"切断される基板ブロック13A,13Bを保持し、前記基板ブロック13A,13Bを切断することによって形成された中間スペースをフラッシングするための装置において、装置長手方向軸線Lに対して平行にかつ互いに上下に配置された2つの領域を有しており、上側の領域はアダプタ領域1として構成されており、該アダプタ領域1によって装置を機械機器に結合することができ、下側の領域は保持領域2として形成されており、該保持領域2は、周囲で閉鎖された又は閉鎖可能なチャネルシステムの、チャネル11として提供された部分を有しており、前記チャネルシステムに、閉鎖可能な供給開口5によってフラッシング液を供給することができ、チャネル11の底部は、フラッシング液のための通過開口15を提供するために基板ブロック13A,13Bの切断中にスロット状の形式で開放させられ、前記チャネル11は、装置長手方向軸線Lに沿って複数の区域11A,11Bに細分されていることを特徴とする、切断される基板ブロック13A,13Bを保持し、前記基板ブロック13A,13Bを切断することによって形成された中間スペースをフラッシングするための装置。装置長手方向軸線Lに沿ったチャネル11の前記区域11A,11Bに、互いに別々にフラッシング液を供給することができる、請求項1記載の装置。前記チャネル11が、互いに別々に供給することができる複数の構造的に別個のチャネルに細分されている、請求項1又は2記載の装置。前記チャネル11が、該チャネル11に取外し可能に取り付けられた複数のバリヤ12によって細分されている、請求項1又は2記載の装置。前記閉鎖可能な供給開口5が、アダプタ領域1の平坦な上側6に配置されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の装置。前記閉鎖可能な供給開口5が、アダプタ領域1の周囲の側7A,7B,8A,8Bに配置されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の装置。前記保持領域2が保持プレート4として形成されており、前記アダプタ領域1がアダプタプレート3として形成されており、2つのプレート3,4が互いに解放可能に結合されている、請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。前記保持領域2の材料が、ガラス、プラスチック、エポキシド、セラミック、金属、及びこれらの材料の混合物から成るグループから選択されている、請求項1から7までのいずれか1項記載の装置。フラッシング液が、チャネルシステムに提供され、かつ該チャネルシステムから、通過開口15を介して流出することを特徴とする、請求項1から8までのいずれか1項記載の装置を使用することによって基板ブロック13A,13Bを切断することによって形成された中間スペースをフラッシングする方法。装置長手方向軸線Lに対して平行にかつ互いに上下に配置された2つの領域を有する装置を使用することによって基板ブロック13A,13Bを切断することによって形成された中間スペースをフラッシングする方法において、上側の領域がアダプタ領域1として構成されており、該アダプタ領域によって装置を機械機器に結合することができ、周囲で閉鎖されたチャネルシステムの、装置長手方向軸線Lに沿って延びた複数の区域11A,11Bを有するチャネル11として提供された部分が、保持領域2として形成された下側の領域に配置されており、上側領域に配置された閉鎖可能な供給開口5によってチャネルシステムにフラッシング液を供給するステップと、基板ブロック13A,13Bを切断するときにチャネル11の底部に形成されたスロット状の通過開口15によって中間スペースをフラッシングするステップとを有することを特徴とする、装置長手方向軸線Lに対して平行にかつ互いに上下に配置された2つの領域を有する装置を使用することによって基板ブロック13A,13Bを切断することによって形成された中間スペースをフラッシングする方法。フラッシングが、フラッシング液が供給される通過開口15を介して装置長手方向軸線Lに沿って均一に行われる、請求項9又は10記載の方法。チャネル11の供給と、中間スペースのフラッシングとが、装置長手方向軸線Lの方向で見てゾーン毎に行われる、請求項9から11までのいずれか1項記載の方法。フラッシングが、ウェハソーの加工領域において行われる、請求項9から12までのいずれか1項記載の方法。フラッシングが、液体において及び/又は超音波補助を利用して行われる、請求項9から13までのいずれか1項記載の方法。従って、本発明の課題は、支持体の長手方向範囲全体に亘ってクリーニング液の均一な分配及び有効な利用を保証することである。クリーニング液の提供は、選択的に、ブロックがソーに存在する間でさえも、ソーイングプロセスを妨害するリスクなしに可能であるべきである。