テーブル上に水平姿勢で保持された板材を加工する加工機と、加工前後の板材を鉛直姿勢で貯留するストッカと、前記テーブルとストッカとの間で加工前後の板材を搬送する搬送ハンドとを備えた板材の加工装置において、前記テーブルの上方にテーブルとの間で板材を受け渡しする昇降保持具を備え、前記搬送ハンドは、板材を水平姿勢で保持しているときの上側と下側とに板材の保持具を備え、当該搬送ハンドは、下側の保持具とテーブルとの間で板材を直接受け渡し、上側の保持具とテーブルとの間では前記昇降保持具を介して板材を受け渡すことを特徴とする、板材の加工装置。ストッカ上の板材の収納部と加工機との間に、1枚の加工済板材を鉛直姿勢で保持して洗浄する洗浄台と、1枚の加工前板材を鉛直姿勢で保持する仮置台とを備え、前記搬送ハンドは、当該仮置台において前記上側と下側の保持具の間で加工機に搬入する板材を持ち替え、前記洗浄台において前記上側と下側の保持具の間で加工機から搬出した板材を持ち替える、請求項1記載の板材の加工装置。ストッカ上の板材の収納部の加工機の反対の側に、1枚ないし複数枚の加工前板材を鉛直姿勢で貯留する貯留台を備え、前記搬送ハンドは、前記収納部の板材を加工機に搬送する前に1枚ないし複数枚の加工前板材を前記貯留台に貯留し、貯留後の収納部の板材の総てを加工機に搬送した後、貯留台に貯留した板材を加工機に搬入する、請求項1記載の板材の加工装置。前記テーブルの鉛直軸回りの回転角と板材の周縁を加工する工具の当該テーブルに近接及び離隔する方向の位置とを関連づけて制御することにより板材の周縁を加工する板材の加工装置において、ストッカに収納された板材の中心と、前記工具と、前記テーブルの回転中心とが同一鉛直面上に位置し、前記テーブルが前記工具とストッカ上の板材との中間に位置している、請求項1、2又は3記載の板材の加工装置。近年、A4サイズやB5サイズなどの中程度の面積の液晶パネルを備えた携帯端末が急速に普及している。携帯端末用の中面積の液晶パネルは、生産量が多く、デザイン上の要請から種々の周縁形状のものが要求され、また、内蔵されたマイクやスピーカのための開口貫通孔を設けたものが要求される。大量生産の要望に応えるためには、前述したように、加工機の待ち時間を短くすることと、機械の設置面積を小さくすることとが必要である。一方、中面積のガラス基板の加工は、携帯電話用などの小面積のガラス基板の加工に比べて、1個当りの加工時間が長くかかるので、所望の連続自動運転を実現するために必要なストッカ上の基板の数は、小面積のガラス基板に比べて少なくてよい。そのため、従来の小面積のガラス基板の場合には、1個の加工機に対してストッカ上にワークを複数列収容して加工を行っているのに対し、中面積のガラス基板の場合には、1列にして収容することが可能であり、面を垂直にして狭い間隔で30枚程度のガラス基板を収容したケースをそれぞれの加工機に対して1個ずつストッカ上に装填することによって、所望時間の連続自動運転を行うことが可能である。そのため、前述したコンタリング方式で周縁加工を行う加工装置では、小面積のガラス基板の加工を行う装置に比べて、加工機やストッカの設置面積をあまり大きくすることなく砥石の移動ストロークが大きくなるので、そのストローク方向の長さは長くなるが、A4やB5サイズなどの中面積のガラス基板の周縁加工を行うことができる。ところが、ストッカと加工機との間でワークの搬入搬出を行うローダとして、従来のような2個のハンドを設けたローダを用いると、テーブル上で一方のハンドから他方のハンドへとハンドを移動させる際の移動ストロークが大きくなり、この移動時にハンドやこれに把持された基板が加工機の側方へ大きく突出し、隣接する加工機やローダとの干渉を避けようとすると、加工機やストッカの面積を大きくする必要がないにもかかわらず、全体としての装置の設置面積が大きくなるという問題があった。また、一部の工作機械に用いられているように、ハンドの旋回により加工前ワークと加工済ワークの把持を行う構造は、旋回時に薄い基板の面直角方向に空気圧や慣性力が作用するため、高速動作ができないし、旋回するためのスペースの確保も困難なことから、中面積のガラス基板の加工装置には採用が困難である。