"断面が長円形状であるとともに流体の流れ方向に螺旋状に形成された雌ネジを有する雌ネジ型ステータと、断面が円形形状であるとともに前記雌ネジ型ステータの前記雌ネジと接しながら偏心回転自在な雄ネジを有する雄ネジ型ロータとを備え、前記雌ネジ型ステータの前記流れ方向の長さは前記雌ネジ型ステータの雌ネジピッチの1/4周期以上かつ1周期未満であり、前記雌ネジ型ステータに対する前記雄ネジ型ロータの相対回転角に応じて前記雌ネジと前記雄ネジとの間に形成されるオリフィスが変化して前記流れ方向の流体の流量を調整することを特徴とするバルブ。一方端部が前記雄ネジ型ロータに接続され、他方端部に与えられる回転駆動力に応じて前記雄ネジ型ロータを偏心回転させる偏心部をさらに備える請求項1に記載のバルブ。前記雌ネジ型ステータの前記流れ方向の長さは前記雌ネジ型ステータの雌ネジピッチの1/2周期以上かつ1周期未満であり、前記偏心部が前記雄ネジ型ロータを偏心回転することで流体の流通および遮断を切り替える請求項2に記載のバルブ。前記偏心部の他方端部に回転駆動力を与える回転駆動部をさらに備え、前記回転駆動部からの回転駆動力によって前記雄ネジ型ロータが偏心回転して流体の流通および遮断を切り替える請求項3に記載のバルブ。流体を供給する流体供給部と、前記流体供給部から供給される流体を吐出口から吐出するノズルと、請求項4に記載のバルブと同一構成を有し、前記流体供給部から前記ノズルの吐出口までの流体の流路上に設けられるバルブと、前記回転駆動部を制御することで前記吐出口からの流体の吐出およびその停止を切り替える吐出制御部とを備えることを特徴とする流体吐出装置。流体を供給する流体供給部と、前記流体供給部から供給される流体を吐出口から吐出するノズルと、請求項4に記載のバルブと同一構成を有し、前記流体供給部から前記ノズルの吐出口までの流体の流路上に設けられる第1バルブと、請求項4に記載のバルブと同一構成を有し、前記流体供給部から前記ノズルの吐出口までの流体の流路上に前記第1バルブと並列的に設けられる第2バルブと、前記回転駆動部を制御することで前記吐出口からの流体の吐出およびその停止を切り替える吐出制御部とを備え、前記回転駆動部は、前記第1バルブおよび前記第2バルブの偏心部の他方端部に対して互いに反対方向の回転駆動力を与えることで、前記第1バルブおよび前記第2バルブの前記雄ネジ型ロータを互いに反対方向で、かつ同一の回転角だけ偏心回転させて前記第1バルブおよび前記第2バルブから前記ノズルへの流体の流通および遮断を切り替えることを特徴とする流体吐出装置。流体を供給する流体供給部と、前記流体供給部から供給される流体を吐出するノズルと、請求項4に記載のバルブと同一の構成を有し、前記流体供給部から前記ノズルの吐出口までの流体の流路上に設けられる第1バルブと、雄ネジおよび雌ネジの螺旋方向が反対であることを除き請求項4に記載のバルブと同一の構成を有し、前記流体供給部から前記ノズルの吐出口までの流体の流路上に前記第1バルブと並列的に設けられる第2バルブと、前記回転駆動部を制御することで前記吐出口からの流体の吐出およびその停止を切り替える吐出制御部とを備え、前記回転駆動部は、前記第1バルブおよび前記第2バルブの偏心部の他方端部に対して同一方向の回転駆動力を与えることで、前記第1バルブおよび前記第2バルブの前記雄ネジ型ロータを同一方向で、かつ同一の回転角だけ偏心回転させて前記第1バルブおよび前記第2バルブから前記ノズルへの流体の流通および遮断を切り替えることを特徴とする流体吐出装置。前記ノズルと前記バルブとが近接して配置される請求項5ないし7のいずれか一項に記載の流体吐出装置。前記流体供給部は前記流体としてペースト状の塗布液である請求項5ないし8のいずれか一項に記載の流体吐出装置。基板を保持する基板保持部と、パターンを形成するための材料を含む流体を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、前記流体を前記ノズルに供給する流体供給部と、請求項4に記載のバルブと同一構成を有し、前記複数の吐出口のうち少なくとも1つを制御対象吐出口として前記流体供給部から該制御対象吐出口に至る流路上に設けられるバルブと、前記基板保持部に保持された前記基板に対して相対的に前記ノズルを走査移動させる走査移動部と、前記回転駆動部を制御して前記制御対象吐出口からの前記流体の吐出およびその停止を制御する吐出制御部とを備えることを特徴とするパターン形成装置。前記複数のバルブと前記ノズルとが近接して配置される請求項10に記載のパターン形成装置。前記流体供給部は前記流体としてペースト状の塗布液である請求項10または11に記載のパターン形成装置。特許文献1に記載されたバルブでは、ロータのニードル部がノズル側に移動してノズルからの吐出流体の流量を調整し、さらにノズルのテーパ部に圧着することによってノズルを閉成状態に切り替える。この閉成時には、ニードル部に比較的大きな軸力を印加する必要がある。そのため、この軸力印加によりノズルが変形してしまい、吐出精度の低下を招くことがあった。また、モータにより軸力を発生させるため、ロータを回転させる回転駆動部の大型化は避けられず、特に吐出口を複数設けた、いわゆるマルチノズルの場合に吐出口を狭い間隔で配列することができなかった。この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、小型で高精度なバルブ、ならびに当該バルブを用いて高精度な処理を行うことができる流体吐出装置およびパターン形成装置を提供することを目的とする。