"電子線を発生させる電子銃と、前記電子線を試料に照射するための光学系と、当該試料をセットするステージと、当該試料を観察するために、当該試料への電子線の照射を基に前記試料を撮影する撮影機構と、前記撮影機構が撮影した当該試料の画像を解析する解析機構と、当該試料と前記撮影機構との相対的位置を調節する位置調節機構と、を備え、前記位置調節機構は、前記解析機構の解析結果を基に、前記ステージ又は前記撮影機構の視野のうちの少なくとも一方を移動させることを特徴とする電子顕微鏡システム。前記撮影機構は、当該試料の第1次画像及び前記1次画像の撮影時から所定時間後に当該試料の第2次画像を撮影し、前記解析機構は、前記第1次画像及び前記第2次画像のうちの少なくとも一方を基にして当該試料の少なくとも1つの基準点を指定し、前記第1次画像及び前記第2次画像における前記少なくとも1つの基準点の座標を比較することにより当該試料の移動速度を算出し、前記位置調節機構は、前記移動速度を基に前記ステージ又は前記撮影機構の前記視野のうちの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させ、前記撮影機構は、当該移動中又は移動後に当該試料の第3次画像を撮影することを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡システム。前記位置調節機構は、前記第3次撮影のための露光中に前記ステージ又は前記撮影機構の前記視野のうちの少なくとも一方を移動させることを特徴とする請求項2に記載の電子顕微鏡システム。前記位置調節機構は、前記解析機構の解析結果を基に、前記撮影機構の前記視野における当該試料の位置が見かけ上変化しないように前記相対的位置を調節することを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の電子顕微鏡システム。当該試料を加工するための加工機構をさらに備えることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の電子顕微鏡システム。前記基準点は、当該試料の形状の特徴を基に指定されることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載の電子顕微鏡システム。試料の第1次画像を撮影する工程と、前記第1次画像の撮影から所定時間後に第2次画像を撮影する工程と、前記第1次画像及び前記第2次画像のうちの少なくとも一方から当該試料の基準点を少なくとも1つ指定する工程と、前記第1次画像及び前記第2次画像を比較し、当該試料の前記基準点の座標変化及び移動速度を解析する工程と、前記基準点の座標変化及び移動速度を基に、当該試料を撮影する撮影機構の視野と当該試料との相対的位置関係を調整する工程と、当該試料と前記撮影機構の視野の相対的位置関係を調整しながら、又は調整した後に当該試料の第3次画像を撮影する工程と、を含むことを特徴とする電子顕微鏡システムの制御方法。当該試料と前記撮影機構の前記視野の相対的位置関係は、当該試料が前記視野において見かけ上静止しているように調整することを特徴とする請求項7に記載の電子顕微鏡システムの制御方法。前記第3次画像を撮影するための露光中に当該試料と前記撮影機構の視野の相対的位置関係を調整することを特徴とする請求項7又は8に記載の電子顕微鏡システムの制御方法。以下の分析は、本発明の観点から与えられる。図5に、本発明が解決しようとする課題を説明するための概略図を示す。図5は、電子顕微鏡で試料を観察した場合の視野91を示す。視野91には、試料の観察対象図5においてはスペード形状92が映し出されている。特許文献1に記載の技術のように、電子顕微鏡により試料を観察する場合、熱等の影響により、画像撮影の露光中に試料が移動ドリフトしてしまうことがある例えば、図5aに示す例においては右下方向。ドリフトが生じると、図5bに示すように、視野91において観察対象92の流れる過程が露光されてしまうので、鮮明な画像を得ることができない。そこで、鮮明な画像を得る対策として、露光時間を短くする方法が考えられる。しかし、露光が不十分となりこれによっても鮮明な画像が得られなくなってしまう。また、別の対策として、試料のドリフトが収束するまで待つ方法もあるが、この場合には撮影に長時間を要してしまうことになる。本発明の第1視点によれば、電子線を発生させる電子銃と、電子線を試料に照射するための光学系と、当該試料をセットするステージと、当該試料を観察するために、当該試料への電子線の照射を基に試料を撮影する撮影機構と、撮影機構が撮影した当該試料の画像を解析する解析機構と、当該試料と撮影機構との相対的位置を調節する位置調節機構と、を備える電子顕微鏡システムが提供される。