ロードロック室と、モータを有し、前記モータの動力により前記ロードロック室内の気体を排出する真空ポンプと、大気圧側から被処理基板が前記ロードロック室へ搬入されるごとに、前記ロードロック室内を減圧するように、前記真空ポンプの前記モータを駆動する駆動ユニットと、前記モータを減速させることで回生電力を得る回生ユニットとを具備するロードロック装置。請求項1に記載のロードロック装置であって、少なくとも前記回生ユニットで得られた前記回生電力を蓄える蓄電器をさらに具備するロードロック装置。請求項2に記載のロードロック装置であって、前記真空ポンプの前記モータは、前記ロードロック室の前記大気側への開放後に、前記開放に起因した、前記大気側への開放前に比べて大きい負荷をかかる状態を有し、前記回生ユニットは、前記蓄電器に蓄えられた前記回生電力を、前記大きい負荷状態となる時の前記モータの駆動電力の一部として使用するロードロック装置。請求項1から3のうちいずれか1項に記載のロードロック装置であって、前記真空ポンプの前記モータは、前記ロードロック室の前記大気側への開放後に、前記開放に起因した、前記大気側への開放前に比べて大きい負荷がかかる状態を有し、前記大きい負荷状態となる時の前記モータの駆動のためのピーク電力より低い電力で待機時に前記モータを駆動するための電力の一部を、前記蓄電器に蓄えさせ、前記蓄電器に蓄えられた電力を前記ピーク電力の一部として前記駆動ユニットに使用させる制御手段をさらに具備するロードロック装置。ロードロック室と、モータを有し、前記モータの動力により前記ロードロック室内に気体を排出する真空ポンプとを備えるロードロック装置に用いられる排気制御装置であって、大気圧側から被処理基板が前記ロードロック室へ搬入されるごとに、前記ロードロック室内を減圧するように、前記真空ポンプの前記モータを駆動する駆動ユニットと、前記モータを減速させることで回生電力を得る回生ユニットとを具備する排気制御装置。大気圧側からロードロック室内に被処理基板を搬入し、前記ロードロック室に接続された真空ポンプのモータの動力により、前記ロードロック室内を減圧し、前記ロードロック室内の減圧のために駆動されている前記モータを減速させることで回生電力を得るロードロック装置の動作方法。ところで、上述のような真空プロセスでは、真空のプロセス室及び大気側の間での基板の搬送のために、大気圧及び真空を切り替えるロードロック装置が用いられる。ロードロック装置は、被処理基板がロードロック室に搬入出されるたびに、ロードロック室の大気圧及び真空を切り替える操作を行う。つまり、ロードロック室に接続された真空ポンプは、被処理基板の搬入出のたびに、ロードロック室の真空排気を繰り返すので、真空ポンプの駆動には多大な電力を必要とする。特に、近年ではFPD製造等の分野では、被処理基板が巨大化する傾向にあり、これに伴いロードロック室やこれに接続されるプロセス室の動作に必要なエネルギーが増大している。以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、ロードロック装置の動作や、ロードロック装置に接続される周辺の装置の動作に必要なエネルギーを削減することができるロードロック装置、これに用いられる排気制御装置及びロードロック装置の動作方法を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るロードロック装置は、ロードロック室と、真空ポンプと、駆動ユニットと、回生ユニットを具備する。前記真空ポンプは、モータを有し、前記モータの動力により前記ロードロック室内の気体を排出する。前記駆動ユニットは、大気圧側から被処理基板が前記ロードロック室へ搬入されるごとに、前記ロードロック室内を減圧するように、前記真空ポンプの前記モータを駆動する。前記回生ユニットは、前記モータを減速させることで回生電力を得る。本発明の一形態に係る排気制御装置は、前記ロードロック装置に用いられ排気制御装置である。排気制御装置は、前記駆動ユニット及び前記回生ユニットを備える。