"コアと、このコアを被覆した状態で形成されたオーバークラッド層とを備え、タッチパネルのディスプレイの画面周縁部に沿って設置され、光を出射するコアの端部が上記ディスプレイの画面の一側部に位置決めされるタッチパネル用光導波路であって、上記光を出射するコアの端部がレンズ部に形成され、そのレンズ部の平面視形状が、端面に向かうにつれて徐々に拡幅するテーパ部と、その拡幅されたテーパ部の先端側を外側に向かって楕円弧状に膨出させた楕円弧部とからなり、上記楕円弧部の長軸方向が上記テーパ部の長手方向と一致する配置になっており、上記レンズ部の長手方向の長さLと、テーパ部のテーパ角度αと、楕円弧部を構成する楕円の長軸半径aとが、下記の条件1、2のいずれか一方を満たしていることを特徴とするタッチパネル用光導波路。上記レンズ部の長手方向の長さLと、楕円弧部を構成する楕円の長軸半径aおよび短軸半径bとが、下記の条件3、4を同時に満たすとともに、上記テーパ部のテーパ角度αが、下記の条件5を満たすものである請求項1記載のタッチパネル用光導波路。上記コアのレンズ部を覆うオーバークラッド層の端部が、第2のレンズ部に形成され、その第2のレンズ部の端面が、外側に向かって反る側面視略1/4円弧状曲面に形成され、上記コアのレンズ部における楕円弧部の平面視楕円弧状曲面の先端から上記第2のレンズ部の側面視略1/4円弧状曲面の曲率中心までの距離L2と、上記側面視略1/4円弧状曲面の曲率半径R2とが下記の条件6を満たしている請求項1または2記載のタッチパネル用光導波路。上記請求項1~3のいずれか一項に記載のタッチパネル用光導波路が、タッチパネルのディスプレイの画面周縁部に沿って設置され、光を出射するコアの端部が上記ディスプレイの画面の一側部に位置決めされ、その出射光を入射させるコアの端部が上記ディスプレイの画面の他側部に位置決めされていることを特徴とするタッチパネル。上記特許文献2の技術は、光導波路のコア端部におけるレンズ部を、テーパ部と円弧部とからなる特殊な平面視形状にしたものである。この構造によれば、上記テーパ部においてレンズ開始点からの光の広がりを抑え、円弧部において光を屈折させて平行光に近づけることができる。しかしながら、タッチパネルにおいて、ディスプレイの画面に触れた指の位置を、さらに高精度で検知させることが要求されており、この要求に応えるには、コア端部から出射される光の集光能力をさらに高める必要がある。本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、光の出射側における光の集光能力が高く、位置検知性能に優れたタッチパネルを実現することのできるタッチパネル用光導波路およびそれを用いたタッチパネルの提供をその目的とする。上記の目的を達成するため、本発明は、コアと、このコアを被覆した状態で形成されたオーバークラッド層とを備え、タッチパネルのディスプレイの画面周縁部に沿って設置され、光を出射するコアの端部が上記ディスプレイの画面の一側部に位置決めされるタッチパネル用光導波路であって、上記光を出射するコアの端部がレンズ部に形成され、そのレンズ部の平面視形状が、端面に向かうにつれて徐々に拡幅するテーパ部と、その拡幅されたテーパ部の先端側を外側に向かって楕円弧状に膨出させた楕円弧部とからなり、上記楕円弧部の長軸方向が上記テーパ部の長手方向と一致する配置になっており、上記レンズ部の長手方向の長さLと、テーパ部のテーパ角度αと、楕円弧部を構成する楕円の長軸半径aとが、下記の条件1、2のいずれか一方を満たしているタッチパネル用光導波路を第1の要旨とする。また、本発明は、そのなかでも特に、上記レンズ部の長手方向の長さLと、楕円弧部を構成する楕円の長軸半径aおよび短軸半径bとが、下記の条件3、4を同時に満たすとともに、上記テーパ部のテーパ角度αが、下記の条件5を満たすものであるタッチパネル用光導波路を第2の要旨とする。