"基板が載置される基板載置部、基板載置部に載置された基板に対して作業を施す作業部及び基板の移載を行う基板移載部を備えた複数の作業装置が上流工程側から下流工程側に一列に並んで設けられて成り、最も上流工程側に位置する作業装置である最上流工程側作業装置はその上流工程側に設けられた基板供給機から供給される基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行い、最上流工程側作業装置以外の各作業装置は上流工程側に隣接する他の作業装置が備える基板載置部に載置された基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行うようになっている液晶パネル製造システムであって、各作業装置は、自装置の基板載置部を自装置の作業部が基板に対する作業を行う作業位置、作業位置よりも下流工程側寄りの基板受け渡し位置及び作業位置よりも上流工程側寄りの基板載置位置のいずれかに位置させることができ、複数の作業装置の間で基板の移載を行う場合、各作業装置は、他の作業装置と同時に基板載置部を基板受け渡し位置に位置させて基板載置部に載置された基板が下流工程側に隣接する他の作業装置の基板移載部によって取り上げられるようにした後、他の作業装置と同時に基板載置部を基板載置位置に位置させて上流工程側に隣接する他の作業装置の基板載置部から基板移載部によって取り上げた基板を自装置が備える基板載置部に載置するようになっており、最上流工程側作業装置は、作業位置に位置させた基板載置部上の基板に対して作業部により作業を行っているとき、作業位置に位置した最上流工程側作業装置の基板載置部と干渉しない領域に進出した基板供給機の基板供給部に載置されて供給された基板を基板移載部により取り上げることを特徴とする液晶パネル製造システム。近年、液晶パネルの大型化に伴い液晶パネル製造システムの大型化が進んでいるが、省スペース化のために各作業装置の小型化が要望されていた。これに対応して各作業装置の小型化が検討されているが、各作業装置が自装置の基板載置部を下流工程側寄りの基板受け渡し位置又は上流工程側寄りの基板載置位置に移動する際に各基板載置部が互いに干渉することになり、一方の基板載置部が退避してからでないと他方の基板載置部が基板受け渡し位置に移動できない構成となっている。このため従来の液晶パネル製造システムでは、基板供給機の基板供給部に載置された基板の最上流工程側作業装置ACF貼着装置の基板載置部への基板の移載、隣接する作業装置の基板載置部間での基板の移載及び最下流工程側作業装置本圧着装置の基板載置部から基板排出機の基板排出部への基板の移載は全て同時に一括して行われるようになっていた。しかしながら、上記従来の液晶パネル製造システムでは、複数の作業装置の全てにおいて基板に対する作業が終了した後、基板の移載を開始するときになってはじめて最上流工程側作業装置であるACF貼着装置から基板供給機に基板要求信号が送られて基板供給機がACF貼着装置への基板の供給動作を開始するようになっていたため、基板供給機からACF貼着装置への基板の移載も含めて一括して作業装置間における基板の移載を行うためには基板供給機による基板の供給動作を待たなければならず、その分無駄時間が生じて液晶パネルの生産効率の向上が妨げられるという問題点があった。そこで本発明は、無駄時間の発生を減らして液晶パネルの生産効率の向上を図ることができる液晶パネル製造システムを提供することを目的とする。請求項1に記載の液晶パネル製造システムは、基板が載置される基板載置部、基板載置部に載置された基板に対して作業を施す作業部及び基板の移載を行う基板移載部を備えた複数の作業装置が上流工程側から下流工程側に一列に並んで設けられて成り、最も上流工程側に位置する作業装置である最上流工程側作業装置はその上流工程側に設けられた基板供給機から供給される基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行い、最上流工程側作業装置以外の各作業装置は上流工程側に隣接する他の作業装置が備える基板載置部に載置された基板を自装置が備える基板移載部によって自装置が備える基板載置部に移載して基板に対する作業を行うようになっている液晶パネル製造システムであって、各作業装置は、自装置の基板載置部を自装置の作業部が基板に対する作業を行う作業位置、作業位置よりも下流工程側寄りの基板受け渡し位置及び作業位置よりも上流工程側寄りの基板載置位置のいずれかに位置させることができ、複数の作業装置の間で基板の移載を行う場合、各作業装置は、他の作業装置と同時に基板載置部を基板受け渡し位置に位置させて基板載置部に載置された基板が下流工程側に隣接する他の作業装置の基板移載部によって取り上げられるようにした後、他の作業装置と同時に基板載置部を基板載置位置に位置させて上流工程側に隣接する他の作業装置の基板載置部から基板移載部によって取り上げた基板を自装置が備える基板載置部に載置するようになっており、最上流工程側作業装置は、作業位置に位置させた基板載置部上の基板に対して作業部により作業を行っているとき、作業位置に位置した最上流工程側作業装置の基板載置部と干渉しない領域に進出した基板供給機の基板供給部に載置されて供給された基板を基板移載部により取り上げる。本発明では、最上流工程側作業装置は、作業位置に位置させた基板載置部上の基板に対して作業部により作業を行っているとき、作業位置に位置した最上流工程側作業装置の基板載置部と干渉しない領域に進出した基板供給機の基板供給部に載置されて供給された基板を基板移載部により取り上げるようになっており、複数の作業装置の全てにおいて基板に対する作業が終了した後にはすぐ、基板供給機による基板の供給動作を待つことなく、基板の移載を開始することができる。このため無駄時間が生じず、その分、液晶パネルの生産効率の向上を図ることができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1に示す液晶パネル製造システム1は、図2に示す長方形のパネル状の基板2の長辺及び短辺それぞれの端部に設けられた複数の電極部3B各電極部は複数の電極から成るのそれぞれに駆動回路等の電子部品4を装着する液晶パネル製造作業を実行するものであり、複数ここでは4台の作業装置11ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B、第1の本圧着装置11C、第2の本圧着装置11Dがこの順で連結されて成る。これら4台の作業装置11はホストコンピュータ12によって統合制御されて動作し、ホストコンピュータ12から生産指令が出されているとき、4台の作業装置11の各々は液晶パネル製造作業の中における各担当分の作業工程を実行する。図1に示すように、液晶パネル製造システム1の上流工程側すなわち液晶パネル製造システム1を構成する複数の作業装置11のうち最も上流工程側に位置する作業装置である最上流工程側作業装置としてのACF貼着装置11Aの上流工程側には液晶パネル製造システム1に基板2を供給する基板供給機13が連結されている。また、液晶パネル製造システム1の下流工程側すなわち液晶パネル製造システム1を構成する複数の作業装置11のうち最も下流工程側に位置する作業装置である最下流工程側作業装置としての第2の本圧着装置11Dの下流工程側には液晶パネル製造システム1から基板2を排出する基板排出機14が連結されている。本実施の形態では、基板供給機13の作動制御は最上流工程側作業装置であるACF貼着装置11Aの制御部図示せずによってなされ、基板排出機14の作動制御は最下流工程側作業装置である第2の本圧着装置11Dの制御部図示せずによってなされる。4台の作業装置11ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B、第1の本圧着装置11C及び第2の本圧着装置11Dはそれぞれ、図3a,b,c及び図4a,bに示すように、基台21上に、基板2が載置されるテーブル状の基板載置部22、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11ACF貼着装置11Aについては基板供給機13が備える基板載置部22ACF貼着装置11Aについては基板供給機13が備える後述の基板供給部33から基板2を取り上げて自装置の基板載置部22に載置すなわち移載する基板移載部としての移載アーム23と、基板載置部22に載置した基板2に対して作業を施す作業部24を備えている。なお、図3aに示すように、液晶パネル製造システム1のオペレータOPは通常、各作業装置11の作業部24が設けられている側において所要の作業を行う。