"基板上に形成されている第1の電極上に電気機械変換膜の原料の成分を含む溶液を塗布する第1の塗布工程と、塗布された前記溶液の膜上に所定のパターンに形成されたフォトレジストを設置し、前記フォトレジストで被覆されずに剥き出しになっている部分に塗布された前記溶液の膜をエッチングで除去するエッチング工程と、前記フォトレジストを取り除き前記エッチング工程によりエッチングされた跡の第1の電極上の部分に電気機械変換膜を形成するための原料を含む電気機械変換膜液を塗布する第2の塗布工程と、第1の電極上の前記電気機械変換膜液の膜にレーザ光を照射しながら走査して熱処理を行う熱処理工程とを有する電気機械変換膜の製造方法において、前記熱処理工程では、前記電気機械変換膜液の膜の形状に合わせて形成され、かつ前記レーザ光を通過させる透過領域と、前記電気機械変換膜液の膜以外に対しては前記レーザ光を遮光する遮光領域とを有するマスクを用い、前記電気機械変換膜液の膜の形状に前記透過領域の形状を合わせ、かつ前記電気機械変換膜液の膜以外の形状に前記遮光領域の形状を合わせて前記マスクを設置し、少なくとも前記透過領域を含むように前記レーザ光を照射することを特徴とする電気機械変換膜の製造方法。請求項1記載の電気機械変換膜の製造方法において、走査方向は一方向であることを特徴とする電気機械変換膜の製造方法。請求項1又は2に記載の電気機械変換膜の製造方法において、前記塗布工程及び前記熱処理工程の各工程を繰り返して所望の膜厚の電気機械変換膜を製造するとき、前記各熱処理工程で用いる前記マスクは同じものであることを特徴とする電気機械変換膜の製造方法。電気機械変換素子の製造方法であって、請求項1~3のいずれかに記載の電気機械変換膜の製造方法により、前記第1の電極上に所定膜厚の電気機械変換膜を形成した後、その第1の電極上に形成した電気機械変換膜を挟むように第2の電極を配置する第2電極配置工程を有することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。請求項4記載の電気機械変換素子の製造方法によって製造されたことを特徴とする電気機械変換素子。請求項5の電気機械変換素子を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項6の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。しかしながら、上記特許文献1の製造方法における上記レーザ光照射による熱処理工程では、下部電極上の所定部分に形成された上記PZT液の膜のみにレーザ光を走査しながら照射し、上記エッチングがされずに残っている上記PZT溶液の膜の部分にレーザ光が照射されないようにしなければならない。これは次の理由による。上記エッチングがされずに残っている上記PZT溶液の膜の部分にレーザ光が照射されてしまうと、照射された上記PZT溶液の膜が除去されてしまう。所望の膜厚を有する所望のパターンの電気機械変換膜を得ようとする場合、上記熱処理工程までの製造工程を一度行うことで所望の膜厚の電気機械変換膜を得ようとすると上記熱処理工程において所定の温度より高い温度でのレーザ光による熱処理を行って膜全体を乾燥させるので、レーザ光が当たる電気機械変換膜の表面の温度が内部の温度に比べて非常に高くなる。そして、電気機械変換膜の内部全体に温度差分布が形成されてしまい電気機械変換膜にクラックが発生し易くなる。このクラックの発生を軽減するために、上記レーザ光照射による熱処理工程まで終えて形成された電気機械変換膜の上部に上記PZT液を滴下して塗布する塗布工程を行い、所定の温度で上記レーザ光照射による熱処理工程を行う一連の工程を繰り返す。これにより、段階的に電気機械変換膜の膜厚を厚くしながら所望の膜厚を得る。上記レーザ光照射による熱処理工程では、ベース基板の下部電極上の所定部分にレーザ光を照射しながら走査する。この走査手段として、主として2つの走査方法がある。その一つとして、ミラーやレンズ等の光学系部材で構成される走査装置を用いて、固定されたベース基板の下部電極上の所定部分にレーザ光を照射しながら走査する方法がある。この走査方法では、上記レーザ光源や上記走査装置に備わっているミラーやレンズ等の光学系部材に例えば温度収差が生じレーザ光の照射位置が所定の位置からずれることがある。