"荷電粒子ビーム描画装置を構成するチャンバ内の温度を測定する温度測定装置と、前記温度測定装置を収納する筐体と、前記筐体の互いに対向する辺に配置される複数のバッテリケースと、前記温度測定装置が測定した温度測定データを送出するデータ送出部と、を備えることを特徴とする温度調整用マスク。前記バッテリケースは、前記筐体の対角に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の温度調整用マスク。前記バッテリケース内には、バッテリ、コンデンサのいずれか、またはいずれもが格納されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の温度調整用マスク。前記バッテリは、一次電池であることを特徴とする請求項3に記載の温度調整用マスク。温度調整用マスクに設けられている複数のバッテリケースにそれぞれバッテリを装着する工程と、前記温度調整用マスクを荷電粒子ビーム描画装置のインターフェイスにセットする工程と、前記温度調整用マスクを搬送用ロボットを用いて、前記荷電粒子ビーム描画装置に設けられているチャンバに搬送し、前記チャンバ内の温度を測定する工程と、前記インターフェイスに戻った前記温度調整用マスクのデータ送出部から、測定された温度測定データを抽出する工程と、抽出された前記温度測定データを基に、前記チャンバ内の温度を調整する工程と、を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法。しかしながら、上述した特許文献1に記載の発明では、以下の点について解決がなされていない。まず事前にそれぞれのチャンバ内の温度を温度センサ内蔵基板を用いて測定した上でモデル式を作成する必要がある。確かに、モデル式に代入する測定結果を得るための温度測定の時間は大幅に短縮することができるが、上述した事前の準備に掛かる時間までも入れて考えた場合には、チャンバ内の温度測定に関して大幅な時間短縮を果たしたとは言えない可能性がある。また、事前準備として各チャンバ内の温度を測定する必要があるが、その際には、異なるチャンバ内の温度を測定する度にバッテリの交換、或いは、バッテリの充電をする必要がある。これはバッテリの持続時間が短いことに起因する。上記特許文献1では、バッテリの種類については特に言及されていないが、バッテリの充電等の文言から複数回充電が可能な二次電池が使用されているものと思われる。この二次電池は、複数回充電が可能であるので経済的であるものの、充電したとしてもどのくらいの時間持つのか不明である場合もある。そのため、荷電粒子ビーム描画装置に設けられている全てのチャンバ内の温度を一度に測定しようとするとバッテリが持たない可能性が出てくる。従ってこのような状況で温度センサ内蔵基板を使用して温度測定を行おうとすれば、温度測定時間も短くならざるを得ない。この問題に対処するため、特許文献1に記載の発明では、連続して全てのチャンバ内の温度を測定するのではなく、チャンバごとに温度測定を行い、その度にバッテリの充電等を行っているものと推測される。また、温度センサ内蔵基板を使用しての温度測定は、頻繁に行われることはなく、例えば、荷電粒子ビーム描画装置の出荷時や大がかりな点検等があった際に行われるものである。従って、二次電池のバッテリの場合、測定の際、既にバッテリ自体が劣化しており、温度センサ内蔵基板を使用できない、といった問題が発生する可能性もある。さらには、上述した問題が発生した場合に二次電池のバッテリを交換しようとしても、入手困難であったり、価格が高価であったりとすぐには調達できない場合も考えられる。また温度調整用マスクを使用したチャンバ内の温度測定に当たっては、実際の描画処理が行われる状況下で測定がなされる。従って、描画チャンバ内においては、電子銃等を含む光学系に使用されるコイルも励磁された状態で温度測定が行われる。この場合、コイルは励磁されているので、その磁界の中に入ると温度調整用マスクは引力を受ける。この引力は時に温度調整用マスクを浮き上がらせる程であり、もし温度調整用マスクが浮き上がってしまうと、温度調整用マスクを支持しているステージの台座に設けられている支持ピンから落下する可能性がある。本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、チャンバ内の温度測定中のバッテリ切れをなくすとともに、実際の描画処理と同様の状況下での測定を可能とし、かつ各チャンバ内の温度調整を精度良く行うことが可能な温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法を提供することにある。