複数本の第1の導波路と、前記第1の導波路と接続される第1のスラブ導波路と、前記第1のスラブ導波路と接続され、それぞれ異なる長さで同一方向に屈曲する複数のチャネル導波路からなるアレイ導波路と、前記アレイ導波路と接続される第2のスラブ導波路と、前記第2のスラブ導波路と接続される複数本の第2の導波路と、前記第2の導波路と接続される反転導波路と、少なくとも前記第1の導波路から前記第2の導波路までが形成される導波路チップと、を具備し、前記第1の導波路の前記第1のスラブ導波路と接続される側とは反対の接続部における接続方向と前記反転導波路の前記第2の導波路と接続される側とは反対側の接続部における接続方向とが同一方向に向けて形成されることを特徴とするアレイ導波路回折格子型光合分波器。前記第1のスラブ導波路または前記第2のスラブ導波路において前記導波路チップが分割されており、温度によって分割された前記導波路チップを相対移動させ、アレイ導波路回折格子の光透過中心波長の温度依存性シフトを補償することが可能な補償部材が設けられることを特徴とする請求項1記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。前記反転導波路は、平面光波回路であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。前記第1の導波路の前記第1のスラブ導波路と接続される側とは反対の接続部における接合面と、前記第2の導波路と前記反転導波路とが接合される接合面と、前記反転導波路の前記第2の導波路と接続される側とは反対側の接続部における接合面とは、それぞれ略平行に形成され、それぞれの接合面は、前記導波路チップの面に垂直な方向に対して斜めに形成されていることを特徴とする請求項3記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。前記第1の導波路には第1のファイバアレイが接合され、前記反転導波路には第2のファイバアレイが接合され、前記第1のファイバアレイの端面と、前記第2のファイバアレイの端面は、斜めに形成された前記接合面に対応するように斜めに形成されていることを特徴とする請求項4記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。前記第1の導波路の前記第1のスラブ導波路と接続される側とは反対の接続部および前記反転導波路の前記第2の導波路と接続される側とは反対側の接続部において、前記第1の導波路および前記反転導波路の少なくとも一方は、導波路の幅が拡径されていることを特徴とする請求項3から請求項5のいずれかに記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。前記反転導波路は、複数の単心光ファイバを一体化した光ファイバテープを湾曲して形成されており、湾曲部の少なくとも一部において、前記光ファイバテープを構成する各単心光ファイバが個々に分割されて一体化が解かれていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。近年、このようなAWGパッケージのMSA化Multi-sourceagreementが進んでいる。したがって、従来のような合分波機器をMSAで規格化されたサイズに配置する必要がある。また、光の入出力面を当該パッケージの一端に形成すると、AWGパッケージの機器内への設置等が容易になることから、光の入出力面を当該パッケージの一端に形成することが望まれている。これに対し、前述したような従来の合分波器は、その両端に多心のファイバアレイが接続されることになるため、光の入出力面を当該パッケージの一端に形成するためには一方のファイバアレイを構成する光ファイバテープを屈曲させて反転させる必要がある。しかしながら、多心の光ファイバテープは、光ファイバテープの剛性や、光ファイバ自体の許容曲率半径等との関係で、規格化されたパッケージ内で反転させることが困難である。