内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤として尿素を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、前記PMセンサの周囲の排気の温度を、前記供給装置から供給される尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物が生成される温度よりも高くする制御部と、を備える内燃機関の排気浄化装置。前記PMセンサよりも上流の排気通路に設けられ排気中の粒子状物質を捕集するフィルタと、前記PMセンサの検出値に基づいて前記フィルタの故障判定を行う判定部と、をさらに備え、前記制御部が、前記判定部によってフィルタの故障判定を行うときに、前記PMセンサの周囲の排気の温度を、前記供給装置から供給される尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物が生成される温度よりも高く且つ粒子状物質が酸化される温度よりも低い温度にする請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤として尿素を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、を備え、前記PMセンサは、該PMセンサの周囲の排気の温度が、前記供給装置から供給される尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物が生成される温度よりも高い時に粒子状物質の量を検出する内燃機関の排気浄化装置。本発明は、上記したような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、PMセンサの検出精度の低下を抑制することにある。第一の発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤として尿素を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、前記PMセンサの周囲の排気の温度を、前記供給装置から供給される尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物が生成される温度よりも高くする制御部と、を備える。ここで、供給装置から排気中に供給される尿素は、アンモニアNH3に変化する。しかし、排気や選択還元型NOx触媒の状態によっては、尿素からアンモニアに至るまでの間に中間生成物が生成される場合がある。そして、該中間生成物が選択還元型NOx触媒を通り抜けてPMセンサに付着すると、該PMセンサの出力値が変化してしまい、PMを正確に検出することが困難となる。そこで、本発明では、PMセンサによりPMの量を検出するときには、前記PMセンサの周囲の排気の温度を、供給装置から供給される尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物が生成される温度よりも高くする。これによれば、PMセンサによりPMの量を検出する際に、PMセンサに付着していた中間生成物を気化させて除去することができる。また、PMセンサによりPMの量を検出している間に、新たに中間生成物が生成されPMセンサに付着することを抑制することができる。その結果、PMセンサの検出値が中間生成物により変化することを抑制できる。従って、中間生成物の付着に起因するPMセンサの検出精度の低下を抑制することができる。本発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、PMセンサよりも上流の排気通路に設けられ排気中のPMを捕集するフィルタと、PMセンサの検出値に基づいてフィルタの故障判定を行う判定部と、をさらに備えてもよい。この場合、制御部は、判定部によってフィルタの故障判定を行うときに、前記PMセンサの周囲の排気の温度を、供給装置から供給される尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物が生成される温度よりも高く且つPMが酸化される温度よりも低い温度にしてもよい。これによれば、PMセンサの検出精度が高い状態でフィルタの故障判定を行うことができるため、故障判定の精度を高くすることができる。第二の発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤として尿素を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、を備え、前記PMセンサは、該PMセンサの周囲の排気の温度が、前記供給装置から供給される尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物が生成される温度よりも高い時に粒子状物質の量を検出する。本発明によれば、PMセンサに付着していた中間生成物が気化され除去された状態で、また、新たに中間生成物が生成されPMセンサに付着することが抑制された状態で、PMセンサによってPMの量が検出される。つまり、PMセンサの検出値が中間生成物により変化することが抑制された状態で、PMセンサによってPMの量が検出される。