"反射面を有するミラー部と、該ミラー部が搭載された可動部を支持基体に対して第1揺動軸周りに揺動させるアクチュエータとして該可動部に一端が連結されると共に該支持基体に他端が連結された第1圧電アクチュエータを備えており、該第1圧電アクチュエータが、圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成されると共に前記第1揺動軸の方向に並ぶように配置された複数の圧電カンチレバーを、そのそれぞれが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結することにより構成された光偏向器の駆動装置であって、前記第1圧電アクチュエータを構成する複数の圧電カンチレバーのうち、該第1圧電アクチュエータの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための所定周波数の駆動電圧と、該一方側から奇数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための所定周波数の駆動電圧とのうちの少なくともいずれか一方を出力する駆動電圧出力手段を備え、前記駆動電圧は、一定振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返す波形の電圧信号であると共に、その電圧値が増加していく立ち上がり期間と該電圧値が減少していく立ち下がり期間とからなる該駆動電圧の1周期分の期間において、前記立ち上がり期間の時間幅と前記立ち下がり期間の時間幅とのうちの一方が他方よりも長い時間幅となるように当該両時間幅の比率があらかじめ設定されており、前記立ち上がり期間における該駆動電圧の波形は、該立ち上がり期間の時間幅の2倍の周期を有する正弦波の半周期分の波形に設定され、前記立ち下がり期間における該駆動電圧の波形は、該立ち下がり期間の時間幅の2倍の周期を有する正弦波の半周期分の波形に設定されていることを特徴とする光偏向器の駆動装置。請求項1記載の光偏向器の駆動装置において、前記立ち上がり期間の時間幅と前記立ち下がり期間の時間幅との比率は、長い方の時間幅が、前記駆動電圧の1周期の時間幅の80以下の時間幅となるよう設定されていることを特徴とする光偏向器の駆動装置。反射面を有するミラー部と、該ミラー部が搭載された可動部を支持基体に対して第1揺動軸周りに揺動させるアクチュエータとして該可動部に一端が連結されると共に該支持基体に他端が連結された第1圧電アクチュエータを備えており、該第1圧電アクチュエータが、圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成されると共に前記第1揺動軸の方向に並ぶように配置された複数の圧電カンチレバーを、そのそれぞれが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結することにより構成された光偏向器の駆動装置であって、前記第1圧電アクチュエータを構成する複数の圧電カンチレバーのうち、該第1圧電アクチュエータの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための所定周波数の駆動電圧と、該一方側から奇数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための所定周波数の駆動電圧とのうちの少なくともいずれか一方を出力する駆動電圧出力手段を備え、前記駆動電圧は、該駆動電圧と同一周波数で、且つ一定振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返すノコギリ波状の基本電圧に含まれる高調波成分のうち、前記ミラー部の前記第1揺動軸周りの揺動に関する機械的な固有振動数を含むようにあらかじめ定められた所定の周波数範囲内の周波数を有する1つ以上の高調波成分を前記基本電圧から除去することにより得られる波形の電圧信号に設定されていることを特徴とする光偏向器の駆動装置。請求項3記載の光偏向器の駆動装置において、前記基本電圧から除去される前記1つ以上の高調波成分は、前記所定の周波数範囲内で最も大きい振幅値を有する高調波成分の振幅値をAxとしたとき、Axの1/2以上の大きさの振幅値を有する高調波成分であることを特徴とする光偏向器の駆動装置。請求項1~4のいずれか1項に記載の光偏向器の駆動装置において、前記駆動電圧出力手段は、前記偶数番目圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧である第1駆動電圧と、前記奇数番目圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧である第2駆動電圧とを出力する手段であり、該第1駆動電圧と第2駆動電圧とは、互いに逆位相の波形の駆動電圧であることを特徴とする光偏向器の駆動装置。前記特許文献1には、上記圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーのうち、該圧電アクチュエータの一端側から偶数番目の圧電カンチレバーと、奇数番目の圧電カンチレバーとに互いに逆極性のノコギリ波状の駆動電圧を付与することで、該駆動電圧の大きさに応じた偏向角でミラー部を揺動させることが記載されている。しかしながら、本願発明者のさらなる実験、検討によって、偶数番目の圧電カンチレバーと、奇数番目の圧電カンチレバーとに、単に、互いに逆極性のノコギリ波状の駆動電圧を付与するようにした場合には、駆動電圧よりも高周波の振動成分がミラー部の偏向角揺動量の波形に含まれることが判明した。これは、次のような理由によるものと考えられる。すなわち、ノコギリ波状の駆動電圧には、その周波数の整数倍2倍、3倍等の多くの高調波成分が含まれる。このため、各圧電カンチレバーに付与するノコギリ波状の駆動電圧の周波数が、ミラー部の揺動駆動機構の機械的な固有振動数圧電アクチュエータ等の構造に依存する機械的な固有振動数よりも小さくても、該駆動電圧の比較的低次側の高調波成分の周波数が、上記機械的な固有振動数に一致もしくは近い周波数となりやすい。そして、このような場合には、駆動電圧の高調波成分によって、ミラー部の共振現象が発生し、それによって、ミラー部の高周波振動が発生すると考えられる。このようなミラー部の高周波振動の発生を防止するための手法としては、例えば、上記固有振動数が、圧電カンチレバーに付与するノコギリ波状の駆動電圧の周波数よりも十分に高い周波数になるように圧電アクチュエータを構成することが考えられる。あるいは、例えば、各圧電カンチレバーに付与する駆動電圧を、上記固有振動数と乖離した周波数の正弦波の駆動電圧にすることが考えられる。しかしながら、前者の手法では、ミラー部の揺動駆動機構圧電アクチュエータ等を硬くすることとなるために、ミラー部を比較的大きな偏向角で揺動させることが困難となる。また、後者の手法では、駆動電圧の1周期の期間内全走査期間内で、ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間、すなわち、画像表示等に実際に利用し得る有効走査期間が短くなり過ぎて、光偏向器の実用性が損なわれてしまう。本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧の波形を適切な波形に設定することで、ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供することを目的とする。