"基材上にポリシラザンを含有する塗布液を塗布して塗膜を形成した後、該形成した塗膜面側に真空紫外光を照射して、ガスバリア層を作製するガスバリア性フィルムの製造方法において、該塗膜中の溶媒を乾燥しながら、該塗膜に真空紫外光を照射することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。前記真空紫外光が、キセノンエキシマランプによる照射光であることを特徴とする請求項1に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。前記塗膜に真空紫外光を照射する時の雰囲気温度が、70°C以上、200°C以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。前記基材上に形成した塗膜の残留溶媒量が60質量以下、10質量以上の条件で、前記塗膜に対し真空紫外光の照射を行うことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。請求項1から4のいずれか1項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法に係るより得られたガスバリア性フィルムを有することを特徴とする有機光電変換素子。本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、生産性が高く、極めて高いガスバリア性能とその経時安定性、優れた表面平滑性と屈曲耐性、及び高い耐久性を備えたガスバリア性フィルムを製造するガスバリア性フィルムの製造方法と、それにより得られたガスバリア性フィルムを用いた有機光電変換素子を提供することにある。本発明の上記目的は、以下の構成により達成される。1.基材上にポリシラザンを含有する塗布液を塗布して塗膜を形成した後、該形成した塗膜面側に真空紫外光を照射して、ガスバリア層を作製するガスバリア性フィルムの製造方法において、該塗膜中の溶媒を乾燥しながら、該塗膜に真空紫外光を照射することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。2.前記真空紫外光が、キセノンエキシマランプによる照射光であることを特徴とする前記1に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。3.前記塗膜に真空紫外光を照射する時の雰囲気温度が、70°C以上、200°C以下であることを特徴とする前記1または2に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。4.前記基材上に形成した塗膜の残留溶媒量が60質量以下、10質量以上の条件で、前記塗膜に対し真空紫外光の照射を行うことを特徴とする前記1から3のいずれか1項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。5.前記1から4のいずれか1項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法に係るより得られたガスバリア性フィルムを有することを特徴とする有機光電変換素子。本発明により、生産性が高く、極めて高いガスバリア性能とその経時安定性、優れた表面平滑性と屈曲耐性、及び高い耐久性を備えたガスバリア性フィルムが得られるガスバリア性フィルムの製造方法と、それにより得られたガスバリア性フィルムを用いた有機光電変換素子を提供することができた。以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。本発明者は、上記課題に鑑み鋭意検討を行った結果、基材上にポリシラザンを含有する塗布液を塗布して塗膜を形成した後、該形成した塗膜面側に真空紫外光を照射して、ガスバリア層を作製するガスバリア性フィルムの製造方法において、該塗膜中の溶媒を乾燥しながら、該塗膜に真空紫外光を照射することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法により、生産性が高く、極めて高いガスバリア性能とその経時安定性、優れた表面平滑性と屈曲耐性及び耐久性を備えたガスバリア性フィルムを得ることができるガスバリア性フィルムの製造方法を実現することができることを見出し、本発明に至った次第である。また、併せて、本発明のガスバリア性フィルムの製造方法を用いて作製したガスバリア性フィルム、該ガスバリア性フィルムを有する有機光電変換素子を提供することができた。すなわち、本発明のガスバリア性フィルムの製造方法においては、基材上にポリシラザン含有塗布液を塗布した後、乾燥工程で同時に塗膜に真空紫外光を照射する改質処理を施すことを特徴とするものである。通常、基材上に塗膜を形成し、乾燥を行った後に改質処理を施す方法では、乾燥処理に表面に付着した不純物等の影響により、ガスバリア層に欠陥が生じること、あるいは改質処理時に不均一化により表面平滑性が損なうといった課題は発生していた。上記課題に対し、本発明では、ポリシラザン層塗膜から溶媒等を除くための加熱による乾燥工程において、乾燥工程の前半部で付与される熱エネルギーのアシストが残っている表面活性状態中に、後半部ですぐに真空紫外光の照射による改質処理が施されることにより、転化プロセスシリカ化効率、加水分解反応性が促進されることで、極めて高度のガスバリア性を有するガスバリア層を形成することができる。更に、表面活性の状態で改質処理を施すため、真空紫外光の照射により開始されるポリシラザン層のシリカ転化Si-N結合を切断するための酸化反応過程で生じる欠陥数が少なくなるため、均質性に優れ、高い平滑性を有するガスバリア層を形成することができる。以下、本発明のガスバリア性フィルムの構成要素、その製造方法及び本発明を実施するための形態について詳細に説明する。《ガスバリア性フィルムの製造方法及びバリア性フィルム》本発明のガスバリア性フィルムの製造方法及び該製造方法により製造された本発明のガスバリア性フィルムについて説明する。本発明のガスバリア性フィルムの製造方法は、基材の表面上にポリシラザンを含有する塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布工程と、該塗膜を乾燥する乾燥工程と、基材上に形成した塗膜面側に真空紫外光を照射して、該塗膜をガスバリア層に改質する改質工程とを有し、該乾燥工程中に、塗膜に真空紫外光を照射する改質工程を有することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法である。ガスバリア性フィルムの製造ライン図1は、ガスバリア性フィルムの製造ラインの一例を示す概略フロー図である。図1のaは、乾燥工程と、改質処理工程とが、それぞれ独立した配置からなる従来方式のガスバリア性フィルムの製造ラインである。図1のaにおいて、ロール状に基材3を積層した繰り出しロール1より基材3を搬出し、ポジションAにて、ポリシラザン層塗布液タンク4より供給されるポリシラザン層塗布液を、コーター5を用いて、所定の厚さで基材3上に塗設して、ポリシラザン層を形成する。次いで、ポリシラザン層を形成した基材3は、ポジションBの乾燥工程6にて、例えば、温湿度を制御した乾燥風により、塗膜中の残留溶媒を取り除いて乾燥させる。次いで、更に下流側のポジションCの改質工程にて、乾燥したポリシラザン層に真空紫外線照射装置7よりVUV光等を照射することにより、ポリシラザン膜をガスバリア膜酸化シリコン薄膜に改質した後、サポートロール2を経て、巻き取りロール8にロール状に積層されて、ガスバリア性フィルムが作製されていた。しかしながら、図1のaに示すようなポジションBの乾燥工程と、ポジションCの改質工程とが分離されている方法では、前述のように、得られるガスバリア性フィルムとしての様々な課題を抱えていた。これに対し、図1のbに示す本発明のガスバリア性フィルムの製造ラインにおいては、ポジションDにおいて、乾燥工程6内に真空紫外線照射装置7が配置されていて、ポリシラザン層を乾燥させながら、同時に真空紫外線照射装置7よりVUV光等を照射することにより、欠陥の発生を抑制し、高い表面平滑性を備え、極めて高度のガスバリア性を有するガスバリア層を形成することができる。本発明においては、特には、基材上に形成した塗膜の残留溶媒量が60質量以下、10質量以上の条件範囲で、形成した塗膜に対し真空紫外光の照射を行うことが好ましい。本発明において、ポリシラザンを含有する塗布液を塗布して形成した塗膜の残留溶媒量は、はじめに塗膜を形成したポリシラザン層を形成した塗膜中に含まれる溶媒の総量計算値:質量A、残留溶媒量:100を求め、次いで塗膜を高温環境下で乾燥を行い、質量の変化率がゼロとなったときの質量B残留溶媒量:0を測定し、次いで、質量A-質量Bを溶媒成分の全質量Cとし、所定の条件で乾燥したときの質量をDとすると、質量D-質量Bの質量差質量Eがその時点での溶媒量であり、{1-質量E/全質量C}×100で、塗膜の残留溶媒量を求めることができる。また、本発明においては、残留溶媒量が10質量以上の条件で真空紫外光の照射を行うため、該真空紫外光の照射工程の後に、塗膜の乾燥を完結させるための第2の乾燥工程を設けてもよい。なお、本発明でいうガスバリア層とは、ポリシラザン含有液を塗布して形成された一層以上のポリシラザン塗布膜に改質処理を施して形成された二酸化珪素等の珪素酸化物からなる層をいう。また、本発明において、ガスバリア性とは、JISK7129-1992に準拠した方法で測定された水蒸気透過度60±0.5°C、相対湿度90±2RHが、1×10-3g/m224h以下であり、JISK7126-1987に準拠した方法で測定された酸素透過度が、1×10-3ml/m224hatm以下であることをいう。基材本発明のガスバリア性フィルムの製造方法において、ガスバリア性フィルムを構成する基材としては、ガスバリア層を保持することができる有機材料で形成されたものであれば特に限定されるものではない。例えば、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリカーボネートPC、ポリアリレート、ポリ塩化ビニルPVC、ポリエチレンPE、ポリプロピレンPP、ポリスチレンPS、ナイロンNy、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド等の各基材、有機無機ハイブリッド構造を有するシルセスキオキサンを基本骨格とした耐熱透明フィルム製品名Sila-DEC、チッソ株式会社製、更には前記プラスチックを2層以上積層して構成される基材等を挙げることができる。コストや入手の容易性の点では、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリカーボネートPCなどが好ましく用いられ、また、光学的透明性、耐熱性、無機層との密着性の点においては、有機無機ハイブリッド構造を有するシルセスキオキサンを基本骨格とした耐熱透明フィルムが好ましく用いることができる。基材の厚みは5~500μm程度が好ましく、更に好ましくは25~250μmである。本発明のガスバリア性フィルムは、発光素子として使用する場合も鑑みて、ガラス転移温度Tgが100°C以上であることが好ましい。また、熱収縮率も低いことが好ましい。さらに、本発明に係る基材は透明であることが好ましい。基材が透明であり、基材上に形成する層も透明であることにより、透明なガスバリア性フィルムとすることが可能となるため、太陽電池や有機EL素子等の透明基材とすることも可能となるからである。また、上記に挙げた樹脂等を用いた支持体は未延伸フィルムでもよく、延伸フィルムでもよい。本発明に用いられる支持体は、従来公知の一般的な方法により製造することが可能である。例えば、材料となる樹脂を押し出し機により溶融し、環状ダイやTダイにより押し出して急冷することにより、実質的に無定形で配向していない未延伸の基材支持体を製造することができる。