"メインバーナと、複数のバーナを有するパイロットバーナと、前記複数のバーナの燃料流量を制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、化学量論比を含む設定の高NOx局所燃空比範囲を記憶する記憶部と、前記複数のバーナの燃料系統に指令を出力する演算部とを備え、前記演算部は、前記化学量論比を跨いで前記パイロットバーナの燃空比を上昇させる際に、前記複数のバーナの各局所燃空比を、前記高NOx局所燃空比範囲よりも低い局所燃空比領域である燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域、及び前記高NOx局所燃空比範囲よりも高い局所燃空比領域である燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域に振り分ける化学量論比回避手順を実行することを特徴とする燃焼器。請求項1の燃焼器において、前記化学量論比回避手順は、前記高NOx局所燃空比範囲よりも低い燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域で前記複数のバーナの局所燃空比を増大させる手順、一のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域に残したまま他のバーナの局所燃空比を前記高NOx局所燃空比範囲よりも高い燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させる手順、前記一のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から前記燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させるとともに、前記他のバーナの局所燃空比を前記燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域から前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域まで下降させる手順、及び前記他のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から前記燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させる手順を含むことを特徴とする燃焼器。請求項2の燃焼器において、前記一のバーナに供給される空気流量が前記他のバーナに供給される空気流量よりも大きく、前記化学量論比回避手順の実行の前後においては、前記第1のバーナ及び前記他のバーナに供給される燃料流量の配分が、前記第1のバーナ及び前記他のバーナに供給される空気流量の配分に等しく設定されていることを特徴とする燃焼器。請求項1の燃焼器において、前記化学量論比回避手順は、前記高NOx局所燃空比範囲よりも低い燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域で前記複数のバーナの局所燃空比を増大させる手順、一のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域に残したまま他のバーナの局所燃空比を前記高NOx局所燃空比範囲よりも高い燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させる手順、及び前記一のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から前記燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させる手順を含むことを特徴とする燃焼器。請求項4の燃焼器において、前記一のバーナに供給される空気流量が前記他のバーナに供給される空気流量に等しく、前記化学量論比回避手順の実行の前後においては、前記第1のバーナ及び前記他のバーナに供給される燃料流量の配分が、前記第1のバーナ及び前記他のバーナに供給される空気流量の配分に等しく設定されていることを特徴とする燃焼器。請求項1-5のいずれかの燃焼器において、前記複数のバーナは、燃焼室の上流側端部に位置する空気孔、及びこの空気孔と同軸上に配置された燃料ノズルをそれぞれ備え、燃焼器軸を中心に同心円状に複数列配置されていることを特徴とする燃焼器。空気を圧縮する圧縮機と、この圧縮機からの圧縮空気と燃料とを混合し燃焼して燃焼ガスを生成する燃焼器と、この燃焼器で生成された燃焼ガスで駆動するタービンとを備え、前記燃焼器が、メインバーナと、複数のバーナを有するパイロットバーナと、前記複数のバーナの燃料流量を制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、化学量論比を含む設定の高NOx局所燃空比範囲を記憶する記憶部と、前記複数のバーナの燃料系統に指令を出力する演算部とを備え、前記演算部は、前記化学量論比を跨いで前記パイロットバーナの燃空比を上昇させる際に、前記複数のバーナの各局所燃空比を、前記高NOx局所燃空比範囲よりも低い局所燃空比領域である燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域、及び前記高NOx局所燃空比範囲よりも高い局所燃空比領域である燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域に振り分ける化学量論比回避手順を実行することを特徴とするガスタービン。