ここで各作業装置11の作業部24は、ACF貼着装置11Aについては、基板2の長辺及び短辺それぞれの電極部3BにACFテープの切片5図2を貼着するACF貼着作業部であり、仮圧着装置11Bについては、ACFテープの切片5が貼着された電極部3Bに電子部品4を仮圧着する仮圧着作業部であり、第1の本圧着装置11Cについては、基板2の長辺の電極部3Bに仮圧着された電子部品4を本圧着する第1の本圧着作業部であり、第2の本圧着装置11Dについては、仮圧着装置11Bによって基板2の短辺の電極部3Bに仮圧着された電子部品4を本圧着する第2の本圧着作業部である。図4a,bにおいて、基板載置部22は、基台21上に設けられた基板載置部移動機構22aによって水平面内方向に移動自在及び昇降自在に設けられており、各作業装置11の制御部図示せずは、基板載置部移動機構22aの作動制御を行うことにより、基板載置部22を、作業装置11が備える作業部24が基板2に対する作業を行う作業位置図3a及び図5aに示す位置、下流工程側に隣接する他の作業装置11に基板2を受け渡すときの下流工程側寄りの基板受け渡し位置図3b及び図5bに示す位置及び上流工程側に隣接する他の作業装置11が備える基板載置部22から取り上げた基板2を載置するときの上流工程側寄りの基板載置位置図3c及び図5cに示す位置のいずれかに位置させることができる。ここで、作業装置11が自装置の基板載置部22を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させた場合、下流工程側に隣接して位置する他の作業装置11の基板載置部22が仮に基板載置位置に位置していたとすると、自装置の基板載置部22と下流工程側の作業装置11の基板載置部22とは干渉する。すなわち基板載置部22を基板受け渡し位置に位置させる場合、基板載置部22は下流工程側の他の作業装置11が備える基板載置部22の可動範囲内に上流工程側から進入することになる。また、作業装置11が自装置の基板載置部22を上流工程側寄りの基板載置位置に位置させた場合、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11の基板載置部22が仮に基板受け渡し位置に位置していたとすると、自装置の基板載置部22と上流工程側の作業装置11の基板載置部22とは干渉する。すなわち基板載置部22を基板載置位置に位置させる場合、基板載置部22は上流工程側の他の作業装置11が備える基板載置部22の可動範囲内に下流工程側から進入することになる。図4a,bにおいて、各作業装置11の移載アーム23は、その作業装置11の基台21上に立設して設けられた揺動支柱23aに一端部が枢支されて水平面内方向に揺動自在になっており、移載アーム23の他端部には、基板2の上面を吸着して保持する基板保持部23bが設けられている。各作業装置11の制御部は、揺動支柱23a回りに移載アーム23を揺動させて基板保持部23bを上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11の基板受け渡し位置に位置させた基板載置部22ACF貼着装置11Aについては基板供給機13の基板供給部33の上方と自装置の基板載置位置に位置させた基板載置部22の上方との間で移動させるアーム揺動動作と、上流工程側に隣接して位置する作業装置11が基板受け渡し位置に位置させた基板載置部22上の基板2を移載アーム23によって取り上げる基板保持部23bに接触させて吸着する動作及び移載アーム23によって取り上げた基板2を基板載置位置に位置させた自装置の基板載置部22に載置する吸着を解放する動作から成る基板着脱脱動作を組み合わせることにより、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11の基板載置部22ACF貼着装置11Aについては基板供給機13が備える基板供給部33に載置されている基板2を自装置が備える基板載置部22に移載することができる。図3a,b,c及び図6a,b,cにおいて、基板供給機13は、基台31上に、基板2をストックする基板ストック部32と、基板ストック部32から図示しない基板取り出し機構によって取り出された基板2が載置されるテーブル状の基板供給部33を備えている。