"金属板の一方面に板状の放熱フィンが所定の間隔で多数条形成され、上記放熱フィンの隣接間に溝部を形成した放熱板と、上記放熱フィンを被冠する皿状のカバーとを備え、上記放熱フィンを冷却流体によって冷却するように構成した発熱体冷却装置であって、多数条形成された上記放熱フィンは複数列に分割され、各列の間を所定間隔に離間した隙間部が設けられ、皿状の上記カバーの上面には、上記隙間部に対応する位置に各々設けられた複数の注入口と、上記放熱フィンの側方に対応する位置に設けられた排出口とを備え、上記放熱フィンの先端側と上記隙間部の両端側が封止されるとともに、上記放熱フィンの側方が開放され、複数の上記注入口から上記隙間部に向けて上記冷却流体を各々注入し、この上記冷却流体を上記放熱フィンの隣接間に形成した溝部を流通させて上記排出口から排出させることを特徴とする発熱体冷却装置。上記放熱フィンの先端、もしくは、上記隙間部の両端の少なくとも一方を上記カバーの内面に当接させて上記放熱フィンの先端側、もしくは、上記隙間部の両端側を封止した請求項1記載の発熱体冷却装置。上記放熱フィンの先端と上記カバーの内面との間、もしくは、上記カバーの内側面と上記隙間部と上記カバーの内側面との間の少なくとも一方に封止用部材を介在させて上記放熱フィンの先端側と上記隙間部の両端側を封止した請求項1記載の発熱体冷却装置。上記隙間部の両端側に位置する溝部に封止用部材を挿入して封止した請求項1記載の発熱体冷却装置。上記放熱板には上記放熱フィンを形成した面に上記カバーの開口端を接合し、内部に密閉された空間部を形成し、複数の上記注入口から上記隙間部に向けて上記冷却流体を各々注入し、上記空間部を上記冷却流体により充満させたのち、上記冷却流体の注入力もしくは上記排出口からの排出力のいずれか一方により、上記排出口から排出させた請求項1記載の発熱体冷却装置。上述した発熱体冷却装置は、複数条の溝部に冷却流体を流通させることにより、或る程度の放熱効果を得ることができるが、発熱体冷却装置を接合する発熱部品に応じた面積を確保する場合、冷却流体を流入する一方の筒部から他方の筒部から流出まで流通させる複数条の溝部が必然的に長尺になる。ところが、上記溝部の間隔が狭いために、粘度を有する冷却流体の流通に対して抵抗となり、所定の放熱効率が得られない。また、発熱体冷却装置において、電子部品等の発熱部品から生ずる熱を高効率で放熱させるためには、放熱フィンを多くして放熱面積を大きくすることが必要となる。このため、一定のスペースの中に、隣接する放熱フィンの間隔を狭めて放熱フィンの数を多くする手段を講じていた。しかしながら、放熱フィンの間隔が狭くなることから、必然的に流通抵抗が大きくなため、放熱フィン間の隙間への冷却流体の流通が困難になり、場合によっては停滞することがある。この傾向は、放熱効率を高めようとして放熱フィンの間隔を狭めて放熱フィンの数を多くしたときに顕著となり、必然的に発熱体冷却装置としての効率向上に限界が生ずる問題があった。そこで、本発明の課題は、隣接する放熱フィンの間に形成される溝部の間隔を狭くしても溝部の流通長を短縮して流通抵抗を小さくすることができる発熱体冷却装置を提供することにある。上記の課題を解決するために、本発明にかかる発熱体冷却装置は、金属板の一方面に板状の放熱フィンが所定の間隔で多数条形成され、上記放熱フィンの隣接間に溝部を形成した放熱板と、上記放熱フィンを被冠する皿状のカバーとを備え、上記放熱フィンを冷却流体によって冷却するように構成されている。多数条形成された上記放熱フィンは複数列に分割され、各列の間を所定間隔に離間した隙間部が設けられ、皿状の上記カバーの上面には、上記隙間部に対応する位置に各々設けられた複数の注入口と、上記放熱フィンの側方に対応する位置に設けられた排出口とを備え、上記放熱フィンの先端側と上記隙間部の両端側が封止されるとともに、上記放熱フィンの側方が開放され、複数の上記注入口から上記隙間部に向けて上記冷却流体を各々注入し、この上記冷却流体を上記放熱フィンの隣接間に形成した溝部を流通させて上記排出口から排出させている。