少なくとも1つのマイクロ対物レンズ15および/またはマクロ対物レンズ5を保持するための対物レンズタレット14であって、光軸3上の動作位置へと回転可能な対物レンズタレット14と、結像ビーム経路29における観察光学装置9と、複数の光学サブシステム5a、5bで構成されたマクロ対物レンズ5と、を備えて構成される顕微鏡18であって、第1の光学サブシステム5aが、前記対物レンズタレット14に取り付け可能であり、第2の光学サブシステム5bが、前記第1の光学サブシステムが前記光軸3上のその動作位置へと回転された場合に、前記対物レンズタレット14と前記観察光学装置9との間の結像ビーム経路に挿入可能である、顕微鏡において、さらに、照明ビーム経路28を生成するための入射照明装置20であって、かつ前記照明ビーム経路28を前記結像ビーム経路29に結合するためのビームスプリッタ12を含む入射照明装置20と、前記マクロ対物レンズ5がその動作位置へ回転された場合に前記照明ビーム経路28に挿入可能な、正の屈折力を有する調整光学装置2とを備えて構成され、前記入射照明装置20は、動作位置にあるマイクロ対物レンズ15および代替として動作位置にある前記マクロ対物レンズ5の前記第1の光学サブシステムの両方によって、前記対物レンズ側に照明瞳26があるテレセントリック照明ビーム経路28を生成できるようになっていて、前記調整光学装置2は、前記照明瞳26を前記マクロ対物レンズ5の後部射出瞳27へシフトさせ、前記射出瞳が、前記第1の光学サブシステム5aと前記ビームスプリッタ12との間に位置している、顕微鏡18。反射を抑制するために、偏光子31が、前記照明ビーム経路28に挿入可能であり、検光子32が、前記マクロ対物レンズ5の前記結像ビーム経路29に挿入可能である、請求項1に記載の顕微鏡18。前記偏光子31、前記検光子32および前記ビームスプリッタ12が、偏光プリズム1として組み合わせて実現される、請求項2に記載の顕微鏡。前記マクロ対物レンズ5の前記第1の光学サブシステム5aにおいてか、または前記マクロ対物レンズ5の前記第1の光学サブシステム5aと前記顕微鏡18によって結像される対象物6との間にデポラライザ16が配置される、請求項2または3に記載の顕微鏡。前記デポラライザ16が、λ/4プレートおよび/または水晶板の形態をしている、請求項4に記載の顕微鏡。前記デポラライザ16が、それを、前記マクロ対物レンズ5の前記対象物側前部レンズに接合することによって、前記マクロ対物レンズ5の前記第1の光学サブシステム5aに統合される、請求項4または5に記載の顕微鏡。前記デポラライザ16が、前記マクロ対物レンズ5の前記第1の光学サブシステム5a内に配置される、請求項4または5に記載の顕微鏡。前記調整光学装置2が、前記照明ビーム経路の前記対物レンズ側における前記照明瞳26を、動作位置における前記マクロ対物レンズ5の前記後部射出瞳27へシフトさせるように、およびこの射出瞳27を完全に照明するように構成される、請求項1~7のいずれか一項に記載の顕微鏡。要素である偏光プリズム1、マクロ対物レンズ5の第2の光学サブシステム5bおよび瞳調整光学装置2を含む群のうち、前記要素1、5b、2の少なくとも2つがマクロモジュール10に統合される、請求項3に記載の顕微鏡。前記入射照明装置20が、前記マクロモジュール10を配置した入射光タレット4を含む、請求項9に記載の顕微鏡。少なくとも前記マクロ対物レンズ5の前記第2の光学サブシステム5bおよび前記瞳調整光学装置2が、前記マクロモジュール10に統合され、かつ前記マクロモジュール10と前記マクロ対物レンズ5の前記第1の光学サブシステム5aとの間の確動結合をもたらす、請求項9または10に記載の顕微鏡。前記マクロ対物レンズ5が、2つの光学サブシステム5a、5bから構成される、請求項1~11のいずれか一項に記載の顕微鏡。前記第2の光学システム5bが、前記対物レンズタレット14と前記顕微鏡18の鏡筒との間に配置される、請求項12に記載の顕微鏡。