基板の位置を認識するためのアライメントマークを形成する工程を有するフラットパネルディスプレイの製造方法であって、前記アライメントマークは、前記基板上に前記感光性ペーストを塗布するステップと、前記塗布した膜を乾燥して感光性膜とするステップと、前記感光性膜を露光することによりアライメントマークを形成するステップとを有し、前記電極層は単層で形成し、前記乾燥するステップは複数回行うことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。前記乾燥するステップでは、第1乾燥ステップの最大温度よりも、第2乾燥ステップの最大温度の方が大きいことを特徴とする請求項1記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。前記感光性ペーストは、前記第1乾燥ステップの温度よりも高い沸点を有する感光性モノマーを含有することを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。しかしながら、透明電極を形成するには、スパッタなどでITO薄膜を形成するための大掛りな真空装置や高価なITOターゲット材料が必要であった。さらにITO薄膜をパターニングするための露光機や露光マスクも必要となり、生産設備が大型になるだけでなくPDPの生産性も低くなるという問題点もあった。そのため、透明電極を形成することなくPDPを製造する方法として、導電性のバス電極で走査電極と維持電極とを形成したPDPが開示されている。しかし透明電極を形成しないPDPでは、アライメントマークを他の方法で形成する必要があった。アライメントマークを形成する方法としては、例えば印刷、レーザー刻印などにより形成する方法やバス電極と同じ材料で形成する方法などが知られている。フラットパネルディスプレイのアライメントマークは位置精度、形状精度および視認性が重要である。とりわけ近年主流となりつつある高精細度PDPでは、特に高い位置精度、形状精度が要求される。しかしながら、透明電極を用いない電極構成のPDPを製造するためにはアライメントマークを他の方法により形成しなければならず、製造ラインの改造や製造工数の増加といった問題があった。例えば、従来の感光性ペーストなどを用いてアライメントマークを形成する手段も開示されているが、表示電極対を形成する前の段階にて、露光現像工程を別途設ける必要があり、製造工数が大幅に増加する。また従来の感光性導電ペーストなどを用いて表示電極対を形成する際に表示電極対と同時にアライメントマークを形成することは可能である。しかし、露光を複数回行って表示電極対を形成する場合には、この方法を適用することはできない。実際、表示電極対を形成する際には、露光マスクの傷やごみ付着による露光不良を抑えるために2回の露光を行っている。このとき1回目の露光と2回目の露光との位置ずれを防ぐために、少なくとも2回目の露光マスクの位置合わせのためのアライメントマークが不可欠である。本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、製造ラインを改造することなく、また工数も大きく増加させることなく、高い精度および良好な視認性を有するアライメントマークを簡単に形成し、さらに低コストで生産性よくフラットパネルディスプレイを製造することができるフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。本発明のFPDの製造方法は、基板の位置を認識するためのアライメントマークを形成する工程を有するFPDの製造方法であって、アライメントマークは、基板上に前記感光性ペーストを塗布するステップと、塗布した膜を乾燥して感光性膜とするステップと、感光性膜を露光することによりアライメントマークを形成するステップとを有し、感光性ペーストは、乾燥するステップの温度よりも高い沸点を有する感光性モノマーを含有することを特徴とする。ここで感光性モノマーは、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、またはビスフェノールA-エチレンオキシド-ジアクリレートのいずれかであり、乾燥するステップの温度が110°C~130°Cであることが望ましい。本発明によれば、製造ラインを改造することなく、また工数も大きく増加させることなく、高い精度および良好な視認性を有するアライメントマークを簡単に形成し、さらに低コストで生産性よくフラットパネルディスプレイを製造することができる。以下、本発明の実施の形態におけるフラットパネルディスプレイの製造方法について、PDPの製造方法を例に、図面を用いて説明する。実施の形態1図1は、本発明の実施の形態1におけるPDP10の分解斜視図である。PDP10は、前面板20と背面板30とを対向配置し、周辺部を低融点ガラス図示せずを用いて封着することにより構成されており、内部に多数の放電セルが形成されている。背面板30は、背面側のガラス基板31と、データ電極32と、誘電体層33と、隔壁34と、蛍光体層35とを有する。ガラス基板31上には、複数のデータ電極32が互いに平行に形成されている。そしてデータ電極32を覆うように誘電体層33が形成され、さらにその上に縦隔壁34aと横隔壁34bとからなる井桁状の隔壁34が形成され、誘電体層33の表面と隔壁34の側面とに赤、緑、青各色の蛍光体層35が形成されている。そして、表示電極対24とデータ電極32とが立体交差するように前面板20と背面板30とが対向配置され、表示電極対24とデータ電極32とが対向する部分に放電セルが形成される。放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で、低融点ガラスを用いて前面板20と背面板30とが封着され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。図2は、本発明の実施の形態1におけるPDP10の前面板20の詳細を示す図である。図2aは、前面板20の正面の拡大図、図2bは、前面板20の断面の拡大図である。走査電極22は、バス電極221とバス電極222とを有する。維持電極23もバス電極231とバス電極232とを有する。そしてバス電極221とバス電極231との間に放電ギャップMGが形成されている。