"石英ガラス系光ファイバ用の母材を脱水焼結するために用いられ、炉心管の外周に配設されたヒータを覆う炉体を備える焼結炉を構成する炉心管の検査方法であって、前記炉心管の内圧を変動させながら前記炉体の内圧を測定することにより、前記炉心管の割れを検知することを特徴とする炉心管の検査方法。前記炉心管の内圧の変動は、前記炉心管内を流れる不活性ガス流量を増加させるか、あるいは、前記炉心管からの前記不活性ガスの排出量を減少させることにより行うことを特徴とする請求項1に記載の炉心管の検査方法。前記炉心管内を流れる不活性ガス流量の増加は、前記炉心管のガス排出口に設けられた風船状の圧力調整装置上に錘を載せて行うこと、もしくは、前記圧力調整装置を手で押圧することを特徴とする請求項2に記載の炉心管の検査方法。前記炉心管からの前記不活性ガスの排出量の減少は、前記炉心管のガス排出口に設けられたバルブにより行うことを特徴とする請求項2に記載の炉心管の検査方法。前記炉心管の内圧の変動は、前記炉心管のガス供給口に設けられたマスフローコントローラ、もしくは、バルブ付き流量計により、前記炉心管内への不活性ガスの供給量を調整して行うことを特徴とする請求項1に記載の炉心管の検査方法。請求項1~5のいずれか1項に記載の炉心管の検査方法を用いる炉心管の検査工程を備えたことを特徴とする石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法。しかしながら、多孔質母材の焼結終了後に、炉心管が冷えた際や、地震などの外的要因により、脱水焼結時以外にも炉心管が割れるおそれがある。特に、炉心管のなかでも、脱水焼結を行う場合と行わない場合とで温度差が大きい、ヒータに囲まれた部位が割れやすい。炉心管が割れていることに気付かずに脱水焼結工程を開始してしまうと、上述のように、脱水焼結中の多孔質母材に脱水不良が生じたり、ヒータなどからの不純物が多孔質母材に混入したりするという問題があった。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、石英ガラス系光ファイバ用の母材の脱水焼結を行う前、または、石英ガラス系光ファイバ用の母材の脱水焼結中に、その母材を脱水焼結するために用いられる焼結炉を構成する炉心管の割れを検知することができる炉心管の検査方法、および、この検査方法を用いた炉心管の検査工程を備えた石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法を提供することを目的とする。本発明の第1の態様に係る炉心管の検査方法は、石英ガラス系光ファイバ用の母材を脱水焼結するために用いられ、炉心管の外周に配設されたヒータを覆う炉体を備える焼結炉を構成する炉心管の検査方法であって、前記炉心管の内圧を変動させながら前記炉体の内圧を測定することにより、前記炉心管の割れを検知する。上記本発明の第1の態様に係る炉心管の検査方法では、前記炉心管の内圧の変動は、前記炉心管内を流れる不活性ガス流量を増加させるか、あるいは、前記炉心管からの前記不活性ガスの排出量を減少させることにより行ってもよい。上記本発明の第1の態様に係る炉心管の検査方法は、前記炉心管内を流れる不活性ガス流量の増加は、前記炉心管のガス排出口に設けられた風船状の圧力調整装置上に錘を載せて行う、もしくは、前記圧力調整装置を手で押圧する構成を採用してもよい。上記本発明の第1の態様に係る炉心管の検査方法では、前記炉心管からの前記不活性ガスの排出量の減少は、前記炉心管のガス排出口に設けられたバルブにより行ってもよい。上記本発明の第1の態様に係る炉心管の検査方法では、前記炉心管の内圧の変動は、前記炉心管のガス供給口に設けられたマスフローコントローラ、もしくは、バルブ付き流量計により、前記炉心管内への不活性ガスの供給量を調整して行ってもよい。本発明の第2の態様に係る石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法は、上記本発明の第1の態様に係る炉心管の検査方法を用いる炉心管の検査工程を備える。上記本発明の第1の態様に係る炉心管の検査方法によれば、意図的に炉心管の内圧を高くすることによって、炉心管の割れを検知することができる。しかも、炉心管の外周に配設された炉体の内圧の変動によって、炉心管の割れを検知するので、炉心管を目視により確認する必要がなく、かつ、確実に炉心管の割れを検知することができる。したがって、割れた炉心管を、母材の脱水焼結工程にて使わなくて済むため、母材多孔質母材を無駄にすることがなく、歩留まりを向上することができる。本発明の一実施形態に係る炉心管の検査方法および石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法を説明する。