スキャンフリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムであって、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャンフリップフロップを絞り込む故障スキャンフリップフロップ絞り込み手段と、圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの範囲に変換する故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段と、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャンフリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、を備えたことを特徴とする、故障箇所推定システム。バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの対応関係を算出し、圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第1、第2のスキャンフリップフロップと、前記第1、第2のスキャンフリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャンフリップフロップの番号を特定し、バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャンフリップフロップに出力値を設定し、前記第1、第2のスキャンフリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャンフリップフロップの出力値を、期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶する前記スキャンチェーン診断パタン作成手段と、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶するテスト結果取得手段と、回路の設計情報とテスト結果を読み込み、故障診断の初期設定を行う初期設定手段と、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャンフリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャンチェーン特定手段と、前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャンフリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャンフリップフロップの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャンフリップフロップ絞り込み手段と、前記バイパステストモードの1次故障候補のスキャンフリップフロップの範囲と、前記スキャンフリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャンフリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャンフリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの1次故障候補を圧縮テストモードでの1次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段と、前記故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記1次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャンフリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と、圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、前記比較での一致率に基づき、スキャンフリップフロップと信号線を故障種別と共に出力する前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段からの出力を受け、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャンフリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力する出力装置とを備えたことを特徴とする、請求項1記載の故障箇所推定システム。前記スキャンチェーン診断パタン作成手段が、バイパステストモードのスキャンチェーンのスキャンフリップフロップ情報と圧縮テストのスキャンチェーンのスキャンフリップフロップ情報を比較して、両者のスキャンフリップフロップ番号の対応関係情報を算出し、スキャンフリップフロップ対応関係情報として記憶するスキャンチェーン情報解析手段と、前記スキャンフリップフロップ対応関係情報を基に、圧縮テストモードのスキャンチェーンのスキャン入力端に接続するスキャンフリップフロップとスキャン出力端に接続するスキャンフリップフロップをキーポイントスキャンフリップフロップとして記憶し、前記キーポイントスキャンフリップフロップのバイパステストモードでのスキャンフリップフロップ番号を特定し、所与のバイパステストモードのテストパタンからキーポイントスキャンフリップフロップとその前後の所定ビット分のスキャンフリップフロップの出力期待値が所望の値となっているテストベクタを抽出し、キーポイントスキャンフリップフロップとその前後の所定ビット分のスキャンフリップフロップの出力期待値は、前記テストベクタに規定されたままの状態値決定スキャンフリップフロップとし、それ以外のスキャンチェーン上のスキャンフリップフロップの出力期待値をDon’tcare‘X’でマスクする状態値未決定スキャンフリップフロップとして分類するスキャンフリップフロップ検索特定手段と、前記スキャンフリップフロップの分類情報を基に、バイパステストのテストパタンの値を編集し、スキャンチェーン故障診断用のテストパタンとして、論理回路情報記憶部に記憶する診断パタン作成手段と、を備えたことを特徴とする、請求項1又は2記載の故障箇所推定システム。前記故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段が、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶されたバイパステストモードの1次故障候補情報から得られたスキャンフリップフロップの範囲に対して、前記論理回路情報記憶部2に記憶されたスキャンフリップフロップ対応関係情報を基に、バイパステストモードのスキャンフリップフロップを算出するバイパス故障候補算出手段と、前記スキャンフリップフロップに対応する圧縮テストモードのスキャンフリップフロップ情報に変換し、1次故障候補を書き換えて前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する圧縮スキャンフリップフロップ変換手段と、を備えたことを特徴とする、請求項3記載の故障箇所推定システム。スキャンフリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定装置が、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶し、前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャンフリップフロップを絞り込み、圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶し、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの範囲に変換し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャンフリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力する、ことを特徴とする故障箇所推定方法。前記故障箇所推定装置のスキャンチェーン診断パタン作成手段が、バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの対応関係を算出し、圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第1、第2のスキャンフリップフロップと、前記第1、第2のスキャンフリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャンフリップフロップの番号を特定し、バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャンフリップフロップに出力値を設定し、前記第1、第2のスキャンフリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャンフリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶し、前記故障箇所推定装置のテスト結果取得手段が、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶し、前記故障箇所推定装置の故障スキャンチェーン特定手段が、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャンフリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、前記故障箇所推定装置の故障スキャンフリップフロップ絞り込み手段が、前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャンフリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャンフリップフロップの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、前記故障箇所推定装置の故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段が、前記バイパステストモードの1次故障候補のスキャンフリップフロップの範囲と、前記スキャンフリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャンフリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャンフリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの1次故障候補を圧縮テストモードでの1次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、前記故障箇所推定装置のスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段が、前記故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記1次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャンフリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャンフリップフロップと信号線を故障種別と共に出力し、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャンフリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力装置に出力する、ことを特徴とする、請求項5記載の故障箇所推定方法。スキャンフリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定装置を構成するコンピュータに、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶する処理と、前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャンフリップフロップを絞り込む処理と、圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶し、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの範囲に変換する処理と、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャンフリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力する処理と、を実行させるプログラム。バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの対応関係を算出し、圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第1、第2のスキャンフリップフロップと、前記第1、第2のスキャンフリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャンフリップフロップの番号を特定し、バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャンフリップフロップに出力値を設定し、前記第1、第2のスキャンフリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャンフリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶する処理と、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶する処理と、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャンフリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャンフリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャンフリップフロップの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、前記バイパステストモードの1次故障候補のスキャンフリップフロップの範囲と、前記スキャンフリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャンフリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャンフリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの1次故障候補を圧縮テストモードでの1次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、前記圧縮テストモードに書き換えられた前記1次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャンフリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャンフリップフロップと信号線を故障種別と共に出力し、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャンフリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力装置に出力する処理と、を前記コンピュータに実行させる請求項7記載のプログラム。以下に関連技術の分析を与える。Aスキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、圧縮テストモードでテストを実行すると、複数本のスキャンチェーン上のフェイル情報が圧縮されるため、故障によっては、テスト結果のフェイル情報が正しく外部に出力されない場合がある。このため、テスト結果を用いた故障診断において、故障の1次候補の絞り込みができず、例えば複数本のスキャンチェーンが全て故障候補となる場合もある。この場合、故障シミュレーション回数が増大し、実用的な時間での故障診断が難しい。Bスキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、バイパステストモードを実行すると、チェーン長が長い。このため、スキャンチェーンの故障診断時の故障シミュレーションの時間回数が増大し、診断時間が長くなる。Cスキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、バイパステストモードを実行すると、1本のスキャンチェーンあたりのスキャンFF数が圧縮テストモードの場合よりも多くなる。このため、1本のスキャンチェーンあたり、フェイルするスキャンFFの数も多くなり、故障診断のためのフェイル情報のログフェイルログを記憶する出力ファイルの容量が増大する。この結果、テスト時間が長くなる。この結果、実用的な時間で、診断のためのフェイルログを取得することが容易ではない。上記問題点の少なくとも1つを解決するため、本発明によれば、概略以下の構成とされるただし、以下に制限されない。本発明によれば、スキャンフリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムであって、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャンフリップフロップを絞り込む故障スキャンフリップフロップ絞り込み手段と、圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの範囲に変換する故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段と、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、故障候補のスキャンフリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、を備えた故障箇所推定システムが提供される。本発明によれば、スキャンフリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報から、故障スキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムは、バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンフリップフロップの対応関係を算出する手段と、圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第1、第2のスキャンフリップフロップと、前記第1、第2のスキャンフリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャンフリップフロップの番号を特定し、バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャンフリップフロップに出力値を設定し、前記第1、第2のスキャンフリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャンフリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶するテスト結果取得手段と、回路の設計情報とテスト結果を読み込み、故障診断の初期設定を行う初期設定手段と、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャンフリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャンフリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャンフリップフロップの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する故障スキャンフリップフロップ絞り込み手段と、前記バイパステストモードの1次故障候補のスキャンフリップフロップの範囲と、前記スキャンフリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャンフリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャンフリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの1次故障候補を圧縮テストモードでの1次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段と、前記故障スキャンフリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記1次故障候補の範囲に対して、前記故障種別に従って、スキャンフリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャンフリップフロップと信号線を故障種別と共に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段からの出力を受け、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャンフリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力する出力装置とを備える。