ウエハの上に、レチクルパターンを撮像し、焦点を合わせるリソグラフィー露光対物レンズであって、レチクル側から光軸に沿って、正の屈折力を有する第1のレンズ群G31、正の屈折力を有する第2のレンズ群G32、正の屈折力を有する第3のレンズ群G33、正の屈折力を有する第4のレンズ群G34を備え、次の1式乃至3式を満たす。1.8<|fG32/fG31|<5.410.57<|fG33/fG34|<0.9720.19<|fG33/fG32|<0.53ここで、fG31は前記第1のレンズ群G31の焦点距離、fG32は前記第2のレンズ群G32の焦点距離、fG33は前記第3のレンズ群G33の焦点距離、fG34は前記第4のレンズ群G34の焦点距離である。前記第1のレンズ群G31は、少なくとも4枚のレンズを備え、前記第2のレンズ群G32は、少なくとも6枚のレンズを備え、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズからなる一組のレンズを少なくとも2つ含み、前記第3のレンズ群G33は、少なくとも4枚のレンズを備え、正の屈折力を有するサブレンズ群G33-1nを含み、前記サブレンズ群G33-1nは、前記第3のレンズ群G33の少なくとも2枚の隣接するレンズを含み、前記2枚の隣接するレンズは共に正の屈折力を有し、前記第4のレンズ群G34は、少なくとも6枚のレンズを備え、正の屈折力を有するサブレンズ群G34-1nを含み、前記サブレンズ群G34-1nは、前記第4のレンズ群G34の少なくとも3枚の直接に連続的に並ぶレンズを少なくとも3枚含み、前記3枚の直接に連続的に並ぶレンズはそれぞれ正の屈折力を有し、次の4式乃至6式を満たす、請求項1に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。1.03<|fel_max/fG31|<1.9540.34<|fG33-1n/fG33|<0.8750.21<|fG34-1n/fG34|<0.476ここで、fel_maxは前記第1のレンズ群G31が最大の屈折力を有する場合の前記第1のレンズ群G31のレンズの焦点距離、fG33-1nは前記第3のレンズ群G33の前記サブレンズ群G33-1nの焦点距離、fG34-1nは前記第4のレンズ群G34の前記サブレンズ群G34-1nの焦点距離である。前記第2のレンズ群G32は、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズを含み、次の8式を満たす、請求項2に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。1.23<|VG32ーP/VG32ーN|<1.858ここで、VG32ーPは前記第2のレンズ群の前記正レンズのアッベ数であり、VG32ーNは前記第2のレンズ群の前記負レンズのアッベ数である。前記第2のレンズ群G32は、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズを含み、次の9式を満たす、請求項2に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。1.59<|VG32ーP/VG32ーN|<2.659ここで、VG32ーPは前記第2のレンズ群の前記正レンズのアッベ数であり、VG32ーNは前記第2のレンズ群の前記負レンズのアッベ数である。前記第3のレンズ群G33の前記サブレンズ群G33-1nの前記2枚の隣接する正レンズの間で、前記レチクルから前記ウエハに向かう方向における下流に配置する前記レンズはより大きい焦点距離を有し、前記2枚の隣接する正レンズの焦点距離は共に0.75から1の範囲である、請求項1に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。前記露光対物レンズは、少なくとも2つのグループの高屈折率材料と、少なくとも2つのグループの低屈折率材料と、から製造される、請求項2に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。