"X線を照射するX線照射手段を制御するX線制御装置であって、前記X線照射手段の消費電流に基づいて、X線照射のON/OFF状態を検出する照射状態検出手段を備えることを特徴とするX線制御装置。X線を照射するX線照射手段を制御するX線制御装置であって、前記X線照射手段の消費電流に基づいて、X線照射の異常を検出する異常検出手段を備えることを特徴とするX線制御装置。請求項2に記載のX線制御装置において、前記異常検出手段は、前記消費電流に基づいてX線照射のON/OFF状態を検出する照射状態検出手段を兼用していることを特徴とするX線制御装置。請求項2または請求項3に記載のX線制御装置において、前記異常検出手段は、前記消費電流とX線照射条件との比較に基づいて前記異常を検出することを特徴とするX線制御装置。しかしながら、X線発生装置の単一故障が発生した場合、RS-232C通信やディスクリートI/Oの応答が実際の状態に対して不一致が生じ、上位制御器にてX線照射のON/OFF状態が正常に検出することができないという問題がある。その結果、X線発生装置の故障を検出することができない場合がある。ここで単一故障とは、単一部品について故障が発生することを示す。実際には、複数の部品について故障が同時に発生することは確率的に極めて低いので、単一故障さえ検出することができれば、X線発生装置X線照射手段への制御を滞りなく行うことができる。この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、X線照射手段側のX線照射のON/OFF状態を検出する、あるいはX線照射手段側のX線照射の異常を検出することができるX線制御装置を提供することを目的とする。発明者らは、上記の問題を解決するために鋭意研究した結果、次のような知見を得た。すなわち、従来のX線制御装置はX線管やX線発生装置X線照射手段へ制御するときには、X線制御装置側からX線管やX線発生装置に対してX線照射のON/OFFを指令、あるいはX線照射条件を設定する。したがって、X線管やX線発生装置などのX線照射手段側で単一故障が発生した場合には、設定や指令をX線制御装置側からX線照射手段側へ行ったとしても、制御が正常に行えない。一方、X線管やX線発生装置ではX線照射がON状態の場合には、X線照射がOFF状態非照射状態と比較して、消費電流が多く流れて、多くの電力を消費する。そこで、X線管やX線発生装置などのX線照射手段の消費電流をモニタリングすることを利用すれば、X線照射手段側で単一故障が発生したとしても、消費電流に基づいてX線照射のON/OFF状態あるいはX線照射の異常を検出することができるという知見を得た。このような知見に基づくこの発明は、次のような構成をとる。すなわち、この発明に係るX線制御装置前者の発明は、X線を照射するX線照射手段を制御するX線制御装置であって、前記X線照射手段の消費電流に基づいて、X線照射のON/OFF状態を検出する照射状態検出手段を備えることを特徴とするものである。[作用効果]この発明に係るX線制御装置前者の発明によれば、X線照射手段の消費電流に基づいて、X線照射のON/OFF状態を照射状態検出手段が検出することで、X線照射手段の消費電流をモニタリングすればX線照射手段側のX線照射のON/OFF状態を検出することができる。また、この発明に係るX線制御装置後者の発明は、X線を照射するX線照射手段を制御するX線制御装置であって、前記X線照射手段の消費電流に基づいて、X線照射の異常を検出する異常検出手段を備えることを特徴とするものである。[作用効果]この発明に係るX線制御装置後者の発明によれば、X線照射手段の消費電流に基づいて、X線照射の異常を異常検出手段が検出することで、X線照射手段の消費電流をモニタリングすればX線照射手段側のX線照射の異常を検出することができる。上述した前者の発明と後者の発明とを組み合わせて、消費電流に基づいてX線照射のON/OFF状態を検出する前者の発明における照射状態検出手段を後者の発明における異常検出手段が兼用してもよい。後者の発明において、異常検出手段によるX線照射の異常の具体的な一例は、以下の通りである。すなわち、異常検出手段は、消費電流とX線照射条件との比較に基づいて異常を検出する。設定されたX線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、X線照射において異常が発生していると見なすことができる。