"アニオン溶液または微粒子及びカチオン溶液または微粒子を交互に対象物に噴霧することにより交互吸着膜を成膜する噴霧装置において、アニオン溶液または微粒子を噴霧する第1ノズルと、カチオン溶液または微粒子を噴霧する第2ノズルと、成膜に不要な物質を洗浄する洗浄手段と、前記第1ノズル及び第2ノズル夫々の噴霧並びに前記洗浄手段の洗浄の実行及び停止を制御する制御部と、前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々を所定の間隔に配置する配置部と、該配置部を移動させる駆動部と、前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段間の間隔に関する間隔情報を記憶している記憶部と、該記憶部に記憶されている前記間隔情報に従って前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々に応じて設定された経路を前記配置部が移動するように前記駆動部を制御する駆動制御部とを備えることを特徴とする噴霧装置。前記間隔情報は、前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段間の距離、または、前記配置部における所定の位置から前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々までの距離であることを特徴とする請求項1に記載の噴霧装置。成膜した交互吸着膜の厚さを測定する膜厚測定部をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の噴霧装置。前記制御部は、前記膜厚測定部の測定結果に基づいて、前記第1ノズル及び第2ノズル夫々の噴霧並びに前記洗浄手段の洗浄の実行及び停止を制御するように構成してあることを特徴とする請求項3に記載の噴霧装置。前記制御部は、前記配置部が前記第1ノズルまたは第2ノズルに関わる前記間隔情報に従って設定された経路を移動する間は前記第1ノズルまたは第2ノズルを噴霧させ、移動を終了した場合に噴霧を停止させ、前記第1ノズルまたは第2ノズルの噴霧を停止させた後、前記配置部が前記洗浄手段に関わる間隔情報に従って設定された経路を移動する間は前記洗浄手段に洗浄させ、移動を終了した場合に洗浄を停止させるように構成してあることを特徴とする請求項1から4までのいずれか一つに記載の噴霧装置。前記洗浄手段は、成膜に不要な物質を洗浄するリンス溶液または気体を前記対象物に噴霧する第3ノズルであることを特徴とする請求項1から5までのいずれか一つに記載の噴霧装置。リンス溶液または気体を貯蔵する貯蔵部と、該貯蔵部から前記第3ノズルへのリンス溶液または気体の供給を制御する弁とをさらに備え、前記制御部は、前記弁を制御することにより、前記第3ノズルがリンス溶液または気体を噴霧するか、気体を噴出するかの切替を行うように構成してあることを特徴とする請求項6に記載の噴霧装置。噴霧されるアニオン溶液または微粒子、カチオン溶液または微粒子、及びリンス溶液または気体の少なくとも一つの温度を調整する温度調整部をさらに備えることを特徴とする請求項6または7に記載の噴霧装置。前記対象物が前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段に対して相対移動可能に構成してあることを特徴とする請求項1から8までのいずれか一つに記載の噴霧装置。前記第1ノズル、第2ノズル及び第3ノズル夫々による噴霧圧、噴霧量をフィードバック制御可能に構成してあることを特徴とする請求項6から9までのいずれか一つに記載の噴霧装置。しかしながら、非特許文献1及び2に記載の方法では、アニオン溶液及びカチオン溶液を均一に塗布することが難しく、また、表面に凝集物が形成され易いという問題があった。一方、特許文献1には、撥水剤コーティング装置における撥水剤を噴霧するスプレーノズルの具体的な移動制御は記載されていない。本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、複数のノズルを用いて異なる種類の溶液、微粒子、気体などを精度良く噴霧することができ、厚さが均一な交互吸着膜を成膜することができる噴霧装置を提供することを目的とする。