本発明にかかるバルブは、上記目的を達成するため、断面が長円形状であるとともに流体の流れ方向に螺旋状に形成された雌ネジを有する雌ネジ型ステータと、断面が円形形状であるとともに雌ネジ型ステータの雌ネジと接しながら偏心回転自在な雄ネジを有する雄ネジ型ロータとを備え、雌ネジ型ステータの流れ方向の長さは雌ネジ型ステータの雌ネジピッチの1/4周期以上かつ1周期未満であり、雌ネジ型ステータに対する雄ネジ型ロータの相対回転角に応じて雌ネジと雄ネジとの間に形成されるオリフィスが変化して流れ方向の流体の流量を調整することを特徴としている。このように構成されたバルブでは、雌ネジ型ステータに形成された雌ネジに対し、雄ネジ型ロータの雄ネジが接しながら偏心回転してステータに対するロータの相対回転角を変更可能となっている。この相対回転角の変化によって雌ネジと雄ネジとの間に形成されるオリフィスが変化して流れ方向の流体の流量が変化する。このバルブでは、ステータ内でロータを偏心回転させるのみであり、構成部品の変形がなく、高精度な流体の流量調整を安定して行うことが可能となっている。また、ロータを偏心回転させるために、例えば一方端部が雄ネジ型ロータに接続され、他方端部に与えられる回転駆動力に応じてロータを偏心回転させる偏心部を用いてもよい。また、雌ネジ型ステータの流れ方向の長さを、雌ネジ型ステータの雌ネジピッチの1/2周期以上かつ1周期未満とした場合、偏心部により雄ネジ型ロータを偏心回転することで流体の流通および遮断を切り替えることができる。このように構成することで流量調整機能と開閉機能とを兼ね備えたバルブが得られる。また、偏心部の他方端部をオペレータやユーザなどがマニュアル操作することで回転駆動力を与えてもよいが、偏心部の他方端部に回転駆動力を与える回転駆動部をさらに設けてもよい。本発明では上記したようにロータをステータに対して偏心回転させることで流体の流通および遮断を切り替えているため、次のような作用効果が得られる。すなわち、本発明では、マニュアル操作により、または回転駆動部によりステータ内でロータを偏心回転させるのみであり、構成部品の変形がなく、高精度な流体の流量調整やバルブの開閉を安定して行うことができる。また、従来のバルブのように軸力を発生させる必要がないため、回転駆動部の小型化を図ることができる。このことは当該バルブを装備する装置、例えば次に説明する流体吐出装置やパターン形成装置などの小型化に大きく寄与する。この発明にかかる流体吐出装置の第1態様は、流体を供給する流体供給部と、流体供給部から供給される流体を吐出口から吐出するノズルと、上記バルブと同一構成を有し、流体供給部からノズルの吐出口までの流体の流路上に設けられるバルブと、回転駆動部を制御することで吐出口からの流体の吐出およびその停止を切り替える吐出制御部とを備えることを特徴としている。また、この発明にかかる流体吐出装置の第2態様は、流体を供給する流体供給部と、流体供給部から供給される流体を吐出口から吐出するノズルと、上記バルブと同一構成を有し、流体供給部からノズルの吐出口までの流体の流路上に設けられる第1バルブと、上記バルブと同一構成を有し、流体供給部からノズルの吐出口までの流体の流路上に第1バルブと並列的に設けられる第2バルブと、回転駆動部を制御することで吐出口からの流体の吐出およびその停止を切り替える吐出制御部とを備え、回転駆動部は、第1バルブおよび第2バルブの偏心部の他方端部に対して互いに反対方向の回転駆動力を与えることで、第1バルブおよび第2バルブの雄ネジ型ロータを互いに反対方向で、かつ同一の回転角だけ偏心回転させて第1バルブおよび第2バルブからノズルへの流体の流通および遮断を切り替えることを特徴としている。また、この発明にかかる流体吐出装置の第3態様は、流体を供給する流体供給部と、流体供給部から供給される流体を吐出するノズルと、上記バルブと同一の構成を有し、流体供給部からノズルの吐出口までの流体の流路上に設けられる第1バルブと、雄ネジおよび雌ネジの螺旋方向が反対であることを除き上記バルブと同一の構成を有し、流体供給部からノズルの吐出口までの流体の流路上に第1バルブと並列的に設けられる第2バルブと、回転駆動部を制御することで吐出口からの流体の吐出およびその停止を切り替える吐出制御部とを備え、回転駆動部は、第1バルブおよび第2バルブの偏心部の他方端部に対して同一方向の回転駆動力を与えることで、第1バルブおよび第2バルブの雄ネジ型ロータを同一方向で、かつ同一の回転角だけ偏心回転させて第1バルブおよび第2バルブからノズルへの流体の流通および遮断を切り替えることを特徴としている。このように構成された発明流体吐出装置では、上記バルブを用いているので、高精度な流体の流量調整、吐出およびその停止を安定して行うことができる。また、回転駆動部の小型化により流体吐出装置のダウンサイジングを図ることができる。しかも、上記第1態様では、ロータがステータに対して偏心回転しながら流体の吐出およびその停止を行っているため、偏心回転時に発生するポンプ効果により、バルブは流体を圧送しながら開閉させ、あるいはサックバック効果を発揮させながら開閉される。一方、第2態様および第3態様では、第1バルブで発生するポンプ効果と、第2バルブで発生するポンプ効果とが相殺されて開閉時の吐出精度を高めることができる。この発明にかかるパターン形成装置は、上記目的を達成するため、基板を保持する基板保持部と、パターンを形成するための材料を含む流体を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、流体をノズルに供給する流体供給部と、上記したバルブと同一構成を有し、複数の吐出口のうち少なくとも1つを制御対象吐出口として流体供給部から該制御対象吐出口に至る流路上に設けられるバルブと、基板保持部に保持された基板に対して相対的にノズルを走査移動させる走査移動部と、回転駆動部を制御して制御対象吐出口からの流体の吐出およびその停止を制御する吐出制御部とを備えることを特徴としている。