本発明の実施の形態に係る特徴は、温度調整用マスクにおいて、荷電粒子ビーム描画装置を構成するチャンバ内の温度を測定する温度測定装置と、温度測定装置を収納する筐体と、筐体の互いに対向する辺に配置される複数のバッテリケースと、温度測定装置が測定した温度測定データを送出するデータ送出部とを備える。また、上記温度調整用マスクにおいて、バッテリケースは、筐体の対角に配置されていることが望ましい。また、上記温度調整用マスクにおいて、バッテリケース内には、バッテリ、コンデンサのいずれか、またはいずれもが格納されていることが望ましい。さらに、上記温度調整用マスクにおいて、バッテリは、一次電池であることが望ましい。本発明の実施の形態に係る特徴は、荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法において、温度調整用マスクに設けられている複数のバッテリケースにそれぞれバッテリを装着する工程と、温度調整用マスクを荷電粒子ビーム描画装置のインターフェイスにセットする工程と、温度調整用マスクを搬送用ロボットを用いて、荷電粒子ビーム描画装置に設けられているチャンバに搬送し、チャンバ内の温度を測定する工程と、インターフェイスに戻った温度調整用マスクのデータ送出部から、測定された温度測定データを抽出する工程と、抽出された温度測定データを基に、チャンバ内の温度を調整する工程とを備える。本発明によれば、チャンバ内の温度測定中のバッテリ切れをなくすとともに、実際の描画処理と同様の状況下での測定を可能とし、かつ各チャンバ内の温度調整を精度良く行うことが可能な温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の実施の形態における荷電粒子ビーム描画装置1の構成を示す上面図である。なお、以下の実施の形態においては、荷電粒子ビームの一例として電子ビームを用いた構成について説明する。但し、荷電粒子ビームは電子ビームに限られるものではなく、イオンビーム等の荷電粒子を用いたビームであっても良い。荷電粒子ビーム描画装置1は、試料に所定のパターンを描画する装置であり、インターフェイス2と、出入口チャンバ3と、アライメントチャンバ4と、庇チャンバ5と、真空ユニット6と、描画チャンバ7とを備えている。出入口チャンバ3、庇チャンバ5はそれぞれ、真空化チャンバ、着脱チャンバの例である。また、出入口チャンバ3と、アライメントチャンバ4と、庇チャンバ5と、描画チャンバ7は、それぞれ真空ユニット6に連通されている。さらに出入口チャンバ3には、インターフェイス2が連通されている。図1では、温度調整用マスク10を荷電粒子ビーム描画装置1内においてロードする経路が実線の矢印にて示されている。一方、温度調整用マスク10を荷電粒子ビーム描画装置1内からアンロードする経路が破線の矢印にて示されている。次に温度調整用マスク10を荷電粒子ビーム描画装置1内にロードする動作について説明する。なお、当該ロード動作は、実際に描画処理が行われる際に、描画対象となるマスク試料が搬送される動作と同じである。本発明の実施の形態における温度調整用マスク10を使用した温度調整は、実際の描画処理と同様の状態下で行われるからである。従って、ここでの搬送対象は温度調整用マスク10である。まず、温度調整用マスク10がインターフェイス2内に設置される。インターフェイス2は、通常の大気圧の状態下にあり、その内部にロボット本体R11、昇降ロッドR12、ロボットアームR13、エンドエフェクタR14からなる、大気用搬送ロボットR1を有している。温度調整用マスク10は、エンドエフェクタR14によって保持される、次に、大気用搬送ロボットR1が温度調整用マスク10をゲートバルブG1を経由して出入口チャンバ3内に搬入する。出入口チャンバ3は、温度調整用マスク10をインターフェイス2から真空ユニット6内に搬入する経路上に位置する。出入口チャンバ3は、真空ユニット6内とこれに連通する各チャンバ内を、真空化、或いは、大気化する機能を有する。なお、出入口チャンバ3は、ロードロックチャンバとも呼ばれる。温度調整用マスク10はゲートバルブG2、真空ユニット6を経由してアライメントチャンバ4内に搬入される。真空ユニット6は、図示しない真空装置を利用してその内部が真空化されている。