室内の空気をコンプレッサーにより5~8気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第1の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第2の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第3の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法。前記第3の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素水除去管を通過させる第4の工程が含まれる請求項1に記載の高純度窒素ガスの精製方法。前記第2の工程後で、第3の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれる請求項1又は請求項2に記載の高純度窒素ガスの精製方法。室内の空気をコンプレッサーにより5~8気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップを2段直列し、次にオイルミストラップに連結し、次に水分離膜内蔵管に連結し、次に炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管に少なくとも反復連結し、次に微量不純物除去管および微量酸素水除去管に連結した、高純度窒素ガスが連続的に供給される装置。本発明は、ガスボンベを使用せずに99999以上の超高純度窒素ガスを製造することを課題とする。<1>本発明は、室内の空気をコンプレッサーにより5~8気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第1の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第2の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第3の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法である。<2>前記第3の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素水除去管を通過させる第4の工程が含まれることが好ましい。<3>前記第2の工程後で、第3の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれることが好ましい。<4>さらに本発明は、室内の空気をコンプレッサーにより5~8気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップに連結し、次に水分離膜内蔵管に連結し、次に有機物燃焼触媒管および吸湿剤管に連結し、次に炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管に少なくとも反復連結し、次に微量不純物吸着管および微量酸素水除去管に連結した、高純度窒素ガスが連続的に供給される装置。本発明により、99999以上の超高純度窒素ガスを、ガスボンベを使用せずに製造することができる。高圧窒素ボンベを使用しないことにより、大幅にコストが縮減されるほかに、研究所事業所等における安全管理へも貢献できる。また、離島、遠隔地等ガスボンベの頻繁な運搬に適さない場所においても、超高純度窒素ガスの簡易な利用を可能とする。本発明は、酸素窒素分離膜を用いて精製した99程度の窒素純度のガスを、酸素のさらなる除去のため、残留酸素と混入しているメタン等の有機物との燃焼反応を活用することとし、この燃焼過程で発生する水もまた、分離膜で除去することを特徴とする。以下本発明の実施の態様について詳説する。本発明の窒素ガス精製方法について、工程の概念図を図1に示した。図1において隣接する管の間に往復の矢印がある場合は、管の順序が前後することが許されることを示し、吸湿剤管から炭化水素除去管への外周の矢印は反復処理を示す。図1に示す本精製工程は、室内の空気に対して酸素、水、炭化水素を完全に除去することができる。以下本発明について工程の各処理を説明する。<コンプレッサーによる空気の圧縮>室内の空気を用い、コンプレッサーを使用して、5~8気圧に空気を圧縮する。コンプレッサーは空気を5~8気圧に圧縮できるものであれば、いずれのコンプレッサーも使用することができるが、オイルミストの混入を避けるためにオイルフリーのコンプレッサーが好ましい。該圧縮された空気に対して以下の処理を行うが、圧縮空気の圧力により、一の処理から次工程への空気は通気管の連結のみで自動的に送られる。