"電気化学的に動作可能なアクチュエータ101において、支持構造と;前記支持構造に対してシールされて、コンパートメントを形成する可撓性膜と;水素ガスまたは酸素ガスを生成して前記ガスを前記コンパートメントの内部に送り込むよう成された電気化学的手段と;を備え、前記電気化学的手段は、電極を両側に有するイオン伝導膜と、電圧源と接続して前記電極間に電位を印加することを可能とする端末手段とを備えることを特徴とする電気化学的に動作可能なアクチュエータ101。請求項1に記載のアクチュエータにおいて、前記可撓性膜が別体のエンティティであることを特徴とするアクチュエータ。請求項1に記載のアクチュエータにおいて、電気化学的手段は前記可撓性膜と一体化していることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~3のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記電気化学的手段が水素ポンプであることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~3のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記電気化学的手段が電解槽であることを特徴とするアクチュエータ。請求項1に記載のアクチュエータにおいて、前記電気化学的手段は、水素ポンプおよび電解槽の両方として動作させられる/動作可能であることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~6のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記膜は、シリコンゴムまたはその他の非電気化学的で、不活性の箔で作製されることを特徴とするアクチュエータ。請求項7に記載のアクチュエータにおいて、前記電気化学的手段が少なくとも部分的に前記膜に埋め込まれることを特徴とするアクチュエータ。請求項4または請求項4に従属する請求項7または8に記載のアクチュエータにおいて、前記電気化学的手段は、膜電極アセンブリMEAと、前記膜電極アセンブリMEAの各側にあるガス拡散層GDLと、その各側にある集電器とを備えることを特徴とするアクチュエータ。請求項3に記載のアクチュエータにおいて、前記膜はイオン伝導性高分子膜12であり、アノード16電極およびカソード15電極を前記膜12の各々一側に配設することによって膜電極アセンブリMEAを形成し;前記電極15,16を電圧源に接続する手段をさらに備えることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~10のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記膜は、スルホン化多環芳香族、ペルフルオロカーボン-スルホン酸イオノマー、スルホン化ポリオレフィン、およびスルホン化ポリスルホンからなるグループから選択した材料から作製されることを特徴とするアクチュエータ。請求項10または11に記載のアクチュエータにおいて、前記膜は、吸湿性を有するカチオン伝導イオノマー、例えばプロトン伝導イオノマーであることを特徴とするアクチュエータ。請求項10または11に記載のアクチュエータにおいて、前記膜は、吸湿性を有するアニオン伝導膜、例えば水酸化物イオン伝導膜であることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~13のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記電極上にガス拡散層24a,24bをさらに備えることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~14のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記電極15,16;22a,22bは、前記膜の領域の一部分だけを覆うことを特徴とするアクチュエータ。請求項1~15のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記カソードは、前記膜12の前記支持体10と対向する側に設けられ、前記アノードは前記膜の反対側に設けられることを特徴とするアクチュエータ。