マスフローコントローラ3を通してキャリアガスGKをソースタンク5内へ供給し、ソースタンク5内よりキャリアガスGKを放出すると共に、ソースタンク5を恒温部6により一定温度に保持して発生せしめた原料4の飽和蒸気Gと前記キャリアガスGKとの混合ガスGSをプロセスチャンバへ供給するようにした原料気化供給装置において、前記ソースタンク5からの混合ガスGSの流出通路に自動圧力調整装置8およびマスフローメータ9を設け、前記自動圧力調整装置8のコントロールバルブ8aを開閉制御することによりソースタンク5の内部圧力Poを所定値に制御し、前記マスフローコントローラ3によるキャリアガスGKの流量Q1と前記タンク内圧Poと前記マスフローメータ9の混合ガスGsの流量QSの各検出値を原料濃度演算部10へ入力し、当該原料濃度演算部10に於いて原料流量Q2をQ2=QS×PMO/POとして演算し但し、PMOはソースタンク内の温度t°Cに於ける原料ガスGの飽和蒸気圧、当該原料流量Q2を用いて前記プロセスチャンバへ供給する混合ガスGSの原料濃度KをK=Q2/QSとして演算、表示する構成としたことを特徴とする原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。原料濃度演算部10にソースタンク5内の原料の飽和蒸気圧データの記憶装置を設けると共に、自動圧力制御装置8からソースタンク5の内圧PO及び温度tの検出信号を原料濃度演算部10へ入力する構成とした請求項1に記載の原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。マスフローコントローラ3を通してキャリアガスGKをソースタンク5内へ供給し、ソースタンク5内よりキャリアガスGKを放出すると共に、ソースタンク5を恒温部6により一定温度に保持して発生せしめた原料4の飽和蒸気Gと前記キャリアガスGKとの混合ガスGSをプロセスチャンバへ供給するようにした原料気化供給装置において、前記ソースタンク5からの混合ガスGSの流出通路に自動圧力調整装置8およびマスフローメータ9を設け、前記自動圧力調整装置8のコントロールバルブ8aを開閉制御することによりソースタンク5の内部圧力POを所定値に制御し、前記マスフローコントローラ3によるキャリアガスGKの流量Q1と前記タンク内圧POと前記マスフローメータ9の混合ガスGSの流量QSの検出値とを原料濃度演算部10へ入力し、当該原料濃度演算部10に於いて原料流量Q2をQ2=CF×QS’-Q1但し、CFは混合ガスQSのコンバージョンファクターとして求め、当該原料流量Q2を用いてプロセスチャンバへ供給する混合ガスGSの原料濃度KをK=Q2/Q1Q2として演算、表示する構成としたことを特徴とする原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。混合ガスQ2のコンバージョンファクターCFを、1/CF=C/CFA1-C/CFB但し、CFAはキャリアガスGKのコンバージョンファクター、CFBは原料ガスGのコンバージョンファクター、Cはキャリアガスの容積比率Q1/Q1Q2であるとするようにした請求項3に記載の原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。原料濃度検出部10とマスフローコントローラ3の流量演算制御部3bと自動制御装置の圧力演算制御部8bとマスフローメータ9の流量演算制御部9bとを一体的に集合化する構成とした請求項1又は請求項3に記載の原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。原料濃度演算部10にソースタンク内の原料ガスGのコンバージョンファクター及びキャリアガスGKのコンバージョンファクターの各データの記憶装置を設けるようにした請求項3に記載の原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。自動圧力調整装置8の下流側にマスフローメータ9が設けられるようにした請求項1から請求項6の何れかに記載の原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。自動圧力調整装置8の上流側にマスフローメータ9が設けられるようにした請求項1から請求項6の何れかに記載の原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。自動圧力調整装置8が、温度検出器T、圧力検出器P、圧力検出器Pより下流側に設けられたコントロールバルブ8a、圧力演算部8bを備えた圧力調整装置である、請求項1から請求項6の何れかに記載の原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。