そして、もう一つの走査方法は、レーザ光の照射位置を固定してその照射位置に対してベース基板を設置したステージをXY軸方向の平面内で相対的に走査する方法である。この走査方法では、上記ステージを移動させるための駆動系部材の経時的な変動によってステージの移動した位置が規定の位置からずれることがあり、レーザ光の照射位置が所定の位置からずれることがある。これらの照射位置のずれによって、フォトレジストによって被覆されエッチングがされずに残っている上記PZT溶液の膜の部分にレーザ光が照射されてしまう。そして、照射された上記PZT溶液の膜の部分が除去されてしまうと、電気機械変換膜の上部に滴下された上記塗布液が、レーザ光照射によって除去された上記PZT溶液の膜の部分の跡に現われる下部電極上にまで広がってしまう。このため、電気機械変換膜のパターン形状が変わったり、広がった上記塗布液の液量分に相当する膜厚分、形成された電気機械変換膜の全体の膜厚が薄くなったりする。そこで、上記塗布液の膜の部分のみにレーザ光を正確に一定速度で走査し照射する必要がある。以上により、電気機械変換膜のパターン形状の変化や膜厚の変化を抑えるため、レーザ光の照射精度及び走査精度が求められ、高精度なレーザ光源や走査装置が必要となる。これにより、製造コストが高くなっていた。本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、低コストで所望パターンの電気機械変換膜を形成できる電気機械変換膜の製造方法を提供することである。上記目的を達成するために、基板上に形成されている第1の電極上に電気機械変換膜の原料の成分を含む溶液を塗布する第1の塗布工程と、塗布された前記溶液の膜上に所定のパターンに形成されたフォトレジストを設置し、前記フォトレジストで被覆されずに剥き出しになっている部分に塗布された前記溶液の膜をエッチングで除去するエッチング工程と、前記フォトレジストを取り除き前記エッチング工程によりエッチングされた跡の第1の電極上の部分に電気機械変換膜を形成するための原料を含む電気機械変換膜液を塗布する第2の塗布工程と、第1の電極上の前記電気機械変換膜液の膜にレーザ光を照射しながら走査して熱処理を行う熱処理工程とを有する電気機械変換膜の製造方法において、前記熱処理工程では、前記電気機械変換膜液の膜の形状に合わせて形成され、かつ前記レーザ光を通過させる透過領域と、前記電気機械変換膜液の膜以外に対しては前記レーザ光を遮光する遮光領域とを有するマスクを用い、前記電気機械変換膜液の膜の形状に前記透過領域の形状を合わせ、かつ前記電気機械変換膜液の膜以外の形状に前記遮光領域の形状を合わせて前記マスクを設置し、少なくとも前記透過領域を含むように前記レーザ光を照射することを特徴とするものである。本発明においては、上記マスクの透過領域の形状は上記電気機械変換膜液の膜の形状に合わせて形成されているので、透過領域を通過したレーザ光は上記電気機械変換膜液の膜の部分のみに照射される。そして、上記マスクの遮光領域の形状は上記電気機械変換膜液の膜以外の形状に合わせて形成されているので、上記電気機械変換膜液の膜の部分以外に対してはレーザ光が上記マスクの遮光領域によって遮光されるのでレーザ光は照射されない。このため、レーザ光源や走査装置に備わっているミラーやレンズ等の光学系部材に温度収差が生じたり、基板及び上記マスクを共に移動走査する駆動系部材に経時的な変動が生じたりして、レーザ光の照射位置が所定の位置からずれたとしても、上記電気機械変換膜液の膜の部分以外の上記溶液の膜の部分は除去されない。これにより、上記電気機械変換膜液の膜の部分の形状は変わらない。所望の膜厚を有する所望のパターンの電気機械変換膜を得ようとした場合、上記電気機械変換膜液の膜の部分の形状は上記第2の塗布工程及び上記レーザ光照射による熱処理工程を繰り返す工程中も変わらないので、所望の膜厚を有する所望のパターンの電気機械変換膜を形成することができる。上記マスクにおける少なくとも透過領域を含むようにレーザ光を照射するだけで、高精度なレーザ光照射走査を必要としない。これにより、高価なレーザ光源や走査装置は不要となる。よって、製造コストを低く抑えることができる。本発明によれば、低コストで所望パターンの電気機械変換膜を形成できるという効果が得られる。以下、本発明の実施形態について説明する。