また圧縮空気の通気管としては、不純物の残留を防ぎ、触媒等加熱処理後のガスの冷却のために、外径3mm~10mmのステンレス製管乃至ポリテトラフルオロエチレン製管を用いることが好ましく、316ステンレスを用いることがより好ましい。<モイスチャートラップによる水分の除去>前記により圧縮した空気から、モイスチャートラップにより水分を除去する。本発明のモイスチャートラップは、5μmまでのダストが除去できるモイスチャートラップであり、ろ過度05μm以下のポリプロピレン製エレメントを有していることが好ましく、CKD社製、商品名;F3000型が特に好ましい。該モイスチャートラップを用いるときは、2段直列とすることが好ましい。<オイルミストラップによる油分の除去>前記モイスチャートラップにより水分が大まかに除去された圧縮空気について、オイルミストラップにより油分を除去する。本発明のオイルミストラップは、油分を001mgm3以下まで除去できる機能を有するオイルミストラップであり、ろ過度001μm以下の繊維フィルターを備えることが好ましく、CKD社製、商品名;M3000型が特に好ましい。なお当該モイスチャートラップによる水分の除去と前記オイルミストラップによる油分の除去は処理工程順序が異なっても構わない。<水分離膜内蔵管による乾燥空気精製>前記モイスチャートラップ及びオイルミストラップにより水分及び油分が除去された圧縮空気について、水分離膜内蔵管を用いることにより乾燥空気を精製する。本発明の水分離膜は、前記圧縮空気について水分を更に出口空気露点30°C以下まで除去し得るものであり、孔径が450~550μmの芳香族ポリイミド製の中空糸膜を備えることが好ましく、中でも宇部興産製、商品名;UMSB2Vが特に好ましい。<炭化水素除去管による微量有機物除去>前記水分離膜内蔵管を用い、出口空気露点30°C以下の乾燥空気について、炭化水素除去管を用い、微量の残存有機物を吸着により除去する。本発明の炭化水素除去管は、径2~6mmの顆粒状活性炭が充填され、微量の残存有機物を吸着除去する炭化水素除去管であり、中でも島津製作所製、商品名;2210561901が特に好ましい。<酸素窒素分離膜内蔵管による酸素除去>前記、炭化水素除去管を用い、微量の残存有機物が吸着除去された乾燥空気について、酸素窒素分離膜内蔵管を用いることにより酸素を除去する。本発明の酸素窒素分離膜内蔵管は、孔径が450~550μmのポリイミド製の中空糸製分離膜を備えた管であり、中でも宇部興産製、商品名;UBENMB01Aが特に好ましい。<反復処理>前記酸素窒素分離膜による酸素除去処理後の圧縮空気について、少なくとも前記炭化水素除去管による微量有機物除去及び酸素窒素分離膜内蔵管による酸素除去の処理を反復する。以上の処理により、窒素の純度が99.999の空気を得ることができる。前記酸素窒素分離膜内蔵管による酸素除去処理後の圧縮空気について、下記の有機物燃焼触媒管による有機物除去と吸湿剤管によるCO2吸着除去とを行うことが好ましい。当該両処理を行うことにより、炭化水素除去管及び酸素窒素分離膜内蔵管の寿命を延ばすことができ、コスト削減となる。なお前記炭化水素除去管による微量有機物除去及び酸素窒素分離膜内蔵管による酸素除去の反復処理は、下記有機物燃焼触媒管による有機物除去と吸湿剤管によるCO2吸着除去との処理を含めて行うことが更に好ましい。<有機物燃焼触媒管による有機物除去>前記酸素窒素分離膜内蔵管による酸素除去処理後の圧縮空気について、有機物燃焼触媒管を用いることにより、炭化水素を焼却除去する。本発明の有機物燃焼触媒管は、粒径1~3mmのアルミナ処理を施した白金触媒を充填した燃焼管であり、中でも島津製作所製、商品名;HCトラップが特に好ましい。本過程により炭化水素が焼却除去された空気には、燃焼により発生するCO2、H2Oが含まれる。<吸湿剤管によるCO2吸着除去>前記有機物燃焼触媒管を用い炭化水素が除去された空気について、吸湿剤管を用いることにより、水、CO2を吸着除去する。本発明の吸湿剤管は、モレキュラーシーブ5Aが充填された吸湿剤管であり、再生可能な機能を有する吸湿剤管がより好ましく、中でも島津製作所製、商品名;A110002001が特に好ましい。前記により得られる窒素純度が99.999の空気をさらに超高純度とするために、以下の処理を行うことが好ましい。<微量酸素水除去管による酸素水除去>前記窒素純度が99.999の圧縮空気について、微量酸素水除去管を用いることにより、残存する微量の酸素水を吸着により除去する。本発明の微量酸素水除去管は、Nanochem樹脂が充填され、残存する微量の酸素水を吸着除去する除去管であり、中でもSUPELCO製、商品名;OMI4が特に好ましい。<微量不純物吸着管による微量成分除去>前記微量酸素水除去管により、残存する微量の酸素水が吸着除去された圧縮空気について、微量不純物吸着管を用いることにより、残存する微量の成分を除去する。