"制御軸を正逆回転させることによって機関弁のリフト特性を可変にする可変動弁装置に用いられるアクチュエータであって、機関の運転状態に応じて回転駆動される電動モータと、該電動モータの回転力が伝達される螺子軸と、該螺子軸の回転に伴って該螺子軸の軸方向に移動する移動ナットと、該移動ナットの往復運動を回転運動に変換して前記制御軸に伝達するリンクと、前記移動ナットと固定部位との間に弾装されて、前記移動ナットを軸方向の一方側へ付勢する付勢部材と、該付勢部材の両端部が付勢方向で当接する前記移動ナットと固定部位の少なくとも一方側に配設されて、前記付勢部材の付勢力の変化による歪み変化を検出する歪みセンサと、を備えたことを特徴とするアクチュエータ。アクチュエータによって制御軸を正逆回転させて、機関弁のリフト特性を可変にする可変動弁装置のリフト特性検出装置であって、前記アクチュエータは、機関の運転状態に応じて回転駆動される電動モータと、該電動モータの回転力が伝達される螺子軸と、該螺子軸の回転に伴って該螺子軸の軸方向に移動する移動ナットと、該移動ナットの往復運動を回転運動に変換して前記制御軸に伝達するリンクと、前記移動ナットと固定部材との間に弾装されて、前記移動ナットを軸方向の一方側へ付勢する付勢部材と、該付勢部材の両端部が付勢方向で当接する前記移動ナットと固定部材の少なくとも一方側に配設されて、前記付勢部材の付勢力の変化による歪み変化を検出する歪みセンサと、を備え、前記歪みセンサから検出された検出結果に基づいて、前記機関弁のリフト特性を算出することを特徴とするリフト特性検出装置。しかしながら、特許文献1に記載のアクチュエータにあっては、制御軸の回転位置を、高価なホール素子を用いた回転検出器によって検出するようになっていることから、装置全体のコストの高騰が余儀なくされている。本発明は、前記従来のアクチュエータの実状に鑑みて案出されたもので、安価に制御軸の作動位置を検出できる可変動弁装置のアクチュエータを提供する。本願請求項1の発明に係るアクチュエータは、機関の運転状態に応じて回転駆動される電動モータと、該電動モータの回転力が伝達される螺子軸と、該螺子軸の回転に伴って該螺子軸の軸方向に移動する移動ナットと、該移動ナットの往復運動を回転運動に変換して前記制御軸に伝達するリンクと、前記移動ナットと固定部位との間に弾装されて、前記移動ナットを軸方向の一方側へ付勢する付勢部材と、該付勢部材の両端部が付勢方向で当接する前記移動ナットと固定部位の少なくとも一方側に配設されて、前記付勢部材の付勢力の変化による歪み変化を検出する歪みセンサと、を備えたことを特徴としている。この発明によれば、安価な検出器によって制御軸の作動位置を検出できるので、アクチュエータ全体の低廉化が図れる。以下、本発明に係る可変動弁装置のアクチュエータの実施形態を図面に基づいて詳述する。なお、この実施形態では、可変動弁装置をV型6気筒の内燃機関の吸気側に適用した場合を示している。第1実施形態前記可変動弁装置は、図7~図9に示すように、シリンダヘッド1に図外のバルブガイドを介して摺動自在に設けられて、バルブスプリング3,3によって閉方向に付勢された一気筒あたり一対の吸気弁2,2と、該各吸気弁2,2のバルブリフト量を可変制御する可変機構4と、該可変機構4の作動位置を制御する制御機構5と、該制御機構5を回転駆動するアクチュエータ6と、を備えている。前記可変機構4は、シリンダヘッド1の上部に有する軸受14に回転自在に支持された中空状の駆動軸13と、該駆動軸13に圧入等により固設された偏心回転カムである駆動カム15と、駆動軸13の外周面に揺動自在に支持されて、各吸気弁2,2の上端部に配設されたバルブリフター16,16の上面に摺接して各吸気弁2,2を開作動させる2つの揺動カム17,17と、駆動カム15と揺動カム17,17との間に連係されて、駆動カム15の回転力を揺動カム17,17に揺動力として伝達する伝達機構と、を備えている。前記駆動軸13は、機関前後方向に沿って配置されていると共に、一端部に設けられた図外の従動スプロケットや、該従動スプロケットに巻装されたタイミングチェーン等を介して機関のクランク軸から回転力が伝達されており、この回転方向は図7中、時計方向矢印方向に設定されている。