電極と被加工物のX、Y、Z軸方向の位置を相対的に制御自在な数値制御装置と、前記電極の上端部を保持してZ軸方向に移動位置決め自在の電極ホルダと、前記電極の下端部をガイドする電極ガイドとを備えた細穴放電加工装置において、前記電極ガイドのガイド穴内部に出入可能な円柱状測定子を設け、前記電極ガイドのガイド穴内径部と前記円柱状測定子とで電気的極間を構成し、該円柱状測定子と前記電極ガイドとを電極ガイドの直径方向に相対的に接近離反可能に設け、前記円柱状測定子と前記電極ガイド穴の内径部との接触位置を検出して前記電極ガイドの内径を測定する電極ガイド内径測定手段を設けたことを特徴とする細穴放電加工装置。電極と被加工物のX、Y、Z軸方向の位置を相対的に制御自在な数値制御装置と、前記電極の上端部を保持してZ軸方向に移動位置決め自在の電極ホルダと、前記電極の下端部をガイドする電極ガイドとを備えた細穴放電加工装置において、前記電極の下端部が出入可能な円筒状測定子を設け、該円筒状測定子の内径部と前記電極の下端部とで電気的極間を構成し、該円筒状測定子と前記電極の下端部とを前記円筒状測定子の直径方向に相対的に接近離反可能に設け、前記円筒状測定子の内径部と前記電極の下端部との接触位置を検出して該電極の直径を測定する電極径測定手段を設けたことを特徴とする細穴放電加工装置。請求項2に記載の細穴放電加工装置において、前記電極径測定手段に加えて、前記電極ガイドのガイド穴内部に出入可能な円柱状測定子を設け、前記電極ガイドのガイド穴内径部と前記円柱状測定子とで電気的極間を構成し、該円柱状測定子と前記電極ガイドとを電極ガイドの直径方向に相対的に接近離反可能に設け、前記円柱状測定子と前記電極ガイド穴の内径部との接触位置を検出して前記電極ガイドの内径を測定する電極ガイド内径測定手段を設けたことを特徴とする細穴放電加工装置。特許文献1に記載の微小内径測定装置の場合、本願発明に使用される外径が0.10mm程の微小なパイプ電極用の電極ガイドのガイド穴の測定に使用できる高精度で微小なプローブは製作困難であるという問題がある。また、プローブに加振してプローブを共振状態にさせた状態にして、プローブと被測定物とを接触させて内径を測定するため、例えば、本願発明の如き微小な電極ガイド穴の測定をする場合、振動状態のプローブが電極ガイド穴に接触した際には、被測定物である電極ガイドが変位してしまい電極ガイド穴の精密な内径測定ができない。また、プローブを共振状態に制御する装置や被測定物を正確に位置決めする移動位置決め手段が必要であり非常に高価な測定装置となる。特許文献2に記載の電気マイクロメータによる測定では、被測定物を探針で押圧するため、例えば、微細なパイプ電極の場合にはパイプ電極が変形または移動変位して精密な外径測定ができないという問題がある。本発明は上述の如き問題を解決する為に成されたものであり、本発明の課題は、微小な電極ガイド穴と電極外径とを精密測定可能かつ安価な電極ガイド内径測定手段と電極外径測定手段の両方又は一方を備えた細穴放電加工装置を提供することである。上述の課題を解決する手段として請求項1に記載の細穴放電加工装置は、電極と被加工物のX、Y、Z軸方向の位置を相対的に制御自在な数値制御装置と、前記電極の上端部を保持してZ軸方向に移動位置決め自在の電極ホルダと、前記電極の下端部をガイドする電極ガイドとを備えた細穴放電加工装置において、前記電極ガイドのガイド穴内部に出入可能な円柱状測定子を設け、前記電極ガイドのガイド穴内径部と前記円柱状測定子とで電気的極間を構成し、該円柱状測定子と前記電極ガイドとを電極ガイドの直径方向に相対的に接近離反可能に設け、前記円柱状測定子と前記電極ガイド穴の内径部との接触位置を検出して前記電極ガイドの内径を測定する電極ガイド内径測定手段を設けたことを特徴とするものである。