本発明の光偏向器の駆動装置の第1の態様は、反射面を有するミラー部と、該ミラー部が搭載された可動部を支持基体に対して第1揺動軸周りに揺動させるアクチュエータとして該可動部に一端が連結されると共に該支持基体に他端が連結された第1圧電アクチュエータを備えており、該第1圧電アクチュエータが、圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成されると共に前記第1揺動軸の方向に並ぶように配置された複数の圧電カンチレバーを、そのそれぞれが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結することにより構成された光偏向器の駆動装置であって、前記第1圧電アクチュエータを構成する複数の圧電カンチレバーのうち、該第1圧電アクチュエータの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための所定周波数の駆動電圧と、該一方側から奇数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための所定周波数の駆動電圧とのうちの少なくともいずれか一方を出力する駆動電圧出力手段を備え、前記駆動電圧は、一定振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返す波形の電圧信号であると共に、その電圧値が増加していく立ち上がり期間と該電圧値が減少していく立ち下がり期間とからなる該駆動電圧の1周期分の期間において、前記立ち上がり期間の時間幅と前記立ち下がり期間の時間幅とのうちの一方が他方よりも長い時間幅となるように当該両時間幅の比率があらかじめ設定されており、前記立ち上がり期間における該駆動電圧の波形は、該立ち上がり期間の時間幅の2倍の周期を有する正弦波の半周期分の波形に設定され、前記立ち下がり期間における該駆動電圧の波形は、該立ち下がり期間の時間幅の2倍の周期を有する正弦波の半周期分の波形に設定されていることを特徴とする第1発明。上記第1発明によれば、前記駆動電圧出力手段が出力する駆動電圧は、前記立ち上がり期間の時間幅と前記立ち下がり期間の時間幅とのうちの一方が他方よりも長い時間幅となる波形の電圧信号であるので、該駆動電圧を単一周波数の正弦波電圧とした場合に較べて、該駆動電圧の1周期内で、前記第1揺動軸の周りのミラー部の偏向角揺動量をほぼ直線状に変化させ得る時間幅、すなわち、有効走査期間として活用し得る時間幅を長くできる。さらに、前記立ち上がり期間における該駆動電圧の波形は、該立ち上がり期間の時間幅の2倍の周期を有する正弦波の半周期分の波形に設定され、前記立ち下がり期間における該駆動電圧の波形は、該立ち下がり期間の時間幅の2倍の周期を有する正弦波の半周期分の波形に設定されている。このため、該駆動電圧に含まれる高調波成分のうち、前記ミラー部の前記第1揺動軸周りの揺動に関する機械的な固有振動数ミラー部を第1揺動軸周りに揺動させる機構前記第1圧電アクチュエータ等により構成される機構の機械的な固有振動数に一致もしくは近い周波数を有する高調波成分の大きさを、前記駆動電圧をノコギリ波状の電圧信号とした場合に較べて低減させるようにすることができる。ひいては、上記固有振動数もしくはその近辺での共振現象に起因するミラー部の高周波振動が発生するのを抑制することができる。よって、第1発明によれば、ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる。上記第1発明では、前記立ち上がり期間の時間幅と前記立ち下がり期間の時間幅との比率は、長い方の時間幅が、前記駆動電圧の1周期の時間幅の80以下の時間幅となるよう設定されていることが好ましい第2発明。すなわち、前記立ち上がり期間の時間幅と前記立ち下がり期間の時間幅とのうちの長い方の時間幅が、前記駆動電圧の1周期の時間幅の80を超えると換言すれば、短い方の時間幅が、駆動電圧の1周期の時間幅の20よりも小さくなると、短い方の時間幅内での駆動電圧の波形を構成する正弦波の周期が短くなり過ぎて、当該短い方の時間幅内での駆動電圧の波形が直線状の波形にかなり近いものとなる。このため、駆動電圧の高調波成分の大きさが大きくなりやすい。ひいては、ミラー部の揺動に関する上記固有振動数もしくはその近辺での共振現象に起因するミラー部の高周波振動が発生し易くなる。従って、前記立ち上がり期間の時間幅と前記立ち下がり期間の時間幅との比率は、長い方の時間幅が、前記駆動電圧の1周期の時間幅の80以下の時間幅となるよう設定されていることが好ましい。このようにすることで、ミラー部の高周波振動の発生を効果的に抑制することができる。また、本発明の光偏向器の駆動装置の第2の態様は、反射面を有するミラー部と、該ミラー部が搭載された可動部を支持基体に対して第1揺動軸周りに揺動させるアクチュエータとして該可動部に一端が連結されると共に該支持基体に他端が連結された第1圧電アクチュエータを備えており、該第1圧電アクチュエータが、圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成されると共に前記第1揺動軸の方向に並ぶように配置された複数の圧電カンチレバーを、そのそれぞれが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結することにより構成された光偏向器の駆動装置であって、前記第1圧電アクチュエータを構成する複数の圧電カンチレバーのうち、該第1圧電アクチュエータの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための所定周波数の駆動電圧と、該一方側から奇数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための所定周波数の駆動電圧とのうちの少なくともいずれか一方を出力する駆動電圧出力手段を備え、前記駆動電圧は、該駆動電圧と同一周波数で、且つ一定振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返すノコギリ波状の基本電圧に含まれる高調波成分のうち、前記ミラー部の前記第1揺動軸周りの揺動に関する機械的な固有振動数を含むようにあらかじめ定められた所定の周波数範囲内の周波数を有する1つ以上の高調波成分を前記基本電圧から除去することにより得られる波形の電圧信号に設定されていることを特徴とする第3発明。上記第3発明によれば、前記駆動電圧出力手段が出力する駆動電圧は、該駆動電圧と同一周波数で、且つ一定振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返すノコギリ波状の基本電圧に含まれる高調波成分のうち、前記ミラー部の前記第1揺動軸周りの揺動に関する機械的な固有振動数を含む前記所定の周波数範囲内の周波数を有する1つ以上の高調波成分を前記基本電圧から除去することにより得られる波形の電圧信号である。このため、駆動電圧の波形を前記基本電圧と同様に、一点振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返すような波形にすることができると共に、その電圧値が増加していく立ち上がり期間の時間幅と、該電圧値が減少していく立ち下がり期間の時間幅とのうちの一方の時間幅が他方の時間幅よりも長くなるような波形にすることができる。その結果、前記駆動電圧を単一周波数の正弦波電圧とした場合に較べて、該駆動電圧の1周期内で、前記第1揺動軸の周りのミラー部の偏向角揺動量をほぼ直線状に変化させ得る時間幅、すなわち、有効走査期間として活用し得る時間幅を長くできる。さらに、前記駆動電圧は、前記ミラー部の前記第1揺動軸周りの揺動に関する機械的な固有振動数ミラー部を第1揺動軸周りに揺動させる機構前記第1圧電アクチュエータ等により構成される機構の機械的な固有振動数を含む前記所定の周波数範囲内の周波数を有する1つ以上の高調波成分を前記基本電圧から除去することにより得られる波形の電圧信号であるから、該駆動電圧に、上記固有振動数に一致もしくは近い周波数の高調波成分が含まれないようにすることができる。