"67≦SiO2≦7011≦Al2O3≦13.53≦B2O3≦63.5≦MgO≦74≦CaO≦71≦SrO≦40.5≦BaO≦30.02≦SnO2≦0.31.0≦CeO2≦0.30.00≦As2O3≦0.50.00≦Sb2O3≦0.50.01≦Fe2O3≦0.08FClBr≦0.4を含むガラスであって、ここで、すべての酸化物はモルであり、1.05≦MgOBaOCaOSrO/Al2O3≦1.250.7≦CaOSrOBaO/Al2O3≦0.90.3≦MgO/CaOSrOBaO≦0.6ここで、Al2O3、MgO、CaO、SrOおよびBaOが代表的な酸化物成分のモルを表す、ガラス。化学清澄剤をさらに含むことを特徴とする請求項1記載のガラス。前記清澄剤が、SnO2、Fe2O3、CeO2、Sb2O3、As2O3、またはそれらの混合物からなる群より選択されることを特徴とする請求項2記載のガラス。0.05重量未満のAs2O3、Sb2O3またはそれらの組合せをさらに含むことを特徴とする請求項1記載のガラス。0.02重量未満のF、Cl、Brまたはそれらの組合せをさらに含むことを特徴とする請求項1記載のガラス。Fe2O3で表した、250~800ppmの鉄をさらに含むことを特徴とする請求項1~5いずれか1項記載のガラス。約1000ppm未満のアルカリ酸化物をさらに含むことを特徴とする請求項1~6いずれか1項記載のガラス。最大で約500ppmのZrO2をさらに含むことを特徴とする請求項1~7いずれか1項記載のガラス。Beta-OHが約0.55未満であることを特徴とする請求項1~8いずれか1項記載のガラス。ダウンドロー法を用いて製造されることを特徴とする請求項1~9いずれか1項記載のガラスのシート。前記ダウンドロー法がフュージョン法であることを特徴とする請求項10記載のガラスシート。1ポンド当たりの欠陥が0.2以下のガス状内包物レベルを有する20枚の連続した第4世代シートがダウンドロー法を用いて生産されるように、前記ガラスの製造に用いられるバッチ材料の酸化状態が、硝酸塩の添加を通じて操作され、酸化状態を達成することを特徴とする請求項1記載のガラスを製造する方法。開示される材料、化合物、組成物、物品、装置、および方法の目的に従って、活性マトリクス液晶ディスプレイAMLCDなどのフラットパネルディスプレイ装置における基板としての用途に望ましい物理的および化学的性質を示す、アルカリを含まないホウアルミノケイ酸ガラスが本明細書に具体的かつ広範に記載される。本発明の態様の幾つかによれば、ガラスは、歪み点の関数として良好な寸法安定性を有する。具体的には、本明細書に記載されるガラスは、750°Cを超えるアニール点を有する溶融適合性のガラスであり、1650°C以下の200ポアズにおける温度、2.55g/cc未満の密度、および従来のa-Si基板材料が示す範囲の10以内のフッ化物系の鉱酸におけるエッチ速度を有する。追加の利点は、一部には後述する説明に記載され、一部にはその記述から明白になり、あるいは、以下に記載する態様の実施によって理解される。以下に記載する利点は、添付の特許請求の範囲において特に指摘される要素および組合せを用いることによって認識および実現される。前述の概要および後述する詳細な説明は、両方とも、単に典型的および説明的なものであって、限定的ではないことが理解されるべきである。本明細書に取り込まれ、その一部を構成する添付の図面は、以下に記載される幾つかの態様を例証している。本明細書に記載される材料、化合物、組成物、物品、装置、および方法は、開示される主題の特定の態様およびそこに含まれる実施例についての以下の詳細な説明ならびに図面を参照することによってさらに容易に理解されよう。本発明の材料、化合物、組成物、物品、装置、および方法について開示し、説明する前に、以下に記載される態様が特定の合成方法または特定の試薬に限定されず、当然ながら変化しうることが理解されるべきである。本明細書で使用される技術用語は単に具体的な態様を説明する目的のためであって、限定することは意図されていないことも理解されるべきである。また、本明細書全体を通して、さまざまな刊行物が参照される。開示される事柄に関連する最新技術をさらに十分に説明するために、これらの刊行物の開示全体が、参照することによって本願に取り込まれる。開示される参照文献はまた、その参照文献の拠り所とされる文章において論じられている、それらに含まれる材料について参照することにより、本明細書に個別にかつ明確に取り込まれる。