複数の錘部31~36を直線状の駆動梁42で連結し、前記駆動梁42の撓みによって前記複数の錘部31~36を振動させると共に、前記駆動梁42の不動点において支持部材43を介して基板10に固定される振動子を有した構造の振動型角速度センサにおいて、前記駆動梁42よりも前記支持部材43のバネ性が小さくされていることを特徴とする振動型角速度センサ。前記基板10の一面側に形成され、該基板10に固定された検出用固定電極24b、25bを有する検出用固定部24、25と、前記検出用固定電極24b、25bと対向配置された検出用可動電極35b、36bを有すると共に該検出用可動電極35b、36bが備えられた質量部35a、36aを有する検出錘35、36と、前記検出錘35、36の周囲を囲むと共に検出梁41を介して前記検出錘35、36を連結する一対の内側駆動錘33、34と、前記一対の内側駆動錘33、34を挟んだ両側に配置された一対の外側駆動錘31、32と、前記内側駆動錘33、34と前記外側駆動錘31、32とを、互いに逆方向に振動させる静電引力を発生させる駆動用固定部22、23とを有し、前記外側駆動錘31、32および前記検出錘35、36が連結された前記内側駆動錘33、34にて前記複数の錘部を構成し、前記駆動梁42にて、前記内側駆動錘33、34と前記外側駆動錘31、32とを連結すると共に、前記支持部材43にて、前記駆動梁42の不動点において前記外側駆動錘31、32および前記検出錘35、36が連結された前記内側駆動錘33、34を前記基板10に支持しており、前記駆動用固定部22、23が発生させる静電引力に基づいて前記駆動梁42を撓ませて前記外側駆動錘31、32と前記内側駆動錘33、34とを振動させるセンサ駆動を行い、該センサ駆動中に角速度が印加されると前記検出梁41が撓むことによって前記検出錘35、36が前記内側駆動錘33、34の振動方向と垂直方向に移動させられ、前記検出用固定電極24b、25bと前記検出用可動電極35b、36bの容量が変化することに基づいて前記角速度を検出するように構成され、前記支持部材43は、前記センサ駆動中に波打って撓む回転梁43aと、前記回転梁43aの両側を前記基板10に支持する支持梁43bと、前記回転梁43aと前記駆動梁42とを、前記駆動梁42の不動点において連結する連結部43cとを有した構成とされ、前記駆動梁42よりも前記回転梁43aの方のバネ性が小さくされていることを特徴とする請求項1に記載の振動型角速度センサ。前記外側駆動錘31、32と前記内側駆動錘33、34の振動方向において、前記駆動梁42の幅h1と前記回転梁43aの幅h2との比となる梁幅比をRとし、1/Rが2以上に設定されていることを特徴とする請求項2に記載の振動型角速度センサ。前記1/Rが3以上に設定されていることを特徴とする請求項3に記載の振動型角速度センサ。前記駆動用固定部22、23と前記内側駆動錘33、34および前記外側駆動錘31、32との間に交流電圧が印加されることで前記センサ駆動が行われ、前記交流電圧の周波数が駆動共振周波数fdに設定され、該駆動共振周波数fdが数kHz~数十kHzとされていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1つに記載の振動型角速度センサ。前記駆動共振周波数fdが5kHz~10kHzとされていることを特徴とする請求項5に記載の振動型角速度センサ。一方の外側駆動錘31と一方の内側駆動錘33と他方の内側駆動錘34および他方の外側駆動錘32が順番に並べられた状態で前記駆動梁42によって連結させており、前記支持部材43は、前記一方の外側駆動梁31と前記一方の内側駆動錘33との間と、前記一方の内側駆動錘33と前記他方の内側駆動錘34との間と、前記他方の内側駆動錘34と前記他方の外側駆動錘32との間、それぞれにおいて、前記基板10と前記駆動梁42とを接続していることを特徴とする請求項2ないし6のいずれか1つに記載の振動型角速度センサ。上記のような構造の角速度センサにおいて、高感度化を行うには、各錘を連結する梁を細くすることで共振周波数を低くすることが考えられる。