"被処理水を処理して脱イオン水を製造する電気式脱イオン水製造装置であって、陽極を備えた陽極室と陰極を備えた陰極室とからなる電極室と、前記陽極室と前記陰極室との間に位置し、カチオン交換膜と前記陰極室側で隣接し、少なくともカチオン交換体が充填されたカチオン脱塩室と、前記陽極室と前記陰極室との間に位置し、アニオン交換膜と前記陽極室側で隣接し、少なくともアニオン交換体が充填されたアニオン脱塩室と、を有し、前記カチオン脱塩室と前記アニオン脱塩室とは、被処理水が前記カチオン脱塩室に流入し、該カチオン脱塩室を流出して少なくともカチオン成分が除去された中間処理水の一部が前記アニオン脱塩室に流入するように連通されており、前記カチオン脱塩室と前記電極室とは、前記カチオン脱塩室を流出した前記中間処理水の他の一部が前記電極室に流入するように連通されている、電気式脱イオン水製造装置。前記陽極室と前記陰極室との間に位置し、前記カチオン脱塩室の前記陰極室側で、カチオン交換膜を介して前記カチオン脱塩室と隣接し、前記アニオン脱塩室の前記陽極室側で、アニオン交換膜を介して前記カチオン脱塩室と隣接する濃縮室を有する、請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記アニオン脱塩室が主アニオン脱塩室を有し、前記カチオン脱塩室が主カチオン脱塩室を有し、前記主アニオン脱塩室の前記陽極室側で、第1のアニオン交換膜を介して前記主アニオン脱塩室に隣接して位置する陽極側濃縮室と、前記主カチオン脱塩室の前記陰極側で、第1のカチオン交換膜を介して前記主カチオン脱塩室に隣接して位置する陰極側濃縮室と、を有し、前記主アニオン脱塩室が、前記主カチオン脱塩室の前記陽極室側で、中間イオン交換膜を介して前記主カチオン脱塩室と隣接する、請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記カチオン脱塩室が、前記陽極室と前記陽極側濃縮室の間に位置し、第2のカチオン交換膜を介して前記陽極側濃縮室と隣接し、第3のカチオン交換膜を介して前記陽極室と隣接し、前記主カチオン脱塩室と並列流路を形成する副カチオン脱塩室を有する、請求項3に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記アニオン脱塩室が、前記陰極室と前記陰極側濃縮室の間に位置し、第2のアニオン交換膜を介して前記陰極側濃縮室と隣接し、第3のアニオン交換膜を介して前記陰極室と隣接し、前記主アニオン脱塩室と並列流路を形成する副アニオン脱塩室を有する、請求項3に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記カチオン脱塩室と前記陰極室とが、カチオン交換膜を介して互いに隣接し、前記アニオン脱塩室と前記陽極室とが、アニオン交換膜を介して互いに隣接し、前記アニオン脱塩室が、前記カチオン脱塩室の前記陽極室側で、中間イオン交換膜を介して前記カチオン脱塩室と隣接する、請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記カチオン脱塩室には、前記カチオン交換体が単床形態で充填されている、請求項1から6のいずれか1項に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記陽極室と前記陰極室とは、前記中間処理水の前記他の一部が前記陽極室と前記陰極室とを直列に流通するように連通されている、請求項1から7のいずれか1項に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記陽極室と前記陰極室とは、前記中間処理水の前記他の一部が前記陽極室と前記陰極室とを並列に流通するように連通されている、請求項1から7のいずれか1項に記載の電気式脱イオン水製造装置。陽極を備えた陽極室と陰極を備えた陰極室とからなる電極室と、前記陽極室と前記陰極室との間に位置し、カチオン交換膜と前記陰極室側で隣接し、少なくともカチオン交換体が充填されたカチオン脱塩室と、前記陽極室と前記陰極室との間に位置し、アニオン交換膜と前記陽極室側で隣接し、少なくともアニオン交換体が充填されたアニオン脱塩室と、を有する電気式脱イオン水製造装置を用いて、被処理水を処理して脱イオン水を製造する脱イオン水製造方法であって、被処理水を前記カチオン脱塩室に流し、少なくともカチオン成分が除去された中間処理水を生成するステップと、前記カチオン脱塩室を流出した前記中間処理水の一部を、前記アニオン脱塩室に流すステップと、前記カチオン脱塩室を流出した前記中間処理水の他の一部を、前記電極室に流すステップと、を含む、脱イオン水製造方法。