請求項2に記載の細穴放電加工装置は、電極と被加工物のX、Y、Z軸方向の位置を相対的に制御自在な数値制御装置と、前記電極の上端部を保持してZ軸方向に移動位置決め自在の電極ホルダと、前記電極の下端部をガイドする電極ガイドとを備えた細穴放電加工装置において、前記電極の下端部が出入可能な円筒状測定子を設け、該円筒状測定子の内径部と前記電極の下端部とで電気的極間を構成し、該円筒状測定子と前記電極の下端部とを前記円筒状測定子の直径方向に相対的に接近離反可能に設け、前記円筒状測定子の内径部と前記電極の下端部との接触位置を検出して該電極の直径を測定する電極径測定手段を設けたことを特徴とするものである。請求項3に記載の細穴放電加工装置は、請求項2に記載の細穴放電加工装置において、前記電極径測定手段に加えて、前記電極ガイドのガイド穴内部に出入可能な円柱状測定子を設け、前記電極ガイドのガイド穴内径部と前記円柱状測定子とで電気的極間を構成し、該円柱状測定子と前記電極ガイドとを電極ガイドの直径方向に相対的に接近離反可能に設け、前記円柱状測定子と前記電極ガイド穴の内径部との接触位置を検出して前記電極ガイドの内径を測定する電極ガイド内径測定手段を設けたことを特徴とするものである。本願発明の請求項1記載の細穴放電加工装置によれば、微小な電極ガイド穴の内径を測定の際に変位や変形を与えることなく高精度に測定することができる。よって、使用する電極に適合しない電極ガイドを装着することを防止することができ、加工穴径の不良の発生を低減することができる。また、円柱状測定子は球状のプローブに比し高い形状精度で、かつ安価に製作できるため内径測定手段の製作コストを低減することができる。請求項2記載の細穴放電加工装置によれば、微小な電極の外径を測定の際に変位や変形を与えることなく高精度に測定することができる。よって、加工穴に適合しない電極の装着ミスを防止することができるため、加工穴径の不良の発生を低減することができる。請求項3記載の細穴放電加工装置によれば、微小な電極ガイド穴の内径と微細な電極の外径とを測定の際に変位や変形を与えることなく、高精度にかつ安価に測定することができる。よって、加工穴に適合しない電極及び電極ガイドの装着ミスを防止することができるため加工穴径の不良の発生を低減することができる。以下、本発明の実施の形態を図面によって説明する。図1は本発明に係る6軸制御XYZABWの細穴放電加工装置の一実施の形態を示したものである。図1を参照するに、総括的に示す細穴放電加工装置1の基台3上には、Y軸駆動モータMYによりY軸方向に移動位置決め可能なY軸テーブル5が設けてある。前記Y軸テーブル5には受け皿7を一体的に固定して設け、この受け皿7上に絶縁体である石定盤9を設けると共に、この石定盤9上にL字形のブラケット部材11が一体的に設けてある。上述のブラケット部材11上には、電気伝導度の小さい純水などの加工液13を入れるための加工槽15が取り付てあり、この加工槽15内にワークWを固定するためのチルト可能な公知のターンテーブル装置17が設けてある例えば、特開2011-25345号公報。上述のターンテーブル装置17は、Z軸図1の上下方向に平行な軸心を回転中心とするA軸と、A軸に直交Y軸に平行する軸心を回転中心とするB軸チルト軸とを備えている。上述のB軸駆動部としてのB軸回転軸19は、前記L字形ブラケット部材11の水平底部11aから前記加工槽15の後側図1において右側の壁面に沿って上方に延伸するB軸取付部11bに回転自在に軸支してある。このB軸回転軸19は加工槽15の後側壁面を貫通してその内部のほぼ中央部まで延伸させて設けてある。前記B軸回転軸19の左端の上部には、減速機図示省略を介してターンテーブル21が回転可能に取付けてある。B軸回転軸19の回転駆動は前記加工槽15の外部に設けたB軸駆動モータ図示省略で行われ、またターンテーブル21の回転駆動は、B軸回転軸19の軸心に沿って設けた外部に開口しためくら穴図示省略を介してA軸駆動モータ図示省略により回転駆動ができるように設けてある。