"互いに相対移動する第1、第2の部材のうち、第1の部材に配される磁気媒体と、第2の部材に配される磁気センサーとを含み、前記磁気センサーが、前記磁気媒体に対して相対的に往復摺動し、当該磁気媒体から発生する磁界を検出する磁気抵抗効果素子を有するセンサー基板と、当該センサー基板を保持するセンサー保持板と、前記磁気抵抗効果素子からの信号を外部に取り出す配線と、を具備し、前記センサー保持板は、センサー保持板を前記第2の部材に固定する固定部と、前記センサー基板を保持するセンサー保持体と、前記センサー保持体を挟んで、前記相対移動の方向に複数配され、固定部から伸びて片持ち梁となる腕部と、を含み、前記腕部の幅が、前記センサー保持体側より固定部側に向かって連続的または段階的に大きくなる部分を有することを特徴とする磁気式エンコーダ。前記センサー保持体は、前記複数の腕部に対応して設けられ、各腕部と前記センサー基板を支持する部材との間に介在する複数の弾性変形部を備える請求項1記載の磁気式エンコーダ。前記腕部のうち、前記磁気媒体に交差する交差部での最大幅M2と、前記弾性変形部のピッチ方向の回転中心軸から固定部までの長さL4と、前記弾性変形部の長さの総和Lallと、幅Waとが、M2/L4>Wa/Lallの関係を満たすことを特徴とする請求項2に記載の磁気式エンコーダ。前記磁気媒体の前記固定部側の縁と前記弾性変形部のピッチ方向の回転中心軸との距離L1は、前記磁気媒体の幅Wbを用いて、Wb/3≦L1≦2Wb/3の関係を満たすことを特徴とする請求項2に記載の磁気式エンコーダ。図21に示す特許文献3の様に摺動方向の幅を0.3mm以下と小さくすることで、Xオフセットやロール角の変動があっても、ギャップ変動を抑えることはできる。しかしながら、このような磁気式エンコーダは、実装する上で次の様な問題が発生している。すなわち摺動方向の幅wが小さいため、磁気センサー素子1の摺動方向の両端の稜部614が磁気媒体615と接触し易くなり、これより稜部614に曲面を形成する必要がある。従来の磁気センサー素子は、ウェファー上に素子を形成した後、砥石でウェファーを切断して得ていた。しかし、稜部に曲面形成を行うには磁気センサー素子を単体にして行う必要があり、製造コストの低減が難しい。図21に示した特許文献3には、磁気センサー素子601の厚みh’に関して具体的な数値の記載はないが、磁気センサー素子601の周囲にFPC612が設けられており、磁気センサー素子601の厚みh’は、FPC612の厚さより厚くする必要がある。一方FPC612の厚さは少なくとも0.5mmであるので、磁気センサー素子601の厚さh’もまた、少なくとも0.5mmである。つまり、磁気センサー素子601の厚みh’は、少なくとも摺動方向の幅wの数倍になる。ところがこのように、幅wより厚みh’の厚い素子を、サスペンション613上に垂直に固着することは難しい。また、磁気センサー素子601の摺動方向の幅wの中央部に加圧点が位置するように固着することも困難である。磁気センサー素子は、加圧点を支点として、磁気媒体の移動方向に引き連れられる様に力を受ける。加圧点が、磁気センサー素子の上記中央部からずれると、磁気センサー素子は傾き易くなり、センサー素子端部の稜部614が磁気媒体615と接触する頻度が更に高くなり、耐摩耗性の低下を招く。また、摺動面積を小さくしたため、従来通りの磁気センサーを磁気媒体に押付ける荷重値では、単位面積当りの押付け力が大きくなり過ぎ、耐摩耗性の低下を招く。そのため、荷重を小さくする必要が出て来るが、荷重を小さくすると衝撃等で外部から磁気式エンコーダに力が加わった時に、磁気センサー素子601が傾き易くなることも考えられる。特許文献4の構成では、センサ固着部が固定部と平行な関係を保ちつつ上下移動し、センサの検出部のギャップ変動を減少させると説明されている。特許文献4では、Z軸方向においても予め折り返し、平板ではなくなっているばね性アーム部を用いている。さらにこのばね性アーム部が長いため、反ったときに固定部から延伸した第1のばね性アーム部の端同士を結ぶ線が軸線となり、センサ固着部にピッチ方向の回転をもたらすため、特許文献2開示の技術と同様にギャップ変動が課題になる。また、細幅のまま、つづら折り形状で長く延伸している部分が有るため、ロール方向で傾いてしまう可能性がある。特許文献5の構成では、2つの固定部が用いられ、板ばねが両持ち梁構造である為、外部衝撃の影響は抑制される。