"樹脂シートの賦形体の昇温熱処理を可能に装備した熱成形装置において、冷却手段を成形型周辺に配置して、賦形手段の成形型からの離反後に、成形型の上部に対してこの冷却手段を進行させるか、又は上記成形型を上記冷却手段の下部に進行させて賦形体を冷却するように構成し、更に上記冷却手段として、冷却用気体の噴射ノズルと噴射された気体を整流して側面方向に排気する通路を備えた構成のものを用いる熱可塑性樹脂シートの成形装置。上記冷却手段において、噴射された気体の反射流を上記噴射ノズル先端の後方に受け容れ、更に側面方向に排気通路を設けたことを特徴とする請求項1に記載の成形装置。上記冷却手段において、噴射された気体の反射流を、上記噴射ノズル先端付近またはこの先端より前面で収容して側面方向に抜ける排気通路を設けたことを特徴とする請求項1から2の何れかに記載の成形装置。上記冷却手段において、上記通路を通ずる排気を吸引して排気を促進する手段を備えたことを特徴とする請求項1からの何れかに記載の成形装置。賦形後の熱可塑性樹脂シートに向けて揮発性液体を噴霧する手段を備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の樹脂シートの成形装置。成形型として、熱浸透率kJ/m2s1/2Kが0.01~15である材料により少なくとも成形用表面を形成させたものを用いることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の成形装置。成形型として、成形用表面層とこの表面層を背後から定常的に且つ均一に加熱温調する手段から構成されたものを用いることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の成形装置。樹脂シートの圧空賦形中又は圧空賦形直後に、圧空空間から、外部を逸散させながら、同空間内へ高温気体噴射を行う手段を備えていることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の成形装置。請求項1から8のいずれかに記載の樹脂シートの成形装置を用いた樹脂シートの成形方法であって、樹脂シートの予熱工程、賦形工程、このシート予熱温度以上の高温で熱処理する熱処理工程、そして冷却工程を備える熱可塑性樹脂シートの成形方法。本発明はこのような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。その主な目的は、熱成形の賦形から離型までの過程において、賦形体を高速で加熱しそして必要により高速で冷却し、特に賦形前の予熱シート温度以上の高温で熱処理を行って離型する熱成形を高速で効率良く連続的に行うことができ、また良好な状態の成形品を得ることができる熱成形装置を提供するものである。1樹脂シートの賦形体の昇温熱処理を可能に装備した熱成形装置において、冷却手段を成形型周辺に配置して、賦形手段の成形型からの離反後に、成形型の上部に対してこの冷却手段を進行させるか、又は上記成形型を上記冷却手段の下部に進行させて賦形体を冷却するように構成し、更に上記冷却手段として、冷却用気体の噴射ノズルと噴射された気体を整流して側面方向に排気する通路を備えた構成のものを用いる熱可塑性樹脂シートの成形装置を提供するものである。なお、上記の熱処理を可能にする装備は、a加熱温調された成形型を用いる方法、b賦形体へ向けて加熱気体を送出する方法、c賦形体へ向けて赤外線を放射する方法のうちから選ばれた少なくとも1つを利用することが望ましい。なお、上記の賦形手段は、真空賦形、圧空賦形、雌雄型を用いるプレス賦形の各方法のうちからばれた少なくとも1つの方法を利用することが望ましい。なお、本発明で雌雄型を用いる場合は、雌雄の何れか一方を賦形手段と称し他方を成形型と称するものとする。なお、本発明においては、賦形ならびに賦形工程は成形工程の中の一部の操作を示し、賦形体は、成形型に保持された状態にある成形品を意味するものとする。2上記冷却手段において、噴射された気体の反射流を上記噴射ノズル先端の後方に受け容れ、更に側面方向に抜ける排気通路を設けたことを特徴とする上記1に記載の熱成形装置を提供するものである。3上記冷却手段において、噴射された気体の反射流を、上記噴射ノズル先端付近またはこの先端より全面で収容して側面方向に抜ける排気通路を設けたことを特徴とする上記1から2の何れかに記載の熱成形装置を提供するものである。4上記冷却手段において、上記通路を通ずる排気を吸引して排気を促進する手段を備えたことを特徴とする1から3の何れかに記載の熱成形装置を提供するものである。5賦形後の熱可塑性樹脂シートに向けて揮発性液体を噴霧する手段を備えたことを特徴とする上記1から4の何れかに記載の熱成形装置を提供するものである。なお、冷却媒体は揮発性液体の1つでありこれを単独噴霧する方式でもよく、また、気体を噴射する方式と併用してもよく、何れも望ましい。6成形型として、熱浸透率kJ/m2s1/2Kが0.01~15である材料により少なくとも成形用表面を形成させたものを用いることを特徴とする上記1から5の何れかに記載の熱成形装置を提供するものである。7成形型として、成形用表面層とこの表面層を背後から定常的に且つ均一に加熱温調する手段から構成されたものを用いることを特徴とする上記1から6の何れかに記載の熱成形装置を提供するものである。このためのより具体的な好ましい方法として、1表面層のそれより大きな熱浸透率を有する材料により、表面層に密接した背後層を設け背後層を加熱温調する方法、および2表面層の背後に略全面に密接して加熱手段を設ける方法を挙げることができる。なおこの場合、表面層形成材料の熱浸透率は10以下であることが好ましく、5以下であることが更に好ましい。8樹脂シートの圧空賦形中又は圧空賦形直後に、圧空空間から、外部を逸散させながら、同空間内へ高温気体噴射を行う手段を備えていることを特徴とする上記1から7のいずれかに記載の熱成形装置を提供する。9上記1から8のいずれかに記載の樹脂シートの成形装置を用いた樹脂シートの成形方法であって、樹脂シートの予熱工程、賦形工程、このシート予熱温度以上の高温で熱処理する熱処理工程、そして冷却工程を備える熱可塑性樹脂シートの成形方法を提供する。