物理的パラメータを光学測定するための測定デバイス10であって、前記測定デバイスが、-目標物20の方向に測定ビームを生成し、前記目標物によって反射された前記測定ビームを受け取るためのレーザ光源11であり、前記測定ビームが光路に沿って移動し、前記光路の変動が決定される物理的パラメータに依存し、前記レーザ光源が光キャビティ111を含む、レーザ光源11と、-前記レーザ光源11のためのモーションセンサ14と、-前記レーザ光源11において測定された信号と前記モーションセンサ14によって測定された信号とから前記物理的パラメータを計算するための計算手段15とを備えることを特徴とする測定デバイス。前記計算手段15が、前記レーザ光源11において測定された前記信号を前記光路の全変動の測定値に変換するための第1の変換手段151と、前記モーションセンサ14によって測定された前記信号を前記レーザ光源の前記変位の測定値に変換するための第2の変換手段152とを含むことを特徴とする、請求項1に記載の測定デバイス。前記計算手段15が、前記レーザ光源11に対して前記モーションセンサ14を較正するための較正手段153を含むことを特徴とする、請求項1または2に記載の測定デバイス。前記モーションセンサ14が加速度計であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の測定デバイス。前記レーザ光源11の出力部において、前記第1の変換手段151の上流にフォトダイオード13を含むことを特徴とする、請求項2から4のいずれか1項に記載の測定デバイス。前記レーザ光源11がレーザダイオードであることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1項に記載の測定デバイス。請求項1から6のいずれか1項に記載の光学測定デバイスから物理的パラメータを測定する方法であって、前記方法が、-測定ビームを前記目標物20の方向に前記レーザ光源11で放出するステップと、-前記光路の前記全変動を表す信号を前記レーザ光源11において測定するステップと、-前記レーザ光源において前記測定するステップの間、前記レーザ光源11の前記変位を表す信号を前記モーションセンサ14で測定するステップと、-前記レーザ光源11において測定された前記信号から、前記第1の変換手段151によって前記光路の前記全変動を決定するステップと、-前記モーションセンサ14によって測定された前記信号から、前記第2の変換手段152によって前記レーザ光源の前記変位を決定するステップと、-前記光路の前記全変動と前記レーザ光源の前記変位とから前記物理的パラメータを決定するステップとを含むことを特徴とする、方法。非破壊的な方法で材料および製造部分を検査し制御するための請求項1から6のいずれか1項に記載の光学測定デバイスの使用。目標物の変位および振動を測定するための請求項1から6のいずれか1項に記載の光学測定デバイスの使用。気体および/または液体混合物における変動を検出するための請求項1から6のいずれか1項に記載の光学測定デバイスの使用。請求項1から6のいずれか1項に記載のデバイスを含む搭載システム。目標物20の変位を軸XX’に沿って光学測定するための測定デバイス10であって、前記測定デバイスが、-前記目標物の方向に測定ビームを生成し、前記目標物によって反射された前記測定ビームを受け取るためのレーザ光源11であり、前記測定ビームが光路に沿って移動し、前記光路の変動が前記目標物の前記変位に依存し、前記レーザ光源が光キャビティ111を含む、レーザ光源11と、-前記レーザ光源11のためのモーションセンサ14と、-前記レーザ光源11において測定された信号と前記モーションセンサ14によって測定された信号とから前記目標物の変位を計算するための計算手段15とを備えることを特徴とする測定デバイス。N軸に沿って目標物の変位を測定するためのシステムであって、Nが2以上であり、N個の請求項12に記載の光学測定デバイスを含む、システム。したがって、本発明の目的は、サイズ、性能、およびコスト制約条件に対応し、産業的な使用を実現させる、光フィードバック現象に基づく測定デバイスを提案することである。