しかし、両持梁を支える固定部が2箇所ある為、センサー保持板の更なる小型化を図ることは難しい。本発明は、センサー保持板を小型化しつつ、衝撃等の外力に対しても安定していて磁気センサー素子と磁気媒体間のギャップ変動を抑制できる磁気式エンコーダを提供することを、その目的の一つとする。本発明の磁気式エンコーダは、互いに相対移動する第1、第2の部材のうち、第1の部材に配される磁気媒体と、第2の部材に配される磁気センサーとを含み、前記磁気センサーが、前記磁気媒体に対して相対的に往復摺動し、当該磁気媒体から発生する磁界を検出する磁気抵抗効果素子を有するセンサー基板と、当該センサー基板を保持するセンサー保持板と、前記磁気抵抗効果素子からの信号を外部に取り出す配線と、を具備し、前記センサー保持板は、センサー保持板を前記第2の部材に固定する固定部と、前記センサー基板を保持するセンサー保持体と、前記センサー保持体を挟んで、前記相対移動の方向に複数配され、固定部から伸びて片持ち梁となる腕部と、を含み、前記腕部の幅が、前記センサー保持体側より固定部側に向かって連続的または段階的に大きくなる部分を有することとしたものである。本発明によれば、センサー保持板を小型化し、衝撃等の外力に対しても安定していて、磁気センサー素子と磁気媒体間のギャップ変動が小さい磁気式エンコーダを得ることができる。以下、図面を参照しながら実施形態を詳細に説明する。本発明は必ずしもこれらに限定されるものではない。判り易くするため、同一の部品又は部位には同じ符号を用いる。一対となっている部位には、左右のどちら側であるかを示す為に、符号の後にa又はb等のアルファベットを付した。例えば符号50であれば50aと50bが対応する。実施形態1図1に本発明の実施の形態の一側面に係る磁気式エンコーダの概略図を示す。本実施の形態の磁気式エンコーダは、図1に示すように、磁気媒体である磁気シート60、磁気センサー素子であるGMRGiantMagnetoResistiveeffect素子2aを配したセンサー基板10、ガラスエポキシ配線基板20、及びセンサー保持板30を備え、取り付け台50に固定されてなる。図1は、本実施の形態の磁気式エンコーダを、磁気シート60図中、破線で示す側から、磁気シート60を透視して見た状態を表す。またセンサー保持板30の背面に隠れている取り付け台50を鎖線で示す。取り付け台50は、例えば本実施の形態の磁気式エンコーダをカメラ用オートフォーカス機能のために用いる場合、カメラ用レンズ鏡筒の一部分に相当する。図2は、図1に示した磁気式エンコーダを、磁気媒体である磁気シート60側からY軸負の向きに見たときの側面図である。図2では、磁気媒体である磁気シート60にセンサー基板10を押し当てて、弾性変形部32を撓ませた状態にある。また図3は、図1に示したセンサー保持板30の平面図である。図4は図3のA-A’断面、図5が図3のB-B’断面を示す。また図6はセンサー保持板30の正面図、図7は背面図、図8は左側面図、図9は右側面図、図10はセンサー保持板30の底面図である。なお、ここでも磁気媒体と磁気センサーとの相対移動方向をX軸とする。磁気媒体が曲面である場合、X軸は磁気センサーが接触している点における磁気媒体の接線方向をX軸とする。またこのX軸と垂直な方向のうち、磁気媒体の曲率中心と交わる方向動径方向をZ軸、他方をY軸と定義する。センサー保持版30はさらに、センサー保持部31と、弾性変形部32と、支持部33と、固定部37とを含む。固定部37は、磁気媒体に重ならない位置に配され、取り付け台50に固定される。図1に示すセンサー保持板30は、固定部37に形成した孔39a,39bを用いて取り付け台50a,50bにねじ止めで固定されている。センサー保持板30を取り付け台50に固定することで、磁気シート60に対してセンサー基板10を所定の位置に所定の荷重で押付ける。またこのセンサー保持板30のセンサー保持部31と、2つの弾性変形部32と、支持部33と、固定部37とは、一枚の金属薄板を加工して、一体的に形成されてもよい。これより、弾性変形部32や支持部33を剛性の高い別の部材で作製して組み立てる場合やセンサー保持板30のほかにピボットを併用する場合に比べて、一体の板バネとしてセンサー保持板30を形成し、薄型化を図ることができる。なお、以下では、弾性変形部32及び支持部33を、弾性アーム部と称する。