"回転可能でかつ軸線方向に沿って駆動可能な可動体と、この可動体の外周に磁気ギャップを介して同心状に配置された固定体とを備え、前記可動体は、シャフトと、このシャフトの一方の側に固定された回転用の可動子と、前記シャフトの他方の側に固定された直動用の可動子とを有し、前記固定体は、回転用の前記可動子を囲って設けられ、回転用の可動子との相互作用で回転用の可動子を回転させる回転用の固定子と、直動用の前記可動子を囲って設けられ、直動用の可動子との相互作用により前記軸線方向に直動用の可動子を駆動させる直動用の固定子とを有した回転直動モータであって、回転用の前記可動子と回転用の前記固定子との間の磁気回路での磁気抵抗値と、直動用の前記可動子と直動用の前記固定子との間の磁気回路での磁気抵抗値との間に差があり、前記磁気抵抗値の大きい側に生じた磁気吸引力よりも前記磁気抵抗値の小さい側に生じた大きな磁気吸引力により、直動用の前記可動子を、駆動前の状態に復帰させる方向に作用するようになっていることを特徴とする回転直動モータ。前記可動体の駆動時に、前記磁気抵抗値の小さい方の前記可動子が、前記磁気抵抗値の大きい方の前記固定子の内部に入り込むようになっていることを特徴とする請求項1に記載の回転直動モータ。回転用の前記可動子と回転用の前記固定子との前記軸線方向の長さが等しく、また直動用の前記可動子と直動用の前記固定子との前記軸線方向の長さが等しいことを特徴とする請求項1または2に記載の回転直動モータ直動用の前記可動子は、磁性体と、前記軸線方向に着磁された異極の永久磁石とがそれぞれ交互に軸線方向に沿って配置されて構成されていることを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の回転直動モータ。直動用の前記可動子は、複数のラジアル方向に着磁されたリング状の異極の永久磁石が交互に前記軸線方向に沿って配置されている構成されていることを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の回転直動モータ。直動用の前記可動子は、複数のラジアル方向に着磁されたリング状の主磁石と前記軸線方向に着磁されたリング状の補磁石とがハルバック配列となるように軸線方向に沿って配置されて構成されていることを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の回転直動モータ。請求項1~6の何れか1項に記載の回転直動モータを用いて基板に部品を実装する部品実装装置であって、前記回転直動モータと、前記シャフトの先端部に取付けられ前記部品を吸引するノズルと、このノズルに接続され空気を吸引する空気吸引手段と、前記回転直動モータを前記基板に対して水平方向に移動させる水平方向駆動手段とを備え、直動用の前記固定子に通電して前記ノズルを降下してノズルに吸引された前記部品を前記基板上に載置した後、前記空気吸引手段による前記空気の吸引を解除するようになっていることを特徴とする部品実装装置。しかしながら、この2軸複合モータの場合、ばねを備えているので、このばねを定期的に点検しなければならず、しかも内部に配置されているので、点検にも時間を要してしまい、またそれだけ大型化するという問題点があった。この発明は、かかる問題点を解決することを課題とするものであって、ばねを用いることなく、即ち大型化することなく、停電時やアラーム発生時に通電が強制的に止まった場合でも、シャフトが異常降下するのを防止することができる回転直動モータを提供することを目的とする。また、この回転直動モータを用いた部品実装装置を提供することを目的とする。この発明に係る回転直動モータは、回転可能でかつ軸線方向に沿って駆動可能な可動体と、この可動体の外周に磁気ギャップを介して同心状に配置された固定体とを備え、前記可動体は、シャフトと、このシャフトの一方の側に固定された回転用の可動子と、前記シャフトの他方の側に固定された直動用の可動子とを有し、前記固定体は、回転用の前記可動子を囲って設けられ、回転用の可動子との相互作用で回転用の可動子を回転させる回転用の固定子と、直動用の前記可動子を囲って設けられ、直動用の可動子との相互作用により前記軸線方向に直動用の可動子を駆動させる直動用の固定子とを有した回転直動モータであって、回転用の前記可動子と回転用の前記固定子との間の磁気回路での磁気抵抗値と、直動用の前記可動子と直動用の前記固定子との間の磁気回路での磁気抵抗値との間に差があり、前記磁気抵抗値の大きい側に生じた磁気吸引力よりも前記磁気抵抗値の小さい側に生じた大きな力の磁気吸引力により、直動用の前記可動子を、駆動前の状態に復帰させる方向に作用するようになっている。