"測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第1,第2の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第1,第2の電圧プローブと、所定の上記プローブが取り付けられ、移動機構によりX-Y-Zの任意方向に駆動される第1,第2の可動アームと、上記移動機構を介して上記各可動アームの動きを制御し、かつ、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出する制御部とを備えている回路基板検査装置において、4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられるとともに、上記各同軸ケーブルの外部導体同士が所定の導通手段を介して相互に接続され、上記第1の可動アームのプローブ支持部に、上記第1の電流プローブと上記第1の電圧プローブとが支持され、上記第2の可動アームのプローブ支持部に、上記第2の電流プローブと上記第2の電圧プローブとが支持されており、上記第1の可動アームと上記第2の可動アームのX-Y方向の動きに追従して伸縮する伸縮手段を介して上記第1の可動アームと上記第2の可動アームとの間のほぼ中間位置に支持される同軸ケーブル保持手段により、上記各同軸ケーブルの所定部分が束ねられた状態で保持され、上記各同軸ケーブルの内部導体が、それぞれ変形可能な電気的中継手段を介して対応する上記プローブに接続されていることを特徴とする回路基板検査装置。上記伸縮手段が、対向する2辺にそれぞれ関節状に連結された2本のリンクレバーを含むパンタグラフ構造からなることを特徴とする請求項1に記載の回路基板検査装置。上記伸縮手段が、コイルバネからなることを特徴とする請求項1に記載の回路基板検査装置。上記導通手段として回路基板が用いられ、上記回路基板には、上記各同軸ケーブルの外部導体が剥き出された状態で挿通される4つの挿通孔と、上記各挿通孔の間に形成された上記各外部導体同士を接続する導体パターンとが設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の回路基板検査装置。上記第1の可動アーム側に支持される上記第1の電流プローブおよび上記第1の電圧プローブがともに高電位側で、上記第2の可動アーム側に支持される上記第2の電流プローブおよび上記第2の電圧プローブがともに低電位側であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の回路基板検査装置。上記電気的中継手段として、板バネもしくは金属のリボン箔が用いられることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の回路基板検査装置。したがって、本発明の課題は、X-Y型もしくはフライング型と呼ばれる回路基板検査装置で4端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにすることにある。上記課題を解決するため、本発明は、測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第1,第2の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第1,第2の電圧プローブと、所定の上記プローブが取り付けられ、移動機構によりX-Y-Zの任意方向に駆動される第1,第2の可動アームと、上記移動機構を介して上記各可動アームの動きを制御し、かつ、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出する制御部とを備えている回路基板検査装置において、4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられるとともに、上記各同軸ケーブルの外部導体同士が所定の導通手段を介して相互に接続され、上記第1の可動アームのプローブ支持部に、上記第1の電流プローブと上記第1の電圧プローブとが支持され、上記第2の可動アームのプローブ支持部に、上記第2の電流プローブと上記第2の電圧プローブとが支持されており、上記第1の可動アームと上記第2の可動アームのX-Y方向の動きに追従して伸縮する伸縮手段を介して上記第1の可動アームと上記第2の可動アームとの間のほぼ中間位置に支持される同軸ケーブル保持手段により、上記各同軸ケーブルの所定部分が束ねられた状態で保持され、上記各同軸ケーブルの内部導体が、それぞれ変形可能な電気的中継手段を介して対応する上記プローブに接続されていることを特徴としている。