また一体の板バネとして形成したセンサー保持板30は、センサー基板の姿勢角変動を低減し、部品点数の低減及び組立コストの低減にも寄与している。このセンサー保持板30を磁気式エンコーダに使う際には、平板の状態で用いてもよい。センサー保持部31は、ガラスエポキシ配線基板20を保持する。支持部33は、複数の腕部331a,bを備える。またこの支持部33には、切欠332が形成される。腕部331は、磁気センサーを配するべき位置を挟んで、磁気媒体との相対移動方向、つまりX軸方向幅方向に離隔して少なくとも一対設けられる。腕部331は、固定部37に接続されており、固定部37側ほど段階的、または連続的に幅が広くなるように構成される。本実施の形態では、各腕部331は、磁気媒体に交差する交差部34を備える。この交差部34は、腕部331のうち、固定部37とは反対側の端部から、弾性変形部32のピッチ角方向への回転中心軸X軸に平行な一点鎖線で示し、以下、弾性変形部32のピッチ回転中心軸と呼ぶから固定部37へ向かって距離L2までの範囲の部分である。また支持部33の腕部331には、さらにこの交差部34より幅方向に大きめに形成した太幅部35弾性変形部32のピッチ回転中心軸X軸に平行な一点鎖線で示すから固定部37へ向かって距離L2から距離L3までの範囲と、太幅部35の幅から連続的に幅広になるよう形成した広幅部36弾性変形部32のピッチ回転中心軸X軸に平行な一点鎖線で示すから固定部37へ向かって距離L3から距離L4までの範囲を含む。図1では、固定部37と接続される部分で広幅部36の幅と、固定部37の幅とが実質的に同じであるようにした例を示している。切欠332は、支持部33の幅方向の略中心部に、固定部37の方向に向かって凹となるように形成されている。切欠332の幅は、ガラスエポキシ基板20の幅より大きくしておく。腕部331a,bの交差部34a,bには、それぞれ弾性変形部32a,bを介して、磁気センサーを保持するセンサー保持部31がその両側から接続される。図1において弾性変形部32は、やや幅細に形成した部材をつづら折り状に折り返したものとしている。なお、センサー保持部31と、弾性変形部32とを、センサー保持体と呼ぶ。つまり本実施の形態では、各腕部331が、弾性変形部32のピッチ回転中心軸から磁気センサー素子であるGMR素子2aの中心までの距離L0の位置から、固定部37側に向かって、当該腕部331の幅が段階的または連続的に広げられる部分を有する。このように、支持部33をその付け根に向って拡幅することで、剛性を高め、センサー基板10がロール方向で傾くことを抑制する。この剛性向上により、平板の板バネの状態で用いても、薄型且つピボットレスで用いることができる。Y軸方向に平行な一点鎖線は、センサー保持部31の幅方向の中心と固定部37の幅方向の中心を結ぶ中心線に相当する。図1では、弾性変形部32が、この中心線に対して対称になるよう形成した例を示している。弾性変形部32は、センサー保持部31の幅方向に延びており、つづら折り形状である。それらのピッチ方向の回転軸を一点鎖線で示す。この一点鎖線がセンサー保持部31のピッチ方向の回転軸となるよう、センサー保持部31の両側にはそれぞれ弾性変形部32a,32bが連なっている。それぞれの弾性変形部32の他方の端は、片持ち梁として機能する支持部33で支持され、支持部は固定部37に接合するよう連なっている。弾性変形部32は、センサー基板を磁気シートに押し付ける際に、バネ荷重を発生する部位となり、磁気シートとセンサー基板の摺動を安定させる。また、弾性変形部32は、ピッチ剛性を小さくすることが出来るので、ピッチ角変動に対して、エアギャップの広がりを抑えることができる。センサー基板10は、ガラスエポキシ基板20に固定される。またガラスエポキシ基板20は、Y軸方向に長い矩形状をなし、その一方側端部においてセンサー保持部31に固定され、他方側端部は、支持部33の切欠332内に配され、また支持部33に接触しない位置に配される。このガラスエポキシ基板20上には、センサー基板10に配されるGMR素子2aの端子の数だけの配線が形成されている。センサー基板10中のGMR素子2aの中心中心線を表すY軸に平行な一点鎖線とX軸に平行な二点鎖線との交点は、弾性変形部32のピッチ方向の回転軸弾性変形部32のピッチ回転中心軸、X軸に平行な一点鎖線で示すよりも、支持部33側の磁気シートの縁60aに近接した位置に配される。