本発明の成形装置を用いる熱成形には下記のような効用がある。1本発明の装置は、樹脂シートを予熱賦形し離型するまでの過程において樹脂シートの予熱温度を大幅に上回る高温で熱処理し、次いで冷却して離型するプロセスを非常な高速で、連続的に、効率的にそして安定に実行することができる。2上記のような冷却手段を用いることにより、a均一な冷却ができ、均一で曇りや変形のない成形品を効率よく生産することができ、b強力な冷却ができ、冷却時間の短縮ができ、c強力な冷却ができ、成形型の高温設定ができ、また結果利用できる成形型構成の設計自由度が大きくなり低価格成形型も利用できる。3上記のような成形型を用いることにより、賦形体の加熱冷却を伴う成形を高速で効率行うことができる。そして、応用できる成形材料対象を広げることができ、エネルギー消費を節約した生産を行うことができる。4広範囲の樹脂で、容易に熱処理された各種成形品の製造が可能となった。具体的な用途を挙げると、aPET等の結晶性樹脂の延伸シートの熱固定を伴う成形、b結晶核剤添加PETCPET等の結晶性樹脂シートの結晶化を伴う成形、あるいはまたcポリプロピレンのSPPF成形固相高圧成形に伴う残留応力歪緩和してする熱処理成形を提案することができる。特に、延伸PETでは、耐熱性、透明性、剛性等の機械強度の優れた熱成形品を能率よく生産することができる。又、剛性を利用し省材料の成形品を得ることができる。<成形装置の全体構成>本発明の成形装置は、熱成形機である真空圧空成形機、圧空成形機、真空成形機、若しくは雌雄型プレス成形機を構成するものである。真空賦形機能を持たない圧空成形機等の場合は、少なくとも冷却工程で、賦形体を成形型へ吸引固定する機構を付加して構成させることが好ましい。成形材料である樹脂シートの予熱は、加熱オーブン等を利用する間接加熱、あるいは加熱板に接触させる直接加熱など公知のどのような方式を採用してもよく、また特別な方式として、賦形位置で熱気流あるいは赤外線照射により予熱を行ってもよく、あるいは予熱を行いながら賦形を行うようにしてもよい。上記の成型機の賦形手段は、真空賦形、圧空賦形、雌雄型を用いるプレス賦形の各方法のうちの少なくとも1つを利用する。なお、本発明では雌雄型を用いる場合は、雌雄の何れか一方を賦形手段とし他方を成形型と称するものとする。本発明では、賦形手段として圧空賦形あるいはプレス賦形の方法を用いる場合は、その賦形手段をプレス機の天板に固定し、その直下の底板には成形型を固定し、天板と底板の少なくとも何れかを上下可動にして、賦形手段と成形型の接合離反が可能にする。そして、上記成形型の周辺に特定構造の冷却手段を配置し、賦形手段の上昇離反後に成形型の上部に対して進行させるか、又は、賦形体を保持した成形型を上記冷却手段の下部に進行させて冷却工程を実施できるようにする。なお、真空賦形は圧空賦形と併用されることが望ましいが、単独に用いてもよく、その場合は上記の冷却手段は最初から成型型の上部に配置しておいて、必要によりそれぞれを接近させ又離反させればよい。成形用の樹脂シートは、予熱され、賦形され、熱処理され、接近してきた冷却手段により冷却され、離型される。成型終了後は、冷却手段又は成形型は最初の位置に復帰するようにする。本発明の構成においては、賦形体の熱処理を可能にする装備が必要であり、それはa加熱温調された成形型を用いる方法、b賦形体へ向けて加熱気体を送出する方法、c賦形体へ向けて赤外線を放射する方法の何れかを利用して行うことができる。aについては成形型の欄で詳述する。なお、成形型は限定するものではないが特定の構成のものであることが望ましい。bについては加熱気体を圧空ボックスあるいは加熱板から送出してして行うことができる。cについては賦形体上空に赤外線放射源を配置しておこなうことができ、圧空ボックス内の底面、あるいは加熱板面から赤外線放射ができるようにすれば実施は容易である。bcについては賦形手段の欄で詳述する。なお、賦形手段真空賦形は除くあるいは成形型の移動は、必ずしも垂直な上下動でなくてもよく、それぞれ任意に斜め方向から接合して離反してもよく、また特定の軌道で接合して離反してもよい。なお、賦形手段と成形型の位置関係は相対的なものであり、賦形手段の上昇は成形型の降下と同義であって成形型を降下させてもよく、また両者を倒置して賦形手段を下に成形型上に倒置させてもよい。また、特異な態様として、プレス機を横転させてもよく、重量の大きい成形型等を、軽快に開閉でき好ましい方式として利用できる。何れも本発明に含まれる。なお、上記のように冷却手段を成形型上部に移動する代わりに、成形型を冷却手段の下部に移動させてもよい。その場合、賦形体を含む成形型を移動させてもよく、加熱板と成形型を保持したプレス機を移動させてもよい。なお、本発明を構成する熱成形機は、短尺の材料シートを一枚ずつ成形する枚葉成形機であってもよく、また長尺の材料シートを順次成形する連続成形機でもよい。しかし、後者であることが特に好ましく、本発明の特徴を発揮して高速で効率的な繰り返し成形を可能にする。本発明のこのような構成は、本発明者を発明者とする先行出願、特願2010-118555、特願2010-118490、特願2010-118489、特願2010-118562、特願2011-41294、特願2011-165067、特願2011-165068、特願2011-165069等を更に改良して、製品品質を向上させ、生産性を向上させ、応用分野を拡大するために成されたものである。そして又、それらの具体的な形態を提示するためになされたものである。<賦形手段について>賦形手段には下記のような方法があり、それぞれ単独で用いればよいが、中には併用して用いるものもあり、特に真空賦形と圧空賦形は好ましく併用できる。第1の方法として、圧空ボックスとそれを用いて圧空賦形する方法を説明する。圧空ボックスは通常用いられる公知の機構のものを用い常温の圧縮気体で圧空賦形をしてもよく、また一般的ではないが、圧空ボックスを高温圧縮気体の送出を可能に装備し、高温圧縮気体により圧空賦形を行ってもよい。前記の賦形体の熱処理昇温を高温気体に依存する場合は後者の方法で行えばよく、また圧空ボックス内に赤外線放射源をおきこれに依存してもよく、またこの両者を併用してもよい。