"粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板を、それぞれ、第1治具と第2治具とに固着する第1工程と、第1治具および第2治具の少なくとも一方を移動させて、粘着シート又は硬化性樹脂層に破断に至るせん断応力を生じさせることにより、2枚の板を剥離する第2工程と、剥離後の2枚の板を治具から脱離する第3工程とを有し、前記第1工程において、前記2枚の板の一方の板または両方の板をシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートを介して治具に固着させることを特徴とする、貼り合わされた2枚の板を再利用可能に分離する方法。前記2枚の板の少なくとも一方の板が防汚処理された表面を有する板であり、当該板における防汚処理された表面と治具との間を、前記シリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートを介して前記固着を行う、請求項1記載の方法。前記2枚の板は粘着シートを介して貼り合わされており、2枚の板が光学板であり、粘着シートが透明粘着シートである、請求項1または2記載の方法。前記2枚の板は粘着シートを介して貼り合わされており、2枚の一方がフラットパネルディスプレイの表示パネルであり、他方が前記表示パネルを保護する保護用透明板であり、粘着シートが透明粘着シートであり、前記保護用透明板は片面に防汚処理が施されており、該防汚処理された片面をシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートに接着する、請求項1記載の方法。対向配置され、少なくとも一方が可動する第1治具および第2治具を有し、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板を、該第1治具および第2治具の間に配置して、該2枚の板のいずれか一方を第1治具に固着し、いずれか他方を第2治具に固着し、第1治具および第2治具の少なくとも一方を移動させることで、前記2枚の板を剥離する装置であって、該第1治具および第2治具の一方の治具または両方の治具における板の被固着部がシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートの粘着面を備えることを特徴とする、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板の分離用装置。第1治具および第2治具の一方の治具または両方の治具における板の被固着部が、更に吸引によって板を吸着する吸着部とを備えることを特徴とする、請求項5に記載の分離用装置。2枚の板の少なくとも一方の板が防汚処理された表面を有する板であり、当該板における防汚処理された表面と治具との間で前記固着を行う、請求項5または6記載の装置。前記2枚の板は粘着シートを介して貼り合わされており、2枚の板が光学板であり、粘着シートが透明粘着シートである、請求項5~7のいずれか1項記載の装置。2枚の一方がフラットパネルディスプレイの表示パネルであり、他方が前記表示パネルを保護する保護用透明板であり、粘着シートが透明粘着シートであり、前記保護用透明板は片面に防汚処理が施されており、該防汚処理された片面をシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートに接着する、請求項5または6記載の装置。シリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートからなり、請求項1~4の何れか1項に記載の方法における第1工程において、前記2枚の板の一方の板または両方の板を治具に固着させることに用いられる粘着シート。しかしながら、本発明者等が、機器の殆どの操作をタッチパネル上で行うタイプの機器に使用される、表示パネルと保護用透明板が透明粘着シートを介して貼り合わされた積板体貼付積板に対して、特許文献1に記載の方法によって、表示パネルと保護用透明板の剥離作業を行ったところ、表示パネルと保護用透明板が剥離される前に、保護用透明板が操作板または固定台から脱離してしまうという事態に遭遇した。本発明は、上記のような事情に鑑みなされたものであり、その解決しようとする課題は、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板の少なくとも一方が防汚処理された表面のような粘着剤が粘着しにくい表面を有する板であっても、2枚の板を確実に治具に保持して、2枚の板の剥離作業を安定に実施できる、貼り合わされた2枚の板を再利用可能に分離する方法および該方法に使用する装置を提供することである。また、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板の少なくとも一方が粘着剤が粘着しにくい表面を有し、かつ、薄厚で柔軟性に乏しい板であっても、そのような板に対して歪を生じさせるような負荷を加えることなく、2枚の板を確実に治具に保持して、2枚の板の剥離作業を安定に実施できる、貼り合わされた2枚の板を再利用可能に分離する方法および該方法に使用する装置を提供することである。本発明は上記課題を解決するために以下の構成を採る。[1]粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板を、それぞれ、第1治具と第2治具とに固着する第1工程と、第1治具および第2治具の少なくとも一方を移動させて、粘着シート又は硬化性樹脂層に破断に至るせん断応力を生じさせることにより、2枚の板を剥離する第2工程と、剥離後の2枚の板を治具から脱離する第3工程とを有し、前記第1工程において、前記2枚の板の一方の板または両方の板をシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートを介して治具に固着させることを特徴とする、貼り合わされた2枚の板を再利用可能に分離する方法。[2]前記2枚の板の少なくとも一方の板が防汚処理された表面を有する板であり、当該板における防汚処理された表面と治具との間を、前記シリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートを介して前記固着を行う、上記[1]記載の方法。[3]前記2枚の板は粘着シートを介して貼り合わされており、2枚の板が光学板であり、粘着シートが透明粘着シートである、上記[1]または[2]記載の方法。[4]前記2枚の板は粘着シートを介して貼り合わされており、2枚の一方がフラットパネルディスプレイの表示パネルであり、他方が前記表示パネルを保護する保護用透明板であり、粘着シートが透明粘着シートであり、前記保護用透明板は片面に防汚処理が施されており、該防汚処理された片面をシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートに接着する、上記[1]記載の方法。[5]対向配置され、少なくとも一方が可動する第1治具および第2治具を有し、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板を、該第1治具および第2治具の間に配置して、該2枚の板のいずれか一方を第1治具に固着し、いずれか他方を第2治具に固着し、第1治具および第2治具の少なくとも一方を移動させることで、前記2枚の板を剥離する装置であって、該第1治具および第2治具の一方の治具または両方の治具における板の被固着部がシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートの粘着面を備えることを特徴とする、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板の分離用装置。[6]第1治具および第2治具の一方の治具または両方の治具における板の被固着部が、更に吸引によって板を吸着する吸着部とを備えることを特徴とする、上記[5]記載の分離用装置。[7]2枚の板の少なくとも一方の板が防汚処理された表面を有する板であり、当該板における防汚処理された表面と治具との間で前記固着を行う、上記[5]または[6]記載の装置。[8]2枚の板は粘着シートを介して貼り合わされており、2枚の板が光学板であり、粘着シートが透明粘着シートである、上記[5]~[7]のいずれか1つに記載の装置。[9]2枚の一方がフラットパネルディスプレイの表示パネルであり、他方が前記表示パネルを保護する保護用透明板であり、粘着シートが透明粘着シートであり、前記保護用透明板は片面に防汚処理が施されており、該防汚処理された片面をシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートに接着する、上記[5]または[6]記載の装置。[10]シリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートからなり、上記[1]~[4]の何れか1つに記載の方法における第1工程において、前記2枚の板の一方の板または両方の板を治具に固着させることに用いられる粘着シート。本明細書中、フラットパネルディスプレイにおける、表示パネル、該表示パネルに隣接して配置される保護透明板、該表示パネルと該保護透明板との間に挿入されるタッチパネルおよび該タッチパネルの構成部材等のフラットパネルディスプレイの表示面側に配設される板状光学部材を総称して光学板と呼ぶこととする。また、フラットパネルディスプレイとは、液晶ディスプレイLCD、プラズマディスプレイPDP、有機又は無機エレクトロルミネッセンスディスプレイELD、表面電解ディスプレイSED等を含む概念である。また、本明細書において、防汚処理された表面とは、防汚剤で処理された表面を意味し、具体的には、特開平9157582、特開平11217558、特開2000144097、特開2005290323、特開2007145884、特開2008156454、特開200554029、特開200888323、特開2006124417、特開平9157582等に記載の公知のフッ素系防汚剤や公知のシリコーン系防汚剤等によって処理された表面が挙げられる。本発明によれば、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板の少なくとも一方が防汚処理された表面のような粘着剤が粘着しにくい表面を有する板であっても、2枚の板の剥離作業中、治具から板が脱離することがなく、2枚の板の剥離作業を安定に実施することができる。また、2枚の板の少なくとも一方が粘着剤が粘着しにくい表面を有し、かつ、薄厚で柔軟性に乏しい板であっても、そのような板に歪み変形が生じるような負荷が加わることなく、2枚の板の治具に確実に保持して2枚の板の剥離作業を安定に実施することができるので、板の品質劣化が顕在化することなく、2枚の板を再利用可能に分離することができる。特に、フラットパネルディスプレイの表示面側に配設される、透明粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の光学板、例えば、表示パネルと保護透明板、表示パネルとタッチパネルの透明電極付きガラス板、タッチパネルの透明電極付きガラス板と保護透明板等は、薄厚で柔軟性に乏しく、また、保護透明板の片面は防汚処理が施されることが多いが、本発明方法を採用すれば、それら2枚の光学板を、品質劣化が顕在化することなく、再利用可能に分離することができる。粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板を再利用可能に分離する本発明の方法以下、単に本発明方法ともいうにおいて、再利用可能に分離する2枚の板としては、ガラス板、金属板、プラスチック板等の種々の材料からなる板板状物が挙げられ、特に限定されない。