好ましくはトレーサガスを透過できる膜13を含むトレーサガス入口12を備えるセル10と、前記トレーサガスをエネルギ準位の高い準安定状態にするための、前記セル10の中の励起装置25と、レーザ源15およびレーザビームを受光するフォトデテクタ16からなる光学測定部14とを含む、光学的にトレーサガスを認識する漏れ検知器。前記セル10は、真空ポンプ装置に接続されている図2、請求項1の漏れ検知器。前記セル10は、バッファガスのためのバッファガス入口32と、前記バッファガスをプラズマに変化させるガス放電部を備え、前記プラズマにより前記トレーサガスを準安定状態にする励起装置25とを含む、請求項1の漏れ検知器。前記セル10は、前記トレーサガスを準安定状態にするために、電子衝突を利用する電子発生源を含む、請求項1の漏れ検知器。前記セル10は、好ましくは前記トレーサガスを透過できる膜を備えるポンプ接続35をさらに含み、前記ポンプ接続は、前記セルを、さらに真空ポンプ装置に接続されたポンプチャンバ36に接続する、請求項1の漏れ検知器。前記ポンプチャンバ36は、バッファガス接続37とポンプ接続38とを含む、請求項5の漏れ検知器。前記セル10は、該セルの中に生じる前記トレーサガスの分圧が雰囲気中の前記トレーサガスの分圧に等しくなるように、前記トレーサガス入口12を除いて密閉シールされている、請求項1の漏れ検知器。本発明の課題は、高い感度、短い反応時間および簡素な構造を有する漏れ検知器を提供することである。提案される漏れ検知器は、請求項1に規定される。漏れ検知器は、好ましくはトレーサガスを透過可能なガス入口を備えるセルを含む。理論的に、ガス入口は、選択的または専らトレーサガスを透過する。これは、膜が、外側または雰囲気の圧力をブロックするが、トレーサガスおよびまれに他のガスの通過を許すことを意味する。例えば、膜は、水晶または酸化珪素SiO2の薄い層を含んでもよい。膜は、特に、それが加熱されたときに、水素またはヘリウムのような軽いガス選択的に透過できる。膜は、重いガスおよび水蒸気並びにトレーサガスの準安定状態を打ち破り得る他の如何なるものもセルの内側に入れない。したがって、膜のトレーサガスに対する完全な選択性は、要求されない。むしろ、膜は、トレーサガスの通過を許容するが、他のガス成分も取り込み得るもので十分である。本発明は、異なる漏れ検査方法を可能にする。例えば、漏れ検知器は、検査対象の外側に沿って通過したプローブを含み、トレーサガスの漏れを検出するスニファー探知機であってもよい。一方、漏れ検知器は、また、検査対象からガスを引き抜く吸引装置を含んでもよく、その場合、検査対象の外側にトレーサガスを含む領域が形成される。セルを空にする必要はないが、本発明の好ましい実施形態では、セルに真空ポンプ装置が接続される。準安定状態の励起は、ガスプラズマ下またはガス放電下におけるバッファガスの粒子衝突によって達成できる。他の可能性は、電子源陰極から来る電子がトレーサガスに衝突してより高いエネルギレベルとなる直接電子衝突を提供する。ここでは、バッファガスは必要ではない。さらなる可能な励起方法は、X線、多光子励起、ローマ型分布Ramantypepopulation励起、例えば超音波ビームにおける中性原子/分子との衝突である。準安定ヘリウムの光学的検出は、吸光分光法または蛍光分光法によって達成されてもよい。吸光分光法のために、レーザ源が高励起状態の吸収スペクトルをカバーする変調を受けてもよい。特別な実施形態によれば、セルは、さらに、好ましくはトレーサガスを透過できる膜からなるポンプ接続を含み、ポンプ接続は、セルを、さらにバキュームポンプ装置またはトレーサガスのない大気に接続されたチャンバに接続する。ポンプ接続は、雰囲気中へのまたはポンプ動作のいずれかによるセルからのヘリウムの除去を可能にする。ポンプ接続の目的は、トレーサガスが膜の前から除去された後、トレーサガスをセルの内側から外側に放出することである。本発明の他の実施形態において、セルは、トレーサガス入口を除いて、密閉シールされている。トレーサガス入口において、雰囲気のトレーサガスの分圧と等しいトレーサガスの分圧がセルの内側に生じる。その最良の実施形態を含み、当業者に本発明の実施を可能にする、本発明の完全で実施を可能にする開示は、添付の図面への参照を含んだ以下の記載において非常に詳細に説明される。本発明の一般概念は、図1に示される。提示した漏れ検知器の核心は、トレーサガス入口12で閉鎖された内部空間11を有するセル10である。トレーサガス入口12は、好ましくは、トレーサガス、例えばヘリウムを透過できる膜13を含む。それは、好ましくは、ヘリウムのみを選択的に透過できる膜である。膜13は、双方向に透過性である。したがって、セル10の内部空間11には、セルの外側のトレーサガスの分圧と等しい圧力が生じる。セル10は、トレーサガス以外の如何なるガスも保持し得ないように、前もって空にされる。セル10は、それによりトレーサガスを高位の励起状態にする励起装置不図示を含む。準安定状態のトレーサガスの光学検出は、レーザ源15およびレーザビーム17を受け取るフォトデテクタ16を含む測定部14によって達成される。レーザ源15が射出したレーザビーム17の波長は、トレーサガス例えばヘリウムの吸収線にしたがって設定される。