バス電極221、222はそれぞれ黒色層221b、222bと導電層221c、222cとからなり、バス電極231、232も黒色層231b、232bと導電層231c、232cとからなる。黒色層221b、222b、231b、232bは、PDP10を表示面側から見たときに走査電極22、維持電極23を黒く見せるために設けられている。例えば、酸化ルテニウムなどの黒色材料をガラス基板21の上に幅の狭いストライプ状に形成したものである。そして導電層221c、222c、231c、232cは、走査電極22、維持電極23の導電性を高めるために設けられており、黒色層221b、222b、231b、232bの上に銀を含む導電性の材料を積層して形成したものである。本実施の形態においては、特に前面板20の製造に使用する各種ペーストとして、黒色の感光性ペースト以下、黒色感光性ペーストとする、導電性の感光性ペースト以下、導電性感光性ペーストとする、誘電体ペーストを用いている。以下に、それぞれのペーストの作成方法について説明する。黒色感光性ペースト黒色感光性ペーストは、ガラス基板21上に塗布し乾燥して第1の感光性膜以下、黒色感光性膜とするを形成し、その後露光することにより、黒色層221b、222b、231b、232bおよびアライメントマークを形成するための感光性ペーストである。黒色感光性ペーストは、固形分としての黒色材料とガラス粉末とを含む無機材料成分と、感光性ポリマーと感光性モノマーと光重合開始剤とを含む有機材料成分とからなり、上記黒色材料の粒径は1μm以下である。黒色感光性ペーストは、黒色材料とガラス粉末とで構成される無機材料と、光硬化性ポリマーなどの感光性ポリマー、感光性モノマー、光重合開始剤および溶媒などの各種有機材料を所定の組成となるように調合し、均質に混合分散して作成される。黒色材料としては、例えば、酸化ルテニウム、酸化鉄、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化銅、二酸化マンガンなどの酸化物の少なくとも1つを用いることができる。ここで、アライメントマークの精度を上げるために、黒色顔料の平均粒径を1μm以下、より望ましくは0.01μm~0.5μmに設定する。これらの黒色材料をペースト中に5wt~55wt含有させることによって、良好な黒色層221b、222b、231b、232bおよびアライメントマークを形成することができる。黒色材料が5wtより少ないと色が薄くなるためコントラストが低下するおそれがある。また55wtより大きいとペーストの軟化点が上昇し、またガラス基板21と熱膨張係数を整合させるのが難しくなる。さらに露光時に紫外線が下部まで到達しなくなり、黒色層の形成不良を生じるおそれがあり好ましくない。ガラス粉末としては、酸化ビスマスを主成分とするガラス粉末を用いることができる。ガラス粉末の平均粒径は0.3μm~1.0μmが望ましい。ガラス粉末の平均粒径が1.0μmを超える場合には、黒色感光性膜bxの表面粗さに影響を与え、後述するように、アライメントマークの認識精度を悪化させる。一方、ガラス粉末の平均粒径が0.3μm未満の場合には、ガラス粉末が凝集する場合があり、凝集体の粒径が大きくなる。すなわち、黒色感光性膜bxの表面粗さに影響を与え、アライメントマークの認識精度を悪化させる。なお、最大粒子径が2.0μm以下であればさらに望ましい。ガラス粉末の組成は、酸化ビスマスを30wt~85wt、酸化珪素を5wt~30wt、酸化硼素を5wt~20wt、酸化ジルコニウムを0.1wt~10wt、酸化亜鉛を2wt~20wt、酸化アルミニウムを1wt~5wt、それぞれ含有するのが望ましい。ガラス基板への接着性を高めるために、ペースト中に25wt~40wtのガラス粉末を含有させることが望ましい。また黒色感光性ペーストの無機材料として、さらに導電性材料を含んでもよい。導電性材料としては、例えば、平均粒径を1μm以下、より望ましくは0.01μm~0.5μmの銀、白金、パラジウム、コバルト、ニッケル、マンガン、モリブデン、ルテニウムなどの金属微粒子を用いることができる。銀または銀主体の合金からなる金属微粒子含有量は、良好な導電性を下層に付与しつつ黄変現象が抑制され得る程度であることが望ましい。このような銀系金属微粒子含有量として0.01~5wt程度が適当である。黒色感光性ペーストの有機材料としては、感光性ポリマーとして、分子内にカルボキシル基と不飽和二重結合を有する重量平均分子量500~100000のオリゴマーまたはポリマーを用いることが望ましい。また感光性モノマーとしては、炭素-炭素不飽和結合を含有する化合物を用いることができる。これらの各種有機材料成分の含有量を20wt~70wtと設定することによって、印刷特性の良好な黒色感光性ペーストを作成することができる。また感光性モノマーが乾燥温度により飛散しない種類を使用することが望ましい。例えば、乾燥温度を110~130°Cとしたときには、トリメチロールプロパントリアクリレート沸点:315.5°C、ペンタエリスリトールトリアクリレート沸点:約205°C~215°C、ビスフェノールA-エチレンオキシド-ジアクリレート沸点:約200°Cなどが挙げられる。これにより、アライメントマーク部においても過乾燥にならないため、露光時の感度は悪化しない。また有機材料として感光性ポリマー、感光性モノマー、光重合開始剤および溶媒以外に、さらに必要に応じて、バインダー、紫外線吸光剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散剤、沈殿防止剤、レベリング剤などの添加剤を加えることもできる。黒色感光性ペーストの粘度は2000cps~20000cpsの範囲で調整することが望ましい。例えば、スクリーン印刷法で1回塗布して膜厚5μm~20μmの黒色感光性膜を得るには、50000cps~200000cpsが望ましい。また、ブレードコーター法やダイコーター法などを用いて黒色感光性膜を得るには、1500cps~20000cpsが望ましい。黒色感光性ペーストの粘度は、無機粉末、増粘剤、有機溶媒、可塑剤、沈殿防止剤などの添加割合によって上記の範囲に調整することができる。