液体を吐出するための複数の吐出口、および各吐出口に連通する液体流路を有する被覆樹脂層と、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、および該液体流路に連通する液体供給口を有する基板とを含むノズルチップを備える液体吐出ヘッドであって、該液体供給口と該液体流路との間にフィルター層が形成されており、該フィルター層が、液体流量を確保するための、吐出口径以下の開口径を有する貫通孔と、液体中のゴミを捕獲するための、先端を液体供給口側にして該貫通孔よりも液体供給口側に配置される先細状構造体からなるゴミ捕集用突起体とを有することを特徴とするノズルチップを備えた液体吐出ヘッド。前記ゴミ捕集用突起体が、前記貫通孔1つに対して3つ以上配置され、各突起体が該貫通孔を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項1記載のノズルチップを備えた液体吐出ヘッド。前記ゴミ捕集用突起体の側面と、前記貫通孔が形成された該ゴミ捕集用突起体側のフィルター層の面とが、該ゴミ捕集用突起体の外部になす角度が、鈍角であることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドを製造する方法であって、1エネルギー発生素子を有する基板上に、前記ゴミ捕集用突起体の形状を決定するための樹脂パターンを形成する工程と、2該樹脂パターンに材料層を被覆し、該材料層に前記貫通孔を形成して、前記フィルター層を形成する工程と、3該フィルター層上に、前記液体流路を形成するための型材を形成する工程と、4該型材上に感光性樹脂層を被覆し、該感光性樹脂層に前記吐出口を形成する工程と、5該液体流路を形成するための型材を除去する工程と、6前記基板に前記液体供給口を形成する工程とを有することを特徴とするノズルチップを備えた液体吐出ヘッドの製造方法。しかし、従来のゴミ捕集用のフィルター構造は、インク中のゴミをフィルターの面で捕らえる構造であり、フィルターの貫通口にゴミが到達しやすく、ゴミを捕集した後に図5に示すようにフィルターの貫通口にゴミ10がつまることがあった。これにより、インク流量が低下することで、吐出に必要となるインクの供給量が減少し、結果として印字画像のカスレやムラの原因となることがあった。故に、本発明の目的は、液体中のゴミや異物を捕集した際のフィルターの目詰まりを防止し、ゴミ捕集後も液体流量の低下がなく安定した液体吐出が可能な液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することである。本発明は上記課題に鑑みて発案されたものであり、以下の特徴を有する。液体を吐出するための複数の吐出口、および各吐出口に連通する液体流路を有する被覆樹脂層と、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、および該液体流路に連通する液体供給口を有する基板とを含むノズルチップを備える液体吐出ヘッドであって、該液体供給口と該液体流路との間にフィルター層が形成されており、該フィルター層が、液体流量を確保するための、吐出口径以下の開口径を有する貫通孔と、液体中のゴミを捕獲するための、先端を液体供給口側にして該貫通孔よりも液体供給口側に配置される先細状構造体からなるゴミ捕集用突起体とを有することを特徴とする。また、前記液体吐出ヘッドを製造する方法であって、1エネルギー発生素子を有する基板上に、前記ゴミ捕集用突起体の形状を決定するための樹脂パターンを形成する工程と、2該樹脂パターンに材料層を被覆し、該材料層に前記貫通孔を形成して、前記フィルター層を形成する工程と、3該フィルター層上に、前記液体流路を形成するための型材を形成する工程と、4該型材上に感光性樹脂層を被覆し、該感光性樹脂層に前記吐出口を形成する工程と、5該液体流路を形成するための型材を除去する工程と、6前記基板に前記液体供給口を形成する工程とを有することを特徴とする。