"ポンプ室と、前記ポンプ室を画定するケーシングとをそれぞれ備えた真空排気装置の連結構造であって、前記ケーシングの第1側に形成された第1端面と、前記ケーシングの、前記第1側とは反対側の前記第2側に形成された第2端面とを備え、複数の真空排気装置のうち第1の真空排気装置に設けられた前記第1端面と、前記第2の真空排気装置に設けられた前記第2端面とが接するように、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシングが直接重ねられて配置され、前記第1端面と前記第2端面とを締結することにより、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシングの間で気体が流通可能に、前記第1の真空排気装置及び前記第2の真空排気装置同士が連結される連結構造。請求項1に記載の連結構造であって、前記複数の真空排気装置は、前記ポンプ室と連通する少なくとも1つの吸気口と、吸気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第1側に形成された吸気部と、前記ポンプ室と連通する少なくとも1つの排気口と、排気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第2側に形成された排気部とを備え、前記吸気部の前記吸気部端面と前記排気部の前記排気部端面とが接して重なるように、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシング同士が直接重ねられて配置され、前記第1端面及び前記第2端面の締結により、前記吸気部端面と前記排気部端面とが直接接続され、前記吸気口と前記排気口とが連通する連結構造。請求項1または2に記載の連結構造であって、前記第1端面をそれぞれ含み、前記ケーシングの前記第1側に形成された複数の台座部と、前記第2端面をそれぞれ含み、前記ケーシングの前記第2側に形成された複数の脚部とをさらに具備する連結構造。請求項3に記載の連結構造であって、前記複数の台座部と、前記吸気部とは独立して前記ケーシングに形成され、前記複数の脚部と、前記排気部とは独立して前記ケーシングに形成されている連結構造。請求項4に記載の連結構造であって、前記吸気部の前記吸気部端面と、前記複数の台座部とは、同一平面上に形成され、前記排気部の前記排気部端面と、前記複数の脚部とは、同一平面上に形成されている連結構造。請求項2から5のうちいずれか1項に記載の連結構造であって、前記吸気部端面または前記排気部端面に設けられ、前記ケーシング内の気密を維持する封止部材をさらに具備する連結構造。請求項2から5のうちいずれか1項に記載の連結構造であって、前記複数の台座部の前記第1端面または前記複数の脚部の前記第2端面に設けられた、凹凸形状を有する位置決め機構をさらに具備する連結構造。請求項1から7のうちいずれか1項に記載の連結構造であって、前記ケーシングは、上下2つに分割可能な、下側ケーシングと上側ケーシングとにより形成される連結構造。連結された複数の真空排気装置を備えた真空排気システムであって、前記複数の真空排気装置は、ポンプ室と、前記ポンプ室を画定するケーシングとをそれぞれ備え、前記ケーシングは、前記ケーシングの第1側に形成された第1端面と、前記ケーシングの、前記第1側とは反対側の前記第2側に形成された第2端面とを有し、複数の真空排気装置のうち第1の真空排気装置に設けられた前記第1端面と、前記第2の真空排気装置に設けられた前記第2端面とが接するように、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシングが直接重ねられて配置され、前記第1端面と前記第2端面とを締結することにより、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシングの間で気体が流通可能に、前記第1の真空排気装置及び前記第2の真空排気装置同士が連結される真空排気システム。請求項9に記載の真空排気システムであって、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に設けられ、前記複数の真空排気装置のうち、真空排気の対象機器に接続された最前段の真空排気装置より後段の真空排気装置のうちの1つに備えられた前記ポンプ室と、前記複数の真空排気装置のうち最後段の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させる接続ユニットと、少なくとも前記接続ユニットに設けられた冷却機構とをさらに具備する真空排気システム。請求項10に記載の真空排気システムであって、前記複数の真空排気装置は、前記ポンプ室と連通する少なくとも1つの吸気口と、吸気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第1側に形成された吸気部と、前記ポンプ室と連通する少なくとも1つの排気口と、排気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第2側に形成された排気部とを備え、前記吸気部の前記吸気部端面と前記排気部の前記排気部端面とが接して重なるように、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシング同士が直接重ねられて配置され、前記第1端面及び前記第2端面の締結により、前記吸気部端面と前記排気部端面とが直接接続され、前記吸気口と前記排気口とが連通する真空排気システム。