ビームを試料に照射し、試料からの回折パターンの強度を計測し、計測した回折パターンの強度をもとにフーリエ反復位相回復法を用いて物体の像を再構成する回折顕微法において、入射ビームの角度拡がりによってコンボリューションされた回折パターンに対して、デコンボリューションを用いてフーリエ反復位相回復を行う、回折顕微法。コンボリューションされた回折パターンに対して、最初にデコンボリューションを行い、その後、その結果をフーリエ拘束条件として用いてフーリエ反復位相回復を行う、請求項1記載の回折顕微法。コンボリューションされた回折パターンに対して、デコンボリューションをフーリエ反復位相回復に組み込んで、両方を逐次的に更新する、請求項1記載の回折顕微法。このような回折顕微法における問題点の1つとして、入射ビームの角度拡がりがある。入射ビームの角度拡がりとは、図3に示すように、イメージング対象の物体に対して異なる角度で波が入射することをいう。回折顕微法において、入射ビームの角度拡がりが重要な課題の1つであることは、既に非特許文献8、9で指摘されている。しかし、これらの文献では、その解決法は提案されていない。なお、入射ビームの角度拡がりの問題については、後で詳述する。本発明の目的は、入射ビームの角度拡がりの影響を低減することができる回折顕微法を提供することである。本発明の回折顕微法は、ビームを試料に照射し、試料からの回折パターンの強度を計測し、計測した回折パターンの強度をもとにフーリエ反復位相回復法を用いて物体の像を再構成する回折顕微法において、入射ビームの角度拡がりによってコンボリューションされた回折パターンに対して、デコンボリューションを用いてフーリエ反復位相回復を行う。本発明によれば、回折顕微法において、入射ビームの角度拡がりの影響を低減することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。まず、上記図3を用いて、入射ビームの角度拡がりについて説明しておく。物体frによって1回のみ散乱され第1ボルンBorn近似、かつ、散乱された波を十分遠方で観測するフラウンフォーファー回折場合、検出器1検出面の点kで計測される、平行入射ビームによる回折強度I0kは、物体frのフーリエ変換Fk=FTfrの振幅の2乗に比例する。すなわち、簡単のため比例係数を1とすれば、式1が成立する。入射ビームに角度拡がりがある場合、検出面の点kで実験によって計測される回折パターン強度Iconvkは、平行入射ビームによる回折強度I0kと入射ビームの角度拡がり強度分布hkとのコンボリューションとして、式2によって表わされる。さらに、実際の実験では、検出器1で計測される回折パターン強度には、量子ノイズが重畳する。量子ノイズは、ρを期待値とするポアソン分布Pn;ρで表わされる。このポアソン分布Pn;ρは、式3で与えられる。ここで、nは、各点にノイズがある場合の強度であり、期待値ρは、各点にノイズがない場合の強度である。これらによって、入射ビームの角度拡がりに量子ノイズが重畳した場合の、回折顕微法への影響をシミュレーションすることができる。図4は、入射ビームの角度拡がりの影響の一例を示す図である。ここでは、入射ビームの角度拡がり強度分布hkをガウス分布hk;σとし、標準偏差σが、σ=0入射ビームの角度拡がりがない場合、σ=1、σ=2の場合に対する回折パターン上記図1の回折パターンに対応しかつその右上の部分を拡大したものと、それに対応する回折顕微法によって得られた実像とをそれぞれ示している図4A~図4C参照。ガウス分布hk;σは、次の式4で与えられる。標準偏差σは、入射ビームの角度拡がりの大きさを表すパラメータであり、ここでは、総カウント数を107個として量子ノイズを重畳している。また、標準偏差σのパラメータは、カメラ長をL、検出器1の画素サイズをpとすると、関係α=p/Lσを用いて、入射ビームの角度拡がりαに変換することができる。図4A~図4Cの左側に示す回折パターンを見ると、強度の低い領域でノイズが大きいこと、および、入射ビームの角度拡がりが大きくなるに従って徐々にぼやけた強度を示していること、がよくわかる。また、図4A~図4Cの右側に示す、各回折パターンをもとに図2のアルゴリズムによって得られたそれぞれの実像を見ると、σ=0の場合は、図1の実像とほぼ変わらないが、ノイズのために両者に若干強度の差が見られる。σ=1の場合は、図1の実像と比べると、各点の強度に大きなムラがあり、全体的にぼやけており、一部がほとんど見えない。さらに、σ=2の場合は、σ=1の場合と同様な傾向が顕著になり、一部のみしか再構成できていない。これらの結果は、入射ビームの角度拡がりが大きくなるにつれて、再構成領域のサイズが縮小していることを示している。