"高周波トランジスタの信号入力電極に一端が接続された第1の伝送線路と、上記第1の伝送線路の他端に上部電極が接続され、上記高周波トランジスタの接地電極に下部電極が接続された第1のMIMキャパシタとを備え、上記第1の伝送線路および上記第1のMIMキャパシタにより、入力信号の2倍波で共振する第1の直列共振回路を形成することを特徴とする高周波増幅器。高周波トランジスタの信号入力電極に一端が接続された第2の伝送線路と、上記第2の伝送線路の他端に上部電極が接続され、上記高周波トランジスタの接地電極に下部電極が接続された第2のMIMキャパシタとを備え、上記第2の伝送線路および上記第2のMIMキャパシタにより、入力信号の基本波で誘導性となる第2の直列共振回路を形成し、第1および第2の直列共振回路により、入力信号の基本波で並列共振することを特徴とする請求項1記載の高周波増幅器。第2の伝送線路の他端と第2のMIMキャパシタの上部電極との間に接続された抵抗を備えたことを特徴とする請求項2記載の高周波増幅器。従来の高周波増幅器は以上のように構成されているので、上記非特許文献1では、MIMキャパシタがトランジスタのゲート電極の近傍で大きな面積を占めているため、2倍波反射回路の配置が難しくなる課題があった。本発明は上記のような課題を解消するためになされたものであり、高周波トランジスタの信号入力電極の極近傍に2倍波反射回路を配置することで高周波トランジスタを高効率に動作させるという利点を保ちつつ、2倍波反射回路の配置を容易にすると共に、2倍波反射回路以外の配置を容易にする高周波増幅器を得ることを目的とする。本発明の高周波増幅器は、高周波トランジスタの信号入力電極に一端が接続された第1の伝送線路と、第1の伝送線路の他端に上部電極が接続され、高周波トランジスタの接地電極に下部電極が接続された第1のMIMキャパシタとを備え、第1の伝送線路および第1のMIMキャパシタにより、入力信号の2倍波で共振する第1の直列回路を形成したものである。本発明によれば、第1の伝送線路および第1のMIMキャパシタにより、入力信号の2倍波で共振する第1の直列回路を形成したので、高周波トランジスタの信号入力電極の極近傍に2倍波反射回路を配置することができ、高周波トランジスタを高効率に動作させることができる。また、高周波トランジスタの信号入力電極には、第1の伝送線路、第1のMIMキャパシタの順で接続されるので、信号入力電極には、細い伝送線路が接続されるだけであり、サイズの大きいMIMキャパシタが接続されない。よって、2倍波反射回路の配置を容易にすると共に、2倍波反射回路以外の配置を容易にする効果がある。実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による高周波増幅器を示す上面図である。図において、電界効果トランジスタ以下、単にトランジスタと言うのゲート電極信号入力電極1、ドレイン電極2、およびソース電極接地電極3a,3bがそれぞれ形成される。ソース電極3aは、ソースビアホール4aを介してグランドパターン図示せずに接続され、同様にソース電極3bは、ソースビアホール4bを介してグランドパターンに接続される。トランジスタのゲート電極1には、伝送線路5aが接続され、さらに、ゲート電極1の極近傍に伝送線路5bがシャントに接続される。MIMキャパシタ6の上部電極6aは、伝送線路5bにエアブリッジ7を介して接続され、MIMキャパシタ6の下部電極6bは、トランジスタのソース電極3aに接続される。伝送線路5bの電気長は、入力信号の基本波あるいは2倍波における1/4波長よりも十分に短く、電気的にはインダクタンスとして作用する。したがって、伝送線路5bおよびソースビアホール4aによるインダクタンスと、MIMキャパシタ6とにより直列共振回路が形成される。上記非特許文献1にも示されているように、トランジスタの動作効率が最大となる条件は、2倍波におけるトランジスタの真性入力容量Cgsに対する2倍波周波数における負荷インピーダンスが短絡条件を満たす場合である。この場合、真性入力容量Cgsにおいて入力電圧波形の中に2倍波成分が含まれなくなる。このため、入力電圧波形は方形波形状に近い形状となり、理想的なスイッチング動作に近づき高効率動作が実現される。したがって、伝送線路5bの長さやMIMキャパシタ6の静電容量は、2倍波において直列共振するように選ぶ。