2個以上の炭化珪素成形体を基に一体化された炭化珪素焼結体の製造方法であって、炭化珪素成形体の間に、炭化珪素、炭化ホウ素、炭素および珪素の粒子が混合された接合中間層を挟む工程と、前記接合中間層が挟まれた炭化珪素成形体をCIPで一体化する工程と、前記一体化された炭化珪素成形体を焼成する工程と、を含み、前記接合中間層は、炭化珪素100重量部に対し、炭化ホウ素を0.2重量以上0.6重量以下、炭素を5重量以上15重量以下、珪素を5重量以上10重量以下の割合で含有し、0.05mm以上0.500mm以下の厚さを有するセラミックス混合粉末シートであることを特徴とする炭化珪素焼結体の製造方法。炭化珪素、炭化ホウ素、炭素、珪素、溶媒、結合剤および分散剤を混合したスラリーをドクターブレードによりシート化することで、前記接合中間層を作製する工程を更に含むことを特徴とする請求項1記載の炭化珪素焼結体の製造方法。2個以上の炭化珪素成形体を基に一体化された炭化珪素焼結体であって、炭化珪素成形体の接合により生じた接合層に対してボンビング法によるHeリーク試験を行なったときのHeリーク量が1×10-7Pam3/sec以下であり、前記接合層の接合強度は、400MPa以上であることを特徴とする炭化珪素焼結体。これに対し、炭化珪素の成形体を接合することで、最終的に炭化珪素の焼結体を得る方法が提案されている。例えば、特許文献1記載のラジアル型セラミックローターの製造方法では、翼部側成形体と軸部成形体とを密接するか、同材料のスラリー又はペースト状の接合剤を介在させて密接し、CIP冷間等方圧加圧法で結合して接合一体化して焼成している。しかし、このような接合では、中間層が存在せず、成形体の接合面に空隙が残り易い。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、炭化珪素固有の特性を維持しつつ、容易に用途に応じた製造ができ、不良が生じ難い炭化珪素焼結体の製造方法および炭化珪素焼結体を提供することを目的とする。1上記の目的を達成するため、本発明の炭化珪素焼結体の製造方法は、2個以上の炭化珪素成形体を基に一体化された炭化珪素焼結体の製造方法であって、炭化珪素成形体の間に、炭化珪素、炭化ホウ素、炭素および珪素の粒子が混合された接合中間層を挟む工程と、前記接合中間層が挟まれた炭化珪素成形体をCIPで一体化する工程と、前記一体化された炭化珪素成形体を焼成する工程と、を含み、前記接合中間層は、炭化珪素100重量部に対し、炭化ホウ素を0.2重量以上0.6重量以下、炭素を5重量以上15重量以下、珪素を5重量以上10重量以下の割合で含有し、0.05mm以上0.500mm以下の厚さを有するセラミックス混合粉末シートであることを特徴としている。これにより、各部分で炭化珪素固有の特性を維持した中空構造品、複雑形状品、長尺品等に応用可能な炭化珪素焼結体を得ることができる。また、加工や処理の制約が少ないため、容易に用途に応じた製造ができる。また、生成物の接合面に空隙が残り難く、不良が生じ難い。接合中間層は、焼成時に炭素と珪素が反応焼結し炭化珪素化する。その結果、焼成後の接合中間層は母材と同等の特性を有する。接合中間層の厚さを0.05mm以上とすることで、炭化珪素成形体の接合界面において、接合中間層がCIP時の変形に追従できる。また、接合中間層の厚さを0.500mm以下とすることで、炭化珪素焼結体の接合界面の密度を均一化することができる。2また、本発明の炭化珪素焼結体の製造方法は、炭化珪素、炭化ホウ素、炭素、珪素、溶媒、結合剤および分散剤を混合したスラリーをドクターブレードによりシート化することで、前記接合中間層を作製する工程を更に含むことを特徴としている。これにより、炭化珪素成形体の接合が容易になる。3また、本発明の炭化珪素焼結体は、2個以上の炭化珪素成形体を基に一体化された炭化珪素焼結体であって、炭化珪素成形体の接合により生じた接合層に対してボンビング法によるHeリーク試験を行なったときのHeリーク量が1×10-7Pam3/sec以下であり、前記接合層の接合強度は、400MPa以上であることを特徴としている。