図6a,b,cにおいて、基板供給部33は、基台31上に設けられた基板供給部移動機構33aによって水平面内方向に移動自在及び昇降自在に設けられており、基板供給機13の制御部図示せずは、基板供給部移動機構33aの作動制御を行うことにより、基板供給部33を、基板ストック部32から取り出した基板2を基板供給部33に載置させる取り出し基板載置位置図3a及び図6b及び下流工程側に隣接するACF貼着装置11Aに基板2を受け渡すときの下流工程側寄りの基板受け渡し位置図6cのいずれかに位置させることができる。ここで、基板供給機13が基板供給部33を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させた場合、下流工程側に隣接して位置する他の作業装置11であるACF貼着装置11Aの基板載置部22が仮に基板載置位置に位置していたとすると、基板供給部33とACF貼着装置11Aの基板載置部22とは干渉する。すなわち基板供給部33を基板受け渡し位置に位置させる場合、基板供給部33は下流工程側のACF貼着装置11Aが備える基板載置部22の可動範囲内に上流工程側から進入することになる。図3a,b,c及び図7a,b,cにおいて、基板排出機14は、基台41上に、基板2が載置されるテーブル状の基板排出部42と、上流工程側に隣接して位置する作業装置11である第2の本圧着装置11Dが備える基板載置部22から基板2を取り上げて基板排出部42に載置すなわち移載する移載アーム43を備えている。図7a,b,cにおいて、基板排出部42は、基台41上に設けられた基板排出部移動機構42aによって水平面内方向に移動自在及び昇降自在に設けられており、基板排出機14の制御部図示せずは、基板排出部移動機構42aの作動制御を行うことにより、基板排出部42を、上流工程側に隣接する作業装置11である第2の本圧着装置11Dの基板載置部22から取り上げた基板2を載置するときの上流工程側寄りの基板載置位置図3c及び図7b及び基板排出部42に載置した基板2を基板排出機14の外部に排出するときの基板排出位置図3a及び図7cのいずれかに位置させることができる。ここで、基板排出機14が基板排出部42を上流工程側寄りの基板載置位置に位置させた場合、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11である第2の本圧着装置11Dの基板載置部22が仮に基板受け渡し位置に位置していたとすると、基板排出部42と第2の本圧着装置11Dの基板載置部22とは干渉する。すなわち基板排出部42を基板載置位置に位置させる場合、基板排出部42は上流工程側の第2の本圧着装置11Dが備える基板載置部22の可動範囲内に下流工程側から進入することになる。図7a,b,cにおいて、基板排出機14の移載アーム43は、基台41上に立設して設けられた揺動支柱43aに一端部が枢支されて水平面内方向に揺動自在になっており、移載アーム43の他端部には、基板2の上面を吸着して保持する基板保持部43bが設けられている。基板排出機14の制御部は、揺動支柱43a回りに移載アーム43を揺動させて基板保持部43bを上流工程側に隣接して位置する作業装置11である第2の本圧着装置11Dの基板受け渡し位置に位置させた基板載置部22の上方と基板載置位置に位置させた基板排出部42の上方との間で移動させるアーム揺動動作と、上流工程側に隣接して位置する第2の本圧着装置11Dが基板受け渡し位置に位置させた基板載置部22上の基板2を移載アーム43によって取り上げる基板保持部43bに接触させて吸着する動作及び移載アーム43によって取り上げた基板2を基板排出位置に位置させた基板排出部42に載置する吸着を解放する動作から成る基板着脱脱動作を組み合わせることにより、上流工程側に隣接して位置する第2の本圧着装置11Dの基板載置部22に載置されている基板2を基板排出部42に移載することができる。基板排出位置に移動された基板排出部42上の基板2は、図示しない基板搬出機構によって基板排出機14の外部に搬出される。このように本実施の形態における液晶パネル製造システム1は、基板2が載置される基板載置部22、基板載置部22に載置された基板2に対して作業を施す作業部24及び基板2の移載を行う基板移載部である移載アーム23を備えた複数の作業装置11が上流工程側から下流工程側に一列に並んで設けられて成り、最も上流工程側に位置する作業装置11である最上流工程側作業装置としてのACF貼着装置11Aはその上流工程側に設けられた基板供給機13から供給される基板2を自装置が備える移載アーム23によって自装置が備える基板載置部22に移載して基板2に対する作業を行い、ACF貼着装置11A以外の各作業装置11仮圧着装置11B、第1の本圧着装置11C及び第2の本圧着装置11Dは上流工程側に隣接する他の作業装置11が備える基板載置部22に載置された基板2を自装置が備える移載アーム23によって自装置が備える基板載置部22に移載して基板2に対する作業を行うようになっている。