さらに、本発明は、それらのなかでも特に、上記コアのレンズ部を覆うオーバークラッド層の端部が、第2のレンズ部に形成され、その第2のレンズ部の端面が、外側に向かって反る側面視略1/4円弧状曲面に形成され、上記コアのレンズ部における楕円弧部の平面視楕円弧状曲面の先端から上記第2のレンズ部の側面視略1/4円弧状曲面の曲率中心までの距離L2と、上記側面視略1/4円弧状曲面の曲率半径R2とが下記の条件6を満たしているタッチパネル用光導波路を第3の要旨とする。そして、上記第1~第3のいずれかの要旨のタッチパネル用光導波路が、タッチパネルのディスプレイの画面周縁部に沿って設置され、光を出射するコアの端部が上記ディスプレイの画面の一側部に位置決めされ、その出射光を入射させるコアの端部が上記ディスプレイの画面の他側部に位置決めされているタッチパネルを第4の要旨とする。本発明者は、前記課題を解決すべく、コアの端部のレンズ部の形状等について研究を重ねた。その結果、レンズ部を、端面に向かうにつれて徐々に拡幅するテーパ状に形成し、その拡幅されたテーパ部の先端側を外側に向かって楕円弧状に膨出させた形状にするとともに、上記レンズ部の長手方向の長さLとテーパ角度αと楕円弧を構成する楕円の長軸半径aとが、上記条件1、2のいずれか一方を満たすようにすると、レンズ部の入り口に到達した光を、上記テーパ部において光の広がり角を効果的に低減させることができ、その状態で、上記楕円弧部から、より平行化された光を出射させることができることを見いだし、本発明に到達した。本発明のタッチパネル用光導波路は、いずれも、光を出射するコアの端部が、上記特定形状および特定寸法のレンズ部に形成されているため、コアの端部から出射される光が、上記レンズ部の屈折作用によって、その広がりが大幅に抑制され平行化されるようになっている。したがって、このタッチパネル用光導波路によれば、光の出射側における光の集光能力が高く、ごく限定された領域において高い精度で光の伝送を行うことができる。また、本発明のタッチパネル用光導波路を用いて得られるタッチパネルは、上述のとおり、光導波路のコア端部から出射される光の集光能力が高く、ごく限定された領域において高い精度で光の伝送を行うことができるため、指でディスプレイの画面に触れると、その指が触れた部分の位置を正確に検知することができる。つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。図1は、本発明の一実施の形態であるタッチパネル用光導波路の平面図を示している。このタッチパネル用光導波路は、2つのL字形光導波路A,Bからなり、そのうちの一方のL字形光導波路Aが光を出射図示の矢印参照する側、他方のL字形光導波路Bが光を入射図示の矢印参照する側となっている。これら2つのL字形光導波路A,Bにおいては、いずれも、L字形に形成されたアンダークラッド層基体2の表面の所定部分に、光の通路である複数のコア3が、上記L字形の一端縁Aa,Bbから、そのL字形の内側ディスプレイ11図4参照の画面側端縁部に、等間隔に並列状態で延びたパターンに形成されている。なお、図において、コア3を破線で示しており、破線の太さがコア3の太さを示しているとともに、コア3の数を略して点々で図示している。そして、それらコア3を被覆するように、上記アンダークラッド層2の表面に、オーバークラッド層4が形成されている。また、光を出射する側のL字形光導波路Aに形成されたコア3の数と、光を入射する側のL字形光導波路Bに形成されたコア3の数とは、同数になっている。そして、上記各L字形の内側端縁部に位置する各コア3の端部が、図1において丸で囲われた部分Cの拡大図である図2aに示すような、特殊な平面視形状のレンズ部30に形成されている。なお、このレンズ部30は、図2aのX-X′断面図である図2bに示すように、平板状になっており、他のコア3の部分と同様の厚みで、アンダークラッド層2とオーバークラッド層4との間に層状に挟まれた配置になっている。