しかしながら、共振周波数を低くすると、次のような問題が発生することが確認された。図8および図9を参照して、この問題について説明する。図8および図9は、振動中の角速度センサの様子を示した模式図であり、図8は、外側駆動錘および内側駆動錘が通常駆動されているときの様子以下、この状態のときの形状を駆動モード形状という、図9は、外側駆動錘および内側駆動錘が期待しない不要振動モードで振動させられるときの様子以下、この状態のときの形状を不要振動モード形状というを表している。振動型角速度センサは、外側駆動錘J1、J2や内側駆動錘J3、J4を可動部として、外側駆動錘J1、J2に対向して配置された固定電極J5と外側駆動錘J1、J2や内側駆動錘J3、J4との間にAC電圧交流電圧を印加することにより、これらそれぞれに備えられた櫛歯電極J1a、J2a、J3a、J4a、J5aの間に静電引力を発生させることで駆動される。通常駆動時には、AC電圧の周波数が駆動共振周波数fdとされ、図8に示したように、隣り合う外側駆動錘J1、J2と内側駆動錘J3、J4とが互いに逆方向の駆動力が印加されることで、紙面上下方向に逆方向に振動させられる。このため、2つの内側駆動錘J3、J4は紙面上下方向において、逆位相で振動させられることになり、駆動モード形状となる。しかしながら、AC電圧の周波数が所定の周波数frになると、図9に示したように、隣り合う内側駆動錘J3、J4が紙面上下方向において同位相で振動させられ、不要振動モード形状となる以下、この周波数を不要モード周波数という。従来の角速度センサのパターン形状であれば、図10aに示すように、駆動共振周波数fdが15.2kHzとなり、不要モード周波数frとの差Δfrが1.5kHzと駆動共振周波数の1割分程度の大きな値となるため、回路処理において駆動共振周波数fdと不要モード周波数frを判別できる。ところが、高感度化を狙って駆動梁J6を細くすると、図10bに示すように、駆動共振周波数fdが不要モード周波数frに近づいていく。このような現象が起きると、回路処理において駆動共振周波数fdを検知する際、誤って不要振動モードが発生する不要モード周波数frを検知してしまい、誤作動を引き起こすという問題が発生する。具体的には、振動型角速度センサを駆動する際には、AC電圧の周波数を駆動共振周波数fdを検知するために、AC電圧の周波数を変化させながら外側駆動錘J1、J2の変位をモニタしている。例えば、外側駆動錘J1、J2と対向配置されるようにモニタ用の電極を設け、これらの間に形成される容量の変化に基づいて外側駆動錘J1、J2の変位を検出している。このとき、回路処理により、容量変化が大きいときを駆動共振周波数fdとして検知しているが、不要モード周波数frのときにも容量変化が大きくなる。このため、不要モード周波数frが駆動共振周波数fdと近すぎると、不要モード周波数frのときを誤って駆動共振周波数fdと検知してしまい、不要振動モード形状で駆動してしまうという誤作動を引き起こすのである。本発明は上記点に鑑みて、誤作動を発生させることなくセンサの高感度化を図ることが可能な振動型角速度センサを提供することを目的とする。上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、複数の錘部31~36を直線状の駆動梁42で連結し、駆動梁42の撓みによって複数の錘部31~36を振動させると共に、駆動梁42の不動点において支持部材43を介して基板10に固定される振動子を有した構造の振動型角速度センサにおいて、駆動梁42よりも支持部材43のバネ性が小さくされていることを特徴としている。このように、駆動梁42よりも支持部材43のバネ性を小さくすることで、誤って不要モード周波数frを駆動共振周波数fdと検知してしまうことを抑制でき、誤作動を抑制することが可能となる。したがって、誤作動を発生させることなくセンサの高感度化を図ることが可能な振動型角速度センサとすることができる。