"対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置において、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を取得する力情報取得部と、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より検出する力補正箇所検出部と、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を補正する力補正部と、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに伝達する力伝達部と、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報を制御するマスター制御部と、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号を出力するスレーブ制御部とを備えるマスタースレーブロボットの制御装置。対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置において、前記人が前記マスターマニピュレータに加える力情報を取得するマスター力情報取得部と、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記マスター力情報取得部で取得した力情報より検出するスレーブ力補正箇所検出部と、前記スレーブ力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を補正するスレーブ力補正部と、前記スレーブ力補正部からの力情報を前記スレーブマニピュレータに伝達するスレーブ力伝達部と、前記人が、前記スレーブ力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報を制御するマスター制御部と、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号を出力するスレーブ制御部とを備えるマスタースレーブロボットの制御装置。前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所とし、当該区間内の力情報は、時間と力の大きさとの関係において、山形に変化する曲線又は直線で表される、請求項1又は2に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記力補正箇所検出部は、前記力情報取得部で取得した力情報から、前記力情報の絶対値を増加させて補正する区間の力情報と、前記力情報を補正しない区間の力情報とのいずれかの区間の力情報として検出し、前記力補正部は、前記力補正箇所検出部で検出された、前記増加させる区間の力情報の絶対値を増加させるよう補正する請求項1に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記マスター力情報取得部で取得した力情報から、前記力情報の絶対値を減少させて補正する箇所区間の力情報と、前記力情報を補正しない区間の力情報とのいずれかの区間の力情報として検出し、前記スレーブ力補正部は、前記スレーブ力補正箇所検出部で検出された、前記減少させる区間の力情報の絶対値を減少させるよう補正する請求項2に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記スレーブマニピュレータの手先部の速度情報を取得する速度情報取得部と、前記力補正箇所検出部は、前記速度情報取得部で取得した速度情報より、前記力情報を補正する区間を検出する請求項1に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記スレーブマニピュレータの手先部の速度情報を取得する速度情報取得部をさらに備え、前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記速度情報取得部で取得した速度情報より、前記力情報を補正する区間を検出する請求項2に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部において前記力補正箇所を検出する際に、力情報及び速度情報と、力情報と、速度情報と、記憶された力情報と速度情報とのいずれか1つの情報を選択する検出方法選択部をさらに備え、前記検出方法選択部で選択した前記情報に基づき、前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部で前記力補正箇所を検出する請求項6又は請求項7に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記検出方法選択部において前記力情報及び速度情報が選択された場合には、前記速度情報取得部で取得した速度情報の変位が第一の閾値を上回った時間を力補正開始時間とし、前記力情報取得部で取得した力情報の変位が第二の閾値を下回った時間を力補正終了時間とし、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所として検出する請求項8に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記検出方法選択部において前記力情報が選択された場合には、前記力情報取得部で取得した力情報の変位が第一の閾値を上回った時間を力補正開始時間とし、前記力情報取得部で取得した力情報の変位が第二の閾値を下回った時間を力補正終了時間とし、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所として検出する請求項8に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記検出方法選択部において前記速度情報が選択された場合には、前記速度情報取得部で取得した速度情報の変位が第一の閾値を上回った時間を力補正開始時間とし、前記速度情報取得部で取得した速度情報の変位が第二の閾値を下回った時間を力補正終了時間とし、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所として検出する請求項8に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。力情報と速度情報とを予め記憶する記憶部をさらに備え、前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記検出方法選択部において前記記憶された力情報と速度情報が選択された場合には、前記記憶部に記憶された力情報又は速度情報の変位が第一の閾値を上回ったときの力情報又は速度情報の変位に対して、前記力情報取得部又は前記速度情報取得部で取得した、力情報又は速度情報の変位がある閾値の範囲内に収まる時間を力補正開始時間とし、前記記憶部に記憶された力情報又は速度情報の変位が第二の閾値を下回ったときの力情報又は速度情報の変位に対して、前記力情報取得部又は前記速度情報取得部で取得した、力情報又は速度情報の変位がある閾値の範囲内に収まる時間を力補正終了時間とし、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所として検出する請求項8に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記力補正部又は前記スレーブ力補正部において力を補正する際に、対象物把持位置情報と、対象物柔軟度情報と、マスター把持位置情報とのいずれか1つの情報を選択する力補正方法選択部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部で選択した力補正方法により、前記力情報を補正する請求項1又は請求項2に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記スレーブマニピュレータが前記対象物を把持する位置情報を取得する対象物把持位置取得部と、前記スレーブマニピュレータが前記対象物を把持する位置情報と補正量との関係情報を記憶する補正量記憶部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部において前記対象物把持位置情報が選択された場合には、前記スレーブマニピュレータが前記対象物を把持する把持位置情報を前記対象物把持位置取得部で取得し、前記対象物把持位置取得部で取得された前記把持位置情報を用いて、前記補正量記憶部から前記力情報の補正量を求める請求項13に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記対象物の柔軟度情報と補正量との関係情報を記憶する補正量記憶部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部において前記対象物柔軟度情報が選択された場合には、前記対象物に基づく前記対象物の柔軟度情報を前記補正量記憶部から取得し、前記柔軟度情報を用いて、前記補正量記憶部から前記力情報の補正量を求める請求項13に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報を取得するマスター把持位置取得部と、前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報と補正量との関係情報を記憶する補正量記憶部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部において前記マスター把持位置情報が選択された場合には、前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報を前記マスター把持位置情報取部で取得し、前記マスター把持位置情報取部で取得された前記位置情報を用いて、前記補正量記憶部から前記力情報の補正量を求める請求項13に記載のマスタースレーブロボットの制御装置。対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の制御方法であって、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得し、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出し、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正し、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達し、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御し、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するマスタースレーブロボットの制御装置の制御方法。前記マスターマニピュレータ及び前記スレーブマニピュレータと、請求項1~16のいずれか1つに記載の前記マスタースレーブロボットの制御装置とを備えるマスタースレーブロボット。対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の制御プログラムであって、コンピュータに、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得するステップと、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出するステップと、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正するステップと、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達するステップと、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御するステップと、前記スレーブマニピュレータとマスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するステップとを実行するための、マスタースレーブロボットの制御装置の制御プログラム。対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の集積電子回路であって、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得し、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出し、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正し、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達し、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御し、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するマスタースレーブロボットの制御装置の集積電子回路。しかしながら、特許文献1においては、ロボットが取得した力を人に物理的にフィードバックしているので、人に伝わる力の大きさを変化させることができない。そのため、例えばフレキシブル基板の挿入作業を行う場合において、部品又は作業手順が変わりフレキシブル基板の剛性がより低くなった場合、又はロボットがフレキシブル基板を把持する位置が基板の先端からより遠くなってしまった場合などに、ロボットが取得する力の大きさが小さくなるので、人に伝わる力の大きさも小さくなり、作業時間が大幅に増えることになる。ここで、フレキシブル基板の挿入作業についてダイレクトティーチングを用いて、人がロボットに伝わる力を感じながら挿入作業を行った結果を以下に示す。その際、ロボットが把持するフレキシブル基板の把持位置を変えて作業を行うことで、把持位置の変更によって、作業時間がどのように変わるか、実験を通して検証する。図29A~図29Cにおいて、人の手101が、フレキシブル基板104を把持するマニピュレータ105を直接触り、コネクタ106への挿入作業を行う。図29Aは把持位置が挿入側の端縁104aから5mmの場合を示し、図29Bは把持位置が挿入側の端縁104aから10mmの場合を示す。図29Cは、フレキシブル基板104のコネクタ106への挿入作業の作業手順を示している。把持位置が5mmの場合の実験結果を図30に、把持位置が10mmの場合の実験結果を図31に示す。図30及び図31における実線はフレキシブル基板104がコネクタ106に衝突したときの力の大きさを示し、破線はマニピュレータ105の手先の速度を示す。図30及び図31の横軸は実験時間msを示し、実験開始時間を0msとし実験終了までの時間を示している。図30及び図31の左縦軸はフレキシブル基板104がコネクタ106に衝突したときの力の大きさN、図30及び図31の右縦軸はマニピュレータ105の手先の速度mm/msを示す。図30及び図31のグラフの下に描かれている図は、フレキシブル基板104のコネクタ106に対する挿入状況を示し、グラフの横軸が示す実験時間においてコネクタ106に対してフレキシブル基板104がどのような状況にあるのかを示す。また、図30及び図31中の参照符号Aは、フレキシブル基板104がコネクタ106の入り口に衝突しており、挿入開始した状態を示し、参照符号Bは、フレキシブル基板104がコネクタ106の奥に衝突しており、挿入完了した状態を示す。図30及び図31のAを比較すると、図31のAのほうがより時間が長く、図30及び図31のBを比較すると、図31のBのほうがより力が小さいことがわかる。よって、把持位置が10mmのほうが把持位置が5mmと比較して、挿入に要する時間が長く、得られる力の大きさが小さくなり、挿入作業が難しくなることが確認できる。また、特許文献2、3、4においては、マスタースレーブロボットの制御装置を用いて、人に伝わる力の大きさを変化させることができるが、同一作業内では、どの工程においても、同様に力の大きさを変化させるため力の強弱を明確につけることができない。そのため、作業中の力の強弱がはっきりと作業者に伝わらず、力の大きさを変化させても、作業時間の短縮にはつながらない。さらに、フレキシブル基板の挿入作業などのように柔軟物を取り扱う作業では、過度の力を加えると、基板などが破損してしまうという課題も併せ持つ。特許文献5においては、マスタースレーブロボットの制御装置を用いた教示を行っているが、位置情報のみを用いた教示であり、力情報を使用しておらず、作業中にスレーブマニピュレータに外部から加えられた力を、マスターマニピュレータを把持した人の手に伝えることができない。