真空ユニット6は、ロボット本体R21、昇降ロッドR22、ロボットアームR23、エンドエフェクタR24からなる、真空用搬送ロボットR2を有している。温度調整用マスク10は、エンドエフェクタR24により保持された状態で真空用搬送ロボットR2によりアライメントチャンバ4内に搬入される。アライメントチャンバ4は、マスク温度調整用マスクのアライメント処理を行うためのチャンバである。このアライメント処理により、マスク温度調整用マスクの位置ずれや回転ずれが修正される。次に、真空用搬送ロボットR2は、アライメント処理済みの温度調整用マスク10を真空ユニット6を経由して庇チャンバ5内に搬入する。庇チャンバ5は、温度調整用マスク10に対して導電性のマスクカバーMCの着脱を行うためのチャンバである。アライメントチャンバ4から庇チャンバ5へと温度調整用マスク10が搬入されると、庇チャンバ5にて温度調整用マスク10にマスクカバーMCが装着される。さらに真空用搬送ロボットR2は、温度調整用マスク10のアライメント処理とマスクカバーMCの装着が行われた温度調整用マスク10を真空ユニット6、ゲートバルブG3を経由して描画チャンバ7内に搬入する。描画チャンバ7の上方には、図示しない電子銃や各種のアパーチャ、偏向器、レンズといった光学系以下、これらをまとめてEOSelectroopticssystemと表わす71を有する鏡筒72が設けられている。温度調整用マスク10は、描画チャンバ7内に搬入された後、描画チャンバ7内の温度を測定する。温度測定は、真空用搬送ロボットR2によって温度調整用マスク10が描画チャンバ7内の隅々に移動されることによって行われる。測定後は、描画チャンバ7から搬出される。なお、描画チャンバ7で実際の描画処理が行われる際には、マスクの描画領域に電子ビームが照射されることによって当該描画領域に所定のパターンが描画される。描画チャンバ7にて温度測定が完了した温度調整用マスク10は、図1の破線の矢印に示すように、庇チャンバ5、出入口チャンバ3を経由してアンロードされる。この際、庇チャンバ5では、温度調整用マスク10からマスクカバーMCを取り外す処理が行われる。なお、上述したロード動作においては、庇チャンバ5にてマスクカバーMCの着脱が行われることを前提に説明したが、温度測定の際には、庇チャンバ5における温度測定が行われるのであれば、当該マスクカバーMCの着脱を省略しても良い。図2は、本発明の実施の形態における温度調整用マスク10の裏面の構成を示す模式図である。また、図3は、図2に示す温度調整用マスク10の裏面の一部を蓋を取った状態で拡大して示す説明図である。本発明の実施の形態における温度調整用マスク10は、実際の描画処理において描画の対象とされるマスクと同様の大きさを備えている。図2に示す温度調整用マスク10は、実際にEOS71と対向する面を表面とすると、その裏面が示されている。エンドエフェクタR14,R24は、温度調整用マスク10の搬送の際、この裏面に接触する。また、その内部には各チャンバ内の温度を測定するために使用される、図2において直接図示されていない温度測定装置11が設けられている破線の矢印で示している。当該温度測定装置11は、当該裏面のネジで留められている蓋で覆われる筐体12の内部に設けられている。温度測定装置内には、各チャンバ内の温度に関する情報を記憶する記憶装置図示せずが設けられており、測定結果はこの記憶装置内に記憶される。また、温度測定装置11を含む温度調整用マスク10の駆動は、図2に示す温度調整用マスク10では対角上に設けられているバッテリ13、14によって行われる。また、温度調整用マスク10の裏面には、温度調整用マスク10を使用した温度測定が終了した後に、温度測定装置11内の記憶装置に記憶された各チャンバ内の温度に関する情報温度測定データを抽出する際に用いられる外部接続端子15が設けられている。温度測定データを抽出する際には、後述する通り、外部接続端子15に外部電源を接続するとともに、データ送出部16から温度測定データを抽出する。本発明の実施の形態におけるバッテリ13,14は、筐体12の互いに対向する辺に配置されている。ここでバッテリ13,14を複数設けることについては以下の理由による。すなわち、これまでの温度調整用マスクでは、その内部の温度測定装置等へ供給する電源として1つの電池を使用していた。この場合、1つの電池を温度調整用マスク全体の電源とするためには、消費される電力に見合う電源を供給しうる電池が必要とされ、そのような電池は概して大きい。