そして、各作業装置11は、自装置の基板載置部22を自装置の作業部24が基板2に対する作業を行う作業位置、作業位置よりも下流工程側寄りの基板受け渡し位置及び作業位置よりも上流工程側寄りの基板載置位置のいずれかに位置させることができ、複数の作業装置11の間で基板2の移載を行う場合、各作業装置11は、他の作業装置11と同時に基板載置部22を基板受け渡し位置に位置させて基板載置部22に載置された基板2が下流工程側に隣接する他の作業装置11の移載アーム23によって取り上げられるようにした後、他の作業装置11と同時に基板載置部22を基板載置位置に位置させて上流工程側に隣接する他の作業装置11の基板載置部22から移載アーム23によって取り上げた基板2を自装置が備える基板載置部22に載置するようになっている。次に、液晶パネル製造システム1を構成する基板供給機13とACF貼着装置11Aの間における基板2の受け渡し動作、隣接する2つの作業装置11の間における基板2の受け渡し動作及び第2の本圧着装置11Dと基板排出機14の間における基板2の受け渡し動作について説明する。先ず、基板供給機13とACF貼着装置11Aの間における基板2の受け渡し動作について説明する。基板供給機13の制御部は、前述の図示しない基板取り出し機構の作動制御を行って基板ストック部32より基板2を取り出して基板供給部33に載置したら図8a。図中に示す矢印A、ACF貼着装置11Aから基板要求信号が出力されるまで待機する。基板供給機13の制御部は、ACF貼着装置11Aから基板要求信号が出力されたことを検知したら、基板供給部移動機構33aの作動制御を行って基板供給部33をACF貼着装置11A寄りの基板受け渡し位置に位置させたうえで図8b中に示す矢印B1、ACF貼着装置11Aに基板供給完了信号を出力する。ACF貼着装置11Aは、基板供給機13より基板供給完了信号を受け取ったら、移載アーム23を基板供給機13の側に揺動させ図8b中に示す矢印C1、基板保持部23bを基板供給機13の基板供給部33の上方に位置させる図8b。基板供給機13の制御部は、基板供給部33を基板受け渡し位置に位置させ、基板供給機13の基板供給部33の上方にACF貼着装置11Aの基板保持部23bが位置したことを検知したら、基板供給部33を上昇させ図8c中に示す矢印D1、ACF貼着装置11Aの基板保持部23bに基板2を下方から接触させる図8c。一方、ACF貼着装置11Aの制御部は、自装置が備える基板保持部23bに基板2が接触するタイミングで基板保持部23bにより基板2を吸着保持し、基板供給機13の基板供給部33から基板2を取り上げる。基板供給機13の制御部は、ACF貼着装置11Aの移載アーム23基板保持部23bによって基板2が取り上げられるタイミングで基板供給部33を下降させ図8d中に示す矢印E1、基板供給部33を取り出し基板載置位置に位置させる図8e中に示す矢印B2。この取り出し基板載置位置は、ACF貼着装置11Aの基板載置部22が基板供給機13寄りの基板載置位置に位置した際に基板供給機13の基板供給部33と干渉しない位置である図8e。これにより基板供給機13の基板供給部33には、基板ストック部32からの取り出された新たな基板2の載置が可能となる。なお、基板供給機13の制御部は、基板2が載置された基板供給部33をACF貼着装置11A寄りの基板受け渡し位置に移動させて基板2をACF貼着装置11Aの移載アーム23基板保持部23bに受け渡す動作及びその後基板供給部33を取り出し基板載置位置に移動させて新たな基板2の取り上げに備える動作を、ACF貼着装置11Aの作業部24ACF貼着作業部による基板2に対するACF貼着作業又はACF貼着装置11Aから仮圧着装置11Bへの基板2の移載作業と並行して実行する図3a参照。そしてACF貼着装置11Aは、基板2が載置された基板供給機13の基板供給部33が基板供給機13における基板受け渡し位置に移動しても干渉しない位置に自装置ACF貼着装置11Aの基板載置部22が位置していることを条件に、基板供給機13に対して基板要求信号を出力する。