本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、MUXおよびDEMUXモジュールを一つのパッケージに配置することが可能であるとともに、光の入出力面をパッケージの一端に形成することが可能な小型のアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供することを目的とする。前述した目的を達成するため、本発明は、複数本の第1の導波路と、前記第1の導波路と接続される第1のスラブ導波路と、前記第1のスラブ導波路と接続され、それぞれ異なる長さで同一方向に屈曲する複数のチャネル導波路からなるアレイ導波路と、前記アレイ導波路と接続される第2のスラブ導波路と、前記第2のスラブ導波路と接続される複数本の第2の導波路と、第2の導波路と接続される反転導波路と、少なくとも前記第1の導波路から前記第2の導波路までが形成される導波路チップと、を具備し、前記第1の導波路の前記第1のスラブ導波路と接続される側とは反対の接続部における接続方向と前記反転導波路の前記第2の導波路と接続される側とは反対側の接続部における接続方向とが同一方向に向けて形成されることを特徴とするアレイ導波路回折格子型光合分波器である。前記第1のスラブ導波路または前記第2のスラブ導波路において前記導波路チップが分割されており、温度によって分割された前記導波路チップを相対移動させ、アレイ導波路回折格子の光透過中心波長の温度依存性シフトを補償することが可能な補償部材が設けられることが望ましい。前記反転導波路は、平面光波回路であることが望ましく、前記第1の導波路の前記第1のスラブ導波路と接続される側とは反対の接続部における接合面と、前記第2の導波路と前記反転導波路とが接合される接合面と、前記反転導波路の前記第2の導波路と接続される側とは反対側の接続部における接合面とは、それぞれ略平行に形成され、それぞれの接合面は、前記導波路チップの面に垂直な方向に対して斜めに形成されていてもよい。この場合、前記第1の導波路には第1のファイバアレイが接合され、前記反転導波路には第2のファイバアレイが接合され、前記第1のファイバアレイの端面と、前記第2のファイバアレイの端面は、斜めに形成された前記接合面に対応するように斜めに形成されていてもよい。前記第1の導波路の前記第1のスラブ導波路と接続される側とは反対の接続部および前記反転導波路の前記第2の導波路と接続される側とは反対側の接続部において、前記第1の導波路および前記反転導波路の少なくとも一方は、導波路の幅が拡径されていてもよい。前記反転導波路は、複数の単心光ファイバを一体化した光ファイバテープを湾曲して形成されており、湾曲部の少なくとも一部において、前記光ファイバテープを構成する各単心光ファイバが個々に分割されて一体化が解かれていてもよい。本発明によれば、第2の導波路に反転導波路が接続されるため、最低限のスペースで導波路を反転させることができる。したがって、規格化されたパッケージ内であっても導波路を反転させることができるため、光の入出力端子をパッケージの一方の端面側に配置することができる。また、第1のスラブ導波路または第2のスラブ導波路の一方において、導波路チップを分割し、分割されたそれぞれの導波路チップ導波路チップの保持部材にまたがるように補償部材を設けることで、アレイ導波路回折格子の光透過中心波長の温度依存性シフトを補償することが可能であるため、温度無依存型のアレイ導波路回折格子型光合分波器を得ることができる。この場合でも、反転導波路を用いることで、パッケージ内で導波路を反転させることができる。また、反転導波路として平面光波回路を用いれば構造が簡易である。また、第1の導波路の前記第1のスラブ導波路と接続される側とは反対の接続部における接合面と、第2の導波路と反転導波路とが接合される接合面と、反転導波路の第2の導波路と接続される側とは反対側の接続部における接合面とがそれぞれ略平行に形成され、導波路チップの面方向に対して斜めに形成することで、紫外線を照射する場合には、紫外線をより深くまで照射することが可能となり、また、接着面積が増大するため、それぞれの接合部をより確実に接合することができる。