請求項11に記載の真空排気システムであって、前記接続ユニットは、前記第1の真空排気装置の前記吸気口に連通する吸気側経路を有し、前記第1の真空排気装置の前記ケーシングに接続された吸気側経路形成部材と、前記第2の真空排気装置の前記排気口に連通する排気側経路を有し、前記第2の真空排気装置の前記ケーシングに接続された排気側経路形成部材と、前記第1接続経路及び前記第2接続経路に連通する配管経路を有し、前記第1接続体及び前記第2接続体に接続された配管部材とを含む真空排気システム。請求項12に記載の真空排気システムであって、前記冷却機構は、前記排気側経路形成部材及び前記配管部材のうち少なくとも一方に設けられている真空排気システム。請求項12または13に記載の真空排気システムであって、前記複数の真空排気装置は、積まれるように配置され、前記排気側経路形成部材は、前記複数の真空排気装置のうち最下部である前記最後段の真空排気装置の下部に配置されている真空排気システム。請求項10に記載の真空排気システムであって、前記接続ユニットは、前記第1の真空排気装置の前記ポンプ室と前記第2の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させる真空排気システム。請求項10から15のうちいずれか1項に記載の真空排気システムであって、前記複数の真空排気装置のうち少なくとも1つの真空排気装置は、この少なくとも1つの真空排気装置の前記ケーシング内で複数のポンプ室を区画するように、前記ケーシング内に形成された隔壁を有し、前記冷却機構は、さらに前記隔壁に設けられている真空排気システム。ところで、上述したような従来の真空排気システムにおいて、各々の真空ポンプは、排気口及び吸気口の接続仕様等、一部の仕様を除き、それぞれ個別に設計製造されることが一般的である。このような真空ポンプの設置を行う場合、限られた設置スペースを有効に使用するため、真空排気システムを設置するための設置面積をできるだけ小さくすることが要求されている。また、設置に用いられるフレームとして、できるだけ単純化し耐久性のあるフレームを使用することが求められている。さらに、圧力損失を最低限に抑えるために、真空ポンプ同士を接続する配管は、短く、太く、曲がりのないように接続することが求められている。しかしながら、主にコストの問題から、これらの要求を同時に満たすことは難しかった。例えば、コストを考慮すると、フレームは様々な形状の真空ポンプに対応するために、余裕を持った寸法にせざるを得なかった。また、真空ポンプを小型に設計することができても、設置面積はフレームに依存して大きくなる等、限られた設置スペースを有効に使用することができなかった。本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、省スペース、低コストをなし得る真空排気装置を提供することを目的とする。上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供している。本発明の一態様に係る真空排気装置の連結構造は、ポンプ室と、前記ポンプ室を画定するケーシングとをそれぞれ備えた真空排気装置の連結構造である。前記連結構造は、前記ケーシングの第1側に形成された第1端面と、前記ケーシングの、前記第1側とは反対側の前記第2側に形成された第2端面とを備える。複数の真空排気装置のうち第1の真空排気装置に設けられた前記第1端面と、前記第2の真空排気装置に設けられた前記第2端面とが接するように、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシングが直接重ねられて配置されている。前記第1端面と前記第2端面とを締結することにより、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシングの間で気体が流通可能に、前記第1の真空排気装置及び前記第2の真空排気装置同士が連結される。前記複数の真空排気装置は、吸気部と、排気部とを備えていてもよい。前記吸気部は、前記ポンプ室と連通する少なくとも1つの吸気口と、吸気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第1側に形成されている。前記排気部は、前記ポンプ室と連通する少なくとも1つの排気口と、排気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第2側に形成されている。前記吸気部の前記吸気部端面と前記排気部の前記排気部端面とが接して重なるように、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシング同士が直接重ねられて配置されている。前記第1端面及び前記第2端面の締結により、前記吸気部端面と前記排気部端面とが直接接続され、前記吸気口と前記排気口とが連通する。前記連結構造は、複数の台座部と、複数の脚部とをさらに具備してもよい。前記複数の台座部は、前記第1端面をそれぞれ含み、前記ケーシングの前記第1側に形成されている。前記複数の脚部は、前記第2端面をそれぞれ含み、前記ケーシングの前記第2側に形成されている。前記複数の台座部と、前記吸気部とは独立して前記ケーシングに形成されていてもよい。また、前記複数の脚部と、前記排気部とは独立して前記ケーシングに形成されていてもよい。