両端が開放されるとともに、側面に外部と連通するガス導入口またはガス排出口を1箇所以上備え、内部にガスを流通させる測定空間を有する筒状部材と、前記測定空間に反射面を対向させて設置される2枚の平面鏡と、前記測定空間内のガスに照射される光を出射させる光源と、前記照射光を前記平面鏡の間で1回以上往復させた後の光を導入させる光検出器と、から構成されるガスセルを備えた吸光分析装置において、前記2枚の平面鏡が、中間部材の両端に平行に固定された平面鏡ユニットを構成するとともに、前記平面鏡ユニットを前記測定空間内に配置することを特徴とする吸光分析装置。前記中間部材が、筒状部材または3個以上の同寸法の支柱によって構成されたことを特徴とする請求項1に記載の吸光分析装置。前記平面鏡ユニットが、前記測定空間を構成する部材の一端に弾性体によって押し付けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の吸光分析装置。前記平面鏡ユニットが装着される前記測定空間の挿入深さより、平面鏡ユニットの高さが高いことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の吸光分析装置。前記平面鏡ユニットが装着される前記測定空間に、回転方向の位置決め機構を備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の吸光分析装置。しかしながら、例えば、半導体製造装置のガス配管等に上記のようなガスセル400を取り付ける場合、一般的に、セル本体410は配管に組み込まれて容易に取り外せない状態となる。また、半導体製造装置等を小型化する観点から、一般に、セル本体410が取り付けられた配管の周辺は種々の配管や装置が密集した状態となっており、セル本体410の両側図5中では上側と下側に広い作業空間を確保するのは困難である。そのため、従来の光反射型ガスセルを備えた吸光分析装置において上記反射鏡の交換等のメンテナンス作業を行う際には、作業者が、セル本体410の両側の狭い空間内でドライバー等の工具を用いて上蓋420固定用のネジ470及びベース430固定用のネジ460の取り付け及び取り外しを行わなければならないため、作業負担が大きかった。また、セル本体410および上蓋420が強度的に弱い場合、例えば、セル内を真空にした場合セル本体410および上蓋420に変形が生じ、2枚の平面鏡の距離および平行位置関係がずれることが想定されるためセル本体410および上蓋420等に充分な強度が必要であった。本発明は、上記の点に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、上述のごときガス分析装置の設置環境において、反射鏡や板状部材の着脱作業を行う作業者の負担を軽減すること、並びに、セル本体に要求される加工精度や強度要求を緩和できるガスセルを提供することにある。上記課題を解決するために、本発明は、両端が開放されるとともに、側面に外部と連通するガス導入口またはガス排出口を1箇所以上備え、内部にガスを流通させる測定空間を有する筒状部材と、前記測定空間に反射面を対向させて設置される2枚の平面鏡と、前記測定空間内のガスに照射される光を出射させる光源と、前記照射光を前記平面鏡の間で1回以上往復させた後の光を導入させる光検出器と、から構成されるガスセルを備えた吸光分析装置において、前記2枚の平面鏡が、中間部材の両端に平行に固定された平面鏡ユニットを構成するとともに、前記平面鏡ユニットを前記測定空間内に配置するものである。本発明は、前記中間部材が、筒状部材または3個以上の同寸法の支柱によって構成されてもよい。本発明は、前記平面鏡ユニットが、前記測定空間を構成する部材の一端に弾性体によって押し付けられることが望ましい。また、本発明は、前記平面鏡ユニットが装着される前記測定空間の挿入深さより、平面鏡ユニットの高さが高いことが望ましい。本発明は、前記平面鏡ユニットが装着される前記測定空間に、回転方向の位置決め機構を備えることが望ましい。あらかじめ平面鏡を2枚組み合わせた平面鏡ユニットを着脱作業時の最終単位とすることにより、セル本体を外すことなく、上蓋を外すのみで片側から平面鏡ユニットの着脱が可能となる。また、平面鏡ユニットは、ねじによる固定ではなくばねによる押し付け力でセットされているため、上蓋を外すと同時にフリーとなり、即着脱作業に入ることができる。さらに、平面鏡ユニットは、装着個所の挿入深さより高さが高いため上蓋を外すと同時に、平面鏡ユニットの一端が頭を出している図1中の寸法hためその個所を把持しての作業が可能となる。また、平面鏡ユニットは、装着個所に挿入後ゆっくりと回転させていくと、回転方向位置決めピンにはまり込み所定位置へセットできるため、作業者への作業負担が軽減される。また、本発明では、あらかじめ2枚の平面鏡の距離および平行度が高精度に保持された平面鏡ユニットを作っておき、その平面鏡ユニットが基準面図1中の面Sに一定のばね押し付け力により装着されるため、例えば、セル内を真空にした場合でも、セル本体の変形の影響を受けることなく、2枚の平面鏡の高い精度の寸法および平行位置関係を保持することができる。したがって、セル本体に対する寸法精度要求、強度要求を緩和することができるのでコストダウンが可能となる。以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。図1は、本発明に係るガスセルを備えた吸光分析装置の構成の概要を示したものであり、aに縦断面図、bに上面図A-A断面図を示す。なお、以下では、図1を基準に上下前後左右を定義するが、本発明はこれに限定されるものではない。本実施例に係る吸光分析装置101は、ガスセル100内でレーザ光の多重反射を行い、該レーザ光の減衰からガス中の所定成分例えば水分の濃度を計測するものである。