パターン孔が設けられたマスクプレートに基板に当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートを保持するマスクホルダと、このマスクホルダに保持されたマスクプレートに対して下方から基板を位置決めする基板位置決め部と、マスクプレート上で前記スキージを水平移動させるスキージ移動機構と、前記基板に対して圧縮エアに除電イオンを混合した除電気体を吹き付けるイオナイザとを備え、前記イオナイザは、前記圧縮エアを駆動源とする発電手段が発生する電力によって前記除電イオンを生成することを特徴とするスクリーン印刷装置。前記イオナイザは、前記基板位置決め部に保持された前記基板の下面に対して前記除電気体を吹き付けることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷装置。半導体製造設備または電子部品実装用設備において対象物に帯電した静電気を除去する除電用途に用いられ、前記対象物に対して圧縮エアに除電イオンを混合した除電気体を吹き付けるイオナイザであって、前記圧縮エアを駆動源とする発電手段が発生する電力によって前記除電イオンを生成することを特徴とするイオナイザ。パターン孔が設けられたマスクプレートを保持するマスクホルダと、このマスクホルダに保持されたマスクプレートに対して下方から基板を位置決めする基板位置決め部と、マスクプレート上で前記スキージを水平移動させるスキージ移動機構とを備えたスクリーン印刷装置を用い、前記マスクプレートに基板に当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記基板に対して圧縮エアに除電イオンを混合した除電気体を吹き付ける除電工程において、前記圧縮エアを駆動源とする発電手段が発生する電力によって前記除電イオンを生成することを特徴とするスクリーン印刷方法。前記除電工程において、前記基板位置決め部に保持された前記基板の下面に対して前記除電気体を吹き付けることを特徴とする請求項4記載のスクリーン印刷方法。しかしながら上述の先行技術を含め、従来技術においては除電気体を生成するイオナイザの構成やスクリーン印刷装置への配設方式に起因して、次のような難点があった。すなわち、一般にスクリーン印刷装置では、静電気による不具合は実際に装置稼働状態になってから顕在化する場合が多く、装置設計当初から除電機能を組み込むのではなく、稼働開始後に必要に迫られて静電気対策としてイオナイザを適宜追加設置するいわゆる後付けによる場合が多い。このような後付けに際しては、既に機器部品類の配置が完了した既存機構中にイオナイザを追加して組み込む必要があることから、サイズがコンパクトで組み込みスペースが小さいことに加えて、電源配線などの付帯作業が極力容易であることが求められる。ところが従来技術では、イオナイザを作動させるための電源が必須で、後付け作業に際して電源配線が必要とされ、後付けが困難な場合があった。そしてこのような課題は、スクリーン印刷装置にかぎらず、半導体製造設備や電子部品実装用設備に用いられるイオナイザについても共通するものであった。そこで本発明は、除電気体を吹き付けるイオナイザを容易に後付けにより組み込むことができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板に当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートを保持するマスクホルダと、このマスクホルダに保持されたマスクプレートに対して下方から基板を位置決めする基板位置決め部と、マスクプレート上で前記スキージを水平移動させるスキージ移動機構と、前記基板に対して圧縮エアに除電イオンを混合した除電気体を吹き付けるイオナイザとを備え、前記イオナイザは、前記圧縮エアを駆動源とする発電手段が発生する電力によって前記除電イオンを生成する。本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたマスクプレートを保持するマスクホルダと、このマスクホルダに保持されたマスクプレートに対して下方から基板を位置決めする基板位置決め部と、マスクプレート上で前記スキージを水平移動させるスキージ移動機構とを備えたスクリーン印刷装置を用い、前記マスクプレートに基板に当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記基板に対して圧縮エアに除電イオンを混合した除電気体を吹き付ける除電工程において、前記圧縮エアを駆動源とする発電手段が発生する電力によって前記除電イオンを生成する。本発明によれば、スクリーン印刷装置において印刷対象の基板に対して圧縮エアに除電イオンを混合した除電気体を吹き付けるイオナイザを、圧縮エアを駆動源とする発電手段が発生する電力によって除電イオンを生成する構成とすることにより、イオナイザへ電力を供給するための機内配線を不要にすることができ、除電気体を吹き付けるイオナイザを容易に後付けにより組み込むことができる。次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照してスクリーン印刷装置1の構造および機能を説明する。