"低濃度液体燃料含有の処理液から、超音波霧化で発生させた高濃度液体燃料成分含有ミストを燃料利用設備に利用する熱利用システムであって、前記低濃度液体燃料含有の処理液を貯留する処理液タンクと、前記処理液を霧化処理する複数の霧化装置と、前記複数の霧化装置で発生した高濃度液体燃料成分含有ミストを搬送させるためのキャリアガスを、複数の霧化装置へ供給する供給装置と、前記複数の霧化装置から前記キャリアガスで搬送された高濃度液体燃料成分含有ミストを合流させるミスト合流部と、前記ミスト合流部の下流に配置され、高濃度液体燃料含有ミストを燃料として利用する燃料利用設備と、を備える熱利用システム。前記複数の霧化装置は、複数系列の霧化装置として構成され、前記複数系列の霧化装置における霧化開始タイミングを一定間隔でずらすように霧化制御を行う制御装置を備え、前記複数系列の霧化装置のそれぞれは、前記処理液タンクから処理液が送給される循環タンクと、処理液を霧化するための超音波装置を設置してある霧化槽と、当該循環タンクと当該霧化槽との間で処理液を循環させるための循環部と、処理液を当該循環タンクから当該霧化槽へ送給するためのポンプと、を有する請求項1に記載の熱利用システム。前記複数の霧化装置のそれぞれは、処理液を霧化するための超音波装置を設置してある霧化槽を有して、直列に接続されており、前段の霧化装置で霧化処理済みの処理液が次段の霧化装置に送られて霧化処理される構成であって、前記霧化装置は、霧化処理によって減少した処理液の量に応じて、後段になるほど霧化処理量が小さい、請求項1に記載の熱利用システム。最後段の前記霧化装置で霧化処理した処理液は、放流可能な濃度以下である、請求項3に記載の熱利用システム。低濃度液体燃料含有の処理液から、超音波霧化で発生させた高濃度液体燃料含有ミストを燃料利用設備に利用する熱利用方法であって、前記低濃度液体燃料含有の処理液を霧化処理する複数の霧化工程と、前記複数の霧化工程で発生した高濃度液体燃料成分含有ミストをキャリアガスで搬送して高濃度液体燃料成分含有ミストを合流させるミスト合流工程と、前記ミスト合流工程の後に、高濃度液体燃料含有ミストを燃料として利用する燃料利用工程と、を含む熱利用方法。前記複数の霧化工程のそれぞれが、霧化開始タイミングが一定間隔でずれている請求項5に記載の熱利用方法。前記複数の霧化工程において、前段の霧化工程で霧化処理済みの処理液が次段の霧化工程で霧化処理され、前記霧化工程は、霧化処理によって減少した処理液の量に応じて、後段になるほど霧化処理量が小さい、請求項5に記載の熱利用方法。以上の記載にから、廃液などの処理液中に含まれる液体燃料を超音波振動によって霧化して燃料として有効利用すると同時に、超音波霧化の残液側の液体燃料成分濃度を低減する廃液処理システムが考えられる。しかし、このようなシステムの場合、残液側の液体燃料成分の濃度は、霧化を続けるに従って低下するが、霧化により発生したミスト中の液体燃料成分の濃度もそれにともない低下する。処理液が液体燃料と水との混合液体である場合には、ミスト中の液体燃料成分の濃度が低下するということは、水分濃度が増加するということであり、水分の割合が多くなるとミストを燃料として使用するときに、水の蒸発潜熱分のエネルギーをロスすることになる。また、霧化処理を続けていくと、ミスト中の液体燃料成分の濃度が変動するため、燃焼の制御が複雑になる問題もある。霧化処理によるミストは発生後、滞留時間が長くなると、ミスト同士や容器や配管の壁面に衝突することで凝集し液体になるため、ガスのようにサービスタンクなどで撹拌して濃度を均一化することは不可能である。そこで、本発明は、上記の現状に鑑みてなされたものであって、処理液中の液体燃料成分濃度を低減して廃水処理すると同時に、霧化により得られたミスト中の液体燃料成分の濃度を所定範囲内に維持して、液体燃料成分の濃度変動を抑制できる、低濃度液体燃料含有の液体燃料から、超音波霧化で発生させた高濃度液体燃料成分含有ミストを燃料利用設備に利用する熱利用システムおよびその方法を提供することを目的とする。