本発明の一形態に係るロードロック装置の動作方法は、大気圧側からロードロック室内に被処理基板を搬入する。前記ロードロック室に接続された真空ポンプのモータの動力により、前記ロードロック室内が減圧される。前記ロードロック室内の減圧のために駆動されている前記モータを減速させることで回生電力が得られる。一形態に係るロードロック装置は、ロードロック室と、真空ポンプと、駆動ユニットと、回生ユニットを具備する。前記真空ポンプは、モータを有し、前記モータの動力により前記ロードロック室内の気体を排出する。前記駆動ユニットは、大気圧側から被処理基板が前記ロードロック室へ搬入されるごとに、前記ロードロック室内を減圧するように、前記真空ポンプの前記モータを駆動する。前記回生ユニットは、前記モータを減速させることで回生電力を得る。回生ユニットにより得られた回生電力を有効に利用することで、真空ポンプの駆動に必要な、電源供給側電源の電力を低減することができる。したがって、大気圧側からの被処理基板の搬入ごとに、減圧及びその開放を繰り返すロードロック装置では、回生ユニットが設けられることによるメリットが大きく、ロードロック装置やその周辺の装置の動作に必要なエネルギーを大幅に削減することができる。前記ロードロック装置は、少なくとも前記回生ユニットで得られた前記回生電力を蓄える蓄電器をさらに具備してもよい。これにより、所望のタイミングでその蓄電器の電力を利用することができる。前記真空ポンプの前記モータは、前記ロードロック室の前記大気側への開放後に、前記開放に起因した、前記大気側への開放前に比べて大きい負荷がかかる状態を有し、前記回生ユニットは、前記蓄電器に蓄えられた前記回生電力を、前記大きい負荷状態となる時の前記モータの駆動電力の一部として使用してもよい。これにより、モータの駆動ユニットへ供給される電源の消費電力のピーク値を抑えることができる。その結果、電源の周辺や回生ユニットの周辺の回路等の電気設備を軽減することができる。電気設備が軽減されることにより、コストを削減でき、その設備の設置のためのスペースを削減することができる。前記ロードロック装置は、次のような制御手段をさらに具備してもよい。制御手段は、前記ロードロック室の前記大気側への開放後に、前記大きい負荷状態となる時の前記モータの駆動のためのピーク電力より低い電力で待機時に前記モータを駆動するための電力の一部を、前記蓄電器に蓄えさせ、前記蓄電器に蓄えられた電力を前記ピーク電力の一部として前記駆動ユニットに使用させる。これにより、駆動ユニットへ供給される電源の消費電力のピーク値を抑え、さらにその消費電力を時間的に平滑化することができる。したがって、上記のように電気設備を軽減することができ、また消費電力の平滑化により、モータドライバ及び真空ポンプの動作を安定化させることができる。一形態に係る排気制御装置は、前記ロードロック装置に用いられ排気制御装置である。排気制御装置は、前記駆動ユニット及び前記回生ユニットを備える。一形態に係るロードロック装置の動作方法は、大気圧側からロードロック室内に被処理基板を搬入する。前記ロードロック室に接続された真空ポンプのモータの動力により、前記ロードロック室内が減圧される。前記ロードロック室内の減圧のために駆動されている前記モータを減速させることで回生電力が得られる。減圧のために駆動されているモータの減速により得られた回生電力を有効に利用することで、真空ポンプの駆動に必要な電力を低減することができる。したがって、大気圧側からの被処理基板の搬入ごとに、減圧及びその開放を繰り返すロードロック装置では、回生電力を得るメリットが大きく、ロードロック装置やその周辺の装置の動作に必要なエネルギーを大幅に削減することができる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。第1の実施形態図1は、本発明の一実施形態に係るロードロック装置100を示す図である。このロードロック装置100は、半導体デバイス、FPD、ソーラーパネル等の製造プロセスのうち、真空プロセスを担う装置に接続されて用いられる。