"半導体光源と、該半導体光源からの入射光を屈折させて出射するレンズと、該レンズからの出射光を反射して照射光として放射するミラー部と、前記照射光により車両前方の照射領域を車両の左右方向に走査するために前記ミラー部を第1の軸線周りに往復回動させる第1の圧電アクチュエータと、前記照射光により前記照射領域を車両の前後方向に走査するために前記ミラー部を第2の軸線周りに往復回動させる第2の圧電アクチュエータと、前記レンズを前記入射光の光軸方向に変位させるレンズ変位手段と、前記照射光の横断面の径が前記照射領域における照度ムラを解消する径に設定されるように前記レンズ変位手段を作動制御する制御手段とを備えることを特徴とする車両用照明装置。請求項1記載の車両用照明装置において、前記制御手段は、前記レンズ変位手段の作動制御と共に前記第2の圧電アクチュエータを介して前記第2の軸線周りの前記ミラーの回動速度の制御を行うことを特徴とする車両用照明装置。請求項2記載の車両用照明装置において、前記制御手段は、照射領域における照射光による左右方向走査線が、車両の前後方向に少なくとも部分的に重なり合うように、前記第2の圧電アクチュエータを介して前記第2の軸線周りの前記ミラーの回動を制御することを特徴とする車両用照明装置。請求項1~3のいずれかに記載の車両用照明装置において、前記制御手段は、前記第2の圧電アクチュエータを介して前記第2の軸線周りの前記ミラーの回動範囲を、ハイビーム用範囲と、該ハイビーム範囲より下側のロービーム用範囲とに切替自在になっていることを特徴とする車両用照明装置。上記特許文献1の車両用前照灯は、所定距離前方に正対する仮想的なスクリーンに対して種々の配光パターンを形成するものであるが、仮想的なスクリーンは、路面等の実際の光照射領域に対して垂直である。そのため、実際の光照射領域において照射光の明るさが不均一になる照度ムラが生じるという問題がある。本発明の目的は、半導体光源からの光をミラー部により偏向して放射する車両用照明装置において照射領域における照度ムラを有効に解消することである。第1発明の車両用照明装置は、半導体光源と、該半導体光源からの入射光を屈折させて出射するレンズと、該レンズからの出射光を反射して照射光として放射するミラー部と、前記照射光により車両前方の照射領域を車両の左右方向に走査するために前記ミラー部を第1の軸線周りに往復回動させる第1の圧電アクチュエータと、前記照射光により前記照射領域を車両の前後方向に走査するために前記ミラー部を第2の軸線周りに往復回動させる第2の圧電アクチュエータと、前記レンズを前記入射光の光軸方向に変位させるレンズ変位手段と、前記照射光の横断面の径が前記照射領域における照度ムラを解消する径に設定されるように前記レンズ変位手段を作動制御する制御手段とを備える。第1発明によれば、制御手段がレンズ変位手段を介してレンズの光軸方向位置を制御して照射光の横断面の径を、照射領域における照度ムラを解消する径に設定することで、照度ムラを解消することができる。詳細には、照射光の横断面の径の変更により照射光の照射地点の光スポットの径が変化するので、照射地点の照度及び面積が変化する。これにより、照射地点の照度及び面積の制御を介して照度ムラを解消することができる。第2発明の車両用照明装置は、第1発明において、前記制御手段が、前記レンズ変位手段の作動制御と共に前記第2の圧電アクチュエータを介して前記第2の軸線周りの前記ミラーの回動速度の制御を行うことを特徴とする。第2発明によれば、さらに、第2の圧電アクチュエータによる第2の軸線の周りのミラー部の回動速度が付加される。第2の軸線の周りのミラー部の回動速度が遅くなるほど、各照射地点が車両用照明装置からの照射光に照射される時間が増大して、該照射先の照度は増大する。照射地点における光スポットの大きさと共に照射地点における光スポットの滞留時間を調整することにより、照射領域における照度ムラを、より確実に解消することができる。第3発明の車両用照明装置は、第2発明において、前記制御手段が、照射領域における照射光による左右方向走査線が、車両の前後方向に少なくとも部分的に重なり合うように、前記第2の圧電アクチュエータを介して前記第2の軸線周りの前記ミラーの回動を制御することを特徴とする。第3発明によれば、左右方向走査光が、車両の前後方向への重なり量を調整されながら、車両前後方向へ走査される。照射光の重なり部分は照度が増大するので、左右方向走査光について車両の前後方向への重なり量の調整を付加することにより、照射領域における照度ムラを、一層確実に解消することができる。第4発明の車両用照明装置は、第1~第3発明のいずれかにおいて、前記制御手段は、前記第2の圧電アクチュエータを介して前記第2の軸線周りの前記ミラーの回動範囲を、ハイビーム用範囲と、該ハイビーム範囲より下側のロービーム用範囲とに切替自在になっていることを特徴とする。第4発明によれば、照射領域における照度ムラを解消しつつ、車両用照明装置を上向きのハイビーム用と下向きのロービーム用とに兼用することができる。以下、本発明の実施形態の車両用前照灯について説明する。図1に示す車両用前照灯1は、その主要部を構成する光偏向器A1、レーザ光源2及び収束レンズ3を、ケーシング図示せず内に装備している。収束レンズ3は、図示の例で凸レンズとして単独で使用されているが、コリメータレンズとの組合せで使用することもできる。収束レンズ3はレンズ用アクチュエータ20により軸線方向位置を制御される。レンズ用アクチュエータ20の詳細は図5で後述する。半導体光源の一例のレーザ光源2は、レーザ光5を光偏向器A1へ向けて発射し、レーザ光5は収束レンズ3を経て光偏向器A1に到達する。光偏向器A1は、レーザ光5の反射光としての照射光6により車両前方範囲をラスタースキャンして、該前方範囲を照らす。図1において、Sαは照射光6の左右方向走査角度範囲、Sρは照射光6の伏角方向走査角度範囲を、それぞれ示している。図2において、車両用前照灯1は、典型的には自動車9の前部左右に1つずつ図2では一方のみ図示装備され、照射光6により自動車9の前方の路面上及び空中の照射領域10及び11を照射する。