メインバーナと複数のバーナを有するパイロットバーナとを備えた燃焼器の燃料制御方法であって、化学量論比を含む高NOx局所燃空比範囲を設定し、前記化学量論比を跨いで前記パイロットバーナの燃空比を上昇させる際に、前記複数のバーナの各局所燃空比を、前記高NOx局所燃空比範囲よりも低い局所燃空比領域である燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域、及び前記高NOx局所燃空比範囲よりも高い局所燃空比領域である燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域に振り分ける化学量論比回避手順を実行することを特徴とする燃焼器の燃料制御方法。請求項8の燃焼器の燃料制御方法において、前記化学量論比回避手順は、前記高NOx局所燃空比範囲よりも低い燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域で前記複数のバーナの局所燃空比を増大させる手順、一のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域に残したまま他のバーナの局所燃空比を前記高NOx局所燃空比範囲よりも高い燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させる手順、前記一のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から前記燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させるとともに、前記他のバーナの局所燃空比を前記燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域から前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域まで下降させる手順、及び前記他のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から前記燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させる手順を含むことを特徴とする燃焼器の燃料制御方法。請求項8の燃焼器の燃料制御方法において、前記化学量論比回避手順は、前記高NOx局所燃空比範囲よりも低い燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域で前記複数のバーナの局所燃空比を増大させる手順、一のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域に残したまま他のバーナの局所燃空比を前記高NOx局所燃空比範囲よりも高い燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させる手順、及び前記一のバーナの局所燃空比を前記燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から前記燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで上昇させる手順を含むことを特徴とする燃焼器の燃料制御方法。燃空比の増加に伴って燃焼させるバーナ群を増加させることによって低NOx化を図るためには、燃焼しているバーナの局所燃空比が化学量論比近傍の値とならないようにすることが必要である。一方、燃空比が最も小さいときでも燃焼を安定に維持するためには、燃焼しているバーナ群パイロットバーナの燃空比を安定下限局所燃空比よりも十分大きく設定する必要がある。このように設定されたパイロットバーナを燃焼させてガスタービン負荷を増加させる場合、化学量論比を跨いでパイロットバーナの燃空比を上昇させることになる。したがって、ガスタービン負荷の増大の過程で局所燃空比が化学量論比近傍にある間にNOxの発生量が増加する。本発明の目的は、バーナの局所燃空比が化学量論比を跨いで上昇することによって発生するNOx量を低減させることができる燃焼器、ガスタービン及び燃焼器の燃料制御方法を提供することにある。上記目的を達成するために、本発明は、個別の燃料系統に接続した複数のバーナでパイロットバーナを構成し、パイロットバーナの燃空比が化学量論比を通過する際に、各バーナの局所燃空比を化学量論比に対して燃料希薄側と燃料過濃側に振り分けて設定することによって個々のバーナについて短時間で化学量論比近傍を通過する。本発明によれば、バーナの局所燃空比が化学量論比を跨いで上昇することによって発生するNOx量を低減させることができる。以下に図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。1第1の実施の形態図1は本発明の第1の実施の形態に係る燃焼器の要部の側断面図をガスタービンプラント全体の模式図と併せて表した概略構成図である。図1に示したガスタービンプラントは、主として、空気101を圧縮して高圧の圧縮空気102を生成する圧縮機1と、この圧縮機1から導入される圧縮空気102と燃料201-203とを混合し燃焼して燃焼ガス105を生成する燃焼器2と、この燃焼器2から導入された燃焼ガス105で駆動するタービン3とを備えている。なお、圧縮機1はタービン3及び発電機4と同軸上に連結されており、タービン3の回転動力によって圧縮機1が駆動され、圧縮機1に連結された発電機4が駆動して発電するようになっている。上記燃焼器2は、燃料201-203及び燃焼用空気104の混合気を燃焼させる燃焼室8を形成する円筒状の燃焼器ライナ10と、燃焼器ライナ10の内周部で燃焼ガス105の流れ方向における上流側以下、単に上流側とし、その反対側を下流側とするの端部に配置されたバーナ9と、燃焼器ライナ10の外周部を包囲する円筒状の燃焼器外筒7とを備えている。