"少なくとも多接合型光電変換素子を構成するセルの数と同数の互いに異なる波長範囲の光線を有する光源と、これら波長範囲の光線を互いに異なる周波数でそれぞれ変調する周波数設定手段とを設け、上記異なる周波数で変調させた光線を、上記多接合型光電変換素子に照射したときに流れる当該多接合型光電変換素子の出力電流の交流分の周波数を弁別する周波数弁別回路を設けてなることを特徴とする多接合型光電変換素子の評価装置。請求項1記載の多接合型光電変換素子の評価装置に於いて、上記光源を、上記互いに異なる波長範囲の光線を発する複数の第1半導体発光素子で構成し、上記周波数設定手段は、これら第1半導体発光素子のそれぞれを、直流電流に互いに異なる周波数で変調された交流電流を重畳して駆動する直交流回路で構成されてなることを特徴とする多接合型光電変換素子の評価装置。請求項1記載の多接合型光電変換素子の評価装置に於いて、上記光源を、上記互いに異なる波長範囲の光線を発するハロゲンランプやキセノンランプなどのランプで構成し、上記周波数設定手段は、上記ランプの、上記互いに異なる波長範囲の光線を選択分岐し、選択分岐した光線をそれぞれ互いに異なる周波数に変調する光変調器で構成されてなることを特徴とする多接合型光電変換素子の評価装置。請求項1記載の多接合型光電変換素子の評価装置に於いて、上記光源を、上記互いに異なる波長範囲の光線を発するハロゲンランプやキセノンランプなどのランプで構成し、上記周波数設定手段は、上記ランプの、上記互いに異なる波長範囲の光線を選択分岐するとともに、選択分岐した光線に当該光線の波長範囲に属する第2半導体発光素子の光線を互いに異なる周波数で変調して重畳するべく、当該第2半導体発光素子を変調駆動する変調駆動回路で構成されてなることを特徴とする多接合型光電変換素子の評価装置。請求項2~4のいずれかに記載の多接合型光電変換素子の評価装置に於いて、上記周波数弁別回路によって弁別された周波数の通知を受けて上記多接合型光電変換素子を構成するセルのうちの一のセルが短絡電流を制限していることを判別し、電流制限を生ぜしめた上記一のセルに対する照射量の漸増指示若しくは電流の漸増指示を、又は電流制限を及ぼさなかった他のセルのうちの一つのセルに対する照射量の漸減指示若しくは電流の漸減指示を、少なくとも上記周波数弁別回路から通知される周波数から上記他のセルのうちの一つのセルによって短絡電流が制限されたと判別するまで繰り返し実行してなることを特徴とする多接合型光電変換素子の評価装置。本発明の解決しようとする課題は、多接合型光電変換素子を構成するセルのうちいずれのセルが短絡電流を制限しているのかを迅速且つ的確に知ることができるようにすること、加えて、各セルの発電効率の情報が得られるようにすることである。本発明は、上述の現状に鑑み、電球及び単色性に優れた半導体発光素子を光源にして、多接合型光電変換素子を構成する複数のセルのうちのいずれのセルが、全体の隘路になっているかを周波数で判別可能にしたものである。本発明の請求項1に係る多接合型光電変換素子の評価装置は、少なくとも多接合型光電変換素子を構成するセルの数と同数の互いに異なる波長範囲の光線を有する光源と、これら波長範囲の光線を互いに異なる周波数でそれぞれ変調する周波数設定手段とを設け、上記異なる周波数で変調させた光線を、上記多接合型光電変換素子に照射したときに流れる当該多接合型光電変換素子の出力電流の交流分の周波数を弁別する周波数弁別回路を設けてなるもので、多接合型光電変換素子を構成するセルのうちのいずれのセルが電流制限を生ぜしめているのかを、当該多接合型光電変換素子の出力電流の周波数により判別できるので、上記電流制限情報を迅速且つ的確に知ることができる。ここで、波長範囲とは波長域や波長帯の意も含み、例えば光源が半導体発光素子のLEDの場合、その発光スペクトルの半値幅が互に重なる程度に近接している場合を1つの波長帯に属すことを意とし、それ以上離れた場合を異なる波長帯に属することを意とする。半導体発光素子が半導体レーザの場合は、±数ナノメートルから十ナノメートル程度の範囲内を指す。本発明の請求項2に係る多接合型光電変換素子の評価装置は、上記光源を、上記互いに異なる波長範囲の光線を発する複数の第1半導体発光素子で構成し、上記周波数設定手段は、これら第1半導体発光素子のそれぞれを、直流電流に互いに異なる周波数で変調された交流電流を重畳して駆動する直交流回路で構成されてなるもので、多接合型光電変換素子の電流制限情報を迅速且つ的確に知ることができる。尚、第1半導体発光素子には、発光ダイオードの他に、半導体レーザやSLDスーパールミネッセントダイオードも含まれる。本発明の請求項3に係る多接合型光電変換素子の評価装置は、上記光源を、上記互いに異なる波長範囲の光線を発するハロゲンランプやキセノンランプなどのランプで構成し、上記周波数設定手段は、上記ランプの、上記互いに異なる波長範囲の光線を選択分岐し、選択分岐した光線をそれぞれ互いに異なる周波数に変調する光変調器で構成されてなるもので、上記光源が電球やハロゲンランプ、キセノンランプなどのランプであっても、多接合型光電変換素子の電流制限情報を迅速且つ的確に知ることができる。