前記軸受14は、図8Aに示すように、シリンダヘッド1の上端部に設けられて駆動軸13の上部を支持するメインブラケット14aと、該メインブラケット14aの上端部に設けられて後述する制御軸32を回転自在に支持するサブブラケット14bとを有し、両ブラケット14a、14bが一対のボルト14c、14cによって上方から共締め固定されている。前記駆動カム15は、ほぼリング状を呈し、円環状のカム本体と、該カム本体の外端面に一体に設けられた筒状部とからなり、内部軸方向に駆動軸挿通孔が貫通形成されていると共に、カム本体の軸心Yが駆動軸13の軸心Xから径方向へ所定量だけオフセットしている。前記両揺動カム17は、同一形状のほぼ雨滴状を呈し、円筒状のカムシャフト20の両端部に一体的に設けられていると共に、該カムシャフト20が内周面を介して駆動軸13に回転自在に支持されている。また、先端部のカムノーズ部21側にピン孔が貫通形成されていると共に、下面にはカム面22が形成されている。この各カム面22は、カムシャフト20側のベースサークル面と、該ベースサークル面からカムノーズ部21側に円弧状に延びるランプ面と、該ランプ面からカムノーズ部21の先端側に有する最大リフトの頂面に連なるリフト面を有しており、該ベースサークル面とランプ面及びリフト面が、揺動カム17の揺動位置に応じて各バルブリフター16の上面の所定位置に当接するようになっている。前記伝達機構は、駆動軸13の上方に配置されたロッカアーム23と、該ロッカアーム23の一端部23aと駆動カム15とを連係するリンクアーム24と、ロッカアーム23の他端部23bと揺動カム17とを連係するリンクロッド25と、を備えている。前記ロッカアーム23は、中央に有する筒状の基部が支持孔を介して後述する制御カム33に回転自在に支持されている。また、筒状基部の外端部に突設された前記一端部23aには、ピン26が嵌入するピン孔が貫通形成されている一方、基部の内端部に突設された前記他端部23bには、リンクロッド25の一端部と連結するピン27が嵌入するピン孔が形成されている。前記リンクアーム24は、比較的大径な円環状の基部24aと、該基部24aの外周面所定位置に突設された突出端24bと、を備え、基部24aの中央位置には、前記駆動カム15のカム本体が回転自在に嵌合する嵌合孔24cが形成されている一方、突出端24bには、前記ピン26が回転自在に挿通するピン孔が貫通形成されている。前記リンクロッド25は、ロッカアーム23側が凹状のほぼく字形状に形成され、両端部25a,25bには前記ロッカアーム23の他端部23bと揺動カム17のカムノーズ部21の各ピン孔に挿入した各ピン27,28の端部が回転自在に挿通するピン挿通孔が貫通形成されている。なお、各ピン26,27,28の一端部には、リンクアーム24やリンクロッド25の軸方向の移動を規制する図外のスナップリングがそれぞれ設けられている。前記制御機構5は、駆動軸13の上方位置に同じ軸受14に回転自在に支持された制御軸32と、該制御軸32の外周に固定されてロッカアーム23の支持孔に摺動自在に嵌入されて、ロッカアーム23の揺動支点となる制御カム33と、を備えている。前記制御軸32は、駆動軸13と並行に機関前後方向に配設されていると共に、所定位置のジャーナル部が前記軸受14のメインブラケット14a、とサブブラケット14bとの間に回転自在に軸受されていると共に、前記アクチュエータ6によって正転あるいは逆転方向へ回転制御されるようになっている。前記制御カム33は、円筒状を呈し、軸心P2位置が制御軸32の軸心P1から所定分だけ偏倚している。また、前記制御軸32は、一方側の最大回転位置と他方側の最大回転位置がストッパ機構31によって規制されるようになっている。このストッパ機構31は、シリンダヘッド1の上端部に突設された図外のストッパ壁と、制御軸32の外周面に一体的に固定されたストッパ部材31aとから構成され、前記ストッパ部材31aの両側縁がストッパ壁の対向面にそれぞれ当接して制御軸32の正逆最大回転位置を規制するようになっている。前記アクチュエータ6は、図1及び図3に示すように、シリンダヘッド1の後端部に固定されたハウジング35と、該ハウジング35の一端部に固定された電動モータ36と、ハウジング35の内部空間に収容されて、該電動モータ36の回転力を前記制御軸32に伝達する減速機構であるボール螺子機構37と、から構成されている。