このことは、入射ビームの角度拡がりが横コヒーレンスを制限するパラメータであることから、物理的にも妥当な傾向である。このように、入射ビームの角度拡がりが大きくなるに従って、再構成画像が縮小しかつぼやけた状態になることは、回折顕微法の課題として知られている。次に、本発明の原理を説明する。入射ビームの角度拡がりが、ノイズのない式2で表わされるコンボリューションであれば、式5に示すように、逆フーリエ変換F-1によって、解析的に、入射ビームの角度拡がりがない平行入射ビームによる回折強度I0を求めることができる。しかし、計測される回折パターン強度にノイズが重畳している場合には、式5によって平行入射ビームによる回折強度I0を求めることが難しいことは、よく知られている非特許文献10参照。物理的実験を、量子ノイズや検出器の熱雑音などの誤差なく行うことはできない。回折顕微法の分野において、入射ビームの角度拡がりによってコンボリューションされた回折パターンに対して、入射ビームの角度拡がりによる影響をデコンボリューションによって低減するという具体的な方法論が提案されたことは、これまでに全く存在しない。本発明では、回折イメージングに対する入射ビームの角度拡がりの影響を、デコンボリューションによって低減する。具体的には、回折イメージングに対する入射ビームの角度拡がりの影響を低減するために、1コンボリューションされた回折パターンに対して、最初にデコンボリューションを行い、その後、それをフーリエ拘束条件として用いてフーリエ反復位相回復を行う、または、2コンボリューションされた回折パターンに対して、逐次的なデコンボリューション法を、フーリエ反復位相回復に組み込む。すなわち、本発明では、入射ビームの角度拡がりの影響を低減するためのデコンボリューションの具体的な手法として、2つの手法1、2を提示する。ここでは、便宜上、手法1を発明手法1と称し、手法2を発明手法2と称する。図5は、本発明に係る回折顕微法の原理アルゴリズムを説明するための図である。特に、図5Aは、発明手法1に対応し、図5Bは、発明手法2に対応している。1発明手法1では、上記のように、コンボリューションされた回折パターンに対して、最初にデコンボリューションを行い、その後、それをフーリエ拘束条件として用いて図2のフーリエ反復位相回復を行う。2発明手法2では、コンボリューションされた回折パターンに対して、逐次的なデコンボリューション法を、図2のフーリエ反復位相回復に組み込む。発明手法1と発明手法2の大きな違いは、コンボリューションされた回折パターンに対して、発明手法1ではフーリエ反復位相回復と独立にデコンボリューションを行うのに対し、発明手法2ではデコンボリューションをフーリエ反復位相回復に組み込んで、両方を逐次的に更新する点である。発明手法2は、デコンボリューションに対して、物体の拘束条件が付加されるという利点がある。なお、本発明では、デコンボリューションの手法具体的な式は特に限定されず、任意の手法を採用することができる。図2のアルゴリズムでは、入射ビームの角度拡がりに対するデコンボリューションは一切考慮されていないが、本発明では、それを考慮した点に大きな特徴がある。以下、発明手法1および発明手法2の具体的なアルゴリズムについて説明するが、ここでは、各発明手法の特徴をより明確にするため、まず回折顕微法で通常用いられている図2のアルゴリズム以下従来手法のアルゴリズムというについて説明する。ここで、計測した回折パターンの強度Iobsから振幅Fobsを式6で表し、式7および式8で示す2つの複素関数fnr、Fnkを、式9および式10とそれぞれ略記する。また、式10における振幅Fnを振幅Fobs=Fnに置き換えた式を、式11で表し、この式11のFnを逆フーリエ変換した式を、式12で表す。図2に示す従来手法のアルゴリズムは、以下のステップ1~6により構成されている。ステップ1物体をfnとする式9参照。ステップ2fnをフーリエ変換し、Fnとする式10参照。ステップ3振幅Fnを、計測から求めた振幅Fobs=Fnに置き換えフーリエ拘束条件、Fnとする式11参照。ステップ4Fnを逆フーリエ変換し、fnとする式12参照。ステップ5fnにオブジェクト拘束条件を付加して、式13で示すfn1とする。ステップ6ある評価値例えば、式14に示すRファクタが所定値Rtermに達すれば終了し、評価値が所定値に達していなければ、ステップ1に戻る。次に、発明手法1のアルゴリズムについて説明する。発明手法1のアルゴリズムは、従来手法のアルゴリズムにおいて、振幅Fnを、計測から求めた振幅FobsをデコンボリューションしたFdeconv=Fnに置き換えフーリエ拘束条件、Fnとした式11参照ものである。すなわち、具体的には、発明手法1のアルゴリズムは、以下のステップ1~6により構成されている。ステップ1物体をfnとする式9参照。