なお、本実施形態では、圧電定数d31の変形を利用した横振動ベンドモード型の電気機械変換膜を有する電気機械変換素子を例として説明するが、本発明はこの型の電気機械変換膜に限定されることなく適用可能である。電気機械変換膜がPZT膜の場合、酢酸鉛三水和物、イソプロポキシドチタン、ノルマルブトキシドジルコニウムを出発材料として合成したPZT前駆体溶液を用いることができる。酢酸鉛の結晶水はメトキシエタノールに溶解した後、脱水する。化学量論的組成に対し鉛量を10モル過剰にしてある。これは熱処理中のいわゆる鉛抜けによる結晶性低下を防ぐためである。イソプロポキシドチタン、ノルマルブトキシドジルコニウムをメトキシエタノールに溶解し、アルコール交換反応、エステル化反応を進め、上記酢酸鉛を溶解したメトキシエタノール溶液と均一に混合することによりPZT前駆体溶液を合成することができる。このPZT前駆体溶液のPZT濃度は例えば0.1モル/リットルにする。以上の方法で合成したPZT前駆体溶液を用いた。また、電気機械変換膜がPZT膜の場合のPZT前駆体溶液は、非特許文献1に記載されている、酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒としてメトキシエタノールに溶解させ、均一溶液として得るようにしてもよい。上記PZT前駆体溶液はゾルゲル液とも呼ばれる。PZTとは、ジルコン酸鉛PbZrO3とチタン酸鉛PbTiO3の固溶体で、その比率により特性が異なる。一般的に優れた圧電特性を示す組成はPbZrO3とPbTiO3の比率が53:47の割合で、化学式で示すとPbZr0.53,Ti0.47O3、一般にPZT53/47と示される。酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物の出発材料は、この化学式に従って秤量される。金属アルコキシド化合物は大気中の水分により容易に加水分解してしまうので、前駆体溶液に安定剤としてアセチルアセトン、酢酸、ジエタノールアミンなどの安定化剤を適量、添加してもよい。PZT以外の複合酸化物としてはチタン酸バリウムなどが挙げられ、この場合はバリウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒に溶解させることでチタン酸バリウム前駆体溶液を作製することも可能である。また、下地となる基板上の第1の電極の表面に電気機械変換膜としてのパターン化したPZT膜を得る場合、上記溶液を塗布液として液滴吐出方式で塗布することにより塗膜を形成し、溶媒乾燥、熱分解、結晶化の各々の熱処理を施すことでパターン化したPZT膜が得られる。塗膜から結晶化膜への変態には体積収縮が伴うので、クラックフリーな膜を得るには一度の工程で100[nm]以下の膜厚が得られるようにするのが好ましい。そして、前駆体濃度は、電気機械変換膜の成膜面積とPZT前駆体溶液の塗布量との関係から適正化するように調整するのが好ましい。また、液滴吐出装置の電気機械変換素子として用いる場合、このPZT膜の膜厚は1[μm]~2[μm]が要求される。この膜厚を得るには十数回、工程を繰り返すことになる。更に、ゾルゲル法によるパターン化した電気機械変換層の形成の場合には、下地となる基板の濡れ性を制御したPZT前駆体溶液の塗り分けをする。これは、非特許文献2に示されているアルカンチオールが特定金属上に自己配列する現象を利用したものであり、まず、基板の白金族金属の表面に、チオールのSAMSelfassembledmonolayer膜を形成する。SAM膜上はアルキル基が配置しているので、疎水性になる。このSAM膜は、例えば周知のフォトリソグラフィエッチングにより、フォトレジストを用いてパターニングすることができる。レジスト剥離後も、パターン化SAM膜は残っているので、この部位は疎水性になっている。一方、SAM膜が除去された部位は白金表面が露出しているため、親水性になっている。この表面エネルギーのコントラストを利用してPZT前駆体溶液の塗り分けをすることができる。本実施形態では、上記SAM膜を、PZT前駆体溶液を塗布しない領域に選択的に形成した後、以下に示すように、PZT前駆体溶液の消費量を低減することができる液滴吐出方式による塗工インクジェット塗工でPZT前駆体溶液を選択的に塗布している。図1は本発明の一実施形態に係る電気機械変換膜の形成を伴う電気機械変換素子の製造工程を示す工程断面図である。