この発明に係るX線検査装置によれば、X線照射手段の消費電流に基づいて、X線照射のON/OFF状態を照射状態検出手段が検出し、X線照射の異常を異常検出手段が検出することができる。以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。図1は、実施例に係るX線検査装置の概略構成図およびブロック図であり、図2は、実施例に係るX線検査装置に用いられるX線制御装置上位制御器およびX線発生装置のブロック図である。本実施例では、X線制御装置上位制御器は、X線非破壊検査などのX線検査装置に用いられる場合を例に採って説明する。図1に示すように、本実施例に係るX線検査装置1は、対象物Oを撮像する撮像部2と、対象物Oを載置するステージ3と、そのステージ3を駆動するステージ駆動部4と、撮像部2を駆動する撮像駆動部5と、撮像部2のX線管21に管電流や管電圧を与えるために高電圧を発生する高電圧発生部6と、撮像部2のX線検出器22によって得られたX線検出信号に対して各種の画像処理を行ってX線透視像を出力する画像処理部7とを備えている。撮像部2は、対象物OにX線を照射するX線管21と、X線管21から照射され対象物Oを透過したX線を検出するX線検出器22とを備えている。X線検出器22については、イメージインテンシファイアI.Iやフラットパネル型X線検出器FPDFlatPanelDetectorなどに例示されるように、特に限定されない。本実施例では、X線検出器22としてフラットパネル型X線検出器FPDを例に採って説明する。高電圧発生部6およびX線管21からなる後述するX線発生装置31は、この発明におけるX線照射手段に相当する。FPDは、画素に対応して縦横に並べられた複数の検出素子からなり、X線を検出素子が検出して、検出されたX線のデータ電荷信号をX線検出信号として出力する。このようにして、X線管21からX線を対象物Oに向けて照射し、FPDからなるX線検出器22がX線を検出してX線検出信号を出力することで、X線管21およびX線検出器22からなる撮像部2は対象物Oを撮像する。ステージ駆動部4は、図示を省略するモータや駆動軸などから構成され、ステージ3を図中のX,Y方向に水平移動、Z方向に昇降移動、あるいはZ軸心周りに水平面内で回転させる。ステージ3の移動によって対象物Oも移動して、対象物Oを撮像位置にまで移動させて撮像部2により撮像を行ってX線検査を行う。撮像駆動部5は、ステージ駆動部4と同様に、図示を省略するモータや駆動軸などから構成され、撮像部2を図中のX,Y方向に水平移動、Z方向に昇降移動、あるいはZ軸心周りに水平面内で回転させる。X線検出器22にX線管21が対向するようにそれぞれを移動させてからX線検査を行う。また、X線管21またはX線検出器22を鉛直方向Z方向に昇降移動させて、X線検査における拡大率縮小率を変更することも可能である。また、X線管21またはX線検出器22を傾斜させて、斜め方向から撮像することも可能である図中の二点鎖線を参照。高電圧発生部6は、高電圧を発生させて管電流や管電圧をX線管21に与えることで、X線管21からX線が発生して、X線を照射する。画像処理部7は、ゲイン補正やラグ補正や階調補正等の画像処理をX線検出信号に施すことで、対象物Oに関するX線透視像を出力する。このようにして、撮像部2で撮像されたX線検出信号すなわちX線検出器22から出力されたX線検出信号に対して画像処理部7が画像処理を行ってX線透視像を出力することで、対象物Oに対してX線透視撮影を行う。そして、対象物Oに対するX線検査を行う。その他に、X線検査装置1は、メモリ部8と入力部9と出力部10と上位制御器11とを備えている。上位制御器11は、この発明におけるX線制御装置に相当する。メモリ部8は、コントローラ11を介して、画像処理部7で得られたX線透視像などのデータを書き込んで記憶し、適宜必要に応じて読み出して、上位制御器11を介して、X線透視像を出力部10に送り込んで出力する。メモリ部8は、ROMReadonlyMemoryやRAMRandomAccessMemoryやハードディスクなどに代表される記憶媒体で構成されている。入力部9は、オペレータが入力したデータや命令を上位制御器11に送り込む。入力部9は、マウスやキーボードやジョイスティックやトラックボールやタッチパネルなどに代表されるポインティングデバイスで構成されている。