1セラミックスペーサとジルコニア系グリーンシートとを交互に積み重ねて、前記セラミックスペーサと前記グリーンシートとからなる第1の積層体を作製し、前記第1の積層体中の前記グリーンシートを所定の温度で焼成する工程と、2前記焼成工程1によって得られた焼成ジルコニア系シートを複数積み重ねて第2の積層体を作製し、荷重面積が前記第2の積層体の周縁部の少なくとも一部を含み、かつ、該荷重面積がシート面積の5~50であり、所定の荷重をかけて焼成する工程とを含み、かつ、前記第2の積層体は、5~100枚の前記焼成ジルコニア系シートを積み重ねることを特徴とする燃料電池用ジルコニア系電解質シートの製造方法。前記第2の積層体の焼成工程において、前記第2の積層体の周縁部全体に対し10~100の領域に、所定の荷重をかけて焼成することを特徴とする請求項1に記載の燃料電池用ジルコニア系電解質シートの製造方法。前記第2の積層体は、前記焼成ジルコニア系シートが、セラミック平板を介して積み重ねられた構成を有する、請求項1または2に記載の燃料電池用ジルコニア系電解質シートの製造方法。しかし、特許文献1~5に開示されているような方法では、うねりを十分に低減することが困難であった。特に、特許文献4及び5に開示されているような、荷重をかけながら焼成を行う方法では、うねりのさらなる低減のために荷重をかけ過ぎると、シートが割れたりシートにクラックが入ったりする破損という新たな別の問題が発生するため、単に荷重を増加させてうねりを低減するのには限界があった。特に、固体酸化物形燃料電池では高性能化とシステムのコンパクト化のために、それに用いられるジルコニア系電解質シートは薄膜化、大版化が図られており、一層大きな問題となっている。そこで、うねりをさらに低減できるセラミックシートの製造方法が求められている。特に、固体酸化物形燃料電池に用いられるジルコニア系電解質シートは、ScSZのような高価格材料からなるため、コスト低減のためにも、シート破損率を少なくしつつシートに発生するうねりをさらに低減する必要があった。本発明は、うねりが低減された高品質の電解質シートの製造に適した、燃料電池用ジルコニア系電解質シートの効率的な製造方法を提供することを課題とする。上記の課題を解決するために、本発明者は、焼成時にシートに発生するうねりについて検討を行い、一旦生じたうねりを効果的に修正するためのさらなる焼成についての条件を見出して、以下の本発明の製造方法を完成するに至った。本発明の燃料電池用ジルコニア系電解質シートの製造方法は、1セラミックスペーサとジルコニア系グリーンシートとを交互に積み重ねて、前記セラミックスペーサと前記グリーンシートとからなる第1の積層体を作製し、前記第1の積層体中の前記グリーンシートを所定の温度で焼成する工程と、2前記焼成工程1によって得られた焼成ジルコニア系シートを複数積み重ねて第2の積層体を作製し、荷重面積が前記第2の積層体の周縁部の少なくとも一部を含み、かつ、該荷重面積がシート面積の5~50であり、かつ、所定の荷重をかけて焼成する工程とを含み、かつ、前記第2の積層体は、5~100枚の前記焼成ジルコニア系シートを積み重ねることを特徴とする。さらに、前記第2の積層体の焼成工程において、前記第2の積層体の周縁部全体に対し10~100の領域に、所定の荷重をかけて焼成することが好ましい。また、前記第2の積層体は、前記焼成シートが、セラミック平板を介して積み重ねられた構成であることが好ましい。本発明の燃料電池用ジルコニア系電解質シートの製造方法は、うねりが低減された高品質の電解質シートを製造するのに適しており、例えば焼成温度条件や焼成時にかける荷重条件に制約がある場合であっても、その制約の中でより高品質の電解質シートを少ない破損率で効率的に製造することができる。以下、本発明の実施の形態について、具体的に説明する。実施の形態における燃料電池用ジルコニア系電解質シートの製造方法は、電解質シートを作製するために2段階で焼成する方法である。具体的には、1セラミックスペーサとジルコニア系グリーンシートとを交互に積み重ねて、前記セラミックスペーサと前記グリーンシートとからなる第1の積層体を作製し、前記第1の積層体中の前記グリーンシートを所定の温度で焼成する工程と、2前記工程1によって得られた焼成シートを複数積み重ねて第2の積層体を作製し、荷重面積が前記第2の積層体の周縁部の少なくとも一部を含み、かつ、該荷重面積がシート面積の5~50であり、かつ、所定の荷重をかけて焼成する工程と、が含まれる。なお、工程2において、荷重面積が前記第2の積層体の周縁部の少なくとも一部を含み、かつ、該荷重面積がシート面積の5~50でありとの重要性は、発明者らが観察によって、ジルコニア系電解質シートに発生するうねりは大部分がシート周縁部に生じることを見出し、うねりが発生する箇所に集中的に荷重をかけて2次焼成におけるシート破損率を抑えつつ、うねり矯正率を効果的に向上できる効果を見出したことにある。