"被クリーン対象に付着した帯電粒子を除電除塵する装置であって、空気塊を生成する空気砲とイオナイザが一体に構成され、イオナイザでイオンを生成した後に空気砲で空気塊を生成し、この空気塊でイオンを吹き飛ばすように制御されており、吹き飛ばされたイオンが帯電粒子を除電して無帯電粒子とし、空気塊でこの無帯電粒子を吹き飛ばして除塵する除電除塵装置。被クリーン対象に付着した帯電粒子を除電除塵する方法であって、イオンを生成し、生成した空気塊でこのイオンを被クリーン対象に飛ばし、吹き飛ばされたイオンが帯電粒子を除電して無帯電粒子とし、空気塊でこの無帯電粒子を吹き飛ばして除塵する除電除塵方法。本発明は上記する問題に鑑みてなされたものであり、エアシャワー室を設けた場合の高価な設備費とクリーンルーム内の作業効率の低下といった課題を解消でき、しかも被クリーン対象に付着した帯電粒子の除電除塵効果と除電除塵効率の極めて高い除電除塵装置と方法を提供することを目的とする。前記目的を達成すべく、本発明による除電除塵装置は、被クリーン対象に付着した帯電粒子を除電除塵する装置であって、空気塊を生成する空気砲とイオナイザが一体に構成され、イオナイザでイオンを生成した後に空気砲で空気塊を生成し、この空気塊でイオンを吹き飛ばすように制御されており、吹き飛ばされたイオンが帯電粒子を除電して無帯電粒子とし、空気塊でこの無帯電粒子を吹き飛ばして除塵するものである。本発明の除電除塵装置は、イオナイザでイオンを生成した後に空気砲を振動させて空気の渦空気塊を発生させ、この空気塊によってイオンを搬送制御するものである。搬送されたイオンは帯電粒子を除電して無帯電粒子とし、この無帯電粒子は空気塊による振動によって吹き飛ばされるとともに、再付着の防止を実現する。また、本発明の除電除塵装置においては、空気砲とイオナイザが一体に纏められ、空気砲内に設置されたイオナイザで生成されたイオンを含んだ空気を、空気砲で生成された空気塊として被クリーン対象に向かって照射することにより、イオンを含んだ空気塊として被クリーン対象まで確実に提供することに加えて、被クリーン対象に付着した帯電粒子をイオンにて除電して無帯電粒子とすると同時に、空気塊による振動によって吹き飛ばすとともに、被クリーン対象を除電して無帯電粒子との間に発生する静電気力を解消することで再付着を防止するものであり、空気砲とイオナイザが一体に纏めたれていることから極めてコンパクトで、広範な設置スペースを必要としない装置である。ここで、空気塊とは、任意の一つの面にたとえば円形の開口が設けられ、そのほかの5つの面には開口を具備しないチャンバーなどの空気砲に振動圧力を与えた場合に、チャンバーから出ていく空気とこの出ていく空気の分だけチャンバー内に入ろうとする空気の流速差が上記する円形の開口の境界部分で渦となって渦輪状に進行するものであり、少なくとも、イオンを含んだ空気であるとともに被クリーン対象を振動させることで無帯電粒子を吹き飛ばす圧力速度を有するエアのことである。空気砲は特に限定されるものでないが、たとえば、生成されたイオンが浮遊する空気が充満するチャンバーと、このチャンバーに振動圧力を与えるシリンダ機構などからなる装置であり、このチャンバーの一面に、上記するようにたとえば円形の開口が具備された形態を挙げることができる。これまで述べてきた付着とは、粒子などの物質が他の物質の表面に付くことであり、これら物質間に働く力を付着力相互結合力という。この付着力の要素としては、ファンデルワールス力や疎水性相互作用力、静電気力などがある。このような複数の要素が作用してたとえばクリーン服等に付着した粒子を効果的に除去する必要があることから、帯電粒子の除電と高圧もしくは高速の気流による吹き飛ばしを同時におこなうのが有効なのである。なお、実際には、提供されたイオンによって帯電粒子が除電され、無帯電粒子を吹き飛ばすことから厳密には双方が同時におこなわれることはないが、ここでいう同時とは、ほぼ同時のことであり、既述する従来技術のように、除電部と衝撃波発生部が完全に分離して除電作用と吹き飛ばし作用の間にある程度のタイムラグがあるものと比較した場合には、同時と称しても差し支えない時間間隔でしかないことから、本明細書では除電と吹き飛ばしが同時におこなわれると称している。上記する除電除塵装置は、クリーンルーム内の入口ドア付近の領域に設けられ、この領域を経てクリーンルーム内の作業エリアで作業がおこなわれる形態であってもよいし、クリーンルームの入口へ通じる通路に除電除塵装置が設置されている形態であってもよい。