前記ハウジング35は、アルミ合金材などによって一体に形成され、内部に前記制御軸32の軸方向とほぼ直角方向に沿って配置されて、ボール螺子機構37が収容配置された細長い収容室35aと、該収容室35aの上端部に上方へ突出して、内部に前記制御軸32の一端部32aが臨む膨出室35bと、電動モータ36と反対側を閉塞する隔壁35cと、をそれぞれ有している。さらに、前記収容室35aは、隔壁35cと軸方向反対側の位置に円筒形状の開口部35dが形成されていると共に、該開口部35dの内側には後述するボールベアリングを保持する小径段差状のベアリング保持溝35eが形成されており、このベアリング保持溝35eは内側端に段差支持面35fが形成されている。前記電動モ-タ36は、一般的な比例型のDCモータによって構成され、アルミ合金材によってほぼ円筒状に形成されたモータケーシング38の先端側に矩形ブロックの固定部38aが一体に設けられている。この固定部38aは、先端側に前記収容室35aの前記開口部35dを封止するほぼ円筒状の嵌入部38bが一体に設けられており、前記嵌入部38bが開口部35d内に嵌入した状態で複数のボルト39によってハウジング35に固定されている。前記電動モータ36は、出力軸である図外の駆動シャフトが前記固定部38aと嵌入部38bの内部軸心方向に連続して形成された挿通孔内に挿通されて、前記開口部35d内に臨んでいると共に、先端部の外周にセレーション凹凸が形成されている。また、駆動シャフトの先端部側と前記挿通孔との間には、前記収容室35aからモータケーシング38内に潤滑油の流入を阻止する図外のシール部材が設けられている。さらに、電動モータ36は、モータハウジング38の前端に設けられたコネクタ61を介して機関の運転状態を検出するコントロールユニット40から出力された制御電流によって正逆回転駆動するようになっている。前記ボール螺子機構37は、図1及び図3に示すように、前記ハウジング35の収容室35a内に電動モータ36の駆動シャフト36aとほぼ同軸上に配置されたボール螺子軸45と、該ボール螺子軸45の外周に螺合する移動ナットであるボールナット46と、膨出室35b内で前記制御軸32の一端部32aに軸方向からボルト58によって連結された連係アーム47と、該連係アーム47と前記ボールナット46とを連係するリンク48と、から主として構成されている。前記ボール螺子軸45は、軸方向の両端部45a、45bを除く外周面全体に所定幅のねじ部であるボール循環溝49が螺旋状に連続して形成されていると共に、軸方向の一端部45aが前記収容室35aの一端開口部35d内に臨んで軸受である第1ボールベアリング50によって回転自在に軸受けされている。一方、他端部45bが前記端壁35c内のベアリング保持溝35gに固定された軸受である同じく第2ボールベアリング51によって回転自在に軸受けされている。前記ボール螺子軸45の一端部45aは、段差小径状に形成されて、先端面が前記駆動シャフト36の先端面に所定隙間をもって対峙していると共に、ボルト螺子軸45の他端部45bは、軸本体より僅かに小径に形成されている。また、ボール螺子軸45の一端部45aの先端部と該先端部に軸方向から対峙する前記電動モータ36のモータ軸36aの先端部36bとは、円筒状の継手部材であるカップリング52によって同軸上で互いに軸方向へ移動可能に連結されている。前記第1ボールベアリング50は、前記ボール螺子軸45の一端部45a側を軸支する一般的な構造であって、外輪50aと内輪50bとの間に複数のボール50cが転動自在に保持されている。前記外輪50aは、前記ベアリング支持溝35e内に嵌合保持され、外周面がベアリング支持溝35eの内周面と僅かな隙間をもって遊嵌状態になっていると共に、軸方向内側の一側面が前記ベアリング支持溝35eの段差支持面35fに軸方向から当接して一方軸方向の移動が規制されている。前記内輪50bは、内周面が前記ボール螺子軸45の一端部45aの中径部に軽圧入されていると共に、内周部の軸方向一端縁が前記一端部45aの中径部端縁に形成された段差縁に軸方向から当接して一方軸方向の移動が規制されている。また、この第1ボールベアリング50は、外輪50aが前記開口部35bの螺入したベアリングリテーナ60によって軸方向から押圧保持されている。