"一方端に振動子が接続され、該振動子の反対側の他方端側に加工工具が取り付けられた共振器を備え、前記共振器の振動方向と同一方向の振動を加工工具に印加して対象物を加工する振動加工装置において、前記共振器の他方端側に設けられ、前記加工工具を着脱自在に吸着保持する吸着保持手段を備えることを特徴とする振動加工装置。前記加工工具は、平板状の取付台座の一方面に切断刃が設けられて成り、前記吸着保持手段は、前記共振器の他方端の端面に設けられて前記取付台座の他方面を吸着することを特徴とする請求項1に記載の振動加工装置。複数の前記取付台座がシート状部材に設けられており、前記シート状部材に設けられた前記取付台座のうちのいずれか一つが前記吸着保持手段により吸着されることを特徴とする請求項2に記載の振動加工装置。前記共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面L字状段部を備え、前記吸着保持手段は、前記共振器の振動方向と平行な前記段部の取付面に設けられて、平板状の切断刃により構成される前記加工工具を前記取付面に吸着保持することを特徴とする請求項1に記載の振動加工装置。前記対象物が載置される載置面が設けられた緩衝層を有するステージをさらに備え、前記緩衝層は前記切断刃による切込みが可能な材質により形成されていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれかに記載の振動加工装置。前記共振器の他方端の端面に、前記対象物を加工する際に該対象物を押圧する弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の振動加工装置。前記吸着保持手段は、真空吸着力により前記加工工具を吸着保持することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の振動加工装置。前記吸着保持手段は、磁力により前記加工工具を吸着保持することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の振動加工装置。前記吸着保持手段は、静電吸着力により前記加工工具を吸着保持することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の振動加工装置。ところで、従来、切断刃などの加工工具は、ろう材やはんだで接着されることにより共振器に一体的に取り付けられている。この場合、磨耗などにより破損した加工工具を交換するのに、ろう材やはんだなどの接着剤を取り除かなければならず、加工工具の交換に手間がかかるため技術の改善が求められていた。この発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、共振器に取り付けられる加工工具を簡単に交換することができる技術を提供することを目的とする。上記した課題を解決するために、本発明にかかる振動加工装置は、一方端に振動子が接続され、該振動子の反対側の他方端側に加工工具が取り付けられた共振器を備え、前記共振器の振動方向と同一方向の振動を加工工具に印加して対象物を加工する振動加工装置において、前記共振器の他方端側に設けられ、前記加工工具を着脱自在に吸着保持する吸着保持手段を備えることを特徴としている請求項1。また、前記加工工具は、平板状の取付台座の一方面に切断刃が設けられて成り、前記吸着保持手段は、前記共振器の他方端の端面に設けられて前記取付台座の他方面を吸着するようにしてもよい請求項2。また、複数の前記取付台座がシート状部材に設けられており、前記シート状部材に設けられた前記取付台座のうちのいずれか一つが前記吸着保持手段により吸着されるようにしてもよい請求項3。また、前記共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面L字状段部を備え、前記吸着保持手段は、前記共振器の振動方向と平行な前記段部の取付面に設けられて、平板状の切断刃により構成される前記加工工具を前記取付面に吸着保持するようにしてもよい請求項4。また、前記対象物が載置される載置面が設けられた緩衝層を有するステージをさらに備え、前記緩衝層は前記切断刃による切込みが可能な材質により形成されていてもよい請求項5。また、前記共振器の他方端の端面に、前記対象物を加工する際に該対象物を押圧する弾性部材が設けられていてもよい請求項6。また、前記吸着保持手段は、真空吸着力により前記加工工具を吸着保持してもよい請求項7。また、前記吸着保持手段は、磁力により前記加工工具を吸着保持してもよい請求項8。また、前記吸着保持手段は、静電吸着力により前記加工工具を吸着保持してもよい請求項9。請求項1の発明によれば、一方端に振動子が接続され、該振動子の反対側の他方端側に加工工具が取り付けられた共振器により、該共振器の振動方向と同一方向の振動が加工工具に印加されて対象物が加工されるが、加工工具は、共振器の他方端側に設けられた吸着保持手段により着脱自在に共振器に取り付けられる。