"高周波電源と、前記高周波電源から電力の供給を受ける1次コイルと、前記1次コイルから電力が電磁誘導により供給される1次側共鳴コイルと、前記1次側共鳴コイルからの電力を磁場共鳴して受電する2次側共鳴コイルと、前記2次側共鳴コイルにより受電された電力を電磁誘導により取り出す2次コイルと、前記2次コイルにより受電された電力が供給される負荷と、を備え、少なくとも前記1次コイル、前記1次側共鳴コイル、前記2次側共鳴コイル、前記2次コイルおよび前記負荷により共鳴系を構成する非接触電力伝送装置において、前記負荷が変動した場合に前記共鳴系の共鳴周波数と前記高周波電源の出力周波数とを合致させる周波数合致手段と、前記周波数合致手段により前記共鳴系の共鳴周波数と前記高周波電源の出力周波数とが合致した状態で前記共鳴系の共鳴周波数における入力インピーダンスと、前記1次コイルより前記高周波電源側のインピーダンスとが合うようにインピーダンス整合を行うインピーダンス整合手段と、を備えたことを特徴とする非接触電力伝送装置。前記周波数合致手段は、前記高周波電源の出力周波数を前記共鳴系の共鳴周波数に合わせることを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の非接触電力伝送装置。前記周波数合致手段は、前記共鳴系の共鳴周波数を前記高周波電源の出力周波数に合わせることを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の非接触電力伝送装置。インピーダンス測定器を更に備え、前記インピーダンス測定器により、負荷の変動を検知するようにしたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の非接触電力伝送装置。ところで、負荷変化により整合状態と共鳴系の共鳴周波数が変化するので、出力周波数を固定したまま整合をとっても最大効率を得られない。本発明の目的は、負荷が変動しても効率よく高周波電源から電力を負荷に供給することができる非接触電力伝送装置を提供することにある。請求項1に記載の発明では、高周波電源と、前記高周波電源から電力の供給を受ける1次コイルと、前記1次コイルから電力が電磁誘導により供給される1次側共鳴コイルと、前記1次側共鳴コイルからの電力を磁場共鳴して受電する2次側共鳴コイルと、前記2次側共鳴コイルにより受電された電力を電磁誘導により取り出す2次コイルと、前記2次コイルにより受電された電力が供給される負荷と、を備え、少なくとも前記1次コイル、前記1次側共鳴コイル、前記2次側共鳴コイル、前記2次コイルおよび前記負荷により共鳴系を構成する非接触電力伝送装置において、前記負荷が変動した場合に前記共鳴系の共鳴周波数と前記高周波電源の出力周波数とを合致させる周波数合致手段と、前記周波数合致手段により前記共鳴系の共鳴周波数と前記高周波電源の出力周波数とが合致した状態で前記共鳴系の共鳴周波数における入力インピーダンスと、前記1次コイルより前記高周波電源側のインピーダンスとが合うようにインピーダンス整合を行うインピーダンス整合手段と、を備えたことを要旨とする。請求項1に記載の発明によれば、負荷が変動すると、周波数合致手段により、共鳴系の共鳴周波数と高周波電源の出力周波数とが合致される。そして、周波数合致手段により共鳴系の共鳴周波数と高周波電源の出力周波数とが合致した状態で、インピーダンス整合手段により、共鳴系の共鳴周波数における入力インピーダンスと、1次コイルより高周波電源側のインピーダンスとが合うようにインピーダンス整合が行われる。その結果、負荷が変動しても効率よく高周波電源から電力を負荷に供給することができる。請求項1に記載の非接触電力伝送装置において、請求項2に記載のように、前記周波数合致手段は、前記高周波電源の出力周波数を前記共鳴系の共鳴周波数に合わせるようにしても、請求項3に記載のように、前記周波数合致手段は、前記共鳴系の共鳴周波数を前記高周波電源の出力周波数に合わせるようにしてもよい。請求項4に記載の発明では、請求項1~3のいずれか1項に記載の非接触電力伝送装置において、インピーダンス測定器を更に備え、前記インピーダンス測定器により、負荷の変動を検知するようにしたことを要旨とする。