"第1電極と、前記第1電極の上方に形成された第1圧電体と、前記第1電極および前記第1圧電体の側方に形成される高弾性領域と、前記第1圧電体および前記高弾性領域を覆って形成された第2圧電体と、前記第2圧電体の上方に形成された第2電極と、を含み、前記高弾性領域は、前記第1圧電体および前記第2圧電体よりも弾性が高い、圧電素子。第1電極層を成膜する工程と、前記第1電極層の上方に第1前駆体層を成膜する工程と、前記第1前駆体層を結晶化させて第1圧電体層とする第1熱処理工程と、前記第1圧電体層および前記第1電極層をパターニングして、第1圧電体および第1電極を形成する工程と、前記第1電極および前記第1圧電体を覆うように、保護層を成膜する工程と、前記保護層を結晶化させて高弾性層とする第2熱処理工程と、前記高弾性層をエッチングして、前記第1電極および前記第1圧電体の側方に高弾性領域を形成する工程と、前記第1圧電体および前記高弾性領域を覆うように、第2前駆体層を成膜する工程と、前記第2前駆体層を結晶化させて第2圧電体層とする第3熱処理工程と、前記第2圧電体層の上方に第2電極層を成膜する工程と、前記第2圧電体層および前記第2電極層をパターニングして、前記第1圧電体および前記高弾性領域を覆う第2圧電体および第2電極を形成する工程と、を含み、前記第2熱処理工程は、前記第1熱処理工程および前記第3熱処理工程よりも低温で熱処理を行う、圧電素子の製造方法。請求項2において、前記第2熱処理工程は、500°C以上600°C以下で熱処理を行う、圧電素子の製造方法。請求項1に記載の圧電素子を含む、圧電アクチュエーター。請求項4に記載の圧電アクチュエーターを含む、液体噴射ヘッド。請求項5に記載の液体噴射ヘッドを含む、液体噴射装置。本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、応力を緩和することができる信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、上記圧電素子を含む圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、並びに、液体噴射装置を提供することにある。本発明に係る圧電素子は、第1電極と、前記第1電極の上方に形成された第1圧電体と、前記第1電極および前記第1圧電体の側方に形成される高弾性領域と、前記第1圧電体および前記高弾性領域を覆って形成された第2圧電体と、前記第2圧電体の上方に形成された第2電極と、を含み、前記高弾性領域は、前記第1圧電体および前記第2圧電体よりも弾性が高い、圧電素子である。このような圧電素子によれば、高弾性領域によって、第1圧電体の側面近傍の応力を緩和することができ、高い信頼性を有することができる。なお、本発明に係る記載では、上方という文言を、例えば、特定のもの以下Aというの上方に他の特定のもの以下Bというを形成するなどと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、A上に直接Bを形成するような場合と、A上に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとして、上方という文言を用いている。本発明に係る圧電素子の製造方法は、第1電極層を成膜する工程と、前記第1電極層の上方に第1前駆体層を成膜する工程と、前記第1前駆体層を結晶化させて第1圧電体層とする第1熱処理工程と、前記第1圧電体層および前記第1電極層をパターニングして、第1圧電体および第1電極を形成する工程と、前記第1電極および前記第1圧電体を覆うように、保護層を成膜する工程と、前記保護層を結晶化させて高弾性層とする第2熱処理工程と、前記高弾性層をエッチングして、前記第1電極および前記第1圧電体の側方に高弾性領域を形成する工程と、前記第1圧電体および前記高弾性領域を覆うように、第2前駆体層を成膜する工程と、前記第2前駆体層を結晶化させて第2圧電体層とする第3熱処理工程と、前記第2圧電体層の上方に第2電極層を成膜する工程と、前記第2圧電体層および前記第2電極層をパターニングして、前記第1圧電体および前記高弾性領域を覆う第2圧電体および第2電極を形成する工程と、を含み、前記第2熱処理工程は、前記第1熱処理工程および前記第3熱処理工程よりも低温で熱処理を行う、圧電素子の製造方法である。このような圧電素子の製造方法によれば、第1電極および第1圧電体の側方に高弾性領域が形成され、第1圧電体の側面近傍の応力を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を得ることができる。