ひいては、上記固有振動数もしくはその近辺での共振現象に起因するミラー部の高周波振動が発生するのを抑制することができる。よって、第3発明によれば、ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる。上記第3発明では、前記基本電圧から除去される前記1つ以上の高調波成分は、例えば、前記所定の周波数範囲内で最も大きい振幅値を有する高調波成分の振幅値をAxとしたとき、Axの1/2以上の大きさの振幅値を有する高調波成分である第4発明。この第4発明によれば、前記駆動電圧は、前記固有振動数を含む前記所定の周波数範囲内で振幅値が最も大きい高調波成分を含めて、振幅値が比較的大きい高調波成分を前記基本電圧から除去することにより得られる波形の電圧信号となる。このため、該駆動電圧の高調波成分のうち、前記所定の周波数範囲内の高調波成分は、その大きさ振幅値が十分に小さなものとなる。このため、前記所定の周波数範囲内の高調波成分のうち、除去対象から除外した高調波成分が、前記固有振動数に一致もしくは近い周波数を有していても、ミラー部の高周波振動が発生するのを抑制することができる。また、前記第1~4発明では、前記駆動電圧出力手段は、前記偶数番目圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧である第1駆動電圧と、前記奇数番目圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧である第2駆動電圧とを出力する手段であってもよく、この場合には、該第1駆動電圧と第2駆動電圧とは、互いに逆位相の波形の駆動電圧とされる第5発明。補足すると、第5発明において、前記第1駆動電圧と第2駆動電圧とが、互いに逆位相の波形の駆動電圧であるということは、第1駆動電圧及び第2駆動電圧の一方の波形が、他方の波形をその振幅方向で反転させた形状の波形となることを意味する。この場合、第1駆動電圧の電圧値が、増加していく期間の時間幅をT1a、該電圧値が減少していく期間の時間幅をT1b≠T1aとし、第2駆動電圧の電圧値が、増加していく期間の時間幅をT2a、該電圧値が減少していく期間の時間幅をT2b≠T2aとしたとき、T1a=T2b、T1b=T2aとなる。なお、第1駆動電圧の振幅値と第2駆動電圧の振幅値とは、互いに同一でなくてもよい。上記第5発明によれば、前記偶数番目の圧電カンチレバーを圧電駆動するための前記第1駆動電圧と、前記奇数番目の圧電カンチレバーを圧電駆動するための第2駆動電圧とが、互いに逆位相の波形の駆動電圧であるので、前記ミラー部を比較的大きな振幅の偏向角で揺動させることができる。なお、以上説明した第1~第5発明の光偏向器では、前記ミラー部は、前記可動部に対して固定されていてもよいが、該ミラー部を、可動部に対して、前記第1揺動軸と異なる方向の第2揺動軸例えば第1揺動軸と直交する方向の第2揺動軸の周りに揺動し得るように該可動部に搭載しておくと共に、該可動部に対してミラー部を第2揺動軸周りに揺動させる第2圧電アクチュエータをさらに備えるようにしてもよい。[第1実施形態]本発明の第1実施形態を図1~図6を参照して説明する。なお、本実施形態は、前記第1発明の一実施形態である。図1に示すように、本実施形態の光偏向器A1は、入射された光を反射するミラー部1と、ミラー部1が搭載された可動部9と、ミラー部1を可動部9に対して揺動軸X1の周りに揺動させるための圧電アクチュエータ8a,8b,8c,8dと、ミラー部1及び可動部9を支持基体11に対して揺動軸X2の周りに揺動させるための圧電アクチュエータ10a,10bとを備えている。ミラー部1は、円板状のミラー部基体1aと、このミラー部基体1a上に光の反射面として形成された金属薄膜1bとを備え、ミラー部基体1aの直径方向の両端から外側へ向かって1対のトーションバー2a,2bが延設されている。そして、ミラー部1は、これらのトーションバー2a,2bを介して可動部9に連結されて、該可動部9に搭載されている。具体的には、可動部9は、方形枠状に形成されており、ミラー部1の周囲を囲むように設けられている。そして、ミラー部基体1aから延設されたトーションバー2a,2bのそれぞれの先端部が、可動部9の内周部に連結されている。これにより、ミラー部1は、トーションバー2a,2bを介して可動部9に連結されていると共に、トーションバー2a,2bの捩れによって、該トーションバー2a,2bの軸心たる揺動軸X1の周りに揺動可能となっている。ミラー部1を可動部9に対して揺動させる圧電アクチュエータ8a~8dは、本実施形態では、2対備えられている。その一方の対の圧電アクチュエータ8a,8cは、可動部9の内側でトーションバー2aを挟んで対向するように配置され、他方の対の圧電アクチュエータ8b,8dは、可動部9の内側でトーションバー2bを挟んで対向するように配置されている。以降、これらの圧電アクチュエータ8a~8dを内側圧電アクチュエータ8a~8dという。また、これらの内側圧電アクチュエータ8a~8dを区別する必要が無いときは、それぞれを総称的に内側圧電アクチュエータ8という。各内側圧電アクチュエータ8は、圧電駆動によって屈曲変形するように構成された圧電カンチレバーにより構成されている。そして、一方の対の内側圧電アクチュエータ8a,8cは、トーションバー2aと直交する方向揺動軸X1と直交する方向に延在しており、それぞれの先端部がトーションバー2aに連結されると共に、それぞれの基端部が可動部9の内周部に連結されている。同様に、圧電アクチュエータ8b,8dは、トーションバー2bと直交する方向揺動軸X1と直交する方向に延在しており、それぞれの先端部がトーションバー2bに連結されると共に、それぞれの基端部が可動部9の内周部に連結されている。支持基体11は、方形枠状に形成されており、可動部9の周囲を囲むように設けられている。そして、ミラー部1及び可動部9を支持基体11に対して揺動させる一対の圧電アクチュエータ10a,10bが、支持基体11の内周部と可動部9の外周部との間で、可動部9を挟んで揺動軸X2の方向揺動軸X1と直交する方向に対向するようにして配置されており、これらの圧電アクチュエータ10a,10bを介して、可動部9が支持基体11に支持されている。以降、これらの圧電アクチュエータ10a,10bを外側圧電アクチュエータ10a,10bという。また、これらの外側圧電アクチュエータ10a,10bを区別する必要が無いときは、それぞれを総称的に外側圧電アクチュエータ10という。各外側圧電アクチュエータ10は、圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成された複数図示例では4つの圧電カンチレバー3i=1,2,3,4を連結して構成されている。この場合、各外側圧電アクチュエータ10を構成する複数の圧電カンチレバー3i=1,2,3,4は、支持基体11の内周部と可動部9の外周部との間で、揺動軸X2と直交する方向揺動軸X1と同方向に延在して、該揺動軸X2の方向に間隔を存して並ぶように配置されていると共に、そのそれぞれの圧電カンチレバーが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結されている。従って、各外側圧電アクチュエータ10は、揺動軸X2と直交する方向を振幅方向として蛇行するようにして延在している。そして、各外側圧電アクチュエータ10の一端部最も支持基体11寄りの圧電カンチレバー3の基端部が、支持基体11の内周部に連結されると共に、他端部最も可動部9寄りの圧電カンチレバー3eの先端部が、可動部9の外周部に連結されている。これにより、可動部9が、外側圧電アクチュエータ10a,10bを介して支持基体11に支持されていると共に、各外側圧電アクチュエータ10を構成する圧電カンチレバー3i=1,2,3,4の屈曲変形によって支持基体11に対して揺動軸X2の周りに揺動可能となっている。