"複数の第1のくし歯型電極を有する固定子と、複数の第2のくし歯型電極を有する移動子とを具え、前記固定子の前記複数の第1のくし歯型電極の凸部及び凹部と、前記移動子の前記複数の第2のくし歯型電極の凸部及び凹部とは、それぞれの中心部が電極の配列方向に沿って所定のピッチで互いに離隔して対向配置され、前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の少なくとも一方の外周面、及び/又は前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面には、比誘電率が300以上の高誘電体からなる絶縁層が形成されていることを特徴とする、静電型アクチュエータ。前記絶縁層は、前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の少なくとも一方の外周面、及び/又は前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面を被覆するようにして形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電型アクチュエータ。前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の外周面は、前記高誘電体からなる前記絶縁層で被覆されていることを特徴とする、請求項2に記載の静電型アクチュエータ。前記複数の第1のくし歯型電極及び前記複数の第2のくし歯型電極の少なくとも一方における前記凸部の側面には、その上方から下方に向けて前記高誘電体からなる前記絶縁層がテーパー状に形成され、その最大厚さが前記ピッチの半分以下であることを特徴とする、請求項2又は3に記載の静電型アクチュエータ。前記絶縁層と、前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の少なくとも一方の外周面、及び/又は前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面との境界に接触するとともに、前記境界の全体に沿って導電膜が形成されていることを特徴とする、請求項2~4のいずれか一に記載の静電型アクチュエータ。前記絶縁層は、前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部の外周面における先端エッジ部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の外周面における先端エッジ部の少なくとも一方、及び/又は前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面における上端エッジ部に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電型アクチュエータ。前記絶縁層は、前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部の外周面における先端エッジ部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の外周面における先端エッジ部に形成されていることを特徴とする、請求項6に記載の静電型アクチュエータ。前記絶縁層と、前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部の外周面における先端エッジ部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の外周面における先端エッジ部の少なくとも一方、及び/又は前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面における上端エッジ部との境界に接触するようにして、前記絶縁層のいずれかの面上に追加の導電膜が形成されていることを特徴とする、請求項6又は7に記載の静電型アクチュエータ。前記移動子の前記複数の第2のくし歯型電極の凸部は、それぞれ前記固定子の前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の中心部に位置し、前記静電型アクチュエータは、くし歯型のアクチュエータを構成することを特徴とする、請求項1~8のいずれか一に記載の静電型アクチュエータ。前記固定子を構成する前記複数の第1のくし歯型電極及び前記移動子を構成する前記複数の第2のくし歯型電極は同心円上に配置され、前記静電型アクチュエータは、ロータリーステッピングモーターを構成することを特徴とする、請求項1~8のいずれか一に記載の静電型アクチュエータ。前記固定子を構成する前記複数の第1のくし歯型電極及び前記移動子を構成する前記複数の第2のくし歯型電極は平行配置され、前記静電型アクチュエータは、平行移動用のステッピングモーターを構成することを特徴とする、請求項1~8のいずれか一に記載の静電型アクチュエータ。前記高誘電体は、無機高誘電体であることを特徴とする、請求項1~11のいずれか一に記載の静電型アクチュエータ。前記固定子を構成する前記複数の第1のくし歯型電極及び前記移動子を構成する前記複数の第2のくし歯型電極はマイクロマシン技術によって加工されたものであり、前記静電型アクチュエータは、MEMS静電型アクチュエータであることを特徴とする、請求項1~12のいずれか一に記載の静電型アクチュエータ。本発明は、複数のくし歯型電極を有する固定子及び移動子からなる静電型アクチュエータにおいて、動作速度の低下及び効率の低下を抑制することを目的とする。上記目的を達成すべく、本発明の一態様は、複数の第1のくし歯型電極を有する固定子と、複数の第2のくし歯型電極を有する移動子とを具え、前記固定子の前記複数の第1のくし歯型電極の凸部及び凹部と、前記移動子の前記複数の第2のくし歯型電極の凸部及び凹部とは、それぞれの中心部が電極の配列方向に沿って所定のピッチで互いに離隔して対向配置され、前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の少なくとも一方の外周面、及び/又は前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面は、比誘電率が300以上の高誘電体からなる絶縁層で被覆されていることを特徴とする、静電型アクチュエータに関する。本態様の静電型アクチュエータによれば、固定子を構成する複数の第1のくし歯型電極の凸部及び移動子を構成する複数の第2のくし歯型電極の凸部の少なくとも一方の外周面、及び/又は移動子を構成する複数の第2のくし歯型電極の凹部の外周面を比誘電率が300以上の高誘電体からなる絶縁層で被覆するようにしている。複数の第1のくし歯型電極の凸部は、複数の第2のくし歯型電極と対向するものであって、当該部分に高誘電体の絶縁層を形成することは、高誘電体の自発分極作用の効果によって、複数の第1のくし歯型電極と複数の第2のくし歯型電極との実質的な距離が削減されることに相当する。同様に、複数の第2のくし歯型電極の凸部は、複数の第1のくし歯型電極と対向するものであって、当該部分に高誘電体の絶縁層を形成することは、高誘電体の自発分極作用の効果によって、複数の第1のくし歯型電極と複数の第2のくし歯型電極との実質的な距離が削減されることに相当する。さらに、複数の第1のくし歯型電極の凹部も、複数の第2のくし歯型電極と対向するものであって、当該部分に高誘電体の絶縁層を形成することは、高誘電体の自発分極作用の効果によって、複数の第1のくし歯型電極と複数の第2のくし歯型電極との実質的な距離が削減されることに相当する。したがって、複数の第1のくし歯型電極と第2のくし歯型電極との実質的な距離の削減に伴い、これら電極、すなわち固定子及び移動子の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制することができる。このため、固定子及び移動子を構成する複数のくし歯型電極に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にも合致する。なお、固定子の複数の第1のくし歯型電極の凸部及び凹部と、移動子の複数の第2のくし歯型電極の凸部及び凹部とが、それぞれの中心部が電極の配列方向に沿って所定のピッチで互いに離隔して対向配置されるという要件は、以下に詳述するように、上記電極に電圧を印加することによって本態様の静電型アクチュエータを実際に駆動させるために要求されるものである。本発明の一例においては、複数の第1のくし歯型電極の凸部及び複数の第2のくし歯型電極の凸部双方の外周面を、上記高誘電体からなる絶縁層で被覆することができる。本例によれば、互いに対向する複数の第1のくし歯型電極と複数の第2のくし歯型電極との実質的な距離をさらに削減することができるので、これら電極、すなわち固定子及び移動子の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減をさらに抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度が低下してしまうのを抑制することができる。