前記吸気部の前記吸気部端面と、前記複数の台座部とは、同一平面上に形成されていてもよい。また、前記排気部の前記排気部端面と、前記複数の脚部とは、同一平面上に形成されていてもよい。前記連結構造は、前記吸気部端面または前記排気部端面に設けられ、前記ケーシング内の気密を維持する封止部材をさらに具備してもよい。前記連結構造は、前記複数の台座部の前記第1端面または前記複数の脚部の前記第2端面に設けられた、凹凸形状を有する位置決め機構をさらに具備してもよい。前記ケーシングは、上下2つに分割可能な、下側ケーシングと上側ケーシングとにより形成されてもよい。本発明の一態様に係る真空排気システムは、連結された複数の真空排気装置を備えた真空排気システムであって、前記複数の真空排気装置は、ポンプ室と、前記ポンプ室を画定するケーシングとをそれぞれ備える。前記ケーシングは、前記ケーシングの第1側に形成された第1端面と、前記ケーシングの、前記第1側とは反対側の前記第2側に形成された第2端面とを有する。複数の真空排気装置のうち第1の真空排気装置に設けられた前記第1端面と、前記第2の真空排気装置に設けられた前記第2端面とが接するように、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシングが直接重ねられて配置されている。前記第1端面と前記第2端面とを締結することにより、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシングの間で気体が流通可能に、前記第1の真空排気装置及び前記第2の真空排気装置同士が連結される。真空排気システム。前記真空排気システムは、接続ユニットと、少なくとも前記接続ユニットに設けられた冷却機構とをさらに具備してもよい。前記接続ユニットは、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に設けられ、前記複数の真空排気装置のうち、真空排気の対象機器に接続された最前段の真空排気装置より後段の真空排気装置のうちの1つに備えられた前記ポンプ室と、前記複数の真空排気装置のうち最後段の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させる。前記複数の真空排気装置は、吸気部と、排気部とを備えていてもよい。前記吸気部は、前記ポンプ室と連通する少なくとも1つの吸気口と、吸気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第1側に形成されている。前記排気部は、前記ポンプ室と連通する少なくとも1つの排気口と、排気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第2側に形成されている。前記吸気部の前記吸気部端面と前記排気部の前記排気部端面とが接して重なるように、前記第1の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第2の真空排気装置の前記ケーシング同士が直接重ねられて配置されている。前記第1端面及び前記第2端面の締結により、前記吸気部端面と前記排気部端面とが直接接続され、前記吸気口と前記排気口とが連通する。請求項11に記載の真空排気システムであって、前記接続ユニットは、吸気側経路形成部材と、排気側経路形成部材と、配管部材とを含んでいてもよい。前記吸気側経路形成部材は、前記第1の真空排気装置の前記吸気口に連通する吸気側経路を有し、前記第1の真空排気装置の前記ケーシングに接続されている。排気側経路形成部材は、前記第2の真空排気装置の前記排気口に連通する排気側経路を有し、前記第2の真空排気装置の前記ケーシングに接続されている。前記配管部材は、前記第1接続経路及び前記第2接続経路に連通する配管経路を有し、前記第1接続体及び前記第2接続体に接続されている。前記冷却機構は、前記排気側経路形成部材及び前記配管部材のうち少なくとも一方に設けられていてもよい。前記複数の真空排気装置は、積まれるように配置されてもよい。その場合、前記排気側経路形成部材は、前記複数の真空排気装置のうち最下部である前記最後段の真空排気装置の下部に配置される。前記接続ユニットは、前記第1の真空排気装置の前記ポンプ室と前記第2の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させてもよい。前記複数の真空排気装置のうち少なくとも1つの真空排気装置は、この少なくとも1つの真空排気装置の前記ケーシング内で複数のポンプ室を区画するように、前記ケーシング内に形成された隔壁を有してもよい。前記冷却機構は、さらに前記隔壁に設けられていてもよい。本発明の態様によれば、フレーム等を用いることなく、真空排気装置のケーシング同士を直接連結することが可能になるため、省スペースかつ低コストをなし得る真空排気装置を提供することができる。また、真空排気装置のケーシング同士が接続されるため、複数の真空排気装置から構成されるシステム全体の剛性が高まるとともに、真空排気装置から発せられる熱を分散させることができる。第1実施形態以下、本発明の第1実施形態に係る真空排気装置の連結構造を採用した真空排気システム10Aについて、図面を参照して詳細に説明する。図1に示すように、本実施形態の真空排気システム10Aは、2つの真空排気装置1A,1Bを連結させたシステムである。