プラスチック板の場合、通常、ヤング率が概ね1.5GPa以上の比較的剛性の高いプラスチック材料からなる板が対象である。また、板の厚みが薄くなると、比較的剛性の高いプラスチック板は割れや破損を生じやすくなるので、厚みが5mm以下のプラスチック板である場合、本発明方法は特に有効である。ガラス板は柔軟性に乏しく、厚みが薄くなると割れや破損を生じやすくなるので、本発明方法はガラス板である場合に特に有効である。前述の背景技術の欄で説明したように、携帯電話機、携帯情報端末PDA:PersonalDigitalAssistant、携帯ゲーム機、カーナビゲーションシステム等の可搬型表示機能付機器に搭載される液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの厚みはより薄くすることが必要になり、フラットパネルディスプレイの表示パネルはより一層薄く設計され、表示パネルを保護する保護用透明板、表示パネルと保護用透明板との間に挿入されるタッチパネル等もより薄厚になってきている。そして、このようなフラットパネルディスプレイの表示面側に配設される光学板には、ガラス板や比較的剛性が高い透明プラスチック板が使用され、隣接する2枚の光学板が透明粘着シートを介して貼り合わされる。また、近時において、熱や紫外線で硬化するアクリル系やシリコーン系の高透明性の硬化性樹脂層を表示パネルと保護用透明板の間に充填形成して両者間を接着一体化することも提案されているが、このような熱や紫外線で硬化するアクリル系、ウレタンアクリレート系、シリコーン系等の硬化性樹脂層も表示パネルと保護透明板に対して比較的高い接着力で固着するため、表示パネルと薄い厚みの保護用透明板の接着貼り合わせのやり直しが必要になったとき、破損や割れを生じさせることなく、表示パネルから保護用透明板を分離することは困難である。従って、本発明方法は、このような透明粘着シート又は高透明性の硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の光学板を分離する場合に特に有効である。すなわち、本発明方法を使用すれば、透明粘着シート又は高透明性の硬化性樹脂層熱や紫外線で硬化するアクリル系、ウレタンアクリレート系、シリコーン系等の硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の光学板例えば、表示パネルと保護用透明板、表示パネルとタッチパネルの透明電極付きガラス板、タッチパネルの透明電極付きガラス板と保護用透明板等を、割れや破損を生じさせることなく、再利用可能に分離でき、高価な光学板を再利用することが可能になる。表示パネルを保護する保護用透明板としては、ガラス板、透明プラスチック板が挙げられるが、透明プラスチック板としては、アクリル樹脂例えば、PMMA、ポリカーボネートPC、ポリプロピレンPP、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、トリアセチルセルロースTAC樹脂、アートン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン等からなるプラスチック板が挙げられ、その厚みは0.01~5mm程度である。また、ガラス板にはソーダガラス板、ホウケイ酸ガラス板、無アルカリガラス板等が挙げられ、厚みは0.01~5mm程度である。また、タッチパネルの透明電極を有するガラス板には、ソーダガラス板、ホウケイ酸ガラス板、無アルカリガラス板等が挙げられ、厚みは0.01~5mm程度である。本発明において、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板に使用される粘着シートとは、種々の分野の装置や機器において、金属板、プラスチック板等の貼り合わせに使用されているアクリル系、シリコーン系、ウレタン系等の公知の感圧性粘着剤による粘着シートであり、厚みは特に限定されないが、概ね10~1000μmである。また、透明粘着シート又は高透明性の硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の光学板に使用される透明粘着シートとは、透明性が高い粘着剤組成物からなる両面粘着シートであり、2枚の光学板間の接着強度およびフラットパネルディスプレイの薄型化の点から、通常、20~250μm程度の厚みで使用される。かかる透明粘着シートとしては、光学用途に使用される公知の透明粘着シートを挙げることができ、特に好ましいものとして、アクリル系、シリコーン系等の透明粘着シートや、本願の出願人が特開2008266473号公報にて提案したポリオキシアルキレン系透明粘着シートすなわち、1分子中に少なくとも1個のアルケニル基を有するポリオキシアルキレン系重合体と、1分子中に平均2個以上のヒドロシリル基を含有する化合物と、ヒドロシリル化触媒とを含む組成物を硬化せしめた硬化物よりなる透明粘着シートが挙げられる。粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板を再利用可能に分離する本発明の方法は、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板を、それぞれ、第1治具と第2治具とに固着する第1工程と、第1治具および第2治具の少なくとも一方を移動させて、粘着シート又は硬化性樹脂層に破断に至るせん断応力を生じさせることにより、2枚の板を剥離する第2工程と、剥離後の2枚の板を治具から脱離する第3工程とを有する。≪第1工程≫第1工程では、粘着シート又は硬化性樹脂層を介して貼り合わされた2枚の板を、それぞれ、第1治具と第2治具に固着する。ここで、第1治具と第2治具はいずれか一方が可動する構成でも、両方が可動する構成でもよい。図1は粘着シート又は硬化性樹脂層3を介して貼り合わされた2枚の板1、2粘着シート又は硬化性樹脂層3を介して2枚の板1、2が貼り合わされた貼付積板4を、それぞれ、シリコーン系粘着シート5を介して、第1治具7Aと第2治具7Bに固着した状態を示す。シリコーン系粘着シート5は、シリコーン系粘着剤による粘着層以下、シリコーン系粘着層ともいう。を少なくとも有する粘着シートであり、具体的には、シリコーン系粘着層のみからなる両面粘着シート、基材の片側にシリコーン系粘着層を有する粘着シート、基材の両側にシリコーン系粘着層を有する両面粘着シート、基材の一方の片側にシリコーン系粘着層を有し、基材の他方の片側にシリコーン系粘着剤以外の粘着剤による粘着層を有する両面粘着シートが挙げられる。シリコーン系粘着シート5はシリコーン系粘着層が板1、2に接着するように使用する。これにより、板1、2の少なくとも一つの板の治具側の表面にシリコーン系粘着層は強固に接着するため、2枚の板1、2は治具に安定に固着する。特に、板1、2の少なくとも一つの板の治具側の表面が防汚処理された表面であっても、該防汚処理された表面にシリコーン系粘着層は強固に接着するため、2枚の板1、2は治具に安定に固着する。なお、本実施形態では、2枚の板1,2の少なくとも一方の板をシリコーン系粘着シートを介して治具に固着すればよく、2枚の板1,2の一方のみをシリコーン系粘着シートを介して治具に固着する場合、他方の板は、熱剥離性両面粘着シートすなわち、加圧により接着し、接着後に熱を加えることで再剥離性が発現する剥離性感圧接着剤による感圧接着層を形成した両面粘着シート、紫外線硬化型剥離性両面粘着シートすなわち、加圧により接着し、接着後、紫外線照射によって硬化して再剥離性が発現する剥離性感圧接着剤アクリル系、ウレタン系等の接着剤による感圧接着層を支持基材の両面に形成した両面粘着シート等を使用してもよい。また、他方の板は、吸引によって板を吸着する吸着機構を備えた治具を使用し、これら粘着シートと併用若しくはこれら粘着シートを使用せずに、治具に固着してもよい。この場合、2枚の板1、2の一方の板の治具側の表面が防汚処理されている表面であり、他方の板の治具側の表面が防汚処理されていない表面であれば、防汚処理されている表面に対しては、シリコーン系粘着シート5を用い、防汚処理されていない他方の板と治具との間には、シリコーン系粘着シート5の代わりに、熱剥離性両面粘着シート、紫外線硬化型剥離性両面粘着シート等を使用したり、吸引によって板を吸着する吸着機構を備えた治具を使用し、これら粘着シートと併用若しくはこれら粘着シートを使用せずに、治具に固着したりすることが好ましい。シリコーン系粘着シート5における基材としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのフィルム基材、マニラ麻、レーヨン、ポリエステル、パルプ繊維などを原料とする不織布、および紙、多孔質体などがあげられる。シリコーン系粘着シート5におけるシリコーン系粘着剤としては、ポリジオルガノシロキサンを構成成分として含む各種のシリコーンゴムを特に制限なく使用できる。ポリジオルガノシロキサンの有機基はアルキル基、アリール基、アルケニル基等の炭化水素基があげられる。アルキル基としてはメチル、エチル、プロピル等が例示されるが粘着特性、耐久性などの点からメチル基が好適に用いられる。アリール基としてはフェニル基などがあげられる。シリコーン系粘着剤の架橋方法として付加反応を用いる場合などはアルケニル基を共重合することが好ましい。アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ヘキセニル基などがあげられる。これらのなかでもビニル基が好適に用いられる。また、水酸基等の各種官能基が導入されていてもよい。特に、両末端に水酸基を有するものを好ましく使用できる。ポリジオルガノシロキサンとしては、たとえば、ポリジメチルシロキサン、ポリジフェニルシロキサンおよびこれらの共重合体、混合物などがあげられる。これらポリジオルガノシロキサンのなかでも、分子中にフェニル基を有するポリジオルガノシロキサンが好適である。フェニル基含量は特に制限されないが、ポリジオルガノシロキサンが有する珪素原子に結合した有機基に対する割合有機基全部に対するフェニル基の個数割合が、5~20程度であるものが好ましく、更には7~18のものが好ましい。ポリジオルガノシロキサンの重合度は特に制限されないが、通常500~10000、さらには2000~8000であるのが好ましい。かかるポリジオルガノシロキサンは1種または2種以上を適宜に組み合わせて使用することができる。ポリジオルガノシロキサンには、シリコーン系粘着剤に使用されている各種のシリコーンレジンが適宜に配合される。シリコーン系粘着剤は、前記シリコーンゴムとシリコーンレジンの部分縮合物または混合物として用いられる。シリコーンレジンは、分子中に珪素原子に結合した水酸基を含む分岐状ポリオルガノシロキサンであり、この水酸基を用いて前記シリコーンゴムと部分縮合反応を施すことができる。たとえば、M単位R3SiO1/2と、Q単位SiO2、T単位RSiO3/2およびD単位R2SiOから選ばれるいずれか少なくとも1種の単位前記単位中、Rは一価炭化水素基または水酸基を示すを有する共重合体からなるポリオルガノシロキサンを好ましく使用できる。一価炭化水素基としてはメチル基、エチル基、プロピル基のようなアルキル基、ビニル基などのアルケニル基、フェニル基などのアリール基があげられる。前記共重合体からなるポリオルガノシロキサンは、水酸基を有する他に、必要に応じてビニル基等の種々の官能基が導入されていてもよい。導入する官能基は架橋反応を起こすものであってもよい。前記共重合体としてはM単位とQ単位からなるMQレジンが好ましい。