"シャフトの軸芯に対して偏芯して組み付けられ、当該シャフトを中心に半径rの第一仮想クランクアームを介して回転可能に組み付けられた第一クランク軸と、前記第一クランク軸に同芯状に嵌め込まれた第一筒体と該第一筒体の軸芯に対して偏芯した複数の第二仮想クランク軸を軸芯とする第二筒体が軸方向両側に連続して形成された偏芯筒体を備え、一方の第二筒体に第一両頭ピストンが他方の第二筒体に第二両頭ピストンが互いに交差したままシリンダ内に配置され、前記第一クランク軸を中心に半径rの第二仮想クランクアームを介して回転可能に嵌め込まれたピストン複合体と、前記第一クランク軸の両端に挿入組み付けられた第一,第二のバランスウェイトと、を具備し、前記第一,第二バランスウェイトのみによって第一,第二両頭ピストン組の第二仮想クランク軸を中心とした第一の回転バランス、前記ピストン複合体の第一クランク軸を中心とする第二の回転バランス及び前記第一クランク軸及びピストン複合体の前記シャフトを中心とする第三の回転バランスがバランス取りされたまま当該シャフトの回転によって前記両頭ピストンが前記シリンダ内を直線往復運動する四ヘッドの流体回転機であって、各シリンダ室に対する流体の吸入動作と吐出動作の切り換えを行なうロータリーバルブが、前記シャフトと同軸状にケース体内に一体的に回転可能に組み付けられていることを特徴とする流体回転機。前記ロータリーバルブは、流体の吸入用バルブと流体の吐出用バルブを備えている請求項1記載の流体回転機。前記ロータリーバルブの外周面には周方向に溝幅が一部で異なる流路溝が形成されており、前記ケース体には前記流路溝と外部流路とを連通する第一の流路と前記流路溝とシリンダ室とを連通可能な第二の流路が形成されている請求項1又は請求項2記載の流体回転機。前記ロータリーバルブは、クランク軸の両端部に挿入組み付けられた第一,第二バランスウェイトと一体に形成されており、前記流路溝はバルブ外周面に全周にわたって所定幅で形成された周溝に対して拡幅された拡幅溝を有し、当該拡幅溝はシャフトの軸方向に対して点対称に形成されている請求項3記載の流体回転機。前記ケース体に回転可能に軸支された第一,第二バランスウェイトの一方側に流体の吸込み及び吐出用のロータリーバルブが一体に設けられており、前記バルブ外周面に全周にわたって所定幅で形成された周溝に対して拡幅された拡幅溝を有する一対の流路溝が併設されており、前記拡幅溝どうしは軸方向に互い違いとなるように相互補完的に形成されている請求項3記載の流体回転機。上述した流体回転機において、例えば図27に示す液送ポンプ501においては、両頭ピストンが摺動する4つのシリンダの各々に対してそれぞれ吸入口502,吐出口503が必要になり、更に図示していない例えば板ばね方式の吸気バルブ及び排気バルブが必要になる。このように部品点数が増えるうえに各吸入口及び吐出口に接続する管路チューブを引き回す配管構造が煩雑になり、設置スペースも必要になる。また、図28に示すように、各シリンダ室504内に流体を吸込み動作若しくは吐出動作を行なう開閉バルブ505が板ばね方式である場合には、流体を吸入吐出するには、流体圧F1×流路A断面積>板ばねのばね力シリンダ室内で板ばねに作用する流体圧F0×板ばねのφB部表面積、となる構成にする必要があるため、バルブ開閉に要する流体の圧力損失が大きい。本発明の目的は、低損失で部品点数を減らしてバルブ構造を簡略化し、流体の吸入及び吐出が行われる外部接続管路を減らすことで設置面積を減らすことが可能な流体回転機を提供することにある。上記目的を達成するため本発明は次の構成を有する。シャフトの軸芯に対して偏芯して組み付けられ、当該シャフトを中心に半径rの第一仮想クランクアームを介して回転可能に組み付けられた第一クランク軸と、前記第一クランク軸に同芯状に嵌め込まれた第一筒体と該第一筒体の軸芯に対して偏芯した複数の第二仮想クランク軸を軸芯とする第二筒体が軸方向両側に連続して形成された偏芯筒体を備え、一方の第二筒体に第一両頭ピストンが他方の第二筒体に第二両頭ピストンが互いに交差したままシリンダ内に配置され、前記第一クランク軸を中心に半径rの第二仮想クランクアームを介して回転可能に嵌め込まれたピストン複合体と、前記第一クランク軸の両端に挿入組み付けられた第一,第二のバランスウェイトと、を具備し、前記第一,第二バランスウェイトのみによって第一,第二両頭ピストン組の第二仮想クランク軸を中心とした第一の回転バランス、前記ピストン複合体の第一クランク軸を中心とする第二の回転バランス及び前記第一クランク軸及びピストン複合体の前記シャフトを中心とする第三の回転バランスがバランス取りされたまま当該シャフトの回転によって前記両頭ピストンが前記シリンダ内を直線往復運動する四ヘッドの流体回転機であって、各シリンダ室に対する流体の吸入動作と吐出動作の切り換えを行なうロータリーバルブが、前記シャフトと同軸状にケース体内に一体的に回転可能に組み付けられていることを特徴とする。上記構成によれば、シャフトの回転によって両頭ピストンが直線往復運動して、シャフトと同軸状にケース体内に回転可能に組み付けられているロータリーバルブによって、各シリンダ室に対する流体の吸入動作と吐出動作の切り換えを行なわれる。