出力部材と、前記出力部材の移動を行う第1アクチュエータ、第2アクチュエータ及び第3アクチュエータと、前記出力部材と前記第1アクチュエータとの間、前記出力部材と前記第2アクチュエータとの間、及び、前記出力部材と前記第3アクチュエータとの間にそれぞれ設けられ、前記第1アクチュエータ、前記第2アクチュエータ、及び、前記第3アクチュエータの駆動により前記出力部材を移動させる第1リンク機構、第2リンク機構及び第3リンク機構と、を備え、前記第1アクチュエータ、前記第2アクチュエータ及び前記第3アクチュエータの駆動により、xyz空間内で前記出力部材を位置決め可能であり、前記第1アクチュエータ、第2アクチュエータ及び第3アクチュエータは、それぞれ前記第1リンク機構、第2リンク機構及び第3リンク機構への動力の断接を行うクラッチを有する、ことを特徴とするパラレルリンクロボット。前記出力部材の位置を検知する位置検知手段と、前記位置検知手段により検知した位置を記憶する記憶手段と、前記第1アクチュエータ、第2アクチュエータ及び第3アクチュエータの前記各クラッチの断接を切り替える切替手段と、前記切替手段にて前記各クラッチを切断する制御、又は、前記各クラッチの切断、接続を繰り返す制御を実行しながら、前記出力部材の移動位置を前記位置検知手段により検知し、検知した位置を順次、目標位置として前記記憶手段に記憶させる教示動作の制御と、前記出力部材を前記記憶手段に記憶した目標位置に順次移動させる制御とを実行する制御手段と、を有する、ことを特徴とする、請求項1に記載のパラレルリンクロボット。前記各クラッチは、第1クラッチ部材と、第2クラッチ部材と、前記第1クラッチ部材と前記第2クラッチ部材との間での動力の断接を切り替える前記切替手段と、をそれぞれ有し、前記第1アクチュエータ、第2アクチュエータ及び第3アクチュエータは、それぞれ、回転駆動モータと、前記各回転駆動モータから前記第1リンク機構、第2リンク機構及び第3リンク機構にそれぞれ動力を伝達する動力伝達部材と、前記回転駆動モータと前記動力伝達部材との間に配置された前記クラッチと、を有し、前記第1クラッチ部材は前記回転駆動モータの回転軸に連動し、前記第2クラッチ部材は前記動力伝達部材の入力部に連動し、前記位置検知手段は、前記動力伝達部材の入力部の回転量を検知する、ことを特徴とする、請求項2に記載のパラレルリンクロボット。前記制御手段は、前記教示動作を実行した後に、前記クラッチを切断状態から接続状態とした場合に、前記切断状態と前記接続状態との前記位置検知手段により検知される前記動力伝達部材の入力部の回転量の差を求め、前記接続状態で前記出力部材を移動させたときに前記位置検知手段により検知した回転量の値に前記回転量の差を加えた値を、前記位置検知手段により検知した位置とする、ことを特徴とする、請求項3に記載のパラレルリンクロボット。前記クラッチは、電気式のクラッチであり、通電時に動力を切断する、ことを特徴とする、請求項1ないし4のうちの何れか1項に記載のパラレルリンクロボット。前記クラッチは、歯形リングの噛み合いにより動力を伝達する、ことを特徴とする、請求項1ないし5のうちの何れか1項に記載のパラレルリンクロボット。前記出力部材は所定の回転軸線を中心に回転可能であり、前記第1リンク機構、第2リンク機構、及び第3リンク機構のうち少なくとも2つのリンク機構は、前記回転軸線をz軸に略平行に保つように平行リンク機構により構成されている、ことを特徴とする、請求項1ないし6のうちの何れか1項に記載のパラレルリンクロボット。上述の特許文献1に記載された構造の場合、出力部材等に手で力を加えて出力部材の位置を変えることは難しい。即ち、各モータ3が負荷となるため、手で加える力では出力部材を動かしにくい。ここで、所望する一連の動作の教示を操作者の手で出力部材に力を加えることにより行う直接教示手伝え教示が知られているが、上述のような構成の場合、この直接教示が困難である。本発明は、このような事情に鑑み、手で力を加えて出力部材の位置を変える操作を容易に行える構造を実現すべく発明したものである。本発明は、出力部材と、前記出力部材の移動を行う第1アクチュエータ、第2アクチュエータ及び第3アクチュエータと、前記出力部材と前記第1アクチュエータとの間、前記出力部材と前記第2アクチュエータとの間、及び、前記出力部材と前記第3アクチュエータとの間にそれぞれ設けられ、前記第1アクチュエータ、前記第2アクチュエータ、及び、前記第3アクチュエータの駆動により前記出力部材を移動させる第1リンク機構、第2リンク機構及び第3リンク機構と、を備え、前記第1アクチュエータ、前記第2アクチュエータ及び前記第3アクチュエータの駆動により、xyz空間内で前記出力部材を位置決め可能であり、前記第1アクチュエータ、第2アクチュエータ及び第3アクチュエータは、それぞれ前記第1リンク機構、第2リンク機構及び第3リンク機構への動力の断接を行うクラッチを有する、ことを特徴とするパラレルリンクロボットにある。本発明によれば、各アクチュエータにクラッチを設けているため、クラッチを切断することにより、手で出力部材の位置を変える操作を容易に行える。<第1の実施形態>本発明の第1の実施形態について、図1~図4を用いて説明する。図1及び図2に示すように、パラレルリンクロボット100は、ケース101と、出力部材102と、複数のリニアアクチュエータ104、105、108と、複数のリンク機構106、107、109と、を有する。なお、104は第1アクチュエータに、105は第2アクチュエータに、108は第3アクチュエータにそれぞれ相当する。また、106は第1リンク機構、107は第2リンク機構、109は第3リンク機構である。[ケース]ケース101内には、第1リニアアクチュエータ104、第2リニアアクチュエータ105、第3リニアアクチュエータ108を、それぞれの可動部が出力部材側に突出しないように収納する。ケース101はベース部材を兼ねており、複数のリニアアクチュエータ104、105、108が、ケース101を構成する略鉛直方向に配設された支持壁101bのそれぞれの所定の位置に直接又は取付部材などを介して固定されている。また、各リニアアクチュエータの駆動力を後述するリンク機構106、107、109を介して出力部材102に伝達するようにしている。そして、各リニアアクチュエータにより駆動されて各リンク機構を駆動する可動部がケース101内に収まるようにしている。更に、ケース101の複数個所に開口部101aを設け、開口部101aを介して、各リニアアクチュエータにより各リンク機構をそれぞれ駆動可能としている。なお、ケース101は一体の構成でなくてもよく、複数の筐体を連結させた構成でもよい。[出力部材]出力部材102は、ワークの移動や加工などを行うフィンガーやドリルなどの工具を取り付けるものである。このような出力部材102は、所定のz軸方向に配設された出力軸103の先端部下端部に結合されている。すなわち出力軸103は出力部材の一部である。後述するように、出力部材102は、出力軸103を回転軸としてz軸回りの回転自在である。言い換えれば、出力部材102は、回転軸線がz軸と略平行である。本実施形態では、z軸方向を鉛直方向としている。なお、出力軸103は軸状の形態を有することが好適であるが、実際に軸状の形態を有さなくても良い。後述するように、平行リンク等のリンク部材が結合されるジョイント部連結部が略直線上出力軸線上に並べられれば良く、本発明の出力部材はこのような場合も含むものとする。また、出力軸103だけを出力部材としてもよい。[第1アクチュエータ及び第2アクチュエータ]第1アクチュエータ及び第2アクチュエータである第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105は、それぞれが出力部材102をxyz空間内で移動させるための駆動源となる直動型のアクチュエータの一例である。これら第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105は、それぞれレール固定子104A、105Aをz軸方向鉛直方向に配置している。レール104A、105Aは、それぞれケース101の支持壁101bの鉛直方向中間部ないし下端寄りに固定されている。そして、第1リニアアクチュエータ104のレール104Aに第1移動子104aを、第2リニアアクチュエータ105のレール105Aに第2移動子105aを、それぞれレールに沿って移動自在に配置している。第1移動子104a、第2移動子105aには、それぞれレール104A、105Aと反対側に、z軸方向と略平行な第1軸104b、第2軸105bがそれぞれ固定されている。このような第1軸104b、第2軸105bは、第1移動子104a、第2移動子105aから突設したそれぞれが一対のアーム104B、105Bの先端に支持固定されている。