それぞれの圧空ボックスの例は図1及び図2の一部として示す。第2の方法として、加熱板とそれを用いて圧空賦形する方法を説明する。加熱板は通常用いられる公知の機構のものを用い、外部から常温の圧縮気体を導入して圧空賦形をしてもよく、また一般的ではないが、例えば特許4057487号に示されるように高温圧縮気体を送出できるように装備した加熱板を用い、高温圧縮気体により圧空賦形を行ってもよい。前記の賦形体の熱処理昇温を高温気体に依存する場合は後者の方法で行えばよい。それぞれの加熱板の例は図3の一部、及び図4に示す。第3の方法として、雌雄型を用いたプレス成形の方法を挙げることができる。本発明では説明の便宜上、雌雄型の何れか一方をプレス賦形の手段とし、他を成形型と規定し説明する。後者の成形型については成形型の欄で説明する。プレス賦形の手段については、その形状は組み合わせ相手の成形型と相似の寸法と形状をしておればよい。その温度は特定するものではないが、その表面温度を4材料シートの賦形適正温度にすることは好ましく、又賦形体熱処理温度にすることも好ましい。また、このプレス手段には貫通細孔を設けて外部から圧縮気体を導入して賦形体を押圧できるようにすることも好ましい。第4の方法として、真空賦形を挙げることができる。これは全く公知の方法でよく、予熱された樹脂シートを成形型の細孔を通じて背面から吸引して賦形する方法である。この方法は単独で用いてもよいが、特に圧空賦形と好ましく併用することができる。この方法では、賦形体の熱処理昇温は、賦形とは別に加熱気体を吹き付けるか、赤外線を照射するか。そうでなければ加熱された成形型に依存することになる。本発明の全体構成の例として、上記第1の方法を用いた場合の構成例を、図1及び図2で説明する。図1は、賦形手段として圧空ボックスを用い、常温の圧縮気体による圧空賦形を利用する方法であり、成形型60と、その上部に賦形手段30がそれぞれ上下可動に配置され、更に成形型周辺に冷却手段40が水平移動可能に配置されている。ここで用いられている賦形手段の圧空ボックス30は、31の圧空ボックス本体、33の圧縮気体導入路、34の圧縮気体分配空間、35の気体送出孔、36の気体送出面、37の圧空空間から構成されている。外部から圧縮気体を導入し35送出孔から送出する。冷却手段40は後述の任意のものを用いればよい。成形型の全体構成60は、表面層61と背後層背後体62からなる個別の成形型を加熱ヒーター65を内蔵する集積プレート66に固定し、収納ボックス67に収納したものである。61の表面層は後述のように熱浸透率の小さな材料により構成されている。なお、表面層61は後述のような熱浸透率の小さな材料から、また背後層は熱浸透率の大きな材料からなるものである。この例では、賦形体の熱処理昇温は成形型背後層からの伝熱が担うことになる。図2は、賦形手段として圧空ボックスを用い、高温の圧縮気体による圧空賦形を利用する方法である。ここで用いられている賦形手段の圧空ボックス30は、31の圧空ボックス本体、32の加熱ヒーター、33の高温圧縮気体導入路、34の圧縮気体分配空間、35の気体送出孔、36の気体送出面、37の圧空空間から構成されている。この図では、高温圧縮気体の生成装置は省略されている。なお、36の気体送出面には赤外線送出面は32のヒーター加熱が十分に伝わるようにされており、又赤外線を放射率の高い塗料の塗布がなされている。そして、成形型60と、その上部に賦形手段30がそれぞれ上下可動に配置されている。本図は、賦形手段の上昇後に、成形型上部に水平移動してきた冷却手段40が賦形体を冷却している状態を示したものである。この冷却手段40は、41の通路を通じ導入した圧縮気体を噴射し、賦形体111を冷却して反射した気体を噴射面から突出した排気通路を通じて背後の水平通路に逃がして排気する構造のものである。成形型60は、表面層61と背後層背後体62からなるものを、加熱熱媒通路65を有する集積プレート66に固定し、収納ボックス67に収納したものである。なお、表面層61は熱浸透率の小さな材料から、また背後層は熱浸透率の大きな材料からなるものである。この例では、賦形体の熱処理昇温は熱媒通路65を通ずる加熱熱媒により加熱された成形型が担うことになる。この例では、賦形体の熱処理昇温は加熱気体と赤外線が担うことになる。なお、熱処理昇温のために導入し圧空送出される加熱気体の温度は、樹脂シートの予熱温度より遙かに高いことが望ましく、具体的には導入される圧縮気体の温度は250~600°Cであることが望ましい。延伸PETシートの賦形に熱板予熱は90~100°C程度が適正であるが、これに対してノズル35からの気体温度は250~500°Cであることが望ましい。気体の熱容量は小さいので、その熱量は賦形体を通じ成形型に散逸するので、この噴射気体の温度がこれ以下では迅速な昇温ができず、熱固定に必要な150~180°Cに容易に到達しない。なお、高温圧縮気体は、空気、窒素、二酸化炭素などを圧縮しさらに別の装置で加熱したものが利用される。なわこれらに水分を含んだ乾燥過熱蒸も好ましく利用できる。本発明の全体構成の例として、上記第2の方法を用いた場合の構成例を、図3及び図4で説明する。図3は、賦形手段として通常用いられる加熱板を用い圧空賦形を利用する方法であり、成形型60と、その上部に賦形手段10がそれぞれ上下可動に配置され、更に成形型周辺に冷却手段40が水平移動可能に配置されている。冷却手段40は後述の任意のものを用いればよい。成形型の全体構成60は、図2と同様のものであり、成形型は加熱ヒーター68により加熱温調されている。賦形手段である加熱板10は、一時樹脂シートと密着して樹脂シート予熱を行い、その後圧空賦形を行う。従って圧空温度予熱温度より低い温度にしかならない。この例では、賦形体の熱処理昇温は専ら加熱された成形型が担うことになる。図4の一部として示す賦形手段は、加熱気体を導入して貫通送出する特別な加熱板の例を示す。この加熱板では加熱気体による圧空賦形を利用することになる。この加熱板高温気体導入方式20は、加熱板本体21、加熱ヒーター22、高温圧縮気体のセラミックス製断熱導入管23、高温圧縮気体噴射孔24、接触予熱面25、断熱空間26から構成されている。