また、被クリーン対象には、クリーンルーム内で作業する作業員や作業員が着用するクリーン服のほか、クリーンルーム内を移動する搬送設備等人力にて搬送されるキャスタや自動搬送マシンなどが挙げられる。上記する除電除塵装置は、公知のイオナイザと、やはり公知のシリンダ機構等を組み合わせた装置であり、これらが一体に構成されていることからその設置に広範なスペースも不要であり、装置製造コストは高価なものとはならない。したがって、エアシャワー室を設ける場合に比して設備コストを安価なものとでき、しかも、短時間に帯電粒子を除電除塵できることからクリーンルーム内の作業効率を低下させることもない。さらに、本発明は除電除塵方法にも及ぶものであり、被クリーン対象に付着した帯電粒子を除電除塵する方法であって、イオンを生成し、生成した空気塊でこのイオンを被クリーン対象に飛ばし、吹き飛ばされたイオンが帯電粒子を除電して無帯電粒子とし、空気塊でこの無帯電粒子を吹き飛ばして除塵するものである。本発明の除電除塵方法によれば、帯電粒子の除電除塵を極めて効率的に実行することができ、しかも、クリーン服等からの除塵効果も極めて高いことから、クリーンルーム内における高い作業効率と高い製品歩留まりを実現することができる。さらには、無帯電粒子の再付着を防止することもできる。以上の説明から理解できるように、本発明の除電除塵装置によれば、空気塊とイオナイザが一体に構成され、空気砲内に設置されたイオナイザで生成されたイオンを含んだ空気を、空気砲で生成した空気塊として被クリーン対象に向かって照射することにより、イオンを含んだ空気塊として被クリーン対象まで確実に提供することに加えて、被クリーン対象に付着した帯電粒子をイオンにて除電して無帯電粒子とすると同時に、空気塊による振動によって無帯電粒子を吹き飛ばすとともに、被クリーン対象を除電して帯電粒子との間に発生する静電気力を解消してその再付着を防止することから、小規模かつ製造コストが廉価な装置にて優れた帯電粒子の除電除塵効果を奏することができる。また、本発明の除電除塵方法によれば、除電除塵を同時におこなうことで帯電粒子を短時間で効果的に吹き飛ばすことができ、クリーンルーム内における高い作業効率と高い製品歩留まりを実現することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1は、本発明の除電除塵装置を具備するクリーンルームを説明した模式図であり、図1aはクリーンルーム内に入室した作業員がクリーン服に付着する帯電粒子を除塵している状況を説明した図であり、図1bはクリーン服が除塵された後に作業員がクリーンルーム内の作業エリアへ移動する状況を説明した図である。また、図2は本発明の除電除塵装置を示した模式図であってその正面壁を切断して内部を示したものであり、イオナイザにてイオンが生成されている状況を説明した図である。また、図3は図2に次いで、空気砲で空気塊を生成し、この空気塊による振動でイオンを吹き飛ばしている状況を説明した図である。本発明の除電除塵装置10は、クリーンルームCR内の入口領域に設けてあり、クリーン服を着用した作業員Hは、クリーンルームCRに入室後X3方向、除電除塵装置10から吹き飛ばされた空気に含まれるイオンによってそのクリーン服に付着した帯電粒子p1を除電して無帯電粒子p2微粒子、塵とし、付着した非帯電の微粒子p2とともにイオンを提供する空気塊によってクリーン服から吹き飛ばされて除電除塵がおこなわれるようになっている。図示例のクリーンルームCRは、入口領域の天上に除電除塵装置10が配設され、クリーン服から帯電粒子p1等が取り除かれた作業員Hが室内に移動してX4方向作業エリアWAで所望の室内作業を実行する室内構成となっている。なお、図示を省略するが、この室内には、各種ワークや部品等を搬送する自動搬送装置や手動キャスタなどが存在し、これらも除電除塵装置10にて適宜クリーニングされるようになっている。また、クリーンルームCRには不図示の排気口とこの排気口が繋がれる排気管がバキューム機構に連通され、室内の床上に落下している微粒子や塵を吸引排気できるようになっている。また、図示例のように除電除塵装置10がクリーンルームCR内に配設される形態のほかにも、クリーンルームCRの入口に通じる通路に一基もしくは複数基の除電除塵装置10が配設され、クリーンルームCRの入室の際には既にクリーン服に付着した帯電粒子の除電除塵が実行されている形態であってもよい。