したがって、第1軸104b、第2軸105bは、それぞれ第1移動子104a、第2移動子105aと共に、z軸方向に移動する。第1軸104bの中心軸線と第2軸105bの中心軸線はz軸に平行な共通の平面内に位置するように配置されている。即ち、第1軸104bと第2軸105bとは、z軸に平行な共通の平面内を移動する。言い換えれば第1移動子104aと第2移動子105aは、z軸に平行な所定の平面内を移動する。これら第1移動子104a及び第2移動子105aのそれぞれの移動量は、制御部Cにより制御される。制御部Cは、CPUやハードウエア回路又はそれらの組合せからなる。[第3アクチュエータ]第3アクチュエータである第3リニアアクチュエータ108は、出力部材102をxyz空間内の概ねz軸方向に移動させるための駆動源となる直動型アクチュエータの一例である。この第3リニアアクチュエータ108も、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105と同様に、レール固定子108Aをz軸方向鉛直方向に配置している。レール108Aは、ケース101の支持壁101bの鉛直方向上端寄りで、水平方向に関してレール104Aとレール105Aとの間に固定されている。そして、第3リニアアクチュエータ108のレール108Aに第3移動子108aをレールに沿って移動自在に配置している。第3移動子108aの移動量は制御部Cにより制御される。上述の第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108は、回転型アクチュエータの一例であるモータの回転運動を、変換機構の一例であるボールねじ機構により直線運動に変換したものである。なお、回転型アクチュエータは、サーボモータ、ステッピングモータ、超音波モータ等の電動アクチュエータ以外に、油圧などの他の動力により駆動されるものでも良い。[リニアアクチュエータの構造]第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108の構造は略同一とすることが好適である。本実施形態ではそのようになっているので、第1リニアアクチュエータ104を例にとって、その構造を図3を用いて説明する。他のリニアアクチュエータの各部分の参照番号は、移動子とレールを除き同一とする。第1リニアアクチュエータ104は、回転駆動モータMと、ボールねじ機構1100と、クラッチ1101とを有する。回転駆動モータMは、支持壁101bに支持固定された取付部材1100Aに固定されている。ボールねじ機構1100は、回転駆動モータMから第1リンク機構106に動力を伝達する動力伝達部材であり、ねじ軸1102と、ねじ軸1102に螺合されているナット部材1103とを有する。クラッチ1101は、電気式のクラッチである電磁ツースクラッチであり、回転駆動モータMとボールねじ機構1100との間に配置され、取付部材1100Aに固定されている。このクラッチ1101は、ボールねじ機構1100への動力の断接を行うことにより、第1リンク機構106への動力の断接を行う。本実施形態では、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108は、それぞれ第1リンク機構106、第2リンク機構107及び第3リンク機構109への動力の断接を行うクラッチを有するように構成している。ボールねじ機構1100のねじ軸1102は、z軸と平行に配設され、一端部が取付部材1100Aに固定の軸受1100Bに回転自在に支持され、他端部をクラッチ1101を介して回転駆動モータMの回転軸1100Cに接続されている。軸受1100Bは、ねじ軸1102のラジアル方向の支持とスラスト方向の支持とを行える構成としている。このようなねじ軸1102は、回転駆動モータMの回転がクラッチ1101を介して伝達されて回転し、ナット部材1103をねじ軸1102に沿って移動させる。ナット部材1103には、第1移動子104aが固定され、この第1移動子104aはナット部材1103と共にねじ軸1102に沿って移動する。また、第1移動子104aは、ねじ軸1102と平行に配置され、取付部材1100Aに固定のレール104Aに沿って移動可能としている。このために、一対のレール104Aを、ねじ軸1102及び第1移動子104aを挟むように配置し、第1移動子104aの両側に形成された突条1104aを、一対のレール104Aにそれぞれ形成されたガイド溝1104bに係合させている。そして、突条1104aとガイド溝1104bとの係合により第1移動子104aをレール104Aに沿って移動可能としている。また、第1移動子104aが一対のレール104Aに挟持されることにより、ナット部材1103の回り止めを図っている。したがって、ナット部材1103は、ねじ軸1102が回転すると、連れまわることなくねじ軸1102との螺合に基づき、このねじ軸1102に沿って移動する。クラッチ1101は、第1クラッチ部材1101aと、第2クラッチ部材1101bと、第1クラッチ部材1101aと第2クラッチ部材1101bとの間での動力の断接を切り替える切替手段である励磁コイル1101cとを有する。第1クラッチ部材1101a及び第2クラッチ部材1101bは、互いに対向する側を歯型リングとし、これら歯型リングの噛み合いにより動力を伝達する。また、第1クラッチ部材1101aと第2クラッチ部材1101bとは、励磁コイル1101cへの通電、非通電により噛み合い、非噛み合い状態が切り替え可能である。本実施形態では、励磁コイル1101cへの通電時に第1クラッチ部材1101aと第2クラッチ部材1101bとが非噛み合い状態となり、動力が切断される。一方、非通電時に不図示のバネ等で第1クラッチ部材1101aと第2クラッチ部材1101bとが互いに押し付けられるようになっており、両者が噛み合い状態となって動力が伝達される。第1クラッチ部材1101aは、回転駆動モータMの回転軸1100Cに連動し、第2クラッチ部材1101bは動力伝達部材の入力部であるねじ軸1102に連動するようになっている。したがって、上述のような噛み合い状態では回転駆動モータMの回転がねじ軸1102に伝達され、非噛み合い状態ではねじ軸1102と回転駆動モータMとの間で動力が伝達されない。また、本実施形態の場合、出力部材102の位置を検知するために、ねじ軸1102には、エンコーダ1105を設けている。エンコーダ1105は、円周方向複数個所にスリットが形成されたスリット円板1105aと、スリット円板1105aの一部を挟持するように発光部と受光部とを配置した光学センサ1105bとから構成される。光学センサ1105bは、スリット円板1105aの回転によりパルス状の出力信号を発し、その信号は制御手段である制御部C図2及び図3に入力される。スリット円板1105aは、ねじ軸1102に固定されているため、エンコーダ1105の出力信号により制御部Cはねじ軸1102の回転量を検知できる。上述のように、ねじ軸1102の回転量を検知できれば、第1移動子104aの移動量移動距離が分かる。本実施形態の場合、上述のようなエンコーダを第2、第3各リニアアクチュエータ105、108のねじ軸にも配置しているため、第2、第3移動子105a、108aの移動量が分かる。全ての移動子104a、105a、108aの移動量が分かれば、各移動子104a、105a、108aとリンク機構を介して接続されている出力部材102の位置を、後述するように検知できる。したがって、本実施形態の場合、全てのリニアアクチュエータに設けられたエンコーダにより、出力部材102の位置を検知する位置検知手段を構成している。具体的には、制御部Cは、各リニアアクチュエータのエンコーダの出力信号により、それぞれのねじ軸の回転量を求め、各回転量の関係などから出力部材102の位置を算出するか、ルックアップテーブル等により求めることが好適である。また、制御部Cは、励磁コイル1101cを非通電に切り替えて、クラッチ1101を接続状態に制御し、上述のように出力部材102を所望の位置に移動するために各移動子の位置を制御すべく、回転駆動モータMの回転量を制御する。なお、ねじ軸1102のピッチを10mm以上とし、後述する直接教示の際に、操作者の手により加えられる外力で、容易に各移動子を移動可能とすることが望ましい。クラッチ1101の歯数を200とすると、標準的な1ステップ1.8°のステッピングモータに適応することが容易となる。また、クラッチ1101の歯数を400とすると、1ステップ0.9°のステッピングモータに適応することが容易となる。[第1リンク機構及び第2リンク機構]第1リンク機構106及び第2リンク機構107は、出力部材102と第1移動子104aとの間、及び、出力部材102と第2移動子105aとの間に、それぞれ設けられている。