被処理水を一方向に流動させる流動槽と、被処理水が通過可能に前記流動槽内に配置された光触媒繊維と、紫外線を照射可能な紫外線照射部と、前記流動槽内の被処理水の流動方向に交差する面の全域に亘って設けられ、前記紫外線照射部を収容する紫外線照射部収容部とを備えた紫外線酸化装置であって、前記紫外線照射部収容部は、上流側から収容された紫外線照射部に向かって被処理水を該収容部内に流入させ、前記収容部内を流動させた後に下流側に流出させるよう形成され、前記紫外線照射部からの紫外線が前記光触媒繊維に照射可能な素材から構成されていることを特徴とする紫外線酸化装置。前記紫外線照射部収容部は、紫外線照射部を収容する内管と、該内管の覆う外管とを備えていること特徴とする請求項1記載の紫外線酸化装置。前記内管と外管の径方向の間隔が1~10mmであることを特徴とする請求項2記載の紫外線酸化装置。前記内管及び外管が、180~190nmと250~260nmの波長の紫外線を透過する素材から構成されていることを特徴とする請求項2又は3記載の紫外線酸化装置。前記紫外線照射部は、180~190nmと250~260nmそれぞれにピーク波長を有する紫外線を照射可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の紫外線酸化装置。前記紫外線照射部が長尺状に形成され、前記光触媒繊維が平板状に形成されており、前記紫外線照射部の長手方向と前記光触媒繊維の平面方向が平行になるように設定されていることを特徴とする請求項1乃至5いずれか記載の紫外線酸化装置。被処理水中の不純物を除去する逆浸透膜装置と、該逆浸透膜装置の下流に設置され、前記逆浸透膜装置によって不純物除去された被処理水中のイオン成分を除去するイオン交換装置と、該イオン交換装置の下流に設置され、前記イオン交換装置によってイオン成分除去された被処理水中の有機物成分を分解する請求項1乃至6いずれか記載の紫外線酸化装置と、該紫外線酸化装置の下流に設置され、前記紫外線酸化装置による有機物成分の分解によって被処理水中に生じたイオン成分を除去する混床式イオン交換装置と、該混床式イオン交換装置の下流に設置され、前記逆浸透膜装置以降の処理によって被処理水中に生じた粒子状物を除去する限外濾過装置とを備えたことを特徴とする超純水製造装置。前記限外濾過装置の上流側に設置され、被処理水中のガスを除去する脱気装置をさらに備えたことを特徴とする請求項7記載の超純水製造装置。前記脱気装置は、少なくとも前記逆浸透膜装置とイオン交換装置の間及び前記イオン交換装置と前記限外濾過装置の間に設置されていることを特徴とする請求項8記載の超純水製造装置。被処理水が通過可能な光触媒繊維と、紫外線を照射可能な紫外線照射部と、該紫外線照射部を収容し、被処理水が内部を流動可能な紫外線照射部収容部とを有する流動槽内を流動する被処理水中に含まれる有機物を酸化分解処理する紫外線酸化方法であって、前記光触媒繊維に前記紫外線照射部から紫外線を照射させた状態で被処理水が前記光触媒繊維を通過する工程と、被処理水に前記紫外線照射部から紫外線を照射させた状態で被処理水が前記紫外線照射部収容部内を流動する工程とを備えたことを特徴とする紫外線酸化方法。被処理水中の不純物を除去する不純物除去工程と、該不純物除去工程によって処理された被処理水中のイオン成分を除去する第1イオン成分除去工程と、請求項10記載の紫外線酸化方法によって、前記第1イオン除去工程によって処理された被処理水中の有機物成分を分解する有機物成分分解工程と、該有機物成分分解工程によって被処理水中に生じたイオン成分を除去する第2イオン成分除去工程と、前記不純物除去工程以降に被処理水中に生じた粒子状物を除去する粒子状物除去工程とを備えたことを特徴とする超純水製造方法。しかしながら、紫外線ランプを用いた酸化処理においては、一般的に、紫外線ランプの消費電力が大きいという問題、十分な酸化効果を得るためには、紫外線ランプと紫外線酸化装置内壁の距離を短くしなければいけないという問題、紫外線ランプには寿命があり、定期的な交換が必要であるにもかかわらず単価が高いという問題、紫外線照射での酸化効果を十分なものにするためには過酸化水素の混合や、エアやオゾン等のバブリングが必要である等の理由によってランニングコストが高いという問題などがある。