"演算部が、帯面と前記帯面に交差する方向に延びる壁面とが交互に接続して段差状に形成され、複数の前記帯面を有する被測定面の参照式の内、1つの帯面を示す参照面に対して、前記壁面との接続部に相当する部分の周辺領域を除いた範囲である点データ抽出領域を設定する点データ抽出領域設定工程と、前記演算部が、前記被測定面の形状測定結果を示す点データの中から、前記点データ抽出領域に含まれる点データを抽出する抽出工程と、前記演算部が、前記抽出工程で抽出した点データを、前記点データ抽出領域内の参照面に対してフィッティングさせる座標変換パラメータを求める計算工程と、前記演算部が、前記座標変換パラメータを用いて前記被測定面の形状測定結果を示す点データをフィッティングして補正する補正工程と、前記演算部が、前記点データ抽出領域内の参照面に前記点データ抽出領域外の隣接する参照面が存在する場合、この隣接する参照面に対して前記点データ抽出領域を設定して前記点データの抽出範囲を拡大し、前記抽出工程へと戻る抽出範囲拡大工程と、前記演算部が、前記点データ抽出領域内の参照面に前記点データ抽出領域外の隣接する参照面が存在しなくなった場合に、その時点における補正された前記被測定面の形状測定結果を示す点データと前記参照式との差分データを前記被測定面の形状の評価結果として出力する評価工程と、を備えた、ことを特徴とする形状評価方法。前記計算工程では、更に、前記演算部が、前記抽出工程で抽出した点データが前記点データ抽出領域内の参照面にフィッティングするよう、前記各参照面の曲率成分を示す係数の補正量を求め、前記補正工程では、更に、前記演算部が、前記係数を前記補正量で補正し、前記評価工程では、更に、前記演算部が、補正した係数データを前記被測定面の形状の評価結果として出力する、ことを特徴とする請求項1に記載の形状評価方法。帯面と前記帯面に交差する方向に延びる壁面とが交互に接続して段差状に形成された被測定面の形状測定結果を示す点データから、前記被測定面の形状を評価する演算部を備えた形状評価装置において、前記演算部は、前記被測定面の参照式の内、1つの帯面を示す参照面に対して、前記壁面との接続部に相当する部分の周辺領域を除いた範囲である点データ抽出領域を設定し、前記被測定面の形状測定結果を示す点データの中から、前記点データ抽出領域に含まれる点データを抽出する抽出処理と、前記抽出処理で抽出した点データを、前記点データ抽出領域内の参照面に対してフィッティングさせる座標変換パラメータを求める計算処理と、前記計算処理で求めた前記座標変換パラメータを用いて前記被測定面の形状測定結果を示す点データをフィッティングして補正する補正処理とを実行し、前記点データ抽出領域内の参照面に前記点データ抽出領域外の隣接する参照面が存在する場合、この隣接する参照面に対して前記点データ抽出領域を設定して前記点データの抽出範囲を拡大して、再度、前記抽出処理と、前記計算処理と、前記補正処理とを実行し、前記点データ抽出領域内の参照面に前記点データ抽出領域外の隣接する参照面が存在しなくなった場合に、その時点における補正された前記被測定面の形状測定結果を示す点データと前記参照式との差分データを前記被測定面の形状の評価結果として出力する、ことを特徴とする形状評価装置。コンピュータに請求項1又は2に記載の各工程を実行させるためのプログラム。請求項4に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。しかしながら、従来の形状評価方法を段差が繰り返し形成された被測定面に適用した場合、点データが実際の輪帯面ではない輪帯面の点データと誤認されることがあるため、測定した点データと参照式とのフィッティングが精度良く行えないという問題があった。以下、図7を参照して具体的に説明する。図7は、段差が繰り返し形成された被測定面に対応する参照式のデータと、測定した点データとを比較した図である。ここで、図7におけるxz座標系は、z軸を光軸方向とする測定データ座標系または参照式座標系の二次元デカルト座標系であるとする。図7aに示すように、点データ1は、セッティング誤差や形状誤差により参照式3に対してx軸方向にずれている場合がある。これにより、複数の点データ1の中には、参照式3において隣の輪帯面にあると誤認される、黒丸で示した点データ以下、対応ずれデータという715が存在する。なお、正しい輪帯面にある点データ以下、対応データというは、白丸で示している。