請求項10~15のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記アノードは、前記膜12の前記支持体10と対向する側に設けられ、前記カソードは前記膜の反対側に設けられることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~17のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記膜12のたわみが、どの程度であろうと前記支持体10の平面性に影響を及ぼしてはならないため、前記支持体10は実質的に前記膜よりも剛性が高いことを特徴とするアクチュエータ。請求項1~18のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記アクチュエータは1.5~4Vの電圧によって通電されるよう成されることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~19のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記膜は、例えば前記膜内部のポリテトラフルオロエチン、つまりPTFE多孔質ネットワークによって機械的に支持されることを特徴とするアクチュエータ。請求項1~20のいずれか一項に記載のアクチュエータにおいて、前記膜に装着され、バルブ軸のような作動させる物体と接触するように位置決めされる剛性部材19があることを特徴とするアクチュエータ。バルブ機構30において、バルブ軸37と;バルブヘッド37’と;前記バルブを第1の位置から第2の位置まで強制的に押すように配置されたばね38と;を備え、請求項10~21のいずれか一項に記載のアクチュエータは、前記膜12が前記バルブヘッド37’に隣接して位置するように配置され、それによって前記アクチュエータを作動させると、前記バルブを前記第1の位置から前記第2の位置まで強制的に押すことを特徴とするバルブ機構30。バルブ機構において、複数の材料の層によって形成される支持構造と;前記支持構造内に埋め込まれる、請求項1~21のいずれか一項に記載のアクチュエータと;動作中に前記アクチュエータから発生するガスを取り入れるために前記アクチュエータの一側と流体連通して前記支持構造の少なくとも一層に設けられるチャネルと;前記支持構造の前記層のうちの1つの少なくとも一部を形成する可撓性膜であって、前記膜は、接着剤によって前記支持構造の一層に装着されるが、前記膜の一領域を前記一層に装着されないままにして前記一層と前記膜との間にコンパートメントを形成するようにし、前記コンパートメントと前記チャネルとの間に流体連通を提供するために前記一層に穴が設けられる可撓性膜と、を設けることを特徴とするバルブ機構。請求項23に記載のバルブ機構において、前記膜は、ガスチャネル開口部の近傍に設けられ、前記アクチュエータの動作時に、前記膜が前記開口部を閉じることが可能であるようにすることを特徴とするバルブ機構。請求項1~21のいずれか一項に記載のアクチュエータを用いたバルブ作動方法において、水を電気分解するように前記アクチュエータを動作させることを含み、それによって前記アクチュエータの前記シールされたコンパートメント内部に水素または酸素を提供することを特徴とするバルブ作動方法。請求項1~21のいずれか一項に記載のアクチュエータを用いたバルブ作動方法において、前記アクチュエータの膜にわたっておよび前記アクチュエータの前記シールされたコンパートメント内へと水素ポンピングを発生させるように前記アクチュエータを動作させることを含むことを特徴とするバルブ作動方法。請求項1~21のいずれか一項に記載のアクチュエータを用いたバルブ作動方法において、水を電気分解するとともに水素ポンピングを発生させるように前記アクチュエータを動作させることを含み、それによって前記アクチュエータの前記シールされたコンパートメント内部に水素または酸素および水素を提供することを特徴とするバルブ作動方法。請求項22に記載のバルブ機構を備える燃料電池アセンブリ。請求項23に記載のバルブ機構を備える燃料電池アセンブリ。