本発明によれば、テスト時間の増大を抑制し、スキャンチェーンの故障診断を容易化するとともに、故障箇所推定用の故障診断時間の短縮を図ることができる。本発明の実施形態について説明する。好ましい形態によれば、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成し、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方で、テストを行い、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンのテスト結果から、故障候補スキャンFFを絞り込み、さらに、圧縮テストモードスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較して、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定し、前記故障スキャンチェーンの故障候補スキャンFFの範囲を絞り込み、前記故障候補スキャンFFに繋がる信号線の分岐毎に、圧縮テストモードのテストパタンを用いてスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、テスト結果と照合して該照合結果を出力する。図1は、本発明の一実施形態の構成を示す図である。キーボード、または外部とのインターフェース部がある入力装置と、プログラム制御により動作するデータ処理装置と、ハードディスクやメモリなどの情報を記憶する記憶装置と、外部とのインターフェース部であるディスプレイ装置や印刷装置などの出力装置と備える。図1を参照して、各構成要素と各実行手段について説明する。記憶装置3は、テスタ不図示で得たテスト結果を記憶するテスト結果記憶部31と、論理回路のネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を記憶する論理回路情報記憶部32と、故障スキャンチェーン情報、故障種別情報、を記憶する故障スキャンチェーン記憶部33と、故障候補スキャンFF番号、スキャンチェーン上の信号線名、信号線の分岐位置番号を記憶した故障候補スキャンFF記憶部34と、を備える。スキャンチェーン診断パタン作成手段26は、ネットリスト情報、バイパステストモードのスキャンチェーン構成情報、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成情報を元に、バイパステストモードのスキャンFF情報と、圧縮テストモードのスキャンFF情報との対応情報を作成して記憶する。そして、スキャンチェーン診断パタン作成手段26は、圧縮テストモードの各スキャンチェーンの最もSIN側のスキャンFFSINに入力端子が接続するスキャンFF及び最もSOUT側のスキャンFFSOUTに出力端子が接続するスキャンFFと同一のスキャンFFを、バイパステストモードのスキャンチェーン上で検索し、バイパステストモードのテストパタンに対して、検索結果のスキャンFF情報を元に、出力期待値を設定するスキャンFFと、Don’tcare‘X’でマスクするスキャンFFに分類し、スキャンチェーン故障診断用のバイパステストパタンを作成し、論理回路情報記憶部32に記憶する。テスト結果取得手段21は、テスタやDFTDesignForTestabilityテスタなどのLSIテスト装置を用いて、被疑サンプルに対して、被疑サンプルの全スキャンチェーンに対して、スキャンチェーン動作確認テストと、ロジック部動作テストを実行し、その結果をテスト結果記憶部31に記憶する。診断初期設定手段22は、被疑サンプルのネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を読み込み、所定の情報を設定する。故障スキャンチェーン特定手段23は、テスト結果記憶部31に記憶されたスキャンチェーン故障診断用テストパタンを用いたスキャンチェーン動作の確認テスト結果から得られる各スキャンFFの出力値と、各スキャンFFの出力期待値とを比較して、バイパステストモードの故障スキャンチェーン及びその故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。故障スキャンFF絞り込み手段24は、テスト結果記憶部31に記憶されたスキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部動作テスト結果を参照し、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャンFFの出力期待値とロジック部動作テスト結果から得られる各スキャンFFの出力値とを比較して、1次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。故障スキャンFF圧縮変換手段27は、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶されたバイパステストモードの1次故障候補情報から得られたスキャンFFの範囲に対して、論理回路情報記憶部32に記憶されたバイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンFF対応関係情報に基づき、バイパステストモードのスキャンFFを算出し、当該スキャンFFに対応する圧縮テストモードのスキャンFF情報に変換し、前記1次故障候補を書き換えた上で故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25は、故障スキャンFF圧縮変換手段27で推定した1次故障候補の範囲に対して、故障スキャンチェーン特定手段23で特定した故障種別に従って、スキャンFF間の信号線が分岐していた場合、該分岐の前後を故障候補として区別して、それぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行する。そして、圧縮テストモードのパタンを用いたスキャンチェーンの故障シミュレーション結果と、圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、例えば、最も一致率の高いスキャンFF及び信号線を故障種別と共に出力する。図2は、図1の実施形態の故障診断の全体の手順を説明する流れ図である。スキャンチェーン診断パタン作成手段26は、スキャンチェーン診断用のテストパタンを生成するA0。テスト結果取得手段21はテスト結果を取得するA1。診断初期設定手段22は、故障診断初期設定を行うA2。故障スキャンチェーン特定手段23は、スキャンチェーン動作の確認テスト結果から得られる各スキャンFFの出力値と、各スキャンFFの出力期待値に基づき、故障スキャンチェーンと故障モードを特定するA3。