さらにうねりは焼成シートの辺中央部付近やコーナー部に多く発生する傾向があるので、少なくともうねりが発生しやすい周縁部の一部を含んでおればよく、周縁部全体を含んでいてもよい。したがって、周縁部の少なくとも一部とは第2の積層体の周縁部全体に対し10~100の領域の範囲が好ましく、破損率低減の観点から、より好ましくは20~95、更に好ましくは30~90である。このとき、電解質シート周縁部の少なくとも一部以外のシート中央部の一部が含まれていてもよい。ここで言う周縁部とは、ジルコニア系電解質シートの周縁とその内側10mmまでの領域のことであり、好ましくは周縁とその内側5mmまでの領域、より好ましくは周縁とその内側3mmまでの領域である。また、ジルコニア系電解質シートに燃料ガスや空気などの流路形成のための穴がある場合も同様に、穴の周縁とその外側10mmまでの領域のことであり、好ましくは該周縁とその外側5mmまでの領域、より好ましくは該周縁とその外側3mmまでの領域である。ここで言う荷重面積がシート面積の5~50とは、うねり矯正のための重しの質量がジルコニア系電解質シートに直接負荷としてかかる面積、すなわち、電解質シートと重しとの接触面積である荷重面積が、ジルコニア系電解質シート平面の面積であるシート面積に対して5~50の割合の範囲であることを言う。好ましくは10~40、より好ましくは15~35の範囲である。ここで言う所定の荷重とは、うねりを効率的に矯正できる荷重荷重面積当たりのことで、具体的には3.0~80.0g/cm2、好ましくは5.0~50.0g/cm2、より好ましくは8.0~40.0g/cm2である。通常、ジルコニア系電解質シート面積が大きくなると、上記適性荷重が焼成シートの全面積にかけようとすると、そのためには非常に大きな重しが必要となる。しかしながら、本発明では、うねりが存在するシートの周縁部に効果的に荷重がかかるようにでき、重し自体の大きさが小さくて済む、あるいは重し自体の質量が軽くて済むので、2次焼成での破損率も少なくすることができとともに2次焼成処理量も増やすことができ、効率化を図れることになる。従って、効率的なジルコニア系電解質シートの製造方法である。工程1の焼成以下、1次焼成という。における所定の温度とは、ジルコニアシートのかさ密度が95以上、好ましくは98以上になるようにジルコニア系グリーンシートの焼成に適した焼成炉内の最高温度として設定した温度のことであり、グリーンシートに含まれるジルコニア系原料粉末及びその粒度等によって決定できる。グリーンシートにより所定の温度は異なるが、好ましい範囲としては1300~1600°C、より好ましくは1350~1550°C、更に好ましくは1400~1500°Cである。工程2の焼成以下、2次焼成という。は、1次焼成によって焼結した焼成シートを再度、荷重をかけた高温雰囲気下でクリープ変形させて平坦化するためのものであり、この2次焼成によって、1次焼成後の焼成シートに発生しているうねりを矯正できる。2次焼成の焼成温度は、1次焼成の所定温度と比べて上下200°Cの範囲であればよいが、効果的にうねりを矯正するためには、1次焼成の温度に近い方が望ましい。したがって、2次焼成の焼成温度は、好ましくは1次焼成温度と1次焼成温度よりも200°C低い温度との間、より好ましくは1次焼成温度と1次焼成温度よりも100°C低い温度との間、さらに好ましくは1次焼成温度と1次焼成温度よりも50°C低い温度との間である。なお、2次焼成の焼成温度とは、焼成炉中の温度コントローラーで設定するときの最高温度のことである。従って、例えば、1次焼成温度が1300~1600°Cの場合、2次焼成温度の下限は1100~1500°Cの範囲で、上限は1500~1800°Cの範囲となる。さらに、本実施の形態の製造方法では、第2の積層体が、5~100枚の焼成シートが積み重ねられたように作製される。積み重ね枚数を5枚以上100枚以下の焼成シートにすることによって効率的にうねり矯正をすることができる。積み重ね枚数が5枚未満では2次焼成の回数を多くする必要が生じ、100枚を超えると第2積層体にズレが生じやすくなりうねり矯正が不十分となるからである。第2の積層体は、1次焼成によって得られた焼成シートを選別せずに積み重ねて作製してもよいし、1次焼成でうねりが発生している焼成シートのみを積み重ねて作製してもよい。このように、複数の焼成シート同士を直接積み重ねて2次焼成を行うことで、従来のように焼成シートとセラミック平板とを交互に積み重ねて2次焼成を行うよりも、焼成シートに発生しているうねりをより効果的に矯正できる。ただし、うねりを有する焼成シートを多数重ね合わせる場合、間に異物が混入すると異物近傍の多数の焼成シートに異物の痕跡が残って不良となるおそれがある。このような不良を防ぐために、第2の積層体を、複数の前記焼成シート群がセラミック平板を介して積み重ねられた構成を有するように形成してもよい。言い換えれば、第2の積層体は、互いに積み重ねられた複数の焼成シート群を、セラミック平板を介して積み重ねて配置された構成を有するように、形成してもよい。