"はんだをワークピース、好ましくは、太陽電池のような半導体素子に付着させるための方法であって、前記はんだを、はんだ付け温度TLでかつソノトロードによって、超音波の作用下ではんだ付けしてなる方法において、前記はんだを、加熱手段によって加熱し、かつ前記ワークピースに付着し、超音波の作用下ではんだ付けすること、および/またははんだ付け中に、前記ワークピースを前記ソノトロードの方向に押圧することによって、前記ワークピースを運ぶ搬送手段によって、前記ワークピースを、弾性的に支持することを特徴とする方法。前記はんだを前記加熱手段によって温度TLに加熱し、但し、TL≧TMであり、TMは、はんだの溶融温度であることを特徴とする請求項1に記載の方法。はんだ付けのために必要な熱を、前記はんだを介して前記ワークピースに伝達することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記はんだを、前記ワークピースと前記加熱手段との間の相対移動の際に前記ワークピースと少なくとも一時的に接触される前記加熱手段によって加熱することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記加工手段を、前記ワークピースに沿って摺動可能に運ぶことを特徴とする請求項4に記載の方法。前記ワークピースの上の前記はんだの高さを、超音波を前記はんだに導入するソノトロードの、ワークピース側で延びているソノトロードヘッドと、前記ワークピースの表面との間の間隔によっておよび/または前記はんだの塗布量によって、調整することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記超音波を照射するソノトロードの縦軸を、前記ワークピースから出ている法線に対し、角度αで整列し、但し、0°≦α≦90°であり、好ましくは20°≦α≦60°であることを特徴とする請求項1に記載の方法。前記はんだと接触する、前記ソノトロードの先端は、超音波で励起されたソノトロードの波腹の中で延びていることを特徴とする請求項1に記載の方法。超音波振動を供給するために、ソノトロードヘッドを有するソノトロードを用い、このソノトロードヘッドの、前記はんだと接触する先端は、前記ワークピースに塗布されたはんだストリップの幅と同じかまたはこの幅より大きい幅を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。超音波振動を供給するために、前記はんだと接触する領域を有するソノトロードヘッドを有するソノトロードを用い、この領域は、硬質材料からなりまたは硬質材料を有し、特に、例えばタングステンカーバイド、SiC、ダイヤモンドからなる硬質材料層からなることを特徴とする請求項1に記載の方法。Al2O3,SiC,Si3N4,SiO2のような研磨剤を含むはんだを用いること、あるいは、温度降下の際に析出されかつ研磨剤として作用する成分を含有するはんだを用いることを特徴とする請求項1に記載の方法。前記はんだの硬化後に、はんだを新たに加熱し、かつ加圧によって平滑化することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記はんだと前記ワークピースとの間のはんだ付けソーンを、N2,アルゴンまたはフォーミングガスのような不活性ガスによって囲むことを特徴とする請求項1に記載の方法。前記はんだの、前記ワークピースへのはんだ付けの間に、前記はんだの上に、接続導体のような電気導体をはんだ付けすること、あるいは、前記はんだのはんだ付け後に、特別の方法段階で、熱エネルギを供給しつつ、前記ワークピースにはんだ付けされた前記はんだ上に、電気導体を塗布することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記ワークピースとしての太陽電池上に、前記はんだを、前記太陽電池上にある電流コレクタと導電結合するためのバスバーを形成するための路またはストリップの形態で、はんだ付けすることを特徴とする請求項1に記載の方法。はんだ付けゾーンで、ワークピース12上に、特に、太陽電池のような半導体素子上にはんだを付着しかつはんだ付けするための装置であって、はんだ供給手段54と、前記はんだのための加熱手段50と、超音波ソノトロード58と、前記加熱手段および前記超音波ソノトロードに相対して前記ワークピースを搬送するための搬送装置10とを具備し、前記搬送装置10は、前記ワークピース12を、このワークピースを前記超音波ソノトロード58の方向に押圧することによって、前記はんだ付けゾーンを通って弾性的に搬送することを特徴とする装置。