前記高屈折率材料は、I線に対して1.55より大きい屈折率を有する材料であり、I線に対して1.55より大きい屈折率を有し且つ45より大きいアッベ数を有する第1の材料グループと、I線に対して1.55より大きい屈折率を有し且つ50より大きいアッベ数を有する第2の材料グループと、を有し、前記低屈折率材料は、I線に対して1.55より小さい屈折率を有する材料であり、I線に対して1.55より小さい屈折率を有し且つ55より小さいアッベ数を有する第3の材料グループと、I線に対して1.55より小さい屈折率を有し且つ60より大きいアッベ数を有する第4の材料グループと、を有する、請求項6に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。前記第1のレンズ群G31、前記第2のレンズ群G32、前記第3のレンズ群G33、前記第4のレンズ群G34のそれぞれは、前記第1の材料グループ又は前記第2の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含む、請求項7に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。前記第1のレンズ群G31、前記第2のレンズ群G32、前記第4のレンズ群G34のそれぞれは、前記第1の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含む、請求項7に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。前記第1のレンズ群G31の第1レンズ及び前記第4のレンズ群G34の最終レンズは、前記第1の材料グループの材料から製造される、請求項9に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。前記第3のレンズ群G33は、前記第2の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含む、請求項7に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。前記第2のレンズ群G32は、互いに凹面が向き合う少なくとも1組のレンズを含み、前記第3のレンズ群G33は、像側に凹面を向けるメニスカスレンズを少なくとも1枚含み、前記第4のレンズ群G34は、物体側に凹面を向けるメニスカスレンズを少なくとも1枚含む、請求項7に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。上述のように、このような広範囲の露光領域の設計は、液晶ディスプレイLCDのリソグラフィー手段の分野では主要であり、一方、レチクルサイズに適応するため、様々な光学システムは、1Xより大きい及び2X近い倍率を有する高い露光対物レンズを採用している。これらの従来技術と確かな需要の考察との組み合わせによれば、2Xの倍率を有する露光対物レンズの開発が望まれている。本発明は、様々なタイプの収差、特に、歪曲収差、像面湾曲、非点収差、軸上色収差、倍率色収差を補正でき、物体側及び像側の両方のテレセントリックが得られる、広範囲露光対物レンズを提供することを目的としている。本発明の第1の態様にかかるリソグラフィーのための露光対物レンズは、連続的に、ウエハの上に、レチクルパターンを撮像し、焦点を合わせるものであり、レチクル側から光軸に沿って、正の屈折力を有する第1のレンズ群G31、正の屈折力を有する第2のレンズ群G32、正の屈折力を有する第3のレンズ群G33、正の屈折力を有する第4のレンズ群G34を備え、次の1式乃至3式を満たす。1.8<|fG32/fG31|<5.410.57<|fG33/fG34|<0.9720.19<|fG33/fG32|<0.53ここで、fG31は前記第1のレンズ群G31の焦点距離、fG32は前記第2のレンズ群G32の焦点距離、fG33は前記第3のレンズ群G33の焦点距離、fG34は前記第4のレンズ群G34の焦点距離である。前記第1のレンズ群G31は、少なくとも4枚のレンズを備えることが好ましい。また、前記第2のレンズ群G32は、少なくとも6枚のレンズを備え、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズからなる一組のレンズを少なくとも2つ含むことが好ましい。さらに、前記第3のレンズ群G33は、少なくとも4枚のレンズを備え、正の屈折力を有するサブレンズ群G33-1nを含むことが好ましく、前記サブレンズ群G33-1nは、前記第3のレンズ群G33の少なくとも2枚の隣接するレンズを含み、前記2枚の隣接するレンズは共に正の屈折力を有する。