"それぞれ基部及び該基部から基板に対して平行な所定軸方向に延びる電極指からなる櫛歯状の、前記基板に対して固定される固定電極と、前記所定軸方向に変位し得る可動電極と、が互いの前記電極指同士が噛み合うように配置され、前記固定電極と前記可動電極との間の静電容量の変化量に基づいて目標振幅で駆動させるべき検出マスの変位量をモニタする変位量モニタ電極の構造であって、前記可動電極の前記所定軸方向への変位に伴って、前記静電容量の変化量が直線的に変化する直線変化領域と、前記静電容量の変化量が非直線的に変化する非直線変化領域と、が少なくとも一つずつ存在し、前記非直線変化領域における前記可動電極の前記所定軸方向への変位量に対する前記静電容量の変化量の変化感度が、前記直線変化領域における前記変化感度に比べて大きくなる特性を含み、かつ、前記可動電極の前記所定軸方向への変位が前記目標振幅に対応する目標変位量に達するときの前記静電容量の目標容量変化量が前記非直線変化領域に設定されることを特徴とする変位量モニタ電極の構造。前記目標変位量をA0とし、前記固定電極の前記電極指と前記可動電極の前記電極指とが前記所定軸方向に直交する垂直方向において離間する離間距離をdm1,dm2とし、前記固定電極と前記可動電極との前記電極指同士が離間して対向する部位における厚さをTm1,Tm2とし、一の前記固定電極当たりの前記電極指が前記可動電極の前記基部に面する面積をS1とし、一の前記可動電極当たりの前記電極指が前記固定電極の前記基部に面する面積をS2とし、前記可動電極の前記基部と前記固定電極の前記電極指の先端との距離をd1とし、かつ、前記固定電極の前記基部と前記可動電極の前記電極指の先端との距離をd2とした場合、以下に示す条件式Aを満たすことを特徴とする請求項1記載の変位量モニタ電極の構造。前記固定電極の前記電極指の厚さと前記可動電極の前記電極指の厚さとが部位によらず一定値であり、前記Tm1,Tm2が該電極指自体の厚さに一致し、前記固定電極の前記電極指が前記可動電極の前記基部に面する幅の長さをw1とし、かつ、前記可動電極の前記電極指が前記固定電極の前記基部に面する幅の長さをw2とした場合、以下に示す条件式Bを満たすことを特徴とする請求項2記載の変位量モニタ電極の構造。前記固定電極と前記可動電極とが前記所定軸方向に直交する垂直方向において前記電極指同士が対向しないように配置された場合、以下に示す条件式Cを満たすことを特徴とする請求項2記載の変位量モニタ電極の構造。前記固定電極及び前記可動電極の少なくとも一方の前記電極指は、前記可動電極又は前記固定電極の前記基部に面する先端の面積が該先端以外の部位の断面積に比べて大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項1、2、及び4の何れか一項記載の変位量モニタ電極の構造。前記固定電極及び前記可動電極の少なくとも一方の、前記電極指の先端及び前記基部の少なくとも一方の表面に誘電材料を配置したことを特徴とする請求項1又は5記載の変位量モニタ電極の構造。前記目標変位量をA0とし、前記固定電極の前記電極指と前記可動電極の前記電極指とが前記所定軸方向に直交する垂直方向において離間する離間距離をdm1,dm2とし、前記固定電極と前記可動電極との前記電極指同士が離間して対向する部位における厚さをTm1,Tm2とし、一の前記固定電極当たりの前記電極指が前記可動電極の前記基部に面する面積をS1とし、一の前記可動電極当たりの前記電極指が前記固定電極の前記基部に面する面積をS2とし、前記可動電極の前記基部と前記固定電極の前記電極指の先端との距離をd1とし、前記固定電極の前記基部と前記可動電極の前記電極指の先端との距離をd2とし、かつ、前記固定電極及び前記可動電極それぞれの前記電極指の先端及び前記基部それぞれの表面に厚さdεかつ比誘電率εrの誘電材料を配置した場合、以下に示す条件式Dを満たすことを特徴とする請求項6記載の変位量モニタ電極の構造。ところで、固定電極と可動電極との間の静電容量の変化量は、一般的に検出マスの振幅に応じて直線的に変化するが、その検出マスの振幅だけでなく、固定電極と可動電極とのギャップや対向面積によっても変化する。具体的には、応力変化や寸法バラツキなどに起因してそのギャップ又は対向面積が変化すると、その変化に応じた分だけ可動電極の変位量に対する静電容量の変化量の感度傾きが変化する。この場合、検出マスが目標振幅で駆動されるときすなわち可動電極の変位がその目標振幅に対応する目標変位量に達するときの上記の静電容量の目標容量変化量が、静電容量の変化量が可動電極の変位量に対して直線的に変化する直線変化領域に設定されている構成では、モニタ電極の組み立て時に加わる応力や温度変化,寸法バラツキなどに起因して固定電極と可動電極とのギャップや対向面積が所望のものに一致していないと、静電容量の変化量が目標容量変化量に達したときに可動電極の変位量が目標変位量に合致しない事態が生じるため、検出マスの振幅を一定の目標振幅に保つことが困難となる。本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、固定電極と可動電極との相対的な関係が変化しても、検出マスの振幅を一定の目標振幅に保つことが可能な変位量モニタ電極の構造を提供することを目的とする。上記の目的は、それぞれ基部及び該基部から基板に対して平行な所定軸方向に延びる電極指からなる櫛歯状の、前記基板に対して固定される固定電極と、前記所定軸方向に変位し得る可動電極と、が互いの前記電極指同士が噛み合うように対向配置され、前記固定電極と前記可動電極との間の静電容量の変化量に基づいて目標振幅で駆動させるべき検出マスの変位量をモニタする変位量モニタ電極の構造であって、前記可動電極の前記所定軸方向への変位に伴って、前記静電容量の変化量が直線的に変化する直線変化領域と、前記静電容量の変化量が非直線的に変化する非直線変化領域と、が少なくとも一つずつ存在し、前記非直線変化領域における前記可動電極の前記所定軸方向への変位量に対する前記静電容量の変化量の変化感度が、前記直線変化領域における前記変化感度に比べて大きくなる特性を含み、かつ、前記可動電極の前記所定軸方向への変位が前記目標振幅に対応する目標変位量に達するときの前記静電容量の目標容量変化量が前記非直線変化領域に設定される変位量モニタ電極の構造により達成される。