"第1のピッチp1で複数枚の基板を起立状態に整列して収納保持する第一収納体と、前記第1のピッチp1とは異なる第2のピッチp2で複数枚の基板を起立状態に整列して収納保持する第二収納体と、前記第一収納体と、前記第二収納体との間に設けられた、第一収納体側が前記第1ピッチと同じピッチであり、第二収納体側が前記第2ピッチと同じピッチである複数の案内溝が表面に形成されているガイドと、第1収納体側から第二収納体側ないし第二収納体側から第一収納体側に向かい、前記基板を前記案内溝に沿って押送させるためのプランジャーと、を有することを特徴とするピッチ変換構造。前記ガイドを上下に対向させて設けたことを特徴とする請求項1記載のピッチ変換構造。外側における案内澪は、凹曲線と凸曲線とで結ばれていることを特徴とする請求項1または2記載のピッチ変換構造。前記第一収納体の底面に、プランジャーを導入するためのプランジャー穴が形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項記載のピッチ変換構造。カセットを複数設けるとともに、カセットに対応してガイドを複数設け、それぞれを基板の整列方向に配置したことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項記載のピッチ変換構造。ガイドは、基板の整列方向に移動可能であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項記載のピッチ変換構造。本発明は、極めて簡単な構造操作でピッチの異なる収納体に基板を移送することが可能となるピッチ変換構造を提供することを目的とする。請求項1に係る発明は、第1のピッチp1で複数枚の基板を起立状態に整列して収納保持する第一収納体と、前記第1のピッチp1とは異なる第2のピッチp2で複数枚の基板を起立状態に整列して収納保持する第二収納体と、前記第一収納体と、前記第二収納体との間に設けられた、第一収納体側が前記第1ピッチと同じピッチであり、第二収納体側が前記第2ピッチと同じピッチである複数の案内溝が表面に形成されているガイドと、第1収納体側から第二収納体側ないし第二収納体側から第一収納体側に向かい、前記基板を前記案内溝に沿って押送させるためのプランジャーと、を有することを特徴とするピッチ変換構造である。請求項2に係る発明は、前記ガイドを上下に対向させて設けたことを特徴とする請求項1記載のピッチ変換構造である。請求項3に係る発明は、外側における案内澪は、凹曲線と凸曲線とで結ばれていることを特徴とする請求項1または2記載のピッチ変換構造である。請求項4に係る発明は、前記第一収納体の底面に、プランジャーを導入するためのプランジャー穴が形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項記載のピッチ変換構造である。請求項5に係る発明は、カセットを複数設けるとともに、カセットに対応してガイドを複数設け、それぞれを基板の整列方向に配置したことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項記載のピッチ変換構造である。請求項6に係る発明は、ガイドは、基板の整列方向に移動可能であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項記載のピッチ変換構造である。極めて簡単な構造操作でピッチの異なる収納体に基板を移送することが可能となる。本発明を実施するための最良の形態を図1に示す。図1に示す形態に係るピッチ変換構造は、第1のピッチp1で複数枚の基板5を起立状態に整列して収納保持する第一収納体1と、前記第1のピッチp1とは異なる第2のピッチp2で複数枚の基板5を起立状態に整列して収納保持する第二収納体2と、前記第一収納体1と、前記第二収納体2との間に設けられた、第一収納体1側のピッチが前記第1のピッチp1と同じピッチであり、第二収納体2側のピッチが前記第2のピッチp2と同じピッチである複数の案内溝6が表面に形成されているガイド3と、第1収納体1側から第二収納体2側ないし第二収納体2側から第一収納体1側に向かい、前記基板5を前記ガイド3の案内溝6に沿って押送させるためのプランジャー4と、を有することを特徴とするピッチ変換構造である。以下により詳細に説明する。第一収納体:カセット図2に基づき第一収納体1を説明する。