"磁極先端部と、前記磁極先端部のエアベアリング面内において前記磁極先端部の周囲を囲む、磁気シールドとを備え、前記磁気シールドは、クロストラック方向にエッジを有するトレーリングエッジシールド部と、前記クロストラック方向に垂直な方向イントラック方向を有する2つのサイドシールド部とを含み、前記2つのサイドシールド部はそれぞれ、前記トレーリングエッジシールド部の前記エッジからイントラック方向に突出した矩形状の突出部であり、前記2つの突出部は、前記磁極先端部の周囲に対称的に水平方向に分離して配置され、前記トレーリングエッジシールド部の前記エッジと共にπ形形状を形成し、かつ、前記サイドシールド部の磁化容易軸方向がイントラック方向である垂直磁気記録ヘッド。前記磁気シールドは、NiFe、CoFeまたはCoNiFeからなる磁性材料によって形成され、厚さが0.1~1.0ミクロンの範囲である請求項1記載の垂直磁気記録ヘッド。前記サイドシールド部を形成する前記突出部は、クロストラック方向に0.1~1.0ミクロンの幅を有し、0.1~0.4ミクロンの距離で互いに分離している請求項2記載の垂直磁気記録ヘッド。前記磁気シールドは、隣接トラック消去を生じさせる前記磁極先端部におけるフリンジ磁界を排除するとともに、前記隣接トラックを越えたトラックの消去までさらに生じさせる自身の磁界を生成しない請求項1記載の垂直磁気記録ヘッド。前記突出部のアスペクト比は0.5~1.0である請求項1記載の垂直磁気記録ヘッド。前記磁極先端部はトレーリングエッジがより広い台形のエアベアリング面を有すると共にエアベアリング面から離れる方向にテーパ面を有し、かつリーディングエッジからトレーリングエッジまでの幅が、前記エアベアリング面において最も狭くなっている請求項1記載の垂直磁気記録ヘッド。エアベアリング面を有する磁極先端部を設ける工程と、前記磁極先端部のエアベアリング面の周囲に、水平方向に対称的に配置される矩形状の2つのサイドシールド部突出部を形成する工程と、前記サイドシールド部のトレーリングエッジ面を平坦化する工程と、前記2つのサイドシールド部のトレーリングエッジ面の上にトレーリングエッジシールド部を形成し、前記トレーリングエッジシールド部を前記2つサイドシールド部に接続することによりπ型形状を有するシールドを形成する工程とを含む垂直磁気記録ヘッドの製造方法。前記磁気シールドを、NiFe、CoFe、またはCoNiFeからなる磁性材料によって形成し、厚さを0.1~1.0ミクロンとする請求項7記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。前記2つのサイドシールド部を、クロストラック方向に0.1~1.0ミクロンの幅を有し、かつ0.1~0.4ミクロンの距離によって互いに分離するように形成する請求項7記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。前記シールド部のアスペクト比を0.5~1.0とする請求項7記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。前記磁極先端部はトレーリングエッジがより広い台形のエアベアリング面を有すると共にエアベアリング面から離れる方向にテーパ面を有し、かつリーディングエッジからトレーリングエッジまでの幅が、前記エアベアリング面において最も狭くなっている請求項7記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。本発明の第1の目的は、最大500Gb/in2の高面密度の記録が可能な垂直磁気記録PMRヘッドおよびその製造方法を提供することにある。本発明の第2の目的は、記録磁束が強く、高精細度を有するとともに、磁場のサイドフリンジングを大幅に減少させる垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。本発明の第3の目的は、隣接トラックの重ね書きを排除、または大幅に減少させ、個々のトラックが明確なプロファイルを有するようにできる垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。本発明の第4の目的は、磁極がトレーリングエッジおよび側面からシールドされている垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。本発明の第5の目的は、シールド自体から生じる磁束を大幅に減少させるとともに、主磁極の磁束に対するサイドシールドの効果は減少しない垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。本発明の第6の目的は、上記垂直磁気記録ヘッド用のシールドされた磁極構造を提供することにある。本発明の垂直磁気記録ヘッドは、磁極先端部と、前記磁極先端部のエアベアリング面内において前記磁極先端部の周囲を囲む、磁気シールドとを備え、前記磁気シールドは、クロストラック方向にエッジを有するトレーリングエッジシールド部と、前記クロストラック方向に垂直な方向イントラック方向を有する2つのサイドシールド部とを含むものである。2つのサイドシールド部はそれぞれ、前記トレーリングエッジシールド部の前記エッジからイントラック方向に突出した矩形状の突出部であり、前記2つの突出部は、前記磁極先端部の周囲に対称的に水平方向に分離して配置され、前記トレーリングエッジシールド部の前記エッジと共にπ形形状を形成し、かつ、前記サイドシールド部の磁化容易軸方向がイントラック方向となっており、これによりサイドシールド部から磁束が生じ、隣接トラックでの消去が発生することを抑制することができる。本発明の垂直磁気記録ヘッドの製造方法は、エアベアリング面を有する磁極先端部を設ける工程と、前記磁極先端部のエアベアリング面の周囲に、水平方向に対称的に配置される矩形状の2つのサイドシールド部突出部を形成する工程と、前記サイドシールド部のトレーリングエッジ面を平坦化する工程と、前記2つのサイドシールド部のトレーリングエッジ面の上にトレーリングエッジシールド部を形成し、前記トレーリングエッジシールド部を前記2つサイドシールド部に接続することによりπ型形状を有するシールドを形成する工程とを含むものである。