したがって、加工工具が磨耗などにより破損した場合には、加工工具は吸着保持手段による吸着により共振器に取り付けられているだけであるため、破損した加工工具を簡単に共振器から取外すことができるので、共振器に取り付けられる加工工具を簡単に交換することができる。請求項2の発明によれば、平板状の取付台座の一方面に切断刃が設けられて成る加工工具を、共振器の他方端の端面に設けられた吸着保持手段により取付台座の他方面を吸着することで、容易に共振器に取り付けることができる。請求項3の発明によれば、シート状部材に設けられた複数の取付台座のうちのいずれか一つを共振器の他方端に吸着保持手段により吸着することにより、共振器に容易に切断刃を取り付けることができる。また、共振器に吸着された取付台座の切断刃が磨耗などにより損傷した場合に、切断刃が設けられた他の取付台座を共振器の他方端に吸着保持手段により吸着することで、共振器に取り付けられる切断刃を容易に交換することができる。請求項4の発明によれば、共振器の他方端の端面の一部を切除して形成された断面L字状段部の、共振器の振動方向と平行な前記段部の取付面に、平板状の切断刃により構成される加工工具を吸着保持手段により吸着保持することで、容易に加工工具を共振器に取り付けることができる。請求項5の発明によれば、緩衝層は切断刃による切込みが可能な材質により形成されているため、対象物を切断する際に切断刃の刃先が載置面に達したとしても切断刃が破損するのを防止することができる。また、対象物が切断された際に対象物が載置される緩衝層の載置面に切断刃による切込が形成されたときには、形成された切込は切断刃を逃がすための逃がし溝として機能し、しかも、切断刃により形成された切込の厚みは切断刃の厚みとほぼ同じ厚みであるため、切断の際に切断刃により押圧された対象物の切断端が切込に嵌り込むことを防止することができ、対象物が切断されることによる切断片を高精度に成形することができる。また、切断の際に、載置面に形成された切込の位置と切断刃の刃先の位置とに位置ずれが生じた場合であっても、緩衝層は切断刃による切込みが可能な材質により形成されているため、切断刃が破損することを防止することができる。請求項6の発明によれば、対象物を加工する際に、共振器の他方端の端面に設けられた弾性部材により対象物が押圧されるため、対象物が位置ずれするのを防止することができる。請求項7~9の発明によれば、吸着保持手段は、真空吸着力、磁力または静電吸着力により加工工具を確実に吸着保持することができる。<第1実施形態>この発明の振動加工装置にかかる振動切断装置の第1実施形態について図1~図3を参照して説明する。図1は本発明の第1実施形態にかかる振動切断装置を示す図である。図2は共振器を構成するホーンの拡大図であって、aは下面図、bはホーンを天地反転した状態の正面から見た断面図、cはホーンを天地反転した状態の側断面図である。図3は図1の振動切断装置の動作の一例を示す図である。装置構成図1に示す振動切断装置1は、平板状の取付台座126uの一方面に輪郭状の切断刃331が設けられて成る加工工具に、共振器の振動方向と同一方向の振動を印加してステージ3の載置面31に載置された切断の対象物を切断加工するものであって、共振器21が設けられたヘッド部2と、載置面31に切断の対象物が載置されるステージ3と、支持手段24に支持された共振器21を上下方向に駆動する駆動機構4と、ステージ3の載置面31に載置された対象物と共振器21に取り付けられた切断刃331の刃先331aとの相対位置を認識する位置認識手段5と、振動切断装置1の各部の制御を行う制御装置6とを備えている。ヘッド部2は、図1および図2に示すように、振動子22が一方端に接続され、振動子22の反対側の他方端に切断刃331が設けられた取付台座126uが取り付けられた共振器21と、共振器21を支持する支持手段24とを備えている。そして、制御装置6に制御されることによる振動子22の超音波振動に共振する共振器21から、共振器21の中心軸の方向に振動する超音波振動が切断刃331に印加される。ヘッド部2の構成および動作については後で詳細に説明する。ステージ3は、セラミックグリーンシートの積層体、半導体ウエハ、回路基板、合成樹脂による積層基板、金属板、シリコン、フェライト、石英、ガラス、セラミック、樹脂板、単層の金属薄膜、金属薄膜の積層体などの切断の対象物が載置される載置面31と、載置面31の傾きを調整する倣い機構32とを備えている。また、ステージ3は、X-Y方向への平行移動およびθ方向への回転移動が可能な移動軸を備え、制御装置6により制御されることにより、共振器21に取り付けられた切断刃331の刃先331aと、載置面31に載置された対象物との相対的な位置調整を行うことができるように構成されている。