また、この発明に係る部品実装装置は、回転直動モータと、シャフトの先端部に取付けられ部品を吸引するノズルと、このノズルに接続され空気を吸引する空気吸引手段と、前記回転直動モータを前記基板に対して水平方向に移動させる水平方向駆動手段とを備え、直動用の固定子に通電して前記ノズルを降下してノズルに吸引された前記部品を前記基板上に載置した後、前記空気吸引手段による前記空気の吸引を解除するようになっている。この発明の回転直動モータによれば、回転用の可動子と回転用の固定子との間の磁気回路での磁気抵抗値と、直動用の可動子と直動用の固定子との間の磁気回路での磁気抵抗値との間に差があり、磁気抵抗値の小さい側に生じた磁気吸引力により、直動用の可動子を駆動前の状態に復帰される方向に作用するようになっているので、ばねを用いることなく、即ち大型化することなく、停電時やアラーム発生時に通電が強制的に止まった場合でも、シャフトが異常降下するのを防止することができる。また、この発明に係る部品実装装置によれば、回転直動モータの直動用の可動子には、駆動前の状態に可動子を常に復帰される方向に作用するようになっているので、例えば停電時やアラーム発生時に通電が強制的に止まった場合でも、シャフトが異常降下してノズルに吸着された部品を基板に衝突させ、部品、基板等を破損させるようなことを防止することができる。以下、この発明の回転直動モータの各実施の形態、及びこの回転直動モータを用いた部品実装装置について図に基づいて説明するが、各図において、同一または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1の回転直動モータを示す側断面図、図2は図1のIIII線に沿った矢視断面図、図3は図1のIIIIII線に沿った矢視断面図である。この実施の形態1の回転直動モータは、回転可能でかつ軸線方向に沿って移動可能な可動体1と、この可動体1の外周に磁気ギャップを介して同心状に配置された固定体2とを備えている。可動体1は、軸受3で両端部が支持されたシャフト4と、このシャフト4の上部の外周表面に固定された回転用の可動子5と、シャフト4の下部の外周表面に固定された直動用の可動子6とを備えている。シャフト4に対して回転用の可動子5、直動用の可動子6は例えば接着剤を用いて固定されている。回転用の可動子5は、円周方向に互いに異極となるように複数極に着磁された円弧状の回転用永久磁石7で構成されている。具体的には、回転用永久磁石7の着磁方向が矢印Aに示すようにラジアル方向に、かつ隣接した回転用永久磁石7で反対方向になるように配置されている。なお、回転用永久磁石7は、極異方配向とするようにしてもよい。直動用の可動子6は、磁性体である鉄製の直動用磁極9と、リング形状であって軸線方向に着磁された直動用の永久磁石8とが交互に軸線方向に沿って配置されて構成されている。直動用永久磁石8は、隣接した直動用永久磁石8が互いに異極とし、直動用永久磁石8の着磁方向が矢印Bに示すように軸線方向に沿って順次反対方向になるように配置されている。直動用永久磁石8は、例えばネオジム焼結磁石やネオジムボンド磁石などで出力を向上させてもよいし、フェライト磁石を適用することでレアアース使用量を削減し、コストの低減を行ってもよい。直動用磁極9の直動用永久磁石8に対する軸線方向の寸法比は、0.1~0.25程度とするのがよい。固定体2は、シャフト4が貫通した中空円筒形状のフレーム10と、このフレーム10の内壁面に固定され回転用の可動子5を囲った回転用の固定子11と、フレーム10の内壁面に固定され直動用の可動子6を囲った直動用の固定子12とを備えている。回転用の固定子11と回転用の可動子5とは、軸線方向の長さが等しい。直動用の固定子12は、その軸線方向の長さが直動用の可動子6と比較して短い。