これらの課題を達成するために要求される装置は、できるだけ単純であるべきである。前記課題は、請求項1記載の装置、及び請求項9記載のクリーニング方法によって達成される。好適な実施の形態が、従属請求項、以下の説明、及び図面に示されている。本発明による装置を以下により詳細に説明する。本発明による方法の説明がこれに続く。本発明による装置は、切断される基板ブロックを保持し、基板ブロックを切断することによって形成された中間スペースをフラッシングするために使用され、装置長手方向軸線Lに対して平行にかつ互いに上下に配置された2つの領域を有しており、上側の領域はアダプタ領域として構成されており、アダプタ領域によって装置を機械機器に結合することができ、下側の領域は保持領域として形成されており、保持領域は、周囲で閉鎖された又は閉鎖可能なチャネルシステムを有しており、このチャネルシステムに、閉鎖可能な供給開口によってフラッシング液を供給することができ、チャネルシステムの底部は、フラッシング液のための通過開口を提供するために基板ブロックの切断中にスロット状の形式で開放させられる。本発明による保持は、好適には、基板ブロック、又は基板ブロックから製造された基板が懸吊されながら配置されている位置において行われる。これらの物体は、特に好適には、本発明による装置に接着剤層によって取り付けられる。択一的に又は付加的に、物体の締付けも可能である。装置が主に前記中間スペースをフラッシングするために使用されるが、装置は、切断された基板の表面をクリーニング、又は少なくとも予備クリーニングするために使用することもできる。しかしながら、一般的に、このようなクリーニングは、他の装置従来技術に関する上記記述を参照によって行われる。切断された基板は、ソーイング切断の後、装置長手方向軸線に沿って並列に配置されている。つまり、装置長手方向軸線は、基板の表面垂線の方向に延びている。一般的に、装置は、装置の幅よりも大きな長さを有する。従って、装置は、平坦な上側及び下側、前端側及び後端側、左側及び右側を有している。上側及び下側の領域という位置表示は、この場合、単に説明による向きのために働く。装置は、発明の概念から逸脱することなく、他の解釈がなされてもよい。互いに上下にとは、2つの領域がそれぞれ、他の外面側面に対してより大きな少なくとも1つの面を有することを意味する。つまり、2つの領域は、この面において隣接している。アダプタ領域は、機械機器、特にウェハソーの前進移動機器に取り付けることができるように構成されている。この領域が、所定の方向で位置決めされた孔又はボア、ストッパ、レール案内機構のための凹所等の、特に好適にそれに対応する幾何学的特徴を有することが明らかである。この領域が、硬い、中実な、機械的及び化学的に安定した材料、例えばステンレス鋼又はセラミックから形成されていることは、同様に好ましい。保持領域は、装置を基板ブロック上記参照に取り付けるために使用される。最初は2つの機能的に異なる領域のみが含まれ、これにより、装置自体は単一の部品として容易に製造することができると言及すべきである。本発明によれば、保持領域はチャネルシステムを有しており、このチャネルシステムを通じて、前記中間スペースの方向にフラッシング液を供給することができる。チャネルシステムは、一つの連続的なチャネル又は複数の互いに独立した個々のチャネルが設けられていてよいことを意味する。チャネルシステムが供給開口を有さねばならず、この供給開口を通じてフラッシング液がチャネルシステムへ流入することができることは明らかである。本発明によれば、複数のこれらの供給開口が設けられているが、これらの開口は閉鎖可能である。これにより、クリーニング液がチャネルシステム内へ供給される位置は、柔軟に選択可能である。前記閉鎖可能性は、クリーニング液が望ましくない位置においてチャネルシステムから流出しないように提供される。原理的に、周囲で閉鎖されたチャネルシステムがこれにより製造され、周囲とは、本発明による実質的に平坦に形成された装置の2つの側及び前端側及び後端側を意味する。しかしながら、装置の上側及び下側は意味しない。供給ボアが、基板ブロックに面した側装置の下側に配置されるべきでないことも明らかである。さらに、チャネルシステムが保持領域にのみ配置される必要はないことに言及すべきである。チャネルシステムは、上側領域において延びた複数の区域をも容易に有していてよい。チャネルシステムはアダプタ領域に向かって開放していることもでき、従って機械機器に取り付けられたときにだけ対応して封止され、チャネルシステムとなることもできる。必須のことは、単に、チャネルシステムが、保持領域に突入しておりかつクリーニング液を保持領域の外側における所望の位置へ搬送するのに適した区域を有することである。これらの位置は、チャネルシステムの底部、すなわち保持領域の外側に面した領域に位置している。