本発明の垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法によれば、磁気シールドを、クロストラック方向にエッジを有するトレーリングエッジシールド部と、クロストラック方向に垂直な方向イントラック方向を有する2つのサイドシールド部とを含むよう構成し、サイドシールド部の磁化容易軸方向をイントラック方向としたので、サイドシールド部から磁束が生じ、隣接トラックでの消去が発生することを抑制することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。本発明の一実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドは、磁極先端部の露出したABS部分が、サイドシールドを形成する2つの幅の狭い突出シールドによって囲まれた磁極構造を有している。図1に示した従来のサイドシールドでは、サイドシールド部分が、シールドの幅全体にわたって広がっているのに対し、本実施の形態においては、突出部分の幅を制限し、シールド全体としてπを上下反転させた形にしたものである。これにより、その部分および結果として生じる磁束の容易軸磁気異方性の方向をクロストラック方向ではなく、記録トラックに沿ってイントラック方向に配向することが可能である。なお、磁極先端部はトレーリングエッジがより広い台形のエアベアリング面を有すると共にエアベアリング面から離れる方向にテーパ面を有している図2参照。また、図示しないが、この磁極先端部のリーディングエッジからトレーリングエッジまでの幅はエアベアリング面において最も狭くなっている図2は、本実施の形態のシールド50によって囲まれたPMRヘッドの主磁極10を模式的に表す斜視図である。シールド50は、NiFe、CoFe、またはCoNiFeなどの磁性材料によって形成し、その厚さは0.1~1.0ミクロンとする。本実施の形態においては、水平方向に設けられている各サイドシールド部突出部40の幅は、0.1~1.0ミクロンであり、サイドシールド部40の水平方向の端から端までの間隔一方のエッジ24から他方のエッジ24までの間隔は0.1~0.4ミクロンとする。サイドシールド部40のアスペクト比高さ対幅は0.5~1とすることが望ましい。突出部40のサイドエッジ24は、磁極先端部15のABSのABSから離れた方向に向いたテーパトレーリングエッジをシールドし、クロストラック方向に生じる磁束によって隣接トラック消去が発生することを抑制するものである。即ち、π形シールドの矩形状正方形を含むの突出部サイドシールド部40は、シールド50のトレーリングエッジ55からイントラック方向図内の軸45参照に突出し、磁極先端部15からクロストラック方向に生じる磁束を減少させる役割を有している。これにより、隣接トラック消去が生じなくなる。更に、サイドシールドの形状、およびイントラック方向のサイドシールド部40の磁化容易軸の方向45によってサイドシールド自体の磁束が生じなくなり、隣接トラック消去およびスキップトラック消去の両方の発生が抑制される。図3A,Bは、本実施の形態のサイドシールド部40のクロストラック磁界に対する効果を、シールドされていない磁極先端部、および図1に示した従来のシールドされた磁極先端部のそれと比較して表すものである。破線で示したテーパ磁極taperpole1はシールドされておらず、トレーリングエッジが図1または図2に示すようにABSから離れて下向きに次第に細くなっている、台形型ABSの磁極先端部の結果を表し、実線で示したSSテーパ磁極SStaperpole2は、図1の従来のサイドシールドSS:sideshieldによって囲まれた1と同じテーパ磁極先端部の結果を表し、同じく実線で示したSS小テーパ磁極SSsmalltaperpole3は、図2に示した本実施の形態のπ形小サイドシールドによって囲まれたテーパ磁極先端部の結果を表す。図3Aと図3Bとの違いは、書き込みヘッドに加える電流Iwのみであり、図3Aにおける電流は50mA、図3Bにおける電流は100mAである。重要なことは、π形小シールドのクロストラック磁界1は、磁極先端部の中央線から/-0.1ミクロン離れた領域内において、有効記録磁界Heffが大幅な減少を示していることである。一方、2に示した有効磁界は、磁極先端部から/-0.15ミクロン離れた領域内において増加している。この増加は、従来構造図1において、サイドシールド自体から生じる磁束によるものである。シールドされていない磁極1の場合は、クロストラック方向の両方に、滑らかな磁束の変化を示し、その変化は、他のサイドシールドを備えた2つの構成の場合よりも大きい。上記π形のサイドシールドは、従来のシールドの製造技術においてよく知られた方法によって製造可能である。図4Aは、磁極先端部15を正面ABS側から見た模式図トレーリングエッジが上になっているであるが、この磁極先端部15は、例えば、圧延Al2O3フォーム内でめっきすることによって形成する。なお、磁極先端部15のABSおよびテーパ図示せずは、圧延または他の成形方法を用いて形成することができる。図4Bはシールドのめっき処理を模式的に示したものである。このめっき処理により、2つのサイドシールド部突出部40を、基板100の上の、磁極先端部15の各側部に対応する位置に形成する。サイドシールド部40の形成に続いて、CMPchemicalmechanicalpolishing処理によってトレーリングエッジ表面41を平坦化する。図4Cは最後のめっき工程を示したものである。滑らかに研磨されたサイドシールド部40のエッジの上に、それらと物理的あるいは機械的に接続されるように、シールドトレーリングエッジシールド部50をめっきにより形成する。なお、当業者によって理解されるように、本発明の好適な実施の形態は本発明を説明するためのものであって、本発明を限定するものではない。即ち、磁気シールドが、クロストラック方向にエッジを有するトレーリングエッジシールド部と、クロストラック方向に垂直な方向イントラック方向を有する2つのサイドシールド部とを含み、2つのサイドシールド部がそれぞれ、トレーリングエッジシールド部のエッジからイントラック方向に突出した矩形状の突出部であり、かつ、サイドシールド部の磁化容易軸方向がイントラック方向であるPMRヘッドであれば、その製造方法、材料、構造、寸法などは種々の修正と変形が可能である。"