さらに、前記第4のレンズ群G34は、少なくとも6枚のレンズを備え、正の屈折力を有するサブレンズ群G34-1nを含むことが好ましく、前記サブレンズ群G34-1nは、前記第4のレンズ群G34の少なくとも3枚の直接に連続的に並ぶレンズを少なくとも3枚含み、前記3枚の直接に連続的に並ぶレンズはそれぞれ正の屈折力を有する。次の4式乃至6式を満たす。1.03<|fel_max/fG31|<1.9540.34<|fG33-1n/fG33|<0.8750.21<|fG34-1n/fG34|<0.476ここで、fel_maxは前記第1のレンズ群G31が最大の屈折力を有する場合の前記第1のレンズ群G31のレンズの焦点距離、fG33-1nは前記第3のレンズ群G33の前記サブレンズ群G33-1nの焦点距離、fG34-1nは前記第4のレンズ群G34の前記サブレンズ群G34-1nの焦点距離である。また、前記第2のレンズ群G32は、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズを含み、次の8式を満たすことが好ましい。1.23<|VG32ーP/VG32ーN|<1.858ここで、VG32ーPは前記第2のレンズ群の前記正レンズのアッベ数であり、VG32ーNは前記第2のレンズ群の前記負レンズのアッベ数である。また、前記第2のレンズ群G32は、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズを含み、次の9式を満たすことが好ましい。1.59<|VG32ーP/VG32ーN|<2.659ここで、VG32ーPは前記第2のレンズ群の前記正レンズのアッベ数であり、VG32ーNは前記第2のレンズ群の前記負レンズのアッベ数である。また、前記第3のレンズ群G33の前記サブレンズ群G33-1nの前記2枚の隣接する正レンズは次の7式を満たすことが好ましい。0.75<f41<f42<17ここで、f41は前記レチクルから前記ウエハに向かう方向における上流に配置する前記レンズの焦点距離であり、f42は前記レチクルから前記ウエハに向かう方向における下流に配置する前記レンズの焦点距離である。また、前記露光対物レンズは、少なくとも2つのグループの高屈折率材料と、少なくとも2つのグループの低屈折率材料と、から製造されることが好ましい。前記高屈折率材料は、I線に対して1.55より大きい屈折率を有する材料であり、I線に対して1.55より大きい屈折率を有し且つ45より大きいアッベ数を有する第1の材料グループと、I線に対して1.55より大きい屈折率を有し且つ50より大きいアッベ数を有する第2の材料グループと、を有することが好ましく、前記低屈折率材料は、I線に対して1.55より小さい屈折率を有する材料であり、I線に対して1.55より小さい屈折率を有し且つ55より小さいアッベ数を有する第3の材料グループと、I線に対して1.55より小さい屈折率を有し且つ60より大きいアッベ数を有する第4の材料グループと、を有することが好ましい。また、前記第1のレンズ群G31の第1レンズ及び前記第4のレンズ群G34の最終レンズは、前記第1の材料グループの材料から製造されることが好ましい。また、前記第1のレンズ群G31、前記第2のレンズ群G32、前記第3のレンズ群G33、前記第4のレンズ群G34のそれぞれは、前記第1の材料グループ又は前記第2の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含むことが好ましい。また、前記第1のレンズ群G31、前記第2のレンズ群G32、前記第4のレンズ群G34のそれぞれは、前記第1の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含むことが好ましい。また、前記第3のレンズ群G33は、前記第2の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含むことが好ましい。前記第2のレンズ群G32は、互いに凹面が向き合う少なくとも1組のレンズを含むことが好ましい。また、前記第3のレンズ群G33は、像側に凹面を向けるメニスカスレンズを少なくとも1枚含むことが好ましい。また、前記第4のレンズ群G34は、物体側に凹面を向けるメニスカスレンズを少なくとも1枚含むことが好ましい。本発明によれば、100mm以上の部分的な視野を有し、十分な露光強度を確保する波長幅±5nmのI線に適している、リソグラフィーのための2Xの露光対物レンズを少ないレンズ構成で提供することができる。同時に、本発明によれば、比較的シンプルな構造で、需要のあるミリメートルレベルの解像度と、広い領域における歪曲収差、像面湾曲、非点収差、色収差の補正とを達成することができる。