"LixAlz-y[GanB1-n]ySwPO4c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、0≦n≦1、及び0<c<20の組成を有する化合物を含むLiイオン伝導性電解質。n≒0である、請求項1の電解質。LixAlz-y[GanB1-n]ySwBO3c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、0≦n≦1、及び0<c<20の組成を有する化合物を含むLiイオン伝導性電解質。n≒0である、請求項3の電解質。LixGez-ySiySwPO4c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、及び0<c<20の組成を有する化合物を含むLiイオン伝導性電解質。LixGez-ySiySwBO3c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、及び0<c<20の組成を有する化合物を含むLiイオン伝導性電解質。LiMn2O4、LiMnNiCoAlO2、LiCoO2、LiNiCoO2、及びLiFePO4からなる群から選択される材料を含むカソード;Li、Li合金、及びLiでドープした酸化金属からなる群から選択される材料を含むアノード;及びLixAlz-y[GanB1-n]ySwPO4c、LixAlz-y[GanB1-n]ySwBO3c、LixGez-ySiySwPO4c、及びLixGez-ySiySwBO3c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、0≦n≦1、及び0<c<20からなる群から選択される固体Liイオン伝導性電解質、を含むLiイオンバッテリー。n≒0である、請求項7のLiイオンバッテリー。例図1~3を参照して、米国特許出願第12/462,146号特許文献4に詳述されるVSPEEDプロセスを使用して、VSPEED装置中で33に配置された金属基材10上にAlGaSPO411を堆積した。水性試薬溶液は次の組成を有していた:酢酸アルミニウム0.02M、酢酸ガリウム0.013M、チオユリア0.2M、及びリン酸3.0M、及び酢酸0.05M。この溶液はまた、ミスト液滴サイズを更に小さくするために5のアルコールも含む。この溶液を、200°Cに維持した基材上に噴霧堆積して、約1μmの厚さのフィルムを形成した。例前述の例に記載のフィルムを次いで、アルゴンを充填したグローブボックスに取り付けた慣用の真空チャンバに移した。次いで、約1μmのリチウム厚12を電解質マトリックス11上に堆積した。このフィルムは、その代わりに、アルゴン雰囲気グローブボックス中の図2に示したようなフィールドアシステッドFAVPSPEED堆積装置に移してもよい。Li金属12は、0.3MのLiNO3、0.3Mの硝酸及び0.2Mのアセトニトリルのアルコール溶液を噴霧堆積することによって、150°Cに維持した電解質マトリックス11上に堆積することができる。グリッド領域は約130°Cに維持し、そしてグリッドと基材との電位差は約5Vである。リチウム化されたマトリックスは、アルゴン充填グローブボックス中で先ず200°Cで約20分間熱処理して、全てのリチウムを電解質マトリックス中に拡散させ、次いで300°Cで約20分間熱処理して、LixAlz-yGaySwPO4cの最終名目組成を有する高リチウムイオン伝導性電解質13を生じさせた。当業者は、使用する試薬の相対的な割合を変えることによって及び堆積するマトリックスの量に比して堆積するLiの量を変えることによって、総合的な組成を有用な範囲にわたって操作し得ることを理解するであろう。本発明者は、有用な電解質組成は少なくとも以下を含むものと思料する。LixAlz-yGaySwPO4c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、及び0<c<20の組成を有する化合物;LixAlz-yGaySwBO3c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、及び0<c<20の組成を有する化合物;LixGez-ySiySwPO4c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、及び0<c<20の組成を有する化合物;LixGez-ySiySwBO3c式中、4<w<20、3<x<10、0≦y<1、1≦z<4、及び0<c<20の組成を有する化合物。