"溶剤を塗布した被塗布物を乾燥させるドライヤの乾燥室へ、該乾燥室内で気化した溶剤蒸気を回収処理した該乾燥室の排気を給気する溶剤回収システムであって、前記乾燥室の排気に含まれる前記溶剤蒸気を回収する第一の溶剤回収部と、前記第一の溶剤回収部を通過した前記排気に残る前記溶剤蒸気を回収して前記乾燥室へ乾燥気として給気する第二の溶剤回収部と、前記第二の溶剤回収部が前記乾燥室へ給気する前記乾燥気よりも溶剤蒸気が多く残留する、前記第一の溶剤回収部を通過した直後の前記排気が、該第二の溶剤回収部が給気する前記乾燥気よりも前に前記被塗布物に当たるように、該第一の溶剤回収部を通過した直後の前記排気を予乾燥気として該乾燥室へ給気する給気経路と、を備える、溶剤回収システム。前記被塗布物は、前記ドライヤの乾燥室内を流れるように通過しており、前記給気経路は、前記乾燥室内のうち、前記第二の溶剤回収部からの給気が当たる被塗布物よりも上流側の被塗布物に当たるように、前記予乾燥気を該乾燥室へ給気する、請求項1に記載の溶剤回収システム。前記第一の溶剤回収部は、冷凍設備において冷却された冷却媒体が管内を流れるコイルに前記排気を接触させて、該排気に含まれる前記溶剤蒸気を凝縮回収し、前記第二の溶剤回収部は、前記第一の溶剤回収部を通過した前記排気を吸着材に接触させて、該排気に残る前記溶剤蒸気を吸着回収して前記乾燥室へ乾燥気として給気する、請求項1または2に記載の溶剤回収システム。例えば、NMP溶剤を塗布するリチウムイオン電池用の電極のように、各種の溶剤を塗布した被塗布物を乾燥させる処理を施す場合、塗布した溶剤の効果的な乾燥と、乾燥処理に要するコストの削減との両立を図るために、被塗布物を乾燥させるドライヤ乾燥炉の排気から溶剤蒸気を回収処理して乾燥気とし、これを再びドライヤへ給気することが行なわれる。このとき、ドライヤに給気する乾燥気は、処理対象の製品に要求される仕様にもよるが、塗布されている溶剤が確実に乾燥するように、比較的高い乾燥度が要求される。しかし、ドライヤが大きいと、ドライヤへ再び給気する気体の乾燥度を保つために要するコストも多大である。本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、ドライヤへ再び給気する気体の溶剤蒸気の回収に要するコストを抑制する溶剤回収システムを提供することを課題とする。上記課題を解決するため、本発明は、ドライヤの排気中の溶剤蒸気を段階的に回収処理する少なくとも2以上の溶剤回収部を備え、残留する溶剤蒸気が比較的多い第1段の溶剤回収部の排気が、残留する溶剤蒸気が比較的少ない第2段の溶剤回収部の排気よりも前に被塗布物に当たるようにした。詳細には、溶剤を塗布した被塗布物を乾燥させるドライヤの乾燥室へ、該乾燥室内で気化した溶剤蒸気を回収処理した該乾燥室の排気を給気する溶剤回収システムであって、前記乾燥室の排気に含まれる前記溶剤蒸気を回収する第一の溶剤回収部と、前記第一の溶剤回収部を通過した前記排気に残る前記溶剤蒸気を回収して前記乾燥室へ乾燥気として給気する第二の溶剤回収部と、前記第二の溶剤回収部が前記乾燥室へ給気する前記乾燥気よりも溶剤蒸気が多く残留する、前記第一の溶剤回収部を通過した直後の前記排気が、該第二の溶剤回収部が給気する前記乾燥気よりも前に前記被塗布物に当たるように、該第一の溶剤回収部を通過した直後の前記排気を予乾燥気として該乾燥室へ給気する給気経路と、を備える。被塗布物に当てる乾燥気の乾燥度は極力高い方が乾燥の促進という面からは好ましいが、乾燥処理に要するコストの削減という観点に鑑みれば、溶剤を回収する機器が最も効率的な動作点で運転されることが好ましい。換言すると、ドライヤの乾燥室内にある何れの被塗布物もが略均等な乾燥速度で乾燥していくことが好ましい。そこで、上記溶剤回収システムでは、乾燥開始直後の被塗布物を乾燥させる乾燥気は、乾燥終了直前の被塗布物を乾燥させる乾燥気よりも乾燥度が高くても差し支えないことに着目し、少なくとも2段階構成にした溶剤回収部の第一段目にあたる第一の溶剤回収部の比較的高濃度の排気をドライヤへ送り、主に乾燥開始直後の被塗布物の乾燥気に用いることで、第二段目以降にあたる第二の溶剤回収部の容量を小さくしている。