脱塩室を流出した処理水を電極室に供給するには、電極室による圧力損失を考慮して、電極室への処理水の供給圧、すなわち脱塩室出口の背圧を高くする必要がある。それには、電気式脱イオン水製造装置の前段に出力の大きなポンプを設置して、被処理水の供給圧を高くする必要がある。しかしながら、大型のポンプを使用することは、コストアップにつながるため好ましくない。そこで、本発明は、コストアップを抑えながら、陰極室内のスケール生成など、電極水として被処理水を用いた場合に発生する問題を解消する電気式脱イオン水製造装置および脱イオン水製造方法を提供することを目的とする。上述した目的を達成するために、本発明の電気式脱イオン水製造装置は、被処理水を処理して脱イオン水を製造する電気式脱イオン水製造装置であって、陽極を備えた陽極室と陰極を備えた陰極室とからなる電極室と、陽極室と陰極室との間に位置し、カチオン交換膜と陰極室側で隣接し、少なくともカチオン交換体が充填されたカチオン脱塩室と、陽極室と陰極室との間に位置し、アニオン交換膜と陽極室側で隣接し、少なくともアニオン交換体が充填されたアニオン脱塩室と、を有し、カチオン脱塩室とアニオン脱塩室とは、被処理水がカチオン脱塩室に流入し、カチオン脱塩室を流出して少なくともカチオン成分が除去された中間処理水の一部がアニオン脱塩室に流入するように連通されており、カチオン脱塩室と電極室とは、カチオン脱塩室を流出した中間処理水の他の一部が電極室に流入するように連通されている。また、本発明の脱イオン水製造方法は、陽極を備えた陽極室と陰極を備えた陰極室とからなる電極室と、陽極室と陰極室との間に位置し、カチオン交換膜と陰極室側で隣接し、少なくともカチオン交換体が充填されたカチオン脱塩室と、陽極室と陰極室との間に位置し、アニオン交換膜と陽極室側で隣接し、少なくともアニオン交換体が充填されたアニオン脱塩室と、を有する電気式脱イオン水製造装置を用いて、被処理水を処理して脱イオン水を製造する脱イオン水製造方法であって、被処理水をカチオン脱塩室に流し、少なくともカチオン成分が除去された中間処理水を生成するステップと、カチオン脱塩室を流出した中間処理水の一部を、アニオン脱塩室に流すステップと、カチオン脱塩室を流出した中間処理水の他の一部を、電極室に流すステップと、を含んでいる。このような電気式脱イオン水製造装置および脱イオン水製造方法では、カチオン脱塩室に流入した被処理水のカチオン成分はカチオン交換体に吸着し、カチオン脱塩室からは、カチオン成分、特に硬度成分が除去された中間処理水が流出する。中間処理水は、一部がアニオン脱塩室に流入するようにされているため、カチオン脱塩室の出口での中間処理水の水圧は、アニオン脱塩室の出口での処理水の水圧よりも必然的に高くなる。このような中間処理水の一部を電極室に流入させることは、配管の変更などで容易に可能であり、このことは、装置前段に出力の大きなポンプを設置する場合などに比べて、大きなコストアップにつながることはない。また、特に硬度成分が除去された中間処理水を電極水として用いているため、陰極室への硬度成分の流入を抑制することができる。これにより、電極水に処理水を用いた場合と同様に、陰極室内のスケールの生成を抑え、運転電圧の上昇と、それに伴う消費電力の増加とを抑制することが可能となる。以上説明したように、本発明によれば、コストアップを抑えながら、陰極室内のスケール生成など、電極水として被処理水を用いた場合に発生する問題を解消する電気式脱イオン水製造装置および脱イオン水製造方法を提供することができる。以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る電気式脱イオン水製造装置の概略構成図である。電気式脱イオン水製造装置1は、陽極4を備える陽極室E1と陰極5を備える陰極室E2との間に、主脱塩室Dと、主脱塩室Dの両側に位置する一対の濃縮室C1,C2と、濃縮室C1と陽極室E1の間に位置する副カチオン脱塩室S1と、濃縮室C2と陰極室E2の間に位置する副アニオン脱塩室S2とが設けられ、これらの各室がイオン交換膜a1~a3,c1~c3で仕切られている。以下の説明では、陽極側で主脱塩室Dと隣接する濃縮室を陽極側濃縮室C1、陰極側で主脱塩室Dと隣接する濃縮室を陰極側濃縮室C2と呼ぶ。陽極側濃縮室C1は第1のアニオン交換膜a1を介して主脱塩室Dに隣接し、陰極側濃縮室C2は第1のカチオン交換膜c1を介して主脱塩室Dに隣接している。