"入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面の直径が軸方向に変化している、内接型遊星歯車減速機。入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化している、内接型遊星歯車減速機。入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面の直径及び前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化している、内接型遊星歯車減速機。前記インナギア及び前記アウタギアは、前記噛合面の直径が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に変化する、請求項1又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機。前記インナギア及び前記アウタギアは、前記噛合面の直径が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少する、請求項1又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機。前記インナギア及び前記アウタギアは、前記噛合面の直径が軸方向中間部を境に異なっている、請求項1又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機。前記インナギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に減少し、前記アウタギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に増加する、請求項2又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機。前記インナギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少し、前記アウタギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に増加する、請求項2又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機。前記インナギア及び前記アウタギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向中間部を境に異なっている、請求項2又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機。前記入力軸としてのモータシャフトを有するモータ部と、請求項1~請求項9のいずれか一項に記載の内接型遊星歯車減速機を有すると共に、前記インナギア及び前記アウタギアの間の隙間が圧力室とされ、且つ、前記圧力室と連通される吸入ポート及び吐出ポートが形成されたポンプ部と、を備えた歯車ポンプ。しかしながら、この種の内接型遊星歯車減速機及びこれを備えた歯車ポンプでは、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることが課題とされる。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる内接型遊星歯車減速機及び歯車ポンプを提供することを目的とする。前記課題を解決するために、請求項1に記載の内接型遊星歯車減速機は、入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面の直径が軸方向に変化している。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、互いの噛合面の直径が軸方向に変化しているので、インナギア及びアウタギアの軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、互いの噛合面の直径が軸方向に変化しても、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面との噛合状態が確保されているので噛合面同士が面接触するので、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。請求項2に記載の内接型遊星歯車減速機は、入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化している。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、互いの噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化しているので、インナギア及びアウタギアの軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、歯の歯厚が軸方向に変化しても、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面との噛合状態が確保されているので噛合面同士が面接触するので、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機は、入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面の直径及び前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化している。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面の直径及び互いの噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化しているので、インナギア及びアウタギアの軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面の直径及び歯の歯厚が軸方向に変化しても、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面との噛合状態が確保されているので噛合面同士が面接触するので、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。請求項4に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項1又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギア及び前記アウタギアが、前記噛合面の直径が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に変化する構成である。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面の直径が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に変化する構成であるので、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面とを容易に形成することができる。