"被加工物を切削する切削装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、回転駆動されるスピンドルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する該スピンドルの先端に装着された切削ブレードと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに装着されて該切削ブレードを覆うブレードカバーと、を含む切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを加工送り方向に相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる割り出し送り手段と、を具備し、該ブレードカバーは、加工進行方向先頭側に配設されて該切削ブレードに向かって切削液を供給する切削液ノズルと、該ブレードカバーから加工進行方向後ろ側に伸長するように配設されて、被加工物を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段と、を有することを特徴とする切削装置。前記洗浄液カーテン形成手段は、前記切削ブレードの一方の面側に配設されて前記ブレードカバーから前記加工進行方向後ろ側に伸長する洗浄液噴出部を有する第1洗浄液カーテン形成ノズルと、該切削ブレードの他方の面側に配設されて該ブレードカバーから該加工進行方向後ろ側に伸長する洗浄液噴出部を有する第2洗浄液カーテン形成ノズルと、を含むことを特徴とする請求項1記載の切削装置。ところが、上述したような加工進行方向先頭側から切削液を切削ブレードで供給する切削液ノズル及び切削ブレードの側方から冷却液を切削ブレードに供給する冷却液ノズルを備えた切削装置では、加工中切削液及び冷却液が切削ブレードに向けて供給されるため、被加工物に形成された切削溝には切削液又は冷却液が直接かからない。その結果、切削屑が被加工物上に付着し、その状態で被加工物の上面が乾燥すると切削屑が被加工物上面に固着して、後の洗浄工程で除去するのが非常に難しいという問題がある。特に、CCD、CMOS等の固体撮像デバイス、光ピックアップ素子やフィルター等の光デバイスが表面に形成された被加工物では、被加工物の撥水性が高い例えば、純水に対する接触角が60度以上ため、被加工物の上面に切削屑が固着し易い。また、バー形状の被加工物をX軸方向に複数並べてチャックテーブルで吸引保持し、被加工物毎にY軸方向に割り出し送りして一つの被加工物に加工を施した後、X軸方向に隣接する被加工物を加工することを繰り返す、例えば超音波振動子の切削加工においても、切削屑が被加工物上に固着し易いという性質がある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物上面が乾燥することを防止して被加工物上に切削屑が固着することを防止可能な切削装置を提供することである。本発明によると、被加工物を切削する切削装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、回転駆動されるスピンドルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する該スピンドルの先端に装着された切削ブレードと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに装着されて該切削ブレードを覆うブレードカバーと、を含む切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを加工送り方向に相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる割り出し送り手段と、を具備し、該ブレードカバーは、加工進行方向先頭側に配設されて該切削ブレードに向かって切削液を供給する切削液ノズルと、該ブレードカバーから加工進行方向後ろ側に伸長するように配設されて、被加工物を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段と、を有することを特徴とする切削装置が提供される。好ましくは、前記洗浄液カーテン形成手段は、前記切削ブレードの一方の面側に配設されて前記ブレードカバーから前記加工進行方向後ろ側に伸長する洗浄液噴出部を有する第1洗浄液カーテン形成ノズルと、該切削ブレードの他方の面側に配設されてブレードカバーから該加工進行方向後ろ側に伸長する洗浄液噴出部を有する第2洗浄液カーテン形成ノズルを有する。本発明の切削装置は、ブレードカバーの加工進行方向後ろ側に被加工物を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段を備えるため、加工後の被加工物の上面を乾燥させることがない。従って、被加工物上に切削屑が固着することを防止できる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、被加工物を切削して個々のチップに分割することのできる本発明実施形態に係る切削装置2の斜視図が示されている。