複数のモータのそれぞれについてフィードフォワード制御器を備え、前記複数のモータをそれぞれ制御する制御装置であって、前記フィードフォワード制御器の少なくとも1つは、当該フィードフォワード制御器が制御対象とするモータとは異なる少なくとも1つのモータの入出力特性を表す関数を含む、ことを特徴とする制御装置。前記関数は、前記少なくとも1つのモータの共振特性を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の制御装置。前記少なくとも1つのモータは、前記複数のモータのうち最も低い周波数帯域に共振周波数を有するモータである、ことを特徴とする請求項2に記載の制御装置。前記フィードフォワード制御器の少なくとも1つは、前記制御対象とするモータ及び前記少なくとも1つのモータの共振周波数を含む周波数帯域において入力信号を低減するフィルタを更に含む、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の制御装置。前記関数は、前記少なくとも1つのモータの剛体モードの特性及び共振モードの特性を表す関数と、前記剛体モードの特性を表す関数の逆関数との積を含む、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の制御装置。対象に光を照射する照射装置であって、光を順次反射する複数のミラーと、前記複数のミラーをそれぞれ回転させる複数のモータと、前記複数のモータを制御する請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の制御装置と、を有することを特徴とする照射装置。複数の自由度において可動の可動体と、前記複数の自由度において前記可動体を移動させる複数のモータと、前記複数のモータを制御する請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の制御装置と、を有することを特徴とする駆動装置。レーザ加工装置に要求される生産性の向上や加工品質の向上は日増しに高まっており、複数のガルバノ装置のモータの出力軸に関しては、同期の高精度化に加えて、制御例えば、回転角度制御の高速化も求められている。しかしながら、特許文献1の技術では、同期の高精度化は実現できるものの、制御の高速化を実現することは困難である。本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされたもので、複数のモータの制御において、同期の高精度化及び制御の高速化の両立に有利な技術を提供することを例示的目的とする。上記目的を達成するために、本発明の一側面としての制御装置は、複数のモータのそれぞれについてフィードフォワード制御器を備え、前記複数のモータをそれぞれ制御する制御装置であって、前記フィードフォワード制御器の少なくとも1つは、当該フィードフォワード制御器が制御対象とするモータとは異なる少なくとも1つのモータの入出力特性を表す関数を含む、ことを特徴とする。本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。本発明によれば、例えば、複数のモータの制御において、同期の高精度化及び制御の高速化の両立に有利な技術を提供することができる。以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。図1は、本発明の一側面としてのレーザ加工装置1000の構成を示す概略図である。なお、レーザ加工装置は一例に過ぎず、同期を要する複数のモータを含む装置に本発明は適用することができる。レーザ加工装置1000は、加工対象の物体被加工物OBにレーザ光LLを照射し、例えば、物体OBの切断、穴あけ、溶接などの加工を行う工作機械装置である。物体OBとしては、金属、ガラス、プラスチックなどの材料を選択することができる。レーザ加工装置1000は、X軸モータ1002と、Y軸モータ1004とを備える。X軸モータ1002は、出力軸回転軸に取り付けられたX軸ミラー1006を回転させる。同様に、Y軸モータ1004は、出力軸に取り付けられたY軸ミラー1008を回転させる。X軸検出部1010は、例えば、ロータリエンコーダで構成され、X軸モータ1002の出力軸の位置即ち、X軸ミラー1006の回転角度を検出する。同様に、Y軸検出部1012は、例えば、ロータリエンコーダで構成され、Y軸モータ1004の出力軸の位置即ち、Y軸ミラー1008の回転角度を検出する。主制御部1014は、レーザ加工装置1000の全体動作を制御する。