これらの位置は、フラッシング液のための通過開口を提供するために、基板ブロックを切断するときに本発明により開放させられる。周囲で閉鎖可能な又は閉鎖されたチャネルシステムの本発明による前記使用は、中間スペースをフラッシングする、より均一な効果を生じる。なぜならば、クリーニング液は、もはや望ましくない位置においてチャネルシステムから流出しないからである。圧力はチャネルシステムの内部において実質的に一定であり、従って流出体積流量はもはや、供給開口からの距離が長くなっても低下しない。これは、より均一なフラッシング効果を生じ、使用されないフラッシング液の損失が著しく少なくなる。提供される圧力は、両側において開放した通路と比べ、低くなることができる。従来技術から知られるような、供給チャネルの長手方向範囲に亘るランス先端の移動は、その可動性により必要な移動ギャップによる液体損失のように、回避される。本発明によれば、チャネルシステムは、互いに別々にフラッシング液を供給することができる、装置長手方向軸線に沿った複数の区域を有することが特に好ましい。言い換えれば、フラッシング液は、1つの又は複数の他の区域から独立して、好適には縦方向区域である装置の特定の区域に個々に提供することができる。これは、特に、装置の全長に亘って延びていない基板ブロックがフラッシングされる場合に、フラッシング液の損失をさらに減じることができるという利点を提供する。1つの実施の形態によれば、区域は、互いに別々に供給することができる複数の構造的に別個のチャネルによって形成されている。これらのチャネルは、互いに隣接して、ただし好適には装置長手方向軸線の方向で見て相前後して配置されていてよい。この場合の供給は、別個の供給開口につながる。これらの供給開口自体は、好適には装置の同じ側、例えば後端面に配置されている。1つの実施の形態によれば、区域は、チャネルシステムに取外し可能に取り付けられた液体阻止バリヤによって形成される。これは、好適には装置長手方向軸線に沿って延びたもともと連続したチャネルを、様々な位置、好適には長手方向範囲の任意の位置においてチャネルに取り付けることができる物体によって遮断することができることを意味する。チャネルは、特に好適には、突起又は機械加工されたインセット等の、内壁に設けられた正又は負の幾何学的特徴を有しており、この幾何学的特徴を利用して物体は嵌め合いによって相互作用する。例えば滑らかなチャネル内壁における圧力ばめによる相互作用が考えられてもよい。このために、物体は、特に好適には、柔軟に形成されてよい。例えば、物体は、弾性材料から成るか又は弾性材料を含んでよいか、又は締付け機構又はばね機構によって圧力ばめを可能にしてよい。もちろん、2つの形式圧力ばめ及び嵌め合いの組合せも可能である。特定の単純な実施の形態によれば、当該チャネルは、内壁のチャネル内部に面した、平面図でほぼ三角形の突起を有しており、これら突起は、物体の対応する凹所に係合し、物体はそれ以外は平坦な小板の形態を有している。別の同様の実施の形態によれば、物体自体は対応する突起を有している。好適な実施の形態によれば、閉鎖可能な供給開口はアダプタ領域の平坦な上側に配置されている。本発明によれば、その側は機械機器の方向に面している。従って、機械機器自体は、対応して配置された開口を有しており、この開口からフラッシング液を供給することができる。これにより、外部供給ラインへの本発明による装置の特に単純な流体接続が可能である。機械機器の開口の位置は、少なくとも部分的に、本発明による装置の供給開口と一致していなければならないことが明らかである。改良された漏れ防止性のために、供給開口及び/又は機械機器における開口にシールが取り付けられてよいことも明らかである。別の実施の形態によれば、閉鎖可能な供給開口の外側接続部は、アダプタ領域の周囲側に配置されている。これは、装置の前端側、後端側、右側及び左側を含む。ここでもやはり、供給開口は特に好適には、保持領域ではなくアダプタ領域に配置されている。この配列の利点は、保持領域を構成する材料が時にはアダプタ領域の材料よりも弱い場合があるということにある。アダプタ領域に供給開口を配置することは、供給開口が、機械的な加工及び応力に適した材料に配置されることを保証する。装置の内部に適切に延びたチャネル区域が設けられており、これらのチャネル区域は、アダプタ領域に配置された供給開口から好適には保持領域において延びたチャネルシステムまで延びていることが明らかである。チャネルのゾーン毎に供給可能であるために、又は個々のチャネルに別々に供給可能であるために、対応して別々の供給開口が設けられていなければならない。