"アルコール含有液に対してイオン交換処理を行う第1のイオン交換工程と、前記第1のイオン交換工程で処理された液に対し脱水膜を用いて脱水処理を行う脱水工程と、前記脱水処理された液に対して蒸留を行う蒸留工程と、を有するアルコール精製方法であって、前記脱水工程または該脱水工程に引き続く工程で得られた液に関し、当該液におけるアルコール濃度または水分濃度を測定する測定工程をさらに有し、前記アルコール濃度または前記水分濃度が設定された条件を満たさない場合に、前記測定工程の対象とされた液を前記第1のイオン交換工程に戻す、アルコール精製方法。前記測定工程の後段に、前記蒸留工程で得られた液に対しイオン交換処理を行う第2のイオン交換工程をさらに有する、請求項1に記載のアルコール精製方法。前記第2のイオン交換工程で得られた液に対し精密濾過膜を用いて濾過処理を行う濾過工程をさらに有し、前記設定された条件は、前記アルコール濃度が99.9以上である、及び前記水分濃度が1000ppm以下である、の少なくとも一方を満たすことである、請求項2に記載のアルコール精製方法。前記第2のイオン交換工程は、イオン吸着膜に通液する工程である、請求項2または3に記載のアルコール精製方法。ゼオライトを材質とする前記脱水膜を使用する、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアルコール精製方法。前記第1のイオン交換工程は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを混床としたイオン交換樹脂層に通液する工程である、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のアルコール精製方法。前記アルコール含有液はイソプロピルアルコールを含む液であって、イソプロピルアルコールの精製を行う、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のアルコール精製方法。アルコール含有液に対してイオン交換処理を行う第1のイオン交換手段と、前記第1のイオン交換手段で処理された液を浸透気化あるいは蒸気透過によって脱水する脱水膜と、前記脱水膜により脱水された液を蒸留する蒸留手段と、を有するアルコール精製装置であって、前記脱水膜の出口から得られた液または前記脱水膜の後段を流れる液を測定対象として、該測定対象の液におけるアルコール濃度または水分濃度を測定する測定手段と、前記測定対象の液を前記第1のイオン交換手段よりも前に戻す循環ラインと、をさらに有し、前記アルコール濃度または前記水分濃度が設定された条件を満たさない場合に、前記測定対象とされた液が、前記循環ラインを介して前記第1のイオン交換手段よりも前に戻される、アルコール精製装置。前記測定手段の後段に、前記蒸留手段で得られた液に対しイオン交換処理を行う第2のイオン交換手段をさらに有する、請求項8に記載のアルコール精製装置。精密濾過膜を備え、前記第2のイオン交換手段で得られた液に対し濾過処理を行う濾過手段をさらに有し、前記設定された条件は、前記アルコール濃度が99.9以上である、及び前記水分濃度が1000ppm以下である、の少なくとも一方を満たすことである、請求項9に記載のアルコール精製装置。前記第2のイオン交換手段は、イオン吸着膜である、請求項9または10に記載のアルコール精製装置。前記測定手段は超音波測定方式のアルコール濃度計である、請求項8乃至11のいずれか1項に記載のアルコール精製装置。前記脱水膜はゼオライトを材質とする、請求項8乃至12のいずれか1項に記載のアルコール精製装置。前記第1のイオン交換手段は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを混床としたイオン交換樹脂である、請求項8乃至13のいずれか1項に記載のアルコール精製装置。前記アルコール含有液はイソプロピルアルコールを含む液であって、イソプロピルアルコールの精製を行う、請求項8乃至14のいずれか1項に記載のアルコール精製装置。