被測定光を波長分散素子で波長ごとに分散させ、任意の波長幅に存在する光信号の強度をフォトダイオードアレイで測定する分光装置において、前記分散光の集光位置に両端が回転可能に支持されるとともに列方向に沿って配列された複数のミラーよりなるミラーアレイが配置され、前記フォトダイオードアレイには、前記ミラーアレイで反射された光信号が入射されることを特徴とする分光装置。前記フォトダイオードアレイのフォトダイオードの配列数PDと前記ミラーアレイを構成するミラーの配列数MRは、PD>MRに選定されていることを特徴とする請求項1記載の分光装置。前記ミラーアレイのミラーを測定したい波長領域に応じて選択的に駆動することを特徴とする請求項1または請求項2記載の分光装置。ところで、このような分析装置における波長分解能は、フォトダイオードアレイにおけるフォトダイオードの配列集積度密度が支配的である。しかし、フォトダイオードアレイにおけるフォトダイオードの配列集積度を現状よりも高めることは、技術的な課題が多くて容易に実現することは困難である。また、フォトダイオードアレイの中に欠陥フォトダイオードが存在すると、そのフォトダイオードの位置に対応する波長が検出できないことになる。本発明は、このような課題を解決するもので、その目的は、フォトダイオードの配列集積度が比較的高くないフォトダイオードアレイや欠陥フォトダイオードが存在するフォトダイオードアレイであっても、所定の測定波長範囲で高い波長分解能が得られる分光装置を提供することにある。このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、被測定光を波長分散素子で波長ごとに分散させ、任意の波長幅に存在する光信号の強度をフォトダイオードアレイで測定する分光装置において、前記分散光の集光位置に両端が回転可能に支持されるとともに列方向に沿って配列された複数のミラーよりなるミラーアレイが配置され、前記フォトダイオードアレイには、前記ミラーアレイで反射された光信号が入射されることを特徴とする。請求項2記載の発明は、請求項1記載の分光装置において、前記フォトダイオードアレイのフォトダイオードの配列数PDと前記ミラーアレイを構成するミラーの配列数MRは、PD>MRに選定されていることを特徴とする。請求項3記載の発明は、請求項1または請求項2記載の分光装置において、前記ミラーアレイのミラーを測定したい波長領域に応じて選択的に駆動することを特徴とする。これらにより、所定の測定波長範囲で高い波長分解能が得られる。以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例の主要部分を示す構成説明図であって、Aはその平面図、Bはその側面図であり、図5と共通する部分には同一の符号を付けている。図1と図5の相違点は、図1では図5のフォトダイオードアレイ15に代えてミラーアレイ17を設け、ミラーアレイ17で反射された光を集光光学系18を介してフォトダイオードアレイ15上に集光していることである。図2は、ミラーアレイ17の具体例を示す構成説明図である。ミラーアレイ17は、複数のミラーたとえばマイクロミラーMMが、支持部材17aに形成された矩形の取付窓17bの列方向に沿って等間隔に配列されるとともにそれぞれの両端が回転軸17cを介して水平面に対して回転可能に取り付けられたものである。これらマイクロミラーMMは、図示しない静電駆動手段や電磁駆動手段により、水平面に対して所望の角度回転するように選択的に駆動される。ここで、フォトダイオードアレイ15を構成するフォトダイオードの配列数PDとミラーアレイ17を構成するミラーの配列数MRは、PD>MRになるように選定されている。たとえば、250個のフォトダイオードが配列されたフォトダイオードアレイ15を用いて測定波長範囲1000nmのポリクロ型分光器を実現する場合、図5に示す従来の構成ではその波長分解能はフォトダイオードアレイ15の分解能と等しく、4nmになる。これに対し、本発明では、たとえば250個のフォトダイオードが配列されたフォトダイオードアレイ15と、10分割されたミラーアレイ17を用いる。これにより、ミラーアレイ17上における波長の分解能は2nmになる。測定動作を説明する。はじめに、測定波長範囲1000nmのうちの前半500nm分を、10分割されたミラーアレイ17の5個のマイクロミラーMMによりフォトダイオードアレイ15の250個のフォトダイオードに向けて反射させ、フォトダイオードアレイ15上にフォーカスさせて測定する。このとき、測定波長範囲1000nmのうちの後半500nmを受けるマイクロミラーMMについては、反射光がフォトダイオードアレイ15に入らない方向に向ける。次に、測定波長範囲1000nmのうちの後半500nm分を受けるマイクロミラーMMを動かし、同様にフォトダイオードアレイ15により受光して測定を行う。全波長域での測定が不要である場合には、測定したい特定波長に対応するマイクロミラーMMのみを選択的にフォトダイオードアレイ15に向けて調整し、測定を行う。たとえば前述と同様、測定波長範囲1000nmにおけるはじめの50nmの部分と550nmの部分を測定したい場合には、測定対象光を10分割されたミラーアレイ17の1番目と6番目のマイクロミラーMMによりフォトダイオードアレイ15の250個のフォトダイオードに向けて反射させ、フォトダイオードアレイ15上にフォーカスさせて測定する。フォトダイオードアレイ15として、欠陥フォトダイオードを含むものを用いることもできる。この場合、1回目の測定でミラーアレイ17の反射光を測定することにより欠陥フォトダイオードに該当する波長部分を識別し、2回目以降の測定ではフォトダイオードアレイ15の正常なフォトダイオードで検出するようにミラーアレイ17を構成するマイクロミラーMMの反射角度を調整する。このようにフォトダイオードアレイ15とミラーアレイ17を組み合わせて複数回の測定を行うことにより、従来のようにフォトダイオードアレイ15単体で構成された場合に比べて、より高い波長分解能が得られる。そして、フォトダイオードアレイ15による同時読み取りにより、測定の高速化も達成できる。さらに、一部のフォトダイオードが欠陥を有するようなフォトダイオードアレイ15であっても、それらの欠陥フォトダイオードに反射光が入射されないようにミラーアレイ17のマイクロミラーMMの反射角度を調整することにより、欠陥フォトダイオードの影響を受けることなく測定できる。なお、ミラーアレイ17のマイクロミラーMMの反射角度は、各波長が測定できるようにあらかじめフォトダイオードアレイ15に向けて調整しておき、マイクロミラーMMのそれぞれに個別にたとえばシャッターを設けて選択的に遮光するようにしてもよい。また、ミラーアレイ17の各マイクロミラーMMの反射角度があらかじめ分かっている場合でも、動作時にその都度スキャンして駆動条件を求めて保持することにより、高精度の制御が行える。図3は、ミラーアレイ17の他の具体例を示す構成説明図である。図3において、支持部材は、2重構造として形成されている。すなわち、マイクロミラーMMの両端が回転軸17cを介して水平面に対して回転可能に取り付けられた矩形の取付窓17dを有する第1の支持部材17eの長手方向の両端は、回転軸17fを介して第2の支持部材17gに形成された矩形の取付窓17hに回転可能に取り付けられている。図3の構成によれば、第1の支持部材17e全体の角度を第2の支持部材17gの水平面に対して任意の角度で回転させることができることから、光学系の調整条件を緩和できるとともに、温度変化や経年変化によるマイクロミラーMMの位置ずれなどを適切に補正できる。以上説明したように、本発明によれば、フォトダイオードの配列集積度が比較的高くないフォトダイオードアレイや欠陥フォトダイオードが存在するフォトダイオードアレイであっても、所定の測定波長範囲で高い波長分解能が得られる分光装置が実現でき、各種の分光分析装置の分光装置として好適である。