この位置とすることで、GMR素子2aにおいてピッチ角変動の影響を抑制でき、そして、センサー基板を磁気シートに押し付ける際に支持部33が変形することを抑制することができる。腕部331の交差部34において、弾性変形部32と接続する箇所の両側にはX軸方向にスリット333を形成する。スリット333を形成した領域の交差部34の幅M1は、交差部34の残りの部分における幅M2よりも小さい。スリット333を形成することで、衝撃等の外力が加わっても、弾性変形部32と交差部34の接続箇所に応力が集中することが抑制される。応力集中は、材料の降伏応力を超えて作用して変形が回復しなくなることがあるので、避けるべきである。また本実施の形態では交差部34の大部分において幅を太くしてM2としているので、支持部の幅をM1として、そのまま延伸する場合に比べて、剛性が高められている。太幅部36の幅M3は、次のようにして定める。すなわち太幅部36には、衝撃等の外力で配線基板20が傾いたときに、配線基板20が太幅部36に干渉することを避けるために、切欠332を形成している。従って、腕部331の交差部34よりも中心線側に拡幅して太幅部36を形成するが、外力により配線基板20が傾いても接触しない程度に、切欠332の幅を置く。このようにして太幅部36の幅M3が定められる。これにより支持部33の剛性が高められる。広幅部37においては、この太幅部36よりさらに外側に向けて幅をM4だけ拡幅しており切欠332の端からはM3M4の長さとなる、剛性の向上に寄与している。またこの広幅部37には、孔38を形成して、センサー保持板の仮止めに利用することとしてもよい。このように支持部33を全体として、その付け根に向って拡幅することで、剛性を高め、センサー基板10がロール方向で傾くことを抑制する。この剛性向上により、平板の板バネの状態で用いても、薄型且つピボットレスで用いることができる。Y軸方向に平行な一点鎖線は、センサー保持部31の中心と固定部37の中心を結ぶ中心線に相当する。またここでは腕部331は中心線に対して対称に形成している。図1において、センサー基板10の図中下方Y軸負の方向の端近傍には電極パッドを配し、配線基板であるガラスエポキシ基板20とはワイヤー配線を介して導通する。ガラスエポキシ基板20は無鉛はんだを介してFPC40と導通させている図示を省略する。FPC40は樹脂51等によって、固定部37の端部Y軸負側の端部に固定してもよい。つまり、GMR素子2aからの電気信号は、ガラスエポキシ基板20上の配線及びFPC40を介して、外部に取り出される。FPC40はガラスエポキシ基板20上の配線に接触する部位における幅よりも、当該部位から樹脂51で固定した位置までの間での幅が細くなるようにしている。この細幅化によって、ピッチ方向におけるセンサー保持板の動作を妨げないようにしているのである。幅太のFPCを用いると、センサー保持板31を磁気シートと平行に対面させる弾性変形部32の作用が妨げられる場合があるためである。図1においてL0は、弾性変形部32のピッチ方向の回転軸とGMR素子2aの中心との距離であり、X方向に沿った1点鎖線と2点鎖線の間隔に相当する。またL1は、弾性変形部32のピッチ方向の回転軸X軸に沿った向きの1点鎖線から磁気シートの縁60a固定部37に近い側の縁までの距離である。さらにL2は弾性変形部32のピッチ方向の回転軸X軸に沿った向きの1点鎖線から腕部331の交差部34と太幅部35との境界までの寸法に相当する。L3は弾性変形部32のピッチ方向の回転軸X軸に沿った向きの1点鎖線から太幅部35と広幅部36との境界までの寸法に相当する。L4は弾性変形部32のピッチ方向の回転軸X軸に沿った向きの1点鎖線から広幅部36と固定部37との境界までの寸法に相当する。なお、図1においては交差部34,太幅部35,広幅部36の各境界を破線で示しているが、既に述べたように、センサー保持部31と、2つの弾性変形部32と、支持部33と、固定部37とは、一枚の金属薄板を加工して、一体的に形成されてもよく、この破線は説明のためのものに過ぎない。弾性変形部32の幅はWaであり、センサー保持部31と支持部33とを接続する。この弾性変形部32の長さをLa11とするとき、M2/L4>Wa/Lallを満たすことが好ましい。