振動源側へ取付けられる第1の取付部材と、振動被伝達側へ取付けられる第2の取付部材と、これらの間に設けられる弾性本体部を備え、この弾性本体部を壁の一部とする液室を形成し、この液室内を仕切り部材にて主液室と副液室とに区画するとともに、これら主液室と副液室間を所定の低周波振動で第1共振を生じるダンピングオリフィスで連通し、かつ仕切部材の少なくとも一部に主液室の内圧変化を吸収するべく弾性変形する可動膜を設け、その副液室側外周部から脚部を一体に突出形成し、仕切部材の周囲を固定するために設けられた枠部材の一部に設けられている被押し当て部へ脚部を押し当てるようにした液封防振装置において、前記脚部35と前記枠部材40の間に第3液室50を設け、この第3液室50と連通し、開閉自在のオリフィス間隙51を前記脚部35と前記被押し当て部6070の間に形成し、このオリフィス間隙51は、前記脚部35が前記被押し当て部6070へ接触することで閉じられて前記第3液室50を密閉し、前記脚部35が前記被押し当て部6070と非接触になることで開かれて前記第3液室50を開放するとともに、前記ダンピングオリフィス14による共振を第1共振としたとき、前記第3液室50の開閉による作動液の流動によって前記オリフィス間隙51に前記第1共振と異なる周波数で共振する第2共振を発生させることを特徴とする液封防振装置。エンジンマウントとして構成され、前記第2共振がアイドル振動域で共振することを特徴とする請求項1に記載した液封防振装置。前記脚部35の前記被押し当て部60と接触する部位が前記脚部35の外側面36であることを特徴とする請求項1又は2に記載した液封防振装置。前記脚部35の前記被押し当て部60と接触する部位が、主たる振動の入力方向において最も前記副液室13側となる前記脚部35の下面38であり、前記被押し当て部60のうち主たる振動の入力方向と直交する面48へ垂直に接触することを特徴とする請求項1又は2に記載した液封防振装置。前記脚部35の前記被押し当て部70と接触する部位が前記脚部35の内側面37であることを特徴とする請求項1又は2に記載した液封防振装置。前記被押し当て部60に、前記脚部35と接触する面が前記主液室12側に径方向で広がるテーパー面61を設けたことを特徴とする請求項3に記載した液封防振装置。前記脚部35の前記被押し当て部60に接触する部位に前記副液室13側に径方向で狭くなるテーパー面dを設けたことを特徴とする請求項3又は6に記載した液封防振装置。前記脚部35の表面に、前記被押し当て部6070へ接触する環状の突起3939A39Bを一体に突出形成したことを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載した液封防振装置。前記被押し当て部70に、前記脚部35と接触する面が前記主液室12側に径方向で狭くなるテーパー面71を設けたことを特徴とする請求項5に記載した液封防振装置。前記脚部35の前記被押し当て部70に接触する部位に前記副液室13側に径方向で広がるテーパー面eを設けたことを特徴とする請求項5又は9に記載した液封防振装置。前記被押し当て部6070に、前記テーパー面6171と連続したアール形状をなして前記脚部35の変形規制部をなすアール状部6272を設けたことを特徴とする請求項6は9に記載した液封防振装置。前記ダンピングオリフィス14における前記第1共振よる主液室の内圧上昇時に前記第3液室が密閉状態となって内圧上昇し、前記脚部35と前記被押し当て部6070間に前記オリフィス間隙51が発生した際に前記第3液室50から流れる作動液により前記第2共振を発生させることを特徴とする請求項1~11のいずれかに記載した液封防振装置。前記脚部35は、前記主液室12へ振動が入力しない中立状態にて前記被押し当て部6070へ接触し、第3液室50を閉じていることを特徴とする請求項1~11のいずれかに記載した液封防振装置。前記脚部35は、前記主液室12の内圧を上昇させるプラス振動後、内圧を下げるマイナス振動へ転じたとき、前記被押し当て部6070と非接触となり、前記オリフィス間隙51を介して前記第3液室50を開放することを特徴とする請求項13に記載した液封防振装置。ところで、特許文献1のように脚部を設け、可動膜が弾性変形量に応じてバネ定数を可変にすると、可動膜のバネ定数を非線形に変化させることにより、振幅の小さな小振幅振動の入力に対しては弱いバネ定数の可動膜による弾性変形で低動バネ化させて効果的に内圧を吸収し、振幅の大きな大振幅振動の入力に対しては強いバネ定数の可動膜によりダンピングオリフィスへ作動液をより大量に送り込んで共振効率を高めることにより高減衰を実現できる。しかし、この非線形バネ特性を有する可動膜を使用しても、小振幅振動に対する低動バネ化とダンピングオリフィスによる高減衰を実現できるだけであり、ダンピングオリフィスにおける共振周波数と異なる周波数域のアイドル振動に対しては振動伝達の遮断に役立たない。アイドル振動を遮断するには、ダンピングオリフィスと別にアイドル振動域で共振するアイドルオリフィスを設け、開閉バルブで開閉してアイドル時に共振を発生させることが考えられる。しかしこのようにしても、アイドル振動の遮断に効果的であるが、アイドルオリフィス並びにその開閉機構を設けなければならないので、それだけ構造が複雑化して高価なものになる。このため、ダンピングオリフィス以外にアイドルオリフィス等の第2のオリフィス通路を設け、さらにこれを開閉するバルブ機構を設けるようなことをせず、ダンピングオリフィスと可動膜だけの構成で、第2のオリフィス通路及びその開閉バルブ機構を設けたときと同様な効果を上げることが望まれる。また、このような要望のために従来から備わっている可動膜の脚部を利用できればさらに望ましいことになる。そこで本願は、既存の脚部を設けた可動膜を利用して上記要望の実現を目的とする。上記課題を解決するため本願の液封防振装置に係る請求項1に記載した発明は、振動源側へ取付けられる第1の取付部材と、振動被伝達側へ取付けられる第2の取付部材と、これらの間に設けられる弾性本体部を備え、この弾性本体部を壁の一部とする液室を形成し、この液室内を仕切り部材にて主液室と副液室とに区画するとともに、これら主液室と副液室間を所定の低周波振動で第1共振を生じるダンピングオリフィスで連通し、かつ仕切部材の少なくとも一部に主液室の内圧変化を吸収するべく弾性変形する可動膜を設け、その副液室側外周部から脚部を一体に突出形成し、仕切部材の周囲を固定するために設けられた枠部材の一部に設けられている被押し当て部へ脚部を押し当てるようにした液封防振装置において、前記脚部35と前記枠部材40の間に第3液室50を設け、この第3液室50と連通し、開閉自在のオリフィス間隙51を前記脚部35と前記被押し当て部6070の間に形成し、このオリフィス間隙51は、前記脚部35が前記被押し当て部6070へ接触することで閉じられて前記第3液室50を密閉し、前記脚部35が前記被押し当て部6070と非接触になることで開かれて前記第3液室50を開放するとともに、前記ダンピングオリフィス14による共振を第1共振としたとき、前記第3液室50の開閉による作動液の流動によって前記オリフィス間隙51に前記第1共振と異なる周波数で共振する第2共振を発生させることを特徴とする。請求項2に記載した発明は、上記請求項1において、エンジンマウントとして構成され、前記第2共振がアイドル振動域で共振することを特徴とする。請求項3に記載した発明は、上記請求項1又は2において、前記脚部35の前記被押し当て部60と接触する部位が前記脚部35の外側面36であることを特徴とする。請求項4に記載した発明は、上記請求項1又は2において、前記脚部35の前記被押し当て部60と接触する部位が、主たる振動の入力方向において最も前記副液室13側となる前記脚部35の下面38であり、前記被押し当て部60のうち主たる振動の入力方向と直交する面48へ垂直に接触することを特徴とする。請求項5に記載した発明は、上記請求項1又は2において、前記脚部35の前記被押し当て部70と接触する部位が前記脚部35の内側面37であることを特徴とする。