表示パネルやタッチパネル用のガラス基板は、矩形形状を基本としており、短辺側と長辺側とがある。ケース内でのワークの収納は、長辺側を水平方向、短辺側を上下方向にして収納されるのが普通で、ケースからワークを取り出すときのローダハンドの上下移動を短くできる利点がある。しかし、この場合には、加工前基板と加工済基板を交換する際のハンドの横方向の移動量や旋回時の旋回半径が大きくなる。この発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、ストッカ上の収納ケースと加工機との間の1回の往復動作で加工前ワークの加工機への搬入と加工済ワークの元のケースへの返却とを行うローダを備えた板材の加工装置であって、長辺がストッカないし加工機の幅寸法に近い大きさの板材を加工する装置において、板材の搬入搬出に伴う加工機の待ち時間が短く、かつ装置の設置面積が小さい装置を得ることを課題としている。この発明の板材の加工装置は、加工機1と、これに隣接したストッカ3と、ストッカと加工機との間で板材以下、ワークとも言う。の搬入搬出を行うローダと、加工機のワークテーブル15の上方に位置する昇降保持具37とを備えている。加工機1は、加工中の板材を保持する上記テーブル15と、テーブルに保持された板材の周縁を加工する回転砥石27とを備えている。好ましい構造の加工機は、板材を水平に保持して鉛直軸回りに回転駆動されるテーブルと、テーブルの反ストッカ側に位置してテーブルに近接離隔する方向に移動する回転砥石27と、テーブルの回転角と砥石の前記近接離隔する方向の位置とを関連付けて制御する制御器5とを備え、砥石の当該一方向の移動のみで板材の全周縁を加工する構造である。ストッカ3は、面を垂直にして面直角方向に多数枚の板材Wを一列に並べて収容した収納ケースCを、当該ケース内に収納された板材の面を加工機の方向に向けて、かつ当該多数枚の板材の中心を通る線と加工機のテーブル15の中心とを一致させて搭載する。ローダ4は、上下方向と搬送方向ストッカに搭載された板材の上方で加工機のテーブルに接近及び離隔する方向に移動し、かつ、前記上下方向及び搬送方向と直交する幅方向の支軸45回りに90度回動揺動する搬送ハンド46を備えている。搬送ハンド46は、水平姿勢となったときの下方を向く面と上方を向く面とに、それぞれ個別に動作するワーク保持具47、48を備えている。以下、搬送ハンドが水平姿勢となったときの下側のワーク保持具を下側保持具と、上側の保持具を上側保持具と言う。搬送ハンド46が垂直姿勢となったとき、上側保持具47が加工機側を向く。昇降保持具37は、ワークの搬入搬出時にテーブル15の上方に位置して、テーブル15との間で板材Wの受け渡しをすることができ、かつ上昇時には、水平姿勢でテーブル上に挿入された搬送ハンド46の上側保持具47で保持された板材の上方に位置して、上側保持具47との間で板材の受け渡しをすることができる昇降ストロークを備えている。上記構造の加工装置は、以下の動作で加工機1への板材Wの搬入搬出を行う。搬送ハンド46を下向きにしてケースC内に下降し、そのワーク保持具47、48の一方で加工前ワークを保持して上昇し、搬送ハンド46を加工機1側に向く水平姿勢となる。ワークを加工機に近い側から順に加工する場合は、加工前ワークは下側保持具48で保持される。このときは、テーブル15上の加工済ワークを昇降保持具37が受け取って上昇した後、搬送ハンド46がテーブル15の上方に移動し、加工前ワークをテーブル15に渡し、昇降保持具37から加工済ワークを上側保持具47で受け取る。そして、搬送ハンド46はストッカ3上に戻り、加工機は搬送ハンド46がテーブル15上から退避したときに直ちに搬入されたワークの加工を開始する。ストッカ3上に戻った搬送ハンド46は、下向きに回動し、下降して、上側保持具47で保持した加工済ワークをケースに戻すと共に、下側保持具48に次の加工前ワークを保持して上昇し、水平姿勢となり、加工機近くまで移動して加工機1の加工終了を待つ。ワークを加工機から遠い側から順に加工する場合は、加工前ワークは上側保持具47で保持される。このときは、搬送ハンド46がテーブル15の上方に移動し、加工済ワークをテーブル15から受け取り、加工前ワークを昇降保持具37に渡す。