"第一無機成分および第二無機成分のうちの一方からなるマトリックス中に第一無機成分および第二無機成分のうちの他方が三次元的且つ周期的に配置しており、繰り返し構造の一単位の長さの平均値が1nm~100nmである三次元的周期構造を有しているナノヘテロ構造体。前記マトリックス中に三次元的且つ周期的に配置している前記無機成分の形状が、球状、柱状およびジャイロイド状からなる群から選択される形状である請求項1に記載のナノヘテロ構造体。前記第一無機成分および前記第二無機成分がそれぞれ、金属、酸化物、炭化物、窒化物、硼化物および塩からなる群から選択される少なくとも一つの成分である請求項1または2に記載のナノヘテロ構造体。前記第一無機成分および前記第二無機成分がそれぞれ、金属および金属酸化物からなる群から選択される少なくとも一つの成分である請求項1~3のうちのいずれか一項に記載のナノヘテロ構造体。前記繰り返し構造の一単位の長さの平均値が1nm~50nmである請求項1~4のうちのいずれか一項に記載のナノヘテロ構造体。前記第一無機成分および前記第二無機成分がそれぞれ磁性体であり、複合磁性材料である請求項1~5のうちのいずれか一項に記載のナノヘテロ構造体。前記第一無機成分および前記第二無機成分のうちの一方が硬磁性体であり且つ他方が軟磁性体である請求項6に記載のナノヘテロ構造体。互いに混和しない少なくとも第一ポリマーブロック成分と第二ポリマーブロック成分とが結合してなるブロックコポリマーと、前記第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第一無機前駆体と、前記第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第二無機前駆体と、を溶媒に溶解して原料溶液を調製する第一の工程と、少なくとも、前記第一無機前駆体が導入された前記第一ポリマーブロック成分からなる第一ポリマー相と、前記第二無機前駆体が導入された前記第二ポリマーブロック成分からなる第二ポリマー相と、が自己組織化により規則的に配置したナノ相分離構造体を形成せしめる相分離処理と、前記第一無機前駆体および前記第二無機前駆体をそれぞれ第一無機成分および第二無機成分に変換せしめる変換処理と、前記ナノ相分離構造体から前記ブロックコポリマーを除去する除去処理とを含み、前記第一無機成分と前記第二無機成分とからなるナノヘテロ構造体を得る第二の工程と、を含むナノヘテロ構造体の製造方法。前記第一ポリマーブロック成分と前記第一無機前駆体との溶解度パラメータの差は、前記第一ポリマーブロック成分と前記第二無機前駆体との溶解度パラメータの差よりも小さい請求項8に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記第一ポリマーブロック成分と前記第一無機前駆体との溶解度パラメータの差は、前記第一ポリマーブロック成分と前記第二無機前駆体との溶解度パラメータの差よりも小さく、且つ、前記第二ポリマーブロック成分と前記第二無機前駆体との溶解度パラメータの差は、前記第二ポリマーブロック成分と前記第一無機前駆体との溶解度パラメータの差よりも小さい請求項8に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記第一ポリマーブロック成分と前記第二無機前駆体との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2超である請求項8~10のうちのいずれか一項に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記第一無機前駆体は前記第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2超であり、前記第二無機前駆体は前記第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2超である請求項8~11のうちのいずれか一項に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記第一無機前駆体および前記第二無機前駆体のうちの少なくとも一方は前記溶媒との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である請求項8~12のうちのいずれか一項に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記第二の工程が、前記相分離処理、前記変換処理および前記除去処理として、前記原料溶液を熱処理する工程を含む請求項8~13のうちのいずれか一項に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記熱処理を不活性ガス雰囲気中で行なう請求項14に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記不活性ガス雰囲気中での熱処理の後に、酸化ガス雰囲気中で前記第一無機成分および前記第二無機成分を酸化せしめる酸化処理、または、還元ガス雰囲気中で前記第一無機成分および前記第二無機成分を還元せしめる還元処理を更に含む請求項15に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記ナノヘテロ構造体が、前記第一無機成分および前記第二無機成分のうちの一方からなるマトリックス中に前記第一無機成分および前記第二無機成分のうちの他方が三次元的且つ周期的に配置しており、繰り返し構造の一単位の長さの平均値が1nm~100nmである三次元的周期構造を有しているものである請求項8~16のうちのいずれか一項に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。前記マトリックス中に三次元的且つ周期的に配置している前記無機成分の形状が、球状、柱状およびジャイロイド状からなる群から選択される形状である請求項17に記載のナノヘテロ構造体の製造方法。