本発明の目的は、反射光検査用の顕微鏡であって、マクロ対物レンズが、通常の倍率の顕微鏡対物レンズを保持する対物レンズタレットに統合され、かつ均一な照明下で、顕微鏡観察と観測観察との間の容易な切り替えを可能にする顕微鏡を提供することである。別の目的は、反射を抑制する簡単な方法を提供することである。この目的は、請求項1に記載の顕微鏡により、本発明に従って達成される。光軸上の動作位置へと回転できる、少なくとも1つのマイクロ対物レンズを保持するための対物レンズタレットを含み、かつ顕微鏡の結像ビーム経路における観察光学装置と、同様に複数の光学サブシステムで構成されたマクロ対物レンズとをさらに含む顕微鏡であって、第1の光学サブシステムが、対物レンズタレットに取り付け可能であり、第2の光学サブシステムが、第1の光学サブシステムが顕微鏡の光軸上の動作位置へと回転された場合に、対物レンズタレットと観察光学装置との間の結像ビーム経路に挿入可能である顕微鏡は、照明ビーム経路を生成する、かつ照明ビーム経路を結像ビーム経路へと結合するためのビームスプリッタを含む入射照明装置を提供し、この入射照明装置は、動作位置にあるマイクロ対物レンズ、および代替として動作位置にあるマクロ対物レンズの第1の光学サブシステムの両方によって、照明瞳が対物レンズ側にあるテレセントリック照明ビーム経路を生成することを可能にするという点で、本発明に従って特徴づけられる。この目的のために、マクロ対物レンズがその動作位置にある場合この位置では、マクロ対物レンズの光学サブシステムは、顕微鏡の光軸に挿入されるには、調整光学装置は、照明ビーム経路に挿入可能であり、照明瞳をマクロ対物レンズの後部射出瞳へシフトさせ、前記射出瞳は、第1の光学サブシステムとビームスプリッタとの間に位置する。これは、正の屈折力を有する調整光学装置によって達成できることが分かった。マイクロ対物レンズまたはマクロ対物レンズが、それらのそれぞれの動作位置にある場合には、この構成は、照明瞳を対物レンズ側に、すなわち、ビームスプリッタから見ると、それぞれ、マイクロ対物レンズの方に位置する照明瞳、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステムの方に位置する照明瞳を形成する。さらに、マクロ対物レンズが用いられ、その後部射出瞳は、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステムとビームスプリッタとの間に位置する。最後に、調整光学装置およびその正の屈折力は、マクロ対物レンズがその動作位置にある場合に、照明瞳が、マクロ対物レンズの後部射出瞳へシフトされることを保証する。これらの手段は、顕微鏡観察とマクロ対物レンズを用いた観測観察との間の切り替えの場合に、口径食および光損失が発生するのを防止する。同時に、テレセントリック照明によって、連続的な合焦、すなわち、対象物とそれぞれの対物レンズの前部レンズとの間の距離を変えることが可能になる。これらの手段は、テレセントリック照明を対象物空間に提供する2部分マクロ対物レンズテレセントリック対物レンズの場合に特に有利である。特に、この種の対物レンズにおいて、後部射出瞳は、第2の光学サブシステムの方へ明らかにシフトされ、対象物からさらに遠ざかる。対照的に、通常の倍率のマイクロ対物レンズでは、後部射出瞳は、一般に対物レンズ自体に位置する。本発明の手段によって、照明瞳が、マクロ対物レンズの後部射出瞳へシフトされることが保証され、その結果、対象物領域は、最適にかつテレセントリックに照明される。入射照明装置は、用いられる対物レンズと無関係に、照明瞳を対物レンズ側に有する照明ビームを生成する。本発明の顕微鏡構成はまた、反射抑制を実現するために特に適している。入射照明の場合には、照明ビームは、たまたま光インターフェースで反射され、結果として厄介なdisturbing一次反射をもたらす。この問題は、基本的に全ての対物レンズにおいて、すなわちまた、通常の倍率の顕微鏡対物レンズにおいて発生する。