回転用の固定子11及び直動用の固定子12は、焼きばめ、接着等によりフレーム10に固定される。回転用の固定子11は、例えば複数の電磁鋼板を積層して構成され軸線方向に沿って延びたスロット間に形成されたティース14を有する回転用コア13と、各ティース14に導線が巻回され回転用コア13に巻装された回転用コイル15とを備えている。なお、電磁鋼板を積層することで渦電流損を低減する効果がある。直動用の固定子12は、円筒形状の直動用コアバック16と、この直動用コアバック16の内壁面に固定された複数のリング状の直動用コイル17とを備えている。直動用コアバック16は、その材質が例えば鉄や圧粉鉄心等の軟磁性材がよい。回転用の可動子5と回転用の固定子11との間の磁気回路での磁気抵抗値は、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間の磁気回路での磁気抵抗値と比較して小さい。即ち、回転用の可動子5と回転用の固定子11との間の磁気吸引力は、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間の磁気吸引力よりも大きい。この実施の形態の回転直動モータでは、直動用コイル17に通電すると、直動用コイル17には電磁力が発生し、この電磁力により直動用の可動子6には、下側方向に推力が作用し、シャフト4は下側に駆動する。このとき、直動用の可動子6は、全ストローク可動体1の駆動範囲において、直動用の固定子12の全面に常に対面しており、下側方向の推力は一定である。また、回転用の可動子5は、シャフト4を下側方向の駆動に伴い、回転用の固定子11と全面対面から部分対面に変化する。この移動中でも、図4に示すように、回転用の固定子11と回転用の可動子5との間には互いに引き合う矢印Cの磁気吸引力が作用する。この磁気吸引力に関しては、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間にも作用するものの、回転用の可動子5と回転用の固定子11との間の磁気回路での磁気抵抗値は、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間の磁気回路での磁気抵抗値と比較して小さい。従って、回転用の固定子11と回転用の可動子5との間の磁気吸引力の方が、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間での磁気吸引力よりも大きい。このため、回転用の固定子11と回転用の可動子5との間では、常に回転用の可動子5を回転用の固定子11側に復帰させようとするばね力に似た矢印D方向の復元力Dが作用している。なお、回転用の固定子11と回転用の可動子5との間で磁気吸引力を確実に発生させるためには、回転用の可動子5の軸線方向の長さを、シャフト4のストローク長さよりも長くし、シャフト4が最大ストローク長のときでも、回転用の可動子5は回転用の固定子11と部分的に対面させる必要がある。以上のように、この実施の形態1の回転直動モータは、回転用の固定子11と回転用の可動子5との間では、回転用の可動子5を回転用の固定子11側に常に復帰させようとするばね力に似た復元力が常に作用している。従って、別途ばねを用いることなく、停電時やアラーム発生時に直動用コイル17への通電が強制的に止まった場合でも、上記復元力により、回転用の可動子5は安定した初期の状態に戻る、即ち停電時やアラーム発生時にシャフト4が自重で所定以上に異常降下して生じる不都合を防止することができる。また、ばねを有する回転直動モータと比較して小型化される。実施の形態2.図5はこの発明の実施の形態2の回転直動モータを示す側断面図である。この実施の形態の回転直動モータでは、実施の形態1の回転直動モータと比較して、直動用永久磁石8の数が減って直動用の可動子6の長さが短くなり、また直動用コイル17の数が増え、直動用の固定子12の長さが長い。他の構成は、実施の形態1の回転直動モータと同じである。この実施の形態2の回転直動モータは、実施の形態1と同様に、直動用の可動子6の全ストロークにおいて直動用の可動子6の2個分の直動用永久磁石8が直動用の固定子12に常に対面しており、直動用の可動子6には下側方向に同じ値の推力が発生するものの、実施の形態1の回転直動モータと比較して、直動用の固定子12の直動用コイル17の数が多い分だけ銅損が大きくなる。