上記レンズ部30図2aに戻るは、その平面視形状が、端面に向かうにつれて徐々に拡幅するテーパ部31図において斜線で示す部分と、その拡幅されたテーパ部31の先端側を外側に向かって楕円弧状に膨出させた楕円弧部32図において斜め格子で示す部分とを組み合わせた形状になっている。ただし、上記楕円弧部32は、その長軸方向が、上記テーパ部31の長手方向と一致する配置になっている。そして、上記レンズ部30の長手方向の長さLと、テーパ部31のテーパ角度αと、楕円弧部32を構成する楕円図において鎖線Pで示すの長軸半径aとが、下記の条件1、2のいずれか一方を満たすよう設定されている。上記条件式1、2は、以下の考え方によって導出されたものである。すなわち、下記の式βが成り立つ楕円レンズ図3参照、F,F′:焦点、a:長軸半径、b:短軸半径において、その出射側から遠い方の焦点Fに点光源を配置すると、そこから出射される光は平行化されることが知られている。そこで、光が出射されるコア3端部のレンズ部30においても、上記式βに従い、楕円弧状にすることが望まれるが、光導波路の場合、レンズ部30まで光を伝送する導波路が、通常15~50μm程度の幅を有しており、焦点Fからずれた位置から出射される光が上記特性に当てはまらず、平行光化されない。この傾向は、レンズ部30全体のサイズが小さいときほど、レンズ部30の入り口部の幅の影響が大きくなり、逆にレンズ部30のサイズが大きくなると、相対的にレンズ部30の入り口部の影響が小さくなる。このため、本発明では、上記レンズ部30において、テーパ部31のテーパ角度αを限定し光の広がり角を低減することによって、あたかも点光源から光が出射されたかのように光の行路を限定するとともに、その先端側において特定の楕円弧部32を設けることによってその集光能力を高めるようにしたのである。ただし、上記各条件1、2における具体的な値については、本発明者が実験を繰り返し行って求めたものである。そして、この考え方に基づき、とりわけ、上記レンズ部30の長手方向の長さLと、楕円弧部を構成する楕円の長軸半径aおよび短軸半径bとが、下記の条件3、4を同時に満たすとともに、上記テーパ部のテーパ角度αが、下記の条件5を満たすものは、とりわけ集光性能に優れているため、高い解像度が要求される15インチ以上の画面サイズのタッチパネル用の光導波路やペン入力が必要なタッチパネル用の光導波路に適用することが好適である。なお、上記考え方は、光の進行方向が逆の場合でも同様に適用することができることから、この実施の形態では、入射側のコア3の端面においても、出射側のコア3と同様の、特殊な平面視形状のレンズ部30が形成されている図示を省略。したがって、上記特殊な平面視形状のレンズ部30を出射側と入射側のそれぞれに備えた光導波路によれば、コア3の端部から出射される光が、上記レンズ部30の屈折作用によって、その広がりが大幅に抑制され平行化され、逆にコア3の端部から入射される光が、上記レンズ部30の屈折作用によって、さらに集光されるため、ごく限定された領域において高い精度で光の伝送を行うことができる。上記特殊な光導波路A、Bは、例えば図4に示すようなタッチパネル10の四角形のディスプレイ11の画面を囲むようにして、その画面周縁部に沿って設置される。そして、光Wを出射する側のL字形光導波路Aの一端縁Aaでは、コア3に光源図示せずが接続され、光Wを入射する側のL字形光導波路Bの一端縁Bbでは、コア3に検出器図示せずが接続される。より詳しく説明すると、図4の状態では、光Wを出射するコア3の端部図2aに示すレンズ部30が、ディスプレイ11の画面周縁のL字状部一側部Dに位置決めされ、光Wを入射するコア3の端部が、ディスプレイ11の画面周縁の、上記L字状部Dに対向するL字状部他側部Eに位置決めされている。そして、光Wを出射するコア3の端面、すなわちレンズ部30の楕円弧部32の膨出した曲面と、光Wを入射するコア3の端面出射側と同様の、レンズ部30の楕円弧部32の膨出した曲面とが、対面した状態になっている。