次に、隣接する2つの作業装置11の間における基板2の受け渡し動作について説明する。上述のように、ACF貼着装置11Aの移載アーム23が基板供給機13の基板供給部33から基板2を取り上げる動作は、ACF貼着装置11Aの基板載置部22に載置された基板2に対する作業部24による作業又は仮圧着装置11Bへの基板2の移載作業と並行して行われるが、ACF貼着装置11Aにおいて作業が終了した基板2の仮圧着装置11Bへの受け渡し、仮圧着装置11Bにおいて作業が終了した基板2の第1の本圧着装置11Cへの移載及び第1の本圧着装置11Cにおいて作業が終了した基板2の第2の本圧着装置11Dへの移載は、ACF貼着装置11Aにおける基板2に対する作業、仮圧着装置11Bにおける基板2に対する作業及び第1の本圧着装置11Cにおける基板2に対する作業のいずれもが終了した後、同時に一括して行われるように、ホストコンピュータ12によって制御される。すなわちホストコンピュータ12は、4台の作業装置11ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B、第1の本圧着装置11C及び第2の本圧着装置11Dのいずれもが基板2に対する作業を終了した状態を検知したら図9a及び図10a、これら4台の作業装置11の各制御部に基板移載指令信号を出力する。そして、この基板移載指令信号を受けた4台の作業装置11のうち、第2の本圧着装置11Dを除く3台の作業装置11ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B及び第1の本圧着装置11Cの各制御部は、自装置が備える基板載置部移動機構22aの作動制御を行って、自装置が備える基板載置部22を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させるとともに図9b及び図10b中に示す矢印B3、ACF貼着装置11Aを除く3台の作業装置11仮圧着装置11B、第1の本圧着装置11C及び第2の本圧着装置11Dの各制御部は、自装置が備える移載アーム23を上流工程側に揺動させて図9b及び図10b中に示す矢印C2、自装置が備える基板保持部23bを上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11が備える基板載置部22の上方に位置させる図9b及び図10b。ここで、ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B及び第1の本圧着装置11Cが自装置の基板載置部22を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させる際に、第2の本圧着装置11Dが自装置の基板載置部22を基板受け渡し位置に位置させないのは、第2の本圧着装置11Dは、ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B及び第1の本圧着装置11Cにおける基板2に対する作業の実行状態とは無関係に、自装置第2の本圧着装置11Dにおける基板2に対する作業が終了した時点で、その基板2を下流工程側に位置する基板排出機14に受け渡すからである後述。また、仮圧着装置11B、第1の本圧着装置11C及び第2の本圧着装置11Dが自装置の基板保持部23bを上流工程側に隣接する他の作業装置11の側に移動させる際に、ACF貼着装置11Aが自装置の基板保持部23bを上流工程側に隣接する基板供給機13の側に移動させないのは、前述したように、ACF貼着装置11Aは、基板供給機13が基板2を載置させた基板供給部33を基板受け渡し位置に移動させたときにその基板2を基板保持部23bによって取り上げるようにしているからである。