特許文献3に記載の方法は、ブロックコポリマーの自己組織化を利用して無機成分が規則的に配列したナノ構造材料を容易に製造できるという点で優れた方法であったが、無機成分からなるマトリックス中に他の無機成分が球状、柱状、ジャイロイド状といった形状で三次元的にナノスケールの周期性をもって配置したナノヘテロ構造体を得るには至っていなかった。本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、無機成分からなるマトリックス中に他の無機成分が球状、柱状、ジャイロイド状といった形状で三次元的に特定のナノスケールの周期性をもって配置したナノヘテロ構造体、並びにその製造方法を提供することを目的とする。本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、ブロックコポリマーを構成する第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第一無機前駆体と、第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第二無機前駆体とを組み合わせて用いることにより、ブロックコポリマーの自己組織化を利用してナノ相分離構造体を形成せしめ且つ前記無機前駆体をそれぞれ無機成分に変換せしめると共にブロックコポリマーを除去することによって、無機成分からなるマトリックス中に他の無機成分が三次元的に特定のナノスケールの周期性をもって配置したナノヘテロ構造体が得られるようになることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明のナノヘテロ構造体の製造方法は、互いに混和しない少なくとも第一ポリマーブロック成分と第二ポリマーブロック成分とが結合してなるブロックコポリマーと、前記第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第一無機前駆体と、前記第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第二無機前駆体と、を溶媒に溶解して原料溶液を調製する第一の工程と、少なくとも、前記第一無機前駆体が導入された前記第一ポリマーブロック成分からなる第一ポリマー相と、前記第二無機前駆体が導入された前記第二ポリマーブロック成分からなる第二ポリマー相と、が自己組織化により規則的に配置したナノ相分離構造体を形成せしめる相分離処理と、前記第一無機前駆体および前記第二無機前駆体をそれぞれ第一無機成分および第二無機成分に変換せしめる変換処理と、前記ナノ相分離構造体から前記ブロックコポリマーを除去する除去処理とを含み、前記第一無機成分と前記第二無機成分とからなるナノヘテロ構造体を得る第二の工程と、を含む方法である。本発明に用いる前記第一ポリマーブロック成分と前記第一無機前駆体との溶解度パラメータの差は、前記第一ポリマーブロック成分と前記第二無機前駆体との溶解度パラメータの差よりも小さいことが好ましい。また、前記第二ポリマーブロック成分と前記第二無機前駆体との溶解度パラメータの差は、前記第二ポリマーブロック成分と前記第一無機前駆体との溶解度パラメータの差よりも小さいことが好ましい。さらに、これらの両方の条件を満たすことがより好ましい。本発明に用いる前記第一無機前駆体は、前記第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2超であることが好ましい。また、前記第二無機前駆体は、前記第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2超であることが好ましい。さらに、これらの両方の条件を満たすことがより好ましい。また、前記第一無機前駆体および前記第二無機前駆体のうちの少なくとも一方は前記溶媒との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下であることが好ましい。さらに、本発明における前記第二の工程は、前記相分離処理、前記変換処理および前記除去処理として、前記原料溶液またはその乾燥物に対して熱処理などの処理を施す工程を含むことが好ましい。また、係る熱処理を不活性ガス雰囲気中で行なうことがより好ましく、その場合、前記不活性ガス雰囲気中での熱処理の後に、酸化ガス雰囲気中で前記第一無機成分および前記第二無機成分を酸化せしめる酸化処理、または、還元ガス雰囲気中で前記第一無機成分および前記第二無機成分を還元せしめる還元処理を更に含んでいてもよい。前記本発明の方法によって得ることができるようになった本発明のナノヘテロ構造体は、第一無機成分および第二無機成分のうちの一方からなるマトリックス中に第一無機成分および第二無機成分のうちの他方が三次元的且つ周期的に配置しており、繰り返し構造の一単位の長さの平均値が1nm~100nmより好ましくは1nm~50nmである三次元的周期構造を有しているものである。本発明のナノヘテロ構造体において、前記マトリックス中に三次元的且つ周期的に配置している前記無機成分の形状としては、球状、柱状およびジャイロイド状からなる群から選択される形状が好ましい。また、前記第一無機成分および前記第二無機成分は、それぞれ、金属、酸化物、炭化物、窒化物、硼化物および塩からなる群から選択される少なくとも一つの成分であることが好ましく、金属および金属酸化物からなる群から選択される少なくとも一つの成分であることがより好ましい。さらに、前記第一無機成分および前記第二無機成分がそれぞれ磁性体であり、本発明のナノヘテロ構造体が複合磁性材料であることが好ましく、この場合、前記第一無機成分および前記第二無機成分のうちの一方が硬磁性体であり且つ他方が軟磁性体であることがより好ましい。