本発明の目的は、このような課題に鑑みてなされたものであり、部品又は作業手順が変わった場合においても、作業者が簡単に短時間で、かつ対象物を破損しない作業を行うことができるマスタースレーブロボットの制御装置及び制御方法、マスタースレーブロボット、制御プログラム、並びに、集積電子回路を提供することにある。上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。本発明の第1態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置において、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を取得する力情報取得部と、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より検出する力補正箇所検出部と、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を補正する力補正部と、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに伝達する力伝達部と、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報を制御するマスター制御部と、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号を出力するスレーブ制御部とを備えるマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第2態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置において、前記人が前記マスターマニピュレータに加える力情報を取得するマスター力情報取得部と、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記マスター力情報取得部で取得した力情報より検出するスレーブ力補正箇所検出部と、前記スレーブ力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を補正するスレーブ力補正部と、前記スレーブ力補正部からの力情報を前記スレーブマニピュレータに伝達するスレーブ力伝達部と、前記人が、前記スレーブ力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報を制御するマスター制御部と、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号を出力するスレーブ制御部とを備えるマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第16態様によれば、前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報を取得するマスター把持位置取得部と、前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報と補正量との関係情報を記憶する補正量記憶部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部において前記マスター把持位置情報が選択された場合には、前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報を前記マスター把持位置情報取部で取得し、前記マスター把持位置情報取部で取得された前記位置情報を用いて、前記補正量記憶部から前記力情報の補正量を求める第13の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第17態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の制御方法であって、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得し、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出し、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正し、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達し、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御し、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するマスタースレーブロボットの制御装置の制御方法を提供する。本発明の第18態様によれば、前記マスターマニピュレータ及び前記スレーブマニピュレータと、第1~16のいずれか1つの態様に記載の前記マスタースレーブロボットの制御装置とを備えるマスタースレーブロボットを提供する。本発明の第19態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の制御プログラムであって、コンピュータに、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得するステップと、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出するステップと、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正するステップと、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達するステップと、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御するステップと、前記スレーブマニピュレータとマスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するステップとを実行するための、マスタースレーブロボットの制御装置の制御プログラムを提供する。本発明の第20態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の集積電子回路であって、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得し、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出し、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正し、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達し、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御し、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するマスタースレーブロボットの制御装置の集積電子回路を提供する。本発明のマスタースレーブロボットの制御装置及び制御方法、マスタースレーブロボット、ロボット制御のプログラム、並びに集積電子回路によれば、作業を行う際にスレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報のうちで重要となる工程の力情報のみを増加して、マスターマニピュレータに伝達することができる。その結果、作業中の力の強弱がはっきりと作業者に伝わり、部品又は作業手順が変わった場合においても簡単に短時間で作業を行うことができる。また、作業者がマスターマニピュレータに過度の力を加えた場合においても、スレーブマニピュレータに伝達する力情報を減少させることによって、対象物が破損することを防ぐことができる。以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下、図面を参照して本発明における実施形態を詳細に説明する前に、本発明の種々の態様について説明する。本発明の第1態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置において、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を取得する力情報取得部と、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より検出する力補正箇所検出部と、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を補正する力補正部と、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに伝達する力伝達部と、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報を制御するマスター制御部と、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号を出力するスレーブ制御部とを備えるマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第2態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置において、前記人が前記マスターマニピュレータに加える力情報を取得するマスター力情報取得部と、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記マスター力情報取得部で取得した力情報より検出するスレーブ力補正箇所検出部と、前記スレーブ力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を補正するスレーブ力補正部と、前記スレーブ力補正部からの力情報を前記スレーブマニピュレータに伝達するスレーブ力伝達部と、前記人が、前記スレーブ力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報を制御するマスター制御部と、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号を出力するスレーブ制御部とを備えるマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第3態様によれば、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所とし、当該区間内の力情報は、時間と力の大きさとの関係において、山形に変化する曲線又は直線で表される、第1又は2の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第4態様によれば、前記力補正箇所検出部は、前記力情報取得部で取得した力情報から、前記力情報の絶対値を増加させて補正する区間の力情報と、前記力情報を補正しない区間の力情報とのいずれかの区間の力情報として検出し、前記力補正部は、前記力補正箇所検出部で検出された、前記増加させる区間の力情報の絶対値を増加させるよう補正する第1の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第5態様によれば、前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記マスター力情報取得部で取得した力情報から、前記力情報の絶対値を減少させて補正する区間の力情報と、前記力情報を補正しない区間の力情報とのいずれかの区間の力情報として検出し、前記スレーブ力補正部は、前記スレーブ力補正箇所検出部で検出された、前記減少させる区間の力情報の絶対値を減少させるよう補正する第2の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第6態様によれば、前記スレーブマニピュレータの手先部の速度情報を取得する速度情報取得部と、前記力補正箇所検出部は、前記速度情報取得部で取得した速度情報より、前記力情報を補正する区間を検出する第1の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第7態様によれば、前記スレーブマニピュレータの手先部の速度情報を取得する速度情報取得部をさらに備え、前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記速度情報取得部で取得した速度情報より、前記力情報を補正する区間を検出する第2の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第8態様によれば、前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部において前記力補正箇所を検出する際に、力情報及び速度情報と、力情報と、速度情報と、記憶された力情報と速度情報とのいずれか1つの情報を選択する検出方法選択部をさらに備え、前記検出方法選択部で選択した前記情報に基づき、前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部で前記力補正箇所を検出する第6又は第7の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第9態様によれば、前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記検出方法選択部において前記力情報及び速度情報が選択された場合には、前記速度情報取得部で取得した速度情報の変位が第一の閾値を上回った時間を力補正開始時間とし、前記力情報取得部で取得した力情報の変位が第二の閾値を下回った時間を力補正終了時間とし、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの間を前記力補正箇所として検出する第8の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第10態様によれば、前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記検出方法選択部において前記力情報が選択された場合には、前記力情報取得部で取得した力情報の変位が第一の閾値を上回った時間を力補正開始時間とし、前記力情報取得部で取得した力情報の変位が第二の閾値を下回った時間を力補正終了時間とし、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所として検出する第8の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第11態様によれば、前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記検出方法選択部において前記速度情報が選択された場合には、前記速度情報取得部で取得した速度情報の変位が第一の閾値を上回った時間を力補正開始時間とし、前記速度情報取得部で取得した速度情報の変位が第二の閾値を下回った時間を力補正終了時間とし、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所として検出する第8の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第12態様によれば、力情報と速度情報とを予め記憶する記憶部をさらに備え、前記力補正箇所検出部又は前記スレーブ力補正箇所検出部は、前記検出方法選択部において前記記憶された力情報と速度情報が選択された場合には、前記記憶部に記憶された力情報又は速度情報の変位が第一の閾値を上回ったときの力情報又は速度情報の変位に対して、前記力情報取得部又は前記速度情報取得部で取得した、力情報又は速度情報の変位がある閾値の範囲内に収まる時間を力補正開始時間とし、前記記憶部に記憶された力情報又は速度情報の変位が第二の閾値を下回ったときの力情報又は速度情報の変位に対して、前記力情報取得部又は前記速度情報取得部で取得した、力情報又は速度情報の変位がある閾値の範囲内に収まる時間を力補正終了時間とし、前記力補正開始時間から前記力補正終了時間までの区間を前記力補正箇所として検出する第8の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第13態様によれば、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部において力を補正する際に、対象物把持位置情報と、対象物柔軟度情報と、マスター把持位置情報とのいずれか1つの情報を選択する力補正方法選択部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部で選択した力補正方法により、前記力情報を補正する第1又は第2の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第14態様によれば、前記スレーブマニピュレータが前記対象物を把持する位置情報を取得する対象物把持位置取得部と、前記スレーブマニピュレータが前記対象物を把持する位置情報と補正量との関係情報を記憶する補正量記憶部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部において前記対象物把持位置情報が選択された場合には、前記スレーブマニピュレータが前記対象物を把持する把持位置情報を前記対象物把持位置取得部で取得し、前記対象物把持位置取得部で取得された前記把持位置情報を用いて、前記補正量記憶部から前記力情報の補正量を求める第13の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第15態様によれば、前記対象物の柔軟度情報と補正量との関係情報を記憶する補正量記憶部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部において前記対象物柔軟度情報が選択された場合には、前記対象物に基づく前記対象物の柔軟度情報を前記補正量記憶部から取得し、前記柔軟度情報を用いて、前記補正量記憶部から前記力情報の補正量を求める第13の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第16態様によれば、前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報を取得するマスター把持位置取得部と、前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報と補正量との関係情報を記憶する補正量記憶部をさらに備え、前記力補正部又は前記スレーブ力補正部は、前記力補正方法選択部において前記マスター把持位置情報が選択された場合には、前記人が前記マスターマニピュレータを把持する位置情報を前記マスター把持位置情報取部で取得し、前記マスター把持位置情報取部で取得された前記位置情報を用いて、前記補正量記憶部から前記力情報の補正量を求める第13の態様に記載のマスタースレーブロボットの制御装置を提供する。