また、上記放熱フィンの先端側もしくは上記隙間部の両端を封止する手段として、上記放熱フィンの先端、もしくは、上記隙間部の両端の少なくとも一方を上記カバーの内面に当接させて封止することができる。さらに、上記放熱フィンの先端側の封止、上記隙間部の両端の封止を行う手段として、上記放熱フィンの先端と上記カバーの内面との間、もしくは、上記カバーの内側面と上記隙間部と上記カバーの内側面との間の少なくとも一方に封止用部材を介在させて上記放熱フィンの先端側と上記隙間部の両端側を封止することができる。また、上記隙間部の両端の封止を行う手段として、上記隙間部の両端側に位置する溝部に封止用部材を挿入して封止することができる。上記放熱板には上記放熱フィンを形成した面に上記カバーの開口端を接合し、内部に密閉された空間部を形成し、複数の上記注入口から上記隙間部に向けて上記冷却流体を各々注入し、上記空間部を上記冷却流体により充満させたのち、上記冷却流体の注入力もしくは上記排出口からの排出力のいずれか一方により、上記排出口から排出させる。本発明にかかる発熱体冷却装置によれば、多数条形成された放熱フィンを複数列に分割したことにより、各列の放熱フィンの幅方向の寸法を短くして放熱フィンの間の溝部の寸法を短くしたので、これらの溝部における冷却流体の流通長が短くなって流通抵抗を小さくすることができる。さらに、冷却流体を各列の間に設けられた隙間部に各々注入することにより、隙間部から溝部に冷却流体が流通することができ、その後、冷却流体を速やかに排出口から排出させることができる。この結果、放熱効率を高めることができる。また、放熱効率を高めるために、隣接する放熱フィンの間隔を狭めて放熱フィンの数を多くして放熱面積を大きくしたときに、溝部の間隔が狭くなっても、溝部の流通長を短くして流通抵抗を小さくしているので、放熱効率を一層高めることが可能となる。また、放熱フィンの先端側を封止するとともに、隙間部の両端を封止することにより、冷却流体を隙間部から注入した冷却流体を確実に溝部に流通させることができ、電子部品等の発熱部品から放熱フィンに伝達された熱を冷却流体によって速やかに放熱させることができる。これら放熱フィンの先端側の封止、隙間部の両端の封止を、カバーの内面の当接させる封止手段、あるいは、隙間部の両端の溝部に封止部材を挿入する封止手段を採用することにより、簡便に封止することができる。さらに、放熱板とカバーによって内部に密閉された空間部を形成し、冷却流体を空間部内に充満させ状態で溝部内を流通させた後、排出口からの排出することにより、全ての放熱フィンに対して冷却流体が流通するので、放熱効率を一層高めることが可能となる。このとき、冷却流体を隙間部に向けて注入するときの注入力もしくは排出口から排出するときの排出力のいずれか一方の力により排出口から排出させることにより、冷却流体を空間部内に容易に充満させることが可能となる。発熱体冷却装置は、金属板の一方面に板状の放熱フィンが所定の間隔で多数条形成され、上記放熱フィンの隣接間に溝部を形成した放熱板と、上記放熱フィンを被冠する皿状のカバーとを備え、上記放熱フィンを冷却流体によって冷却するように構成されている。多数条形成された上記放熱フィンは複数列に分割され、各列の間を所定間隔に離間した隙間部が設けられ、皿状の上記カバーの上面には、上記隙間部に対応する位置に各々設けられた複数の注入口と、上記放熱フィンの側方に対応する位置に設けられた排出口とを備え、上記放熱フィンの先端側と上記隙間部の両端側が封止されるとともに、上記放熱フィンの側方が開放され、複数の上記注入口から上記隙間部に向けて上記冷却流体を各々注入し、この上記冷却流体を上記放熱フィンの隣接間に形成した溝部を流通させて上記排出口から排出させている。