副カチオン脱塩室S1は、第2のカチオン交換膜c2を介して陽極側濃縮室C1と隣接し、第3のカチオン交換膜c3を介して陽極室E1と隣接している。副アニオン脱塩室S2は、第2のアニオン交換膜a2を介して陰極側濃縮室C2と隣接し、第3のアニオン交換膜a3を介して陰極室E2と隣接している。主脱塩室Dは、第1のカチオン交換膜c1と隣接する主カチオン脱塩室D1と、第1のアニオン交換膜a1と隣接する主アニオン脱塩室D2と、を有している。主カチオン脱塩室D1と主アニオン脱塩室D2とは、中間イオン交換膜3を介して互いに隣接している。主カチオン脱塩室D1には少なくともカチオン交換体が充填され、主に被処理水中のカチオン成分Na、Ca2、Mg2等が除去される。カチオン交換体としては、カチオン交換樹脂、カチオン交換繊維、モノリス状多孔質カチオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なカチオン交換樹脂が好適に用いられる。カチオン交換体の種類としては、弱酸性カチオン交換体、強酸性カチオン交換体等が挙げられる。主カチオン脱塩室D1に充填するイオン交換体の充填形態としては、カチオン交換体の単床形態が挙げられる。なお、被処理水中のカチオン成分硬度成分が十分除去できるだけのカチオン交換体が充填されていれば、アニオン交換体との混床形態または複床形態であってもよい。主アニオン脱塩室D2には少なくともアニオン交換体が充填され、主に被処理水中のアニオン成分Cl、CO32、HCO3、SiO2シリカは、特別な形態をとることが多いため、一般のイオンとは異なった表示とする等が除去される。アニオン交換体としては、アニオン交換樹脂、アニオン交換繊維、モノリス状多孔質アニオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なアニオン交換樹脂が好適に用いられる。アニオン交換体の種類としては、弱塩基性アニオン交換体、強塩基性アニオン交換体等が挙げられる。主アニオン脱塩室D2にはカチオン交換体がさらに充填されていてもよい。主アニオン脱塩室D2に充填するアニオン交換体の充填形態としては、アニオン交換体の単床形態、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態または複床形態が挙げられる。中間イオン交換膜3は、被処理水の水質、脱イオン水に求められる水質、主カチオン脱塩室D1または主アニオン脱塩室D2に充填するイオン交換体の種類等を勘案して選択することができる。中間イオン交換膜3は、アニオン交換膜もしくはカチオン交換膜の単一膜、または、アニオン交換膜とカチオン交換膜の両方を備えた複合膜のいずれであってもよい。このように、主脱塩室Dが主カチオン脱塩室D1と主アニオン脱塩室D2の2つの小脱塩室に区画され、各小脱塩室D1,D2の外側に濃縮室が隣接する構成主脱塩室2室構成は、被処理水の多段処理が可能であり、脱イオン性能の向上に効果的である。しかも、主カチオン脱塩室D1と主アニオン脱塩室D2との間に濃縮室を設ける必要がないため、陽極陰極間の印加電圧が抑えられ、消費電力が下がり運転費の低減を図ることが可能である。陽極側濃縮室C1は、主アニオン脱塩室D2から排出されるアニオン成分および副カチオン脱塩室S1から排出されるカチオン成分を取り込み、それらを系外に放出するために設けられている。陰極側濃縮室C2は、主カチオン脱塩室D1から排出されるカチオン成分および副アニオン脱塩室S2から排出されるアニオン成分を取り込み、それらを系外に放出するために設けられている。各濃縮室C1,C2には、濃縮室供給水が流入し、濃縮室供給水はカチオン成分およびアニオン成分を含んだ濃縮水となって、各濃縮室C1,C2から排出される。濃縮室供給水としては、本実施形態では被処理水の一部が利用されているが、別個の濃縮室供給水の供給ラインによって供給することもできる。電気式脱イオン水製造装置1の電気抵抗を抑えるために、各濃縮室C1,C2にイオン交換体が充填されていてもよい。副カチオン脱塩室S1は主カチオン脱塩室D1と同様の構成を有しているが、カチオン交換体だけが単床充填されている。副アニオン脱塩室S2は主アニオン脱塩室D2と同様の構成を有しているが、アニオン交換体だけが単床充填されている。電極室陽極室および陰極室E1,E2には、後で詳述するように、主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1でカチオン成分が除去された脱カチオン水中間処理水の一部が電極水として流入する。