可撓性部材と、該可撓性部材によって仕切られた第1チャンバー及び第2チャンバーと、第2チャンバー内に前記可撓性部材に対向して設けられ加熱手段を有する載置盤と、を備えた二重真空室方式ラミネーターの前記載置盤上に、少なくとも、ガラス製部材、封止材、太陽電池素子、及び透光性部材をこの順に有し前記封止材の外周が前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周の内側に位置するモジュール積層体を、前記ガラス製部材が前記可撓性部材側となるように載置する第1工程と、前記第1工程の後、前記第1チャンバー内及び前記第2チャンバー内を減圧する第2工程と、前記第2工程の後、前記第1チャンバー内の圧力を0.005MPa~0.090MPaゲージ圧-0.096MPa~-0.011MPaに上昇させ、撓み変形した前記可撓性部材によって前記モジュール積層体を加熱された前記載置盤に押圧することにより、前記モジュール積層体を加熱圧着し一体化させる第3工程と、を有する太陽電池モジュールの製造方法。前記透光性部材の曲げ弾性率が1GPa以上である請求項1に記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記透光性部材がガラス製部材である請求項1又は請求項2に記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記封止材が、エチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマーを含む請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記モジュール積層体が、アモルファスシリコン太陽電池素子が形成された透光性部材の該アモルファス太陽電池素子上に、封止材とガラス製部材とをこの順に有する請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記モジュール積層体が、アモルファスシリコン太陽電池素子が形成された透光性部材の該アモルファス太陽電池素子上に、エチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマーを含む封止材と、ガラス製部材と、をこの順に有する請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記ガラス製部材の厚みが4mm以下である請求項1~請求項6のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記封止材の外周と前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周との距離が1.5mm~25mmである請求項1~請求項7のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。しかしながら、本発明者らの検討により、二重真空室方式のラミネーターを用い、排気された上部チャンバーを大気圧まで戻すことによりダイヤフラムでモジュール積層体を押圧して太陽電池モジュールを得る方法では、前記モジュール積層体の一部材としてガラス製部材が含まれる場合に、太陽電池モジュールのコーナー部分に気泡が発生し易いことがわかった。また、従来、モジュール積層体としては、図8に示したモジュール積層体207のように、各部材の外周が重なるように構成されたモジュール積層体を用いることが多かった。このような構成のモジュール積層体では、加熱圧着処理後、溶融した封止材が透光性基板及び裏面保護材の外周からはみ出す。そこで従来は、加熱圧着処理後、透光性基板及び裏面保護材の外周からはみ出した封止材を除去することが行われていた。この封止材の除去の操作は、トリミングと呼ばれている。近年では、上記トリミングを省略するために、透光性基板及び裏面保護材よりも小さい封止材を用い、モジュール積層体の構造を、封止材の外周が、透光性基板及び裏面保護材の外周の内側に配置される構造とすることも行われている。これにより、加熱圧着処理による封止材のはみ出しsqueezingoutを防止している。しかしながら、本発明者らの検討により、モジュール積層体の構造を上記封止材の外周が、透光性基板及び裏面保護材の外周の内側に配置される構造とし、従来の太陽電池モジュールの製造方法を用いて該モジュール積層体を加熱圧着した場合、加熱圧着処理により封止材の形状が変形し易いことが明らかとなった。本発明は上記状況に鑑みなされたものである。上記状況の下、太陽電池モジュールを製造する際、コーナー部分における気泡の発生が抑制され、かつ、加熱圧着処理による封止材の変形が抑制される太陽電池モジュールの製造方法が求められている。前記課題を解決するための具体的手段は以下のとおりである。<1>可撓性部材と、該可撓性部材によって仕切られた第1チャンバー及び第2チャンバーと、第2チャンバー内に前記可撓性部材に対向して設けられ加熱手段を有する載置盤と、を備えた二重真空室方式ラミネーターの前記載置盤上に、少なくとも、ガラス製部材、封止材、太陽電池素子、及び透光性部材をこの順に有し前記封止材の外周が前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周の内側に位置するモジュール積層体を、前記ガラス製部材が前記可撓性部材側となるように載置する第1工程と、前記第1工程の後、前記第1チャンバー内及び前記第2チャンバー内を減圧する第2工程と、前記第2工程の後、前記第1チャンバー内の圧力を0.005MPa~0.090MPaゲージ圧-0.096~-0.011MPaに上昇させ、撓み変形した前記可撓性部材によって前記モジュール積層体を加熱された前記載置盤に押圧することにより、前記モジュール積層体を加熱圧着し一体化させる第3工程と、を有する太陽電池モジュールの製造方法である。<2>前記透光性部材の曲げ弾性率が1GPa以上である<1>に記載の太陽電池モジュールの製造方法。<3>前記透光性部材がガラス製部材である<1>又は<2>に記載の太陽電池モジュールの製造方法。