そして、対応データに対する対応ずれデータの割合は、輪帯面積が小さくなるに連れて大きくなる。例えば図7aでは、対応ずれデータは各輪帯面で3点あるが、対応データは、輪帯面積が比較的大きい部分では7点であるのに対して、輪帯面積が比較的小さい部分では3点となり、輪帯面積が小さいほど対応データに対する対応ずれデータの割合が大きくなる。図7bは、点データと参照式との光軸方向の差分残差の大きさを示した図である。図7aに示した対応ずれデータ715と、参照式3との残差を計算すると、図7bに示すように、誤差の大きな残差データ82を含む。誤差の大きな残差データ82がフィッティングの評価値に含まれると、フィッティング精度が低下する。特に、輪帯面積が比較的大きい部分では対応データに対する対応ずれデータの割合が小さいので、フィッティング精度の低下に及ぼす影響は小さい。しかし、輪帯面積が比較的小さい部分では対応データに対する対応ずれデータの割合が大きいので、フィッティング精度の低下に及ぼす影響が大きい。よって、輪帯面が繰り返し形成されている非測定面には、面積の小さい輪帯面があるため、従来の方法では、精度よくフィッティングすることができなかった。そこで、本発明は、フィッティング精度を向上させて、精度よく形状評価を行うことを目的とする。本発明の形状評価方法は、演算部が、帯面と前記帯面に交差する方向に延びる壁面とが交互に接続して段差状に形成され、複数の前記帯面を有する被測定面の参照式の内、1つの帯面を示す参照面に対して、前記壁面との接続部に相当する部分の周辺領域を除いた範囲である点データ抽出領域を設定する点データ抽出領域設定工程と、前記演算部が、前記被測定面の形状測定結果を示す点データの中から、前記点データ抽出領域に含まれる点データを抽出する抽出工程と、前記演算部が、前記抽出工程で抽出した点データを、前記点データ抽出領域内の参照面に対してフィッティングさせる座標変換パラメータを求める計算工程と、前記演算部が、前記座標変換パラメータを用いて前記被測定面の形状測定結果を示す点データをフィッティングして補正する補正工程と、前記演算部が、前記点データ抽出領域内の参照面に前記点データ抽出領域外の隣接する参照面が存在する場合、この隣接する参照面に対して前記点データ抽出領域を設定して前記点データの抽出範囲を拡大し、前記抽出工程へと戻る抽出範囲拡大工程と、前記演算部が、前記点データ抽出領域内の参照面に前記点データ抽出領域外の隣接する参照面が存在しなくなった場合に、その時点における補正された前記被測定面の形状測定結果を示す点データと前記参照式との差分データを前記被測定面の形状の評価結果として出力する評価工程と、を備えた、ことを特徴とする。本発明によれば、点データ抽出領域の点データを抽出してフィッティングする処理を、点データの抽出範囲を逐次拡大しながら繰り返すので、座標変換パラメータを求める際に用いる点データとして対応ずれデータが抽出されるのが抑制される。これにより、フィッティング精度が向上するので、被測定面の形状を精度よく評価することができる。以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係る形状評価装置が組み込まれている形状測定装置の概略構成を示す説明図である。形状測定装置100は、被測定物としての光学素子102の表面を被測定面102aとし、被測定面102aの形状を測定するものである。形状測定装置100は、接触式のプローブ101と、光学素子102が載置される定盤103とを備えている。また、形状測定装置100は、ミラー等を有し、プローブ101の後端に取り付けられた干渉計104と、プローブ101を垂直方向に移動可能に支持したリニアガイド105とを備えている。定盤103は、床からの振動による影響を抑えるために、除振機能を備えていると良い。干渉計104は、プローブ101の3次元位置を測定する。また、形状測定装置100は、リニアガイド105に取り付けられ、プローブ101の自重を補償し、指定した力でプローブ101を光学素子102の被測定面102aに押し付ける力発生装置106を備えている。また、形状測定装置100は、リニアガイド105にハウジング107を介して取り付けられたステージ108と、ステージ108に取り付けられた駆動装置109とを備えている。駆動装置109は、3軸並進方向にステージ108を移動させる。これにより、プローブ101を用いて光学素子102の被測定面102aを倣い走査して被測定面102aの形状を測定する。