本発明は、低濃度液体燃料含有の処理液から、超音波霧化で発生させた高濃度液体燃料成分含有ミストを燃料利用設備に利用する熱利用システムであって、前記低濃度液体燃料含有の処理液を貯留する処理液タンクと、前記処理液を霧化処理する複数の霧化装置と、前記複数の霧化装置で発生した高濃度液体燃料成分含有ミストを搬送させるためのキャリアガスを、複数の霧化装置へ供給する供給装置と、前記複数の霧化装置から前記キャリアガスで搬送された高濃度液体燃料成分含有ミストを合流させるミスト合流部と、前記ミスト合流部の下流に配置され、高濃度液体燃料含有ミストを燃料として利用する燃料利用設備と、を備える。この構成により、各霧化装置霧化槽で異なる液体燃料成分濃度のミストが発生し、それらを集合することで、液体燃料成分の濃度変動が少ないミストを熱利用設備に供給できる。また、所定の霧化装置において、処理液中の液体燃焼性物質の成分濃度を低減して、放流可能な濃度にまで霧化処理をすることで、廃水処理も同時に可能となる。上記発明の一実施形態として、前記複数の霧化装置は、複数系列の霧化装置として構成され、前記複数系列の霧化装置における霧化開始タイミングを一定間隔でずらすように霧化制御を行う制御装置を備え、前記複数系列の霧化装置のそれぞれは、前記処理液タンクから処理液が送給される循環タンクと、処理液を霧化するための超音波装置を設置してある霧化槽と、当該循環タンクと当該霧化槽との間で処理液を循環させるための循環部と、処理液を当該循環タンクから当該霧化槽へ送給するためのポンプと、を有する。この構成により、霧化処理の開始タイミングをずらすことで、各霧化装置霧化槽で異なる液体燃料成分濃度のミストを発生させ、それらミストを集合することで、濃度変動が少なくかつ高濃度液体燃料成分含有のミストを燃料利用設備に供給できる。上記発明の一実施形態として、前記複数の霧化装置のそれぞれは、処理液を霧化するための超音波装置を設置してある霧化槽を有して、直列に接続されており、前段の霧化装置で霧化処理済みの処理液が次段の霧化装置に送られて霧化処理される構成であって、前記霧化装置は、霧化処理によって減少した処理液の量に応じて、後段になるほど霧化処理量が小さい。この構成により、処理液を第1段目の霧化装置で一定期間霧化し、その残液を第2段目の霧化装置に送って、一定期間霧化し、その残液を第3段目の霧化装置に送って一定期間霧化するというように、このフローを最終段目の霧化装置まで繰り返す。すべての霧化装置からのミストを集合するが、上流側の霧化装置第1段、第2段等から発生するミストほど、液体燃料成分濃度が高濃度であり、発生量も多いため、濃度変動が少なくかつ液体燃料成分濃度の高いミストを燃料利用設備に供給できる。上記一実施形態において、最後段の前記霧化装置で霧化処理した処理液は、放流可能な濃度以下である。最終段の霧化装置で処理した後は、そのまま放流できるため好ましい。また、他の本発明は、低濃度液体燃料含有の処理液から、超音波霧化で発生させた高濃度液体燃料含有ミストを燃料利用設備に利用する熱利用方法であって、前記低濃度液体燃料含有の処理液を霧化処理する複数の霧化工程と、前記複数の霧化工程で発生した高濃度液体燃料成分含有ミストをキャリアガスで搬送して高濃度液体燃料成分含有ミストを合流させるミスト合流工程と、前記ミスト合流工程の後に、高濃度液体燃料含有ミストを燃料として利用する燃料利用工程と、を含む。この構成により、各霧化装置霧化槽で異なる液体燃料成分濃度のミストが発生し、それらを集合することで、液体燃料成分の濃度変動が少ないミストを熱利用設備に供給できる。また、所定の霧化装置において、処理液中の液体燃焼性物質の成分濃度を低減して、放流可能な濃度にまで霧化処理をすることで、廃水処理も同時に可能となる。上記発明の一実施形態として、前記複数の霧化工程のそれぞれが、霧化開始タイミングが一定間隔でずれている。この構成により、霧化処理の開始タイミングをずらすことで、各霧化工程霧化槽で異なる液体燃料成分濃度のミストを発生させ、それらミストを集合することで、濃度変動が少なくかつ高濃度液体燃料成分含有のミストを燃料利用設備に供給できる。