搬送ハンドがテーブル15上から待避した後、昇降保持具37が下降して加工前ワークをテーブル15に渡して待避した後、ワークの加工を開始する。そして、搬送ハンド46はストッカ3上に戻り、下向きに回動し、下降して、下側保持具48で保持した加工済ワークをケースに戻すと共に、上側保持具47に次の加工前ワークを保持して上昇し、水平姿勢となり、加工機近くまで移動して加工機1の加工終了を待つ。いずれの場合も、上記動作を繰り返すことにより、ケースC内の加工前ワークを順次加工機に搬送し、加工済ワークを順次元のケースに戻すという動作で、ケースに収納された多数枚のワークを加工する。ケース内のワークが総て加工されたとき、総ての加工済ワークが元のケース内に収納されている。ガラス基板の研削加工には、加工液として通常純水が用いられる。従って、加工済ワークには、水や切粉が付着している。一般的には、加工済ワークをケースに戻す前にワークに付着した水や切粉を除去する必要がある。この加工済ワークの洗浄を行うために、ストッカ上のケースCと加工機1との間の搬送ハンド46の搬送路の途中に、洗浄台32を設ける。好ましい洗浄台は、上方から面を垂直にして挿入された加工済ワークを上方から下方へと流れる空気流に晒す構造である。ワークが洗浄される間、搬送ハンド46が洗浄台32に留まることによってワークの搬送に時間がかかることを避けたいときは、搬送ハンド46の1往復の間、ワークを洗浄台32に留めておく。この場合には、次の加工済ワークを洗浄済ワークと交換するとき、搬送ハンドの加工済ワークの保持位置が上下入れ替わり、加工済ワークを元のケースに戻すことができなくなる。このときは、加工機への搬入途中で1枚の加工前ワークを一時貯留する仮置台33を設けて、この仮置台33に先に留置した加工前ワークと新しくケースから搬送してきた次の加工前ワークとを交換しながら加工機に搬入するようにすればよい。上述したワークの搬入搬出動作においては、ストッカ上の加工前ワークと加工済ワークとの間に搬送ハンドを挿入する空間がなければならないが、1枚1枚のワークをそのような空間を開けてケース収納することは、装置の設置面積を小さくしたいという要求に反し不合理である。この問題を解決する一つの方法は、搬送ハンドが挿入可能な空間を設けるのに必要な枚数の加工前ワークをケースから取り出して一時的に他の場所に置いておくことである。他の場所として、上記した加工中のテーブルと洗浄台とが挙げられる。すなわち、テーブル上の加工中のワークと洗浄中のワークは、ケースCから抜き取られた状態となっているので、2枚のワークを抜き取った空間に搬送ハンド46を挿入することができれば、追加の貯留部を設ける必要はない。また、上記した仮置台33を設けたときは、ワーク3枚分の空間が得られる。しかし、ストッカ上にワークをできるだけ密に配置したいという要求があることから、3枚ないし4枚以上のワークを抜き取らなければならない場合が生ずる。そのような場合には、1枚又は複数枚のワークを一時貯留する貯留台35を設けて、必要な枚数のワークを当該貯留台に貯留することにより、加工前ワークと加工済ワークとの間に搬送ハンドを挿入する空間を設けてやればよい。貯留台へのワークの貯留は、最初にケースから所望枚数のワークを貯留台に移動し、残りのワークの加工を行った後で、貯留台に退避させたワークの加工を行うようにすれば良い。この発明により、A4サイズやB5サイズ以上の大きさを備えたガラス基板などの板材を、垂直姿勢で面直角方向に密に並べてケースに収納した状態でストッカ上に搭載して、当該ケースに収納された板材を連続自動加工して元のケースに戻すという動作を行う、生産性が高くかつ設置面積が小さい加工装置を提供することができる。装置を小型にできることから、機械剛性を高くすることが容易になることから、高精度の加工が実現できる。また、比較的大面積のガラス基板などもケースに収納して工程間の搬送などを行うことが可能になるので、搬送を含む全体としての生産性の向上も図ることができる。以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。