"メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が、1炭素数が4~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル68~93質量と、2炭素数が1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル5~25質量と、3カルボキシル基を有する反応性モノマー2~7質量と、をモノマー単位として含む共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着剤組成物。前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体の重量平均分子量が70万~250万であることを特徴とする請求項1に記載のペリクル用粘着剤組成物。前記硬化材が、多官能性エポキシ化合物及びイソシアネート化合物からなる群から選択される少なくとも1種の化合物を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のペリクル用粘着剤組成物。前記反応生成物が、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体100質量部と前記硬化材0.01~3重量部との反応生成物であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤組成物。請求項1~4のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤組成物から形成された粘着材層を有するペリクル。ペリクルの耐荷重性の低下は、露光中または露光後におこることがある。そのため、深紫外線DUVの露光中及び照射後の耐荷重性が特に重要である。しかし、ペリクルの耐荷重性を改善すると粘着剤が硬くなる傾向にあり、マスクの平坦性が低下することが多かった。そのため、どちらも兼ね備えた粘着剤及びペリクルの開発が望まれていた。そこで、本発明は、良好な耐荷重性を有するとともにマスクの平坦性にも優れたペリクルを提供することを目的とする。本発明者らは、ペリクルの粘着剤層の耐荷重性とマスクの平坦性を両立して確保するための粘着剤の組成について鋭意検討した結果、特定の2種類のメタアクリル酸アルキルエステルとカルボキシル基を有するモノマーの量比を絶妙に調整することで解決できることを見出し、本願発明を完成させるに至った。すなわち本発明は、以下に関する。[1]メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が、1炭素数が4~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル68~93質量と、2炭素数が1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル5~25質量と、3カルボキシル基を有するモノマー2~7質量と、をモノマー単位として含む共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着剤組成物。[2]前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体の重量平均分子量が70万~250万であることを特徴とする[1]に記載のペリクル用粘着剤組成物。[3]前記硬化材が、多官能性エポキシ化合物及びイソシアネート化合物からなる群から選択される少なくとも1種の化合物を含むことを特徴とする[1]~[3]のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤組成物。[4]前記反応生成物が、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体100質量部と前記硬化材0.01~3重量部との反応生成物であることを特徴とする[1]~[3]のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤組成物。[5][1]~[4]のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤組成物から形成された粘着材層を有するペリクル。本発明のペリクルは、耐荷重性とマスクの平坦性の両方に優れている。また、粘着剤層の凝集力が一定範囲内にあることから、ペリクルを剥がしたときの糊残りが少ない。そのため、張替え時にマスクを汚すことがない。以下、本発明を実施するための形態以下、単に本実施形態という。について詳細に説明する。以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨の範囲内で適宜に変形して実施できる。本実施形態のペリクルの粘着剤層は、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が、1炭素数が4~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル68~93質量と、2炭素数が1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル5~25質量と、3カルボキシル基を有する反応性モノマー2~7質量と、をモノマー単位として含む共重合体であることを特徴とする。粘着剤層は、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と、硬化材との反応生成物を含んでなる粘着剤から形成されるが、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体は、メタアクリル酸アルキルエステル以下A成分という。とカルボキシル基を有する反応性モノマー以下B成分という。