本発明により、液体中のゴミや異物を捕集した際のフィルターの目詰まりを防止し、ゴミ捕集後も液体流量の低下がなく安定した液体吐出が可能な液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することが可能となる。本発明にかかる液体吐出ヘッドについて図1に基づき説明する。なお、液体としては、例えば、インクおよびインクのプリント性を調整するための処理液を用いることができる。本発明の液体吐出ヘッドは、例えば、インクジェット記録ヘッドおよび回路形成用の導電ペーストの吐出ヘッドとして用いることができる。また、液体吐出ヘッドは、ノズルチップおよびノズルチップをマウントするチッププレートを含むことができる。ノズルチップは、複数の吐出口および液体流路を有する被覆樹脂層と、エネルギー発生素子および液体供給口を有する基板とを含む。以降、ノズルチップに着目して説明する。図1は本発明に係る液体吐出ヘッドより具体的には、ノズルチップの一例を示す模式図である。より具体的には、図1aは液体吐出ヘッドの上面図であり、図1bは、図1aに示される液体吐出ヘッドをA-A’に沿ってかつ基板2に垂直に切断した場合の切断面斜視図である。このノズルチップは、ノズル層1、基板2およびフィルター層11を有している。図1に示す液体吐出ヘッドは、液体例えばインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、およびその液体を発泡させるための駆動回路が形成された基板2表面に、被覆樹脂層であるノズル層1が配置されている。ノズル層1は、液体を吐出するための複数の吐出口1a、および各吐出口に連通する液体流路例えばインク流路1bを有している。エネルギー発生素子としては、例えば発熱素子や圧電素子を用いることができる。駆動回路としては、例えば、バイポーラトランジスタに代表される電圧制御型半導体素子やパワートランジスタ等の電流制御型半導体素子を用いることができる。また、基板2は、液体流路1bに連通する液体供給口例えばインク供給口12を有している。さらに、ノズル層1と基板2との間、より具体的には、液体流路1bと液体供給口12との間にフィルター層11が配置されている。このフィルター層11は、液体中のゴミを捕集するための先細状構造体からなるゴミ捕集用突起体3と、ゴミが捕集された後の液体を通過させ、液体流量を確保するための液体流量確保用貫通孔8とを有する。図1bでは、貫通孔8は、フィルター層11に対して垂直にフィルター層11を貫通しており、液体供給口12に供給された液体例えばインクは、貫通孔8を通過することにより液体流路1bに流れ込み、吐出口1aから吐出される。このため、貫通孔8の数や配置、形状等を調節することにより、液体流路1bに供給する液体流量を調節することができる。また、基板2と、貫通孔8が形成されたゴミ捕集用突起体側のフィルター層の面11aとは平行に形成されている。図1および2に示すフィルター層11において、突起体3は、貫通孔8より基板側、より具体的には液体供給口12側に形成されており、突起体3の側面は、基板2および面11aに対して傾斜している。先細状構造体は、先になるほど細くなる形状先細状をしており、基板2に対して平行に切断した際の切断面の面積が、基板2に近づくに従い小さくなっている。また、突起体の根元上記切断面の面積が最も大きい部分よりも先端上記切断面の面積が最も小さい部分が液体供給口側に配置されている。突起体3は、基板に対して垂直に配置することができ、図1や2では、突起体の先端を液体供給口12の方向図1では紙面下方に向けて配置されている。また、突起体3は、基板に対して傾斜させて、即ち、先端を図1の紙面左下方向や紙面右下方向に向けて配置することもできる。フィルター層11を液体供給口12と液体流路1bとの間に配置することにより、タンクから供給されるインクは液体流路1b、より具体的にはエネルギー作用室例えば、発泡室に到達する前に必ずフィルター層11を通過する。このためインク中のゴミを突起体3により確実に捕集することができ、ゴミが除去されたインクだけを貫通孔8を通過させて発泡室へ供給することができる。