"筐体内で被搬送物を搬送する搬送装置であって、前記筐体内部において第1方向へ気流を発生させる第1送風部と、前記第1送風部により発生された気流の下流側に設けられ、前記筐体内部と連通し、前記筐体内部の気体を前記筐体外へ排気する排気口と、筐体内に配置された第1駆動機構により支持され、前記第1送風部よりも下流側かつ前記排気口よりも上流側の前記筐体内を移動する移動部と、前記移動部に設けられ、前記被搬送物を載置するエンドエフェクタと、前記移動部に設けられ、前記第1方向へ気流を発生させる第2送風部と、を備える搬送装置。前記移動部には、前記エンドエフェクタと前記第1送風部との間に介在し、前記第1送風部により発生された前記第1方向への気流の流れを阻害する風よけ部が設けられ、前記第2送風部は、前記風よけ部より下流側に配置されている請求項1に記載の搬送装置。前記風よけ部は、箱状を呈し、その内部に前記エンドエフェクタを収容するとともに、前記第2送風部は、筒状の第1ダクト部材に収容された状態で前記移動部に設けられている請求項2に記載の搬送装置。前記第1ダクト部材は、下流側に向かうにつれて細くなるテーパ状に形成されている請求項3に記載の搬送装置。前記エンドエフェクタは、伸縮可能なアーム部によって前記移動部に支持されており、前記風よけ部は、前記アーム部及び前記エンドエフェクタが通過可能な窓部を有する請求項3又は4に記載の搬送装置。前記第2送風部は、両端が開口された筒状の本体部と、前記本体部の内側に沿って形成され前記第1方向へ気体を噴出する噴出部と、を備え、前記本体部の中心軸が前記第1方向に向くように、かつ、前記第1方向からみて前記本体部の開口の内側に前記エンドエフェクタが位置するように、前記移動部に設けられている請求項1又は2に記載の搬送装置。前記第2送風部は、前記第1方向に伸縮可能な第2駆動機構によって前記移動部に支持されている請求項6に記載の搬送装置。前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させる場合と、前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させた状態で移動させる場合とで、前記第2送風部と前記エンドエフェクタとの相対位置を変更するように前記第2駆動機構の動作を制御する制御部を備える請求項7に記載の搬送装置。前記制御部は、前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させて移動させる場合には、前記第2送風部の内部に前記エンドエフェクタが収容される位置まで前記第2送風部を移動させるように前記第2駆動機構の動作を制御する請求項8に記載の搬送装置。前記第2送風部の下流側の前記筐体内壁に、前記排気口を囲むように設けられた筒状の第2ダクト部材を備える請求項1~9の何れか一項に記載の搬送装置。前記第2ダクト部材は、前記第1方向からみた前記移動部の移動経路に沿って設けられている請求項10に記載の搬送装置。前記第2送風部は、前記第1送風部により発生させる気流よりも速い気流を発生させる請求項1~11の何れか一項に記載の搬送装置。前記排気口の上流側にガスを吸着するフィルタを備える請求項1~12の何れか一項に記載の搬送装置。前記筐体内部は、前記被搬送物を処理室へ搬入出するために設けられたロードロック、及び前記被搬送物を収容する収容ボックスと連通されている請求項1~13の何れか一項に記載の搬送装置。前記第1駆動機構は、前記移動部を前記第1方向及び前記第1方向に直交する第2方向のそれぞれに沿ってスライド移動させる請求項1~14の何れか一項に記載の搬送装置。前記第1駆動機構は、前記第2方向沿って延びる第1レールと、前記第1レールに配置された門型フレームと、前記門型フレームを前記第1レールに沿ってスライド移動させる第1スライド駆動機構と、前記門型フレームに形成され、前記第1方向へ延びる第2レールと、前記第2レールに配置された前記移動部を前記第2レールに沿ってスライド移動させる第2スライド駆動機構と、を備える請求項1~15の何れか一項に記載の搬送装置。