しかしながら、この実施の形態では、直動用コイル17に通電し、シャフト4を下向きに直動させた場合に、実施の形態1の回転直動モータと比較して、直動用永久磁石8の数が少ないため、可動体1が軽量化され、シャフト4は迅速に下側方向に駆動する。なお、このとき、図6に示すように回転用の可動子5の一部が直動用の固定子12内に入り込むが、この回転用の可動子5と直動用の固定子12との間には相互作用が生じないので、このことでシャフト4の駆動に影響を与えることはない。さらに、回転用永久磁石7と直動用コアバック16との間の距離と、回転用永久磁石7と回転用コア13のティース14との間の距離とを比較した場合に、後者の方が小さく、実施の形態1と同様に回転用の固定子11と回転用の可動子5との間で磁気吸引力が発生する。即ち、実施の形態1と同様に、復元力が回転用の固定子11側であって回転用の可動子5に作用し、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。また、この実施の形態2の回転直動モータは、実施の形態1の回転直動モータと比較して軸線方向の全長を短くすることができる効果がある。以下、この効果について、実施の形態1の回転直動モータを示す図1と、実施の形態2の回転直動モータを示す図5とを比較して説明する。図1及び図5において、回転用の可動子5と回転用の固定子11とが対面する軸線方向の最大長さをX1、直動用の可動子6と直動用の固定子12とが対面する軸線方向の最大長さをX2、シャフト4のストローク長さをXs直動用永久磁石8の1個分とする。実施の形態1の回転直動モータでは、フレーム10の全長は、ストローク長さXs分だけ可動体1が動いてもフレーム10から回転用の可動子5及び直動用の可動子6が出ないためには、最低限X1X22Xsの長さが必要である。一方、実施の形態2の回転直動モータでは、その全長は、上記と同様に考えて、最低限X1X2Xsの長さ必要であり、実施の形態1のものよりもストローク長さXs分だけフレーム10の全長、つまり回転直動モータの全長を短縮することができる。実施の形態3.図7はこの発明の実施の形態3の回転直動モータを示す側断面図である。この実施の形態では、直動用コアバック16を回転用の固定子11側に延長し、その先端面を回転用コア13に当接している。他の構成は、実施の形態2の回転直動モータと同じである。この実施の形態では、回転用の可動子5は、回転用の固定子11とともに直動用コアバック16の上端部との間でも磁気吸引力が作用し、直動用の固定子12の直動用コイル17に通電して可動体1を下側方向に移動させた場合に、その移動に伴い回転用の可動子5と、回転用の固定子11及び直動用コアバック16の上端部との間の磁気吸引力による生じた回転用の可動子5に対する復元力は、円滑に変化し、回転直動モータの駆動時のシャフト4や、シャフト4がハンドリングしている部品への衝撃が低減される。また、フレーム10内に直動用コアバック16を組付ける際には、直動用コアバック16の先端面を回転用の固定子11の回転用コア13に当接すればよく、回転用の固定子11に対する直動用コアバック16の位置決めが簡単である。実施の形態4.図8はこの発明の実施の形態4の回転直動モータを示す側断面図である。この実施の形態では、実施の形態3の直動用コアバック16が削除されている。他の構成は、実施の形態3の回転直動モータと同じである。この実施の形態では、回転用の可動子5は、回転用の固定子11とともに鉄製のフレーム10との間でも磁気吸引力が作用し、直動用の固定子12の直動用コイル17に通電して可動体1を下側方向に移動させた場合に、その移動に伴い回転用の可動子5と、回転用の固定子11及びフレーム10との間の磁気吸引力による生じた回転用の可動子5に対する復元力は、円滑に変化し、回転直動モータの駆動時のシャフト4や、シャフト4がハンドリングしている部品への衝撃が低減される。また、直動用コアバック16が削減された分だけ部品点数が削減される。なお、直動用コアバック16を用いた実施の形態1~3の回転直動モータでは、フレーム10の材料としては、鉄を用いた場合と放熱性と軽量性を重視したアルミニウムを用いた場合とでは出力特性は変わらない。