同図のaに示す基板11の表面上面には、チオールとの反応性に優れた第1の電極としての図示しない白金族金属からなる白金電極が、例えばスパッタ法により形成されている。この基板11の白金電極の表面に、同図のbに示すようにSAM膜12が形成される。SAM膜12は、アルカンチオール液に基板11をディップして自己配列させることで得られる。本例では、CH3CH2-SHのアルカンチオールの分子を一般的な有機溶媒アルコール、アセトン、トルエンなどに所定濃度例えば、数mol/lで溶解させたアルカンチオール液を用いた。このアルカンチオール液に基板11を浸漬させ、所定時間後に取り出した後、余剰な分子を溶媒で置換洗浄し乾燥することにより、白金電極の表面にSAM膜12を形成することができる。次に、同図のcに示すように、フォトリソグラフィーによりフォトレジスト13をパターン形成し、そのフォトレジスト13上に所定のパターンに合わせた透過領域14-1と遮光領域14-2を有するガラスマスク14を設ける。そして、同図のdに示すようにドライエッチング例えば、酸素プラズマの照射又はUV光の照射によりSAM膜12を除去し、加工に用いたフォトレジスト13を除去してSAM膜12のパターニングを終了する。このように形成されたSAM膜12は、純水に対する接触角が例えば92度であり、疎水性を示す。一方、SAM膜12が除去されて露出した基板11の白金電極の表面は、純水に対する接触角が例えば54度であり、親水性を示す。基板11に先に電気機械変換膜のパターン位置にフォトレジストパターンを形成し、SAM処理を行い、フォトレジストパターンを除去することで、図1のdのパターニングされたSAM膜を得てもよい。また、図1のbに示すようにSAM膜12が形成された後、マスクを介して紫外線を照射することで未露光部にはSAM膜12が残り、露光部にはSAM膜12が消失することで、図1のdのパターニングされたSAM膜を得てもよい。次に、図1のdの工程を行った後、パターニングされたSAM膜12が除去されて露出している基板11の白金電極の表面に、PZT前駆体溶液16を、液滴吐出方式具体的には液滴吐出ヘッド15により塗布した。図1のeに示すように、接触角のコントラストのためPZT前駆体溶液16は親水性の部分のみ広がり、電気機械変換膜17が形成される。液滴吐出方式以外の方式ではディスペンサ方式を用いて定量を塗布する。ここで、PZT前駆体溶液16の溶液は出発材料に酢酸鉛三水和物、イソプロポキシドチタン、ノルマルブトキシドジルコニウムを用いた。酢酸鉛の結晶水はメトキシエタノールに溶解後、脱水した。化学両論組成に対し鉛量を10モル過剰にしてある。これは熱処理中のいわゆる鉛抜けによる結晶性低下を防ぐためである。イソプロポキシドチタン、ノルマルブトキシドジルコニウムをメトキシエタノールに溶解し、アルコール交換反応、エステル化反応を進め、先記の酢酸鉛を溶解したメトキシエタノール溶液と混合することでPZT前駆体溶液を合成した。このPZT固体分濃度は0.25[mol/l]にした。更に、図1のfに示すように、図1のcのフォトリソグラフィー工程によるSAM膜のパターニングで使用したものと同じガラスマスク14を、ゾルゲル液の電気機械変換膜17とガラスマスク14の透過領域パターンを合致させるように固定し、ガラスマスク14上より発振波長532[nm]のYAGYttriumAluminumGarnetのレーザ光18を照射しながら走査し熱処理を行う。レーザ光18を走査させているが、レーザ光18を固定させて基板11及びガラスマスク14を一体化した構成体を走査させてもよい。あるいは、レーザ光18のスポット径が透過領域の面積より大きい場合は走査する必要がない場合もある。ここで、図2のレーザ光照射スポット18-1のスポット径は40[μm]、照射レーザパワーは100[mW]、走査速度は500[μm/s]とした。走査方向はパターンの長手方向の一方向とし、照射のタイミングは図2に示すように片側走査時のみとした。また比較例として、図3に示すようにレーザ光の照射領域をガラスマスクの透過領域のみとし、L字型の電気機械変換膜16のパターンに沿ってレーザ光が一筆書きとなるような走査方法による熱処理を実施した。このように、レーザ光照射による熱処理にて得られた熱処理後の電気機械変換膜19の状態が図1のgである。このときの膜厚は実施例試料、比較例試料いずれも80[nm]であった。