"送信用探触子として斜角探傷が可能な探触子を欠陥を斜角探傷する位置に配置し、受信用探触子として垂直探傷が可能な探触子を前記欠陥を垂直探傷する位置に配置し、前記送信用探触子によって超音波を入射し、前記受信用探触子で得られた波形から、端部回折波の端部エコーとコーナーから反射したコーナーエコーを測定し、これらのエコーの路程差を求めることを特徴とする超音波探傷方法。請求項1記載の超音波探傷方法において、前記路程差hに対して、h/1cosαによって、前記欠陥の高さを求めるものであり、角度αは、欠陥の進展方向と超音波を送信する方向のなす角度であることを特徴とする超音波探傷方法。請求項1記載の超音波探傷方法において、前記探触子は、アレイ探触子であり、前記路程差hに対して、h/1cosθ1θ2/2/cosθ2-θ1/2h/1cosαによって、前記欠陥の高さを求め、ここで、θ1はコーナーエコーが最も強く得られる屈折角であり、θ2は端部エコーが最も強く得られる屈折角であることを特徴とする超音波探傷方法。探触子を被検体に設置し、検査を開始し、前記探触子を移動する第1のステップと、送信側探触子のみを用いて、斜角探傷法によりコーナーエコーを検出することで、欠陥の有無を判定する第2のステップと、前記コーナーエコーが検出された場合、得られた受信波形に表示された路程や、屈折角より、欠陥位置を評価する第3のステップと、前記コーナーエコーが検出された場合、斜角探傷法により、端部エコーを探す第4のステップと、前記端部エコーが検出されない場合、波形より得られた欠陥位置から、欠陥直上に受信用探触子を設置し、コーナーエコーと端部エコーを検出する第5のステップと、コーナーエコーと端部エコーが得られた場合、これらの路程差から、サイジングを行う第6のステップとを備えることを特徴とする超音波検査方法。請求項4記載の超音波検査方法において、前記第4のステップにおける斜角探傷による端部エコー検出時に、検出された端部エコーのSN比に閾値を設け、十分な強度で検出可能であったか判定することを特徴とする超音波検査方法。請求項4記載の超音波検査方法において、前記路程差hに対して、h-Wia-Witによって、前記欠陥の高さを求め、ここで、Wiaは超音波の入射点から前記欠陥の開口までの距離であり、Witは超音波の入射点から前記欠陥の端部までの距離であることを特徴とする超音波検査方法。請求項4記載の超音波検査方法において、前記送信側探触子は、アレイ探触子であり、超音波を送信する角度を極座標θとし、前記送信用探触子によって超音波を入射し、前記受信用探触子で得られた波形から、端部回折波の端部エコーとコーナーから反射したコーナーエコーの路程を極座標rとし、受信した波形強度を対応する箇所にマッピングしてセクタ状に表示することを特徴とする超音波検査方法。請求項4記載の超音波検査方法において、前記送信側探触子は、アレイ探触子であり、前記アレイ探触子の超音波を送信する角度を縦軸とし、前記送信用探触子によって超音波を入射し、前記受信用探触子で得られた波形から、端部回折波の端部エコーとコーナーから反射したコーナーエコーの路程を横軸とし、受信した波形強度を対応する箇所にマッピングして2次元画像として表示することを特徴とする超音波検査方法。斜角探傷が可能な送信用探触子と垂直探傷が可能な受信用探触子を保持するホルダと、前記送信用探触子及び受信用探触子を移動可能な移動機構と、斜角探傷が可能な前記送信用探触子で超音波の送受信を行う斜角探傷法により探傷する探傷モードと、斜角探傷が可能な前記送信用探触子で超音波を送信し、垂直探傷が可能な前記受信用探触子で受信するサイジングモードとを実行する送受信部と、該送受信部と前記移動機構を制御する制御部と、探傷し、得たデータを表示、記録、評価する表示部とを備えることを特徴とする超音波探傷装置。請求項9記載の超音波探傷装置において、前記送受信部は、前記探触子を構成する一つ以上の素子に対応する送信信号に遅延時間を与える送信遅延手段と、超音波を送信する送信手段を備えるパルサと、受信した超音波をアナログ‐デジタル変換するアナログ‐デジタル変換手段と、受信信号に遅延時間を与えるメモリ手段からなるレシーバから構成され、前記制御部は、遅延時間を制御する遅延制御手段と、受信信号を加算する加算手段と、加算手段により加算された受信信号に対して、探傷モードに基づいて設定された値を用いて乗算する乗算手段と、受信信号を収録するとともにデータ処理する処理手段を備えた制御処理用コンピュータから構成されることを特徴とする超音波探傷装置。請求項9記載の超音波探傷装置において、前記探傷モードによる画像と、前記サイジングモードによる画像を、別個にゲイン調整し、これらゲイン値を画面上に表示できることを特徴とする超音波探傷装置。