"基板に部品を装着する部品実装装置の上流工程側に配置され、部品実装装置によって部品が基板に接着されるようにするための接着剤を基板に塗布する接着剤塗布装置であって、基板の搬送及び位置決めを行う基板搬送路と、基板搬送路により位置決めされた基板上の目標塗布位置を目標として接着剤を塗布し、基板上に接着剤塗布体を形成する塗布ノズルと、目標塗布位置及びこの目標塗布位置を目標として基板上に形成された接着剤塗布体を含む基板上の領域を撮像する撮像手段と、撮像手段により撮像された基板上の領域の画像認識を行う画像認識手段と、画像認識手段により行われた画像認識結果に基づいて、基板上に形成された接着剤塗布体の目標塗布位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、位置ずれ量算出手段により算出された接着剤塗布体の目標塗布位置からの位置ずれ量のデータを下流工程側に配置された部品実装装置に送信するデータ送信手段とを備えたことを特徴とする接着剤塗布装置。塗布ノズルと撮像手段は基板に対して独立して相対的に移動自在であり、撮像手段は、複数の目標塗布位置を含む基板上の領域を一括して撮像可能な視野サイズを有することを特徴とする請求項1に記載の接着剤塗布装置。しかしながら、上記部品実装システムが備える接着剤塗布装置において、塗布ノズルの実際の中心位置が塗布ノズルの制御データ上での中心位置から偏芯しているような場合のほか、温度変化によって基板に伸びや収縮が生じ、或いは基板に反りが生じている場合には、基板上に形成された接着剤塗布体の中心位置は制御データ上の目標塗布位置からずれたものとなり、このような場合に、接着剤塗布装置から基板を受け取った下流工程側の部品実装装置が制御データ通りに部品装着位置に部品を装着すると、部品は接着剤塗布体の中心位置からずれた位置に不安定な状態で装着されることになって基板から脱落し易いという問題点があった。そして、このような目標塗布位置の位置ずれに起因する部品の脱落の問題は部品が微小化している今日においては頻繁に起きる可能性があり、無視することができないものとなっている。そこで本発明は、制御データ上の目標塗布位置からずれた位置に接着剤が塗布された場合であっても、下流側に設けられた部品実装装置により部品を安定した状態で基板に装着することができるようにした接着剤塗布装置を提供することを目的とする。請求項1に記載の接着剤塗布装置は、基板に部品を装着する部品実装装置の上流工程側に配置され、部品実装装置によって部品が基板に接着されるようにするための接着剤を基板に塗布する接着剤塗布装置であって、基板の搬送及び位置決めを行う基板搬送路と、基板搬送路により位置決めされた基板上の目標塗布位置を目標として接着剤を塗布し、基板上に接着剤塗布体を形成する塗布ノズルと、目標塗布位置及びこの目標塗布位置を目標として基板上に形成された接着剤塗布体を含む基板上の領域を撮像する撮像手段と、撮像手段により撮像された基板上の領域の画像認識を行う画像認識手段と、画像認識手段により行われた画像認識結果に基づいて、基板上に形成された接着剤塗布体の目標塗布位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、位置ずれ量算出手段により算出された接着剤塗布体の目標塗布位置からの位置ずれ量のデータを下流工程側に配置された部品実装装置に送信するデータ送信手段とを備えた。請求項2に記載の接着剤塗布装置は、請求項1に記載の接着剤塗布装置であって、塗布ノズルと撮像手段は基板に対して独立して相対的に移動自在であり、撮像手段は、複数の目標塗布位置を含む基板上の領域を一括して撮像可能な視野サイズを有する。本発明では、目標塗布位置及びこの目標塗布位置を目標として基板上に形成された接着剤塗布体を含む基板上の領域を撮像する撮像手段を備えており、撮像手段により撮像された基板上の領域の画像認識を行って、基板上に形成された接着剤塗布体の目標塗布位置からの位置ずれ量を算出したうえで、その算出した接着剤塗布体の目標塗布位置からの位置ずれ量のデータを下流工程側に配置された部品実装装置に送信するようになっているので、制御データ上の目標塗布位置からずれた位置に接着剤が塗布された場合であっても、下流工程側に設けられた部品実装装置により部品を安定した状態で基板に装着することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1に示す部品実装システム1は基板2の表面に設けられた電極3上に部品電子部品4を装着するものであり、上流工程側紙面の左側から順に、半田印刷装置11、接着剤塗布装置12、部品実装装置13、検査装置14及びリフロー炉15が並べられて構成されている。