カラーフィルタの製造工程で使用される剥離装置であって、少なくとも、被処理物である基板を搬送するためのコンベアと、剥離液および洗浄液を噴出するためのスプレーノズルと、前記基板に付着した液体を吹き飛ばすためのエアナイフと、剥離処理に使用する剥離液と洗浄処理に使用する洗浄液を分別回収するための回収タンクと、を備えており、前記コンベアは、前記スプレーノズルから噴出する剥離液および洗浄液などの液体が前記基板上をスムーズに流れるように、前記基板の流れ方向と垂直な方向に傾斜しており、且つ前記基板を搬送可能とする方向は正逆両方向であり、前記スプレーノズルは、前記基板の流れ方向に概ね直交する方向に複数個、前記基板の表面と個々の前記スプレーノズルの先端部との距離が均等になるように配置され、前記エアナイフは、前記剥離装置の出口に最も近い部位において、前記基板の表面側と裏面側に配置され、前記回収タンクは、少なくとも、剥離液を回収するための剥離液用回収タンクと洗浄液を回収するための洗浄液用回収タンクから構成されており、前記剥離液用回収タンクが剥離液を回収中には、前記洗浄液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、逆に前記洗浄液用回収タンクが洗浄液を回収中には前記剥離液用回収タンクに洗浄液が入らない機構を備えており、前記剥離液用回収タンクには、回収した剥離液を貯蔵する剥離液用貯蔵タンクと廃液処理施設に繋がる配管が接続されており、剥離液を回収する時には、前記剥離液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを開き、且つ前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを閉鎖し、前記廃液処理施設に送る時には、前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを開き、且つ前記剥離液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを閉鎖する、ように制御されるバルブが備えられており、前記洗浄液用回収タンクには、回収した洗浄液を貯蔵する洗浄液用貯蔵タンクと廃液処理施設に繋がる配管が接続されており、洗浄液を回収する時には、前記洗浄液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを開き、且つ前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを閉鎖し、前記廃液処理施設に送る時には、前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを開き、且つ前記洗浄液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを閉鎖する、ように制御されるバルブが備えられており、少なくとも、前記コンベアと前記スプレーノズルと前記エアナイフと前記剥離液回収用タンクと前記洗浄液回収用タンクと、が1つのチャンバー内に備えられていることを特徴とする1チャンバーの剥離装置。剥離液用回収タンクが剥離液を回収中には、洗浄液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、逆に洗浄液用回収タンクが洗浄液を回収中には剥離液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、前記機構が隣接して設置された前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクの上を移動する蓋であり、且つ前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクを合せた寸法より大きく且つ上に凸の形状の蓋であることを特徴とする請求項1に記載の1チャンバーの剥離装置。請求項1または2に記載の剥離装置の制御方法であって、剥離液をスプレーノズルから基板に噴出させながら、前記剥離液を剥離液用回収タンクに回収し、一定時間経過後に、剥離液の噴出を停止させ、且つ剥離液用回収タンクへの回収を停止させる剥離処理制御方法と、前記スプレーノズルから前記基板に噴出させる液体を剥離液から洗浄液に切換えてから、予め設定した一定時間の間、洗浄液用回収タンクには回収せずに廃液処理施設に送りながら洗浄を行い、前記一定時間経過後に、廃液処理施設に送るのをやめ、洗浄液用回収タンクへの回収を行いながら洗浄を行う洗浄処理制御方法と、前記剥離装置の搬出口に最も近い部位に設けられたエアナイフを稼動させながら前記基板を搬出し、搬出が完了するとエアナイフを停止するエアナイフ制御方法と、をこの順に実施することを特徴とする剥離装置の制御方法。