筐体内で基板を搬送する搬送装置と、前記搬送装置により搬送された基板を処理する処理室と、を備える基板処理システムであって、前記搬送装置は、前記筐体内部において第1方向へ気流を発生させる第1送風部と、前記第1送風部により発生された気流の下流側に設けられ、前記筐体内部と連通し、前記筐体内部の気体を前記筐体外へ排気する排気口と、筐体内に配置された第1駆動機構により支持され、前記第1送風部よりも下流側かつ前記排気口よりも上流側の前記筐体内を移動する移動部と、前記移動部に設けられ、前記基板を載置するエンドエフェクタと、前記移動部に設けられ、前記第1方向へ気流を発生させる第2送風部と、を備える基板処理システム。ところで、エッチングや成膜処理等の処理後のウェハは腐食に関わるガスを付着して発生させることがある。当技術分野では、搬送室等の筐体内においてガスの拡散を抑制することが望まれている。本発明の一側面は、筐体内で被搬送物を搬送する搬送装置であって、前記筐体内部において第1方向へ気流を発生させる第1送風部と、前記第1送風部により発生された気流の下流側に設けられ、前記筐体内部と連通し、前記筐体内部の気体を前記筐体外へ排気する排気口と、筐体内に配置された第1駆動機構により支持され、前記第1送風部よりも下流側かつ前記排気口よりも上流側の前記筐体内を移動する移動部と、前記移動部に設けられ、前記被搬送物を載置するエンドエフェクタと、前記移動部に設けられ、前記第1方向へ気流を発生させる第2送風部と、を備えて構成される。第1送風部によって発生された気流は、被搬送物が載置されたエンドエフェクタへ到達後、排気口へ到達する。第2送風部によって発生された気流は、エンドエフェクタ近傍の気体を取り込みならが排気口へ到達する。被搬送物から発生したガスは、第2送風部によって発生された気流とともに排気口へ到達する。このため、第2送風部により発生された気流によって、ガスが筐体内に拡散することを抑制しつつ排気することができる。ここで、前記移動部には、前記エンドエフェクタと前記第1送風部との間に介在し、前記第1送風部により発生された前記第1方向への気流の流れを阻害する風よけ部が設けられ、前記第2送風部は、前記風よけ部より下流側に配置されていてもよい。このように構成することで、第1送風部によって発生した気流が被搬送物に直接到達することを回避することができるため、被搬送物から発生したガスの拡散を一層抑制することが可能となる。前記風よけ部は、箱状を呈し、その内部に前記エンドエフェクタを収容するとともに、前記第2送風部は、筒状の第1ダクト部材に収容された状態で前記移動部に設けられていてもよい。このように構成することで、被搬送物から発生したガスを第2送風部により発生された気流に取り込んで適切に排気させることができる。前記第1ダクト部材は、下流側に向かうにつれて細くなるテーパ状に形成されていてもよい。このように構成することで、第2送風部により発生された気流の向きを排気口へ適切に合せることができるとともに、気流の速度を上げて適切に排気口へ到達させることが可能となる。前記エンドエフェクタは、伸縮可能なアーム部によって前記移動部に支持されており、前記風よけ部は、前記アーム部及び前記エンドエフェクタが通過可能な窓部を有してもよい。このように構成することで、被搬送物の受け渡しとガスの拡散抑制を両立することができる。あるいは、前記第2送風部は、両端が開口された筒状の本体部と、前記本体部の内側に沿って形成され前記第1方向へ気体を噴出する噴出部と、を備え、前記本体部の中心軸が前記第1方向に向くように、かつ、前記第1方向からみて前記本体部の開口の内側に前記エンドエフェクタが位置するように、前記移動部に設けられていてもよい。このように構成することで、第2送風部により発生された気流の速度及び指向性を向上させることができる。前記第2送風部は、前記第1方向に第2駆動機構によって前記移動部に支持されていてもよい。このように構成することで、第2送風部により発生された気流の方向を変更することなく第2送風部の位置を変更することができる。前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させる場合と、前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させた状態で移動させる場合とで、前記第2送風部と前記エンドエフェクタとの相対位置を変更するように前記第2駆動機構の動作を制御する制御部を備えてもよい。