複数の画素を有する画素アレイと、前記画素アレイから複数の列信号線に出力された信号を増幅する複数の信号処理回路とを有する固体撮像装置であって、前記複数の信号処理回路のそれぞれは、入力端子および出力端子を有する演算増幅器と、前記入力端子と前記列信号線との間に配置された入力容量と、前記入力端子と前記出力端子とを接続するフィードバック回路とを含み、前記フィードバック回路は、前記入力端子と前記出力端子とを接続する経路に第1容量素子および第2容量素子が直列に設けられ、前記第1容量素子と前記第2容量素子とを接続する経路と基準電位との間に第3容量素子が設けられたフィードバック経路が形成されるように構成されている、ことを特徴とする固体撮像装置。前記フィードバック回路は、前記入力端子と前記出力端子とが前記第1容量素子と前記第2容量素子との直列接続によって固定的に接続され、前記第1容量素子と前記第2容量素子とを接続するノードと基準電位との間に前記第3容量素子が固定的に接続された構成を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。前記固体撮像装置は、動作モードとして第1モードおよび第2モードを含み、前記フィードバック回路は、複数のスイッチを含み、前記第1モードでは前記フィードバック経路が形成され、前記第2モードでは前記フィードバック経路が形成されないように前記複数のスイッチの状態が制御される、ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。前記フィードバック回路は、第1制御信号に応じて前記フィードバック経路が形成され、第2制御信号に応じて前記入力端子と前記出力端子とを容量素子を介して接続する第2フィードバック経路が形成されるように構成され、前記フィードバック経路が形成されるときの前記信号処理回路の増幅率と前記第2フィードバック経路が形成されるときの前記信号処理回路の増幅率とが異なる、ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。前記信号処理回路のそれぞれが、前記入力端子と前記第1容量素子の一方の端子とを接続する第1のスイッチと、前記出力端子と前記第1容量素子の他方の端子とを接続する第2のスイッチと、前記入力端子と前記第2容量素子の一方の端子とを接続する第3のスイッチと、前記出力端子と前記第2容量素子の他方の端子とを接続する第4のスイッチと、前記入力端子と前記第3容量素子の一方の端子とを接続する第5のスイッチと、前記出力端子と前記第3容量素子の他方の端子とを接続する第6のスイッチと、前記第1容量素子の他方の端子と前記第2容量素子の一方の端子とを接続する第7スイッチと、前記第1容量素子の他方の端子と前記第3容量素子の他方の端子とを接続する第8スイッチと、前記第3容量素子の一方の端子と前記基準電位とを接続する第9スイッチと、を有することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。前記固体撮像装置は、動作モードとして第1モードと第2モードとを有し、前記第1モードにおいては、前記第1スイッチ、前記第4スイッチ、前記7スイッチ、前記第8スイッチ、および前記第9スイッチが導通し、前記第2モードにおいては、前記第2スイッチ、前記第3スイッチ、前記第5スイッチ、および前記第6スイッチが導通することを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。前記演算増幅器が全差動増幅型演算増幅器であって、前記フィードバック回路が、前記演算増幅器の反転入力端子と非反転出力端子との間に前記フィードバック経路を形成し、前記信号処理回路のそれぞれは、前記演算増幅器の非反転入力端子と反転出力端子との間に、前記非反転入力端子と前記反転出力端子とを接続する経路に第4容量素子および第5容量素子が直列に設けられ、前記第4容量素子と前記第5容量素子とを接続する経路と基準電位との間に第6容量素子が設けられたフィードバック経路を形成する第2フィードバック回路をさらに有することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の固体撮像装置。前記基準電位は、前記全差動増幅型演算増幅器のコモンモード電位であることを特徴とする、請求項7に記載の固体撮像装置。請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、を備えることを特徴とするカメラ。光の検出感度を向上させるため、信号処理回路20には高い増幅率が要求される。特に、フォトダイオードPDなどの光電変換素子のサイズ縮小により列信号線2に出力される信号が微小となる場合や、固体撮像装置1を有するカメラの感度設定を大きくする場合である。一般的には、信号処理回路20の増幅率を大きくするためには、1C0を大きい値とする、2Cfを小さい値とする、3C0を大きい値としてCfを小さい値とすることが必要である。しかし、容量値を大きくすることはチップ面積の増大をもたらし、容量値を小さくすることは製造ばらつきをもたらしうる。本発明の目的は、チップ面積の増大および製造ばらつきを抑制しつつ、高い増幅率を達成することにある。本発明の一つの側面は固体撮像装置にかかり、前記固体撮像装置は、複数の画素を有する画素アレイと、前記画素アレイから複数の列信号線に出力された信号を増幅する複数の信号処理回路を有する構成となっている。