"液滴を吐出するノズルが設けられ、ノズル面に撥水剤を塗布して撥水層が形成されているノズル板と、前記ノズル面の他方の面に接合されて前記ノズルに対応して設けられ前記ノズルに連通する個別液室及び共通液室を少なくとも構成する流路板と、前記ノズル板と接合する前記流路板における他方の面に接合されて前記個別液室の一部を構成する振動板とを、前記撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度以上の硬化温度の熱硬化性接着剤で接合して形成される液滴吐出部材に、該液滴吐出部材と別体の接合部材を接合して構成する液滴吐出ヘッドにおいて、所定の時間加熱して前記撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度より低い硬化温度の熱硬化性接着剤を用いて、前記接合部材を前記液滴吐出部材に接合することを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記接合部材は、前記ノズル面に対して直交する方向で前記液滴吐出部材に接合される部材であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記接合部材は、前記液滴吐出部材の共通液室に連通する液体流路を形成する液体供給路部材であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1~3のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、基準穴を設けた少なくとも2個以上の部材を、前記基準穴を合わせてピンで位置決めして接合し前記個別液室及び前記共通液室を形成する第一のユニットと、前記基準穴を設けた少なくとも2個以上の部材を、前記基準穴を合わせてピンで位置決めして接合し上記第一のユニット以外の少なくとも1つ以上の第二のユニット、または少なくとも1個以上の部材を、各ユニットの接合で用いた前記第一のユニットの前記基準穴と、前記第一のユニット以外の少なくとも1つ以上のユニットの前記基準穴、または少なくとも1つ以上の個別部品の前記基準穴を用いてピン位置決めして接合することを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項1~4のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドから液体を媒体に吐出して画像形成を行うことを特徴とする画像形成装置。インクジェット記録ヘッドの上記液滴吐出部材において、各個別液室間の隔壁部分は細く加工による部品で構成されており、この部品の微小な変形や部材の厚みのバラツキは正常な液滴吐出を行うための個別液室の封止性に影響を与える。個別液室の封止性を確保するために接合時では、ノズル板、流路板及び振動板の各部材に均一に加圧して部材の歪みを抑える必要がある。ノズル板、流路板及び振動板の各部材はそれぞれほぼ板状を成している。そして、これらの部材を熱硬化性接着剤で接合する場合位置決めされ組み付けられた上記液滴吐出部材の両面のほぼ全体に加圧装置の加圧面を押し当てて加圧できる。このため、ノズル板、流路板及び振動板の各部材をほぼ均一に加圧することができる。ところが、上記液滴吐出部材の別体の接合部材としての上記インク供給路部材を上記液滴吐出部材のノズル面に直交する方向で接合する場合、上記液滴吐出部材に上記インク供給路部材を接合した接合部分の厚さは上記液滴吐出部材だけの厚さより、上記インク供給路部材の厚み分厚くなる。このため、上記液滴吐出部材の各部材の接合及び上記液滴吐出部材への上記インク供給路部材の接合を、上記平坦な加圧面を有する圧力装置を移動させて加圧面を変えながら加圧を行うと、上記液滴吐出部材に上記インク供給路部材を接合する接合部分では当該接合部分以外の部分に比べて高い圧力が加わる。そして、上記インク供給路部材と共に加圧されない上記液滴吐出部材における各個別液室間の隔壁部分を構成する部品は上記インク供給路部材と共に加圧される上記液滴吐出部材側に偏るように変形し、上記液滴吐出部材の各部材に歪みが生じる。この歪みを生じさせないようにするために、上記液滴吐出部材の各部材をほぼ均一に所定の圧力で加熱加圧して上記液滴吐出部材を形成する接合工程を行った後に、形成した上記液滴吐出部材に上記インク供給路部材を上記所定の圧力より低い圧力で加熱加圧して接合する接合工程を行い上記歪みの発生を抑制する。上述したように、ノズル板のノズル面には、吐出不良を防ぐためにインク等の付着を防ぐために撥水層が形成されている。この撥水層は、所定の温度以上になると熱分解を起こす撥水剤で形成されている。上記液滴吐出部材の接合に用いられる熱硬化性接着剤は、液室の耐久性や液室内積の寸法精度の関係から、インクに対する高い耐液性、塗布後のはみ出しが少ない低い粘性の接着剤を用いている。このように上記液滴吐出部材に用いられる熱硬化性接着剤は、一般に撥水剤が熱分解を起こす虞のある温度以上の硬化温度となる接着剤が多い。ところが、この熱硬化性接着剤を用いても上記特許文献1のように一度の接合工程で上記液滴吐出部材を形成した場合のように短い加熱時間であれば撥水性に影響を及ぼすほどの撥水層の熱分解は起きないことがわかっている。