そして、後述するように出力部材102の回転軸出力軸103をz軸に略平行に保つように保持する機能を有するとともに、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動により出力部材102を移動する機能を有している。出力部材102の出力軸103とz軸との略平行を保つための平行リンク機構の一例である第1リンク機構106は、第1軸104bと、出力軸103と、複数の第1リンク部材である2本の第1リンクバー106aとを有する構成になっている。また、平行リンク機構の一例である第2リンク機構107は、第2軸105bと、出力軸103と、複数の第2リンク部材である2本の第2リンクバー107aとを有する構成になっている。なお、第1リンクバー106aと第2リンクバー107aとは、それぞれ3本以上としても良い。第1軸104bは、上述のようにz軸と平行に配置され、第1リニアアクチュエータ104の駆動によりz軸方向に沿って移動させられる。また、第2軸105bも、上述のようにz軸と平行に配置され、第2リニアアクチュエータ105の駆動によりz軸方向に沿って移動させられる。なお、第1軸104b、第2軸105bは軸状の形態を有することが好適であるが、実際に軸状の形態を有さなくてもよく、平行リンクのリンク部材であるリンクバーが結合されるジョイントをz軸鉛直線に略平行な直線上に並べてあれば良い。第1リンク機構106の2本の第1リンクバー106aは、同じ実効長後述する両端のジョイント部の可動中心位置間距離を有し、互いに平行に配置された状態で、第1軸104bと出力軸103とを接続する。本実施形態では、第1軸104b、出力軸103、2本の第1リンクバー106aで平行リンク機構を構成している。このため、出力部材102の位置に拘らず、第1軸104bと出力軸103との平行及び、2本の第1リンクバー106aの平行がそれぞれ保持される。第2リンク機構107の2本の第2リンクバー107aは、同じ実効長後述する両端のジョイント部の中心間距離を有し、互いに平行に配置された状態で、第2軸105bと出力軸103とを接続する。本実施形態では、第2軸105b、出力軸103、2本の第2リンクバー107aで平行リンク機構を構成している。このため、出力部材102の位置に拘らず、第2軸105bと出力軸103との平行及び、2本の第2リンクバー107aの平行がそれぞれ保持される。また、本実施形態の場合、出力部材102がx、y、z軸の何れの方向にも移動できるように、第1リンク機構106及び第2リンク機構107の各ジョイント部連結部を構成している。まず、第1リンク機構106は、出力軸103と2本の第1リンクバー106aの一端部とを、複数の2個の第1出力側ジョイント部106bによりそれぞれ連結している。また、第1軸104bと2本の第1リンクバー106aの他端部とを、複数の2個の第1駆動側ジョイント部106cによりそれぞれ連結している。第2リンク機構107は、出力軸103と2本の第2リンクバー107aの一端部とを、複数の2個の第2出力側ジョイント部107bによりそれぞれ連結している。また、第2軸105bと2本の第2リンクバー107aの他端部とを、複数の2個の第2駆動側ジョイント部107cによりそれぞれ連結している。2個の第1出力側ジョイント部106bは、少なくとも、出力軸103に対して第1リンクバー106aを、z軸回りの回動、及び、出力軸103及び第1リンクバー106aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。2個の第2出力側ジョイント部107bは、少なくとも、出力軸103に対する第2リンクバー107aの、z軸回りの回動、及び、出力軸103及び第2リンクバー107aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。即ち、第1出力側ジョイント部106b及び第2出力側ジョイント部107bは、少なくとも2自由度を有する。2個の第1駆動側ジョイント部106cは、少なくとも、第1軸104bに対して第1リンクバー106aを、z軸回りの回動、及び、第1軸104b及び第1リンクバー106aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。2個の第2駆動側ジョイント部107cは、少なくとも、第2軸105bに対して第2リンクバー107aを、z軸回りの回動、及び、第2軸105b及び第2リンクバー107aの配設方向に直交する直交軸を中心として回動自在である。即ち、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cも、少なくとも2自由度を有する。なお、第1軸104bと第2軸105bを軸受等により回転自在に支持すれば、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cは1自由度のジョイントに変更できる。[出力部材のz軸に交差する方向への移動]上述のように、第1リニアアクチュエータ104と出力軸103との間、及び、第2リニアアクチュエータ105と出力軸103との間に、それぞれ平行リンク機構を設けている。そして、これら2個のリニアアクチュエータにより出力軸103に固定の出力部材102をz軸に交差する方向即ち、概ね水平方向に移動可能としている。即ち、制御部Cが第3移動子108aの位置を固定したまま、第1移動子104a及び第2移動子105aを、z軸方向にそれぞれ任意の量移動させる。これにより出力部材102のz軸方向の位置は概ね変化しない一方で、第1軸104b及び第2軸105bと出力軸103との間のz軸に交差する方向の距離が変化して、出力部材102が概ね水平方向に移動させられる。このとき、第1軸104b及び第2軸105bはz軸方向に対して略平行を保ちながら移動される。このため、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動により、出力軸103のz軸方向鉛直方向に対する略平行の姿勢を保ちながら、出力部材102をz軸に交差する概ね水平の方向に移動させることができる。また、本実施形態の場合、出力軸103側の2個の第1出力側ジョイント部106bと、出力軸103側の2個の第2出力側ジョイント部107bとが、z軸と略平行な同一軸上、即ち出力軸103上に配置されている。これにより、第1リニアアクチュエータ104から出力部材102におよぼす位置決め力の作用する位置と、第2リニアアクチュエータ105から出力部材102におよぼす位置決め力の作用する位置とが、上方から見て必ず一致する。このため、両リニアアクチュエータからの位置決め力の作用する位置の食い違いがある場合に生じる出力部材102の位置決め誤差を回避できる。なお、複数の第1出力側ジョイント部106bを結ぶ直線と、複数の第2出力側ジョイント部107bを結ぶ直線とを実質的に一致させていればよく、構造上の要求から僅かにずらして配置してもよい。なお、図2に丸印で示した2自由度のジョイント部106b、107b等としては、例えば図4に例示する構造のジョイントを適用できる。図4のジョイントは、矢印Aに示すような支持軸の周りに1回転以上回転する自由度と、矢印Bに示すような支持軸に略直角な軸周りに所定の振れ角度範囲内で回動する自由度を有する。後述する他の2自由度のジョイントも、この図4に例示する構造を有するものが好適である。このような2自由度のジョイントを用いれば、リンクバーの配設方向回りの回転の自由度を有さないので、平行リンク機構のねじれを防止することができる。[第3リンク機構]第3リンク機構109は、出力部材102と第3移動子108aとの間に設けられ、第3リニアアクチュエータ108の駆動により出力部材102を概ねz軸方向に移動可能としている。このような第3リンク機構109は、リンク部材である第3リンクバー109aと、出力軸103とにより構成される。第3リンクバー109aは、1本のみにより構成され、一端部を出力軸103の上端部に第3出力側ジョイント部109bにより連結している。一方、他端部を第3移動子108aに固定された第3軸108bの先端部下端部に第3駆動側ジョイント部109cにより連結している。なお、第3リンク機構を2本以上の平行なリンクバーを有する構成とし、第3リンク機構にも出力軸103をz軸方向鉛直方向に対して略平行に保つ機能を持たせることもできる。すなわち、各平行リンクの捩れを防止し、より正確に出力軸103をz軸方向に対して略平行に保つためには、第1リンク機構、第2リンク機構、及び第3リンク機構のうち少なくとも2つのリンク機構を平行リンクにすることが望ましい。