位置調節機構は、解析機構の解析結果を基に、ステージ又は撮影機構の視野のうちの少なくとも一方を移動させる。本発明の第2視点によれば、試料の第1次画像を撮影する工程と、第1次画像の撮影から所定時間後に第2次画像を撮影する工程と、第1次画像及び第2次画像のうちの少なくとも一方から当該試料の基準点を少なくとも1つ特定する工程と、第1次画像及び第2次画像を比較し、当該試料の基準点の座標変化及び移動速度を解析する工程と、基準点の座標変化及び移動速度を基に、当該試料を撮影する撮影機構と当該試料との相対的位置関係を調整する工程と、当該試料と撮影機構の相対的位置関係を調整しながら、又は調整した後に当該試料の第3次画像を撮影する工程と、を含む電子顕微鏡システムの制御方法が提供される。本発明は、以下の効果のうち少なくとも1つを有する。本発明によれば、試料がドリフトしたとしても撮影機構に対しては見かけ上試料を静止させることができる。また、試料を撮影するための十分な露光時間を確保することができる。これにより、試料がドリフトしている場合であっても試料の鮮明な画像を得ることができる。また、本発明によれば、試料のドリフトが収まるまで撮影を待つ必要はない。これにより、試料がドリフトしている場合であっても短時間で試料の画像を撮影することができる。上記第1視点及び第2視点の好ましい形態を以下に記載する。上記第1視点の好ましい形態によれば、撮影機構は、当該試料の第1次画像及び1次画像の撮影時から所定時間後に当該試料の第2次画像を撮影する。解析機構は、第1次画像及び第2次画像のうちの少なくとも一方を基にして当該試料の少なくとも1つの基準点を特定し、第1次画像及び第2次画像における少なくとも1つの基準点の座標を比較することにより当該試料の移動速度を算出する。移動機構は、移動速度を基にステージ又は撮影機構のうちの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる。撮影機構は、当該移動中又は移動後に当該試料の第3次画像を撮影する。上記第1視点の好ましい形態によれば、移動機構は、第3次撮影のための露光中にステージ又は撮影機構のうちの少なくとも一方を移動させる。上記第1視点の好ましい形態によれば、電子顕微鏡システムは、当該試料を加工するための加工機構をさらに備える。上記第1視点の好ましい形態によれば、基準点は、当該試料の形状の特徴を基に指定される。上記第2視点の好ましい形態によれば、当該試料と撮影機構の視野の相対的位置関係は、当該試料が視野において見かけ上静止しているように調整する。上記第2視点の好ましい形態によれば、第3次画像を撮影するための露光中に当該試料と撮影機構の視野の相対的位置関係を調整する。本発明の第1実施形態に係る電子顕微鏡システムについて説明する。図1に、本発明の第1実施形態に係る電子顕微鏡システムの概略図を示す。本発明の電子顕微鏡システム10は、電子線を発生させる電子銃11と、電子線を試料に照射するための光学系12と、試料32をセットするステージ13と、試料32を観察するために、試料32への電子線の照射を基に試料32を撮影する撮影機構15と、試料32と撮影機構15の視野との相対的位置を調節する位置調節機構14,16と、システム内の各機構を制御する制御ユニットと、撮影機構15が撮影した画像を表示する表示機構20と、を備える。制御ユニットは、例えば、各機構の動作を制御する制御機構17と、設定条件、観測データ等の情報を記憶する記憶機構18と、撮影機構15が撮影した試料32の画像を解析する解析機構19と、を有する。電子顕微鏡システム10は、さらに、試料32を加工するための加工機構不図示を備えてもよい。電子顕微鏡システム10としては、例えば、透過型顕微鏡TEMや走査型電子顕微鏡SEMを使用することができる。図1に示す撮影機構15の位置等はイメージを示すための例示であり、撮影機構15等の位置等は、適用する電子顕微鏡システムや観測方法に応じて適宜設定する。電子銃11及び光学系12は、一般的に使用されているものを使用することができる。例えば、電子銃11は、熱電子銃、電解放出電子銃、ショットキー電子銃等を適用することができる。光学系12は、例えば、収束レンズ、対物レンズ、結像レンズ等を有する。図1において、第1位置調節機構14はステージ13の位置を調節するものであり、第2位置調節機構16は撮影機構15の視野の位置を調節する例えば撮影機構15の向きを調節するものである。図1に示す形態においては、電子顕微鏡システム10は、第1位置調節機構14及び第2位置調節機構16の両方を有しているが、いずれか一方のみを有するものでもよい。加工機構としては、例えば、試料32を薄膜化するための装置、例えばFIB加工するための装置等が挙げられる。