なお、エネルギー作用室とは、吐出させるためにインクを一時的に滞留させるための空間を意味し、このエネルギー作用室において、エネルギー発生素子のエネルギーが液体インクに作用する。なお、発泡室とは、発熱素子等により気泡を用いてインクを吐出する場合のエネルギー作用室のことを意味する。この際、ゴミを捕集するための突起体3の形状を先細状とすることで、互いに隣り合う2つの突起体3の間の間隔を、基板2に垂直な方向において、定間隔ではなく、異ならせることができる。これによりインク中のゴミのサイズに応じて捕集場所を変えることができ、インク中のゴミを3次元的に捕集することが可能となる。従って、突起体3の形状は先細状であれば良い。また、図4eに示すように、この突起体3の側面11bと、面11aとが、突起体3の外部に成す角度は鈍角であることが好ましい。突起体3としては、例えば、図1bに示すような円錐型、図2aに示すような角錐型などの錐状構造体や、図2bに示すような、これらの錐状構造体の突起先端部が平坦な形状のものを用いることができる。また、ゴミを容易に捕獲するため、突起体3は、液体流量確保用貫通孔1つに対して3つ以上配置され、各突起体が貫通孔8を取り囲むように形成されていることが好ましい。また、本発明では、貫通孔8の開口径を、吐出口1aの開口径以下に形成する。これにより、貫通孔8を通過するような微細なゴミはインク吐出の際にインクと同時に排出することができ、これらのゴミがノズルをつまらせることを防ぐことができる。さらに、貫通孔8の開口径を、吐出口1aの開口径よりも小さく形成することが好ましい。なお、複数の吐出口の開口径がそれぞれ異なる場合は、全ての貫通孔8の開口径を一番小さい吐出口径以下となるようにすることができる。また、ゴミによってノズルがつまることを容易に防ぐために、貫通孔8の開口部分の最大径を、吐出口1aの開口部分の最小径以下とすることが好ましい。また、図1には、インク流路1bの径が吐出口径以上の形態が示されているが、インク流路の径が吐出口径より小さい場合は、ゴミがノズルに詰まることを容易に防ぐために、貫通孔の開口径をこのインク流路の径以下にすることができる。さらに、貫通孔8の開口径をインク吐出口の開口径以下とし、かつその範囲内で貫通孔の形状を任意に変化させることができる。例えば、貫通孔をフォトリソ法を用いて形成する場合、マスクパターン上で複数の貫通孔口径パターンを用いることで、口径や貫通孔径を、各々変えることが可能である。なお、各開口径は、顕微鏡画像や干渉画像に対して画像解析を行う画像処理装置等を用いて特定することができる。図1に示すように、本発明の液体吐出ヘッドでは、同一形状例えば円柱の吐出口1aを等間隔に配置することができる。また、同一形状例えば円柱の貫通孔8を等間隔に配置することができる。以下に本発明にかかる液体吐出ヘッドの製造工程の一例を説明する。図3および図4は本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例を説明するための模式的断面図であり、図1bと同様に液体吐出ヘッドをA-A’線に沿って切断した場合の、各工程での切断面の様子を示す切断面図である。以下にこれらの図を用いて、本発明の製造方法の各工程を説明する。はじめに、エネルギー発生素子を有する基板2として、例えば、発熱によりインク吐出させるための回路が形成されたSiウェハヒーターボードを用意する。この基板上に本発明に用いるゴミ捕集用突起体3の形状を形成するためのレジスト層4を形成する図3a。レジスト層4としては、例えば、フォトリソ法に用いる公知の感光性樹脂層を用いることができ、より具体的には、半導体用ポジ型レジストOFPR商品名、東京応化社製等を用いることができる。レジスト層4の形成方法としては、スピンコート法、スリットコート法等、必要な膜厚や形成条件に応じて適宜選択することが可能である。このレジスト層4をフォトリソ法によりパターニングし開口パターン樹脂パターン5を形成する工程1、図3b。