これらの装置11~15は構内通信網LAN:LocalAreaNetworkのLANケーブル16を介してホストコンピュータ17に繋がっている。以下、説明の便宜上、部品実装システム1を構成する各装置11~15において基板2を搬送する方向図1の紙面左右方向をX軸方向とし、X軸方向と直交する水平面内方向図1の紙面上下方向をY軸方向、上下方向をZ軸方向とする。更にY軸方向を前後方向とし、前後方向のうち、オペレータOPが作業を行う側を前方、その反対側を後方とする。図1において半田印刷装置11は、投入された基板2を印刷装置基板搬送路11aによって受け取って搬送し、その基板2を作業位置に位置決めしたうえで、基板2の電極3上に半田図示せずを印刷する。そして、基板2の電極3上への半田の印刷が終了したら、その基板2を印刷装置基板搬送路11aにより下流工程側の接着剤塗布装置12に搬出する。図1、図2及び図3において、接着剤塗布装置12は基台21上にX軸方向に延びた塗布装置基板搬送路12a基板搬送路を備えている。塗布装置基板搬送路12aは半田印刷装置11の印刷装置基板搬送路11aから搬出された基板2を受け取って搬送し、所定の作業位置図2に示す位置に位置決めする。図2及び図3において、基台21上にはXYロボットである塗布装置ヘッド移動ロボット22が設けられている。塗布装置ヘッド移動ロボット22はY軸方向に延びて設けられたY軸テーブル22a、X軸方向に延びて一端がY軸テーブル22aに支持され、Y軸テーブル22aに沿ってすなわちY軸方向に移動自在に設けられた2つのX軸テーブル22b及び各X軸テーブル22bに沿ってすなわちX軸方向に移動自在に設けられた2つの前後の移動ステージ22cから成る。図2及び図3において、後方の移動ステージ22cには塗布ヘッド23が取り付けられており、前方の移動ステージ22cには撮像カメラ24が取り付けられている。塗布ヘッド23と撮像カメラ24は、Y軸テーブル22aに対する各X軸テーブル22bのY軸方向への移動及び各X軸テーブル22bに対する各移動ステージ22cのX軸方向への移動を組み合わせることによって互いに独立して水平面内で移動させることができる。図3において、塗布ヘッド23には下方に突出して延びた塗布ノズル23aが上下方向に移動自在に設けられている。塗布ヘッド23は内部に部品4を基板2に接着するための接着剤BDを貯留しており、図4a,bに示すように、塗布ノズル23aを基板2上の接着剤BDを塗布すべき位置である目標塗布位置MTの直上に位置させたうえで、塗布ノズル23aの下端から接着剤BDを吐出させることにより、目標塗布位置MTを目標とする基板2上の位置に接着剤BDを塗布し、基板2上に接着剤BDの塗布体以下、接着剤塗布体BDTと称するを形成する。撮像カメラ24は、図5に示すように、目標塗布位置MTと、この目標塗布位置MTを目標として基板2上に形成された接着剤塗布体BDTを含む基板2上の領域Rgの撮像を行う。図2及び図3において、塗布ヘッド23には撮像視野を下方に向けた基板カメラ25が設けられている。基板カメラ25は塗布装置基板搬送路12aによって基板2を位置決めしたとき、基板2上に設けられた基板マーク2m図2を上方から撮像する。図2及び図3において、基台21上の塗布装置基板搬送路12aを挟んだ前後方向領域のうち後方の領域には試し塗布ユニット26が設けられている。試し塗布ユニット26は塗布面を上方に露出させた試し塗布シート26aを有しており、塗布ノズル23aによって試し塗布シート26aの塗布面に接着剤BDの試し塗布を行い、その試し塗布を行った結果を基板カメラ25によって確認することで、塗布ノズル23aから吐出される接着剤BDの塗布量の適否を判断することができるようになっている。塗布面は試し塗布シート26aを巻き取ることによって更新することができる。基板2の搬送及び位置決め動作は、基台21内に設けられた制御装置30図3及び図6が塗布装置基板搬送路12aの作動制御を行うことによってなされる。塗布ヘッド23及び撮像カメラ24の水平面内での移動動作は、制御装置30が塗布装置ヘッド移動ロボット22の作動制御を行うことによってなされる。塗布ヘッド23に対する塗布ノズル23aの上下方向への移動動作昇降動作は、制御装置30が図示しないアクチュエータ等から成る塗布ノズル昇降機構31図6の作動制御を行うことによってなされ、塗布ノズル23aからの接着剤BDの吐出動作は、制御装置30が図示しないアクチュエータ等から成る接着剤吐出機構32図6の作動制御を行うことによってなされる。