車両用前照灯1は、自動車9の前部の左右方向正面又は左右方向任意の箇所に1つのみとすることも可能である。なぜなら、後述するように、1つの車両用前照灯1のみによっても路面照射領域10に対し任意の配光パターンの照射を実施できるからである。自動車9の前方路面上には垂直なスクリーン12が想定される。これは、次の図3において空中照射領域11の範囲を説明するための仮想上のスクリーンであり、車両用前照灯1に対して正対している。このスクリーン12は、路面照射領域10について設定している遠方境界線上に置いている。図2において、Pは、路面照射領域10における照射光6の到達先となっている照射地点を示す。Lは、自動車9の前後方向へ車両用前照灯1から照射地点Pまでの距離である。kは路面からの車両用前照灯1の高さである。ρは、車両用前照灯1の中心を通る水平面に対する照射光6の伏角である。伏角ρは下向きを正として定義する。伏角ρは、照射光6が下向きになるほど増大し、また、照射光6が車両用前照灯1の中心を通る水平面に対して上向きになっているときは負である。伏角ρは、水平方向前方が0°、鉛直方向真下が90°と定義される。ρの正接はk/Lとなるρ=90-tan1。路面照射領域10を照射光6で左右方向に走査するとき、路面照射領域10上の照射地点Pの軌跡として走査線15が生成される。図3において、Sαは、図4で後述する左右振向き角αについての照射光6の制御範囲を意味する。Sρは、伏角ρについての照射光6の制御範囲を意味する。V,Hは、垂直に立設した仮想上のスクリーン12上に定義される鉛直線及び水平線である。V,Hの交点としての原点は、V方向へは自動車9の運転者のほぼ目の高さであり、H方向へは走行路において走行方向を区分けするセンターラインの位置にほぼなっている。カットライン16は空中照射領域11の上側の境界線を示すものである。すなわち、照射光6の照射は、カットライン16より上には行わず、カットライン16より下の範囲に対して行われる。この車両用前照灯1では、Vに対して左側範囲、すなわち自動車9の走行車線では、照射光6が十分に遠方に届くように、高くされ、Vに対して右側の範囲、すなわち対向車線において対向車線のドライバーの目の高さより低い高さにされて、対向車のドライバーが車両用前照灯1からの照射光6により眩惑することを回避する。図4は照射光6により生成される走査線15を示している。照射光6の伏角ρを段階的に切替えると共に、伏角の各段階で照射光6の左右の向きを左右に変化させると、照射地点Pの軌跡としての走査線15が路面照射領域10に生成される。k,ρは図2において定義したとおりである。左右振向き角αは、車両用前照灯1から自動車9の前方へまっすぐに延ばした垂直面に対する照射光6の交角と定義され、自動車9の前方へ向かって左を正、右を負としている。なお、前述の図3におけるスクリーン12の原点は左右方向へ車両用前照灯1から右へずれており、該原点へ向けられた照射光6のαについては、α<0となる。α=0を自動車9の左右方向へどこに設定するかは設計者の任意である。照射光6を、伏角ρを一定にしつつ、左右の向きを変化させると、照射地点Pの軌跡としての走査線は、車両用前照灯1を通る鉛直線が地面と交わる点を中心点とする円弧となる。図5aにおいて、レンズ用アクチュエータ20は車両用前照灯1のケーシング図示せず内にレーザ光源2と光偏向器A1との間に配備される。フレーム21は車両用前照灯1のケーシングに直接又は間接に固定され、ホルダ23は、その面部がレーザ光5の光軸27に対して直角となるように、複数例えば2本又は4本の線状ばね26によりフレーム21に支持される。透孔22は、光軸27に中心線を揃えてホルダ23に穿設され、収束レンズ3は、中心が光軸27上になるように透孔22内に固着される。コイル25は、その軸線を光軸27に平行に揃えて、ホルダ23の透孔28内に固定され、線状ばね26を介して供給された通電電流に応じた強さの磁極を両端部に生成する。通電時のコイル25の磁力を増大させるために、コイル25内に軽量な鉄心を固着することもできる。ヨーク24は、コイル25の両端に対峙するN極及びS極を有し、フレーム21に固定されている。コイル25は、線状ばね26を介して供給される通電電流に応じてヨーク24の磁力に対する反発力又は吸引力を増減する。ホルダ23は、コイル25への通電電流が0であるときは、ヨーク24の間隙の中心に位置する。この中心位置は、典型的には、レーザ光源2-収束レンズ3の間の距離が収束レンズ3の焦点距離になる位置に設定される。ホルダ23は、ヨーク24の磁極に対するコイル25の反発力又は吸引力に応じて、線状ばね26のばね力に抗して光軸27の方向としてのDa方向へ変位する。したがって、ホルダ23の光軸方向位置はコイル25への通電電流により制御することができる。収束レンズ3は、ホルダ23と一体にDa方向へ変位する。また、レーザ光源2は収束レンズ3の焦点距離内に位置する。収束レンズ3とレーザ光源2との距離の変化に伴い、光偏向器A1におけるレーザ光5の横断面30の直径は、図5bのように増減する。照射光6による照射地点Pにおける光スポットの径は、光偏向器A1におけるレーザ光5の横断面の直径に応じて増減するので、レンズ用アクチュエータ20による収束レンズ3の光軸方向変位により制御することができる。なお、光偏向器A1におけるレーザ光5の横断面はほぼ円となるのに対し、照射光6による照射地点Pにおける光スポットは、路面照射領域10が照射光6の光軸方向に対して傾斜しているために、自動車9の前後方向へ長い楕円状になる。なお、光偏向器A1におけるレーザ光5の横断面30とは、換言すれば、光偏向器A1における照射光6の横断面のことである。図6において、光偏向器A1は、入射された光を反射するミラー部31と、ミラー部31の外側に配設されてミラー部31を支持する可動部39と、ミラー部31を可動部39に対して揺動軸線X1の周りに揺動させるための圧電アクチュエータ38a~38dと、可動部39の外側に配設されて可動部39を支持する支持基体41と、支持基体41に対して可動部39を揺動軸線X2の周りに揺動させるための圧電アクチュエータ40a,40bとを備えている。