この真空排気システム10Aは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器に接続された真空排気装置1Aの吸気口31Aから吸気した気体を2つの真空排気装置1A,1Bによって圧縮し、真空排気装置1Bの排気口41B図5参照から排気するシステムである。真空排気システム10Aを構成する真空排気装置1A,1Bは、略同一の外形のケーシングを構成要素として有している。また、真空排気装置1B第2の真空排気装置に対して、符号E図5参照で示す平面において、直接的に真空排気装置1A第1の真空排気装置を重ねて配置することが可能である。さらに、真空排気装置1Bに対して真空排気装置1Aが上下方向縦方向に積み上げられるように重ねて配置されることにより、上側の真空排気装置1Aの排気口41A図5参照と下側の真空排気装置1Bの吸気口31Bとを配管を介さずに直接接続することができる。以下、個々の真空排気装置1A,1Bについて詳細に説明する。真空排気装置1Aと真空排気装置1Bは、略同一の構成であるため、真空排気装置1Bについて説明する。図2~4に示すように、真空排気装置1Bは、上側ケーシング25Baと下側ケーシング25Bbとからなるケーシング25Bと、2本の回転軸81,81図6参照と、ケーシング25Bによって画定された2つのポンプ室21B,22Bにそれぞれ収容されたマユ型ロータ82a,82bと、回転軸81,81を駆動するモータ8とを有するルーツ真空ポンプである。ロータ82a,82bはそれぞれ一対のロータから構成されており、2つのロータはそれぞれ回転軸81上に配列され、各ポンプ室21B,22Bに収容されている。一対のロータは、それぞれのロータの回転軸81,81の軸端に設けられた駆動ギア85により互いに反対方向に同期回転する。ケーシング25Bは、2つのポンプ室21B,22Bを画定するとともに真空排気装置1Bの外形を形成している。また、回転軸81,81は、ベアリング83,84によって支持されている。ポンプ室21Bとポンプ室22Bとは、接続配管29を介して真空排気装置1Bを構成するケーシング25Bの内部で直接接続されている。ポンプ室21Bはケーシング25Bの上部に形成された吸入口31Bと連通している。ポンプ室22Bは、ケーシング25Bの下部に形成された排気口41Bと連通している。次に、真空排気装置1Bを構成するケーシング25Bについて説明する。ケーシング25Bは、後述するように上下2分割構造であり、上部第1側に吸気口31Bを有する吸気部3が形成され、下部第2側に排気口41Bを有する排気部4が形成されている。また、ケーシング25Bの上部第1側には、4つの台座部5が形成されており、下部第2側には、4つの脚部6が形成されている。ケーシング25Bは、ポンプ室21B,22Bの形状に依存した楕円円筒形状を有している。吸気部3、排気部4、台座部5、脚部6は、前記ケーシング25Bと一体に形成されている。具体的には、これらは、鋳造によって一体に形成されることが好ましい。真空排気装置1Bは、ケーシング25Bの長手方向回転軸81の軸方向が水平となるように設置される。なお、以下の説明において、2本の回転軸81を含む平面を水平中心面と称する図4にDで示す。ケーシング25Bは、上側ケーシング25Baと下側ケーシング25Bbとに2分割されている。上側ケーシング25Baと下側ケーシング25Bbとは、ボルトナット等の締結部材によって締結されており、上下ケーシング25Ba,25Bbを組み合わせることによって、モータ8側のベアリングケース86、及び反モータ側ベアリングケース87を保持することができるように構成されている。また、上下ケーシング25Ba,25Bbを組み合わせることによって、反モータ側ベアリング84、及び油かき上げ板88を含む空間89を密閉させることができる。なお、本実施形態において、分割面は、前記水平中心面Dと略一致する。吸気部3は、ケーシング25Bの上部に、上方向に突出するように、かつ、ケーシング25B上側ケーシング25Baと一体に形成されている。吸気部3は、前記水平中心面Dと平行な端面吸気部端面3aを有しており、この端面3aは、ケーシング25Bの長手方向に長さを有する概略矩形形状をなしている。また、吸気部3には、吸気口31Bが設けられている。吸気口31Bは端面3aに開口されており、ポンプ室21Bに連通している。さらに、吸気部3の端面3aのやや内側には、端面3aの外形に沿って溝36が形成されている。溝36には、Oリング53封止部材が嵌め込まれている。排気部4は、ケーシング25Bの下部に、下方向に突出するように、かつ、ケーシング25B下側ケーシング25Bbと一体に形成されており、吸気部3と同様に、水平中心面Dと平行な端面排気部端面4aを有している。排気部4には、排気口41Bが設けられている。排気口41Bは、端面4aに開口されており、ポンプ室22Bに連通されている。吸気部3の端面3aと、排気部4の端面4aとは、平面視において、略同形状である。台座部5は、ケーシング25B上側ケーシング25Baの上部であって、平面視における最外部に4箇所設けられている突起状の台座である。台座部5は、真空排気装置1Bの上方向に突出するような、突起状の形状を有している。4つの台座部5は、それぞれ、その上端が面51以下、第1端面51と称するを形成している。4つの第1端面51は、同一面上に形成されている。さらに、台座部5の第1端面51と前述した吸気部3の端面3aとは、同一面上に形成されている。ただし、台座部5は、吸気部3とは独立して設けられている。