"円柱状の第1ピストンと、円柱状の第2ピストンと、前記第1ピストンと前記第2ピストンとを連結する円柱状の連結軸部と、を有するプランジャと、前記第1ピストンを格納する空間である第1連通孔部と、前記第2ピストンを格納する空間である第2連通孔部と、前記第1連通孔部と前記第2連通孔部とを連通している空間である挿通孔部と、を有するシリンダブロックと、を備え、前記シリンダブロックは、さらに、前記第1連通孔部の内部で前記第1ピストンを摺動可能に支持する第1エアベアリングと、前記第2連通孔部の内部で前記第2ピストンを摺動可能に支持する第2エアベアリングと、前記第1エアベアリングと前記第2エアベアリングとに支持流体を供給する支持圧流路と、前記挿通孔の内部において、前記第1連通孔部と前記第2連通孔部との間を封止している封止部と、前記第1連通孔部と前記第1ピストンと前記封止部とによって囲まれている空間である第1シリンダ室に駆動流体を供給する推力流路と、前記第2連通孔部と前記第2ピストンと前記封止部とによって囲まれている空間である第2シリンダ室に連通している給排気流路と、前記第2連通孔部に配置され、前記駆動流体によって印加される前記プランジャの駆動力を受ける一方、前記駆動力の方向と反対側の方向への前記プランジャの移動を許容する転がり軸受と、を備えるアクチュエータ。前記支持圧流路は、前記封止部に支持流体を供給する流路を含み、前記封止部は、多孔質材料で形成され、前記連結軸部を摺動可能に支持する請求項1記載のアクチュエータ。前記アクチュエータは、所定の部品を吸着して前記所定の部品の被装着部品に実装するための吸着ノズルを有するマウンタヘッドに使用されるものであり、前記第1ピストンに形成されている前記吸着ノズルを装着するためのノズル装着部と、前記ノズル装着部に負圧を供給する負圧流路と、を備え、前記負圧流路は、前記第1ピストンに形成され、前記ノズル装着部に連通し、前記第1ピストンの外周面に開口しているピストン側開口面を有する第1の負圧流路と、前記シリンダブロックに形成され、前記第1連通孔部の内周面に開口しているシリンダブロック側開口面を有する第2の負圧流路と、前記第1連通孔部に装着され、前記シリンダブロック側開口面に連通する連結部内流路と、前記連結部内流路に連通する連結部側凹部とを有する流路連結部と、を有し、前記連結部側凹部は、前記第1ピストンの作動範囲において前記ピストン側開口面に連通する範囲において、前記第1ピストンの外周に渡って形成されている請求項1又は2に記載のアクチュエータ。前記流路連結部は、多孔質材料で形成され、前記連結部側凹部には、通気性を低下させるための目止め処理がなされている請求項3記載のアクチュエータ。前記流路連結部は、前記第1エアベアリングと前記封止部との間に配置されている請求項4記載のアクチュエータ。前記流路連結部は、前記第1エアベアリングと一体として多孔質材料で形成され、前記連結部側凹部を両側から挟む一対の凸部の少なくとも一方が前記第1ピストンを摺動可能に支持する請求項4記載のアクチュエータ。請求項1乃至6のいずれか1項に記載のアクチュエータを製造する製造方法であって、前記連結軸部は、前記第1ピストンと前記第2ピストンとを螺合する螺合部を有し、前記製造方法は、前記第1ピストンと前記第2ピストンとを予め設定されている第1の設定トルクで螺合する第1螺合工程と、前記螺合されている前記第1ピストンの外周面と前記第2ピストンの外周面とを機械加工する機械加工工程と、前記螺合を解いて前記第1ピストンと前記第2ピストンとを分離する分離工程と、前記第1連通孔部に前記第1ピストンを挿入する工程と、前記第2連通孔部に前記第2ピストンを挿入する工程と、予め設定されている第2の設定トルクで螺合する第2螺合工程と、を備え、前記第2の設定トルクは、前記第1の設定トルクに基づいて設定されているアクチュエータの製造方法。しかし、従来の部品搭載装置は、極めて複雑な機構を必要とする一方、荷重コントロールと回転駆動とを同時に実行することができないという運用制限を有していることを本発明者は見出した。本発明は、上述の従来の課題を解決するために創作されたものであり、部品搭載装置の運用の自由度を拡大して運用性を改善する技術の提供を目的とする。以下、上記課題を解決するのに有効な手段等につき、必要に応じて効果等を示しつつ説明する。手段1.