請求項6に記載した発明は、上記請求項3において、前記被押し当て部60に、前記脚部35と接触する面が前記主液室12側に径方向で広がるテーパー面61を設けたことを特徴とする。請求項7に記載した発明は、上記請求項3又は6において、前記脚部35の前記被押し当て部60に接触する部位に前記副液室13側に径方向で狭くなるテーパー面dを設けたことを特徴とする。請求項8に記載した発明は、上記請求項1~7のいずれかにおいて、前記脚部35の表面に、前記被押し当て部6070へ接触する環状の突起3939A39Bを一体に突出形成したことを特徴とする。請求項9に記載した発明は、上記請求項5において、前記被押し当て部70に、前記脚部35と接触する面が前記主液室12側に径方向で狭くなるテーパー面71を設けたことを特徴とする。請求項10に記載した発明は、上記請求項5又は9において、前記脚部35の前記被押し当て部70に接触する部位に前記副液室13側に径方向で広がるテーパー面eを設けたことを特徴とする。請求項11に記載した発明は、上記請求項6又は9において、前記被押し当て部6070に、前記テーパー面6171と連続したアール形状をなして前記脚部35の変形規制部をなすアール状部6272を設けたことを特徴とする。請求項12に記載した発明は、上記請求項1~11のいずれかにおいて、前記ダンピングオリフィス14における前記第1共振による主液室の内圧上昇時に前記第3液室が密閉状態となって内圧上昇し、前記脚部35と前記被押し当て部6070間に前記オリフィス間隙51が発生した際に前記第3液室50から流れる作動液により前記第2共振を発生させることを特徴とする。請求項13に記載した発明は、上記請求項1~11のいずれかにおいて、前記主液室12へ振動が入力しない中立状態にて前記脚部35が前記被押し当て部6070へ接触し、第3液室50を閉じていることを特徴とする。請求項14に記載した発明は上記請求項13において、前記脚部35は、前記主液室12の内圧を上昇させるプラス振動後、内圧を下げるマイナス振動へ転じたとき、前記被押し当て部6070と非接触となり、前記オリフィス間隙51を介して前記第3液室50を開放することを特徴とする。請求項1に記載した発明によれば、液封防振装置への振動の入力による可動膜の変形時に、脚部と被押し当て部が接触した際に第3液室が密閉状態となることで第3液室の内圧が上昇し、その後、可動膜の変形により密閉状態が開放されると第3液室から作動液が流出し、このときの作動液の流動によってダンピングオリフィスによる第1共振と異なる第2共振を生じさせる。このため、第1及び第2の2つの共振により2つの高減衰または低動バネ特性を有することができる。請求項2に記載した発明によれば、エンジンマウントとして構成し、第2共振をアイドル振動域で発生するようにチューニングしたので、特別にアイドルオリフィス及びその開閉機構を設けることなく、従来のダンピングオリフィスと可動膜の組合せだけで2共振を実現できるとともにアイドル振動を有効に遮断できる。請求項3に記載した発明によれば、脚部の剛性が最も低い部分である外側面を被押し当て部との接触部としたので、他の部位を接触させる場合と比較して、可動膜のバネ定数増大を抑制して比較的低動バネにすることができる。請求項4に記載した発明によれば、液封防振装置への振動の入力により、可動膜が主たる振動方向へ弾性変形するとき、被押し当て部における可動膜の弾性変形方向に対し直交する面へ脚部の下面が垂直に接触させることができる。このため、第3液室の密閉状態をより確実にすることができる。請求項5に記載した発明によれば、脚部の根元における剛性が最も高い部分である内側面を被押し当て部と接触させることにより可動膜の高バネ定数領域を使用することが可能となるので、高減衰を実現できる。請求項6に記載した発明によれば、液封防振装置への振動の入力の大きさにより被押し当て部のテーパー面に対する脚部の接触量が非線形的に変化し、可動膜のバネ定数を非線形的に変化させることができる。同時に第3液室を密閉空間にするとともに第3液室内の作動液を加圧して内圧を高めることが可能となる。請求項7に記載した発明によれば、脚部の押し当て部に対する接触部位をテーパー面とすることで、脚部の被押し当て部に対する接触量を増大させたので、液封防振装置への振動入力による可動膜の変形時に脚部と被押し当て部の接触量を非線形的に変化させ、可動膜のバネ定数を非線形的に変化させることができる。このため、大変形時では可動膜の変形規制を強くしてダンピングオリフィスへ流れる液量を増加させ、ダンピングオリフィスにて有効な共振を発生させ、小変形時では脚部と被押し当て部の接触による可動膜のバネ定数に対する影響を少なくして可動膜におけるバネ定数の増加を抑制して低動バネにすることができる。請求項8に記載した発明によれば、脚部と被押し当て部が接触した際に第3液室を密閉状態とするシール性を向上させることで第3液室に発生する内圧をより上昇させることが可能となる。しかもリング状の突起が被押し当て部へ接触することで、接触時における可動膜のバネ定数増大を抑制して低動バネと高いシール性能の両立が可能となる。請求項9に記載した発明によれば、液封防振装置への振動の入力の大きさにより被押し当て部のテーパー面に対する脚部の接触量が非線形的に変化し、可動膜のバネ定数を非線形的に変化させることができる。同時に第3液室を密閉空間にするとともに第3液室内の作動液を加圧して内圧を高めることが可能となる。請求項10に記載した発明によれば、脚部の押し当て部に対する接触部位をテーパー面とすることで、脚部の被押し当て部に対する接触量を増大させたので、液封防振装置への振動入力による可動膜の変形時に脚部と被押し当て部の接触量を非線形的に変化させ、可動膜のバネ定数を非線形的に変化させることができる。このため、大変形時では可動膜の変形規制を強くしてダンピングオリフィスへ流れる液量を増加させ、ダンピングオリフィスにて有効な共振を発生させ、小変形時では脚部と被押し当て部の接触による可動膜のバネ定数に対する影響を少なくして可動膜におけるバネ定数の増加を抑制して低動バネにすることができる。請求項11に記載した発明によれば、大変形時における可動膜の変形を強く規制するので、ダンピングオリフィスへ流れる液量をさらに増加させて有効な共振を発生させることができる。請求項12に記載した発明によれば、ダンピングオリフィスが第1共振すると、その反共振時に主液室の内圧変動が大きくなる。すると可動膜の弾性変形も大きくなり、脚部と被押し当て部が接触すると第3液室が密閉される。その後第3液室が開放されると、作動液が第3液室から流出し、この作動液の流動により第2共振を発生させる。このため、ダンピングオリフィスの第1共振を利用して第2共振を発生させることができる。請求項13に記載した発明によれば、中立状態にて脚部が被押し当て部へ接触し、第3液室を閉じているので、主液室へ入力荷重が加わるプラス振動により直ちに第3液室を加圧する。このため、小振幅振動から第2共振を発生させることができる。請求項14に記載した発明によれば、プラス振動からマイナス振動に転じたとき、脚部が被押し当て部と非接触となり、オリフィス間隙を介して第3液室を開放するので、小振幅振動時にもオリフィス間隙における作動液の流動により第2共振を発生させることができる。以下、図面に基づいて、3気筒エンジンを搭載した自動車のエンジンマウントとして構成された一実施例を説明する。まず、図1~7により第1実施例を説明する。図1はこのエンジンマウントの中心線CL主たる振動の入力方向であるZ方向と平行に沿う断面図、図2は仕切部材の平面図、図3は図2の3-3線に沿う断面図、図4は仕切部材の分解斜視図、図5は仕切部材の分解断面図、図6及び7は作用の説明図である。なお、以下の説明において、液封防振装置及びその各部の上下とは図1の図示状態を基準とし、仕切部材については主液室側を上、副液室側を下とする。また、本願において低周波数とは5~30Hz程度の領域をいい、これより周波数の高い領域は中高周波数というものとする。この低周波数域において、10Hz近傍の領域を走行時にサスペンションから入る振動域、15Hz近傍をアイドル振動域とする。