例えば、主制御部1014は、所定の入力値に基づいて、X軸モータ位置指令部1018にX軸モータ1002の出力軸の回転角度に関する制御信号を出力し、Y軸モータ位置指令部1022にY軸モータ1004の出力軸の回転角度に関する制御信号を出力する。また、主制御部1014は、光源1016に対して、レーザ光LLの照射発光を指示するON信号やレーザ光LLの非照射非発光を指示するOFF信号を出力する。X軸モータ位置指令部1018は、主制御部1014からの制御信号に基づいて、X軸モータ制御部1020に所定の指令信号を出力する。同様に、Y軸モータ位置指令部1022は、主制御部1014からの制御信号に基づいて、Y軸モータ制御部1024に所定の指令信号を出力する。X軸モータ制御部1020は、電流アンプを含み、X軸モータ位置指令部1018からの指令信号に基づいて、電流をX軸モータ1002に供給してX軸モータ1002の出力軸の回転角度を制御する。また、X軸モータ制御部1020は、X軸検出部1010で検出されるX軸モータ1002の出力軸の実際の回転角度と、X軸モータ1002の出力軸の目標角度との差が小さくなるように、X軸モータ1002の出力軸の回転角度を制御する。Y軸モータ制御部1024は、電流アンプを含み、Y軸モータ位置指令部1022からの指令信号に基づいて、電流をY軸モータ1004に供給してY軸モータ1004の出力軸の回転角度を制御する。また、Y軸モータ制御部1024は、Y軸検出部1012で検出されるY軸モータ1004の出力軸の実際の回転角度と、Y軸モータ1004の出力軸の目標角度との差が小さくなるように、Y軸モータ1004の出力軸の位置を制御する。X軸モータ制御部1020及びY軸モータ制御部1024は、本実施形態では、X軸モータ1002の出力軸とY軸モータ1004の出力軸とを制御するモータ制御装置として機能する。物体OBの加工において、光源1016からのレーザ光LLは、Y軸ミラー1008及びX軸ミラー1006で順次反射され、物体OBに照射される。レーザ光LLは、X軸ミラー1006が回転することによって、物体OBにおいてX軸方向正側及び負側に走査される。また、レーザ光LLは、Y軸ミラー1008が回転することによって、物体OBにおいてY軸方向正側及び負側に走査される。この際、後述するように、X軸モータ1002の出力軸及びY軸モータ1004の出力軸は、X軸モータ制御部1020及びY軸モータ制御部1024によって、高精度に同期がなされ、且つ、高速に制御位置制御される。従って、レーザ加工装置1000は、高精度、且つ、高速に物体OBを加工することができる。以下、X軸モータ制御部1020及びY軸モータ制御部1024によるX軸モータ1002及びY軸モータ1004の制御について詳細に説明する。図2a及び図2bは、X軸ミラー1006が出力軸に取り付けられたX軸モータ1002のモータ特性Px、及び、Y軸ミラー1008が出力軸に取り付けられたY軸モータ1004のモータ特性Pyを示す図である。ここでは、X軸モータ1002の出力軸の入出力特性である周波数応答特性X軸モータ1002への電流指令値を入力とし、X軸モータ1002の回転角度を出力とするボード線図をモータ特性Pxとして示している。同様に、Y軸モータ1004の出力軸の入出力特性である周波数応答特性Y軸モータ1004への電流指令値を入力とし、Y軸モータ1004の回転角度を出力とするボード線図をモータ特性Pyとして示している。また、図2aでは、横軸に周波数[Hz]、縦軸に振幅ゲイン[dB]を採用し、図2bでは、横軸に周波数[Hz]、縦軸に位相[deg]を採用している。図2a及び図2bを参照するに、X軸モータ1002及びY軸モータ1004のそれぞれは、2つの共振モード共振周波数を高周波数帯域に有している。また、X軸モータ1002及びY軸モータ1004のそれぞれを駆動する電流アンプ不図示の特性は、むだ時間Tdとしてe-sTdで近似することができる。ここで、X軸モータ1002のモータ特性PxとX軸モータ1002を駆動する電流アンプの特性との積をP~xとする。同様に、Y軸モータ1004のモータ特性PyとY軸モータ1004を駆動する電流アンプの特性との積をP~yとする。X軸モータ1002及びY軸モータ1004のそれぞれは、剛体モード及び2つの共振モードからなる伝達特性でモデル化することが可能であり、X軸モータ1002のモータ特性Px及びY軸モータ1004のモータ特性Pyは、以下のように表される。Px=kx0/s2kx1/s22ζx1ωx1sωx12kx2/s22ζx2ωx2sωx22Py=ky0/s2ky1/s22ζy1ωy1sωy12ky2/s22ζy2ωy2sωy22なお、kx0、kx1、kx2、ωx1、ωx2、ζx1、ζx2、ky0、ky1、ky2、ωy1、ωy2、ζy1及びζy2の値は、以下の通りである。