"互いに直交の関係にあるx方向及びy方向に変位可能な振動子と、該振動子を静電気力によってx方向に振動させる駆動部と、前記振動子のy方向への変位量を検出する検出部と、を有する角速度センサであって、前記駆動部は、前記振動子に固定された駆動用可動電極と、該駆動用可動電極とx方向若しくはy方向にて対向し、x方向及びy方向に変位不可能な駆動用固定電極と、該駆動用固定電極に第1駆動信号を出力し、前記駆動用可動電極に第2駆動信号を出力する駆動回路と、を有し、前記駆動回路は、所定の周波数を有する搬送波を発生する搬送波発生回路と、前記搬送波の周波数を変調する周波数変調回路と、前記搬送波のデューティ比を変調するデューティ比変調回路と、を有し、前記周波数変調回路を介した搬送波が、前記第1駆動信号として前記駆動用固定電極に入力され、前記デューティ比変調回路を介した搬送波が、前記第2駆動信号として前記駆動用可動電極に入力されることを特徴とする角速度センサ。前記搬送波、及び、前記第1駆動信号それぞれのデューティ比が50であり、前記第2駆動信号のデューティ比が50よりも大きい若しくは小さいことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。前記第1駆動信号の周波数は、前記振動子の共振周波数と同一であり、前記第2駆動信号の周波数は、前記振動子の共振周波数よりも高いことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の角速度センサ。前記駆動用可動電極と前記駆動用固定電極とは、y方向にて対向していることを特徴とする請求項1~3いずれか1項に記載の角速度センサ。前記検出部は、前記振動子に固定された検出用可動電極と、該検出用可動電極とx方向若しくはy方向にて対向し、x方向及びy方向に変位不可能な検出用固定電極と、を有することを特徴とする請求項1~4いずれか1項に記載の角速度センサ。前記検出用可動電極と前記検出用固定電極とは、x方向にて対向していることを特徴とする請求項5に記載の角速度センサ。前記検出部は、前記検出用可動電極と前記検出用固定電極との間の静電容量変化を電圧変化に変換するC-V変換回路を有することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の角速度センサ。上記したように、特許文献1に示される慣性力検出装置では、振動子と駆動用電極との間に生じる静電気力によって、振動子を共振駆動する構成となっており、振動子に第2駆動信号が入力され、駆動用電極に第1駆動信号が入力される。両者の間に生じる静電気力は、第1駆動信号と第2駆動信号との差の二乗に比例するが、実効的に振動子を共振駆動させる駆動力は振動子の共振周波数成分であり、その大きさは第1駆動信号の平均電位中心電位と第2駆動信号の平均電位中心電位との差、及び、第2駆動信号の振幅の積に依存する。特許文献1に記載されているように、第2駆動信号Vkの中心電位はVDD/2、振幅はVDD/2、第1駆動信号Vmassの中心電位は0Vとなっており、両者で中心電位が異なっている。そのため、振動子と駆動用電極との間に生じる駆動力が有限となり、その値が、中心電位の差と第2駆動信号の振幅の積であるVDD/2の二乗に比例している。ところで、振動子に搬送波が入力される場合、搬送波と第2駆動信号Vkの中心電位は同一となるので、駆動力は発生しなくなる。これを回避するために、特許文献1では、直流電圧調整回路によって、中心電位が第1駆動信号Vkとは異ならせた第2駆動信号Vmassを振動子に入力している。このように、特許文献1では、搬送波を発生するための電源搬送波発生回路とは別に、第2駆動信号Vmassの中心電位を調整するための電源直流電圧調整回路を有する。そのため、慣性力検出装置の体格、及び、その製造コストが増大する、という問題があった。そこで、本発明は上記問題点に鑑み、体格及び製造コストの増大が抑制された角速度センサを提供することを目的とする。上記した目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、互いに直交の関係にあるx方向及びy方向に変位可能な振動子と、該振動子を静電気力によってx方向に振動させる駆動部と、振動子のy方向への変位量を検出する検出部と、を有する角速度センサであって、駆動部は、振動子に固定された駆動用可動電極と、該駆動用可動電極とx方向若しくはy方向にて対向し、x方向及びy方向に変位不可能な駆動用固定電極と、該駆動用固定電極に第1駆動信号を出力し、駆動用可動電極に第2駆動信号を出力する駆動回路と、を有し、駆動回路は、所定の周波数を有する搬送波を発生する搬送波発生回路と、搬送波の周波数を変調する周波数変調回路と、搬送波のデューティ比を変調するデューティ比変調回路と、を有し、周波数変調回路を介した搬送波が、第1駆動信号として駆動用固定電極に入力され、デューティ比変調回路を介した搬送波が、第2駆動信号として駆動用可動電極に入力されることを特徴とする。