切削装置2の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル4が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像ユニットによって撮像された画像が表示されるCRT等の表示モニタ6が設けられている。被加工物は例えばシリコンウエーハ、ガラス基板等からなる支持基板上に複数個整列して貼着され、図1に示したカセット8中に支持基板が複数枚収容される。カセット8は上下動可能なカセットエレベータ9上に載置される。カセット8の後方には、カセット8から切削前の被加工物を搬出するとともに、切削後の被加工物をカセット8に搬入する搬出入ユニット10が配設されている。カセット8と搬出入ユニット10との間には、搬出入対象の被加工物が一時的に載置される領域である仮置き領域12が設けられており、仮置き領域12には、被加工物を一定の位置に位置合わせする一対の位置合わせバー14が配設されている。仮置き領域12の近傍には、被加工物を吸着して搬送する旋回アームを有する搬送ユニット16が配設されており、仮置き領域12に搬出された被加工物は、搬送ユニット16により吸着されてチャックテーブル18上に搬送され、チャックテーブル18により吸引保持される。チャックテーブル18は、回転可能且つX軸方向加工送り方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル18のX軸方向の移動経路の上方には、被加工物の切削すべき領域を検出するアライメントユニット20が配設されている。アライメントユニット20は、被加工物の表面を撮像する顕微鏡及びCCDカメラを有する撮像ユニット22を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって切削すべき領域を検出することができる。撮像ユニット22によって取得された画像は、表示モニタ6に表示される。アライメントユニット20の左側には、チャックテーブル18に保持された被加工物に対して切削加工を施す切削ユニット24が配設されている。切削ユニット24はアライメントユニット20と一体的に構成されており、両者が連動してY軸方向割り出し送り方向及びZ軸方向に移動する。切削ユニット24は、回転可能なスピンドル26の先端に切削ブレード28が装着されて構成され、割り出し送り方向であるY軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード28は撮像ユニット22のX軸方向の延長線上に位置している。切削加工の終了した被加工物を保持したチャックテーブル18がホームポジションに戻された後、搬送ユニット25で被加工物がチャックテーブル18上から吸着されてスピンナ洗浄ユニット27に搬送され、スピンナ洗浄ユニット27でスピン洗浄及びスピン乾燥される。図2を参照すると、切削ユニット24のスピンドルハウジング30中には、図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル26が回転可能に収容されている。スピンドル26の先端部にブレードマウント32がナット40で着脱可能に固定されている。ブレードマウント32は、ボス部34と、ボス部34と一体的に形成された固定フランジ36とから構成され、ボス部34には雄ねじ38が形成されている。更に、ブレードマウント32は装着穴を有している。ブレードマウント32は、装着穴をスピンドル26の先端部に挿入して、ナット40を先端部に形成された雄ねじに螺合して締め付けることにより、スピンドル26の先端部に取り付けられる。28はワッシャー形状の切削ブレードであり、その全体が電鋳された切刃電鋳砥石から構成されている。ブレードマウント32のボス部34に切削ブレード28を挿入し、更に着脱フランジ42をボス部34に挿入して、固定ナット44を雄ねじ38に螺合して締め付けることにより、切削ブレード28は固定フランジ30と着脱フランジ42により両側から挟まれてスピンドル26に取り付けられる。図3を参照すると、本発明実施形態に係るブレードカバー46の正面図が示されている。図4はブレードカバー46の左側面図である。図4に示されるように、ブレードカバー46は下方に切削ブレード28が突出する開口部を有して切削ブレード28の周囲をカバーする。ブレードカバー46には、ブレードカバー46から図5に示す矢印X2で示される加工進行方向に対して反対側加工進行方向後ろ側に伸長して被加工物を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンに形成する洗浄液カーテン形成ユニット50が配設されている。洗浄液カーテン形成ユニット50は、ブレードカバー46に固定されたブロック51を有している。ブロック51には、X軸方向に伸長した洗浄液カーテン形成前ノズル第1洗浄液カーテン形成ノズル54aと、洗浄液カーテン形成後ろノズル第2洗浄液カーテン形成ノズル54bが配設されている。洗浄液カーテン形成前ノズル54a及び洗浄液カーテン形成後ろノズル54bの先端は小ブロック52に装着されており、小ブロック52は一端がブロック51に固定された支持プレート48により支持されている。図3に示すように、洗浄液カーテン形成前ノズル54aはX軸方向に等間隔離間した洗浄液噴出スリット56aを有している。複数の洗浄液噴出スリット56aで洗浄液噴出部58を構成する。