コントローラと、前記コントローラにより制御されるように用いられる反応チャンバと、前記反応チャンバへの管と、前記反応チャンバ内の前記管の第1の端部に配置されたパイロットと、前記反応チャンバ外の前記管の第2の端部に配置され、前記コントローラに結合され、前記コントローラに前記パイロットが点灯したかどうかの指示を与えるように用いられるセンサと、前記管の開閉のために操作可能なアクチュエータとを含むシステム。前記コントローラが、前記センサからの前記指示に基づいて前記反応チャンバを操作するように用いられる請求項1記載のシステム。前記センサが紫外線センサである請求項1記載のシステム。前記アクチュエータが、前記管を閉じたときに、前記センサに火炎からの放射線が達するのを防ぐように用いられる請求項1記載のシステム。前記アクチュエータが、開放状態と閉鎖状態の間で前記管を循環するように用いられる請求項1記載のシステム。前記コントローラが、前記管の実際の状態を、前記センサからの前記指示と比較することによって前記センサを試験するように用いられる請求項5記載のシステム。前記アクチュエータが、前記コントローラに知られた規定レートで開放状態と閉鎖状態の間で前記管を循環するように用いられる請求項6記載のシステム。前記反応チャンバが、燃料を前記反応チャンバに提供し、前記パイロットにより発火されるように用いられるバーナージェットを含み、前記センサが、前記バーナージェットが発火されるかどうか前記コントローラに指示を与えるように用いられる請求項1記載のシステム。前記コントローラが、前記バーナージェットが発火されるかどうかに基づいて、前記反応チャンバをシャットダウンするように用いられる請求項8記載のシステム。反応チャンバを有する第1の筐体と、前記第1の筐体と関連した第2の筐体と、前記第1の筐体内にあって、前記第1の筐体内の可燃性ガスを検出するように用いられるセンサと、前記第1の筐体内にあって、前記規定温度で前記センサを維持するように用いられるヒーターと、前記第2の筐体内にあって、前記センサに結合され、可燃性ガス発火エネルギーレベルより低いレベルまで前記センサに与えられるエネルギーの量を制限するように用いられる第1のバリアと、前記第2の筐体内にあって、前記ヒーターに結合され、可燃性ガス発火エネルギーレベルより低いレベルまで前記ヒーターに与えられるエネルギーの量を制限するように用いられる第2のバリアとを含むシステム。前記第1のバリアからの信号を受け、可燃性ガスの濃度レベルが規定の閾値を超えることを前記信号が示す場合に前記反応チャンバをシャットダウンするように用いられるコントローラを含む請求項10記載のシステム。前記コントローラが電圧比較器を含む請求項11記載のシステム。前記第1の筐体が排気口を含む請求項10記載のシステム。前記センサが前記排気口に近傍に配置されている請求項13記載のシステム。前記第2の筐体が不燃性ガスで充填パージされている請求項10記載のシステム。前記センサが耐熱性センサを含む請求項10記載のシステム。前記第1のバリアがポテンショメータアイソレータを含む請求項10記載のシステム。前記第2のバリアがツェナーダイオードを含む請求項10記載のシステム。前記第1及び第2の筐体を含む第3の筐体を含む請求項10記載のシステム。反応チャンバを有する第1の筐体と、前記第1の筐体と関連した第2の筐体と、前記第1の筐体内にあって、前記第1の筐体内の可燃性ガスを検出するように用いられるセンサと、前記第2の筐体内にあって、前記センサに結合され、可燃性ガス発火エネルギーレベルより低いレベルまで前記センサに与えられるエネルギーの量を制限するように用いられるバリアと、前記バリアからの信号を受け、可燃性ガスの濃度レベルが規定の閾値を超えることを前記信号が示す場合に前記反応チャンバをシャットダウンするように用いられるコントローラとを含むシステム。共有燃料源と、前記共有燃料源に結合され、燃料の安定したフローを与えるように用いられる燃料回路であって、前記燃料回路内の圧力の量を判断するメータと、前記燃料回路内の圧力を生成するポンプと、前記燃料圧力を規定圧力に調整する調整器とを有する燃料回路と、前記燃料回路に結合され、燃料を受け、前記燃料を反応チャンバへ供給するように用いられる入口アダプタとを含むシステム。前記燃料回路が、前記メータ、ポンプ及び調整器のうち少なくとも1つに結合され、前記メータからの信号に基づいて前記ポンプ及び調整器のうち少なくとも1つを制御するように用いられるコントローラを含む請求項21記載のシステム。前記共有燃料源が、燃料を複数のシステムに供給するように用いられる請求項21記載のシステム。前記メータが、前記燃料回路を流れる燃料の量及びレートを示す信号を与えるように用いられる質量流量計である請求項21記載のシステム。前記ポンプが、燃料を前記共有燃料源から引くように用いられる燃料ブースターポンプを含む請求項21記載のシステム。前記ポンプが、前記燃料回路内の燃料を加圧するように用いられるコンプレッサを含む請求項21記載のシステム。前記調整器が、前記共有燃料源から供給された燃料の前記圧力を、前記規定圧力まで減少するように用いられる圧力調整器を含む請求項21記載のシステム。前記調整器が、前記入口アダプタへ前記規定圧力で燃料を提供するように用いられる圧力調整器を含む請求項21記載のシステム。