加熱板は、樹脂シートに接触して予熱する温度に調整されるので、外部から導入されて貫通する加熱気体とはできるだけ断熱、また加熱板の温度不均一を避ける諸工夫を行ったものである。冷却手段及び成形型は後述のものを適宜組み合わせればよい。この例では、賦形体の熱処理昇温は外部から導入される高温圧縮気体が担うことができる。なお、加熱された成形型を利用する場合は、成形型にそれを依存することもできる。本発明の別の構成態様として、賦形手段と成形型に保持された賦形体で形成する閉鎖空間から、外部へ制御して空気を逸散させながら高温気体噴射を行う手段を備える。この手段は気流をつくり熱伝達率を大きくし効率よく対象を加熱できるので好ましい。具体的には、これら限るものではないが、例えばa圧空ボックス壁面に排気口を設ける、b加熱板の周辺部に切り欠きのある低いフレーム様スペーサーを設けてもよく、またc成形型収納ボックス壁面の高くつくり、壁面上部に切欠をつくっておいてもよくe圧空賦形後わずかに加熱板を浮上させて気体噴射を続けるように、微動の制御機構設けてもよく、様々な方法を挙げることができる。上記の排気は圧空賦形に行うようにしてもよいが、圧空賦形開始中から行えば空気が逃げ圧空賦形圧が低下することになるが、それを見込んで設計すれば問題はない。図4に上記bの具体例を示す。20の加熱板は図2で示したものと同じ構造である。また、60成形型構成は図2の60で示した構成を、収納ボックス67に収納したものである。67の収納ボックスは、高さを成形型上面より高くし、外周部に切欠68を設けたものとなっている。110は賦形体、111は賦形体周辺部を示す。図12は、賦形後もなお、高温気体のブロウが続けられ賦形体加熱昇温が続けられている状態を示す。<冷却手段について>本発明の上記冷却手段は、上記成形型の周辺に駐在し、成形型又は成形型群の略全上面を覆う大きさと形状を有し、加熱板の上昇離反後に成形型の上部に対して進行して賦形体を冷却し、そして退行するように構成されるが、更にこの冷却手段は冷却用気体の噴射ノズルと噴射された気体の排気通路を備えた構成であることが必要である。公知の冷却手段は、特許4057487号公報に開示されているが、このものは、函体に多数の開孔を設け、この函体に導入した冷却用気体を噴出させるようにした構造のもので、賦形後の樹脂シートを加熱板からの放熱を遮断し効率よくこれを冷却することができるとしている。しかし、この構造のものでは、強力かつ均一な冷却はできず、特に大きな面積を冷却しようとするとき、中心寄りの部分の冷却しにくく、冷却に時間を要するなどの問題がある。本発明に利用する冷却手段はこうした欠点を解消したものであり、その具体的態様を以下図に依り説明する。図5にて冷却手段40の一例を示す。この冷却手段は例えば上記図1~4の構成の構成要素として用いることができる。なお図5は、冷却手段40が加熱板図では省略の上昇後に成形型上部に進入して賦形体を冷却している状態を示したものである。本例では圧縮気体は導入路42に導かれ、43のノズルから噴射され、賦形体110を冷却し反射される。反射された気体は44の気流ガイド面に行く手を阻まれ、垂直通路45に導かれ、更に水平通路46を通じて排気される。このとき側面に配した47のノズルより噴射される水平直進気流噴射により排気が促進される。この47のノズルは、課題を解決するための手段の4に記載する排気を促進する物理手段の1つであり、別の方法として例えば排気を真空吸引してもよい。なお、本態様に限らず本発明に用いられる冷却媒体としては、水やアルコール等の揮発性液体、空気、窒素、二酸化炭素などの圧縮された気体場合によっては液体を単独、あるいは併用して用いることができる。揮発性液体の場合は、単独で噴霧してもよく、噴射前の気体中へ噴霧するなどしてもよい。冷却用気体は通常温度のものでもよいが、冷却したものも好ましく利用でき、ドライアイス粒塊を潜らせ冷却した気体噴射、あるいはドライアイスの粉粒の混合した気体噴射も好ましい。なお、本体態様に限らず、本発明の構成に使用する冷却手段の冷却媒体噴射ノズルは、個々に拡散噴射のできる構造であることが好ましい。また、大きい成形型あるいは複数個の成形型を用いる場合は複数の噴射ノズルを有することが好ましい。なおまた、すくなくとも冷却工程では、賦形体を成形型へ吸引固定する機能が作動するように構成することが必要である。図6に、本発明に用いる冷却手段の別の態様のものを示す。この例では噴射ノズル43の背丈を高くして、その背丈の基部周辺を水平通路46形成通路とし、図3の場合と同様に気流ガイド面44を設け垂直通気路45から流れ込んだ気体を水平方向に効率よく排出するようにしている。図7に、本発明に用いる冷却手段の更に別の態様のものを示す。この例では、図8の場合と同様に噴射ノズル43の背丈を高くして、その背丈の基部周辺を水平通路46形成通路とし、更に水平直進気流噴射ノズル47を設けている。この場合は、気流ガイド面は設けていないが、水平直進気流がその代わりをして垂直排気流を水平方向に変向し効率良く排出するようにしている。図9に、本発明に用いる冷却手段の更に別の態様のものを示す。この例では、気流ガイド面44より前面に、通気路カバー46bを設けて水平通気路46を形成し、スリット間隙から排気を吸い込んで水平方向に排出する構成にしている。この図では更に排気を促すために、水平直進気流噴射ノズル47を設けている。図9に、本発明に用いる冷却手段の更に別の態様のものを示す。この例では、上記の各例とは異なり、冷却用気体の導入管42をフレーム枠41bに組み付け、賦形体で反射された気体は42の配管の間すなわち垂直通気路45を通じて上昇し、複数個並べられた水平直進気流噴射ノズル47からの強い水平流に乗せられて水平方向に排気される。本図は細かくは表示されていないが、ノズル47はフレームの両端に並べられ、一個置きに互いに反対方向に排気するようになっている。なお、この例は上記各例とは異なり天井への通気阻止の遮蔽物はない。本発明に用いる冷却手段の特別な態様として、上記各冷却手段において、排気を促進する物理手段を備えることが好ましい。この物理手段の例として、1別途の高速気流を噴射して排気を吸引しながら排出を促進する、あるいは2排気を真空吸引して排出を促進するなどの方法を挙げることができる。