"入射端に入射された光を導波して該光を出射端から出射する光導波体であって、前記入射端から前記出射端へ向かう所定方向に延在するコアと、このコアを取り囲むクラッドとを備え、前記所定方向に垂直な断面において互いに直交する第1方向および第2方向のうち前記第1方向より前記第2方向に前記コアの幅が広く、前記クラッドの外周面にクラッドモード光を除去するクラッドモード光除去部が設けられている、ことを特徴とする光導波体。前記所定方向に垂直な断面において、前記コアが矩形状であって、前記第1方向に平行な前記コアの辺より前記第2方向に平行な前記コアの辺が長い、ことを特徴とする請求項1に記載の光導波体。前記クラッドモード光除去部が前記クラッドの外周面に形成された粗面である、ことを特徴とする請求項1に記載の光導波体。複数個のレーザ光源と、第1端および第2端を各々有する複数本の光ファイバを含み、前記複数本の光ファイバそれぞれの第1端が前記複数個のレーザ光源のうちの何れかと光学的に接続され、前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端が一次元配列されており、前記複数本の光ファイバそれぞれの第1端に入射された光を導波して該光を第2端から出射する光ファイバアレイと、前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端から出射されたレーザ光が入射端に入射される請求項1~3の何れか1項に記載の光導波体と、を備えることを特徴とするレーザ光照射装置。前記光導波体の前記クラッドモード光除去部が前記クラッドの外周面に形成された粗面であり、前記クラッドの外周面に形成された粗面上の前記入射端付近に設けられ、前記粗面から外部へ散乱された光のパワーを検出する受光部を更に備える、ことを特徴とする請求項4に記載のレーザ光照射装置。複数本の光ファイバを含み、前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端が一次元配列されており、前記複数本の光ファイバそれぞれの第1端に入射された光を導波して該光を第2端から出射する光ファイバアレイを用意するとともに、請求項1~3の何れか1項に記載の光導波体を用意する第1工程と、前記光ファイバアレイの前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端と前記光導波体の入射端とを互いに光学的に結合して、両者間の相対的配置関係を変更しつつ、前記複数本の光ファイバそれぞれの第1端に光を入射させたときに前記光導波体の出射端から出射される光のパワーを検出する第2工程と、前記第2工程で検出された光のパワーがピークとなる相対的配置関係で前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端と前記光導波体の入射端とを互いに固定する第3工程と、を備えることを特徴とするレーザ光照射装置組立方法。複数本の光ファイバを含み、前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端が一次元配列されており、前記複数本の光ファイバそれぞれの第1端に入射された光を導波して該光を第2端から出射する光ファイバアレイを用意するとともに、請求項1~3の何れか1項に記載の光導波体を用意する第1工程と、前記光ファイバアレイの前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端と前記光導波体の入射端とを互いに光学的に結合して、両者間の相対的配置関係を変更しつつ、前記複数本の光ファイバそれぞれの第1端に光を入射させたときに前記光導波体のクラッドの外周面から出射される光のパワーを検出する第2工程と、前記第2工程で検出された光のパワーがボトムとなる相対的配置関係で前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端と前記光導波体の入射端とを互いに固定する第3工程と、を備えることを特徴とするレーザ光照射装置組立方法。前記第2工程において、前記複数本の光ファイバのうちの何れかの光ファイバの第1端に光を入射させたときに前記光導波体の入射端から該光ファイバの第1端に戻ってくる反射戻り光の波長特性を求め、この波長特性に基づいて前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端と前記光導波体の入射端との間隔を調整する、ことを特徴とする請求項6または7に記載のレーザ光照射装置組立方法。前記第2工程において、前記複数本の光ファイバのうちの何れか2本以上の光ファイバについて前記波長特性を求め、この波長特性に基づいて前記複数本の光ファイバそれぞれの第2端と前記光導波体の入射端との間隔を調整する、ことを特徴とする請求項8に記載のレーザ光照射装置組立方法。特許文献1には、光ファイバアレイと光導波体との調心方法は記載されておらず、したがって、レーザ光照射装置を組み立てる方法は記載されていない。