被測定領域から放射された光束の波長分布特性を測定する波長分布測定装置であって、互いに異なる分光感度特性を有する受光素子を複数備える受光部と、前記光束が入射する入射面、前記入射面に入射された前記光束を前記受光部に向けて出射する出射面、および、前記入射面と前記出射面とを連結し、前記入射面に入射された前記光束を内部反射する側面を備え、前記入射面より入射した前記光束を内部で散乱させる体積散乱体により形成される光束均一化光学素子と、を備えることを特徴とする波長分布測定装置。前記被測定領域の中間像が形成される位置に配置され、前記被測定領域から放射された前記光束のうち、一部の光束のみを通過させる視野絞りを備え、前記光束均一化光学素子は、前記視野絞りを通過した前記光束を入射させることを特徴とする請求項1に記載の波長分布測定装置。前記光束均一化光学素子の前記側面は、金属膜または誘電体多層膜で被覆されていることを特徴とする請求項1または2に記載の波長分布測定装置。前記光束均一化光学素子の前記入射面の一部は、前記光束均一化光学素子の内部で散乱された前記光束を内部反射する反射面が形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の波長分布測定装置。前記光束均一化光学素子の前記入射面と前記出射面との間の距離をLmm、前記体積散乱体の等価散乱係数をμs’1/mmとしたとき、3/L<μs’<30/L1の関係を満たすことを特徴とする、請求項1~4の何れか一項に記載の波長分布測定装置。前記光束均一化光学素子の前記入射面の少なくとも一部は、該入射面に入射する前記光束を拡散させる拡散面で構成されていることを特徴とする、請求項1~5の何れか一項に記載の波長分布測定装置。被測定領域と前記光束均一化光学素子との間に、光束を拡散させる拡散面を有する拡散素子が配置されていることを特徴とする、請求項1~5の何れか一項に記載の波長分布測定装置。前記受光部は、前記受光素子が二次元的に配置されることを特徴とする請求項1~7の何れか一項に記載の波長分布測定装置。それぞれの前記受光素子は、光電変換素子と、該光電変換素子の前面に近接して配置された透過帯域特性の互いに異なるフィルタとから構成されることを特徴とする請求項1~8の何れか一項に記載の波長分布測定装置。それぞれの前記受光素子からの出力信号に基づいて、前記光束の波長分布特性を導出する特性導出部を備えることを特徴とする請求項1~9の何れか一項に記載の波長分布測定装置。しかしながら、近年では顕微鏡装置の一層の小型化が求められており、それに伴って光束均一化光学素子も更なる全長短縮が求められている。しかしながら、光束均一化光学素子の全長を短縮すると、側面での反射回数が減少する。それにより個々の受光素子に照射される光束が不均一となり、スペクトルの測定精度が低下してしまうという問題があった。したがって、かかる点に着目してなされた本発明の目的は、被測定領域から放射される光束のスペクトルを高い精度で測定しつつ、装置を小型化した波長分布測定装置を提供することにある。上記目的を達成する波長分布測定装置の発明は、被測定領域から放射された光束の波長分布特性を測定する波長分布測定装置であって、互いに異なる分光感度特性を有する受光素子を複数備える受光部と、前記光束が入射する入射面、前記入射面に入射された前記光束を前記受光部に向けて出射する出射面、および、前記入射面と前記出射面とを連結し、前記入射面に入射された前記光束を内部反射する側面を備え、前記入射面より入射した前記光束を内部で散乱させる体積散乱体により形成される光束均一化光学素子と、を備えることを特徴とするものである。前記被測定領域の中間像が形成される位置に配置され、前記被測定領域から放射された前記光束のうち、一部の光束のみを通過させる視野絞りを備え、前記光束均一化光学素子は、前記視野絞りを通過した前記光束を入射させることが好ましい。また、前記光束均一化光学素子の前記側面は、金属膜または誘電体多層膜で被覆されていることが好ましい。さらに、前記光束均一化光学素子の前記入射面の一部は、前記光束均一化光学素子の内部で散乱された前記光束を内部反射する反射面が形成されていても良い。