このため、固定子及び移動子を構成する複数のくし歯型電極に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にもより合致する。本発明の一例においては、上記絶縁層と、上記複数の第1のくし歯型電極の凸部及び複数の第2のくし歯型電極の凸部の少なくとも一方の外周面、及び/又は複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面との境界に接触するとともに、境界の全体に沿って導電膜が形成することができる。この場合、固定子を構成する第1のくし歯型電極と移動子を構成する第2のくし歯型電極とのギャップが5μm程度で、両者の間に印加される電圧が30V程度になると、第1のくし歯型電極の外周面に形成された絶縁層及び第2のくし歯型電極の外周面に形成された絶縁層に電荷が溜まるようになる。したがって、所定の電圧を第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極に印加した場合においても、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子に対して移動子が駆動しなくなってしまう場合がある。しかしながら、上述のようにして導電膜を設けることにより、第1のくし歯型電極の絶縁層及び/又は第2のくし歯型電極の絶縁層に帯電した電荷は、導電膜を介して第1のくし歯型電極及び/又は第2のくし歯型電極に逃がすことができ、上述のような電荷の溜まり、すなわち帯電を防止することができるようになる。この結果、所定の電圧を第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14に印加した場合に、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子11に対して移動子12が駆動しなくなってしまうという不都合を回避することができる。本発明の一例において、上記絶縁層は、上記複数の第1のくし歯型電極の凸部の外周面における先端エッジ部及び複数の第2のくし歯型電極の凸部の外周面における先端エッジ部の少なくとも一方、及び/又は複数の第1のくし歯型電極の凹部の外周面における上端エッジ部に形成することができる。本例においては、絶縁層を第1のくし歯型電極の凹部における上端エッジ部等に形成するようにしているので、第1のくし歯型電極凹部等の大部分は露出するようになる。したがって、上述した絶縁層の帯電の問題を回避することができる。また、第1のくし歯型電極の凹部における上端エッジ部等には、静電気力が集中するようになるので、当該箇所に高誘電体の絶縁層を形成すれば、絶縁層の自発分極によって、第1のくし歯型電極と第2のくし歯型電極との実質的な距離が削減されるような効果を得ることができる。したがって、第1のくし歯型電極と第2のくし歯型電極との実質的な距離の削減に伴い、これら電極、すなわち固定子及び移動子の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制することができる。また、第1のくし歯型電極等に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にも合致するようになる。本発明の一例においては、複数の第1のくし歯型電極及び複数の第2のくし歯型電極の少なくとも一方における凸部の側面に、その上方から下方に向けて上記高誘電体からなる上記絶縁層をテーパー状に形成し、その最大厚さを上記ピッチの半分以下とすることができる。すなわち、上述のようにして、複数の第1のくし歯型電極の凸部、及び複数の第2のくし歯型電極の凸部の外周面を被覆する上記絶縁層の内、凸部の側面に形成した絶縁層は、側面の上方から下方に向けて上記高誘電体からなる上記絶縁層が、その最大厚さが上記ピッチの半分以下となるようにして、テーパー状に形成することができる。本例においては、特に固定子及び/又は移動子を構成する複数の第1のくし歯型電極及び/又は複数の第2のくし歯型電極の凸部の両側面において、最大厚さがこれら対向配置されてなる電極の凸部及び凹部の中心部のずれに相当するピッチの半分以下となるようにして、側面の上方から下方に向けてテーパー状に厚く形成している。したがって、固定子を構成する第1のくし歯型電極及び移動子を構成する第2のくし歯型電極の、静電的な移動に関与する電極間に作用する静電気力を増大させることができるとともに、静電的な移動に関与しない隣接するくし歯型電極への電気的な影響を抑制することができる。本発明の一例においては、固定子を構成する複数の第1のくし歯型電極及び前記移動子を構成する前記複数の第2のくし歯型電極をマイクロマシン技術によって加工し、静電型アクチュエータを、MicroElectroMechanicalSystems以下MEMSという。静電型アクチュエータとすることもできる。以上説明したように、本発明によれば、複数のくし歯型電極を有する固定子及び移動子からなる静電型アクチュエータにおいて、動作速度の低下及び効率の低下を抑制することができる。以下、本発明の詳細、並びにその他の特徴及び利点について説明する。第1の実施形態図1は、本実施形態におけるくし歯型アクチュエータの概略構成を示す図である。なお、本実施形態においては、特徴を明確にすべく、くし歯型アクチュエータの主要部のみを示している。図1に示すように、本実施形態のくし歯型アクチュエータ10は、固定子11と移動子12とを有している。固定子11は、第1のくし歯型電極13とその外周面に形成された比誘電率300以上の高誘電体からなる絶縁層16とを含んでいる。移動子12は、第2のくし歯型電極14を含んでいる。また、図2から明らかなように、移動子12における第2のくし歯型電極14の凸部14Aは、固定子11における第1のくし歯型電極13の凹部13Bの中心部に位置するように配置されている。さらに、移動子12第2のくし型電極14は、ばね部材18を介して図示しない固定部材に固定されている。第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14間には、多相のDC電源もしくは交流電源19から所定の電圧が印加されるようになっている。これによって、例えば固定子11第1のくし歯型電極13は負電位となり、移動子12第2のくし歯型電極14は正電位となって、両者は互いに引き合うようになる。具体的には、固定子11を構成する第1のくし歯型電極13の凹部13Bに対して、移動子12を構成する第2のくし歯型電極14の凸部14Aが静電的に引き込まれ、移動子12が固定子11に向けて下方に移動するようになる。なお、移動子12の移動距離は、固定子11を構成する第1のくし歯型電極13の凹部13B、及び移動子12を構成する第2のくし歯型電極14の凸部14A間に作用する静電気力と、移動子12に接続されているばね部材18との付勢力とのバランスによって決定される。本実施形態では、固定子11を構成する第1のくし歯型電極13の外周面を比誘電率が300以上の高誘電体からなる絶縁層16で被覆するようにしている。この場合、絶縁層16は自発分極するため、第1のくし歯型電極11と第2のくし歯型電極13との実質的な距離が削減されることになる。したがって、第1のくし歯型電極13と第2のくし歯型電極14との実質的な距離の削減に伴い、これら電極、すなわち固定子11及び移動子12の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制することができる。また、固定子11及び移動子12を構成する第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯電極14に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にも合致するようになる。なお、第1のくし歯型電極13の外周面には絶縁層16が形成されているので、移動子12が過度に下方に移動した場合においても、絶縁層16が静電的なシールド層として機能するようになるので、電極同士の電気的な接触や、電極間の放電を抑制することができる。絶縁層16を構成する高誘電体は、比誘電率が300以上、好ましくは1000以上であれば無機及び有機のいずれでもよいが、無機高誘電体においては、上述した比誘電率を有するものとしていわゆる強誘電体が公知であり、入手や作製が容易であるので好ましい。このような無機高誘電体としては、チタン酸バリウムBaTiO3:比誘電率約5000、チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,TiO3:比誘電率約300などの汎用の強誘電体を挙げることができる。なお、チタン酸バリウム及びチタン酸ジルコン酸鉛の比誘電率は代表値として示したものであり、同じ材料であっても、製造方法などによって異なるものである。図2は、上記実施形態の変形例に相当するものである。