撮像カメラ24による撮像動作と基板カメラ25による撮像動作は制御装置30によって制御される図6。撮像カメラ24の撮像動作によって得られた画像と基板カメラ25の撮像動作によって得られた画像は制御装置30に送信され、制御装置30の画像認識部30aにおいて画像認識される図6。試し塗布ユニット26における試し塗布シート26aの塗布面の更新動作は、制御装置30が図示しないアクチュエータ等から成るシート巻き取り機構33図6の作動制御を行うことによってなされる。接着剤塗布装置12の制御装置30は、LANケーブル16に繋がる塗布装置通信部34図6を介してホストコンピュータ17及び部品実装装置13等とデータのやり取りを行う。図6において、接着剤塗布装置12の制御装置30はプログラム記憶部30bを有しており、このプログラム記憶部30bには基板2上の各目標塗布位置MTの座標データ及び各目標塗布位置MTへの接着剤BDの塗布手順が記録された接着剤塗布作業プログラムが記憶されている。制御装置30は、プログラム記憶部30bから接着剤塗布作業プログラムを読み出し、接着剤塗布作業プログラムに記録された目標塗布位置MTの座標データに基づき、前述の要領で、各目標塗布位置MTを目標とする基板2上への接着剤BDの塗布作業を実行する図4a→図4b。なお、図4a,bに示すように、制御データ上の目標塗布位置MTは、接着剤塗布装置12の下流工程側に設けられた部品実装装置13によって部品4が基板2上に装着される制御データ上の位置目標装着位置MSと同一である。接着剤塗布装置12の制御装置30は、上記のようにして各目標塗布位置MTを目標とする基板2上への接着剤BDの塗布作業が終了したら、前述のように、撮像カメラ24を移動させて、基板2上の目標塗布位置MT及びこの目標塗布位置MTを目標として基板2上に形成された接着剤塗布体BDTを含む基板2上の領域Rgを撮像カメラ24に撮像させる図5。そして、制御装置30の画像認識部30aは、撮像カメラ24による撮像によって得られた各目標塗布位置MTにおける接着剤塗布体BDTの画像に基づいて画像認識を行い、制御装置30の位置ずれ量算出部30c図6は、画像認識部30aが行った画像認識結果に基づいて、基板2上の各目標塗布位置MTを目標として塗布され、基板2上に形成された各接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量の算出を行う。位置ずれ量算出部30cによる接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれの算出は、具体的には、画像認識部30aが行った接着剤塗布体BDTの画像認識結果に基づいて、接着剤塗布体BDTの中心位置CT図4b及び図5の座標を求め、その接着剤塗布体BDTの中心位置CTの座標を目標塗布位置MTの座標と比較してその差分図5に示す直交する水平面内の2軸方向XY方向の位置ずれ量ΔX,ΔYを求めることによって行う。そして、制御装置30は、位置ずれ量算出部30cが算出した接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータをデータ記憶部30d図6に記憶させる。すなわち、撮像カメラ24は、基板2上の目標塗布位置MT及びこの目標塗布位置MTを目標として基板2上に形成された接着剤塗布体BDTを含む基板2上の領域Rgを撮像する撮像手段として機能し、接着剤塗布装置12が備える画像認識部30aは、撮像手段である撮像カメラ24により撮像された基板2上の領域Rgの画像認識を行う画像認識手段として機能する。また、接着剤塗布装置12が備える制御装置30の位置ずれ量算出部30cは、画像認識手段である制御装置30の画像認識部30aにより行われた画像認識結果に基づいて、基板2上に形成された接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段として機能する。制御装置30は、位置ずれ量算出部30cによる、基板2上の全ての目標塗布位置MTに対応する接着剤塗布体BDTについての位置ずれ量の算出が終了し、各接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータをデータ記憶部30dに記憶させたら、そのデータ記憶部30dに記憶させた各目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータを、まとめて塗布装置通信部34から部品実装装置13に送信する。