なお、セラミック平板の荷重が重し荷重に対して20を下回り、セラミック平板の荷重が影響されないような場合は、積層体の最上部にセラミック平板を載置することも可能である。以下、本実施の形態の製造方法について、より具体的に説明する。まず、工程1で用いられるジルコニア系グリーンシートについて説明する。本実施の形態の製造方法において用いられるジルコニア系グリーンシートは、例えば、ジルコニア系原料粉末に、バインダー及び溶剤を添加し、さらに必要に応じて分散剤、可塑剤、潤滑剤及び消泡剤等を添加してスラリーを調製し、このスラリーをテープ状に成形して乾燥させた後、所定の形状に切断することによって得ることができる。ジルコニア系原料粉末としては、MgO、CaO、SrO及びBaO等のアルカリ土類金属酸化物;Sc2O3、Y2O3、La2O3、CeO2、Pr2O3、Nd2O3、Sm2O3、Eu2O3、Gd2O3、Tb2O3、Dy2O3、Ho2O3、Er2O3及びYb2O3等の希土類元素酸化物;及び、Bi2O3及びIn2O3等の酸化物、から選択される1種もしくは2種以上を、安定化剤として含有するジルコニアの粉末を例示できる。さらに、その他の添加剤として、SiO2、Ge2O3、B2O3、SnO2、Ta2O5及びNb2O5から選択されるいずれかの酸化物が含まれていてもよい。これらの中でも、より高レベルの酸素イオン伝導性、強度及び靭性を確保する上で好ましいのは、スカンジア、イットリア及びイッテルビアからなる群から選択される少なくともいずれか1種を安定化剤として含む、安定化ジルコニアである。安定化ジルコニア全体における安定化剤の含有量は、スカンジアで4~12モル、イットリアで3~10モル、イッテルビアで4~15モルである。結晶系は正方晶系であってもよいし立方晶系であってもよいが、スカンジアを含むジルコニアの場合、スカンジアの含有量が多くなると結晶系が菱面体晶に転移することがあるので、結晶系を立方晶系に安定化するために、第二安定化剤三成分としてイットリア、セリアやアルミナ等を0.5~2モル加えてもよい。本実施の形態で用いられるジルコニア系グリーンシートは、以上のようなジルコニア系原料粉末を用いて作製されるものであり、スカンジア、イットリア及びイッテルビアからなる群から選択される少なくともいずれか1種を含むジルコニア系シートであることが好ましい。また、本実施の形態の製造方法は、スカンジアを含むジルコニア系グリーンシートに対してより効果を得やすいうねりを低減しやすいので、スカンジア安定化ジルコニアの粉末や、スカンジア-セリア安定化ジルコニアの粉末等が、ジルコニア系原料粉末として好適に用いられる。例えばスカンジア安定化ジルコニアは、イットリア安定化ジルコニアに比べて、焼成時の焼成温度が20~60°C低い温度であっても、理論密度に対するアルキメデス法で測定した電解質シート密度は、いずれも98以上でほぼ同等となる傾向を有する。このことから、スカンジア安定化ジルコニアは、イットリア安定化ジルコニアと比較して、熱に対してより敏感で反応性が高い特性を有していると推定している。このような理由から、スカンジアを含むジルコニア系グリーンシートは、本実施の形態の製造方法における工程2の焼成によって、うねりが矯正されやすいと推察され、スカンジアを含むジルコニア系グリーンシートに特に適した方法である。グリーンシートの作製に用いられるバインダーの種類には制限がなく、従来の電解質シートの製造方法で公知となっている有機バインダーの中から適宜選択できる。有機バインダーとしては、エチレン系共重合体、スチレン系共重合体、アクリレート系及びメタクリレート系共重合体、酢酸ビニル系共重合体、マレイン酸系共重合体、ビニルアセタール系樹脂、ビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ビニルアルコール系樹脂、エチルセルロース等のセルロース類及びワックス類等が例示される。これらの中でもグリーンシートの成形性や強度、特に量産のために大量焼成するときの熱分解性などの点から、メチルアクリレート、エチルアクリレート、プロピルアクリレート、ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート等の炭素数10以下のアルキル基を有するアルキルアクリレート類;メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレート、ドデシルメタクリレート、ラウリルメタクリレート等の炭素数20以下のアルキル基を有するアルキルメタクリレート類;ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート等のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシアルキルアクリレート又はヒドロキシアルキルメタクリレート類;ジメチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート等のアミノアルキルアクリレート又はアミノアルキルメタクリレート類;メタアクリル酸、マレイン酸、モノイソプロピルマレート等のマレイン酸半エステル等のカルボキシル基含有モノマー等の中から少なくとも1種を重合又は共重合させることによって得られるポリマーが好ましく使用される。