インゴットを切断するワイヤソーと、前記ワイヤソーを駆動させるローラと、前記インゴットが切断される前に前記インゴットを冷却させる流体を備えるバスと、を含む単結晶インゴット切断装置。前記インゴットを上方に移動させる移動装置をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の単結晶インゴット切断装置。前記インゴットは切断される前に前記流体と接触されることを特徴とする請求項1に記載の単結晶インゴット切断装置。前記流体はスラリーを含むことを特徴とする請求項1に記載の単結晶インゴット切断装置。前記バス内の流体の温度を維持する熱交換器をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の単結晶インゴット切断装置。前記ワイヤソーにスラリーを供給するスラリーノズルをさらに含み、前記流体は、前記バスから前記熱交換器を経て前記スラリーノズルを介して前記ワイヤソーに供給されることを特徴とする請求項5に記載の単結晶インゴット切断装置。前記インゴット切断によるウェハを支持する可変ガイドをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の単結晶インゴット切断装置。インゴットを切断する前に所定の流体を備えるバスに浸漬するステップと、前記インゴットを前記バスからワイヤソーにダウンアップ供給するステップと、前記インゴットを切断するステップと、を含む単結晶インゴットの切断方法。前記インゴットは切断される前に前記流体と接触されることを特徴とする請求項8に記載の単結晶インゴットの切断方法。前記流体は、前記バスから熱交換器を経てスラリーノズルを介して前記ワイヤソーに供給されることを特徴とする請求項8に記載の単結晶インゴットの切断方法。本発明は、被加工物の切断中に発生する切断熱の影響を最小化できる単結晶インゴット切断装置及び単結晶インゴットの切断方法を提供することを目的とする。本発明の単結晶インゴット切断装置は、インゴットを切断するワイヤソーと、前記ワイヤソーを駆動させるローラと、前記インゴットが切断される前に前記インゴットを冷却させる流体を備えるバスと、を含む。また、本発明の単結晶インゴットの切断方法は、インゴットを切断する前に所定の流体を備えるバスに浸漬するステップと、前記インゴットを前記バスからワイヤソーにダウンアップ供給するステップと、前記インゴットを切断するステップと、を含む。本発明の単結晶インゴット切断装置及び単結晶インゴットの切断方法によれば、被加工物が切断前まで温度が維持されるスラリーバス内部に存在することで、切断熱による被加工物の膨張または収縮を最小化することができる。実施例の説明において、各ウェハ、装置、チャック、部材、部、領域または面などが、各ウェハ、装置、チャック、部材、部、領域または面などの上にまたは下に形成されると記載される場合、その上と下は直接または他の構成要素を介在して形成されるものを全部含む。また、各構成要素の上または下に対する基準は、図面を基準として説明する。図面における各構成要素の大きさは、説明の便宜を図り誇張して図示される場合があるが、実際適用される大きさを意味するものではない。実施例図1は実施例に係る単結晶インゴット切断装置の正面例示図であり、図2は実施例に係る単結晶インゴット切断装置の側面例示図である。実施例で、単結晶インゴットは、多結晶シリコンをCZ法またはFZ法等で棒状の単結晶ボディを形成した後、この単結晶ボディの外部表面を加工して一定の直径を有するようにし、一定の長さに切断することで製造される。例えば、CZ法は、多結晶シリコンを溶融した溶融液にシードを浸漬した後、シード結晶をはやい引き上げ速度で成長させてネッキング工程を行う。そして、単結晶をシードと直径方向に徐々に成長させて所定大きさの直径になるとショルダーリング工程を行う。ショルダーリング工程以後にボディを成長させ、ボディが所定の長さまで成長すると、ボディの直径を減少させて融液から分離するテーリング工程を経ることで、単結晶インゴットの成長が完了する。以後、成長した前記単結晶インゴットのボディ部分を一定大きさに切断するクロッピング工程を行った後、棒状に残留する部分が所定直径を有するように、外部表面を加工する。