"複数のマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板をそれぞれ保持する複数のワークチャックをそれぞれ備える第1及び第2の基板ステージと、前記第1又は第2の基板ステージの前記複数の基板が前記マスクステージに保持された前記複数のマスクと対向する露光位置と、前記第1の基板ステージが前記複数の基板を搬入及び搬出する第1の搬入/搬出位置との間で、前記第1の基板ステージを移動させる第1のステージ移動機構と、前記露光位置と、前記第2の基板ステージが前記複数の基板を搬入及び搬出する第2の搬入/搬出位置との間で、前記第2の基板ステージを移動させる第2のステージ移動機構と、前記複数のマスクを介して前記複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置と、前記基板を保持し、且つ、前記各複数のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な複数の搬送装置をそれぞれ有する第1及び第2搬送ユニットと、を備え、前記露光装置は、前記第1又は第2の基板ステージに保持された前記複数の基板が前記マスクステージに保持された前記複数のマスクと対向した状態で、前記照明光学系が前記複数のマスクを介して前記複数の基板に露光光を照射することで、前記複数の基板を同時に露光することを特徴とすることを特徴とする露光ユニット。前記第1基板ステージに保持された前記複数の基板が前記露光位置にて露光されているとき、前記第2基板ステージは、前記第2搬入/搬出位置に待機し、前記第2基板ステージに保持された前記複数の基板が前記露光位置にて露光されているとき、前記第1基板ステージは、前記第1搬入/搬出位置に待機することを特徴とする請求項1に記載の露光ユニット。前記露光装置は、一括露光方式であることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光ユニット。複数のマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板をそれぞれ保持する複数のワークチャックをそれぞれ備える第1及び第2の基板ステージと、前記第1又は第2の基板ステージの前記複数の基板が前記マスクステージに保持された前記複数のマスクと対向する露光位置と、前記第1の基板ステージが前記複数の基板を搬入及び搬出する第1の搬入/搬出位置との間で、前記第1の基板ステージを移動させる第1のステージ移動機構と、前記露光位置と、前記第2の基板ステージが前記複数の基板を搬入及び搬出する第2の搬入/搬出位置との間で、前記第2の基板ステージを移動させる第2のステージ移動機構と、前記複数のマスクを介して前記複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置と、前記基板を保持し、且つ、前記各複数のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な複数の搬送装置をそれぞれ有する第1及び第2搬送ユニットと、を備える露光ユニットを用いた露光方法であって、前記第1又は第2の基板ステージに保持された前記複数の基板が前記マスクステージに保持された前記複数のマスクと対向した状態で、前記照明光学系が前記複数のマスクを介して前記複数の基板に露光光を照射することで、前記複数の基板を同時に露光することを特徴とする露光方法。前記第1基板ステージに保持された前記複数の基板が前記露光位置にて露光されているとき、前記第2基板ステージは、前記第2搬入/搬出位置に待機し、前記第2基板ステージに保持された前記複数の基板が前記露光位置にて露光されているとき、前記第1基板ステージは、前記第1搬入/搬出位置に待機することを特徴とする請求項4に記載の露光方法。ところで、特許文献1及び2に記載の露光装置では、露光動作との同時並行処理によりスループットの向上を図ったものであるが、複数の基板の露光動作自体をより効率的に行うことが要求されている。本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の基板の露光をより効率的に行うことができ、タクトタイムの短縮を図ることができる露光ユニット及びそれを用いた露光方法を提供することにある。本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。