請求項5に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項1又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギア及び前記アウタギアが、前記噛合面の直径が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少する構成である。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面の直径が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少するので、インナギア及びアウタギアの軸方向両側へのがたつきを抑制することができる。請求項6に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項1又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギア及び前記アウタギアが、前記噛合面の直径が軸方向中間部を境に異なっている構成である。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面の直径が軸方向中間部を境に異なるという簡単な構成であるので、インナギア及びアウタギアを容易に製造することができる。請求項7に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項2又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に減少し、前記アウタギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に増加する構成である。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に減少し、アウタギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に増加する構成であるので、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面とを容易に形成することができる。請求項8に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項2又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少し、前記アウタギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に増加する構成である。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少し、アウタギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に増加するので、インナギア及びアウタギアの軸方向両側へのがたつきを抑制することができる。請求項9に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項2又は請求項3に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギア及び前記アウタギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向中間部を境に異なっている構成である。この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向中間部を境に異なっているという簡単な構成であるので、インナギア及びアウタギアを容易に製造することができる。また、前記課題を解決するために、請求項10に記載の歯車ポンプは、前記入力軸としてのモータシャフトを有するモータ部と、請求項1~請求項9のいずれか一項に記載の内接型遊星歯車減速機を有すると共に、前記インナギア及び前記アウタギアの間の隙間が圧力室とされ、且つ、前記圧力室と連通される吸入ポート及び吐出ポートが形成されたポンプ部と、を備えている。この歯車ポンプによれば、ポンプ部に、請求項1~請求項9のいずれか一項に記載の内接型遊星歯車減速機を有するので、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。[第一実施形態]以下、本発明の第一実施形態について説明する。図1に示されるように、本発明の第一実施形態に係る歯車ポンプ10は、モータ部12と、ポンプ部14とを備えている。モータ部12は、後述する内接型遊星歯車減速機20への入力軸として、モータシャフト16を有している。ポンプ部14は、ハウジング18の内部に設けられた内接型遊星歯車減速機20を有している。内接型遊星歯車減速機20は、インナギア22とアウタギア24とを備えている。インナギア22は、モータシャフト16に偏芯状態で取り付けられており、モータシャフト16の回転に伴って偏芯回転される。アウタギア24には、インナギア22が内接噛合されている。このインナギア22及びアウタギア24は、ハウジング18に内嵌されたスペーサ26により径方向の動きが規制されており、また、ケーシング28及びカバー30により軸方向の動きが規制されている。このインナギア22及びアウタギア24の間の隙間は、圧力室32とされている。また、カバー30及びケーシング28には、圧力室32と連通される吸入ポート34及び吐出ポート36がそれぞれ形成されている。そして、このポンプ部14では、インナギア22が偏芯回転されると共に、アウタギア24が回転されることに伴って、圧力室32の位置が変化し、これにより、吸入ポート34を介して外部から圧力室32に流体が吸入され、この流体が圧力室32から吐出ポート36を介して外部に吐出される。ここで、上述の内接型遊星歯車減速機20を構成するインナギア22とアウタギア24とは、より具体的には、次のように構成されている。すなわち、図2~図5に示されるように、インナギア22は、噛合面22Aの直径D1が軸方向一端部22B1から他端部22B2に向けて徐々に小さくなるように変化している。同様に、アウタギア24は、噛合面24Aの直径D2が軸方向一端部24B1から他端部24B2に向けて徐々に小さくなるように変化している。この直径D1,D2の変化の割合は、インナギア22とアウタギア24とで同一となっている。つまり、噛合面22A,24Aは、平行に形成されている。さらに、インナギア22は、噛合面22Aに形成された歯22Cの歯厚円ピッチ上の歯の厚さT1が軸方向一端部22B1から他端部22B2に向けて徐々に減少しており、アウタギア24は、噛合面24Aに形成された歯24Cの歯厚T2が軸方向一端部24B1から他端部24B2に向けて徐々に増加している。この歯厚T1,T2の変化の割合も、インナギア22とアウタギア24とで同一となっている。次に、本発明の第一実施形態の作用及び効果について説明する。この内接型遊星歯車減速機20によれば、インナギア22及びアウタギア24は、互いの噛合面22A,24Aの直径D1,D2及び歯22C,24Cの歯厚T1,T2が軸方向に変化しているので、インナギア22及びアウタギア24の軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギア22とアウタギア24との噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面22A,24Aの直径D1,D2及び歯22C,24Cの歯厚T1,T2が軸方向に変化しても、インナギア22の噛合面22Aとアウタギア24の噛合面24Aとの噛合状態が確保されているので噛合面22A,24A同士が面接触するので、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。