なお、本実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。1第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態に係る炉心管の検査方法、および、本発明の第1実施形態に係る石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法で用いられる焼結炉を示す概略構成図である。この焼結炉10は、取り外し可能な蓋11と、石英ガラスからなる炉心管12と、炉心管12の外周に配設されたヒータ13と、炉心管12の外周に配設され、ヒータ13を覆って外気から遮断する炉体14と、から概略構成されている。炉心管12の上部には、その内圧を計測するための内圧計15と、その内部からガスを排出するためのガス排出口16と、が設けられている。また、炉心管12の底部には、その内部に導通するガス供給口17が設けられている。ガス排出口16の途中には、風船状の圧力調整装置18が設けられている。また、圧力調整装置18の上には、その重さにより圧力調整装置18を押圧して、炉心管12の内圧を調整するための錘19と内圧増加用の錘20が順に載置されるようになっている。炉体14の下部には、その内圧を計測するための内圧計21が設けられている。また、炉体14の側面には、その内部に導通するガス供給口22とガス排出口23とが設けられている。風船状の圧力調整装置18としては、1枚のシートを折り畳み、その端部を接着させてなり、シート表面に2個の穴を持ち、一方の穴を炉心管12と繋がる配管に、他方の穴をガス排出口16と繋げた袋が用いられる。炉心管12内には、塩素やフッ素を含む酸性ガスを流すこともあるため、圧力調整装置18の素材は、ポリテトラフルオロエチレンやポリフッ化ビニルなどの耐酸性の素材が好ましい。錘19と、内圧増加用の錘20との関係は特に限定されないが、錘19は、炉心管12の内圧を通常の状態に保つために必要な質量を有する。一方、錘20は、炉心管12の割れを検知するとき、炉心管12の内圧を所定の圧力まで増加させるために必要な質量を有する。この焼結炉10を用いた石英ガラス系光ファイバ用の母材の脱水焼結では、支持棒32に支持された石英ガラス系光ファイバ用の母材多孔質母材31が、炉心管12の上方から、その内部に挿入される。本実施形態の炉心管の検査方法は、母材31を脱水焼結するために用いられる焼結炉10を構成する炉心管12の検査方法であって、母材31の脱水焼結を行う前に、炉心管12の内圧を変動させながら、炉体14の内圧を測定し、炉心管12の割れを検知する。焼結炉10では、母材31の脱水焼結を行う時以外にも、炉心管12内への異物の混入防止や配管などの錆防止のために、炉心管12内に、ヘリウムガス、アルゴンガス、窒素ガスなどの不活性ガスなどを流している。特に、ヘリウムガスなどに比べて安価な窒素ガスを流すのが好ましい。そこで、母材31の脱水焼結を行う前に、炉心管12内を流れる不活性ガス流量を増加させることにより、炉心管12の内圧を変動させて、その時の炉体14の内圧を内圧計21で測定し、炉心管12の割れを検知する。また、炉心管12内を流れる不活性ガス流量の増加は、炉心管12のガス排出口16に設けられた風船状の圧力調整装置18上に錘19,20を載せて行う。すなわち、錘19,20で、風船状の圧力調整装置18を押圧することにより、炉心管12の内圧を高くして、炉心管12内を流れる不活性ガス流量を増加させる。また、圧力調整装置18上に錘20を載せずに、圧力調整装置18を手で押圧し、炉心管12の内圧を高くしてもよい。このとき、炉心管12の内圧の変動の幅は、通常の状態、すなわち、炉心管12内への異物の混入防止や配管などの錆防止のためだけに、不活性ガスを流している時よりも、炉心管12の内圧が20~200増加する程度であることが好ましい。炉心管12が割れていなければ、不活性ガスが外部に漏れることがないため、炉心管12の内圧変動に関係なく、炉体14の内圧は保たれたままである。一方、炉心管12が割れていれば、炉心管12の内圧が増加すると、炉心管12から炉体14に不活性ガスが流れ込むため、炉体14の内圧も増加する。このように、炉体14の内圧を測定することにより、炉心管12の割れを検知することができる。なお、炉体14内にもガスを流していることがあるため、通常の状態でも、炉体14の内圧は多少変動することがある。したがって、炉体14の内圧が通常時よりも1以上増加したときに、炉心管12の割れに起因して、炉体14の内圧が増加したと判断することが好ましい。次に、本実施形態の石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法を説明する。