また、sは、ラプラス演算子を示している。kx0=1.5e004、kx1=3.7e003、kx2=-1.3e004ωx1=2×π×8500、ωx2=9.6e004ζx1=0.0065、ζx2=0.014ky0=1.5e004、ky1=3.7e003、ky2=-1.3e004ωy1=2×π×4500、ωy2=6.6e004ζy1=0.0065、ζy2=0.014X軸モータ1002及びY軸モータ1004の従来の制御系について説明する。ここでは、2自由度制御系の設計に広く用いられているモデルマッチング2自由度制御系を説明する。モデルマッチング2自由度制御系は、規範モデルを用いて、位置応答角度応答を概ね設計することができる。図3は、一般的なモデルマッチング2自由度制御系の構成を示す概略図である。図3では、X軸モータ1002及びY軸モータ1004のうち一方のモータに対する制御系のみを示しているが、実際には、X軸モータ1002及びY軸モータ1004のそれぞれに対して、図3に示すような制御系が設けられることになる。図3において、Cはフィードバック制御器、Gffはフィードフォワード制御器、Grはフィードバック系の目標値目標角度を生成するためのモデル、P~は制御対象即ち、制御の対象とする制御対象モータである。GffをMP-1とし、GrをMとすれば、外乱の影響やモデル化誤差の影響などがない場合、フィードバック制御器Cは動作せず、目標値rから出力yまでの応答はy=Mrとなり、出力応答yはGrの出力Mrと一致する。そこで、Mは、規範モデルと呼ばれる。但し、実際には、外乱の影響やモデル化誤差の影響があるため、出力yは、厳密には、Grの出力と一致しない。従って、フィードバック制御器Cによって、出力yとGrの出力との差異を低減させている即ち、制御対象モータの出力軸の回転角度をフィードバック制御している。図4は、本実施形態におけるX軸モータ1002及びY軸モータ1004の制御系であるX軸モータ制御部1020及びY軸モータ制御部1024の構成を示す図である。本実施形態では、図4に示すように、X軸モータ制御部1020及びY軸モータ制御部1024にモデルマッチング2自由度制御系を適用している。また、規範モデルは、主に、ローパルフィルタ及びノッチフィルタによって設計する。規範モデルの設計においては、高周波数帯域の周波数成分を励起しないように、1/sT1Nで表されるN次ローパスフィルタ時定数Tでカットオフ周波数が決定されるを用いて、高周波数帯域の周波数成分をカットする。また、共振モードを励起しないようにするため、ノッチフィルタによって、共振周波数を含む周波数帯域の周波数成分を低減する。図4において、Cx及びCyのそれぞれはX軸フィードバック制御器及びY軸フィードバック制御器、Gffx及びGffyのそれぞれはX軸フィードフォワード制御器及びY軸フィードフォワード制御器である。また、Grx及びGryのそれぞれは、X軸フィードバック系の目標値を生成するためのモデル及びY軸フィードバック系の目標値を生成するためのモデルである。本実施形態におけるX軸モータ1002及びY軸モータ1004の制御の効果を示すため、従来の制御系と比較しながらX軸モータ制御部1020及びY軸モータ制御部1024を説明する。X軸モータ1002及びY軸モータ1004のフィードフォワード制御の設計において、従来の制御系では、ローパスフィルタに関しては、Tを0.2e-3、Nを6とし、ノッチフィルタに関しては、2つの共振周波数に対して深さ40dB、Q値を1とした。フィードフォワード制御器Gff図3参照を設計する際のモータモデルには、制御対象モータの出力軸の剛体モードの成分のみを表すkx0/s2及びky0/s2を用いた。従って、X軸モータ1002をフィードフォワード制御するフィードフォワード制御器Gffは、ローパスフィルタの伝達特性と、ノッチフィルタの伝達特性と、X軸モータ1002の剛体モードの逆モデルkx0/s2-1との積を含む。また、X軸モータ1002のフィードバック系の目標値を生成するためのモデルGrは、フィードフォワード制御器Gffと、X軸モータ1002のモータ特性Pxと、電流アンプのモデルe-sTdとの積である。同様に、Y軸モータ1004をフィードフォワード制御するフィードフォワード制御器Gffは、ローパスフィルタの伝達特性と、ノッチフィルタの伝達特性と、Y軸モータ1004の剛体モードの逆モデルky0/s2-1との積を含む。また、Y軸モータ1004のフィードバック系の目標値を生成するためのモデルGrは、フィードフォワード制御器Gffと、Y軸モータ1004のモータ特性Pyと、電流アンプのモデルe-sTdとの積である。