本発明によれば、固定電極と可動電極との相対的な関係が変化しても、検出マスの振幅を一定の目標振幅に保つことができる。以下、図面を用いて、本発明に係る変位量モニタ電極の構造の具体的な実施形態について説明する。図1は、本発明の第1実施例である変位量モニタ電極10の構造を採用するセンサ12の構成図を示す。本実施例のセンサ12は、例えば車両などに搭載されるX-Y平面に垂直なZ軸回りに生じる角速度を検出するための角速度センサである。センサ12は、シリコンなどの半導体基板14上に形成されており、半導体基板14の表面に微細加工によるエッチングを施すことにより形成される。センサ12は、互いに等しい質量を有する一対の構造体16,18と、半導体基板14上で構造体16,18をX軸方向に励振駆動するための駆動電極20-1,20-2,22-1,22-2と、半導体基板14上で構造体16,18に生じるY軸方向の振動振幅を検出するための検出電極24-1,24-2,26-1,26-2と、半導体基板14上で構造体16,18のX軸方向への駆動変位量をモニタするための変位量モニタ電極28-1,28-2,30-1,30-2と、を有している。構造体16,18は、絶縁層を形成する半導体基板14の表面から所定距離だけ浮いた状態でその半導体基板14上で互いに対称位置に配置されている。以下、変位量モニタ電極28-1,28-2,30-1,30-2を纏める場合は、変位量モニタ電極10とする。駆動電極20-1,20-2,22-1,22-2及び検出電極24-1,24-2,26-1,26-2はそれぞれ、半導体基板14に対して固定される固定電極と、半導体基板14に対してX軸方向又はY軸方向に可動する可動電極と、からなる。これらの固定電極は、パッドを介して信号処理部に接続されている。また、これらの可動電極は、構造体16,18の一部を構成している。駆動電極20-1,20-2,22-1,22-2はそれぞれ、固定電極への駆動電圧の印加によって固定電極と可動電極との間に静電引力を作用させることにより構造体16,18を半導体基板14に対してX軸方向に駆動させるための電極である。また、検出電極部24-1,24-2,26-1,26-2はそれぞれ、構造体16,18のY軸方向の変位に伴う固定電極と可動電極との間の静電容量の変化を検出することにより構造体16,18の半導体基板14に対するY軸方向の振動を検出するための電極である。具体的には、駆動電極20-1,20-2,22-1,22-2はそれぞれ、固定電極に構造体16,18の共振周波数にほぼ等しい周波数の駆動電圧が印加されることで固定電極と可動電極との間に静電引力を作用させて、その構造体16,18をその構造体16,18の共振周波数にほぼ等しい周波数でX軸方向に一定振幅で励振駆動する駆動力を発生させる。尚、駆動電極20-1と駆動電極20-2とは互いに同相で駆動力を発生させかつ駆動電極22-1と駆動電極22-2とは互いに同相で駆動力を発生させる一方、駆動電極20-1,20-2と駆動電極22-1,22-2とは互いに逆相で駆動力を発生させる。また、検出電極24-1,24-2,26-1,26-2ではそれぞれ、構造体16,18に半導体基板14に対してY軸方向に加わる振動変位に応じて、固定電極と可動電極との間で静電容量変化が生じる。尚、検出電極24-1,24-2での静電容量変化と検出電極26-1,26-2での静電容量変化とは、互いに逆相である。検出電極24-1,24-2,26-1,26-2の静電容量変化は、構造体16,18のY軸方向への振動変位量がゼロである場合は略ゼロであって、構造体16,18のY軸方向への振動変位量が大きいほど大きくなる。検出電極24-1,24-2,26-1,26-2の固定電極はそれぞれ、固定電極と可動電極との間の静電容量変化を検出変位信号として信号処理回路へ出力する。この信号処理回路は、各検出電極24-1,24-2,26-1,26-2からの検出変位信号を処理することにより、構造体16,18のY軸方向への振動変位量を検出し、そして、その振動変位量に基づいてZ軸回りに生じる角速度を検出する。次に、本実施例のセンサ12の動作について説明する。X軸及びY軸の双方に直交するZ軸回りの角速度の検出が行われる場合、センサ12において、駆動電極20-1,20-2,22-1,22-2が励振駆動される。具体的には、構造体16,18の共振周波数にほぼ等しい周波数を有する駆動電圧が駆動電極20-1,20-2,22-1,22-2の固定電極に印加される。かかる駆動電圧が印加されると、駆動電極20-1,20-2,22-1,22-2それぞれにおいて固定電極と可動電極との間に構造体16,18をX軸方向に励振駆動する駆動力が発生することで、構造体16,18が互いに逆相で共振周波数にほぼ等しい周波数でX軸方向に一定振幅で励振駆動される。構造体16,18が上記の如くX軸方向に励振駆動されている状態でZ軸回りの角速度が発生していない場合は、構造体16,18にコリオリ力が作用しない。この場合は、検出電極24-1,24-2,26-1,26-2がY軸方向に振動変位せず、検出電極24-1,24-2,26-1,26-2の固定電極と可動電極との間に静電容量変化が生じないので、検出電極24-1,24-2,26-1,26-2から出力される検出変位信号は、構造体16,18のY軸方向の振幅が略ゼロであることを表す信号となる。