請求項4に記載の発明によれば、インピーダンス測定器により負荷の変動を検知することができる。本発明によれば、負荷が変動しても効率よく高周波電源から電力を負荷に供給することができる。第1の実施形態以下、本発明を具体化した第1の実施形態を図面に従って説明する。図1に示すように、非接触電力伝送装置10は、高周波電源11と、高周波電源11に接続された1次コイル12と、1次側共鳴コイル13と、2次側共鳴コイル14と、2次コイル15と、2次コイル15に接続された負荷16と、高周波電源11と1次コイル12との間に設けられたインピーダンス可変回路17を備えている。1次側共鳴コイル13および2次側共鳴コイル14にはそれぞれコンデンサ18,19が並列に接続されている。1次コイル12と1次側共鳴コイル13とコンデンサ18とにより1次側共鳴器を構成するとともに、2次側共鳴コイル14と2次コイル15とコンデンサ19とにより2次側共鳴器を構成している。また、1次コイル12、1次側共鳴コイル13、2次側共鳴コイル14、2次コイル15、負荷16およびコンデンサ18,19は共鳴系20を構成する。高周波電源11は、高周波電圧交流電圧を出力する電源である。高周波電源11の出力交流電力の周波数は可変である。1次コイル12、1次側共鳴コイル13、2次側共鳴コイル14および2次コイル15は電線により形成されている。コイルを構成する電線には、例えば、絶縁ビニル被覆線が使用される。コイルの巻径や巻数は、伝送しようとする電力の大きさ等に対応して適宜設定される。この実施形態では1次コイル12、1次側共鳴コイル13、2次側共鳴コイル14および2次コイル15は、同じ巻径に形成されている。1次側共鳴コイル13および2次側共鳴コイル14は同じに形成され、各コンデンサ18,19として同じコンデンサが使用されている。可変整合器としてのインピーダンス可変回路17は、2つの可変コンデンサ21,22とインダクタ23とから構成されている。一方の可変コンデンサ21は高周波電源11に並列に接続され、他方の可変コンデンサ22は1次コイル12に並列に接続されている。インダクタ23は両可変コンデンサ21,22間に接続されている。インピーダンス可変回路17は、可変コンデンサ21,22の容量が変更されることでそのインピーダンスが変更される。詳しくは、インピーダンス可変回路17により、1次コイル12より高周波電源11側のインピーダンスを変更することができる。高周波電源11の出力ラインにはインピーダンス測定器25が接続されている。インピーダンス測定器25にはコントローラ24が接続されている。インピーダンス測定器25は、共鳴系の共鳴周波数検出手段および整合状態検出手段として機能する。非接触電力伝送装置10は、車両に搭載された2次電池に対して非接触充電を行うシステムに適用することができる。具体的には、2次側共鳴コイル14、2次コイル15、コンデンサ18および負荷162次電池が車両に搭載され、高周波電源11、1次コイル12、コンデンサ19、1次側共鳴コイル13、インピーダンス可変回路17、インピーダンス測定器25およびコントローラ24が、2次電池に非接触状態で充電を行う充電装置に装備され、この充電装置は地上側設備充電ステーションに設けられる。本実施形態では、コントローラ24により周波数合致手段が構成されている。また、インピーダンス可変回路17およびコントローラ24によりインピーダンス整合手段が構成されている。次に、このように構成した非接触電力伝送装置10の作用を説明する。負荷16への電力伝送時には、例えば、車両が給電充電装置の近くの所定位置に停止した状態で負荷16例えば2次電池への給電が行われる。コントローラ24は、可変コンデンサ21,22の容量を給電時における適切な容量に変更するように可変コンデンサ21,22に駆動信号を出力する。そして、可変コンデンサ21,22の容量が負荷16の大きさに適した値に変更される。次に、高周波電源11から1次コイル12に共鳴系20の共鳴周波数で高周波電力が出力され、電磁誘導により電力が供給された1次コイル12に磁場が発生する。この磁場が1次側共鳴コイル13と2次側共鳴コイル14とによる磁場共鳴により増強される。