この際、第1の導波路に第1のファイバアレイを接合し、反転導波路に第2のファイバアレイを接合し、第1のファイバアレイの端面と第2のファイバアレイの端面とを、斜めに形成された接合面に対応するように斜めに形成することで、接合面で確実にそれぞれの接続を行うことができる。また、第1の導波路の第1のスラブ導波路と接続される側とは反対の接続部、および反転導波路の第2の導波路と接続される側とは反対側の接続部において、第1の導波路および反転導波路の少なくとも一方の導波路の幅が拡径されれば、ファイバアレイとのモードフィールド整合を得ることが可能である。また、反転導波路が、複数の単心光ファイバを一体化した光ファイバテープを湾曲して形成し、湾曲部の少なくとも一部において、光ファイバテープを構成する各単心光ファイバを個々に分割して一体化を解くことで、第2のファイバアレイと反転導波路を一体化して形成することができる。本発明によれば、MUXおよびDEMUXモジュールを一つのパッケージに配置することが可能であるとともに、光の入出力面をパッケージの一端に形成することが可能な小型のアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供することができる。以下図面に基づいて、本発明の実施形態を詳細に説明する。図1はアレイ導波路回折格子型の光合分波器1を示す模式図である。光分波器1は、主に、導波路5a、5b、スラブ導波路7、8、アレイ導波路9、反転導波路11a等から構成される。導波路5a、5b、スラブ導波路7、8、アレイ導波路9、反転導波路11aは、公知の方法を用いて、Si基板または石英基板上に石英系やポリマー系の材料で形成された平面光波回路である。基板上に導波路5a、5b、スラブ導波路7、8、アレイ導波路9が形成されたものを導波路チップ15、基板上に反転導波路11aが形成されたものを反転導波路チップ11と呼ぶ。また、導波路チップ15のアレイ導波路9に対応する部分の下部には温調部材であるペルチェ16が設けられ、アレイ導波路9を一定の温度に保持する。導波路チップ15の端部には、第1の導波路である複数の導波路5aが形成される。導波路5aは、第1のスラブ導波路であるスラブ導波路7を介して、それぞれ異なる長さで同一方向に屈曲する複数のチャネル導波路からなるアレイ導波路9と接続される。アレイ導波路9は、第2のスラブ導波路であるスラブ導波路8を介して複数の第2の導波路5bと接続される。すなわち、導波路5bは、導波路5aとは反対側に向けて設けられる。なお、導波路5a、5bは、それぞれ光の入出力用の導波路群である。導波路チップ15は、少なくともアレイ導波路9の屈曲形状に沿った形状を有することが望ましい。すなわち、導波路チップ15も屈曲した形状を有することが望ましい。このように、導波路チップ15をアレイ導波路9に対応した形状とすることで、1枚のウェハからのチップの取り数を多くすることができる。ただし、導波路チップ15は、この形状には限定されない。導波路チップ15の導波路5aとは反対側に設けられる導波路5bは、反転導波路チップ11上に形成された反転導波路11aと接続される。すなわち、導波路チップ15は、反転導波路チップ11と接続される。反転導波路11aは、一方の端部から入力する光信号を入力方向に向けて逆向きに出力することが可能な略U字状の形状である。すなわち、導波路5bの端部における反転導波路11aの光軸方向例えば光信号の入力方向と、他端における光軸方向例えば当該光信号の出力方向とは、180°反転した方向となる。導波路5aには、第1のファイバアレイであるファイバアレイ13aが接続される。また、反転導波路11aの導波路5bとの接続部とは反対の端部には、第2のファイバアレイであるファイバアレイ13bが接続される。すなわち、ファイバアレイ13a、13bは、同一方向に向けて形成される。なお、反転導波路11a反転導波路チップ11の長さは、ファイバアレイ13bと導波路チップ15とが干渉しないように設定される。導波路5aおよび反転導波路11aとファイバアレイ13a、13bとのそれぞれの接続部端部近傍表面には、ガラス17a、17bが設けられる。