"複数の光源を有するアレイ光源と、前記アレイ光源からの光を透過する被検査結像光学系と、前記被検査結像光学系を透過した光が形成する複数の点像を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラで取り込まれた画像データを処理し、結像誤差を測定するデータ処理部と、前記アレイ光源、前記被検査結像光学系、前記撮像カメラの相対位置を調整するステージ制御部とを備える結像誤差の測定装置。前記アレイ光源は、中心、四隅の4点、中心からXY方向にそれぞれ4点ずつの8点を含む少なくとも合計13点の光源配置であることを特徴とする請求項1に記載の結像誤差の測定装置。前記アレイ光源は、奇数のN×N個のマトリックス状に配置された複数の光源を有することを特徴とする請求項1に記載の結像誤差の測定装置。前記データ処理部は、前記画像データから像面歪みまたは像面湾曲を測定することを特徴とする請求項1に記載の結像誤差の測定装置。前記データ処理部は、前記画像データから球面コマ非点収差を測定することを特徴とする請求項1に記載の結像誤差の測定装置。前記データ処理部は、複数枚の画像データを処理することを特徴とする請求項1に記載の結像誤差の測定装置。複数の光源を有するアレイ光源から被検査結像光学系に光を透過させ、前記被検査結像光学系に透過させた光を撮像カメラにより撮像し、前記撮像カメラの中心位置と前記撮像カメラ上に形成されたアレイ光源の点像の中心位置とを調整し、前記撮像カメラ上に形成された複数の点像の画像データから結像誤差を測定することを特徴とする結像誤差の測定方法。前記アレイ光源は、中心、四隅の4点、中心からXY方向にそれぞれ4点ずつの8点を含む少なくとも合計13点の光源配置であることを特徴とする請求項7に記載の結像誤差の測定方法。前記アレイ光源は、奇数のN×N個のマトリックス状に配置された複数の光源を有することを特徴とする請求項7に記載の結像誤差の測定方法。前記画像データから像面歪みまたは像面湾曲を測定することを特徴とする請求項7に記載の結像誤差の測定方法。前記画像データからた球面コマ非点収差を測定することを特徴とする請求項7に記載の結像誤差の測定方法。複数枚の画像データを処理することを特徴とする請求項7に記載の結像誤差の測定方法。特許文献1、2に記載されている結像光学系の波面収差球面コマ非点収差測定方法及び装置は、レンズ組立て調整と像面歪み及び像面湾曲の測定補正を別途、他の装置で行うため手間がかかるという課題があった。また、別途、他の装置で行うため同一光学系で一度に像面歪み及び像面湾曲の測定と波面収差の測定を行うことができない。さらに、被検光学系以外のアレイレンズ、ガラスロッド、集光素子等を使用することで、それら自身の収差が介入してしまう。特許文献3に記載されている結像光学系性能測定方法及び装置は、レンズ組立て調整と波面収差球面コマ非点収差測定補正を別途、他の装置で行うため手間がかかる。また、別途、他の装置で行うため一意的に各性能を決めることができない。本発明の目的は、結像光学系のレンズ組立て調整、および像面歪み、像面湾曲、球面コマ非点収差等の結像誤差の測定を同一光学系で行うことができる結像誤差の測定方法および装置を提供することにある。上記課題に鑑み本発明は、複数の光源を有するアレイ光源と、前記アレイ光源からの光を透過する被検査結像光学系と、前記被検査結像光学系を透過した光が形成する複数の点像を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラで取り込まれた画像データを処理し、結像誤差を測定するデータ処理部と、前記アレイ光源、前記被検査結像光学系、前記撮像カメラの相対位置を調整するステージ制御部とを備える結像誤差の測定装置を提供する。他の観点における本発明は、複数の光源を有するアレイ光源から被検査結像光学系に光を透過させ、前記被検査結像光学系に透過させた光を撮像カメラにより撮像し、前記撮像カメラの中心位置と前記撮像カメラ上に形成されたアレイ光源の点像の中心位置とを調整し、前記撮像カメラ上に形成された複数の点像の画像データから結像誤差を測定することを特徴とする結像誤差の測定方法を提供する。本発明によれば、結像光学系のレンズ組立て調整、および像面歪み、像面湾曲、球面コマ非点収差等の結像誤差の測定を同一光学系で行うことができる結像誤差の測定方法および装置を提供することが可能となる。