また、特許文献1に記載された過酸化水素、オゾンを併用する方法は、ランニングコストが上昇するとともに、紫外線照射装置の下流側でさらに過酸化水素、オゾンの除去を行わなければならず、装置が複雑化するという問題があり、特許文献2に記載された紫外線処理槽内壁に光触媒を保持する方法は、必ずしも処理対象とするTOC成分と光触媒が接触することなく、処理水が紫外線処理装置外に出て行ってしまう可能性があるため、光触媒によるTOC成分の分解効率が極端に低くなってしまう可能性があるという問題があり、さらに、特許文献3に記載されたものは、紫外線ランプに対する取り付け角度を45度から135度とする場合、紫外線ランプに対し垂直に放射される紫外光を有効に活用しているとはいえないという問題がある。そこで、本発明は、水中に存在する有機物を低いエネルギー消費及び低コストで効率的かつ安全に分解することができる紫外線酸化装置及びそれを用いた超純水製造装置、並びに紫外線酸化方法及び超純水製造方法を提供することを目的とする。以上の目的を達成するために、本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、流動槽内の被処理水の流動方向に交差する面の全域に亘って紫外線照射部を収容する紫外線照射部収容部を設け、その紫外線照射部収容部に収容された紫外線照射部に向かって上流側から被処理水を収容部内に流入させ、収容部内を流動させた後に下流側に流出させるよう形成することによって、水中に存在する有機物を低いエネルギー消費及び低コストで効率的かつ安全に分解することができることを見出した。すなわち、本発明は、被処理水を一方向に流動させる流動槽と、被処理水が通過可能に前記流動槽内に配置された光触媒繊維と、紫外線を照射可能な紫外線照射部と、前記流動槽内の被処理水の流動方向に交差する面の全域に亘って設けられ、前記紫外線照射部を収容する紫外線照射部収容部とを備えた紫外線酸化装置であって、前記紫外線照射部収容部は、上流側から収容された紫外線照射部に向かって被処理水を該収容部内に流入させ、前記収容部内を流動させた後に下流側に流出させるよう形成され、前記紫外線照射部からの紫外線が前記光触媒繊維に照射可能な素材から構成されていることを特徴とする。本発明に係る紫外線酸化装置において、前記紫外線照射部収容部は、紫外線照射部を収容する内管と、該内管の覆う外管とを備えていることが好ましく、前記内管と外管の径方向の間隔が1~10mmであることが好ましい。また、本発明に係る紫外線酸化装置において、前記内管及び外管が、180~190nmと250~260nmの波長の紫外線を透過する素材から構成されていることが好ましく、前記紫外線照射部は、180~190nmと250~260nmそれぞれにピーク波長を有する紫外線を照射可能に構成されていることが好ましい。さらに、本発明に係る紫外線酸化装置において、前記紫外線照射部が長尺状に形成され、前記光触媒繊維が平板状に形成されており、前記紫外線照射部の長手方向と前記光触媒繊維の平面方向が平行になるように設定されていることが好ましい。また、本発明は、被処理水中の不純物を除去する逆浸透膜装置と、該逆浸透膜装置の下流に設置され、前記逆浸透膜装置によって不純物除去された被処理水中のイオン成分を除去するイオン交換装置と、該イオン交換装置の下流に設置され、前記イオン交換装置によってイオン成分除去された被処理水中の有機物成分を分解する前記紫外線酸化装置と、該紫外線酸化装置の下流に設置され、前記紫外線酸化装置による有機物成分の分解によって被処理水中に生じたイオン成分を除去する混床式イオン交換装置と、該混床式イオン交換装置の下流に設置され、前記逆浸透膜装置以降の処理によって被処理水中に生じた粒子状物を除去する限外濾過装置とを備えたことを特徴とする超純水製造装置である。本発明に係る超純水製造装置は、前記限外濾過装置の上流側に設置され、被処理水中のガスを除去する脱気装置をさらに備えても良く、前記脱気装置は、少なくとも前記逆浸透膜装置とイオン交換装置の間及び前記イオン交換装置と前記限外濾過装置の間に設置されていることが好ましい。脱気装置を設けることにより、半導体産業などで使用される超純水において問題とされている溶存酸素の低減を図ることができる。