"片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材より剥離させる端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記剥離された保護フィルム端縁部を切掛けとして前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備えたフィルム剥離装置において、前記端部剥離機構は、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを備たことを特徴としてなるフィルム剥離装置。前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備えてなる請求項1に記載のフィルム剥離装置。前記ローラーユニットは、気体噴射ユニットと一体的に形成され、前記ローラーユニット移動手段には、前記気体噴射ユニット移動手段を使用する請求項2に記載のフィルム剥離装置。前記気体噴射ユニット移動手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記気体噴射ユニットを任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えた請求項1、2又は3に記載のフィルム剥離装置。前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより制御された駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記気体噴射ユニットを固定させた請求項4に記載のフィルム剥離装置。板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを有する端部剥離機構及び該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置された本剥離機構を備えてなるフィルム剥離装置を使用し、前記部分剥離手段により前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記気体噴射ユニットより前記切掛け部に向けて気体を噴射させ、且つ気体を噴射させた状態で前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させて前記切掛け部より前記保護フィルムの端縁部全体を前記板状部材より順次剥離させ、しかる後、剥離させた保護フィルム端縁部を切掛けに前記本離機構により前記保護フィルム全体を板状部材より順次剥離させることを特徴としてなるフィルム剥離方法。前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備え、前記ローラーユニットを板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材端縁部表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成する請求項6に記載のフィルム剥離方法。前記ローラーユニットと一体的に形成された気体噴射ユニットを使用し、前記ローラーユニットを前記板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記両圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態を解除させ、しかる後、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる請求項7に記載のフィルム剥離装置。しかしながら、上述の如き従来の技術では、圧接ローラーを基板表面に圧接させた状態でローラーユニットを基板幅方向で移動させるため、圧接ローラーと基板表面部との間に摩擦が生じ、その摩擦により、保護フィルム、フォトレジスト層及び導電層が削られて微細な破片が生じ、この様な微細な破片が基板の汚れや装置の故障の原因となる虞があった。また、上述の如き従来の技術では、ローラーユニットの基板幅方向の移動がシリンダ機構のストローク量に依存し、ローラーユニットの幅方向移動の開始位置及び終端位置が基板幅より外側に位置するため、ローターユニットをシリンダ機構により基板幅方向で移動させた際、圧接ローラーが基板側縁より基板上に乗り上げ又は基板上より脱落し、当該乗り上げ又は脱落の際に基板及び装置に衝撃が生じ、この衝撃により上述した微細な破片を飛散させてしまう虞があった。更には、圧接ローラーが基板上に乗り上げられずに、基板側縁部に接触して基板を曲げてしまう虞があり、更にこのような基板の変形が装置の停止や故障の原因となる虞があった。そこで本発明は、このような従来の問題に鑑み、基板等の板状部材に貼着された保護フィルムの端縁部を剥離させる際に生じる微細な破片等を抑制し、基板等の板状部材の破損及び装置の故障を防止することができるフィルム剥離装置及びフィルム剥離方法の提供を目的としてなされたものである。