ただし、実際にはトランジスタ自体の寄生リアクタンス成分も存在するので、トランジスタ自体の寄生リアクタンス成分の影響も加味して、真性入力容量Cgsに対する2倍波周波数における負荷インピーダンスが短絡となるように選ぶ。また、上記非特許文献1では、トランジスタのゲート電極にMIMキャパシタを接続し、MIMキャパシタの下部電極を、伝送線路を介してソース電極に接続している。これに対して、実施の形態1では、ゲート電極1にはまず伝送線路5a,5bを接続して、MIMキャパシタ6は、ソース電極3aに接続している。一般に、MIMキャパシタは、伝送線路に比べてサイズが大きくなる。このため、MIMキャパシタを直接にトランジスタのゲート電極に接続すると、ゲート電極にはこれ以外の回路を接続することができなくなる。これに対して、実施の形態1の場合には、MIMキャパシタ6は、ソース電極3aに接続するので、トランジスタのゲート電極1には、細い伝送線路5bが接続されるだけであり、この直列共振回路以外の回路の接続が容易になる。以上のように、実施の形態1によれば、伝送線路5bおよびソースビアホール4aによるインダクタンスと、MIMキャパシタ6とにより、入力信号の2倍波で共振する直列共振回路を形成したので、トランジスタのゲート電極1の極近傍に2倍波反射回路を配置することができ、トランジスタを高効率に動作させることができる。また、トランジスタのゲート電極1には、伝送線路5b、MIMキャパシタ6の順で接続されるので、ゲート電極1には、細い伝送線路5bが接続されるだけであり、サイズの大きいMIMキャパシタ6が接続されない。よって、2倍波反射回路の配置を容易にすると共に、2倍波反射回路以外の配置を容易にすることができる。実施の形態2.図2はこの発明の実施の形態2による高周波増幅器を示す上面図である。図において、トランジスタのゲート電極1の極近傍に伝送線路5bの外、伝送線路5cがシャントに接続される。MIMキャパシタ8の上部電極8aは、伝送線路5cにエアブリッジ9を介して接続され、MIMキャパシタ8の下部電極8bは、グランドパッド10に接続される。グランドパッド10は、グランドパターン図示せずとビアホール11を介して接続される。その他の構成については、図1と同一構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。伝送線路5b、MIMキャパシタ6、およびソースビアホール4aで構成される2倍波反射回路は、2倍波において直列共振して短絡となるように構成される。このような回路は、基本波においては必ず容量性のリアクタンスを示すので、見かけ上のトランジスタの入力容量Cinが大きくなり、トランジスタの入力インピーダンスZinが小さくなる。広帯域増幅器では、入力整合回路の整合比帯域は、入力インピーダンスZinと入力回路の負荷インピーダンス通常は50Ωのインピーダンス比で決定され、インピーダンス比が大きいほど整合比帯域は小さくなる。すなわち、上記2倍波反射回路を付加するとトランジスタの動作効率が向上する反面、基本波整合が狭帯域になる。そこで、第2の直列共振回路を形成することで、2倍波反射回路のために余分に発生した基本波における容量成分を打ち消す。すなわち、伝送線路5c、MIMキャパシタ8、およびビアホール11で構成される直列回路は、基本波において誘導性となるようにその回路定数を決定し、伝送線路5b、MIMキャパシタ6、およびソースビアホール4aで構成される2倍波反射回路が、基本波において有する容量成分と並列共振するようにする。これにより、2倍波においてトランジスタの入力負荷インピーダンスを短絡として高効率動作を実現しつつ、基本波においてはいかなる負荷リアクタンスも生じないので、基本波における入力整合比帯域を狭くすることもない。なお、このようにトランジスタのゲート電極1の極近傍に、第2の直列共振回路を形成できるのは、実施の形態1で示したように、トランジスタのゲート電極1の極近傍に、伝送線路5b、MIMキャパシタ6の順で接続し、2倍波反射回路以外の配置を容易にしたことによって、初めて実現することができるものである。以上のように、実施の形態2によれば、伝送線路5cおよびビアホール11によるインダクタンスと、MIMキャパシタ8とにより、入力信号の基本波で誘導性となる直列共振回路を形成し、実施の形態1で示した直列共振回路と共に、入力信号の基本波で並列共振するようにしたので、入力信号の基本波における入力整合帯域が狭くなるのを防ぐことができる。