このように構成された発明パターン形成装置では、ノズルに設けられた複数の吐出口の少なくとも一部が制御対象吐出口となっており、他の吐出口とは独立して塗布液の吐出停止を制御することが可能である。しかも、上記バルブを用いているので、高精度な流体の流量調整、吐出およびその停止を安定して行うことができる。また、各回転駆動部の小型化により複数の吐出口に対応して回転駆動部を設けることが可能となっており、回転駆動部の個別制御により各吐出口から任意のタイミングで流体を吐出することが可能となっている。このため、基板形状にかかわらず所定のパターンを効率良く形成することができる。なお、上記したバルブを装備する流体吐出装置やパターン形成装置では、応答性や吐出安定性を考慮すれば、バルブをノズルに近接して配置するのが望ましい。また、流体吐出装置やパターン形成装置では、流体としてペースト状の塗布液を用いることがあるが、この塗布液は比較的粘度が高く、従来のバルブを用いた装置では良好に塗布液を吐出することが困難であった。これに対し、本発明では上記したバルブを用いることで良好に塗布液を吐出することが可能となっている。以上のように、本発明によれば、流体の流れ方向におけるステータの長さがステータに設けられる雌ネジピッチの1/4周期以上かつ1周期未満となっており、そのステータの雌ネジに対してロータの雄ネジが接しながら偏心回転する。そして、ステータに対するロータの相対回転角に応じて雌ネジと雄ネジとの間に形成されるオリフィスを変化させて流れ方向の流体の流量を調整する。したがって、軸力を必要とせずに、流量調整を高精度に行うことができる。また、ロータを偏心回転させるための回転駆動力を回転駆動部で発生させるとしても、軸力が不要であるため、回転駆動部を小型化することができ、バルブを小型化することができる。そのため、当該バルブを装備する流体吐出装置やパターン形成装置の小型化を図ることができる。A.バルブの基本原理本願発明者は、従来より一軸偏心ネジポンプモーノポンプについて種々の研究や改良などを検討しているが、その研究中に一軸偏心ネジポンプが一定の条件を満たすことでバルブとして機能するという知見を得た。一軸偏心ネジポンプは、例えば特許文献2に記載されているように、流体の送出方向に延設された雄ネジ型ロータを、同一方向に延設される雌ネジ型ステータに嵌挿し、当該雌ネジ型ステータに対して相対的に偏心回転させることで流体を送り出すものであり、従来より広く使用されている。雌ネジ型ステータはフッ素ゴムなどの弾性部材で構成されており、送出方向に直交する、いずれの断面においても長円形状となっている雌ネジを有している。一方、雄ネジ型ロータはステンレスなどの金属材料で構成されており、送出方向に直交する各断面は円形形状を有している。そして、雌ネジ型ステータに対して雄ネジ型ロータが所定の偏心量で回転することでポンプとして機能する。ここで、ポンプとして機能させるためには、ポンプの軸方向送出方向の長さ以下本体長さというをステータの雌ネジピッチの1周期以上とする必要ある。というのも、この条件を満足しなければ、ステータとロータとでキャビティと称される密閉空間を形成することができないからである。一方、本体長さがステータの雌ネジピッチの1周期よりも短くしていくと、ステータに対するロータの相対回転角θ0 ゚≦θ≦360 ゚、あるいは-180 ゚≦θ≦180 ゚に応じて雌ネジと雄ネジとの間に形成されるオリフィスが変化する。より詳しくは、本体長さVLが、ステータの雌ネジピッチの1周期未満で、かつ1/2周期以上となっているときには、特定の相対回転角θ1で全開状態となる。また、別の相対回転角θ2で全閉状態となる。したがって、相対回転角を角度θ1と角度θ2とに切り替えることで流体の流通と遮断とを制御可能となる。つまり、開閉バルブとして機能する。なお、本体長さVLが雌ネジピッチの1/2周期より長い場合には、全閉状態となる回転角の範囲は広がるとともに全開状態でのオリフィスは、本体長さVLが雌ネジピッチの1/2周期であるときの全開状態でのオリフィスよりも小さくなる。さらに相対回転角が角度θ1から角度θ2に移行する間、逆に角度θ2から角度θ1に移行する間では、雌ネジと雄ネジとの間に形成されるオリフィスは相対回転角に応じて徐々に変化する。したがって、この現象を利用することで流量調整が可能となる。これらの点については、本体長さVLがステータの雌ネジピッチの1/2周期となっているバルブの動作を後で図3を参照しつつ詳述する。また、本体長さVLがステータの雌ネジピッチの1/2周期未満となると、全閉状態が得られず、開閉バルブとしては機能しない。しかしながら、相対回転角に応じてオリフィスが変化するため、流量調整は可能となっている。ただし、本体長さVLがステータの雌ネジピッチの1/4周期よりも短くなると、相対回転角に応じたオリフィスの変化量は非常に小さくなり、事実上、流量調整は難しくなる。本発明にかかるバルブは上記知見に基づくものであり、当該バルブを用いた流体吐出装置およびパターン形成装置を以下に例示し、その中で当該バルブの構成および動作をさらに詳しく説明する。B.流体吐出装置図1は、本発明にかかるバルブの一実施形態を装備する流体吐出装置を示す図である。この流体吐出装置FDは、流体供給部1から加圧供給された流体例えばペースト状の塗布液を配管2およびガイド部3を介してノズル4に流通させて当該ノズル4の吐出口41から吐出する装置である。このように、配管2およびガイド部3がノズルへの流体の流路を形成しているが、その流路上にバルブ5が設けられている。なお、本実施形態では、バルブ5はノズル4に近接して配置されており、ノズル4への流体供給の直前で後述するようにして流量調整や開閉制御を行うことができる。そのため、吐出のON/OFF制御および流量調整を高精度に行うことができ、好適である。