このように構成することで、被搬送物の受け渡し時と搬送時において、第2送風部とエンドエフェクタとの相対位置を変更し、被搬送物の受け渡しとガスの拡散抑制を両立することができる。前記制御部は、前記エンドエフェクタに前記被搬送物を載置させて移動させる場合には、前記第2送風部の内部に前記エンドエフェクタが収容される位置まで前記第2送風部を移動させるように前記第2駆動機構の動作を制御してもよい。このように構成することで、搬送時においてガスの拡散を抑制することができる。また、前記第2送風部の下流側の前記筐体内壁に、前記排気口を囲むように設けられた筒状の第2ダクト部材を備えてもよい。このように構成することで、第2ダクト部材が第2送風部から送られた気体を適切に受け止めるため、ガスの拡散を抑制することができる。前記第2ダクト部材は、前記第1方向からみた前記移動部の移動経路に沿って設けられてもよい。このように構成することで、移動部が移動した場合であっても、第2ダクト部材が第2送風部から送られた気体を適切に受け止めるため、ガスの拡散を抑制することができる。また、前記第2送風部は、前記第1送風部により発生させる気流よりも速い気流を発生させてもよい。このように構成することで、第2送風部の気流が被搬送物から発生したガスを適切に取り込んで排気させることができる。また、排気口の上流側にガスを吸着するフィルタを備えてもよい。このように構成することで、系外へ清涼な気体を排気することができる。また、前記筐体内部は、前記被搬送物を処理室へ搬入出するために設けられたロードロック、及び前記被搬送物を収容する収容ボックスと連通されていてもよい。前記第1駆動機構は、前記移動部を前記第1方向及び前記第1方向に直交する第2方向のそれぞれに沿ってスライド移動させてもよい。さらに、前記第1駆動機構は、前記第2方向沿って延びる第1レールと、前記第1レールに配置された門型フレームと、前記門型フレームを前記第1レールに沿ってスライド移動させる第1スライド駆動機構と、前記門型フレームに形成され、前記第1方向へ延びる第2レールと、前記第2レールに配置された前記移動部を前記第2レールに沿ってスライド移動させる第2スライド駆動機構と、を備えてもよい。このように構成することで、移動部が被搬送物の搬送のために筐体内を適切に移動することができる。本発明の他の側面は、筐体内で基板を搬送する搬送装置と、前記搬送装置により搬送された基板を処理する処理室と、を備える基板処理システムである。前記搬送装置は、前記筐体内部において第1方向へ気流を発生させる第1送風部と、前記第1送風部により発生された気流の下流側に設けられ、前記筐体内部と連通し、前記筐体内部の気体を前記筐体外へ排気する排気口と、筐体内に配置された第1駆動機構により支持され、前記第1送風部よりも下流側かつ前記排気口よりも上流側の前記筐体内を移動する移動部と、前記移動部に設けられ、前記基板を載置するエンドエフェクタと、前記移動部に設けられ、前記第1方向へ気流を発生させる第2送風部と、を備える。この基板処理システムは、上述した搬送装置と同様の効果を奏する。本発明の種々の側面種々の実施形態によれば、基板を搬送する筐体内においてガスの拡散を抑制することができる。以下、実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。第1実施形態図1は、一実施例の本実施形態に係る搬送装置1を備える基板処理システム100の構成ブロック図である。本実施形態に係る搬送装置1は、例えば、半導体、化合物半導体、有機EL素子、太陽電池等のデバイスの製造に適用可能なものである。図1に示すように、基板処理システム100は、収容ボックス10、第1搬送室11、パージストレージ12、ロードロック13、第2搬送室14、処理室15及び制御部16を備えている。収容ボックス10は、処理前の基板及び処理後の基板、例えばウェハ被搬送物を収容する。収容ボックス10は、例えばロードポートに載置され、開閉ドア機構を介して第1搬送室11と連通されている。