"前部が開放しているボックスカバーと、この前部開放部を開閉する取り外し得るボックスドアとから成る移送ボックスと、掛止め作動継手を作動させるため前記ボックスドア内に挿入された外部掛止めキーの回転に応動して、前記ボックスカバーに前記ボックスドアを釈放可能に取り付けるため前記掛止め作動継手に作動できるように連結されたボックスドア掛止め装置と、前記移送ボックスを取り付けようとする運動継手表面に整合する整合手段を有する物理的配列インタフェースと、クランプ手段とを有するボックス底部とを具え、前部が開放しているインタフェースの機械的基準FIMSシステムにおけるボックスロードインタフェースにおいて、前記ボックスロードインタフェースは前記ボックスカバーを開き、又は閉じるため、前記ボックスカバーに対し、接近し、又は離間するように選択的に前記ボックスドアを動かすよう、前記ボックスドアに取り付けることができる後退可能なポートドアと、前記ボックスカバーに対し、接近し、又は離間するように前記ポートドアが前記ボックスドアを動かす際、前記ボックスドアを動かして通すポートプレート孔と、前面とを有するポートプレートと、前記ポートプレートの横方向に位置する支持棚と、この支持棚に取り付けられたボックス保持クランプ装置と、横方向の第1移動路、及び横方向の第2移動路に沿って、前記ポートプレート孔に対し接近、及び離間するように前記ポートドアを選択的に動かすポートドア多軸位置決め装置とを具え、前記位置決め装置は空間的な基準データに関連して前記第1移動路に沿って、駆動移動台を動かす駆動装置に作動できるように連結されたリンク移動台と、前記リンク移動台と前記駆動移動台とに両端を枢着された枢着リンクを有する枢着リンク構造であって、前記第1移動路に沿って或る距離にわたり、前記リンク移動台と前記駆動移動台とを一体に動かす枢着リンク構造と、前記ポートプレート孔の付近の前記ポートドアの位置に相当する位置を越えて前記第1移動路に沿って前記リンク移動台が移動するのを防止するため、前記基準データに対し固定した関係に位置する案内手段とを具え、前記駆動装置が前記駆動移動台を前記第1移動路に沿って動かすと共に、前記リンク移動台が前記第1移動路に沿って移動するのを前記案内手段が防止している際、前記枢着リンクが回動して、前記リンク移動台を前記第2移動路に沿って動かし、前記駆動移動台が前記リンク移動台に対して、前記第1移動路に沿って移動する方向に応じて、前記ポートドアを前記ポートプレート孔に対し接近し、また離間するように動かすことを特徴とするボックスロードインタフェース。前記リンク移動台は第1面と第2面とを有し、前記案内手段は前記リンク移動台が前記第1移動路に沿って移動するのを防止するよう前記リンク移動台の前記第1面が接触する第1ローラを有し、前記ボックスロードインタフェースは前記リンク移動台が前記第2移動路に沿って移動する際、前記リンク移動台の前記第2面に接触するよう前記第1ローラに対し固定した関係に取り付けられた第2ローラを具えている請求項1のボックスロードインタフェース。前記リンク移動台は対向する第1側部と第2側部とを有し、前記枢着リンク構造は前記リンク移動台のそれぞれ前記第1側部と第2側部とに枢着された第1対の枢着リンクと第2対の枢着リンクとを有し、前記リンク移動台と駆動移動台とが一体に前記第1移動路に沿って移動する時、前記枢着リンクの回動を防止するよう前記第1対の枢着リンク、及び第2対の枢着リンクの一方の対の枢着リンクが回動制限手段に関連して作動するよう構成した請求項1のボックスロードインタフェース。前記回動制限手段はこの回動制限手段が関連する前記枢着リンクの一方向の回動を制限する機械的止めを有している請求項3のボックスロードインタフェース。前記第1移動路と第2移動路とが直交している請求項1のボックスロードインタフェース。前記駆動装置はモータで駆動される親ねじ装置を有する請求項1のボックスロードインタフェース。前記第2移動路に沿う前記リンク移動台の運動に応動するよう前記リンク移動台に枢着された平衡装置を更に具える請求項1のボックスロードインタフェース。前部が開放しているボックスカバーと、この前部開放部を開閉する取り外し得るボックスドアとから成る移送ボックスと、掛止め作動継手を作動させるため前記ボックスドア内に挿入された外部掛止めキーの回転に応動して、前記ボックスカバーに前記ボックスドアを釈放可能に取り付けるため前記掛止め作動継手に作動できるように連結されたボックスドア掛止め装置とを具え、前部が開放しているインタフェースの機械的基準FIMSシステムにおけるボックスロードインタフェースにおいて、前記ボックスロードインタフェースは前記ボックスカバーを開き、又は閉じるため、前記ボックスカバーに対し、接近し、又は離間するように選択的に前記ボックスドアを動かすよう、前記ボックスドアに取り付けることができる後退可能なポートドアと、前記ボックスカバーに対し、接近し、又は離間するように前記ポートドアが前記ボックスドアを動かす際、前記ボックスドアを動かして通すポートプレート孔と、前面とを有するポートプレートと、前記ポートプレートの横方向に位置し、摺動可能に取り付けられたトレーを有する支持棚であって、前記トレー上に設置された運動継手表面によって確立された所定の方向性をもたせて前記ボックスを前記トレーによって収容するよう構成し、更に前記ボックスを前記ポートプレートに対し接近、及び離間するように動かすため、前記支持棚上に前記トレーを選択的に動かすトレー位置決め装置を有する支持棚と、前記トレーに対し前記ボックスを押圧する力を前記ボックスに加えるよう前記ボックスに選択的に掛合するように、また前記トレーに対し前記ボックスを押圧する押圧力を前記ボックスから解放するよう前記ボックスから離脱するように、前記トレーに取り付けられ、流体で制御されるボックス保持装置とを具えることを特徴とするボックスロードインタフェース。前記ボックスはこのボックスの底面に位置するクランプ手段を有し、前記ボックス保持装置は前記クランプ手段に掛合する第1位置と、前記クランプ手段から離脱する第2位置との間に回転するクランプ装置を具える請求項8のボックスロードインタフェース。前記クランプ手段は突起によって一部覆われている凹陥部を有し、前記クランプ装置は前記ボックス上の前記クランプ手段に掛合し、このクランプ手段から離脱するため、前記トレーに枢着された枢着指片を有する請求項9のボックスロードインタフェース。流体モータに作動可能に連結されたリンクシステムを介して、前記ボックス上の前記クランプ手段に掛合し、掛合から離脱するように前記枢着指片を作動させるように構成した請求項10のボックスロードインタフェース。前記枢着指片を第1枢着ピンによって前記トレーに枢着し、前記リンクシステムに連結された駆動ピンを介して、前記第1枢着ピンの周りに回転するよう前記枢着指片を作動させる請求項11のボックスロードインタフェース。前記リンクシステムは前記駆動枢着ピンに連結された第1端を有する第1駆動リンクと、固定枢着ピンに連結された第1端を有する第2駆動リンクとを有し、前記第1駆動リンク、及び第2駆動リンクは共通枢着ピンを通じて前記流体モータに連結されたそれぞれの第2端を有する請求項12のボックスロードインタフェース。前記ボックスを前記トレーに保持し、前記ボックスを前記トレーから釈放するため、前記ボックス上の前記クランプ手段に協働するように軸線方向に移動でき、第1角度位置と第2角度位置との間に回転可能であるキーを前記クランプ装置が有する請求項9のボックスロードインタフェース。前記キーを収容する十分な寸法の溝孔を有する頂部部片によって覆われる凹所区域を前記クランプ手段が有し、前記クランプ装置は前記ボックスを前記トレーにクランプし、前記ボックスを前記トレーから釈放するよう軸線の周りに前記キーを回転させるキー回転装置と、前記キーを前記溝孔内に挿入し、前記キーを前記溝孔から除去するよう前記キーを前記軸線に沿って動かすキー上昇下降装置とを更に有する請求項9のボックスロードインタフェース。前記キー回転装置は歯付きプーリを介して前記キーを回転させる歯付きベルトを有し、前記歯付きベルトは第1流体モータに連結された第1端と、第2流体モータに連結された第2端とを有し、これ等の前記流体モータの突出と後退とに応動して、前記歯付きベルトを介して前記歯付きプーリが前記キーを回転させる請求項15のボックスロードインタフェース。前記キー上昇下降装置は前記歯付きプーリ内に突出する前記キーの軸部に取り付けられたピストンを有し、前記ピストンの上面、及び下面に加わる加圧流体に応動して、前記軸線に沿って前記キーを上下するよう前記歯付きプーリの補足内面手段に前記ピストンが整合するよう構成した請求項15のボックスロードインタフェース。前部が開放しているボックスカバーと、この前部開放部を開閉する取り外し得るボックスドアとから成る移送ボックスと、掛止め作動継手を作動させるため前記ボックスドア上の対応する手段内に挿入された外部掛止めキーの回転に応動して、前記ボックスカバーに前記ボックスドアを釈放可能に取り付けるため前記掛止め作動継手に作動するように連結されたボックスドア掛止め装置とを具え、前部が開放しているインタフェースの機械的基準FIMSシステムにおけるボックスロードインタフェースにおいて、前記ボックスロードインタフェースは前記ボックスカバーを開き、又は閉じるため、このボックスカバーに対し接近、又は離間するよう前記ボックスドアを選択的に動かすように関連する掛止めキーによって、前記ボックスドアに後退可能なポートドアを結合する複数個の流体で制御される掛止めキー組立体であって、前記ボックスドアとポートドアとを整合して連結した時、前記ポートドアが前記ボックスドアに適正に配列され、前記ポートドアに対して一線に前記ボックスドアが確実に保持されるよう前記ボックスドア上の対応する整合手段の公差の範囲を受け入れるように前記掛止めキーが移動可能である複数個の流体で制御される掛止めキー組立体と、前記ポートドアを前記ボックスドアに取り付ける第1角度位置と、前記ポートドアを前記ボックスドアから釈放する第2角度位置との間に、前記掛止めキーを選択的に回転させるため、前記掛止めキーに作動できるように連結された掛止めモータ装置とを具えることを特徴とするボックスロードインタフェース。前記掛止めキーは関連する掛止めキーハウジング内で回転しないよう保持されるがこの掛止めキーハウジング内で側方には移動できる掛止めキー本体をそれぞれ有している請求項18のボックスロードインタフェース。各前記掛止めキーハウジングは前記掛止めキーを収容する孔を有し、前記掛止めキー本体は前記孔の対応する部分に整合する形状の部分を有し、前記掛止めキー本体が前記掛止めキーハウジング内で回転しないよう保持されるが、側方には移動できるよう前記掛止めキー本体の前記整合する形状の部分は前記孔の対応する部分より一層小さな寸法を有している請求項19のボックスロードインタフェース。前記ボックスドアとポートドアとが整合して連結された時、前記ポートドアに対し一線に前記ボックスドアを確実に保持するため、掛止めキープルバック装置を更に具える請求項19のボックスロードインタフェース。前記掛止めキープルバック装置は縦軸線に沿って、前記掛止めキーを往復動させるよう前記掛止めキーハウジング内で摺動可能で、前記掛止めキー本体に取り付けられた往復ピストンを有している請求項21のボックスロードインタフェース。加圧流体で作動するよう前記ピストンを構成した請求項22のボックスロードインタフェース。縦軸線に沿って前記ピストンを往復動させるため、加圧流体源に選択的に連通する駆動室と復帰室とを前記ピストンと前記掛止めキーハウジングとが形成している請求項21のボックスロードインタフェース。圧力流体源から供給される加圧流体を前記駆動室、及び復帰室に選択的に連通させ、また駆動室、及び復帰室から選択的に連通させる少なくとも1個の流体ポートを前記掛止めキー本体が有している請求項24のボックスロードインタフェース。前記掛止めモータ装置は第1軸線の周りに回転するよう一方の掛止めキーハウジングに連結された第1ディスクと、第2軸線の周りに回転するよう他方の掛止めキーハウジングに連結された第2ディスクとを有し、前記掛止めキーを第1角度位置と第2角度位置との間に動かすため前記第1ディスク、及び第2ディスクをそれぞれの軸線の周りに、関連する流体モータによって駆動するよう構成した請求項18のボックスロードインタフェース。