このベアリングリテーナ60は、ほぼ円筒状に形成されて、外周面に形成された雄ねじが介して前記一端開口部35dの内周に形成された雌ねじに螺入して、薄肉円筒状の先端部60aが前記外輪50aの外端面を軸方向から押圧して前記段差支持面35fと協働して挟持状態に支持するようになっている。前記第2ボールベアリング51は、外輪51aと内輪51b及び両者間に保持された複数のボール51cとから構成され、前記外輪51aが前記ベアリング保持溝35gの内周面に嵌合保持されている一方、内輪51bが前記ボール螺子軸45の他端部45bの外周面に圧入されている。前記カップリング52は、内部軸方向に段差径状の連結用孔が形成されて、該連結用孔の前記ボールベアリング50側に形成された大径孔を介して前記ボール螺子軸45の一端部45aの先端部が圧入固定されている。また、連結用孔の大径孔と反対側の小径孔の内周面に形成されたセレーション部に前記駆動シャフト36aの先端部36bがセレーション結合されており、このセレーション結合によって、駆動シャフト36aが連結用孔内で軸方向へ自由に移動可能な状態になっている。これによって、前記駆動シャフト36aの回転力をボール螺子軸45に伝達されると共に、カップリング52を介して互いに軸方向へ相対的に移動可能になっている。前記ボールナット46は、ほぼ円筒状に形成され、内周面に前記ボール循環溝49と共同して図外の複数のボールを転動自在に保持するガイド溝が螺旋状に連続して形成されていると共に、複数のボールの循環列をボールナット46の軸方向の前後2個所に設定する2つのディフレクタが取り付けられている。つまり、このディフレクタは、前記ボール循環溝49とガイド溝との間を転動する前記複数のボールを同一溝内に循環させるために、同循環列内に再び戻すようにボールを案内するものであり、この循環列を軸方向の前後2個所に設けたものである。また、このボールナット46は、各ボールを介してボール螺子軸45の回転運動を直線運動に変換しつつ軸方向の移動力が伝達付与されるようになっている。さらに、このボールナット46は、軸方向のほぼ中央の両側部が前記リンク48の一端部に左右一対の枢支ピン53、54を介して回転自在に連結されている。前記連係アーム47は、図1及び図3に示すように、ほぼ菱形状に形成され、基部が制御軸32の一端部32aに設けられた菱形ブラケットに一対のボルト58,58によって結合固定されていると共に、基部の一端側に突設された突部47aに前記リンク48の他端部48bが枢支ピン55によって回転自在に連結されている。前記リンク48は、板材をプレス成形によってほぼH字形状に形成され、平行な一対の細長い平板状リンク部の一端部48a、48aが前記ボールナット46の両側に跨がって配置されて前記枢支ピン53,54を介してボールナット46に回転自在に連結されている。また、前記ボールナット46は、ボール螺子軸45の外周に嵌挿されたコイルスプリング59のばね力によって電動モータ36方向へ付勢されている。すなわち、前記コイルスプリング59は、図1~図3に示すように、一端部59aが前記ボールナット46の軸方向の一端部に設けられた断面コ字形状の薄板円環状の第1スプリングリテーナ56に弾持されていると共に、他端部59bが前記端壁35cの段差内面に当接配置された同じく断面コ字形状の薄板円環状の第2スプリングリテーナ57に弾持されて、前記ボールナット46を電動モータ36の方向制御軸32を最小バルブリフト量の回転制御軸方向へ付勢するようになっている。このコイルスプリング59は、ばね力が比較的小さく設定されて、前記ボールナット46を電動モータ36方向へ押圧することによって前記ボール環状溝49とガイド溝及びボールとの間の隙間を吸収してボールナット46の軸方向のガタ付きを抑制するようになっている。また、前記ハウジング35の収容室35a内には、図外の潤滑油供給通路から潤滑油が供給されて、前記カップリング52やボールナット46、各ボールベアリング50、51などに潤滑油が供給されるようになっている。そして、前記ハウジング35の端壁35cの前記第2スプリングリテーナ57が位置する円環状の平坦な外面35hには、図1~図3に示すように、リフト特性検出装置80が取り付けられており、このリフト特性検出装置80は、半導体歪みセンサ80aaを用いている。