請求項29に記載の燃料電池アセンブリにおいて、前記燃料電池が面内高分子電解質型燃料電池であり、前記アセンブリを構成する前記層のうちの少なくとも1つに前記バルブ機構が埋め込まれることを特徴とする燃料電池アセンブリ。本出願の目的上、バルブ機構という用語は、バルブをシールするとともに、アクチュエータの動きによって開閉できる機械的/電気化学的設計という意味に捉えられるものとする。本発明は、その最も一般的な態様では、電気化学的に動作可能なアクチュエータを備える。アクチュエータは、支持構造と、前記支持構造に対してシールされてコンパートメントを形成する可撓性膜と、水素ガスまたは酸素ガスを生成してガスを前記コンパートメントの内部に送り込むように成された電気化学的手段とを備える。電気化学的手段は、電極を両側に有するイオン伝導膜と、電圧源と接続して電極間に電位を印加することを可能とする端末手段とを備える。好ましくは、可撓性膜は別体のエンティティである。好ましくは、電気化学的手段は可撓性膜と一体化している。好ましい実施の形態では、電気化学的手段が水素ポンプであるが、それは電解槽であることもできる。また電気化学的手段を、水素ポンプおよび電解槽の両方として動作させることができる。好適には膜は、シリコンゴムまたはその他の非電気化学的で不活性の箔で作製されるが、実施の形態によっては、それは膜電極アセンブリの一部を形成する導電性膜である。好ましくは、電気化学的手段が少なくとも部分的に膜に埋め込まれる。図1aおよび図1bでは、アクチュエータの一実施の形態およびその動作原理を概略的に示す。よって図1aは、アクチュエータの実施の形態の概略図であり、本発明の概念を示す。好ましくは、アクチュエータが剛性支持体10を備える。支持体10上には、好適にはSn被覆銅箔11の形をとる電気接点が設けられる。イオン伝導性高分子膜12は、好適には接着剤13好適には両面のものによって、箔11と接触した状態で支持体10上に装着され、接着剤13は、支持体の外縁に沿って延在するフレームとして適用でき、その上に膜12が位置決めされ、よって装着される。このようにして、膜12と銅箔被膜11を有する支持体10との間に、シールされたコンパートメント14が形成される。少なくとも膜12の一部には、電極15,16が膜の両側に設けられる。図中、膜12の支持体10と対向する側にカソード15があり、膜の反対側にアノード16がある。電極15および16はそれぞれ、或る好適な接触手段図示せずによって、適当な電圧および電流を供給する電源丸で囲ったおよび-で示すに連結される。膜12のたわみが、どの程度であろうと支持体の平面性に影響を及ぼしてはならないので、支持体10は実質的に膜よりも剛性が高いものとする。図1aは、非通電状態のアクチュエータを示す。図1bは、電極15および16をそれぞれ経由して膜12にわたって電圧を印加している状態を示す。好ましくは、膜12は周囲大気からの湿気を吸収するように吸湿性を有する。膜材料の例としては、スルホン化多環芳香族、ペルフルオロカーボン-スルホン酸イオノマー、スルホン化ポリオレフィン、スルホン化ポリスルホンが挙げられる。よって、典型的には1.5~4Vの好適な電圧を印加することによって、膜内に水の電気分解を起こさせる。それによって、H2がカソードで発生し、O2がアノードで発生する。カソードは、膜12と支持体10との間に形成されたシールされたコンパートメントに閉じ込められるために、水素は周辺部へ逃げられないが、前記コンパートメント14内部で圧力を増加させ始める。図2では、アクチュエータの実施の形態をより詳細に示す。全般的に参照符号20で示される、このアクチュエータの根本的で最も重要な構成部品は、イオン伝導高分子膜21であり、例えばNafionのような、微細電極、つまりアノード22aおよびカソード22b、で被覆された、また、必要であれば両側にガス拡散層材料24a,24bGDLで部分的に覆われたプロトン伝導イオノマーである。また膜は、アニオン導電性、例えば水酸化物イオン導電性を有することもできる。電極/触媒被覆膜は、3層膜電極アセンブリMEA、また触媒被覆膜、CCMとも呼ばれる23と呼ばれる。O2電極の触媒は、例えば炭素担持体上のPt/Ru触媒であることができる。好ましくはそれが、高分子電解膜電解槽で用いられるような強固な触媒と炭素担持体とからなるものとする。