"インナーライナーとして金属膜を有する空気入りタイヤの金属膜の製造方法であって、スパッタリングにより前記金属膜を形成することを特徴とする金属膜の製造方法。インナーライナーとして金属膜を有する空気入りタイヤの製造方法であって、請求項1に記載の方法で前記金属膜を製造する工程を含み、前記スパッタリングをタイヤの成型後かつ加硫前に行うことを特徴とする、空気入りタイヤの製造方法。インナーライナーとして金属膜を有する空気入りタイヤの製造方法であって、請求項1に記載の方法で前記金属膜を製造する工程を含み、前記スパッタリングをタイヤの加硫後に行うことを特徴とする空気入りタイヤの製造方法。前記タイヤのインナーライナーが、ゴム組成物の層の上にスパッタリングにより金属膜を形成してなることを特徴とする、請求項2または3に記載の空気入りタイヤの製造方法。前記タイヤのインナーライナーが、ゴム弾性を有するフィルムの上にスパッタリングにより金属膜を形成してなることを特徴とする、請求項2または3に記載の空気入りタイヤの製造方法。前記タイヤのインナーライナーが、前記金属膜の表面にさらに被膜層を有することを特徴とする、請求項2~5のいずれか一項に記載の空気入りタイヤの製造方法。前記タイヤのインナーライナーは、前記金属膜の表面にさらにエラストマーまたは熱可塑性樹脂からなるフィルムがラミネートされていることを特徴とする、請求項2~6のいずれか一項に記載の空気入りタイヤの製造方法。前記タイヤのインナーライナーは、前記金属膜の表面にさらにエラストマー溶液または熱可塑性樹脂溶液を塗工して前記被膜層が形成されていることを特徴とする、請求項2~6のいずれか一項に記載の空気入りタイヤの製造方法。前記インナーライナーの20°C、65RHにおける空気透過係数が、9.0×10-9cm3/cm2seccmHg以下である請求項2~8のいずれか一項に記載の空気入りタイヤの製造方法。前記ゴム組成物の層またはゴム弾性を有するフィルムの厚さが1mm以下であることを特徴とする請求項4~9のいずれか一項に記載の空気入りタイヤの製造方法。前記ゴム組成物がイソブチレンゴム、ハロゲン化イソブチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エポキシ化天然ゴム、天然ゴム、ブタジエンゴム、スチレン-ブタジエン共重合体およびニトリルゴムから選択される1種以上のゴム成分を含む請求項4および6~10のいずれか一項に記載の空気入りタイヤの製造方法。前記ゴム弾性を有するフィルムがポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリアミドエラストマー、エチレン-ブテン共重合体、スチレン-エチレン-ブチレン-スチレンブロック共重合体SEBS、スチレン-イソプレン-スチレンブロック共重合体SIS、スチレン-イソブチレン-スチレンブロック共重合体SIBSおよびポリ塩化ビニリデンPVDCから選択される1種の材料を含む請求項5~10のいずれか一項に記載の空気入りタイヤの製造方法。請求項2~12のいずれか一項に記載の方法で製造した空気入りタイヤ。ところで、上述の金属層は真空蒸着法により被膜させている。真空蒸着法は一般に、ある一定の空間を10-4~10-2Pa程度の高真空にしなければならず、膨大なエネルギーが必要となる。また、真空蒸着法により得られる金属膜は、高真空が必要なためバッチ式の生産となり生産性に課題がある。以上の点より、真空蒸着法による金属膜の製造は、生産効率の高い方法とは言えない。本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、金属膜および該金属膜を有する空気入りタイヤの、生産性の高い製造方法を提供することを目的とする。本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、金属膜の形成にスパッタリング法を用いることにより金属膜を作製し得ることを見出し、本発明を完成させるに至った。即ち、本発明は、インナーライナーとして金属膜を有するタイヤの金属膜の製造方法であって、スパッタリングにより前記金属膜を形成することを特徴とする金属膜の製造方法を提供する。上述の製造工程を含む空気入りタイヤの製造方法において、前記スパッタリングは、タイヤの成型後かつ加硫前に行われるのが好ましい。また、前記スパッタリングは、タイヤの加硫後に行われるのも好ましい。