複数台のターボ圧縮機と複数台の容積形圧縮機を組み合せて設置し、前記ターボ圧縮機や前記容積形圧縮機により供給される圧縮ガスの流量を負荷機器による圧縮ガスの消費量に応じて制御するようにされている圧縮機システムにおいて、前記ターボ圧縮機については、吸込ガス量の調整による定風圧制御で圧縮ガス流量の制御をなすようにされ、かつサージング回避のために前記ターボ圧縮機に設定される下限圧縮ガス流量以上の範囲で前記定風圧制御を行うようにされ、前記容積形圧縮機については、負荷運転と無負荷運転の切換によるオンオフ制御で圧縮ガス流量の制御をなすようにされ、前記定風圧制御が可能な範囲にあって、前記ターボ圧縮機が1台当りの最大圧縮ガス流量と最小圧縮ガス流量としてQmaxとQminを有するとして、前記複数台の容積形圧縮機の全台による圧縮ガス流量QtがQmin≦Qt≦Qmaxとなるように前記容積形圧縮機の台数が設定され、そして、前記複数台のターボ圧縮機と前記複数台の容積形圧縮機の組合せにおける圧縮ガス流量制御は、当該制御の開始として、前記複数台のターボ圧縮機と前記複数台の容積形圧縮機のいずれもが起動していない状態から前記複数台の容積形圧縮機の全台を負荷運転状態で起動する過程、前記過程で起動された前記複数台の容積形圧縮機を個々にオンオフ制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなす過程、前記過程での圧縮ガス流量の制御にあって前記複数台の容積形圧縮機を全台負荷運転とした状態での圧縮ガス流量を圧縮ガス消費量が上回ることを条件に前記複数台のターボ圧縮機の内の1台を前記下限圧縮ガス流量の状態で起動させる一方で、前記複数台の容積形圧縮機を全台無負荷運転とする過程、前記過程で起動されて運転中となっている1台目のターボ圧縮機を定風圧制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなすか、又は前記1台目の運転中ターボ圧縮機を前記最大圧縮ガス流量にした状態で前記複数台の容積形圧縮機を個々にオンオフ制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなす過程、前記過程での圧縮ガス流量の制御にあって前記1台目の運転中ターボ圧縮機を前記最大圧縮ガス流量にし、かつ前記複数台の容積形圧縮機を全台負荷運転とした状態での圧縮ガス流量を圧縮ガス消費量が上回ることを条件に前記複数台のターボ圧縮機の内の次の1台を前記下限圧縮ガス流量の状態で起動させる一方で、前記複数台の容積形圧縮機を全台無負荷運転とする過程、前記過程で起動されて運転中となっている2台目のターボ圧縮機と前記1台目の運転中ターボ圧縮機のいずれか一方、又は両方を定風圧制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなすか、又は前記1台目の運転中ターボ圧縮機と前記2台目の運転中ターボ圧縮機をともに前記最大圧縮ガス流量にした状態で前記複数台の容積形圧縮機を個々にオンオフ制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなす過程、及び前記複数台の運転中ターボ圧縮機の全台を前記最小圧縮ガス流量にし、かつ前記複数台の容積形圧縮機を全台無負荷運転とした状態での圧縮ガス流量が圧縮ガス消費量を上回ることを条件に前記複数台の運転中ターボ圧縮機の内の1台を停止させる一方で、前記複数台の容積形圧縮機を全台負荷運転とする過程を含むことを特徴とする圧縮機システム。容積形圧縮機とターボ圧縮機を組み合わせた圧縮機システムにおける従来の圧縮ガス流量制御では、容積形圧縮機を容量調整機としターボ圧縮機をベースロード機とする、特許文献2や特許文献3に記載される例のような手法が主流であった。その理由は、流量調整における容積形圧縮機とターボ圧縮機の特性の違いにある。