"蛍光を電気信号に変換する光電変換素子と、アナライトおよび励起光により前記蛍光を発生するハイドロゲルからなるインジケータが乾燥状態で収容されたインジケータ空間の側面を構成するセンサ枠と、前記光電変換素子を覆うように配設された、前記蛍光を透過し前記励起光を遮るフィルタと、前記センサ枠内に配設された、前記励起光を発生する発光素子と、前記センサ枠内に配設された、前記インジケータ空間の下面を構成する、前記発光素子の上に配設された透明中間層と、前記インジケータ空間の上面を構成するとともに、外光および前記励起光を遮り、かつ、前記アナライトを含む体液および気体が通過可能な遮光層と、を具備することを特徴とする蛍光センサ。前記遮光層に前記励起光の波長以下の外寸の貫通孔があることを特徴とする請求項1に記載の蛍光センサ。前記遮光層が、貫通孔のある複数の層が、前記体液および前記気体が通過可能な中間層または空間を介して、積層された構造であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の蛍光センサ。前記遮光層が、多孔質からなることを特徴とする請求項1に記載の蛍光センサ。前記センサ枠が、気体が通過可能であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の蛍光センサ。前記センサ枠が、多孔質からなることを特徴とする請求項5に記載の蛍光センサ。前記遮光層が、前記体液が前記インジケータ空間に進入可能な親水性部と、前記インジケータ空間の気体を排出可能な疎水性部と、からなることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の蛍光センサ。前記インジケータが、前記インジケータ空間を構成する面の少なくともいずれかの一部と固定されることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の蛍光センサ前記インジケータ空間に、気体を収容する気体収容部を有することを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の蛍光センサ。前記インジケータが前記体液を吸収し膨潤すると、前記インジケータ空間の気体が、外部に排出されることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の蛍光センサ。生体内に留置され、含水した前記インジケータが発生する前記蛍光の強度をもとに、前記体液のアナライト濃度を継続して測定することを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の蛍光センサ。本発明は、正確な測定が可能な蛍光センサを提供することを目的とする。本発明の一態様の蛍光センサは、蛍光を電気信号に変換する光電変換素子と、アナライトおよび励起光により前記蛍光を発生するハイドロゲルからなるインジケータが乾燥状態で収容されたインジケータ空間の側面を構成するセンサ枠と、前記光電変換素子を覆うように配設された、前記蛍光を透過し前記励起光を遮るフィルタと、前記センサ枠内に配設された、前記励起光を発生する発光素子と、前記センサ枠内に配設された、前記インジケータ空間の下面を構成する、前記発光素子の上に配設された透明中間層と、前記インジケータ空間の上面を構成するとともに、外光および前記励起光を遮り、かつ、前記アナライトを含む体液および気体が通過可能な遮光層と、を具備する。本発明によれば、正確な測定が可能な蛍光センサを提供できる。<第1実施形態>本発明の第1実施形態の蛍光センサ20は、被検体の体液中のグルコースを検出する。図3および図4に示すように、蛍光センサ20は、基板11と、フィルタ13と、発光素子14と、透明中間層15と、インジケータ19と、遮光層28と、が順に積層された構造である。インジケータ19が内部に収容されているインジケータ空間16は、下面が透明中間層15であり、上面が遮光層28であり、側面がセンサ枠17である。インジケータ空間16の形状は直方体四角柱状であるが、円柱状、または多角柱状等であってもよい。基板11は、蛍光Fを電気信号に変換する光電変換素子であるフォトダーオード素子以下PD素子という12を有する。PD素子12を覆うように配設されたフィルタ13は、蛍光Fを透過し励起光Eを遮る。フィルタ13の上に配設された発光素子14は、励起光Eを発生する。インジケータ19は、励起光Eと遮光層28を通過して進入したアナライト2とにより蛍光Fを発生する蛍光色素を有するハイドロゲルからなる。蛍光センサ20ではグルコースがアナライト2である。蛍光センサ20では、発光素子14が発生した励起光Eは効率良くインジケータ19に照射される。さらに、蛍光センサ20では、インジケータ19が発生した蛍光Fの一部は、PD素子12およびフィルタ13を通過してPD素子12に入射する。このため、蛍光センサ20は、既に説明した従来の蛍光センサ110よりも高感度である。そして、発明者は、ハイドロゲルを用いた蛍光センサの特性の使用前経時変化が、ハイドロゲルインジケータが乾燥状態では発生しないことを見出した。すなわち、インジケータを使用前は乾燥状態とし、使用開始時に含水状態とすると、長期保管しても、使用時の蛍光センサの特性は安定している。このため、蛍光センサ20では、インジケータ19は使用前には乾燥状態である。すなわち、使用前には、インジケータ空間16は、乾燥状態のインジケータ19と気体等の気体とで占められている。そして、図5に示すように、使用開始時に体内に挿入されると、インジケータ19は、遮光層28を介して、血液等の体液、すなわち水を吸収し膨潤する。なお、体内に挿入前に、蛍光センサ20を生理食塩水等に浸積して、予めインジケータ19を膨潤しておいてもよい。しかし、アナライトを含む体液によりインジケータ19を膨潤した方が、より早く安定した測定状態となるために、好ましい。蛍光センサ20は体内に挿入後、所定期間、例えば、1週間、継続してアナライト濃度を測定可能である。しかし、蛍光センサ20を体内に挿入しないで、採取した体液、または体外の流路を介して体内と循環する体液を、体外において蛍光センサ20と接触させてもよい。次に、蛍光センサ20の構成要素について詳細に説明する。基板11は、PD素子12を有する。基板としては、半導体製造技術により基板にPD素子12を形成する場合にはシリコン等の半導体基板が適しているが、PD素子12の製造方法または配設位置によってはガラス基板等でもよい。また、光電変換素子として、フォトコンダクタまたはフォトトランジスタ等を用いてもよい。フィルタ13は、受光部であるPD素子12を覆うように配設されている。フィルタ13は、フィルタ13の上に配設された発光素子14が発生する例えば波長375nmの励起光Eを遮断するが、インジケータ19が発生する波長460nmの蛍光Fは透過する。フィルタ13は、多重干渉型フィルタでもよいが、好ましくは、光吸収型フィルタであり、例えばシリコン、炭化シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン、もしくは有機材料等からなる単層層、または、前記単層層を積層してなる多層層である。なお、フィルタ13は、例えば酸化シリコンまたは窒化シリコン等からなる透明保護層を介してPD素子12上に配設されていてもよい。しかし、保護層の側面からの光の進入を防止するために、フィルタ13はPD素子12にできるだけ近接して配設するのが好ましい。またPD素子12とフィルタ13との間に空間があると光学的なロスが生じ透過率が低下する。このため、フィルタ13はPD素子12に密着した状態で配設されていることが特に好ましい。発光素子14としては、LED素子、有機EL素子、無機EL素子、またはレーザーダイオード素子等の所望の励起光Eを発光する発光素子の中から、蛍光Fを透過する素子が選択される。そして、発光素子14としては、蛍光透過率、光発生効率、励起光Eの波長選択性の広さ、および励起作用のある波長以外の光を僅かしか発生しないこと等の観点から、LED素子が好ましい。さらにLED素子の中でも、蛍光Fの透過率が高いサファイア基板上に形成された窒化ガリウム系化合物半導体よりなる紫外LED素子が、特に好ましい。