よって、各シリンダ室に連通する吸入口及び吐出口に接続する配管を一つに集約することが可能になり、部品点数を減らしてバルブ構造を簡略化し、流体の吸入及び吐出が行われる外部接続管路を減らすことで設置面積を減らすことが可能になる。また、クランク軸の両端に挿入組み付けられた第一,第二のバランスウェイトのみによって両頭ピストンを含む回転部品間の回転バランス取りがなされているので、回転による振動を抑えて損失を低減することができる。尚、上述した両頭ピストンを十字状に交差してシリンダ内に配置され、シャフトの回転によって両頭ピストンが直線往復運動する構成は、シャフトを回転させると、当該シャフトを中心に半径rの第1クランク軸が回転し、当該第1クランク軸を中心に両頭ピストンが組み付けられたピストン複合体が回転することで、第一,第二両頭ピストンがシャフトを中心とする第2仮想クランク軸の半径2rの転がり円の径方向内サイクロイドの軌跡に沿って直線往復運動を行なうことにより実現される。また、前記ロータリーバルブは、流体の吸入用バルブと流体の吐出用バルブを備えていることを特徴とする。上記構成によれば、ロータリーバルブは、流体の吸入用バルブと流体の吐出用バルブを備えているので、四ヘッドの流体回転機において、通常八箇所必要なバルブを最少で二箇所に減らすことが可能になる。また、前記ロータリーバルブの外周面には周方向に溝幅が一部で異なる流路溝が形成されており、前記ケース体には前記流路溝と外部流路とを連通する第一の流路と前記流路溝とシリンダ室とを連通可能な第二の流路が形成されていることを特徴とする。上記構成によれば、第一の流路を外部流路への吸入吐出用流路とし、ケース体内の流路を共用することで、配管を省略して構造を簡素化することができる。また、前記ロータリーバルブは、クランク軸の両端部に挿入組み付けられた第一,第二バランスウェイトと一体に形成されており、前記流路溝はバルブ外周面に全周にわたって所定幅で形成された周溝に対して拡幅された拡幅溝を有し、当該拡幅溝はシャフトの軸方向に対して点対称に形成されていることを特徴とする。上記構成によれば、ロータリーバルブの部品点数が少なく、ケース体にコンパクトに組み付けることができる。この場合、流路溝はバルブ外周面に全周にわたって所定幅で形成された周溝に対して拡幅された拡幅溝を有し、当該拡幅溝はシャフトの軸方向に対して点対称に形成されていると、拡幅溝による吸込若しくは吐出の切換え動作が正確に行なえる。或いは、前記ケース体に回転可能に軸支された第一,第二バランスウェイトの一方側に流体の吸込み及び吐出用のロータリーバルブが一体に設けられており、前記バルブ外周面に全周にわたって所定幅で形成された周溝に対して拡幅された拡幅溝を有する一対の流路溝が併設されており、前記拡幅溝どうしは軸方向に互い違いとなるように相互補完的に形成されていることを特徴とする。上記構成によれば、バルブ外周面に全周にわたって所定幅で形成された周溝に対して拡幅された拡幅溝を有する一対の流路溝が併設されており、拡幅溝による吸込若しくは吐出の切換えが行なえるうえに拡幅溝どうしは軸方向に互い違いとなるように相互補完的に形成されているとウェイトのバランスとりがしやすくなり、回転による振動を抑えて静音化を実現することができる。本発明に係る流体回転機を用いれば、低損失で部品点数を減らしてバルブ構造を簡略化し、流体の吸入及び吐出が行われる外部接続管路を減らすことで設置面積を減らすことが可能になる。以下、発明を実施するための一実施形態について添付図面に基づいて詳細に説明する。先ず、図1乃至図15A図15Bを参照して一例として非圧縮性の流体に用いられる流体回転機、例えば液送ポンプについて説明する。図1において、第一ケース体1と第二ケース体2とで構成されるケース体3にシャフト4入出力軸が回転可能に軸支されている。第一ケース体1と第二ケース体2とは、ボルト3aにより四隅をねじ嵌合させて一体に組み付けられている図12参照。このケース体3内には、図2に示すように、第一クランク軸5を中心に回転可能な偏芯筒体6図3参照と該偏芯筒体6に軸受を介して組み付けられた第一両頭ピストン7及び第二両頭ピストン8以下、これらをピストン複合体Pという;図2参照が十字状に交差して回転可能に収容されている。以下、具体的に説明する。図3において、第一クランク軸5は、シャフト4の軸芯に対して偏芯して連結される。本実施形態では、シャフト4は、第一バランスウェイト9と一体に形成されている。尚、第二バランスウェイト10側にもシャフトが形成されていてもよい。第一,第二バランスウェイト9,10は第一クランク軸5の両軸端部に各々挿入組み付けられている。第一クランク軸5の両軸端部には軸方向にスリット5aが各々形成されている。各スリット5aには、第一クランク軸5と直交する向きにピン孔5bが設けられている。ピン孔5bの孔径はスリット5aの幅より大きく、ピン孔5bはスリット5aの一部に重なり合うように形成されている。第1クランク軸5の両端部に第1,第2バランスウェイト9,10がピン孔9a,10a図4B,図5B参照とピン孔5bとを位置合わせして嵌め込まれている。