流量調整は、上述のように、負荷運転と無負荷運転の切換によるオンオフ制御や吸込ガス量の調整で行なうことができるが、調整可能範囲の制限などの問題から、一般的にはオンオフ制御が用いられる。オンオフ制御では、負荷運転時間と無負荷運転時間の割合負荷率で圧送流量が決まり、動力もその負荷率に応じて定まる。このオンオフ制御におけるターボ圧縮機と容積形圧縮機それぞれの圧送流量と必要動力の関係の一例をグラフにして図7に示す。グラフの横軸は、圧縮機の圧送流量であり、圧縮機の最大圧送流量を100とした百分率で表わされている。一方、縦軸は、圧縮機の単位時間当たりの消費軸動力であり、全負荷運転状態で圧縮機が消費する単位時間当たりの軸動力を100とした百分率で表わされている。このグラフから分るように、容積形圧縮機では無負荷運転時の動力が全負荷運転時の動力の約18であるのに対して、ターボ圧縮機では無負荷運転時の動力は全負荷運転時の動力の約35と大きい。しかもターボ圧縮機の方が容積形圧縮機よりも最大容量最大流量が大きいことが一般的である。例えば、300kWの容積形圧縮機では風量0のときの無負荷動力が約54kWであるのに対して、1000kWのターボ圧縮機では無負荷動力が約350kWになる。このようにターボ圧縮機は容積形圧縮機に較べて無負荷運転時の動力効率が悪いということから、ターボ圧縮機を常に全負荷運転のベースロード機として容積形圧縮機で容量調整を行なう手法が多用されることになっている。しかしこのターボ圧縮機ベースロード機手法は、より一層の省エネ化という点で問題を残している。具体的にはターボ圧縮機ベースロード機手法は、負荷機器による圧縮ガスの消費量が全負荷運転のターボ圧縮機で供給される圧縮ガス量よりも上回っている条件では有効であるものの、その逆の場合に効率が低下する。すなわち圧縮ガスの消費量は大きく変動する場合も少なくないが、そのような場合には圧縮ガスの消費量が全負荷運転のターボ圧縮機で供給される圧縮ガス量よりも少なくなる状態も起こり、この状態では容積形圧縮機による容量調整を働かせる余地がなくなり、圧縮ガスを必要以上に供給することになって無駄を生じる。したがって省エネという観点からすると、ターボ圧縮機ベースロード機手法は、圧縮ガス消費量の変動が大きく、ベースロード機としたターボ圧縮機からの圧縮ガス流量よりも圧縮ガス消費量が少なくなる状態をしばしば生じる条件では必ずしも適切でなく、特にターボ圧縮機の方が容積形圧縮機よりも一般的に容量が大きいことを考慮すると、この手法を適用できる範囲はかなり限られることになるといえる。また、従来における圧縮機システム制御技術の一つである上記特許文献5に記載の例のような手法、つまり高低二つの圧縮ガス供給ラインを前提に高圧ラインの圧縮機の流量制御で低圧ライン側の流量も制御する手法にも汎用性の問題がある。すなわち、高低二つの圧縮ガス供給ラインを必要としない圧縮機システムには適用できない。またこの手法は、低圧ライン側の圧縮機を常時負荷運転のベースロード機とし、高圧ライン側の圧縮機を容量調整機とする制御といえることから、上記ターボ圧縮機ベースロード機手法におけるのと同様に生成した圧縮ガスを無駄にするという問題もある。また、従来における圧縮機システム制御技術の一つである上記特許文献4に記載の例のように、ターボ圧縮機の圧縮ガス流量制御として吸込絞り弁と放風弁を用いてなす制御手法には、吸込絞り弁制御の範囲外で放風を行なうために、その放風分が無駄になり、動力効率が低下するという問題がある。ここで、ターボ圧縮機については、上記したように、その入口ガイドベーンによる吸込ガス量の調整をなしたり、吸込絞り弁による吸込ガス量の調整をなしたりすることで容量制御を行なうことができる。この吸込絞り制御は定風圧制御定風圧容量制御とも呼ばれる。そして入口ガイドベーンによる場合は、入口ガイドベーンの角度調整で吸込ガスに旋回を与えて吸込流量を変化させることにより圧送流量の調整がなされる。