駆動用固定電極と駆動用可動電極との間に生じる静電気力は、第1駆動信号と第2駆動信号との差の二乗に比例する。そのため、駆動用可動電極に搬送波が入力される場合、第1駆動信号と搬送波との平均電位中心電位が同一となり、駆動力は発生しなくなる。これに対して、請求項1に記載の発明では、駆動部が、駆動信号を生成する回路として、搬送波発生回路と周波数変調回路の他に、デューティ比変調回路を有する。第1駆動信号の振幅及びデューティ比は搬送波と同一なので、その中心電位は、搬送波と同一となる。これに対して、第2駆動信号の振幅は搬送波と同一となるが、デューティ比が異なるので、その中心電位は、搬送波と異なる。そのため、第1駆動信号と第2駆動信号の中心電位が異なり、駆動力が発生することとなる。以上、示したように、請求項1に記載の発明では、第1駆動信号と第2駆動信号の中心電位を異ならせるために、デューティ比変調回路を有する。したがって、第1駆動信号と第2駆動信号の中心電位を異ならせるために、搬送波を発生するための電源搬送波発生回路とは別に、第2駆動信号の電圧値を調整するための電源直流電圧調整回路を設けなくとも良くなるので、角速度センサの体格、及び、その製造コストの増大が抑制される。搬送波、駆動信号としては、請求項2に記載のように、搬送波、及び、第1駆動信号それぞれのデューティ比が50であり、第2駆動信号のデューティ比が50よりも大きい若しくは小さい構成を採用することができる。また、請求項3に記載のように、第1駆動信号の周波数は、振動子の共振周波数と同一であり、第2駆動信号の周波数は、振動子の共振周波数よりも高い構成を採用することができる。請求項4に記載のように、駆動用可動電極と駆動用固定電極とは、y方向にて対向した構成が良い。これによれば、x方向に振動子が振動した際に、駆動用可動電極と駆動用固定電極とがx方向にて対向した構成と比べて、両者の間にダンピングが生じ難くなる。これにより、ダンピングによって、x方向の振動成分がy方向に漏れることが抑制され、y方向への振動漏れによって、振動子のy方向の変位量が変動することが抑制される。この結果、y方向への振動漏れによる角速度の検出精度が低下することが抑制される。検出部の具体的な構成としては、請求項5に記載のように、検出部は、振動子に固定された検出用可動電極と、該検出用可動電極とx方向若しくはy方向にて対向し、x方向及びy方向に変位不可能な検出用固定電極と、を有する構成を採用することができる。請求項6に記載のように、検出用可動電極と検出用固定電極とは、x方向にて対向した構成が良い。これによれば、y方向に振動子が変位振動した際に、検出用可動電極と検出用固定電極とがy方向にて対向する構成と比べて、両者の間にダンピングが生じ難くなる。これにより、ダンピングによって、振動子のy方向の変位量が変動することが抑制され、角速度の検出精度が低下することが抑制される。検出部の更に具体的な構成としては、請求項7に記載のように、検出部は、検出用可動電極と検出用固定電極との間の静電容量変化を電圧変化に変換するC-V変換回路を有する構成を採用することができる。以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。第1実施形態図1は、第1実施形態に係る角速度センサの概略図である。図1においては、構成要素を明確にするために、各構成要素を区別するための破線を入れている。図1に示すように、角速度センサ100は、要部として、振動子10と、駆動部30と、検出部50と、を有する。振動子10は、互いに直交の関係にあるx方向及びy方向に変位可能であり、駆動部30は、振動子10をx方向に振動し、検出部50は、振動子10のy方向の変位量を検出する機能を果たす。x方向に振動子10が振動している状態で、z方向に角速度が印加されると、振動子10に、y方向に沿うコリオリ力が発生する。このコリオリ力によって振動子10がy方向に変位振動するが、検出部50は、このコリオリ力による振動子10のy方向への変位量を検出することで、角速度を検出する機能を果たす。