引き続き繰返し処理としてエタノール洗浄後、純水に対する接触角はパターン領域外の白金のSAM膜12上は119度、熱処理後の電気機械変換膜19は20度であった。この状態で1度目に形成した電気機械変換膜パターン上に位置合わせを行い、図1のhに示すように、再度液滴吐出ヘッド15によりPZT前駆体溶液16を塗布する。そして、図1のiに示すように、ガラスマスク14を、ゾルゲル液の電気機械変換膜17とガラスマスク14の透過面14-1のパターンとを合致させるように固定させて配置して、ガラスマスク14上よりYAGのレーザ光18を照射し熱処理を行う。このように、図1のjに示すような重ね塗りされた熱処理後の電気機械変換膜19が得られた。このときの膜厚は160[nm]であった。ここで、一度に所望の膜厚を有する電気機械変換膜を製造すると、高温での熱処理を行うことになり、レーザ光が照射される電気機械変換膜の表面の温度が内部の温度に比べて非常に高くなる。そのため、電気機械変換膜にクラックが生じやすくなる。よって、上記一連の工程以降、図1のg~iの工程を8回、即ち都合10回繰り返し、ゾルゲル液からなる800[nm]の熱処理後の電気機械変換膜パターンを得た。ここまでの一連の工程を1サイクルとし、10サイクル実施したところ、膜厚は1.6[μm]に達した。このとき、レーザ光が一筆書きとなるような走査方法による熱処理を実施した比較例のPZT膜はL字型パターンの長手-短手の交点、すなわち照射レーザ光の走査変曲点にてクラック不良が生じた。一方、片側走査でのレーザ光による熱処理を実施した実施例ではクラックの発生はなかった。また、実施例及び比較例で形成された電気機械変換膜のうち、電気機械変換パターン膜上のみに上部電極白金を成膜し、電気特性及び電気機械変換能圧電定数の評価を行った。その結果、図4のP分極-E電界強度のヒステリシス曲線が得られ、PZT膜の比誘電率は1010、誘電損失は0.08、残留分極は20[μC/cm2]、抗電界は36.8[kV/cm]であり、通常のセラミック焼結体と同等の特性を持っていることがわかった。一方、比較例の比誘電率と誘電損失は比較例でそれぞれ1010、0.08であった。また、電気-機械変換能は電界印加による変形量をレーザドップラー振動計で計測し、シミュレーションによる合わせ込みから算出した。その圧電定数d31は120[pm/V]となり、こちらもセラミック焼結体と同等の値であった。この値は液体吐出ヘッドに用いる圧電素子として十分設計できうる特性値である。更に、実施例の一部の電気機械変換膜は上部電極を配置せずに、更なる厚膜化を試みた。すなわち、電気機械変換膜上への液滴吐出方式によるゾルゲル液塗布とレーザ光照射を順次繰り返し、電気機械変換膜の膜厚を4[μm]まで増加させたところ、パターン化した電気機械変換膜がクラックなどの欠陥を伴わずに得られた。図5は上記製造方法で製造した電気機械変換素子PZT素子を用いて構成した液滴吐出ヘッドの一構成例を示す概略構成図である。図示の例では、液室基板となるシリコン基板20上に、振動板30、密着層41及び下部電極第1の電極42を積層し、その下部電極第1の電極42上の所定部分に、上記簡便な製造方法により、バルクセラミックスと同等の性能を持つ電気機械変換素子PZT素子43及び上部電極44をパターン化して形成することができる。その後、シリコン基板20の裏面図中の下面からエッチング除去工程により液室21を形成し、ノズル孔21を有するノズル板22を接合することにより、液体吐出ヘッド50を作製することができる。なお、図中には液体供給手段、流路、流体抵抗についての記述は省略した。また、図5の液滴吐出ヘッド50は、図6に示すように複数個並べるように構成することもできる。図7は上記製造方法で製造した電気機械変換素子を用いることができる液滴吐出装置の一構成例を示す概略構成図である。また、図8は、同液滴吐出装置の概略透視斜視図である。両図に示す本発明の液滴吐出装置は、上述した本発明の電気機械変換素子の製造方法によって製造された電気機械変換素子を具備する液滴吐出ヘッドを搭載している。両図に示す本発明の液滴吐出装置の一例であるインクジェット記録装置100は、主に、記録装置本体の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ101と、キャリッジ101に搭載した本発明を実施して製造した液滴吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドからなる記録ヘッド102と、記録ヘッド102へインクを供給するインクカートリッジ103とを含んで構成される印字機構部104を有している。