"振動源側と支持側の一方に取り付けられる第1取付具と、振動源側と支持側の他方に取り付けられる第2取付具と、前記第1取付具と第2取付具との間に介設されたゴム状弾性体からなる防振基体と、前記防振基体が室壁の一部をなす液体が封入された主液室と、ゴム状弾性膜からなるダイヤフラムが室壁の一部をなす液体が封入された少なくとも1つの副液室と、前記主液室といずれかの前記副液室とを連結する第1オリフィス流路と、前記第1オリフィス流路よりも高周波数域にチューニングされて前記主液室と副液室のうちのいずれか2つの液室間を連結する第2オリフィス流路と、前記主液室といずれかの前記副液室とを仕切るとともに、前記第2オリフィス流路が形成された仕切り体と、前記仕切り体に設けられた弁収容室内にて前記第2オリフィス流路の流れ方向に直交するように保持されて前記第2オリフィス流路を開閉するゴム状弾性膜からなる弁部材と、を備え、前記弁部材は、外周部が前記仕切り体に液密に保持されるとともに、前記外周部よりも内側の可撓性膜部において、前記弁収容室への前記第2オリフィス流路の開口に対向配置されて前記第2オリフィス流路内の液流動による前記可撓性膜部の撓み変形により前記開口を閉塞する弁部と、前記開口に対して重ならない位置に設けられて前記第2オリフィス流路を連通させる連通穴とを備え、前記弁部は、前記可撓性膜部の膜面から突出して前記可撓性膜部の撓み変形時に前記開口を取り囲む筒状をなしかつ肉厚よりも突出高さが大きく形成された筒状緩衝部を備えてなることを特徴とする液封入式防振装置。前記筒状緩衝部は、前記可撓性膜部からの突出高さが当該筒状緩衝部の外側における前記可撓性膜部の肉厚よりも大きく設定されたことを特徴とする請求項1記載の液封入式防振装置。前記筒状緩衝部は、前記可撓性膜部の表裏両側の膜面からそれぞれ突出して設けられたことを特徴とする請求項1又は2記載の液封入式防振装置。前記筒状緩衝部に高さ方向に延びるスリットが設けられたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記可撓性膜部には、前記筒状緩衝部の外側に当該筒状緩衝部よりも突出高さが高い突起が複数設けられたことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記複数の突起は、突出高さと断面積の少なくとも一方が異なる複数種類の突起からなることを特徴とする請求項5記載の液封入式防振装置。前記筒状緩衝部の先端に複数の補助突起が設けられたことを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記筒状緩衝部の内側の膜部分にリブが設けられたことを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。しかしながら、上記特許文献3に記載された構成では、悪路走行時等の大振幅入力時に弁部材の衝撃吸収能力が不足するおそれがある。すなわち、特許文献3に記載された弁部材では、撓み変形により第2オリフィス流路の開口を閉塞する弁部がフラットな膜状に形成されているため、上記大振幅入力時における第2オリフィス流路の閉塞後に弁部が更に変形する余地はほとんどない。そのため、弁部材の運動エネルギーが第2オリフィス流路の閉塞後にはほとんど吸収されず、仕切り体に大荷重が伝わってしまい、異音が発生する可能性がある。このような液室内部での異音が車室内に伝達しないようにするため、例えば、上記特許文献1には、可動板が組み込まれた仕切り体本体とその外周のオリフィス部材との間に連結ゴム弾性体を介設した構造が開示されている。また、上記特許文献2には、ダイヤフラムとの間で空気室を形成するキャップ部材を、第1部分と第2部分とに分割して両者の間にゴム弾性連結部を介設した構造が開示されている。