ターゲット物質を内部に収容したリザーバと、前記リザーバの内部に配置されたヒータであって、前記リザーバの内部に収容されたターゲット物質を加熱して溶融させる前記ヒータと、前記ヒータに電流を供給するヒータ電源と、前記リザーバの内部において溶融したターゲット物質を外部に出力するターゲット出力部と、を含むターゲット供給装置。前記ヒータは電流によってジュール熱を発生する抵抗素子を含む、請求項1記載のターゲット供給装置。前記リザーバの周囲を外部から遮蔽する遮蔽部材であって、前記ターゲット出力部から出力されたドロップレットが通過する貫通孔を有する前記遮蔽部材をさらに含む、請求項1記載のターゲット供給装置。前記遮蔽部材の内面に、前記リザーバよりも赤外線の反射率が高い反射部が形成されている、請求項3記載のターゲット供給装置。前記遮蔽部材の内部の圧力は、大気に対して低圧である、請求項3記載のターゲット供給装置。前記遮蔽部材の内部は、前記貫通孔を介して、大気に対して低圧であるチャンバ内に連通している、請求項3記載のターゲット供給装置。ターゲット物質を内部に収容したリザーバと、前記リザーバの外部に配置された赤外線ヒータであって、前記リザーバの内部に収容されたターゲット物質を放射熱によって溶融させる前記赤外線ヒータと、前記赤外線ヒータに電流を供給するヒータ電源と、前記リザーバの内部において溶融したターゲット物質を外部に出力するターゲット出力部と、を含むターゲット供給装置。前記リザーバの赤外線の透過率は、前記ターゲット物質の赤外線の透過率より高い、請求項7記載のターゲット供給装置。ターゲット物質を内部に収容したリザーバと、前記リザーバの外部に配置された誘導加熱ヒータであって、前記リザーバの内部に収容されたターゲット物質を誘導加熱によって溶融させる前記誘導加熱ヒータと、前記誘導加熱ヒータに高周波電流を供給する高周波電源と、前記リザーバの内部において溶融したターゲット物質を外部に出力するターゲット出力部と、を含むターゲット供給装置。前記誘導加熱ヒータは、前記リザーバの周囲に巻き付けられたコイルを含む、請求項9記載のターゲット供給装置。