一方、構造体16,18が上記の如くX軸方向に励振駆動されている状態でZ軸回りの角速度が発生した場合は、構造体16,18にコリオリ力が作用する。この場合は、かかるコリオリ力の作用により検出電極24-1,24-2,26-1,26-2がY軸方向に振動変位して、検出電極24-1,24-2,26-1,26-2の固定電極と可動電極との間に静電容量変化が生じる。かかる静電容量変化が生じると、検出電極24-1,24-2,26-1,26-2から出力される検出変位信号は、構造体16,18のY軸方向の振幅が発生している角速度の大きさを表す信号となる。構造体16,18は、コリオリ力が作用した際にY軸方向に関し互いに逆相で振動変位する。従って、センサ12によれば、対象にZ軸周りに生じている角速度を検出することができる。図2は、本実施例の変位量モニタ電極10の上面図を示す。また、図3は、本実施例の変位量モニタ電極10の断面図を示す。変位量モニタ電極10は、半導体基板14に対して固定される固定電極32と、半導体基板14に対してX軸方向に可動する可動電極34と、からなる。固定電極32は、パッドを介して信号処理部に接続されている。また、可動電極34は、構造体16,18の一部を構成している。変位量モニタ電極10は、構造体16,18のX軸方向の変位に伴う固定電極32と可動電極34との間の静電容量の変化を検出することにより構造体16,18の半導体基板14に対するX軸方向の駆動変位量をモニタするための電極である。固定電極32及び可動電極34はそれぞれ、櫛歯状に形成されており、比較的幅広に延設された基部32-1,34-1、及び、基部32-1,34-1から半導体基板14に対して平行なX軸方向に延びる電極指32-2,34-2からなる。電極指32-2,34-2はそれぞれ、断面四角状に形成されており、基部32-1,34-1との接続部から先端まで同じ断面積Y軸方向において同じ幅w1,w2かつZ軸方向において同じ厚さT1,T2を有している。電極指32-2,34-2は、一つの基部32-1,34-1に対して互いに平行に等間隔を空けてY軸方向に複数本並んで設けられている。固定電極32及び可動電極34は、基部32-1,34-1同士がX軸方向において対向し、かつ、電極指32-2,34-2同士がY軸方向において対向して噛み合うように配置されている。固定電極32のすべての電極指32-2は、Y軸方向において同一幅w1を有し、Z軸方向において同一厚さT1を有し、かつX軸方向において同一長さを有するように形成されている。また、可動電極34のすべての電極指34-2は、Y軸方向において同一幅w2を有し、Z軸方向において同一厚さT2を有し、かつX軸方向において同一長さを有するように形成されている。可動電極34がX軸方向に可動していない場合は、固定電極32の電極指32-2の先端と可動電極34の基部34-1との間に、X軸方向においてギャップd1が空いていると共に、固定電極32の基部32-1と可動電極34の電極指34-2の先端との間に、X軸方向においてギャップd2が空いている。可動電極34の各電極指34-2は、固定電極32の2つの電極指32-2の間に進入するように配置されている。固定電極32の電極指32-2と可動電極34の電極指34-2との間には、Y軸方向においてギャップdmが空いている。尚、電極指34-2は、2つの電極指32-2の間の中央位置に配置されるようにしてもよいが、何れかの電極指32-2に偏って配置されるようにしてもよい。電極指34-2が何れかの電極指32-2に偏って配置される場合は、電極指34-2のY軸方向両側に、互いに異なるギャップdm1,dm2が形成される。一方、電極指34-2が2つの電極指32-2の間の中央位置に配置される場合は、電極指34-2のY軸方向両側に互いに同じギャップdm1,dm2が形成される。また、電極指32-2と電極指34-2とが厚さ方向すなわちZ軸方向において重なる部位における厚さすなわち電極指32-2の側壁と電極指34-2の側壁とがZ軸方向において対向する部位における高さはTmである。尚、この厚さTmは、上記したギャップdm1側の値Tm1とdm2側の値Tm2とで異なるものであってもよい。ただ、T1=T2=Tmすなわち、T1=T2=Tm1=Tm2が成立するものとするのが好適である。上記した構造を有する変位量モニタ電極10においては、構造体16,18がX軸方向に励振駆動されると、その励振駆動に伴って可動電極34がX軸方向に変位する。この場合、可動電極34の変位に応じて、固定電極32と可動電極34との間で静電容量変化が生じる。尚、変位量モニタ電極28-1,28-2での静電容量変化と変位量モニタ電極30-1,30-2の静電容量変化とは、互いに逆相である。変位量モニタ電極10の静電容量変化は、構造体16,18のX軸方向への駆動変位量が大きいほど大きくなる。変位量モニタ電極10の固定電極はそれぞれ、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化を駆動変位量モニタ信号として信号処理回路へ出力する。この信号処理回路は、各変位量モニタ電極10からの駆動変位量モニタ信号を処理することにより、構造体16,18のX軸方向への駆動変位量をモニタする。そして、その駆動変位量に基づいて構造体16,18がX軸方向に一定振幅で励振駆動されるように駆動電極20-1,20-2への印加駆動電圧を制御する。ところで、センサ12においてZ軸回りの角速度を精度良く検出するためには、検出マスとしての構造体16,18をX軸方向に励振駆動する振幅を常に一定に保つことが必要である。そして、構造体16,18のX軸方向への駆動振幅を一定に保つためには、変位量モニタ電極10の固定電極32と可動電極34との間の容量変化量を一定に維持することが一般的であり、その容量変化量が一定に維持されるように駆動電極20-1,20-2への印加駆動電圧を制御すること、具体的には、上記の容量変化量が目標の容量変化量に達した時点で構造体16,18の駆動変位量が目標変位量目標振幅に達したとして駆動制御を行うことが適切である。