<4>前記封止材が、エチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマーを含む<1>~<3>のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。<5>前記モジュール積層体が、アモルファスシリコン太陽電池素子が形成された透光性部材の該アモルファス太陽電池素子上に、封止材とガラス製部材とをこの順に有する<1>~<4>のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。<6>前記モジュール積層体が、アモルファスシリコン太陽電池素子が形成された透光性部材の該アモルファスシリコン太陽電池素子上に、エチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマーを含む封止材と、ガラス製部材と、この順に有する<1>~<5>のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。<7>前記ガラス製部材の厚みが4mm以下である<1>~<6>のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。<8>前記封止材の外周と前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周との距離が1.5mm~25mmである<1>~<7>のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。本発明によれば、太陽電池モジュールを製造する際、コーナー部分における気泡の発生が抑制され、かつ、加熱圧着処理による封止材の変形が抑制される太陽電池モジュールの製造方法を提供することができる。本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、可撓性部材と、該可撓性部材によって仕切られた第1チャンバー及び第2チャンバーと、第2チャンバー内に設けられ加熱手段を有する載置盤と、を備えた二重真空室方式ラミネーターの前記載置盤上に、少なくとも、ガラス製部材、封止材、太陽電池素子、及び透光性部材をこの順に有し前記封止材の外周が前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周の内側に位置するモジュール積層体を、前記ガラス製部材が前記可撓性部材側となるように載置する第1工程と、前記第1チャンバー内及び前記第2チャンバー内を減圧する第2工程と、前記第2工程の後、前記第1チャンバー内の圧力を0.005~0.090MPaゲージ圧-0.096~-0.011MPaに上昇させ、撓み変形した前記可撓性部材によって前記モジュール積層体を、加熱された前記載置盤に押圧することにより、前記モジュール積層体を加熱圧着し一体化させて太陽電池モジュールを得る第3工程と、を有する。本発明の太陽電池モジュールの製造方法によれば、太陽電池モジュールを製造する際、コーナー部分における気泡の発生が抑制され、かつ、加熱圧着処理による封止材の変形が抑制される。上記効果が得られる理由は、以下のように推測される。但し、本発明は以下の理由によって限定されることはない。従来の太陽電池モジュールの製造方法では、二重真空室方式のラミネーターを用い、裏面保護材、封止材、太陽電池素子、封止材、及び透光性基板をこの順に有するモジュール積層体をダイヤフラムで押圧して加熱圧着する際、上部チャンバーを大気圧0.101MPa;即ち、ゲージ圧0MPaまで上昇させていた。しかしながら、上記従来の製造方法では、裏面保護材としてガラス製部材ガラスシートを用いた場合、ガラス製部材が高い剛性曲げ弾性率を有すること、及び、圧着力押圧が強すぎることに起因して、以下の問題が生じる。即ち、加熱圧着処理後、下部チャンバーが大気圧に戻されてガラス製部材がダイヤフラムによる押圧から開放される際、ガラス製部材に対し、ダイヤフラムで押圧されて撓んでいる状態から反発してもとの形状に戻ろうとする反発力が強く働く。即ち、ダイヤフラムによる押圧及び該押圧からの開放により、ガラス製部材に大きな応力変化が生じる。このときの応力変化により、特に、該応力変化が集中するガラス製部材のコーナー部分において気泡が発生しやすくなる。この現象は、モジュール積層体太陽電池モジュールの一部材としてガラス製部材が含まれる場合に発生し、モジュール積層体太陽電池モジュールにガラス製部材が含まれない場合例えば、ガラス製部材に代えてプラスチックフィルムを用いた場合には発生しない、という特異な現象である。上記従来の製造方法に対し、本発明の太陽電池モジュールの製造方法では、第3工程において、第1チャンバー内の圧力を、大気圧よりも低い0.090MPa以下に上昇させる。このため、第3工程において、第1チャンバー内の圧力を大気圧まで上昇させる従来の方法と比較して、第1チャンバー内と第2チャンバー内との圧力差が緩和され、ひいては、モジュール積層体に加わる圧着力が軽減され、ガラス製部材に加わる圧着力も軽減される。これにより、第3工程の後、第2チャンバーを大気圧に開放してモジュール積層体を取り出す際にガラス製部材に生じる反発力、及び、ダイヤフラムによる押圧及び該押圧からの開放によって生じる応力変化を、従来の製造方法に比べて小さくすることができる。従って、本発明の太陽電池モジュールの製造方法によれば、応力変化が集中するガラス製部材のコーナー部分における気泡の発生を抑制できる。更に、上記従来の製造方法では、少なくとも、ガラス製部材、封止材、太陽電池素子、及び透光性部材をこの順に有し前記封止材の外周が前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周の内側に位置するモジュール積層体例えば、後述の図2、図3、及び図5参照を一体化させて太陽電池モジュールを得る場合、ガラス製部材が高い剛性曲げ弾性率を有すること、及び、押圧圧着力が強すぎることに起因して、加熱圧着処理により封止材が変形し、外観上の問題を生じることがある。