具体的には、請求項2に記載したように、基板10の一面側に形成され、該基板10に固定された検出用固定電極24b、25bを有する検出用固定部24、25と、検出用固定電極24b、25bと対向配置された検出用可動電極35b、36bを有すると共に該検出用可動電極35b、36bが備えられた質量部35a、36aを有する検出錘35、36と、検出錘35、36の周囲を囲むと共に検出梁41を介して検出錘35、36を連結する一対の内側駆動錘33、34と、一対の内側駆動錘33、34を挟んだ両側に配置された一対の外側駆動錘31、32と、内側駆動錘33、34と外側駆動錘31、32とを、互いに逆方向に振動させる静電引力を発生させる駆動用固定部22、23とを有し、外側駆動錘31、32および検出錘35、36が連結された内側駆動錘33、34にて複数の錘部を構成し、駆動梁42にて、内側駆動錘33、34と外側駆動錘31、32とを連結すると共に、支持部材43にて、駆動梁42の不動点において外側駆動錘31、32および検出錘35、36が連結された内側駆動錘33、34を基板10に支持しており、駆動用固定部22、23が発生させる静電引力に基づいて駆動梁42を撓ませて外側駆動錘31、32と内側駆動錘33、34とを振動させるセンサ駆動を行い、該センサ駆動中に角速度が印加されると検出梁41が撓むことによって検出錘35、36が内側駆動錘33、34の振動方向と垂直方向に移動させられ、検出用固定電極24b、25bと検出用可動電極35b、36bの容量が変化することに基づいて角速度を検出する振動型角速度センサに適用可能である。この場合において、支持部材43を、センサ駆動中に波打って撓む回転梁43aと、回転梁43aの両側を基板10に支持する支持梁43bと、回転梁43aと駆動梁42とを、駆動梁42の不動点において連結する連結部43cとを有した構成とし、駆動梁42よりも回転梁43aの方のバネ性が小さくされるようにすることで、請求項1に記載の効果を得ることができる。請求項3に記載の発明では、外側駆動錘31、32と内側駆動錘33、34の振動方向において、駆動梁42の幅h1と回転梁43aの幅h2との比となる梁幅比をRとし、1/Rが2以上に設定されていることを特徴としている。このように、1/Rが2以上であれば駆動共振周波数fdと不要モード周波数frとの周波数差Δfrが10以上となる。このため、より誤作動を防止できる振動型角速度センサとすることが可能となる。請求項4に記載の発明では、1/Rが3以上に設定されていることを特徴としている。このように、1/Rが3以上であれば駆動共振周波数fdと不要モード周波数frとの周波数差Δfrが20以上となる。このため、更に誤作動を防止できる振動型角速度センサとすることが可能となる。請求項5に記載の発明では、駆動用固定部22、23と内側駆動錘33、34および外側駆動錘31、32との間に交流電圧が印加されることでセンサ駆動が行われ、交流電圧の周波数が駆動共振周波数fdに設定され、該駆動共振周波数fdが数kHz~数十kHzとされていることを特徴としている。また、請求項6に記載の発明では、駆動共振周波数fdが5kHz~10kHzとされていることを特徴としている。このように、駆動共振周波数fdを数kHz~数十kHzに設定すること、特に5kHz~10kHzに設定することにより、振動型角速度センサの高感度化を図ることが可能となる。例えば、請求項7に記載したように、一方の外側駆動錘31と一方の内側駆動錘33と他方の内側駆動錘34および他方の外側駆動錘32が順番に並べられた状態で駆動梁42によって連結され、一方の外側駆動梁31と一方の内側駆動錘33との間と、一方の内側駆動錘33と他方の内側駆動錘34との間と、他方の内側駆動錘34と他方の外側駆動錘32との間、それぞれにおいて、基板10と駆動梁42とを支持部材43によって接続した構造とすることができる。なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。第1実施形態本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態で説明する振動型角速度センサジャイロセンサは、物理量として角速度を検出するためのセンサであり、例えば車両の上下方向に平行な中心線周りの回転角速度の検出に用いられるが、勿論、振動型角速度センサを車両用以外に適用することもできる。