本発明に係る噴霧装置は、アニオン溶液または微粒子及びカチオン溶液または微粒子を交互に対象物に噴霧することにより交互吸着膜を成膜する噴霧装置において、アニオン溶液または微粒子を噴霧する第1ノズルと、カチオン溶液または微粒子を噴霧する第2ノズルと、成膜に不要な物質を洗浄する洗浄手段と、前記第1ノズル及び第2ノズル夫々の噴霧並びに前記洗浄手段の洗浄の実行及び停止を制御する制御部と、前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々を所定の間隔に配置する配置部と、該配置部を移動させる駆動部と、前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段間の間隔に関する間隔情報を記憶している記憶部と、該記憶部に記憶されている前記間隔情報に従って前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々に応じて設定された経路を前記配置部が移動するように前記駆動部を制御する駆動制御部とを備えることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、記憶部に記憶している第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段間の間隔に関する間隔情報に従って、第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々に応じて設定された経路を配置部が移動するようにしており、精度良くアニオン溶液または微粒子、カチオン溶液または微粒子を対象物に噴射し、精度良く対象物を洗浄する。本発明に係る噴霧装置は、前記間隔情報が、前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段間の距離、または、前記配置部における所定の位置から前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々までの距離であることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、間隔情報として、第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段間の距離、または、配置部における所定の位置から第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々までの距離を記憶している。よって、オフセット補正に必要である正確な間隔情報が得られる。本発明に係る噴霧装置は、成膜した交互吸着膜の厚さを測定する膜厚測定部をさらに備えることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、成膜された交互吸着膜の厚さを膜厚測定部にて測定する。よって、正確な膜厚を有する交互吸着膜の成膜が可能となる。本発明に係る噴霧装置は、前記制御部は、前記膜厚測定部の測定結果に基づいて、前記第1ノズル及び第2ノズル夫々の噴霧並びに前記洗浄手段の洗浄の実行及び停止を制御するように構成してあることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、膜厚測定部の測定結果に基づいて、第1ノズル及び第2ノズル夫々の噴霧並びに洗浄手段の洗浄の実行及び停止を制御する。よって、アニオン層及びカチオン層が夫々正確な膜厚を有する交互吸着膜の成膜が可能となる。本発明に係る噴霧装置は、前記制御部が、前記配置部が前記第1ノズルまたは第2ノズルに関わる前記間隔情報に従って設定された経路を移動する間は前記第1ノズルまたは第2ノズルを噴霧させ、移動を終了した場合に噴霧を停止させ、前記第1ノズルまたは第2ノズルの噴霧を停止させた後、前記配置部が前記洗浄手段に関わる間隔情報に従って設定された経路を移動する間は前記洗浄手段に洗浄させ、移動を終了した場合に洗浄を停止させるように構成してあることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、第1ノズルまたは第2ノズルに関わる間隔情報に従って補正された経路を配置部が移動する間は第1ノズルまたは第2ノズルを噴霧させ、洗浄手段に関わる間隔情報に従って補正された経路を配置部が移動する間は洗浄手段に洗浄させる。よって、第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段夫々に応じたオフセットを補正することができる。本発明に係る噴霧装置は、前記洗浄手段が、成膜に不要な物質を洗浄するリンス溶液または気体を前記対象物に噴霧する第3ノズルであることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、洗浄手段として、成膜に不要な物質を洗浄するリンス溶液または気体を噴霧する第3ノズルを使用する。よって、効率良く洗浄処理を行える。