フィルム研磨材を巻き戻して送り出す供給リールと、送り出されたフィルム研磨材を巻き取って回収する回収リールと、その間に配され前記フィルム研磨材を研磨対象物に押し付けて研磨させるバックアップローラとを含む研磨ヘッドを具える研磨装置であって、前記研磨ヘッドは、前記回収リールを駆動させるエアーモータ、及び前記バックアップローラと回収リールとの間に配されかつ前記供給リールからフィルム研磨材を引き出す引出し手段を具えるとともに、該引出し手段は、一定速度で回転する回転駆動ローラと、この回転駆動ローラに前記フィルム研磨材を押し付けて回転するワンウェイローラとからなることを特徴とする研磨装置。前記回転駆動ローラは、その表面がゴム弾性材からなる滑り防止層で被覆されたことを特徴とする請求項1記載の研磨装置。前記研磨ヘッドは、前記供給リールに連結して該供給リールに回転抵抗を与えるエアーブレーキを具えることを特徴とする請求項1又は2記載の研磨装置。前記研磨ヘッドは、前記供給リールの回転回数を測定する回転センサと、この回転センサの検知信号に基づき前記エアーブレーキへのエアー流量を制御する比例弁とを含むブレーキ制御手段を具えることを特徴とする請求項3記載の研磨装置。請求項1~4の何れかに記載の研磨装置を用いた研磨方法により研磨されたことを特徴とする画像形成装置用の導電性ローラ。そこで本発明の第1の目的は、回収リールをエアーモータにより駆動させるとともに、バックアップローラと回収リールとの間に所定構造の引出し手段を介在させることを基本として、フィルム研磨材の走行速度を回収初期から回収終期に至り一定に保つことができ、フィルム研磨材の消費量を一定化させて生産コストの上昇を抑えるとともに、研磨品質を均質化させうる研磨装置、及びそれにより研磨された画像形成装置用の導電性ローラを提供することにある。又第2の目的は、フィルム研磨材のテンション力を一定化でき、該フィルム研磨材の緩みの発生を抑えて研磨品質をさらに均質化させうる研磨装置、及びそれにより研磨された画像形成装置用の導電性ローラを提供することにある。上記課題を解決するために、本願請求項1の発明は、フィルム研磨材を巻き戻して送り出す供給リールと、送り出されたフィルム研磨材を巻き取って回収する回収リールと、その間に配され前記フィルム研磨材を研磨対象物に押し付けて研磨させるバックアップローラとを含む研磨ヘッドを具える研磨装置であって、前記研磨ヘッドは、前記回収リールを駆動させるエアーモータ、及び前記バックアップローラと回収リールとの間に配されかつ前記供給リールからフィルム研磨材を引き出す引出し手段を具えるとともに、該引出し手段は、一定速度で回転する回転駆動ローラと、この回転駆動ローラに前記フィルム研磨材を押し付けて回転するワンウェイローラとからなることを特徴としている。また請求項2では、前記回転駆動ローラは、その表面がゴム弾性材からなる滑り防止層で被覆されたことを特徴としている。また請求項3では、前記研磨ヘッドは、前記供給リールに連結して該供給リールに回転抵抗を与えるエアーブレーキを具えることを特徴としている。また請求項4では、前記研磨ヘッドは、前記供給リールの回転回数を測定する回転センサと、この回転センサの検知信号に基づき前記エアーブレーキへのエアー流量を制御する比例弁とを含むブレーキ制御手段を具えることを特徴としている。また請求項5は、画像形成装置用の導電性ローラの発明であって、請求項1~4の何れかに記載の研磨装置を用いた研磨方法により研磨されたことを特徴としている。本発明は叙上の如く、回収リールをエアーモータにより駆動させるとともに、バックアップローラと回収リールとの間に、引出し手段を介在させている。しかもこの引出し手段は、一定速度で回転する回転駆動ローラと、この回転駆動ローラに前記フィルム研磨材を押し付けて回転する押付けローラとから構成される。従って、前記回転駆動ローラの駆動により、フィルム研磨材を、供給リールから一定速度で引き出して回収リールへ送ることができる。又引出し手段からのフィルム研磨材は、エアーモータにより駆動される回収リールによって順次回収される。