なお、前記本発明の方法によって前記本発明のナノヘテロ構造体が得られるようになる理由は必ずしも定かではないが、本発明者らは以下のように推察する。すなわち、先ず、特許文献3に記載されているように、互いに混和しないAおよびBの2種類のポリマーブロック成分が結合してなるブロックコポリマーは、ガラス転移点以上の温度で熱処理することでA相とB相とが空間的に分離したナノ相分離構造を構成する自己組織化。その際、ポリマーブロック成分の分子量比によって一般的に相分離構造は変化する。具体的には、A:Bの分子量比が1:1の場合には一般的に層状の層状構造をとり、分子量比が1:1からずれるにしたがい、二つの連続相が絡み合ったようなジャイロイド状構造から柱状構造、さらに球状構造へと変化してゆく。なお、図1は、ブロックコポリマーから生成されるナノ相分離構造を示す模式図であり、左から、層状構造a、ジャイロイド状構造b、柱状構造c、球状構造dをそれぞれ示しており、右側の構造ほど一般的にAの割合が高い。本発明のナノヘテロ構造体の製造方法においては、先ず、上記のブロックコポリマーの自己組織化を利用して、複数の無機前駆体を三次元的にナノスケールの周期性をもって配置させる。すなわち、互いに混和しない複数のポリマーブロック成分からなるブロックコポリマーは、前述のように自己組織化によりナノスケールで相分離する。その際、本発明においては、ブロックコポリマーを構成する第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第一無機前駆体と、第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第二無機前駆体とを組み合わせて用いることにより、第一無機前駆体および第二無機前駆体はそれぞれ第一ポリマーブロック成分中および第二ポリマーブロック成分中に十分に導入された状態でブロックコポリマーの自己組織化と共にナノ相分離構造を構成し、ナノ相分離構造を球状構造、柱状構造またはジャイロイド状構造とすることによって前記無機前駆体は三次元的にナノスケールの周期性をもって配置される。さらに、本発明においては、前記無機前駆体をそれぞれ無機成分に変換せしめると共にブロックコポリマーを除去することによって、ナノ相分離構造の種類球状構造、柱状構造またはジャイロイド状構造に応じて無機成分からなるマトリックス中に他の無機成分が球状、柱状またはジャイロイド状といった形状で三次元的に特定のナノスケールの周期性をもって配置されたナノヘテロ構造体が得られる。なお、本発明においては、前記第一無機前駆体および前記第二無機前駆体と第一ポリマーブロック成分および第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差がそれぞれ2cal/cm31/2以下であることから、各ポリマーブロック成分に対する各無機前駆体の導入量が十分に多く、そのため各無機前駆体を各無機成分に変換せしめると共にブロックコポリマーを除去してもナノスケールの三次元的周期構造が十分に維持されると本発明者らは推察する。なお、本発明における溶解度パラメータとは、ヒルデブラントによって導入された正則溶液論により定義されたいわゆるSP値であり、以下の式:溶解度パラメータδ[cal/cm31/2]=ΔE/V1/2式中、ΔEはモル蒸発エネルギー[cal]、Vはモル体積[cm3]を示す。に基づいて求められる値である。また、本発明における繰り返し構造の一単位の長さの平均値とは、一方の無機成分からなるマトリックス中に配置されている他方の無機成分の隣接するもの同士の中心間の距離の平均値であり、いわゆる周期構造の間隔dに相当する。係る周期構造の間隔dは、以下のように小角X線回折により求められる。また、本発明に係る球状、柱状またはジャイロイド状といった構造についても、以下のように小角X線回折により測定される特徴的な回折パターンにより規定することができる。すなわち、小角X線回折により、球状、柱状、ジャイロイド状、層状などの形状の構造体がマトリックス中に周期的に配置した擬似結晶格子の特徴的な格子面からのBragg反射が観察される。その際、周期構造が形成されていると回折ピークが観察され、それら回折スペクトルの大きさq=2π/dの比から、球状、柱状、ジャイロイド状、層状などの構造を特定することができる。また、係る回折ピークのピーク位置から、Braggの式nλ=2dsinθ;λはX線波長、θは回折角を示す。により、周期構造の間隔dを求めることができる。以下の表1に、各構造とピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比の関係を示す。なお、表1に示すようなピークが全て確認される必要はなく、観察されたピークから構造が特定できればよい。また、本発明に係る球状、柱状、ジャイロイド状または層状といった構造を透過型電子顕微鏡TEMを用いて特定することも可能であり、それによってその形状や周期性を判別評価することができる。さらに、様々な方向からの観察や三次元トモグラフィーを用いることによって、三次元性をより詳しく判別することも可能である。本発明によれば、無機成分からなるマトリックス中に他の無機成分が球状、柱状、ジャイロイド状といった形状で三次元的に特定のナノスケールの周期性をもって配置したナノヘテロ構造体、並びにその製造方法を提供することことが可能となる。以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。先ず、本発明のナノヘテロ構造体の製造方法について説明する。