この半導体歪みセンサ80aaは、例えば、特開2006-220574号公報などに記載されたものと構造的に同一のものである。すなわち、この歪みセンサ80aaは、シリコン単結晶によって形成された一片が数ミクロン~数mm角、厚さが10~数百ミクロンのチップ形状を有したものを拡散層などの素子形成面シリコン基板の裏面全体を前記ハウジング35の端壁35cの外面35hに貼り付けて、前記コイルスプリング59の圧縮、伸張変形、つまりばね変形による付勢力の変化に応じて、前記端壁35cを介して外面35hが受けた歪みを検出するようになっている。この半導体歪みセンサ80aaの構造の一例を図4に基づいて簡単に説明すると、例えばp型の拡散抵抗4本を用いてホイートスンブリッジ回路を形成し、このホイートストンブリッジ回路を形成する4本のp型不純物拡散層による抵抗100は、対向する一組の左右に位置する抵抗100,100がシリコン単結晶の-110方向が長手となるように配置されている。残りの一組の上下に位置する抵抗100、100は、-110方向に対して90°回転させた110方向が長手となるように配置されている。すなわち、ホイートストンブリッジ回路を構成する半数の抵抗の各抵抗の両端子102を結ぶ直線が半導体単結晶の110方向とほぼ同一となるように形成されていると共に、該半数の抵抗の各抵抗の両端子を結ぶ線に対してほぼ直角が望ましいが、45°より大きく135°より小さい角度で交わるように配置されている。このように拡散抵抗のレイアウトにすることにより、4本すべての抵抗100は周囲の影響をすべて等しくすることができることから、4本の抵抗100のマスク形状を同一にエッチングすることができる。このため、不純物拡散層を形成した際に、4本の抵抗値を均一にすることができ、ホイートストンブリッジ回路のオフセットを小さくことを可能とし、精度の高い歪み量測定を行うことができる。また、このリフト特性検出装置80は、図5に示すように、前記歪みセンサ80aaが貼り付けられた前記シリコン基板81上に、電源82や増幅器83やA/D変換器、アナログ回路84、通信制御部85及びアンテナ86が設けられて、後述するコントロールユニット40との情報のやり取りを無線形式で行うようになっている。この場合、前記電源82は、蓄電池であっても良いし、電磁波を用いて自己発電を行うもので合っても良い。このような無線方式でコントロールユニット40との通信を行うことにより、コントロールユニット40との間に配線の取り回しが必要なくなり、装置のレイアウト上も有利になる。また、前記アンテナ86は、図6に示すように、シリコン基板81の外側に配置することも可能である。このように、アンテナ86を外部に配置する場合には、アンテナ86が取り囲む面積を大きくすることができることから、通信距離を長くすることができる。なお、この半導体歪みセンサ80aaは、電源及び信号ラインとしてリード線を用いた有線形式とすることも可能であり、このリード線の端部がコントロールユニット40に接続する。前記コントロールユニット40は、内部のコンピュータがクランク角センサ41機関回転数検出やエアーフローメータ42、機関水温センサ43及び図外の機関温度センサ、スロットルバルブ開度センサなどの各種センサ類からの情報信号を入力して現在の機関運転状態を検出する。また、このコントロールユニット40は、前記コイルスプリング59のばね力の変化に伴って端壁35cの外面35hに発生する歪みを検出した前記半導体歪みセンサ80aからの歪みの変化値に基づいて前記ボールナット46の軸方向の移動位置を演算によって算出し、この演算結果に基づいて前記制御軸32の現在の作動位置、つまり回転角度位置に換算する。この回転角度位置と前記現在の機関運転状態に応じて前記電動モータ36に制御パルス電流を出力して前記制御軸32の回転位置をフィードバック制御する。これによって、可変機構4を介して各吸気弁2,2のリフト特性を変化させるようになっている。以下、本実施形態に係るアクチュエータの作動を説明する。例えば、機関のアイドリング運転時を含む低回転運転領域では、コントロールユニット40から出力された制御電流によって電動モータ36が回転してこの回転トルクによりボール螺子軸45が一方向へ回転する。