図6A図6Dにおいて、第一,第二バランスウェイト9,10の軸部にはボルト孔9b,10b図示せず及びピン孔9a,10aが各々設けられている。このピン孔9a,10aと第1クランク軸5のピン孔5b図3参照を連通するように位置合わせして第1,第2バランスウェイト9,10が第1クランク軸5に嵌め込まれ、ピン11a図3参照を互いに連通するピン孔9a,5bに、ピン11b図3参照を連通するピン孔10a,5bに各々嵌め込む。そして、ボルト孔9b,10b図示せずにボルト12a,12bを各々嵌め込んでスリット5a及びピン孔5bの幅を狭めることで、ピン11a,11bが抜け止めされて第一,第二バランスウェイト9,10が第一クランク軸5の両端部に一体に組み付けられる図4A図4B参照。これにより、第1クランク軸5の両軸端部に連結する第一,第二バランスウェイト9,10の軸直角方向の組み付け精度を向上させることができる。図3において、第一バランスウェイト9に一体形成されたシャフト4は第一バランスウェイト9と第一ケース体1との間に組み付けられた第一軸受13aにより回転可能に軸支されており、第二バランスウェイト10に形成されたシャフト4と同軸状に形成された軸部10cと第二ケース体2との間に組み付けられ第二軸受13bにより回転可能に軸支されている。第一,第二バランスウェイト9,10は、例えば扇型などのブロック形状をしており図4B参照、シャフト4を中心として組み付けられる第1クランク軸5及びピストン複合体Pを含む回転部品間の回転バランスを取るために設けられている。このように、第一,第二バランスウェイト9,10の少なくとも一方にシャフト4が一体に形成されていると部品点数が少ないうえに、シャフト4と第1クランク軸5を結ぶ第1仮想クランクアームの長さを例えば第一,第二バランスウェイト9,10の回転半径rにより調整して、シャフト4を中心として第一クランク軸5を軸方向及び径方向にコンパクトに組み付けることができる。図3に示すように、第一,第二両頭ピストン7,8が互いに十字状に交差して第一クランク軸5を中心に回転する偏芯筒体6に組み付けられている。具体的には、偏芯筒体6は、回転中心となる第一クランク軸5が挿通する第一筒体6aと、該第一筒体6aの軸芯方向両側に第二筒体6bが各々連続して形成されている。第一筒体6aには第一クランク軸5が嵌め込まれており、偏芯筒体6の回転中心となっている。また、第二筒体6bの軸芯は、第一クランク軸5第一筒体6aの軸芯に対して偏芯した第二仮想クランク軸第二筒体6bの中心;図示せずと一致するようになっている。図3に示すように、第二筒体6bの内周側には内側軸受15a,15bが保持されており、外周側には外側軸受16a,16bが各々保持されている。内側軸受15a,15bは第1のクランク軸5を回転可能に支持している。また、第一,第二両頭ピストン7,8は外側軸受16a,16bを介して第二筒体6bに第二仮想クランク軸と軸直角方向に十字状に交差して嵌め込まれたまま回転可能に支持されている。これにより、第一クランク軸5と第二仮想クランク軸を結ぶ第2仮想クランクアームの長さを第二筒体6bの回転半径rにより調整して、第一クランク軸5を中心として偏芯筒体6を含むピストン複合体Pを軸方向及び径方向にコンパクトに組み付けることができる。また、図3において、第一,第二両頭ピストン7,8の長手方向両端部に設けられた第一ピストンヘッド部7a,第二ピストンヘッド部8aにはリング状のシールカップ17a,17b、シールカップ押さえ部材18a,18bが各々ボルト19により組み付けられている。シールカップ17a,17bは、オイルフリーのシール材例えばPEEKポリエーテルエーテルケトン樹脂材等が用いられる。シールカップ17a,17bの外周縁部にはピストン摺動方向に沿って起立部17cが起立形成されている。流体回転機においては、起立部17cは第一,第二ピストンヘッド部7a,8aの摺動方向外側に向けて組み付けられる。また、図1及び図2において、ケース体3第一ケース体1及び第二ケース体2の側面部4面に設けられた開口部20には、シリンダ21がボルト22により組み付けられている。図2において、第一,第二両頭ピストン7,8は、シールカップ17a,17b起立部17cによって、シリンダ21の内壁面とのシール性を保ちながら摺動するようになっている。尚、シールカップ17a,17bは、他の回転部品に比べて回転質量が無視できるほど軽量であるため、第一,第二バランスウェイト9,10によるバランス取りに影響を与えない。図3において、各シリンダ室に対する流体の吸入動作と吐出動作の切り換えを行なう第一ロータリーバルブ23吐出バルブと第二ロータリーバルブ24吸込バルブが、シャフト4と同軸状にケース体3内に回転可能に組み付けられている。具体的には、図4A図4Bにおいて、第一ロータリーバルブ23は、第一バランスウェイト9と一体に形成されており、第二ロータリーバルブ24は第二バランスウェイト10と一体に形成されている。第一ロータリーバルブ23と第二ロータリーバルブ24は第一クランク軸5の軸端側に形成されている。