本発明のナノヘテロ構造体の製造方法は、互いに混和しない少なくとも第一ポリマーブロック成分と第二ポリマーブロック成分とが結合してなるブロックコポリマーと、前記第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第一無機前駆体と、前記第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第二無機前駆体と、を溶媒に溶解して原料溶液を調製する第一の工程と、少なくとも、前記第一無機前駆体が導入された前記第一ポリマーブロック成分からなる第一ポリマー相と、前記第二無機前駆体が導入された前記第二ポリマーブロック成分からなる第二ポリマー相と、が自己組織化により規則的に配置したナノ相分離構造体を形成せしめる相分離処理と、前記第一無機前駆体および前記第二無機前駆体をそれぞれ第一無機成分および第二無機成分に変換せしめる変換処理と、前記ナノ相分離構造体から前記ブロックコポリマーを除去する除去処理とを含み、前記第一無機成分と前記第二無機成分とからなるナノヘテロ構造体を得る第二の工程と、を含む方法である。以下に、それぞれの工程を説明する。[第一の工程:原料溶液調製工程]係る工程は、以下に説明するブロックコポリマーと以下に説明する無機前駆体とを溶媒に溶解して原料溶液を調製する工程である。本発明で用いられるブロックコポリマーは、少なくとも第一ポリマーブロック成分と第二ポリマーブロック成分とが結合してなるものである。このようなブロックコポリマーの具体例として、繰り返し単位aを有するポリマーブロック成分A第一ポリマーブロック成分と、繰り返し単位bを有するポリマーブロック成分B第二ポリマーブロック成分と、が末端同士で結合した、-aa...aa-bb...bb-という構造をもつA-B型、A-B-A型のブロックコポリマーがある。また、1種類以上のポリマーブロック成分が中心から放射状に伸びたスター型や、ブロックコポリマーの主鎖に他のポリマー成分がぶらさがった形でもよい。本発明で用いられるブロックコポリマーを構成するポリマーブロック成分は、互いに混和しないものであれば、その種類に特に限定はない。したがって、本発明で用いられるブロックコポリマーは、極性がそれぞれ異なるポリマーブロック成分からなるものが好ましい。係るブロックコポリマーの具体例としては、ポリスチレン-ポリメチルメタクリレートPS-b-PMMA、ポリスチレン-ポリエチレンオキシドPS-b-PEO、ポリスチレン-ポリビニルピリジンPS-b-PVP、ポリスチレン-ポリイソプレンPS-b-PI、ポリスチレン-ポリブタジエンPS-b-PB、ポリスチレン-ポリフェロセニルジメチルシランPS-b-PFS、ポリエチレンオキシド-ポリイソプレンPEO-b-PI、ポリエチレンオキシド-ポリブタジエンPEO-b-PB、ポリエチレンオキシド-ポリメチルメタクリレートPEO-b-PMMA、ポリエチレンオキシド-ポリエチルエチレンPEO-b-PEE、ポリブタジエン-ポリビニルピリジンPB-b-PVP、ポリイソプレン-ポリメチルメタクリレートPI-b-PMMA、ポリスチレン-ポリアクリル酸PS-b-PAA、ポリブタジエン-ポリメチルメタクリレートPB-b-PMMAなどが挙げられる。中でも、ポリマーブロック成分の極性の差が大きいほど導入する前駆体も極性の差が大きいものを用いることができるため、それぞれのポリマーブロック成分に前駆体を導入し易くなるという観点から、PS-b-PVP、PS-b-PEO、PS-b-PAAなどが好ましい。ブロックコポリマーおよびそれを構成する各ポリマーブロック成分の分子量は、製造するナノヘテロ構造体の構造スケールや配置に応じて適宜選択すればよい。例えば、数平均分子量が100~1000万より好ましくは1000~100万であるブロックコポリマーを用いることが好ましく、数平均分子量が小さいほど構造スケールは小さくなる傾向にある。また、各ポリマーブロック成分の数平均分子量に関しては、各ポリマーブロック成分の分子量比などを調整することにより、後のナノ相分離構造体の形成工程において自己組織化により得られるナノ相分離構造を所望の構造とすることができ、ひいては、無機成分を所望の形態で配列した構造をもつナノヘテロ構造体が得られるようになる。また、後述する熱処理焼成または光照射により容易に分解されるブロックコポリマーや、溶媒により容易に除去されるブロックコポリマーを用いることが好ましい。本発明においては、前記第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第一無機前駆体と、前記第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第二無機前駆体とを組み合わせて用いる必要がある。このような条件を満たす第一無機前駆体と第二無機前駆体とを組み合わせて用いることにより、後述するナノ相分離構造体を形成する工程において、第一ポリマーブロック成分中に第一無機前駆体が、第二ポリマーブロック成分中に第二無機前駆体がそれぞれ十分に導入された状態でブロックコポリマーの自己組織化と共にナノ相分離構造が構成され、ナノ相分離構造を球状構造、柱状構造またはジャイロイド状構造とすることによって前記無機前駆体は三次元的にナノスケールの周期性をもって配置される。本発明に用いる前記第一ポリマーブロック成分と前記第一無機前駆体との溶解度パラメータの差は、前記第一ポリマーブロック成分と前記第二無機前駆体との溶解度パラメータの差よりも小さいことが好ましい。また、前記第二ポリマーブロック成分と前記第二無機前駆体との溶解度パラメータの差は、前記第二ポリマーブロック成分と前記第一無機前駆体との溶解度パラメータの差よりも小さいことが好ましい。さらに、これらの両方の条件を満たすことがより好ましい。さらに、本発明において用いる前記第一無機前駆体は前記第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2超であることが好ましい。また、前記第二無機前駆体は前記第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2超であることが好ましい。さらに、これらの両方の条件を満たすことがより好ましい。