M単位と、Q単位、T単位またはD単位の比モル比は特に制限されないが、前者:後者=0.3:1~1.5:1程度、好ましくは0.5:1~1.3:1程度のものを使用するのが好適である。これらシリコーンレジンは1種または2種以上を適宜に組み合わせて使用することができる。前記シリコーンゴムとシリコーンレジンの配合割合重量比は特に制限されないが、シリコーンゴム100重量部に対して、シリコーンレジン60~250重量部するのが好ましい。さらには80~200重量部とするのが好ましい。シリコーンゴムとシリコーンレジンは、単にそれらを配合して使用してもよく、それらの部分縮合物であってもよい。シリコーン系粘着剤は、架橋構造物とすることができる。架橋剤として過酸化物系架橋剤、SiH基を有するシロキサン系架橋剤が好適である。過酸化物系架橋剤はラジカル反応型の架橋であり、シロキサン系架橋剤はビニル基等のアルケニル基とポリオルガノハイドロジェンシロキサンとのヒドロシリル化反応を用いた付加反応型の架橋である。シロキサン系架橋剤の場合には、シリコーンゴム等としてビニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いる。前記過酸化物系架橋剤としては、従来よりシリコーン系粘着剤に使用されている各種のものを特に制限なく使用できる。たとえば、過酸化ベンゾイル、t-ブチルパーオキシベンゾエート、ジクミルパーオキサイド、t-ブチルクミルパーオキサイド、t-ブチルオキサイド、2,5-ジメチル-2,5-ジ-t-ブチルパーオキシヘキサン、2,4-ジクロロ-ベンゾイルパーオキサイド、ジ-t-ブチルパーオキシ-ジ-イソプロピルベンゼン、1,1-ビスt-ブチルパーオキシ-3,3,5-トリメチル-シクロヘキサン、2,5-ジメチル-2,5-ジ-t-ブチルパーオキシヘキシン-3等があげられる。過酸化物系架橋剤の使用量は、通常、シリコーンゴム100重量部に対して0.15~2重量部程度、好ましくは0.5~1.4重量部である。また、シロキサン系架橋剤として、たとえば、ケイ素原子に結合した水素原子を分子中に少なくとも平均2個有するポリオルガノハイドロジェンシロキサンが用いられる。ケイ素原子に結合した有機基としてはアルキル基、フェニル基、ハロゲン化アルキル基等があげられるが、合成および取り扱いが容易なことから、メチル基が好ましい。シロキサン骨格構造は、直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよいが、直鎖状が良く用いられる。シロキサン系架橋剤の使用量は、通常、シリコーンゴムおよびシリコーンレジン中のビニル基1個に対して、ケイ素原子に結合した水素原子が1~30個、好ましくは4~17個になるように配合する。ケイ素原子に結合した水素原子が1個未満では、十分な凝集力が得られず、30個を超える場合には接着特性が低下する傾向がある。シロキサン系架橋剤を用いる場合には、通常、白金触媒が用いられるが、その他種々の触媒を使用することができる。なお、シロキサン系架橋剤を用いる場合には、シリコーンゴムとしてビニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いるが、そのビニル基は、0.0001~0.01モル/100g程度とするのが好ましい。シリコーン系粘着シート5におけるシリコーン系粘着層には充填剤を配合することができる。たとえば、無機系充填剤としては炭酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム、シリカ、ゼオライト、アルミナ、硫酸アルミニウム、ガラスなどの微粒子があげられ、有機系充填剤としては、架橋天然ゴム微粒子、架橋イソプレンゴム微粒子、架橋シリコーンゴム微粒子、セルロースパウダー、コルク粉末などがあげられる。これら充填剤のなかでも架橋シリコーンゴム微粒子が好適に用いられる。架橋シリコーンゴム微粒子はシリコーンオイルを水に微分散させエマルション、水中に分散したオイルをヒドロキシル化により架橋硬化させてゴム状の粒にし、水を除去して製造される。これら架橋シリコーンゴム微粒子としては、たとえば、東レダウコーニングシリコーン株製のトレフィルとして市販されているものを使用することができる。充填剤の形状は特に限定されず球状、針状、球状、中空などの各種形状のものを使用できるが、球状のものが好適に用いられる。充填剤の大きさは限定されないが、シリコーン系粘着層の厚さより小さいものが好適に用いられ、好ましくは0.1μm~100μmであり、通常は0.5μm~10μmである。充填剤の添加量は、前述の通り、シリコーン系粘着剤100重量部に対して0.5~40重量部である。なお、シリコーン系粘着層には、さらに必要に応じて、各種の添加剤を配合することができる。シリコーン系粘着シート5におけるシリコーン系粘着層の形成は、通常、シリコーン系粘着剤と必要に応じて配合される添加剤をトルエン等の溶剤に溶解した溶液を基材に塗布し、次いで加熱、架橋することにより行う。また剥離ライナー上にシリコーン系粘着層を設け、基材に転写する方法等があげられる。シリコーン系粘着シート5を基材を持たないシリコーン系粘着層のみからなる両面粘着シートとする場合は、剥離ライナー上にシリコーン系粘着層を設けて、それをそのまま使用する。基材にシリコーン系粘着層を形成するにあたっては、基材とシリコーン系粘着層との投錨性を向上させるために下塗り剤を使用することもできる。シリコーン系粘着シート5がシリコーン系粘着層のみからなる両面粘着シートの場合、そのシリコーン系粘着層の厚みは15~100μm程度が好ましい。シリコーン系粘着シート5が、基材の両側にシリコーン系粘着層を有する両面粘着シートである場合、板1、2に接着する側のシリコーン系粘着層の厚みは5~50μmが好ましく、基材の厚みは12~50μmが好ましく、治具7A、7B側のシリコーン系粘着層の厚みは5~50μmが好ましい。シリコーン系粘着シート5が、基材の一方の片側にシリコーン系粘着層を有し、基材の他方の片側にシリコーン系粘着剤以外の粘着剤による粘着層を有する両面粘着シートである場合、シリコーン系粘着剤以外の粘着剤には、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤などの各種の粘着剤があげられる。かかる両面粘着シートにおいては、シリコーン系粘着層の厚みは5~50μmが好ましく、基材の厚みは12~50μmが好ましく、シリコーン系粘着剤以外の粘着剤による粘着層の厚みは5~50μmが好ましい。図2はシリコーン系粘着シート5の代わりに多孔質粘着シート6を用い、粘着シート又は硬化性樹脂層3を介して貼り合わされた2枚の板1、2粘着シート又は硬化性樹脂層3を介して2枚の板1、2が貼り合わされた貼付積板4を、それぞれ、第1治具7Aと第2治具7Bに固着した状態を示す。本発明でいう多孔質粘着シートとは、表面にミクロンオーダー以下具体的には1000μm未満、好ましくは750μm以下、より好ましくは500μm以下、さらに好ましくは250μm以下、特に好ましくは100μm以下の多数の凹状陥没孔を有する粘着シートであり、好ましくは、隣接する球状気孔間に連通孔を有する連続気孔構造を有する多孔質体を含み、該多孔質体の表面に形成された平均孔径が20μm以下の開口部が吸盤様に作用して、粘着性を示す多孔質シートである。代表的な構造としては、多孔質体10の単体からなる多孔質粘着シート6図3や、基材20の両側に多孔質体10と多孔質体10を有する多孔質両面粘着シート6図4が挙げられる。多孔質粘着シート6は多孔質体10が板1、2に接着するように使用する。多孔質体10の表面に形成されたミクロンオーダー以下の開口部が吸盤様に作用することから、板1、2の治具側の表面が防汚処理された表面であっても、該防汚処理された表面に多孔質粘着シート6の多孔質体10が強固に接着し、2枚の板1、2は治具に安定に固着すると推測される。なお、多孔質粘着シートを使用する本実施形態においても、2枚の板1,2の少なくとも一方の板を多孔質粘着シートを介して治具に固着すればよく、2枚の板1,2の一方のみを多孔質粘着シートを介して治具に固着する場合、他方の板は、熱剥離性両面粘着シートすなわち、加圧により接着し、接着後に熱を加えることで再剥離性が発現する剥離性感圧接着剤による感圧接着層を形成した両面粘着シート、紫外線硬化型剥離性両面粘着シートすなわち、加圧により接着し、接着後、紫外線照射によって硬化して再剥離性が発現する剥離性感圧接着剤アクリル系、ウレタン系等の接着剤による感圧接着層を支持基材の両面に形成した両面粘着シート等を使用してもよい。また、他方の板は、吸引によって板を吸着する吸着機構を備えた治具を使用し、これら粘着シートと併用若しくはこれら粘着シートを使用せずに、治具に固着してもよい。この場合、2枚の板1、2の一方の板の治具側の表面が防汚処理されている表面であり、他方の板の治具側の表面が防汚処理されていない表面であれば、防汚処理されている表面に対しては、多孔質粘着シート6を用い、防汚処理されていない他方の板と治具との間には、多孔質粘着シート6の代わりに、熱剥離性両面粘着シート、紫外線硬化型剥離性両面粘着シート等を使用したり、吸引によって板を吸着する吸着機構を備えた治具を使用し、これら粘着シートと併用若しくはこれら粘着シートを使用せずに、治具に固着したりすることが好ましい。多孔質粘着シート6に含まれる多孔質体10が有する球状気孔とは、厳密な真球状の気孔でなくてもよく、例えば、部分的にひずみのある略球状の気孔や、大きなひずみを有する空間からなる気孔であってもよい。多孔質粘着シート6に含まれる多孔質体10が有する球状気孔の平均孔径は、ミクロンオーダー以下つまり、1000μm未満であれば特には限定されないが、20μm未満であることが好ましく、より好ましくは15μm以下であり、さらに好ましくは10μm以下である。球状気孔の平均孔径の下限値は特に限定されず、例えば、好ましくは0.01μmであり、より好ましくは0.1μmであり、さらに好ましくは1μmである。該多孔質体10が有する球状気孔の平均孔径が上記範囲内に収まることにより、多孔質粘着シート6は高柔軟性および高耐熱性が発現する。多孔質粘着シート6に含まれる多孔質体10の密度は、好ましくは0.15g/cm3~0.6g/cm3であり、より好ましくは0.15g/cm3~0.5g/cm3であり、さらに好ましくは0.15g/cm3~0.45g/cm3であり、特に好ましくは0.15g/cm3~0.4g/cm3である。多孔質粘着シート6に含まれる多孔質体10の密度が上記範囲内に収まることにより、多孔質粘着シート6は高柔軟性および高耐熱性が発現する。多孔質粘着シート6に含まれる多孔質体10は、隣接する球状気孔間に連通孔を有する連続気孔構造を有していることが好ましい。この連続気孔構造は、多孔質体中の略全ての隣接する球状気孔間に連通孔が形成された連続気孔構造であってもよいし、連通孔の数が比較的少ない半独立半連続気孔構造であってもよい。隣接する球状気孔間に有する連通孔は、多孔質粘着シート6の物性に影響し得る。例えば、連通孔の平均孔径が小さいほど、多孔質粘着シートの強度が高くなる傾向がある。隣接する球状気孔間に有する連通孔の平均孔径は、好ましくは5μm以下であり、より好ましくは4μm以下であり、さらに好ましくは3μm以下である。隣接する球状気孔間に有する連通孔の平均孔径の下限値は特に限定されず、例えば、好ましくは0.001μmであり、より好ましくは0.01μmである。多孔質体における隣接する球状気孔間に有する連通孔の平均孔径が上記範囲内に収まることにより、多孔質体粘着シート6は高柔軟性および高耐熱性が発現する。多孔質粘着シート6は、表面に開口部を有する。該開口部は多孔質体10の表面に形成された開口部に由来する。