上述したように、IPAなどのアルコールを精製する方法として各種の方法が知られている。このうち、特許文献1に示すような浸透気化膜と吸着剤を組み合わせた方法では、アルコール中の水分を低減することはできるものの、吸着剤の再生に関わるエネルギー消費量が非常に大きくなり、コスト増につながったり、吸着剤からの溶出物により後段の蒸留装置に負荷がかかるおそれがある。特許文献2に示すような陰イオン交換膜による蒸気透過と蒸留とを組み合わせた方法では、IPAに対する水の分離係数が160程度であってゼオライト膜を用いた場合の分離係数の1000程度と比較して非常に低く、脱水効率が悪いため、装置規模が大きくなる。特許文献4に示すようなフィルタとイオン交換膜とを組み合わせた方法では、この方法単独では水分やアニオン性不純物を除去することができない。また、半導体デバイス製造工程時に、被処理体であるウエハーをIPAで洗浄するに際し、半導体デバイスに付着した水分量によって、洗浄後のIPA中の水分量は変動する。また、イオン性不純物の除去におけるイオン交換樹脂を再生交換等を行った際のシステム立ち上げ時は、その立ち上げ直後にイオン交換樹脂通過後の液の水分量が高いことを本発明者らは実験により確認した。すなわち、特許文献6に示すIPAの再生システム及び精製方法では、回収したIPA中における水分量が変動する場合や、再生システム内で定期的な交換を要する部材を交換した後のシステム立ち上げ時に、IPA中の水分変動に対して、得られるアルコールの品質を一定に管理することができないという問題点がある。本発明の目的は、IPAに代表されるアルコールを精製する方法及び装置であって、精製前のアルコール中での水分量が変動した場合であっても、一定の品質管理を行うことができるアルコール精製方法及び装置を提供することにある。本発明のアルコール精製方法は、アルコール含有液に対してイオン交換処理を行う第1のイオン交換工程と、第1のイオン交換工程で処理された液に対し脱水膜を用いて脱水処理を行う脱水工程と、脱水処理された液に対して蒸留を行う蒸留工程と、を有するアルコール精製方法であって、脱水工程または脱水工程に引き続く工程で得られた液に関し、その液におけるアルコール濃度または水分濃度を測定する測定工程をさらに有し、アルコール濃度または水分濃度が設定された条件を満たさない場合に、測定工程の対象とされた液を第1のイオン交換工程に戻す。本発明のアルコール精製装置は、アルコール含有液に対してイオン交換処理を行う第1のイオン交換手段と、第1のイオン交換手段で処理された液を浸透気化あるいは蒸気透過によって脱水する脱水膜と、脱水膜により脱水された液を蒸留する蒸留手段と、を有するアルコール精製装置であって、脱水膜の出口から得られた液または脱水膜の後段を流れる液を測定対象として、測定対象の液におけるアルコール濃度または水分濃度を測定する測定手段と、測定対象の液を第1のイオン交換手段よりも前に戻す循環ラインと、をさらに有し、アルコール濃度または水分濃度が設定された条件を満たさない場合に、測定対象とされた液が、循環ラインを介して第1のイオン交換手段よりも前に戻される。本発明によれば、第1のイオン交換処理、膜脱水及び蒸留を組み合わせ、膜脱水または膜脱水に引き続く工程で得られた液におけるアルコール濃度または水分濃度を測定し、アルコール濃度が設定値を満たさない場合、あるいは水分濃度が設定値を上回る場合に、測定の対象とされた液を第1のイオン交換処理の前段に戻すことによって、回収されて精製の対象となるアルコール含有液中の水分量が変動した場合においても、一定の品質管理を行うことができるようになり、精製アルコールの品質が常に保たれ、製品のロスを最小限することができる。図1に示す本発明の第1の実施形態のアルコール精製装置20は、例えば半導体デバイス製造工程などの各種の工程から排出されて不純物を含んでいるアルコールを回収して精製するために好ましく用いられるものである。図1に示した例では、精製対象のアルコールがIPAイソプロピルアルコールであり、半導体デバイス製造装置12で使用されて不純物を含むようになったIPAが回収されており、アルコール精製装置20は、回収されたIPAを精製し、精製したIPAを供給タンク11を介して再び半導体デバイス製造装置12に供給する。