発光素子14の上に配設された透明中間層15には、電気的絶縁性と、水分遮断性と、励起光Eおよび蛍光Fに対する光透過率等と、が良好なことが要求される。さらに、透明中間層15の特性としては、励起光Eが照射されても蛍光Fの発生が小さいこと、つまり自己蛍光を発しにくいことが重要である。透明中間層15には、石英、ガラス、シリコーン樹脂、または透明非晶性フッ素樹脂が好ましく用いられ、中でもシリコーン樹脂または透明非晶性フッ素樹脂が特に好ましい。インジケータ19は、アナライト2および励起光Eにより、励起光Eよりも長波長の蛍光Fを発生する蛍光色素を有するハイドロゲルからなる。すなわちインジケータ19は、試料中のアナライト濃度に応じた光量の蛍光Fを発生する蛍光色素が含まれる、励起光Eおよび蛍光Fが良好に透過するハイドロゲルから構成されている。なお、インジケータ19が蛍光色素を含まず、蛍光Fを発生する蛍光色素が溶液中に存在するアナライト2そのものでもよい。ハイドロゲルは、メチルセルロースもしくはデキストラン等の多糖類、アクリルアミド、メチロールアクリルアミド、ヒドロキシエチルアクリレート等のモノマーを重合して作製するアクリル系ハイドロゲル、またはポリエチレングリコールとジイソシアネートから作製するウレタン系ハイドロゲル等の水を含みやすい材料に蛍光色素を内包することにより形成されている。ハイドロゲルは、遮光層28を介してセンサ外に離脱することがない大きさであることが好ましい。このため、ハイドロゲルは、構成する分子が分子量100万以上であるか、または遮光層28が有孔構造の場合には、その孔径以上の例えば径50nm以上の粒子状であるか、または架橋され流動しない形態であることが好ましい。一方、蛍光色素としては、グルコース等の糖類を測定する場合には、蛍光残基を有するフェニルボロン酸誘導体等が適している。蛍光色素は、高分子量材料としたり、または、ハイドロゲルに化学的に固定したりすることにより、センサ外に離脱することが防止されている。蛍光色素と、ゲル骨格形成材と、重合開始剤と、を含むリン酸緩衝液を、窒素雰囲気下で1時間放置し、重合することにより、インジケータは作製される。例えば、蛍光色素としては、9、10-ビス[N-[2-5,5-ジメチルボリナン-2-イルベンジル]-N-[6‘-[アクリロイルポリエチレングリコール-3400カルボニルアミノ]-n-ヘキシルアミノ]メチル]-2-アセチルアントラセンF-PEG-AAmを、ゲル骨格形成材としては、アクリルアミドを、重合開始剤としては、ペルオキソ二硫酸ナトリウムおよびN、N、N’、N‘-テトラメチルエチレンジアミンを用いる。なお、重合が完了したインジケータ19は含水状態であるために、所定の乾燥状態となるまで乾燥された後、蛍光センサ20は、完成品となる。乾燥状態のインジケータ19は経時変化が少ないために、蛍光センサ20は、長期間、保管しても、使用時の感度等の特性が変化しない。遮光層28は、インジケータ19が収容されるインジケータ空間16の上面を形成し、励起光Eおよび蛍光Fが蛍光センサの外部へ漏光するのを防止すると同時に、外光が蛍光センサの内部に進入することを防止する。また、遮光層28は、生体適合性を有するとともに、アナライト2を含む体液の通過を妨げないように基本構造部は親水性である。さらに、図7に示すように、遮光層28は、遮光層28を貫通する複数の貫通孔23を備えている。貫通孔23は、アナライト2を含む体液がインジケータ空間16に進入する進入経路であるとともに、インジケータ19が膨潤したときに、インジケータ空間16の気体を外部へ排出するための排出経路である。すなわち、遮光層28はアナライトを含む体液および気体が通過可能である。貫通孔23の大きさ、形状、位置、および形成密度は、仕様により適宜、選択される。例えば、貫通孔23を上面から観察したときの開口部の形状は、円形、矩形、または多角形等のいずれでもよい。ここで、励起光Eおよび蛍光Fが蛍光センサ20の外部へ漏光するのを防止するために、貫通孔23のサイズの上限値すなわち開口部の最大サイズは、励起光の波長以下とすることが好ましい。一方、貫通孔23のサイズの下限値は、アナライト2が通過できる大きさ以上である。