このような条件を満たす第一無機前駆体と第二無機前駆体とを組み合わせて用いることにより、後述するナノ相分離構造体を形成する工程において、第一ポリマーブロック成分中に不純物として第二無機前駆体の一部が、また、第二ポリマーブロック成分中に不純物として第一無機前駆体の一部が導入されてしまうことがより確実に防止される傾向にあり、得られるナノヘテロ構造体におけるマトリックスを構成する無機成分の純度および/またはマトリックス中に配置される無機成分の純度がより向上する傾向にある。また、前記第一無機前駆体および前記第二無機前駆体のうちの少なくとも一方より好ましくは両方は、用いる溶媒との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下であることが好ましい。このような条件を満たす第一無機前駆体および/または第二無機前駆体を用いることにより、溶媒に無機前駆体がより確実に溶解し、後述するナノ相分離構造体を形成する工程においてポリマーブロック成分中に無機前駆体がより確実に導入される傾向にある。このような無機前駆体としては、各種の塩例えば、金属または半金属の炭酸塩、硝酸塩、リン酸塩、硫酸塩、塩化物、など、各種のアルコキシド例えば、金属または半金属を含むメトキシド、エトキシド、プロポキシド、ブトキシド、など、各種の錯体例えば、金属または半金属のアセチルアセトナート錯体、などおよび各種の金属有機化合物例えば、フェニルトリメトキシシラン、コバルトセン、などからなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましく、目的とするナノヘテロ構造体を構成する無機成分の組み合わせに応じて、且つ、それらが前述の諸条件を満たすように適宜選択して使用される。変換された後の無機成分としては、後述する酸化物、金属、炭化物、窒化物、硼化物および塩からなる群から選択される少なくとも一つであることが好ましく、多様な機能の発現が期待できるという観点から、鉄Fe、アルミニウムAl、ニオブNb、コバルトCo、ニッケルNi、白金Pt、テルルTe、チタンTiおよび珪素Siからなる群から選択される少なくとも一つの元素を含むことが好ましい。したがって、本発明において好適に用いられる無機前駆体としては、上記元素を含む炭酸塩、硝酸塩、リン酸塩、硫酸塩、塩化物などの塩、上記元素を含むメトキシド、エトキシド、プロポキシド、ブトキシドなどのアルコキシド、Feacac3、Coacac3、Ptacac2、Niacac2などのアセチルアセトナートなどの錯体、フェニルトリメトキシシラン、コバルトセンなどの金属有機化合物が挙げられる。本発明で用いられる溶媒としては、用いるブロックコポリマーと第一および第二無機前駆体とを溶解できるものであればよく、特に限定されないが、例えば、アセトン、テトラヒドロフランTHF、トルエン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMEA、プロピレングリコールモノメチルエーテルPGME、クロロホルム、ベンゼンなどが挙げられる。このような溶媒は、1種を単独で用いてもよく、また2種以上を混合して用いてもよい。なお、本明細書において、溶解とは、物質溶質が溶媒に溶けて均一混合物溶液となる現象であって、溶解後、溶質の少なくとも一部がイオンとなる場合、溶質がイオンに解離せず分子状で存在している場合、分子やイオンが会合して存在している場合、などが含まれる。得られる原料溶液における溶質ブロックコポリマー、第一無機前駆体および第二無機前駆体の割合は特に限定されないが、原料溶液の全量を100質量としたときに、溶質の合計量を0.1~30質量程度とすることが好ましく、0.5~10質量とすることがより好ましい。また、ブロックコポリマーに対する第一及び第二無機前駆体の使用量を調整することにより、導入される各無機成分の量が調整されるため、得られるナノヘテロ構造体における各無機成分の比率やサイズなどを所望の程度とすることができる。[第二の工程:ナノヘテロ構造体形成工程]この工程は、以下に詳述する相分離処理と変換処理と除去処理とを含み、第一無機成分と第二無機成分とからなるナノヘテロ構造体を調製する工程である。先ず、前記第一の工程において調製された原料溶液は、ブロックコポリマーと第一および第二無機前駆体とを含むものであるが、本発明においてはブロックコポリマーを構成する第一ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第一無機前駆体と、第二ポリマーブロック成分との溶解度パラメータの差が2cal/cm31/2以下である第二無機前駆体とを組み合わせて用いているため、第一無機前駆体および第二無機前駆体はそれぞれ第一ポリマーブロック成分中および第二ポリマーブロック成分中に十分に導入された状態で存在する。そのため、ブロックコポリマーの自己組織化によりナノ相分離構造体を形成せしめる相分離処理により、第一無機前駆体が導入された第一ポリマーブロック成分からなる第一ポリマー相と第二無機前駆体が導入された第二ポリマーブロック成分からなる第二ポリマー相とが規則的に配置し、ナノ相分離構造を球状構造、柱状構造またはジャイロイド状構造とすることによって前記無機前駆体は三次元的にナノスケールの周期性をもって配置される。このような相分離処理としては、特に限定されないが、用いるブロックコポリマーのガラス転移点以上の温度で熱処理することにより、ブロックコポリマーは自己組織化され、相分離構造が得られる。次に、本発明においては、相分離処理により形成されたナノ相分離構造体に対して、前記第一無機前駆体および前記第二無機前駆体をそれぞれ第一無機成分および第二無機成分に変換せしめる変換処理と、前記ナノ相分離構造体から前記ブロックコポリマーを除去する除去処理とが施される。係る変換処理により前記無機前駆体をそれぞれ無機成分に変換せしめると共に、係る除去処理によりブロックコポリマーを除去することによって、ナノ相分離構造の種類球状構造、柱状構造またはジャイロイド状構造に応じて無機成分からなるマトリックス中に他の無機成分が球状、柱状またはジャイロイド状といった形状で三次元的に特定のナノスケールの周期性をもって配置された本発明のナノヘテロ構造体が得られる。