"被験体からの細胞試料液を濃縮、染色、洗浄する第1の装置と、前記第1の装置からの染色された細胞の試料液を濃縮分離精製する第2の装置と、前記第2の装置からの細胞試料液中の精製された細胞の遺伝子解析発現解析を行う第3の装置と、前記第1~第3の装置にわたって連続的に前記細胞試料液を送液する第4の装置と、前記各装置の動作を制御し、前記細胞試料の解析を行う制御解析部とを備える細胞分析装置システムであって、前記第1の装置が、前記細胞試料液中の細胞を濃縮、染色、洗浄するフィルターを備えたチャンバーと、前記細胞試料液、染色液および洗浄液をそれぞれ収容する容器と、各前記容器中の各液を前記チャンバー中に順次導入する機構と、を備え、前記第2の装置が、対象細胞を含む細胞を含有する細胞試料液を流す流路を備えるセルソーターチップであって、前記流路が、前記細胞の濃縮が行われる第一の流路と、前記濃縮された前記細胞の検出および前記対象細胞の選別が行われる、前記第一の流路から分岐する第二の流路とを含む、セルソーターチップと、各前記流路を流れる前記細胞が、前記第一の流路において濃縮され、かつ前記第二の流路において所望の方向に収束されるように、各前記流路を流れる前記細胞に対して外力を与える機構と、前記第二の流路中を流れる前記細胞に光を照射する光照射手段と、少なくとも200フレーム/秒の画像取り込みレートで該細胞の画像を取得する高速カメラとを含む光学系と、を備え、前記第3の装置が、試料液を添加して反応させる反応槽と、前記反応槽との間で熱を交換する熱交換槽と、前記熱交換槽の温度を制御する温度制御機構と、を備える、細胞分析装置システム。前記細胞試料液中の精製された細胞の遺伝子解析発現解析を行う第3の装置の前段に、前記細胞試料液を送液する第4の装置によって搬送された前記細胞の内容物を細胞破砕によって試料液に溶出させる細胞破砕機構をさらに含み、前記制御解析部が、前記細胞試料液を送液する第4の装置によって前記第2の装置からの前記細胞試料液が前記細胞破砕機構へ搬送され、前記細胞破砕機構において破砕された試料液が、前記第4の装置によって前記第3の装置に搬送されるように前記各部を制御する、請求項1に記載の細胞分析装置システム。前記細胞破砕機構が、前記細胞試料を容れるための容器と、前記容器内にて細胞を破砕するための破砕用回転体と、前記容器内にて細胞を破砕するための研磨剤とを含み、前記細胞試料と前記研磨剤とが前記容器の内部に添加され、自転および公転運動が厳密に制御された前記破砕用回転体の動きにより、前記細胞試料が破砕される、請求項2に記載の細胞分析装置システム。前記細胞破砕機構がさらに回転シャフトを含み、前記破砕用回転体が前記回転シャフトにより上から押し付けられることによって、前記容器の内部で回転し、前記破砕用回転体と前記回転シャフト間の摩擦力および滑りの程度が、前記破砕用回転体と回転シャフト間の圧力により制御される、請求項3に記載の細胞分析装置システム。前記細胞破砕機構が、破砕用回転体の回転軸と回転シャフトの回転軸をずらすことにより、容器の側面に対して直角方向に破砕用回転体を押し付ける力を発生させることが可能な機構を備える、請求項4に記載の細胞分析装置システム。前記細胞破砕機構が、前記回転シャフトの磁力、静電気力、または気体の圧力差による吸引力により前記破砕用回転体が前記容器の内部から持ち上げられ、除去されることが可能な機構を備える、請求項4に記載の細胞分析装置システム。前記細胞破砕機構において、前記容器の自動交換を可能とする複数の容器を搭載した駆動機構を備えることにより異なる細胞試料間での汚染を排除できることを特徴とする、請求項3~6のいずれかに記載の細胞分析装置システム。前記細胞破砕機構において、未使用の前記容器の内部には前記破砕用回転体が機密性シールにより封印して容れられており、前記細胞試料破砕時には前記容器および前記破砕用回転体が汚染されていないことが保証できることを特徴とする、請求項3~7のいずれかに記載の細胞分析装置システム。対象細胞を含む細胞を含有する細胞試料液を流す流路を備えるセルソーターチップであって、前記流路が、前記細胞の濃縮が行われる第一の流路と、前記濃縮された前記細胞の検出および前記対象細胞の選別が行われる、前記第一の流路から分岐する第二の流路とを含む、セルソーターチップと、各前記流路を流れる前記細胞が、前記第一の流路において濃縮され、かつ前記第二の流路において所望の方向に収束されるように、各前記流路を流れる前記細胞に対して外力を与える機構と、前記第二の流路中を流れる前記細胞に光を照射する光照射手段と、少なくとも200フレーム/秒の画像取り込みレートで該細胞の画像を取得する高速カメラとを含む光学系と、iv前記各部の動作を制御し、前記光学系により取り込まれた各前記細胞の画像を解析する制御解析部と、を備える、画像検出型一細胞分離精製装置。前記外力が、超音波放射圧、重力、静電力、または誘電電気泳動力である、請求項9に記載の装置。前記対象細胞を含む細胞試料が、血液に由来する、請求項9または10に記載の装置。前記対象細胞が、癌細胞を含む、請求項9~11のいずれかに記載の装置。前記制御解析部が、前記光学系から得られる前記細胞の画像を2値化し、該2値化画像の輝度重心、面積、周囲長、長径、および短径からなる群から選択される少なくとも1つの指標によって、各前記細胞を一細胞レベルで検出し識別する、請求項9~12のいずれかに記載の装置。前記細胞試料液中の前記細胞が蛍光標識されており、前記光学系が、蛍光検出手段をさらに含み、前記細胞の蛍光画像の情報が追加的な指標として前記制御解析部により利用される、請求項13に記載の装置。同じ長さと断面積の1つの試料流路とその両脇に対称に配置された2つのバッファ液流路が合流するように配置され、合流後に下流で再び同じ長さと断面積の中央の回収用流路とその両脇の2つの廃液流路に分配され、上流の3つの流路の入り口を覆うシース液リザーバーと、その中に試料を満たす試料液リザーバーが、その断面積の比が、流路数の比と同じ2:1となるように配置されており液が流れても両者の液面高さが一致するように構成されており、同様に下流でも廃液リザーバーと回収細胞用リザーバーの断面積の比が2:1となるように配置されており、合流点の上流に高速カメラおよび蛍光検出によって細胞を同定する機構を有し、合流点に対称にゲル電極が接するように配置されており、排除したい細胞にのみ電場を印加することを特徴としたオンチップセルソーター。前記セルソーターのリザーバーにおいて、シース液リザーバー上面に配置された栓と、栓を貫通して圧縮空気を印加する手段と、シース液リザーバーと試料リザーバーに液を連続して追加供給できる手段と、シース液リザーバーと試薬リザーバーの両者での液面高さを計測することができる電気センサーとを備えることを特徴とした請求項15に記載のセルソーター。前記セルソーターのリザーバーにおいて、試薬液および2つのシース液を保存する個別の容器が、おのおの3つの流路の上流側入り口にそれぞれ配置されていることを特徴とした請求項15に記載のセルソーター画像認識型セルソーターにおいて、細胞像の中での核の像の有無を基準として、選択的に細胞分裂中の細胞を回収することを特徴としたオンチップセルソーター。画像処理型セルソーターにおいて、像のブレを防ぐために、高速カメラの撮影各フレームレート速度において、各フレームで一回発火する時間について、フラッシュ時間=画素サイズ/流速の関係で決めることを特徴としたオンチップセルソーターシステム。臨床現場において、CTCsは癌転移に関して存在を確認する事が重要視されているにも拘わらず、これを癌転移の指標とした診断基準は、現状確立されていない。理由として、それ自体の多様性希少性のため、採血後の試料を均一な組織と見なし、その中の稀少な変異遺伝子の存在の有無を検査する従来方法では検出感度の高さを非常に求められる点が挙げられる。特にこれまでは、蛍光標識した血中の癌細胞が他の細胞と細胞塊となっているか、あるいは孤立した1細胞であるかを確認せず細胞内の遺伝子、発現解析を行っていたため、ターゲットとなる癌細胞以外の細胞の情報を含んだ集団平均としての情報を獲得していた。そのため、対象となる癌細胞の正確な情報が得られないという課題があった。