各前記第1ディスク、及び第2ディスクは関連する流体モータに連結された一端と、前記第1掛止めキー、及び第2掛止めキーの角度位置を表示するため前記ポートドアに取り付けられたセンサに協働する反対端とを有する請求項26のボックスロードインタフェース。前部が開放しているボックスカバーと、この前部開放部を開閉する取り外し得るボックスドアとから成る移送ボックスを具え、前部が開放しているインタフェースの機械的基準FIMSシステムにおけるボックスロードインタフェースにおいて、前記ボックスロードインタフェースは前記ボックスカバーを開き、又は閉じるため、前記ボックスカバーに対し前記ボックスドアを接近させ、又は離間するように選択的に動かすよう前記ボックスドアに取り付けることができる後退可能なポートドアと、前記ポートドアが前記ボックスカバーに対し前記ボックスドアを接近し、又は離間するように動かす際、前記ボックスドアが通って動くことができるポートプレート孔と、前面とを有するポートプレートと、前記ポートプレートの横方向に位置し、摺動可能に取り付けたトレーを有する支持棚であって、前記トレー上に設置された運動継手表面によって達成された所定の方向に前記ボックスを収容するボックス取付け面を有している支持棚と、前記トレー上の前記ボックスの存在を表示する検知装置とを具えることを特徴とするボックスロードインタフェース。前記ポートプレートの前面と、前記トレー上の前記ボックス取付け面とに対し横方向の検知路を発生するように前記検知装置を構成した請求項28のボックスロードインタフェース。前記ボックスを前記トレー上に設置した時、前記ボックスによって占められた領域に通過する方向の光伝搬路を形成するように設置された光ビームエミッタと、光ビームセンサとを前記検知装置に設けた請求項28のボックスロードインタフェース。前記光ビームエミッタを前記ポートプレートに設置し、前記光ビームセンサを前記トレーに設置した請求項30のボックスロードインタフェース。前記ポートプレートの前記ポートプレート孔の上方に、前記光ビームエミッタを設置した請求項31のボックスロードインタフェース。前記検知路の連続性を監視する中央制御システムを設けた請求項29のボックスロードインタフェース。前記トレー上の前記ボックスの適正な配列を示すため前記トレーにボックス設置スイッチを設けた請求項29のボックスロードインタフェース。前記検知路の連続性と、前記ボックス設置スイッチの状態とを監視する中央制御システムを設けた請求項34のボックスロードインタフェース。前記ポートドアが垂直方向、及び水平方向に並進運動をしている間、前記ポートドアの重量を支持するため、前記リンク移動台に結合された流体で制御される平衡装置を更に具える請求項1のボックスロードインタフェース。固定された前記案内手段に前記リンク移動台が接触して垂直方向の運動を継続している時、水平方向の閉塞力を前記ポートドアに前記平衡装置が与えるよう構成した請求項36のボックスロードインタフェース。前記平衡装置は力変換部材によって前記ポートドアに作動できるように連結された突出できるロッドを有し固定位置に取り付けられた流体シリンダを有しており、前記ポートドアが前記ポートプレートの前記ポートプレート孔に一線になる垂直方向の最高高さに前記リンク移動台が到達した時、前記力変換部材によって前記ポートドアに閉塞力を加えるよう構成した請求項36のボックスロードインタフェース。FIMSシステムは半導体ウエハカセットを保管し、移送するのに使用する最小容積を有し、シールされ、前部が開放したボックスと、半導体処理装置のウエハ処理区域の上に設置されたキャノピとを有し、無塵の空気供給源に協働するボックス、及びキャノピ内の環境は小形の無塵空間となっている。ボックスはプラスチック材料で造られ、装置の配列の精密さに影響を及ぼし得る比較的広い公差によって特徴付けられた寸法内にあって、相互に相対的に設置される位置合わせの形態を有している。ウエハカセットによって運ばれるウエハが外部の環境に汚損されることなく、シールされたボックスに、ウエハカセットを積み込み、また取り出している間、精密なボックスの配列のための移送機構の一部として、具体化されたボックスロードインタフェースが必要である。発明の要約本発明はFIMSシステムに従って、具体化されたボックスロードインタフェースである。このボックスロードインタフェースは後退できるポートドアを具え、このポートドアは移送ボックスのボックスドアに取り付けることができると共に、移送ボックスのボックスカバーに対し接近、又は離間するようにボックスドアを動かし、それにより移送ボックスを開き、又は閉じる。ポートプレートは前面と、ポートプレート孔とを有し、ポートドアがボックスドアをボックスカバーに対し接近、又は離間するように動かす時、ポートプレート孔を通じて、ボックスドアが動くことができる。ポートプレートの横方向に位置している支持棚に摺動可能に取り付けられた摺動トレーはこの摺動トレーの頂面に設置された運動継手表面によって確立される所定の方向に移送ボックスを受け取る。摺動トレー位置決め機構は支持棚上に摺動トレーを選択的に動かし、これにより移送ボックスをポートプレートに対し接近、又は離間するように動かす。支持棚に取り付けられたボックス保持クランプ機構には3つの好適な実施例がある。位置決め機構は第1実施例のクランプ機構に作動可能に連結され、移送ボックスの底面に位置する前部クランプ手段にクランプ機構を掛合させ、これにより運動継手表面に対してボックスカバーを押圧する力を加えると共に、摺動トレーをポートプレートに向け前進させ、ボックスカバーの前部開口をポートプレートの前面に向け押圧する。位置決め機構をクランプ機構に作動するように連結し、クランプ機構を前部クランプ手段から離脱させ、これにより、運動継手表面に対する押圧力をボックスカバーから解放すると共に、摺動トレーをポートプレートから後退させて、ポートプレートの前面から離れるようにボックスカバーを引っ張る。ボックス保持クランプ機構は好適には支持棚に枢着された枢着指片を有し、摺動トレーはプッシュピンを有する。枢着指片は凹所区域を有し、摺動トレーが移送ボックスをポートプレートに向け動かす際、プッシュピンを収容する第1角度オフセットプッシュピン接触表面と第2角度オフセットプッシュピン接触表面とを上記の凹所区域が形成しており、これにより、枢着指片を第1回転方向に回転させて、枢着指片を前部クランプ手段に掛合させ、移送ボックスをポートプレートから離れるように動かし、またこれにより、枢着指片を第1回転方向の反対方向である第2回転方向に回転させて、枢着指片を前部クランプ手段から離脱させる。枢着指片はローラ軸受を有し、枢着指片が第1回転方向に回転する際、このローラ軸受は前部クランプ手段に掛合する。位置決め機構と、第2実施例、及び第3実施例のクランプ機構とを相互に固着し、これにより、摺動トレーの摺動により加わる力が無くとも、流体による制御を受けて作動するクランプ機構が前部クランプ手段に掛合し、また離脱することができる。比較的広い配列公差範囲内で、掛止め作動継手機構に整合して、この機構を作動させる2個の柔軟な掛止めキーを突出させている表面をポートプレートに設け、これ等の柔軟な掛止めキーに作動するように連結された掛止めモータ機構はこれ等の柔軟な掛止めキーを第1角度位置と、第2角度位置との間に選択的に回転させる。ボックスドア上の対応する整合手段の公差範囲を容認するように、側方に揺動するよう掛止めキーを設計し、これにより、ボックスドアに対して、適正に配列されるようにする。第1角度位置はポートドアをボックスドアに取り付ける位置であり、ポートドアとボックスドアとが相互に連結している時、第2角度位置はポートドアをボックスドアから解放する位置である。代案の実施例の2個の柔軟な掛止めキーは流体の制御の許で作動する掛止めキープルバック機構を有し、これにより、ボックスドアとポートドアとが整合して連結されている時、ポートドアに対してボックスドアを一線に確実に保持する。ポートドア掛止めキーをポートドア整合手段に嵌着して生じたこの配列を維持することにより、掛止めキーを揺動するように設計する必要を生ずる緩やかな公差範囲に起因して、ボックスドアとポートドアとの間の配列が後になってずれて分離することはあり得ない。また、ボックスロードインタフェースシステムはポートドア並進機構を具え、このポートドア並進機構はポートドアに作動するように連結され、ポートドアをポートプレート孔に向け前方向に前進させ、ポートドアをボックスドアに取り付け、次にポートドアと、取り付けられたボックスドアとをボックスカバーから離れる逆方向に、ポートプレート孔に通して後退させる。ボックスドアがボックスカバーから離れるように、ポートプレート孔を通って移動した後、ポートドア昇降機組立体はポートドア並進機構に協働して作動し、ポートプレートの前面にほぼ平行な方向にポートドアを動かす。第1実施例においては、ポートドア並進機構と、ポートドア昇降機組立体とは別個のモータ駆動組立体の連係制御を受けて作動する独立したシステムである。第2実施例においては、ポートドア並進機構とポートドア昇降機組立体とは一体機構として組み立てられている。この一体の機構は第1実施例の並進機構と、昇降機組立体とによって成し遂げたのと同じように、連続する横方向の運動をするように、ポートドアを動かすため、モータで駆動される親ねじ機構の制御を受けて作動する枢着リンク構造を用いて実施したものである。移送ボックスは離間して、堆積した配置で多数のウエハ試料を内部に保管したコンテナを保持する。このコンテナは開放した前側を有しており、この前側から試料を除去し、又は試料を挿入する。ボックスロードインタフェースはウエハ試料の位置を検出するための差動光走査組立体を具える。この走査組立体は面データ平面に平行な方向にウエハ試料を走査する。このデータ平面はウエハ試料を除去し、又は挿入する開放した前側に平行で、ウエハ試料を2等分する垂直平面として定義される。走査組立体は離間して枢着された2個の走査指片を有し、これ等指片はカセット内のウエハ試料の方向性を決定する前に、取り除かれた試料を集中させ、押し返すように作動する。ロボット組立体はウエハ試料を移送ボックスから除去し、挿入するための隣接するポートプレート孔の間に、直線移動組立体によって支持されている。この直線移動組立体はロボット組立体を支持する移動台に取り付けられたハウジング内に収容されたナット機構を有する。この移動台はポートプレート孔の間に親ねじに沿って移動し、ナット機構によって駆動される。このナット機構は親ねじナットを有し、この親ねじナットは親ねじに螺合し、ベルトプーリ装置を通じて駆動モータにより回転する。添付図面を参照する好適な実施例の次の詳細な説明により、本発明の付加的目的、及び利点を明らかにする。好適な実施例の詳細な説明図1、及び図2は組立フレーム12を有するウエハ移送システム10を示し、この組立フレームに2個のフロントプレート、又はポートプレート14を取り付ける。前部が開放している半導体ウエハキャリアボックス18と、直線移動ロボット組立体20とのための2個のほぼ同一のボックスロードインタフェースシステム16の1個を各フロントプレート14がそれぞれ支持する。直線移動ロボット組立体20はキャリアボックス18が開いた後、このキャリアボックス18内に保管されたウエハに接近するように位置している。右側のインタフェースシステム16はキャリアボックス18を支持する摺動トレー24を有する棚22と共に示されており、左側のインタフェースシステム16はキャリアボックス18、棚22、及び金属板カバー26を取り外して、部分組立ての状態で示しており、昇降機組立体28の構成部分を示している。図3A~図3Gはキャリアボックス18、及びその構成部分、及び特性の種々の図面を示す。図3Aはキャリアボックス18を示すと共に、ボックスドア30を取り外して、キャリアボックス18の内部のウエハカセット32を見えるようにしており、ウエハカセットは300mm直径の半導体ウエハを収容するように離した溝孔を有する。キャリアボックス18は凹形で、段が付いた内側縁34を有し、キャリアボックス18を閉じる時、ボックスドア30の内面36の周縁をキャリアボックス18の内側縁34に固定させる。図3B、及び3Cはそれぞれ、ロックせずにボックスドア30によって閉じたキャリアボックス18を示し、非ロック状態にあるボックスドア30の内面36を示す。図3D、及び図3Eはそれぞれ、ボックスドア30によって閉じ、ロックされたキャリアボックス18を示し、ロック状態にあるボックスドア30の内面36を示す。