1の方法については既に図5,5、8、9に例示している。本発明に用いる冷却手段の別の特別態様として、冷却手段が冷却作動位置に進入後に、更に下降して冷媒噴射するように構成することは望ましい。図10にその具体的な構成の例を示す。この例では、冷却手段は、成形型上部に進入後に更に降下して噴射冷却を行い、その後上昇して退去するようにしたもので、更には噴射ノズル43の先端と気流ガイド面44を一体として成形型成形面よりやや小さな相似形状を形成させ、噴射ノズル基部周辺に大きな空間を設け水平通気路46としている。噴射気体は、賦形体110と気流ガイド面44で作られる間隙すなわち垂直通気路45を通り、更に46を通って排出される。本発明に用いる冷却手段の別の特別態様として、上記のような気体噴射手段に加え、更に揮発性液体を噴霧する手段を備えた構成にすることは好ましい。揮発性液体の噴霧により、液体の比熱と蒸発潜熱により効果的に冷却を行うことが可能となる。図11にその具体的な構成の例を示す。この例は、気体噴射ノズルに加え別に揮発性液体VLの噴霧ノズルを搭載したもので、揮発性液体導入管48から送られたVLを、噴霧化気体導入管42bを通して送られた噴霧化気体AAにより噴霧ノズル49から噴霧する。43からの噴射と49からの噴霧は同時に行うこともでき、また任意に時間を分けてそれぞれを行うこともできる。なお、本発明においては、噴霧ノズルは進退動する上記冷却手段に必ずしも搭載されていなくてもよく、どこかに別位置に固定されていて必要な時点に成形型表面に向けて噴霧できるものでもよい。なお又、揮発性液体の利用は上記のような構成に限られるものではなく、例えば1噴射気体中に噴霧混入しながら気体噴射してもよく、2噴射ノズル43と噴霧ノズル49を兼用にしてもよく、3噴射ノズルと噴霧ノズルを複合構造にしたものでもよい。上記のような冷却手段を用いた本発明の装置には下記のような効用がある。1強力な冷却ができ、成形型の高温設定ができ、その結果利用できる成形型構成の設計自由度が大きくなり低価格成形型も利用できる。また、応用できる成形材料も広くなり製品用途が広がり、また安価で性能のよい製品をつくることができる。2強力な冷却ができ、冷却時間の短縮ができる。3均一な冷却ができ、製品の精度、良品効率がよくなるのみならず、結果として冷却時間の短縮ができる。<成形型について>本発明の装置構成要素として用いられる成形型は、真空排気孔などの公知の熱成形としての必要要素を備えておればよく特に限定するものではない。しかし、本発明の装置構成要素として用いられる成形型の特別な態様として、熱浸透率kJ/m2s1/2Kが0.01~15である材料により少なくとも成形用表面を形成させたものを用いることは好ましい。熱浸透率がこのような範囲にある材料として、プラスチックス、セラミックス、選ばれた小数の種類の金属材料等を挙げることができ、これらは熱成形の金型として通常使われるアルミニウム材、亜鉛合金材等よりも小さな値のものである。好ましい範囲の熱浸透率を有する材料例は表1の中からも選ぶことができる。但し表記は一般的な物質あるいは物体を参考ため示したものであり、利用出来るものをこれらに限るものではない。なお、上記熱浸透率とその数値限定の意義等については後に本発明の内容についての補足説明の欄で説明する。なお、本発明の構成に望ましい態様とし示す成形型は、本発明者を発明者とする先行出願、特願2010-118555、特願2010-118490、特願2010-118489、特願2010-118562及び特願2001-065069の何れかに開示しているものである。本発明の装置構成要素として用いられる成形型の更なる特別な態様として、上記の所定の熱浸透率を有する表面層とこの表面層を背後から定常的に且つ均一に加熱温調する手段から構成されたものを用いることが好ましい。このためのより具体的な好ましい方法として、1表面層のそれより大きな熱浸透率を有する材料により、表面層に密接した背後層を設け背後層を加熱温調する方法、および2表面層の背後に略全面に密接して加熱手段を設ける方法を挙げることができる。なおこの場合、表面層形成材料の熱浸透率は10以下であることが好ましく、5以下であることが更に好ましい。またこの表面層の厚みは0.04mm以上であることが必要であり、また0.06mm以上であることが好ましく、0.1mm以上であることが更に好ましい。又同厚みは30mm以下であることが好ましく、10mm以下であることが更に好ましく、5mm以下であることが更に更に好ましい。上記1の場合は、背後層の熱浸透率は、表面層のそれより大きくし、この背後層に加熱温調手段を付加することが必要である。この加熱手段は公知の ゙のような方法でもよく、また背後層の中に設けてもよく、また外部に設けてもよい。背後層からの伝導熱により表面層が一定に加熱される。そして、背後層の熱浸透率は、3以上であることが好ましく、6以上であることが更に好ましく、10以上であることか更に更に好ましい。また背後層の熱浸透率は表面層のそれより2倍以上であることが好ましく、10倍以上であることが特に好ましい。なお、背後層の厚みは限定するものではなく、また一定の厚みあるいは形状に限定するものではない。またこの層を単一材料の層に限定するものではなく任意の多層にしてもよい。図12に上記1の構造の例を示す。成形型60は、表面層61と背後層62から構成され、63は真空排気孔、64は排気通路、65は温調用の熱媒通路を示している。この図の構成で、アルミニウム材5052の背後層の上に、0.5mmのエポキシ樹脂層をつくり、背後層と表面層を通じ成形面に微細な熱電対を露出させて製作した成形型は高性能である。なお、この熱媒通路などの温調手段はここに設けず、成形型を固定する固定板を任意の加熱手段を設けるようにしてもよい。上記2の場合は、上記の所定の熱浸透率を有する表面層の背後の略全面に密接して加熱手段を設ける構成である。この場合の表面層の構成は材料、寸法形状ともに上記1と同じであり、望ましい構成も同じである。加熱手段の形成は、次に限るものではないが、例えば表面層背後にa面状発熱層の形成、b面状高伝熱層を形成し特定位置から熱伝導させる方法などがある。