本発明に係る噴霧装置は、リンス溶液または気体を貯蔵する貯蔵部と、該貯蔵部から前記第3ノズルへのリンス溶液または気体の供給を制御する弁とをさらに備え、前記制御部は、前記弁を制御することにより、前記第3ノズルがリンス溶液または気体を噴霧するか、気体を噴出するかの切替を行うように構成してあることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、第3ノズルへのリンス溶液または気体の供給を制御する弁を制御することにより、リンス溶液または気体を噴霧するか、気体を噴出するかを切替える。よって、リンス溶液または気体を噴霧するための第3ノズルを用いて気体を噴出させるので、気体を噴出させるための専用のノズルを設ける必要がなく、装置構成の小型化を図れる。本発明に係る噴霧装置は、噴霧されるアニオン溶液または微粒子、カチオン溶液または微粒子、及びリンス溶液または気体の少なくとも一つの温度を調整する温度調整部をさらに備えることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、噴霧されるアニオン溶液または微粒子、カチオン溶液または微粒子、及びリンス溶液または気体の少なくとも一つの温度を温度調整部にて調整する。よって、アニオン溶液または微粒子、及びカチオン溶液または微粒子の適切な吸着量及び吸着速度を実現できる。本発明に係る噴霧装置は、前記対象物が前記第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段に対して相対移動可能に構成してあることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段に対して対象物が相対移動可能であり、対象物と第1ノズル、第2ノズル及び洗浄手段との位置関係を容易に制御できる。本発明に係る噴霧装置は、前記第1ノズル、第2ノズル及び第3ノズル夫々による噴霧圧、噴霧量をフィードバック制御可能に構成してあることを特徴とする。本発明の噴霧装置にあっては、各ノズルにおける噴霧圧、噴霧量をフィードバック制御するため、噴霧圧、噴霧量を精度良く調整できる。本発明の噴霧装置では、異なる溶液または微粒子を噴霧する複数のノズルと、不要な物質を洗浄する洗浄手段とを備え、これらのノズル及び洗浄手段に関する間隔情報に従って設定した経路を、ノズル及び洗浄手段を配置した配置部を移動させるので、溶液または微粒子の噴霧及び不要な物質の洗浄を適切かつ短時間で行うことができる。この結果、厚さが均一な交互吸着膜を短時間で成膜することが可能である。以下、本発明に係る噴霧装置について説明する。図1及び図2は、噴霧装置の前面側及び後面側を示す斜視図である。噴霧装置は複数種の溶液、微粒子または気体を噴霧口から噴霧する噴霧部1を備える。溶液の噴霧を行う噴霧部1は、カチオン溶液または微粒子を噴霧するカチオン用ノズル第2ノズル11、リンス溶液または気体を噴霧するリンス用ノズル洗浄手段としての第3ノズル12、及びアニオン溶液または微粒子を噴霧するアニオン用ノズル13第1ノズルを備える。カチオン溶液に用いられるカチオンとしては、正の電荷を有するイオン性ポリマーまたは正の電荷を有する微粒子等が挙げられ、アニオン溶液に用いられるアニオンとしては、負の電荷を有するイオン性ポリマーまたは負の電荷を有する微粒子等が挙げられる。リンス溶液には純水が用いられるが、イオン交換水、アルコール、またはアルコール及び水の混合液等であってもよい。リンス溶液を噴霧することにより、基板に静電的に吸着している量を超える量の電荷を有する物質、その他成膜に不要な物質を洗い流すので、一つの層における部分ごとの膜の厚さを均一にすることができる。また、アニオンとカチオンとが混合されることにより、物質が沈殿することがあるため、リンス溶液によって電荷を有する物質を洗い流す。適切なリンス時間は、用途、またはアニオン溶液、カチオン溶液の性質等に応じて異なるが、数秒以上から数十秒以下の程度であることが好ましく、リンス用ノズル12は連続して同じ経路を複数回噴霧しても良い。噴霧部1では、カチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13の3つのノズルが同一の水平方向を向くように、ノズル配置部14に配置されている。ノズル配置部14は、カチオン用ノズル11とリンス用ノズル12との間隔、リンス用ノズル12とアニオン用ノズル13との間隔、及びアニオン用ノズル13とカチオン用ノズル11との間隔夫々が常に一定になるように各ノズルを配置する。ノズル配置部14が、カチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13を備えているので、異なる溶液を噴霧する度にノズルを取り換える必要は無く、迅速に噴霧を行うことができる。