これにより、溶剤回収に要する設備のイニシャルコストやランニングコストが抑制でき、溶剤回収に係るコストを削減できる。また、前記被塗布物は、前記ドライヤの乾燥室内を流れるように通過しており、前記給気経路は、前記乾燥室内のうち、前記第二の溶剤回収部からの給気が当たる被塗布物よりも上流側の被塗布物に当たるように、前記予乾燥気を該乾燥室へ給気するものであってもよい。ドライヤの乾燥室内を被塗布物が連続的に通過することで乾燥処理が施される場合、上流側と下流側とで被塗布物の乾燥度合いが異なる。このように、乾燥度合いが異なる被塗布物が並存するドライヤの乾燥室に上記溶剤回収システムを適用すれば、溶剤回収部を多段階としたことによるコスト削減効果、すなわち、第二段目以降にあたる第二の溶剤回収部の容量を小さくできることによるコスト削減効果がより効果的に発揮される。また、前記第一の溶剤回収部は、冷凍設備において冷却された冷却媒体が管内を流れるコイルに前記排気を接触させて、該排気に含まれる前記溶剤蒸気を凝縮回収し、前記第二の溶剤回収部は、前記第一の溶剤回収部を通過した前記排気を吸着材に接触させて、該排気に残る前記溶剤蒸気を吸着回収して前記乾燥室へ乾燥気として給気するものであってもよい。溶剤蒸気の回収に際しては、凝縮回収法よりも吸着回収法の方がガス中の溶剤蒸気の濃度をより低くすることができる。よって、第一の溶剤回収部を凝縮回収法によるものとし、第二の溶剤回収部を吸着回収法によるものとすれば、各溶剤回収部の排気の溶剤濃度をより段階的に差別化することができ、溶剤回収部を多段階としたことによるコスト削減効果、すなわち、第二段目以降にあたる第二の溶剤回収部の容量を小さくできることによるコスト削減効果がより効果的に発揮される。上記溶剤回収システムであれば、ドライヤへ再び給気する気体中の溶剤蒸気の回収に要するコストを抑制することが可能である。本発明の実施形態に係る溶剤回収システムの構成を図1に示す。溶剤回収システム1は、図1に示すように、溶剤蒸気を含む所定の気体以下、単にガスと呼ぶをコイルで冷却して溶剤を凝縮回収する溶剤回収装置2と、溶剤回収装置2を通過したガス中に残る溶剤をゼオライトあるいは活性炭等の吸着材で吸着回収する濃縮装置3とを備える。また、溶剤回収システム1は、ガスを送気する各種のファンや熱交換を行うコイルを備える。溶剤回収システム1は、有機溶剤によって各種の化学処理を行う生産設備類から排気される排気中の溶剤蒸気を回収する装置である。本実施形態では、リチウムイオン電池工場で使用されるN-メチルピロリドン以下、NMPというの溶剤蒸気を含む生産排気からNMPを回収することを前提に説明するが、その他の溶剤類であってもよい。リチウムイオン電池工場では電極製造時にNMPを使用する。電極に塗布されたNMPは、塗布されたNMPを乾燥処理するドライヤで蒸発して排気される。本実施形態に係る溶剤回収システム1が併設されるドライヤを図2に示す。ドライヤ16は、図2に示すように、複数の乾燥室17A~Gに分割されており、各乾燥室17A~G内を、NMP溶剤が表面に塗布された電極が順に通過する。ドライヤ16は、半密閉であり、電極を通過する出入り口が設けられている。溶剤蒸気を含むガスが漏れないよう、出入り口は負圧になるように給排気が調整されている。各乾燥室17A~G内には、高温のガスが導入されており、電極が内部を通過する過程で、電極の表面に塗布されたNMP溶剤が蒸発する。各乾燥室17A~G内に導入される高温のガスは、省エネルギーのため、その多くが乾燥室17A~Gから排気されてファン15Sから加熱コイルと微粒子フィルタHEPAフィルタを通って再び還流されるガスであるが、そのガスの一部は本実施形態に係る溶剤回収システム1が浄化した後に乾燥室17A~G内へ戻している。