そうすると、この回転に伴って各ボールがボール循環溝49とガイド溝との間を転動しながらボールナット46を、図1に示すように、図中、最大左方向へ直線状に移動させる。これによって制御軸32は、リンク48と連係アーム47とによって時計方向に回転駆動され、前記ストッパ機構31によってそれ以上の回転が規制される。したがって、制御カム33は、軸心P2が図8A、Bに示すように制御軸32の軸心P1の回りを同一半径で回転して、肉厚部が駆動軸13から上方向に離間移動する。これにより、ロッカアーム23の他端部23bとリンクロッド25の枢支点は、駆動軸13に対して上方向へ移動し、このため、各揺動カム17は、リンクロッド25を介してカムノーズ部21側が強制的に引き上げられて全体が時計方向へ回動する。よって、駆動カム15が回転してリンクアーム24を介してロッカアーム23の一端部23aを押し上げると、そのバルブリフト量がリンクロッド25を介して各揺動カム17及び各バルブリフター16に伝達されるが、そのリフト量は十分に小さくなる。したがって、かかる機関の低回転領域では、バルブリフト量L1が図10に示すように最も小さくなることにより、各吸気弁2の開時期が遅くなり、排気弁とのバルブオーバラップが小さくなる。このため、燃費の向上と機関の安定した回転が得られる。また、制御軸32をストッパ位置から浮かせてL1よりも若干高いリフトとし、リフト量の微細な制御を行うようにしてもよい。また、例えば、機関高回転領域に移行した場合は、コントロールユニット40からの制御電流によって電動モータ36が逆回転し、この回転トルクがボール螺子軸45に伝達されて回転すると、この回転に伴ってボールナット46が、図2に示すように、各ボールを介して右方向へ直線移動する。したがって、前記制御軸32は、図8A、Bの位置から反時計方向へ回転して、ストッパ機構31によって規制されるまで同方向に回転する。これにより、制御カム33は、図9A、Bに示すように軸心P2を下方向へ回動させる。このため、ロッカアーム23は、今度は全体が駆動軸13方向寄りに移動して他端部23bが揺動カム17のカムノーズ部21を、リンクロッド25を介して下方へ押圧して該揺動カム17全体を所定量だけ反時計方向へ回動させる。よって、駆動カム15が回転してリンクアーム24を介してロッカアーム23の一端部23aを押し上げると、そのバルブリフト量がリンクロッド25を介して揺動カム17及びバルブリフター16に伝達されるが、そのリフト量は大きくなる。したがって、かかる高回転領域では、各吸気弁2のバルブリフト量L3が図10に示すように、最大に大きくなり、該各吸気弁2の開時期が早くなると共に、閉時期が遅くなる。この結果、吸気充填効率が向上し、十分な出力が確保できる。なお、機関の停止時には、前記コイルスプリング59のばね力によってボールナット46をボール螺子軸45の軸方向の中間位置に保持することができるので、前記制御軸32を介して吸気弁2,2を機関再始動に適したリフト量に制御することができる。これによって、良好な始動性が得られる。そして、本実施形態によれば、前記特異な構造の半導体歪みセンサ80aによって、前記コイルスプリング59のばね変形による端壁35cの歪み変化を検出してコントロールユニット40に出力する。このコントロールユニット40は、前記この歪み変化値に基づいて前記ボールナット46の軸方向の移動位置を演算により算出し、この算出値に基づいて前記制御軸32の回転角度位置の換算する。これによって、前記制御軸32の回転角度位置を応答性良く検出できると共に、高精度に検出することができる。すなわち、前記ボールナット46が、図1に示す最大左方向の位置にある場合は、コイルスプリング59による端壁35cへのばね付勢力が小さく、外面35hの歪みが小さいため、かかる小さな歪みを前記歪みセンサ80aが検出してコントロールユニット40に出力する。その後、前述のように、機関運転状態に応じてボール螺子軸45の回転に伴ってボールナット46が、図2に示すように、コイルスプリング59を圧縮変形させながら右方向へ移動すると、端壁35c外面35hに作用するばね荷重が漸次大きくなって歪みが大きくなる。これを、歪みセンサ80aが検出してコントロールユニット40に出力する。