請求項9記載の超音波探傷装置において、配管や平板など、板厚が一定の被検体を検査する場合、送信用探触子と受信用探触子の位置を固定し、前記送信用探触子から送信される超音波が被検体以外の部分を伝搬して前記受信用探触子で受信されないように吸音材を前記送信用探触子と前記受信用探触子の間に備えることを特徴とする超音波探傷装置。一般に、欠陥端部からの回折波をとらえた端部エコーは、欠陥開口より反射する波をとらえたコーナーエコーより強度が相当小さい。このため微小欠陥の場合は、これらエコーの出現する路程が近く、エコーを分離できない場合が生じる。さらに溶接部では、結晶粒による散乱の影響で端部エコーの信号が小さくなること、溶接境界で端部エコーと同等レベルの強度のノイズが生じる可能性があり、そのためSNが低下し、端部エコーを検出できない場合が生じる。一探触子法による斜角探傷法では、微小欠陥の場合、端部エコーとコーナーエコーの強度比が大きいため、端部エコーがコーナーエコーに埋もれてしまい、欠陥高さを評価できないという問題があった。非特許文献2記載のTOFD法では、送信用と受信用の探触子を、欠陥を跨いで配置するために、回折波の伝搬経路が長くなり、特に、溶接部、厚肉材の検査においては、微弱な回折波をとらえることが困難であった。特許文献1記載のSPOD法では、TOFD法の伝搬経路の問題点を改善できているが、一度裏面で反射した後に伝搬する回折波は、やはり伝搬経路が長くなる他、試験体形状によっては、所望する方向への反射強度が得られず、結果的に、信号強度が弱くなる可能性があった。また、非特許文献3,非特許文献4デルタ法でも、伝搬経路の問題点を改善できているが、単純な反射波ではなく、モード変換された超音波を利用しているため、SPOD法と同様に、被検体形状の影響を受ける他、検査結果として表示される波形データが、単一の音速では正しく路程を表示できないため、波形の評価が困難であることに加え、欠陥高さの評価式が複雑なものとなる問題点があった。以上のように、従来の方法を用いて、検査員が微小な欠陥の高さを評価するには、検査員の技量に依るところ大きく、探傷方法、波形の評価方法、信号表示方法の改善が必要であった。本発明の目的は、微小欠陥に対しても、精度よく、簡便に、超音波によるサイジングを実施することが可能な超音波検査方法,超音波探傷方法及び超音波検査装置を提供することにある。1上記目的を達成するために、本発明は、送信用探触子として斜角探傷が可能な探触子を欠陥を斜角探傷する位置に配置し、受信用探触子として垂直探傷が可能な探触子を前記欠陥を垂直探傷する位置に配置し、前記送信用探触子によって超音波を入射し、前記受信用探触子で得られた波形から、端部回折波の端部エコーとコーナーから反射したコーナーエコーを測定し、これらのエコーの路程差を求めるようにしたものである。かかる方法により、微小欠陥に対しても、精度よく、簡便に、超音波によるサイジングを実施することが可能となる。2上記1において、好ましくは、前記路程差hに対して、h/1cosαによって、前記欠陥の高さを求めるものであり、角度αは、欠陥の進展方向と超音波を送信する方向のなす角度である。3上記1において、好ましくは、前記探触子は、アレイ探触子であり、前記路程差hに対して、h/1cosθ1θ2/2/cosθ2-θ1/2h/1cosαによって、前記欠陥の高さを求め、ここで、θ1はコーナーエコーが最も強く得られる屈折角であり、θ2は端部エコーが最も強く得られる屈折角である。4上記目的を達成するために、本発明は、探触子を被検体に設置し、検査を開始し、前記探触子を移動する第1のステップと、送信側探触子のみを用いて、斜角探傷法によりコーナーエコーを検出することで、欠陥の有無を判定する第2のステップと、前記コーナーエコーが検出された場合、得られた受信波形に表示された路程や、屈折角より、欠陥位置を評価する第3のステップと、前記コーナーエコーが検出された場合、斜角探傷法により、端部エコーを探す第4のステップと、前記端部エコーが検出されない場合、波形より得られた欠陥位置から、欠陥直上に受信用探触子を設置し、コーナーエコーと端部エコーを検出する第5のステップと、コーナーエコーと端部エコーが得られた場合、これらの路程差から、サイジングを行う第6のステップとを備えるようにしたものである。かかる方法により、微小欠陥に対しても、精度よく、簡便に、超音波によるサイジングを実施することが可能となる。5上記4において、好ましくは、前記第4のステップにおける斜角探傷による端部エコー検出時に、検出された端部エコーのSN比に閾値を設け、十分な強度で検出可能であったか判定するようにしたものである。