このため、貫通孔23の寸法は、例えばグルコースを検出する場合には、1nm~350nmが好ましく、より好ましくは10nm~350nm、さらに好ましくは100nm~300nmである。なお、貫通孔23のサイズとは孔の開口の最大長であり、開口が円形の場合は直径であり、電子顕微鏡写真から算出した平均値である。遮光層28は、メンブレンフィルタと同様の構造であるが、例えば、シリコン板またはシリコン膜等に、貫通孔23をパターニング形成することにより作製される。具体的には、貫通孔23は、シリコン板等の表面にフォトリソグラフィによりエッチングマスクを形成した後に、ICP-RIE等のドライエッチングにより作製される。遮光層28の作製には、マイクロドリルによる機械加工法、または、金型等による成形法等を用いてもよいし、アルミニウムを素材とし陽極酸化法により表面に微細凹部を形成した後に裏面側から研磨加工してもよい。遮光層28の材料も、金属材料、またはフッ素樹脂等の樹脂材料等を用いてもよい。センサ枠17は、センサ本体を保護する機能と、遮光機能、すなわち、外光の進入を防止し、センサ内からセンサ外への光の漏れを防止する機能と、を有する。センサ枠17はセンサ本体を保護するために、高剛性材料を用いて作製される。センサ枠17には、ヤング率が数十GPaから数百GPaのシリコン、ガラスもしくは金属等、または、ヤング率が1GPa~5GPaの程度のポリプロピレンもしくはポリスチレン等の樹脂材料を用いる。なお、遮光機能向上のため、ガラスまたは樹脂材料を用いる場合には、黒色とする。なお、後述するように、基板11の加工により基板の一部からセンサ枠17を作製してもよい。以上の説明のように、蛍光センサ20では、乾燥状態のインジケータ19は、インジケータ空間16に収容されている。なお、インジケータ空間16の容量は、膨潤したインジケータ19の容量と略同一、例えば、膨潤したインジケータ19の容量の100~110である。つまり、図6に示すように、膨潤したインジケータ19によりインジケータ空間16は満たされる。すなわち、インジケータ19はインジケータ空間16の形状に膨潤する。インジケータ空間16のサイズは、例えば、発光素子14として市販の小型LEDサイズ:0.12×0.06mmを用いる場合、0.20×1.00mm、深さ0.05mm程度である。このようなインジケータ空間16は、後述するように、半導体製造技術を用いて容易に製作できる。次に、蛍光センサ20の使用開始時の変化について説明する。既に説明したように、蛍光センサ20では、使用前には、インジケータ19は乾燥状態でインジケータ空間16に収容されている。このため、蛍光センサ20は長期保存が可能である。そして、ハイドロゲルつまりインジケータ19が乾燥状態の蛍光センサ20が、使用のために、検体内に挿入されると、体液等と接触し、インジケータ19は体液を吸水し膨張する。すなわち、図6に示すように、蛍光センサ20では、遮光層28が体液と接触すると、体液はアナライト2とともに、貫通孔23を通ってインジケータ空間16のインジケータ19ハイドロゲルに吸収される。インジケータ19の膨潤とともにインジケータ空間16の気体は、貫通孔23から外部に気泡として排出される。そして、図7に示すように、インジケータ空間16から気体が完全に外部に排出されると、インジケータ空間16はアナライト2を含む体液により膨潤したインジケータ19で充填される。すなわち、空気等の気体はインジケータ空間16には存在しなくなる。蛍光センサ20では、インジケータ空間16から気体が完全に排出され、体液により膨潤したインジケータ19によりインジケータ空間16が満たされる。すなわち、残留気体がないため、インジケータ空間16が均一の状態となり、表面反射率、光散乱または透過率の局部的な変化はなく、さらに残留気体が、インジケータ19が発生する蛍光Fの検出領域PD素子12への入射を乱すこともない。また、残留気体が、インジケータ19が発生する蛍光Fの強度に悪影響を与えることもない。このため、インジケータ空間16の下にある、PD素子12は、蛍光強度すなわちアナライト濃度を精度良くかつ高感度に検出可能である。また、蛍光センサ20では、インジケータ19は使用開始直前まで乾燥状態であるために、経時劣化することがない。