図2に示す第一収納体はウエハカセットである。図2aは平面図、bは正面図、cは左側面図、dは右側面図、eは底面図、fは受部材12に形成されている受溝15の拡大図、gは図2aのG-G断面図である。なお、背面図は正面図と同じである。図2において、26は平板状で四辺形の基台である。基台26の対向する辺部には、一対の側面部材23a,23bがそれぞれが対向して基台26に垂直に設けられている。この側面部材23a,23bには、それぞれ切欠28が形成されている。基台26の他の辺の上方には、一対の受部材22a,22bが設けられている。受部材22a,22bは側面部材23a,23bに取り付けられている。なお、本例では、受部材22a,22bの高さ図2における上下方向の寸法は側面部材の高さより短くしてあるが、側面部材23a,23bの高さと同じにして、受部材22a,22bを基台26に固着して取り付けてもよい。基台26の面内にはプランジャー穴27が設けられている。外部からプランジャーがこのプランジャー穴を介してカセット1内に導入され、カセット1内に収納されている複数の基板を一括してカセット1の外部に押送する。プランジャー穴27の形状、寸法、位置はこのような役割にしするものであればよい。受部材22a,22bの対向する側面には、それぞれ複数の受溝25が形成されている。対向する受部材22a、22bのそれぞれの対向する受溝25に一枚の基板の周縁をはめ込むことにより基板はカセットに収納される。本例では、隣り合う受溝25同士の距離ピッチp1を4mmとした。ピッチp1は、受溝25の中心同士の距離としてある。なお、形成される受溝25の数は限定しないが一般的には50個のものが常用される。受溝25の幅h1は特に限定しない。基板の厚さをtとすると、t<h1<p1であればよい。第二収納体:ボート図3に基づき第二収納体を説明する。図3に示す第二収納体は、熱処理などに使用する石英ボードであり、基板は3.4mmピッチで整列される。一対の側面部材36a,36bを対向させ、正面側に上下2段に、2本の棒状の受部材35b1、35b2を側面部材36a,36bにわたり取り付けてある。また、背面側も同様である。受部材35a1、35a2、35b1、35b2の内側の側面には、一定のピッチp2で受溝35が複数個形成されている。本例では、p1>p2として、p2=3.4mmとしてある。本例では、ボートの底面部にも受部材37が2本設けてある。受部材37は、角状体であり、その上面には、受溝がp1ピッチで形成されている。本例では、基板を受けるための受溝35は200個形成してある。本例ではまた、200個のほかに10個の溝を余分に形成してある。なお、複数個のカセットを用いることができる。複数のカセットは基板の整列方向に適宜の間隔をおいて連結して使用できる。ガイド図4に基づきガイド3を説明する。ガイド3は板状体から構成される。その表面には、案内溝6が複数個形成されている。案内溝6の個数は、第一収納体1、第二収納体2に形成されている受溝25、35の個数より多くても少なくてもよいが、通常は第一収納体に形成されている受溝25の数と同じ数とすることが好ましい。案内溝6の第一収納体1側の案内溝6aのピッチは、第一収納体1の受溝25同士のピッチp1と同一である。案内溝6の第二収納体2側の案内溝6bのピッチは、第二収納体2側の受溝25同士のピッチp2と同一である。本例では、両端部の複数の案内溝6aは相互に平行であり直線状の平行直線部6aとなっている。6bについても同様である。本例では、平行直線部6a,6bの長さはそれぞれ40mmとしてある。ガイド3の両端面においては、基板の受け入れが容易となるように広口化してあり、qin、qoutは平行直線部6a,6bにおける幅nin、nout例えば0.5~1.5mmより広くしてあり、例えば、p1より小さい範囲で、ninの1~3倍の幅とすることが好ましい。案内溝の溝幅は第一収納体1側も第二収納体2もできるだけ大きくすることが好ましい。案内溝を形成するパーティション部の厚さは、1mm以下、0.5mm以下とすることが好ましい。最外側の案内溝の溝幅は、平行直線部6aから平行直線部6bに向かって小さくすることが好ましい。平行直線部6aの端と平行直線部6bの端とは直線ないし曲線で結ばれている。この長さLは、p2/p1が大きいときは大きくすればよい。本例ではその部分の長さLは340mmとしてある。