また、好適には前記光束均一化光学素子の前記入射面と前記出射面との間の距離をLmm、前記体積散乱体の等価散乱係数をμs’1/mmとしたとき、3/L<μs’<30/Lの関係を満たす。さらに好ましくは、前記光束均一化光学素子の前記入射面の少なくとも一部は、該入射面に入射する前記光束を拡散させる拡散面で構成されていても良い。あるいは、被測定領域と前記光束均一化光学素子との間に、光束を拡散させる拡散面を有する拡散素子が配置されていても良い。また、前記受光部は、前記受光素子が二次元的に配置されることができる。それぞれの前記受光素子は、光電変換素子と、該光電変換素子の前面に近接して配置された透過帯域特性の互いに異なるフィルタとから構成されるものとすることができる。さらに好適には、それぞれの前記受光素子からの出力信号に基づいて、前記光束の波長分布特性を導出する特性導出部を備える。本発明によれば、光均一化光学素子が、入射面より入射した光束を内部反射させる側面を有し、且つ、入射面より入射した光束を内部で散乱させる体積散乱体により形成されるので、光束均一化光学素子の全長が短くても被測定領域から放射される光束を均一化し、受光面での照度分布を均一化することができる。これにより、光束のスペクトルを高い精度で測定しつつ、測定装置を小型化することが可能となる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。第1実施の形態図1は、本発明の第1実施の形態に係る波長分布測定装置を適用した顕微鏡の概略構成図である。この顕微鏡10は、透過型の光学顕微鏡である。顕微鏡10は、被測定物11を載置するステージ12を含むステージユニット13と、被測定物11を照明する光源ユニット14と、複数の対物レンズ15が装着されたレボルバユニット16と、対物レンズ15を通った光に中間像を結像させる結像レンズ17と、使用者が被測定物11を目視するための接眼部18と、被測定物像を撮像するために直筒部に取付けられたカメラユニット19とを含んで構成されている。なお、カメラユニット19は、接眼部18に装着しても良く、また、カメラユニットの画像のみで被測定物11を観察するように構成されていても良い。また、対物レンズ15と結像レンズ17との間には、ハーフミラー20が設けられ、被測定物11からの光束の一部を分岐させフォーカス検出ユニット21に入射させる。さらに、結像レンズ17と接眼部18およびカメラユニット19との間には、ハーフミラー22が設けられ、被測定物11からの光束の一部を分岐させ、ミラー23を介して測定ユニット24に入射させる。ハーフミラー20および22は、光束を分岐させるものであれば、プリズムやビームスプリッタ等を使用することもできる。また、ミラー23は必ずしも設ける必要は無い。ステージユニット13は、ステージ12と、ステージ12に載置された被測定物11の向きを変えずに3次元方向に駆動させるXY駆動機構図示せずおよびZ駆動機構図示せずと、これら、XY駆動機構およびZ駆動機構をそれぞれ制御するXY駆動制御部13aおよびZ駆動制御部13bとを含んでいる。ここで、対物レンズ15の光軸方向をZ方向とし、Z方向と垂直な平面をXY平面として定義している。これによって、ステージ13は、XYZ方向に自在に移動させることができる。XY駆動制御部13aは、XY位置の原点センサ図示せずによってステージのXY平面における所定の原点位置を検知し、この原点位置を基点としてモータの駆動量を制御することによって、被検査物の観察視野を移動させる。Z駆動制御部13bは、Z位置の原点センサ図示せずによってステージのZ方向における所定の原点位置を検知し、この原点位置を基点としてモータの駆動量を制御することによって、所定の高さ範囲内の任意のZ位置に被検査物を焦準移動させる。光源ユニット14は、ステージ12の下部からステージ12の開口部を通して、ステージ12に載置される被測定物11を照明する白色光源であり、ハロゲンランプ等が使用される。光源ユニット14から出射した光の被測定物11を透過した透過光が観察光として対物レンズ15に入射する。