酸化処理による酸素含有量を1~5wtに制御したカーボンナノファイバーを、フッ素ガス濃度10~50volのフッ素含有ガスに接触させてフッ素化することを特徴とするフッ素化カーボンナノファイバーの製造方法。フッ素含有ガスがフッ素ガスと窒素ガスおよび/またはアルゴンガスとの混合ガスである請求項1に記載する製造方法。フッ素化処理温度が室温~100°Cである請求項1または請求項2に記載する製造方法。請求項1~請求項3の何れかに記載する製造方法で得たフッ素化カーボンナノファイバー。請求項4に記載するフッ素化カーボンナノファイバーを極性溶媒から選ばれた一種以上の分散媒に分散させてなるフッ素化カーボンナノファイバー分散液。請求項5に記載するフッ素化カーボンナノファイバー分散液にバインダー成分を加えてなる塗料組成物またはペースト組成物。請求項6に記載する塗料組成物またはペースト組成物によって形成された導電性塗膜。本発明は、従来の処理方法における上記問題を解決したものであり、高い導電性を維持しつつ分散性に優れたフッ素化カーボンナノファイバーとその製造方法および用途を提供する。本発明は、以下の構成からなるフッ素化カーボンナノファイバーとその製造方法および用途に関する。1酸化処理による酸素含有量を1~5wtに制御したカーボンナノファイバーを、フッ素ガス濃度10~50volのフッ素含有ガスに接触させてフッ素化することを特徴とするフッ素化カーボンナノファイバーの製造方法。2フッ素含有ガスがフッ素ガスと窒素ガスおよび/またはアルゴンガスとの混合ガスである上記1に記載する製造方法。3フッ素化処理温度が室温~100°Cである上記1または上記2に記載する製造方法。4上記1~上記3の何れかに記載する製造方法で得たフッ素化カーボンナノファイバー。5上記4に記載するフッ素化カーボンナノファイバーを極性溶媒から選ばれた一種以上の分散媒に分散させてなるフッ素化カーボンナノファイバー分散液。6上記5に記載するフッ素化カーボンナノファイバー分散液にバインダー成分を加えてなる塗料組成物またはペースト組成物。7上記6に記載する塗料組成物またはペースト組成物によって形成された導電性塗膜。本発明のフッ素化カーボンナノファイバーは、酸化処理やフッ素化処理によっても導電性が殆ど低下せず、優れた分散性を有するので、高い導電性を有するカーボンナノファイバーが均一に分散した分散液を得ることができ、この分散液やその塗料組成物ないしペースト組成物を用いることによって、優れた導電性を有する導電性塗膜を容易に形成することができる。本発明の製造方法は、酸化処理による酸素含有量を1~5wtに制御したカーボンナノファイバーを用い、これをフッ素ガス濃度10~50volのフッ素含有ガスに接触させてフッ素化する方法であり、特別な装置や薬剤を用いないので、容易に実施することができ、優れた導電性と分散性を有するフッ素化カーボンナノファイバーを低コストで製造することができる。以下、本発明を実施形態に基いて具体的に説明する。本発明の製造方法は、酸化処理による酸素含有量を1~5wtに制御したカーボンナノファイバーを、フッ素ガス濃度10~50volのフッ素含有ガスに接触させてフッ素化することを特徴とするフッ素化カーボンナノファイバーの製造方法である。本発明の製造方法は、酸化処理により酸素含有量を1~5wtに制御したカーボンナノファイバーを用いる。酸化処理方法は限定されない。例えば、オゾン処理や硫酸と硝酸の混酸を用いた湿式酸化処理などを利用することができる。オゾン処理ではオゾン濃度や処理温度などの処理条件、硫酸と硝酸の混酸を用いた酸化処理では硝酸濃度や処理温度などの処理条件を調整することによって、酸化処理による酸素含有量を1~5wtに制御することができる。カーボンナノファイバーの酸素含有量が1wt未満ではフッ素化が過度になり導電性が低下し、5wtを超えるとフッ素化が不十分になる。フッ素化処理には、フッ素ガス濃度F2濃度が10~50volのフッ素含有ガスを用いる。例えば、フッ素ガスと窒素ガスの混合ガス、またはフッ素ガスとアルゴンガスの混合ガスなどを用いることができる。