本実施の形態においては、黒色材料として平均粒径が0.1μmの酸化ルテニウムを10wt、四酸化コバルトを26wt、ガラス粉末として酸化ビスマスを主成分とする市販のガラスフリットを12wt、有機材料として市販の光硬化性ポリマー、感光性モノマー、光重合開始剤の合計が22wt、および溶媒を30wt調合した。続いて、これらを3本ローラで均質に混合分散して黒色感光性ペーストを作成した。導電性感光性ペースト導電性感光性ペーストは、黒色感光性膜上に塗布、乾燥して第2の感光性膜以下、導電性感光性膜とするを形成し、その後、露光することにより、導電層221c、222c、231c、232cを形成するための材料である。導電性感光性ペーストは、銀を主成分とする導電性材料とガラス粉末とで構成される無機材料成分と、光硬化性ポリマーなどの感光性ポリマー、感光性モノマー、光重合開始剤、溶媒などの各種有機材料成分を所定の組成となるように調合した後、均質に混合分散し作成する。導電性材料としては、導電層221c、222c、231c、232cを精細よく形成するために、平均粒径が0.1μm~2.0μmの銀粉末が望ましく、45wt以上の銀粉末をペーストに含有させることにより好ましい導電層用パターンを形成することができる。ガラス粉末としては、酸化ビスマスを主成分とするガラス粉末を用いることができる。ガラス粉末の平均粒径は0.3μm~1.0μmが望ましく、最大粒子径が2.0μm以下であればさらに望ましい。ガラス粉末の組成としては、酸化ビスマスを30wt~85wt、酸化珪素を5wt~30wt、酸化硼素を5wt~20wt、酸化ジルコニウムを0.1wt~10wt、酸化亜鉛を2wt~20wt、酸化アルミニウムを1wt~5wt、それぞれ含有するのが望ましい。またガラス基板への接着性を高めるために、ペースト中に0.5wt~5wtのガラス粉末を含有させることが望ましい。また、上記の各種有機材料は、ペースト中に20wt~45wt含むことによって、良好な印刷特性を有する導電性感光性ペーストを形成することができる。本実施の形態においては、平均粒径0.8μmの銀粉末を69wt、酸化ビスマスを主成分とする市販のガラスフリットを3wt、同じく市販の光硬化性ポリマー、感光性モノマー、光重合開始剤の合計が13wt、および溶媒を15wt調合し、3本ローラで均質に混合分散して導電性感光性ペーストを作成した。誘電体ペースト誘電体ペーストは、誘電体層26を形成するための材料である。誘電体ペーストは、酸化硼素、酸化珪素、酸化亜鉛、アルカリ土類酸化物、アルカリ金属酸化物、酸化ビスマス、酸化アルミニウム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化セリウムなどの中からいくつかを含んだ軟化点520°C~590°Cの誘電体ガラスを含むペーストである。本実施の形態の誘電体層26においては、酸化硼素35wt、酸化珪素1.4wt、酸化亜鉛27.2wt、酸化バリウム3.3wt、酸化ビスマス25wt、酸化アルミニウム1.1wt、酸化モリブデン4.0wt、酸化タングステン3.0wtを含んだ誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを作成した。このようにして作成された誘電体ガラスの軟化点は約570°Cである。次にPDP10の製造方法について説明する。図3は、本発明の実施の形態1におけるPDP10の前面板20の製造方法を説明するための図である。前面板20の製造工程を以下の5つのステップに分けて、それぞれについて詳細に説明する。第1ステップ第1ステップでは、基板として、ガラス基板21を前面側に用い、ガラス基板21上に黒色感光性ペーストを塗布し乾燥して第1の感光性膜としての黒色感光性膜bxを形成する。まずガラス基板21をアルカリ洗浄する。ガラス基板21は、42インチのPDPであれば、例えば、大きさが980mm×554mm、厚みが1.8mmのガラス基板である。次に、図3aに示すように、スクリーン印刷法などの公知の技術を用いてガラス基板21の全面に黒色感光性ペーストを塗布、乾燥して、黒色感光性膜bxを形成する。このとき、ガラス基板21上の表示電極対24を形成しない予定の領域であってアライメントマークを形成する領域に黒色感光性ペーストを塗布しておく。本実施の形態においては、ガラス基板21の四隅の領域が相当する。しかしアライメントマークを形成する領域は上記に限定されるものではなく、ガラス基板21の長辺側の表示電極対24を形成しない領域や、ガラス基板21の短辺側の表示電極対24を形成しない領域であってもよい。また、ここで、アライメントマークを形成する領域が、黒色感光性ペーストの塗布領域周辺部に存在する場合、アライメントマーク形成領域の膜厚はその他の領域の膜厚より厚くするほうが望ましい。これは以下の理由に基づく。黒色感光性ペースト塗布後の乾燥工程において、アライメントマーク形成領域は塗布領域の周辺部にあるため、乾燥状態がその他の領域と異なってくる。特に画像表示領域に乾燥状態を合わせた場合、アライメントマーク形成領域は過乾燥状態となる傾向にある。そこで、アライメント形成領域については、その他の領域と比較して膜厚を厚くし、過乾燥状態となることを防止することが望ましい。アライメントマーク形成領域の厚さとしては、塗布後の状態で比較して、その他の領域の1.5~2.0倍の膜厚が望ましい。これは前面板20として形成した後でも、アライメントマーク部の膜厚と、その他の画像表示領域の黒色層221b、222bの膜厚との差となって現出する。また、アライメントマーク形成領域のみ膜厚を厚くする手法としては、上述のスクリーン印刷法を用いた場合であれば、当該箇所のスクリーン版に相当する領域付近に乳剤を塗布する手法が挙げられる。これによって、ガラス基板21上にプリントされる黒色感光性ペーストの塗布量を多くすることができる。次に、図3bに示すように、黒色感光性膜bx上のアライメントマークを形成しない予定の領域に第2の感光性膜としての導電性感光性膜cxを形成する。導電性感光性膜cxは、スクリーン印刷法などの公知の技術を用いて、ガラス基板21の黒色感光性膜bxの上に導電性感光性ペーストを塗布し、乾燥して形成する。このとき、黒色感光性膜bx上の表示電極対を形成しない予定の領域であってアライメントマークを形成する領域には、導電性感光性ペーストを塗布しない。本実施の形態においては、ガラス基板21の四隅の領域が相当する。