また、形状測定装置100は、干渉計104に接続され、指定した所定の時間間隔でプローブ101の3次元位置を示す測定データをサンプリングするデータサンプリング装置110を備えている。また形状測定装置100は、データサンプリング装置110に接続され、データサンプリング装置110からサンプリングされた形状測定結果を示す点データを取得してデータ処理するコンピュータからなる形状評価装置111を備えている。形状評価装置111は、データサンプリング装置110でサンプリングされた複数の点データ離散データを取得して、これら離散データを被測定面102aの形状の評価に使用する。本実施形態では、光学素子102は、回転対称の回折光学素子であり、この表面を被測定面102aとしている。図1では、被測定面102aには、帯面である輪帯面D0,D1,D2,D3,...と、輪帯面D0,D1,D2,D3,...に交差する方向に延びる壁面段差面E1,E2,E3,...とが交互に接続して段差状に形成されている。ここで、被測定面102aの外形は平面視円形である。そして、被測定面102aの中央に位置する円形状の輪帯面D0を中央輪帯面といい、中央輪帯面D0から半径方向外側に向かって壁面を跨いで形成された円環形状の輪帯面D1,D2,D3,...を、第1輪帯面、第2輪帯面、第3輪帯面、...という。そして、本実施形態では、複数の輪帯面D0,D1,D2,D3,...のうち、中央輪帯面D0の面積が一番大きく、中央輪帯面D0から半径方向外側に向かうに連れて、輪帯面の面積が小さくなるように形成されている。つまり、輪帯面D0の面積>輪帯面D1の面積>輪帯面D2の面積>輪帯面D3の面積>...となるように形成されている。被測定面102aには、これら輪帯面と壁面とが交差して、接続部である山部F1,F2,F3,...及び谷部G1,G2,G3,...が形成されている。そして、壁面E1,E2,E3,...、山部F1,F2,F3,...及び谷部G1,G2,G3,...により、輪帯面D0,D1,D2,D3,...間には、段差部H1,H2,H3,...が形成されている。プローブ101は山部F1,F2,F3,...及び谷部G1,G2,G3,...に対しておおよそ直交するように走査される。ここで、プローブ101を、壁面E1,E2,E3,...を上る方向に走査すると、プローブ101が壁面E1,E2,E3,...に衝突して、形状を崩す恐れがあるため、壁面E1,E2,E3,...を下る方向に走査すると良い。図2は、形状評価装置111の構成を示すブロック図である。形状評価装置111は、演算部としてのCPU130、ROM131、RAM132、HDD133、記録ディスクドライブ134及び各種のインターフェース135,136,137を備えたコンピュータである。CPU130には、これらROM131、RAM132、HDD133、記録ディスクドライブ134及び各種のインターフェース135,136,137が、バス138を介して接続されている。ROM131には、CPU130を動作させるためのプログラム150が格納されている。CPU130は、ROM131に格納されたプログラム150に基づいて各種処理を実行する。RAM132は、CPU130の処理結果を一時的に記憶するためのものである。HDD133は、記憶装置であり、光学素子102の被測定面102aの設計式である参照式等を予め記憶している。つまり、参照式は、光学素子102の被測定面102aの理想的な形状を表している。データサンプリング装置110は、インターフェース135に接続されており、データサンプリング装置110からの複数の点データがバス138に出力される。HDD133には、CPU130による演算結果や点データ等がCPU130の指令の下で記憶される。また、モニタ140は、インターフェース136に接続されており、モニタ140には、各種画像が表示される。インターフェース137は、書き換え可能な不揮発性メモリや外付けHDD等の外部記憶装置141が接続可能に構成されている。記録ディスクドライブ134は、記録ディスク142に記録された各種データを読み出すことができる。図3は、形状評価装置111のCPU130による処理動作を説明するためのフローチャートである。図4は、CPU130によるフィッティング処理動作を説明するための模式図である。CPU130は、ROM131に格納されたプログラム150を実行することで、図3に示す各処理を実行する。以下、図3に示す各ステップについて説明する。