構造物体4を検査するための顕微鏡装置であって、-カメラ1、-前記カメラ1において視野に応じて前記物体4の画像を生成することができ、かつ、前記物体4の側に配置された遠位レンズ3を含む光学画像化手段2、及び-複数の赤外線波長を有する測定ビーム6を含み、かつ、前記測定ビーム6の逆反射と少なくとも1つの別の光学参照との干渉によって測定を行うことのできる低コヒーレンス赤外線干渉計5を含む顕微鏡装置において:-前記測定ビームが遠位レンズ3を通過するように、及び、前記測定ビームが、画像化手段2の視野に実質的に含まれる測定領域に応じて前記物体4を遮るように、前記測定ビームを前記光学画像化手段2に導入するための結合手段7をさらに含むこと、及び-前記低コヒーレンス赤外線干渉計5が、物体4に対する前記ビーム6が対象範囲とし、かつ測定範囲を規定する光学距離に近い光学距離において発生する、前記測定ビームの逆反射6のみによって測定が行われるように、調節されることを特徴とする顕微鏡装置。前記遠位レンズ3が、可視波長で画像を生成するように設計されていることを特徴とする、請求項1に記載の装置。前記遠位レンズ3が、顕微鏡レンズを含むことを特徴とする、請求項1又は2に記載の装置。前記測定ビーム6が、1100~1700ナノメートルの波長を含むことを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の装置。前記視野及び前記測定領域の寸法を実質的に同一の割合で同時に修正するように、光学画像手段2の倍率を変更するための第1の倍率手段3、8をさらに含むことを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載の装置。前記第1の倍率手段3、8が、様々な倍率を有する光学部品を備えるタレット及び可変倍率光学部品のうち、少なくとも一方の部品を含むことを特徴とする、請求項5に記載の装置。前記視野に対して前記測定領域の寸法を修正するために、前記測定ビーム6の倍率を修正するための第2の倍率手段9をさらに含むことを特徴とする、請求項1~6のいずれか一項に記載の装置。前記物体4及び前記光学画像化手段2に関する相対変位手段10をさらに含むことを特徴とする、請求項1~7のいずれか一項に記載の装置。前記物体4及び前記測定ビーム6に関する相対変位手段11をさらに含むことを特徴とする、請求項1~8のいずれか一項に記載の装置。前記遠位レンズ3を介して前記物体4を照射するように配置され、かつ可視波長の光線25を生成する照明手段12をさらに含むことを特徴とする、請求項1~9のいずれか一項に記載の装置。前記カメラ1において、前記物体の画像と重ね合わされた干渉縞を生成し、そこから前記物体4の表面のトポグラフィを導き出すことのできる全視野干渉計13を、前記遠位レンズ3の位置にさらに含むことを特徴とする、請求項10に記載の装置。前記全視野干渉計が、前記測定ビーム6の波長に対して実質的に透過性である二色性部品30、31、32を含むことを特徴とする、請求項11に記載の装置。前記画像化手段から見て前記物体の裏側に配置され、かつ1マイクロメートルよりも高い波長を有する光源を含む照明手段14をさらに含むことを特徴とする、請求項1~12のいずれか一項に記載の装置。前記低コヒーレンス赤外線干渉計5が、前記測定範囲において:-前記測定ビームの波長に対して実質的に透過性である材料の少なくとも1つの層の光学的厚さ、-少なくともその高い部分及び少なくともその低い部分が前記測定領域に含まれているパターンの高さ、-前記測定ビーム6と前記物体4との接触点の、前記測定範囲における絶対高さの要素のうちの少なくとも1つの測定を可能にすることを特徴とする、請求項1~13のいずれか一項に記載の装置。前記カメラ1によって検出可能な少なくとも1つの波長を含み、かつ前記測定ビーム6と重ね合わされる観察ビーム15をさらに含むことを特徴とする、請求項1~14のいずれか一項に記載の装置。前記測定領域の表示を含む、前記視野の画像を生成することができる、デジタル処理及び表示手段16をさらに含むことを特徴とする、請求項1~15のいずれか一項に記載の装置。構造物体4を検査するための方法であって:-カメラ1において、視野に応じて物体4の画像を生成するステップと、前記物体4の側に配置されるように遠位レンズ3を用意するステップ、及び-複数の赤外線波長を有する測定ビーム6を発射する低コヒーレンス赤外線干渉計5を用いて、該測定ビーム6の逆反射と少なくとも1つの別の光学参照との干渉による測定を行うステップを含む方法において:-前記測定ビームが前記遠位レンズ3を通過するように、及び、前記測定ビームが前記画像化手段2の前記視野に実質的に含まれる測定領域に応じて前記物体4を遮るように、前記測定ビームを前記光学画像化手段2に導入するための結合器7をさらに含むこと、及び-前記低コヒーレンス赤外線干渉計5が、物体4に対する前記ビーム6が対象範囲とし、かつ測定範囲を規定する光学距離に近い光学距離において発生する、前記測定ビームの逆反射6のみによって測定が行われるように、調節されることを特徴とする方法。前記視野の前記画像内の前記測定領域の位置が、事前の較正の間に記憶されることを特徴とする、請求項17に記載の方法。前記カメラ1及び前記低コヒーレンス赤外線干渉計5からの情報が、前記物体4の三次元表示を生成するために組み合わされることを特徴とする、請求項17及び18のいずれか一項に記載の方法。