そのため、中間生成物の付着に起因するPMセンサの検出精度の低下を抑制することができる。本発明によれば、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物がPMセンサに付着することに起因するPMセンサの検出精度の低下を抑制することができる。以下、本発明の具体的な実施形態について図面に基づいて説明する。本実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置等は、特に記載がない限りは発明の技術的範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。<実施例>[吸排気系の概略構成]図1は、本実施例に係る内燃機関の吸排気系の概略構成を示す図である。図1に示す内燃機関1は、ディーゼル機関であるが、ガソリン機関であってもよい。内燃機関1には、吸気通路2及び排気通路3が接続されている。吸気通路2には、該吸気通路2を流通する吸気の量を検出するエアフローメータ11が設けられている。一方、排気通路3には、排気の流れ方向の上流側から順に、酸化触媒4、フィルタ5、添加弁6、選択還元型NOx触媒7以下、NOx触媒7という。が設けられている。酸化触媒4は、酸化能を有する触媒であればよく、例えば三元触媒であってもよい。酸化触媒4は、フィルタ5に担持されていてもよい。フィルタ5は、排気中のPMを捕集する。なお、フィルタ5には、触媒が担持されていてもよい。フィルタ5によってPMが捕集されることで、該フィルタ5にPMが徐々に堆積する。そして、フィルタ5の温度を強制的に上昇させる、所謂フィルタの再生処理を実行することで、該フィルタ5に堆積したPMを酸化させて除去することができる。例えば、酸化触媒4にHCを供給することでフィルタ5の温度を上昇させることができる。また、酸化触媒4を備えずに、フィルタ5の温度を上昇させる他の装置を備えていてもよい。さらに、内燃機関1から高温のガスを排出させることでフィルタ5の温度を上昇させてもよい。添加弁6は、NOx触媒7に還元剤を供給すべきときに排気中に還元剤を添加する。添加弁6は、還元剤を添加する際には短い周期で還元剤の噴射と停止とを繰り返す。つまり、添加弁6は還元剤を周期的に添加する。還元剤には、例えば、尿素水等のアンモニア由来のものが用いられる。例えば、添加弁6から添加された尿素水は、排気の熱で加水分解されアンモニアNH3となり、その一部又は全部がNOx触媒7に吸着する。以下では、添加弁6から還元剤として尿素水を添加するものとする。なお、本実施例においては添加弁6が、本発明における供給装置に相当する。NOx触媒7は、還元剤が存在するときに、排気中のNOxを還元する。例えば、NOx触媒7にアンモニアNH3を予め吸着させておけば、NOx触媒7をNOxが通過するときにNOxをアンモニアにより還元させることができる。酸化触媒4よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第一排気温度センサ12が設けられている。酸化触媒4よりも下流で且つフィルタ5よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第二排気温度センサ13が設けられている。フィルタ5よりも下流で且つ添加弁6よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第三排気温度センサ14及び排気中のNOx濃度を検出する第一NOxセンサ15が設けられている。NOx触媒7よりも下流の排気通路3には、排気中のNOx濃度を検出する第二NOxセンサ16及び排気中のPM量を検出するPMセンサ17が設けられている。これらセンサの全てが必須というわけではなく、必要に応じて設けることができる。以上述べたように構成された内燃機関1には、該内燃機関1を制御するための電子制御ユニットであるECU10が併設されている。このECU10は、内燃機関1の運転条件や運転者の要求に応じて内燃機関1を制御する。ECU10には、上記センサの他、アクセルペダルの踏込量に応じた電気信号を出力し機関負荷を検出可能なアクセル開度センサ18、及び機関回転数を検出するクランクポジションセンサ19が電気配線を介して接続され、これらセンサの出力信号がECU10に入力される。一方、ECU10には、添加弁6が電気配線を介して接続されており、該ECU10により添加弁6が制御される。ECU10は、フィルタ5に堆積しているPM量を推定し、推定されたPM量が所定量以上になると、前記フィルタの再生処理を実施する。なお、フィルタの再生処理は、内燃機関1が搭載されている車両の前回の該再生処理の実施完了からの走行距離が所定距離以上となったときに行ってもよい。また、規定期間ごとにフィルタの再生処理を実施してもよい。また、ECU10は、PMセンサ17により検出されるPM量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行う。ここで、フィルタ5の溶損又は破損等の故障が発生すると、該フィルタ5に捕集されずに、該フィルタ5を通り抜けるPM量が増加する。このPM量の増加をPMセンサ17により検出すれば、フィルタ5の故障を判定することができる。