円柱状の第1ピストンと、円柱状の第2ピストンと、前記第1ピストンと前記第2ピストンとを連結する円柱状の連結軸部と、を有するプランジャと、前記第1ピストンを格納する空間である第1連通孔部と、前記第2ピストンを格納する空間である第2連通孔部と、前記第1連通孔部と前記第2連通孔部とを連通している空間である挿通孔部と、を有するシリンダブロックと、を備え、前記シリンダブロックは、さらに、前記第1連通孔部の内部で前記第1ピストンを摺動可能に支持する第1エアベアリングと、前記第2連通孔部の内部で前記第2ピストンを摺動可能に支持する第2エアベアリングと、前記第1エアベアリングと前記第2エアベアリングとに支持流体を供給する支持圧流路と、前記挿通孔の内部において、前記第1連通孔部と前記第2連通孔部との間を封止している封止部と、前記第1連通孔部と前記第1ピストンと前記封止部とによって囲まれている空間である第1シリンダ室に駆動流体を供給する推力流路と、前記第2連通孔部と前記第2ピストンと前記封止部とによって囲まれている空間である第2シリンダ室に連通している給排気流路と、前記第2連通孔部に配置され、前記駆動流体によって印加される前記プランジャの駆動力を受ける一方、前記駆動力の方向と反対側の方向への前記プランジャの移動を許容する転がり軸受と、を備えるアクチュエータ。手段1のアクチュエータは、駆動流体によって印加されるプランジャの駆動力を受ける一方、その駆動力の方向と反対側の方向へのプランジャの移動を許容する転がり軸受を有している。転がり軸受は、駆動流体によって印加されるプランジャの駆動力を受けることができるので、押し圧荷重をプランジャに印加した状態で円滑に回転させることができる。さらに、転がり軸受は、その駆動力の方向と反対側の方向へのプランジャの移動を許容するので、プランジャの回転と荷重コントロールを同時に機能させることもできる。手段2.前記支持圧流路は、前記封止部に支持流体を供給する流路を含み、前記封止部は、多孔質材料で形成され、前記連結軸部を摺動可能に支持する手段1記載のアクチュエータ。手段2のアクチュエータは、第1シリンダ室と第2シリンダ室との間を封止する封止部をエアベアリングとしても機能させているので、第1エアベアリングと第2エアベアリングの負担を軽減して全体として小型化を実現することができる。手段3.前記アクチュエータは、所定の部品を吸着して前記所定の部品の被装着部品に実装するための吸着ノズルを有するマウンタヘッドに使用されるものであり、前記第1ピストンに形成されている前記吸着ノズルを装着するためのノズル装着部と、前記ノズル装着部に負圧を供給する負圧流路と、を備え、前記負圧流路は、前記第1ピストンに形成され、前記ノズル装着部に連通し、前記第1ピストンの外周面に開口しているピストン側開口面を有する第1の負圧流路と、前記シリンダブロックに形成され、前記第1連通孔部の内周面に開口しているシリンダブロック側開口面を有する第2の負圧流路と、前記第1連通孔部に装着され、前記シリンダブロック側開口面に連通する連結部内流路と、前記連結部内流路に連通する連結部側凹部とを有する流路連結部と、を有し、前記連結部側凹部は、前記第1ピストンの作動範囲において前記ピストン側開口面に連通する範囲において、前記第1ピストンの外周に渡って形成されている手段1又は2に記載のアクチュエータ。手段3のアクチュエータは、吸着ノズルに負圧を供給するための負圧流路を内蔵している。負圧流路は、プランジャとシリンダブロックとの間の相対的な動きに関わらず、シリンダブロックからプランジャに装着されている吸着ノズルに負圧を供給することができる流路連結部を有している。これにより、プランジャとシリンダブロックとの間の相対的な動きに関わらず、吸着ノズルを安定して作動させることができる一方、吸着ノズルへの負圧流の長さを短くすることができる。これにより、真空経路を短くして応答特性を向上させることができる。手段4.前記流路連結部は、多孔質材料で形成され、前記連結部側凹部には、通気性を低下させるための目止め処理がなされている手段3記載のアクチュエータ。手段4の流路連結部は、多孔質材料で形成され、その連結部側凹部が通気性を低下させるための目止め処理がなされているので、簡易に実装することができるとともに負圧流路と他の流路の干渉を効果的に抑制することができる。手段5.前記流路連結部は、前記第1エアベアリングと前記封止部との間に配置されている手段4記載のアクチュエータ。手段5の流路連結部は、第1エアベアリングと封止部との間に配置されているので、流路連結部と第1ピストンとの間のクリアランスを高精度に維持することができる。手段6.前記流路連結部は、前記第1エアベアリングと一体として多孔質材料で形成され、前記連結部側凹部を両側から挟む一対の凸部の少なくとも一方が前記第1ピストンを摺動可能に支持する手段4記載のアクチュエータ。手段6の流路連結部は、第1エアベアリングと一体として多孔質材料で形成されているので、アクチュエータを小型化することができるとともに、流路連結部と第1ピストンとの間のクリアランスを高精度に維持することができる。