例えば、加熱圧着処理により、封止材の形状が、コーナー部分が丸みを帯びた形状に変形したり、各辺の中央が内側に入り込んだ形状に変形したりすることがある例えば、後述の図6参照。この現象も、モジュール積層体太陽電池モジュールの一部材としてガラス製部材が含まれる場合に発生し、モジュール積層体太陽電池モジュールにガラス製部材が含まれない場合例えば、ガラス製部材に代えてプラスチックフィルムを用いた場合には発生しない、という特異な現象である。この理由は、プラスチックフィルムはガラス製部材に比べて剛性曲げ弾性率が低くフレキシブルであるため、加熱圧着処理時にかかる圧着力を均一に逃がすことができるため、と推測される。上記従来の製造方法に対し、本発明の太陽電池モジュールの製造方法では、第3工程において、第1チャンバー内の圧力を、大気圧よりも低い0.090MPa以下に上昇させるので、封止材に加わる圧着力を低減させることができ、加熱圧着処理による封止材の変形を抑制できる。更に、本発明の太陽電池モジュールの製造方法では、第3工程において、第1チャンバー内の圧力を0.005MPa以上に上昇させるので、モジュール積層体に対する圧着力を十分に確保できる。この前記第3工程で得られる圧着力は、モジュール積層体内の気体を排気するには十分な圧着力であるので、モジュール積層体内の脱気不足による気泡の発生を抑制できる。その結果、本発明の太陽電池モジュールの製造方法によれば、コーナー部分を含めた太陽電池モジュールの全面にわたる気泡の発生を防止できる。以上の理由により、本発明の太陽電池モジュールの製造方法によれば、コーナー部分における気泡の発生を抑制し、加熱圧着処理による封止材の変形を抑制しながら、太陽電池モジュールを製造できると考えられる。以下、本発明の太陽電池モジュールの製造方法の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の太陽電池モジュールの製造方法に好適に用いられる、二重真空室方式のラミネーターの一実施形態を示す概略断面図である。図1に示すように、本実施形態における二重真空室方式のラミネーターは、可撓性部材としてのダイヤフラム101と、第1チャンバーとしての上部チャンバー102と、第2チャンバーとしての下部チャンバー104と、を備えている。上部チャンバー102と下部チャンバー104とは、ダイヤフラム101によって仕切られている。即ち、上部チャンバー102の内部空間は、該上部チャンバー102の内壁とダイヤフラム101とによって形成されており、下部チャンバー104の内部空間は、該下部チャンバー104の内壁とダイヤフラム101とによって形成されている。下部チャンバー104は開閉できるように構成されている図1は、下部チャンバー104が開いた状態を示している。本実施形態では、下部チャンバー104が開いた状態のときにモジュール積層体107を出し入れし例えば、前記第1工程の操作を行い、下部チャンバー104が閉じた状態のときに上部チャンバー102内の圧力を変化させる例えば、前記第3工程の操作を行う。図1に示すように、上部チャンバー102及び下部チャンバー104は、それぞれ、通気口を有しており、この通気口を介した吸気又は排気により、チャンバー内の圧力を上昇又は低下できるようになっている。例えば、チャンバー内の圧力を低下させる場合には、不図示の排気手段例えば真空ポンプによって前記通気口を通じてチャンバー内を排気する。例えば、チャンバー内の圧力を上昇させる場合には、不図示のガス供給手段によって前記通気口を通じてチャンバー内に、空気、窒素等を供給する。なお、上部チャンバー102及び下部チャンバー104は図1に示す形態に限定されることはなく、吸気口及び排気口を別個に備えた構成であってもよい。ダイヤフラム101は、上部チャンバー102と下部チャンバー104との圧力差に応じて撓み変形する可撓性部材であり、例えば、シリコンゴム等により構成される。撓み変形したダイヤフラム101によって、モジュール積層体107を載置盤103に向けて押圧する。下部チャンバー104には載置盤103が設けられている。載置盤103の表面は、ダイヤフラム101と対向している。載置盤103上には、モジュール積層体107が載置される。更に、載置盤103には、モジュール積層体107を加熱するためのヒーター133加熱手段が内蔵されている。本実施形態に係るラミネーターは、載置盤103上にモジュール積層体107を載置し、下部チャンバー104を閉じたときに、モジュール積層体107とダイヤフラム101との間に、隙間クリアランスが生じるように構成されている。この隙間、即ち、モジュール積層体107とダイヤフラム101との距離は、通常5mm~200mm、好ましくは10mm~100mmとなっている。本発明におけるモジュール積層体例えば、モジュール積層体107は、少なくとも、ガラス製部材、封止材、太陽電池素子、及び透光性部材をこの順に有し前記封止材の外周が前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周の内側に位置する構成となっている例えば、後述の図2、図3、及び図5参照。即ち、封止材の大きさが、ガラス製部材及び透光性部材の大きさよりも小さくなっている。前記ガラス製部材及び前記透光性部材の大きさ及び形状には特に限定はないが、前記ガラス製部材及び前記透光性部材としては、例えば、一辺200mm~3000mmの四角形正方形又は長方形の部材を用いることができる。前記封止材の大きさ及び形状には特に限定はないが、前記封止材としては、一辺が前記ガラス製部材及び前記透光性部材の一辺よりも3mm~50mmより好ましくは4~25mm短い、四角形正方形又は長方形の部材を用いることができる。ここで、大きさ及び形状とは、法線方向からみたときの大きさ及び形状である以下、同様である。前記封止材の外周と前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周との距離は、1.5mm~25mmであることが好ましく、2~12.5mmであることがより好ましい。