バーナ9は、燃料201-203を噴射する複数の燃料ノズル31と、燃焼器ライナ10の上流側端部に配置された円盤状の空気孔プレート33と、燃焼器外筒7の上流側端部に配置され円盤状の燃焼器カバー8とを備えている。空気孔プレート33には、各燃料ノズル31の下流側に対向するとともに圧縮機1からの燃焼用空気104が通過する複数の空気孔32が設けられている。圧縮機1で圧縮された圧縮空気102は燃焼器2に流入し、燃焼器外筒7と燃焼器ライナ10の間の環状流路を流れる。その圧縮空気102の一部は、燃焼器ライナ10の冷却空気103として燃焼器ライナ10の外周部に設けた空気孔不図示を介して燃焼室8に流入する。また、残りの空気102は燃焼用空気104として空気孔プレート33に設けた空気孔32を通って燃焼室8に流入する。本実施の形態において、燃料201-203の供給系統には、それぞれ遮断弁211-213及び流量制御弁221-223が設けてあり、制御装置300によって遮断弁211-213及び流量制御弁221-223を制御することによって、燃料201-203の流量を個別に制御することができる。なお、後の図2に示したように、本実施の形態における燃料201-203の供給系統は燃料タンク不図示に接続したポンプ不図示の吐出系統200から分岐した系統であり、吐出系統200には遮断弁210が設けてある後の図2参照。遮断弁210も制御装置300からの指令によって動作する。各燃料ノズル31は、燃焼器カバー8から下流側に突出して設けられており、燃料ヘッダー231-233に接続されている。燃料ヘッダー231-233は各燃料ノズル31に燃料201-203を分配するものであり、それぞれ燃焼器カバー8の板厚内に設けられている。本実施の形態において、燃料ヘッダー231は燃焼器軸中心に設けられた円盤状の空間である。燃料ヘッダー232は燃料ヘッダー231よりも外周側に位置する環状の空間である。燃料ヘッダー233は燃料ヘッダー232よりもさらに外周側に位置する環状の空間である。このように、複数の燃料ノズル31は、燃料ヘッダー231に接続する第1群、燃料ヘッダー232に接続する第2群、及び燃料ヘッダー233に接続する第3群の3系統の燃料系統に分けられており、遮断弁211-213の開閉及び流量制御弁221-223の開度を制御することによって系統単位で燃料制御することができる。図2は本実施の形態の燃焼器に用いるバーナ9の要部を拡大して表す側断面図、図3は図2中のIII部の拡大図である。燃焼器カバー8の各燃料ノズルヘッダ231-233にはそれぞれ複数の燃料ノズル31が取り付けられており、空気孔プレート33には燃料ノズル31の一本一本に対応した複数の空気孔32が設けられている。空気孔プレート33は、サポート34を介して燃焼器カバー8に支持されている。図3に示したように、空気プレート33に設けた空気孔32とこれに対応する燃料ノズル31とはほぼ同軸となる軸心線がほぼ一致するように設けられており、中央の燃料噴流35の周囲を空気36が覆った燃料と空気との同軸噴流を形成することができる。この同軸噴流構造によれば、空気孔32内では燃料と空気が未混合であるため燃料の自発火が抑えられ、空気孔プレート33を溶損するようなことがなく信頼性の高い燃焼器を形成することができる。また、このような小さな同軸噴流を多数形成することにより、燃料と空気の界面が増加し混合が促進されるため、NOxの発生量を抑制することができる。このようにして、低NOx化と安定燃焼を両立することができる。図4は空気孔プレート33を燃焼室8側から見た図、図5は図4中のV-V線による断面図である。本実施の形態において、各空気孔32及びこれらに対応する各燃料ノズル31図2等参照は同心円状に複数列本実施の形態では8列配置されている。また、内側から順に第1列、第2列第8列とし、本実施の形態では第1列-第4列を第1バーナ91、第5列を第2バーナ92、第6-第8列を第3バーナ93と区分している。本実施の形態においては、バーナ91,92が、ガスタービンの起動時及び低負荷時に燃焼器2の燃焼安定性を保つためのパイロットバーナを構成しており、パイロットバーナが複数のバーナ本実施の形態では2つのバーナを備えている。バーナ93は、ガスタービンの低負荷時から高負荷時にかけて燃焼器2の低NOx性能を達成するためのメインバーナを構成する。バーナ91-93の燃料ノズル31は、それぞれヘッダー231-233図2参照に接続している。このような燃料ノズル31の区分構造により、上記遮断弁211-213及び流量制御弁221-223を制御装置300で制御することによって、バーナ91-93の燃料201-203の流量をバーナ単位で個別に制御することができる。さらに第1バーナ91の空気孔32は、図4及び図5に示したように周方向に傾斜している。具体的には、第1列の空気孔32は、燃焼器ライナ10の燃焼ガス105の流れ方向図4の紙面直交方向の奥から手前側に向かって第1列のピッチ円の接線方向の一方側図4では反時計回りに設定角度αだけ傾斜している。第2-第4列においても同様である。これにより第1バーナ91から噴出する空気流全体に旋回成分を付与し、これにより生じる循環流によって火炎を安定化させている。外周側のバーナ92,93の火炎は、この第1バーナ91による燃焼熱によって安定化される。ここで、制御装置300は、化学量論比を含む設定の高NOx局所燃空比範囲回避すべき局所燃空比範囲として記憶する記憶部301図2参照と、燃料201-203の燃料系統の遮断弁210,211-213及び流量制御弁221-223に指令を出力する演算部302とを備えている。記憶部301にはまた、パイロットバーナバーナ91,92に対する供給燃料の制御プログラムが格納されている。演算部301は、このプログラムを読み込み、ガスタービンの起動時から低負荷時にかけて、化学量論比を跨いでパイロットバーナの燃空比を上昇させる際に、バーナ91,92の各局所燃空比を、高NOx局所燃空比範囲よりも低い局所燃空比領域以下、燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域及び高NOx局所燃空比範囲よりも高い局所燃空比領域以下、燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域に振り分ける化学量論比回避手順を実行する。次に本実施の形態の燃焼器の動作を説明する。図6は化学量論比回避手順の実行に伴うパイロットバーナの燃料流量の推移を例示したグラフ、図7は化学量論比回避手順の実行に伴うパイロットバーナの燃空比の推移を例示したグラフである。図6及び図7のグラフの横軸はパイロットバーナの燃空比であり、パイロットバーナに供給される燃料、すなわちバーナ91,92の燃料ノズル31に供給される燃料201,202の流量質量流量、単位kg/sの和をパイロットバーナに供給される燃焼空気104の流量質量流量、単位kg/sの和で除したものである。以下、第1バーナ91の空気孔32に供給される燃焼空気104の流量をA1、第2バーナ92の空気孔32に供給される燃焼空気104の流量をA2とする。図6のグラフの縦軸はバーナ91,92の燃料ノズル31に供給される燃料流量の和とその割合を示している。本実施の形態では数値を単純化するためパイロットバーナの燃焼空気量A1A2を1kg/sとしたので、横軸のパイロット燃空比に対する縦軸の燃料流量は図6の太線直線に示したように推移する。バーナ91,92に供給される燃料流量F1,F2の内訳は図6の細線折線で示したように推移する。一方、図7のグラフ縦軸は、図6のように燃料流量が推移する場合のバーナ91,92のそれぞれの局所燃空比である。本実施の形態では、パイロットバーナの燃焼空気A1A2を100としたとき、A1=40、A2=60としている。また、燃料としてメタンを主成分とする天然ガスを想定し、化学量論比となる燃空比を0.058、NOx排出量が増加するために高NOx局所燃空比範囲ハッチング領域を0.04-0.07としている。この高NOx局所燃空比範囲は、本実施の形態では例示的に0.04-0.07としてあるが、化学量論比を含めた設定範囲であり、化学量論比の上下にどの程度の幅をとるかは運転条件等による。図8は制御装置300による化学量論比回避手順を含むパイロットバーナの制御手順を表すフローチャートである。以下にこの図8を図6及び図7と併せて参照しつつ化学量論比回避手順を説明する。1ステップ101,102ステップ101,102では、高NOx局所燃空比範囲よりも低い燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域でバーナ91,92の局所燃空比を増大させる。具体的には、制御装置300の演算部302は、ガスタービン起動に伴って図8の制御を開始し、第1バーナ91の燃料流量指令値S1及び第2バーナ92の燃料流量指令値S2をともに増大させるステップ101。このステップ101の手順は、パイロットバーナの燃空比が局所燃空比範囲の下限値0.04に満たない設定の第1目標値a本実施の形態では0.034バーナ91,92ともに0.034とするに到達するまでの範囲で実行される。この間のバーナ91,92の燃料配分は、燃焼空気流量A1,A2の配分に合わせた値ここでは4:6とし図6参照、第1バーナ91の局所燃空比F1/A1と第2バーナ92の局所燃空比F2/A2が等しくなる図7参照。この段階では、図7に示したように高NOx局所燃空比範囲よりも局所燃空比が小さいため低NOxが達成できる。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2がそれぞれ目標値S11,S21に到達したかどうかを判定しておりステップ102、目標値S11,S21に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第1目標値aに達していないと判断し、ステップ101の手順を継続する。2ステップ103-108続くステップ103-108では、バーナ92の局所燃空比を燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域に残したまま、バーナ91の局所燃空比を高NOx局所燃空比範囲よりも高い燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで増大させる。具体的には次の通りである。2-1ステップ103,104燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS11,S21に到達したら、演算部302は、先のステップ102でバーナ91,92の燃空比が第1目標値aに到達したと判定し、ステップ103に手順を移して、燃料流量指令値S2を減少させるとともに燃料流量指令値S1の増大率を上げ、第1バーナ91の燃料流量F1の割合を大きく、第2バーナ92の燃料流量F2の割合を小さくする図6参照。このステップ103の手順は、バーナ91,92の燃空比が設定の第2目標値b本実施の形態では0.036内訳はバーナ91が0.075、バーナ92が0.01とするに到達するまでの範囲で実行される。パイロットバーナの燃空比を線形的に上昇させる上において、このように第2バーナ92の局所燃空比F2/A2を燃料希薄側の低NOx領域内で所定値ここでは0.01まで下げることにより、高NOx局所燃空比範囲を超えた燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域の値ここでは0.075まで第1バーナ91の局所燃空比F1/A1を一気に上昇させ図7参照、パイロットバーナの燃空比を増大させていく図7の二点差線、図6参照。