本明細書の説明および特許請求の範囲全体にわたり、含むという語句および、含んでいるおよび含まれるなど、その語句の他の形態は、例えば、他の添加剤、成分、整数、または工程を含むが、それらに限定されないことを意味し、それらを排除することは意図されていない。本明細書に開示されるある特定の材料、化合物、組成物、および成分は、商業的に入手することができ、あるいは、当業者に一般的に知られている技術を用いて容易に合成することができる。例えば、開示される化合物および組成物の調製に用いられる出発材料および試薬は、商業的供給業者から入手するか、または当業者に既知の方法で調製される。また、本明細書には、開示される方法および組成物に使用することができる、開示される方法および組成物と組み合わせて使用することができる、開示される方法および組成物の調製に使用することができる、または開示される方法および組成物の生産に使用される、材料、化合物、組成物、および成分が開示される。これらおよび他の材料は本明細書に開示されており、これらの材料の組合せ、部分集合、相互作用、群などが開示されているが、これらの化合物のさまざまな個別的および集合的な組合せおよび置換のそれぞれの具体的な指示が明確には開示されていない場合、その各々は具体的に意図されており、本明細書に記載されていると理解されたい。これから、示される材料、化合物、組成物、物品、および製造の特定の態様について詳細に述べる。これらの例は添付の実施例および図面に示される。本明細書には、歪み点を有し、それによって良好な寸法安定性を有するすなわち、圧縮が少ない無アルカリガラスおよびその製造方法が記載される。歪み点が高いガラスは、熱処理およびそれに続くガラス製造の間の圧縮/収縮に起因するパネルの歪みを妨げることができる。本開示の範囲によって表される組成物は、SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrOおよびBaOを含み、清澄剤は、酸化スズSnO2、酸化鉄Fe2O3、酸化セリウムCeO2、さまざまなハロゲン化物主にF、ClおよびBr、As2O3またはSb2O3を含みうる。例えば、酸化スズは0.02~0.3モルである。1つの実施の形態では、組成物は、酸化物を基準としたモルで:67≦SiO2≦7011≦Al2O3≦13.53≦B2O3≦63.5≦MgO≦74≦CaO≦71≦SrO≦40≦BaO≦30≦SnO2≦0.30≦CeO2≦0.30.00≦As2O3≦0.50.00≦Sb2O3≦0.50.01≦Fe2O3≦0.08FClBr≦0.4を含む無アルカリガラスを含み、ここで、a1.05≦MgOBaOCaOSrO/Al2O3≦1.25b0.7≦CaOSrOBaO/Al2O3≦0.9c0.35≦MgO/CaOSrOBaO≦0.55であり、Al2O3、MgO、CaO、SrOおよびBaOは代表的な酸化物成分のモルを表す。1つの実施の形態では、開示される範囲内のガラスは、酸化ヒ素As2O3または酸化アンチモンSb2O3を実質的に含まず、これらの酸化物のいずれかまたは両方の濃度が0.05重量未満である。このような場合には、SnO2、Fe2O3および/またはCeO2などの他の多価の酸化物を加えて、最終的なガラスにおけるガス状の内包物の数を確実に最小限にすることが好ましい。別の実施の形態では、その範囲内にある開示されるガラスは、0.5~3モルのBaOを含む。さらに別の実施の形態では、MgO濃度は3.8~7モルである。1つの実施の形態では、本開示のガラスは、2.6g/cc未満の密度を示す。別の実施の形態では、ガラスは2.56g/cc未満の密度を示す。さらに別の実施の形態では、ガラスは2.55g/cc未満の密度を示す。上に定義される範囲内に含まれる組成物を表2に示す。表に示すように、開示される範囲内のガラスは、少なくとも100キロポアズの液相温度における粘度を有し、したがって、今日実施されるフュージョン法と適合するか、あるいは、現行の方法に対する最小調整によってフュージョン法と適合することができる。実施例の幾つかは、200キロポアズを超える極めて高い液相線粘度を有し、このような高い液相線粘度の値は単独の生産ラインにおける長期の製造にとって重要であると考えられる。参考までに、幅広く商品化されているa-Si基板EagleXG商標CorningIncorporated社米国ニューヨーク州コーニング所在製の液相線粘度は約230キロポアズである。