また、未延伸の基材支持体を一軸延伸、テンター式逐次二軸延伸、テンター式同時二軸延伸、チューブラー式同時二軸延伸等の公知の方法により、基材支持体の流れ縦軸方向、または支持体の流れ方向と直角横軸方向に延伸することにより延伸支持体を製造することができる。この場合の延伸倍率は、支持体の原料となる樹脂に合わせて適宜選択することできるが、縦軸方向及び横軸方向にそれぞれ2倍~10倍が好ましい。更には、延伸フィルムに於いて基板の寸法安定性を向上するために、延伸後の緩和処理をする事が好ましい。また、本発明に係る基材においては、コロナ処理を施してもよい。本発明の基材として、市販のフィルムPETなどを用いる場合は、易接着層などのフィルムメーカーのオプションの機能層を有する基材を用いることも出来る。この場合は、別途後で独自に設ける工程が省略可能で好ましい。ポリシラザン層の形成本発明に係るポリシラザン層は、基材上にポリシラザン化合物を含有する塗布液を塗布することにより形成される。塗布方法としては、任意の適切な湿式塗布方法を採用することができる。具体例としては、スピンコート法、ロールコート法、フローコート法、インクジェット法、スプレーコート法、プリント法、ディップコート法、流延成膜法、バーコート法、グラビア印刷法等が挙げられる。塗布厚さは、目的に応じて適切に設定され得る。例えば、塗布厚さは、乾燥後の厚さが好ましくは1nm~100μm程度、さらに好ましくは10nm~10μm程度、最も好ましくは10nm~1μm程度となるように設定され得る。本発明で用いられるポリシラザンとは、珪素-窒素結合を持つポリマーで、Si-N、Si-H、N-H等からなるSiO2、Si3N4及び両方の中間固溶体SiOxNy等のセラミック前駆体無機ポリマーである。基材を損なわないように塗布することができる観点から、用いるポリシラザンとしては、下記に示す特開平8-112879号公報に記載されている比較的低温でセラミック化してシリカに変性する構成単位を有する化合物が好ましい。上記式中、R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、アルキルシリル基、アルキルアミノ基またはアルコキシ基を表す。本発明では、緻密性に優れたガスバリア層が得られる観点から、R1、R2及びR3のすべてが水素原子であるパーヒドロポリシラザンが特に好ましい。一方、そのSiと結合する水素部分が一部アルキル基等で置換されたオルガノポリシラザンは、メチル基等のアルキル基を有することにより、下地である基材との接着性が改善され、かつ硬くて脆いポリシラザンによるセラミック膜に靭性を付与することができ、平均膜厚をより厚くした場合でもクラックの発生が抑えられる利点がある。用途に応じて適宜、これらパーヒドロポリシラザンとオルガノポリシラザンを選択してよく、混合して使用することもできる。パーヒドロポリシラザンは、直鎖構造と6及び8員環を中心とする環構造が存在した構造と推定されている。その分子量は数平均分子量Mnで約600~2000程度ポリスチレン換算であり、液体又は固体の物質であり、分子量により異なる。これらは有機溶媒に溶解した溶液状態で市販されており、市販品をそのままポリシラザン含有塗布液として使用することができる。低温でセラミック化するポリシラザンの別の例としては、上記で例示した特開平8-112879号公報に記載されているポリシラザンに、ケイ素アルコキシドを反応させて得られるケイ素アルコキシド付加ポリシラザン特開平5-238827号公報、グリシドールを反応させて得られるグリシドール付加ポリシラザン特開平6-122852号公報、アルコールを反応させて得られるアルコール付加ポリシラザン特開平6-240208号公報、金属カルボン酸塩を反応させて得られる金属カルボン酸塩付加ポリシラザン特開平6-299118号公報、金属を含むアセチルアセトナート錯体を反応させて得られるアセチルアセトナート錯体付加ポリシラザン特開平6-306329号公報、金属微粒子を添加して得られる金属微粒子添加ポリシラザン特開平7-196986号公報等が挙げられる。ポリシラザンを含有する塗布液を調製するのに用いる有機溶媒としては、ポリシラザンと容易に反応してしまうようなアルコール系や水分を含有する溶媒の使用は避けることが好ましい。具体的に用いることのできる有機溶媒としては、脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素等の炭化水素溶媒、ハロゲン化炭化水素溶媒、脂肪族エーテル、脂環式エーテル等のエーテル類が使用できる。具体的には、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン、トルエン、キシレン、ソルベッソ、ターベン等の炭化水素、塩化メチレン、トリコロロエタン等のハロゲン炭化水素、ジブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類等を挙げることができる。これらの有機溶媒は、ポリシラザンの溶解度や溶媒の蒸発速度等に応じて選択し、必要により複数の溶媒を混合しても良い。ポリシラザン含有の塗布液中におけるポリシラザン濃度は、目的とするシリカ膜厚や塗布液のポットライフによっても異なるが、概ね0.2~35質量の範囲である。有機ポリシラザンは、そのSiと結合する水素部分が一部アルキル基等で置換された誘導体であってもよい。アルキル基、特にもっとも分子量の少ないメチル基を有することにより、下地である基材との接着性が改善され、かつ硬くてもろいシリカ膜に靭性を持たせることができ、より膜厚を厚くした場合でもクラックの発生が抑えられる点で好ましい。酸化珪素化合物への転化を促進するために、アミンや金属の触媒を添加することもできる。具体的には、AZエレクトロニックマテリアルズ株製アクアミカNAX120-20、NN110、NN310、NN320、NL110A、NL120A、NL150A、NP110、NP140、SP140などが挙げられる。乾燥工程本発明のガスバリア性フィルムの製造方法においては、上記の方法に従って、ポリシラザン及び有機溶媒を含む塗布液を基材上に付与して、ポリシラザン層を形成した後、乾燥工程で有機溶媒等の除去を行うが、本発明では、乾燥処理と同時に、後述する真空紫外光をポリシラザン層に照射して改質処理を施すことを特徴とする。改質処理と同時に行う乾燥工程は、ポリシラザン塗布膜中の有機溶媒を取り除くことを目的とする工程である。乾燥工程においては、主に有機溶媒を取り除くための乾燥条件を、熱処理などの方法で適宜決めることができるが、このときに水分が除去される条件にあってもよい。熱処理温度は迅速処理の観点から高い温度が好ましいが、樹脂基材への熱ダメージを考慮し、温度と処理時間を適宜決めることができるが、70°C以上、200°C以下であることが好ましい。例えば、樹脂基材としてガラス転移温度Tgが70°Cのポリエチレンテレフタレート基材を用いる場合には、熱処理温度として200°C以下に設定することができる。処理時間は溶媒が除去され、かつ基材への熱ダメージが少なくなるように、短時間に設定することが好ましく、熱処理温度が200°C以下であれば30分以内に設定することが好ましい。本発明のガスバリア性フィルムの製造方法においては、上記乾燥工程に引き続いて、水分を除去するための脱水工程を必要に応じて設けても良い。脱水工程は、有機溶媒を除き、改質処理により改質したガスバリア層酸化シリコン層の水分を取り除く目的とする工程である。脱水工程は、形成したガスバリア層中の水分を取り除くための工程で、水分を除去する方法としては、第一の方法としては低湿度環境に維持される形態が好ましい。低湿度環境における湿度は、温度により変化するので、温度と湿度の関係は露点温度の規定により好ましい形態が示される。好ましい露点温度は4度以下温度25度/湿度25で、より好ましい露点温度は-8度温度25度/湿度10以下、さらに好ましい露点温度は温度25度/湿度1-31度以下である。次に、第二の方法として、減圧環境に維持される形態が挙げられる。具体的には常圧1気圧より下の圧力環境、具体的には、効果を得るため最低0.4気圧以下、好ましくは0.1気圧以下、更に好ましくは0.01気圧以下が良い。ポリシラザン層の改質処理本発明のガスバリア性フィルムの製造方法においては、ポリシラザン及び有機溶媒を含む塗布液を用いて形成したポリシラザン層の乾燥を行うのと同時に、湿潤状態のポリシラザン層に対し、真空紫外光VUVを照射して改質処理を施すことにより、ポリシラザン層をガスバリア層に改質する。本発明でいう乾燥工程中に、塗膜に真空紫外光を照射する改質工程を有する、あるいは乾燥工程中に、塗膜に真空紫外光を照射する改質処理を施すとは、湿潤状態のポリシラザン層を有する基材に、所定の温度で加熱された温風を吹き付けて乾燥を開始する期間から、ポリシラザン層中の有機溶剤が除去され、残留溶媒量が5質量以下になる期間の間で、真空紫外光VUVを照射して改質処理を施すことを意味しているが、好ましくは、ポリシラザン層の乾燥度が40以上、90以下、言い換えると残留溶媒量が60以下、10以上の範囲で改質処理を施すことが、残留溶媒によるレベリング効果を有効に発現させることができる観点から好ましい。本発明に係るガスバリア層は、ポリシラザンを含有する塗布液を基材上に塗布した後、ポリシラザン層に真空紫外線VUVを照射する方法で改質処理される。この真空紫外線照射により、基材が加熱され、セラミックス化シリカ転化に寄与するO2とH2Oや、紫外線吸収剤、ポリシラザン自身が励起、活性化されるため、ポリシラザンが励起し、ポリシラザンのセラミックス化が促進され、また得られるセラミックス膜が一層緻密になる。真空紫外線照射は、塗膜形成後であればいずれの時点で実施しても有効である。なお、一般に紫外線とは、具体的には、400nm以下の波長を有する紫外線UV光やX線、電子線を含む輻射線を意味するが、本発明に係る真空紫外線とは、具体的には100nm~200nmの真空紫外線VUV光が好ましく用いられる。真空紫外線の照射は、照射される塗膜を担持している基材がダメージを受けない範囲で照射強度及び/又は照射時間を設定する。基材としてプラスチックフィルムを用いた場合を例にとると、基材表面の強度が10mW/cm2~300mW/cm2になるように基材-ランプ間距離を設定し、0.1秒~10分間、好ましくは0.5秒~3分の照射を行うことが好ましい。本発明において、真空紫外線の照射の環境温度としては、70°C以上、200°C以下であることが好ましい。真空紫外線照射装置は、市販のランプ例えば、ウシオ電機製を使用することが可能である。真空紫外線VUV照射はバッチ処理にも連続処理にも適合可能であり、被塗布基材の形状によって適宜選定することができる。例えば、バッチ処理の場合には、ポリシラザン塗膜を表面に有する基材例、シリコンウェハーを、真空紫外線発生源を具備した真空紫外線焼成炉で処理することができる。真空紫外線焼成炉自体は一般に知られており、例えば、ウシオ電機株製を使用することができる。また、ポリシラザン塗膜を表面に有する基材が長尺フィルム状である場合には、これを搬送させながら上記のような真空紫外線発生源を具備した乾燥工程で連続的に真空紫外線を照射することによりセラミックス化することができる。該真空紫外光は、ほとんどの物質の原子間結合力より大きいため、原子の結合を光量子プロセスと呼ばれる光子のみによる作用により、直接切断することが可能であるため好ましく用いる事ができる。この作用を用いる事により、加水分解を必要とせず低温でかつ効率的に改質処理が可能となる。これに必要な真空紫外光源としては、希ガスエキシマランプが好ましく用いられる。エキシマ発光とは、Xe、Kr、Ar、Neなどの希ガスの原子は化学的に結合して分子を作らないため、不活性ガスと呼ばれる。しかし、放電などによりエネルギーを得た希ガスの原子励起原子は他の原子と結合して分子を作ることが出来る。