塗布装置通信部34は、ホストコンピュータ17に繋がるLANケーブル16を介して接着剤塗布装置12と部品実装装置13とが直接データの送受信を行うことができるようになっているのであれば、LANケーブル16を介さずに直接部品実装装置13にデータを送信する。このように接着剤塗布装置12が備える塗布装置通信部34は、位置ずれ量算出手段である位置ずれ量算出部30cにより算出された、基板2上に形成された接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータを下流工程側に配置された部品実装装置13に送信するデータ送信手段として機能する。図1、図7及び図8において、部品実装装置13は基台41上にX軸方向に延びた実装装置基板搬送路13aを備えている。実装装置基板搬送路13aは接着剤塗布装置12の塗布装置基板搬送路12aから搬出された基板2を受け取って搬送し、その基板2を所定の作業位置図7に示す位置に位置決めする。図7及び図8において、基台41上には部品4の供給を行う部品供給部としての複数のテープフィーダ42が設けられている。各テープフィーダ42は多数の部品4を収納したテープ部材図示せずの送り動作を行い、各テープフィーダ42の端部実装装置基板搬送路13a側の端部に設けられた部品供給口42aに部品4をひとつずつ供給する。基台41上にはXYロボットである実装装置ヘッド移動ロボット43が設けられている。実装装置ヘッド移動ロボット43はY軸方向に延びて設けられたY軸テーブル43a、X軸方向に延びて一端がY軸テーブル43aに支持され、Y軸テーブル43aに沿ってすなわちY軸方向に移動自在に設けられた2つのX軸テーブル43b及び各X軸テーブル43bに沿ってすなわちX軸方向に移動自在に設けられた2つの前後の移動ステージ43cから成る。図7及び図8において、前方の移動ステージ43cと後方の移動ステージ43cのそれぞれには装着ヘッド44が取り付けられている。各装着ヘッド44は、Y軸テーブル43aに対する各X軸テーブル43bのY軸方向への移動及び各X軸テーブル43bに対する各移動ステージ43cのX軸方向への移動を組み合わせることによって互いに独立して水平面内で移動させることができる。図8において、各装着ヘッド44には下方に突出して延びた吸着ノズル44aが上下方向に移動自在及び上下軸回りに回転自在に設けられている。吸着ノズル44aはテープフィーダ42が部品供給口42aに供給する部品4を真空吸着してピックアップし、そのピックアップした部品4を基板2上の部品4を装着すべき位置である目標装着位置MSで解除して部品4を基板2上に装着する部品装着動作を繰り返し実行する。ここで、基板2上の目標装着位置MSは、前述したように、接着剤塗布装置12によって基板2上に接着剤BDが塗布される目標塗布位置MTと制御データ上において同一である。図7及び図8において、各装着ヘッド44には撮像視野を下方に向けた基板カメラ45が設けられており、基台41上の実装装置基板搬送路13aの両側のそれぞれの位置には撮像視野を上方に向けた部品カメラ46が設けられている。基板カメラ45は実装装置基板搬送路13aによって基板2を位置決めしたとき、基板2上に設けられた基板マーク2m図7を上方から撮像する。部品カメラ46は、吸着ノズル44aに吸着された部品4が部品カメラ46の上方を通過するように装着ヘッド44が移動されたとき、部品4を下方から撮像する。基板2の搬送及び位置決め動作は、基台41内に設けられた制御装置50図8及び図9が実装装置基板搬送路13aの作動制御を行うことによってなされ、各テープフィーダ42による部品4の供給動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成るテープフィーダ駆動機構51図9の作動制御を行うことによってなされる。各装着ヘッド44の水平面内での移動動作は、制御装置50が実装装置ヘッド移動ロボット43の作動制御を行うことによってなされる。各装着ヘッド44が備える吸着ノズル44aの上下方向への移動動作昇降動作及び上下軸回りの回転動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成る吸着ノズル昇降機構52図9の作動制御を行うことによってなされ、各吸着ノズル44aによる部品4の吸着及びその解除動作は、制御装置50が図示しないアクチュエータ等から成る吸着機構53図9の作動制御を行うことによってなされる。各装着ヘッド44に備えられた2つの基板カメラ45による撮像動作と基台41上に設けられた2つの部品カメラ46による撮像動作は制御装置50によって制御される図9。2つの基板カメラ45の撮像動作と2つの部品カメラ46の撮像動作によって得られた画像は制御装置50に送信され、制御装置50の画像認識部50aにおいて画像認識される図9。