手段7.手段1乃至6のいずれか1項に記載のアクチュエータを製造する製造方法であって、前記連結軸部は、前記第1ピストンと前記第2ピストンとを螺合する螺合部を有し、前記製造方法は、前記第1ピストンと前記第2ピストンとを予め設定されている第1の設定トルクで螺合する第1螺合工程と、前記螺合されている前記第1ピストンの外周面と前記第2ピストンの外周面とを機械加工する機械加工工程と、前記螺合を解いて前記第1ピストンと前記第2ピストンとを分離する分離工程と、前記第1連通孔部に前記第1ピストンを挿入する工程と、前記第2連通孔部に前記第2ピストンを挿入する工程と、予め設定されている第2の設定トルクで螺合する第2螺合工程と、を備え、前記第2の設定トルクは、前記第1の設定トルクに基づいて設定されているアクチュエータの製造方法。手段7では、第1ピストンと第2ピストンとが所定のトルクで組立てられた状態で機械加工が行なわれ、シリンダブロックに組みつけられた状態において第1の設定トルクに基づいて設定されている第2の設定トルクで螺合されるので、高精度の機械加工状態を再現した状態で組みつけられることになる。これにより、一般的な製造工程によって上述の高精度の嵌め合い公差を実現してアクチュエータを製造することができる。以下、本発明を具体化した各実施形態を図面に従って説明する。各実施形態は、半導体チップ搭載システムに使用されるアクチュエータについて具体化している。第1実施形態図1及び図2は、第1実施形態のマウンタヘッド90の構成を示す断面図である。図3は、マウンタヘッド90の構成を示す斜視図である。図4乃至図6は、アクチュエータ50の構成を示す分解断面図である。マウンタヘッド90は、半導体チップ後述を吸引し、基板上に搭載する装置である。マウンタヘッド90は、図3に示されるように半導体チップを吸引する吸着ノズル91と、アクチュエータ50と、モータ92と、スプライン93と、カップリング94と、ベース板96とを備えている。アクチュエータ50は、図1及び図2に示されるようにシリンダブロック20とプランジャ40とを備えている。プランジャ40には、ノズル流路91nを有する吸着ノズル91が装着されている。ベース板96には、アクチュエータ50とモータ92とが装着されるための基準面Srが形成されている。アクチュエータ50とモータ92とは、本実施形態では、基準面Srに装着される面を基準面とする寸法公差を設定して設計が行なわれている。これにより、アクチュエータ50とモータ92との軸心を高精度で合致させることができる。図1は、吸着ノズル91が前進位置矢印A側に前進した位置にある状態を示している。図2は、吸着ノズル91が後退位置矢印B側に後退した位置にある状態を示している。プランジャ40は回転方向と往復方向とに駆動される。回転方向はモータ92によって直接的に駆動される。往復方向はアクチュエータ50によって駆動される。プランジャ40の往復方向の駆動に起因するプランジャ40とモータ92の距離の変化は、スプライン93によって吸収される。スプライン93はトルクを伝達する一方、上述の距離の変化を許容する機構である。スプライン93はカップリング94によってモータ92に接続されている。スプライン93はトルク伝達軸95によってプランジャ40に接続されている。プランジャ40は、第1ピストン21と第2ピストン22とを備えている。第1ピストン21は、吸着ノズル91を装着するための凹部23と、凹部23に連通する吸引流路31と、円柱状の第1円柱部24と、円柱状の連結軸部28と、第2ピストン22と螺合するための雄ネジ部38と、ドーナツ状の平面である第1圧力面25とを備えている。第1ピストン21には、雄ネジ部38で第2ピストン22に螺合されている。凹部23は、ノズル装着部とも呼ばれる。第2ピストン22は、第1ピストン21の雄ネジ部38と螺合するための雌ネジ部39図4参照と、トルク伝達軸95図3参照に接続されるための凹部26と、円柱状の第2円柱部27と、ドーナツ状の平面である第2圧力面29とを備えている。第1円柱部24と第2円柱部27と連結軸部28とは軸線を共通にしている。プランジャ40は、この軸線方向に往復移動することができる。この軸線は駆動軸線とも呼ばれる。シリンダブロック20は、金属製の構造部材として、第1ブロック11と、第2ブロック12と、第3ブロック13と、第4ブロック14と、第5ブロック15と、第6ブロック16と、を有している。シリンダブロック20は、環状の形状を有する多孔質部材として、第1エア軸受部材71と、第2エア軸受部材72と、第3エア軸受部材73と、流路連結部74と、転がり軸受75とを備えている。