このため、蛍光センサ20は、正確なアナライト濃度の測定が可能である。次に、図8のフローチャートに沿って、蛍光センサ20の製造方法を簡単に説明する。<ステップS10>基板作製工程基板11に、蛍光を電気信号に変換するPD素子12が半導体製造技術により作製される。<ステップS11>フィルタ配設工程PD素子12を覆うように、蛍光を透過し励起光を遮る、光吸収型のフィルタ13が配設される。必要に応じて酸化シリコン等からなる透明保護層がフィルタ13上に配設される。<ステップS12>センサ枠配設工程PD素子12が内部に配置されるように、センサ枠17が基板11上に配設される。<ステップS13>発光素子配設工程励起光を発生する発光素子14が、センサ枠17内に配設される。なお、発光素子14を配設後にセンサ枠17を配設してもよい。<ステップS14>透明中間層配設工程センサ枠17の内部、すなわち、前記発光素子14の上に、透明非晶性フッ素樹脂からなる透明中間層15が配設される。<ステップS15>インジケータ配設工程センサ枠17内に、蛍光分子とアクリルアミドと重合開始剤とを含むリン酸緩衝液が満たされる。<ステップS16>遮光層配設工程貫通孔を形成した遮光層28がセンサ枠17に接合されることにより、インジケータ空間16が密閉される。そして、窒素雰囲気下で1時間放置することにより、インジケータ空間16内のハイドロゲルが重合し、インジケータ19が作製される。<ステップS17>乾燥工程作製されたインジケータ19は含水状態であるために、蛍光センサ20は洗浄後、インジケータ19が所望の含水量以下となるまで乾燥される。乾燥によりインジケータ19は収縮し、体積がインジケータ空間16の例えば50以下になる。なお、シリコンウエハに複数のPD素子12を形成し、それぞれのPD素子12に、フィルタ13、センサ枠17、発光素子14、透明中間層15、インジケータ19、および遮光層28を配設し、乾燥処理後に、切断し個片化することにより、複数の蛍光センサ20を一括して製造してもよい。本実施形態の蛍光センサの製造方法によれば、正確なアナライト濃度の測定が可能な蛍光センサ20を製造できる。<第2実施形態、第3実施形態>次に、第2実施形態の蛍光センサ20Aおよび第3実施形態の蛍光センサ20Bについて説明する。蛍光センサ20A、20Bは、蛍光センサ20と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。蛍光センサ20A、20Bは、遮光層が、蛍光センサ20の遮光層28と異なる。図9に示すように、蛍光センサ20Aの遮光層38は、アナライトを含む水溶液である体液および気体が通過可能な空間38Cを介して、貫通孔23のある2つの遮光層38A、38Bが、積層された構造である。そして、遮光層38Aと遮光層38Bとは、それぞれの貫通孔が互い違いに配置されるように積層されている。貫通孔が互い違いの積層構造の遮光層38は、外光、励起光および蛍光を効率的に遮るとともに、アナライトを含む体液および気体が通過可能である。なお、遮光層38は、2層の遮光層38A、38Bを積層しているが、3層以上の遮光層を積層してもよい。また空間38Cに替えて、アナライトを含む水溶液である体液および気体が通過可能な、例えば多孔質を用いてもよい。遮光層38の貫通孔の大きさは、遮光層28と異なり励起光の波長を超えてもよい。大きな開口の貫通孔のある遮光層であっても、貫通孔が互い違いの積層構造であれば、良好な遮光性を有するからである。特に、空間38Cの厚さを励起光の波長より小さく、かつアナライトの大きさより大きい積層遮光層は、アナライトが通過可能で、かつ、非常に良好な遮光性を有する。次に、図10に示すように、蛍光センサ20Bの遮光層48は、アナライトを含む水溶液である体液および気体が通過可能な多孔質からなる。遮光層48は、例えば、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、もしくはシリコーンゴム等からなるカーボンブラック等を含んで黒色とした疎水性多孔質、または、カーボンファイバーで作製した織物等からなる遮光性のある疎水性多孔質等からなる。