希ガスがキセノンの場合には、eXe→XeXe2Xe→Xe2XeXe2→XeXehν172nmとなり、励起されたエキシマ分子であるXe2が基底状態に遷移するときに172nmのエキシマ光を発光する。エキシマランプの特徴としては、放射が一つの波長に集中し、必要な光以外がほとんど放射されないので効率が高いことが挙げられる。また、余分な光が放射されないので、対象物の温度を低く保つことが出来る。さらには始動再始動に時間を要さないので、瞬時の点灯点滅が可能である。エキシマ発光を得るには誘電体バリア放電を用いる方法が知られている。誘電体バリア放電とは両電極間に誘電体エキシマランプの場合は透明石英を介してガス空間を配し、電極に数10kHzの高周波高電圧を印加することによりガス空間に生じる、雷に似た非常に細いmicrodischargeと呼ばれる放電で、microdischargeのストリーマが管壁誘電体に達すると誘電体表面に電荷が溜まるため、microdischargeは消滅する。このmicrodischargeが管壁全体に広がり、生成消滅を繰り返している放電である。このため肉眼でも分る光のチラツキを生じる。また、非常に温度の高いストリーマが局所的に直接管壁に達するため、管壁の劣化を早める可能性もある。効率よくエキシマ発光を得る方法としては、誘電体バリア放電以外に無電極電界放電でも可能である。容量性結合による無電極電界放電で、別名RF放電とも呼ばれる。ランプと電極およびその配置は基本的には誘電体バリア放電と同じで良いが、両極間に印加される高周波は数MHzで点灯される。無電極電界放電はこのように空間的にまた時間的に一様な放電が得られるため、チラツキが無い長寿命のランプが得られる。誘電体バリア放電の場合はmicrodischargeが電極間のみで生じるため、放電空間全体で放電を行わせるには外側の電極は外表面全体を覆い、かつ外部に光を取り出すために光を透過するものでなければならない。このため細い金属線を網状にした電極が用いられる。この電極は光を遮らないように出来るだけ細い線が用いられるため、酸素雰囲気中では真空紫外光により発生するオゾンなどにより損傷しやすい。これを防ぐためにはランプの周囲、すなわち照射装置内を窒素などの不活性ガスの雰囲気にし、合成石英の窓を設けて照射光を取り出す必要が生じる。合成石英の窓は高価な消耗品であるばかりでなく、光の損失も生じる。二重円筒型ランプは外径が25mm程度であるため、ランプ軸の直下とランプ側面では照射面までの距離の差が無視できず、照度に大きな差を生じる。したがって仮にランプを密着して並べても、一様な照度分布が得られない。合成石英の窓を設けた照射装置にすれば酸素雰囲気中の距離を一様に出来、一様な照度分布が得られる。無電極電界放電を用いた場合には外部電極を網状にする必要は無い。ランプ外面の一部に外部電極を設けるだけでグロー放電は放電空間全体に広がる。外部電極には通常アルミのブロックで作られた光の反射板を兼ねた電極がランプ背面に使用される。しかし、ランプの外径は誘電体バリア放電の場合と同様に大きいため一様な照度分布にするためには合成石英が必要となる。細管エキシマランプの最大の特徴は構造がシンプルなことである。石英管の両端を閉じ、内部にエキシマ発光を行うためのガスを封入しているだけである。細管ランプの管の外径は6nm~12mm程度で、あまり太いと始動に高い電圧が必要になる。放電の形態は誘電体バリア放電でも無電極電界放電のいずれでも使用できる。電極の形状はランプに接する面が平面であっても良いが、ランプの曲面に合わせた形状にすればランプをしっかり固定出来るとともに、電極がランプに密着することにより放電がより安定する。また、アルミで曲面を鏡面にすれば光の反射板にもなる。Xeエキシマランプは波長の短い172nmの紫外線を単一波長で放射することから発光効率に優れている。この光は、酸素の吸収係数が大きいため、微量な酸素で、ラジカルな酸素原子種やオゾンを高濃度で発生することができる。また、有機物の結合を解離させる波長の短い172nmの光のエネルギーは能力が高いことが知られている。この活性酸素やオゾンと紫外線放射が持つ高いエネルギーによって、短時間でポリシラザン層の改質を実現できる。したがって、波長185nm、254nmの発する低圧水銀ランプやプラズマ洗浄と比べて高スループットに伴うプロセス時間の短縮や設備面積の縮小、熱によるダメージを受けやすい有機材料やプラスチック基板などへの照射を可能としている。エキシマランプは光の発生効率が高いため低い電力の投入で点灯させることが可能である。また、光による温度上昇の要因となる波長の長い光は発せず、紫外線領域で、単一波長でエネルギーを照射するため、解射対象物の表面温度の上昇が抑えられる特徴を持っている。このため、熱の影響を受けやすいとされるPETなどのフレシキブルフィルム材料に適している。真空紫外線の照射強度照射強度が高ければ、光子とポリシラザン内の化学結合が衝突する確率が増え、改質反応を短時間化することができる。また、内部まで侵入する光子の数も増加するため改質膜厚も増加及び/または膜質の良化高密度化が可能である。但し、照射時間を長くしすぎると平面性の劣化やバリア性フィルムの他の材料にダメージを与える場合がある。一般的には、照射強度と照射時間の積で表される積算光量で反応進行具合を考えるが、酸化シリコンの様に組成は同一でも、様々な構造形態をとること材料に於いては、照射強度の絶対値が重要になる場合もある。従って、本発明では真空紫外線VUV照射工程において、基材のダメージ、ランプやランプユニットの部材のダメージを抑制し、改質効率を上昇させ、ガスバリア性能を向上の両方を併せて達成する観点から、少なくとも1回は100mW/cm2~200mW/cm2の最大照射強度を与える改質処理を行うことが好ましい。真空紫外線VUVの照射時間本発明に係る真空紫外線VUVの照射時間は、任意に設定可能であるが、基材ダメージや膜欠陥生成の観点及びガスバリア性能のバラつき低減の観点から高照度工程での照射時間は0.1秒~3分間が好ましく、更に好ましくは、0.5秒~1分である。真空紫外線VUV照射時の酸素濃度本発明に係る真空紫外線VUV照射時の酸素濃度は500ppm~10000ppm1とすることが好ましく、更に好ましくは、1000ppm~5000ppmである。前記の酸素濃度の範囲に調整することにより、後述するように酸素過多のガスバリア膜の生成を防止してガスバリア性の劣化を防止することができる。また、大気との置換時間が不必要に長くなるのを防ぎ、同時に、ロールトゥロールの様な連続生産を行う場合にウエッブ搬送によって真空紫外線VUV照射庫内に巻き込む空気量酸素を含むの増大を防ぎ、酸素濃度の調整不能になることを防ぐことができる。また、ポリシラザン含有塗膜中には、塗布時に酸素及び微量の水分が混入し、更には塗膜以外の支持体にも吸着酸素や吸着水があり、照射庫内に敢えて酸素を導入しなくとも改質反応に要する酸素を供給する酸素源は十分にある。また、前述した様に172nmの真空紫外線VUVが、酸素により吸収され膜面に到達する172nmの光量が減少してしまい、光による処理の効率を低下しやすい。即ち、真空紫外線VUV照射時には、できるだけ酸素濃度の低い状態で、VUV光が効率良く塗膜まで到達する状態で改質処理することが好ましい。この点はCVD等の原子堆積法の様に、予め制御された組成比の膜を堆積して作製する方法と塗布による前駆体膜作製改質処理という方法の大きく異なる点であり、大気圧下の塗布法に独特な点である。真空紫外線VUV照射時にこれら酸素以外のガスとしては乾燥不活性ガスとすることが好ましく、特にコストの観点から乾燥窒素ガスにすることが好ましい。酸素濃度の調整は照射庫内へ導入する酸素ガス、不活性ガスの流量を計測し、流量比を変えることで調整可能である。その他の構成層アンカーコート剤層本発明に係る基材表面には、塗膜との密着性の向上を目的としてアンカーコート剤層を形成してもよい。このアンカーコート剤層に用いられるアンカーコート剤としては、ポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂、変性スチレン樹脂、変性シリコン樹脂、及びアルキルチタネート等を1または2種以上併せて使用することができる。これらのアンカーコート剤には、従来公知の添加剤を加えることもできる。そして、上記のアンカーコート剤は、ロールコート、グラビアコート、ナイフコート、ディップコート、スプレーコート等の公知の方法により支持体上にコーティングし、溶剤、希釈剤等を乾燥除去することによりアンカーコーティングすることができる。上記のアンカーコート剤の塗布量としては、0.1g/m2~5g/m2乾燥状態程度が好ましい。平滑層本発明のガスバリア性フィルムは平滑層を有してもよい。本発明に用いられる平滑層は突起等が存在する透明樹脂フィルム支持体の粗面を平坦化し、あるいは、透明樹脂フィルム支持体に存在する突起により透明無機化合物層に生じた凹凸やピンホールを埋めて平坦化するために設けられる。このような平滑層は、基本的には感光性樹脂を硬化させて作製される。平滑層の感光性樹脂としては、例えば、ラジカル反応性不飽和化合物を有するアクリレート化合物を含有する樹脂組成物、アクリレート化合物とチオール基を有するメルカプト化合物を含有する樹脂組成物、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、グリセロールメタクリレート等の多官能アクリレートモノマーを溶解させた樹脂組成物等が挙げられる。また、上記のような樹脂組成物の任意の混合物を使用することも可能であり、光重合性不飽和結合を分子内に1個以上有する反応性のモノマーを含有している感光性樹脂であれば特に制限はない。平滑層の形成方法は特に制限はないが、スピンコーティング法、スプレー法、ブレードコーティング法、ディップ法等のウエットコーティング法、あるいは、蒸着法等のドライコーティング法により形成することが好ましい。平滑層の形成では、上述の感光性樹脂に、必要に応じて酸化防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤等の添加剤を加えることができる。また、平滑層の積層位置に関係なく、いずれの平滑層においても、成膜性向上及び膜のピンホール発生防止等のために適切な樹脂や添加剤を使用してもよい。平滑層の平滑性は、JISB0601で規定される表面粗さで表現される値で、最大断面高さRtpが、10nm以上、30nm以下であることが好ましい。この範囲よりも値が小さい場合には、後述のケイ素化合物を塗布する段階で、ワイヤーバー、ワイヤレスバー等の塗布方式で、平滑層表面に塗工手段が接触する場合に塗布性が損なわれる場合がある。また、この範囲よりも大きい場合には、ケイ素化合物を塗布した後の凹凸を平滑化することが難しくなる場合がある。ブリードアウト防止層本発明に用いられるブリードアウト防止層は、平滑層を有するフィルムを加熱した際に、フィルム支持体中から未反応のオリゴマー等が表面へ移行して、接触する面を汚染してしまう現象を抑制する目的で平滑層を有する基材の反対面に設けられる。ブリードアウト防止層は、この機能を有していれば基本的に平滑層と同じ構成をとっても構わない。ブリードアウト防止層に含ませることが可能な重合性不飽和基を有する不飽和有機化合物としては、分子中に2個以上の重合性不飽和基を有する多価不飽和有機化合物または分子中に1個の重合性不飽和基を有する単価不飽和有機化合物等を挙げることができる。ここで多価不飽和有機化合物としては、例えば、エチレングリコールジメタアクリレート、ジエチレングリコールジメタアクリレート、グリセロールジメタアクリレート、グリセロールトリメタアクリレート、1,4-ブタンジオールジメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ジシクロペンタニルジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタメタアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラメタアクリレート、ジエチレングリコールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート等が挙げられる。