しかしながら、このように振動伝達経路の途中にゴム弾性体からなる連結部を介設する構造では、当該連結部を別途組み込むために製造コストが上昇し、また、弾性体の存在により、液圧損失が発生し、減衰性能の低下による特性面での影響が懸念される。本発明は、上記の点に鑑み、悪路走行時等の大振幅入力時における第2オリフィス流路閉塞後の異音を低減することができる液封入式防振装置を提供することを目的とする。本発明に係る液封入式防振装置は、振動源側と支持側の一方に取り付けられる第1取付具と、振動源側と支持側の他方に取り付けられる第2取付具と、前記第1取付具と第2取付具との間に介設されたゴム状弾性体からなる防振基体と、前記防振基体が室壁の一部をなす液体が封入された主液室と、ゴム状弾性膜からなるダイヤフラムが室壁の一部をなす液体が封入された少なくとも1つの副液室と、前記主液室といずれかの前記副液室とを連結する第1オリフィス流路と、前記第1オリフィス流路よりも高周波数域にチューニングされて前記主液室と副液室のうちのいずれか2つの液室間を連結する第2オリフィス流路と、前記主液室といずれかの前記副液室とを仕切るとともに、前記第2オリフィス流路が形成された仕切り体と、前記仕切り体に設けられた弁収容室内にて前記第2オリフィス流路の流れ方向に直交するように保持されて前記第2オリフィス流路を開閉するゴム状弾性膜からなる弁部材と、を備えたものである。前記弁部材は、外周部が前記仕切り体に液密に保持されるとともに、前記外周部よりも内側の可撓性膜部において、前記弁収容室への前記第2オリフィス流路の開口に対向配置されて前記第2オリフィス流路内の液流動による前記可撓性膜部の撓み変形により前記開口を閉塞する弁部と、前記開口に対して重ならない位置に設けられて前記第2オリフィス流路を連通させる連通穴とを備える。前記弁部は、前記可撓性膜部の膜面から突出して前記可撓性膜部の撓み変形時に前記開口を取り囲む筒状をなしかつ肉厚よりも突出高さが大きく形成された筒状緩衝部を備えてなる。本発明の好ましい態様において、前記筒状緩衝部は、前記可撓性膜部からの突出高さが当該筒状緩衝部の外側における前記可撓性膜部の肉厚よりも大きく設定されてもよい。また、他の好ましい態様において、前記筒状緩衝部は、前記可撓性膜部の表裏両側の膜面からそれぞれ突出して設けられてもよい。また、他の好ましい態様において、前記筒状緩衝部に高さ方向に延びるスリットが設けられてもよい。また、他の好ましい態様において、前記可撓性膜部には、前記筒状緩衝部の外側に当該筒状緩衝部よりも突出高さが高い突起が複数設けられてもよく、その場合、該複数の突起は、突出高さと断面積の少なくとも一方が異なる複数種類の突起からなるものであってもよい。また、他の好ましい態様において、前記筒状緩衝部の先端に複数の補助突起が設けられてもよい。また、他の好ましい態様において、前記筒状緩衝部の内側の膜部分にリブが設けられてもよい。これらの各態様は適宜に組み合わせることができる。本発明に係る液封入式防振装置であると、第2オリフィス流路を開閉する弁部材の弁部に上記のような筒状緩衝部を設けたので、悪路走行時等の大振幅入力時における第2オリフィス流路閉塞後の異音を低減することができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1に示された本実施形態に係る液封入式防振装置10は、自動車のエンジンを支承するエンジンマウントであり、振動源であるエンジン側に取り付けられる上側の第1取付具12と、支持側の車体に取り付けられる筒状をなす下側の第2取付具14と、これら両取付具12,14の間に介設されて両者を連結するゴム弾性体からなる防振基体16とを備えてなる。なお、図1は無負荷状態を示している。第1取付具12は、第2取付具14の軸芯部上方に配されたボス金具であり、径方向外方に向けてフランジ状に突出するストッパ部18が形成されている。また、上端部にはボルト穴20が設けられ、不図示のボルトを介してエンジン側に取り付けられるよう構成されている。