しかしながら、かかる顕微鏡対物レンズの開口数が、マクロ対物レンズのそれより著しく大きいので、そこにおける反射は、適切な対物レンズ設計によって、より効率的に抑制することができる。本発明による顕微鏡において、顕微鏡観察から、マクロ対物レンズを介した観測観察への切り替えのとき、マクロ対物レンズが適所にある場合には反射抑制を実現することがまた、容易に可能である。本発明による顕微鏡において、次の場合には特に有利である。すなわち、反射を抑制するために、偏光子が照明ビーム経路に挿入可能であり、かつ検光子が、マクロ対物レンズがその動作位置にあるときに、マクロ対物レンズの結像ビーム経路に挿入可能である場合には、特に有利である。これらの手段によって、上記の厄介な反射の著しい抑制が可能になる。特に、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステムにおける照明光線の反射によって引き起こされる、いわゆる一次反射は、ほぼ完全に除去される。この目的のために、照明ビームの伝搬方向に見たときに、マクロ対物レンズの少なくとも第1の光学サブシステムの上流に位置決めできる偏光子をひとたび通過すると、偏光された照明光は、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステムに入射し、それを通過する。マクロ対物レンズのこの光学サブシステムのインターフェースで反射された光は、その偏光方向を保持し、その少なくとも一部は、それぞれ、顕微鏡のマクロ対物レンズの結像ビーム経路に入る。それに応じて、結像ビームの伝搬方向に見たときに、第1の光学サブシステムの下流に配置された検光子によって、偏光をフィルタリングすることが可能になり、その結果、一次反射は、完全に除去することができる。厄介な反射の除去が、光強度低減の不都合に勝ることが分かった。マクロ対物レンズの多部分設計によって、通常の倍率のマイクロ対物レンズを保持のための対物レンズタレットに、マクロ対物レンズを統合することが可能になる。この目的のために、対物レンズタレットに適合可能なマクロ対物レンズの光学サブシステムにおける同一焦点距離は、他の切り替え可能なマイクロ対物レンズの同一焦点距離と等しくなるように選択される。特に、マクロ対物レンズが2つの光学サブシステムから構成される場合には有利である。第1の光学サブシステムは、対物レンズタレットに適合可能であり、かつマクロ対物レンズのフィールドレンズ部と呼ばれるが、特に、対象物空間にテレセントリック照明を提供するように設計してもよい。次に、マクロ対物レンズの第2の光学システムは、対物レンズタレットと顕微鏡鏡筒との間に有利に配置される。本出願において用いられるように、用語マイクロ対物レンズは、1×超~約100×、特に1.6×または5×~100×、さらに特に50×~100×以上の典型的な倍率における対象物の顕微鏡検査用の顕微鏡対物レンズを意味すると理解される。一方で、用語マクロ対物レンズは、倍率が、0.5×~2×、特に0.5×~1×、さらに特に約0.7×に及ぶ対物レンズを意味すると理解されたい。それぞれの対物レンズに照明ビームを通過させるために、入射照明装置は、照明ビーム経路を顕微鏡の結像ビーム経路に結合するためのビームスプリッタを有する。ビームスプリッタは、顕微鏡の結像ビーム経路に有利に配置される。上記の偏光子が、照明ビームの伝搬方向に見たときにビームスプリッタの上流に配置され、一方で検光子が、結像ビームの伝搬方向に見たときにビームスプリッタの下流に位置決めされる場合は有利である。さらに、偏光子、検光子、および上記のビームスプリッタが、偏光プリズム同様に偏光ビームスプリッタと呼ばれるとして組み合わせて実現される場合は有利である。偏光プリズムは、マクロ対物レンズの第1のサブシステムフィールドレンズ部の方に照明ビームを向け、それをそのプロセスで偏光し、かつまた顕微鏡の結像ビーム経路から偏光をフィルタリングする。