しかし、上述したように、上記液滴吐出部材の接合工程後に、上記インク供給路部材のような別体の接合部材を上記液滴吐出部材に接合する接合工程を追加した場合、各接合工程で上記熱硬化性接着剤をそれぞれで加熱硬化させることになる。このため、ノズル板の撥水層も繰り返し加熱されることになり、撥水層が熱分解する温度以上での各加熱時間の累積時間が増加してしまう。これにより、撥水層の熱分解が進み、撥水性の低下が起こるという問題があった。本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、ノズル面における撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制できる液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することである。上記目的を達成するために、請求項1の発明は、液滴を吐出するノズルが設けられ、ノズル面に撥水剤を塗布して撥水層が形成されているノズル板と、前記ノズル面の他方の面に接合されて前記ノズルに対応して設けられ前記ノズルに連通する個別液室及び共通液室を少なくとも構成する流路板と、前記ノズル板と接合する前記流路板における他方の面に接合されて前記個別液室の一部を構成する振動板とを、前記撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度以上の硬化温度の熱硬化性接着剤で接合して形成される液滴吐出部材に、該液滴吐出部材と別体の接合部材を接合して構成する液滴吐出ヘッドにおいて、所定の時間加熱して前記撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度より低い硬化温度の熱硬化性接着剤を用いて、前記接合部材を前記液滴吐出部材に接合することを特徴とするものである。また、請求項2の発明は、請求項1記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記接合部材は、前記ノズル面に対して直交する方向で前記液滴吐出部材に接合される部材であることを特徴とするものである。更に、請求項3の発明は、請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記接合部材は、前記液滴吐出部材の共通液室に連通する液体流路を形成する液体供給路部材であることを特徴とするものである。また、請求項4の発明は、請求項1~3のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、基準穴を設けた少なくとも2個以上の部材を、前記基準穴を合わせてピンで位置決めして接合し前記個別液室及び前記共通液室を形成する第一のユニットと、前記基準穴を設けた少なくとも2個以上の部材を、前記基準穴を合わせてピンで位置決めして接合し上記第一のユニット以外の少なくとも1つ以上の第二のユニット、または少なくとも1個以上の部材を、各ユニットの接合で用いた前記第一のユニットの前記基準穴と、前記第一のユニット以外の少なくとも1つ以上のユニットの前記基準穴、または少なくとも1つ以上の個別部品の前記基準穴を用いてピン位置決めして接合することを特徴とするものである。更に、請求項5の発明は、請求項1~4のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドから液体を媒体に吐出して画像形成を行うことを特徴とするものである。本発明においては、上記液滴吐出部材を形成するノズル板、流路板及び振動板の各部材の接合界面から接着剤がはみ出すと、液室内にはみ出した接着剤によって液室内の寸法精度が変わり液室内に所定の加圧が加えられても液滴吐出の圧力とならず液滴吐出の不良が発生する。また、液室内にはみ出した接着剤が液室内の液体で腐食して接合箇所の接着性能が低下して上記液滴吐出部材の耐久性が悪化する。このような液滴吐出の不良や耐久性の悪化を防ぐために、ノズル板、流路板及び振動板の各部材の接合での接着剤には、接着剤のはみ出しが少ない、粘性の低い接着剤である高い硬化温度の熱硬化性接着剤を用いている。この熱硬化性接着剤の硬化温度は撥水層を形成する撥水剤の撥水性を損なう温度以上であるが、所定の累積加熱時間に至らない加熱時間での加熱であれば撥水剤の撥水性を損なうことはない。一方、上記液滴吐出部材に別体の接合部材を接合するときは、撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度より低い硬化温度の熱硬化性接着剤を用いる。ノズル板、流路板及び振動板の各部材を接合して上記液滴吐出部材を形成し、上記液滴吐出部材に接合部材を接合する工程を行ったとしても、これらの接合工程における撥水層を形成する撥水剤の撥水性を損なう温度以上による加熱時間の累積時間は上記所定の累積加熱時間を超えない。よって、撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制することができる。以上、本発明によれば、ノズル面における撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制できるという効果を得られる。以下、本発明を適用した画像形成装置として、インクジェット記録装置の実施形態について説明する。図1は本実施形態のインクジェット記録装置を前方から見た斜視図である。