本発明の請求項4に係る多接合型光電変換素子の評価装置は、上記光源を、上記互いに異なる波長範囲の光線を発するハロゲンランプやキセノンランプなどのランプで構成し、上記周波数設定手段は、上記ランプの、上記互いに異なる波長範囲の光線を選択分岐するとともに、選択分岐した光線に当該光線の波長範囲に属する第2半導体発光素子の光線を互いに異なる周波数で変調して重畳するべく、当該第2半導体発光素子を変調駆動する変調駆動回路で構成されてなるもので、かかる装置に拠れば、多接合型光電変換素子の電流制限情報を迅速且つ的確に知ることができることはもちろん、請求項3に係る発明構成に比べて、簡略化されるので装置の小型化、低価化、また、評価対象により装置変更を行い易くできる利点がある。ここで、光源をハロゲンランプやキセノンランプなどのランプで構成したが、太陽光そのものを光源として構成してもよいし、場合によっては白熱電球などで構成してもよい。本発明の請求項5に係る多接合型光電変換素子の評価装置は、上記周波数弁別回路によって弁別された周波数の通知を受けて上記多接合型光電変換素子を構成するセルのうちの一のセルが短絡電流を制限していることを判別し、短絡電流を制限した上記一のセルに対する照射量の漸増指示若しくは電流の漸増指示を、又は電流制限を及ぼさなかった他のセルのうちの一つのセルに対する照射量の漸減指示若しくは電流の漸減指示を、少なくとも上記周波数弁別回路から通知される周波数から上記他のセルのうちの一つのセルによって短絡電流が制限されたと判別するまで繰り返し実行するようにしたもので、かかる装置に拠れば、弁別された周波数が変わるところで上記一のセルと他のセルのうちの一つのセルとのそれぞれの短絡電流値が一致することが分かるので、その時までの上記漸増指示或いは漸減指示に基づく照射量や電流量によって各セルの発電効率の情報が得られるようになる。本発明の多接合型光電変換素子の評価装置は、多接合型光電変換素子を構成するセルのうちいずれのセルが短絡電流を制限しているのかを迅速且つ的確に知ることができ、加えて、今後の多接合太陽電池の設計資料として有益なセルの発電効率の情報を得ることができる。以下、本発明の第1の実施形態に係る多接合型光電変換素子の評価装置を、多接合型光電変換素子の代表的例として2接合型太陽電池に適用した場合について、図1~4を参照しつつ説明する。図1aは、2接合型太陽電池の電気的な等価回路を示ものである。図中のD1はこの太陽電池2の第1のセルを示し、D2はこの太陽電池2の第2のセルを示し、Rsは直列抵抗を示している。この第1のセルD1以下、単にセルD1と言う。及び第2のセルD2以下、単にセルD2と言う。で構成される太陽電池2に太陽光を照射すると起電力を生ずる。第一義的には、その電流‐電圧特性は、暗時の電流‐電圧特性を光照射で発生する光電流分だけ電流軸方向へ平行移動した形になる。また、Rsは単なる抵抗分の他、電極金属との接触抵抗やセルD1とセルD2との間の抵抗など必ずしも直線的でない抵抗を含むので正確には線形ではない。これらの開放電圧Voc1、Voc2はpn接合を構成する材料のバンドギャップエネルギーとフェルミレベル差で決まる値に収束する筈である。同図に示す如く直列接続されているので、夫々で発生した電圧を電圧軸方向に加え合わせた値になる。図1bは、この太陽電池2の分光感度特性を示す図である。図中の曲線X1はセルD1の分光感度特性曲線を、曲線X2はセルD2の分光感度特性曲線を示し、全体としての分光感度特性はこれら2つの曲線を上下に足し合わせた曲線になる。尚、個々で分光感度特性の表現法には、光のパワー単位:Wに対して発生する電流単位:Aを示す感度A/Wと、1個の光子が何個の電子を発生させるかと言う観点の量子効率を用いる場合がある。ここでは、感度で表す。同図からわかるように、セルD1は波長約600nmから1100nmの光を受けて発電し、セルD2は波長約300nmから750nmの光を受けて発電する。このことから、波長800nmより長い光を照射すれば、セルD1のみに発電させ、500nmより短い波長の光を照射すれば、セルD2だけで発電させることができる。これらの中間である600nmから700nmの波長の光を照射するとセルD1とセルD2の両方で発電させることができる。このような太陽電池を評価する本装置1の構成を図2を参照して説明する。本装置1は、太陽電池2を構成するセルの数本実施の形態では、二つより一つ多い三つの互いに異なる波長帯波長範囲の光線を有する光源、具体的には、異なる波長帯A,B,Cに属する三種のLED第1半導体発光素子3a~3cとし、これらLED3a~3cのうちの波長帯A940nmに属するLED3aが周波数A320Hzで変調された光線光線1として太陽電池2を照射できるように駆動されるべく配線されこのとき、光線1に太陽電池2のセルD1が感度を有する、また、LED3bが周波数B530Hzの光線光線2として太陽電池2を照射できるようにこのとき、光線2に太陽電池2のセルD2が感度を有する駆動されるべく配線されている。