揺動軸線X1,X2はミラー部31の中心において直交し、揺動軸線X2は典型的には左右方向水平に設定され、揺動軸線X1は揺動軸線X2の周りのミラー部31の回動に伴い、鉛直線に対して傾動し、この傾動角は照射光6のρと対応関係をもつ。また、揺動軸線X1の周りのミラー部31の回動角は照射光6のαと対応関係をもつ。ミラー部31は、円板状のミラー部基体31aと、このミラー部基体31a上に光の反射面として形成された金属薄膜31bとを備え、ミラー部基体31aの直径方向の両端から外側へ向かって1対のトーションバー32a,32bが延設されている。そして、ミラー部31は、これらのトーションバー32a,32bを介して可動部39に連結されて、該可動部39に搭載されている。具体的には、可動部39は、方形枠状に形成されており、ミラー部31の周囲を囲むように設けられている。そして、ミラー部基体31aから延設されたトーションバー32a,32bのそれぞれの先端部が、可動部39の内周部に連結されている。これにより、ミラー部31は、トーションバー32a,32bを介して可動部39に連結されていると共に、トーションバー32a,32bの捩れによって、該トーションバー32a,32bの軸心たる揺動軸線X1の周りに揺動可能となっている。ミラー部31を可動部39に対して揺動させる圧電アクチュエータ38a~38dは、本実施形態では、2対備えられている。その一方の対の圧電アクチュエータ38a,38cは、可動部39の内側でトーションバー32aを挟んで対向するように配置され、他方の対の圧電アクチュエータ38b,38dは、可動部39の内側でトーションバー32bを挟んで対向するように配置されている。以降、これらの圧電アクチュエータ38a~38dを内側圧電アクチュエータ38a~38dという。また、これらの内側圧電アクチュエータ38a~38dを区別する必要が無いときは、それぞれを総称的に内側圧電アクチュエータ38という。各内側圧電アクチュエータ38は、圧電駆動によって屈曲変形するように構成された圧電カンチレバーにより構成されている。そして、一方の対の内側圧電アクチュエータ38a,38cは、トーションバー32aと直交する方向揺動軸線X1と直交する方向に延在しており、それぞれの先端部がトーションバー32aに連結されると共に、それぞれの基端部が可動部39の内周部に連結されている。同様に、圧電アクチュエータ38b,38dは、トーションバー32bと直交する方向揺動軸線X1と直交する方向に延在しており、それぞれの先端部がトーションバー32bに連結されると共に、それぞれの基端部が可動部39の内周部に連結されている。支持基体41は、方形枠状に形成されており、可動部39の周囲を囲むように設けられている。そして、ミラー部31及び可動部39を支持基体41に対して揺動させる一対の圧電アクチュエータ40a,40bが、支持基体41の内周部と可動部39の外周部との間で、可動部39を挟んで揺動軸線X2の方向揺動軸線X1と直交する方向に対向するようにして配置されており、これらの圧電アクチュエータ40a,40bを介して、可動部39が支持基体41に支持されている。以降、これらの圧電アクチュエータ40a,40bを外側圧電アクチュエータ40a,40bという。また、これらの外側圧電アクチュエータ40a,40bを区別する必要が無いときは、それぞれを総称的に外側圧電アクチュエータ40という。各外側圧電アクチュエータ40は、圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成された複数図示例では4つの圧電カンチレバー33iただし、i=1,2,3又は4を連結して構成されている。この場合、各外側圧電アクチュエータ40を構成する複数の圧電カンチレバー33iは、支持基体41の内周部と可動部39の外周部との間で、揺動軸線X2と直交する方向揺動軸線X1と同方向に延在して、該揺動軸線X2の方向に間隔を空けて並ぶように配置されていると共に、そのそれぞれの圧電カンチレバーが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結されている。したがって、各外側圧電アクチュエータ40は、揺動軸線X2と直交する方向を振幅方向として蛇行するようにして延在している。そして、各外側圧電アクチュエータ40の一端部最も支持基体41寄りの圧電カンチレバー334の基端部が、支持基体41の内周部に連結されると共に、他端部最も可動部39寄りの圧電カンチレバー331の先端部が、可動部39の外周部に連結されている。これにより、可動部39が、外側圧電アクチュエータ40a,40bを介して支持基体41に支持されていると共に、各外側圧電アクチュエータ40を構成する圧電カンチレバー33iただし、i=1,2,3又は4の屈曲変形によって支持基体41に対して揺動軸線X2の周りに揺動可能となっている。以降の説明では、各外側圧電アクチュエータ40を構成する圧電カンチレバー33iただし、i=1,2,3又は4をそれぞれ、可動部39側から順番に1番目、2番目、3番目、4番目の圧電カンチレバーとし、圧電カンチレバー331,333を奇数番目の圧電カンチレバー33奇数、圧電カンチレバー332,334をそれぞれ偶数番目の圧電カンチレバー33偶数ということがある。図7に示すように、外側圧電アクチュエータ40aに電圧を印加して、可動枠39側先端部側から奇数番目の圧電カンチレバー331,333を上方向に屈曲変形させると共に、偶数番目の圧電カンチレバー332,334を図7において下方向に屈曲変形させる。このとき、圧電カンチレバー334は、支持部41と連結した基端部を支点として、その先端部に下方向の角度変位が発生している。また、圧電カンチレバー333は、圧電カンチレバー334の先端部と連結した基端部を支点として、その先端部に下方向の角度変位が発生している。また、圧電カンチレバー332は、圧電カンチレバー333の先端部と連結した基端部を支点として、その先端部に下方向の角度変位が発生している。また、圧電カンチレバー331は、圧電カンチレバー332の先端部と連結した基端部を支点として、その先端部可動枠39と連結しているに下方向の角度変位が発生している。これにより、外側圧電アクチュエータ40aでは、各圧電カンチレバー33,33の屈曲変形の大きさを加算した大きさの角度変位が発生する。