また、1細胞単位での回収手段に加えて、稀少な細胞を選別濃縮後、微量の細胞単位で遺伝子診断、発現解析する手段によって、よりSN比の高い診断を行う必要があった。また、現在の、細胞を用いた解析手段については、対象となる細胞がアポトーシス等の状態となっているかどうか、細胞回収時に解析をする手段を有していないという課題があった。また、炭疽菌の芽胞等の細胞の表面に硬い殻を有する細胞については、細胞内容物の分析をするためには、細胞の殻を何らかの方法で除去することが出来ない限り、細胞の内容物は試料液に溶出しないという問題があった。そのため、通常は、芽胞細胞を培養することで発芽させて、発芽することで通常の細胞と同じ手順でも細胞の内容物が試料液に溶出できるようになることから、細胞培養を行う手段を分析手段に組み込むことで細胞分析が行われているが、この場合には、細胞培養に少なくとも数時間程度、長い場合には一昼夜の培養が必要となるため、培養過程による計測時間の遅延、手順の煩雑化、コンタミネーションの発生などの問題が発生していた。また、高速での分析を行う手法としてガラスボール等の破砕媒体とサンプルの混合物を破砕容器に入れ、超音波振動などを加えることでランダムに衝突をさせることで細胞破砕をする等の破壊手法が存在しているが、これらについては振動による試料溶液の加熱が発生するにも関わらず効果的な破砕効率が得られないという問題と、試料溶液およびサンプル量が多量に必要であり、極微量の細胞の細胞破砕を行う場合には、試料回収効率の問題があった。このような状況に鑑み、本発明者らは、転移能力を持って血中を流れる癌細胞の種類と状態、そして数濃度を高速に同定することができる細胞分析装置を提供する。すなわち、本発明は、以下の装置システムおよび装置を提供する。1被験体からの細胞試料液を濃縮、染色、洗浄する第1の装置と、上記第1の装置からの染色された細胞の試料液を濃縮分離精製する第2の装置と、上記第2の装置からの細胞試料液中の精製された細胞の遺伝子解析発現解析を行う第3の装置と、上記第1~第3の装置にわたって連続的に上記細胞試料液を送液する第4の装置と、上記各装置の動作を制御し、上記細胞試料の解析を行う制御解析部とを備える細胞分析装置システムであって、上記第1の装置が、上記細胞試料液中の細胞を濃縮、染色、洗浄するフィルターを備えたチャンバーと、上記細胞試料液、染色液および洗浄液をそれぞれ収容する容器と、各上記容器中の各液を上記チャンバー中に順次導入する機構と、を備え、上記第2の装置が、対象細胞を含む細胞を含有する細胞試料液を流す流路を備えるセルソーターチップであって、上記流路が、上記細胞の濃縮が行われる第一の流路と、上記濃縮された上記細胞の検出および上記対象細胞の選別が行われる、上記第一の流路から分岐する第二の流路とを含む、セルソーターチップと、各上記流路を流れる上記細胞が、上記第一の流路において濃縮され、かつ上記第二の流路において所望の方向に収束されるように、各上記流路を流れる上記細胞に対して外力を与える機構と、上記第二の流路中を流れる上記細胞に光を照射する光照射手段と、少なくとも200フレーム/秒の画像取り込みレートで該細胞の画像を取得する高速カメラとを含む光学系と、を備え、上記第3の装置が、試料液を添加して反応させる反応槽と、上記反応槽との間で熱を交換する熱交換槽と、上記熱交換槽の温度を制御する温度制御機構と、を備える、細胞分析装置システム。2上記細胞試料液中の精製された細胞の遺伝子解析発現解析を行う第3の装置の前段に、上記細胞試料液を送液する第4の装置によって搬送された上記細胞の内容物を細胞破砕によって試料液に溶出させる細胞破砕機構をさらに含み、上記制御解析部が、上記細胞試料液を送液する第4の装置によって上記第2の装置からの上記細胞試料液が上記細胞破砕機構へ搬送され、上記細胞破砕機構において破砕された試料液が、上記第4の装置によって上記第3の装置に搬送されるように上記各部を制御する、上記1に記載の細胞分析装置システム。3上記細胞破砕機構が、上記細胞試料を容れるための容器と、上記容器内にて細胞を破砕するための破砕用回転体と、上記容器内にて細胞を破砕するための研磨剤とを含み、上記細胞試料と上記研磨剤とが上記容器の内部に添加され、自転および公転運動が厳密に制御された上記破砕用回転体の動きにより、上記細胞試料が破砕される、上記2に記載の細胞分析装置システム。4上記細胞破砕機構がさらに回転シャフトを含み、上記破砕用回転体が上記回転シャフトにより上から押し付けられることによって、上記容器の内部で回転し、上記破砕用回転体と上記回転シャフト間の摩擦力および滑りの程度が、上記破砕用回転体と回転シャフト間の圧力により制御される、上記3に記載の細胞分析装置システム。5上記細胞破砕機構が、破砕用回転体の回転軸と回転シャフトの回転軸をずらすことにより、容器の側面に対して直角方向に破砕用回転体を押し付ける力を発生させることが可能な機構を備える、上記4に記載の細胞分析装置システム。6上記細胞破砕機構が、上記回転シャフトの磁力、静電気力、または気体の圧力差による吸引力により上記破砕用回転体が上記容器の内部から持ち上げられ、除去されることが可能な機構を備える、上記4に記載の細胞分析装置システム。7上記細胞破砕機構において、上記容器の自動交換を可能とする複数の容器を搭載した駆動機構を備えることにより異なる細胞試料間での汚染を排除できることを特徴とする、上記3~6のいずれかに記載の細胞分析装置システム。8上記細胞破砕機構において、未使用の上記容器の内部には上記破砕用回転体が機密性シールにより封印して容れられており、上記細胞試料破砕時には上記容器および上記破砕用回転体が汚染されていないことが保証できることを特徴とする、上記3~7のいずれかに記載の細胞分析装置システム。9対象細胞を含む細胞を含有する細胞試料液を流す流路を備えるセルソーターチップであって、上記流路が、上記細胞の濃縮が行われる第一の流路と、上記濃縮された上記細胞の検出および上記対象細胞の選別が行われる、上記第一の流路から分岐する第二の流路とを含む、セルソーターチップと、各上記流路を流れる上記細胞が、上記第一の流路において濃縮され、かつ上記第二の流路において所望の方向に収束されるように、各上記流路を流れる上記細胞に対して外力を与える機構と、上記第二の流路中を流れる上記細胞に光を照射する光照射手段と、少なくとも200フレーム/秒の画像取り込みレートで該細胞の画像を取得する高速カメラとを含む光学系と、iv上記各部の動作を制御し、上記光学系により取り込まれた各上記細胞の画像を解析する制御解析部と、を備える、画像検出型一細胞分離精製装置。10上記外力が、超音波放射圧、重力、静電力、または誘電電気泳動力である、上記9に記載の装置。11上記対象細胞を含む細胞試料が、血液に由来する、上記9または10に記載の装置。12上記対象細胞が、癌細胞を含む、上記9~11のいずれかに記載の装置。13上記制御解析部が、上記光学系から得られる上記細胞の画像を2値化し、該2値化画像の輝度重心、面積、周囲長、長径、および短径からなる群から選択される少なくとも1つの指標によって、各上記細胞を一細胞レベルで検出し識別する、上記9~12のいずれかに記載の装置。14上記細胞試料液中の上記細胞が蛍光標識されており、上記光学系が、蛍光検出手段をさらに含み、上記細胞の蛍光画像の情報が追加的な指標として上記制御解析部により利用される、上記13に記載の装置。さらに、本発明は、以下のオンチップセルソーターおよびオンチップセルソーターシステムを提供する。15同じ長さと断面積の1つの試料流路とその両脇に対称に配置された2つのバッファ液流路が合流するように配置され、合流後に下流で再び同じ長さと断面積の中央の回収用流路とその両脇の2つの廃液流路に分配され、上流の3つの流路の入り口を覆うシース液リザーバーと、その中に試料を満たす試料液リザーバーが、その断面積の比が、流路数の比と同じ2:1となるように配置されており液が流れても両者の液面高さが一致するように構成されており、同様に下流でも廃液リザーバーと回収細胞用リザーバーの断面積の比が2:1となるように配置されており、合流点の上流に高速カメラおよび蛍光検出によって細胞を同定する機構を有し、合流点に対称にゲル電極が接するように配置されており、排除したい細胞にのみ電場を印加することを特徴としたオンチップセルソーター。