同図に示す本実施形態のインクジェット記録装置100は、装置本体101と、装置本体101に装着された用紙を装填するための給紙トレイ102と、装置本体101に着脱自在に装着されて画像が記録形成された用紙をストックするための排紙トレイ103とを備えている。また、装置本体101の前面の一端部側給排紙トレイ部の側方には、前面から装置本体101の前方側に突き出し、上面よりも低くなったインクカートリッジを装填するためのカートリッジ装填部104を有し、このカートリッジ装填部104の上面には操作ボタンや表示器などの操作/表示部105が設けられている。このカートリッジ装填部104には、色の異なる色材である記録液インク、例えばブラックKインク、シアンCインク、マゼンタMインク、イエローYインクをそれぞれ収容した複数の記録液収容手段としての記録液カートリッジであるインクカートリッジ110k、110c、110m、110y色を区別しないときはインクカートリッジ110という。を、装置本体101の前面側から後方側に向って挿入して装填可能とし、このカートリッジ装填部104の前面側には、インクカートリッジ110を着脱するときに開く前カバーカートリッジカバー106が開閉可能に設けられている。また、インクカートリッジ110k、110c、110m、110yは縦置き状態で横方向に並べて装填する構成となっている。また、操作/表示部105には、各色のインクカートリッジ110k、110c、110m、110yの装着位置配置位置に対応する配置位置で、各色のインクカートリッジ110k、110c、110m、110yの残量がニアーエンド及びエンドになったことを表示するための各色の残量表示部111k、111c、111m、111yを配置している。更に、この操作/表示部105には、電源ボタン112、用紙送り/印刷再開ボタン113、キャンセルボタン114も配置されている。次に、このインクジェット記録装置の機構部について図2及び図3を参照して説明する。なお、図2は同機構部の概要を示す側面図、図3は同じく要部平面図である。インクジェット記録装置の機構部において、フレーム121を構成する左右の側板121A、121Bに横架したガイド部材であるガイドロッド131とステー132とでキャリッジ133を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図3で矢示方向である双方向のキャリッジ主走査方向に移動走査する。キャリッジ133には、前述したように、イエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックKの各色のインク滴を吐出する4個の液滴吐出ヘッド134a~134dとからなる液滴吐出ヘッド134が、主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着されている。なお、各色のインク液滴を吐出するノズル列を有する1又は複数のヘッド構成などを採用することもできる。ここで、液滴吐出ヘッド134を構成するインクジェットヘッドとしては、圧電素子などの圧電アクチュエータ、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどを、液滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段として備えたものなどを使用できる。また、キャリッジ133には、各液滴吐出ヘッド134a~134dに各色のインクを供給するためのヘッドタンク135a~135dを搭載している。各ヘッドタンク135a~135dには各色のインクを送液する可撓性のインク供給チューブ136を介してカートリッジ装填部104に装着された各色のインクカートリッジ110y,110m,110c,110kから各色のインクが充填供給される。なお、このカートリッジ装填104にはインクカートリッジ110内のインクを送液するための供給ポンプユニット124が設けられ、またインク供給チューブ136は這い回しの途中でフレーム121を構成する後板121Cに係止部材125にて保持されている。供給ポンプユニット124は逆方向に送液逆転送液することもできる。一方、図2の給紙トレイ102の用紙積載部圧板141上に積載した用紙142を給紙するための給紙部として、用紙積載部141から用紙142を1枚ずつ分離給送する半月コロ給紙コロ143及び給紙コロ143に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド144を備え、この分離パッド144は給紙コロ143側に付勢されている。そして、この給紙部から給紙された用紙142を液滴吐出ヘッド134の下方側に送り込むために、用紙142を案内するガイド部材145と、カウンタローラ146と、搬送ガイド部材147と、先端加圧コロ149を有する押さえ部材148とを備えるとともに、給送された用紙142を静電吸着して液滴吐出ヘッド134に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト151を備えている。この搬送ベルト151は、無端状ベルトであり、搬送ローラ152とテンションローラ153との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向副走査方向に周回するように構成している。