本変形例においては、移動子12を構成する第2のくし歯型電極14の凸部14Aの外周面に、第1のくし歯型電極13と同じ絶縁層16が形成されている点で、上記実施形態と相違する。本変形例では、第2のくし歯型電極14の凸部14Aの外周面にも絶縁層16が形成されているので、絶縁層16の自発分極により、第1のくし歯型電極11と第2のくし歯型電極13との実質的な距離がさらに削減されることになる。したがって、第1のくし歯型電極13と第2のくし歯型電極14との実質的な距離のさらなる削減に伴い、これら電極、すなわち固定子11及び移動子12の離隔する距離が多少増大したような場合MEMSのDRIEによるエッチングにおいてはテーパがつき、0.1~0.5μm程度の寸法誤差が生じるにおいても、これら間に作用する静電気力の低減をさらに抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度が低下してしまうのをさらに抑制することができる。なお、その他の特徴及び作用効果については、上記実施形態と同様であるので、記載を省略する。本実施形態のくし歯型アクチュエータは、例えばシャッターやミラー駆動装置などとして用いることができる。また、本実施形態のくし歯型アクチュエータ10の大きさは特に限定されるものではないが、以下に説明するように、第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14をマイクロマシン技術によって加工し、各部材の大きさをμmオーダーからサブμmオーダーとすることにより、くし歯型アクチュエータ10をMEMSとして構成することができる。図3は、本実施形態におけるくし歯型アクチュエータ10の、第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14間の距離変位と、これら電極間に作用する静電気力との関係を示すグラフである。なお、第1のくし歯型電極13の凸部13Aの高さH1は25μmとし、肉厚T1は5μmとし、凹部13Bの幅W1は11μmとした。また、第2のくし歯型電極14の凸部14Aの高さh1は20μmとし、肉厚t1は5μmとした。また、第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14はシリコンから作製した。さらに、図1に示す態様においては、第1のくし歯型電極13の外周面にチタン酸バリウムからなる絶縁層16を厚さ2μmに形成し、図2に示す態様においては、第1のくし歯型電極13の外周面及び第2のくし歯型電極14の凸部14Aの外周面それぞれにおいて、チタン酸バリウムからなる絶縁層16を厚さ1μmに形成した。図3から明らかなように、絶縁層16を形成しない場合においては、変位の全体に亘って第1のくし歯型電極13固定子11及び第2のくし歯型電極14移動子12に作用する静電気力は小さいが、絶縁層16を形成することによって前記静電気力が格段に増大していることが分かる。したがって、固定子11及び移動子12の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制できることが分かる。なお、図3に示す静電気力は電磁界有限要素法により、解析した結果である。空隙距離が2倍になると静電力は半減してしまうため、空隙距離を減らすことが重要であるが、アクチュエータ部は動くので、絶縁性を確保するために空隙距離を減らせない。本提案は、通常高精度のMEMSにおいての空隙距離でも、1μmの高誘電率膜を両側の電極に形成すれば、静電気力は約2倍に増強できる。第2の実施形態図4は、本実施形態におけるロータリーステッピングモーターの概略構成を示す図であり、図5は、図4に示すロータリーステッピングモーターの、固定子及び移動子の境界部分を拡大して示す図である。図4に示すように、本実施形態のロータリーステッピングモーター20は、固定子29及び移動子22が同心円状に配置されており、固定子29は移動子22の外方に位置し、以下に説明するように、移動子22は固定子29の内側を回転移動する。移動子22の内側には、例えばシリコンからなるインターコネクト部材25が、その円弧状の外周部25Bが移動子22の内側に離れて設けられている。また、移動子22を4段階のばねで支えるため、固定端21は凸部21Aを有している。さらに、移動子22も、その内方に向けて突出した扇形状の凸部22Aを有している。また、一対の板状の第1のばね部材28-1が凸部21Aとインターコネクト部材25Cとを結ぶようにして設けられており、一対の板状の第2のばね部材28-2及び第3のばね部材28-3がインターコネクト部材25の中心部25Aと外周部25Bとを結ぶようにして設けられている。さらに、一対の板状の第4のばね部材28-4が移動子22の凸部22Aとインターコネクト部材25Dを結ぶようにして設けられている。なお、移動子22の固定子29に対する回転移動は、以下に説明するくし歯型電極間に生じる静電気力と、移動子22及びばね部材28-1~28-4の付勢力とのバランスによって決定される。図5に示すように、固定子29は、移動子22と対向するようにして第1のくし歯型電極23-1~23-3を有しており、移動子22は、固定子29と対抗するようにして第2のくし歯型電極24-1~24-3を有している。また、第1のくし歯型電極23-1~23-3の外周面、及び第2のくし歯型電極24-1~24-3の外周面は、比誘電率300以上の高誘電体からなる絶縁層26が形成されている。但し、絶縁層26は、第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし場型電極24-1~24-3のいずれか一方の外周面に形成されていれば、本発明の作用効果を奏することができる。なお、本実施形態では、第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3は、それぞれ固定子29及び移動子22の円周面上に直接設けられているので、これら電極自体が電極凸部を構成することになる。また、図5から明らかなように、以下に説明する移動子22の、固定子29に対する駆動方式に基づいて、第1のくし歯型電極23-1~23-3のピッチは、第2のくし歯型電極24-1~24-3のピッチよりも多少大きくなるように設定されている。なお、図5では、本発明の特徴及びモーターの駆動方式を明確かつ簡潔に示すべく、第1のくし歯型電極については、23-1~23-3の3つのみを示し、第2のくし歯型電極についても、24-1~24-3の3つのみを示しているが、実際には、第1のくし歯型電極は固定子29の円周面の全体に亘って形成されており、第2のくし歯型電極も移動子22の円周面の全体に亘って形成されている。図4及び図5に示す移動子22を固定子29に対して移動させるには、例えば以下のようにして行う。最初に、固定子29の第1のくし歯型電極23-1に対して所定の電圧を印加すると、この電極は正電位あるいは負電位となり、移動子22の、第1のくし歯型電極23-1と最も近接する第2のくし場型電極24-1との間に静電気力を生ぜしめるようになる。その結果、第2のくし歯型電極24-1は第1のくし歯型電極23-1に引き付けられ、それに伴って移動子22も同方向に移動するようになる。次いで、第1のくし歯型電極23-1に印加した電圧を解除し、隣接する第1のくし歯型電極23-2に対して所定の電圧を印加すると、第1のくし歯型電極23-2は同様に正電位あるいは負電位となり、移動子22の、第1のくし歯型電極23-2と最も近接する第2のくし場型電極24-2との間に静電気力を生ぜしめるようになる。その結果、第2のくし歯型電極24-2は第1のくし歯型電極23-2に引き付けられ、それに伴って移動子22も同方向に移動するようになる。さらに、第1のくし歯型電極23-2に印加した電圧を解除し、隣接する第1のくし歯型電極23-3に対して所定の電圧を印加すると、第1のくし歯型電極23-3は同様に正電位あるいは負電位となり、移動子22の、第1のくし歯型電極23-3と最も近接する第2のくし場型電極24-3との間に静電気力を生ぜしめるようになる。その結果、第2のくし歯型電極24-3は第1のくし歯型電極23-3に引き付けられ、それに伴って移動子22も同方向に移動するようになる。以上のような操作の結果、移動子22は、固定子29に対して反時計周りに回転移動することになる。なお、特に詳述しないが、移動子22を固定子29に対して時計周りに回転移動させるには、上述したような、第1のくし場型電極23-1~23-3に対して順次に電圧を印加する代わりに、第1のくし歯型電極23-3~23-1に対して順次に電圧を印加するようにすればよい。すなわち、電圧印加の順番を逆にすればよい。本例では、3セット1組で移動を制御しているが、3セット以上であれば組を増やしてもよい。本実施形態では、固定子29を構成する第1のくし歯型電極23-1~23-2の外周面及び移動子22を構成する第2のくし歯型電極24-1~24-3の外周面を比誘電率が300以上の高誘電体からなる絶縁層26で被覆するようにしている。