以後、前記単結晶ボディインゴットを所定の切断装置、例えば、ワイヤーソを利用して、テーブルに装着されたインゴットを移動しながらスラリーを供給してウェハ形態に切断する。一般的に、過度スラリーの供給、インゴット切断にともなうインゴットの熱膨張、インゴット切断装置のワイヤーガイドの軸の伸長などにより、ウェハ切断面形状のプロファイルが不均一となる問題がある。これによって、従来技術によれば、ウェハ切断面形状は不均一に形成され、このようなウェハ切断面の不均一な形状は、ナノトポグラフィーにウェビネスパターンなどの不良を招来する。実施例は、被加工物の切断中に発生する切断熱の影響を最小化できる単結晶インゴット切断装置及び単結晶インゴットの切断方法を提供しようとする。以下、図1及び図2を参照して、実施例に係る単結晶インゴット切断装置及び単結晶インゴットの切断方法を説明する。前記課題を解決するために、実施例に係るインゴット切断装置100は、インゴットIGを切断するワイヤソー160と、前記ワイヤソー160を駆動させるローラR1、R2、R3、R4、R5と、前記インゴットIGが切断される前に前記インゴットIGを冷却させる流体Lを備えるバス110とを含むことができる。実施例で、ローラは5個と例示しているが、これに限定されるものではない。実施例は、被加工物の切断中に発生する切削熱が被加工物全体に伝導され、被加工物が膨張収縮する現象を防止するために、バスタイプのインゴット切断装置を提供することができる。実施例によれば、インゴットIGは切断される前に前記流体Lと接触されるので、インゴットIGは切断直前まで温度が維持されるバス110内部に存在し、切削時に大気雰囲気に露出することになる。このために、実施例は、前記インゴットIGを前記バス110から上方に移動させる移動装置120をさらに含むことができる。例えば、前記インゴットIGを、前記バス110から前記ワイヤソー160にダウンアップ供給する移動装置120をさらに含むことができるが、これに限定されるものではない。前記移動装置120は、油圧シリンダ120からなることができるが、これに限定されるものではない。また、実施例は、油圧シリンダ120とバス110との間にリーク防止用のOリング122をさらに含むことができる。これによって、実施例によれば、前記インゴットIGは切断される前に前記流体Lと接触され、切断熱による被加工物の膨張収縮を最小化することができる。実施例に係る単結晶インゴット切断装置によれば、被加工物が切断前まで温度が維持されるスラリーバス内部に存在することで、切断熱による被加工物の膨張収縮を最小化することができる。前記流体Lはスラリーを含むことができるが、これに限定されるものではない。実施例は、前記バス110内の流体の温度を維持する熱交換器130をさらに含み、これによりバス内の流体の温度が設定された温度に維持される。また、実施例は、前記ワイヤソー160にスラリーを供給するスラリーノズル140をさらに含むことができる。これによって、前記流体Lは、前記バス110から前記熱交換器130を経て前記スラリーノズル140を介して前記ワイヤソー160に供給された後、前記バス110に循環するが、これに限定されるものではない。また、実施例は、前記インゴットIG切断によるウェハWを支持する可変ガイド150をさらに有することができる。前記可変ガイド150は、左右の移動を制御可能な可変式からなり、これによって、被加工物上昇切削方式により切削中に発生し得る被加工物が左右に広がる現象は、長さ可変ガイド設置によって補完することができる。実施例に係る単結晶インゴット切断装置及び単結晶インゴットの切断方法によれば、被加工物が切断前まで温度が維持されるスラリーバス内部に存在することで、切断熱による被加工物の膨張収縮を最小化することができる。以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、これは単なる例示であり、本発明は以上の実施例に限定されるものではなく、本発明の本質的な特性の範囲内で多様な変形と応用が可能であることは、当業者にとって自明である。また、このような変形と応用に係る差異点も、本発明の請求の範囲で規定する実施例の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。