また、この搬送ベルト151の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ156を備えている。この帯電ローラ156は、搬送ベルト151の表層に接触し、搬送ベルト151の回動に従動して回転するように配置されている。更に、搬送ベルト151の裏側には、液滴吐出ヘッド134による印写領域に対応してガイド部材157が配置されている。この搬送ベルト151は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ152が回転駆動されることによって図2のベルト搬送方向に周回移動する。更に、液滴吐出ヘッド134で記録された用紙142を排紙するための排紙部として、搬送ベルト151から用紙142を分離するための分離爪161と、排紙ローラ162及び排紙コロ163とを備え、排紙ローラ162の下方に排紙トレイ103を備えている。また、装置本体101の背面部には両面ユニット171が着脱自在に装着されている。この両面ユニット171は搬送ベルト151の逆方向回転で戻される用紙142を取り込んで反転させて再度カウンタローラ146と搬送ベルト151との間に給紙する。また、この両面ユニット171の上面は手差しトレイ172としている。更に、図3に示すように、キャリッジ133の走査方向一方側の非印字領域には、液滴吐出ヘッド134のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構181を配置している。この維持回復機構181には、液滴吐出ヘッド134の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材以下キャップという。182a~182d区別しないときはキャップ182という。と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード183と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け184などを備えている。ここでは、キャップ182aを吸引及び保湿用キャップとし、他のキャップ182b~182dは保湿用キャップとしている。そして、この維持回復機構181による維持回復動作で生じる記録液の廃液、キャップ182に排出されたインク、あるいはワイパーブレード183に付着してワイパークリーナ185で除去されたインク、空吐出受け194に空吐出されたインクは図示しない廃液タンクに排出されて収容される。また、図3に示すように、キャリッジ133の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け188を配置し、この空吐出受け188には液滴吐出ヘッド134のノズル列方向に沿った開口189などを備えている。このように構成した本実施形態のインクジェット記録装置においては、給紙トレイ102から用紙142が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙142はガイド145で案内され、搬送ベルト151とカウンタローラ146との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド137で案内されて先端加圧コロ149で搬送ベルト151に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。このとき、後述する制御部のACバイアス供給部から帯電ローラ156に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト151が交番する帯電電圧パターン、すなわち周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト151上に用紙142が給送されると、用紙142が搬送ベルト151に吸着され、搬送ベルト151の周回移動によって用紙142が副走査方向に搬送される。そこで、リニアエンコーダ137による主走査位置情報に基づいてキャリッジ133を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ヘッド134を駆動することにより、停止している用紙142にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙142を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙142の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙142を排紙トレイ103に排紙する。また、印字記録待機中にはキャリッジ133は維持回復機構181側に移動されて、キャップ182a~182dで液滴吐出ヘッド134a~134dがキャッピングされて、ノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、キャップ182で液滴吐出ヘッド134をキャッピングした状態で図示しない吸引ポンプによってノズルから記録液を吸引ノズル吸引又はヘッド吸引という。し、増粘した記録液や気泡を排出する回復動作を行う。また、記録開始前、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出する空吐出動作を行う。