図4は、応力変化により変形した場合の変位量モニタ電極10の断面図を示す。また、図5は、変位量モニタ電極10の応力変化や寸法バラツキなどに応じて変化する、構造体16,18すなわち可動電極34の駆動変位量xと固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCとの関係傾きを表した図を示す。尚、可動電極34がX軸方向に可動していない場合に可動電極34の電極指34-2の先端が位置する駆動変位量xを0とし、その電極指34-2の先端が固定電極32の基部32-1に近づく側をx>0とし、その電極指34-2の先端が固定電極32の基部32-1に遠ざかる側をx<0とする。しかし、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCは、構造体16,18の駆動変位量xだけでなく、固定電極32と可動電極34とのギャップや対向面積によっても変化する。すなわち、上記した駆動変位量xと静電容量変化量ΔCとの関係が上記のギャップや対向面積に応じて変化する。可動電極34の電極指34-2が固定電極32の2つの電極指32-2間に進入しているが、その進入量があまり多くない場合は、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化は、電極指32-2,34-2同士の間でのみ生ずる。この場合、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCは、可動電極34の駆動変位量xに対して直線的に変化する直線変化領域。一方、可動電極34の電極指34-2が固定電極32の2つの電極指32-2間に進入する進入量が多くなると、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化は、電極指32-2,34-2同士の間だけでなく、基部32-1と電極指34-2の先端との間及び電極指32-2の先端と基部34-1との間でも生ずる。この場合、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCは、可動電極34の駆動変位量xに対して非直線的に変化する非直線変化領域。図5に示す如く、可動電極34が構造体16,18の目標振幅に対応する目標変位量A0に達するときの固定電極32と可動電極34との間の目標容量変化量C0が上記の直線変化領域に設定されている構成では、変位量モニタ電極10の応力変化や寸法バラツキなどに起因して固定電極32と可動電極34とのギャップや対向面積が所望のものから大きく乖離すると、静電容量変化量ΔCが目標容量変化量C0に達したときに可動電極34の駆動変位量xが目標変位量A0から大きく乖離する事態が生じるため、構造体16,18の振幅を一定の目標振幅に保つことが困難となる。図6は、本実施例の変位量モニタ電極10における、構造体16,18すなわち可動電極34の駆動変位量xと固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCとの関係を表した図を示す。固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCは、次式1に従って算出される。但し、固定電極32と可動電極34との間の誘電率をεとし、変位量モニタ電極10の電極対向数具体的には、可動電極34における電極指34-2の本数をNとする。尚、1式の右辺は、第1項及び第2項が直線変化領域を表し、第3項及び第4項が非直線変化領域を表すものとなる。本実施例において、変位量モニタ電極10は、下記の条件が満たされるように構成されている。すなわち、変位量モニタ電極10において、可動電極34が構造体16,18の目標振幅に対応する目標変位量A0で駆動変位される過程で、可動電極34の駆動変位量xと静電容量変化量ΔCとの関係は、その静電容量変化量ΔCが可動電極34の駆動変位に伴って直線的に変化する直線変化領域と、非直線的に変化する非直線変化領域と、を有する。また、この非直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度傾きは、直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度傾きに比べて大きくなる特性を含むように設定されている。更に、可動電極34が上記の目標変位量A0に達するときの固定電極32と可動電極34との間の目標容量変化量C0は、変化感度が直線変化領域のものよりも大きい上記の非直線変化領域に設定されている。具体的には、変位量モニタ電極10の構造は、次式2に示す条件式を満たす寸法に設定されている。但し、固定電極32の電極指32-2の厚さT1と可動電極34の電極指34-2の厚さT2とが部位によらず一定値であり、かつ、電極指32-2と電極指34-2とがZ軸方向において重なる部位における厚さTm1,Tm2がそれらのT1,T2に一致する場合は、T1=T2=Tm1=Tm2が成立するので、次式3に示す条件式を満たす寸法に設定されていればよい。かかる変位量モニタ電極10の構造においては、目標容量変化量C0が直線変化領域に設定される構造などに比べて、可動電極34が目標変位量A0近傍に達したときのその駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度が高くなると共に、また、可動電極34が目標変位量A0に達した後、その可動電極34の電極指34-2の先端が更に固定電極32の基部32-1に近づく側へ変位しようとすると、その変位に従って、その駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度が高くなる。