前記封止材の外周と前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周との距離が1.5mm以上であれば、加熱圧着処理により前記ガラス製部材及び前記透光性部材の外周から前記封止材がはみ出す現象を抑制できる。このため、従来の太陽電池モジュールの製造方法では加熱圧着処理後の工程として必須であった、はみ出した封止材を除去する工程トリミング工程が不要となる。前記ガラス製部材、前記太陽電池素子、前記封止材、及び前記透光性部材等の好ましい形態については後述する。図2は、モジュール積層体107の一例であるモジュール積層体107Aを示す概略断面図である。図2に示すように、モジュール積層体107Aの構成は、ガラス製部材である裏面保護材25A、封止材24A、太陽電池素子23A、封止材22A、及び透光性部材である透光性基板21Aがこの順に積層され、かつ、前記2つの封止材22A及び24Aの外周が前記裏面保護材25A及び前記透光性基板21Aの外周の内側に位置する構成となっている。太陽電池素子23Aは複数存在しており、太陽電池素子23Aのそれぞれは、導線インターコネクターとも呼ばれているで接続されている。本発明において透光性基板は、太陽電池モジュールモジュール積層体の部材であって、受光面側太陽光が入射する側に配置される部材を指す。また、本発明において裏面保護材とは、太陽電池モジュールモジュール積層体の部材であって、受光面側の反対側該反対側の面を裏面というに配置され、他の部材太陽電池素子や封止材等を保護するための部材を指す。図3は、モジュール積層体107の別の一例であるモジュール積層体107Bを示す概略断面図である。図3に示すように、モジュール積層体107Bの構成は、ガラス製部材である裏面保護材25B、封止材24B、太陽電池素子23B、及び透光性部材である透光性基板21Bがこの順に積層され、かつ、前記封止材24Bの外周が前記裏面保護材25B及び前記透光性基板21Bの外周の内側に位置する構成となっている。太陽電池素子23Bは複数存在しており、太陽電池素子23Bのそれぞれが、導線インターコネクターとも呼ばれているで接続されている。モジュール積層体107Bの形態としては、透光性基板21Bと太陽電池素子23Bとが別個独立の部材である形態であってもよいし、透光性基板21Bと太陽電池素子23Bとが一体の部材である形態であってもよい。透光性基板21Bと太陽電池素子23Bとが一体の部材である形態としては、透光性基板21B例えばガラス基板上に、太陽電池素子23Bとしてのアモルファスシリコン太陽電池素子が形成されている形態が挙げられる。次に、本発明の太陽電池モジュールの製造方法の実施形態として、図1に示すラミネーターを用いた太陽電池モジュールの製造方法を説明する。但し、本発明の太陽電池モジュールの製造方法は以下の実施形態に限定されることはない。第1工程前記第1工程の操作として、下部チャンバー104を開き、載置盤103上にモジュール積層体107を、透光性部材が載置盤103側、ガラス製部材がダイヤフラム101側となるように載置する。その後、下部チャンバー104を閉じる。第2工程前記第1工程の後、前記第2工程の操作として、上部チャンバー102内及び下部チャンバー104内を減圧する。このとき、上部チャンバー102内及び下部チャンバー104内を同時に減圧してもよいし、上部チャンバー102内の減圧を下部チャンバー104内の減圧よりも先に行いダイヤフラム101を上部チャンバー102側に吸引しておいてもよい。上部チャンバー102内及び下部チャンバー104内の減圧は、それぞれ、図示しない真空ポンプを用い、チャンバー内を真空に近い状態例えば0.005MPa未満、好ましくは0.004MPa以下、更に好ましくは0.0001~0.004MPaまで排気することにより行う。上部チャンバー102内及び下部チャンバー104内の圧力が目的とする圧力に到達するまでの時間を利用して、ヒーター133により載置盤103を加熱することでモジュール積層体107を加熱する。このときの加熱温度は、封止材の種類にもよるが、100°C~200°Cが好ましく、120°C~180°Cがより好ましい。この第2工程における減圧排気により、モジュール積層体107を構成する各部材間に取り込まれている気体成分空気などや、各部材を構成する素材中に取り込まれている気体成分空気などが排出される。このとき、封止材を構成する樹脂が、架橋が必要な樹脂例えば、架橋剤を含むEVA等である場合には、架橋反応が生じる温度となるまでモジュール積層体107が加熱され、架橋反応が終了するまでその温度が維持される。第3工程前記第2工程の後、第3工程の操作として、上部チャンバー102内の圧力を0.005MPa~0.090MPaゲージ圧-0.096~-0.011MPaに上昇させる。具体的には、例えば、下部チャンバー104内の排気を継続させながら、上部チャンバー102内の排気をとめ、上部チャンバー102内の圧力が上記の値となるように、上部チャンバー102内に空気や窒素などを供給する。上部チャンバー102内の圧力を上記の値となるように上昇させることにより、上部チャンバー102内と下部チャンバー104内との間に圧力差が生じ、ダイヤフラム101が低圧側の下部チャンバー104内に向けて撓み変形する。撓み変形したダイヤフラム101によってモジュール積層体107が載置盤103に押圧される。モジュール積層体107は、この押圧による圧着力と、加熱された載置盤103の温度と、によって加熱圧着される。これにより、封止材を構成する樹脂が軟化または溶融し、モジュール積層体107が一体化されて太陽電池モジュールが得られる。第3工程における上部チャンバー102内の圧力は、封止材の変形をより抑制する観点からは、0.005MPa~0.080MPaが好ましい。加熱圧着処理の時間は、1~8分間が好ましく、2~6分間がより好ましい。本実施形態における太陽電池モジュールの製造方法は、必要に応じ、上記第1~第3工程以外のその他の工程を有していてもよい。