このような変換処理としては、前記無機前駆体が無機成分に変換される温度以上で加熱して無機成分に変換する工程であってもよいし、前記無機前駆体を加水分解するとともに脱水縮合させて無機成分に変換する工程であってもよい。また、除去処理としては、ブロックコポリマーが分解する温度以上で熱処理焼成することによってブロックコポリマーを分解する工程であってもよいが、溶媒によりブロックコポリマーを溶解して除去する工程や、紫外線などの光照射によりブロックコポリマーを分解する工程であってもよい。さらに、本発明における前記第二の工程においては、前記第一の工程において調製された原料溶液に対してブロックコポリマーが分解する温度以上で熱処理焼成を施すことによって、前記相分離処理、前記変換処理および前記除去処理を一度の熱処理で行うことができる。このように一度の熱処理により前記相分離処理、前記変換処理および前記除去処理を完結させるためには、用いるブロックコポリマーや無機前駆体の種類によっても異なるが、300~1200°Cより好ましくは400~900°Cで0.1~50時間程度の熱処理を施すことが好ましい。また、このような熱処理は、不活性ガス雰囲気例えば、窒素ガスなど中で行なうことが好ましい。不活性ガス雰囲気中で無機前駆体を無機成分に変換せしめると共にブロックコポリマーを除去することにより、ナノスケールの三次元的周期構造がより確実に維持される傾向にある。このような不活性ガス雰囲気中での熱処理の条件は特に制限されないが、300~1200°Cより好ましくは400~900°Cで0.1~50時間程度の処理が好ましい。さらに、このような不活性ガス雰囲気中での熱処理の後に、酸化ガス雰囲気例えば、空気など中で前記第一無機成分および前記第二無機成分を酸化せしめる酸化処理、または、還元ガス雰囲気例えば、水素など中で前記第一無機成分および前記第二無機成分を還元せしめる還元処理を更に施すようにしてもよい。なお、このような酸化ガス雰囲気中での酸化処理の条件は特に制限されないが、300~1200°Cより好ましくは400~900°Cで0.1~50時間程度の処理が好ましい。また、還元ガス雰囲気中での酸化処理の条件も特に制限されないが、300~1200°Cより好ましくは400~900°Cで0.1~50時間程度の処理が好ましい。また、前記熱処理の後或いは前記熱処理の際に、それぞれ公知の方法により、アルゴン雰囲気などを用いて無機成分を炭化せしめる処理、アンモニア雰囲気などを用いて無機成分を窒化せしめる処理、炭化ホウ素含有雰囲気などを用いて無機成分を硼化せしめる処理などを更に施すようにしてもよい。また、本発明のナノヘテロ構造体の製造方法においては、前記第一の工程の後に、前記原料溶液を基材の表面に塗布する塗布工程をさらに含んでいてもよい。基材の表面に前記原料溶液を塗布した後に前記第二の工程を施すことにより、基材の表面にナノヘテロ構造体からなる被膜が形成される。用いる基材の種類に特に限定はなく、得られるナノヘテロ構造体の用途などに応じて適宜選択すればよい。また、原料溶液の塗布方法としては、ハケ塗り、スプレー法、ディッピング法、スピン法、カーテンフロー法などが用いられる。次に、前記本発明の方法によって得ることができるようになった本発明のナノヘテロ構造体について説明する。本発明のナノヘテロ構造体は、第一無機成分および第二無機成分のうちの一方からなるマトリックス中に第一無機成分および第二無機成分のうちの他方が三次元的且つ周期的に配置しており、繰り返し構造の一単位の長さの平均値が1nm~100nmより好ましくは1nm~50nm、特に好ましくは1nm~20nmである三次元的周期構造を有しているものである。このような本発明のナノヘテロ構造体は、従来の製造方法では実現することができなかった構造を有するものであり、各種複数の無機成分の組み合わせについて、それらの配置、組成、構造スケールなどを様々に制御したナノヘテロ構造体として得ることが可能である。そのため、本発明のナノヘテロ構造体によれば、従来のナノ構造材料以上の界面増大効果、ナノサイズ効果、耐久性などの飛躍的な向上が発揮され、結果として高い磁力や高い非誘電率などが発揮されるようになる。本発明のナノヘテロ構造体を構成する前記第一無機成分および前記第二無機成分としては、それぞれ、金属、酸化物、炭化物、窒化物、硼化物および塩からなる群から選択される少なくとも一つの成分であることが好ましく、金属および金属酸化物からなる群から選択される少なくとも一つの成分であることがより好ましい。このような金属としては、特に限定されず、各種の遷移元素金属、典型元素金属アルカリ金属、アルカリ土類金属など、半金属ホウ素、ケイ素、ゲルマニウム、ヒ素、アンチモン、テルル、ポロニウムなどが挙げられる。これらの金属は、単体であってもよく、またこれらの2種以上の混合物や合金であってもよい。また、酸化物としては、酸素とそれより電気陰性度が小さい元素からなる化合物であれば特に限定されず、CeO2、RhO2、Rh2O3、RuO2、TiO2、SnO2、ZnO、Nb2O5、NbO2、InO3、ZrO2、La2O3、Ta2O5、WO3、Fe2O3、SiO2、NiO、Cu2O、Al2O3、SrTiO3、BaTiO3、CaTiO3、PbTiO3、BaZrO3、PbZrO3、CeZrO4、AFe2O4AはMn,Co,Ni,Cu,Znなどなどが挙げられる。これらの酸化物は、単体であってもよく、またこれらの2種以上の複合酸化物であってもよい。さらに、炭化物としては、特に限定されず、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化鉄、炭化コバルトなどが挙げられる。これらの炭化物は、単体であってもよく、またこれらの2種以上の混合物であってもよい。