Waを小さくすることで、弾性変形部32の剛性を小さくして、ピッチ方向においてセンサー保持部31が磁気媒体と平行に対面しようとすることを、支持部33が妨げないようにする。さらに支持部33の幅を固定部37側で大きくしていく。このようにすることで、後述する弾性変形部32と支持部33の役割分担を図る。磁気媒体の固定部37側の縁と弾性変形部32のピッチ回転中心軸との距離L1は、磁気媒体の幅Wbに対して、Wb/3≦L1≦2Wb/3の関係を満たすことが好ましい。この距離L1が2Wb/3より大きくなると、磁気媒体よりY軸正の方向にセンサー保持部31が更に突出し、センサー保持部31が大きくなり過ぎるので、小型化の観点から望ましくない。一方、L1がWb/3より小さくなると、次に説明する1式の関係を満たせなくなり、磁気媒体とセンサー基板10とを離隔させる力が働くこととなるので好ましくない。弾性変形部32のピッチ方向の回転軸と、センサー基板10中のGMR素子2aのY軸方向の中心との距離をL0とすると、L0を0より大きくすることが好ましい。L1は、弾性変形部32のピッチ回転中心軸から磁気媒体の固定部37側の縁までの距離に相当する。センサー基板10は、磁気媒体の固定部37側の縁に接触し、センサー基板10自体がわずかな傾きをもっていることから、ピッチ回転中心軸位置ではエアギャップを生じている。ピッチ回転中心軸は、弾性変形部32の幅Waの付け根同士を結ぶ線Waの中心線よりも、固定部37側とは反対側に位置していることが好ましい。さらに、磁気媒体とGMR素子2aを搭載したセンサー基板10とのエアギャップの発生を抑制し、センサー基板10を磁気媒体に摺動させるために、本実施形態の構成において次の1式を満たすよう、L1を定めることが望ましい。FL1>kpθ1ここで、Fはセンサー保持部のピッチ回転中心軸位置において加える荷重であり、センサー保持部31のピッチ回転中心軸位置におけるセンサー保持部31のバネ定数kと、押圧高さtとの積で求めることができる。つまり、F=ktである。センサー保持部31のピッチ回転中心軸位置において、tは初期状態におけるセンサー基板10及び磁気媒体間のエアギャップに相当する。このFとL1の積であるFL1はモーメントを表している。またkpは、センサー保持板のピッチ剛性に相当し、θは、初期状態における、ピッチ角に相当する。初期状態とは、センサー保持板を取り付け部に固定し、センサー基板が磁気シートを押圧している最初の状態に相当する。すなわち、kpとθとの積が、FとL1との積よりも大きいという条件下で、本実施の形態の磁気式エンコーダを構成することが望ましい。ピッチ剛性はピッチ角を1°つけるのに必要な力単位:gfmm/°である。測定方法は、センサー保持部31におけるピッチ回転中心軸位置から1mm離れた位置Y方向に離れた位置に1gfを加えたときに、荷重位置での変位高さの変位:Z方向変位を変位計で測定し、ピッチ角θを計算して求める。本実施の形態のセンサー保持部31では、kpを0.4~0.9gfmm/°程度としている。より望ましくはkpgfmm/°は0.4以上、0.6以下とする。1gfは10mNに相当する。弾性変形部32としては、つづら折り型、つづら折り型を曲線状に変形した蛇行型、矩形状のリング型、円或いは楕円のリング型などの形状を用いることができる。リング型は複数のリングを連結したタイプを用いることもできる。弾性変形部の梁の長さLallは、つづら折型であれば、屈曲している経路の中心をなぞった長さがLallに相当する。リング型であれば、枝分かれした経路の分も長さを加算してLallを求める。Waは、経路の幅に相当する。なお、幅が途中で変動する場合、全長に亘る幅の積分値を全長で除した平均値をWaとすればよい。センサー保持部31と固定部37との間には、弾性アーム部と配線基板であるガラスエポキシ基板20とが接触することを避けるためのスペースとして、支持部33に凹部である切欠332を形成する。このスペースによって、衝撃等の外力によって弾性アーム部が撓んでも、弾性アーム部が配線基板に接触することが避けられる。センサー保持部31は、磁気センサーであるGMR素子2a等が磁気媒体に対して摺動する方向を回転軸とする回転に対する弾性と、この摺動方向に垂直で且つ磁気媒体表面に平行な方向を回転軸とする回転に対する弾性を有し、さらに、センサー保持部31の平面に垂直な方向に対し弾性を有することが好ましい。センサー保持部31は、一対の弾性アーム部を介して1つの固定部37に接続される。