容器に高圧充填されている、毒性ガス、特殊高圧ガス、又は不活性ガスを含有するガスを、該容器の容器弁を通じて外部装置へと供給するガス供給方法において、該ガスは衝撃波減衰機構を有する機器を通じて外部装置へと導かれることを特徴とする高圧ガスの供給方法。外部装置へと供給する高圧ガスは、4MPaG以上の圧力で供給されることを特徴とする請求項1に記載の高圧ガスの供給方法。衝撃波減衰機構を有する機器は、容器弁の下流に位置することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の高圧ガスの供給方法。衝撃波減衰機構は、衝撃波を音波に変える機構を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の高圧ガスの供給方法。衝撃波減衰機構は、衝撃波の直進性を妨げる構造を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の高圧ガスの供給方法。特許文献1に記載される方法の特徴は、複数回に分けてガスボンベのバルブを開放することにあるが、この方法をとったとしても発火現象がなくなる訳ではない。最初に開ける本数が少ないほど、断熱圧縮により上昇する温度を低くすることができることと記載されているが、必ずしもそうとは言えず、逆に発火現象が顕著となることもある。特許文献2に記載される方法では、安定性では効果が認められるが、高温化する現象を回避できる訳ではない。また、近年では一次側と二次側との差圧を約3MPa30kg/cm2以下とすることができない条件を要求されることが増加している。特許文献3の方法及び装置でも、安定性では効果が認められるが、下流側で高温化する現象を必ずしも回避することができる訳ではない。特許文献4により、衝撃波が発生した場合に高温場を伴うことあることは分かるが、高温の水蒸気や収束管が必要であり、高圧で充填されている高圧ガスが高温でもなく、収束管を有しない条件下で衝撃波が発生しているか否かを推察することはできない。特許文献5に記載の容器弁は、シートディスクでガスの流路を開閉し、外部との気密をダイヤフラムでシールするバルブであるため、弁室内のガスが滞留しやすいデッドスペースが大きくなる。特許文献6に記載のバルブは、バックファイヤに対して対策されたものであり、このままでは高圧で充填されている高圧ガスに応用することはできない。以上のように、従来技術では、高圧ガス、特に4MPaG約40kg/cm2以上の圧力で充填されている高圧ガスの下流側で発生するシール材等の部品材料の破損やクラック発生に基づく漏れの発生を防止することができなかった。例えば、窒素ガスやヘリウムガスのように、不燃性の高圧ガスの場合でもシール材の破損、クラックの発生や変形がみられることがあった。しかし、その原因はよく分からず、従ってシール材の破損、クラックの発生や変形を防止することが完全にはできていなかった。本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、充填されている高圧ガスを4MPaG約40kg/cm2以上の圧力で外部装置へと導く装置内における部品材料の破損、クラックの発生や変形を抑制することを目的とする。高圧充填された容器から外部装置へ高圧ガスを供給する場合、高圧充填された容器の下流側において単なる断熱圧縮現象では説明できない高温化現象が発生していることを見出したことにより、本発明がなされたものである。この現象は、充填されている高圧ガスを特に4MPaG約40kg/cm2以上の圧力で外部装置へ導く場合に顕著となる。本発明は、容器に高圧充填されている、毒性ガス、特殊高圧ガス、又は不活性ガスを含有する高圧ガスを、該容器の容器弁を通じて外部装置へと供給する場合において、該ガスは衝撃波減衰機構を有する機器を介して外部装置へと導かれる高圧ガスの供給方法である。また、本発明は、容器に充填されている高圧ガスが4MPaG以上の圧力で外部装置に供給される高圧ガスの供給方法である。また、本発明は、衝撃波減衰機構を有する機器が容器弁の下流に位置する高圧ガスの供給方法である。また、本発明は、衝撃波減衰機構を有する機器が外部装置の受入弁の上流に位置する高圧ガスの供給方法である。また、本発明は、衝撃波減衰機構を有する機器が衝撃波を音波に変える機構を有する機器である高圧ガスの供給方法である。