ただし、バルブ5の配設位置はこれに限定されるものではなく、流路上であれば任意であることは言うまでもない。このバルブ5は、流体の流れ方向Dに対して直交する断面が長円形状を有するとともに流れ方向Dに螺旋状に形成された雌ネジを有する雌ネジ型ステータ51と、流れ方向Dに対して直交する断面が円形形状であるとともに雌ネジ型ステータ51の雌ネジ51aと接しながら偏心回転自在な雄ネジ52aを有する雄ネジ型ロータ52とを備えている。この実施形態では、ステータ51の軸方向流れ方向Dの長さ、つまり本体長さVLがステータ51の雌ネジピッチの1/2周期となっている。なお、以下においては、雌ネジ型ステータ51および雄ネジ型ロータ52をそれぞれ単にステータ51およびロータ52と称する。このロータ52の後端部には、偏心機構53の一方端部同図の左側端部が取り付けられている。また、この偏心機構53はガイド部3の内部に配置されており、モータや空圧回転アクチュエータなどの回転駆動機構54から与えられる回転駆動力を偏心機構53の他方端部同図の右側端部が受けてロータ52を偏心回転させる。この偏心機構53としては、一軸偏心ネジポンプで多用されている偏心機構と同様のもの、例えばフレキシブルジョイントを用いることができる。図2は雌ネジ型ステータ51および雄ネジ型ロータ52の構成を示す斜視図であり、図3は流れ方向に対して直交する断面におけるステータおよびロータの形状を示す図である。この実施形態では、図2aに示すように、ステータ51の軸方向流れ方向Dの長さ、つまり本体長さVLはステータ51の雌ネジピッチの1/2周期となっている。そして、流れ方向Dに対して直交する7つの断面、つまり図2bに示すように、断面...ノズル4側同図の下側のバルブ端部での断面、断面...断面から雌ネジネジピッチの1/12周期だけ離れた位置での断面、断面...断面から雌ネジネジピッチの2/12周期だけ離れた位置での断面、断面...断面から雌ネジネジピッチの3/12周期だけ離れた位置での断面、断面...断面から雌ネジネジピッチの4/12周期だけ離れた位置での断面、断面...断面から雌ネジネジピッチの5/12周期だけ離れた位置での断面、断面...断面から雌ネジネジピッチの6/12周期だけ離れた位置、つまりガイド部3側同図の上側のバルブ端部での断面、でのステータ51およびロータ52の断面形状を、ロータ52を偏心回転の中心軸AX図1を中心として0 ゚、90 ゚、180 ゚、270 ゚だけ回転させた場合について、図示したものが図3である。なお、同図中のハッチング領域はキャビティが開であることを示している。まず、ロータ52の回転角θが0°の場合、図3の最上行に示すように、上側キャビティUCVおよび下側キャビティDCVに着目すると、上側キャビティUCVは断面で閉であり、下側キャビティDCVは断面で閉であるので、バルブ5としては閉成状態となっている。また、ロータ52の回転角θが90°の場合、図3の上から2番目の行に示すように、上側キャビティUCVはどの断面でも開であるので、バルブ5としては開成状態である。同様に、ロータ52の回転角θが180°と270 ゚の場合についても、それぞれ閉成状態および開成状態であることが解る。つまり、上記のように構成されたバルブ5は、ロータ52の90°回転ごとに開閉を繰り返すバルブである。ちなみに全閉は、ロータ52の回転角θが0°と180°の場合である。また、全開は、ロータ52の回転角θが90°と270°の場合のみであり、それ以外では一部開となる。したがって、制御部6により回転駆動機構54を一定時間だけ作動させてロータ52の回転角θを0 ゚、90 ゚、180 ゚、270 ゚に制御することでバルブ5の開閉を制御することができる。また、全開状態から全閉状態に移行する、あるいは全閉状態から全開状態に移行する、例えば回転角θが0 ゚から90に移行するとき、オリフィスが連続的に変化してバルブ5を流通してノズル4に供給される流体の流量を調整可能となっている。以上のように、図1に示す流体吐出装置FDでは、上記したA.バルブの基本原理の項で説明したバルブ5が用いられているため、ステータ51に対するロータ52の回転角を調整することで、ノズル4からの流体の吐出および停止を切り替えることができるとともに、吐出流量も調整可能となっている。また、この実施形態では、ステータ51内でロータ52を偏心回転させるのみであり、構成部品の変形がなく、高精度な流体吐出を安定して行うことができる。また、従来のバルブのように軸力を発生させる必要がないため、回転駆動機構54の小型化を図ることができる。このことは流体吐出装置FDの小型化に大きく寄与する。また、本実施形態では、螺旋状の雄ネジ52aを有するロータ52を回転させることで全開状態から全閉状態に移行させる、または全閉状態から全開状態に移行させるため、ロータ52の回転方向に応じたポンプ効果が得られる。例えば図2bでは、バルブ5のロータ52を同図において時計回りに偏心回転させると、流れ方向Dと逆の方向にポンプ効果が作用する。したがって、当該バルブ5の下方側にノズル4が配置されている流体吐出装置FDでは、ロータ52を同図において時計回りに偏心回転させて全閉状態に切り替えると、全閉状態に移行しながらポンプ効果によりノズル4側の流体をバルブ5側に引き戻す。いわゆるサックバック効果が得られる。また、ロータ52を同図において反時計回りに偏心回転させて全開状態に切り替えると、全開状態に移行しながらポンプ効果によりノズル4側に流体を押し出す。いわゆる圧送効果が得られ、バルブ5の応答速度を高めることができる。よって、ノズル4から流体を吐出させる際には、同図において反時計回りにロータ52を偏心回転させることで圧送効果を発生させる一方、流体の吐出を停止する際には逆方向にロータ52を偏心回転させることでサックバック効果を発生させてノズル4から流体が垂れるのを防止するのが好適である。