なお上述の通り、Gaは部分的にまたは完全にBで置き換えてもよい。本発明のFAVPSPEEDプロセスは、通例の実験を介して当業者が様々に改修できることは上述の例を考慮すれば明らかであろう。例えば、Na等の他のアルカリ金属を、それらの適当な塩を用いて堆積してもよい。適当なアルカリ金属塩には、アルカリ金属塩化物、アルカリ金属硝酸塩、アルカリ金属酢酸塩、及びアルカリ金属アルコキシドなどが挙げられる。グリッド領域の温度は、使用される特定の溶液と適応させるために幾らか典型的には100~175°Cの範囲で変えてもよく、そしてプロセスチャンバは、気化プロセスを更に制御するために周囲雰囲気に対して正圧または負圧に維持してよい。チャンバ雰囲気は特定の用途に応じて変えてよく、そしてアルゴンまたは他の不活性ガス、乾燥窒素などを包含し得る。同様に、グリッド電位も、装置の特定の形状、基材の大きさ、及びグリッドと基材との間の空間に依存して、約1~10Vの選択された範囲にわたって変えてよい。本発明の一つの態様において、FAVPSPEEDプロセスを、選択されたマトリックス化合物上にLi等のアルカリ金属を堆積するために使用することができるということを強調することが重要であり、多くの他の適当な堆積方法もこのステップに使用できると当然理解されるものである。例えば、アルカリ金属は、蒸着コーティング、スパッタ堆積、または当技術分野で周知の表面上に金属を堆積するための任意の他の適当な手段を用いてマトリックス層上に堆積してよい。例本発明の方法は、他の電解質組成を製造するために簡単に改修し得る。他の適当な水性試薬溶液を以下の表に記す。LixGaySwPO4c硝酸ガリウム0.033Mチオユリア0.2Mリン酸1M硝酸0.05M水溶液の約5体積はアルコール。LixAlz-yGaySwBO3c酢酸アルミニウム0.02M酢酸ガリウム0.013Mチオユリア0.2Mホウ酸0.5M酢酸0.05M水溶液の約5体積はアルコール。本発明の方法は、多くの他の有用な組成物を調製するために通例の実験を介して改修できることは理解されるものである。例えば、β’’-アルミナは周知の固体イオン伝導体であり、これは、低い電子伝導性を維持しながら、様々な可動性イオン種、例えばNa、K、Li、Ag、H、Pb2、Sr2、及びBa2を用いて製造できる。更に、他のドーパント種を添加して、イオン伝導性を変化、特に活性化エネルギーを低下させて、それによって低温伝導性を向上し得る。それ故、当業者は、酸化アルミニウム及び任意の金属ドーパントを含むフィルムを堆積するために本発明のVPSPEEDプロセスまたは他の適当な堆積法を使用し、次いで所望の可動性イオン種を堆積するためにFAVPSPEEDプロセスを使用し、その後に焼き鈍しを行い所望のβ’’-アルミナ構造を形成することができる。更に、固体イオン伝導体は、固体バッテリーの他にも多くの用途に使用されることも理解されるものである。例えば、β’’-アルミナは、高温液体バッテリー、例えば様々なナトリウム-硫黄電池に使用され、また高温熱電変換器にも使用される。固体イオン伝導体は、様々な種のセンサー、電気着色窓、及び色素増感型太陽電池などの用途にも有用である。例図4は、本発明に従い製造した固体電解質SSEの電気的特性を示す。電解質は、LiAlGaSPO4Al:Ga=3:2、Li:AlGaSPO4=1:1厚さ比の名目組成を有した。焼き鈍しは、アルゴン充填グローブボックス中で200~300°Cで行った。次いで、これらのLi/SSE/Li及びSS/SSE/Li構造物は、適当な鉛枠を有する密封されたポーチ中に包装した。次いで、各々の構造物を0.1Vの一定の電圧にかけて、他方900秒間、電流を記録することによって、直流過渡測定DCtransientmeasurementを行った。次いで抵抗と伝導性を計算する。Li/SSE/Li構造物は10-4S/cmのイオン伝導性を与え、そしてSS/SSE/In構造物は約10-11S/cmの電子伝導性を与える。