但し、本実施の形態では、太陽電池2が2接合型であるので、波長帯C630nmに属するLED3cは使用されていない。尚、これらLED3a~3cは、水冷が施された1枚の基板上に、例えば図2に示すような配列をなしてダイボンディングされている。また、本装置1の周波数設定手段4は、上述のように光源の波長帯Aに属する光線を周波数Aで変化させ、また、その波長帯Bに属する光線を周波数Aとは異なる周波数Bで変化させ、また、その波長帯Cに属する光線を周波数A及び周波数Bとは異なる周波数Cで変化させるために、LED3aを、直流電流に周波数Aの交流電流を重畳して駆動する直交流回路4a、及びLED3bを、直流電流に周波数Bの交流電流を重畳して駆動する直交流回路4b、並びにLED3cを、直流電流に周波数Cの交流電流を重畳して駆動する直交流回路4c但し、上述のように本実施の形態では、LED3cは使用されていない。したがって、直交流回路4cも使用されていない。により構成され、これら直交流回路4a~4cは、所定の配列をなして基板上に配置されたLED3a~3cに対応して設けられ、それぞれを独立して駆動するようになっている。また、本装置1には、光線1及び光線2によって太陽電池2を照射したときに流れる当該太陽電池2の出力電流を直流分と交流分とに分離する分離回路5、及びこの分離回路5によって太陽電池2を流れる交流分の周波数を弁別する、例えば位相同期検波方式の周波数弁別回路6が設けられている。ところで、太陽電池2に対しては、電極に探針を当てたり、クリップで電極リード線を挟むことによって、電流を取り出したり電源図示しない定電圧源や定電流源に繋いで電流や電圧を与えて特性を測れるようにしてある。そして、本装置1には、後に詳述するように、周波数弁別回路6によって弁別された周波数の通知を受けて太陽電池2のセルD1及びセルD2のうちの一方のセルが電流制限を生ぜしめていることを判別し、セルD1及びセルD2のうちの一方のセルに照射光を供給するために設けられた上記直交流回路の電流漸増指示、又はセルD1及びセルD2のうちの他方のセルに照射光を供給するために設けられた上記直交流回路の電流漸減指示を、少なくとも周波数弁別回路6から通知される周波数から他方のセルによって短絡電流が制限されたと判別するまで繰り返し実行命令を出す機能を備えたマイクロコンピュータ7が設けられている。尚、事前に直交流回路4a~4cに流す電流値とLED3a~3cからの光出力の関係を測定し、校正情報として記憶してあるので、評価する際の照射条件や得られた結果の単位を感度のA/Wや量子効率で情報の受け渡しができるようになっている。次に、本装置1を用いて太陽電池2の、短絡電流を制限しているセルの判定方法及び各セルの発電効率を得る手順について図3を参照して説明する。ここで、前処理として、光線1と光線2は太陽電池2のセルD1とセルD2のそれぞれを励起発電状態にするが他方には影響を与えないことを確認しておく必要がある。そして、直交流回路4a,4bに適当な電流を与えてLED3a,3bを発光させ、太陽電池2のセルD1,D2を照射する図3a参照。この時の光線1と光線2の太陽電池2への照射光量をそれぞれL11mWとL21mWとする図3c参照。勿論、上述したように、光線1には周波数Aとして320Hz,光線2には周波数Bとして530Hzの交流分が乗っている図9b参照。これにより、セルD1,D2には、図3cに示すように、L11mWに対応して感度1図4aも参照で電流I11が、また、L21mWに対応して感度2図4aも参照で電流I21が発生し、電流I11には周波数Aの交流分が、また、電流I21には周波数Bの交流分が乗った短絡電流が発生している筈である。しかし、この時の太陽電池2に流れる出力電流は、セルD1かセルD2の短絡電流の内小さい方の電流で制限される。今仮に、上記照射状態の下では、同図の点1の状態にあり、したがってセルD1の電流値がセルD2の電流より大きい電流I11>電流I21ので、太陽電池2に生ずる出力電流は、セルD2の電流で制限され、電流I21となる。この電流I21は、分離回路5により直流分と交流分とが分離され、周波数弁別回路6により交流分の周波数Bが弁別される。したがって、太陽電池2を構成するセルD1,D2のうちのいずれのセルが短絡電流を制限しているのかを、太陽電池2の出力電流の周波数により判別できるので、電流制限情報を迅速且つ的確に知ることができる。そして、マイクロコンピュータ7は、周波数弁別回路6によって弁別された周波数Bの通知を受けてセルD1及びセルD2のうちのセルD2一方のセルが短絡電流を制限していることを判別した後、本実施の形態では、電流制限を及ぼさなかったセルD1及びセルD2のうちのセルD1他方のセルに対する照射量の漸減指示同図の点1から点2に向かう方向、換言すれば、直交流回路1の電流漸減指示を、周波数弁別回路6から通知される周波数からセルD1他方のセルによって短絡電流が制限されたと判別するまで、即ち、同図の点3電流整合線上のに達するまで繰り返し実行指示する。