このように、炭化珪素焼結体は、母材部分と特性が同等の接合層を有しており、欠陥や密度の不均一等の無い接合層が形成されている。したがって、炭化珪素固有の特性を維持した中空構造品、複雑形状品、長尺品等に応用できる。本発明によれば、各部分で炭化珪素固有の特性を維持した中空構造品、複雑形状品、長尺品等に応用可能な炭化珪素焼結体を得ることができる。また、加工や処理の制約が少ないため、容易に用途に応じた製造ができる。また、生成物の接合面に空隙が残り難く、不良が生じ難い。以下に、本発明の実施の形態を説明する。炭化珪素焼結体の製造方法まず、炭化珪素成形体を作製する。炭化珪素成形体は、金型プレス成形、CIP成形、鋳込み成形、射出成形等の方法により所望の形状に作製できる。また、炭化珪素成形体はいずれの方法による場合でも結合剤として働くバインダーを含んで形成されていることが望ましい。これにより、成形体と接合中間層として用いるセラミックス粉末との結合を強め、接合した成形体に対して生加工するのに十分な接合強度を維持させることができる。次に、接合中間層を作製する。接合中間層として用いるセラミックス粉末は、炭化珪素100重量部に対し、炭化ホウ素を0.2重量以上0.6重量以下、炭素を5重量以上15重量以下、珪素を5重量以上10重量以下添加したものである。これにより、接合中間層は、焼成時に炭素と珪素が反応焼結し炭化珪素化する。その結果、焼成後の接合中間層は母材と同等の特性を有する。接合中間層は、炭化珪素、炭化ホウ素、炭素および珪素の粉末に溶媒、結合剤および分散剤を混合したスラリーをドクターブレードによりシート化することで、セラミックス混合粉末シートとして形成することが好ましい。これにより、炭化珪素成形体の接合が容易になる。また、そのセラミックス混合粉末シートの厚さは、0.05mm以上0.500mm以下であることが好ましい。接合中間層の厚さを0.05mm以上とすることで、炭化珪素成形体の接合界面において、接合中間層がCIP時の変形に追従できる。また、接合中間層の厚さを0.500mm以下とすることで、炭化珪素焼結体の接合界面の密度を均一化することができる。次に、接合しようとする炭化珪素成形体のそれぞれについて、接合界面で密着する形状に表面を加工する。接合中間層の追従性により表面の凹凸を吸収できるため、炭化珪素成形体の接合界面について高精度加工は不要である。そして、接合界面に接合中間層としてセラミックス混合粉末シートを挟み、CIPにより接合する。このときのCIPは、98MPa以上のCIP圧力で行なうことが好ましい。CIP圧力を98MPa以上とすることで、接合中間層であるセラミックス混合粉末シートが母材の炭化珪素成形体と同等の密度になり、接合界面の密度を均一化することができる。CIPにより一体化された炭化珪素成形体は、炭化珪素が緻密化する焼成条件で焼成する。具体的には、アルゴン雰囲気において1900°C以上2100°C以下で焼成することが好ましい。以上に述べた方法で炭化珪素焼結体を製造することにより、炭化珪素の特性を維持した製品を安価で容易に作製できる。炭化珪素焼結体の特徴上記の方法で得られた炭化珪素焼結体は、炭化珪素成形体の接合により生じた接合層に対してボンビング法によるHeリーク試験を行なったときのHeリーク量が1×10-7Pam3/sec以下である。また、接合層の接合強度は、400MPa以上である。このように、作製された炭化珪素焼結体は、母材部分と特性が同等の接合層を有しており、欠陥や密度の不均一等の無い接合層が形成されている。したがって、炭化珪素焼結体を炭化珪素固有の特性を維持した中空構造品、複雑形状品、長尺品等に応用できる。炭化珪素成形体の原料を作製した。まず、炭化珪素粉末に、焼結助剤として炭化ホウ素を0.5重量、炭素源としてコールタールを10重量添加し、溶媒として水を加えた。