処理対象とされる被処理基板Wは、半導体ウェハ、ガラス基板、導電性基板等である。被処理基板Wを、以降では単に基板Wという。ガラス基板や導電性基板等の矩形基板は年々大型化している。大きいものではその基板の矩形の1辺が1m以上、2m以下、あるいは2m以上3m以下である。ロードロック装置100は、ロードロック室10、排気装置20及び制御ユニット30を備えている。図1中、ロードロック室10の右側には、真空側ゲートバルブ14を介して真空のプロセス室や真空搬送室42’が接続される。また、ロードロック室10の左側には、大気側ゲートバルブ12を介して大気搬送室41’が接続される。真空搬送室42’は、ロードロック室10とプロセス室との間で、真空下で基板Wを搬送する。プロセス室は、例えば、CVDChemicalVaporDepositionまたはスパッタリングによる成膜、またドライエッチング等の処理を行う。大気搬送室41’は、基板Wを収納する図示しないカセット等の収納部と、ロードロック室10との間で、大気圧下で基板Wを搬送する。以降の説明では、図1中、ロードロック室10の左側を大気側41、右側を真空側42と呼ぶ。このロードロック装置100が適用される製造装置は、プロセス室が複数あるマルチチャンバ方式の製造装置であってもよいし、そのほか、インライン式や縦型搬送方式の製造装置であってもよい。もちろん、この製造装置は、1つのプロセス室を有し、ロードロック室10とそのプロセス室とが真空側ゲートバルブ14を介して接続される形態を有する製造装置であってもよい。ロードロック装置100は、大気側41と真空側42との間で基板Wを搬送する。ロードロック室10には、吸気ライン11及び排気ライン13が接続され、これらのライン11及び13には、吸気側バルブ16及び排気側バルブ18が接続されている。排気装置20の動作及び各バルブ12、14、16及び18の開閉動作により、ロードロック室10内では、大気圧及び所定の真空度の間で圧力変動が繰り返される。ロードロック室10は、仕込み室などとも呼ばれる。図2は、排気装置20の電気的な構成を示すブロック図である。排気装置20は、排気ライン13図1参照に接続された、モータ22を搭載した真空ポンプ21と、このモータ22を駆動するモータドライバ23駆動ユニットの一部または全部、モータドライバ23に接続された回生ユニット24とを有する。モータドライバ23には、電源29から電力が供給される。モータドライバ23は、典型的にはインバータ制御によりモータ22を駆動するものが用いられるが、これに限られない。例えばモータ22がDCモータの場合、一定電圧による駆動でもよいし、モータ22がACモータの場合、一定周波数による駆動でもよい。回生ユニット24は、真空ポンプ21のモータ22を強制的に減速させることで回生電力を得る。回生ユニット24は、種々の公知の技術が適用され得る。例えば、真空ポンプ21のモータ22がDCモータである場合、回生ユニット24は、回生電力逆電力による回生過電圧を検出し、それが検出された場合に、その回生電力を負荷で消費させるような回路に切り替えるようにすればよい。ここでの負荷とは、例えば後述する蓄電器25、電源29、あるいは、他の装置上述のプロセス室、大気搬送室41’、真空搬送室42’等で用いられる電源等が該当する。一方、モータ22がACモータである場合であっても、モータドライバ23がインバータ制御を有するものであれば、回生ユニット24はその回生電力を取り出すことができる。制御ユニット30は、各ゲートバルブ12及び14、吸気側及び排気側バルブ18の開閉のタイミングを制御したり、排気装置20の動作を制御したりする。制御ユニット30は、CPUCentralProcessingUnit、RAMRandomAccessMemory、ROMReadOnlyMemory等のコンピュータに用いられるハードウェア要素及びソフトウェアにより実現される。