第2ステップ第2ステップでは、第1の露光マスクを用いて黒色感光性膜bxを露光してアライメントマークを形成する。第1の露光マスク41には、バス電極221、222、231、232を形成するためのパターンとアライメントマーク51を形成するためのパターンとが形成されている。図3cに示すように、第1の露光マスク41を用いて1回目の露光を行う。このときの露光強度は、例えば300mJ/cm2である。すると黒色感光性膜bxの表面に凹凸のパターンが浮かび上がり、これらはアライメントマーク51を形成する。このようにして、ガラス基板21の四隅の領域に塗布された黒色感光性膜bxの上にアライメントマーク51を形成するとともに、ガラス基板21の画像表示領域に走査電極22、維持電極23を形成するための1回目の露光を行う。但し、黒色感光性膜bxの現像前であるため、アライメントマーク51は、黒色感光性膜bxの上に浮かび上がった凹凸のパターンとして出現する。図4は、本発明の実施の形態1におけるPDP10のアライメントマーク51を示す図である。図4aは、ガラス基板21のアライメントマーク51を形成した部分の拡大平面模式図である。図4bは、ガラス基板21のアライメントマーク51を形成した部分の拡大断面図である。また図5は、本発明の実施の形態1におけるPDP10のアライメントマーク51の詳細を示す図である。図5aは、アライメントマーク51をカメラで撮像した画像の模式図である。図5bは、第1の露光マスク41とガラス基板21のアライメントマーク51との関係を示す図である。図5cは、図5aのA-A線に沿った表面の形状を表面粗さ計で測定した結果を示す図である。このようにアライメントマーク51は、ガラス基板21上に黒色感光性ペーストを塗布し乾燥して形成した黒色感光性膜bxを形成し、黒色感光性膜bxの表面に少なくとも凹部および凸部のいずれかを設けることにより形成されている。本実施の形態においては、図5cに示したように、黒色感光性膜bxの表面に凹部と凸部とを隣接して設けた凹凸でアライメントマーク51が形成されており、これらの凹凸は露光することにより形成される。アライメントマーク51の形状は、例えば縦および横の長さがそれぞれ3mm、幅が160μmの十字形状である。凸部は露光された領域であって、黒色感光性膜bxに含まれる感光性モノマーが露光により重合硬化して体積膨張を起こすことにより形成されたと考えられる。また露光された領域と露光されていない領域との境界に生じる隣接した凸部と凹部とは、以下のようにして生じると考えられる。露光領域では感光性モノマーが露光により重合硬化して液状モノマーの濃度が低くなる。すると非露光領域と露光領域との境界に液状モノマーの大きな濃度勾配が生じ、非露光領域から露光領域へ液状モノマーが拡散する。この拡散により境界近傍の非露光領域側では体積が減少して凹部が生じ、一方、露光領域側では拡散した液状モノマーによって膨潤して凸部が生じる。このようにして非露光領域と露光領域との境界の露光領域側に凸部が、非露光領域側に凹部が生じ、黒色感光性膜bxの表面に光学的に検出可能なアライメントマーク51が形成される。なお、露光直後は、黒色感光性膜bxの表面の凹凸は比較的小さく、時間の経過とともに凹凸が大きくなる傾向がある。そのため本実施の形態においては、1回目の露光の後、30min~60minの放置時間を設けている。本発明者らは、露光後60min経過後のアライメントマーク51近傍の表面の形状を表面粗さ計で測定した。その結果、図5cに示したように、露光領域と非露光領域との境界の凹部と凸部の段差の振れ幅=最大値-最小値が0.5μm~1.0μm程度であり、アライメントマークとして十分使用できることを確認した。また、上記の拡散膨潤の程度によっては凹部のみ、または凸部のみ形成される場合があるが、段差の振れ幅が上記の程度を満たしていれば、アライメントマークとして認識される。これはアライメントマークに照明が照射された際に、凹部または凸部の存在によって、反射光にコントラストが生じてカメラに撮像され、形状の検出が可能になると考えられる。なお、上記以外にも、乾燥により体積が縮小して非露光領域と露光領域との境界に段差が生じるという要因も考えられる。実際、露光の後にガラス基板を乾燥させることにより、短時間でアライメントマークを形成することができる。第3ステップ第3ステップでは、図3dに示すように、黒色感光性膜bxを現像する前の状態でアライメントマーク51を認識して、走査電極22および維持電極23を形成するための第2の露光マスク42の位置合わせを行い、黒色感光性膜bxの2回目の露光を行う。このとき黒色感光性膜bxの表面に形成されたアライメントマーク51に光を照射し、アライメントマーク51をカメラで撮像して第2の露光マスクの位置決めを行う。第2の露光マスク42には、バス電極221、222、231、232を形成するためのパターンが形成されている。しかし第2の露光マスク42に形成されているパターンは第1の露光マスク41のパターンの幅よりもやや狭く設計されている。本実施の形態においては、第1の露光マスク41に形成されているバス電極221、222、231、232のパターンの幅よりも20程度狭いパターンが第2の露光マスク42に形成されている。このときアライメントマーク51を照射する光が拡散しすぎるとアライメントマーク51を精度よく撮像できない。よって、同軸落射照明系を用いて直線状の光をアライメントマーク51に照射し、反射光の濃淡を撮像することによって、アライメントマーク51を認識することが望ましい。なお、段差の振れ幅が0.5μm未満の場合には、同軸落射照明系を用いてもアライメントマークを十分に認識できない場合がある。また、2回目の露光強度は、例えば200mJ/cm2である。このようにバス電極221、222、231、232を形成するための露光を2回繰り返すことにより、露光マスク41、42の傷やごみ付着による露光不良を、事実上ほぼ0に抑えることができる。また、このとき1回目の露光と2回目の露光との位置ずれを防ぐために、1回目の露光で形成されたアライメントマークを用いて2回目の露光マスク42の位置合わせを行う。さらに、第2の露光マスク42の電極パターンは第1の露光マスク41の電極パターンの幅よりもやや狭く設計されているため、多少の位置ずれが発生した場合であっても、形成される電極の形状が大きく損なわれることはない。