6上記4において、好ましくは、前記路程差hに対して、h-Wia-Witによって、前記欠陥の高さを求め、ここで、Wiaは超音波の入射点から前記欠陥の開口までの距離であり、Witは超音波の入射点から前記欠陥の端部までの距離である。7上記4において、好ましくは、前記送信側探触子は、アレイ探触子であり、超音波を送信する角度を極座標θとし、前記送信用探触子によって超音波を入射し、前記受信用探触子で得られた波形から、端部回折波の端部エコーとコーナーから反射したコーナーエコーの路程を極座標rとし、受信した波形強度を対応する箇所にマッピングしてセクタ状に表示するようにしたものである。8上記4において、好ましくは、前記送信側探触子は、アレイ探触子であり、前記アレイ探触子の超音波を送信する角度を縦軸とし、前記送信用探触子によって超音波を入射し、前記受信用探触子で得られた波形から、端部回折波の端部エコーとコーナーから反射したコーナーエコーの路程を横軸とし、受信した波形強度を対応する箇所にマッピングして2次元画像として表示するようにしたものである。9上記目的を達成するために、本発明は、斜角探傷が可能な送信用探触子と垂直探傷が可能な受信用探触子を保持するホルダと、前記送信用探触子及び受信用探触子を移動可能な移動機構と、斜角探傷が可能な前記送信用探触子で超音波の送受信を行う斜角探傷法により探傷する探傷モードと、斜角探傷が可能な前記送信用探触子で超音波を送信し、垂直探傷が可能な前記受信用探触子で受信するサイジングモードとを実行する送受信部と、該送受信部と前記移動機構を制御する制御部と、探傷し、得たデータを表示、記録、評価する表示部を備えるようにしたものである。かかる構成により、微小欠陥に対しても、精度よく、簡便に、超音波によるサイジングを実施することが可能となる。10上記9において、好ましくは、前記送受信部は、前記探触子を構成する一つ以上の素子に対応する送信信号に遅延時間を与える送信遅延手段と、超音波を送信する送信手段を備えるパルサと、受信した超音波をアナログ‐デジタル変換するアナログ‐デジタル変換手段と、受信信号に遅延時間を与えるメモリ手段からなるレシーバから構成され、前記制御部は、遅延時間を制御する遅延制御手段と、受信信号を加算する加算手段と、加算手段により加算された受信信号に対して、探傷モードに基づいて設定された値を用いて乗算する乗算手段と、受信信号を収録するとともにデータ処理する処理手段を備えた制御処理用コンピュータから構成されるものである。11上記9において、好ましくは、前記探傷モードによる画像と、前記サイジングモードによる画像を、別個にゲイン調整し、これらゲイン値を画面上に表示できるものである。12上記9において、好ましくは、配管や平板など、板厚が一定の被検体を検査する場合、送信用探触子と受信用探触子の位置を固定し、前記送信用探触子から送信される超音波が被検体以外の部分を伝搬して前記受信用探触子で受信されないように吸音材を前記送信用探触子と前記受信用探触子の間に備えるようにしたものである。本発明によれば、微小欠陥に対しても、精度よく、簡便に、超音波によるサイジングを実施することが可能となる。以下、図1~図15を用いて、本発明の一実施形態による超音波検査装置の構成及び動作について説明する。最初に、図1を用いて、超音波の拡がりについて説明する。図1は、超音波の拡がりの説明図である。超音波発振素子10の中心Cからの超音波の広がりは、有効センサ開口Aeffと、被検体中波長λを用い、以下の式1で表すことができる。ここで、ω1/2は、指向角と呼ばれ、一素子から放出される主な空間的な角度分布主極のうち、最も音圧の強い方向中心音線と比較し、音圧が半分になる角度のことを指し、値が小さいほど鋭いビーム分布高指向性である。次に、図2を用いて、超音波に対する欠陥の反射波について説明する。図2は、超音波に対する欠陥の反射波の説明図である。被検体20は、図示のように、例えば、平板状であり、その内部に欠陥Dを有する。欠陥Dは、被検体20の下面側に開口し、その内部図示の底面側から上方向被検体20の内部方向に延びている。被検体内部における欠陥の終端部を、欠陥の端部と称する。被検体20の内部を伝搬した超音波が欠陥Dの開口部Aに当たった場合を考える。特殊なケースを除き、一般的に超音波は、コーナー近傍開口部近傍で2回反射するために、伝搬方向と同方向に逆行する方向に強く反射し、受信される。これをコーナーエコーと称する。ところがコーナーエコーも、伝搬した方向以外にも広範囲に伝搬している。これは、反射波の解釈を、図2に示すように、伝搬してきた超音波により、欠陥開口近傍が伝搬方向と同方向に変位を受け、この変位を受けた欠陥開口が微小な発振源となり、超音波が発せられたとすれば、欠陥開口で反射した超音波は広範囲に伝搬することが定性的に理解できる。