第3工程の後、通常は、下部チャンバー104内の圧力が大気圧に戻され、下部チャンバー104から太陽電池モジュールが取り出される。例えば、第3工程の後、ヒーター133による加熱を止め、上部チャンバー102及び下部チャンバー104を大気圧に戻し、次いで閉じていた下部チャンバー104を開いて、下部チャンバー104から太陽電池モジュールを取り出す。その後、太陽電池モジュールを冷却する。次に、本発明における、前記ガラス製部材、前記太陽電池素子、前記封止材、及び前記透光性部材の好ましい形態について説明する。ガラス製部材前記ガラス製部材としては特に限定はないが、通常、太陽電池モジュールに使用されているガラスシートまたはガラス板を用いることができる。また、例えば、表面圧縮応力が20MPa以上のガラス製部材は、広い面積での日照による温度上昇に伴う熱割れへの耐久性や、飛来物への耐久性の面から好ましい。ガラス製部材の表面圧縮応力は、JISR3222に準じて測定される値である。表面圧縮応力が20MPa以上のガラス製部材としては、具体的には倍強度ガラスdoublestrengthglass、強化ガラスtemperedglass、超強化ガラスultratemperedglassが挙げられる。前記倍強度ガラスは表面圧縮応力が通常20~60MPaのものであり、前記強化ガラスは表面圧縮応力が通常90~130MPaのものであり、前記超強化ガラスは表面圧縮応力が通常180~250MPaのものである。表面圧縮応力を大きくするほど強度は向上するが、そりが大きくなりやすく製造コストも大きくなりやすい。倍強度ガラスは、比較的そりの少ないものを製造しやすく、破損したときには細片になって落下することがないという特長を有する。ガラス製部材の材質としてのガラスには特に限定はないが、例えば、ソーダライムガラスが好適に使用される。また、熱線反射ガラスheatreflectingglass、熱線吸収ガラスheatabsorbingglassなどを用いることもできる。また、前記ガラスとしては、鉄分の含有量が少ないガラスglasshavingalowcontentofiron例えば、鉄分の含有量が少ない強化ガラスnonirontemperedglassを用いてもよいし、鉄分の含有量が比較的多いガラスglasshavingarelativelyhighcontentofironを用いてもよい。鉄分含有量が少ない強化ガラスnonirontemperedglassは、高透過ガラスhightransmittanceglassや白板ガラスwhitesheetglassとも呼ばれている。鉄分含有量が比較的多いガラスglasshavingarelativelyhighcontentofironは、青板ガラスbluesheetglassやフロートガラスfloatglassとも呼ばれている。前記ガラス製部材の厚みは特に制限はないが、通常は20mm以下である。太陽電池モジュール全体の薄型化及び軽量化の観点からは、前記ガラス製部材の厚みは好ましくは4mm以下、より好ましくは3mm以下、更に好ましくは2.5mm以下である。本発明の太陽電池モジュールが、裏面保護材としてのガラス製部材、封止材、太陽電池素子、及び透光性基板をこの順に有する構成である場合、通常は、透光性基板によって太陽電池モジュールの強度が保持される。従って、かかる構成の太陽電池モジュールでは、裏面保護材としてのガラス製部材の厚みは、透光性基板の厚みよりも薄くすることが、太陽電池モジュール全体の薄型化及び軽量化の観点から好ましい。前記ガラス製部材の下限には制限が無いものの、通常は0.2mm以上、好ましくは0.5mm以上である。太陽電池素子前記太陽電池素子としては、結晶シリコン太陽電池素子、多結晶シリコン太陽電池素子、アモルファスシリコン太陽電池素子、銅インジウムセレナイド太陽電池素子、化合物半導体太陽電池素子、有機色素太陽電池素子など、従来公知の太陽電池素子を目的応じて選択できる。前記アモルファスシリコン太陽電池素子は、太陽電池素子としての性能に優れることに加え、透光性部材上に薄膜の形態で容易に形成できるという利点を有する。即ち、アモルファスシリコン太陽電池素子を用いる場合には、前記モジュール積層体において、アモルファスシリコン太陽電池素子及び透光性部材が一体となった部材が用いることができる。このため、アモルファスシリコン太陽電池素子を用いることで、太陽電池モジュール全体の薄型化及び軽量化が容易に達成される。透光性部材前記透光性部材としては特に限定はないが、前記透光性部材として、曲げ弾性率が1GPa以上更には10GPa以上の透光性部材を用いたときに、本発明による封止材の変形抑制の効果がより効果的に奏される。前記透光性部材としては、例えば、エンジニアリングプラスチックスーパーエンジニアリングプラスチックを含む製部材やガラス製部材を用いることができる。前記エンジニアリングプラスチックスーパーエンジニアリングプラスチックを含む製部材の材質としては、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、フッ素系樹脂、ポリカーネートPC樹脂、ポリエーテルエーテルケトンPEEK樹脂、ポリフェニレンスルフィドPPS樹脂、ポリイミドPI樹脂、ポリエーテルスルホンPES樹脂、ポリブチレンテレフタレートPBT樹脂、等が挙げられる。前記エンジニアリングプラスチック製部材の曲げ弾性率は、通常1~7GPaである。透光性部材として用いる場合のガラス製部材の好ましい形態としては、前述のガラス製部材の項で説明した形態と同様の形態が挙げられる。例えば鉄分の含有量が少ないガラスglasshavingalowcontentofiron例えば、鉄分の含有量が少ない強化ガラスnonirontemperedglassを用いてもよいし、鉄分の含有量が比較的多いガラスglasshavingarelativelyhighcontentofironを用いてもよい。鉄分含有量が少ない強化ガラスnonirontemperedglassは、高透過ガラスhightransmittanceglassや白板ガラスwhitesheetglassとも呼ばれている。