第4ステップ第4ステップでは、黒色感光性膜bxを現像して走査電極22および維持電極23を形成する。具体的には、図3eに示すように、黒色感光性膜bxの現像を行って黒色層221b、222b、231b、232bの前駆体221bx、222bx、231bx、232bxおよび導電層221c、222c、231c、232cの前駆体221cx、222cx、231cx、232cxを形成する。なお、現像後、必ずしもアライメントマーク51がガラス基板21上に残存するわけではない。しかし第2の露光マスク42を用いて2回目の露光を行う際に、第2の露光マスク42の位置決め用の孔を通してアライメントマーク51も露光されるため、通常はアライメントマーク51がガラス基板21上に残存する。次に、図3fに示すように、これら黒色層221b、222b、231b、232bの前駆体221bx、222bx、231bx、232bxおよび導電層221c、222c、231c、232cの前駆体221cx、222cx、231cx、232cxが形成されたガラス基板21を焼成して、バス電極221、222、231、232を形成する。このときの焼成のピーク温度は550°C~600°Cが望ましく、本実施の形態においては580°Cである。またバス電極221、222、231、232の厚みは1μm~6μmが望ましく、本実施の形態においては4μmである。なお、本発明において前駆体とは、黒色感光性ペーストなどの構成部材用ペーストを塗布し、含有する有機成分は除去されるが、無機成分が溶融されていない状態まで熱処理したものを称する。第5ステップ第5ステップでは、図3gに示すように、バス電極221、222、231、232が形成されたガラス基板21上に、スクリーン印刷法、ダイコート法などにより、誘電体ペーストを塗布し、乾燥して誘電体層26の前駆体図示せずを形成する。そして誘電体層26の前駆体図示せずを焼成して、厚み20μm~50μmの誘電体層26を形成する。本実施の形態においては、誘電体層26の前駆体図示せずを約590°Cで焼成して、厚みが約40μmの誘電体層26を形成した。次に、図3hに示すように誘電体層26の上に、酸化マグネシウムを主成分とする保護層27を、真空蒸着法などの公知技術により形成した。このようにして前面板20が完成する。なお、本実施の形態では電極層が黒色層および導電層の二層構造の形態について述べたが、これに限らず、電極層が単層の形態においても成立する。電極層を単層とする場合は、電極ペースト塗布後の乾燥工程を複数回行うことが望ましい。そしてこの複数回の乾燥工程を、第1乾燥ステップ、第2乾燥ステップとした場合、第2乾燥ステップの温度を、第1乾燥ステップの温度よりも高くした方がさらに望ましい。これは以下の理由に基づく。まず、第1乾燥ステップで乾燥を行い、第1の露光マスク41を用いて上記の同様の現象に基づいてアライメントマーク51を形成する。ここでは第1乾燥ステップの温度を90°C~120°Cとし、電極ペーストが露光により形状変化を起すことの出来る状態とする。そして第2乾燥ステップでは、第1乾燥ステップよりも高温度である、120°C~150°C程度で乾燥することによって、電極ペーストの体積を縮小させ、非露光領域と露光領域の境界に生じた段差をより強調する現象を生じさせる。これによりアライメントマークの認識を上げることが出来る。この現象は後述する図14-図16に示す関係に基づいている。次に背面板30の製造方法について説明する。図6は、本発明の実施の形態1におけるPDP10の背面板30の製造方法を説明するための図である。まず、図6aに示すように、背面側のガラス基板31をアルカリ洗浄する。次に、図6bに示すように、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法などを用いて、ガラス基板31上に、銀を主成分とする導電性感光性ペーストを一定間隔でストライプ状に形成し、データ電極32の前駆体図示せずを形成する。次に、データ電極32の前駆体図示せずが形成されたガラス基板31を焼成して、データ電極32を形成する。データ電極32の厚みは、例えば2μm~10μmであり、本実施の形態では3μmである。続いて、図6cに示すように、データ電極32を形成したガラス基板31上に誘電体ペーストを塗布し、この後焼成して誘電体層33を形成する。誘電体層33の厚みは、例えば約5μm~15μmであり、本実施の形態では10μmである。続いて、図6dに示すように、誘電体層33を形成したガラス基板31上に感光性の誘電体ペーストを塗布した後、焼成して隔壁34の前駆体図示せずを形成する。その後、露光マスクを用いて感光し、現像して隔壁34を形成する。こうして形成された隔壁34の高さは、例えば100μm~150μmであり、本実施の形態では120μmである。そして、図6eに示すように、隔壁34の壁面および誘電体層33の表面に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体のいずれかを含む蛍光体インクを塗布する。その後乾燥、焼成して蛍光体層35を形成する。赤色蛍光体としては、例えばY、GdBO3:Eu、Y、VPO4:Euなどを、緑色蛍光体としては、例えばZn2SiO4:Mn、Y、GdBO3:Tb、Y、GdAl3BO34:Tbなどを、青色蛍光体としては、例えばBaMgAl10O17:Eu、Sr3MgSi2O8:Euなどをそれぞれ用いることができる。このようにして背面板30が完成する。そして前面板20と背面板30とを、表示電極対24とデータ電極32とが立体交差するように対向配置し、放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で低融点ガラスを用いて封着する。その後、内部の放電空間にキセノンを含む放電ガスを封入して、PDP10が完成する。このように本実施の形態においては、ガラス基板21上に、黒色感光性膜bxを形成する第1ステップと、黒色感光性膜bxを露光することにより、アライメントマーク51を形成する第2ステップと、黒色感光性膜bxを現像する前の状態でアライメントマーク51を認識することにより、ガラス基板21の位置を検出する第3ステップとを有している。