本発明の課題は、条件だし用に使用した未露光の感光性レジスト膜が形成されているガラス基板を剥離処理することが可能な1チャンバーの剥離装置を提供することである。上記課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、カラーフィルタの製造工程で使用される剥離装置であって、少なくとも、被処理物である基板を搬送するためのコンベアと、剥離液および洗浄液を噴出するためのスプレーノズルと、前記基板に付着した液体を吹き飛ばすためのエアナイフと、剥離処理に使用する剥離液と洗浄処理に使用する洗浄液を分別回収するための回収タンクと、を備えており、前記コンベアは、前記スプレーノズルから噴出する剥離液および洗浄液などの液体が前記基板上をスムーズに流れるように、前記基板の流れ方向と垂直な方向に傾斜しており、且つ前記基板を搬送可能とする方向は正逆両方向であり、前記スプレーノズルは、前記基板の流れ方向に概ね直交する方向に複数個、前記基板の表面と個々の前記スプレーノズルの先端部との距離が均等になるように配置され、前記エアナイフは、前記剥離装置の出口に最も近い部位において、前記基板の表面側と裏面側に配置され、前記回収タンクは、少なくとも、剥離液を回収するための剥離液用回収タンクと洗浄液を回収するための洗浄液用回収タンクから構成されており、前記剥離液用回収タンクが剥離液を回収中には、前記洗浄液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、逆に前記洗浄液用回収タンクが洗浄液を回収中には前記剥離液用回収タンクに洗浄液が入らない機構を備えており、前記剥離液用回収タンクには、回収した剥離液を貯蔵する剥離液用貯蔵タンクと廃液処理施設に繋がる配管が接続されており、剥離液を回収する時には、前記剥離液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを開き、且つ前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを閉鎖し、前記廃液処理施設に送る時には、前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを開き、且つ前記剥離液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを閉鎖する、ように制御されるバルブが備えられており、前記洗浄液用回収タンクには、回収した洗浄液を貯蔵する洗浄液用貯蔵タンクと廃液処理施設に繋がる配管が接続されており、洗浄液を回収する時には、前記洗浄液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを開き、且つ前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを閉鎖し、前記廃液処理施設に送る時には、前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを開き、且つ前記洗浄液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを閉鎖する、ように制御されるバルブが備えられており、少なくとも、前記コンベアと前記スプレーノズルと前記エアナイフと前記剥離液回収用タンクと前記洗浄液回収用タンクと、が1つのチャンバー内に備えられていることを特徴とする1チャンバーの剥離装置である。また、請求項2に記載の発明は、剥離液用回収タンクが剥離液を回収中には、洗浄液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、逆に洗浄液用回収タンクが洗浄液を回収中には剥離液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、前記機構が隣接して設置された前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクの上を移動する蓋であり、且つ前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクを合せた寸法より大きく且つ上に凸の形状の蓋であることを特徴とする請求項1に記載の1チャンバーの剥離装置である。