本実施形態に係る溶剤回収システム1は、このようなドライヤ16に付帯して設置される装置であり、ドライヤ16の排気中の溶剤蒸気を回収する。本実施形態では、ドライヤ16から排気される溶剤蒸気の想定濃度を2000ppmとしている。ドライヤ16の排気は、80~100°C程度を想定している。溶剤回収システム1で用いる冷却水は、生産設備が設置された建物で生産装置の発熱部を冷却する冷却塔で生成された空調設備のものを用いている。この冷却水には、2種類の温度帯域のものが用意されており、屋外に設置された冷却塔で冷却された冷却水と、冷凍機によって冷却された冷却水冷水と呼んでもよいとがある。前者は、外気温度にもよるが、設計温度を32°Cとしているため、冷却塔で冷却された冷却水の事を、以下、32°C冷却水と呼ぶことにする。一方、後者は、冷凍機によって7°Cに冷却された冷却水であるため、冷凍機で冷却された冷却水の事を、以下、7°C冷却水と呼ぶことにする。32°C冷却水の製造に要する動力は、ヒートポンプを使った7°C冷却水の製造に要する動力に比べて遥かに小さいため、熱負荷をなるべく32°C冷却水で処理することが、溶剤回収システム1全体が消費する動力の削減に効果的である。溶剤回収装置2は、図1に示すように、直列に並んだ4基の熱交換コイル符号4~7を有している。以下、上流側から順に、予冷却器4、前置冷却器5、主冷却器6、後置加熱器7と呼ぶことにする。予冷却器4は、ドライヤ16に給気するためのファン15AH,15ALの下流側に設けられた予加熱器8H,8Lと水循環系9を介して接続されている。このほか、溶剤回収システム1は、後述する吸着ロータ13に冷却凝縮された残りの溶剤蒸気混じりのガスを送気するファン15B、吸着ロータ13の吸着機能の再生のためのファン15Cを備える。予冷却器4は、ドライヤ16から送られたガスを冷却する。予冷却器4で除去されたガスの熱は、水循環系9を循環する水によって予加熱器8H,8Lへ移送され、溶剤回収装置2や濃縮装置3で浄化されて再びドライヤへ送られる各ガスを加熱する。予冷却器4に流入した約100°Cのガスは、63°Cになって前置冷却器5へ送られる。水循環系9は、循環系内の圧力を大気圧よりも高く例えば、ゲージ圧で0.2MPaならば飽和蒸気温度は133.7°Cなので、この温度以下であれば沸騰しないなっており、ドライヤから送られるガスの温度が高温になっても系内の水が沸騰しない。水循環系9内の圧力は、アキュームレータによって一定に保たれる。前置冷却器5は、予冷却器4によって冷却されたガスを更に冷却する。予冷却器4は、経路中に冷却塔を擁する32°C冷却水循環系11の冷却水でガスを冷却する。前置冷却器5に流入した63°Cのガスは、27°Cになって主冷却器6へ送られる。主冷却器6は、前置冷却器5によって冷却されたガスを更に冷却する。主冷却器6は、経路中に冷凍機を擁する7°C冷却水循環系12の冷却水でガスを冷却する。主冷却器6は、前置冷却器5から送られた27°Cのガスを12°Cまで冷やす。主冷却器6を通過する冷却水の流量は、主冷却器6の下流側のガスの温度が12°Cになるように温度制御を行う流量調整弁10によって調整される。ドライヤから送られるガスが主冷却器6で12°Cまで冷やされることにより、主冷却器6の冷却コイルの表面でNMP蒸気が凝縮する。図3は、NMP飽和濃度を示したグラフである。溶剤回収装置2では、溶剤蒸気を含むガスが予冷却器4を通過して63°Cになると溶剤蒸気の濃度が約2000ppm程度になり、前置冷却器5を通過して27°Cになると溶剤蒸気の濃度が約800ppm程度になり、主冷却器6を通過して12°Cになると溶剤蒸気の濃度が約270ppmになる。後置加熱器7は、主冷却器6によって冷却されたガスを加熱する。後置加熱器7は、経路中に冷却塔を要する32°C冷却水循環系11の冷却水でガスを加熱する。後置加熱器7は、主冷却器6から送られた12°Cのガスを27°Cまで加熱する。ここで、32°C冷却水循環系11の冷却水は、次のような経路を辿る。