次に、図3を用いて、欠陥の端部で発生する回折波について説明する。図3は、欠陥端部で発生する回折波の説明図である。図3Aに示すように、超音波探触子101は、超音波発振素子10と、シューSHを備えている。シューSHはクサビ状であり、その上面に配置される超音波発振素子10の下面と、被検体20の上面との間を斜めにする。超音波発振素子10から出力した超音波は、被検体20の表面で屈折して、被検体の内部を斜角で入射する。超音波発振素子10から送信された超音波は、欠陥Dの端部Tに到達し、回折波が発生する。回折波は、端部より全方位に広がって発生し、伝搬し、受信される。これを端部エコーと呼ぶ。欠陥進展方向に対して、斜めから入射してきた超音波が端部にあたって発生した回折波の強度分布は、図3Bに示すように、欠陥Dの進展方向に比較的強く伝搬することが分かっている。図3Bにおける角度θは、図3Aに示すように、欠陥Aの開口部Aから下向きの方向を基準方向として、この基準方向に対する角度として表している。そして、図3Bに示すように、θ=180度,すなわち、欠陥Dの進展方向に比較的強く伝搬する次に、図4を用いて、本実施形態による超音波検査装置における探傷原理について説明する。図4は、本発明の一実施形態による超音波検査装置における探傷原理の説明図である。本実施形態では、送信側の探触子101Aと、受信側の探触子101Bとを用いる。送信側の探触子101Aは、図3に示したように、超音波発振素子10とシューSHとを備えている。受信側の探触子101Bは、超音波発振素子10を備えている。送信側の探触子101Aとしては、SPOD法やデルタ法と同じく斜角探傷が可能な探触子を用いている。送信側の探触子101Aは、欠陥Dを斜角探傷する位置入射点Iに配置される。また、受信側の探触子101Bとしては、垂直探傷が可能な探触子を用いている。受信側の探触子101Bは、欠陥Dを垂直探傷する位置受信点Cに配置する。欠陥Dに対し斜め方向から、斜角探触子送信側の探触子101Aによって超音波を入射し、欠陥Dに超音波をあて、欠陥Dの端部Tにおいて回折波を発生させる。受信側の探触子101Bは、欠陥Dの端部Tから上方へ直接伝播する回折波と、コーナー欠陥Dの開口部Aから反射する超音波の広がりによって上方へ向かう反射波を受信し、それらの伝播時間差hから欠陥端部の裏面からの欠陥高さHを評価する。上記の回折波と反射波は、欠陥の高さHに相当する時間差hが生じる。次に、図5~図8を用いて、本実施形態による超音波検査装置における欠陥高さの測定原理について説明する。図5~図8は、本発明の一実施形態による超音波検査装置における欠陥高さの測定原理の説明図である。図5において、図1に示した超音波の入射点をIとし、超音波の受信点をCとする。また、欠陥Dの開口をAとし、端部をTとする。欠陥Dの高さは、欠陥の開口Aと端部Tの距離となるので、これをWatとして表すこととする。また、欠陥Dの開口Aと受信点Cの距離をWacとし、欠陥Dの端部Tと受信点Cの距離をWtcとする。欠陥Dの実際の高さWatは、図5から理解されるように、Wat=Wac―Wtcである。しかし、探傷試験では、受信点Cで受信された波形で評価するため、コーナーエコーが出現する路程と、端部エコーが出現する路程の差から、単純に欠陥高さを評価すると、測定値h図4に示した測定値hは、以下の式2のように、h=WiaWac-WitWtc...2となる。ここで、入射点Iから、欠陥開口Aまでの距離Wiaと、入射点Iから欠陥端部Tまでの距離Witは、開口Aと点T’の間の距離Wtaだけ異なるため、実際の値は、測定値hに対して、距離Wtaだけ補正をする必要があり、以下の式3のように、Wat=Wac-Wtc=h-Wta...3となる。ここで、距離Wiaは、測定値より、既知とすると、距離Wtaの値は、幾何的な関係から、以下の式4のように、Wta=Wia-Wit...4となる。通常の斜角探傷では、微少欠陥の場合、端部エコーをコーナーエコーと分離、識別することが難しく、この場合、幾何的な関係上、角度βを90度で近似できる。測定値hを真の欠陥の高さに近い値にするためには、補正後の値をhsとして、補正式5のように、hs=h/1cosα...5で表すことができる。ここで、角度αは、欠陥の進展方向と超音波を送信する方向のなす角度である。ただし、微小欠陥の場合、補正に必要な値も微小となるため、欠陥を過小評価しないために、そのままの値を用いても良い。一方、欠陥が微小欠陥ではなく、送信された超音波の広がりより十分に大きい欠陥の場合、受信した一波形上に、コーナーエコーと端部エコーが同時に表示されないことがある。