上述の如き従来の問題を解決し、所期の目的を達成するための請求項1に記載の発明の特徴は、片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材より剥離させる端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記剥離された保護フィルム端縁部を切掛けとして前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備えたフィルム剥離装置において、前記端部剥離機構は、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを備たことにある。請求項2に記載の発明の特徴は、請求項1の構成に加え、前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備えたことにある。請求項3に記載の発明の特徴は、請求項2の構成に加え、前記ローラーユニットは、気体噴射ユニットと一体的に形成され、前記ローラーユニット移動手段には、前記気体噴射ユニット移動手段を使用することにある。請求項4に記載の発明の特徴は、請求項1、2又は3の構成に加え、前記気体噴射ユニット移動手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記気体噴射ユニットを任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えたことにある。請求項5に記載の発明の特徴は、請求項4の構成に加え、前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより制御された駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記気体噴射ユニットを固定させたことにある。請求項6に記載の発明の特徴は、板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを有する端部剥離機構及び該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置された本剥離機構を備えてなるフィルム剥離装置を使用し、前記部分剥離手段により前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記気体噴射ユニットより前記切掛け部に向けて気体を噴射させ、且つ気体を噴射させた状態で前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させて前記切掛け部より前記保護フィルムの端縁部全体を前記板状部材より順次剥離させ、しかる後、剥離させた保護フィルム端縁部を切掛けに前記本離機構により前記保護フィルム全体を板状部材より順次剥離させることにある。請求項7に記載の発明の特徴は、請求項6の構成に加え、前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備え、前記ローラーユニットを板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材端縁部表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成することにある。請求項8に記載の発明の特徴は、請求項7の構成に加え、前記ローラーユニットと一体的に形成された気体噴射ユニットを使用し、前記ローラーユニットを前記板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記両圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態を解除させ、しかる後、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させることにある。本発明に係るフィルム剥離装置は、上述したように、片面又は両面に保護フィルムが貼着された板状部材の前記保護フィルムの端縁部を前記板状部材より剥離させる端部剥離機構と、該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、前記剥離された保護フィルム端縁部を切掛けとして前記保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備えたフィルム剥離装置において、前記端部剥離機構は、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを備えたことにより、気体噴射によるエアナイフ効果により保護フィルム端縁部の剥離を行え、導電層、フォトレジスト層及び保護フィルムからの微細な破片等の発生を抑制し、基板等の板状部材の汚れや装置の故障を防止することができる。また、本発明において、前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備えたことにより、保護フィルム端縁部の一部を好適に板状部材より剥離させることができる。更に本発明において、前記ローラーユニットは、気体噴射ユニットと一体的に形成され、前記ローラーユニット移動手段には、前記気体噴射ユニット移動手段を使用することにより、装置を構成する部品点数を抑えることができ、コストの低減化を図ることができる。