あるいは、制御ユニット30は、FPGAFieldProgrammableGateArray等のPLD、その他ASICApplicationSpecificIntegratedCircuit等のデバイスにより実現されてもよい。モータドライバ23も同様に、それらのハードウェア、またはハードウェア及びソフトウェアにより実現される。以上のように構成されたロードロック装置100の動作を説明する。吸気側バルブ16が開き排気側バルブ18が閉じた状態で、大気側ゲートバルブ12が開き、大気側41からロードロック室10内へ基板Wが搬入される。搬入後、大気側ゲートバルブ12が閉じる。大気側ゲートバルブ12及び吸気側バルブ16が閉じ、排気側バルブ18が開くと、真空ポンプ21の動作によりロードロック室10内の圧力が所定の真空度になるまで下げられる。所定の真空度とは、真空側42の圧力と同じか、多少異なる程度である。ロードロック室10内の圧力が所定の真空度に達すると、排気側バルブ18が閉じ、その後、真空側ゲートバルブ14が開き、ロードロック室10から真空側42へ基板Wが搬出される。そして、真空側ゲートバルブ14が閉じる。真空側42におけるプロセス室での処理が終わると、真空側ゲートバルブ14が開き、真空側42からロードロック室10へ基板Wが搬入され、搬入後、真空側ゲートバルブ14が閉じる。そして、吸気側バルブ16が開くとロードロック室10内に気体典型的には空気が浸入し、ロードロック室10内は大気圧となる。その後大気側ゲートバルブ12が開き、ロードロック室10から大気側41へ基板Wが搬出される。このように、ロードロック装置100は、大気側41から基板Wがロードロック室10へ搬入されてから、次の基板Wが大気側41から搬入されるまでを1周期として、上記の動作を繰り返す。すなわち、ロードロック装置100は、大気側41から基板Wがロードロック室10へ搬入されるごとにロードロック室10内を減圧する。図3は、ロードロック装置100の一実施形態に係る、排気動作方法を表すグラフである。このグラフは、ロードロック装置100の上記した1周期分の動作を示している。1周期は、例えば30~120秒、40秒~90秒、50秒~70秒、または60秒である。ここで、図4Aを参照して、一般的なロードロック装置100の排気動作方法を説明する。横軸は時間1周期分であり、縦軸は、上のグラフから順に、真空ポンプ21のモータ22の回転数、モータ22の駆動のために図示しない電源29から供給される電力、ロードロック室10内の圧力、吸気側バルブ16及び排気側バルブ18のそれぞれの開閉のタイミングである。この図4Aでは、真空ポンプ21はロードロック室10内を所定の真空度に保つための所定の回転数で作動している。以下、この回転数を駆動回転数r1という。そしてこのとき、排気側バルブ18が閉じている状態であり、真空ポンプ21内から排気側バルブ18までが真空に保たれている。最初に、このような状態から排気側バルブ18が開くと、ロードロック室10内の気体が真空ポンプ21側に流れ込み、回転数が急激に低下し、大気開放前に比べモータ22の負荷が大きい状態となる。以下、このように大気開放に起因したモータ22が受ける大きい負荷状態を、便宜的に、大気開放後負荷状態という。大気開放直後は、このようにモータ22の負荷が大きい状態にあるため、モータ22への供給電力は上昇する。そしてすぐに回転数が元の駆動回転数r1に戻り、大気開放後負荷状態が終わり、時間t1で排気側バルブ18が閉じ、ロードロック室10内が所定の真空度グラフ上では最低圧力v0に達する。時間t1近傍で供給電力も元に戻る。時間t2で、吸気側バルブ16が開いてロードロック室10が大気開放されるまで、ロードロック室10内は真空度v0が維持される。このように、ロードロック室10が大気開放された直後以外の期間では、モータ22は駆動回転数r1で回転しており、大気開放のたびに大気開放後負荷状態となって電力を消費するので非効率的である。そこで、なるべく消費電力を抑えるために、例えば図4Bのような動作方法が提案されている。図4Bでは、回転数を見ると分かるように真空ポンプ21のモータ22の駆動方法は、アイドリング期間、すなわち駆動回転数r1より低い回転数以下、アイドリング回転数という。