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2がそれぞれ目標値S12,S22に到達したかどうかを判定しておりステップ104、目標値S12,S22に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第2目標値bに達していないと判断し、ステップ103の手順を継続する。2-2ステップ105,106燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS12,S22に到達したら、演算部302は、ステップ104でバーナ91,92の燃空比が第2目標値bに到達したと判定し、ステップ105に手順を移して、燃料流量指令値S1を一定に維持しつつ燃料流量指令値S2を増大させ、第2バーナ92の燃料流量F2の割合を増やしていく図6参照。このステップ105の手順は、バーナ91,92の燃空比が設定の第3目標値c本実施の形態では0.05内訳はバーナ91が0.075、バーナ92が0.03とするに到達するまでの範囲で実行される。すなわち、第1バーナ91の局所燃空比F1/A1を一定としつつ第2バーナ92の局所燃空比F2/A2のみを燃料希薄側の低NOx領域を逸脱しない範囲でここでは0.03まで増加させ図7参照、パイロットバーナの燃空比を所定値ここでは0.05まで上昇させる図7の二点差線、図6参照。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2が、それぞれ目標値S13,S23に到達したかどうかを判定しておりステップ106、目標値S13,S23に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第3目標値cに達していないと判断し、ステップ105の手順を継続する。2-3ステップ107,108燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS13,S23に到達したら、演算部302は、ステップ106でバーナ91,92の燃空比が第3目標値cに到達したと判定し、ステップ107に手順を移して、燃料流量指令値S2を一定に維持しつつ燃料流量指令値S1を増大させ、第1バーナ91の燃料流量F1の割合を増やしていく図6参照。このステップ107の手順は、バーナ91,92の燃空比が設定の第4目標値d本実施の形態では0.058内訳はバーナ91が0.095、バーナ92が0.03とするに到達するまでの範囲で実行される。すなわち、第3目標値cに到達し燃料希薄側の低NOx領域で第2バーナ92の局所燃空比F2/A2の上げ代に余裕がなくなったところで、第2バーナ92の局所燃空比F2/A2を一定としつつ第1バーナ91の局所燃空比F1/A1のみを燃料過濃側の低NOx領域でここでは0.095まで増加させ図7参照、パイロットバーナの燃空比を増大させていく図7の二点差線、図6参照。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2がそれぞれ目標値S14,S24に到達したかどうかを判定しておりステップ108、目標値S14,S24に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第4目標値dに達していないと判断し、ステップ107の手順を継続する。3ステップ109-112続くステップ109-112では、バーナ92の局所燃空比を燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで増大させるとともに、バーナ91の局所燃空比を燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域から燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域まで減少させる。具体的には次の通りである。3-1ステップ109,110燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS14,S24に到達したら、演算部302は、ステップ108においてバーナ91,92の燃空比が第4目標値dに到達したと判定し、ステップ109に手順を移して、燃料流量指令値S1を減少させるとともに燃料流量指令値S2を増大させ、燃料流量F2の割合を増やしていく図6参照。このステップ109の手順は、バーナ91,92の燃空比が設定の第5目標値e本実施の形態では0.0602内訳はバーナ91が0.035、バーナ92が0.077とするに到達するまでの範囲で実行される。すなわち、第1バーナ91の局所燃空比F1/A1を燃料過濃側の低NOx領域から燃料希薄側の低NOx領域の値ここでは0.035まで急減させることによって、第2バーナ92の局所燃空比F2/A2を燃料希薄側の低NOx領域から燃料過濃側の低NOx領域の値ここでは0.077まで急増させて図7参照、パイロットバーナの燃空比を増大させていく図7の二点差線、図6参照。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2が、それぞれ目標値S15,S25に到達したかどうかを判定しておりステップ110、目標値S15,S25に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第5目標値eに達していないと判断し、ステップ109の手順を継続する。3-2ステップ111,112燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS15,S25に到達したら、演算部302は、バーナ91,92の燃空比が第5目標値eに到達したと判定し、ステップ111に手順を移して、燃料流量指令値S1を一定に維持するとともに燃料流量指令値S2の増大率を減じ、第2バーナ92の燃料流量F2の割合を緩やかに増やしていく図6参照。