前記搬送装置10は、第1のおよび第2の搬送手段16,18を有し、両者の間には、前記ワークピース12が、締付状態で固定されており、前記第1の搬送手段16は能動的に駆動され、前記第2の搬送手段18は、前記第1の搬送手段またはワークピースとの摩擦係合によってあるいは追加の自身の駆動手段によって駆動されていることを特徴とする請求項16に記載の装置。前記第1のおよび第2の搬送手段16,18は、平ベルトまたは丸形ベルトのようなエンドレス平坦要素またはエンドレス丸形要素であることを特徴とする請求項17に記載の装置。前記第1のおよび/または第2の搬送手段16,18は、2つの互いに間隔をあけているエンドレス平坦要素またはエンドレス丸形要素を有し、これらの要素は、共通の軸27に取り付けられた転向ローラ29,30を介して運ばれていることを特徴とする請求項17または18に記載の装置。前記第1の搬送手段16は、前記ワークピース12を前記第1のおよび第2の搬送手段16,18に供給することができるために用いる第3の搬送手段20によって、駆動可能であることを特徴とする請求項17に記載の装置。前記加熱手段50および前記超音波ソノトロード58は、ユニットとして、前記ワークピース12の搬送面を規定する前記第1の搬送手段16に対し調整可能であることを特徴とする請求項16に記載の装置。前記加熱手段50および前記超音波ソノトロード58は、互いにかつ前記搬送面に対し調整可能であることを特徴とする請求項16または21に記載の装置。前記加熱手段50は、溶融したはんだを放出しかつ前記搬送面に整列された出口開口部54を有することを特徴とする請求項16に記載の装置。前記出口開口部54の領域に直ぐに、またはこの出口開口部から間隔をあけて、前記溶融したはんだと接触するソノトロードヘッド44を有する超音波ソノトロード58が設けられていることを特徴とする請求項23に記載の装置。この装置は、前記加熱手段50に対し絶縁された少なくとも1つのガス供給チャンネル62を有し、このガス供給チャンネルから、前記はんだ付けゾーンに不活性ガスが供給されることができることを特徴とする請求項16に記載の装置。前記加熱手段50は、ワークピース側に、少なくとも1つの摺動ランナー46,48を有することを特徴とする請求項16に記載の装置。前記加熱手段50は、前記少なくとも1つの摺動ランナー46,48によって、前記ワークピース12上に摺動可能に支持されることができることを特徴とする請求項26に記載の装置。前記ワークピース12またはこのワークピース上に付着されたはんだは、センサによって検知可能であり、決定された値に従って、前記超音波ソノトロード58が前記はんだに対し整列可能であることを特徴とする請求項16に記載の装置。前記ソノトロード58の、前記はんだと接触する領域は、前記ワークピース12に付着される溶融されたはんだ付けストリップの幅と同じかまたはこの幅より小さい幅を有することを特徴とする請求項16に記載の装置。前記ソノトロード58の、前記はんだと接触する領域は、タングステンカーバイド、炭化ケイ素、窒化ホウ素またはダイヤモンドからなる硬質材料層を有することを特徴とする請求項16に記載の装置。基本的に同一の要素には同一の参照符号が付されている図面からは、全く基本的に、平らなワークピースにはんだを付着させ、かつ、はんだをワークピースにはんだ付けするための装置および措置がここでは、見て取れる。ここで、以下、本発明に係わる教示を、ワークピースである太陽電池を参照して説明する。ただし、このことによって、限定がなされることは意図されない。実際また、記述される搬送手段は、例として理解されねばならず、同一に作用する複数の要素と取り替えることが可能である。これらの要素は、説明される作用を保証するのであるから、技術用語が、同義語として理解されねばならない。図1からは、複数の太陽電池12をはんだ付けステーションを通って搬送するために用いる搬送装置10が見て取れる。はんだ付けステーションは、基本的には、図3から見て取られ、参照符号14を有する。搬送手段20は、2つの、互いに間隔をあけた歯付きベルト22,24を有する。これらの歯付きベルトは、共通の歯付きベルトディスク26、28を介して駆動される。歯付きベルト22,24は、シャフト27を介して互いに結合された歯付きベルト用ディスク29,30を駆動する。シャフト27には、平ベルトディスク32が嵌め込まれている。平ベルトディスクの周りには、高弾性的な平ベルト34が運ばれかつ駆動される。平ベルト34は、更に、他の平ベルトディスク36の周りに運ばれる。図1の図では、平ベルト34の上方には、転向ローラまたは転向ディスク38,40の周りに運ばれる平ベルト42が延びている。この平ベルトと、高弾性の平ベルト34との間では、太陽電池12が、はんだ付けステーション42を通って運ばれる。従って、平ベルト42の搬送は、平ベルト34および/または処理される太陽電池12との摩擦係合によってなされる。