背後層についてはその有無、あるいは材質、形状ともに特に制約するものではない。図13この2の場合の構造の例を示す。成形型本体70は、71の表面層、75の加熱手段の層、72の背後層からなり、73は真空排気孔、74は排気通路、より具体的なものの1つは、セラミックスの背後層とし、その上にステンレス薄膜とPEEK樹脂薄膜からなる面状発熱体を敷き詰めて貼り、更にその上に表面層として0.2mmのPEEK樹脂フイルムを圧空賦形し、そのままの状態で本体ともども480°Cに加熱焼成して作成することができ、本発明に好適に利用できる。なお、この上記2場合の構成においては、背後層72は特に限定するものではなく、加熱手段の機能を阻害すことなく表面層あるいは加熱手段の層を保持できればよく、表面層の形状保持ができて何処かへ固定できればよい。<成形方法について>前記した本発明の装置を用いて、樹脂シートの予熱工程、賦形工程、この予熱工程よりも高温で熱処理する熱処理工程と、そして冷却工程を備える熱可塑性樹脂シートの成形方法を実施することができる。又これらの工程を高速で進めることができ、長尺の成形材料樹脂シートを用いて効率的な連続成形を行うことができる。予熱工程は、長尺の樹脂シートを導いて予熱温度に加熱調整されている加熱板の下を潜らせて停止させ、加熱板と成形型をそれぞれ上下動させてこれを挟み、樹脂シートを加熱板側から真空吸着するか、又は成形型側から空気押圧して密着させながら予熱を行う。これに次ぐ賦形工程では、加熱温調された成形型に対して加熱板から放出される空気による圧空賦形、そしてあるいは成形型側からの真空吸引による真空賦形が瞬時になされる。これに次ぐ熱処理工程では、高温の成形型面で、そしてあるいは加熱板から放出される高温気体により賦形体の温度は予熱温度以上に高められる。これに次ぐ冷却工程では、加熱板を上昇させ、開いた加熱板と成形型との間に冷却手段を進入させ、冷却媒体を噴射させて賦形体を冷却し離型させる。なお、賦形体の変形を防ぐために、賦形体を成形型の真空引きによる賦形体の固定を、少なくとも冷却工程を通して行うことが必要であり、なお賦形以後の各工程を通じてこれを行う事が望ましい。なお、本装置では、真空賦形に続いて、前記の高温圧縮気体による昇温熱処理も行うこともできる。後者の方法は、樹脂シートが薄くて熱に敏感すぎる場合などに好適である。上記のような成形における装置設定あるいは条件設定は、大きく3つのパターンに分けて説明することができる。成形型の表面温度Tと成形型の内部温度Sの変化を見たとき、サインカーブ様の連続成形サイクルを描くことができる。例として、前記のような表面層と背後層からなる成形型を用いた場合を考えてみる。背後層温度をS、成形型表面温度をT、その最高温度をTt最低温度Tbとする。パターンAは、Sを、表面温度サイクルのTtとTbの間の一定温度に調整するパターンである。この場合、Ttは高温気体か赤外線照射により到達する温度であり、Tbは冷却手段により到達する温度である。背後層の直接的な温調は行う場合も、行う場合もある。背後そうからあまり熱が逃げない状態で、長時間連続的に成形を続ければ、背後層温度Sは表面温度サイクルのTtとTbに落ち着く。この場合、背後層の熱浸透率があまり大きくなければ、表面層の間近ではSは時間的に直線ではなく、表面層に追従して小さな温度サイクル描く。背後層は積極的に任意に温調することは望ましく、その温度により加熱手段及び冷却手段を最適最短時間にすることができる。パターンBは、Sを、Tbと同じかそれ以下の一定温度に調整するパターンである。この場合Tbは、主として背後層からの伝熱すなわちSの温度により到達する。冷却手段は必須ではないが使用すればサイクルを縮めることができる。なお、Ttは加熱手段により到達する。パターンCは、Sを、Ttと同じかそれ以上の一定温度に調整するパターンである。この場合は、の場合Ttは、主として背後層からの伝熱すなわちSの温度により到達する。従って背後層の加熱温調は必須である。上記加熱手段は、必須ではないが使用すればサイクルを縮めることができる。なお、Tbは冷却手段により到達する。通常の熱成形は、樹脂シートの予熱、賦形、冷却、離型の過程を経てなされる。これに対して本発明では賦形から冷却までの間に、樹脂シートの賦形時以上の高温の熱処理を行うことが特徴であり、またこれを高速連続で実施できることが特徴である。本発明の方法により広範囲の樹脂で、容易に熱処理された各種成形品の製造が可能である。具体的な用途を挙げると、aPET等の結晶性樹脂の延伸シートの熱固定を伴う成形、b結晶核剤添加PETCPET等の結晶性樹脂シートの結晶化を伴う成形、あるいはまたcポリプロピレンのSPPF成形固相高圧成形に伴う残留応力歪緩和してする熱処理成形を提案することができる。特に、延伸PETでは、耐熱性、透明性、剛性等の機械強度の優れた熱成形品を能率よく生産することができる。又、剛性を利用し省材料の成形品を得ることができる。本発明の内容についての補足説明1<熱浸透率について>本発明の規定値として用いた熱浸透率b値は接触する物体と界面を通過して移動する熱量にかかわる物体の特性値であり、次の式で求められる。b=λρC1/21λ;熱伝導率Js-1m-1K-1ρ;密度kgm-3C;比熱Jkg-1K-1このb値が小さい物体は界面に少ない熱量しか流さず相手物体に大きな温度変化を与えず、また界面間近では相手物体から大きな温度影響をうける。従って、このb値が小さい材料を成形型表面材料として用いた場合は賦形体からの熱を拡散させないので、高温気体と冷却用気体により賦形体を容易に加熱冷却することができる。しかし背後層の熱を容易に表面層表面賦形体体との界面に伝えないので、表面温度の均一性が高く、高速で安定な条件設定のためには、表面層の厚みを小さくするか、あるいはこのb値をある程度大きくすることにより、成形材料に合わせて最適にすることができる。なお、b値の参考例を示すと例えば、アルミニウム材は17~23程度、鉄材は13~16程度、銅34程度、不錆鋼SUS306は8.0で、多くの合成樹脂は0.2~0.8程度、多くのセラミックスは1~20の間に入る。なお、表1にいくつかの材料のb値を例示する。