前記ターンテーブル21の裏面には、環状の通電リング図示省略が設けてあり、ターンテーブル21はこの通電リングを介して放電電源図示省略に接続してある。上記構成において、制御装置図示省略の制御の下にA軸駆動モータ図示省略を適宜に回転駆動させれば、ターンテーブル21をA軸中心に適宜な角度回転させることができる。また、同様にB軸駆動モータ図示省略を適宜に正転又は逆転駆動させれば、ターンテーブル21をB軸を中心に時計方向又は反時計方向へチルトTilt;傾斜させることができる。さらに、前記Y軸駆動モータMYを適宜に回転駆動することにより、ターンテーブル21をY軸方向の任意の位置に位置決めすることができる。前記加工槽15の後方図1において右方の前記基台3上には、図1を前側図1において左側から見て左右に立設した一対の支柱25と、この一対の支柱25の上部に水平に懸架した梁部材27からなる門型フレームが設けてある。門型フレームの梁部材27には、蛇腹31に保護されたX軸ガイドレール図示省略が設けてあり、このX軸ガイドレールにX軸駆動モータ図示省略に駆動されるX軸キャリッジ33が前記Y軸に直交するX軸方向に移動位置決め自在に設けてある。また、前記X軸キャリッジ33には、上下に延伸したW軸スライド35に一体的に設けた係合部35eが前記Z軸に平行なW軸に沿って昇降自在に係合してある。そして、このW軸スライド35は、このW軸スライド35の上端部に設けたW軸駆動モータMWにより回転駆動されるW軸送りねじ36に螺合するナット部材38を介してW軸の任意の位置に位置決め可能に設けてある。上述のW軸スライド35には、中実棒状又はパイプ状の電極37を装着した電極ホルダ39を備えたZ軸スピンドルユニット41がZ軸方向に昇降自在に設けてある。前記Z軸スピンドルユニット41は、前記W軸スライド35の上端部に設けたZ軸駆動モータMZによりW軸スライド35に対して相対的にZ軸方向の任意の位置へ移動位置決め可能に設けてある。また、Z軸スピンドルユニット41の上部に設けたスピンドルモータMSにより、Z軸スピンドルユニット41のスピンドル図示省略が回転駆動自在に設けてある。前記W軸スライド35の下端部には、電極ガイドユニット73の端部が着脱可能に設けてあり、その他端部には前記電極37が摺動自在に挿通係合する下方向Z軸方向へ延伸した電極ガイド81が設けてある。さらに、図2に示すように、前記電極ガイド81の直上位置において、前記電極37をガイドすると共に電極37を挿入するためのテーパを有する漏斗部材83が設けてある。上記構成において、前記制御装置図示省略の制御の下に前記W軸駆動モータMWを適宜に回転駆動すれば、前記W軸スライド35をZ軸上の適宜な位置へ位置決めすることができる。すなわち、電極37をZ軸方向にガイドする電極ガイド81をZ軸上の適宜な位置へ位置決めすることができる。また、Z軸駆動モータMZにより電極ホルダ39に保持された電極37をZ軸の任意の位置へ移動位置決めできる。また、前記X軸キャリッジ33はX軸駆動モータMX図示省略によりX軸の任意の位置へ位置決めできるので、電極37をワークWのX、Y座標上の任意の位置へ移動位置決めすることが可能であり、また、ワークWをA、B軸に回転できるので、ワークWの上面の他に底面以外の任意の位置へも位置決めすることが可能である。図3は本願発明に係る電極ガイド内径測定手段85の構成示したものであり、以下にこの電極ガイド内径測定手段85を説明する。電極ガイド内径測定手段85は、前記ターンテーブル21上に直径dの円柱状測定子87を電気的に導通した状態で着脱可能に保持する測定子保持体89を有し、前記円柱状測定子87は前記電極ガイド81のガイド穴81iの内壁部に離間した状態で出入可能に設け、電極ガイド81の内壁部と円柱状測定子87との間に電気的極間を形成する。