このように本実施形態では、偏心機構53および回転駆動機構54がそれぞれ本発明の偏心部および回転駆動部に相当しており、制御部6が発明の吐出制御部として機能している。ところで、ステータ51とロータ52とを組み合わせたバルブ5ではポンプ効果が発生するが、複数のバルブを並設することによって各バルブで発生するポンプ効果を相殺させることが可能である。以下、図4および図5を参照しつつ本発明に係る流体吐出装置FDの第2実施形態および第3実施形態をそれぞれ説明する。図4は本発明に係る流体吐出装置の第2実施形態を示す図である。この第2実施形態が第1実施形態と大きく相違する点は、複数のバルブを用いる点と、各バルブのロータをそれぞれ正逆方向に回転させて開閉させる点とであり、その他の構成は基本的に同一である。すなわち、バルブとして、第1実施形態で採用したバルブ5と同一構成のバルブ5A、5Bが並設されており、これらのバルブ5A、5Bの一方端部同図の左側端部側にノズル4が配置されている。これらのうちバルブ5Aのロータ52Aに偏心機構53Aが接続され、回転駆動機構54から与えられる回転駆動力を受けてロータ52Aを偏心回転させる。もう一方のバルブ5Bについてもバルブ5Aと同様に構成されている。そして、図示を省略する制御部からの動作指令によってバルブ5A、5Bを全開させてノズル4から流体を吐出させるとき、例えば図4の閉→開の欄に示すように、ロータ52Aは回転角0 ゚から回転角90 ゚に偏心回転するのに対し、ロータ52Bは回転角0 ゚から回転角-90 ゚に偏心回転する。このため、これら2つのバルブ5A、5Bの一方で圧送効果が発生するのと並行して他方でサックバック効果が発生し、各バルブ5A、5Bで発生するポンプ効果が相殺される。また、制御部からの動作指令によってバルブ5A、5Bを全閉させてノズル4からの流体の吐出を停止させるとき、例えば図4の開→閉の欄に示すように、ロータ52Aは回転角90 ゚から元の回転角0 ゚に偏心回転するのに対し、ロータ52Bは回転角-90 ゚から元の回転角0 ゚に偏心回転する。このため、全閉状態へのバルブ切替においては、一方のバルブでサックバック効果が発生すると同時に他方のバルブで圧送効果が発生し、全開状態へのバルブ切替と同様に、ポンプ効果が相殺される。以上のように、第2実施形態では、第1実施形態と同様の作用効果が得られるのみならず、ポンプ効果の影響を抑えて開閉時の吐出精度を高めることができる。このように、本実施形態では、バルブ5A、5Bがそれぞれ本発明の第1バルブおよび第2バルブに相当している。また、このように複数のバルブを配列する場合には、複数の回転駆動機構54A、54Bを配列する必要があるが、このような配列構造を採用する上においても上記バルブ5は有利である。その理由は以下の通りである。すなわち、本実施形態はロータ52A、52Bを回転駆動機構54A、54Bで偏心回転させることでバルブ5A、5Bを開閉するものであり、軸力を必要としない。したがって、各回転駆動機構54A、54Bの小型化が可能であり、回転駆動機構54A、54Bを並列配置することも容易となっている。この点については、次に説明する第3実施形態、後述するマルチノズルを採用したパターン形成装置においても同様である。図5は本発明に係る流体吐出装置の第3実施形態を示す図である。この第3実施形態が第2実施形態と大きく相違する点は、ステータ51Bに形成される雌ネジの螺旋方向が反対であるとともにロータ52Bに形成される雄ネジの螺旋方向が反対である点と、ロータ52A、52Bをともに同一方向に偏心回転させる点とであり、その構成および動作は同一である。すなわち、図示を省略する制御部からの動作指令によってバルブ5A、5Bを全開させてノズル4から流体を吐出させるとき、例えば図5の閉→開の欄に示すように、ロータ52A、52Bは回転角0 ゚から回転角90 ゚に偏心回転するため、一方で圧送効果が発生するのと並行して他方でサックバック効果が発生し、各バルブ5A、5Bで発生するポンプ効果が相殺される。また、制御部からの動作指令によってバルブ5A、5Bを全閉させてノズル4からの流体の吐出を停止させるとき、例えば図5の開→閉の欄に示すように、ロータ52A、52Bは回転角90 ゚から元の回転角0 ゚に偏心回転するため、一方のバルブでサックバック効果が発生すると同時に他方のバルブで圧送効果が発生し、ポンプ効果が相殺される。以上のように、第3実施形態においても、第2実施形態と同様に、ポンプ効果の影響を抑えて開閉時の吐出精度を高めることができる。なお、第2実施形態および第3実施形態では、2つのバルブ5A、5Bを組み合わせているが、バルブ個数はこれに限定されるものではなく、3つ以上のバルブを組み合わせてもよい。但し、ポンプ効果の相殺を図るのであれば、バルブを偶数台設けるのが好適である。また、上記流体吐出装置FDでは、ステータ51の軸方向流れ方向Dの長さVLがステータ51の雌ネジピッチの1/2周期に設定されたバルブ5、5A、5Bを用いているが、ステータ51の軸方向の長さVLはこれに限定されるものではなく、開閉バルブとして機能する範囲であれば、任意である。すなわち、本体長さVLがステータ5151A、51Bの雌ネジピッチの1/2周期以上かつ1周期未満であればよい。この点に関しては、後で説明するパターン形成装置においても同様である。また、第2実施形態および第3実施形態にかかる流体吐出装置FDでは、バルブ5A、5Bに対して回転駆動機構54A、54Bをそれぞれ設けているが、単一の回転駆動機構から出力される回転駆動力が動力伝達機構を介して偏心機構53A、53Bに与えられ、これによってロータ52A、52Bを偏心回転させるように構成してもよい。