これによって、コントロールユニット40は、歪みセンサ80aによってボールナット46の位置を検出して制御軸32の回転角度位置を換算し、この換算値に基づいて電動モータ36の電磁コイルに制御電流を出力してフィードバック制御する。したがって、可変機構4による各吸気弁2,2のリフト特性制御を高精度に行うことができると共に、連続かつタイムリーに制御することができる。また、前記歪みセンサ80aを用いることによって、従来技術のような、高価なホール素子を用いる場合に比較してコストの大幅な低減化が図れる。さらに、前記歪みセンサ80aから検出された情報信号を無線によってコントロールユニット40に出力することから、無用な配線が不要になると共に、断線などのトラブルの発生がない。また、本実施形態では、前記ボールベアリング50を、ハウジング35のベアリング保持溝35e内に収容保持するようにしたため、このベアリング保持溝35eの大きさに応じてボールベアリング50の外径を大小任意の大きさに設定できるので、仕様に応じたボールベアリング50を選択することが可能になる。第2実施形態図11は本発明の第2実施形態を示し、可変機構4や制御機構5及びアクチュエータ6の基本構造は第1実施形態と同じであるが、異なるところは、前記半導体歪みセンサ80aを備えたリフト特性検出装置80を、弾性変形可能な第2スプリングリテーナ57に取り付けたものである。すなわち、前記ハウジング35の端壁35cの内面に、断面クランク状の環状凹部35iを形成されていると共に、該環状凹部35iの外周側に環状凸部35jが形成されている。一方、前記第2スプリングリテーナ57は、断面クランク状に折曲形成されて、円環状の外周部57aと、コイルスプリング59の他端部59bが弾持された段差円環状の内周部57bとから構成されている。そして、第2スプリングリテーナ57の外周部57aが前記環状凸部35jに軸方向から当接支持されていると共に、内周部57bが前記環状凹部35iに位置しており、この内周部57bの背面に前記リフト特性検出装置80が取り付けられている。このリフト特性検出装置80は、第1実施形態のものと同一の構造であるから具体的な説明は省略する。したがって、この実施形態によれば、第1実施形態と同様な作用効果が得られると共に、特に、リフト特性検出装置80が第2スプリングリテーナ57に直接取り付けられていることから、コイルスプリング59のばね変形による歪みを歪みセンサ80aによってさらに高精度に検出することが可能になる。この結果、前記ボールナット46を介する制御軸32の回転角度位置をさらに精度良く検出することが可能になる。本発明が適用されるアクチュエータとしては、各実施形態の構造のものに限定されるものではなく、コイルスプリングを用いて、このばね荷重を受けるものであればよい。また、前記リフト特性検出装置80を、第1スプリングリテーナ56側に取り付けることも可能である。さらに、前記各実施形態では、ボール螺子機構37を用いているが、ボールを用いずに螺子軸を外周に雄ねじが形成されたボルト形式とし、移動ナットも内周に前記雄ねじに噛合するナット形式のものとすることも可能である。前記実施形態から把握される前記請求項以外の発明の技術的思想について以下に説明する。請求項a請求項1に記載の可変動弁装置のアクチュエータにおいて、前記螺子軸と移動ナット、リンク及び付勢部材は、前記電動モータが取り付けられたハウジング内の収容空間に配置され、前記固定部位を、前記ハウジングの端壁によって構成すると共に、前記歪みセンサを、前記端壁の外面に設けたことを特徴とする可変動弁装置のアクチュエータ。請求項b請求項1に記載の可変動弁装置のアクチュエータにおいて、前記付勢部材が付勢方向から当接する少なくとも前記一方側の部位には、前記付勢部材の荷重を受けて変形するリテーナが設けられていると共に、該リテーナに前記歪みセンサが取り付けられていることを特徴とする可変動弁装置のアクチュエータ。請求項c請求項bに記載の可変動弁装置のアクチュエータにおいて、前記リテーナは、弾性変形可能な薄板で形成されていると共に、前記移動ナットまたは固定部位に形成された凹凸部の凸部に当接支持されている一方、前記歪みセンサは、前記凹部内に配置されていることを特徴とする可変動弁装置のアクチュエータ。"