本発明の第17態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の制御方法であって、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得し、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出し、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正し、前記力補正部で補正からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達し、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御し、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するマスタースレーブロボットの制御装置の制御方法を提供する。本発明の第18態様によれば、前記マスターマニピュレータ及び前記スレーブマニピュレータと、第1~16のいずれか1つの態様に記載の前記マスタースレーブロボットの制御装置とを備えるマスタースレーブロボットを提供する。本発明の第19態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の制御プログラムであって、コンピュータに、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得するステップと、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出するステップと、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正するステップと、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達するステップと、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御するステップと、前記スレーブマニピュレータとマスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するステップとを実行するための、マスタースレーブロボットの制御装置の制御プログラムを提供する。本発明の第20態様によれば、対象物を把持し被対象物に対して接触しながら作業を行うスレーブマニピュレータと、前記スレーブマニピュレータを人が遠隔により操作するマスターマニピュレータとを備えるマスタースレーブロボットの制御装置の集積電子回路であって、前記スレーブマニピュレータに外部から加えられた力情報を力情報取得部で取得し、前記力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、前記力情報取得部で取得した力情報より力補正箇所検出部で検出し、前記力補正箇所検出部で検出された区間の前記力情報を力補正部で補正し、前記力補正部からの力情報を前記マスターマニピュレータに力伝達部で伝達し、前記人が、前記力伝達部からの力情報に基づいて前記マスターマニピュレータを操作するとき、前記マスターマニピュレータの操作情報をマスター制御部で制御し、前記スレーブマニピュレータと前記マスター制御部とに接続され、前記マスター制御部から送られる前記マスターマニピュレータの操作情報を、前記スレーブマニピュレータに伝達する制御信号をスレーブ制御部で出力するマスタースレーブロボットの制御装置の集積電子回路を提供する。以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態におけるマスタースレーブロボット150の制御装置100を示すブロック線図である。図1において、マスタースレーブロボットの制御装置100は、人が直接触って操作するマスターロボットシステム1と、実際に作業をするスレーブロボットシステム21とを備えて構成されている。マスターロボットシステム1は、マスター制御装置3と、マスター制御装置3に接続されたマスター周辺装置6と、マスター周辺装置6に接続されたマスターマニピュレータ9とで構成されている。マスター制御装置3は、マスター入出力IF7に接続されたマスター制御部4と、マスター制御部4に接続されて人に力情報を伝える力伝達部5とで構成されている。マスター周辺装置6は、マスター制御部4に接続されるとともにマスターマニピュレータ9に接続されたマスター入出力IF7と、マスター入出力IF7に接続されるとともにマスターマニピュレータ9に接続されたマスターモータドライバ8とで構成されている。一方、スレーブロボットシステム21は、スレーブ制御装置23と、スレーブ制御装置23に接続されたスレーブ周辺装置29と、スレーブ周辺装置29に接続されたスレーブマニピュレータ32とで構成されている。スレーブ制御装置23は、スレーブ制御部24と、スレーブマニピュレータ32に外部から加えられた力情報をある一定時間毎に取得する力情報取得部26と、スレーブマニピュレータ32の手先部スレーブハンド71の速度情報を取得する速度情報取得部28と、力情報取得部26で取得した力情報と速度情報取得部28で取得した速度情報とのいずれか1つ以上の情報より力情報を補正する箇所を検出する具体的には、力情報において補正が必要である区間の情報である力補正箇所を、力情報取得部26で取得した力情報より検出する力補正箇所検出部27と、力補正箇所検出部27で力補正箇所として検出された力情報を補正する力補正部25とで構成されている。スレーブ制御部24は、マスター制御部4に有線又は無線で接続されるとともに、力補正部25と力補正箇所検出部27とスレーブ入出力IF30とに接続されている。力補正部25は、スレーブ制御部24と力情報取得部26とに接続されている。力情報取得部26は、力補正部25と力補正箇所検出部27とに接続されている。力補正箇所検出部27は、力情報取得部26とスレーブ制御部24と速度情報取得部28とに接続されている。速度情報取得部28は、力補正箇所検出部27に接続されている。スレーブ周辺装置29は、スレーブ制御部24と速度情報取得部28とスレーブマニピュレータ32とに接続されたスレーブ入出力IF30と、スレーブ入出力IF30に接続されるとともにスレーブマニピュレータ32に接続されたスレーブモータドライバ31とで構成されている。ここで、力情報取得部26は、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71に取り付けられたスレーブ力センサ86から、スレーブ周辺装置29などを介して、力センサ86の値を力情報として取得し、速度情報取得部28は、スレーブマニピュレータ32に取り付けられたスレーブエンコーダ85から、スレーブ周辺装置29などを介して、マニピュレータ32の位置情報を取得し、速度情報取得部28で微分することによって導出した値を速度情報として取得する。図2及び図3は、それぞれ、マスターマニピュレータ9とスレーブマニピュレータ32とを示す図である。各マニピュレータ9、32は、合計6個の軸周りに回転可能として6自由度の多リンクマニピュレータを構成している詳細については、WO2009/107358を参照。図2に示すように、マスターマニピュレータ9は、一例として、多関節ロボットアームであって、具体的には6自由度の多リンクのマスターマニピュレータであり、マスターハンド51と、マスターハンド51が取り付けられているマスター手首部52を先端53aに有するマスター前腕リンク53と、マスター前腕リンク53の基端53bに回転可能に先端54aが連結されるマスター上腕リンク54と、マスター上腕リンク54の基端54bが回転可能に連結支持されるマスター台部55とを備えている。マスター台部55は、一定位置に固定されているが、図示しないレールに移動可能に連結されていても良い。マスター手首部52は、マスター第4関節部59と、マスター第5関節部60と、マスター第6関節部61との3つの回転軸を有しており、マスター前腕リンク53に対するマスターハンド51の相対的な姿勢向きを変化させることができる。すなわち、図2において、マスター第4関節部59は、マスター手首部52に対するマスターハンド51の横軸周りの相対的な姿勢を変化させることができる。マスター第5関節部60は、マスター手首部52に対するマスターハンド51の、マスター第4関節部59の横軸とは直交する縦軸周りの相対的な姿勢を変化させることができる。マスター第6関節部61は、マスター手首部52に対するマスターハンド51の、マスター第4関節部59の横軸及びマスター第5関節部60の縦軸とそれぞれ直交する横軸周りの相対的な姿勢を変化させることができる。マスター前腕リンク53の他端53bは、マスター上腕リンク54の先端54aに対してマスター第3関節部58周りに、すなわち、マスター第4関節部59の横軸と平行な横軸周りに回転可能とする。マスター上腕リンク54の他端は、マスター台部55に対してマスター第2関節部57周りに、すなわち、マスター第4関節部59の横軸と平行な横軸周りに回転可能とする。さらに、マスター台部55の上側可動部55aは、マスター台部55の下側固定部55bに対してマスター第1関節部56周りに、すなわち、マスター第5関節部60の縦軸と平行な縦軸周りに回転可能としている。この結果、マスターマニピュレータ9は、合計6個の軸周りに回転可能として前記6自由度の多リンクマニピュレータを構成している。各軸の回転部分を構成する各関節部には、関節部駆動用のマスターモータ64のような回転駆動装置と、マスターモータ64の回転軸の回転位相角すなわち関節角を検出して位置情報を出力するマスターエンコーダ65実際には、マスターマニピュレータ9の各関節部の内部に配設されているとを備えている。マスターモータ64実際には、マスターマニピュレータ9の各関節部の内部に配設されているは、各関節部を構成する一対の部材例えば、回動側部材と、該回動側部材を支持する支持側部材のうちの一方の部材に備えられる、マスターモータドライバ8により駆動制御される。各関節部の一方の部材に備えられたマスターモータ64の回転軸が、各関節部の他方の部材に連結されて、前記回転軸を正逆回転させることにより、他方の部材を一方の部材に対して各軸周りに回転可能とする。また、マスターモータドライバ8により駆動制御されるマスターハンド駆動装置の一例としてマスターハンド駆動用のマスターモータ64と、マスターハンド駆動用のマスターモータ64の回転軸の回転位相角を検出するマスターエンコーダ65とを、さらに、マスターハンド51に備えている。マスターエンコーダ65で検出された回転角度情報が、マスター入出力IF7例えばカウンタボードを通じてマスター制御部4に取り込まれ、マスター制御部4に取り込まれた回転角度情報を基に、マスター制御部4によってマスターハンド51の開閉動作での制御指令値制御信号が算出される。マスター制御部4で算出された制御指令値は、マスター入出力IF7例えばD/Aボードを通じて、マスターハンド51の開閉駆動も行うマスターモータドライバ8に与えられ、マスターモータドライバ8から送られた各制御指令値に従って、マスターモータ64の回転を駆動制御して、マスターハンド駆動用のマスターモータ64の回転軸を正逆回転させることにより、マスターハンド51を開閉させて、対象物102例えば、フレキシブル基板の把持及び把持解除の模擬的な動作を行なう。実際には、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で対象物102例えば、フレキシブル基板の把持及び把持解除動作を行うのであり、マスターハンド51では、直接的には、対象物102例えば、フレキシブル基板の把持及び把持解除動作を行うものではない。よって、ここでのマスターハンド51は、仮想的に又は模擬的に、対象物102例えば、フレキシブル基板の把持及び把持解除動作を行うことを意味している。また、62はマスター台部55の下側固定部55bに対して相対的な位置関係が固定されたマスター絶対座標系であり、63はマスターハンド51に対して相対的な位置関係が固定されたマスター手先座標系である。マスター絶対座標系62から見たマスター手先座標系63のマスター原点位置Oex,y,zをマスターマニピュレータ9の手先位置、マスター絶対座標系62から見たマスター手先座標系63の姿勢をロール角とピッチ角とヨー角で表現したφ,θ,ψをマスターマニピュレータ9の手先姿勢とし、手先位置及び姿勢ベクトルをベクトルr=[x,y,z,φ,θ,ψ]Tと定義する。よって、一例として、マスター絶対座標系62のz軸に対してマスター第1関節部56の縦軸が平行であり、x軸に対してマスター第2関節部57の横軸が平行に位置可能とするのが好ましい。また、マスター手先座標系63のx軸に対して第6関節部61の横軸が平行に位置可能であり、y軸に対してマスター第4関節部59の横軸が平行に位置可能であり、z軸に対してマスター第5関節部60の縦軸が平行に位置可能とするのが好ましい。なお、マスター手先座標系63のx軸に対しての回転角をヨー角ψとし、y軸に対しての回転角をピッチ角θとし、z軸に対しての回転角をロール角φとする。マスターマニピュレータ9の手先位置と姿勢を制御する場合には、手先位置及び姿勢ベクトルrを、前記WO2009/107358号の国際出願公開公報などに開示された目標軌道生成部で生成された手先位置及び姿勢目標ベクトルrdに追従させることになる。また、図3では、スレーブマニピュレータ32は、一例として、多関節ロボットアームであって、6自由度の多リンクのスレーブマニピュレータであり、スレーブハンド71と、スレーブハンド71が取り付けられているスレーブ手首部72を先端73aに有するスレーブ前腕リンク73と、スレーブ前腕リンク73の基端73bに回転可能に先端74aが連結されるスレーブ上腕リンク74と、スレーブ上腕リンク74の基端74bが回転可能に連結支持されるスレーブ台部75とを備えている。スレーブ台部75は、一定位置に固定されているが、図示しないレールに移動可能に連結されていても良い。スレーブ手首部72は、スレーブ第4関節部79と、スレーブ第5関節部80と、スレーブ第6関節部81との3つの回転軸を有しており、スレーブ前腕リンク73に対するスレーブハンド71の相対的な姿勢向きを変化させることができる。すなわち、図3において、スレーブ第4関節部79は、スレーブ手首部72に対するスレーブハンド71の横軸周りの相対的な姿勢を変化させることができる。スレーブ第5関節部80は、スレーブ手首部72に対するスレーブハンド71の、スレーブ第4関節部79の横軸とは直交する縦軸周りの相対的な姿勢を変化させることができる。スレーブ第6関節部81は、スレーブ手首部72に対するスレーブハンド71の、スレーブ第4関節部79の横軸及びスレーブ第5関節部80の縦軸とそれぞれ直交する横軸周りの相対的な姿勢を変化させることができる。スレーブ前腕リンク73の他端73bは、スレーブ上腕リンク74の先端74aに対してスレーブ第3関節部78周りに、すなわち、スレーブ第4関節部79の横軸と平行な横軸周りに回転可能とする。