16上記セルソーターのリザーバーにおいて、シース液リザーバー上面に配置された栓と、栓を貫通して圧縮空気を印加する手段と、シース液リザーバーと試料リザーバーに液を連続して追加供給できる手段と、シース液リザーバーと試薬リザーバーの両者での液面高さを計測することができる電気センサーとを備えることを特徴とした上記15に記載のセルソーター。17上記セルソーターのリザーバーにおいて、試薬液および2つのシース液を保存する個別の容器が、おのおの3つの流路の上流側入り口にそれぞれ配置されていることを特徴とした上記15に記載のセルソーター18画像認識型セルソーターにおいて、細胞像の中での核の像の有無を基準として、選択的に細胞分裂中の細胞を回収することを特徴としたオンチップセルソーター。19画像処理型セルソーターにおいて、像のブレを防ぐために、高速カメラの撮影各フレームレート速度において、各フレームで一回発火する時間について、フラッシュ時間=画素サイズ/流速の関係で決めることを特徴としたオンチップセルソーターシステム。本発明により、血中の微量な対象細胞を1細胞単位で精製して、その対象細胞の正確な遺伝子情報、発現情報の解析が実現できる。本発明により、被検対象の細胞が、クラスター化しているか否か孤立一細胞であるか否かを識別することができる。本発明により、細胞でアポトーシスが発生しているか否かを判定することができる。本発明により、リアルタイムで対象となる細胞のみを分離精製して回収することができる。本発明により、回収した細胞のみ、一細胞レベルで細胞内状態を計測し、一細胞レベルでゲノム解析および発現解析を行うことができる。本発明により、回収した細胞のみ、再培養することができる。本発明により、細胞のサイズの違い、細胞内部の核と細胞質とのサイズの比等の詳細な細胞の情報を取得して、その結果に基づいて判別をして細胞を精製することができる。本発明により、炭疽菌などの芽胞を有する細胞について、細胞内の物質の分析を高速にコンタミネーションを最小にして行うことができる。本発明により、血中で細胞分裂をしている細胞を回収することで、血中がん細胞や幹細胞などの分裂能をもった細胞を回収することが可能となる。本発明の細胞分析装置は、概して、1細胞の濃縮、蛍光抗体標識あるいは再培養を行う場合は必要に応じてアプタマー等の可逆蛍光標識マーカーでの染色、洗浄を含むプロセスを連続で行う細胞濃縮染色脱色部と、2チップ基板上に形成したマイクロ流路を流れる細胞から、毎秒1万画像程度の細胞像の画像データを取得して、その画像情報の分析結果に基づいてリアルタイムで毎秒1万細胞を精製する画像検出型1細胞分離精製セルソーター部と、31細胞レベルでの細胞内状態を計測する1細胞ゲノム解析発現解析部と、4上記各部の間での試料液の搬送を行うための送液部と、5上記各部の動作を制御し、上記解析を行うための制御解析部とを備える。本発明の細胞分析装置の典型的な実施形態は、上記3つのモジュール1~3を、上記の順序で連続して組み合わせたことを特徴とし、かつ、流路によって連続して細胞が搬送されるため、微量の細胞をコンタミネーションや操作による消失を最小限に無くすることができる。本発明の細胞分析装置を用いることによって、細胞の蛍光標識の有無を1細胞レベルで検出して確認し、蛍光標識された細胞について、細胞がクラスター化していない孤立1細胞であることを確認し、さらに細胞でアポトーシスが発生しているかどうかを判定することができる。したがって、本発明の細胞分析装置によれば、従来の散乱光検出型セルソーター技術では識別できなかった指標に基づいて、細胞を分離精製することができる。本発明の細胞分析装置によれば、正確に1細胞単位で染色された細胞を選択回収し、また、回収する細胞のアポトーシス等の細胞状態を確認し、各細胞の蛍光情報および細胞状態の情報と併せて細胞の遺伝子情報、発現情報を解析することができる。上記1の細胞濃縮染色脱色部においては、非接触力によって連続的に前モジュールから送られてくる反応液中に含まれる微量の細胞が連続的に捕獲濃縮され、一定の細胞数に達したところで、細胞標識染色液が導入されて細胞が染色された後に、結合しなかった試薬は洗浄除去され、その後、一定の濃度で細胞が次のモジュールに送出される。この細胞濃縮染色脱色部においては、例えば、非接触力として微量流路中に作成した金属電極によって交流電場によって作り出される誘電泳動力によって細胞が集まる特徴を利用した細胞の捕獲濃縮の要素技術が用いられる。また、上記2の画像の検出の結果に基づいて1細胞単位での分離精製を行う手段においては、細胞のサイズの違い、細胞内部の核と細胞質とのサイズの比等の詳細な細胞の情報が画像情報として取得され、その結果に基づいて細胞が精製される。画像取得については、高速カメラが用いられ、高速カメラのシャッター周期に合わせて、光源の発光が調整され、各シャッターが切られる期間のうちの一定の時間だけ光源の光を発光させる。例えば、シャッタースピードが1万分の1秒である場合は、その10分の1の期間だけ、LED光源あるいはパルスレーザー光源等の高速発光制御が可能な光源で対象となる細胞に光を照射することで、細胞の精細な形状を獲得することができる。上記の分離精製手段としてセルソーターをチップ上に構築する場合、従来のセルソーターでは、セルソーターに導入する細胞を、別途、遠心分離機などの濃縮工程などを経て濃縮させたために、その過程でのコンタミネーションの問題があった。そこで、本発明においては光学系以外の機能はチップのみでクローズドで行うことにした。すなわち、細胞をチップ上で直接濃縮する構成とし、送液部分および分離した細胞の培養槽もチップ上に形成した。それによって、コンタミネーションや細胞のロスが発生しないだけでなく、手順が簡素化され、処理時間が短縮される使い勝手を改善することができる。また、クローズドにすることで、例えば、幹細胞の分離や臨床検査など、他の検体組織由来細胞のコンタミネーション防止が必須であるケースにおいても、コンタミネーションを考慮する必要が無くなる。このように、本発明は、セルソーターの主要部分をチップ化することで、装置のクロスコンタミネーションの完全な防止などを可能とし、医療分野、特に再生医療分野で必須なクロスコンタミネーションの無い細胞分離システムを提供する。本発明において検出対象として想定している細胞は、小さいものではバクテリア、大きいものでは動物細胞例えば、がん細胞などである。したがって、細胞サイズとしては典型的には約0.5μmから約30μm程度の範囲となる。細胞濃縮機能および細胞分離機能の両方を組み込んだ流路を基板の一面に形成して細胞濃縮および分離を連続して行う場合に、まず問題になるのが流路幅断面形状である。また、流路は基板表面の一つに基板の厚み方向で約10~約100μmのスペースを使用して、実質2次元平面状に作成することとなる。細胞の大きさからしてバクテリア用では厚み方向で約5~約10μm、動物細胞用では厚み方向で約10から約50μmが最も典型的なサイズとなる。本発明の細胞分析装置は、典型的には、同一のチップ内に、細胞を濃縮する機能を持つ細胞濃縮部と、それに引き続き、細胞を分離精製する機能を持つ細胞配列部と細胞分離精製部、そして分離精製する細胞を識別判断する光学的解析部を含む。細胞濃縮部へは、典型的には、濃縮処理がされていない試料溶液が1つの入り口から導入され、細胞濃縮部の下流に配置された排出部から試料溶液が排出される。このような基本構成に加えて、濃縮部側壁内に設置された濃縮細胞回収口に向けて細胞に対して外力を与えて細胞を濃縮する手段を有していてもよい。このときの外力としては、超音波放射圧、重力、静電力、誘電電気泳動力などを用いることができるが、これらに限定されない。この場合、濃縮部の試料溶液の流れに対して直交する方向で、かつ、濃縮細胞回収口の方向に向けてこれらの外力を与えることができる配置が利用される。細胞分離精製部においては、細胞が流れている流路の中央に細胞が配列するように細胞に対して外力を加えて下流の2つに分岐した流路の一方にすべての細胞が流れることができるようにし、それに引き続いて、配列した細胞のうち回収したい細胞のみに、さらに外力を加えて細胞の流れる位置を移動させることで、上記2つに分岐する流路のうち、この外力を加えたときのみ細胞が別の流路に導入される。