グリーンシートの作製に用いられる溶剤の種類には制限がなく、従来のジルコニア系電解質シートの製造方法で公知となっている溶剤の中から適宜選択できる。例えば、エタノール、イソプロパノール、n-ブタノール、1-ヘキサノール等のアルコール類;アセトン、2-ブタノン等のケトン類;ペンタン、ヘキサン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等の酢酸エステル類、等の中から適宜選択した溶剤を、単独で使用してもよいし、2種以上を適宜混合して使用してもよい。必要に応じて用いられる分散剤、可塑剤、潤滑剤及び消泡剤には、従来の製造方法でジルコニア系電解質シートを製造する際に用いられる公知の分散剤、可塑剤、潤滑剤及び消泡剤を、それぞれ用いることができる。ジルコニア系原料粉末、バインダー及び溶剤等を混合して作製されたスラリーを、通常の方法、例えばドクターブレード法、押出成形法又はカレンダーロール法等によりテープ状に成形し、乾燥させて、所定の形状に切断することによって、ジルコニア系グリーンシートを作製できる。グリーンシートの大きさ及び厚さは、目的とするジルコニア系電解質シートの大きさ及び厚さと、焼成による収縮率とから求められる。本実施の形態の製造方法で用いられるグリーンシートは、例えば最終的に得られる電解質シートが50~900cm2の面積を有し、且つ0.05~0.5mmの厚さを有するように、その大きさ及び厚さを決定できる。燃料電池用の電解質としては、厚さ0.1~0.4mmが好ましく、厚さ0.15~0.3mmがより好ましい。グリーンシートの形状は、ジルコニア系電解質シートが適用される固体酸化物形燃料電池の形状に応じて適宜決定されればよいため、特に制限されない。上記のように作製されたグリーンシートと、セラミックスペーサとを交互に積み重ねて、前記グリーンシートと前記セラミックスペーサとからなる第1の積層体を作製し、セラミックセッター上に配置する。通常、第1の積層体は、その最下層及び最上層にセラミックスペーサが配置されるように作製される。第1の積層体において積み重ねられるグリーンシートの枚数は、その寸法にもよるが、例えば2~20枚であり、好ましくは4~12枚である。なお、セラミックセッター及びセラミックスペーサには、電解質シートを作製する際に一般的に用いられる、公知のセラミックセッター及びセラミックスペーサが使用できる。本実施の形態の製造方法において用いられるセラミックスペーサは、アルミナ、ジルコニア及びムライトからなる群から選択される少なくともいずれか1種を含む多孔質体もしくは貫通孔を有する緻密質体からなることが好ましい。これらは、耐クリープ性及び耐スポーリング性に優れており、高温雰囲気下でジルコニアとの反応性が低いためである。セラミック多孔質スペーサの気孔率は、30以上70以下が好ましい。セラミック多孔質スペーサがこのような気孔率を有することにより、セラミック多孔質スペーサとジルコニア系グリーンシートとを交互に積み重ねた状態でジルコニア系グリーンシートを焼成する際に、バインダー、可塑剤及び分散剤等の有機成分の熱分解によって生成するガス成分を速やかに外部に放出させて脱脂効果を促進できるからである。気孔率を前記範囲のスペーサを使用することで、ジルコニア系グリーンシート中の有機成分の燃焼及び有機成分分解ガスが十分に放出でき、ジルコニア系電解質シートに発生するうねりの高さを低く、且つ少なくでき、クラックや割れが生じる原因を低減できるようになる。また、多孔質スペーサ自体の強度も十分保たれて、繰り返し使用してもスペーサ自体の割れやクラックの発生を抑制できハンドリング性が著しく低下することはない。多孔質スペーサのより好ましい気孔率は35以上65以下であり、さらに好ましい気孔率は40以上60以下である。なお、ここでいう気孔率とは、JISR2205の耐火れんがの見掛気孔率の測定方法に準拠して求められる気孔率のことである。試料の見掛気孔率P0は、乾燥試料の質量W1、飽水試料の水中の質量W2、飽水試料の質量W3から、下記式1で算出される。P0={W3-W1/W3-W2}×1001また、多孔質スペーサの厚さは100μm以上、500μm以下が好ましい。この範囲では、多孔質スペーサ自体のハンドリング強度が十分保たれつつジルコニア系グリーンシートからの有機成分分解ガスが効率良く放散されて、1次焼成後の電解質シートにうねりが発生するのを抑制できるようになる。多孔質スペーサのより好ましい厚さは120μm以上400μm以下であり、さらに好ましい厚さは150μm以上350μm以下である。