この順序で行われることにより、延伸性が比較的小さい材料を基材として使用することができるようになる。前記インナーライナーは、ゴム組成物の層の上にスパッタリングにより金属膜を形成してなるのが好ましい。また、前記タイヤのインナーライナーは、ゴム弾性を有するフィルムの上にスパッタリングにより金属膜を形成してなるのも好ましい。前記インナーライナーは、前記金属膜の表面にさらに被覆層を有してもよい。これにより金属膜が変形に対してより一層追随させ、また空気バリア性をさらに向上させることができる。好適な一実施形態においては、前記金属膜の表面にエラストマーや熱可塑性樹脂からなるフィルムをラミネートすることが挙げられ、ラミネートすることで走行後のバリア層の劣化が抑えられ、空気バリア性が向上する。また、好適な別の実施形態においては、前記金属膜の表面にエラストマー溶液または熱可塑性樹脂溶液を塗工して前記エラストマー層が形成される。前記インナーライナーは、20°C、65RHにおける空気透過係数が9.0×10-9cm3/cm2seccmHg以下であることが好ましい。前記ゴム組成物の層またはゴム弾性を有するフィルムの厚さは、1mm以下であることが好ましい。好ましくは、前記ゴム組成物はイソブチレンゴム、ハロゲン化イソブチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エポキシ化天然ゴム、天然ゴム、ブタジエンゴム、スチレン-ブタジエン共重合体およびニトリルゴムから選択される1種以上のゴム成分を含む。好ましくは、前記ゴム弾性を有するフィルムはポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリアミドエラストマー、エチレン-ブテン共重合体、スチレン-エチレン-ブチレン-スチレンブロック共重合体SEBS、スチレン-イソプレン-スチレンブロック共重合体SIS、スチレン-イソブチレン-スチレンブロック共重合体SIBSおよびポリ塩化ビニリデンPVDCから選択される1種の材料を含む。本発明の空気入りタイヤは、上述の空気入りタイヤの製造方法で製造されたことを特徴とする。本発明によれば、金属膜の形成にスパッタリング法を用いることにより、金属膜および該金属膜を有する空気入りタイヤの、生産性の高い製造方法を提供することができる。つまり、スパッタリング法は真空蒸着法よりも高真空が必要とならず、また、スパッタリングによる金属膜被膜はロールごとの連続加工が可能であるので、空気入りタイヤを製作する上での制約条件が緩和され、高効率での製造が可能となる。さらに、スパッタリング法は真空蒸着法よりもターゲット原子の運動エネルギーが大きいため、スパッタリング法によって強固な膜を作製することができ、軽量かつ空気バリア性の高い金属膜が得られる。以下、本発明につき詳述する。本発明は、インナーライナーとして金属膜を有するタイヤの金属膜の製造方法であって、スパッタリングにより前記金属膜を形成することを特徴とする金属膜の製造方法を提供するものである。本発明の空気入りタイヤの製造方法は、通常、成形ドラムに対し、インナーライナー用部材を巻き付け、次にカーカスやトレッドゴム等の各種タイヤ構成材を配置して生タイヤを成形する工程成形工程と、かかる生タイヤを加硫する工程加硫工程とを含む。さらに、本発明の空気入りタイヤの製造方法は、後述の通り、インナーライナーの金属膜をスパッタリングにより形成する工程を含む。この工程は、前記成形工程後かつ加硫工程前に行われるのが好ましい。また、この工程は、加硫工程後に行われるのも好ましい。この順序で行われることにより、延伸性が比較的小さい材料を基材として使用することができるようになる。このような方法としては、例えば、図1に示されるように、金属成分からなる2つのターゲット1,2をチャンバー3内に配設し、チャンバー3内にスパッタリングガスを供給して雰囲気の調整を行い、第1、第2カソード6を介してこれら第1ターゲットおよび第2のターゲット1,2に電力を印加することにより生じるスパッタリング雰囲気主に、第1ターゲットおよび第2のターゲットのスパッタリング面から基材側へ向かう空間に形成される中、チャンバー3内に配設した基材上に金属をスパッタリングすることにより形成することができる。なお、図1中、5は磁石、7はガス導入口、8はガス排気口減圧口、9は基材冶具、10はスイッチングユニット、11,12は交流電源を示す。