ここで、具体的には外力としては、超音波放射圧による定在波の節への細胞の配列手段を利用することができる。あるいは、楔形の電極アレイを組み合わせることで、楔形の頂点の位置に細胞を配列させる手段を利用することができる。あるいは、対になったヒゲ型電極を用いて細胞を2つの対電極の間に配列させる手段を用いることができる。また、この手段を用いれば、サイドシース液を添加すること無しに細胞を一直線に配置することができるため、前段でせっかく濃縮した細胞溶液が希釈されるという上記発明が解決しようとする課題に述べられた課題を合わせて解決できることとなる。本発明の細胞分析装置の細胞検出機能は、上記2の画像検出型1細胞分離精製部にある。細胞を画像として捕らえて評価する場合は流路分岐部分の上流にCCDカメラで観測する部位を設け、必要に応じてその下流に細胞分離領域を設置する構造とする。画像によらず、流路を通過する細胞にレーザーなどを照射し、細胞が横切るときの散乱光や細胞を蛍光で修飾している場合はその蛍光を光検出器で検出することもできる。この場合も、検出部の下流に細胞分離領域となる分離流路点を設置する構造とする。細胞分離領域である選別部で細胞を分離する場合、細胞選別部に外部から細胞に外力を加えて細胞を移動させる手段として、例えば、誘電電気泳動力を用いる場合には1対の櫛形電極を設置し、細胞を分離して排出することのできる流路を設ける。静電力による場合は、電極に電圧をかけて細胞の流路内での位置変更を行う。このとき、一般に細胞はマイナスにチャージしているのでプラスの電極に向かって動く。また、本発明では、試料液のチップ内への導入圧力が、液の移動の駆動力となっているため、細胞濃縮部215の廃液出口流出口213、細胞選別部217の精製細胞の出口細胞回収部224、細胞選別部の廃液の出口廃液回収部223の圧力がほぼ同じになるように構成することが望ましい図4Bを参照。そのために、細い流路や、S字状の長い流路など各出口の直前に圧力調整用の流路抵抗調整部を配置している。細胞認識と分離のアルゴリズムに関しては次のような特徴がある。細胞を画像として捕らえて評価する場合は合流後の流路部分をCCDカメラで観測する部位を設け、測定範囲を面に広げ画像認識で細胞の識別を行い、追跡することでより確実な細胞分離を行う。このとき重要なのは、画像の取り込み速度である。一般の30フレーム/秒のビデオレートのカメラでは、画像での細胞取りこぼしが生じる。最低200フレーム/秒の取り込みレートがあれば、流路中をかなりの速度で流れる細胞を認識できる。次に画像処理法であるが、取り込みレートが早いということはあまり複雑な画像処理を行うことはできない。まず、細胞認識であるが、前記したとおり、細胞の移動速度や細胞によりまちまちで、場合によっては細胞の追い越しがある。このため、各細胞が最初に画像フレームに現れたときに細胞にナンバリングを施し、以下、画像フレームから消えるまで同一ナンバーで管理を行うこととする。すなわち、連続する複数枚のフレームで細胞像が移動する状況をナンバーで管理する。各フレーム内での細胞は上流側にあったものから順に下流側に移行し、画像中に認識されるナンバリングされた特定細胞の移動速度はある範囲に収まるとの条件でフレーム間の細胞をリンクさせる。このようにすることで、たとえ、細胞の追い抜きがあったとしても各細胞を確実に追跡できるようにする。これで、細胞の認識が可能となるが、細胞のナンバリングには、まず細胞像を2値化し、その重心を求める。2値化した細胞の輝度重心、面積、周囲長、長径、短径を求め、これらのパラメーターを用いて各細胞をナンバリングする。各細胞像をこの時点で画像として自動保存することも使用者にとって益があるので行えるようにする。つぎに、細胞分離に使用する場合であるが、ナンバリングした細胞のうち、特定の細胞のみを分離しなくてはならない。分離の指標は上記した輝度重心、面積、周囲長、長径、短径などの情報でもよいし、画像とは別に蛍光検出を行うことを併用して蛍光を利用した情報を得てもよい。いずれにせよ、検出部で得た細胞をナンバリングに従い分離する。具体的には、所定時間毎に取り込まれる前記画像からナンバリングされた細胞の移動速度Vを計算し、細胞移動速度Vに対して検出部から選別部までの距離をL、印加時間Tによって、印加タイミングをL/VからL/VTまでとすることでちょうど目的のナンバーの細胞が電極間に来た時に細胞を電気的に振り分けて分離する。また、本発明において用いる上記3の高速での1細胞ゲノム解析発現解析の手段については、上記目的を達成するために、例えば、使用する反応制御装置は、サンプル液の温度変化について、変化させたい複数の温度について、各温度が維持された熱容量の大きな液体を熱交換の媒体に用いて、この熱容量の大きな複数の異なる温度の液体を高速で変化させる手段と、この熱容量の大きな液体とサンプル液との熱交換が迅速に行われる微小反応槽を備える。具体的には、本発明において使用される反応制御装置は、熱交換に適した構造および材質で構成される微小反応槽と、各反応に適した温度の液体を微小反応槽外部に循環させる反応槽熱交換槽と、液体の温度を高精度で維持する熱源を含む複数の液体リザーバタンクと、微小反応槽の温度を迅速に変化させるために任意の液体リザーバタンクから反応槽外部へ液体を導くための切り替えバルブ系と、上記バルブ系の切り替えの際に異なる温度の液体の混合防止機構から構成されている。還流する液体で反応槽の温度を制御する利点としては、次の点を挙げることができる。まず温度のオーバーシュート問題を解決できる点が挙げられる。常に還流している液体の温度は一定であることから、反応槽表面の温度と液体の温度は瞬時に平衡化する。反応槽およびサンプルの熱容量は、還流している液体と比較して微々たるものであることから、局所的に液体から熱が奪われたとしても液体は連続して流れてくることから、熱勾配は基本的に発生しない。勿論、反応槽の温度は液体の温度を超えることはない。異なる温度の液体を反応槽熱交換槽に順次に流し込むことにより、05秒以内に30度以上温度を変化することが可能である。以下、図面を参照して本発明の実施形態をより詳細に説明するが、これらは単なる例示であって、本発明の範囲がこれらの実施形態に限定されるものではない。細胞分析装置のシステム構成図1は、本発明の細胞分析装置を用いて行う、血中サンプルの採取から分析までの手順の一例を図示したものである。患者から採取した血液サンプルはそのまま、細胞濃縮染色部に導入される。ここで血液から細胞成分のみを抽出して、これに蛍光癌マーカーなどの蛍光標識剤を添加して、試料細胞と反応をさせた後、反応しなかった余剰の蛍光標識剤を洗浄除去し、次の画像検出型1細胞分離精製部に最適な細胞濃度、溶液に調整した形で、画像検出型1細胞分離精製部へと導入される。次に、画像検出型1細胞分離精製部では、1次検出として、1細胞レベルでの蛍光標識に基づいた蛍光の発光の有無を確認する。これによって細胞が対象となる細胞かどうかを従来の標識技術で確認することができる。そのうえで、蛍光を発して対象となる細胞について、高速カメラによって採取した画像をリアルタイムで分析することで、1蛍光を発する細胞が、孤立細胞であるか、あるいは他の細胞との細胞塊となっているかを判別し、また、2蛍光を発する細胞が健常な状態であるか、細胞の核と細胞形状が変形しているアポトーシス等の状態となっているかを判別し、目的に応じて、健常な細胞の回収、あるいは、アポトーシスを起こしている細胞の回収を行って、それぞれの細胞の形態について別々に遺伝子解析、発現解析ができるように次段の高速微量対応の遺伝子解析発現解析部に導入することができる。特に、細胞塊となっている場合には、ターゲットとなっている細胞以外の細胞が混入することとなるので、蛍光を発する細胞がある場合であっても回収は行わない。また、この段階で識別し、精製された細胞については、遺伝子解析発現解析部に導入する以外に、精製された細胞単位で、コンタミネーションフリーにて再培養を行うこともできるものとする。遺伝子解析発現解析部は、導入された細胞を、微量の細胞単位で、画像検出型1細胞分離精製部の情報に基づいて同一の細胞と判別された細胞1細胞として、あるいは同一細胞の集団単位で遺伝子の同定、あるいは、発現の同定を行うものである。