図に示した装置は、上部が解放された収納ケースCに収納されたガラス基板Wをローダ4で加工機1に搬入し、加工機1は、搬入された基板の周縁加工を行い、加工済基板をローダ4が元の収納ケースに戻すという動作を繰り返す装置で、ストッカ3上には2個の収納ケースが搭載されるようになっており、ストッカ3の一側に背中合せの配置で2台設けた加工機1a、1bがそれぞれの側の収納ケースに収納されたワークの加工を行うものである。図1に示すように、ストッカ3は、平面矩形で、その一方の側面中央に2台の加工機11a、1bの構成部材を支持する背面板11がストッカ3の基台と一体にして設けられている。ストッカ3の上面には、2個の収納ケースCCa、Cbを固定するロック装置図示せずが設けられている。収納ケースCは、多数枚の基板を一括して取り扱うための容器で、基板WW1、W2、W3は、収納ケースCに面を垂直にして面直角方向に狭い間隔で並べた状態で収納されている。基板は、通常矩形を基本とした形状をしており、その長辺側を横方向、短辺側を上下方向にして収納されている。加工機1は、基板を支持して旋回する鉛直方向の主軸12と、この主軸と平行な2本の砥石軸13、14とを備えている。主軸12の上端には、搬入された基板を水平姿勢で吸着して保持するテーブル15が固定されている。主軸12は、サーボモータ16により回転駆動され、テーブル15上に保持された基板は、主軸12の回転に伴って中心回りに旋回する。テーブル15の斜め上方には、テーブルに置かれた基板の縁を検出するカメラ17が設けられている。背面板11の垂直な面には、水平方向X軸方向の直線ガイド21と送りねじ22とが設けられ、送りねじ22に螺合して送りねじ22の回転に伴って直線ガイド21に沿って移動する送り台23が設けられている。送りねじ22は、サーボモータ24で正逆方向に回転駆動される。送り台23には、2個の昇降台25、26が設けられ、それぞれの昇降台に回転砥石軸13、14が軸支されている。砥石軸13、14は、下端に砥石ホルダを備えており、主軸12から遠い側の砥石軸13には外周砥石27が装着され、近い側の砥石軸14に内周砥石28が装着されている。テーブル15上の基板の周縁は、制御器5に登録した関係式で主軸12の回転角と送り台23の移動位置とを関連づけて制御することにより、回転砥石27、28で所望形状に研削加工される。なお、図の符号51、52は、サーボアンプである。主軸12及び2本の砥石軸13、14の中心軸は、直線ガイド21と平行な鉛直面上に位置しており、ストッカ3に搭載された基板Wの中心もこの鉛直面上に位置している。後述するローダは、基板の中心がこの鉛直面内を通過して行くように収納ケースCと加工機1との間で基板を搬送する。前述したように加工機1a、1bは、背面板11を挟んで対称に2台設けられており、各加工機は、ストッカ上のそれぞれの側に搭載された収納ケースCに収納された基板Wを他方の加工機やローダの動作の影響を受けることなく独立して動作する。ストッカ3には搭載される収納ケースの上方となる位置にX軸方向のガイド腕41が装架されている。ガイド腕41内には、電動機42で回転駆動される送りねじが設けられており、ガイド腕41に沿って走行する走行台43が当該送りねじに螺合している。走行台43にはシリンダ内蔵の昇降機44及びX軸と直交する水平方向の支軸45を介して、当該支軸回りに90度回動揺動する搬送ハンド46が装着されている。搬送ハンド46は、支軸45から下方に垂れ下がる鉛直姿勢と、支軸45から加工機1側へと延びる水平姿勢との間で揺動する。搬送ハンド46は、その両側、すなわち水平姿勢となったときの上側と下側との両側に基板の保持具となる複数の吸着パッド47、48を備えている。真空圧の作用によって基板を保持するこれらの吸着パッドは、一方の側の吸着パッド47と他方の側の吸着パッド48とがそれぞれ別の切換弁を介して真空源に連通されており、基板Wは、複数の吸着パッドで吸着された状態で搬送される。各加工機1のテーブル15の上方には、図示しないシリンダで昇降する昇降枠36が設けられ、この昇降枠に下方を向いた吸着パッド37が装着されている。昇降枠36及びこれに装着された吸着パッド37は、X軸方向に移動する砥石27、28との干渉を避けるために、砥石27、28の移動領域の両側に配置するか、又はワーク加工時にテーブル15の上方からストッカ3側へと退避する構造で設けられる。