以下、本発明の実施例について図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施例を説明するための図面において、同一部には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。以下では、本実施例における結像光学系のレンズ組立て調整、および像面歪み、像面湾曲、球面コマ非点収差等の結像誤差の測定を同一光学系で行う測定装置方法について説明する。図1に結像光学系のレンズ組立て調整、および像面歪み、像面湾曲、球面コマ非点収差等の結像誤差の測定を同一光学系で行う結像誤差の測定装置を示す。複数の点光源を有するアレイ光源100からの光が1枚以上のレンズを有する被検査結像光学系200を透過することで屈折し、撮像カメラ300上にマトリックス状の複数を形成する構成である。光源制御部600により光源が制御され、光が照射される。アレイ光源100は、例えばVCSELが用いられる。次に、データ処理部700により、撮像カメラ300で撮像された点像の画像データを処理することで本実施例における結像光学系のレンズ組立て調整、および像面歪み、像面湾曲の測定を行う。また、結像光学系のレンズ組立て調整、像面湾曲の測定を行う際には、撮像カメラ300が配置された移動ステージ400をステージ制御部800で制御し、アレイ光源100、被検査結像光学系200、撮像カメラ300とのXYZ方向における相対位置を調整する。次に、本実施例における結像光学系の1レンズ組立て調整方法、および2像面歪み、像面湾曲、3球面コマ非点収差の測定補正方法と装置について説明する。1レンズ組立て調整は、撮像カメラ上に形成された中心点像を観測しながら移動ステージ400をステージ制御部800で制御し、アレイ光源100と撮像カメラ300との相対位置を調整することにより、撮像カメラ300の中心位置とアレイ光源100の中心位置にある点光源からの点像の位置とを一致させて行う。そして、2像面歪み、像面湾曲の測定補正は、撮像カメラ300で撮像された画像データをデータ処理部700で処理することにより、被検査結像光学系200の像面歪み、像面湾曲を算出して行う。さらに、3球面コマ非点収差の測定補正は、撮像カメラ300で撮像された画像データをデータ処理部700で処理することにより、被検査結像光学系200の収差を算出して行う。図1に示した測定装置は、複数の点光源を有するアレイ光源100に関する画像データをデータ処理部700で処理するので、像面歪み、像面湾曲、球面コマ非点収差等の結像誤差の測定をすることができる。また、ステージ制御部800でアレイ光源100、被検査結像光学系200、撮像カメラ300との相対位置を調整することができため、レンズの組立調整をしつつ、結像誤差の測定をすることができる。即ち、図1に示した測定装置は、1レンズ組立て調整、および2像面歪み、像面湾曲の測定補正、3球面コマ非点収差の測定補正を同一光学系で行うことができる。これにより、1レンズ組立て調整、および2像面歪み、像面湾曲の測定補正、3球面コマ非点収差の測定補正を同一光学系の測定についてそれぞれ別個の測定装置を設ける必要がなく、装置全体をコンパクトに設計でき、低コスト化を実現することができる。図2を用いて、図1に示した測定装置によって1結像光学系のレンズ組立て調整、および2像面歪み、像面湾曲、3球面コマ非点収差の測定補正を同一光学系で行う方法について説明する。まず、アレイ光源100からの光が被検査結像光学系200を透過して撮像カメラ300上に形成されたマトリックス状の複数の点像を複数枚の画像として取り込むステップ710。この複数枚の画像は、撮像カメラ300をデフォーカスしたものである。レンズ組立て調整時は、撮像カメラ300上に形成された中心点像を観測しながらレンズ組立て調整を行うステップ711。データ処理部700が撮像カメラ300上に形成された中心点像が撮像カメラ300の中心位置にあるか判断するステップ712。撮像カメラ300上に形成された中心点像と撮像カメラ300の中心位置との距離が閾値以下ステップ712:YESの場合、次のステップに移る。一方、閾値以上ステップ712:NOの場合、撮像カメラ300が配置された移動ステージ400をステージ制御部800で制御し、アレイ光源100と撮像カメラ300との相対位置を調整し、撮像カメラ上に形成された中心点像が中心位置にくるようにするステップ711。以上を閾値以下ステップ712:YESとなるまで繰り返す。