この場合、絶縁層26は自発分極するため、第1のくし歯型電極23-1~23-3と第2のくし歯型電極24-1~24-3との実質的な距離が削減されることになる。したがって、第1のくし歯型電極23-1~23-3と第2のくし歯型電極24-1~24-3との実質的な距離の削減に伴い、これら電極、すなわち固定子29及び移動子22の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制することができる。また、固定子29及び移動子22を構成する第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯電極24-1~24-3に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にも合致するようになる。なお、絶縁層26が静電的なシールド層として機能するようになるので、電極同士の電気的な接触や、電極間の放電を抑制することができる。絶縁層26は、第1の実施形態における絶縁層16と同様のものから構成することができる。図6は、上記実施形態の変形例に相当するものである。本変形例においては、移動子22を構成する第2のくし歯型電極24-1~24-3の側面において、その上方から下方に向けて絶縁層26をテーパー状に形成し、その最大厚さを第1のくし歯型電極と第2のくし歯型電極とのピッチPの半分以下としている図6では、第2のくし歯型電極24-1についてのみ示している。すなわち、第2のくし歯型電極24-1~24-3の外周面を被覆する絶縁層26の側面部分を、その上方から下方に向けて、その最大厚さがピッチPの半分以下となるようにして、テーパー状に形成することができる。したがって、固定子29の第1のくし歯型電極23-1~23-3及び移動子22の第2のくし歯型電極24-1~24-3の、静電的な移動に関与する電極間に作用する静電気力を増大させることができるとともに、静電的な移動に関与しない隣接するくし歯型電極への電気的な影響を抑制することができる。結果として、移動子22の固定子29に対する回転移動、すなわちアクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのをより効果的に抑制することができる。本実施形態のロータリーステッピングモーター20は、例えばハードディスクドライブのヘッドを微小に回転させるアクチュエータとして、MEMS回転型アクチュエータとして用いることができる。また、本実施形態のロータリーステッピングモーター20は、大きさは特に限定されるものではないが、以下に説明するように、第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3をマイクロマシン技術によって加工し、各部材の大きさをμmオーダーからサブμmオーダーとすることにより、ロータリーステッピングモーター20をMEMSとして構成することができる。図7は、本実施形態におけるロータリーステッピングモーター20の、第1のくし歯型電極23-1及び第2のくし歯型電極24-1間の距離変位と、これら電極間に作用する静電気力との関係を示すグラフである。なお、第1のくし歯型電極23-1及び第2のくし歯型電極24-1の高さは10μmとし、幅は5μmとした。また、第1のくし歯型電極23-1及び第2のくし歯型電極24-1はシリコンから作製した。図7から明らかなように、絶縁層26を形成しない場合においては、変位の全体に亘って第1のくし歯型電極23-1固定子21及び第2のくし歯型電極24-1移動子22に作用する静電気力は小さいが、絶縁層26を形成することによって前記静電気力が格段に増大していることが分かる。特に第1のくし歯型電極23-1及び/又は第2のくし歯型電極24-1を被覆する絶縁層26の厚さが増大するにしたがって、前記静電気力が増大していることが分かる。結果として、固定子21及び移動子22の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制できることが分かる。但し、第1のくし歯型電極23-1に対して絶縁層26を厚さ0.5μmに形成した場合と、第1のくし歯型電極23-1及び第2のくし歯型電極24-1の双方に対して絶縁層26を厚さ0.25μmに形成した場合とでは、生成する静電気力における差は見られない。なお、図7に示す静電気力は電磁界有限要素法により解析した結果である。空隙距離が2倍になると静電力は半減してしまうため、空隙距離を減らすことが重要であるが、アクチュエータ部は動くので、絶縁性を確保するために空隙距離を減らせない。本提案は、通常高精度のMEMSにおいての空隙距離でも、0.25μmの高誘電率膜を両側の電極に形成すれば、静電気力は約2倍に増強できる。第3の実施形態図8は、本実施形態における平行移動用のステッピングモーターの概略構成を示す図である。図8に示すように、本実施形態のステッピングモーター30は、固定子31と移動子32とを有している。固定子31には、第1のくし歯型電極33-1~33-3を一組として、このような組の電極が図面右側から左側に向けて順次に設けられている。移動子32には、第2のくし歯型電極34-1~34-3を一組として、このような組の電極が図面右側から左側に向けて順次に設けられている。なお、第1のくし歯型電極33-1~33-3と第2のくし歯型電極34-1~34-3とは、互いに平行配置されている。また、第1のくし歯型電極33-1~33-3それぞれの外周面、第2のくし歯型電極34-1~34-3それぞれの外周面は、高誘電体からなる絶縁層36によって被覆されている。但し、絶縁層36は、第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし場型電極34-1~34-3のいずれか一方の外周面に形成されていれば、本発明の作用効果を奏することができる。移動子32の右端は、ばね部材38によって固定子31に固定されている。したがって、移動子32の移動距離は、第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3間に作用する静電気力と、移動子32に接続されているばね部材38との付勢力とのバランスによって決定される。図8に示す移動子32を固定子31に対して移動させるには、例えば以下のようにして行う。最初に、固定子31の第1のくし歯型電極33-1に対して所定の電圧を印加すると、この電極は正電位あるいは負電位となり、移動子32の、第1のくし歯型電極33-1と最も近接する第2のくし場型電極34-1との間に静電気力を生ぜしめるようになる。その結果、第2のくし歯型電極34-1は第1のくし歯型電極33-1に引き付けられ、それに伴って移動子32も同方向に移動するようになる図8では、第1のくし歯型電極33-1と第2のくし歯型電極34-1とが対向している。次いで、第1のくし歯型電極33-1に印加した電圧を解除し、隣接する第1のくし歯型電極33-2に対して所定の電圧を印加すると、第1のくし歯型電極33-2は同様に正電位あるいは負電位となり、移動子32の、第1のくし歯型電極33-2と最も近接する第2のくし場型電極34-2との間に静電気力を生ぜしめるようになる。その結果、第2のくし歯型電極34-2は第1のくし歯型電極33-2に引き付けられ、それに伴って移動子32も同方向に移動するようになる。さらに、第1のくし歯型電極33-2に印加した電圧を解除し、隣接する第1のくし歯型電極33-3に対して所定の電圧を印加すると、第1のくし歯型電極33-3は同様に正電位あるいは負電位となり、移動子32の、第1のくし歯型電極33-3と最も近接する第2のくし場型電極34-3との間に静電気力を生ぜしめるようになる。その結果、第2のくし歯型電極34-3は第1のくし歯型電極33-3に引き付けられ、それに伴って移動子32も同方向に移動するようになる。以上のような操作の結果、移動子32は、固定子21に対して左方向に移動することになる。本例では、3セット1組で移動を制御しているが、3セット以上であれば組を増やしてもよい。本実施形態では、固定子31を構成する第1のくし歯型電極33-1~33-3の外周面及び移動子32を構成する第2のくし歯型電極34-1~34-3の外周面を比誘電率が300以上の高誘電体からなる絶縁層36で被覆するようにしている。この場合、絶縁層36は自発分極するため、第1のくし歯型電極33-1~33-3と第2のくし歯型電極34-1~34-3との実質的な距離が削減されることになる。したがって、第1のくし歯型電極33-1~33-3と第2のくし歯型電極34-1~34-3との実質的な距離の削減に伴い、これら電極、すなわち固定子31及び移動子32の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制することができる。また、固定子31及び移動子32を構成する第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯電極34-1~34-3間に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にも合致するようになる。