本発明の顕微鏡において、照明瞳が、マクロ対物レンズの後部射出瞳にシフトされ、今度は、この後部射出瞳が、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステムとビームスプリッタとの間に位置しているので、反射抑制手段は、他の光学コンポーネントと衝突せずに容易に実現することができる。例えば、上記の偏光プリズムを、結像ビームの伝搬方向に見たときにマクロ対物レンズの第2の光学サブシステムの上流に配置することが可能である。偏光プリズムおよび調整光学装置が、光路に挿入可能な共通モジュールに配置される場合は特に有利である。検査される対象物に依存して、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステムにか、またはマクロ対物レンズの第1の光学サブシステムと対象物との間にデポラライザを配置することが有利になり得る。次に、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステムを通過した光は、それが対象物に当たる前にデポラライザによって偏光解消される。次に、対象物の物理的特徴によって反射され、拡散され、回折された光は、結像ビーム経路に入り、続いて、それぞれ、検光子、すなわち偏光プリズムを通過することができる。しかしながら、検査または結像される対象物が、それ自体十分な程度まで照明光を偏光解消できる場合には、かかるデポラライザの必要はない。前述のデポラライザは、λ/4プレートおよび/または水晶板の形態である場合は有利であり、光軸に対してある角度に位置決めされるのが好ましい。特に有利な実施形態において、デポラライザは、それを、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステム内に組み込むことによって、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステムに統合される。あるいは、統合は、デポラライザを、マクロ対物レンズの対象物側前部レンズに接合することによって達成することができる。例えば、デポラライザが、典型的な形状の前部レンズの平面に接合される場合にこの平面は対物レンズ内に位置する、反射を引き起こす可能性がある唯一の残りの表面は、前部レンズの外面である。マクロ対物レンズの場合には、前述の外面が、一般に激しく湾曲しているので、反射に対するその貢献は非常に小さい。したがって、全体として、この対物レンズ部は、非常にコンパクトであり、デポラライザに対して傾斜関係にある対物レンズ部の前に、デポラライザを位置決めする必要はない。反射防止用の上記の偏光プリズムおよび照明最適化用の瞳調整光学装置が、マクロモジュールに統合される場合は有利である。これは、マクロモジュールを用いる場合に、本発明の両方の態様が達成されることを保証する。さらに、マクロ対物レンズの少なくとも第2の光学サブシステムがまたマクロモジュールに統合され、その結果、マクロ観察用に必要とされるコンポーネントが同時に利用可能である場合は有利である。さらに、マクロ観察用に必要とされる全てのコンポーネントの同時的な可用性を保証するために、マクロモジュールと、タレットに実装されたマクロ対物レンズの第1の光学サブシステムとの間の確動結合positivecouplingを提供することが都合がよい。顕微鏡の入射照明装置が、マクロモジュールを配置した入射光タレットを含む場合は、特にまた有用である。マイクロ対物レンズ用に、入射光タレットには、所望の入射照明用のビームスプリッタまたはビーム偏向器を含む反射キューブなどの他のモジュールを含んでもよい。上記確動結合は、純粋に機械的または電気機械的に達成してもよい。マクロ対物レンズを介した観測観察が、手動または自動制御によって選択された場合には、対物レンズタレット上のマクロ対物レンズの第1の光学サブシステムは、顕微鏡の結像ビーム経路光軸へと回転され、上記のマクロモジュールは、結像ビーム経路に同時に挿入される。マクロモジュールが、入射光タレットに配置された場合には、結像ビーム経路へのマクロモジュールの挿入は、タレットを回転させることによって達成される。