これらの電極水は、上述したように、電極近傍での電気分解により、水素イオンおよび水酸化物イオンを発生させる。そのため、電気式脱イオン水製造装置1の電気抵抗を抑えるために、陽極室E1および陰極室E2にはイオン交換体が充填されていることが好ましい。これにより、後述する水素イオンの副カチオン脱塩室S1への移動および水酸化物イオンの副アニオン脱塩室S2への移動が円滑に行われる。陽極室E1および陰極室E2に充填するイオン交換体としては、イオン交換樹脂、イオン交換繊維、モノリス状多孔質イオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なイオン交換樹脂が好適に用いられる。陽極室E1の場合、充填されるカチオン交換体の種類としては、弱酸性カチオン交換体、強酸性カチオン交換体等が挙げられ、その充填形態としては、単床充填が挙げられる。陰極室E2の場合、充填されるアニオン交換体の種類としては、弱塩基性アニオン交換体、強塩基性アニオン交換体等が挙げられ、その充填形態としては、単床充填が挙げられる。陽極室E1は陽極4を収容している。陽極4は金属の網状体あるいは板状体からなっている。流入する電極水にClが含まれると、陽極4に塩素が発生する。このため、陽極4には耐塩素性能を有する材料を用いることが望ましく、一例として、白金、パラジウム、イリジウム等の金属、あるいはチタンをこれらの金属で被覆した材料が挙げられる。陰極室E2は陰極5を収容している。陰極5は、金属の網状体あるいは板状体からなっており、例えばステンレス製の網状体あるいは板状体を用いることができる。各電極室E1,E2、主カチオン脱塩室D1、主アニオン脱塩室D2、各濃縮室C1,C2、副カチオン脱塩室S1、および副アニオン脱塩室S2は各々、開口部を備えた板状部材である枠体2の内部に設けられている。図1では、枠体2は一体的に示されているが、実際には部屋毎に別々の枠体を備え、枠体同士が互いに密着して設けられている。枠体2は絶縁性を有し、流入する被処理水が漏洩しない素材であれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ABS、ポリカーボネート、m-PPE変性ポリフェニレンエーテル等の樹脂を挙げることができる。各部屋同士の連絡、あるいは被処理水や電極水等の供給、排出用にいくつかの流路U1~U4,L1~L5が設けられている。電気式脱イオン水製造装置1の上部に位置する流路U1は、一端が被処理水の供給側に接続され、他端側では途中でいくつかに分岐して、主カチオン脱塩室D1と副カチオン脱塩室S1と各濃縮室C1,C2とに接続されている。電気式脱イオン水製造装置1の下部に位置する流路L1は、主カチオン脱塩室D1と副カチオン脱塩室S1とに接続され、途中で合流し、渡り配管Y1の一端に接続している。渡り配管Y1の他端は電気式脱イオン水製造装置1の上部に位置する流路U2に接続されており、流路U2は、途中で分岐して、主アニオン脱塩室D2と副アニオン脱塩室S2とに接続されている。電気式脱イオン水製造装置1の下部に位置する流路L2は、主アニオン脱塩室D2と副アニオン脱塩室S2とに接続され、途中で合流し、処理水の流出側に接続されている。電気式脱イオン水製造装置1の下部に位置する流路L5は、各濃縮室C1,C2に接続され、途中で合流し、濃縮水の流出側に接続されている。電気式脱イオン水製造装置1の下部に位置する流路L3は、一端側では渡り配管Y1に接続され、他端側では陰極室E2に接続されている。すなわち、主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1を流出した脱カチオン水は、一部が主アニオン脱塩室D2および副アニオン脱塩室S2に流入するようにされ、他の一部が陰極室E2に流入するようにされている。電気式脱イオン水製造装置1の上部に位置する流路U3は、一端側では陰極室E2に接続され、他端側では渡り配管Y2に接続されている。渡り配管Y2の他端は電気式脱イオン水製造装置1の下部に位置する流路L4に接続されており、流路L4は、陽極室E1に接続されている。陽極室E1の上部には流路U4が接続されており、したがって、陰極室E2に流入した電極水脱カチオン水は、流路U3と渡り配管Y2と流路L4とを通って陽極室E1に流入し、流路U4を通って陽極室E1から排出される。図1では、流路U1~U3,L1~L5は、図示の都合上枠体2の外側に位置しているが、これらの流路U1~U4,L1~L5は、枠体2に内蔵されているのが有利である。次に、引き続き図1を参照して、被処理水の流れと脱イオンの原理について説明する。