本発明において、上記伸縮手段には、対向する2辺にそれぞれ関節状に連結された2本のリンクレバーを含むパンタグラフ構造もしくはコイルバネが好ましく採用される。また、本発明の好ましい態様によれば、上記導通手段として回路基板が用いられ、上記回路基板には、上記各同軸ケーブルの外部導体が剥き出された状態で挿通される4つの挿通孔と、上記各挿通孔の間に形成された上記各外部導体同士を接続する導体パターンとが設けられる。また、上記第1の可動アーム側に支持される上記第1の電流プローブおよび上記第1の電圧プローブがともに高電位側で、上記第2の可動アーム側に支持される上記第2の電流プローブおよび上記第2の電圧プローブがともに低電位側であることが好ましい。また、上記電気的中継手段として、好ましくは板バネもしくは金属のリボン箔が用いられる。本発明によれば、導通手段により各外部導体同士が相互に接続された4本の各同軸ケーブルが同軸ケーブル保持手段により束ねられた状態で第1の可動アームと第2の可動アームのほぼ中間位置に支持されるようにしたことにより、各可動アームの移動に伴って、第1の可動アーム側に設けられている2本のプローブに対する電気的中継手段と、第2の可動アーム側に設けられている2本のプローブに対する電気的中継手段とがほぼ均等に変形するため、電気的中継手段が許容し得る変形可能な範囲内で、可動アームの動きの自由度が高められる。また、各電気的中継手段が例えば板バネからなる場合、それらにかけられる負荷もほぼ均等になる。次に、図1ないし図7により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。まず、図1aを参照して、本発明の回路基板検査装置の構成を概略的に説明すると、この回路基板検査装置は、X-Y型もしくはフライング型と呼ばれる検査装置で、基本的な構成として、制御部10と、測定部20と、一対の可動アーム31,32と、可動アームの移動機構41,42とを備える。制御部10には、例えばマイクロコンピュータが用いられ、その記憶部には、被検査回路基板A上に存在する被測定試料DUTについての検査プログラムや、良否判定用の基準データ等が設定される。また、制御部10は、測定部20からの測定信号に基づいて、被測定試料DUTのパラメータ例えば、インピーダンスを算出し、好ましくは、その良否判定等を行う。測定部20は、先の図9で説明したように、4端子対法による測定を行うための測定信号源1、電圧検出手段としての電圧計2、電流検出手段としての電流計3および帰還制御回路FC等を備え、この測定には、低電位側の電圧プローブP4を仮想接地とする自動平衡ブリッジ法が適用される。可動アーム31,32は、それらの移動機構41,42によりX-Y-Z方向に駆動される。可動アーム31,32の移動制御信号は、制御部10から移動機構41,42に与えられる。図示しないが、可動アーム31,32のほかに、別の可動アーム例えば、ガードプローブ用の可動アーム等が設けられてもよい。なお、X-Y方向とは、可動アーム31,32が図1に示す被検査回路基板Aの基板面と平行な面に沿って動く方向図1の紙面左右方向を例えばX方向とすれば、図1の紙面と直交する方向がY方向であり、Z方向とは、被検査回路基板Aの基板面と直交する垂直方向図1において上下方向である。検査プローブには、図1bに示す4端子対法による4本のプローブP1~P4が用いられる。このうち、先の図9で説明したのと同じく、P1,P2が被測定試料DUTに対する測定電流径路に含まれる電流プローブで、P3,P4が被測定試料DUTの電圧検出径路に含まれる電圧プローブである。電流プローブP1,P2,電圧プローブP3,P4には、同じ構造のプローブが用いられてよい。なお、説明するうえで、これらの各プローブの区別を必要としない場合には、単にプローブということがある。プローブP1,P2,P3およびP4は、それぞれ同軸ケーブルC1,C2,C3およびC4の各内部導体ILを介して測定部20に接続される。先の図9を参照して、電流プローブP1,P2のうち、電流プローブP1が高電位Hi側で測定信号源1のHc端子に接続され、電流プローブP2は低電位Low側として電流計3のLc端子側に接続される。