なお、多孔質とは構造中に外部と接続された空隙およびと気孔をもつ材料を意味する。空隙/気孔の、大きさ、分布および形状は、体液および気体が通過可能であれば、規則性を有している必要はなく、選択可能である。なお、多孔質とは構造中に外部と接続された空隙およびと気孔をもつ材料を意味する。空隙/気孔の、大きさ、分布および形状は、アナライトを含む体液および気体が通過可能であれば、規則性を有している必要はなく、適宜選択可能である。遮光層48の開気孔率は5~75体積が好ましく、特に好ましくは20~50体積である。前記範囲以上であれば、体液および気体が通過しやすく、前記範囲以下であれば所望の機械的強度が得られる。なお、開気孔率は、アルキメデス法により測定した値である。蛍光センサ20Aおよび20Bは、蛍光センサ20と同様の効果を有し、かつ遮光層の作製が容易である。<第4実施形態>次に、第4実施形態の蛍光センサ20Cについて説明する。蛍光センサ20Cは蛍光センサ20と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。蛍光センサ20Cでは、センサ枠17Yが、気体が通過可能である。センサ枠17Yは、疎水性および遮光性を有する材料、例えばカーボン多孔質等、からなることが、特に好ましい。図11に示すように、蛍光センサ20Cでは、親水性の遮光層28を介してインジケータ空間16に体液が進入し、インジケータ19が膨張すると、センサ枠17Yからインジケータ空間16の気体が排出される。すなわち、蛍光センサ20Cでは、生体内に挿入され、遮光層28が体液と接触すると、アナライト2を含む体液は、遮光層28を通ってインジケータ空間16のインジケータ19ハイドロゲルに吸収される。一方、疎水性のセンサ枠17Yは体液と接触しても体液が進入することはなく、気体の排出経路として確保されている。蛍光センサ20Cは、蛍光センサ20が有する効果を有し、さらにアナライトを含む体液をインジケータ空間16へ効率的に取り込むことができるとともに、インジケータ空間16の気体を外部に効率的に排出できる。<第5実施形態>次に、第5実施形態の蛍光センサ20Dについて説明する。蛍光センサ20Dは蛍光センサ20と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。図12に示すように、蛍光センサ20Dの遮光層28は、体液がインジケータ空間に進入可能な親水性部28Aと、インジケータ空間16の気体を排出可能な疎水性部28Bと、からなる。疎水性部28Bは、PD素子12の周辺部の上、すなわち遮光層28のエッジ部、にある。疎水性部28Bの作製では、例えば、シリコン基板にアナライトが通過可能な貫通孔を形成した後、全面にシランカップリング剤を塗布して疎水性とする。続いて、親水性部28Aにする領域に、真空紫外光照射を行うと、シランカップリング剤が分解するため親水性となる。蛍光センサ20Dでは、生体内に挿入され、遮光層28が体液と接触すると、アナライト2を含む体液は、疎水性部28Bを通ってインジケータ空間16のインジケータ19ハイドロゲルに吸収される。一方、疎水性部28Bは体液と接触しても体液が進入することはなく、気体の排出経路として確保されている。蛍光センサ20Dは、蛍光センサ20が有する効果を有し、さらにアナライトを含む体液をインジケータ空間16へ効率的に取り込むことができるとともに、インジケータ空間16の気体を外部に効率的に排出できる。<第6実施形態>次に、第6実施形態の蛍光センサ20Eについて説明する。蛍光センサ20Eは蛍光センサ20と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。図13に示すように、蛍光センサ20Eでは、インジケータ19は、インジケータ空間16の上面を構成する遮光層28の一部結合領域28Cおよびインジケータ空間16の側面を構成するセンサ枠17の一部結合領域17Cと固定されている。このため、インジケータ空間16における乾燥したインジケータ19の位置は常に同じである。アナライトを含む体液が遮光層28を介してインジケータ空間16に進入すると、吸水したインジケータ19は、常に図14に示すように膨張していく。