"ナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の懸濁液または湿性ペーストを生成するための装置であって、上下に配設された第13および第24区画を有するチャンバ1と、前記第1および第2区画の間で前記チャンバに配置され、一方の区画から他方への流体の通過を可能にしながらナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の通過を阻止するのに適したフィルタリング手段と、前記第1区画3に配置され、15から100g/Lのかさ密度を有するナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の流れを導入する手段5と、前記第2区画に配置され、気体を吐出する手段7と、前記第2区画に配置されて少なくとも一つの流体を注入し、気体流を導入する前記手段5により生じた流れに対して逆に流れる流れを前記フィルタリング手段2から生じさせるために適した手段8と、前記粒子の懸濁液または湿性ペーストを排出するための手段6と、を有し、前記第1区画3中で1から10マイクロメートルのサイズの液滴から形成される霧状体を形成する手段を有し、前記霧状体を形成する手段と前記フィルタリング手段とが欧州規格EN1822による高性能フィルタ2を有する単一要素であることを特徴とする、装置。前記注入手段により注入される前記流体が周囲温度で液体溶剤であり、前記流体が液体状または気体状で注入されて前記フィルタ出口で前記霧状液滴を形成する、請求項1に記載の装置。前記高性能フィルタ2が金属フィルタである、請求項1に記載の装置。前記フィルタ2の細孔サイズが200nm以下である、請求項1または3に記載の装置。前記第1区画3が前記第2区画4の下方に位置する、請求項1に記載の装置。請求項1から5のいずれか一項に記載の装置を使用してナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の懸濁液または湿性ペーストを生成するための方法であって、以下の連続するステップを有するa15から100g/Lのかさ密度を有するナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の流れを、前記装置の前記チャンバ1の前記第1区画3へ導入するステップと、b周囲温度および大気圧で液体である溶剤から選択される溶剤を液状または気体状で前記第2区画4に注入して前記フィルタリング手段に前記溶剤を通過させることにより1から10マイクロメートルのサイズの霧状液滴を前記第1区画3で形成するステップと、c前記第1区画3に収容される粒子の全体量が、前記溶剤が液体状で前記第2区画4へ導入される場合には80から99の溶剤を有する懸濁液を、前記溶剤が気体状で前記第2区画4へ導入される場合には1から10の溶剤を有する湿性ペーストを、必要に応じて前記溶剤とともに形成する時に、前記霧状体の形成を停止するステップと、d形成された前記懸濁液または湿性ペーストを回収するステップ。ステップbにおける前記霧状体の形成が、前記第1区画3と前記第2区画4との間に圧力差を設けることにより得られ、前記第1区画の方で圧力が低い、請求項6に記載の方法。先行技術のこれらの欠点に対処するため、発明者らは、懸濁液液体プロセスまたは湿性ペースト湿式プロセスの形でナノ粒子および超微細粒子を安全に回収するための装置および方法を考案するという目的を定めた。湿式プロセスは1から10の溶剤例えば水の質量含有量を特徴とするのに対して、液体プロセスは80から99.9の溶剤例えば水の質量含有量を特徴とすることに注意すべきである。質量含有量は、懸濁液全体つまり溶剤と粉末の質量に対する溶剤質量の比であることにも注意すべきである。上下に配設された第1および第2区画を有するチャンバと、前記第1および第2区画の間の前記チャンバに配置され、一方の区画から他方への流体の通過を可能にしながらナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の通過を阻止するのに適したフィルタリング手段と前記第1区画3に配置され、15から100g/Lのかさ密度を有するナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の流れを導入する手段5と、前記第2区画に配置され、気体を吐出する手段7と、前記第二区画に配置されて少なくとも一つの流体を注入し、気体流を導入する前記手段5により生じた流れに対して逆に流れる流れを前記フィルタリング手段2から生じさせるために適した手段8と、前記粒子の懸濁液または湿性ペーストを排出するための手段6と、を有し、前記第1区画3中で1から10マイクロメートルのサイズの液滴から形成される霧状体を形成する手段を有し、前記霧状体を形成する手段と前記フィルタリング手段とが欧州規格EN1822による高性能フィルタ2を有する単一要素であることを特徴とする、ナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の懸濁液または湿性ペーストを生成するための装置によって、この目的が達成される。上記した記載および以降の記載において、粒子に使用されるサイズの語はこれらの粒子の最大サイズを指す。粒子に使用されるナノメートルの語は、サイズが100ナノメートル未満であることを意味する。粒子に使用されるサブミクロンの語は、サイズが100から500ナノメートルの間であることを意味する。粒子サイズを決定するには、以下に記載される方法が使用されるとよい。最初に、粒子の表面積および重量比単位m2/g-1を求めるBETBrunauer,EmmetTeller法を用いて、粒子の比表面積が測定される。次に、単位容積あたりの粒子の重量を求めるヘリウムピクノメトリー法を用いて、粉末粒子の密度が測定される。ヘリウムピクノメトリーは、周知の質量を持つ試料の容積についての非常に精密な測定に基づいて、固体、分割体、有孔体の密度を判断するのに適している。最後に、各粒子が球形であると考えて平均粒子径が計算される。液滴のサイズを判断するには、例えばレーザ光線拡散粒度分析測定法が使用されるとよい。また、フィルタの効率とは、フィルタの上流での初期粒子濃度に対するフィルタの上流および下流での粒子の変動を表すことに注意すべきである。つまり、E=CO-CF/CO上式において、COはフィルタの上流での粒子濃度を表し、CFはフィルタの下流での粒子濃度、つまりフィルタリング後の濃度を表す。加えて、本発明で使用されるフィルタが欧州規格EN1822による高性能フィルタであることに注目すると、当業者であれば、どの最大の特徴をフィルタから観察すべきかを理解できるであろう。0.1から0.2マイクロメートルの直径を有する最大透過粒子についてのフィルタの効率を判断するMPPS効率測定法レーザ捕捉検査法を用いて、高性能フィルタの特徴が測定される。高性能フィルタの顕著な特徴が、本明細書の付録に表形式で示されている。本発明の範囲内においては、溶剤の百分率が80から99.9である時に懸濁液が得られたと見なされ、溶剤の百分率が1から10である時に湿性ペーストが得られたと見なされる。第1区画および粉末の温度が溶剤の露点より低い場合には、溶剤が気体状で第2区画へ導入されると、溶剤の凝縮のためにフィルタまたは第1区画において、溶剤が液滴の形で吐出されることに注意すべきである。実際、粉末および第1区画フィルタを含むが溶剤露点を下回る温度である場合には、気体状の溶剤がフィルタ出口で、またはこれと接触して凝縮する。このため、気体状の溶剤が使用される場合には、全体フィルタ、チャンバ、および準備直後の粉末がまだ非常に高温100から150°Cであるので、装置全体を加熱するか合成の直後に粉末を加湿することが好ましい。また、本発明による粒子かさ密度値範囲つまり15から100g/Lの範囲の制限が注意深く選択されることに注意すべきである。実際には、液滴状で第1区画へ導入される溶剤が各粉末粒子を含むおよび捕捉できるように、第1区画の容積の97以上が常に気体、液体、または真空で占められるようにこれらが選択される。実際に、粉末の密度は粉末の性質とこれを合成する方法に固有である。例えば、レーザ熱分解により合成されて35nmの粒度を有するSiCナノ粉末は、45g/Lのかさ密度を有する。同様に、レーザ熱分解により合成されて20nmの範囲の粒度を有するSiC粉末については、かさ密度は25g/Lである。SiCの1リットル固形ブロックの理論質量が3200gであって、35nmの粒度を有するSiC粉末1リットルについて密度が45gであるとすると、この容積の1.4つまり45/3200×100のみが粉末で占められることがわかっている。結果的に、容積の大部分が気体または真空で占められることになる。同様に、20nmの粒度を有するSiC粉末を用いると、この粉末は容積の0.78を占める。