さらに、入力振動の振幅が±0.2mm以下を小振幅、±0.2~±1.5mm程度を中振幅、±1.5~±2.0mm程度を大振幅、±2.0mmを超えるものを過大振幅ということにする。但し、周波数域の周波数区分及び振幅の大小区分は、エンジンの仕様等により定まる便宜的なものであって、使用対象のエンジンや車両毎に適宜定められる。また、エンジンマウントへ荷重が加わり主液室を加圧する振動を正圧側の振動もしくはプラス振動、逆方向の振動を負圧側の振動もしくはマイナス-振動ということにする。図1において、このエンジンマウントは振動発生源側であるエンジン側へ取付けられる第1の取付部材1と、振動被伝達側である車体側へ取付けられる第2の取付部材2と、これらを連結して一体的に設けられる弾性本体部3を備える。弾性本体部3は公知のゴム等からなる適宜弾性材料から構成される略円錐状の部材であり、この円錐状部4の頂部に第1の取付部材1が埋設一体化されている。円錐状部4の内側表面5は後述する液室に臨む内壁面をなす。円錐状部4の裾部周囲はフランジ6をなし、このフランジ6から下方部分はさらに下方へ延びて内張部7をなしている。フランジ6は第2の取付部材2の一部を構成して円筒状をなす側壁部8のフランジ9上へ一体化され、かつ内張部7は側壁部8の内面を覆っている。弾性本体部3の内側は下方へ開放された空間をなし、この開放部はダイアフラム10で覆われ、これらによって内側に液室を形成する。この液室内は仕切部材11により弾性本体部3側の主液室12とダイアフラム10側の副液室13に区画され、両液室は仕切部材11の外周部に形成された、低周波数の振動を吸収するためのダンピングオリフィス14によって連通される。液室内には水等公知の非圧縮性の作動液が充填されている。主たる振動の入力方向Zは、第1の取付部材1からその軸心線であってエンジンマウントの中心線CLと平行に主液室12内へ向かい、仕切部材11の主液室12に臨む表面と略直交している。仕切部材11は、カバー部材20と、ゴム等の適宜弾性材料からなる弾性仕切部30と、これを支持する略カップ状の枠部材40との3部材で構成されている。カバー部材20は弾性仕切部30上に被せられる蓋として機能し、カバー部材20の中央部にはカバー部材の中央開口部21が形成され、その周囲は外周側より一段低くなった段部22になっている。段部22の外周側部分である外周部23図3参照にはダンピングオリフィス14における主液室12側の開口24が設けられている。図2~5に示すように、弾性仕切部30は中央部が可動膜31をなし、その周囲部分である外周部32には、下面側から彫り込まれて下方へ開放されたリング状溝33が形成され、このリング状溝33を挟んで外周側に周壁34が設けられている。リング状溝33の内周側には脚部35が設けられている。なお、図2はAに弾性仕切部30の平面視形状、Bにその下側から見た斜視図、Cに脚部35の拡大断面図を示す。可動膜31はカバー部材20の中央開口部21を通して主液室12に臨み、弾性本体部3の弾性変形に伴う主液室12の内圧変化を吸収するに十分な弾性変形を可能とする部分である。可動膜31の上面は略平坦面状をなし、下面側は周囲を脚部35に囲まれて上方へ凸に凹入した凹部をなしている。なお、下面を中央が最も薄肉化するような湾曲面にしてもよい。脚部35は弾性仕切部30の下面にて可動膜31の外周側へ一体に形成され、円筒状をなして下方へ突出している。脚部35は周壁34にリング状溝33を挟んで対面する環状壁をなし、その周壁34に対面する外側面36、反対側の内側面37及び下面38を有する。外側面36及び内側面37はそれぞれ周壁状をなしている。下面38は弾性変形時の押し当て部をなし、略水平の平坦面になっている。図2のB及びCに詳しく示すように、下面38にはシールリブ39を下方へ一体に突出形成してある。シールリブ39は下面38と同心の環状をなして下面38の全周へ形成されている。なお、脚部35の断面形状は便宜上略長方形状をなしているが、種々な形状にすることは任意である。例えば、内外周面の少なくとも一方を、図2のC中に仮想線でbで示すように、下方へ向かって先細りするようなテーパー状にしたり、cで示すように下方へ向かって徐々に幅が狭くなる階段状にしてもよい。このようにすると、脚部35が弾性変形するとき非線形のバネ特性を発揮できる。リング状溝33により環状空間からなる第3液室50が形成されている。この第3液室50は弾性仕切部30の外周部32、周壁34及び脚部35の外側面36で囲まれており、小変形時所定振幅以上の振動が入力せず、可動膜31の弾性変形が小さい状態では下方が開放されている。また、大変形時所定振幅以上の振動が入力して可動膜31の弾性変形が大きい状態には下面38が枠部材40側へ密着して閉じられる。枠部材40は、軽合金等の金属や樹脂等の適宜剛性材料で構成され、外周部に上向きに開放された環状溝41が外周壁42とこれに対向する内周壁43の間に形成され、カバー部材20とともにダンピングオリフィス14を構成する。内周壁43の内側には間隔をもって環状の支持壁44が形成され、この支持壁44と内周壁43との間に上方に開放された支持溝45が環状に形成されている。支持壁44の上端は内周壁43の上端部内周側に形成された段部43aよりも低くなっている。支持壁44より内側は底部46をなし、外周側より一段低く形成され、中央部には枠部材側の中央開口部47が設けられている。底部46の上面で中央開口部47の周囲部分はストッパ面48をなす。ストッパ面48は脚部35の下面38が押し当てられる被押し当て面であり、略平坦な面として形成され、略垂直方向Z方向と平行から脚部35の下面38が押し当てられる。図4に示すように、環状溝41は全周に形成されず、周方向両端部は外周壁42と内周壁43間を部分的につなぐ連結部49にて分離されている。連結部49を挟む環状溝41の周方向両端部のうち、一方の端部は副液室側の開口41aを介して副液室13と連通している。副液室側の開口41aは図5に仮想線で示すように、連結部49近傍の内周壁43を外周側から副液室13へ連通するように彫り込んで形成されている。ストッパ面48は、略垂直方向から押し当てられた脚部35の下面38を受け止めることにより、ストッパ面48側からの押し当て反力による脚部35が圧縮されるとともにその圧縮量が変化する。その結果、圧縮量が増大すると可動膜31のバネ定数を高めて自由な弾性変形を阻止するので、可動膜31の変形規制部をなしている。なお、この変形規制部は、脚部35の変位量すなわち入力振動の振幅によって機能分化しており、脚部35は、小振幅時にはストッパ面48と離れて押し当てられず、中振幅時に押し当てられる。また、入力振動が中振幅以上のときには、プラス振動でストッパ面48へ押し当てられ、マイナス振動側では下面38がストッパ面48から離れて上方へ移動する。図4及び5に示すように、弾性仕切部30を枠部材40の上に乗せ、周壁34を支持溝45へ嵌合し、さらに弾性仕切部30の上にカバー部材20を被せれば、図2及び3に示すように、これらの3部材が一体化された仕切部材11が組立てられる。この組立状態は、図3に示すように、弾性仕切部30の周壁34が支持溝45へ嵌合され、かつ上端をカバー部材20の段部22で押さえられることにより固定される。また脚部35は支持壁44の内周側に位置し、下面38がストッパ面48へ押し当てられる。環状溝41は上方をカバー部材20の外周部23で閉じられてダンピングオリフィス14を形成する。このダンピングオリフィス14は一方の開口24で主液室12と連通し、他方の開口41a図4参照で副液室13と連通し、入力振動が所定の低周波数で第1共振を生じるようにチューニングされている。弾性仕切部30の周壁34の肩部内側は、外周部32がカバー部材20の段部22と支持壁44の上端部との間で挟持されている。段部22は内周壁43の段部43a上に位置する。中央開口部21に臨む段部22の内周縁部は支持壁44の上端部より若干中心側へ張り出している。これらに挟持される外周部32の部分は薄肉で容易に弾性変形するようになっており、プラス振動のとき、支持壁44の上端部を支点にして下方へ曲がり、マイナス振動のとき段部22の内周縁部を支点にして上方へ曲がることにより、内周側にある可動膜31の弾性変形を可能にしている。