本発明の微量不純物吸着管は、ジルコニウムが充填され、残存する微量の成分を除去する除去管であり、中でもSUPELCO製、商品名;23800Uが特に好ましい。なお、前記微量酸素水除去管による酸素水除去と微量不純物吸着管による酸素水除去の処理工程は、処理工程順序が異なっても構わない。前記の各処理により窒素の純度は、希ガスを除き99.9999以上となり、O2の濃度はECDGCの検出下限以下となる。なお前記微量不純物吸着管による有機物除去又は微量酸素水除去管による酸素水除去のうち後の処理工程には、1ppmのO2を検出する能力を有する酸素インジケーターを付属させることが好ましい。前記酸素インジケーターのフィルターが変色していないことにより、精製された窒素ガスのO2濃度が1ppm以下であることを認識できる。前記の各処理を直列に接続することにより、99.9999以上の高純度精製窒素を得ることができる。また本過程終了後の空気は、200~400kPaで直接ガスクロマトグラフへ等への供給が可能である。なお、大気中の主要成分のうち、アルゴンは元素であるため、原理的に化学反応による除去は不可能であるが、ガスクロマトグラフィーにおいては、検出感度に影響しない。本発明について、以下の実施例でさらに具体的に説明するが、本発明は実施例の記載に限定されるものではない。<STEP1空気の圧縮>室内の空気から、日立ベビコン社製、商品名;無給油式スーパーオイルフリーコンプレッサー、型式;04LE8Sを使用し、圧縮空気出力を600kPaの圧縮空気を製造して、以下の各処理に用いた。圧縮空気の通気管としては外径5mmの316ステンレス製管を用いた。<STEP2モイスチャートラップによる水分の除去>前記の圧縮空気を、モイスチャートラップとしてCKD社製エアフィルター、商品名;F3000型を2段直列に用い、水分を除去した。<STEP3オイルミストラップによる油分の除去>前記STEP2後の圧縮空気を、オイルミストラップとしてCKD社製エアフィルター、商品名;M3000型を用い、油分を除去した。<STEP4水分離膜内蔵管による乾燥空気精製>前記STEP3後の圧縮空気を、水分離膜を用いることにより水分を完全に除去した。該水分離膜としては、宇部興産製、商品名;UMSB2Vを用いた。<STEP5炭化水素除去管による微量有機物除去>前記STEP4後の圧縮空気を、活性炭を充填した炭化水素除去管を用いることにより、微量の残存有機物を吸着により除去した。該活性炭充填管として、島津製作所製、商品名;2210561901を用いた。本処理により、窒素の純度が9999残存O2量001の空気が得られた。<STEP6酸素窒素分離膜内蔵管による酸素除去>前記STEP5後の圧縮空気を、酸素窒素分離膜内蔵管を用いることにより、残存酸素を膜分離により除去した。該酸素窒素分離膜内蔵管として、宇部興産製、商品名;NMB01Aを用いた。<STEP7有機物燃焼触媒管による有機物除去>前記STEP6後の圧縮空気を、有機物燃焼触媒管を用いることにより、炭化水素を焼却除去した。有機物燃焼触媒管として、島津製作所製、商品名;HCトラップを用いた。<STEP8吸湿剤管によるCO2吸着除去>前記STEP7後の圧縮空気を、吸湿剤管を用いることにより、CO2を吸着により除去した。吸湿剤管として、島津製作所製、商品名;A110002001を用いた。<STEP9~12反復処理>前記STEP8後の圧縮空気について、前記STEP5からSTEP8までの処理を、反復処理した。該反復処理により、窒素の純度が99.999の空気が得られたが、0.001のO2が残存した。また本処理後の圧縮空気の出力は、400kPaであった。<STEP13微量不純物吸着管による微量成分除去>前記反復処理後の圧縮空気について、微量不純物吸着管を用いることにより、残存する微量の成分を除去した。該微量不純物吸着管として、SUPELCO製、商品名;23800Uを用いた。本処理により窒素の純度は、希ガスを除き99.9999以上となり、O2の濃度は0.0001と推定された。<STEP14微量酸素水除去管による酸素水除去>前記STEP13後の圧縮空気を、酸素窒素分離膜を用い残存酸素を除去した。該酸素窒素分離膜として、酸素インジケーター付きのSUPELCO製、商品名;OMI4を用いた。前記微量酸素水除去管処理により、前記酸素インジケーターのフィルターが変色しないことから、窒素の純度が99.9999以上の精製窒素ガスが得られ、O2の濃度はECDガスクロマトグラフの検出下限以下であった。前記のSTEP0からSTEP14までの処理を行うことにより、99.9999以上の高純度窒素ガスが、300kPaの圧力で、直接ガスクロマトグラフへ供給されることができた。