"エレクトレットを有し、該エレクトレットが面方向に並設された複数の帯電領域を有する可動基板と、前記可動基板と対向するように設けられた固定基板と、前記複数の帯電領域と対向するように前記固定基板に設けられており、面方向に並設された複数の電極部を有する固定電極と、第1の端部及び第2の端部を有し、第1の端部が前記可動基板に固定されている支持部材と、前記支持部材の第2の端部が固定されているケース材とを備え、外力が加わった際に前記可動基板が前記固定基板と対向した状態を維持したまま該対向方向と直交する面内において前記支持部材の前記第1,第2の端部間の部分を支点として前記可動基板が揺動するように、前記可動基板が前記支持部材により前記ケース材に連結されている、発電装置。前記支持部材が第1の端部と第2の端部とを結ぶ方向が長さ方向である板バネからなる、請求書1に記載の発電装置。前記可動基板が、支持基板と、支持基板上に積層されたエレクトレットとを有し、前記支持基板と前記支持部材とが別部材からなり、該支持基板に前記支持部材の第1の端部が固定されている、請求書1または2に記載の発電装置。前記可動基板が前記固定基板と対向した状態を維持しつつ、外力により揺動する場合の揺動範囲を規制するように設けられたストッパーをさらに備える、請求書1~3のいずれか一項に記載の発電装置。前記複数の帯電領域が、前記支持部材側に位置する第1の端部と、第1の端部とは反対側の第2の端部とを有し、第1の端部から第2の端部に向かうにつれて幅が広がっている形状を有し、複数の帯電領域が前記第1の端部側から第2の端部側に向かうにつれて放射状に延ばされており、前記固定電極の前記複数の電極部が、前記複数の帯電領域と同一の形状とされている、請求書1~4のいずれか一項に記載の発電装置。前記各帯電領域及び各電極部が、略三角形の形状を有する、請求項5に記載の発電装置。隣り合う前記帯電領域間において、隣り合っている側縁が互いに平行である、請求項5または6に記載の発電装置。前記支持部材の第1,第2の端部を結ぶ長さをa、前記放射状に配置された複数の帯電領域の中心と、前記可動基板の前記支持部材が接合されている端面との間の距離をbとしたとき、b/aが0.27以上0.55以下の範囲にある、請求項1~7のいずれか一項に記載の発電装置。特許文献1や特許文献2に記載の静電誘導型の発電装置では、可動基板が固定基板と対向した状態で、固定基板の面方向において、往復移動するように可動基板が振動する。このような振動を可能とするために、バネ1007,1008や特許文献2に記載のバネ部材が用いられている。しかしながら、このような構造では、可動基板を振動させるには、100mG程度の大きな加速度が加わる必要があった。他方、人の動作や日常生活で使用される機器により発生する振動の加速度は、数mG程度である。従って、従来の発電装置において、このような小さな加速度で可動基板を振動させることはできなかった。本発明の目的は、人の動作などにより発生する小さな外力、例えば、小さな加速度が加わった場合でも静電誘導により大きな電力を取り出すことを可能とする発電装置を提供することにある。本発明に係る発電装置は、可動基板と、固定基板と、固定電極と、支持部材と、ケース材とを備える。可動基板は、エレクトレットを有し、該エレクトレットが面方向に並設された複数の帯電領域を有する。固定基板は、可動基板と対向するように設けられている。固定電極は、複数の帯電領域と対向するように固定基板に設けられている。また、固定電極は、面方向に並設された複数の電極部を有する。支持部材は、第1の端部及び第2の端部を有し、第1の端部が可動基板に固定されている。ケース材には、支持部材の第2の端部が固定されている。本発明に係る発電装置では、外力が加わった際に可動基板が固定基板に対向した状態を維持したまま該対向方向と直交する面内において支持部材の第1,第2の端部間の部分を支点として可動基板が揺動するように、可動基板が支持部材によりケース材に連結されている。本発明に係る発電装置のある特定の局面では、支持部材が第1の端部と第2の端部とを結ぶ方向が長さ方向である板バネからなる。この場合には、上記板バネを用いることにより、可動基板を支持部材の第1,第2の端部間の部分を支点として小さな外力で確実に揺動させることができる。本発明に係る発電装置の他の特定の局面では、可動基板が、支持基板と、支持基板上に積層されたエレクトレットとを有し、支持基板と支持部材とが別部材からなり、該支持基板に支持部材の第1の端部が固定されている。この場合には、支持基板によりエレクトレットが支持されているため、可動基板が撓み難い。本発明に係る発電装置の別の特定の局面では、可動基板が固定基板と対向した状態を維持しつつ、外力により揺動する場合の揺動範囲を規制するように設けられたストッパーをさらに備えられている。この場合には、可動基板の揺動範囲が規制されるため、可動基板の破損が生じ難い。