貫通孔を有する緻密質体をスペーサとする場合は、セラミックシート基体の相対密度が95以上であり、上記電解質グリーンシートとの接触面に複数の略円状の貫通孔を有し、当該貫通孔の平均断面積が0.00005mm2以上2.0mm2以下であることを特徴とするスペーサが好ましく、スペーサの端面から少なくとも1mmの間隔には略円状貫通孔が無く、複数の略円状貫通孔の間隔が0.05mm以上、3.0mm以下であるものがさらに好ましい。スペーサの面積及び形状は、目的とするジルコニア系電解質シートの面積及び形状から特定されるジルコニア系グリーンシートの面積及び形状に基づいて決定される。したがって、多孔質スペーサの形状は、焼成するグリーンシートの形状と相似形であることが好ましく、円形、楕円形、角形又はRアールを持った角形等、いずれでもよく、これらの形状内に円形、楕円形、角形又はRアールを持った角形等の穴を有するものであってもよい。ジルコニア系グリーンシートは、スペーサと交互に積み重ねられた状態で焼成されるので、ジルコニア系グリーンシートにかかる荷重が均一になるようにする必要がある。そのためには、スペーサの面積は、ジルコニア系グリーンシートの面積よりも若干大きく、且つジルコニア系グリーンシートがスペーサの周縁からはみ出ないようにすることが好ましい。そのためのスペーサの好ましい面積は60cm2以上1000cm2以下であり、より好ましい面積は100cm2以上800cm2以下となる。なお、スペーサの面積とは、スペーサに穴が設けられている場合は、当該穴の面積を含んだスペーサ表面の面積外形によって決定される面積を意味する。本実施の形態の製造方法において用いられるセラミックセッターは、一般に、主に電子部品やガラスの焼成に使用されるセラミック製の焼成用治具のことであり、棚板や敷板とも呼ばれる。本実施の形態で用いられるセラミックセッターは、アルミナ、シリカ、マグネシア及びジルコニア等の酸化物、及び/又は、コージェライト、ジルコン及びムライト等の複合酸化物、炭化ケイ素等の非酸化物を含み、厚さが5~30mm程度で、一辺が150~400mm程度の平板状であり、セラミックスペーサが載置される敷板であることが好ましい。次に、第1の積層体中のグリーンシートを焼成する1次焼成。1次焼成は、例えば第1の積層体の上部面全面にわたって所定の荷重をかけた状態で行われる。第1の積層体に含まれるグリーンシートに例えば0.1~2.0g/cm2好ましくは0.2~1.5g/cm2の荷重がかかるように、セラミックスペーサの重量も考慮しながら、第1の積層体上に重しを載置する。重しには、例えば板状又はブロック状の多孔質セラミックや緻密質セラミックが使用される。すなわち、第1の積層体中のグリーンシート全面にわたってかかるセラミックスペーサによる荷重と重しによる荷重との合計が、0.1~2.0g/cm2の範囲内、好ましくは0.2~1.0g/cm2の範囲内となるように調整する。1次焼成における焼成温度は、グリーンシートに含まれるジルコニア系原料粉末及びその粒度等に応じて適宜決定されるが、スカンジア、イットリア及びイッテルビアからなる群から選択される少なくともいずれか1種を含むジルコニアが原料粉末として用いられている場合は、例えば1300~1600°C、好ましくは1350~1550°C、より好ましくは1400~1500°Cの範囲内とできる。なお、1次焼成時の昇温速度及び降温速度は、特に限定されないが、昇温速度は0.1~10°C/minの範囲が好ましく、0.5~8°C/minの範囲がより好ましい。降温速度は1~30°C/minの範囲が好ましく、2~20°C/minの範囲がより好ましい。次に、1次焼成によって得られた焼成シートを複数積み重ねて、第2の積層体を作製する。第2の積層体の構成は、特には限定されない。第2の積層体は、1次焼成によって得られた焼成シートを選別せずに積み重ねて作製してもよいし、1次焼成でうねりが発生している焼成シートのみを積み重ねて作製してもよい。上述のとおり、第2の積層体は、5~100枚の焼成シートを積み重ねて作製される。また、5~100枚の焼成シートが互いに直接積み重ねられた焼成シート群を含むように作製することも可能である。第2積層体がうねりを有する焼成シートを多数重ね合わせる場合、重ね合わされた焼成シートが互いにずれないように積層体全体をテープ等で固定してもよい。また、焼成シート間に異物が混入すると異物近傍の多数の焼成シートに異物の痕跡が残って不良となるおそれがあるので、第2の積層体を、複数の前記焼成シート群がセラミック平板を介して互いに積み重ねられた構成を有するように形成してもよい。この際、第2の積層体に用いられるセラミック平板は、多孔体でも緻密体でもよいが、うねりを効果的に矯正するためには緻密体であることが好ましい。第2積層体中の焼成シートは8~80枚が好ましく、5~50枚がさらに好ましい。これらは、上記のように焼成シート群とすることも可能である。