角速度のための振動マイクロ-メカニカルセンサーであって、当該センサーは、センサー構成部品の本体に支持領域の所で取り付けられた、少なくとも1つの震動質量部1、9、10、20、30、31、45、46および関連する可動電極を有し、角速度のための当該センサーの、生成されるべき主運動は、ウェハーの平面に対して垂直な軸の周りの、少なくとも1つの震動質量部1、9、10、20、30、31、45、46および関連する可動電極の、角振動であり、該主運動に加えて、震動質量部1、9、10、20、30、31、45、46は、主運動に対して垂直な検出軸に関して、第2の自由度を有し、かつ、震動質量部1、9、10、20、30、31、45、46の少なくとも1つの端部に関連して、少なくとも1対の電極が備えられ、その1対の電極は、該質量部1、9、10、20、30、31、45、46の表面と共に、2つのキャパシタンスを形成し、該質量部1、9、10、20、30、31、45、46の主運動の回転の角度に応じて、その1対の電極のキャパシタンスは増加し、かつ、その他方の対の電極のキャパシタンスが減少するようになっている、ことを特徴とする、前記角速度のための振動マイクロ-メカニカルセンサー。複数対の電極となっている各電極が、検出軸の両側に等距離に配置されている、請求項1記載の角速度のためのセンサー。質量部1、9、10、20、30、31、45、46の電位に対して同じ大きさの電圧が、1対の電極の両方の電極に接続されている、請求項1または2記載の角速度のためのセンサー。当該センサーが、センサー構成部品の本体に取付けスポット2の所で取り付けられた、震動質量部および関連する可動電極1を有し、主運動のための曲がりバネ3~6を有し、該曲がりバネは、取付けスポット2を、周囲の剛性を有する補助構造に接続し、かつ、該質量部1の主運動を、実質的に、ウェハーの平面に垂直な軸の周りの角振動に制限するものであり、検出運動のための捩りバネ7、8を有し、該捩りバネは、主運動を震動質量部1に伝達し、かつ同時に、該質量部1に検出運動のための第2の自由度を与えるものであり、該検出運動は主運動の軸に垂直な検出軸の周りの回転振動である、請求項1~3のいずれか1つに記載の角速度のためのセンサー。当該センサーが、センサー構成部品の本体に2つの取付けスポット11、12の所で取り付けられた、2つの震動質量部9、10および関連する可動電極9、10を有し、主運動のための曲がりバネ13、14を有し、該曲がりバネは、取付けスポット11、12を、周囲の硬直な補助構造に、または、直接的に震動質量部9、10に接続するものであり、検出運動のための捩りバネ15~18を有し、震動質量部9、10を互いに接続する曲がりバネ19を有し、該質量部9、10の主運動と、検出運動とが、両方共に、2つの可動電極9、10の逆位相の運動となるように、共振器が接続されている、請求項1~3のいずれか1つに記載の角速度のためのセンサー。外部からの角速度によって生じる振動が、該質量部1、9、10の上方または下方に配置された電極を用いて静電容量的に検出される、請求項4~5のいずれか1つに記載の角速度のためのセンサー。電極が、センサー構造を密封的に閉じるウェハーの内側の面上に成長している、請求項6記載の角速度のためのセンサー。角速度のための当該センサーが、2つの軸に関して角速度を測定する、角速度のためのセンサーであって、当該センサーは、センサー構成部品の本体に取付けスポット21の所で取付けられた、震動質量部および関連する可動電極20を有し、主運動のための曲がりバネ22~25を有し、該曲がりバネは、取付けスポット21を、周囲の剛性を有する補助構造に接続し、かつ、該質量部20の主運動を、実質的に、ウェハーの平面に垂直な軸の周りの角振動に制限するものであり、第1の方向における検出運動のための捩りバネ26、27を有し、該捩りバネは、主運動を震動質量部20に伝達し、かつ同時に、該質量部20に第1の方向における検出運動のための自由度を与え、その検出運動は、実質的に主運動の軸に垂直な第1の検出軸の周りの回転振動であり、第2の方向における検出運動のための捩りバネ28、29を有し、該捩りバネは、主運動を震動質量部20に伝達し、かつ同時に、該質量部20に第2の方向における検出運動のための自由度を与え、その検出運動は、実質的に主運動の軸および第1の検出軸に垂直な第2の検出軸の周りの回転振動である、請求項1~3のいずれか1つに記載の角速度のためのセンサー。角速度のための当該センサーが、2つの軸に関して角速度を測定する、角速度のためのセンサーであって、当該センサーは、センサー構成部品の本体に、2つの取付けスポット32、33の所で取付けられた、2つの震動質量部および関連する可動電極30、31を有し、主運動のための曲がりバネ34、35を有し、該曲がりバネは、取付けスポット32、を、周囲の剛性を有する補助構造に接続するものであり、第1の方向における検出運動のための捩りバネ36~39を有し、該捩りバネは、主運動を震動質量部30、31に伝達し、かつ同時に、該質量部30、31に、第1の方向における検出運動のための自由度を与えるものであり、第2の方向における検出運動のための捩りバネ40~43を有し、該捩りバネは、主運動を震動質量部30、31に伝達し、かつ同時に、該質量部30、31に、第2の方向における検出運動のための自由度を与えるものであり、かつ、震動質量部30、31を互いに接続する曲がりバネ44を有する、請求項1~3のいずれか1つに記載の角速度のためのセンサー。