ノズル配置部14は、噴霧する方向と反対側に設けられた鉛直摺動部2に固定されている。鉛直摺動部2は、鉛直方向を長手方向とする四角柱状の移動柱3を幅方向に挟むようにコの字型の形状をなし、移動柱3と接触している。また、鉛直摺動部2は、接続された制御部6図3参照から送信される指示信号に基づいて移動柱3の長手方向に移動することができる。移動柱3の長手方向の上端部には水平摺動部4が固定されている。水平摺動部4は、水平方向を長手方向とする四角柱状の固定柱5を幅方向に挟むようにコの字型の形状をなし、固定柱5と接触している。また、水平摺動部4は、接続された制御部6図3参照から送信される指示信号に基づいて固定柱5の長手方向に移動することができる。こうした構成により、噴霧部1は鉛直方向及び水平方向に移動して広い範囲で噴霧を行うことができる。図3は、リンス用ノズル12についての制御系を示した模式図である。なお、カチオン用ノズル11及びアニオン用ノズル13についての制御系は、後述する振動子30を除いてリンス用ノズル12についての制御系と同様の構成であるので、それらの図示は省略する。カチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13の夫々のノズルには、噴霧する際の高圧な空気を供給するための噴霧用コンプレッサ21が、送気管28aを介して接続されており、また、溶液を夫々のノズルへ吸引するピストンを作動させるために高圧な空気を供給するトリガー用コンプレッサ22が、送気管28bを介して接続されており、さらに、溶液を供給するための溶液タンク23が、送液管28cを介して接続されている。噴霧用コンプレッサ21、トリガー用コンプレッサ22及び溶液タンク23の夫々は、他の溶液が混入しないように、アニオン用、カチオン用及びリンス用に分離されている。また、噴霧パターン調整用の管が設けられ、従って、噴霧部1では、夫々のノズルに4本の管が接続されており、全体として合計12本の管が設けられている。なお、噴霧用コンプレッサ21及びトリガー用コンプレッサ22は共用可能である。噴霧用コンプレッサ21と接続されている送気管28aの中途には、送気管28aを通る空気の圧力を調整する空気圧調整部24と、送気の作動及び停止を制御する2方電磁弁25とが、噴霧用コンプレッサ21側からこの順に設けられている。トリガー用コンプレッサ22と接続されている送気管28bの中途には、送気の作動、停止及び残圧を逃がすための排気を行う3方電磁弁26が設けられている。また、溶液タンク23と接続されている送液管28cの中途には、送液管28cを通る溶液の量を調整する液量調整部27が設けられている。制御部6は、空気圧調整部24、2方電磁弁25、3方電磁弁26及び液量調整部27を制御する。なお、噴霧の動作及び停止を円滑に行うべく、液量調整部27及び3方電磁弁26とは作動と停止とを同時に行うように構成してもよい。加えてリンス用ノズル12については、制御部6が2方電磁弁25を開けさせ、液量調整部27をリンス溶液が流れないように制御し、2方電磁弁25を開放して噴霧用コンプレッサ21から送気された空気をリンス用ノズル12から噴出させることにより、噴霧された溶液を乾燥させるための空気を噴出することができる。ブローの有無により得られる膜の特性及び膜厚が異なる場合があるため、膜の種類によっては乾燥が必要な場合がある。また、交互吸着膜の一部が乾燥していないことにより、不均一な部分が発生する場合が生じ得る。従って所望の成膜の性質によりブローを行う必要が生じる。送液管28cの中途の液量調整部27より下流側には、送液管28cを流れる溶液の温度を調整するヒータを備えた温度調整部29が設けられている。アニオンまたはカチオンに用いられる物質によっては、常温より高い温度で吸着させることにより膜厚が異なる場合があり、また、吸着の速度が異なる場合もある。従って温度を調整することにより所望の交互吸着膜を成膜することができる。また、リンス溶液についても温度を調整することで洗浄力を高めることができる。なお、温度調整部29は溶液タンク23に設けてもよく、各ノズルの内部に設けてもよい。さらに、リンス用ノズル12の送液管28cの中途の温度調整部29より下流側には、リンス溶液を振動させる振動子30が設けられている。振動子30によってリンス溶液を振動させることによってリンス溶液に気泡が生じる。これによりリンス溶液の洗浄効果を向上させることができる。また、リンス用ノズル12による噴霧圧、噴霧量を測定し、それらの測定値が所定値になるように、制御部6によってフィードバック制御をかけることができる。図4は、制御部6の構成を示すブロック図である。