ステップ2fnをフーリエ変換し、Fnとする式10参照。ステップ3振幅Fnを、計測から求めた振幅FobsをデコンボリューションしたFdeconv=Fnに置き換えフーリエ拘束条件、Fnとする式11参照。ステップ4Fnを逆フーリエ変換し、fnとする式12参照。ステップ5fnにオブジェクト拘束条件を付加して、式13で示すfn1とする。次に、発明手法2のアルゴリズムについて説明する。発明手法2のアルゴリズムは、従来手法のアルゴリズムにおいて、振幅Fnを、逐次的にデコンボリューションしたFdeconv=Fnに置き換えフーリエ拘束条件、Fnとした式11参照ものである。すなわち、具体的には、発明手法2のアルゴリズムは、以下のステップ1~6により構成されている。ステップ1物体をfnとする式9参照。ステップ2fnをフーリエ変換し、Fnとする式10参照。ステップ3振幅Fnを、逐次的にデコンボリューションしたFdeconv=Fnに置き換えフーリエ拘束条件、Fnとする式11参照。ステップ4Fnを逆フーリエ変換し、fnとする式12参照。ステップ5fnにオブジェクト拘束条件を付加して、式13で示すfn1とする。ここで、発明手法1および発明手法2で用いるデコンボリューションについて、その手法具体的な式は複数存在しうる非特許文献10参照。本実施の形態では、例えば、デコンボリューションの手法の一例として、RichardsonLucyRLアルゴリズムを用いる。RLアルゴリズムは、次の式15によって与えられる。ここで、はコンボリューションを表し、tは反復回数、hバーはhの共役関数である。式15において、FdeconvtおよびFobsは、それぞれ、式16および式17で表されるため、発明手法1では、式15のRLアルゴリズムで十分収束してから、Fdeconvt→Fdeconvとする。また、発明手法2では、式15の右辺のIdeconvtをFn2として、左辺を求め、Fdeconvを式18で表す。なお、発明手法1および発明手法2で用いるデコンボリューションの式は、式15に示すRLアルゴリズムに限定されるわけではなく、デコンボリューションの任意の式を採用することができる。次に、発明手法の作用効果について説明する。上記のように、デコンボリューションには複数の方法が存在する。ここでは、例えば、発明手法2について、逐次的なデコンボリューションの1つである上記RLアルゴリズムを用いた例を示す。図6は、発明手法2におけるデコンボリューションの収束過程の一例を示す図である。ここでは、図4Bの回折パターンσ=1の場合を用いて、式15を図5Bで示すようにフーリエ反復位相回復に組み込んだ場合のイメージ再構成過程を示している。図6Aのグラフは、逐次回数Iterationsに対する、収束の度合いを定量的に表すRファクタを示している。Rファクタは、上記のように、式14によって与えられる。図6に示す例では、5000回まではHIO、それ以降10000回まではERを適用している。図6Aに示すように、Rファクタは、5000回まではほぼ一定であるが、ERに切り替えた直後に急激に下がり、その後、徐々にではあるが、さらに減少している。回復過程の例として、図6B、図6C、図6Dに、3000回、6000回、10000回の回折パターンをそれぞれ載せた。これを見ると、回数が進むにつれて、ノイズが重畳してぼやけた強度から、ノイズが減少し、コントラストがはっきりした、回折に特有なシャープな干渉縞が鮮明に回復している様子がよくわかる。図7は、図6における10000回目の回折パターンとそれに対応する実像図7B参照を示す図である。入射ビームの角度拡がりがない理想的な図1の場合と比較すると、回折パターンはほぼ同等な強度を示していること図7A参照、また、実像は、コントラストが若干弱いが、コンボリューションされた回折パターンをそのまま使用した図4Bの実像σ=1の場合と比較すれば、効果が十分得られていること、がよくわかる。以下、具体的な装置への適用例について説明する。回折パターンを実験によって測定し、これをもとに計算機のデジタル処理によって実像を得る回折顕微法を実施するための主要構成要素は、回折パターン計測装置と計算機である。本発明に係る回折顕微法を実施するためのアルゴリズム例えば、発明手法1、2の上記アルゴリズムは、プログラムとして、所定の記憶装置に格納され、計算機によって実行される。以下では、本発明に係る回折顕微法の一適用例として、例えば、電子回折顕微鏡への適用例について説明する。電子回折顕微鏡とは、従来の電子顕微鏡の性能を活かしつつ、結像のための対物レンズを使用せずに回折パターンを計測可能とする電子顕微鏡である。なお、本発明に係る回折顕微法の適用例が電子回折顕微鏡に限定されないことは当然である。図8は、本発明に係る回折顕微法が適用された電子回折顕微鏡のハードウエア構成の一例を示すブロック図である。