あらかじめ、各濃縮室C1,C2には、濃縮室供給水として、流路U1から被処理水の一部を供給し、流路L5から排出するようにしておく。電極室E1,E2には、流路L3から電極水この時点では主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1を通過しただけの被処理水を供給し、流路U4から排出させておく。陽極4、陰極5間には所定の電圧を印加しておく。この状態で、被処理水を流路U1から、主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1に並列に流入させる。被処理水は、主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1で、カチオン成分が除去される。具体的には、Mg2等のカチオン成分は、主カチオン脱塩室D1で、主カチオン脱塩室D1に充填されたカチオン交換体に吸着される。主脱塩室Dでは、水が水素イオン以下、Hというと水酸化物イオン以下、OHというとに解離する反応水解離反応が、連続的に進行している。Hはカチオン交換体に吸着したMg2等のカチオン成分と交換され、主カチオン脱塩室D1に充填されたカチオン交換体が再生される。除去されたMg2等のカチオン成分は陽極4、陰極5間の電位差によって陰極5側に引き寄せられ、第1のカチオン交換膜c1を通過して陰極側濃縮室C2に流入する。副カチオン脱塩室S1では、Mg2等のカチオン成分は、副カチオン脱塩室S1に充填されたカチオン交換体に吸着される。陽極室E1では、電極反応2H2O→O24H4eによって水から酸素ガスとHとが生成される反応が、連続的に進行している。酸素ガスは陽極室E1内を上昇し、電極水とともに電気式脱イオン水製造装置1の外へ排出される。Hは第3のカチオン交換膜c3を通って副カチオン脱塩室S1に流入する。副カチオン脱塩室S1に流入したHは、カチオン交換体に吸着したカチオン成分と交換され、カチオン交換体が再生される。除去されたMg2等のカチオン成分は陽極4、陰極5間の電位によって陰極5側に引き寄せられ、第2のカチオン交換膜c2を通過して陽極側濃縮室C1に流入する。このようにしてMg2等のカチオン成分が除去された水脱カチオン水は流路L1で合流し、その一部が、渡り配管Y1を通って流路U2に流入し、他の一部が、渡り配管Y1から流路L3に流入する。流路U2に流入した脱カチオン水は、主アニオン脱塩室D2および副アニオン脱塩室S2に並列に流入し、主アニオン脱塩室D2および副アニオン脱塩室S2で、アニオン成分が除去される。具体的には、Cl等のアニオン成分は、主アニオン脱塩室D2で、主アニオン脱塩室D2に充填されたアニオン交換体に吸着される。主脱塩室Dでは、上述のように、水解離反応によってOHが連続的に発生している。OHはアニオン交換樹脂に吸着したCl等のアニオン成分と交換され、アニオン交換体が再生される。除去されたCl等のアニオン成分は陽極4、陰極5間の電位差によって陽極4側に引き寄せられ、第1のアニオン交換膜a1を通過して陽極側濃縮室C1に流入する。副アニオン脱塩室S2では、Cl等のアニオン成分は、副アニオン脱塩室S2に充填されたアニオン交換体に吸着される。陰極室E2では、電極反応2H2O2e→H22OHによって水から水素ガスとOHとが生成される反応が、連続的に進行している。水素ガスは陰極室E2内を上昇し、電極水とともに脱イオン水製造装置1の外へ排出される。OHは第3のアニオン交換膜a3を通って副アニオン脱塩室S2に流入し、アニオン交換体に吸着したアニオン成分と交換され、アニオン交換体が再生される。除去されたCl等のアニオン成分は陽極4、陰極5間の電位によって陽極4側に引き寄せられ、第2のアニオン交換膜a2を通過して陰極側濃縮室C2に流入する。主アニオン脱塩室D2および副アニオン脱塩室S2でアニオン成分が除去された処理水は流路L2で合流し、電気式脱イオン水製造装置1の外へ排出される。一方、流路L3に流入した脱カチオン水は、電極水として、陰極室E2に供給される。陰極室E2から流出した電極水は、流路U3と渡り配管Y2と流路L4とを通って陽極室E1に流入し、電気式脱イオン水製造装置1の上部に位置する流路U4を通って電気式脱イオン水製造装置1の外へ排出される。流路U1を通って濃縮室C1,C2に供給される濃縮室供給水被処理水は、主カチオン脱塩室D1、副カチオン脱塩室S1、主アニオン脱塩室D2、および副アニオン脱塩室S2からそれぞれ排出されるカチオン成分およびアニオン成分を取り込み、電気式脱イオン水製造装置1の下部に位置する流路L5を通って電気式脱イオン水製造装置1の外へ排出される。