そしてこの固定部37が、取り付け台に固定されることで、センサー保持部31が弾性アームと固定部37とを介して、取り付け台に支持される。弾性アーム部は弾性変形部32と支持部33とを含んで構成されている。この支持部33は、いわゆる、片持ち梁片持ちばねとも称するの構造となっている。支持部33の端近傍交差部34と磁気媒体のZ軸方向の距離が変動しても、センサー保持部31が固定部37に対して平行状態を保ちながらZ軸方向に上下移動するよう、弾性変形部32が作用する。これにより磁気センサーと磁気媒体とのギャップ変動を著しく低減できる。弾性変形部32は、その幅Waを支持部33の腕部331の交差部34の最大幅M1よりも小さく、またX軸方向をピッチ方向の回転軸とするよう支持されている。支持部33の腕部331は、固定部37側に向かうほど幅を広くしていくことで、剛性を高め、センサー保持部31に設けられるセンサー基板10がロール方向に傾くことを抑制している。このように、弾性変形部32と支持33部とがそれぞれの役割を分担している。さらに本実施の形態の磁気式エンコーダでは、1つの固定部37と一対の弾性アーム部、並びにセンサー保持部31が略同一平面内にある。センサー保持板30を構成するセンサー保持部31、弾性アーム部及び固定部37は、同一の材料で、均一の厚みとしておく。この厚みは、50μm以上200μm以下であることが好ましい。50μm未満ではセンサー保持板の剛性が低下してハンドリングすることが難くなり、また200μmより厚いとセンサー保持板の剛性が大きいので磁気媒体に押し当てる力も大きくすることになり、耐摩耗性を損なうことが懸念される。センサー保持板30のセンサー保持部31、弾性アーム部及び固定部37は一体的に作製される。具体的には、1枚の金属板をエッチングや打抜きプレスで、センサー保持板30全体の平面形状を作製できる。用いる金属材質により、好適な厚みは異なるが、ロール方向やピッチ方向、磁気媒体に押付ける方向の弾性から、50μmから200μmの金属板を使用することが好ましい。取り付け部50に固定される前に、センサー保持板30はZ軸方向に曲げられてはおらず、平板として用いる。磁気媒体からの磁界を乱さないためにも、センサー保持板30は非磁性材で作製されることが好ましい。すなわち、ばね性を有する非磁性金属で、化学エッチングができる材質で作製されるものを選択すればよい。弾性アーム部の複雑な形状を打抜きプレスで加工する場合には、プレス金型のコストや、形状修正の困難さが生じることを考慮して、化学エッチングできる材質を選ぶこととしてもよい。このような化学エッチングが容易で折り曲げ加工ができる材料の例としては、非磁性ステンレスFe-Ni-Crや燐青銅材Cu-Sn-P、洋白Cu-Ni-Zn、黄銅Cu-Zn等がある。また銅合金を用いることもできる。例えば上記の洋白は洋銀と称されることもある銅系合金である。本実施の形態の磁気式エンコーダでは、センサー保持部31の平面に垂直な方向において、磁気媒体に対して50mN5gf以上800mN82gf以下の押し付け荷重を与えることが好ましい。50mN未満では、磁気媒体への磁気センサー素子の押付け荷重力が小さ過ぎるため、摺動時に磁気センサー素子面が磁気媒体面から離れ、出力電圧が変動する可能性が大きくなる。これは、磁気媒体の表面の僅かなうねりや腕部での飛び跳ね、外力による離れ等で起こるものである。一方、押し付け荷重が、800mNを超えると磁気センサー素子の飛び跳ねや、外力による離れは押させることできるが、耐磨耗性の問題が発生する。例えばプラスチックフィルム上に磁性体をコーティングした磁気媒体では、荷重を上げすぎると磁気媒体表面が変形し、磁気センサー素子の幅が小さい場合、磁気センサー素子の摺動方向側の端部稜部で、磁性体を削る現象が起こり、耐摩耗性が急激に悪化する。磁気媒体表面が変形する荷重値は次のようにして求めることができる。曲率半径25mmの磁気媒体表面に透明ガラス板を押し当て、透明ガラスと磁気媒体の接触幅が0.5mmになる荷重を求める。ここで接触幅が0.5mmで、磁気媒体表面が変形するとし、磁気媒体の幅方向は3mmとし、磁気媒体の表面の平均面粗さRaは約1μmであるとする。また磁気媒体のプラスチックフィルムはPETで200μm厚、磁性体は平均粒径1μmから10μmのストロンチュームフェライト粉末を、30μm厚に塗布したものであるとする。