また、実施の形態1と同様に、トランジスタのゲート電極1には、伝送線路5c、MIMキャパシタ8の順で接続されるので、ゲート電極1には、細い伝送線路5cが接続されるだけであり、サイズの大きいMIMキャパシタ8が接続されない。よって、直列共振回路の配置を容易にすると共に、この直列共振回路以外の配置を容易にすることができる。なお、上記実施の形態2では、MIMキャパシタ8の下部電極8bは、グランドパッド10に接続したが、MIMキャパシタ8の下部電極8bは、トランジスタのソース電極3bに接続しても良く、同様な効果が得られる。実施の形態3.図3はこの発明の実施の形態3による高周波増幅器を示す上面図である。図において、抵抗12は、伝送線路5cとMIMキャパシタ8の上部電極8aとの間にエアブリッジ9を介して接続される。その他の構成については、図2と同一構成には同一符号を付して重複する説明を省略する。実施の形態2においては、2倍波反射回路により発生する不要な容量成分を、新たなる第2の直列共振回路を用いて打ち消すことにより、基本波における入力整合が狭帯域とならないための手法を開示した。入力整合回路を広帯域に整合するためには、余計なリアクタンスを付加しないことに加えて、トランジスタのQ値を下げる手法がある。すなわち、意図的に共振回路に損失を持たせることにより、見かけ上のトランジスタのQ値を下げることで、入力整合を広帯域化することができる。実施の形態3においては、伝送線路5c、MIMキャパシタ8、およびビアホール11で構成される直列回路に、抵抗12を付加することで、これを実現している。抵抗12を付加した場合、入力電力の一部が抵抗12にて消費されるため利得は低下するが、伝送線路5c、MIMキャパシタ8、およびビアホール11で構成される直列回路は、基本波において誘導性となるように設定されている。この場合、基本波の低域ではインダクタンスに起因するリアクタンスが小さく、抵抗12の影響が大きいために利得低下量は大きくなるが、基本波の高域ではインダクタンスに起因するリアクタンスが大きく、抵抗12の影響が小さいために利得低下量は小さくなる。一般に、トランジスタの利得は低域ほど高く、高域ほど低い傾向がある。抵抗12の効果は、この傾向を打ち消す方向に作用するので、高周波増幅器の利得平坦性を改善するように作用する。また、抵抗12にて入力電力の一部が消費されるということは、回路のアイソレーション特性を改善する方向に作用する。このため、高周波増幅器の不要発振を抑圧して安定な動作を実現する。なお、実施の形態3において、抵抗12が、伝送線路5a、MIMキャパシタ6、およびソースビアホール4aで構成される2倍波反射回路の側ではなく、伝送線路5c、MIMキャパシタ8、およびビアホール11で構成される直列回路の側に付加されている。これは、仮に抵抗12が2倍波反射回路に接続された場合、2倍波反射回路の共振Q値が低下してしまい、2倍波において大きな損失を発生させるからである。この場合、トランジスタで発生した2倍波成分は、抵抗12に吸収されてしまうので、トランジスタの真性入力容量Cgsに対して方形波の電圧波形を供給することができなくなり、効率が低下する。実施の形態3のように、抵抗12を伝送線路5c、MIMキャパシタ8、およびビアホール11で構成される直列回路に付加することで、初めてトランジスタの動作効率を高くすると同時に、入力整合の広帯域化と利得周波数特性の平坦化、増幅器の安定化を実現することができる。以上のように、実施の形態3によれば、伝送線路5cとMIMキャパシタ8の上部電極8aとの間にエアブリッジ9を介して抵抗12を接続したので、高周波増幅器の利得平坦性を改善し、入力信号の基本波における入力整合帯域が狭くなるのを防ぐことができる。また、抵抗12にて入力電力の一部が消費されるので、回路のアイソレーション特性が改善され、このため、高周波増幅器の不要発振を抑圧して安定な動作を実現することができる。なお、上記実施の形態では、トランジスタとして電界効果トランジスタを適用したものについて説明したが、バイポーラトランジスタを適用しても良い。また、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意な構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意な構成要素の省略が可能である。"