そのため入口ガイドベーンによる定風圧制御は、吸込絞り弁で吸込ガスに圧損を与えて圧送流量を変化させる定風圧制御と比較して効率が良く、容積形圧縮機のオンオフ制御と同等以上の効率で流量の調整が可能である。ただ、その調整可能範囲に制限がある。すなわち吸込絞り弁による調整の場合と同様にサージングを回避するために調整を行なうことのできる圧送流量範囲が最大流量の例えば約70~100に制限される。図8に、最大流量の70まではオンオフ制御を行ない、70以上では定風圧制御とした場合のターボ圧縮機における圧送流量と必要動力の関係の一例をグラフにして示す。グラフの横軸と縦軸は図7の場合と同様であり、参考までに図7における容積形圧縮機のオンオフ制御時の圧送流量と必要動力の関係も併せて示してある。なお図では簡略化して定風圧制御域流量70~100の範囲での流量と軸動力の関係を直線で表してあるが実際には下に凸な曲線となる。このグラフから定風圧制御が可能な範囲についてはそれを行なうようにすることで、動力効率を高めることが可能であることが分る。本発明は、以上のような従来の圧縮機システムにおける事情を背景になされたものであり、より省エネ化を図ることができ、しかも適用範囲の広い圧縮機システムの提供を目的としている。本発明は、複数台のターボ圧縮機と複数台の容積形圧縮機を組み合せて設置し、前記ターボ圧縮機や前記容積形圧縮機により供給される圧縮ガスの流量を負荷機器による圧縮ガスの消費量に応じて制御するようにされている圧縮機システムにおいて、前記ターボ圧縮機については、吸込ガス量の調整による定風圧制御で圧縮ガス流量の制御をなすようにされ、かつサージング回避のために前記ターボ圧縮機に設定される下限圧縮ガス流量以上の範囲で前記定風圧制御を行うようにされ、前記容積形圧縮機については、負荷運転と無負荷運転の切換によるオンオフ制御で圧縮ガス流量の制御をなすようにされ、前記定風圧制御が可能な範囲にあって、前記ターボ圧縮機が1台当りの最大圧縮ガス流量と最小圧縮ガス流量としてQmaxとQminを有するとして、前記複数台の容積形圧縮機の全台による圧縮ガス流量QtがQmin≦Qt≦Qmaxとなるように前記容積形圧縮機の台数が設定され、そして、前記複数台のターボ圧縮機と前記複数台の容積形圧縮機の組合せにおける圧縮ガス流量制御は、当該制御の開始として、前記複数台のターボ圧縮機と前記複数台の容積形圧縮機のいずれもが起動していない状態から前記複数台の容積形圧縮機の全台を負荷運転状態で起動する過程、前記過程で起動された前記複数台の容積形圧縮機を個々にオンオフ制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなす過程、前記過程での圧縮ガス流量の制御にあって前記複数台の容積形圧縮機を全台負荷運転とした状態での圧縮ガス流量を圧縮ガス消費量が上回ることを条件に前記複数台のターボ圧縮機の内の1台を前記下限圧縮ガス流量の状態で起動させる一方で、前記複数台の容積形圧縮機を全台無負荷運転とする過程、前記過程で起動されて運転中となっている1台目のターボ圧縮機を定風圧制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなすか、又は前記1台目の運転中ターボ圧縮機を前記最大圧縮ガス流量にした状態で前記複数台の容積形圧縮機を個々にオンオフ制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなす過程、前記過程での圧縮ガス流量の制御にあって前記1台目の運転中ターボ圧縮機を前記最大圧縮ガス流量にし、かつ前記複数台の容積形圧縮機を全台負荷運転とした状態での圧縮ガス流量を圧縮ガス消費量が上回ることを条件に前記複数台のターボ圧縮機の内の次の1台を前記下限圧縮ガス流量の状態で起動させる一方で、前記複数台の容積形圧縮機を全台無負荷運転とする過程、前記過程で起動されて運転中となっている2台目のターボ圧縮機と前記1台目の運転中ターボ圧縮機のいずれか一方、又は両方を定風圧制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなすか、又は前記1台目の運転中ターボ圧縮機と前記2台目の運転中ターボ圧縮機をともに前記最大圧縮ガス流量にした状態で前記複数台の容積形圧縮機を個々にオンオフ制御することで圧縮ガス消費量に応じた圧縮ガス流量の制御をなす過程、及び前記複数台の運転中ターボ圧縮機の全台を前記最小圧縮ガス流量にし、かつ前記複数台の容積形圧縮機を全台無負荷運転とした状態での圧縮ガス流量が圧縮ガス消費量を上回ることを条件に前記複数台の運転中ターボ圧縮機の内の1台を停止させる一方で、前記複数台の容積形圧縮機を全台負荷運転とする過程を含むことを特徴とする圧縮機システムを開示する。以上説明したように、本発明によれば、広い圧縮ガス流量範囲についてきめ細かく制御することができる。このため、放風などによる無駄を招くことがなく、圧縮機システムのより一層の省エネ化を図ることが可能となる。また、圧縮ガス消費量が大きく変動する場合にも容易に対応でき、適用範囲の広い汎用的なシステムとすることができる。さらに、流量制御における動力効率も最大限に高めることができ、この点でも圧縮機システムのより一層の省エネ化を図ることが可能となる。以下、本発明の実施の形態について説明する。図1に一実施形態による圧縮機システムの構成を模式化して示す。この圧縮機システムは、圧縮ガス流量制御盤圧縮ガス流量制御装置1、圧力検出手段2、レシーバタンク3、それに各々複数台が並列に設置される容積形圧縮機11~13とターボ圧縮機21~25を備えてなる。容積形圧縮機11~13やターボ圧縮機21~25が供給する圧縮ガスは、共通の圧送ライン3pを通してレシーバタンク3に貯蔵された後に図外の負荷機器圧縮ガス消費機器に圧送される。圧縮ガス流量制御盤1と圧力検出手段2は、圧縮ガス流量制御系を構成しており、レシーバタンク3における圧縮ガスの圧力つまり負荷機器による圧縮ガスの消費状態を圧力検出手段2で検出し、その検出圧力に基づいて圧縮ガス流量制御盤1が容積形圧縮機11~13やターボ圧縮機21~25の運転状態を調整して圧縮機システムからの圧縮ガス流量を制御する。そのために圧縮ガス流量制御盤1は、データ処理機能を有し、そのデータ処理機能に後述するような台数制御を可能とするソフトウエアが組み込まれている。ここで、図の例では容積形圧縮機を11~13の3台、ターボ圧縮機を21~25の5台としているが、圧縮機の台数はこれに限られない。ただし、容積形圧縮機については、後述するような制御を可能とするために、その台数に一定の要件が課される。すなわち本発明では、容積形圧縮機の台数制御後述のオンオフ制御とターボ圧縮機の入口ガイドベーンを用いた吸込ガス量調整による容量制御つまり定風圧制御とを組み合わせて圧縮機システムの圧縮ガス流量制御を行なう。そしてこの組み合わせ制御おいてターボ圧縮機の定風圧制御は、サージング回避のために下限容量下限圧縮ガス流量を設定し、この下限容量以上の範囲に制限する。その下限容量は、例えばターボ圧縮機1台の最大容量入口ガイドベーン最大角度運転状態での容量の70であり、その場合には各ターボ圧縮機の容量の70~100に定風圧制御範囲が制限される。そのために、後述の説明から分るように、ターボ圧縮機の起動や停止に際し、各ターボ圧縮機の最大容量の70に相当する量で圧縮ガス流量が不連続的に変化することになる。そこで、この不連続部分を容積形圧縮機のオンオフ制御で補間することにより、圧縮ガス消費量に応じた全範囲についてきめ細かく圧縮ガス流量の制御を行なえるようにし、そのために容積形圧縮機の台数に一定の要求を課すことになる。具体的には容積形圧縮機の台数は、各容積形圧縮機を全負荷運転した状態での容積形圧縮機の合計容量がターボ圧縮機1台の下限容量を超える台数とする。