図1は、本実施形態にかかる振動型角速度センサの平面模式図である。以下、この図を参照して、本実施形態にかかる振動型角速度センサについて説明する。振動型角速度センサは、図1の紙面法線方向が車両の上下方向と一致するようにして車両に搭載される。振動型角速度センサは、板状の基板10の一面側に形成されている。基板10は、支持基板11と半導体層12とで図示しない犠牲層となる埋込酸化膜を挟み込んだ構造とされたSOISilicononinsulator基板にて構成されている。このようなセンサ構造は、半導体層12側をセンサ構造体のパターンにエッチングしたのち埋込酸化膜を部分的に除去し、センサ構造体の一部をリリースしてフローティング状態にすることで構成される。なお、半導体層12の表面に平行な面上の一方向であって紙面左右方向をx軸方向、このx軸方向に直角となる紙面上下方向をy軸方向、半導体層12の一面に垂直な方向をz軸方向として、以下の説明を行う。半導体層12は、固定部20と可動部30および梁部40とにパターニングされている。固定部20は、少なくともその裏面の一部に埋込酸化膜が残されており、支持基板11からリリースされることなく、埋込酸化膜を介して支持基板11に固定された状態とされている。可動部30および梁部40は、振動型角速度センサにおける振動子を構成するものである。可動部30は、その裏面側の埋込酸化膜が除去されており、支持基板11からリリースされてフローティング状態とされている。梁部40は、可動部30を支持すると共に角速度検出を行うために可動部30をx軸方向およびy軸方向において変位させるものである。これら固定部20と可動部30および梁部40の具体的な構造を説明する。固定部20は、可動部30を支持するための支持用固定部21、駆動用電圧が印加される駆動用固定部22、23、および、角速度検出に用いられる検出用固定部24、25とを有した構成とされている。支持用固定部21は、例えば、固定部20のうちの他の部分駆動用固定部22、23および検出用固定部24、25や可動部30などのセンサ構造体の周囲を囲むように配置され、その内壁において梁部40を介して可動部30を支持している。ここでは、支持用固定部21がセンサ構造体の周囲全域を囲む構造を例に挙げているが、その一部のみに形成された構造であっても構わない。駆動用固定部22、23は、後述するように外側駆動錘31と内側駆動錘33との間に配置された駆動用固定部22と、外側駆動錘32と内側駆動錘34との間に配置された駆動用固定部23とによって構成されている。これら駆動用固定部22、23は、基部22a、23aと櫛歯状の駆動用固定電極22b、23bを備えた構成とされている。基部22a、23aは、y軸方向に延設されている。この基部22a、23aに対して複数の駆動用固定電極22b、23bが接続されており、基部22a、23aに備えられた図示しないボンディングパッドに接続されるボンディングワイヤを通じて、外部からAC電圧駆動用電圧が印加できる構成とされている。この基部22a、23aに対して所望のAC電圧を印加することで、各駆動用固定電極22b、23bにも所望のAC電圧が印加できるようになっている。駆動用固定電極22b、23bは、後述するように外側駆動錘31、32や内側駆動錘33、34に備えられた櫛歯状の駆動用可動電極31b、32b、33b、34bの各櫛歯と対向配置された櫛歯状の電極である。具体的には、駆動用固定電極22b、23bは、x軸方向に延設された複数の支持部22c、23cと、各支持部22c、23cからy軸方向に延設された複数の櫛歯状電極22d、23dにより構成されており、このような構造体が基部22a、23aの紙面左右両側においてy軸方向に複数個並べられた構成とされている。検出用固定部24、25は、後述するように内側駆動錘33、34に備えられた検出錘35、36内に配置されている。検出用固定部24、25は、基部24a、25aと検出用固定電極24b、25bとを有した構成とされている。