これによって、液滴吐出ヘッド134の安定した吐出性能を維持する。本発明に係る画像形成装置は、プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置、これらの複合機などにも適用することができる。また、インク以外の液体、例えばDNA試料やレジスト、パターン材料などを吐出する液滴吐出ヘッドや液滴吐出装置、或いはこれらを備える画像形成装置にも適用することができる。画像形成装置としてインクジェットプリンタを例として説明したが、インクジェットコピー、インクジェットファックス、あるいはそれらの複合型記録装置にも適用できる。また、画像形成装置以外にも、インクジェット技術を用いたカラーフィルター製造装置、金属配線製造装置、捺染装置、DNAチップ製造装置など工業用製造装置にも適用できる。以下、本発明を適用した液滴吐出ヘッドの一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図4は実施形態の液滴吐出ヘッドの液室長軸方向に沿う断面図である。図5は実施形態の液滴吐出ヘッドの液室短軸方向に沿う断面図である。図6は実施形態の液滴吐出ヘッドの変形例の液室短軸方向に沿う断面図である。本実施形態ではPZT型の液適吐出ヘッドを用いて説明する。接合面に関して、本実施形態に記載する説明図では、平面であることを中心に説明するが、部材表面に複数の凹凸があっても良い。図4に示す液滴吐出ヘッド10は、液室1-1、流体抵抗部1-2を形成する流路板1と、この流路板1の上面に接合した液滴を吐出するノズル2-1を形成するノズル板2と、流路板1の下面に接合してダイアフラム部4-2を有した振動板4と、この振動板4と接合され、液室1-1内の圧力を変化させる積層圧電素子5と、積層圧電素子5を固定するベース基板6を備えている。図4では接着層は他部材に比べると厚さが薄いために図示していない。振動板4には図5には3層、図6には2層の凸部4-3と厚肉部4-4を設ける構成も考えられる。本実施形態では、圧電素子5は圧電材料層と内部電極とを交互に積層したもので、圧電素子5の圧電方向としてd33方向の変位を用いて液室1-1内の液体を加圧する構成としている。また、本実施形態は、図5に示したような、積層圧電素子5はハーフカットのダイシング加工により櫛歯上に分割され、1つ毎に圧電素子5-1と支持部材5-2として使用する。この構造をバイピッチ構造と呼ぶ。支持部材5-2により流路ユニットを支持しているので、液室1-1の圧力上昇によって流路板1が持ち上がることを防ぎ、いわゆる相互干渉を抑えることに非常に有効である。より液室を高密度化させた図7に示したような圧電素子5の圧電素子5-1をノズルピッチと同じ間隔として、支持部材5-2を形成しない構造ノーマルピッチ構造でも良い。そして、流路板1の材料はSUS304や別のSUS材、Si、Ni、42アロイであっても良い。流路板1の液体に接する面には、窒化チタン膜あるいはポリイミドなどの有機樹脂膜からなる耐液性薄膜を成膜しても良い。このような耐液性薄膜を形成することで、流路板材料が液体に対して溶出しにくく、また濡れ性も向上するため気泡の滞留が生じにくくなり、安定した滴吐出が可能になる。本発明において層や膜は、実質的な平らな全ての構造物を含む意味に用いる。図4、図5に示す本実施形態では、流路板1の厚さが40[μm]~600[μm]である。流路板1の厚さが600[μm]となるときは流路板1を積層することにより液室を形成することも考えられるからである。液室1-1の長手方向の長さは、400[μm]~1600[μm]、液室1-1の幅は120[μm]~139[μm]とした。流路隔壁の幅は振動板4との接合面で約15[μm]~50[μm]液室ピッチが150[dpi]のためである。また、図7に示す実施形態では、流路板1の厚さが100[μm]~600[μm]である。流路板1の厚さが600[μm]となるときは流路板1を積層することにより液室を形成することも考えられるからである。液室1-1の長手方向の長さは、400[μm]~1200[μm]、液室1-1の幅は50[μm]~70[μm]液室ピッチが300[dpi]のためとした構造であっても良い。更に、ノズル板2は金属材料、例えば電鋳工法によるNiメッキ膜等で形成したもので、液滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル2-1を多数形成している。このノズル2-1の内部形状内側形状は、ホーン形状略円柱形状又は略円錘台形状でも良い。に形成している。また、このノズル2-1の径は液滴出口側の直径で約15[μm]~35[μm]である。本実施形態では、ノズル2-1の直径は18[μm]~24[μm]とした。各列のノズルピッチは、150[dpi]又は300[dpi]である。ノズル板の材料としてSUS304や他のSUS材又は樹脂材を用いることもある。このノズル板2の液滴吐出面は、撥水性の表面処理を施した撥水層3を設けている。PTFE-Ni共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂例えばフッ化ピッチなどを蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂、フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、液体物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、液体の滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。