鉄分含有量が比較的多いガラスglasshavingarelativelyhighcontentofironは、青板ガラスbluesheetglassやフロートガラスfloatglassとも呼ばれている。ガラスの曲げ弾性率は、ガラスの種類にもよるが、例えば73.5GPaである。前記透光性部材としては、封止材の変形抑制の効果が特に顕著に得られる観点から、ガラス製部材であることが好ましい。即ち、本発明におけるモジュール積層体の構成としては、第1ガラス製部材、封止材、太陽電池素子、及び透光性部材としての第2ガラス製部材をこの順に有する構成であることが好ましい。透光性部材として用いる場合のガラス製部材の材質は、青板ガラスbluesheetglassやフロートガラスfloatglassと呼ばれているガラスが通常使用される。太陽電池素子へ到達する光入射量を高めたい場合には、透光性の優れる、鉄分含有量が少ない強化ガラス即ち、高透過ガラスhightransmittanceglass又は白板ガラスwhitesheetglassが好ましく選択される。封止材前記封止材は樹脂製の部材であり、単独で、又は、他の部材例えば、透光性部材などと協働して太陽電池素子を封止する封じ込める部材である。前記封止材により、太陽電池素子が、温度変化、湿度、衝撃等から保護される。また、前記封止材を介してモジュール積層体の各部材例えば、透光性部材及びガラス製部材が接着され、一体化される。したがって、前記封止材には、耐侯性、接着性、充填性additiveholdingcapability、耐熱性、耐寒性、耐衝撃性、必要に応じて透明性等の諸性能が要求される傾向がある。これらの性能を満たす樹脂としては、エチレン酢酸ビニル共重合体EVA、エチレンアクリル酸メチル共重合体EMA、エチレンアクリル酸エチル共重合体EEA、エチレンアクリル酸共重合体EAA、エチレンメタクリル酸共重合体EMAA、エチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマー、ポリエチレン、変性ポリエチレン、シリコン樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。また、これらの樹脂の耐熱性を改良するために、必要に応じて、架橋剤、架橋助剤を併用してもよい。前記封止材としては、封止材の変形抑制の効果をより効果的に奏する観点、及び、水分透過率が小さいためモジュールを構成する金属部材が腐食することを防止できる観点から、エチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマーが特に好ましい。前記エチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマーは、エチレン不飽和カルボン酸共重合体をベースポリマーとし、該ベースポリマーに含まれるカルボン酸基が金属イオンによって架橋された構造になっている。前記ベースポリマーであるエチレン不飽和カルボン酸共重合体は、エチレンと不飽和カルボン酸から選ばれるモノマーとを少なくとも共重合成分として共重合させた共重合体である。前記エチレン不飽和カルボン酸共重合体には、必要に応じて、不飽和カルボン酸以外のモノマーが共重合されてもよい。前記エチレン不飽和カルボン酸共重合体中において、エチレンから導かれる構成単位の含有割合は97~75質量が好ましく、より好ましくは95~75質量である。前記エチレン不飽和カルボン酸共重合体中において、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位の含有割合は3~25質量が好ましく、より好ましくは5~25質量である。前記エチレン不飽和カルボン酸共重合体は、エチレンと不飽和カルボン酸共重合体との2元ランダム共重合体とするのが好ましい。前記エチレンから導かれる構成単位の含有割合が75質量以上であると、共重合体の耐熱性、機械的強度等が良好である。一方、エチレンから導かれる構成単位の含有割合が97質量以下であると、接着性等が良好である。前記不飽和カルボン酸から導かれる構成単位の含有割合が3質量以上であると、透明性や柔軟性が良好である。また、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位含有割合が25質量以下であるものは、ベタ付きが抑えられ、加工性が良好である。前記不飽和カルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、エタクリル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、フマル酸、クロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、マレイン酸モノエステルマレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル等、無水マレイン酸モノエステル無水マレイン酸モノメチル、無水マレイン酸モノエチル等等の炭素数3~8の不飽和カルボン酸またはハーフエステルが挙げられる。中でも、アクリル酸、メタクリル酸が好ましい。前記エチレン不飽和カルボン酸共重合体には、エチレン及び不飽和カルボン酸の合計100質量に対し、0質量超30質量以下、好ましくは0質量超25質量以下のその他の共重合性モノマーから導かれる構成単位が含まれていてもよい。前記その他の共重合性モノマーとしては、不飽和エステル、例えば、酢酸ビニル及びプロピオン酸ビニル等のビニルエステル;アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸n-ブチル、アクリル酸2-エチルヘキシル、メタクリル酸メチル及びメタクリル酸イソブチル等のメタアクリル酸エステルなどが挙げられる。その他の共重合体モノマーから導かれる構成単位が上記範囲で含まれていると、エチレン不飽和カルボン酸共重合体の柔軟性が向上するので好ましい。