かかる点3が、セルD1の短絡電流とD2の短絡電流が合致するところであり、この点3において、セルD1,D2の発電効率はそれぞれの感度に見合う発電効率となる。しかし、直交流回路4a,4bに適当な電流を与えてLED3a,3bを発光させてセルD1,D2を照射したときの照射状態、即ち、同図の点1の状態の下では、セルD2の発電効率は、照射光量L21mWに対し電流I21が発生している状態にあるので同図から見合った発電効率と言えるが、セルD1の発電効率は、照射光量L11mWに対し電流I11が発生すべきところ照射光量L12に対応する電流I12=電流I21しか発生しないことになり見合ったものと言えない。このような発電効率に関する情報は、今後の多接合太陽電池の設計資料としても有益である。ところで、電流整合線上の点3に達するまでの実行指示をマイクロコンピュータ7で行う代わりに、手動によって、例えば図3cの点1→点2→点4方向→点5方向に順次求めて行って電流整合線を得ることにより、例えば点3を得るようにしてもよい。因みに、点1→点2→点4方向への手順は、点1においては上述のようにセルD2が電流を制限していることを周波数弁別回路6から知って直交流回路1の電流を減らす操作を行って点2に達したときには、点2において周波数弁別回路6からの周波数Aの情報を得て直交流回路2の電流を減らす操作を行えばよい。次に、本装置1を用いて太陽電池2の受光感度を求める手順について図4を参照して説明する。図4aの感度1受光感度や感度2受光感度については、上述した発電効率を求める段階で求められる。図3cに於いて、電流整合線上の、例えば点3について考えると、その電流値I12mAとI21mAI12=I21を与える光線1及び光線2の光量は、L12mWとL21mWである。この夫々の光量でその時の電流値を割ってI12/L12、即ち感度1A/W及びI21/L21、即ち感度2A/Wが得られる。これを図示すれば図4aのようになる。尚、同図では光線1、光線2の照射光スペクトルの半値幅は50nm或いはそれ以下なので、全ての光エネルギーがピーク波長に集中しているとして示してある。上記の感度1,2は、夫々の曲線X1,X2と光線1,2の波長との交点となる。次に、図4bの感度3や感度4を求める手順について説明する。感度3や感度4は、セルD1,D2の曲線X1,X2が交叉する波長帯の感度である。この場合には、図3bの光線1,2における直流分をゼロとし、且つ、交流分を検知できる程度に最低にするとともに、直交流回路4cにおいては交流分をゼロしたがって、無変調とし直流電流を所定量にした状態でLED3a~3cを駆動し太陽電池2を照射して測定を行う。この条件下で、上述した、電流制限を生ぜしめているセルを判定する手順に準じて求めて行けばよい。即ち、図3cの点1では、セルD2が電流を制限しているが、このときの感度は、このときの直流電流を光線3の光量で割って感度4として求めることができる。そして、直交流回路1の電流を減らすことにより同図の点2に移行した場合、この点2では、セルD1が電流を制限しているが、このときの感度は、このときの直流電流を光線3の光量で割って感度3として求めることができる。これを図示すると図4bのようになる。これを発展させると、逆に、光線1~3に加えて当該光線1~3とは異なる波長帯に光線4,5等を増やし感度を求めて行けば、曲線X1,X2の形状を求めることができる。図4bにおいて、曲線X1の長波長側はセルD1を構成する材料、ここではシリコン結晶の吸収端特性を反映しており、短波長側はセルD2材による吸収の残余の光量を反映している。同様に、曲線X2の長波長側はセルD2を構成する材料、ここではアモルファスシリコンの吸収端特性を反映しており、短波長側はセルD2の上部材による吸収の残余の光量を反映している。したがって、感度1、感度2、感度3及び感度4の評価結果は夫々別のデバイスパラメータ、製造パラメータに関係しており、改良の為に帰還すべき対象工程は異なる。このように、感度1~4のパラメータを測定することはタンデム型太陽電池の開発や製造工程の管理に重要な情報を与えるものであり、感度1~4の情報が得られると、現物と設計との乖離の原因が何処にあるのかを示唆する情報が迅速且つ的確に得られる。本発明に係る第2の実施形態に係る多接合型光電変換素子の評価装置を、2接合型太陽電池に適用した場合について、図5及び図6を参照しつつ説明する。尚、図5中、図2と同一の構成要素には同一番号を付し、その説明は割愛する。また、図6中、図9と同一の構成要素には同一番号を付し、その説明は割愛する。本装置10が上記装置1と異なるところは、本装置10がその光源をハロゲンランプやキセノンランプなどのランプ11としたことから上記周波数設定手段4に代えて周波数設定手段12とした点である。但し、これにより、マイクロコンピュータ7のプログラム内容も変更されている。