しかし、レーザ光照射装置組立方法としては以下のような方法が考えられる。すなわち、光ファイバアレイの複数本の光ファイバそれぞれの第2端と光導波体の入射端とを互いに光学的に結合して、両者間の相対的配置関係を変更しつつ、複数本の光ファイバそれぞれの第1端に光を入射させたときに光導波体の出射端から出射される光のパワーを検出する。そして、その検出された光のパワーがピークとなる相対的配置関係で複数本の光ファイバそれぞれの第2端と光導波体の入射端とを互いに固定する。しかし、このような調心方法は精密な調心が困難である場合があることを本発明者は見出した。すなわち、光ファイバのコア径と比べて光導波体のコアの第2方向の幅が充分に大きい場合には、光ファイバの第2端から出射された光を光導波体のコアに入射させることは容易である。しかし、光ファイバのコア径と比べて光導波体のコアの第2方向の幅が小さい場合または同程度である場合には、光ファイバの第2端から出射された光を光導波体のコアに入射させることは容易ではなく、光ファイバの第2端から出射された光の一部は光導波体のクラッドに入射してしまう。このような場合、光導波体の出射端から出射されてパワー検出される光は、光導波体の入射端においてコアに入射されて導波された光だけでなく、光導波体の入射端においてクラッドに入射されて第2端まで到達した光をも含む。このことから、上記のような調心方法は精密な調心が困難である。本発明は、上記のような本発明者の知見および課題認識に基づいて為されたものであり、容易に調心することができるレーザ光照射装置、このようなレーザ光照射装置において好適に用いられる光導波体、および、このようなレーザ光照射装置を組み立てる方法を提供することを目的とする。本発明の光導波体は、入射端に入射された光を導波して該光を出射端から出射する光導波体であって、入射端から出射端へ向かう所定方向に延在するコアと、このコアを取り囲むクラッドとを備え、所定方向に垂直な断面において互いに直交する第1方向および第2方向のうち第1方向より第2方向にコアの幅が広く、クラッドの外周面にクラッドモード光を除去するクラッドモード光除去部が設けられていることを特徴とする。本発明の光導波体は、所定方向に垂直な断面において、コアが矩形状であって、第1方向に平行なコアの辺より第2方向に平行なコアの辺が長いのが好適である。また、本発明の光導波体は、クラッドモード光除去部がクラッドの外周面に形成された粗面であるのが好適である。本発明のレーザ光照射装置は、複数個のレーザ光源と、第1端および第2端を各々有する複数本の光ファイバを含み、複数本の光ファイバそれぞれの第1端が複数個のレーザ光源のうちの何れかと光学的に接続され、複数本の光ファイバそれぞれの第2端が一次元配列されており、複数本の光ファイバそれぞれの第1端に入射された光を導波して該光を第2端から出射する光ファイバアレイと、複数本の光ファイバそれぞれの第2端から出射されたレーザ光が入射端に入射される上記の本発明の光導波体と、を備えることを特徴とする。本発明のレーザ光照射装置は、光導波体のクラッドモード光除去部がクラッドの外周面に形成された粗面であり、クラッドの外周面に形成された粗面上の入射端付近に設けられ、粗面から外部へ散乱された光のパワーを検出する受光部を更に備えるのが好適である。本発明のレーザ光照射装置組立方法は、複数本の光ファイバを含み、複数本の光ファイバそれぞれの第2端が一次元配列されており、複数本の光ファイバそれぞれの第1端に入射された光を導波して該光を第2端から出射する光ファイバアレイを用意するとともに、上記の本発明の光導波体を用意する第1工程と、光ファイバアレイの複数本の光ファイバそれぞれの第2端と光導波体の入射端とを互いに光学的に結合して、両者間の相対的配置関係を変更しつつ、複数本の光ファイバそれぞれの第1端に光を入射させたときに光導波体の出射端から出射される光のパワーを検出する第2工程と、第2工程で検出された光のパワーがピークとなる相対的配置関係で複数本の光ファイバそれぞれの第2端と光導波体の入射端とを互いに固定する第3工程と、を備えることを特徴とする。或いは、本発明のレーザ光照射装置組立方法は、複数本の光ファイバを含み、複数本の光ファイバそれぞれの第2端が一次元配列されており、複数本の光ファイバそれぞれの第1端に入射された光を導波して該光を第2端から出射する光ファイバアレイを用意するとともに、上記の本発明の光導波体を用意する第1工程と、光ファイバアレイの複数本の光ファイバそれぞれの第2端と光導波体の入射端とを互いに光学的に結合して、両者間の相対的配置関係を変更しつつ、複数本の光ファイバそれぞれの第1端に光を入射させたときに光導波体のクラッドの外周面から出射される光のパワーを検出する第2工程と、第2工程で検出された光のパワーがボトムとなる相対的配置関係で複数本の光ファイバそれぞれの第2端と光導波体の入射端とを互いに固定する第3工程と、を備えることを特徴とする。