部品実装装置13の制御装置50は、LANケーブル16に繋がる実装装置通信部54図9を介してホストコンピュータ17及び接着剤塗布装置12等とデータのやり取りを行う。図9において、部品実装装置13の制御装置50はプログラム記憶部50bを有しており、このプログラム記憶部50bには基板2上の各目標装着位置MSの座標データ及び各目標装着位置MSへの部品4の装着手順が記録された部品装着作業プログラムが記憶されている。制御装置50は、プログラム記憶部50bから部品装着作業プログラムを読み出し、部品装着作業プログラムに記録された目標装着位置MSの座標データに基づいて、各目標装着位置MSへの部品4の装着作業を実行する。目標装着位置MSへの部品4の装着作業では、先ず、接着剤塗布装置12の制御装置30から送信されてきた前述のデータ基板2上に形成された接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータをLANケーブル16に繋がる実装装置通信部54においてLANケーブル16を介して接着剤塗布装置12と部品実装装置13とが直接データの送受信を行うことができるようになっているのであれば、LANケーブル16を介さずに直接受け取り、データ記憶部50c図9に記憶させる。そして、プログラム記憶部50bからひとつの目標装着位置MSの座標データを読み出したうえで、データ補正部50d図9により、読み出した目標装着位置MSの座標データに、接着剤塗布装置12から受け取った位置ずれ量のデータのうちの対応する目標装着位置MSにおける接着剤塗布体BDTの位置ずれ量のデータを参照して、目標装着位置MSの座標データの補正を行う。この目標装着位置の座標データの補正は、部品装着プログラムに記録された目標装着位置MSの座標に、対応する目標装着位置MSにおける接着剤塗布体BDTの位置ずれ量を加算することによって行う。これにより補正後の目標装着位置MSH図10aは、対応する目標装着位置MSに形成された接着剤塗布体BDTの中心位置CT図10aのほか、図4b及び図5を参照と一致するようになる図10a。このように、部品実装装置13が備える実装装置通信部54は、接着剤塗布装置12が備える塗布装置通信部34データ送信手段より送信された接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータを受け取るデータ受信手段として機能し、制御装置50のデータ補正部50dは、データ受信手段である部品実装装置13の実装装置通信部54により受け取った接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータに基づいて基板2上の部品4の目標装着位置MSの補正を行う目標装着位置補正手段として機能する。部品実装装置13の制御装置50は、部品実装作業プログラムから読み出した各目標装着位置MSの座標データの補正を行ったら、装着ヘッド44をテープフィーダ42の上方に移動させて吸着ノズル44aにテープフィーダ42から供給される部品4を吸着させる。そして、装着ヘッド44を移動させて吸着ノズル44aに吸着させた部品4が部品カメラ46の上方を通過するようにし、部品カメラ46に各部品4の撮像を行わせ、得られた部品4の画像に基づいて画像認識を行うことによって、各部品4の吸着ノズル44aに対する位置ずれ吸着ずれを算出する。制御装置50は、各部品4の吸着ノズル44aに対する位置ずれを算出したら、補正後の目標装着位置MSHの上方に吸着ノズル44aが位置するように装着ヘッド44を移動させ、吸着ノズル44aを下降させつつ吸着ノズル44aから部品4を離脱させることによって、補正後の目標装着位置MSHに部品4を装着する図10a→図10b。これにより部品4は接着剤塗布装置12によって基板2上に形成された接着剤塗布体BDTの中心位置CTに装着される。このように、部品実装装置13が備える吸着ノズル44aは、部品供給部であるテープフィーダ42より供給された部品4をピックアップし、その部品4を実装装置基板搬送路13aにより位置決めされた基板2上の目標装着位置補正手段部品実装装置13が備える制御装置50のデータ補正部50dによって補正された目標装着位置MS補正後の目標装着位置MSHに装着するものとなっている。図1において、検査装置14は、部品実装装置13の実装装置基板搬送路13aから搬出された基板2部品4の装着が終了した基板2を検査装置基板搬送路14aによって受け取って所定の作業位置に位置決めし、撮像視野を下方に向けた図示しない検査カメラによって、部品4が基板2上に正常に装着されているかどうかの検査をしたうえで、その基板2を下流工程側のリフロー炉15に搬出する。