図4に示すように、外部から液体を供給するための液体供給口7-1と、共通液室7-2となる彫り込みが形成するフレーム7はエポキシ系樹脂の射出成形により形成している。樹脂材料は、ポリフェニレンサルファイト等でも良い。また、フレーム7はSUS304やその他のSUS材、金属材によって形成されても良い。このように構成した液滴吐出ヘッドにおいては、記録信号に応じて圧電素子5に駆動波形10[V]~50[V]のパルス電圧を印加することによって、圧電素子5に積層方向の変位が生起し、振動板4を介して液室1-1が加圧されて圧力が上昇し、ノズル2-1から液滴が吐出される。その後、液滴吐出の終了に伴い、液室1-1内の液体圧力が低減し、液体の流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって液室1-1内に負圧が発生して液体充填工程へ移行する。このとき、液体タンクから供給された液体は、共通液室7-2に流入し、共通液室7-2から液体流入口4-1を経て流体抵抗部1-2を通り、液室1-1内に充填される。流体抵抗部1-2は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果が有る反面、表面張力による再充填リフィルに対して抵抗になる。流体抵抗部を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次の液滴吐出動作に移行するまでの時間駆動周期を短くできる。ここで、図6に示すように、凸部4-3と厚肉部分4-4の形状として、凸部4-3の周りは薄肉部4-2で囲まれ、その周りを厚肉部分4-4で囲んでいる構成がある。本実施形態では、振動板4は電鋳工法によって薄肉部を設けたNiを用いている。次に、Ni電鋳の2層振動板の電鋳工程について図5を参照して説明する。図8のaに示すように電鋳支持基板211に薄肉部を形成する第一層212を形成し、同図のbに示すように厚肉部間に相当する部分が窓となるレジストパターン213を形成する。そして、例えばニッケル電鋳を行うことで、同図のcに示すように、第一層212上にニッケルが析出され堆積してニッケル層214が形成され、更に電鋳を継続することで、同図のdに示すように、窓から突出するまでニッケル層214が成長すると、エッジ効果によりレジストパターン213、そしてレジストパターン213の表面方向にも肥大してオーバハング部215が生じる。このプロセスを継続していくと、同図のeに示すようにニッケル層214は厚み方向と平面方向にさらに伸長し、所定の成長の段階で電鋳を終了した後、レジストパターン213を除去することで、同図のfに示すように、凹部215により囲まれた断面鋲型のアイランド状厚肉部216を備えた振動板が得られる。振動板4の部材にはNiのほか、金属層や樹脂層、Siを用いた構成も考えられる。金属部材として、本実施形態では、Ni、42アロイ、SUS304が考えられる。また、SiO2やTi等の金属膜を表面に形成することにより液体の透湿を懸念することがなくなる。また、振動板4の部材を樹脂層にすると、金属層に比べダイアフラム部4-2の剛性が低くなることで積層圧電素子5の変位効率を阻害することもなくなる。また、流路板1が金属である場合、樹脂層と金属との接合は金属同士の接合より接合強度が増す。また、樹脂層が、圧延フィルムであっても良い。これにより厚みが薄くなってもピンホールなどの欠陥がほとんど皆無で、信頼性が高い製品を提供することができる。本実施形態において、振動板4と積層圧電素子5の接合領域に接着剤に対して親和性を示す処理を行うことも考えられる。親和性を示す処理として水酸基やSiO2薄膜層を形成することが考えられる。SiO2薄膜層の形成には、比較的熱のかからない、すなわち振動板4の部材に熱的影響の発生しない範囲の温度で成膜可能な方法で形成する。具体的には、スパッタリング、イオンビーム蒸着、イオンプレーティング、CVD化学蒸着法、PCVDプラズマ蒸着法などが適しているといえる。本実施形態ではSiのスパッタリング後スパッタ膜にO2処理をしてSiO2膜を生成している。SiO2薄膜層の膜厚は密着力が確保できる範囲で必要最小限の厚さとするのが工程時間、材料費から見て有利である。本実施形態ではSiO2膜の厚さを10~2000[オングストローム]の範囲で使用している。本実施形態の撥水処理に関して、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。撥水処理方法としてスピンコータ、ロールコータ、スクリーン印刷、スプレーコータなどの方法が使用可能であり、それ以外にも真空蒸着で成膜する方法も使用されている。この方法を使用すると撥水膜の密着性が向上する。本実施形態では、薄肉部の厚さは、2[μm]~10[μm]である。また、液室短手方向の薄肉部領域の長さを10[μm]~50[μm]としている。