この時、βを90度で近似できないため、単一探触子とアレイ探触子の場合に分けて考える。図6は、送信用探触子に単一探触子を用いた場合で、大きい欠陥測定の場合を示している。送信用探触子に単一探触子を用いた場合は、斜角探傷法の手順と同様に、探触子を動かす必要がある。この場合、入射点Iは、端部エコーが最も強く得られる入射点I’へ移動するため、入射点I,I’、欠陥開口A、欠陥端部T、受信点Cの位置関係は、図7に示すような関係となる。したがって、図4にて説明した手法で欠陥高さを評価する場合は、送信用探触子の移動距離をWiiとすると、hs=h-Wii/cosθ...6となる。図8は、送信用探触子にアレイ探触子を用いた場合で、大きい欠陥測定の場合を示している。アレイ探触子を用いれば、超音波を任意の屈折角に集束させ、さらに、電子的に走査することが可能となる。この時得られる波形データは、図5のように入射点Iを固定した位置関係で得られた波形データである。この時、屈折角θ1方向に超音波を送信したIACの伝搬経路ではコーナーエコーのみ、屈折角θ2方向に超音波を送信したITCの伝搬経路では端部エコーのみ検出されている。コーナーエコーと端部エコーが最も強く得られる屈折角θ1、θ2を用いて、hs=h/1cosθ1θ2/2/cosθ2-θ1/2...7となる。また、図9及び図12を用いて後述する検査方法で送信用探触子のみで送受信を行う斜角探傷も併用して検査を実施する場合は、端部までの路程は、アレイ探触子を用いた送受信により端部までの路程を測定し、hs=h-Wia-Wit...8で表すことができる。次に、図9~図11を用いて、本実施形態による超音波検査装置の構成について説明する。図9は、本発明の一実施形態による超音波検査装置による検査の概要構成図である。図10は、本発明の一実施形態による超音波検査装置の構成を示すブロック図である。図11は、本発明の一実施形態による超音波検査装置におけるアレイ探触子の設定の説明図である。図9では、配管検査を例に挙げて、本実施形態による超音波検査装置の全体構成例を示している。被検体20である配管の外周には、ガイドレールGRが取り付けられている。ガイドレールGRには、斜角探傷が可能な送信用探触子101Aと、垂直探傷が可能な受信用探触子101BがそれぞれホルダHOにより保持され、移動可能に取り付けられている。ガイドレールGRとモータMは移動機構を構成し、モータMにより、ガイドレールGRが被検体20の外周に沿って回転移動し、これにより、被検体20の外周上を、送信用探触子101A及び受信用探触子101Bが移動可能である。本実施形態による超音波検査装置は、送信用探触子101A及び受信用探触子101Bの他に、送受信部102と、制御部103と、表示部104とを備えている。送受信部102は、斜角探傷が可能な探触子101Aで超音波の送受信を行う斜角探傷法により探傷する欠陥検出モードと、斜角探傷が可能な探触子101Aで超音波を送信し、垂直探傷が可能な探触子101Bで受信して、微少欠陥の高さを測定するサイジングモードが可能となるように、送信用探触子101A及び受信用探触子101Bにおける超音波の送受信を制御する。なお、欠陥検出モードでは、探触子101Aは、送受信の兼用に用いられる。制御部103は、送受信部102における超音波の送受信を制御する送受信部制御部103-1と、移動機構を制御する移動機構制御部103-2とを備えている。表示部104には、探傷により得たデータが表示され、記録され、評価される。なお、移動機構に関しては、被検体形状が不明の場合は、所望の位置に二つの探触子を移動できるような構成のものを用いる。次に、図10を用いて、本実施形態による超音波検査装置のより詳細な構成について説明する。本実施形態による超音波検査装置は、送信用探触子で超音波の送受信を行う斜角探傷法により探傷する欠陥検出モードと、送信用探触子で送信し、受信用で受信して、微少欠陥の高さを測定するサイジングモードとを実行可能である。これらの両手法で得たデータを画像表示する際、モードに合わせたゲイン調整を実施し、探傷結果画像表示することが可能である。ここでは、送信用受信用探触子にアレイ探触子を用いている。送受信部102は、アレイ探触子101に遅延時間を与えて超音波を送信するパルサ102Aと、受信した超音波をアナログ‐デジタル変換して受信信号とするレシーバ102Zからなる。制御部103は、超音波の送受信素子に用いる超音波振動素子を切り替え、随時制御する使用素子選択回路103Cと、送受信時の遅延時間の制御回路103Dと、受信信号の加算回路103Zと、加算された信号を探傷モードに従って乗算する乗算回路103Yと、これらを制御するパターン、受信した信号を収録する記憶装置103Aと、制御するパターンに基づいて、処理を行う制御処理用コンピュータ103Bとからなる。