基部24a、25aには、図示しないボンディングパッドが備えられており、このボンディングバッドに接続されるボンディングワイヤを通じて、外部への信号取り出しを行うことが可能となっている。検出用固定電極24b、25bは、基部24a、25aからy軸方向に延設された複数の櫛歯状の電極であり、検出錘35、36に備えられた櫛歯状の検出用可動電極35b、36bの各櫛歯と対向配置されている。可動部30は、角速度印加に応じて変位する部分であり、外側駆動錘31、32と内側駆動錘33、34および検出錘35、36とを有した構成とされている。可動部30は、外側駆動錘31、検出錘35を内蔵する内側駆動錘33、検出錘36を内蔵する内側駆動錘34および外側駆動錘32が順にx軸方向に並べられたレイアウトとされている。外側駆動錘31、32は、質量部31a、32aと駆動用可動電極31b、32bとを有した構成とされている。質量部31a、32aは、y軸方向に延設されている。質量部31aは、駆動用固定部22の基部22aと対向配置され、質量部32aは、駆動用固定部23の基部23aに対向配置されている。この質量部31a、32aを錘として、外側駆動錘31、32がy軸方向に移動可能とされている。駆動用可動電極31b、32bは、駆動用固定部22、23に備えられた櫛歯状の駆動用固定電極22b、23bの各櫛歯と対向配置された櫛歯状の電極である。具体的には、駆動用可動電極31b、32bは、x軸方向に延設された複数の支持部31c、32cと、各支持部31c、32cからy軸方向に延設された複数の櫛歯状電極31d、32dにより構成されており、このような構造体が質量部31a、32aのうち駆動用固定部22、23側においてy軸方向に複数個並べられた構成とされている。内側駆動錘33、34は、質量部33a、34aと駆動用可動電極33b、34bとを有した構成とされている。質量部33a、34aは、四角形状の枠体形状とされており、この質量部33a、34aを錘として、内側駆動錘33、34がy軸方向に移動可能とされている。四角形状で構成された各質量部33a、34aの相対する二辺がそれぞれx軸方向とy軸方向に平行とされ、y軸方向とされた辺のうちの一辺が駆動用固定部22、23の基部22a、23aと対向配置されている。具体的には、質量部33a、34aのy軸方向とされた辺のうちの一辺が駆動用固定部22、23の基部22a、23aと対向配置され、その基部22a、23aと対向配置された一辺に、駆動用可動電極33b、34bが備えられている。駆動用可動電極33b、34bは、駆動用固定部22、23に備えられた櫛歯状の駆動用固定電極22b、23bの各櫛歯と対向配置された櫛歯状の電極である。具体的には、駆動用可動電極33b、34bは、x軸方向に延設された複数の支持部33c、34cと、各支持部33c、34cからy軸方向に延設された複数の櫛歯状電極33d、34dにより構成されており、このような構造体が質量部33a、34aのうち駆動用固定部22、23側においてy軸方向に複数個並べられた構成とされている。検出錘35、36は、質量部35a、36aと検出用可動電極35b、36bとを有した構成とされている。質量部35a、36aは、四角形状の枠体形状とされており、後述する梁部40のうちの検出梁41を介して内側駆動錘33、34の内壁面に支持されている。検出錘35、36は内側駆動錘33、34と共にy軸方向に移動させられるが、質量部35a、36aを錘として、検出錘35、36がx軸方向に移動可能な構成とされている。検出用可動電極35b、36bは、質量部35a、36aの内壁面からy軸方向に延設された複数の櫛歯状の電極であり、検出用固定部24、25に備えられた櫛歯状の検出用固定電極24b、25bの各櫛歯と対向配置されている。梁部40は、検出梁41と、駆動梁42および支持部材43を有した構成とされている。検出梁41は、内側駆動錘33、34の質量部33a、34aの内壁面のうちx軸方向と平行とされた辺と検出錘35、36の質量部35a、36aの外壁面のうちx軸方向と平行とされた辺とを接続する梁である。