図3Cは完全に後退している4個のロック薄板38を示し、これ等薄板の端部タブ40はボックスドア30の内部の内側に留まっており、図3Eは完全に突出しているロック薄板38を示し、その端部タブ40はボックスドア30の頂部、及び底部の側縁から外方に突出している。図3Bはボックスドア30を非ロック状態にした時、凹形の内側縁34の最外側部に位置する溝孔42の外側に位置する端部タブ40を示し、図3Dはボックスドア30を所定位置にロックした時、溝孔42内に嵌合した端部タブ40を示している。また、図3B、及び図3Dは2個の設置ピン凹陥部44と、FIMSボックスドアのためのSEMI半導体製造装置材料協会仕様によって必要な2個のボックスロック作動機構溝孔46とを示す。図3F、及び図3Gはそれぞれ前部開口キャリアボックス18の底面48と、この底面48上のボックス前部保持部、叉は全部保持手段50とを示す。また、図3Fは中心保持部、叉は中心保持手段52を示し、この中心保持部52は摺動トレー24上の所定位置にキャリアボックス18を取り付けるためのボックス前部保持部50に代わるものである。好適なボックス18として、米国、ミネソタ州チャスカのIntegris,Inc.によって製造されているモデルF300ウエハキャリヤがある。図3Fにおいて、ボックス18はその底面48に、5個のキャリヤ検知パッド54と、2個の前進ボックス検知パッド56と、キャリヤ容量ウエハ数検知パッド58と、ボックス、又はカセット情報パッド60と、SEMI半導体製造装置材料協会のE47.11998年3月5日により必要なそれぞれ1個宛の線の前端FOEL、及び線の後端BOELの情報パッド62とを有する。図25、及び図29はボックス18の底面48上のパッド58、60、62の位置に対応する摺動トレー24上の4個の位置63を示す。図25は2個のトレー情報パッド62の1個に対応する位置63に設置されたロックアウトピン63pを示す。底面48の3個の長楕円形の内方に傾いた凹陥部は運動ピン収容部、叉は運動ピン収容手段64を形成しており、ボックス18を適正に設置した時、摺動トレー24上の対応する位置に固着された運動継手ピン66図4参照に運動ピン収容部64は整合する。運動継手ピン66はねじ付き軸部を有しているのが好適であり、このねじ付き軸部を摺動トレー24のねじ孔に掛合させ、運動継手ピン66の高さを調整するシムを使用できるようにして、ボックス18の適正な配列を容易にする。ボックス18を摺動トレー24上に適正に配列して設置した時、検知パッド54、58、及び情報パッド60、62は摺動トレー24上の対応する位置に取り付けられたスイッチに接触し、前進ボックス検知パッド56は棚22上の対応する位置に取り付けられたスイッチに接触する。図3F、及び図3Gにおいて、傾斜面72を有する突起70によって一部覆われた凹陥部68は前部保持部、又は前部クランプ部50を形成している。傾斜面72は車輪、又はローラが沿って転動する斜面を形成すると共に、トレー24はボックス18をフロントプレート14の孔74に向け摺動させて、フロントプレート14の内面78に取り付けられたポートドア76図4、図5、図8、図9、図12、及び図13参照にボックス18を整合させる。図4、図5、図6、図7、及び図7Bは摺動トレー24上に設置されたキャリヤボックス18を示し、仮想線で示した部分は摺動トレー位置決め機構88の作動を示している。特に、図4、及び図6において、摺動トレー24の底面90に、ボルト94によって、2個のU字状案内レール92を固着する。案内レール92はフロントプレート14の外面96に垂直な方向に、摺動トレー24の側縁近くに延在する。案内レール92を収容するような位置に、2個の案内軌道98を棚22にボルト締めし、トレー位置決め機構88の作動に応動して、フロントプレート14の外面96に対し、接近、及び離間する方向に、摺動トレー24は動くことができる。トレー位置決め機構88を棚22に取り付け、この機構88にトレーモータ100を設け、モータ100から継手104まで、軸102を突出し、ナット組立体108に貫通する親ねじ106を回転させるように継手104は軸102に作動するように結合する。親ねじ106は軸線110を有し、この親ねじ106は基端を末端軸受112に支持され、末端を予荷重軸受114に支持される。ナット組立体108を摺動トレー24の底面90に固着し、摺動トレー24を親ねじの軸線110に沿う方向に動かす。摺動トレー24はその底面側に開口領域120を有し、トレー底面90に平行な方向に、この開口領域120内に2個の支持部材122を突出させ、円筒ローラ軸受126を支持するプッシュピン124を支持部材122の端部に保持する。第1実施例の回動掛け止め130は枢着ブロック136の間に支持される枢着ピン134に取り付けられたクランプ指片132を有し、枢着ブロック136を棚22から直立させて、トレー24の開口領域120から突出させる。クランプ指片132は凹所区域138を有し、この凹所区域138は相互に角度的にずれた第1接触面140と、第2接触面142とを形成していると共に、円筒ローラ軸受146を取り付けるフック端144をも形成している。トレー位置決め機構88の作動に応動して、摺動トレー24が移動する際、第1接触面140、及び第2接触面142に接触するように、押しピン124を所定位置にセットして、次の作動順序に従って、それぞれクランプ部、即ちクランプ手段68をクランプ指片132のフック端144に掛合させ、またクランプ部68をフック端144から離脱させる。ボックスドア30がポートドア76に整合するよう、キャリアボックス18をフロントプレート14に対し位置決めすべき時はいつでも、トレーモータ100は親ねじ106を第1親ねじ回転方向に回転し、ナット組立体108を前進させ、これにより、摺動トレー24をフロントプレート14に向かう方向に、棚22に沿って並進運動させる。摺動トレー24のこの運動によって、ローラ軸受126を第1接触面140に接触させ、その結果、クランプ指片132を枢着ピン134の周りに回転させる。摺動トレー24がフロントプレート14に向け前進し続ける時、クランプ指片132は第1クランプ指片回転方向に連続的に回転し、フック端144は傾斜面72を転動して昇り、ボックスクランプ部68に嵌合し、ローラ軸受126は凹所区域138内に嵌合する。フック端144が完全にクランプ部68に掛合した時、ボックスドア30がポートドア76に整合し、キャリアボックス18の前側縁148図3A参照がフロントプレート14の外面96にシ-ルする関係になるように、ローラ軸受126、枢着ピン134、及びフロントプレート14を分離する距離をセットする。クランプ部68が完全に掛合することによって、キャリアボックス18を運動継手ピン66に押圧するので、ポートドア76から突出する掛止めキー150がボックスドア30のロックを解き、ボックスドア30を除去した時でも、キャリアボックス18は脱落しない。ポートドア76、及びシールされたキャリアボックス18から、ボックスドア30が分離した後、フロントプレート14からキャリアボックス18を後退させる時はいつでも、トレーモータ100によって親ねじ106を第1親ねじ回転方向の反対方向の第2親ねじ回転方向に回転し、ナット組立体108を後退させ、これにより、摺動トレー24をフロントプレート14から離れる方向に棚22に沿って並進運動させる。摺動トレー24のこの運動により、ローラ軸受126を凹所区域138の外に転動させ、第2接触面142に接触させ、この結果、クランプ指片132を枢着ピン134の周りに回転させる。摺動トレー24がフロントプレート14から後退を続ける際、クランプ指片132は第1クランプ指片回転方向の反対方向の第2クランプ指片回転方向に継続して回転し、そのフック端144は傾斜面を転動して下り、ボックスクランプ部68から分離する。クランプ部68が完全に離脱すると、運動継手ピン66に対してキャリアボックスに加わっていた押圧力を釈放し、従って、キャリアボックス18、及びその中味図4に1個の半導体ウエハ152を示すを摺動トレー24から除去することができる。第2実施例の回動掛止め153を図25~図28に示す。回動掛止め130と相違し、回動掛止め153は棚22の代わりに摺動トレー24に支持されており、摺動トレー24が案内レール92に沿って摺動する際プッシュピン124の代わりに、空気シリンダ154によって回動掛止め153を作動させる。特に図25、及び図27において、回動掛止め153は摺動トレー24から直立して延びる長方形の開方内部取付けブロック156の側壁156a、156bの間に固着された枢着ピン134′に取り付けられたクランプ指片155を有する。クランプ指片155はクランプ指片132の構造に類似する構造を有し、相違するのは凹所区域138が無いことである。クランプ指片132の構成部分に対応するクランプ指片155の構成部分には同一の符号にダッシュを付して示す。クランプ指片155は円筒ローラ軸受146′を取り付けたフック端144′と、クランプ指片155の一側から突出していて、枢着ピン134′からずれている駆動枢着ピン155dとを有する。クランプ指片155は取付けブロック156の内部空間内で回動するから、フック端144′がボックスクランプ部68に掛合し、また離脱する時、フック端144′は側壁156a、156bの頂面によって区切られた内部空間の外に上方に突出して、内部空間内に後退する。図28は完全に上方位置にあるクランプ指片155仮想線と、下方位置にあるクランプ指片実線とを示す。特に図26、及び図28において、回動掛止め153は第1駆動リンク、又は頂部駆動リンク157と、第2駆動リンク、又は底部駆動リンク158とを有する。頂部駆動リンク157は駆動枢着ピン155dに枢着された上端157uを有し、底部駆動リンク158は壁156bの内側に固着された固定枢着ピン155sに枢着された下端158lを有する。それぞれ頂部駆動リンク157の下端157l、及び底部駆動リンク158の上端158uは空気シリンダ154の突出可能なロッド154rの末端に固着された共通枢着ピン155cに枢着されている。空気シリンダ154の本体部154b内に、及びその外方に突出し得るロッド154rは摺動トレー24に固着されている。突出可能なロッド154rがその最突出位置と、最後退位置との間に移動すると、駆動枢着ピン155d、及び共通枢着ピン155cは図26、及び図28に示すそれぞれの位置の間に動く。空気シリンダの本体部154bはシリンダロッド突出ガス導入口154eiと、シリンダロッド後退ガス導入口154riとを有し、切り換え可能なガス流弁によって送給される加圧ガスをガス導管は選択的に、これ等導入口に送給し、次に行う作動順序に従って、クランプ部68をクランプ指片155のフック端144′に掛合させ、離脱させる。ボックスドア30をポートドア76に整合させるため、キャリアボックス18をフロントプレート14に位置させるべき時は、ソフトウェア制御装置によって、使用者はソレノイド弁159を作動させ、ソレノイド弁159は応動して、加圧ガスをシリンダロッド突出導入口154eiに送給し、その結果、クランプ指片155を枢着ピン134′の周りに回転させる。突出可能なロッド154rが本体部154bからの突出長さを増大する際、クランプ指片155は第1クランプ指片回転方向反時計方向に連続的に回転し、フック端144′は傾斜面72上に転動して昇り、クランプ部68内に嵌合するから、頂部リンク157と底部リンク158とは相互の間に鈍角を形成して、オーバセンタアラインメントを生じ、これによりクランプ位置での確実なロック作用が得られる図26参照。フック端144′がクランプ部68に完全に掛合する時、ボックスドア30がポートドア76に整合し、キャリアボックス18の前側縁148図3A参照がフロントプレート14の外面96にシ-ルする関係になるように、突出可能なロッド154rが完全に突出した状態での共通枢着ピン155c、枢着ピン134′、及びフロントプレート14を分離する距離をセットする。クランプ部68が完全に掛合することによって、キャリアボックス18を運動継手ピン66に押圧し、これにより、ポートドア76から突出する掛止めキー150のロックを解き、ボックスドア30を取り外した時でも、キャリアボックス18が脱落しない。次に、トレーモータ100は親ねじ106を第1親ねじ回転方向に回転して、ナット組立体108を前進させ、これにより、摺動トレー24を棚22に沿って、フロントプレート14に向かう方向に並進運動させる。