すなわち、冷却塔で冷却された冷却水は、冷却塔を出たのちに後置加熱器7を通り、その次に前置冷却器5を通って再び冷却塔へ戻る。後置加熱器7に流入するガスの温度が12°Cなので、後置加熱器7に流入する32°Cの冷却水は、後置加熱器7の通過後に17°Cとなり、前置冷却器5へ流入する。前置冷却器5に流入するガスの温度が63°Cなので、前置冷却器5に流入する冷却水は、前置冷却器5の通過後に53°Cとなり、冷却塔へ再び送られる。なお、32°C冷却水循環系11に設けられる冷却塔は、他の生産設備の冷却塔と統合して運用されているため、冷却塔へ再び送られる53°Cの冷却水は他の生産設備の冷却水と混合されることにより、冷却塔に戻る冷却水の返り温度は53°Cよりも低い温度になる。このため、溶剤回収装置2では、熱の多くが32°C冷却水循環系11によって処理される。すなわち、32°C冷却水循環系11の冷却水を、後置加熱器7を介さないで前置冷却器5へ流した場合、前置冷却器5を通過したガスは27°Cにまでは低下しないため、7°C冷却水循環系12の冷凍機の負荷が増大してしまう。しかし、本実施形態に係る溶剤回収装置2であれば、32°C冷却水循環系11の冷却水を、後置加熱器7を介して前置冷却器5へ流すことにより、後置加熱器7を通過することで17°Cに冷却された冷却水が前置冷却器5を通過するので、主冷却器6に流入させるガスを予め27°Cにまで冷却することができる。溶剤回収装置2によってある程度の溶剤が回収され、その最下流で昇温されたガスは、濃縮装置3へ送られて更に浄化される。濃縮装置3は、図1に示すように、吸着ロータ13や蒸気加熱コイル14を有しており、次のように構成されている。吸着ロータ13は、円筒状の部材の内部にゼオライト等の吸着材を担持したものである。吸着ロータ13の両端面には、図示しないセクション分割カセットが配置されており、このカセットによって吸着ロータ13のガス通過域が3つのセクションに区画される。吸着ロータ13は、このセクション分割カセットと相対的に回転可能なようになっており、このカセットによって吸着ロータ13に処理領域R1、再生領域R2、パージ領域R3が形成される。処理領域R1には、ファン15Bによって送られる溶剤回収装置2を出た27°Cのガスが通過する。処理領域R1は、通気するガス中のNMPを吸着し、浄化したガスを排出する。処理領域R1を出たガスの多くは、溶剤回収システム1を出てドライヤへ送られる。また、処理領域R1を出たガスの一部は、パージ領域R3へ送られる。なお、処理領域R1を出たガスは、一部あるいは全量を屋外へ排気してもよい。パージ領域R3は、吸着ロータ13がセクション分割カセットと相対的に回転することにより、吸着ロータ13のある一点が再生領域R2から処理領域R1へ遷移する途中で形成される領域である。パージ領域R3は、再生直後でインサービス前の高温状態にある吸着材を冷却するための領域であり、処理領域R1を出たガスの一部が通過することにより冷却される。吸着ロータ13が、図1の矢印が示す方向に回転することで、吸着ロータ13のある一点が処理領域R1、再生領域R2、パージ領域R3の順に繰り返し遷移する。パージ領域R3を出たガスは、蒸気加熱コイル14で加熱された後、再生領域R2へ送られる。蒸気加熱コイル14は、溶剤回収システム1が設置された建屋のユーティリティ配管から供給されるボイラーの蒸気でガスを加熱する。蒸気加熱コイル14内の復水は、ドレントラップを介して再びボイラーの給水タンクへ戻される。パージ領域R3から排出された68°Cのガスは、蒸気加熱コイル14による加熱で130°Cになり、再生領域R2へ送られる。これにより、再生領域R2は高温になり、吸着した溶剤を離脱する。再生領域R2を出たガスは、溶剤回収装置2へ再び送られる。これにより、再生加熱によって吸着ロータ13から離脱した溶剤の多くが、溶剤回収装置2の主冷却器6で凝縮して回収されることになる。