流動化された積層物が積層された板状部材を搬送する搬送装置であって、前記板状部材に相対する保持面を有する保持体と、前記保持面から噴き付ける気体の流れ方向を制御することで前記保持面と前記板状部材との間に負圧領域を形成して、前記板状部材を非接触状態で保持する気体供給手段と、前記流動化された積層物を固形化する固形化手段と、前記保持体を搬送する搬送手段とを備え、前記気体供給手段は、前記気体が前記板状部材における外縁領域のみに噴き付けられてから外側に向かって流れるように制御することを特徴とする搬送装置。前記積層物は、所定温度に達したときに固形化する特性を有し、前記固形化手段は、前記積層物が固形化する温度となる冷風または熱風を送風可能な冷風送風手段または熱風送風手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。前記積層物は、エネルギー線により固形化する特性を有し、前記固形化手段は、エネルギー線を照射可能なエネルギー線照射手段を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の搬送装置。流動化された積層物が積層された板状部材を搬送する搬送方法であって、保持体の保持面を前記板状部材に相対させるステップと、前記保持面から噴き付ける気体を、前記気体が前記板状部材における外縁領域のみに噴き付けて、当該噴き付け位置から外側に向かって流れるように制御することで前記保持面と前記板状部材との間に負圧領域を形成して、前記板状部材を非接触状態で保持するステップと、前記流動化された積層物を固形化するステップと、前記保持体を搬送するステップとを有することを特徴とする搬送方法。ところで、チップに個片化する前のウェハ板状部材に接着シートを貼付する方法として、ウェハの被貼付面に流動化した接着層積層物を設けた後に、接着層が設けられていないシートを貼付する方法が考えられる。このような方法にあっては、ウェハの被貼付面に流動化した接着層を設けた後に、当該ウェハをシート貼付装置に搬送しなければならない場合がある。しかしながら、特許文献1のような構成で接着層が積層された面側から支持して搬送する場合、ウェハにおける被貼付面の中央を含むエリアに空気が噴き付けられるため、被貼付面に設けられた接着層が噴き付けられた空気の作用によって移動してしまい、接着層の厚みの精度が低下したり厚みの均一性が損なわれたりしてしまうという不都合がある。本発明の目的は、流動化された積層物が積層された板状部材を、当該積層物が積層された面側から支持して適切に搬送可能な搬送装置および搬送方法を提供することにある。前記目的を達成するために、本発明の搬送装置は、流動化された積層物が積層された板状部材を搬送する搬送装置であって、前記板状部材に相対する保持面を有する保持体と、前記保持面から噴き付ける気体の流れ方向を制御することで前記保持面と前記板状部材との間に負圧領域を形成して、前記板状部材を非接触状態で保持する気体供給手段と、前記流動化された積層物を固形化する固形化手段と、前記保持体を搬送する搬送手段とを備え、前記気体供給手段は、前記気体が前記板状部材における外縁領域のみに噴き付けられてから外側に向かって流れるように制御する、という構成を採用している。この際、本発明の搬送装置では、前記積層物は、所定温度に達したときに固形化する特性を有し、前記固形化手段は、前記積層物が固形化する温度となる冷風または熱風を送風可能な冷風送風手段または熱風送風手段を備える、ことが好ましい。また、本発明の搬送装置では、前記積層物は、エネルギー線により固形化する特性を有し、前記固形化手段は、エネルギー線を照射可能なエネルギー線照射手段を備える、ことが好ましい。一方、本発明の搬送方法は、流動化された積層物が積層された板状部材を搬送する搬送方法であって、保持体の保持面を前記板状部材に相対させるステップと、前記保持面から噴き付ける気体を、前記気体が前記板状部材における外縁領域のみに噴き付けて、当該噴き付け位置から外側に向かって流れるように制御することで前記保持面と前記板状部材との間に負圧領域を形成して、前記板状部材を非接触状態で保持するステップと、前記流動化された積層物を固形化するステップと、前記保持体を搬送するステップとを有する、という構成を採用している。以上のような本発明によれば、流動化された積層物を固形化手段が固形化するため、保持面から噴き付ける気体の作用によって積層物が移動し、積層物の厚み精度の低下や厚みの均一性が損なわれることを抑制できる。さらに、気体が板状部材の外縁領域のみに噴き付けられてから外側に向かって流れるように気体の流れを制御するため、板状部材の外縁領域よりも内側に設けられた積層物に気体が噴き付けられることがなくなり、積層物の厚み精度などに影響を及ぼすことがない。