また、単価不飽和有機化合物としては、例えば、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、プロピルメタアクリレート、ブチルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、イソデシルメタアクリレート、ラウリルメタアクリレート、ステアリルメタアクリレート、アリルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、メチルシクロヘキシルメタアクリレート、イソボルニルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、グリセロールメタアクリレート、グリシジルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレート、2-エトキシエチルメタアクリレート、2-2-エトキシエトキシエチルメタアクリレート、ブトキシエチルメタアクリレート、2-メトキシエチルメタアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタアクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタアクリレート、2-メトキシプロピルメタアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタアクリレート、メトキシトリプロピレングリコールメタアクリレート、メトキシポリプロピレングリコールメタアクリレート、ポリエチレングリコールメタアクリレート、ポリプロピレングリコールメタアクリレート等が挙げられる。その他の添加剤として、マット剤を含有してもよい。マット剤としては平均粒子径が0.1μm~5μm程度の無機粒子が好ましい。このような無機粒子としては、シリカ、アルミナ、タルク、クレイ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、硫酸バリウム、水酸化アルミニウム、二酸化チタン、酸化ジルコニウム等の1種または2種以上を併せて使用することができる。ここで無機粒子からなるマット剤は、ハードコート剤の固形分100質量部に対して2質量部以上、好ましくは4質量部以上、より好ましくは6質量部以上、20質量部以下、好ましくは18質量部以下、より好ましくは16質量部以下の割合で混合されていることが望ましい。また、ブリードアウト防止層は、ハードコート剤及びマット剤の他の成分として熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電離放射線硬化性樹脂、光重合開始剤等を含有させてもよい。以上のようなブリードアウト防止層は、ハードコート剤、マット剤、及び必要に応じて他の成分を配合して、適宜必要に応じて用いる希釈溶剤によって塗布液として調製し、当該塗布液を支持体フィルム表面に従来公知の塗布方法によって塗布した後、電離放射線を照射して硬化させることにより形成することができる。なお、電離放射線を照射する方法としては、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、メタルハライドランプ等から発せられる100~400nm、好ましくは200nm~400nmの波長領域の紫外線を照射する、または走査型やカーテン型の電子線加速器から発せられる100nm以下の波長領域の電子線を照射することにより行うことができる。ブリードアウト防止層の厚みとしては、フィルムの耐熱性向上させ、フィルムの光学特性のバランス調整を容易にし、且つ、ガスバリア性フィルムの片面のみにブリードアウト防止層を設けた場合のカールを防止する観点から、1μm~10μmの範囲が好ましく、更に好ましくは、2μm~7μmの範囲にすることが好ましい。《有機光電変換素子》封止材料本発明のガスバリア性フィルムは、種々の封止用材料、フィルムとして用いることができ、その中でも有機光電変換素子に用いることを特徴とする。有機光電変換素子に用いる際に、本発明のガスバリア性フィルムは透明であるため、このガスバリア性フィルムを基材として用いて、この側から太陽光の受光を行うように構成できる。即ち、本発明のガスバリア性フィルム上に、例えば、ITO等の透明導電性薄膜を透明電極として設け、有機光電変換素子用樹脂基材を構成することができる。そして、基材上に設けられたITO透明導電膜を陽極としてこの上に多孔質半導体層を設け、更に金属膜からなる陰極を形成して有機光電変換素子を形成し、この上に別の封止材料を同じでもよいが重ねて前記ガスバリア性フィルム基材と周囲を接着、素子を封じ込めることで有機光電変換素子を封止することができ、これにより外気の湿気や酸素等のガスによる素子への影響を封じることができる。有機光電変換素子用樹脂基材は、この様にして形成されたガスバリア性フィルムのガスバリア層上に、透明導電性膜を形成することによって得られる。透明導電膜の形成は、真空蒸着法やスパッタリング法等を用いることにより、また、インジウム、スズ等の金属アルコキシド等を用いたゾルゲル法等塗布法によっても製造できる。透明導電膜の平均膜厚としては、0.1~1000nmの範囲の透明導電膜が好ましい。次いで、本発明のガスバリア性フィルムを用いた有機光電変換素子について説明する。封止フィルムとその製造方法本発明においては、本発明に係る封止フィルムとして、本発明のガスバリア性フィルムを基板として用いることが特徴である。本発明のガスバリア性フィルムにおいて、ガスバリア層上に、更に透明導電膜を形成し、これを陽極としてこの上に、有機光電変換素子を構成する層、陰極となる層とを積層し、この上に更にもう一つのガスバリア性フィルムを封止フィルムとして、重ね接着することで封止することができる。また、特に、樹脂ラミネートポリマー膜された金属箔は、光取りだし側のガスバリア性フィルムとして用いることはできないが、低コストで更に透湿性の低い封止材料であり光取り出しを意図しない透明性を要求されない。場合、封止フィルムとして好ましい。本発明において金属箔とは、スパッタや蒸着等で形成された金属薄膜や、導電性ペースト等の流動性電極材料から形成された導電膜と異なり、圧延等で形成された金属の箔又はフィルムを指す。金属箔としては、金属の種類に特に限定はなく、例えば、銅Cu箔、アルミニウムAl箔、金Au箔、黄銅箔、ニッケルNi箔、チタンTi箔、銅合金箔、ステンレス箔、スズSn箔、高ニッケル合金箔等が挙げられる。これらの各種の金属箔の中で特に好ましい金属箔としてはAl箔が挙げられる。金属箔の厚さは6~50μmが好ましい。6μm未満の場合は、金属箔に用いる材料によっては使用時にピンホールが空き、必要とするバリア性透湿度、酸素透過率が得られなくなる場合がある。50μmを越えた場合は、金属箔に用いる材料によってはコストが高くなり、有機光電変換素子が厚くなりフィルムのメリットが少なくなる場合がある。樹脂フィルムポリマー膜がラミネートされた金属箔において、樹脂フィルムとしては、機能性包装材料の新展開株式会社東レリサーチセンターに記載の各種材料を使用することが可能であり、例えばポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリアミド系樹脂、エチレン-ビニルアルコール共重合体系樹脂、エチレン-酢酸ビニル共重合体系樹脂、アクリロニトリル-ブタジエン共重合体系樹脂、セロハン系樹脂、ビニロン系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂等が挙げられる。ポリプロピレン系樹脂、ナイロン系樹脂等の樹脂は、延伸されていてもよく、さらに塩化ビニリデン系樹脂をコートされていてもよい。また、ポリエチレン系樹脂は、低密度あるいは高密度のものも用いることができる。後述するが、2つのフィルムの封止方法としては、例えば、一般に使用されるインパルスシーラー熱融着性の樹脂層をラミネートして、インパルスシーラーで融着させ、封止する方法が好ましく、この場合、ガスバリア性フィルム同士の封止は、フィルム平均膜厚が300μmを超えると封止作業時のフィルムの取り扱い性が悪化するのとインパルスシーラー等による熱融着が困難となるため平均膜厚としては300μm以下が望ましい。有機光電変換素子の封止本発明では、本発明のガスバリア層を有する樹脂フィルムガスバリア性フィルム上に透明導電膜を形成し、作製した有機光電変換素子用樹脂基材上に、有機光電変換素子各層を形成した後、上記封止フィルムを用いて、不活性ガスによりパージされた環境下で、上記封止フィルムで陰極面を覆うようにして、有機光電変換素子を封止することができる。不活性ガスとしては、N2の他、He、Ar等の希ガスが好ましく用いられるが、HeとArを混合した希ガスも好ましく、気体中に占める不活性ガスの割合は、90~99.9体積であることが好ましい。不活性ガスによりパージされた環境下で封止することにより、保存性が改良される。また、前記樹脂フィルムポリマー膜がラミネートされた金属箔を用いて、有機光電変換素子を封止するにあたっては、ラミネートされた樹脂フィルム面ではなく、金属箔上にセラミック層を形成し、このセラミック層面を有機光電変換素子の陰極に貼り合わせることが好ましい。封止フィルムのポリマー膜面を有機光電変換素子の陰極に貼り合わせると、部分的に導通が発生することがある。封止フィルムを有機光電変換素子の陰極に貼り合わせる封止方法としては、一般に使用されるインパルスシーラーで融着可能な樹脂フィルム、例えば、エチレン酢酸ビニルコポリマーEVAやポリプロピレンPPフィルム、ポリエチレンPEフィルム等の熱融着性フィルムを積層して、インパルスシーラーで融着させ封止する方法がある。接着方法としては、ドライラミネート方式が作業性の面で優れている。この方法は、一般には1.0~2.5μm程度の硬化性の接着剤層を使用する。ただし、接着剤の塗設量が多すぎる場合には、トンネル、浸み出し、縮緬皺等が発生することがあるため、接着剤量を乾燥平均膜厚で3~5μmになるように調節することが好ましい。ホットメルトラミネーションとは、ホットメルト接着剤を溶融して基材に接着剤層を塗設する方法であるが、接着剤層の厚さは一般に1~50μmと広い範囲で設定可能な方法である。一般に使用されるホットメルト接着剤のベースレジンとしては、EVA、エチレン-エチルアクリレート共重合体樹脂EEA、ポリエチレン、ブチルラバー等が使用され、ロジン、キシレン樹脂、テルペン系樹脂、スチレン系樹脂等が粘着付与剤として、ワックス等が可塑剤として添加される。エクストルージョンラミネート法とは、高温で溶融した樹脂をダイスにより基材上に塗設する方法であり、樹脂層の厚さは一般に10~50μmと広い範囲で設定可能である。エクストルージョンラミネートに使用される樹脂としては一般に、低密度ポリエチレンLDPE、EVA、PP等が使用される。セラミック層本発明においては、上述のように、有機光電変換素子を封止するにあたって、ガスバリア性を一層高める等のため、無機酸化物、窒化物、炭化物、等による化合物により形成されるセラミック層を設けることができる。具体的には、SiOx、Al2O3、In2O3、TiOx、ITOスズインジウム酸化物、AlN、Si3N4、SiOxN、TiOxN、SiC等により形成することができる。該セラミック層は、ゾルゲル法、蒸着法、CVD、PVD、スパッタリング法、等の公知な手法により積層されていて構わない。例えば、ポリシラザンを用いて、ポリシラザン塗布膜と同様の方法により形成することもできる。この場合、ポリシラザンを含有する組成物を塗布し、ポリシラザン被膜を形成した後、セラミックに転化させることにより形成することができる。