供給タンク11には、運転開始時に必要となったり運転中に不足した分を補うために、補充用アルコールが供給されるようになっている。アルコール精製装置20では、半導体デバイス製造装置12から回収したIPAをアルコール含有液として一時的に保持する回収タンク21と、回収タンク21の出口に設けられてアルコール含有液を送液するポンプ22とが設けられ、このポンプ22の出口に対し、第1のイオン交換手段23と脱水膜24と蒸留手段25と第2のイオン交換手段26とがこの順で直列に接続し、精製されたアルコールが第2のイオン交換手段26から得られるようになっている。第2のイオン交換手段26からの精製アルコールは、配管を介して供給タンク11に戻されるようになっている。さらにこのアルコール精製装置20では、蒸留手段25の後段に測定手段28が設けられ、測定手段28から回収タンク21に向かう循環ライン29が設けられている。測定手段28及び循環ライン29については後述する。第1のイオン交換手段23は、ポンプ22から流入するアルコール含有液に対してイオン交換処理を行うものであり、イオン交換樹脂を用いてアルコール含有液中のイオン成分を除去する。第1のイオン交換手段23でイオン交換処理を行うことにより、後段の脱水膜24の劣化要因となる酸やイオン性金属などのイオン負荷を低減し、脱水膜24の高寿命化を図ることができる。第1のイオン交換手段23は、例えば、塔状の容器内にイオン交換樹脂を充填し、液がイオン交換樹脂の層を通過するように構成される。イオン交換樹脂のうちカチオン交換樹脂は、Naイオン、Caイオン等の陽イオンを除去し、アニオン交換樹脂はClイオン等の陰イオンや酸成分を除去する。第1のイオン交換手段23内に充填されるカチオン交換樹脂、アニオン交換樹脂の仕様や装置構成は、アルコール含有液として第1のイオン交換手段23に供給されるIPAの性状や、このアルコール精製装置20から送出される精製アルコールにおける要求品質に応じて決定されるが、吸着性能や低溶出の観点から、H水素イオン形の強酸性カチオン交換樹脂SACER、OH水酸化物イオン形の強塩基性アニオン交換樹脂SBAERを使用することが望ましい。イオン交換樹脂としては、カチオン交換樹脂またはアニオン交換樹脂を単床で設けたもの、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを複床で設けたもの、あるいは、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを混床で設けたものいずれであってもよいが、後段の脱水膜24の劣化要因となる酸やイオン性金属などのイオン負荷を低減させるためには、混床であることが好ましい。最終的な精製アルコールにおける水分濃度を低くすることが要求される場合や、イオン交換樹脂交換直後にイオン交換樹脂からの水分溶出を低減させたい場合には、イオン交換樹脂として、極力水分を含まない乾燥樹脂を使用することが好ましい。例えば、例えばオルガノ株式会社製の乾燥カチオン交換樹脂であり、水分2以下である15JS―HGDRYや、混床樹脂であり水分10以下であるMSPS2-1DRYなどを利用することができる。脱水膜24は、第1のイオン交換手段23で処理された液に対して浸透気化PVあるいは蒸気透過VPによる膜脱水を行ってアルコールを濃縮するものである。脱水膜24は、例えば、透水性膜モジュールとして構成されるものであり、膜としてはポリイミド系、セルロース系、ポリビニルアルコール系等の高分子系もしくはゼオライト等の無機系の素材からなる膜を用いることができる。機械的強度、脱水性能、耐熱性などの観点から、ゼオライトを素材とする膜を脱水膜24として用いることが好ましい。しかしながら、脱水膜24は、一般的に、高温、高圧下で運転されるため、その膜素材から不純物が溶出してしまうおそれがある。本発明者らは、脱水膜24を通過した液での金属イオン濃度が上昇することを実験で確認した。