なお、前述のように32°C冷却水循環系11の冷却塔を出た冷却水がそのままの温度で主冷却器6を出たガスと熱交換することは、蒸気加熱コイル14に高熱を供給するボイラーの負荷低減に寄与する。ところで、乾燥室17A~G内では、NMP溶剤が気化するために気中のNMP濃度が非常に高濃度例えば、2000ppm程度になるため、乾燥能力を保つためには、各乾燥室17A~G内に導入するガスのNMP濃度をこれよりも低い濃度例えば、300~500ppm程度にする必要がある。このため、乾燥室17A~Gから排気されたガスの一部を浄化する溶剤回収システム1から排気されて乾燥室17A~G内へ戻るガスのNMP濃度は、10~200ppm程度にまで浄化される必要があるが、その濃度は送り先の乾燥室に応じて異なる。すなわち、ドライヤ16の中でも乾燥開始直後の上流工程においては、電極に大量のNMP溶剤が付着しているために乾燥室内のNMP濃度が高く、ドライヤ16の中でも乾燥終了直前の下流工程においては、電極に付着していたNMP溶剤の多くが既に乾燥しているために乾燥室内のNMP濃度が低い。そこで、本実施形態に係る溶剤回収システム1は、ドライヤ16の各乾燥室17A~Gを、2つの領域に概念的に分けており、ドライヤ16の上流側の領域18Hに属する乾燥室17A~EにはNMP濃度が比較的高い溶剤回収装置2の排気が給気経路19Hを介して送られ、ドライヤ16の下流側の領域18Lに属する乾燥室17F~GにはNMP濃度が比較的低い濃縮装置3の排気が給気経路19Lを介して送られるようになっている。すなわち、領域18Hには、溶剤回収装置2のファン15Bから濃縮装置3の吸着ロータ13へ流れるガスの一部が、ファン15AHから送られる。このガスを、高濃度系のドライヤ給気と呼ぶ。また、領域18Lには、吸着ロータ13の処理領域R1を出たガスの一部が、ファン15ALから送られる。このガスを、低濃度系のドライヤ給気と呼ぶ。この溶剤回収システム1であれば、濃縮装置3を出たガスよりもNMP濃度の高い、溶剤回収装置2を通過直後のガスを予乾燥気としてドライヤ16へ給気するための給気経路19Hが備わっているため、濃縮装置3の容量が小さくて済み、溶剤回収に係るコストを削減できる。図4は、溶剤回収システム1から各乾燥室へ送られる給気の溶剤濃度を、本実施形態のもの実施例と従来技術のものすなわち、給気経路19Hを省いて全乾燥室17A~Gへ給気経路19Lのガスを流したものとを比較したグラフである。このグラフから判るように、本実施形態では、領域18Hに属する乾燥室17A~EにNMP濃度が比較的高い給気が送られる。このため、本実施形態であれば、従来技術に比べて濃縮装置3の容量を大幅に小さくすることができ、システム全体の動作効率を改善することができることが判る。本実施形態では、このように、溶剤回収システムが効率的な動作点で作動することができるため、濃縮装置などを小型化することができ、イニシャルコストやランニングコストの抑制を図ることができる。なお、上記溶剤回収システム1は、溶剤回収を三段階以上で行い、各段階の排気をドライヤへ給気するようにしてもよい。例えば、三段階の場合であれば、図5に示すように、溶剤回収装置2から出たガス中に残留する溶剤蒸気を、濃縮装置3Aと濃縮装置3Bの2段階で除去する。この変形例の場合、給気経路19Hや19Lの他に、給気経路19Mが加わることになる。そして、ドライヤ16を構成する各乾燥室17A~Gは、給気経路19Hを経由して送られる高濃度の給気が送られる領域18H、給気経路19Mを経由して送られる中濃度の給気が送られる領域18M、給気経路19Lを経由して送られる低濃度の給気が送られる領域18Lの3つの領域に概念的に分割されることになる。また、蒸気溶剤回収システム1は、溶剤蒸気を段階的に除去可能なものであれば、如何なるものを採用してもよく、例えば、高濃度系のドライヤ給気分は凝縮式の溶剤回収装置で処理しつつ、スクラバーのようなNMP溶剤を水などに吸収除去させる湿式の装置を併用することで、湿式の装置の容量を大幅に小さくすることができる。"