図2は、上記図1で示した手順を実現する細胞分析装置システム1の全体像の一例を示したものである。装置システム1は、血液サンプルを導入して細胞の前処理を行う濃縮染色脱色モジュール10、細胞の1細胞単位での識別精製を行う画像検出型1細胞分離精製モジュール20、精製された細胞の遺伝子解析、発現解析を行う1細胞ゲノム解析発現解析モジュール30、各モジュール間での試料の搬送を行う送液モジュール40、およびシステム全体の動作を制御し、かつ、解析結果を分析する制御解析モジュールコンピュータ50を備える。図3から図6のそれぞれに、図2で示した例における、各モジュールの構成の一例を示す。まず図3は、被験体例:癌患者由来の血液サンプルを導入して細胞の前処理を行う細胞濃縮染色脱色モジュール10の構成の一例を示したものである。図3の例において、細胞濃縮染色脱色モジュール10は、シャーシ114の上に一体となって配置されており、モジュール内には、試料細胞サンプル、染色剤、洗浄剤の各溶液を保持する容器またはリザーバ101、102、103があり、ここから回転アーム112に取り付けられた分注ヘッド104によって、溶液をターンテーブル105上に配置した底面に濃縮脱色フィルター106が配置されたチャンバー107合わせて濃縮チャンバー108に導入することができる。濃縮チャンバー108には、まず血液などの試料細胞サンプルが導入され、圧力ポンプ109によって液体成分をフィルターを通じて廃液回収チューブ110に排出することによって、細胞の濃縮が行われる。次に、分注ヘッド104を使って、染色液が導入され、一定の時間反応させた後に、再度、圧力ポンプ109によって染色液は排出される。次に、脱色剤を濃縮チャンバー108に導入することで、過剰な染色剤は洗浄されて排出される。その後、一般には洗浄剤を兼ねる希釈液を導入して、細胞を希望の濃度に希釈して、先端に回収チップ113を備えた回収ヘッド111を通じて、細胞を回収チューブ112に導入する構成となっている。図4は、細胞の1細胞単位での識別精製を行う画像検出型1細胞分離精製モジュール20の構成の一例を示したものである。図4Aに示すように、画像検出型1細胞分離精製モジュール20は、光源201、ミラー202、集光レンズ203、ダイクロイックミラー204、フィルター205、蛍光検出用の光検出素子206、高速カメラ207、および散乱光検出用フォトダイオード208から構成される光学系、ならびに細胞試料を導入するセルソーターチップ209から構成されている。図4Aのモジュールでは、セルソーターチップ209を通過する細胞に対して、パルスレーザーや高輝度LED光源などの光源201、細胞の通過を散乱光で検出するフォトダイオードなどの光検出素子208、蛍光を検出するフォトマルチプライヤーなどの高感度光検出素子206、高速カメラ207などで同時に複数の情報を検出することが出来るようになっている。そして、光源の照射光については、連続光を照射しても良いが、ブレの無いより画像の空間分解能を高めるために、高速カメラ207のシャッター周期に同期して、パルス光を発生させることで、より短時間の光照射で、より項時間分解能の像を取得することが出来る構成となっている。ここで、画像による処理と、蛍光あるいは散乱光による処理とを併用してもよいことは言うまでもない。また、高速カメラ207で得られた画像データはコンピュータ50のモニターに表示して、使用者の観察に供することもできる。また、観察したい蛍光が複数の場合には、フィルター205を適切に調整し、複数の励起光を透過させるとともに、下段での蛍光検出のための蛍光波長に重ならない波長を選んで、細胞に光を照射し、観察したい蛍光の種類に合わせてダイクロイックミラー204から、フィルター205、蛍光検出器206までの装置を付加したものを複数組み合わせれば良い。また、この構成を用いることで、細胞像についての蛍光観察結果をデータとして用いることもできる。細胞認識と分離のアルゴリズムに関しては次のような特徴がある。細胞を画像として捕らえて評価する場合は合流後の流路部分をCCDカメラで観測する部位を設け、測定範囲を面に広げ画像認識で細胞の識別を行い、追跡することでより確実な細胞分離を行う。このとき重要なのは、画像の取り込み速度である。一般の30フレーム/秒のビデオレートのカメラでは、画像での細胞取りこぼしが生じる。最低200フレーム/秒の取り込みレートがあれば、流路中をかなりの速度で流れる細胞を認識できる。次に画像処理法であるが、取り込みレートが早いということはあまり複雑な画像処理を行うことはできない。まず、細胞認識であるが、前記したとおり、細胞の移動速度や細胞によりまちまちで、場合によっては細胞の追い越しがある。このため、各細胞が最初に画像フレームに現れたときに細胞にナンバリングを施し、以下、画像フレームから消えるまで同一ナンバーで管理を行うこととする。すなわち、連続する複数枚のフレームで細胞像が移動する状況をナンバーで管理する。各フレーム内での細胞は上流側にあったものから順に下流側に移行し、画像中に認識されるナンバリングされた特定細胞の移動速度はある範囲に収まるとの条件でフレーム間の細胞をリンクさせる。このようにすることで、たとえ、細胞の追い抜きがあったとしても各細胞を確実に追跡できるようにする。これで、細胞の認識が可能となるが、細胞のナンバリングには、まず細胞像を2値化し、その重心を求める。2値化した細胞の輝度重心、面積、周囲長、長径、短径を求め、これらのパラメーターを用いて各細胞をナンバリングする。各細胞像をこの時点で画像として自動保存することも使用者にとって益があるので行えるようにする。次に、細胞分離に使用する場合であるが、ナンバリングした細胞のうち、特定の細胞のみを分離しなくてはならない。分離の指標は上記した輝度重心、面積、周囲長、長径、短径などの情報でもよいし、画像とは別に蛍光検出を行うことを併用して蛍光を利用した情報を得てもよい。いずれにせよ、検出部で得た細胞をナンバリングに従い分離する。具体的には、所定時間毎に取り込まれる前記画像からナンバリングされた細胞の移動速度Vを計算し、細胞移動速度Vに対して検出部から選別部までの距離をL、印加時間Tによって、印加タイミングをL/VからL/VTまでとすることでちょうど目的のナンバーの細胞が電極間に来た時に細胞を電気的に振り分けて分離する。細胞の分離精製についての構成の一例は以下のとおりである。入れられた試料溶液中の細胞の濃縮から配列、精製までを平面チップ上に2次元に展開して配置された一連の微細加工された流路と、チップに組み込まれた細胞に力を作用させる手段からなる。細胞分離精製モジュールはチップ上に構成されている。図4Bは、そのようなチップ上に構成されたセルソーターチップ209の例を模式的に示す。チップ基板210の内部にマイクロ流路211を、上面にこの流路に連通する開口を設け、試料や必要な緩衝液培地の供給口とする。流路の作成はPMMAなどのプラスチックを金型に流し込むいわゆる射出成型で作成することで作成することもできるし、あるいは、複数のガラス基板を接着することで作成することもできる。チップのサイズは、例えば50×70×1mmtであるがこれに限定されない。チップの内面に刻まれた溝や貫通穴を流路やウェルを流れる細胞を、高倍率の光学顕微鏡で観察できるように、PMMAプラスチックを用いた場合には、例えば、0.1mm厚のラミネートフィルムを熱圧着して用いており、また、ガラスの場合は同様に0.1mmのガラスを光学接着することで用いている。例えば、開口数1.4、倍率100倍の対物レンズを用いて、0.1mmのラミネートフィルムを通して流路内を流れる細胞を観察できる。プラスチックの場合、プラスチックを透光性の高いものとすれば、チップ基板210の上面側からも観測できる。また、本発明で想定している細胞は、小さいものではバクテリア、大きいものでは動物細胞でがん細胞のようなものである。したがって、細胞サイズとしては典型的には0.5μmから30μm程度の範囲となるが、厳密にこの範囲に限定されるわけではなく、本発明が有効に使用される限り任意のサイズの細胞が使用されうる。