また、本発明においては、セラミック層は、大気圧プラズマ法において、原料原材料ともいう。である有機金属化合物、分解ガス、分解温度、投入電力などの条件を選ぶことで、酸化珪素、また酸化珪素を主体とした金属酸化物、また、金属炭化物、金属窒化物、金属硫化物、金属ハロゲン化物等との混合物金属酸窒化物、金属酸化ハロゲン化物など等の組成を作り分けることができる。例えば、珪素化合物を原料化合物として用い、分解ガスに酸素を用いれば、珪素酸化物が生成する。また、シラザン等を原料化合物として用いれば、酸化窒化珪素が生成する。これはプラズマ空間内では非常に活性な荷電粒子活性ラジカルが高密度で存在するため、プラズマ空間内では多段階の化学反応が非常に高速に促進され、プラズマ空間内に存在する元素は熱力学的に安定な化合物へと非常な短時間で変換されるためである。このようなセラミック層の形成原料としては、珪素化合物であれば、常温常圧下で気体、液体、固体いずれの状態であっても構わない。気体の場合にはそのまま放電空間に導入できるが、液体、固体の場合は、加熱、バブリング、減圧、超音波照射等の手段により気化させて使用する。又、溶媒によって希釈して使用してもよく、溶媒は、メタノール、エタノール、n-ヘキサンなどの有機溶媒及びこれらの混合溶媒が使用できる。尚、これらの希釈溶媒は、プラズマ放電処理中において、分子状、原子状に分解されるため、影響は殆ど無視することができる。このような珪素化合物としては、例えば、シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラn-プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラn-ブトキシシラン、テトラt-ブトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシロキサン、ビスジメチルアミノジメチルシラン、ビスジメチルアミノメチルビニルシラン、ビスエチルアミノジメチルシラン、N,O-ビストリメチルシリルアセトアミド、ビストリメチルシリルカルボジイミド、ジエチルアミノトリメチルシラン、ジメチルアミノジメチルシラン、ヘキサメチルジシラザン、ヘキサメチルシクロトリシラザン、ヘプタメチルジシラザン、ノナメチルトリシラザン、オクタメチルシクロテトラシラザン、テトラキスジメチルアミノシラン、テトライソシアナートシラン、テトラメチルジシラザン、トリスジメチルアミノシラン、トリエトキシフルオロシラン、アリルジメチルシラン、アリルトリメチルシラン、ベンジルトリメチルシラン、ビストリメチルシリルアセチレン、1,4-ビストリメチルシリル-1,3-ブタジイン、ジ-t-ブチルシラン、1,3-ジシラブタン、ビストリメチルシリルメタン、シクロペンタジエニルトリメチルシラン、フェニルジメチルシラン、フェニルトリメチルシラン、プロパルギルトリメチルシラン、テトラメチルシラン、トリメチルシリルアセチレン、1-トリメチルシリル-1-プロピン、トリストリメチルシリルメタン、トリストリメチルシリルシラン、ビニルトリメチルシラン、ヘキサメチルジシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、テトラメチルシクロテトラシロキサン、ヘキサメチルシクロテトラシロキサン、Mシリケート51多摩化学社製等が挙げられる。また、これら珪素を含む原料ガスを分解してセラミック層を得るための分解ガスとしては、例えば、水素ガス、メタンガス、アセチレンガス、一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス、窒素ガス、アンモニアガス、亜酸化窒素ガス、酸化窒素ガス、二酸化窒素ガス、酸素ガス、水蒸気、フッ素ガス、フッ化水素、トリフルオロアルコール、トリフルオロトルエン、硫化水素、二酸化硫黄、二硫化炭素、塩素ガスなどが挙げられる。珪素を含む原料ガスと、分解ガスを適宜選択することで、酸化珪素、また、窒化物、炭化物等を含有するセラミック層を得ることができる。大気圧プラズマ法においては、これらの反応性ガスに対して、主にプラズマ状態になりやすい放電ガスを混合し、プラズマ放電発生装置にガスを送りこむ。このような放電ガスとしては、窒素ガスまたは周期表の第18属原子、具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等が用いられる。これらの中でも特に、窒素、ヘリウム、アルゴンが好ましく用いられる。上記放電ガスと反応性ガスを混合し、薄膜形成混合ガスとして大気圧プラズマ放電発生装置プラズマ発生装置に供給することで膜形成を行う。放電ガスと反応性ガスの割合は、得ようとする膜の性質によって異なるが、混合ガス全体に対し、放電ガスの割合を50以上として反応性ガスを供給する。本発明に係るガスバリア性樹脂基材を構成する積層されたセラミック層においては、例えば、上記有機珪素化合物に、更に酸素ガスや窒素ガスを所定割合で組み合わせて、O原子とN原子の少なくともいずれかと、Si原子とを含む本発明に係る酸化珪素を主体としたセラミック層を得ることができる。本発明において、セラミック層の厚さとしては、ガスバリア性と光透過性とを考慮すれば、10~2000nmの範囲内であることが望ましいが、さらに可撓性も考慮し、全てにおいてバランス良く好適な性能を発揮するためには、10~200nmであることが好ましい。次いで、有機光電変換素子を構成する有機光電変換素子材料各層構成層について説明する。有機光電変換素子の構成本発明の有機光電変換素子の好ましい態様を説明するが、これに限定されるものではない。有機光電変換素子としては、特に制限がなく、陽極と陰極と、両者に挟まれた発電層p型半導体とn型半導体が混合された層、バルクヘテロジャンクション層、i層ともいう。が少なくとも1層以上あり、光を照射すると電流を発生する素子であればよい。有機光電変換素子の層構成の好ましい具体例を以下に示す。1陽極/発電層/陰極2陽極/正孔輸送層/発電層/陰極3陽極/正孔輸送層/発電層/電子輸送層/陰極4陽極/正孔輸送層/p型半導体層/発電層/n型半導体層/電子輸送層/陰極5陽極/正孔輸送層/第1発光層/電子輸送層/中間電極/正孔輸送層/第2発光層/電子輸送層/陰極ここで、発電層は、正孔を輸送できるp型半導体材料と電子を輸送できるn型半導体材料を含有していることが必要であり、これらは実質2層でヘテロジャンクションを形成していても良いし、1層の内部で混合された状態となっているバルクヘテロジャンクションを形成しても良いが、バルクヘテロジャンクション構成のほうが、光電変換効率が高いため好ましい。発電層に用いられるp型半導体材料、n型半導体材料については後述する。有機EL素子同様、発電層を正孔輸送層、電子輸送層で挟み込むことで、正孔及び電子の陽極陰極への取り出し効率を高めることができるため、それらを有する構成2、3の方が好ましい。また、発電層自体も正孔と電子の整流性キャリア取り出しの選択性を高めるため、4のようにp型半導体材料とn型半導体材料単体からなる層で発電層を挟み込むような構成p-i-n構成ともいうであっても良い。また、太陽光の利用効率を高めるため、異なる波長の太陽光をそれぞれの発電層で吸収するような、タンデム構成5の構成であっても良い。太陽光利用率光電変換効率の向上を目的として、図3に示す有機光電変換素子10におけるサンドイッチ構造に代わって、一対の櫛歯状電極上にそれぞれ正孔輸送層14、電子輸送層16を形成し、その上に光電変換部15を配置するといった、バックコンタクト型の有機光電変換素子が構成とすることもできる。さらに、詳細な本発明に係る有機光電変換素子の好ましい態様を下記に説明する。図2は、バルクヘテロジャンクション型の有機光電変換素子からなる太陽電池の一例を示す断面図である。図2において、バルクヘテロジャンクション型の有機光電変換素子10は、基板11の一方面上に、陽極12、正孔輸送層17、バルクヘテロジャンクション層の発電層14、電子輸送層18及び陰極13が順次積層されている。基板11は、順次積層された陽極12、発電層14及び陰極13を保持する部材である。本実施形態では、基板11側から光電変換される光が入射するので、基板11は、この光電変換される光を透過させることが可能な、すなわち、この光電変換すべき光の波長に対して透明な部材である。基板11は、例えば、ガラス基板や樹脂基板等が用いられる。この基板11は、必須ではなく、例えば、発電層14の両面に陽極12及び陰極13を形成することでバルクヘテロジャンクション型の有機光電変換素子10が構成されてもよい。発電層14は、光エネルギーを電気エネルギーに変換する層であって、p型半導体材料とn型半導体材料とを一様に混合したバルクヘテロジャンクション層を有して構成される。p型半導体材料は、相対的に電子供与体ドナーとして機能し、n型半導体材料は、相対的に電子受容体アクセプタとして機能する。図2において、基板11を介して陽極12から入射された光は、発電層14のバルクヘテロジャンクション層における電子受容体あるいは電子供与体で吸収され、電子供与体から電子受容体に電子が移動し、正孔と電子のペア電荷分離状態が形成される。発生した電荷は、内部電界、例えば、陽極12と陰極13の仕事関数が異なる場合では陽極12と陰極13との電位差によって、電子は、電子受容体間を通り、また正孔は、電子供与体間を通り、それぞれ異なる電極へ運ばれ、光電流が検出される。例えば、陽極12の仕事関数が陰極13の仕事関数よりも大きい場合では、電子は、陽極12へ、正孔は、陰極13へ輸送される。なお、仕事関数の大小が逆転すれば電子と正孔は、これとは逆方向に輸送される。また、陽極12と陰極13との間に電位をかけることにより、電子と正孔の輸送方向を制御することもできる。なお、図2には記載していないが、正孔ブロック層、電子ブロック層、電子注入層、正孔注入層、あるいは平滑化層等の他の層を有していてもよい。さらに好ましい構成としては、図3に示す前記発電層14が、いわゆるp-i-nの三層構成となっている構成である。通常のバルクヘテロジャンクション層は、p型半導体材料とn型半導体層が混合した、i層単体であるが、p型半導体材料単体からなるp層、及びn型半導体材料単体からなるn層で挟むことにより、正孔及び電子の整流性がより高くなり、電荷分離した正孔電子の再結合等によるロスが低減され、一層高い光電変換効率を得ることができる。さらに、太陽光利用率光電変換効率の向上を目的として、このような光電変換素子を積層した、タンデム型の構成としてもよい。図4は、タンデム型のバルクヘテロジャンクション層を備える有機光電変換素子からなる太陽電池を示す断面図である。タンデム型構成の場合、基板11上に、順次透明電極12、第1の発電層14′を積層した後、電荷再結合層15を積層した後、第2の発電層16、次いで対電極13を積層することで、タンデム型の構成とすることができる。第2の発電層16は、第1の発電層14′の吸収スペクトルと同じスペクトルを吸収する層でもよいし、異なるスペクトルを吸収する層でもよいが、好ましくは異なるスペクトルを吸収する層である。また第1の発電層14′、第2の発電層16がともに前述のp-i-nの三層構成であってもよい。以下に、これらの層を構成する材料について述べる。有機光電変換素子材料p型半導体材料本発明において、発電層バルクヘテロジャンクション層に用いられるp型半導体材料としては、種々の縮合多環芳香族低分子化合物や共役系ポリマーオリゴマーが挙げられる。縮合多環芳香族低分子化合物としては、例えば、アントラセン、テトラセン、ペンタセン、ヘキサセン、ヘプタセン、クリセン、ピセン、フルミネン、ピレン、ペロピレン、ペリレン、テリレン、クオテリレン、コロネン、オバレン、サーカムアントラセン、ビスアンテン、ゼスレン、ヘプタゼスレン、ピランスレン、ビオランテン、イソビオランテン、サーコビフェニル、アントラジチオフェン等の化合物、ポルフィリンや銅フタロシアニン、テトラチアフルバレンTTF-テトラシアノキノジメタンTCNQ錯体、ビスエチレンジチオテトラチアフルバレンBEDT-TTF-過塩素酸錯体、及びこれらの誘導体や前駆体が挙げられる。