本発明に係る発電装置のさらに別の特定の局面では、複数の帯電領域が、支持部材側に位置する第1の端部と、第1の端部とは反対側の第2の端部とを有し、第1の端部から第2の端部に向かうにつれて幅が広がっている形状を有し、複数の帯電領域が第1の端部側から第2の端部側に向かうにつれて放射状に延ばされており、固定電極の複数の電極部が、複数の帯電領域と同一の形状とされている。この場合には、可動基板が揺動した場合に、より一層大きな電力を取り出すことができる。好ましくは、各帯電領域及び各電極部が、略三角形の形状を有する。この場合には、各帯電領域を各電極部が単純な形状を有するため、これらを容易に形成することができる。本発明に係る発電装置のさらに他の特定の局面では、隣り合う帯電領域間において、隣り合っている側縁が互いに平行である。この場合には、より一層大きな電力を発生させることができる。本発明に係る発電装置のさらに他の特定の局面では、支持部材の第1,第2の端部を結ぶ長さをa、放射状に配置された複数の帯電領域の中心と、可動基板の支持部材が接合されている端面との間の距離をbとしたとき、b/aが0.27以上0.55以下の範囲にある。この場合には、より一層大きな電力を取り出すことができる。本発明に係る発電装置では、可動基板が支持部材により上記のようにケース材に連結されているため、外力が加わった際に、可動基板が固定基板と対向した状態を維持したまま支持部材の第1,第2の端部間の部分を支点として揺動する。従って、小さな外力が加わった場合であっても、可動基板が確実に揺動する。よって、人の動作などにより発生する小さな外力により電力を取り出すことができる。以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。図1a及びbは、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1の模式的側面断面図及び模式的正面断面図である。発電装置1は、ケース材2を有する。ケース材2は、上方に開いた開口2aを有する。ケース材2の形状は、特に限定されるわけではないが、本実施形態では、ケース材2の平面形状は矩形である。ケース材2は、アルミナなどの絶縁性セラミックス、合成樹脂、金属などの適宜の剛性材料により形成することができる。なお、ケース材2が金属からなる場合には、電力取り出し用の導電性部材と適宜電気的に絶縁することが望ましい。ケース材2の開口2aを封止するように、固定基板3がケース材2に接合されている。固定基板3は、アルミナなどの絶縁性セラミックスまたは合成樹脂などの適宜の絶縁性材料からなる。固定基板3のケース材2と接合されている側の面下面には、固定電極4が形成されている。固定電極4は、Ag、Al、Cu、Auまたはこれらの合金などの適宜の金属もしくはこれらの金属を主体とする合金からなる。固定電極4の形状については後述する。上記ケース材2と固定基板3とで封止されている空間内に、可動基板5が配置されている。可動基板5は、本実施形態では、支持基板6と、支持基板6上に設けられたエレクトレット7とを有する。支持基板6は、本実施形態では、金属からなるが、セラミックスや合成樹脂等により形成されてもよい。可動基板5は、板バネからなる支持部材8によりケース材2に支持されている。図2aは、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1で用いられている可動基板5と支持部材8とを示す模式的正面図であり、図2bはその模式的平面図である。図2a及びbに示すように、支持基板6は、矩形板状の形状を有する。支持基板6は、対向し合う第1,第2の側面6a,6bを有する。第2の側面6bに、支持部材8の第1の端部8aが固定されている。また、支持部材8の第2の端部8bは、ケース材2の内側壁に固定されている。支持部材8を構成している板バネは、ステンレスなどの適宜の金属からなる。支持部材8の第1の端部8aは、第2の側面6bの長さ方向中央に固定されている。従って、支持部材8の第1の端部8aと第2の端部8bとの間の部分を支点として揺動し得るように、可動基板5が支持部材8により支持されている。他方、支持基板6の上面には、複数の凹部6cが形成されている。支持基板6の下面にも、複数の凹部6dが形成されている。凹部6c,6dは、図2bに示すように正方形の平面形状を有する。図1a及びbに示すように、凹部6c,6d内に、回転体9が配置されている。回転体9の径は、凹部6cの底部と固定基板3の下面との間の距離並びに凹部6dの底部とケース材2の内底面との間の距離とほぼ等しくされている。回転体9は、凹部6c,6d内において回転自在となるように収納されている。従って、回転体9により、可動基板5の上面と固定基板3の下面との間の距離並びに可動基板5の下面とケース材2の内底面との間の距離を一定にすることが可能とされている。