更にまた、本発明において、前記気体噴射ユニット移動手段は、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動可能に支持する支持レール部材と、該支持レール部材に沿って前記気体噴射ユニットを任意の位置に移動させる動作ユニットと、該動作ユニットを制御する制御ユニットとを備えたことにより、気体噴射ユニット又はローラーユニットの板状部材幅方向の移動を精密に制御することができる。また本発明において、前記動作ユニットは、板状部材幅方向に向けた軌道部材と、前記制御ユニットにより制御された駆動体と、該駆動体の動作に連動して前記軌道部材上の任意の位置に移動するスライダとを備え、該スライダに前記気体噴射ユニットを固定させたことにより、気体噴射ユニット又はローラーユニットの板状部材幅方向の移動を精密に制御することができる。本発明に係るフィルム剥離方法は、上述したように、板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムの端縁部の一部を前記板状部材より浮き上がらせる部分剥離手段と、前記板状部材の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズルを有する気体噴射ユニットと、該気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段とを有する端部剥離機構及び該端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置された本剥離機構を備えてなるフィルム剥離装置を使用し、前記部分剥離手段により前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記気体噴射ユニットより前記切掛け部に向けて気体を噴射させ、且つ気体を噴射させた状態で前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させて前記切掛け部より前記保護フィルムの端縁部全体を前記板状部材より順次剥離させ、しかる後、剥離させた保護フィルム端縁部を切掛けに前記本離機構により前記保護フィルム全体を板状部材より順次剥離させることにより、保護フィルムの端縁部の大部分を気体噴射によるエアナイフ効果を用いて行うため、基板等の板状部材より生じる微細な破片等の塵の発生を抑え、好適に保護フィルムを剥離させることができる。また、本発明において、前記部分剥離手段は、回転軸を板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー及び回転軸を板状部材幅方向に傾けた傾斜圧接ローラーを板状部材幅方向に並べた配置に有するローラーユニットと、該ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させるローラーユニット移動手段とを備え、前記ローラーユニットは、前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材に圧接させる圧接手段を備え、前記ローラーユニットを板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材端縁部表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成することにより、好適に保護フィルム端縁部の一部分を剥離させることができる。更に本発明において、前記ローラーユニットと一体的に形成された気体噴射ユニットを使用し、前記ローラーユニットを前記板状部材端縁部の任意の位置に移動させ、該任意の位置で前記両圧接ローラーを片面側又は両面側より前記板状部材表面に圧接させ、その状態で前記ローラーユニットを板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させ、前記保護フィルム端縁部の一部を前記板状部材より剥離させて切掛け部を形成した後、前記両圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態を解除させ、しかる後、前記気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させることにより、圧接ローラーが基板等の板状部材に圧接した状態で移動することにより生じる塵を抑制し、基板等の板状部材の汚れや装置の故障を防止することができる。次に、本発明に係るフィルム剥離装置の実施の態様を図1~図6に示した実施例に基づいて説明する。尚、図中符号Aは板状部材である基板、符号1はフィルム剥離装置である。また、ここで板状部材移送方向とは、図1中の右側より左側に向けた作業工程に基づいて板状部材である基板Aを移送させる方向を言い、板状部材幅方向とは、板状部材移送方向と水平方向で交差する方向を言うものとする。基板Aは、絶縁性の基板本体の片面又は両面に積層させた銅箔等からなる導電層の表面に感光性を有するフォトレジスト層が形成され、さらにフォトレジスト層の表面に保護フィルムBが貼着されている。