本発明に係る圧電素子の製造方法において、前記第2熱処理工程は、500°C以上600°C以下で熱処理を行う。このような圧電素子の製造方法によれば、高弾性領域は、第1圧電体および第2圧電体よりも弾性が高くなり、信頼性の高い圧電素子を得ることができる。本発明に係る圧電アクチュエーターは、本発明に係る圧電素子を含む。このような圧電アクチュエーターによれば、高い信頼性を有することができる。本発明に係る液体噴射ヘッドは、本発明に係る圧電アクチュエーターを含む。このような液体噴射ヘッドは、高い信頼性を有することができる。本発明に係る液体噴射装置は、本発明に係る液体噴射ヘッドを含む。このような液体噴射装置は、高い信頼性を有することができる。以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。1.圧電素子まず、実施形態に係る圧電素子100について、図面を参照しながら説明する。図1は、圧電素子100を模式的に示す断面図である。圧電素子100は、図1に示すように、基板10と、第1電極20と、第1圧電体30と、高弾性領域40と、第2圧電体50と、第2電極60と、を含む。基板10の材質としては、例えば、導電体、半導体、絶縁体などを例示することができる。ただし、少なくとも基板10の上面12は、基板10の上面12に第1電極20を形成することから、絶縁体であることが好ましい。より具体的には、基板10としては、例えば、単結晶シリコン基板を用いることができる。基板10は、例えば、可撓性を有し、第1圧電体30および第2圧電体50の動作によって変形屈曲する振動板であってもよい。この場合、圧電素子100は、振動板と、第1電極20と、第1圧電体30と、高弾性領域40と、第2圧電体50と、第2電極60と、を含む圧電アクチュエーター102となる。したがって、以下の説明においては、圧電素子100を圧電アクチュエーター102と読み替えることもできる。基板10が振動板である場合は、基板10の材質としては、例えば、単結晶シリコン上に酸化シリコンSiO2と酸化ジルコニウムZrO2とを積層したものを用いることができる。第1電極20は、基板10上に形成されている。第1電極20の材質としては、例えば、白金、イリジウム、それらの導電性酸化物、ランタンニッケル酸化物LaNiO3:LNOなどを例示することができる。第1電極20は、前述の例示した材料の単層構造でもよいし、複数の材料を積層した構造であってもよい。第1電極20の厚さは、例えば、50nm~300nmである。第1電極20は、第1圧電体30および第2圧電体50に電圧を印加するための一方の電極である。なお、図示はしないが、第1電極20と基板10との間には、例えば、第1中間層が形成されていてもよい。第1中間層としては、例えば、チタン層などを用いることができる。第1中間層によって、第1電極20と基板10との密着性を向上させることができる。すなわち、第1中間層は、密着層ともいえる。第1圧電体30は、第1電極20上に形成されている。図1に示すように、第1圧電体30の側面32は、第1電極20の側面22と、面一であってもよい。側面22,32は、基板10の上面12に対して、傾いていてもよい。第1圧電体30としては、ペロブスカイト型酸化物の圧電材料を用いることができる。より具体的には、第1圧電体30としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,TiO3:PZT、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,Ti,NbO3:PZTNなどを用いることができる。第1圧電体30の厚さは、例えば、50nm~300nmである。高弾性領域40は、基板10上であって、第1電極20および第1圧電体30の側方に形成されている。図示の例では、高弾性領域40は、第1電極20の側面22および第1圧電体30の側面32に接して形成されている。高弾性領域40の形状は特に限定されないが、図示の例では、高弾性領域40は、第1圧電体30から離れるにつれて、基板10の上面12からの高さが低くなる形状を有している。第2圧電体50は、第1圧電体30および高弾性領域40を覆って形成されている。第2圧電体50の幅厚み方向と直交する方向の長さは、少なくとも、第1圧電体30の幅より大きい。第2圧電体50は、例えば、第1圧電体30と同じ材質であってもよい。