H2電極に関しては、触媒は炭素担持Pt触媒であることができるが、例えば0.5~1mgPt/cm2の充填量を有するであろうO2側よりも少ない0.05~0.5mgPt/cm2の充填量を有する。電極22a,22bは、膜の全領域上に延在してはならない。また膜は、触媒被覆GDL間、すなわちGDL24と活性電極層22との組み合わせの間に挟まれたNafion膜であることもできる。膜21の片側は、機械的剛性を有する表面25に対してシールされ、好ましくは、両面接着剤26のフレームを膜と剛性を有する表面との間に装着することによって得られる。電極は、電流および電圧を提供する外側電気回路と電気的に接触している。CCMのシールされた側の電気接点は好ましくは、シールされた側のGDL24bと接触しているSn被覆銅箔27であることができる。外側では集電を、GDLをクランプ留めするために位置決めされた金属クランプ留め手段28によって構成できる。また前記クランプ留めを穿孔して、電極へのガスの運搬を改善することができる。代替として外側集電を、集電箔、例えばクランプ留め手段28と外側DGL24aとの間に位置決めされた可撓性箔PCB、つまりプリント回路基板、によって構成できる。また前記可撓性箔PCB、本質的には薄型可撓性PCB、をバルブアセンブリのその他の接点およびセンサに対して用いることもできる。任意選択的に、膜21を支持するために、薄型支持プラスチックフィルム29を接着手段によって装着して膜の一部を覆うことができる。作動膜の力および耐用年数を増加させるために、剛性ワッシャ29’をフィルムに装着してもよい。またワッシャ/剛性平面を、バルブ軸のような作動物と接触するように位置決めすることができる。ワッシャの膜と接触している面積が大きくなるにつれ、作動力が大きくなり、同時に作動ストロークの長さが減少する。ここで作動プロセスについて詳細に説明する。一実施の形態では、電気分解プロセスによって作動に到達する。よって、典型的には1.5~4Vの電圧を電極間に印加すると、酸素および水素が発生する。前記ガスは、吸湿性のイオノマー膜と電極との中の水分子の電気分解から発している。膜のシールされた側で水素が発生するように電極を分極させることができ、または代替として、シールされた側で酸素が発生するように電極を分極させることができる。コンパートメント14内部で発生したガスは、膜12を上方向に隆起させ図1aおよび図1b参照、このストロークの間に提供される力は、バルブ軸のような何らかの可動エレメントを機械的に押すのに十分である。シールされた側で酸素が発生し、外側に水素が存在する場合には、電極間の電圧を0~0.9Vに低下させることによって再作動すなわち膜の高さの減少が得られる。よって、このモードでは、燃料電池と同じように酸素および水素が消費される。代替として、シールされた側からの少量の漏れを有することによって再作動が得られる。シールされた側で酸素を生成する電流がオフされたときに、この漏れに因って膜が下がる。また水素ポンピングによっても作動に到達できる。この場合、膜の外側に水素が存在する場合、MEA/CCMを0~1.2V、好ましくは電気分解に要するよりも低い0.05~0.3V、に分極することによって作動が得られる。MEA/CCMのシールされた側は、電源の負極側に接続されるものとする。水素ポンピング中、正極側での電極反応はH2のHへの電気化学的酸化であり、その後プロトンは膜の負極側まで移動して拡散し、そこでそれらは再び電気化学的にH2ガスに還元される。MEA/CCMは、水素のMEA/CCMのシールされた側への電気化学的ポンピングによって、シールされた表面から持ち上げられる。再作動膜の高さのシールされた面からの減少は、分極を反転させることによって得られ、その結果、水素がシールされた側から押し出される。代替として、シールされた側からの少量の漏れを有することによって再作動が得られる。シールされた側で水素を生成する電流がオフされたときに、この漏れに因って膜が下がる。ここでは、バルブ、特には、パージバルブを伴った実装に関連して本発明を例示するが、本発明は当然あらゆる種類のバルブに適用可能である。さらには本発明を、作動を必要とする多くの他の種類の装置と共に実装できる。通常パージバルブは、いわゆるデッドエンドモードで運転する燃料電池の動作に必要である。