故障スキャンFF絞り込み手段24は、故障スキャンFFの範囲の絞り込みを行うA4。故障スキャンFF圧縮変換手段27は、バイパステストモードのスキャンFFを算出し、当該スキャンFFに対応する圧縮テストモードのスキャンFF情報に変換し1次故障候補を書き換えるA6。スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25は、スキャンFF間の信号線が分岐していた場合、分岐前後で前記分岐に故障を仮定しA8、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを照合し、故障スキャンFFを特定するA5。なお、図1の各手段はコンピュータ上で動作するプログラムによりその機能処理を実現するようにしてもよい。この場合、当該コンピュータプログラム、該プログラムを記録したコンピュータで読み出し可能な記録媒体が本発明により提供される。次に、図1のスキャンチェーン診断パタン作成手段26を説明する。図3は、スキャンチェーン診断パタン作成手段26の構成例を示す図である。図3に示すように、スキャンチェーン診断パタン作成手段26は、スキャンチェーン情報解析手段261と、スキャンFF分類特定手段262と、診断パタン作成手段263を備えている。各手段の処理を以下に説明する。スキャンチェーン情報解析手段261は、バイパステストモードのスキャンチェーンのスキャンFF情報と、圧縮テストモードのスキャンチェーンのスキャンFF情報の対応関係情報を算出し、スキャンFF対応関係情報として、論理回路情報記憶部32に記憶する。スキャンFF検索特定手段262は、スキャンチェーン情報解析手段261で算出され論理回路情報記憶部32に記憶されたスキャンFF対応関係情報を基に、圧縮テストモードの全スキャンチェーンの最もSIN側に位置するスキャンFFと、最もSOUT側に位置するスキャンFFにそれぞれ対応する、バイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャンFFと特定し、バイパステストモードの各スキャンチェーンのチェーン長を基に、より少ないスキャンFF数にて当該スキャンチェーンの故障種別が特定できる出力期待値を算出し、‘0’または‘1’に設定するスキャンFFと、Don’tcare‘X’によって期待値との比較コンペアをマスクするスキャンFFとに分類する。診断パタン作成手段263は、スキャンFF検索特定手段262で取得されたスキャンFF分類情報を基に、バイパステストモードのスキャンチェーンのテストパタンの値を編集し、スキャンチェーン診断用のテストパタンとして、論理回路情報記憶部32に記憶する。図4は、スキャンチェーン診断パタン作成手段26の動作を説明する図である。図4A、Bは、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンチェーン構成を表している。図4Aを参照すると、バイパステストモードのスキャンチェーン構成は、チェーン本数:1本チェーン長:24bitチェーン名:C1である。スキャンチェーンにおいて、SOUT側からのスキャンFF番号をS1、S2、...S24とする。図4Bを参照すると、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成は、チェーン本数:3本チェーン長:各8bitチェーン名:C1-1、C1-2、C1-3である。3本のチェーンの各々において、SOUT側からのスキャンFF番号をS1、S2、...、S24とする。バイパステストモードのスキャンチェーン構成と、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成とを照合し、スキャンチェーン上の全てのスキャンFFに対して、バイパステストモードと、圧縮テストモードの対応情報を作成して記憶する。例えば図4において、S17は、バイパステストモードのチェーン名C1、17bit目のスキャンFFであると同時に、図4Bの圧縮テストモードのチェーン名C1-1、1bit目のスキャンFFと同一であるという対応情報を算出し、全スキャンFFに対する両者の対応情報を作成して記憶する。次に、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成から、各スキャンチェーンの最もスキャン入力端子SIN、スキャン出力端子SOUT側のスキャンFFSINに入力が接続されるS8とSOUTに出力が接続されるS1をキーポイントスキャンFFとして検索し、前記対応情報に基づき、バイパステストモードのスキャンチェーン上における圧縮テストモードのキーポイントスキャンFFを特定する。例えば図4Bにおけるチェーン名C1-1のキーポイントスキャンFFのS8、S1は、図4Aにおけるチェーン名C1のS24、S17にそれぞれ対応し、図4Bにおけるチェーン名C1-2のキーポイントスキャンFFのS8、S1は、図4Aにおけるチェーン名C1のS9、S16にそれぞれ対応し、図4Bにおけるチェーン名C1-3のキーポイントスキャンFFS8、S1は、図4Aにおけるチェーン名C1のS8、S1にそれぞれ対応する。最後に、診断パタン作成手段263は、前記キーポイントスキャンFF情報に基づき、バイパステストパタンに対して、キーポイントスキャンFFと、その前後の数bit分のスキャンFFの出力期待値が‘0’または‘1’の任意の値となるように設定し、それ以外のスキャンFFは出力期待値が‘X’となるように編集する。図4Cは、完成したスキャンチェーン故障診断用バイパステストパタンの出力期待値のイメージ図である。バイパステストモードの長いスキャンチェーンのポイントごとに期待値が設定されることになる。診断パタンの作成には、最も簡単な方法として、既存のバイパステストモードのテストパタンから、所望の出力期待値を持つテストベクタを抽出して、不必要な情報を、マスクする方法がある。しかし、この方法では、シフトイン動作とキャプチャ動作で故障状態となるスキャンFFと、シフトアウト動作で故障状態となるスキャンFFとを区別することができないことから、故障スキャンFFの絞り込み精度が悪くなる。最良の診断パタン作成方法は、キーポイントスキャンFFとする任意のスキャンFFターゲットスキャンFFとするに対して、ターゲットスキャンFFのデータ入力側の前段のスキャンFFのなかから、別スキャンチェーン上のスキャンFFを検索し、前段スキャンFFの期待値を自由に設定し、ターゲットスキャンFFの出力値を決定することで既存の設計ツール等が利用できる、シフトイン動作と、キャプチャ動作で故障状態となるスキャンFFの影響を受けないパタンを作成することができる。このとき、スキャンチェーンが十分長い場合は、スキャン入力端子SIN側のキーポイントスキャンFFから8bit分を00110011、スキャン出力端子SOUT側のキーポイントスキャンFFから8bit分を11001100とすることで、一つのテストパタンで、stuck-at故障だけでなく、不定故障や遷移故障の故障種別の特定をより効率的に行うことができる。