振動子10は、図示しないが、第1半導体層、絶縁層、及び、第2半導体層が順次積層されて成るSOI基板を、周知の露光技術を用いて形成されたものである。振動子10は、絶縁層を介さずに第1半導体層に対して第2半導体層が浮遊したものであり、振動子10と同じく第2半導体層のみから成る連結梁11を介して、3つの層から成るアンカー12に固定されている。振動子10は概略的な平面形状が矩形を成しており、アンカー12には、パッド図示略が形成されている。このパッドに、後述する第2駆動信号が入力される。駆動部30は、振動子10に形成された駆動用可動電極31と、該駆動用可動電極31と対向する駆動用固定電極32と、駆動用固定電極32に第1駆動信号を出力し、駆動用可動電極31振動子10と連結されたアンカー12のパッドに第2駆動信号を出力する駆動回路33と、を有する。駆動用可動電極31及び駆動用固定電極32は、振動子10と同じく絶縁層を介さずに第1半導体層に対して第2半導体層が浮遊したものである。駆動用電極31,32はそれぞれ櫛歯電極であり、その櫛歯を構成する電極の一つは、平面矩形状を成している。駆動用固定電極32は、3つの層から成るアンカー34に形成されており、アンカー34には、パッド図示略が形成されている。このパッドに、後述する第1駆動信号が入力される。図1に示すように、駆動用可動電極31は、振動子10におけるx方向に面する側面から、振動子10から離れるように、x方向に沿って延び、駆動用固定電極32は、アンカー34におけるx方向に面する側面から、振動子10へ向うように、x方向に延びている。この構成により、櫛歯電極である駆動用可動電極31と駆動用固定電極32とが互いに噛み合い、互いにy方向で対向している。本実施形態では、駆動部30が2つの駆動用電極31,32を有するが、一方の駆動用固定電極32と、他方の駆動用固定電極32それぞれのパッドに入力される第1駆動信号の極性は反転されている。駆動回路33は、所定の周波数を有する搬送波を発生する搬送波発生回路35と、搬送波の周波数を変調する周波数変調回路36と、搬送波のデューティ比を変調するデューティ比変調回路37と、を有する。周波数変調回路36を介した搬送波が、第1駆動信号として駆動用固定電極32アンカー34のパッドに入力され、デューティ比変調回路37を介した搬送波が、第2駆動信号として駆動用可動電極31アンカー12のパッドに入力される。駆動回路33は、本実施形態に係る角速度センサ100の特徴点なので、後で詳説する。検出部50は、振動子10に形成された検出用可動電極51と、該検出用可動電極51と対向する検出用固定電極52と、検出用可動電極51と検出用固定電極52との間の静電容量変化を電圧変化に変換するC-V変換回路53と、該C-V変換回路53の出力信号を処理する信号処理回路54と、を有する。検出用可動電極51及び検出用固定電極52は、振動子10と同じく絶縁層を介さずに第1半導体層に対して第2半導体層が浮遊したものである。検出用電極51,52はそれぞれ櫛歯電極であり、その櫛歯を構成する電極の一つは、平面矩形状を成している。検出用固定電極52は、3つの層から成るアンカー55に形成されており、アンカー55には、パッド図示略が形成されている。このパッドを介して、検出用電極51,52間の静電容量変化が、C-V変換回路53に入力される。検出用可動電極51は、振動子10におけるy方向に面する側面から、振動子10から離れるように、y方向に沿って延び、検出用固定電極52は、アンカー55におけるy方向に面する側面から、振動子10へ向うように、y方向に延びている。この構成により、櫛歯電極である検出用可動電極51と検出用固定電極52とが互いに噛み合い、互いにx方向で対向している。本実施形態では、検出部50が2つの検出用電極51,52を有するが、1つの検出用固定電極52と、他方の検出用固定電極52それぞれのパッドから出力される信号が、C-V変換回路53に入力される。上記したように、x方向に振動している振動子10に、z方向に沿う角速度が印加されると、振動子10はコリオリ力によってy方向に変位振動する。このy方向への変位が、検出用電極51,52の静電容量変化として検出され、これらの静電容量変化が、C-V変換回路53にて電圧値に変換される。C-V変換回路53にて変換された電圧値は、信号処理回路54にて、増幅高周波ノイズの除去などの信号処理が行われた後、外部に出力される。