検出梁41は、x軸方向において変位可能とされていることから、この検出梁41の変位に基づいて検出錘35、36が内側駆動錘33、34に対してx軸方向に移動可能となっている。駆動梁42は、外側駆動錘31、32および内側駆動錘33、34を連結すると共に、これら外側駆動錘31、32および内側駆動錘33、34のy軸方向への移動を可能とするものである。一方の外側駆動錘31、一方の内側駆動錘33、他方の内側駆動錘34および他方の外側駆動錘32が順番に並べられた状態で駆動梁42によって連結されている。具体的には、駆動梁42は、y軸方向の幅が所定寸法とされた直線状梁であり、紙面上下方向において、外側駆動錘31、32および内側駆動錘33、34を挟んだ両側に一本ずつ配置されており、それぞれ、外側駆動錘31、32および内側駆動錘33、34に接続されている。駆動梁42と外側駆動錘31、32および内側駆動錘33、34とは直接接続されていても良いが、例えば本実施形態では駆動梁42と内側駆動錘33、34とを連結部42aを介して接続している。支持部材43は、外側駆動錘31、32や内側駆動錘33、34および検出錘35、36を支持するものである。具体的には、支持部材43は、支持用固定部21の内壁面と駆動梁42との間に備えられており、駆動梁42を介して上記各錘31~36を支持用固定部21に支持する。支持部材43は、回転梁43aと支持梁43bおよび連結部43cとを有した構成とされ、回転梁43aは、y軸方向の幅が所定寸法とされた直線状梁であり、その両側に支持梁43bが接続されていると共に、支持梁43bと反対側の中央位置に連結部43cが接続されている。この回転梁43aは、センサ駆動時に連結部43cを中心としてS字状に波打って撓む。支持梁43bは、回転梁43aの両側を支持用固定部21に接続するものであり、本実施形態では直線状部材とされている。この支持梁43bは、衝撃などが加わった時に各錘31~36がx軸方向に移動することを許容する役割も果たしている。連結部43cは、支持部材43を駆動梁42に接続する役割を果たしている。以上のような構造により、外側駆動錘31、32や内側駆動錘33、34および検出錘35、36がそれぞれ2つずつ備えられた一対の角速度検出構造が備えられた振動型角速度センサが構成されている。そして、このように構成された振動型角速度センサにおいて、駆動梁42の幅y軸方向の厚みと回転梁43aの幅y軸方向の厚みとに基づいて上述した不要振動モード形状となることを抑制している。このような効果が得られることについては、後で詳細に説明する。続いて、このように構成された振動型角速度センサの作動について説明する。図2~図4は、本実施形態にかかる振動型角速度センサの作動中の様子を示した模式図である。これらの図を参照して説明する。図2は、振動型角速度センサの基本動作時の様子を示した模式図である。駆動用固定部22、23に対してAC電圧を印加することにより、外側駆動錘31、32および内側駆動錘33、34との間に電位差を発生させると、その電位差に基づいてy軸方向に静電気力が発生する。この静電気力に基づいて、各駆動錘31~34をy軸方向に振動させる。このとき、AC電圧の周波数を変えながら各駆動錘31~34のy軸方向の振動をモニタし、AC電圧の周波数が駆動共振周波数fdとなるように調整している。例えば、外側駆動錘31、32と対向配置されるようにモニタ用の電極を設け、これらの間に形成される容量の変化に基づいて外側駆動錘31、32の変位を検出している。このとき、回路処理により、容量変化が大きいときを駆動共振周波数fdとして検知している。駆動共振周波数fdは、駆動梁42の幅などの振動子の構造によって決まるが、駆動共振周波数fdを数kHz~数十kHzに設定すること、特に5kHz~10kHzに設定することにより、振動型角速度センサの高感度化を図ることが可能となる。このとき、駆動用固定部22に備えられた駆動用固定電極22bと外側駆動錘31に備えられた駆動用可動電極31bおよび内側駆動錘33に備えられた駆動用可動電極33bの配置により、図2に示すように、外側駆動錘31と内側駆動錘33とがy軸方向において互いに逆方向に振動させられるようにしている。