また、上記の縮合多環を有する誘導体の例としては、国際公開第03/16599号明細書、国際公開第03/28125号明細書、米国特許第6,690,029号明細書、特開2004-107216号公報等に記載の置換基をもったペンタセン誘導体、米国特許出願公開第2003/136964号明細書等に記載のペンタセンプレカーサ、J.Amer.Chem.Soc.,vol127.No14.4986、J.Amer.Chem.Soc.,vol.123、p9482、J.Amer.Chem.Soc.,vol.1302008、No.9、2706等に記載のトリアルキルシリルエチニル基で置換されたアセン系化合物等が挙げられる。共役系ポリマーとしては、例えば、ポリ3-ヘキシルチオフェンP3HT等のポリチオフェン及びそのオリゴマー、又はTechnicalDigestoftheInternationalPVSEC-17,Fukuoka,Japan,2007,P1225に記載の重合性基を有するようなポリチオフェン、NatureMaterial,2006vol.5,p328に記載のポリチオフェン-チエノチオフェン共重合体、国際公開2008/000664号明細書に記載のポリチオフェン-ジケトピロロピロール共重合体、AdvMater,2007p4160に記載のポリチオフェン-チアゾロチアゾール共重合体,NatureMat.vol.62007,p497に記載のPCPDTBT等のようなポリチオフェン共重合体、ポリピロール及びそのオリゴマー、ポリアニリン、ポリフェニレン及びそのオリゴマー、ポリフェニレンビニレン及びそのオリゴマー、ポリチエニレンビニレン及びそのオリゴマー、ポリアセチレン、ポリジアセチレン、ポリシラン、ポリゲルマン等のσ共役系ポリマー、等のポリマー材料が挙げられる。また、ポリマー材料ではなくオリゴマー材料としては、例えば、チオフェン6量体であるα-セクシチオフェンα,ω-ジヘキシル-α-セクシチオフェン、α,ω-ジヘキシル-α-キンケチオフェン、α,ω-ビス3-ブトキシプロピル-α-セクシチオフェン、等のオリゴマーが好適に用いることができる。これらの化合物の中でも、溶液プロセスが可能な程度に有機溶剤への溶解性が高く、かつ乾燥後は結晶性薄膜を形成し、高い移動度を達成することが可能な化合物が好ましい。また、発電層上に電子輸送層を塗布で製膜する場合、電子輸送層溶液が発電層を溶かしてしまうという課題があるため、溶液プロセスで塗布した後に不溶化できるような材料を用いても良い。このような材料としては、TechnicalDigestoftheInternationalPVSEC-17,Fukuoka,Japan,2007,P1225に記載の重合性基を有するようなポリチオフェンのような、塗布後に塗布膜を重合架橋して不溶化できる材料、又は米国特許出願公開第2003/136964号明細書、及び特開2008-16834号公報等に記載されているような、熱等のエネルギーを加えることによって可溶性置換基が反応して不溶化する顔料化する材料などを挙げることができる。n型半導体材料本発明において、バルクヘテロジャンクション層に用いられるn型半導体材料としては、特に限定されないが、例えば、フラーレン、オクタアザポルフィリン等、p型半導体の水素原子をフッ素原子に置換したパーフルオロ体パーフルオロペンタセンやパーフルオロフタロシアニン等、ナフタレンテトラカルボン酸無水物、ナフタレンテトラカルボン酸ジイミド、ペリレンテトラカルボン酸無水物、ペリレンテトラカルボン酸ジイミド等の芳香族カルボン酸無水物やそのイミド化物を骨格として含む高分子化合物等を挙げることができる。しかし、各種のp型半導体材料と高速~50fsかつ効率的に電荷分離を行うことができる、フラーレン誘導体が好ましい。フラーレン誘導体としては、例えば、フラーレンC60、フラーレンC70、フラーレンC76、フラーレンC78、フラーレンC84、フラーレンC240、フラーレンC540、ミックスドフラーレン、フラーレンナノチューブ、多層ナノチューブ、単層ナノチューブ、ナノホーン円錐型等、及びこれらの一部が水素原子、ハロゲン原子、置換又は無置換のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロアリール基、シクロアルキル基、シリル基、エーテル基、チオエーテル基、アミノ基、シリル基等によって置換されたフラーレン誘導体を挙げることができる。中でも[6,6]-フェニルC61-ブチリックアシッドメチルエステル略称PCBM、[6,6]-フェニルC61-ブチリックアシッド-nブチルエステルPCBnB、[6,6]-フェニルC61-ブチリックアシッド-イソブチルエステルPCBiB、[6,6]-フェニルC61-ブチリックアシッド-nヘキシルエステルPCBH、Adv.Mater.,vol.202008,p2116等に記載のbis-PCBM、特開2006-199674号公報等のアミノ化フラーレン、特開2008-130889号公報等のメタロセン化フラーレン、米国特許第7329709号明細書等の環状エーテル基を有するフラーレン等のような、置換基を有してより溶解性が向上したフラーレン誘導体を用いることが好ましい。正孔輸送層電子ブロック層本発明に係る有機光電変換素子10は、バルクヘテロジャンクション層と陽極との中間に正孔輸送層17を設けることが、バルクヘテロジャンクション層で発生した電荷をより効率的に取り出すことが可能となるため好ましい。これらの正孔輸送層17を構成する材料としては、例えば、スタルクヴイテック社製、商品名BaytronP等のPEDOT、ポリアニリン及びそのドープ材料、WO2006019270号明細書等に記載のシアン化合物、などを用いることができる。なお、バルクヘテロジャンクション層に用いられるn型半導体材料のLUMO準位よりも浅いLUMO準位を有する正孔輸送層には、バルクヘテロジャンクション層で生成した電子を陽極側には流さないような整流効果を有する、電子ブロック機能が付与される。このような正孔輸送層は、電子ブロック層とも呼ばれ、このような機能を有する正孔輸送層を使用するほうが好ましい。このような材料としては、特開平5-271166号公報等に記載のトリアリールアミン系化合物、また酸化モリブデン、酸化ニッケル、酸化タングステン等の金属酸化物等を用いることができる。また、バルクヘテロジャンクション層に用いたp型半導体材料単体からなる層を用いることもできる。これらの層を形成する手段としては、真空蒸着法、溶液塗布法のいずれであってもよいが、好ましくは溶液塗布法である。バルクヘテロジャンクション層を形成する前に、下層に塗布膜を形成すると塗布面をレベリングする効果があり、リーク等の影響が低減するため好ましい。電子輸送層正孔ブロック層本発明の有機光電変換素子10では、バルクヘテロジャンクション層と陰極との中間には電子輸送層18を形成することで、バルクヘテロジャンクション層で発生した電荷をより効率的に取り出すことが可能となるため、これらの層を有していることが好ましい。また電子輸送層18としては、オクタアザポルフィリン、p型半導体のパーフルオロ体パーフルオロペンタセンやパーフルオロフタロシアニン等を用いることができるが、同様に、バルクヘテロジャンクション層に用いられるp型半導体材料のHOMO準位よりも深いHOMO準位を有する電子輸送層には、バルクヘテロジャンクション層で生成した正孔を陰極側には流さないような整流効果を有する、正孔ブロック機能が付与される。このような電子輸送層は、正孔ブロック層とも呼ばれ、このような機能を有する電子輸送層を使用するほうが好ましい。このような材料としては、バソキュプロイン等のフェナントレン系化合物、ナフタレンテトラカルボン酸無水物、ナフタレンテトラカルボン酸ジイミド、ペリレンテトラカルボン酸無水物、ペリレンテトラカルボン酸ジイミド等のn型半導体材料、及び酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ガリウム等のn型無機酸化物及びフッ化リチウム、フッ化ナトリウム、フッ化セシウム等のアルカリ金属化合物等を用いることができる。また、バルクヘテロジャンクション層に用いたn型半導体材料単体からなる層を用いることもできる。これらの層を形成する手段としては、真空蒸着法、溶液塗布法のいずれであってもよいが、好ましくは溶液塗布法である。その他の層エネルギー変換効率の向上や、素子寿命の向上を目的に、各種中間層を有機光電変換素子内に有する構成としてもよい。中間層の例としては、正孔ブロック層、電子ブロック層、正孔注入層、電子注入層、励起子ブロック層、UV吸収層、光反射層、波長変換層などを挙げることができる。透明電極第1電極透明電極は、陰極、陽極は特に限定せず、素子構成により選択することができるが、好ましくは透明電極を陽極として用いることである。例えば、陽極として用いる場合、好ましくは380~800nmの光を透過する電極である。材料としては、例えば、インジウムチンオキシドITO、SnO2、ZnO等の透明導電性金属酸化物、金、銀、白金等の金属薄膜、金属ナノワイヤ、カーボンナノチューブ用いることができる。また、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリチエニレンビニレン、ポリアズレン、ポリイソチアナフテン、ポリカルバゾール、ポリアセチレン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアセン、ポリフェニルアセチレン、ポリジアセチレン及びポリナフタレンの各誘導体からなる群より選ばれる導電性高分子等も用いることができる。また、これらの導電性化合物を複数組み合わせて透明電極とすることもできる。対電極第2電極対電極は導電材料からなる単独層であっても良いが、導電性を有する材料に加えて、これらを保持する樹脂を併用しても良い。対電極の導電材料としては、仕事関数の小さい4eV以下金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。このような電極物質の具体例としては、例えば、ナトリウム、ナトリウム-カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウムAl2O3混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、電子の取り出し性能及び酸化等に対する耐久性の点から、これら金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウムAl2O3混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。対電極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することができる。また、平均膜厚は通常10nm~5μm、好ましくは50~200nmの範囲で選ばれる。対電極の導電材として金属材料を用いることにより、対電極側に来た光は反射されて第1電極側に反射され、この光が再利用可能となり、光電変換層で再度吸収され、より光電変換効率が向上し好ましい。また、対電極13は、金属例えば、金、銀、銅、白金、ロジウム、ルテニウム、アルミニウム、マグネシウム、インジウム等、炭素からなるナノ粒子、ナノワイヤ、ナノ構造体であってもよく、ナノワイヤの分散物であれば、透明で導電性の高い対電極を塗布法により形成でき好ましい。また、対電極側を光透過性とする場合は、例えば、アルミニウム及びアルミニウム合金、銀及び銀化合物等の対電極に適した導電性材料を薄く1~20nm程度の平均膜厚で作製した後、上記透明電極の説明で挙げた導電性光透過性材料の膜を設けることで、光透過性対電極とすることができる。