例えば、フィルタ5の故障判定は、PMセンサ17の検出値に基づいて算出される所定期間中のPM量の積算値と、フィルタ5が所定の状態であると仮定した場合における所定期間中のPM量の積算値とを比較することで行われる。なお、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行ってもよい。例えば、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量が閾値以上のときに、フィルタ5が故障していると判定してもよい。[PMセンサ]図2は、PMセンサ17の概略構成図である。PMセンサ17は、自身に堆積したPM量に対応する電気信号を出力するセンサである。PMセンサ17は、一対の電極171と、該一対の電極171の間に設けられる絶縁体172と、を備えて構成されている。一対の電極171の間にPMが付着すると、該一対の電極171の間の電気抵抗が変化する。この電気抵抗の変化は、排気中のPM量と相関関係にあるため、該電気抵抗の変化に基づいて、排気中のPM量を検出することができる。このPM量は、単位時間当たりのPMの質量としてもよく、所定時間におけるPMの質量としてもよい。なお、PMセンサ17の構成は、図2に示したものに限らない。すなわち、PMを検出し、且つ、還元剤の影響により検出値に変化が生じるPMセンサであればよい。次に、図3は、PMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。尚、内燃機関1から排出される単位時間当たりのPM量が一定であるとすると、PMセンサ17におけるPM堆積量は時間の経過と共に一定の割合で増加する。内燃機関1の始動直後のAで示される期間は、排気通路3内で凝縮する水がPMセンサ17に付着する虞がある期間である。PMセンサ17に水が付着すると、該PMセンサ17の検出値が変化したり、PMセンサ17が故障したりするため、この期間ではPMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Aで示される期間の後のBで示される期間では、前回の内燃機関1の運転時にPMセンサ17に付着したPMを除去する処理以下、PM除去処理という。を行う。このPM除去処理は、PMセンサ17の温度を、PMが酸化する温度まで上昇させることにより行われる。このBで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Bで示される期間の後のCで示される期間は、PMの検出に適した温度となるまでに要する期間である。すなわち、Bで示される期間においてPMセンサ17の温度がPMの検出に適した温度よりも高くなるため、温度が低下してPMの検出に適した温度となるまで待っている。このCで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。そして、Cで示される期間の後のDで示される期間でPMの検出が行われる。なお、Dで示される期間であっても、PMセンサ17にある程度のPMが堆積するまでは、検出値が増加しない。すなわち、ある程度のPMが堆積して、一対の電極171の間に電流が流れるようになってから検出値が増加を始める。その後は、排気中のPM量に応じて検出値が増加していく。ここで、PMセンサ17は、フィルタ5よりも下流側に設けられている。そのため、PMセンサ17には、フィルタ5に捕集されずに、該フィルタ5を通過したPMが付着する。従って、PMセンサ17におけるPM堆積量は、フィルタ5を通過したPM量の積算値に対応した量となる。図4は、フィルタ5が正常な場合と故障している場合とのPMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。フィルタ5が故障している場合には、PMセンサ17にPMが早く堆積するため、検出値の増加が始まる時点Eが、正常なフィルタ5と比較して早くなる。このため、例えば、内燃機関1の始動後から所定時間Fが経過したときの検出値が閾値以上であれば、フィルタ5が故障していると判定できる。この所定時間Fは、正常なフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加しておらず、且つ、故障しているフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加している時間である。この所定時間Fは、実験等により求められる。また、閾値は、フィルタ5が故障しているときのPMセンサ17の検出値の下限値として予め実験等により求められる。ところで、PMセンサ17をフィルタ5よりも下流で且つNOx触媒7よりも上流に設けることも考えられる。しかし、このような位置にPMセンサ17を設けると、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が短くなる。このため、フィルタ5の溶損又は破損箇所を通過したPMが排気中に分散しないままPMセンサ17の周辺に到達する虞がある。そうすると、フィルタ5における溶損又は破損の位置によっては、溶損又は破損箇所を通過したPMがPMセンサ17にほとんど付着しないために、PMが検出されないこともあり、故障判定の精度が低下する虞がある。