前記アイオノマーにおける前記金属イオンとしては、リチウム、ナトリウム、カリウム、セシウムなどの1価金属イオン、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、銅、亜鉛などの2価金属イオン、アルミニウム、鉄などの3価金属イオン等が挙げられる。中でも、ナトリウム、マグネシウム、亜鉛が好ましく、亜鉛が特に好ましい。前記アイオノマーの中和度は、好ましくは80以下であり、より好ましくは5~80である。加工性、柔軟性からすると、前記中和度は、5~60が好ましく、5~30がより好ましい。前記アイオノマーのベースポリマーであるエチレン不飽和カルボン酸共重合体は、各重合成分を高温、高圧下にラジカル共重合することによって得ることができる。また、そのアイオノマーは、このようなエチレン不飽和カルボン酸共重合体と酸化亜鉛、酢酸亜鉛などと反応させることによって得ることができる。前記アイオノマーは、加工性及び機械強度を考慮すると、190°C、2160g荷重におけるメルトフローレートMFR;JISK7210-1999に準拠が0.1~150g/10分であるのが好ましく、特に0.1~50g/10分であることがより好ましい。前記アイオノマーの融点は、特に制限はないが、90°C以上、特に95°C以上の融点を有していると、耐熱性が良好になる点で好ましい。前記封止材の全固形分に対する前記アイオノマーの含有量は、60質量以上であることが好ましく、70質量以上であることがより好ましく、80質量以上であることが特に好ましい。前記アイオノマーの含有量が上記範囲であると、透明性を高く保ちながら、良好な接着性、耐久性等が得られる。前記封止材の全固形分に対する前記アイオノマーの含有量が100質量でない場合、前記アイオノマーと一緒に他の樹脂材料が配合されてもよい。この場合に配合される樹脂材料は、前記アイオノマーと相溶性がよく、透明性や機械的物性を損なわないものであれば、いずれのものも使用可能である。中でも、エチレン不飽和カルボン酸共重合体、エチレン不飽和エステル不飽和カルボン酸共重合体が好ましい。前記アイオノマーと配合される樹脂材料が前記アイオノマーよりも融点の高い樹脂材料であれば、前記封止材の耐熱性や耐久性を向上することも可能である。前記封止材には、樹脂以外の他の成分が含まれていてもよい。他の成分としては、シランカップリング剤、紫外線吸収剤、光安定剤、酸化防止剤、着色剤、光拡散剤、難燃剤、金属不活性剤等が挙げられる。前記封止材の厚みには特に制限はないが、好ましくは100μm~1000μmであり、より好ましくは200μm~800μmである。前記封止材の大きさの好ましい範囲については前述のとおりである。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。実施例1<太陽電池モジュールの作製>図1に示す二重真空室方式のラミネーターと同様の構成のラミネーター株エヌピーシー製の真空貼り合わせ機LM-50×50-Sを用い、図3に示すモジュール積層体107Bと同様の構成のモジュール積層体を一体化させて太陽電池モジュールを作製した。詳細な方法を以下に示す。第1工程300mm×300mm×厚み4mmの白板ガラスwhitesheetglassnonirontemperedglass;曲げ弾性率73.5GPaと、250mm×250mm×厚み0.3mmのエチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマー製封止材シート三井デュポンポリケミカル株製のハイミランES銘柄PV8615Aと、アモルファスシリコン太陽電池素子が形成された300mm×300mm×厚み4mmの白板ガラスwhitesheetglassnonirontemperedglass;曲げ弾性率73.5GPaと、をこの順に、アモルファスシリコン太陽電池素子と前記封止材シートとが接する向きに重ね合わせ、モジュール積層体aを得た。このとき、上記の3つの部材の中心が重なるようにして重ね合わせることにより、封止材シートの外周が、2枚の白板ガラスの外周の内側に配置されるようにした。次に、下部チャンバーを開き、下部チャンバー内の載置盤上に上記モジュール積層体aを、アモルファスシリコン太陽電池素子が形成されていない白板ガラスと、ダイヤフラムと、が接する向きに即ち、アモルファスシリコン太陽電池素子が形成された白板ガラスと、載置盤の表面と、が接する向きに載置した。その後、下部チャンバーを閉じた。下部チャンバーを閉じた状態において、モジュール積層体とダイヤフラムとの距離クリアランスは50mmとなっていた。第2工程第1工程の後、上部チャンバー内及び下部チャンバー内を真空ポンプで3分間排気し、上部チャンバー及び下部チャンバーの圧力を、ともに0.001MPaゲージ圧-0.100MPaに調整した。この3分間の排気中に、載置盤を150°Cまで加熱した。第3工程第2工程の後、上部チャンバーの排気をとめ、上部チャンバー内に、該上部チャンバー内の圧力が0.071MPaゲージ圧-0.030MPaとなるように空気を導入した。これにより、シリコンゴム製のダイヤフラムを下部チャンバー側に撓み変形させ、撓み変形したダイヤフラムによってモジュール積層体aを載置盤に押圧した。この状態を5分間維持し、モジュール積層体を加熱圧着ラミネートして一体化し、太陽電池モジュールを得た。第3工程の後、載置盤の加熱をとめ、下部チャンバー内の圧力が大気圧0.101MPa;ゲージ圧0MPaとなるよう下部チャンバー内に空気を導入し、同時に上部チャンバー内の圧力が0.001MPaゲージ圧-0.100MPaとなるように上部チャンバー内の排気を行った。その後、下部チャンバーを開き、太陽電池モジュールを取り出した。<評価>上記太陽電池モジュールについて、以下の評価を行った。評価結果を下記表1に示す。気泡の評価上記で取り出した太陽電池モジュールについて、0.5mm以上の気泡の有無を目視で確認し、下記評価基準に従って評価した。-気泡の評価基準-A...0.5mm以上の気泡が確認されなかった。B...0.5mm以上の気泡が確認された。