また、インナギア22及びアウタギア24は、噛合面22A,24Aの直径D1,D2が軸方向一端部22B1,24B1から他端部22B2,24B2に向けて徐々に小さくなるように変化する構成である。また、インナギア22は、歯22Cの歯厚T1が軸方向一端部22B1から他端部22B2に向けて徐々に減少し、アウタギア24は、歯24Cの歯厚T2が軸方向一端部24B1から他端部24B2に向けて徐々に増加する構成である。従って、インナギア22の噛合面22Aとアウタギア24の噛合面24Aとを容易に形成することができる。[第二実施形態]次に、本発明の第二実施形態について説明する。本発明の第二実施形態では、上述の内接型遊星歯車減速機20図2~図5に代えて、図6~図8に示される内接型遊星歯車減速機40が用いられている。この内接型遊星歯車減速機40において、インナギア22は、噛合面22Aの直径D1が軸方向一端部22B1から中間部22B3に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部22B3から他端部22B2に向けて徐々に減少している。同様に、アウタギア24は、噛合面24Aの直径D2が軸方向一端部24B1から中間部24B3に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部24B3から他端部24B2に向けて徐々に減少している。この直径D1,D2の変化の割合は、インナギア22とアウタギア24とで同一となっている。つまり、噛合面22A,24Aは、平行に形成されている。さらに、インナギア22は、歯22Cの歯厚T1が軸方向一端部22B1から中間部22B3に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部22B3から他端部22B2に向けて徐々に減少し、アウタギア24は、歯24Cの歯厚T2が軸方向一端部24B1から中間部24B3に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部24B3から他端部24B2に向けて徐々に増加している。この歯厚T1,T2の変化の割合も、インナギア22とアウタギア24とで同一となっている。なお、アウタギア24は、図8に示されるように、軸方向中間部24B3にて第一部材42及び第二部材44に分割されている。次に、本発明の第二実施形態の作用及び効果について説明する。この内接型遊星歯車減速機40によっても、インナギア22及びアウタギア24は、互いの噛合面22A,24Aの直径D1,D2及び歯22C,24Cの歯厚T1,T2が軸方向に変化しているので、インナギア22及びアウタギア24の軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギア22とアウタギア24との噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面22A,24Aの直径D1,D2及び歯22C,24Cの歯厚T1,T2が軸方向に変化しても、インナギア22の噛合面22Aとアウタギア24の噛合面24Aとの噛合状態が確保されているので噛合面22A,24A同士が面接触するので、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。また、インナギア22及びアウタギア24は、噛合面22A,24Aの直径D1,D2が軸方向一端部22B1,24B1から中間部22B3,24B3に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部22B3,24B3から他端部22B2,24B2に向けて徐々に減少する構成である。また、インナギア22は、歯22Cの歯厚T1が軸方向一端部22B1から中間部22B3に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部22B3から他端部22B2に向けて徐々に減少し、アウタギア24は、歯24Cの歯厚T2が軸方向一端部24B1から中間部24B3に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部24B3から他端部24B2に向けて徐々に増加する構成である。従って、インナギア22及びアウタギア24の軸方向両側へのがたつきを抑制することができる。[第三実施形態]次に、本発明の第三実施形態について説明する。本発明の第三実施形態では、上述の内接型遊星歯車減速機20図2~図5に代えて、図9に示される内接型遊星歯車減速機50が用いられている。この内接型遊星歯車減速機50において、インナギア22及びアウタギア24は、噛合面22A,24Aの直径D1,D2が軸方向中間部22B3,24B3を境に異なっている。つまり、インナギア22における噛合面22Aの直径D1は、軸方向一端部22B1から中間部22B3までの方が軸方向中間部22B3から他端部22B2までよりも小さくなっている。同様に、アウタギア24における噛合面24Aの直径D2は、軸方向一端部24B1から中間部24B3までの方が軸方向中間部24B3から他端部24B2までよりも小さくなっている。なお、アウタギア24は、軸方向中間部24B3にて第一部材42及び第二部材44に分割されている。次に、本発明の第三実施形態の作用及び効果について説明する。この内接型遊星歯車減速機20によっても、インナギア22及びアウタギア24は、互いの噛合面22A,24Aの直径D1,D2が軸方向に変化しているので、インナギア22及びアウタギア24の軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギア22とアウタギア24との噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面22A,24Aの直径D1,D2が軸方向に変化しても、インナギア22の噛合面22Aとアウタギア24の噛合面24Aとの噛合状態が確保されているので噛合面22A,24A同士が面接触するので、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。また、インナギア22及びアウタギア24は、噛合面22A,24Aの直径D1,D2が軸方向中間部22B3,24B3を境に異なるという簡単な構成であるので、インナギア22及びアウタギア24を容易に製造することができる。なお、インナギア22及びアウタギア24は、歯22C,24Cの歯厚T1,T2が軸方向に均一でも良いが、歯22C,24Cの歯厚T1,T2が軸方向中間部22B3,24B3を境に異なっていても良い。このように構成されていても、インナギア22及びアウタギア24を容易に製造することができる。また、インナギア22及びアウタギア24は、噛合面22A,24Aの直径D1,D2が軸方向に均一とされた上で、歯22C,24Cの歯厚T1,T2が軸方向中間部22B3,24B3を境に異なっていても良い。また、インナギア22は、軸方向中間部22B3,24B3にて第一部材及び第二部材に分割されていても良い。以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。"