また、脱気装置を前記イオン交換装置の上流側にさらに設けることによって、水中に存在する炭酸ガスなどのガスを除去し、イオン交換装置の長寿命化を図ることができ、また、半導体産業などで使用される超純水において問題とされている溶存酸素の低減を図ることができる。さらに、本発明は、被処理水が通過可能な光触媒繊維と、紫外線を照射可能な紫外線照射部と、該紫外線照射部を収容し、被処理水が内部を流動可能な紫外線照射部収容部とを有する流動槽内を流動する被処理水中に含まれる有機物を酸化分解処理する紫外線酸化方法であって、前記光触媒繊維に前記紫外線照射部から紫外線を照射させた状態で被処理水が前記光触媒繊維を通過する工程と、被処理水に前記紫外線照射部から紫外線を照射させた状態で被処理水が前記紫外線照射部収容部内を流動する工程とを備えたことを特徴とする。またさらに、本発明は、被処理水中の不純物を除去する不純物除去工程と、該不純物除去工程によって処理された被処理水中のイオン成分を除去する第1イオン成分除去工程と、前記紫外線酸化方法によって、前記第1イオン成分除去工程によって処理された被処理水中の有機物成分を分解する有機物成分分解工程と、該有機物成分分解工程によって被処理水中に生じたイオン成分を除去する第2イオン成分除去工程と、前記不純物除去工程以降に被処理水中に生じた粒子状物を除去する粒子状物除去工程とを備えたことを特徴とする超純水製造方法である。以上のように本発明によれば、水中に存在する有機物を低いエネルギー消費及び低コストで効率的かつ安全に分解することができる紫外線酸化装置及びそれを用いた超純水製造装置、並びに紫外線酸化方法及び超純水製造方法を提供することができる。次に、本発明に係る紫外線酸化装置の実施形態について説明する。本実施形態に係る紫外線酸化装置は、図1及び2に示すように、被処理水を一方向に流動させる流動槽10と、流動槽10内を流動する被処理水が通過可能に配置され、光触媒機能を有する繊維からなる光触媒カートリッジ12と、流動槽10内の流動する被処理水に紫外線を照射可能な紫外線照射ランプ14と、流動槽10内の被処理水の流動方向に交差する面の全域に亘って設けられ、紫外線照射ランプ14を収容する紫外線照射ランプ収容部材16とを備えている。流動槽10は、上流側側面図1及び2の左側面に形成された流入口10Aから上面の下流側図1の右側に形成された流出口10Bに被処理水を流動するよう構成されている。光触媒カートリッジ12は、被処理水の流動方向に対して垂直に交わる面の全域に亘って、流動方向に沿って5つ並列した状態で流動槽10内に設置されている。各光触媒カートリッジ12は、図3に示すように平板状不織布12Aと一対の金網12B、12Bとからなり、平板状不織布12Aが一対のステンレス製の金網12B、12Bに狭持されている。このように金網12B、12Bをサポート材として用いてカートリッジ状にすることにより、光触媒機能が劣化した平板状不織布12Aを容易に取り換えることができる。多段の光触媒カートリッジを枠体等を用いて連結構造とすることにより、脱着を容易にすることができる。本実施形態において、光触媒カートリッジを5個としたが、求められる水質等に応じて、任意にその数を決定することができ、例えば1~50個とすることができる。また、本実施形態においては、光触媒カートリッジ12として平板状不織布12Aを流動槽10に固定したが、他の手段により設置してもよい。さらに、本実施形態において、各光触媒カートリッジ12は、その面が水の流動方向に垂直に交わるように設置したが、流動する水が効率良く平板状不織布12Aを通過すれば良く、例えば流動方向に対して10°前後、好ましくは5°前後、傾いて設置されても良い。紫外線照射ランプ14は、円柱状に形成されており、その外表面には、円筒状のカバー部材図示省略が設けられている。このカバー部材は、250~260nmだけでなく、180~190nmのピーク波長を透過する材質、例えば、合成石英からなる。一般的な低圧水銀ランプは、本来、185nmと254nmの2つの波長を有するが、通常のカバー部材の素材であるガラスが短波長の紫外線を透過しないため、254nmの波長のみを照射する。本実施形態に係る紫外線酸化装置において、紫外線ランプ11は、上述のようにカバー部材の素材を特殊なものにすることによって、180~190nmと250~260nmにピーク波長を有する紫外線を照射可能に構成されている。