カラーフィルタ基板やタッチパネル基板の欠陥を検査する自動欠陥検査装置であって、基板を搬送する自走コンベアと、搬送された基板表面を照明する照明手段と、照明された基板表面を撮像する撮像手段と、基板上に設けられた特徴点を撮像する特徴点撮像手段と、基板上に設けられた特徴点の設計上の座標値と、特徴点撮像手段によって撮像された特徴点の座標値を比較して、特徴点撮像手段によって得られた座標値を補正する座標補正手段と、撮像手段によって撮像された検査画像を座標補正手段によって得られた座標補正に基づいて画像処理して検査する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする自動欠陥検査装置。特徴点撮像手段によって撮像される特徴点は、少なくとも2個以上であることを特徴とする請求項1に記載の自動欠陥検査装置。座標補正手段は、特徴点撮像手段によって撮像された特徴点の傾きと位置ずれ量を求めることを特徴とする請求項1または2に記載の自動欠陥検査装置。しかしながら、エア浮上搬送方式の搬送装置や上記クランプ搬送方式の搬送装置そのものに多大な設備費用を必要としている。一方、検査費用のコストダウンの目的から搬送装置の設備費用の抑制が望まれている。そこで本発明は、上記エア浮上搬送方式やクランプ搬送方式の搬送装置を用いない、検査費用のコストダウンを可能とする自走コンベア搬送方式の搬送装置を用いた自動欠陥検査装置を提供することを目的とする。そこで本発明の請求項1に係る発明は、カラーフィルタ基板やタッチパネル基板の欠陥を検査する自動欠陥検査装置であって、基板を搬送する自走コンベアと、搬送された基板表面を照明する照明手段と、照明された基板表面を撮像する撮像手段と、基板上に設けられた特徴点を撮像する特徴点撮像手段と、基板上に設けられた特徴点の設計上の座標値と、特徴点撮像手段によって撮像された特徴点の座標値を比較して、特徴点撮像手段によって得られた座標値を補正する座標補正手段と、撮像手段によって撮像された検査画像を座標補正手段によって得られた座標補正に基づいて画像処理して検査する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする自動欠陥検査装置である。本発明の請求項2に係る発明は、特徴点撮像手段によって撮像される特徴点は、少なくとも2個以上であることを特徴とする請求項1に記載の自動欠陥検査装置である。本発明の請求項3に係る発明は、座標補正手段は、特徴点撮像手段によって撮像された特徴点の傾きと位置ずれ量を求めることを特徴とする請求項1または2に記載の自動欠陥検査装置である。本発明の自動欠陥検査装置によれば、搬送装置として自走コンベアを使用するため設備費用を抑制することが出来る。基板搬送中の基板の蛇行や傾きが生じても座標のずれを補正した検査が可能となり、欠陥の存在場所を示す欠陥座標を次工程の欠陥修正装置に正確に伝えることが可能となり、基板の品質保証の向上に寄与し、更に欠陥修正装置の稼働率を向上することが可能となる。以下、図面を参照して本発明に係る自動欠陥検出装置を実施するための形態を説明する。図6は本発明に係る自動欠陥検査装置で検査される基板の一例を示す図である。図6に示される基板110には、特徴点であるアライメントマーク50a、50b、50c、50dが4隅に設けられている。特徴点としてアライメントマークを例示するが、これに限定することなく基板のアライメントマークの他に図示しない、アクセサリーマーク、ダミーフォトスペーサーPS、パターン端部額縁部と素ガラスの境界部などを用いても良い。図7は本発明に係る自動欠陥検査装置を側面から見た概要図である。自動欠陥検査装置は、基板110を矢印51で示す方向に搬送する自走コンベア52と、搬送された基板の表面を照明する照明手段である照明光源53と、照明された基板の表面を撮像する撮像手段である撮像カメラ54と、基板上に設けられた特徴点を撮像する特徴点撮像手段であるレビューカメラ55と、基板上に設けられた特徴点の設計上の座標値とレビューカメラ55によって撮像された特徴点の座標値とを比較して、座標値を補正する座標補正手段である座標補正部56と、撮像手段によって撮像された検査画像を座標補正手段によって得られた座標補正に基づいて画像処理して欠陥を検査する画像処理手段である画像処理部57と、を備えている。図8は図7の本発明に係る照明光源53と、撮像カメラ54と、レビューカメラ55と搬送される基板110の位置関係を示す平面図である。図8aはレビューカメラ1台の場合を示し、図8bはレビューカメラ2台の場合を示す。基板110は矢印58で示す方向に自走コンベア52によって搬送される。図8aの場合は、搬送された基板110は先ず、レビューカメラ55が矢印59で示す方向に移動して、特徴点であるアライメントマーク50aと50cが撮像され、次に照明光源53によって照明された基板の表面が撮像カメラ54によって撮像される。図8bの場合は、搬送された基板110は先ず、レビューカメラ55-1と55-2によって、特徴点であるアライメントマーク50aと50cが撮像され、次に照明光源53によって照明された基板の表面が撮像カメラ54によって撮像される。自走コンベア52は、例えばモータ駆動されるローラーを用いることが出来る。