動作中、出口の近くでN2、H2Ogなどの不活性ガスの蓄積があり、これらは随時排出しなくてはならない。2つの異なるパージバルブを図3a、図3bおよび図4a、図4bに示す。アクチュエータ自体に関する詳細部分については図1と同一の参照符号を付す。全般的に30で示されるこのタイプのバルブは、例えば、2枚の鋼板31,32の間に位置決めされることができ、これらの鋼板はプラスチックフレーム33と共に、シールされたキャビティ34を形成する。図示のアセンブリの底部には、キャビティ34内へ水素を通過させるためのガスチャネル35がある。水素は、ガスチャネル35から開口部36を介してキャビティに供給される。言うまでもないが、以下で説明するアクチュエータ設計およびバルブ設計は、その他のタイプのバルブ、例えば入口バルブ、にも用いることができる。以下で説明する例は、例えば背景技術で言及した特許公報に記載されたパッシブ型燃料電池アセンブリに適用できるが、アクチュエータを従来のスタック型燃料電池と共に適用することもできる。非作動状態で開弁しているパージバルブを図3に示す。バルブ機構30は、上側図で見ると鋼板31を貫通している穴31’の中で鋼板に取り付けられる。バルブは、一端がバルブヘッド37’に接続されて他端が止め部材37’’に接続されるバルブ軸37を備える。止め部材はバルブのストロークを制限する。またバルブ軸37の周りに配置されバルブヘッド37’上に載っているOリング38が設けられ、前記Oリングはバルブヘッド37’と鋼板31の下側側面との間にシーリング機能を提供する。またバルブ軸37の周りに、ばね39が設けられ、バルブを開位置すなわち図の下方向まで強制的に押す。この設計では、通常バルブは開いており、バルブ30を作動させたとき、すなわち膜12がシールされた側14の表面から持ち上げられたときだけ閉じ、それによってばね荷重バルブヘッド37’を上方向図で見るとに押す。燃料電池の動作中、バルブは少量の支持電流またこの電流は間欠的であってもよいによって閉状態で維持される。バルブの位置およびシールされた側の圧力をモニタするために例えば圧力が過剰に高くなることを回避するために、CCM/膜12とバルブ機構の平坦な表面との間に圧力感知接点図示せずがあってもよい。印加電流が十分に小さい場合、1シールを介した水素漏れ、2膜を介した水素の逆拡散、3膜/CCMにおける電圧差によって求められる熱力学的平衡圧力に因って平衡圧力が生じる。電位および電流を反転させることで随時バルブを開き、それによって膜を介して水素を逆にポンピングさせる。非作動状態で閉弁しているパージバルブを図4に示す。このバルブ機構は本質的に図3のバルブと同一の構成部品を備える。しかしながら、この構成ではOリング38が、鋼板31の表面と止め部材37’’との間の、鋼板の上側側面図で見るとに設けられる。よって、図4aに示すように、バルブ軸37およびOリング38、ならびにバルブを閉位置すなわち図の下方向まで強制的に押すばね39がある。よってこのバルブは通常は閉じており、従って代替の開弁機構例えば手動機構を設けて起動時すなわち水素がパージバルブの出口に到達する前の燃料電池アセンブリのパージングを可能にする。代替として、水素が出口に到達する前に、電圧を上げて水素および酸素を発生させる好ましくはシールされた側で水素ようにすることでバルブを開けることができる。このデッドエンド型燃料電池アセンブリを稼働させている間、電極を分極させることによってパージングが得られ、それによって、好ましくはシールされた側に水素をポンピングさせることによって弁を開く。閉弁は、先と同じように電圧および電流を反転させることによって得られる。ここでさらに、非限定的な例を挙げて本発明を図示する。実施例1アンブレラバルブからの逃し圧力の低下本発明によるアクチュエータの概念を検証するために、試験セットアップを構築する。試験セット用のアクチュエータは如何なるGDLも含まない。試験セットアップ50の分解概略図を図5aに示し、全体的な実験用セットアップを図5bに示す。51は、プラスチックガスニップルが接続される出口端板であり約25×25×1mm、52および53は、アンブレラバルブヘッドの動きを許容する中央穴を有するシリコンゴムシール合計厚さ約4mmであり、54は、アンブレラバルブVernay、VA3497、シリコン製であり、55は、アンブレラバルブを取り付けるための3.6mm穴を有した厚さ約2mmのプレートであり、56は、大きな開口部約7mと、ガス流路を提供するスリットとを有するシリコンシールであり、57は、シリコンシール56の大きな開口部よりも小さな直径約6mmを有する剛性ワッシャ均一の縮尺ではないである。