を共重合させることによって得られる共重合体である。係る共重合体は、耐荷重性とマスクの平坦性、及び剥離後の糊残りの抑制という点で好ましい。ここで、A成分のモノマーは、炭素数4~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル以下A1成分という。と炭素数1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル以下A2成分という。の組み合わせである。A1成分のアルキル基の炭素数が4~14のメタアクリル酸アルキルエステルとしては、具体的には、メタアクリル酸ブチル、メタアクリル酸ヘキシル、メタアクリル酸オクチル、メタアクリル酸デシル、メタアクリル酸ドデシル、メタアクリル酸ラウリルなどの直鎖脂肪族アルコールのメタアクリル酸エステルがあげられる。これらは単独でも2種以上併せて用いてもよい。なかでも、メタアクリル酸ブチル、メタアクリル酸オクチルなどの炭素数4~8の直鎖のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルが、マスクとの適度な接着性を発現するため、好ましく用いられる。A2成分のアルキル基の炭素数が1~3のメタアクリル酸アルキルエステルとして具体的には、メタアクリル酸メチル、メタアクリル酸エチル、メタアクリル酸プロピル、メタアクリル酸イソプロピルなどが好ましく用いられる。炭素数1~3の直鎖のアルキル基であれば、A1成分及びB成分と共重合体をつくった際にB成分の接着性に寄与するカルボキシル基の立体障害が小さくなり、接着性が良好となる。B成分は、上記A成分のモノマーと共重合可能なモノマーであって、カルボキシル基を有するモノマーである。例えば、B成分は、メタアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、クロトン酸など用いられ、特に糊残りの点からメタアクリル酸が好ましい。本実施形態のペリクルの粘着剤層は、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体において、A1成分が68~93質量、A2成分が5~25質量、B成分が2~7質量をそれぞれモノマー単位として含む共重合体であるが、更には、A1成分が74~92質量、A2成分が5~20質量、B成分が3~6質量であることがより好ましい。A2成分が5質量より大きいとB成分に対して立体障害が小さくなり接着性が向上するため耐荷重性が増し、また、25質量より小さいと、共重合体のガラス転移温度が著しく低くなり接着性が向上するため耐荷重性に優れるため好ましい。B成分が2質量より大きいと接着性が向上するため耐荷重性に優れ、7質量より小さいと共重合体を製造する際のゲル化が生じず生産に優れるため好ましい。メタアクリル酸アルキルエステル共重合体の重量平均分子量が70万以上、250万以下であると、粘着剤層の凝集力、接着力が適度な大きさになり、糊残りしにくく、且つ、特に優れた接着力、耐荷重性を持つ粘着剤となり、好ましい。重量平均分子量は、好ましくは75万以上230万以下、さらに好ましくは100万以上200万以下が好ましい。重量平均分子量は、通常の方法で制御できる。具体的には、一般に重合反応するときのモノマー濃度が高いほど重量平均分子量は大きくなる傾向にあり、重合開始剤量の量が少ないほど、又、重合温度が低いほど重量平均分子量は大きくなる傾向にある。このようなメタアクリルエステル共重合体の製造は、溶液重合、塊状重合、乳化重合、各種ラジカル重合などの公知の製造方法を適宜選択できる。また、得られるメタアクリル酸アルキルエステル共重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体などいずれでもよい。なお、溶液重合においては、重合溶媒として、たとえば、酢酸エチル、トルエンなどが用いられる。具体的な溶液重合例としては、反応は窒素などの不活性ガス気流下で、重合開始剤として、たとえば、モノマー全量100重量部に対して、アゾビスイソブチロニトリル0.01~2.0重量部加え、通常、50~70°C程度で、8~30時間程度行われる。ラジカル重合に用いられる重合開始剤、連鎖移動剤、乳化剤などは特に限定されず適宜選択して使用することができる。好ましい重合開始剤としては、たとえば、アゾ系の2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル、2,2’-アゾビス2-メチルプロピオン酸ジメチル、4,4′-アゾビス-4-シアノバレリアン酸などや過酸化物系のベンゾイルパーオキサイドなどが挙げられる。本実施形態のペリクルが有する粘着剤層に使用する粘着剤は、特に、上記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含む組成物からなることが好ましい。かかる硬化材としては、金属塩、金属アルコキシド、アルデヒド系化合物、非アミノ樹脂系アミノ化合物、尿素系化合物、イソシアネート化合物、金属キレート系化合物、メラミン系化合物、アジリジン系化合物など、通常の粘着剤に使用される硬化材をあげることができる。メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が有する官能基成分との反応性の点から、イソシアネート化合物及び多官能性エポキシ化合物からなる群から選択される少なくとも1つの硬化材が好ましく、多官能性エポキシ化合物がより好ましい。具体的には、イソシアネート化合物としては、トリレンジイソシアネートが挙げられる。多官能性エポキシ化合物としては、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエステル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、N、N、N’、N’-テトラグリシジルm-キシレンジアミン、1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、N,N,N’,N’-テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどがあげられる。これらの中でも2~4個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物が好ましく、4個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物が反応性の点から好適に用いられる。反応性が良いと粘着剤と塗布後、架橋反応が速やかに終了するので、特性が短時間で安定し、生産性の面で優れる。また、硬化材の量は、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体100質量部に対して、0.01~3質量部であることが好ましい。更には、0.03~2.5質量部、0.05~1.0質量部であることがより好ましい。硬化材の量が、上記範囲であれば、ペリクル剥離後の糊残りも良好で、耐荷重性にも良好となる。メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と多官能性エポキシ化合物との反応生成物を得るための反応は、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体溶液と多官能性エポキシ化合物溶液を秤量し、均一に混ざるように混合攪拌し、溶剤を加熱乾燥除去した後に、加温することで迅速に進行する。本実施形態のペリクルは、開口部を有するペリクル枠と、ペリクル枠の一端面上に支持され、開口部を覆うペリクル膜と、ペリクル膜の他端面上に設けられた上述の粘着剤層とから構成される。本実施形態のペリクルは、例えば以下の方法で好適に製造することができる。第一に、上述のメタアクリル酸アルキルエステル共重合体溶液と硬化材溶液とを混合し粘着剤前駆体組成物を得る。この場合、所定の厚み幅の粘着剤層を塗布するために、粘着剤前駆体組成物をさらに溶媒で希釈し、溶液濃度粘度を調整する。希釈のための溶媒は、溶解性、蒸発速度などの観点から選ばれる。好ましい溶媒の具体例としては、アセトン、酢酸エチル、トルエンがあげられるが、これらに限定されるものではない。第二に、該粘着剤前駆体組成物を、一端面に接着されたペリクル膜を有するペリクル枠の他端面に塗布する。塗布方法は、特に限定されるものではないが、ディスペンサーを用いて塗布することが好ましい。前記粘着剤前駆体組成物中のアクリル共重合体溶液溶媒とメタアクリル酸アルキルエステル共重合体からなる溶液をいう。粘度については特に限定はされないが、好ましくは50P以下、より好ましくは10~40P、さらに好ましくは20~30P程度の粘度であるB型粘度計、25°C。ディスペンサーでの塗布において溶媒で希釈することによって、塗布液の糸引きが少なく、安定した幅厚みに調整することが容易となる。第三に、塗布した粘着剤層を加熱乾燥させることにより、溶媒及び/又は残存モノマーを除去することができる。さらに、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が有する官能基と硬化材とが加熱反応して架橋構造を形成すると、ペリクル枠粘着剤組成物とが一体化し、ペリクル枠表面に密着する。かかる乾燥温度については、溶媒および残存モノマーの沸点、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体の分解温度を考慮し、50~200°Cであることが好ましく、60~190°Cであることが好ましい。また、粘着剤中に含まれる溶媒が下記アウトガス試験で50ppb以下となるように、粘着剤は十分に乾燥させた状態でペリクルに使用することが好ましい。乾燥、架橋後に、粘着面を保護するための離型シートを粘着剤層に貼っても良い。離型シートとしては、一般的にはポリエステルなどの厚さ30~200μm程度のフィルムを用いる。また、粘着剤層から離型シートを剥がす際の剥離力が大きいと、剥がす際に粘着剤が変形する恐れがあるので、適切な剥離力になるように、粘着剤と接するフィルム表面にシリコーンやフッ素などの離型処理を行っても良い。粘着面を保護するための離型シートを貼った後、荷重をかけて、粘着剤表面を略平坦に成型しても良い。以下、実施例および比較例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されない。<実施例1>粘着剤組成物の調製メタアクリル酸アルキルエステル共重合体1を、通常の方法により調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル30質量部を入れ、ブチルアクリレートBA/メチルアクリレートMA/アクリル酸AA/2、2’-アゾビスイソブチロニトリルの混合物32質量部を77/19/4/0.3の質量比で仕込んで、反応溶液を調製した。窒素雰囲気下中、この反応溶液を8時間還流させて反応を行った。反応終了後、トルエン38質量部を添加して、不揮発分濃度32質量のアクリル酸アルキルエステル共重合体1の溶液アクリル共重合体溶液を得た重量平均分子量80万。得られたアクリル共重合体溶液100質量部に、多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液を0.1質量部添加し、攪拌混合して、粘着剤前駆体組成物の溶液を得た。粘着剤層付ペリクルの作製その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠外径113mm×149mm、内径109mm×145mm、高さ4.8mmの他端面の全面に、調合した上記粘着剤前駆体組成物の溶液をディスペンサーで塗布した。