前記複数の信号処理回路のそれぞれは、入力端子および出力端子を有する演算増幅器と、前記入力端子と前記列信号線との間に配置された入力容量と、前記入力端子と前記出力端子とを接続するフィードバック回路とを含み、前記フィードバック回路は、前記入力端子と前記出力端子とを接続する経路に第1容量素子および第2容量素子が直列に配置され、前記第1容量素子と前記第2容量素子とを接続する経路と基準電位との間に第3容量素子が配置されたフィードバック経路が形成されるように構成されている。本発明によれば、チップ面積の増大および製造ばらつきを抑制しつつ、高い増幅率を達成することができる。以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。<実施形態1>本発明の実施形態1にかかる信号処理回路は、入力端子および出力端子を有する演算増幅器と、前記入力端子と前記列信号線との間に配置された入力容量と、前記入力端子と前記出力端子を接続するフィードバック回路とを含む。前記フィードバック回路は、前記入力端子と前記出力端子とを接続する経路に第1容量素子Cf1および第2容量素子Cf2が直列に配置され、Cf1とCf2とを接続する経路と基準電位との間に第3容量素子Cf3が配置された構成を有する。ここで、前記フィードバック回路において、基準電位は、例えば、接地電位とすることができる。フィードバック回路は、例えば、図2に示すようなフィードバック回路34とすることができる。フィードバック回路34において、演算増幅器21の入力端子32と出力端子33とを接続する経路に、第1容量素子Cf1および第2容量素子Cf2が直列接続によって固定的に接続される。さらに、フィードバック回路34において、Cf1とCf2とを接続するノードと基準電位との間に第3容量素子Cf3が固定的に接続される。フィードバック回路34の帰還容量の合成容量値は式1で与えられる。Cf=Cf1×Cf2/Cf1Cf2Cf3...式1したがって、本実施形態における信号処理回路30の増幅率は式2で与えられる。C0/Cf=C0×Cf1Cf2Cf3/Cf1×Cf2...式2増幅率を変更したい場合について、例えば増幅率を32から128にしたい場合について、図1の信号処理回路20と本実施形態の信号処理回路30の、両者の面積が増大しうる分量について、以下、定量的に比較する。例示として、容量値0.1pFを、製造ばらつきの影響を実質的に受けずに使用可能な最小容量素子として検討した場合について説明する。図1の信号処理回路20については、例えばC0=3.2pF、Cf=0.1pFであった場合は、Cfの値を0.1pFより小さい値とすることは好ましくない。そこで、例えば、C0=12.8pF、Cf=0.1pFとすることで、目標とする増幅率を達成することができる。一方で、本実施形態の信号処理回路30については、C0=3.2pFとそのままの値とし、信号処理回路20のCfに代替して、Cf1=0.1pF、Cf2=0.1pF、Cf3=0.2pFとすることで、目標とする増幅率を達成することができる。すなわち、最小容量素子の値である0.1pF以下の容量素子を使用しないで、増幅率を32から128にしたい場合は、図1に例示される構成の場合については、C0=3.2pFから12.8pFに変更する差分9.6pF分の面積が増大しうる。一方で、本実施形態の場合については、C0=3.2pFはそのままの値とし、Cf=0.1pFに替えて、Cf1=0.1pF、Cf2=0.1pF、Cf3=0.2pFのフィードバック回路30とすると、増大しうる面積は計0.3pF分に留まる。また、本実施形態については、C0=1.6pFとした場合は、Cf1=0.1pF、Cf2=0.1pF、Cf3=0.6pFのフィードバック回路34とすることも可能である。これにより、さらに1.2pF分の面積の増大を抑制しつつ、増幅率を32から128としうる。図1に例示される構成の場合については、増幅率を32から128にするために、Cfを1/4倍にする方法として、容量値が0.1pFの容量素子を直列に4つ接続する方法が考えられるが、この場合は4つの最小容量素子を使用することになる。したがって、本発明は、面積の増大を抑制する観点だけでなく、製造ばらつきを抑制する観点からも、図1に例示される構成に対して優位であると言える。図3は、増幅率128の場合についての製造ばらつき図1に例示される構成の場合の値で規格化を入力信号振幅に対しプロットしたものを、図1に例示される構成の場合と本実施形態の場合について比較したグラフである。両者が同製造プロセスで半導体基板上に製造されたものと仮定すると、本実施形態の構成では、図3に示すように、増幅率のばらつきは約1/5に低減される。さらに、図3に示すように、横軸の入力振幅が大きくなると、図1に例示される構成の場合は増幅器の特性の線形性が失われ増幅率が劣化するが、一方で、本実施形態の場合は劣化しない。以上のように、本実施形態によれば、面積コストおよび製造ばらつきを抑制しつつ、高い増幅率を達成することができる。<実施形態2>図4は、本発明の実施形態2の固体撮像装置4を示す図であり、固体撮像装置4は、動作モードとして第1モードおよび第2モードを有する。固体撮像装置4は、画素アレイ10と複数の信号処理回路40を有する構成となっている。信号処理回路40に含まれるフィードバック回路44は、演算増幅器21の入力端子42と出力端子43を接続する経路において、例えば、1スイッチ131と容量素子Cf1とスイッチ132が直列に接続された第1経路と、2スイッチ231と容量素子Cf2とスイッチ232が直列に接続された第2経路と、3スイッチ331と容量素子Cf3とスイッチ332が直列に接続された第3経路とを、それぞれ並列に有する。