このため、変位量モニタ電極10の応力変化や寸法バラツキなどに応じて固定電極32と可動電極34とのギャップや対向面積が変化しても、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCが目標容量変化量C0に達するときの可動電極34の駆動変位量xのバラツキが低減される。従って、本実施例の変位量モニタ電極10の構造によれば、静電容量変化量ΔCが目標容量変化量C0に達したときに可動電極34の駆動変位量xが目標変位量A0から大きく乖離するのを抑制することができるので、固定電極32と可動電極34との相対的な関係が変化しても、構造体16,18の振幅を一定の目標振幅にできるだけ保つことが可能となっている。この点、組み立て応力や温度変化などの外乱要因や寸法バラツキなどの製造要因に対するロバスト性を向上させることができ、歩留まり率の改善や良品率の向上を図ることができる。尚、上記の第1実施例においては、構造体16,18が請求の範囲に記載した検出マスに、X軸方向が請求の範囲に記載した所定軸方向に、Y軸方向が請求の範囲に記載した垂直方向に、w1T1が請求の範囲に記載した一の前記固定電極当たりの前記電極指が前記可動電極の前記基部に面する面積及びS1に、w2T2が請求の範囲に記載した一の前記可動電極当たりの前記電極指が前記固定電極の前記基部に面する面積及びS2に、それぞれ相当している。ところで、上記の第1実施例においては、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2がそれぞれ、断面四角状に形成されており、基部32-1,34-1との接続部から先端まで同じ断面積を有するものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2をZ軸方向から見て図7に示す如くT字型に形成し又は図8に示す如くL字型に形成することとしてもよい。すなわち、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2の先端のY軸方向における幅w1,w2を他の部位のY軸方向における幅よりも大きくすることとしてもよい。尚、この場合、電極指32-2,34-2の先端の幅w1及び幅w2のうち少なくとも何れか一方を大きくすることとすればよい。かかる変形例の構造においては、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2の先端が可動電極34及び固定電極32の基部34-1,32-1に面する面積を拡大することができるので、上記2及び3の条件式を成立させ易くすることができると共に、非直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度を高めることができる。また、上記の変形例に代えて、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2をZ軸方向から見て棒状とし、基部32-1,34-1との接続部から先端近傍までは同じ断面積を有するものとしたうえで、それらの電極指32-2,34-2の先端の形状及びその先端に対向する基部34-1,32-1の形状を図9に示す如く傾斜したもの又は図10に示す如く丸型にしたものとしてもよい。すなわち、電極指32-2,34-2の先端と基部34-1,32-1とが互いに面する面積すなわち、X-Y平面内において両者が面する全長を、電極指32-2,34-2の他の部位の断面積すなわち、Y軸方向の幅よりも大きくすることとしてもよい。尚、この場合、電極指32-2の先端と基部34-1との対向面積及び基部32-1と電極指34-2の先端との対向面積のうち少なくとも何れか一方を大きくすることとすればよい。また、図9に示す如く電極指32-2,34-2の先端の形状を凸状としかつ基部34-1,32-1の形状を凹状とすることとしてもよいが、逆に、電極指32-2,34-2の先端の形状を凹状としかつ基部34-1,32-1の形状を凸状とすることとしてもよい。かかる変形例の構造においては、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2の先端が可動電極34及び固定電極32の基部34-1,32-1に面する面積を拡大することができるので、上記2及び3の条件式を成立させ易くすることができると共に、非直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度を高めることができる。また、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2間のY軸方向におけるギャップ距離dmが大きくなるのを回避することができるので、半導体基板14上において変位量モニタ電極10が占有する面積が増大するのを防止することができる。また、上記の第1実施例においては、固定電極32の電極指32-2のZ軸方向における厚さT1及び可動電極34の電極指34-2のZ軸方向における厚さT2をそれぞれ、基部32-1,34-1との接続部から先端まで同じものであるとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2をY軸方向から見て図11、図12A、及び図12Bに示す如くT字型に形成し又は図13、図14A、及び図14Bに示す如くL字型に形成することとしてもよい。すなわち、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2の先端のZ軸方向における厚さT1,T2を他の部位のZ軸方向における厚さよりも大きくすること、又は、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2と電極指34-2とがZ軸方向において重なる部位における厚さTmすなわち、Tm1及びTm2を小さくすることとしてもよい。