なお、図において、コア3を破線で示しており、破線の太さがコア3の太さを示しているとともに、コア3の数を略して図示している。また、理解し易くするため、コア3から出射して対面するコア3に入射する多数の光のうちの一部の光Wのみを示している。このような光伝送が、図4に示す2つのL字形光導波路A,Bの間で行われるため、図示のように、タッチパネル10のディスプレイ11の画面上では、上記2つのL字形光導波路A,Bにより、光Wが横方向の発散を抑制された状態で格子状に走った状態となる。したがって、この状態で指でディスプレイ11の画面に触れると、上記出射する光と入射する光の集光能力が高いため、上記指が触れた部分の位置を、より正確に検知することができる。なお、上記L字形光導波路A,Bの寸法等は、タッチパネル10のディスプレイ11の大きさに対応するよう設定すればよく、例えば、縦と横の長さは、それぞれ30~300mm程度、L字形の線幅は、50μm~2mm程度に設定される。また、光を出射する光を入射するコア3の数も、ディスプレイ11の画面に表示される操作内容の数等によって対応するよう設定すればよく、例えば、20~300本程度に設定される。つぎに、本発明のタッチパネル用光導波路の製造方法の一例について説明する。なお、この説明において参照する図5a~dは、図2a,bに示すレンズ部30およびその周辺部分を中心に図示している。まず、上記タッチパネル用光導波路A,B図1参照を製造するための、平板状の基台1図5a参照を準備する。この基台1の形成材料としては、例えば、ガラス,石英,シリコン,樹脂,金属等があげられる。また、基台1の厚みは、例えば、20μmフィルム状~5mm板状の範囲内に設定される。ついで、図5aに示すように、上記基台1上の所定領域に、アンダークラッド層2の形成材料である、感光性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布する。このワニスの塗布は、例えば、スピンコート法,ディッピング法,キャスティング法,インジェクション法,インクジェット法等により行われる。そして、それを50~120°C×10~30分間の加熱処理により乾燥させる。これにより、アンダークラッド層2に形成される感光性樹脂層2aを形成する。つぎに、上記感光性樹脂層2aを照射線により露光する。上記露光用の照射線としては、例えば、可視光,紫外線,赤外線,X線,α線,β線,γ線等が用いられる。好適には、紫外線が用いられる。紫外線を用いると、大きなエネルギーを照射して、大きな硬化速度を得ることができ、しかも、照射装置も小型かつ安価であり、生産コストの低減化を図ることができるからである。紫外線の光源としては、例えば、低圧水銀灯,高圧水銀灯,超高圧水銀灯等があげられ、紫外線の照射量は、通常、10~10000mJ/cm2、好ましくは、50~3000mJ/cm2である。上記露光後、光反応を完結させるために、加熱処理を行う。この加熱処理は、80~250°C、好ましくは、100~200°Cにて、10秒~2時間、好ましくは、5分~1時間の範囲内で行う。これにより、上記感光性樹脂層2aをアンダークラッド層2に形成する。アンダークラッド層2感光性樹脂層2aの厚みは、通常、通常、1~50μmの範囲内に設定され、好ましくは、5~30μmの範囲内に設定される。ついで、図5bに示すように、上記アンダークラッド層2の表面に、コア3に形成される感光性樹脂層3aを形成する。この感光性樹脂層3aの形成は、図5aで説明した、アンダークラッド層2に形成される感光性樹脂層2aの形成方法と同様にして行われる。なお、このコア3の形成材料は、得られるコア3が、上記アンダークラッド層2および後記のオーバークラッド層4図5d参照よりも屈折率が大きくなるような材料が用いられる。この屈折率の調整は、例えば、上記アンダークラッド層2、コア3、オーバークラッド層4の各形成材料の種類の選択や組成比率を調整して行うことができる。