本実施形態の場合、第3駆動側ジョイント部109c、第3出力側ジョイント部109bは、それぞれ図4に示すような2自由度のジョイントを用いて出力軸103のz軸回りの回転を可能としており、何等かの機構により出力軸103のz軸周りの角度を制御することが好適である。ただし、出力軸103のz軸回りの角度の意図しない変化を許容可能な場合は、第3出力側ジョイント部109bはz軸回りの自由度を有さない1自由度のジョイントで十分である。[出力部材の上下移動]制御部Cにより第3リニアアクチュエータ108を駆動すると、第3移動子108aがz軸方向に沿って移動し、第3軸108bの先端に第3リンクバー109aを介して接続された出力部材102が概ね鉛直方向に移動する。厳密には、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の移動子104a、105aを固定のまま、第3リニアアクチュエータ108のみ駆動すると出力部材102は仮想的な円弧上を移動する。したがって、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動による出力部材102のz軸に交差する方向への移動に対応させて、第3リニアアクチュエータ108を駆動すれば出力部材102を概ねz軸方向へ移動することができる。これにより、xyz空間内で出力部材102を位置決め可能である。具体的には、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動による出力部材102の概ね水平方向への移動と共に、第3リニアアクチュエータ108の駆動による概ねz軸方向への移動を併用すれば、所定の範囲内の所望の位置に出力部材102を移動することができる。また、前述のように、第1リニアアクチュエータ104と出力部材102の出力軸103との間、及び、第2リニアアクチュエータ105と出力軸103との間に、それぞれ平行リンク機構を設けている。このため、出力部材102の水平方向及び鉛直方向の任意の移動に拘らず、出力軸103を鉛直方向と略平行な状態に維持できる。また、第3リニアアクチュエータ108の駆動により、出力部材102を上下方向に移動すると、第1リンクバー106aと第2リンクバー107aの水平からの傾斜の角度が変化する。このため、出力部材102の3次元空間内の移動位置は、第1、第2、第3各リンクバー106a、107a、109aの傾斜を考慮して、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量から幾何学的に算出できる。ここで、リニアアクチュエータの駆動量ねじ軸の回転量は、移動子の移動距離移動量に相当する。なお、第1、第2リニアアクチュエータ104、105の駆動量から概略の位置を算出し、それを第3リニアアクチュエータ108の駆動量に応じて補正することで、出力部材102のxyz空間内の正確な移動位置を算出するようにしても良い。また、算出値を予め制御部C内の数値テーブルに格納しておき、目標とする移動位置に基づいて第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量をこの数値テーブルから求めることが好適である。また、移動位置から第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量を逆算する算出式を用いても良い。以上のようにして出力部材102の移動位置と第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量を関係付けることで、出力部材102に固定の出力部材102の3次元位置xyz位置の位置決めが可能となる。本実施形態の場合、第1軸104b、第2軸105bのそれぞれの中心軸線がz軸に平行な共通の平面内にあり、第3駆動側ジョイント部109cの中心がその平面内又はその平面に概ね沿って移動するため、上述のように出力部材の位置を幾何学的に算出することは容易である。また、本実施形態の場合は第3リンクバー109aの出力部材102側の第3出力側ジョイント部109bは、上述のように出力軸103の上端部に設けられている。第3出力側ジョイント部109bを設ける位置は、出力軸103の中央部等に変更しても良い。そして、この第3出力側ジョイント部109bと、2個の第1出力側ジョイント部106b及び2個の第2出力側ジョイント部107bとを、z軸と略平行な同一軸上出力部材102の回転軸上に配置している。これにより、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108によってそれぞれ出力部材102に対して力を作用させる位置が、上方から見ていつでも一致する。このため、3つのリニアアクチュエータを協働させて行う出力部材102の位置決めの誤差を低減できる。[第1、第2、第3各リニアアクチュエータの配置]本実施形態の場合、第1移動子104aと、第2移動子105aと、第3移動子108aとは、xy平面に直交する略同一平面内を移動するように配置されている。また、出力部材102は、これら各移動子104a、105a、108aに対してxy平面に関して外れた位置に位置決めされる。即ち、出力部材102と、同一平面内を移動する第1、第2、第3各移動子104a、105a、108aとの間に、それぞれ第1、第2、第3リンク機構106、107、109を設けている。そして、出力部材102を第1、第2、第3各移動子104a、105a、108a、に対して水平方向に外れた位置に位置決めするようにしている。このように全ての移動子が同一平面内を移動するため、出力部材102の位置を幾何学的に算出することが容易となる。なお、各移動子の位置関係は、上述の位置に限らない。例えば、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105とは、次のような関係を満たすように配置されていれば、それぞれの互いの移動子が同一平面上に位置しなくても良い。即ち、装置の上方から眺めた場合に、第1軸104bと出力部材102の中心とを結ぶ線分と、第2軸105bと出力部材102とを結ぶ線分との成す角度が、0°よりも大きく且つ180°よりも小さくなるような位置であれば、ケース101に略平行な平面から逸脱した位置に配置しても良い。言い換えれば、第1軸104bと第2軸105bとは、装置の上方から眺めた場合に出力部材102とそれぞれの中心を結ぶ2つの線が直線となるような位置、及び、互いの中心が重なる位置を避けるように配置する。このように構成することにより、出力部材102の位置決めの計算が、各移動子のxy平面での非対称な位置関係を考慮する分複雑になるが、設計時の自由度が高くなる。本実施形態の場合、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105とは、鉛直方向の位置はほぼ同じ多少鉛直方向にずれている場合も含むとし、互いに水平方向にずれた位置に配置している。また、第1リンクバー106aと第2リンクバー107aとは、長さを同じとしても良いし、異ならせても良い。また、第3リニアアクチュエータ108は、水平方向に関し、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との間に配置することが好適である。但し、第1リニアアクチュエータ104と概ね同じ位置又は、第2リニアアクチュエータ105と概ね同じ位置としても良い。本実施形態では、第3リニアアクチュエータ108は、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との間で、これら2個のリニアアクチュエータ及び出力部材102よりも鉛直方向上方に配置されている。また、第3リニアアクチュエータ108の水平方向の位置は、出力部材102から外れた位置で、且つ、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との中央としている。[教示動作]パラレルリンクロボットに所望の一連の動作を教示し、その一連の動作を自動実行させることが行われている。本実施形態のパラレルリンクロボットは、操作者が自分の手でパラレルリンクロボットに力を加えて、一連の動作を手動で教示する直接教示が可能である。以下、このような直接教示を行う動作を教示動作と言う。教示動作では、操作者が出力部材102を手で移動させると、制御部Cは位置検知手段である各エンコーダの情報などによりその位置を検知し、当該位置を順次出力部材102の移動目標位置として、メモリC1に記憶する。制御部Cは、このような教示動作を実行可能である。不図示の操作ユニット等を操作者が操作して教示動作を実行するモードに切り替えると、制御部Cは教示動作を実行し、切替手段である励磁コイル1101cを制御して各リニアアクチュエータのクラッチ1101を切断させる。