したがって、1つの実施の形態では、本開示のガラスは、100キロポアズを超える液相温度における粘度液相線粘度を有し;別の実施の形態では200キロポアズを超え、さらに別の実施の形態では220キロポアズを超える。EagleXG商標などのa-Si基板ガラスおよびそのヒ素を含む先行品であるEagle2000商標CorningIncorporated社米国ニューヨーク州コーニング所在製の生産は、200ポアズの粘度において、それぞれ、約1605°C~1650°Cの温度を示した。耐火物および電極の腐食速度は温度の強力な関数であり、したがって、溶融温度をこの範囲内に維持することは、耐用年数の評価にとって極めて重要である。さらには、溶融温度が高すぎ、したがって清澄剤の効率が低下する場合には、製品中にガス状の内包物が含まれる危険性が増大する。表から明らかなように、開示される範囲内のガラスは、200ポアズにおける1650°C未満の温度を有し、したがって、長期の製造に許容限度の範囲内である。別の実施の形態では、本開示のガラスは200ポアズにおける1630°C未満の温度を示す。35キロポアズの粘度に対応する温度は、フュージョン法においてガラスがアイソパイプに供給されるおおよその粘度であることから、重要な測定基準である。供給温度が高くなると、アイソパイプを製造に用いる耐火材料のクリープに起因して、アイソパイプの歪み垂れの速度が速くなる。低い温度のほうが常に好ましいが、ジルコン耐火物の化学および構造における最近の進歩により、最低でも3年のアイソパイプの耐用年数をもたらす最高許容温度を約1275°Cにまで上昇させた。表2から明らかなように、開示される範囲内のガラスは、35キロポアズにおいて1275°C未満の温度を有し、従って、この耐用年数の評価の要件を満たす。別の実施の形態では、本開示のガラスは、35キロポアズにおいて1260°C未満の温度を有し;さらなる実施の形態では、1250°C未満の温度を有する。レーザー再結晶化法などの低温ポリシリコン法において低レベルの圧縮を生じさせるのに必要なアニール点は、その方法の詳細に応じて決まり、さまざまなアニール点のガラスを、対象とする熱サイクルで処理せずに予測することは困難である。大まかに言えば、約450°Cを超える単一の熱処理工程しか存在せず、上昇温度における全曝露時間が約10分以下であり、ピーク温度が約550°C~650°Cの場合には、750°C~770°Cのアニール点は、約20ppm以下の圧縮を生じる。その結果、本開示のガラスのアニール点1つの実施の形態では750°C~770°Cを示し、別の実施の形態では755°C~770°Cを示す。重量は、長い間、携帯電子機器における懸案事項であり、実際に、Eagle2000商標およびEagleXG商標の両方の開発活動における主要な設計基準であった。最新の設計では、最終的な装置における基板の全体的な目的はTFTアレイを支持することであり、パネル製造業者は、TFTの製造後に重量を軽減するために基板を薄化している。ガラス密度が高くなると、装置の最終的な重量を得るためにさらに薄化が必要になる。Jadeは市販のa-Si基板ガラスより高い密度を有し、結果として、同等の重量のパネルを得るためには、これらのガラスよりも薄化する必要がある。このように、本開示のガラスは2.6g/cc未満の密度を示す。残念なことに、Jadeの低いB2O3含量により、従来の非晶質シリコン基板にもたらされるものとは非常に異なる酸耐久性が生じ、従って、これらの基板用に設計した酸エッチングラインはJadeの処理に使用することができない。図1および2は、a-Si用途CorningEagleXGおよびAsahiAN100商標およびp-Si用途CorningJadeおよび実施例2、8、および16の広範なアルカリを含まない基板ガラスの単位面積あたりの体積減少を対比している。本開示のガラスはJadeよりもはるかにa-Si基板に似た耐久性を示し、市販のp-Si基板のみがダウンドロー法を用いて製造された。とりわけ、重フッ化アンモニウムでは、a-Si基板のエッチ速度は約1.1±0.25μm3/cm2である。1つの実施の形態では、代表的な本開示のガラスは同等のエッチ速度範囲も有する。同様に、a-Si基板の1HF/10HNO3では、エッチ速度は約6.4±0.3μm3/cm2である。1つの実施の形態では、代表的な本開示のガラスは同等のエッチ速度範囲も有する。開示されるガラス中の各酸化物成分は重要な目的を果たす。