フッ素ガス濃度F2濃度が10vol未満ではフッ素化が不十分になり、50volを超えるとフッ素化が過度になり導電性が低下する。フッ素化処理温度は室温から100°Cが好ましい。フッ素化処理温度が100°Cを超えると導電性が低下する。例えば、酸素含有量を1~5wtに制御したカーボンナノファイバーを処理容器に入れ、室温~100°Cに加熱した容器内にフッ素ガス濃度F2濃度が10~50volのフッ素含有ガスフッ素ガスと窒素ガスの混合ガス、またはフッ素ガスとアルゴンガスの混合ガスなどを導入し、カーボンナノファイバーをフッ素含有ガスに接触させることによってフッ素化処理を行うことができる。カーボンナノファイバーは、繊維径1~100nm、アスペクト比5以上であって、X線回折測定によるグラファイト層の[002]面の間隔が035nm以下であるものが好ましい。繊維径とアスペクト比が上記範囲内のカーボンナノファイバーは、相互に十分な接触点を形成することができるので、高い導電性を有することができる。X線回折測定によるグラファイト層の[002]面の積層間隔が上記範囲内であるカーボンナノファイバーは結晶性が高いため、電気抵抗が小さく高導電の材料を得ることができる。さらに、カーボンナノファイバーの圧密体の体積抵抗値が10Ωcm以下であるものは良好な導電性を発揮することができる。上記カーボンナノファイバーは一酸化炭素を主な原料ガスとした気相成長法によって製造することができる。また、この方法によって製造したカーボンナノファイバーはトルエン着色透過率95以上のものが得られ、分散性の観点から好ましい。本発明の方法によって製造したフッ素化カーボンナノファイバーは、酸化処理やフッ素化処理によっても高い導電性を維持し、かつ分散性に優れるので、これを水などの極性溶媒から選ばれた一種以上の分散媒に分散させれば、フッ素化カーボンナノファイバーが均一に分散した分散液を得ることができる。また、上記フッ素化カーボンナノファイバー分散液にバインダー成分を加えることによって塗料組成物、またはペースト組成物を得ることができる。この塗料組成物、またはペースト組成物によって形成された導電性塗膜は優れた導電性を有する。以下、本発明の実施例を比較例と共に示す。なお、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されない。実施例1:フッ素化処理表1に示す酸素含有量のカーボンナノファイバー繊維径10~100nm、アスペクト比5以上:CNFと略記するを用い、表1に示す条件にてフッ素化処理を行い、フッ素化CNFを得た。CNFの酸素含有量およびフッ素化処理条件を表1に示す。実施例2:塗膜形成表1のCNFを乾燥して粉末にし、その粉末をビーズミルを使用してエタノールに分散させた分散液を調製した。この分散液に、乾燥塗膜の固形分中のカーボンナノファイバー含有率が45になるようにアクリル樹脂溶液を混合して塗料を調製した。この塗料を、バーコーターを用いて、厚さ100μmのポリエステルフィルムに、塗工量が025gm2になるように塗布し、80°Cで3分間乾燥して塗膜を作製した。この塗膜の表面抵抗率およびヘーズを測定した。これらのヘーズ値はスガ試験機製ヘーズメーターを用いて測定した。塗膜のヘーズ値はベースフィルムであるポリエステルフィルムのヘーズ値18を含んで測定した。塗膜の表面抵抗率Ω/□は三菱化学製ハイレスタUPを用いて測定した。これらの結果を表2に示す。表2に示すように、本発明のA1~A6は何れも塗膜の表面抵抗が106レベルであり、高い導電性を有しており、かつヘーズが何れも19以下であり、分散性に優れている。一方、比較例B1はフッ素化処理を行っていないので、CNFが凝集し分散しない。比較例B2はCNFの酸素含有量が少ないので塗膜の表面抵抗が高い。比較例B3はCNFの酸素含有量が多すぎるので塗膜の表面抵抗がやや高く、分散性も低い。比較例B4はフッ素化処理のフッ素ガス濃度が低く過ぎるので塗膜の表面抵抗がやや高く、分散性も低い。比較例5はフッ素化処理のフッ素ガス濃度が高すぎるので塗膜の表面抵抗が高い。比較例6はフッ素化処理の温度が高すぎるので塗膜の表面抵抗が高い。