尚、この場合、先端の厚さT1,T2のうち少なくとも何れか一方を大きくすることとすればよい。かかる変形例の構造においては、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2の先端が可動電極34及び固定電極32の基部34-1,32-1に面する面積を拡大することができるので、上記2及び3の条件式を成立させ易くすることができると共に、非直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度を高めることができる。また、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2同士が面する面積を縮小することができるので、直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度を下げることができる。従って、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCが目標容量変化量C0に達するときの可動電極34の駆動変位量xのバラツキを低減することができるので、組み立て応力や温度変化などの外乱要因や寸法バラツキなどの製造要因に対するロバスト性を向上させることができる。また、上記の変形例に代えて、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2をY軸方向から見て棒状とし、基部32-1,34-1との接続部から先端近傍までは同じ断面積を有するものとしたうえで、それらの電極指32-2,34-2の先端の形状及びその先端に対向する基部34-1,32-1の形状を図15に示す如く丸型にしたもの又は図16に示す如く傾斜したものとしてもよい。すなわち、電極指32-2,34-2の先端と基部34-1,32-1とが互いに面する面積すなわち、X-Z平面内において両者が面する全長を、電極指32-2,34-2の他の部位の断面積すなわち、Z軸方向の幅よりも大きくすることとしてもよい。尚、この場合、電極指32-2の先端と基部34-1との対向面積及び基部32-1と電極指34-2の先端との対向面積のうち少なくとも何れか一方を大きくすることとすればよい。また、図15及び図16に示す如く電極指32-2,34-2の先端の形状を凸状としかつ基部34-1,32-1の形状を凹状とすることに限らず、電極指32-2,34-2の先端の形状を凹状としかつ基部34-1,32-1の形状を凸状とすることとしてもよい。かかる変形例の構造においては、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2,34-2の先端が可動電極34及び固定電極32の基部34-1,32-1に面する面積を拡大することができるので、上記2及び3の条件式を成立させ易くすることができると共に、非直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度を高めることができる。また、固定電極32及び可動電極34のZ軸方向における最大厚さが大きくなるのを回避することができるので、半導体基板14上において変位量モニタ電極10が占有する容積が増大するのを防止することができる。また、上記の第1実施例においては、固定電極32及び可動電極34の電極指32-2と電極指34-2とがZ軸方向において重なる部位における厚さTmすなわち、Tm1及びTm2を、電極指32-2,34-2のZ軸方向における厚さT1,T2に一致させるものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、その厚さTmすなわち、Tm1及びTm2を厚さT1,T2よりも小さくすることとしてもよいし、また、図17、図18A、及び図18Bに示す如く電極指32-2と電極指34-2とを先端以外で重ならないように配置することとしてもよい。尚、この変形例を、上記の第1実施例や上記の変形例に適用することとしてもよい。かかる変形例の構造においては、直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度を小さくすることができ、可動電極34の駆動変位に対する静電容量変化量ΔCの変化が抑えられるので、静電容量変化量ΔCが目標容量変化量C0に達するときの可動電極34の駆動変位量xのバラツキを低減することができる。この点、組み立て応力や温度変化などの外乱要因や寸法バラツキなどの製造要因に対するロバスト性を向上させることができ、歩留まり率の改善や良品率の向上を図ることができる。特に、固定電極32と可動電極34とがX軸方向に直交するY軸方向において電極指32-2,34-2同士が対向しないように配置された構造具体的には、電極指32-2と電極指34-2とを先端以外で重ならないように配置した構造においては、図19に示す如く、直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度を略ゼロとすることができるので、上記の効果を顕著に得ることが可能である。尚、このように電極指32-2と電極指34-2とを先端以外で重ならないように配置した場合、変位量モニタ電極10の構造は、次式4に示す条件式を満たす寸法に設定されていればよい。図20は、本発明の第2実施例である変位量モニタ電極100の上面図を示す。尚、図20において、上記図2に示す構成と同一の構成部分については、同一の符号を付してその説明を省略又は簡略する。また、図21は、本実施例の変位量モニタ電極100における、構造体16,18すなわち可動電極34の駆動変位量xと固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCとの関係を表した図を示す。