つまり容積形圧縮機11~13の合計容量をQt、ターボ圧縮機1台の下限容量最小容量をQminとすれば、Qt≧Qminとなるように容積形圧縮機の台数を設定する。より好ましくは、ターボ圧縮機1台の最大容量をQmaxとして、Qmin≦Qt≦Qmaxとなるような台数とする。なおターボ圧縮機21~25それぞれの最小容量が異なっている場合には、最小容量が最も小さいターボ圧縮機を基準にして容積形圧縮機の台数を設定するのが好ましい。この容積形圧縮機の台数設定については、ターボ圧縮機の容量は吸込ガスの温度により変化するため、最も低温の吸込ガス温度を想定し、それに基づいて容積形圧縮機の台数を定めるのが好ましい。以下では、圧縮ガス流量制御盤1でなされる圧縮機システムの圧縮ガス流量制御について説明する。図2~図5に、圧縮ガス流量制御盤1がなす圧縮ガス流量制御における一連の処理の流れを4つの分図に分けて示す。ここで、図中に用いられているPは圧力検出手段2により検出された圧縮ガスの圧力、P1は予め設定してある下限圧力、P3は予め設定してある上限圧力である。つまり負荷機器による圧縮ガス消費量に応じて変化する検出圧力PがP1とP3の間にあるようにフィードバック制御するということである。なお、ターボ圧縮機については入口ガイドベーンの角度調整による定風圧制御で容量制御を行なう。そのためにターボ圧縮機に対しては目標圧力が必要となるが、それをP2とするとP1<P2<P3の関係になる。図2の処理A1で圧縮ガス流量制御盤1による圧縮ガス流量制御が開始されると、まず容積形圧縮機11~13の全台を全負荷運転の状態で起動する処理A2。処理A3は運転中のターボ圧縮機の有無を判断する処理である。制御開始時点では運転中のターボ圧縮機はないので、処理A3の結果はNOとなり、図3に示す容積形圧縮機の台数制御に移行する。容積形圧縮機の台数制御は、全負荷運転OLと無負荷運転ULの切換によるオンオフ制御でなす。具体的には、処理D1で検出圧力Pが上限圧力P3を上回っているか否かを判断し、処理D2で検出圧力Pが下限圧力P1を下回っているか否かを判断する。処理D1の結果が肯定のYESであれば、つまり検出圧力Pが上限圧力P3を上回っていれば、圧縮ガスの供給量が負荷機器による消費量を上回って過剰な状態であるので、容積形圧縮機11~13の何れか1台を無負荷運転にし処理D3、再度処理D1での判断を行なう。この処理を繰り返して処理D1の結果が否定のNOになれば、つまり検出圧力Pが上限圧力P3を下回るようになれば、処理D2に進む。処理D2の結果が肯定のYESであれば、つまり検出圧力Pが下限圧力P1を下回っていれば、圧縮ガスの供給量が負荷機器による消費量を下回って不足な状態であるので、圧縮ガスの供給量を増やすようにする。そのためにまず無負荷運転状態にある容積形圧縮機の有無を判断する処理D4。無負荷運転の容積形圧縮機があれば、それを全負荷運転にする処理D5。処理D2の結果がYESであり、しかも処理D4の結果がNOである場合には、容積形圧縮機の全台が全負荷運転でありながら消費量が供給量を上回っている状態なので、ターボ圧縮機の制御も開始し、まずターボ圧縮機を1台起動する処理G1。新たなターボ圧縮機の起動は入口ガイドベーンを最小角度に固定した状態これは上述の下限容量状態ないし最小容量状態に相当するで行なう。ここで、容積形圧縮機11~13の台数は、上記のように、各容積形圧縮機を全負荷運転した状態での合計容量Qt、ターボ圧縮機1台の最小容量Qmin、およびターボ圧縮機1台の最大小容量Qmaxについて、Qt≧QminないしQmin≦Qt≦Qmaxとなるように設定されている。したがって容積形圧縮機11~13の全台が全負荷運転にあるということは、例えば最初のターボ圧縮機だけが運転されている状態の場合であれば、そのターボ圧縮機の最小容量を負荷機器による圧縮ガスの消費量が上回った状態にあるということである。