例えば、レーザビームの波長は、準安定レベル23S1に始まって高エネルギレベル23P2を達成するように、1083.034nmに設定される。1083.025nmのレーザの周波数によってエネルギレベル23P1が達成され、エネルギレベル23P0が1082.908nmの波長によって達成されるであろう。準安定状態のトレーサガスは、上記波長によって照明され、この波長が吸収される。詳細にはDE19853049C2を参照してもよい。レーザビーム17の放射は、基本波長をカバーする部分が検出されるように調節される。吸光分光法は、吸収波長の検出を可能にする。この原則は、以下に説明する全ての実施形態で同じである。セル10は、分光計セルとも呼ばれる。好ましくは、それはガラスで形成される。レーザ源15およびフォトデテクタ16は、セル10の中またはその外側に配置されてもよい。図2の実施形態において、セル10は、測定部14を備える。セルは、トレーサガスヘリウムを選択的に透過できるか、少なくとも好ましくはこのガスを透過する膜13で閉鎖されている。膜13は、ガスを透過可能な多孔性の支持体20と、厚さ数nmのSiO2または水晶の薄いフィルタ層21とを有する。好ましくは吸収部の外部の加熱装置22が、フィルタ層を加熱する役目を果たす。この加熱装置は、トレーサガスがフィルタ層を通過できるように、フィルタ層21から離れて配置されている。膜13の構造の詳細は、EP0831964B1=US6277177B1に記載されている。セル10は、それによって、セルに入ったヘリウムを準安定状態にする励起装置25を含む。この例では、励起装置は、内部空間11においてバッファガスからプラズマを生成するガス放電部の一部であるカソード26を含む。バッファガスは不活性ガス、好ましくは、トレーサガスとして使用されるヘリウム以外の希ガスである。セル10は、a直接または間接的に雰囲気の空気に露出してもよくスニファー漏れ検知、或いは、bトレーサガスが充填された検査対象を収容する検査チャンバ28に接続されてもよく総体漏れ検査、或いは、c外側からトレーサガスが噴射される空にした検査対象に接続されてもよい真空漏れ検査。そして、トレーサガスは、膜13を通過し、セル10の内部空間に到達する。そこからトレーサガスが所定流量だけ漏れ出す検査漏れ部30が、入口の前に設けられ得る。検査漏れ部30は、トレーサガス濃度についての定量的情報を取得するような、漏れ検知器の較正に使用される。セル10は、励起装置25によってイオン化されたバッファガスがそこを通して供給されるバッファガス入口32をさらに備える。さらに、セル10は、接続部33を介して真空ポンプ装置に接続されている。真空ポンプ装置は、セル10からバッファガスとトレーサガスとの混合物を引き抜く。図3の実施形態は、セル10が真空装置に接続されていない点で、上述の実施形態とは異なる。セル10は、検査チャンバ28に接続されたトレーサガス入口12を含む。セルは、測定部14および電極によって形成された励起装置25をさらに含む。図3のセル10は、吸引チャンバ36を備えるポンプ接続35が設けられている。ポンプチャンバ36は、バッファガス接続37および真空ポンプ装置不図示に接続されたポンプ接続38を有する。ポンプ接続35の機能は、トレースガスだけをセル10から吸引ポンプ36に選択的に導くことである。それは、トレーサガス入口12と同様に構成されている。ポンプチャンバ36とともに、ポンプ接続35は、セル10からトレーサガスを除去するポンプまたは一方弁を形成する。図4の実施形態は、図2のものと殆ど同じであるが、検査チャンバ28が省略されている点が異なる。トレーサガス入口12は、直接、或いは、スニファー導管を通して雰囲気を引き抜き、入口12に供給することにより、雰囲気に露出している。トレーサガス雲40がトレーサガス入口12に到達したとき、それは吸引され、トレーサガスは、準安定状態になって検出されるセル10に入る。セルは、さらにバッファガス接続41および図2に示したような真空ポンプ装置に接続されてもよいポンプ接続38を含む。図4の実施形態は、スニファー漏れ検知器として使用するのに適する。図5は、トレーサガス入口12を備えるセル10、および、先に説明したような類の測定部14を含む漏れ検知器の他の実施形態を示す。セル10はポンプ接続を有していない。トレーサガスがトレーサガス入口12の前にあると膜の前のトレーサガスヘリウムの分圧と等しいセル10の内側の圧力が低下する。トレーサガスが膜の前から除去されたなら、トレーサガスは、セル10からトレーサガス入口12を通して、大気に戻る。図5の実施形態は、また、セル10の中のヘリウムを光学的に検出できる準安定状態にする励起装置不図示を含む。準安定状態のヘリウムは、セルまたはトレーサガス入口または他の装置の壁に接触して、エネルギを喪失し、それにより基底状態に戻される。したがって、セル10から漏出したヘリウムは、もはや準安定状態ではなくなる。本発明は、特定の説明的実施形態に関して説明および図示したが、それらの説明的実施形態は、本発明を限定することを意図しない。当業者は、変形および改良が、以下の特許請求の範囲に規定した本発明の真の範囲を逸脱することなくなし得ることに気付くであろう。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等の範囲内にあるような変形および改良の全てを本発明に含むことが企図される。