シリカまたはSiO2は主要ガラス形成酸化物であり、溶融ガラスに粘度を与える。所定の液相温度では、粘度の増大は液相線粘度を増大させる働きをし、従って、フュージョン法との適合性を改善する。しかしながら、粘度が高すぎる場合には、清澄気泡finingbubblesなどの溶融に関連する欠陥が現れ、連続的な工程における長期の製造を可能にするには耐火物の腐食および白金の劣化が極端になりすぎる場合がある。さらには、シリカが増加するにつれて、連続的な工程における望ましくない失透相である、SiO2の結晶質の多形体クリストバライトの安定性の増大に起因して、液相温度も増加しうる。酸化ホウ素B2O3を除くすべての酸化物と比較して、SiO2は密度および熱膨張率が低下し、B2O3に対して耐久性が改善する。したがって、本開示のガラスにおけるSiO2は、1つの実施の形態では67~70モルの範囲であり、さらに別の実施の形態では68~70モルである。酸化アルミニウムすなわちAl2O3も本発明のガラスにおけるガラス形成剤としての役割をする。SiO2と同様にAl2O3も粘度を与え、SiO2濃度に対し注意深くバランスを保つ場合、アルカリ土類の相対的および絶対的濃度は、液相温度の低下に利用することができ、従って、液相線粘度を高める。SiO2を除く各酸化物と比較したAl2O3の増大は、通常、非晶質ベースのエッチング過程におけるディスプレイガラスのエッチングに用いられる、一種の酸ベースのエッチャントにおける耐久性の改善につながる。SiO2と同様に、アルカリ土類と比較したAl2O3における増大は、一般に、密度の低下、熱膨張率の低下、および耐久性の改善につながる。とりわけ注目すべき、SiO2を確保する成分を犠牲にしたAl2O3の増大は一般にアニール点を上昇させることから、ポリシリコン用途に必要とされる高いアニール点を得るためには、最小量のAl2O3が必要とされる。Al2O3と他の酸化物とのバランスを保つ必要があるため、1つの実施の形態では、開示されるガラスのAl2O3含量は11~13.5モルである。別の実施の形態では、範囲は12~13モルである。酸化ホウ素、すなわちB2O3もまたガラス形成酸化物であり、粘度の低減、さらに重要なことには、液相温度の低減に用いられる。一般に、1モルのB2O3の増大は、対象とするガラス組成および粘度の詳細に応じて、同等の粘度において温度を10~14°C低下させる。しかしながら、B2O3は1モルあたり、液相温度を18~22°C低下させることができ、従って、粘度を低下させるよりも急速に液相温度を低下させる効果を有し、その結果、液相線粘度を増大させる。もし、他のすべての酸化物をそれぞれの範囲内に保持しつつ、B2O3含量を開示される範囲外に低下させた場合には、現在実施されているフュージョン法への適合の必須条件である、100キロポアズと同等の大きさの液相線粘度、さらに好ましくは100キロポアズを超える、または、さらに好ましくは130キロポアズを超える液相線粘度を得ることは不可能とは言わないまでも難しいであろう。他のガラス成分を犠牲にして酸化ホウ素濃度を上昇させた場合、CTEおよび密度は一般に低下するが、アニール点は、1モルあたり14°C程度、急激に低下し、これはp-Si基板用途にとって極めて有害である。他方では、粘度を低下させる他の成分、主にアルカリ土類酸化物と比較して、酸化ホウ素の増大はフッ素含有酸における耐久性を実際に改善し、ガラスをa-Si基板ガラス用に設計されたエッチング過程により適合性にする。これらの理由によって、1つの実施の形態では、B2O3は3~6モルに保持される。別の実施の形態では、B2O3は3~5モルの範囲である。アルカリ土類酸化物のMgO、CaO、SrOおよびBaO累積的にROとも称されるは、製造のための必須成分である。B2O3と同様に、SiO2またはAl2O3と比較したアルカリ土類の増大は、固定温度で溶融したガラスの粘度を低下させる。高温はガラスタンクおよび成形機械の耐用年数を制限する主な要因であることから、適切なガラス特性の提供と調和させて、できるだけ溶融および成形温度を低下させることが常に望ましい。SiO2、Al2O3およびB2O3とは異なり、ガラス形成成分と比較したアルカリ土類の増大は、一般に、p-Si用途にとって重要な特性を低下させる:CTEおよび密度は、一般に、SiO2、Al2O3およびB2O3に対してアルカリ土類酸化物が増大するにつれて増大し、アニール点は一般に低下し、耐久性は標準的なa-Si基板ガラスから次第に遠く離れる。