上記放熱板には上記放熱フィンを形成した面に上記カバーの開口端を接合し、内部に密閉された空間部を形成し、複数の上記注入口から上記隙間部に向けて上記冷却流体を各々注入し、上記空間部を上記冷却流体により充満させたのち、上記冷却流体の注入力もしくは上記排出口からの排出力のいずれか一方により、上記排出口から排出させる。次に、図面を参照して本発明にかかる発熱体冷却装置について詳細に説明する。図1は、本発明による発熱体冷却装置を示す分解斜視図である。発熱体冷却装置1は、板状の放熱フィン2aが所定の間隔で多数条形成された放熱板2と、内部に空間を形成する皿状のカバー3によって構成されている。放熱板2は、熱伝導率が良好な、例えば、アルミニウムやアルミニウム合金、銅や銅合金等の金属板素材により形成されている。また、カバー3も同様に塑性加工が可能なアルミニウム、銅、あるいはステンレス鋼等の金属板素材をプレス加工することにより形成されている。このカバー3は合成樹脂によって形成しても良い。放熱板2の一方面に形成されている多数条の板状の放熱フィン2aは、所定の幅方向の幅を4列に分割され、各列の間には所定間隔に離間した隙間部2bが設けられている。さらに、4列の放熱フィン2aの幅方向の寸法は、平坦な放熱板2の幅寸法よりも小さく形成され、また、放熱フィン2aの各列の長手方向の寸法も放熱板2の幅寸法よりも小さく形成され、放熱フィン2aの両側及び長手方向の両側には平坦部2dが形成されている。この平坦部2dには、4列の放熱フィン2aを囲むように円形の溝2eを形成している。この溝2eには、後述するようにOリング4が装着される。この多数条の放熱フィン2aは、素材としての上記金属板自体を切削工具により掘り起こすことによって一体に起立形成され、各々の隣接する放熱フィン2aの隣接間には溝部2cが形成されている。なお、溝部2cと放熱板2の他方面との板厚は、上記金属板自体の板厚よりも薄く形成されている。このような溝部2cを形成することによって、放熱板2の他方面に発熱体を接合したときに、各々の放熱フィン2aの基端部が放熱板2の他方面に近くなるので、発熱体から発生する熱を速やかに放熱フィン2aに伝達できることから、放熱効率の向上に寄与している。多数条の板状の放熱フィン2aは、図4に示すように、所定の板厚と大きさを有する金属板素材6の一方面に切削工具5によって起立形成される。切削工具5は、底面側の先端に移動方向と直角な刃部が形成されていて、その幅は金属板素材6の幅よりも小さい所定の幅に設定されている。また、この切削工具5の刃部は、4列に分割された放熱フィン2aの各列の幅に対応させて4個に分割され、これら4個の刃部の間には、隙間部2bに対応させた凹陥部が形成されている。このように形成された切削工具5を金属板素材6の一方面に対して後端側が高くなるように所定の角度で傾斜させて図示しない駆動装置に取り付けられる。この傾斜角度は、放熱フィン2aの高さ、板厚、或いは、金属板素材6の材質等によって適宜に設定されるが、概ね5度から20度に設定している。そして、切削工具5の刃部を金属板素材6の一方面に当接させた後、切削工具5を駆動装置により所定の角度で矢示の方向に挿入させると、切削工具5の刃部を金属板素材6の一方面に食い込ませ、さらに所定の深さに達するまで移動させることにより、所定の高さを有する4列の放熱フィン2aが起立形成される。次いで、切削工具5を上流側の位置に移動すると共に、所定の深さに達するまで移動させる掘り起こし工程を順次繰り返すことによって、順次4列の放熱フィン2aが同一高さ、同一角度、かつ、同一間隔に起立形成される。このような工程により放熱板2が形成される。