但し、太陽電池が、歯付きベルト22,24を介して平ベルト34と42の間の領域へ入れられた場合に限る。この場合、平ベルト34,42の、従ってまた平ベルトのベアリングの整列は、太陽電池12を運ぶための平ベルト34と42の間の必要な空間が用いられるように、なされる。図1および2の比較からは、太陽電池12が、ほぼ中央で、平ベルト34,42によって把持され、かつ平ベルトによって搬送されることが、明らかにされる。当然ながら、2つの互いに間隔をあけた下方の平ベルトと、該平ベルトに対して設けられた2つの上方の平ベルトとが、太陽電池12の搬送のために用いられ、それ故に、太陽電池が、2つの、互いに間隔をあけた、ストリップ状の領域で、平ベルトと接触される可能性もある。搬送方向には、参照符号Tが付されている。太陽電池12上にはんだを付着させかつはんだ付けするためには、太陽電池12がはんだ付けステーション14の領域にあるこのことは、図示しないセンサによって検出されるときに、はんだ付けステーション14は、太陽電池12の方向に調整される。この目的のために必要な制御信号は、少なくとも1つのセンサによって発生されることができる。はんだ付けステーション14の、太陽電池12の方向への調整は、以下に記述するようになされる。その目的は、超音波発振機58のソノトロードヘッド44と、はんだ付けステーション14から出てかつ太陽電池12上に塗布される、はんだと、の間の接触がなされるためである。この場合、駆動される高弾性的な平ベルト34は、ソノトロードヘッド44および太陽電池12との壊れない接触のために、および、太陽電池12上方に取り付けられた、加熱手段50のランナー46,48があれば、そのランナーへ、必要な反力を供給する。加熱手段50には、供給手段52を介して、はんだが供給される。このはんだは、加熱手段50の中で溶解し、かつ出口開口部54を通って、ソノトロードヘッド44の直前で、太陽電池12へ供給される。この場合、供給手段52は、加熱手段50に対し、供給絶縁手段56によって絶縁される。平ベルト34の弾性係数E単位kN/mm2は、0.01kN/mm2と0.1kN/mm2の範囲にあるほうがよい。その目的は、はんだを塗布し、かつソノトロード44およびソノトロードから供給される超音波振動との協働の際に、太陽電池12の破壊が不可能とされるように、太陽電池12を十分に弾性的に支持するためである。例えば搬送要素が、駆動ベルトであるとき、このベルトは、フックの法則に従ってたわみΔxに対し比例する力Kによって、ワークピースを、ソノトロードへ押圧する。すなわち、K=kΔxが成り立つ。比例定数は、1n/mmと100N/mmの間にある。但し、5N/mm≦k≦50N/mmが好ましい。この値は、ワークピースが、厚さ160-200μmの、壊れやすい太陽電池であるとき、妥当である。たわみが0.2mmであるとき、力は2Nである。この場合、ベルトの弾性係数は0.01ないし0.1kN/mm2であった。これは一例にすぎない。その代わりに、実験によって、太陽電池または任意のワークピースが、ソノトロードの圧力下で、亀裂を被るか、割れるかをテストすることもできる。ソノトロードヘッド44は、超音波発振機58の先端である。この超音波発振機は、金属超音波溶接について知られている超音波発振機である。必要な場合には、超音波発振機58は、ブースタを有することができる。超音波発振機は、所望の周波数範囲で、好ましくは20kHzと80kHzの間の範囲で、超音波振動を発生させる。この超音波振動は、縦波である。超音波発振機58は、波腹が、ソノトロードヘッド44の領域で、しかも、ソノトロードヘッド44が、太陽電池の上に塗布されたはんだと接触してなる領域で、延びているように、超音波振動の波長に同調されている。ソノトロードヘッド44の先端は、太陽電池12の表面に塗布されているはんだと接触する。このことは、原理的には、図5-7から明らかである。はんだが、ソノトロードヘッド44およびソノトロードヘッドの先端を介して加熱される必要はないので、ソノトロードヘッドまたは先端の直径が縮径されることができる。このことによって、ソノトロードヘッド44とはんだとの間の接触面を、従来の装置と比較して所望の程度に縮小することができる。その目的は、細い条導体も幅の広い条導体も、所望のように製造するためである。かくして、はんだの塗布方向に対し直角、すなわち、搬送方向Tに直角である、ソノトロードヘッド44の先端の延在は、例えば0.5mmと5mmの範囲にあってもよい。複数の図から、更に、全く原理的に明らかであるように、はんだ付け個所には、バルブ60を介しかつ複数のチャンネル62を介して、不活性ガスが供給されることができる。はんだ付け個所は、はんだがノズル54から出て、かつソノトロードヘッド44が接触してなる領域である。