1複数のマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板をそれぞれ保持する複数のワークチャックをそれぞれ備える第1及び第2の基板ステージと、前記第1又は第2の基板ステージの前記複数の基板が前記マスクステージに保持された前記複数のマスクと対向する露光位置と、前記第1の基板ステージが前記複数の基板を搬入及び搬出する第1の搬入/搬出位置との間で、前記第1の基板ステージを移動させる第1のステージ移動機構と、前記露光位置と、前記第2の基板ステージが前記複数の基板を搬入及び搬出する第2の搬入/搬出位置との間で、前記第2の基板ステージを移動させる第2のステージ移動機構と、前記複数のマスクを介して前記複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置と、前記基板を保持し、且つ、前記各複数のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な複数の搬送装置をそれぞれ有する第1及び第2搬送ユニットと、を備え、前記露光装置は、前記第1又は第2の基板ステージに保持された前記複数の基板が前記マスクステージに保持された前記複数のマスクと対向した状態で、前記照明光学系が前記複数のマスクを介して前記複数の基板に露光光を照射することで、前記複数の基板を同時に露光することを特徴とすることを特徴とする露光ユニット。2前記第1の基板ステージに保持された前記複数の基板が前記露光位置にて露光されているとき、前記第2の基板ステージは、前記第2搬入/搬出位置に待機し、前記第2の基板ステージに保持された前記複数の基板が前記露光位置にて露光されているとき、前記第1の基板ステージは、前記第1搬入/搬出位置に待機することを特徴とする1に記載の露光ユニット。3前記露光装置は、一括露光方式であることを特徴とする1又は2に記載の露光ユニット。4複数のマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板をそれぞれ保持する複数のワークチャックをそれぞれ備える第1及び第2の基板ステージと、前記第1又は第2の基板ステージの前記複数の基板が前記マスクステージに保持された前記複数のマスクと対向する露光位置と、前記第1の基板ステージが前記複数の基板を搬入及び搬出する第1の搬入/搬出位置との間で、前記第1の基板ステージを移動させる第1のステージ移動機構と、前記露光位置と、前記第2の基板ステージが前記複数の基板を搬入及び搬出する第2の搬入/搬出位置との間で、前記第2の基板ステージを移動させる第2のステージ移動機構と、前記複数のマスクを介して前記複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置と、前記基板を保持し、且つ、前記各複数のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な複数の搬送装置をそれぞれ有する第1及び第2搬送ユニットと、を備える露光ユニットを用いた露光方法であって、前記第1又は第2の基板ステージに保持された前記複数の基板が前記マスクステージに保持された前記複数のマスクと対向した状態で、前記照明光学系が前記複数のマスクを介して前記複数の基板に露光光を照射することで、前記複数の基板を同時に露光することを特徴とする露光方法。5前記第1の基板ステージに保持された前記複数の基板が前記露光位置にて露光されているとき、前記第2の基板ステージは、前記第2搬入/搬出位置に待機し、前記第2の基板ステージに保持された前記複数の基板が前記露光位置にて露光されているとき、前記第1の基板ステージは、前記第1搬入/搬出位置に待機することを特徴とする4に記載の露光方法。本発明の露光ユニット及びそれを用いた露光方法によれば、露光装置は、第1及び第2の基板ステージを露光位置にそれぞれ移動可能な第1及び第2の基板ステージ移動機構を備え、第1又は第2の基板ステージに保持された複数の基板がマスクステージに保持された複数のマスクと対向した状態で、照明光学系が複数のマスクを介して複数の基板に露光光を照射することで、複数の基板を同時に露光することができる。これにより、複数の基板の露光を効率的に行うことができ、タクトタイムの短縮を図ることができる。また、第1及び第2搬送ユニットは、各複数のワークチャックに対して基板を搬入及び搬出可能な複数の搬送装置をそれぞれ有するので、第1及び第2の搬送装置によって複数のワークチャックへ基板の搬入動作、及び複数のワークチャックから基板の搬出動作を同期して行うことができ、タクトタイムのさらなる短縮が可能となる。以下、本発明の第1実施形態に係る露光ユニットを図面に基づいて詳細に説明する。図1に示す一実施形態の露光ユニット10は、近接露光装置11と、第1及び第2の搬送ユニット12,13と、搬送ユニット12,13毎にそれぞれ設けられた、第1及び第2のプリアライメント装置14,15、第1及び第2の搬入コンベア16,17、及び第1及び第2の搬出コンベア18,19と、これら装置を制御する制御部20と、を備える。近接露光装置11は、複数のマスクM1、M2をそれぞれ保持すると共に、各マスクM1、M2を水平面上でX,Y駆動及びθ回転駆動可能な複数のマスクステージ21A、21Bと、被露光材としての複数の基板W1、W2をそれぞれ保持する第1及び第2のワークチャック22、23をそれぞれ備える第1及び第2の基板ステージ24、25と、第1又は第2の基板ステージ24、25の第1及び第2のワークチャック22、23に保持された複数の基板W1、W2がマスクステージ21A、21Bに保持されたマスクM1、M2と対向する露光位置Aと、第1基板ステージ24が複数の基板W1、W2を搬入及び搬出する第1の搬入/搬出位置B1との間で、第1の基板ステージ24を移動させる第1のステージ移動機構26と、露光位置Aと、第2の基板ステージ25が複数の基板W1、W2を搬入及び搬出する第2の搬入/搬出位置B2との間で、第2の基板ステージ25を移動させる第2のステージ移動機構27と、マスクMを介して基板W1、W2に露光光を照射する照明光学系28と、を備える。