また、衝撃波減衰機構を有する機器は衝撃波の直進性を妨げる機構を有する機器である高圧ガスの供給方法である。本発明によれば、高圧充填された容器から外部装置へと供給する場合、高圧充填された容器の下流側においては、衝撃波の発生を防止する衝撃波減衰機構を通じて外部装置へと供給されるため、高圧ガスを外部装置へと導く導入弁や連結部中のシール材等の焼損や劣化を抑制することができる。本発明の実施の形態に係る高圧ガス供給方法においては、高圧充填された容器から外部装置へと供給するものであって、容器から高圧ガスを供給するための供給弁と供給管の下流に設けられた衝撃波減衰機構とを備える。従来、本態様の供給方法や装置では、衝撃波の影響はほとんど考慮されていない。従来は、例えば特許文献1に開示されているように、断熱圧縮のために温度が上がる場合があることは知られているが、衝撃波の影響ではないあるいはその影響は極めて小さいとされてきた。これは、衝撃波の影響が瞬時であることに加え、衝撃波の発生を確認するためには特殊な装置を必要とすることも衝撃波の影響を考慮してこなかった大きな要因のひとつになっていると思われる。本発明は、これまで無視されてきた衝撃波の影響を確認し、従来からの問題点を一挙に解決した画期的なものである。外部装置とは、高圧ガスを利用してなされる各種の製造設備である。例えば、発泡剤を混入させるための断熱パネル製造装置や半導体製造装置がその代表例であるが、特に限定はされるものではなく、一般的に使われている各種の製造設備と考えて良い。さらには、高圧ガスの生産整備における貯蔵設備等の関連設備も含まれる。すなわち、高圧ガスが製造される生産設備に対しても、本発明の適用は可能である。すなわち、生産されたガスが容器中に貯蔵され、それが導管を通じて、次の工程に導入される場合にも適用可能である。通常の場合、生産が連続的になされている場合には大きな問題となることは少ないが、突発的に不連続となった場合には本発明が有効となる。生産が永久に続くことは考えられず、定期修理や改造、あるいは予期せぬ事故等により、生産が中断するのが常である。生産を再開する場合、前述したような問題が発生することがあるので、その対策として本発明を利用することは極めて有用である。このような理由から、生産設備の下流側に配された設備、例えば高圧ガスを貯蔵する容器やその関連設備も外部装置に含まれることになる。本発明でいう高圧ガスは、一般的に用いられる毒性ガス、特殊高圧ガス、不活性ガス等が含まれる。毒性ガス源としては、アクリロニトリル、アクロレイン、亜硫酸ガス、アルシン、アンモニア、一酸化炭素、塩素、クロルメチル、クロロプレン、五フッ化ヒ素、五フッ化リン、酸化エチレン、三フッ化窒素、三フッ化ホウ素、三フッ化リン、シアン化水素、ジエチルアミン、ジシラン、四フッ化硫黄、四フッ化ケイ素、ジボラン、セレン化水素、トリメチルアミン、二硫化炭素、フッ素、ブロムメチル、ベンゼン、ホスゲン、ホスフィン、モノゲルマン、モノシラン、モノメチルアミン、硫化水素等が、特殊高圧源ガスとしては、アルシン、ジシラン、ジボラン、セレン化水素、ホスフィン、モノゲルマン、モノシラン等が、不活性ガス源としてはヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン、窒素、二酸化炭素、フルオロカーボン等があげられる。前述した高圧ガスは、その代表的なものを列挙したものであり、その特性に限定されるものではない。高圧ガス中の各種ガスの濃度にも、特に限定されず、前述した高圧ガスが少なくとも1種類以上含まれていれば、2種類以上の混合ガスであってもよい。例えば、毒性ガスの場合、フッ素ガス、塩素ガス等のうち少なくともいずれか1種類が0.1vol以上100vol以下の範囲である。以下、本発明の実施の形態に係る高圧ガス供給方法について、図1に基づき、詳細に説明する。高圧ガスが高圧充填された容器1は、開閉弁2を具備し、高圧ガスを密閉できる容器である。容器1は、単独でも複数のものを並列に連結して用いてもよい。容器の数は特に限定されない。容器1の開閉弁2には導管3が接続され、その導管3には容器1からの高圧ガスを外部装置100に供給するための供給弁4が設けられている。供給弁4の下流には衝撃波減衰機構を有する機器50が設けられることが望ましいが、供給弁4は衝撃波減衰機構を有する機器50の下流に配置しても良い。