イオン伝導性10-4S/cmは、電子伝導性よりも6~7桁大きいことが分かる。通例の実験を介して、イオン伝導性を、特性の組成に関して条件を最適化することによって更に向上でき、恐らくは10-3S/cmまで高めることができる。約10-4S/cmのイオン伝導性を示した一つの電解質を分析し、これは、おおよそ式Li8Al1.13GaS5PO41.2によって表される最終組成を有した主要な元素はEDXで決定し、Liは差によって計算した。上記の例を元に、本発明は、以下の例に記載されるように幾つかの方法で全固体Liイオンバッテリーの製造にまで更に拡張し得る。例図5を参照して、集電体10’Al、Cu、または他の適当な金属フォイルをカソード材料14でコーティングする。これは好ましくは、LiMn2O4、LiMnNiCoAlO2、LiFePO4などであり、VPSPEEDまた他の適当な技術によって堆積される。上記の例に記載の手順に従い、電解質マトリックス11を堆積し、Li12をFAVSPEEDまたは慣用の真空技術によって堆積し、そしてコーティングを熱処理して固体電解質13を形成する。次に、FAVPSPEEDまたは慣用の真空技術によって、アノード15Li、Li-Al、またはLi-Mgを電解質13上に堆積する。他の集電体10’’を、伝導性銀/アルミニウム接着剤例えば、SilfillConductiveAdhesive,PPTechnologyLtd.,FinchDr.,Springwood,Braintree,EssexCM72SF,Englandの層17によってコーティングし;そして伝導性ペースト17を、Li含有アノード15と圧接して、セルを完成する。例図6を参照して、カソード材料14を第一の集電体10’に供し、電解質マトリックス11を堆積し、そしてLi12を堆積する。アノード材料18を第二の集電体10’’’上に堆積し、電解質マトリックス11’及びLi12’をアノード18上に堆積する。場合により、アノード材料18上への電解質マトリックス11’の堆積は省略し得る。これらの二つのコーティングされた積層体を、Liがコーティングされた面が接触するように向かい合わせで重ね、そしてスタックを圧迫するために加熱しながら圧力を加える。Liと、電解質マトリックスの二つの層との間の反応が、連続的な固体電解質層並びに機械的結合を形成し、それによってセルが完成する。例図7を参照して、電解質マトリックス11’を、図6に先に示したアノードでコーティングした基材10’’’上に堆積し得る。Li12を堆積し、そして前述同様に反応させて電解質13を形成する。基材10’をカソード材料14でコーティングし、次いでLiイオン伝導性接着剤19の層を供する。この接着剤は、ジメトキシエタンDME中に溶解したポリフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレンコポリマーPVDF/HFPと、密閉容器中で50°Cに加熱し、次いで室温に冷却したEC/PC30溶液中の1.5MのLiPF6との報告された混合物である。二等分のこれらのセルを、イオン伝導性接着剤19を用いて一緒にホットプレスしてイオン伝導性機械的結合を形成し、それによってセルを完成する。当然、代替的に、イオン伝導性接着剤19は、図8に図示するようにアノードがコーティングされた基材に供してもよい。簡潔さのために、上記の例は、幾つかの固定された寸法の単一基材を描いている。しかし、本発明者は、本発明は、半連続的またはリールツーリールreel-to-reelフォーマットでも行うことができることを強調する。この場合は、基材または集電体は、実質的に連続的な可撓性のシートであり、これは、堆積環境を介して段階的にインデックスが付けられて、それによって多くの薄膜セルを効率よく製造でき、そして必要ならば後で個々のセルに切り分けることができる。基材は、コーティングされた領域の下に直接、物理的な支持体を有してもよく、またはこれは、単に適当に配置された二つのローラ間を通すことによって張力で支持してもよい。リールツーリール機構は、本発明者の同時継続の米国特許出願第12/151,562号特許文献2及び米国特許出願第12/151,465号特許文献3に詳しく教示されている。"