ここで、エアーモータは、その圧縮エア-の圧力調整により、該エアーモータによる巻き取りトルクを、前記回転駆動ローラを駆動する電動モータの出力トルクよりも低く設定することが容易であり、これにより前記電動モータへの過負荷を防ぎ、損傷を防止することができる。又、図3に例示するように、例えばフィルム研磨材を回転駆動ローラに巻き付けて係止させる場合には、巻き取りトルクが低いと、フィルム研磨材に緩みが生じて回転駆動ローラとフィルム研磨材との間に滑りが発生してしまい、フィルム研磨材を一定速度で送ることが困難となる。しかし本発明では、前記押付けローラを用いてフィルム研磨材を回転駆動ローラに押し付けるとともに、この押付けローラとしてワンウェイローラを用いその逆転を防止している。従って、回転駆動ローラとフィルム研磨材との間の滑りを防止でき、フィルム研磨材を一定速度で送ることが可能となる。以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。図1において、本実施形態の研磨装置1は、フィルム研磨材Fを巻き戻して送り出す供給リール2と、送り出されたフィルム研磨材Fを巻き取って回収する回収リール3と、その間に配され前記フィルム研磨材Fを研磨対象物Wに押し付けて研磨させるバックアップローラ4とを含む研磨ヘッド5を具える。本例では、前記研磨対象物Wが、例えば電子写真複写装置、プリンター、静電記録装置等の画像形成装置において、帯電ローラ、転写ローラ、現像ローラ等として使用される導電性ローラW1であり、前記研磨装置1が、この導電性ローラW1のゴム表面を、鏡面状に研磨仕上げするために用いられる場合が示される。なお前記導電性ローラW1は、周知の保持装置図示しないにより、その軸心i周りで回転駆動可能に水平保持される。又前記研磨ヘッド5は、前記研磨対象物Wに対して、前記軸心i方向に沿って横方向に相対移動可能に、かつ軸心i方向と直角しかも研磨対象物Wに向かって前後方向に相対移動可能に支持台6により支持される。本例では、前記支持台6が、固定台7と、この固定台7上に敷設されるガイドレール7aに案内されて横方向に移動しうる横移動台8と、この横移動台8上に敷設されるガイドレール8aに案内され前後方向に移動しうる前後移動台9とを含んで形成される場合が示される。しかしこれに限定されるものではなく、前記研磨ヘッド5側を固定し、前記研磨対象物W側を前記研磨ヘッド5に対して、横方向かつ前後方向に移動可能に構成することもできる。次に、前記研磨ヘッド5は、本例では、前記前後移動台9に一体移動可能に支持される例えば板状のフレーム10を有し、このフレーム10に、前記供給リール2と、回収リール3と、バックアップローラ4とが枢支される。なお前記供給リール2、及び回収リール3は、それぞれ、円筒状のコア両端にフランジを設けた周知構造をなし、前記供給リール2は、前記コアの周囲に、新しいフィルム研磨材Fを巻き戻し可能にロール巻きしている。又前記回収リール3は、前記コアの周囲に、使用済みのフィルム研磨材Fを巻き取って回収しうる。これら供給リール2と回収リール3とは、前記フレーム10に枢着される支持軸2A、3Aに、それぞれ交換自在に装着される。又前記バックアップローラ4は、本例では、前記フレーム10にサブフレーム11を介して回転自在に枢支される。本例のサブフレーム11は、前記バックアップローラ4の両端部を保持する一対の側板11aを具えた例えばコ字状フレームであり、前記軸心i方向にのびるリニアガイド11bを介して、軸心i方向に微小振幅にて往復運動オシレーション運動可能にフレーム10に支持される。このサブフレーム11には、前記フレーム10に取り付くオシレーション用モータ12の出力部図示しないが連結され、サブフレーム11をバックアップローラ4とともに往復運動させうる。又前記研磨ヘッド5には、前記回収リール3を回転駆動させるエアーモータ20、及び前記バックアップローラ4と回収リール3との間に配される引出し手段21がさらに設けられる。前記引出し手段21は、一定速度で回転する回転駆動ローラ22と、この回転駆動ローラ22に前記フィルム研磨材Fを押し付ける押付けローラ23とを具える。