本発明においてスパッタリングの具体的な方法は、特に制限されず、例えば基材を平行移動させる方法、基材を回転させる方法、またはターゲットを3つ以上配設する方法等、任意のスパッタリングの方法を選択して金属膜を形成することができる。また、ターゲットへの電圧の印加方式は、特に限定されず、必要に応じて基材にバイアス電圧を印加してもよい。その場合、交流、直流いずれのバイアスも可能である。交流の場合はパルスまたは高周波rfが好ましく、直流の場合の印加電圧は-1~1kVの範囲が好ましい。一実施形態においては、上記基材をゴム組成物の層とし、かかるゴム組成物の層の上にスパッタリングにより金属膜を形成する。また、別の実施形態においては、上記基材をゴム弾性を有するフィルムとし、かかるフィルムの上にスパッタリングにより金属膜を形成する。ゴム弾性を有する材料を基材として用いることにより、例えば成形時などに発生する破断やクラックを防止することができる。前記ゴム組成物の層またはゴム弾性を有するフィルムは、軽量性の観点から、厚さが1mm以下であることが好ましい。好適な前記ゴム組成物としては、イソブチレンゴム、ハロゲン化イソブチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エポキシ化天然ゴム、天然ゴム、ブタジエンゴム、スチレン-ブタジエン共重合体およびニトリルゴムから選択される1種以上のゴム成分が挙げられる。ここで、上述のイソブチレンゴムおよびハロゲン化ブチレンゴムはそれぞれ、従来のインナーライナーに使用されるブチルゴムおよびハロゲン化ブチルゴムを構成するものであり、一般的にはイソプレンと共重合している。好適な前記ゴム弾性を有するフィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリアミドエラストマー、ポリエステルエラストマー、エチレン-ブテン共重合体、スチレン-エチレン-ブチレン-スチレンブロック共重合体SEBS、スチレン-イソプレン-スチレンブロック共重合体SIS、スチレン-イソブチレン-スチレンブロック共重合体SIBSおよびポリ塩化ビニリデンPVDCから選択される1種もしくは複数の高分子材料から製造することができる。また、前記ゴム組成物またはゴム弾性を有するフィルムは、単体でも用いることができるが、必要によって有機充填剤、無機充填剤、可塑剤、架橋剤、架橋助剤を好適に含んでもよい。更に、前記ゴム組成物またはゴム弾性を有するフィルムには、例えばパラフィン系、ナフテン系、芳香族系プロセスオイル等のオイルを好適に配合することもできる。上記金属膜の形成においては、ターゲットを、任意の金属の中から選択してもよいが、特には、ターゲットはアルミニウム、クロム、チタン、亜鉛、シリコン、コバルト、ニッケル、銅、銀、タンタル若しくはタングステン又はこれらの合金であることが好ましい。さらに金属酸化物を使用することができ、上記金属の酸化物を被膜することで空気バリア性を向上できる。上記スパッタリングガスは特に制限されず、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスのみを用いることで、金属膜を形成することができる。また、スパッタリングの圧力は、スパッタリングできる圧力であれば特に制限されないが、好ましくは1×10-2~5×102Pa、より好ましくは5×10-2~1×10-1Paである。上記金属膜の厚さは、好ましくは5μm以下、より好ましくは10~200nmの範囲内とする。10nm以下とすると、ピンホールが多発することにより空気バリア性が低下し、一方、200nm以上とすると、タイヤに占めるインナーライナーの重量が増加し、タイヤの軽量効果が低減する。前記インナーライナーは、スパッタリングにより形成した金属膜の表面にさらに被膜層を有してもよい。これにより金属膜が変形に対してより一層追随させ、また空気バリア性をさらに向上させることができる。一実施形態においては、前記金属膜の表面にエラストマーまたは熱可塑性樹脂からなるフィルムがラミネートされる。ここで、かかるラミネートの方法は特に制限されず、当技術分野で周知の接着剤を用いて行ってもよい。また、別の実施形態においては、前記金属膜の表面にエラストマー溶液または熱可塑性樹脂溶液を塗工して前記被膜層が形成される。