アルカリ土類濃度の恩恵を受ける唯一の最終的なガラス特性はヤング率であり、アルカリ土類の増大の幾つかの組合せでは、比弾性率もまた利益を得る場合がある。ヤング率はガラスシートの剛性を決定することから、ヤング率をできるだけ高くすることはガラス操作にとって有益である。固定温度において、真下に広い間隔の支持体を備えたガラスシートの垂れは、比弾性率、またはヤング率と密度の比によって決定される。高いアルカリ土類濃度は、一般に、密度を増大させ、したがって、ヤング率の予想される増大に不利に作用する。しかしながら、MgOおよびCaOは、密度を、大きいアルカリ土類であるSrおよびBaよりもはるかにゆっくりと増大させ、従って、アルカリ土類の相対的比率を操作して、溶融適合性と調和するヤング率および密度の最適な組合せを得ることができる。開示されるガラスでは、ヤング率は約10.8Mpsi~12.1Mpsiの範囲である。アルカリ土類の混合物は低い液相温度をもたらすことが必要とされる。この理由は複雑である。理論に縛られるわけではないが、さまざまなアルカリ土類について開示される範囲は、2つ以上の結晶相を本発明の範囲内の大部分のガラスの液相線上に乗せる効果を有する、そのうちの1種類はクリストバライトSiO2であり、そのうちの1種類はアルカリ土類アルミノケイ酸塩である。バリウムが豊富なガラスでは、アルカリ土類アルミノケイ酸塩は、しばしばヘキサセルシアンおよびその中の固溶体であり、およそBa1xySrxCayMgzAl2zSi2zO8で表され、ここで、x、yおよびzは一般に0.5未満である。従って、バリウム濃度が低いガラスでは、相応してCaOSrO濃度が高く、アルカリ土類アルミノケイ酸塩は、しばしば灰長石またはその中の固溶体であり、およそCa1xySrxBayAl2Si2O8で表される。Mgが豊富な組成物では、液相は、しばしば、コージエライトまたはその中の固溶体であり、およそMg2Al4Si5O18である。最良の液相温度は、一般に、2種類以上の異なるアルミノケイ酸塩相およびクリストバライトが液相温度上またはその近くにある場合にもたらされる。ガラスの構成成分の各相の相対的競争は、他の相を不安定化する効果を有し、従って、液相温度だけでなく、製造工程において不十分に冷却された場合の失透の傾向も低減する。アルカリ土類のAl2O3に対する比が約1.0未満の場合、ガス状の内包物をガラスから排除することができないとは言えないまでも、非常に困難でありうる例えば、米国特許第7,709,406号明細書参照。さらには、このような低いRO/Al2O3比において、SiO2およびB2O3含量を固定したガラスの粘度は、高いRO/Al2O3比を有するガラスと比較して非常に高くなる。低いRO/Al2O3比において粘度を低下させる1つの方法は、MgOを他のアルカリ土類と比較して増大させることである。しかしながら、これは、アルミノケイ酸塩からなる鉱物であるムライトを安定化する効果を有しうる。この効果は、液相温度の劇的な上昇を生じるだけでなく、過冷却液体からの核化が非常に容易にする。Al2O3と比較してCaOSrOBaOの濃度を高く維持することにより、MgOの高い濃度を維持しつつ、ムライトを防ぐことができる。このため、1つの実施の形態では、開示されるガラスのMgO/CaOSrOBaO比は0.3~0.6であり、別の実施の形態では、その範囲は0.35~0.55であり、開示されるガラスのCaOSrOBaO/Al2O3のモル比は0.7~0.9である。液相温度に最も大きい有益な影響を有するアルカリ土類酸化物は酸化バリウム、すなわちBaOである。残念なことに、BaOは、他のアルカリ土類酸化物の代わりに用いた場合には、溶融および供給温度を上昇させる効果も有し、他のアルカリ土類酸化物を用いた場合よりも、密度、CTEおよびアニール点などの最終的なガラス特性を妥協しなければならない。これらの悪影響の一部を相殺するために、バリウムを犠牲にして酸化ストロンチウムSrOを増大させることができるが、液相温度の利益が大きく減少する。ヘキサセルシアンは、実質的に、CaOおよびBaO濃度が比較的低いバリウム-ストロンチウムアルミノケイ酸塩であることから、BaOSrOの合計濃度に匹敵するCaO濃度を有することが一般に望ましい。これらを考慮した結果、開示されるガラスは、1つの実施の形態では0.5~3モルのBaOを有し、別の実施の形態では1~2.5モルであり;SrOは1つの実施の形態では1~4モルであり、別の実施の形態では2~3.5モルであり;CaOは1つの実施の形態では4~7モルであり、別の実施の形態では5~6である。