同様に、洗浄液カーテン形成後ろノズル54bもX軸方向に等間隔離間した複数の洗浄液噴出スリット56b図5参照を有しており、複数の洗浄液噴出スリット56bで洗浄液噴出部を構成する。図5に模式的に示すように、洗浄液カーテン形成前ノズル54aに形成された洗浄液噴出スリット56aと洗浄液カーテン形成後ろノズル54bに形成された洗浄液噴出スリと54bとは、互いにX軸方向に互い違いに形成されている。本実施形態では、洗浄液噴出スリット56a,56bはY軸方向に伸長している。洗浄液噴出スリット56a,56bの伸長方向はこれに限定されるものではなく、X軸方向に伸長するように形成してもよいし、スポット形状に形成してもよい。ブレードカバー46の後側には、切削ブレード28方向に伸びるL形状の洗浄液サブスノズル64が配設されている。洗浄液サブノズル64はX軸方向に離間した片側に3個の洗浄液噴出スリット66を有しており、図4の拡大図に示すように、X軸方向の同一位置で3個の洗浄液噴出スリット66が形成されている。よって、洗浄液サブノズル64は、合計で9個の洗浄液噴出スリット66を有している。洗浄液カーテン形成前ノズル54a及び洗浄液カーテン形成後ろノズル54bは切削液供給源60に図示しない切替バルブを介して選択的に接続されている。同様に、洗浄液サブノズル64も切削液供給源60に選択的に接続されている。洗浄液としては純水又は純水中に炭酸ガスを吹き込んだ液体が使用される。図3及び図5に示されるように、ブレードカバー46の加工進行方向前側には、切削ブレード28の外周に向かって切削液を供給する切削液ノズル70が配設されている。切削液ノズル70は、図示しない切替バルブを介して切削液供給源72に選択的に接続される。切削液としては純水又は純水中に炭酸ガスを吹き込んだ液体が使用される。次に、図4及び図5を参照して、上述した実施形態の切削装置2による被加工物の切削加工作業について説明する。被加工物11は例えばPZTチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電セラミクスから構成され、シリコンウエーハ又はガラス基板等から構成される支持基板13上に所定間隔離間して複数個貼着されている。被加工物11の切削時には、複数の被加工物11がX軸方向に整列するようにチャックテーブル18を回転させる。よって、個々の被加工物11は図4に示すようにY軸方向に伸長して支持基板13上に配設されている。被加工物11の切削加工を実施する前に、撮像ユニット22で被加工物11を撮像して、切削加工すべき領域を検出するアライメントを実施する。アライメント実施後、切削ブレード28を高速例えば30000rpmで回転させながら図5で一番左側の被加工物11に切り込み、チャックテーブル18を矢印X1方向に加工送りして、一番左側の被加工物11に切削溝を形成する。この切削加工時には、図5で矢印X2で示す加工進行方向の先頭側に設けられた切削液ノズル70から切削ブレード28の外周部に向かって切削液を供給しながら切削を実施する。更に、加工進行方向X2の後ろ側に配設された洗浄液カーテン形成前ノズル54aの洗浄液噴出スリット56a及び洗浄液カーテン形成後ろノズル54bの洗浄液噴出スリット56bから洗浄液を噴出して、図4に示すように、洗浄液前カーテン62a及び洗浄液後ろカーテン62bを形成する。図5に示すように、洗浄液形成前ノズル54aの洗浄液噴出スリット56aと洗浄液カーテン形成後ろノズル54bの洗浄液噴出スリット56bは互い違いに形成されているため、洗浄液前カーテン62aが洗浄液後ろカーテン62bに衝突して洗浄液カーテン62a,62bが乱されることがなく、チャックテーブル18に保持された被加工物11に洗浄液が満遍なく供給されながら切削が遂行される。また、洗浄液サブノズル64の洗浄液噴出スリット66からも洗浄液が噴出されて、図4に示すように、洗浄液カーテン68が形成されながら切削加工が遂行される。このように切削加工中に加工進行方向X2の後ろ側に十分な洗浄液が供給されながら切削加工が遂行されるため、形成された切削溝中にも洗浄液が供給され、切削溝中の加工屑を洗浄液により洗い流すことができる。図5で一番左側の被加工物11に切削溝を1本形成したらチャックテーブル18の加工送りを停止し、切削ブレード28をY軸方向に割り出し送りしてから、チャックテーブル18を加工送りして2本目の切削溝を形成する。これを繰り返すことにより、一番左側の被加工物11に必要とする全ての切削溝を形成する。次いで、隣接する被加工物11についても同様な加工ステップを繰り返して複数の切削溝を形成する。この加工ステップを繰り返すことにより、チャックテーブル18に保持された全ての被加工物11に複数の切削溝を形成する。切削加工中には、加工進行方向後ろ側に洗浄液カーテン62a,62b,68を形成しながら切削が遂行されるため、一番右側の被加工物11を切削中にも洗浄液が切削済みの被加工物11の上面に十分供給され、加工後の被加工物11を乾燥させることがないため、被加工物11上に切削屑が固着することを防止できる。上述した実施形態の被加工物11は、支持基板13上に複数個整列して配設された細長い被加工物であるが、本発明の切削装置で切削可能な被加工物はこれに限定されるものではなく、ダイシングテープに貼着された一般的なウエーハ形状の被加工物を切削する場合にも、加工後の被加工物を乾燥させることがなく、被加工物上に切削屑が固着することを防止できる。"