この目的のために、ノズルチャンネル62は、加熱手段50に対して、矩形の領域64を介して、適切に絶縁されている。加熱手段50および超音波発振機58からなるユニットを太陽電池12の表面に対し整列することができるように、はんだ付けステーション14が、取付プレート66から出ている。取付プレートは、固定式の保持手段、例えば台に結合されている。加熱手段50と、従ってランナー46,48と、超音波発振機58と、従ってソノトロードヘッド44とを、x方向に調整することができるように、アングルプレート68が、取付プレート66と結合されている。アングルプレートは、2つの、互いに調整可能なプレート要素70,72からなる。これらのプレート要素70,72の結合点に関して、垂直線Z方向に対し±5°の角度を調整することができる。アングルプレート68は、アダプタプレート74を介して、リフティングユニット76と結合されている。リフティングユニットによって、超音波発振機58および加熱手段50のユニットが、z方向に調整可能である。この結果、リフティングユニット76は、処理される太陽電池12の昇降を可能にする。微調整ユニット78は、アダプタプレート80を介して、リフティングユニット76と結合されている。微調整ユニット78は、z方向での更なる調整を可能にする。その目的は、かくして、太陽電池12への、従って、太陽電池の表面へのソノトロードヘッド44の正確な調整を可能にするためである。このことによって、はんだ付けされるはんだの厚さすなわち高さが事前設定される。微調整ユニット78は、他のアダプタプレート82を介して、調整手段84と結合される。調整手段は、アングルエレメント86と結合されている。アングルエレメントから、加熱手段50および超音波発振機58が出ている。調整手段84は、y方向でのアングルエレメントWinkelelement86の調整を可能にする。加熱手段50が、アングルエレメント86によって、はんだ供給手段52およびガス接続部60ならびにガスチャンネルすなわちノズルチャンネル62としっかりと結合されている。ガスチャンネルに対して、超音波発振機58が、調整ユニット85によってz方向に調整可能である。この目的のために、調整手段85からは、ブラケットのような取付手段88が出ている。ブラケットによって、超音波発振機58が保持されている。この場合、取付要素88は、超音波発振機58のバイブレーションノードの中で延びている。はんだ付けステーション14のかような構造によって、超音波発振機58従ってまたソノトロードヘッド44を、太陽電池12の表面に対し、所望の程度に整列する可能性がある。しかしながら、同時に、必要な場合には、加熱手段50の摺動ランナー以下、単にランナーという46,48が、太陽電池の表面上で支持されている可能性も提供される。しかしながら、このことは、必然的な特徴ではない。むしろ、加熱手段50の部分であるランナー46,48は、太陽電池12に対し間隔をあけて延びている。実施の形態では、はんだ付けステーション14は、超音波発振機58が、アングルエレメント86に対し、z方向にのみ調整可能であるように設計されている。このとき、同様に、超音波発振機58の縦軸が、太陽電池12の表面から出ている法線に沿って延びているZ軸に対し、所望の角度で整列されるという可能性が構造的に与えられている。かくして、表面に対するソノトロードヘッド44の所望の角度を調整する可能性がある。その目的は、必要な程度で、例えば酸化層を破り開くことができるためである。但し、このことは、法線に沿った超音波発振機58の整列の際には、必要な程度で可能ではないほうがよい場合に限る。このことを明らかにするために、ソノトロードへっどの、太陽電池12の表面に対する整列の原理図が、図5および6に示されている。前述のように、ソノトロード42によって伝達される超音波の、太陽電池12の中への超音波作用が、ソノトロードの使用される形態および太陽電池12への整列によって、影響を受けることができる。図5では、ソノトロードの縦方向43は、太陽電池12の表面から出ている法線に対し平行に整列されている。かくして、ソノトロード44によって発生された超音波振動は、太陽電池12またははんだに作用する、実質的に垂直方向の振動成分を有する。ソノトロードの縦軸すなわち軸方向43は、太陽電池12の表面に対し直角に延びている。ソノトロード44の、はんだと接触される接触面45が、縦軸43に対し、角度α但し、α≠90°で整列されるとき、発生された超音波振動は、垂直方向の振動成分と、横方向の振動成分とに分割される図6を参照せよ。この変形例によって防止されることは、例えば、太陽電池12の破壊されない表面層、例えばSiNX層が、はんだの、はんだ付けの際に、はんだが直接に半導体層と接触するように、機械的に応力を受けないことである。