第一ロータリーバルブ23は第一バランスウェイト9と、第二ロータリーバルブ24は第二バランスウェイト10と一体に形成されていると、部品点数が少なく、ケース体3にコンパクトに組み付けることができる。第一ロータリーバルブ23と第二ロータリーバルブ24には、周方向に溝幅が一部で異なる流路溝が形成されている。具体的には、バルブ外周面に全周にわたって所定幅で形成された周溝23a,24a図5B参照に対して拡幅された拡幅溝23b,24bが形成されている。図5A,図5Cに示すように、拡幅溝23b,24bはシャフト4の軸方向に対して点対称に形成されている。これにより、拡幅溝23b,24bによる吸込若しくは吐出の切換え動作が正確に行なえる。また、第1ケース体1,第二ケース体2には周溝23a,24aと外部流路とを連通する第一の流路1a,2aが形成され図7A図7B図7E、図8A図8B図8C図8E参照、拡幅溝23b,24bとシリンダ室25とを連通可能な第二の流路1b,2bが形成されている図3図7A図7B図7C図7D,図8A図8B図8D図8F参照。第二の流路1b,2bはシリンダ21に設けられた連通孔21a,21bを通じてシリンダ室25と各々連通するようになっている。また、図6A図6Dにおいて、周溝23a,24aは第一ロータリーバルブ23と第二ロータリーバルブ24の全周にわたって形成されており、図6Bに示すように拡幅溝23b,24bは、中心角で180°の周長の両端から流路半径R分だけ周方向に狭めた範囲で形成されている。このように、例えば第一の流路を外部流路への吸入吐出流路とし、第二の流路を各シリンダへの流路として共用することで、配管を省略して構造を簡素化することができる。よって、図2に示すように四ヘッドの流体回転機において、通常八箇所必要なバルブを最少で二箇所に減らすことが可能になる。次に、流体回転機の組立構成の一例について図12を参照して説明する。偏芯筒体6の第二筒体6b内に内側軸受15a,15bを組み付ける。また、内側軸受15a,15bが組み付けられた第一筒体6aの中心孔に第一クランク軸5を嵌め込む図3参照。また、第一,第ニピストンヘッド部7a,8aにシールカップ17a,17b、シールカップ押さえ18a,18bをねじ19によって組み付けられた第一,第二両頭ピストン7,8を、第二筒体6bの外側に外側軸受16a,16bを介して十字状に交差するように嵌め込む。また、第一クランク軸5の両端部に第1,第2バランスウェイト9,10を嵌め込んで、ピン11a,11bをピン孔5bに嵌め込み、ボルト12a,12bを締付けて第一,第二バランスウェイト9,10第一ロータリーバルブ23,第二ロータリーバルブ24を第1クランク軸5に一体に組み付ける。また、第一,第二バランスウェイト9,10の軸受保持部に第1軸受13a、第2軸受13bを嵌め込む。そして、第一ケース体1と第2ケース体2を組み合わせる。これにより、第1クランク軸5、第1,第2バランスウェイト9,10、及びピストン複合体P図2参照をケース体3図1参照内に収容する。そして、第一ケース体1のボルト孔図示せずと第2ケース体2の貫通孔2cを位置合わせして重ね合わせた状態で、ボルト3aを嵌め込んで本体ケース3図1参照が組み立てられる。最後に、本体ケース3の側面4面に形成される開口部20図2,参照にシリンダ21を嵌め込んで、第一ピストンヘッド部7a,第二ピストンヘッド部8aがシリンダ21の開口部内に各々摺動可能に嵌め込まれて図2参照、流体回転機が組み立てられる。また、第一ケース体1の吐出孔および第二ケース体2の吸入孔には配管接続部26a,26bが各々設けられる。また、第一ケース体1の第二流路1b,第二ケース体2の第二流路2bに連通する穴には止めねじ27が八箇所に嵌め込まれて閉止される。上述のように組み立てられた流体回転機は、第一,第二両頭ピストン組7,8の第二仮想クランク軸を中心とした第1の回転バランス、ピストン複合体Pの第一クランク軸5を中心とする第二の回転バランス及び第一クランク軸5及びピストン複合体Pのシャフト4を中心とする第三の回転バランスが第一,第二バランスウェイト9,10によりバランス取りされて組み立てられている。これにより、後述するようにシャフト4を中心とする第一クランク軸5の回転運動と、第一クランク軸5を中心とするピストン複合体Pの回転運動により、第二筒体6bに組み付けられた第一,第二両頭ピストン7,8がシャフト4を中心とする第二仮想クランク軸の半径2rの転がり円の径方向に沿って内サイクロイドの軌跡に沿って直線往復運動を行なっても、第一,第二両頭ピストン7,8の直線往復運動により発生する偏重心量を含めたバランス取りをすることによって回転による振動を抑えて静音化を図ることができる。また、回転による振動を低減することで、第一,第二両頭ピストン7,8は従来のレシプロタイプに比べてピストンヘッドの往復運動による機械的な損失を防いでエネルギー変換効率を高めることができ、しかもダンパー等の防振構造を簡略化することができる。ここで第一,第二ロータリーバルブ23,24の開閉動作について、図9A~図9Eに示す第一両頭ピストン7の一方側右側のシリンダ室25と第二両頭ピストン8の他方側手前側のシリンダ室の吸込み動作と吐出動作の状態図を参照して説明する。