制御部6は、演算回路61と、プログラム記憶部62と、実行記憶部63と、入力データ記憶部64とを備えている。演算回路61は、CPUCentralProcessingUnitまたはMPUMicroProcessingUnit等である。プログラム記憶部62は、書き込み及び消去可能なEPROMErasableProgrammableROMまたはフラッシュメモリ等であり、噴霧装置が動作するために必要な種々の制御プログラムを予め格納してある。実行記憶部63は、SRAMまたはフラッシュメモリ等であり、制御部6演算回路61による制御プログラムの実行時に発生する種々のデータを一時的に記憶する。演算回路61は、プログラム記憶部62に予め格納されている制御プログラムを、実行記憶部63に適宜読み出して実行する。また、演算回路61は、相互に接続されたプログラム記憶部62、実行記憶部63及び入力データ記憶部64の動作を制御する。図示しないキーボード、タッチパネル等の入力装置からデータが入力された場合、制御部6は、入力されたデータをRAMまたはフラッシュメモリ等で構成される入力データ記憶部64に記憶する。なお、噴霧部1の構成は上述した例図1参照に限られない。図5は、噴霧部1の他の構成例を示す斜視図である。図5Aに示す構成例では、カチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13が、図1に示す例のように水平方向ではなく、四角柱状のノズル配置部14に夫々等間隔で鉛直方向に配置されている。また、図5Bに示す構成例では、各ノズルの中心が同一円周上に位置するように、カチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13が、ノズル配置部14に夫々等間隔で配置されている。図6は、噴霧部1と噴霧される対象物31との位置関係を示す模式図である。噴霧部1の移動によって、板状の対象物31に各種の溶液の噴霧が行われる。例えば基板からなる板状の対象物31は鉛直方向に立設して留め具32により壁34に配置されている。対象物31に対して噴霧が一様に行われるように、ノズルにおける図示しない噴霧孔の大きさ、間隔及び形状等を考慮し、噴霧部1が移動することができる面状の範囲と所定の間隔を置いて対象物31は配置される。また、対象物31基板には加熱用のヒータが設けられている。対象物31を移動する機構を設けて、対象物31がカチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13に対して相対移動可能に構成することができる。また、対象物31の近傍には、成膜された交互吸着膜の厚さを測定する膜厚計33が、壁に固定して設けられている。膜厚計33として、例えばQCMQuartzCrystalMicrobalanceを用いる。QCMは、水晶振動子の電極表面に物質が付着し、質量が変化することにより、振動数が変化することを利用して質量変化を測定する測定装置である。下記1式に示されるように、振動数の変化から算出される質量変化Δmに基づいて振動数変化Δfを算出することができる。本実施の形態では、表面積を調整することにより振動数1Hzの変化が膜厚1nmに相当するように設定する。なお、QCMを用いる場合に限らず、赤外線、X線を利用した膜厚計33を用いるようにしても良い。制御部6は、溶液を噴霧する際に、ノズル配置部14噴霧する各ノズルを移動させる経路をプログラムによって制御する。図7は、噴霧するノズルが移動する経路を示す表示画面の例示図である。図中の太線は、長方形状の対象物31破線にて図示に対して噴霧部1の経路を水平方向に投影した線を表している。この線は噴霧口の位置と対応している。まず、制御部6は図示しないキーボードまたはマウス等の入力手段により入力された初期設定事項を示すデータを受け付ける。初期設定事項は水平摺動部4及び鉛直摺動部2の移動速度、対象物31の大きさや形状、その他後述する主走査方向、主走査方向の走査距離ストローク、走査間隔ピッチ等についてのデータである。制御部6は初期設定事項のうち、主走査方向、主走査方向の走査距離及び走査間隔に基づいて、噴霧部1の噴霧するノズルが移動する経路を作成する。図8は、噴霧するノズルが移動する経路を示す表示画面の例示図である。図8に示すように、制御部6は表示画面に対象物31破線及び噴霧するノズルが移動する経路太実線を表示させる。制御部6は、対象物31を噴霧するノズルを、主走査方向に走査距離だけ往復し、主走査方向の折り返し点で主走査方向と垂直な一つの方向にさらに走査間隔だけ走査させる。このように移動させることにより、対象物31の全体を噴霧する。なお、噴霧するノズルの経路は、例えば図8Aのように水平方向を主走査方向としてもよく、図8Bのように鉛直方向を主走査方向としてもよい。