上記発明の一実施形態として、前記複数の霧化工程において、前段の霧化工程で霧化処理済みの処理液が次段の霧化工程で霧化処理され、前記霧化工程は、霧化処理によって減少した処理液の量に応じて、後段になるほど霧化処理量が小さい。この構成により、処理液を第1段目の霧化工程で一定期間霧化し、その残液を第2段目の霧化工程に送って、一定期間霧化し、その残液を第3段目の霧化工程に送って一定期間霧化するというように、このフローを最終段目の霧化工程まで繰り返す。すべての霧化工程から得られたミストを集合するが、上流側の霧化工程第1段、第2段等から発生するミストほど、液体燃料成分濃度が高濃度であり、発生量も多いため、濃度変動が少なくかつ液体燃料成分濃度の高いミストを燃料利用設備に供給できる。液体燃料は、例えば、アルコール類であり、メタノール、エタノール、ブタノール等が例示される。低濃度は、液体燃料含有の処理液が、室温例えば、平均温度6~28°Cにおいて自然発火、着火手段による着火燃焼しない範囲の濃度であって、液体燃料によって異なるが、液体燃料が、アルコール類であれば、例えば、20以下、15以下等である。高濃度は、上記低濃度よりも高い濃度であればよく、例えば、25以上、30以上、35以上等である。実施形態1本発明に係る実施形態1の熱利用システム構成を図1を参照しながら詳細に説明する。図1に示す熱利用システムは、低濃度液体燃料含有の処理液を貯留する処理液タンク1と、処理液を霧化処理する4系列の複数の霧化装置10、20、30、40と、4系列の霧化装置10、20、30、40で発生した高濃度液体燃料成分含有ミストM1、M2、M3、M4を搬送させるためのキャリアガス不図示を、4系列の霧化装置10、20、30、40へ供給する供給装置4と、4系列の霧化装置10、20、30、40からキャリアガスで搬送された高濃度液体燃料成分含有ミストM1、M2、M3、M4を合流させるミスト合流部2と、ミスト合流部2の下流に配置され、高濃度液体燃料成分含有ミストM5を燃料として利用するボイラ3と、4系列の霧化装置10、20、30、40における霧化開始タイミングを一定間隔でずらすように霧化制御を行う制御装置5を備える。そして、霧化装置10、20のそれぞれは、処理液タンク1から処理液が送給される循環タンク11、21と、処理液を霧化するための複数の超音波装置15、25を設置してある霧化槽13、23と、当該循環タンク11、21と当該霧化槽13、23との間で処理液を循環させるための循環部16、26と、処理液を当該循環タンク11、21から当該霧化槽13、23へ送給するためのポンプP1、P2とを有する。霧化装置30、40も図示していないが同様の構成要素を有している。超音波装置15、26他も同様であるは、超音波振動子を備え、この超音波振動子は、霧化槽13、23の底部に設置されるが、底部と平行に設置してもよく、斜めに設置してもよい。斜めに設置したほうが、霧化体を良好に生成できる。超音波振動子は、霧化槽のサイズに応じて複数設置してある。超音波振動力は、不図示の制御部によって制御されている。超音波振動子を斜めに複数設置する場合、お互いの液柱が干渉しないように設置するほうが好ましい。超音波振動子の発振周波数は、例えば、1.6~3MHzの範囲が挙げられる。循環部16、26は、配管等で構成され、処理液を常に循環するようにしていてもよく、ポンプP1、P2や例えば流量制御手段弁、オリフィスで流量を制御しながら循環するようにしてもよい。各霧化装置10~40から発生排出したミストM1~M4はそれぞれ、各配管不図示を通じて、ミスト合流部2で合流される。ミスト合流部2は、例えば、各配管を合流させるチャンバーで構成される。処理液は、処理液タンク1からポンプ不図示によって循環タンク11、21へ送られる。霧化槽13、23には、循環ポンプP1、P2によって循環タンク11、21から処理液が供給される。