同様に、電圧プローブP3,P4のうち、電圧プローブP3が高電位側で電圧計2のHp端子に接続され、電圧プローブP4は低電位側として電圧検出系のLp端子側に接続される。同軸ケーブルC1~C4の各内部導体ILは、その各一端がプローブP1~P4の基端b側に接続され、各他端が測定部20に接続されるが、各同軸ケーブルC1~C4の外部導体シールド被覆線S同士は、プローブP1~P4の基端b側付近において例えばリード線5により相互に接続される。同様に、低電位側の同軸ケーブルC2,C4の各外部導体S同士も、プローブP2,P4の基端b側付近においてリード線5により相互に接続されている。本発明では、この4端子対法による測定用のプローブP1~P4を所定方向に移動可能な可動アーム31,32に支持させて、X-Y型の回路基板検査装置で被測定試料DUTのインピーダンス測定を行う。そのため、この実施形態では、図2に示すように、高電位側の電流プローブP1および高電位側の電圧プローブP3を一方の可動アーム32側のプローブ保持部32aに取り付け、低電位側の電流プローブP2および低電位側の電圧プローブP4を他方の可動アーム31側のプローブ保持部31aに取り付ける。なお、この実施形態において、プローブ保持部31a,32aとは、図1に示すように、被検査回路基板Aの基板面とほぼ平行に配向された各可動アーム31,32に含まれるアーム部分である。図3を併せて参照して、本発明では、可動アーム31,32の動きの自由度を高めるため、可動アーム31と可動アーム32のX-Y方向の動きに追従して伸縮する伸縮手段6060L,6060Rを介して可動アーム31と可動アーム32との間のほぼ中間位置に支持される同軸ケーブル保持手段50を備え、この同軸ケーブル保持手段50により、各同軸ケーブルC1~C4の所定部分が束ねられた状態で保持され、各同軸ケーブルC1~C4の内部導体ILが、それぞれ変形可能な電気的中継手段80を介して対応するプローブP1~P4に接続される。この実施形態では、同軸ケーブル保持手段50が、50A,50Bとして上下2段上下2箇所に配置されているが、その構成は同一であるため、一方の同軸ケーブル保持手段50および伸縮手段6060L,6060Rの構成を図3により説明する。なお、図3は図2のA-A線に沿った図であるため下段側のものである。同軸ケーブル保持手段50は、4本の同軸ケーブルC1~C4が挿通されるケーブル保持基板51からなる。この実施形態において、ケーブル保持基板51は円盤状に形成されているが、例えば角盤状に形成されてもよい。材質は合成樹脂等の非磁性体であることが好ましい。また、この実施形態において、同軸ケーブルC1~C4は、四角形の各頂点部分に位置するようにケーブル保持基板51に挿通されているが、横並びもしくは縦並びの一列状としてケーブル保持基板51に挿通されてもよい。伸縮手段60には、一方の可動アーム31およびケーブル保持基板51との間に介在される伸縮手段60Lと、他方の可動アーム32およびケーブル保持基板51との間に介在される伸縮手段60Rとが含まれるが、その構成は、ケーブル保持基板51を挟んで左右対称であるため、一方の伸縮手段60Lについて説明する。なお、伸縮手段60L,60Rを区別する必要がない場合には、総称として伸縮手段60という。この実施形態において、伸縮手段60Lには、対向する2つのリンク辺61,62にそれぞれ関節状に連結された2本のリンクレバー61a,61b;62a,62bを含むパンタグラフ構造が採用されている。一方のリンク辺61側の第1リンクレバー61aと他方のリンク辺62側の第1リンクレバー62aは同じ長さであり、また、一方のリンク辺61側の第2リンクレバー61bと他方のリンク辺62側の第2リンクレバー62bも同じ長さである。この実施形態では、第1リンクレバー61a,62aの長さが第2リンクレバー61b,62bの長さよりも長いが、同じ長さもしくは逆であってもよい。一方のリンク辺61側において、第1リンクレバー61aの一端側は、ヒンジピン61cを介してケーブル保持基板51に連結され、その他端側は、ヒンジピン61dを介して第2リンクレバー61bの一端側に連結されている。第2リンクレバー61bの他端側は、ヒンジピン61eを介して可動アーム31伸縮手段60R側では可動アーム32に連結されている。