また、載置面31には、切断の対象物を保持するための保持機構図示省略が設けられている。保持機構の構成としては、真空吸着機構や静電吸着機構、機械式のチャック機能など、切断加工の対象物を載置面31に保持することができる構成であればどのようなものであってもよい。また、保持機構を設けずに、載置面31に対象物を載置するだけでもよい。また、この実施形態では、倣い機構32は、ステージ3の載置面31に倣いの対象物が当接されることによる生じるモーメントにより載置面31の傾きを倣いの対象物の傾きに倣わせるものであって、載置面31が所定の傾きとなった状態で、制御装置6による制御に基づいて当該載置面31の傾きを維持することができるように構成されている。すなわち、例えば共振器21に取り付けられた切断刃331の刃先331aが載置面31に当接することにより載置面31の傾きが刃先331aの傾きに倣った状態で、倣い機構32は、制御装置6による制御に基づいて載置面31の傾きを刃先331aの傾きに一致させた状態に維持することができる。なお、倣い機構32の構成としては、所謂、載置面31の傾きを所定の傾きに維持することができる一般的な倣い機構であれば、上記した構成に限られず、どのような構成の倣い機構であってもよいが、例えば、圧力検出手段としても機能するピエゾ素子によりピエゾアクチュエータを形成し、載置面31下方の少なくとも3箇所に配設されたピエゾアクチュエータそれぞれにより検出される圧力が一致するように、制御装置6によりピエゾアクチュエータを駆動することで載置面31の傾きを調整することができる倣い機構のように、アクチュエータによる載置面31の傾き調整を行うことができる倣い機構であってもよい。駆動機構4は、共振器21に取り付けられた切断刃331の刃先331aがステージ3の載置面31と対向するように支持手段24に支持された共振器21を、ステージ3に近接またはステージ3から離間させるものであって、駆動モータ41とボールねじ42とを備えている。そして、架台11に立設された支柱12にガイド43aが結合されており、駆動機構4は、フレーム44を介して支柱12およびガイド43aに連結されている。そして、制御装置6に制御されて駆動モータ41が回転することにより、ガイド43aと支持手段24に設けられたガイド43bとが摺接しつつ、ボールねじ42に螺合された支持手段24が上下動し、これにより、支持手段24に支持された共振器21がステージ3に近接またはステージ3から離間する。また、駆動機構4は、制御装置6による制御に基づいて駆動モータ41の駆動トルクを調整することにより、所定の加圧力で支持手段24に支持された共振器21をステージ3に近接させることができるように構成されている。また、支柱12にはリニアエンコーダ45が設けられており、これによりヘッド部2の高さが検出されて、リニアエンコーダ45の検出信号に基づいて制御装置6により駆動モータ41を制御することにより、ヘッド部2の高さを調整することができる。位置認識手段5は、2視野光学系レンズ51と、CCDやCMOSなどの撮像手段により形成されるカメラ52と、2視野光学系レンズ51を水平方向および上下方向に移動する駆動部図示省略とを備えている。そして、位置認識手段5は、2視野光学系レンズ51が、対向配置された載置面31上の対象物と切断刃331の刃先331aとの間に駆動部により挿入されることにより、対象物に設けられた位置認識用のアライメントマークと刃先331aとを認識する。なお、位置認識手段5の構成としてはこれに限られず、対向配置された載置面31上の対象物と刃先331aとの相対位置を認識することができれば、どのように位置認識手段5を構成してもよい。制御装置6は、振動切断装置1全体の制御を行うための操作パネル図示省略を備えており、振動子22へ印加される電圧値または電流値により算出される超音波エネルギーの大きさ、ステージ3が備える倣い機構3の自由可動状態および不可動状態の切換え、リニアエンコーダ45の検出信号に基づく駆動モータ41の制御、駆動モータ41の駆動トルクの制御、位置認識手段5の移動制御、位置認識手段5の検出信号に基づくステージ3の水平方向および回転方向における移動制御などの制御を行って、ヘッド部2の図1中の矢印Z方向の高さを調節したり、切断刃331の刃先331aと載置面31上の対象物との相対位置を調整する。ヘッド部2の構成次に、ヘッド部2が備える共振器21および支持手段24について説明する。共振器21は、図1および図2に示すように、ブースタ25とホーン26とを備え、ブースタ25の他方端とホーン26の一方端とが、互いの中心軸が同軸になるように無頭ねじにより連結されている。ブースタ25は、ブースタ25のほぼ中央の位置と、両端位置とが最大振幅点となるように、共振周波数の一波長の長さに形成されている。このとき、最大振幅点から1/4波長離れた、両端位置および中央位置の2つの中間点が、それぞれ第1および第2最小振幅点に相当する。