表示部104は、各種設定を表示する設定入力画面104Aと、これら探傷手法による受信信号及び測定画像を表示可能な表示画面104Zとからなる。次に、それぞれの動作について説明する。まず、制御処理用コンピュータ103Bは、超音波を送受信して測定対象からの反射信号を収録する際に、使用素子制御回路103Cへ超音波の送受信に用いる超音波振動素子の選択のための送受信素子切り替え信号を送信するとともに、遅延制御回路103Dを通じて、超音波を集束して送受信するための超音波振動素子への遅延時間を与える。送信信号と遅延時間を受取った送信遅延回路102Bは、与えられた遅延時間で送信信号を送信素子選択部102Cに送る。送信素子選択部102Cでは、送信遅延回路102Bから遅延時間を付与して送信された送信信号を受け、使用素子制御回路103Cからの送信素子の選択信号に基づき、送信素子を選択して、送信信号を送信増幅器102Eへ送信する。送信増幅器102Eは送信信号を増幅して、探触子101中の素子に超音波を送信するための駆動電圧を印加する。この際に、送信素子選択部102Cは、探触子101Bが持つ素子に対して、個々にあるいは複数の素子に同時に送信信号を送ることが可能である。増幅された送信信号を受けた素子は、圧電効果で超音波を送信する。前述したように、送信信号に遅延時間を与えて探触子101に電圧を印加すると、それぞれの素子は遅延時間に対応した時間遅れで超音波を送信する。超音波を集束する場合には、各超音波振動素子から集束位置までの幾何学的な距離、つまり各媒質での超音波の音速と境界面での屈折を考慮した距離に対応した遅延時間で各超音波振動素子に電圧を印加し、被検体中の所定の位置に超音波を集束して送信する。被検体から返ってきた超音波を、レシーバ102Zで受信し、圧電効果により生じた電気信号を処理する際には、探触子101の各素子で受信した超音波に対応して、受信信号を受信増幅器102Yで増幅して、アナログ‐デジタル変換器102Xでアナログであった受信信号をデジタル信号に変換する。更に、受信素子選択部102Wで受信素子を選択し受信する。デジタル信号に変換され、選択された受信信号は、遅延メモリ102Vに記憶される。この際に、遅延メモリ102Vでは、超音波送信時と同様に超音波を集束して受信する際には、遅延制御回路103Dから送信された遅延時間を各超音波振動素子からの受信信号に付与して、記憶される。加算回路103Zで加算した波形は、斜角探傷法による欠陥検出モードで取得した波形と、サイジングモードで取得した波形があるので、それぞれ適切な強度で画像表示できるように、図11で後述する補正ゲインG1,G2を用いて、乗算回路103Yでゲイン補正を行い、制御処理用コンピュータ103Aに送る。このような、送受信に使用する超音波振動素子の組合せの設定を簡便に実施するためには、あらかじめ送受信に使用する探触子中の素子の組合せを制御処理コンピュータの記憶装置103Aに保存しておいて、送受信に使用する超音波振動素子の組合せパターンを指定し、測定開始時に読み込んで、送信時は送信素子選択部102Cを動作すればよく、受信時は受信素子選択部102Wを動作すればよい。ここで、図11を用いて、送受信に使用する素子の組合せと遅延時間をまとめたデータ表の一例について説明する。焦点Fiに対応する送受信に使用する超音波振動素子の組合せを選び、各々、送信素子選択部102Cと受信素子選択部102Wへ反映し、送受信で使用する超音波振動素子を限定する。図10では、ON=正の遅延時間:Pik,Rik、OFF=-1として表示した例である。なお、上記の説明はアレイ探触子を想定したものであるが、例えば、M=1,N=1の場合、単一探触子を用いたことに相当し、遅延時間T1,1=0、R1,1=0、T2,1=0、R2,2=0を与えれば、送信用受信用探触子に単一型探触子を使用することに相当する。なお、遅延時間における-1は、送受信しないことを示している。次に、図12を用いて、本実施形態による超音波検査装置による検査方法の内容についての構成について説明する。図12は、本発明の一実施形態による超音波検査装置による検査方法の内容を示すフローチャートである。まず、図9にて説明したように、探触子101を被検体20に設置し、検査を開始する。最初に、ステップS100において、移動機構により探触子を移動する。次に、ステップS101において、送信側の探触子101Aのみを用いて、斜角探傷法によりコーナーエコーを検出することで、欠陥の有無を判定する。