同様に、他方のリンク辺62側においても、第1リンクレバー62aの一端側は、ヒンジピン62cを介してケーブル保持基板51に連結され、その他端側は、ヒンジピン62dを介して第2リンクレバー62bの一端側に連結されている。第2リンクレバー62bの他端側は、ヒンジピン62eを介して可動アーム31伸縮手段60R側では可動アーム32に連結されている。各同軸ケーブルC1~C4は、下段側の同軸ケーブル保持手段50Bのケーブル保持基板51から引き出された部分において、それらの外部導体シールド被覆線Sが剥き出しとされ、導通手段70により外部導体S同士が相互に導通電気的に短絡される。導通手段70は、図1bに示したようにリード線5であってもよいが、この実施形態では、導通手段70として図4に示す回路基板71を用いている。この回路基板71には、各同軸ケーブルC1~C4の外部導体Sが剥き出された状態で挿通される4つの挿通孔71a~71dと、各挿通孔71a~71dの間に形成された各外部導体S同士を接続する導体パターン72とが設けられている。これによれば、各外部導体Sを導体パターン72に半田付けすればよく、リード線5が不要であることから、容易に各外部導体Sを最短距離で電気的に接続することが可能となる。なお、回路基板71を下段側の同軸ケーブル保持手段50Bのケーブル保持基板51の下面側に一体として配置してもよい。次に、下段側のケーブル保持基板51に支持されている同軸ケーブルC1~C4の各内部導体ILと、可動アーム31,32のプローブ保持部31a,32aに取り付けられている各プローブP1~P4とを接続する電気的中継手段80について説明する。この電気的中継手段80には、可動アーム31,32のX-Y-Z方向への移動に追随して変形可能であることが要求される。ここで、X-Y-Z方向に変形可能とは、柔軟性を有していることはもとより、弾性復元力いわゆるバネ弾性を有していることが望ましい。そこで、この実施形態においては、上記電気的中継手段80として、図5a,bに示すように、少なくとも一部に湾曲部81aを含み、沿面距離が下段側のケーブル保持基板51とプローブ支持部31a,32aとの間隔よりも長い長さを有する例えばリン青銅からなる板バネ81を用いている。なお、上記電気的中継手段80として、板バネ81に代えて、例えばアルミニウム等の金属材からなるリボン箔が用いられてもよい。また、電気配線として一般に用いられている通常のリード線も使用することができる。可動アーム31,32のプロービング時における動作例として、図6aに可動アーム31,32がX方向に沿って互いに近づく方向に移動した場合を、図6bに可動アーム31,32がX方向に沿って互いに離れる方向に移動した場合を、図6cに可動アーム31,32がY方向に沿って互いに離れる方向に移動した場合をそれぞれ示すが、本発明によれば、いずれの場合においても、同軸ケーブル保持手段50は、パンタグラフ構造の伸縮手段60L,60Rを介して可動アーム31,32の間のほぼ中間位置に保持される。したがって、可動アーム31側のプローブP2,P4に接続されている各板バネ81,81と、可動アーム32側のプローブP1,P3に接続されている各板バネ81,81とがほぼ均等に変形するため、各板バネ81が許容し得る変形可能な範囲内で、可動アーム31,32の動きの自由度が高められる。また、各板バネ81にかけられる負荷もほぼ均等になる。なお、伸縮手段60の変形例として、図7に示すように、リンク辺61,62の部分を引っ張りコイルバネ64a,64bとしてもよい。すなわち、同軸ケーブル保持手段50を、左側2本の引っ張りコイルバネ64a,64bおよび右側2本の引っ張りコイルバネ64a,64bの計4本の引っ張りコイルバネにて可動アーム31,32間のほぼ中間位置に保持させてもよい。この場合においても、各引っ張りコイルバネの両端はヒンジピンを介して同軸ケーブル保持手段50もしくは可動アーム31,32側に連結されることが好ましい。さらに簡略化された別の変形例として、図7の鎖線で示すように、引っ張りコイルバネを左右一対の2本とすることもできる。また、電気的中継手段80板バネ81の破損や、その接続部分のはずれ等を防止するうえで、可動アーム31,32との間に、図示しないが、それらの離間距離を所定範囲内に制限する強靱なワイヤ等を掛け渡すことが好ましい。また、一方の可動アームと他方の可動アームとに、それぞれ電流プローブと電圧プローブとを支持させることを前提として、場合によっては、それらの高電位側と低電位側とを入れ替えてもよく、このような態様も本発明に含まれる。"