このステップ111の手順は、バーナ91,92の燃空比が設定の第6目標値f本実施の形態では0.074バーナ91が0.035、バーナ92が0.1とするに到達するまでの範囲で実行される。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2が、それぞれ目標値S16,S26に到達したかどうかを判定しておりステップ112、目標値S16,S26に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第6目標値fに達していないと判断し、ステップ111の手順を継続する。すなわち、第1バーナ91の局所燃空比F1/A1を一定としつつ第2バーナ92の局所燃空比F2/A2のみを燃料過濃側の低NOx領域でここでは0.1まで増加させ図7参照、パイロットバーナの燃空比を増大させていく図7の二点差線、図6参照。4ステップ113ステップ113では、バーナ91の局所燃空比を燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで増大させる。具体的には、燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS16,S26に到達したら、演算部302は、ステップ112において高NOx局所燃空比範囲を超えた第6目標値fにパイロットバーナ全体の燃空比が到達したと判定し、ステップ113の手順を実行して化学量論比回避手順を終了する。このステップ113においては、燃料流量指令値S1を増大させるとともに燃料流量指令値S2を減少させ、第1バーナ91の燃料流量F1の割合をバーナ91,92の局所燃空比が等しくなるまで増やしていく図6参照。すなわち、ステップ112でパイロットバーナ全体の燃空比が高NOx局所燃空比範囲の上限値ここでは0.07を超えたと判断したことで、このステップ113では、バーナ91,92の燃料流量F1,F2の配分を空気流量A1,A2の配分4:6に戻し、これ以降は、低負荷運転の間、F1/A1=F2/A2の条件でパイロットバーナの燃空比を所定の値まで増大させていく。局所燃空比が第6目標値fから増大する分には、高NOx局所燃空比範囲に対して局所燃空比が十分大きい化学量論比から離れていくため低NOxが達成できる。次に本実施の形態の作用効果を説明する。仮に化学量論比回避手順を実行しない場合、パイロットバーナの燃空比が第1目標値aを超えてもバーナ91,92の局所燃空比を等しくしたままにしておくと、現実の局所燃空比バーナ91,92の個々の局所燃空比がいずれも0.04を超えて高NOx局所燃空比範囲に入ってしまい、以降、パイロットバーナの燃空比が0.07を超えるまでの相応の時間、現実の局所燃空比が高NOx局所燃空比範囲内で推移することとなる。それに対し、本実施の形態では、パイロットバーナの燃空比が燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域に移行する過程で、バーナ91,92の燃料流量F1,F2の割合を巧みに調整し図6参照、パイロットバーナの燃空比二点差線が高NOx局所燃空比範囲を推移する間の大部分において、高NOx局所燃空比範囲を避けて現実の局所燃空比バーナ91,92の個々の局所燃空比を推移させることができる図7参照。したがって、本実施の形態によれば、バーナ91,92について、それぞれ高NOx局所燃空比範囲を迅速に通過させることでNOx発生量を個別に抑えることができるため、バーナの局所燃空比が化学量論比を跨いで上昇することによって発生するNOx量を低減させることができる図7に化学量論比回避手順の実行に伴うNOx発生量の増減の様子を併せて図示した。なお、化学量論比近傍での燃焼を避けるためには、個別に燃料流量を制御できるバーナの数を増やし、燃焼するバーナを多数回にわたって増やしていくことも考えられる。しかしこの場合、燃料ヘッダーの構造が複雑化することに加えて燃料制御系統の数が増えるため、コストを増大させ運転も煩雑化させてしまう。それに対し、本実施の形態では、バーナ91,92の燃料流量F1,F2の割合を制御することによって巧みに高NOx局所燃空比範囲を避けることができるので、必要以上に燃料系統を増設する必要がなく、構造の複雑化や燃料制御系統の増加を抑えることができる。また、本実施の形態においては、空気流量A1,A2に40,60と差をつけたため、バーナ91,92の局所燃空比を等しくする上で燃料流量F1,F2に差をつけることができる。そのため、局所燃空比が第5目標値eから第6目標値fに到達するまでの間、より多くの燃料を噴射できるバーナ92を燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域で用いることができる。その結果、局所燃空比が第5目標値eから第6目標値fに到達するまでの間、燃料過濃側で燃料流量F2を上げられる分、燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域において、バーナ91の局所燃空比を高NOx局所燃空比範囲まで余裕のある値本実施の形態では0.035に抑えることができ、より低NOx化に有利となる。2第2の実施の形態本実施の形態が第1の実施の形態と相違する点は、第1の実施の形態が、バーナ91,92の局所燃空比をそれぞれ燃料過濃側及び燃料希薄側に振り分けた後、燃料希薄側及び燃料過濃側に入れ替えたのに対し、本実施の形態は入れ替えを伴わずに化学量論比回避手順を実行する点である。以下に詳細を説明する。図9は本発明の第2の実施の形態に係る燃焼器における化学量論比回避手順の実行に伴うパイロットバーナの燃料流量の推移を例示したグラフ、図10は化学量論比回避手順の実行に伴うパイロットバーナの燃空比の推移を例示したグラフである。