本装置10のランプ11は、下記のように周波数設定手段12により、波長域B1波長範囲Bの光線、波長域C1波長範囲C光線及び波長域A1波長範囲Aの光線に区分けされ、これらの光線が互いに異なる周波数で変調されて太陽電池2に照射される。また、本装置10の周波数設定手段12は、ランプ11の光線の中から波長域B1、具体的には500nmより短波長の光線を選択分岐させる第1の波長選択性前段ハーフミラー13aと、この第1の波長選択性前段ハーフミラー13aを透過した光線の中から波長域C1、具体的には800nmより短波長の光線を選択分岐させる第2の波長選択性前段ハーフミラー13bと、この第2の波長選択性前段ハーフミラー13bを透過した光線の中から波長域A1、具体的には800nmより長波長の光線を選択分岐させる第3の波長選択性前段ハーフミラー13c本実施の形態の場合、通常のミラーでよい。とが直列に配置された波長選択性前段ハーフミラー群を備え、また、第1の波長選択性前段ハーフミラー13a~第3の波長選択性前段ハーフミラー13cに対応してこれらハーフミラー13a~13cで選択分岐された光線の光量を加減する、透過率1~95の第1の光減衰器14a~第3の光減衰器14cがそれぞれ配置された光減衰器群を備えている。更に、本装置10の周波数設定手段12は、上記第1の光減衰器14a~第3の光減衰器14cに対応してこれら光減衰器14a~14cを通過した光線をオンオフするための第1のシャッター15a~第3のシャッター15c及びこれらシャッター15a~15cに連設して、光減衰器14aを通過した光線を周波数B530Hzに変調する第1のNDフィルター16a、光減衰器14bを通過した光線を周波数C後述のように、本実施の形態では周波数C=0に変調する第2のNDフィルター16b、光減衰器14cを通過した光線を周波数A320Hzに変調する第3のNDフィルター16cをそれぞれ設け、且つ、これらNDフィルター16a~16cがそれぞれ回転可能に支持されるようにして配置された光変調器群と、これら光変調器群からの光線が太陽電池2に同軸をなしてそれぞれ照射されるように配置された第1の後段ハーフミラー17a~第3の後段ハーフミラー17c本実施の形態の場合、第3の後段ハーフミラー17cは通常のミラーでよい。とを備えている。尚、本実施の形態では、NDフィルター16a~16cには透過率が95と98との異なる部分で仕切られた2サイクルで図示されている。このため、例えば530Hzとするためには、15900rpmの高速回転が必要に見えるが、実際のNDフィルターには透過率が異なる部分を10サイクルとしてあるため、回転数は3180rpmでよい。次に、本装置10を用いて太陽電池2の、電流制限を生ぜしめているセルの判定方法及び各セルの発電効率を得る手順について図6を参照して説明する。この場合の手順も基本的には上記装置1を用いたときの手順に準じており、概略的には、周波数弁別回路6により太陽電池2の出力電流の周波数が弁別され、マイクロコンピュータ7が周波数弁別回路6によって弁別された周波数の通知を受けて、セルD1及びセルD2のうちの、例えばセルD2一方のセルが電流を制限していることを判別し、その後に、電流制限を及ぼさなかったセルD1及びセルD2のうちのセルD1他方のセルに対する照射量の漸減指示同図の点1から点2に向かう方向、換言すれば、第3の光減衰器14cに対する光量漸減指示を、周波数弁別回路6から通知される周波数からセルD1他方のセルによって電流が制限されたと判別するまで、即ち、同図の点3に達するまで繰り返し実行指示するものである。まず、前処理として、波長域B1の光線と波長域A1の光線は太陽電池2のセルD2とセルD1のそれぞれを励起発電状態にするが他方には影響を与えないこと、及び波長域C1の光線はセルD1,D2を励起することを確認しておく必要がある。しかる後、ランプ11の適宜に調整された光線を周波数設定手段12を介して太陽電池2に照射する。この時、セルD2は波長域B1の光線照射光量W2mW及び波長域C1の光線照射光量W3mWに感度を有し、また、セルD1は波長域A1の光線照射光量W1mW及び波長域C1の光線照射光量W3mWに感度を有する図6a参照。但し、波長域B1の光線には周波数Bとして530Hz、波長域A1の光線には周波数Aとして320Hの交流分が乗っている図6b参照。これにより、セルD1,D2には、図6cに示すように、セルD2では、波長域B1の光線照射光量W2mW及び波長域C1の光線照射光量W3mWを受けて、それぞれの波長域に対する平均感度B1及び平均感度C12に対応してI22mA,I23mAの電流が流れる状態になっており、また、セルD1では、波長域A1の光線照射光量W1mW及び波長域C1の光線照射光量W3mWを受けて、それぞれの波長域に対する平均感度A1及び平均感度C11に対応してI11mA,I13mAの電流が流れる状態になっている。しかし、この時の太陽電池2に流れる短絡電流は、セルD1かセルD2の短絡電流の内小さい方の電流で制限される。