なお、一般に、実像の再構成には、大別して、ハードウエアとソフトウエアが必要であるが、図8は、電子回折顕微鏡のハードウエアのみを示している。図8に示す電子回折顕微鏡10のハードウエアは、大別して、入射系100、試料系200、検出系300、および計算機系400から構成されている。入射系100、試料系200、および検出系300は、真空の筐体500に収納されている。入射系100は、平行な電子線を試料に照射する機能を有し、電子線を発生する電子源110と、平行照射用のレンズ系120とを有する。平行照射用レンズ系120は電磁レンズで構成されている。電子源110で発生した電子線は、平行照射用レンズ系120によって平行な電子ビームとなり、試料系200に照射される。試料系200は、試料を固定するとともに試料の環境を制御する機能を有し、サポート用スリット210と、試料220とを有する。サポート用スリット210は、中心に孔212が形成されており、電子線の照射方向に対して試料220の手前に配置される。サポート用スリット210によって実空間のオブジェクト拘束条件として位相を付加することができる。すなわち、サポート用スリット210の強度分布および位相分布は、フーリエ反復位相回復法におけるオブジェクト拘束条件として付与される。試料220は、図示しない試料台に載置されている。なお、ここで、サポートとは、試料観察領域を含む領域のことである。また、サポート用スリットとは、試料を含む領域とそれ以外の領域の2つを構成するものであり、前者は目標とする像回折顕微法によって得られる像であり、後者はオブジェクト拘束条件として振幅をゼロとする領域である。検出系300は、試料からの回折パターンの強度を計測する機能を有し、対物レンズ310と、コース検出器320と、ファイン検出器330とを有する。ファイン検出器330例えば、エバルト球検出器の中心には孔332が形成されている中心孔付き2次元検出器。すなわち、本適用例では、検出系300は、コース系とファイン系の2つを備えている。ここで、コース系は、物理的な対物レンズ電気的にオンオフ可能な対物レンズ310によって、空間分解能が比較的低い像を得るための検出系であり、ファイン系は、物理的な対物レンズを用いることなく、回折パターンの強度を用いてフーリエ反復位相回復法によってより高い空間分解能を得るための検出系である。対物レンズ310とコース検出器320はコース系に含まれ、ファイン検出器330はファイン系に含まれている。コース系とファイン系を両方備えることで、コース系で得られた低分解能の実空間像をファイン系の位相回復の拘束条件として用いることが可能になり、高分解画像を得ることができる。なお、対物レンズ310は電磁レンズで構成されており、図8では、中間レンズや投影レンズなどの拡大レンズ系は省略してある。また、構成によっては、コース検出器とファイン検出器とは1つにして兼用することも可能である。計算機系400は、検出系300によって計測された回折パターンの強度をもとにフーリエ反復位相回復法を用いて物体の像を再構成する機能を有し、コンピュータ410で構成されている。検出系300のコース検出器320およびファイン検出器330は、コンピュータ410にそれぞれ接続されている。また、計算機系400の処理結果は、入射系100、試料系200、および検出系300にそれぞれフィードバックされる。なお、図示しないが、コンピュータ410は、プログラムアルゴリズムを実行するCPUや、プログラムを記憶する記憶装置ROMやRAM、ハードディスクなど、処理結果を表示するディスプレイなどを有する。上記した発明手法1または発明手法2のアルゴリズムは、プログラムとして、コンピュータ410に内蔵された記憶装置またはコンピュータ410に接続可能なコンピュータ読み取り可能な記憶媒体CD-ROMやDVDなどに格納されている。この電子回折顕微鏡10では、コース系によって初期画像およびサポート領域を得ることができ、回折顕微法の重要なオブジェクト拘束条件として、実験データをそのままアルゴリズムに組み込むことができる。これは、回折顕微法を電子顕微鏡として装置化する場合の具体的な例を示している。すなわち、従来得られている手法で荒い画像コースイメージを観察し、さらに高い分解能を求めたい場合は回折顕微法で詳細な画像ファインイメージを観察する、という相補的な使用を行うことができる。回折顕微法として、本発明に係る回折顕微法例えば、発明手法1、2のアルゴリズムを利用することによって、入射ビームの角度拡がりの影響を低減しつつ、これまでに得られていない高分解能化を実現することができる。2010年1月27日出願の特願2010-015698の日本出願に含まれる明細書、図面および要約書の開示内容は、すべて本願に援用される。