つまり、台座部5の第1端面51と、吸気部3の端面3aとは離間して形成されている。脚部6は、ケーシング25B下側ケーシング25Bbの下部であって、平面視における最外部に4箇所設けられている突起状の脚である。脚部6は、真空排気装置1Bの下方向に突出するような、突起状の形状を有している。また、平面視における位置は、前記台座部5と略同じである。4つの脚部6は、それぞれ、その下端が面61以下、第2端面61と称するを形成している。4つの第2端面61は、同一面上に形成されている。さらに、脚部6の端面61と排気部4の端面4aとは、同一面上に形成されている。ただし、脚部6は、排気口4とは独立して設けられている。つまり、脚部6の端面61と、排気部4の端面4aとは離間して形成されている。また、台座部5と脚部6とは、側面を開口面とした中空状に形成されており、それぞれの端面51,61には締結孔54が形成されている。また、図2,3に示すように、台座部5には突起部52位置決め機構が設けられている。これに対応して、脚部6には位置決め穴62位置決め機構が形成されている。なお、図5に示すように、真空排気装置1Aは、ポンプ室21A,22Aの配置以外は、真空排気装置1Bと略同一の構成である。図5に示すように、真空排気システム10Aは、真空排気装置1Bの上方に真空排気装置1Aを直接重ねたシステムである。この際、真空排気装置1Bの吸気部3の端面3aと真空排気装置1Aの排気部4の端面4aとが当接するように重ねられている。また、真空排気装置1Aの排気口41Aと真空排気装置1Bの吸気口31Bは、平面視において略同じ位置に形成されている。上記実施形態によれば、真空排気装置1A,1Bは、符号E図5参照で示した平面において上下方向に直接重ねて配置することが可能であり、真空排気装置1Bの吸気部3の端面3aに、真空排気装置1Aの排気口4の端面4aを接して重ねるように、真空排気装置1Bの直上に真空排気装置1Aを載置することができる。これにより、真空排気装置1Aの排気口41Aと真空排気装置1Bの吸気口31Bとを気体流通的に連通させることができる。つまり、真空排気装置1Aの吸入口31Aから流入された気体は、ポンプ室21A及び22Aで圧縮され、排気口41Aより排気される。次いで、気体は真空排気装置1Bの吸入口31Bを介してポンプ室21B及び22Bで圧縮され、排気口41Bより排気される。圧縮の際には、気体は、ケーシング25とロータ82との間の空間に閉じ込められ、ロータ82の回転で排気側に排出される。これにより、真空排気装置1A、1B同士を連結する配管を設ける必要がなくなり、かつ、連結されるポンプ室間の距離が短くなるため、圧力損失を抑えることができる。真空排気装置1A、1Bを構成するケーシング25A、25B同士が接続されるため、複数の真空排気装置から構成されるシステム全体の剛性が高まるとともに、真空排気装置1A、1Bから発せられる熱を分散させることができる。また、ケーシング25において、上下のケーシング25a、25bを組み合わせることで、ベアリングケース86、87を保持し、かつ、反モータ側の空間89を形成するカバーの役割をする構成とした。これにより、部品点数を削減することが可能となるとともに、ケーシング25全体でベアリングケース86、87を保持するため、排気運転時における真空排気装置1A、1Bの変形を抑えることができる。また、台座部5の第1端面51と脚部6の第2端面61とは、平面視において略同じ位置に形成されているため、真空排気装置1Aと真空排気装置1Bとを上下方向に配置することによって、台座部5の第1端面51と、脚部6の第2端面61とが接して重ねることができる。この状態で、台座部5と脚部6とをボルトナット等の締結部材91によって締結することによって、真空排気装置1Aと真空排気装置1Bを確実に固定することができる。吸気部3の端面3aに形成されている溝36に、Oリング53等の封止部材を配置することによって、吸気部3と排気部4を接続した際の気密状態を向上させることができる。なお、この溝36は、吸気部3側ではなく、排気部4側この場合、真空排気装置1Aのケーシング25Aの排気部側に設けてもよい。真空排気装置1A、1Bを連結した際に、台座部5の突起部52と脚部6の位置決め穴62とを嵌め合わせることによって、位置決めを容易にすることができる。突起部52及び位置決め穴62は、全ての脚部6及び台座部5に設けることが好ましいが、少なくとも2ヶ所に設ければよい。なお、ケーシング25内部に画定されるポンプ室の数は、1つでもよいし、3つ以上でもよく、仕様によって自由に設定することができる。また、真空排気装置は、上述したようなルーツ型真空ポンプのみに限られることはなく、ケーシングに吸気口と排気口を備えて同様の構造にすることができる真空ポンプであれば、どのような真空ポンプを採用してもよい。また、本実施形態においては、台座部5と脚部6は、4つ設けられていたが、これに限ることはなく、台座部5が脚部6を確実に支持することができれば、どのような構成でもよい。さらに、台座部5が脚部6を確実に支持することができれば、台座部5の第1端面51と吸気部3の端面3aは離間して形成せず、一体に成型されていてもよい。同様に、脚部6の第2端面61と排気部4の端面4aに関しても、一体に成型されていてもよい。第2実施形態次に、本発明の第2実施形態に係る真空排気システム10Bについて、図面を参照して詳細に説明する。