この開口部の平均孔径は、多孔質体10と同様にミクロンオーダー以下つまり、1000μm未満であれば特には限定されないが、好ましくは20μm未満であり、より好ましくは15μm以下であり、さらに好ましくは10μm以下であり、さらに好ましくは5μm以下であり、特に好ましくは4μm以下であり、最も好ましくは3μm以下である。開口部の平均孔径の下限値は特に限定されず、例えば、好ましくは0.001μmであり、より好ましくは0.01μmである。多孔質粘着シート6が表面開口部を有し、且つ、該表面開口部の平均孔径が上記範囲内に収まることにより、該表面開口部が吸盤様に作用して十分な粘着力を発現する。また、柔軟性が高く、耐熱性が高い、多孔質粘着シートとなる。多孔質粘着シート6は1.0N/cm2以上の常態せん断接着力を有することが好ましい。1.0N/cm2以上の常態せん断接着力であることで、種々の性状の表面に対して十分に高い接着力にて接着する。常態せん断接着力は好ましくは3N/cm2以上であり、より好ましくは5N/cm2以上であり、さらに好ましくは7N/cm2以上であり、特に好ましくは9N/cm2以上であり、最も好ましくは10N/cm2以上である。多孔質粘着シート6の粘着性は、上述のとおり、主に吸盤様の表面開口部に依存するものであり、そのため、引き剥がしによって容易に剥離する。多孔質粘着シート6の180°ピール試験力は好ましくは1N/25mm以下であり、より好ましくは0.8N/25mm以下であり、さらに好ましくは0.5N/25mm以下であり、特に好ましくは0.3N/25mm以下である。180°ピール試験力が上記範囲内に収まることにより、多孔質粘着シート6は、上記のように高い粘着性を示しつつ、極めて容易に剥離することできる。多孔質粘着シート6の50圧縮荷重は特には限定されないが、好ましくは150N/cm2以下であり、より好ましくは120N/cm2以下であり、さらに好ましくは100N/cm2以下であり、特に好ましくは70N/cm2以下であり、最も好ましくは50N/cm2以下である。50圧縮荷重が上記範囲内に収まることにより、多孔質粘着シート6は優れた柔軟性を発現し得る。多孔質粘着シート6に含まれる多孔質体10は、気孔率が、好ましくは30以上であり、より好ましくは40以上、さらに好ましくは50以上である。多孔質粘着シート6において、多孔質体10の気孔率が上記範囲内に収まることにより、十分な粘着力を発現でき、また、高い柔軟性と高い耐熱性を発現できる。多孔質粘着シート6に含まれる多孔質体10は、上述の物性、特性を有していれば、その構成材料は特に限定されない。多孔質粘着シート6が基材20を有する場合、該基材は、例えば、繊維織布、繊維不織布、繊維積層布、繊維編布、樹脂シート、金属箔膜シート、無機繊維などが挙げられる。基材の厚みは、材料や目的に応じて、任意の適切な厚みを採用し得る。繊維織布としては、任意の適切な繊維から形成される織布を採用し得る。このような繊維としては、例えば、植物繊維、動物繊維、鉱物繊維などの天然繊維;再生繊維、合成繊維、半合成繊維、人造無機繊維などの人造繊維;などが挙げられる。合成繊維としては、例えば、熱可塑性繊維を溶融紡糸した繊維などが挙げられる。また、繊維織布は、メッキやスパッタリングなどによってメタリック加工されていてもよい。繊維不織布としては、任意の適切な繊維から形成される不織布を採用し得る。このような繊維としては、例えば、植物繊維、動物繊維、鉱物繊維などの天然繊維;再生繊維、合成繊維、半合成繊維、人造無機繊維などの人造繊維;などが挙げられる。合成繊維としては、例えば、熱可塑性繊維を溶融紡糸した繊維などが挙げられる。また、繊維不織布は、メッキやスパッタリングなどによってメタリック加工されていてもよい。より具体的には、例えば、スパンボンド不織布が挙げられる。繊維積層布としては、任意の適切な繊維から形成される積層布を採用し得る。このような繊維としては、例えば、植物繊維、動物繊維、鉱物繊維などの天然繊維;再生繊維、合成繊維、半合成繊維、人造無機繊維などの人造繊維;などが挙げられる。合成繊維としては、例えば、熱可塑性繊維を溶融紡糸した繊維などが挙げられる。また、繊維積層布は、メッキやスパッタリングなどによってメタリック加工されていてもよい。より具体的には、例えば、ポリエステル繊維積層布が挙げられる。繊維編布としては、例えば、任意の適切な繊維から形成される編布を採用し得る。このような繊維としては、例えば、植物繊維、動物繊維、鉱物繊維などの天然繊維;再生繊維、合成繊維、半合成繊維、人造無機繊維などの人造繊維;などが挙げられる。合成繊維としては、例えば、熱可塑性繊維を溶融紡糸した繊維などが挙げられる。また、繊維編布は、メッキやスパッタリングなどによってメタリック加工されていてもよい。樹脂シートとしては、任意の適切な樹脂から形成されるシートを採用し得る。このような樹脂としては、例えば、熱可塑性樹脂が挙げられる。樹脂シートは、メッキやスパッタリングなどによってメタリック加工されていてもよい。金属箔膜シートとしては、任意の適切な金属の箔膜から形成されるシートを採用し得る。無機繊維としては、任意の適切な無機繊維を採用し得る。このような無機繊維としては、具体的には、例えば、ガラス繊維、金属繊維、炭素繊維などが挙げられる。多孔質粘着シート6において、基材中に空隙が存在する場合、該空隙の一部または全部に多孔質体10と同じ材料が存在していてもよい。基材は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。多孔質粘着シート6は、任意の適切な方法で製造し得る。多孔質体の単体からなる多孔質粘着シートの製法多孔質粘着シートの製造方法としては、例えば、連続的に連続油相成分と水相成分を乳化機に供給してW/O型エマルションを調製し、続いて、得られたW/O型エマルションを重合して含水重合体を製造し、続いて、得られた含水重合体を脱水する、連続法が挙げられる。また、例えば、連続油相成分に対して適当な量の水相成分を乳化機に仕込み、攪拌しながら連続的に水相成分を供給することでW/O型エマルションを調製し、得られたW/O型エマルションを重合して含水重合体を製造し、続いて、得られた含水重合体を脱水する、バッチ法が挙げられる。多孔質粘着シートの製造方法は、W/O型エマルションを連続的に重合する連続重合法は生産効率が高く、重合時間の短縮効果と重合装置の短縮化とを最も有効に利用できるので好ましい方法である。多孔質粘着シートの製造方法は、より具体的には、好ましくは、W/O型エマルションを調製する工程Iと、得られたW/O型エマルションを賦形する工程IIと、賦形されたW/O型エマルションを重合する工程IIIと、得られた含水重合体を脱水する工程IVと、を含む方法であり、ここで、得られたW/O型エマルションを賦形する工程IIと賦形されたW/O型エマルションを重合する工程IIIとは少なくとも一部を同時に行ってもよい。[W/O型エマルションを調製する工程I]多孔質体10を得るために用い得るW/O型エマルションは、連続油相成分と該連続油相成分と不混和性の水相成分を含むW/O型エマルションである。W/O型エマルションは、より具体的に説明すると、連続油相成分中に水相成分が分散したものである。W/O型エマルションにおける、水相成分と連続油相成分との比率は、W/O型エマルションを形成し得る範囲で任意の適切な比率を採り得る。水相成分と連続油相成分との比率は、該W/O型エマルションの重合によって得られる多孔質体の構造的、機械的、および性能的特性を決定する上で重要な因子となり得る。具体的には、水相成分と連続油相成分との比率は、該W/O型エマルションの重合によって得られる多孔質体の密度、気孔サイズ、気孔構造、および多孔構造を形成する壁体の寸法などを決定する上で重要な因子となり得る。W/O型エマルション中の水相成分の比率は、下限値として、好ましくは30重量であり、より好ましくは40重量であり、さらに好ましくは50重量であり、特に好ましくは55重量であり、上限値として、好ましくは95重量であり、より好ましくは90重量であり、さらに好ましくは85重量であり、特に好ましくは80重量である。W/O型エマルション中の水相成分の比率が上記範囲内にあれば、本発明の効果を十分に発現し得る。W/O型エマルションは、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な添加剤が含まれ得る。このような添加剤としては、例えば、粘着付与樹脂;タルク;炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸やその塩類、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、亜鉛華、ベントナイン、カーボンブラック、シリカ、アルミナ、アルミニウムシリケート、アセチレンブラック、アルミニウム粉などの充填剤;顔料;染料;などが挙げられる。このような添加剤は、1種のみ含まれていても良いし、2種以上が含まれていてもよい。W/O型エマルションの調製は、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、連続油相成分と水相成分を連続的に乳化機に供給することでW/O型エマルションを形成する連続法や、連続油相成分に対して適当な量の水相成分を乳化機に仕込み、攪拌しながら連続的に水相成分を供給することでW/O型エマルションを形成するバッチ法などが挙げられる。W/O型エマルションの調製の際、エマルション状態を得るための剪断手段としては、例えば、ローターステーターミキサー、ホモジナイザー、ミクロ流動化装置などを用いた高剪断条件の適用が挙げられる。また、エマルション状態を得るための別の剪断手段としては、例えば、動翼ミキサーまたはピンミキサーを使用した振盪、電磁撹拌棒などを用いた低剪断条件の適用による連続および分散相の穏やかな混合が挙げられる。連続法によってW/O型エマルションを調製するための装置としては、例えば、静的ミキサー、ローターステーターミキサー、ピンミキサーなどが挙げられる。撹拌速度を上げることで、または、混合方法でW/O型エマルション中に水相成分をより微細に分散するようデザインされた装置を使用することで、より激しい撹拌を達成してもよい。バッチ法によってW/O型エマルションを調製するための装置としては、例えば、手動での混合や振盪、被動動翼ミキサー、3枚プロペラ混合羽根などが挙げられる。連続油相成分を調製する方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。連続油相成分を調製する方法としては、代表的には、例えば、親水性ポリウレタン系重合体とエチレン性不飽和モノマーを含む混合シロップを調製し、続いて、該混合シロップに、重合開始剤、架橋剤、その他の任意の適切な成分を配合し、連続油相成分を調製することが好ましい。親水性ポリウレタン系重合体を調製する方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。親水性ポリウレタン系重合体を調製する方法としては、代表的には、例えば、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールとジイソシアネート化合物とをウレタン反応触媒の存在下で反応させることにより得られる。<水相成分>水相成分としては、実質的に連続油相成分と不混和性のあらゆる水性流体を採用し得る。取り扱いやすさや低コストの観点から、好ましくは、イオン交換水などの水である。水相成分には、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な添加剤が含まれ得る。このような添加剤としては、例えば、重合開始剤、水溶性の塩などが挙げられる。水溶性の塩は、W/O型エマルションをより安定化させるために有効な添加剤となり得る。