CPU130は、処理を開始し、被測定面102aの形状を測定したデータとして、データサンプリング装置110より、図4aに示すような複数の点データ1を取得するS101。これら点データ1は、CPU130により、記憶装置であるHDD133に記憶格納される。点データ1を{p}とする。なお、図4aに示すように、参照式3は、複数の輪帯面D0,D1,D2,D3,...のそれぞれに対応する複数の参照面30,31,32,33,...からなる。参照式は多項式で定義される。これら点データ1は、形状測定装置100の3次元の直交座標系で表された位置情報であり、HDD133に記憶されている参照式3の3次元の直交座標系とは異なる座標系である。つまり、被測定面102aの位置姿勢と参照式の位置姿勢とは、セッティング誤差により必ずしも一致しない。したがって、被測定面102aの形状を評価する際には、点データ1を参照式の座標系に変換する、即ちフィッティングする必要がある。座標変換パラメータからなる座標変換行列が[T]である場合、座標変換後のデータ{q}は、{p}と[T]との掛け算の形で表すことができる。{q}=[T]{p}1また、製造された光学素子102には、熱収縮等により形状誤差が生じることがある。この影響を考慮し、フィッティングの際には、参照式の係数を変更する。まず、CPU130は、図4aに示すように、点データ抽出領域20Aを設定するS102:点データ抽出領域設定工程。その際、CPU130は、参照面30を包含する範囲を指定領域22とし、指定領域22内且つ周辺領域21A外である範囲を、点データ抽出領域20Aとする。つまり、点データ抽出領域20Aは、参照式3の内、1つの輪帯面D0を示す参照面30に対して、輪帯面D0と壁面E1との接続部である谷部G1に相当する部分30Aの周辺領域21Aを除いた範囲とする。本実施形態では、CPU130は、複数の輪帯面のうち一番面積が大きい中央輪帯面D0に対応する参照面30に対して点データ抽出領域20Aを設定する。つまり、点データ1の数が他の輪帯面よりも多い中央輪帯面D0の参照面30の領域に点データ抽出領域20Aを設定する。周辺領域21Aは、谷部G1図1に相当する部分30A、つまり参照面30の端部を含む範囲であり、参照面30と測定した点データ1との段差位置のずれ分を考慮して決定される。指針として、被測定物の加工誤差、取り置き誤差、プローブ先端の大きさによる測定誤差、フィッティングの際の誤差を考えると良い。なお、この周辺領域21Aは、山部F1図1に相当する部分31Bも含んでいるのが好ましい。つまり、周辺領域21Aは、輪帯面D0と隣の輪帯面D1との段差部H1図1に相当する部分41を含む領域とするのが好ましい。また、周辺領域21Bは、谷部G2に相当する部分31Aを含む領域であり、好ましくは、山部F2に相当する部分32Bも含む、つまり段差部H2に相当する部分42を含む領域とするのがよい。また、周辺領域21Cは、谷部G3に相当する部分32Aを含む領域であり、好ましくは、山部F3に相当する部分33Bも含む、つまり段差部H3に相当する部分43を含む領域とするのがよい。このようにCPU130は、点データ抽出領域20Aを設定する動作として、全ての段差の周辺領域21A,21B,21C,を設定し、指定領域22を、参照面30における外周の部分30Aの範囲に設定し、点データ抽出領域20Aを求める。次に、CPU130は、複数の点データ1の中から、点データ抽出領域20Aに含まれる点データを抽出する抽出処理を実行するS103:抽出工程。以下、抽出した点データを、有効測定データ1A図4bという。CPU130は、ステップS103で抽出した有効測定データ1Aを、点データ抽出領域20A内の参照面30に対してフィッティングさせる座標変換パラメータを求める計算処理を実行するS104:計算工程。また、CPU130は、ステップS104の計算処理で、更に、有効測定データ1Aが点データ抽出領域内の参照面30にフィッティングするよう、各参照面の曲率成分を示す係数の補正量を求める。本実施形態では、CPU130は、参照式3と有効測定データ1Aの差分残差の二乗和を求め、この二乗和が小さくなるように、最急降下法で座標変換パラメータと係数の補正量とを求める。図4bには、このステップS104で求めた座標変換パラメータと係数の補正量で有効測定データ1Aの補正と各参照面の係数の補正を行った状態を示している。