また、装置本体の下方部には前方側から多数枚の用紙105を積載可能な給紙カセット106を抜き差し自在に装着することができ、また用紙105を手差しで給紙するための手差しトレイ107を開倒することができ、給紙カセット106或いは手差しトレイ107から給送される用紙105を取り込み、印字機構部104によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ108に排紙する。印字機構部104は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド109と従ガイドロッド110とでキャリッジ101を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ101にはイエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドからなる記録ヘッド102を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ101には記録ヘッド102に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ103を交換可能に装着している。インクカートリッジ103は上方に大気と連通する大気口、下方には記録ヘッド102へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により記録ヘッド102へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッド102としてここでは各色のヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。ここで、キャリッジ101は後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド109に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド110に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ101を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ111で回転駆動される駆動プーリ112と従動プーリ113との間にタイミングベルト114を張装し、このタイミングベルト104をキャリッジ101に固定しており、主走査モータ111の正逆回転によりキャリッジ101が往復駆動される。一方、給紙カセット106にセットした用紙105を記録ヘッド102の下方側に搬送するために、給紙カセット106から用紙105を分離給装する給紙ローラ115及びフリクションパッド116と、用紙105を案内するガイド部材117と、給紙された用紙105を反転させて搬送する搬送ローラ118と、この搬送ローラ118の周面に押し付けられる搬送コロ119及び搬送ローラ118からの用紙105の送り出し角度を規定する先端コロ120とを設けている。搬送ローラ118は副走査モータ121によってギヤ列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ101の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ118から送り出された用紙105を記録ヘッド102の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材122を設けている。この印写受け部材122の用紙搬送方向下流側には、用紙105を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ123、拍車124を設け、さらに用紙105を排紙トレイ108に送り出す排紙ローラ125及び拍車126と、排紙経路を形成するガイド部材127,128とを配設している。