また、第1のイオン交換手段23で用いられるイオン交換樹脂では、半導体デバイス製造装置12から発生する微粒子などを効果的に除去することが難しく、また、カチオン交換樹脂やアニオン交換樹脂に対して選択性が非常に低いイオンを除去することも難しい。そこで、脱水膜24の後段に蒸留手段25を設け、脱水膜24によって脱水された液に対して蒸留操作を実行する。この蒸留操作は、アルコールと水とを蒸留分離することを目的とするものではなく、微粒子や金属性の不純物をアルコールから分離するためのものである。蒸留手段25は、例えば、単段の蒸留装置によって構成される。蒸留操作によって蒸留装置内などで不純物が濃縮するが、この濃縮された不純物の一部が後段に流出することを防ぐために、蒸留手段25には、不純物が濃縮されている液の一部を定期的に、もしくは定常的に外部に排出する手段を設けることが好ましい。蒸留操作によって、金属やイオンからなる不純物、さらには微粒子からなる不純物を除去することは可能である。しかしながらこれらの不純物は排出しない限り蒸留手段25内に蓄積されたままであるので、不純物が濃縮した場合に飛沫同伴によって後段に不純物が流出する。送液ラインとして利用されるステンレス鋼SUS配管からの溶出不純物を除去する必要もある。そこで、このような場合には、第2のイオン交換手段26において、蒸留手段25で得られた液に対してさらにイオン交換処理を行うことによって、精製アルコールを得ている。第2のイオン交換手段26としては、塔状の容器内にイオン交換樹脂を充填したものや、イオン吸着膜を使用することができるが、イオン吸着膜が好ましい。本発明者らは、イオン吸着膜がイオン交換樹脂に比べて母体に保有する水分とアルコールとの置換を、目的とする水分濃度まで急速に行うことができ、かつ、イオン交換の反応速度にも優れていることを発見した。よって、第2のイオン交換手段26としてイオン吸着膜を採用することにより、より高流速での処理が可能となる。次に、測定手段28と循環ライン29について説明する。蒸留手段25の後段に設けられた測定手段28は、蒸留手段25から流れ出る液におけるアルコール濃度または水分濃度を測定するものであり、通常時には蒸留手段25から流出する液を第2のイオン交換手段26に送り、アルコール濃度が設定値を満たさない場合、あるいは水分濃度が設定値を上回る場合には、蒸留手段25から流出する液を第2のイオン交換手段26に送らずに、循環ライン29を介して回収タンク21に返送する。測定手段28としては、アルコール濃度を測定する場合にはアルコール濃度計を用いることができ、水分濃度を測定する場合には、水分計を用いることができる。アルコール濃度計としては、超音波法あるいは近赤外線法などのものを使用することができ、水分計としては、近赤外線法あるいはカールフィッシャー法などのものを使用することができる。アルコールのロス率を低下させるためには、インラインでの測定が可能な超音波測定方式のアルコール濃度計を用いることが好ましい。インライン測定ができない場合は、蒸留手段25の後段に分岐ラインを設け、測定手段28にて測定した液を循環ラインを介して回収タンク21に返送するか、もしくは廃液として回収する。本発明によれば、蒸留手段25から流れる液におけるアルコール濃度が低い場合あるいは水分濃度が高い場合には、循環ライン29を介してその液を回収タンク21に戻し、再度、第1のイオン交換手段23におけるイオン交換処理と脱水膜24における脱水処理を行わせることにより、最終的に、安定した水分濃度でアルコールを精製することができるようになる。図1に示したものでは、蒸留手段25の後段に測定手段28を設けているが、脱水膜を通過後の液の水分濃度はほとんど変化が見れらないため、脱水膜24の後段に測定手段28を設け、アルコール濃度が設定値に満たないあるいは水分濃度が設定値を超えている場合には、脱水膜24から流出する液を循環ライン29を介して回収タンク21に戻してもよい。