シリコンシール56の厚さは約2mmであり、ワッシャ57は厚さ約1mmである。58は、約8mmの内径を有する集電のためのSn被覆Cu箔であり、59は、直径12のMEAであり、60は、11mmの中央穴と、その下の2mmのガス流路穴とを有する絶縁テープであり、61は、第2の集電器テープであり、62は、ガス流路のための穴を有するプラスチック製の受板であり、63は、中央穴と、ガス流路を提供するスリットとを有するシリコンゴムシールであり、64は、プラスチックガスニップルが接続される入口端板である。アセンブリはM3ネジおよびナットと共にクランプ留めされる。図5bで概略的に示すセットアップは、約1.8PSIの圧力を有する水素源65と、ニードルバルブ66最大約45ml/分に設定される流量制限器ニードルバルブを有するロタメータとに接続される。システムの圧力は、電子圧力計67で記録される。アクチュエータがアンブレラバルブを押すと、その逃し圧力が低下し、結果としてセットアップを介して高流量を提供し、より低い圧力が記録される。試験手順:テスト手順における圧力対時間曲線を図6に示す。電源ユニット、つまりPSUTTICPX200を最大電流50mAおよび最大電圧約4Vに設定する。10秒後にPSUをオンする。圧力が0PSIにまで低下したら約70秒後、PSUをオフする。これが、アンブレラバルブの裏側を押すアクチュエータの力の低下を招き、よってシステムの圧力上昇に至る。約150秒後、PSUを再びオンすると、圧力が再び低下する。実験前に、アクチュエータの膜材料を僅かに湿らせた。PSUをオンした後に即時に圧力応答を受けない理由は、シールされたキャビティ内部の圧力が、アンブレラバルブの逃し圧力に影響を及ぼす前に増加する必要があるからである。2度目に得た最少圧力がより高い理由は、アンブレラバルブが異なる方法で位置決めされており、従ってそれがより高い逃し圧力を提供するからであり得る。別の実験では、PSUの電圧を反転させ、0.7Vに設定する。この場合、用いられるアクチュエータ原理は、水素ポンプの原理である。原則的には、これが図6に示すものと同様の曲線を提供した。ここで、本発明の水素ポンピング態様を利用したアクチュエータ/バルブ機構の好ましい実施の形態について説明する。水素ポンプは、本発明によるバルブシステムのこの態様の核となるものである。一般的に、アクチュエータはエネルギーを運動に変換するものである。また、それを用いて力を作用させることができる。典型的にはアクチュエータは、通常空気、電気または液体によって生じるエネルギーを取り込み、それをある種の運動に変換する機械装置である。その運動は、遮断、クランプ留め、または排出など様々である。アクチュエータは典型的には、製造用途または産業用途で用いられ、モータ、ポンプ、スイッチおよびバルブのようなものに用いてもよい。本出願の目的上、アクチュエータは、過剰圧力を生成し得るガスチャンバを伴った電気化学的水素ポンプとして捉えられる。チャンバの1つの壁は可撓性膜で構成され、チャンバ内部の圧力上昇によって可撓性膜を動かし隆起させ、バルブ部材をバルブ座に押し込むことによってバルブ部材に影響を及ぼすか、もしくは膜自体がシーリング作用を実行できる。図7は、水素ポンピングの原理に基づくアクチュエータの水素ポンプ部の主要構成部品を示す概略図である。よって、水素ポンプは、各側に1つずつGDL72を設けたMEA70を備える。例示の実施の形態では、MEAが、18μmの厚さを有するGore登録商標PRIMEAMEAcleoseries5710で作製された膜を備える。それは各電極に、0.4mg/cm2の白金触媒充填量を有する。好適にはGDL72は、限定されないものの、膨張天然黒鉛をベースにした厚さ略200μmの炭素繊維紙のような多孔材料で作製される。このような材料はSGLGROUP-SIGRACETから入手できる。MEA/GDLのアセンブリは、導電性接着剤76によって底部集電器74に装着される。導電性接着剤の目的は、MEAと底部集電器との間をシールするとともに、その間の如何なる水素漏れも回避することである。