レボルバユニット16は、回転可能なレボルバに倍率の異なる対物レンズ15を複数装着しており、このレボルバを回転させて使用する対物レンズ15を自在に交換し、対物レンズの倍率観察倍率の変更を行う。フォーカス検出ユニット21は、分岐した被測定物11からの光束に基づいて、合焦位置を検出する。また、測定ユニット24は、被測定物11の色またはスペクトルに関する情報を取得するものであって、本実施の形態の波長分布測定装置に該当するものである。測定ユニット24の構成の詳細については後述する。さらに、顕微鏡10は、制御データ処理部30として、ステージユニット制御部31と、光源ユニット制御部32と、レボルバユニット制御部33と、カメラユニット制御部34と、フォーカス検出ユニット制御部35と、測定ユニット制御部36と、制御コントローラ37と、ホストシステム38と、ユーザインタフェース39とを備える。ステージユニット制御部31は、XY駆動制御部13aおよびZ駆動制御部13bを制御して、被測定物11の位置を制御する。光源ユニット制御部32は、光源ユニット14を制御して、光源ユニット14から照射される照明光の光量を調整する。レボルバユニット制御部33は、レボルバユニット16のレボルバを回転させて、対物レンズの切り換えを行う。フォーカス検出ユニット制御部35は、フォーカス検出ユニット21を制御して、顕微鏡10のフォーカス位置に関する情報を取得する。測定ユニット制御部36は、測定ユニット24を制御して、被測定物11の所定の領域の波長分布特性を電気信号として受信する。制御コントローラ37は、ホストシステム38の制御に基づいて、顕微鏡装置10を構成する各部の動作を統括的に制御する。例えば、制御コントローラ37は、レボルバを回転させて観察光の光路上に配置する対物レンズ15を切換える処理や、切換えた対物レンズ15の倍率等に応じた光源の調光制御や各種光学素子の切換え、あるいはXY駆動制御部13aやZ駆動制御部13bに対するステージの移動指示等、被測定物11の観察に伴う顕微鏡10の各部の調整を行うとともに、各部の状態を適宜ホストシステム38に通知する。また、制御コントローラ37は、フォーカス検出ユニット35を制御して顕微鏡10のフォーカス状態に関する情報を取得し、その結果に応じてZ駆動制御部13bに対するステージの移動指示を行うことで被測定物11に自動的にピントを合わせるオートフォーカス制御を実現する。また、ユーザインタフェース39は、キーボードおよびディスプレイ等で構成され、ホストシステム38に対する各種入力を受付け、また、各種測定結果の表示およびシステム情報の表示をする。さらに、制御コントローラ37は、ホストシステム38の制御に基づいて、カメラユニット19の自動ゲイン制御のON/OFF切換、ゲインの設定、自動露出制御のON/OFF切換、露光時間の設定等を行ってカメラユニット19を駆動し、カメラの撮像動作を制御する。また、測定ユニット24によるスペクトルの取得の際の測定視野や測定箇所、測定数、測定の際の積算回数や使用する受光素子の数、フィルタ設定等を制御する。次に、測定ユニット24について説明する。図2は、図1の測定ユニットの構成を被測定物11から発した光が測定ユニット24の受光部56に至るまでの光路と共に示す図である。測定ユニット24は、視野絞り51と、光束均一化光学素子53と、受光部56を含んで構成されている。なお、本発明を表現する上で必須な構成は、光束均一化光学素子53と、受光部56である。視野絞り51は、対物レンズ15と結像レンズ17による被測定物11の中間像57が形成される位置に配置されている。この視野絞り51によって、被測定物11の測定対象の領域を制限することができる。視野絞り51を通過した光束は光束均一化光学素子53に入射し、輝度分布が均一化された光となって受光部56に到達する。光束均一化光学素子53については、後で説明する。受光部56は、複数例えば、4~20色の異なる分光感度を有する受光素子56aを含んで構成される。受光素子56aは、受光面に一列に配置されていても良く、また、2次元的に配置されていても良い。