フィルム剥離装置1は、基板Aを移送する板状部材移送機構2を備えるとともに、その板状部材移送方向の上流側に端部剥離機構3を、下流側に本剥離機構4をそれぞれ備え、板状部材移送機構2、端部剥離機構3及び本剥離機構4が図示しない制御ユニットによる命令に基づきシーケンス制御され、同期して動作するようになっている。板状部材移送機構2は、回転軸を板状部材幅方向に向けた複数の案内ローラー5,5を板状部材移送方向に間隔を置いた配置に備え、この案内ローラー5,5を図示しないモータ等からなる駆動手段により回転させるようになっている。また、板状部材移送機構2は、装置フレーム6にエアシリンダ7を介して上下動可能に支持された支持枠8と、支持枠8に回転自在に支持されたピンチローラー9とを備え、エアシリンダ7を動作させてピンチローラー9を基板A上面に圧接させ、案内ローラー5とピンチローラー9との間に基板Aを挟むことにより案内ローラー5による動力が基板Aに伝達され、基板Aが板状部材移送方向に向けて移送されるようになっている。このフィルム剥離装置1では、板状部材移送機構2により基板Aの移送方向前端部が端部剥離機構3に送られ、この端部剥離機構3により基板Aの片面又は両面に貼着された保護フィルムBの端縁部を剥離させた後、基板Aが板状部材移送機構2により本剥離機構4に移送され、剥離させた保護フィルムBの端縁部を切掛けにエアナイフ等からなる本剥離機構4で保護フィルムB全体を順次剥離させるようになっている。端部剥離機構3は、図2に示すように、基板Aを所定の位置に固定するための板状部材固定手段10と、保護フィルムBの端縁部を基板Aより剥離させるフィルム端部剥離手段11とを備え、板状部材移送機構2により送り込まれた基板Aの端部を板状部材固定手段10により所定の位置に固定し、その状態で保護フィルム端縁部をフィルム端部剥離手段11により剥離させるようになっている。板状部材固定手段10は、長手方向を板状部材幅方向に向けた上下で互いに平行に配置された一対の挟持部材12,12と、両挟持部材12,12を互いに近接する位置と離反する位置との間で移動させる上下動ユニット13,13とを備え、両挟持部材12,12間に基板A端部を挟持することにより基板Aを所定の位置で固定するようになっている。各挟持部材12は、長手方向両端部が図示しない上下方向に向けた支持レール部材を介して装置のフレーム6部に移動自在に支持されている。一方、上下動ユニット13には、シリンダ本体部に対し出入自在なシャフト13aを有するエアシリンダ等を使用し、シャフト13a側を互いに対向させて上下に配置された上下一対のエアシリンダ13,13を動作させることによりシャフト先端に連結された両挟持部材12,12が互いに近接する位置と離反する位置との間で移動するようになっている。また、この板状部材固定手段10は、図示しない位置決め手段を備え、この位置決め手段により所定の位置、即ち、後述する上下に配置された圧接ローラー間に基板Aの端縁部が差し込まれる位置で基板Aを停止させ、且つその位置において基板Aの前端縁部より上流側部を両挟持部材12により挟持し、基板Aを固定するようになっている。フィルム剥離手段11は、保護フィルム端縁部の一部を基板Aより浮き上がらせてなる切掛け部を形成する部分剥離手段と、基板の板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズル25を有する気体噴射ユニットと、気体噴射ユニットを板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段18とを備え、部分剥離手段により形成された切掛け部を切掛けとして、気体噴射ユニットで保護フィルムの端縁部全体を基板より順次剥離させるようになっている。部分剥離手段は、圧接ローラー15,16を有するローラーユニット17と、ローラーユニット17を板状部材幅方向で移動させるローラーユニット移動手段とを備えている。このローラーユニット17は、気体噴射ユニットと一体的に形成され、ローラーユニット移動手段には、気体噴射ユニット移動手段18が使用されている。尚、以下の説明においては、ローラーユニットと気体噴射ユニットに同一符号17を付して説明する。ローラーユニット17は、平板状のベース部材19と、ベース部材19の板状部材移送方向手前側面に上下方向で相対移動可能に支持された一対の支持部材20,21とを備え、上下両支持部材20,21の板状部材移送方向手前側面に回転軸角度の異なる2種類の圧接ローラー15,16がそれぞれ回転自在に支持されている。ベース部材19は、縦方向に長い長方形状に形成され、その板状部材移送方向手前側面に上下に向けた一対の丸棒状のスライドガイド部材22,22が板状部材幅方向に間隔を置いた平行配置に固定されている。上下の支持部材20,21は、このスライドガイド部材22,22に上下方向で移動可能にガイドされ、下側支持部材21が受け部23を介してベース部材19に支持されるとともに、上側支持部材20の上面部にベース部材19に固定されたエアシリンダ24のシャフト先端が連結されている。