r2でモータ22を駆動する期間待機時を有している。すなわち、排気側バルブ18が閉じている期間は、真空ポンプ21は実質的な仕事をする必要がないので、待機状態とされる。特に、図4Aにおいて最初に大気開放後負荷状態で回転数が減少することを考慮すると、予めアイドリング状態でモータ22が駆動されていれば効率が良い。そして、アイドリング期間を終え、排気側バルブ18が閉じる前までに駆動回転数r1にまで回転数が上昇し、所定の真空度まで真空排気が行われる。このようなアイドリング期間を有する図4Bのような動作方法により、図4Aのグラフに比べ、斜線部分のエネルギーを削減することができる。次に、図3のグラフを参照して本実施形態に係る動作方法を説明する。この動作方法は、図4Bでの方法と同様にアイドリング期間を有し、さらに回生ユニット24によりモータ22を強制的に減速させることで回生電力を得ている。すなわち、この動作方法は、図4Bでの方法に比べて、駆動回転数r1からアイドリング回転数r2まで到達する時間を短縮している。これによって得られる、供給電力の負の部分が回生電力回生エネルギーである。このように得られた回生電力は、ロードロック装置100に接続される真空搬送室やプロセス室に用いられる真空ポンプを駆動するための電力として利用可能である。あるいは、次の本発明の第2の実施形態で説明するように、得られた回生電力を蓄電器に蓄電することができる。このように、回生ユニット24により得られた回生電力を有効に利用することで、真空ポンプ21の駆動に必要な、電源29の電力供給電力を低減することができる。したがって、大気側41からの被処理基板Wの搬入ごとに、減圧及びその開放を繰り返すロードロック装置100では、回生ユニット24が設けられることによるメリットが大きく、ロードロック装置100やその周辺の装置の動作に必要なエネルギーを大幅に削減することができる。FPDまたはソーラーパネル用の基板は大型しているため、ロードロック室やこれに接続される他の室も大型化している。したがって、このような大型基板用の製造装置では特にメリットが大きい。図5Aは、回生ユニット24ここでは、抵抗接続によるモータ22の強制減速により回生電力が得られることを示すシミュレーションによるグラフである。これに対し図5Bは、図5Aに対応した、モータ22の自然減速時の出力電力等を示すシミュレーションによるグラフである。図5Aの強制減速時、モータ22をアイドリング回転数r2まで減速させるのに必要な時間は4.3秒とされ、この場合、抵抗による電力消費量は33.7kWsとなった。一方、図5Bの自然減速時、モータ22をアイドリング回転数r2まで減速させるのに必要な時間は17秒とされた。図5Aに示すように、出力電流及び出力電力が負となり、回生電力が得られている。ここで、図4Aにおいて、モータが大気開放後負荷状態となった時、回転数が急激に低下する。この時間は実際は一瞬、例えば1秒程度でしかない。例えば特開2009-92044号公報の真空ポンプの制御装置、2段式の真空ポンプを備え、その図5に示されるように、いずれか一方の真空ポンプのモータが大気開放後負荷状態のときに回生電力を抽出し、抽出された回生電力を他方の真空ポンプのモータに供給している。しかしながら、実際は上述のように大気開放後負荷状態は一瞬であるため、この時得られる回生電力は極微量に過ぎず、回収するに値しないものである。これに対して本実施形態に係る動作方法は、モータの大気開放後負荷状態の時に回生電力を得るのではなく、予めアイドリング状態を作っておき、駆動回転数r1からモータを強制減速した時に回生電力を得ている。第2の実施形態図6は、本発明の第2の実施形態に係る排気装置を示す図である。これ以降の説明では、上記第1の実施形態に係るロードロック装置100及び排気装置20が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。本実施形態に係る排気装置120は、上述したように回生ユニット24により得られた回生電力を蓄える蓄電器25を備えている。