図9Aにおいて、第一ロータリーバルブ23は周溝23aと第一流路1aとが閉じた状態にあり、第二ロータリーバルブ24は周溝24aのうち拡幅溝24bが第二の流路2bと対向する位置へ切り替わるためバルブが閉じた状態から開放状態となる。よって、図9Bに示すようにシリンダ室25には、配管接続部26bから第二の流路2aを通じて拡幅溝24b及び周溝24aに流体が吸込まれ、拡幅溝24b、第二の流路2b、連通孔21bを通じてシリンダ室25へ流体の吸入動作が行なわれる。図9Cにおいて、シリンダ室25への流体の吸入動作が完了すると、第二ロータリーバルブ24の周溝24aが第二流路2b位置へと回転するためバルブが閉じられ、第一ロータリーバルブ23が周溝23aのうち拡幅溝23bが第一の流路1bと対向する位置に切り替わるため、バルブが閉じた状態から開放状態となる。よって、図9Dに示すようにシリンダ室25から連通孔21a、第一の流路1b、拡幅溝23b、周溝23a、第一の流路1aを通じて配管接続部26aより流体が吐出される。図9Eにおいて、シリンダ室25からの流体の吐出動作が完了すると、第一ロータリーバルブ23の周溝23aが第一の流路1b位置へと回転するためバルブが閉じられ、第二ロータリーバルブ24が周溝24aのうち拡幅溝24bが第二の流路2bと対向する位置に切り替わるため、バルブが閉じた状態から開放状態となって吸込み動作を開始する。以上のように、第一ロータリーバルブ23と第二ロータリーバルブ24は、拡幅溝23b,24bが第一,第二の流路1b,2bと対向位置にある間だけシリンダ室25に対して流体の吸込み吐出動作が交互に行なわれるようになっている。図10A~図10D及び図11A~図11Dは、第一、第二両頭ピストン7,8の位置と第一,第二ロータリーバルブ23,24の吸込み吐出動作の状態説明図である。上段は第一ロータリーバルブ23の動作説明図、中段はピストン位置横方向を第一両頭ピストン7、縦方向を第二両頭ピストン8とするの説明図、下段は第二ロータリーバルブ24の動作説明図である。各状態図は第一,第二ロータリーバルブ23,24が45°ずつ回転した状態を示す。四箇所に形成されるシリンダ室25を右端より反時計回り方向に25a~25dとして説明する。図10Aにおいて、第一両頭ピストン7は右方向に移動する途中位置であり、第二両頭ピストン8は下端位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じて、シリンダ室25aより流体の吐出動作が行なわれ、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25cへ流体の吸込み動作が行なわれている。図10Bは、第一両頭ピストン7は右端に到達する直前位置であり、第二両頭ピストン8は、上方へ向かって移動し始めた位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25a,25bより流体の吐出動作が行われており、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25c,25dへ流体の吸込み動作が行われている。図10Cは、第一両頭ピストン7は右端位置であり、第二両頭ピストン8は、上方へ向かって移動途中の中間位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じて、シリンダ室25bより流体の吐出動作が行なわれ、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25dへ流体の吸込み動作が行なわれている。図10Dは、第一両頭ピストン7は左端に向かって移動し始めた位置であり、第二両頭ピストン8は、上端に到達する直前位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25b及び25cより流体の吐出動作が行なわれており、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25d,25aへ流体の吸込み動作が行なわれている。図11Aは、第一両頭ピストン7は左端に向かって移動途中の中間位置であり、第二両頭ピストン8は上端位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25cより流体の吐出動作が行なわれており、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25aへ流体の吸込み動作が行なわれている。図11Bは、第一両頭ピストン7は左端到達する直前位置にあり、第二両頭ピストン8は下端に向かって移動し始めた位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25c,25dより流体の吐出動作が行なわれており、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25a,25bへ流体の吸込み動作が行なわれている。