すなわち最小容量を消費量が上回った状態になって初めてターボ圧縮機が起動されるということである。処理G1でターボ圧縮機が起動されると、処理A3の結果がYESとなるのでターボ圧縮機の容量制御に移行する。ターボ圧縮機の容量制御が実質的に開始されるのは後述の処理G3においてである。その容量制御は、入口ガイドベーンの角度を調整して吸込ガス量を増減させる定風圧制御でなされる。より具体的には、検出圧力Pに基づいたフィードバック制御による入口ガイドベーンの角度調整でターボ圧縮機への吸込ガス量を調整する定風圧制御によりなされる。その入口ガイドベーンのフィードバック制御はPI制御ないしPID制御などとも呼ばれる。ターボ圧縮機の容量制御においては、まず図2の処理A4で起動中のターボ圧縮機が容量調整状態であるか否かを判断する。これは、ターボ圧縮機の入口ガイドベーンが限界角度つまり最小角度最小容量状態または最大角度最大容量状態にあれば非容量調整状態であり、最小角度と最大角度の中間状態にあれば容量調整状態であるとして判断される。処理A4の結果が否定のNOになれば、つまり非容量調整状態と判断されれば処理B1に進む。処理B1では運転中のターボ圧縮機が全て入口ガイドベーン最大角度状態つまり最大容量状態であるか否かを判断する。例えばターボ圧縮機の最初の1台が起動された状態では、上記のように入口ガイドベーンを最小角度にして起動がなされることから、処理A4の結果はNOであり、それに続く処理B1の結果もNOとなる。処理B1の結果がNOであれば、運転中のターボ圧縮機は全て入口ガイドベーン最小角度運転状態ということになる処理B2。一方、後述するような処理を経て複数台のターボ圧縮機が運転されている状態では処理B1の結果がYESとなる場合もある。処理B1の結果がNOの場合には、図4の処理F1で検出圧力Pが上限圧力P3を上回っているか否かを判断し、処理F2で検出圧力Pが下限圧力P1を下回っているか否かを判断する。処理F1の結果が肯定のYESであれば圧縮ガスの供給量が消費量を上回って過剰な状態である。そこで処理F3として全負荷運転中の容積形圧縮機の有無を判断する。処理F3の結果がYESであれば、全負荷運転中の容積形圧縮機の何れか1台を無負荷運転に切り換え処理F4、再度処理F1での判断を行なう。このF1、F3、F4の一連の処理が最初のターボ圧縮機を起動したままの状態においてなされる場合には、最初のターボ圧縮機起動後に圧縮ガス消費量に急激な変動がない限り、上述の容積形圧縮機台数とターボ圧縮機の最小容量との関係から、容積形圧縮機の台数が1台のターボ圧縮機の最小容量程度であれば、その時点での消費量を運転中の1台のターボ圧縮機だけで賄えるのが通常であり、そのため処理F1、F3、F4の繰り返しで容積形圧縮機の全台が無負荷運転になるのが通常である。したがってQtとQminがほぼ同じ程度になるように容積形圧縮機の台数を設定してある場合には最初のターボ圧縮機を起動すると同時に容積形圧縮機の全台を無負荷運転にするようにしてもよい。処理F3の結果がNOとなる場合は、容積形圧縮機が全台無負荷運転であり、入口ガイドベーン最小角度運転状態の1台ないし複数台のターボ圧縮機だけで圧縮ガスを供給している状態において、供給圧縮ガス量が消費ガス量を上回って過剰となっているので、ターボ圧縮機の1台を停止させる処理G4。それから運転中のターボ圧縮機の有無を判断する処理G5。処理G5の結果がNOであれば、上述した処理A3~処理G1による容積形圧縮機の台数制御を行ない、YESであれば、後述の処理E1以下の処理に移行する。一方、上記の処理を繰り返して処理F1の結果がNOになれば処理F2を行ない、その結果に応じて処理G3においてターボ圧縮機の容量制御が開始される。つまり処理F1の結果がNOになるのは、運転中のターボ圧縮機の全台が最小容量状態運転であり、容積形圧縮機の全台が無負荷運転の場合であるのが、この状態を前提にしてターボ圧縮機の定風圧制御への移行がなされる。