共有燃料源に結合され、燃料の安定したフローを提供するように用いられる燃料回路であって、前記燃料回路内の圧力の量を判断するメータと、前記燃料回路内の圧力を生成するポンプと、前記燃料圧力を規定圧力に調整する調整器とを有する燃料回路を含む装置。反応ユニットを含む除害システムと、前記反応ユニットのコンポーネントをモニターするように用いられる第1のコントローラと、前記第1のコントローラから独立して前記反応ユニットのコンポーネントをモニターするように用いられる第2のコントローラとを含み、1つ以上の規定操作条件が、前記第2のコントローラにより確認可能である場合に、前記第2のコントローラが、前記第1のコントローラによる操作のために前記モニターされたコンポーネントを有効にするように用いられ、規定操作条件が、前記第1のコントローラにより確認可能である場合に、前記第1のコントローラが、前記モニターされたコンポーネントを操作するように用いられ、前記第2のコントローラが前記モニターされたコンポーネントの操作のために有効にされているシステム。前記モニターされたコンポーネントが、緊急マシンオフコンポーネントを含む請求項30記載のシステム。前記モニターされたコンポーネントが、循環タンク及び関連の水流コンポーネントを含む請求項30記載のシステム。前記モニターされたコンポーネントが、パイロット発火装置及び関連の通気コンポーネントを含む請求項30記載のシステム。前記モニターされたコンポーネントが、パイロット火炎センサ及び関連の燃料及び廃液ストリームフローコンポーネントを含む請求項30記載のシステム。前記第1及び第2のコントローラが、所定のシーケンスに従って、前記反応ユニットの操作をスタートする請求項30記載のシステム。前記所定のシーケンスが、a前記第1のコントローラを用いて、緊急シャットダウンシステムの操作性を確認すること、b前記緊急シャットダウンシステムの操作性を再確認して、前記第2のコントローラを用いて、前記第1のコントローラがシステムスタートアップを進めるのを有効にすること、c前記第1のコントローラを用いて、システムスタートアップを進めること、d前記第1のコントローラを用いて、前記反応ユニットの下流に配置された水循環タンクで再循環水の容積を確認すること、e再循環水の容積を再確認して、前記再循環水の容積が最低容積より低い場合には、前記第2のコントローラを用いて、第1のコントローラが前記水循環タンクへ水を流すことを有効にすること、f前記再循環水の容積が、前記最低容積より低い場合には、前記第1のコントローラを用いて、前記水循環タンクを前記最低容積より高いレベルまで充填すること、g前記第1のコントローラを用いて、システムスタートアップを進めること、h前記第1のコントローラを用いて、スタートアップ前の閾値温度より低いか前記水循環タンクのヘッドスペースの温度を確認すること、i前記ヘッドスペースの温度が前記閾値温度より低いか再確認して、前記第2のコントローラを用いて、前記第1のコントローラがシステムスタートアップを進めるのを有効にすること、j前記第1のコントローラを用いて、システムスタートアップを進めること、k前記第1のコントローラを用いて、存在するであろう可燃性種を実質的に除去するのに十分な時間にわたって、不活性ガスで前記反応ユニットをパージすること、l前記第1のコントローラを用いて、クリーンドライエアCDAフローを確認すること、m前記第2のコントローラを用いて、CDAフローを再確認して、前記第2のコントローラを用いて、前記第1のコントローラが前記反応ユニット内に配置されたパイロットを発火するのを有効にすること、n前記第1のコントローラを用いて、前記パイロットを発火すること、o前記第1のコントローラを用いて、前記パイロットの発火を確認すること、p前記パイロットの発火を再確認して、前記第2のコントローラを用いて、前記第1のコントローラが燃料フローを流すのを有効にすること、q前記第1のコントローラを用いて、燃料を前記反応ユニットへ流すこと、r前記パイロットを介して前記反応ユニットへ流れる前記燃料を発火すること、s前記第1のコントローラを用いて、前記反応ユニットへ流れた前記燃料を前記パイロットが発火したことを確認すること、t前記反応ユニットへ流れた前記燃料を前記パイロットが発火したことを再確認して、前記第2のコントローラを用いて、前記第1のコントローラが前記反応ユニットへ廃液を流すのを有効にすること、u前記第1のコントローラを用いて、少なくとも部分分解のために前記廃液を前記反応ユニットへ流すこと含む請求項35に記載のシステム。処理ツールと、前記処理ツールに結合され、前記処理ツールでプロセスが実行されたかどうか表示を生成するように用いられる検出器と、前記検出器に結合され、前記検出器からの前記表示に基づいて前記処理ツールにより生成されるであろう廃液の量を判断するように用いられるコントローラとを含むシステム。前記コントローラが、前記処理ツールにより生成されるであろう廃液の前記判断された量に基づいて、除害システムの操作を制御するように用いられる請求項37記載のシステム。前記除害システムの制御操作が、熱反応器内で前記燃料流量を調整することを含む請求項38記載のシステム。前記除害システムの制御操作が、反応器内で酸化物流量を調整することを含む請求項38記載のシステム。前記除害システムの制御操作が、予防保守サイクルを実施することを含む請求項38記載のシステム。前記検出器が電磁放射線検出器を含む請求項37記載のシステム。前記電磁放射線検出器が赤外熱電対列検出器を含む請求項42記載のシステム。