開閉弁2あるいは供給弁4のいずれか一方は、下流に高圧ガスを供給するときの圧力調整機能も併せもっているものを用いてもよい。さらに、開閉弁2と供給弁4のどちらか一方のみとすることも可能である。容器1から導管6までが高圧ガスの供給設備として構成される。衝撃波減衰機構を有する機器50の下流には高圧ガスを外部装置100へ導入するための導管6があり、外部装置100の上流には外部装置100の受入弁101が設けられている。受入弁101の下流には、導管102が接続され、さらにその下流側には外部装置100に接続される導管103と真空排気設備105がその開閉弁104を介して配置されている。また、外部装置100の下流側には、導管111及び112と開閉弁110を介して廃ガス処理設備130があるのが一般的であるが、取り扱うガスによっては大気等に放出する場合もある。高圧ガスの供給部分と外部装置が極めて近い関係にある場合には、受入弁101を削除することも可能である。この場合には、衝撃波減衰機構を有する機器50は、外部装置100の上流部のできるだけ近い位置に配することが有用である。本発明は、以下のように実施される。開閉弁2及び開閉弁110を閉とし、供給弁4、受入弁101を開とした後、真空排気設備105の開閉弁104を開として、真空脱気を行う。所定の真空状態となったことを確認し、供給弁4と開閉弁104を閉とする。その後、開閉弁2を所定の圧力となるよう調整しながら、開放していく。所定の圧力が得られた後、供給弁4を開放し、外部装置100に所定のガスを導入し、生産等を行う。開閉弁110の開閉は外部装置100の設備内容や取り扱うガスにより異なるが、生産の状況をみながら開閉を行うことが多く、これに合わせて供給弁4の開閉も適宜行われることになる。特に、供給弁4を開とした直後に問題が発生していると思われるが、閉じられた空間の中であるので、確認は難しい。しかし、衝撃波減衰機構を有する機器50を介在させることにより、その下流側での問題発生はなくすことができた。すなわち、本発明を実施することにより、従来問題とされていたシール材の溶損や焼損、若しくは劣化に基づく漏れの発生を防止することができた。衝撃波減衰機構については、衝撃波を大幅に減衰させることを目的としており、完全に消滅させる機構とすることが望ましい。しかし、衝撃波の影響による温度上昇があまり大きくない場合には、わずかな減衰でもその効果が認められることもある。本発明で用いられる容器、各種弁及び導管等の材質は、その耐圧強度を満足することが重要である。ステンレス鋼が用いられることが多いが、その他の因子は高圧ガスの種類により異なる。例えば、マンガン鋼、ステンレス鋼、ニッケルを含む合金ハステロイ、インコネル、モネルなどが用いられる。容器に充填されている高圧ガスが4MPaG以上の圧力で外部装置に供給されることが望ましい。4MPaG未満では、衝撃波の発生がほとんどないか無視できる程度であるので、外部装置での温度上昇は小さく、シール材の焼損や劣化等は生じ難いので、本発明の寄与が小さい。なお、現時点においては、14.7MPaGが事実上の最大値であり、14.7MPaG超でも、本発明を用いることにより導入弁内部の温度上昇を引き起こさない又は小さくはできるが、衝撃波減衰機構が極めて複雑かつ大きいものとなり、現実的にはその適用は難しいものとなる。また、ガスの種類によっては、接ガス部表面の腐食が生じ易くなるという問題も発生する。従って、好ましくは4.5MPaG以上14.7MPaG以下、さらに好ましくは5MPaG以上14.5MPaG以下である。高圧ガスが供給弁より供給された場合、その供給されたガスの移動速度が一定以上になると、衝撃波が発生することがある。この衝撃波発生現象は極めて複雑な現象であり、その発生有無の確認ですら非常に難しい。衝撃波発生による影響の解析となると、特殊な装置を利用しなければ、極めて困難である。衝撃波減衰機構は、衝撃波の性質を利用して、発生した衝撃波を減衰させる衝撃波減衰機構もしくは衝撃波の発生を抑制する衝撃波抑制機構である。以下、代表的な例を示すが、これらに限定されるものではない。衝撃波減衰機構を有する機器50は容器の開閉弁2の下流に位置していることが望ましい。衝撃波減衰機構が容器弁の上流に位置する場合、衝撃波の発生がかなり小さくなるので、その効果が小さくなるからである。