顕微鏡観察への切り替えの場合には、それぞれのマイクロ対物レンズが、結像ビーム経路に挿入され、確動結合の結果として、マクロモジュールは、観察ビーム経路から除かれ、恐らく別の適切なモジュール反射キューブが、ビーム経路に挿入される。自動顕微鏡の場合には、このプロセスは、電動式コンピュータ支援方法で実行してもよい。上記の特徴および以下で説明する特徴が、特定の組み合わせにおいてだけでなく、本発明の範囲から逸脱せずに、他の組み合わせにおいて、または単独で使用可能であることが理解されよう。本発明およびその利点は、例示的な実施形態を用いて図面に概略的に示され、図面に関連して以下で詳細に説明される。図1aは、本発明を理解するために適した顕微鏡コンポーネントを非常に概略的な方法で示す。顕微鏡の基本構成は当業者には周知であるので、以下の説明は、本発明にとって本質的な特徴に制限される。鏡筒、接眼レンズ、倍率変換器、ズームシステム、付属カメラなど、顕微鏡の周知のコンポーネントは、図1aおよび以下の図において特に示されず、観察光学装置9と呼ばれる。図示の顕微鏡18は、特にウエハ検査用に用いられる顕微鏡である。通常、かかる顕微鏡は、従来のマイクロ対物レンズを装備している。テレセントリック照明によって特定の利点が提供されるが、テレセントリック照明では、全ての物点が同じ開口および照明強度で照明される。これまでの周知のテレセントリックマイクロ対物レンズは、16mmの視野FOVで単に1.6×までしか達しない。しかしながら、より大きな視野の全体像を提供するためには、より低い倍率またはさらに低減された、対象フィールドの全体画像を得ることが望ましい。この目的のために、図1aに示す実施形態は、マクロ対物レンズ5を対物レンズタレット14に統合するが、対物レンズタレット14は、マクロ対物レンズ5とは別に、マイクロ対物レンズ15を通常の方法で装備している。この実施形態において、マクロ対物レンズ5は、第1の光学サブシステム5aフィールドレンズ部および第2の光学サブシステム5b対物レンズ部を含む2部分構成を有する。この2部分構成は、一方でテレセントリック照明の容易な実現を可能にし、他方で典型的な同一焦点距離例えば45mmとの適合をもたらす。対物レンズタレット14を、その回転軸19を中心に回転させることによって、異なるマクロ対物レンズおよびマイクロ対物レンズを結像ビーム経路へと回転させることができる。同一焦点距離における同一性ゆえに、マクロ対物レンズ5を挿入する場合に再合焦する必要はない。さらに、空間制限内に留まることが可能である。結像されるかまたは顕微鏡で検査される対象物は、6で示される。それは、顕微鏡ステージ17に置かれる。顕微鏡18は、入射照明装置20を有するが、この装置20は、本明細書において後で詳細に説明する。明確にするために、図1aは、光源8および入射照射軸7だけを示すが、この入射照射軸7沿って照明ビーム経路28が延びる。照明を最適化するために、入射照明装置20には、瞳調整光学装置2が含まれ、この瞳調整光学装置2は、照明瞳を、マクロ対物レンズ5の後部射出瞳に位置させる。これは、本明細書において後で詳細に説明する。入射照明装置20は、さらに、偏光ビームスプリッタまたはビーム分割偏光プリズム、要するに偏光プリズム1を含み、偏光プリズム1は、以下の機能を組み合わせる。一方で照明ビーム経路28は、入射光照射軸7を顕微鏡の光軸3上へ偏向させることによって、顕微鏡18の結像ビーム経路29に結合される。このプロセスにおいて、照明光は偏光される。偏光プリズム1を通過した照明光は、入射光照射軸7の仮想延長線上に置かれた光トラップ図示せずによって吸収してもよい。ここで結像ビーム経路29を検討すると、偏光プリズム1は、上記の偏光を入射光照射軸7に沿って後ろに反射させ、一方で、異なって偏光された光異なる偏光成分を有する光は、偏光プリズム1を通過することができ、かつマクロ対物レンズの第2の光学サブシステム5bを通過した後で観察光学装置9に入ってもよい。