図11Cは、第一両頭ピストン7は左端位置であり、第二両頭ピストン8は、下方へ向かって移動途中の中間位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じて、シリンダ室25dより流体の吐出動作が行なわれ、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25bへ流体の吸込み動作が行なわれている。図11Dは、第一両頭ピストン7は右端に向かって移動し始めた位置であり、第二両頭ピストン8は、下端に到達する直前位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25d,25aより流体の吐出動作が行なわれており、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25b,25cへ流体の吸込み動作が行なわれている。以降は、図10Aへ戻って同様な流体の吸込み動作及び吐出動作を繰り返す。尚、第一ロータリーバルブ23を吐出用、第二ロータリーバルブ24を吸込用として用いているが、第一ロータリーバルブ23を吸込用、第二ロータリーバルブ24を吐出用として用いることも可能である。以上説明したように、シャフト4の回転によって第一,第二両頭ピストン7,8が直線往復運動して、シャフト4と同軸上にケース体3内に回転可能に組み付けられている第一,第二ロータリーバルブ23,24によって、各シリンダ室25a~25dに対する流体の吸入動作と吐出動作の切り換えが行なわれる。よって、各シリンダ室25a~25dに連通する配管接続部26a,26bを一つに集約することが可能になり、部品点数を減らしてバルブ構造を簡略化し、流体の吸入及び吐出が行われる外部接続管路を減らすことで設置面積を減らすことが可能になる。尚、流体として例えば冷凍用の気液混合ガスを用いるポンプにおいては、流路接続部のシール性を高める必要がある。そこで、例えば図13A~図13Dに示すようにケース体3とシリンダ21との接続部にOリング28シール材を設けることが望ましい。図13Bに示すように、第二の流路1bとシリンダ21の連通孔21aとの接続部及び、第二の流路2bとシリンダ21の連通孔21bとの接続部に各々Oリング28が設けられている。また、図13Dに示すように、Oリング28を設ける部位は凹部29であっても良いし、図13Cに示すように凹部29に隔壁30を形成しても良い。また、第一,第二ロータリーバルブ23,24と第一,第二ケース体1,2との隙間にOリング28を設けることも可能である。図14A図14Bにおいて、図14Bは図14Aの第一,第二ロータリーバルブ23,24と第一,第二ケース体1,2の流路接続部の拡大断面図である。このように第一,第二ロータリーバルブ23,24の軸方向の厚みを増加させて流路溝23周溝23a,拡幅溝23bと第二の流路1bとの接続部、流路溝24周溝24a,拡幅溝24bと第二の流路2bとの接続部にOリング28を設けることも可能である。上述した流体回転機は液送ポンプのように、主として非圧縮性の流体を想定していたが、流体が空気,ガスなどの圧縮性の流体を用いる場合には、ロータリーバルブ23,24の拡幅溝23b、24bの周方向の溝角度を狭めることで、高圧流体を吐出することができる。所定圧タンクへ高圧流体を吐出する場合、吐出開始からバルブが開かれるとタンクから高圧流体が逆流しピストン吐出動作の損失が大きくなる。図15A図15Bに示すように第一クランク軸5の両端部に挿入組付けられた第一バランスウェイト9,第二バランスウェイト10に第一ロータリーバルブ23,第二ロータリーバルブ24が一体に形成されている点は同様であり、周溝23a,24aに拡幅溝23b,24bが形成されている点も同様である。但し、図16A~図16Fに示すように、吐出用の第一ロータリーバルブ23に設けられる周溝23aに対して拡幅溝23bが形成される範囲が吸込側の第二ロータリーバルブ24の拡幅溝24bより狭く形成されている。具体的には、図16Eに示すように、第一ロータリーバルブ23の外周面に360°形成された周溝23aに対して、180°以下の任意角度θ及び流路半径Rを引いた角度、即ち180°-θ-R範囲だけ形成されている。これは、シリンダ室25に吸込んだ流体を所定吐出圧まで圧縮により高めてから吐出する必要があるためである。本実施例では、θは90°以上であり拡幅溝23bは周方向に90°より小さい角度となるように設けられている。図17A~図17D及び図18A~図18Dは、第一、第二両頭ピストン7,8の位置と第一,第二ロータリーバルブ23,24の吸込み吐出動作の状態説明図である。上段は第一ロータリーバルブ23の動作説明図、中段はピストン位置横方向を第一両頭ピストン7、縦方向を第二両頭ピストン8とするの説明図、下段は第二ロータリーバルブ24の動作説明図である。各状態図は第一,第二ロータリーバルブ23,24が45°ずつ回転した状態を示す。四箇所に形成されるシリンダ室25は、右端より反時計回り方向に25a~25dとして説明する。