これに対して本実施例では、NOx触媒7よりも下流にPMセンサ17を設けているため、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が長い。このため、PMセンサ17の周辺では、フィルタ5を通過したPMが排気中に分散している。したがって、フィルタ5における溶損又は破損の位置によらずに、溶損又は破損箇所を通過したPMを検出することができる。[PMセンサの検出値の異常]しかしながら、添加弁6よりも下流側にPMセンサ17を設けているため、該添加弁6から添加される還元剤がPMセンサ17に付着する虞がある。このPMセンサ17に付着する還元剤は、例えば、尿素、及び、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物ビウレット、シアヌル酸である。このようにPMセンサ17に還元剤が付着すると、PMセンサ17におけるPM堆積量が変化していなくとも、PMセンサ17の検出値が変化する虞がある。図5は、PMセンサ17の検出値が正常な場合と、異常な場合との推移を示したタイムチャートである。異常な検出値は、PMセンサ17に還元剤が付着したときの検出値とすることができる。正常な検出値は、時間の経過とともに検出値が増加するか、または検出値が変化しない。すなわち、PMセンサ17に付着したPM量に応じて検出値が増加していく。一方、異常な検出値は、検出値が増加するだけでなく減少する場合がある。PMセンサ17に前記中間生成物が付着して所定量以上堆積すると、PMが堆積したときと同じように、PMセンサ17の検出値が増加する。ここで、中間生成物であるビウレットは、132-190°Cのときに生成される。そして、生成されたビウレットは、190°Cより高くなると気化する。また、中間生成物であるシアヌル酸は、190-360°Cで生成される。そして、生成されたシアヌル酸は、360°Cより高くなると気化する。このように、PMと比較すると中間生成物は低温で気化する。このため、PMセンサ17に付着していた中間生成物は、内燃機関1の排気の温度が高いときに気化する。そうすると、中間生成物の堆積量が減少するため、PMセンサ17の検出値が減少する。これは、PMセンサ17にPMのみが堆積しているときには起こらない現象である。また、PMセンサ17にはセンサ素子一対の電極171を覆うカバーが設けられているが、該カバーに中間生成物が付着して堆積すると、該カバーを閉塞させる虞がある。このカバーが中間生成物により閉塞されると、PMが一対の電極171に到達できなくなるので、PMが検出されにくくなる。したがって、PMセンサ17の検出値の増加が始まる時期が、正常な場合よりも遅くなる。このため、フィルタ5の故障判定の精度が低下する虞がある。[排気温度の制御]上記のように、中間生成物がPMセンサ17に付着すると、フィルタ5の故障判定が困難となる虞がある。そこで、本実施例では、フィルタ5の故障判定を行う際に、即ちPMセンサ17によってPMの量を検出する際に、該PMセンサ17の周囲の排気の温度を所定の温度範囲内に制御する。或いは、PMセンサ17の周囲の排気の温度が所定の温度範囲内となっている時に、フィルタ5の故障判定を行う。ここで、所定の温度範囲とは、中間生成物が生成される温度より高い温度例えば、シアヌル酸が生成される温度の上限値である360°Cより高い温度であり、且つ、PMが酸化される温度よりも低い温度範囲である。このような所定の温度範囲は、実験等に基づいて予め求めることができる。PMセンサ17の周囲の排気の温度がこのような所定の温度範囲内となると、PMセンサ17に付着していた中間生成物が気化され除去される。また、PMセンサ17によってPM量を検出している間、排気の温度が所定の温度範囲内に維持されれば、新たに中間生成物が生成されPMセンサ17に付着することが抑制される。一方で、PMセンサ17に堆積したPMが酸化されることはない。従って、PMセンサ17の検出値が、中間生成物によって変化することが抑制され、排気中のPMの量との相関性がより高い値となる。つまり、中間生成物の付着に起因するPMセンサ17の検出精度の低下を抑制することができる。その結果、フィルタ5の故障判定の精度を高めることができる。以下、本実施例に係るフィルタの故障判定のフローについて図6に示すフローチャートに基づいて説明する。本フローは、ECU10に予め記憶されており、ECU10によって所定の間隔で繰り返し実行される。本フローでは、先ずステップS101において、フィルタ5の故障判定の実行要求があるか否かが判別される。ここで、フィルタ5の故障判定の実行要求がある場合とは、例えば、所定の故障判定実行時間が経過する毎に故障判定を実行する場合に、前回の故障判定の実行から該所定の故障判定実行時間が経過した場合等である。ステップS101において否定判定された場合、本フローの実行が一旦終了される。一方、ステップS101において肯定判定された場合、ステップS102の処理が実行される。ステップS102では、フィルタの再生処理の実行が終了してからの経過時間Δtfrが第一所定時間Δt1以下であるか否か即ち、フィルタの再生処理の実行が終了してから第一所定時間Δt1以内であるか否かが判別される。ここで、フィルタの再生処理は、上記のように、フィルタ5の温度をPMが酸化される温度まで上昇させることにより実施される。