図2において、スクリーン印刷装置1は、基板位置決め部2の上方にスクリーン印刷機構3を配設して構成されている。基板位置決め部2は、印刷対象の基板10を保持してスクリーン印刷機構3のマスクホルダ11に保持されたマスクプレート12に対して下方から位置合わせする機能を有している。基板10は両面に電子部品が実装される両面実装基板であり、ここでは前工程で既に片面に部品実装が行われ、既実装面を下面側にした状態の基板10を印刷対象とする例を示している。基板位置決め部2は、Y軸テーブル2Y、X軸テーブル2Xおよびθ軸テーブル2θを段積みし、更にθ軸テーブル2θの上面に設けられた水平なベースプレート4の上面に、水平なベースプレート5a、6aをそれぞれ独立して昇降させる第1のZ軸テーブル5、第2のZ軸テーブル6を組み合わせて構成されている。ベースプレート5aには2つの垂直フレーム5bが立設されており、垂直フレーム5bの上端部には基板搬送機構8が保持されている。基板搬送機構8は基板搬送方向X方向--図1において紙面垂直方向に配設されており、コンベア機構よって印刷対象の基板10の両端部を支持して搬送する。第1のZ軸テーブル5を駆動することにより、基板搬送機構8によって保持された状態の基板10をスクリーン印刷機構3に対して昇降させることができる。ベースプレート6aの上面には、基板下受部7が着脱自在に装着されている。基板下受部7は、スクリーン印刷機構3による印刷位置に搬送された基板10を下方から下受けして保持する。図2に示すように、基板下受部7は下受けプレート20に複数の下受けピン21を立設した構成となっており、下受けピン21によって基板10の下面において既実装部品が存在しない下受け可能部位を支持する。下受けプレート20には下受けピン21が嵌脱自在に装着される複数のピン支持孔20aが格子配列で設けられている。新たな基板10を対象として機種切り替え作業を行う際には、下受けプレート20において基板10の下受け可能部位に対応したピン支持孔20aを選択して下受けピン21を装着する。本実施の形態においては、下受けプレート20の上面にはスクリーン印刷動作において基板10に帯電する静電気を除去する除電機能を有する複数のイオナイザ22が配設されており、除電イオンを含んだ気体を基板10の下面側に対して直接吹き付けるようにしている。第2のZ軸テーブル6を駆動することにより、基板下受部7は基板搬送機構8に保持された状態の基板10に対して昇降する。そして基板下受部7の下受面、すなわち下受けピン21の上端部が基板10の下面に当接することにより、基板下受部7は基板10を下面側から支持する。基板搬送機構8の上面には左右対向して配置された2つのクランプ部材9を備えており、一方側のクランプ部材9を駆動機構9aによって進退させることにより、基板10を両側からクランプして固定する。次に基板位置決め部2の上方に配設され、印刷位置に搬送された基板10に対して半田ペーストや導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷機構3について説明する。図1において、スクリーン印刷機構3は、マスクホルダ11にマスクプレート12を展張保持した構成のマスクユニットの上方に、スキージユニット13をスキージ移動機構14によって水平移動自在に配置した構成となっている。マスクプレート12には、基板10に形成された電極図示省略の配置に対応してパターン孔12aが形成されている。マスクプレート12上には、スキージユニット13が配設されている。スキージユニット13は、対向配置された1対のスキージ部材16をそれぞれ昇降させる2つのスキージ昇降機構17を、水平なプレート15に配設した構成となっている。スキージ昇降機構17を駆動することによりスキージ部材16は昇降し、下降状態においてスキージ部材16はマスクプレート12の上面に当接する。スキージユニット13は、送りねじ14bをスキージ移動モータ14aによって回転駆動する構成のスキージ移動機構14によって、水平方向に往復移動自在となっている。マスクプレート12の下面と基板位置決め部2に保持された基板10の上面との間には、カメラユニット19がカメラ移動機構図示省略によってX方向、Y方向に水平移動自在に配設されている。カメラユニット19は、基板10を上方から撮像するための基板認識カメラと、マスクプレート12を下面側から撮像するためのマスク認識カメラとを備えており、カメラ移動機構を駆動してカメラユニット19を移動させることにより、マスクプレート12および基板10を撮像する。次に図3を参照して、基板下受部7に装着されるイオナイザ22の構成および機能について説明する。イオナイザ22は、半導体製造設備または電子部品実装用設備において対象物に帯電した静電気を除去する除電用途に用いられ、対象物に対して圧縮エアに除電イオンを混合した除電気体を吹き付ける機能を有するものである。図3aに示すように、イオナイザ22は矩形ボックス状の筐体部23の上面に設けられた除電気体噴出口24から除電イオンを含む除電気体26を噴出する機能を有しており、エア供給管25から駆動源としての圧縮エアを供給矢印aすることのみにより、別途電源を必要とせずに除電気体26を発生する機構を備えてしている。図3bに示すように、筐体部23の内部には、小型のエアタービン30、小型発電機31、電極ユニット32が内蔵されている。