また、マスクステージ21A、21Bには、それぞれ複数のアライメントカメラ29Aと、ギャップ用アクチュエータ29Bが設けられている。本実施形態の近接露光装置11は、一括露光方式であり、マスクMと基板W1、W2をそれぞれ1:1で焼き付けていく方式であり、各基板W1,W2の露光時間は非常に短い。なお、マスクステージ21、第1及び第2のステージ移動機構26,27、照明光学系28などの構成は、公知の構成のものが適用可能である。例えば、第1及び第2のステージ移動機構26,27は、モータ及びボールねじの組合せとリニアガイドとを有するものでもよいし、リニアモータとリニアガイドとを有するものによって構成されてもよい。また、第1及び第2のステージ移動機構26,27は、第1及び第2のワークチャック22,23が同期移動可能なものであれば、本実施形態のように一体であってもよいし、第1及び第2のワークチャック22,23ごとに別体であってもよい。第1及び第2の搬送ユニット12、13は、それぞれ第1及び第2の搬送装置32、33を備える。第1の搬送装置32は、基板W1を保持し、且つ、第1又は第2の基板ステージ24、25の第1のワークチャック22に対して基板W1を搬入及び搬出すると共に、第1のプリアライメント装置14、第1の搬入コンベア16、及び第1の搬出コンベア18へアクセス可能に配置されている。また、第2の搬送装置33も、基板W2を保持し、且つ、第1又は第2の基板ステージ24、25の第2のワークチャック23に対して基板W2を搬入及び搬出すると共に、第2のプリアライメント装置15、第2の搬入コンベア17、及び第2の搬出コンベア19へアクセス可能に配置されている。本実施形態においては、各搬送ユニット12,13の第1及び第2の搬送装置32,33は、それぞれ異なる方向から近接露光装置11の各ワークチャック22,23にアクセス可能なように配置されている。なお、本実施形態では、第1及び第2の搬送装置32,33として、基板W1,W2を保持するロボットアーム32a,33aを有し、水平方向及び上下方向に駆動するスカラー型のロボットが適用されているが、直動式のロボットやベルトコンベアであってもよい。また、各搬送装置32,33は、それぞれ複数のロボットアーム32a,33aを有するように構成されてもよい。第1及び第2のプリアライメント装置14,15は、各第1及び第2の基板ステージ24,25の各ワークチャック22,23へ基板W1,W2を搬入する前に、基板W1,W2をプリアライメントするためのものである。また、第1及び第2の搬入コンベア16,17は、前工程からの基板W1,W2を搬送し、第1及び第2の搬出コンベア18,19は、後工程へ基板W1,W2を搬送する。なお、各プリアライメント装置14,15、各搬入コンベア16,17、各搬出コンベア18,19は、それぞれ公知のものが適用される。また、これらプリアライメント装置14,15は、省略してもよいし、あるいは、第1及び第2の搬送装置12,13を用いてプリアライメントを行ってもよい。制御部20は、近接露光装置11、各搬送ユニット12,13の搬送装置32,33、プリアライメント装置14,15、搬入コンベア16,17、及び、搬出コンベア18,19を制御するものである。また、制御部20は、第1及び第2の搬送装置12,13による近接露光装置11に対する基板W1,W2の搬入及び搬出動作が同期して行われるように第1及び第2の搬送装置12,13を制御する。以下、上記の露光ユニット10を用いた露光方法について説明する。まず、第2搬送ユニット13側の第1及び第2の搬入コンベア16,17により、基板W1,W2が第1及び第2のプリアライメント装置14,15の近傍まで搬送されると、第1及び第2の搬送装置32,33のロボットアーム32a,33aは、基板W1,W2をそれぞれ把持し、これらロボットアーム32a,33aを同期駆動して、第1及び第2のプリアライメント装置14,15まで運搬する。その後、第1及び第2の搬送装置32,33は、基板W1,W2を第1及び第2のプリアライメント装置14,15に載置する。第1及び第2のプリアライメント装置14,15が基板W1,W2をプリアライメントしてから、第1及び第2の搬送装置32,33のロボットアーム32a,33aは、基板W1,W2を把持し、これらロボットアーム32a,33aを同期駆動して、第2の搬入/搬出位置B2に位置する第2の基板ステージ25の第1及び第2のワークチャック22,23上に基板W1,W2を運搬する。次に、第2のステージ移動機構27によって、第1及び第2のワークチャック22,23に基板W1,W2が載置された第2の基板ステージ25を露光位置Aに移動させる。