これらの限度内の組成物は魅力的な物理的特性を有するが、一般に、フュージョン法などのダウンドロー法に適した比較的低い溶融および温度および液相線粘度も有する。溶融温度が非常に低い場合でも、溶融設備の一つ一つは、ガラス溶融物からガス状の内包物を除去することを困難にしうる。それらが残留すると、最終的な製品において欠陥として現れてしまう。ポリシリコンTFTの製造業者は、ガラスシートの表面を変形させる欠陥に対し極めて敏感であり、ガス状の内包物のシート表面に対する最終的な位置を予測することは困難であることから、ガス状の内包物は何としても避けなければならない。さらには、処理の簡素化のため、TFTの製造業者は、しばしば、TFTの製造工程と同一の基板材料から作られたカラーフィルタガラスを得ようとし、ガス状の内包物が画素を遮断しうる場合には、それによって装置全体の性能を妥協することになる。シート状にする前に、ガラス溶融物からガス状の欠陥を除去するため、通常は清澄剤を加える。清澄剤は、高温でガスを放出する多価のカチオンまたはハロゲン化物である。典型的な多価の清澄剤としては、限定はしないが、As2O3、Sb2O3、SnO2、およびFe2O3が挙げられる。ヒ素およびアンチモンを含む廃棄物流れは、一部の国々において有害物質と考えられており、このため、開示されるガラス中のそれらの濃度を制限することが望ましいであろう。開示されるガラスの1つの実施の形態では、As2O3、Sb2O3、またはそれらの組合せは、500ppm0.05重量以下のレベルに保持される。清澄剤としての使用を見出されたハロゲンとして、F、ClおよびBrが挙げられる。ハロゲンを含む廃棄物流れはまた、一部の国々において有害物質と見なされる場合があり、溶融工程の間にそれらを放出することにより、鋼鉄の配管および支持体の過度の腐食作用を生じうる。他方では、溶融システムは、ハロゲンのオフガスを安全に処理するように設計することができ、原材料のさまざまな選択を利用して、最終的なガラスにおけるそれらの保持に影響を与えることができる。ハロゲンは、典型的には安定な塩として加えられ、限定はしないが、MgF2、CaF2、SrF2、BaF2、MgCl2、CaCl2、SrCl2、BaCl2、MgCl24H2O、CaCl24H2O、SrCl24H2O、BaCl24H2O、MgBr2、CaBr2、SrBr2、BaBr2、MgBr24H2O、CaBr24H2O、SrBr24H2O、BaBr24H2O、AlCl3、AlCl36H2O、および原材料の選択にあたる当業者によく知られた他の形態など、アルカリ土類またはアルミニウムの単塩および水和塩が挙げられる。清澄は、一般に、比較的低濃度のハロゲン添加において最適化され、従って、1つの実施の形態では、本開示のガラスは0~0.4モルのFClBr濃度を有する。1つの実施の形態では、FClBrは、200ppm未満、または0.02重量未満である。以下の実施例は、開示される主題に従った方法および結果を例証するために記載される。これらの実施例は、本明細書に開示される主題のすべての態様を含めることを意図しているのではなく、代表的な方法および結果を例証することを意図している。これらの実施例は、当業者には明白であろう、本発明の等価物および変形を除外することは意図されていない。数値例えば、量、温度などに関して正確さを確保するために努力しているが、ある程度の誤差および偏差を計上すべきである。別に示唆されないかぎり、部は重量部であり、温度は°Cまたは周囲温度であり、圧力は大気圧であるかそれに近い。記載される方法から得られる製品の純度および収量の最適化に使用することができる反応条件、例えば、成分濃度、温度、圧力および他の反応範囲および条件には、多くのバリエーションおよび組合せが存在する。これらの工程条件の最適化には、合理的な日常の実験のみが必要とされる。表1は、本開示の典型的なガラス組成物およびそれを製造するための原材料の具体的な選択の例を示している。ガラス製造の当業者に知られているように、元々の原材料は溶融工程によって単一の均一なガラスに変換されることから、原材料の具体的な選択は、最終的なガラス組成に影響を与えない。しかしながら、原材料の実際の選択は、特定の溶融システムの制限、または原材料コスト、またはその両方によって強いられた特定の要件を考慮して、示されたものとは異なる場合がある。