この方法により、製造ラインを改造することなく、また工数も大きく増加させることなく、高い精度および良好な視認性を有するアライメントマークを簡単に形成し、さらに低コストで生産性よくPDPを製造することができる。また、表示電極対24を形成する際に用いる第1の露光マスク41のパターンを変更するだけで、1回目の露光と同時にアライメントマーク51を形成することができる。そのため、新たな露光マスクを必要とせず、より低コストでPDPを製造することができる。実施の形態2実施の形態2におけるPDPの構造は、図1、図2aおよび図2bに示した構造と同じである。また、使用する各種ペーストも実施の形態1と同様である。実施の形態2が実施の形態1と異なるところは、黒色感光性ペーストをガラス基板21に塗布し乾燥した後に、アライメントマークを形成するための露光を行い、その後、導電性感光性ペーストを塗布する点である。図7は、本発明の実施の形態2におけるPDP10の前面板20の製造方法を説明するための図である。前面板20の製造工程を以下の5つのステップに分けて、それぞれについて詳細に説明する。第1ステップ第1ステップでは、前面側のガラス基板21上に黒色感光性ペーストを塗布し乾燥して第1の感光性膜としての黒色感光性膜bxを形成する。まず、ガラス基板21をアルカリ洗浄する。次に、図7aに示すように、ガラス基板21上に黒色感光性膜bxを形成する。黒色感光性膜bxは、スクリーン印刷法などの公知の技術を用いて、ガラス基板21の全面に黒色感光性ペーストを塗布し、乾燥して形成する。このとき、ガラス基板21上の表示電極対24を形成しない予定の領域であってアライメントマークを形成する領域に黒色感光性ペーストを塗布しておく。本実施の形態においては、ガラス基板21の四隅の領域が相当する。ここまでは実施の形態1と同様である。第2ステップ第2ステップでは、図7bに示すように、黒色感光性膜bxを露光して少なくとも第1のアライメントマークと第2のアライメントマークとを形成する。具体的には、アライメントマーク専用の第1の露光マスク45を用いて第1のアライメントマーク56、第2のアライメントマーク57を形成するための露光を行う。このとき、電極を形成する際に2回の露光を行うことに対応して、ガラス基板21の四隅の位置のそれぞれに対して、2つずつアライメントマーク56、57を形成する。こうして形成された第1のアライメントマーク56および第2のアライメントマーク57は、黒色感光性膜bxの上に浮かび上がった状態で出現する。このときの露光強度は、例えば300mJ/cm2である。次に、図7cに示すように、第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークを形成しない黒色感光性膜bx上の領域に第2の感光性膜としての導電性感光性膜cxを形成する。導電性感光性膜cxは、スクリーン印刷法などの公知の技術を用いて、ガラス基板21の黒色感光性膜bxの上に上述した導電性感光性ペーストを塗布し、乾燥して形成する。このとき、アライメントマークを形成した領域には導電性感光性ペーストを塗布しない。なお、上述したように、アライメントマークの露光直後は黒色感光性膜bxの表面の凹凸は比較的小さく、アライメントマークとして使用可能となるまでにある程度の時間の経過が必要である。しかしながら、実施の形態2においては、アライメントマークを形成するための露光を行った後、導電性感光性膜cxを形成する際にガラス基板21を乾燥させるため、短時間でアライメントマークが形成される。第3ステップ第3ステップでは、図7dに示すように、第1のアライメントマーク56を認識して第2の露光マスク46を位置合わせし、走査電極22および維持電極23を形成するための1回目の露光を行う。具体的には、黒色感光性膜bxの表面に形成された第1のアライメントマーク56に光を照射し、第1のアライメントマーク56をカメラで撮像して、第2の露光マスク46の位置決めを行う。このときも同軸落射照明を用いることが望ましい。第2の露光マスク46には、バス電極221、222、231、232を形成するためのパターンが形成されている。このときの露光強度は、例えば200mJ/cm2である。その後、図7eに示すように、第2のアライメントマーク57を認識して第3の露光マスク47を位置合わせし、走査電極22および維持電極23を形成するための2回目の露光を行う。具体的には、黒色感光性膜bxの表面に形成された2つ目のアライメントマーク57をカメラで読み取り、第3の露光マスク47の位置決めを行う。このときも同軸落射照明を用いることが望ましい。第3の露光マスク47には、バス電極221、222、231、232を形成するためのパターンが形成されている。しかし第3の露光マスク47に形成されているパターンは第2の露光マスク46のパターンの幅よりもやや狭く設計されている。このときの露光強度は、例えば200mJ/cm2である。第4ステップ第4ステップでは、図7fに示すように、現像処理を行うことにより、黒色層221b、222b、231b、232bの前駆体221bx、222bx、231bx、232bxおよび導電層221c、222c、231c、232cの前駆体221cx、222cx、231cx、232cxを形成する。次に、図7gに示すように、これら黒色層221b、222b、231b、232bの前駆体221bx、222bx、231bx、232bxおよび導電層221c、222c、231c、232cの前駆体221cx、222cx、231cx、232cxが形成されたガラス基板21を焼成して、バス電極221、222、231、232を形成する。第5ステップ第5ステップでは、図7hに示すように、バス電極221、222、231、232が形成されたガラス基板21上に、スクリーン印刷法、ダイコート法などの公知技術により、誘電体ペーストを塗布し、乾燥して誘電体層26の前駆体図示せずを形成する。そして誘電体層26の前駆体図示せずを焼成して、厚み20μm~50μmの誘電体層26を形成する。次に、図7iに示すように、誘電体層26の上に、酸化マグネシウムを主成分とする保護層27を真空蒸着法などの公知技術により形成した。続いて、前面板20と実施の形態1と同様にして作成した背面板30とを、表示電極対24とデータ電極32とが立体交差するように対向配置し、放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で低融点ガラスを用いて封着する。