中間電極また、前記5項あるいは図4に記載した様なタンデム構成の場合に必要となる中間電極の材料としては、透明性と導電性を併せ持つ化合物を用いた層であることが好ましく、前記透明電極で用いたような材料ITO、AZO、FTO、酸化チタン等の透明金属酸化物、Ag、Al、Au等の非常に薄い金属層又はナノ粒子ナノワイヤを含有する層、PEDOT:PSS、ポリアニリン等の導電性高分子材料等を用いることができる。なお前述した正孔輸送層と電子輸送層の中には、適切に組み合わせて積層することで中間電極電荷再結合層として働く組み合わせもあり、このような構成とすると一層形成する工程を省くことができ好ましい。金属ナノワイヤ本発明に適用可能な導電性繊維としては、金属でコーティングした有機繊維や無機繊維、導電性金属酸化物繊維、金属ナノワイヤ、炭素繊維、カーボンナノチューブ等を用いることができるが、金属ナノワイヤが好ましい。一般に、金属ナノワイヤとは、金属元素を主要な構成要素とする線状構造体のことをいう。特に、本発明における金属ナノワイヤとはnmサイズの直径を有する線状構造体を意味する。本発明において、金属ナノワイヤとしては、1つの金属ナノワイヤで長い導電パスを形成するために、また、適度な光散乱性を発現するために、平均長さが3.0μm以上であることが好ましく、さらには3.0~500μmが好ましく、特に3.0~300μmであることが好ましい。併せて、長さの相対標準偏差は40以下であることが好ましい。また、平均直径は、透明性の観点からは小さいことが好ましく、一方で、導電性の観点からは大きい方が好ましい。本発明においては、金属ナノワイヤの平均直径として10~300nmが好ましく、30~200nmであることがより好ましい。併せて、直径の相対標準偏差は20以下であることが好ましい。本発明において、金属ナノワイヤの金属組成としては特に制限はなく、貴金属元素や卑金属元素の1種又は複数の金属から構成することができるが、貴金属例えば、金、白金、銀、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム等及び鉄、コバルト、銅、錫からなる群に属する少なくとも1種の金属を含むことが好ましく、導電性の観点から少なくとも銀を含むことがより好ましい。また、導電性と安定性金属ナノワイヤの硫化や酸化耐性、及びマイグレーション耐性を両立するために、銀と、銀を除く貴金属に属する少なくとも1種の金属を含むことも好ましい。本発明に係る金属ナノワイヤが2種類以上の金属元素を含む場合には、例えば、金属ナノワイヤの表面と内部で金属組成が異なっていてもよいし、金属ナノワイヤ全体が同一の金属組成を有していてもよい。本発明において、金属ナノワイヤの製造手段には特に制限はなく、例えば、液相法や気相法等の公知の手段を用いることができる。また、具体的な製造方法にも特に制限はなく、公知の製造方法を用いることができる。例えば、Agナノワイヤの製造方法としては、Adv.Mater.,2002,14,833~837;Chem.Mater.,2002,14,4736~4745等、Auナノワイヤの製造方法としては特開2006-233252号公報等、Cuナノワイヤの製造方法としては特開2002-266007号公報等、Coナノワイヤの製造方法としては特開2004-149871号公報等を参考にすることができる。特に、上述した、Adv.Mater.及びChem.Mater.で報告されたAgナノワイヤの製造方法は、水系で簡便にAgナノワイヤを製造することができ、また銀の導電率は金属中で最大であることから、本発明において金属ナノワイヤの製造方法として好ましく適用することができる。本発明においては、金属ナノワイヤが互いに接触し合うことにより3次元的な導電ネットワークを形成し、高い導電性を発現するとともに、金属ナノワイヤが存在しない導電ネットワークの窓部を光が透過することが可能となり、さらに、金属ナノワイヤの散乱効果によって、有機発電層部からの発電を効率的に行うことが可能となる。第1電極において金属ナノワイヤを有機発電層部に近い側に設置すれば、この散乱効果がより有効に利用できるのでより好ましい実施形態である。光学機能層本発明の有機光電変換素子においては、太陽光のより効率的な受光を目的として、各種の光学機能層を有していて良い。光学機能層としては、例えば、反射防止膜、マイクロレンズアレイ等の集光層、陰極で反射した光を散乱させて再度発電層に入射させることができるような光拡散層などを設けても良い。反射防止層としては、各種公知の反射防止層を設けることができるが、例えば、透明樹脂フィルムが二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムである場合は、フィルムに隣接する易接着層の屈折率を1.57~1.63とすることで、フィルム基板と易接着層との界面反射を低減して透過率を向上させることができるのでより好ましい。屈折率を調整する方法としては、酸化スズゾルや酸化セリウムゾル等の比較的屈折率の高い酸化物ゾルとバインダー樹脂との比率を適宜調整して塗設することで実施できる。易接着層は単層でもよいが、接着性を向上させるためには2層以上の構成にしてもよい。集光層としては、例えば、支持基板の太陽光受光側にマイクロレンズアレイ上の構造を設けるように加工したり、あるいは所謂集光シートと組み合わせたりすることにより特定方向からの受光量を高めたり、逆に太陽光の入射角度依存性を低減することができる。マイクロレンズアレイの例としては、基板の光取り出し側に一辺が30μmでその頂角が90度となるような四角錐を2次元に配列する。一辺は10~100μmが好ましい。これより小さくなると回折の効果が発生して色付き、大きすぎると厚さが厚くなり好ましくない。また、光散乱層としては、各種のアンチグレア層、金属又は各種無機酸化物などのナノ粒子ナノワイヤ等を無色透明なポリマーに分散した層などを挙げることができる。製膜方法表面処理方法各種の層の形成方法本発明の有機光電変換素子の製造において、電子受容体と電子供与体とが混合されたバルクヘテロジャンクション層、及び輸送層電極の形成方法としては、蒸着法、塗布法キャスト法、スピンコート法を含む等を例示することができる。このうち、バルクヘテロジャンクション層の形成方法としては、蒸着法、塗布法キャスト法、スピンコート法を含む等を例示することができる。このうち、前述の正孔と電子が電荷分離する界面の面積を増大させ、高い光電変換効率を有する素子を作製するためには、塗布法が好ましい。また塗布法は、製造速度にも優れている。この際に使用する塗布方法に制限は無いが、例えば、スピンコート法、溶液からのキャスト法、ディップコート法、ブレードコート法、ワイヤバーコート法、グラビアコート法、スプレーコート法等が挙げられる。さらには、インクジェット法、スクリーン印刷法、凸版印刷法、凹版印刷法、オフセット印刷法、フレキソ印刷法等の印刷法でパターニングすることもできる。塗布後は残留溶媒及び水分、ガスの除去、及び半導体材料の結晶化による移動度向上吸収長波化を引き起こすために加熱を行うことが好ましい。製造工程中において所定の温度でアニール処理されると、微視的に一部が凝集又は結晶化が促進され、バルクヘテロジャンクション層を適切な相分離構造とすることができる。その結果、バルクヘテロジャンクション層のキャリア移動度が向上し、高い効率を得ることができるようになる。発電層バルクヘテロジャンクション層14は、電子受容体と電子供与体とが均一に混在された単一層で構成してもよいが、電子受容体と電子供与体との混合比を変えた複数層で構成してもよい。この場合、前述したような塗布後に不溶化できるような材料を用いることで形成することが可能となる。パターニング本発明において、電極、発電層、正孔輸送層、電子輸送層等をパターニングする方法やプロセスには特に制限はなく、公知の手法を適宜適用することができる。バルクヘテロジャンクション層、輸送層等の可溶性の材料であれば、ダイコート、ディップコート等の全面塗布後に不要部だけ拭き取っても良いし、インクジェット法やスクリーン印刷等の方法を使用して塗布時に直接パターニングしても良い。電極材料などの不溶性の材料の場合は、電極を真空堆積時にマスク蒸着を行い、エッチング又はリフトオフ等の公知の方法によってパターニングすることができる。また、別の基板上に形成したパターンを転写することによってパターンを形成しても良い。以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例において部あるいはの表示を用いるが、特に断りがない限り質量部あるいは質量を表す。実施例1《ガスバリア性フィルムの作製》ガスバリア性フィルム1の作製図1のaに記載の乾燥工程と改質工程とを分離したガスバリア性フィルムの製造ラインに従って、ガスバリア性フィルム1を作製した。基材の準備熱可塑性樹脂基材として、両面に易接着加工が施された厚み125μmのポリエチレンテレフタレートフィルム帝人デュポンフィルム株式会社製、極低熱収PETQ83を用いた。ブリードアウト防止層の形成上記基材の片面側に、JSR株式会社製UV硬化型有機/無機ハイブリッドハードコート材OPSTARZ7535を乾燥後の膜厚が4μmになるようにワイヤーバーで塗布した後、硬化条件として1.0J/cm2で、大気圧下で、高圧水銀ランプ使用、乾燥条件として80°C、3分で硬化を行い、ブリードアウト防止層を形成した。平滑層の形成次いで、上記基材のブリードアウト防止層を形成した面とは反対側の面に、JSR株式会社製のUV硬化型有機/無機ハイブリッドハードコート材OPSTARZ7501を、乾燥後の膜厚が4μmになるようにワイヤーバーで塗布した後、乾燥条件として80°Cで、3分間乾燥した後、大気圧雰囲気下で、高圧水銀ランプを使用し、硬化条件として1.0J/cm2で硬化を行い、平滑層を形成した。形成した平滑層の平均粗さRaを下記の方法に従って測定した結果、16nmであった。表面粗さRaは、AFM原子間力顕微鏡で、極小の先端半径の触針を持つ検出器で連続測定した凹凸の断面曲線から算出され、極小の先端半径の触針により測定方向が30μmの区間内を多数回測定し、微細な凹凸の振幅に関する平均の粗さである。ポリシラザン層の形成次いで、平滑層及びブリードアウト防止層をそれぞれの面に設けた基材を10cm角の正方形に断裁した後、平滑層形成面の平滑層上に、下記の方法に従ってポリシラザン層を塗布して形成した。パーヒドロポリシラザンの20質量ジブチルエーテル溶液AZエレクトロニックマテリアルズ株製アクアミカNN120-20を用い、この溶液を、更にジブチルエーテルで希釈することにより、パーヒドロポリシラザン濃度を調整して、ダイコート法により平滑層上に塗布して、ポリシラザン層を形成した。ポリシラザン層の乾燥工程次いで、乾燥工程として、80°Cで3分間の乾燥処理を行い、乾燥後の膜厚が170nmのパーヒドロポリシラザン含有層ポリシラザン層を形成した。この際、ポリシラザン含有層は完全に固形化していなかった。改質処理次いで、ポリシラザン層を形成した上記試料について、下記の方法に従って改質処理を施し、比較例のガスバリア性フィルム1を作製した。改質工程の酸素濃度の調整改質処理工程において、VUV照射時の酸素濃度を、VUV光照射工程内に導入する窒素ガス及び酸素ガスの流量をフローメーターにより測定し、工程内に導入するガスの窒素ガス/酸素ガス流量比により酸素濃度が0.9~1.1の範囲となるように調整した。VUV光の照射図1のaに記載の乾燥工程6内に真空紫外線照射装置7が配置されたポジションBにて、乾燥が完了したポリシラザン層を形成した上記試料に対し、MDエキシマ社製のステージ可動型キセノンエキシマ照射装置MODEL:MECL-M-1-200波長172nmを用い、ランプと上記試料の照射距離を1mmとなるように試料を固定し、試料温度を80°Cに保ちながら、ステージの移動速度を10mm/秒の速さで試料を往復搬送させて、合計5往復にわたりVUV光の照射を行った後、試料を取り出して、比較例のガスバリア性フィルム1を得た。ガスバリア性フィルム2の作製図1のbに記載の乾燥工程中に改質工程を設けた本発明のガスバリア性フィルムの製造ラインに従って、ガスバリア性フィルム2を作製した。