このような水溶性の塩としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カルシウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カルシウム、リン酸カリウム、塩化ナトリウム、塩化カリウムなどが挙げられる。このような添加剤は、1種のみ含まれていてもよいし、2種以上が含まれていても良い。水相成分に含まれ得る添加剤は、1種のみでもよいし、2種以上でもよい。<連続油相成分>連続油相成分は、好ましくは、親水性ポリウレタン系重合体とエチレン性不飽和モノマーを含む。連続油相成分中の親水性ポリウレタン系重合体およびエチレン性不飽和モノマーの含有割合は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な含有割合を採り得る。親水性ポリウレタン系重合体は、該親水性ポリウレタン系重合体を構成するポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール単位中のポリオキシエチレン比率、または、配合する水相成分量にもよるが、例えば、好ましくは、エチレン性不飽和モノマー70~90重量部に対して親水性ポリウレタン系重合体が10~30重量部の範囲であり、より好ましくは、エチレン性不飽和モノマー75~90重量部に対して親水性ポリウレタン系重合体が10~25重量部の範囲である。また、例えば、水相成分100重量部に対し、好ましくは、親水性ポリウレタン系重合体が1~30重量部の範囲であり、より好ましくは、親水性ポリウレタン系重合体が1~25重量部の範囲である。親水性ポリウレタン系重合体の含有割合が上記範囲内にあれば、本発明の効果を十分に発現し得る。親水性ポリウレタン系重合体親水性ポリウレタン系重合体は、好ましくは、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール由来のポリオキシエチレンポリオキシプロピレン単位を含み、該ポリオキシエチレンポリオキシプロピレン単位中の5重量~25重量がポリオキシエチレンである。上記ポリオキシエチレンポリオキシプロピレン単位中のポリオキシエチレンの含有割合は、上記のように、好ましくは5重量~25重量であり、下限値として、より好ましくは10重量であり、上限値として、より好ましくは25重量であり、さらに好ましくは20重量である。上記ポリオキシエチレンポリオキシプロピレン単位中のポリオキシエチレンは、連続油相成分中に水相成分を安定に分散させる効果を発現するものである。上記ポリオキシエチレンポリオキシプロピレン単位中のポリオキシエチレンの含有割合が5重量未満の場合、連続油相成分中に水相成分を安定に分散させることが困難になるおそれがある。上記ポリオキシエチレンポリオキシプロピレン単位中のポリオキシエチレンの含有割合が25重量を超える場合、HIPE条件に近づくにつれてW/O型エマルションからO/W型水中油型エマルションに転相するおそれがある。従来の親水性ポリウレタン系重合体は、ジイソシアネート化合物と疎水性長鎖ジオール、ポリオキシエチレングリコールならびにその誘導体、低分子活性水素化合物鎖伸長剤を反応させることによって得られるが、このような方法で得られる親水性ポリウレタン系重合体中に含まれるポリオキシエチレン基の数は不均一であるため、このような親水性ポリウレタン系重合体を含むW/O型エマルションは乳化安定性が低下するおそれがある。一方、本発明の多孔質粘着シートを得るために用い得るW/O型エマルションの連続油相成分に含まれる親水性ポリウレタン系重合体は、上記のような特徴的な構造を有することにより、W/O型エマルションの連続油相成分に含ませた場合に、乳化剤等を積極的に添加せずとも、優れた乳化性および優れた静置保存安定性を発現することができる。親水性ポリウレタン系重合体は、好ましくは、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールとジイソシアネート化合物とを反応させることにより得られる。この場合、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールとジイソシアネート化合物との比率は、NCO/OH当量比で、下限値として、好ましくは1であり、より好ましくは1.2であり、さらに好ましくは1.4であり、特に好ましくは1.6であり、上限値として、好ましくは3であり、より好ましくは2.5であり、さらに好ましくは2である。NCO/OH当量比が1未満の場合は、親水性ポリウレタン系重合体を製造する際にゲル化物が生成しやすくなるおそれがある。NCO/OH当量比が3を超える場合は、残存ジイソシアネート化合物が多くなってしまい、本発明の多孔質粘着シートを得るために用い得るW/O型エマルションが不安定になるおそれがある。ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールとしては、例えば、ADEKA株式会社製のポリエーテルポリオールアデカ登録商標プルロニックL-31、L-61、L-71、L-101、L-121、L-42、L-62、L-72、L-122、25R-1、25R-2、17R-2や、日本油脂株式会社製のポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールプロノン登録商標052、102、202などが挙げられる。ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールは、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。ジイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族、脂肪族、脂環族のジイソシアネート、これらのジイソシアネートの二量体や三量体、ポリフェニルメタンポリイソシアネートなどが挙げられる。芳香族、脂肪族、脂環族のジイソシアネートとしては、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5-ナフチレンジイソシアネート、1,3-フェニレンジイソシアネート、1,4-フェニレンジイソシアネート、ブタン-1,4-ジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、シクロヘキサン-1,4-ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン-4,4-ジイソシアネート、1,3-ビスイソシアネートメチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、m-テトラメチルキシリレンジイソシアネートなどが挙げられる。ジイソシアネートの三量体としては、イソシアヌレート型、ビューレット型、アロファネート型等が挙げられる。ジイソシアネート化合物は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。ジイソシアネート化合物は、ポリオールとのウレタン反応性などの観点から、その種類や組み合わせ等を適宜選択すればよい。ポリオールとの速やかなウレタン反応性や水との反応の抑制などの観点からは、脂環族ジイソシアネートを使用することが好ましい。親水性ポリウレタン系重合体の重量平均分子量は、下限値として、好ましくは5000であり、より好ましくは7000であり、さらに好ましくは8000であり、特に好ましくは10000であり、上限値として、好ましくは50000であり、より好ましくは40000であり、さらに好ましくは30000であり、特に好ましくは20000である。親水性ポリウレタン系重合体は、末端にラジカル重合可能な不飽和二重結合を有していても良い。親水性ポリウレタン系重合体の末端にラジカル重合可能な不飽和二重結合を有することにより、本発明の効果がより一層発現され得る。エチレン性不飽和モノマーエチレン性不飽和モノマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーであれば、任意の適切なモノマーを採用し得る。エチレン性不飽和モノマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。エチレン性不飽和モノマーは、好ましくは、メタアクリル酸エステルを含む。エチレン性不飽和モノマー中のメタアクリル酸エステルの含有割合は、下限値として、好ましくは80重量であり、より好ましくは85重量であり、上限値として、好ましくは100重量であり、より好ましくは98重量である。メタアクリル酸エステルは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。メタアクリル酸エステルとしては、好ましくは、炭素数が1~20のアルキル基シクロアルキル基、アルキルシクロアルキル基、シクロアルキルアルキル基も含む概念を有するアルキルメタアクリレートである。上記アルキル基の炭素数は、好ましくは4~18である。なお、メタアクリルとは、アクリルおよび/またはメタクリルの意味であり、メタアクリレートとは、アクリレートおよび/またはメタクリレートの意味である。炭素数が1~20のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートとしては、例えば、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、プロピルメタアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、s-ブチルメタアクリレート、t-ブチルメタアクリレート、イソブチルメタアクリレート、n-ペンチルメタアクリレート、イソペンチルメタアクリレート、へキシルメタアクリレート、ヘプチルメタアクリレート、イソアミルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、n-オクチルメタアクリレート、イソオクチルメタアクリレート、n-ノニルメタアクリレート、イソノニルメタアクリレート、n-デシルメタアクリレート、イソデシルメタアクリレート、n-ドデシルメタアクリレート、イソミリスチルメタアクリレート、n-トリデシルメタアクリレート、n-テトラデシルメタアクリレート、ステアリルメタアクリレート、ラウリルメタアクリレート、ペンタデシルメタアクリレート、ヘキサデシルメタアクリレート、ヘプタデシルメタアクリレート、オクタデシルメタアクリレート、ノナデシルメタアクリレート、エイコシルメタアクリレート、イソステアリルメタアクリレートなどが挙げられる。これらの中でも、n-ブチルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレートが好ましい。炭素数が1~20のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。エチレン性不飽和モノマーは、好ましくは、メタアクリル酸エステルと共重合可能な極性モノマーをさらに含む。エチレン性不飽和モノマー中の極性モノマーの含有割合は、下限値として、好ましくは0重量であり、より好ましくは2重量であり、上限値として、好ましくは20重量であり、より好ましくは15重量である。極性モノマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。