次に、CPU130は、ステップS104で求めた座標変換パラメータを用いて複数の点データ1を参照式3にフィッティングすることで補正する補正処理を実行するS105:補正工程。つまり、CPU130は、ステップS104で求めた座標変換パラメータを用いて複数の点データ1を座標変換する。これによりHDD133に記憶されている点データ1は、補正された点データ1に変更される。また、CPU130は、このステップS105の補正処理で、更に、各参照面30,31,32,33,...の係数を、ステップS104で求めた補正量で補正する。これによりHDD133に記憶されている参照式の各参照面の係数が補正後の係数に変更される。図4cには、ステップS105において、点データ1の補正と各参照面の係数の補正を行った状態を示している。次に、CPU130は、点データの抽出範囲を拡大するか否かを判断する判断処理を実行するS106:判断工程。点データの抽出範囲を拡大する場合とは、点データ抽出領域内の参照面に点データ抽出領域外の隣接する参照面が存在する場合である。つまり、点データ抽出領域の外側に、点データ抽出領域の内側の参照面に隣接する、点データ抽出領域が未設定の参照面が存在する場合である。図4aでは、点データ抽出領域20A内には参照面30が存在し、この点データ抽出領域20A外であって、点データ抽出領域20A内の参照面30に隣接して参照面31が存在する。また、点データの抽出範囲を拡大しない場合とは、点データ抽出領域内の参照面に点データ抽出領域外の隣接する参照面が存在しない場合である。つまり、点データ抽出領域の外側に、点データ抽出領域の内側の参照面に隣接する、点データ抽出領域が未設定の参照面が存在しない場合である。CPU130は、点データ抽出範囲を拡大すると判断した場合S106:Yes、隣接する参照面に対して点データ抽出領域を設定して点データの抽出範囲を拡大しS107、ステップS103の抽出工程に戻る抽出範囲拡大工程。例えば、CPU130は、図4dに示すように、参照面30に隣接する参照面31に対して点データ抽出領域20Bを設定する。具体的に説明すると、CPU130は、指定領域22を、参照面30,31を包含するよう参照面31の外周の部分31Aまで拡大する。周辺領域21A,21Bは除かれるので、参照面30に対応する点データ抽出領域20Aと参照面31に対応する点データ抽出領域20Bが設定され、点データの抽出範囲が拡大される。つまりCPU130は、点データ抽出領域20Bとして、輪帯面D1と壁面E1との接続部である山部F1に相当する部分31Bの周辺領域21Aと、輪帯面D1と壁部E2との接続部である谷部G2に相当する部分31Aの周辺領域21Bとを除いた範囲を設定する。そして、CPU130は、ステップS103に戻ったことにより、再度、ステップS103の抽出処理、ステップS104の計算処理、ステップS105の補正処理を実行する。その際、ステップS103では、CPU130は、前のルーチンで補正した点データ1の中から、点データ抽出領域20A,20Bに含まれる点データを抽出する。ステップS104では、CPU130は、抽出処理で抽出した点データを、点データ抽出領域20A,20B内の参照面30,31に対してフィッティングさせる座標変換パラメータを求める。ステップS105では、CPU130は、計算処理で求めた座標変換パラメータを用いて、点データ1をフィッティングして補正する。以上のステップS106,S103,S104,S105を繰り返すことにより、徐々に点データ抽出領域の範囲が拡大する。図5は、ステップS103の抽出処理を説明するための図である。指定領域22を参照式3の参照面33第4段差位置までとしたものである。図5aに示す点データ1に対し、図5bに示すように、有効測定データ1Aが抽出される。以上のステップS106,S103,S104,S105を繰り返すことにより、最終的には、全ての参照面30,31,...に対応して点データ抽出領域20A,20B,...が設定される。そしてCPU130は、全参照面30,31,...に抽出範囲を拡大して設定した際の点データ抽出領域の点データを抽出し、抽出した点データを用いて座標変換パラメータを求め、この座標変換パラメータで点データ1を参照式3にフィッティングする。その後、CPU130は、指定領域22が全ての参照面30,31,...を包含しているので、点データの抽出範囲を拡大しないと判断する。CPU130は、点データの抽出範囲を拡大しないと判断した場合S106:No、その時点における補正された各点データ1と参照式3との差分に関する差分データを被測定面102aの形状の評価結果として出力するS108:評価工程。