図3は、図2の受光部56の受光素子56aの配列の一例を示す図であり、この場合受光部56は、15の受光素子56aが、3行5列に配置され、受光部56の受光面は全体として長方形の形状となっている。また、各受光素子56aは、光電変換素子例えばフォトダイオードPDの前面に、例えば、透過帯域特性の異なる有機膜のフィルタを配置して構成される。図4は、図2の受光部56の各受光素子56aの分光感度の一例を示す図であり、横軸に波長、縦軸に分光感度を示している。この受光部56を用いた場合、隣接するグラフに対応する2つの受光素子56aの信号の差分をとることによって、合計14バンドのスペクトルに対応した信号成分特性を得ることができる。使用する受光素子56aの数を多くすることで、高い測定精度を得ることができる。一方、高い測定精度が求められていない場合には、使用する受光素子56aの数を減らすことで、測定時間を短縮することができる。図5は、図1の顕微鏡における測色処理を示すブロック図である。受光部56の各受光素子56aで検出された各スペクトル帯域に対応する電気信号は、制御データ処理部30の測定ユニット制御部36によって読み出され、ホストシステム38に転送される。ホストシステム38には、補正部61、スペクトル推定部62および画像補正部63が含まれる。補正部61は、各受光素子56aの光学的なムラや受光素子の個体差等に基づきデータを補正し、スペクトル推定部62は、補正部61で補正されたデータに基づいて、色またはスペクトルの推定を行う。画像補正部63は、スペクトル推定部62で推定された色またはスペクトルに基づいて、カメラユニット19から得られる画像の色を補正する。この例において、補正部61およびスペクトル推定部62は、特性導出部に対応する。次に光束均一化光学素子53について説明する。図2に示すように、光束均一化光学素子53は、入射面53aと、側面53bと、出射面53cとで構成されている。一般的な光束均一化素子では、入射面から入射した光束が側面で複数回反射することで、出射面から出射する光束の輝度分布が均一化される。この反射回数は、光束均一化光学素子の長さに比例し、太さ幅や高さに反比例する。図1および図2のような構成において、一般的な光束均一化素子を測定装置24に適用した場合、測定ユニット24を小型化する場合には、光束均一化光学素子の全長を短縮する必要がある。しかし、受光部56の面積を縮小することは製造上の問題等で難しいため、出射面の面積も小さくすることは難しい。従って、光束均一化光学素子の太さは変化せずに全長が短縮するため、側面での光束の反射回数が減少し、光束の均一化が不十分となる。さらに、顕微鏡の場合は一般的に拡大観察を行うので、被測定物11よりも中間像57の方が大きくなる。それに伴い、被測定物11から放射される発散光束の角度範囲よりも、中間像57に収束する光束の角度範囲の方が小さくなる。中間像57の拡大倍率が高くなるほど、視野絞り51を通過する光束は平行光に近くなる。その光束を光束均一化光学素子に入射すると、光束の大部分が側面で反射せずに受光部56に届くため、光束の輝度分布の均一化がなされず、スペクトルの測定精度が悪化してしまう。そこで本発明では、上述のように光束均一化光学素子53を体積散乱体により形成する。体積散乱体とは媒質内部で光が散乱する材料であり、ガラスや樹脂等の透明な媒質の内部に多数の粒子を拡散させたものである。媒質中に拡散された粒子による反射や屈折率の変化によって、媒質内部を通る光が散乱される。媒質内に拡散される粒子の粒径は、0.1μm~100μm程度である。樹脂を媒質とする体積散乱体としては、例えば、特開平5-302006に記載される、メタクリル樹脂に平均粒径が5~20μmの実質的に球状の架橋重合体微粒子を分散させた光拡散性メタクリル樹脂や、特開2001-66701に記載される透光性樹脂中にシリコーン系ゴム球状粒子を分散させたものなどが知られている。また、ガラスを媒質とするものとしては、非晶質ガラス中に屈折率の異なる結晶やガラス粒子が分散されたオパールガラスが知られている。