また、霧化槽13、23には、供給装置4からキャリアガスが供給され、このキャリアガスによって、生成されたミストM1,M2がミスト合流部2に送られて合流され、合流ミストM5としてボイラ3に供給される。ミストM3,M4も同様にミスト合流部2送られ、M1,M2,M3,M4が合流され、合流ミストM5がボイラ3に供給される。なお、処理液がアルコール含有液体である場合、室温において着火手段により着火燃焼可能なミスト中のアルコール濃度は60以上である。一方、ミスト中のアルコール濃度が10未満になると、ミスト中のアルコールの発熱量よりも水分の蒸発潜熱のほうが上回り、都市ガスなどの外部燃料により熱量を補充しなければならない。ミスト中のアルコール濃度が10以上であれば、都市ガスなどの既存燃料の代替として用いることで既存燃料の使用量を低減することができる。処理液中の液体燃料は、水などの不活性で無害な液体と混合した混合状態において、液体燃料がそれ以外の処理液を成分水等よりも超音波霧化によりミストになりやすいものであることが好ましく、例えば、アルコール類メタノール、エタノール、ブタノールなど、灯油、軽油、廃食油が挙げられる。また、処理液液体燃料は、超音波処理するに際し、例えば、5~50°Cの範囲に温度調整されることが好ましい。上限の50°Cは超音波振動子の耐熱温度に依存しており、高耐熱性の超音波振動子を用いれば、50°C以上でも可能である。また、大気圧下で用いる場合には、アルコールの沸点メタノール64°C、エタノール78°Cまで使用可能である。アルコールの沸点を超えて、水などの溶媒の沸点に近づくと、それらが蒸発するため、超音波霧化による選択的霧化の効果が薄れるため、溶媒の沸点より低い温度が好ましい。また、霧化槽13、23他も同様には、加温装置が備えてあり、これにより処理液液体燃料を、例えば40°C~60°Cの範囲に温度調整し、霧化効率を向上させることができる。また、処理液中の液体燃料成分濃度は、処理液が上記温度において自然発火または引火着火、燃焼しない濃度が好ましい。これを超える濃度の場合には、安全上、キャリアガスに窒素などの不活性ガスを用いて実施することが好ましい。燃料利用設備における燃焼用の空気としてキャリアガスを利用する場合には、上記自然発火等しない濃度範囲例えば、20以下が好ましい。また、キャリアガスを供給する供給装置4は、キャリアガスを貯留するボンベ、搬送圧力源のコンプレッサー、キャリアガスの流量制御機構オリフィス、流量制御弁等、温度調節機構熱交換器等等を備えている。キャリアガスとしては、例えば燃焼用空気、気体燃料、酸素、不活性ガス等が例示できる。また、この供給装置4は、キャリアガスの温度を所定温度範囲例えば10~20°Cの範囲、または20°C以上に制御して供給する加温手段も備える。処理液の温度を40°C~60°Cにし、キャリアガスの温度を40°C以上、好ましくは40°C~60°Cにして、それらの相乗効果により、ミストM1~M4の生成量を増加することができる。また、キャリアガスは、超音波振動子1個あたり、0.1~100LN/minの範囲であり、好ましくは0.5~50LN/minの範囲である。液体燃料成分の濃度が高いミストを発生させたい場合には、キャリアガス量を少なくすることで制御可能である。この場合、キャリアガス量を少なくすると霧化量が減少するため処理液量あたりの処理時間が長くなる。制御装置5は、処理液タンク1から循環タンク11、21他循環タンクへの処理液の送り込み制御を、ポンプ、流量調節弁、開閉弁等によって行う。また、制御装置5は、循環タンク11から霧化槽13への処理液の送り込みおよび処理液の循環系を、ポンプP1を駆動させることで制御する他の霧化装置へも同様に制御する。また、制御装置5は、各霧化装置10、20、30、40の超音波素子の駆動制御駆動タイミングと駆動時間等の設定を行う。具体的には、霧化装置10、20、30、40における霧化開始タイミングを一定間隔でずらすように霧化制御を行う。これによって、霧化装置10から発生するミストM1の濃度変位と霧化装置20から発生するミストM2の濃度変位が重ならず、すなわち4系統の霧化装置から発生するミストの濃度がすべて重ならないため、合流したミストを平均化した場合に、濃度変動が少なく、かつ高濃度の液体燃料成分含有のミスト合流ミストM5をボイラ3に供給できることになる。