出力部10は、モニタなどに代表される表示部やプリンタなどで構成されている。本実施例では、撮像部2での撮像結果を出力部10のモニタに表示する。上位制御器11は、X線検査装置1を構成する各部分を統括制御する。画像処理部7で得られたX線透視像などのデータを、上位制御器11を介して、メモリ部8に書き込んで記憶、あるいは出力部10に送り込んで出力する。出力部10が表示部の場合には出力表示し、出力部10がプリンタの場合には出力印刷する。上位制御器11の具体的な構成については後述する。本実施例では、図2に示すように、高電圧発生部6やX線管21や中央演算処理装置CPU23をユニット化してX線発生装置31として構成している。本実施例では、上位制御器11は制御基板で形成されている。図3でも述べたように、図2では、X線発生装置31と上位制御器11とを、入出力専用であるI/Oバス専用のディスクリートI/Oのケーブルc1や、誤操作等を防止するために一定の条件を満たさないと動作を禁止するインターロック制御用のケーブルc2や、X線発生装置への電源供給用のケーブルc3で電気的に接続する。これらのケーブルとしてRS-232C規格のケーブルなどが用いられる。そして、X線検査装置1では、X線発生装置31に対して上位制御器11から、電源供給、インターロック制御、RS-232C通信やディスクリートI/O等にてX線照射のON/OFFおよびX線管21の管電圧/管電流の制御を行い、X線発生装置31からのRS-232C通信やディスクリートI/O等の応答から上位制御器11でX線発生装置31の状態をモニタリングしている。具体的には、上位制御器11から電源電圧例えば直流DC24Vを、電源供給用のケーブルc3を介してX線発生装置31の高電圧発生部6に供給する。この電源供給によって、高電圧発生部6は高電圧を発生させて、管電流や管電圧をX線管21に与えて、X線管21からX線を照射する。実際のX線照射のONでは、上位制御器11からONにする指令をX線発生装置31のCPU23に与えることで行い、X線照射のOFFでは、上位制御器11からOFFにする指令をCPU23に与えることで行う。また、上位制御器11から、インターロック制御用のケーブルc2を介してX線発生装置31のCPU23をインターロック制御する。このインターロック制御を行うことで、一定の条件を満たさないとCPU23の動作を禁止して、誤操作等を防止する。また、X線発生装置31と上位制御器11との間で相互の通信が行われているか否かを確認するためにRS-232C通信を、ディスクリートI/Oのケーブルc1を介して行う。さらに、本実施例では、図2に示すように、上位制御器11は電流検出回路11aを備えている。電流検出回路11aは、上位制御器11からX線発生装置31へ供給される電源供給用のケーブルc3の消費電流をモニタリングする。知見でも述べたように、X線管21やX線発生装置31ではX線照射がON状態の場合には、X線照射がOFF状態非照射状態と比較して、消費電流が多く流れて、多くの電力を消費する。X線管21の場合には、X線照射がOFF状態非照射状態以上の消費電流を電流検出回路11aがモニタリングしたときにはX線照射がON状態と検出する。X線照射が最小のX線照射条件時の消費電流未満を電流検出回路11aがモニタリングしたときにはX線照射がOFF状態非照射状態と検出する。このように、X線管21も含めてX線発生装置31の消費電流に基づいて、X線照射のON/OFF状態を電流検出回路11aが検出する。電流検出回路11aは、この発明における照射状態検出手段に相当する。また、本実施例では、この発明における照射状態検出手段に相当する電流検出回路11aは、この発明における異常検出手段を兼用している。すなわち、消費電流を電流検出回路11aがモニタリングし、消費電流とX線照射条件との比較に基づいて異常を検出する。このように、X線管21も含めてX線発生装置31の消費電流に基づいて、X線照射の異常を電流検出回路11aが検出する。電流検出回路11aは、この発明における異常検出手段にも相当する。X線照射条件時の電流で設定されているにも関わらず、実際には、設定された電流とは異なる値の消費電流で電流検出回路11aによりモニタリングされている場合には、設定されたX線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じることになり、X線照射において異常が発生していると見なされる。