SiO2の主要供給源は砂である。砂は、砂地盤海浜または砂丘、砂岩、珪岩、または原材料を選択する当業者に周知の他の供給源を含めた、さまざまな供給源農地の1つ以上から入手することができる。砂は、しばしば、無アルカリガラスにおけるアルカリ汚染の主要供給源になり、したがって、この重要な汚染を最小限に抑えるためには、供給材料の注意深い選択が重要でありうる。砂粒子の大きさは溶融速度に影響を与え、特に、大きい砂粒は完全に溶融しない場合があり、製品中に節または核として現れる。これを防ぐため、すべての砂粒の90よりも多くが、標準的な80の米国の標準メッシュサイズを通過することが一般に好ましい。アルミナ自体は、一般に、Al2O3をガラスに加えるための少なくとも高価な原材料であるが、原材料コストがそれほど重要ではない場合には、アルミノケイ酸カオリンまたは水和形態のアルミナまたは多形体のAl2O3などの他の材料を代わりに用いることもできる。B2O3は、無水ホウ酸約94B2O3、バランスは大部分はH2Oであるまたは、およそBOH3のホウ酸としてバッチに加えることができる。MgOは、一般に酸化物として加えられるが、他のアルカリ土類は典型的には炭酸塩としてバッチ化される。CaOの適切な炭酸塩の供給源としては、石灰石および沈降炭酸カルシウム精製石灰石製品が挙げられる。MgOは白雲石の形態でCaOとともにバッチ化することができるが、これは、ガラス中の鉄の量も増大させうることから、さらに予測可能な純粋な鉄供給源と比較して望ましくない場合がある。ストロンチウムおよびバリウムの多くは、一般に、工業化学プロセスから得られる炭酸塩として加えられる。しかしながら、バッチを適切に酸化された状態に保持するため、一般に、硝酸塩供給源も含めることが望ましい。バッチには硝酸ストロンチウムが望ましいが、硝酸バリウムも同様に作用する。両方の場合において、約1モル以下のアルカリ土類酸化物を硝酸塩としてバッチ化し、NOxの排出を低減することが一般的には望ましいが、他の方法により、硝酸塩が溶融を補助してもよく、最良に作用する正確な量は、一般に、試行錯誤の研究の対象である。SnO2は、清澄剤としての通常の役割に含まれる。さらなるSnO2は、一般に、改善された清澄能力と同等であるが、比較的高価な原材料であることから、ガス状の内包物を適正な低いレベルへと促すのに必要とされる程度の量で加えることが望ましい。本発明のガラスのSnO2濃度は、0.02~0.3モルであることが望ましい。この例では少量のZrO2ジルコニアが含まれる。ジルコニアは、ガラスの溶融または清澄挙動において実質的役割は果たさず、このような低い濃度では興味深い特性も与えない。実験室規模のバッチにジルコニアを含めることは有用であるが、しかしながら、ジルコニアは、熱いガラスがジルコニア系の耐火物材料と溶融装置内で接触することによって導入されることから、ガラス中のジルコニア濃度のモニタリングは、経時によるタンク製品の比率を判定するために重要でありうる。バッチは、シュウ酸鉄の形態で加えられた低濃度の鉄を示している。他の原材料、特に砂の不定の濃度が原因で、鉄の合計量は示されているよりも大きい。鉄は、潜在的に、浸透ブリスターの管理およびSO2ブリスターの制御には有用であるが、過度に酸化された場合には、ガラスに着色を与えうる。1つの実施の形態では、鉄濃度は、ガス状の内包物の管理と過度の色との最良のバランスを得るため、0.02~0.08重量である。ホウ酸および砂にはかなりの量の水が付随し、炭酸塩原材料にはかなりの量の二酸化炭素が付随する。CO2はガラスにはやや溶けにくく、従ってそのほとんどが溶融の初期の段階で失われ、ガス状の内包物内に捕らわれたCO2は、一般に、例えば、本実施例におけるSnO2などの清澄剤の作用によって移動する。ガラス中にはかなりの濃度の水が保持されうるが、溶解したOHイオンの形態で存在する。この結果、近赤外線に3600cm1に近い測定可能なOHの振動バンドを生じる。1mmの厚さの経路長を通るバックグラウンドを超えるこのバンド強度は、Beta-OHと称される。それは、一般的に、従来の非晶質シリコン基板ガラスにおいて0.2~0.7の範囲である。溶解したOHは無アルカリガラスのアニール点に大きい影響を与え、したがって、OHを所定のいかなるガラスについても合理的に達成可能な限り低く保持することが望ましい。従来の電気ブースティング溶融装置は、一般には、高い水の分圧を発生し、ガラスにより高濃度の水を取り込ませるガラス表面上にバーナーを採用する。