第2圧電体50の厚さは、例えば、第1圧電体30の厚さより厚く、300nm~3000nmである。第1圧電体30および第2圧電体50は、第1電極20および第2電極60によって電界が印加されることで変形駆動することができる。基板10として振動板を用いる場合、この変形により基板10は、振動することができる。第1圧電体30および第2圧電体50の領域のうち、第1電極20と第2電極60とに挟まれている領域平面視において、第1電極20と第2電極60とが重複している領域は、第1圧電体30および第2圧電体50の実質的な駆動部といえる。したがって、第1圧電体30の側面32は、駆動部の端部ともいえる。なお、図示はしないが、第2圧電体50と、第1圧電体30、第1電極20および基板10と、の間には、例えば、第2中間層が形成されていてもよい。第2中間層としては、例えば、チタン層などを用いることができる。第2中間層によって、その上に形成される第2圧電体50の結晶の配向を制御することができる。すなわち、第2中間層は、配向制御層ともいえる。第2電極60は、第2圧電体50上に形成されている。図示の例では、第2電極60は、第2圧電体50の上面に形成されているが、さらに、第2圧電体50の側面および基板10の上面12にわたって形成されていてもよい。第2電極60の材質としては、例えば、上述の第1電極20として例示した材質を用いることができる。第2電極60の厚さは、例えば、50nm~300nmである。第2電極60は、第1圧電体30および第2圧電体50に電圧を印加するための他方の電極である。実施形態に係る圧電素子100は、例えば、以下の特徴を有する。圧電素子100によれば、第1圧電体30の側方には、高弾性領域40が形成されている。高弾性領域40の弾性は、第1圧電体30および第2圧電体50の弾性より高い。これにより、第1圧電体30の側面32近傍の応力を緩和することができる。すなわち、高弾性領域40が形成されない場合は、例えば、実質的な駆動部の端部となる第1電極20と第2電極60とに挟まれた第1圧電体30および第2圧電体50と、第1電極20と第2電極60とに挟まれていない第2圧電体50のみの部分と、の間で応力が集中し、第1圧電体30と第2圧電体50にクラックが発生することがある。また、第1電極20と基板10とが接合されている領域の端部に応力が集中し、基板10にクラックが発生してしまうことがある。本実施形態によれば、高弾性領域40によって、この応力を緩和することができる。したがって、圧電素子100では、クラックの発生を抑制でき、高い信頼性を有することができる。2.圧電素子の製造方法次に、実施形態に係る圧電素子100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図2~図9は、実施形態に係る圧電素子100の製造工程を模式的に示す断面図である。圧電素子100の製造方法は、第1電極層20aを成膜する工程と、第1前駆体層34aを成膜する工程と、第1前駆体層34aを結晶化させて第1圧電体層30aとする第1熱処理工程と、第1圧電体30および第1電極20を形成する工程と、保護層44aを成膜する工程と、保護層44aを結晶化させて高弾性層40aとする第2熱処理工程と、高弾性領域40を形成する工程と、第2前駆体層54aを成膜する工程と、第2前駆体層54aを結晶化させて第2圧電体層50aとする第3熱処理工程と、第2圧電体層50aの上方に第2電極層を成膜する工程と、第2圧電体50および第2電極60を形成する工程と、を含み、第2熱処理工程は、第1熱処理工程および第3熱処理工程よりも低温で熱処理を行う。図2に示すように、第1電極層20aを成膜する工程では、基板10上に、第1電極層20aを成膜する。第1電極層20aは、例えば、スパッタ法、めっき法、真空蒸着法などにより形成される。次に、第1前駆体層34aを成膜する工程では、第1電極層20a上に、第1圧電体30となる第1前駆体層34aを成膜する。第1前駆体層34aは、例えば、ゾルゲル法、CVDChemicalVaporDeposition法、MODMetalOrganicDeposition法、スパッタ法、レーザーアブレーション法などにより形成される。図3に示すように、第1熱処理工程では、第1前駆体層34aを結晶化させるために、第1熱処理を行う。熱処理は、例えば、酸素雰囲気中において、650°C以上800°C以下で行われる。これにより、第1前駆体層34aは、結晶化して第1圧電体層30aとなる。