当然ながら、衝撃波減衰機構を有する機器50は、外部装置100の受入弁101の上流に設けても良いし、2以上の機器を組み合わせて使うことも可能である。その重要な点は、容器の開閉弁2の下流側に配することである。前述したように、外部装置100には高圧ガスの生産装置も含まれているが、この場合には高圧ガスの生産設備の下流側もその対象となる。衝撃波を音波に変える衝撃波減衰機構を有することが望ましい。衝撃波は、一般的にその減衰も顕著ではあるが、衝撃波を音波に変えることで、より有効的に衝撃波の発生を小さくすることができる。すなわち、衝撃波を乱反射させたり、吸収させたりする機構を持たせることにより、音波に変えることができる。具体的な例としては、以下に述べる方法も有効であるが、これらに制限されることはない。衝撃波減衰機構としては、衝撃波の直進性を妨げる構造を有することが望ましい。一般的にガスの移動によって発生する衝撃波は直進性が高いので、その直進性を抑えることにより、衝撃波の成長を抑制することができる。例えば、衝撃波減衰機構内の衝撃波の進路中に、各種の邪魔板を配することが有効である。また、衝撃波減衰機構内の衝撃波の進路中に、球状の物体を配しても良い。この場合、球状の物体としては、複数配置することがより有効となる。もちろん、楕円状の物体や多角形の形状でも良い。また、衝撃波を吸収する機構を取り入れることも効果がある。衝撃波減衰機構に入力した衝撃波が、そのまま直進することなく、何らかの反射等を何度も繰り返して進む配置が有用である。また、衝撃波減衰機構を有する導管としては、曲部を有する導管を用いることが望ましい。例えば、該導管がコイル状に巻いた構造でも良い。この構造では、導管がコイル状であるため、導管内をガスが直線的に流通しにくくなり、導管内での衝撃波の成長が抑制される傾向にあり、結果として衝撃波が減衰することになる。以下、実施例により本発明を詳細に説明する。図1に基づき、実施の態様を述べる。窒素ガスの入った高圧容器1には開閉弁2が装着されている。供給弁4が外部装置100との間に配置され、開閉弁2と供給弁4の間は内径10.7mm、長さ50mmの直線状のステンレス鋼製の導管36102103で結ばれている。供給弁4の下流には窒素ガスを外部処理装置100へと導くための供給管5がある。導管5も内径10.7mmの直線状のステンレス鋼製であるが、長さは300mmある。外部処理装置100の上流には受入弁101が設けられている。受入弁101の下流には、外部処理装置100の他、真空排気設備105が開閉弁103を介して接続されている。受入弁101が問題発生の弁にあたる。受入弁101のシール材としては一般的なシール材のPTFE四フッ化エチレンとした。真空排気設備105は、主に供給弁4よりも下流の配管中と外部処理装置100内のガス置換を行うために使用される。なお、本実施例においては、外部処理装置100は、高圧容器1と同様の容器とした。さらに、外部処理装置100の下流には排気するための開閉弁110が接続されている。供給弁4と受入弁101の間には上述した衝撃波減衰機構を有する機器50が設けられている。その外観を図2に、内部の一例を図3に示す。図2に示したように、衝撃波減衰機構を有する機器50の流入側および流出側には入口50aおよび出口50bがあり、それぞれ導管5、導管6並びに受入弁101の内径に合致している。衝撃波減衰機構を有する機器50と受入弁101は導管6で、受入弁101と外部処理装置100の間は導管102並びに103で結ばれている。衝撃波減衰機構を有する機器50としては、図3に示すように長さが100mm、内径12mmのステンレス鋼管51の中に直径が10mmのステンレス鋼球52aが6個、直径が4mmのステンレス鋼球52bが10個、それぞれアトランダムに挿入されている。このアトランダムに配されたステンレス鋼球が衝撃波減衰を呈する働きを行っていると推察される。すなわち、入射した衝撃波はステンレス鋼球に衝突し、反射される。このような反射を繰り返すことにより、衝撃波は減衰して限りなく音波に近づく。その結果、衝撃波減衰機構50の出口50bにおいては、衝撃波の発生はほとんど認められないものとなる。ステンレス鋼製の容器1には、窒素ガスが14.7MPaの圧力で充填されている。高圧容器1の開閉弁2は供給する高圧ガスの圧力調整の機能も兼ねている。