複数の荷電粒子ビーム用のレンズシステム1であって、第1ポールピース12、第2ポールピース14、及び前記荷電粒子ビームの夫々用の複数のレンズ開口部16を備えたレンズ本体10と、前記複数のレンズ開口部16の周囲に配置される共通励磁コイル20であって、前記レンズ開口部へ夫々の第1磁束を供給する共通励磁コイル20と、前記レンズ開口部16間に配置される補償コイル30であって、前記レンズ開口部の少なくとも一部に夫々の第2磁束を供給し、これによって前記第1磁束の非対称性を補償する補償コイル30とを含むレンズシステム1。前記補償コイルは、前記第1ポールピース12と前記第2ポールピース14の間に本質的にギャップレス接続を提供する磁気スタブ19の周囲に配置される請求項1記載のレンズシステム。前記補償コイル30は、すべてのレンズ開口部16が前記補償コイルの外側にあるように配置される前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。動作中に、前記補償コイル30は、前記励磁コイル20によって伝えられる電流とは反対方向に電流を伝える前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。前記レンズ開口部16は、二次元配置で配置される前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。前記レンズ開口部16は、少なくとも2行及び少なくとも2列を有するアレイとして配置される前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。前記レンズ開口部16は、少なくとも1方向において、互いに対して90mm未満、好ましくは約40mm~70mmの距離を有する前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。前記レンズ開口部16の各々1つは、夫々の光軸を画定し、動作中に前記開口部16の各々1つに対するレンズフィールドは、前記夫々の光軸を含む少なくとも1つの対称面2つの対称面を有する前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。前記レンズ開口部16のうちの少なくとも1つの夫々の中心を含む対称面S1、S2に対して対称である前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。少なくとも2つの対称面S1、S2に対して対称である前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。前記複数のレンズ開口部16は、少なくとも4つのレンズ開口部である前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。前記複数のレンズ開口部16の各々に対して、前記レンズ開口部の夫々の周囲に配置される調整コイルを更に含む前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。前記第1ポールピース12及び前記第2ポールピース14のうちの少なくとも1つは、磁性材料の一体として提供される前記請求項のいずれか1項記載のレンズシステム。複数の荷電粒子ビームを生成するための荷電粒子ビーム源と、請求項1~13のいずれか1項記載のレンズシステムを含む荷電粒子ビームカラムとを含む多重荷電粒子ビーム装置。複数の荷電粒子ビームを生成するステップと、レンズ本体10の複数のレンズ開口部16のうちの夫々1つを通して前記荷電粒子ビームの各々を導くステップと、前記複数のレンズ開口部16の周囲に配置される共通励磁コイル20内で第1方向に電流を生成し、これによって前記レンズ開口部に夫々第1磁束を供給するステップと、前記レンズ開口部16間に配置される補償コイル30内で前記第1方向とは反対の第2方向に電流を生成し、これによって前記レンズ開口部の少なくとも一部に夫々第2磁束を供給し、前記第1磁束の非対称性を補償するステップとを含む荷電粒子ビーム装置を動作させるための方法。