すなわち、乾燥状態で遮光層28の結合領域28Cおよびセンサ枠17の結合領域17Cと固定されているインジケータ19は、常に同じように膨潤する。このため、インジケータ空間16にあった気体はインジケータ空間16から効率的に外部に放出され、少なくともインジケータ空間16の中央部に残ることがない。このため、インジケータ空間16の中央部の下にあるPD素子12は、蛍光強度すなわちアナライト濃度を精度良くかつ高感度に検出可能である。遮光層28およびセンサ枠17と、インジケータ19との接合には、接着剤を用いてもよいし、信頼性および製造工程の簡略化の観点から、共有結合を介した接合を用いてもよい。なお、遮光層28とインジケータ19との接合においては、遮光層28の貫通孔等に重合前のハイドロゲルインジケータ19が入り込むことにより、物理的アンカー効果により高い接合強度を得ることができる。また貫通孔内にインジケータ19の一部が入り込んでいると、貫通孔から進入した体液がインジケータ19に吸収されやすい。すなわち、蛍光センサを体内に挿入してから安定した測定が可能となるまでの時間を短縮できる。蛍光センサ20Eは、蛍光センサ20が有する効果を有し、より正確なアナライト濃度の測定が可能である。<第7実施形態>次に、第7実施形態の蛍光センサ20Fについて説明する。蛍光センサ20Fは、蛍光センサ20と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。図15に示すように、蛍光センサ20Fは、インジケータ空間16に、気体収容部22を有する。気体収容部22は、光の散乱等の影響を生じにくいインジケータ空間16のエッジ部に配設されており、インジケータ19の膨張により押し出された気体を収容する。気体収容部22は、例えば、シリカもしくはシリコンからなる多孔質、または活性炭等をシランカップリング剤により疎水性にしたブロックである。蛍光センサ20Fでは気体が、インジケータ空間16のエッジ部の気体収容部22に収容されるために、インジケータ空間16の中央部、すなわちPD素子12の上に気体が残留することがない。またインジケータ19が発生した蛍光は気体収容部22の壁面に反射されてPD素子12に入射する。すなわち、気体収容部22の表面が、蛍光を反射するように貫通孔のある金属膜等で覆われていると、より多くの蛍光がPD素子12に入射するため、蛍光センサの検出感度が高い。<第8実施形態>次に、第8実施形態の蛍光センサ20Gについて説明する。蛍光センサ20Gは、蛍光センサ20Dおよび20Eと類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。図16に示すように、蛍光センサ20Gの遮光層28は、親水性部28Aと疎水性部28Bと、からなる。そして、インジケータ19は、親水性部28Aの結合領域28Cと、センサ枠17の結合領域17Cと、に固定されている。蛍光センサ20Gでは、生体内に挿入され、遮光層28が体液と接触すると、アナライト2を含む体液は、親水性部28Aを通ってインジケータ空間16のインジケータ19ハイドロゲルに吸収される。吸水すると、インジケータ19は結合領域28Cと結合領域17Cと、に固定されているために、常に同じように膨張する。一方、疎水性部28Bは体液と接触しても体液が進入することはなく、気体の排出経路として確保されている。蛍光センサ20Gは、蛍光センサ20Dおよび20Eが、それぞれ有する効果を合わせて有する。<第9実施形態>次に、第9実施形態の蛍光センサ20Hについて説明する。蛍光センサ20Hは、蛍光センサ20等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。図17に示すように、蛍光センサ20Hでは、シリコン等の半導体からなる基板11Hに形成された凹部の4側面にPD素子12Hが形成され、凹部の底面に発光素子14が配設されている。なお、凹部の開口面は底面よりも広く、側面は、底面に対して垂直ではなく所定の角度θで傾斜している。なお、凹部となる額縁形状のセンサ枠基板と平面基板とを接合することにより、凹部を有する基板11Hが作製されていてもよい。