先ず、開閉弁2及び排出弁110以外のすべての弁を開放して、導管356101103111、衝撃波減衰機構を有する機器50内および外部処理装置100内を真空状態とした後、すべての弁を閉止した。その後、開閉弁2を調整しながら開放して導管3内の圧力を6MPaGとした。次に、供給弁4と受入弁101をほぼ同時に開放とし、外部処理装置100に窒素ガスを導入して30秒間経過した後に、すべての弁を閉止し、開閉弁110から外部処理装置100の中に充満した窒素ガスを排気した。以上の操作を10回繰り返した後に受入弁101を外し、リークディテクターアルバック社製HELIOT102によりその内部リーク量の計測を行ったところ、リーク量は検出下限未満1.0×10-7Pam3/s未満であり、リークのないことを確認した。また、受入弁101を解体し、シール材の目視観察を行ったところ、シール材の溶損も焼損もクラックの発生も認められなかった。次に、0.2mm厚のPTFE四フッ化エチレンを内部に固定した導管を受入弁101の位置に挿入し、その代わりとした。その後、先ほどと同様の条件で窒素ガスを外部装置に導入した。この操作も10回繰り返した後、そのシール性を確認した。その結果、完全なシール性を示し、問題のないことを確認した。さらに、シール材の目視観察を行ったが、シール材の溶損も焼損もクラックの発生も認められなかった。さらに、衝撃波減衰機構を有する機器50の出口50bに圧力測定のための圧力計キスラー社製の圧力計603Bを挿入し、圧力の経時変化を測定した。その結果を図4に示す。図4から、昇圧の過程でピークが無かったことから、衝撃波が発生する条件にはなかったことを確認できる。14.7MPaに高圧充填されたヘリウムガスを用いた。装置としては、実験1とほぼ同様としたが、先ず、0.2mm厚のPTFE四フッ化エチレンを内部に固定した導管を従来の受入弁101の位置に挿入し、その代わりとした。実施例1と同様に、開閉弁2及び排出弁110以外のすべての弁を開放して、導管356101103111、衝撃波減衰機構を有する機器50内および外部処理装置100内を真空状態とした後、すべての弁を閉止した。その後、開閉弁2を調整しながら開放して導管3内の圧力を14MPaGとした。次に、供給弁4と受入弁101をほぼ同時に開放とし、外部処理装置100に窒素ガスを導入して30秒間経過した後に、すべての弁を閉止し、開閉弁110から外部処理装置100の中に充満したヘリウムガスを排気した。この操作を10回繰り返した後、そのシール性を確認した。その結果、完全なシール性を示し、問題のないことを確認した。さらに、シール材の目視観察を行ったが、シール材の溶損も焼損もクラックの発生も認められなかった。次に、シール材をPTFE四フッ化エチレンとした受入弁101を挿入した。実施1と同様の操作を10回繰り返した後に、リークディテクターにより導入弁5の内部リーク量の計測を行ったところ、リーク量は1.0×10-7Pam3/s未満であり、リークのないことを確認した。また、受入弁101を解体し、シール材の目視観察を行ったが、シール材の溶損も焼損もクラックの発生も認められなかった。さらに、実施例1と同様に、衝撃波減衰機構を有する機器50の出口50bに圧力測定のための圧力計キスラー社製の圧力計603Bを挿入し、その圧力の経時変化を測定した。その結果、導管中の窒素ガスの流れは、衝撃波が発生する条件にはなかったことを確認した。[比較例1]実施例1にて使用した衝撃波減衰機構を有する機器50を用いず、衝撃波減衰機構を有する機器50と長さおよび内径が同じである直線状のステンレス鋼製の管を挿入した。それ以外は、実施例1と同様に実施したが、実施例2と同様に、0.2mm厚のPTFE四フッ化エチレンを内部に固定した導管の試験から行った。その結果、シール材が変形しており、大きな機械的な負荷及び/又は熱的な負荷がかかったと推察できた。さらに、実験1と同様に圧力測定のための圧力計キスラー社製の圧力計603Bを挿入し、圧力の経時変化を測定した。その結果を図5に示す。図5から、昇圧の過程でピークの確認ができたことから、衝撃波が発生したと思われる圧力変化が明確に認められ、衝撃波発生の可能性が極めて高いことを確認した。[比較例2]実施例2と同様の試験を実施した。0.2mm厚のPTFE四フッ化エチレンを内部に固定した導管の試験から行った。その結果、シール材が変形しており、一部がわずかながら溶損しており、大きな機械的な負荷及び熱的な負荷がかかったと推察できた。