なお、b値も測定温度により若干違った値を示すが、本願においては、厳密には20°Cの測定値にて規定することする。ただし、20°Cから200°Cの間の変化に直線性を有しない材料、例えば相変化を伴う蓄熱剤などとの複合材料の場合は、100°C、150°Cの値の平均値を採用することとする。なお、同じ材質でも、発泡体あるいは多孔体などに形状が変われば、この値が大きく変わることは留意を要する。2<成形型構成の数値限定の意義について>上記成形型の表面層として熱浸透率b値の大きな表面材料を用いた場合は、賦形体から容易に熱を背後に分散させてしまうので、熱容量の比較的に熱容量の小さい加熱空気や冷却空気では容易に賦形体を加熱冷却できなくなり、この値が10を超える材料である場合は、能率的に熱処理を行う成形を行うことができない。この値は小さいほうが好ましいが、0.01より小さいものは強度など使用に耐える材料がない。上記の成形型において2層以上の構造とし、表面層の背面層を一定温度に制御して、賦形体を介して加熱気体および冷却気体により昇温降温変化する表面層の成形面温度を所望の基準温度へ迅速に回帰させることができる。この場合、表面層の厚みが30mmを超える場合は背後層の制御が、上記表面温度と呼応して定常状態に至る時間がかかりすぎ、実施的に効果がない。また、この厚みが0.03mmを下回る場合は背後層の温度の影響を大きく受けて、迅速な賦形体の昇温降温を促進する効果がなくなる。例えば、公知の成形方法において、潤滑離型のために金型に仮に弗素樹脂等のコートが成されることがあったしても、そのコート厚みは30μm以下の薄いものであり、それを厚くする必要もなく又困難もあって、本発明の効果を発揮させるようなものは従来製作されていない。なお、上記したように単体一材料のものでも良いが、この場合、成形型への直接の温度制御はあってもよく、またなくてよく、いずれであっても所望表面温度の定常化に多少の時間をかければ、所望の成形は可能である。しかし、この場合、熱浸透率b値kJ/m2s1/2Kが0.01~3の単一材料で構成してされたものでは加熱温調機構がないものが好ましく、またそれが3以上の単一材料で構成されたものは加熱温調機構を備えたものがより好ましく使用できる。なお、上記の成形型は、真空賦形又は賦形時の排気が可能にする微細孔を有し、真空引き可能なように先記成形型収納ボックスに収納されることが望ましい。3<賦形体の温度測定について>なお、本発明の装置においては、なんらかの方法で成型型表面温度あるいはと型と賦形体の界面温度の変化、または賦形体の温度変化を測定することは重要である。具体的には例えば、成形型の成形面上に、極めて繊細な測定プローブ、例えば線径0.1mm程度の熱電対先端を突出させておいてこれを測定することができる。別の方法としては賦形体を反対面から赤外線温度計非接触で測定する方法がある。しかし、これらには留意すべき点がある。前記のS線の温度はパターンA、Cでは、成形型自体を積極的に温度調節制御を行うが、それでも成形表面からの距離、あるいは熱源からの距離によっては温度傾斜をもって、成形サイクルを繰り返す中で定常化する値でもある。賦形材料の熱処理温度あるいは離型可能温度を厳密に考えるとき、これらの温度はここで示される表面温度あるいは界面温度とはかなり乖離があることは留意する必要がある。秒単位あるいはそれ以下の単位で加熱冷却を行う場合は、賦形体の厚み方向で大きな温度傾斜が発生するからである。また、赤外線等で賦形体裏面から温度測定も、材料温度を正確に表すものでなない。また本発明では表面温度界面温度で表現しているがこの温度とも乖離があり、相対的な値として考慮する必要がある。図1の装置構成で、図5の冷却手段を用い、延伸PETシートの熱処理を伴う成形をおこなった。1成形材料;ホモポリエチレンテレフタレート樹脂の2.3倍一軸延伸シー但し熱固定を行っていないもの、厚み0.23mm非熱固定品を使用した。2成形装置成形機;枚葉真空圧空成形機、圧空能力10tonのものを使用した。賦形手段;図2の30に示す圧空ボックスによる常温圧空。圧空ボックススはアルミニウム材で330×550mm圧空面ボックス内寸を持ち、間隔10mmの碁盤格子の交点毎に径1mmφの噴射孔を穿った噴射面をもつものを使用した。冷却手段;図5に示す方式のものを使用した。成形型;図1の60に示す表面層/背後層方式のもので、アルミニウムA5052を背後層とし、その上にPEEK樹脂b値は0.350.2mmの表面層を形成させたものを使用した。成形物は深さ直径90mm、深さ30mmの丸皿形状物で、成形型の外寸を110mm角としたもの6個を加熱ヒーター内蔵の固定板に固定し、内寸332×552mmの収納ボックスに収めた。なお、成形型の上面は収納ボックス側壁より3mm低くなるようにし、又側壁とは1mm間隙を設けた。温度測定成形面には細線熱電対先端露出させ、成形面温度及び賦形体界面温度を測定できるようにした。また、同様に細線熱電対を加熱板の裏から貫通させて配置して圧空温度の測定ができるようにした。3成形方法と成形条件;樹脂シートの予熱;予熱オーブンで約95°Cに予熱背後層温度;195°C固定板温度とほぼ等しい成形面予熱温度;175°C圧空ボックスへの導入空気;25°C元圧力0.4MPa圧空真空圧空賦形;5秒、圧空圧0.4MPa、圧空空間は閉鎖空間であり、実質的に賦形後のブロウは行われていない。圧空温度約65°Cセンサー位置により少し変わる熱処理温度界面温度;約172~177°C部位によるバラツキ賦形時に上記表面温度は瞬間的に約160°Cに低下し、回復してこの温度になった。冷却手段作動時間;3秒離型時に表面界面温度は120°Cに低下し、その後数秒で元の設定温度に回復した。4成形結果;得られた成形品は少なくとも130°Cの耐熱2分オイル浸漬テストで目立った変形のないものを合格とする以下実施例でも同様を有し透明で良好な形状のものであった。330×550mmの全成形面が均一に成形されたものであった。なお、比較のために、使用した冷却手段の水平排気通路を閉鎖し、同一条件で成形して得られた成形品は、全成形面の中央付近に収縮変形がみられ、細部の状態はシャープでなかった。図2の構成で、図2に示す冷却手段を用い、実施例1と同じ材料により熱処理を伴う成形を行った。