但し、上述したように、描画チャンバ内での温度測定は、実際の描画処理と同様にEOS71が励磁された状態で行われることになるため、電池の大きさがあまり大きくなると、EOS71によって発生する磁界に入った際に、温度調整用マスク10がEOS71にくっついてしまう等の不都合が生ずる。一方で、EOS71にくっついてしまうことを嫌って小さな電池を使用することもできるが、その数が1つでは求められる電源としての用をなさない。そこで、本願発明の実施の形態における温度調整用マスク10では、使用される電池を複数備えることによって、温度調整用マスク10内で必要とされる電力の供給に不足がないようにするとともに、温度測定中のEOS71への引力による接触等を防ぐこととしている。電池が小さければ、たとえEOS71が発生させる磁界の中にその1つが入ったとしてもそれだけでは引力によって浮き上がったり接触するということは起きないものと考えられる。また、温度調整用マスク10に複数設けられるバッテリは、筐体12の互いに対向する辺に配置される。これはなるべくEOS71が発生させる磁界の中にバッテリ13,14が入らないようにするためである。図2に示す、本発明の実施の形態における温度調整用マスク10では、バッテリ13,14は、互いに対角の位置に配置されている。対角の位置が最もバッテリ13,14を離して配置するに適しているからである。但し、上述したように、複数のバッテリが筐体12の互いに対向する辺に配置されていれば、互いの位置関係は対角でなくとも良い。本発明の実施の形態におけるバッテリ13、14は、拡大図である図3においても図示していないが、バッテリである電池とコンデンサをバッテリケースの内部に備えている。図3において、符号13aにて示される領域が、電池格納領域である。一方、符号13bにて示される領域が、コンデンサ格納領域である。また、通常はバッテリケース13cの上部にはねじ等の部材によって蓋13dが止められている。なお、温度調整用マスク10は、真空雰囲気中に搬入されて使用されることから、バッテリケース13cに蓋13dを閉める場合には、間にOリング13eが挟まれることになる。図4は、本発明の実施の形態における温度調整用マスク10のバッテリ13,14の構成を示す回路図である。図4に示されているように、負荷ここでは、例えば、温度測定装置11に直列に2つの電池B13,B14が接続されている。これは、上述したように、温度調整用マスク10に必要とされる電力の供給を行うためである。なお、ここでの電池は、これまでの実験等の結果から、例えば、酸化銀電池、或いは、水銀電池が好適に使用される。また、温度調整用マスク10にて使用される電池は、市販の一次電池である。まず一次電池を使用することとしているのは、二次電池を使用する場合には、温度調整のための温度測定データを収集している間にバッテリが切れてしまうことを防止するためである。二次電池のメリットは、上述したように繰り返し充電できるところにあるが、十分に充電したとしても温度測定中にバッテリが切れてしまうおそれが拭えない。一方、一次電池の場合は、特に温度測定前に新品に交換しておくことで、測定中の電池切れのおそれは十分に解消できると考えられる。そこで、本願発明の実施の形態においては、温度調整用マスク10には一次電池を使用する。さらに、この一次電池は、市販されている電池を使用することとしている。これは、二次電池、しかも温度調整用マスク10に使用されている二次電池については、入手先が限られることも考えられ、温度測定を行う際に急に電池が必要になった場合に対応することができない。一方、市販の一次電池であれば基本的にどのような状況下にあっても入手が可能であると考えられるからである。また、電池B13と並列にコンデンサC13が、電池B14と並列にコンデンサC14が接続されている。このように電池を小さくすると、それに伴って瞬間的に流すことができる電流が減ってしまうが、電池に並列にコンデンサを接続することによって、記憶装置への温度測定データの書き込み等で大きな電流が流れるときに電圧が低下して回路がリセットしてしまうことを防止することができる。なお、ここでのコンデンサは、例えば、電気二重層コンデンサ等が好適に使用される。次に荷電粒子ビーム描画装置1の温度調整の流れについて、図5及び図6に示すフローチャートを利用して説明する。図5は、本発明の実施の形態における荷電粒子ビーム描画装置1の温度調整の流れを大まかに示すフローチャートであり、図6は、温度調整用マスク10を使用しての温度調整の詳細な流れを示すフローチャートである。