第5ブロック15は、図1、図2及び図4に示されるように、第6ブロック16と第2エア軸受部材72とともに第2ピストン22をエアベアリングで支持する構造を構成する。第5ブロック15には、エア軸受け装着凹部15c1,15c2と、環状凹部32r3と、シリンダ孔部15hと、転がり軸受装着凹部15c3と、が形成されている。エア軸受け装着凹部15c1,15c2は、多孔質部材である第2エア軸受部材72を適度に圧縮した状態で装着可能な形状の凹部として形成することができる。エア軸受け装着凹部15c1,15c2、環状凹部32r3、シリンダ孔部15h及び軸受装着凹部15c3は、第2連通孔部とも呼ばれる。第2エア軸受部材72は、エア軸受け装着凹部15c1,15c2に挿入された後に第6ブロック16が取付けられることによって第5ブロック15に装着される。第2エア軸受部材72の外周72sは、エア軸受け装着凹部15c1,15c2に当接する一方、エア軸受け装着凹部15c1,15c2の間の環状凹部32r3に面している。環状凹部32r3は、第2エア軸受部材72の外周72sの回りに環状の空間を形成している。環状凹部32r3には、アクチュエータ50の外部から供給される支持流体支持エアを供給するための支持エアポート32pと、支持エアポート32pと環状凹部32r3との間を接続する流路32cとが連通している。このような構成は、支持エアポート32pから供給された支持エアを、流路32cを介して環状凹部32r3に供給することができる。環状凹部32r3は、第2エア軸受部材72の外周72sからほぼ均一な圧力を印加することができる。これにより、第2エア軸受部材72は、その内周面72hから支持流体を噴出させることができる。第2ピストン22の第2円柱部27は、第2エア軸受部材72の内周面72hに嵌合することによってエアベアリングが実現されることになる。内周面72hは、第2円柱部27の外表面に対してミクロンオーダの隙間で対向している。エアベアリングは、第2エア軸受部材72に対して第2ピストン22を回転運動と往復運動の双方の動きをほぼ摩擦なしで許容することができる。第2エア軸受部材72は、第2エアベアリングとも呼ばれる。転がり軸受75は、第4ブロック14とともに往復運動の駆動軸線方向の荷重を受ける構造を構成する。転がり軸受75は、いわゆるスラスト方向駆動軸方向の荷重を受けるアンギュラ玉軸受である。転がり軸受75は、内輪75r1と外輪75r2とボール75bとを備えている。内輪75r1と外輪75r2とは相互に回転することができる。転がり軸受75は、軸方向の荷重を受けることができるものであればアンギュラ玉軸受に限らず、他の種類の軸受を使用することもできる。転がり軸受75は、図1及び図2に示されるように、以下のように第4ブロック14と第5ブロック15との間に装着される。転がり軸受75の外輪75r2は、第5ブロック15の軸受装着凹部15c3と第4ブロック14の当接面14t1との間に装着されている。一方、転がり軸受75の内輪75r1は、第4ブロック14の凹部14c3によって第4ブロック14とのクリアランスが確保されている。転がり軸受75の内輪75r1は、第2ピストン22の第2圧力面29に対向する当接面75t1を有している。転がり軸受75の外輪75r2は、第4ブロック14の当接面14t1に当接する当接面75t2を有している。これにより、転がり軸受75は、第2ピストン22からの駆動軸線方向の荷重を内輪75r1とボール75bと外輪75r2とを介して第4ブロック14に流すことができるので、第2ピストン22からの荷重を受けつつ第2ピストン22の回転を許容することができる。さらに、転がり軸受75は、第2ピストン22の後退方向の移動分離を許容している。第4ブロック14は、第5ブロック15のシリンダ孔部15hと、第3エア軸受部材73とともに第2シリンダ室36を形成している。第2シリンダ室36は、第2ピストン22の第2円柱部27の外周面とシリンダ孔部15hの内周面との間のドーナツ状の空間と、このドーナツ状の空間に連通して第2ピストン22の第2圧力面29と第4ブロック14との間に形成されている空間とを有している。第2シリンダ室36には、流路34cを介してキャンセルポート34pが連通している。キャンセルポート34p及び流路34cは、給排気流路とも呼ばれる。第3エア軸受部材73は、図1、図4及び図5に示されるように、孔部14hに連通するエア軸受け装着凹部14c1,14c2に挿入された後に第3ブロック13が取付けられることによって第4ブロック14に装着される。第3エア軸受部材73の外周73sは、エア軸受け装着凹部14c1,14c2に当接する一方、エア軸受け装着凹部14c1,14c2の間の環状凹部32r2に面している。