図1において、リフロー炉15は、検査装置14より搬出された基板2をリフロー炉基板搬送装置15aによって受け取り、その基板2を搬送しながら基板2上の半田のリフローを行う。このような構成を有する部品実装システム1において、電極3上に半田が印刷された基板2が半田印刷装置11から搬出された場合には、接着剤塗布装置12の制御装置30は、塗布装置基板搬送路12aを作動させてその基板2を受け取って搬入し、作業位置に位置決めする図11に示すステップST1。そして、塗布ヘッド23を移動させて基板カメラ25に基板2上の基板マーク2mを撮像させ、得られた画像に基づく画像認識を行って、基板2の基準位置からの位置ずれを算出する図11に示すステップST2。なお、ここでは基板マーク2mの撮像を基板カメラ25によって行うようにしているが、基板マーク2mの撮像を撮像カメラ24によって行うようにしてもよい。基板マーク2mの撮像を撮像カメラ24によって行うようにする場合には、基板カメラ25そのものを不要とすることができる。接着剤塗布装置12の制御装置30は、基板2の位置ずれを算出したら、接着剤塗布作業プログラムからひとつの目標塗布位置MTの座標データを読み出し図11に示すステップST3、その読み出した目標塗布位置MTに塗布ノズル23aから接着剤BDを吐出させて目標塗布位置MTを目標とする基板2上の位置に接着剤BDを塗布する図11に示すステップST4。接着剤塗布装置12の制御装置30は、接着剤塗布作業プログラムから読み出したひとつの目標塗布位置MTに接着剤BDを塗布したら、接着剤BDの塗布を基板2上の全ての目標塗布位置MTについて行ったか否かの判断を行い図11に示すステップST5、その結果、接着剤BDの塗布を基板2上の全ての目標塗布位置MTについて行っていなかった場合にはステップST3に戻って他の目標塗布位置MTの座標データを読み出す。一方、制御装置30は、接着剤BDの塗布を基板2上の全ての目標塗布位置MTについて行っていた場合には接着剤塗布作業プログラムからひとつの目標塗布位置MTの座標データを読み出す図11に示すステップST6。そして、読み出した目標塗布位置MTの上方に撮像カメラ24を移動させて、撮像カメラ24に目標塗布位置MT及びこの目標塗布位置MTを目標として基板2上に形成された接着剤塗布体BDTを含む基板2上の領域Rgを上方から撮像させ、得られた画像データに基づいて画像認識部30aにより画像認識を行う図11に示すステップST7。ここで撮像カメラ24が複数の目標塗布位置MTを含む基板2上の領域を一括して撮像可能な視野サイズ撮像視野の範囲を有しているのであれば、その撮像カメラ24の視野サイズに応じて複数の目標塗布位置MTを一括して撮像するようにすることで、撮像時間を短縮することが可能である。制御装置30は、ステップST7で接着剤塗布体BDTを含む基板2上の領域Rgの画像の画像認識が終了したら、基板2上の各目標塗布位置MTに塗布した接着剤塗布体BDTの中心位置CTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量図5及び図10a中に示すΔX及びΔYを位置ずれ量算出部30c図6において算出し、得られた位置ずれ量のデータを制御装置30のデータ記憶部30dに記憶する図11に示すステップST8。接着剤塗布装置12の制御装置30は、接着剤塗布作業プログラムから読み出した目標塗布位置MTについて接着剤塗布体BDTの位置ずれ量の算出及び記憶を行ったら、接着剤塗布体BDTの位置ずれ量の算出を基板2上の全ての目標塗布位置MTについて行ったか否かの判断を行い図11に示すステップST9、その結果、接着剤塗布体BDTの位置ずれ量の算出を基板2上の全ての目標塗布位置MTについて行っていなかった場合にはステップST6に戻る。一方、制御装置30は、接着剤塗布体BDTの位置ずれ量の算出を基板2上の全ての目標塗布位置MTについて行っていた場合には、位置ずれ量算出部30cにより算出し、データ記憶部30dに記憶した接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータを塗布装置通信部34から下流工程側の部品実装装置13の制御装置50に送信する図11に示すステップST10。制御装置30は、ステップST10で部品実装装置13にデータの送信を行ったら、基板2を下流工程側の部品実装装置13に搬出する図11に示すステップST11。