荷電粒子ビーム描画装置1には、図1において図示されていないが、各チャンバ内に温度を測定するセンサが予め設けられている。従って、例えば、描画チャンバ7内の温度を調整する際には、設置されている温度センサを用いて予め粗く大まかに温度調整を行っておくST1。その上で、上述したようにチャンバ内の温度調整は、例えば、1/100度のレベルでの調整が必要とされるので、この部分について温度調整用マスク10を使用して調整を行うST2。この温度調整用マスク10を使用する温度調整の流れは図6を用いて説明する。まず、温度調整用マスク10に設けられている複数のバッテリケース13c,14cにバッテリ電池を装着するST21。電池の装着は、温度測定の度に行わなくとも良いと考えられる。但し、電池が一次電池であることを考慮しても荷電粒子ビーム描画装置1の温度調整の頻度がそれほど多くないことを考慮すると、念のため新たな電池を装着することも可能である。次に、温度調整用マスク10をインターフェイス2にセットし、各チャンバへの搬送が開始されるST22。真空ユニット6内に設けられているアライメントチャンバ4と、庇チャンバ5、及び描画チャンバ7内の温度を測定する際には、真空用搬送ロボットR2が温度調整用マスク10を各チャンバへと搬送する。そして、各チャンバにて温度が測定されるST23。そして、図1の破線の矢印で示される経路を通って描画チャンバ7から庇チャンバ5、出入口チャンバ3温度調整用マスク10をインターフェイス2から取り出すST24。その上で、温度調整用マスク10の裏面に設けられている外部接続端子15に外部電源を接続するST25。これは、測定された温度測定データを温度調整用マスク10から抽出するには、バッテリ13,14の容量では足りないからである。そして、データ送出部16から温度測定装置11内の記憶装置から温度測定データを抽出するST26。なおデータ送出部16からの温度測定データの抽出方法については、例えば、赤外線通信等、どのような手段を用いても良い。この抽出された温度測定データを用いて、各チャンバ内の温度を調整するST27。温度調整用マスク10が実際に各チャンバ内の温度を測定して収集したデータを基にしているので、各チャンバ内の温度をより精度良く調整することができる。以上説明した温度調整用マスクを使用することで、チャンバ内の温度測定中のバッテリ切れをなくすとともに、実際の描画処理と同様の状況下での測定を可能とし、かつ各チャンバ内の温度調整を精度良く行うことが可能な温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法を提供することができる。なお、温度調整用マスクは、以下の用途にも利用することが可能である。すなわち、温度調整用マスクの筐体内には、温度測定装置の他、例えば、加速度測定を行うためのセンサが設けられている。通常、描画処理の対象となるマスクが描画処理の際にどのような加速度をもって移動するかについての測定は、描画チャンバ内を大気雰囲気にした上で行われる。但し、描画チャンバ内を真空雰囲気、或いは、大気雰囲気とするのは装置構成から言って困難なことも多いため、真空雰囲気内で温度測定が可能な温度調整用マスクを利用することができれば、加速度測定をその精度を維持しつつより簡易に行うことが可能となる。そこで、温度調整用マスク内に設けられている加速度測定を行うためのセンサを用いてマスクの加速度測定を行うことが考えられる。但し、加速度測定は、温度測定の場合と異なり、EOSが励磁されない状態で行うことが可能である。従って、EOSの励磁による温度調整用マスクの浮き上がりを考慮することは不要であり、バッテリとなる電池を複数の小さい電池とする必要はない、そこで加速度測定を行う場合に温度調整用マスクを使用する場合には、容量の大きな電池を1つ使用することで十分な測定時間を確保することができる。なお、この場合には、電池の大きさに対応するべく、例えば、スペーサを利用することが考えられる。また、複数のバッテリを単数とするため、それまで直列で接続されていた回路構成を、例えば、バッテリが収納されないバッテリケース内において短絡させるといったバッテリケース間の接続を考慮する必要がある。この点に関しては、例えば、そもそも複数種類のバッテリを使い分けることを考慮して、例えば、温度測定装置内に予め切替回路を設けておくことで、対応することも可能である。本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。"