また、本実施形態では、樹脂層としてポリフェニレンサルフアイドPPS樹脂を用いているが、延伸可能な他の高分子材料、例えば、ポリイミドPI樹脂、ポリエーテルイミドPEI樹脂、ボリアミドイミドPAI樹脂、ポリバラバン酸PPA樹脂、ボリサルホンPSF樹脂、ポリエーテルサルホンPES樹脂樹脂、ポリエーテルケトンPEK樹脂、ポリエーテルエーテルケトンPEEK樹脂、ポリオレフィンAPO樹脂、ポリエチレンナフタレートPEN樹脂、アラミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリカーネート樹脂等を用いることもできる。また、図示していないが、液室基板とノズル基板、振動板、駆動手段やフレームとは接着剤で接合されている。その接着剤の塗布厚さは0.4[μm]~10[μm]程度である。本実施形態の構成では個別液室の構成部材としてノズル板2、流路板1、振動板4の3点の部品で構成しているが、ノズル板と流路板、もしくは流路板と振動板が一体となった2点の部品での構成も考えられ、流路板や振動板を積層部品で形成する場合も考えられる。また、本発明はサーマル方式のように、振動板を備えていない個別液室を形成する液滴吐出ヘッドでも適用可能である。図4のマニホールド8は個別液室に連通する共通液室8-1の一部を形成している。本実施形態ではマニホールド8の材料としてSUS304を使用し、プレス加工によって形成されている。マニホールド8の材料としてはSUS304以外のSUS材料もしくはその他の金属、樹脂材を用いることも可能である。本実施形態では図4のフィルタ9で、液室ユニット組立後の液室内への異物の侵入を防いでいる。本実施形態ではNiの電鋳部品を用いているが、例えばSUS材やその他の金属のエッチング、または樹脂材によって形成することも考えられる。実施形態では、図9に示すように、個別液室を構成する部品で形成した第一のユニット10に、マニホールド8とフィルタ9で形成した第二のユニット11を接合して液室ユニット12を形成している。図10に示すように、積層部品で形成したマニホールド8の使用も可能である。また、フィルタ9を液室ユニット12の底面に接合する以外にも、図11に示すように底面にマニホールド8を接合して、マニホールド8でフィルタ9を挟む構成にすることも可能である。また、上記のマニホールド8とフィルタ9は例えば図12に示すように金属材料のエッチングなどによって一体で形成したプレート13を使用することも考えられる。また、液室ユニットを構成する部品のうち、個別液室を構成する第一のユニット以外の部品は、例えば液室の剛性を補強する部材や配線基盤またはそれを封止する天板など、実施形態のようなマニホールドや内部フィルタ以外の機能を持った部品でも本実施形態を適応できる。硬化温度がa[°C]以上の熱硬化性接着剤の実施形態として、図13にエポキシ、硬化剤、シランカップリング剤の種類と比率を2種類挙げている。実施形態の熱硬化性接着剤はどちらも、常温で固体のエポキシ樹脂とアミン系の硬化剤を用いた2液性のエポキシ接着剤である。図13の接着剤A、接着剤Bのように常温で固体のエポキシ樹脂を用いた熱硬化性接着剤は、接合面に塗布後、乾燥させることで表面の粘着性を抑えることができるので、接着剤塗布面が他の部品と接触することによる、接合面以外への接着剤の付着や引きずりを防ぐことができる。このため、付着した熱硬化性接着剤による吐出液の充填性低下などが抑えられる。エポキシ樹脂は、実施形態で用いられたjER1010やHP7200HH以外にも、常温で固体の物なら同様に使用可能である。実施形態では硬化剤としてジシアンジアミドを用いている。ジシアンジアミドは160[°C]~180[°C]でエポキシ樹脂と反応するが、常温ではエポキシ樹脂との反応がほとんど進まないため、エポキシ樹脂中にジシアンジアミドを分散した状態でも、常温で長期間安定して保存ができる。このため、熱硬化性接着剤の保管と管理が容易となる。また、ジシアンジアミドとを、他の硬化剤または硬化促進剤を併用することで硬化温度を下げることも可能である。また、特開2006-312312号公報のように、熱硬化性接着剤にシランカップリング剤を導入し、接合力の改善を図ることもできる。シランカップリング剤は反応性が高く、ポットライフが低下するなど作業性の面で問題が起きることが考えられるが、この対処として、例えば熱硬化性接着剤とシランカップリング剤を別々に塗布する。塗布の直前に熱硬化性接着剤にシランカップリング剤を導入するなどの方法で熱硬化性接着剤のポットライフ低下を抑えることが可能である。本実施形態ではシランカップリング剤としてZ6040を用いているが、Z6040以外のシランカップリング剤を用いることも可能である。個別液室を形成する第一のユニットと、例えば共通液室を構成する部材との接合面では、熱硬化性接着剤のはみ出し量や引きずりが個々の吐出チャンネル間の吐出性能に差異を及ぼすような影響は、個別液室の接合に比べて小さい。また、図14に示すように、個別液室の隔壁と比較して封止部分の幅が広くできるため、個別液室の接合に比べて強度が低い熱硬化性接着剤でも、封止性を確保することができる。このため、加熱により撥水性が低下する温度a[°C]よりも低く、かつ吐出液によって接液性の良い熱硬化性接着剤であれば使用可能であり、例えば常温で硬化する2液性のエポキシ系接着剤も使用可能である。図15は流路板の厚みバラつきの発生に関する説明図である。プレス等の機械加工によって流路板に液室を形成した場合、バリや変形が形成されてしまう。そのバリや変形が接合時に問題となるので研磨を行い、接合面を平坦にすることが必要となっている。図15のaに示すように、流路板1は枠部1-aと格子部1-bに分けられる。