細胞濃縮と細胞分離を基板の一面に組み込んだ流路を用いて連続して行おうとすると、まず問題になるのが流路幅断面形状である。また、流路211は基板表面の一つに基板の厚み方向で典型的には10~100μm内外のスペースに実質2次元平面状に作成することとなる。細胞の大きさからしてバクテリア用では厚み方向で5~10μm、動物細胞用では厚み方向で10から50μmが適当なサイズとなる。チップ209上で、まず、試料溶液は、流入口212からシリンジポンプあるいは、空気圧などの脈流が発生しない、細胞導入手段によってマイクロ流路211に導入される。マイクロ流路211に導入された細胞を含む試料液は、そのまま下流にある流出口213に向けて印加前の粒子の流れ218の流線に沿って流れて行き排出される。このときマイクロ流路211の側壁の一部に配置された細胞濃縮液入り口214に向けて細胞が濃縮されるように細胞に対して連続して外力を加える手段が導入されており、その外力によって、細胞は印加後の細胞の流れ219に沿って濃縮されてゆき、流入口212で導入された細胞濃度の100倍以上の高濃度の細胞濃縮液が細胞濃縮液入り口214に導入される。このとき細胞に加える外力としては、超音波放射圧、重力、静電力、誘電電気泳動力を用いることができる。例えば、超音波放射圧を用いる場合には、試料液の流れに直交し、かつ、細胞濃縮液入り口214の方向に超音波の進行波を発生させて、その超音波の放射圧によって印加後の細胞の流れ219を発生させることができる。超音波の導入手段については、PZT系圧電素子をチップ209表面に接着しても良いし、あるいは、細胞濃縮部215に表面弾性波が発生するように櫛形電極アレイを圧電素子表面に配置し、これを細胞濃縮部215表面に張り付けて、浸み出した超音波が細胞濃縮部215に導入されることを利用しても良い。重力を用いる場合には、試料液の流れに直交し、かつ、細胞濃縮液が濃縮液入り口214の方向が重力の方向となるように、チップ209の空間配置を調整しても良いし、あるいは、回転することができる円盤上に、チップ209を、試料液の流れに直交し、かつ、細胞濃縮液が濃縮液入り口の方向が円盤の動径方向と同じ方向に配置しても良い。静電力を用いる場合には、マイクロ流路211の側壁に電極を配置することで、細胞が側壁に向かって外力を受けるように配置すれば良く、その場合には、対象となる細胞の持つ細胞表面の電位が正となるか負となるかに応じて、どちらの電荷を印加するかを決めればよい。ただし、静電力を発生させる場合は、電流を加える電極表面の電位が過酸素化電位、あるいは過水素化電位などの一定の電位を超えると気泡が電極から発生することとなるため、印加する電圧は非常に弱いものとなり、それ故、マイクロ流路211の流路距離は、細胞に加える外力の種類と強さに応じて柔軟に調整しなければならず、例えば静電力の場合は十分に長いものとならなければならない。誘電電気泳動力を外力として用いる場合には、細胞濃縮部215内に、試料液の流れに直交し、かつ、細胞濃縮液が濃縮液入り口214の方向に誘電電気泳動力が加えられるように、電極を配置すれば良い。次に、図4Cに示すように、細胞濃縮液が濃縮液入り口214に導入された濃縮細胞液は、収束部216において、溶液中で流れに沿って一列に配列される。具体的には、誘電電気泳動力、あるいは超音波放射圧の定在波モードを用いることで、収束部216の流路の中央部に細胞が引き寄せられるように外力を発生させる手段を有するものである。このようにして中央に一直線に配列された細胞は、細胞選別部217の前段に配置された細胞検出領域218において、細胞を計測して、その各細胞の種類を判定した後に、上流から下流への流れに垂直な方向への外力を加えることの有無によって、細胞選別部分岐部220において分岐する2つの下流域である第一の流出口221と第二の流出口222のいずれかに誘導するものとなる。実際の収束部216の構成の例として、誘電電気泳動力によって外力を実現する場合の、電極配置の構成の一例としては、楔形の交互に配置した形状の電極収束用V字櫛形電極225を配置し、収束用V字櫛形電極接点に交流電圧を印加することで、細胞をこの楔形の頂点の位置に向けて細胞に対して外力を加えることができ、その結果、楔形の頂点の位置に細胞を連続して濃縮することができる。この実施例の電極で重要なのは、流路中に配置された電極の形状であり、下流側に向けて角度をもった電極であることと、この電極が一直線ではなく鋭角な先端を持ち、かつ、軸対象な形状を持つ、くし型電極アレイであることで、誘電電気泳動力を受ける細胞は、それによって斥力を受ける場合であっても、引力を受ける場合であっても、流れによって細胞が下流に押し流されてゆく力と、鋭角な先端部分に向けて細胞が受ける力の合力によって、細胞は、この鋭角な電極先端部分に誘導されて配列することとなる。言い換えると、流路中の細胞を濃縮させたい位置に、電極アレイの鋭角の頂点の位置を配置することで、細胞は、流れによって下流に進む力と、この鋭角先端方向に向けた誘電電気泳動力との合力によって、鋭角先端部に集まることとなる。図5に、精製された細胞の遺伝子解析、発現解析を行う1細胞ゲノム解析発現解析モジュール30の構成についての一例を図示する。反応槽301は窪みを複数個有するアルミ、ニッケル、ないし金の薄板から構成されている。窪み領域における薄板の厚さは10から30ミクロン程度であり、隣り合った窪みの間の領域は全体的に強度を担保するために、厚さが100ミクロンから500ミクロンとする。反応槽301は四角もしくは円形の反応槽枠の底面に固定されており、反応槽熱交換槽302との脱着が容易である構造となっている。反応槽熱交換槽302に導入される液体の温度は液体リザーバタンク303の内部に配置されている熱源により過熱されている。熱源の表面から迅速に熱を奪い、液体リザーバタンク303内部の温度を均一にするために、攪拌機構が用意されている。液体リザーバタンク中の液体はポンプ304により流路内部を導かれる。切り替えバルブ305によって、液体は反応槽熱交換槽302に導かれるか、バイパス流路に導かれることにより直接液体リザーバタンク303に戻る。必要に応じて、補助温度制御機構306によって、液体の温度が僅かに制御され、液体リザーバタンク303内部の温度変動を抑制するようになっている。反応槽熱交換槽302の基本構成としては、異なる温度の液体を導入するインレットA307、インレットB308を有している。数はサンプル液の温度を変化させたい複数の温度に一致する数だけ2温度分以上の複数を用意することとなり、例えば3温度系を達成したい場合には3つとなり、本実施例で示した2個に限定されない。また、反応槽熱交換槽302の液体を液体リザーバタンク303に戻すために、複数のアウトレット、アウトレットA309、とアウトレットB310を有する。数は2に限定されない。色々な形状の反応槽を用いることが可能であり、一つの例として反応槽A、反応槽B、反応槽C、反応槽Dを示す。ここで、反応槽熱交換槽302の液体については、水を用いても良いが、熱容量が大きく、かつ、粘性が低い液体を用いても良い。例えば、液体アンモニアなどがある。また、反応槽熱交換槽302の液体については、水より沸点の高い液体を用いることで、確実に、サンプル液を100度にしたり、あるいは、水より凝固点の低い液体を用いることで、装置内で循環する液体の凝固を防ぎながら水の凝固点までの温度の変化を確実に行うこともできる。また、反応槽枠には、反応槽301内のサンプル液311の反応によって変化する、サンプル液中の蛍光色素の蛍光強度の変化を、1つあるいは複数の反応槽301の各々について計測できるように、蛍光色素の励起光ならびに蛍光を透過する光学窓が配置されており、また、蛍光検出器312が配置されることで、計測された各反応槽301の蛍光強度の時間変化を計測することができる。図5の実施例では、複数の蛍光検出器312各々の内に、励起光照射機構と、蛍光検出機構が具有しており、異なるプライマー、あるいは異なるサンプル液を滴下した複数の反応槽301の各々の異なるPCR増幅情報を独立して計測することができる構成となっている。また、蛍光検出器312で取得された蛍光強度データは、制御解析部313で記録され、PCR反応によって得られたサンプル液内のDNA量、あるいは、mRNA量を見積もる機能を有する。