具体的には、制御部Cは、クラッチ1101の励磁コイル1101cに励磁電流を流し、クラッチ1101をトルク伝達の行われない切断状態に切り替える。又は、クラッチ1101の切断、接続を繰り返す。なお、クラッチ1101の励磁コイル1101cに励磁電流を流さないとき切断状態に切り替わるようにしてもよいが、パラレルリンクロボットでは非通電状態で電磁クラッチをトルク伝達状態にすることが望ましい。なぜなら、上記とは逆に励磁コイルに励磁電流が流れない状態になると、電磁クラッチが切断状態に切り替わるよう構成した場合、停電時等にパラレルリンクロボットの姿勢を保つことが困難になるからである。次に、操作者が出力部材102に対して手で力を加えて所望の位置に移動させようとすると、各リンクバー106a、107a、109aを介して各移動子104a、105a、108aにz軸方向に移動させようとする力が加わる。すると、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108の各ねじ軸1102にナット部材1103を介して回転トルクが発生する。ここで、クラッチ1101は切断状態になっており、回転駆動モータMは負荷になることがないので、各ねじ軸1102は容易に回転する。この結果、各移動子104a、105a、108aは小さい力で移動し、出力部材102は操作者の所望の位置に移動する。なお、出力部材102に加える操作者の力だけで各ねじ軸1102を回転させにくい場合は、各移動子104a、105a、108aに操作者が手で力を加えて、出力部材102を所望の位置に移動させても良い。次に、不図示の操作ユニット等を操作者が操作して現在の位置を第1の位置初期位置P1として制御部CのメモリC1に記憶させる。現在の位置は、制御部Cがエンコーダ1105の出力信号を常時監視して認識可能となっている。再び、操作者が出力部材102に対して手で力を加えて第2の所望の位置目標位置に移動させ、その位置を第2の位置P2として制御部CのメモリC1に記憶させる。これを繰り返し、第3の位置P3、、第nの位置Pnまで記憶させる。なお、各位置から次の位置までの移動速度等の詳細設定情報は、必要に応じて入力操作等により制御部Cに記憶させておく。次に、不図示の操作ユニット等を操作者が操作して運転モードに切り換えると、制御部Cはクラッチ1101の励磁コイルの励磁電流を止め、クラッチ1101をトルク伝達の行われる接続状態に切り替える。この切り替えの際に噛み合う歯形リング対の間の位置のくい違いにより、各ねじ軸1102に多少の回転が引き起こされると考えられる。高価なアブソリュートエンコーダを使用していれば、このような回転が発生しても問題はない。しかし、安価なインクリメンタルエンコーダを使用している場合は対策が必要となる場合がある。したがって本実施形態の場合、制御部Cは、教示動作を実行した後にクラッチ1101を切断状態から接続状態とした場合に、切断状態と接続状態との各エンコーダ1105により検知される各ねじ軸1102の回転量の差を求める。そして、接続状態で出力部材102を移動させたときに各エンコーダ1105により検知した回転量の値に上述の回転量の差を加えた値を、各エンコーダ1105により検知した出力部材102の位置とする。具体的には、各ねじ軸1102の回転量の差Δθ1、Δθ2、Δθ3をエンコーダ1105の出力信号の変化に基づいて把握しておく。その上で、クラッチ1101の接続状態への切り替え後に、各ねじ軸1102の現在の回転量回転位置θ01、θ02、θ03をエンコーダ1105の出力信号に基づいて再設定する。すなわち、出力部材102の位置Pへの位置決めに対応する各ねじ軸1102の回転位置は、次の関数f1P、f2P、f3Pで表される。θ01=f1PnΔθ1θ02=f2PnΔθ2θ03=f3PnΔθ3この状態で、不図示の操作ユニット等を操作者が操作して自動運転を開始させると、制御部Cは現在の回転位置θ01、θ02、θ03を出発点として、エンコーダ1105の出力信号に基づいて各モータMを制御して、P1、P2、、Pnへの出力部材102の位置決めを順次実行する。即ち、出力部材102をメモリC1に記憶した目標位置に順次移動させる。本実施形態によれば、各リニアアクチュエータ104、105、108にクラッチ1101を設けているため、クラッチ1101を切断することにより、手動で出力部材102の位置を変える動作を容易に行える。このため、パラレルリンクロボットの直接教示を簡単に行うことができる。また、リニアアクチュエータ内部の駆動源の一例である回転駆動モータMの回転と同一の回転数の回転をクラッチ1101によりエンコーダ1105に伝達しているので、エンコーダ1105を利用してモータ制御が可能となる。また、位置決め精度が良好であるとともに、直接教示時のエンコーダによる位置検出精度が良好である。<第2の実施形態>本発明の第2の実施形態について、図5及び図6を用いて説明する。本実施形態の上述の第1の実施形態に対する主要な相違点は、第1、第2、第3アクチュエータを回転型のアクチュエータに変更したことである。以下、詳細に説明する。パラレルリンクロボット200は、ケース図示省略と、出力部材202と、複数のロータリーアクチュエータ204、205、208と、複数のリンク機構206、207、209と、を有する。第1ロータリーアクチュエータ204は第1アクチュエータに、第2ロータリーアクチュエータ205は第2アクチュエータに、第3ロータリーアクチュエータ208は第3アクチュエータに、それぞれ相当する。また、206は第1リンク機構に、207は第2リンク機構に、209は第3リンク機構に、それぞれ相当する。不図示のケース内には、第1ロータリーアクチュエータ204、第2ロータリーアクチュエータ205、第3ロータリーアクチュエータ208を、それぞれの可動部が出力部材側に突出しないように収納する。不図示のケースはベース部材を兼ねており、複数のロータリーアクチュエータ204、205、208が、不図示のケース内のそれぞれの所定の位置に直接又は取付部材などを介して固定されている。また、第1ロータリーアクチュエータ204、第2ロータリーアクチュエータ205、第3ロータリーアクチュエータ208の駆動力は、後述するリンク機構206、207、209を介して出力部材202に伝達するようにしている。そして、各ロータリーアクチュエータにより駆動されて各リンク機構を駆動する可動部がケース内に収まるようにしている。更に、不図示のケースの複数個所に開口部を設け、開口部から突き出す各リンク機構を各ロータリーアクチュエータによりそれぞれ駆動可能としている。なお、ケースは一体の構成でなくてもよく、複数の筐体を連結させた構成でもよい。出力部材202は、ワークの移動や加工などを行う工具を取り付けるものである。このような出力部材202は、z軸方向に略平行に配置された出力軸203の先端部下端部に結合されている。後述するように、出力部材202は、出力軸203を回転軸として回転可能である。言い換えれば、出力部材202は、回転軸線がz軸と略平行である。本実施形態では、z軸方向を鉛直方向としている。なお、出力軸203は軸状の形態を有することが好適であるが、実際に軸状の形態を有さなくても良い。後述するように、平行リンク等のリンク部材が結合されるジョイント部が略直線上に並べられれば良く、本発明の出力軸はこのような場合も含むものとする。[第1ロータリーアクチュエータ及び第2ロータリーアクチュエータ]第1ロータリーアクチュエータ204及び第2ロータリーアクチュエータ205は、それぞれが出力部材202を概ねxy平面に沿って水平方向に移動させるための駆動源となっている。なお、厳密に言えば第3ロータリーアクチュエータ208の回転を停止している場合は、第1ロータリーアクチュエータ204及び第2ロータリーアクチュエータ205の回転によって出力部材202は仮想的な球面上を移動することになる。このような第1ロータリーアクチュエータ204及び第2ロータリーアクチュエータ205は、回転軸の方向がz軸方向鉛直方向に略平行に配置されている。そして、第1ロータリーアクチュエータ204の回転軸に第1アーム204aを、第2ロータリーアクチュエータ205の回転軸に第2アーム205aをそれぞれ固定又は一体的に形成している。これら第1アーム204a及び第2アーム205aは、xy平面水平面に略平行に配置される。したがって、第1アーム204aは第1ロータリーアクチュエータ204の駆動により、第2アーム205aは第2ロータリーアクチュエータ205により、それぞれ略水平方向に揺動する。第1、第2ロータリーアクチュエータ204、205の駆動量回転軸の回転量は制御部Cにより制御される。