今仮に、上記照射状態の下では、図6cの点1の状態にあり、したがってセルD1の電流値がセルD2の電流より大きい電流I1>電流I2=I22I23ので、太陽電池2に生ずる出力電流は、セルD2の電流で制限され、電流I2となる。この電流I2は、分離回路5により直流分と交流分とが分離され、周波数弁別回路6により交流分の周波数Bが弁別される。したがって、太陽電池2を構成するセルD1,D2のうちのいずれのセルが短絡電流を制限しているのかを、太陽電池2の出力電流の周波数により判別できるので、電流制限情報を迅速且つ的確に知ることができる。そして、マイクロコンピュータ7は、周波数弁別回路6によって弁別された周波数Bの通知を受けてセルD1及びセルD2のうちのセルD2一方のセルが電流制限を生ぜしめていることを判別した後、本実施の形態では、電流制限を及ぼさなかったセルD1及びセルD2のうちのセルD1他方のセルに対する照射量の漸減指示同図の点1から点2に向かう方向、換言すれば、第3の光減衰器14cに対する光量漸減指示を、周波数弁別回路6から通知される周波数からセルD1他方のセルによって短絡電流が制限されたと判別するまで、即ち、同図の点3に達するまで繰り返し実行指示する。かかる点3が、セルD1の短絡電流とD2の短絡電流が合致するところであり、この点3において、セルD1,D2の発電効率はそれぞれの感度に見合う発電効率となるが、D1,D2を照射したときの照射状態、即ち、同図の点1の状態の下では、セルD2の発電効率は、照射光量W2mW照射光量W3mWに対し電流I2=I22I23が発生している状態にあるので同図から見合った発電効率と言えるが、セルD1の発電効率は、照射光量W1mW照射光量W3mWに対し電流I1が発生していないため、見合ったものとは言えないことになる。本発明に係る第3の実施形態に係る多接合型光電変換素子の評価装置を、2接合型太陽電池に適用した場合について、図7及び図8を参照しつつ説明する。但し、図7中、図5と同一の構成要素には同一番号を付し、その説明は割愛する。尚、図8a中、AM1.5の波長域A1における光線の表示で、実線は光減衰器14cを回して約7減衰せしめた光子数スペクトルを、また、破線は減衰させない状態の光子数スペクトルを表している。本装置20が上記装置10と異なるところは、周波数A~Cの変調のしかたを変更したことにより、上記周波数設定手段12に代えて周波数設定手段22とした点である。但し、本装置20のマイクロコンピュータ7のプログラム内容は、上記装置10のそれとほぼ同一である。具体的には、周波数設定手段22においては、周波数設定手段12の光変調器群の第1のNDフィルター16aを、波長域B1波長範囲Bに属し、太陽電池多接合型光電変換素子2のセルD2第2セルにのみ感度を有する波長帯本実施の形態では、発振波長405nmの第2半導体発光素子23a及びこの半導体発光素子23aからの周波数Bに変調された光線図8a参照を上記第1の後段ハーフミラー17aに向けて反射するとともに上記第1の光減衰器14aからの光線を通過させる第1の中段ハーフミラー24aに代え、また、その上記第2のNDフィルター16bを、波長域C1波長範囲Cに属し、太陽電池2が3接合型太陽電池でセルD3第3セルを有する場合には当該セルD3にのみ感度を有する波長帯の第2半導体発光素子23b及びこの半導体発光素子23bからの周波数Cに変調された光線を上記第2の後段ハーフミラー17bに向けて反射するとともに上記第2の光減衰器14bからの光線を通過させる第2の中段ハーフミラー24bに代え、また、その上記第3のNDフィルター16cを、波長域A1波長範囲Aに属し、太陽電池2のセルD1第1セルにのみ感度を有する波長帯本実施の形態では、発振波長980nmの第2半導体発光素子23c及びこの半導体発光素子23cからの周波数Aに変調された光線図8a参照を上記第3の後段ハーフミラー17cに向けて反射するとともに上記第3の光減衰器14cからの光線を通過させる第3の中段ハーフミラー24cに代える構成が採られ、これらの半導体発光素子23a~23cは変調駆動回路25a~25cにより変調駆動され、上述した所定周波数の光線をそれぞれ発光する。但し、本実施の形態では、半導体発光素子23aには、上記発振波長980nm、出力100mWの半導体レーザを、また、半導体発光素子23cには、上記発振波長405nm、出力100mWの半導体レーザを採用し、これらの半導体発光素子23a,23cはほぼ100変調されてオンオフをなす光線を発光するが、半導体発光素子23bは、本実施の形態では、上述したように使用されておらず、発光することはない。次に、本装置20を用いて太陽電池2の、短絡電流を制限しているセルの判定方法及び各セルの発電効率を得る手順について図8を参照して説明する。尚、この説明においては、上述の図6cに準じた図で説明してもよいが、図8b,cを用いて説明する。