ガラス17a、17bをそれぞれの導波路チップ上に設けることで、導波路5aおよび反転導波路11aと接続されるファイバアレイ13a、13bとの高さ厚みを略同一とすることができる。なお、それぞれの接合部については詳細を後述する。それぞれのファイバアレイ13a、13bは、それぞれ複数の入出力用の光ファイバが並列に並べられ、テープ状に一体化された光ファイバテープを有する。例えば、光ファイバテープの一つの光ファイバに、波長の異なる複数の光信号が多重化された光信号を入力すると、導波路5aを介してスラブ導波路7に入力される。スラブ導波路7に入力された光信号は、スラブ導波路7で回折により広がって、アレイ導波路9に入る。アレイ導波路9の各導波路は長さが異なるので、アレイ導波路9の出力側スラブ導波路8側では、波長に依存した位相差が生じる。スラブ導波路8では、光は多重干渉により同位相条件が成立する各波長の光が対応する導波路5bに結合し、分波を行うことができる。分波された光信号は、対応する反転導波路11aに結合し、反転導波路11aで光信号の方向を反転させ、ファイバアレイ13bと結合される。したがって、ファイバアレイ13aから入力された多重化された光信号を分波してファイバアレイ13bに送ることができる。逆に、ファイバアレイ13aの複数の光ファイバに、波長の異なる複数の光信号をそれぞれ入力すると、導波路5aを介してスラブ導波路7に入力され、アレイ導波路9に入る。アレイ導波路9の出力側スラブ導波路8側では、波長に依存した位相差が生じるため、対応する導波路5bの例えば一つの光ファイバに結合され合波を行うことができる。なお、ファイバアレイ13b側から光信号を入力すれば、同様にファイバアレイ13a側に合波分波を行うことができる。次に、各構成の接合部について詳細を説明する。図2は、各接合部の拡大断面図であり、図2aは図1のD部におけるA-A線断面図、図2bは図1のE部におけるA-A線断面図、図2cは図1のF部におけるB-B線断面図である。図2aに示すように、導波路チップ15は下から基板6b、下部クラッド層12a、導波路5a、上部クラッド層14aから構成されており、前述したように導波路チップ15の上にはガラス17aが設けられている。一方、光ファイバアレイ13aは、複数の光ファイバを収容する光ファイバテープ10aと、各光ファイバ10を固定するファイバ固定部から構成されており、ファイバ固定部は、その表面に断面V字状のV字溝が並列に形成された基板6aと、当該基板6a上に位置する上蓋4aとから成る。そして、基板6aのV字溝に上記光ファイバ10が収容され、この状態で基板6aと上蓋4aは接着剤で接着固定されている。なお、基板6aおよび上蓋4aは、Si、ガラス、樹脂等によって形成することができる。また、光ファイバ10を収容する溝の形状は断面V字に限られず、丸穴、角溝等でもよい。ファイバアレイ13aと導波路チップ15およびガラス17aとの接合面21aは、導波路チップ15の面に垂直な方向図中上下方向に対して所定の角度で斜めに形成される。なお、前述の通り、接合面21a近傍の導波路5a上にはガラス17aが設けられるため、ファイバアレイ13aとの厚みを合わせることができる。すなわち、導波路5aと光ファイバ10のファイバコア19aとの光軸を合わせた状態で、同一厚みで接合を行うことができる。接合面21aには、図示を省略した紫外線硬化熱硬化の併用タイプの接着剤を使用することができる。例えば、接合面21aに接着剤を設けて上下方向から図中G方向から紫外線を照射すると、ガラス17aが光を透過する。このため、ファイバアレイ13aと導波路チップ15との接合面21aを斜めに形成することで、より深くまで紫外線を照射することができ、確実に接着剤を硬化させることができる。なお、導波路チップ15の基板6bがSiで形成される場合においては、Si基板が光を透過しないため、紫外線が十分透過しない部分が生じるが、この場合でも、熱硬化接着剤の効果により接合面21aを接着することができる。また、この場合でも、接合面21aが斜めになることで、接着面積を大きくとることができ、確実に接着を行うことができる。