以降の説明では、各外側圧電アクチュエータ10を構成する圧電カンチレバー3i=1,2,3,4をそれぞれ、可動部9側から順番に1番目、2番目、3番目、4番目の圧電カンチレバーとし、圧電カンチレバー3,3を奇数番目の圧電カンチレバー3奇数、圧電カンチレバー3,3をそれぞれ偶数番目の圧電カンチレバー3偶数ということがある。なお、図示例の光偏向器A1では、各外側圧電アクチュエータ10を構成する圧電カンチレバー3の個数は4個であるが、より多くの圧電カンチレバー3により各外側圧電アクチュエータ10を構成するようにしてもよいことはもちろんである。内側圧電アクチュエータ8a~8dのそれぞれと、外側圧電アクチュエータ10a,10bを構成する圧電カンチレバー3i=1,2,3,4のそれぞれとは、図2に模式的な断面図で示すように、起歪体カンチレバー本体としての支持体4の層上に下部電極5、圧電体6及び上部電極7の層を積層した構造の圧電カンチレバーであり、下部電極5と上部電極7との間で圧電体6に駆動電圧を印加することで、圧電体6と共に支持体4が屈曲変形するようになっている。なお、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの隣合う圧電カンチレバー3,3k=1,2,3の連結部は、その隣合う圧電カンチレバー3,3のそれぞれの支持体4を一体に連結した部分となっており、その連結部には、圧電体6及び上部電極7の層あるいは下部電極5、圧電体6及び上部電極7の層は設けられていない。光偏向器A1は、内側圧電アクチュエータ8a,8bの上部電極7と下部電極5との間にそれぞれ駆動電圧を印加するための上部電極パッド12a及び下部電極パッド13aと、内側圧電アクチュエータ8c,8dの上部電極7と下部電極5との間にそれぞれ駆動電圧を印加するための上部電極パッド12b及び下部電極パッド13bとを支持基体11上に備えている。また、光偏向器A1は、外側圧電アクチュエータ10aの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数の上部電極7と下部電極5との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッド12cと、外側圧電アクチュエータ10aの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数の上部電極7と下部電極5との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッド12eと、上部電極パッド12c,12eに対して共通の下部電極パッド13cと、外側圧電アクチュエータ10bの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数の上部電極7と下部電極5との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッド12dと、外側圧電アクチュエータ10bの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数の上部電極7と下部電極5との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッド12fと、上部電極パッド12d,12fに対して共通の下部電極パッド13dとを支持基体11上に備えている。下部電極5と下部電極パッド13a~13dとは、支持体4を構成する半導体基板例えばシリコン基板上の金属薄膜本実施形態では2層の金属薄膜。以下、下部電極層ということがあるを、半導体プレーナプロセスを用いて形状加工することにより形成されている。この金属薄膜の材料としては、例えば、1層目下層にはチタンTiを用い、2層目上層には、白金Ptが用いられる。この場合、各内側圧電アクチュエータ8圧電カンチレバーの下部電極5は、該内側圧電アクチュエータ8の支持体4上のほぼ全面に形成され、各外側圧電アクチュエータ10の圧電カンチレバー3i=1,2,3,4の下部電極5は、それぞれ、支持体4直線部各圧電カンチレバー3が延在する部分と連結部とを合わせた全体上のほぼ全面に形成されている。そして、下部電極パッド13a~13dは、支持基体11上及び可動部9上に形成された下部電極層を介して、それぞれ、内側圧電アクチュエータ8a,8bの下部電極5、内側圧電アクチュエータ8c,8dの下部電極5、外側圧電アクチュエータ10aの下部電極5、外側圧電アクチュエータ10bの下部電極に導通される。各内側圧電アクチュエータ8圧電カンチレバー及び各外側圧電アクチュエータ10の圧電カンチレバー3i=1,2,3,4のそれぞれの圧電体6は、半導体プレーナプロセスを用いて、下部電極層上の1層の圧電膜以下、圧電体層ということがあるを形状加工することにより、それぞれの圧電カンチレバーの下部電極5上に互いに分離して形成されている。この圧電膜の材料としては、例えば、圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTが用いられる。この場合、各内側圧電アクチュエータ8の圧電体6は、各内側圧電アクチュエータ8毎に、下部電極5上のほぼ全面に形成されている。また、各外側圧電アクチュエータ10a,10bの圧電体6は、各圧電カンチレバー3i=1,2,3,4の延在部分直線部において、下部電極5上のほぼ全面に形成されている。各上部電極7と、上部電極パッド12a~12fと、これらを導通する上部電極配線図示せずは、半導体プレーナプロセスを用いて、圧電体層上の金属薄膜本実施形態では1層の金属薄膜。以下、上部電極層ということがあるを形状加工することにより形成されている。この金属薄膜の材料としては、例えば白金Pt又は金Auが用いられる。この場合、内側圧電アククチュエータ8及び外側圧電アクチュエータ10のそれぞれの上部電極7は、各圧電カンチレバー毎に、圧電体6上のほぼ全面に形成されている。そして、上部電極パッド12a,12bは、それぞれ、内側圧電アクチュエータ8a,8bの上部電極7、内側圧電アクチュエータ8c,8dの上部電極7に、上部電極配線図示せずを介して導通される。また、上部電極パッド12c~12fは、それぞれ、外側圧電アクチュエータ10aの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数の上部電極7、外側圧電アクチュエータ10bの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数の上部電極7、外側圧電アクチュエータ10aの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数の上部電極7、外側圧電アクチュエータ10bの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数の上部電極7に、上部電極配線図示せずを介して導通される。ミラー部1の反射面を構成する金属薄膜1bは、半導体プレーナプロセスを用いて、ミラー部基体1a上の金属薄膜本実施形態では1層の金属薄膜を形状加工して形成されている。その金属薄膜の材料としては、例えばAu,Pt,銀Ag,アルミニウムAl等が用いられる。また、ミラー部基体1aと、トーションバー2a,2bと、支持体4と、可動部9と、支持基体11とは、複数の層から構成される半導体基板シリコン基板を形状加工することにより一体的に形成されている。半導体基板を形状加工する手法としては、フォトリソグラフィ技術やドライエッチング技術等を利用した半導体プレーナプロセス及びMEMSプロセスが用いられる。さらに、光偏向器A1は、ミラー部1の揺動偏向走査を制御する制御回路20に接続されている。