脚部35及び可動膜31は中央開口部21の内側に位置し、可動膜31は直接主液室12へ臨み、主液室12の内圧が可動膜31へ直接及ぶことにより、弾性変形して主液室12の液圧上昇を吸収するようになっている。可動膜31の下面も中央開口部47を介して副液室13へ臨んでいる。脚部35はストッパ面48の上方に位置し、上下方向に重なっている。周壁34と脚部35の間に形成されるリング状溝33の内部は副液室13側の作動液が充填された第3液室50をなす。この第3液室50は、主液室12及び副液室13を第1及び第2の液室としたとき、これらに続く3番目の液室を意味する。第3液室50は、脚部35の下面38がストッパ面48へ押し当てられることによって閉じられ、脚部35の下面38がストッパ面48から離れると副液室13側へ開放される。また、第3液室50が閉じられた状態でさらに強く脚部35の下面38がストッパ面48へ押し当てられると、脚部35の圧縮変形により第3液室50の容積が縮小されるため、第3液室50内へ閉じこめられた作動液が加圧される。但し、作動液は非圧縮性の液体であるため、加圧された作動液の圧力が脚部35の圧縮変形に対する抵抗をなす。これにより、第3液室50が閉じられた状態で可動膜31が下方へ大きく弾性変形しようとすると、脚部35によるバネ定数が非線形的に増大するため、可動膜31を弾性変形しにくくさせることができる。このため、下面38が中立位置入力振動がない中立状態における下面38の位置、すなわち図3に示す位置にあるときストッパ面48との間にクリアランスがあるように設定すると、振動入力により下面38がストッパ面48に接触するまでは可動膜31はそれ自身のバネ定数のみによる弱いバネ定数で弾性変形し、その後、下面38がストッパ面48に接触すると脚部35の弾性変形による反力が加わって強いバネになり、さらにその後、第3液室50における作動液の加圧につれて反力がより高まってバネ定数が一層大きくなる。その結果、顕著で好ましい非線形特性のバネ特性を実現できる。但し、中立位置における下面38とストッパ面48とのクリアランスの有無は任意に設定できる。またクリアランスを設けた場合でも、その大きさは自由に設定でき、クリアランスを大きくするほど小振幅振動に対する可動膜31の小さなバネ定数による弾性変形で内圧吸収する時間が長くなる。一方、クリアランスを小さくするほど、可動膜31における急激なバネ定数の変化を実現できる。また、プラス振動により第3液室50内の作動液を加圧した後、マイナス振動に転じて脚部35の下面38がストッパ面48から離れると、第3液室50が副液室13へ開放されるため、加圧されていた作動液は、脚部35の下面38とストッパ面48との間に形成された環状の間隙以下、オリフィス間隙51という;図3参照から副液室13側へ流出する。このため、第3液室50の開閉を反復することにより、オリフィス間隙51を作動液が流動することにより共振が発生する。そこでこの共振周波数をアイドル周波数にチューニングすればアイドルオリフィスとして機能することになる。オリフィス間隙51の開閉はアイドルオリフィスとしての機能を発揮する上で極めて重要である。すなわち、非通常時の入力振動である過大振幅振動を除く、通常時の振動である、大振幅振動~小振幅振動、もしくは大振幅振動及び中振幅振動でオリフィス間隙51が開閉するようにしなければ第3液室50からの作動液流出を利用した共振が生じないからである。このような開閉条件にするには、中立位置における下面38または後述する押し当て部36a37aとストッパ面48等の被押し当て部60もしくは後述の70との間に形成される中立時のクリアランスを調整することで設定できる。また、オリフィス間隙51は全周に及んで環状をなして形成されることも重要である。アイドルオリフィス通路はダンピングオリフィス通路に比べて比較的高い周波数で大量の作動液を流動させる必要があるため、可及的に短い通路で、しかも可及的に大きな通路断面積を有する必要がある。この条件を満たすには全周に形成される環状通路が最適となるからである。したがって、通常時の振動でオリフィス間隙51が開閉すること、オリフィス間隙51が環状をなすこと、アイドル振動の周波数で共振するようにチューニングされること、がアイドルオリフィス通路として機能するための構成になる。なお、オリフィス間隙51における作動液の流動は、必ずしもオリフィス間隙51の開閉を必要とするものではない。例えば、中立位置における下面38とストッパ面48とのクリアランスを大きくし、小振幅振動では閉じないように設定した場合でも、プラス振動により第3液室50内へ作動液が押し込まれ、マイナス振動に転じると、作動液がオリフィス間隙51から副液室13側へ流出することにより流動が生じる。但し、オリフィス間隙51を閉じる場合と比べれば、第3液室50内の作動液をそれほど強く加圧できないので、作動液の流動が少なくなり、強い共振を生じさせにくくなる。したがって、このようなオリフィス間隙51を閉じない場合でも共振を生じさせるようにするには、プラス振動時におけるオリフィス間隙51をできるだけ小さくするように設定することが好ましい。次に、図6により本実施例の作用を説明する。図6は図3の断面において、左側の脚部35及びその周囲部分を拡大して示す断面図であり、Aは中立位置、Bはプラス振動入力時、Cはマイナス振動入力時をそれぞれ示す。まず、脚部35が図6のAに示す中立位置にある状態において、第1の取付部材1から振動が入力して弾性本体部3の弾性変形により主液室12の内圧が変動すると可動膜31が弾性変形してこれを吸収する。このとき入力振動が小振幅振動であれば、脚部35は下面38がストッパ面48と非接触の状態で可動膜31の弾性変形に伴って上下動を反復するので、可動膜31はそれ自体のバネ定数のみにより弾性変形して主液室12の内圧変動を吸収し、低動バネ化する。その後、入力振動の振幅がより大きな中振幅振動になると、プラス振動で脚部35の下面38がストッパ面48へ接触する図6のBに示す状態になる。中振幅振動では、脚部35の下面38がストッパ面48へ押しつけられ、入力振動の振幅が増大するにつれてより大きく圧縮変形され、可動膜31のバネ定数を強くする。同時に、オリフィス間隙51が消滅して第3液室50が閉じられるので、第3液室50内へ作動液が密閉される。但し、中振幅振動では脚部35の弾性変形がそれほど大きくないので、第3液室50内の作動液はあまり加圧されない。マイナス振動に転じると、脚部35は上方へ移動して下面38がストッパ面48から離れてオリフィス間隙51を形成し、第3液室50を開放し、閉じこめられていた作動液をオリフィス間隙51から副液室13側へ流出させる。その後、脚部35はさらに上方への移動を続け、中立位置を過ぎて、可動膜31が主液室12へ入り込みように弾性変形する図6のCに示す状態になる。このような振動入力状態において、入力振動がプラスの小振幅振動であれば、脚部35はシールリブ39のつぶれや下面38のストッパ面48に対するわずかな圧縮による弾性変形をするだけである。このため、可動膜31はほぼそれ自体のバネ定数のみにより弾性変形して主液室12の内圧変動を吸収し、低動バネ化する。このとき、第3液室50は脚部35の下面38がストッパ面48へ押し当てられることにより密閉されるが、シールリブ39によってシール性が維持される。しかも小振幅振動時にはシールリブ39がストッパ面48へ線接触し、下面38全体の接触が無い状態になる場合があり、このようなときはより低動バネ化に貢献できる。大振幅振動の入力時には、可動膜31の弾性変形が中振幅振動の入力時よりもより大きくなり、図6のBで示すプラス振動時には、脚部35が圧縮方向へ大きく弾性変形して第3液室50内の作動液を加圧する。一方、この作動液の加圧により、脚部35の弾性変形は大きな抵抗を受けるようになり、次第に弾性変形の限界へ近づくことになる。マイナス振動時には、可動膜31がより大きく主液室12側へ弾性変形し、脚部35の下面38とストッパ面48の間隙を大きく拡大する図6のC参照。