ボックスドア30がポートドア76から分離し、キャリアボックス18をシ-ルした後、キャリアボックス18をフロントプレート14から後退させるべき時は、トレーモータ100は親ねじ106を第1親ねじ回転方向の反対方向である第2親ねじ回転方向に回転し、ナット組立体106を後退させ、これにより摺動トレー24を棚22に沿って、フロントプレート14から離れる方向に並進運動させる。キャリアボックス18がその最後退位置に達した後、使用者は再びソフトウェア制御装置によって、ソレノイド弁159を作動させ、ソレノイド弁159は応動して、加圧ガスをシリンダロッド後退ガス導入口154erに送給し、その結果、クランプ指片155を枢着ピン134′の周りに回転させる。突出可能なロッド154rが本体部154bからの突出長さを減少させる際、クランプ指片155は第1クランプ指片回転方向の反対方向時計方向である第2クランプ指片回転方向に連続的に回転し、それにより、クランプ指片155のフック端144′は傾斜面72を転動して下り、ボックスクランプ部68から分離する。クランプ部68の完全な掛合により、運動継手ピン66に対して、キャリアボックス18に加わる押圧力を釈放し、それにより、キャリアボックス18とその中味図4に1個の半導体ウエハ152を示すとを摺動トレー24から除去することができる。第3実施例の流体圧力で制御される底部掛止め作動機構900を図29、図30、及び図31に示す。底部掛止め作動機構900は底部掛止めキー902を第1角度位置と第2角度位置との間に回転し、キャリアボックス18の中心保持部52図3F参照を掛止めたり、掛外ししたりし、これにより、キャリアボックス18を摺動トレー24に保持したり、摺動トレー24から釈放したりする。キャリアボックスの底面48に形成された中心保持部52は溝孔を有する頂部片によって覆われる凹所区域を有し、この溝孔は十分な寸法に開口していて、一方の角度位置に挿入された掛止めキーを収容し、他方の角度位置に挿入された掛止めキーを保持する。回動掛止め153と同様、底部掛止め機構900は摺動トレー24上に支持されるが、回動掛止め153と異なり、底部掛止め作動機構900はボックスクランプ部、即ちボックスクランプ手段50に掛合するクランプ指片を有する回動掛止めを有しない。図29に示すように、底部掛止め作動機構900は摺動トレー24の内底面901の凹所区域内に嵌合している。底部掛止め作動機構900は掛止めキー回転機構904と、掛止めキー上昇下降機構906とを有する。掛止めキー回転機構904は2個の空気シリンダ908、910から成り、これ等空気シリンダは歯付きベルト916の異なる自由端に連結されたそれぞれ突出可能なロッド912、914を有する。歯付きベルト916は底部掛止めキー902を取り付けた歯付きプーリ918に掛合する。ボルト、又はその他の緊締具によって、摺動トレー24に固着された共通ハウジング920に空気シリンダ908、910を収容する。ソレノイド弁922、924によって、加圧ガスをそれぞれの空気シリンダ908、910のガス導入ポート926、927に送給し、プッシュプル動作により、これ等空気シリンダを作動させて、歯付きプーリ918を回転し、これにより、90度角度位置がずれいているのが好適な第1角度位置と第2角度位置との間に掛止め902を回転させる。図29は掛止めキー902をその開放位置掛外し位置に示す。掛止めキー上昇下降機構906は空気多角形ピストン928を具え、図30に示すように、歯付きプーリ918の補足内面形状に整合する8角形が好適な外面をピストン928が有するようにする。図29において、それぞれのソレノイド弁922、924の下に位置しているソレノイド弁930、932は導入口ハウジング938に取り付けられたそれぞれのガス導入ポート934、及びガス送出ポート936に加圧ガスを送給し、多角形ピストン928を選択的に上下動させ、これにより、掛止めキー902を上下動させる。中心制御機構349をソレノイド弁922、924、930、932の作動に連係させ、掛止めキー902が中心保持部52内に予めセットされている時、第1角度位置掛止め位置と第2角度位置掛外し位置との間に、掛止めキー902を回転させるようにし、掛止めキー902をその第1角度位置掛止め位置、叉は第2角度位置掛外し位置に回転させ、掛止めキー902を中心保持部52内に挿入するか、又は中心保持部から除去する。一層低い位置にある掛止めキー902を十分に低くセットし、キャリアボックス18を摺動トレー24上に最初に位置決めしている間のキャリアボックス18のための約10mmの側部対側部の誤配列の誤差を受け入れるだけの間隙が得られるようにする。図30は掛止めキー回転機構904の横断面図である。図30において、空気シリンダ908、910は同一の構造設計であり但し、下に説明するように1箇所だけ相違しているが、従って、以下の構造、及び構成部分の説明は空気シリンダ908のみについて説明する。空気シリンダ908は内部室940を有し、この内部室940は一端をブッシュ942により、他端を端部キャップ944により閉じている。ピストン946は突出できるロッド912の内端を押圧しており、突出できるロッド912の自由端はブッシュ942に貫通し、内部室940内のピストン946の位置によって定まる突出長さだけ、ロッド912の自由端は内部室940の外に突出している。比較的大きなばね常数を有し、ブッシュ942と、空気シリンダ908のピストン946との間に位置している復帰コイルばね948sは突出可能なロッド912を押圧しており、加圧ガスが無い時は、ロッド912を内部室940内に復帰させる。比較的弱い、即ちばね常数が小さい復帰コイルばね948wを空気シリンダ910のブッシュ942とピストン946との間に位置させ、加圧ガスが存在せず、空気シリンダ908の突出可能のロッド912が最後退位置にあって、掛止めキー902を中心保持部52から掛外している時、復帰コイルばね948wによって、歯付きベルト916の弛みを取り除く。ピストン946の凹所内に嵌着した緩衝器950はロック板956によって端部キャップ944に取り付けた調整ねじ954の端部952に当たっている。復帰ばね948sによってピストン946に加わる力に応動するロッド912の自由端の突出最小長さを調整ねじ954によって設定する。図31は掛止めキー上昇下降機構906の横断面図で、上昇位置実線、及び下降位置仮想線にある底部掛止めキー902を示している。図31では、底部掛止めキー902は軸960と、下部ブッシュ964とを有し、多角形ピストン928の長さに沿って延在していて、一部多角形になっている中心開口961内に、上部ブッシュ962によって、軸960は支持され、下部ブッシュ964はそれぞれの保持リング966、968によって所定位置に保持されている。軸960は保持リング970によって多角形ピストン928に取り付けられている。それぞれの保持リング966、968の内面に位置するエンドオブトラベルクッション974、976の間に、中心開口961内に形成された空所972内に、軸960の長さ方向に多角形ピストン928は動く。ガス導入ポート934、及びガス送出ポート936を通じて、空所972内に導入された加圧ガスにより、以下に説明するように、多角形ピストン928を動かす。多角形ピストン928の外面の凹所内に嵌着されたシ-ル978と、軸960と多角形ピストン928との間に位置しているシ-ル980とによって、多角形ピストン928の上面928u、又は下面928lにおいて、空所972内の領域を確実に気密に分離する。歯付きプーリ918とブッシュ962との間、及びガス導入ハウジング938とブッシュ964との間のシ-ル982によって、空所972を気密に確実に保持する。図29、図30、及び図31において、空気シリンダ908、910のガス導入口926、927に加圧ガスを交互に送給することによって、掛止めキー回転機構904は底部掛止めキー902を第1角度位置掛止め位置と第2角度位置掛外し位置とに回転させる。突出可能なロッド912、914は加圧ガスの送給に応動して、それぞれの空気シリンダ908、910から交互に突出し、これ等空気シリンダ内に後退し、これにより、歯付きベルト916に往復運動を与える。摺動トレー24内に固着された上部軸受組立体986、及び下部軸受組立体988内に回転できるように歯付きプーリ918を支承する。歯付きベルト916の往復運動に応動して、第1角度位置と第2角度位置とに歯付きプーリ918は回転する。軸960までの上部軸受組立体986の距離よりも軸96までの距離が一層近くなるように、下部軸受組立体988を位置させ、歯付きベルト916のための間隙を生ずるようにする。内部クランプ990と外部クランプ992とによって、上部軸受組立体986を摺動トレー24内に保持し、これにより、掛止めキー902に関連する移動可能な構成部分を摺動トレー24内に含有させる。軸960と上部ブッシュ962との間に位置する回転シ-ル994は空所972の頂端のための気密なシ-ルを形成する。軸960と下部ブッシュ964との間、及び導入口ハウジング938と歯付きプーリ918との間に位置する回転シ-ル994は空所972の底端のための気密なシ-ルを形成している。図31において、多角形ピストン928の上面928u、又は下面928lに加圧ガスを交互に送給することによって、掛止めキー上昇下降機構906は掛止めキー902を上下動させる。ソレノイド弁930、932は導入口ハウジング938のガス導入ポート934、及びガス送出ポート936に加圧ガスを送給する。導入ポート934を導入口ハウジング938内の内部通路996に連結し、加圧ガスを多角形ピストン928の下面928lに送給する。導入口ハウジング938内の下部ブッシュ964の下方の内部通路997に送出ポート936を連結し、軸960の長さ方向に沿って穿孔した孔998に内部通路997を連通させると共に、軸960に通る横孔999で終わらせ、多角形ピストン928の上面928uに加圧ガスを送給する。多角形ピストン928は加圧ガスの連続する送給に応動して、空所972内で交互に上下動し、これにより掛止めキー902はこれに対応して、上下動する。掛止めキー902の軸960は保持リング970によって、多角形ピストン928に取り付けられている。導入ポート934、及び送出936は加圧ガスを空所972に送給している時、一方は他方のための排出ポートとして作用することは当業者には明らかである。移動スイッチのセクタ制御端として使用される光学断続装置248、249に類似する形式の光学断続装置を掛止めキー回転機構904、又は掛止め上昇下降機構906に導入することができ、これにより、それぞれ掛止め角度位置、又は掛外し角度位置、又は上昇位置、又は下降位置における底部掛止めキー902を検出する。図8、及び図9はボックスロードインタフェースシステム16のそれぞれ正面図、及び側面図であり、フロントプレート14の孔74に一線になって、嵌合し得る完全上昇位置にポートドア76がある時のポートドア76とその他のシステム構成部分の空間的な関係を示している。図8では、ボックスドア30と、ポートドア76とをトレー位置決め機構88の作動によって、接触させた時、ボックスドア30の設置ピン凹陥部44図3B、及び図3D参照に整合するように、ポートドア76の前面160に2個の設置ピン162を位置決めする。ボックス存在スイッチ164を各設置ピン162の下方に随意に位置させ、ボックスドア30とポートドア76とを整合連結する時に、ボックスドア30がポートドア76に位置的に合致していることを示す電気信号が得られるようにする。2個のポッドドア掛止めキー組立体166をポートドア76内に、回転可能に位置させる。掛止めキー組立体166は前面160に貫通していて、側方に柔軟な掛止めキー150を有し、この掛止めキー150はボックスドア30内の空間的に一線になっている溝孔46図3B、及び図3D参照に嵌合し、その掛止め機構を作動させる。図10は掛止めキー組立体166の分解図であり、図11A、図11B、及び図11Cはそれぞれその一部を断面とする側面図、正面図、及び背面図である。これ等の図面において、掛止めキー組立体166は掛止めキーハウジング168を有し、掛止めキーモータ機構172図12、及び図13参照の構成部分内に、又はポートドア76内にあるその前面160の背後に位置している流体圧力で制御される掛止めキー作動機構242図33~図37参照の構成部分内に、沈み孔のボルト孔170に貫通するボルトにより取り付けられている。掛止めキーハウジング168は円筒形で、ネック部174と、一層直径が大きいベース部176とを有する。掛止めキー本体178はその一端に掛止めキー150を位置決めしており、この掛止めキー150は異なる直径の連結された円筒部180、182、184を有する軸に連結されている。