制御回路20は、CPU、プロセッサ等を含む電子回路ユニットであり、その機能として、内側圧電アクチュエータ8を圧電駆動するための駆動電圧を制御することで、ミラー部1の揺動軸X1周りでの揺動偏向走査を行なわせる第1制御手段21と、外側圧電アクチュエータ10を圧電駆動するための駆動電圧を制御することで、ミラー部1の揺動軸X2周りでの揺動偏向走査を行なわせる第2制御手段22とを備えている。補足すると、以上説明した光偏向器A1においては、外側圧電アクチュエータ10a,10bが本発明における第1圧電アクチュエータに相当し、揺動軸X2が本発明における第1揺動軸に相当する。また、制御回路20が、本発明における光偏向器の駆動装置に相当する。次に、本実施形態の光偏向器A1の作動を以下に説明する。光偏向器A1は、例えば、電子写真の画像形成装置や、走査型ディスプレイ等の画像表示装置に備えられ、ミラー部1に入射する光を、画像投影面等に対して偏向走査する。この場合、内側圧電アクチュエータ8a~8dを第1制御手段21により圧電駆動することで、ミラー部1の揺動X1周りの揺動が行なわれ、外側圧電アクチュエータ10a,10bを第2制御手段22により圧電駆動することで、ミラー部1の揺動軸X2周りの揺動が行なわれる。ミラー部1の揺動軸X1周りの揺動と、揺動軸X2周りの揺動とは、それぞれ、例えば水平方向の偏向走査、垂直方向の偏向走査のための揺動である。ミラー部1の揺動軸X1周りの揺動は、前記特許文献1に記載されているものと同様に行なわれる。すなわち、内側圧電アクチュエータ8a,8bのそれぞれの上部電極7と下部電極5との間に第1の電圧を印加すると共に、内側圧電アクチュエータ8c,8dのそれぞれ上部電極7と下部電極5との間に第2の電圧を印加する。この場合、第1の電圧と第2の電圧とは、互いに逆位相、あるいは位相のずれた所定周波数の交流電圧例えば正弦波とされる。これにより、一方の対の内側圧電アクチュエータ8a,8cが、互いに逆方向に屈曲変形するように圧電駆動されると共に、他方の対の内側圧電アクチュエータ8b,8dも、互いに逆方向に屈曲変形するように圧電駆動される。これらの屈曲変形により、トーションバー2a,2bの捩れ変形が発生する。ひいては、ミラー部1は、揺動軸X1周りに揺動する。これにより、揺動軸X1周りでの光の偏向走査が行なわれる。一方、ミラー部1の揺動軸X2周りの揺動は、本実施形態では、次のように行なわれる。本実施形態では、外側圧電アクチュエータ10a,10bを圧電駆動する第2制御手段22は、その機能として、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数を圧電駆動するための第1駆動電圧を出力する第1駆動電圧出力手段22aと、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数を圧電駆動するための第2駆動電圧を出力する第2駆動電圧出力手段22bとを備えている。従って、第2制御手段22は、本発明における駆動電圧出力手段に相当するものである。そして、第2制御手段22は、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数のそれぞれの下部電極5と上部電極7と間に、第1駆動電圧を印加することで、各圧電カンチレバー3偶数を圧電駆動して屈曲変形させる。同時に、第2制御手段22は、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数のそれぞれの下部電極5と上部電極7と間に、第2駆動電圧を印加することで、各圧電カンチレバー3奇数を圧電駆動して屈曲変形させる。上記第1駆動電圧及び第2駆動電圧は、例えば図4a,bにそれぞれ示すように、一定振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返す波形の所定周波数の電圧信号である。この場合、これらの第1駆動電圧及び第2駆動電圧の周波数は互いに同じであり、例えば60Hzである。そして、第1駆動電圧は、その電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をT1a、電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をT1bとしたときT1aT1bは第1駆動電圧の1周期分の時間幅、T1aとT1bとの比率は、T1a,T1bの一方が他方よりも長い時間幅となるように設定されている。具体的には、本実施形態では、T1a>T1bとされると共に、それらの比率は、例えば、T1a:T1b=6:4となるように設定されている。さらに、第1駆動電圧の立ち上がり期間における波形と、立ち上がり期間における波形とは、それぞれ、互いに異なる周波数の正弦波の半周期分の波形とされている。具体的には、図5を参照して、第1駆動電圧の立ち上がり期間における波形は、該立ち上がり期間の時間幅T1aの2倍の周期を有する正弦波Saの半周期分の波形正弦波Saの極小値からその次の極大値までの波形とされている。その正弦波Saの周期は、T1a:T1b=6:4である本実施形態の例では、第1駆動電圧の周期の1.2倍の時間幅である。また、第1駆動で電圧の立ち下がり期間における波形は、該立ち下がり期間の時間幅T1bの2倍の周期を有する正弦波Sbの半周期分の波形正弦波Sbの極大値からその次の極小値までの波形とされている。その正弦波Sbの周期は、T1a:T1b=6:4である本実施形態の例では、第1駆動電圧の周期の0.8倍の時間幅である。なお、正弦波Sa,Sbの振幅は、互いに同一=第1駆動電圧の振幅である。従って、立ち上がり期間での第1駆動電圧の波形を構成する正弦波Saの半周期分の波形と、立ち下がり期間での第1駆動電圧の波形を構成する正弦波Sbの半周期分の波形とは、立ち上がり期間の終点=立下り期間の始点において、連続的につながる。一方、第2駆動電圧は、第1駆動電圧の波形の逆位相の波形の電圧信号とされている。より詳しくは、第2駆動電圧は、その電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をT2a、電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をT2bとしたとき、T2aが第1駆動電圧の立ち下がり期間の時間幅T1bに一致し、T2bが第1駆動電圧の立ち上がり期間の時間幅T1aに一致するようにすなわち、T2a:T2b=T1b:T1a=4:6となるように、T2a,T2bの比率があらかじめ設定されている。また、この場合、第2駆動電圧の波形は、第1駆動電圧の逆位相の波形であるので、第2駆動電圧の立ち上がり期間における波形は、第1駆動電圧の立ち下がり期間における波形を振幅方向で反転させた波形、すなわち、前記正弦波Sbの極小値から極大値までの半周期分の波形となっている。同様に、第2駆動電圧の立ち下がり期間における波形は、第1駆動電圧の立ち上がり期間における波形を振幅方向で反転させた波形、すなわち、前記正弦波Saの極大値から極小値までの半周期分の波形となっている。補足すると、第1駆動電圧及び第2駆動電圧の波形を規定する前記正弦波Sa,Sbの周波数は、これらの周波数が、光偏向器A1のミラー部1の揺動軸X2周りの揺動に関する固有振動数詳しくは、外側圧電アクチュエータ10a,10b、可動部9、トーションバー2a,2bにより構成される機構の固有振動数。以降、ミラー部揺動固有振動数というに一致もしくは近接した周波数とならないように選定されている。具体的には、本実施形態では、ミラー部1を揺動軸X2周りに揺動させる機構の機械的な振動の周波数特性は、例えば図6に示すような周波数特性となり、102Hz、205Hz程度の周波数が、比較的大きなゲインを有するミラー部揺動固有振動数となることが実験的に確認された。なお、図6の縦軸のゲインは、横軸の各周波数に対するミラー部1の揺動軸X2周りの偏向角の振幅の大きさに相当するものである。