したがって、偏光プリズム1は、説明したコンポーネント、すなわち偏光子、ビームスプリッタおよび検光子を1つのユニットに組み合わせる。この構成によって、元の偏光方向を保持する反射光が観察光学装置9に入らなくてもよいことが保証される。かかる光は、主として、マクロ対物レンズ5の第1の光学サブシステム5aのインターフェースにおける反射によって引き起こされる一次反射によって構成される。したがって、図示の構成によって、これらの厄介な一次反射を除去することが可能になる。対象物6で反射された、元の偏光を保持する光がまた、観察光学装置9に入るのを防ぐことを保証するために、第1の光学サブシステム5aと対象物6との間にデポラライザ16を有利に配置してもよい。デポラライザ16としてλ/4プレートを用いることが可能であるが、前記λ/4プレートは、マクロ対物レンズ5の第1の光学サブシステム5aの前部レンズに有利に接合される図1cを参照。デポラライザ16は、対象物6が、偏光された照明光で照明されないことを保証する。次に、対象物6の物理的特徴によって反射され、回折され、散乱される光は、フィールドレンズ部5aを通過して偏光プリズム1に入り、そこから、この光は、前述の偏光成分がフィルタリングされた後で、マクロ対物レンズ5の第2の光学サブシステム5bを通り、観察光学装置9に入る。このプロセスにかかわる光損失は、容易に容認することができる。なぜなら、低減された反射の利点が、この光損失に大きく勝っているからである。図1aにさらに示すように、この例示的な実施形態において、入射照明装置20は、2つ以上の個別モジュール10、11を保持する入射光タレット4を有するが、これらのモジュールは、それぞれ、回転軸13を中心に入射光タレット4を回転させることによって、結像ビーム経路に挿入することができる。マクロ対物レンズ5用のモジュールは、本明細書においてマクロモジュール10と呼ばれる。この例示的な実施形態において、前述のマクロモジュールには、偏光プリズム1、瞳調整光学装置2、およびマクロ対物レンズ5の第2の光学サブシステム5bが1つのユニットとして含まれる。マクロ対物レンズの第1の光学サブシステム5aと前述のマクロモジュール10との間の適切な結合によって、マクロ観察用に必要とされる全てのコンポーネントが、常に同時に動作位置にあることを保証することが可能になる。ビームスプリッタ12を含む少なくとも1つのさらなる反射キューブ11が、ここでは顕微鏡18の残りのマイクロ対物レンズ15用に設けられるまたは、1つのかかる反射キューブ11を、前記マイクロ対物レンズのそれぞれのために設けてもよい。図1bは、図1aの詳細を示し、そこに示されたマクロモジュール10に焦点を当てている。同様のコンポーネントは、同様の数字によって表示され、再度詳細に説明することはない。図1bでは、スプリッタモジュール30が、偏光プリズム1の代わりに示されている。ビーム分割偏光プリズムまたは偏光ビームスプリッタが、様々な構成において利用可能である。代替として、図1bに示す従来の構成を用いることが可能であり、この場合には、スプリッタモジュール30は、照明側に偏光子31を有し、結像側に検光子32を有する。ビームスプリッタ12は、スプリッタモジュール30を対角線状に分割して、入射光照射軸7を光軸3の方向に偏向させる。偏光子31、検光子32、およびビームスプリッタ12は、当業者には一般に周知であり、したがって、本明細書ではさらに説明はしない。本明細書で用いられ用語偏光プリズムが、図1bに示すスプリッタモジュール30を含み得ることに留意されたい。図1cは、図1aの別の詳細を示し、マクロ対物レンズ5の対象物側の光学サブシステム5aに焦点を当てている。図1cは変形を示すが、この変形では、図1aとは対照的に、デポラライザ16は、前部レンズ35の平面に接合され、その平面は、サブシステム5a内に位置する。前部レンズ35は、対象物6に面するマクロ対物レンズ5の対象物側の光学サブシステム5aのレンズである。図1cは、対物レンズ部5aのコンパクトな構成を示す。対象物6に面する前部レンズ35の外面の激しい湾曲ゆえに、この表面において起こり得るどんな反射も非常に弱い。