図9及び図10は第1の実施の形態の図6及び図7に対応する図である。本実施の形態では、バーナ91,92の空気孔32に供給される燃焼空気104の流量A1,A2について、パイロットバーナの燃焼空気A1A2を100としたとき、A1=A2=50となるように設計してある。燃焼器構成は第1の実施の形態と同様である。図11は制御装置300による化学量論比回避手順を含むパイロットバーナの制御手順を表すフローチャートである。以下にこの図11を図9及び図10と併せて参照しつつ化学量論比回避手順を説明する。1ステップ201,202ステップ201,202は、第1の実施の形態の化学量論比回避手順におけるステップ101,102に対応している。具体的には、制御装置300の演算部302は、ガスタービン起動に伴って図11の制御を開始し、バーナ91,92の燃料流量指令値S1,S2をともに増大させるステップ201。このステップ201の手順は、パイロットバーナの燃空比が局所燃空比範囲の下限値0.04に満たない設定の第1目標値a本実施の形態では0.038バーナ91,92ともに0.038とするに到達するまでの範囲で実行される。この間のバーナ91,92の燃料配分は、燃焼空気流量A1,A2の配分に合わせた値5:5とし図9参照、第1バーナ91の局所燃空比F1/A1と第2バーナ92の局所燃空比F2/A2を等しくする図10参照。この段階では、図10に示したように高NOx局所燃空比範囲よりも局所燃空比が小さいため低NOxが達成できる。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2がそれぞれ目標値S11,S21に到達したかどうかを判定しておりステップ202、目標値S11,S21に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第1目標値aに達していないと判断し、ステップ201の手順を継続する。2ステップ203-208続くステップ203-208は、第1の実施の形態の化学量論比回避手順におけるステップ103-108に対応している。具体的には次の通りである。2-1ステップ203,204燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS11,S21に到達したら、演算部302は、先のステップ202でバーナ91,92の燃空比が第1目標値aに到達したと判定し、ステップ203に手順を移して、燃料流量指令値S2を減少させるとともに燃料流量指令値S1の増大率を上げる図9参照。このステップ203の手順は、バーナ91,92の燃空比が設定の第2目標値b本実施の形態では0.04内訳はバーナ91が0.07、バーナ92が0.01とするに到達するまでの範囲で実行される。パイロットバーナの燃空比を線形的に上昇させる上において、このように第2バーナ92の局所燃空比F2/A2を燃料希薄側の低NOx領域内で所定値まで下げることにより、燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域の値まで第1バーナ91の局所燃空比F1/A1を一気に上昇させ図10参照、パイロットバーナの燃空比を増大させていく図10の二点差線、図9参照。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2がそれぞれ目標値S12,S22に到達したかどうかを判定しておりステップ204、目標値S12,S22に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第2目標値bに達していないと判断し、ステップ203の手順を継続する。2-2ステップ205,206燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS12,S22に到達したら、演算部302は、ステップ204でバーナ91,92の燃空比が第2目標値bに到達したと判定し、ステップ205に手順を移して、燃料流量指令値S1を一定に維持しつつ燃料流量指令値S2を増大させ、第2バーナ92の燃料流量F2の割合を増やしていく図9参照。このステップ205の手順は、バーナ91,92の燃空比が設定の第3目標値c本実施の形態では0.054内訳はバーナ91が0.07、バーナ92が0.038とするに到達するまでの範囲で実行される。すなわち、第1バーナ91の局所燃空比F1/A1を一定としつつ第2バーナ92の局所燃空比F2/A2のみを燃料希薄側の低NOx領域を逸脱しない範囲で増加させ図10参照、パイロットバーナの燃空比を所定値まで上昇させる図10の二点差線、図9参照。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2が、それぞれ目標値S13,S23に到達したかどうかを判定しておりステップ206、目標値S13,S23に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第3目標値cに達していないと判断し、ステップ205の手順を継続する。2-3ステップ207,208燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS13,S23に到達したら、演算部302は、ステップ206でバーナ91,92の燃空比が第3目標値cに到達したと判定し、ステップ207に手順を移して、燃料流量指令値S2を一定に維持しつつ燃料流量指令値S1を増大させ、第1バーナ91の燃料流量F1の割合を増やしていく図9参照。このステップ207の手順は、バーナ91,92の燃空比が設定の第4目標値d本実施の形態では0.068内訳はバーナ91が0.098、バーナ92が0.038とするに到達するまでの範囲で実行される。