このとき、プラス振動で第3液室50内の作動液は十分に高く加圧されているので、マイナス振動に転じて脚部35の下面38がストッパ面48から離れ、オリフィス間隙51が生じると直ちに、第3液室50内へ加圧されて閉じこめられていた作動液が、オリフィス間隙51から急速に副液室13側へ流出する。この流出は、環状をなすオリフィス間隙51の全周にて迅速に行われ、オリフィス間隙51に多量の作動液流動を生じる。したがって、入力振動がアイドル振動域の周波数であれば、プラス振動とマイナス振動を反復することにより、オリフィス間隙51に強い共振を発生させることができる。この共振はアイドル振動域にて発生するようにチューニングされており、ダンピングオリフィス14における第1共振に対して、その次に高い周波数域であるアイドル振動で共振する第2共振となっている。すなわち、本実施例におけるエンジンマウントは、動特性において第1及び第2共振を生じる2共振タイプになっており、2つの共振により、2つの高減衰または低動バネ特性を有することができる。図7はこのエンジンマウントにおける動特性を示すグラフであり、Aとして縦軸に減衰、横軸に入力振動周波数を示した減衰特性線図、Bとして縦軸に動バネ定数、横軸に入力振動周波数を示した動バネ特性線図をそれぞれ示す。各図において実線で示す曲線は本願発明の特性を示すものであり、仮想線で示す曲線は比較例として、ダンピングオリフィスのみにより本願発明の第1共振に相当する1つの共振のみを生じる従来のものを示す。図7のAに示すように、本願発明の減衰特性は、減衰特性曲線上に2つのピーク極大値を発生し、まず10Hz近傍にて第1共振による第1減衰ピークPK1、続いて若干高い15Hz近傍にて第2共振による第2減衰ピークPK2を生じる。第1減衰ピークPK1は、主液室12と副液室13をつなぐダンピングオリフィス14による第1共振によるものであり、一般走行時等に生じる低周波大振幅振動を吸収する。第2減衰ピークPK2は、第3液室50と副液室13をつなぐオリフィス間隙51において生じる第2共振で形成され、3気筒エンジン車両におけるアイドル振動域におけるアイドル振動を吸収する。減衰は減衰力により入力振動を抑え込むように作用するから、アイドル振動時におけるエンジンの振動が入力されると、この振動を第2共振により抑え込んでエンジンの変位を抑制する。このため、エンジンの振動が少なくなり、エンジンマウントに対する振動入力荷重を低減させることができる。また、図7のBに示すように、本願発明の動バネ特性は、動バネ特性曲線上に2つのボトム極小値を発生し、まず5Hz近傍にて第1共振による第1動バネボトムBT1、続いて若干高い15Hz近傍にて第2共振による第2動バネボトムBT2を生じる。動バネボトムは、低動バネ化により車体側への振動伝達を遮断する振動遮断量を大きくすることができる。このため、第1共振の動バネボトムBT1により一般走行時等に生じる低周波大振幅振動の振動遮断量を大きくし、かつ第2共振の動バネボトムBT2によりアイドル振動に生じる振動遮断量を大きくすることができる。その結果、乗り心地を向上させることができる。一方、従来の1共振タイプでは、それぞれ第1共振に相当する1つの共振により、10Hz近傍の減衰ピークPK3図7のA及び10Hz近傍の動バネボトムBT3図7のBを生じるだけである。したがって、ダンピングオリフィスによる一般走行時等に生じる低周波大振幅振動を吸収するだけであってアイドル振動を吸収できない。このアイドル振動を吸収するためには、別に主液室と副液室をつなぐアイドルオリフィスを設け、開閉式バルブ機構等によりアイドル振動域でアイドルオリフィスを開き、他の振動域で閉じるように制御することが必要になる。したがって、図7に示す1共振タイプのエンジンマウントでは、構造が複雑で高価な開閉式アイドルオリフィスを設けることなくアイドル振動の吸収ができない。まして本願発明のように、開閉式バルブ機構等による開閉式アイドルオリフィスを設けることなく第2共振を実現することはできない。そのうえ、図7のBに示すように、3気筒エンジンにおいては、従来の動バネ特性で一般走行域に第1共振による動バネボトムBT3を設定すると、アイドル振動域である15Hz近傍に反共振のピークPK4が発生してしまい、アイドル振動の吸収能並びに振動遮断量が低減してしまう。その結果、アイドル振動による車体振動が顕著になる。このため3気筒エンジンに設けるエンジンマウントには、前記開閉式バルブ機構等による開閉式アイドルオリフィスを設けてアイドル振動を吸収することが特に必要となる。第1共振による反共振のピークは気筒数が増大するとそれだけ高周波数側へずれる傾向にあるため、アイドル振動の吸収は、3気筒エンジン車両に使用するエンジンマウントにおいて特に重要になる。これに対して本願発明は、アイドル振動域において、第3液室50と副液室13の間においてオリフィス間隙51にて第2共振を発生してアイドル振動を吸収でき、しかも、従来例のダンピングオリフィス14と脚部35付の可動膜31の組合せだけで2共振を実現できるとともにアイドル振動を有効に遮断でき、構造が複雑で高価な開閉式アイドルオリフィスを設ける必要がなく、構造簡単かつ安価にすることができ、そのうえ、3気筒エンジン車両に使用するエンジンマウントとして特に好適なものになる。また、エンジンマウントへの振動の入力により、可動膜31が主たる振動方向であるZ方向へ弾性変形するとき、被押し当て部であるストッパ面48が可動膜31の弾性変形方向に対し直交しているので、このストッパ面48へ脚部35の下面38が垂直に押し当てられる。このため、下面38をストッパ面48へ強く密着させることができ、第3液室50の密閉状態をより確実にすることができる。しかも、環状のシールリブ39を設けることにより、比較的可動膜31が小変形状態であっても、シール性を高めることができる。このため、シールリブ39のストッパ面48接触時における可動膜31のバネ定数増大を抑制して低動バネと高いシール性能の両立が可能となる。さらに、ダンピングオリフィス14が第1共振すると、その反共振時に主液室の内圧変動が大きくなる。すると可動膜31の弾性変形も大きくなり、脚部35と被押し当て部であるストッパ面48が接触すると第3液室50が密閉される。その後第3液室50が開放されると、作動液が第3液室50から流出し、この作動液の流動により第2共振を発生させる。このため、ダンピングオリフィス14の第1共振を利用して第2共振を発生させることができる。次に、図8及び9により第2実施例を説明する。この実施例は第1実施例において脚部の押し当て構造が異なるだけである。そこで共通部には共通符号を用いるとともに、異なる部分を中心に説明するものとする。図8は第1実施例の図6のAに対応する部位の断面図であり、図9は図6に対応する作用説明図である。この図に示す部分以外のエンジンマウントにおける構成は第1実施例と同じであるから、重複説明を省略する。この実施例において、脚部35は第1実施例と同じであるが、外側面36及び下面38が支持壁44の内周面である支持壁内面44a及び底部46のストッパ面48からなる被押し当て部60へ押し当てられるようになっている。なお、外側面36の下部は押し当て部36aをなし、ここで被押し当て部60のうちの支持壁内面44a側へ押し当てられ、下面38がストッパ面48へ押し当てられる。支持壁内面44aの下部側副液室13側にはテーパー面61が形成されている。テーパー面61は上方の主液室12側へ向かって副液室13の径方向へ広がるテーパー状の斜面をなし、プラス振動時に脚部35の外側面36における押し当て部36aが押し当てられて摺動する部分である。このテーパー面61は少なくとも脚部35の押し当て部36aがプラス振動時に摺動する範囲を含むように支持壁44の支持壁内面44aの一部に形成されている。但し、テーパー面61は部分的でなく支持壁内面44aの全体に設けてもよい。テーパー面61の下端部は支持溝45の底部よりも下方へ延び、アール状部62を介して底部46の上面であるストッパ面48へ連続している。アール状部62は図示断面でテーパー面61とストッパ面48をアール状円弧状につなぐ曲面である。