可動基板5の上面と固定基板3の下面との間の距離が一定であることにより、エレクトレット7と固定電極4との間の距離が一定とされる。すなわち、エレクトレット7が固定電極4に対向した状態を維持したまま、該対向方向と直交する面内において、可動基板5が支持部材8の第1,第2の端部8a,8b間の間を支点として揺動し得る。回転体9は、本実施形態では、金属からなる球体により構成されている。もっとも、回転体9は、セラミックスや合成樹脂等により形成されてもよい。また、回転体9の配置については特に限定されず、複数個の回転体9、好ましくは3個以上の回転体9が固定電極4を囲む部分に均一に配置されていることが望ましい。それによって上記間隔を一定に保つことができる。本実施形態の発電装置1では、加速度などの外力が加わった際に、可動基板5が上記のように揺動する。特許文献1や特許文献2に記載の従来の発電装置では、可動基板が固定基板と対向した状態で、固定基板の面方向において往復移動するように可動基板が振動する。そのため、可動基板の両側に一対のバネ部材を配置しなければならなかった。そのため、小さな外力では十分に可動基板が振動せず、電力を取り出すことができなかった。これに対して、本実施形態の発電装置1では、可動基板5が上記のように揺動するため、わずかな外力で電力を取り出すことができる。よって、人の動作などにより生じる小さな加速度が加わった場合でも、電力を発生させることができる。これを、エレクトレット7及び固定電極4をより詳細に説明することにより、明らかにする。図2bに示すように、金属からなる支持基板6上にエレクトレット7が設けられている。すなわち、固定電極4が形成されている領域と対向する領域にエレクトレット7が配置されている。エレクトレット7は、合成樹脂または無機材料からなる。合成樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレンのようなフッ素樹脂を挙げることができる。無機材料としては、SiO2などを挙げることができる。エレクトレット7は、このような正または負に帯電され得る適宜の材料により形成することができる。本実施形態では、エレクトレット7はポリテトラフルオロエチレンからなる。なお、特に図示はしないが、エレクトレット7を覆うように保護層を形成してもよい。このような保護層としては、SiN、AlN、Al2O3などの適宜の無機材料あるいは適宜の有機材料を挙げることができる。本実施形態では、エレクトレット7は、複数の帯電領域11を有する。各帯電領域11は、支持部材8側に位置する第1の端部11aと、反対側の第2の端部11bとを有する。そして、複数の帯電領域11は、第1の端部11aから第2の端部11bに行くにつれて幅が広がっている形状を有する。より具体的には、本実施形態では、各帯電領域11は、略三角形の平面形状を有する。すなわち、各帯電領域11は、第1の端部11a側を頂点とする略三角形の平面形状を有する。もっとも、本実施形態では、各帯電領域11は、二等辺三角形の第1の端部11a側の頂点が削られた略二等辺三角形の形状とされているが、二等辺三角形の形状であってもよい。また、複数の帯電領域11の第2の端部11b側は、後述する揺動中心を中心とする円の円弧状部分であってもよい。すなわち、帯電領域11は、扇形の形状を有していてもよい。上記複数の帯電領域11が、正または負に帯電されている。エレクトレット7の帯電方法を図3を参照して説明する。図3は、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1に用いられるエレクトレット7の帯電方法を説明するための模式的断面図である。図3に示すように、支持基板6上に設けられたエレクトレット7の上面に、金属マスク12を配置する。金属マスク12は開口部12aを有する。開口部12aは、エレクトレット7の帯電領域11に対応する位置に設けられている。図3に示すように、金属マスク12をエレクトレット7に載置した状態で上からコロナ放電する。その結果、エレクトレット7の開口部12aにより露出している部分に図示のように負電荷がチャージされる。これによって、エレクトレット7の開口部12aにより露出している部分を負の帯電領域である帯電領域11とすることができる。なお、正の電荷をチャージしてもよく、その場合には、帯電領域11を正の帯電領域とすることができる。上記のようにして、図2bに示した形状の複数の帯電領域11を容易に形成することができる。本実施形態では、複数の帯電領域11では、第1の端部11aから第2の端部11b側に向かうにつれて複数の帯電領域11が放射状となるように延ばされている。この放射状の中心は、好ましくは、可動基板5が揺動する際の揺動中心Oに一致していることが望ましい。それによって、大きな電力を取り出すことができる。もっとも、この放射状の中心と揺動中心Oとは必ずしも一致せずともよい。