[第3ロータリーアクチュエータ]第3ロータリーアクチュエータ208は、出力部材202を概ねz軸方向に移動させるための駆動源となっている。このような第3ロータリーアクチュエータ208は、回転軸がz軸方向に対して略直交する方向を向くように、すなわち回転軸が略水平となるように配置されている。そして、第3ロータリーアクチュエータ208の回転軸に、回動腕部である第3アーム208aを固定又は一体的に形成している。この第3アーム208aは、第3ロータリーアクチュエータ208の回転軸に直交する平面水平面に略直交する平面上に配置される。したがって、第3アーム208aは第3ロータリーアクチュエータ208の駆動により、第3ロータリーアクチュエータ208の回転軸を中心として、この回転軸に直交する平面に沿って揺動する。そして、第3アーム208aの先端部に結合された後述の第3リンク機構209を介して、出力部材202を概ねz軸方向に移動することができる。厳密に言えば、第1ロータリーアクチュエータ204と第2ロータリーアクチュエータ205の回転を停止している場合は、第3ロータリーアクチュエータ208の駆動により出力部材202は仮想的な円弧上を移動することになる。なお、第3ロータリーアクチュエータ208を駆動方向がz軸に略平行なリニアアクチュエータに変更してもよい。第3ロータリーアクチュエータ208の駆動量回転軸の回転量は制御部Cにより制御される。後述するように、第1、第2、第3ロータリーアクチュエータは、それぞれ電動のモータを使用するユニットとして実現できる。このようなロータリーアクチュエータは、サーボモータ、ステッピングモータ、超音波モータ等の電動アクチュエータ、更には、電動以外に、油圧などの他の動力により駆動されるものでも良い。[第1リンク機構及び第2リンク機構]第1リンク機構206及び第2リンク機構207は、出力軸203と第1ロータリーアクチュエータ204の第1アーム204aとの間、及び、出力軸203と第2ロータリーアクチュエータ205の第2アーム205aとの間に、それぞれ設けられている平行リンク機構である。そして、第1の実施形態と同様に、出力部材202の出力軸回転軸203をz軸に略平行に保つように保持しつつ、第1ロータリーアクチュエータ204及び第2ロータリーアクチュエータ205の駆動により出力部材202をz軸に交差する方向に移動可能としている。即ち、第1リンク機構206は、第1軸204bと、出力軸203と、複数の第1リンク部材である2本の第1リンクバー206aとを有する。また、平行リンク機構の一例である第2リンク機構207は、第2軸205bと、出力軸203と、複数の第2リンク部材である2本の第2リンクバー207aとを有する。なお、第1リンクバー206aと第2リンクバー207aとは、それぞれ3本以上としても良い。第1軸204bは、出力軸203と平行に配置され、第1ロータリーアクチュエータ204の駆動によりxy平面に沿って移動させられる。また、第2軸205bは、出力軸203と平行に配置され、第2ロータリーアクチュエータ205の駆動によりxy平面に沿って移動させられる。このために、第1軸204bの中間部は、軸受204cを介して第1アーム204aに、第2軸205bの中間部は、軸受205cを介して第2アーム205aに、それぞれ接続されている。また、第1軸204bは第1アーム204aに、第2軸205bは第2アーム205aに、それぞれz軸に対して略平行を保つように支持されている。第1リンク機構206の2本の第1リンクバー206aは、同じ長さ後述する両端のジョイント部の中心間距離を有し、互いに平行に配置された状態で、第1軸204bと出力軸203とを接続する。第2リンク機構207の2本の第2リンクバー207aは、同じ長さ後述する両端のジョイント部の中心間距離である実効長を有し、互いに平行に配置された状態で、第2軸205bと出力軸203とを接続する。また、本実施形態の場合、出力部材202がx、y、z軸の何れの方向にも移動できるように、第1リンク機構206及び第2リンク機構207の各ジョイント部連結部を構成している。まず、第1リンク機構206は、出力軸203と2本の第1リンクバー206aの一端部とを、複数の2個の第1出力側ジョイント部206bによりそれぞれ連結している。また、第1軸204bと2本の第1リンクバー206aの他端部とを、複数の2個の第1駆動側ジョイント部206cによりそれぞれ連結している。第2リンク機構207は、出力軸203と2本の第2リンクバー207aの一端部とを、複数の2個の第2出力側ジョイント部207bによりそれぞれ連結している。また、第2軸205bと2本の第2リンクバー207aの他端部とを、複数の2個の第2駆動側ジョイント部207cによりそれぞれ連結している。2個の第1出力側ジョイント部206bは、少なくとも、出力軸203に対する第1リンクバー206aの、出力軸回りの回動、及び、出力軸及び第1リンクバー206aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能とする。2個の第2出力側ジョイント部207bは、少なくとも、出力軸203に対する第2リンクバー207aの、出力軸回りの回動、及び、出力軸及び第2リンクバー207aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能とする。即ち、第1出力側ジョイント部206b及び第2出力側ジョイント部207bは、少なくとも2自由度を有する。2個の第1駆動側ジョイント部206cは、少なくとも、第1軸204bに対する第1リンクバー206aの、第1軸204b及び第1リンクバー206aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能とする。2個の第2駆動側ジョイント部207cは、少なくとも、第2軸205bに対する第2リンクバー207aの、第2軸205b及び第2リンクバー207aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能とする。即ち、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cは、少なくとも1自由度を有する。このように、第1駆動側ジョイント部206c及び第2駆動側ジョイント部207cを1自由度にできるのは、第1軸204bと第2軸205bを軸受204c、205cにより回転自在に支持しているためである。本実施形態においても、第1軸204bと第2軸205bを第1の実施形態の移動子に相当する可動部材である第1アーム204a、第2アーム205aにそれぞれ固定しても良い。そして、第1駆動側ジョイント部206c及び第2駆動側ジョイント部207cを、図4に示したような2自由度のジョイントに変更しても良い。[出力部材の出力軸に交差する方向への移動]上述のように、第1ロータリーアクチュエータ204と出力部材202との間、及び、第2ロータリーアクチュエータ205と出力部材202との間に、それぞれ平行リンク機構を設け、これら2個のロータリーアクチュエータにより出力部材202を出力軸に交差する方向に移動させている。このとき、第1軸204b及び第2軸205bはz軸方向に対して略平行を保ちながら移動される。このため、第1ロータリーアクチュエータ204及び第2ロータリーアクチュエータ205の駆動により、出力部材202の回転軸出力軸203のz軸方向鉛直方向に対する略平行の姿勢を保ちながら、この出力部材202を出力軸に交差する概ね水平の方向に移動させることができる。また、本実施形態の場合、出力軸203側の2個の第1出力側ジョイント部206bと、出力軸203側の2個の第2出力側ジョイント部207bとが、z軸と略平行な同一軸上、即ち出力軸203上に配置されている。これにより、第1ロータリーアクチュエータ204から出力部材202におよぼす位置決め力の作用する位置と、第2ロータリーアクチュエータ205から出力部材202におよぼす位置決め力の作用する位置とが上方から見て必ず一致する。このため、両ロータリーアクチュエータからの位置決め力の作用する位置の食い違いがある場合に生じる出力軸203の位置決め誤差の発生を回避できる。なお、複数の第1出力側ジョイント部206bを結ぶ直線と、複数の第2出力側ジョイント部207bを結ぶ直線とを実質的に一致させていればよく、構造上の要求からわずかにずらして配置してもよい。更に、2個の第1出力側ジョイント部206bを結ぶ線分の中点と、2個の第2出力側ジョイント部207bを結ぶ線分の中点とが略一致するように、2本の第1リンクバー206a及び2本の第2リンクバー207aをそれぞれ配置している。図示の例では、2個の第2出力側ジョイント部207bの間に2個の第1出力側ジョイント部206bを配置している。