また、PD素子12Hおよびフィルタ13Hを覆う透明中間層15Hからなる凹部の中央部に乾燥したインジケータ19が配設されている。そして、中央部に疎水性部28Bを、周辺部に親水性部28Aを有する遮光層28が、インジケータ空間16Hの上面を形成している。さらに、インジケータ空間16Hの中央部の上面には、疎水性部28Bに接して気体収容部22Hが配設されている。図17に示すように、乾燥したインジケータ19は、透明中間層15Hからなる凹部の底面および4側面からなる結合領域15Cにおいて共有結合により固定されている。乾燥したインジケータ19は、さらに遮光層28の中央部以外の結合領域28Cとも共有結合により固定されている。すなわち、乾燥したインジケータは中央部が凹部となっており、その凹部の内部に気体収容部22Hが配設されている。なお、気体収容部22Hの外面は貫通孔のある金属からなる反射層により覆われている。蛍光センサ20Hは体内に挿入されると、アナライトを含む体液が親水性部28Aを介してインジケータ19に吸収される。膨張したインジケータ19によりインジケータ空間16Hの気体は中央部上部の気体収容部22Hに収容されるとともに、気体収容部22Hを介して疎水性部28Bから外部に排出される。また、気体収容部22H側に放射された蛍光は、表面の反射層により反射され、PD素子12Hに入射する。次に、蛍光センサ20Hの製造方法について簡単に説明する。なお、1個の蛍光センサ20H毎に製造してもよいが、ウエハプロセスとして一括して多数のセンサを製造することが好ましい。すなわち、最初に、複数の素子が作製可能な面積を有するシリコンウエハの第1の主面に複数のマスク部を有するマスク層が作製される。そして、エッチング法により、第1の主面と平行な底面のある複数の凹部が形成される。エッチング法としては、水酸化テトラメチルアンモニウムTMAH水溶液、水酸化カリウムKOH水溶液などを用いるウエットエッチング法が望ましいが、反応性イオンエッチングRIE、ケミカルドライエッチングCDEなどのドライエッチング法も用いることができる例えば、シリコンウエハとしてシリコン100面を用いた場合には、111面のエッチング速度が100面に比べて遅い異方性エッチングとなるため、凹部の側面は111面となり、100面底面との角度は、54.7度となる。次に、それぞれの凹部の4側面にPD素子12Hが公知の半導体プロセスにより形成される。側面が傾斜している凹部は、側面が垂直な凹部に比べてPD素子12を形成できる面積が広いだけでなく、側面へのPD素子12Hの形成が容易であり、さらにインジケータ空間16Hに気体が残留しにくい。なお側面の傾斜角度が30~70度であれば、上記効果が顕著である。次に、側面のPD素子12H上にフィルタ13Hが配設される。次に、複数の凹部の底面に、それぞれ発光素子14が配設される。さらに透明中間層15Hおよび共有結合形成用モノマー層を形成後に、凹部内にインジケータ19となる緩衝溶液が充填される。さらに、凹部の開口を塞ぐように、気体収容部22Hが接合された中央部が疎水性かつ共有結合形成用モノマー層を有しない遮光層28が接合される。そして複数のセンサが形成されたシリコンウエハが個片化され蛍光センサ20Hが完成する。なお乾燥処理はウエハ状態で行ってもよいし個片化してから行ってもよい。蛍光センサ20Hは蛍光センサ20等と同様の効果を有し、さらに基板11Hが枠部を兼ねており、かつPD素子形成面である凹部の側面が傾斜しているため製造が容易である。なお、複数の上記実施形態において説明した蛍光センサ全体の形状は直角柱形状であったが、台形形状、側面が湾曲した形状、またはセンサ側面の一方向を延設した針型の蛍光センサ等であってもよい。また、グルコース等の糖類を検出するセンサを例に説明したが、蛍光センサは、蛍光色素の選択によって、酵素センサ、pHセンサ、免疫センサ、または微生物センサ等の多様な用途に対応することができる。すなわち、本発明は、上述した実施形態および変形例に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等ができる。"