1成形材料;実施例1と同じもの2成形装置成形機;実施例1と同じものを使用した。圧空ボックス;図1に示す態様で、実施例1に示すものと同形、同寸法であるが加熱ヒーターを内蔵し、導入気体及び気体送出面成形型対向面を加熱する構造とした。なお気体送出面には耐熱黒色塗料を塗布して赤外線放射効率を高くした。なお、圧空ボックス側壁には各面に排気口を設け、任意に必要な程度に排気できるようにした。成形型;実施例1と同じものを、同じ構成で使用した。3成形方法と成形条件;樹脂シートの予熱;実施例1と同様にした。背後層温度;220°C設定固定板温度とほぼ等しい成形型設定表面温度;185°C成形型/賦形体界面の到達最高点温度は、195°Cとなった。加熱板への導入空気;温度350°C、元圧0.4MPa圧空真空圧空賦形;3秒、圧空圧0.2MPa、圧空空間は完全閉鎖でなく、高温圧空空気の排気がなされながら賦形と賦形体の昇温が行われた。圧空温度は約280°Cセンサー位置により変わるとなった。冷却手段の空気ブロウ時間;3.6秒4成形結果;得られた成形品は少なくとも150°Cの耐熱を有し透明で良好な形状のものであった。330×550mmの全成形面が均一に成形されたものであった。なお、比較のために、使用した冷却手段の水平排気通路を閉鎖し、同一条件で成形して得られた成形品は、全成形面の中央付近に収縮変形がみられ、細部の状態はシャープでなかった。公知の通常の加熱板を用いた図3の装置構成で、図5の冷却手段を用い延伸PETシートの熱処理を伴う成形を行った。1成形材料;実施例1と同じものを使用した。2成形装置成形機;実施例1と同じものを使用した。加熱板;図3の10に示す通常圧空方式の、炭素鋼製で有効寸法330×550mmの予熱面を持ち、間隔10mmの碁盤格子の交点毎に径1mmφの噴射吸引孔を穿ったものを使用した。冷却手段;図2に示す構造、すなわち噴射された冷却用気体の反射流を、噴射ノズル間に設けた通路をから吸い込み水平方向に排気する方式図5に示す構造で強制排気47がないのもの。有効寸法330×550mmのもの。成形型;図3の60に示す表面層/背後層方式のもので、アルミニウムA5052を背後層とし、その上にPEEK樹脂b値は0.350.2mmの表面層を形成させたものを使用した。成形物は深さ直径90mm、深さ30mmの丸皿形状物で、成形型の外寸を110mm角としたもの15個をヒーター内包の固定板に固定し、内寸222×332mmの収納ボックスに収めた。なお、成形型の上面は収納ボックス側壁より3mm低くなるようにし、又側壁とは1mm間隙を設けた。温度測定一部の成形型の成形面には細線熱電対先端露出させて這わせ、成形面温度及び賦形体界面温度を測定できるようにした。また、同様に細線熱電対を加熱板の裏から貫通させて配置して噴射空気温度の測定ができるようにした。3成形方法と成形条件;樹脂シートの予熱;95°Cに設定した加熱板に2秒間吸着して接触させ予熱。なお、これでシート温度がほぼ95°Cに予熱されていることは、別途確認済みである。背後層温度;195°C固定板温度とほぼ等しい成形面予熱温度;180°C加熱板への導入空気;25°C元圧力0.4MPa圧空真空圧空賦形;4秒、圧空圧0.4MPa圧空空間は閉鎖空間であり、実質的に賦形後のブロウは行われていない。圧空温度約60°Cセンサー位置により少し変わる熱処理温度界面温度;約172~177°C部位によるバラツキ賦形時に上記表面温度は瞬間的に約160°Cに低下し、回復してこの温度になった。冷却手段作動時間;3秒離型時に表面界面温度は120°Cに低下し、その後数秒で元の設定温度に回復した。4成形結果;得られた成形品は少なくとも120°Cの耐熱オイル浸漬テストを有し透明で良好な形状のものであった。330×550mmの全成形面が均一に成形されたものであった。なお、比較のために、使用した冷却手段の水平排気通路を閉鎖し、同一条件で成形して得られた成形品は、全成形面の中央付近に少し収縮変形がみられ、細部の状態はシャープでなかった。図4の装置構成で、冷却手段として図11示すものを用い、成形型を公知の通常用いられるものに変更して装着し、実施例1と同じ成形材料シートを使用して以下のテストを行った。1装置及び成形条件成型機;実施例1と同じものを使用した。成形型;一般的に用いられるアルミニウム材A5052製の単純構成のものを、ヒーターを内蔵した固定板に固定して使用した。加熱板による樹脂シート予熱;95°Cの加熱板に2秒間吸着して接触させ予熱。加熱板への導入空気温度;380°C真空圧空賦形及び熱処理;0.4MPa、5秒成形型表面温度;160°C予熱、熱処理時175°Cに到達冷却手段作動時間;10秒水と空気を交互に噴射2成形テストの結果;成形全面で、耐熱120°Cの良好な成形品がえられた。なお、比較のためにこの条件で排気ブロウ47を止めた状態では、成形状態がやや低下し、特にコーナー部分が丸みを帯びたものとなった。更に水噴霧を行わず空気噴射のみで冷却したものは良好成形状態とはならなかった。これは大きな熱浸透率をもつアルニウムにより熱が奪われるからである。図10の装置構成、すなわち真空賦形の方法を用い、図10の冷却手段にて延伸PETシートの熱処理を伴う成形を行った。1成形材料;実施例1と同じものを使用、2成形装置成形機;実施例1と同じものを使用した。賦形手段;真空賦形樹脂シートの予熱;赤外線予熱オーブン成形型;実施例1と同じものを同じように組み込んで構成した。冷却手段;図10の構造のものをプレス天板に固定し、冷却時に降下させて気体噴射するように構成。なお真空賦形に際して、噴射ノズルによりプラグアシストしながら真空賦形をおこなった。3成形条件樹脂シート予熱;95°C成形型表面温度;190°C真空賦形;瞬間熱処理;4秒真空賦形に続いて真空保持し、成形型熱で熱処理熱処理温度成形型表面温度183°Cとなった。冷却手段作動時間;2秒噴射冷却離型時の成形型表面温度は約120°Cとなった。なお、噴射ノズル面プラグアシストを行うアルミニウム面の温度は成形直前には環境温度により約90°Cになっていた。4成形結果離型時の変形収縮はなく、有効に熱処理されていることが認められる。冷却対象との間隙を縮め、噴射気体を高速で賦形体に接触させ効果的な冷却を行うことができた。"