取付けスポット2、11、12、21、32、33が、センサー構造を密封的に閉じるウェハーに陽極的手法にて接合される、請求項4~9のいずれか1つに記載の角速度のためのセンサー。取付けスポット2、11、12、21、32、33が、センサー構造を密封的に閉じるウェハーに溶融接合によって接合される、請求項4~9のいずれか1つに記載の角速度のためのセンサー。発明の詳細な説明本発明による、角速度のための振動センサーでは、発生させられるべき主運動は、少なくとも1つの震動質量部および関連する可動電極の、ウェハーの面に対して垂直な軸についての回転振動である。この主運動に加えて、震動質量部は、主運動に対して垂直な検出軸に関する第2の自由度を有する。少なくとも一対の電極が、震動質量部の少なくとも1つの端部エッジの下方または上方に設けられ、その一対の電極は、該質量部の表面と一緒になって、2つのキャパシタンスを形成する。これらキャパシタンスは、主運動の回転の角度に応じて変化し、一方の電極では正に、他方では負に変化する。この一対の電極は、検出軸の各々の側に、等距離に配置され得る。該質量部の電位に対して同一の大きさの電圧が、該一対の電極の両方に加えられ得、主運動と同調して変化する正味のモーメントを達成しながら、静電モーメントをキャンセルしている。図1は、本発明による角速度のための振動センサーの、震動質量部および関連する可動電極の構造の斜視図を示している。本発明による角速度のためのセンサーの構造は、震動質量部を有し、かつ、関連する可動電極1を有し、該電極は、センサー構成部品センサーコンポーネントの本体ボディに対し、取付けスポット2の所で取り付けられている。可動電極1は、例えば、質量部の導電性表面またはその上に成長した導体であってもよい。本発明による角速度のためのセンサーは、さらに、主運動のための曲がりバネ3~6と、検出運動のための捩りバネ7~8とを有する。図では、角速度に感度をもった軸をΩで示している。本発明による構造図1に示され、Z軸について振動しているが、Y軸について回転される場合は、この質量部の主運動の一部は、運動量モーメントの保存に従って、検出軸Xの周りの回転振動へとリンクされる。この振動の振幅は、その回転の角速度Ωに正比例する。角速度のための当該センサーの可動部分1、3~8は、シリコンウェハー内にパターン化され得、センサー構造は、その上方または下方に取り付けられたウェハーによって密封的に閉じられる。このセンサー構造の中央領域の所には、取付けスポット2が存在し、このスポットは、上面または裏面の所でウェハーに固定される。この取付けスポット2は、2つあるいはそれより多くの曲がりバネ3~6によって、該スポットの周囲にある剛性を有する補助構造に接続され、これらバネは、主運動を、実質的に該ウェハーの面に垂直な軸の周りの角振動へと制限する。2つの捩りバネ7~8が、この主運動を震動質量部1へ伝達し、同時に、該質量部1に検出運動のための第2の自由度を与え、その検出運動はX軸の周りの回転振動である。図2は、本発明による、角速度のための振動センサーの、震動質量部と関連する可動電極の代替的な構造の斜視図を示している。本発明による角速度のためのセンサーの該代替的な構造は、センサー構成部品の本体に2つの取付けスポット11、12の所で取り付けられた、2つの震動質量部および関連する可動電極9、10を有する。これら質量部9、10の中央の所にある取付けスポット11、12は、ウェハーに接合されてよく、該ウェハーは、このセンサー構造を、例えば、陽極的手法によってまたは溶融接合によって、密封的に閉じている。本発明による角速度のためのセンサーは、さらに、主運動のための曲がりバネ13、14と、検出運動のための捩りバネ15~18と、2つの震動質量部9、10を互いに接続する曲がりバネ19とを有する。図2に示される、本発明による代替的な角速度のためのセンサーの動作原理は、上記で説明したものと異なっており、主運動および検出運動の両方の点が、共振器の結合に起因して、2つの可動電極9、10と逆位相の運動となっている。図3は、本発明による、2つの軸を持った角速度のための振動センサー振動センサーの、震動質量部および関連する可動電極の構造の斜視図を示している。本発明による2つの軸を持った角速度のためのセンサーの構造は、センサー構成部品の本体に、取付けスポット21の所で取り付けられる震動質量部および関連する可動電極20を有する。本発明による角速度のための該センサーは、さらに、主運動のための曲がりバネ22~25と、第1の方向における検出運動のための捩りバネ26~27と、第2の方向における検出運動のための捩りバネ28~29とを有する。図4は、本発明による、2つの軸を持った角速度のための振動センサーの、震動質量部およびそれに関連する可動電極の、代替的な構造の斜視図を示している。