これらテーパー面61及びアール状部62はそれぞれ枠部材40の中心線エンジンマウントの中心線CLでもあるを囲んで周壁状に形成される曲面をなす。被押し当て部60は、テーパー面61、アール状部62及びストッパ面48で構成されている。テーパー面61は、下方側が中心へ向かって下り傾斜する傾斜面をなし、上方側が主液室12に向かって径方向で広くなるとともに、下方側ほど可動膜31の中心側へ向かって張り出し、主たる振動の入力方向Zに対して角度αなる傾斜面をなす。但し、この角度αは目的に応じて任意に設定可能である。すなわちテーパー面61は図8の下方へ向かうにしたがって中央へ収束するように傾斜する。換言すれば、支持壁44は円筒状をなし、その内周面である支持壁内面44aは脚部35が主たる振動の入力方向Zと平行に摺動可能なある程度の上下幅を有する。支持壁内面44aの下部が形成する円形空間の内径は、図の下方側ほど縮径した形状をなすことによりテーパー面61を形成している。テーパー面61より下方部分は、アール状部62並びにこれから連続するストッパ面48をなす。ストッパ面48の上面は脚部35の下面38と平行な略水平の平坦面をなして、中心方向へ延出し、中央開口部47周囲の底部46の上面をなしている。被押し当て部60は、テーパー面61、アール状部62及びストッパ面48からなり、押し当てられた脚部35を受け止めることにより、テーパー面61からの押し当て反力により脚部35が圧縮されるとともにその圧縮量が変化する。その結果、圧縮量が増大すると可動膜31のバネ定数を高めて自由な弾性変形を阻止するので、可動膜31の変形規制部をなしている。なお、この変形規制部は、脚部35の変位量すなわち入力振動の振幅によって機能分化しており、脚部35は、プラス振動のとき下方の副液室13側へ向かって移動し、中振幅時にテーパー面61上を摺動し、大振幅時にアール状部62上を摺動する。また、過大振幅時にはストッパ面48に当接する。図8に示す中立位置では、押し当て部36aはテーパー面61と非接触であり、テーパー面61との間に全周方向へ連続する環状の間隙であるオリフィス間隙51が形成され、第3液室50を副液室13と連通させている。このオリフィス間隙51は入力振動の大きさにより開閉及び開口面積を変化させ、プラス振動入力時には、小振幅振動で開口が維持され、中振幅以上の振動で閉じられる。マイナス振動のときは可動膜31が上方の主液室12側へ向かって移動するため、脚部35も中立位置よりさらに上方へ移動し、オリフィス間隙51は中立位置よりもさらに大きく開口する。なお、中立位置における押し当て部36aの位置は、小振幅のプラス振動入力時にテーパー面61と非接触となるように調整されている。但し、中立位置もしくは小振幅のプラス振動入力時にテーパー面61と接触するようにすることは自由であり、この場合は、支持壁内面44aのほぼ全体に及ぶような大きなテーパー面を形成することができる。また、中立位置でオリフィス間隙51が閉じられるように設定した場合は、マイナス振動時のみオリフィス間隙51が形成されるようになる。第3液室50は、前実施例と同じく支持壁44と脚部35の間に環状をなして弾性仕切部30の周方向全周に連続して形成される。この第3液室50は中振幅のプラス振動入力時に脚部35の押し当て部36aがテーパー面61へ密着することにより閉じられ、作動液が第3液室50内へ閉じこめられる。小振幅振動入力時及び中立位置並びにマイナス振動入力時には脚部35の押し当て部36aがテーパー面61から離れることによって開かれ、副液室13と連通し、作動液が副液室13と流動する。脚部35の押し当て部36aにはシールリブ39Aが可動膜31の径方向外方へ向かって一体に突出形成されている。シールリブ39Aは脚部35の下部外周面に沿って全周へ連続して形成される環状のシール部材である。脚部35の押し当て部36aがテーパー面61へ押し当てられると、シールリブ39Aがテーパー面61へ液密に密着する。このため、押し当て部36aがテーパー面61を摺動するとき、第3液室50内の作動液を副液室13側へ漏れ出さないよう確実にシールできる。次に、本実施例の作用を説明する。図9は脚部35の動作を原理的に示す作用説明図であり、Aは中振幅振動入力時、Bは大振幅入力時、Cは過大振幅振動入力時であり、A~Cはそれぞれプラス振動時における状態を示す。Dはマイナス振動入力時である。まず、振動が入力すると、図8において、弾性本体部3の弾性変形により主液室12の内圧が変動すると可動膜31が弾性変形してこれを吸収する。このとき小振幅の振動入力であれば、押し当て部36aがテーパー面61と非接触であるから、脚部35は可動膜31のバネ定数に対して何ら影響せず、可動膜31はそれ自体のバネ定数を変位に応じて線形的に変化させる。また、オリフィス間隙51は開いたままであり、第3液室50と副液室13は連通し、自由に作動液が流動する。次に、中振幅の振動が入力すると、図9のAに示すようにプラス振動で、脚部35は外側面36が下部の押し当て部36aでテーパー面61の上へ接触し、押し当て部36aとテーパー面61の間に形成されていたオリフィス間隙51を閉じ、作動液を第3液室50内へ閉じこめる。このとき、押し当て部36aにはシールリブ39Aが設けられているため、作動液を第3液室50内へ液密に閉じこめておくことができる。また、可動膜31が中心部ほど下方へ大きく弾性変形するから、外周部に位置する脚部35は押し当て部36aを径方向外方へ開くように傾き、押し当て部36aはテーパー面61に対してほほ垂直方向から押し当てられる。このため、テーパー面61から可動膜31へ向かう脚部35の押し当てによる反力を大きくできる。そのうえ、押し当て部36aのテーパー面61に対する密着を強くするので、第3液室50に対するシールをより確実にする。この状態で押し当て部36aはテーパー面61上を上下に摺動し、プラス振動の振幅が大きくなると、より下方へ移動する。一方、テーパー面61は下方が径方向内方へ狭くなるテーパー状をなすから、押し当て部36aをより強く押しつけられ、脚部35の圧縮量が増大する。その結果、脚部35が下方へ移動するほど可動膜31のバネ定数は線形的に増大し、弾性変形しにくくなるため、主液室12の内圧吸収を少なくしてダンピングオリフィス14へより大量の作動液を送り込み、ダンピングオリフィス14における共振の共振効率を高くして、共振により発生する減衰力を高くすることがでる。入力振動の振幅がより大きな大振幅になると、押し当て部36aは、テーパー面61からその下方のアール状部62へ移る。アール状部62では摺動面がアール状の曲面をなすので、脚部35をより大きく急激に圧縮させることになり、可動膜31のバネ定数はその下方変位量に対してさらに非線形的に増大する。その結果、可動膜31のバネ定数が十分に大きくなって、主液室12内の作動液をさらに大量にダンピングオリフィス14内へ送り込むため、さらに共振効率が高くなり、さらに高減衰を実現できる。なお、図9のBには脚部35の下部がストッパ面48と部分的に重なった状態で示されているが、脚部35のうちストッパ面48より下方へ出ている部分が圧縮変形されて存在しない部分であり、実際は、この部分がストッパ面48の上方に押しつぶされている図9のCも同様である。入力振動が過大振動になると、図9のCに示すように、押し当て部36aがアール状部62の下端近くまで移動する。このような入力振動はもはや通常時のものではなく、非通常時のものであって、可動膜31の弾性変形を停止させる必要がある。そこで、脚部35の外側面36のみならず下面38をストッパ面48へ押し当てて脚部35の下方移動を停止させる。このとき、ストッパ面48はほぼ垂直方向から脚部35の下面38を受け止めるので、確実に脚部35の下方移動を停止させることができるとともに、脚部35の圧縮量を最大にして可動膜31のバネ定数を最大にするため、可動膜31の過大な下方への弾性変形を防ぐことができる。また、図9のABCそれぞれにおいて、プラス振動時に第3液室50内へ閉じこめられた作動液は脚部35の下方変位に応じてより強く加圧される。