さらに、上記実施形態では、単一の吐出口41を有するノズル4を用いた流体吐出装置に対して本発明を適用しているが、このようなノズルを複数個連設した流体吐出装置に対しても本発明を適用することができる。この場合、流体供給部1から各ノズルの吐出口までの流体の流路上に上記バルブをそれぞれ設ければよい。また、単一のノズルに複数の吐出口が設けられた流体吐出装置に対しても本発明を適用することができる。つまり、流体供給部から各吐出口までの流路上に上記バルブを設け、ロータの偏心回転により各吐出口からの流体の吐出を制御してもよい。なお、このように構成された流体吐出装置については、次に説明するように、パターン形成装置に適用することができ、優れた作用効果を発揮する。C.パターン形成装置パターン形成装置は、パターンを形成するための材料を含んだ塗布液を基板上に塗布しこれを硬化させる装置であり、例えば光電変換面を有する基板に配線パターンを形成して光電変換デバイスを製造する技術に適用可能である。この技術では、多数の吐出口を有するノズルを基板に対し走査移動させるとともに、各吐出口からパターン形成材料を含む塗布液を吐出させることによって、互いに平行で長さの等しい多数のライン状パターンを基板上に形成している。ところで、この種のパターン形成装置によってパターンを形成すべき基板の形状は様々である。例えば、太陽電池セルの基板として用いられる単結晶シリコン基板としては、正方形の四隅を切り落としたような八角形としたものがある。これは、円形の単結晶シリコンウエハの面積を有効に活用するためである。そのため、形成すべきパターンの長さは必ずしも一定ではない。そこで、本発明にかかるパターン形成装置では、流体供給部から各吐出口までの流路上に上記バルブを設け、吐出口毎にバルブを開閉制御して塗布液の吐出および吐出停止を制御することで矩形形状ではない基板以下、異形基板というに対しも、塗布により効率よくパターンを形成することができる。以下、図6ないし図9を参照しつつ本発明にかかるパターン形成装置の一実施形態について詳述する。図6は、本発明にかかるパターン形成装置の一実施形態を示す図である。このパターン形成装置PFは、例えば表面に光電変換層を形成された単結晶シリコンウエハなどの基板W上に導電性を有する電極配線パターンを形成し、例えば太陽電池として利用される光電変換デバイスを製造する装置である。この装置PFは、例えば光電変換デバイスの光入射面に集電電極パターンを形成するという用途に好適に使用することができる。このパターン形成装置PFでは、基台110上にステージ移動機構200が設けられ、基板Wを保持するステージ300がステージ移動機構200により図6に示すX-Y平面内で移動可能となっている。基台110にはステージ300を跨ぐようにしてフレーム121が固定され、フレーム121には塗布ヘッド部500が取り付けられている。ステージ移動機構200は、ステージ300をX方向に移動させるX方向移動機構210、Y方向に移動させるY方向移動機構220、および、Z方向を向く軸を中心に回転させるθ回転機構230を有する。X方向移動機構210は、モータ211にボールねじ212が接続され、さらに、Y方向移動機構220に固定されたナット213がボールねじ212に取り付けられた構造となっている。ボールねじ212の上方にはガイドレール214が固定され、モータ211が回転すると、ナット213とともにY方向移動機構220がガイドレール214に沿ってX方向に滑らかに移動する。Y方向移動機構220もモータ221、ボールねじ機構およびガイドレール224を有し、モータ221が回転するとボールねじ機構によりθ回転機構230がガイドレール224に沿ってY方向に移動する。θ回転機構230はモータ231によりステージ300をZ方向を向く軸を中心に回転させる。以上の構成により、塗布ヘッド部500の基板Wに対する相対的な移動方向および向きが変更可能とされる。ステージ移動機構200の各モータは、装置各部の動作を制御する制御部600により制御される。さらに、θ回転機構230とステージ300との間には、ステージ昇降機構240が設けられている。ステージ昇降機構240は、制御部600からの制御指令に応じてステージ300を昇降させ、基板Wを指定された高さZ方向位置に位置決めする。ステージ昇降機構240としては、例えばソレノイドや圧電素子などのアクチュエータによるもの、ギヤによるもの、楔の噛み合わせによるものなどを用いることができる。塗布ヘッド部500のベース510には、液状ペースト状の塗布液を内部に貯留し制御部600からの制御指令に応じて該塗布液を基板Wに向けて吐出する流体供給部520が設けられている。流体供給部520は、内部が空洞となって塗布液を貯留するシリンジポンプ521と、該ポンプ521の内部空間に挿入されたプランジャ524とを備えている。プランジャ524は、制御部600により駆動制御されるモータ、ソレノイド等のアクチュエータまたは圧縮空気等によって上下駆動され、シリンジポンプ521の内部空間に貯留された塗布液を加圧する。また、流体供給部520の下部には塗布液を基板Wに向けて吐出する機能を有する吐出ノズル550が取り付けられている。吐出ノズル550の詳しい構造については後述するが、その先端部には複数の吐出口551がY方向に一列で形成されるとともに、流体供給部520と各吐出口とを連通する塗布液流路が設けられている。また、各塗布液流路上に図2に示すバルブが設けられている。このため、プランジャ524の作動によりシリンジポンプ521が作動することで塗布液がノズル550に向けて圧送され、さらに各バルブが開閉することで吐出口551毎に個別に塗布液の吐出がオンオフ制御される。また、塗布ヘッド部500のベース510には、基板Wに向けてUV光紫外線を照射する光照射部530が取り付けられている。光照射部530は、紫外線を発生する光源ユニット532に光ファイバ531を介して接続される。