なお、図示例の光偏向器A1では、各外側圧電アクチュエータ40を構成する圧電カンチレバー33iの個数は4個であるが、より多くの圧電カンチレバー33iにより各外側圧電アクチュエータ40を構成するようにしてもよいことはもちろんである。内側圧電アクチュエータ38a~38dのそれぞれと、外側圧電アクチュエータ40a,40bを構成する圧電カンチレバー33iただし、i=1,2,3又は4のそれぞれとは、図8に模式的な断面図で示すように、起歪体カンチレバー本体としての支持体34の層上に下部電極35、圧電体36及び上部電極37の層を積層した構造の圧電カンチレバーであり、下部電極35と上部電極37との間で圧電体36に駆動電圧を印加することで、圧電体36と共に支持体34が屈曲変形するようになっている。なお、外側圧電アクチュエータ40a,40bのそれぞれの隣合う圧電カンチレバー33mただし、m=1,2又は3の連結部は、その隣合う圧電カンチレバー33m1のそれぞれの支持体34を一体に連結した部分となっており、その連結部には、圧電体36及び上部電極37の層あるいは下部電極35、圧電体36及び上部電極37の層は設けられていない。光偏向器A1は、内側圧電アクチュエータ38a,38bの上部電極37と下部電極35との間にそれぞれ駆動電圧を印加するための上部電極パッド42a及び下部電極パッド43aと、内側圧電アクチュエータ38c,38dの上部電極37と下部電極35との間にそれぞれ駆動電圧を印加するための上部電極パッド42b及び下部電極パッド43bとを支持基体41上に備えている。また、光偏向器A1は、外側圧電アクチュエータ40aの奇数番目の圧電カンチレバー33奇数の上部電極37と下部電極35との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッド42cと、外側圧電アクチュエータ40aの偶数番目の圧電カンチレバー33偶数の上部電極37と下部電極35との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッド42eと、上部電極パッド42c,42eに対して共通の下部電極パッド43cと、外側圧電アクチュエータ40bの奇数番目の圧電カンチレバー33奇数の上部電極37と下部電極35との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッド42dと、外側圧電アクチュエータ40bの偶数番目の圧電カンチレバー33偶数の上部電極37と下部電極35との間に駆動電圧を印加するための上部電極パッド42fと、上部電極パッド42d,42fに対して共通の下部電極パッド43dとを支持基体41上に備えている。下部電極35と下部電極パッド43a~43dとは、支持体34を構成する半導体基板例えばシリコン基板上の金属薄膜本実施形態では2層の金属薄膜。以下、下部電極層ということがあるを、半導体プレーナプロセスを用いて形状加工することにより形成されている。この金属薄膜の材料としては、例えば、1層目下層にはチタンTiを用い、2層目上層には、白金Ptが用いられる。この場合、各内側圧電アクチュエータ38圧電カンチレバーの下部電極35は、該内側圧電アクチュエータ38の支持体34上のほぼ全面に形成され、各外側圧電アクチュエータ40の圧電カンチレバー33iただし、i=1,2,3又は4の下部電極35は、それぞれ、支持体14直線部各圧電カンチレバー33iが延在する部分と連結部とを合わせた全体上のほぼ全面に形成されている。そして、下部電極パッド43a~43dは、支持基体41上及び可動部39上に形成された下部電極層を介して、それぞれ、内側圧電アクチュエータ38a,38bの下部電極35、内側圧電アクチュエータ38c,38dの下部電極35、外側圧電アクチュエータ40aの下部電極35、外側圧電アクチュエータ40bの下部電極35に導通される。各内側圧電アクチュエータ38圧電カンチレバー及び各外側圧電アクチュエータ40の圧電カンチレバー33iただし、i=1,2,3又は4のそれぞれの圧電体36は、半導体プレーナプロセスを用いて、下部電極層上の1層の圧電膜以下、圧電体層ということがあるを形状加工することにより、それぞれの圧電カンチレバーの下部電極35上に互いに分離して形成されている。この圧電膜の材料としては、例えば、圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTが用いられる。この場合、各内側圧電アクチュエータ38の圧電体36は、各内側圧電アクチュエータ38毎に、下部電極35上のほぼ全面に形成されている。また、各外側圧電アクチュエータ40a,40bの圧電体36は、各圧電カンチレバー33iただし、i=1,2,3又は4の延在部分直線部において、下部電極35上のほぼ全面に形成されている。各上部電極37と、上部電極パッド42a~42fと、これらを導通する上部電極配線図示せずは、半導体プレーナプロセスを用いて、圧電体層上の金属薄膜本実施形態では1層の金属薄膜。以下、上部電極層ということがあるを形状加工することにより形成されている。この金属薄膜の材料としては、例えば白金Pt又は金Auが用いられる。この場合、内側圧電アククチュエータ38及び外側圧電アクチュエータ40のそれぞれの上部電極37は、各圧電カンチレバー毎に、圧電体36上のほぼ全面に形成されている。そして、上部電極パッド42a,42bは、それぞれ、内側圧電アクチュエータ38a,38bの上部電極37、内側圧電アクチュエータ38c,38dの上部電極37に、上部電極配線図示せずを介して導通される。また、上部電極パッド42c~42fは、それぞれ、外側圧電アクチュエータ40aの奇数番目の圧電カンチレバー33奇数の上部電極37、外側圧電アクチュエータ40bの奇数番目の圧電カンチレバー33奇数の上部電極37、外側圧電アクチュエータ40aの偶数番目の圧電カンチレバー33偶数の上部電極37、外側圧電アクチュエータ40bの偶数番目の圧電カンチレバー33偶数の上部電極37に、上部電極配線図示せずを介して導通される。