また、窒化物としては、特に限定されず、窒化ホウ素、窒化炭素、窒化ケイ素、窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウム、窒化スズ、窒化チタンなどが挙げられる。これらの窒化物は、単体であってもよく、またこれらの2種以上の混合物であってもよい。さらに、硼化物としては、遷移金属ランタノイド、アクチノイドなどが形成する硼化物であれば特に限定されず、MgB2、OsB2、ReB2、Nd2Fe14B、NaB15、Mn4B、V3B、FeB、CoB、CrB2などが挙げられる。これらの硼化物は、単体であってもよく、またこれらの2種以上の混合物であってもよい。また、塩としては、酸由来の陰イオンアニオンと塩基由来の陽イオンカチオンとがイオン結合した化合物であれば特に限定されず、炭酸塩、硫酸塩、リン酸塩、塩化物などが挙げられ、具体的には、NH4Cl、CuSO4、NaHSO4、NaH2PO4、NaCl、CaCl2、CH3COONa、Na2CO3、NaHCO3、Na2HPO4、BaSO4、Ca3PO42、CaClOH、MgClOHなどが挙げられる。これらの塩は、単体であってもよく、またこれらの2種以上の混合物であってもよい。このような本発明のナノヘテロ構造体を複合磁性材料として用いる場合は、前記第一無機成分および前記第二無機成分がそれぞれ磁性体であることが好ましく、この場合、前記第一無機成分および前記第二無機成分のうちの一方が硬磁性体例えば、FePt、SmCo5、Nd2Fe14Bなどであり且つ他方が軟磁性体例えば、Fe、Co、パーマロイ、ソフトフェライトなどであることがより好ましい。以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。実施例1ブロックコポリマーとしてのポリスチレン-b-ポリ4-ビニルピリジンPS-b-P4VP0.1g、Ti前駆体としての塩化チタン0.038g、Sn前駆体としてのヨウ化スズ0.032gを10mLのトルエンに溶解し、原料溶液を得た。なお、PS-b-P4VPのPSの分子量は22×103、P4VPの分子量は22×103であった。また、Ti前駆体およびSn前駆体と各構成要素との間の溶解度パラメータの差は以下の表2に示す通りであった。次に、得られた原料溶液を熱処理後の厚みが約500μmとなるように熱処理容器に入れ、窒素雰囲気中で850°Cで6時間熱処理し、さらに還元雰囲気Ar4H2中で600°Cで1時間熱処理することによって無機構造体を得た。得られた無機構造体について透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、図2に示すように、Tiマトリックス中に球状のSnが三次元的且つ周期的に配置しているナノヘテロ構造体であることが確認された。また、得られた無機構造体について小角X線回折測定装置リガク社製、商品名:NANO-Viewerにより小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造の間隔dは約13.9nmであり、球状構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比が確認された。実施例2実施例1と同様にして得られた原料溶液を熱処理後の厚みが約500μmとなるように熱処理容器に入れ、窒素雰囲気中で850°Cで6時間熱処理し、さらに空気中で600°Cで1時間熱処理することによって無機構造体を得た。得られた無機構造体について実施例1と同様に透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、図3に示すように、TiO2マトリックス中に球状のSnO2が三次元的且つ周期的に配置しているナノヘテロ構造体であることが確認された。また、得られた無機構造体について実施例1と同様に小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造の間隔dは約15.0nmであり、球状構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比が確認された。比較例1ブロックコポリマーとしてのポリメタクリル酸メチル-b-ポリアクリロニトリルPMMA-b-PAN0.1g、Co前駆体としてのアセチルアセトナートコバルト0.057g、Ti前駆体としての塩化チタン0.030gを10mLのトルエンに溶解し、原料溶液を得た。なお、PMMA-b-PANのPMMAの分子量は27×103、PAAの分子量は24×103であった。また、Co前駆体およびTi前駆体と各構成要素との間の溶解度パラメータの差は以下の表3に示す通りであった。次に、得られた原料溶液を実施例1と同様に熱処理することによって無機構造体を得た。得られた無機構造体について実施例1と同様に透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、周期的な構造は形成されていないことが確認された。また、得られた無機構造体について実施例1と同様に小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比は確認されなかった。実施例3ブロックコポリマーとしてのポリスチレン-b-ポリ4-ビニルピリジンPS-b-P4VP0.1g、硬磁性体であるFePt前駆体Fe前駆体およびPt前駆体としてのFeacac30.071gおよびPtacac20.079g、軟磁性体であるCo前駆体としてのCoCl24Me-Pycobaltdichloridebis4methylpyridine0.035gを10mLのトルエンに溶解し、原料溶液を得た。なお、PS-b-P4VPのPSの分子量は22×103、P4VPの分子量は22×103であった。また、FePt前駆体Fe前駆体およびPt前駆体およびCo前駆体と各構成要素との間の溶解度パラメータの差は以下の表4に示す通りであった。次に、得られた原料溶液を実施例1と同様に熱処理することによって無機構造体を得た。