図4に示すように、第1圧電体30および第1電極20を形成する工程では、第1圧電体層30aおよび第1電極層20aをパターニングして、第1圧電体30および第1電極20を形成する。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって行われる。エッチングは、例えば、ICPInductivelyCoupledPlasmaのような高密度プラズマ装置を用いたドライエッチングにより行うことができる。該高密度プラズマ装置ドライエッチング装置において、1.0Pa以下の圧力に設定すると良好にエッチングを行うことができる。エッチングガスとしては、例えば、塩素系ガスとアルゴンガスとの混合ガスを用いることができる。第1圧電体層30aと第1電極層20aとのパターニングは、一括で行われてもよいし、個別に行われてもよい。図5に示すように、保護層44aを成膜する工程では、第1圧電体30および第1電極20を覆うように、保護層44aを成膜する。例えば、第1前駆体層34aと同じ方法で成膜される。保護層44aの厚さは、第1圧電体30および第1電極20を覆っていれば特に限定されず、例えば、500nm程度である。保護層44aとしては、ペロブスカイト型酸化物の圧電材料を用いることができる。より具体的には、保護層44aとしては、第1圧電体30と同様に、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,TiO3:PZT、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,Ti,NbO3:PZTNなどを用いることができる。図6に示すように、第2熱処理工程では、保護層44aを結晶化させるために、第2熱処理を行う。第2熱処理は、例えば、酸素雰囲気中において、500°C以上600°C以下で行われる。これにより、保護層44aは、結晶化して高弾性層40aとなる。第1熱処理工程および後述する第3熱処理工程よりも低温で熱処理を行うことで第1圧電体30および後述する第2圧電体50よりも弾性が高い圧電体が形成される。図7に示すように、高弾性領域40を形成する工程では、高弾性層40aをエッチングエッチバックして、第1圧電体30および第1電極20の側方に、高弾性領域40を形成する。エッチングは、第1圧電体30および基板10が露出するように行われる。エッチングガスとしては、例えば、CF4などのフロン系ガスにアルゴンや酸素を添加した混合ガスを用いることができる。また、圧力を1.0Pa以上で行うと、第1圧電体30の表面の削れる量を少なくできる。図8に示すように、第2前駆体層54aを成膜する工程では、第1圧電体30および高弾性領域40を覆うように、第2圧電体50となる第2前駆体層54aを成膜する。第2前駆体層54aは、例えば、第1前駆体層34aと同じ方法で成膜される。図9に示すように、第3熱処理工程では、第2前駆体層54aを結晶化させるために、第3熱処理を行う。第3熱処理は、例えば、第1圧電体層30aと同じ方法で処理される。第2前駆体層54aは、結晶化して第2圧電体層50aとなる。次に、図示はしないが、第2圧電体50および第2電極60を形成する工程では、第2圧電体層50a上に第2電極層を形成する。第2電極層は、例えば、第1電極層20aと同じ方法で形成される。次に、図1に示すように、図示しない第2電極層および第2圧電体層50aをパターニングして、第2電極60および第2圧電体50を形成する。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって行われる。エッチングは、例えば、第1前駆体層34aおよび第1電極層20aのエッチングと同じ方法で行われる。第2電極層および第2圧電体層50aのパターニングは、一括で行われてもよいし、個別に行われてもよい。以上の工程により、圧電素子100を製造することができる。圧電素子100の製造方法によれば、上述のとおり、高弾性領域40によって、応力を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を得ることができる。3.液体噴射ヘッド次に、実施形態に係る圧電素子が圧電アクチュエーターとして機能している液体噴射ヘッド200について、図面を参照しながら説明する。図10は、液体噴射ヘッド200の要部を模式的に示す断面図である。図11は、液体噴射ヘッド200の分解斜視図であり、通常使用される状態とは上下を逆に示したものである。液体噴射ヘッド200は、圧電素子100を有する。