図2は、従来のマイクロ対物レンズの使用中に支配的な照明条件を概略的に示す。標準マイクロ対物レンズが、25で示されている。入射照明装置20には、照明光学装置21、22、開口絞り23と同様に、照明ビーム経路28用の偏向素子12が含まれる。前述の偏向素子は、例えば、本明細書で前に説明した反射キューブ11に配置してもよい。光源8は、照明光学装置21によって開口絞り23の位置で結像され、さらに、照明光学装置22によって対物レンズ射出瞳24の位置で結像される。標準対物レンズ25ならびに照明光学装置21および22は、非常に概略的な形態で示されている。典型的には、これらのシステムには、複数のレンズ、およびフィルタ、ダイヤフラムなどのオプションのコンポーネントが含まれる。照明瞳が対物レンズ射出瞳24に位置する場合には、対象物6をテレセントリックに照明することが可能である。この種の照明は、ここでは、好ましくは5×~100×のマイクロ対物レンズ用に実現される入射照明である。図3は、マクロ対物レンズ5が用いられる場合に支配的な照明条件を示す。テレセントリック照明のために、前述のマクロ対物レンズは、2部分構成であるように選択され、したがって、フィールドレンズ部5aおよび対物レンズ部5bに分割することができる。図3の残りのコンポーネントおよび要素は、図2のそれらに対応し、したがって、ここでは別個に説明はしない。照明瞳26が、図2に示す構成においてと同じ位置にある一方で、マクロ対物レンズ5の後部射出瞳27は、照明瞳26から離れて、すなわち、マクロ対物レンズ5の第2のサブシステム5bの方に明らかに設定される。すなわち、マクロ対物レンズ5の射出瞳27は、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステム5aとビームスプリッタ12との間に位置する。射出瞳27と照明瞳26との間の著しい空間的分離は、マクロ対物レンズの後部射出瞳27の不十分な照明に帰着し、その結果、対象フィールドの小部分だけが照明可能であり、一方で視野は、著しくより大きくなり、特に対象物は、もはやテレセントリックに照明されない実際には、図3において、ビームは、マクロ対物レンズ5の第1の光学サブシステム5aと対象物6との間でわずかに拡散する。この問題を解決する一方法が、図4に示されている。入射照明装置20の照明ビーム経路28に瞳調整光学装置2を挿入することによって、照明瞳26の位置をマクロ対物レンズ5の射出瞳27の位置にシフトすること、および2つの位置を理想的に一致させることが可能になる。その結果、シフトされた照明瞳26は、マクロ対物レンズ5の第1の光学サブシステム5aとビームスプリッタ12との間に位置する。好ましくは、この位置は、マクロモジュール10のわずかに下にある。図3と図4の比較は、次のことを示す。すなわち、照明瞳26の位置におけるこのシフトが、対象フィールドのはるかに大きな部分を照明できることと、今や対象物6がテレセントリックに照明されることと、をもたらすことを示す。この種の照明調整が、マクロ対物レンズ用にのみ有用なので、瞳調整光学装置2およびマクロ対物レンズの第2の光学サブシステム5b対物レンズ部同様に、可能なさらなるサブシステムとを反射キューブ10に組み合わせるのが有利であり、これもまた、マクロモジュール10と呼んでもよい。次に、マクロモジュール10は、マクロ対物レンズの第1の光学サブシステム5aフィールドレンズ部と常に一緒にビーム経路へ挿入することができる。この目的のために、対物レンズタレット14図1aを参照および入射光タレット4図1aを参照の対応する移動を、ソフトウェアベース方法で、および電気機械的、電子的または純粋に機械的に確動結合してもよい。照明調整の結果として、利用可能な視野は、完全に照明され、照明は、図示の例示的な実施形態においてテレセントリックである。上記の構成によって、36mmの視野FOVを有する0.7×のマクロ対物レンズを標準対物レンズタレットに実現することが可能になる。