スレーブ上腕リンク74の他端74bは、スレーブ台部75に対してスレーブ第2関節部77周りに、すなわち、スレーブ第4関節部79の横軸と平行な横軸周りに回転可能とする。さらに、スレーブ台部75の上側可動部75aは、スレーブ台部75の下側固定部75bに対してスレーブ第1関節部76周りに、すなわち、スレーブ第5関節部80の縦軸と平行な縦軸周りに回転可能としている。この結果、スレーブマニピュレータ32は、合計6個の軸周りに回転可能として前記6自由度の多リンクマニピュレータを構成している。各軸の回転部分を構成する各関節部には、スレーブモータ84のような回転駆動装置と、スレーブモータ84の回転軸の回転位相角すなわち関節角を検出して位置情報を出力するスレーブエンコーダ85実際には、スレーブマニピュレータ32の各関節部の内部に配設されているとを備えている。スレーブモータ84実際には、スレーブマニピュレータ32の各関節部の内部に配設されているは、各関節部を構成する一対の部材例えば、回動側部材と、該回動側部材を支持する支持側部材のうちの一方の部材に備えられる、スレーブモータドライバ31により駆動制御される。各関節部の一方の部材に備えられたスレーブモータ84の回転軸が、各関節部の他方の部材に連結されて、前記回転軸を正逆回転させることにより、他方の部材を一方の部材に対して各軸周りに回転可能とする。また、スレーブモータドライバ31により駆動制御されるスレーブハンド駆動装置の一例としてスレーブハンド駆動用のスレーブモータ84と、スレーブハンド駆動用のスレーブモータ84の回転軸の回転位相角を検出するスレーブエンコーダ85とを、さらに、スレーブハンド71に備えている。スレーブエンコーダ85で検出された回転角度情報が、スレーブ入出力IF30例えばカウンタボードを通じてスレーブ制御部24に取り込まれ、スレーブ制御部24に取り込まれた回転角度情報を基に、スレーブ制御部24によってスレーブハンド71の開閉動作での制御指令値制御信号が算出される。スレーブ制御部24で算出された制御指令値は、スレーブ入出力IF30例えばD/Aボードを通じて、スレーブハンド71の開閉駆動も行うスレーブモータドライバ31に与えられ、スレーブモータドライバ31から送られた各制御指令値に従って、スレーブモータ84の回転を駆動制御して、スレーブハンド駆動用のスレーブモータ84の回転軸を正逆回転させることにより、スレーブハンド71を開閉させて、対象物102例えば、フレキシブル基板の把持及び把持解除を行なう。また、82はスレーブ台部75の下側固定部75bに対して相対的な位置関係が固定されたスレーブ絶対座標系であり、83はスレーブハンド71に対して相対的な位置関係が固定されたスレーブ手先座標系である。スレーブ絶対座標系82から見たスレーブ手先座標系83のスレーブ原点位置Oex,y,zをスレーブマニピュレータ32の手先位置、スレーブ絶対座標系82から見たスレーブ手先座標系83の姿勢をロール角とピッチ角とヨー角で表現したφ,θ,ψをスレーブマニピュレータ32の手先姿勢とし、手先位置及び姿勢ベクトルをベクトルr=[x,y,z,φ,θ,ψ]Tと定義する。よって、一例として、スレーブ絶対座標系82のz軸に対してスレーブ第1関節部76の縦軸が平行であり、x軸に対してスレーブ第2関節部77の横軸が平行に位置可能とするのが好ましい。また、スレーブ手先座標系83のx軸に対して第6関節部81の横軸が平行に位置可能であり、y軸に対してスレーブ第4関節部79の横軸が平行に位置可能であり、z軸に対してスレーブ第5関節部80の縦軸が平行に位置可能とするのが好ましい。なお、スレーブ手先座標系83のx軸に対しての回転角をヨー角ψとし、y軸に対しての回転角をピッチ角θとし、z軸に対しての回転角をロール角φとする。スレーブマニピュレータ32の手先位置と姿勢を制御する場合には、手先位置及び姿勢ベクトルrを、前記WO2009/107358号の国際出願公開公報などに開示された目標軌道生成部で生成された手先位置及び姿勢目標ベクトルrdに追従させることになる。マスタースレーブロボットの制御装置100は、本発明における装置全体であり、作業を行うにあたり人が遠隔により操作することができる装置である。マスターロボットシステム1は、人が直接触って操作するためのロボットシステムである。スレーブロボットシステム21は、マスターロボットシステム1と離れたところにあり、実際に作業例えば、対象物102をロボットで把持し被対象物103に対して対象物102を接触させながら行う作業を行うためのロボットシステムである。マスターマニピュレータ9は、人が直接触り操作するロボットであり、人が動かす際に、マスター入出力IF7に内蔵されたタイマーを利用して、ある一定時間毎例えば、1ms毎に、マスターマニピュレータ9の位置情報を各マスターエンコーダ65から取得し、マスター入出力IF7に出力する。スレーブマニピュレータ32は、対象物102例えば、フレキシブル基板を把持して被対象物103例えば、図示しない保持部材に保持された被対象物103例えば、フレキシブル基板の一端部を挿入すべき凹部を有するコネクタに対して作業例えば、挿入又は取付作業を行うロボットであり、マスターマニピュレータ9で取得した位置情報に追従するようにスレーブマニピュレータ32を動作する図4A参照。マスター周辺装置6は、マスターマニピュレータ9とマスター制御装置3との間の情報を伝達する。スレーブ周辺装置29も同様に、スレーブマニピュレータ32とスレーブ制御装置23との間の情報を伝達する。マスター入出力IF7は、マスターマニピュレータ9の各マスターエンコーダ65からマスター入出力IF7に入力された位置情報と、マスター入出力IF7に内蔵されたタイマーからの時間情報とをマスター制御部4に出力する。また、マスター制御部4からマスター入出力IF7に入力された位置情報を、マスター入出力IF7がマスターモータドライバ8に出力する。マスターモータドライバ8は、マスター入出力IF7からマスターモータドライバ8に入力された位置情報にマスターマニピュレータ9が追従するように、マスターマニピュレータ9のマスターモータ64をそれぞれ動かす。スレーブ入出力IF30は、スレーブ制御部23からスレーブ入出力IF30に入力された位置情報をスレーブモータドライバ31に出力する。また、スレーブマニピュレータ32からスレーブ入出力IF30に入力された位置情報と時間情報とを、スレーブ入出力IF30からスレーブ制御部24に出力する。スレーブモータドライバ31は、スレーブ入出力IF30からスレーブモータドライバ31に入力された位置情報にスレーブマニピュレータ32が追従するように、スレーブマニピュレータ32のスレーブモータ84をそれぞれ動かす。マスター制御装置3は、iマスターマニピュレータ9が動いた位置情報を、マスター入出力IF7に内蔵されたタイマーを利用して、ある一定時間毎に、マスター入出力IF7及びマスター制御装置3を介してスレーブ制御装置23に出力することと、iiスレーブ制御装置23からマスター制御装置3に入力される力情報を人に伝達すること、の二つの役割を持つ。マスター制御部4は、人が、力伝達部5からの力情報に基づいてマスターマニピュレータ9を操作するとき、マスターマニピュレータ9の操作情報を制御するものである。具体的には、マスター制御部4は、マスター入出力IF7からマスター制御部4に入力されたマスターマニピュレータ9の位置情報と時間情報とをスレーブ制御部24に出力する。また、スレーブ制御部24からマスター制御部4に入力された力情報を、マスター制御部4から力伝達部5に出力する。力伝達部5は、スレーブ制御部24からマスター制御部4を介して入力された力情報を、人の手101に伝達する。人の手101への力の伝達方法は、フックの法則例えば、バネ定数は0.5とするを用いて力情報を位置情報に力伝達部5で変換し、力伝達部5で算出した位置情報を指令値としてマスターマニピュレータ9に力伝達部5からマスター制御部4及びマスター周辺装置6などを介して出力し、マスターモータ64を動かすことで、力の伝達を実現する。力伝達部5は、力補正部25との関係では、力補正部25からの力情報をマスターマニピュレータ9に伝達する。スレーブ制御装置23は、iマスター制御装置3からスレーブ制御装置23に入力された位置情報と時間情報とにスレーブマニピュレータ32を追従させることと、iiスレーブマニピュレータ32が取得した力情報と速度情報とを基に力補正箇所を検出し、検出した力補正箇所のみの力補正を行いマスター制御装置3に力情報を出力すること、の二つの役割を持つ。力情報取得部26は、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71に取り付けられたスレーブ力センサ86図3参照の値を力情報として、スレーブ入出力IF30を介して、スレーブ入出力IF30に内蔵されたタイマーを利用して、スレーブ入出力IF30を介して、ある一定時間毎に取得する。取得した力情報を力補正部25及び力補正箇所検出部27に出力する。速度情報取得部28は、スレーブマニピュレータ32の手先の速度情報を取得する。取得方法は、スレーブエンコーダ85図3参照で得られた位置情報を、速度情報取得部28に内蔵されたタイマーからの時間情報を基に、ある一定時間毎に取得し、速度情報取得部28に記憶されていた現在の位置情報から一定時間前の位置情報を引き、ある一定時間で割り、得られた値を速度情報とする。速度情報取得部28で取得した速度情報を、速度情報取得部28から力補正箇所検出部27に出力する。力補正箇所検出部27は、力情報取得部26から力補正箇所検出部27に入力された力情報と速度情報取得部28から力補正箇所検出部27に入力された速度情報とを用いて、力情報における力補正箇所を検出し、検出した力情報を力補正箇所検出部27からスレーブ制御部24に出力する。力補正箇所の検出方法については、図4A~図5Cを用いて説明する。図4Aに示す作業は、対象物102の先端102aを被対象物103のくぼみ103aに挿入する作業であり、マスターマニピュレータ9を人の手101が直接触ることにより、対象物102をスレーブハンド71で把持するスレーブマニピュレータ32を操作している場合において、スレーブハンド71で把持された対象物102が被対象物103に接触しながら挿入作業を行う。図5Aは、スレーブマニピュレータ32で検出された力と時間との関係を示すグラフであって、力情報取得部26で取得された力情報である。図5Bは、スレーブマニピュレータ32で検出された速度と時間との関係を示すグラフであって、速度情報取得部28で取得された速度情報である。また、図5Cは、マスターマニピュレータ9に伝達する力と時間との関係を示すグラフであって、力補正された後にマスターマニピュレータ9に伝達する力情報であり、破線及び白丸は補正前の値であり、実線及び黒丸は補正後の値である。力情報取得部26で前記一定時間毎に取得された力情報例えば、図5Aの力情報f11と力情報f12とを基に、力情報の変位力情報の差、すなわち、図5Aのf12-f11が力情報の変位の閾値例えば、1.0Nを上回ると力補正箇所検出部27で判断されると、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で把持する対象物102が被対象物103に衝突したことを力補正箇所検出部27で検知したことになり、その力情報f12を取得した時点が力補正箇所として力補正箇所検出部27で検出されるただし、閾値を上回るとは、閾値と符号が同じであり、かつ絶対値が閾値より大きいことを力補正箇所検出部27で判断することを意味し、マスターマニピュレータ9の動作速度が遅くなった状態を示す。以降、本明細書では、同様の意味で用いる。。一方、力情報取得部26で前記力情報f11とf12を基に、力情報の変位力情報の差、すなわち、図5Aのf12-f11が力情報の変位の閾値を上回らない場合は、変更なしとして力補正箇所検出部27で検出される。ここで、変更なしとは、力補正箇所が無いことを意味する。よって、力補正箇所検出部27により、力情報取得部26で取得された力情報の前記変位f12-f11が前記閾値を上回っている時点すなわち、マスターマニピュレータ9に伝達する力の変位図5Cのfa12-fa11が閾値を上回っている時点図5CのA1の時点を力補正開始時間とする。また、力補正箇所検出部27により、力情報取得部26で取得された力情報の前記変位図5Aのf14-f13が前記閾値以下となる時点すなわち、マスターマニピュレータ9に伝達する力の変位図5Cのfc12-fc11が前記閾値以下の時点図5CのC1時点を力補正終了時間とする。そして、力補正開始時間から力補正終了時間の区間を、力補正箇所検出部27で、力補正箇所図5CのB1区間とする。よって、力補正開始時間から力補正終了時間までの区間を力補正箇所とすると、当該区間内の力情報は、時間と力の大きさとの関係において、一定値ではなく、上向き凸の山形に変化する曲線又は直線で表されることになる。以上は、力情報取得部26で取得した力情報のみを使用して、力情報を補正する力補正箇所を力補正箇所検出部27で検出する方法について説明した。力情報取得部26で取得した力情報のみを使用する場合の利点としては、速度情報取得部28を用いる必要がなく、簡易で安価に行える点が挙げられる。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図4Aにおいて力情報取得部26のスレーブ力センサ86の正負の符号の向きを逆にすれば、言い換えれば、図4Bに示すようにすれば、図5Cのグラフは上向き凸の山形ではなく、図5Dに示すように下向き凸の山形となる。この場合であっても、力補正開始時間から力補正終了時間までの区間を力補正箇所とし、当該区間内の力情報は、時間と力の大きさとの関係において、一定値ではなく、下向き凸の山形に変化する曲線又は直線で表される。よって、本明細書及び請求の範囲において、前記した山形に変化する曲線又は直線とは、図5Cの場合の他、スレーブ力センサ86の正負の符号の向きを逆にした図5Dの場合をも意味するものとする。例えば、力情報取得部26で取得した力情報と速度情報取得部28で取得した速度情報との両方を使用して、力情報を補正する力補正箇所を検出することもできる。すなわち、速度情報取得部28で一定時間毎に取得された速度情報例えば、図5Bの速度情報v11と速度情報v12とを基に、速度情報の変位速度情報の差、すなわち、図5Bのv12-v11が速度情報の変位の閾値例えば、-0.01mm/msを上回ると力補正箇所検出部27で判断されると、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で把持する対象物102が被対象物103に衝突したことを力補正箇所検出部27で検知したことになり、その速度情報v12を取得した時点が力補正箇所として力補正箇所検出部27で検出されるただし、閾値を上回るとは、閾値と符号が同じであり、かつ絶対値が閾値より大きいことを力補正箇所検出部27で判断することを意味し、マスターマニピュレータ9の動作速度が遅くなった状態を示す。以降、本明細書では、同様の意味で用いる。。一方、速度情報取得部28で前記速度情報v11とv12を基に、速度情報の変位速度情報の差、すなわち、図5Bのv12-v11が速度情報の変位の閾値を上回らない場合は、変更なしの時点として力補正箇所検出部27で検出される。ここで、変更なしとは、力補正箇所が無いことを意味する。よって、力補正箇所検出部27により、速度情報取得部28で取得された速度情報の変位v12-v11が前記閾値を上回っている時点すなわち、マスターマニピュレータ9に伝達する力の変位図5Cのfa12-fa11が閾値を上回っている時点図5CのA1の時点を力補正開始時間とする。また、力補正箇所検出部27により、力情報取得部26で取得された力情報の変位図5Cのfc12-fc11が閾値例えば、-1.0Nを下回る時点図5CのC1の時点を力補正終了時間とする。すなわち、前記力情報の変位が、前記閾値を越えていた状態から前記閾値を下回る状態になった時点を力補正終了時間とする。力補正開始時間から力補正終了時間の区間を、力補正箇所検出部27で、力補正箇所図5CのB1区間とする。以上のように、力情報取得部26で取得された力情報と速度情報取得部28で取得された速度情報との両方を使用し、力補正開始時間及び力補正終了時間を検出する場合の利点として、力情報取得部26で取得された力情報又は速度情報取得部28で取得された速度情報のどちらか1つの情報を使用し、力補正開始時間及び力補正終了時間を検出する場合と比較して、誤検出の少ない正確な検出が行えることが挙げられる。力補正部25は、スレーブ制御部24から力補正部25に入力された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、力情報がその前記閾値を超えていない状態である変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報の変位図5Cのfa12-fa11に予め決められた定数例えば、0.5を力補正部25で掛け、掛けて求められた値を現在の力情報図5Cのfa12に力補正部25で加える図5Cのfa120.5×fa12-fa11ことにより、力補正部25で力情報の補正を行なうことができる。