図示を省略しているが、光源ユニット532はその光出射部に開閉自在のシャッターを有しており、その開閉および開度によって出射光のオンオフおよび光量を制御することができる。光源ユニット532は制御部600により制御されている。図7は図6のパターン形成装置を用いて形成される太陽電池セルの例を示す図である。この太陽電池セルSは、単結晶シリコン基板Wの表面光電変換面および反射防止膜が設けられた面に、幅が細い多数のフィンガー配線パターンFと、これらを横断するように設けられたより幅広のバス配線パターンBとを設けた構造を有している。フィンガー配線パターンFとバス配線パターンBとはその交点において電気的に接続されている。各部の寸法については、例えばフィンガー配線パターンFの幅および高さが50μm程度、バス配線パターンBの幅が1.8mmないし2.0mm、高さが50μmないし70μmとすることができるが、これらの数値に限定されるものではない。シリコン基板Wは、概略正方形の四隅を切り取ってなる、中心軸Cに対して線対称な八角形をしている。これは、略円柱形に製造される単結晶シリコンロッドから切り出したウエハが円板形状をしており、その表面積を有効に利用して基板Wを作成する必要性から生じた形状である。このため、基板W上に多数形成されるフィンガー電極Fは、基板Wの中央部の略矩形とみなせる矩形領域RRでは一定の長さを有しているが、端部領域ERではその形状に合わせて1本ごとに長さが異なっている。具体的には、矩形領域RRに形成される複数の電極Frはいずれも基板Wの長さより少し短い同一の長さを有しているのに対し、端部領域ERに形成される電極Feは、基板W端面の後退に伴って長さが変化し、基板最端部に近いものほど短くなっている。図7の例では、基板中央の矩形領域RRに20本の同一長の電極パターンFr、基板両端部の端部領域ERに互いに長さの異なる3本ずつの電極パターンFeがそれぞれ形成される。なお、これは単なる一例であり、パターンの本数はこれらに限定されるものではない。吐出のオンオフが一括して制御される多数のノズルを基板に対し一体的に相対移動させてパターンを形成する従来技術では、このような形状の基板に対応することができなかった。また、各ノズルを個別にオンオフ制御するための具体的な技術はこれまで実用化されるに至っていない。これに対し、本実施形態のパターン形成装置PFは、以下に詳述する構造の吐出ノズルを用いて塗布を行うことにより、図7のような異形基板に対してもパターン形成を効率よく行うことが可能となっている。図8は図6の装置によるフィンガー電極形成の様子を模式的に示す図である。図8aに示すように、この装置PFでは、基板Wを載置したステージ300をX方向に移動させることによって、相対的に吐出ノズル550を基板Wの表面に対して-X方向に走査移動させる。図8bに示すように、吐出ノズル550の下面には、ノズル内部に形成された塗布液流路上に設けられたバルブ5と連通して開口する吐出口551が設けられている。なお、各バルブ5の構成については既に説明した通りであるため、ここでは詳しい説明については省略する。吐出口551は、吐出ノズル550の下面に複数設けられており、これら複数の吐出口551はY方向に沿って1列に等間隔で配置される。Y方向における吐出ノズル550の寸法は同方向における基板Wの寸法と同程度またはそれ以上である。したがって、基板Wに対して吐出ノズル550を1回走査移動させるのみで、基板Wの全面にフィンガー電極パターンFr,Feを形成することができる。塗布液としては、導電性ペースト、すなわち導電性および光硬化性を有し、例えば導電性粒子、有機ビヒクル溶剤、樹脂、増粘剤等の混合物および光重合開始剤を含むペースト状の混合液を用いることができる。導電性粒子は電極の材料たる例えば銀粉末であり、有機ビヒクルは樹脂材料としてのエチルセルロースと有機溶剤を含む。また、塗布液の粘度は、光照射による硬化処理を実行する前において例えば50Pasパスカル秒以下で、硬化処理を実行した後は350Pas以上になることが好ましい。吐出口551から基板W表面に吐出された直後の塗布液に対して、ノズルの走査移動方向-X方向における吐出口551の後方に配置された光照射部530からの出射光Lが照射される。これにより、吐出直後の断面形状を維持したまま塗布液が硬化し、電極パターンFr,Feが形成される。吐出口551の形状、塗布液の粘度および光照射条件を適宜に設定することにより種々の断面形状を有するパターンを形成することができ、特にパターン幅に対する高さの比、すなわちアスペクト比の高いパターンを形成することが可能である。図9は本実施形態によるパターン形成処理を示すフローチャートである。この処理は、形成すべきパターンの本数に対応する26個の吐出口551を有する吐出ノズル550を用いて実行される。これらの吐出口551の各々に対してバルブ5が設けられている。また、各吐出口551に対応する回転駆動機構54が制御部600により駆動制御されることでバルブ5が開閉制御される。このため、流体供給部520から塗布液がノズル550に向けて圧送された状態で、各バルブ5が開閉することで各吐出口551からの塗布液の吐出を個別に制御可能となっている。なお、図8に示す符号P1ないしP3およびP24ないしP26は、端部領域ERを塗布するための吐出口を特定するための符号である。すなわち、26個の吐出口のうち最外側に位置する吐出口が符号P1,P26、これより1つ内側の吐出口を符号P2,P25、さらにこれより1つ内側の吐出口を符号P3,P24として表している。これらを除く残り20個の吐出口は矩形領域RRのパターンFrの形成に用いられる。これら吐出口P1~P3,P24~P26は後述するようにバルブの開閉制御によりその他の吐出口と異なるタイミングで独自に吐出制御される吐出口であり、本発明の制御対象吐出口に相当している。