その結果、短絡が回避されることである。換言すれば、表面層が密閉されていることが保証されるのである。このような措置は、例えば、太陽電池12の前面にあるフィンガを形成する電流コレクタ112,114,116が、はんだからなるバーまたはストリップ意118,120を介して、導電結合されるとき、特にそのときに、利点である。これらのバーまたはストリップバーは、従来の技術では特に銀からなるバスバーと取り替えられる。このことによって、フィンガ112,114,116の導電結合がなされる。バスバーを形成するはんだ付けストリップ118,120からは、このとき、複数の太陽電池12の配線接続のために必要なコネクタ、例えば、スズめきされた銅コネクタが出ている。これらの銅コネクタは、超音波によって、はんだ付け路すなわちはんだ付けストリップ118,120とはんだ付けされる。このようなコネクタには、図9では、参照符号122,124が付されている。はんだをはんだ付けすることができるために必要な、太陽電池12の熱は、本発明では、好ましくは、はんだ自体によって伝達される。必要な場合には、太陽電池12の予備加熱は、加熱手段50またはランナー46,48を介してなされることができる。実際また、ソノトロードヘッド44が、加熱手段50の温度に加熱されるという可能性がある。しかしながら、このことは、必然的な特徴ではない。既知の技術と異なり、はんだを溶融させるために必要な熱が、ソノトロードヘッド44を介して伝達されないことによって、ソノトロードヘッドを、はんだとの接触の領域で、比較的細く形成することができるか、あるいは、僅かな横断面または直径をもって形成することができる。特に提案されていることは、搬送方向Tに対応している塗布方向に対し直角である、延びているソノトロードヘッドの延在が、0.5mmと5mmの間にあって、横断面は、円、楕円または矩形あるいは正方形であってもよいことである。矩形の場合には、従って、横方向の長さが、塗布方向に対し直角で、0.5mm-5mmであり、円また楕円の場合には、円の直径または楕円の延在は、搬送方向に対し直角にあって、0.5mm-5mmであってもよい。異なった大きさ、特に、cmの範囲までの延在を選択することができる。但し、このことが必要であるほうがよい場合に限る。本発明に係わる教示によって考慮される他の変形例は、図7から見て取れ、太陽電池12を所望の程度で加熱するためのものである。例えば、太陽電池12を予備加熱するために、およびはんだ材料を溶融または加熱するために用いられる加熱手段50の代わりに、ホットエアノズルを有する加熱手段51が用いられる。この場合、ホットエアノズルから放出される熱気は、太陽電池12を予備加熱するためおよびはんだ材料を溶融し、または更に加熱するために用いられる。加熱された空気は、所望の角度で、太陽電池12とはんだ材料との間の接触領域に当たり、基本的には、図7から見て取れるように、好ましくは、ソノトロード44と太陽電池12の間の接触領域に向けられる。従って、はんだ材料を、必要な場合に、同様に加熱されたソノトロード44に直に接して、溶融することができる。次に、超音波によって、はんだ材料をはんだ付けする。更なる処理のために、付着されたはんだ材料が平滑にされ、あるいは、今ある酸化が減じられおよび/または表面に不純物が万一あって、該不純物を除去することは望ましい。何故ならば、超音波作用によって、太陽電池上の導電性の接触面が、凹凸および不純物の故に、酸化が増大する傾向にあるからである。酸化を減じ、かつ表面に万一不純物があれば、該不純物を除去するために、本発明では、接触面の新たな溶融および平滑化がなされることが提案されている。この目的のために、図8に示すように、基本的に提案されていることは、はんだ接触面が、硬化後に、加熱レール126のような加熱要素によって溶融され、かつ太陽電池12と加熱レール126との間の相対移動によって、溶融されかつ平滑にされることである。図8では、このようなはんだ路すなわちはんだ付け路またははんだ付けストリップには、参照符号128が付されている。これらの措置を、はんだ付けステーション14自体で、実行することができる。但し、電気的導体が、はんだ路上へのはんだ塗布と共に、直ぐにははんだ付けされないときのみである。本発明に係わる方法は、特に、連続的方法のために適切である。この場合、複数の路では、平行に、太陽電池のような半導体素子に、かようなはんだ路を備えることができる。裏面および前面にも、このようなはんだ付け路を、超音波によってはんだ付けするために、太陽電池を、第1のはんだ付けステーションから第2のはんだ付けステーションへ渡すことができる。このことは、例えば、転向ホイールまたは他の適切な手段によってなされることができる。"