実施形態1の別例上記実施形態では、4系列の霧化装置で構成したが、本発明はこれに制限されず、3系列、5系列以上でも構成できる。系列を増やすほど、変動が少なく高濃度の液体燃料成分含有のミストを供給することができる。実施形態1の方法低濃度液体燃料含有の処理液から、超音波霧化で発生させた高濃度液体燃料成分含有ミストを燃料利用設備に利用する熱利用方法であって、低濃度液体燃料含有の処理液を霧化処理する複数の霧化工程と、複数の霧化工程で発生した高濃度液体燃料成分含有ミストをキャリアガスで搬送して高濃度液体燃料成分含有ミストを合流させるミスト合流工程と、ミスト合流工程の後に、高濃度液体燃料成分含有ミストを燃料として利用する燃料利用工程とを含む。そして、各霧化工程の霧化開始タイミングがそれぞれ一定間隔でずれている。実施形態2本発明に係る実施形態2の熱利用システム構成を図2を参照しながら説明する。図2に示す熱利用システムは、低濃度液体燃料含有の処理液を貯留する処理液タンク1と、処理液を霧化処理する複数の霧化装置10~90と、複数の霧化装置10~90で発生した高濃度液体燃料成分含有ミストM1~M9を搬送させるためのキャリアガス不図示を、複数の霧化装置10~90へ供給する供給装置4と、複数の霧化装置10~90からキャリアガスで搬送された高濃度液体燃料成分含有ミストM1~M9を合流させるミスト合流部2と、ミスト合流部2の下流に配置され、高濃度液体燃料成分含有ミストM10を燃料として利用するボイラ3とを備える。複数の霧化装置10~90のそれぞれは、処理液を霧化するための超音波装置15~95を設置してある霧化槽13~93を有して、それらが直列に接続されている。そして、前段の霧化装置n-1で霧化処理済みの処理液が次段の霧化装置nに送られて霧化処理される。ここで、nは2,3,4、、9である。それぞれの霧化装置10~90は、霧化処理によって減少した処理液の量に応じて、後段になるほど霧化処理量が小さい。例えば、霧化槽のサイズを小さくし、超音波装置の設置個数を少なくする。そして、各霧化槽の処理液の液深さが一定になるように設定することが好ましい。また、最後段の霧化装置90で霧化処理した処理液は、放流可能な濃度以下である。また、次の霧化装置へ処理液を送給するための開閉弁、配管およびポンプが霧化装置間に配置されていてもよく、ポンプを省略して高低差を利用しての液送で供給してもよい。処理液が処理液タンク1から第1霧化槽13に送られ、一定時間超音波処理する。制御装置5は、超音波装置15の動作を制御する。キャリアガスによって、ミストM1はミスト合流部2に送られ、ボイラ3に供給される。上記一定時間超音波処理経過後に、第1霧化槽13の残液第1回処理済液を第2霧化槽23に供給する。第1回処理済液を第2霧化槽23に送った後で、第1霧化槽13に新たな処理液を処理液タンクから送る。第1、第2霧化槽13、23の処理液に対し、同時に一定時間超音波処理する。キャリアガスによって、ミストM1とミストM2は、ミスト合流部2に送られて合流し、合流ミストM10がボイラ3に供給される。このステップでは、ミストM1とM2の平均化された濃度の液体燃料成分含有ミストM10が供給される。次に、第2霧化槽23の残液第2回処理済液を第3霧化槽33に送り、その後第霧化槽の残液を第2霧化槽23に送り、その後、処理液タンク1から処理液を第1霧化槽13に送る。そして第1、第2、第3霧化槽13、23、33の処理液に対し、同時に一定時間超音波処理する。キャリアガスによって、ミストM1、M2、M3は、ミスト合流部2に送られ合流し、合流ミストM10がボイラ3に供給される。このステップでは、ミストM1、M2、M3の平均化された濃度の液体燃料成分含有ミストが供給される。このように、第4霧化槽43~第9霧化槽94に対しても同様の操作を繰り返す。