また、図6の周波数特性を有する本実施形態の例では、各外側圧電アクチュエータ10a,10bの厚さ、全長、幅は、それぞれ30μm、35mm、0.2mmであり、そのバネ定数は、5.0×103N/m2である。そして、上記のミラー部揺動固有振動数に対して、正弦波Sa,Sbの周波数は、本実施形態の例では、それぞれ50Hz、75Hzであるので、ミラー部揺動固有振動数102Hz、205Hzに比して小さい周波数となっている。本実施形態では、制御回路20の第2制御手段22は、上記の如く波形が設定された第1駆動電圧及び第2駆動電圧のうちの第1駆動電圧を、第1駆動電圧出力手段22aから外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの偶数番目の各圧電カンチレバー3偶数の上部電極7と下部電極5との間に印加することで、圧電カンチレバー3偶数のそれぞれを圧電駆動すると共に、第2駆動電圧を外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの奇数番目の各圧電カンチレバー3奇数の上部電極7と下部電極5との間に印加することで、圧電カンチレバー3奇数のそれぞれを圧電駆動する。なお、このとき、本実施形態では、第1駆動電圧と第2駆動電圧とは、第1駆動電圧の極小値又は極大値のタイミングと、第2駆動電圧の極大値又は極小値のタイミングとが一致するように同期される。また、本実施形態では、第1駆動電圧の振幅値と第2駆動電圧の振幅値は同じとされる。外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数を上記のような第1駆動電圧により圧電駆動することで、基本的には、該第1駆動電圧の電圧値の立ち上がり期間において、圧電カンチレバー3の先端部可動部9との連結部分と、圧電カンチレバー3の先端部圧電カンチレバー3との連結部分とが、図3に例示する如く、それぞれの圧電カンチレバー3,3の基端部に対して同じ向き図示例では上向きに変位するように、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数が屈曲変形する。また、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数を上記のような第2駆動電圧により圧電駆動することで、基本的には、該第2駆動電圧の電圧値の立ち下がり期間において、外側圧電カンチレバー3の先端部圧電カンチレバー3との連結部分と、圧電カンチレバー3の先端部圧電カンチレバー3との連結部分とが、図3に例示する如く、それぞれの圧電カンチレバー3,3の基端部に対して、圧電カンチレバー3偶数の場合と逆向き図示例では下向きに変位するように、奇数番目の圧電カンチレバー3奇数が屈曲変形する。これにより、ミラー部1が揺動軸X2の周りに揺動する。具体的には、例えば図4cに例示する如く、第1駆動電圧及び第2駆動電圧の波形に概ね追従するような波形で、ミラー部1の偏向角揺動量が変化する。このとき、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれにおいて、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数の基端部に対する先端部の屈曲方向と、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数の基端部に対する先端部の屈曲方向とが図3に例示した如く、逆向きになることで、ミラー部1を、比較的大きな偏向角揺動量の振幅で、揺動軸X2周りに揺動させることができる。また、第1駆動電圧の立ち上がり期間及び第2駆動電圧の立ち下がり期間の時間幅T1a,T2bが、第1駆動電圧の立ち下がり期間及び第2駆動電圧の立ち上がり期間の時間幅T1b,T2aよりも長いので、第1駆動電圧及び第2駆動電圧を単一周波数の正弦波電圧とした場合に較べて、該第1駆動電圧及び第2駆動電圧の1周期内で、ミラー部1の偏向角をほぼ直線状に変化させ得る時間幅、すなわち、有効走査期間として活用し得る時間幅を長くできる。加えて、第1駆動電圧及び第2駆動電圧のそれぞれの立ち上がり期間及び立ち下がり期間の波形が、正弦波の部分波形となっているため、第1駆動電圧及び第2駆動電圧の波形をノコギリ波とした場合に較べて、第1駆動電圧及び第2駆動電圧に含まれる高調波成分の大きさ振幅を、ミラー部揺動固有振動数に一致もしくは近い周波数の高調波成分を含めて低減することができる。このため、図4cに例示した如く、ミラー部1の揺動軸X2周りの偏向角揺動量にミラー部揺動固有振動数に応じた高周波振動が発生するのを抑制しつつ、該ミラー部1の偏向走査を行なうことができる。従って、本実施形態の光偏向器A1を例えば画像表示装置に使用した場合、高品質の精細な画像表示を実現できることとなる。なお、以上説明した第1実施形態では、第1駆動電圧の立ち上がり期間及び第2駆動電圧の立ち下がり期間の時間幅T1a,T2bが、第1駆動電圧の立ち下がり期間及び第2駆動電圧の立ち上がり期間の時間幅T1b,T2aよりも長くなるようにそれらの比率を設定したが、T1b,T2aが、T1a,T2bよりも長くなるようにしてもよい。例えば、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数を圧電駆動する第1駆動電圧を図4bに示した第2駆動電圧と同じ波形の駆動電圧とすると共に、奇数番目の圧電カンチレバー3奇数を圧電駆動する第2駆動電圧を図4aに示した第2駆動電圧と同じ波形の駆動電圧にしてもよい。また、T1a,T2bとT1b,T2aとを、6:4以外の他の比率で互いに異なる時間幅に設定するようにしてもよい。例えば、図7a,bに示す如く、T1a:T1b=T2b:T2a=5.8:4.2に設定してもよい。このようにした場合であっても、図7cに示すように、ミラー部1の揺動軸X2周りの偏向角揺動量にミラー部揺動固有振動数に応じた高周波振動が発生するのを抑制しつつ、該ミラー部1の偏向走査を行なうことができることが本願発明者により確認された。なお、T1a,T2bとT1b,T2aとのうち、長い方の時間幅をTx、短い方の時間幅をTyとしたとき、Txは第1及び第2駆動電圧の1周期=TxTyの80以下の時間幅換言すれば、Tyは第1及び第2駆動電圧の1周期の20以上の時間幅であることが好ましい。これは、短い方の時間幅Tyが、第1及び第2駆動電圧の20よりも小さくなると、その時間幅Tyの部分を構成する正弦波が直線に近いものとなるため、第1駆動電圧及び第2駆動電圧に含まれる高調波成分の大きさが大きくなり、ひいては、ミラー部1のミラー部揺動固有振動数に応じた高周波振動が発生し易くなるからである。また、前記第1実施形態では、第1駆動電圧と第2駆動電圧との振幅を互いに同一にしたが、それらの振幅を異ならせるようにしてよい。この場合、第1駆動電圧の立ち上がり期間を構成する正弦波と、第2駆動電圧の立ち下がり期間を構成する正弦波とは、それらの周期又は周波数が互いに同一である一方、それらの振幅が互いに異なるものとなる。同様に、第1駆動電圧の立ち下がり期間を構成する正弦波と、第2駆動電圧の立ち上がり期間を構成する正弦波とは、それらの周期又は周波数が互いに同一である一方、それらの振幅が互いに異なるものとなる。[第2実施形態]次に、本発明の第2実施形態を図1~図3、並びに、図8~図11を参照して説明する。本実施形態の光偏向器及び制御回路駆動装置の機構的な構成は、図1及び図2を参照して説明した前記第1実施形態の光偏向器A1及び制御回路20と同じである。このため、本実施形態では、光偏向器A1及び制御回路20の構成の説明は省略する。一方、本実施形態では、制御装置20の第2制御手段22の第1駆動電圧出力手段22a及び第2駆動電圧出力手段22bがそれぞれ出力する第1駆動電圧及び第2駆動電圧の波形は、第1実施形態と相違するものである。そこで、以降、第1実施形態と相違する事項を中心に、本実施形態の光偏向器A1の作動を説明する。