ストッカ3上の収納ケースCと加工機1との間には、上方から面を垂直にして挿入された基板を当該姿勢で保持する保持具31を備えた洗浄台32と仮置台33とが設けられている。仮置台33は、収納ケースCから加工機1へと搬送される基板を一時的に貯留するものである。一方、洗浄台32は、保持具31で支持された基板の両面に向けて上方から空気を噴射する空気ノズル34を備え、加工済基板に付着している洗浄水や切粉を吹き飛ばして洗浄する。次に図4ないし13を参照して、上記構造を備えたガラス基板の周縁加工装置の動作を説明する。吸着パッド47、48によるガラス基板Wの吸着及び解放を行うとき、吸着パッドとガラス基板の摺擦を避けるために、基板を吸着するときには、吸着直前にハンド46を僅かに基板側へと移動させ、また、解放するときには、解放直後にハンド46を僅かに基板から離隔させる動作を行うが、以下の説明における基板の吸着及び解放の動作は、このハンドの僅かな移動動作を含む意味で用いている。また、ハンドの上側、下側は、搬送ハンドが水平姿勢になったときの上側及び下側を意味する。加工前基板を収納した収納ケースCがストッカ3に装填されて運転が開始されると、ハンド46は、下向き姿勢でケース側に移動して下降し、下側下側の吸着パッド、以下同じ。に第1の基板W1を吸着し、仮置台33へと搬送して解放する。次にハンド46は、上昇したあとケース側へ移動して下降し、第2の基板W2を吸着して仮置台33側へ移動し、第1の基板W1を上側上側の吸着パッド、以下同じ。47に吸着したあと第2の基板W2を仮置台33に解放する。次にハンド46は上昇し、水平姿勢となって加工機1側に移動して、第1の基板W1を昇降枠36に対向させる。この状態で第1の基板W1をハンドの上側から昇降枠36へ受け渡し、ハンド46がテーブル15上から退避した後、昇降枠36が下降して第1の基板W1をテーブル15に装填し、昇降枠36は退避する。テーブル15に搭載された第1の基板W1の周縁加工が行われる間、ハンド46は下向き姿勢となってケースC側に移動して下降することにより、第3の基板W3を吸着し、仮置台33へ移動して上側に第2の基板W2を吸着すると共に、第3の基板W3を解放して仮置台33に置き、上昇して水平姿勢となって第1の基板W1の加工終了を待つ。加工が終了したら、ハンド46をテーブル15上へと移動し、加工済の第1の基板W1をハンドの下側48に吸着し、上側47の第2の基板W2を昇降枠36に受け渡してテーブル15上から退避する。この退避の後、昇降枠36が下降して第2の基板W2をテーブル15に渡して退避し、加工機は第2の基板W2の加工を開始する。第2の基板W2の加工の間にハンド46は、下向き姿勢になって第1の基板W1を洗浄台32に置いて上昇し、ケースC側へ移動して第4の基板W4を吸着する。洗浄台32は、ノズル34から空気を噴射して第1の基板W1に付着している加工液水や切粉をノズル34から噴射する空気流で吹き飛ばすと共に基板W1を乾燥する。第4の基板W4を吸着したハンド46は、仮置台33へと移動して上側47に第3の基板W3を吸着し、第4の基板W4を仮置台33に置いて上昇し、水平姿勢となって第2の基板の加工終了を待つ。第2の基板の加工が終了したら、ハンド46をテーブル15上に挿入し、加工済の第2の基板W2をハンドの下側48に吸着すると共に、上側47の第4の基板W4を昇降枠36に渡す。テーブル15上からハンドが退避し、昇降枠36によってテーブル15に搭載された第3の基板W3の加工中にハンド46は、下向き姿勢となって洗浄台32と仮置台33との間に移動し、洗浄された第1の基板W1を上側に吸着し、第2の基板W2を洗浄台32に置いて上昇してケースC側へ移動して第1の基板W1を第1の収納部C1に戻し、下側に第5の基板W5を吸着する。ハンド46は真っ直ぐに上昇した後、仮置台33側へ移動して下降し、上側に第4の基板を吸着した後、第5の基板を仮置台33に置いて上昇して水平位置となり、第3の基板W3の加工終了を待つ。加工が終了したらハンド46をテーブル15の上方に挿入し、テーブル15から加工済の第3の基板W3を下側に吸着し、上側の第5の基板を昇降枠36に渡して退避する。