4台の作業装置11のうち、第2の本圧着装置11Dを除く3台の作業装置11ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B及び第1の本圧着装置11Cの各制御部が、自装置の基板載置部22を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させるとともに、ACF貼着装置11Aを除く3台の作業装置11仮圧着装置11B、第1の本圧着装置11C及び第2の本圧着装置11Dの各制御部が、自装置の基板保持部23bを上流工程側に隣接する他の作業装置11の基板載置部22の上方に移動させたらこの状態では、仮圧着装置11Bの基板保持部23bの下方にはACF貼着装置11Aの基板載置部22が位置し、第1の本圧着装置11Cの基板保持部23bの下方には仮圧着装置11Bの基板載置部22が位置し、第2の本圧着装置11Dの基板保持部23bの下方には第1の本圧着装置11Cの基板載置部22が位置している、第2の本圧着装置11Dを除く3台の作業装置11の各制御部は自装置の基板載置部22を上昇させて基板2をその上方に位置する下流工程側に隣接して位置する他の作業装置11の基板保持部23bに下方から接触させ、図9c及び図10c中に示す矢印D2、ACF貼着装置11Aを除く3台の作業装置11の各制御部は、自装置の基板保持部23bによって、上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11の基板載置部22上の基板2を吸着保持して取り上げる図9c及び図10c。第2の本圧着装置11Dを除く3台の作業装置11の各制御部は、自装置の基板載置部22に載置された基板2が下流工程側に隣接して位置する他の作業装置11の移載アーム23基板保持部23bによって取り上げるタイミングで、自装置の基板載置部22を下降させる図9d及び図10d中に示す矢印E2。これにより4台の作業装置11は、それぞれ上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11ACF貼着装置11Aについては基板供給機13から基板2を取り上げた状態となる図3b。なお、ACF貼着装置11Aについては通常、自装置の作業部24による基板2に対する作業ACF貼着作業が終了した時点で、既に上流工程側に位置する基板供給機13から基板2を取り上げた状態となっている。上記のように、4台の作業装置11がいずれも上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11ACF貼着装置11Aについては基板供給機13から基板2を取り上げた状態となったら、各作業装置11の制御部は、自装置の基板載置部22を上流工程側寄りの基板載置位置に位置させるとともに図11a及び図12a中に示す矢印B4、自装置の移載アーム23を揺動させて図11a及び図12a中に示す矢印C3、自装置の基板保持部23bを自装置の基板載置部22の上方に位置させる図11a及び図12a。4台の作業装置11の各制御部は、自装置の基板保持部23bによって保持した基板2を自装置の基板載置部22の上方に位置させたら、自装置の基板載置部22を上昇させ図11b及び図12b中に示す矢印D3、自装置の基板保持部23bに保持した基板2に自装置の基板載置部22を下方から接触させる図11b及び図12b。そして、自装置の基板保持部23bによる基板2の保持吸着を解除して、基板載置部22を下降させる図11c及び図12c中に示す矢印E3。これにより、各作業装置11の基板載置部22に基板2が載置され、隣接する作業装置11の間で基板2が移載された状態となる。4台の作業装置11の各制御部は、自装置の基板載置部22に基板2を載置したら、その基板載置部22を作業位置に位置させるとともに図11d及び図12d中に示す矢印B5、自装置の移載アーム23を中立位置基板保持部23bが自装置と上流工程側に隣接して位置する他の作業装置11とのいずれにも大きく寄っていない位置に位置させる図11d及び図12d中に示す矢印C4。これにより各作業装置11は、基板2に対する作業部24による作業の実行が可能な状態となり図11d及び図12d、各作業装置11において、作業部24による基板2に対する作業が実行される。すなわち、本実施の形態における液晶パネル製造システム1では、複数の作業装置11の間で基板2を移動させずらしつつ、各作業装置11の基板載置部22に載置された基板2に対して所定の作業を施すものとなっている。次に、第2の本圧着装置11Dと基板排出機14の間における基板2の受け渡し動作について説明する。第2の本圧着装置11Dの制御部は、自装置の基板載置部22に載置した基板2に対する作業が終了したら図13a、自装置の基板載置部移動機構22aの作動制御を行って基板載置部22を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させるとともに図13b。