第1搬送室11は、大気と連通されており、その内部に搬送装置1の構成要素である搬送アームが配置されている。第1搬送室11は、パージストレージ12と連通されている。パージストレージ12は、一時的にウェハを載置させる載置台を有し、処理後のウェハを一時的に収容する。さらに、第1搬送室11は、例えば開閉可能なゲートバルブを介してロードロック13と連通されている。ロードロック13は、真空ポンプに接続されており、真空引き可能に構成されている。ロードロック13は、例えば開閉可能なゲートバルブを介して第2搬送室14と連通されている。第2搬送室14は、真空ポンプに接続されており、真空引き可能に構成されている。第2搬送室14は、内部に搬送機構を備えている。第2搬送室14は、例えば開閉可能なゲートバルブを介して処理室15と連通されている。処理室15は、真空ポンプに接続されており、真空引き可能に構成されている。処理室15には、ドライエッチング、スパッタリング又は成膜CVD等によりウェハを処理する処理機構が配置されている。このような処理機構で用いられるガスとしては、例えば、ドライエッチングではフッ素系SF6等や塩素系Cl2等、臭素系HBr等ガス等のハロゲンガスが用いられる。また、成膜では、塩素系TiCl4など、フッ素系WF6などの成膜ガスが用いられる。制御部16は、例えば、CPU、ROM、RAM等を備えるデバイスであって、第1搬送室11に配置された搬送アーム及び第2搬送室に配置された搬送アームの動作を制御可能に構成されている。上記構成の基板処理システム100では、収容ボックス10内の処理前のウェハが、第1搬送室11の搬送アームによって搬出されてロードロック13へ搬入され、ロードロック13内の処理前のウェハが、第2搬送室14の搬送アームによって搬出されて処理室15へ搬入される。そして、所定の処理工程を終了後、処理室15内の処理後のウェハが、第2搬送室14の搬送アームによって搬出されてロードロック13へ搬入され、ロードロック13内の処理後のウェハが、第1搬送室11の搬送アームによって搬出されて、パージストレージ12へ搬入される。一定期間後、第1搬送室11の搬送アームによってパージストレージ12から処理後のウェハが搬出されて、収容ボックス10内へ搬入される。基板処理システム100は、必要に応じて、複数の収容ボックス10、複数のパージストレージ12、複数のロードロック13、複数の第2搬送室14及び複数の処理室15を備えてもよい。搬送装置1は、第1搬送室11内に配置された構成要素及び制御部16を備えて構成されている。以下では、第1搬送室11及び搬送装置1の詳細を説明する。図2は、第1搬送室11の概略断面図である。ここでは、基板処理システム100がロードロック13を2つ備える場合を一例として説明する。図2に示すように、第1搬送室11は、筐体30の内部に形成されている。第1搬送室11は、ロードポート31に載置された収容ボックス10と開閉ドア機構32を介して接続されている。さらに、第1搬送室11は、ゲートバルブ23A,23Bを介してロードロック13A,13Bにそれぞれ接続されている。筐体30の天井部には、複数の通気入口28が設けられており、大気から筐体30の内部へ空気を流入可能に構成されている。天井部の直下には、主送風ファン第1送風部17及び主フィルタ33が順に配置されている。主フィルタ33として、例えばヘッパフィルター等が用いられる。これにより、筐体30内において上方から下方へ向かう方向第1方向に、清浄な下降気流ダウンフローF1が形成される。また、筐体30の底部には、筐体30内部の気体を系外へ排出する排気口26が形成されている。すなわち、排気口26は、主送風ファン17よりもダウンフローF1の下流側に設けられている。筐体30の内部には、移動体18を支持する移動支持体第1駆動機構22が配置され、移動体18が収容されている。移動支持体22として、例えば門型搬送アームが用いられる。以下では、移動支持体22が門型搬送アームである場合を例に説明する。門型搬送アーム22及び移動体18は、主送風ファン17よりもダウンフローF1の下流側であって、かつ、排気口26よりも上流側に配置されている。図3は、門型搬送アーム22及び移動体18の概略斜視図である。