には、量子効率を高めることができず、酸素濃度比が大きすぎる場合にも、量子効率を高めることができない。量子効率を高めるには、適切な酸素濃度比の範囲が存在することがわかる。<比較例1>緑色発光蛍光体を緑色発光蛍光体G11に変更した以外は実施例1と同様にして、本比較例の発光装置を作製した。緑色発光蛍光体G11と赤色発光蛍光体R1の発光強度の温度依存性を、室温における発光強度を1として規格化すると図17に示すとおりであった。図17に示されるように、緑色発光蛍光体G11は、200°Cにおける発光強度は室温の場合の0.3未満であることから、温度上昇による発光強度の低下が大きいことがわかる。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率24.0lm/W、Ra=91であった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前述と同様の手法により発光特性を測定し、その結果を図18に示す。図示するように、赤色発光蛍光体R1とともに緑色発光蛍光体G11を用いた本実施例の発光装置は、駆動電流が上昇により色度が顕著に変化し、JIS規格の色度範囲を大きく逸脱した。光束効率およびRaも、以下に示すように著しく減少した。240mA駆動:15.5lm/W、Ra=72300mA駆動:14.0lm/W、Ra=66350mA駆動:12.2lm/W、Ra=53<比較例2>緑色発光蛍光体G14としてBa01Sr082SiO4:Eu2を用い、赤色蛍光体R2としてピーク波長585nmのSr08Ca02SiO4:Eu2を用いて、図2に示した構成の発光装置を作製した。8mm角のAlNパッケージ401の上に、発光素子402として発光ピーク波長455nmの発光ダイオードを半田接合した。金ワイヤー403を介して、発光素子402の一方の電極をAlNパッケージ401の電極に接続した。発光素子402の上には、シリコーンをドーム状に塗布して透明樹脂層404を形成した。透明樹脂層404の上には、第一の蛍光層405および第二の蛍光層406を順次形成した。第一の蛍光層405の形成は、赤色発光蛍光体R2が40質量含有された透明樹脂シリコーンを用いた。第二の蛍光層406の形成には、緑色発光蛍光体G11が30質量含有された透明樹脂シリコーンを用いた。なお、緑色発光蛍光体G14および赤色発光蛍光体R2の発光強度の温度依存性は、図19に示すとおりであった。図示する結果は、室温における発光強度を1として規格化したものである。図19に示されるように、緑色発光蛍光体G14は、200°Cにおける発光強度は室温の場合の0.3未満であることから、温度上昇による発光強度の低下が大きいことがわかる。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vの条件で駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率68.6lm/W、Ra=86であった。この発光装置の発光スペクトルは、図20に示すとおりであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前述と同様の手法により発光特性を測定し、その結果を図21に示す。図示するように、赤色発光蛍光体R2とともに緑色発光蛍光体G14を用いた本比較例の発光装置は、駆動電流の上昇により色度が顕著に変化し、JIS規格の色度範囲を大きく逸脱した。光束効率およびRaも、以下に示すように著しく減少した。240mA駆動:43.9lm/W、Ra=76300mA駆動:33.9lm/W、Ra=68350mA駆動:26.9lm/W、Ra=57本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行なうことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。"