この目的のため、本発明の対象は物理的パラメータを光学測定するための測定デバイスである。この測定デバイスは、-目標物の方向に測定ビームを生成し、前記目標物によって反射された測定ビームを受け取るためのレーザ光源であり、前記測定ビームが光路に沿って移動し、光路の変動が決定される物理的パラメータに依存し、前記レーザ光源が光キャビティを含む、レーザ光源と、-レーザ光源のためのモーションセンサと、-レーザ光源において測定された信号とモーションセンサによって測定された信号とから物理的パラメータを計算するための計算手段とを備える。光路は、光ビームが移動する幾何学的距離を光ビームが通過する媒体の屈折の性質に応じてスケーリングしたもの、すなわち、この幾何学的距離に媒体の屈折率を乗算したものとして定義される。測定ビームの光路を変更する、決定された物理的パラメータは、例えば、目標物が配置されている媒体の屈折率の変動、レーザ光源の前に配置された光ファイバに印加される応力機械的、熱など、および、好ましくは、レーザ光源を通り抜ける光軸に沿って移動する目標物の変位である。レーザ光源は目標物の方向に測定ビームを放出し、目標物はビームの一部を反射する。この反射された測定ビームはレーザ光源の光キャビティに完全にまたは部分的にフィードバックされ、これにより光キャビティ中で放出測定ビーム干渉を生成する。好ましくは、レーザ光源はレーザダイオードであるが、例えば、ガスレーザなどの他のタイプのレーザ光源を使用することが可能である。測定ビームが移動する光路が変化すると、誘起された干渉により、特に、レーザダイオードが放出する入射ビームの光強度が変化する。レーザ光源において測定される信号は測定ビームの光強度のこの変動に依存する。この変動は光路の変動に依存する。測定信号は、例えば、電圧、電流、またはデジタル信号である。モーションセンサにより動作中のレーザ光源の移動に関する変位が有利に測定できる。この移動は、用途の要件に伴うレーザ光源の変位、または振動を受けたレーザ光源によって引き起こされる寄生変位であることがある。モーションセンサは、動作中のレーザ光源の変位を測定することができるデバイス、例えば、加速度計、ジャイロスコープ、または光センサなどである。例えば、モーションセンサが加速度計である場合は、好ましくは、レーザ光源のできるだけ近くに置かれ、レーザ光源に固定される。モーションセンサが非接触センサ、例えば光学式である場合は、少し離して置くことができ、その光ビームはレーザ光源の方向に向けられる。モーションセンサによって測定される信号はレーザ光源の変位に依存する。測定信号は、例えば、電圧、電流、またはデジタル信号である。計算手段により、レーザ光源において測定された信号とモーションセンサによって測定された信号とから物理的パラメータを決定することができる。この計算手段は、-レーザ光源において測定された信号を、光路の全変動測定値と呼ばれる光路変動の測定値に変換するための第1の変換手段と、-モーションセンサによって測定された信号を、変位測定値と呼ばれるレーザ光源の変位の測定値に変換するための第2の変換手段とを含む。光路の全変動測定値には、光路での実際の変動測定値と、変位測定値との両方が考慮に入れられている。本発明の好ましい実施形態では、計算手段は、レーザ光源に対してモーションセンサを較正するために較正手段をさらに含む。実現化するための一例では、較正手段は、モーションセンサの利得の誤差を補償し、レーザ光源の測定系統とモーションセンサの測定系統とを時間的に同期させるものである。測定デバイスの1つの実施形態では、較正手段は、モーションセンサの測定系統において第2の変換手段の出力部に置かれる。測定デバイスの1つの実施形態では、信号対雑音比を改善するために、測定デバイスはレーザ光源の出力部において第1の変換手段の上流にフォトダイオードを含み、レーザ光源において測定される信号はフォトダイオードによって得られる信号である。測定デバイスの好ましい実施形態では、レーザ光源がレーザダイオードである場合、フォトダイオードはレーザダイオードと同じハウジングに組み込まれる。測定デバイスの別の実施形態では、レーザ光源がレーザダイオードである場合、レーザダイオードにおいて測定される信号は前記レーザダイオード接合部電圧を増幅することによって得られる信号である。