図17Aにおいて、第一両頭ピストン7は右方向に移動する途中位置であり、第二両頭ピストン8は下端位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じて流体の吐出動作は行われず圧縮動作が行われ、第二ロータリーバルブ24を通じてシリンダ室25cへ流体の吸込み動作が行なわれている。図17Bは、第一両頭ピストン7は右端に到達する直前位置であり、第二両頭ピストン8は、上方へ向かって移動し始めた位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25aより流体の吐出動作が行われ、第二ロータリーバルブ24を通じてシリンダ室25c,25dへ流体の吸込み動作が行われている。図17Cは、第一両頭ピストン7は右端位置であり、第二両頭ピストン8は、上方へ向かって移動途中の中間位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じた流体の吐出動作は行なわれず圧縮動作が行われ、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25dへ流体の吸込み動作が行なわれている。図17Dは、第一両頭ピストン7は左端に向かって移動し始めた位置であり、第二両頭ピストン8は、上端に到達する直前位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25bより流体の吐出動作が行なわれ、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25d,25aへ流体の吸込み動作が行なわれている。図18Aは、第一両頭ピストン7は左端に向かって移動途中の中間位置であり、第二両頭ピストン8は上端位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じた流体の吐出動作は行なわず圧縮動作が行われ、第二ロータリーバルブ24を通じてシリンダ室25aへ流体の吸込み動作が行なわれている。図18Bは、第一両頭ピストン7は左端到達する直前位置にあり、第二両頭ピストン8は下端に向かって移動し始めた位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25cより流体の吐出動作が行なわれており、第二ロータリーバルブ24を通じてシリンダ室25a,25bへ流体の吸込み動作が行なわれている。図18Cは、第一両頭ピストン7は左端位置であり、第二両頭ピストン8は、下方へ向かって移動途中の中間位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じた流体の吐出動作は行なわれず圧縮動作が行われ、第二ロータリーバルブ24を通じてシリンダ室25bへ流体の吸込み動作が行なわれている。図18Dは、第一両頭ピストン7は右端に向かって移動し始めた位置であり、第二両頭ピストン8は、下端に到達する直前位置にある。このとき、第一ロータリーバルブ23を通じてシリンダ室25dより流体の吐出動作が行なわれており、第二ロータリーバルブ24を通じて、シリンダ室25b,25cへ流体の吸込み動作が行なわれている。以降は、図17Aへ戻って同様な流体の吸込み動作及び吐出動作を繰り返す。こうすることにより、流体の圧力損失を最小限に抑えた高圧ポンプを提供することができる。また、図19A~図19Dにおいて、ケース体3に回転可能に軸支された第一,第二バランスウェイト9,10の一方側に流体の第一,第二ロータリーバルブ23,24が一体に設けられていても良い。図19A~図19Cにおいて配管接続部26a,26bは第1ケース体1側に集約して設けられている。図20A~図20Eに示すように、第一ロータリーバルブ23は第一バランスウェイト9の軸方向に厚肉に形成されており、一対の流路溝が併設されている。即ち、バルブ外周面に全周にわたって所定幅で形成された周溝23a,24aに対して拡幅された拡幅溝23b,24bが各々形成されている。これにより、吸込用流路と吐出用流路を第一クランク軸5の一端側に集約して配置することが可能となる。また、拡幅溝23b,24bどうしは第一クランク軸5の軸方向に互い違いとなるように相互補完的に形成されている。これにより、拡幅溝23b,24bによる吸込若しくは吐出の切換えが行なえるうえに第一,第二バランスウェイト9,10のバランスとりがしやすくなり、回転による振動を抑えて静音化を実現することができる。尚、図20Cに示すように拡幅溝23bと拡幅溝24bとは周方向に各々流路半径Rだけシフトして形成されており、吸込み動作と吐出動作がスムーズに切り替わるようになっている。また、図19C図19Dにおいて、第一ケース体1には、周溝23a,24aと外部流路とを連通する第一の流路1a,2aが形成され図示せず、拡幅溝23b,24bとシリンダ室25とを連通可能な第二の流路1b,2bが各々形成されている。尚、上記実施例は、第一ケース体1側にロータリーバルブ及び第一,第二の流路を集約して設けたが、これらを第二ケース体2側に集約して設けることも可能である。