第2取付具14は、防振基体16が加硫成形される円筒状の筒状金具22とカップ状の底金具24とからなり、底金具24に下向きの取付ボルト26が突設され、このボルト26を介して車体側に取り付けられるように構成されている。筒状金具22は、その下端部が底金具24の上端開口部に対し、かしめ部28によりかしめ固定されている。符号30は、筒状金具22の上端部にかしめ固定されたストッパ金具であり、第1取付具12のストッパ部18との間でストッパ作用を発揮する。また、符号32は、ストッパ金具30の上面を覆うストッパゴムである。防振基体16は略傘状に形成され、その上端部が第1取付具12に、下端部が筒状金具22の上端開口部にそれぞれ加硫接着されている。この防振基体16の下端部に、筒状金具22の内周面を覆うゴム膜状のシール壁部34が連なっている。第2取付具14には、防振基体16の下面に対して軸方向Xに対向配置されて当該下面との間に液体封入室36を形成する可撓性ゴム膜からなる第1ダイヤフラム38が取り付けられ、液体封入室36に液体が封入されている。第1ダイヤフラム38は、外周部に環状の補強金具39を備え、該補強金具39を介して上記かしめ部28に固定されている。上記液体封入室36は、仕切り体40により、防振基体16が室壁の一部をなす上側の主液室42と、第1ダイヤフラム38が室壁の一部をなす下側の第1副液室44に仕切られている。仕切り体40は、平面視円形状をなして筒状金具22の内側にシール壁部34を介して嵌着された金属や樹脂等の剛性材料からなる仕切り体本体46と、該仕切り体本体46の下面側に当接配置された仕切り受板48とで構成されている。仕切り受板48は、略中央部に円形の開口部を持つ円板状の金具であり、該開口部に可撓性ゴム膜からなる第2ダイヤフラム50が加硫成形により一体に設けられている。そして、該仕切り受板48を、第1ダイヤフラム38の補強金具39とともに、上記かしめ部28で固定することにより、仕切り体本体46は、シール壁部34に設けられた段部34Aと仕切り受板48との間で軸方向Xに挟まれた状態に保持されている。仕切り体40の第1副液室44側には、第2ダイヤフラム50によって第1副液室44から仕切られた第2副液室52が設けられている。詳細には、仕切り体本体46の下面には、図2に示されるように、円形の凹所54が設けられ、該凹所54を下方から第2ダイヤフラム50で液密に塞ぐことにより、第2ダイヤフラム50が室壁の一部をなす平面視円形状の第2副液室52が形成されている。上記主液室42と第1副液室44は、絞り流路である第1オリフィス流路56を介して互いに連通されている。第1オリフィス流路56は、この例では車両走行時のシェイク振動を減衰するために、シェイク振動に対応した低周波数域例えば、5~15Hz程度にチューニングされた低周波側オリフィスである。すなわち、第1オリフィス流路56を通じて流動する液体の共振作用に基づく減衰効果がシェイク振動の入力時に有効に発揮されるように、流路の断面積及び長さを調整することによってチューニングされている。第1オリフィス流路56は、仕切り体40の外周側に設けられている。詳細には、仕切り体本体46の外周部に設けられた外向きに開かれた第1オリフィス形成溝58と、上記シール壁部34との間で、周方向に延びる第1オリフィス流路56が形成されている。第1オリフィス通路56は、周方向の一端に、主液室42に対して開口する主液室側開口不図示を備えるとともに、周方向の他端に、第1副液室44に対して開口する副液室側開口不図示を備える。上記主液室42と第2副液室52は、絞り流路である第2オリフィス流路60を介して互いに連通されている。第2オリフィス流路60は、第1オリフィス流路56よりも高周波数域にチューニングされた高周波側オリフィスであり、この例ではアイドル時車両停止時のアイドル振動を低減するために、アイドル振動に対応した高周波数域例えば、15~50Hz程度にチューニングされている。