開口パターン5は、エネルギー発生素子を有する基板2に直接形成されても良いし、基板2と開口パターン5との間に他の層が形成されていても良い。また、この開口パターン5はゴミ捕集用突起体3の形状を決定する型となり、開口パターン5の膜厚やテーパー角度αによってゴミ捕集用突起体3の形状が決定される。開口パターン5の形状、より具体的には、レジスト層4に形成された凹みの形状例えば、円錐型を、ゴミ捕集用突起体3の形状と一致させることができる。なお、テーパー角度αとは、図3bに示すように、パターニングにより形成されたレジスト層4の凹部の側面5bと、レジスト層4の凹部を有する面5aとが成す角度である。テーパー角度αは、図4eに示す突起体3の側面11bと面11aとが突起体内部に成す角度テーパー角度βと一致させることができる。従って、レジスト層4の膜厚や開口パターン5のテーパー角度αを必要に応じて適宜調整することにより、ゴミ捕集用突起体3の高さとテーパー角度βを所望の形状とすることが可能である。例えば、円錐型の突起体3を用いて、直径15μmの吐出口に対して、ゴミ捕集用突起体3を高さ5μm、テーパー角度β:60°、互いに隣り合う2つの突起の根元間距離を14μmとすると、その際の突起先端部間距離は約20μmとなる。これにより、突起根元から突起先端にかけて、互いに隣り合う2つの突起体3の間に14μm~20μmの間隙を設けることができる。これらの突起体3を用いた場合、直径20μm以上の大きさのゴミは突起先端部で止まり、直径14μm~20μmの大きさのゴミは、大きさに応じた間隙で捕集される。一方、インクはその間隙をすり抜けて、後に形成する貫通孔8を通過することができ、安定したインク流量を確保することが可能となる。この時、直径14μm以下のゴミは突起体間隙を通過するが、インク吐出口径は15μmであるため、吐出口につまることなくインク吐出の際に同時に排出される。次に、この開口パターン5上に、材料層13を形成する図3c。先細状構造体突起体3を構成する材料層13としては、インクによる腐食が生じない程度の化学的安定性と、インクの流れやインク中のゴミによる破損が発生しない機械強度を有すれば良い。また、材料層13には、ノズル層1と基板2との密着力を向上することのできる材料を用いることが好ましい。材料層13としては、例えばSOGSpinonGlass膜やポリメチルメタクリレート等の有機膜などが挙げられる。その際の材料層13の厚みは、フィルターとしての機械強度が保持でき、インク流抵抗を低下させない範囲、具体的にはノズルを構成する部材が有する内部応力により破損が発生しない厚み範囲で、ノズルの構成材料の応力に応じて最適化することが望ましい。次に、形成した材料層13にインク流量確保のための貫通孔8を形成して、フィルター層11を形成する工程2、図3d~図4a。貫通孔8の形成方法は、ウェットエッチング法やドライエッチング法、フォトリソ法などフィルター層11を構成する材料に応じて適宜選択することが可能である。例えば、フィルター層11の構成材料にネガ型レジストを用いる場合、フォトリソ法を用いてゴミフィルター層を直接パターニングすることが可能である。また、フィルター層11の構成材料にフォトリソ法でパターニングが困難な有機樹脂層を用いる場合であれば、以下のようにすることができる。即ち、図3dから図4aに示すように、まずエッチングマスク層として別途形成したレジスト層7にレジストパターン7aを形成して、イオンエッチング等の物理的な加工や、エッチング液による化学的な加工によって貫通孔8を形成することができる。なお、フィルター層11において、互いに隣り合う2つの突起体3は間を空けて形成することができ、貫通孔8は突起体3が形成されていない部分例えば、互いに隣り合う2つの突起体3の間に形成することができる。材料層13に形成する貫通孔8の開口形状は適宜変更することが可能であるが、フィルター層11の残留応力や基板変形により発生する応力が集中しないよう、曲線部からなる開口形状例えば、円形や楕円形にすることが望ましい。