図2で示すように、除電除塵装置10は、チャンバー1と、このチャンバー1の内部上方に格納されたイオナイザ2と、チャンバー1の左右の側壁11,11に固定されて振動を与えるシリンダ機構3,3とから大略構成されており、チャンバー1とシリンダ機構3から空気砲が構成される。なお、チャンバー1に振動を付与する機構は図示するシリンダ機構に限定されるものでない。チャンバー1は、不図示の正面壁を含む6つの壁面から構成されており、その下壁12には円形開口12aが開設されている。シリンダ機構3はシリンダ31とその内部を摺動するピストン32から構成されており、ピストン32がチャンバー1の側壁11に固定され、シリンダ31内でピストン32と反対側の空間にはエアもしくはオイル等の流体Lが瞬時に提供されるようになっている。シリンダ31内に流体Lが瞬時に提供されることによってピストン32がチャンバー1の側壁11を一気に押し込み、この押し込み時に側壁11に振動を付与するとともにこの側壁11を介してチャンバー1の内部空間に振動が伝播される。また、図示する除電除塵装置10は、不図示の制御装置にてその一連の動作制御が実行されるようになっている。具体的には、まず、制御装置にてイオナイザ2がON制御され、イオンがチャンバー1内に充満される。なお、この段階では、側壁11、11がチャンバー1の最外位置に位置決めされており、チャンバー1の内部空間に可及的に多くのイオンを充満できる状態となっている。イオナイザ2のON制御から所定時間経過した段階で、今度は、左右のシリンダ機構3,3が制御装置にて同期してON制御されることにより、図3で示すように、左右のシリンダ31,31内に同量の増液ΔLが提供され、これによって左右のピストン32,32が一気にチャンバー1の側壁11,11を押し込んで振動を付与しY1方向、左右の側壁11,11がチャンバー1の内部空間を瞬時に圧縮するY2方向。この左右のピストン32,32の瞬時の摺動によってチャンバー1に振動が付与されてその内部に空気塊が生ぜしめられ、チャンバー1下方の円形開口12aを介して充満しているイオンがこの空気塊によって高速で吹き飛ばされるY3方向。図1aに戻り、この空気塊によって吹き飛ばされたイオンが、下方に位置する作業員Hのクリーン服に付着する帯電粒子p1に到達して除電し、イオンを吹き飛ばした空気塊によって無帯電粒子が吹き飛ばされて除塵される。このように、図示する除電除塵装置10は、イオンを生成するイオナイザ2とシリンダ機構3が一体に構成されていることから、これらが分離して構成されるシステムに比して装置占有スペースは格段に狭くてよい。また、イオナイザ2とシリンダ機構3をチャンバー1を介して一体に構成しただけのシンプルな装置構成であることから、装置製造コストも高価なものとはならない。特に、本発明の除電除塵装置10をクリーンルームCRの室内もしくは室外の通路に配設することで、エアシャワー室の設置を不要とでき、クリーンルーム全体の設備もしくは建設に要するコストを低減できる。また、イオンを空気塊によって高速で吹き飛ばすことから、図1で示すクリーンルームCRの天上高さが高い場合であっても、イオンを確実に作業員Hに提供することができる。そして、イオンが空気塊で吹き飛ばされてクリーン服等に付着する帯電粒子に提供されることから、イオンによって帯電粒子の除電がおこなわれると同時に無帯電粒子が空気塊によって吹き飛ばされることから、帯電粒子の除電除塵効果が極めて高い。このことは、クリーンルーム内で製造されるフラットパネルディスプレイや次世代二次電池等に対して粒子汚染が付着する可能性を低減することに繋がり、クリーンルームCR内における製品歩留まりの向上に繋がる。また、除電と除塵が瞬時に実行されることから、特にエアシャワー室を適用する場合に比してクリーンルーム内における作業効率を格段に向上させることができる。なお、クリーン服等に帯電粒子が付着するのは、ファンデルワールス力や疎水性相互作用力、静電気力などからなる付着力によるものであるが、この付着力の影響が比較的弱く、空気塊による気流や重力の影響を受け易い0.1μm以上の粒径の帯電粒子に対して、本発明の除電除塵装置10による除塵効果は一層高いものとなる。以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。"