このとき、シールリブ39Aの密着によるシール並びに押し当て部36aの圧縮変形が大きくなった場合には押し当て部36aの押しつぶされた部分のテーパー面61に対する密着により高いシール性を維持できる。図9のDは、入力振動がマイナス振動に反転した状態を示す。この状態で可動膜31は主液室12側へ弾性変形し、これに伴って脚部35も上方へ移動するため、脚部35の下面38は中立位置よりも上方に位置し、押し当て部36aはテーパー面61から離れ、オリフィス間隙51が開かれるとともにその開口度は拡大している。本実施例は、このような可動膜31のバネ定数を非線形的に変化させることに加えて、前実施例同様に脚部35の移動によって第2共振を発生させることができる。例えば、図9のAにおいて、入力振動により脚部35は上下動して、プラス振動に第3液室50内へ作動液を閉じこめて加圧し、マイナス振動で脚部35の押し当て部36aがテーパー面61から離れるとオリフィス間隙51が形成され、第3液室50は副液室13へ開放される。そのため、第3液室50内へ閉じこめられていた作動液はオリフィス間隙51から副液室13側へ流出する。したがって、プラス振動とマイナス振動を繰り返すことにより、オリフィス間隙51に作動液の流動が生じ、入力振動の周波数がアイドル振動域になると、共振して第2共振を発生させることができる。第2共振の効果は前実施例と同じである。しかし、本実施例では、脚部35の移動量に応じて脚部35の圧縮量を飛躍的に非線形変化させるため、第3液室50における作動液の加圧をより強くすることができ、その結果、共振効率をより大きくすることができる。また、押し当て部36aに形成された環状のシールリブ39Aにより、加圧された作動液を確実にシールできる。しかも、環状のシールリブ39Aは、脚部35と被押し当て部60のテーパー面61と接触するとき、可動膜31が比較的小変形の状態ではシールリブ39Aが線接触して摺動するので、可動膜31のバネ定数上昇を抑制し、高いシール性を維持したまま比較的低動バネにすることができ、低動バネと高いシール性能の両立が可能となる。また、脚部35の剛性が最も低い部分である外側面36を被押し当て部60であるテーパー面61及びアール状部62との接触部としたので、他の部位を接触させる場合と比較して、可動膜31のバネ定数増大を抑制して比較的低動バネにすることができる。しかも、テーパー面61が主液室12側へ向かって径方向に広くなるように傾斜しているため、入力振動の大きさによりテーパー面61に対する脚部35の接触量が非線形的に変化し、可動膜31のバネ定数を非線形的に変化させることができる。同時に第3液室50を密閉空間にするとともに第3液室50内の作動液を加圧して内圧を高めることが可能となる。さらに、図8に仮想線dで示すように、脚部35の押し当て部36a側を副液室13側に径方向で狭くなるテーパー面にすれば、脚部35の被押し当て部60であるテーパー面61及びアール状部62に対する接触量を増大させることができる。このためエンジンマウントへの振動入力による可動膜31の弾性変形時に脚部35と被押し当て部側の接触量を非線形的に変化させ、可動膜31のバネ定数を非線形的に変化させることができる。その結果、可動膜31の大変形時では可動膜31の変形規制を強くしてダンピングオリフィス14へ流れる作動液量を増加させ、ダンピングオリフィス14にて共振効率の大きな第1共振を発生させ、小変形時では脚部35と被押し当て部側との接触による可動膜31のバネ定数に対する影響を少なくして可動膜31におけるバネ定数の増加を抑制して低動バネにすることができる。次に、図10及び11により第3実施例を説明する。この実施例は、第2実施例に対して脚部を外側面でなく内側面に設け、かつ被押し当て部を脚部の内側に設けた点で相違し、他の部分は共通している。そこで第2実施例と異なる部分を中心に説明するものとする。図10は第2実施例の図8に対応する部位の断面図であり、図11は図9に対応する作用説明図である。この図に示す部分以外のエンジンマウントにおける構成は第1及び第2実施例と同じである。この実施例において、脚部35は第1実施例と同じであるが、脚部35の内側面37及び下面38が、脚部35よりも内側に形成された被押し当て部70へ押し当てられるようになっている。被押し当て部70は、テーパー面71、アール状部72及びストッパ面48からなる。テーパー面71及びアール状部72は、脚部35の内側に形成された押し当て用環状壁73の外周面側に形成されている。押し当て用環状壁73は底部46から上方へ突出して一体に形成されており、脚部35と同心円でより小径の周壁状をなし、その内周面は中央開口部47に臨んでいる。押し当て用環状壁73の高さは、脚部35の中立位置を示す図10において、上端が脚部35の下面38と若干重なる程度であり、その外周面にはテーパー面71が形成されている。テーパー面71は下方の副液室13側へ向かって副液室13の径方向へ広がるテーパー状の斜面であり、下方ほど広がる形状をなし、プラス振動時に脚部35の内側面37における押し当て部37aが押し当てられて摺動する部分である。このテーパー面71は少なくとも脚部35の押し当て部37aがプラス振動時に摺動する範囲を含むように形成されている。テーパー面71の下端部はアール状部72を介して底部46の上面であるストッパ面48へ連続している。アール状部72は図示断面で、テーパー面71とストッパ面48をアール状につなぐ曲面である。これらテーパー面71及びアール状部72はそれぞれ枠部材40の中心線CLを囲んで周壁状に形成される曲面をなす。テーパー面71は、上方側が主液室12へ向かって中心方向へ狭くなる傾斜面をなし、下方側ほど可動膜31の外周側へ向かって張り出し、主たる振動の入力方向Zに対して所定角度をなす傾斜面をなす。但し、この傾斜角度は目的に応じて任意に設定可能である。すなわちテーパー面71は図10の下方へ向かうにしたがって径方向外方へ広がるように傾斜し、テーパー面71の上方に押し当て部37aが位置し、押し当て部37aが下方へ移動するとテーパー面71へ接触するようになっている。テーパー面71より下方部分は、アール状部72並びにこれから連続するストッパ面48をなす。ストッパ面48はアール状部72の外周側かつ下面38の下方に位置する。ストッパ面48、テーパー面71及びアール状部72からなる被押し当て部70の機能は前実施例同様であり、脚部35の内側面37に設けられた押し当て部37aが摺動することだけが異なる。図10に示す中立位置では、押し当て部37aはテーパー面71と非接触であり、テーパー面71との間に全周方向へ連続する環状の間隙であるオリフィス間隙51が形成され、第3液室50を副液室13と連通させている。このオリフィス間隙51は入力振動の大きさにより開閉及び開口面積を変化させ、プラス振動入力時には、小振幅振動で開口が維持され、中振幅以上の振動で閉じられることは前実施例と同じである本実施例における第3液室50は支持壁44と脚部35の外側面36との間だけでなく、大振幅及び過大振幅以外の振幅振動時には脚部35の下面38とストッパ面48との間まで拡大されている、なお、脚部35の内側面37について、押し当て部37aが設けられる下部を、図中に仮想線のeで示すように、ストッパ面48と略平行するような斜面状に形成してテーパー面71と面接触で摺動させるようにしてもよい。脚部35の押し当て部37aにはシールリブ39Bが可動膜31の径方向内方へ向かって一体に突出形成されている。シールリブ39Bは脚部35の下部内周面に沿って全周へ連続して形成される環状のシール部材である。脚部35の押し当て部37aがテーパー面71へ押し当てられると、シールリブ39Bがテーパー面71へ液密に密着しする。このため、押し当て部37aがテーパー面71を摺動するとき、これを線接触にするとともに、第3液室50内の作動液を副液室13側へ漏れ出さないよう確実にシールできる。次に、本実施例の作用を説明する。図11は脚部35の動作を原理的に示す図9同様の作用説明図であり、Aは中振幅振動入力時、Bは大振幅入力時、Cは過大振幅振動入力時であり、A~Cはそれぞれプラス振動時における状態を示す。Dはマイナス振動入力時である。