ミラー部31の反射面を構成する金属薄膜31bは、半導体プレーナプロセスを用いて、ミラー部基体31a上の金属薄膜本実施形態では1層の金属薄膜を形状加工して形成されている。その金属薄膜の材料としては、例えばAu,Pt,銀Ag,アルミニウムAl等が用いられる。また、ミラー部基体31aと、トーションバー32a,32bと、支持体34と、可動部39と、支持基体41とは、複数の層から構成される半導体基板シリコン基板を形状加工することにより一体的に形成されている。半導体基板を形状加工する手法としては、フォトリソグラフィ技術やドライエッチング技術等を利用した半導体プレーナプロセス及びMEMSmicroelectricmechanicalsystemsプロセスが用いられる。さらに、光偏向器A1は、ミラー部31の揺動偏向走査を制御する制御回路50に接続されている。制御回路50は、CPU、プロセッサ等を含む電子回路ユニットである。制御回路50は、内側圧電アクチュエータ38を圧電駆動するための駆動電圧を制御することで、ミラー部31の揺動軸線X1周りでの揺動偏向走査を行なわせる第1制御手段51と、外側圧電アクチュエータ40を圧電駆動するための駆動電圧を制御することで、ミラー部31の揺動軸線X2周りでの揺動偏向走査を行なわせる第2制御手段52と、レンズ用アクチュエータ20のコイル25図5の通電電流を制御する第3制御手段53とを備えている。以上説明した光偏向器A1においては、内側圧電アクチュエータ38a~38dが、本発明における第1の圧電アクチュエータに相当し、外側圧電アクチュエータ40a,40bが、本発明における第2の圧電アクチュエータに相当し、揺動軸線X1,X2が、それぞれ本発明における第1及び第2の軸線に相当し、レンズ用アクチュエータ20が本発明におけるレンズ変位手段に相当し、制御回路50が本発明における制御手段に相当する。次に、光偏向器A1を含む車両用前照灯1の作動について説明する。光偏向器A1は、レーザ光源2から収束レンズ3を経由してミラー部31に入射するレーザ光5を、揺動軸線X1,X2周りのミラー部31の揺動角に応じた向きに反射した照射光6とし、照射光6により自動車9の前方の路面照射領域10及び空中照射領域11を走査する。光偏向器A1は、また、レンズ用アクチュエータ20を使って、照射地点Pにおける照射光6のスポット径を変化させる。この場合、内側圧電アクチュエータ38a~38dを第1制御手段51により圧電駆動することで、ミラー部31の揺動軸線X1周りの揺動が行なわれ、外側圧電アクチュエータ40a,40bを第2制御手段52により圧電駆動することで、ミラー部31の揺動軸線X2周りの揺動が行なわれる。揺動軸線X1周りのミラー部31の揺動は、照射光6の左右振向き角αを変化させて、路面照射領域10及び空中照射領域11に照射光6の左右方向走査線としての走査線15を生成する。揺動軸線X2周りのミラー部31の揺動は、照射光6の伏角ρを変化させ、走査線15を各左右方向走査ごとに、自動車9の前後方向へ移動させていく。ミラー部31の揺動軸線X1周りの揺動では、内側圧電アクチュエータ38a,38bのそれぞれの上部電極37と下部電極35との間に第1の電圧を印加すると共に、内側圧電アクチュエータ38c,38dのそれぞれ上部電極37と下部電極35との間に第2の電圧を印加する。この場合、第1の電圧と第2の電圧とは、互いに逆位相、あるいは位相のずれた所定周波数の交流電圧例えば正弦波とされる。これにより、一方の対の内側圧電アクチュエータ38a,38cが、互いに逆方向に屈曲変形するように圧電駆動されると共に、他方の対の内側圧電アクチュエータ38b,38dも、互いに逆方向に屈曲変形するように圧電駆動される。これらの屈曲変形により、トーションバー32a,32bの捩れ変形が発生する。ひいては、ミラー部31は、揺動軸線X1周りに揺動する。これにより、揺動軸線X1周りでの光の偏向走査が行なわれる。一方、ミラー部31の揺動軸線X2周りの揺動では、外側圧電アクチュエータ40a,40bを圧電駆動する第2制御手段52は、外側圧電アクチュエータ40a,40bのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー33偶数を圧電駆動するための第1駆動電圧を出力する第1駆動電圧出力手段52aと、外側圧電アクチュエータ40a,40bのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー33奇数を圧電駆動するための第2駆動電圧を出力する第2駆動電圧出力手段52bとを備えている。そして、第2制御手段52は、外側圧電アクチュエータ40a,40bのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー33偶数のそれぞれの下部電極35と上部電極37と間に、第1駆動電圧を印加することで、各圧電カンチレバー33偶数を圧電駆動して屈曲変形させる。同時に、第2制御手段52は、外側圧電アクチュエータ40a,40bのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー33奇数のそれぞれの下部電極35と上部電極37と間に、第2駆動電圧を印加することで、各圧電カンチレバー33奇数を圧電駆動して屈曲変形させる。図9は照射光6の伏角と伏角方向走査速度との関係の一例であり、図10は照射光6について伏角と直径との関係の一例となっている。照射光6の伏角方向の走査速度は、路面照射領域10では自動車9の前後方向の走査速度に対応する。照射光6の直径とは、ここではミラー部31の箇所における照射光6の直径である。伏角ρ≦0°とは、照射光6の向きが水平方向又はそれより上向きになっていることを意味し、そのような照射光6は、地面を照らすことなく遠方へ向かうことになる。図9及び図10の関係では、伏角ρ≦0°の範囲では、照射光6の伏角方向走査速度及び照射光6の直径共に一定であり、ρ>0°の範囲では、ρの増大に連れて、照射光6の伏角方向走査速度は直線的に増大し、照射光6の直径は直線的に減少している。照射光6の伏角方向走査速度は、第2制御手段52が外側圧電アクチュエータ40を介して制御する。照射光6の直径は、第3制御手段53がレンズ用アクチュエータ20を介して制御する。