スレーブ制御部24は、マスター制御部4からスレーブ制御部24に入力された位置情報をスレーブ入出力IF30に出力する。また、力補正箇所検出部27からスレーブ制御部24に入力された力情報を、スレーブ制御部24から力補正部25に出力し、力補正部25からスレーブ制御部24に入力された力情報を、スレーブ制御部24からマスター制御部4に出力する。第1実施形態におけるマスタースレーブロボットの制御装置100の操作手順を図4Aと図6のフローチャートを用いて説明する。ステップS201では、対象物102が被対象物103に衝突するとき、力情報取得部26により力情報を取得し、速度情報取得部28により速度情報を取得し、力情報取得部26と速度情報取得部28とから、力情報取得部26で取得した力情報と速度情報取得部28で取得した速度情報とを力補正箇所検出部27にそれぞれ出力する。なお、力情報取得部26で取得した力情報のみを使用する場合には、速度情報取得部28で速度情報を取得することは不要である。力情報取得部26で取得した力情報と速度情報取得部28で速度情報との両方を使用する場合について、ここでは説明している。ステップS201に続いて、ステップS206では、ステップS201で力情報と速度情報との両方を取得した場合には、力情報と速度情報とのどちらか1つ以上を用いて、力補正箇所検出部27において、力補正箇所情報を検出し、検出した力補正箇所情報を、力補正箇所検出部27からスレーブ制御部24を介して力補正部25に出力する。そして、力補正部25において、力情報取得部26で取得した力情報に関して、力補正箇所検出部27で力補正箇所があるか否かを判断する。なお、力情報のみを使用する場合には、力情報のみを用いて、力補正箇所検出部27において、力補正箇所情報を検出し、検出した力補正箇所情報を、力補正箇所検出部27からスレーブ制御部24を介して力補正部25に出力する。ステップS206において、力補正箇所が無いと力補正箇所検出部27で判断する場合には、ステップS210に進む。ステップS206において、力補正箇所が有ると力補正箇所検出部27で判断する場合には、ステップS208に進む。ステップS208では、力補正部25において、力情報取得部26で取得した力情報に関して、力補正箇所情報により力補正が必要であると検出された力情報を補正し、スレーブ制御部24に出力したのち、ステップS210に進む。ステップS210では、スレーブ制御部24に出力された力情報が、スレーブ制御部24からマスター制御部4に送られ、さらに、マスター制御部4から力伝達部5へと伝達される。力伝達部5に入力された前記力情報は、前述した方法で人の手101に伝達して、このフローを終了する。《第1実施形態の効果》一般に、作業中に、スレーブマニピュレータ32の対象物102の把持方法が変わり、対象物102が被対象物103に衝突するときに力情報取得部26で取得される力情報が把持方法が変わる前と比較して小さい場合において、従来では、人の手101が感じる力情報が小さく、操作が困難になり、作業完了に要する時間が長くなる。これに対して、第1実施形態を用いることによって、対象物102が被対象物103に衝突するときの力情報のみを力補正部25で補正することにより、力情報が力補正部25で増加される。この増加された力情報が、力伝達部5からマスター制御部4及びマスター周辺装置6などを介してマスターマニピュレータ9に出力し、前記増加された力情報に基づいてマスターモータ64が駆動されるので、操作する上で重要となる箇所が、人の手101に明確に伝わり、作業が簡単になり、作業完了に要する時間が短くなる。例えば、作業を行う際にスレーブマニピュレータ32に外部から加えられた力情報のうちで重要となる工程の力情報のみを増加して、マスターマニピュレータ9に伝達することができる。その結果、作業中の力の強弱がはっきりと作業者に伝わり、部品又は作業手順が変わった場合においても簡単に短時間で作業を行うことができる。なお、力補正箇所検出部27と力補正部25はマスター制御装置3に備えることも可能である。第2実施形態第1実施形態においては、対象物102が被対象物103に衝突したときのスレーブマニピュレータ32に加えられた力情報の絶対値を増加してマスターマニピュレータ9に伝達することで、人の手101に明確に力が伝わり、作業を簡単に行うことを可能としている。それに対して、本発明の第2実施形態においては、対象物102が被対象物103に衝突したときの人の手101がマスターマニピュレータ9に過度に加えた力情報の絶対値を減少してスレーブマニピュレータ32に伝達することで、人の手101がマスターマニピュレータ9に過度の力を加えた場合においても、対象物102又は被対象物103が破損することを防ぐことを可能とする。以下、これについて説明する。図7は、本発明の第2実施形態におけるマスタースレーブロボット150の制御装置100Aを示すブロック線図である。本発明の第2実施形態におけるマスター制御部4と、マスター入出力IF7と、マスターモータドライバ8と、マスターマニピュレータ9と、スレーブ制御部24と、速度情報取得部28と、スレーブ入出力IF30と、スレーブモータドライバ31と、スレーブマニピュレータ32とは第1実施形態と同様であるので、共通の参照符号を付して共通部分の説明は省略し、異なる部分についてのみ、以下、詳細に説明する。マスター制御装置3は、マスター制御部4と、マスター力情報取得部10とを備えている。スレーブ制御装置23は、スレーブ制御部24と、速度情報取得部28と、スレーブ力伝達部33と、スレーブ力補正部39と、スレーブ力補正箇所検出部40とを備えている。マスター力情報取得部10は、マスターマニピュレータ9のマスターハンド51に取り付けられたマスター力センサ66図2参照の値を力情報として、マスター入出力IF7を介して、取得する。マスター力情報取得部10で取得した力情報を、マスター力情報取得部10からマスター制御部4に出力する。スレーブ力伝達部33は、スレーブ制御部24からスレーブ力伝達部33に入力された力情報を、スレーブ力伝達部33からスレーブマニピュレータ32に伝達する。力情報の伝達方法は、フックの法則例えば、バネ定数は0.5とするを用いて、力情報を位置情報にスレーブ力伝達部33で変換し、スレーブ力伝達部33で算出した位置情報を、指令値としてスレーブマニピュレータ32にスレーブ力伝達部33から出力して、スレーブモータ74を動かすことで、力情報の伝達を実現する。スレーブ力補正箇所検出部40は、マスター力情報取得部10からマスター制御部4及びスレーブ制御部24を介してスレーブ力補正箇所検出部40に入力された力情報及び速度情報取得部28からスレーブ力補正箇所検出部40に入力された速度情報を用いて、力情報における力補正箇所をスレーブ力補正箇所検出部40で検出し、スレーブ力補正箇所検出部40で検出した力情報を、スレーブ力補正箇所検出部40からスレーブ制御部24に出力する。スレーブ力補正箇所検出部40での力補正箇所の検出方法については、図4A、図8A~図8Cを用いて説明する。図8Aは、マスターマニピュレータ9で検出された力と時間との関係を示すグラフであって、マスター力情報取得部10で取得された力情報である。図8Bは、スレーブマニピュレータ32で検出された速度と時間との関係を示すグラフであって、速度情報取得部28で取得された速度情報である。また、図8Cは、スレーブマニピュレータ32に伝達する力と時間との関係を示すグラフであって、力補正された後にスレーブマニピュレータ32に伝達する力情報であり、破線及び白丸は補正前の値であり、実線及び黒丸は補正後の値である。マスター力情報取得部10で前記一定時間毎に取得された力情報例えば、図8Aの力情報f21と力情報f22とを基に、力情報の変位力情報の差、すなわち、図8Aのf22-f21が力情報の変位の閾値例えば、1.0Nを上回るとスレーブ力補正箇所検出部40で判断されると、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で把持する対象物102が被対象物103に衝突したことをスレーブ力補正箇所検出部40で検知したことになり、その力情報f22を取得した時点が力補正箇所としてスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。一方、マスター力情報取得部10で前記力情報f21とf22を基に、力情報の変位力情報の差、すなわち、図8Aのf22-f21が力情報の変位の閾値を上回らない場合は、変更なしとしてスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。ここで、変更なしとは、力補正箇所が無いことを意味する。よって、スレーブ力補正箇所検出部40により、マスター力情報取得部10で取得された力情報の前記変位f22-f21が前記閾値を上回っている時点すなわち、スレーブマニピュレータ32に伝達する力の変位図8Cのfa22-fa21が閾値を上回っている時点図8CのA2の時点を力補正開始時間とする。また、スレーブ力補正箇所検出部40により、マスター力情報取得部10で取得された力情報の前記変位図8Aのf24-f23が前記閾値以下となる時点すなわち、スレーブマニピュレータ32に伝達する力の変位図8Cのfc22-fc21が前記閾値以下の時点図8CのC2時点を力補正終了時間とする。そして、力補正開始時間から力補正終了時間の区間を、スレーブ力補正箇所検出部40で、力補正箇所図8CのB2区間とする。以上は、マスター力情報取得部10で取得した力情報のみを使用して、力情報を補正する力補正箇所をスレーブ力補正箇所検出部40で検出する方法について説明した。マスター力情報取得部10で取得した力情報のみを使用する場合の利点としては、速度情報取得部28を用いる必要がなく、簡易で安価に行える点が挙げられる。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、マスター力情報取得部10で取得した力情報と速度情報取得部28で取得した速度情報との両方を使用して、力情報を補正する力補正箇所を検出することもできる。すなわち、速度情報取得部28で一定時間毎に取得された速度情報例えば、図8Bの速度情報v21と速度情報v22とを基に、速度情報の変位速度情報の差、すなわち、図8Bのv22-v21が速度情報の変位の閾値例えば、-0.01mm/msを上回るとスレーブ力補正箇所検出部40で判断されると、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で把持する対象物102が被対象物103に衝突したことをスレーブ力補正箇所検出部40で検知したことになり、その速度情報v22を取得した時点が力補正箇所としてスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。一方、速度情報取得部28で前記速度情報v21とv22を基に、速度情報の変位速度情報の差、すなわち、図8Bのv22-v21が速度情報の変位の閾値を上回らない場合は、変更なしの時点としてスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。ここで、変更なしとは、力補正箇所が無いことを意味する。よって、スレーブ力補正箇所検出部40により、速度情報取得部28で取得された速度情報の変位v22-v21が前記閾値を上回っている時点すなわち、スレーブマニピュレータ32に伝達する力の変位図8Cのfa22-fa21が閾値を上回っている時点図8CのA2の時点を力補正開始時間とする。また、スレーブ力補正箇所検出部40により、マスター力情報取得部10で取得された力情報の変位図8Cのfc22-fc21が閾値例えば、-1.0Nを下回る時点図8CのC2の時点を力補正終了時間とする。力補正開始時間から力補正終了時間の区間を、スレーブ力補正箇所検出部40で、力補正箇所図8CのB2区間とする。以上のように、マスター力情報取得部10で取得された力情報と速度情報取得部28で取得された速度情報との両方を使用し、力補正開始時間及び力補正終了時間を検出する場合の利点として、マスター力情報取得部10で取得された力情報又は速度情報取得部28で取得された速度情報のどちらか1つの情報を使用し、力補正開始時間及び力補正終了時間を検出する場合と比較して、誤検出の少ない正確な検出が行えることが挙げられる。スレーブ力補正部39は、スレーブ制御部24からスレーブ力補正部39に入力された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報の変位図8Cのfa22-fa21に予め決められた定数例えば、0.5をスレーブ力補正部39で掛け、掛けて求められた値を、現在の力情報図8Cのfa22からスレーブ力補正部39で減らす図8Cのfa22-0.5×fa22-fa21ことにより、スレーブ力補正部39で力情報の補正を行なうことができる。第2実施形態におけるマスタースレーブロボットの制御装置100Aの操作手順を図4Aと図9のフローチャートを用いて説明する。ステップS212では、対象物102が被対象物103に衝突するとき、マスター力情報取得部10により力情報を取得し、速度情報取得部28により速度情報を取得し、マスター力情報取得部10と速度情報取得部28とから、マスター力情報取得部10で取得した力情報と速度情報取得部28で取得した速度情報とをスレーブ力補正箇所検出部40にそれぞれ出力する。なお、マスター力情報取得部10で取得した力情報のみを使用する場合には、速度情報取得部28で速度情報を取得することは不要である。マスター力情報取得部10で取得した力情報と速度情報取得部28で速度情報との両方を使用する場合について、ここでは説明している。ステップS212に続いて、ステップS213では、ステップS212で力情報と速度情報との両方を取得した場合には、力情報と速度情報とのどちらか1つ以上を用いて、スレーブ力補正箇所検出部40において、力補正箇所情報を検出し、検出した力補正箇所情報を、スレーブ力補正箇所検出部40からスレーブ制御部24を介してスレーブ力補正部39に出力する。そして、スレーブ力補正部39において、マスター力情報取得部10で取得した力情報に関して、スレーブ力補正箇所検出部40で力補正箇所があるか否かを判断する。なお、力情報のみを使用する場合には、力情報のみを用いて、スレーブ力補正箇所検出部40において、力補正箇所情報を検出し、検出した力補正箇所情報を、スレーブ力補正箇所検出部40からスレーブ制御部24を介してスレーブ力補正部39に出力する。ステップS213において、力補正箇所が無いとスレーブ力補正箇所検出部40で判断する場合には、ステップS211に進む。ステップS213において、力補正箇所が有るとスレーブ力補正箇所検出部40で判断する場合には、ステップS209に進む。ステップS209では、スレーブ力補正部39において、マスター力情報取得部10で取得した力情報に関して、力補正箇所情報により力補正が必要であると検出された力情報を補正し、スレーブ制御部24に出力したのち、ステップS211に進む。ステップS211では、スレーブ制御部24に出力された力情報が、スレーブ制御部24からスレーブ力伝達部33へと伝達される。スレーブ力伝達部33に入力された前記力情報は、前述した方法でスレーブマニピュレータ9に伝達して、このフローを終了する。《第2実施形態の効果》人の手101でマスターマニピュレータ9を操作し、対象物102を把持したスレーブマニピュレータ32が作業を行う場合において、人の手101がマスターマニピュレータ9に対して過度の力を加え対象物102が被対象物103に衝突するとき、従来では対象物102又は被対象物103が破損する場合があった。これに対して、第2実施形態を用いることによって、人の手101が過度の力を加えたことをスレーブ力補正箇所検出部40で検出し、その力情報の絶対値をスレーブ力補正部39で減少してスレーブマニピュレータ32に伝達して、伝達された力情報に基づきスレーブマニピュレータ32が駆動されることによって、対象物102又は被対象物103が破損することを防止する。なお、第2実施形態においては、図2中の各関節部駆動用及びハンド駆動用のすべてのマスターモータ64を取り除くことができる。また、スレーブ力補正箇所検出部40とスレーブ力補正部39とはマスター制御装置3に備えることも可能である。第3実施形態図10A及び図10Bは、本発明の第3実施形態におけるマスタースレーブロボット150の制御装置100Bを示すブロック線図である。本発明の第3実施形態におけるマスターロボットシステム1と、スレーブ制御部24と、力情報取得部26と、速度情報取得部28と、スレーブ周辺装置29と、スレーブマニピュレータ32とは第1実施形態と同様であるので、共通の参照符号を付して共通部分の説明は省略し、異なる部分についてのみ、以下、詳細に説明する。マスター制御装置3は、マスター制御部4と、力伝達部5とを備えている。スレーブ制御装置23は、スレーブ制御部24と、力補正部25と、力情報取得部26と、速度情報取得部28と、検出方法選択部34と、リファレンス情報記憶部41と、力補正箇所検出部27とを備えている。