図2,3に示すように、門型搬送アーム22は、門型フレーム22a及び水平フレーム22bを備えている。水平フレーム22bは、筐体30の長手方向第1方向と直交する方向である第2方向に沿って延在している。水平フレーム22bは、水平レール第1レール22dを備えている。門型フレーム22aは、水平レール22dにスライド可能に取り付けられている。また、水平フレーム22bの内部には、モータ22f及び駆動ベルト22cが駆動機構第1スライド駆動機構として配置されており、門型フレーム22aは、水平レール22dに沿ってスライド駆動可能に構成されている。門型フレーム22aは、移動体18を第1方向へスライド駆動させる駆動機構を備えている。図4は、移動体18の概略斜視図である。図4に示すように、移動体18の基台移動部18dは、門型フレーム22aの内周に沿って形成された垂直レール第2レール22gにスライド可能に取り付けられている。また、門型フレーム22aの内側には、図示しないモータに接続された駆動ベルト22eが駆動機構第2スライド駆動機構として配置されており、移動体18は、垂直レール22gに沿ってスライド駆動可能に構成されている。図2,4に示すように、移動体18は、基台18d、搬送アームアーム部20、エンドエフェクタ21、送風ファン第2送風部19、ロボットケース風よけ部18a及び排気ダクト第1ダクト部材18cを備えている。基台18dは、略円柱体を呈し、上方から下方に向けて通気可能とされている。例えば、基台18dの上面及び下面は、ダウンフローの気流を妨げず気流の流れを形成するようにメッシュ状の材料、複数の格子状の材料、又は、複数の孔が形成された材料等で形成されている。また、移動体18の内部の基台18dの上方には、搬送アーム20が配置され、基台18dの内側には、搬送アーム20と連結されたアーム駆動機構18eが配置されている。搬送アーム20は、多関節形状のアームであって、アーム駆動機構18eとの接続点を中心として回転可能に構成されているともに、半径方向へ屈伸自在伸縮自在に構成されている。なお、搬送アーム20は移動体18の外に配置してもよい。ロボットケース18aは、箱状を呈し、搬送アーム20及びエンドエフェクタ21を覆うように基台18dに取り付けられている。ロボットケース18aの側部には、窓部18bが形成されており、搬送アーム20及びエンドエフェクタ21が窓部18bを通過することでウェハWの受け渡しを可能としている。ロボットケース18aの天井部は、エンドエフェクタ21と主送風ファン17との間に介在し、主送風ファン17により発生されたダウンフローF1を阻害する風よけ部として機能する。送風ファン19は、基台18dの下方側に筒状の排気ダクト18cに収容された状態で基台18dに取り付けられている。すなわち、送風ファン19は、ロボットケース18aの天井部よりもダウンフローF1の下流側に設けられている。送風ファン19は、ダウンフローF1の方向に沿ってダウンフローF2を発生させる。送風ファン19により発生されたダウンフローF2は、ダウンフローF1よりも速い気流であってもよい。排気ダクト18cは、上端開口部が基台18dの下面に接続され、下端開口部からダウンフローF2を排気する。排気ダクト18cは、下流側に向かうにつれて細くなるテーパ状に形成されている。これにより、ダウンフローF2の流速が向上し、かつ、排気口26への指向性が良好となる。図2に示すように、送風ファン19の下流側の筐体30内壁には、排気口26を囲むように設けられた筒状の受けダクト第2ダクト部材24が立設されている。受けダクト24は、第1方向からみた移動体18の移動経路に沿って設けられている。受けダクト24の内側であって、排気口26の上流側には、ガスを吸着するフィルタ25が設けられている。また、排気口26には、系外へ排気するための補助ファン27が配置されている。これにより、ガスを筐体30に拡散しないように効率良く廃棄することができる。搬送装置1は、上述した主送風ファン17と排気口26とを有する筐体30内において、上述した基台18d、エンドエフェクタ21及び送風ファン19とを備えて構成される。また、制御部16は、搬送装置1の門型搬送アーム22、及び搬送アーム20のアーム駆動機構18eを制御して移動体18を所定位置へ移動させる。