なお、接合面の角度が、わずかにチップの面に対して斜めに形成されれば上記の効果を得ることが可能であるが、製造性や光損失などを考慮すると、5°~10°程度であることが望ましい。また、接合面の斜めにする方向は、図に示したものと逆方向であってもよい。また、図2bに示すように、導波路チップ15と反転導波路チップ11との接合面21bも、接合面21aと同様に、導波路チップ15の面に垂直な方向図中上下方向に対して所定の角度で斜めに形成される。ここで、接合面21aと接合面21bの接合面の角度は略同一である。したがって、接合面21a、21bは略平行に形成される。なお、接合方法は前述した方法と同様である。また、図2cに示すように、反転導波路チップ11およびガラス17bとファイバアレイ13bとの接合面21cも、接合面21aと同様に、導波路チップ15の面に垂直な方向図中上下方向に対して所定の角度で斜めに形成される。ここで、接合面21aと接合面21cの接合面の角度は略同一である。したがって、接合面21a、21b、21cは略平行に形成される。すなわち、ファイバアレイ13a、13bの導波路チップ15、反転導波路チップ11とのそれぞれの接合面側端部は、同一方向の傾斜形状を有する。したがって、導波路チップ15と接続されるファイバアレイと、反転導波路チップ11と接続されるファイバアレイの形状を変える必要がなく同一のものを使用することができる。なお、図示を省略するが、導波路5aの端部ファイバアレイ13aとの接合面側端部は、導波路の幅が端部に向けてやや拡径されて形成される。同様に反転導波路11aの端部ファイバアレイ13bとの接合面側端部も、導波路の幅が端部に向けてやや拡径されて形成される。導波路の幅を適切に設定することで、導波路5aおよび反転導波路11aは、ファイバアレイの各光ファイバシングルモードファイバとのモードフィールド整合の機能も兼ねる。以上、本実施の形態によれば、極めてコンパクトなアレイ導波路回折格子型の光合分波器を得ることができる。特に、反転導波路11aを反転導波路チップ11に形成するため、光ファイバテープ等をパッケージ内で屈曲させて反転させる必要がなく、光ファイバテープの剛性による大きな曲げ半径が不要である。また、入出力用のファイバアレイをパッケージの同一方向に向けて形成することができ、光の入出力面をパッケージの一端に形成することができる。また、接合面21a、21b、21cがそれぞれチップの面方向に対して斜めに形成されることで、紫外線の照射の深さを増すことができ、また、接着面積を増大させることができるため、より確実な接合を得ることができる。次に、第2の実施の形態について説明する。図3は、第2の実施の形態にかかる光合分波器1aを示す模式図である。なお、以下の実施の形態において、光合分波器1と同様の機能を奏する構成については、図1と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。光合分波器1aは、光合分波器1と略同様の構成であるが、導波路チップ15a、15bがガラス板3上に固定されている点、スラブ導波路が分割されており、補償部材23が設けられる点、ペルチェ16が設けられていない点で異なる。スラブ導波路および導波路チップは、スラブ導波路7a、7b、導波路チップ15a、15bに分割される。導波路チップ15a、15bの分割位置は、スラブ導波路17a、17bの分割位置とほぼ一致する。なお、ガラス板も導波路チップ15a、15bの分割に対応してガラス板3a、3bに分割される。補償部材23は金属製の板状部材であり、ガラス板3a、3bにまたがって接合される。なお、図示を省略するが、補償板23の両端部には下部に厚み方向に対して凸部が設けられ、補償板23は、ガラス板3a、3bに対して当該凸部において接着剤で固定される。なお、補償部材23としては、例えば、銅製或いは純アルミニウムJISA1050製のものを使用することができる。補償部材23の長手方向はスラブ導波路7a、7b導波路チップ15a、15bの分割面と平行になるように配置されている。なお、補償部材23の長さ接着部を除く自由伸縮部の長さは、アレイ導波路回折格子の回路パラメータにより算出される。次に、補償部材23の機能について説明する。