この際、積層物が所定温度に達したときに固形化する場合には、冷風送風手段や熱風送風手段で冷風や熱風を送風することで当該積層物の流動性を低下させることができ、積層物が移動することを抑制して搬送することができる。また、積層物がエネルギー線により固形化する場合には、エネルギー線照射手段でエネルギー線を照射することで当該積層物の流動性を低下させることができ、積層物が移動することを抑制して搬送することができる。以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を基準としている。図1および図2において、搬送装置1は、流動化された積層物としての再接着層AD1が図示しない積層装置によって積層された板状部材としてのウェハWFを、シート貼付装置8に搬送するものである。再接着層AD1としては、流動化させることが可能なものであれば、特に限定されることはないが、ダイアタッチフィルムに使用されるような、熱可塑性、熱重合性などを有するものを用いる。なお、本実施形態では、約40°C以下に冷却されたときに固形化可能な特性を有する再接着層AD1を適用した場合について説明する。また、再接着層とは、当該再接着層を介して板状部材に貼付したシートを再接着層から剥離した後に、当該再接着層を介して板状部材を他のものに接着することができるものを意味する。そして、搬送装置1は、ウェハWFに相対する保持面21を有する保持体2と、保持面21から噴き付ける気体の流れ方向を制御することで保持面21とウェハWFとの間に負圧領域AVを形成して、ウェハWFを非接触状態で保持する気体供給手段3と、保持体2を搬送する搬送手段4とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段5によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。気体供給手段3は、外部から供給される空気GSを20°C以下の気体としての冷風CWにして噴き付ける冷風送風手段31と、保持体2内に設けられ、冷風送風手段31から送風される冷風CWをウェハWFに噴き付けるための送風流路32とを備える。なお、気体としては、空気GSに限らず、窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガスや、公知の混合気等を適用してもよい。冷風送風手段31としては、外部から供給される空気GSを冷風CWに冷却するものであれば、特に限定されるものではないが、ペルティエ効果を利用した冷却装置や、フロンを利用した冷却装置を適用することができる。送風流路32は、保持面21の周方向全周にわたって設けられており、保持面21に円環状に形成された送風開孔部33から噴き付ける冷風CWの流れ方向を、冷風CWがウェハWFにおける外縁領域WF1のみに接触してから外側に向かって流れるように制御する。ここで、外縁領域WF1とは、ウェハWFの外縁を含む例えば幅寸法LWが3mmの円環状の領域であり、当該外縁領域WF1には、回路が設けられていない。このような冷風CWの流れ方向の制御によって、保持面21とウェハWFとの間の領域のうち、保持面21とウェハWFと冷風CWの流れとで囲まれる領域の圧力が下がり負圧領域AVとなる。搬送手段4は、駆動機器であるリニアモータ41と、このリニアモータ41のスライダ42に設けられ、その出力軸44が保持体2の上面部に固定された駆動機器としての直動モータ43とを備えている。ウェハWFは、テーブル71に支持され、図示しない積層装置によって上面に再接着層AD1が積層され、駆動機器としての単軸ロボット73のスライダ72によってリニアモータ41の右端下部まで搬送される。シート貼付装置8は、シートSTが所定間隔で帯状の剥離シートRL上に擬似接着などにより仮着された原反RSを支持する支持ローラ83と、剥離シートRLを折り返してシートSTを剥離シートRLから剥離する剥離板84と、剥離シートRLを回収する回収ローラ85と、繰り出されたシートSTをウェハWFに押圧して再接着層AD1を介して貼付する押圧手段86と、ウェハWFを吸着保持可能なテーブル87と、テーブル87の下面にスライダ88が固定された駆動機器としての単軸ロボット89とを備える。以上の搬送装置1において、ウェハWFを搬送する手順としては、まず、図2Aに示すように、流動化された再接着層AD1が積層されたウェハWFがテーブル71によりリニアモータ41の右端部に搬送されたことが図示しないセンサに検出されると、制御手段5は、直動モータ43を制御して、保持面21とウェハWFとの距離が負圧領域AVの形成によりウェハWFを非接触状態で保持可能な距離となるように、保持体2を下降させる。次いで、制御手段5は、気体供給手段3の冷風送風手段31によって冷風CWを噴き付け、当該冷風CWをウェハWFにおける外縁領域WF1のみに噴き付けてから外側に向かって流すことで、保持面21とウェハWFとの間に負圧領域AVを形成する。