しかしながら、この実施の形態4の回転直動モータでは、フレーム10を鉄で構成することでフレーム10が直動用コアバック16の役割を果たすため、アルミニウムを用いた場合と比較して可動体1の出力特性がよい。実施の形態5.図9はこの発明の実施の形態5の回転直動モータを示す側断面図である。実施の形態14の回転直動モータでは、回転用の可動子5と回転用の固定子11とから構成された回転用モータ部は、直動用の可動子6と直動用の固定子12とから構成された直動用モータ部の上側に配置されているのに対して、この実施の形態では回転用モータ部は、直動用モータ部の下側に配置されている。また、直動用の固定子12は、円筒形状の直動用コアバック16と、この直動用コアバック16に内部に交互に積層された、リング状の、直動用コイル17及び直動用コア部18と、直動用コイル17及び直動用コア部18の内周面に装着した円筒形状の直動用コア部先端部19とを備えている。直動用の可動子6及び直動用の固定子12は、軸線方向の長さが等しい。また、回転用の固定子11については、積層された電磁鋼板からなる回転用コア13を用いずに回転用コイル15のみで構成している。回転用の可動子5は、その軸線方向の長さが回転用の固定子11と比較して短い。また、この実施の形態では、直動用の固定子12では、直動用コア部18及び直動用コア部先端部19を備えたことで、実施の形態14の回転直動モータと比較して直動用の可動子6と直動用の固定子12との間の磁気回路での磁気抵抗値が小さい。また、回転用の可動子5と回転用の固定子11との間の磁気回路での磁気抵抗値は、回転用コア13を除いた分、実施の形態14の回転直動モータと比較して回転用の可動子5と回転用の固定子11との間の磁気回路での磁気抵抗値と比較して大きい。即ち、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間の磁気吸引力は、回転用の可動子5と回転用の固定子11との間の磁気吸引力よりも大きい。この実施の形態では、直動用の可動子6は、駆動前は直動用の可動子6の全面が直動用の固定子12と対面しているが、下方向に移動するに伴い、直動用の固定子12と部分的に対面し、直動用の可動子6に作用する推力は低減する。一方、下側方向の回転用の可動子5は、全ストロークにおいて、回転用の固定子11の全面に常に対面している。この移動中でも、図10に示すように、直動用の固定子12と直動用の可動子6との間には互いに引き合う矢印Eの磁気吸引力が作用する。この磁気吸引力に関しては、回転用の可動子5と回転用の固定子11との間にも作用するものの、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間の磁気回路での磁気抵抗値は、回転用の可動子5と回転用の固定子11との間の磁気回路での磁気抵抗値と比較して小さいので、直動用の固定子12と直動用の可動子6との間の磁気吸引力の方が、回転用の可動子5と回転用の固定子11との間での磁気吸引力よりも大きい。従って、直動用の固定子12と直動用の可動子6との間に作用する矢印E方向の磁気吸引力により、直動用の可動子6を駆動前の状態に復帰させようとするばね力に似た矢印F方向の復元力が常に作用している。他の構成は、実施の形態1の回転直動モータと同じである。この実施の形態では、直動用コイル17に通電し下方向に可動体1を駆動すると、磁気吸引力は、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間で矢印Eに示すように発生する。実施の形態14の回転直動モータでは、直動用の可動子6は全ストロークにおいて直動用の固定子12と対面しており、下側方向の推力が一定であるのに対して、この実施の形態では、直動用の可動子6が最大ストローク時には、直動用の可動子6と直動用の固定子12との対面面積が最小となるために、出力可能な推力も最小となる。このものの場合も、直動用の可動子6と直動用の固定子12との間には、矢印Eに示すように磁気吸引力により直動用の可動子6と直動用の固定子12とが元の対面した状態に戻ろうとする力が発生するため、別途ばねを用いることなく、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。