エアタービン30はタービンロータ30aを内蔵しており、タービンロータ30aの回転軸は小型発電機31と連結されている。エア供給管25から圧縮エアを供給矢印aすることにより、圧縮エアはエアタービン30内を流れ矢印b、タービンロータ30aを回転させる。これにより、回転軸が結合された小型発電機31が回転駆動される。小型発電機31によって生じた電力は、電極ピン33を備えた電極ユニット32に供給され、これにより、電極ピン33の先端近傍の空気がイオン化されて、正電荷を帯びた正イオンや負電荷を帯びた負イオンなどの除電イオン35が生成される。そしてこれらの除電イオン35は、エアタービン30の排気口30bから吹き出す圧縮エアの排気34と混合されて除電気体26となり、除電気体噴出口24を介して上方に噴出する。上記構成において、エアタービン30および小型発電機31は、圧縮エアを駆動源とする発電手段を構成し、イオナイザ22はこの発電手段が発生する電力によって除電イオン35を発生するようになっている。そして本実施の形態においては、イオナイザ22は、基板位置決め部2に保持された基板10の下面に対して、除電気体26を吹き付けるようにしている。次にスクリーン印刷機構3による印刷動作について、図4を参照して説明する。まず基板搬送機構8によって、印刷対象の基板10が印刷位置に搬入され、基板下受部7に対して位置合わせされる。次いで第2のZ軸テーブル6を駆動して基板下受部7を上昇させ、基板10の下面を下受けする。この後基板位置決め部2を駆動して、基板10をマスクプレート12に対して位置合わせした後、第1のZ軸テーブル5を駆動して、基板10を基板搬送機構8とともに上昇させてマスクプレート12の下面に当接させる。この後、基板10をクランプ部材9によってクランプすることにより、基板10の水平位置が固定される。そしてこの状態で、2つのスキージ部材16のうちいずれか1つを下降させ、半田ペーストなどのペースト18が供給されたマスクプレート12に当接させる。次いでマスクプレート12上でスキージ部材16をスキージング方向Y方向に摺動させることにより、基板位置決め部2に保持された基板10にはパターン孔12aを介してペースト18が印刷される。このスクリーン印刷動作においては、図5aに示すように、マスクプレート12にスキージ部材16を当接させて水平移動矢印cさせることによりペースト18を掻き寄せるスキージング動作が反復実行される。このスキージング動作においては、スキージ部材16とマスクプレート12との摩擦により発生した静電気が、マスクプレート12および基板10に帯電し、この帯電状態を放置すると、電荷の放電によるダメージが既実装部品28に及ぶおそれがある。このような静電気による不具合を防止するため、本実施の形態においては、圧縮エアを駆動源とする発電手段を内臓した構成のイオナイザ22を作動させて、基板10に対して圧縮エアに除電イオン35を混合した除電気体26を吹き付ける除電工程を実行するようにしている。ここでは、基板位置決め部2に保持された基板10の下面に対して、除電気体26を吹き付けるようにしている。これにより、図5bに示すように、除電気体噴出口24から噴出される除電気体26に含まれる正イオンや負イオンなどの除電イオン35が、基板位置決め部2に保持された除電対象の基板10の下面や既実装部品28に接触する。したがってこれら帯電状態の除電対象物の静電気が除電イオン35によって電気的に中和されて帯電状態が解消され、静電気の帯電に起因するダメージを有効に防止することができる。なおイオナイザ22を常に作動させるようにすれば、除電気体26を常時上方に噴出させて基板下受部7の上面近傍に常に除電雰囲気を形成することができ、除電効果を向上させることができる。上述構成のイオナイザ22の作動においては、エア供給管25を介して圧縮エアを供給することのみによって、除電気体26を生成することができることから、従来方式のイオナイザを用いる場合に必要とされた電力供給や制御用の電気配線を必要としない。したがって、静電気による不具合が実際に装置稼働状態になった後に顕在化して、静電気対策としてイオナイザを適宜追加設置するいわゆる後付けが求められる場合にあっても、電気配線が不要であることから装置内の小さな空きスペースを有効に利用して、イオナイザを容易に追加配置することができる。上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法においては、印刷対象の基板10に対して圧縮エアに除電イオンを混合した除電気体26を吹き付けるイオナイザ22を、圧縮エアを駆動源とする発電手段が発生する電力によって除電イオンを生成する構成としたものである。これにより、イオナイザ22へ電力を供給するための機内配線を不要にすることができ、除電気体26を吹き付けるイオナイザ22を容易に後付けにより組み込むことができる。なお本実施の形態においては、イオナイザ22をスクリーン印刷装置における基板10の除電に用いた例を示しているが、本実施の形態に示すように電気配線が不要という特徴を備えたイオナイザ22は、スクリーン印刷装置に限らず半導体製造設備や電子部品実装用設備において、後付けによって配置することが求められる場合に適用することができる。