塗布された溶液を2段階1段階:100°C、8分;2段階:180°C、8分の加熱によって乾燥及びキュアして、実施例1のペリクル用粘着剤組成物からなる粘着剤層厚み0.3mmを有する実施例1のペリクルを得た。ついで、シリコーン離型処理した厚さ100μmのポリエステル製保護フィルムを粘着剤層に貼り合わせた。その状態で室温20±3°Cにて3日間養生させて粘着力を安定化させ、粘着剤層付ペリクルを作製した。得られた粘着剤層付ペリクルについて、以下の方法で評価を実施した。分子量測定後述するアクリル共重合体溶液を真空乾燥し、溶剤を除去した。残った試料に溶離液を加えて、濃度1.0mg/mLとなるように調整した。これを0.5ミクロンフィルターでろ過し、ろ液をGPC試料とした。GPCの測定条件は下記の通りである。データ処理:東ソーGPC8020装置:東ソーHLC8220GPCカラム:TSKgelSuperHZNM1本TSKgelSuperHZ20001本オーブン40°C溶離液:035mLminCHCl3試料量:50μl10mgmL検出器:RI較正曲線:ポリスチレンフォトマスクの変形の評価フォトマスクの変形の評価は、Tropel社製のFlatMaster200を用いて行った。フォトマスク6025石英の平坦度を測定した後、フォトマスクにペリクルを貼り付け、ペリクル貼り付け後のフォトマスクの平坦度を測定した測定範囲:135mm×110mm。貼り付け前後の平坦度の差を、ペリクルを貼り付けたことによるフォトマスクの変形量として算出した。ペリクルの石英への貼り付けは簡易型マウンターで行った荷重:30kgf、60秒。フォトマスクの変形の程度を、以下の基準で評価した。○:ペリクルを貼り付けたことによるフォトマスクの変形量が100nmより小さい×:ペリクルを貼り付けたことによるフォトマスクの変形量が100nm以上DUV照射後の剥離力実施例及び比較例で得た粘着剤付ペリクルについて、該保護フィルムを剥がして、5cm辺に切断して6012石英ブランクス基材に貼り付けを行い、ペリクル片を貼り付けた基材を得た。得られた基材にDeepUVランプにて15mW/cm2の照度にて40J/cm2照射をおこなった。照射後のペリクル片を、オートグラフを用いて、引張速度5mm/minにて引張り、剥離力の測定を行った。剥離力は高い方が、耐荷重性が良好となる。以下の指標で評価した。○:DUV照射後の剥離力1.0kgf以上△:DUV照射後の剥離力0.55~1.0kgf×:DUV照射後の剥離力0.55kgf以下<実施例2>多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液の量を0.3質量部に変えたこと以外は実施例1と同様の方法でペリクルを作製し、その評価を行った。<実施例3>多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液の量を0.03質量部に変えたこと以外は実施例1と同様の方法でペリクルを作製し、その評価を行った。<実施例4>多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液の量を0.6質量部に変えたこと以外は実施例1と同様の方法でペリクルを作製し、その評価を行った。<比較例1>攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル30質量部を入れ、ブチルアクリレート/アクリル酸/2、2’-アゾビスイソブチロニトリルの混合物32質量部を96/4/1.0の質量比で仕込んで、反応溶液を調製した。窒素雰囲気下中、この反応溶液を60°Cで8時間加熱して、反応を行った。反応終了後、トルエン38質量部を添加して、不揮発分濃度32質量のアクリル酸アルキルエステル共重合体2の溶液アクリル共重合体溶液を得た重量平均分子量80万。得られたアクリル共重合体溶液100質量部に、多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液を0.1質量部添加し、攪拌混合して、粘着剤前駆体組成物の溶液を得た。以下は実施例1と同様にしてペリクルを作製し、その評価を行った。<比較例2>攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル30質量部を入れ、イソブチルアクリルレート/ブチルアクリレート/アクリル酸/2、2’-アゾビスイソブチロニトリルの混合物32質量部を49.5/49.5/1/1.0の質量比で仕込んで、反応溶液を調製した。窒素雰囲気下中、この反応溶液を60°Cで8時間加熱して、反応を進行させた。反応終了後、トルエン38質量部を添加して、不揮発分濃度32質量のメタアクリル酸アルキルエステル共重合体3の溶液アクリル共重合体溶液を得た重量平均分子量80万。得られたアクリル共重合体溶液100質量部に多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液を0.1質量部添加し、攪拌混合して、粘着剤前駆体組成物の溶液を得た。以下は実施例1と同様にしてペリクルを作製し、その評価を行った。<比較例3>多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液の量を0.8質量部に変えたこと以外は比較例2と同様の方法でペリクルを作製し、その評価を行った。<比較例4>ブチルアクリレート/メチルアクリレート/アクリル酸/2、2’-アゾビスイソブチロニトリルの質量比を77/15/8/0.3に変えたこと以外は、実施例1と同様の方法でペリクルの作製を試みたが、作製できなかった。<比較例5>一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠外径113mm×149mm、内径109mm×145mm、高さ4.8mmの他端面に、スチレンエチレンブチレンスチレンのゴム系ホットメルト粘着剤SEBSポリマーゴム系粘着剤を塗布した。以下は実施例1と同様にしてペリクルを作製し、その評価を行った。"