増強された2次側共鳴コイル14付近の磁場から2次コイル15により電磁誘導を利用して電力が取り出されて負荷16例えば2次電池に供給される。このように、1次コイル12において高周波電源11から電力の供給を受け、1次側共鳴コイル13において1次コイル12から電力が電磁誘導により供給され、2次側共鳴コイル14において1次側共鳴コイル13からの電力を磁場共鳴して受電し、2次コイル15において2次側共鳴コイル14により受電された電力を電磁誘導により取り出し、2次コイル15により受電された電力が負荷16に供給される。図2のt1のタイミングにおいて負荷がαからβに変動したものとする。その結果、共鳴系の共鳴周波数が、AHzから、図2のt2のタイミングでBHzに変化する。まず、インピーダンス測定器25により共鳴系の共鳴周波数が検出され、コントローラ24に送られる。つまり、それまでのAHzからBHzに変化したことが検出され、B[Hz]になったことがコントローラ24に送られる。次に、コントローラ24において共鳴系の共鳴周波数に合うように高周波電源11の出力周波数が調整される。つまり、それまでのAHzから、t3のタイミングでBHzに変更される。次に、コントローラ24は、図2のt3~t4の期間において、インピーダンス可変回路17のコンデンサ容量を調整してインピーダンス整合する。詳しくは、コントローラ24は、インピーダンス測定器25からの検出値により整合状態を確認しつつ共鳴系の共鳴周波数における入力インピーダンスと、1次コイル12より高周波電源11側のインピーダンスとが合うようにインピーダンス可変回路17のコンデンサ容量を調整してインピーダンス整合を行う。その結果、高周波電源11への反射電力を低減して、高周波電源11から電力が効率良く負荷16例えば2次電池に供給される。次に、負荷変動と効率の関係について説明する。負荷変化により、整合状態と共鳴系の共鳴周波数効率最大となる周波数の2つが変化する。従って、出力周波数を任意の周波数に固定したまま整合をとっても、図3に示すように、最大効率が得られない。つまり、図3では負荷抵抗が例えば800Ωになったときに効率が60程度であり、最大効率が得られない。これに対し負荷変動時に共鳴系の共鳴周波数を探索し、共鳴系の共鳴周波数に合うように高周波電源の出力周波数を変化させ、その状態でインピーダンス整合をとる。その結果、図4に示すように、負荷抵抗が約330Ωや800Ωに変化した場合にも効率を90近くにすることができる。上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。1コントローラ24により、負荷が変動した場合に共鳴系20の共鳴周波数と高周波電源11の出力周波数とを合致させる。そして、コントローラ24とインピーダンス可変回路17により、共鳴系20の共鳴周波数と高周波電源11の出力周波数とが合致した状態で共鳴系20の共鳴周波数における入力インピーダンスと、1次コイル12より高周波電源11側のインピーダンスとが合うようにインピーダンス整合を行う。これにより、負荷変動に依存しない最大効率で電力を伝送することができる。2周波数合致手段としてのコントローラ24により、高周波電源11の出力周波数を共鳴系の共鳴周波数に合わせることができる。3インピーダンス測定器25により、負荷16の変動を検知することができる。第2の実施形態次に、第2の実施形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。図1に代わり、本実施形態では図5に示すように、1次側共鳴コイル13には可変コンデンサ30が並列に接続されている。また、2次側共鳴コイル14には可変コンデンサ31が並列に接続されている。コントローラ24により可変コンデンサ30の容量および可変コンデンサ31の容量を調整できるようになっている。本実施形態では、コントローラ24と可変コンデンサ30,31により周波数合致手段が構成されている。図6のt10のタイミングにおいて負荷がαからβに変動したものとする。その結果、共鳴系の共鳴周波数がAHzから、図6のt11のタイミングでBHzに変化する。