また、第2のイオン交換手段26の出口に測定手段28を設け、アルコール濃度が設定値に満たないあるいは水分濃度が設定値を超えている場合には、第2イオン交換手段26から流出する液を循環ライン29を介して回収タンク21に戻し、そうでない場合には精製アルコールとして供給タンク11に送るようにしてもよい。さらに、回収タンク21の入口におけるアルコール濃度が大きく変動する場合には、第1のイオン交換手段23と脱水膜24との間にもアルコール濃度計あるいは水分計を設け、第1のイオン交換手段23から流出する液における水分濃度が高い場合には、この液を脱水膜24に供給することなく一部を系外に排出するようにすることが好ましい。例えば、ゼオライトを用いる脱水膜においては、供給されるアルコール含有液における水分濃度が高すぎると、脱水膜24が劣化しやすくなるからである。供給されるアルコール含有液における水分量を20程度以下とすることが好ましい。脱水膜24の前段にもアルコール濃度計あるいは水分計を配することによって、脱水膜24に高濃度の水分が流入することを防ぎ、脱水膜の劣化を防止することができる。図1に示したアルコール精製装置20において、蒸留手段25から得られる液における金属やイオン、微粒子などの不純物量が十分に低い場合には、必ずしも第2のイオン交換手段26を設ける必要はない。第2のイオン交換手段26を設けない場合には、測定手段28は、通常時には蒸留手段25から流出する液を精製アルコールとして供給タンク11に供給し、アルコール濃度が設定値を満たさない場合、あるいは水分濃度が設定値を上回る場合には、蒸留手段25から流出する液を第2のイオン交換手段26に送らずに、循環ライン29を介して回収タンク21に返送する。図2は、本発明の第2の実施形態のアルコール精製装置を示している。本発明者らは、後述の実施例において示すように、アルコール中に不純物である鉄やアルミニウムが高濃度例えば1ppb以上で存在している場合に、アルコール中の水分濃度が1000ppm以下であると、第2のイオン交換手段26としてのイオン吸着膜では、鉄FeやアルミニウムAlを極微量まで処理できないこと、および第2のイオン交換手段26としてのイオン吸着膜の後段に精密濾過膜を設ける必要があることを発見した。したがって、図2に示したアルコール精製装置30は、図1に示したアルコール精製装置20において、第2のイオン交換手段26としてのイオン吸着膜の後段にさらに精密濾過膜27を設けている。以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明する。ただし本発明は、下記の実施例により限定されるものではない。[実施例1]図1に示した構成のうち、アルコール精製装置20の部分を組み立てた。第1のイオン交換手段23として、オルガノ株式会社製のゲル形イオン交換樹脂強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂との混床のイオン交換樹脂ESG-2を充填したものを用いた。イオン交換樹脂は水分を含有している状態で使用した。このような第1のイオン交換手段23に対し、通液流速をSV6SVは単位時間当たり、体積基準でイオン交換樹脂に対して何倍量の液体が流れるかを示すとしてIPAの通液を行い、イオン交換樹脂内の水分をIPAに置換させた。第1のイオン交換手段23の出口での水分濃度を計測することにより、イオン交換樹脂でのIPA置換量と出口での水分濃度との関係を調べた。結果を図3に示す。なおイオン交換樹脂の充填及び通液には、水分濃度が0.1未満であるIPAを使用した。通液開始から30分後は、イオン交換樹脂におけるIPA置換量が3倍量となるが、このときのイオン交換樹脂の出口における水分濃度は10を超える値であった。通液開始から通液1時間後すなわちIPA置換6倍量程度までは、イオン交換樹脂の出口の水分濃度は1を超える値となった。このことから、第1のイオン交換手段23でのイオン交換樹脂を交換した際に、その交換直後においてはイオン交換樹脂自体からの水分溶出があり、後段の脱水膜24へ流入する液における水分濃度が変動してしまうことが分かる。[実施例2]図2に示した構成のうち、アルコール精製装置30の部分を組み立てた。