この処理では、最初に基板Wをパターン形成装置PFに搬入し、パターンを形成すべき面を上向きにしてステージ300に載置するステップS101。また、回転駆動機構54を作動させて、全バルブ5のロータ52を回転角0 ゚に位置決めして全吐出口551を閉塞しておくステップS102。この状態で、ステージ移動機構200によりステージ300をX方向に移動させステップS103、次いで、吐出ノズル550が基板WのX方向端部の直上に移動してくるタイミングで、シリンジポンプ521による塗布液への加圧を開始するステップS104。また、これと同時に、吐出口P1~P3,P24~P26以外の吐出口551に対応するバルブ5では、回転駆動機構54によりロータ52を回転角90 ゚まで偏心回転させて開成される。これによって、中央部分に位置する20個の吐出口551のみから塗布液の吐出が開始される。これにより矩形領域RRのパターンFrが形成開始される。その後、以下の手順で制御対象吐出口を順次開放するステップS105。すなわち、シリンジポンプ521の加圧を開始してから所定時間経過後に制御対象吐出口のうち最も中央に近い吐出口P3,P24の閉塞をまず解除し、塗布液流路を開放する。次いでこれらの外側に隣接する吐出口P2,P25を開放し、最後に最も外側の吐出口P1,P26を開放する。これにより、基板Wの端部領域ERには、吐出口の開放タイミングに応じて始端位置がそれぞれ異なるパターンFeが形成される。そのまま基板Wに対する吐出ノズル550の走査移動を継続することで、基板W上には互いに平行な26本の電極パターンが形成されてゆく。基板Wが所定位置に達するまでこの状態を継続した後ステップS106、開放した順序とは逆の順序で、各吐出口P1~P3,P24~P26を順次閉塞するステップS107。すなわち、最も外側の吐出口P1,P26を閉塞し、その後においてこれらに隣接する吐出口P2,P25を閉塞する。さらに、最も内側の吐出口P3,P24を閉塞する。吐出口の閉塞に伴って、当該吐出口からの塗布液によるパターン形成が少しずつ時間差を持って順次終了する。したがって、これらのパターンの終端位置も異なったものとなる。また、こうして終端側の端部領域ERへのパターン形成が完了し、さらに吐出ノズル550が矩形領域RRの端部に達すると、上記吐出口P1~P3,P24~P26ではない吐出口551を閉塞させる。そして、シリンジポンプ521からの加圧を停止するステップS108。その後、ステージ300の移動を停止しステップS109、フィンガー電極パターンFFr,Feが形成された基板Wが搬出されてステップS110、処理が完了する。以上のようなパターン形成処理によると、基板Wの中央部の矩形領域RRでは、互いに平行で長さの等しいパターンFrが形成される。一方、基板両端の端部領域ERでは、基板Wの外側に近いほどパターンの形成開始が遅く、しかも形成終了が早くなる。基板Wと吐出ノズル550とは一定速度で相対移動しているため、形成のタイミングの差異は基板W上におけるパターンの始端および終端位置に反映されて、最終的には図7および図8に示すようなフィンガー電極パターンFが形成される。この間、基板Wに対する吐出ノズル550の走査移動は1回のみである。また、各吐出口551に対応してノズル550の直近位置にバルブ5が設けられ、ロータ52の偏心回転により吐出口551の開閉を個別に制御するように構成している。このため、吐出ノズル550の走査移動によって一度に形成される多数のライン状パターンのうちの一部について、パターンの始端位置および終端位置を他のパターンと異ならせることができる。その結果、図7や図8に示すような異形基板であっても、その全面に効率よくパターンを形成することができる。また、各バルブ5では、回転駆動機構54によってロータ52を偏心回転させることでバルブ5を開閉させているため、軸力の発生が不要であり、回転駆動機構の小型化が可能である。そのため、上記したように比較的狭い間隔で吐出口551を複数設けた、いわゆるマルチノズルにおいてもバルブ5を一列に配列することが可能となっている。このように、本実施形態では、ステージ300が本発明の基板保持部として機能しており、ステージ移動機構200が本発明の走査移動部として機能している。また、制御部600が本発明の吐出制御部として機能している。また、上記実施形態では、制御対象吐出口P1~P3,P24~P26に対応してバルブ5を設けるのみならず、それら以外の吐出口、つまり非制御対象吐出口に対してもバルブ5を設けて開閉制御しているが、非制御対象吐出口に対してバルブを設けることは必須事項ではない。例えば非制御対象吐出口からの吐出のオンオフについては、シリンジポンプ521のオンオフにより制御してもよい。また、上記実施形態では、一列に並ぶ吐出口のうち外側の一部を制御対象吐出口としているが、これに限定されない。すなわち、吐出口の配列が上記とは異なったものであってもよく、またどの吐出口を制御対象吐出口とするかは任意であり、これらのいずれにも本発明を適用することが可能である。また、全ての吐出口を制御対象吐出口としても構わない。また、上記実施形態では吐出ノズル55における制御対象吐出口の配列が中心に対する対称性を有しているが、このことは必須の要件ではない。D.その他なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、本発明にかかるバルブを流体吐出装置FDやパターン形成装置PFに適用しているが、本発明にかかるバルブの適用対象はこれに限定されるものではなく、バルブを用いる装置全般に適用可能である。例えばオペレータやユーザなどがマニュアル操作によりロータを偏心回転させることで流量調整やバルブ開閉を行うように構成してもよい。"