なお、絶縁層36が静電的なシールド層として機能するようになるので、電極同士の電気的な接触や、電極間の放電を抑制することができる。また,絶縁層36は、段落0058に示したように、テーパー状に形成して効率を上げることもできる。絶縁層36は、第1の実施形態における絶縁層16と同様のものから構成することができる。本実施形態の平行移動用のステッピングモーター30は、例えばマイクロロボット,マイクロバルブなどに使用することができる。また、本実施形態のステッピングモーター30は、大きさは特に限定されるものではないが、以下に説明するように、第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3をマイクロマシン技術によって加工し、各部材の大きさをμmオーダーからサブμmオーダーとすることにより、ステッピングモーター30をMEMSとして構成することができる。第4の実施形態図9は、本実施形態におけるくし歯型アクチュエータの概略構成を示す図であり、図10は、図9に示すくし歯型アクチュエータのII線に沿って切った場合の断面図である。図9及び図10に示すように、本実施形態のくし歯型アクチュエータ40は、第1の実施形態の、図2に示すくし歯型アクチュエータ20において、固定子11を構成する第1のくし歯型電極13とその外周面を被覆するようにして形成された絶縁層16との境界41に接触し、かつ境界41に沿うようにして導電膜42が形成されていることを除き、図2に示すくし歯型アクチュエータ10と同一の構成を採っている。一般に、固定子11を構成する第1のくし歯型電極13と移動子12を構成する第2のくし歯型電極14とのギャップが5μm程度で、両者の間に印加される電圧が30V程度になると、第1のくし歯型電極13の外周面に形成された絶縁層16及び移動子12を構成する第2のくし歯型電極14の外周面に形成された絶縁層16に電荷が溜まるようになる。したがって、例えば多相のDC電源あるいは交流電源19から所定の電圧を第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14に印加した場合においても、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子11に対して移動子12が駆動しなくなってしまう場合がある。しかしながら、本実施形態では、上述のようにして導電膜42を設けているので、第1のくし歯型電極13の絶縁層16に帯電した電荷は、導電膜42を介して第1のくし歯型電極13に逃がすことができ、上述のような電荷の溜まり、すなわち帯電を防止することができるようになる。この結果、多相のDC電源あるいは交流電源19から所定の電圧を第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14に印加した場合においても、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子11に対して移動子12が駆動しなくなってしまうという不都合を回避することができる。なお、本実施形態では、第1のくし歯型電極13のみに導電膜42を設けているが、さらに第2のくし歯型電極14に導電膜を設けることによって、上述した作用効果をさらに増大させることができる。導電膜42は、例えば金、白金、アルミニウムなどの金属、グラフェン、金属型カーボンナノチューブの集合体を膜状にしたものから構成することができる。金属から導電膜42を形成する場合は、気相成長、蒸着、スパッタリング、MBE、化学溶液法、溶液塗布法などを用いることによって形成することができる。また、導電膜42をグラフェンから形成する場合は、目的とする形状パターンに加工した銅あるいはニッケル板上にグラフェンをCVD法によって形成し、その後転写するなどの方法で形成することができる。導電膜42をカーボンナノチューブから形成する場合は、分散剤を用いて溶媒に分散させる方法や、気相ろ過、転写法などの方法を用い、分散膜の形態で形成することができる。なお、本実施形態のくし歯型アクチュエータ40の駆動方法及びその他の特徴は、図2に示すくし歯型アクチュエータ10と同様であるので、説明を省略する。第5の実施形態図11は、本実施形態におけるくし歯型アクチュエータの概略構成を示す図である。図11に示すように、本実施形態のくし歯型アクチュエータ50は、第1の実施形態の、図2に示すくし歯型アクチュエータ10において、固定子11を構成する第1のくし歯型電極13の外周面を被覆するようにして絶縁層16を形成する代わりに、第1のくし歯型電極13の凹部13Bにおける上端エッジ部のみに絶縁層16を設け、移動子12を構成する第2のくし歯型電極14の外周面を被覆するようにして絶縁層16を形成する代わりに、第2のくし歯型電極14の凸部14Aの先端部のみに絶縁層16を設けている。なお、特に図では示していないが、これらの絶縁層16は、第1のくし歯型電極13の凹部13Bの紙面に垂直な深さ方向の全体に亘って形成されており、同様に、第2のくし歯型電極14の凸部14Aの紙面に垂直な深さ方向の全体に亘って形成されている。図12は、第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14間のギャップに作用する静電気力を電磁界有限要素法により解析した結果である。なお、第1のくし歯型電極13の凸部13Bの高さH1は20μmとし、肉厚T1は5μmとした。また、第2のくし歯型電極14の凸部14Aの高さh1は20μmとし、肉厚t1は5μmとした。また、第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14はシリコンから作製した。図12から明らかなように、第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14間のギャップに作用する静電気力は、第1のくし歯型電極13の凹部13Bの上端エッジ部及び第2のくし歯型電極14の凸部14Aの先端部において大きくなっていることが分かる。すなわち、このように静電気力の作用が大きい部分に、高誘電体の絶縁層16を形成すれば、絶縁層16の自発分極によって、第1のくし歯型電極11と第2のくし歯型電極13との実質的な距離が削減されるような効果を得ることができる。したがって、第1のくし歯型電極13と第2のくし歯型電極14との実質的な距離の削減に伴い、これら電極、すなわち固定子11及び移動子12の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制することができる。また、固定子11及び移動子12を構成する第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯電極14に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にも合致するようになる。上述したように、固定子11と移動子14とのギャップが5μm程度で、両者の間に印加される電圧が30V程度になると、第1のくし歯型電極13の外周面に形成された絶縁層及び移動子12を構成する第2のくし歯型電極14の外周面に形成された絶縁層に電荷が溜まるようになる。したがって、絶縁層を外周面の全体に亘って形成した場合、例えば多相のDC電源あるいは交流電源19から所定の電圧を第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14に印加した場合において、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子11に対して移動子12が駆動しなくなってしまう場合がある。しかしながら、本実施形態では、絶縁層16を第1のくし歯型電極13の凹部13Bにおける上端エッジ部及び第2のくし歯型電極14の凸部の先端部のみに設けるようにしているので、絶縁層16の表面距離を減少させることができるので、電荷の滞留が少なくなる。したがって、上述した絶縁層16の帯電の問題を回避することができるとともに、図12に示す結果のグラフにより、絶縁層16を設けたことによる上述した作用効果距離増大による静電気力の低減抑制及び動作速度、効率の低下抑制を併せて達成することができる。なお、本実施形態における作用効果をより効果的に奏するためには、第1のくし歯型電極13の凹部の上端エッジ部に形成した絶縁層16の高さ幅H2が、第1のくし歯型電極13の凸部13Aの高さH1に対して1/4H1~1/10H1の範囲であることが好ましい。同様に、第2のくし歯型電極14の凸部の先端部に形成した絶縁層16の幅t2は、第1のくし歯型電極14の凸部14Aの肉厚t1に対して1/2~1/10の範囲にあることが好ましい。図13は、図12に示す結果をシミュレーションした際と同じ条件で第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14間の距離とこれら間に作用する静電気力との関係をシミュレーションした際のグラフである。