すると、変形が始まる荷重は1136mN116gfであり、接触している面積から磁気媒体が変形を起こす単位面積当たりの荷重は、757mN/mm2である。安全率を考慮して、押し当て荷重を800mN82gf以下とすれば、単位面積あたりの荷重は約530mN/mm2以下となる。このように単位当たりの荷重値を530mN/mm2以下とすることで、磁気センサー素子を有するセンサー基板10による磁気媒体表面の変形が起こらない。また単位当たりの荷重値を530mN/mm2以下とした場合、センサー基板10の摺動方向の幅は0.5mm以上とする必要がある。センサー基板10は略長方形状とすることができる。センサー保持部31の中心が、磁気媒体に押し付け荷重を与える荷重点になる。この荷重点に磁気センサー素子である磁気抵抗効果素子例えばGMR素子2aを配することで、磁気媒体との間で相対的な往復移動をしたときに、移動方向による磁気センサー素子の出力の差を最小限にすることができる。本実施の形態の磁気式エンコーダのセンサー保持板は図1に例示したものに限られない。図11は、本実施の形態の別の態様に係るセンサー保持板30’の正面図である。この態様では、図1に例示したセンサー保持板30の弾性変形部32bの形状を変更し、図11に弾性変形部32dとして示したようにしている。その他の部分は、図1のセンサー保持板30と同様である。すなわち、図1のセンサー保持板30では、センサー保持部31の両側にある弾性変形部32a,32bは、センサー保持部31のY軸に平行な中心軸に対して線対称であった。それに対して図11に示す例では、弾性変形部32aと弾性変形部32dとは互いにX軸に平行な回転軸に対して折り返した関係にある。具体的に、この弾性変形部32dは、図11中に、X軸に平行に引いた1点鎖線を軸として、図1の弾性変形部32bとは上下反転した形状となっている。この図11の例では、交差部34a,bにおける各弾性変形部32a,dの付け根2箇所と、センサー保持部31側における各弾性変形部32a,dの付け根2箇所の幅方向中心を結ぶ線を一点鎖線X軸に平行で表している。弾性変形部32aと弾性変形部32dが点対称の形状になっているため、ピッチ回転中心軸位置は、交差部34a,bにおける各弾性変形部32a,dの付け根2箇所と、センサー保持部31側における各弾性変形部32a,dの付け根2箇所の幅方向中心を結ぶ線1点鎖線上に近づく。つまり図11の例では、実質的に交差部34a,bにおける各弾性変形部32a,dの付け根2箇所と、センサー保持部31側における各弾性変形部32a,dの付け根2箇所の幅方向中心を結ぶ線一点鎖線上に弾性変形部32のピッチ回転中心軸位置がある。ただし、このように近づけていくと、弾性変形部のねじれを抑制し難くなる傾向がある。なお、図12は図11のセンサー保持板30’の底面図である。なお、このセンサー保持板30’の断面は図4,図5に図示した例と同様になるので、図示は省略する。また本実施の形態のまた別の態様に係るセンサー保持板の平面図を図13に示す。図13に例示するセンサー保持板30’’では、図1における一対の弾性変形部32a,32bを、他の形状の一対の弾性変形部32e,32fに変更した以外は、図1のセンサー保持板30と同様である。弾性変形部32e,32fは、それぞれ外周が矩形のO字状リングを2個連結した形状をなしている。なお、Y軸を軸線として左右に鏡像反転させると背面図を得られる。本実施の形態の磁気式エンコーダでは、以上のようにセンサー保持板30を構成しており、次のように動作する。ここでは一例としてカメラのレンズを回転させてピントを合わせるピント合わせ機構において、レンズの回転位置を検出する例について説明する。この例ではレンズの回転可能部に磁気媒体としての磁気シート60を配する。また、レンズの回転させない部分にセンサー保持板30の固定部37を固定し、磁気シート60上にセンサー保持板30に搭載したセンサー基板10が摺動するように配しておく。こうして磁気シート60がセンサー保持板30を相対移動できるようにする。また、磁気シート60は、センサー保持板30との相対移動方向に、予め定めた間隔ごとに着磁方向を互いに異ならせている。GMR素子2aは、磁気シート60の、当該GMR素子2aに近接する範囲の着磁方向を検出して、当該検出の結果を電気的信号として出力する。