また、上述した実施例では、第一,第二ロータリーバルブ23,24は第一,第二バランスウェイト9,10と一体に設けられていたが、図21Aに示すロータリーバルブとケース体3第一ケース体1若しくは第二ケース体2及びシリンダ21との嵌め合い部分Pの組付け誤差等によりクリアランスが十分確保できず、ロータリーバルブの回転がスムーズに実現できない場合には、ロータリーバルブとバランスウェイトとを別体で組付けるようにしても良い。以下では第一バランスウェイト9と第一ロータリーバルブ23を例示して説明する。図21B~図21Eにおいて、シャフト4が一体に形成された第一バランスウェイト9のシャフト4側の端面には、環状に形成された第一ロータリーバルブ23が組付けられている。図21F図21Gに示すように、第一ロータリーバルブ23の外周面には周溝23aが全周にわたって形成されており、周溝23aの一部に拡幅部23bが所定範囲に形成されている。第一ロータリーバルブ23の下面側には突条部23cが対向位置に各々形成されている。また、第一バランスウェイト9のフランジ部9cには係合凹部9dが対向位置に設けられている。第一ロータリーバルブ23は、突条部23cを第一バランスウェイト9のフランジ部9cに設けられた係合凹部9dに係合させて一体に組付けられる図21B図21C図21D参照。これにより、図21Hに示すように、第一クランク軸5の端部に挿入組付けられたときに第一ケース体1、シリンダ21とのクリアランスが部分的に窮屈になっても第一ロータリーバルブ23の径方向のクリアランスによって組付け誤差等を吸収することができるという利点がある。次に、流体回転機の他例について図22乃至図26A~図26Eを参照して説明する。本実施例は、可能な限りモールド部品を用いて機能部品を兼用することで部品点数の削減を図り、生産コストを低減させた実施例である。具体的には、図25の分解斜視図において、第一ケース体1、第二ケース体2、シャフト4、第一ロータリーバルブ23、第一バランスウェイト9、偏芯筒体6、第一,第二両頭ピストン7,8、第二バランスウェイト10、第二ロータリーバルブ24、シリンダ21が形成された外壁パネル31はすべて樹脂モールドにより一体成形されている。第一クランク軸5、ピン11a,11b、ボルト32のみが金属部品で形成されている。尚、樹脂どうしの滑動性により軸受はすべて省略され、ボルトの数も可能な限り省略されている。図22において、第一ケース体1と第二ケース体2は4面に設けられる外壁パネル31が4か所でボルト32にねじ止めされることによりケース体3が一体に組み立てられている。尚、配管接続部26a,26bは一つの外壁パネル31に一体に成形されている。図23及び図24に示すように、第一ケース体1に形成された第一の流路1aの外端は配管接続部26aと接続され、内端は第一ロータリーバルブ23に設けられた流路溝周溝23a,拡幅溝23bと接続されている。また、第一ケース体1と第二ケース体2に設けられた第二の流路1b,2bの外端は、外壁パネル31の内壁側に設けられた流路31aと各々接続されており、内端は第一,第二ロータリーバルブ23,24の流路溝周溝23a,24a、拡幅溝23b,24bと接続される。図26A~図26Eに示すように、外壁パネル31の内壁面側にシリンダ21を一体成形すると共に、シリンダ21に連なる流路31aが一体成形により形成されている。流路31aのピストン対向部には、流路31aを仕切るピストン受け部31bが設けられている。ピストン受け部31bは、各第一,第二両頭ピストン7,8の可動端と機械的な干渉を起こさないように設けられている。このように、外壁パネル31にシリンダ21及び流路31aを一体成形したことで部品点数を削減してねじ止めする箇所を少なくすることが可能になる。尚、第一ピストンヘッド部7a,第二ピストンヘッド部8aの形状は真円である必要はなく、例えば角型であってもよい。また、両頭ピストンを一対備えた流体回転機について説明したが、三以上の両頭ピストンを備えていてもよい。また、第一,第二両頭ピストン7,8は互いに直交するように配置したが、これに限定されるものではなく、第一クランク軸5を中心として例えば位相差が60度等に配置することも可能である。また、4か所のシリンダヘッドを用いて気体を多段圧縮することも可能である。この場合、両頭ピストンのストロークは変えられないので、ピストン径とシリンダ径を変更する必要がある。以上説明したように、シャフト4と同軸状にケース体3内に回転可能に組み付けられているロータリーバルブ23,24によって、各シリンダ室25に対する流体の吸入動作と吐出動作の切り換えを行なわれるので、各シリンダ室25に連通する吸入口及び吐出口に接続する配管を一つに集約することが可能になり、部品点数を減らしてバルブ構造を簡略化し、流体の吸入及び吐出が行われる外部接続管路を減らすことで設置面積を減らすことが可能になる。上述した実施例は、ピストンとシリンダのシールにシールカップを用いているが、ピストンリングを用いても良い。また、液送及び気送ポンプを例示して説明したが、これらに限定されるものではなく、真空ポンプ、気送コンプレッサー、多段圧縮機、流体モータ等他の装置に適用することも可能である。"