図7に示すように、真空排気システム10Bは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器に接続された吸気口11から吸気した気体を3つの真空排気装置1C,1D、1Eによって圧縮し、排気口12から排気するシステムである。図7、図8に示されているように、真空排気システム10Bを構成する真空排気装置1C,1D,1Eは、直接重ねて配置されることが可能である。具体的には、真空排気装置1C,1D,1Eを構成するケーシング同士を直接接続することが可能である。図8に示すように、3つの真空排気装置1C~1Eのうち、最前段の真空排気装置1Cは、ケーシング内に単一のポンプ室21Cを有するメカニカルブースターポンプである。真空排気装置1Cは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器と接続されている。最前段より後段の真空排気装置1D、1Eは、多段ルーツ真空ポンプであり、各々が複数のポンプ室を備えている。また、真空排気装置1D、1Eは、複数のポンプ室に対して、複数の吸気口及び排気口を備えている。つまり、本実施形態の真空排気装置1D1Eを構成する複数のポンプ室は、それら全てのポンプ室が直列となるように接続されていない。言い換えれば、複数のポンプ室のうち少なくとも2つのポンプ室は、同じケーシングに形成された他のポンプ室と接続されていない。また、これらポンプ室は、吸気口及び排気口の両方をそれぞれ個別に有している。真空排気装置1Dのポンプ室21Dは、同じ真空排気装置1Dの他のポンプ室22D、23Dとは接続されておらず、ポンプ室21Dに直接連通する排気口41Dを介して、真空排気装置1Eのポンプ室21Eと接続されている。また、真空排気装置1Dと真空排気装置1Eとは、配管等を使用することなく、符号Jで示す平面において直接連結している。さらに、真空排気システム10Bは、真空排気装置1同士の接続を補う接続ユニット7マニホールドを備えている。接続ユニット7は、吸気側経路形成部材71、排気側経路形成部材としてのベースユニット72、配管部材73、及びバルブユニット74バルブ集合体に分割されている。これらが、真空排気装置1C~1Eと組み合わされることで、真空排気装置1C~1Eを構成する複数のポンプ室を接続する接続配管が完成し、真空排気システム10Bとして機能する。吸気側経路形成部材71は、真空排気装置1Cと真空排気装置1Dとの間に介在するように配置されているブロック形状の部材である。吸気側経路形成部材71には、真空排気装置1Cのポンプ室21Cと真空排気装置1Dのポンプ室21Dとを接続する経路75図8参照が形成されているとともに、配管部材73と真空排気装置1Dのポンプ室22D、23Dとを接続する吸気側経路76図9参照が形成されている。配管部材73は、吸気側経路形成部材71の側部に連結され、配管部材73内に形成された配管経路78が吸気側経路76と接続される。吸気側経路76は、図8の符号76a、76bに示すような、2つの経路から構成されている。図12は、真空排気装置1E1Dでもよいを示す上から見た斜視図である。図13は、これを下から見た斜視図である。真空排気装置1Eのケーシングは、上記同様に上下分割構造となっており、上側ケーシング25Ea、下側ケーシング25Ebを備えている。上側ケーシング25Eaに、吸気部103が設けられ図12参照、下側ケーシング25Ebに、排気部104が設けられている。吸気部103の端面103aには、Oリング53が嵌め込まれる以外にも、図示しないガスケットが塗布されている。ガスケットは、隣り合う吸気口31E、32E、33E同士の連通を遮断するためのシール部材である。この真空排気システム10Bの製造時において、例えばペースト状のガスケットが吸気部103の端面103aに塗布された後、このケーシング25Eの端面103aと、真空排気装置1Dのケーシングの排気部の端面とが当接することで、これらが接続される。ガスケットの材料としては、シリコン系、フッ素系等の耐腐食性のゴムが用いられるが、これらに限られない。このように塗布式のガスケットのような、簡易なシール部材が用いられることにより、コストを低減し、かつ、狭い吸気部103内でできるだけ広い開口面積を有する吸気口31E、32E、33Eを確保することができる。このように簡易なシール部材が用いられ、隣り合う吸気口同士で気体のリークがあったとしても、そのリークの程度は、排気速度に対して十分小さいリーク速度であれば問題ない。以上の説明ではガスケットが、吸気部103の端面103aに塗布される例を説明したが、もちろん、排気部104の端面104aに塗布されてもよい。例えば端面103a及び104aの平面度が高い場合に、気体のリーク速度が十分に小さければ、この塗布式のガスケットは不要である。ベースユニット72は、真空排気装置1Eの底面、すなわちその下部に連結するように配置されており、真空排気システム1Eを構成するポンプ室、配管部材73、及びバルブユニット74と接続されている。ベースユニット72には、真空排気装置1Cのポンプ室と配管部材73とを接続するとともに、真空排気装置1Eのポンプ室とバルブユニット74を接続する排気側経路77図9参照が形成されている。真空排気装置1E、配管部材73、及びバルブユニット74は、いずれもベースユニット72の上面に接続されており、ベースユニット72が真空排気システム10B全体を支持する構造となっている。排気側経路77は、配管部材73の配管経路78に接続される2つの経路77a、77b図8参照と、真空排気装置1Eのポンプ室24Eと連通する排気口43Eとバルブユニット74とを接続する経路77cの3つの経路を有する。