円筒部184はその両端間に6角形部186を設置している。掛止めキーハウジング168は中心に位置する段付き孔188を有し、この孔に掛止めキー本体178を収容している。また掛止めキーハウジング168は6角形部186の形状に補足し合う形状で、6角形部186の長さに等しい長さの6角形部190を有する。ネック部174と円筒部180とは同一の直径であり、相互に衝合し、6角形部190の幅即ち、両側間の距離は6角形部186の幅即ち、両側間の距離より僅かに大きく、これにより、掛止めキーハウジング168内で掛止めキー本体178が側方に移動することができる。掛止めキーハウジング168内の沈み孔領域194内に嵌着したコイルばね192と、円筒部184の環状凹所の周りに嵌着したクリップリング196とによって、掛止めキー組立体166を合体して、単一ユニットとして保持する。掛止めキーハウジング168、及び掛止めキー本体178にはそれぞれ補足し合う6角形部190、186を設け、両者間で相互に回転するのを防止する。両方の掛止めキー組立体166は第1角度位置と、第2角度位置との間に回転し、ボックスドア30を開き、また閉じる。6角形部190、186の幅は僅かに異なり、融通性のある掛止めキー168を形成しており、側方に若干揺動でき、ボックスドア30の対応する溝孔46の公差の範囲を受け入れることができ、これによりボックスドアに対し適正に配列される。再び、図9において、ボックスドア30に整合し、連結する状態にポートドア76を示し、掛止めキー150はボックスドアの溝孔46内の取付け位置に戻っている。各掛止めキーハウジング168はそのネック部174に、軸受210を支持しており、また、軸受210はポートドア76の内面212に支持されている。一旦、ボックスドア30のロックを外すと、掛止めキー150はボックスドアの溝孔46内に留まり、前部ポートドア76はボックスドア30を保持したまま、キャリアボックス18から離れて移動する。ボックスドア30は掛止めキー150のみで、ポートドア76に支持されている。ボックスドアの溝孔46の寸法の公差が厳密でないこと、及び揺動を許す掛止めキー150の設計によって、ボックスドア30は自分自身の重量の作用を受け易くなり、ポートドア76の前面160に対して、滑り易くなる。ボックスドア30とポートプレート14との間の最初の配列がこのように変化することによって、ボックスドア30を再設定する時、キャリアボックス18の凹形で段が付いた内側縁34内に、ボックスドア30の内面36を嵌合させるのを困難にする。ボックスドア30がポートドア76との最初の相互の配列から滑って外れるのを防止するため、図32、及び図34に示すように、代案の実施例の掛止めキー組立体166は掛止めキープルバック組立体199を有する。掛止めキープルバック組立体199はポートドア76の前面160に対して、緊密な関係になるようボックスドア30を引張り、これ等の部分の最初の相互の配列関係を保持する。6角形部186、190を介して、各掛止めキー150は掛止めキーハウジング168内に回転しないように取り付けられ、これにより、掛止めキー150は前に述べた揺動が可能となり、ボックスドアの溝孔46の公差の範囲を受け入れることができる。掛止めキー本体178の円筒部184と、掛止めキーハウジング168の中心にある段付き孔188とを変更して、プルバック組立体199のプルバック機能を導入するピストン200を収容し得るようにする。図32、及び図34において、環状シ-ル201によって取り巻かれたピストン200をねじ、又はその他適切な取付け方法により、掛止めキー本体178′に取り付ける。ピストン200はハウジング168′内で摺動可能であり、掛止めキー本体178′の縦軸線178a′に沿うどちらかの方向に掛止めキー150を動かす。上部ブッシュ202aと、下部ブッシュ202bとの間に形成され、シ-ル203a、及び203bによって気密にシ-ルされた駆動室202に供給される空気のような加圧ガスによって、ピストン200を駆動する。ガス通路205aを有する供給ハウジング205に連結されたガス供給管204を通じて、加圧ガス供給源図示せずから、加圧ガスを駆動室202に供給する。通路205aは掛止めキー本体178′の交差ポート206a、206bに連通しており、この掛止めキー本体178′はハウジング168′に貫通し、下部ブッシュ202b、及びシ-ル203bを通して、供給ハウジング205内に突出している。ポート206aは掛止めキー本体178′の縦軸線に沿って形成された孔であり、ポート206bは横方向に、交差ポート206aに達するように、掛止めキー本体178′に形成された孔である。ポート206bは駆動室202内に開口しており、掛止めキー150がボックスドアの溝孔46内のその取付け位置にあるとき、ポート206bはピストン200の表面に作用する加圧ガスを供給し、ポートドア76に対し、ボックスドア30を緊密な関係にするよう、ボックスドア30をポートドア76の前面160に向け引っ張る方向に、ピストン200を駆動する。ピストン200の反対側に復帰室208を設け、この復帰室に掛止めキー本体178′の周りに、復帰コイルばね209を位置させて、ピストン200を押圧し、これにより、掛止めキー150を原位置に突出させ、ボックスドア30を釈放できるようにする。作動に当たり、各掛止めキー150を回転させて、ボックスドア30のロックを解いた後、通路205、及びガス導入ポート206a、206bを通じて、加圧ガスを駆動室202に供給する。加圧ガスはピストン200の表面に作用し、ピストン200を復帰ばね209の作用に抗して動かし、掛止めキー150を後退させ、これにより、ボックスドア30を引っ張って、ポートドア76に堅く掛合させる。以下に説明するポートドア並進機構の2つの実施例のうちの一方の実施例によるポートドア並進機構により、ボックスドア30と共にポートドア76をキャリアボックス18から離すように動かし、キャリアボックス18を開く。キャリアボックス18を閉じるため、ボックスドア30を再設置する用意ができた時、ポートドア並進機構はキャリアボックス18、及びそれに配列されているボックスドア30に向け、ポートドア76を動かす。ボックスドアの溝孔46内に挿入された各掛止めキーは回転して、キャリアボックス18に接しているボックスドア30をロックし、次に、ガス導入ポート206a、及び206b、及び通路205を通じて、駆動室202から加圧ガスを解放する。加圧ガスの解放に応動して、復帰ばね209は作用し、ピストン200の反対側の面を押圧し、掛止めキー150をその原突出位置に復帰させる。次に、ポートドア並進機構はボックスドア30から離れるようにポートドア76を後退させ、これにより、掛止めキー150をボックスドアの溝孔46の外に引き出し、閉じたキャリアボックス18からポートドア76を完全に分離する。揺動の設計の要旨が無いように導入された掛止めキー組立体にも、掛止めキープルバック組立体199を有利に使用し得ることは当業者には明らかである。図12、及び図13は掛止めキーモータ機構172を示し、この機構は掛止めキー150を第1角度位置と第2角度位置との間に回転し、キャリアボックス18のボックスドア30をロックし、またロックを外す。図12、及び図13において、ねじ付きボルト孔170に掛合するボルト216によって1個の掛止めキーハウジング168のベース部176をマスタディスク部材214に固着し、ねじ付きボルト孔170に掛合するボルト220によって他方の掛止めキーハウジング168のベース部176を副ディスク部材218に固着する。ディスク部材214、218、従って、これ等の対応する掛止めキー150はそれぞれの軸線222、224の周りに回転するように取り付けられている。マスタディスク部材214はウオーム歯228を有するウオーム歯車部226を有し、一端をモータ232によって駆動され、他端を軸受け234によって支持されるウオーム歯車軸230はウオーム歯228に噛合して、ディスク部材214を動かし、これにより、その対応する掛止めキー150を第1角度位置と、第2角度位置との間に軸線222の周りに動かす。モータ232の作動は第1角度位置と、第2角度位置との間に90°の変位、即ちずれが生ずるように制御される。長さが調整できる細長い継手部材、又はロッド部材236は第1ロッド枢着軸線238の周りに回動できるよう、その基端をディスク部材214に取り付けられ、第2ロッド枢着軸線240の周りに回動できるよう、その末端をディスク部材218に取り付けられている。ロッド部材236は球状継手236aと、ターンバックル部236bとを有し、球状継手236aとターンバックル部236bの両端部はロックナット236cによって連結され、回転調整を行った後、ロックナットはロッド部材236の長さを固定する。ディスク部材218はディスク部材214の運動に従動し、従って、その対応する掛止めキー150を軸線224の周りに、第1角度位置と第2角度位置との間に動かす。球状継手236aは分解することなく、ターンバックル部236bを回転することによって、ロッド部材236の長さの調整を容易にする。しかし、そうでなければ球状継手は本発明の実施に必須のものでない。図33~図37は流体圧力で制御される掛止めキー作動機構242を示し、この機構は掛止めキーモータ機構172に代わるもので、掛止めキープルバック組立体199に使用するように導入して示す。モータ機構172が行ったように、作動機構242は掛止めキー150を第1角度位置と、第2角度位置との間に回転し、キャリアボックス18のボックスドア30をロックし、またロックを外す。図33~図37において、ねじ付きボルト孔170に契合するボルト216によって、一方の掛止めキーハウジング168′のベース部176をディスク部材214に固着し、ねじ付きボルト孔170に掛合するボルト220によって、他方の掛止めキーハウジング168のベース部176をディスク部材218に固着する。ディスク部材214、及び218、従って、これ等の対応する掛止めキー150をそれぞれの軸線222、224の周りに回転するように取り付ける。各ディスク部材214、218はレバーアームとして機能し、継手端243と、突出羽根244を有する反対端とを有する。継手端243はシリンダ取付けブロック245のための枢着部となり、ブロック245は空気シリンダ247の突出できるロッド246の末端に連結されている。ポートドア76に取り付けられ、角度的に90度、変位した、即ち、ずれたそれぞれU字状の透過光断続装置248、249のエミッタ脚と、センサ脚との間に動くように、羽根244は各ディスク部材214、218から突出する。光断続装置248、249のいずれかに羽根244が存在することによって、これ等装置を移動スイッチのセクタ制御端として機能させ、掛止めキー150のどちらが第1角度位置、又は第2角度位置にあるかを表示する。第1角度位置と第2角度位置との間の各突出可能なロッド246の各延長の長さはポートドア76に位置するハードストップブロック図示せずによって設定され、ディスク部材の角度移動の範囲を限定する。デルリンDelrin商標名、又はその他適切な材料で造った緩衝器をディスク部材214、218に固着する。突出可能なロッド246の移動の程度を調整するように、緩衝器の厚さを選択された厚さにすることができる。従って、2個の角度位置間にバングバング制御装置、即ちオンオフ制御装置として作用し、終端検出を使用しているキー掛止め機構を各空気シリンダ247は制御している。突出可能なロッド246はディスク部材214、218を動かし、それにより、その対応する掛止めキー150をそれぞれの軸線222、224の周りに、第1角度位置と第2角度位置との間に回転させる。各突出可能のロッド246の突出位置、及び突出長さは第1角度位置と、第2角度位置との間の90度の変位、即ち、ずれを生ずる。特に、図33において、中央制御システム349図18参照によって発生する掛止めキー位置指令に応動して、空気圧制御システム600は加圧ガスを各空気シリンダ247に選択的に送給する。光遮断装置248、249の対応する1個に羽根244が存在することによって、各掛止めキー150の位置についての初期状態情報を中央制御システム349に提供する。圧力制御システム600はガス供給管を有し、空気シリンダ247の作動を制御する2個の送出ポートを有するソレノイド弁606の導入ポート604と、掛止めキープルバック機構199の作動を制御する単一の送出ポートを有するソレノイド弁610の導入ポート608とに、上記のガス供給管は加圧ガス供給源図示せずから加圧ガスを送給する。