保持される水分レベルを低減するためにハロゲン化物を用いることができ、電極を経由して供給される電力を高め、バーナーによって供給される電力を低減することも有益である。同様に、比較的乾燥した砂の選択は溶解したOHの変化を十分にもたらし、アニール点に著しく影響を与えうる。本発明のガラスのBeta-OHは、最終的なガラスのアニール点を最大化するために、0.55未満であることが好ましく、0.5未満であることがさらに好ましく、0.45未満であることがさらに好ましい。この実施例における実際の組成物および原材料の選択は極めて具体的であるが、代替となる原材料の組合せを使用して同一の最終的なガラス組成物を得ることもでき、従って、特定の原材料は、所定の溶融/清澄/形成工程にとって最適になるように選択されなければならないことは、当業者にとって明白であろう。したがって、同等の組成物を生じる他の原材料の組合せは、低温ポリシリコン用途に必要とされる高いアニール点、低い密度、低いCTE、および高い耐久性という基本的要件を満たすガラスを生じる。さらには、開示されるガラスの目的の用途はisinp-Si用途であるが、ガラスは、a-Si、カラーフィルタ基板または開示される特性が有利であると判断されうる他の用途についても考慮されうることに留意されたい。実施例-試験サンプルの調製局部的なレーザー結晶化加熱によって示されたおおよその条件を最良化するため、表1に開示される成分から製造されたガラスのサンプルは、混合され、溶融され、ドローされて1mmの厚さのシートになる。次にサンプルを縦方向に半分に切断し、一方の参照部分を残し、別の部分を熱処理に供する。参照断片および熱処理断片を顕微鏡下で一緒に検査し、MitutoyoQuickVisionQV202Proを用いて、熱処理から得られた寸法の変化を測定した。次に、熱処理したガラスサンプルを590°Cの熱処理に45分間晒した。この処理後、試験ガラスは-60ppmの寸法変化を示した。理想的には、本開示のガラスは、-80ppm以下の寸法変化を示す。自動化された光学機器は、各サンプルに数十回の反復測定を行うことから、統計的手法を用いて、サンプルにおける10ppm未満の寸法の変化に対応する、1μm程度の寸法変化を決定することができる。低い圧縮に加えて、ガラスは、フュージョンドロー法または関連する方法に適用できるように厳しい成形要件を満たさなくてはならない。失透は、初期の均質なガラスからの結晶相の形成として定義される。結晶がガラスと共存する最大温度は液相温度と定義される。液相温度は、破砕したガラスサンプルを白金ボート内に充填し、1cmあたり10°C以上の勾配を用いた管状炉内で72時間加熱することによって測定される。液相温度におけるガラスの粘度は液相線粘度と称される。精密なシートガラスの成形工程は、一般に、例えば40,000ポアズを超える、比較的高い液相線粘度を必要とする。ガラスはまた、生産目的の厳しい溶融要件も満たさなければならない。ガラスバッチ構成成分が経済的に合理的な時間溶融される温度、および気泡が捕捉される温度は、合理的な時間でガラスの外へと上昇することができ、典型的には約200ポアズの粘度に相当する。高温における耐久性の耐火物または貴金属の容器の制限により、200ポアズにおける温度についての実用的な上限値が約1,680°Cに設定される。前述のように、本開示のガラスは1650°C未満の200ポアズにおける温度を示す。従前から用いられる材料に由来するバッチ材料における変化は、さらに粘着性のガラスを、比例的に高い粘度で溶融可能にするが、これらの材料は、常に法外な費用を上乗せし、また、溶融を通じてガラスを輸送し、高い粘度でシステムを調整することは、顕著な技術的困難を提示する。言及したように、多くのガラス組成物をその物理的特性とともに表2に示す。表2に記載する残りの特性は、当業者に周知の標準的な試験によって達成される。本願全体を通して、さまざまな刊行物が参照される。本明細書に記載される化合物、組成物および方法をさらに十分に説明することを目的として、これらの刊行物の開示全体が、参照することによって本願に援用される。本明細書に記載の材料、方法、および物品には、さまざまな変更および変形がなされうる。本明細書に記載の材料、方法、および物品の他の態様は、本明細書の検討および本明細書に開示される材料、方法、および物品の実施から明白になるであろう。本明細書および実施例は、典型例とみなされることが意図されている。"