"シングルピースの同軸脱進機のガンギ車セット100,100’において、前記ガンギ車セット100,100’は、プレート103,103’の周囲に形成された第1歯列108,108’を有し、前記第1歯列108,108’は、ピンと、第1のつめ石と、第2歯列113,113’と共働し、前記第2歯列113,113’は、第2のつめ石と共働し、前記第2歯列113,113’は、前記第1歯列108,108’のプレート103,103’と一体に形成され、これにより、前記ガンギ車セット100,100’の質量を減少させ、歯が互いに整合することを特徴とするワンピースの同軸のガンギ車セット。前記第2の歯列の各歯113,113’は、互いに独立し、前記第1歯列108,108’のプレート103,103’から突出していることを特徴とする請求項1記載のガンギ車セット。前記プレート103,103’は、ハブ102,102’から形成され、前記ハブ102,102’は、前記第1歯列108,108’に、アーム106,106’で連結されることを特徴とする請求項2記載のガンギ車セット。前記第2の歯列の各歯113,113’は、前記プレート103,103’のアームと一体に形成されていることを特徴とする請求項3記載のガンギ車セット。前記第2歯列の歯113,113’の数は、前記プレート103,103’のアーム106,106’の数と同一であることを特徴とする請求項4記載のガンギ車セット。前記プレート103,103’は、開口104,104’を有し、前記開口104,104’は、軸真3と共働し、前記軸真3は、前記同軸の脱進機のガンギ車セット100,100’を回転可能に搭載することを特徴とする請求項1-5のいずれかに記載のガンギ車セット。前記開口104’は、固定手段107を有し、前記固定手段105は、前記軸真3を弾性的に把持することを特徴とする請求項6記載のガンギ車セット。前記開口104は、固定手段105を有し、前記固定手段105は、前記軸真3を塑性的に把持することを特徴とする請求項6記載のガンギ車セット。前記歯車セットは、金属製又は合金製であることを特徴とする請求項1-8のいずれかに記載のガンギ車セット。前記歯車セットは、シリコンベースの材料製であることを特徴とする請求項1-8のいずれかに記載のガンギ車セット。時計の同軸脱進機システムにおいて、前記システムは、レバー25を有し、前記レバー25は、請求項1-10に記載のシングルピースの同軸脱進機ガンギ車セット100,100’と共働し、前記ガンギ車セット100,100’の第1歯列108,108’は、テンプと一体形成されたピン23と共働し、前記レバー25の第1のつめ石26,28と共働し、前記第2歯列113,113’は、前記レバー25の第2のつめ石24と共働し、これにより脱進機ピニオンを形成することを特徴とする時計用に同軸脱進機システム。本発明の目的は上記の欠点を解決することである。本発明は、同軸のガンギ車のようの歯車セットを提供し、これにより整合性の問題を減らし、慣性力も減らす。この歯車セットの利点は、互いに整合させるのが困難な2つの部品で製造するのに比較して、シングルピース一体物で、かつ少ない材料で形成できる利点がある。本発明のシングルピースの同軸脱進機のガンギ車セットは、プレートの周囲に形成された第1歯列を有する。前記第1歯列は、ピンと、第1のつめ石と、第2歯列と共働する。前記第2歯列は、第2のつめ石と共働する。前記第2歯列は、前記第1歯列のプレートと一体に形成される。これにより、前記ガンギ車セットの質量を減少させ、互いに整合可能となる。本発明の効果は、従来2つの部品で形成されていたものを、シングルピースで形成できる利点がある。前記第2の歯列の各歯は、互いに独立し、前記第1歯列のプレートから突出している。前記プレートは、ハブから形成され、前記ハブは、前記第1歯列に、アームで連結される。前記第2の歯列の各歯は、前記プレートのアームと一体に形成されている。前記第2歯列の歯の数は、前記プレートのアームの数と同一である。前記プレートは、開口を有し、前記開口は、軸真と共働し、前記軸真は、前記同軸の脱進機のガンギ車セットを回転可能に搭載する。前記開口は、固定手段を有し、前記固定手段は、前記軸真を弾性的に把持する。前記開口は、固定手段を有し、前記固定手段は、前記軸真を塑性的に把持する。前記歯車セットは、金属製又は合金製である。前記歯車セットは、シリコンベースの材料製である。時計の同軸脱進機システムは、レバーを有する。前記レバーは、上記のシングルピースの同軸脱進機ガンギ車セットと共働し、前記ガンギ車セットの第1歯列は、テンプと一体形成されたピンと共働し、前記レバーの第1のつめ石と共働し、前記第2歯列は、前記レバーの第2のつめ石と共働し、これにより脱進機ピニオンを形成する。本発明によれば、第1歯車と第2歯車の間の整合性の問題は、ガンギ車セット100,110を一体にしたシングルピースで形成することで、解決できる。従って、歯車の一方の第2歯113,113’のみが必要である。これにより、2枚の歯車の一方の板部材の大部分は省略できることになる。これにより、ガンギ車セット100,100’の質量を減らすことができ、慣性力も減らすことができる。以下の説明においては、同軸のガンギ車を例に説明するが、本発明は、複数の層構造の歯車セットに適用可能である。