また、力補正部25とスレーブ力補正部39との機能の差異については下記に示す。力補正部25では、マスターマニピュレータ9に伝達する力を増やす機能を持つ。一方で、スレーブ力補正部39では、スレーブマニピュレータ32に伝達する力を減らす機能を持つ。検出方法選択部34は、力情報及び速度情報と、力情報と、速度情報と、記憶された力情報と速度情報以降、リファレンスと呼ぶとのうち1つの情報を選択する。検出方法選択部34で選択された選択情報は力補正箇所検出部27に出力され、力補正箇所を検出する際に使用する情報を前記選択情報に基づき力補正箇所検出部27で指定する。力補正箇所検出部27と、スレーブ力補正箇所検出部40及び力補正部25とスレーブ力補正部39とは、検出方法選択部34で選択された情報により異なるので、以下に選択された情報毎に説明する。検出方法選択部34における各情報の選択方法は、作業者人が、例えば複数のボタンが配置された操作盤などで構成されるマスター入出力IF7を用いて、作業者の作業経験と作業難易度の該当するボタンを押下すると、図11のデータベースに従って、対応する情報が検出方法選択部34で自動的に選択されるように構成している図11のデータベースは検出方法選択部34に情報として記憶されている。作業経験は、0~1年と、1~3年と、3年~との中から作業者が1つ選択してマスター入出力IF7を用いて検出方法選択部34に入力する。作業難易度は、難と、普通と、易との中から1つ選択してマスター入出力IF7を用いて検出方法選択部34に入力する。例えば、作業経験は0~1年を選択し、作業難易度は難を選択して、それぞれマスター入出力IF7から検出方法選択部34に入力すると、検出方法選択部34では、図11のデータベースに基づいて、リファレンスを選択する。また、作業経験は3年~を選択し、作業難易度は易を選択して、それぞれマスター入出力IF7から検出方法選択部34に入力すると、検出方法選択部34では、図11のデータベースに基づいて、速度情報を選択する。また、作業経験と作業難易度とをそれぞれ選択しなかった場合は、作業経験については0~1年、作業難易度については普通が自動的に選択されてマスター入出力IF7を用いて検出方法選択部34に入力されて、検出方法選択部34では、図11のデータベースに基づいて、力情報及び速度情報を選択する。リファレンス情報記憶部41は、検出方法選択部34でリファレンスが選択された場合に用いられ、対象物102又は対象物102の把持位置に応じて使用するリファレンスの情報を選択するようなデータベースが予め記憶されている後で、リファレンスを選択した場合において、その詳細を述べる。。力情報及び速度情報を検出方法選択部34で選択した場合力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40は、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10から力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40に入力された力情報及び速度情報取得部28から力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40に入力された速度情報を用いて、力情報における力補正箇所を力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出し、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出した力情報を、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40からスレーブ制御部24に出力する。力補正箇所の検出方法については、図5A~図5C、図8A~図8Cを用いて説明する。図5Aは力情報取得部26で取得された力情報であり、図8Aはマスター力情報取得部10で取得された力情報であり、図5Bと図8Bとは速度情報取得部28で取得された速度情報である。また、図5Cは力補正された後にマスターマニピュレータ9に伝達する力情報であり、図8Cは力補正された後にスレーブマニピュレータ32に伝達する力情報であり、破線及び白丸は補正前の値であり、実線及び黒丸は補正後の値である。速度情報取得部28で一定時間毎に取得された速度情報を基に、速度情報の変位図5Bのv12-v11、図8Bのv22-v21が閾値例えば、-0.01mm/msを上回ると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断されると、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で把持する対象物102が被対象物103に衝突したことを力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検知したことになり、その速度情報v12を取得した時点が力補正箇所として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。力補正箇所として検出された力情報は、力情報取得部26で取得された力情報の変位が閾値例えば、1.0Nを上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で増加と検出し、マスター力情報取得部10で取得された力情報の変位が閾値を上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で減少と検出する。一方、速度情報の変位が閾値を上回らないと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、変更なしとして力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。よって、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40により、速度情報取得部28で取得された速度情報の変位が閾値を上回っている時点図5CのA1の時点、図8CのA2の時点を力補正開始時間とする。また、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40により、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10で取得された力情報の変位図5Cのfc12-fc11、図8Cのfc22-fc21が閾値例えば、-1.0Nを下回る時点図5CのC1の時点、図8CのC2の時点を力補正終了時間とする。力補正開始時間から力補正終了時間の区間を、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で、力補正箇所図5CのB1区間、図8CのB2区間とする。力補正部25は、スレーブ制御部24から力補正部25に入力された、検出された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報の変位図5Cのfa12-fa11に予め決められた定数例えば、0.5を力補正部25で掛け、掛けて求められた値を現在の力情報図5Cのfa12に力補正部25で加える図5Cのfa120.5×fa12-fa11ことにより、力補正部25で力情報の補正を行なうことができる。スレーブ力補正部39は、スレーブ制御部24からスレーブ力補正部39に入力された、検出された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報の変位図8Cのfa22-fa21に予め決められた定数例えば、0.5をスレーブ力補正部39で掛け、掛けて求められた値を現在の力情報図8Cのfa22からスレーブ力補正部39で減らす図8Cのfa22-0.5×fa22-fa21ことにより、スレーブ力補正部39で力情報の補正を行なうことができる。力情報を検出方法選択部34で選択した場合力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40は、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10から力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40に入力された力情報を用いて、力情報における力補正箇所を力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出し、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出した力情報を、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40からスレーブ制御部24に出力する。力補正箇所の検出方法については、図12A~図13Bを用いて説明する。図12Aは力情報取得部26で取得された力情報であり、図13Aは、マスター力情報取得部10で取得された力情報である。また、図12Bは、力補正された後にマスターマニピュレータ9に伝達する力情報であり、図13Bは、力補正された後にスレーブマニピュレータ32に伝達する力情報であり、破線及び白丸は補正前の値であり、実線及び黒丸は補正後の値である。力情報取得部26で一定時間毎に取得された力情報を基に、力情報の変位図12Bのfa32-fa31、図13Bのfa42-fa41が閾値例えば、1.0Nを上回ると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断されると、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で把持する対象物102が被対象物103に衝突したことを力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検知し、力補正箇所として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。力補正箇所として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された力情報は、力情報取得部26で取得された力情報の変位が閾値を上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は増加と力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出し、マスター力情報取得部10で取得された力情報の変位が閾値を上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は減少と力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出する。一方、力情報の変位が閾値を上回らないと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、変更なしとして力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。よって、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40により、力情報取得部26で取得された力情報の変位が閾値を上回っている時点図12BのA3時点、図13BのA4の時点を力補正開始時間とする。また、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40により、力情報取得部26で取得された力情報の変位図12Bのfc32-fc31、図13Bのfc42-fc41が閾値例えば、-1.0Nを下回る時点図12BのC3の時点、図13BのC4の時点を力補正終了時間とする。力補正開始時間から力補正終了時間の区間を、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で、力補正箇所図12BのB3区間、図13BのB4区間とする。力補正部25は、スレーブ制御部24から力補正部25に入力された、検出された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報の変位図12bのfa32-fa31に予め決められた定数例えば、0.5を力補正部25で掛け、掛けて求められた値を現在の力情報図12Bのfa32に力補正部25で加える図12Bのfa320.5×fa32-fa31ことにより、力補正部25で力情報の補正を行なうことができる。スレーブ力補正部39は、スレーブ制御部24からスレーブ力補正部39に入力された、検出された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報の変位図13bのfa42-fa41に予め決められた定数例えば、0.5をスレーブ力補正部39で掛け、掛けて求められた値を現在の力情報図13Bのfa42からスレーブ力補正部39で減らす図13Bのfa42-0.5×fa42-fa41ことにより、スレーブ力補正部39で力情報の補正を行なうことができる。速度情報を検出方法選択部34で選択した場合力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40は、速度情報取得部28から力補正箇所検出部27に入力された速度情報を用いて、力情報における力補正箇所を検出し、力補正箇所検出部27で検出した力情報を力補正箇所検出部27からスレーブ制御部24に出力する。力補正箇所の検出方法については、図14A~図15Cを用いて説明する。図14Aは力情報取得部26で取得された力情報であり、図15Aはマスター力情報取得部10で取得された力情報であり、図14B、図15Bは速度情報取得部28で取得された速度情報である。また、図14Cは力補正された後にマスターマニピュレータ9に伝達する力情報であり、図15Cは力補正された後にスレーブマニピュレータ32に伝達する力情報であり、破線及び白丸は補正前の値であり、実線及び黒丸は補正後の値である。速度情報取得部28で一定時間毎に取得された速度情報を基に、速度情報の変位図14Bのv52-v51、図15Bのv62-v61が閾値例えば、-0.01mm/msを上回ると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断されると、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で把持する対象物102が被対象物103に衝突したことを力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検知したことになり、その速度情報v52を取得した時点が力補正箇所として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。力補正箇所として検出された力情報は、力情報取得部26で取得された力情報の変位が閾値例えば、1.0Nを上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で増加と検出し、マスター力情報取得部10で取得された力情報の変位が閾値を上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で減少と検出する。一方、速度情報の変位が閾値を上回らないと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、変更なしとして力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出される。よって、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40により、速度情報取得部28で取得された速度情報の変位が閾値を上回っている時点図14CのA5の時点、図15CのA6の時点を力補正開始時間とする。また、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40により、速度情報取得部28で取得された速度情報の変位図14Bのv54-v53、図15Bのv64-v63が閾値例えば、-0.01mm/msを下回る時点図14CのC5の時点、図15CのC6の時点を力補正終了時間とする。力補正開始時間から力補正終了時間の区間を、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で、力補正箇所図14CのB5区間、図15CのB6区間とする。力補正部25は、スレーブ制御部24から力補正部25に入力された、検出された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報を力補正部25で定数倍する図14Bの1.5×fa51ことにより、力補正部25で力情報の補正を行なうことができる。