なお、同一の高さの放熱フィン2を形成するには、切削工具5による掘り起こし量を一定にすれば良い。なお、放熱フィン2aの高さは、金属板素材6の材質が同じ場合に、切削工具5の掘り起こし角度と深さを適宜に変更することにより、任意の高さに設定することができる。このように、切削工具5によって多数条の放熱フィン2aを形成すると、金属板素材6には、前述したように、底面が薄く形成された溝部2cが形成される。このように、切削工具5によって起立形成された多数条の放熱フィン2aは、板厚が0.01~1.0mm、各々の隣接する放熱フィン2aの間に形成される溝部2bの幅がやはり0.01~1.0mmに形成される。このように、放熱フィン2aの板厚を小さくするとともに、溝部2bの幅を小さくすることにより、放熱板2における単位面積当たりの放熱面積を大幅に増加することが可能となり、その結果、放熱効果を大幅に高めることが可能となる。一方、カバー3は、アルミニウムやアルミニウム合金、銅や銅合金あるいはステンレス鋼等から選択された金属板素材から、プレスによる周知の絞り加工により皿状に形成される。図1に示す実施例においては、カバー3を円形に形成している。そして、カバー3の上面には、4列に分割された放熱フィン2aの各列の間に設けられた3列の隙間部2bに対応した位置に3個の注入口7と、放熱フィン2aの列の側方に対応した位置に2個の排出口8が各々設けられている。これら注入口7と排出口8は、後述するチューブを接続するために、図示のようにパイプ状に形成されている。4列の放熱フィン2aの先端側と隙間部2bの両端側は封止され、両側に形成された放熱フィン2aの側方が開放するように構成している。図1に示す実施例では、放熱フィン2aの先端側を封止するために手段としては、放熱フィン2aの先端がカバー3の内面に当接させている。また、隙間部2bの両端側を封止する手段としては、図1に示す実施例では、隙間部2bの両端側に、二点鎖線で示す上面D字状の封止部材9を当接させるか、或いは、カバー3の内面の隙間部2bに対応するように、上面D字状の一対の封止部材9を取り付け、放熱板2を被冠した状態で隙間部2bの両端側に封止部材9を当接させて封止している。このカバー3は、開口端を放熱板2の平坦部2dに接合し、4列の放熱フィン2aを被冠するように固定される。これにより、カバー3と放熱板2によって内部に密閉された空間部が形成される。このとき、後述する冷却流体CWが漏出しないように、放熱板2の平坦部2dに形成された円形の溝2eにOリング4等のシール部材を装着している。なお、カバー3の開口端にも溝を形成し、この溝と放熱板2に形成した溝2eの間にOリング4を装着しても良い。以上のように構成された発熱体冷却装置1は、図2に示すように、冷却流体CWを供給する装置に連結される。冷却流体CWとしては、例えば純水等が使用され、冷却流体CWは冷却水タンク10に貯蔵される。冷却水タンク10にはポンプ11に連結され、冷却流体CWを分流器12に送出する。冷却流体CWは分流器12によって3つに分流され、各々チューブを介して、カバー3に設けられた3個の注入口7に連結される。冷却流体CWは、ポンプ11によって所定の注入力で隙間部2bに向けて各々注入される。これにより、冷却流体CWは図3に示すように、カバー3と放熱板2によって内部に形成された空間部に冷却流体CWを充満させる。その後、冷却流体CWは、図2及び図3に示すように、隙間部2bから溝部2cを流通しながら両側の排出口8から排出させる。このとき、4列の放熱フィン2aの先端側と隙間部2bの両端側が封止されているために、冷却流体CWの流通経路は溝部2cのみとなる。このように、ポンプ11によって隙間部2bに向けて注入する場合、排出口8からは、冷却流体CWの注入力によって排出させる。これにより、空間部の内部に常に冷却流体CWを充満させることができ、さらに、冷却流体CWを全ての溝部2cに均一の流通させることができる。