また、ブースタ25は、軸方向から見た断面が円形である円柱状に形成されている。また、第1最小振幅点および第2最小振幅点におけるブースタ25の外周面に、それぞれ凹状の溝が周方向に形成されることによりブースタ25共振器21が把持されるため被把持部図示省略が形成されている。そして、ブースタ25の一方端に、ブースタ25の中心軸と同軸になるように振動子22が無頭ねじにより接続されている。ホーン26は、ホーン26の両端位置が最大振幅点となるように、共振周波数の半波長の長さに形成されている。このとき、ホーン26のほぼ中央の位置が第3最小振幅点に相当する。また、図2a~cに示すように、ホーン26は、直方体形状に形成され、ホーン26の他方端の端面に取付溝126mが形成されている。また、ホーン26には、一方面に切断刃331が設けられた平板状の取付台座126uの他方面を着脱自在に吸着保持する真空吸着機構410本発明の吸着保持手段に相当が設けられており、取付台座126uは、取付溝126mに埋没した状態で真空吸着機構410により吸着保持されてホーン26の他方端側に取り付けられている。具体的には、真空吸着機構410は、ホーン26の取付溝126mの底面に設けられた吸着孔412と、ホーン26の側面に設けられた吸引孔412と、吸着孔411および吸引孔412を連通してホーン26に形成された吸引穴413と、吸引孔412から吸引を行う吸引手段図示省略とを備えている。そして、図示省略された吸引手段により吸引孔412から吸引を行うことで、切断刃331が設けられた取付台座126uの他方面が、ホーン26の取付溝126mに吸着保持さる。なお、ホーン26の他方端の端面に取付溝126mを設けずに、当該ホーン26の他方端の端面に直接取付台座126uを吸着してもよい。また、取付台座126uの一方面に設けられた切断刃331は、その刃先331aが所定の輪郭形状を有するように形成されている。したがって、切断刃331で、例えばシート状の切断対象物を切断することで、当該シート状の切断の対象物を所定の輪郭形状に切り抜くことができる。また、ホーン26の側面には、振動子22の振動方向であるブースタ25およびホーン26の中心軸方向にほぼ平行に2つの長孔26bが透設されている。このように構成された共振器21において、振動子22が制御装置6に制御されて超音波振動を発生し、これにより共振器21がその中心軸方向に振動する。このとき、この実施形態では、ホーン26には振動方向とほぼ平行に2つの長孔26bが透設されているため、ホーン26の長孔26bを挟んだ各部位における振動の位相および振幅が調整される。したがって、振動の振幅がホーン26の他方端の幅方向に渡ってほぼ同じ大きさとなり、幅方向に渡って振幅の大きさが調整された振動が切断刃331に印加される。なお、切断刃331は、高炭素鋼、炭素工具鋼、合金工具鋼、高速度鋼、焼結高速度鋼、超硬合金、セラミックス、サーメット、工業用ダイヤモンドなどの種々の材質により形成することができ、切断対象の種類や、要求される切断片の大きさに応じて刃厚は数μm~約200μmとなるように形成される。また、切断刃331の刃先331aを、化学気相成長CVDや物理気相成長PVDにより、窒化チタン、炭窒化チタン、チタンアルミナイトライド、アルミクロムナイトライドなどの硬質物質によりコーティングしてもよい。支持手段24は、図1に示すように、基部27とクランプ手段28とを備え、クランプ手段28でブースタ25の図示省略された被把持部を把持することにより共振器21を支持する。また、基部27には、駆動機構4のボールねじ42に螺合するねじ穴図示省略が形成されている。また、クランプ手段28は、ブースタ25に形成された2つの被把持部を把持できるように、基部27の2ヶ所に設けられており、それぞれ、基部27に支持された第1部材と、第1部材に結合される第2部材とを備えている。また、第1部材および第2部材が対向する部分には、被把持部の断面形状に合わせた凹部がそれぞれ設けられている。そして、第1部材および第2部材の凹部でブースタ25の被把持部を狭持するように、被把持部を形成する凹状の溝に、基部27に支持されたクランプ手段28の第1部材と第2部材とが嵌挿され、ボルト28cで第1部材および第2部材が固定されることにより、被把持部がクランプ手段28により把持される。以上のように、共振器21は、共振器21の中心軸の方向が基部27に形成されたねじ穴とほぼ同じ方向、すなわち、共振器21の中心軸の方向と駆動機構4による共振器21の移動方向図1中の矢印Z方向とがほぼ同方向となり、切断刃331の刃先331aがステージ3と対向するように支持手段24により支持される。そして、駆動機構4により基部27が下動されることで共振器21が一体的にステージ3に近接し、これにより、駆動機構4による加圧力が切断刃331の刃先331aからステージ3の載置面31に載置された切断の対象物に加えられて、当該対象物が切断刃331により切断される。