配管部材73は配管形状の部材であり、その内部には、真空排気装置1Eの排気口と真空排気装置1Dの吸気口を接続する上記の配管経路78が形成されている。配管経路78は、吸気側経路形成部材71の経路76a、76b図8参照に対応した2つの経路に対応して、長さ方向に沿う分割面によって2分割されている。図10は、ベースユニット72の上から見た断面図である。図11は、図10に示すL-L線断面図である。ベースユニット72のブロック725の上面には、真空排気装置1Eのケーシングに接続されるポンプ接続部721と、配管部材73に接続される配管接続部722と、バルブユニット74に接続されるバルブユニット接続部723とが形成されている。これらポンプ接続部721、配管接続部722、バルブユニット接続部723の周囲にそれぞれ形成された周状溝に、Oリング等のシール部材721d、722d、723dがそれぞれ嵌め込まれている。ポンプ接続部721には、3つの連通口721a、721b、721cが配列されるように形成されている。これら3つの連通口721a、721b、721cは、真空排気装置1Eの、排気口41E、42E、43Eと、それぞれ連通している。配管接続部722には、2つの連通口722a、722bが形成されており、これら連通口722a、722bは、配管部材73の配管経路78に連通している。また、バルブユニット接続部723には、3つの連通口723a、723b、723cが配列されるように形成されている。連通口721a、722a、723aのすべてが、排気側経路77のうち経路77aと連通している。連通口721b、722b、723bのすべてが、排気側経路のうち経路77bと連通している。連通口721c、723cのすべてが、排気側経路のうち経路77cと連通している。これらの構成は、図9も参照すると理解しやすい。バルブユニット74は、真空排気システム10B全体の排気口である総排気口12を有している。図11の断面図に示すように、バルブユニット74には、複数のバルブ79逆止弁が設けられている。これにより、真空排気装置1Eを構成するポンプ室であって、排気口41E、42E、43Eと直接接続されているポンプ室21E、22E、24Eのうち任意のポンプ室から個別に排気を可能となる。バルブユニット74が設けられることにより、ポンプによる過圧縮を防止し、モータ8による動力伝達のロスを抑えることができる。複数のバルブ79は、ボール状でもよいし、圧力を個別の値に調整可能な調整バルブでもよい。各バルブ79が、個別の圧力に調整可能な調整バルブである場合、適宜その圧力が設定され、ユーザーにより使用される圧力帯域を広げることができる。このようにベースユニット72及びバルブユニット74が、最後段の真空排気装置1Eの下部、すなわち、真空排気システム10Bの最下部に配置されている。これにより、真空排気システム10Bの重心をできるだけ下方に配置させることができ、上下積層による多段の真空排気システム10Bの設置の安定性が高めることができる。次に、図8を参照して本実施形態における各真空排気装置を構成する複数のポンプ室の構成、及びポンプ室の接続順序について説明する。最上段に位置する真空排気装置1Cは、1つのポンプ室21Cを有するメカニカルブースターポンプであり、ポンプ室21Cは、吸気口11、及び排気口41Cを備えている。真空排気装置1Dは、3つのポンプ室21D、22D、23Dを有している。3つのポンプ室21D、22D、23Dは、それぞれ上述した3つの吸気口31D、32D、33D、及び3つの排気口41D、42D、43Dを備えている。真空排気装置1Eは、4つのポンプ室21E、22E、23E、24Eを備えており、3つの吸気口31E、32E、33E、及び3つの排気口41E、42E、43Eを備えている。真空排気装置1Eの4つのポンプ室のうち、2つのポンプ室23E、24Eは、接続配管29を介して真空排気装置1Eを構成するケーシングの内部で直接接続されている。接続ユニット7は、吸気側経路形成部材71とベースユニット72と配管部材73とが協働して、真空排気装置1Eの排気口41Eと真空排気装置1Dの吸気口32Dとを接続するように、構成されている。同様に接続ユニット7は、真空排気装置1Eの排気口42Eと真空排気装置1Dの吸気口33Dとを接続するように構成されている。さらに、接続ユニット7は、真空排気装置1Eの排気口43Eとバルブユニット74とを接続するように構成されている。次に、図8を参照して、実際の気体の流れを説明する。まず、吸気口11から真空排気装置1Cに流入した気体が、ポンプ室21Cで圧縮され、排気口41Cから排気される。次に、気体は、真空排気装置1Dのポンプ室21Dに流入し、圧縮される。次いで、気体は、ポンプ室21Dと直接接続されている真空排気装置1Eのポンプ室21Eに流入する。ポンプ室21Eから排気された気体は、ベースユニット72に形成された排気側経路77の経路77aに流入する。以上の気体の流れを図8の矢印F1に示す。ベースユニット72に流入した気体は、配管部材73を介して、真空排気装置1Dのポンプ室22Dに流入する。図9に、ベースユニット72から配管部材73を介して、気体が真空排気装置1Dの別のポンプ室に戻される流れを示す矢印F4。ポンプ室22Dに流入した気体は、図8の矢印F2に示すように、ベースユニット72に至る経路で圧縮される。次いで、図8の矢印F3で示される経路で圧縮された気体は、最終的に、バルブユニット74に導かれ、排気口12から排気される。