添付図面を参照しながら、いくつかの本発明の例示的な実施の形態を以下に説明する。図1に示すように、本発明の実施の形態に係る露光対物レンズ30は、20枚のレンズを含み、その仕様は、以下の表1に示される。露光対物レンズ30は、20枚のレンズから構成される。当該20枚のレンズは、全て球面レンズであり、4つの正の屈折力を有するレンズ群G31、G32、G33、G34に分けられる。第1のレンズ群G31は、4枚のレンズからなり、当該レンズの屈折力は、それぞれ、負、正、正、及び、正である。第2のレンズ群G32は、6枚のレンズからなり、当該レンズの屈折力は、それぞれ、正、負、負、正、正、及び、負である。また、第2のレンズ群G32は、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズからなる一組のレンズを少なくとも2つ含む。さらに、第2のレンズ群G32は、互いに凹面が向き合う少なくとも1組のレンズを含む。第3のレンズ群G33は、4枚のレンズからなり、当該レンズの屈折力は、それぞれ、正、正、負、及び、負である。また、第3のレンズ群G33は、正の屈折力を有するサブレンズ群G33-1nを含み、サブレンズ群G33-1nは、第3のレンズ群G33の少なくとも2枚の隣接するレンズを含み、当該2枚の隣接するレンズは共に正の屈折力を有する。さらに、第3のレンズ群G33は、像側に凹面を向けるメニスカスレンズを少なくとも1枚含む。第4のレンズ群G34は、6枚のレンズからなり、当該レンズの屈折力は、それぞれ、負、正、正、正、正、及び、負である。また、第4のレンズ群G34は、正の屈折力を有するサブレンズ群G34-1nを含み、サブレンズ群G34-1nは、第4のレンズ群G34の少なくとも3枚の直接に連続的に並ぶレンズを少なくとも3枚含み、当該3枚の直接に連続的に並ぶレンズはそれぞれ正の屈折力を有する。さらに、第4のレンズ群G34は、物体側に凹面を向けるメニスカスレンズを少なくとも1枚含む。露光対物レンズ30は、少なくとも2つのグループの高屈折率材料と、少なくとも2つのグループの低屈折率材料と、から製造される。高屈折率材料は、I線に対して1.55より大きい屈折率を有する材料であり、I線に対して1.55より大きい屈折率を有し且つ45より大きいアッベ数を有する第1の材料グループと、I線に対して1.55より大きい屈折率を有し且つ50より大きいアッベ数を有する第2の材料グループと、を有する。低屈折率材料は、I線に対して1.55より小さい屈折率を有する材料であり、I線に対して1.55より小さい屈折率を有し且つ55より小さいアッベ数を有する第3の材料グループと、I線に対して1.55より小さい屈折率を有し且つ60より大きいアッベ数を有する第4の材料グループと、を有する。好ましい実施の形態においては、第1のレンズ群G31、第2のレンズ群G32、第3のレンズ群G33、第4のレンズ群G34のそれぞれは、第1の材料グループ又は第2の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含む。また、第1のレンズ群G31、第2のレンズ群G32、第4のレンズ群G34のそれぞれは、第1の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含む。また、第3のレンズ群G33は、第2の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも1つ含む。また、第1のレンズ群G31の第1レンズ及び第4のレンズ群G34の最終レンズは、第1の材料グループの材料から製造される。第1のレンズ群G31は、4枚のレンズ31、32、33、34からなり、レンズ31は両凹負レンズであり、レンズ32は、凹面をレチクル表面Rに向けた正メニスカスレンズであり、レンズ33及びレンズ34は、正レンズである。さらに、レンズ31、32、34はそれぞれ第1又は第3の材料グループの材料から製造され、レンズ33は第2又は第4の材料グループの材料から製造される。第2のレンズ群G32は、6枚のレンズ35、36、37、38、39、40からなり、レンズ35は両凸正レンズであり、レンズ36及びレンズ37は、負レンズであり、レンズ36の凹面362はレンズ37の凹面371に向いており、レンズ38及びレンズ39は、正レンズであり、レンズ40は、負レンズである。