但し、第1のくし歯型電極13の凹部13Bの上端エッジ部に形成した絶縁層16の高さH2は3μmとし、第2のくし歯型電極14の凸部14Aの先端部に形成した絶縁層16の幅t2は3μmとした。さらに、絶縁層16は厚さ2μmのBaTiO3から構成し、第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14間に1Vの電圧を印加した場合について示したものである。図13に示すように、本実施形態における、第1のくし歯型電極13の凹部13Bの上端エッジ部及び第2のくし歯型電極14の凸部14Aの先端部にのみ絶縁層16を設けた場合の方が、これら間の変位、具体的には第2のくし歯型電極14、すなわち移動子12の変位に対して、第1のくし歯型電極13及び第2のくし歯型電極14間に作用する静電気力が、第1のくし歯型電極13の外周面及び第2のくし歯型電極14の凸部14Aの外周面に絶縁層16を設けた場合よりも大きくなっている。これは、図12に示すように、両者の電極間に作用する静電気力の大きさが主として第1のくし歯型電極13の凹部13Bにおける上端エッジ部及び第2のくし歯型電極14の凸部14Aにおける先端部において大きくなること、並びに、上述したように、絶縁層16の帯電の大きさに伴う駆動上の障害が少ないことに起因していると考えられる。図14は、図11に示す態様の変形例である。本変形例では、第1のくし歯型電極13の凹部13Bの上端エッジ部に設けた絶縁層16の上面及び下面において追加の導電膜52が設けられている点で図11に示す態様と相違する。この場合、第1のくし歯型電極13の凹部13Bの上端エッジ部における絶縁層16の帯電をも効果的に取り除くことができる。したがって、上述した絶縁層16の帯電に起因した不利益を排除することができる。なお、追加の導電膜52は、第4の実施形態の、図9及び図10に示すくし歯型アクチュエータ40に示すように、固定子11を構成する第1のくし歯型電極13とその外周面を被覆するようにして形成された絶縁層16との境界に接触し、かつ境界に沿うようにして形成されている。また、絶縁層16の強度を確保するために、図15に示すように、絶縁層16の端部16Aを第2のくし歯型電極14の上側面に拡張してもよい。なお、追加の導電膜52は、導電膜42と同様にして形成することができる。図13には、同様のシミュレーション結果を示したが、本シミュレーションでは、追加の導電膜52を設けた場合において、追加の導電膜52を設けない場合に比較して、変位の程度によって静電気力は大きく変化していない。図16は、図11に示すくし歯型アクチュエータ50における、移動子12の第2のくし歯型電極14の凸部14Aと、固定子11の第1のくし歯型電極13の凹部13Bとの間に作用する引き込み力を、凸部14Aの凹部13Bの幅方向での変位に対して示したグラフである。なお、本シミュレーションにおける諸条件についても、図13に示すグラフを得た際の諸条件と同一とした。電極のみの歯型アクチュエータにおいては、凸部14Aの凹部13Bに対する左右バランスが外乱などの影響で少しでもくずれると、両者が接着してしまう現象が生じる。しかしながら、図11に示すくし歯型アクチュエータ50では、絶縁層16を第1のくし歯型電極13の上端エッジ部等に形成しているのみであるので、図15に示すように、凸部14Aが凹部13B内の幅方向で変位した場合においても、両者の間に作用する引き込み力が小さいことが分かる。したがって、凸部14Aが凹部13B内において比較的大きく変動したような場合においても、両者の接着を抑制することができる。なお、本実施形態のくし歯型アクチュエータ50の駆動方法及びその他の特徴は、図2に示すくし歯型アクチュエータ10と同様であるので、説明を省略する。第6の実施形態図17は、本実施形態におけるロータリーステッピングモーターの、固定子及び移動子の境界部分を拡大して示す図である。図17に示すように、本実施形態のロータリーステッピングモーター60は、第2の実施形態の、図4及び図5に示すロータリーステッピングモーター20において、固定子29を構成する第1のくし歯型電極23-1~23-3と絶縁層26との境界61に接触し、かつ境界61に沿うようにして導電膜62が形成されていることを除き、図4及び図5に示すロータリーステッピングモーター20と同一の構成を採っている。一般に、固定子29を構成する第1のくし歯型電極23-1~23-3と移動子22を構成する第2のくし歯型電極24-1~24-3とのギャップが5μm程度で、両者の間に印加される電圧が30V程度になると、第1のくし歯型電極23-1~23-3の外周面に形成された絶縁層16及び第2のくし歯型電極24-1~24-3の外周面に形成された絶縁層16に電荷が溜まるようになる。したがって、所定の電圧を第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3に印加した場合においても、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子29に対して移動子22が駆動しなくなってしまう場合がある。しかしながら、本実施形態では、上述のようにして導電膜62を設けているので、第1のくし歯型電極23-1~23-3の絶縁層16に帯電した電荷は、導電膜62を介して第1のくし歯型電極23-1~23-3に逃がすことができ、上述のような電荷の溜まり、すなわち帯電を防止することができるようになる。この結果、所定の電圧を第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3に印加した場合においても、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子29に対して移動子22が駆動しなくなってしまうという不都合を回避することができる。なお、本実施形態では、第1のくし歯型電極23-1~23-3のみに導電膜62を設けているが、さらに第2のくし歯型電極24-1~24-3に導電膜を設けることによって、上述した作用効果をさらに増大させることができる。導電膜62は、第4の実施形態における導電膜42と同様にして形成することができる。なお、本実施形態のロータリーステッピングモーター60の駆動方法及びその他の特徴は、図4及び図5に示すロータリーステッピングモーター20と同様であるので、説明を省略する。第7の実施形態図18は、本実施形態におけるロータリーステッピングモーターの、固定子及び移動子の境界部分を拡大して示す図である。図18に示すように、本実施形態のロータリーステッピングモーター70は、第2の実施形態の、図4及び図5に示すロータリーステッピングモーター20において、固定子29を構成する第1のくし歯型電極23-1~23-3の外周面を被覆するようにして絶縁層16を形成する代わりに、第1のくし歯型電極23-1~23-3の凸部の上端エッジ部のみに絶縁層26を設け、移動子22を構成する第2のくし歯型電極24-1~24~3の外周面を被覆するようにして絶縁層16を形成する代わりに、第2のくし歯型電極24-1~24-3の凸部の上端エッジ部のみに絶縁層26を設けている。なお、特に図では示していないが、これらの絶縁層26は、第1のくし歯型電極23-1~23-3の紙面に垂直な深さ方向の全体に亘って形成されており、同様に、第2のくし歯型電極24-1~24-3の紙面に垂直な深さ方向の全体に亘って形成されている。また、絶縁層26の先端部は必ずしも第1のくし歯型電極23-1~23-3等の上面と同一の平面レベルである必要はなく、第1のくし歯型電極23-1~23-3に設けた絶縁層26の先端と、第2のくし歯型電極24-1~24-3に設けた絶縁層26の先端とが接触しない限りにおいて、上述した上面より突出していてもよい。絶縁層26の突出量は、第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3間のギャップの1/10~1/2の範囲とすることができる。また、図19に示すように、膜の強度を保つために突出部26Aが電極上部まで形成されていてもよい。本実施形態において、第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3間に作用する静電気力は、第1のくし歯型電極23-1~23-3の上端エッジ部及び第2のくし歯型電極24-1~24-3の上端エッジ部において大きくなる。すなわち、このように静電気力の作用が大きい部分に、高誘電体の絶縁層26を形成すれば、絶縁層26の自発分極によって、第1のくし歯型電極11と第2のくし歯型電極13との実質的な距離が削減されるような効果を得ることができる。したがって、第1のくし歯型電極23-1~23-3と第2のくし歯型電極24-1~24-3との実質的な距離の削減に伴い、これら電極、すなわち固定子29及び移動子22の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制することができる。