カメラのレンズを回転させ、磁気シート60がセンサー保持板30に対して相対移動すると、センサー保持板30のGMR素子2aが近接する磁気シート60の部分の着磁方向が変化し、GMR素子2aが出力する電気的信号もそれに応じて変化する。本実施の形態の磁気式エンコーダは、この電気的信号の変化から、レンズの回転位置を検出する。図14は、本発明の実施の形態のさらに別の態様に係るセンサー保持板の例を表す平面図である。図14に例示するセンサー保持板では、交差部34から太幅部35の範囲で、外周を連続的に拡幅している。また、切欠部332の切り欠き形状を、略矩形状ではなく、交差部34側で切り欠きの幅を拡幅した形状をなすようにP、加工している。また、本実施の形態では、この外周の拡幅と、切り欠き幅の拡幅は、いずれか一方のみを行うこととしてもよい。図1に例示したセンサー保持板30を、80μm厚の非磁性ステンレスSUS304の薄板を打ち抜くことで作製した例を以下に説明する。屈曲している弾性変形部32の直線状部分の幅は、基本寸法を0.8mmとし、部分的に応力集中を緩和するため変更しているこれらの平均直線状部分の全長に亘って幅を積分し、全長長さの値で除した値がWaとなるようにしている。このセンサー保持板30は、最大寸法で縦10mm、横15mmである。GMR素子2aには、複数のスピンバルブ素子をブリッジ接続し、各スピンバルブ素子の長手方向をセンサー基板30の長手方向Y軸方向と平行とし、各スピンバルブ素子同士を平行に配置した。センサー基板10は、次のようにして作製する。まずシリコンウェハ上に、フォトリソ技術と真空成膜技術、エッチング技術を用い、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子と配線を形成する。そして磁気抵抗効果素子の上には約2μm厚で酸化シリコンの被膜を被覆する。こうして磁気抵抗効果素子等の形成が終了したウェハを、ダイヤモンド砥石で幅w0.5mm、長さ3.0mmに切断し、センサー基板10を得る。磁気抵抗効果素子や配線、磁気抵抗効果素子上の酸化シリコン被膜の厚みは、各々数μmであり、ウェハ厚は、磁気センサー素子を含むセンサー基板厚h’と同じと見なしても差し支えない。磁気抵抗効果素子上の酸化シリコン被膜の膜厚が、磁気抵抗効果素子と磁気シート60の表面との磁気的なギャップとなっている。磁気式エンコーダにおいて、磁気抵抗効果素子は、磁気シートの固定部37側の縁60aよりY軸正側の部分に配置した。得られたガラスエポキシ配線基板20上にセンサー基板10を固着し、ガラスエポキシ配線基板20とセンサー基板10との配線を導通させる。磁気シート60は、テープ状のプラスチックフィルム上に磁性体をコーティングしたものを、所定の曲率を有する非磁性面に接着剤で固着して作製する。非磁性面の移動や回転に伴って、センサー基板10に対して摺動する方向における磁気シートの幅Wbは3mm、磁気シート表面の曲率半径は27.5mmとした。図2において、磁気シート60に代えてピンを用い、センサー保持部31の幅方向の中心と固定部37の幅方向の中心を結ぶ中心線上を押すように、ピンでセンサー基板10をZ軸のマイナスの向きに押圧し、XY平面に対してセンサー基板がどのように傾くかをみた。このピンでセンサー基板を押したときに、センサー基板の面がXY平面に対して平行を保った状態でZ軸のマイナスの向きに移動したとき、その押圧点で前記中心線と直交する線をピッチ回転中心軸と定義する。ピッチ回転中心軸よりも固定部37側にずれた位置をピンで押すとセンサー基板がピッチ回転してXY平面に対して傾き、固定部37側とは反対側にずれた位置でピンを押すとセンサー基板が逆にピッチ回転してXY平面に対して傾く。図15のグラフに、弾性変形部32の腕部331側端部における幅方向の中心を通る線Wa中心軸と呼ぶ上からY軸方向に押圧する荷重点を移動させたときのピッチ角初期ピッチ角°と、Wa中心軸からの距離mmとの関係を示す。荷重点には1gfの荷重を加えた。横軸の符号は、荷重点を固定部37側に移動したときをプラスとし、固定部37側とは反対側に移動したときをマイナスとする。このセンサー保持板30については、kp=0.5gfmm/°、L1=1.37mmとした。図16のグラフに、磁気式エンコーダで荷重F=2.12gfとしたときのピッチ角とエアギャップの関係を示す。ピッチ角が小さいとエアギャップの増大は抑えられてセンサー基板を磁気シートに摺動させることが出来た。"