この場合の手順も基本的には上記装置10を用いたときの手順に準じており、概略的には、周波数弁別回路6により太陽電池2の出力電流の周波数が弁別され、マイクロコンピュータ7が周波数弁別回路6によって弁別された周波数の通知を受けて、第1の光減衰器14a及び第3の光減衰器14cのいずれかの光減衰器に対する光量漸増指示又は光量漸減指示により、例えば図6cの点1→点3に達するまで繰り返し実行指示するものである。具体的には、ランプ11の光線を周波数設定手段22により適当に調節して上記波長域B1及び波長域C1の光線この光線にセルD2が感度を有するを太陽電池2に照射するとともに、重畳して半導体発光素子23aからの周波数B530Hzに変調された光線この光線にセルD2が感度を有するを太陽電池2に照射し、また、上記波長域A1及び波長域C1の光線この光線にセルD1が感度を有するを太陽電池2に照射するとともに、重畳して半導体発光素子23cからの周波数A320Hzに変調された光線この光線にセルD1が感度を有するを太陽電池2に照射する。この関係を図示したものが図8aである。このときのセルD1及びセルD2に発生すると考えられる短絡電流が図8bに示されている。このときのセルD1,D2には、同図に示すように、電流Isc1,Isc2の短絡電流が発生し、このうちの電流Isc1には周波数Aの交流分同図中の黒塗り部が、また、Isc2には周波数Bの交流分同図中の黒塗り部が乗る筈である。しかし、この時の太陽電池2に流れる出力電流は、セルD1かセルD2の短絡電流の内小さい方の電流で制限される。したがって、セルD1の電流値がセルD2の電流より大きい電流Isc1>電流Isc2ので、この太陽電池2に流れる出力電流は、セルD2の電流で制限され、電流Isc2となる。この電流Isc2は、分離回路5により直流分と交流分とが分離され、周波数弁別回路6により交流分の周波数Bが弁別される。そして、マイクロコンピュータ7は、周波数弁別回路6によって弁別された周波数Bの通知を受けてセルD1及びセルD2のうちのセルD2一方のセルが短絡電流を制限していることを判別し、この例では、電流制限を及ぼさなかったセルD1及びセルD2のうちのセルD1他方のセルに対する照射量の漸減指示、換言すれば、第3の光減衰器14cに対する光量漸減指示を、周波数弁別回路6から通知される周波数からセルD1他方のセルによって短絡電流が制限されたと判別するまで、即ち、例えば図6cの点3に達するまで繰り返し実行指示する。この点3において、セルD1,D2の発電効率はそれぞれの感度に見合う発電効率となるが、D1,D2を照射したときの照射状態、即ち、例えば同図の点1の状態の下では、セルD2の発電効率は、所定の照射光量に対し電流Isc2が発生している状態にあるので見合った発電効率と言えるが、セルD1の発電効率は、所定の照射光量に対し電流Isc1が発生しておらず、電流Isc2であるため、見合ったものとは言えないことになる。尚、図8cは、電流Isc1を減少させて電流Isc11にしたとき図8b参照とき、今度はセルD1が電流を制限し、出力電流として電流Isc11が流れることを示している。以上の実施の形態では多接合型光電変換素子のうち2接合型太陽電池の場合について説明したが、3接合型太陽電池についても概略的に説明する。まず、上記装置20を、シリコン薄膜系3セル型太陽電池に適用して当該太陽電池において電流制限を生ぜしめているセルの判定方法及び各セルの発電効率を得る手順について図9を参照して説明する。多接合型光電変換素子がシリコン薄膜系3セル型太陽電池の場合、先ず、1.3種の波長域A1~C1全ての光量をAM1.5に近い形にして、短絡電流が流れることを確認すると同時に開放電圧が1V程以上出ていることを確認する。2.波長域A1のシャッター15cをオフにし、半導体発光素子23cも消灯しても、短絡電流は減るがやはり電流が流れることを確認する。3.波長域A1のシャッター15cをオン、波長域B1のシャッター15aをオン、波長域C1のシャッター15bをオフにしても、短絡電流は流れ、開放時の電圧は1V以上発生していることを確認する。4.波長域B1と波長域C1を共にオフにし、半導体発光素子23aも消灯して、波長域A1の光のみを照射して、この時の開放電圧が0.7V程度或はそれ以下であることを確認する。これらの確認作業によって、装置20の波長域A1~C1の設定が当該シリコン薄膜系3セルの波長域区分と合致していて、図9aのようになっていることを事前に確認する。尚、この例においても、上述した第3の実施形態と同様に、半導体発光素子23bは使用されていない。この状態で、波長域A1、波長域B1及び波長域C1の光線と周波数A320Hzで全幅変調された半導体発光素子23cの光線、及び周波数B530Hzで全幅変調された半導体発光素子23aの光線を3接合型太陽電池に照射する。このときの出力電流の交流分の周波数が320Hzであった。この周波数から電流を制限しているセルはセルD1であることがわかる。同図bは、このときの各セルD1~D3の発電量を想定短絡電流として棒グラフ化したものである。尚、セルD1,2の棒グラフの黒塗り部は、それぞれ周波数A,Bの交流分である。この場合、セルD1の短絡電流Isc1が一番小さいということがわかるが、セルD2、セルD3のどちらが大きいのかはわからない。