照射光6の横断面の直径が変化すれば、照射地点Pにおける照射光6による光スポットの径も変化する。図9では、ρ>0°の範囲では、伏角方向走査速度が伏角ρの単調増加関数であることを1本の直線で定義しているが、曲線又は複数の直線で定義することもできる。図10では、ρ>0°の範囲では、照射光の直径が伏角ρの単調減少関数であることを1本の直線で定義しているが、曲線又は複数の直線で定義することもできる。伏角方向の走査速度はレンズ用アクチュエータ20を介して第3制御手段53により制御される。照射地点Pにおける照射光6による光スポットは、伏角方向及び左右方向共に走査速度が遅いときほど、各照射地点Pに留まる時間が増大し、各照射地点Pが明るくなる。また、照射光6の直径が増加するに連れて、照射地点Pにおける光スポットの単位面積当たりの光量が低下し、暗くなる。さらに、照射光6の伏角方向の走査速度を適当に遅くし、かつ照射地点Pにおける光スポットの径自動車9の前後方向のを適当に増大させれば、水平方向走査用の走査線15を自動車9の前後方向へ部分的に重ならせることができる。走査線15が自動車9の前後方向へ重なる地点は、重ならない地点よりも明るくなる。このように、車両用前照灯1では、路面照射領域10及び空中照射領域11において、任意の照射パターンが、照射地点Pにおける光スポットの径、光スポットの左右方向走査速度、光スポットの前後方向走査速度、レーザ光源2の発光量レーザ光源2の通電量だけでなく、レーザ光源2のオン、オフによる発光量変化も含む。を介する照射光6の制御により生成される。図9における伏角と伏角方向走査速度との関係によれば、ρ>0°の範囲では、照射光6が下向きになるほど、すなわち照射光6が自動車9の近くを照射している時ほど、伏角方向走査速度は増大するように、第2制御手段52は外側圧電アクチュエータ40を介してミラー部31を制御する。また、図10における伏角と照射光6の直径との関係によれば、ρ>0°の範囲では、照射光6が下向きになるほど、すなわち照射光6が自動車9の近くを照射している時ほど、照射光6の直径は減少するように、第3制御手段53はレンズ用アクチュエータ20を介して収束レンズ3を制御する。図11は、照射光6により路面照射領域10及び空中照射領域11をラスタースキャンしたときの照度単位面積当たりの照射光量を照度と定義する。分布及び走査線15の密度を概念的に示している。V,Hは図2及び図3のスクリーン12において定義されているV,Hと同一のものである。ただし、図2及び図3では、スクリーン12の下端は、地上高=0となっているが、図11では、スクリーン12を車両用前照灯1に適当に接近した位置にすると共に、スクリーン12の下端を仮想的に地上高=0より下に延長して、路面照射領域10の範囲における走査線15もスクリーン12上に表すようにしている。図11には、走査線15は、カットライン16より上にも示されているが、カットライン16の設定に伴い、カットライン16より上への照射光6の照射は中止される。照射光6の照射の中止は、レーザ光源2のオフにより実施することもできるしこの場合、ミラー部31の左右方向揺動による走査は照射光無しの空走査になる。、第2制御手段52による圧電アクチュエータ40a,40bを介するミラー部31の伏角方向回動範囲の上限を、カットライン16の対応角にすることによっても実施することができる。図11において、黒っぽくなっている所ほど、照度が高いことを示している。したがって、V,Hの交点近傍の範囲が明るく照らされている。図11では、走査線15の個数は、実際のものとは相違しており、図11は単に照射領域における走査線15の密度分布を概念的に示しただけである。図11において、aは従来のもの、b~dはそれぞれ本発明の実施形態1~3のものとなっている。なお、図11では、内側圧電アクチュエータ38による揺動軸線X1の周りのミラー部31の回動速度、すなわち、照射光6の左右方向走査速度は等速となっている。また、内側圧電アクチュエータ38による揺動軸線X1の周りのミラー部31の回動は、ミラー部31を左向きの方へ変化させる往路行程と、右向きの方へ変化させる復路行程とがあるが、図11では、イレーザ光源2を往路行程及び復路行程の一方の行程のみオンにして、他方の行程ではオフにして、一方の行程のみ照射光6を照射してもよいし、ロ往路行程及び復路行程共にオンにして、往路行程及び復路行程共に照射光6を照射してもよい。同様に、外側圧電アクチュエータ40による揺動軸線X2の周りのミラー部31の回動は、ミラー部31を上向きの方へ変化させる往路行程と、下向きの方へ変化させる復路行程とがあるが、図11では、ハレーザ光源2を往路行程及び復路行程の一方の行程のみオンにして、他方の行程ではオフにして、一方の行程のみ照射光6を照射してもよいし、ニ往路行程及び復路行程共にオンにして、左右方向往路行程及び復路行程共に照射光6を照射してもよい。なお、典型的には、ロ及びニでは、一方の行程の所要時間と他方の行程の所要時間とは等しく設定するのに対し、イ及びハの場合には、他方の行程レーザ光源2をオフにする行程の所要時間はオンにする一方の行程レーザ光源2をオンにする行程の所要時間より短く設定する。図11aの従来の走査線分布では、スクリーン12上ではV伏角方向に等密度分布になる。前述の図2を参照して補足説明すると、伏角方向ρの単位量例えば1°に割当てられる走査線15の本数がρに関係なく等しくされる場合、路面照射領域10上での前後方向単位長さ当たりの走査線15の本数は、自動車9から遠い地点ほど、減少する。自動車9の前後方向の走査線15の分布密度の低下は、走査線15により照射されない領域部分の増大につながる。したがって、路面照射領域10において、自動車9から遠い地点ほど、走査線15により照射されない領域部分の増大し、暗くなってしまう。これに対し、図11bの実施形態1では、図9で説明した制御方式を採用し、照射光6を遠方地点へ向けているときほど、伏角方向の走査速度が減少するので、路面照射領域10において、遠方地点における走査線15の分布密度を近傍地点の分布密度に近付けたり、あるいは多くさせたりすることが可能になる。