エア軸受け装着凹部14c1,14c2及び孔部14hは、挿通孔とも呼ばれる。環状凹部32r2は、第3エア軸受部材73の外周73sの回りに環状の空間を形成している。環状凹部32r2には、アクチュエータ50の外部から供給される支持流体支持エアを供給するための支持エアポート32pと、支持エアポート32pと環状凹部32r3との間を接続する流路32c,32c1,32c3とが連通している。このような構成は、支持エアポート32pから供給された支持エアを流路32c,32c1,32c3を介して環状凹部32r2に供給することができる。環状凹部32r2は、第3エア軸受部材73の外周73sからほぼ均一な圧力を印加することができる。これにより、第3エア軸受部材73は、その内周73hから支持流体を噴出してエアベアリングを形成させることができる。一方、第3エア軸受部材73は、第2シリンダ室36を第1シリンダ室35から封止する役割も果たしている。第3エア軸受部材73は、封止部とも呼ばれる。第1シリンダ室35は、図1、図2、図5及び図6に示されるように、第3ブロック13と流路連結部74と第1ピストン21とによって形成されている空間である。第3ブロック13には、連結部装着凹部13cと、シリンダ孔部13h1と、連通孔部13h2とが形成されている。連結部装着凹部13cには、シリンダブロック側開口面31c1が形成されている。連結部装着凹部13cは、多孔質部材である流路連結部74を適度に圧縮した状態で装着可能な形状の凹部として形成することができる。流路連結部74は、連結部装着凹部13cに挿入された後に第2ブロック12が取付けられることによって第3ブロック13に装着される。流路連結部74の外周74sは、連結部装着凹部13cに当接している。流路連結部74は、この当接において、流路連結部74の連結部内流路31c3とシリンダブロック側開口面31c1とが連通する向きに装着されている。流路連結部74の内周面74hは、第1ピストン21の第1円柱部24の外周面にミクロンオーダの隙間で対向している。第1シリンダ室35図1参照は、第1ピストン21の第1円柱部24の外周面とシリンダ孔部13h1の内周面との間のドーナツ状の空間と、このドーナツ状の空間に連通して第1ピストン21の第1圧力面25と第3ブロック13との間に形成されている空間とを有している。第1シリンダ室35には、流路33cを介して推力ポート33pが連通している。シリンダ孔部13h1、連通孔部13h2、及び連結部装着凹部13cは、第1連通孔部とも呼ばれる。このような構成は、推力ポート33pに作動エアを印加することによって、プランジャ40に対して前進荷重を発生させ、キャンセルポート34pに作動エアを印加することによってプランジャ40に対して後退荷重を発生させることができる。前進荷重は、吸着ノズル91を前進させる方向矢印A方向の荷重である。後退荷重は、吸着ノズル91を後退させる方向矢印B方向の荷重、換言すれば前進荷重を相殺させる方向の荷重あるいは後進方向への駆動荷重である。第1シリンダ室35に印加される作動エアは、駆動流体とも呼ばれる。なお、キャンセルポート34pは、単にドレイン流路として構成しても良い。流路連結部74には、連結部側凹部31rと、連結部側凹部31rに連通する連結部内流路31c3とが形成されている。連結部側凹部31rには、ピストン側開口面31c2が連通している。連結部内流路31c3には、吸引流路31cが連通している。ピストン側開口面31c2は、吸引流路31を介して吸着ノズル91のノズル流路91nに連通している。吸引流路31cは、吸引ポート31pとシリンダブロック側開口面31c1とに連通している。吸引流路31は、第1の負圧流路とも呼ばれる。吸引ポート31p及び吸引流路31cは、第2の負圧流路とも呼ばれる。連結部側凹部31rは、シリンダブロック側開口面31c1とピストン側開口面31c2とを相互に連通させるための環状の空間を形成している。連結部側凹部31rの幅31wは、図1及び図2に示されるように、第2ピストン22の往復運動の範囲において、シリンダブロック側開口面31c1とピストン側開口面31c2とを相互に連通させることができる幅に設定されている。これにより、アクチュエータ50は、第2ピストン22の往復運動に関わらず、吸引ポート31pから吸着ノズル91までの相互の連通を維持させることができる。なお、2つの吸引流路31,31c、シリンダブロック側開口面31c1、ピストン側開口面31c2及び連結部側凹部31rは、負圧流路とも呼ばれる。第1エア軸受部材71は、第2ブロック12のエア軸受け装着凹部12c1,12c2に挿入された後に第1ブロック11図6参照が取付けられることによって第2ブロック12に装着される。