本発明のレーザ光照射装置組立方法は、第2工程において、複数本の光ファイバのうちの何れかの光ファイバの第1端に光を入射させたときに光導波体の入射端から該光ファイバの第1端に戻ってくる反射戻り光の波長特性を求め、この波長特性に基づいて複数本の光ファイバそれぞれの第2端と光導波体の入射端との間隔を調整するのが好適である。また、第2工程において、複数本の光ファイバのうちの何れか2本以上の光ファイバについて波長特性を求め、この波長特性に基づいて複数本の光ファイバそれぞれの第2端と光導波体の入射端との間隔を調整するのが好適である。本発明によれば、レーザ光照射装置を容易に調心して組み立てることができる。以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図中に説明の便宜の為にXYZ直交座標系が示されている。図1は、本実施形態の光導波体10の構成を示す図である。同図aは横断面を示し、同図bは縦断面を示す。本実施形態の光導波体10は、入射端11に入射された光を導波して該光を出射端12から出射するものであって、入射端11から出射端12へ向かう所定方向Z方向に延在するコア13と、このコア13を取り囲むクラッド14とを備える。光導波体10は石英ガラスからなる。コア13の屈折率はクラッド14の屈折率より高い。光導波体10は、所定方向Z方向に垂直な断面において、互いに直交する第1方向X方向および第2方向Y方向のうち、第1方向X方向より第2方向Y方向にコア13の幅が広い。また、所定方向Z方向に垂直な断面において、コア13が矩形状であって、第1方向X方向に平行なコア13の辺より第2方向Y方向に平行なコア13の辺が長いのが好適である。光導波体10は、クラッド14の外周面にクラッドモード光を除去するクラッドモード光除去部14aが設けられている。このクラッドモード光除去部14aは、クラッド14の外周面に形成された粗面であるのが好適である。クラッドモード光除去部14aとしての粗面は、クラッド14の外周面のエッチングや研磨紙による研磨により形成される。図2は、本実施形態の光導波体10の光透過特性の一例を示す図表である。また、図3は、本実施形態の光導波体10の光透過特性の一例を示すグラフである。ここでは、光導波体のサイズをφ53mm×100mmとし、コアの横断面のサイズを004mm×4mmとした。クラッドの外周面については、粗面化無しの場合、エッチングにより粗面化した場合、および、研磨紙による研磨により粗面化した場合、の3とおりとした。クラッドの外周面を粗面化するためのエッチングは、エッチング液としてフロステック社製の石英ガラス用エッチング材型式:QE-FG1の原液をそのまま使用し、温度25°Cで2時間に亘って行った。エッチング部分は、全長でも一部分でもよいが、ここでは全長100mmのうち中央の70mmをエッチングした。光導波体の入射端において、コア中央位置、コア中央位置からY方向右方向に15mmだけ離れた位置、コア中央位置から-Y方向左方向に15mmだけ離れた位置、および、これらの3つの位置それぞれからX方向に離れたクラッド中の位置それぞれに、コア径30μmでNA012の光ファイバを介して、波長405nmの光を入射させた。光導波体の出射端のコアおよびクラッドの双方から出射される光のパワーを測定して、各々の場合について透過率を求めた。図2および図3から判るように、粗面化無しの場合には、光導波体の入射端においてクラッドに入射した光の殆どは出射端においてクラッドから出射される。これに対して、クラッド外周面をエッチングにより粗面化してクラッドモード光除去部を形成した場合には、光導波体の入射端においてクラッドに入射した光のうち出射端においてクラッドから出射される光の割合は48以下である。クラッド外周面を研磨紙による研磨により粗面化してクラッドモード光除去部を形成した場合には、光導波体の入射端においてクラッドに入射した光のうち出射端においてクラッドから出射される光の割合は35以下である。このように、クラッド部14の外周面にクラッドモード光除去部14aが形成された本実施形態の光導波体10では、出射端12のコア13およびクラッド14の双方から出射される光のパワーをモニタする場合であっても、そのモニタ結果に基づいて入射端11における光入射位置を高精度に検知することができ、したがって、光ファイバとの高精度の調心を容易に行うことができる。図4は、本実施形態のレーザ光照射装置1の構成を示す図である。本実施形態のレーザ光照射装置1は、上述の本実施形態の光導波体10を備える他、レーザ光源201~20N、レンズ211~21N、光ファイバアレイ30およびレンズ40を備える。また、同図には、調心の際に用いられるステージ50も示されている。ここで、Nは2以上の整数であり、後に登場するnは1以上N以下の整数である。各レーザ光源20nは、可視域または近赤外域の波長のレーザ光を出力する光源であって、好適にはレーザダイオードを含む。各レンズ21nは、レーザ光源20nと光ファイバ31nとの間に設けられ、レーザ光源20nから出力されるレーザ光を光ファイバ31nの第1端においてコアに結合させる。光ファイバアレイ30は、第1端および第2端を各々有するN本の光ファイバ311~31Nを含む。