また、シャフト4は、回転及び直動の両方向のタクトタイムの向上が望ましいが、例えば部品実装装置に回転直動モータを適用した場合には、部品のハンドリングの際に障害物との衝突を避けるために、シャフト4の回転速度を上げるよりも直動速度を上げる方が望まれる。この実施の形態の回転直動モータは、回転用の固定子11については、回転用コイル15のみで構成しており、シャフト4の回転方向の推力が減少するものの、直動用の固定子12は、直動用コア部18及び直動用コア部先端部19を備えているので、直動用の可動子6に対する推力が向上することから、上記部品実装装置に適している。また、実施の形態14の回転直動モータでは、回転用の可動子5と回転用の固定子11との軸線方向の長さが等しく、回転用の可動子5の長さよりも直動用の可動子6のストローク長さが長い場合には、直動用の可動子6を直動用の固定子12側に復帰させようとする復元力が作用しないが、この実施の形態では、回転用の可動子5の長さよりも直動用の可動子6のストローク長さが長い場合でも常に直動用の可動子6を直動用の固定子12側に復帰させようとするばね力に似た復元力Fが常に作用している。ただし、この場合には、回転用の固定子11と回転用の可動子5とが対面しない場合には、シャフト4にトルクを発生させることができない領域が存在することとなる。なお、磁気吸引力は多少低下するが、部品点数削減のため、直動用コア部先端部19を削除した図11の回転直動モータでもほぼ同等の効果が得られる。実施の形態6.図12はこの発明の実施の形態6の回転直動モータを示す側断面図である。上記実施の形態1~4では、直動用の可動子6のストロークの全範囲で最大推力が出力できるように直動用永久磁石8及び直動用コイル17が配置されている。即ち、ストロークの全範囲で直動用の可動子6と直動用の固定子12との対面面積が一定になるように配置されている。一方、この実施の形態では、直動用の可動子6と直動用の固定子12との軸線方向の長さが等しく、可動体1の駆動に伴い、直動用の可動子6が直動用の固定子12と対面しない領域が生じる。タクトタイム向上のためには直動用の可動子6の駆動加速度を大きくすることが重要であり、F=maの関係から推力を大きくする必要がある。しかし、この実施の形態の回転直動モータでは、回転用の固定子11と回転用の可動子5との間には互いに引き合う磁気吸引力が作用し、直動用の可動子6には常に可動体1の駆動前の状態に戻そうとする復元力が作用しており、加速度を一定とする場合、この復元力の分だけ、直動用の可動子6で発生させるのに必要な推力が低減する。即ち、図12に示すように、可動体1の駆動前の回転用の可動子5と回転用の固定子11とが対面している状態では、全面で対面し最大推力を発生させ、最大ストローク時には直動用の可動子6が直動用の固定子12の一部しか対面させない構造としても、加速度を一定で駆動させることができる本願出願人が出願した特許番号特許第4772625号参照。従って、このような構成とすることで、直動用の可動子6の長さを低減することが可能であり、部品点数削減やコイル数減による銅損低減が可能となる。実施の形態7.図13はこの発明の実施の形態7の回転直動モータを示す側断面図である。この実施の形態は、実施の形態6の回転直動モータにおける、回転用モータ部と直動用モータ部との位置が替わっている例であり、直動用の固定子12と直動用の可動子6との間には互いに引き合う磁気吸引力が作用し、直動用の可動子6には常に可動体1の駆動前の状態に戻そうとする復元力が作用している。この実施の形態の回転直動モータは、例えば部品実装装置に適用した場合には、直動の可動子6が最大ストローク最下位置の場合は、部品を拾い上げる位置に相当するため、多くはシャフト4の回転動作は行わない。このため、図13に示すように回転用の可動子5と回転用の固定子11の長さを等しくし、直動用の可動子6の最大ストロークの位置において回転用の可動子5と回転用の固定子11との対面面積が減少して最大トルクが低減する構成としても問題はない。即ち、このような構成とすることで回転用の可動子5の長さを低減することが可能であり、回転用コイル15の長さ低減による銅損低減や小型化による材料費削減が可能となる。