なお、2つの検出用電極51,52それぞれから出力される静電容量変化の差分が、C-V変換回路53にて電圧値に変換される。次に、本実施形態に係る角速度センサ100の特徴点を説明する。上記したように、周波数変調回路36を介した搬送波が、第1駆動信号として駆動用固定電極32に入力され、デューティ比変調回路37を介した搬送波が、第2駆動信号として駆動用可動電極31に入力される。搬送波発生回路35にて生成される搬送波は、振動子10のx方向の共振周波数よりも充分に高く、そのデューティ比が50となっている。周波数変調回路36は、搬送波の周波数を振動子10のx方向の共振周波数に変調した第1駆動信号を出力し、デューティ比変調回路37は、搬送波のデューティ比を25に変調した第2駆動信号を出力する。このように、第1駆動信号と第2駆動信号とは、周波数とデューティ比とが異なっている。第1駆動信号の振幅及びデューティ比は搬送波と同一なので、その平均電位中心電位は、搬送波と同一となる。これに対して、第2駆動信号の振幅は搬送波と同一となるが、デューティ比が異なるので、その平均電位中心電位は、搬送波と異なる。そのため、第1駆動信号の中心電位と第2駆動信号の中心電位とが異なっている。駆動用可動電極31と駆動用固定電極32との間に生じる静電気力駆動力は、第1駆動信号の中心電位と第2駆動信号の中心電位との差の二乗に比例する。したがって、2つの駆動信号の中心電位が同一の場合、2つの駆動用電極31,32の間に生じる静電気力はゼロとなる。しかしながら、上記したように、2つの駆動信号は中心電位が異なるので、2つの駆動用電極31,32の間に生じる静電気力が有限となっている。次に、本実施形態に係る角速度センサ100の作用効果を説明する。上記したように、角速度センサ100では、デューティ比変調回路37によって、第1駆動信号と第2駆動信号の中心電位を異ならせることで、駆動力を発生させている。したがって、第1駆動信号と第2駆動信号の中心電位を異ならせるために、搬送波を発生するための電源搬送波発生回路35とは別に、第2駆動信号の電圧値を調整するための電源直流電圧調整回路を設けなくとも良くなるので、角速度センサ100の体格、及び、その製造コストの増大が抑制される。駆動用可動電極31と駆動用固定電極32とは、y方向にて対向している。これによれば、x方向に振動子10が振動した際に、駆動用可動電極31と駆動用固定電極32とがx方向にて対向した構成と比べて、両者の間にダンピングが生じ難くなる。これにより、ダンピングによって、x方向の振動成分がy方向に漏れることが抑制され、y方向への振動漏れによって、振動子10のy方向の変位量が変動することが抑制される。この結果、y方向への振動漏れによる角速度の検出精度が低下することが抑制される。検出用可動電極51と検出用固定電極52とは、x方向にて対向している。これによれば、y方向に振動子10が変位振動した際に、検出用可動電極51と検出用固定電極52とがy方向にて対向する構成と比べて、両者の間にダンピングが生じ難くなる。これにより、ダンピングによって、振動子10のy方向の変位量が変動することが抑制され、角速度の検出精度が低下することが抑制される。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。本実施形態では、搬送波発生回路35にて生成された搬送波がデューティ比変調回路37に入力された例を示した。しかしながら、駆動回路33が、周波数変調回路を新たにもう一つ有し、この新たな周波数変調回路によって周波数が変調された搬送波がデューティ比変調回路37に入力される構成を採用することもできる。本実施形態では、搬送波のデューティ比が50である例を示した。しかしながら、搬送波のデューティ比は50でなくとも良い。本実施形態では、デューティ比変調回路37がデューティ比が25に変調された第2駆動信号を出力する例を示した。しかしながら、デューティ比の変調としては、上記例に限定されず、搬送波第1駆動信号のデューティ比と異なればよい。例えば、デューティ比として、30、60、80などを採用することができる。本実施形態では、駆動用可動電極31と駆動用固定電極32とがy方向にて対向した例を示した。しかしながら、駆動用可動電極31と駆動用固定電極32とがx方向にて対向した構成を採用することもできる。本実施形態では、検出用可動電極51と検出用固定電極52とはx方向にて対向した例を示した。しかしながら、検出用可動電極51と検出用固定電極52とがy方向にて対向した構成を採用することもできる。"