ステップST11において基板2の搬出を行ったら、接着剤塗布装置12による1枚の基板2に対する接着剤塗布作業が終了する。接着剤塗布装置12から基板2が搬出されたら、部品実装装置13の制御装置50は、実装装置基板搬送路13aを作動させてその基板2を受け取って搬入し、作業位置に位置決めする図12に示すステップST21。そして、装着ヘッド44を移動させて基板カメラ45に基板2上の基板マーク2mを撮像させ、得られた画像に基づく画像認識を行って、基板2の基準位置からの位置ずれを算出する図12に示すステップST22。部品実装装置13の制御装置50は、ステップST22で基板2の位置ずれを求めたら、上流工程側の接着剤塗布装置12から送信されたデータ接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータを実装装置通信部54において受け取り、その受け取ったデータをデータ記憶部50cに記憶する図12に示すステップST23。制御装置50は、ステップST23で接着剤塗布装置12から送信された位置ずれ量のデータを受け取って記憶したら、部品実装作業プログラムからひとつの目標装着位置の座標データを読み出したうえで図12に示すステップST24、前述の要領でデータ補正部50dにより各目標装着位置MSの座標データの補正を行う図12に示すステップST25。部品実装装置13の制御装置50は、ステップST25で各目標装着位置MSの座標データの補正を行ったら、装着ヘッド44をテープフィーダ42の上方に移動させて吸着ノズル44aにテープフィーダ42から供給される部品4を吸着させる図12に示すステップST26。そして、装着ヘッド44を移動させて吸着ノズル44aに吸着させた部品4が部品カメラ46の上方を通過するようにし、部品カメラ46に各部品4の撮像を行わせる。そして、制御装置50は、部品カメラ46の撮像によって得られた部品4の画像に基づいて画像認識を行い図12に示すステップST27、部品4の吸着ノズル44aに対する位置ずれ吸着ずれを算出する図12に示すステップST28。制御装置50は、各部品4の吸着ノズル44aに対する位置ずれを算出したら、補正後の目標装着位置MSHの上方に吸着ノズル44aが位置するように装着ヘッド44を移動させ、吸着ノズル44aを下降させつつ吸着ノズル44aから部品4を離脱させることによって、部品4を補正後の目標装着位置MSHに装着する図12に示すステップST29。部品実装装置13の制御装置50は、部品4を補正後の目標装着位置MSHに装着したら、基板2に装着すべき全ての部品4を基板2に装着し終わったかどうかの判断を行い図12に示すステップST30、基板2に装着すべき全ての部品4を基板2に装着し終わっていないと判断した場合にはステップST24に戻って他の目標装着位置MSの座標データを読み出す。一方、制御装置50は、ステップST30で、基板2に装着すべき全ての部品4を基板2に装着し終わったと判断した場合には、実装装置基板搬送路13aによって基板2を下流工程側の検査装置14に搬出する図12に示すステップST31。ステップST31において基板2の搬出を行ったら、部品実装装置13による1枚の基板2に対する部品装着作業が終了する。以上説明したように、本実施の形態における接着剤塗布装置12では、目標塗布位置MT及びこの目標塗布位置MTを目標として基板2上に形成された接着剤塗布体BDTを含む基板2上の領域Rgを撮像する撮像手段としての撮像カメラ24を備えており、撮像カメラ24により撮像された基板2上の領域Rgの画像認識を行って、基板2上に形成された接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量を算出したうえで、その算出した接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量のデータを下流工程側に配置された部品実装装置13に送信するようになっているので、制御データ上の目標塗布位置MTからずれた位置に接着剤BDが塗布された場合であっても、下流工程側に設けられた部品実装装置13により部品4を安定した状態で基板2に装着することができる。また、本実施の形態では、接着剤BDの塗布後における接着剤塗布体BDTの位置を検出する例のみを挙げたが、接着剤BDの塗布前に撮像カメラ24によって目標塗布位置MTの撮像及び画像認識を行って目標塗布位置MTの座標データを補正し、その補正した座標データに基づいて接着剤BDの塗布を行うようにすれば、接着剤塗布体BDTの目標塗布位置MTからの位置ずれ量は小さいものとなるので、更に安定した状態で部品4を基板2に装着することができる。"