測定デバイスの別の実施形態では、目標物がレーザ光源から数センチメートルより離れて置かれる場合、測定デバイスは、光軸XX’上で、レーザ光源と目標物との間に置かれたレンズを含む。好ましくは凸状であるこのレンズにより、測定ビームを集束/コリメートすることができる。前記レンズは自動コリメーション/集束化用の適応レンズでもよい。測定デバイスの別の実施形態では、分解能を改善するために、前記測定デバイスは、レーザ光源と目標物との間に、測定ビームの位相を変調することができる電気光学変調器を含む。別の態様によれば、本発明は、レーザ測定により物理的パラメータを測定する方法に関する。この方法は、-測定ビームを目標物の方向にレーザ光源で放出するステップと、-光路の全変動を表す信号をレーザ光源において測定するステップと、-レーザ光源において測定するステップの間、レーザ光源の変位を表す信号をモーションセンサで測定するステップと、-レーザ光源において測定された信号から、第1の変換手段によって光路の全変動を決定するステップと、-モーションセンサによって測定された信号から、第2の変換手段によってレーザ光源の変位を決定するステップと、-光路の全変動とレーザ光源の変位とから物理的パラメータを決定するステップとを含む。光路の全変動を表す信号のレーザ光源における測定値とモーションセンサによるレーザ光源の変位を表す信号の測定値とは、単一の基点originにより同期的に実現される。レーザ光源において測定された信号から、第1の変換手段によって光路の全変動が決定されるステップと、モーションセンサによって測定された信号から、第2の変換手段によってレーザ光源の変位が決定されるステップの実施順序は定められたものではなく、前記ステップの結果を変更することなく、方法に応じて、説明した順序と逆の順序で実施してもよく、または好ましくは同時に実現することができる。本発明は、さらに、非破壊的な方法で材料と製造部分を検査および制御し、かつそれらをモーダル解析するための光学測定デバイスの使用に関する。本発明は、さらに、目標物の変位および振動を測定するための光学測定デバイスの使用に関する。本発明は、さらに、気体および/または液体混合物の変化を検出するための光学測定デバイスの使用に関する。この光学測定デバイスの他の用途として、例えば、目標物の不規則な変位の測定、接合/溶接のモニタ、衝撃検出、高速機械加工の最適化、材料の機械的応力の測定がある。上記で挙げた用途での測定デバイスの実施態様は、とりわけ、当業者の技術の範囲内にある。この光学測定デバイスは、さらに、移動搭載システムにさえ使用することができるという長所を有する。好ましい実施形態では、光学測定デバイスにより、軸XX’に沿った目標物の変位の測定が可能になる。前記測定デバイスは、-目標物の方向に測定ビームを生成し、前記目標物によって反射された測定ビームを受け取るためのレーザ光源であり、前記測定ビームが光路に沿って移動し、光路の変動が目標物の変位に依存し、前記レーザ光源が光キャビティを含む、レーザ光源と、-レーザ光源のためのモーションセンサと、-レーザ光源において測定された信号とモーションセンサによって測定された信号とから目標物の変位を計算するための計算手段とを備える。本発明は、さらに、N軸に沿って目標物の変位を測定するためのシステムに関し、ここでNは2以上であり、該システムは、各々が1つの軸に沿って位置づけられるN個の光学測定デバイスを備える。本発明の一実施形態の単なる一例として、添付図を参照しながら以下に説明する。測定デバイスを実現化する例を、目標物の変位測定に適用させて詳細に説明する。この選択は非限定であり、本発明は、さらに、レーザの前に配置された光ファイバに印加される応力、またはレーザと目標物間の気体混合物の変動に起因する、例えば、媒体の光屈折率の変動などの他の物理的パラメータにも当てはまる。図1は、本発明の特定の実施形態により光フィードバック現象に基づいた、目標物20の変位を測定するための光学デバイス10を概略的に示す。デバイスは、レーザ光源11、レンズ12、検出器13、モーションセンサ14、および目標物の変位を計算するための計算手段15を備える。