そして、処理を終了する。差分データとしては、各点データ1と参照式3との差分の値や、差分の値の絶対値、差分の値の二乗値、差分の値の二乗和等、差分の値に関するデータであればよい。なお、点データの抽出範囲を拡大しないと判断した場合とは、各参照面に対応して点データ抽出領域が設定されている状態であるので、点データ抽出領域内の参照面に隣接する点データ抽出領域外の参照面が存在しなくなった場合である。このとき、CPU130は、更に、参照式において補正した係数に関する係数データを、被測定面102aの形状の評価結果として出力する。この係数データとしては、補正した係数の値であってもよいし、係数を補正した補正量であってもよい。これら評価結果を示すデータは、CPU130より内部機器または外部機器に出力される。内部機器としては、例えばHDD133である。また、外部機器としては、モニタ140や外部記憶装置141、光学素子102を加工する不図示の加工装置等、あらゆる機器が想定される。以上、本実施形態では、点データ抽出領域の点データを抽出してフィッティングする処理を、点データの抽出範囲を逐次拡大しながら繰り返すようにしている。これは、データサンプリング装置110から得られた未補正の点データ1は、セッティング誤差が大きく、また、光学素子102に熱収縮等の変形が生じている場合には、形状誤差も大きいためである。仮に、一度に、参照式3の全領域のうち、全ての段差部H1,H2,H3,...に対応する周辺領域21A,21B,21C,...を除いた領域を、点データ抽出領域として設定した場合では、対応ずれデータが除去しきれないことがある。例えば、図4aでは、x軸正方向の2輪帯目、3輪帯目の測定データが、それぞれ参照式の1輪帯、2輪帯目のx座標まではみ出している状態である。はみ出している範囲の点データ1は、除去されない対応ずれデータである。段差の周辺領域21A,21B,21C,...を広く取って有効測定データ1Aを抽出することも考えられるが、その分フィッティングに使用する範囲が縮小する。これでは高精度にフィッティングできない。これに対し、本実施形態では、最初のフィッティング処理では、1つの輪帯面D0を示す参照面30の領域のうち、段差部H1の周辺領域21Aを除いた領域を、フィッティングに用いるデータを抽出する点データ抽出領域20Aに設定している。そして、抽出した有効測定データ1Aに基づいて座標変換パラメータ及び係数の補正量を求め、フィッティングにより複数の点データ1が参照式の位置姿勢に近づくよう点データ1が補正される。また、参照式の形状も係数を補正することで、実際の被測定面102aの歪みに近づけられる。例えば、最初のフィッティングを行う前は、図4aに示すように、輪帯面D0の隣の輪帯面D1に対応する参照面31の領域に対応ずれデータが存在していた。ところが、最初のフィッティングにより、図4dに示すように、輪帯面D0の隣の輪帯面D1に対応する参照面31に対して設定した点データ抽出領域20Bにおいて、対応ずれデータがなくなっている。つまり、各輪帯面に対応する参照面30,31,32,33,...の領域において、このフィッティングにより対応ずれデータの割合を小さくすることができる。そして、フィッティングによりセッティング誤差及び形状誤差の影響が低減された状態で隣接する輪帯面を示す参照面に対して点データ抽出領域を設定することで点データの抽出範囲を拡大し、同様に逐次点データ1を補正する処理を繰り返している。したがって、対応ずれデータの割合が低減された参照面の領域に点データ抽出領域を漸次設定し、抽出範囲を拡大するようにしているので、座標変換パラメータを求める際に用いる点データ1Aとして、対応ずれデータが抽出されるのが抑制される。さらに、参照式の各参照面の係数も補正されるので、被測定面102aの熱収縮等の歪みがあっても、対応ずれデータが抽出されるのが抑制される。これにより、フィッティング精度が向上するので、被測定面の形状を精度よく評価することができる。また、本実施形態では、面積が一番大きい、つまり、点データ1の数が一番多い中央輪帯面D0に対応する参照面30の領域から、点データ抽出領域を設定するようにしている。このように、点データ1の数の多い部分の有効測定データ1Aを抽出してフィッティングを行うようにしたので、この輪帯面D0において、対応データに対する対応ずれデータの割合は他の輪帯面よりも小さく、最初のフィッティングを精度よく行うことができる。