本実施の形態の製造方法において用いられるセラミック平板は、アルミナ、ジルコニア及びムライトからなる群から選択される少なくともいずれか1種を含む材料によって形成されていることが好ましい。これらは、耐クリープ性及び耐スポーリング性に優れており、高温雰囲気下でジルコニアとの反応性が低いためである。次に、第2の積層体中の焼成シートを焼成する2次焼成。2次焼成は、前述したように第2の積層体に所定の荷重をかけた状態で行われる。第2の積層体に含まれる焼成シートに例えば3.0~80.0g/cm2好ましくは5.0~50.0g/cm2、より好ましくは8.0~40.0g/cm2の荷重がかかるように、セラミック平板の重量も考慮しながら、第2の積層体上に重しを載置する。重しには、例えば板状又はブロック状の多孔質セラミックや緻密質セラミックが使用される。このとき、シート面積が大きくなると、上記適性荷重が焼成シートにかかるようにするためには非常に大きな重しが必要となる。そこで、うねりが存在するシートの周縁部にのみ荷重がかかるようにするために、第2の積層体上に、中央部が空洞で周縁部のみが板状、棒状又はブロック状のロの字型、L字型、ドーナツ型等の枠型セラミックを使用することが好ましい。また、シートの周縁部とシート中央部の一部に荷重がかかるようにしてもよく、第2の積層体上に、田の字型、井桁型、十字型、丸十字型等の枠付きセラミックを使用することも可能である。さらに、これらは棒状、扁平棒状、L字状、半球ドーナツ状等のパーツを組み合わせて形成することも可能である。上記枠型セラミックや枠付きセラミックの焼成シートに直接接触する面は、うねり矯正のために平坦性があることが必要であり、具体的な表面粗さとしては、Raで1μm以下、好ましくは0.5μm以下、さらに好ましくは0.2μm以下、特に好ましくは0.1μm以下である。また、上記枠型セラミックや枠付きセラミック上に、追加重しとして板状、棒状又はブロック状の荷重調整用セラミックを載置してもよい。この場合、重し荷重は枠型セラミックや枠付きセラミックの質量と荷重調整用セラミックの質量の合計になる。本実施の形態で用いられる上記枠型セラミック、枠付きセラミック、荷重調整用セラミックの材質は、セラミックセッターと同様のアルミナ、シリカ、マグネシア及びジルコニア等の酸化物、及び/又は、コージェライト、ジルコン及びムライト等の複合酸化物、炭化ケイ素等の非酸化物が選択されるが、それらの中でもアルミナ、ジルコニア、ムライトがより好ましい。2次焼成における昇温速度及び降温速度は、特には限定されない。しかし、降温速度については、焼成温度から当該最高温度よりも100°C低温までの降温速度を5°C/min以下として、徐冷することが好ましい。2次焼成においてこのような降温条件が満たされることにより、1次焼成後のシートに発生しているうねりを、2次焼成によってより高い確率で矯正できる。うねりを矯正するために、2次焼成時の焼成温度から室温までの温度範囲の降温速度を10°C/min以下とすることがより好ましく、8°C/min以下とすることがより好ましく、5°C/min以下とすることがさらに好ましい。また、うねり矯正のためには、より低温度まで徐冷することが好ましい。そのため、好ましくは焼成温度から、前記焼成温度よりも100°C低温までの降温速度が、5°C/min以下、より好ましくは焼成温度かよりも200°C低温までの、さらに好ましくは焼成温度よりも300°C低温までの降温速度を、5°C/min以下好ましくは2°C/min以下、より好ましくは1°C/min以下、さらに好ましくは0.5°C/min以下とするとよい。なお、2次焼成における降温速度がうねり矯正に影響を及ぼすことの技術的理由は明らかではないが、急速に冷却した場合、ジルコニア系電解質シートの周縁部と中央部との間で生じる温度差で歪が生じ、これが、ジルコニア系電解質シートがわずかに柔軟性を有する高温の場合にはうねりを生じさせる原因となると予想される。ゆえに、高温度域での降温速度の制御が重要である。ここでいう降温速度は、通常、炉温度をプログラム制御する温度調整器を用いて調整される降温速度である。実際の炉の温度は、温度調整器の指示温度と必ずしも完全には一致していないが、本発明では、これらの誤差を含めた温度変化の平均値を降温速度とみなす。2次焼成においてこのような降温条件が満たされることにより、1次焼成後のシートに発生しているうねりを、2次焼成によってより高い確率で矯正できる。なお、2次焼成時の昇温速度は、特に限定されない。本実施の形態の製造方法において、例えば、2次焼成時の昇温速度を1°C/minとした時のうねり矯正率と、昇温速度をこれよりも速くした場合又は遅くした場合のうねり矯正率とを比較しても、うねり矯正率の結果に大きな差は見られない。2次焼成後に得られた焼結シートは、うねりが矯正された、平坦性に優れているシートであり、固体酸化物形燃料電池のジルコニア系電解質シートとして利用される。次に、本発明について、実施例を用いて具体的に説明する。なお、本発明は、以下に示す実施例によって何ら限定されるものではない。