このようにして、被処理水は、主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1でカチオン成分が除去されて脱カチオン水となり、主カチオン脱塩室D1のカチオン交換体は水解離反応によって生成されたHにより再生され、副カチオン脱塩室S1のカチオン交換体は陽極室E1で生成されたHにより再生される。同様にして、脱カチオン水は、主アニオン脱塩室D2および副アニオン脱塩室S2でアニオン成分が除去されて脱イオン水となり、主アニオン脱塩室D2のアニオン交換体は水解離反応によって生成されたOHにより再生され、副アニオン脱塩室S2のアニオン交換体は陰極室E2で生成されたOHにより再生される。本実施形態のように、カチオン脱塩室D1,S1を流出した脱カチオン水がアニオン脱塩室D2,S2に流入するようにされている構成では、カチオン脱塩室D1,S1の出口の背圧が、アニオン脱塩室D2,S2の出口の背圧よりも、アニオン脱塩室D2,S2による圧力損失の分だけ高くなっている。すなわち、カチオン脱塩室D1,S1を流出した脱カチオン水の水圧は、アニオン脱塩室D2,S2を流出した処理水の水圧よりも、必然的に高くなっている。したがって、このような脱カチオン水は、配管の変更のみで、あるいは、電気式脱イオン水製造装置の前段に非常に小型の補助ポンプを設置するだけで、その一部を電極室E1,E2に流入させることが可能となる。このことは、電極水として処理水を用いた場合、すなわち、電気式脱イオン水製造装置の前段に出力の大きなポンプを設置して、被処理水の供給圧を高くすることで、処理水の水圧を高くする場合と比べても、大きなコストアップにつながることはない。また、脱カチオン水は、主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1によって、カチオン成分、特に硬度成分が除去されている。これに加えて、脱カチオン水は、主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1でカチオン成分が除去される代わりに、Hを多く取り込んでいるため、そのpH値は低くなっている。このような脱カチオン水を電極水として電極室E1,E2に流入させることで、陰極室E2への硬度成分の供給と、電極水の、特に陰極E2の表面におけるpH値の上昇とを抑えることができる。これにより、電極水に処理水を用いた場合と同様に、陰極室E2内のスケールの生成を抑え、運転電圧の上昇と、それに伴う消費電力の増加とを抑制することが可能となる。スケール生成は、陰極室E2に流入する脱カチオン水のpH値をより低くすることで、より一層抑制される。そのために、主カチオン脱塩室D1および副カチオン脱塩室S1には、カチオン交換体が単床形態で充填されていることが最も好ましい。上述した電気式脱イオン水製造装置1では、陽極室E1で発生した水素イオンおよび陰極室E2で発生した水酸化物イオンが、副カチオン脱塩室S1および副アニオン脱塩室S2のイオン交換体の再生に有効利用されている。その結果、陽極陰極間の印加電圧を低減し、使用電力量を低減することが可能となる。このような構成では、電極水として被処理水を用いた場合、特に陽極室E1では、水素イオンだけでなく、電極水に含まれるカチオン成分も、副カチオン脱塩室S1へと移動することになる。そのため、副カチオン脱塩室S1を流れる被処理水は、そこでカチオン成分が除去されるにもかかわらず、陽極室E1から移動してきたカチオン成分によって再び汚染される可能性がある。したがって、本来は脱カチオン水として副カチオン脱塩室S1を流出すべきところ、カチオン成分を含んだ水が副カチオン脱塩室S1を流出してしまう虞がある。本実施形態では、電極水として脱カチオン水を用いることで、このような問題にも対処することができる。すなわち、電極室E1,E2に供給される脱カチオン水は、カチオン成分をほとんど含んでいないため、上述の陽極室E1から副カチオン脱塩室S1へのカチオン成分のリークを抑制することができる。これにより、副カチオン脱塩室S1を流出する水脱カチオン水にカチオン成分が含まれてしまうのを抑制することで、脱カチオン水の水質を良好に維持することが可能となる。電極水として脱カチオン水を用いた場合、電極室E1,E2に流入する電極水には、依然としてアニオン成分は含まれている。