以下の例では、本発明に係る圧電素子として圧電素子100を有する液体噴射ヘッド200について説明する。なお、上述のとおり、圧電素子100が圧電アクチュエーター102として機能する場合、基板10は、可撓性を有し、第1圧電体30および第2圧電体50の動作によって変形する振動板となることができる。液体噴射ヘッド200は、図10および図11に示すように、ノズル孔212が形成されたノズル板210と、流路222を形成するための流路基板220と、圧電素子100圧電アクチュエーター102と、を含む。さらに、液体噴射ヘッド200は、図11に示すように、筐体230を有することができる。なお、図11では、圧電素子100の積層体110第1電極20、第1圧電体30、高弾性領域40、第2圧電体50および第2電極60を含む積層体110を簡略化して図示している。ノズル板210には、図10および図11に示すように、ノズル孔212が形成されている。ノズル孔212からは、インクが吐出されることができる。ノズル板210には、例えば、多数のノズル孔212が一列に設けられている。ノズル板210の材質としては、例えば、シリコン、ステンレス鋼SUSなどを列挙することができる。流路基板220は、ノズル板210上図11の例では下に設けられている。流路基板220の材質としては、例えば、シリコンなどを例示することができる。流路基板220がノズル板210と基板10との間の空間を区画することにより、図11に示すように、マニホールド例えば液体貯留部ともいえる224と、マニホールドと連通する流路222例えば圧力室ともいえると、が設けられている。すなわち、マニホールド224および流路222は、ノズル板210と流路基板220と基板10とによって区画されている。例えば、図11に示すように、マニホールド224と流路222とは、供給口226を介して、連通していてもよい。マニホールド224は、外部例えばインクカートリッジから、基板10に設けられた貫通孔228を通じて供給されるインクを一時貯留することができる。マニホールド224内のインクは、流路222に供給されることができる。流路222は、基板10の変形により容積が変化する。流路222はノズル孔212と連通しており、流路222の容積変化によって、ノズル孔212からインクが吐出される。流路222は、圧電素子100に対応して設けられていることができる。圧電素子100は、流路基板220上図11の例では下に設けられている。積層体110は、圧電素子駆動回路図示せずに電気的に接続され、圧電素子駆動回路の信号に基づいて動作振動、変形することができる。基板10は、積層体110第1圧電体30および第2圧電体50の動作によって変形し、流路222の内部圧力を瞬間的に高めることができる。筐体230は、図11に示すように、ノズル板210、流路基板220および圧電素子100を収納することができる。筐体230の材質としては、例えば、樹脂、金属などを列挙することができる。液体噴射ヘッド200によれば、圧電素子100を有することができる。そのため、液体噴射ヘッド200は、高い信頼性を有することができる。なお、上述した例では、液体噴射ヘッド200がインクジェット式記録ヘッドである場合について説明した。しかしながら、本発明の液体噴射ヘッドは、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED面発光ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどとして用いられることもできる。4.液体噴射装置次に、実施形態に係る液体噴射装置300について、図面を参照しながら説明する。図12は、液体噴射装置300を模式的に示す斜視図である。液体噴射装置300は、本発明に係る液体噴射ヘッド200を有する。以下では、液体噴射装置300がインクジェットプリンターである場合について説明する。液体噴射装置300は、図12に示すように、ヘッドユニット330と、駆動部310と、制御部360と、を含む。さらに、液体噴射装置300は、装置本体320と、給紙部350と、記録用紙Pを設置するトレイ321と、記録用紙Pを排出する排出口322と、装置本体320の上面に配置された操作パネル370と、を含むことができる。ヘッドユニット330は、例えば、上述した液体噴射ヘッド200から構成されるインクジェット式記録ヘッド以下単にヘッドともいうを有する。ヘッドユニット330は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ331と、ヘッドおよびインクカートリッジ331を搭載した運搬部キャリッジ332と、を備える。