注入手段により注入される流体が周囲温度で液体溶剤であり、流体が液体状または気体状で注入されて、フィルタ出口で霧状液滴を形成すると、好都合である。高性能フィルタが金属フィルタであると好都合である。フィルタ細孔サイズが200nm以下であることが好ましい。表面に細孔が設けられた1本または複数本の柱体をフィルタが有することが好ましい。第1区画が第2区画の下方に位置すると好都合である。第1および第2区画はそれぞれチャンバの下部および上部に位置する。第2区画の内容積より少なくとも2倍大きい内容積を第1区画が有すると好都合である。本発明はまた、上記の装置を用いてナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の懸濁液または湿性ペーストを生成する方法に関連する。本発明による方法は、以下の連続するステップを有する。a15から100g/Lのかさ密度を有するナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子の流れを、前記装置の前記チャンバの前記第1区画へ導入するステップと、b周囲温度および大気圧で液体である溶剤から選択される溶剤を液状または気体状で前記第2区画に注入して前記フィルタリング手段に前記溶剤を通過させることにより1から10マイクロメートルのサイズの霧状液滴を前記第1区画で形成するステップと、c前記第1区画3中の粒子の全体量が、要求に応じて、前記溶剤とともに、前記溶剤が液状で前記第2区画へ導入されている場合には80から99の溶剤を含む懸濁液、前記溶剤がガス状で前記第2区画へ導入されている場合には1から10の溶剤を有する湿性ペースト、が形成されたときに、前記霧状体の形成を停止するステップと、d形成された前記懸濁液または湿性ペーストを回収するステップ。ステップbにおける霧状体の形成が第1区画と第2区画との間に圧力差を設けることにより得られて第1区画の方で圧力が低いと、好都合である。本発明による装置および方法は、ナノメートルまたはサブミクロンサイズの任意の大量の、つまり数十キログラムまでの量の粒子についての間接的な液体プロセス懸濁液または湿式プロセス湿性ペーストによる回収に適している。事実、かさ密度値は15から100g/Lの間であるべきなので、粉末の量は第1および第2区画の容量のみに制限されることに注意してほしい。例えば、第1区画が150Lの容積を有する場合、7kgまでの粉末が導入可能である。第2区画の容積はここへ導入される溶剤水などの量に左右されることに注意してほしい。粒子が液体プロセスで連続的に懸濁される結果、1kg/時以上の粉末の製造、特に5~10kg/時以上の製造についてはコストが非常に高く必ずしもそれほど効率的ではない先行技術の装置と異なり、本発明による装置および方法は、ナノ粒子の合成後回収または間接的回収を可能にし、かなり低コストでより効率的な代替案である。本発明による方法および装置のさらなる長所は、粉末の乾式プロセス処理を回避するものだということである。実際、15g/Lと100g/Lの密度値非常に大きい粒子間空間に相当するを有する粒子粉末を使用し、液体溶剤を噴霧する手段または気体状の溶剤蒸気を拡散させる手段として高性能フィルタ200nm以下のフィルタリング閾値を使用することで霧状マイクロ液滴の発生を可能にすることは、粉末粒子により形成されるネットワークにおいて良好な溶剤分散を得るのに適している。ゆえに、得られる懸濁液または湿性ペーストは大量の粒子を有するが、乾式プロセス粒子は含まない。次に、ナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子を噴霧乾燥または凍結乾燥により粒状化するためのシステム、ナノメートルまたはサブミクロンサイズの粒子を低温プラズマなどにより官能性にするためのシステム、そして粒度分析、濁度計、粘度計、分光計により粒子の特徴を明らかにするための装置へ、湿性ペーストの懸濁液が送られるとよい。図に描かれているように、チャンバ1はフィルタ2を備えている。フィルタ2がチャンバに配置され、フィルタ2はチャンバの内部を二つの区画、つまりチャンバの下部に位置する第1区画3とチャンバの上部に位置する第2区画4とに分離する。チャンバは、相互にねじ結合されるのに適した二つの部材一方がチャンバの上部を、他方が下部を形成するで構成されるとよい。次にフィルタが部材の一方にねじ結合されてから、他方の部材にねじ結合される。