また、バルブユニット74に設けられた複数のバルブ79を操作することによって、真空排気装置1Eのポンプ室21E又は22Eから排気することが可能である。上記実施形態によれば、連結された複数の真空排気装置のうち、一端側に配置された真空排気装置1Dの吸気口32D,33Dと、他端側に配置された真空排気装置1Eの排気口41E,42Eとを接続することによって、他端側に配置された真空排気装置1Eから排気された気体を一端側に配置された真空排気装置1Dに流入させるような構成とした。これにより、複数のポンプ室を有する複数の真空排気装置を接続して気体の圧縮を行う際に、ポンプ室の配置の自由度が高くなるため、第1の実施形態の効果に加え、より効率的な真空排気システムを構築することが可能となる。また、バルブユニット74をベースユニット72に直接接続することで、任意のポンプ室からの排気が容易となるため、煩雑な配管接続が不要になって装置の最適化と小型化を両立できる。第3実施形態図14は、本発明の第3の実施形態に係る真空排気システムを示す断面図である。図15は、その真空排気システムの接続ユニットの一部を示す側面図であり、各真空排気装置のロータの回転軸に直交する方向で見た図である。本実施形態に係る真空排気システム10Cと、例えば上記第2の実施形態に係る真空排気システム10Bと異なる点は、真空排気システム10Cが冷却機構を備えている点である。冷却機構は、例えば冷媒を流通させる冷却管15である。冷却管15は、真空排気システム10Cの各ケーシング25C、25D、25Eの複数の箇所、モータ8のモータハウジング8a、また、図15に示すように配管部材173に設けられている。ケーシング25C、25D、25Eに設けられた冷却管15は、例えばベアリングの近傍及び隔壁16等に挿通されるように設けられている。隔壁16は、真空排気装置1D1Eにおいて、1つのケーシング25D25E内での複数のポンプ室21D~23D21E~23Eを区画する機能を有する。このような冷却機構によって、真空排気システム10Cを効率良く冷却することができる。特に、隔壁16に冷却管15が設けられることにより、冷却しにくいケーシングの内部まで冷却することができる。図15に示すように、配管部材173の側面には、冷却管15の一部を保持する保持ボックス173aが接続されている。冷却管15は、この保持ボックス173a内で、1回ターンするようなU字形状に形成されている。しかし、冷却管15は、U字形状に限られず、その形状や長さの設計の変更が可能である。なお、上記のように複数箇所に設けられた冷却管15は、入口及び出口を1つずつ有する1本の管でつながるように、すなわち1系統の流路として構成されていてもよい。あるいは、冷却管15は、複数の系統の流路で構成されるように、複数の管で構成されていてもよい。第4の実施形態図16は、本発明の第4の実施形態を説明するための図であり、真空排気システムの一部の構造を示す断面図である。これは、上記第2の実施形態に係るベースユニット72に冷却機構を加えたベースユニット172である。この冷却機構は、冷却管15の他、排気側経路177a、177b、177cにそれぞれ設けられた冷却フィン115を有する。冷却フィン115は、例えばこのベースユニット172のブロックに一体成型により形成される。冷却管15は、それら排気側経路177a、177b、177cの下部に配置され、ベースユニット172のブロックに挿通されて設けられている。真空排気システムでは、排気側で気体が圧縮されるため、吸気側に比べ排気側の方が高温になる。冷却機構が、真空排気システムの排気側であるベースユニットに設けられることにより、気体の圧縮により発生する熱を効率的に冷却することができる。本実施形態では、冷却機構として冷却フィン115が設けられたが、これはなくてもよい。本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。ケーシング25の外形状は、楕円円筒形状のみに限ることはなく、特に、小排気量の真空ポンプであれば、ポンプ室の形状に依存しない形状、例えば、ブロック形状としてもよい。上記実施形態では、複数の真空排気装置が縦方向に積み上げられて配置されていたが、横方向に積まれてもよいし、縦及び横の両方に配置されていてもよい。上記実施形態に係る真空排気システムは、2つまたは3つの真空排気装置を備えていたが、縦及び/または横方向に配列されて接続された4つ以上の真空排気装置を備えていてもよい。上記のように、3つ以上、あるいは、4つ以上の真空排気装置が設けられる形態に、上記第2または第3、4の実施形態を適用する場合、それら4つ以上の真空排気装置のうち隣接する2つの真空排気装置のケーシングを互いに接続するように、配管部材73のような外部配管の機能を有する配管部材が接続されていてもよい。あるいは、それら4つ以上の排気装置のうち隣接しない2つの真空排気装置のケーシングを互いに接続するように、配管部材73のような外部配管の機能を有する配管部材が接続されていてもよい。真空排気システムが、4つ以上の真空排気装置を備える場合に、例えば配管部材73のような外部配管の機能を有する配管部材が複数設けられていてもよい。図16に示した冷却機構が、例えば、図8または14に示したように、最前段の真空排気装置1Cと、その次の段の真空排気装置1Dとの間に設けられていてもよい。図16に示した冷却機構で設けられた冷却フィンは、上記した隔壁16に形成されていてもよい。"