さらに、制御解析部313では、切り替えバルブ305の切り替え情報を取得することで、バルブ切り替え後のサンプル液311の温度変化が目的の温度に達したかどうかを、蛍光強度の時間変化から見積もる機能、およびその結果に基づいてバルブ切り替えを制御する機構も有する。これは、蛍光色素が普遍的にもつ水分子の運動に基づいた蛍光消光が液温に依存することを利用して、蛍光強度の単位時間での変化量が小さくなること、あるいは、ゼロとなることから見積もるものであり、特に、DNAを変性させる高温状態の達成の確認に有効である。また、本実施例では、各反応槽301に1つの検出器を配置したが、蛍光例起用光源と冷却CCDカメラなどの蛍光定量検出が可能なカメラを組み合わせて複数の反応槽の蛍光強度変化を計測しても良い。あるいは、反応槽301の数より少ない検出器を用いる場合には、X-Y面で高速に移動することができる機械式駆動機構を検出器と組み合わせることで、すべての反応槽の蛍光強度を計測しても良い。反応に必要な試薬は凍結乾燥しておくと便利である。反応槽の底部に凍結乾燥試薬を調製しておくことは可能である。また、サンプルを分注する際に用いられる分注チップ内部にプラグ状の凍結乾燥試薬を形成しておけば、サンプルを上下に移動させることにより試薬をサンプル中に溶解することが可能である。または、ナイロン繊維等が束ねられている繊維玉表面に凍結乾燥試薬を形成しておき、反応槽内部のサンプル中に挿入して攪拌することにより凍結乾燥試薬を溶解することも可能である。薄膜から構成されている反応槽301を直接ハンドリングするのは不便であるので、反応槽301を反応槽枠に固定すると便利である。反応槽枠は断熱性材質であるポリスチレン、ポリカーボネート、PEEK,アクリル等で形成することが望ましく、また反応槽301との結合面積を抑えることが、反応槽301の迅速かつ高精度な昇温、降温に望ましい。反応槽301を反応槽熱交換槽302に装着するにあたって、反応槽枠の表面にネジ山を形成しておき、反応槽枠をねじ込む方法がある。水密性の保持のために、開口部にシールを装着することが望ましい。または、テーパー状反応槽枠を採用し、圧力のみで装着することも可能である。次に、バルブの切り替え機構の具体例を示す。反応槽301に液体を導入するためのインレットバルブA、インレットバルブB、外部に導くためのアウトレットバルブAとアウトレットバルブBがある。インレットバルブAから導かれる液体はアウトレットバルブAから液体リザーバタンクに戻り、インレットバルブAから導かれる液体はアウトレットバウルBから別の液体リザーバタンクに戻る。この二つの状態を交互に繰り替えることにより、反応槽中のサンプルを反応することができる。さらに望ましいバルブ切り替え方法としては、上記の二つの状態以外に、インレットバルブBとアウトレットバルブA、もしくはインレットバルブAとアウトレットバルブBが一瞬の間同時に開放することにより、異なる温度の液体が混合することを抑制でき、それぞれの系の液体リザーバタンクの温度制御が容易になる。PCRを行うときの条件は、例えば、反応バッファー10μL、2mMdNTP1μL、25mM硫酸マグネシウム12μL、10牛胎仔血清0125μL、SYBRGreenI05μL、プライマー2種類各06μL、滅菌水3725μL、KODpluspolymerase025μL、ゲノムDNA10μLの割合で混ぜ合わせたものを使うことができる。温度条件としては、まず95°C10sec行い、次に95°C1sec、60°C3secの温度変化を40サイクルで計測することが出来る。図6は、各モジュール間での試料の搬送を行う送液モジュール40の構成の一例を図示したものである。シャーシ406上に配置された各モジュール間での液体のやり取りを行う分注ヘッド401、分注チップ402を有しており、また、Z軸方向での分注ヘッドの高さ方向の制御をする機能としてのZ軸移動ガイド403及びZ軸移動モータ404と、アームの回転機構としてのアーム回転モータ405とによる、X-Y面での分注ヘッド401の位置の制御機能を有している。図7は、本発明の細胞分析装置を用いて行う細胞分析のうち、炭疽菌の芽胞等の細胞を覆う殻によって細胞中の核酸成分が容易に試料溶液中に溶出しない試料について、細胞の発現解析をする手順の前に、細胞を覆う殻を破砕する手順が導入されているサンプルの採取から分析までの手順の一例を図示したものである。この細胞破砕を行う手順を加えることで、本細胞分析装置は、上で述べた血液細胞の分析手段とまったく同様の手段によって、炭疽菌の芽胞等の細胞の分析を行うことが可能となる。図8は、炭疽菌などの芽胞を有する細胞について、細胞内の遺伝子、発現情報を分析するために微量サンプルの細胞を覆う芽胞等の殻を自動的に破砕するための基本構造の一例を模式的に示す。容器801に微量サンプル802を分注し、破砕用の回転体803を容器801の内部に置く。容器801の内部で回転体803を回転させるためには、回転体803を回転シャフト804で容器801に押し付ける。回転体803が容器内部で自転および公転することにより、微量サンプル中の試料805が研磨剤806によって磨り潰される。工程終了後には、回転体803を除去することにより処理後の試料805を容易に回収することができる。回転体803および容器1は簡単な構造であるため、消耗品として扱っても問題もない。図9は、図8で示した基本的な細胞破砕機構の種々のバリエーションを模式的に示す。高い効率で試料を破砕するためには、回転体が容器に密接に触れることが必要である。図9Aに示す例では、回転体810を含む容器811はゴム等の柔軟性構造体812に保持されている。シャフト813の先端部位814は斜めにカットされていることから、シャフト813が回転体810に押し付けられると、回転体810は容器811を下方向および横方向に押し付けることになり、柔軟性構造812が変形することにより、圧力が吸収されることになる。結果として、回転シャフト813に過剰なストレスを与えることなく、回転体810と容器811を密接に保持しながら、試料を破砕することができる。図9Bに示すように、ストレスを逃がす方法として、回転シャフト内部に垂直および横方向に変形するバネ機構815を組み込むことも可能である。図10は、本発明において使用する細胞破砕機構のさまざまな形状の回転体および回転シャフトの可能性を示す。シャフト先端が斜めにカットされているもの以外にも、緩やかな曲面に窪んでいる図10b、擂鉢状である図10cなどでも良い。また、回転体は真球である必要はなく、シャフトと回転体が緩やかに噛み合う様な構造であってもよい図10d。半球を、斜めにカットされた回転シャフトで回転しても良い図10e。さらに、卵型の回転体や図10f、回転シャフトに噛み合うような突起構造を有しても良い図10g。また、お皿状の回転体をシャフトで回転させることも可能である図10h。図11に、本発明における細胞破砕工程の一例を示す。容器830の中には、回転体831と研磨剤832が封入されている図11a。破砕する直前に、封印833を破り図11b、細胞を含むサンプル834を容器830内に分注する図11c。回転体831を回転シャフト835で押し付けながら回転することにより図11d、サンプル中の細胞が研磨剤832で破砕され、成分836が溶出する図11e。破砕作業の終了後には、回転体831を容器830から除去するとサンプルの回収が容易となる図11f。回転体の除去方法としては、負圧、磁力、静電気力を利用することが可能であり、回転シャフト内にその様な機構を組み込むことも可能である。勿論、特化された機構を別に用意しても構わない。図12に、本発明における細胞破砕工程が自動化された場合に使用され得る機構の概念図を示す。複数の容器840が一体化されて形成されていて、それぞれの容器内には、予め回転体が封印されている。封を破るためには、回転シャフトを直接押し付けて破る図12A、回転シャフトに装着された開封用カッター841にて破る図12B等の方法が可能である。シャフトと容器の相対位置を自動的に変更することが可能で、複数のサンプルを次々と破砕できる。図13に、本発明の細胞分析装置システムにおいても使用されうる本発明のオンチップセルソーターチップの一例を示す。