本実施形態の石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法は、本実施形態の炉心管の検査方法を用いる炉心管の検査工程を備えている。すなわち、本実施形態の炉心管の検査方法によって炉心管12の割れが検知されなかった場合、錘20による圧力調整装置18の押圧を止めて、炉心管12の内圧を通常の状態に戻し、そのままの焼結炉10を用いて、母材31の脱水焼結を行う。一方、炉心管12の割れが検知された場合、炉心管12を交換して、再度、交換後の炉心管12を検査し、その炉心管12の割れが検知されなかった場合、母材31の脱水焼結を行う。母材31の脱水焼結工程では、支持棒32に支持された母材31を、炉心管12の上方から、その内部に挿入する。その後、母材31の脱水や不純物の除去のためにヘリウムやハロゲン系ガスなどを、ガス供給口17から炉心管12内に導入し、母材31が挿入された炉心管12内をヘリウムやハロゲン系ガスなどの混合ガス雰囲気とする。そして、母材31を、支持棒32を中心軸として回転させながら、炉心管12の下方に移動させることにより、ヒータ13で母材31を、その下部から上部に向かって加熱する。これにより、母材31は、その下部から上部に向かって脱水され、透明ガラスが形成される。また、ヘリウムガス、アルゴンガス、窒素ガスなどの不活性ガスを、ガス供給口22から炉体14内に導入する。そして、炉体14内に導入した不活性ガスを、ガス排出口23から外部に排出する。このように、炉体14へのガスの導入および排出を行うことにより、炉体14内を不活性ガス雰囲気とする。2第2実施形態図2は、本発明の第2実施形態に係る炉心管の検査方法、および、本発明の第2実施形態に係る石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法で用いられる焼結炉を示す概略構成図である。図2において、図1に示した第1実施形態の構成要素と同じ構成要素には同一符号を付して、その説明を省略する。本実施形態の焼結炉40が、上述の焼結炉10と異なる点は、内圧増加用の錘20を用いていない点と、炉心管12のガス排出口16の途中にバルブ41が設けられている点である。バルブ41としては、ニードルバルブ、ボールバルブ、ゲートバルブ、グローブバルブなどが用いられる。これらの中でも、流量の調整が安易であることから、ニードルバルブを用いるのが好ましい。本実施形態の炉心管の検査方法では、炉心管12からの不活性ガスの排出量を減少させることにより、炉心管12の内圧を変動させて、その時の炉体14の内圧を内圧計21で測定し、炉心管12の割れを検知する。また、炉心管12からの不活性ガスの排出量の減少は、炉心管12のガス排出口16に設けられたバルブ41により行う。すなわち、バルブ41の開度を調節することにより、炉心管12からの不活性ガスの排出量を減少させ、炉心管12の内圧を高くする。このとき、炉心管12の内圧の変動の幅は、第1実施形態と同様であることが好ましい。また、第1実施形態と同様に、炉体14の内圧が通常時よりも1以上増加したときに、炉心管12の割れに起因して、炉体14の内圧が増加したと判断することが好ましい。本実施形態の炉心管の検査方法でも、第1実施形態と同様に、炉心管12の割れを検知することができる。また、本実施形態の石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法は、本実施形態の炉心管の検査方法を用いる炉心管の検査工程を備えている。すなわち、本実施形態の炉心管の検査方法によって炉心管12の割れが検知されなかった場合、バルブ41を開けて、炉心管12の内圧を通常の状態に戻し、そのままの焼結炉10を用いて、母材31の脱水焼結を行う。一方、炉心管12の割れが検知された場合、炉心管12を交換して、再度、交換後の炉心管12を検査し、その炉心管12の割れが検知されなかった場合、母材31の脱水焼結を行う。3第3実施形態本実施形態の炉心管の検査方法では、例えば、図1または図2に示した焼結炉と同様の焼結炉を用いて、炉心管12のガス供給口17に設けられたマスフローコントローラ図示略により、炉心管12内への不活性ガスの供給量を調整し、炉心管12の内圧を変動させて、その時の炉体14の内圧を内圧計21で測定し、炉心管12の割れを検知する。すなわち、マスフローコントローラにより、炉心管12内を流れる不活性ガス流量を増加させて、炉心管12の内圧を高くすることにより、炉心管12の割れを検知する。マスフローコントローラは、電気的に不活性ガスの流量を計測し、その流量制御を行う。ただし、流量を制御できればよいため、マスフローコントローラの代りに、例えば、バルブ付き面積式流量計などを取り付け、手動で流量を制御してもよい。