各光ファイバ31nの第1端は、レンズ21nを介してレーザ光源20nと光学的に接続されている。N本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端は一次元配列されている。光ファイバアレイ30は、N本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第1端に入射された光を導波して該光を第2端から出射する。光ファイバアレイ30においてN本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端を一次元配列する為に、図5にも示されるように固定部材32,33が設けられている。固定部材32は、共通平面上に互いに平行なN本のV溝が一定ピッチで形成されたガラス基板であり、各V溝に光ファイバ31nを収納する。そして、平板上の固定部材33は、固定部材32の各V溝に収納した光ファイバ31nを固定する。光導波体10は、光ファイバアレイ30のN本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端から出射されたレーザ光を入射端11に入射して、その入射した光を導波して出射端12から出射する。レンズ40は、光導波体10の出射端12における光のビームプロファイルを対象物90に結像する。光ファイバアレイ30の各光ファイバ31nの第2端と光導波体10の入射端11との調心が為されていれば、対象物90に照射される光のパターンは、図6に示されるように一方向に長いライン状となる。本実施形態の光導波体10は、クラッド14の外周面にクラッドモード光を除去するクラッドモード光除去部14aが設けられているので、入射端11において光がクラッド14に入射したとしても、そのクラッドモード光の多くをクラッドモード光除去部14aにより外部へ出射することができ、出射端12から外部へ出射するクラッドモード光が僅かとなる。調心の際に用いられるステージ50は、光ファイバアレイ30の一次元配列されたN本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端側を、光導波体10に対して相対的に、X方向,Y方向およびZ方向それぞれに平行移動させることができ、また、Z軸を中心とするθZ回転方向に回転移動させることができ、これにより、光ファイバアレイ30の各光ファイバ31nの第2端と光導波体10の入射端11との調心を行うことができる。以下では、レーザ光照射装置1の調心方向すなわち組立方法について説明する。図7は、本実施形態のレーザ光照射装置組立方法の第1の例を説明する図である。第1の例では、先ず第1工程で光ファイバアレイ30および光導波体10を用意し、続く第2工程で、光ファイバアレイ30のN本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端と光導波体10の入射端11とを互いに光学的に結合して、ステージ50により両者間の相対的配置関係を変更しつつ、N本の光ファイバ311~31Nの第1端に光を入射させたときに光導波体10の出射端12から出射される光のパワーを光検出器61により検出する。そして、続く第3工程で、第2工程で検出された光のパワーが図8に示されるようにピークとなる相対的配置関係でN本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端と光導波体10の入射端11とを互いに固定する。なお、この第1の例では、光導波体10の出射端11から出射された光の全てを光検出器61により受光してもよいし、光導波体10の出射端11から出射された光の一部をビームスプリッタで分岐して光検出器61により受光してもよい。図9は、本実施形態のレーザ光照射装置組立方法の第2の例を説明する図である。第2の例では、先ず第1工程で光ファイバアレイ30および光導波体10を用意し、続く第2工程で、光ファイバアレイ30のN本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端と光導波体10の入射端11とを互いに光学的に結合して、ステージ50により両者間の相対的配置関係を変更しつつ、N本の光ファイバ311~31Nの第1端に光を入射させたときに光導波体10のクラッド14の外周面から出射される光のパワーを光検出器62により検出する。そして、続く第3工程で、第2工程で検出された光のパワーが図10に示されるようにボトムとなる相対的配置関係でN本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端と光導波体10の入射端11とを互いに固定する。なお、この第2の例では、光導波体10の出射側12に行くにしたがい、クラッド14から外部に抜ける散乱光が弱まっていくので、高感度検出のために光検出器62は入射端11付近に設けられるのが好ましい。また、光検出器62を光導波体10に取り付けてしまい、ステージ50を自動ステージにすれば、自動アクティブ調芯が可能となる。