我々のある例では、チャンバ1は例えば135リットルの内容積を有する高容量マニホルドであって、この場合のフィルタ2は5個一組の高性能金属フィルタカートリッジで構成される。チャンバの中でフィルタが占める容積はおよそ5リットルつまり5×0.98Lである。高性能フィルタが使用されるとすると、各フィルタカートリッジは100から200nmの範囲のフィルタリング閾値を有する。チャンバは、第1区画に位置してチャンバへの粒子流のための入口となる開口部5と、やはり第1区画に、好ましくは第1区画の最下点に位置して、方法の終了時に懸濁液または湿性ペーストの出口となりバルブを備える開口部6と、チャンバから気体を吐出するため第2区画に位置してやはりバルブを備える開口部7と、第2区画に位置してチャンバへの流体の入口となる開口部8とを有する。本発明によれば、粒子を有する流れをフィルタリングするための手段として、また液体または気体状の溶剤を噴霧して霧状の溶剤の液滴を形成するための手段として、フィルタが作用する。粒子粉末は15から100g/Lのかさ密度を有するので、粒子の間にはかなりの空間が存在する。こうして液滴が最大粒子表面エリアに接近して、最終的に粒子が液滴に捕捉される。こうして粉末はもはや粉末状ではなくなり、粒子はもはや空気伝達されなくなる。方法の終了時に回収される生成物、懸濁液、または湿性ペーストは、安全で容易な取り扱いに適している。使用される溶剤は、水、アルコール、ケトン、または金属および生成粉末との化学的適合性を持つ他の溶剤から選択されるとよい。溶剤は、単独で、またはポリエチルイミンなどの分散剤とともに使用されるとよい。様々な分散剤を溶剤に添加すること溶剤および粒子の性質に応じて選択が行われる、そしてチャンバの第1区画の底部に置かれた棒磁石を用いることにより、粒子の分散が向上する。分散剤の有無にかかわらず溶剤は、フィルタの下流に位置するタンク不図示に配置され、タンクの容積はチャンバへ注入される溶剤の量により規定される。バルブがタンクをチャンバから分離する。第2区画に位置する開口部8を介して、溶剤がチャンバへ流入する。溶剤をチャンバへ注入することによって溶剤が導入される。この注入は例えば、チャンバを真空にし、チャンバと溶剤タンクとの間の分離バルブを開いて吸引作用により液体溶剤をチャンバへ導入することによって行われるとよい。20L/分6バールまでのアルゴンなどの圧縮中性ガスをチャンバへ注入して圧力を印加することによりチャンバへ液体溶剤を送入することも可能である。この時、粉末粒子により形成されるネットワークによる残留容積全体への溶剤の拡散を促進するように、溶剤タンクが空になった後の数分間およそ5分はアルゴン流量が維持される。推進ガスを使用する場合には、開口部7からの吐出のためのバルブが開かれるべきであることに注意すべきである。例えば、ナノメートルサイズの粒子5kgの生成については、35nmのサイズを有する炭化ケイ素粒子を10および15質量含む懸濁液を得て溶剤を液体状で第2区画へ送るには、溶剤容積はそれぞれ50Lおよび33Lであるべきである。ストリーム発生器を使用するなどしてチャンバへ溶剤を導入する前に溶剤を加熱することにより、気体状溶液が得られる。溶剤が気相でチャンバへ導入される場合には、熱質量流量制御システム、被制御蒸発混合CEMシステム、およびコリオリ効果デジタル液体質量流量計をチャンバが備えることが好ましい。金属フィルタが使用される場合には、100°Cを上回る温度まで加熱された気相溶剤をチャンバに導入することができる。要約すると、先行技術と異なり、懸濁液または湿性ペーストは粒子合成とともに連続的に導入されるのではなく、合成の後に導入される。まず、生成されるすべての粒子が、流体の形でチャンバの第1区画へ導入される。液体または気体状溶剤を導入する前にチャンバを真空にして溶剤分散を向上させることも可能である。粒子が第1区画へ導入される時に、フィルタはフィルタとして作用する。最初に、粒子流中に存在する粒子をフィルタリングする。液体溶剤が第2区画へ導入されると、フィルタは噴霧器として作用する。粒子フィルタリングと反対の流れで液体溶剤をフィルタへ導入することにより、1から10マイクロメートルのサイズの液滴として溶剤を噴霧する。気体状溶剤が第2区画へ導入される時には、フィルタは蒸気溶剤拡散器として作用する。方法の終了時には、チャンバの第1区画の底部に位置する開口部6のバルブを開くことにより、生成された懸濁液または湿性ペーストを回収することができる。"