また、固定子29及び移動子22を構成する第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯電極24-1~24-3に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にも合致するようになる。一方、固定子29と移動子22とのギャップが5μm程度で、両者の間に印加される電圧が30V程度になると、第1のくし歯型電極23-1~23-3の外周面に形成された絶縁層及び移動子22を構成する第2のくし歯型電極24-1~24-3の外周面に形成された絶縁層に電荷が溜まるようになる。したがって、絶縁層26を外周面の全体に亘って形成した場合、所定の電圧を第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3に印加した場合において、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子29に対して移動子22が駆動しなくなってしまう場合がある。しかしながら、本実施形態では、絶縁層26を第1のくし歯型電極23-1~23-3の上端エッジ部及び第2のくし歯型電極24-1~24-3の上端エッジ部のみに設けるようにしているので、絶縁層26の表面距離を減少させることができ、電荷の滞留が少なくなる。したがって、上述した絶縁層26の帯電の問題を回避することができるとともに、絶縁層26を設けたことによる上述した作用効果距離増大による静電気力の低減抑制及び動作速度、効率の低下抑制を併せて達成することができる。なお、本実施形態における作用効果をより効果的に奏するためには、第1のくし歯型電極23-1~23-3の高さ幅H4が、第1のくし歯型電極23-1~23-3の高さH3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3のくし歯型電極の高さH3に対して1/4H3~1/10H3の範囲であることが好ましい。図20は、本実施形態におけるロータリーステッピングモーター70の、第1のくし歯型電極23-1及び第2のくし歯型電極24-1間の距離変位と、これら電極間に作用する静電気力との関係を示すグラフである。なお、第1のくし歯型電極23-1及び第2のくし歯型電極24-1の高さは10μmとし、幅は5μmとした。また、第1のくし歯型電極23-1及び第2のくし歯型電極24-1はシリコンから作製した。さらに、絶縁層26の幅H4は1.25μmとし、厚さは0.25μmとした。また、絶縁層26の突出部の長さは0.25μmとした。図20に示すように、絶縁層26を形成しない場合においては、変位の全体に亘って第1のくし歯型電極23-1固定子21及び第2のくし歯型電極24-1移動子22に作用する静電気力は小さいが、絶縁層26を電極の全面に形成することによって静電気力が増大していることが分かる。また、絶縁層26を第1のくし歯型電極23-1の上端エッジ部に形成した場合において、絶縁層26を上端から突出させない場合においては、絶縁層26を電極の全面に形成した場合に比較して、両者の電極間に作用する静電気力は減少するものの、絶縁層26を上端から突出させた場合においては、絶縁層26を電極の全面に形成した場合に比較して、両者の電極間に作用する静電気力が増大している。したがって、本実施形態のように、絶縁層26を第1のくし歯型電極23-1等の上端から突出するように形成することは極めて有効であることが分かる。図21は、上記態様の変形例であり、図22は、図21に示すロータリーステッピングモーター70の第1のくし歯型電極23-1及び第2のくし歯型電極24-1等の側面図である。本変形例では、図22に示すように、第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3の両側面において追加の導電膜72が設けられている点で図19に示す態様と相違する。なお、明確化のために、追加の導電膜72は、図21に示す図面においては省略されている。この場合、第1のくし歯型電極13の凹部13Bの上端エッジ部における絶縁層16の帯電をも効果的に取り除くことができる。したがって、上述した絶縁層16の帯電に起因した不利益を排除することができる。また、図23及び図24に示すように、本変形例のように追加の導電膜72を形成した場合においては、絶縁層26からの側面への電界の漏れがほとんど見られないのに対し図24、追加の導電膜72を形成しない場合においては、絶縁層26からの電界の漏れが比較的大きいことが分かる図23。したがって、図24に示すように、追加の導電膜72を設けることにより、第1のくし歯型電極23-1~23-3及び第2のくし歯型電極24-1~24-3間に作用する静電気力が増大することが分かる。なお、追加の導電膜72は、導電膜42と同様にして形成することができる。なお、本実施形態のロータリーステッピングモーター70の駆動方法及びその他の特徴は、図4及び図5に示すロータリーステッピングモーター20と同様であるので、説明を省略する。第8の実施形態図25は、本実施形態における平行移動用のステッピングモーターの概略構成を示す一部断面図である。すなわち、図25では、本実施形態の特徴を明確にすべく、固定子31については側面図の状態とし、その他の構成部分については断面図の状態としている。図25に示すように、本実施形態の平行移動用ステッピングモーター80は、第2の実施形態の、図8に示す平行移動用ステッピングモーター30において、固定子31を構成する第1のくし歯型電極33-1~33-3と絶縁層36との境界81に接触し、かつ境界81に沿うようにして導電膜82が形成されていることを除き、図8に示す平行移動用ステッピングモーター30と同一の構成を採っている。一般に、固定子31を構成する第1のくし歯型電極33-1~33-3と移動子32を構成する第2のくし歯型電極34-1~34-3とのギャップが5μm程度で、両者の間に印加される電圧が30V程度になると、第1のくし歯型電極33-1~33-3の外周面に形成された絶縁層36及び第2のくし歯型電極34-1~34-3の外周面に形成された絶縁層36に電荷が溜まるようになる。したがって、所定の電圧を第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3に印加した場合においても、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子31に対して移動子32が駆動しなくなってしまう場合がある。しかしながら、本実施形態では、上述のようにして導電膜82を設けているので、第1のくし歯型電極33-1~33-3の絶縁層36に帯電した電荷は、導電膜72を介して第1のくし歯型電極33-1~33-3に逃がすことができ、上述のような電荷の溜まり、すなわち帯電を防止することができるようになる。この結果、所定の電圧を第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3に印加した場合においても、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子29に対して移動子22が駆動しなくなってしまうという不都合を回避することができる。なお、本実施形態では、第1のくし歯型電極33-1~33-3のみに導電膜82を設けているが、さらに第2のくし歯型電極34-1~34-3に導電膜を設けることによって、上述した作用効果をさらに増大させることができる。導電膜82は、第4の実施形態における導電膜42と同様にして形成することができる。なお、本実施形態の平行移動用ステッピングモーター80の駆動方法及びその他の特徴は、図8に示す平行移動用ステッピングモーター30と同様であるので、説明を省略する。第9の実施形態図26は、本実施形態における平行移動用ステッピングモーターの概略構成を示す図である。図26に示すように、本実施形態の平行移動用ステッピングモーター90は、第3の実施形態の、図8に示す平行移動用ステッピングモーター90において、固定子31を構成する第1のくし歯型電極33-1~33-3の外周面を被覆するようにして絶縁層36を形成する代わりに、第1のくし歯型電極33-1~33-3の凸部の上端エッジ部のみに絶縁層36を設け、移動子32を構成する第2のくし歯型電極34-1~34~3の外周面を被覆するようにして絶縁層36を形成する代わりに、第2のくし歯型電極34-1~34-3の凸部の上端エッジ部のみに絶縁層36を設けている。なお、特に図では示していないが、これらの絶縁層36は、第1のくし歯型電極33-1~33-3の紙面に垂直な深さ方向の全体に亘って形成されており、同様に、第2のくし歯型電極34-1~34-3の紙面に垂直な深さ方向の全体に亘って形成されている。また、絶縁層36の先端部は必ずしも第1のくし歯型電極33-1~33-3等の上面と同一の平面レベルである必要はなく、第1のくし歯型電極33-1~33-3に設けた絶縁層36の先端と、第2のくし歯型電極34-1~34-3に設けた絶縁層36の先端とが接触しない限りにおいて、上述した上面より突出していてもよい。