処理中にワークピースを支持するように構成されたチャックを含む処理チャンバと、第1温度の第1熱伝導流体容器と、第2温度の第2熱伝導流体容器と、第1又は第2温度の熱伝導流体をチャックへと導くために第1及び第2熱伝導流体容器の両方をチャックに結合する第1供給ライン及び第1回収ラインと、第1熱伝導流体容器を第1供給ラインと結合する第1バルブと、第2熱伝導流体容器を第1供給ラインと結合する第2バルブと、重力によって熱伝導流体のレベルを等しくするために、第1熱伝導流体容器を第2熱伝導流体容器に結合するパッシブレベリングパイプを含むプラズマ処理装置。パッシブレベリングパイプは、第1及び第2熱伝導流体容器のそれぞれのドレインポイントに結合されている請求項1記載の装置。第3バルブが第1回収ラインを第1熱伝導流体容器に結合し、パッシブレベリングパイプは、第1バルブを介してチャックに供給された熱伝導流体の量と第3バルブを介してチャックから回収された熱伝導流体の量の間の不均衡を考慮することができる請求項1記載の装置。第1及び第2バルブはデジタルであり、装置は、全開状態と全閉状態の間で第1及び第2バルブのうちの少なくとも一方を駆動するパルス幅変調のデューティーサイクルを変調するためのコントローラを更に含み、第1及び第2バルブのうちの一方は、第1及び第2バルブの他方がオン状態にあるとき、オフ状態にあることができる請求項1記載の装置。コントローラは、パルス幅変調のデューティーサイクルを時間比例サイクルの割合として変調することができ、時間比例サイクルは、バルブの状態を変更するために必要な時間よりも長い大きさの2以上の命令である請求項4記載の装置。時間比例サイクルの継続時間は、チャックの熱時定数の半分未満である請求項5記載の装置。時間比例サイクルの継続時間は、4~6秒である請求項6記載の装置。第1供給ラインは、時間比例サイクルの間に導かれた熱伝導流体の体積よりも小さい内部容積を有する請求項5記載の装置。第1熱伝導流体容器と第1バルブとの間のバイパス流路を更に含み、熱伝導流体は、1:0.8~1:0.2の第1バルブ:バイパス比で、バイパス流路を介して第1熱伝導流体容器に回収される請求項1記載の装置。プラズマに印加された全電力に少なくとも基づいて、全開状態と全閉状態の間で第1及び第2バルブのうちの少なくとも一方を駆動するパルス幅変調のデューティーサイクルを変調するためのコントローラを更に含み、全電力は、少なくとも約2MHz~60MHzの間で動作するRF発生装置からの第1バイアス電力と、約2MHz~60MHzの間で動作するRF発生装置からの第2バイアス電力の加重和である請求項1記載の装置。プラズマ処理装置であって、チャックを含む処理チャンバであって、チャックは、処理中にワークピースピースが載置される作業面を提供するセラミックスパックと、セラミックスパックの下の金属ベース内に配置された第1及び第2熱伝導流体チャンネルであって、第1熱伝導流体チャネルは作業面の外側ゾーンの下に配置され、第2熱伝導流体チャネルは作業面の内側ゾーンの下に配置されている第1及び第2熱伝導流体チャンネルを更に含む処理チャンバと、金属ベースを通して配置され、セラミックスの作業面から5mm以下分離されている光ファイバー温度プローブと、第1供給バルブを介して第1熱伝導流体チャネルに結合され、第2供給バルブを介して第2熱伝導流体チャネルに結合された第1温度の第1熱伝導流体容器と、第3供給バルブを介して第2熱伝導流体チャネルに結合され、第4供給バルブを介して第2熱伝導流体チャネルに結合された第2温度の第2熱伝導流体容器を含むプラズマ処理装置。セラミックスパックの厚さが4mm~10mmであり、温度プローブは、セラミックスパックの全厚さによって、作業面から分離されている請求項11記載の装置。セラミックスパックの厚さが20mm~30mmであり、温度プローブは、作業面の反対側のセラミックスパックの裏側に、作業面から3~5mm以内になるように配置される請求項11記載の装置。チャックを第1熱伝導流体容器に結合する第1供給ライン及び第1回収ラインを介して、チャックに第1温度の第1熱伝導流体を提供する工程と、チャックを第2熱伝導流体容器に結合する第2供給ライン及び第2回収ラインを介して、チャックに第2温度の第2熱伝導流体を提供する工程と、第1熱伝導流体容器を第1供給ラインと結合する第1バルブを制御し、第2熱伝導流体容器を第2供給ラインと結合する第2バルブを制御する工程と、第1熱伝導流体容器を第2熱伝導流体容器に結合するパッシブレベリングパイプを通して第1又は第2熱伝導流体を流すことによって、第1熱伝導流体容器のレベルを第2熱伝導流体容器のレベルと等しくする工程を含むプラズマ処理装置でチャックの温度を制御する方法。第1及び第2バルブのうちの一方は、第1及び第2バルブの他方がオン状態にあるとき、オフ状態にあることができるように、全開状態と全閉状態の間で第1及び第2バルブのうちの少なくとも一方を駆動するパルス幅変調のデューティーサイクルを変調する工程を更に含む請求項14記載の方法。