また、例えば、上述のようにX線照射がONで設定されているX線照射条件がONにも関わらず、実際にはX線照射が最小のX線照射条件時の消費電流未満で電流検出回路11aによりモニタリングされている場合には、設定されたX線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じることになり、X線照射において異常が発生していると見なされる。逆に、X線照射がOFFで設定されているにも関わらず、実際にはX線照射がOFF状態非照射状態以上の消費電流を電流検出回路11aによりモニタリングされている場合には、設定されたX線照射条件と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じることになり、X線照射において異常が発生していると見なされる。上述の構成を備えた本実施例に係るX線制御装置上位制御器11によれば、X線管21も含めてX線発生装置31の消費電流に基づいて、X線照射のON/OFF状態を電流検出回路11aが検出することで、消費電流をモニタリングすればX線発生装置31側のX線照射のON/OFF状態を検出することができる。本実施例では、X線管21も含めてX線発生装置31の消費電流に基づいて、X線照射の異常を電流検出回路11aが検出することで、消費電流をモニタリングすればX線発生装置31側のX線照射の異常を検出することができる。本実施例では、消費電流に基づいてX線照射のON/OFF状態を検出する照射状態検出手段を、消費電流に基づいてX線照射の異常を検出する異常検出手段が兼用しており、電流検出回路11aによって実現している。本実施例では、電流検出回路11aは、消費電流とX線照射条件との比較に基づいて異常を検出している。設定されたX線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、X線照射において異常が発生していると見なすことができる。この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。1対象物としてはX線検査の対象となり得るものであれば、特に限定されない。上述したように、実装基板、多層基板のスルーホール/パターン/はんだ接合部、パレット上に配置された集積回路ICのような実装前の電子部品、金属などの鋳物、ビデオデッキのような成型品などに例示されるように、対象物に対してX線検査を行うのであればよい。2上述した実施例では、対象物に対してX線透視撮影を行うことで対象物に対するX線検査を行ったが、対象物に対してCT撮影を行うことで対象物に対するX線検査を行う場合に適用してもよい。また、X線透視撮影およびCT撮影を組み合わせてX線検査を行う場合に適用してもよい。3上述した実施例では、X線制御装置上位制御器は、X線非破壊検査などのX線検査装置に用いられる場合を例に採って説明したが、医用における医用診断装置例えばX線透視撮影装置、X線断層撮影装置、X線CT装置などにも適用することができる。4上述した実施例では、消費電流に基づいてX線照射のON/OFF状態を検出する照射状態検出手段を、消費電流に基づいてX線照射の異常を検出する異常検出手段が兼用しており、電流検出回路11aによって実現していたが、電流検出回路11aは、X線照射のON/OFF状態を検出する照射状態検出手段の機能のみを備えてもよい。5上述した実施例では、消費電流に基づいてX線照射のON/OFF状態を検出する照射状態検出手段を、消費電流に基づいてX線照射の異常を検出する異常検出手段が兼用しており、電流検出回路11aによって実現していたが、電流検出回路11aは、X線照射の異常を検出する異常検出手段の機能のみを備えてもよい。6上述した実施例では、図2に示すように、高電圧発生部6やX線管21やCPU23をユニット化してX線発生装置31として構成したが、X線を照射するX線照射手段としては、CPUや高電圧発生部を必ずしも備える必要はなく、X線管単独であってもよい。また、CPUをX線制御装置実施例では上位制御器に組み込んで制御装置を1つにしてもよいし、高電圧発生部をX線制御装置に組み込んでもよい。7上述した実施例では、X線照射手段実施例では高電圧発生部6、X線管21とX線制御装置実施例では上位制御器とを別々にしたが、X線制御装置内にX線照射手段を組み込んでもよい。"