圧力検出器Pとコントロールバルブ8aとの間にマスフローメータ9が設けられるようにした請求項9に記載の原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置。本願発明は特開平1-118862号や特許第4605790号の原料気化供給装置に於ける上述の如き問題、即ち、前者に於いては、イ液体原料LOの加熱又は冷却によって原料ガス発生流量Qを増加又は減少させて混合ガスGm内の原料ガス濃度KSを調整するものであるため、原料ガス濃度の制御応答性が相対的に低いうえ、これを高めるためには高価な附帯設備が必要となり、原料ガス供給装置の製造コストの高騰や大型化を招くこと、ロ混合ガスGmの混合ガス種や混合比が変化すると、マスフローメータの流量測定値が大きく変動し、混合ガス流量QSの計測精度の低下や原料濃度KSの演算精度が大幅に低下すること、ハ加熱温度の変化による密閉タンク31内の圧力変動により、マスフローメータ35の測定精度が低下し、流量QSの計測値や原料濃度KSの演算精度が低下すること等の問題を、また、後者に於いては、イ混合ガスGm内の原料ガス濃度を高精度で計測し、これをリアルタイムで表示することが出来ないこと等の問題を、夫々解決することを発明の主目的とするものであり、プロセスチャンバへ供給するキャリアガスGKと原料ガスGとの混合ガスGm内の原料ガス濃度KSを連続して自動的に計測、表示することができ、しかも複雑高価な濃度計測装置等を用いることなく簡単な構成の安価な機構を用いることにより、極めて経済的に混合ガスGm内の原料ガスの濃度制御及び濃度表示を行えるようにした、原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置を提供するものである。請求項1の発明は、マスフローコントローラ3を通してキャリアガスGKをソースタンク5内へ供給し、ソースタンク5内よりキャリアガスGKを放出すると共に、ソースタンク5を恒温部6により一定温度に保持して発生せしめた原料4の飽和蒸気Gと前記キャリアガスGKとの混合ガスGSをプロセスチャンバへ供給するようにした原料気化供給装置において、前記ソースタンク5からの混合ガスGSの流出通路に自動圧力調整装置8およびマスフローメータ9を設け、前記自動圧力調整装置8のコントロールバルブ8aを開閉制御することによりソースタンク5の内部圧力Poを所定値に制御し、前記マスフローコントローラ3によるキャリアガスGKの流量Q1と前記タンク内圧Poと前記マスフローメータ9の混合ガスGSの流量QSの各検出値を原料濃度演算部10へ入力し、当該原料濃度演算部10に於いて原料の流量Q2をQ2=QS×PMO/POとして演算し但し、PMOはソースタンク内の温度t°Cに於ける原料蒸気Gの飽和蒸気圧、当該原料流量Q2を用いて前記プロセスチャンバへ供給する混合ガスGSの原料濃度KをK=Q2/QSとして演算、表示する構成としたものである。請求項2の発明は、請求項1の発明において原料濃度演算部10にソースタンク5内の原料の飽和蒸気圧データの記憶装置を設けると共に、自動圧力制御装置8からソースタンク5の内圧PO及び温度tの検出信号を原料濃度演算部10へ入力する構成としたものである。請求項3の発明は、マスフローコントローラ3を通してキャリアガスGKをソースタンク5内へ供給し、ソースタンク5内よりキャリアガスGKを放出すると共に、ソースタンク5を恒温部6により一定温度に保持して発生せしめた原料4の飽和蒸気Gと前記キャリアガスGKとの混合ガスGSをプロセスチャンバへ供給するようにした原料気化供給装置において、前記ソースタンク5からの混合ガスGSの流出通路に自動圧力調整装置8およびマスフローメータ9を設け、前記自動圧力調整装置8のコントロールバルブ8aを開閉制御することによりソースタンク5の内部圧力POを所定値に制御し、前記マスフローコントローラ3によるキャリアガスGKの流量Q1と前記タンク内圧POと前記マスフローメータ9の混合ガスGSの流量QSの各検出値を原料濃度演算部10へ入力し、当該原料濃度演算部10に於いて原料流量Q2をQ2=CF×QS’-Q1但し、CFは混合ガスQ2のコンバージョンファクターとして求め、当該原料流量Q2を用いてプロセスチャンバへ供給する混合ガスGSの原料濃度KをK=Q2/Q1Q2として演算、表示する構成としたものである。請求項4の発明は、請求項3の発明において、混合ガスQSのコンバージョンファクターCFを、1/CF=C/CFA1-C/CFB但し、CFAはキャリアガスGKのコンバージョンファクター、CFBは原料ガスGのコンバージョンファクター、Cはキャリアガスの容積比率Q1/Q1Q2であるとするようにしたものである。