ソレノイド弁606は送出ポート620、622を有し、これ等送出ポートは別個の導管を通じて、加圧ガスを流体流分割器626の導入ポート624、及び流体流分割器630の導入ポート628にそれぞれ送給する。流体流分割器626は2個の送出ポートを有し、各送出ポートは別個の導管を通じて、異なる1個の空気シリンダ247のシリンダロッド突出導入口632に連結する。同様に、流体流分割器630は2個の送出ポートを有し、各送出ポートは別個の導管を通じて、異なる1個の空気シリンダ247のシリンダロッド後退導入口634に連結する。中央制御システム349によって、電気導線636に提供された指令信号は導入ポート604から送出ポート620、622の一方への加圧ガスの流路を選択的に制御し、突出可能のロッド246を突出させ、又は後退させ、これにより、掛止めキー150をその第1角度位置と、第2角度位置との間に回転させる。流量弁606はそれぞれ送出ポート620、622によって生ずるガス流路に対応するガス排出ポート638、640を有し、これ等排出ポートに導管を連結し、包囲された無塵環境のハウジングから遠ざけるようにして、排出ガスを放出する。ソレノイド弁610は送出ポート650を有し、この送出ポート650は流体流分割器654の導入ポート652に加圧ガスを送給する。流体流分割器654は2個の送出ポートを有し、異なる1個の掛止めキープルバック組立体199のガス供給管204に別個の導管を通じて、各送出ポートは連結している。電気導線658に中央制御システム349によって提供される指令信号は導入ポート608からの加圧ガスの流れを送出ポート650に送給し、開いているボックスドア30の溝孔に嵌着している掛止め150、及び開いているボックスドア30を後退させ、ボックスドア30とポートドア76とを確実に整合するように連結する。流量弁610は送出ポート650によって生ずるガス流路に対応するガス排出ポート660を有し、このガス排出ポートに導管を連結して、包囲された無塵環境のハウジングから遠ざけるように、排出ガスを放出する。図8、図9、及び図12は昇降組立体28を作動可能に連結されたポートドア移動台機構252に取り付けられたポートドア並進機構250を示す。ポートドア76は案内軌道254を有し、この案内軌道はポートドア移動台機構上の案内レール256に沿って摺動するから、ポートドア76が孔74に一線になっている時、フロントプレート14の内面78に対し接近、又は離間するようにポートドア76を動かすことができる。ポートドア76は掛止めキーモータ機構172を収容する上部長方形部258と、ポートドア並進機構250を収容する下部長方形部260とを有する。ポートドア76の上部258は表面部264を画成する高さを有する段付き領域262を有し、この表面部264が孔74内に嵌着して、掛止めキー150をボックスドア30の溝孔46に整合させた時、この段付き領域によって、ポートドア76がフロントプレート14の内面78に対してシ-ルされた連結部を形成するようにする。スピンドル272に連結されたモータ270と、一端をプーリ276に連結され、他端を予荷重軸受278に支持された親ねじ274とをポートドア76の下部260は支持する。スピンドル272をプーリ276に連結するベルト280によって、親ねじ274を回転させ、ナット組立体282を駆動し、親ねじの回転方向に応じて、内面78に対し、接近、又は離間するように、案内レール256に沿って、ポートドア76を摺動させる。表面部264は孔74に嵌合する寸法なので、昇降組立体28がポートドア移動台機構252をその最上位置に動かしてしまうまでは、モータ270は作動しない。ポートドア並進機構250がポートドア76をポートプレート14の内面78から完全に離れるように動かした後、昇降組立体28はポートドア移動台機構252をその最下位置に動かす。図13、図14、及び図15はポートドア76の頂部側に近い内部の凹所内に取り付けられた差動透過光走査組立体290のそれぞれ、背面図、平面図、及び側面図である。昇降組立体28に連動して作動する走査組立体290は2個の走査指片292l、292rを有し、前者の走査指片292lは基端300lで指片枢着軸線298lの周りに、軸受296l内で回動するように取り付けられた指片軸294lを有し、後者の走査指片292rは基端300rで指片枢着軸線298rの周りに、軸受296r内で回動するように取り付けられた指片軸294rを有する。走査指片292lは末端309lにおいて、一方が他方の頂部に位置している光センサ306a、及び308aを支持している。走査指片292rは末端309rにおいて、一方が他方の頂部に位置している光エミッタ306b、及び308bを支持している。光センサ306aと光エミッタ306bとの間の光伝搬路310、及び光センサ308aと光エミッタ308bとの間の光伝搬路312はウエハ152の主要表面に垂直な方向に同一平面上にある。この平面内で、光伝搬路310、312は点314図17参照で交差している。ポートドア76内に取り付けられた走査モータ320は指片枢着軸線298lと298rとの間の等しい距離の位置に設定された回転軸線324を有する中心軸線322を具える。中心軸線322はディスク部材326を支持しており、このディスク部材には相互に角度的に離間された2個の固定ピン328、330を取り付けており、以下に述べる機能を遂行させる。ロッド部材322lはロッド基端枢着軸線334lの周りに回動するようディスク部材326上のピン328に基端を取り付け、ロッド末端枢着軸線338lの周りに回動するよう指片軸294lの継手凹所取付け部336lに末端を取り付けている。ロッド部材332rはロッド基端枢着軸線334rの周りに回動するようディスク部材326上のピン330に基端を取り付け、ロッド末端枢着軸線338rの周りに回動するよう指片軸294rの継手凹所取付け部336rに末端を取り付けている。走査モータ320は±45°の往復運動を中心軸322に与え、ピン328、330をディスク部材326上で角度的に離間し、走査指片292l、及び292rを完全突出位置図14に実線で示すと、完全後退位置図14に仮想線で示すとの間に回動させる。従って、走査指片292l、及び292rはそのそれぞれの指片枢着軸線298l、及び292rの周りに、完全突出位置と、完全後退位置との間に90°移動する。走査指片292l、及び292rの突出、後退は流体シリンダの使用によっても行えることは当業者には明らかである。図14は完全突出位置にある走査指片292l、及び292rのそれぞれの末端309l、及び309rはウエハカセット32内に保管されたウエハ152を跨いでおり、光伝搬路110、112は走査される各ウエハの弦に交差することを示している。走査指片が完全に突出した時、センサ306a、及び308a、及びエミッタ306b、及び308bはウエハキャリアボックス18が占める領域の内側に設置され、相互に交差する2個の光伝搬路310、312を形成するようにこれ等センサ、及びエミッタは配列されている。1個、又は両方の光伝搬路310、312に交差するように配置されたウエハ152が存在していると、1個、又は両方のエミッタ306b、及び308bから伝搬する光がその対応するセンサ306a、及び308aに到達するのを遮断する。従って、1個、又は両方の光伝搬路の遮断によって情報を提供し、ウエハのピックアップのためのロボット組立体20の位置決めのため、又はウエハ152がウエハカセット32の溝孔内にあるか、無いか、2個のウエハ152がウエハカセット32の同一の溝孔を占領していないか、又はウエハ152がウエハカセット32の2個の溝孔を占領していないか即ち交差溝孔位置にないかを決定するために、この情報を使用することができる。光ビームセンサ306a、308a、及びエミッタ306b、308bの取付け形態、及び作動は特に図16A、及び図16Bを参照して次に説明する。図16Aはそれぞれの走査指片292l、292rへのセンサ308a、エミッタ308bの設置のダイアグラムを非常に拡大して詳細に示し、図16Bはそれぞれの走査指片292l、292rへのセンサ306a、エミッタ306bの設置ダイアグラムを非常に拡大して詳細に示す。図16A、及び図16Bにおいて、僅かに上方に傾斜した取付け面区域のそれぞれの走査指片292l、292r内にセンサ306a、及びエミッタ306bを取り付け、走査指片292l、292rの頂面の平面に対し、0.75°傾いた直線光ビーム路310を生ぜしめる。センサ308a、及びエミッタ308bを僅かに下方に傾斜した取付け面区域のそれぞれ走査指片292l、292r内に取り付け、走査指片292l、292rの頂面の平面に対し-0.75°傾いた直線光ビーム路312を生ぜしめる。図17は交差する光ビーム路310、312に対する摺動トレー24上へのウエハカセット32の設置状態の前面図を示すダイアグラムである。ビーム路310、312は垂直平面内に同一平面であり、走査指片292lと、292rとの間の距離の中心における点314で、交差するように反対方向に角度的に傾斜している。また、図17はウエハカセット32内にウエハ152の適正な位置合わせを示す位置で、ウエハカセット32の上方に位置している半導体ウエハ152を仮想線で示している。光ビーム路は角度的に傾斜しており、従って、特に上昇した位置にあって、ウエハカセットの溝孔に適正に位置合わせされた単一のウエハ152は等しく両方のビームを遮断する。図15に示し、以下に一層詳細に説明するように、走査組立体290はポートドア移動台344を動かす昇降組立体上に支持されており、ポートドア移動台344の垂直位置は光学位置エンコーダ342によって測定される。ポートドア移動台344の移動によって、ウエハカセット32の内容物の連続的な走査が行われる。次の特定の昇降機位置を過ぎて、昇降移動台が移動する際、センサ306a、308bはウエハの厚さに等しい昇降機の移動量に関する等しい絶対値の出力信号を発生する。ウエハ152が溝孔に合致した時、光ビーム路310、312についての対応するセンサ、及びエミッタによって、この同一のウエハ厚さは測定される。この信号の絶対値は変化するが、ポートドア移動台344が次の特定の昇降機位置に移動する際、信号間の差は変化しない。交差溝孔位置におけるウエハ152は特定の昇降機位置について、唯1個のビームを遮断し、これにより、センサ306a、308bに異なる絶対値の出力信号を発生させる。入射光線の存在を示すこのセンサの出力は開放溝孔を表しており、従って、ウエハ32の水平傾斜角の方向を表している。差動光走査組立体290の共通モード除去性質は機械的な振動によって生ずる信号摂動を除去し、正確な個々のウエハ厚さの測定値を提供する。同一の溝孔を占領している2個のウエハ152は特定の昇降機位置に関する両方の光ビーム310、312を遮断する。しかし、ポートドア移動台344が次の特定の昇降機位置まで移動する際、信号の絶対値、及び信号間の差はポートドア移動台344の名目上の垂直移動よりも一層長くにわたり、変化しない。連続的な信号の遮断は溝孔内の称呼のウエハ厚さより一層大きく表示し、これにより溝孔を2個のウエハが占領していることを表示する。上記の交差したビーム路を検出する構成は本願の譲受人に譲渡された1998年8月27日に出願された米国特許出願第09/141890号に記載されている。光ビームセンサ346a、及びエミッタ346bは上述の同一平面の光路310、312の方向に対して横方向好ましくは垂直な方向の光伝搬路348を形成する。ウエハ152がキャリアボックス18の前部開口内の溝孔から突出するように脱落してしまっているかどうかを検出するため、ウエハキャリアボックス18が占めている領域の外側であって、フロントプレート14の外面96の孔74の頂部側、及び底部側に、センサ346a、及びエミッタ346bが位置している。キャリアボックス18の外に落ちる脱落したウエハ152は光伝搬路248を遮断して、信号を発生するが、この信号はポートドア移動台344が更に下降できないようにし、これにより、ポートドア76が下降する際、突出するウエハ152が走査指片292l、及び292rによって切り取られるのを防止する。図18に示すように、センサ306a、308b、346aの出力信号、及び位置エンコーダ342の出力信号は中央制御システム349によって処理され、上述のウエハが正しい位置にあるか否かを決定する。