重ね合わせられた接合対象ワークを載置するアンビルと、前記接合対象ワークを押圧する面に形成されて超音波接合時に塑性流動したワークが流れ込む溝を含み、接合対象ワークを押圧して超音波振動することで接合対象ワークを接合するホーンと、を有する超音波接合装置。請求項1に記載の超音波接合装置において、前記溝は、ホーンの周縁近傍に形成され、超音波振動方向に延びる、ことを特徴とする超音波接合装置。請求項1又は請求項2に記載の超音波接合装置において、前記溝は、ホーンの周縁近傍に形成され、超音波振動方向に直交する方向に延びる、ことを特徴とする超音波接合装置。請求項1に記載の超音波接合装置において、前記溝は、超音波振動方向に直交する方向に延びる対辺にわたって形成され、超音波振動方向に延びる中心線を跨ぐことなく、超音波振動方向に対して斜め方向に延びる、ことを特徴とする超音波接合装置。請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の超音波接合装置において、前記溝の内側の領域には、凸凹が形成されていない、ことを特徴とする超音波接合装置。請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の超音波接合装置において、前記ホーンの接合対象ワークを押圧する面のベース形状は、振動方向を直交する断面で見たときに円弧状である、ことを特徴とする超音波接合装置。しかしながら、特許文献1の手法では、厚板のような剛性の高いワークでなければ適用できなかった。箔のような剛性の低いワークに適用しようとすると、ワークが塑性流動に起因する著しい変形を生じてしまうことがあるという問題点が本件発明者によって知見された。本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたものであり、箔のような剛性の低いワークに適用しても、塑性流動による変形が抑制される超音波接合装置を提供することを目的とする。本発明は以下のような解決手段によって前記課題を解決する。本発明は、重ね合わせられた接合対象ワークを載置するアンビルと、接合対象ワークを押圧して超音波振動することで接合対象ワークを接合するホーンと、を有する。そして、ホーンは、前記接合対象ワークを押圧する面に形成されて超音波接合時に塑性流動したワークが流れ込む溝を含むことを特徴とする。本発明によれば、溝に塑性流動したワークが流れ込む。したがって、塑性流動したワークが接合部分の外への流出してしまうことが抑制される。そのためワークが箔のような剛性の低いワークであっても塑性流動による変形が抑制される。以下では図面等を参照して本発明を実施するための形態について、さらに詳しく説明する。第1実施形態上述のように、超音波接合は、重ね合わせられた接合対象ワークを固定側のアンビルに載置して稼働側のホーンで押圧して、ホーンを超音波振動させることで、上下の接合対象ワークの当接面の酸化膜を剥がして金属面同士を接合する工法である。ホーン及びアンビルのフェースに形成された凸凹パターンは、たとえば特開平6-155051号公報の図2~4に示されているように一致しないことが一般的である。このようなホーン及びアンビルで接合対象ワークを挟むと、加圧力が不均一になり、接合が安定して行なわれない可能性があり、接合品質が安定しないおそれがある。また特許文献1のように、ホーンのフェースには凸凹パターンを一切形成しないで、箔のような剛性の低いワークに適用した場合に、ワークが塑性流動に起因する著しい変形を生じてしまうことがある。そこで本発明では、ホーンを以下のようにした。図1は本発明による超音波接合装置の第1実施形態におけるホーンのフェース付近を示す図であり、図1はフェースを見た図であり、図1は図1の右側面図である。なお図1では、紙面左右方向が超音波振動方向であり、紙面上下方向が超音波振動に直交する方向である。図1から判るように、振動方向から見ると、又は振動方向を直交する断面で見ると、ホーン20のフェース21のベース形状は円弧状である。そして図1から判るように、ホーン20のフェース21には、凹パターン211が形成される。凹パターン211は、超音波振動方向に直交する方向に延びる対辺23にわたって形成される。また凹パターン211は、ホーン20の周縁22の近傍に形成され、超音波振動方向に延びる。このような凹パターン211は、たとえば研削又は放電加工によれば簡易に形成できる。そして凹パターン211の内側の領域には、凸凹が形成されていない。図2は、第1実施形態の超音波接合装置を示す図である。図3は、アンビルに載置された接合対象ワークをホーンで押圧したときの加圧力の分布を示す図である。超音波接合装置1は、アンビル10と、ホーン20と、を含む。アンビル10は、固定された部材である。アンビル10は、重ね合わせられた接合対象ワークを載置する。図2では、電極タブ51及び集電箔521~524が接合対象ワークである。ホーン20は、超音波振動する部材である。ホーン20は、アンビル10に載置された接合対象ワークをフェースで押圧して超音波振動することで接合対象ワークを接合する。すなわちホーン20が超音波振動すると、上下の接合対象ワークの当接面の酸化膜が剥がれて金属面同士が接合されることとなる。