さらに、フィードバック回路44は、Cf1とスイッチ132の間を接続する経路とCf2とスイッチ231の間を接続する経路の間にはスイッチ120を含みうる。さらに、フィードバック回路44は、Cf1とスイッチ132の間を接続する経路とCf3とスイッチ332の間を接続する経路の間にはスイッチ130を含み、Cf3とスイッチ331の間を接続する経路と基準電位との間にはスイッチ140を含みうる。図4に示される各スイッチのONもしくはOFFの状態は、第1モードの状態を表している。第2モードは、図4に示される各スイッチの状態とは逆の状態である。これにより、前記複数のスイッチの状態を制御し、第1モードでは、容量素子Cf1およびCf2が直列に接続され、容量素子Cf3がその間のノードと基準電位との間に接続されるフィードバック経路が形成されうる。そして、第2モードでは前記フィードバック経路が形成されないものとすることも可能である。また、固体撮像装置4は、3以上の複数の動作モードを含み、前記複数のスイッチの状態を制御することにより、第1モードでは前記フィードバック経路が形成され、他の動作モードでは前記フィードバック経路が形成されないものとすることも可能である。<実施形態3>図5は、本発明の実施形態3の固体撮像装置5を示す図である。固体撮像装置5は、動作モードとして第1モードおよび第2モードを含む。固体撮像装置5は、画素アレイ10と複数の信号処理回路50を有する構成となっている。信号処理回路50に含まれるフィードバック回路54は、演算増幅器21の入力端子52と出力端子53を接続する経路に、例えば、第1フィードバック経路と第2フィードバック経路とを、それぞれ並列に有する。第1フィードバック経路は、スイッチ100と容量素子Cf11と容量素子Cf12が直列に接続され、かつCf11とCf12の間を接続する経路と基準電位の間に容量素子Cf13を有する経路である。第2フィードバック経路は、スイッチ200と容量素子Cf2が直列に接続された経路である。フィードバック回路54は、例えば、第1制御信号不図示に応じてスイッチ100をON、かつスイッチ200をOFFとすることで第1フィードバック経路が形成されうる。また、フィードバック回路54は、例えば、第2制御信号不図示に応じてスイッチ100をOFF、かつスイッチ200をONとすることで第2フィードバック経路が形成されうる。その結果、前記第1フィードバック経路が形成されるときの信号処理回路50の増幅率と前記第2フィードバック経路が形成されるときの前記信号処理回路50の増幅率とを異なるものとすることが可能である。また、固体撮像装置5は、3以上の複数の動作モードを含み、前記スイッチの状態を制御することにより、各動作モードにおいて形成されるフィードバック経路における増幅率をそれぞれ異なるものとすることも可能である。<実施形態4>図6は、本発明の実施形態4の信号処理回路6を示す図である。信号処理回路6は、全差動増幅器7と、入力容量C0と、入力容量C1と、フィードバック回路66と、フィードバック回路67とを有する。全差動増幅器7は、コモンモード電圧ノードVCOMと、入力端子62と、入力端子63と、出力端子64と、出力端子65を有する。入力容量C0は、入力端子62と列信号線60の間に配置され、入力容量C1は、入力端子63と列信号線61の間に配置される。フィードバック回路66は、入力端子62と出力端子64を接続し、フィードバック回路67は、入力端子63と出力端子65を接続する。ここで、画素アレイは本発明の実施形態1乃至3と同様であるので図を省略する。フィードバック回路66は、第1容量素子Cf311と、第2容量素子Cf312と、第3容量素子Cf313とを有するフィードバック経路である。フィードバック回路66において、入力端子62と出力端子64とを接続する経路に第1容量素子Cf311および第2容量素子Cf312が直列に配置される。また、フィードバック回路66において、Cf311とCf312とを接続する経路と基準電位との間に第3容量素子Cf313が配置される。フィードバック回路67は、第1容量素子Cf321と、第2容量素子Cf322と、第3容量素子Cf323とを有するフィードバック経路である。フィードバック回路67において、入力端子63と出力端子65とを接続する経路に第1容量素子Cf321および第2容量素子Cf322が直列に配置される。また、フィードバック回路67において、Cf321とCf322とを接続する経路と基準電位との間に第3容量素子Cf323が配置される。また、Cf313およびCf323は、接続する基準電位としてコモンモード電圧VCOMに接続することもできる。このように、本発明を他の増幅回路に適用することができることは、言うまでもない。以下、上記の各実施形態に係る固体撮像装置の応用例として、該固体撮像装置が組み込まれたカメラについて例示的に説明する。カメラの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に備える装置例えば、パーソナルコンピュータ、携帯端末も含まれる。カメラは、上記の実施形態として例示された本発明に係る固体撮像装置と、該固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部とを含む。該処理部は、例えば、A/D変換器、および、該A/D変換器から出力されるデジタルデータを処理するプロセッサを含みうる。