紫外線ランプ11から照射される紫外線は、180~190nm、好ましくは185nmにピーク波長を有し、かつ、250~260nm、好ましくは254nmにピーク波長を有する。紫外線照射ランプ収容部材16は、流動槽10内の各平板状不織布12の間に1つずつ、計4つ設置されている。紫外線照射ランプ収容部材16は、流動槽10内の底面から上面に亘って設けられ、円柱状の紫外線照射ランプ14を収容する二重管18、及び二重管18と流動槽10の間の被処理水の流動方向に対して垂直に交わる面の全域に亘って設けられた一対の仕切り板20、20から構成されている。二重管18は、図1、2及び4に示すように外管18A及び内管18Bからなる円筒状に形成され、250~260nmだけでなく、180~190nmのピーク波長を透過する材質、例えば、合成石英からなる。外管18Aと内管18Bの径方向の間隔は、10mm以下であることが好ましく、特に3~8mmであることが好ましい。この二重管18の外管18Aの仕切り板20よりも上流側の下方には、外管18Aと内管18Bの間の領域に貫通する流入口18Cが形成されており、仕切り板20よりも下流側の上方には、同様に、外管18Aと内管18Bの間の領域に貫通する流出口18Dが形成されている。このように紫外線照射ランプ収容部材16を構成することによって、流動槽10内を流動する被処理水は、必ず二重管18の上流側の流入口18Cから紫外線照射ランプ14に向かって流入し、外管18Aと内管Bの間の領域を通って流出口18Dから下流側に流出する。各二重管18の内管18B内には、紫外線ランプ14がその中心に位置するように設けられ、本実施形態に係る紫外線酸化装置全体で計4本配置されている。このように各紫外線ランプ14は、各光触媒カートリッジ12の間に配置することにより、光触媒カートリッジ12が備える平板状不織布21の両面に紫外線が照射可能となっている。紫外線ランプ20は、それぞれ平行に、かつその軸方向が光触媒カートリッジ12に平行となるように配置されている。なお、本実施形態において、紫外線ランプ14のカバー部材は、円柱状に形成したが、それに限定されず、長手方向に延びる形状であればよい。紫外線ランプ14の数は、求められる水質や処理水中に含まれる不要な有機物の量等に応じて決定される。本実施形態において、二重管18は、円筒状に形成したが、紫外線ランプ14が中心に配置できる形状であればよい。本実施形態に係る紫外線酸化装置に用いられる平板状不織布12Aは、シリカ成分を主体とする酸化物相第1相とチタンを含む金属酸化物相第2相との複合酸化物相からなるシリカ基複合酸化物繊維であって、第2相を構成する金属酸化物のチタンの存在割合が繊維の表層に向かって傾斜的に増大している光触媒繊維からなる。光触媒繊維の表面は、必要に応じて白金Pt、パラジウムPd、ルテニウムRu、ロジウムRh、金Au、銀Ag、銅Cu、鉄Fe、ニッケルNi、亜鉛Zn、ガリウムGa、ゲルマニウムGe、インジウムIn及びスズSnのうちの1以上が担持されていてもよい。担持方法は、特に限定されないが、前記担持される金属イオンが含まれる液と光触媒繊維とを接触させながら、第2相を構成する金属酸化物のバンドギャップに相当するエネルギー以上のエネルギーを有する光を照射することによって、担持させることができる。第1相は、シリカ成分を主体とする酸化物相であり、非晶質であっても結晶質であってもよく、またシリカと固溶体あるいは共融点化合物を形成し得る金属元素あるいは金属酸化物を含有してもよい。シリカと固溶体を形成し得る金属元素Aとしては、例えば、チタン等が挙げられる。シリカと固溶体を形成し得る金属酸化物の金属元素Bとしては、例えば、アルミニウム、ジルコニウム、イットリウム、リチウム、ナトリウム、バリウム、カルシウム、ホウ素、亜鉛、ニッケル、マンガン、マグネシウム、及び鉄等が挙げられる。第1相は、シリカ基複合酸化物繊維の内部相を形成しており、力学的特性を負担する重要な役割を演じている。シリカ基複合酸化物繊維全体に対する第1相の存在割合は40~98重量であることが好ましく、目的とする第2相の機能を十分に発現させ、なお且つ高い力学的特性をも発現させるためには、第1相の存在割合を50~95重量の範囲内に制御することがさらに好ましい。