本実施形態の光偏向器A1は、第1実施形態のものと同様に、例えば、電子写真の画像形成装置や、走査型ディスプレイ等の画像表示装置に備えられ、ミラー部1に入射する光を、画像投影面等に対して偏向走査する。この場合、内側圧電アクチュエータ8a~8dを第1制御手段21により圧電駆動することで、ミラー部1の揺動X1周りの揺動が行なわれ、外側圧電アクチュエータ10a,10bを第2制御手段22により圧電駆動することで、ミラー部1の揺動軸X2周りの揺動が行なわれる。ミラー部1の揺動軸X1周りの揺動と、揺動軸X2周りの揺動とは、それぞれ、例えば水平方向の偏向走査、垂直方向の偏向走査のための揺動である。第1制御手段21によるミラー部1の揺動軸X1周りの揺動は、第1実施形態と同じである。従って、本実施形態での説明は省略する。一方、第2制御手段22によるミラー部1の揺動軸X2周りの揺動は、本実施形態では、次のように行なわれる。本実施形態においても、外側圧電アクチュエータ10a,10bを圧電駆動する第2制御手段22は、第1実施形態のものと同様に、その機能として、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数を圧電駆動するための第1駆動電圧を出力する第1駆動電圧出力手段22aと、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数を圧電駆動するための第2駆動電圧を出力する第2駆動電圧出力手段22bとを備えており、本発明の駆動電圧出力手段に相当する。そして、第2制御手段22は、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数のそれぞれの下部電極5と上部電極7と間に、第1駆動電圧を印加することで、各圧電カンチレバー3偶数を圧電駆動して屈曲変形させる。同時に、第2制御手段22は、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数のそれぞれの下部電極5と上部電極7と間に、第2駆動電圧を印加することで、各圧電カンチレバー3奇数を圧電駆動して屈曲変形させる。ただし、本実施形態では、第1駆動電圧及び第2駆動電圧の波形は第1実施形態のものと相違する。具体的には、本実施形態における第1駆動電圧及び第2駆動電圧は、例えば図7a,bにそれぞれ示すように、一定振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返す波形の所定周波数の電圧信号である。その周波数は、第1実施形態と同様に例えば60Hzである。そして、第1駆動電圧では、その電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅T1aと、該電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅T1bとは、第1実施形態と同様に、T1a,T1bの一方が他方よりも長い時間幅となっており、例えばT1a>T1bとされている。また、第2駆動電圧は、第1駆動電圧の逆位相の波形の電圧信号とされている。すなわち、第2駆動電圧の波形は、第1駆動電圧の波形をその振幅方向で反転させた波形とされ、第2駆動電圧の電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅T2aと、該電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅T2bとが、それぞれ、第1駆動電圧の立ち下がり期間の時間幅T1b、第1駆動電圧の立ち上がり期間の時間幅T1aに一致するものとなっている。さらに、第1駆動電圧及び第2駆動電圧の一方、例えば、第1駆動電圧は、ノコギリ波状の基本電圧から、該基本電圧に含まれる一部の高調波成分を除去することにより得られる波形の電圧信号とされている。具体的には、本実施形態では、第1駆動電圧の波形は、図9の上段に示すノコギリ波状の基本電圧を基にあらかじめ決定されている。このノコギリ波状の基本電圧の周波数は、第1駆動電圧の周波数本実施形態の例では60Hzである。また、基本電圧の電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をT0a、該電圧値が極大値から極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をT0bとしたとき、これらの時間幅T0a,T0bの比率は、T0a>T0bとなる比率、例えばT0a:T0b=8:2とされている。このような基本電圧の周波数特性スペクトル分布は、図10に示すような周波数特性となり、図示の如く、60Hzの基本周波数成分に加えて、その整数倍の高調波成分120Hz、180Hz、......が含まれる。そして、本実施形態では、基本電圧のスペクトル分布から、いくつかの高調波成分を除去したものを逆フーリエ変換することで得られる波形が、第1駆動電圧の波形として設定されている。この場合、基本電圧から除去する高調波成分は、光偏向器A1の前記ミラー部揺動固有振動数、すなわち、光偏向器A1のミラー部1の揺動軸X2周りの揺動に関する固有振動数詳しくは、外側圧電アクチュエータ10a,10b、可動部9、トーションバー2a,2bにより構成される機構の固有振動数を考慮して、次のように選定される。本実施形態の光偏向器A1では、ミラー部1を揺動軸X2周りに揺動させる機構の機械的な振動の周波数特性は、例えば図11に示すような周波数特性となり、80Hz、150Hz、300Hz程度の周波数が、比較的大きなゲインこれは各周波数に対するミラー部1の揺動軸X2周りの偏向角の振幅の大きさに相当するを有するミラー部揺動固有振動数となることが実験的に確認された。なお、本実施形態におけるミラー部1の揺動機構の機械的な振動の周波数特性が、第1実施形態のもの図6に示したものと相違するのは、各外側圧電アクチュエータ10a,10bの厚さ、ひいてはバネ定数が第1実施形態のものと相違するからである。具体的には、図10に示す周波数特性を有する本実施形態の例では、各外側圧電アクチュエータ10a,10bの厚さ、全長、幅は、それぞれ40μm、35mm、0.2mmであり、そのバネ定数は、10.0×103N/m2である。そして、本実施形態では、ミラー部1の揺動機構の機械的な振動の周波数特性を考慮し、上記ミラー部揺動固有振動数80Hz、150Hz、300Hz程度の周波数を含む所定の周波数範囲、例えば80~300Hzの周波数範囲、あるいは、80Hzよりも若干小さい周波数から300Hzよりも若干大きい周波数までの周波数範囲において、基本電圧から除去する高調波成分を選定する。具体的には、上記周波数範囲に含まれる基本電圧の高調波成分のうち、最も振幅の大きい高調波成分の振幅値をAxとしたとき、Axの1/2以上の振幅値を有する高調波成分を除去すべき高調波成分として選定する。図10を参照して、本実施形態の例では、Axは、120Hzの高調波成分の振幅値となる。そして、この場合、上記周波数範囲において、Ax/2以上の振幅値を有する高調波成分は、120Hz、180Hzの2つの高調波成分である。従って、120Hz、180Hzの2つの高調波成分を基本電圧から除去すべき高調波成分として選定した。そして、このように選定した高調波成分をノコギリ波状の基本電圧のスペクトル分布から除去したものを逆フーリエ変換することで、第1駆動電圧の波形を決定した。なお、ノコギリ波状の基本電圧から、上記の如く選定した各高調波成分120Hz、180Hzの周波数及び振幅を有する正弦波電圧を差し引くことによって得られる電圧信号を第1駆動電圧として決定するようにしてもよい。図9の下段又は図8aに示す第1駆動電圧は、このようして波形を決定した電圧信号である。この場合、第1駆動電圧の波形は、ノコギリ波の角部を丸めたような形に近似する波形となっている。