"研削装置の高速回転するスピンドル先端に固定されたホイールマウントに装着される研削ホイールであって、該ホイールマウントに装着される装着面を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング上に配設された研削砥石と、を具備し、該環状基台の外周側面には、回転方向に交差する縞目から構成される縞模様、又は文字列が表示されていることを特徴とする研削ホイール。しかしながら、装置メーカーのメンテナンス担当者等が安全装置を何らかの理由により意図的に解除してメンテナンスを行う場面が生じることが想定される。この際、スピンドル、および、スピンドルに装着された研削ホイールが回転しているような場合には、メンテナンス担当者や、オペレータが研削ホイールなどの周辺に手を伸ばすことは避けられなければならない。ところが、スピンドルや研削ホイールが回転しているか否かについては、従来の構成ではメンテナンス担当者や、オペレータが一見して判断することが困難なものであった。スピンドルや研削ホイールは、停止している状態と、回転している状態とでは、見た目に大差がないためである。そこで、本発明は、研削ホイールが回転中であるか停止中であるかを一目で判別できるための新規な技術を提供することを目的とする。本発明では、研削装置の高速回転するスピンドル先端に固定されたホイールマウントに装着される研削ホイールであって、ホイールマウントに装着される装着面を有する環状基台と、環状基台の自由端部にリング上に配設された研削砥石と、を具備し、環状基台の外周側面には、回転方向に交差する縞目から構成される縞模様、又は文字列が表示されていることを特徴とする研削ホイールが提供される。本発明によれば、研削ホイールの外周側面に縞目や文字列などの模様パターンを形成するというシンプルで安価な方法によって、メンテナンス担当者や、オペレータに対し、研削ホイールが回転中であるか停止中であるか否かを一目で判別させることが可能となる。以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明を実施するのに適した加工装置の例である研削装置2の斜視図である。4は研削装置2のハウジングベースであり、ハウジング4の後方には二つのコラム6a,6bが垂直に立設されている。コラム6aには、上下方向に伸びる一対のガイドレール一本のみ図示8が固定されている。この一対のガイドレール8に沿って粗研削ユニット10が上下方向に移動可能に装着されている。粗研削ユニット10は、そのスピンドルハウジング20が一対のガイドレール8に沿って上下方向に移動する移動基台12に取り付けられている。図2にも示されるように、粗研削ユニット10は、スピンドルハウジング20と、スピンドルハウジング20にて回転可能に支持されつつ下端部がスピンドルハウジング20の下方へ突出されるスピンドル21と、スピンドル21を回転駆動するサーボモータ22と、スピンドル21の先端に固定されたホイールマウント23と、ホイールマウント23に固定される研削ホイール24を有している。研削ホイール24の下部には、複数の粗研削用の研削砥石26が設けられている。粗研削ユニット10は、粗研削ユニット10を一対の案内レール8に沿って上下方向に移動するボールねじ14とパルスモータ16とから構成される粗研削ユニット移動機構18を備えている。パルスモータ16をパルス駆動すると、ボールねじ14が回転し、移動基台12が上下方向に移動される。図1に示される他方のコラム6bにも、同様に上下方向に伸びる一対のガイドレール一本のみ図示19が固定されている。この一対のガイドレール19に沿って仕上げ研削ユニット28が上下方向に移動可能に装着されている。仕上げ研削ユニット28は、そのハウジング36が一対のガイドレール19に沿って上下方向に移動する図示しない移動基台に取り付けられている。仕上げ研削ユニット28は、ハウジング36と、ハウジング36中に回転可能に収容された図示しないスピンドルと、スピンドルを回転駆動するサーボモータ38と、スピンドルの先端に固定された仕上げ研削用の研削砥石42を有する研削ホイール40を有している。仕上げ研削ユニット28は、仕上げ研削ユニット28を一対の案内レール19に沿って上下方向に移動するボールねじ47とパルスモータ48とから構成される仕上げ研削ユニット移動機構49を備えている。パルスモータ48を駆動すると、ボールねじ47が回転し、仕上げ研削ユニット28が上下方向に移動される。研削装置2は、コラム6a,6bの前側においてハウジング4の上面と略面一となるように配設されたターンテーブル44を具備している。ターンテーブル44は比較的大径の円盤状に形成されており、図示しない回転駆動機構によって矢印45で示す方向に回転される。ターンテーブル44には、互いに円周方向に120°離間して3個のチャックテーブル46が水平面内で回転可能に配置されている。チャックテーブル46は、ポーラスセラミック材によって円盤状に形成された吸着チャックを有しており、吸着チャックの保持面上に載置されたウェーハを真空吸引手段を作動することにより吸引保持する。ターンテーブル44に配設された3個のチャックテーブル46は、ターンテーブル44が適宜回転することにより、ウェーハ搬入搬出領域A、粗研削加工領域B、仕上げ研削加工領域C、及びウェーハ搬入搬出領域Aに順次移動される。ハウジング4の前側部分には、ウエーハカセット50と、リンク51及びハンド52を有するウェーハ搬送ロボット54と、複数の位置決めピン58を有する位置決めテーブル56と、ウェーハ搬入機構ローディングアーム60と、ウェーハ搬出機構アンローディングアーム62と、研削されたウェーハを洗浄及びスピン乾燥するスピンナ洗浄装置64と、スピンナ洗浄装置64で洗浄及びスピン乾燥された研削後のウェーハを収容する収容カセット66が配設されている。