すなわち、第2オリフィス流路60を通じて流動する液体の共振作用に基づく低動ばね効果がアイドル振動の入力時に有効に発揮されるように、流路の断面積及び長さを調整することによってチューニングされている。第2オリフィス流路60は、仕切り体40の内周側に設けられており、この例では、仕切り体40の厚み方向この例では上記軸方向Xと同じ。に延びている。詳細には、第2オリフィス流路60は、図2に示すように、第1オリフィス形成溝58よりも内周側において、仕切り体本体46を軸方向Xに貫通して、上記凹所54に至るように形成されている。従って、第2オリフィス流路60はその上端で主液室42に開口し、下端で第2副液室52に開口している。この防振装置10は、第2オリフィス流路60を開閉するゴム弾性体からなる円板状円形膜状の弁部材62を備える。仕切り体40には、第2オリフィス流路60の一部に弁収容室64が設けられており、該弁収容室64内に、弁部材62が、第2オリフィス流路60の流れ方向に直交するように収容保持されている。弁部材62は、図1~3に示すように、第2オリフィス流路60の途中において、その流れ方向である軸方向Xに対して、膜面が直交する姿勢に配されている。詳細には、図3に示すように、仕切り体本体46の上面には平面視円形状の段付き凹部66が設けられ、該段付き凹部66の開口側に、金属や樹脂等の剛性材料からなる円板状の蓋部材68を内嵌固定することで、段付き凹部66と蓋部材68により形成される空間が上記弁収容室64となっている。段付き凹部66の中央部には、第2オリフィス流路60の円形の開口60Aが設けられ、また、これに軸方向Xで対向する蓋部材68の中央部にも同一径の円形の開口60Bが設けられ、これらの開口60A,60Bが弁収容室64への第2オリフィス流路60の開口となっている。弁部材62は、段付き凹部66内に装着し、上記蓋部材68を固定することで、外周部62Aが弁収容室64の上下の壁面64A,64B即ち、蓋部材68の下面と段付き凹部66の底面で液密即ち、液体がリークしないように挟持された状態にて、弁収容室64内に保持されている。図4に示すように、弁部材62は、外周部62Aが全周にわたって厚肉状をなすとともに、該厚肉の外周部62Aの内側に薄肉膜状をなす可撓性膜部62Bを備える。可撓性膜部62Bは、厚肉の外周部62Aの厚み方向軸方向Xの中間位置において、その内周面間を塞ぐように形成されている。可撓性膜部62Bは、第2オリフィス流路60内の液流動によって、図3に示す中立位置から軸方向Xに撓み変形弾性変形するように構成されている。第2オリフィス流路60の上下の開口60A,60Bに対向する可撓性膜部62Bの中央部には、可撓性膜部62Bの撓み変形により上記開口60A,60Bを閉塞する弁部70が設けられている。また、可撓性膜部62Bにおける上記開口60A,60Bに対して重ならない位置、即ち軸方向Xからみてラップしない位置には、第2オリフィス流路60を連通させる連通穴72が複数設けられている。連通穴72は、図5に示すように、弁部70を取り囲む円周上の複数箇所に並設されており、この例では、等間隔にて4個の連通穴72が設けられている。連通穴72は、弁部70が上記開口60A,60Bから離間してこれら開口を開放した状態図3参照で、該連通穴72を通って第2オリフィス流路60内に液体が流動し、これにより第2オリフィス流路60を開放させるよう構成されている。連通穴72の開口面積は、連通穴72において絞り効果が発揮されないように、その総面積が、第2オリフィス流路60の断面積、即ち上記開口60A,60Bの各面積よりも大きく設定されている。弁部70は、可撓性膜部62Bの膜面から突出した筒状緩衝部74を備えてなる。筒状緩衝部74は、この例では、可撓性膜部62Bの表裏両側の膜面からそれぞれ突出して設けられている。