さらに、レンズ35、36、38、39はそれぞれ第2又は第4の材料グループの材料から製造され、レンズ37、40はそれぞれ第1又は第3の材料グループの材料から製造される。第3のレンズ群G33は、4枚のレンズ41、42、43、44からなり、レンズ41及びレンズ42は正の屈折力を有し、レンズ43及びレンズ44は、負の屈折力を有し、レンズ43は凹面432をウエハ表面に向けたメニスカスレンズである。また、レンズ41、42、43、44はそれぞれ第2又は第4の材料グループの材料から製造される。第4のレンズ群G42は、6枚のレンズ45、46、47、48、49、50からなり、レンズ45、46、47、48、49、50の屈折力はそれぞれ負、正、正、正、正、負である。レンズ45は平坦な背面とレチクル表面Rに向いた凹面とを有する。また、レンズ45及びレンズ47はそれぞれ第2又は第4の材料グループの材料から製造され、レンズ46、48、49、50はそれぞれ第1又は第3の材料グループの材料から製造される。レンズ群G31、G32、G33、G34のパラメータ間の関係は、次の1式乃至9式で表される。1式乃至9式は、さらに、露光対物レンズの像品質を最適化するための基本的な条件を決定する。1.8<|fG32/fG31|<5.410.57<|fG33/fG34|<0.9720.19<|fG33/fG32|<0.531.03<|fel_max/fG31|<1.9540.34<|fG33-1n/fG33|<0.8750.21<|fG34-1n/fG34|<0.4761.23<|VG32ーP/VG32ーN|<1.8571.59<|VG32ーP/VG32ーN|<2.6580.75<f41<f42<19ここで、fG31は第1のレンズ群G31の焦点距離、fG32は第2のレンズ群G32の焦点距離、fG33は第3のレンズ群G33の焦点距離、fG34は第4のレンズ群G34の焦点距離、fel_maxは第1のレンズ群G31が最大の屈折力を有する場合の第1のレンズ群G31のレンズの焦点距離、fG33-1nは第3のレンズ群G33のサブレンズ群G33-1nの焦点距離、fG34-1nは第4のレンズ群G34のサブレンズ群G34-1nの焦点距離、f41は隣り合う2つのレンズ41、42のうちレチクルからウエハに向かう方向における上流に配置するレンズ41の焦点距離、f42は隣り合う2つのレンズ41、42のうちレチクルからウエハに向かう方向における下流に配置するレンズ42の焦点距離、VG32ーP及びVG32ーNはそれぞれ第2のレンズ群の正レンズのアッベ数、当該正レンズに隣接する第2のレンズ群の負レンズのアッベ数である。上述のように、本実施の形態では、第3のレンズ群G33のサブレンズ群G33-1nの正レンズ41、42の焦点距離は、レチクルからウエハに向かう方向における当該レンズの位置関係から、f41、f42と表され、f41<f42を満たす。これらの2つの正レンズ41、42は、第2のレンズ群G32から出射された光を徐々に集光するため、像面湾曲の補正を改善する。さらに、上述の1式乃至9式は、収差補正におけるレンズ群G31、G32、G33、G34及びサブレンズ群G33-1n、G34-1nの構造的な関係を規定する。本実施の形態にかかる露光対物レンズの仕様設計値を表2に示す。表2において、表面の正の半径値は、当該表面の湾曲中心が当該表面の右側にあることを示し、同様に、表面の負の半径値は、当該表面の湾曲中心が当該表面の左側にあることを示す。また、光学要素の厚さ又は2つの光学要素の間の間隔は、現在の表面から次の表面までの光軸に沿った距離を示す。また、全ての値の単位はミリメートルである。さらに、表2において、表面番号をS、開口絞りASをSTOP、半径のカラムにおける無限遠をINFで示す。図2は、本実施の形態にかかる露光対物レンズ30は、歪曲収差の阻害において良好な性能を有することを示している。図3は、露光対物レンズ30テレセントリック性は、物体側において約3mradに、像側において約10mradに補正されたことを示している。さらに、図4の収差曲線は、露光対物レンズ30は、像品質補償において良好な性能を有し、I線±5nmにおいて高い品質の像を得ることができることを示している。要するに、本明細書に記載した露光対物レンズは、もっぱら説明の目的のために提供された、単なる本発明のいくつかの好ましい実施の形態であり、いかなる場合であっても本発明を限定するものではない。論理分析を通して当業者によって得られるいかなる技術的解決手段、本発明の概念に照らした推論又は限られた実験は、付加された請求項に規定されたスコープの範囲内である。