図15のbに示すA-A’線断面図である図15のcに示すように格子部1-bは厚み方向に変形しやすい。研磨時に変形しやすく研磨紙に接触しやすい格子部と変形しにくい枠部とで研磨量に差異が生じ、部品の厚みバラツキとなってしまう。そして、流路板の厚みバラツキに着目して説明を行っているが、ノズル板や振動板の厚みバラツキでも同様な問題が生じてしまう。また、本実施形態では、プレスといった機械加工による厚みバラツキを説明しているが、機械加工以外、例えば電鋳による液室部品を形成する場合にも、レジストパターンが密集領域、密集していないその間の領域で電流密度に差異が生じて、同様な厚みバラツキが生じてしまう。上記のような部品ごとの変形や厚みばらつきによる接合不良を防ぐため、液室近傍を均一に加圧して接合を行う方法が考えられるが、図16に示すように、撥水層3を有するノズル板2、流路板1及び振動板4を含む第一のユニット10と、マニホールド8及びフィルタ9を含む第二のユニット11を一度に接合しようとした場合、第一のユニット10だけの厚さと、第一のユニット10及び第二のユニット11の厚さとの間に差ができ、第一のユニット10及び第二のユニット11の接合箇所の部材には高い圧力が加わって第一のユニットの全体を均一に加圧することが困難となる。そこで、個別液室の封止性を確保するため、図17のaに示すように、個別液室等の液室を形成する部品による第一のユニット10を加熱加圧して形成し、図17のbに示すように、第一のユニット10と第二のユニット11とを接合して液室ユニットを形成している。このとき、第一のユニット10を構成するノズル板2に形成された撥水層3は、一定の温度a[°C]以上での加熱で撥水性が損なわれる撥水剤で形成されている。実施形態ではオプツールをノズル板の吐出面に蒸着させて撥水層3を形成しているが、このオプツール蒸着の撥水層は100[°C]以上の加熱では撥水性が損なわれる。一方、実施形態で使用している熱硬化性接着剤は、160[°C]~180[°C]で加熱硬化が行われる。よって、第一のユニット10の接合では熱硬化性接着剤の硬化温度が撥水層3の熱分解が起きる温度よりも高いため、加熱硬化時に撥水性が低下する。このため、概液室ユニット12の接合を全て概ね第一のユニット10と同じ、硬化温度がa[°C]以上の概接着剤で接合する場合、第一のユニット10の形成とそれ以外のユニットとの接合工程を分けると、撥水層3が繰り返し加熱される。よって、撥水層3の撥水性が損なわれる温度での加熱時間が増加してしまう。そこで、本実施形態では、図17に示すように、a[°C]以上で硬化する熱硬化性接着剤14で図中の流路板1、ノズル板2、振動板4を接合して概ね第一のユニット10を形成してから、その第一のユニット10と、マ二ホールド8とフィルタ9で形成された第二のユニット11を、a[°C]より低い温度で硬化する熱硬化性接着剤15を用いて接合している。これによって、撥水層3の撥水性が低下する温度での加熱時間は増えず、当該加熱時間の累積時間は撥水性が低下する所定の累積加熱時間を超えない。よって、加熱による撥水層3の撥水性の低下を抑えることができる。図18はノズル板、流路板及び振動板の位置決めを示す分解斜視図である。同図において、ノズル板2、流路板1、振動板4はそれぞれに形成された基準穴16-1を用いてピンで位置決め接合され、概ね第一のユニット10が形成される。また、マニホールド8とフィルタ9もそれぞれに形成された基準穴16-2を用いて、ピンで位置決め接合して概ね第二のユニット11が形成される。そして、概ね第一のユニット10と概ね第二のユニット11は、図19に示すように、それぞれのユニットの接合で用いた基準穴16-1、16-2を用いてピンで位置決め接合を行い、液室ユニット12を形成している。この方式では基準穴が1組で済むため、各部品の面積を小さくできるので、液滴吐出ヘッドの小型化とコストダウンが可能になる。以上説明したように、実施形態によれば、図17に示すように、ノズル板のノズル面に塗布された撥水剤の撥水性が損なわれる温度以上で硬化する熱硬化性接着剤14を流路板1、ノズル板2、振動板4の接合に用いる。そして、流路板1、ノズル板2、振動板4を接合して形成した第一のユニット10に、マ二ホールド8とフィルタ9で形成された第二のユニット11を、熱硬化性接着剤14の硬化温度より低い温度で硬化する熱硬化性接着剤15を用いて接合する。このため、熱硬化性接着剤14を用いた接合における加熱時間は増えず、その加熱時間は撥水剤の撥水性が損なわれる所定の累積加算時間までには至らない。よって、撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制することができる。また、実施形態によれば、図18に示すように、基準穴16-1を用いてピンで位置決め接合して概ね第一のユニット10を形成し、マニホールド8とフィルタ9もそれぞれに形成された基準穴16-2を用いて、ピンで位置決め接合して概ね第二のユニット11を形成している。そして、図19に示すように、概ね第一のユニット10と概ね第二のユニット11は、それぞれのユニットの接合で用いた基準穴16-1、16-2を用いてピンで位置決め接合を行い、液室ユニット12を形成している。この方式では基準穴が1組で済むため、各部品の面積を小さくできるので、液滴吐出ヘッドの小型化とコストダウンが可能になる。"