次に、取り込んだ画像をもとに、後述する図4の手順で像面歪みをデータ処理部700により算出するステップ713。データ処理部700により算出した像面歪みが所望の閾値をみたすか判断するステップ714。ここで、像面歪みが閾値以下ステップ714:YESの場合、補正は行わない。一方、閾値以上ステップ714:NOの場合、像面歪みに感度のあるレンズを選定し、調整するステップ713。このとき、像面歪みに感度のあるレンズは、誤差解析等を行い、選定される。以上を閾値以下ステップ714:YESとなるまで繰り返す。さらに、取り込んだ画像をもとに、後述する図4の手順で像面湾曲をデータ処理部700により算出するステップ715。データ処理部700により算出した像面湾曲が所望の閾値をみたすか判断するステップ716。ここで、像面湾曲が閾値以下ステップ716:YESの場合、補正は行わない。一方、閾値以上ステップ716:NOの場合、像面湾曲に感度のあるレンズを選定し、調整するステップ715。このとき、像面歪みに感度のあるレンズは、誤差解析等を行い、選定される。以上を閾値以下ステップ716:YESとなるまで繰り返す。最後に、取り込んだ画像をもとに、後述する図4の手順で球面コマ非点収差をデータ処理部700により算出するステップ717。データ処理部700により算出した球面コマ非点収差が所望の閾値をみたすか判断するステップ718。この閾値以下ステップ718:YESの場合、補正は行わない。一方、閾値以上ステップ718:NOの場合、球面コマ非点収差に感度のあるレンズをそれぞれ選定し、調整するステップ717。このとき、像面歪みに感度のあるレンズは、誤差解析等を行い、選定される。以上を閾値以下ステップ718:YESとなるまで繰り返す。以上、結像光学系のレンズ組立て調整、および像面歪み、像面湾曲、球面コマ非点収差の全条件をみたすか判断するステップ719。この閾値以下ステップ719:YESの場合、このフローチャートは終了する。一方、閾値以上ステップ719:NOの場合、組みレンズ調整ステップ711から球面コマ非点収差補正ステップ717まで、閾値以下ステップ719:YESとなるまで繰り返す。なお、本実施例では、図2に示すように1結像光学系のレンズ組立て調整、および2像面歪み、像面湾曲、3球面コマ非点収差の測定補正を同一光学系で行うものを説明してきたが、図3に示すように3球面コマ非点収差の測定補正を行わず、1結像光学系のレンズ組立て調整、および2像面歪み、像面湾曲の測定のみを同一光学系で行ってもよい。また、2像面歪み、像面湾曲の測定を行わず、1結像光学系のレンズ組立て調整、および3球面コマ非点収差の測定補正を同一光学系で行ってもよい。図4を用いて2の像面歪みの測定および補正方法について詳細に説明する。まず、アレイ光源100からの光が、被検査結像光学系200を介し、撮像カメラ300上にマトリックス状の複数の点像を形成する。この撮像カメラ300上に形成されたマトリックス状の複数の点像を画像として取り込むステップ720。撮像カメラ300で撮像された画像データをデータ処理部700で処理することにより、像面歪みを算出するステップ721。ここで像面歪みとは、図5に示すように、aの物体形状310に対し、b糸巻き型311、c樽型312に変形することをいう。像面歪みで使用するアレイ光源100の配置は、N×Nのマトリックス配置を検討しているが、図6aに示すように中心位置と四隅の5点121があれば問題ない。図6bに撮像カメラ300上に形成された点像を示す。撮像カメラ300上に形成された上辺の右点像325から中心点像327までの長さa323と、下辺の右点像326から中心点像327までの長さb324の差分328をdとする。この差分d328の半値長さcで割り、100をかけたものが像面歪みである。[式1]像面歪み=b-ac×100図6bはX軸方向に上辺、下辺が異なる台形歪みであるが、Y軸方向の上辺、下辺が異なる台形歪みに関しても同様の算出を行う。次に、算出した像面歪みが所望の閾値をみたすかデータ処理部700で判断するステップ722。この閾値以下ステップ722:YESの場合、補正は行わない。一方、閾値以上ステップ722:NOの場合、像面歪みに感度のあるレンズを選定するステップ723。このとき、像面歪みに感度のあるレンズは、誤差解析等を行い、選定される。さらに、選定した像面歪みに感度のあるレンズの偏心量をある一定量ずつ可変させながら、像面歪み量に対する偏心量の関係式グラフを求めるステップ724。