そして、第1駆動電圧の立ち上がり期間の時間幅T1aと、立ち下がり期間の時間幅T2bとの比率は、概ね、ノコギリ波状の基本電圧の立ち上がり期間の時間幅T0aと、立ち下がり期間の時間幅T0bとの比率8:2と同程度の比率となる。また、図8bに示す第2駆動電圧は、上記の如く波形を決定した第1駆動電圧の逆位相の波形の電圧信号とされている。この場合、第2駆動電圧は、図9の上段に示したノコギリ波状の基本電圧の逆位相のノコギリ波状の電圧信号、すなわち、該基本電圧をその振幅方向で反転させた波形の電圧信号から、第1駆動電圧に関して除去した高調波成分120Hz、180Hzと同じ周波数の高調波成分を除去した波形の電圧信号に相当するものとなる。なお、図9の上段に示したノコギリ波状の基本電圧の逆位相のノコギリ波状の電圧信号から、上記高調波成分を除去することで、第2駆動電圧の波形を決定し、この第2駆動電圧の逆位相の波形として第1駆動電圧の波形を決定するようにしてもよい。また、上記の如く決定された第1駆動電圧及び第2駆動電圧の両方又は一方の波形パターンは、電圧値の時系列パターンとして、制御装置20の図示しないメモリに事前に記憶保持される。ただし、外側圧電アクチュエータ10a,10bの圧電駆動時に、制御装置20において、上記の如く、外側圧電アクチュエータノコギリ波状の基本電圧から第1駆動電圧又は第2駆動電圧の波形を生成する処理を実行するようにしてもよい。本実施形態では、制御回路20の第2制御手段22は、上記の如く波形が決定された第1駆動電圧及び第2駆動電圧のうちの第1駆動電圧を、第1駆動電圧出力手段22aから外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの偶数番目の各圧電カンチレバー3偶数の上部電極7と下部電極5との間に印加することで、圧電カンチレバー3偶数のそれぞれを圧電駆動すると共に、第2駆動電圧を外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの奇数番目の各圧電カンチレバー3奇数の上部電極7と下部電極5との間に印加することで、圧電カンチレバー3奇数のそれぞれを圧電駆動する。なお、このとき、本実施形態では、第1駆動電圧と第2駆動電圧とは、第1駆動電圧の極小値又は極大値のタイミングと、第2駆動電圧の極大値又は極小値のタイミングとが一致するように同期される。また、本実施形態では、第1駆動電圧の振幅値と第2駆動電圧の振幅値は同じとされる。外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー3偶数を上記のような第1駆動電圧により圧電駆動することで、第1実施形態の場合と同様に、基本的には、該第1駆動電圧の電圧値の立ち上がり期間において、圧電カンチレバー3の先端部可動部9との連結部分と、圧電カンチレバー3の先端部圧電カンチレバー3との連結部分とが、図3に例示する如く、それぞれの圧電カンチレバー3,3の基端部に対して同じ向き図示例では上向きに変位するように、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数が屈曲変形する。また、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー3奇数を上記のような第2駆動電圧により圧電駆動することで、第1実施形態の場合と同様に、基本的には、該第2駆動電圧の電圧値の立ち下がり期間において、圧電カンチレバー3の先端部圧電カンチレバー3との連結部分と、圧電カンチレバー3の先端部圧電カンチレバー3との連結部分とが、図3に例示する如く、それぞれの圧電カンチレバー3,3の基端部に対して、圧電カンチレバー3偶数の場合と逆向き図示例では下向きに変位するように、奇数番目の圧電カンチレバー3奇数が屈曲変形する。これにより、ミラー部1が揺動軸X2の周りに揺動する。具体的には、例えば図8cに例示する如く、第1駆動電圧及び第2駆動電圧の波形に概ね追従するような波形で、ミラー部1の偏向角揺動量が変化する。このとき、外側圧電アクチュエータ10a,10bのそれぞれにおいて、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数の基端部に対する先端部の屈曲方向と、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数の基端部に対する先端部の屈曲方向とが図3に例示した如く、逆向きになることで、ミラー部1を、比較的大きな偏向角揺動量の振幅で、揺動軸X2周りに揺動させることができる。また、第1駆動電圧の立ち上がり期間及び第2駆動電圧の立ち下がり期間の時間幅T1a,T2bが、第1駆動電圧の立ち下がり期間及び第2駆動電圧の立ち上がり期間の時間幅T1b,T2aよりも長いので、第1駆動電圧及び第2駆動電圧を単一周波数の正弦波電圧とした場合に較べて、該第1駆動電圧及び第2駆動電圧の1周期内で、ミラー部1の偏向角をほぼ直線状に変化させ得る時間幅、すなわち、有効走査期間として活用し得る時間幅を長くできる。加えて、第1駆動電圧及び第2駆動電圧は、前記ミラー部揺動固有振動数に一致もしくは近い周波数と比較的大きな振幅≧Ax/2とを有する高調波成分本実施形態の例では120Hz、180Hzを含まないので、図8cに例示した如く、ミラー部1の揺動軸X2周りの偏向角揺動量にミラー部揺動固有振動数に応じた高周波振動が発生するのを抑制しつつ、該ミラー部1の偏向走査を行なうことができる。従って、第1実施形態と同様に、本実施形態の光偏向器A1を例えば画像表示装置に使用した場合、高品質の精細な画像表示を実現できることとなる。なお、以上説明した第2実施形態では、第1駆動電圧の立ち上がり期間及び第2駆動電圧の立ち下がり期間の時間幅T1a,T2bが、第1駆動電圧の立ち下がり期間及び第2駆動電圧の立ち上がり期間の時間幅T1b,T2aよりも長くなるように第1駆動電圧及び第2駆動電圧の波形を設定したが、T1b,T2aが、T1a,T2bよりも長くなるようにしてもよい。例えば、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数を圧電駆動する第1駆動電圧を図8bに示した第2駆動電圧と同じ波形の駆動電圧とすると共に、奇数番目の圧電カンチレバー3奇数を圧電駆動する第2駆動電圧を図8aに示した第2駆動電圧と同じ波形の駆動電圧にしてもよい。また、第1駆動電圧の基となるノコギリ波状の基本電圧の立ち上がり期間の時間幅T0aと立ち下がり期間の時間幅T0bとの比率は、8:2以外の他の比率で互いに異なる時間幅に設定するようにしてもよい。このことは、第2駆動電圧の波形をノコギリ波状の基本電圧から決定する場合も同様である。また、前記第2実施形態では、第1駆動電圧と第2駆動電圧との振幅を互いに同一にしたが、それらの振幅を異ならせるようにしてよい。また、以上説明した第1及び第2実施形態では、ミラー部1を揺動させるときに、各外側圧電アクチュエータ10の偶数番目の圧電カンチレバー3偶数と奇数番目の圧電カンチレバー3奇数との両方を圧電駆動するようにしたが、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数だけを第1駆動電圧により圧電駆動したり、あるいは、奇数番目の圧電カンチレバー3奇数だけを第2駆動電圧により圧電駆動するようにしてもよい。また、第1及び第2実施形態では、外側圧電アクチュエータ10a,10bを構成する圧電カンチレバー3i=1,2,3,4の番数を、可動部9側から数えた番数として説明したが、支持基体9側から数えた番数であってもよい。このようにした場合には、偶数番目の圧電カンチレバー3偶数と、奇数番目の圧電カンチレバー3奇数とが前記各実施形態と逆になる。また、本発明の光偏向器は、画像表示装置に限らず、光スキャナ等の光偏向器として使用することもできる。"