記録時には、キャリッジ101を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド102を駆動することにより、停止している用紙105にインクを吐出して1行分を記録し、用紙105を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙105の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙105を排紙する。また、キャリッジ101の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド102の吐出不良を回復するための回復装置129を配置している。回復装置129はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ101は印字待機中にはこの回復装置129側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド102をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。態様A熱処理工程では、電気機械変換膜液の膜の形状に合わせて形成され、かつレーザ光を通過させる透過領域と、電気機械変換膜液の膜以外に対してはレーザ光を遮光する遮光領域とを有するマスクを用い、電気機械変換膜液の膜の形状に透過領域の形状を合わせ、かつ電気機械変換膜液の膜以外の形状に遮光領域の形状を合わせてマスクを設置し、少なくとも透過領域を含むようにレーザ光を照射する。これによれば、上記実施形態について説明したように、熱処理工程においてPZT前駆体溶液16の膜の形状に透過領域14-1の形状を合わせ、かつPZT前駆体溶液16の膜以外の形状に遮光領域14-2の形状を合わせてマスク14を設置する。そして、レーザ光18がガラスマスク14の少なくとも透過領域14-1を含むようにPZT前駆体溶液16に照射される。このとき、レーザ光18はガラスマスク14の遮光領域14-2によって遮光され、白金電極の表面上のSAM膜12には照射されない。このため、レーザ光源や走査装置に備わっているミラーやレンズ等の光学系部材に例えば温度収差が生じたり、基板及びガラスマスク14を共に移動走査する駆動系部材に経時的な変動が生じたりして、レーザ光18の照射位置が所定の位置からずれたとしても、SAM膜12が除去されることがなく、PZT前駆体溶液16の膜の形状も変化しない。これにより、ガラスマスク上から照射するだけでよく、高精度なレーザ光源や走査装置が不要となり、製造コストを低く抑えられる。態様B態様Aにおいて、レーザ光の照射走査の方向は一方向である。これによれば、上記実施形態について説明したように、レーザ光の照射の走査方向を双方向にしたとき、一方向から他方向へ方向が切り換わるレーザ光の照射走査変曲点に一時的に集中してレーザ光が照射されることで生じるクラックを防止することができる。態様C態様A又は態様Bのいずれかにおいて、塗布工程及び熱処理工程の各工程を繰り返して所望の膜厚の電気機械変換膜を製造するとき、各熱処理工程で用いるマスクは同じものである。これによれば、上記実施形態について説明したように、所望の膜厚の電気機械変換膜を得るために一連の製造工程を繰り返し行うとき、各熱処理工程ではガラスマスク14を共通に用いることで、製造コストを低く抑えることができる。態様D態様A~態様Cの電気機械変換膜の製造方法により、第1の電極上に所定膜厚の電気機械変換膜を形成した後、その第1の電極上に形成した電気機械変換膜を挟むように第2の電極を配置する第2電極配置工程を有する。これによれば、上記実施形態について説明したように、第1の電極上に所定膜厚のパターン化した電気機械変換膜を形成した後、その第1の電極上に形成した電気機械変換膜を挟むように第2の電極を配置することにより、高品質の電気機械変換素子を製造できる。態様E態様Dの電気機械変換素子の製造方法によって電気機械変換素子が製造される。これによれば、上記実施形態について説明したように、高品質の電気機械変換素子を製造できる。態様F態様Eの電気機械変換素子を備えている。これによれば、上記実施形態について説明したように、高品質の液滴吐出ヘッドを製造できる。態様G態様Fの液滴吐出ヘッドを備えている。これによれば、上記実施形態について説明したように、吐出不良を防止し、安定した吐出性能を維持できる液滴吐出装置を提供できる。"