また、駆動用固定部23に備えられた駆動用固定電極23bと外側駆動錘32に備えられた駆動用可動電極32bおよび内側駆動錘34に備えられた駆動用可動電極34bの配置により、図2に示すように、外側駆動錘32と内側駆動錘34とがy軸方向において互いに逆方向に振動させられるようにしている。さらに、2つの内側駆動錘33、34がy軸方向において逆位相で振動させられるようにしている。これにより、振動型角速度センサは、駆動モード形状にて駆動されることになる。なお、このときには、駆動梁42がS字状に波打つことで各錘部31~34のy軸方向への移動が許容されるが、回転梁43aと駆動梁42とを接続している連結部43cの部分については振幅の節不動点となり、殆ど変位しない構造にしてある。図3は、振動型角速度センサに角速度が印加された時の様子を示した模式図である。上記した図2のような基本動作を行っている際に振動型角速度センサにz軸回りの角速度が印加されると、コリオリ力により、図3に示すように検出錘35、36がx軸方向へ変位する。この変位により、検出錘35の検出用可動電極35bと検出用固定部24の検出用固定電極24bとによって構成されるキャパシタの容量値や、検出錘36の検出用可動電極36bと検出用固定部25の検出用固定電極25bとによって構成されるキャパシタの容量値が変化する。このため、検出用固定部24、25のボンディングパッドからの信号取り出しに基づいてキャパシタの容量値の変化を読み取ることにより、角速度を検出することができる。例えば、本実施形態のような構成の場合、2つの角速度検出構造それぞれから取り出した信号を差動増幅してキャパシタの容量値の変化を読み取ることが可能であるため、より正確に角速度を検出することが可能となる。図4は、振動型角速度センサに対して紙面左方向から衝撃が加えられたときの様子を示した模式図である。この図に示されるように、紙面左方向から衝撃が加えられると、支持梁43bや検出梁41が変形し、各駆動錘31~34が紙面右方向に変位すると共に、それに同調して検出錘35、36も紙面右方向に変位する。このため、加工バラツキ等で各錘部31~36や梁部40が理想状態から多少ずれていても、同調した動きが実現される。したがって、2つの検出錘35、36の変位による検出容量値の変化の差が生じ難くなるという効果が生まれ、耐衝撃性の向上を図ることが可能な振動型角速度センサとすることが可能となる。ここで、本実施形態の振動型角速度センサでは、上記したように、駆動梁42の幅y軸方向の厚みと回転梁43aの幅y軸方向の厚みとに基づいて不要振動モード形状となることを抑制している。このような効果が得られる理由について説明する。本発明者らは、振動型角速度センサについて様々な検討を行ったところ、駆動共振周波数fdと不要モード周波数frとの差Δfrは、駆動梁42の幅と支持部材43における回転梁43aの幅との比以下、梁幅比というRに依存することを解明した。以下に、そのメカニズムについて説明する。図2に示した基本動作時と図9に示した不要振動モード時に着眼して、振動型角速度センサの振動モデルを簡略化すると、図5のような簡略モデル図で表すことができる。すなわち、可動部30を質量Mの錘50と見立てて、その錘50を駆動梁42と回転梁43aとによって支持した簡易モデルで表現できる。ここで、ααd1、αd2を係数、Eをヤング率、II1、I2を断面2次モーメント、LL1、L2を梁長さとすると、基本動作時と不要振動モード時それぞれ場合の駆動梁42と回転梁43aのバネ定数kkd1、kd2、kr1、kr2は、次の図表のようにまとめることができる。そして、基本動作時と不要振動モード時それぞれ場合の周波数、つまり駆動共振周波数fdと不要モード周波数frは、次式で表すことができる。数12πfd2=kd1kd2/M数22πfr2=kr1kr2/Mここで、駆動梁42の幅をh1、回転梁43aの幅をh2とし、これらの比h2/h1が梁幅比Rであるとすると、駆動共振周波数fdと不要モード周波数frとの関係は、次式で表すことができる。