これにポリカルボン酸系の分散剤、PVA系の結合剤を添加して混合し、スプレードライにより造粒し、水分量0.5質量の炭化珪素顆粒を得た。そして、この炭化珪素顆粒を用いて100mm×100mm×30mmのサイズに成形したものを2個作製した。作製した成形体のうち、一方には、φ20mmの貫通穴を生加工により設けた。次に、炭化珪素粉末100重量部に対し、炭化ホウ素を0.5重量、炭素源としてコールタールを1~20重量、珪素を1~15重量添加し、溶媒として水を加えた。これにポリカルボン酸系の分散剤、PVA系の結合剤を添加し、ボールミルにより混合してスラリーを得た。得られたスラリーを用いて、ドクターブレードにより、厚さ0.04~0.60mmの接合中間層として用いるセラミックス粉末シートを作製した。次に、炭化珪素成形体の100mm×100mm面に、セラミックス混合粉末シートを接合中間層として載せ、その上にもう一つのφ20mmの貫通穴を設けた炭化珪素成形体を載せた後、CIPにより147MPaの圧力で接合し一体化した。一体化した炭化珪素成形体を、大気中500°C×6時間で脱脂を行い、アルゴン雰囲気において2000°C×3時間の条件で焼成し、炭化珪素焼結体を得た。得られた炭化珪素焼結体を評価するため、これに対しボンビング法によるHeリーク試験を行なった。また、炭化珪素焼結体を3mm×4mm×40mmに加工し、接合層を中心とした4点曲げ試験により接合強度を測定した。表1は、炭化珪素焼結体の作製条件および試験結果を示している。本発明の実施例であるNo2、3、5~8、12、13、16~18の試料太枠については、Heリーク量が1×10-7Pam3/sec以下であり、十分な気密性を有していることを確認できた。また、これらの試料は、炭化珪素無垢体とほぼ同等の接合強度を有していることを確認できた。このように、実施例として母材と同等の特性の接合層を有する炭化珪素焼結体が得られた。その結果から、得られた炭化珪素焼結体の接合層には欠陥や密度の不均一等が無いことが分かった。一方、比較例については、以下の通りであった。すなわち、No1の試料の気密性は低く、その接合強度も低い値であった。これは、炭化ホウ素は炭化珪素の固相焼結による焼結助剤として機能するところ、接合中間層として用いるセラミックス粉末の炭化ホウ素量が少ないため、反応により生成した炭化珪素に十分な焼結性が得られず、緻密化しなかったためと考えられる。No9の試料の気密性は低く、その接合強度も低い値であった。これは、接合中間層として用いるセラミックス粉末の炭化ホウ素量が余剰であり、接合中間層内で、炭化ホウ素そのものが残留しためと考えられる。No4の試料の気密性は低く、その接合強度も低い値であった。これは、接合中間層として用いるセラミックス粉末の炭素量が少ないため、珪素と反応する炭素源がなく、珪素そのものが残留したためと考えられる。No10の試料の気密性は低く、その接合強度も低い値であった。これは、接合中間層として用いるセラミックス粉末の珪素と反応する炭素量が余剰であり、残炭部が空隙となったためと考えられる。No11の試料の気密性は低く、その接合強度も低い値であった。これは、接合中間層として用いるセラミックス粉末における珪素量が少ないため、接合中間層内で、炭化珪素の反応焼結による結合が不足したためと考えられる。No14の試料の気密性は低く、その接合強度も低い値であった。これは、接合中間層として用いるセラミックス粉末における珪素量が余剰であるため、接合中間層内で、珪素そのものが残留しためと考えられる。No15の試料の気密性は低く、接合強度も低い値であった。これは、セラミックス粉末シートが薄かったため、接合界面に追従できず、空隙が発生したためと考えられる。No19の試料の気密性は低く、接合強度も低い値であった。これは、セラミックス粉末シートが厚かったため、接合層が緻密化できず、空隙が発生したためと考えられる。このように、比較例についてはいずれも問題が生じた。