極性モノマーとしては、例えば、メタアクリル酸、カルボキシエチルメタアクリレート、カルボキシペンチルメタアクリレート、ωカルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー;メタアクリル酸2-ヒドロキシエチル、メタアクリル酸2-ヒドロキシプロピル、メタアクリル酸4-ヒドロキシブチル、メタアクリル酸6-ヒドロキシヘキシル、メタアクリル酸8-ヒドロキシオクチル、メタアクリル酸10-ヒドロキシデシル、メタアクリル酸12-ヒドロキシラウリル、4-ヒドロキシメチルシクロヘキシルメチルメタアクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー;N,N-ジメチルメタアクリルアミド、N,N-ジエチルメタアクリルアミドなどのアミド基含有モノマー;などが挙げられる。重合開始剤連続油相成分には、好ましくは、重合開始剤が含まれる。重合開始剤としては、例えば、ラジカル重合開始剤、レドックス重合開始剤などが挙げられる。ラジカル重合開始剤としては、例えば、熱重合開始剤、光重合開始剤が挙げられる。熱重合開始剤としては、例えば、アゾ化合物、過酸化物、ペルオキシ炭酸、ペルオキシカルボン酸、過硫酸カリウム、t-ブチルペルオキシイソブチレート、2,2’-アゾビスイソブチロニトリルなどが挙げられる。光重合開始剤としては、例えば、4-2-ヒドロキシエトキシフェニル2-ヒドロキシ-2-プロピルケトン例として、チバジャパン社製、商品名;ダロキュア-2959、α-ヒドロキシ-α,α’-ジメチルアセトフェノン例として、チバジャパン社製、商品名;ダロキュア-1173、メトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン例として、チバジャパン社製、商品名;イルガキュア-651、2-ヒドロキシ-2-シクロヘキシルアセトフェノン例として、チバジャパン社製、商品名;イルガキュア-184などのアセトフェノン系光重合開始剤;ベンジルジメチルケタールなどのケタール系光重合開始剤;その他のハロゲン化ケトン;アシルフォスフィンオキサイド例として、チバジャパン社製、商品名;イルガキュア-819;などを挙げることができる。重合開始剤は、1種のみを含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。重合開始剤の含有割合は、連続油相成分全体に対し、下限値として、好ましくは0.05重量であり、より好ましくは0.1重量であり、上限値として、好ましくは5.0重量であり、より好ましくは1.0重量である。重合開始剤の含有割合が連続油相成分全体に対して0.05重量未満の場合には、未反応のモノマー成分が多くなり、得られる多孔質体中の残存モノマー量が増加するおそれがある。重合開始剤の含有割合が連続油相成分全体に対して5.0重量を超える場合には、得られる多孔質体の機械的物性が低下するおそれがある。なお、光重合開始剤によるラジカル発生量は、照射する光の種類や強度や照射時間、モノマーおよび溶剤混合物中の溶存酸素量などによっても変化する。そして、溶存酸素が多い場合には、光重合開始剤によるラジカル発生量が抑制され、重合が十分に進行せず、未反応物が多くなることがある。したがって、光照射の前に、反応系中に窒素等の不活性ガスを吹き込み、酸素を不活性ガスで置換して、または、減圧処理によって脱気しておくことが好ましい。架橋剤連続油相成分には、好ましくは、架橋剤が含まれる。架橋剤は、典型的には、ポリマー鎖同士を連結して、より三次元的な分子構造を構築するために用いられる。架橋剤の種類と含有量の選択は、得られる多孔質粘着シートに所望される構造的特性、機械的特性、および流体処理特性に左右される。架橋剤の具体的な種類および含有量の選択は、多孔質粘着シートの構造的特性、機械的特性、および流体処理特性の望ましい組み合わせを実現する上で重要となる。多孔質粘着シート多孔質体10を製造する上では、好ましくは、架橋剤として、重量平均分子量の異なる少なくとも2種類の架橋剤を用いる。より好ましくは、架橋剤として、重量平均分子量が800以上である多官能メタアクリレート、多官能メタアクリルアミド、および重合反応性オリゴマーから選ばれる1種以上と重量平均分子量が500以下である多官能メタアクリレートおよび多官能メタアクリルアミドから選ばれる1種以上とを併用する。ここで、多官能メタアクリレートとは、具体的には、1分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和基を有する多官能メタアクリレートであり、多官能メタアクリルアミドとは、具体的には、1分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和基を有する多官能メタアクリルアミドである。多官能メタアクリレートとしては、ジアクリレート類、トリアクリレート類、テトラアクリレート類、ジメタクリレート類、トリメタクリレート類、テトラメタクリレート類などが挙げられる。多官能メタアクリルアミドとしては、ジアクリルアミド類、トリアクリルアミド類、テトラアクリルアミド類、ジメタクリルアミド類、トリメタクリルアミド類、テトラメタクリルアミド類などが挙げられる。多官能メタアクリレートは、例えば、ジオール類、トリオール類、テトラオール類、ビスフェノールA類などから誘導できる。具体的には、例えば、1,10-デカンジオール、1,8-オクタンジオール、1,6ヘキサン-ジオール、1,4-ブタンジオール、1,3-ブタンジオール、1,4ブタン-2-エンジオール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリメチロールプロパン、ペンタエリトリトール、ヒドロキノン、カテコール、レゾルシノール、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ソルビトール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ビスフェノールAプロピレンオキサイド変性物などから誘導できる。多官能メタアクリルアミドは、例えば、対応するジアミン類、トリアミン類、テトラアミン類などから誘導できる。重合反応性オリゴマーとしては、ウレタンメタアクリレート、エポキシメタアクリレート、コポリエステルメタアクリレート、オリゴマージメタアクリレートなどが挙げられる。好ましくは、疎水性ウレタンメタアクリレートである。重合反応性オリゴマーの重量平均分子量は、好ましくは1500以上、より好ましくは2000以上である。重合反応性オリゴマーの重量平均分子量の上限は特に限定されないが、例えば、好ましくは10000以下である。架橋剤として、重量平均分子量が800以上である多官能メタアクリレート、多官能メタアクリルアミド、および重合反応性オリゴマーから選ばれる1種以上と重量平均分子量が500以下である多官能メタアクリレートおよび多官能メタアクリルアミドから選ばれる1種以上とを併用する場合、重量平均分子量が800以上である多官能メタアクリレート、多官能メタアクリルアミド、および重合反応性オリゴマーから選ばれる1種以上の使用量は、連続油相成分中の親水性ポリウレタン系重合体およびエチレン性不飽和モノマーの合計量に対して、下限値として、好ましくは40重量であり、上限値として、好ましくは100重量であり、より好ましくは80重量である。重量平均分子量が800以上である多官能メタアクリレート、多官能メタアクリルアミド、および重合反応性オリゴマーから選ばれる1種以上の使用量が連続油相成分中の親水性ポリウレタン系重合体およびエチレン性不飽和モノマーの合計量に対して40重量未満の場合、得られる多孔質粘着シートの凝集力が低下してしまうおそれがあり、じん性と柔軟性の両立が困難になるおそれがある。重量平均分子量が800以上である多官能メタアクリレート、多官能メタアクリルアミド、および重合反応性オリゴマーから選ばれる1種以上の使用量が連続油相成分中の親水性ポリウレタン系重合体およびエチレン性不飽和モノマーの合計量に対して100重量を超える場合、W/O型エマルションは乳化安定性が低下してしまい、所望の多孔質粘着シート多孔質体10が得られないおそれがある。架橋剤として、重量平均分子量が800以上である多官能メタアクリレート、多官能メタアクリルアミド、および重合反応性オリゴマーから選ばれる1種以上と重量平均分子量が500以下である多官能メタアクリレートおよび多官能メタアクリルアミドから選ばれる1種以上とを併用する場合、重量平均分子量が500以下である多官能メタアクリレートおよび多官能メタアクリルアミドから選ばれる1種以上の使用量は、連続油相成分中の親水性ポリウレタン系重合体およびエチレン性不飽和モノマーの合計量に対して、下限値として、好ましくは1重量であり、より好ましくは5重量であり、上限値として、好ましくは30重量であり、より好ましくは20重量である。重量平均分子量が500以下である多官能メタアクリレートおよび多官能メタアクリルアミドから選ばれる1種以上の使用量が連続油相成分中の親水性ポリウレタン系重合体およびエチレン性不飽和モノマーの合計量に対して1重量未満の場合、耐熱性が低下してしまい、含水重合体を脱水する工程IVにおいて収縮によって気孔構造が潰れてしまうおそれがある。重量平均分子量が500以下である多官能メタアクリレートおよび多官能メタアクリルアミドから選ばれる1種以上の使用量が連続油相成分中の親水性ポリウレタン系重合体およびエチレン性不飽和モノマーの合計量に対して30重量を超える場合、得られる多孔質粘着シートのじん性が低下してしまい、脆性を示してしまうおそれがある。架橋剤は、1種のみを含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。連続油相成分中のその他の成分連続油相成分には、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なその他の成分が含まれ得る。このようなその他の成分としては、代表的には、好ましくは、触媒、酸化防止剤、有機溶媒などが挙げられる。このようなその他の成分は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。触媒としては、例えば、ウレタン反応触媒が挙げられる。ウレタン反応触媒としては、任意の適切な触媒を採用し得る。具体的には、例えば、ジブチル錫ジラウリレートが挙げられる。触媒の含有割合は、目的とする触媒反応に応じて、任意の適切な含有割合を採用し得る。触媒は、1種のみを含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。酸化防止剤としては、例えば、フェノール系酸化防止剤、チオエーテル系酸化防止剤、リン系酸化防止剤などが挙げられる。酸化防止剤の含有割合は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な含有割合を採用し得る。酸化防止剤は、1種のみを含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。有機溶媒としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な有機溶媒を採用し得る。有機溶媒の含有割合は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な含有割合を採用し得る。有機溶媒は、1種のみを含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。[W/O型エマルションを賦形する工程II]工程IIにおいて、W/O型エマルションを賦形する方法としては、任意の適切な賦形方法を採用し得る。例えば、走行するベルト上にW/O型エマルションを連続的に供給し、ベルトの上で平滑なシート状に賦形する方法が挙げられる。