また、請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の剥離装置の制御方法であって、剥離液をスプレーノズルから基板に噴出させながら、前記剥離液を剥離液用回収タンクに回収し、一定時間経過後に、剥離液の噴出を停止させ、且つ剥離液用回収タンクへの回収を停止させる剥離処理制御方法と、前記スプレーノズルから前記基板に噴出させる液体を剥離液から洗浄液に切換えてから、予め設定した一定時間の間、洗浄液用回収タンクには回収せずに廃液処理施設に送りながら洗浄を行い、前記一定時間経過後に、廃液処理施設に送るのをやめ、洗浄液用回収タンクへの回収を行いながら洗浄を行う洗浄処理制御方法と、前記剥離装置の搬出口に最も近い部位に設けられたエアナイフを稼動させながら前記基板を搬出し、搬出が完了するとエアナイフを停止するエアナイフ制御方法と、をこの順に実施することを特徴とする剥離装置の制御方法である。本発明になる1チャンバーの剥離装置により、従来の3チャンバーで構成される現像装置を剥離装置として使用する場合に比べ、1チャンバーとなるため、設備費用の低減だけでなく設備の設置床面積を小さくすることが可能となる。図面を使用して、本発明の剥離装置について詳しく説明する。図1は、本発明の剥離装置の概略概念図である。本発明の剥離装置においては、1チャンバー内で剥離処理と洗浄処理を実施することが可能である。また、剥離液と洗浄液を、それぞれ別に回収する分別回収が可能である。剥離液と洗浄液を分別回収するため、剥離液用回収タンク2bと洗浄液用回収タンク2aを備えている。隣接して設置してある剥離液用回収タンク2bと洗浄液用回収タンク2aには、上に凸の形状の蓋3が、両方合せた寸法を十分にカバーすることが可能な大きさである。上に凸の形状の蓋3は、制御信号により移動可能な駆動機構を備えており、剥離液用回収タンク2bだけをカバーして基板4から流れてくる液体が入ることがないようにした状態で洗浄液を洗浄液用回収タンク2aで回収することが可能であり、また逆に、洗浄液用回収タンク2aだけをカバーして基板4から流れてくる液体が入ることが無いようにした状態で剥離液剥離液用回収タンク2bで回収することが可能である。基板4に剥離液をスプレーノズル10から噴出して剥離処理を行う時は、まず、基板4を剥離装置1に搬送し搬入が完了した後、図2Bに示したように、スプレーノズル10に剥離液14を供給するためのバルブを開き、同時に、洗浄液13を供給するバルブを閉じる。これらのバルブは常にどちらかが開いている時は、もう一方は閉じる、という制御がなされる。図2Bには、基板の搬入口と搬出口が同一の場合を示したが、搬入口と搬出口が別であっても良い。剥離処理の時は、剥離液回収タンク2bに剥離液14が回収できるように、上に凸の形状の蓋3は、洗浄液回収タンク2aをカバーする位置に移動し、剥離液回収タンク2bに剥離液を回収しながら剥離処理を行う。図2Aには、基板4の流れの方向とは垂直の方向に、コンベア11が傾いている様子を示している。このコンベア11によって基板4が搬送され停止することで、基板4が傾いた状態で保持され、剥離処理が行われる。剥離液回収タンク2bに回収された剥離液14は、図3Aと図3Bに示したように、バルブを制御することによって剥離液回収と記載した配管を流れて、図示していない剥離液用貯蔵タンクに貯められる。次に、剥離処理が終了し、基板4に洗浄液をスプレーノズル10から噴出して洗浄処理を行う時は、スプレーノズル10に洗浄液13を供給するためのバルブを開き、同時に、剥離液14を供給するバルブを閉じる。この洗浄処理の時は、切換えた後の一定時間は、洗浄液の回収は行わず、廃液処理施設に流すようにバルブを制御する。その理由は、剥離液から洗浄液に切替えた直後は、配管中に剥離液が残留しており、洗浄液が流れるに従って剥離液が希釈され洗浄液に切り替わるのに、一定の時間を要するためである。この間は、剥離液用回収タンク2bにも洗浄液用回収タンク2aにも洗浄液が入らないように、上に凸の形状の蓋3が両方の回収タンクをカバーする位置に移動する。一定時間が経過した後、洗浄液回収タンク2aに洗浄液13が回収できるように、上に凸の形状の蓋3は、剥離液回収タンク2bをカバーする位置に移動し、洗浄液回収タンク2aに洗浄液を回収しながら洗浄処理を行う。洗浄液回収タンク2aに回収された洗浄液13は、図3Aと図3Bに示したように、バルブを制御することによって洗浄液回収と記載した配管を流れて、図示していない洗浄液用貯蔵タンクに貯められる。次に、洗浄処理が終了し、基板4を剥離装置から搬出する時、搬出口に最も近い部位に設置されたエアナイフ12によって、洗浄液を吹き飛ばしながら、基板4を搬出する。基板4の表裏面に付着している洗浄液を吹き飛ばすため、エアナイフ12は、表面と裏面の両側に設けられている。以上で、1チャンバーの剥離装置による剥離処理が終了する。