このエアシリンダ24は、両圧接ローラー15,16を基板Aの両面側より基板Aの表面に圧接させる圧接手段を構成し、エアシリンダ24を動作させることにより両支持部材20,21が上下方向で互いに近接する位置と互いに離反する位置との間で相対移動し、両支持部材20,21を互いに近接する方向に移動させることにより両圧接ローラー15,16を両面側より基板Aに圧接させ、両支持部材20,21を互いに離反する位置に移動させることにより両圧接ローラー15,16の基板Aに対する圧接状態が解除できるようになっている。尚、ここで基板Aに対する圧接状態とは、エアシリンダ等の外的加圧手段による積極的に圧力を加えて圧接ローラーを基板Aに接触させた状態をいうものとする。尚、受け部23は、ベース部材19に固定された受け部本体23aと、受け部本体23aに上下方向に向けて螺合された高さ調整ボルト23bとを備え、この高さ調整ボルト23bの上端部が下側支持部材20,21の下面部に当接され、高さ調整ボルト23bを回転させて受け部本体23aに対して上下方向に移動させることによりそれに連動して下側支持部材21の高さ位置を調整できるようになっている。上下各支持部材20,21は、図5に示すように、直方体状のブロック材をもって形成され、板状部材移送方向手前側面部に回転軸15aを板状部材移送方向に向けた標準圧接ローラー15と、回転軸16aが板状部材移送方向手前側を水平方向に傾けた傾斜圧接ローラー16とが回転自在に支持されている。両圧接ローラー15,16は、傾斜圧接ローラー16が一対の標準圧接ローラー15、15間に位置するように板状部材幅方向に直列配置され、両支持部材20,21を互いに近接する位置に移動させることにより、基板Aを挟んで上下側に配置された圧接ローラー15,16、15,16間に基板Aを挟持し、両圧接ローラー15,16が基板A表面保護フィルムB表面に圧接されるようになっている。そして、両圧接ローラー15,16を基板A表面保護フィルムB表面に圧接させた状態でローラーユニット17を板状部材幅方向の所定幅の範囲で移動させることにより、保護フィルムBの端縁部表面に方向の異なる力が作用し、それにより保護フィルムBに歪みを生じさせ、保護フィルム端縁部の一部のみを基板A表面より剥離させて切掛け部を形成するようになっている。一方、ローラーユニット17と一体的に形成された気体噴射ユニット17は、支持部材20,21の両圧接ローラー15,16間にエアノズル25を備え、このエアノズル25より基板Aの板状部材移送方向前縁部に向けて圧縮空気を噴射するようになっている。このエアノズル25は、図6に示すように、金属製筒材を成形加工することにより形成され、円筒状の基部25aの先端側に縦長状にプレスされた形状の噴射部25bを連続配置に備えている。噴射部25bは、内空部の縦方向長さが横方向幅に対して十分大きい縦長形状に形成され、先端開口部が上下方向で互いに先端側中央に向けて傾斜した形状に形成されている。このエアノズル25は、噴射部25b側を斜め下向きに傾けて設置され、噴射口が基板Aの板状部材移送方向前縁部に向けられている。各エアノズル25は、上述の如き縦長形状及び先端側中央に向けて傾斜した先端形状を有する噴射部25bを備えたことにより、上下方向で広角に圧縮空気が噴射されるようになっている。尚、このエアノズル25には、図示しない空気供給手段より供給ホースを通して圧縮空気が供給されるようになっている。一方、ベース部材19の板状部材移送方向奥側面部には、スライド軸受26が固定され、このスライド軸受26を介してベース部材19が気体噴射ユニット移動手段18を構成する支持レール部材27,27に板状部材幅方向に移動自在に支持されている。気体噴射ユニット移動手段18は、長手方向を板状部材幅方向に向けた一対の支持レール部材27,27と、支持レール部材27,27に沿ってベース部材19を任意の位置に任意の速度で移動させる動作ユニット28とを備え、制御ユニットによる命令に基づき動作ユニット28が制御されるようになっている。支持レール部材27,27は、その両端が端部剥離機構3の両側部に設置された支柱29,29に固定部材30を介して固定され、両支柱29,29間に上下で互いに平行配置に架設されている。動作ユニット28は、板状部材幅方向に向けた軌道部材31と、軌道部材31に沿って移動するスライダ32と、制御手段により制御される駆動体33とを備え、スライダ32に気体噴射ユニット17を構成するベース部材19が固定されている。この動作ユニット28では、スライダ軌道部材31内にその長さ方向に向けた図示しないボールねじを備え、このボールねじを駆動体33により回転させることにより、ボールねじを構成するナット部と一体化させたスライダ32が軌道部材31に沿った方向で移動するようになっている。駆動体33には、例えば、サーボモータやパルスモータステッピングモータ等のように回転角度及び回転速度を制御可能なモータ等を使用し、制御ユニットからの命令に基づき駆動体33の回転角度及び回転速度を制御することにより、この駆動体33の回転動作に連動してスライダ32を任意の位置に移動させることができ、また、スライダ32を任意の移動距離、速度、移動往復回数等で移動させることができるようになっている。また、このように気体噴射ユニット17は、制御ユニットからの命令に基づきスライダ32を軌道部材31上の任意の位置に移動させることができるのでローラーユニット移動手段と兼用することができるようになっている。