なお、制御部は、搬送装置1の送風関係の機器を制御可能に構成されていてもよい。次に、搬送装置1の作用効果について説明する。図5は、搬送装置1の作用効果を説明する概要図である。図5に示すように、移動体18は、第1方向H1及び第2方向H2に沿ってスライド移動する。処理後のウェハWは、ロードロック13Aからゲートバルブ23Aを介して搬送アーム20により搬出され、パージストレージ12に搬入される。このとき、ダウンフローF1は、ロボットケース18aの天井部により流れが阻害され、搬送中のウェハWに直接到達しない。すなわち、ロードロック13Aからパージストレージ12へのウェハWの移動経路において、ダウンフローF1が処理後のウェハWに直接到達して腐食に関わるガスを第1搬送室11内にまき散らすことを回避することができる。また、ウェハWから発生したガスR1は、送風ファン19により発生されたダウンフローF2に取り込まれ、排気ダクト18cから受けダクト24へ向けて送風され、受けダクト24に到達する。その後、補助ファン27によりガスが排気口26へ取り込まれ、フィルタを介して系外へ排気される。なお、パージストレージ12内の気体は、清浄化されて系外へ排気される。以上、第1実施形態に係る搬送装置1によれば、主送風ファン17によって発生されたダウンフローF1は、ウェハWが載置されたエンドエフェクタ21へ到達後、排気口26へ到達する。送風ファン19によって発生されたダウンフローF2は、エンドエフェクタ21近傍の気体を取り込みならが排気口26へ到達する。処理後のウェハWから発生した腐食に関わるガスR1は、ダウンフローF2とともに排気口26へ到達する。このため、ダウンフローF2によって、ガスR1が筐体30内に拡散することを抑制しつつ排気することができる。また、このようにガスR1の拡散を防止することで、第1搬送室の内部に耐食コーティング等を施す必要がなくなり、コストダウンすることができる。また、ガスR1の拡散を防止することで、第1搬送室全体を交換する保守作業等を実施しなくてもよく、保守間隔や交換作業の負荷及び交換時間を低減することが可能となる。また、基台18dには、エンドエフェクタ21と主送風ファン17と間に介在し、第1送風部により発生された第1方向への気流の流れを阻害するロボットケース18aが設けられ、送風ファン19は、ロボットケース18aより下流側に配置されているため、ダウンフローF1がウェハWに直接到達することを回避することができる。このため、ウェハWから発生したガスの拡散を一層抑制することが可能となる。また、ロボットケース18aが円筒状を呈し、その内部にエンドエフェクタ21を収容するとともに、送風ファン19が筒状の排気ダクト18cに収容された状態で基台18dに設けられているため、ウェハWから発生したガスをダウンフローF2に取り込んで適切に排気させることができる。また、排気ダクト18cが下流側に向かうにつれて細くなるテーパ状に形成されているため、ダウンフローF2の向きを排気口26へ適切に合せることができるとともに、ダウンフローF2の速度を上げて適切に排気口26へ到達させることが可能となる。また、エンドエフェクタ21が伸縮可能な搬送アーム20によって基台18dに支持されており、ロボットケース18aが、エンドエフェクタ21及び搬送アーム20が通過可能な窓部18bを有しているため、ウェハWの受け渡しとガスの拡散抑制を両立することができる。また、送風ファン19の下流側の筐体内壁に、排気口26を囲むように設けられた筒状の受けダクト24が配置されているため、受けダクト24がダウンフローF2を適切に受け止めることができる。このため、ガスの拡散を抑制することが可能となる。また、受けダクト24が、第1方向からみた基台18dの移動経路に沿って設けられているため、基台18dが移動した場合であっても、受けダクト24がダウンフローF2を適切に受け止めることができる。このため、ガスの拡散を抑制することができる。また、送風ファン19が、ダウンフローF1よりも速いダウンフローF2を発生させるため、ダウンフローF2がウェハWから発生したガスR1を適切に取り込んで排気させることができる。また、排気口26の上流側にガスR1を吸着するフィルタ25が配置されるため、系外へ清涼な気体を排気することができる。