そして、隣接する第1出力側ジョイント部206bと第2出力側ジョイント部207bの上側の一対の間隔と下側の一対の間隔とを、互いに同じとしている。これにより、第1ロータリーアクチュエータ204の駆動により出力軸203を移動させる力と、第2ロータリーアクチュエータの駆動により出力軸203を移動させる力とを釣り合わせ易くできる。即ち、出力軸203を2個のロータリーアクチュエータにより出力軸203に交差する方向に移動させても、出力軸203にバランス良く力を作用させることができる。この結果、出力軸203の移動の際に出力軸203に傾くような力が作用せず、位置決め精度を向上させることができる。[第3リンク機構]第3リンク機構209は、出力部材202に固定された出力軸203と第3ロータリーアクチュエータ208の第3アーム208aとの間に設けられ、第3ロータリーアクチュエータ208の駆動により出力部材202を概ねz軸方向に移動可能としている。このような第3リンク機構209は、第3リンク部材である第3リンクバー209aと、出力軸203とにより構成される。第3リンクバー209aは、一端部を出力軸203の上端部に第3出力側ジョイント部209bにより連結されている。また、他端部を第3アーム208aの先端部に第3駆動側ジョイント部209cにより連結されている。第3出力側ジョイント部209bは、出力軸203の回転角度を一定に保つ必要がなければ、1自由度のジョイントで十分である。図5では部品の共通化のため第3出力側ジョイント部209bは、第1出力側ジョイント部206b、第2出力側ジョイント部207bと同一の2自由度のジョイントとしている。第3駆動側ジョイント部209cは、第3リンクバー209aの軸線回りの自由度と、第3アーム208aの軸線回りの自由度と、屈曲の自由度を有する3自由度のジョイントである。[出力部材の上下移動]第3ロータリーアクチュエータ208を駆動すると、第3アーム208aの運動により第3アーム208aの先端が水平面に略直交する平面に沿って揺動する。そして、この第3アーム208aの先端に第3リンクバー209aを介して接続された出力部材202が概ね鉛直方向に移動する。厳密には第3アーム208aのみ駆動すると出力部材202は仮想的な円弧上を移動する。第1ロータリーアクチュエータ204及び第2ロータリーアクチュエータ205の駆動による、出力軸203に交差する概ね水平の方向への出力軸203の移動とともに、第3ロータリーアクチュエータ208を駆動すれば、出力軸203の水平方向と鉛直方向への移動が可能となる。したがって、第1、第2ロータリーアクチュエータ204、205の駆動による出力部材202の水平方向への移動に対応させて、第3ロータリーアクチュエータ208の駆動により出力部材202を概ね鉛直方向へ移動させることにより、第1の実施形態と同様にxyz空間内で出力部材202を所定の範囲内の所望の位置に位置決め可能である。[各ロータリーアクチュエータの配置]また、本実施形態では、上述のように、出力部材202と、第1、第2、第3ロータリーアクチュエータ204、205、208との間に、それぞれ第1、第2、第3リンク機構206、207、209を設けている。そして、第1、第2、第3ロータリーアクチュエータ204、205、208を、出力部材202の移動領域に対して水平方向に外れた位置に配置している。即ち、出力部材202がどの位置に移動しても、出力部材202が何れかのロータリーアクチュエータの鉛直方向下側に位置することはない。特に、第1ロータリーアクチュエータ204と第2ロータリーアクチュエータ205とは、装置の上方から眺めた場合に、次のような関係を満たすように配置される。即ち、第1ロータリーアクチュエータ204の中心回転軸と出力部材202の中心出力軸203とを結ぶ線分と、第2ロータリーアクチュエータ205の中心回転軸と出力軸203とを結ぶ線分との成す角度が、0°よりも大きく且つ180°よりも小さくなるように配置される。言い換えれば、第1ロータリーアクチュエータ204と第2ロータリーアクチュエータ205とは、装置の上方から眺めた場合に出力軸203とそれぞれの中心を結ぶ2つの線が直線となるような位置、及び、両方のロータリーアクチュエータの中心が重なる位置のそれぞれを避けるように配置する。[ロータリーアクチュエータの構造]第1、第2各ロータリーアクチュエータ204、205の構造は略同一とすることが好適である。本実施形態ではそのようになっているので、第1ロータリーアクチュエータを例にとって、その構造を図6を用いて構造を説明する。また、第3ロータリーアクチュエータ208も、アームより先の部分を除き略同一とする。第1、第2、第3各ロータリーアクチュエータの各部分の参照番号は、アームより先の部分を除き同一番号を付与するものとする。第1ロータリーアクチュエータ204は、回転駆動モータMと、クラッチ1201と、減速機1202と、第1アーム204aとを有する。回転駆動モータMは、支持壁に支持固定された取付部材1200Aに固定されている。減速機1202及び第1アーム204aは、回転駆動モータMから第1リンク機構206に動力を伝達する動力伝達部材である。クラッチ1201は、電気式のクラッチである電磁ツースクラッチであり、回転駆動モータMと減速機1202との間に配置され、取付部材1200Aに固定されている。このクラッチ1201は、第1リンク機構206への動力の断接を行う。本実施形態では、第1、第2、第3各ロータリーアクチュエータ204、205、208は、それぞれ第1リンク機構206、第2リンク機構207及び第3リンク機構209への動力の断接を行うクラッチを有するように構成している。減速機1202は、例えば、複数の歯車により構成され、回転駆動モータMの回転を減速して第1アーム204aに伝達する。クラッチ1201は、第1の実施形態と同様に、第1クラッチ部材1201aと、第2クラッチ部材1201bと、第1クラッチ部材1201aと第2クラッチ部材1201bとの間での動力の断接を切り替える切替手段である励磁コイル1201cとを有する。第1クラッチ部材1201a及び第2クラッチ部材1201bは、互いに対向する側を歯型リングとし、これら歯型リングの噛み合いにより動力を伝達する。また、第1クラッチ部材1201aと第2クラッチ部材1201bとは、励磁コイル1201cへの通電、非通電により噛み合い、非噛み合い状態となる。本実施形態では、励磁コイル1201cへの通電時に第1クラッチ部材1201aと第2クラッチ部材1201bとが非噛み合い状態となり、動力が切断される。一方、非通電時に噛み合い状態となって動力が伝達される。第1クラッチ部材1201aは、回転駆動モータMの回転軸1200Bに連動し、第2クラッチ部材1201bは動力伝達部材の入力部である減速機1202の入力軸1202aに連動するようになっている。したがって、上述のような噛み合いで回転駆動モータMの回転が減速機1202の入力軸1202aに伝達され、非噛み合い状態で入力軸1202aと回転駆動モータMとの間で動力が伝達されない。第1アーム204aは、基端部を減速機1202の出力軸1202bに相対回転不能に固定されている。したがって、第1アーム204aは、出力軸1202bの回転中心を中心として、この出力軸1202bと共に揺動する。したがって、回転駆動モータMの回転は、減速機1202により減速されて第1アーム204aに伝達される。第1アーム204aの先端には第1軸204bが軸受204cを介して回転自在に支持されている。また、本実施形態の場合、出力部材202の位置を検知するために、減速機1202の入力軸1202aには、エンコーダ1203を設けている。エンコーダ1203は、円周方向複数個所にスリットが形成されたスリット円板1203aと、スリット円板1203aの一部を挟持するように発光部と受光部とを配置した光学センサ1203bとから構成される。光学センサ1203bは、スリット円板1203aの回転によりパルス状の出力信号を発し、その信号は制御手段である制御部C図5及び図6に入力される。スリット円板1203aは、入力軸1202aに固定されているため、エンコーダ1203の出力信号の検知により制御部Cは減速機1202の入力軸1202aの回転量を検知できる。上述のように、入力軸1202aの回転量を検知できれば、減速機1202の減速比を考慮することにより、第1アーム204aの移動量回転角度が分かる。本実施形態の場合、上述のようなエンコーダを第2、第3各ロータリーアクチュエータ205、208の減速機の入力軸にも配置しているため、第2、第3アーム205a、208aの移動量が分かる。全てのアーム204a、205a、208aの移動量が分かれば、各アーム204a、205a、208aとリンク機構を介して接続されている出力部材202の位置を、後述するように検知できる。