またアセンブリの頂部にも集電器78が設けられ、アセンブリ全体をクランプ留めすることによって定位置に保持されている。クランプ留めも接触抵抗を低減させる。従来、集電器は金属箔、好適には銅箔、で作製される。頂部集電器には、例えば水素ガスのMEAへのアクセスを可能にするための穴8sが設けられる。また底部集電器および接着剤にも、発生したガスがガスチャンバを出入りすることを可能にするための穴が設けられる。集電器の一方または両方は、金張り接点を有するフレックスフォイルflexfoilで作製でき、それにより、他の特許に記載されるように、水素ポンプの燃料電池アセンブリへの組み込みがより容易となるであろう。水素ポンプを以下の図でのみ概略的に示し、外形だけで表す。図8aでは、上記水素ポンプをバルブのアクチュエータに利用したセットアップを示す。この実施の形態では、バルブが通常状態では開いており、すなわちアクチュエータを動作させるのは弁を閉じるときだけである。その他に、バルブが通常は閉じており、ゆえにアクチュエータを用いてバルブを開く構成も可能である。よって、図8aでは、実施の形態を図7に示す水素ポンプを基にしたアクチュエータを備える、本発明による電気化学バルブ機構を示す。アクチュエータはバルブ機構に組み込まれ、その一部を形成する。図8aでは、水素ポンプ83を、詳細部分は示さずに1つのユニットとして示している。機構全体は、各々が好適には厚さ約0.5mmである2枚の鋼板81,811の間に設けられる。構造は材料シートを層にして構築され、底部から上部にかけて図8aおよびさらにより明らかには図8bの分解図に見られるように、第1の鋼板81が設けられ、その上には、厚さ約0.4mmの薄型シート状のポリエチレンまたはポリカーボネートのような非導電性高分子材料82が設けられ、その中には、完成した構造内にチャネルを形成する少なくとも1つの凹部86が作られている。凹部は幅約1.5mmおよび長さ13mmである。非導電性層82の上には、ポリエチレンまたはポリカーボネートのような別の非導電性高分子材料からなる厚さ約0.2mmの薄型シート84が設けられる。このシートには、穴84’,84’’が設けられ、それぞれ凹部86によって形成されたチャンネルへのガスの導入を可能にし、チャネル86からのガスの排出を可能にする。水素ポンプ83は、電池のカソード側が入口穴84’の上に位置するようにシート84と接触した状態で設置される。水素ポンプ83は、層85接着剤および層87シリコンゴム膜それぞれに埋め込まれる。これは、それぞれの材料層に、アクチュエータユニット83を収容できるような開口部を形成することで達成される。このようにして、水素ポンプ頂部表面は、膜と面一となり、すなわち膜の表面より上に延在しない。接着剤85は、チャネル/凹部86からの出口84’’を覆うとともにチャンバを形成するように延長部を有する開口部85’を有する。接着剤85によって非導電性層84に装着されるシリコンゴム層87は、従って接着剤の開口部が位置する範囲で可動である。シリコンゴム層87の上には、厚さ約0.2mmの非導電性高分子材料、例えばポリエチレンまたはポリカーボネート、からなる、さらに別のシート813がある。このシートは、アクチュエータユニット83のアノード側を露出する開口部813’と、シリコン層の下の接着剤85の中の開口部85’によって形成されたチャンバの上に位置する開口部813’’とを有する。よって、それぞれの層84および813の開口部の組み合わせによって、チャンバ内のいずれか一方側での圧力による力に応じてシリコンゴムが撓むことが可能となる。層813の頂部にさらに別の非導電性層88が設けられる。この層88は、層813内の開口部間に延在するとともに開口部と重なる凹部88’を有し、開口部間の連通チャネル810を形成するようにする。また層88には、図で見ると水素ポンプ83上側への入口812水素アクセス用と、層813の開口部813’’によって形成されるチャンバからの出口89とを形成する穴が設けられる。最終的に頂部には、第2の鋼板811があり、層88の入口812/出口89用のそれぞれの穴に対応する穴を有する。よって、図に見られるように、入口812と出口89との間に図示のアセンブリを通る開口連通チャネルがある。