まず、インピーダンス測定器25により共鳴系の共鳴周波数が検出され、コントローラ24に送られる。つまり、それまでのAHzからBHzに変化したことが検出され、B[Hz]になったことがコントローラ24に送られる。次に、図6のt11~t12の期間において、コントローラ24は、高周波電源11の出力周波数に合うように可変コンデンサ30,31の容量を調整することにより共鳴系の共鳴周波数を調整する。即ち、1次側の共鳴器1次コイル12、1次側共鳴コイル13、2次側の共鳴器2次側共鳴コイル14、2次コイル15の固有周波数を調整することによって共鳴周波数を調整する。次に、コントローラ24は、図6のt12~t13の期間において、インピーダンス可変回路17のコンデンサ容量を調整してインピーダンス整合する。詳しくは、インピーダンス測定器25からの検出値により整合状態を確認しつつ共鳴系の共鳴周波数における入力インピーダンスと、1次コイル12より高周波電源11側のインピーダンスとが合うようにインピーダンス可変回路17のコンデンサ容量を調整してインピーダンス整合を行う。その結果、高周波電源11への反射電力を低減して、高周波電源11から電力が効率良く負荷16例えば2次電池に供給される。上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。4コントローラ24と可変コンデンサ30,31により、共鳴系の共鳴周波数を高周波電源11の出力周波数に合わせることができる。実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。第1の実施形態において、負荷変動は、1次側に設けたインピーダンス測定器25により検出してフィードバックをかけたが、これに代わり、2次側に負荷変動検出手段26図1参照を設けてもよい。具体的には、例えば負荷のSOCにより充電状態をモニタして負荷変動を検知する。同様に、第2の実施形態においても、負荷変動は、1次側に設けたインピーダンス測定器25により検出してフィードバックをかけたが、これに代わり2次側に負荷変動検出手段32図5参照を設けてもよい。具体的には、例えば負荷のSOCにより充電状態をモニタして負荷変動を検知する。第1の実施形態および第2の実施形態においては、一次側に設けたインピーダンス測定器25を、共鳴系の共鳴周波数検出手段および整合状態検出手段として用いた。これに代わり、共鳴系の共鳴周波数検出手段と整合状態検出手段とをそれぞれ別の機器で構成してもよい。例えば、共鳴系の共鳴周波数検出手段をインピーダンス測定器で構成し、整合状態検出手段をVSWR測定器で構成してもよい。インピーダンス可変回路17は2個の可変コンデンサ21,22と1個のインダクタ23とで構成されるものに限らない。例えば、インピーダンス可変回路17を構成する可変コンデンサ21,22のいずれか一方を省略して、インピーダンス可変回路17を1個の可変コンデンサと1個のインダクタ23とで構成してもよい。また、インピーダンス可変回路17を、固定容量のコンデンサと可変インダクタとで構成してもよい。1次コイル12、1次側共鳴コイル13、2次側共鳴コイル14および2次コイル15の外形は、円形に限らず、例えば、四角形や六角形や三角形等の多角形にしたり、あるいは楕円形にしたりしてもよい。1次側共鳴コイル13および2次側共鳴コイル14は、電線が筒状に巻回されたコイルに限らず、例えば、電線が一平面上に巻回された形状としてもよい。第1の実施形態において、コンデンサ18,19の代わりに1次側共鳴コイル13および2次側共鳴コイル14の寄生容量を用いてもよい。この場合、共鳴系は1次コイル12、1次側共鳴コイル13、2次側共鳴コイル14、2次コイル15、負荷16で構成される。第1の実施形態において、1次側共鳴器、2次側共鳴器の固有周波数が同じであれば1次側共鳴コイル、2次側共鳴コイルの巻径や巻数は、同じに形成されなくてもよく、各コンデンサ18,19も同じコンデンサを使用しなくてもよい。負荷と2次コイルとの間に整流器、整合器、DC/DCコンバータ等を設けてもよい。この場合、共鳴系は整流器、整合器、DC/DCコンバータ等を含めて構成される。"