上記ガスバリア性フィルム1の作製において、ポリシラザン層の乾燥工程を独立して用いず、乾燥処理と改質処理とを同時に行う下記の方法で、改質処理を施し、ガスバリア性フィルム2を作製した。乾燥工程改質工程図1のbに記載の乾燥工程6内に真空紫外線照射装置7が配置されたポジションDにて、ポリシラザン層を形成した湿潤状態の試料に、乾燥工程前半部で40°Cの温風を吹き付けて乾燥させ、工程の後半部よりMDエキシマ社製のステージ可動型キセノンエキシマ照射装置MODEL:MECL-M-1-200波長172nmを用い、ランプと上記試料の照射距離を1mmとなるように試料を固定し、試料温度を40°Cに保ちながら、ステージの移動速度を10mm/秒の速さで試料を往復搬送させて、合計5往復にわたりVUV光の照射を行い後、試料を取り出して、ガスバリア性フィルム2を得た。なお、ガスバリア性フィルム2の作製においては、ポリシラザン層の残留溶媒量が60となった時点でVUV光の照射を行い、残留溶媒量が25となった時点でVUV光の照射を完了した。ガスバリア性フィルム3の作製上記ガスバリア性フィルム2の作製において、乾燥工程改質工程における温風温度を68°Cに変更した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム3を作製した。ガスバリア性フィルム4の作製上記ガスバリア性フィルム2の作製において、乾燥工程改質工程における温風温度を70°Cに変更した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム4を作製した。ガスバリア性フィルム5の作製上記ガスバリア性フィルム2の作製において、乾燥工程改質工程における温風温度を80°Cに変更した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム5を作製した。ガスバリア性フィルム6の作製上記ガスバリア性フィルム2の作製において、乾燥工程改質工程における温風温度を120°Cに変更した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム6を作製した。ガスバリア性フィルム7の作製上記ガスバリア性フィルム2の作製において、乾燥工程改質工程における温風温度を200°Cに変更した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム7を作製した。ガスバリア性フィルム8の作製上記ガスバリア性フィルム2の作製において、乾燥工程改質工程における温風温度を220°Cに変更した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム8を作製した。ガスバリア性フィルム9の作製上記ガスバリア性フィルム4の作製において、VUV光の照射条件として、ポリシラザン層の残留溶媒量が90となった時点でVUV光の照射を行い、残留溶媒量が60となった時点でVUV光の照射を完了した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム9を作製した。ガスバリア性フィルム10の作製上記ガスバリア性フィルム4の作製において、VUV光の照射条件として、ポリシラザン層の残留溶媒量が70となった時点でVUV光の照射を行い、残留溶媒量が30となった時点でVUV光の照射を完了した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム10を作製した。ガスバリア性フィルム11の作製上記ガスバリア性フィルム4の作製において、VUV光の照射条件として、ポリシラザン層の残留溶媒量が60となった時点でVUV光の照射を行い、残留溶媒量が10となった時点でVUV光の照射を完了した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム11を作製した。ガスバリア性フィルム12の作製上記ガスバリア性フィルム4の作製において、VUV光の照射条件として、ポリシラザン層の残留溶媒量が25となった時点でVUV光の照射を行い、残留溶媒量が0となった時点でVUV光の照射を完了した以外は同様にして、ガスバリア性フィルム12を作製した。《ガスバリア性フィルムの評価》ガスバリア性の評価1:作製直後の水蒸気透過度の測定下記の方法に従って、各ガスバリア性フィルムの水蒸気透過度を測定し、ガスバリア性を評価した。装置蒸着装置:日本電子株製真空蒸着装置JEE-400恒温恒湿度オーブン:YamatoHumidicChamberIG47M原材料水分と反応して腐食する金属:カルシウム粒状水蒸気不透過性の金属:アルミニウムφ3~5mm、粒状水蒸気バリア性評価用セルの作製真空蒸着装置日本電子製真空蒸着装置JEE-400を用い、各ガスバリア性フィルム試料の蒸着させたい部分12mm×12mmを9箇所以外をマスクし、金属カルシウムを蒸着させた。その後、真空状態のままマスクを取り去り、シート片側全面にアルミニウムをもう一つの金属蒸着源から蒸着させた。アルミニウム封止後、真空状態を解除し、速やかに乾燥窒素ガス雰囲気下で、厚さ0.2mmの石英ガラスに封止用紫外線硬化樹脂ナガセケムテックス製を介してアルミニウム封止側と対面させ、紫外線を照射することで、評価用セルを作製した。測定得られたガスバリア性フィルムの両面を封止した試料を、60°C、90RHの高温高湿下で保存し、特開2005-283561記載の方法に基づき、金属カルシウムの腐蝕量からセル内に透過した水分量を計算して水蒸気透過度を求め、下記の基準に従って、ガスバリア性を評価した。5:水蒸気透過度が、5×10-4g/m2/day未満である4:水蒸気透過度が、5×10-4g/m2/day以上、5×10-3g/m2/day未満である3:水蒸気透過度が、5×10-3g/m2/day以上、5×10-2g/m2/day未満である2:水蒸気透過度が、5×10-2g/m2/day以上、5×10-1g/m2/day未満である1:水蒸気透過度が、5×10-1g/m2/day以上であるガスバリア性の評価2:強制劣化後の水蒸気透過度の測定経時安定性上記作製した各ガスバリア性フィルムを、85°Cに調整した恒温恒湿度オーブンYamatoHumidicChamberIG47Mに、7日連続で保管し、その後、上記と同様の方法で水蒸気透過度を測定し、同様に評価ランクで強制劣化後のガスバリア性を評価した。表面平滑性の測定上記作製した各ガスバリア性フィルムの表面平滑性Rtを、AFM原子間力顕微鏡で、極小の先端半径の触針を持つ検出器で連続測定した凹凸の断面曲線から算出され、極小の先端半径の触針により測定方向が30μmの区間内を多数回測定し、微細な凹凸の振幅より平均粗さを求め、これを表面平滑性Rtとした。尚、ガスバリア層表面のRt値の変化は、改質処理時のエネルギーを受けた結果の微細な凹凸に起因するものである。得られた表面平滑性Rtについて、下記の基準に従ってランク分けし、表面平滑性を評価した。5:表面平滑性Rtが、5nm未満である4:表面平滑性Rtが、5nm以上、10nm未満である3:表面平滑性Rtが、10nm以上、20nm未満である2:表面平滑性Rtが、20nm以上、30nm未満である1:表面平滑性Rtが、30nm以上である屈曲耐性の評価各ガスバリア性フィルムを、半径が10mmの曲率になるように、180度の角度で100回の屈曲を繰り返した後、上記と同様の方法で水蒸気透過度を測定し、同様に評価ランクで屈曲耐性を評価した。以上により得られた結果を、表1に示す。表1に記載の結果より明らかなように、本発明のガスバリア性フィルムは、比較例であるガスバリア性フィルム1に対し、作製直後のガスバリア性、強制劣化後のガスバリア性経時安定性、表面平滑性及び屈曲耐性に優れていることが分かる。実施例2《有機光電変換素子の作製》実施例1で作製した各ガスバリア性フィルムを用い、下記の方法に従って有機光電変換素子1~12を作製した。各ガスバリア性フィルム上に、それぞれ、インジウムスズ酸化物ITO透明導電膜を150nm堆積したものシート抵抗10Ω/□を、通常のフォトリソグラフィ技術と湿式エッチングとを用いて2mm幅にパターニングし第1の電極を形成した。パターン形成した第1の電極を、界面活性剤と超純水による超音波洗浄、超純水による超音波洗浄の順で洗浄後、窒素ブローで乾燥させ、最後に紫外線オゾン洗浄を行った。この透明基板上に、導電性高分子であるBaytronP4083スタルクヴィテック社製を膜厚が30nmになるように塗布乾燥した後、150°Cで30分間熱処理させ正孔輸送層を製膜した。これ以降は、基板を窒素チャンバー中に持ち込み、窒素雰囲気下で作製した。まず、窒素雰囲気下で上記基板を、150°Cで10分間加熱処理した。次に、クロロベンゼンにP3HTプレクトロニクス社製:レジオレギュラーポリ-3-ヘキシルチオフェンとPCBMフロンティアカーボン社製:6,6-フェニル-C61-ブチリックアシッドメチルエステルを3.0質量になるように1:0.8で混合した液を調製し、フィルタでろ過しながら膜厚が100nmになるように塗布を行い、室温で放置して乾燥させた。続けて、150°Cで15分間加熱処理を行い、光電変換層を製膜した。次に、上記一連の機能層を製膜した基板を真空蒸着装置チャンバー内に移動し、1×10-4Pa以下にまで真空蒸着装置内を減圧した後、蒸着速度0.01nm/秒でフッ化リチウムを0.6nm積層し、更に続けて、2mm幅のシャドウマスクを通して受光部が2×2mmに成るように直行させて蒸着、蒸着速度0.2nm/秒でAlメタルを100nm積層することで第2の電極を形成した。得られた有機光電変換素子を窒素チャンバーに移動し、封止用キャップとUV硬化樹脂を用いて封止を行って、受光部が2×2mmサイズの各有機光電変換素子を作製した。《有機光電変換素子の封止》窒素ガス不活性ガスによりパージされた環境下で、各ガスバリア性フィルムの二枚を用い、ガスバリア層を設けた面に、シール材としてエポキシ系光硬化型接着剤を塗布して各試料を作製した。上記方法によって得られた各試料に対応する各有機光電変換素子同一のガスバリア性フィルムを用いたものを、上記接着剤を塗布した二枚のガスバリ性アフィルムである試料の接着剤塗布面の間に挟み込んで密着させた後、片側の基板側からUV光を照射して硬化させ、最終の有機光電変換素子1~12とした。《耐久性の評価:エネルギー変換効率の評価》作製した光電変換素子について、ソーラーシミュレーターAM1.5Gフィルタの100mW/cm2の強度の光を照射し、有効面積を4.0mm2にしたマスクを受光部に重ね、IV特性を評価することで、短絡電流密度JscmA/cm2、開放電圧VocV及びフィルファクターFFを、同素子上に形成した4箇所の受光部でそれぞれ測定し、下記式1に従ってエネルギー変換効率PCEの4点平均値を求めた。式1PCE=JscmA/cm2×VocV×FF/100mW/cm2初期のエネルギー変換効率PCE1を測定した後、温度60°C、湿度90RHの環境下で1000時間保存する強制劣化試験を行った後、同様に強制劣化後のエネルギー変換効率PCE2を、上記と同様の方法で測定し、下式2より、エネルギー変換効率の変化率を求め、下記の基準に従って、有機光電変換素子の耐久性の評価を行った。式2エネルギー変換効率安定性=強制劣化後のエネルギー変換効率PCE2/初期のエネルギー変換効率PCE1×1005:エネルギー変換効率安定性が、90以上である4:エネルギー変換効率安定性が、70以上、90未満である3:エネルギー変換効率安定性が、40以上、70未満である2:エネルギー変換効率安定性が、20以上、40未満である1:エネルギー変換効率安定性が、20未満である以上により得られた結果を、表2に示す。表2に記載の結果より明らかなように、本発明の有機光電変換素子は、比較例に対し、過酷な環境下で長期間にわたり保存した後でも、優れたエネルギー変換効率を維持することができることが分かる。"