第1エア軸受部材71の外周71sは、エア軸受け装着凹部12c1,12c2に当接する一方、エア軸受け装着凹部12c1,12c2の間の環状凹部32r1に面している。第1エア軸受部材71は、第1エアベアリングとも呼ばれる。環状凹部32r1は、第1エア軸受部材71の外周71sの回りに環状の空間を形成している。環状凹部32r1には、アクチュエータ50の外部から供給される支持流体支持エアを供給するための支持エアポート32pと、支持エアポート32pと環状凹部32r1との間を接続する流路32c,32c1,32c2とが連通している。このような構成は、支持エアポート32pから供給された流路32c,32c1,32c2を介して環状凹部32r1に供給することができる。環状凹部32r1は、第1エア軸受部材71の外周71sからほぼ均一な圧力を印加することができる。これにより、第1エア軸受部材71は、その内周71hから支持流体を噴出させてエアベアリングを形成することができる。なお、流路32c,32c1,32c2,32c3は、支持圧流路とも呼ばれる。マウンタヘッド90の動作内容図7は、マウンタヘッド90の動作内容を示す模式図である。図8は、マウンタヘッド90の動作内容を示すフローチャートである。図9は、マウンタヘッド90の動作内容を示すタイムチャートである。図10は、比較例のマウンタヘッド90aの構成を示す断面図である。マウンタヘッド90は、半導体チップTをチップトレーTやチップリールRから受け取って基板Sに搭載ボンディングするために使用される装置である。本動作は、迅速な製造工程の実現のために短時間で実行することが望まれている。比較例は、図10に示されるように以下の点で第1実施形態のマウンタヘッド90と相違する。1比較例のマウンタヘッド90aは、転がり軸受75を装備していない。2比較例のマウンタヘッド90aは、吸引ポート31pと流路連結部74とを装備せず、アクチュエータ50aを介することなく吸着ノズル91aに直接的に負圧流路が接続されている図示せず。3比較例のマウンタヘッド90aは、モータ92に接続するための凹部26を装備していない。ステップS11では、マウンタヘッド90は、ピックアップ行程を実行する。ピックアップ行程とは、半導体チップTをチップトレーやチップリールRから受け取る工程である。半導体チップTの受領は、吸着ノズル91の先端部を半導体チップTに当接させ、その状態で吸引することによって行なわれる。吸引は、吸引流路31、31cと連結部側凹部31rとを介してノズル流路91nに連通している吸引ポート31pから行なわれる。半導体チップTへの当接は、いわゆるソフトタッチで行なわれる。ソフトタッチとは、荷重コントロールによって吸着ノズル91にピックアップ用荷重0.1N~1Nを印加させた状態においてマウンタヘッド90を移動させ、半導体チップTに吸着ノズル91を押し付けることによって行なわれる。初期荷重は、推力ポート33pあるいはキャンセルポート34pに作動エアを供給することによってプランジャ40が発生させる。ピックアップ用荷重の荷重制御は、推力ポート33pとキャンセルポート34pとを使用して行われる。具体的には、吸着ノズル91やプランジャ40等の自重たとえば1Nよりも大きなピックアップ用荷重たとえば1.1Nが要求される場合には、推力ポート33pに作動エアを供給することによって不足分の荷重0.1Nを印加させることができる。一方、吸着ノズル91やプランジャ40等の自重たとえば1Nよりも小さなピックアップ用荷重たとえば0.1Nが要求される場合には、キャンセルポート34pに作動エアを供給することによって余剰分の荷重0.9Nを減殺させることができる。吸着ノズル91は、マウンタヘッド90によって半導体チップTに押し付けられる際に、半導体チップTにピックアップ用荷重を印加しつつプランジャ40とともに後退する。この後退の際には、連結部側凹部31rの幅31wによって連結部側凹部31rと吸引流路31との連通が維持されることになる。これにより、吸着ノズル91は、半導体チップTに過度な荷重を印加させて破損させることなく、半導体チップTを受領することができる。ステップS12では、マウンタヘッド90は、第1搬送工程搬送1を実行する。第1搬送工程は、受領状態吸着ノズル91に半導体チップTを吸着した状態においてカメラ99の視野内の所定の位置に半導体チップTをマウンタヘッド90とともに移動させる工程である。第1実施形態では、図9に示されるように、第1搬送工程において、搭載用荷重10N~50Nに向けてプランジャ40に印加される荷重の上昇が開始される。