したがって、本実施形態のように、陰極室E2がアニオン交換膜a3を介して副アニオン脱塩室S2と隣接する装置では、電極反応によって生成した水酸化物イオンと共に、電極水脱カチオン水に含まれるアニオン成分も、陰極室E2から副アニオン脱塩室S2へと移動することになる。そのため、このアニオン成分は、副アニオン脱塩室S2で除去しきれずに処理水中に流入して、処理水を汚染させてしまう可能性がある。これを抑制するために、陰極室E2に電極水を供給する流路L3上に、アニオン交換体カートリッジを設けることもできる。これにより、陰極室E2に供給される電極水中のアニオン成分を減少または除去することができ、上述の陰極室E2から副アニオン脱塩室S2へのアニオン成分のリークを抑制することができる。また、流路L3上には、一定量の電極水を確保するため定流量弁を設置することが好ましく、電極室E1,E2の圧力損失が大きい場合には、流路L3上に、さらに補助的なポンプが設けられていてもよい。さらに、脱カチオン水は、上述のように、液性が酸性となっているため、その一部を電極室にだけでなく、濃縮室に流入させることも有効となる。これは、アニオン交換膜近傍での濃縮水のpH値の上昇を抑え、特に硬度成分の高い被処理水を処理した場合に濃縮室のアニオン交換膜近傍で発生しうる、炭酸カルシウムを主成分とするスケールの生成を抑制することができるためである。本実施形態では、陽極室E1および陰極室E2は、直列に接続され、陰極室E2から流出した電極水が陽極室E1に流入するようになっているが、その逆であってもよい。すなわち、陽極室E1と陰極室E2とには、上述した、陰極室E2内のスケール生成と、陽極室E1から副カチオン脱塩室S1へのカチオン成分のリークとを抑制するために、カチオン成分が除去された脱カチオン水が電極水として流入するようになっていればよい。したがって、例えば、脱カチオン水は、陽極室E1および陰極室E2にそれぞれ独立例えば並列に流入するようになっていてもよい。本発明は、カチオン脱塩室D1,S1を流出した脱カチオン水の一部を電極室E1,E2に流入することに大きな特徴がある。したがって、本発明は、脱塩室や濃縮室の配置パターンによらず、既存のさまざまな電気式脱イオン水製造装置に適用可能である。図2に、そのような電気式脱イオン水製造装置の構成例を示している。図2では、各室の符号は、図1における各室の符号に対応し、図中の符号Xは、符号Xで示した流路の端部同士が接続されていることを意味する。図1に示す実施形態では、本発明の電気式脱イオン水製造装置について、主脱塩室が1つだけ設けられている場合を例に挙げて説明したが、例えば被処理水量の増大などに対応するために、主脱塩室が2つ以上設けられていてもよい。その場合、主脱塩室と濃縮室とは、陽極側のアニオン交換膜と陰極側のカチオン交換膜とを挟んで交互に設けられ、最も陽極側に位置する濃縮室がカチオン交換膜を介して副カチオン脱塩室と隣接し、最も陰極側に位置する濃縮室がアニオン交換膜を介して副アニオン脱塩室と隣接することになる。また、主脱塩室は必ずしも設けられている必要はなく、副脱塩室だけが設けられていてもよい。すなわち、図2aに示すように、第3のカチオン交換膜c3を介して陽極室E1に隣接するカチオン脱塩室D1と、第3のアニオン交換膜a3を介して陰極室E2に隣接するアニオン脱塩室D2との1組だけが設けられていてもよい。その場合、濃縮室Cは、カチオン脱塩室D1とアニオン脱塩室D2との間に1室だけ設けられ、カチオン脱塩室D1の陰極5側で第2のカチオン交換膜c2と隣接し、アニオン脱塩室D2の陽極4側で第2のアニオン交換膜a2と隣接している。また、主脱塩室が1つ以上設けられている場合、副カチオン脱塩室および副アニオン脱塩室は、いずれか一方のみが設けられていればよい。したがって、副カチオン脱塩室が設けられていない場合、最も陽極側に位置する濃縮室が、カチオン交換膜を介して陽極室と隣接し、副アニオン脱塩室が設けられていない場合、最も陰極側に位置する濃縮室が、アニオン交換膜を介して陰極室と隣接することになる。あるいは、図2bに示すように、副カチオン脱塩室および副アニオン脱塩室の両方を省略することも可能である。図2bには、主脱塩室Dが2つ設けられている場合が示されている。この場合、最も陽極4側に位置する濃縮室C1が、カチオン交換膜またはアニオン交換膜のいずれであるイオン交換膜mを介して陽極室E1と隣接し、最も陰極5側に位置する濃縮室C3が、イオン交換膜mを介して陰極室E2と隣接している。なお、主脱塩室Dと濃縮室C1~C3とは、上述したように、陽極4側のアニオン交換膜a1と陰極5側のカチオン交換膜c1とを挟んで互いに隣接している。