照明光源53は、例えばLEDやハロゲンランプやキセノンランプの光源を用いることが出来、基板110の搬送方向に直交する方向の全幅に対して照明される。撮像カメラ54は、カラーフィルタ基板110の搬送方向と直交する方向の全幅に対してラインセンサーカメラが並べられる。ここで用いられるラインセンサーカメラはモノクロ用で良い。レビューカメラ55は、ラインセンサーカメラでも良いが、アライメントマークだけを撮像すれば良いのでエリアセンサカメラが望ましい。レビューカメラ55によって少なくても2個以上のアライメントマークが撮像されることが必要で、図9に示す破線で囲まれた61-1、61-2、61-3、61-4の内のどれか一組みのアライメントマークが撮像される。搬送された基板110は搬送途中で蛇行や傾きが発生するため、座標補正部56によって基板上に設けられた特徴点の設計上の座標値と、レビューカメラ55によって撮像された特徴点の座標値とを比較して、レビューカメラ55によって得られた座標値が補正される。画像処理部57は、撮像カメラ54で撮像された検査画像を上記補正された座標補正に基づいて画像処理して欠陥の検査を行う。図10に、本発明に係る自動欠陥検査装置の動作フローを示す。事前作業としてレシピ作成を行うS1。設定項目としては、アライメントマークの生画像、アライメントマークの設計上の座標値、アライメントマークの実際の読み取り座標がある。アライメントマークの生画像は、検査対象の基板のアライメントマークの抽出の際に必要となる画像であって、実基板を使用し生画像の画像取得を行う。アライメントマークの設計上の座標値はレビューカメラ55で撮像したアライメントマークと座標を比較する際に必要な座標値である。アライメントマークの実際の読み取り座標はレビューカメラ55がアライメントマークを撮像する場合に必要なアライメントマークの座標を示すものであって、該座標にレビューカメラ55が移動してアライメントマークを読取ることが出来る。次に上流から自動欠陥検査機へ基板が投入されるS2。ステップS1で設定したアライメントマークの実際の読み取り座標へレビューカメラが自動で移動し、画像を取得するS3。ステップS3で取得した画像内から、ステップS1で設定したアライメントマークをもとにパターンマッチング方式利用し、アライメントマークの中心座標を算出するS4。この場合は、一般的に用いられているパターンマッチング法を使うことが出来る。次に傾きと位置補正処理を行い、座標補正値を得るS5。更に撮像カメラ54によって検査画像が撮像されS6、検出した欠陥の座標補正値に基づいて欠陥検査が行われる。この際、欠陥の存在する座標データが出力されるS7。その後、自動欠陥検査機から基板を排出しS8、次の基板の検査のためにステップS2へ移行する。次に座標補正手段について説明する。予め、設計座標の分かっているアライメントマークの座標を登録しておくことにより、設計座標によるアライメントマーク基準の検査座標変換が可能になる。即ち、実際に画像取得した際のアライメントマーク座標と設計上のアライメントマーク座標の差分を求め、基板上のパターンの傾きや位置のずれ量を補正し補正値を検査結果へ反映させる。座標補正について説明する。マーク1例えば図9のアライメントマーク50aの設計上の座標をX1、Y1、マーク2例えば図9のアライメントマーク50cの設計上の座標をX2、Y2とする。基板投入後、上記のアライメントマークの読み取り位置へレビューカメラが自動で移動し、生画像を取得し、その取得した画像内から、既に登録したアライメントマークとパターンマッチング処理により、生画像内のアライメントマークこの場合は、50a-1、50c-1の中心座標から、設計上のアライメントマーク座標とのずれ量を算出する。この場合のマーク1の設計値とのずれ量をΔX1、ΔY1マーク2の設計値とのずれ量をΔX2、ΔY2とする。先ず、基板の傾きを補正するために図11に示す回転補正を行う。設計上の基板傾きΘ0は、Θ0=arctanX1-X2/Y1-Y2}となる。一方、レビューカメラで撮像した実マークの基板傾きΘ1はΘ1=arctan[{X1ΔX1-X2ΔX2}/{Y1ΔY1-Y2ΔY2}]となる。上記より基板の傾きΔΘは基板傾きΔΘ=Θ1-Θ0となる。このΔΘ分、検査結果から回転座標変換をかける。次に、位置ずれ量を補正するため図12に示すXY方向補正を行う。上記の回転補正により、アライメントマーク座標は回転座標変換後のマーク1座標MX1、MY1回転座標変換後のマーク2座標MX2、MY2となる。X方向の補正値は、X方向補正値=MX1-X1となり、Y方向の補正値は、Y方向補正値=MY1-Y1となる。上記基板傾きΔΘ及び上記X方向及びY方向の補正値に基づいて検査することで、精度の高い欠陥検出が出来る。このように本発明による自動欠陥検査装置によれば、上記、回転補正とXY方向補正の両者を行う事で、例え、自走コンベアによって基板が傾いて搬送されたとしても、傾きや位置ずれの修正が可能になり、上記クランプ搬送方式の搬送装置によって搬送した場合と同じように位置再現性や検査精度を得ることが出来る。その結果、自動欠陥検査装置の設備費用を抑えることが可能となる。更に、欠陥修正装置に欠陥の存在する正確な座標を出力することが出来るため欠陥修正装置の稼働率を向上することが可能になる。