光合分波器1aの環境温度が変化するとスラブ導波路77a、7bによる集光位置が変化する。これに対し、温度変化により補償部材23が伸縮することで、ガラス板3a、3bが補償部材23の長手方向に相対移動する。したがって、導波路チップ15a、15bおよびスラブ導波路7a、7bが、それらの分割面に沿って相対移動する。すなわち、温度変化による集光位置の変化に対応した変位量となるように補償部材の材質および長さを設定すれば、温度によるスラブ導波路7の集光位置の変化を是正することができる。したがって、前述したように、それぞれの方向から入力された複数の波長を有する光信号を確実に合波することができるとともに、多重化された光信号をそれぞれの波長の光信号に確実に分波することができる。すなわち、温度無依存の光合分波器を得ることができる。第2の実施形態によれば、光合分波器1と同様の効果を得ることができる。また、補償部材23が設けられる温度無依存型の光合分波器であっても、小型化を達成することができる。また、導波路5a、5bの間に補償部材23分割面が形成されても、確実に導波路を反転させて、パッケージの同一端面側に入出力用のファイバアレイを設けることが可能である。次に、第3の実施の形態について説明する。図4は、光合分波器1bを示す図である。なお、以下の実施形態では、補償部材23を設けた例を示すが、光合分波器1と同様の構成とすることもできる。光合分波器1bは、光合分波器1aと略同様であるが、反転導波路チップ11の接続方向が異なる。すなわち、光合分波器11aでは、反転導波路11aは、導波路5bとの接続部からアレイ導波路9の屈曲方向に向けて形成され、反転導波路11aと接続されるファイバアレイ13bは、アレイ導波路9の図中上方に配設される。これに対し、光合分波器1bでは、反転導波路11aは、導波路5bとの接続部からアレイ導波路9の屈曲方向とは逆方向に向けて形成され、反転導波路11aと接続されるファイバアレイ13bは、アレイ導波路9の下方側に配設される。なお、この場合には、ファイバアレイ13bがガラス板3a、3b温度変化による移動領域を含むまたは導波路チップ15と干渉しないように、反転導波路11a反転導波路チップ11の長さを設定すればよい。第3の実施形態によれば、光合分波器1と同様の効果を得ることができる。また、反転導波路11aの形成方向をアレイ導波路9の屈曲方向と逆方向とすることで、ガラス板、導波路チップ等のレイアウトによっては、反転導波路チップ11を短くすることが可能である。次に、第4の実施の形態について説明する。図5は、光合分波器1cを示す図である。光合分波器1cは、光合分波器1aと略同様であるが、反転導波路チップ11の接続形態が異なる。すなわち、光合分波器1cでは、反転導波路チップ11aと導波路チップ15とが上下面逆に接続される。図6は、図5のH部におけるI-I線断面図であり、接続部の詳細を示す図である。導波路チップ15の上面には、接着固定された紫外線に対して透明なガラス板17cが設けられる。ガラス板17cは、端面が導波路チップ15の端面と一致するように設けられている。また、反転導波路チップ11aの上面には、接着固定された紫外線に対して透明なガラス板17dが設けられる。反転導波路チップ11aを、導波路チップ15と上下関係を逆さにした状態で、導波路チップ15上のガラス板17cの端面と、反転導波路チップ11a上のガラス板17dの端面とを紫外線硬化接着剤で接着することで、紫外線が接合面全体に透過され、チップ同士がより強固に接合される。なお、反転導波路11aは、図に示したように、アレイ導波路9の屈曲方向に形成してもよく、図4に示したように、アレイ導波路9の下方側に向けて形成してもよい。第4の実施形態によれば、光合分波器1と同様の効果を得ることができる。また、接合部において、厚さ方向の全ての領域に紫外線を透過させることができることから、紫外線硬化樹脂を効果的に用いることができ、確実に導波路チップ同士を接合することができる。次に、第5の実施の形態について説明する。図7は、光合分波器1dを示す図である。光合分波器1dは、光合分波器1aと略同様であるが、反転導波路チップ11が配置される位置が異なる。