本発明の第1実施形態に係る電子顕微鏡システムにおける各機構の動作と共に、本発明の第1実施形態に係る電子顕微鏡システムの制御方法について説明する。図2~図4に、撮影機構の視野の例を示す概略図を示す。まず、観察する試料32をステージ13にセットする。次に、通常の電子顕微鏡の撮影のように、光学系12を経由して電子銃11から発生させた電子線を試料32に照射し、撮影機構15は、試料32の第1次画像を撮影する。第1次画像を撮影したときの視野31には、図2に示すような試料32の観察対象スペード形状33の画像が映し出されていることとする。次に、第1次画像の撮影後から所定時間後例えば数秒後に試料32の第2次画像を撮影する。第2次画像を撮影したときの視野31には、例えば、図3に示すように、図2に示す視野31と比べて観察対象スペード形状33が右下方向に移動した観測結果が表示されていることとする。第1次画像及び第2次画像の撮影は、試料32の観察対象33を直接的に観察するための撮影ではなく、観察対象33を観察する準備のための撮影である。第1の目的は、試料32の観察対象33の特徴的な箇所後述の基準点を指定するための画像を得ることである。第2の目的は、第1次画像撮影時と第2次画像撮影時間における試料32の観察対象33の座標変化及び移動速度を算出するための画像を得ることである。第1次画像の撮影と第2次画像を撮影する間隔は、試料32がドリフト移動した場合に解析機構19が試料32の移動を検出できるような間隔に設定すると好ましい。次に、解析機構19は、第1次画像及び第2次画像のうちの少なくとも一方から少なくとも1つの試料32の観察対象33の基準点33a図2~図4における○印の箇所を指定する。基準点33aは、例えば、観察対象33において特徴的な形状を有する箇所とすることができる。基準点33aは、複数指定すると好ましい。図3に示す形態においては、3つの基準点33aを指定している。次に、解析機構19は、第1次画像例えば図2と第2次画像例えば図3とを比較し、基準点33aの移動データを算出する。移動データとしては、例えば、基準点33aの座標変化及び移動速度が挙げられる。上記説明においては、撮影機構15が撮影した2つの画像から基準点33a及びその移動データを算出したが、撮影機構15に3つ以上の画像を撮影させ、その3つ以上の試料32画像から基準点33a及びその移動データを算出してもよい。次に、撮影機構15は、試料32の観察対象33を観察するための画像である第3次画像を撮影するため観察対象33を露光する。このとき、第2位置調節機構16は、解析機構19が算出した観察対象33の移動データを基に、撮影機構15の視野31を観察対象33に対して相対的に移動させる。第1位置調節機構14を使用する場合には、ステージ13を観察対象33に対して相対的に移動させる。好ましくは、第2位置調節機構16は、観察対象33と撮影機構15の視野31の相対的位置関係が、観察対象33を撮影したときに観察対象33が視野31の見かけ上静止しているように調整する。例えば、図4に示すように、撮影機構15が観察対象33を露光中に、第2位置調節機構16は、解析機構19が算出した観察対象33の移動方向及び移動速度と同じ方向及び速度で撮影機構15の視野31を移動させる。この場合、観察対象33がドリフトしたとしても、観察対象33と撮影機構15の視野31の相対的位置関係は同一に維持されている観察対象33は視野31の中央付近に維持されているので、撮影機構15の視野31においては画像上観察対象33は静止しているように見える。次に、撮影のための必要な露光時間を確保できたら、撮影機構15は、観察対象33と撮影機構15の視野31の相対的位置関係を調整しながら、又は調整後に、観察対象33の第3次画像を撮影する。本発明においては、試料32がドリフトしたとしても撮影機構15に対しては観察対象33は静止して見えることになる。また、十分な露光時間を確保することができる。さらに、試料32のドリフトが収まるまで撮影を待つ必要はない。これにより、本発明によれば、短時間で観察対象33の鮮明な画像を得ることができる。本発明の電子顕微鏡システム及びその制御方法は、上記実施形態に基づいて説明されているが、上記実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において、かつ本発明の基本的技術思想に基づいて、上記実施形態に対し種々の変形、変更及び改良を含むことができることはいうまでもない。また、本発明の請求の範囲の枠内において、種々の開示要素の多様な組み合わせ置換ないし選択が可能である。本発明のさらなる課題、目的及び展開形態は、請求の範囲を含む本発明の全開示事項からも明らかにされる。"