この負圧領域AVの形成によって、ウェハWFを保持面21に引きつけようとする力が作用し、ベルヌーイ効果によってウェハWFを非接触の状態で保持することが可能となる。また、冷風CWがウェハWFにおける外縁領域WF1のみに噴き付けられ、当該外縁領域WF1よりも内側の領域には噴き付けられないため、負圧領域AVを形成するために冷風CWを噴き付けた場合であっても、ウェハWFの上に存在する流動化された再接着層AD1が冷風CWの流れによって移動することが抑制される。さらに、冷風CWが外縁領域WF1に噴き付けられることによってウェハWF全体が冷却され、当該ウェハWFの冷却によって再接着層AD1が冷却されて固形化するため、ウェハWFの搬送中に発生する振動によって再接着層AD1が移動することが抑制される。すなわち、冷風送風手段31は、本実施形態においては、再接着層AD1を固形化する固形化手段としても機能する。したがって、ウェハWFを保持するための負圧領域AVの形成時およびウェハWFの搬送時において、ウェハWF上の再接着層AD1の厚みの精度が低下したり、厚みの均一性が損なわれたりするという不具合を抑制できる。なお、再接着層AD1が加熱されることによって固形化する特性のものであれば、固形化手段として冷風送風手段31の替わりに、コイルヒータや赤外線ヒータ等の熱風送風手段を設けることができる。そして、制御手段5は、図2Bに示すように、直動モータ43を制御して保持体2を上昇させることで、保持面21により保持されたウェハWFを持ち上げた後、リニアモータ41を制御して保持体2を搬送装置1の単軸ロボット89の右方向へ移動させる。次いで、テーブル87の上方に保持体2が到達したことが図示しないセンサに検出されると、制御手段5は、図2Cに示すように、直動モータ43によって保持体2を下降させてウェハWFをテーブル87上に載置した後に、冷風CWの噴出を終了する。そして、テーブル71が元の位置に戻り、以降同様の動作が繰り返される。この後、シート貼付装置8は、単軸ロボット89を駆動してテーブル87を図1中左方向に搬送し、当該テーブル87が所定の位置に達したことが図示しないセンサに検出されると、テーブル87の搬送に同期させてシートSTを繰り出し、押圧手段86がシートSTをウェハWFに押圧して貼付する。以上のような実施形態によれば、負圧領域AVを形成するために保持面21から噴出する冷風CWが、ウェハWFの外縁領域WF1のみに噴き付けられてから外側に向かって流れるように冷風CWの流れを制御するため、外縁領域WF1よりも内側に設けられた再接着層AD1に冷風CWが噴き付けられることがなくなり、ウェハWF上に設けられた再接着層AD1の厚み精度の低下や厚みの均一性が損なわれることを抑制できる。さらには、冷風CWによりウェハWFを冷却することで流動化された再接着層AD1を固形化するため、ウェハWFの搬送時に作用する力によって再接着層AD1が移動し、再接着層AD1の厚み精度などに影響を及ぼすことがない。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、エネルギー線としての紫外線が照射されることにより固形化する特性を有する積層物としての再接着層AD2が採用された場合、図3Aに示すように、搬送装置1Aの保持面21に固形化手段であってエネルギー線照射手段としての紫外線照射ランプ6Aを設けてもよい。紫外線照射ランプ6Aとしては、LEDランプ、メタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、蛍光灯、ハロゲンランプ等紫外線を発光可能なもので構成することができる。エネルギー線として赤外線やマイクロ波等で固形化する特性を有する積層物の場合、エネルギー線照射手段として赤外線ランプやマイクロ波照射装置を採用することができる。また、図3Bに示すように、搬送装置1BにウェハWFを接触状態で保持する接触保持部22Bを設けてもよい。すなわち、接触保持部22Bは、保持体2の側面において周方向に沿って複数設けられており、保持体2の側面から突出する突出部23Bと、当該突出部23Bに設けられた回動軸24Bを中心に回動自在な略L字状のアーム25Bとを備える。アーム25Bは、制御手段5の制御によって、アーム保持部26Bが保持面21に対向するように位置する保持状態と、アーム保持部26Bが保持面21の外側に位置する待機状態とを切り替え可能に構成されている。また、本発明におけるシートSTの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、シートSTに接着剤層が設けられた2層構造の所謂接着シートや、シートST接着剤層との間に中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付するシートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。