<グリーンシートの作製方法>スカンジア安定化ジルコニアのグリーンテープを作製した。まず、市販のスカンジア安定化ジルコニアZrO2096Sc2O3004以下、4cSZと記載する。粉末第一稀元素化学工業株式会社製、商品名4cSZ、平均粒径:0.5m100質量部に対して、メタクリレート系共重合体からなるバインダー分子量:30000、ガラス転移温度:-8°C、固形分濃度:50質量を固形分換算で15質量部、分散剤としてソルビタン酸トリオレート2質量部、可塑剤としてジブチルフタレート3質量部、溶剤としてトルエン/酢酸エチル混合溶剤質量比:3/250質量部を、ジルコニアボールが装入されたナイロンポットに入れ、35時間混練して8ScSZスラリーを調製した。得られたスラリーを、碇型の攪拌機を備えた内容積50Lのジャケット付丸底円筒型減圧脱法容器へ移し、攪拌機を30rpmの速度で回転させながら、ジャケット温度40°Cとして減圧下約4~21kPaで濃縮脱泡して粘度を2Pasに調整し、塗工用スラリーとした。この塗工用スラリーを塗工装置のスラリーダムに移し、ドクターブレード法によってポリエチレンテレフタレートPETフィルム上に塗工し、塗工部に続く乾燥部50°C、80°C及び110°Cの3ゾーンを有する乾燥部を0.4m/分の速度で通過させて乾燥させることにより、厚さ180μmで長尺の4ScSZグリーンテープを得た。このグリーンテープを切断して、1辺が約200mmの正方形の4cSZグリーンシートを得た。イットリア安定化ジルコニアのグリーンシートは、8モルイットリア安定化ジルコニア8YSZ以下、8YSZと記載する。粉末第一稀元素化学工業株式会社製、商品名HSY-8.0を用い、厚さを280μmにしたこと以外は、4ScSZグリーンシートと同様の方法で作製した。<セラミックスペーサの作製>市販の低ソーダアルミナ粉末昭和電工株式会社製、商品名AL-13、平均粒径:55μm100質量部に対して、グリーンシートの作製時に用いた上記バインダー12質量部、上記分散剤1質量部、上記可塑剤2質量部及び上記溶剤35質量部を加え、グリーンシート作製時と同様の方法でアルミナスラリーを調製した。このアルミナスラリーの粘度を、グリーンシート作製時と同様の方法で10Pasに調整して、塗工用スラリーとした。この塗工用スラリーを、グリーンシート作製時と同様の方法でPETフィルム上に塗工し、さらに乾燥させた。ただし、乾燥部の通過速度は0.8m/分であった。これにより、厚さ200μmのアルミナグリーンテープを得た。このアルミナグリーンテープを切断して、1辺が約200mmの正方形のアルミナグリーンシートを得た。切断された正方形のアルミナグリーンシートを、表面が研磨されたアルミナ板上に載置し、その上に刷毛を用いてコーンスターチを均一に塗布した。その上に、さらに正方形のアルミナグリーンシートを重ね合わせた。同様の操作を繰り返して、合計10枚のアルミナグリーンシートを、コーンスターチを介して重ね合わせた。この状態で、大気雰囲気下で500°Cにて脱脂を行い、その後1580°Cで2時間焼成して、セラミック多孔質スペーサを得た。得られたスペーサは、厚さ180μm、1辺が約210、気孔率45、質量17gであった。<1次焼成本発明における工程1の焼成>250mm角セラミックセッターの上に、上記の方法で作製されたセラミック多孔質スペーサ及び4ScSZグリーンシートからなる第1の積層体を配置した。具体的には、セラミックセッターの上にセラミック多孔質スペーサを載置し、その上にグリーンシートを載置した。このグリーンシートの上に、さらに、セラミック多孔質スペーサ及びグリーンシートを交互に積み重ねて、最終的に、最下層及び最上層にセラミック多孔質スペーサが配置された、9枚のセラミック多孔質スペーサと8枚の4ScSZグリーンシートとからなる第1の積層体をセラミックセッター上に配置した。第1の積層体の最上層に位置するセラミック多孔質スペーサ上に、重しとして、ムライトとアルミナの結晶相を持つ約440gの多孔質ブロック気孔率58を載置してグリーンシート全面に1.0g/cm2の荷重がかかるようにした。積層体が配置されたセラミックセッター250枚グリーンシートとして合計2000枚を、コンベアベルト上に載置し、間口340mm、高さ20mm、前方が約500°C以下で温度設定可能な脱脂ゾーン、後方が約1500°C以下で温度設定可能な焼成ゾーンとなっているトンネル炉式の連続加熱炉に走行速度0.3m/時間で投入して、1400°Cを最高温度として1次焼成を行った。1次焼成での降温速度は、1400°C~1050°Cまで1.2°C/minとした。なお、ここで、連続炉における昇降温速度とは、隣り合うゾーンの温度通常は、ゾーンの長さ方向の中央に配置される温度計熱電対の指示値差を、その間の移動時間で除した数値である。なお、1次焼成によって得られた焼成シートのうねりの有無は、以下のうねり評価方法によって確認した。