しかしながら、ゾーン毎に供給可能な上記実施の形態に代えて又は加えて、供給は、所望のチャネル又はチャネル区域へフラッシング液流を方向付けることを可能にする、本発明による装置の内部に配置されておりかつ外部から作動させる又は制御することができる弁、ゲート等を備えた一つの供給開口によって行われてもよい。1つの実施の形態によれば、保持領域は保持プレートに配置されており、アダプタ領域はアダプタプレートに配置されており、2つのプレートは互いに解放可能に結合されている。言い換えれば、この実施の形態によれば、アダプタ領域及び保持領域のこれまでの純水に機能的な分離は、2つの別個の構成部材を提供することによっても反映される。これらの構成部材は、これらの構成部材の機能を満たすために互いにしっかりと接続されなければならないことが明らかである。基板ブロックを切断するときに消費される装置の部分、すなわち保持領域を容易に交換することができるように、解放可能性が提供されていることが同様に明らかである。さらに、この場合、チャネルシステムの単純なアクセス性が可能である。従って、要求に従って、それぞれ異なる長さの個々の基板ブロックを取り付けるように製作されたチャネル区域の個々の構成が可能である。別の実施の形態によれば、保持領域の材料、及び設けられているならば保持プレートの材料は、ガラス、プラスチック、エポキシド、セラミック、金属、及びこれらの混合物から成るグループから選択されている。ガラス、プラスチック、又はエポキシドを使用することが特に好ましい。金属の使用はあまり好ましくない。なぜならば、この材料は、通常、前記の他の材料よりも切断しにくいからである。必須のことは、材料が切断しやすく、切断が、加工作業を妨害するか又は結果を妥協するあらゆる粒子を形成せず、基板ブロックを接着及び切断するときの機械的応力に耐えるように材料が十分に強く、製造コストができるだけ低いことである。装置の他に、本発明は、上記記載の範囲に開示された装置を使用することによって基板ブロックを切断することによって形成された中間スペースをフラッシングする方法であって、フラッシング液がチャネルシステムに供給され、チャネルシステムから通過開口を介して流出する方法に関する。本発明による方法を行うために特に適した装置は、従って、装置長手方向軸線に沿って、互いに上下に配置された2つの領域を有しており、上側の領域はアダプタ領域として構成されており、このアダプタ領域によって装置を機械機器に結合することができる。保持領域として使用される下側の領域には、周囲で閉鎖されたチャネルシステムが配置されており、第1のステップにおいて、閉鎖可能な供給開口によってフラッシング液が供給される。第2のステップにおいて、基板ブロックを切断するときにチャネルシステムの底部に形成された、フラッシング液のためのスロット状の通過開口によって、中間スペースがフラッシングされる。装置構成部材に関する反復を回避するために、本発明による装置の上記説明がさらに参照される。本発明によれば、フラッシングは、フラッシング液が供給される通過開口を介して装置長手方向軸線に沿って均一に行われる。これは、周囲で閉鎖されたチャネルシステムに均一な圧力が生ぜしめられることの結果であり、このことは、そのことが意図されたスロット状の開口からのフラッシング液の均一な排出につながる。特に好適な実施の形態によれば、チャネルシステムの供給、及び通過開口によるフラッシングは、装置長手方向軸線で見てゾーン毎に行われる。これは、チャネルシステムの全て、つまりチャネルシステムに接続された全ての通過開口が、フラッシングのために同時に使用されるのではなく、要求に応じてチャネルシステムの各部分に液体が流し込まれることを意味し、これにより、装置自体よりも短い長さを有する、基板ブロック又は基板ブロックから製造された基板グループの、制御されたフラッシングを可能にする。ゾーン毎のフラッシングは、選択的に、クリーニング液を別々に提供することができる複数のこのような開口を提供することによって、及び/又は個々に所望のチャネル又はチャネル区域を選択することを可能にする、装置の内部の機器を提供することによって、達成されてよい。別の実施の形態によれば、フラッシングは、ウェハソーの加工領域において行われる。これは、クリーニング予備クリーニングのための付加的な装置が不要であることを意味し、これはコストを節約する。対応するクリーニング予備クリーニング装置への、切断された基板のその他の所要の搬送はさらに回避され、これは時間を節約する。しかしながら、択一的な実施の形態によれば、フラッシングは、フラッシング装置の、後に配置された別個のフラッシングタンクにおいて行われる。特に好適な実施の形態によれば、フラッシングは、中間スペースからワイヤソーのソーイングワイヤを抜き取る間に行われる。提供された1つ又は2つ以上のソーイングワイヤは、従って、切断の後に基板が互いに付着しないようにするスペーサとして作用する。これは、切断ギャップが開放したままであることも保証し、これは、有効なフラッシングを可能にする。