請求項5の発明、請求項1又は請求項3の発明において、原料濃度検出部10とマスフローコントローラ3の流量演算制御部3bと自動制御装置の圧力演算制御部8bとマスフローメータ9の流量演算制御部9bとを一体的に集合化する構成としたものである。請求項6の発明は、請求項3の発明において、原料濃度演算部10にソースタンク内の原料ガスGのコンバージョンファクター及びキャリアガスGKのコンバージョンファクターの各データの記憶装置を設けるようにしたものである。請求項7の発明は、請求項1から請求項6の何れかの発明において、自動圧力調整装置8の下流側にマスフローメータ9が設けられるようにしたものである。請求項8の発明は、請求項1から請求項6の何れかの発明において、自動圧力調整装置8の上流側にマスフローメータ9が設けられるようにしたものである。請求項9の発明は、請求項1から請求項6の何れかの発明において、自動圧力調整装置8を、温度検出器T、圧力検出器P、圧力検出器Pより下流側に設けられたコントロールバルブ8a、圧力演算部8bを備えた圧力調整装置としたものである。請求項10の発明は、圧力検出器Pとコントロールバルブ8aとの間にマスフローメータ9が設けられるようにしたものである。本発明に於いては、原料気化供給装置に於いて、マスフローコントローラ3からのキャリアガスGKの供給流量Q1、マスフローメータ9からの混合ガスGSの供給流量QS及びソースタンク内自動圧力調整装置8からタンク内圧等を原料濃度演算部10へ入力し、当該原料濃度演算部10に於いて、一定圧力でチャンバへ混合ガスGSを供給し乍ら供給する混合ガスGS内の原料ガス濃度Kをリアルタイムで演算表示する構成としているため、より安定した原料濃度Kの混合ガスGSを供給することができると共に、混合ガスGS内の原料濃度Kをディジタル表示することができ、高品質の安定したプロセス処理を行うことが可能となる。また、原料濃度演算部10を単に付加するだけでよいため、従前の所謂高価なガス濃度計を用いる場合に比較して、安価に且つ確実に混合ガスGS内の原料ガス濃度Kを検出、表示することができる。以下、図面に基づいて本発明の各実施形態を説明する。図1は本発明の第1実施形態に係る原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置の機構を示す系統図である。図1に於いて、1はキャリアガス供給源、2は減圧装置、3は熱式質量流量制御装置マスフローコントローラ、4は原料有機金属化合物MO材料等、5はソースタンク、6は恒温部、7は導入管、8はソースタンク内の自動圧力調整装置、9はマスフローメータ、10は原料濃度演算部、Q1はAr等のキャリアガス流量、Q2は原料飽和蒸気の流量原料ガス流量、QSはキャリアガス流量Q1と原料蒸気流量Q2との混合ガス流量、Pは混合ガスGSの圧力検出器、Tは混合ガスGSの温度検出器、3aはマスフローコントローラのセンサ部、8aはピエゾ素子駆動型のコントロールバルブ、9aはマスフローメータのセンサ部であり、9bはその演算制御部である。前記マスフローコントローラ3はセンサ部3aと流量演算制御部3bとから、また、前記ソースタンクの自動圧力調整器8はコントロールバルブ8aと圧力演算制御部8bと圧力検出器Pと温度検出器Tとから夫々形成されている。尚、キャリアガスとしては一般的にN2が用いられるがN2に限られることはなく、H2Ar等様々なガスが用いられる。また、原料としては有機金属化合物MO材料が用いられるが有機金属材料に限られることはなく、ソースタンク内において所定の飽和蒸気圧を得ることが可能な液体材料又は固体材料であれば良い。尚、上記マスフローコントローラ3は、公知のものであるから、ここではその詳細な説明は省略する。同様にソースタンクの自動圧力調整装置8も特許4605790号等に於いて公知のものであるから、ここではその詳細な説明は省略する。また、図1に於いて、GKはキャリアガス、Gは原料蒸気原料ガス、GSは混合ガス、POはソースタンク内圧kPaabs、PMOはソースタンク内の原料蒸気圧kPaabs、3eは流量表示信号、8dはコントロールバルブ制御信号、8cは圧力検出信号、8fは温度検出信号、8eは圧力表示信号、9cは混合ガス流量検出信号、9eは混合ガス流量表示信号であり、前記キャリアガスGKの流量Q1の表示信号3eとマスフローメータ9の混合ガスGSの流量QSの表示信号9eが、原料濃度演算部10へ入力されここで混合ガスGS内の原料ガス濃度Kが演算され、表示される。