さらに、主脱塩室が1つ設けられている図1に示す実施形態から、副カチオン脱塩室S1と副アニオン脱塩室S2と一対の濃縮室C1,C2とを取り除き、陽極室E1と主アニオン脱塩室D1とを第1のカチオン交換膜a1を介して隣接させ、陰極室E2と主アニオン脱塩室D2とを第2のアニオン交換膜a2を介して隣接させた構成も可能である。図2cに示すこのような構成では、陽極室E1および陰極室E2が濃縮室を兼ねることになり、すなわち、主脱塩室Dで除去された被処理水中のイオン成分が、電極室E1,E2に流入して電極水によって外部に排出されるようになる。なお、このような構成は、主脱塩室が2つ以上設けられている場合にも適用可能である。すなわち、例えば図2bに示す実施形態において、電極室E1,E2に隣接した濃縮室C1,C2を取り除き、陽極室E1が濃縮室C1を兼ね、陰極室E2が濃縮室C3を兼ねる構成を採用してもよい。実施例図1に示す構成の電気式脱イオン水製造装置実施例と、図1に示す実施例と各室の構成は同じであるが流路構成が異なる電気式脱イオン水製造装置比較例1,2を用いて、本発明の効果を確認した。比較例1は、図1に示す実施例と、電極室供給水がカチオン脱塩室およびアニオン脱塩室を流通した処理水である点で異なっており、比較例2は、電極室供給水がカチオン脱塩室に流入させる前の被処理水、すなわち原水である点で異なっている。電極室供給水の流量と、得られる処理水の流量とは、実施例および比較例1,2で共に同量であるが、カチオン脱塩室を流出した脱カチオン水を電極室に流す実施例では、カチオン脱塩室入口での被処理水の流量が、比較例2と比べて、電極室に流す分だけ大きくなっている。同様に、アニオン脱塩室を流出した処理水を電極室に流す比較例1では、カチオン脱塩室入口での被処理水の流量が、比較例2と比べて、電極室に流す分だけ大きくなっている。また、中間イオン交換膜としてはアニオン交換膜を用いている。なお、実際には、実施例および比較例1,2ともに、主脱塩室が2室設けられた電気式脱イオン水製造装置を用いて検証を行った。実施例および比較例1,2における電気式脱イオン水製造装置の仕様、通水流量、供給水の仕様等は以下の通りである。なお、CERはカチオン交換樹脂、AERはアニオン交換樹脂の略である。陽極室E1:寸法300×80×4mmCER充填陰極室E2:寸法300×80×4mmAER充填カチオン脱塩室:寸法300×80×8mm3室ともCER充填アニオン脱塩室:寸法300×80×8mm3室ともAER充填濃縮室:300×80×5mm3室ともAER充填処理水流量:150L/h濃縮水流量:30L/h電極水流量:10L/hカチオン脱塩室供給水被処理水:一段RO透過水11±1μS/cmカチオン脱塩室供給水硬度CaCO3含有量:1±0.1mg/L濃縮室供給水:一段RO透過水11±1μS/cm電極室供給水実施例:カチオン脱塩室処理水脱カチオン水比較例1:アニオン脱塩室処理水処理水比較例2:カチオン脱塩室供給水被処理水印加電流値:1.4A印加電流密度:0.58A/dm2実施例および比較例1の装置について、2000時間の運転を行い、各脱塩室入口および出口での圧力を比較した。結果を表1に示す。実施例では、比較例1と比べて、全体の圧力が低く抑えられ、処理水がアニオン脱塩室を流出する最低限の水圧で、カチオン脱塩室を流出した脱カチオン水を電極室に供給できることが確認された。一方、比較例1での圧力の増大は、アニオン脱塩室を流出した処理水を電極室に流すために、アニオン脱塩室出口での圧力を高くしなければならないことを意味している。つまり、カチオン脱塩室入口での圧力被処理水の供給圧を上げるために、コストアップにつながる追加の手段が必要になることを意味している。また、同様に比較例2についても、2000時間の運転を行い、処理水質処理水比抵抗および運転電圧の経時変化を実施例と比較した。結果を表2に示す。表2に示すように、実施例では、比較例2と比べて、運転電圧が低く抑えられることが確認された。これは、カチオン脱塩室を流出して硬度成分が除去された脱カチオン水を電極室に供給したことで、陰極でのスケールの生成が抑制された効果であると考えられる。実際、約2000時間の運転後、それぞれの装置を解体したところ、比較例2の装置では、陰極にスケールが生成されていることが確認されたが、実施例の装置では、スケールの生成は確認できなかった。また同様に、実施例では、比較例2と比べて、良好な処理水質が得られていることが確認された。これは、カチオン成分が副カチオン脱塩室に移動して、副カチオン脱塩室を流出する脱カチオン水を汚染することが抑制された効果であると考えられる。"