これによりフィルム研磨材Fを供給リール2から一定速度で引き出すとともに、回収リール3へ送り出す。なお前記回転駆動ローラ22は、前記フレーム10に取り付く周知の電動モータ24により一定速度、即ち回転数一定にて駆動される。又前記押付けローラ23は、図2に示すように、例えば一端が傾動可能に枢支された取付け板26の他端に取り付き、バネなどの付勢手段27によって回転駆動ローラ22に押し付けられる。前記押付けローラ23として、一方軸受や一方クラッチ等により逆回転を防止したワンウェイローラ28が採用される。なお逆回転とは、フィルム研磨材Fがバックアップローラ4側に引き戻される向きの回転を意味する、又前記エアーモータ20は、圧縮エアーによってモータ軸を回転させる周知構造をなし、前記回収リール3を回転駆動させることにより、前記引出し手段21から送られるフィルム研磨材Fを、この回収リール3に巻き取って回収させうる。このエアーモータ20による巻き取りトルクは、前記電動モータ24の出力トルクよりも充分低く設定されており、これにより前記電動モータ24への過負荷が防止され、該電動モータ24への損傷が防がれる。ここで、図3に例示するように、例えばフィルム研磨材Fを回転駆動ローラ22に巻き付けて係止させる場合には、エアーモータ20による巻き取りトルクが低いと、回転駆動ローラ22とフィルム研磨材Fとの間に滑りが発生し、フィルム研磨材Fを一定速度で送ることが困難となる。これに対して本発明では、前記押付けローラ23を用いてフィルム研磨材Fを回転駆動ローラ22に押し付けるとともに、この押付けローラ23としてワンウェイローラ28を用いその逆転を防止している。従って、巻き取りトルクが充分低い場合にも、前記回転駆動ローラ22とフィルム研磨材Fとの間の滑りを防止でき、フィルム研磨材を一定速度で送ることが可能となる。本例では、回転駆動ローラ22とフィルム研磨材Fとの間の滑りをさらに防止するため、前記回転駆動ローラ22の表面は、ゴム弾性材からなる摩擦係数の高い滑り防止層22aにより被覆されている。なお回転駆動ローラ22の直径は70~100mmが好適である。次に、本例の研磨ヘッド5には、前記供給リール2に連結して該供給リール2に回転抵抗を与えるエアーブレーキ30と、このエアーブレーキ30による回転抵抗を制御するブレーキ制御手段31とがさらに設けられる。前記エアーブレーキ30は、その一例を図4に概念的に示すように、前記支持軸2Aに一体回転可能に取り付く第1の摩擦板30aと、前記第1の摩擦板30aに向かって進退しうる第2の摩擦板30bとを具え、該第2の摩擦板30bは、前記フレーム10に固定のシリンダ30cによって進退自在に保持される。そして前記シリンダ30c内に流入する高圧エアーによって第2の摩擦板30bが第1の摩擦板30aと圧接し、回転抵抗を発生させる。なおエアーブレーキ30として周知の種々な構造のものが採用しうる。又前記ブレーキ制御手段31は、前記供給リール2の回転回数を測定する回転センサ33と、この回転センサ33の検知信号に基づき前記エアーブレーキ30へのエアー流量を制御する比例弁34とを含んで構成される。前記比例弁34として周知の電磁比例弁が好適に採用しうる。なお図中の符号35は、圧縮空気供給源である。前記供給リール2では、フィルム研磨材Fの送り出しが進むにつれて重量が減少するため、供給リール2が次第に回転しやすくなってテンション力が減少する。従って、本例のブレーキ制御手段31では、回転センサ33により供給リール2の回転回数を計測することにより、供給リール2の重量減少の割合などの情報が得られる。そして、この情報に基づき比例弁34を作動し、エアーブレーキ30へのエアー流量を連続的に或いは段階的に増やすことで、ブレーキ力を増加させている。これにより、フィルム研磨材Fのテンション力を一定化でき、該フィルム研磨材Fの緩みの発生を抑えて研磨品質をさらに均質化させることができる。以上、本発明の特に好ましい実施形態について詳述したが、本発明は図示の実施形態に限定されることなく、種々の態様に変形して実施しうる。