本実施例の変位量モニタ電極100は、固定電極32と可動電極34とからなる。固定電極32及び可動電極34はそれぞれ、櫛歯状に形成されており、比較的幅広に延設された基部32-1,34-1、及び、基部32-1,34-1から半導体基板14に対して平行なX軸方向に延びる電極指32-2,34-2からなる。電極指32-2,34-2はそれぞれ、断面四角状に形成されており、基部32-1,34-1との接続部から先端まで同じ断面積Y軸方向において同じ幅w1,w2かつZ軸方向において同じ厚さT1,T2を有している。固定電極32において、可動電極34の電極指34-2の先端にX軸方向において対向する基部32-1の表面には誘電材料102-1が、また、各電極指32-2の先端の表面には誘電材料102-2が、それぞれ配設されている。また、可動電極34において、固定電極32の電極指32-2の先端にX軸方向において対向する基部34-1の表面には誘電材料104-1が、また、各電極指34-2の先端の表面には誘電材料104-2が、それぞれ配設されている。誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2はそれぞれ、絶縁性の高い材料又は低ヤング率若しくは粘性を有する材料により構成されており、例えばシリコンを熱酸化することで容易に堆積可能なSiO2膜酸化絶縁膜やレジスト材料などの有機材料などを利用して製造されるものとしてもよい。尚、誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2はそれぞれ、空気厳密には真空の比誘電率1よりも大きい比誘電率εrを有し、かつ、X軸方向において所定厚さdεを有している。可動電極34がX軸方向に可動していない場合は、固定電極32の電極指32-2の先端に取り付けられた誘電材料102-2と可動電極34の基部34-1に取り付けられた誘電材料104-1との間に、X軸方向においてギャップd1が空いていると共に、固定電極32の基部32-1に取り付けられた誘電材料102-1と可動電極34の電極指34-2の先端に取り付けられた誘電材料104-2との間に、X軸方向においてギャップd2が空いている。尚、固定電極32の電極指32-2と可動電極34の電極指34-2との間には、Y軸方向においてギャップdm1,dm2が空いている。また、電極指32-2と電極指34-2とが厚さ方向すなわちZ軸方向において重なる部位における厚さすなわち電極指32-2の側壁と電極指34-2の側壁とがZ軸方向において対向する部位における高さはTmである。尚、この厚さTmは、上記したギャップdm1側Tm1とdm2側Tm2とで異なるものであってもよい。ただ、T1=T2=Tm=Tm1=Tm2が成立するものとするのが好適である。本実施例において、変位量モニタ電極100は、下記の条件が満たされるように構成されている。すなわち、変位量モニタ電極100において、可動電極34が構造体16,18の目標振幅に対応する目標変位量A0で駆動変位される過程で、可動電極34の駆動変位量xと静電容量変化量ΔCとの関係は、その静電容量変化量ΔCが可動電極34の駆動変位に伴って直線的に変化する直線変化領域と、非直線的に変化する非直線変化領域と、を有する。また、この非直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度傾きは、直線変化領域における可動電極34の駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度傾きに比べて大きくなる特性を含むように設定されている。更に、可動電極34が上記の目標変位量A0に達するときの固定電極32と可動電極34との間の目標容量変化量C0は、変化感度が直線変化領域のものよりも大きい上記の非直線変化領域に設定されている。具体的には、変位量モニタ電極100の構造は、次式5に示す条件式を満たす寸法に設定されている。但し、固定電極32の電極指32-2の厚さT1と可動電極34の電極指34-2の厚さT2とが部位によらず一定値であり、かつ、電極指32-2と電極指34-2とがZ軸方向において重なる部位における厚さTm1,Tm2がそれらのT1,T2に一致する場合は、T1=T2=Tm1=Tm2が成立するので、次式6に示す条件式を満たす寸法に設定されていればよい。かかる変位量モニタ電極100の構造においては、目標容量変化量C0が直線変化領域に設定される構造などに比べて、可動電極34が目標変位量A0近傍に達したときのその駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度が高くなると共に、また、可動電極34が目標変位量A0に達した後、その可動電極34の電極指34-2の先端が更に固定電極32の基部32-1に近づく側へ変位しようとすると、その変位に従って、その駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度が高くなる。更に、誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2がそれぞれ空気厳密には真空の比誘電率1よりも大きい比誘電率εrを有するので、その誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2の分だけ駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度が高くなる。このため、変位量モニタ電極100の応力変化や寸法バラツキなどに応じて固定電極32と可動電極34とのギャップや対向面積が変化しても、固定電極32と可動電極34との間の静電容量変化量ΔCが目標容量変化量C0に達するときの可動電極34の駆動変位量xのバラツキが更に低減される。