この関係式グラフをもとに、選定レンズを調整し、像面歪みを補正するステップ725。再度、像面歪みを算出ステップ721し、算出した像面歪みが所望の閾値をみたすか判断するステップ722。以上を閾値以下ステップ722:YESとなるまで繰り返す。なお、図4のステップ721-725は、図2のステップ713、714、図3の753、754に対応する。図7を用いて、2の像面湾曲の測定および補正方法について詳細に説明する。まず、アレイ光源100からの光が、被検査結像光学系200を介し、撮像カメラ300上にマトリックス状の複数の点像を形成する。この撮像カメラ300上に形成されたマトリックス状の複数の点像を複数枚の画像として取り込むステップ730。この複数枚の画像は、移動ステージ400をステージ制御部800で制御することにより、撮像カメラ300をデフォーカスしたものである。撮像カメラ300で撮像された複数枚の画像データをデータ処理部700で処理することにより、像面湾曲を算出するステップ731。このとき、像面湾曲で使用するアレイ光源100の配置は、N×Nのマトリックス配置を検討しているが、図8に示すように中心位置とXY方向に等間隔な5点、合わせて9点130の点像があれば問題ない。図9に撮像カメラ300上に形成された点像を示す。図9aに示すように、取り込む複数枚の画像730は、撮像カメラ300をデフォーカス821、822、823したものである。図9bは、図9aのデフォーカス821面における中心位置とXY方向に等間隔な5点、合わせて9点330の点像である。これらX軸方向5点のうち、3つの点像331,332,333の強度分布331’,332’,333’を図10aに示す。このとき、最外点像333が、絞られたスポット、かつ最大強度を得ており、焦点が合ったポイントであることがわかる。また、Y軸方向5点に関しても同様である。図9cは、図9aのデフォーカス822面における中心位置とXY方向に等間隔な5点、合わせて9点340の点像である。これらX軸方向5点のうち、3つの点像341,342,343の強度分布341’,342’,343’を図10bに示す。このとき、中心から3番目の点像342が、絞られたスポット、かつ最大強度を得ており、焦点が合ったポイントであることがわかる。また、Y軸方向5点に関しても同様である。図9dは、図9aのデフォーカス823面における中心位置とXY方向に等間隔な5点、合わせて9点350の点像である。これらX軸方向5点のうち、3つの点像351,352,353の強度分布351’,352’,353’を図10cに示す。このとき、中心点像351が絞られたスポット、かつ最大強度を得ており、焦点が合ったポイントであることがわかる。また、Y軸方向5点に関しても同様である。各デフォーカス面821、822、823において、焦点が合ったポイントは、点像のスポット径サイズ、および最大強度から求めるものとする。特に、焦点が合ったポイントでは、点像のスポット径サイズが小さくなり、最大強度が高くなる。また、撮像カメラ300のデフォーカス821、822、823は精度の観点から最低5回以上に設定する必要がある。図11に撮像カメラ300のデフォーカス量361と像高ポイント362による像面湾曲のグラフを示す。図10で示した、各デフォーカス面821、822、823で、焦点が合ったポイント333、342、351を、図11の像面湾曲のグラフにプロット365、364、363すると像面湾曲量367が求まる。また、Y軸方向5点に関しても同様である。次に、算出した像面湾曲が所望の閾値をみたすかデータ処理部700で判断するステップ732。この閾値以下ステップ732:YESの場合、補正は行わない。一方、閾値以上ステップ732:NOの場合、像面湾曲に感度のあるレンズを選定するステップ733。このとき、像面湾曲に感度のあるレンズは、誤差解析等を行い、選定される。さらに、選定した像面湾曲に感度のあるレンズの偏心量をある一定量ずつ可変させながら、像面湾曲量367に対する偏心量の関係式グラフを求めるステップ734。求めた像面湾曲量367に対する偏心量の関係式グラフをもとに、選定レンズを調整し、像面湾曲を補正するステップ735。再度、像面湾曲を算出ステップ731し、算出した像面湾曲が所望の閾値をみたすかデータ処理部700で判断するステップ732。以上を閾値以下ステップ732:YESとなるまで繰り返す。なお、図7のステップ731-735は、図2のステップ715、716、図3の755、756に対応する。