オパールガラスの製法としては、低融点ガラスに溶解速度の小さいTiO2やSiO2などの酸化物を加えて懸濁させる方法や、高温で溶解したガラスを、冷却過程または再加熱により粒子を析出させる方法が知られている。また、特許第4574878号に記載される光散乱性ガラス材料のように、ガラス内部に粒径0.1μm以上のガラス粒子、または、金属酸化物粒子を分散させたものも知られている。視野絞り51を通過した後に光束均一化光学素子53の入射面53aに入射した光束は、媒質内部の粒子により光束均一化光学素子53の内部で何回も散乱されることとなる。それにより輝度分布が均一化された光束が、光束均一化光学素子53の出射面53cから出射し、受光部56に到達する。特に顕微鏡では、被測定物11が厚みを持つ場合やデフォーカスした場合に光束の輝度の位置分布だけでなく、輝度の角度分布も不均一となる。このような場合でも受光部56に照射される光束の照度分布を均一化できるので、スペクトルの測定精度を確保することができる。光束均一化光学素子53の側面53bは、光束を反射することによる輝度均一化の効果だけでなく、光束を外に逃がさずに明るさを確保する効果も有する。光束均一化光学素子の内部で散乱された後に側面53bに届く光束の角度は様々であり、側面53bで全反射するとは限らない。従って、側面53bは通常の光学面では無く、金属膜または誘電体多層膜で被覆した高い反射率を有する反射面とすることが好ましい。特に、アルミ蒸着面などの金属膜は、波長や角度の依存性があまり無く、90程度の反射率が得られる。もちろん、反射率はこの数値と異なっていても側面53bでの反射による光束均一化の効果と明るさ確保の効果は得られる。反射率が100に近いほど良い。次に、光束均一化光学素子53の作用について、数値計算によるシミュレーションを行った結果に基づいてさらに説明する。光束均一化光学素子53内部での光束の体積散乱は、散乱係数μs、吸収係数μa、非等方散乱パラメータgの3つのパラメータで表現できる。散乱係数μsは媒質の散乱の強さを表すパラメータである。入射光の強度をI0、光が進む距離をx、光が進んだ後の強度をIとすると、II0exp-μsxの関係にある。同様に、吸収係数μaは媒質の吸収の強さを表すパラメータである。入射光の強度をI0、光が進む距離をx、光が進んだ後の強度をIとすると、II0exp-μaxの関係にある。散乱係数、吸収係数ともに、[1/mm]や[1/cm]といった単位で表されることが多い。また、非等方散乱パラメータgは無次元量であり、散乱の角度分布の平均余弦を積分したものである。完全な前方散乱ではg=1、完全な後方散乱ではg=-1、等方散乱ではg=0の値を取る。本実施の形態および第2実施の形態のシミュレーションにおいて、吸収係数μaはゼロ、非等方散乱パラメータは0.9強い前方散乱、としている。散乱の角度分布位相関数は、HenyeyGreenstein関数に基づいて計算している。また、g>0の前方散乱特性をもつ物質でも、光が複数回散乱した等方散乱領域では等価散乱係数μs’を用いることができる。ここで、μs’=1-gμsの関係がある。散乱の強さを評価するのに便利であるため、等価散乱係数μs’で散乱の強さを表現する。シミュレーションでのμs’の値は後述する。本シミュレーションの光束均一化光学素子53は、入射面53aおよび出射面53cが3.2mm×2.6mmの矩形の形状を有し、長さL入射面53aと出射面53cとの距離を3mmとした。視野絞り51と入射面53aの距離が0.2mm、射出面53cと受光部56との距離が0.2mmである。受光部の受光範囲は2.0mm×1.4mmである。また、側面53bは反射率が92、吸収率が8の反射面とした。光束均一化光学素子53の等価散乱係数μs’が大きすぎると、光束の輝度分布が均一化されるものの受光部での照度が低下して測定精度が低下する。逆に等価散乱係数μs’が小さすぎると、受光部での照度は高いものの光束の輝度分布が均一化されず測定精度が低下する。従って、最適なμs’を選択することで照度の絶対値と均一性の双方を確保することが重要となる。図6は、シミュレーションにより得られた受光部56の照度分布のラインプロファイルを示す図である。