このとき、炉心管12の内圧の変動の幅は、第1実施形態と同様であることが好ましい。また、第1実施形態と同様に、炉体14の内圧が通常時よりも1以上増加したときに、炉心管12の割れに起因して、炉体14の内圧が増加したと判断することが好ましい。本実施形態の炉心管の検査方法でも、第1実施形態と同様に、炉心管12の割れを検知することができる。また、本実施形態の石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法は、本実施形態の炉心管の検査方法を用いる炉心管の検査工程を備えている。すなわち、本実施形態の炉心管の検査方法によって炉心管12の割れが検知されなかった場合、マスフローコントローラにより、炉心管12内への窒素ガスの供給量を減少して、炉心管12の内圧を通常の状態に戻し、そのままの焼結炉10を用いて、母材31の脱水焼結を行う。一方、炉心管12の割れが検知された場合、炉心管12を交換して、再度、交換後の炉心管12を検査し、その炉心管12の割れが検知されなかった場合、母材31の脱水焼結を行う。以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。実施例1図1に示した焼結炉10を構成する炉心管12について割れの有無を検知した。炉心管12内に、ガス供給口17から窒素ガスを導入し、炉心管12の内圧が一定になったところで、内圧計15により、その内圧を計測したところ、300Paであった。このとき、風船状の圧力調整装置18上には、錘19のみを載置した。また、内圧計21により、炉体14の内圧を計測したところ、80Paであった。次に、圧力調整装置18上に、内圧増加用の800gの錘20をさらに載置し、内圧計15により、炉心管12の内圧を計測したところ、400Paであった。また、内圧計21により、炉体14の内圧を計測したところ、80Paであった。このように、炉心管12の内圧が300Paから400Paに変動したものの、炉体14の内圧は変動しなかった。したがって、炉心管12は割れていないことが確認された。実施例2図1に示した焼結炉10を構成する炉心管12について、割れの有無を検知した。炉心管12内に、ガス供給口17から窒素ガスを導入し、炉心管12の内圧が一定になったところで、内圧計15により、その内圧を計測したところ、300Paであった。このとき、風船状の圧力調整装置18上には、錘19のみを載置した。また、内圧計21により、炉体14の内圧を計測したところ、80Paであった。次に、圧力調整装置18を手で押圧し、内圧計15により、炉心管12の内圧を計測したところ、500Paであった。また、内圧計21により、炉体14の内圧を計測したところ、80Paであった。このように、炉心管12の内圧が300Paから500Paに変動したものの、炉体14の内圧は変動しなかった。したがって、炉心管12は割れていないことが確認された。実施例3図2に示した焼結炉40を構成する炉心管12について、割れの有無を検知した。炉心管12内に、ガス供給口17から窒素ガスを導入し、炉心管12の内圧が一定になったところで、内圧計15により、その内圧を計測したところ、300Paであった。このとき、風船状の圧力調整装置18上には、錘19を載置した。また、内圧計21により、炉体14の内圧を計測したところ、80Paであった。次に、バルブ41を閉じて、内圧計15により、炉心管12の内圧を計測したところ、500Paであった。また、内圧計21により、炉体14の内圧を計測したところ、80Paであった。このように、炉心管12の内圧が300Paから500Paに変動したものの、炉体14の内圧は変動しなかった。したがって、炉心管12は割れていないことが確認された。実施例4図1に示した焼結炉10、または、図2に示した焼結炉40を構成する炉心管12について、割れの有無を検知した。炉心管12のガス供給口17にマスフローコントローラを設置した。マスフローコントローラにより、炉心管12内に、ガス供給口17から所定量の窒素ガスを導入し、炉心管12の内圧が一定になったところで、内圧計15により、その内圧を計測したところ、300Paであった。また、内圧計21により、炉体14の内圧を計測したところ、80Paであった。次に、マスフローコントローラにより、炉心管12内への窒素ガスの供給量を増加させ、内圧計15により、炉心管12の内圧を計測したところ、500Paであった。また、内圧計21により、炉体14の内圧を計測したところ、80Paであった。このように、炉心管12の内圧が300Paから500Paに変動したものの、炉体14の内圧は変動しなかった。したがって、炉心管12は割れていないことが確認された。"