第1のイオン交換手段23として、オルガノ株式会社製のゲル形イオン交換樹脂強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂との混床のイオン交換樹脂ESG-2を充填したものを用いた。イオン交換樹脂は水分を含有している状態で使用した。脱水膜24としては、A型ゼオライトを素材とする膜を使用し、蒸気透過法による脱水処理を行った。第2のイオン交換手段26としては、旭化成株式会社製のイオン吸着膜を用い、精密濾過膜27としては、0.02μmの孔径を有するものを用いた。回収タンク21に、IPA中の水分濃度が5であるアルコール含有液を供給し、ポンプ22により通液速度を2kg/時間として、第1のイオン交換手段23、脱水膜24、蒸留手段25、第2のイオン交換手段26及び精密濾過膜27の順でアルコール含有液を通液し、回収タンク21、第1のイオン交換手段23、脱水膜24、蒸留手段25、第2のイオン交換手段26及び精密濾過膜27の各々の出口における水分濃度及び金属濃度を測定した。水分濃度の測定にはカールフィッシャー法を用い、金属濃度の測定には、ICP-MS誘導結合プラズマ質量分析装置を用いた。金属濃度測定における各金属イオンの分析下限値は0.05ppbであった。水分濃度測定の結果を図4に示し、金属濃度測定の結果を図5に示す。図4より、脱水膜24以降では液中の水分濃度は安定し、精密透過膜27の出口における水分濃度は0.046であった。図5に示す金属濃度に関しては、第1のイオン交換手段23に通液することで大幅に金属濃度が減少することが観察されたものの、脱水膜24の出口においては、構成部材からと考えられる金属の溶出によって、一部の金属に関して濃度が上昇した。蒸発手段25の出口では、再度、金属濃度が減少したものの、一部の金属の流出が見られた。しかしながら、第2のイオン交換手段26の出口においては、全ての金属成分に関してその濃度が分析下限値を下回る水準まで除去されることが確認された。[実施例3]実施例2において回収タンク21に供給されるアルコール含有液の水分濃度が12であることを除いては、実施例2と同様の条件で通液を行い、回収タンク21、第1のイオン交換手段23、脱水膜24、蒸留手段25、第2のイオン交換手段26及び精密濾過膜27の各々の出口における水分濃度を測定した。結果を図4に示す。脱水膜24以降の水分濃度は実施例2の場合と同様に安定していたものの、水分濃度自体は0.110であって、実施例2と比べて高い値となった。このことから、回収タンク21に供給される原液としてのアルコール含有液における水分濃度が変動した場合には、精製アルコールでの水分濃度を低いレベルで一定に管理することが難しいと言える。精製アルコールに要求される条件と蒸留手段25出口での水分濃度によっては、上述の図1に示したように、蒸留手段25から回収タンク21に液を循環させることが望ましいことが分かる。[実施例4]次に、アルコール中における水分濃度が低い場合に、不純物としての鉄やアルミニウムを極微量にまで低減するためには、イオン吸着膜での処理の後段に精密濾過膜による処理を行うべきであることを示す。水分量が1000ppmで、かつFe、Alの含有量を10ppbに調整したIPAを、カチオン交換基を有するイオン吸着膜モジュール旭化成株式会社製に通液した後、孔径20nmであり母体がポリエチレン製の精密濾過膜日本インテグリス株式会社製に通液した。イオン吸着膜出口、精密濾過膜出口の液の金属濃度を表1に示す。結果より、イオン吸着膜で除去されず流出したFe,Alは、精密濾過膜にて除去されていることが分かる。比較例1水分量が4000ppmであることを除いて実施例4と同様の実験を行った。結果を表2に示す。これより、IPA中の水分量が0.1以下でないと、精密濾過膜でFe,Alが除去できないことが分かる。[比較例2]孔径30nmの精密濾過膜日本インテグリス株式会社製を使用したことを除いて、実施例4と同様の実験を行った。結果を表3に示す。これより、精密濾過膜の孔径が20nm以下でないと、精密濾過膜でFe,Alを低濃度に除去することができないことが分かる。"