そして、前記極間には直流電圧V1を有する直流電源91を抵抗93を介して接続してあると共に、前記直流電源91の回路と並列に接触検出手段95が設けてある。この接触検出手段95は、前記直流電圧V1と基準電圧用電源図示省略からの基準電圧V2とが入力されたとき、この入力を比較して前記極間の接触の有無を判別するする信号を前記制御装置図示省略に対して発生するコンパレータ図示省略を備えている。前記電極ガイド81のガイド穴81iと円柱状測定子87とが非接触時には極間に電圧V1が極間に印加されており、ガイド穴81iと円柱状測定子87とが接触時の電圧は基準電圧V2よりも低い値になるように設定してある。そして、前記コンパレータ図示省略は極間の電圧が基準電圧V2よりも低い場合にのみ、極間が接触していることを意味する出力信号を発生して、前記制御装置図示省略に出力するものである。上記構成において電極ガイド内径を測定する際は、図3に示すように、前記円柱状測定子87と電極ガイド81のガイド穴81iの内壁部とが接触しない位置に来るように、前記X軸キャリッジ33とY軸テーブル5とを前記制御装置により位置決め制御すると共に、前記Z軸スピンドルユニット41を下降させて前記電極ガイド81のガイド穴81i内部に円柱状測定子87の先端部を位置させる。ガイド穴81i内部に円柱状測定子87の先端部を位置させた状態において、円柱状測定子87と前記電極ガイド81とを電極ガイド81の直径方向に相対的に移動させ、前記接触検出手段95により円柱状測定子87と電極ガイド81の内壁との接触を検出して直径方向両端の2点の位置座標を求め、この2点の位置座標と円柱状測定子87の直径からガイド穴81iの直径Dを求めることができる。例えば、円柱状測定子87を電極ガイド81の軸心Cを通りかつX軸方向の方向と-方向とに移動させたときの電極ガイド81と内径との接触位置のX座標をX、X-とし、円柱状測定子87の直径をdとすれば、ガイド穴81iの直径Dは次の数式1より求められる。数1D=X-X-d1図4は、本願発明に係る電極径測定手段86の構成示したものであり、以下にこの電極径測定手段86を説明する。なお、前記電極ガイド内径測定手段85と同一の構成要素には同一の符号を付し詳細な説明は省略する。電極径測定手段86は、内径Dの円筒状測定子97を備えた前記測定子保持体89が前記ターンテーブル21上に設けてある。なお、測定子保持体89と円筒状測定子97とは電気的に導通している。円筒状測定子97は、被測定物である中実棒状又はパイプ状の電極37が円筒状測定子97の内壁と離間した状態で出入可能な内径を有するものであって、円筒状測定子97の内壁と被測定物である電極37との間に電気的極間を形成する様になっている。そして、上記極間には直流電圧V1を有する直流電源91を抵抗93を介して接続すると共に、直流電源91の回路と並列に前記電極ガイド内径測定手段85と同一の接触検出手段95が設けてある。上記構成において電極37の外径を測定する際は、前記電極ガイド内径測定と同様に、電極37と円筒状測定子97の内壁部が接触しない位置に来るように、円筒状測定子97を位置決め制御すると共に、前記Z軸スピンドルユニット41を下降させて円筒状測定子97の内径部に電極37の先端部を位置させる。そして、円筒状測定子97と電極37とを電極37の直径方向に相対的に移動させ、前記接触検出手段95により円筒状測定子97の内径部と電極37との接触を検出して直径方向両端の2点の位置座標を求め、この2点の位置座標と円筒状測定子97の内径Dから電極37の直径をdを求めることができる。例えば、円筒状測定子97を電極37の軸心Cを通りかつX軸方向の方向と-方向とに移動させたときの円筒状測定子97と電極37との接触位置のX座標をX、X-とし、円筒状測定子97の内径をDとすれば、電極37の直径dは次の数式2より求められる。数2d=D-X-X-2