すなわち、第3目標値cに到達し燃料希薄側の低NOx領域で第2バーナ92の局所燃空比F2/A2の上げ代に余裕がなくなったところで、第2バーナ92の局所燃空比F2/A2を一定としつつ第1バーナ91の局所燃空比F1/A1のみを燃料過濃側の低NOx領域で増加させ図10参照、パイロットバーナの燃空比を増大させていく図10の二点差線、図9参照。この間、演算部302は、燃料流量指令値S1,S2がそれぞれ目標値S14,S24に到達したかどうかを判定しておりステップ208、目標値S14,S24に到達していなければ、バーナ91,92の燃空比がまだ第4目標値dに達していないと判断し、ステップ207の手順を継続する。4ステップ209ステップ209では、バーナ92の局所燃空比を燃料希薄側の低NOx局所燃空比領域から燃料過濃側の低NOx局所燃空比領域まで増大させる。具体的には、燃料流量指令値S1,S2がそれぞれS14,S24に到達したら、演算部302は、ステップ208において高NOx局所燃空比範囲を超えた第4目標値dにパイロットバーナ全体の燃空比が到達したと判定し、ステップ209の手順を実行して化学量論比回避手順を終了する。このステップ209においては、燃料流量指令値S1を減少させるとともに燃料流量指令値S2を増大させ、第2バーナ92の燃料流量F2の割合をバーナ91,92の局所燃空比が等しくなるまで増やしていく図9参照。すなわち、ステップ208でパイロットバーナ全体の燃空比が高NOx局所燃空比範囲の上限値ここでは0.07を超えたと判断したことで、このステップ209では、バーナ91,92の燃料流量F1,F2の配分を空気流量A1,A2の配分5:5に戻し、これ以降は、低負荷運転の間、F1/A1=F2/A2の条件でパイロットバーナの燃空比を所定の値まで増大させていく。局所燃空比が第4目標値dから増大する分には、高NOx局所燃空比範囲に対して局所燃空比が十分大きい化学量論比から離れていくため低NOxが達成できる。本実施の形態においても、バーナ91,92について、それぞれ高NOx局所燃空比範囲を迅速に通過させることでNOx発生量を個別に抑えることができるため、バーナの局所燃空比が化学量論比を跨いで上昇することによって発生するNOx量を低減させることができる。また、必要以上に燃料系統を増設する必要がなく、構造の複雑化や燃料制御系統の増加を抑えることもできる。また、本実施の形態においては、第1の実施の形態に比べて制御手順が簡略である点でメリットがある。3第3の実施の形態第1及び第2の実施の形態では、燃料と空気の同軸噴流を多数形成することで燃料と空気の混合を促進して低NOx化を図るバーナを適用例として示したが、本実施の形態では、第1の実施の形態とはタイプの異なるバーナを適用例として例示する。図12は本発明の第3の実施の形態に係る燃焼器に備えられたパイロットバーナの概略構成図である。既述の実施の形態と同様の部分には既出図面と同符号を付して説明を省略する。図12に示したパイロットバーナは、内部に内周流路及び外周流路を有する二重円筒状のメインノズル401を備えている。メインノズル401の外周部には半径方向に延びる複数のサブノズル431が備えられている。メインノズル401の内周流路は当該メインノズル401の下流端の燃料噴射孔に接続しており、燃料201は、燃焼器軸近傍においてメインノズル401の燃料噴射孔から燃料噴流35aとして燃焼室に向けて噴射される。一方、メインノズル401の外周流路はサブノズル431に接続しており、燃料202は、メインノズル401の外周側において、サブノズル431の噴射孔から燃料噴流35bとして燃焼室に向けて噴射される。本実施の形態では、メインノズル401及びサブノズル431がそれぞれ第1バーナ491及び第2バーナ492第1の実施の形態のバーナ91,92に相当として機能する。また、メインノズル401の周囲には同心円状に二列の旋回羽根37,38が設けてあり、旋回羽根37,38を介して燃焼室に噴出す燃焼空気104a,104bによって、それぞれ燃料噴流35a,35bに旋回成分が付与されて火炎が安定化される。このようなパイロットバーナにも本発明は適用可能であり、パイロットバーナの燃空比が化学量論比近傍を跨いで上昇する際に、第1及び第2の実施の形態と同様にバーナ491,492の局所燃空比を燃料希薄側と燃料過濃側に分けて設定することで、バーナ491,492のいずれにおいてもNOx発生量を抑えることができ、パイロットバーナの低NOx化を図ることができる。4第4の実施の形態以上においては、パイロットバーナを2系統に分けた場合を例示して説明したが、パイロットバーナを3系統以上に分けた場合にも本発明は適用可能である。また、予め各燃料系統に対して定められた指令値S11,S21等に従って燃料流量F1,F2を制御する場合を例示して説明したが、ガスタービンの動作に応じて変化する何らかの状態量を検出し、検出値に応じて燃料系統を制御する構成とすることもできる。例えば、通常、発電量=燃料流量×発熱量×効率で求められ、発電量が燃空比に応じて変化することから、図13に示したように発電量負荷を検出する検出器501を設け、図6及び図7、又は図9及び図10のような燃料流量や燃空比の挙動となるように検出器501の検出値を基に燃料系統を制御することも考えられる。また、実際にNOx排出量に影響するのは図7や図10のグラフの縦軸に表された各燃空比なので、空気流量を検出する検出器502図13に併せて図示を設けて、検出器502の検出値を基に燃料系統を制御することも考えられる。但し、空気流量計は高価であって流路に設置することで圧損を招くことから、タービン回転数を圧縮機1の入口弁開度から空気流量を計算し、これを空気流量の検出値とすることもできる。さらには、タービン3の排気通路にNOx濃度を検出する検出器503図13に併せて図示を設け、直接排ガス中のNOx濃度から燃料流量F1,F2の割合の切り替えのタイミングを決めることも考えられ得る。"