レーザ光源11、レンズ12、および目標物20は共通の光軸XX’上に配置される。レーザ光源11は光フィードバックに敏感であり、光キャビティ111を備え、光軸XX’に沿って目標物20の方向に波長λの光測定ビームを放出し、反射された測定ビームを受け取るように設計される。好ましくは、レーザ光源11はレーザダイオードであるが、例えば、ガスレーザのような他のタイプのレーザ光源を使用することが可能である。好ましい実施形態では、電流値は、ある時間の間、実質的に途切れることなくレーザダイオード11に供給される。別の実施形態では、レーザダイオード11には、ある時間の間、例えば、正弦波または三角波タイプの周期的電流などの可変的な電流が供給される。従来の干渉計と異なり、追加コストを必要とするサーボ制御システムを使用してレーザダイオードの波長を安定化させる必要がなく、サーボ制御なしで得ることができる精度は、低コストデバイスを必要とする多くの用途にとって十分に高い精度である。レーザダイオード11は目標物から距離Lextに置かれる。レンズ12は光測定ビームが移動する光路上に置かれ、レーザ源と目標物との間に配置される。好ましくは、レンズ12は、数センチメートルより離れた距離Lextで目標物の変位を測定するのに使用される。一般に、レンズ12は数センチメートル未満の距離Lextでは必要でない。レンズ12は、第1に、レーザダイオード11から発された測定ビームを受け取り、前記測定ビームを目標物の方向にコリメート/集束するために、第2に、目標物によって反射された測定ビームの一部を受け取り、それをレーザダイオード11の内部キャビティ111に向けてコリメート/集束するために選択される。目標物20は、一例として矢印21によって概略的に示されるように光軸XX’に沿って移動している。したがって、本発明による測定デバイス10は、光軸XX’の方向に沿った目標物20の変位を測定するのに好適である。目標物20は、レーザダイオードから発された測定ビームの少なくとも一部を受け取り、前記測定ビームを反射するための表面区域21を有するように設計される。好ましくは、目標物20の表面区域21は、可能な限り最も高い精度を得るために、実質的に平坦でかつ光軸XX’に実質的に垂直である。しかし、平坦な表面区域も光軸に対し垂直であることも、本発明による目標物の変位の測定を達成するのに必須ではない。レーザダイオードの光キャビティに向けて測定ビームの少なくとも一部を反射するものであれば、他の形態の表面区域でも使用することができる。変位が垂直でない場合、目標物の変位測定は、光軸XX’に沿った投影により行われることになる。実現化するための一例では、目標物20は、変位が測定される物体の一部とすることができる。代替として、目標物20は物体から離れているが、物体に取り付けられているものとすることができ、その結果、目標物の変位の測定は物体の変位の測定と等価である。その結果、レーザダイオード11から発されるコリメートされていない測定ビームは、レンズ12の方に向かい、レンズ12により目標物20の方にコリメート/集束される。目標物20は測定ビームのごく一部分を反射する。反射された測定ビームは、レンズ12を通過した後、レーザダイオード11の光キャビティ111にフィードバックされ、レーザダイオードによって放出された測定ビームとの干渉を生成する。目標物20が光軸XX’に沿って移動している場合、ビームが移動する光路の長さ、すなわち、レーザダイオード11と目標物20との間の往復距離が変化し、目標物の変位に依存する干渉がレーザダイオード11によって放出される測定ビームの光強度の変動が生じる。測定検出器13は、レーザダイオードが放出した測定ビームの光強度の変動を検出し、それを目標物の変位に依存する干渉を含むSM信号と呼ばれる信号に変換する。このSM信号は、例えば、電流量、電圧、電力の信号、デジタル信号とすることができる。測定検出器は、好ましくは、フォトダイオード13である。実現化するための一例では、フォトダイオード13は、レーザダイオード11と同じハウジングに組み込まれ、レーザダイオードの後ろ側に配置されるフォトダイオードである。