まず、小振幅振動の入力時には、前実施例同様に、脚部35が被押し当て部70と非接触であり、可動膜31はそれ自体のバネ定数を変位に応じて線形的に変化させる。また、オリフィス間隙51は開いたままである。次に、中振幅の振動が入力すると、図11のAに示すようにプラス振動で、脚部35は内側面37が下部の押し当て部37aでテーパー面71の上へ接触し、テーパー面71上を上下方向へ摺動するとともに、オリフィス間隙51を閉じ、作動液を第3液室50内へ閉じこめる。大振幅のプラス振動には、図11のBに示すように、押し当て部37aが、テーパー面71からその下方のアール状部72へ移り、脚部35をより大きく急激に圧縮させる。入力振動が過大振動になると、図11のCに示すように、押し当て部37aがアール状部72の下端近くまで移動し、下面38をストッパ面48へ押し当てて脚部35の下方移動を停止させる。図11のDに示すように、入力振動がマイナス振動に反転すると、可動膜31は主液室12側へ弾性変形し、これに伴って脚部35も上方へ移動するため、脚部35の下面38は中立位置よりも上方に位置し、押し当て部37aはテーパー面71から離れ、オリフィス間隙51が開かれるとともにその開口度は拡大する。この押し当て部37aの移動によって脚部35の圧縮量を非線形的に変化させることにより、可動膜31のバネ定数を非線形に変化させてダンピングオリフィス14の第1共振を効率化させて高減衰を実現すること、第3液室50と副液室13の間を脚部35の移動によるオリフィス間隙51の開閉により第2共振を発生させてアイドル振動域を低動バネ及び高減衰にする作用効果は前実施例同様である。本実施例によれば、上記作用効果に加えて、さらに高減衰を実現できる。すなわち、脚部35は可動膜31から連続して下方へ突出する形状をなし、その根元部である可動膜31との接続部が最も剛性の高い部分となる。しかも、この根元部のうち、弾性変形を容易にするため薄肉化された外周部32へ連続する外側面36よりも、より厚肉な可動膜31の部分へ連続するとともに、下面38と可動膜31の下面間におけるスパンも短い内側面37側が最も高剛性になる。したがって、この内側面37に押し当て部37aを設けることにより、被押し当て部70と摺動するときにおける脚部35の弾性変形をより小さくすることにより、可動膜31のバネ定数を高くすることができ、その結果、ダンピングオリフィス14へ送り込む作動液の液量を増大させて高減衰化させることが可能になる。また、環状のシールリブ39Bを設け、脚部35と被押し当て部70のテーパー面71と接触するとき、比較的可動膜31が小変形の状態ではシールリブ39Bが線接触して摺動するので、可動膜31のバネ定数上昇を抑制し、高いシール性を維持したまま比較的低動バネにすることができ、低動バネと高いシール性能の両立が可能となる。さらに、図10に仮想線eで示すように、脚部35の押し当て部37a側を副液室13側に径方向で広くなるテーパー面にすれば、脚部35の被押し当て部70であるテーパー面71及びアール状部72に対する接触量を非線形的に増大させることができる。このためエンジンマウントへの振動入力による可動膜31の弾性変形時に脚部35と被押し当て部側の接触量を非線形的に変化させ、可動膜31のバネ定数を非線形的に変化させることができる。その結果、可動膜31の大変形時では可動膜31の変形規制を強くしてダンピングオリフィス14へ流れる作動液量を増加させ、ダンピングオリフィス14にて共振効率の大きな第1共振を発生させ、小変形時では脚部35と被押し当て部側との接触による可動膜31のバネ定数に対する影響を少なくして可動膜31におけるバネ定数の増加を抑制して低動バネにすることができる。また、押し当て用環状壁73を脚部35よりも内側へ配置するため、押し当て用環状壁73の頂部73a図11参照が可動膜31の外周部で内側面37の基部近傍に位置することになる。したがって大振幅振動時等にこの可動膜31の外周部へ頂部73aを当接させるようにすれば、可動膜31のバネ定数をより大きく変化させるとともに、可動膜31を強く移動規制することができる。図12~14に中立時で脚部35被押し当て部60又は70へ接触して第3液室50を閉じている第4~6実施例を示す。図12は第1実施例の変形例をなす第4実施例であり、中立時で下面38がストッパ面48へ接触している状態を示す。この状態では、下面38の全体がストッパ面48へ接触せず、シールリブ39だけが接触している。この状態で小振幅振動が入力して脚部35が下方へ移動すると、まずシールリブ39がつぶれ、その後、下面38全体がストッパ面48に接触して圧縮によりわずかに弾性変形する。このため、中立時から小振幅振動の入力初期には、下面38全体が面接触する状態と比較してシールリブ39のみがストッパ面48へ線接触的に接触するので、シールリブ39によって第3液室50のシール性を維持するとともに、可動膜31のバネに対する脚部35の影響を少なくして低動バネ化に貢献できる。下面38全体がストッパ面48に接触すると、その後は振幅の増大に伴って脚部35の圧縮量を増大させ、可動膜31のバネ定数を非線形的に増大させる。このように、中立時で下面38をストッパ面48へ接触させると、小振幅振動から第2共振を発生させることができる。図13は第2実施例の変形例をなす第5実施例であり、中立時で外側面36の押し当て部36aがテーパー面61へ接触している状態を示す。この状態では、押し当て部36aが広い範囲でテーパー面61へ接触せず、シールリブ39Aだけが接触している。この状態で小振幅振動が入力して脚部35が下方へ移動すると、まずシールリブ39Aがつぶれ、その後、押し当て部36aがシールリブ39Aよりも広い接触面積でテーパー面61に接触して圧縮によりわずかに弾性変形する。このため、中立時から小振幅振動の入力初期には、押し当て部36aが広くテーパー面61へ面接触する状態と比較して環状をなすシールリブ39Aのみがテーパー面61へ線接触的に接触するので、シールリブ39Aによって第3液室50のシール性を維持するとともに、可動膜31のバネに対する脚部35の影響を少なくして低動バネ化に貢献できる。小振幅振動の入力初期ではシールリブ39Aがつぶれず、線接触状態でテーパー面61上を摺動する。振幅増大によりシールリブ39Aがつぶれると、押し当て部36aがより広い面積でテーパー面61へ接触し、その後は振幅の増大に伴って脚部35の圧縮量を増大させ、可動膜31のバネ定数を非線形的に増大させる。この例でも、中立時で第3液室50を密閉することにより、小振幅振動から第2共振を発生させることができる。図14は第3実施例の変形例をなす第6実施例であり、中立時で内側面37の押し当て部37aがテーパー面71へ接触している状態を示す。この状態では、押し当て部37aが広い範囲でテーパー面71へ接触せず、シールリブ39Bだけが接触している。この状態で小振幅振動が入力して脚部35が下方へ移動すると、まずシールリブ39Bがつぶれ、その後、押し当て部37aがシールリブ39Bよりも広い接触面積でテーパー面71に接触して圧縮によりわずかに弾性変形する。このため、中立時から小振幅振動の入力初期には、押し当て部37aが広くテーパー面71へ面接触する状態と比較して環状をなすシールリブ39Bのみがテーパー面71へ線接触的に接触するので、シールリブ39Bによって第3液室50のシール性を維持するとともに、可動膜31のバネに対する脚部35の影響を少なくして低動バネ化に貢献できる。小振幅振動の入力初期ではシールリブ39Bがつぶれず、線接触状態でテーパー面71上を摺動する。振幅増大によりシールリブ39Bがつぶれると、押し当て部37aがより広い面積でテーパー面71へ接触し、その後は振幅の増大に伴って脚部35の圧縮量を増大させ、可動膜31のバネ定数を非線形的に増大させる。この例も、中立時で第3液室50を密閉することにより、小振幅振動から第2共振を発生させることができる。なお本願発明は上記各実施例に限定されず、種々に変形等が可能であり、例えば、本願発明をエンジンマウント以外のサスペンションマウントなど、車両用もしくは車両用以外の各種液封防振装置に適用できる。