尚、気体噴射ユニット17は、図中実線で示す一方に片寄せた位置、即ち基板A幅より外側に回避した位置を原点位置とし、原点位置においては、気体噴射ユニット17が基板Aの端部剥離機構3から本剥離機構4への移送に阻害しないようになっている。制御ユニットは、動作ユニット28を制御するためのデータを入力するタッチパネル等の入力手段と、入力手段により入力された複数の制御データを記憶する記憶手段とを備え、入力手段により直接入力されたデータに基づいて動作ユニット28を制御でき、また、記憶手段に記憶された複数の制御データから製品製造ロットに応じて選択された制御データに基づいて制御することもできる。また、制御ユニットは、プリント配線基板Aを製造する過程に使用される他の装置、例えば、基板投入機等からのデータを入力する外部入力手段を備え、その外部入力データに基づいてその他の装置と同期させて動作ユニット28を制御できるようになっている。次に、上述の如きフィルム剥離装置を使用したフィルム剥離方法について説明する。尚、上述の実施例と同一の部分には、同一符号を付して説明を省略する。まず、片面又は両面に保護フィルムBが貼着された板状部材である基板Aが装置に投入されると、板状部材移送機構2により基板Aが板状部材移送方向に沿って移送され、基板Aが所定の位置に到達すると図示しない位置決め手段により停止させる。次に、その位置において板状部材固定手段10のエアシリンダ13,13を動作させ、基板A端部を両挟持部材12,12間に挟持して基板Aを所定の位置に固定し、この位置でフィルム端部剥離手段11により保護フィルムの端縁部を基板Aより剥離する。保護フィルムBの端縁部を基板Aより剥離するには、まず、ローラーユニット17を基板A幅より外側の原点位置から基板Aの任意の位置、例えば基板中央部に移動させ、その位置でローラーユニット17の両支持部材20,21を互いに近接方向に移動させ、回転軸角度が異なる2種類の圧接ローラー15,16を基板上下両面側より基板A表面に圧接させる。そして、圧接ローラー15,16を基板表面に圧接させた状態でローラーユニット17を所定幅の範囲で移動させる。この動作により基板A表面に貼着された保護フィルム端縁部に回転角度の異なる2種類の圧接ローラー15,16により方向の異なる力が作用し、それにより基板Aより保護フィルム端縁部の一部を浮き上がらせた切掛け部が形成される。この切掛け部に向けてエアノズル25,25より圧縮空気を噴射させるとともに、両支持部材20,21を互いに離反する方向に移動させて圧接ローラー15,16を基板A表面より離脱させて両圧接ローラー15,16の基板Aに対する圧接状態を解除する。そして、エアノズル25より圧縮空気を噴射させて切掛け部を基点始点にして圧縮空気を保護フィルムBとフォトレジスト層との間に吹き込みつつ基板幅移動方向に向けて順次気体噴射ユニット17を移動させることにより、エアナイフ効果により順次保護フィルム端縁部を剥離する。その際、圧接ローラー15,16が基板Aより離脱した位置にあって基板Aに対する圧接状態が解除されているので保護フィルムB、フォトレジスト層又は導電層を傷つけず、微細な破片の発生も抑制することができる。そして、気体噴射ユニット17を板状部材幅方向全域で移動させ、保護フィルム端縁部全体を基板Aより剥離させた後、気体噴射ユニット17を原点復帰させるとともに、板状部材固定手段10のエアシリンダ13,13を動作させて基板の固定状態を解除し、基板Aを板状部材移送機構2により本剥離機構4に送り出す。そして、本剥離機構4において、端部剥離機構3により剥離された保護フィルムの端縁部を切掛けにして保護フィルムB全体を順次剥離する。尚、上述の実施例では、気体噴射ユニットとローラーユニットとを一体的に備えた構造のものについて説明したが、気体噴射ユニットと部分剥離手段とをそれぞれ独立させた構造であってもよい。更に、上述の実施例では、ローラーユニット移動手段に気体噴射ユニット移動手段を使用した例について説明したが、ローラーユニット移動手段を別個に備えた構造であってもよい。また、上述の実施例では、動作ユニット28がボールねじを備え、このボールねじをサーボモータ等の駆動体33により回転させることにより、ボールねじを構成するナット部と一体化させたスライダ32が軌道部材31に沿った方向で移動するようにしたものについて説明したが、動作ユニット28は、このような構成に限定されるものではなく、例えば、サーボモータ等の駆動体33の回転に連動して動作する駆動ベルトを用いた構造であってもよく、また、モータを使用しないものであっても、制御手段の命令に基づいてスライダ32を軌道部材31上の任意の位置に任意の速度で移動させることができる構造のものであればよい。また、上述の実施例では、両圧接ローラー15,16を基板Aより離反させ、それにより圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態を解除した例について説明したが、圧接ローラーの板状部材に対する圧接状態の解除は、圧接ローラーが基板等の板状部材に接触していても、エアシリンダ等の圧接手段により積極的に圧力を加えて圧接ローラーを基板Aに接触させた状態でなければよい。"