すなわち、光合分波器1dでは、反転導波路11aと導波路5aとが接続される。すなわち、反転導波路11aは、分割されたスラブ導波路側の導波路5aと接続されてもよい。なお、反転導波路11aは、図に示したように、アレイ導波路9の屈曲方向に形成してもよく、図4に示したように、アレイ導波路9の下方側に向けて形成してもよい。第5の実施形態によれば、光合分波器1と同様の効果を得ることができる。また、温度無依存型の光合分波器を用いた際に、反転導波路のレイアウト自由度が高い。次に、第6の実施の形態について説明する。図8は、光合分波器1eを示す図である。光合分波器1eは、光合分波器1aと略同様であるが、反転導波路チップ11と導波路チップ15bが1つのチップからなる点で異なる。すなわち、光合分波器1eでは、反転導波路11aと導波路5b等とが同一の基板上に形成される。第6の実施形態によれば、光合分波器1と同様の効果を得ることができる。また、導波路チップ同士の接合が不要である。次に、第7の実施の形態について説明する。図9は、光合分波器1gを示す図である。光合分波器1gは、光合分波器1と略同様であるが、ペルチェ16を有しておらず、スラブ導波路7に光の進行方向と交差するように溝18が設けられる点で異なる。溝18には、導波路の実効屈折率の温度係数と異なる符号の屈折率温度係数を有する材料以降、温度補償材料と記載する。が充填されている。なお、溝18はスラブ導波路7ではなく、アレイ導波路9上に設けてもよい。なお、溝18の大きさは、温度補償材料の屈折率温度係数やアレイ導波路回折格子の回路パラメータにより算出される。このように温度補償材料を充填した溝18を導波路に設けることで、温度無依存の光合分波器を得ることができる。第7の実施形態によれば、光合分波器1と同様の効果を得ることができる。次に、第8の実施の形態について説明する。図10は、光合分波器1fを示す図である。光合分波器1fは、光合分波器1aと略同様であるが、反転導波路11bが反転導波路チップ11上に形成される平面光波回路ではなく、光ファイバテープで形成される点で異なる。光ファイバテープ反転導波路11bは複数の光ファイバが並列に並べられテープ状に一体化されて形成される。テープ状に一体化された光ファイバテープは、剛性が高く、そのままでは湾曲させることが困難であり、非常に大きな曲げ半径を必要とする。これに対し、光合分波器1fにおいては、導波路5bと接続されたファイバアレイ13bにおいて、反転導波路11bに対応する部位、すなわち湾曲部の少なくとも一部においてテープ化が解かれ、光ファイバテープを構成する単心光ファイバにばらされて分離されている。したがって、光ファイバテープの状態に対して、個々の光ファイバの曲げ半径を小さくすることができ、光ファイバ全体を小さな曲げ半径で反転180°屈曲させることが可能である。すなわち、小さなパッケージ内で、光ファイバテープを反転させてパッケージの同一方向に向けて入出力それぞれの光ファイバテープを取り出すことができる。なお、反転導波路11bは、図に示したように、アレイ導波路9の屈曲方向に形成してもよく、図4に示したように、アレイ導波路9の下方側に向けて形成してもよい。第8の実施形態によれば、光合分波器1と同様の効果を得ることができる。また、反転導波路11が不要であり、低コストである光合分波器を提供することができる。図3~図8に示すような、温度無依存型の機器においては、基板チップの一部が分割されており、温度を補償する補償部材が基板に形成されるため、ファイバアレイを反転させて取りまわすスペースを取ることが困難である。また、このような温度無依存型の機器においては、パッケージ内に樹脂を充填する必要があるため、パッケージ内の高い気密性が要求される。光ファイバの出口において、容易に高い気密性を得るためには、光の入出力面を当該パッケージの一端に形成することが好ましい。したがって、本発明は、このような温度無依存型の機器において特に好適に用いることができる。以上、添付図を参照しながら、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。