封止材シートのコーナー部分の形状の評価上記で取り出した太陽電池モジュールについて、封止材シートの四隅のコーナー部分を目視で観察し、下記評価基準に従って評価した。評価結果がAであることは、封止材の変形が抑制されていることを示す。-封止材シートのコーナー部分の形状の評価基準-A...封止材シートの四隅のコーナー部分が、90°の角を維持しているか、曲率半径2mm以内の丸みを帯びた形状に変形するに留まっていた例えば、図5参照。B...封止材シートの四隅のコーナー部分が、曲率半径2mmを超える丸みを帯びた形状に変形していた例えば、図6参照。封止材シートの均一拡張性の評価第1工程で準備したモジュール積層体aと、該モジュール積層体aが加熱圧着され一体化されて得られた太陽電池モジュールと、を対比し、以下のようにして、加熱圧着処理による封止材シートの均一拡張性即ち、封止材シートの拡がりの均一性を測定した。まず、封止材シートの一つの辺に着目し、加熱圧着処理による封止材シートの拡がり加熱圧着処理による、当該一つの辺の移動距離を測定した。このとき、一つの辺の中でも場所によって拡がりの大きさが異なる場合があるため、当該一つの辺について、拡がりの最大値と最小値とをそれぞれ求めた。同様にして、前記封止材シートの他の三辺についても、それぞれ、拡がりの最大値及び最小値を求めた。以上で得られた4つの最大値の平均を、封止材シートの拡がりの平均最大値以下、α値とするとし、以上で得られた4つの最小値の平均を、封止材シートの拡がりの平均最小値以下、β値とするとした。上記α値と上記β値との差の絶対値を求め、下記評価基準に従って、封止材シートの均一拡張性を評価した。評価結果がAであることは、封止材の変形が抑制されていることを示す。-封止材シートの均一拡張性の評価基準-A...上記α値と上記β値との差の絶対値が2mm未満であった例えば、図5参照。B...上記α値と上記β値との差の絶対値が2mm以上であった例えば、図6参照。実施例2実施例1において、モジュール積層体aを、250mm×250mm×厚み3.9mmの青板ガラスbluesheetglassfloatglass;曲げ弾性率73.5GPaと、210mm×210mm×厚み0.3mmのエチレン不飽和カルボン酸共重合体のアイオノマー製封止材シート三井デュポンポリケミカル株製のハイミランES銘柄PV8615Aと、アモルファスシリコン太陽電池素子が形成された250mm×250mm×厚み3.9mmの青板ガラスbluesheetglasstemperedglass;曲げ弾性率73.5GPaと、250mm×250mm×厚み0.3mmの、架橋剤を含むエチレン酢酸ビニル共重合体シートと、結晶シリコン太陽電池素子と、250mm×250mm×厚み0.3mmの、架橋剤を含むエチレン酢酸ビニル共重合体シートと、300mm×300mm×厚み4mmの白板ガラスwhitesheetglassnonirontemperedglass;曲げ弾性率73.5GPaと、をこの順に重ね合わせて得られたモジュール積層体fに変更し、かつ、第3工程における上部チャンバーの圧力を、下記表1に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして太陽電池モジュールを作製し、実施例1と同様の評価を行った。評価結果を表1に示す。比較例3及び4実施例2において、第3工程における上部チャンバーの圧力を、下記表1に示すように変更したこと以外は実施例2と同様にして太陽電池モジュールを作製し、実施例2と同様の評価を行った。評価結果を表1に示す。表1において、ラミネート圧力は、第3工程における上部チャンバーの圧力を指す以下、同様である。表1に示すように、ラミネート圧力が0.005MPa~0.090MPaの範囲内である実施例1~6では、気泡の発生が抑制されていた。更に、この実施例1~6では、封止材シートのコーナー部分の形状や均一拡張性に優れており、加熱圧着処理による封止材シートの変形が抑制されていた。特に実施例3~6では、加熱圧着処理後、モジュール積層体の外周において、2枚のガラスの端面と、封止材シートの端面と、が綺麗に揃っていた即ち、法線方向からみたときに、2枚のガラスの外周と封止材シートの外周とが重なっていた。また、ラミネート圧力が低すぎる比較例4では、モジュール積層体を一体化させることができなかった。これに対し、比較例4よりもラミネート圧力がわずかに高い実施例4では、気泡の発生を抑制し、封止材シートの変形を抑制しながら、モジュール積層体を一体化させることができた。図4は、比較例1に係る太陽電池モジュールにおける、ガラス基板のコーナー部分を示す写真である。図4に示すように、ガラス基板のコーナー部分に気泡が発生していた。図5は、実施例2に係る太陽電池モジュールの全体を示す写真である。図5に示すように、実施例2に係る太陽電池モジュールでは、加熱圧着処理後においても、封止材シートのコーナー部分の形状が90°の角に維持されており、加熱圧着処理により封止材シートが均一に拡がっていた。このように、実施例2に係る太陽電池モジュールでは、加熱圧着処理による封止材の変形が抑制されていた。図6は、比較例3に係る太陽電池モジュールの全体を示す写真である。図6に示すように、比較例3に係る太陽電池モジュールでは、加熱圧着処理により、封止材シートのコーナー部分の形状が、丸みを帯びた形状に変化していた。また、比較例3に係る太陽電池モジュールでは、加熱圧着処理により封止材シートが不均一に拡がっていた。即ち、封止材シートの一辺に着目すると、当該一辺の中央部分では拡がりが小さく、当該一辺の端部では広がりが大きくなっており、その結果、当該一辺の中央部分が内側に入り込んだ形状となっていた。このように、比較例3に係る太陽電池モジュールでは、加熱圧着処理による封止材の変形が顕著であった。日本出願2010-157205の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。本明細書に記載された全ての文献、特許出願、および技術規格は、個々の文献、特許出願、および技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。