その後、内部の放電空間にキセノンを含む放電ガスを封入して、PDP10が完成する。このように実施の形態2においては、第1のアライメントマーク56、第2のアライメントマーク57を形成する工程が増えるものの、放置時間を設けることなく露光を行えるという利点がある。実施の形態2における製造方法は、隣接する表示電極対24の間にブラックストライプを設けたPDPを製造する場合に特に有益である。ブラックストライプを形成するための露光マスクにアライメントマークのパターンを設けることにより、ブラックストライプの露光と同時にアライメントマークを形成できるので、工数を増やすことなくPDPを製造することができる。なお、本発明の実施の形態1または2においては、図2aおよび図2bに示したように、走査電極22はバス電極221とバス電極222とから構成されている。また、維持電極23もバス電極231とバス電極232とから構成されている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。図8は、本発明の実施の形態1または2において製造されるPDPの表示電極対の他の形状の詳細を示す図である。走査電極62は、梯子形状の長い縦木の一方に相当し放電ギャップMGを規定するバス電極621と、梯子形状の長い縦木の他方に相当し走査電極62の導電性を高めるためのバス電極622と、梯子形状の横木に相当しバス電極621とバス電極622との間の抵抗を下げるためのバス電極623とを有する。維持電極63も同様に、梯子形状の長い縦木の一方に相当し放電ギャップMGを規定するバス電極631と、梯子形状の長い縦木の他方に相当し維持電極63の導電性を高めるためのバス電極632と、梯子形状の横木に相当し、バス電極631とバス電極632との間の抵抗を下げるためのバス電極633とを有する。走査電極62および維持電極63をこのような形状に構成することで、バス電極621とバス電極622との間の抵抗、およびバス電極631とバス電極632との間の抵抗を下げることができ、より安定した放電を発生させることができる。なお、図8には、放電セルのそれぞれに対してバス電極623、633を1つずつ設けた例を示した。しかしバス電極623、633は、例えば3つの放電セルに対して1つ設けるなど、必要に応じて適宜設ければよい。図9は、本発明の実施の形態1または2における他の形状のアライメントマーク81の詳細を示す図である。図9aは、アライメントマーク81をカメラで撮像した画像の模式図である。図9bは、第1の露光マスク71とガラス基板21のアライメントマーク81との関係を示す図である。図9cは、図9aのA-A線に沿った表面の形状を表面粗さ計で測定した結果を示す図である。アライメントマーク81の特徴は、十字形状の輪郭を未露光部とした点である。図9bに示すように、十字形状の輪郭を未露光部とした第1の露光マスク71を用いて露光すると、図9cに示すように、十字形状の輪郭が深い凹部となる。そのため、アライメントマーク81をカメラで撮像したとき、鮮明なアライメントマーク81の画像を得ることができる。特に、同軸落射照明を用いて直線状の光をアライメントマーク81に照射したときには、アライメントマーク81の側壁などの傾斜部では、照明光が正反射されない。したがって、反射光の濃淡が鮮明になり、アライメントマーク81が認識されやすくなる。また、本発明の実施の形態1および2においては、PDP1枚分の大きさのガラス基板を用いて、PDP1枚毎に前面板20および背面板30を製造するPDPの製造方法を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、PDP4枚分またはPDP6枚分など、PDP複数枚分の大きさのガラス基板を用いて、一度に複数枚の前面板20および背面板30を製造する、いわゆる多面取りによるPDPの製造方法についても適用することができる。アライメントマークの形状についてここからは本発明の実施の形態におけるアライメントマークの形状について説明する。上述したように、本発明の実施の形態では、図5、図9に示す形状のアライメントマークを採用している。この他にも以下に示す形状においてもアライメントマークの認識率が高くなる。その理由について説明する。図10、図11は従来技術におけるアライメントマークの形状およびそこから算出される曲線を示す。このようにアライメントマークは一般的に十字形状をしており、その十字形状の中心位置のx、y座標を認識する必要がある。その中心位置の認識方法は次のようになる。図10のアライメントマーク101において白色部が露光部、黒色部が非露光部であった場合、図5、図9にて説明したように、凹凸が形成される。このときの凹凸の形状は、図5の状態と同様になる。そしてアライメントマーク101に、同軸落射照明を用いて直線状の光を投射し、反射光を得る。このときアライメントマーク101は凹凸形状を有しているため、入射光が反射光となり十分に光量が得られる箇所と、入射光が散乱光となり反射光としての光量が得られない箇所とが存在した、光量分布が得られる。例えば、この光量分布から図中x軸の中心位置座標を得るためには、その光量分布の各画素の階調を微分し、さらにその値をy方向に積分することによって、x軸方向の階調差曲線微分曲線を算出し、このピーク位置から十字形状の中心位置x座標を得る。図10bはその階調差曲線を示す。このように最大ピーク位置2点の中点を、アライメントマーク101の中心位置のx座標と認識するわけである。しかしながら、図10aで示すアライメントマークの場合、階調差曲線のピーク位置が4点算出される可能性があり、本来の中心位置x座標からずれた位置を認識する可能性がある。また、図11のアライメントマーク201においても、図11bに示すような階調差曲線が得られ、ここから中心位置を認識する。ここでは、ピーク位置の数は2点であるが、露光部の凸形状に位置する部位がさらに凹凸を有しているため、2点のピーク位置を分離することができず、同様にマークの認識ができない。