従って、本実施例の変位量モニタ電極100の構造によれば、上記第1実施例の変位量モニタ電極100の構造に比べて更に顕著な効果を得ることができる。また、変位量モニタ電極100において、誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2がそれぞれ絶縁性の高い材料により構成されている場合は、製造バラツキや制御バラツキ,外部からの過大応力印加などに起因して可動電極34が固定電極32に衝突したときに、誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2の存在により両電極32,34が導通することは回避されるので、固定電極32と可動電極34との間の静電容量の変化を精度よく検出することができ、構造体16,18を半導体基板14に対してX軸方向へ励振駆動させるうえでの誤動作を防止することができる。更に、変位量モニタ電極100において、誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2がそれぞれ低ヤング率若しくは粘性を有する材料により構成されている場合は、製造バラツキや制御バラツキ,外部からの過大応力印加などに起因して可動電極34が固定電極32に衝突したときに、誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2の存在により両電極32,34に加わる衝撃は吸収されるので、固定電極32及び可動電極34の破損を防止することができる。ところで、上記の第2実施例においては、固定電極32及び可動電極34の双方それぞれにおいて、基部32-1,34-1の表面及び電極指32-2,34-2の先端の表面の双方に誘電材料102-1,102-2,104-1,104-2を配置することとした。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、図22に示す如く、固定電極32及び可動電極34の双方それぞれにおいて、電極指32-2,34-2の先端の表面にのみ誘電材料102-2,104-2を配置することとしてもよい。かかる変形例の変位量モニタ電極の構造は、次式7に示す条件式を満たす寸法に設定されている。但し、固定電極32の電極指32-2の厚さT1と可動電極34の電極指34-2の厚さT2とが部位によらず一定値であり、かつ、電極指32-2と電極指34-2とがZ軸方向において重なる部位における厚さTm1,Tm2がそれらのT1,T2に一致する場合は、T1=T2=Tm1=Tm2が成立するので、次式8に示す条件式を満たす寸法に設定されていればよい。かかる変形例の変位量モニタ電極の構造においては、目標容量変化量C0が直線変化領域に設定される構造などに比べて、可動電極34が目標変位量A0近傍に達したときのその駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度が高くなると共に、また、可動電極34が目標変位量A0に達した後、その可動電極34の電極指34-2の先端が更に固定電極32の基部32-1に近づく側へ変位しようとすると、その変位に従って、その駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度が高くなる。更に、誘電材料102-2,104-2がそれぞれ空気厳密には真空の比誘電率1よりも大きい比誘電率εrを有するので、その誘電材料102-2,104-2の分だけ駆動変位量xに対する静電容量変化量ΔCの変化感度が高くなる。従って、かかる変形例の構造においても、上記第1実施例の変位量モニタ電極100の構造に比べて更に顕著な効果を得ることができる。また、図23に示す如く、固定電極32及び可動電極34の双方それぞれにおいて、基部32-1,34-1の表面にのみ誘電材料102-1,104-1を配置することとしてもよい。かかる変形例の変位量モニタ電極の構造も、次式7又は8に示す条件式を満たす寸法に設定されていればよい。また、図24に示す如く、可動電極34のみにおいて基部34-1の表面及び電極指34-2の先端の表面の双方に誘電材料104-1,104-2を配置することとしてもよいし、更に、図25に示す如く、固定電極32のみにおいて基部32-1の表面及び電極指32-2の先端の表面の双方に誘電材料102-1,102-2を配置することとしてもよい。これらの変形例の変位量モニタ電極の構造も、次式7又は8に示す条件式を満たす寸法に設定されていればよい。また、上記の第2実施例においては、固定電極32の誘電材料102及び可動電極34の誘電材料104が、X軸方向において互いに同じ所定厚さdεを有するものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、両誘電材料102,104がX軸方向において互いに異なる厚さdε1,dε2を有するものとしてもよい。また同様に、固定電極32の誘電材料102及び可動電極34の誘電材料104が、互いに同じ比誘電率εrを有するものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、両誘電材料102,104が互いに異なる比誘電率εr1,εr2を有するものとしてもよい。また、上記の第2実施例においては、上記の第1実施例で示す構成に適用することとしているが、図7~図18に示す変形例で示す構成に適用することとしてもよい。更に、上記の第1及び第2実施例においては、変位量モニタ電極10,100を、角速度を検出するための角速度センサ12に搭載するものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、構造体の駆動変位量をモニタするものであれば他のセンサに搭載することとしてもよい。"