セルソーターチップ1301においては、チップ基板上に軸対象な3つの流路がそれぞれ上流側1302,1304,1306、下流側1303,1305,1307に対称に配置されており、これら3つの流路の合流点では、3つの流路は層流を保ちながら合流し、そのままの状態を維持して下流の3つの流路に分岐してゆく。したがって、試料が流れる中央の流路の上流側1302は、下流側中央の流路1303へ、2つのサイドシースフローについてもそれぞれ、上流側流路1304が下流側1305へ、また上流側流路1306から下流側流路1307へと誘導されるようになっている。また、3つの上流側流路の入り口は、それぞれ入り口開口部1308、1309、1310につながっている。特に、試料液リザーバー1322につながった、試料が流れる流路上流の入り口開口部1308については、典型的にはしかし、限定されないが、小型の円環状キャップまたは栓を付加することで、シース液リザーバー1311に蓄えられたシース液を流す流路の入り口開口部1309、1310とは切り離されており、試料溶液が拡散することが無いように配置されている。下流側のリザーバーも上流側と同じように配置されており、廃液リザーバー1312は、2つのサイドシース液が流れる流路の出口開口部1313、1314とつながっているが、精製試料回収用のリザーバー1323は、回収精製サンプルの出口開口部1315とつながっており、出口開口部1315には、典型的にはしかし、限定されないが、小型の円環状キャップが付加されており、回収された精製試料は、廃液リザーバーに拡散しないようになっている。また、流速の発生に試料リザーバーとシース液リザーバーの液面の高さの廃液回収液リザーバーの液面高さとの差を利用した重力型、あるいはリザーバー上面にキャップを付けて加圧空気を用いて液面に圧力を加えて流速を発生させる場合には、合流点で理想的な層流が発生するために、3つの流れの速度が同じになるように、合流点からの上流側、下流側それぞれの3つの流路については、その流路断面の形状、合流点から溶液入り口までの距離が一致しているものとすることが好適である。また、サイドシースフローあるいは廃液のリザーバーの断面積と、内側の試料/回収サンプルのリザーバーの断面積の比を1試料回収リザーバー:2サイドシース液リザーバー廃液リザーバーとすることが望ましい。これは、各リザーバーの液面高さの変化が異なる場合には、液面の高さの減少率が異なってしまい、これが最終的に合流点での層流の発生を破壊することとなるからである。したがって、試料入り口1に対して入り口が2つあるシース液で単位時間当たりの液の流れ出し量が1:2であることから、液面の高さが一致するように、各リザーバーの断面積の比を1:2とすることとした。これを普遍化すると、各リザーバーに結合している流路の総断面積の比が、各リザーバーの断面積の比に一致するようにすることが望ましい。次に、6つの流路のすべてが合流する、壁のない3つの層流が合流している地点に、電極が配置されている。電極は、典型的には、ゲル電極で構成される。ゲルについては、たとえば電解質が電流キャリアーとなるようにNaClが溶け込まされたアガロースゲルを用いている。ゲルの先端が流路に直接接触できるように、ゲルは、ゲル充填のためのY字型の流路1316に、入り口1317からゾル状態のアガロースゲルを入れ、これが出口1318に向かうことできるために、ゲルはセルソーター流路の中に侵入しないで境界線で表面張力によって静止する。ゲル電極を使用する利点として、電場を印加するために電源1320に接続された白金線などの電線1319をこのゲル導入点に差し込むことで、流路に接するゲル電極境界では、通常の金属電極では気泡が流路内で発生してしまう電圧以上に上げても気泡の発生はなく、電流を印加できる。電場印加のon-offは、例えば、スイッチ1321を利用して調節できる。図14は、特に図13のAA断面での、上流側のリザーバーの断面の一例を模式的に示したものである。セルソーターチップ1401には流路1409が埋め込まれている。典型的な実施形態では、キャップ1402によって外側のシース液リザーバー1403の上面が塞がれることで、加圧空気導入パイプ1405から適切な流速になる空気圧が供給される。図からもわかるように、試料が流れる流路1409は試料リザーバー1404につながっており、試料液とシース液は混ざらないようになっている。また、好適かつ典型的な実施形態では、試料リザーバーとシース液リザーバーとの断面積比は、流路数の比が1:2のため、1:2とされ、各流路につながる各リザーバーの液面高さが同じになるように調整されている。さらにより大量の試料を処理できるように、液を供給する機構を付加することができる。これは、試料溶液導入チューブ1406、あるいはシース液導入チューブ1407、および各リザーバーの壁面に導電性計測を用いた水位計測センサー1408が組み込まれている。これによって、水位が一定以下になると、一定の高さになるまで試料液をチューブを介して供給することができる。水位計測センサー1408は、それぞれ設定したい高さの水位の下限および水位の上限に配置した電極または電極対等で構成することができる。図15は、本発明のセルソーターにおいて、大量試料を扱うための別の構成の一例を示した例である。チップ1501上に3つの大型リザーバー1502が3つの流路のそれぞれの上流に配置されており、これらについては空気圧印加装置1503から圧力センサー1504を経て、分配バルブ1505を使って圧力をより柔軟に分配することができる。また、試料の回収については、選別精製された試料も廃液もチップより下の位置に配置された選別試料回収リザーバー1506および廃液回収リザーバー1507でそれぞれ回収されることとなる。図16は、実際の試料がチップ中で回収される手順を模式的に示したものである。上流から流れてきた試料溶液流1601は、2つのサイドシース溶液の流れ1602と1603に挟まれて、その配置を維持しながら、細胞モニター領域1604に進む。そこで各細胞の形状判別、蛍光標識の有無などを確認して、その結果に基づいて下流で細胞分離を行う。回収したい細胞が流れてきたときには、そのまま下流の選別試料回収流路1606に流し、廃棄したい細胞あるいは微粒子が流れてきた場合には、その電荷が正負のどちらであっても、対向して配置された2つのゲル電極1605に電圧を印加することで、2つのサイドシース流1607のどちらかに移動して、排除することできる。図17は、画像処理型セルソーターにおける細胞回収の指標のひとつを説明する模式図である。通常、細胞はG0周期にあり、核が存在しており図17A、これは明確に細胞内での黒い球として画像認識される図17B。他方、分裂期にある細胞は、核が消失しているため図17A、細胞を画像認識しても核を確認することができない図17B。従来の抗体標識等の標識技術は、細胞の状態を確認することは困難なため、本発明においては、このような画像認識によって、細胞の形状の確認に加えて、細胞内の核の有無によって分裂中の細胞を回収することができる。一般に、血中を流れる正常細胞はすでに最終分化しているものが大半であるが、本発明により、血中で細胞分裂をしている細胞を回収することで、血中がん細胞や幹細胞などの分裂能をもった細胞を回収することが可能となる。図18は、実際に本発明の画像認識型セルソーターを動作させるときのフラッシュ光源を用いた時の動作タイミングチャートの一例である。高速カメラを用いてチップ中を移動する細胞を観察する場合、そのブレを防ぐためには、対物レンズの倍率に基づいてカメラの1画素の空間分解能を算出し、試料の流れについての移動速度が決まっている場合、その流速で1画素サイズ分の移動量を算出し、その移動にかかる時間だけフラッシュライトをONにすればよい。すなわち、フラッシュ時間=画素サイズ/流速で、各シャッターのインターバルにおいてフラッシュを1回発光させれば良い。たとえば、12000秒カメラの画素サイズは12μm×12μmであり、20倍の対物レンズで観察した場合の画素分解能は06μmpixelであることから、60cmsの流れで、1μsの速度でフラッシュ発火を行うことができるLED光源を用いれば、実際にブレの無い画像を取得することができる。"