図中に示す矢印B6、基板排出信号を基板排出機14に出力する。そして基板排出機14の制御部は、第2の本圧着装置11Dの制御部から基板排出信号を受け取ったら、移載アーム43を第2の本圧着装置11Dの側に揺動させ図13b中に示す矢印C5、基板保持部43bを第2の本圧着装置11Dの基板載置部22の上方に位置させる図13b。第2の本圧着装置11Dの制御部は、自装置の基板載置部22を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させ、基板排出機14の基板保持部43bが自装置第2の本圧着装置11Dの基板載置部22の上方に位置したことを検知したら、自装置の基板載置部22を上昇させ図13c中に示す矢印D4、自装置の基板載置部22に載置されている基板2を基板排出機14の基板保持部43bに下方から接触させる図13c。基板排出機14の制御部は、第2の本圧着装置11Dによって上昇された基板2が基板保持部43bに接触したことを検知したら、基板保持部43bによって基板2を吸着保持して取り上げる。一方、第2の本圧着装置11Dの制御部は、基板排出機14の移載アーム43基板保持部43bによって基板2が取り上げられるタイミングで自装置の基板載置部22を下降させた後図13d中に示す矢印E4、基板載置部22を作業位置に位置させる図14a中に示す矢印B7。これにより、第2の本圧着装置11Dから基板排出機14に基板2が受け渡された状態となり、第2の本圧着装置11Dの基板載置部22は、上流工程側に隣接して位置する第1の本圧着装置11Cから基板2の取り上げを待つ待機状態となる。基板排出機14の制御部は、基板保持部43bによって基板2を吸着保持したら、移載アーム43を揺動させるとともに図14a中に示す矢印C6、基板排出部42を上流工程側寄りの基板載置位置に位置させて図14a中に示す矢印B8、基板保持部43bを基板排出部42の上方に位置させる図14a。そして、基板排出部42を上昇させ図14b中に示す矢印D5、基板保持部43bに保持した基板2に基板排出部42を下方から接触させてから図14b、基板保持部43bによる基板2の保持吸着を解除し、基板排出部42を下降させてから図14c中に示す矢印E5、基板排出部42を基板排出位置に位置させる図14d。図中に示す矢印B9。これにより、第2の本圧着装置11Dから基板排出機14に移載された基板2が基板排出機14から排出可能な状態となる。なお、第2の本圧着装置11Dの制御部は、自装置の作業部24による基板2に対する作業が終了した後、基板載置部22を下流工程側寄りの基板受け渡し位置に位置させる動作を、第2の本圧着装置11Dを除く3台の作業装置11ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B及び第1の本圧着装置11Cにおける基板2に対する作業の実行状態とは無関係にすなわち、ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B及び第1の本圧着装置11Cのいずれかにおいて基板2に対する作業が継続中であっても実行する。また、基板排出機14の制御部は、移載アーム43を第2の本圧着装置11Dの側に揺動させて第2の本圧着装置11Dにおいて作業済みの基板2を吸着し取り上げ、基板排出部42に載置させた基板2を基板排出位置に位置させて基板2を排出させるまでの一連の動作を、第2の本圧着装置11Dを除く3台の作業装置11における基板2に対する作業の実行状態とは無関係にすなわち、ACF貼着装置11A、仮圧着装置11B及び第1の本圧着装置11Cのいずれかにおいて基板2に対する作業が継続中であっても実行する図3a参照。以上説明したように、本実施の形態における液晶パネル製造システム1では、最上流工程側作業装置であるACF貼着装置11Aは、作業位置に位置させた基板載置部22上の基板2に対して作業部24により作業を行っているとき、作業位置に位置したACF貼着装置11Aの基板載置部22と干渉しない領域に進出した基板供給機13の基板供給部33に載置されて供給された基板2を移載アーム23により取り上げるようになっており、複数の作業装置11の全てにおいて基板2に対する作業が終了した後にはすぐ、基板供給機13による基板2の供給動作を待つことなく、基板2の移載を開始することができる。このため無駄時間が生じず、その分、液晶パネルの生産効率の向上を図ることができる。"