先端に押圧部を形成した押圧板をステージの一側に後方からばねで押圧して移動可能に設置し、上記ステージ上に、バッキングプレートにボンディングされているスパッタリングターゲット材を配置し、そのスパッタリングターゲット材の周囲側面に、上記押圧板の押圧部を当接させてスパッタリングターゲット材に自動的に押圧力がかかるようにしたことを特徴とするスパッタリングターゲットの剥離装置。請求項1において、押圧板の先端に凹部を設けて2つの押圧部を形成したことを特徴とするスパッタリングターゲットの剥離装置。請求項1の剥離装置において、バッキングプレートにボンディングされているスパッタリングターゲット材を配置したステージをホットプレート上に載置して、加熱することにより、ボンディング用接合材が溶融し、これによって、押圧板がばねの発力によって自動的に移動し、押圧部によって押圧されているスパッタリングターゲット材がバッキングプレート上を自動的に移動してスパッタリングターゲット材が剥離することを特徴とするスパッタリングターゲットの剥離方法。ボンディング用接合材は、バッキングプレートと板状スパッタリングターゲット材の間に最適な量で使用されているため、ボンディング用接合材が溶融したことを目視で確認することは難しい。また、ボンディング用接合材が溶融したことを目視するまでの時間はバッキングプレートと板状スパッタリングターゲット材の寸法や材質によっても異なるため、ボンディング用接合材が溶融したことを一定時間ごとに確認する必要がある。さらに、ボンディング用接合材が溶融後、バッキングプレートから板状スパッタリングターゲット材を剥離する際に、ハンマー等で衝撃を与える場合があり、その際にバッキングプレートを傷つけることがある。そこで本発明は、先端に押圧部を形成した押圧板をステージの一側に後方からばねで押圧して移動可能に設置し、上記ステージ上に、バッキングプレートにボンディングされているスパッタリングターゲット材を配置し、そのスパッタリングターゲット材の周囲側面に、上記押圧板の押圧部を当接させてスパッタリングターゲット材に自動的に押圧力がかかるようにしたスパッタリングターゲットの剥離装置を構成した。上記の剥離装置において、バッキングプレートにボンディングされているスパッタリングターゲット材を配置したステージをホットプレート上に載置して加熱することにより、ボンディング用接合材が溶融し、これによって、押圧板がばねの発力によって自動的に移動し、押圧部によって押圧されているスパッタリングターゲット材がバッキングプレート上を自動的に移動してスパッタリングターゲット材をバッキングプレートから剥離できるようにした。以上の本発明によると、バッキングプレートにボンディング処理されたスパッタリングターゲット材を載置したステージをホットプレート上で加熱することにより、接合材が溶融し、押圧部によって押圧されているスパッタリングターゲット材がバッキングプレート上を自動的に移動してスパッタリングターゲット材を剥離するために、その剥離作業時に治具等によってバッキングプレートに傷を付けることがなく、しかも、スパッタリングターゲットのバッキングプレートからの剥離を確認する必要がなくなり、自動的にスパッタリングターゲットを剥離することができるという効果を有する。本発明の実施例を説明する。先端に凹部8を設けて2つの押圧部1を形成し、中程に複数の移動用の長孔2を形成してステンレス等製で押圧板3を形成する。上記押圧板3の先端に形成した押圧部1は、後述するバッキングプレート10の厚さより高い位置とするために押圧板3の下面より浮いた位置となるようにして突出形成されている。また、押圧部1の内側端部にはRを付けておくとスパッタリングターゲット材との当接部に傷を付けるようなことがない。このようにした押圧板3を、ステージ4の一側に後方からばね5で押圧するようにして設置し、上記長孔2を通す支持ピン6をステージ4に立てて押圧板3がステージ4上を移動可能となるようにする。なお、上記押圧部1の形状は上記の形状に限るものではなく、例えば、図5、図6に示す如く、両押圧部1の間の凹部8を挟んで形成し、その両押圧部1の外側を左右が一直線となるように延長した形状でもよい。スパッタリングターゲットの形状は、円形、矩形、多角形等があり、押圧板3の先端に形成した押圧面1の形状を上記した形状にしておくことによりどのような形状のスパッタリングターゲットの外周形状にも対応することができるが、剥離するスパッタリングターゲット11それぞれの外周形状の一部に合った形状にしておいてもよいもので、例えば、図7、図8に示すような、円弧状、直線状等でもよい。また、長孔と支持ピンとの構造は上記構造に限るものではなく、例えば、押圧板の両側に支持ピンを立てたりガイドを設けて押圧板を挟むようにして押圧板が移動できるようにしてもよいもので、要するに押圧板が直線移動できる構造であればどのような構造でもよい。以下に上記装置の作動例を説明する。図1、図2、図3に示す如く、バッキングプレート10材質99.9質量Cu、φ250mm×板厚3mm、段付きφ200mm×高さ1.5mmにスパッタリングターゲット材11材質99.99質量Ag、φ200mm×板厚5mmがInのボンディング用接合材によってボンディング処理されたものを用意した。そこで、図1に示すように、バッキングプレート上にボンディング処理されたスパッタリングターゲット材11をステージ4の上に配置し、ステージ4に設けた固定部7によってバッキングプレート10の端部を固定し、押圧板3の押圧部1端面をスパッタリングターゲット材11の側面に当て、これによってばね5の発力により押圧力を作用させる。このような状態にしたステージ4を、図示しないホットプレート上に載せて加熱することにより、ボンディング用接合材9であるInが溶融する。この溶融によって、押圧板3がばね5の発力によって長孔2に沿って矢印方向に自動的に移動し、これによって、図3に示す如く、スパッタリングターゲット材11はバッキングプレート10上を移動してスパッタリングターゲット材11は剥離する。剥離後のバッキングプレート10には、傷等の発生は見られなかった。以上の説明は、円板状のスパッタリングターゲット材11の場合で説明したが、図4に示す如く、矩形のスパッタリングターゲット材11においても同様にして行うことができ、さらに図示しない他の形状のスパッタリングターゲット材においても同じである。また、図示する他の押圧板3の押圧部1においても、上記と同様の作用でスパッタリングターゲット材11をバッキングプレート10から剥離させることができる。