図4は、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1で用いられている固定基板3の模式的透視平面図である。具体的には、図4は、固定基板3を透かして固定電極4を示す模式的平面図である。固定電極4は、第1の電極4Aと第2の電極4Bとを有する。第1の電極4Aは、複数の電極部13を有する。第2の電極4Bは、複数の電極部14を有する。各電極部13,14は、前述したエレクトレット7の帯電領域11と同様に略三角形の平面形状を有する。複数の電極部13は、バスバー15により一端が共通接続されている。バスバー15が、第1の取り出し電極16に接続されている。複数の電極部14は、バスバー17により一端が共通接続されている。バスバー17が、第2の取り出し電極18に接続されている。複数の電極部13と、複数の電極部14とは、周知の櫛歯電極の電極指のように互いに間挿し合っている。もっとも、図4に示すように、複数の電極部13及び複数の電極部14は、放射状に延ばされている。すなわち、仮想の放射中心Xの周りに放射状となるように複数の電極部13,14が形成されている。また、複数の電極部13,14は、前述したように、エレクトレット7の帯電領域11と同じ形状とされている。この場合、複数の電極部13は、放射中心X側の端部が細く、反対側の端部に向かうにつれて幅が広くなるように形成されている。同様に、複数の電極部14も、放射中心X側の端部が狭く、反対側の端部に向かうにつれて幅が広くなるように形成されている。もっとも、複数の電極部13は、上記放射中心Xに近い側においてバスバー15により共通接続されている。他方、複数の電極部14は、放射中心Xとは反対側の端部においてバスバー17により共通接続されている。電極部13,14も、エレクトレット7の帯電領域11と同様に、略二等辺三角形の形状を有しているが、二等辺三角形の形状を有していてもよく、また扇形の形状を有していてもよい。図5は、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1における複数の帯電領域11の位置関係を示す模式的平面図である。図6は、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1の好ましい変形例における複数の帯電領域11の位置関係を示す模式的平面図である。図5では、説明を容易とするために、各帯電領域11の幅を若干小さく図示している。帯電領域11は一対の側辺11c,11dを有し、一対の側辺11c,11dは放射中心Yを中心とする放射方向すなわち放射中心Yを中心とする円の半径方向に延びている。この場合、隣り合う帯電領域11,11間のスペースが大きくなる。これに対して、図6に示す変形例では、隣り合う帯電領域11,11において、隣り合う一方の帯電領域11の側辺11cと隣り合う他方の帯電領域11の側辺11dとは、互いに隣り合う側辺11c,11d間の中心を通る放射方向Rと平行とされている。言い換えれば、互いに隣り合う側辺11c,11dは、放射中心Yを中心とする円の半径方向と平行ではない。このように、隣り合う帯電領域11,11の互いに隣り合う側辺11c,11dを、互いに平行に、特に図6に一点鎖線で示す放射方向Rと平行とすることが望ましい。隣り合う一方の帯電領域11の側辺11cと隣り合う他方の帯電領域11の側辺11dとを、互いに隣り合う側辺11c,11d間の中心を通る放射方向Rと平行にすることにより、隣り合う帯電領域11,11間のスペースを小さくすることができる。それによって、発電量を高めることができる。この場合、固定電極4についても同様の形状とすることが望ましい。それによって、エレクトレット7の帯電領域11と固定電極4の対向面積をより一層大きくすることができる。従って発電量をより一層大きくすることができる。次に、図7及び図8を参照して、発電装置1の動作を説明する。図7a及びbは、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1において、可動基板5が揺動する状態を説明するための各模式的平面図である。具体的には、図7a及びbは、固定基板3を透かした状態を示す模式的平面図である。図8a~cは、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1の動作を説明するための各模式的断面図である。図8a~cに示すように、電極部13,14を有する固定電極4には負荷19が接続されている。図7aは、発電装置1に外力が加わる前の可動基板5の状態を示す。この状態から、人の動作などにより発生した加速度などの外力が加わると、図の矢印で示すように可動基板5が揺動する。すなわち、図7bに示すように、可動基板5が支持部材8の支点8cを中心として変位する。支点8Cは、揺動中心Oである。