こうして、路面照射領域10における走査線15の密度を制御することにより、路面照射領域10における遠方地点と近傍地点との照度ムラが解消される。図11cの実施形態2では、図10で説明した制御方式を採用し、照射光6を遠方地点へ向けているときほど、照射光6の直径は増大し、この結果、路面照射領域10における走査線15の幅自動車9の前後方向寸法は増大する。図11aのように、幅が一定の走査線15により路面照射領域10を伏角方向へ等速で走査する場合には、遠方の照射領域部分ほど、伏角方向へ隣接する走査線15間の間隙部分、すなわち照射光6により照射されなかった闇部61図11cの幅自動車9の前後方向寸法は増大し、暗くなる。これに対し、図11cのように、照射光6により遠方の照射領域部分を照射しているほど、照射光6の直径を増大して、照射地点Pの光スポットの径を増大し、これにより走査線15の幅を増大させる。これにより、闇部61の幅を減少させて、該照射領域部分を明るくすることができると共に、照度ムラが解消される。照射地点Pの光スポットにおける照射光6の横断面の単位面積当たりの光量は、照射地点Pにおける光スポットの直径が増大するに連れて減少し、これは走査線15の単位幅にする光量の減少の原因になり、照射光6の直径の増大による闇部の幅の減少と相殺されて、遠方範囲の照度を十分に増大できないことが起こり得る。これに対処して、照射光6の直径の増大する場合には、レーザ光源2の発光量を増大させて、照射光6の直径に関係なく、照射地点Pの光スポットにおける単位面積当たりの光量を一定にしたり、遠方の照射地点Pにおける光スポットほど光スポットの単位面積当たりの光量を増大させたりすることができる。図10における伏角方向連動の照射光6の直径制御と図9における伏角方向連動の伏角方向走査速度制御とを併用することが可能である以下、第1変形例という。。第1変形例では、伏角が小さい範囲では、照射光6の直径が増大すると共に、伏角方向走査速度が十分に減少する。この結果、路面照射領域10の遠方範囲では、伏角方向へ隣接する走査線15同士が伏角方向走査線15の幅方向へ部分的に重なり合うことが起こる。走査線15が伏角方向へ重なり合って、照射光6が照射される地点では、照度が上昇する。これにより、路面照射領域10における遠方照射領域部分が近傍照射領域部分に対して暗くなっていた従来技術図11aに対して、第1変形例では、遠方部分の照度を上昇させて、路面照射領域10における照度ムラを改善することができる。第1変形例では、伏角が小さい範囲では、照射光6の直径が増大すると共に、伏角方向走査速度が十分に減少している。これに対して、第2変形例として、伏角が小さい範囲では、照射光6の直径が減少するとともにこの場合、図10の右肩下がりの関係とは逆に右肩上がりの関係になる。、伏角方向走査速度が低伏角領域においてさらに顕著に低速となるように制御することも可能である。レーザ光源2の光量が固定である場合には、照射光6の直径が小さい方が走査線15の幅が減少するが、単位幅当たりの光量は増大するので、照射光6の直径の減少と走査線15の伏角方向走査速度の一層の減少とを同時に実施することにより遠方の照射領域の照度を増大して、照射ムラを解消することができる。図11dの実施形態3では、伏角方向走査速度の制御について、図11bの実施形態1と同一の制御方式を採用している。すなわち、実施形態3では、図9で説明した制御方式の採用しながらも、伏角方向走査角範囲を変更している。すなわち、実施形態3では、伏角方向走査速度については、図9で説明した制御方式の採用しつつ、空中照射領域11図2又は図3の上側境界線を図11bのものより所定量、上に変更している。上側境界線の上側への変更は、第2制御手段52が外側圧電アクチュエータ40を介してミラー部31の伏角制御範囲におけるρの下限ρは下向きが正であるので、照射光の6の上向きの限界はρの下限になる。を調整することにより、行われる。照射光6がρ≦0°の向きになったときには、図10に示すように、照射光6の直径は一定に保持する。実施形態3では、さらに、伏角方向走査範囲が実施形態1のものより上側へ延長されている。図11dでは、伏角方向走査範囲の下側の境界線は実施形態1のものと同一とされているが、伏角方向走査範囲の上側の境界を上側へ移した伏角方向の角度分だけ、下側の境界を上へ移して、実施形態3における伏角方向走査範囲を実施形態1のものと同一にすることもできる。車両用前照灯1は、第2制御手段52によるミラー部31の回動角範囲を、実施形態1による照射に対応付けられるものと、実施形態3による照射に対応付けられるものとに適宜、切替えられるようにして、ロービームで使用する場合には、実施形態1における照射とし、ハイビームで使用する場合には、実施形態3における照射とすることにより、路面照射領域10及び空中照射領域11における照度ムラを解消しつつ、車両用前照灯1をロービーム用とハイビーム用とに兼用することができる。図12は、自動車9が走行中に車両用前照灯1により前方を照射するときの路面照射領域10における照度分布の一例を示している。図12において、縦軸の目盛り=0は自動車9の左右中心点、換言すれば自動車9が装備する左右の車両用前照灯1に対する左右方向中心点になっている。したがって、図12の横軸は自動車9の左右方向中心線の前方延長線60となる。横軸の目盛りは自動車9から前方の距離を示している。図12において、各線は、同一の照度の照射点を連ねた等照度線であり、内外に隣り合う等照度線間の照度差は等しくされている。内側の等照度線ほど、高い照度を表している。最外側の等照度線は、照度=1ルクス1lxである。照度=1ルクスは運転者がそれ以下の照度では目で照射光6が照射されていない地点と判断する目安としてここで選択しており、ここでは照度=1ルクスの等照度線を路面照射領域10の境界線に設定している。図12のような照度分布を得るために、照射地点Pにおける光スポットの径、光スポットの左右方向走査速度、光スポットの前後方向走査速度、さらには、レーザ光源2の発光量レーザ光源2の通電量だけでなく、レーザ光源2のオン、オフによる発光量変化も含む。を組合せて制御する。