また、貫通孔8の開口総面積は、インク吐出に必要なインク流量を確保するため、インク吐出口の開口総面積以上とすることが望ましい。例えば、ノズル層1に形成する各インク吐出口の開口面積が200μm2であり、インク吐出口総数が1000であった場合、インク吐出口の開口総面積は200μm2×1000より200000μm2となる。この場合、材料層13に形成する貫通孔の開口総面積を200000μm2以上とすれば、常にインク吐出時に必要な最大流量よりもインク供給流量が上回る構造とすることができ、安定したインク吐出が可能となる。また、上述したように、材料層13に形成する貫通孔8は、3本以上のゴミ捕集用突起体3に囲まれる位置に形成することが望ましい。貫通孔8の周囲に3本以上のゴミ捕集用突起体3を設けることで、インク中のゴミは容易にゴミ捕集用突起体同士の隙間で捕獲される。これにより貫通孔8にゴミが到達し目詰まりが発生するのを容易に防ぐことが出来る。次に上記工程により形成されたフィルター層上にインク流路を形成するための型材9を形成する工程3、図4b。型材9としては、例えばポリメチルイソプロペニルケトン等を用いることができる。なお、型材9はフィルター層11表面に直接形成することができる。続いて、型材上に感光性樹脂層を被覆し、この感光性樹脂層にインク吐出口1aを形成して、吐出口1aを有するノズル層1を形成する工程4、図1c。本発明では、フィルター層11に、ノズル層1と基板の密着力を向上させる働きを有する密着向上層としての働きを持たせることもでき、フィルター層とノズル層とを密着させることができる。このため、ノズル層1の構成材料としては、フィルター層11との密着性が確保できる材料が望ましい。また、フィルター層に密着向上層としての働きを持たせない場合は、ノズル層1の構成材料は、フィルター層11を構成する材料と同一材料であることができる。感光性樹脂層は、型材9表面に直接形成することができる。また、ノズル層1とフィルター層11の密着性が低い場合、ノズル層1とフィルター層11の間に密着性を向上させるための密着向上層を別途設けることも可能である。次に、型材9および開口パターン5を除去液に浸漬させて、吐出口1aから溶出させ、インク流路1bを形成する図4d。除去液としては、例えば乳酸メチル等を用いることができる。上記工程を経て、ゴミ捕集用突起体3を有するフィルター層11が形成されたノズル部完成させる。なお、ノズル部とは、液滴が吐出される際に通過する流路を意味する。その後に基板2にインク供給口12を形成し、ゴミ捕集用突起体3を有するノズルチップを完成させる工程5、図4e。なお、インク供給口を形成する方法としては、例えば、水酸化カリウム水溶液や、またはアルカリ汚染が懸念される場合はテトラメチルアンモニウムヒドロキシル等の有機アルカリ溶液を用いたシリコンのエッチング方法や、フルオロカーボンガス等を用いたプラズマエッチング方式を用いることができる。実施例では、インクジェット記録ヘッドを作製した。実施例1以下、本発明の実施例について図3および図4をもとに具体的に説明する。はじめに、図3aに示す発熱素子、及び駆動回路が形成された直径150mm、厚み625μmのシリコンウェハをヒーターボード基板2として用意した。このヒーターボード上に、ゴミ捕集用突起体3の形状を形成するための樹脂をスピンコートにより塗布し、レジスト層4を形成した。樹脂としては、東京応化製ポジ型レジスト:OFPR-50cp商品名を使用し、樹脂塗布後のベーク温度は100°C、10分として、レジスト層4の膜厚が5μmとなるようスピンコートの回転数を調整した。塗布後にヒーターボード2からレジスト層4表面までの膜厚を測定したところ5μmであった。このレジスト層4をフォトリソ法によりパターニングし、図3bに示すようなゴミ捕集用突起体3の形状を決定するための樹脂パターン5を形成した工程1。次に、図3cに示すように、フィルター層11となる樹脂層13をスピンコート法により形成した。樹脂としては化薬マイクロケム株式会社製ネガ型レジストSU-8商品名を用いた。この際の塗布後のベーク温度は100°C、ベーク時間は100分として、材料層13の基板2表面からの膜厚が6μmとなるようにメイン回転数を調整した。さらに全面露光処理及び150°Cベーク処理を行い、材料層13を硬化させた。ベーク後に基板2から材料層13表面までの膜厚を測定したところその膜厚は6μmであった。次に図3dに示すように、材料層13をパターニングするための樹脂層レジスト層7をスピンコートにより塗布した。樹脂としては東京応化製ポジ型レジスト:OFPR-50cp商品名を塗布し、この際のスピンコートの回転数は500rpmとし、塗布後のベーク温度は100°C、ベーク時間は10分とした。図3eに示すように、この樹脂層7をフォトリソ法によりパターニングし、樹脂パターン7aを形成した。続いて、図4aに示すように、この樹脂パターン7aをエッチングマスクとして、フルォロカーボン系ガスを用いた反応性イオンエッチングにより材料層13を貫通するインク流量確保用貫通孔8を形成し、フィルター層11を形成した工程2。なお、この貫通孔8の開口形状は最小径と最大径がほぼ同一の真円形状であり、その開口径は、最も大きい開口径でも14μmであった。次に、図4bに示すように、ノズル層1のインク流路1bの型となる樹脂をスピンコート法により塗布し、型材9を形成した工程3。樹脂としては東京応化工業株製ポジ型Deep-UVレジストODUR-1010商品名を用いて、塗布後の膜厚を17μmとなるようにメイン回転数を調整し、塗布後ベークは100°C、ベーク時間は3分とした。この際、塗布後の基板2表面からの型材9の膜厚を測定したところ17μmであった。次いで、このレジストパターン型材9上に、図4cに示すノズル層1となる感光性樹脂をスピンコートにより被覆し、感光性樹脂層を形成した。樹脂としては化薬マイクロケム株式会社製ネガ型レジストSU-8商品名を用いた。この際メイン回転数は、基板2表面からのこの感光性樹脂層の膜厚が30μmとなるよう調整し、塗布後のベーク温度は150°C、ベーク時間は60分とした。この際、感光性樹脂層の膜厚を測定したところ30μmであった。キヤノン製ミラープロジェクションマスクアライナー:MPA600商品名を用いて、この感光性樹脂層にインク吐出口1aを形成して、開口形状が最小径と最大径がほぼ同一の真円形状のインク吐出口1aを有するノズル層1を形成した工程4。形成後の吐出口径を測定したところ、最も小さい開口径でも直径15μmであり、先に形成したフィルター層11に形成した貫通孔8よりも大きな口径が形成されていることを確認した。続いて、図4dに示すように、超音波処理を掛けながら乳酸メチルに浸漬し、型材9および樹脂パターン5を溶出させ、インク流路1bを形成した。然る後に、濃度25質量、液温80°Cのテトラアンモニウムヒドロキシル液を用いたシリコン異方性エッチングにより、基板2に図4eに示すインク供給口12を形成し、ノズルチップを完成させた工程5。なお、実施例1では、発明の概要を把握しやすいよう、最少の工程でノズルチップを完成させたが、所定のインク流量を確保するためにフィルター層と型材間や、型材と感光性樹脂の間に別途流量確保用のレジストパターンを形成および除去する工程を追加することも可能である。完成後にインク供給口側からノズルチップを観察したところ、ゴミ捕集用突起体3となる円錐状の突起部3と、ゴミがトラップされたインクが通過する貫通孔8とが各々形成されていることが確認された。その後、実施例1で作製したノズルチップを、インクを供給するためのインク供給部材に接着材にて接着し、液体吐出ヘッドを完成させ、液体吐出ヘッドを組み込んだ印字評価装置を作製した。この装置にて、純水/ジエチレングリコール/イソプロピルアルコール/酢酸リチウム/黒色染料フードブラック2=79.4/15/3/0.1/2.5からなるインクを用いて、罫線印字、ドット印字の条件で印字テストを行った。その結果、図6の模式図に示すように、ゴミ捕集用突起体3によりインク中のゴミ10を捕集することができ、ゴミ捕集後もインク流量の低下がなく、かつ印字のカスレやムラがない良好なインク吐出が可能であった。