また、熱可塑性樹脂フィルムの一面に塗工して賦形する方法が挙げられる。工程IIにおいて、W/O型エマルションを賦形する方法として、熱可塑性樹脂フィルムの一面に塗工して賦形する方法を採用する場合、塗工する方法としては、例えば、ロールコーター、ダイコーター、ナイフコーターなどを用いる方法が挙げられる。[賦形されたW/O型エマルションを重合する工程III]工程IIIにおいて、賦形されたW/O型エマルションを重合する方法としては、任意の適切な重合方法を採用し得る。例えば、加熱装置によってベルトコンベアーのベルト表面が加温される構造の、走行するベルト上にW/O型エマルションを連続的に供給し、ベルトの上で平滑なシート状に賦形しつつ加熱によって重合する方法や、活性エネルギー線の照射によってベルトコンベアーのベルト表面が加温される構造の、走行するベルト上にW/O型エマルションを連続的に供給し、ベルトの上で平滑なシート状に賦形しつつ活性エネルギー線の照射によって重合する方法が挙げられる。加熱によって重合する場合、重合温度加熱温度は、下限値として、好ましくは23°Cであり、より好ましくは50°Cであり、さらに好ましくは70°Cであり、特に好ましくは80°Cであり、最も好ましくは90°Cであり、上限値としては、好ましくは150°Cであり、より好ましくは130°Cであり、さらに好ましくは110°Cである。重合温度が23°C未満の場合は、重合に長時間を要し、工業的な生産性が低下するおそれがある。重合温度が150°Cを越える場合は、得られる多孔質粘着シートの孔径が不均一となるおそれや、多孔質粘着シート多孔質体10の強度が低下するおそれがある。なお、重合温度は、一定である必要はなく、例えば、重合中に2段階や多段階で変動させてもよい。活性エネルギー線の照射によって重合する場合、活性エネルギー線としては、例えば、紫外線、可視光線、電子線などが挙げられる。活性エネルギー線としては、好ましくは、紫外線、可視光線であり、より好ましくは、波長が200nm~800nmの可視~紫外の光である。W/O型エマルションは光を散乱させる傾向が強いため、波長が200nm~800nmの可視~紫外の光を用いればW/O型エマルションに光を貫通させることができる。また、200nm~800nmの波長で活性化できる光重合開始剤は入手しやすく、光源が入手しやすい。活性エネルギー線の波長は、下限値として、好ましくは200nmであり、より好ましくは300nmであり、上限値として、好ましくは800nmであり、より好ましくは450nmである。活性エネルギー線の照射に用いられる代表的な装置としては、例えば、紫外線照射を行うことができる紫外線ランプとして、波長300~400nm領域にスペクトル分布を持つ装置が挙げられ、その例としては、ケミカルランプ、ブラックライト東芝ライテック株製の商品名、メタルハライドランプなどが挙げられる。活性エネルギー線の照射を行う際の照度は、照射装置から被照射物までの距離や電圧の調節によって、任意の適切な照度に設定され得る。例えば、特開200313015号公報に開示された方法によって、各工程における紫外線照射をそれぞれ複数段階に分割して行い、それにより粘着性能を精密に調節することができる。紫外線照射は、重合禁止作用のある酸素が及ぼす悪影響を防ぐために、例えば、熱可塑性樹脂フィルム等の基材の一面にW/O型エマルションを塗工して賦形した後に不活性ガス雰囲気下で行うことや、熱可塑性樹脂フィルム等の基材の一面にW/O型エマルションを塗工して賦形した後にシリコーン等の剥離剤をコートしたポリエチレンテレフタレート等の紫外線は通過するが酸素を遮断するフィルムを被覆させて行うことが好ましい。熱可塑性樹脂フィルムとしては、一面にW/O型エマルションを塗工して賦形できるものであれば、任意の適切な熱可塑性樹脂フィルムを採用し得る。熱可塑性樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエステル、オレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニルなどのプラスチックフィルムやシートが挙げられる。不活性ガス雰囲気とは、光照射ゾーン中の酸素を不活性ガスにより置換した雰囲気をいう。したがって、不活性ガス雰囲気においては、できるだけ酸素が存在しないことが必要であり、酸素濃度で5000ppm以下であることが好ましい。[得られた含水重合体を脱水する工程IV]工程IVでは、得られた含水重合体を脱水する。工程IIIで得られた含水重合体中には水相成分が分散状態で存在する。この水相成分を脱水により除去して乾燥することにより、本発明の多孔質粘着シートに含まれる多孔質体が得られる。得られた多孔質体は、そのまま本発明の多孔質粘着シートとなり得る。また、後述するように、基材と組み合わせることによって、本発明の多孔質粘着シートとなり得る。工程IVにおける脱水方法としては、任意の適切な乾燥方法を採用し得る。このような乾燥方法としては、例えば、真空乾燥、凍結乾燥、圧搾乾燥、電子レンジ乾燥、熱オーブン内での乾燥、赤外線による乾燥、またはこれらの技術の組み合わせ、などが挙げられる。多孔質粘着シートが基材を含有する場合多孔質粘着シートが基材を含有する場合、多孔質粘着シートの製造方法の好ましい実施形態の一つとして、W/O型エマルションを基材の一面に塗工し、不活性ガス雰囲気下あるいはシリコーン等の剥離剤をコートした紫外線透過性のフィルムにより被覆して酸素が遮断された状態において、加熱または活性エネルギー線の照射を行うことによってW/O型エマルションを重合させて含水重合体とし、得られた含水重合体を脱水することで、基材/発泡層の積層構造を有する多孔質粘着シートとする形態が挙げられる。多孔質粘着シートの製造方法の好ましい別の実施形態の一つとして、W/O型エマルションをシリコーン等の剥離剤をコートした紫外線透過性のフィルムの一面に塗布したものを2枚準備し、該2枚のうちの1枚のW/O型エマルション塗布シートの塗布面に基材を積層し、積層した該基材の他方の面に、もう1枚のW/O型エマルション塗布シートの塗布面を合わせるように積層した状態において、加熱または活性エネルギー線の照射を行うことによってW/O型エマルションを重合させて含水重合体とし、得られた含水重合体を脱水することで、発泡層/基材/発泡層の積層構造を有する多孔質粘着シートとする形態が挙げられる。W/O型エマルションを基材またはシリコーン等の剥離剤をコートした紫外線透過性のフィルムの一面に塗工する方法としては、例えば、ロールコーター、ダイコーター、ナイフコーターなどが挙げられる。前述の図1、2に示す例では、第1治具7Aおよび第2治具7Bの両方の治具における板1、2への対向面の板が固着される部分すなわち、治具の板が固着させる被固着部の全体にシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6に貼り付けて、当該被固着部の全体をシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートの粘着面としているが、当該被固着部の全体をシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6の粘着面にせずとも治具によって板を安定に保持できる場合は、当該被固着部に部分的にシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6を貼り付けて、当該被固着部を部分的にシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートの粘着面にするようにしてもよい。また、前述の図1、2に示す例では、治具における板の固着保持をシリコーン系粘着シートまたは多孔質粘着シートによる板の接着によって行っているが、図5は治具における板の固着保持をシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6と吸引による板の吸着との両手段にて行う態様を示している。すなわち、図5は第1治具7Aおよび第2治具7Bの板への対向面の平面図であり、該対向面に貼り付けたシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6には部分的に貫孔8が形成され、シリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6の貫孔8の内側に板を吸引により吸着する吸着部9が設けられている。なお、図中の一点鎖線で囲む領域Aは、板が固着させる領域を示している。このように、板の固着保持をシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6と吸引による板の吸着との両手段で行う場合、吸引による吸着手段の吸引を中止、若しくはエアー等の気体を流すことにより、剥離後の板を治具から容易に取り外すことができるため、剥離後の板を破損させずに回収し易い点で有利である。なお、前述の図1、2に示す例、および、上記の図5に示す本第1工程では、第1治具7Aおよび第2治具7Bの両方における板の固着にシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6を利用しているが、一方の板に対しては、治具の板が固着される被固着部を、熱剥離性両面粘着シートや紫外線硬化型剥離性両面粘着シート等の粘着面にて構成してもよいし、吸着機構のみで板を固着する治具にて固着してもよい。この場合、2枚の板1、2の一方の板の治具側の表面が防汚処理されている表面であり、他方の板の治具側の表面が防汚処理されていない表面であれば、防汚処理されている表面に対しては、シリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6を用い、防汚処理されていない他方の板と治具との間には、シリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6の代わりに、熱剥離性両面粘着シート、紫外線硬化型剥離性両面粘着シート等を使用したり、吸引によって板を吸着する吸着機構を備えた治具を使用して、粘着シートと併用若しくはこれら粘着シートを使用せずに、治具に固着したりすることが好ましい。本第1工程では、粘着シート又は硬化性樹脂層3を介して貼り合わされた2枚の板1、2の少なくとも一方が、治具側の表面が防汚処理された板であっても、かかる板にシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6が強固に接着し、2枚の板1、2を治具に安定に固着することができる。≪第2工程≫第2工程では、第1治具7Aおよび第2治具7Bの少なくとも一方を移動させることで、粘着シート又は硬化性樹脂層3を介して貼り合わされた2枚の板1、2の間に介在する粘着シート又は硬化性樹脂層3に破断に至るせん断応力を生じさせて、2枚の板1、2を剥離する。ここで、第1治具7Aおよび第2治具7Bの少なくとも一方を移動させるとは、粘着シート又は硬化性樹脂層3を介して貼り合わされた2枚の板1、2の対向する面の離間距離を実質的に一定に保ったまま、2枚の板1、2の少なくとも一方が移動するように、第1治具7Aおよび/または第2治具7Bを移動させることである。特に、2枚の板1、2のそれぞれの平面内に特定した互いに平行な仮想直線がねじれ位置の関係となるように、第1治具7Aおよび/または第2治具7Bを移動させることにより、容易に、粘着シート又は硬化性樹脂層に破断に至るせん断応力を生じせしめることができる。