本発明による2軸に関して角速度を測定する角速度のためのセンサーの構造は、センサー構成部品の本体に、2つの取付けスポット32、33の所で取り付けられる2つの震動質量部および関連する可動電極30、31を有する。本発明による、この角速度のためのセンサーは、さらに、主運動のための曲がりバネ22~25と、第1の方向における検出運動のための捩りバネ26~27と、第2の方向における検出運動のための捩りバネ28~29とを有する。図4は、本発明による、2つの軸を持った角速度のための振動センサーの、震動質量部およびそれに関連する可動電極の代替的な構造の斜視図を示している。本発明による角速度のための2つの軸を持ったセンサーは、センサー構成部品の本体に2つの取付けスポット32、33の所で取り付けられる2つの震動質量部および関連する可動電極30、31を有する。本発明による2つの軸を持った角速度のための振動センサーは、さらに、主運動のための曲がりバネ34、35と、第1の方向における検出運動のための捩りバネ36~39と、第2の方向における検出運動のための捩りバネ40~43と、震動質量部30、31を互いに接続する曲がりバネ44とを有する。本発明による、2つの軸を持った角速度のための振動センサーの構造には、上記で説明した1つの軸を有する構造と比較して、付加的な剛性を有する補助構造が存在し、該補助構造は、Y軸の方向に延びる複数対の捩りバネ40~43によって、質量部30、31に対して懸架されている。本発明による2つの軸を持った角速度のためのセンサーの構造は、震動質量部30、31に、主運動に垂直な第2の自由度を提供しており、それによって、当該センサーは、同じ主運動を利用する、2つの軸を持った角速度のためのセンサーとして動作することが可能になる。本発明による、角速度のためのセンサーの直交信号を静電的に補償するためのソリューションは、例えば、上記で説明したタイプの構造の全てにおいて直交信号を補償するために用いることができる。本発明は、また、角速度のためのセンサーの他の構造主運動が、ウェハーの平面に垂直な軸の周りの回転振動を引起こすような構造においても、直交信号を補償するために用いることができる、。図5は、本発明による補償原理の簡略化した図を示している。本発明による構造は、該図に示されているように、震動質量部と、関連する可動電極45、46と、これら可動電極45、46の上方または下方に設けられた固定電極47~50とを有する。本発明による該ソリューションでは、角速度を検出するための電極、例えば、固定電極47~50が、質量部45、46の領域の所に位置し、これら質量部は、2つの回転の自由度、即ち、主運動の方向における第1の自由度zと、検出運動の方向における第2の自由度xとを有する。本発明による該ソリューションでは、可動電極は、例えば、質量部45、46の端部を使って提供されることができ、固定電極は、該エッジを超えて延びている。こうして、質量部の同じエッジが、固定電極の両方の対の電極47、48および49、50を横切る。質量部45、46が回転すると、固定電極に対する主運動の回転の角度θは、図5に示されるように、平面キャパシターの面積を変化させる。回転が正の角度では、左エッジにおける電極47の面積は増加し、他方では同時に、同じエッジにおける電極48の面積は、回転の角度θに比例して減少する。補償においては、図5の左側の電極47および48が、右側の電極49および50に関して、そして同じ電位に接続されている質量部45、46に関して、静電電圧Ucompにバイアスがかけられる。こうして、回転の角度に起因したキャパシタープレートの面積の変化が、バイアスされた電極47および48と、グラウンド電位に接続された質量部45、46との間に、静電的な力の比例的な変化を引き起こす。両方の電極に対しては、静電的な力の変化は回転の角度θに比例するが、しかしながら、電極47に対しては、それは正であり、そして、電極48に対しては、それは負である。これら反対方向の力の変化が、検出軸Xに関する運動量に対して、同一のそれらの方向に変化を生じさせる。しかしながら、直線的な運動における直交補償の静電的原理とは逆に、電圧Ucompによって誘導される静電的な運動量は相殺される。この運動量は、主運動の回転の角度θに線形的に依存し、補償電圧Ucompの二乗に比例する変化を生じさせ、それが、正しい極性と大きさを持って、直交信号を補償する。電極47および48を質量部45、46の電位に接続することによって、そして、それに対応して、電極49および50を電圧Ucompに接続することによって、補償モーメントの方向を逆転させることができる。本発明によるこのソリューションは、全ての角速度のためのセンサーにおいて、即ち、主運動がZ軸に関する角振動であり、電極が質量部の上方または下方に適当な間隙だけ離して配置されているようなセンサーにおいて、直交信号を補償するために用いることができる。これら電極は、例えば、センサー構造を密封的に閉じるウェハーの内側の面上に、成長させ、または、パターン化することができる。