"定格電力を空洞の長さで割ったプラズマ負荷、すなわちP/Lが少なくとも100W/cmであり、前記空洞の長さは全体の空洞の長さから空洞の中心部の半径を2つ分引いたものであることを特徴とする半透明導波管マイクロ波プラズマ光源LWMPLS:LucentWaveguideMicrowavePlasmaLightSource。前記プラズマ負荷が少なくとも125W/cmであることを特徴とする請求項1に記載のLWMPLS。前記プラズマ負荷が少なくとも140W/cmであることを特徴とする請求項1に記載のLWMPLS。プラズマ空洞が半透明のルツボ内に直接あることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のLWMPLS。プラズマ空洞が半透明の導波管内の半透明のバルブ内にあることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のLWMPLS。前記定格電力を前記空洞の内部表面積で割った壁面負荷が、100W/cm2~300W/cm2であることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載のLWMPLS。前記壁面負荷が125W/cm2~300W/cm2であることを特徴とする請求項6に記載のLWMPLS。前記壁面負荷が150W/cm2~250W/cm2であることを特徴とする請求項7に記載のLWMPLS。図を参照すると、LERLWMPLSに対する半透明のルツボ1は、その中にマイクロ波で励起可能な材料3を有する中央空洞2を有する。空洞は直径4mm、長さ21mmである。ルツボは、石英ガラスでできており、端部平面4,4の間の長さが21mmであり、外径が49mmの円柱である。空洞の長さと、ルツボの端部平面の間の長さとが同一であることは、これが一片の石英からなり、穴を有し、穴の端で閉じていることに起因する。空洞ではなくルツボの長さは本目的に対して多少任意であり、これは望ましいTM010モードにおいて、共鳴がルツボの長さに依存しないためである。このLERは2.45GHzにおいて280Wで動作するように設計される。また、マイクロ波をルツボに案内するアンテナ6のための穴5、および、マイクロ波共鳴をルツボ内に維持するファラデーケージ7が示されている。それはケージによって保持されるアルミニウムキャリア8の後ろに位置している。TM010モードにおける280WでのLERの作動は、133Wのプラズマ負荷および106W/cm2の壁面負荷に対応し、我々は700°Cの壁面温度を測定する。このような装置は最大110lm/Wまでの有効性を有する。プラズマ負荷を測定するために、LERの定格電力をプラズマの長さで割る。我々の経験では、プラズマ11は、図2に示すように、空洞の全長12の丁度手前で止まる。空洞は通常、ドーム形の終端14を有する。プラズマは、ドーム形の終端の空洞中央の平行部で最も強く、平らな端の空洞の極限の端まで及ばないことに基づいて、空洞の全体の長さを測定し、両端からその半径15を引く。110lm/Wよりも大きい有効性を達成するために、我々はプラズマの単位長さ当たりの負荷を150W/cmよりも大きくする必要があることを発見した。同時にランプが十分な寿命を有するためには、最大壁面負荷を300W/cm2よりも小さく、好ましくは250W/cm2よりも小さく制限することが必要であることを発見した。TM010モードで動作させるルツボに対する高いプラズマ負荷の例は以下のようである。1.空洞の長さ11mm空洞直径5mm電力280Wプラズマ負荷233W/cm壁面負荷145W/cm22.空洞の長さ14mm空洞直径3mm電力280Wプラズマ負荷200W/cm壁面負荷210W/cm2このように十分な長寿命の高効率LERに対して、作動条件は次のように設定される。これらの条件はいずれのモードで動作させる共振器に対しても適用できる一方、TM010およびTM110モードで動作させる円筒形のLERは、他のモードで動作させる共振器に比べ、製造可能性が容易である点およびコストの点で有利である。これは、これらの2つのモードは共振周波数が空洞の長さに依存しないという特性を有するためである。これは特に、LERの長さの変更、および、コストが最小限に抑えられる共振器の両端への突き合せシールド管の使用によって、プラズマの単位長さ当たりの電力入力を変化させるのを容易にしている。"