そのため、フィルタの再生処理の実行終了直後は、フィルタ5よりも下流側の排気の温度、即ち、PMセンサ17の周囲の排気の温度が、PMが酸化される温度よりも低い範囲内で通常時よりも高い状態となっている。そして、第一所定時間Δt1とは、PMセンサ17の周囲の排気の温度が所定の温度範囲内にあると判断できる、フィルタの再生処理の実行終了からの経過時間の閾値である。このような第一所定時間Δt1は、実験等に基づいて予め定められている例えば、Δt1=60秒。ステップS102において肯定判定された場合、PMセンサ17には中間生成物が付着しておらず、また、新たな中間生成物の生成も抑制されていると判断できる。そこで、この場合は、ステップS107において、PMセンサ17によってPMの量が検出され、その検出値に基づいてフィルタ5の故障判定が実行される。一方、ステップS102において否定判定された場合、次にステップS103の処理が実行される。ステップS103においては、PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgが所定の温度範囲の下限値Tg1以上であるか否かが判別される。尚、この段階では、フィルタの再生処理の実行終了から第一所定時間Δt1より長い時間が経過しているため、PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgは、PMが酸化され温度よりも低く、所定の温度範囲の上限値以下であると判断できる。また、PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgは第三排気温度センサ14の検出値に基づいて推定できる。また、NOx触媒7の温度を検出し、該温度をPMセンサ17の周囲の排気の温度Tgとして用いてもよい。また、PMセンサ17の近傍に排気温度センサを設け、該排気温度センサの検出値をPMセンサ17の周囲の排気の温度Tgとして用いてもよい。ステップS103において否定判定された場合、次にステップS104の処理が実行される。ステップS104では、PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgを所定の温度範囲内まで上昇させるべく排気温度上昇制御が実行される。ここでの排気温度上昇制御としては、内燃機関1から排出されるガスの温度を上昇させる制御や、内燃機関1からHCを排出させて酸化触媒4で反応させることにより排気の温度を上昇させる制御等を例示することができる。尚、排気温度上昇制御として、他の周知の技術を用いることもできる。ステップS104の処理の次にはステップS103の処理が再度実行される。一方、ステップS103において肯定判定された場合、次にステップS105の処理が実行される。ステップS105では、PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgが所定の温度範囲の下限値Tg1以上である状態が継続している時間Δtgupが第二所定時間Δt2以上であるか否か即ち、PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgが所定の温度範囲内である状態が第二所定時間Δt2以上継続しているか否かが判別される。PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgが所定の温度範囲の下限値Tg1以上であれば、PMセンサ17に付着した中間生成物が気化する。そして、第二所定時間Δt2とは、PMセンサ17に中間生成物が付着していた場合に該中間生成物を気化させて除去することが可能な時間である。このような第二所定時間Δt2は、実験等に基づいて予め定められている例えば、Δt2=30秒。ステップS105において否定判定された場合、次にステップS106の処理が実行される。ステップS106では、PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgを所定の温度範囲内に維持すべく排気温度維持制御が実行される。ここで、排気の温度を上昇させる必要がある場合の制御は上記の排気温度上昇制御を同様である。ステップS106の処理の次にはステップS105の処理が再度実行される。一方、ステップS105において肯定判定された場合、次にステップS107において、PMセンサ17によってPMの量が検出され、その検出値に基づいてフィルタ5の故障判定が実行される。尚、フィルタ5の故障判定が行われている間は、PMセンサ17の周囲の排気の温度Tgを所定の温度範囲内に維持される。上記フローによれば、PMセンサ17には中間生成物が付着しておらず、また、新たな中間生成物の生成も抑制されている状態で、PMセンサ17によってPMの量が検出される。そして、その検出値に基づいてフィルタ5の故障判定が行われる。尚、本実施例においては、PMセンサ17のカバーを加熱するヒータを設けてもよい。そして、フィルタ5の故障判定を行うべくPMセンサ17によってPM量を検出する際に、PMセンサ17のカバーの温度が所定の温度範囲内となるようにヒータによって該カバーを加熱してもよい。これによれば、PMセンサ17のカバーに付着した中間生成物をより効果的に気化させて除去することができる。