支持部材8が板バネからなるため、その復元力により、図7bに示した状態から再度図7aに示す状態を経て、可動基板5が図7bに示す位置と反対側に向かって移動することとなる。すなわち、図7aに矢印で示すように可動基板5が揺動する。図8aは、図7aと同様に、発電装置1に外力が加わる前の状態を示す。固定基板3の固定電極4の電極部13,14のうち、電極部13が、帯電領域11に対向しているとする。この場合、静電誘導により、電極部13に正の電荷が誘起される。しかる後、発電装置1に外力が加わることで、図8bに示すように、可動基板5が固定基板3に対して図面上右側に移動し、電極部14が、帯電領域11に対向する。この状態では、静電誘導により電極部14に正の電荷が誘起される。さらに、図8cに示すように、可動基板5が固定基板3に対して図面上右側に移動し、電極部13が、帯電領域11に再度対向する。この場合、電極部13に再度正の電荷が誘起される。従って、上記のように可動基板5が揺動することにより、電極部13を有する第1の電極4Aと電極部14を有する第2の電極4Bとの間で交流電力を取り出すことができる。すなわち、図8a~cに示されている負荷19に交流電力を与えることができる。上記のように、本実施形態の発電装置1では、ケース材2内において、可動基板5が支持部材8の一部を支点として揺動するように配置されているため、小さな外力、具体的には小さな加速度が加わった場合でも、電力を確実に発生させることができる。なお、小さな外力で大きな電力を取り出すには、放射状の帯電領域11の中心位置は、次に述べる比b/aが0.27以上0.55以下の範囲であることがより望ましい。これを図2及び図9を参照して説明する。図2bにおける長さaすなわち支持部材8の長さをaとする。ここで支持部材8の長さとは、支持部材8の可動基板5と接合されている部分から支持部材8のケース材2と接合されている部分までの長さを言うものとする。また、図2bに示す揺動中心Oである支点8cと、支持部材8の可動基板5と接合されている部分までの長さをbとする。すなわち、複数の帯電領域11の放射状の中心と、支持部材8の可動基板5と接合されている部分までの長さをbとする。長さbの長さaに対する比b/aを種々変化させ、可動基板5の振動による共振周波数の変化を求めた。結果を図9に示す。この共振周波数は、外力が発電装置1に加えられることによる振動の共振周波数である。人の動作、例えば歩行などにより得られる振動の周波数は、1Hz~50Hzの帯域である。図9から明らかなように、このような低周波帯で振動させるには、共振周波数が1Hz~50Hz付近となるように比b/aを設定すればよい。よって、比b/aが0.27以上0.55以下の範囲内であれば、共振周波数を1~50Hzとすることができる。従って、このような低周波の振動で十分な電力を取り出すには、比b/aは0.27以上0.55以下の範囲とすることが望ましい。また、本実施形態では、上記板バネからなる支持部材8の厚み及び幅を調整することにより、可動基板5が振動する際の共振周波数を容易に調整することができる。従って、用途に応じて、すなわち加わる外力による振動の周波数に応じて、発電装置1を容易に提供することができる。図10は、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1の他の変形例を示す模式的平面図である。具体的には、図10は、固定基板3を透かした状態を示す模式的平面図である。発電装置1では、可動基板5が支持部材8の中間位置を支点として揺動する。この揺動範囲が大きすぎると、可動基板5がケース材2の内側壁に衝突するおそれがある。可動基板5がケース材2の内側壁に衝突した場合、可動基板5が破損するおそれがある。あるいは、可動基板5が、支持部材8の変形許容範囲を超えて変位するおそれがある。すなわち、支持部材8が弾性復元する範囲を超えて変形した場合、支持部材8の中間を支点として可動基板5を揺動させ続けることができなくなる。図10に示す変形例では、可動基板5の揺動範囲を規制するために、ストッパー21がケース材2の内側壁に固定されている。すなわち、ストッパー21は、可動基板5の揺動方向においてその揺動範囲が規制されるように、ケース材2の内側壁から可動基板5側に向かって突出されている。この突出量により、可動基板5の揺動範囲を調整することができる。上記ストッパー21を設けることにより可動基板5のケース材2の内側壁との衝突を防止することができる。あるいは、支持部材8の許容範囲を超えた変形を防止することができる。図11a及びbは、本発明の第1の実施形態に係る発電装置1のさらに他の変形例を説明するための模式的側面図である。上記実施形態では、可動基板5を構成している支持基板6の側面に支持部材8の第1の端部8aが固定されていたが、図11a及びbに示すように、支持基板6に凹部6eを設け、凹部6eに支持部材8を第1の端部からはめ込むことにより、支持部材8を支持基板6に連結してもよい。"