フラッシングは、この場合、ソーイングワイヤの抜取りの間、又は抜取りにおける一時的な休止の間に行われてよい。別の実施の形態によれば、フラッシングは、液体において及び/又は超音波補助を利用して行われる。低温又は高温の水、又はスラリを溶解又は希釈する水性溶剤が、特に液体として考えられてよい。提供されるならば、超音波源は特に好適には、超音波源が基板の中間スペースに向けられるように適応される。上述の装置及び上述の方法は、依然としてソーイング装置にあるウェハコームをクリーニングする均一な効果を提供する。これは、時間及びクリーニング液を節約する。フラッシングは、従来技術よりも有効にかつ経済的に行われる。本発明による装置は、単純に構成されており、これにより、経済的に製造して作動させることができる。柔軟な支持領域に供給ボアが形成される必要がないので、柔軟な支持領域への損傷が回避される。図1は、好適な実施の形態による装置を斜視図で示している。装置は、アダプタ領域1として使用される上側領域と、1つ又は2つ以上の基板ブロック図示せずのための保持領域2として使用される下側領域とを有している。この場合、アダプタ領域1が、別個の構成部材として提供されたアダプタプレート3の、図面の上方を向いた側に配置されており、保持領域2が、同様に別個の構成部材として提供された保持プレート4に配置されている。図面はさらに、複数の供給開口5そのうちの幾つかのみに符号を付してあるを示している。この場合の供給開口5は、装置の平坦な上側6と、前端側及び後端側7A,7Bと、右側及び左側8A,8Bとに配置されている。全ての供給開口5はアダプタ領域1、又はアダプタプレート3に配置されている。供給開口5の幾つかは閉鎖ねじ9によって閉鎖されている。図2は、ここで説明される装置の、装置長手方向軸線L一点鎖線に沿って延びた断面図を示している。前端側及び後端側7A,7Bに配置された閉鎖ねじ9の機能を明瞭に見ることができる。閉鎖ねじは、分岐したチャネルシステムの一部である、ここでは装置全体を貫通して延びたチャネル10を閉鎖している。チャネルシステムには、供給開口5そのうちの幾つかは図2において符号を付されていないを通じてフラッシング液図示せずを供給することができる。図示された実施の形態は、単に幾つかの閉鎖ねじ9を例示するためにのみ提供されている。通常の場合、閉鎖可能な供給開口5のほとんどは実際に閉鎖されており、フラッシング液が望ましくない位置において流出できないようになっている。図面に見られるように、保持領域2、又は保持プレート4におけるチャネル11の形態でチャネルシステムも設けられている。この場合、チャネルシステムには、チャネル10、及びアダプタプレート3の平坦な上側6に配置された供給開口5によって、供給することができる。チャネルシステムのこの部分は、2つの区域11A,11Bを含んでいる。閉鎖ねじ9の位置に応じて、前記区域に互いに個別に供給することができる。これらの2つの区域11A,11Bを形成するために、チャネルシステムに取外し可能に取り付けられた液体阻止バリヤ12が、チャネルシステムの対応する部分チャネル11に設けられている。これにより、もともと装置のほとんど全体を貫通して延びているチャネル11を細分することが対応して可能である。バリヤ11の位置は、装置を組み立てる際の要求に応じて柔軟に決定することができる。図3は、図1及び図2による装置の前方から見た断面図を示している。2つの基板ブロック13A,13Bがさらに示されており、これらの基板ブロックは、本発明による装置から懸吊されて配置されている。後側の基板ブロック13Bはまだ切断されていないのに対し、前側の基板ブロック13Aは既に部分的に個々の基板13塗り潰された領域に切断されている。図3に見られるように、この時点でチャネル11に通過開口15が設けられている。通過開口15は、基板ブロック13Aをソーイングワイヤ図示せずによって基板14に切断するときに形成されたものである。供給開口符号は付されていないによってフラッシング液を供給することによって、フラッシング液図示せずがチャネルシステムに提供されると、フラッシング液は通過開口15から流出する。そこから、フラッシング液は基板14の中間スペースの領域に流入し、存在する場合があるあらゆるスラリを押し流す。中間スペースは側方及び下方へ開放しているので、スラリを含んだフラッシング液は、妨げられずに流れ去ることができる。図4によれば、アダプタプレート3は、ここに示されたものと異なる形式で構成されてもよい。アダプタプレート3は、図示のように、収容レール16を有してよく、この収容レール16により装置を機械機器に結合することができる図示せず。アダプタプレート3の平坦な上側6に関しては図示されたもの以外の形状が、機械機器の特定の構成に応じて提供されてもよい。"