図12を用いて、3に示した球面コマ非点収差の測定および補正方法について詳細に説明する。まず、アレイ光源100からの光が、被検査結像光学系200を介し、撮像カメラ300上にマトリックス状の複数の点像を形成する。この撮像カメラ300上に形成されたマトリックス状の複数の点像を画像として取り込むステップ740。撮像カメラ300で撮像された画像データをデータ処理部700で処理することにより、球面コマ非点収差を算出するステップ741。球面コマ非点収差で使用するアレイ光源100の配置は、N×Nのマトリックス配置を検討しているが、少なくとも中心点像があればよい。ここで、図13は、ステップ741における被検査結像光学系の収差同定の手順を表すフローチャートである。まず、被検査結像光学系200を介して、撮像カメラ300上に形成されたアレイ光源100からの光の点像は画像データとしてデータ処理部700に取り込まれるステップ7411。また、予め収差を表すゼルニケ係数をパラメータとし、被検査結像光学系の波面収差が様々な場合の点像を理論的にデータ処理部700により計算する。そしてこの計算結果をデータベースに記録しておくステップ7412。次に、ステップ7411にて取得した点像の画像データと、ステップ7412でデータベースに格納した多数の点像計算結果の間でそれぞれの差分を求める。そして、差分画像の一部または全部で残留強度をデータ処理部700により算出し、その残留強度の最小値となる画像を選択するステップ7413。このステップ7413で求めた強度分布の変化を線形変化もしくは非線形変化とし、数式を導出するステップ7414。この導出数式が成り立つ範囲で最適化手法を用い、残留強度が最小となる収差パラメータを探索するステップ7415。探索した残留強度の最小値と任意に設定した閾値とを比較しステップ7416、この最小値が閾値以下の場合にはステップ7416:YES、差分画像の残留強度が最も低かった点像を類似点像と推定する。そしてこの類似点像と推定された点像の収差を、結像レンズ収差と同定するステップ7417。一方、このステップ7416で求めた最小値が閾値より大きい場合ステップ7416:NO局所的な最小値である可能性が高い。そこで、最適化手法の各収差パラメータ間の相関関係などによる制約条件を再考し、再び最適化を行う。次に、データ処理部700により算出した球面コマ非点収差が所望の閾値をみたすか判断するステップ742。この閾値以下ステップ742:YESの場合、補正は行わない。一方、閾値以上ステップ742:NOの場合、球面コマ非点収差に感度のあるレンズをそれぞれ選定するステップ743。このとき、球面コマ非点収差に感度のあるレンズは、誤差解析等を行い、選定される。さらに、選定した球面コマ非点収差に感度のあるレンズの偏心量をある一定量ずつ可変させながら、球面コマ非点収差量に対する偏心量の関係式グラフを求めるステップ744。この関係式グラフをもとに、選定レンズを調整し、球面コマ非点収差を補正するステップ745。再度、球面コマ非点収差を算出ステップ741し、算出した球面コマ非点収差が所望の閾値をみたすか判断するステップ742。以上を閾値以下ステップ742:YESとなるまで繰り返す。なお、図12のステップ742-745は、図2のステップ717、718に対応する。図14に結像光学系のレンズ組立て調整、および像面歪み、像面湾曲、球面コマ非点収差の測定に適用する、光源配置を示す。結像光学系のレンズ組立て調整、および球面コマ非点収差で使用するアレイ光源の配置は、少なくとも中心点像があればよい。また、像面歪みで使用するアレイ光源の配置は、中心位置と四隅の5点の点像があれば問題ない。さらに、像面湾曲で使用するアレイ光源の配置は、中心位置と中心位置からXY方向にそれぞれ等間隔な4点、合わせて9点の点像があれば問題ない。従って、図14aに示すように、中心点像、四隅の4点の点像、およびXY方向にそれぞれ等間隔な4点、合計13点の点像を形成できる光源配置141が最低限必要である。また、図14bに示すように、図14aの光源配置に加えて、軸対称なXY方向にも等間隔な各4点、合計21点の点像を形成できる光源配置142でもよい。あるいは、より高精度に測定するために、図14cに示すような、N×Nのマトリックス光源配置143でもよい。本実施例によれば、結像光学系のレンズ組立て調整、および像面歪み、像面湾曲、球面コマ非点収差の測定補正を、同一光学系で行うことができる。"