照度を高くする照射地点P向けの照射光6ほど、あ照射光6の横断面の径を減少させつつ自動車9の前後方向への照射光6の走査速度を低下させるか、い照射光6の横断面の径を所定寸法に増大させつつ走査線15が自動車9の前後方向へ重なるように照射光6の走査速度を十分に落とすか、又はうレーザ光源2の発光量を増大させる。又はあ~うを組合わせて、所望の照射地点P向けの照射光6を明るくすることができる。図13は、照射光6の色を照射地点Pに応じて任意の色に調整できる車両用前照灯70の構造図である。図1の車両用前照灯1では、単色のレーザ光源2を使用しているが、車両用前照灯70では、それぞれ赤、緑及び青を発光するレーザ光源72r,72g,72bが設けられる。ハーフミラー73a,73b,73cは、レーザ光5の光軸に沿って一列に並び、レーザ光源72r,72g,72bからの赤、緑及び青の光を、90°向きを変えて、光偏向器A1の方へ向ける。収束レンズ3a,3b,3cは、それぞれレーザ光源72r-ハーフミラー73a間、レーザ光源72g-ハーフミラー73b間,及びレーザ光源72b-ハーフミラー73c間に配設されている。レンズ用アクチュエータ20の図示は省略しているが、収束レンズ3a,3b,3cについても、図1の収束レンズ3と同様に、赤、緑及び青の光束の光軸方向へ変位させて、各光束の横断面の径を調整する。照射地点Pにおける照射光6による光スポットの色は、レーザ光源72r,72g,72bの輝度の比率により決まる。したがって、レーザ光源72r,72g,72bの輝度を照射光6の伏角ρ及び左右振向き角αに応じて調整することにより、照射地点Pにおける光スポットの色を任意に調整することができる。例えば、自動車の自動走行技術分野において周知の障害物検知装置により路面照射領域10における歩行者、自転車や障害物を検知して、該歩行者等へ照射光6が向いた時は、照射光6の色を特定の色にして、自動車9のドライバーによる該歩行者等の注意度を高める。また、歩行者や自転車の運転者に対しては、眩惑を回避するため、歩行者の顔に対する照射光6の照射は回避して、身体部のみに特定の色で照射光6を照射することもできる。図14は、別の光偏向器A2の構成図である。光偏向器A2の各構造部位において、光偏向器A1の構造部位と同一のものについては光偏向器A1の対応構造部位と同一の符号を付して、説明は省略し、相違点についてのみ説明する。光偏向器A1では、左右方向走査が内側圧電アクチュエータ38a~38dによる共振駆動により、また、前後方向走査が外側圧電アクチュエータ40a,40bによる非共振駆動により行われるのに対し、光偏向器A2では、内側圧電アクチュエータ90a,90bの採用により、左右方向走査及び伏角方向走査共に非共振駆動となる。左右方向走査についても非共振駆動としたことにより、照射光6の左右方向走査速度を左右振向き角αに応じたものに円滑に制御することができる。一方の内側圧電アクチュエータ90aは、4つの圧電カンチレバー圧電アクチュエータ90aの先端部側から奇数番目の2つの圧電カンチレバー831,833と、偶数番目の2つの圧電カンチレバー832,834が連結されて構成されている。また、他方の内側圧電アクチュエータ90bも、4つの圧電カンチレバー圧電アクチュエータ90bの先端部側から奇数番目の2つの圧電カンチレバー841,843と、偶数番目の2つの圧電カンチレバー842,844が連結されて構成されている。各圧電カンチレバー831~4,841~4は、外側圧電アクチュエータ40a,40bと同様に、支持体と下部電極と圧電体と上部電極とを備えている。支持部41の一方の辺部には、光偏向器A1の上部電極パッド42a及び下部電極パッド43aは省略されて、代わりに、上部電極パッド82c,82e及び下部電極パッド83cが配備され、支持部41の他方の辺部には、光偏向器A1の上部電極パッド42b及び下部電極パッド43bは省略されて、代わりに、上部電極パッド82d,82f及び下部電極パッド83dが配備される。上部電極パッド82c,82e及び下部電極パッド83cは、上部電極パッド42c,42e及び下部電極パッド43cに対応し、第1制御手段5は、上部電極パッド82cと下部電極パッド83cとの間に制御電圧を印加して、奇数番目の圧電カンチレバー831833を駆動する。また、上部電極パッド82eと下部電極パッド83cとの間に制御点圧を印加して、偶数番目の圧電カンチレバー832834を駆動する。上部電極パッド82d,82f及び下部電極パッド83dは、上部電極パッド42d,42f及び下部電極パッド43dに対応し、上部電極パッド82dと下部電極パッド83dとの間に制御電圧を印加して、奇数番目の圧電カンチレバー841843を駆動する。また、上部電極パッド82fと下部電極パッド83dとの間に制御電圧を印加して、偶数番目の圧電カンチレバー842844を駆動する。こうして、ミラー部1と一体運動するミラー部支持体31aを内側圧電アクチュエータ90a,90bにより揺動軸線X1の周りに往復回動させて、照射光6を左右方向走査線で照射することができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、これら実施形態に限定されることなく、その要旨の範囲内で種々の形態で実施することが可能である。前述の実施形態では、照射光6の横断面の径を連続的に増減させ、かつ外側圧電アクチュエータ40による軸線X2周りのミラー部31の各揺動周期の間では、同一のα及びρの照射光6は、横断面径や伏角方向走査速度や光量が同一となっている。これに対し、同一のα及びρの照射光6は、揺動周期間で異ならせるものの例:走査の間引き、一定領域のみ集中照射、又は前回の走査では光径で調整して今回の走査では走査速度で調整。、所定期間の平均照度としては、各照射地点P各所望の照度となるように制御することもできる。前述の実施形態では、半導体光源としてレーザ光源2を用いているが、レーザ光源2以外の半導体光源として、例えばLEDを用いることができる。レーザ光源とLEDとの相違点は発光分布にある。すなわち、LEDは広角な発光を行うので、LEDの発光を直進性の必要な走査光として用いるためには、LEDの発光を例えばコリメートレンズに通して、直進発光へ変換すればよい。"