図9,10は、シングルピースの同軸の脱進機のガンギ車セット100,100’からなる本発明の2つの実施例を示す。このガンギ車セット100,100’は、重なり合う2つのパターンを有する。図9に示す第1実施例によれば、第1パターンは、歯車101を形成し、これは図11の第1ガンギ車1に対応する。第1パターンは、ハブ102を形成するプレート103を有する。ハブ102の中心は、開口104を有し、そこからアーム106が水平方向に伸びる。アーム106の端部が歯108を形成する。これが図11の歯8に対応する。かくして、周囲に第1の歯列を有するプレート103が得られる。図9に示すように、開口104は弾性固定手段105を有する。この弾性固定手段105は、図11の歯3と半径方向で共働するが、弾性変形により回転可能に歯車101に搭載され、その結果、歯車セット100に搭載されることになる。弾性固定手段105は、ハブ102の一部をくり抜いて形成された細長い部品で形成される。この細長い部品により、軸真3が把持される、即ちその歯車セット100が軸真3に固定されるが、これにより、プレート103の残りの部分に応力を掛けることはない。弾性手段の変形例として、例えば、特許文献2の図10A-10Eに開示された形態、あるいは特許文献3の図2-5に開示された形態も採ることができる。本発明によれば、図11に示すように、第2ガンギ車11を追加するのではなく、歯車セット100がシングルピースであるために、第2パターン111は、歯車101から突出し、図11の歯13に対応する歯113を含む第2の歯列によって形成される。本発明によれば、歯113は、互いに独立し、アーム106と一体に形成される。図9の実施例においては、歯113はアーム106と一体に形成されている。そのため、第2歯の列は、プレート103のアーム106と同数の歯113を有する。しかしこの特徴は、本発明の必須事項ではなく、アーム106の上に複数の歯113を有してもよい。図10に示す第2実施例によれば、第1パターンは、歯車101’を形成し、これは図11の第1ガンギ車1に対応する。第1パターンは、ハブ102’を形成するプレート103’を有する。ハブ102’の中心は、開口104’を有し、そこからアーム106’が水平方向に伸びる。アーム106’の端部が歯108’を形成する。これが図11の歯8に対応する。かくして、周囲に第1の歯列を有するプレート103’が得られる。図10に示すように、開口104’は塑性固定手段107を有する。この塑性固定手段107は、図11の歯3と半径方向で共働するが、塑性変形により回転可能に歯車101’に搭載され、その結果、歯車セット100’に搭載されることになる。塑性固定手段107は、金属製のワッシャで形成される。このワッシャにより、歯車セット100’が、軸真により塑性変形により、駆動される。これは、プレート103’に応力を掛けることはない。本発明によれば、図11に示すように、第2ガンギ車11を追加するのではなく、歯車セット100’がシングルピースであるために、第2パターン111’は、歯車101’から突出し、図11の歯13に対応する歯113’を含む第2の歯列によって形成される。本発明によれば、歯113’は、互いに独立し、アーム106’と一体に形成される。図10の実施例においては、歯113’はアーム106’と一体に形成されている。そのため、第2歯の列は、プレート103’のアーム106’と同数の歯113’を有する。この特徴は本発明の必須事項ではなく、アーム106’の上に複数の歯113’を有してもよい。図9,10の2つの実施例は様々な材料を用いて形成することができる。しかし電子成形可能材料あるいは微細機械加工可能材料が、反応性イオンエッチングとLIGA型の電子成形プロセスには好ましい。これらの装置が、同軸のガンギ車セット100,100’が適正に動作するのに必要な精度数ミクロンで製造することができる唯一のプロセスである。しかし同じような製造許容誤差が、可能な他のプロセスも得られる。電子成形可能材料の一例は、金、銅、銀、インジュウム、プラチナ、パラジウム、ニッケル等であるが、これに限定されるものではない。他の化合物、例えばスズを少量加えることもできる。機械加工可能な材料は、シリコンカーバイド、結晶シリコン、結晶アルミナ、結晶シリカ等があるが、これも又他の材料も可能である。2種類の製造方法を、図1-4と図5-7にそれぞれ示す。図1-4は、微細機械加工の主要なステップを表す。本発明の方法の第1ステップは、微細機械加工可能材料製の上部層33と底部層35を中間層34で互いに接着して形成した基板31を用意する。この種の基板31は、S.O.I.SilicononInsulatorとして公知である。第2ステップにおいて、第1パターン36が、中間層34が表れるまで、上部層33をエッチングして形成される。かくしてプレート103,103’の周囲にガンギ車セット100,100’の第1歯列歯108,108’を形成する。第2ステップにより、ガンギ車セット100,100’の第1パターン101,101’が上部層33に形成される。図2において、マスク37が、例えば光リソグラフ技術を用いて形成され、上部層33の一部を保護する。