このように2枚の板1、2の間に介在する粘着シート又は硬化性樹脂層3に破断に至るせん断応力を生じさせて2枚の板1、2を剥離すると、2枚の板1、2に対して板の厚み方向に大きな変形歪みが生じるような力負荷が実質的に加わることなく、板が薄厚で比較的剛性が高く、外力を受けることで割れや破損が生じやすい板であっても、割れや破損を生じさせることなく、板を剥離することができる。なお、防汚処理された表面を有する板であっても吸引保持でき、2枚の板を吸引保持して剥離作業を行なうことができるが、板が薄厚で柔軟性に乏しい板の場合、板に吸引による負荷が加わって歪みを生じ、剥離後の板の品質劣化が顕在化してしまう。≪第3工程≫第3工程では、剥離後の2枚の板1、2を第1治具7Aおよび第2治具7Bからそれぞれ脱離する。シリコーン系粘着シート5および多孔質粘着シート6はその端部から引き剥がしによって簡単に剥離できる再剥離性を有しているため、治具の板に対する対向面に貼り付けたシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6をその端部から引き剥がすことで、シリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6とともに板1、2は治具から簡単に脱離することができる。その後、板1、2からシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6を剥離し、板1、2に付着した粘着シート又は硬化性樹脂層3の残存物を溶剤で洗浄除去することで、2枚の板1、2が再利用可能に再生される。尚、上述したようにシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6とともに板1、2を治具から脱離する代わりに、板1、2を、治具に固定されたシリコーン系粘着シート5または多孔質粘着シート6から直接引き剥がし、板1、2に付着した粘着シート又は硬化性樹脂層3の残存物を溶剤で洗浄除去することで、2枚の板1、2が再利用可能に再生してもよい。本発明方法で剥離した板に付着する粘着シートの残存物や硬化性樹脂層の残存物は溶剤で洗浄除去するが、溶剤は粘着シートの種類および板の材質等に応じて適当なものが選択される。例えば、アクリル系粘着シートの場合、イソプロピルアルコール等のアルコール系溶剤が好適であり、その他、ケトン系アセトン、メチルエチルケトンなど、エーテル系テトラヒドロフラン、エチレングリコールジエチルエーテルなど、エステル類酢酸メチル、酢酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、グリコールジアセテート等も使用できる。ポリオキシアルキレン系透明粘着シートの場合、例えば、イソプロピルアルコール等のアルコール系溶剤が好適であり、その他、ケトン系アセトン、メチルエチルケトンなど、エーテル系テトラヒドロフラン、エチレングリコールジエチルエーテルなど、エステル類酢酸メチル、酢酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、グリコールジアセテート等なども使用できる。以下、実施例および比較例を示して、本発明をより具体的に説明する。なお、以下で部、とあるのはいずれも重量基準である。実施例1<多孔質粘着シートAの作製>混合シロップ1の調製冷却管、温度計、および攪拌装置を備えた反応容器に、エチレン性不飽和モノマーとしてアクリル酸2-エチルヘキシル東亜合成株製、以下2EHAと略すからなるモノマー溶液173.2重量部と、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールとしてアデカ登録商標プルロニックL-62分子量2500、ADEKA株製、ポリエーテルポリオール100重量部と、ウレタン反応触媒としてジブチル錫ジラウレートキシダ化学株製、以下DBTLと略す0.014重量部とを投入し、攪拌しながら、水素化キシリレンジイソシアネート武田薬品株製、タケネート600、以下HXDIと略す12.4重量部を滴下し、65°Cで4時間反応させた。なお、ポリイソシアネート成分とポリオール成分の使用量は、NCO/OH当量比=1.6であった。その後、2-ヒドロキシエチルアクリレートキシダ化学株製、以下HEAと略す5.6重量部を滴下し、65°Cで2時間反応させ、両末端にアクリロイル基を有する親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップを得た。得られた親水性ポリウレタン系重合体の重量平均分子量は1.5万であった。得られた親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップ100重量部に対して2EHAを79.1重量部、イソボルニルアクリレート大阪有機化学工業株製、以下IBXAと略すを17.6重量部、極性モノマーとしてアクリル酸東亜合成社製、以下、AAと略す10.5重量部を加え、親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップ1とした。得られた親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップ1の100重量部に、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート新中村化学工業社製、商品名NKエステルA-HD-N分子量22611.9重量部、反応性オリゴマーとして、ポリテトラメチレングリコール以下、PTMGと略すとイソホロンジイソシアネート以下、IPDIと略すから合成されるポリウレタンの両末端がHEAで処理された、両末端にエチレン性不飽和基を有するウレタンアクリレート以下、UAと略す分子量372047.7重量部、ジフェニル2,4,6-トリメチルベンゾイルフォスフィンオキサイドBASF社製、商品名ルシリンTPO0.5重量部、ヒンダードフェノール系酸化防止剤チバジャパン社製、商品名イルガノックス10101.0重量部を均一混合し、連続油相成分以下、油相と称するとした。一方、上記油相100重量部に対して水相成分以下、水相と称するとしてイオン交換水300重量部を常温下、上記油相を仕込んだ乳化機である攪拌混合機内に連続的に滴下供給し、安定なW/O型エマルションを調製した。なお、水相と油相の重量比は75/25であった。調製から常温下で30分間静置保存したW/O型エマルションを、離型処理された厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィルム以下、PETフィルムと称する上に、光照射後の高含水架橋重合体層の厚さが150μmとなるように塗布し、連続的にシート状に成形した。さらにその上に、延伸したポリエステル長繊維をタテヨコに整列させて積層させた厚さ70μmのポリエステル繊維積層布新日石プラスト社製、商品名ミライフ登録商標TY1010Eを積層した。さらに、別途、調製から室温下で30分間静置保存したW/O型エマルションを、離型処理された厚さ38μmのPETフィルム上に、光照射後の高含水架橋重合体層の厚さが150μmとなるように塗布したものを用意し、塗布面を上記ポリエステル繊維積層布に被せた。このシートにブラックライト15W/cmを用いて光照度5mW/cm2ピーク感度最大波350nmのトプコンUVR-T1で測定の紫外線を照射し、厚さ38μmのポリエステル繊維積層布の両面に高含水架橋重合体層が積層され、上下の最外層に離型処理されたPETフィルムを備えた総厚みが310μmの積層シートを得た。次に上面フィルムを剥離し、上記高含水架橋重合体を130°Cにて10分間に亘って加熱することによって、ポリエステル繊維積層布の両面に多孔質層を備えた総厚みが約0.3mmの多孔質粘着シートAを得た。実施例2<多孔質粘着シートBの作製>実施例1の混合シロップ1の製造において、エチレン性不飽和モノマーとして2EHAの代わりにIBXAを用いる以外は同様に行い、両末端にアクリロイル基を有する親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップを得た。得られた親水性ポリウレタン系重合体の重量平均分子量は1.5万であった。得られた親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップ100重量部に対して2EHAを38.6重量部、IBXAを55.1重量部、極性モノマーとしてAAを10.7重量部を加え、親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップ2とした。実施例1において、親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップ1の代わりに、上記のようにして得られた親水性ポリウレタン系重合体/エチレン性不飽和モノマー混合シロップ2を用い、NKエステルA-HD-Nを16重量部用い、UAを47.6重量部用いた以外は、実施例1と同様に行って、油相を調製した。さらに、上記油相100重量部に対して水相としてイオン交換水300重量部を常温下、上記油相を仕込んだ乳化機である攪拌混合機内に連続的に滴下供給し、安定なW/O型エマルションを調製した。なお、水相と油相の重量比は75/25であった。得られたW/O型エマルションについて、実施例1と同様の操作を行い、総厚みが約0.3mmの多孔質粘着シートBを得た。多孔質粘着シートA、Bの物性は下記の表1の通りである。なお、物性は以下の方法で測定した。平均孔径の測定作製した多孔質粘着シートをミクロトームカッターで厚み方向に切断したものを測定用試料とした。測定用試料の切断面を走査型電子顕微鏡日立製、S-3400Nで800~5000倍にて撮影した。撮影した画像を用いて、任意範囲の球状気孔の孔径、任意範囲の球状気孔間の連通孔の孔径、および任意範囲の表面開口部の孔径を測定し、その測定値から球状気孔の平均孔径、連通孔の平均孔径及び表面開口部の平均孔径を算出した。気孔率の測定エマルションを製造する際の油相成分のみを重合し、得られた重合体シートを100mm×100mmの大きさに5枚切りだして試験片とし、重量を体積で除して見掛け密度を求めた。得られた見掛け密度の平均値を、多孔質粘着シートの多孔質体を構成する樹脂成分の密度とした。多孔質体の気孔率は、多孔質体の密度を上記樹脂成分の密度で除した相対密度を用いて、下記式のように算出した。気孔率=1-相対密度×100実施例1、2で得た多孔質粘着シートA、Bについて以下の横滑り防止性評価試験を行った。<横滑り防止性評価試験>アクリル板上に、多孔質粘着シートを貼りつけ、この多孔質粘着シートの上に表面が防汚処理されたガラス板を置き、上から押えつつ、回転せん断応力に耐える度合いを以下の基準で評価した。この結果を下記表2に示す。評価基準◎:まったくズレない○:1mm~5mm動く×:応力をかけた方向に容易にガラスが動く実施例3~5、比較例1~2多孔質粘着シートの代わりに下記表2に示す固着用粘着シートを用いて上記の横滑り防止性評価試験を実施した。表2中、N-300はシリコーン系粘着シート商品名N-300、日東電工製であり、No.3630Hはシリコーン系粘着シート商品名No.3630H、日東電工製であり、TRM-6250Lはシリコーン系粘着シート商品名TRM-6250L、日東電工製であり、No.5000NSはアクリル系粘着テープ商品名No.5000NS、日東電工製である。ダッシュボード物置シートは、一般的な車用品店で入手した。表2の結果から、本発明に係る多孔質粘着シートまたはシリコーン系粘着シートを用いれば、一般的なアクリル系粘着テープ等と比較して接着された板に回転せん断応力が加わったときの板の横滑りをより高いレベルで防止できることがわかる。このため、多孔質粘着シートまたはシリコーン系粘着シートを用いれば、板を治具に安定的に保持でき、2枚の板の剥離作業を安定に実施できる。"