尚、10Kは原料濃度表示信号である。尚、図1の実施形態では、マスフローコントローラ3の流量演算制御部3b、自動圧力調整装置8の圧力演算制御8b、マスフローメータ9の流量演算制御部9b及び原料濃度演算部10を夫々一体として一つの基板に形成するようにしているが、各制御部3b、8b、9b及び原料濃度演算部10を個別に設けるようにしても良いことは勿論である。次に、上記原料気化供給装置の作動について説明する。当該原料の気化供給装置では、先ずソースタンク5内へ供給するキャリアガスGKの圧力PG1が減圧装置2により所定圧力値に設定されると共に、その供給流量Q1が熱式質量流量制御装置マスフローコントローラ3により所定値に設定される。また、恒温部6の作動により、ソースタンク5や自動圧力調整装置9の演算制御部8b等を除いた部分が一定温度に保持される。このように、キャリアガスGKの供給量Q1が熱式質量流量制御装置3により設定値に、また、ソースタンク5の温度が設定値に、更にソースタンク5の内部圧力POが自動圧力調整装置8により設定値に夫々保持されることにより、コントロール弁8aを通して定混合比で一定流量の混合ガスGSが、マスフローメータ9へ流入し、ここで混合ガスGSの流量QSが高精度で測定される。更に、ソースタンク5や自動圧力調整装置8のコントロール弁8a等が一定温度に保持されているため、ソースタンク5内の原料飽和蒸気Gの圧力PMOが安定し、自動圧力調整装置8によってソースタンク5の内圧POを設定値に制御することにより、混合ガスGS内の原料ガスGの濃度Kを安定させながら、後述するように原料濃度演算部10において混合ガスGS内の原料ガス濃度Kを測定、表示することができる。而して、上記図1に示した原料気化供給装置に於いて、ソースタンク内圧POkPaabs、原料蒸気圧PMO、キャリアガスGKの流量Q1sccm、チャンバへ供給する混合ガスGSの流量Q2sccm、原料蒸気Gの流量Q2sccmとすると、チャンバへの混合ガスGSの供給QS=は、QS=Q1Q2sccmとなる。即ち、原料の流量Q2はソースタンク内の原料蒸気圧PMOに、また、混合ガスGSの供給流量QS=Q1Q2はソースタンク内の内圧POに比例するため、下記の関係が成立する。原料の流量Q2:混合ガス供給流量QS=原料蒸気圧PMO:ソースタンク内圧PO即ち、Q2×PO=QS×PMO11式より、原料の流量Q2は、Q2=QS×PMO/PO2となる。上記2式からも明らかなように、原料の流量Q2は混合ガス流量QS、ソースタンクの圧力PO、原料の蒸気圧分圧PMOにより決まり、またソースタンクの内圧POはソースタンク内の温度tにより決まることとなる。換言すれば、混合ガスGS内の原料濃度Kは、キャリアガス流量Q1、ソースタンクの内圧PO、ソースタンク内の温度t等をパラメータとして決まることになる。尚、図1に於いては、自動圧力調整装置8の下流側にマスフローメータ9を設けているが、両者の位置を入れ換えしてマスフローメータ9の下流側に自動圧力調整装置8を設けるようにしても良い。また、圧力検出器Pとコントロールバルブ8aとの間にマスフローメータ9を設けるようにしても良い。図1のように自動圧力調整装置8をマスフローメータ9の上流側に設けた場合には、自動圧力調整装置8の制御圧とソースタンク内圧とが一致するため、タンク内圧を正確に制御することができるが、マスフローメータ9の供給圧が2次側プロセスチャンバ側の影響を受けると云う問題がある。これに対して、マスフローメータ9を自動圧力調整装置8の上流側に設けた場合には、マスフローメータ9が自動圧力調整装置8の圧力制御範囲内に属することになり、マスフローメータ9への供給圧が安定して高精度な流量測定が可能となるものの、マスフローメータ9に圧力損失が生ずるため、自動圧力調整装置8の制御圧とソースタンク内圧との間に差異が生じることになる。また、圧力検出器Pとコントロールバルブ8aとの間にマスフローメータ9が設けた場合には、自動圧力調整装置8の制御圧とソースタンク内圧とが一致し、且つマスフローメータ9が自動圧力調整装置8の圧力制御範囲内に属することになり、マスフローメータ9への供給圧が安定して高精度な流量測定が可能となるが、マスフローメータ9により、圧力検出器Pとコントロールバルブ8aとの間に圧力損失が生ずるため、圧力制御の応答性に影響を与えるという問題がある。図2は、上記1式及び2式の関係の成立を確認するために行った実験装置の説明図であり、原料4としてアセトン蒸気圧曲線がTMGaに近い恒温部6としてウォータバス、キャリアガスGKとしてN2を使用し、タンク温度tをパラメータ-10°C、0°C、10°C、20°Cとして、タンク内圧力POと混合ガスGSの流量QSとの関係を調整した。