バイパステストモードのスキャンチェーンは、チェーン長が極めて長いことが多く、チェーン上に故障が存在すると、フェイル数が多くなり、テスト時間が長くなるという問題があるが、本実施形態によれば、スキャンチェーン上の故障をマスクすることで、診断に不必要なフェイル情報を出力しないため、テスト時間を格段に短縮でき、かつ、フェイル情報量を少なくすることができる。スキャンチェーン故障診断用のテストパタンは、予め作成しておくことで、テストパタン生成手順図2のA0をスキップしてもよい。図1の故障スキャンFF絞り込み手段24の動作について図5と図6を参照して以下に詳しく説明する。図5は、回路例を模式的に示す図である。図5に示すように、回路内に24個のスキャンFFが配置されており、上から2段目、右から3番目のスキャンFFにstuck-at1故障が存在するものと仮定する。図6Aは、図5のバイパステストモードのスキャンチェーン構成を示し、図5のstuck-at1故障の箇所がチェーン名C1、スキャンFF番号S13であることを示している。図6Bはバイパステストモードの出力期待値、図6Cはバイパステストモードの出力値の例である。図6Bに示すように、出力期待値は、S1が‘0’、S2が‘1’、S7が‘0’、S8が‘1’、S9が‘0’、S10が‘1’、S15が‘0’、S16が‘1’、S17が‘0’、S18が‘1’、S23が‘0’、S24が‘1’、他は‘X’とする。図6Cに示すように、出力値は、S1が‘0’、S2が‘1’、S7が‘1’、S8が‘1’、S9が‘0’、S10が‘1’、S15が‘1’、S16が‘1’、S17が‘1’、S18が‘1’、S23が‘1’、S24が‘1’、他は‘X’である。故障スキャンチェーン特定手段23を用いて、故障種別がstuck-at1故障であることが予め分かっているため、スキャンチェーン回路圧縮テストモードのシフトアウト動作時に、stuck-at1故障の影響を受けた可能性がある範囲は、図6Cに示すように、出力値‘X’を除いて、出力値‘1’が連続している範囲である図6AのスキャンFFS10からS24までと推定することができる。図6では、2bit分のスキャンFFしか値パタンが設定されていないがすなわち、‘01’、他は‘X’、‘0101’や‘0011’などの設定値を用いてもよい。複数テストパタンを使用することで、より狭い範囲に故障スキャンFFの範囲を絞り込むことができる。図7は、図1の故障スキャンFF圧縮変換手段27の構成を示す図である。図7を参照すると、故障スキャンFF圧縮変換手段27は、バイパス故障候補算出手段271と、圧縮スキャンFF変換手段272を備えている。バイパス故障候補算出手段271は、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶されたバイパステストモードの1次故障候補情報から得られたスキャンFFの範囲に対して、論理回路情報記憶部32に記憶されたスキャンFF対応関係情報に基づき、バイパステストモードのスキャンFFを算出し、圧縮スキャンFF変換手段272は、そのスキャンFFに対応する圧縮テストモードのスキャンFF情報に変換し、1次故障候補を書き換えて故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。図8は、故障スキャンFF圧縮変換手段27の具体的な動作を説明する図である。図8Aは、バイパステストモードのスキャンチェーンの構成を示す図である。スキャンチェーン名、スキャンFF番号は、図6と同一であるものとする。図8Bは、圧縮テストモードのスキャンチェーンの構成を示す図である。スキャンチェーン名は、上段からC1-1、C1-2、C1-3とし、各スキャンチェーンの左から順にS1、S2、と番号付けする。スキャンチェーン故障診断パタンの作成時に得られたスキャンFF対応関係情報を用いると、バイパステストモードのC1、S17が、圧縮テストモードのC1-1、S2に対応し、その他のスキャンFFについても同様に対応関係がわかる。図6に示したように、stuck-at1故障の影響を受けた可能性がある範囲であるスキャンFFS10からS24は、圧縮テストモードのチェーン名C1-2のスキャンチェーンのS7からチェーン名C1-1のスキャンチェーンのS8であることが分かる。故障スキャンFF圧縮変換手段27は、この対応関係情報を用いて、故障スキャンFF絞り込み手段24で得られたバイパステストモードの故障スキャンFFの範囲に対して、圧縮テストモードのスキャンFF情報に変換し、変換結果を、1次故障候補として書き換え、故障スキャンチェーン記憶部33に記憶する。図16に、図1のスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25の構成の一例を示す。なお、故障候補スキャンFFに繋がる信号線の分岐を考慮したスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25は、特許文献1の記載が参照される特許文献1の図1の分岐考慮故障シミュレーション照合部26に一部対応している図16は、特許文献1の図5に基づく。図16において、スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段25は、故障スキャンFF選択部251、信号線分岐区別部252、スキャンチェーン故障シミュレーション部253及びシミュレーション結果照合部254を備えている。故障スキャンFF選択部251は、故障スキャンチェーン記憶部33の故障スキャンチェーンと、故障スキャンFF圧縮変換手段27で変換された圧縮テストモードのスキャンFF情報を参照して、圧縮テストモードでのスキャンチェーン故障シミュレーションを行うための1次故障候スキャンFFの中から故障仮定スキャンFFを選択する。信号線分岐区別部252は、論理回路情報記憶部32を参照して、故障仮定スキャンFFのスキャン出力から下流のスキャンFFまでの間の信号線群を、分岐ごとに区別する。スキャンチェーン故障シミュレーション部253は、論理回路情報記憶部31と、故障スキャンチェーン記憶部33に記録された、故障スキャンチェーンの故障種別を参照して、分岐を考慮した信号線に対して、分岐前後のそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを行う。シミュレーション結果照合部254は、スキャンチェーン故障シミュレーション結果と、テスト結果記憶部31に記録されたテスト結果圧縮テストモードのテスト結果を照合し、両者が一致している割合を算出する。シミュレーション結果照合部254は、両者が最も一致している割合が高いスキャンFFおよび信号線を故障種別と共に出力する。なお、所定の閾値を設けて、一致又は不一致の判定結果を出力してもよいし、一致する割合を故障可能性の度合いとして出力してもよい。なお、故障シミュレーション結果とテスト結果の一致率の算出方法は、上記した特許文献1の方法のほか、既存の一致率算出方法をそのまま利用しても良いし、独自に算出方法を組み込んでもよい。なお、上記の特許文献、非特許文献の各開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示請求の範囲を含むの枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。