スレーブ力補正部39は、スレーブ制御部24からスレーブ力補正部39に入力された検出された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報をスレーブ力補正部39で定数倍する図15Bの0.5×fa61ことにより、スレーブ力補正部39で力情報の補正を行なうことができる。リファレンスを検出方法選択部34で選択した場合力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40は、リファレンス情報記憶部41と、力情報取得部26と、マスター力情報取得部10とから力補正箇所検出部27に入力された力情報と、速度情報取得部28とから力補正箇所検出部27に入力された速度情報とを用いて、力情報における力補正箇所を力補正箇所検出部27で検出し、力補正箇所検出部27で検出した力情報を、力補正箇所検出部27からスレーブ制御部24に出力する。力補正箇所の検出方法については、図16A~図17Dを用いて説明する。図16A及び図17Aはそれぞれ力情報取得部26で取得された力情報である。また、図16B及び図17Bは、それぞれ、スレーブリファレンス及びマスターリファレンスの力情報であり、図16C、図17Cは、それぞれ、スレーブリファレンス及びマスターリファレンスの速度情報である。図16D及び図17Dは、それぞれ、力補正された後にマスターマニピュレータ9及びスレーブマニピュレータ32に伝達する力情報であり、破線及び白丸は補正前の値であり、実線及び黒丸は補正後の値である。リファレンスの力情報の変位図16Bのfr72-fr71、図17Bのfr82-fr81が閾値例えば、1.0Nを上回ると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断されたときの力情報と、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10で取得された力情報の変位とを力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40でマッチングさせて、同様の傾向が見られる力情報リファレンスの力情報の変位に定数例えば0.5と、2とを掛けた範囲に収まる場合図17の0.5×fr72-fr71<f72-f71<2×fr72-fr71が成り立つ時点、図18の0.5×fr82-fr81<f82-f81<2×fr82-fr81が成り立つ時点を力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出する。そのようにして検出された複数の力情報に基づき、スレーブマニピュレータ32のスレーブハンド71で把持する対象物102が被対象物103に衝突したと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出し、力補正箇所として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出する。一方、力情報の変位が同様の傾向が見られないと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断する場合は、変更なしとして力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出する。力補正箇所として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された力情報において、力情報取得部26で取得された力情報の変位がスレーブリファレンスの力情報の変位とマッチングが取れたと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断する場合は、増加と力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出する。一方、マスター力情報取得部10で取得された力情報の変位がマスターリファレンスの力情報の変位とマッチングが取れたと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断する場合は、減少と力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出する。よって、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40により、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10で取得された力情報がリファレンスの力情報と同様の傾向が見られる時点図16DのA7の時点、図17DのA8の時点を力補正開始時間とする。一方、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40により、リファレンスの力情報の変位図16Bのfr74-fr73、図17Bのfr84-fr83が閾値例えば、-1.0Nを下回ると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断されたときの力情報と、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10で取得された力情報の変位とが同様の傾向が見られる時点図16DのC7の時点、図17DのC8の時点を力補正終了時間とする。力補正開始時間から力補正終了時間の区間を、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で、力補正箇所図16DのB7区間、図17DのB8区間とする。力補正部25は、スレーブ制御部24から力補正部25に入力された検出された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報をリファレンスの力情報と同じ値に力補正部25で増加させる。スレーブ力補正部39は、スレーブ制御部24からスレーブ力補正部39に入力された検出された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法は、力情報をリファレンスの力情報と同じ値に減少させる。リファレンスの情報は、例えば、マスタースレーブロボットの制御装置を製造するメーカーから予め提供されて、リファレンス情報記憶部41に予め記憶することができる。また、リファレンスの情報を追加することもでき、事前実験で取得した力情報又は速度情報のリファレンスの情報について、マスター入出力IF7を用いて、リファレンス情報記憶部41に追加記憶することができる。スレーブマニピュレータ32が力情報を取得しやすい状況が、リファレンスの情報として用いられ、図29A~図31において従来の実験結果を示してあるフレキシブル基板104の挿入実験においては、フレキシブル基板104の把持位置5mmの情報をリファレンスの情報として用いるほうが、フレキシブル基板104の把持位置10mmの情報をリファレンスの情報として用いるよりも優れている。リファレンスの情報は、リファレンス情報記憶部41で記憶され、図18に示すようなデータベースで保存し、どのリファレンスの情報を用いるかを、操作者がマスター入出力IF7を用いて対象物102又は把持位置をボタンで決定し、操作する際にリファレンスの情報として用いる。図19は、本発明の第3実施形態において、力情報及び速度情報を取得してから力補正するまでのフローチャートである。まず、ステップS201で、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10において力情報をそれぞれ取得するとともに、速度情報取得部28において速度情報を取得する。次に、ステップS202で、検出方法選択部34において、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40と力補正部25及びスレーブ力補正部39とで使用する情報として、力情報及び速度情報を選択するか否か、検出方法選択部34で判断する。作業者がマスター入出力IF7を用いて検出方法を検出方法選択部34に選択入力することにより、力情報及び速度情報を選択すると検出方法選択部34で判断すると、ステップS206に進む。力情報及び速度情報以外を選択すると検出方法選択部34で判断すると、ステップS203に進む。ステップS203では、検出方法選択部34において、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40と力補正部25及びスレーブ力補正部39とで使用する情報として、力情報を選択するか否か、検出方法選択部34で判断する。作業者がマスター入出力IF7を用いて検出方法を検出方法選択部34に選択入力することにより、力情報を選択すると検出方法選択部34で判断すると、ステップS206に進む。力情報以外を選択すると検出方法選択部34で判断すると、ステップS204に進む。ステップS204では、検出方法選択部34において、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40と力補正部25及びスレーブ力補正部39とで使用する情報として、速度情報を選択するか否か、検出方法選択部34で判断する。作業者がマスター入出力IF7を用いて検出方法を検出方法選択部34に選択入力することにより、速度情報を選択すると検出方法選択部34で判断すると、ステップS206に進む。速度情報以外を選択すると検出方法選択部34で判断すると、ステップS205に進む。ステップS205では、検出方法選択部34において、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40と力補正部25及びスレーブ力補正部39とで使用する情報として、リファレンスを選択するか否か、検出方法選択部34で判断する。作業者がマスター入出力IF7を用いて検出方法を検出方法選択部34に選択入力することにより、リファレンスを選択すると検出方法選択部34で判断すると、ステップS206に進む。リファレンス以外を選択すると検出方法選択部34で判断すると、ステップS202~ステップS205までどの情報も選択しなかったこととなり、この場合には、先の説明中、作業経験と作業難易度とをそれぞれ選択しなかった場合に該当する。すなわち、検出方法選択部34で、力情報及び速度情報を自動的に選択することになり、ステップS206に進む。ステップS206では、検出方法選択部34で選択した情報を用いて、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40において、力補正を行うか行わないかを検出する。力補正を行うと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出されると、ステップS207に進む。力補正を行わないと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出されると、ステップS300に進む。ステップS300では、力補正を行わない力情報を、そのまま、力補正部25からマスターマニピュレータ9及びスレーブマニピュレータ32に伝達して、一連のフローを終了する。ステップS207では、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40において、力補正を行うことを検出した場合であって、力補正として、力情報を増加させるか又は減少させるかを検出する。なお、変更なしとして力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、力情報を補正せずに、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で力情報を伝達する。増加として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、ステップS208に進む。増加ではなく、減少として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、ステップS209に進む。ステップS208では、力補正部25において力情報の絶対値を増加したのち、ステップS210に進む。ステップS210では、増加した力情報を、力補正部25からマスターマニピュレータ9に伝達して、一連のフローを終了する。一方、ステップS209では、減少として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、スレーブ力補正部39において力情報の絶対値を減少したのち、ステップS211に進む。ステップS211では、減少した力情報を、スレーブ力補正部39からスレーブマニピュレータ32に伝達して、一連のフローを終了する。《第3実施形態の効果》作業者の能力又は作業の難易度に合わせて力を補正する手順を変更することができるので、第1実施形態及び第2実施形態と比較して、より効率的に作業を行うことができる。第4実施形態図20A及び図20Bは、本発明の第4実施形態におけるマスタースレーブロボット150の制御装置100Cを示すブロック線図である。本発明の第4実施形態におけるマスターロボットシステム1と、スレーブ制御部24と、力情報取得部26と、力補正箇所検出部27と、速度情報取得部28と、スレーブ周辺装置29と、スレーブマニピュレータ32は第1実施形態と同様であるので、共通の参照符号を付して共通部分の説明は省略し、異なる部分についてのみ、以下、詳細に説明する。マスター制御装置3は、マスター制御部4と、力伝達部5とを備えている。スレーブ制御装置23は、スレーブ制御部24と、力補正部25と、力情報取得部26と、力補正箇所検出部27と、速度情報取得部28と、力補正方法選択部35と、補正量記憶部42とを備えている。力補正方法選択部35では、対象物把持位置情報と、対象物柔軟度情報と、マスター把持位置情報とのうち1つの情報を選択する。力補正方法選択部35で選択された選択情報は力補正部25に出力され、力補正を行う際に使用する情報を前記選択情報に基づき力補正部25で指定する。力補正部25及びスレーブ力補正部39は、力補正方法選択部35で選択された選択情報により異なるので、以下に選択された情報毎に説明する。力補正方法選択部35における各情報の選択方法は、作業者人が、例えば複数のボタンが配置された操作盤などで構成されるマスター入出力IF7を用いて、作業者の手動で対象物把持位置情報と、対象物柔軟度情報と、マスター把持位置情報とのボタンのうち1つを押下すると、その押下られて入力された情報に基づき、前記入力された情報を力補正方法選択部35で選択する。もし作業者が何も選択しなかった場合は、対象物把持位置情報が力補正方法選択部35で自動的に選択される。補正量記憶部42は、力補正方法選択部35で選択された情報に応じたデータベーススレーブマニピュレータ32が対象物102を把持する位置情報などの力補正方法選択部35で選択された情報と補正量との関係情報を記憶するデータベースを保管している。それぞれのデータベースについては後述する。また、各データベースは、マスター入出力IF7での入力に応じて、力補正部25及びスレーブ力補正部39により補正量記憶部42から補正量を決定する。対象物把持位置情報を力補正方法選択部35で選択した場合力補正部25及びスレーブ力補正部39は、スレーブ制御部24から力補正部25及びスレーブ力補正部39に入力された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。また、力補正部25とスレーブ力補正部39との機能の差異については下記に示す。力補正部25では、マスターマニピュレータ9に伝達する力を増やす機能を持つ。一方で、スレーブ力補正部39では、スレーブマニピュレータ32に伝達する力を減らす機能を持つ。力情報の補正方法について、図21及び図22A及び図22Bを用いて説明する。一例として、対象物の種類と把持位置とに応じて、力補正部25及びスレーブ力補正部39により補正量記憶部42から力情報の補正量を決定する場合について説明する。ここで、対象物の把持位置とは、図21に示すように、スレーブマニピュレータ32が対象物102を把持するとき、スレーブマニピュレータ32の手先部スレーブハンド71図21のAから対象物102の先端図21のBまでの距離D1のことを示す。対象物把持位置D1の取得方法としては、人が定規などで距離D1を直接測定し、マスター入力IF7を用いて入力する方法、又は、カメラを用いて画像認識により距離D1を測定する方法などが考えられる。ここでは、一例として、画像認識により対象物把持位置D1を測定し、力補正する手順について図22A及び図22Bを用いて説明する。図22A及び図22Bのマスタースレーブロボット150の制御装置100Dを示すブロック線図においては、図1におけるマスターロボットシステム1と、スレーブ制御部24と、力情報取得部26と、力補正箇所検出部27と、速度情報取得部28と、スレーブ周辺装置29と、スレーブマニピュレータ32とは第1実施形態と同様であるので、共通の参照符号を付して共通部分の説明は省略し、異なる部分についてのみ、以下、詳細に説明する。