<2次焼成本発明における工程2の焼成>試験例11次焼成によって得られた厚さが150μmで1辺150mmの正方形の4ScSZシートのうち、うねりが発生している焼成シートのみを抜き出して、表1に示すような重ね方で第2の積層体を作製した。例えば、試験例1の第2の積層体は、図1に示す如く、焼成シート10枚が直接積み重ねられており、1次焼成で使用したのと同様のセラミックセッター上に、最下層としてセラミック平板ニッカトー社製、アルミナ緻密板、SSA-S、約150mm角、厚さ約2mmが配置されている。また、最上層にはアルミナ製のロの字型の枠型セラミック外寸法:160mm角、内寸法:130mm角、厚さ:5mmを焼成シートの各辺から両側5mmずつはみ出るように載置した。焼成シートにかかる荷重、荷重位置は、焼成シートの周縁10mm幅の周縁部のみであり、焼成シートと接する荷重面積は56cm2で、単位面積当たりの荷重は10g/cm2であった。重しが載置された第2の積層体を有効容積約0.4m3の電気炉に投入し、表1に示す2次焼成温度となるように、2次焼成を行った。電気炉の昇温速度は1°C/minであった。第2の積層体を2次焼成温度で3時間保持した後、焼成温度よりも100°C低温までの降温速度を1°C/minに設定して室温まで冷却した。2次焼成後の焼成シートに対し、割れ欠けクラック等の発生を目視で検査してシート破損率を算出した。また、破損していない焼成シートに対して、以下のうねり評価方法でうねりを評価して、うねりが回復した焼成シートの数を求めた。その結果から、うねり矯正率うねりが矯正された焼成シートの数/破損していない焼成シートの全数×100を求めた。結果は、表1に示されている。試験例2試験例1と同様にして、表1に示すような重ね方で第2の積層体を作製した。図2に示す如く、第2の積層体の上に、表1に示す枠付きセラミック、その上部に荷重調整用セラミックとしてムライトとアルミナの結晶相を持つ多孔質ブロック気孔率19を表1に示す荷重となるように載置した。重し質量は、枠付きセラミックと荷重調整用セラミックとの合計になる。なお、セラミック平板の重量は、枠型セラミックと荷重調整用セラミックの合計質量よりもかなり小さいので、ここでは、重しによる荷重を第2の積層体の焼成シートにかかる荷重として問題はない。表1に示す焼成条件以外は試験例1と同様にして焼成した。試験例1と同様にして焼成してシート破損率とうねり矯正率を算出した。結果は、表1に示されている。試験例3~16試験例1と同様にして、表1に示すような重ね方で第2の積層体を作製した。第2の積層体の上に、表1に示す枠型セラミック、枠付きセラミック、必要に応じてその上部に荷重調整用セラミックを表1に示す荷重となるように載置して、重し質量、荷重面積を表1に示す条件で調整し、表1に示す焼成条件以外は試験例1と同様にして焼成した。試験例1と同様にして焼成してシート破損率とうねり矯正率を算出した。結果は、表1に示されている。<うねり評価方法>うねりとは、シートの周縁部に存在する厚さ方向の凹凸であって、凹方向に2箇所以上又は凸方向に2箇所以上連続している変形シートの局部的な変形のことである。本実施例では、このような変形のうち、凹凸の高低差の最大値が20μmを超えているものをうねりと判断し、高低差の最大値をうねり高さとした。1次焼成後の焼成シート及び2次焼成後の破損していない焼成シートに対し、以下のうねり高さの測定方法によって、各シートの周縁部の高低差を測定し、高低差の最大値が20μmを超えている変形が確認された焼成シートをうねり有り、このような変形が確認されなかった焼成シートをうねり無し、と評価した。<うねり高さの測定>うねり高さは、レーザ光学式非接触三次元形状測定装置UBM社製、商品名UBM1-14型マイクロフォーカスエキスパート、光源:半導体レーザ780nm、スポット径:1μm、垂直分離能:0.01μmを使用して測定された。装置ワーク台上の目視でうねりが観察される1次焼成後の焼成シート表面にレーザ光を照射し、スキャンさせて測定される最大高さ位置と最低高さ位置との差から求めた。うねり高さの測定の場合、スキャン方向はうねりの山頂部と谷底部とを通る方向であり、1つの焼成シート内に複数のうねりが観察される場合は、大きいと判断される順に4方向スキャンさせて測定した。また、2次焼成後の破損していない焼成シートについても、同様にうねり高さを測定した。2次焼成時の荷重位置が周縁部のみの場合試験例1~2、4~7、周縁部一部の場合試験例3、周縁部と一部中央部の場合試験例8~10のシート破損率はいずれも10以下であり、うねり矯正率もいずれも85以上であった。従って、本発明の燃料電池用電解質シートの製造方法はうねりを低破損率で矯正する優れた製法であることが判る。ただし、試験例15は周縁部のみの荷重位置であるが、所定の荷重量でないためにうねり矯正率が低下する傾向にある。2次焼成時の荷重位置が全面の場合試験例11~13はシート破損率が高く、中央部のみ場合試験例14はうねり矯正には効果がほとんど無いことが判る。