噴霧するノズルの経路は、対象物31の全ての部分で膜厚を均一にすべく、1回の経路移動中に噴霧されない範囲及び重複して噴霧される範囲が無いように定めることが望ましい。また、移動する方向の転換には時間を要するので、折り返す地点の付近では噴霧される溶液の量が多くなるため、主走査方向の移動は対象物31の主走査方向の幅よりも長い距離を移動し、折り返す地点の付近では対象物31に噴霧を行わないようにすることが望ましい。これらを考慮して、対象物31の大きさや形状のデータを受け付けた場合には制御部6が主走査方向の長さ、主走査方向間の距離等について演算処理を行い、経路を算出するようにしてもよい。アニオン層及びカチオン層の厚さはどの層も一定ではなく、層の数と膜厚とは非線形の関係にある。従って交互吸着膜を所望の厚さにしたい場合に、層の数から厚さを推定することは困難である。そこで膜厚計33で膜の厚さを測定しながら層を重ねることにより、所望の膜厚に成膜することができる。初期設定事項のデータを受け付けた後、噴霧するノズルが移動する経路を作成する。併せて噴霧するノズルの移動速度、移動開始点の噴霧するノズルの位置、対象物31に噴霧する前に移動開始点の位置で行われる空吹き時間等についてのデータを受け付けることにより、移動する経路を作成することができる。また、受け付けたデータに基づく移動開始点の噴霧部1の位置を、例えば実行記憶部63に予め記憶されているカチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13のオフセット分を補正して算出する。噴霧部1には、前述したように、カチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13が並置されている。従って噴霧部1の位置を一定にして噴霧を行った場合、ノズルの位置の分だけオフセットが生じ、異なる位置を噴霧することになる。そこで、制御部6は、予めノズル間の間隔に関する間隔情報を実行記憶部63に記憶しておき、間隔情報により経路をオフセット量だけ補正し、カチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13の夫々が設定された経路を移動しながら溶液を噴霧する場合には、全く同一の経路を辿るようにする。間隔情報は、カチオン用ノズル11及びリンス用ノズル12間の距離、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13間の距離、アニオン用ノズル13及びカチオン用ノズル11間の距離でもよく、ノズル配置部14の所定の位置からカチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13夫々までの距離でもよい。経路作成後に、制御部6は動作コマンドを受け付ける。図9は、動作コマンドの例を示す図表であり、図10は、動作プログラムの表示画面の例示図である。コマンドCを受け付けることにより、カチオン溶液が噴霧される。より具体的には、コマンドCを受け付けた場合、制御部6は、受け付けたデータに基づく移動開始点の噴霧部1の位置から、カチオン用ノズル11のオフセットによって補正することにより算出した、補正後の移動開始点の位置にカチオン用ノズル11を配置させる。制御部6は、トリガー用コンプレッサ22と溶液タンク23とを作動させ、受け付けたデータに基づく所定時間だけカチオン用ノズル11に空吹きを行わせる。空吹きが終了した後、受け付けたデータに基づく噴霧圧及び移動速度に従って、カチオン用ノズル11にてカチオン溶液を継続して噴霧させながら経路を移動させる。経路の移動が終了した場合、カチオン用ノズル11は噴霧を終了する。また、制御部6は、コマンドCと併せて経路を通る回数の情報も受け付けることができる。例えば移動回数スキャン回数が3回であった場合、制御部6は、経路の開始点から終了点までの移動が3回に達するまで噴霧部1を移動させながら噴霧を継続させる。また、経路を同じ方向に辿るか往復するかを設定することもできる。同様にコマンドAを受け付けることによりアニオン溶液が噴霧され、コマンドRを受け付けることによりリンス溶液が噴霧されるように設定する。また、コマンドBを受け付けることによりブローが行われるように設定する。制御部6は、コマンドC及びAと併せて吸着された量を設定することができる。この場合、制御部6は、QCMの振動数のデータを受け付け、カチオン用ノズル11またはアニオン用ノズル13が経路を1回辿る毎にQCMの振動数が設定した吸着量に対応した振動数の変動値以上に変動したか否かを判定し、振動数の変動値が所定値以上になるまで再度経路を辿りながら噴霧を行わせ、所定値以上に達した場合に噴霧を停止させる。