ここで、ラインプロファイルとは、受光部56の中心を通る水平方向X軸と垂直方向Y軸とのそれぞれの直線上の照度分布のプロファイルである。図6において、実線は水平方向X軸の照度分布プロファイルを示し、破線は垂直方向Y軸の照度分布プロファイルを示している。測定には受光部56の2.0mm×1.4mmの範囲を使用するので、X軸方向は±1.0mm、Y軸方向は±0.7mmの領域に着目する。図6aは、等価散乱係数μs’が0.1[1/mm]の照度分布プロファイルである。μs’が小さいため照度分布が不均一になっており、測定誤差が大きくなる。図6bは、等価散乱係数μs’が1.0[1/mm]の照度分布プロファイルである。照度分布が均一であり、測定領域の端部X=±1.0mm、Y=±0.7mmで照度の絶対値もあまり低下していない。図6cは、等価散乱係数μs’が10.0[1/mm]の照度プロファイルである。照度分布は均一であるが、測定領域の端部で照度の絶対値が図6bと比べて約1/10に低下している。光源や受光器等の条件によっては使用することができるが、これ以上μs’が大きくなると照度の低下が大きすぎるため測定に使用することが難しい。すなわち、この実施例では、1.0≦μs’≦10.0の範囲であれば、概ね良好な照度分布プロファイルが得られる。この実施例では長さL=3mmであることから、次の条件式が導かれる。3/L≦μs’≦30/L1本実施の形態では、光束均一化光学素子53の長さを僅か3mmとしながら、図6bの場合、照度分布の均一化が達成されている。光ファイバやライトパイプのような光学素子を用いた場合は、それら光学素子内で複数回反射させるため、入射面および出射面の寸法に比べ、長さ入射面と出射面との間の距離は数倍以上長くなるのが一般的である。これに対して、本実施の形態の光均一化光学素子53は、入射面および出射面の寸法とほぼ変わらない長さでありながら、光束の均一化を達成している。以上説明したように、本実施の形態によれば、視野絞り51を通過した光束を、体積散乱体により形成される光束均一化光学素子53に入射し、輝度分布が均一化された光束を受光部56に照射するので、光束均一化光学素子53の全長を短くしつつ、受光部56での照度の絶対値と均一性を確保することができる。これにより、光束のスペクトルを高い精度で測定しつつ、測定装置を小型化することが可能となる。また、被測定物11の被測定領域の中間像を形成し、視野絞り51によりその一部の光束のみを通過させるようにしたので、被測定物11の所望の領域からの光束を抽出することができる。これによって、波長分布特性を高い空間分解能で精度良く測定することが可能になる。また、受光素子56aは二次元的に配置したので、一次元に配置するよりもより多くの成分特性、すなわちスペクトル帯域に対応した光を検出することができる。さらに、光学系を構成する部材が少なく、単純な構成であるため、安価で組み立ても容易である。なお、上記のシミュレーションに用いた光束均一化光学素子53の大きさや、光束均一化光学素子53と視野絞り51および受光部56との配置の関係、吸収係数μaおよび等価散乱係数μs’、並びに、側面53bの反射率等の値は例示であって、本実施の形態の構成はこれらに限定されない。以下の第2実施の形態においても同様である。また、上記実施の形態において、結像レンズ17の位置は、ハーフミラー20とハーフミラー22との間に限られない。例えば、ハーフミラー22とミラー23との間、および、ハーフミラー22と接眼部18およびカメラユニット19との間にそれぞれ結像レンズを設ける構成とすることもできる。第2実施の形態次に、本発明の第2実施の形態に係る波長分布測定装置について説明する。第2実施の形態に係る波長分布測定装置は、第1実施の形態の波長分布測定装置において、図2の光束均一化光学素子53の入射面53aを、光を拡散する拡散面としたものである。なお、入射面53aから入射する光束は、入射面53aの一部の領域のみを通過するので、拡散面とするのは当該一部の領域のみで良い。入射面53aを拡散面とすることで、視野絞り51を通過した平行に近い光束が、発散光束となって光束均一化光学素子53に入射する。