ここで、図7の光減衰器14cを回して減衰量を低減し、即ち、波長域A1の光量を漸増して行くと、出力電流の交流分の周波数が530Hzに変わる。これはセルD2の電流Isc2がセルD1の短絡電流Isc1より小さくなったことを示している。これらの事実から当初の想定短絡電流はIsc1が一番小さく、次にIsc2で、最も大きかったのはセルD3のIsc3であったことがわかる。これを等価回路で描けば同図cに示すようになる。また、波長域C1の光減衰器14bの減衰量を増して行く、即ち、波長域C1の光量を減じて行くと、ある減衰量のとき、出力電流の交流成分が急激にゼロになる。この時、セルD3の電流Isc3が電流Isc1以下になってDC電流のみになったことを示している。電流Isc3が電流Isc1に等しい時の光減衰器14bの減衰量を読めばその差の程度を発電力の差として定量化できる。同様に、光減衰器14bの減衰量をこれより減らし、光減衰器14aの減衰量を増して行くと、出力電流のAC成分の周波数が周波数Aから周波数Bに変わる。ここで光減衰器14aの減衰量を読めば、セルD2のセルD1に対する発電力の差を定量化できる。これにより、上記装置20を用い、且つ、そのマイクロコンピュータ7のプログラム内容を多少変更すれば、3セル型太陽電池についてその短絡電流を制限しているセルを判定でき、加えて各セルの発電効率を得ることができる。次に、上記装置20を、多接合型光電変換素子の化合物結晶系3セル型太陽電池に適用して当該太陽電池において電流制限を生ぜしめているセルの判定方法及び各セルの発電効率を得る手順について図10を参照して説明する。同図aには、AM1.5相当の照射光スペクトルを示し、このスペクトル上にこの化合物結晶系3セル型太陽電池の想定セル別感度スペクトルが重ねて描かれている。このセルの感度特性に合わせてそのスペクトル域を3波長域、即ち、波長域B2を600nmより短い波長域とし、波長域A1を890nm以上の波長域とし、波長域C2をこれらの間の波長域として示され、また、各波長域にあって、想定スペクトル上、どれか一つのセルのみを励起すると考えられる波長に発光スペクトルのピークを持つ半導体発光素子を採用している。具体的には、波長域B2波長範囲Bに属し、セルD2第2セルが感度を有する波長帯の第2半導体発光素子として波長405nmで出力100mW以上級の半導体レーザ23aを採用し、また、波長域C2波長範囲Cに属し、セルD3第3セルが感度を有する波長帯の第2半導体発光素子として波長780nmで出力100mW以上級の半導体レーザ23bを採用し、また、波長域A2波長範囲Aに属し、セルD1第1セルが感度を有する波長帯の第2半導体発光素子として波長980nmで出力100mW以上級の半導体レーザ23cを採用している。図10bは、化合物結晶系3セル型太陽電池の適当なAM1.5照射下で上記実施例と同様の実験をした結果に基づき、各セルD1~D3の発電量を想定短絡電流として棒グラフ化したものである。尚、セルD1の電流には、半導体レーザ23cによって周波数A320Hzに変調された光線に伴う交流成分黒塗り部が重畳され、また、セルD2の電流には、半導体レーザ23aによって周波数B530Hzに変調された光線に伴う交流成分黒塗り部が重畳され、セルD3の電流には、半導体レーザ23bによって周波数C670Hzに変調された光線に伴う交流成分黒塗り部が重畳されている。また、上記実施例と同様に、等価回路等を含めて同図c~eに図解した。同図dのように、波長域C2の光減衰器14bの減衰量を、太陽電池の出力電流の周波数が周波数Aから周波数Cに入れ替わるように調整して、この太陽電池の出力電流がセルD3の電流で制限され、電流Isc31となるようにすれば同図e、セルD1とセルD3とにおいて短絡電流を制限しているセルの判定が容易になり、その時の光減衰器14bの減衰量から両者の発電量の差を定量化できる。ここで、半導体レーザ23bを敢えて加えたのは、セルD1とセルD2の感度曲線量子効率スペクトルが重ならず、且つ、セルD3だけに感度を持つ波長帯に周波数Cで変調された光線を設定できたことで、非常に効率的に短絡電流を制限しているセルの判別が容易になり、両者の発電量の差を定量化できるからである。このように、上記装置20を用い、且つ、そのマイクロコンピュータ7のプログラム内容を多少変更すれば、3セル型太陽電池に対しても電流制限を生ぜしめているセルの判別が可能になり、両者の発電量の差を定量化できる。ここでは、照射光源にソーラーシュミレータに新規工夫を加えたり、高出力半導体発光素子を使った新しい実施の形態を示したが、既存のソーラーシュミレータや自然の太陽光の下でも、短波長側の1セルのみを励起できる波長の半導体発光素子具体的にはLEDと長波長側の1セルのみを励起できる波長の半導体発光素子具体的にはLEDの少なくとも2波長域の半導体発光素子をそれぞれ別の周波数で変調した光を照射しさえすれば、本発明の原理でどのセルが電流を制限しているかがわかる。"