一方、比較例のアクチュエータ50aは、第1搬送工程においては、後述する理由によりプランジャ40に印加される荷重を上昇することはできない。ステップS13では、マウンタヘッド90は、アライメント工程を実行する。アライメント工程は、カメラ99で半導体チップTの向きを監視しつつ基板Sへの搭載に適切な向きに調整する工程である。半導体チップTの向きの調整は、モータ92の駆動によってプランジャ40を回転させることによって行なわれる。第1実施形態では、図9に示されるように、プランジャ40に印加される荷重の上昇中において荷重L1に達した状態でアライメント工程が開始される。一方、比較例では、ピックアップ用荷重のままで、あるいはキャンセルポート34pに作動エアを供給してピックアップ用荷重を無くした状態でアライメント工程が実行される。第1実施形態では、プランジャ40に印加される荷重が上昇しても、それを転がり軸受75が受けることによって滑らかな回転を実現することができるからである。アライメント工程ステップS13において、半導体チップTの向きが許容範囲内であることがカメラ99によって確認されると、処理がステップS14に進められる。ステップS14では、マウンタヘッド90は、第2搬送工程搬送2を実行する。第2搬送工程は、半導体チップTをマウンタヘッド90とともに基板Sに搭載するための適切な位置に移動させる工程である。第2搬送工程は、プランジャ40に印加される荷重がさらに荷重L2に上昇した状態において行なわれるので、アライメント調整後の状態を確実に維持しつつ搬送することができる。ステップS15では、マウンタヘッド90は、搭載工程を実行する。搭載工程は、基板Sに搭載ボンディングする工程である。搭載工程は、プランジャ40に印加される荷重が搭載用荷重L3に上昇した後に行なわれる。比較例では、プランジャ40に印加される荷重が搭載用荷重L3に上昇するまで待機してから行なわれる。これに対して、第1実施形態では、荷重上昇が第1搬送工程ステップS20から既に開始されているので、待機することなく直ちに搭載を開始することができる。このように、本実施形態のアクチュエータ50を使用すれば、プランジャ40に印加される荷重が搭載用荷重L3に上昇するまで待機する必要が無いので製造工程の短縮化を図ることができる。さらに、本実施形態は、アライメント調整後の半導体チップTの姿勢を確実に維持しつつ第2搬送工程を実行することができるので、半導体チップTの姿勢の維持と搬送時間の短縮化を両立させることができる。本実施形態では、第2搬送工程の速度や加速度を大きくして搬送時間を短くすることができるからである。アクチュエータ50の製造方法図11は、アクチュエータ50の製造工程を示すフローチャートである。ステップS21では、作業者は、シリンダブロック組立行程を実行する。シリンダブロック組立行程は、シリンダブロック20を組立てる工程である。シリンダブロック組立行程は、第5ブロック15に転がり軸受75と第2エア軸受部材72とを順に装着する工程と、第4ブロック14に第3エア軸受部材73を装着する工程と、第3ブロック13に流路連結部74を装着する工程と、第2ブロック12に第1エア軸受部材71を装着する工程と、第1乃至第6ブロック11~16を図示しない締結部材で相互に組み付ける工程とを有している。ステップS22では、作業者は、多孔質部材研磨行程を実行する。多孔質部材研磨行程は、第2エア軸受部材72、流路連結部74及び第1エア軸受部材71を同軸かつ同一径に研磨する工程と、第3エア軸受部材73を他の多孔質部材71,72,74と同軸で研磨する行程を含んでいる。このように、シリンダブロック20が組立てられた状態で研磨が行なわれるので、高精度の軸線精度オフセットや方向を実現することができる。ステップS23では、作業者は、プランジャ仮組立工程を実行する。プランジャ仮組立工程は、第1ピストン21と第2ピストン22とを仮に相互に組み付ける工程である。組み付けは、第1ピストン21の雄ネジ部38と第2ピストン22の雌ネジ部39とを螺合させることによって行なわれる。螺合は、予め設定されている所定のトルクで行なわれる。本トルクは、第1の設定トルクとも呼ばれる。ステップS24では、作業者は、プランジャ仕上げ工程を実行する。プランジャ仕上げ工程は、切削や研磨といった機械加工によって、第1ピストン21の第1円柱部24の外周面と、第2ピストン22の第2円柱部27の外周面と連結軸部28の外周面とを仕上げる工程を含んでいる。これにより、双方の外周面について高精度の軸線精度オフセットや方向を実現することができる。プランジャ仕上げ工程は、螺合の切り離しによって第1ピストン21と第2ピストン22とを分離する工程を行なって完了する。ステップS25では、作業者は、アクチュエータ組立工程を実行する。