このように、最初のフィッティングを精度よく行うことができるので、次回以降のフィッティングにおいても精度よく行くことが可能となる。そして、本実施形態では、輪帯面の面積の大きい順に、点データ抽出領域を設定している。具体的には、参照面30の次に参照面31、参照面31の次に参照面32というように、順次点データ抽出領域を設定している。これにより、フィッティング誤差や形状誤差が小さくなるに連れ、漸次小さい面積の輪帯面を示す参照面において点データのフィッティングが行われることになるので、より効果的にフィッティングの精度を向上させることができる。なお、本発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、多くの変形が本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により可能である。上記実施形態では、参照式として、設計式を用いた場合について説明したが、これに限定するものではなく、標準サンプルを測定した結果を参照式としてもよい。ここで、標準サンプルの設計式は、被測定物の設計式と同一のものであるとする。これによって、設計式を参照式とするときと、同様の効果が得られる。また、上記実施形態では、ステップS102において、中央輪帯面D0に対応する参照面30に点データ抽出領域20Aを設定したが、予め決められた基準面に対応する参照面に点データ抽出領域を設定してもよい。ここで、基準面とは、測定した点データ1と参照式3とを合せる面であり、被測定物の付きあて面や、コバ面、マークなどが考えられる。基準面から近いほど、回転方向のセッティング誤差や形状ずれが小さいので、対応ずれデータの割合が小さい。よって、中央輪帯面に対応する参照面30からではなく、被測定物の端や、マーク付近から点データ抽出領域の拡大を行うことができる。また、上記実施形態では、ステップS103,S104における最初のフィッティングでは、データサンプリング装置110より得られた未補正の点データ1を用いたが、予め補正した点データ1を用いてもよい。具体的には、ステップS101とステップS102との間で、予め全ての点データ1を参照式3にフィッティングして補正しておいてもよい。このフィッティングでは、全ての点データを使用しているので、対応ずれデータにより低い精度でフィッティングが行われるが、対応ずれデータの割合を小さくしておくことができる。また、上記実施形態では、ステップS104において、最急降下法により座標変換パラメータ及び係数の補正量を求める場合について説明したが、二分法またはGA法で求めてもよく、上記実施形態と同様の効果が得られる。また、上記実施形態では、設定した周辺領域21A,21B,21C,の範囲は一定のままとし、指定領域22を拡大するようにして、点データ抽出領域を拡大する場合について説明したが、これに限定するものではない。例えば、ステップS102において、指定領域を測定面全域参照式全域とし、参照面30の接続部に対応する部分30Aを除外した領域が点データ抽出領域となるよう、除外する領域21A,21B,21C,...の幅を設定しておけばよい。そして、ステップS107を繰り返すたびに、漸次点データ抽出領域が隣接する輪帯面の参照面に設定されるよう、除外する領域21A,21B,21C,...の幅を小さくする変更をすればよい。これら領域21A,21B,21C,...の幅は、予め決められた所定幅に達したら、変更を終了すればよい。所定幅は、最も狭い輪帯面から領域21A,21B,21C,...を除いたときに、点データのサンプリング間隔以上になることを考えて設定しておけばよい。これによって、上記実施形態と同様の効果が得られる。また、上記実施形態では、指定領域、周辺領域を設定することで、点データ抽出領域を設定する場合について説明したが、これに限定するものではない。予め記憶装置であるHDD133に点データ抽出領域のデータを記憶させておいて、CPU130が、このデータを読み出して点データ抽出領域を設定するようにしてもよい。また、上記実施形態では、被測定物が回転対称の回折光学素子である場合について説明したが、これに限定するものではなく、回折光学素子が、輪帯面及び壁面が交互に連続する楕円状のものや帯面及び壁面が交互に連続する直線平行状のものであってもよい。また、回折光学素子と同様に周期的な段差形状を有するフレネルレンズにも適用することできる。