この際、探触子101Aは、超音波を送信するとともに、欠陥等からの反射波を受信する送受信兼用として用いる。検査対象範囲において、コーナーエコーが検出できなければ、ステップS107において、探傷終了する。一方、コーナーエコーが検出された場合は、ステップS102において、制御処理用コンピュータ103Bは、得られた受信波形に表示された路程や、屈折角より、欠陥位置を評価する。次に、ステップS103において、コーナーエコーが検出された場合、斜角探傷法により、端部エコーを探す。これは通常、単一斜角探触子においては、超音波の発生角度が固定されているため、微小欠陥の場合は、図4に示した受信波形例のように、コーナーエコーと端部エコーが同時に表示されるが、巨大な欠陥の場合、受信波形上にコーナーエコーと端部エコーが同時に表示されないケースがある。端部エコーが検出されない場合、微小欠陥であると想定されるので、ステップS104において、ステップS103で求めた端部エコーの波形より、得られた欠陥位置から、欠陥直上に受信用探触子101Bを設置し、図4にて説明した手法によりコーナーエコーと端部エコーを検出する。図4にて説明した手法でも、端部エコーが得られなかった場合は、評価に値しない反射体であると判定し、ステップS106で、全検査範囲が完了したか判定する。一方、ステップS104において、コーナーエコーと端部エコーが検出された場合には、ステップS105において、これらの路程差から、サイジングを行う。精確にサイジングする場合は、微小欠陥の場合の補正式としては前述の式5を用いる。大きい欠陥の場合は、式7あるいは式8を用いる。そして、ステップS106において、全範囲を検査終了したか判定し、全範囲検査が終了していない場合は、ステップS101に戻り、終了した場合は、ステップS107にて検査終了となる。このとき、通常の斜角探傷で、端部エコーが検出される場合がある。この時は、従来法を用いて欠陥高さを評価することが可能である。ただし、端部エコーは強度が弱いため、十分な強度で検出されないまま、評価することは危険であるので、予め端部エコーのSN比に閾値をもうけ、その閾値以下の場合、図4にて説明した手法を用いて、補助的に評価しておく、あるいは、十分なSNでもって端部エコーを検出できた場合でも、やはり補助的にデータを保持しておくことも有効である。したがって、ステップS103で端部エコーが検出できれば、ステップS108において、一般に用いられている斜角探傷法でサイジングする。そして、ステップS109において、サイジングの際、十分なSN比で検出可能であったか判定する。十分なSN比で検出できていない場合は、ステップS104で図4にて説明した手法によりサイジングする。より精確にサイジングするには、単一探触子やアレイ探触子に応じ、式5や式7や式8の補正式を用いる。また、十分なSN比で検出できるようなサイズの欠陥であった場合は、この欠陥に対する評価を完了し、ステップS106へ進んでもよいし、補助的にステップS104に進み、図4にて説明した手法によりサイジングしたデータを保持してもよい。次に、図13を用いて、本実施形態による超音波検査装置による他の検査方法の内容についての構成について説明する。図13は、本発明の一実施形態による超音波検査装置による他の検査方法の内容を示すフローチャートである。ここでは、板厚が一定の場合の検査方法について説明する。超音波による非破壊検査が必要とされる対象物は、配管や平たい鋼板などに代表されるように、被検体形状、対象とする欠陥種類が決まっている場合が多い。配管や平板のように、板厚が一定で、被検体裏面に対しほぼ法線方向に欠陥進展が予測される場合は、二つの探触子101A,101Bの位置の位置関係は固定できる。したがって、これら二つの探触子の位置関係が固定された探触子を移動させて、図4にて説明した手法により検査すればよい。そのためには、まず、探触子101A,101Bを被検体20に設置し、検査を開始する。ステップS201において、探触子101A,101Bの位置の位置関係は固定して、移動する。ステップS202において斜角探傷により被検体の欠陥を検出し、ステップS204において、得られたデータを取得し、ステップS204において、得られたデータを画像化する。一方、ステップS205において図4にて説明した手法により被検体の欠陥に対するコーナーエコーと端部エコーを検出し、ステップS206において、得られたデータを取得し、ステップS207において、得られたデータを画像化する。そして、ステップS208において、これら二つの探傷画像を画像表示する。さらに、ステップS209において、全検査範囲を検査完了したか判定し、検査完了していた場合は、ステップS210にて検査終了する。