アクチュエータ組立工程は、アクチュエータ50を完成させる工程である。アクチュエータ組立工程は、撥水シート図示省略を転がり軸受75の当接面75t1の上に載置する工程と、第1ピストン21と第2ピストン22とをそれぞれ第2ブロック12の側と第5ブロック15の側から挿入する工程と、第1ピストン21と第2ピストン22とを螺合する工程と、第1ブロック11と第6ブロック16とを組み付ける工程とを有している。撥水シート図示省略は、転がり軸受75の潤滑油によって第2圧力面29が転がり軸受75に付着しないようにし、転がり軸受75と第2圧力面29の当接と分離とを円滑化するために配置される。撥水シート図示省略には、たとえばフッ素樹脂のシートが利用可能である。第1ピストン21と第2ピストン22とを螺合する工程は、上述の所定のトルクと同一のトルクで行われる。これにより、プランジャ仕上げ工程における第1円柱部24と第2円柱部27の外周面の高精度の仕上げが再現されることになる。高精度の仕上げは、多孔質部材71~74の内面71h~74hとプランジャ40のミクロンオーダの嵌め合い公差を実現し、これによりエアベアリングや封止を実現することができる。ただし、必ずしも上述の所定のトルクと同一のトルクである必要は無く、第1円柱部24と第2円柱部27の外周面の高精度の仕上げが再現されるように上述の所定のトルクに基づいて設定されているトルクであればよい。本トルクは、第2の設定トルクとも呼ばれる。このように、第1実施形態のアクチュエータ50は、一般的な工作方法で製造することができる。特に、第1ピストン21と第2ピストン22とを組立てることによって、プランジャ40を製造することは、従来の技術常識を覆すものである。第1ピストン21と第2ピストン22には、いずれもミクロンオーダの嵌め合い公差が要請されるからである。第2実施形態図12は、第2実施形態のマウンタヘッド90bの構成を示す断面図である。第2実施形態のマウンタヘッド90bは、第1エア軸受部材71が流路連結部74に一体化されている点で第1実施形態のマウンタヘッド90と相違する。この一体化は、第1エア軸受部材71を構成から削除するとともに、流路32c2を流路32c4、32c5、32c6に変更して流路連結部74側に支持用エアを供給することによって実現されている。このように、流路連結部74は、エア軸受部材として機能するように構成することもできる。こうすれば、部品点数を削減するとともにアクチュエータ50のサイズを小さくすることも可能である。なお、流路連結部74は、エア軸受部材として機能するように幅を大きくするようにしても良い。以上詳述した各実施形態は以下の利点を有する。1荷重コントロールと回転動作とを同時に実行することができるので、製造工程の待ち時間の排除を実現して製造の効率化を図ることができる。2プランジャは、シリンダブロックに対してエアベアリングで支持されているので、極めて小さな摺動摩擦を回転と往復の双方の自由度を簡易な構成で実現することができる。3プランジャは、モータ92によって直接駆動されているので、バックラッシュを排除して高精度なアライメントを実現することができる。さらに、プランジャは、360度以上の無制限の回転を実現することができる。4プランジャの駆動力は作動エアで実現されているので、高精度の荷重コントロールが可能であり、エアベアリングと動力源を共用することもできる。さらに、長時間使用しても発熱による温度ドリフトの問題も発生しない。他の実施形態本発明は上記実施形態に限らず、例えば次のように実施されてもよい。1上記実施形態では、アクチュエータ50、50bは、吸着ノズル91に負圧を供給する負圧流路を有しているが、必ずしもアクチュエータ50、50bが負圧流路を装備する必要は無く、アクチュエータ50、50bの外部に負圧流路を設けるようにしても良い。ただし、吸着ノズルへの負圧流路の接続は、真空経路を短くして応答特性を向上させることができる。さらに、プランジャは、負圧流路を維持しつつ360度以上の無制限の回転を実現することができる。2上記実施形態では、第1シリンダ室と第2シリンダ室との間を封止する封止部をエアベアリングとしても機能させているが、必ずしも封止部をエアベアリングとしても機能させる必要は無い。ただし、封止部をエアベアリングとしても機能させれば、第1エアベアリングと第2エアベアリングの負担を軽減して全体として小型化を実現することができる。3上記実施形態では、吸引によって部品を保持しているが、他の方法で保持するようにしても良い。4上記実施形態では、マウンタヘッドに搭載するアクチュエータとして具現化されているが、他の用途のアクチュエータとして使用してもよい。"