これにより排気装置120は、所望のタイミングで蓄電器25の電力を利用することができる。図7A及びBは、蓄電器25の電力を利用した形態に係る排気動作方法をそれぞれ示すグラフである。これらのグラフは、図3と同様に上から順に、真空ポンプ21のモータ22の回転数、モータ22の駆動のために電源29から供給される電力、ロードロック室10内の圧力、吸気側バルブ16及び排気側バルブ18のそれぞれの開閉のタイミングを示す。図7Aに示す形態では、回生ユニット24は、ロードロック室10の大気開放後にモータ22の負荷が大きくなる時に、蓄電器25に蓄えられた回生電力をそのモータ22の駆動電力として使用する。これにより、モータドライバ23へ供給される電源29の消費電力のピーク値を抑えることができる。その結果、電源29の周辺や回生ユニット24の周辺の回路等の電気設備を軽減することができる。電気設備が軽減されることにより、コストを削減でき、その設備の設置のためのスペースを削減することができる。電気設備とは、例えば電気ケーブルやブレーカ等である。すなわち本実施形態によれば、電気ケーブルを細くすることができ、あるいはブレーカの容量を小さくすることができる。電気ケーブルを細くすることができる結果、電気ケーブルの配線スペースを狭小化することができる。排気装置20には多数の電気ケーブルが用いられるので、電気ケーブルを細くできるメリットは大きい。また、1つのロードロック装置に複数の真空ポンプが用いられる場合多段式、本実施形態によるメリットはさらに増す。また、別形態として図7Bに示す形態では、電源29は、これまで説明したような大気開放後負荷状態のピーク電力とアイドリング時の電力との間の電力である中間電力を、排気装置120に供給する。例えば、排気装置120に設けられた図示しないコントローラ制御手段は、その電源29の中間電力のうちの一部の電力を、モータドライバ23に供給させ、図3及び7Aで示したアイドリング回転数と実質的に同様の回転数でモータ22を回転させる。コントローラは、中間電力の残りの電力を蓄電器25に蓄える制御を行う。また、回生ユニット24は図3及び7Aで説明した形態と同様に、回生により得られた電力を蓄電器25に蓄える。このようにして蓄電器25に蓄えられた電力が、モータ22が大気開放後負荷状態にある時に、すなわちピーク電力を抑えるためにモータドライバ23に供給される。なお、図1に示した制御ユニット30が上記コントローラの機能を持っていてもよい。これにより、モータドライバ23へ供給される電源29の消費電力のピーク値を抑え、さらにその消費電力を時間的に平滑化することができる。したがって、上記のように電気設備を軽減することができ、また消費電力の平滑化により、モータドライバ23及び真空ポンプ21の動作を安定化させることができる。その他の実施形態本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。真空ポンプ21及びモータドライバ23はそれぞれ複数設けられていてもよい。この場合、真空ポンプ21は並列に接続されるが、直列に接続されてもよい。上記実施形態では、半導体デバイス、FPD等の製造装置に適用されるロードロック装置について説明した。しかし、ロードロック装置は、真空及び大気圧間での圧力変動を繰り返す室を有していれば、どのような装置やシステムにも適用可能である。図1に示した制御ユニット30は、ロードロック室10及び排気装置20をそれぞれ制御する構成とされた。しかし、ロードロック室10及び排気装置20にそれぞれ制御部が設けられ、それらの制御部が、制御ユニット30が行う処理を分散して実行するようにしてもよい。その場合、それらの制御部は、ロードロック室10及び排気装置20にそれぞれ内蔵されていてもよいし、それらの外部にそれぞれ接続されていてもよい。また、その場合、それらの制御部が、1つのメイン制御部に有線または無線により接続され、このメイン制御部がそれらの制御部を同期するように制御して集中管理してもよい。