この数式から、駆動共振周波数fdと不要モード周波数frとの周波数比fr/fdは、駆動梁42と回転梁43aの梁幅比Rの関数として表されることが判る。このように、周波数比fr/fdが駆動梁42と回転梁43aの梁幅比Rの関数として表されることから、梁幅比Rを変化させることによって周波数比fr/fdを変化させるというメカニズムになる。このような知見に基づいて、梁幅比Rや周波数比fr/fd等について実際に解析を行ったところ、以下のような結果が得られた。これについて、図6および図7を参照して説明する。図6は、梁幅比Rを1/2で固定した場合の駆動共振周波数fdと周波数比fr/fdとの関係の実際の解析例を示すグラフ、図7は、1/Rを変化させたときの周波数比fr/fdの関係の実際の解析例を示すグラフである。図6に示されるように、駆動梁42や回転梁43aを変化させることで駆動共振周波数fdを変化させたとしても、1/Rが一定、つまり梁幅比Rが一定であれば、周波数比fr/fdはほぼ一定になっていることが確認された。ここでは、1/Rを1/2としているが、fr/fdが1.12程度となることから、駆動共振周波数fdと不要モード周波数frとの周波数差Δfrは、駆動共振周波数fdの12程度となる。周波数差Δfrが10以上あれば、誤って不要モード周波数frを駆動共振周波数fdと検知してしまうことはなく、誤作動を引き起こすこともないことから、少なくともR=1/2の条件であれば、十分に誤作動を防止できることが判る。一方、図7に示されるように、1/Rを変えると、周波数比fr/fdが変化することが確認された。具体的には、1/Rが大きくなる程、周波数比fr/fdが大きくなった。これは、1/Rが大きくなる程、駆動共振周波数fdと不要モード周波数frとの周波数差Δfrが大きくなることを意味している。このため、1/Rが1以上となるようにし、駆動梁42の方が回転梁43aよりもバネ性が大きくなるようにすることで周波数差Δfrを大きくしていくことが可能となる。特に、周波数差Δfrが10以上あれば、誤って不要モード周波数frを駆動共振周波数fdと検知してしまうことはなく、誤作動を引き起こすこともない。そして、図7から、1/Rが2以上であれば周波数差Δfrが10以上となり誤作動を防止でき、1/Rが3以上になると周波数差Δfrが20以上となり更に確実に誤作動を防止できることが判る。なお、1/Rが大きくなる程、周波数差Δfrは大きくなるが、1/Rがある程度大きくなると、周波数差Δfrがあまり大きくならなくなり、飽和傾向になることが判る。このため、1/Rが3程度であれば、ほぼ最大の周波数差Δfrを得ることができる。以上説明したように、複数の錘部31~36を直線状の駆動梁42で連結し、駆動梁42の撓みによって複数の錘部31~36を振動させると共に、駆動梁42の節不動点において支持部材43を介して固定部20に固定される振動子を有した構造としている。そして、このような構造において、駆動梁42よりも支持部材43のバネ性、具体的には支持部材43に備えられる回転梁43aのバネ性を小さくすることで、誤って不要モード周波数frを駆動共振周波数fdと検知してしまうことを抑制でき、誤作動を抑制することが可能となる。特に、1/Rが2以上であれば周波数差Δfrが10以上となるため、より誤作動を防止でき、1/Rが3以上になると周波数差Δfrが20以上となるため、更に確実に誤作動を防止できることが可能となる。他の実施形態上記実施形態では、基板10としてSOI基板を用いる場合について説明したが、これは基板10の一例を示したものであり、SOI基板以外のものを用いても良い。上記実施形態では、振動型角速度センサの構造の一例を示したが、適宜設計変更可能である。すなわち、複数の錘部31~36を直線状の駆動梁42で連結し、駆動梁42の撓みによって複数の錘部31~36を振動させると共に、駆動梁42の節不動点において支持部材43を介して固定部20に固定される振動子を有した構造であれば、各錘部31~36の構造や固定部20の各部の構造についてはどのようなものであっても良い。