テーブル15が第5の基板W5を昇降枠から受取って加工をしている間に、ハンド46は下向き姿勢となって洗浄台32と仮置台33との間に下降し、洗浄済の第2の基板を上側に吸着して加工機側に若干移動した後、第3の基板を洗浄台において上昇し、ケースC側に移動し、第1の基板W1と第6の基板W6との間に真っ直ぐに下降する。そして、第2の基板W2を第2の収納部C2に置いて第6の基板W6を下側に吸着して真っ直ぐに上昇し、仮置台33へと移動する。以上の動作を繰り返すことにより、ケースCに収容された総ての基板の周縁加工が行われる。ケースCには、加工済基板が収容された領域と加工前基板が収容された領域との間に基板3枚分の空間が作られるから、この空間にハンド46を挿入して基板Wの搬送を行うことができる。上記の加工動作は、収納ケースC内に収納された基板を加工機1に近い側から順に加工するものであるが、加工機1から遠い側から順に加工を行うこともできる。例えばケースC内に基板Wが密に収納されていて、基板3枚分の空間では、加工済基板と加工前基板との間にハンド46を挿入することができないような場合、ストッカ3の収納ケースCの装填位置より加工機1から遠い側に1枚又は複数枚の基板を一時貯留する貯留台35を設ける。そして、図14、15に示すように、ストッカ上にケースCが装填されたら、まずハンド46は、加工機1から遠い側の基板の所定枚数をケースCから1枚ずつ貯留台35へと移送する。例えば3枚の基板を貯留台35に移送した後、第4の基板W4をハンド46の上側47に吸着して仮置台33に置き、次に戻って第5の基板W5を吸着して洗浄台32と仮置台33との間に移動し、下側48に第4の基板W4を吸着した後、ケース側に若干移動して第5の基板W5を仮置台33に置いて上昇し、水平姿勢となってテーブル15上に移動する。第4の基板W4をテーブル15に置いて加工機が第4の基板W4を加工している間に、ハンド46は第6の基板W6を吸着して洗浄台32と仮置台33との間に移動し、下側に第5の基板W5を吸着し、上側の第6の基板W6を仮置台33に置いて上昇し、水平姿勢となって第4の基板W4の加工終了を待つ。加工が終了したら、昇降枠36が加工済基板W4を吸着して上昇した後、ハンド46をテーブル15上に挿入する。そして、下側の第5の基板W5をテーブル15に置き、昇降枠から第4の基板を上側に受取って、ハンド46は洗浄台32へと移動して第4の基板W4を洗浄台32に置く。そして、ハンド46は、第7の基板W7を取りに行き、上側に第7の基板W7を吸着して仮置台33へと移動し、第6の基板W6を下側に吸着し、第7の基板W7を仮置台33に置いて上昇して水平姿勢となって第5の基板W5の加工終了を待つ。加工が終了したら、加工済基板W5を昇降枠36で吸着し、テーブル上に挿入したハンド46の上側に加工済基板W5を受取ると共に、第6の基板W6をテーブル15に置く。そして、ハンド46は洗浄台32へと移動し、下側に洗浄済の第4の基板W4を吸着し、上側の第5の基板W5を洗浄台32に置き、ケースC側に移動して第4の基板W4を第1の収納部C1に戻し、上側に第8の基板W8を吸着する。この例では、加工済基板と加工前基板との間に基板6枚分の空間が形成され、この空間にハンド46を挿入して基板の搬送を行うことができる。以上のようにして、ケースに収容された最後の基板加工機に最も近い基板が搬出された後、ハンドは次に貯留台35に置いた基板W1~W3を取りに行って同様な手順で貯留台の3枚の基板を順次加工した後、加工済基板をケースCの加工機側の3個の収納部に順次戻して、ケースC内の総ての基板の加工を完了する。上記の例では、加工済基板を一加工サイクル中の間、洗浄台32で洗浄及び乾燥を行っており、加工機からケースに戻される基板がこの洗浄台で持ち替えられる関係上、ケースから加工機への搬送路にも仮置台33を設けて基板の持ち替えを行っている。これに対して加工時間に比べて洗浄時間が短く、洗浄及び乾燥中にハンドが洗浄台に留まって待機し、加工済基板を洗浄台に留置することなくケースに戻すようにした場合には、仮置台33を設ける必要はない。このような場合には、ハンドを挿入するために取り除く必要がある枚数-1枚加工中の1枚を貯留する貯留台35を設けてやればよい。