図2では、ホーン20は、紙面左右に超音波振動する。なおホーン20は、振動方向の先端側及び後端側が面取りされている。このとき、中心線CLの近傍の加圧力が最も高いので、その部分から接合し始める。そして本実施形態では、凹パターン211の内側の領域には、凸凹が形成されていないので、加圧力は、図3で示されるように平準化される。そのため接合開始初期に安定して接合が開始される。接合開始初期に接合された部位が接合プロセスの進行とともに拡大するので、接合開始初期に安定した接合が行なわれると接合部全体の接合が安定して行なわれることになる。したがって接合部の品質が安定する。また、箔のような剛性の低いワークを、アンビルに載置してホーンで押圧して超音波接合すると、最初にホーンの超音波振動によってホーン側のワークとアンビル側のワークとが相対運動する。ワーク間で相対運動が発生すると、ワークに塑性流動が生じてホーンが沈み込む。時間の経過とともにホーンはワークに沈み込む。そしてホーンの沈み込み量に相当するワークの体積が塑性流動する。塑性流動したホーン側ワークは、加圧力の高い中心線CLの近傍から加圧力の低い周縁側へと移動しさらに外へ流出しようとする。しかしながら、周縁側のさらに外の部分は塑性流動状態ではないので、ワーク表面と同一平面に広がり出ることができない。そのため接合部分と外の部分との境界に歪が生じる。ワークの剛性に対して歪が過大であるときワーク全体が変形してしまう。これに対して、本実施形態では、周縁の近傍に、超音波振動方向に延びる凹パターン211を形成したので、この凹パターン211に塑性流動したワークが流れ込む。したがって、塑性流動したホーン側ワークが接合部分の外への流出してしまうことが抑制される。そのためホーン側ワークが箔のような剛性の低いワークであっても塑性流動による変形が抑制される。第2実施形態図4は本発明による超音波接合装置の第2実施形態におけるホーンのフェース付近を示す図であり、図4はフェースを見た図であり、図4は図4の右側面図である。なお以下では前述と同様の機能を果たす部分には同一の符号を付して重複する説明を適宜省略する。本実施形態では、図4から判るように、ホーン20のフェース21には、凹パターン212が形成される。凹パターン212は、超音波振動方向に並行する対辺22にわたって形成される。また凹パターン212は、超音波振動方向に直交する方向に延びる対辺23の近傍であって対辺23に沿って形成される。このような凹パターン212は、たとえば研削又は放電加工によれば簡易に形成できる。本実施形態によっても、超音波接合時に塑性流動したワークが凹パターン212に流れ込む。したがって、ホーン側ワークが超音波振動方向に塑性流動しても、接合部分の外への流出してしまうことが抑制される。そのためホーン側ワークが箔のような剛性の低いワークであっても塑性流動による変形が抑制される。第3実施形態図5は本発明による超音波接合装置の第3実施形態におけるホーンのフェース付近を示す図であり、図5はフェースを見た図であり、図5は図5の右側面図である。本実施形態では、図5から判るように、ホーン20のフェース21には、凹パターン211及び凹パターン212が形成される。凹パターン211は、超音波振動方向に直交する方向に延びる対辺23にわたって形成される。また凹パターン211は、ホーン20の対辺22の近傍に形成され、対辺22に沿って延びる。凹パターン212は、超音波振動方向に並行する対辺22にわたって形成される。また凹パターン212は、超音波振動方向に直交する方向に延びる対辺23の近傍に形成され、対辺23に沿って延びる。本実施形態によれば、超音波接合時に塑性流動したワークが凹パターン211及び凹パターン212に流れ込む。したがって、ホーン側ワークが超音波振動方向に塑性流動しても、接合部分の外への流出しない。そのためホーン側ワークが箔のような剛性の低いワークであっても塑性流動による変形が抑制される。第4実施形態図6は本発明による超音波接合装置の第4実施形態におけるホーンのフェース付近を示す図であり、図6はフェースを見た図であり、図6は図6の右側面図である。本実施形態では、図6から判るように、ホーン20のフェース21には、超音波振動方向に直交する方向に延びる対辺23にわたって、凹パターン214が形成される。凹パターン214は、ホーン20の超音波振動方向に延びる中心線CLを跨ぐことなく、超音波振動方向に対して斜め方向に延びる。ワークの形状及び超音波接合時のワークの拘束状態によっては、接合時の超音波振動塑性流動の影響でワークが回転する。これに対して本実施形態では、ホーンのフェースに、振動方向に対して一定の角度分布に不均一さを持たせることで接合部周辺に流出する塑性流動したホーン側ワークの量を調整するようにした。これによって接合部周辺に発生する歪の偏りを調整することができる。歪の偏りを接合時のワークの回転を抑制する方向に調整することでワークの回転を抑制できるのである。以上説明した実施形態に限定されることなく、その技術的思想の範囲内において種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に含まれることが明白である。たとえば、上述した凹パターンの大きさは一例に過ぎず、適宜変更してよい。