検査が完了していない場合、ステップS201に戻る。次に、図14及び図15を用いて、本実施形態による超音波検査装置による画像の表示方法についての構成について説明する。図14及び図15は、本発明の一実施形態による超音波検査装置による画像の表示方法の説明図である。画像の表示方法としては、送信用探触子として単一探触子若しくはアレイ探触子を用い、受信用探触子として単一探触子若しくはアレイ探触子を用いる場合があり、これらの計4通りの組み合わせが考えられる。送信用探触子に単一探触子を用いる場合、特定の場所で探傷し、表示可能なデータは、斜角探傷法と図4にて説明した手法でえられた二つの波形である。送信用探触子にアレイ探触子を用いた場合、特定の場所で探傷し、表示可能なデータは、斜角探傷法と図4にて説明した手法とも、2次元画像である。斜角探傷法では、リニアスキャン、セクタスキャンによる画像表示が可能である。図4にて説明した手法では、リニアスキャンのパターンやセクタスキャンの屈折角に合わせてデータ表示することにより、図14に示すように2次元表示可能である。図14Aは、送信用探触子にアレイ探触子を、受信探触子に単一垂直探触子を用いて、セクタスキャンによる斜角探傷と、図4にて説明した手法による探傷を行い、左にセクタスキャン結果を、右に、図4にて説明した手法で得られたデータを、セクタスキャンの送信パターンで決定される屈折角に合わせて描画したものである。受信用探触子には、単一アレイ探触子を用いても、表示可能なデータとしては大差なく、焦点深さが可変か可変でないかの違い、つまり、端部エコー、コーナーエコーに対する感度が変わるのみである。また、超音波検査では、一般に、基準となる反射体からの反射強度を測定し、このデータを元に予め探傷感度ゲインを設定し、このゲインで探傷する。このため、斜角探傷法と、図4にて説明した探傷法を組み合わせた本発明の検査手法では、図14Aに示すように、ゲインを一定に探傷した場合、斜角探傷法によるコーナーエコー強度≫図4にて説明した手法によるコーナーエコー強度≒図4にて説明した手法による端部エコー強度であるから、例えば、斜角探傷に適切なゲインで取得したデータを結果表示した場合、図4にて説明した探傷法による探傷画像側は、信号強度が小さく、検査員が回折波を判別しにくくなる。この問題を回避するためには、図14Bに示すように、斜角探傷法による画像と、本発明手法による画像を、別個にゲイン調整、ゲイン表示できるようにすればよい。その上で、信号強度の弱い図4にて説明した探傷法による探傷画像側のゲインを上げることで、回折波を判別しやすくすることができる。図14に示した表示例は、超音波を送信する角度を極座標θとし、送信用探触子によって超音波を入射し、受信用探触子で得られた波形から、端部回折波の端部エコーとコーナーから反射したコーナーエコーの路程を極座標rとし、受信した波形強度を対応する箇所にマッピングしてセクタ状に表示したものである。それに対して、図15Bに示すように表示することもできる。図15Aは図14と同じ極座標による表示である。それに対して、図15Bのものは、アレイ探触子の超音波を送信する角度を縦軸とし、送信用探触子によって超音波を入射し、受信用探触子で得られた波形から、端部回折波の端部エコーとコーナーから反射したコーナーエコーの路程を横軸とし、受信した波形強度を対応する箇所にマッピングして2次元画像として表示したものである。以上説明したように、本実施形態によれば、通常斜角方向で強く受信するコーナーエコーは、音波の広がりを利用して、意図して音波の広がりのうち、比較的弱い垂直方向で受信することで、コーナーエコー強度を弱めることが可能となる。一方、回折波は、後述するように、垂直方向に比較的強く分布するため、コーナーエコーに対する欠陥端部からの回折波の信号強度を相対的に強めることができる。その結果、コーナーエコーに端部エコーが埋没し、サイジングできなくなる問題を回避することができる。また、伝搬経路として、SPOD法と比較し、送信用探触子から発振された超音波が被検体底面にて反射し、直接的に受信用探触子で受信することが無いため、被検体形状の影響を受けることのない最短の伝搬経路で到達する回折波だけを利用することができる。その結果、溶接部や底面で反射した影響で弱められた回折波のピークや路程の評価が不要になり、例えば厚肉の被検体の検査等で、感度良く検査できるようになる。また、モード変換波を利用していないため、音速は単一のもので評価することができる。その結果、検査欠陥データの表示上での、波形の評価が容易となる。したがって、微小欠陥に対しても、精度よく、簡便に、超音波によるサイジングを実施することが可能となる。"