スピンナ洗浄装置64には、研削された半導体ウェーハ11を吸引保持して回転する半導体ウェーハ11より小径のスピンナテーブル68が装着されている。70はスピンナ洗浄装置64のカバーである。次に、本発明において特徴的な構成について説明する。図3は、粗研削ユニット10の下端部の構成について示すものであり、スピンドルハウジング20から露出したスピンドル先端部スピンドル21の下端部にホイールマウント23が設けられ、ホイールマウント23に対して研削ホイール24が螺子31で固定される構成が示されている。なお、仕上げ研削ユニット28においても同様の構成とする。研削ホイール24は、ホイールマウント23の下面に装着される装着面32bを有する円環状の環状基台32と、環状基台32の下側の端部自由端部にリング状円環状に配設され、粒径2~60μmのダイアモンド砥粒をビトリファイドボンド等で固めた複数の研削砥石26と、を有して構成される。環状基台32の周方向の複数箇所には、厚み方向に雌螺子穴32aが形成されており、雌螺子穴32aに対し、ホイールマウント23の貫通穴23aを通して螺子31を螺合させることで、ホイールマウント23に対して研削ホイール24が固定される。図4は、チャックテーブル46上に吸引保持されたウェーハ11の加工について示すものであり、チャックテーブル46を矢印a方向に例えば300rpmで回転しつつ、研削ホイール24をチャックテーブル46と同一方向に、即ち矢印b方向に例えば6000rpmで回転させるとともに、粗研削ユニット移動機構18図1を作動して研削砥石26をウェーハ11の裏面11bに接触させる。そして、研削ホイール24を所定の研削送り速度例えば3~5μm/秒で下方に所定量研削送りすることで、ウェーハ11の研削が実施される。図示しない接触式の厚み測定ゲージによってウェーハの厚みを測定しながらウェーハ11を所望の厚み例えば100μmに仕上げる。次に、本発明の特徴的な構成である研削ホイール24について説明する。図3及び図4に示される実施形態では、高速回転するスピンドル21先端に固定されたホイールマウント23に装着される研削ホイール24であって、ホイールマウント23に装着される装着面32bを有する環状基台32と、環状基台32の装着面32bとは反対側の自由端部にリング状円環状に配設された研削砥石26,26と、を具備し、環状基台32の外周側面32cには、回転方向図4における矢印b方向に交差する縞目33から構成される縞模様が表示されている構成としている。本実施形態では、環状基台32の外周側面32cにおいて、互いに色の異なる帯状ライン33a,33bを交互に配置することで、縦方向の縞目33から構成される縞模様が表示されることとしている。縞目33を構成する各帯状ライン33a,33bの幅や色については特に限定されるものではないが、例えば、帯状ライン33aを蛍光色黄、緑、赤、橙などのいずれか一色とし、帯状ライン33bを艶消しの黒色や、或いは、環状基台32の素材そのまま例えばステンレス素材の金属表面などとすることが考えられる。このような色の組み合わせによれば、隣り合う帯状ライン33a,33bの間でのコントラストを明確にすることができる。また、縞目33を構成する各帯状ライン33a,33bの形態としては、環状基台32の外周側面32cに対し、テープを貼着する、印刷する、塗装するなどの形態が考えられる。これらの形態によれば、研削ホイール24の特定箇所において重量のアンバランスバラつきの発生が抑えられ、研削ホイール24の安定した高速回転を実現することが可能となる。そして、縞目33の存在により、スピンドル21に装着された研削ホイール24が停止している場合には、装置メーカーのメンテナンス担当者や、オペレータは、縞目33の模様を目視確認することができ、これとともに研削ホイール24が停止していることを認識できる。これにより、メンテナンス担当者や、オペレータは、研削ホイール24が停止中であることを一目で判別することができ、また、安心して作業を行ってもらうことができる。他方、スピンドル21に装着された研削ホイール24が回転中例えば6000rpmの高速回転などである場合には、装置メーカーのメンテナンス担当者や、オペレータは、縞目33の模様を目視確認することができず、これとともに研削ホイール24が回転していることを認識できる。これにより、メンテナンス担当者や、オペレータは、研削ホイール24が回転中であることを一目で判別することができ、また、この回転中であることを認識した上で研削ホイール24とは関係性が低い作業や、研削ホイール24から離れた位置についての作業を行うなど、適切な対応を図ることができる。そして、メンテナンス担当者や、オペレータが研削ホイールなどの周辺に手を伸ばすといった行為も防ぐことが可能となる。図5は、他の実施形態の研削ホイール24Aについて示すものであり、環状基台32の外周側面32cには、文字列35が表示されている構成としている。この他の実施形態では、停止中という日本語が外周側面32cの周方向に繰り返して表示されることとしている。文字列35を構成する文字の字体、色、大きさについては特に限定されるものではないが、メンテナンス担当者や、オペレータが一目で文字を認識できるようにすることが好ましい。また、停止中といったように、停止をしている状態であるという特定の観念を容易に想起させることができるように、よく知られた日本語文字列、外国語文字列を用いることが好ましい。以上に説明した実施形態によれば、研削ホイール24の外周側面32cに縞目や文字列などの模様パターンを形成するというシンプルで安価な方法によって、メンテナンス担当者や、オペレータに対し、研削ホイール24が回転中であるか停止中であるか否かを一目で判別させることが可能となる。"