なお、クランプ手段28は、純Ti、Ti合金、ジュラルミン、双晶型制振合金の一種であるMn-Cu合金、Mn-Cu合金にNi、Fe等をさらに添加したMn-Cu-Ni-Fe合金、片状黒鉛鋳鉄、フェライト系ステンレスなど、対数減衰率が0.01より大きく1より小さい材質、望ましくは対数減衰率0.1以上の材質により形成するとよい。一方、Al合金であるジュラルミン、Ti合金など、対数減衰率が0.01以下であっても、音速が5900m/sより大きい材質、望ましくは音速が6000m/s以上の材質であれば、クランプ手段28を形成することができる。切断動作次に、ステージ3の載置面31に載置された切断の対象物を切断する動作の一例について図3を参照して説明する。まず、制御装置6により、倣い機構32が自由可動状態にされて、駆動機構4が駆動されることにより待機位置の共振器21がステージに近接移動され、切断刃331の刃先331aと載置面31とが当接される。そして、刃先331aが載置面に31に当接することにより発生したモーメントにより倣い機構32が可動し、載置面31の傾きが刃先331aの傾きに倣うことにより刃先331aの傾きと載置面31の傾きとが一致すれば、倣い機構32が不可動状態に制御されて載置面31の傾きが固定されるステップS1。そして、駆動機構4が駆動されて共振器21が上方の待機位置まで移動される。次に、ステージ3の載置面31にグリーンシートの積層体などの切断の対象物ワークが載置されステップS2、刃先331aとステージ3との間に位置認識手段5が挿入されることにより、刃先331aと載置面31上の対象物との相対位置が認識されて、認識された相対位置に基づいてステージ3が駆動されることにより刃先331aと載置面31上の対象物とがアライメントされるステップS3。そして、駆動機構4により共振器21の下方への移動が開始されステップS4、振動子22に対して駆動信号が印加されることにより共振器21の振動が開始されるステップS5。このとき、駆動機構4の駆動モータ41の駆動トルクが制御されて、切断刃331による載置面31上の対象物への加圧力が所定値で一定となるように駆動機構4により共振器21がステージ3に近接移動されるステップS6。そして、対象物の切断が完了すれば共振器21が上方の待機位置に移動されて、ステージ3が駆動されて対象物の位置が次の切断位置に移動されるステップS7。このとき、対象物に設定された全ての切断位置の切断が完了するまでステップS3~ステップS7までの動作が繰返し実行されステップS8でNO、対象物の全ての切断位置の切断が完了すれば処理を終了するステップS8でYES。なお、切断刃331による載置面31上の対象物への加圧力の大きさは、例えば、対象物の試験切断を行って対象物切断の際に生じる刃曲がりの大きさを測定することにより、切断の際に生じる刃曲がりの大きさが要求される切断精度における許容範囲内に収まるように加圧力を設定すればよい。以上のように、上記した実施形態によれば、切断刃331が設けられた取付台座126uをホーン26の他方端面に形成された取付溝126mに真空吸着機構410により吸着保持することにより、ホーン26に容易に切断刃331を取り付けることができる。また、ホーン26に吸着保持された取付台座126uに設けられた切断刃331が磨耗などにより劣化した場合に、真空吸着機構410による吸引を停止して劣化した切断刃331をホーン26から取り外した後、新しい切断刃331が設けられた取付台座126uを取付溝126mに吸着することにより、簡単に切断刃331を交換することができる。また、ホーン26のの長孔26bを挟んだ各部位の振動の位相を逆にすることができると共に、各部位の振動の振幅を適切に調整することができる。また、切断刃331の刃先331aとステージ3の載置面31との傾きがほぼ一致した状態で対象物を切断刃331により切断することができ、対象物が切断される際の切断刃331の対象物への切込量が刃先331aの幅方向に渡ってほぼ一致した状態となるため、対象物を切断する際の切断刃331の対象物への押し込み量を対象物を切断するのに必要な最小の量とすることができ、切断刃331が磨耗するのを抑制することができる。また、切断刃331による対象物への加圧力が、要求される切断精度における許容範囲内に切断刃331の刃曲がりの大きさが収まる所定値で一定となるように、駆動機構4により共振器21をステージ3に近接させることで、切断刃331の対象物への押し込み速度は加圧力が制御されることにより自動的に変動するため、切断刃331の刃曲がりの大きさが前記許容範囲内に収まる最も速い速度で切断刃331が対象物に押し込まれることとなり、切断刃331の刃曲がりが前記許容範囲内に収まる状態での対象物の切断加工における作業効率の向上を図ることができる。