処理F2においてその結果がYESであれば、つまり検出圧力Pが下限圧力P1を下回っていれば、運転中のターボ圧縮機の全台が入口ガイドベーン最小角度状態運転において圧縮ガスの供給量が消費量を下回って不足な状態であるので、ターボ圧縮機の定風圧制御で圧縮ガスの供給量を増やすようにする。それには、この時点で全てのターボ圧縮機が入口ガイドベーン最小角度状態で運転中であることから、何れか1台のターボ圧縮機について、その入口ガイドベーン角度を検出圧力Pに応じて最大角度方向へ調整する容量調整を行なう処理G3。具体的には最小角度状態にある入口ガイドベーンの角度を拡げて吸込ガス量を増加させる。一方、処理F2の結果がNOであれば、処理F1に戻る。図2の処理B1の結果がYESの場合、つまり運転中の全てのターボ圧縮機が入口ガイドベーンを最大に開いて最大容量運転状態にある場合には、図4の処理E1で検出圧力Pが下限圧力P1を下回っているか否かを判断し、処理E2で検出圧力Pが上限圧力P3を上回っているか否かを判断する。処理E1の結果が肯定のYESであれば、運転中のターボ圧縮機の全台が最大容量運転状態にありながら、つまりターボ圧縮機の容量制御をなせない状態でありながら、圧縮ガスの供給量が不足な状態である。そこで処理E3として無負荷運転中の容積形圧縮機の有無を判断する。処理E3の結果がYESであれば、無全負荷運転中の容積形圧縮機の何れか1台を全負荷運転に切り換え処理E4、再度処理E1での判断を行なう。この処理を繰り返しても処理E1の結果がYESで処理E3の結果がNOであれば、全台の容積形圧縮機が全負荷運転で、しかも運転中のターボ圧縮機の全台が最大容量運転状態でありながら、供給圧縮ガス量が消費ガス量に不足しているので、新たに1台のターボ圧縮機を入口ガイドベーン最小角度で起動させる処理G2。一方、処理E1の結果がNOになれば処理E2を行なう。処理E2の結果がYESであれば、つまり検出圧力Pが上限圧力P3を上回っていれば、圧縮ガスの供給量が過剰な状態であるので、圧縮ガスの供給量を減らすようにする。それには、この時点で全てのターボ圧縮機が入口ガイドベーン最大角度状態で運転中であることから、何れか1台のターボ圧縮機について、その入口ガイドベーン角度を検出圧力Pに応じて最小角度方向へ調整する容量調整を行なう処理G3。一方、処理E2の結果がNOであれば、処理E1に戻る。処理G3でターボ圧縮機の上述のような入口ガイドベーンによる容量制御が開始されると、図5の処理C1以下の処理がなされる。いま圧縮ガスの消費量が増加して供給が不足する状態になっている、つまり図4の処理F2の結果がNOの状態にあるとすると、運転中のターボ圧縮機の何れか1台が容量調整機となり、そのターボ圧縮機が入口ガイドベーンの角度を拡げて供給ガス流量を増加させる。この間において図1の圧縮ガス流量制御盤1は容量調整機からの限界角度到達信号この場合は最大角度到達信号を待つ信号待ちの状態にある処理C1。容量調整機が検出圧力Pに応じて入口ガイドベーンの角度を拡げ続け、入口ガイドベーンが最大角度になると、容量調整機から最大角度到達信号を送信し、これを圧縮ガス流量制御盤1が受信する処理C6。最大角度到達信号を受信した圧縮ガス流量制御盤1は、容量調整機に対して最大角度維持運転を行なうよう指令を送信する処理C7。それから圧縮ガス流量制御盤1は、運転中のターボ圧縮機が全て最大角度状態運転であるか否かを判断する処理C8。そして圧縮ガス流量制御盤1は、処理C8の結果がNOであり、最小角度維持運転を行っているターボ圧縮機が残っている場合に、その時点でまだ圧縮ガス供給量が不足していれば、最小角度維持運転中のターボ圧縮機の1台に容量調整機となるように信号を送信しC9、限界角度到達信号待ち処理C1に戻る。一方、処理C8の結果がYESであった場合には、図2の処理A4に戻り、その時点でまだ圧縮ガス供給量が不足していれば、上述した容積形圧縮機による台数制御処理E3、E4や新たターボ圧縮機の起動処理G2などがなされる。