図11は、本実施形態のレーザ光照射装置組立方法の第3の例を説明する図である。第3の例では、上述した第1の例または第2の例の第2工程において、N本の光ファイバ311~31Nのうちの何れかの光ファイバの第1端に光を入射させたときに光導波体10の入射端11から該光ファイバの第1端に戻ってくる反射戻り光の波長特性を求め、この波長特性に基づいてN本の光ファイバ311~31Nそれぞれの第2端と光導波体10の入射端11との間隔を調整する。例えば、第3の例では、同図に示されるように、広帯域光源71,3dBカプラ72およびスペクトラムアナライザ73が用いられる。広帯域光源71から出力された波長範囲12~17μmの広帯域光は、3dBカプラ72を経て光ファイバ31に導入される。また、光導波体10の入射端11からの反射戻り光は、3dBカプラ72を経てスペクトラムアナライザ73により受光される。ここで、光ファイバ31および光導波体10それぞれの屈折率をn1とし、光ファイバ31の第2端と光導波体10の入射端11との間の空間の屈折率をnとし、光ファイバ31の第2端と光導波体10の入射端11との間の距離をSとする。光ファイバからの出射光のパワーをPiとし、光ファイバへの反射戻り光のパワーをPrとする。このとき、光ファイバ31の第2端と光導波体10の入射端11とにより構成されるファブリペロー共振器の反射特性は、波長λに対して以下の式で表され、図12に示されるように波長λの変化に対して増減を繰り返す。同図は、端面間隔Sが50μmである場合の計算結果を示す。ところで、光ファイバアレイ30の第2端と光導波体10の入射端11との間の間隔が近いほど、両者間の光結合効率が高く、軸ずれに対して強い。しかし、間隔が狭い状態で異物などを巻き込みビームを発振させると、光ファイバアレイ30や光導波体10の端面が損傷するリスクが高くなる。そこで、光結合効率が大きく低下しない範囲において端面間隔をあけることが望ましい。第3の例では、高精度に間隔を測定することが可能である。すなわち、反射戻り光の波長特性から端面間隔を求めることができる。また、第3の例において、N本の光ファイバ311~31Nのうち何れか2本以上の光ファイバについて反射戻り光の波長特性を測定して端面間隔を求めれば、一次元配列されたN本の光ファイバ311~31Nの第2端と光導波体10の入射端11とが互いに平行になるように調心することができる。このとき、N本の光ファイバ311~31Nのうち両端の光ファイバ311,31Nについて反射戻り光の波長特性を測定して端面間隔を求めれば、両者の平行出しの精度が向上するので好ましく、また、その結果として、チャンネル間で端面距離が変わって結合効率に差が出るということが回避できる。以上のとおり、本実施形態では、光導波体10のクラッド14の外周面にクラッドモード光を除去するクラッドモード光除去部14aが設けられていることにより、レーザ光照射装置1を容易に調心して組み立てることができる。なお、本実施形態の如く光導波体10のクラッド14の外周面にクラッドモード光を除去するクラッドモード光除去部14aを設けることは、単に光ファイバのクラッドの外周面を粗面化する技術からは容易には想到し得ない。このことについて以下に説明する。光ファイバの調心を行う際にアクティブアラインメントが行われる。このとき、或る第1光ファイバからの出射光は他の第2光ファイバに結合して強度検出されるので、第1光ファイバにおけるクラッドモード光は被覆部分で除去される。しかし、複数本の光ファイバが1次元配列された光ファイバアレイと結合され長尺コアを有する光導波体は、コア幅が大きいので、他の光ファイバに結合することができず、したがって、出射端からの出射光を直接に光検出器に結合させるしかない。本発明者は、このようなレーザ光照射装置の課題を見出して、光導波体のクラッドの外周面にクラッドモード光除去部を設ける本発明を想到した。また、従来では、光導波体のクラッドの外周面にクラッドモード光除去部を設ける必要性が小さく、本発明が解決しようとする課題が生じなかった。何故なら、従来、クラッドモード光が光導波体を伝搬して出射端から出射されても、その出射端の後段に設けられる集光光学系によりコア光を絞り込んでいるうちに、そのクラッドモード光が放射されるので、レーザ加工精度などの問題を生じなかった。また、レーザ光照射装置に用いられる光導波体は、光ファイバと異なり、全長が短いので、曲げ耐性を持たせる等の要請が無く、クラッド外周に樹脂被覆が形成されることはなかった。それ故、高パワー密度光であっても、クラッドモード光のしみ出しにより被覆が焼けるといった問題点高パワー密度光を伝送する光ファイバにおける問題点は発生しなかった。したがって、敢えてクラッド外周に粗面を形成するという動機付けがなかった。以上のように、本実施形態の如く光導波体10のクラッド14の外周面にクラッドモード光を除去するクラッドモード光除去部14aを設けることは、単に光ファイバのクラッドの外周面を粗面化する技術からは容易には想到し得ず、また、従来のレーザ光照射装置の構成からも容易には想到し得ない。"