ここで、エラストマーまたは熱可塑性樹脂を溶解する溶媒は特に制限されず、当技術分野で周知の有機溶媒を用いて溶解してもよい。また、塗工後には乾燥作業が必要となるが、当技術分野で周知の方法で乾燥を行えば足りる。金属膜の表面に付与されるとしては、ポリイソプレンゴムIR、ポリブタジエンゴムBR、ポリクロロプレンゴム、ブタジエン―芳香族ビニル共重合体、ブタジエン―アクリロニトリル共重合体、熱可塑性樹脂としてはポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリアミドエラストマー、ポリエステルエラストマー、エチレン-ブテン共重合体、スチレン-エチレン-ブチレン-スチレンブロック共重合体SEBS、スチレン-イソプレン-スチレンブロック共重合体SIS、スチレン-イソブチレン-スチレンブロック共重合体SIBSおよびポリ塩化ビニリデンPVDC等が挙げられる。また、上記エラストマーまたは熱可塑性樹脂には、必要によって有機充填剤、無機充填剤、可塑剤、架橋剤、架橋助剤を好適に含んでもよい。上述に従って得られるインナーライナーは、空気バリア性の観点から、20°C、65RHにおける空気透過係数が9.0×10-9cm3/cm2seccmHg以下であることが好ましい。比較例1ゴムインナーを用いたタイヤの作製法下記の配合に基づいてゴム組成物を得た。このゴム組成物をインナーライナーとして用いて定法に従ってタイヤを作製した。天然ゴム...50質量部SBR[JSR株製,SBR1712]...68.75質量部GPFN-660カーボンブラック[旭カーボン株製,50S]...43質量部軟化剤[TOP、大八化学工業株製]...50質量部老化防止剤[Nocrac224-S、大内新興化学工業株製]...1.5質量部ステアリン酸[旭電化工業株製]...1.5質量部加硫促進剤[AccelM、川口化学工業株製]...0.5質量部加硫促進剤[AccelCZ、川口化学工業株製]...1質量部酸化亜鉛[ハイテック社製]...4質量部硫黄[軽井沢精錬所製]...2.66質量部比較例2蒸着膜比較例1で得られるゴム組成物に下記条件のに従い、アルミニウムを適宜加熱して蒸着法で金属膜を与えたインナーライナーを得た。このインナーライナーを用いて定法に従ってタイヤを作製した。真空度:3×10-4Torr金属源:アルミニウム実施例1スパッタ膜比較例1で得られるゴム組成物に下記条件のスパッタ法で金属膜を与えたインナーライナーを得た。金属膜の膜厚は巻き取り速度にて調整した。このインナーライナーを用いて定法に従ってタイヤを作製した。雰囲気:アルゴン真空度:5×10-1Torr金属源:アルミニウム5mm厚、1150mm×35mm実施例2スパッタ膜比較例1で得られるゴム組成物に下記条件のスパッタ法で金属膜を与えたインナーライナーを得た。金属膜の膜厚は巻き取り速度にて調整した。このインナーライナーを用いて定法に従ってタイヤを作製した。雰囲気:アルゴン真空度:5×10-1Torr金属源:アルミニウム5mm厚、1150mm×35mm実施例3スパッタ膜ラミネート実施例1で得られた金属膜を与えたゴム組成物に対して下記条件にてポリウレタンフィルム厚さ50μmをラミネートしてインナーライナーを得た。このインナーライナーを用いて定法に従ってタイヤを作製した。ロール温度:120°Cロール回転数:60回転/分タイヤ性能測定法4-1内圧保持性上記タイヤを、リムに装着した後、内圧を240kPaとし、3ヶ月間放置した。3ヶ月後の内圧を測定し、下記式:内圧保持性=240-b/240-a×100[式中、aは試験タイヤの3ヶ月後の内圧kPa、bは比較例1の試験タイヤの3ヶ月後の内圧kPaである]を用いて内圧保持性を評価した。比較例1の値を100として他の値を指数化した。指数値が大きい程、内圧保持性に優れる。4-1走行後の内圧保持性上記タイヤを、室温にて、空気圧140kPaで、80km/hの速度に相当する回転ドラム上に加重6kNで押し付けて10,000km走行させた。そして、走行させたタイヤ試験タイヤを6JJ×15のリムに装着した後、内圧を240kPaとし、3ヶ月間放置した。3ヶ月後の内圧を測定し、下記式:内圧保持性=240-b/240-a×100[式中、aは試験タイヤの3ヶ月後の内圧kPa、bは比較例1の試験タイヤの3ヶ月後の内圧kPaである]を用いて内圧保持性を評価した。比較例1の値を100として他の値を指数化した。指数値が大きい程、内圧保持性に優れる。"