そして、第1及び第2のワークチャック22、23上の基板W1、W2をマスクM1、M2に対してアライメントした後、基板W1、W2が露光される。なお、第2の基板ステージ25が第2の搬入/搬出位置B2に待機している間、第1の基板ステージ24は、露光位置Aに位置しており、第1の基板ステージ24の第1及び第2のワークチャック22,23に載置された基板W1,W2が露光されている。また、第2のステージ移動機構27が露光位置Aに移動する際には、第1のステージ移動機構26も同期して、露光位置Aから第1の搬入/搬出位置B1に移動する。そして、第1の基板ステージ24は、第2の基板ステージ25が露光位置Aにおいて露光が行われている間、第1の搬入/搬出位置B1で待機する図1参照。そして、第2の搬入/搬出位置B1に位置する第1の基板ステージ24の第1及び第2のワークチャック22,23では、露光された基板W1,W2は、第1及び第2の搬送装置32,33のロボットアーム32a,33aによって把持され、これらロボットアーム32a,33aを同期駆動して、第1及び第2の搬出コンベア18,19へ運搬する。また、第1の基板ステージ24の第1及び第2のワークチャック22,23には、第1及び第2の搬送装置32,33のロボットアーム32a,33aが同期駆動して、プリアライメントされた新しい基板W1,W2を載置する。なお、待機している第1基板ステージ24に対する第1搬送ユニット12の複数の搬送装置32,33による基板W1,W2の搬入及び搬出は、第2基板ステージ25に保持された複数の基板W1、W2が露光位置Aにて露光されているタイミングと同時に行うことで、露光ユニット10としてのスループットを向上するようにしてもよく、また、それぞれ異なるタイミングで行うことで、搬入及び搬出によって発生する振動が露光動作に影響を及ぼすことを防止し、良好な露光精度を得るようにしてもよい。また、待機している第2基板ステージ25に対する第2搬送ユニット13の複数の搬送装置32,33による基板W1、W2の搬入及び搬出も、第1基板ステージ24に保持された複数の基板W1、W2が露光位置Aにて露光されているタイミングと同時に行われてもよいし、異なるタイミングで行われてもよい。以後、同様の動作を繰り返すことにより、第1又は第2の基板ステージ24、25に保持された複数の基板W1、W2がマスクステージ21A、21Bに保持された複数のマスクM1、M2と対向した状態で、照明光学系28が複数のマスクM1、M2を介して複数の基板W1、W2に露光光を照射することで、複数の基板W1、W2を同時に露光することができる。このように、本実施形態の露光ユニット10及び露光方法によれば、露光装置10は、第1及び第2の基板ステージW1、W2を露光位置Aにそれぞれ移動可能な第1及び第2の基板ステージ移動機構26、27を備え、第1又は第2の基板ステージ24、25に保持された複数の基板W1、W2がマスクステージ21に保持された複数のマスクM1、M2と対向した状態で、照明光学系28が複数のマスクM1、M2を介して複数の基板W1、W2に露光光を照射することで、複数の基板W1、W2を同時に露光することができる。これにより、複数の基板W1、W2の露光を効率的に行うことができ、タクトタイムの短縮を図ることができる。また、第1及び第2搬送ユニット12、13は、各複数のワークチャック22、23に対して基板W1、W2を搬入及び搬出可能な複数の搬送装置32,33をそれぞれ有するので、第1及び第2の搬送装置32,33によって複数のワークチャック22,23へ基板W1、W2の搬入動作、及び複数のワークチャック22,23から基板W1、W2の搬出動作を同期して行うことができ、タクトタイムのさらなる短縮が可能となる。図3及び図4は、第1実施形態の露光ユニット10の変形例を示す。この変形例では、第1及び第2搬入、搬出コンベア30,31が、上下2段に配置されており、露光ユニット10をコンパクトに設計することができる。このため、第1及び第2の搬送装置32,33は、ロボットアーム32a,33aを上下に移動させることで、上下の各搬入、搬出コンベア30,31へアクセス可能となる。次に、本発明の第2実施形態に係る露光ユニットを図5を参照して説明する。なお、第1実施形態と同一または同等部分については同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。本実施形態の露光ユニット10aでは、第1及び第2の搬送装置32,33が近接露光装置11の第1及び第2基板ステージ24、25と平行に、互いに近接して並列配置されている。このため、第1及び第2のプリアライメント装置14,15もその外側にほぼ対称に配置され、また、搬入、搬出コンベア30、31も並列に配置されている。その他の構成については、第1実施形態と同様であり、第1実施形態と同様の効果を奏する。尚、本発明は、前述した実施形態及び変形例に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。本発明の露光装置は、本実施形態の近接露光装置に限定されるものでなく、密着式露光装置であってもよい。"