上述の好適な実施例のいずれかのボックス保持クランプ機構については、ボックスロードインタフェースシステム16は摺動トレー24上にキャリアボックスが存在していること、及びその配列情報を示す計測器を具えている。図1、図6、図19、図25、及び図29では、光ビームセンサ390a図19、図25、図29参照、及び光ビームエミッタ390b図1、図6、及び図19参照はフロントプレート14の外面96、及び摺動トレー24のキャリアボックス取付け面に対して横方向の光伝搬路392図19参照を形成している。ウエハキャリアボックス18が摺動トレー24上に設置された時、このウエハキャリアボックス18によって占められた領域に通過する伝搬路392の方向が確立される位置において、フロントプレート14の外面96の孔74の上方に、摺動トレー24にセンサ390a、及びエミッタ390bは取り付けられる。ウエハキャリアボックス18によって同時に押圧される5個のキャリアボックス設置スイッチ394図25、及び図29参照は運動継手ピン66上のその適正な合致位置にあることを表示する。中央制御システム349は光伝搬路392の連続性と、設置スイッチ394の状態とを監視する。中央制御システム349によって、インジケータ光396図1、及び図6参照の照射を行わせ、キャリアボックス18の存在を表示し、4個のインジケータ光398図1、及び図6参照の種々の組合せによって、摺動アレー24上のキャリアボックス18の誤配列の状態を表示する。図1、図8、図9、図12、及び図15はポートドア76を支持する昇降組立体28を示し、図12はポートドア76を最上昇位置実線にて示す350と、最下降位置輪郭を仮想線に示す352とを示す。昇降組立体28は側部駆動親ねじ機構354を具え、この機構354は縦軸線362の周りに回転するよう上端を予荷重端部軸受360に支持され、平滑に回転する高トルク直流モータ358によって下端を駆動される親ねじ356を有する。このモータとしては、市販されていて、この分野で知られている多数のサーボモータがあり、この目的に適している。モータ358は入力制御器に連通しており、この入力制御器によって制御され、この入力制御器は入力指令電圧信号を発生する。この入力制御器は本発明のインタフェースシステムの作動を指示する中央制御システムの一部を形成する。モータ358に送出された入力指令信号はモータ駆動出力軸364の回転に変換される。モータ358は電圧入力信号の極性を反映する2方向回転出力を発生する。このモータ駆動出力軸364は親ねじ356に作動可能に連結されている。モータ駆動出力軸364の回転によって、親ねじ356の対応する回転を生ずる。親ねじナット組立体366は親ねじ356に螺合していて、ポートドア移動台344に作動可能に連結されており、ポートドア移動台344はポートドア76の側面、及び親ねじ356に連結されている。従って、親ねじ356の回転は親ねじ356の長さ方向に沿う親ねじナット組立体366の直線移動となる。このことはポートドア移動台344の直線移動となり、ポートドア76を上昇させ、又は下降させ、ウエハ走査動作を遂行する。光学位置エンコーダ342は親ねじナット組立体366の位置を連続的に監視し、その位置に関してフィードバックを行うから、これにより、ポートドア76に取り付けられた走査指片292l、292rに対するウエハカセット32内に保管されたウエハ152の位置をフィードバックする。エンコーダ移動台372を親ねじナット組立体366に対し固着した関係に取付け、従って、エンコーダ移動台372は親ねじナット組立体366と共に移動する。エンコーダ移動台372は光学位置エンコーダ342の移動可能な構成部分のためのハウジングを提供する。親ねじ356の回転によって生ずるエンコーダ移動台372の移動の結果として、走査組立体290は移動する。親ねじナット組立体366の位置を監視する代案の機構としては、Maxonによって製造されているモデル13754035mm、又はモデル14887740mmのMaxonモータに使用するMaxonの名で市販されているモデル110514のエンコーダのような対をなす回転エンコーダを親ねじナット組立体の端部の一方に取り付けることによって達成される。縦軸線362に平行に配置された高精度の低摩擦直線軸受組立体378によって、固定垂直支持板374に、ポートプレート76、及びエンコーダ移動台372を摺動可能に取り付ける。直線軸受組立体378は親ねじナット組立体366の移動長さの全長にわたり延在しているのが好適であり、これにより、エンコーダ移動台372の移動路の全長に沿って、確実にエンコーダ移動台372を案内する。親ねじナット組立体366、及びエンコーダ移動台372の移動を連続的に監視し、この移動に関しフィードバックを行う種々の形式の位置エンコーダ、及び装置はこの分野で既知であり、この目的に適するものである。光学エンコーダ組立体は一般に好適であり、エンコーダ移動台372の位置を連続的に監視するためモアレMoire縞パターンの原理を使用して作用するエンコーダは特に好適である。光学位置エンコーダ342は読取りヘッド取付け部材380を有し、一連の発光ダイオードをこの取付け部材に取り付けている。基準グレーティングを読取りヘッド取付け部材380に剛固に取り付け、固定グレーティング382をエンコーダ移動台372の移動長さの全長に沿って延在させる。モアレ縞パターンの原理を使用して作動する固定グレーティング382、及びヘッド取付け部材380の構造設計、及び機能は既知であり、本願人に譲渡された米国特許第5382806号に記載されている。次に、ウエハ移送システム10の作動順序を要約して説明する。操作者、又はロボット機構が摺動トレー24上にキャリヤボックス18を設置し、SEMI仕様によって必要な全ての11個のセンサによって、運動継手ピン66上にキャリアボックス18が適正に位置合わせしていることをチェックする。操作者、又はプログラム制御装置は摺動トレー24によって、比較的迅速にフロントプレート14の孔74に向けキャリアボックス18を動かす。ボックスドア30がボックス30の溝孔46に対する掛止めキー150の貫入点に到達する時、制御装置によって、トレーモータ100の運動を一定速度まで遅くする。この制御器はトレーモータ電流を検知することにより、又は記憶された摺動トレー位置プロファイルに追従することによって、障害物、又は公差の変化外のプラスチック構成部分を検出し、ボックス30が掛止めキー150に適正に掛合するのを阻止する条件下で摺動トレー24をオーバパワーにするのを防止する力フィードバックシステムに具体化されている。このモータ電流の検知は摺動トレー24が移動した距離に対する時間についての電流の量を検知することを伴う。トレー位置プロファイルの追従はトレーモータ100に設置された回転位置決めエンコーダから生ずる現在位置を記憶された位置プロファイルに比較することを伴う。この力フィードバックシステムは掛合の妥当な帯域について、キャリアボックスに加わる弱い力の基準を確立する。このようにして、キャリアボックスに加わる力が超過した時、トレーモータ100を停止させ、これにより、掛止めキー150による貫入が行われる前に、摺動トレー24の移動方向の反転を可能にさせる。ボックスドア30がポートドア76に整合し、前側縁148がフロントプレート14の孔74の斜めの側縁に対しシ-ルを形成した時、クランプ指片132はキャリアボックス18を摺動トレー24に取り付けるのを完了しており、掛止めキーモータ機構172は掛止めキー150を回転し、ドア30をポートドア76にロックする。ポートドア並進機構250はボックスドア30、及びポートドア76をフロントプレート14の内面を越えて引っ張る。ここに存在するセンサ346aはいずれのウエハ152がウエハカセット32から突出しているかを決定する。走査指片292l、292rの指片枢着軸線298l、298rの近くに位置するここに存在する第2センサ347aはウエハ52の過剰な突出を検知し、昇降組立体28による更なる下方への運動を防止する。昇降組立体28はポートドア移動台344、従って、ポートドア76を約3cm下降させ、走査指片292l、292rはその完全に突出した位置まで、ポートドア76の外に飛び出る。次に、昇降組立体28はポートドア移動台344を下降させ、ウエハカセット32の内容物を走査する。少なくとも1個のウエハ152がウエハカセット32から突出していることをここに存在するセンサ346aが示せば、走査指片292l、292rは各ウエハ位置で後退し、外方に飛び出して、突出しているウエハ152をウエハカセット32の溝孔内に戻す。障害物がも早、存在しないことをセンサ346aが示すまで、走査指片292l、292rは各ウエハ位置について、上記の飛び出すフリッピングプロセスを繰り返す。走査の完了に続いて、走査指片292l、292rは後退し、昇降組立体28はポートドア移動台344をその最下位置に動かし、ロボット組立体20によるウエハの処理が行われる際、ポートドア76は停止したままである。ウエハの処理が完了すると、昇降組立体28はポートドア76をその最上位置に復帰させ、ボックスドア30をポートドア76から分離し、キャリアボックス18をフロントプレート14から離れるように後退させる。図2、及び図19~図24において、ロボット組立体20は直線移動ロボット組立体400に沿って位置することができる。直線移動組立体400はステージベース406に取り付けられた枕ブロック404によって、両端を支持された固定親ねじ402を有する。各枕ブロック404はステージベース406にボルト締めされ、叉はその他の方法で取り付けられている。モータ被動回転ナット機構408はロボット組立体20に取り付けられ、ロボット組立体20を並んだフロントプレート14の孔74の間に、親ねじ402に沿って動かす。ナット機構408は移動台424に取り付けられたハウジング422内に収容されている。移動台424はロボット組立体20を支持するロボット取付け板425に連結されており、ロボット組立体20は移動台424と共に、孔74と孔74との間に親ねじ402に沿って移動する。移動台424は上部軌道426と、下部軌道428とを有し、これ等軌道はステージベースにボルト締めされた、叉はその他の方法で取り付けられた上部レール430と下部レール432とに沿って移動する。ステージベース406は各端部にボルト締めされた、叉はその他の方法で取り付けられた配列緊締具434によって、フロントプレート14に動かないように取り付けられている。ハウジング422は金属板カバー436を有し、ナット機構408に汚れや塵埃が堆積しないように防止すると共に、ナット機構408が親ねじに沿って移動する際、衣類、又はその他のものがナット機構408に巻き込まれ怪我をするのを防止する安全カバーとして働くようにする。ナット機構408は金属板カバー438、440によって更に保護されており、これ等カバーはねじ441によって、ステージベース406に連結されており、移動台424の溝孔442内に突出しており、ねじ444によって取り付けられている。金属板カバー438、440の端部は移動台424内に設置されたプラスチックグライド446に協働して金属板カバー438、440が曲がるのを防止すると共に、いかなる誤配列をも吸収して、これ等の直線性を保持する。またグライド446は移動台424と金属板カバー438、440との間の金属対金属接触を防止し、汚れを防止する。ナット機構408はベルト452を介してモータ450によって回転する親ねじナット448を有する。モータ450をモータ取付け部454によって、ハウジング422に取り付ける。モータ450は駆動軸456を有し、円錐クランプ460によってこの駆動軸に取り付けたモータプーリ458を駆動軸456は回転させる。ベルト452を親ねじナットプーリ642に、駆動できるように連結し、親ねじナット448を回転させる。インナレース軸受クランプ466、及びアウタレース軸受クランプ468を介して、ハウジング422に連結された軸受464内で、親ねじナットプーリ462を回転させる。親ねじナット448の一端をねじにより、親ねじナットプーリ462に連結し、ロックナット470によって、親ねじナット448が親ねじナットプーリ内で回転するのを防止する。親ねじナット448は一端に弾性指片472を有し、この弾性指片472にはめねじが形成されており、この弾性指片472のめねじを親ねじ402に螺合させるため、親ねじナットスリーブによって、弾性指片472は強制的に内方に押圧される。親ねじナットスリーブ474と、親ねじナットプーリ462との間に設置された波形ばね476によって、親ねじナットスリーブ474を親ねじナット448のこの指片の端部に向け押圧する。