<第2実施形態>この発明の振動切断装置の第2実施形態について図4を参照して説明する。図4は本発明の第2実施形態にかかる振動切断装置のホーンおよびステージの要部拡大図であって、a~cはそれぞれ異なる状態を示す。図4a~cに示すように、この実施形態のステージ3が上記第1実施形態のステージ3と異なるのは、切断対象物が載置される載置面31aが設けられた緩衝層33をステージ3が備えている点である。また、ホーン26の他方端の端面に取付溝126mが設けられておらず、ホーン26の他方端の端面に直接取付台座226uが吸着されている。その他の構成および動作は上記第1実施形態と同一であるため、以下では第1実施形態との相違点を中心に説明を行い、上記した第1実施形態と同一の構成および動作については、同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。図4b,cに示すように、緩衝層33は、切断刃331による切込みが可能なポリイミドなどの樹脂材料により形成されている。そして、図4bに示すように、駆動機構4により切断刃331が下動されて刃先331aが緩衝層33に切込むことにより、緩衝層33の載置面31aには、切断刃331による切込31bが形成されている図4c参照。したがって、この実施形態によれば、上記第1実施形態と同様の効果を奏することができると共に、対象物が載置される緩衝層33の載置面31aに切断刃331による切込31bが形成されており、切断刃331により形成された切込31bの厚みは切断刃331の厚みとほぼ同じ厚みであるため、対象物を切断する際に切断刃331により押圧された対象物の切断端が切込31bに嵌り込むことを防止することができ、対象物が切断されることによる切断片を高精度に成形することができる。また、切断の際に、載置面31aに形成された切込31bの位置と切断刃331の刃先331aの位置とに位置ずれが生じた場合であっても、緩衝層33は切断刃331による切込みが可能な材質により形成されているため、切断刃331が破損することを防止することができる。なお、緩衝層33の材質は上記したものに限られず、緩衝層33は、ポリエチレンテレフタレートや紙など、切断刃による切込みが可能な種々の材質により形成することができる。<第3実施形態>この発明の振動切断装置の第3実施形態について図5を参照して説明する。図5は本発明の第3実施形態にかかる振動切断装置のホーンの要部拡大図であって、aは下面図、bはホーン26を天地反転した状態の正面から見た断面図、bはホーン26を天地反転した状態の側断面図である。この実施形態では、、ホーン26の他方端面に設けられた吸着孔411と、ホーン26の側面に設けられた吸引孔412とを連通する吸引穴413がホーン26に形成されている。また、切断刃331が設けられた複数の取付台座126uがPETフィルムなどにより形成されるシート状の保持部材430に保持されており、図示省略された吸引手段により吸引孔412から吸引を行うことで、保持部材430に設けられた取付台座126uのうちのいずれか一つが、シート状の保持部材430の裏面側からホーン26の他方端に吸着される。また、図6に示すように、取付台座326uの外周にフランジ部326u1を設け、フランジ部326u1を、シート状の保持部材430に形成された保持孔430aの外周に係止させることにより取付台座326uを保持するようにしてもよい。なお、図6は、図5の振動切断装置における取付台座の保持方法の他の例である。その他の構成および動作は、上記実施形態と同様の構成および動作であるため、同一符号を付すことによりその構成および動作の説明は省略する。このように構成すると、上記した実施形態と同様の効果を奏することができると共に、以下の効果を奏することができる。すなわち、シート状の保持部材430に設けられた複数の取付台座126u,326uのいずれか一つをホーン26の他方端に吸着することにより、ホーン26に容易に切断刃331を取り付けることができる。また、ホーン26に吸着された取付台座126u,326uの切断刃331が磨耗などにより損傷したり、劣化した場合に、真空吸着機構410による吸着を解除して使用済みの切断刃331を取外した後、新しい切断刃331が設けられた他の取付台座126u,326uをホーン26の他方端に吸着することにより、ホーン26に取り付けられる切断刃331を容易に交換することができる。<第4実施形態>この発明の振動切断装置の第4実施形態について図7を参照して説明する。図7は本発明の第4実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図であって、aは切断の対象物が切断刃の下方に配置された状態を示し、bは切断の対象物が切断された状態を示す図である。