一方、X軸モータ1002及びY軸モータ1004のフィードフォワード制御の設計において、本実施形態X軸モータ制御部1020及びY軸モータ制御部1024では、ローパスフィルタ及びノッチフィルタを以下のようにした。ローパスフィルタに関しては、Tを0.02e-3、Nを6とし、ノッチフィルタに関しては、X軸モータ1002及びY軸モータ1004のそれぞれの2つの共振周波数に対して深さ40dB、Q値を1とした4つのノッチフィルタを適用した。X軸フィードフォワード制御器Gffx図4参照を設計する際のモータモデルには、制御対象モータであるX軸モータ1002の出力軸の剛体モードの成分のみを用いた。同様に、Y軸フィードフォワード制御器Gffy図4参照を設計する際のモータモデルには、制御対象モータであるY軸モータ1004の出力軸の剛体モードの成分のみを用いた。図4に示すように、X軸フィードフォワード制御器Gffxは、Y軸モータ1004のモータ特性Pyを含んだモデルPyを含む。ここで、モデルPyは、Y軸モータ1004のモータ特性とY軸モータ1004のモータ特性の剛体モードの逆モデルky0/s2-1との積である。また、X軸フィードフォワード制御器Gffxは、ローパスフィルタの伝達特性と、4つの共振周波数を含む周波数帯域の周波数成分を低減するノッチフィルタの伝達特性と、X軸モータ1002のモータ特性の剛体モードの逆モデルとの積Gffx’を含む。従って、X軸フィードフォワード制御器Gffxは、本実施形態では、Gffx’とPyとの積で表される。また、モデルGrxは、Gffx’と、X軸モータ1002のモータ特性Pxと、電流アンプのモデルe-sTdとの積Grx’と、モデルPyとを含み、Grx’とPyとの積で表される。同様に、Y軸フィードフォワード制御器Gffyは、X軸モータ1002のモータ特性Pxを含んだモデルPxを含む。ここで、モデルPxは、X軸モータ1002のモータ特性とX軸モータ1002のモータ特性の剛体モードの逆モデルkx0/s2-1との積である。また、Y軸フィードフォワード制御器Gffyは、ローパスフィルタの伝達特性と、4つの共振周波数を含む周波数帯域の周波数成分を低減するノッチフィルタの伝達特性と、Y軸モータ1004のモータ特性の剛体モードの逆モデルとの積Gffy’を含む。従って、Y軸フィードフォワード制御器Gffyは、本実施形態では、Gffy’とPxとの積で表される。また、モデルGryは、Gffy’と、Y軸モータ1004のモータ特性Pyと、電流アンプのモデルe-sTdとの積Gry’と、モデルPxとを含み、Gry’とPxとの積で表される。フィードバック制御器Cx及びCyのそれぞれには、PID制御系を適用した。かかるPID制御系の制御ゲインKx及びKyの具体的な数値を以下に示す。Kxp=214.3671、Kxi=11577.6227、Kxd=0.48842、Txf=2.5429e-5、Kx=KxpKxi/ss×Kxd/Txf1Kyp=47.398、Kyi=1072.6482、Kyd=0.19613、Tyf=9.4906e-5、Ky=KypKyi/ss×Kyd/Tyf1また、フィードバック制御器Cx及びCyのそれぞれは、共振周波数での発振を回避するために、ノッチフィルタを含んでいる。かかるノッチフィルタに関しては、X軸モータ1002及びY軸モータ1004のそれぞれにおける2つの共振周波数に対して深さ40dB、Q値を1とした。本実施形態におけるフィードバック制御のクローズドループ特性を図5a及び図5bに示す。図5aでは、横軸に周波数[rad/s]、縦軸に振幅ゲイン[dB]を採用し、図5bでは、横軸に周波数[Hz]、縦軸に位相[deg]を採用している。X軸モータ1002の出力軸及びY軸モータ1004の出力軸の応答を確認する。ここでは、被加工物である物体OBに対して、レーザ光LLを直線状に照射する即ち、レーザ光LLで直線を描画する場合を考える。具体的には、X軸モータ1002及びY軸モータ1004に対して、0から1へ移動回転する、及び、1から0へと移動回転する位置指令を入力し、ステップ応答の往復動作を行った。本実施形態のX軸モータ制御部1020及びY軸モータ制御部1024の制御によるX軸モータ1002及びY軸モータ1004の応答を図6aに示し、従来の制御系の制御によるX軸モータ1002及びY軸モータ1004の応答を図6bに示す。図6a及び図6bでは、横軸にX軸モータ1002の出力軸の位置を採用し、縦軸にY軸モータ1004の出力軸の位置を採用している。また、本実施形態のX軸モータ制御部1020の制御によるX軸モータ1002のステップ応答を図7aに示し、従来の制御系の制御によるX軸モータ1002のステップ応答を図7bに示す。