親ねじナットスリーブ448上の内部カム面478は弾性指片472の拡大端480に作用して、これ等指片を強制的に内方へ押圧して、親ねじ402に確実に螺合させる。移動台424の下に設置され、トレー484によって支持される電気ケーブル482からの電力をモータ450は受ける。ケーブル482は関節軌道486内に支持されて、その一端は電源488に接続され、反対端は移動台424上の動力ハウジング490に接続されており、ケーブル482は移動台424と共に移動することができる。親ねじナット448を上述のように回転することによって、ロボット組立体400を一位置から他方の位置に動かし、移動台424が最終位置に達するまで、親ねじ402に沿って、移動台424を前進させる。直線エンコーダスケール500は移動台424に連結されていて、移動台と共に移動し、移動台424の位置を表示する。親ねじ402の各端部において、端部止め502をステージベース406に連結し、移動台424を適正な位置に停止させる。ボックスロードインタフェースシステム16によってフロントプレート14に整合したウエハキャリアボックス18からウエハを回収し、復帰させるようロボット組立体20を位置させる。ロボット組立体20の正確な配列を確実にするため、フロントプレート14はステージベース406のための取付け孔410を有し、この取付け孔410は垂直方向、及び中心対中心の配列を確実にするため、ポートプレート76に対するロボット組立体20を容易に基準定めするための位置合わせ点を構成している。システムの拡張において設けた付加的サブシステムが予め割り当てられた位置合わせ点に自動的に配列するから、この構成は有利である。図38~図45は4つ棒移動台組立体510を示し、この組立体はポートドア並進機構250とポートドア移動台機構252の機能を組み合わせる一体構造の代案の実施例である。両方の実施例に共通な構成部分に同一の符号を付す。図38~図44において、昇降組立体28はポートドア76を上下動し、フロントプレート14の孔74に対し接近し、離間するようにポートドア76を動かすため、4つ棒リンク機構512に協働する側部駆動親ねじ機構354を使用するのが好適である。リンク機構512はポートドア76を親ねじ機構354に結合する。リンク機構512はZ移動台518、及びH字状リンク移動台520に互いに結合し、これ等に枢着された2対の枢着リンク、又は2対の棒リンクを具える。Z移動台518はフロントプレート14の外面96に近く設置された親ねじナット組立体366に、剛固に取り付けられ、リンク移動台520はフロントプレート14の内面78に近く設置されたポートドア76に、剛固に取り付けられている。モータ358によって、駆動される親ねじ356はフロントプレート14の外面96に取り付けられたバックボーン構造524に取り付けられたレール522上に、Z移動台518を垂直に動かす。2対の棒リンク516はその端部をZ移動台518、及びリンク移動台520の異なる対向側面に枢着しており、後者はその一部をバックボーン構造524の細長い垂直開口に貫通している。図42、及び図43、及び図44は図41に示したZ移動台518、及びリンク移動台520の右側面、及び左側面にそれぞれ枢着した異なる対をなす棒リンク516を示す。棒リンク516はZ移動台518の直線移動に応動して棒リンク516が回動する際、高さを変化させる平行四辺形を形成するように位置している。バックボーン構造524に取り付けられた移動案内ローラ530は機械的な止めとして一部作動し、これにより、リンク移動台520、及びポートドア76の垂直移動を限定する。案内ローラ530によって設定されたリンク移動台520の最高高さはポートドア76をフロントプレート14の孔74に配列する。従って、案内ローラ530はカム面従動装置として機能する。4つ棒移動台組立体510は次のように作動する。昇降組立体28によって親ねじ356を回転させ、親ねじ356の長さに沿う、親ねじナット組立体366の対応する直線移動を行わせる。この結果、Z移動台518の直線移動を生じ、このZ移動台を上昇させ、又は下降させる。親ねじ356の回転方向によって、図39に示す最下位置から、Z移動台518を上方に動かす時は、リンク移動台520はZ移動台518と一体に上方に移動する。これは流体平衡機構の作動によって、両側に位置している棒リンク516が水平方向に、相互に平行に配列するからであり、この流体平衡機構の構造、及び作動については図45を参照して以下に説明する。図40に仮想線で示すように、リンク移動台520の上面532が案内ローラ530に接触するまで、棒リンク516はその水平傾向を維持する。リンク移動台520は案内ローラ530に固定し、Z移動台518はその上方への移動を継続する。リンク移動台520が上方への移動方向に固定して留まる間に発生するZ移動台518の連続する上方への移動により、棒リンク516を高さが減少する平行四辺形として回動させ、Z移動台518の移動方向に垂直な方向に、リンク移動台520、従ってポートドア76を引き出す。底部操向ローラ534をバックボーン構造524に取り付け、リンク移動台520が内面78に向け前進し、ポートドア76がフロントプレート14の孔74に向け一線に前進する際、リンク移動台520の底面536を収容する。底部操向ローラ534はリンク移動台520の回転運動を防止し、これにより、Z移動台518が内面78に向け前進する際、Z移動台518の移動方向に垂直なリンク移動台520の移動方向である直線的な内方に向く方向を維持する。操向ローラ534も流体平衡機構に関連する流体圧力喪失状態下で、リンク移動台520が降下するのを防止する。ポートドア76がフロントプレート14の孔74に嵌着して、シ-ル掛合に達する時、Z移動台518は図40に実線で示す最高位置に達する。親ねじ356の回転方向により、Z移動台518をその最高位置から下方に動かす時、棒リンク516は回動して、高さを増大する平行四辺形を形成し、リンク移動台520を内面78から離れるように動かし、これにより、ポートドア76をフロントプレート14の孔74から後退させる。Z移動台518、及びリンク移動台520が継続して、Z移動台518の最下位置に下降している時、リンク移動台520の上面532がも早、案内ローラ530に接触しなくなった後、両側に位置している棒リンク516は相互に平行な水平位置を占める。特に図43、及び図44において、Z移動台518、及びリンク移動台520の左側側面上に、案内ローラ530に一層近く位置している棒リンク516の表面544の下方の位置に、リンク移動台520の側面542上に、ハード止めブロック540を取り付ける。ハード止めブロック540は衝撃面546を提供しており、この衝撃面546に、棒リンク516の表面544が摺動する。これにより、図44に示すように、リンク移動台520の上面532が案内ローラ530に接触していない時、棒リンク516及び残りの3つ棒リンク516が水平位置を過ぎて、時計方向に回転するのを防止する。棒リンク516が回転し過ぎる傾向は以下に説明するように、リンク移動台520を過大に平衡させるように、即ちポートドア76を持ち上げるように仕組んだ平衡機構550の作動に起因する。4つ棒移動台組立体510はポートドア並進機構250と、ポートドア移動台機構252との機能を組み合わせた一体構造の好適な具体化である。しかし、指示された2方向即ち垂直方向、及び水平方向にポートドア76を移動させるための適切な案内機構に組み合わせて、移動台組立体にわずか1個の棒リンク516を使用することが可能であることは当業者には明らかである。例えば、代案の実施例はZ移動台、及びリンク移動台の各頂部側、及び底部側に1個宛位置している1対の棒リンクを有するか、又は希望する運動を行うように設計されたカムローラ従動機構を具体化した単一棒リンクを有する。更に、側部駆動親ねじ機構354の代わりに、2個のシリンダを有する2シリンダ流体駆動機構を使用することができる。直列に連結され、適切な長さの突出可能なロッドを有する2個の流体シリンダは上述のように達成される指示された移動を生ずる。図45において、垂直水平ポートドア変位流体制御平衡機構550は上方、及び下方即ち垂直方向、及び内方、及び外方即ち水平方向の引き続くその並進移動中、ポートドア76の重量を平衡させる。その好適な具体例においては、平衡機構550はポートドア76の重量を僅かに過剰に平衡させ、僅かな上昇力をポートドアに加える。平衡機構550は本体部554を有する流体圧力、特に空気圧の一定力シリンダ552を有し、シリンダ552はその閉端をバックボーン構造524に固着された下部支持部材によって支持され、シリンダ552の開放端から突出可能なロッド558を突出させている。シリンダ本体部はバックボーン構造524に対し、固定しており、突出可能ロッド558はリンク移動台520、従って、ポートドア76の垂直移動に応動して、本体部554から突出するその長さを変化させる。突出可能なロッド558はベルト560によってポートドア76に作動できるように、連結されており、このベルト560はバックボーン構造524に固着された上部支持部材562に、一端を取り付けられ、リンク移動台520の内側面に枢着された枢着板566の自由端564に、他端を取り付けられている。その両端間で、ベルト560は突出可能なロッド558の末端に固着されたローラ572の周り、及び上部支持部材562に取り付けられた2個の離間するローラ574、576の周りにループを形成している。ベルト560、及びローラ574、576の固着端点の位置は折れたベルトの形態を生じており、これにより、Z移動台518の1.0単位の垂直移動によって、突出可能ロッド558の0.5単位の直線突出を生ずる作動関係を確立している。平衡機構550は次のように作動する。リンク移動台520が停止ローラ530に接触していない時、空気シリンダ552はZ移動台518の移動方向即ち垂直方向に、一定力Fliftを生ずる。Z移動台518はレール522に沿って動くから、ポートドア76が孔74に向け前進し、孔74から後退する際、ベルトの弛みを取り、更に付加的なベルト長さを引き出す量に相当するだけ、空気シリンダ552は突出可能なロッド558の突出長さを変化させる。リンク移動台520が案内ローラ530に接触していて、Z移動台518が上方への運動を継続している時は、4つ棒リンク516の作動により、枢着板556は枢着軸線580の周りに時計方向に回動し、閉塞力Fclose=Fliftsinθを生ずる。ここにθは枢着板566と、ベルト560のセグメント582との成す角である。ベルト560は枢着板566を或る方向に引っ張るが、この方向はフロントプレート14の内面78に向く力の成分によって、枢着板556を上方に折るように作用し、ポートドア76は孔74内にスナップして、この孔を閉じる。図45の頂部に仮想線でリンク移動台520を示し、θの最小値、及び最大値に関し、リンク移動台、従ってポートドア76の水平変位の程度を示す。枢着板566の回動作用によって、ポートドア76のための確実な自己ロックの状態を生ずる。リンク移動台510が案内ローラ530に接触し、Z移動台518が下方への移動を継続する時は、枢着板566は反時計方向に回動し、閉塞力Fcloseと大きさ等しく、方向反対の開放力を生じ、孔74から離間するように、ポートドア76を後退させる。図45の底部には、Z移動台520がその最下位置にある時のリンク移動台520、及び枢着板566の位置を仮想線で示す。平衡機構550は数個の注目すべき特徴と利点とを発揮している。ポートドア76が完全開放位置即ちZ移動台518がその最下位置にある時、又はポートドア76が完全閉塞位置枢着板566がフロントプレートに向け、ポートドア76をスナップさせて閉じている状態にある時、加える力は必要がない。モータ358でなく、空気シリンダ552がポートドア76の重量を支持している。平衡作用を実施することによって、ストロークの乗算器を生ずることになり、ベルトの長さはZ移動台518によって移動した直線距離の2倍であり、これは折れたベルトの形態のためである。回動自在の走査指片292l、292rを有し、反射ビームスキャナ、又は透過ビームスキャナを有するように設計された走査組立体290によって例示された形式の走査組立体も4つ棒移動台組立体510で具体化することもできる。上述した本発明の実施例は本発明の範囲を逸脱することなく、種々の変更を加え得ることは当業者には明らかであり、従って、本発明の範囲は特許請求の範囲のみによって決定される。"