図7に示すように、この実施形態が上記第1~第3実施形態と異なる点は、取付台座126uの切断刃331が設けられた面に、スポンジやばねなどの弾性部材により形成され、切断加工の際に対象物を押圧する押さえ部材440が設けられている点である。その他の構成および動作は上記実施形態と同一であるため、以下では同一符号および相当符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。この実施形態では、切断の対象物として、例えば銅箔406がPETフィルム407に貼着されたシート状の部材が切断刃331により切断される。すなわち、図7aに示すように、銅箔406PETフィルム407が、切断刃331の下方のステージ3の載置面31上に配置された状態で、駆動機構4により切断刃331が下降されると、まず最初に押さえ部材440が銅箔406に接触する。そして、図7bに示すように、押さえ部材440が有する弾性力に抗しつつさらに切断刃331を下降させると、押さえ部材440が圧縮されると共に、切断刃331の刃先331aが押さえ部材440から突出して銅箔406が切断される。そして、銅箔406が切断された後、駆動機構4により切断刃331を上昇させるときに、銅箔406が押さえ部材440によりステージ3側に押圧されつつ切断刃331が上昇する。したがって、切断刃331の刃先331aが有する所定の輪郭形状に切り抜かれた銅箔406を確実にステージ3上に残すことができ、切り抜かれた銅箔406が切断刃331の内側に嵌り込むことを防止することができる。また、銅箔406を切断する際に、押さえ部材440により銅箔4406が押圧されるため、銅箔406が位置ずれするのを防止することができる。また、銅箔406を切断する際に、押さえ部材440が有する弾性力により、取付台座126u切断刃331がホーン26の他方端の端面に押圧されるため、取付台座126uとホーン26の他方端の端面との密着性が向上するので、ホーン26から切断刃331への振動の伝達効率を向上することができる。なお、銅箔406が切断される際に、切断刃331の刃先331aはPETフィルム407に切込むことにより保護されるため、ステージ3の載置面31に緩衝材などの刃先331aの保護部材を設ける必要がない。また、この実施形態では、取付台座126uの一方面に押さえ部材440が設けられているが、ホーン26の他方端の端面に押さえ部材を設けることにより、押さえ部材440により切断の対象物を押圧するようにしてもよい。<第5実施形態>この発明の振動切断装置の第5実施形態について図8を参照して説明する。図8は本発明の第5実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。図8に示すように、この実施形態では、接着絶縁の機能を同時に有するフィルム状接続材料であるNCFNonConductiveFilm400が切断対象物として、切断刃331の刃先331aが有する輪郭形状に切り抜かれる。NCF400は、両面がポリエステルやポリエチレンなどにより形成される離型フィルム401,402により保護された状態でリール図示省略に巻回されて保持されており、送りローラー403および従動ローラー404に狭持されることで、必要な分だけリールからステージ3の位置に送り込まれる。その他の構成および動作は上記第1実施形態と同一であるため、以下では同一符号および相当符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。図8に示すように、NCF400の上面を保護する離型フィルム402は押さえローラー405の位置で剥離されることにより、ステージ3の載置面31上には、上面側の離型フィルム402のみが剥離された状態のNCF400が配置される。そして、駆動機構4により切断刃331を下降することで、NCF400が切断刃331の刃先331aが有する所定の輪郭形状に切り抜き加工される。切り抜き加工されたNCF400は、送りローラー403および従動ローラー404によりステージ3の位置から移動され、送りローラー403および従動ローラ404の位置において、NCF400と離型フィルム401とが剥離されることにより、NCF400の切断物が離型フィルム401上に残った状態となる。そして、取り出し位置Pにおいて、下面側の離型フィルム401上に残っているNCF400の切断物が取り出されて切断処理が終了する。なお、NCF400の下面側が離型フィルム401により保護された状態で切断処理が行われることにより、NCF400を切断した切断刃331の刃先331aは、離型フィルム401に切込むことにより保護されるため、ステージ3の載置面31に緩衝材などの刃先331aの保護部材を設ける必要がない。また、シート状の切断の対象物としてNCF400を切断したが、切断の対象物としてはこれに限られるものではなく、Cu等の金属箔など、切抜きが可能なシート状の部材であればどのようなものであってもよい。以上のように、この実施形態では、上記した実施形態と同様の効果を奏することができる。