そこで、本発明の実施の形態では、基板上に感光性膜によって形成した表示電極を有するフラットパネルディスプレイであって、表示電極は黒色層および導電層とを有し、基板上には感光性膜と同じ組成からなるアライメントマークを有し、感光性膜を露光する露光部と非露光部との境界は、基板面内任意の直交座標系二軸のいずれか一方の軸と平行な第1の直線および、第1の直線と平行であって、他方の軸の座標が異なる位置の第2の直線および、曲線または第1の直線および第2の直線よりも短い直線によって構成されている。具体的には本発明の実施の形態におけるアライメントマークの形状は、例えば図12に示す形状となる。図12a~eでは白色部が露光部であり、黒色部が非露光部になる。ガラス基板面内の直交座標二軸として、同図中x軸方向とy軸方向を考える。そして同図において、アライメントマークの露光部非露光部の境界には、y軸方向の直線である直線Aと、直線Aとは平行であってx軸座標が異なる位置に直線Bとが設けられている。さらにそれ以外の露光部非露光部の境界は、曲線、または直線Aおよび直線Bよりも短い直線で構成されている。これは、露光部非露光部の境界部の形状を変化させることによって、x方向の微分値をy方向に積分する際に、打ち消しあうことになり、微分曲線の強度が弱くなる。このため、露光部非露光部の境界を明確に認識することができ、x方向の中心位置をずれることなく認識することができる。図13a~eは、図12a~eで示した本発明の実施の形態におけるアライメントマークの形状に対するそれぞれの微分曲線を示している。直線A、直線Bが存在する境界部において、微分曲線にピークが生じる。これらのピーク位置の中点は、アライメントマークの中心のx座標となる。これらのピーク強度に相当するピークは算出されず、またお互いのピーク位置の分離も容易となるため、当該x座標の認識も容易になる。乾燥温度についてここから上記実施の形態1および実施の形態2における第1ステップにて行った黒色感光性ペーストを塗布した後の乾燥工程の最適条件について説明する。発明者らが検討した結果、この乾燥条件とアライメントマークの認識率とに相関関係があることが判明した。乾燥工程は、上記のように、スクリーン印刷法などの公知の技術を用いてガラス基板21の全面に黒色感光性ペーストを塗布、乾燥して、黒色感光性膜bxを形成する。このとき、ガラス基板21上の表示電極対24を形成しない予定の領域であってアライメントマークを形成する領域に黒色感光性ペーストを塗布しておく。そして、後の露光工程によってアライメントマークの凹凸が形成される。ここでアライメントマークの認識度合いの指標として、上記微分曲線の波形強度比率を用いた。波形強度比率とは、黒色感光性ペースト塗布後の各乾燥温度条件での微分曲線の最大ピーク値を比較したもので、乾燥温度120°Cを1としてその比率にて示した。なお、ここで言う乾燥温度とは、乾燥工程での温度キープ時におけるガラス基板上の温度であって、ここではアライメントマーク形成領域での温度を指している。図14は、黒色感光性ペーストの乾燥温度と波形強度比率との関係を示している。このように、乾燥温度が100°C~110°C付近に極大値を有した変化を示す。つまり、アライメントマークの認識率を高めるためには、黒色感光性ペーストの乾燥を100°C~110°C付近で行うことが有効であることが判明した。また、このようにアライメントマークの認識率が変化する原因を解明するため、乾燥工程中における黒色感光性ペーストの有機材料の残存量の変化を調べた。図15は黒色感光性ペーストの温度とその時のペーストの重量減少率の変化を示す図である。上記と同条件にて、ガラス基板上に黒色感光性ペーストを塗布し、各乾燥条件にて乾燥工程を行った。それらに対し、熱重量分析および示差熱分析法TG-DTAによる測定を行った。そして、常温で放置した試料に対してどのように質量が減少しているかを測定し、乾燥条件120°Cを1としてその比率を算出した。この結果、乾燥温度120°Cの試料の方が塗布膜の質量減少量が大きくなることが予想されたが、これに反し、乾燥温度が100°C~110°C付近にて極大値を有した変化を示した。これは上記の波形強度比率の変化と同様であることがわかる。すなわち、アライメントマークの認識率を高くするためには、黒色感光性ペースト塗布膜の乾燥工程にて、有機材料の減少量を大きくすることが必要であるといえる。さらに、当該有機材料量を減少させるためには、乾燥温度を高温にすることが必ずしも求められるものではないといえる。図16は、図14および図15で使用した黒色感光性ペーストに関して、乾燥温度とパネル中央部および端部の光沢度の関係を示す図である。塗布膜の乾燥状況を判断する指標として、本発明の実施形態では膜の光沢度を用いている。ここで図16aは従来技術であり、図16bは本発明の実施形態の条件での結果を示す。光沢度の測定は、日本電色工業株式会社製の光沢計PG-1Mを用いて行っており、黒色感光性ペーストを塗布し、それぞれの温度条件で乾燥した後の膜に対して測定している。光沢度は、被測定膜の表面において、光源からの光が入射する角と、検出器側への反射角度を決め、その割合を数値化したものを測定結果としている。同図では入反射角を60°とした結果を記載している。図16aでは、パネル中央部と端部とで、同じ乾燥温度でも光沢度に差が生じている。つまり、乾燥温度により飛散してしまう感光性モノマーを使用すると、面内に乾燥の度合いが異なる領域が混在してしまう。一方、図16bでは、パネル中央部と端部とでの光沢度の差が小さい。つまり、乾燥温度によって飛散しにくい感光性モノマーを使用することによって、面内の乾燥度合いにばらつきが小さくなることがわかる。このように、乾燥ばらつきが小さくなることから、アライメントマークがどこに存在しても、場所による感度ばらつきを低減できることがわかる。これらの知見に基づき、本発明の実施形態では、基板上に感光性ペーストを塗布するステップと、この塗布した膜を乾燥して感光性膜とするステップと、感光性膜を露光することによりアライメントマークを形成するステップと、感光性膜を現像する前の状態でアライメントマークを認識することにより、基板の位置を検出するステップと、を有し、乾燥するステップでは、100°C~110°Cの範囲で乾燥させることを特徴とした。これにより、黒色感光性ペースト塗布膜中の有機材料を十分に減少させることができ、アライメントマークの認識率を高めることが可能となる。なお、実施の形態において用いた具体的な各数値は、単に一例を挙げたに過ぎず、PDPの仕様などに合わせて、適宜最適な値に設定することが望ましい。