得られた無機構造体について実施例1と同様に透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、Coマトリックス中に柱状のFePtが三次元的且つ周期的に配置しているナノヘテロ構造体であることが確認された。また、得られた無機構造体について実施例1と同様に小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造の間隔dは約10nmであり、図4に示すように柱状構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比が確認された。さらに、得られた無機構造体について磁化曲線測定装置東英工業社製、商品名:振動試料型磁力計により磁化曲線を測定したところ、得られたナノヘテロ構造体の最大エネルギー積は、比較のために作製したFePt単相の無機構造体より12高い値であることが確認された。比較例2非特許文献1に記載された方法にしたがって、粒径を制御したナノ粒子を出発物質として複合材料を作製した。すなわち、5nmの平均粒径を有するPdナノ粒子Pd=0.17mmolを含む1-オクタノール溶液20mLにオレイン酸6.8mmol、オレイルアミン6.8mmol、Feacac30.43mmolを溶解した後、180°Cで加熱することにより、Pdナノ粒子表面にγ-Fe2O3相を異方的に成長させたPd/γ-Fe2O3ナノ粒子を合成した。これを還元雰囲気Ar4H2中で焼成処理することにより、複合材料FePd/Feを得た。得られた複合材料について実施例1と同様に透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、Feマトリックス中に分散したFePdナノ粒子には粒径や粒子間隔に大きな分布があり、周期的な構造は形成されていないことが確認された。また、得られた複合材料について実施例1と同様に小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比は確認されなかった。比較例3比較例2で用いたPdナノ粒子に代えて8.2nmの平均粒径を有するPtナノ粒子Pt=0.17mmolを用いた以外は比較例2と同様にして複合材料FePt/Feを得た。得られた複合材料について実施例1と同様に透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、Feマトリックス中に分散したFePtナノ粒子には粒径や粒子間隔に大きな分布があり、周期的な構造は形成されていないことが確認された。また、得られた複合材料について実施例1と同様に小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比は確認されなかった。また、得られた複合材料について実施例3と同様に磁化曲線を測定したところ、得られた複合材料の最大エネルギー積は、比較のために作製したFePt単相の無機構造体の42に相当する低い値であることが確認された。実施例4実施例1と同様にして得られた原料溶液を熱処理後の厚みが約500μmとなるように熱処理容器に入れ、アンモニア雰囲気中で550°Cで6時間熱処理することによって無機構造体を得た。得られた無機構造体について実施例1と同様に透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、窒化Tiマトリックス中に球状の窒化Snが三次元的且つ周期的に配置しているナノヘテロ構造体であることが確認された。また、得られた無機構造体について実施例1と同様に小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造の間隔dは約18.2nmであり、球状構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比が確認された。実施例5ブロックコポリマーとしてのポリスチレン-b-ポリ4-ビニルピリジンPS-b-P4VP0.1g、硬磁性体であるFe前駆体としてのFeacac30.071g、軟磁性体であるCo前駆体としてのCoCl24Me-Pycobaltdichloridebis4methylpyridine0.035gを10mLのトルエンに溶解し、原料溶液を得た。なお、PS-b-P4VPのPSの分子量は22×103、P4VPの分子量は22×103であった。次に、得られた原料溶液を熱処理後の厚みが約500μmとなるように熱処理容器に入れ、アルゴン雰囲気中で900°Cで12時間熱処理することによって無機構造体を得た。得られた無機構造体について実施例1と同様に透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、炭化Feと炭化Coとが交互に周期的に配置して多層構造を形成しているナノヘテロ構造体であることが確認された。また、得られた無機構造体について実施例1と同様に小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造の間隔dは約21.6nmであり、層状構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比が確認された。実施例6実施例5と同様にして得られた原料溶液を熱処理後の厚みが約500μmとなるように熱処理容器に入れ、B4Cと共に真空中10-3Torrで1150°Cで6時間熱処理することによって無機構造体を得た。得られた無機構造体について実施例1と同様に透過型電子顕微鏡TEMで観察したところ、ホウ化Feとホウ化Coとが交互に周期的に配置して多層構造を形成しているナノヘテロ構造体であることが確認された。また、得られた無機構造体について実施例1と同様に小角X線回折パターンを測定したところ、周期構造の間隔dは約17.4nmであり、層状構造に特徴的な回折ピークパターンピーク位置の回折スペクトルの大きさqの比が確認された。"