レーザダイオードの出力を、通常、サーボ制御するこのフォトダイオードは、光フィードバック現象によって引き起こされるレーザダイオードの光強度の変動を検出するために利用される。フォトダイオードの出力部において、図2に示すように、第1の変換手段151と呼ばれる変換手段が、フォトダイオードから生じるSM信号を処理し、それを全変位測定値DSMと呼ばれる変位の測定値に変換する。この全変位測定値DSMは、目標物の変位の測定値と、動作中のレーザダイオード11の移動に起因する変位の測定値とを考慮に入れている。実現化するための一例では、第1の変換手段151は、SM信号から全変位DSMを再構成するために干渉縞計数法を使用する。この方法の精度は、使用されるレーザダイオードの波長に関係する。実現化するための別の例では、第1の変換手段151は、SM信号から全変位DSMを再構成するために位相アンラッピング法を使用する。上記で引用した両方の方法、すなわち、干渉縞計数法および位相アンラッピング法はそれら自体が既知の方法であるため、説明はしない。第1の変換手段151はSM信号に応じてアナログまたはデジタルとすることができる。測定デバイス10はモーションセンサ14をさらに備える。実現化するための好ましい例では、このモーションセンサは、レーザダイオード11の近くに配置され、好ましくはレーザダイオードに固定された加速度計である。本発明によれば、加速度計14は、有利には、レーザダイオード11の移動に起因する変位を測定するために使用される。加速度計14は、例えば、光学タイプまたは圧電タイプのものとすることができる。実現化するための好ましい例では、加速度計は、MEMSと呼ばれる微小電子機械システムに基づいた加速度計である。MEMSベースの加速度計は小型であり、有利には、前記加速度計をレーザ源の極めて近くに位置づけることを可能にする。レーザダイオードの移動により生じた変位は、レーザ源の加速度を加速度計で測定することによって間接的に測定される。加速度計の出力部において、第2の変換手段152と呼ばれる変換手段が、加速度計から生じる加速度信号と呼ばれる信号を処理し、それを変位測定値Dpと呼ばれるレーザダイオードの変位の測定値に変換する。加速度信号は、例えば、電圧の信号、デジタル信号とすることができる。第2の変換手段の一例では、図2に示されるように、前記第2の変換手段152は、加速度信号からレーザダイオードの変位を再構成するために加速度信号の二重積分の方法を使用する。第2の変換手段152は、加速度信号に応じてアナログまたはデジタルとすることができる。第2の変換手段152の出力部において、レーザダイオード11に対して加速度計14を較正するための較正手段153が、レーザダイオード11の変位の測定値を較正する。較正手段153を実現化するための一例では、図2に示されるように、前記較正手段は、加速度計自体の利得誤差を補償できるようにするための可変利得システム154と、2つの測定系統、すなわち、レーザダイオード測定系統と加速度計測定系統とを同期させるための位相シフタ155とを含む。次に、目標物20の再構成された実際の変位DTは、移動によりレーザダイオードが得た全変位測定値DSMと加速度計から得られた較正済み変位測定値Daccとの減算によって決定される。第1および第2の変換手段151、152、ならびに較正手段153は計算手段15を構成する。本発明による測定デバイス10により、目標物の変位DTの測定値を再構成することができる。このデバイスは、有利には、広い測定範囲にわたって使用することができる。実際は、測定範囲はレーザダイオードのコヒーレンス長の半分に制限され得る。測定値範囲は、選択したレーザ光源に応じて数メートルに達し得る。ここで、この方法では、レーザビームの方向に加速度計によって得た測定変位を、レーザ源の寄生変位を補正するために減算することが重要である。加速度信号から再構成された変位信号の利得および位相は、自己混合信号および加速度信号を処理することによって導入された位相シフトを考慮に入れるように補正される。これらの補正により、高レベルの測定精度を得ることが可能になる。2つのチャネル加速度計チャネルおよび自己混合チャネルの各々で行われる信号処理ステップは本質的に非線形であるフィルタ処理、積分、微分などので、両チャネルの最終信号の位相はゼロでなく、システムの全帯域幅にわたって変化する。