筒状緩衝部74は、可撓性膜部62Bの撓み変形時に第2オリフィス流路60の開口60A,60Bを閉塞するべくこれら開口の周りに当接して当該開口を取り囲む円筒状のゴム部分であり、仕切り体40への当接による衝撃を和らげるとともに、第2オリフィス流路60の閉塞後にも弁部70の変形を許容して仕切り体40への伝達エネルギーを緩和させるように構成されている。すなわち、筒状緩衝部74は、その肉厚Pよりも突出高さ可撓性膜部62Bからの突出高さQが大きくP<Qなるように薄肉かつ高く設定されており図7参照、これにより、図8,9に示すような第2オリフィス流路60の閉塞後にも、軸方向Xにおいて弁部70即ち、筒状緩衝部74が容易に変形できるよう構成されている。より好ましくは、筒状緩衝部74の突出高さQはその外側における可撓性膜部62Bの肉厚Rよりも大きく設定されQ>R、また、筒状緩衝部74の肉厚Pは突出高さQに対してP<0.5Qを満足するように設定されている。一例として、本実施形態ではR=1例えば1mmとして、Q=2.5、P=0.6に設定されている。図4,5に示すように、筒状緩衝部74には、その高さ方向軸方向Xと同じに延びるスリット76が設けられている。スリット76は、第2オリフィス流路60の閉塞後にも僅かながら液体の行き来を許容するための細い切込み隙間であり、筒状緩衝部74の周方向における1箇所に設けられている。特に限定するものではないが、スリット76の幅は、筒状緩衝部74の肉厚Pと同等に設定することが好ましく、また、スリット76の深さ軸方向Xにおける寸法は、筒状緩衝部74の突出高さQと同等、即ち筒状緩衝部74の高さ方向の全体にわたって延びるように形成することが好ましい。かかる小幅のスリット76は、この例では、上下の筒状緩衝部74,74に各1個ずつ設けられており、両者は周方向において同一位置に形成されている。図4~6に示すように、可撓性膜部62Bには、筒状緩衝部74の外側に筒状緩衝部74よりも突出高さの高い円柱状の突起78が複数設けられている。突起78は、上記開口60A,60Bに対して重ならない位置の膜面に設けられており、図5に示すように、筒状緩衝部74を取り囲む円周上この例では、上記連通穴72と同じ円周上において、連通穴72の間に各2個ずつ設けられている。図5a及びcに示すように、突起78は、可撓性膜部62Bの上下両側の膜面に突設されており、上下対称に形成されている。突起78は、この例では、弁部材62の中立位置において、その先端が弁収容室64の壁面64A,64Bに、当接しないように設定されているが、中立位置で当接するように設定することもできる。上記複数の突起78は、この例では、突出高さが異なる3種類の突起からなる。詳細には、突出高さが最も高い4つの第1突起78Aと、突出高さが最も低い2つの第3突起78Cと、これらの中間の突出高さを持つ2つの第2突起78Bとからなる。筒状緩衝部74には、その先端に複数の補助突起80が設けられている。補助突起80は、微小な半球状の突起であり、筒状緩衝部74の先端部において周方向に等間隔にて並設されている。図5bに示すように、補助突起80の高さは上記突起78特には最も低い第3突起78Cよりも低く設定されている。補助突起80は、上下の筒状緩衝部74,74に対してそれぞれ設けられている。筒状緩衝部74には、また、その内側の膜部分62Cに筒状緩衝部74を補強するための突条からなるリブ82が設けられている。リブ82は、弁部材62の中心弁部70の中心と同じから複数本この例では3本が放射状に延びて筒状緩衝部74の内周面に連結された形状をなし、図6に示すように中心から径方向外方に向かって漸次高くなるように上面が傾斜して形成されており、これにより筒状緩衝部74の根元部を補強している。図5に示すように、リブ82は、上下の筒状緩衝部74,74に対してそれぞれ設けられており、上下で位相をずらして配置されている図5c参照。