添加元素として、Fe:30~150ppm、Ir:80~350ppm、Pt:100~300ppm、を含み、残部がRhからなるプローブピン用の線材に適したロジウム合金。請求項1記載のロジウム合金からなるプローブピン。イリジウム等の貴金属をプローブピン用途に適用する場合、問題となるのがその加工性である。近年の半導体集積回路等においては、高密度化により電極パッド間がより狭ピッチ化する傾向にあることから、プローブピンの線径を微細にすることが要請される。この点、貴金属、特に、イリジウムは、硬度が高く細線化が困難であり、加工途中に断線することが多く、かかる要請に応え難い。本発明は、以上のような事情を背景になされたものであり、プローブピン用途に好適な貴金属合金であって、微細化に対応可能な加工性が良好であり、加工性を確保すると共に、硬度、防汚特性に優れたものを提供する。上記課題を解決すべく、本発明者等は鋭意研究を行い、イリジウムと比較して加工性に優れる貴金属であるロジウムRhの適用に想到した。一方、ロジウムは、硬度において劣る面があり、純金属の状態でプローブピン用途で使用するのは好ましくない。そこで、本発明者等は、ロジウムを主体とし複数の添加元素を微量添加し、ロジウムの加工性を保持しつつ硬度等が改善された合金を見出し本発明に想到した。即ち、本発明は、添加元素として、Fe:30~150ppm、Ir:80~350ppm、Pt:100~300ppm、を含み、残部がRhからなるプローブピン用の線材に適したロジウム合金である。上記の通り、本願発明は、ロジウムに、鉄Fe、イリジウムIr、白金Ptの3種の添加元素を添加するものである。これらの添加元素を添加する意義としては、Feは加工性向上のため、Irは機械的強度向上のため、Ptは耐酸化性向上のためである。これらの添加元素は3種を同時に添加することを要し、一つでも欠くことはできない。各添加元素の濃度は、上記の範囲内とする。Rhの加工性を保持しつつ、硬度、防汚特性等を発揮させるためである。より好ましい添加元素濃度は、Fe:50~100ppm、Ir:150~350ppm、Pt:150~300ppmである。本発明に係るロジウム合金は、各添加元素を添加した所定組成のロジウム合金からなるインゴットを製造し、これを線材加工することによりプローブピン用線材とすることができる。合金の鋳造においては、ロジウム、イリジウム等の高融点材料に対するものであることからアーク溶解、高周波溶解等の高エネルギー密度の鋳造法が適用される。各添加元素濃度は、鋳造の際に調整されるが、このときの原料の形態としては粉末状、小塊状のものが使用できる。合金鋳造後のインゴットを棒材にするため加工としては、熱間鍛造及び熱間圧延が適用され、これらを繰り返し行っても良い。その後、棒材を粗線材から細線材へ加工する。粗線材への加工は、適宜に棒材を焼鈍した後、熱間加工スウェージング加工、ドローベンチ加工する。また、細線加工は、熱間伸線加工、特に、通電加熱伸線加工が適用できる。通電加熱伸線加工は、被加工線材をダイス、加圧ローラーに通過させる伸線加工であるが、被加工線材を外部から通電し、その際の抵抗熱を加工性確保のための熱源とするものである。通電加熱伸線は、印加する電流を調整することで高温かつ均一な加熱が可能であり、高温強度の高いロジウム合金も比較的容易に加工することができる。以上説明した本発明に係るロジウム合金は、プローブピン用途として有望視されているイリジウムよりも加工性に優れている。そして、その硬度、防汚特性等も遜色ないものとなっている。そして、本発明に係るロジウム合金からなるプローブピンは、耐久性及び防汚特性に優れ、半導体集積回路等の電気特性の検査において長期間使用することができる。尚、このプローブピンは、本発明に係るロジウム合金のみからなる、所謂、ムク材で構成されることが好ましい。めっきやクラッドで表面のみをロジウム合金としても使用可能ではあるが、その場合、使用中においてプローブピン先端部の強度低下や母材からの剥離現象が生じるおそれがあり、ムク材においてはそのおそれがないからである。以下、本発明の好適な実施形態を説明する。本実施形態では、Fe、Ir、Ptの添加量を適宜に変更したRh合金を製造し、これを線材として加工の可否を検討した。純ロジウム粉末と、各添加元素の金属粉末とを、所定組成となるように秤量混合し、これをアーク溶解して棒状のイリジウム合金インゴットを製造した。棒状インゴットを、1000~1200°Cで熱間鍛造し、12mm角の棒材とした。そして、溝付き圧延ロールによる熱間圧延を行い温度900~1100°C、5mm角の線材とした。更に、熱間スウエージング加工、ドローベンチ加工を複数パス行い、線径1.33mmの粗線材とした。粗線材について、通電加熱伸線装置を用いて細線への伸線加工を行った。この通電加熱伸線装置においては、粗線材を送りロールから送りつつダイスに通過させて伸線される。このときの通電加熱は、送りロール及びダイスを電極として通電し、これにより粗線材が通電加熱される。本実施形態での、加工条件は、電流9~11mA、送り速度2~6m/minとした。また、送りローラーの直後でカーボン粉末を線材に塗布している。最後に、冷間伸線を行い、最終的に線径60μmの線材とした。本実施形態では、上記の線材加工工程における加工性の評価、製造した線材についての硬度測定、防汚特性の評価を行った。加工性の評価は、上記加工工程に基づき1ロット全長300mの線材の製造中に断線が発生した回数を記録した。また、硬度測定は、線材の表面硬度をビッカース硬度計にて測定した。更に、防汚特性の評価は、図1で示す模擬試験装置にて行った。この試験は、製造したプローブピンを装置にセットし、下記条件にて繰返し接触しつつ電気抵抗を測定するものである。試験では、接触回数の増加に伴い電気抵抗が上昇するが、5Ωを超えた時点を汚染によるクリーニングが必要となる時点として、それまでの接触回数を測定した。接触抵抗が5Ωを超えるまでの接触回数の測定結果を表1に示す。試験条件接触相手:アルミ製パッド接触圧力:8g/1ピン印加電流:100mmA/1ピン表1は、各特性評価の結果を示すものである。上記したように、Fe、Ir、Ptの各添加元素は、加工性、機械的強度、耐酸化性防汚特性の各特性改善のため添加されるものである。この点、Irの添加による合金の硬度上昇効果が確認できる。また、加工性、防汚特性も良好である。但し、添加元素の不足、過剰添加は、何れか或いは全ての特性を低下させるものであり、適切な組成調整を要することがわかる。