駆動部310は、ヘッドユニット330を往復動させることができる。駆動部310は、ヘッドユニット330の駆動源となるキャリッジモーター341と、キャリッジモーター341の回転を受けて、ヘッドユニット330を往復動させる往復動機構342と、を有する。往復動機構342は、その両端がフレーム図示せずに支持されたキャリッジガイド軸344と、キャリッジガイド軸344と平行に延在するタイミングベルト343と、を備える。キャリッジガイド軸344は、キャリッジ332が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ332を支持している。さらに、キャリッジ332は、タイミングベルト343の一部に固定されている。キャリッジモーター341の作動により、タイミングベルト343を走行させると、キャリッジガイド軸344に導かれて、ヘッドユニット330が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Pへの印刷が行われる。なお、実施形態では、液体噴射ヘッド200および記録用紙Pがいずれも移動しながら印刷が行われる例を示しているが、本発明の液体噴射装置は、液体噴射ヘッド200および記録用紙Pが互いに相対的に位置を変えて記録用紙Pに印刷される機構であってもよい。また、本実施形態では、記録用紙Pに印刷が行われる例を示しているが、本発明の液体噴射装置によって印刷を施すことができる記録媒体としては、紙に限定されず、布、フィルム、金属など、広範な媒体を挙げることができ、適宜構成を変更することができる。制御部360は、ヘッドユニット330、駆動部310および給紙部350を制御することができる。給紙部350は、記録用紙Pをトレイ321からヘッドユニット330側へ送り込むことができる。給紙部350は、その駆動源となる給紙モーター351と、給紙モーター351の作動により回転する給紙ローラー352と、を備える。給紙ローラー352は、記録用紙Pの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラー352aおよび駆動ローラー352bを備える。駆動ローラー352bは、給紙モーター351に連結されている。制御部360によって給紙部350が駆動されると、記録用紙Pは、ヘッドユニット330の下方を通過するように送られる。ヘッドユニット330、駆動部310、制御部360および給紙部350は、装置本体320の内部に設けられている。液体噴射装置300によれば、液体噴射ヘッド200を有することができる。そのため、液体噴射装置300は、高い信頼性を有することができる。なお、上記例示した液体噴射装置は、1つの液体噴射ヘッドを有し、この液体噴射ヘッドによって、記録媒体に印刷を行うことができるものであるが、複数の液体噴射ヘッドを有してもよい。液体噴射装置が複数の液体噴射ヘッドを有する場合には、複数の液体噴射ヘッドは、それぞれ独立して上述のように動作されてもよいし、複数の液体噴射ヘッドが互いに連結されて、1つの集合したヘッドとなっていてもよい。このような集合となったヘッドとしては、例えば、複数のヘッドのそれぞれのノズル孔が全体として均一な間隔を有するような、ライン型のヘッドを挙げることができる。以上、本発明にかかる液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンターとしてのインクジェット記録装置を説明したが、本発明にかかる液体噴射装置は、工業的にも利用することができる。この場合に吐出される液体液状材料としては、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したものなどを用いることができる。本発明の液体噴射装置は、例示したプリンター等の画像記録装置以外にも、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置、有機ELディスプレイ、FED面発光ディスプレイ、電気泳動ディスプレイ等の電極やカラーフィルターの形成に用いられる液体材料噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機材料噴射装置としても好適に用いられることができる。上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。"