溝部2cを流通して排出口8から排出された冷却流体CWは、冷却水タンク10に戻される。なお、冷却水タンク10の前もしくは後に図示しない冷却器を設け、冷却流体CWを冷却するようにしても良い。なお、両側の排出口8にポンプを連結し、排出口8から冷却流体CWを排出させる排出力によって冷却流体CWを流通するようにしても良い。このとき、冷却流体CWは3個の注入口7からは、排出力により注入する。このように、冷却流体CWの注入力もしくは排出力のいずれか一方を選択して用いる。上述した実施例においては、放熱フィン2aの列の側方に対応した位置に2個の排出口8を各々設け、溝部2cを流通した冷却流体CWを排出しているが、図2において点線で示すような連絡流路2fを設けることにより、排出口8を1個にすることができる。すなわち、連絡流路2fとしては、放熱フィン2aの列の両側に位置する放熱板2の平坦部2dに、放熱フィン2aの列を迂回するように形成された凹溝によって構成している。排出口8を1個にした場合、溝部2cを流通した冷却流体CWは、一方側の排出口8から排出される。また、他方側に流出した冷却流体CWは、連絡流路2fを流通して一方側の側方に移動し、やがて排出口8から排出される。発熱体冷却装置1の放熱板2の他方面には、例えば半導体等の発熱体が接合される。この発熱体の熱は放熱板2に伝達され各々の放熱フィン2aに達する。このとき、隙間部2bに向けて各々注入された冷却流体CWが、溝部2cを流通しながら排出口8に向かうので、放熱フィン2aに達した熱が冷却流体CWに移行して放熱フィン2aを冷却する。この結果、発熱体の熱は放熱フィン2aに接する冷却流体CWによって冷却される。このとき、放熱フィン2aを複数列に分割し、その間に隙間部2bを形成して、各列の放熱フィン2aの幅方向の寸法を短くしているので、放熱フィン2aの間の溝部2cの流通長が短くなることから流通抵抗が小さくなり、冷却流体CWを円滑に流通させることができるので、発熱体の熱を効率よく冷却することができる。また、例えば、隣接する放熱フィン2aの間に形成される溝部2cの幅を0.01~0.05mm程度に小さくした場合であっても、溝部2cの流通長が短いことから流通抵抗も小さくなり、冷却流体CWを円滑に流通させることができる。このように、溝部2cの幅を小さくすると、放熱フィン2aの枚数を多くすることができ、その結果、放熱面積が大きくなるので、一層放熱効率を高めることができる。次に、上述した実施例による実験結果を示す。使用した放熱板2の放熱フィン2aは、板厚0,14mm、溝部2cの幅0.09mm、高さ1.3mmとしたときの熱抵抗を測定した。このとき、3個の注入口7からは400ml/minの流量の冷却水を注入し、空間部を充満させながら流通させた。この結果、熱抵抗の値は、0.05K/Wであった。因みに、従来の放熱フィン2aを分割しない発熱体冷却装置は、0.1K/Wであり、本発明による発熱体冷却装置は、熱抵抗値が50減少した。また、放熱板2の放熱フィン2aの高さを2.5mmとしたときには、熱抵抗の値は、0.04K/Wとなり、従来の放熱フィン2aを分割しない発熱体冷却装置と比較し、熱抵抗値が53減少した。なお、3個の注入口7から注入する冷却水の流量を変化させた場合についても実験を行ったが、いずれのものも、流量が多くなるに従って熱抵抗値が減少するが、その差は本発明による発熱体冷却装置による熱抵抗値が50以上減少することが確認された。図5は、4列の放熱フィン2aの先端側と隙間部2bの両端側を封止する手段の他の実施例を示している。図5に示す実施例においては、放熱フィン2aの先端側を封止するために手段として、放熱フィン2aの先端とカバー3の内面との間に、封止部材13を介在させて封止するようにしている。