さらに、上述した門型搬送アーム22を採用することで、搬送動作に影響を与えることなく排気ダクト18c及び受けダクト24を備えることができる。第2実施形態第2実施形態に係る搬送装置1は、第1実施形態に係る搬送装置1とほぼ同様に構成され、移動体18の構成のみが相違する。以下では、説明理解の容易性を考慮して、第1実施形態との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。図6は、本実施形態に係る搬送装置1の移動体18の概略斜視図である。図6に示すように、移動体18は、基台18d、搬送アーム20及び送風部第2送風部40を備えている。なお、搬送系の機構は第1実施形態と同一である。送風部40は、筒状のファン隠蔽型送風機である。送風部40の本体部40dは、両端が開口された筒状部材であり、搬送アーム20及びウェハWが載置されたエンドエフェクタを収容できる大きさの径を有する。送風部40は、本体部40dの中心軸Lが第1方向に向くように、かつ、第1方向からみて本体部40dの開口の内側にエンドエフェクタ及びウェハWが位置するように、基台18dに設けられている。本体部40dの側部には、径方向に対向する位置に突起部40aが設けられている。また、基台18dの側部には、突起部40aそれぞれに対応して第1方向に伸縮可能な伸縮駆動機構第2駆動機構が設けられている。伸縮駆動機構は、伸縮部材40c及び伸縮部材40cを駆動支持する駆動部40bを備えている。本体部40dの突起部40aと、基台18dの伸縮部材40cとが連結されている。これにより、送風部40は、基台18dに第1方向へ駆動可能に支持されている。図7に示すように、送風部40の本体部40dは、中空構造を有し、その内部に気体を流通可能に構成されている。突起部40aは、両端部が開口された筒状部材であり、一方の端部が本体部40dの内部と連通するように取り付けられている。突起部40aの内部には、送風ファン40eが収容されている。本体部40dには、内周に沿って本体部40dの開口方向へ気体を噴出するスリット噴出部40fが形成されている。上記構成により、送風ファン40eが回転すると、気体が突起部40aから本体部40d内部へ送り込まれ、環状のスリット40fから第1方向へ向けて噴出される。噴出された気体は、本体部40dの内側の気体及び本体部40dの上側の気体を取り込んで、第1方向へ流通する。これにより、本体部40dの開口方向に沿った指向性の強いダウンフローF2が形成される。ダウンフローF2は、ウェハWから発生したガスR1を取り込んで第1方向へ流通する。制御部16は、伸縮駆動機構を制御することで、基台18d、搬送アーム20、エンドエフェクタ21及びウェハWと、送風部40との相対位置高さ位置を調整可能に構成されている。なお、送風部40以外の構成は第1実施形態に係る搬送装置1と同様である。次に、搬送装置1の相対位置調整動作を説明する。図8は、搬送装置1の動作を示すフローチャートである。図8に示す制御処理は、例えば搬送装置1のウェハ搬送処理が実行されたタイミングから所定の間隔で繰り返し実行される。図8に示すように、制御部16は、エンドエフェクタ21にウェハWの受け渡しを実行するタイミングか否かを判定するS10。例えば、制御部16は、メモリに備わるウェハWの処理スケジュールを参照し、ウェハWの受け渡しタイミングを取得して、エンドエフェクタ21にウェハWを載置させるタイミングか否かを判定する。S10の処理で、ウェハWの受け渡しを実行すると制御部16が判定した場合には、位置調整処理へ移行するS12。S12の処理では、制御部16が伸縮駆動機構を制御して、送風部40をダウン位置へ移動させる。図9は、送風部40のダウン位置を説明する概要図である。なお、図9では送風部40の高さ位置を説明するために伸縮駆動機構の図示を省略している。図9に示すように、ダウン位置は、送風部40の上端40gが搬送アーム20よりも下方下流側となる位置である。これにより、ウェハWの受け渡し時において搬送アーム20の搬入出の動作を阻害することなく、気流を第1方向へ発生させることができる。S12の処理が終了すると、図9に示す制御処理を終了する。