したがって、当業者が2つの最終信号を簡単に直接減算しただけでは、目標物の変位の正確な評価を得ることができない。その結果として、この方法は、信号のそれぞれの位相を較正および補正する追加のステップを含む。実際に、位相補正は利得補正よりも重要であり、2つの最終信号間の位相差が大きいと、減算後に得られる信号は非常に劣ったものとなる。2つの最終信号間の位相補正は様々な手段によって達成することができ、それらのうちの3つが非限定の例として以下で列記される。1アナログオールパスフィルタを、2つの最終信号の一方の位相を他の信号に関連して補正するように設計されたカスタマイズした位相関係で使用することができる。2カスタマイズした位相関係を有するデジタルフィルタを、一方の信号の位相を他方に対応させるために使用することができる。この種の解決策は、アナログ-デジタル変換およびデジタル-アナログ変換のための追加コストを含むことがある。しかし、非常に正確な位相関係をデジタルデータで実現することができる。3最後の2つの信号のスペクトル分析により、これら2つの信号の関係を得ることが可能である。次に、得られた2つの信号が同位相になるように、これらのスペクトルを修正変更することで補正が実現される。しかし、この利得および位相の補正は、本方法の場合のようにレーザセンサの固有分解能に近い分解能が要望される場合、十分ではない。事実上、2つの別個の現象、すなわち、加速度計からの雑音加速度計の様々な軸同士の結合が誤差を引き起こすことがある。まず、加速度計雑音について検討する。加速度信号から変位信号を得るのに必要とされる二重積分プロセスの間、加速度センサからの雑音に関してもこの二重積分が行われる。このため、このように再構成された変位信号の雑音は1/f2増加する。ここで、fは検討中の周波数である。このように得られたセンサの低周波ドリフトランダムウォークを避けるために、本方法は、加速度計から生じた信号を高次ハイパスフィルタでフィルタ処理するステップを含む。一般に、このフィルタの低域遮断周波数は、システムが許容可能な最大誤差によって設定される。例えば、ST登録商標からのブランド名LIS344ALH登録商標で知られているタイプの線形加速度計では、この周波数は自己混合の分解能に等しい分解能、すなわち50nmの補正を得るには20Hzである。これは、Colibrys登録商標からのブランド名SF1500登録商標で知られているタイプのデバイスでは1Hzになることになる。加速度計の様々な軸同士の結合に関して、この結合は、外在性レーザセンサに関するまたは内在性加速度計の内部軸に関するの不十分な位置合わせによって生じることがある。一般に、この結合は2未満で生じる。加速度計が単一の軸、2つの軸、または3つの軸を有しているかにかかわらず、この結合を観察するよう留意されたい。したがって、レーザに加えられる干渉寄生振動が主としてレーザビームの軸に対し垂直な軸に沿った方向に向けられる場合、加速度計によって与えられる情報は損なわれる。ゆえに、非限定の例としてここで説明する方法は、軸間の結合に関して加速度計を較正するステップを含み、そのステップは所望の分解能を保証可能にするために必要である。本発明による測定デバイスからの目標物の再構成された変位を示すために、多くの実験がなされ、4つの実施例の形態で以下に要約される。すべての実験において、-レーザ光源は、内蔵フォトダイオードをもつ785nmの波長λで放出するHitachi登録商標からのブランド名HL7851G登録商標で知られているタイプのレーザダイオードである。30mAの一定注入電流がレーザダイオードに供給され、レーザダイオードは50mWの最大出力を有する。-加速度センサは、300μg/√Hzの分解能および5kHzの帯域幅をもつAnalogDevices登録商標からのブランド名ADXL311登録商標で知られているタイプの加速度計である。-例えば、レーザダイオードの寄生となる可能性のある振動/変位は、レーザダイオードおよび加速度計が取り付けられている振動機によって生成される。