燃料電池の動作時には、このアセンブリが水素燃料タンクを燃料電池スタックの活性セルに接続する。しかしながら、燃料電池スタックへの燃料供給を終える必要がある場合、水素ポンプ83を動作させ、水素ポンプを介して水素をポンピングすることによって、シリコン膜の下での圧力が増加し始め、シリコン膜を上方向に隆起させ図の破線で概略的に示されるように、ついには出口89をシールする。バルブを再び開けたいときは、チャネル86に存在する水素が電極で消費されるとともにアクチュエータの反対側で改質されるように極性を反転させることによって、アクチュエータを逆方向に稼働させる。別の実施の形態を図9に概略的に示す。図8と同一または類似の特徴に対する参照符号は同一であるが、9で始まるものとする。よって、シリコンゴム膜97を押し上げてバルブを閉じるときの出口99のシーリングを向上させる1つの方法は、ハット部915を用いることである。ハット部は、非常に軟質な材料、例えばシリコンゴム、で作製された、出口穴よりもそれ程大きくない小片915からなることができる。この小片を、シリコンゴム膜97に貼り付けられた剛質材料914で作製された大片に貼り付けるものとする。よって、水素ポンプ93がポンピングすると、シリコンゴム膜97によって作用する圧力が出口穴の周囲の狭い領域にだけ集中し、シーリングを向上させる。ハット部を用いることで、エネルギーと、白金のような高価な材料との両方を節約できる。実際に、圧力が狭い領域に集中するので、アクチュエータ側は高い圧力に到達する必要がない。例えば、このハット部を設けないで出口をシールするのに約1バールの圧力を要する場合、理論上、ハット部を設けるときには、これよりはるかに小さな圧力しか要さない。実際に、直径6mmを有する剛質材料片に直径3mmのハット部を貼り付ける場合、0.25バールの圧力があればシーリングには極めて十分である。ハット部を採用する実施の形態では、バルブを閉じるのに供給される電流が低下するために、より小さな水素ポンプを用いることが許容される。図10では、本発明によるバルブの燃料電池アセンブリ100への実装を概略的に示す。本実施の形態の燃料電池は、好ましくは直列に接続されるとともに一平面に配置される面内高分子電解質型燃料電池である。アセンブリは、所望且つ要求される機能性を有する材料の複数の層から構築される。バルブ機構は、アセンブリを構成する層のうちの少なくとも1つに埋め込まれる。水素ポンプ101とシリコン膜102とを備えるバルブVが丸で囲って示される。燃料電池アセンブリの動作時には、104の入口と106の出口とにある矢印で示されるように水素ガスがアセンブリに供給される。出口106を閉じることが望ましい場合、水素ポンプ101に通電し、そしてそれがコンパートメント108内へ水素をポンピングし始め、それによって圧力が上昇し、破線で示すように膜102が隆起し始め、それによって膜が出口106を閉じる。バルブを試験するために寿命実験を行った。それを以下の実施例2で説明する。実施例2バルブは図8aに従って設計された。頂部と底部の鋼板は厚さ0.5mmであった。6本のM2ネジおよびナットでクランプ留めを達成した。アセンブリ全体ネジおよびナットは含まずの外側寸法は、25×15×4mmであった。シリコンゴム膜と出口穴との間のシーリング特性は、少量のシリコングリースを添加することによって向上した。入口を1バールの水素ガスに接続し、出口を質量流量制御器毎分50mlに設定に接続することによって、バルブのサイクリング機能性を検証した。電気的接触を介してバルブは以下のサイクルに曝露された、すなわち、100mAで約2秒間閉弁する、開回路で約1秒間、10mVで約3秒間閉弁を維持する、開回路で約1秒間、-100mAで約2秒間再び開弁する、開回路で3秒間。このサイクルを1500サイクル繰り返し、質量流量調整器を介したフロープロファイルを記録した。フロープロファイルは1500サイクル全体を通して類似しており、1400サイクル付近のフロープロファイルを図11に示す。バルブは良好に開閉し、バルブを開く際に見られるフローの変曲点は、質量流量制御器内部の流量調整に因る。1サイクルのエネルギー消費は約70mJであり、必要最大電力は約10mWであった。バルブを棚に20日間放置した後、実験を1000サイクル繰り返したが、本質的にガス流量は同一の結果となった。"