<6実施形態>この発明の振動切断装置の第6実施形態について図9を参照して説明する。図9は本発明の第6実施形態にかかる振動切断装置の要部拡大図である。図9に示すように、この実施形態が上記第1実施形態と異なるのは、ホーン26の他方端の端面の一部が切除されて断面L字状段部26mが形成され、矩形の平板状の切断刃231加工工具が、ホーン26の振動方向と平行な段部26mの取付面26nに吸着保持される点であり、その他の構成および動作は上記第1実施形態と同一であるため、以下では、上記した第1実施形態と同一符号を付すことによりその構成および動作の説明を省略する。図9に示すように、ホーン26の他方端には、その端面の一部が切除されて断面L字状段部26mが形成されており、段部26mにおけるホーン26の振動方向と平行な取付面26nに磁石450本発明の吸着保持手段に相当が設けられている。また、段部26mの取付面26nには係止用突起26wが幅方向に並設されており、係止用突起26wが、切断刃231の係止用突起26wに対峙する位置に透設された係止用孔231bに挿通されることで、切断刃231は、その一端側縁部の刃先231aを除く他端側の片側側面が取付面26nに当接された状態で磁石450の磁力により取付面26nに吸着保持されてホーン26の他端側に取付けられる。したがって、この実施形態によれば、ホーン26の他方端の端面の一部を切除して形成された断面L字状段部26mの、ホーン26の振動方向と平行な段部26mの取付面26nに、平板状の切断刃231により構成される加工工具を磁石450の磁力により吸着保持することで、容易に切断刃231をホーン26に取り付けることができる。なお、加工工具を磁力によりホーン26に吸着保持する場合には、加工工具を磁力により吸着保持可能な磁性部材により構成するとよい。なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述した構成をどのように組み合わせてもよく、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記した実施形態では、真空吸着力または磁力による吸着により、加工工具をホーン共振器に着脱自在に取り付けるように構成されているが、一般的な静電吸着機構をホーンに設け、静電吸着力により加工工具をホーンに着脱自在に取り付けるようにしてもよい。このようにしても、上記した実施形態と同様の効果を奏することができる。また、上記した実施形態ではホーンに2つの長孔が形成されているが、少なくとも1つの長孔が共振器に形成されていればよく、共振器の構成に基づいて、切断刃に適切に振動が印加されるように長孔の大きさおよび数、長孔の形成方向などの構成を適宜調整すればよい。また、共振器の他方端の端面に所定の輪郭形状の刃先を有する切断刃を取着するときに、当該切断刃の幅方向および奥行き方向の大きさ平面視における面積が、共振器の他方端の端面の面積と比較して十分に小さく、切断刃に印加される振動の振幅の大きさが、切断刃の全体において大きく異なることがない場合には、必ずしも共振器に長孔を設ける必要はない。また、切断刃の構成および形状は、上記した輪郭状または直線状に限られるものではなく、必要に応じて、曲線状など、適宜、最適な構成および形状を有する切断刃を採用することができる。また、上記した実施形態では、切断刃を用いた振動切断装置を例に挙げて本発明の振動加工装置を説明したが、振動加工装置としては上記した例に限られるものではなく、例えば、加工工具として切削工具を用いた振動切削装置により本発明の切断装置を構成してもよく、加工工具として、振動を印加することにより加工対象物を加工するときの加工効率を向上することができれば、どのような加工工具を採用してもよい。また、上記した実施形態では、加工工具切断刃に超音波振動を印加しているが、加工工具に印加する振動としては超音波振動に限らず、低周波振動や、例えば約100Hzの低周波振動と超音波振動とが重畳された振動などを加工工具に印加してもよい。このように、加工工具に低周波振動を印加することにより、対象物の切屑などが加工工具に付着しにくくなる。また、共振器の3箇所以上の位置が支持手段により支持されるようにしてもよく、少なくとも、クランプ手段把持部の被把持部に接触する部分を上記した材質で形成するとよい。また、共振器の形状、材質、大きさ等は、上記した例に限られず、どのようなものであってもよい。また、上記した実施形態では、駆動機構4の駆動モータ41により共振器を移動するように構成されているが、エアシリンダによる流体圧力を利用したアクチュエータや、リニアモータなどにより共振器を移動するようにしてもよく、一般的な実装装置において採用される加圧装置を適宜採用することができる。そして、加工工具に振動を印加して対象物を加工する技術に本発明を広く適用することができる。"