図3に示すように、弁収容室64の上下の壁面64A,64Bには、弁部材62の厚肉の外周部62Aの内周面に当接して当該外周部62Aの径方向内方への変位を規制するリング状の規制突起84が設けられている。以上よりなる液封入式防振装置10であると、停車したアイドル時のように比較的微振幅で高周波数側の振動が入力した時には、第2オリフィス流路60内の液の流れが小さいため、弁部材62の可撓性膜部62Bはほとんど撓み変形しない。そのため、図3に示すように、弁部70は第2オリフィス流路60を閉塞しておらず、弁部材62に設けた連通穴72を通じて第2オリフィス流路60内の液体が主液室42と第2副液室52間を行き来可能である。そのため、高周波側の第2オリフィス流路60を通じての液体の共振作用により、アイドル振動に対する優れた防振効果が発揮される。一方、車両走行時においてシェイク振動のように比較的大振幅で低周波数側の振動が入力した時には、第2オリフィス流路60内の液の流れが大きくなり、この液流動によって弁部材62の可撓性膜部62Bが流れ方向Xに押圧されることで撓み変形する。これにより、例えば、図8に示す主液室42の圧縮方向での入力時には、弁部70が下側の開口60Aを塞ぎ、また、図9に示す主液室42の引張方向での入力時には、弁部70が上側の開口60Bを塞ぐので、弁部材62によって第2オリフィス流路60が閉塞される。そのため、低周波側の第1オリフィス流路56を介して液体が主液室42と第1副液室44の間を行き来するので、第1オリフィス流路56を流動する液体の共振作用に基づき、シェイク振動に対して高い減衰性能が発揮される。このように液封入式防振装置10であると、ゴム弾性膜からなる弁部材62の撓み変形により第2オリフィス流路60の閉塞を行う構造であるため、弁部材62への液流動が小さくなったときには、弁部材62が有する復元力により第2オリフィス流路60を開放状態に復帰させることができる。そのため、スプリング等の付勢手段を別途設けなくても、2つのオリフィス流路56,60による特性を切り替えることができ、安価かつコンパクトな構造で切替式の液封入式防振装置を提供することができる。また、特に本実施形態によれば、上記のように弁部70に薄肉状のゴム壁からなる筒状緩衝部74を設けたので、図8,9に示す第2オリフィス流路60の閉塞後においても、筒状緩衝部74が弾性変形することにより弁部70の変形が許容されている。そのため、例えば、悪路走行時等の大振幅入力時において第2オリフィス流路60の閉塞後にも弁部70が変形することで、仕切り体40即ち、弁収容室64の壁面64A,64Bへの伝達エネルギーを緩和させることができる。すなわち、この場合、仕切り体40への伝達エネルギーEは、上記液流動により撓み変形する弁部材62の運動エネルギーをE1とし、弁部70の変形による消費エネルギーをE2として、E=E1-E2で表されるので、弁部70の変形による消費エネルギーの分だけ、仕切り体40への伝達エネルギーを低減することができ、異音の発生を抑えることができる。また、弁部70に上記筒状緩衝部74を設けたことにより、仕切り体40への弁部70の当接による荷重変化が滑らかとなり、当接による衝撃を低減することができる。特に、本実施形態では、上記のように突起78及び補助突起80を設けたことにより、弁部材62の撓み変形時には、第1突起78A→第2突起78B→第3突起78C→補助突起80→筒状緩衝部74本体の順番で、弁部70は仕切り体40即ち、弁収容室64の壁面64A,64Bに当接していく。このように弁部70を段階的に当接させることで、弁部70の当接による荷重変化を更に滑らかなものにすることができる。また、筒状緩衝部74に上記のように小幅のスリット76を設けたことにより、第2オリフィス流路60の閉塞後も僅かながら液体の流動が許容される。そのため、弁部70が仕切り体40の上記開口60A,60B周りに吸い付くことにより中立位置に復帰できなくなるという不具合を回避することができる。