-目標物はレーザダイオードから45cmの距離に位置づけられ、その変位はPhysikInstrumente登録商標による圧電センサタイプP753.2CDによって生成される。この圧電センサは、圧電センサの変位を2nmの分解能で直接測定するために静電容量センサに結合される。較正手段のための利得および位相較正係数を得るために、本発明の特定の実施形態による測定デバイスを較正する段階が、実現化するためのこの実施例では、より良好な分解能を達成するために使用される。この較正段階の間、レーザダイオードのみが、この実施例では振動機の助けを借りて移動し、目標物は静止している。4セットの測定が20Hzと400Hzの間で20Hz刻みで行われた。加速度計およびレーザダイオードから抽出された信号は利得および位相較正係数を得るために比較され、表に値が記録される。この較正段階後、測定された位相誤差は2°未満であり、測定された利得誤差は3未満である。次に、4つの実験が提示される。得られた結果がそれぞれ図3、図4、図5、および図6に示される。各図において、-曲線1は、レーザダイオードによって得られた信号から再構成された全変位信号を示し、-曲線2は、レーザダイオードおよび加速度計によって得られた信号から再構成された実際の変位信号を示し、-曲線3は目標物の変位信号を示し、基準曲線である。実施例1:同じ周波数で正弦波のように振動させた目標物および振動機。この第1の実施例では、振動機および目標物を、それぞれ3.5μmおよび2.5μmの信号振幅で同一の81Hzの周波数で振動させた。結果が図3に示されている。曲線1では変位振幅は5μmの誤差を有するが、曲線2は曲線3に近いことが分かる。この第1の実施例により、本発明による測定デバイスが、同じ周波数の振動状態でさえ、目標物の実際の変位を再構成可能であることが分かる。これは、測定デバイスと振動する目標物との間に望ましくない機械的結合がある場合にしばしば生じることがある。実施例2:異なる周波数で正弦波のように振動させた目標物および振動機。この第2の実施例では、振動機を167Hzの周波数で2μmの信号振幅で振動させ、目標物は97Hzの周波数で2.5μmの信号振幅で振動させた。結果が図4に示されている。この第2の実施例において、曲線1の変位信号は歪んでいるが、曲線2は曲線3に近いことが分かる。実施例3:不規則に振動させた目標物および振動機。振動機を、46Hz-92Hz-194Hz-276Hzの周波数の組合せで振動させた。目標物は、26Hz-104Hz-216Hzの周波数の組合せで振動させた。結果が図5に示されている。この第3の実施例において、曲線1の変位信号は大きい振幅で大きく歪んでいるが、曲線2はやはり基準曲線3に近いことが分かる。実施例4:固定周波数で正弦波のように振動させた目標物と、不規則に振動させた振動機。振動機を、46Hz-92Hz-194Hz-276Hzの周波数の組合せで振動させた。目標物は91Hzの周波数で2.3μmの信号振幅で振動させた。結果が図6に示されている。この第4の実施例において、曲線1の変位信号は歪み振幅が大きいが、曲線2はやはり基準曲線3に近いことが分かる。本発明による測定デバイスにより、有利には、レーザダイオードの変位によって生じる、光フィードバックセンサを用いた目標物の変位の測定における誤差を低減することができる。本発明による測定デバイスは、AnalogDevicesADXL311タイプの加速度計を用いて実現化させるために300nmの精度で変位を測定するデバイスであり、実現するのが簡単で、サイズが小さく、自己整合で、頑強なデバイスである。さらに、手頃な価格で、産業環境へ輸送可能であるという利点を有する。本発明の1つの実現化のための変形では、異なる軸に沿って位置づけられた少なくとも2つの光学測定デバイス10を関連づけることによって構成され、目標物20の横断変位を共同して測定する測定システムを想定することができる。実現化のための一例では、2つの異なる軸に沿って位置づけられた2つの光学測定デバイス10でアセンブリが製作される場合、目標物20の変位は2つの軸で形成された平面内で2次元で決定される。実現化のための別の例では、3つの異なる軸に沿って位置づけられた3つの光学測定デバイス10でアセンブリが製作される場合、目標物20の変位は3次元で決定される。