絶縁層36の突出量は、第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3間のギャップの1/10~1/2の範囲とすることができる。本実施形態において、第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3間に作用する静電気力は、第1のくし歯型電極33-1~33-3の上端エッジ部及び第2のくし歯型電極34-1~34-3の上端エッジ部において大きくなる。すなわち、このように静電気力の作用が大きい部分に、高誘電体の絶縁層36を形成すれば、絶縁層36の自発分極によって、第1のくし歯型電極33-1~33-3と第2のくし歯型電極34-1~34-3との実質的な距離が削減されるような効果を得ることができる。したがって、第1のくし歯型電極33-1~33-3と第2のくし歯型電極34-1~34-3との実質的な距離の削減に伴い、これら電極、すなわち固定子31及び移動子32の離隔する距離が多少増大したような場合においても、これら間に作用する静電気力の低減を抑制することができ、アクチュエータとしての動作速度及び効率が低下してしまうのを抑制することができる。また、固定子31及び移動子32を構成する第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯電極34-1~34-3に印加する電圧、すなわち駆動電圧を増大させる必要がなくなり、昨今の省エネルギーの要請にも合致するようになる。一方、固定子31と移動子32とのギャップが5μm程度で、両者の間に印加される電圧が30V程度になると、第1のくし歯型電極33-1~33-3の外周面に形成された絶縁層及び移動子32を構成する第2のくし歯型電極34-1~34-3の外周面に形成された絶縁層に電荷が溜まるようになる。したがって、絶縁層36を外周面の全体に亘って形成した場合、所定の電圧を第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3に印加した場合において、印加した電圧に伴う電気信号正負の電圧が第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3に対して十分に作用しなくなってしまい、上記電気信号どおりに固定子31に対して移動子32が駆動しなくなってしまう場合がある。しかしながら、本実施形態では、絶縁層36を第1のくし歯型電極33-1~33-3の上端エッジ部及び第2のくし歯型電極34-1~34-3の上端エッジ部のみに設けるようにしているので、絶縁層36の表面距離を減少させることができ、電荷の滞留が少なくなる。したがって、上述した絶縁層36の帯電の問題を回避することができるとともに、絶縁層36を設けたことによる上述した作用効果距離増大による静電気力の低減抑制及び動作速度、効率の低下抑制を併せて達成することができる。なお、絶縁層36の第1のくし歯型電極33-1~33-3等に形成すべき高さは、第7の実施形態における絶縁層26と高さと同様にして設定することができる。また、本実施形態においても、第7の実施形態の図18に示すように、図26に示す平行移動用ステッピングモーター90の、第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3の両側面において追加の導電膜を設けることができる。この場合、第1のくし歯型電極33-1~33-3等の上端エッジ部に形成した絶縁層36の帯電をより効果的に防止することができる。絶縁層36からの電界の漏れを抑制することができ、第1のくし歯型電極33-1~33-3及び第2のくし歯型電極34-1~34-3間に作用する静電気力が増大することが分かる。なお、本実施形態の平行移動用ステッピングモーター90の駆動方法及びその他の特徴は、図8に示す平行移動用ステッピングモーター30と同様であるので、説明を省略する。第10の実施形態本実施形態では、上記各実施形態で示したような静電型アクチュエータをMEMSとして構成する場合について説明する。最初に、所定の導電体基板を準備し、その表面を洗浄した後、フォトリソグラフィーによって、第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極のパターンに相当するパターンを有するマスクパターンを介して、基板上に付加した感光膜を露光し、現像することにより、第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極のパターンを前記感光膜に対して転写する。次いで、転写形成された前記感光膜から成るマスクを介し、エッチング液、反応性のガスやプラズマなどを用いて上記基板をエッチングすることによって、上述した第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極を得る。次いで、第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極に対して、上述した高誘電体を原料として化学蒸着CVDChemicalVaporDeposition法、有機金属気相成長MOCVDMetalOrganicChemicalVaporDeposition法や原子層堆積ALDAtomicLayerDeposition法を施すことにより、これら電極の外周面に上述した絶縁層を形成する。なお、第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極のいずれか一方のみに絶縁層を形成する場合は、この絶縁層を形成すべきくし歯型電極のみに上述したCVD法やALD法を施す。以上のような製造工程によれば、第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極をμmオーダーからサブμmオーダーとすることができる。また、その他の部材についても、上述したようなマイクロマシン技術によって形成することができる。なお、第2の実施形態に示すようなロータリーステッピングモーターや、第3の実施形態に示すような平行移動用のステッピングモーターを構成する場合は、例えば上述のような操作を行うことによって、上記第1のくし歯型電極及び第2のくし歯型電極を、それぞれ固定子及び移動子と一括して形成する。本発明の静電型アクチュエータをMEMSとして構成する場合、次のような構成要件を備えることになる。駆動電圧は比較的に低電圧で作動しうる、具体的には数ボルトから150Vにおいて駆動され、特に70V以下、さらには50V以下の低電圧での作動を高精度に行うことができる。第1電極の形状と寸法は、高さ、幅、肉厚、テーパー、ピッチが各1μmから100μmで構成される。第2電極の形状と寸法は、高さ、幅、肉厚、テーパー、ピッチが各1μmから100μmで構成される。絶縁層の厚みは0.1μmから5μmで構成される。絶縁層の比誘電率は300以上が必要とされる。電極間の空隙距離は0.1μmから10μmで構成される。静電気力は1組当たり0.1μNから500μNで構成される。上記の構成はMEMSゆえのプロセス上の制約条件と微細さ、高精度、低電圧などの求められる機能によって定まるものである。比誘電率300以上であって、0.1μmから5μmの厚みの絶縁層の存在により、50V~70V以上の高電圧をかけずに済ますことができるため、MEMSくし歯アクチュエータの場合に適用される低電圧高精細の動作に適合できるものである。本発明のMEMSくし歯アクチュエータにおいて、通常は、絶縁性を確保するために空隙距離1μm~2μm程度が必要となる。一方、空隙距離が広くなると、駆動電圧を上昇させなければならないが、本発明の場合は、絶縁性を犠牲にせずに、擬似的に空隙距離を狭める効果があり、また、駆動電圧も下がるため有効である。また、負荷が非常に軽い場合は、アクチュエータの厚みを薄くできるので、深堀り反応性イオンエッチングDRIE:DeepReactiveIonEtchingの精度が向上して、空隙距離を0.5μmくらいまで下げることが可能なため、例えばハードディスクドライブのヘッドスライダーが非常に軽量化され、全体形状の小型化された場合などでは、最小空隙距離は,01ミクロンが必要になると考えられ、本発明のMEMSくし歯アクチュエータにより適応できるものである。静電気力は空隙距離が2倍になると、静電力は半減してしまうため空隙距離を減らすことが重要であるが、アクチュエータ部は動くので、絶縁性を確保するために空隙距離を減らせない。しかしながら、本発明のMEMSくし歯アクチュエータにおいては、同じ空隙距離でも、1μmの高誘電率膜を両側の電極に形成すれば、静電気力は約2倍に増強できる。本発明のMEMSくし歯アクチュエータにおいては、DRIEによるエッチングにおいてはテーパがつき、0.1μm~0.5μm程度の寸法誤差が生じ、固定子及び移動子の離隔する距離が多少増大するが、そのような場合でも、絶縁層の存在により静電力は安定になる。以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。"