以上とは逆に、圧縮ガスの消費量が減少して供給が過剰な状態になっている、つまり図4の処理E2の結果がYESの状態にあるとすると、運転中のターボ圧縮機の何れか1台が容量調整機となり、そのターボ圧縮機は入口ガイドベーンの角度を狭めて供給ガス流量を減少させる。容量調整機が検出圧力Pに応じて入口ガイドベーンの角度を狭め続け、入口ガイドベーンが最小角度になると、容量調整機から最小角度到達信号を送信し、これを圧縮ガス流量制御盤1が受信する処理C2。最小角度到達信号を受信した圧縮ガス流量制御盤1は、容量調整機に対して最小角度維持運転を行なうよう指令を送信する処理C3。それから圧縮ガス流量制御盤1は、運転中のターボ圧縮機が全て最小角度状態運転であるか否かを判断する処理C4。そして圧縮ガス流量制御盤1は、処理C4の結果がNOであり、最大角度維持運転を行っているターボ圧縮機が残っている場合に、その時点でまだ圧縮ガス供給量が過剰になっていれば、最大角度維持運転中のターボ圧縮機の1台に容量調整機となるように信号を送信しC5、限界角度到達信号待ち処理C1に戻る。一方、処理C4の結果がYESであった場合には、図2の処理A4に戻り、その時点でまだ圧縮ガス供給量が過剰となっていれば、上述したターボ圧縮機の停止処理G4や容積形圧縮機による台数制御処理E3、E4などがなされる。本発明では以上のように、容積形圧縮機のオンオフ制御とターボ圧縮機の定風圧制御とを組み合わせて圧縮機システムの圧縮ガス流量制御を行なうようにしている。また、その組み合わせ制御に関して、ターボ圧縮機のサージング回避のために定風圧制御を一定範囲に制限する一方で、それによる不連続性を容積形圧縮機の台数制御で補間するようにしている。このため広い圧縮ガス流量範囲についてきめ細かく制御することができる。したがって、負荷機器による圧縮ガスの消費量がいかなる状態にあっても無駄に圧縮ガスを供給するようなことがなく、上述した従来の制御方式に較べて、より一層省エネ化を図ることができる。また、広い流量範囲をきめ細かく制御できることによって、圧縮ガス消費量が大きく変動する場合にも容易に対応でき、適用範囲の広い汎用的なシステムとなる。さらに、広い流量範囲の制御を流量に応じた制御手法の組み合わせでなすことから、流量制御における動力効率も最大限に高めることができる。図6に示すのは、以上のような圧縮機システムにおける圧縮ガス流量と圧縮機の軸動力の関係についてのグラフである。グラフの横軸と縦軸は上で説明した図7の場合と同様である。図6は、圧縮ガス流量と圧縮機の軸動力の関係を1台のターボ圧縮機の容量範囲について示したものであるが、原理的には複数台のターボ圧縮機についても同様である。この図から分るように、ターボ圧縮機の最小容量つまり下限容量までは容積形圧縮機のオンオフ制御により流量制御をなすことで動力効率を最大限に高め、また下限容量を上回る範囲ではターボ圧縮機の定風圧制御により流量制御をなすことで動力効率を最大限に高め、この組み合わせにより広い流量範囲の全体で動力効率を最大限に高めることができている。以上の実施形態ではターボ圧縮機の台数の調整を起動と停止でなすようにしている。これは省エネという点で、より好ましい形態である。しかし起動と停止は応答性の点で劣る。そこで、応答性を重視する場合には起動停止に代えて負荷無負荷運転の切り替えでターボ圧縮機の台数調整をなすようにしてもよい。ただし、負荷無負荷運転の切り替えとする場合には、無負荷運転状態が一定時間経過したらそのターボ圧縮機を停止させるような制御とするのが好ましい。また以上の実施形態ではターボ圧縮機の定風圧制御を入口ガイドベーンの角度調整で行なうようにしている。入口ガイドベーンによる定風圧制御は、動力効率に優れるが必ずしもこれである必要はなく、吸込絞り弁を用いて定風圧制御を行なうようにすることも可能である。