なお、図20A及び図20Bの構成と図22A及び図22Bの構成との差異は、カメラなどの画像撮像装置36と、画像撮像装置36に接続された把持位置取得部37とを追加したことである。ここでは、画像撮像装置36と把持位置取得部37とで対象物把持位置取得部110を構成している。カメラなどの画像撮像装置36は、スレーブマニピュレータ32が対象物102を把持する画像を取得し、取得した画像情報を把持位置取得部37に出力する。把持位置取得部37は、画像撮像装置36で取得した画像情報を基に対象物把持位置情報を算出し、力補正部25とスレーブ力補正部39とに出力する。力補正部25及びスレーブ力補正部39は、把持位置取得部37からの対象物把持位置情報を用いて、補正量記憶部42で保管されている、図23に示すような、対象物と、把持位置と、補正量との関係を保存したデータベースより、力補正部25及びスレーブ力補正部39により、補正量をそれぞれ求める。ここで、使用する対象物の種類図23中のフレキシブル基板A又はネジAなどについては、マスター入出力IF7のボタンを用いて、作業者が補正量記憶部42に入力する。作業者が入力した、使用する対象物の種類の情報と、把持位置取得部37からの対象物把持位置情報とに基づき、力補正部25及びスレーブ力補正部39は、補正量記憶部42から補正量を取得する。補正量記憶部42のデータベースの値は、フレキシブル基板Aの場合、把持位置が5mm、10mmと長くなるにつれて、補正量が増加する場合は1.2倍、1.4倍と大きくなり、補正量が減少する場合は0.6倍、0.8倍と大きくなる。フレキシブル基板Bの場合、把持位置が5mm、10mmと長くなるにつれて、補正量が増加する場合は1.5倍、2.0倍と大きくなり、補正量が減少する場合は0.2倍、0.5倍と大きくなる。補正量が増加する場合か、減少する場合かの判断について、下記に示す。力情報取得部26で取得された力情報の変位が閾値例えば、1.0Nを上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で増加と検出する。マスター力情報取得部10で取得された力情報の変位が閾値を上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で減少と検出する。対象物柔軟度情報を力補正方法選択部35で選択した場合力補正部25及びスレーブ力補正部39は、スレーブ制御部24から力補正部25及びスレーブ力補正部39に入力された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法については、対象物柔軟度情報に応じて、力補正部25及びスレーブ力補正部39は、補正量記憶部42から力情報の補正量を決定する。対象物柔軟度とは、対象物の座屈荷重のことを示し、作業者が対象物の座屈荷重を事前に測定する必要がある。事前に測定して取得した座屈荷重は、マスター入力IF7を用いて、補正量記憶部42に作業者が入力する。対象物の座屈荷重の測定方法について、図24A~図24Fを用いて説明する。図24A~図24Cはフレキシブル基板104を用いた場合の横から見た図、図24D~図24Fはネジ107を用いた場合の図を示す。まず、図24A及び図24Dに示すように、対象物を固定台108上で起立させて、対象物の挿入方向側とは逆側の端部を、固定台108で固定する。次に、図24B及び図24Eに示すように、対象物の挿入方向側の端部に対して、力印加装置109を用いて徐々に力を、対象物の長手方向沿いに印加する。そして、図24C及び図24Fに示すように、対象物が座屈したときの力の大きさを測定し、その力の大きさを座屈荷重とする。こうして得られた座屈荷重と対象物の種類について、マスター入力IF7を用いて作業者が入力して、補正量記憶部42に記憶させる。対象物柔軟度情報を用いた補正量の算出方法としては、図25に示すような対象物の種類と、座屈荷重と、補正量との関係を保存したデータベースを補正量記憶部42で所有し、対象物の種類と座屈荷重との情報に応じて、力補正部25及びスレーブ力補正部39が、補正量記憶部42から補正量を求める。データベースの値は、フレキシブル基板Aの場合、座屈荷重が10N、20Nと大きくなる硬くなるにつれて、補正量が増加する場合は1.4倍、1.2倍と小さくなり、補正量が減少する場合は0.8倍、0.6倍と小さくなる。補正量が増加する場合か、減少する場合かの判断について、下記に示す。力情報取得部26で取得された力情報の変位が閾値例えば、1.0Nを上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で増加と検出し、マスター力情報取得部10で取得された力情報の変位が閾値を上回っていると力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断される場合は、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で減少と検出する。マスター把持位置情報を力補正方法選択部35で選択した場合力補正部25及びスレーブ力補正部39は、スレーブ制御部24から力補正部25及びスレーブ力補正部39に入力された力情報を基に、力補正箇所の力情報としては、力情報を補正した情報をスレーブ制御部24に出力する一方、変更なしの情報としては、力情報を変更せずにスレーブ制御部24に出力する。力情報の補正方法について、図26A~図26Bを用いて説明する。マスター把持位置情報とは、図26Aに示すように、人の手101がマスターマニピュレータ9を把持する位置情報のことである。ここで、マスターマニピュレータ9には、図26A中のA点、B点、C点の3点に、マスター把持位置取得部の一例としての力センサ66A,66B,66Cがそれぞれ取り付けられている。力センサ66A,66B,66Cで取得された力情報がマスター入出力IF7を介してマスター力情報取得部10に各力情報が送られたのち図7参照、マスター制御部4とスレーブ制御部24とを介して力補正部25に前記各力情報が送られる。その際、A点、B点、C点の力情報を力補正部25で比較し、力補正部25において、最も大きな値を示した点をマスター把持位置とする。また、スレーブマニピュレータ32図21の形状参照とマスターマニピュレータ9の形状が異なる図26Bのような場合においても、マスターマニピュレータ9に力センサ66A,66B,66Cを3個取り付け、A点、B点、C点の力情報を基に把持位置を取得する。マスター把持位置情報を用いた補正量の算出方法としては、図27に示すような、マスター把持位置と、補正量との関係を保存したデータベースを補正量記憶部42で所有し、力補正部25及びスレーブ力補正部39により補正量記憶部42から力情報の補正量を求める。データベースの値は、マスター把持位置がA点、B点、C点となるにつれて、補正量が増加する場合は1.2倍、1.4倍、1.6倍と大きくなり、補正量が減少する場合は0.8倍、0.6倍、0.4倍と小さくなる。図28は、本発明の第4実施形態における力情報と速度情報とを取得してから、力補正するまでのフローチャートである。まず、ステップS201で、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10において力情報をそれぞれ取得するとともに、速度情報取得部28において速度情報を取得する。次に、ステップS206で、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40において、力補正を行うか行わないかを検出する。すなわち、力補正部25において、力情報取得部26及びマスター力情報取得部10で取得した力情報に関して、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で力補正箇所があるか否かを判断する。力補正箇所検出部27とスレーブ力補正箇所検出部40との機能の差異については下記に示す。力補正箇所検出部27では、力情報取得部26で取得された力情報と速度情報取得部28で取得された速度情報のどちらか1つ以上の情報を用いて力補正箇所を検出する機能を持つ。一方で、スレーブ力補正箇所検出部40では、マスター力情報取得部10で取得された力情報と速度情報取得部28で取得された速度情報のどちらか1つ以上の情報を用いて力補正箇所を検出する機能を持つ。ステップS206において、力補正箇所が無いと力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で判断する場合には、ステップS300に進む。ステップS300では、力補正を行わない力情報を、そのまま、力補正部25からマスターマニピュレータ9及びスレーブマニピュレータ32に伝達して、一連のフローを終了する。ステップS206において、力補正箇所が有ると力補正箇所検出部27又はスレーブ力補正箇所検出部40で判断する場合には、ステップS207に進む。ステップS207で、力補正箇所が有ると力補正箇所検出部27又はスレーブ力補正箇所検出部40で判断して、力補正箇所検出部27又はスレーブ力補正箇所検出部40において、力補正を行う場合、補正量を増加させるか又は減少させるかを検出する。なお、変更なしとして力補正箇所検出部27又はスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、力情報を補正せずに、力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で力情報を伝達する。増加として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、ステップS221Aに進む。一方、減少として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、ステップS221Bに進む。ステップS221Aでは、力補正方法選択部35において、力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物把持位置情報を選択するか否かを、力補正方法選択部35で判断する。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物把持位置情報を選択すると力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS208に進む。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物把持位置情報を選択しないと力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS222Aに進む。ステップS222Aでは、力補正方法選択部35において、力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物柔軟度情報を選択するか否かを、力補正方法選択部35で判断する。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物柔軟度情報を選択すると力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS208に進む。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物柔軟度情報を選択しないと力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS223Aに進む。ステップS223Aでは、力補正方法選択部35において、力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報としてマスター把持位置情報を選択するか否かを、力補正方法選択部35で判断する。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報としてマスター把持位置情報を選択すると力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS208に進む。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報としてマスター把持位置情報を選択しないと力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS221A~ステップS223Aまでどの情報も選択しなかったこととなり、この場合には、作業者が何も選択しなかった場合となり、対象物把持位置情報が力補正方法選択部35で自動的に選択することになり、ステップS208に進む。ステップS208では、力補正方法選択部35で選択した情報を用いて、増加として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、力補正部25において力情報の絶対値を増加したのち、ステップS210に進む。ステップS210では、増加した力情報を、力補正部25からマスターマニピュレータ9に伝達して、一連のフローを終了する。一方、ステップS221Bでは、力補正方法選択部35において、力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物把持位置情報を選択するか否かを、力補正方法選択部35で判断する。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物把持位置情報を選択すると力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS209に進む。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物把持位置情報を選択しないと力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS222Bに進む。ステップS222Bでは、力補正方法選択部35において、力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物柔軟度情報を選択するか否かを、力補正方法選択部35で判断する。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物柔軟度情報を選択すると力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS209に進む。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報として対象物柔軟度情報を選択しないと力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS223Bに進む。ステップS223Bでは、力補正方法選択部35において、力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報としてマスター把持位置情報を選択するか否かを、力補正方法選択部35で判断する。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報としてマスター把持位置情報を選択すると力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS209に進む。力補正部25及びスレーブ力補正部39で使用する情報としてマスター把持位置情報を選択しないと力補正方法選択部35で判断する場合には、ステップS221B~ステップS223Bまでどの情報も選択しなかったこととなり、この場合には、作業者が何も選択しなかった場合となり、対象物把持位置情報が力補正方法選択部35で自動的に選択することになり、ステップS209に進む。ステップS209では、減少として力補正箇所検出部27及びスレーブ力補正箇所検出部40で検出された箇所では、スレーブ力補正部39において力情報の絶対値を減少したのち、ステップS211に進む。ステップS211では、減少した力情報を、力補正部25からスレーブマニピュレータ32に伝達して、一連のフローを終了する。《第4実施形態の効果》作業毎に対象物の把持位置が異なるような作業を行う場合、対象物把持位置情報を選択すると、対象物を把持した位置に応じて補正量を調整する。その結果、作業毎に対象物の把持位置が異なるような作業を行う場合の作業を容易に行うことができる。同様に、作業毎に対象物の柔軟度が異なるような作業を行う場合、対象物柔軟度情報を選択すると、対象物の柔軟度に応じて補正量を調整する。その結果、作業毎に対象物の柔軟度が異なるような作業を行う場合の作業を容易に行うことができる。また、マスター把持位置情報を選択すると、人の意思で補正量を調整することができるので、細かい作業を行う場合例えば、フレキシブル基板をコネクタに挿入する作業の場合に補正量を大きくし、大雑把な作業を行う場合例えば、フレキシブル基板をコネクタの挿入口まで移動する作業の場合に補正量を小さくするといったように、作業に応じて補正量を人が調整できるようになる。なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。"