図7a及び図7bでは、横軸に時間を採用し、縦軸にX軸モータ1002の出力軸の位置を採用している。図6a及び図6bを参照するに、X軸モータ1002及びY軸モータ1004の応答の非直線性に関しては、本実施形態と従来とでほぼ同等であることがわかる。一方、図7a及び図7bを参照するに、X軸モータ1002のステップ応答に関しては、移動量の5以内に位置決めできる時間が従来では2.1msであるが、本実施形態では0.3msであることがわかる。従って、本実施形態では、各モータの位置決めに要する時間を従来の1/7にすることができ、物体OBの加工に要する時間を大幅に削減することができる。本実施形態のフィードフォワード制御器は、制御対象モータの出力軸の入出力特性である周波数応答特性を表す第1関数の逆関数例えば、X軸モータ1002のモータ特性の剛体モードの逆モデルを含んでいる。更に、かかるフィードフォワード制御器は、制御対象モータとは異なる少なくとも1つのモータの出力軸の入出力特性である周波数応答特性を表す第2関数と、第2関数の逆関数との積例えば、モデルPyを含んでいる。これにより、本実施形態では、X軸モータ1002及びY軸モータ1004の制御において、同期の高精度化及び制御の高速化を両立させることができる。なお、一般的に、モータの特性は安定なシステムであり、モータ特性の逆モデルは、不安定なシステムとなることが知られている。従って、制御対象モータの特性の逆モデルをフィードフォワード制御器に含むことは難しい。そのため、本実施形態では、モータの特性における剛体モードの逆モデルを利用している。また、モータの特性は、一般的に、各モータ単体のフィードフォワード制御器を設計する際に求められている。従って、モータの特性は、複数のモータのそれぞれの出力軸の同期のための調整を行うときに再度求める必要はないため、フィードフォワード制御器に簡単に含めることができる。また、本実施形態では、X軸モータ1002及びY軸モータ1004のそれぞれを2つの共振モードまでモデル化し、一方の軸の制御器に他方の軸のモータの特性のモデルを含ませることで、見掛け上互いの応答特性が一致しているかのように構成している。なお、モータ特性のモデルのモデル化誤差等により、各軸の応答特性が厳密に一致するわけではないことに留意されたい。また、モータの出力軸の制御では、一般的に、モータを駆動するにあたって電流の低周波成分の寄与が大きい。そこで、より低い周波数帯域に共振周波数機械共振の周波数を有するモータから順にモデル化を行うことが、互いの応答特性を近づける上で有効であると考えられる。従って、複数のモータのうち最も低い周波数帯域に共振周波数共振特性を有する軸のモータをモデル化し、そのモデルを他軸の制御器に上述のように含めることは、互いの応答特性を近づける上で効果がある。このことから、各軸の制御器は、必ずしも他軸全てのモータのモデルを適用されなくてもよい。また、制御対象モータによってはモータ特性の変動が大きい場合も考えられる。このような場合には、フィードフォワード制御器におけるノッチフィルタによって、共振周波数の変動幅を含む周波数帯域の入力信号成分を低減すればよい。また、ローパスフィルタの時定数を大きくすることによって、共振周波数の変動に対する感度を低減させてもよい。これにより、複数のモータの出力軸の制御において、高精度な同期を維持しながら制御の高速化を実現することができる。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、以下の変形又は変更が可能である。これまでの実施形態では、2つの対象物にそれぞれ対応する2つのモータの制御について説明した。但し、本発明は、それに限らず、3つ以上の対象物にそれぞれ対応する3つ以上のモータを制御する場合にも適用可能である。1つの対象物に対応する制御器に、その他の対象物に対応するモータの特性を含ませればよいからである。また、本発明は、複数の自由度において可動の可動体を当該複数の自由度において移動させる複数のモータ例えば、X-Y-θzステージに対するX軸方向移動用モータY軸方向移動用モータZ軸周り回転用モータの制御にも適用可能である。そのような駆動装置においては、1つの自由度軸に対応する制御器に、その他の自由度に対応するモータの特性を含ませればよいからである。また、本発明は、対象物の位置の制御に限らず、対象物の速度、加速度、加加速度等の制御にも適用可能である。また、モータの特性を表す関数を制御器に含ませる旨の記載をしたが、当該関数とフィルタ等に相当する関数との合成関数を求め、当該合成関数を制御器に含ませてもよい。そのような構成も、モータの特性を表す関数が当該合成関数の中に内在しているため、本発明の範囲内のものである。