一方、第2相は、チタンを含む金属酸化物相であり、光触媒機能を発現させる上で重要な役割を演じるものである。金属酸化物を構成する金属としては、チタンが挙げられる。この金属酸化物は、単体でも良いし、その共融点化合物やある特定元素により置換型の固溶体を形成したもの等でも良いが、チタニアであることが好ましい。第2相は、シリカ基複合酸化物繊維の表層相を形成しており、シリカ基複合酸化物繊維の第2相の存在割合は、金属酸化物の種類により異なるが、2~60重量が好ましく、その機能を十分に発現させ、また高強度をも同時に発現させるには5~50重量の範囲内に制御することがさらに好ましい。第2相のチタンを含む金属酸化物の結晶粒径は15nm以下が好ましく、特に10nm以下が好ましい。第2相に含まれる金属酸化物のチタンの存在割合は、シリカ基複合酸化物繊維の表面に向かって傾斜的に増大しており、その組成の傾斜が明らかに認められる領域の厚さは表層から5~500nmの範囲に制御することが好ましいが、繊維直径の約1/3に及んでもよい。尚、第1相及び第2相の存在割合とは、第1相を構成する金属酸化物と第2相を構成する金属酸化物全体、即ちシリカ基複合酸化物繊維全体に対する第1相の金属酸化物及び第2相の金属酸化物の重量を示している。紫外線酸化装置において、平板状不織布上の平均紫外線強度は、1~10mW/cm2であることが好ましく、さらに2~8mW/cm2の範囲であることが好ましい。平板状不織布表面での紫外線強度が1~10mW/cm2であると、2つの紫外線成分による水処理を高効率に行うことができる。このような範囲にするには、紫外線照射手段と平板状不織布との距離等を適当な範囲になるようにすればよい。ここで、平均紫外線強度は、不織布表面の中央部から端部までの複数個所の紫外線強度を測定し、これらの値を平均して平均紫外線強度とすることができる。上記のような傾斜構造を有する光触媒繊維は、既知の方法によって製造することができ、例えばWO2009/63737号公報に記載の方法に基づいて製造することができる。次に、本実施形態に係る紫外線酸化装置を用いて紫外線酸化する方法について説明する。不要な有機物を含む被処理水を浄化するには、まず、流動槽10の流入口10Aから被処理水を流し込む。流し込まれた被処理水は、流動槽10内を通って流出口10Bから排出される。平板状不織布12Aは、繊維一本一本がある程度の空隙を有して分散した構造になっているために、水が通過する際、光触媒との接触面積が非常に大きい。このため、光触媒機能を有する平板状不織布12Aによって効率的にラジカルが発生し、不要な有機物を分解する。光触媒繊維からなる平板状不織布12Aの表面及び裏面の両面に紫外線が照射されることにより、さらに効率的にラジカルを発生させることができる。また、二重管18の流入口18Aから流出口18Bに強制的に紫外線ランプ14近傍に被処理水全量を流通させることで、185nmの紫外線が被処理水全量に有効に照射され、不要な有機物が効率的に分解される。通常、チタニア光触媒を利用した紫外線酸化装置においては、紫外線ランプは、波長351nmのブラックライト蛍光ランプ又は波長254nmの殺菌ランプが用いられる。チタニア光触媒は、387nm以下の波長であれば励起することができ、又これらのランプは製品として入手しやすいためである。本実施形態に係る紫外線酸化装置においては、従来用いられなかった紫外線を利用し、かつ光触媒を所定の配置構造にすることにより、高い分解効率を得ることができる。すなわち、本実施形態に係る紫外線酸化装置においては、光触媒繊維からなる平板状不織布と、この平板状不織布と平行になるように設置され、180~190nmと250~260nmとにピーク波長を有する紫外線を照射する紫外線照射手段とを有するので、上記光触媒への光照射効率と処理流体との接触効率を維持しながら、180~190nmの紫外線が光触媒によって遮断されることはない。また、石英製2重管を用いることで強制的に紫外線ランプ近傍に被処理水全量を流通させるため、180~190nmの紫外線が被処理水全量に有効に照射される。このため、250~260nmの紫外線を平板状不織布に照射することにより光触媒を励起し、発生するOHラジカルによって有機物を分解し、180~190nmの紫外線により水中の有機物を直接分解することができ、その結果として、従来の紫外線酸化装置と比較して、分解効率が高まる。