また、これらの光学素子を製造するための成形用金型であってもよく、被測定面に周期的な段差を有していれば、これら以外の被測定物であってもよい。また、上記実施形態では、接触式のプローブを被測定面に倣い走査して点データを取得した場合について説明したが、非接触式のプローブを用いた場合であっても本発明は適用可能である。また、プローブを用いて被測定面の面形状を測定する場合に限らず、干渉計を用いてCCDやCMOS等のセンサで取得する場合であってもよい。また、上記実施形態では、参照式の係数も補正する場合について説明したが、必要に応じてこの補正処理を省略してもよい。省略するのは、例えば、被測定物が熱収縮等で変形しない、あるいは変形しても形状評価に及ぼす影響が小さい場合である。この場合、ステップS104においては、係数の補正量を求める計算処理を省略し、ステップS105においては、参照式の係数を補正する補正処理を省略し、ステップS108においては、係数データを出力する処理を省略すればよい。また、上記実施形態では、形状測定装置の測定により得られた点データについて説明を行ったが、光線追跡計算や有限要素計算等によって取得した被測定面の形状を示す点データについても同様に考えることができる。また、上記実施形態では、点データ等を記憶装置としてHDD133に記憶させたが、記憶装置としてはHDD133に限定するものではく、書き込み可能な記憶装置であれば、いかなる記憶装置でもよい。例えばRAM132、外部記憶装置141例えばUSBメモリやメモリカード等の書き換え可能な不揮発性メモリ、外付けHDD等、又は記録ディスクドライブ134に設置された記録ディスク142等の記憶装置であってもよい。記録ディスク142としては、CD-R等の書き込み可能な記録ディスクであれば、いかなる記録ディスクでもよい。これら以外にも、例えば、フレキシブルディスク,光ディスク,光磁気ディスク,磁気テープ,EEPROM,シリコンディスク等であってもよい。また、上記実施形態では、プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体がROM131である場合について説明したが、これに限定するものではなく、コンピュータ読み取り可能な記録媒体であれば、いかなる記録媒体であってもよい。例えば、プログラムがHDD133、外部記憶装置141、記録ディスク142等に記録されていてもよい。外部記憶装置141としては、例えばUSBメモリやメモリカード等の不揮発性メモリ、外付けHDD等を用いることができ、記録ディスク142としては、例えばCD-ROM,CD-R,DVD-ROMを用いることができる。これら以外にも、例えば、フレキシブルディスク,光ディスク,光磁気ディスク,磁気テープ,EEPROM,シリコンディスク等であってもよい。また、上記実施形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体を、システムあるいは装置に供給してもよい。そのシステムあるいは装置のコンピュータまたはCPUやMPUが記録媒体に格納されたプログラムコードを読出し実行することによっても、本発明の目的が達成される。この場合、記録媒体から読み出されたプログラムコード自体が本発明の機能を実現することになり、そのプログラムコードを記録した記録媒体は本発明を構成することになる。また、上記実施形態におけるプログラムを、ネットワークを介してダウンロードしてコンピュータにより実行するようにしてもよい。また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上記実施形態の機能が実現されるだけに限定するものではない。そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているOSオペレーティングシステム等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれる。さらに、記録媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれてもよい。そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるCPU等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって上記実施形態の機能が実現される場合も含まれる。"