その後、点線で示すように、基板31の上部部分を、D.R.I.E.DeepReactiveIonEtchingで処理する。図3に示すように、ガンギ車セット100,100’の第1パターン101,101’を含む第1パターン36が、得られる。第3ステップにおいて、第2パターン38が、中間層34が表れるまで、底部層35をエッチングして形成される。かくして、第2歯列歯113,113’を、ガンギ車セット100,100’の第1歯列歯108,108’のプレート103,103’と一体に形成する。この第3ステップにより、歯車セット100,100’の第2パターン111,111’が、底部層35に形成される。図3において、マスク39が、例えば光リソグラフ技術を用いて形成され、底部層35の一部を保護する。その後、点線で示すように、基板31の底部部分を、D.R.I.E.DeepReactiveIonEtchingで処理する。図4に示すように、前のステップで形成された第1レベル101,101’の一つと一体に形成第2レベル111,111’を含む第2パターン38が、得られる。かくして、基板31から、2層レベルのガンギ車セット100,100’を切り離し、できれば、中間層34の露出部分を切り離して、ガンギ車セット100,100’を最終の脱進機システムに搭載する。ガンギ車セット100,100’がシリコンから形成される場合には、更なる酸化ステップが実行して、外部表面に、二酸化シリコンの層を形成し、これにより歯車セットの機械的抵抗性を上げる。図5-8は、電子成形ステップを表す。本発明の方法の第1ステップは、導電性の上部層を有する基板41を形成する。この上部層は、絶縁材料の上に導電性材料を堆積することにより、あるいは基板を導電性材料で形成することにより、得られる。電子成形ステップは、モールドを形成し、その後このモールドを、所定の材料で、例えば電気鋳造法で充填する。この電子成形は、L.I.G.A.LIthographieGalvanoformungAbformungとして公知である。複数のレベルを有するモールドを、ガルバノプラスティプロセスの間に形成するか、あるいは全体を形成しその後充填するかによって、様々なL.I.G.A.プロセスがある。例えばこの技術は、各レベル即ちモールドの各レベルを形成し、それを充填し、次のレベルに移る。複数のレベルを有するシングルピースの歯車セットを形成できる電子成形プロセスも可能である。図5,6に示すように、第1ステップにおいて、モールドの第1レベル47が、光リソグラフを用いてレジンから形成される。これを図5に示す。少なくとも1つのキャビティが、第1パターン101,101’にマッチングする形状に形成される、即ちプレート103,103’の周囲の脱進機のガンギ車セット100,100’の第1歯列第1歯108,108’に合う形状に形成される。その後、第1レベルを、金属材料46で、電子堆積手法を用いて充填する。これを図6に示す。図7に示すように、第1ステップと同様に、第2レベル49が第2ステップでレジンから光リソグラフ技術を用いて形成される。リセスが第2パターン111,111’にマッチングする形状で、即ちガンギ車セット100,100’の第2歯列第2歯113,113’に形成され、それは第1レベル47の前記キャビティと連通する。その後第2レベル49は金属材料48の電子堆積技術により充填される。かくして、基板41とレジン47,49から形成された2層レベルのガンギ車セット100,100’を切り離し、ガンギ車セット100,100’を最終の脱進機システムに搭載できる。電子成形技術により得られたガンギ車セット100,100’の例においては、弾性固定手段105又は塑性固定手段107は不要である。その理由は、金属材料は、開口104,104’を介して直接軸真上に堆積可能だからである。本発明の変形例として、第1パターン101,101’は、図11の大輪9を含めることもできる。上記の実施例は、同軸の脱進機を例に説明したが、本発明は、輪列あるいは更には通常の脱進機の歯車ピニオンでも同様に適用可能である。第1歯108,108’は、ピニオンの第2歯113,113’であり、又その逆でもよい。上記したように、本発明によれば、複数のレベルをシングルピースで形成できる。かくして更なるレベルを前記プレートの下に、即ち第2歯113,113’を搭載する面に対向して、あるいはそのプレートの下に形成することもできる。以上の説明は、本発明の一実施例に関するもので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々の変形例を考え得るが、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。特許請求の範囲の構成要素の後に記載した括弧内の番号は、図面の部品番号に対応し、発明の容易なる理解の為に付したものであり、発明を限定的に解釈するために用いてはならない。また、同一番号でも明細書と特許請求の範囲の部品名は必ずしも同一ではない。これは上記した理由による。用語又はに関して、例えばA又はBは、Aのみ、Bのみならず、AとBの両方を選択することも含む。特に記載のない限り、装置又は手段の数は、単数か複数かを問わない。"