最も外側の案内溝は、曲率が1/1000の凹曲線と曲率が1/1000の凸曲線とで結ばれている。L/2の点が変曲点となっている。第一収納体1側が凸曲線、第二収納体2側が凹曲線となっている。ガイド3は、基板の整列方向に移動可能とすることが好ましい。また、ガイドを複数設置することもできる。カセットが複数の場合、カセットに対応した数のガイドを設けることが好ましい。複数のガイドは、基板の整列方向に連結して使用する。変換操作図1及び図5に基づき操作手順を説明する。図5は、50枚の基板5をカセット1内に4mmピッチで、起立状態に整列して収納保持している状態を示している。カセット1に隣接して図4に示した構造の上ガイド3uと下ガイド3sとを上下に対向させて配置してある。カセット1の受溝のピッチとガイド3のカセット側の案内溝のピッチとは同じとした、本例では4mmとした。受溝の数は50個としてある。ガイド3に隣接してボート2を設けてある。図5に示すボート2は図3に示したボートを用いている。図5に示す、基板が4mmピッチで起立状態で整列している状態のカセットを90度回転する。カセット1を90度回転した状態において、カセット内面に形成されている受溝とガイドに形成されている案内溝とが等ピッチで向かいあう。その状態でプランジャーを突き出す。カセット1の底面にはプランジャー穴が形成されているため、プランジャーはすべての基板の周縁に当接する。プランジャーをさらに突き出すと基板はカセットから押し出されガイドに導かれる。プランジャーをさらに突き出すと、基板は案内溝に沿って第二収納体2方向に移送する。プランジャーをさらに突き出すと、基板は、第二収納体2に導かれる。上記説明では、第一収納体1から第二収納体2への基板の移送をプランジャー4のみで行ったが、二段階で移送してもかまわない。すなわち、まず、プランジャー4により基板をガイド3の第一収納体1側端まで移送する。次に、全基板に当接可能な長さボートの長手方向、すなわち、紙面に垂直な方向への長さを有する板状体図示せずをカセット1の側面に形成されている切欠28を介してカセット内に導入する。つまり、板状体を紙面垂直方向にカセット1内に導入する。次いで、板状体を第一収納体1側の方向図面において右から左に向かう方向に移動させる。板状体の面は基板の周縁に当接し、基板を一括して案内溝に沿って移動し、第二収納体2に収納される。複数のガイドを有する構造の場合、カセット背面からの突き出すプランジャーの他に、それぞれのガイドに板状体のプランジャーを設けておけば、カセットの動作とは独立して基板を第二収納体2に導入ことが可能となる。従って、カセットから基板を一旦ガイドに移送し、基板が乗ったままの状態で、ガイドを長さ方向ボート長手方向:紙面垂直方向にし、その後またカセットから基板を移送することも可能である。例えば、4つのカセットがある場合、まず、1番目と3番目のカセットとガイドとのセンターを軸あわせし、カセットから基板を移送させる。次にガイドを移動させてから2番目と4番目のカセットとガイドとのセンターを軸あわせし、カセットから基板を移送させる。これにより急角度での移送を避けることができる。基板がボート2に収納された後は、ボートを回転し図1においては、反時計方向、ボート2を所望のプロセスに供給する。上記構成操作により120μm厚のシリコンウエハのピッチ変換を行ったところ、スムーズに変換が行われ、シリコンウエハの割れなど、ウエハ欠損も生じなかった。他の操作カセット1が50枚収納、ボート2が200枚収納の場合には、4つのカセットを用意するとともに、4つのガイド3を用意し、ボート2の長手方向に所定の間隔をおいて連結しして移送操作を行う。ガイド3は長手方向に移動可能とすることが好ましい。50枚入りのカセットから200枚入りのボートに移送する場合は、4つのカセットを用意する。4つのカセットを基板の整列方向に配列する。また、ガイドも4個用意し、4つのガイドを基板の整列方向に配列する。この場合、配列した4つのカセットのセンターと、配列した4つのガイドのセンターとを軸合わせして基板の移送を一度で行おうとすると、ピッチ変化の度合いが大きくなりすぎる。そこで、そのため、逆操作上記例では、第一収納体1から第二収納体2に移送する場合を説明したが、第二収納を用いての半導体プロセスが終了した場合には、第一収納体1から第二収納体2に移送した手順と全く同じ手順で第二収納体2から第一収納体1に移送すればよい。"