一方、S10の処理で、ウェハWの受け渡しを実行しないと制御部16が判定した場合には、位置調整処理へ移行するS14。S14の処理では、制御部16が伸縮駆動機構を制御して、送風部40をアップ位置へ移動させる。図10は、送風部40のアップ位置を説明する概要図である。なお、図10では送風部40の高さ位置を説明するために伸縮駆動機構の図示を省略している。図10に示すように、アップ位置は、送風部40の上端40gがウェハWの配置位置すなわちエンドエフェクタ21の高さ位置よりも上方上流側となる位置である。すなわち、エンドエフェクタ21が送風部40の本体部40d内部に収容される位置がアップ位置である。これにより、ウェハWの搬送時移動体18の移動時において、送風部40の本体部40d内部にウェハWを収容することができるため、ウェハW近傍の気体を適切に取り込んで送風させることが可能となる。S14の処理が終了すると、図9に示す制御処理を終了する。以上で図9に示す制御処理を終了する。図9に示す制御処理を実行することにより、ウェハW受け渡し時とウェハW搬送時とで送風部40の高さ位置が異なるように調整される。次に、搬送装置1の作用効果について説明する。図11は、搬送装置1の作用効果を説明する概要図である。図11に示すように、移動体18は、第1方向H1及び第2方向H2に沿ってスライド移動する。処理後のウェハWは、ロードロック13Aからゲートバルブ23Aを介して搬送アーム20により搬出され、パージストレージ12に搬入される。このとき、ウェハWの受け渡し時においては送風部40がダウン位置へ移動する。これによりウェハWの受け渡しと排気との両立が実現する。一方、ウェハWの搬送時においては送風部40がアップ位置へ移動する。これにより、ウェハWから発生するガスR1を気流に一層取り込むことができる図7参照。ファン隠蔽型の送風部40によって流速の速いダウンフローF2を形成することができるので、ダウンフローF1が搬送中のウェハWに直接到達してもガスR1が拡散することなく、排気ダクト18cから受けダクト24へ向けて送風され、受けダクト24に到達する。その後、補助ファン27によりガスR1が排気口26へ取り込まれ、フィルタを介して系外へ排気される。なお、パージストレージ12内の気体は、清浄化されて系外へ排気される。以上、第2実施形態に係る搬送装置1によれば、第1実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、ファン隠蔽型の送風部40が移動体18の基台18dに設けられているため、ダウンフローF2の速度及び指向性を向上させることができる。また、送風部40が第1方向に伸縮可能な第2駆動機構によって基台18dに支持されているため、送風部40により発生された気流の方向を変更することなく送風部40の位置を変更することができる。また、ウェハWの受け渡し時と搬送時において、送風部40とエンドエフェクタ21との相対位置を変更し、被搬送物の受け渡しとガスR1の拡散抑制を両立することができる。また、制御部16が、エンドエフェクタ21にウェハWを載置させて移動させる場合には、送風部40の内部にエンドエフェクタが収容される位置まで送風部40を移動させるように第2駆動機構の動作を制御するため、搬送時においてガスR1の拡散を抑制することができる。なお、上述した各実施形態は搬送装置1の一例を示すものであり、各実施形態に係る搬送装置1を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。例えば、上述した実施形態では、移動体18の搬送機構として門型搬送アーム22を用い、ウェハWの搬送機構として多関節形状の搬送アーム20を用いた例を説明したが、他の搬送機構であってもよい。また、上述した実施形態では、主送風ファン17が筐体30の上方から下方へ向かう方向第1方向へダウンフローF1を発生させる場合を説明したが、主送風ファン17の送風方向はこれに限られるものではない。例えば、筐体30の左右方向を第1方向としてもよい。また、上述した第2実施形態では、送風部40が基台18dに対して相対移動するように取り付けられている例を説明したが、送風部40が基台18dに固定されていてもよい。"