本実施形態に係る紫外線酸化装置を超純水の製造ライン等に組み込むことにより、高品質の超純水を、消費電力コストを大幅に削減しながら得ることが可能になる。次に、本実施形態に係る紫外線酸化装置を用いた超純水製造装置の実施形態について説明する。本実施形態に係る超純水製造装置は、本実施形態に係る紫外線酸化装置を超純水の製造ライン等に組み込むことにより構築することができる。すなわち、本実施形態に係る超純水製造装置は、図7に示すように、被処理水中の不純物を除去する逆浸透膜装置40と、逆浸透膜装置40の下流に設置され、逆浸透膜装置40によって不純物除去された被処理水中のイオン成分を除去するイオン交換装置42と、イオン交換装置42の下流に設置され、循環させる被処理水を溜めておくタンク44と、タンク44の下流に設置され、イオン交換装置42によってイオン成分除去された被処理水中の有機物成分を分解する紫外線酸化装置46と、紫外線酸化装置46の下流に設置され、紫外線酸化装置46による有機物成分の分解によって被処理水中に生じたイオン成分を除去する混床式イオン交換装置48と、混床式イオン交換装置48の下流に設置され、逆浸透膜装置40以降の処理によって被処理水中に生じた粒子状物を除去する限外濾過装置50とを備えている。本実施形態に係る超純水製造装置において、被処理水は、逆浸透膜装置40→イオン交換装置42→タンク44→紫外線酸化装置46→混床式イオン交換装置48→限外濾過装置50と流動するが、TOC全有機炭素量の低減を十分に行なうため、限外濾過装置50による処理後に被処理水の一部をタンク44に戻して、タンク44→紫外線酸化装置46→混床式イオン交換装置48→限外濾過装置50→タンク44という循環処理も行なっている。本実施形態に係る超純水製造装置によれば、被処理水が、逆浸透膜装置40によって処理されると、それに含まれたイオン成分や塩類などの不純物が除去され、イオン交換装置42によって処理されると、被処理水中のイオン成分が除去され、紫外線酸化装置46によって処理されると、被処理水中の有機物成分が分解され、混床式イオン交換装置48によって処理されると、被処理水中に生じたイオン成分が除去され、限外濾過装置50によって処理されると、流動中に被処理水中に生じた粒子状物が除去され、十分にTOC全有機炭素量が低減された超純水を得ることができる。従来の超純水製造システムにおいては、尿素を除去する特別な装置を設けない限り、得られる超純水中に尿素が残存していたが、本発明に係る超純水製造装置は、本発明に係る紫外線酸化装置を設けることによって、被処理水に例えば尿素が100ppb含まれていたとしても、1ppb以下まで低減することができる。本実施形態に係る超純水製造装置においては、必要に応じて、被処理水に残存する有機物、硬度成分Ca成分、Mg成分、粒子状物などを除去する公知の前処理装置を設けて、その前処理装置によって処理された被処理水を逆浸透膜装置40に導入するようにしても良い。公知の前処理装置としては、例えば、被処理水として上水を用いる場合、活性炭→軟水器→フィルタなどの処理を行なうものがある。また、本実施形態に係る超純水製造装置は、必要に応じて、少なくとも1以上の脱気装置をイオン交換装置42と限外濾過装置50の間の設けてもよい。これにより、半導体産業などで使用される超純水において問題とされている溶存酸素の低減を図ることができる。また、本実施形態に係る超純水製造装置は、必要に応じて、少なくとも1以上の脱気装置をさらに逆浸透膜装置40とイオン交換装置42の間に設けても良い。これにより、水中に存在する炭酸ガスなどのガスを除去し、イオン交換装置の長寿命化を図ることができ、また、半導体産業などで使用される超純水において問題とされている溶存酸素の低減を図ることができる。以下、本発明に係る紫外線酸化装置及びそれを用いた超純水製造装置の実施例を説明する。製造例15リットルの三口フラスコに無水トルエン2.5リットルと金属ナトリウム400gとを入れ窒素ガス気流下でトルエンの沸点まで加熱し、ジメチルジクロロシラン1リットルを1時間かけて滴下した。滴下終了後、10時間加熱還流し沈殿物を生成させた。