この封止部材13としては、弾性または可塑性を有する合成樹脂が好ましく、放熱フィン2aの先端を封止部材13に当接させたときに、放熱フィン2aの先端によって封止部材13に若干食い込むことが望ましい。なお、封止部材13には、前述した3個の注入口7及び2個の排出口8に対応する位置に透孔13aが形成され、冷却流体CWが流通するようにしている。一方、隙間部2bの両端側を封止する手段としては、隙間部2bの両端側とカバー3の側内面との間に、封止部材14を当接させて封止するようにしている。この封止部材14も、弾性または可塑性を有する合成樹脂が好ましい。隙間部2bの両端側を封止する他の手段としては、図6に示すように、隙間部2bの両端近傍の溝部2cに板状の封止部材15を挿入して封止するようにしても良い。封止部材15は、少なくとも3列の隙間部2bを覆う幅としている。また、封止部材15も、弾性または可塑性を有する合成樹脂が好ましい。なお、封止部材15の幅を、隙間部2bの幅よりもやや大きくし、この封止部材15を個々の隙間部2bの近傍の溝部2cに挿入するようにしても良い。図7は、本発明にかかる発熱体冷却装置の他の実施例を示す。前述した図1に示す発熱体冷却装置と相違する点は、カバーを略四角形に形成したことである。4列に分割された多数条の板状の放熱フィン20aを形成した放熱板20の周囲には平坦部20dが形成され、この平坦部20dには、4列の放熱フィン20aを囲むように略四角形の溝20eが形成され、この溝20eにはOリング21が装着されている。一方、カバー30は、四角形の皿状に形成され、開口端の周囲には鍔部30aが形成されている。そして、カバー30の上面には、4列に分割された放熱フィン20aの各列の間に設けられた3列の隙間部20bに対応した位置に3個の注入口40と、放熱フィン20aの列の両側に各々排出口41が設けられている。これら注入口40と排出口41は、チューブを接続するために、パイプ状に形成されている。また、放熱板20の平坦部20dに形成した複数の螺孔20eに対応させるように、鍔部30aに複数の透孔30bが形成されている。この透孔30bに固定用のビス50を各々挿通させて螺孔20eに螺合することにより、内部に空間部が形成される。このとき、略四角形の溝20eに装着したOリング21によって、空間部を密閉状態にしている。また、カバー30の内方の高さは、放熱フィン20aを被冠するように放熱板20に取り付けたとき、放熱フィン20aの先端がカバー30の内部底面の当接するように設定され、カバー30の長手方向の寸法は、隙間部20bの両端側をほぼ覆うように、4列の放熱フィン20aの板面がカバー30の内壁面に当接するように設定されている。このように設定することにより、前述した封止部材を省略することができる。図8は、本発明による発熱体冷却装置のさらに他の実施例を示している。前述した図1に示す発熱体冷却装置と相違する点は、放熱板60に形成した放熱フィン60aの幅方向を2列に分割し、その中央に1列の隙間部60bを形成したことである。さらに、皿状のカバー70の上面には、隙間部60bに対応させた位置に注入口80が設けられ、放熱フィン60aの幅方向の両側の側方に対応させた位置に各々排出口81が設けられている。この実施例においては、前述した実施例のように、放熱フィンを4列に分割する場合と比較し、放熱フィンの間に形成される溝部の流通長が長くなるが、流通抵抗を小さくすることから、放熱効率を高めることが可能である。以上、本発明を実施例に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、上述した発熱体冷却装置は放熱フィンを4分割や2分割としたが、2以上の分割数に変更しても良い。また、上述した実施例は、分割した放熱フィンの幅を同じにしたが、列によって幅を異ならせても良い。同様に隙間部の幅を異ならせても良い。"