したがって、本実施形態の場合、全てのロータリーアクチュエータに設けられたエンコーダにより、出力部材202の位置を検知する位置検知手段を構成している。具体的には、制御部Cは、各ロータリーアクチュエータのエンコーダの出力信号により、それぞれの減速機の入力軸の回転量を求め、各回転量の関係などから出力部材202の位置を算出するか、ルックアップテーブル等により求めることが好適である。また、制御部Cは、励磁コイル1201cを非通電に切り替えて、クラッチ1201を接続状態に制御し、上述のように出力部材202を所望の位置に移動するために各アームの位置を制御すべく、回転駆動モータMの回転量を制御する。なお、第1アーム204aのホームポジションの検出のために、別途ホームポジションセンサを設けることが好適である。または、機械的な動作限界にて、エンコーダ1203の光学センサ1203bの出力から入力軸1202aの回転位置を検出しホームポジションを決定してもよい。[教示動作]本実施形態における直接教示のやり方について説明する。不図示の操作ユニット等を操作者が操作して教示動作を実行するモードに切り替えると、制御部Cは教示動作を実行し、切替手段である励磁コイル1201cを制御して各ロータリーアクチュエータのクラッチ1201を切断させる。具体的には、制御部Cは、クラッチ1201の励磁コイル1201cに励磁電流を流し、クラッチ1201をトルク伝達の行われない切断状態に切り替える。なお、クラッチ1201の励磁コイル1201cに励磁電流を流さないとき切断状態に切り換わるようにしてもよいが、パラレルリンクロボットでは非通電状態で電磁クラッチをトルク伝達状態にすることが望ましい。なぜなら、停電時等で励磁コイルに励磁電流が流れない状態になった場合、電磁クラッチが切断状態に切り換わるとパラレルリンクロボットの姿勢を保つことが困難になるからである。次に、操作者が出力部材202に対して手で力を加えて所望の位置に移動させようとすると、各リンクバー206a、207a、209aを介して第1アーム204a、第2アーム205a、第3アーム208aに回転させようとする力が加わる。すると、第1、第2、第3各ロータリーアクチュエータ204、205、208の各入力軸1202aに減速機1202を介して回転トルクが発生する。ここで、クラッチ1201は切断状態になっており、回転駆動モータMは負荷になることがないので、各入力軸1202aは容易に回転する。この結果、第1アーム204a、第2アーム205a、第3アーム208aは小さい力で回転し、出力部材202は操作者の所望の位置に移動する。なお、出力部材202に加える操作者の力だけで各アームを回転させにくい場合は、各アームに操作者が手で力を加えて、出力部材202を所望の位置に移動させてもよい。なお、出力部材202は操作者が手を離しても所望の位置に停止するように、適度な機械的負荷を有する減速機1202を選定することが望ましい。または、摩擦や粘性抵抗等により機械的負荷を増加させる制動手段を常時あるいは教示動作時に用いるようにしても良い。次に、不図示の操作ユニット等を操作者が操作して現在の位置を第1の位置初期位置P1としてメモリC1に記憶させる。出力部材202の現在の位置は、制御部Cが各ロータリーアクチュエータの各エンコーダ1203の出力信号を常時監視して認識可能となっている。再び、操作者が出力部材202に対して手で力を加えて第2の所望の位置に移動させると、制御部Cはその位置を第2の位置P2としてメモリC1に記憶させる。これを繰り返し、第3の位置P3、、第nの位置Pnまで記憶させる。なお、各位置から次の位置までの移動速度等の詳細設定情報は、必要に応じてメモリC1等に記憶させておく。次に、不図示の操作ユニット等を操作者が操作して運転モードに切り換えると、制御部Cはクラッチ1201の励磁コイルの励磁電流を止め、クラッチ1201をトルク伝達の行われる接続状態に切り替える。この切り替えの際に噛み合う歯形リング対の間の位置のくい違いにより、各入力軸1202aに多少の回転が引き起こされると考えられる。第1の実施形態と同様に、安価なインクリメンタルエンコーダを使用している場合は対策が必要となる場合がある。したがって本実施形態の場合、制御部Cは、教示動作を実行した後にクラッチ1201を切断状態から接続状態とした場合に、切断状態と接続状態との各エンコーダ1203により検知される各入力軸1202aの回転量の差を求める。そして、接続状態で出力部材202を移動させたときに各エンコーダ1203により検知した回転量の値に上述の回転量の差を加えた値を、各エンコーダ1203により検知した出力部材202の位置とする。具体的には、各入力軸1202aの回転量の差Δθ1、Δθ2、Δθ3をエンコーダ1203の出力信号の変化に基づいて把握しておく。また、クラッチ1201の接続状態への切り替え後に、各入力軸1202aの現在の回転量回転位置θ01、θ02、θ03をエンコーダ1203の出力信号に基づいて再設定する。すなわち、出力部材202の位置Pへの位置決めに対応する各入力軸1202aの回転位置は、次の関数g1P、g2P、g3Pで表される。θ01=g1PnΔθ1θ02=g2PnΔθ2θ03=g3PnΔθ3と再設定する。この状態で、不図示の操作ユニット等を操作者が操作して自動運転を開始させると、制御部Cは現在の回転位置θ01、θ02、θ03を出発点として、エンコーダ1203の出力信号に基づいて各モータMを制御して、P1、P2、、Pnへの出力部材202の位置決めを順次実行する。本実施形態によれば、各ロータリーアクチュエータ204、205、208にクラッチ1201を設けているため、クラッチ1201を切断することにより、手動で出力部材202の位置を変える動作を容易に行える。このため、パラレルリンクロボットの直接教示を簡単に行うことができる。また、ロータリーアクチュエータ内部の駆動源の一例である回転駆動モータMの回転と同一の回転数の回転をクラッチによりエンコーダ1203に伝達しているので、エンコーダ1203を利用してモータ制御が可能となる。また、減速機前に配置されたエンコーダに基づいて位置決めするため精度が良好であるとともに、直接教示時のエンコーダによる位置検出精度が良好である。<第3の実施形態>本発明の第3の実施形態について、図7を用いて説明する。本実施形態は、上述の第2の実施形態に対し、減速機をモータと一体に構成した減速機内蔵モータMGに変更したものである。また、第1アーム204aの基端部に固定の回転軸入力部1301には、ギヤ1302Aを取り付け、このギヤ1302Aとエンコーダ1203のスリット円板1203aに取り付けたギヤ1302Bとを噛合させている。そして、回転軸1301の回転を増速してスリット円板1203aに伝えることで、第2の実施形態と同等のエンコーダによる位置決め精度を確保したものである。即ち、本実施形態の場合、減速機内蔵モータMGは、モータの回転を減速してクラッチ1201に伝達する。このため、この速度の回転をそのままスリット円板1203aに伝達すると、回転速度が遅い分、光学センサ1203bによる検知精度が低下する。このため本実施形態では、スリット円板1203aへの回転伝達の際に、回転速度を増速して伝達することにより、検知精度の低下を抑制している。本実施形態によれば、クラッチの切断状態では、モータ及び減速機の負荷がなくなるため、より少ない操作者の手の力による直接教示が可能となる。また、ロータリーアクチュエータ内部の駆動源の一例である減速機内蔵モータMGの減速後の回転をクラッチにより伝達した後、ギヤで増速してエンコーダに伝達しているので、エンコーダに基づく位置決め精度が良好であるとともに、直接教示時のエンコーダによる位置検出精度が良好である。なお、減速機内蔵モータMGの減速比が1/k倍のとき、ギヤ1302Aとギヤ1302Bによる増速比をk倍にすると、エンコーダによる減速機内蔵モータMGの制御を容易に行うことができる。その他の構造及び作用は、上述の第2の実施形態と同様である。上述の各実施形態において、電磁ツースクラッチを摩擦クラッチに変更しても良い。その場合、電磁ツースクラッチの有する接続状態での歯形リングの噛み合いによるズレ防止の機能はなくなるので、所定の頻度でホームポジション等の再調整を行う必要がある。上述の各実施形態において、教示動作の中でアクチュエータによるジョグ送りを併用してもよい。すなわち、クラッチの切断状態で目標位置の近傍まで操作者が手で出力部材を移動させ、その後にクラッチを接続状態に戻し不図示の操作部のジョグボタン等を操作者が操作して、目標位置にジョグ送りにて移動させることも可能である。これらを繰り返して一連の教示を実行するようにしてもよい。なお、上述の各実施形態の任意の構成要素を他の実施形態に組み合わせて用いても良く、本発明に含まれる。