また、筒状緩衝部74の内側に補強用のリブ82を設けたことにより、筒状緩衝部74の繰り返し変形によるヘタリを大幅に改善することができる。また、このような筒状緩衝部74の付け根部を補強するリブ82であれば、筒状緩衝部74全体としての剛性変化は小さいので、異音性能への影響を抑えることができる。図10は、本実施形態に係る筒状緩衝部74を設けた弁部70を有するもの実施例と、上記特許文献3に開示されたような平坦な弁部を有するもの比較例とについて、弁部の軸方向における変位と荷重との関係を示したグラフである。すなわち、第2オリフィス流路60の液流動を想定して、弁部の中央実施例では筒状緩衝部74の内側の膜部分62Cを球体で軸方向Xに押圧し、弁収容室64の壁面64Bに押し付けたときの荷重と撓み変位との関係を調べた。その結果、図10に示すように、比較例では、仕切り体壁面への接触後における荷重の立ち上がりが急激であるのに対し、実施例では、当該接触後における荷重変化が滑らかになっていた。これら実施例と比較例の液封入式防振装置について異音特性周波数と動荷重との関係を調べたところ、図11に示すように、振幅±0.5mmの振動入力時に、実施例のものでは比較例に対して、動荷重が大幅に低減しており、異音を大幅に低減することができた。なお、上記実施形態では、弁部材62の可撓性膜部62Bに複数種類の突起78を設ける際に、その突出高さを変えて設けたが、突起78の径を変えるなど断面積を変えて設けてもよい。また、突出高さと断面積の双方を変えて複数種類の突起78を設けてもよい。また、上記実施形態では、第1、第2及び第3突起78A~Cの3水準で設けたが、高さないし断面積の設定は2水準以上であれば、3水準に特に限定するものではない。また、上記実施形態では、第2副液室52を設けて、第2オリフィス流路60を主液室42と第2副液室52とを連通させて設けたが、副液室として第1副液室44のみを設け、第2オリフィス流路60を、第1オリフィス流路56と同様、主液室42と第1副液室44とを連通させて設けた場合にも、同様に本発明を適用することができる。更には、上記実施形態では、第2副液室52を仕切り体40の第1副液室44側に設けて、第2オリフィス流路60を主液室42と第2副液室52とを連通させるように構成したが、これに代えて、第2副液室を仕切り体の主液室側に設けて、第2ダイヤフラムで主液室から仕切り構成した上で、第2オリフィス流路を該第2副液室と第1副液室とを連通させるように構成してもよい。このように、第2オリフィス流路は、異なる液室間を連通させるものであれば、例えば、主液室といずれかの副液室とを連通させるものであってもよく、あるいはまた、2つの副液室間を連通させるものであってもよい。好ましい態様としては、副液室が、第2取付具に取り付けられた第1ダイヤフラムが室壁の一部をなす第1副液室と、仕切り体に設けられた第2ダイヤフラムが室壁の一部をなす第2副液室とからなり、前記仕切り体が、主液室と第1副液室とを仕切り、前記第1オリフィス流路が前記主液室と前記第1副液室とを連通させて設けられ、前記第2オリフィス流路が前記第2副液室と前記主液室又は前記第1副液室とを連通させて設けられることである。更に好ましくは、上記実施形態のように、前記仕切り体の前記第1副液室側に前記第2ダイヤフラムによって前記第1副液室から仕切られた前記第2副液室が設けられ、前記第1オリフィス流路が前記主液室と前記第1副液室とを連通させて設けられ、前記第2オリフィス流路が前記主液室と前記第2副液室とを連通させて設けられることである。上記実施形態では、シェイク振動とアイドル振動を対象としたが、これに限らず、周波数の異なる種々の振動に対して適用することができる。その他、一々列挙しないが、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変更が可能である。"