実施の形態8.図14はこの発明の実施の形態8の回転直動モータを示す直動用の可動子6の側面図である。これまでの実施の形態17では、直動用の可動子6は、直動用永久磁石8と直動用磁極9とが交互に配置されているが、この実施の形態では、図15に示す、リング状の直動用永久磁石20を互いに異極となるように配置されている。直動用永久磁石20は、矢印Gに示すようにラジアル配向のリング磁石であり、隣接した直動用永久磁石20は、矢印Gと反対方向に着磁されており、それぞれの直動用永久磁石20の外周は同一極となり、これまでの実施の形態と同様に可動体1を軸線方向に駆動させることができる。また、直動用磁極9が不要となり、部品点数を低減できる。実施の形態9.図16はこの発明の実施の形態9の回転直動モータを示す直動用の可動子6の側面図、図17は図16の側断面図である。この直動用の可動子6は、図17の矢印Hに示すようにラジアル方向に着磁された主磁石21と、矢印Iに示すように軸線方向に着磁された補磁石22とから構成されている。互いに隣り合う主磁石21と補磁石22とは、異極となり、かつ所謂ハルバック配列となるようにシャフト4の周りに配置されている。主磁石21の軸線方向の寸法と補磁石22の軸線方向の寸法との比は、2:1程度とするのがよい。このように、直動用の可動子6をハルバック配列を用いた構成とすることで、空隙磁束密度が向上する。つまり、推力同等の場合では損失が低減し、損失同等の場合は小型化が可能となりコスト低減が可能となる。実施の形態10.図18は上記実施の形態19の回転直動モータが、基板に部品を実装する部品実装装置に適用したブロック図、図19は回転直動モータが水平移動する方向を示す図である。この部品実装装置は、回転直動モータと、シャフト4の先端部に取付けられ部品図示せずを吸引するノズル23と、このノズル23に接続され空気を吸引する空気吸引手段24と、前記回転直動モータを基板27に対して水平方向に移動させる水平方向駆動手段とを備えている。この水平方向駆動手段は、基板27に対してX方向に回転直動モータを移動させるX方向駆動手段25と、このX方向に対して直交したY方向に回転直動モータを移動させるY方向駆動手段26とを備えている。次に、この部品実装装置の操作手順について説明する。最初に空気吸引手段24を駆動してノズル23の先端部に部品を吸着させた状態で、X方向駆動手段25及びY方向駆動手段26を駆動させ、基板27上の所定の位置に部品をハンドリングする。その後、直動用の固定子12の直動用コイル17に通電してシャフト4を降下させ、部品を基板27上に載置する。このとき、基板27上での部品の位置を調整する場合には、回転用コイル15に通電して、シャフト4を回転させればよい。次に、空気吸引手段24による空気の吸引を解除して、ノズル23から部品を切り離す。最後に、直動用の固定子12の直動用コイル17にシャフト4の降下のときと反対方向に電流を流してシャフト4を上昇させ、再びX方向駆動手段25及びY方向駆動手段26を駆動させて、回転直動モータを元の位置に戻す。なお、上記部品実装装置は、その実装能力を向上させるためには、搭載する回転直動モータを狭い間隔で多数並べることが重要である。このために、径が10mmφ程度で全長が200mm程度のような細長い形状の回転直動モータが適している。また、フレーム10は、隣接した回転直動モータ同士の磁気的干渉を防止するために鉄が好ましい。また、この部品実装装置は、シャフト4を回転させて部品の向きを微調整するための出力よりも、シャフト4により部品を上下動させるための出力を向上させる方が実装能力の向上に寄与すること大である。この部品実装装置によれば、別途ばねを用いることなく、停電時やアラーム発生時に直動用コイル17への通電が強制的に止まった場合でも、直動用の可動子5,6には駆動前の状態に復帰させる復元力が常に作用している。従って、シャフト4が自重により所定以上に異常降下して、基板にノズル23に吸着された部品を衝突させ、部品、基板を破損させるようなことを防止することができる。また、シャフト4の異常降下を防止する機能を備えつつ、従来必要としたばねのメンテナンス不要でかつ小型化を図ることができる。"