その他、コマンドTを受け付けることにより噴霧部1が動作を停止する。この場合、停止する時間のデータを併せて受け付ける。制御部6は、コマンドCARBTのうち複数を組合せて予め設定したコマンドXを受け付けることができる。例えばC,R,B,A,R,B,C,T20,Bという9つのコマンドをコマンドXとして予め設定した場合、コマンドXを受け付けることにより、これら9つのコマンドに従った動作が行われるので、コマンドを入力する手順を簡略化することができる。複数のコマンドを組み合わせた設定には、他にサイクルがある。サイクルを設定することにより、サイクルを開始するコマンドs及びサイクルを終了するコマンドeの間のコマンドを繰り返す。制御部6は例えば、5つのコマンドについてのサイクルを行うべくs,C,R,A,R,B,eを受け付け、併せて吸着量として3000を受け付けた場合、コマンドC,R,A,R,Bに応じた処理を吸着量が3000nmに達するまで繰り返し行う。このサイクルのコマンドを受け付けることにより、例えば複数のアニオン層及びカチオン層が交互に積層された3000nmの交互吸着膜が自動的に作成される。このサイクルのコマンドs,C,R,A,R,B,eを受け付けた場合の噴霧装置の動作を制御する制御部6の処理について説明する。図11は、制御部6の処理手順を示すフローチャートである。まず、制御部6は初期設定事項を示すデータを受け付けるステップS1。次いで、制御部6は、初期設定事項のうち、主走査方向、主走査方向の走査距離及び走査間隔等に基づいて噴霧部1の経路を作成するステップS2。また、制御部6は、コマンドを受け付けるとともに、経路を移動する回数及び吸着量のデータを受け付けるステップS3。例えば、コマンドをs,C,R,A,R,B,eとし、カチオン溶液を噴霧する移動回数を3回、リンス溶液を噴霧する移動回数を2回、アニオン溶液を噴霧する移動回数を3回、ブロー処理を行う移動回数を1回とし、吸着量を3000nmとする。制御部6は、コマンドに対応するノズルに関わる間隔情報に基づいてノズル配置部14が移動する経路を補正した経路を算出するステップS4。間隔情報は、例えばコマンドがCの場合はカチオン用ノズル11に関わる情報であり、カチオン用ノズル11とリンス用ノズル12との距離またはカチオン用ノズル11とアニオン用ノズル13との距離か、カチオン用ノズル11とノズル配置部14における所定の位置との距離かのいずれかである。補正した経路を算出した後、制御部6は噴霧部1を動作させるステップS5。即ちコマンドに対応するノズルから対応する溶液を噴霧させながら、補正した経路に沿ってノズル配置部14噴霧するノズルを移動させる。噴霧部1の動作中、制御部6は、装置の扉が開いている、温度または圧力が異常な値を示している、噴霧部1の動作を停止させるための強制停止信号を受け付けた等の異常を検知したか否かを判断するステップS6。異常を検知した場合ステップS6でYES、制御部6は、噴霧部1の動作を強制停止させてステップS7、処理を終了する。一方、異常を検知しない場合にステップS6でNO、制御部6は、コマンドに従って全ての動作を実行したか否かを判断するステップS8。実行されていない場合ステップS8でNO、制御部6は、処理をステップS5に戻す。実行された場合ステップS8でYES、制御部6は、処理を終了する。次に、制御部6が、ステップS3で受け付けたコマンド、移動回数及び吸着量のデータに従って噴霧部1を動作させる処理手順であるステップS5について詳述する。図12、図13は、制御部6が噴霧部1を動作させる処理の手順を示すフローチャートである。制御部6は、コマンドCに従い噴霧部1を動作させて、所定時間だけカチオン用ノズル11に空吹きを行わせるステップS11。所定時間が経過した後、受け付けたデータに基づく所定の噴霧圧及び移動速度に従ってカチオン用ノズル11にカチオン溶液を噴霧させながら、カチオン用ノズル11の位置に基づいて補正された経路を移動させるステップS12。制御部6は、設定されている3回分の経路の移動が終了したか否かを判断しステップS13、終了していない場合ステップS13でNO、処理をステップS12に戻して次の分の移動を継続させる。一方、終了した場合にはステップS13でYES、制御部6は、カチオン用ノズル11によるカチオン溶液の噴霧を停止させるステップS14。停止後、制御部6は、移動開始点の位置にリンス用ノズル12が配置されるように、ノズル配置部14を移動させるステップS15。制御部6は、所定時間だけリンス用ノズル12に空吹きを行わせるステップS16。空吹きが終了すると、受け付けたデータに基づく所定の噴霧圧及び移動速度に従ってリンス用ノズル12に純水を噴霧させながら、リンス用ノズル12の位置に基づいて補正された経路を移動させるステップS17。