第9霧化槽93に第8処理済液が供給され、一定時間超音波処理された後の第9処理済液は、放流可能なレベルの濃度となっており、そのまま廃液として処理される。実施形態2の別例上記実施形態では、9つの霧化装置10~90が直列配置されている構成であったが、本発明はこれに制限されず、8以下でもよく、10以上でもよい。霧化装置を増やすほど、変動が少なく高濃度の液体燃料成分含有のミストを生成できる。実施形態2の方法低濃度液体燃料含有の処理液から、超音波霧化で発生させた高濃度液体燃料成分含有ミストを燃料利用設備に利用する熱利用方法であって、低濃度液体燃料含有の処理液を霧化処理する複数の霧化工程と、複数の霧化工程で発生した高濃度液体燃料成分含有ミストをキャリアガスで搬送して高濃度液体燃料成分含有ミストを合流させるミスト合流工程と、ミスト合流工程の後に、高濃度液体燃料成分含有ミストを燃料として利用する燃料利用工程とを含む。そして、複数の霧化工程において、前段の霧化工程で霧化処理済みの処理液が次段の霧化工程で霧化処理される。各霧化工程は、霧化処理によって減少した処理液の量に応じて、後段になるほど霧化処理量が小さい。処理液として、13エタノール含有廃液主成分水を用い、超音波処理後の残液中エタノール濃度を1になるように超音波振動子を設定し、キャリアガスに空気を用いた。燃料利用設備として、都市ガス燃料用ボイラの助燃料に利用した。<実施例1>実施例1では、図1に示す装置を用いた。4系列の霧化槽に、後述する比較例1の霧化槽を4分割したサイズのものを用いた。超音波振動子数、処理液供給量をそれぞれ比較例1の1/4とした。処理時間は1バッチ80分とした。各霧化槽での霧化処理開始を20分ずつずらして行った。0分目に第1霧化槽での霧化を開始し、20分目に第2霧化槽での霧化を開始し、40分目に第3霧化槽での霧化を開始し、60分目に第4霧化槽での霧化を開始し、80分目で第1霧化槽の霧化を終了し、処理液を入れ換えて、2バッチ目の霧化を開始する。各霧化槽において、80分の処理が終了した時点で、残液を霧化槽および循環タンクから抜き出し、処理液タンクから新しい処理液13濃度を供給し、再度霧化処理を開始するものとした。図3Aに霧化時間に対するミスト中エタノール濃度の変位グラフを示す。この結果より、発生したミスト中エタノール濃度4つの霧化槽から発生したミストを合流した全ミスト中エタノール濃度は、33~47の範囲内で変動していたが、安定した濃度でエタノールを供給することが可能であることが確かめられた。霧化槽の分割数霧化槽の総数を増加することで、更に狭い変動範囲かつ高いエタノール濃度のミストを得ることができ、ボイラに供給することが可能になる。<実施例2>実施例2では、図2に示す装置を用いた。霧化槽は直列に9つ繋いだ9槽構成とした。各霧化槽は、前段の霧化槽でミストとして排出されているため、処理液が減少しており、この減少した処理液量を考慮したサイズとし、霧化に用いる超音波振動子の数もそれに比例して減少して設置した。図3Bに各霧化槽での霧化開始時の処理液中のエタノール濃度を示す。連続した9つの霧化槽による処理で、処理液中エタノール濃度を13から1まで減少していることが分かる。図3Cに各霧化槽におけるミスト発生量を棒グラフで示す。それとともに、各霧化槽から排出したミスト中のアルコール濃度の平均値を折れ線グラフで示す。このとき、各霧化槽から排出発生したミストをすべて合流した後の合流ミスト中のエタノール濃度は39であった。この平均値は、各霧化槽でのミスト発生量とミスト濃度の積の合計を全ミスト発生量で割って算出した。<比較例1>図4に示す1系列の霧化槽を用い、1バッチあたり80分間で、処理液中のエタノール濃度を13から1に低減するように超音波霧化処理を行った。霧化で得られたミスト中のエタノール濃度の変位を測定した。図3Dに霧化時間に対するミスト中エタノール濃度および残液中エタノール濃度の変位グラフを示す。この結果より、ミスト中エタノール濃度は、霧化開始直後60から霧化処理終了時に5に変化した。処理液中のエタノール濃度の低下13→1にともない、ミスト中のエタノール濃度も同様に低下60→5していった。"