これにより、入射面53aにも拡散作用を持たせることができるので、受光部56における照度分布をさらに均一化することが可能となる。この場合の、光束均一化光学素子53の作用について、数値計算によるシミュレーションを行った結果に基づいてさらに説明する。ここで、光束均一化光学素子53の入射面53aおよび出射面53cの形状および長さ、視野絞り51と入射面53aの距離および出射面53cと受光部56との距離は、第1実施の形態におけるシミュレーションと同じとした。また、拡散面の拡散角は、半値全幅で80度とした。すなわち拡散面に垂直な方向の光の強度を1.0としたとき、この垂直な方向から±40度方向の散乱光の強度は、0.5となる。また、その他の条件も特に記載しない限り第1実施の形態のシミュレーションと同じとした。図7は、シミュレーションにより得られた受光部56の照度分布のラインプロファイルを示す図である。図6と同様に、実線は水平方向X軸の照度分布プロファイルを示し、破線は垂直方向Y軸の照度分布プロファイルを示している。この場合も、第1実施の形態におけるシミュレーションと同様に、X軸方向は±1.0mm、Y軸方向は±0.7mmの領域に着目する。図7のa、b、cは、それぞれ等価散乱係数μs’が0.1[1/mm]、1.0[1/mm]、10.0[1/mm]のときの照度プロファイルである。特にμs’が0.1[1/mm]の場合において、依然として不均一性はあるものの照度分布が改善している。このように、入射面53aを拡散面とすることで、受光面56における照度分布をさらに均一化することが可能となる。第3実施の形態図8は、本発明の第3実施の形態に係る波長分布測定装置の概略構成を光束の光路と共に示す図である。第1実施の形態を示す図2と同様に、被測定物11から発した光が測定ユニット24の受光部56に至るまでを図示している。本実施の形態では、第1実施の形態における波長分布測定装置において、視野絞り51と光束均一化光学素子53との間に拡散板52を配置している。拡散板52としては、平板ガラスの片面を砂目面に処理したものなどが使用される。視野絞り51を通過した光束が拡散板52で発散光束となった後に、光束均一化光学素子53に入射するので、第2実施の形態と同様に受光面56における照度分布をさらに均一化することが可能となる。また、本実施の形態では、拡散板52と光束均一化光学素子53が別体として配置されている。拡散板52と光束均一化素子53とをそれぞれ別に製造することができるので、製造を簡単に行うことができるという利点がある。第4実施の形態図9は、本発明の第4実施の形態に係る波長分布測定装置を説明する図であり、図9aは側面図であり、図9bは光均一化光学素子53の入射面側から見た図である。光均一化光学素子53の入射面53aは、光束の入射する中央部を除いて、例えば金属膜または誘電体多層膜からなる反射面により被覆されている。その他の構成は、第1実施の形態と同様なので、同一構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。これによって、光均一化光学素子53に入射した光束は、その内部で散乱されて入射面に戻っても内部反射される。したがって、いったん光均一化光学素子53に入射した光束が、入射面から出射し、その結果受光部56に到達できる光量が低下することを防ぐことができる。これによって、波長分布測定装置の検出感度を高めることができる。なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能である。たとえば、光束均一化光学素子は、上述の実施の形態で挙げたもの以外に種々の形態のものを適用することが可能である。例えば、光束均一化光学素子の入射面および出射面の面形状は、長方形に限られず、円形や三角形、正方形、五角形、六角形等であっても良い。また、本発明の波長分布測定装置は、顕微鏡に限られず単独の測色計や波長分布の測定を必要とする他の装置の一部として適用することができる。また、第1実施の形態のように、中間像を結像させる必要は無く、被測定物からの光束を直接測定するようにしても良い。