制御部6は、設定されている2回分の経路の移動が終了したか否かを判断しステップS18、終了していない場合ステップS18でNO、処理をステップS17に戻して次の分の移動を継続させる。一方、終了した場合にはステップS18でYES、制御部6は、リンス用ノズル12によるリンス溶液の噴霧を停止させるステップS19。停止後、制御部6は、移動開始点の位置にアニオン用ノズル13が配置されるように、ノズル配置部14を移動させるステップS20。制御部6は、所定時間だけアニオン用ノズル13に空吹きを行わせるステップS21。所定時間が経過した後、受け付けたデータに基づく所定の噴霧圧及び移動速度に従ってアニオン用ノズル13にアニオン溶液を噴霧させながら、アニオン用ノズル13の位置に基づいて補正された経路を移動させるステップS22。制御部6は、設定されている3回分の経路の移動が終了したか否かを判断しステップS23、終了していない場合ステップS23でNO、処理をステップS22に戻して次の分の移動を継続させる。一方、終了した場合にはステップS23でYES、制御部6は、アニオン用ノズル13によるアニオン溶液の噴霧を停止させるステップS24。停止後、制御部6は、移動開始点の位置にリンス用ノズル12が配置されるように、ノズル配置部14を移動させるステップS25。その後、制御部6は、リンス溶液の噴霧について、前述したステップS16~ステップS19と同様の処理を行うステップS26~ステップS29。制御部6は、移動開始点の位置にリンス用ノズル12が配置されるように、ノズル配置部14を移動させた後ステップS30、リンス用ノズル12からエアーを噴出させるブローを開始するステップS31。受け付けたデータに基づく所定の圧力及び移動速度に従ってエアーを噴出させながら、リンス用ノズル12の位置に基づいて補正された経路を移動させるステップS32。エアーを噴出させながらの1回分の移動が終了すると、制御部6は、噴霧用コンプレッサ21を停止してブロー処理を停止させるステップS33。制御部6は、膜厚計33で計測された吸着量が3000nmに達したか否かを判断しステップS34、達している場合はステップS34でYES、処理を終了する。一方、達していない場合にはステップS34でNO、制御部6は、処理をステップS11に戻す。以上のような処理により、交互吸着膜を成膜させる。本発明に係る噴霧装置によれば、厚さが均一な交互吸着膜を成膜するための制御を適切に行うことができる。図14は、噴霧装置の他の実施形態を示す模式図である。図14に示す噴霧装置では、噴霧部1及び対象物31をチャンバ7の内部に設けている。この例で溶液の飛散を防止することができる。この例の噴霧装置では、チャンバ7内の温度を調整する温度調整部35と、チャンバ7内の湿度を調整する湿度調整部36とを備えて、制御部6によってチャンバ7内の温度及び湿度を調整するようにしている。また、温度調整部35を壁34の背面に配置して、壁34の温度を調整するようにしてもよい。対象物31の温度により、アニオン溶液及びカチオン溶液の吸着量、吸着速度等が異なる場合があるので、温度調整部35により温度を調整することにより、これらを調整することができる。なお、噴霧部1に備えられるノズルは3つに限らず4つ以上であってもよい。この場合4つ目のノズルとしては、膜を硬化する物質を噴霧する硬化用ノズル、または、対象物31に表面電荷を与えるための表面電荷溶液用ノズルを使用することが可能である。また、溶液噴霧用に3本のノズルを設け、洗浄用に1本のノズルを設けるような構成も可能である。また、移動する経路として、前述したようにカチオン用ノズル11、リンス用ノズル12及びアニオン用ノズル13が同一の経路を辿ってもよいし、異なる経路を辿ってもよい。例えば、カチオン用ノズル11及びアニオン用ノズル13は主走査方向を水平方向とする同一の経路を辿り、リンス用ノズル12は主走査方向を鉛直方向とする経路を辿るようにしてもよい。また、対象物31を洗浄する洗浄手段として、リンス溶液または気体を噴霧するノズルリンス用ノズル12を用いる場合について説明したが、洗浄手段は、ノズルに限らず、振動、音波、光、超音波などを利用して対象物31を洗浄するようなものでも良い。また、膜厚計33は、QCMを用いる場合について説明したが、レーザ膜厚計、エリプソメータまたは光学測定器等を用いてもよい。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、前述した意味では無く、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"