この沈殿を濾過し、まずメタノールで洗浄した後、水で洗浄して、白色粉末のポリジメチルシラン420gを得た。ポリジメチルシラン250gを、水冷還流器を備えた三口フラスコ中に仕込み、窒素気流下、420°Cで30時間加熱反応させて数平均分子量が1200のポリカルボシランを得た。上記方法により合成されたポリカルボシラン16gにトルエン100gとテトラブトキシチタン64gを加え、100°Cで1時間予備加熱させた後、150°Cまでゆっくり昇温して5時間反応して変性ポリカルボシランを合成した。この変性ポリカルボシランに意図的に低分子量の有機金属化合物を共存させる目的で5gのテトラブトキシチタンを加えて、変性ポリカルボシランと低分子量有機金属化合物の混合物を得た。この変性ポリカルボシランと低分子量有機金属化合物の混合物をトルエンに溶解させた後、メルトブロー紡糸装置に仕込み、内部を十分に窒素置換してから昇温してトルエンを留去させて、180°Cで紡糸を行った。紡糸した不織布を、空気中、段階的に150°Cまで加熱し不融化させた後、1200°Cの空気中で1時間焼成を行い、光触媒繊維としてチタニア/シリカ繊維を得た。製造例1によって得られた光触媒繊維は、第1相の存在割合が80重量、第2相の存在割合が20重量であった。存在割合は、蛍光X線分析によって求めた。第2相に含まれるチタニアの結晶粒子は、8nmであった。粒子径は、TEM透過型電子顕微鏡観察によって求めた。光触媒繊維表面から、300nmの深さで金属酸化物のチタンの存在割合が傾斜していた。傾斜の深さは、オージェ電子分光分析によって求めた。実施例1製造例1により得られたチタニア/シリカ繊維を平板状不織布とし、それを備える光触媒カートリッジとし、図5に示される紫外線酸化装置を作製した。紫外線ランプの出力は60Wであり、24本を使用した。紫外線ランプの波長は254nmと185nmの両方を放射する。紫外線ランプと平板状不織布の距離は90mmとし、平板状不織布表面の平均紫外線強度は2mW/cm2であった。上水を公知の凝集濾過装置、2床3塔型イオン交換装置、逆浸透膜装置で処理した後、この紫外線酸化装置で処理し、続けて公知の脱気装置、イオン吸着装置、及び限外濾過装置で処理することにより超純水を得た。得られた超純水のTOCは20ppb程度あった。処理速度は、最終的に得られる超純水のTOCが0.5ppb程度になるように調整した。この場合の処理速度は16.1m3/h、紫外線酸化装置に係る消費エネルギーは0.13kWh/m3であった。実施例2次に、実施例1により得られた紫外線酸化装置を用いて、図7に示される超純水製造装置を作製した。逆浸透膜装置としては、GE社製のAG型を用い、イオン交換装置としては、SnowPure社製の連続電気再生式イオン交換装置XL型を用い、混床式イオン交換装置としては、伸栄化学産業株製のカートリッジポリッシャーRT型を用い、限外濾過装置としては、日東電工株製のNTU型を用いた。また、公知の前処理装置として、伸栄化学産業株製の活性炭濾過器RT型、軟水器RT型、及び新菱アクアエア株製のフィルターBL型を用いた。原水を上水とし、その上水を公知の前処理装置によって処理し、それに尿素100ppb添加し、実施例2に係る超純水製造装置によって処理したところ、尿素の残存量が1ppb以下でTOCが1ppb以下の超純水を得ることができた。比較例1特開平10-151450の実施例に記載の方法を参考に、直径250mm、長さ1500mmのステンレス製の筒に、254nmと194nmと184nmの各波長を放射する65Wの低圧紫外線ランプ24本を内蔵した紫外線酸化装置を作成した。光触媒は、アナターゼ型チタニアを透光性アルミナ板材に担持したものを紫外線酸化装置の内部に挿入した。紫外線酸化装置の内容積に対する光触媒の重量は80ppmとした。紫外線酸化装置以外は、実施例1と同様に、上水を公知の凝集濾過装置、2床3塔型イオン交換装置、逆浸透膜装置、脱気装置で処理した後、この紫外線酸化装置で処理し、続けて公知のイオン吸着装置および限外濾過装置で処理することにより超純水を得た。処理速度は、最終的に得られる超純水のTOCが0.5ppb程度になるように調整した。この場合の処理速度は4.7m3/hであり、紫外線酸化装置に係る消費エネルギーは0.47KWh/m3であった。