図3は、図2の試験装置により実施したテストの結果を示すものであり、また、下記の表1は前記式2を用いて原料アセトンとした場合の原料ガス流量Q2を演算した結果である。表2は原料としたアセトンの蒸気圧と、一般的なMO材料であるTMGaの蒸気圧との比較を示すものであり、両者の蒸気圧は極く近似しているため、アセトンを用いた前記表1の計算値はTMGaを原料としたものを表すということができる。図4は、図2のテスト装置に於いて、キャリアガス流量Q1を一定とし、タンク温度t-10°C~20°Cをパラメータとして測定した混合ガスの検出流量QS’とキャリアガス流量Q1との差QS’-Q1即ち、N2換算の原料ガス流量Q2’=QS’-Q1と、前記式2により計算したアセトン流量Q2sccmとの関係を図示したものであり、aはキャリアガス流量Q1=50sccmの場合、bはQ1=100sccmの場合cはQ1=10sccmの場合を示すものである。図4のa~cからも明らかなように、マスフローメータによる測定値混合ガス流量QS’-キャリアガス流量Q1と計算したアセトン流量Q2との間には正比例関係が認められる。その結果、キャリアガス流量Q1をマスフローコントローラ3により、また、マスフローメータ9により混合ガス流量QSを夫々測定し、QS-Q1を求めることにより、原料ガス流量Q2を算出することが可能となる。次に、原料ガス流量Q2並びに混合ガスGs内の原料ガスGの濃度Kの算定について説明する。いま、原料ガス供給系を図5のように表現すると、濃度Kに相当する流量Q2の原料ガスGと流量Q1のキャリアガスGKN2即ち、Q2Q1sccmをマスフローメータ9へ供給した際の混合ガスGsの検出流量N2換算をQS’sccmとすると、原料ガス流量Q2及び混合ガス内の原料ガス濃度Kは下式より求められる。上記式3に於けるCFは、熱式質量流量計に於ける所謂混合ガスGsのコンバージョンファクターであり、下記の式5により求められる。1/CF=C/CFA1-C/CFB5但し、式5に於いてCFAはガスAのコンバージョンファクター、CFBはガスBのコンバージョンファクター、CはガスAの容積比率濃度、1-CはガスBの容積比率濃度である流量計測AtoZ、日本計量機器工業連合会編、工業技術社発光176~178頁。今、図5に於いて、キャリアガスGKN2のCFAを1、原料ガスGのCFBをαとすると、原料ガス濃度はQ2/Q1Q2、キャリアガス濃度はQ1/Q1Q2となり、混合ガスQ2のCFは、5式よりとなり、となる。従って、マスフローメータ9で検出された混合ガスGSのN2換算検出流量QS’は、となる。これにより、原料ガスGの流量Q2はQ2=αQS’-Q1として求められる。但し、ここでαは上記原料ガスGのコンバージョンファクターである。下記の表3は、前記5式で求めたコンバージョンファクターCFを用いて計算した原料ガス流量Q2と、前記1及び2式を用いて演算した原料ガス流量Q2との対比をした結果を示すものであり、12式で算出した値と、5式で算出した値とは、よく合致するものであることが判る。尚、表1では原料ガスGとしてアセトンを、キャリアガスGKとしてN2を流量Q1=500sccmで供給し、温度tをパラメータにして計算をしており、12式の圧力比から求めた原料ガス流量Q2と5式のコンバージョンファクターCFより求めた原料ガス流量Q2は近似した流量値となっている。下記の表4、表5、表6は、圧力比式12を用いて求めたアセトン流量と、コンバージョンファクターCF式5を用いて求めたアセトン流量の対比を示すものであり、キャリアガスGKとしてのN2流量Q1を変えた場合を夫々示している。上記の説明からも明らかなように、式1、2をベースにした分圧法により原料ガス蒸気流量Q2及び原料ガス蒸気濃度Kを求める場合には、図1に示したマスフローコントローラ3からの流量計測値Q1、自動圧力調整装置8からのタンク内圧力POの計測値及びマスフローメータ9からの流量測定値QS’の他に原料材料の蒸気圧曲線温度tと蒸気圧PMOの関係を必要とすることは勿論であり、図1の原料濃度演算部10に原料4の温度tと蒸気PMOの曲線を予め記憶させて置く必要があることは勿論である。また、式5のCF法を用いて原料ガス流量Q2及び原料ガス蒸気濃度Kを求める場合に於いても、予め各種原料ガス各種混合ガスGSに対するコンバージョンファクターCFをテーブル化しておくのが望ましい。尚、前述した原料ガス蒸気流量Q2や原料ガス蒸気濃度Kの演算並びに表示等は、全て図1の原料濃度演算部10でCPU等を用いて行われることは勿論である。又、原料ガス蒸気濃度Kそのもの上昇又は下降がタンク圧力PO及び又はタンク温度tの制御により可能なことは勿論である。