本実施例に係る吸光分析装置は、大きく分けてガスセル100と光学ユニット200から構成されており、更に、ガスセル100は、セル本体110、上蓋120、ベース130、および平面鏡ユニット160を含む。セル本体110は、上端及び下端が開放された筒状部材111と、筒状部材111の周面両側に接続されたガス導入口112及びガス排出口113を備える。筒状部材111の空間がガスセル100における測定空間114として機能する。平面鏡ユニット160は、第1反射鏡140、第2反射鏡150およびパイプ状中間部材180によって形成され、測定空間114に装着される。第1反射鏡140及び第2反射鏡150は、いずれも円形の平面鏡であり、両端面の距離および平行度が高精度に保持されたパイプ状中間部材180の両端面に皿ねじ173により固定されている。平面鏡ユニット160は、ベース130に設置された位置決めピン135、136が第2反射鏡150の嵌め合い孔153a、153bに嵌まり込むことにより回転方向の所定角度に拘束され、さらに、板ばね190によってベース130の面Sに押し付けられ所定位置に保持される。すなわち、位置決めピン135、136と嵌め合い孔153a、153bは平面鏡ユニット160を、回転方向の決まった位置に設置するための位置決め機構となる。したがって、例えば、セル内を真空引圧してセル本体110に変形が生じた場合でも、その変形は板ばね190により吸収されるため、セル本体110の変形による影響を受けることなく、平面鏡ユニット160の、第1反射鏡140及び第2反射鏡150の距離および平行位置関係は保持される。ガス導入口112及びガス排出口113は測定空間114と連通しており、ガス導入口112から導入されて測定空間114を通過した測定対象ガスが、パイプ状中間部材180の孔180aおよび180bを通ってガス排出口113より排出される構成となっている。上蓋120及びベース130は、それぞれ筒状部材111の上方及び下方に配置される円盤状の部材であり、ねじ170、171でそれぞれ筒状部材111と結合されている。ベース130には、測定空間114に光を導入するための光導入口132a、及び測定空間114から光を導出するための光導出口132bが形成されており、第2反射鏡150には、前記光導入口132a及び光導出口132bに対応する位置にそれぞれ貫通孔151a、151bが形成されている。光導入口132a及び光導出口132bには、シール用に透明な窓板133a、133bが設置されており、窓板133a、133bは押さえリング134a、134bによってベース130に固定されている。光学ユニット200は、半導体レーザ等から成る光源210、光検出器220、及びこれらを収容する筐体230を備えており、筐体230は図示しないネジ等によってベース130の下面に固定される。以上のような構成から成るガス分析装置において、光源210から出射された光は窓板133a、光導入口132a、及び貫通孔151aを通って測定空間114内に入り、対向配置された第1反射鏡140と第2反射鏡150の間で多重反射された後、貫通孔151b、光導出口132b、及び窓板133bを通ってガスセル100の外に出て光検出器220に入射する。光検出器220では、入射した光が電気信号に変換され、該電気信号は公知の信号処理回路図示略によって処理される。続いて、上記ガスセル100における平面鏡ユニット160の交換手順について説明する。図2は、前記実施例に係るガスセルにおいて、上蓋120を外した状態を示す。図1に示すガスセルから、ねじ171、上蓋120および板ばね190を取り外すと平面鏡ユニット160がセル本体110より寸法h図2参照だけ頭を出した状態となる。この突出部分をつかんで平面鏡ユニット160の着脱作業が可能である。また、図示していないが平面鏡ユニット160の持ち運びのため第1反射鏡140の上面に凸部や取手部を設けてもよい。図3は、本発明の変形実施例に係るガスセルに装着される平面鏡ユニットの構成の概要を示したものである。aに正面図A-A断面図、b上面図にB-B断面図を示す。平面鏡ユニット165は、第1反射鏡142、第2反射鏡152および支柱181a、181b、181cおよび181d、皿ねじ172によって形成される。4個の前記支柱は、同時に一体加工され、支柱の両端面の距離および平行度は同一に保持されている。なお、第2反射鏡152は、貫通穴152a、152bおよび嵌め合い孔154a、154bを備えている。平面鏡ユニット165は、前記平面鏡ユニット160と同様に、あらかじめ一体型のユニットとして形成され、セル本体110への着脱作業が行われる。なお、支柱の数は4個に限定するものではなく3個以上であればよく、形状も角形に限定するものではない。以上、実施例を用いて本発明を実施するための形態について説明を行ったが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で適宜変更が許容されるものである。例えば、セルのガス導入口は必ずしも入口と出口と2箇所必要ではなく、チャンバーなどの側面に直に取り付ける場合は1箇所でも良い。図4に本発明に係るガスセルを備えた吸光分析装置の構成の変形例として、ガス導入口が1箇所の場合を示す。吸光分析装置301の一部を構成するガスセル300、ガスセル300の一部を構成するセル本体310、セル本体310の一部を構成する筒状部材311は1箇所のガス導入口312を備えている。また板ばね190は、板状のばねに限定するものではなく、他の弾性体でもよい。なお、図1~図4において同一符号を付したものは、同一物を表わし同一機能を有するものである。また、図1~図4において、実際の構成ではガス漏れを防ぐための気密シール材としてOリングやガスケット等を各部材間に使用するが、本図においては省略している。