ちなみに、本発明において、上記アンダークラッド層2および後記のオーバークラッド層4の屈折率波長850nmにおける屈折率、以下同じは1.45~1.55となるよう調整することが好適であり、上記コア3は、それより大きい屈折率であって1.50~1.60となるよう調整することが好適である。つぎに、上記感光性樹脂層3aの上方に、コア3のパターンレンズ部30を含むに対応する開口パターンが形成されている露光マスクを配置し、この露光マスクを介して上記感光性樹脂層3aを照射線により露光した後、加熱処理を行う。この露光および加熱処理は、図5aで説明したアンダークラッド層2の形成方法と同様にして行われる。つづいて、現像液を用いて現像を行うことにより、図5cに示すように、上記感光性樹脂層3a図5b参照における未露光部分を溶解させて除去し、アンダークラッド層2上に残存した感光性樹脂層3aをコア3のパターンに形成する。このとき、コア3の一端部は、レンズ部30の形状になっている。上記現像は、例えば、浸漬法,スプレー法,パドル法等が用いられる。また、現像液としては、例えば、有機系の溶媒,アルカリ系水溶液を含有する有機系の溶媒等が用いられる。このような現像液および現像条件は、感光性樹脂組成物の組成によって、適宜選択される。上記現像後、コア3のパターンに形成された残存感光性樹脂層3a中の現像液を加熱処理により除去する。この加熱処理は、通常、80~120°C×5~30分間の範囲内で行われる。これにより、上記コア3のパターンに形成された残存感光性樹脂層3aを、コア3に形成する。コア3感光性樹脂層3aの厚みは、通常、20~150μmの範囲内に設定され、好ましくは、40~100μmの範囲内に設定される。また、コア3の幅レンズ部30が形成されている部分以外の幅は、通常、8~50μmの範囲内に設定され、好ましくは、10~25μmの範囲内に設定される。そして、図5dに示すように、上記コア3を被覆するように、上記アンダークラッド層2の表面に、オーバークラッド層4に形成される感光性樹脂層4aを形成する。この感光性樹脂層4aの形成は、図5aで説明した、アンダークラッド層2に形成される感光性樹脂層2aの形成方法と同様にして行われる。その後も、アンダークラッド層2の形成方法と同様に露光,加熱処理等を行い、オーバークラッド層4を形成する。オーバークラッド層4感光性樹脂層4aの厚みコア3の表面からの厚みは、通常、100~1000μmの範囲内に設定され、好ましくは、200~600μmの範囲内に設定される。ついで、基台1をアンダークラッド層2から剥離する。この剥離方法としては、例えば、真空吸引ステージ図示せず上に、基台1の下面を当接させ、基台1をエア吸着により固定する。ついで、オーバークラッド層4の上面を真空吸着機図示せずで吸着し、その状態でその吸着部分を持ち上げる。これにより、オーバークラッド層4とともに、コア3とアンダークラッド層2とを接着させた状態で、タッチパネル用光導波路のアンダークラッド層2を基台1から剥離する。ここで、基台1とアンダークラッド層2との間の接着力は、その材料から、オーバークラッド層4とコア3およびアンダークラッド層2との間の接着力ならびにコア3とアンダークラッド層2との間の接着力よりも弱く、上記のようにすることにより、簡単に剥離することができる。その後、上記2つのL字形光導波路A,Bとなる部分を、刃型を用いた打ち抜き等により切断する。これにより、図1に示す2つのL字形光導波路A,Bからなるタッチパネル用光導波路が得られる。なお、上記実施の形態では、出射側のコア3と入射側のコア3の双方の端面において、上記特殊な平面視形状のレンズ部30を設けたが、本発明の、上記特殊なレンズ部30は、少なくとも出射側のコア端面に設けられていればよい。すなわち、入射側においては、異なる構成の集光レンズ等を組み合わせることができるからである。また、上記実施の形態では、コア3の端部のレンズ部30をオーバークラッド層4内に位置決めしたが、レンズ部30の先端部分ないし全体は、オーバークラッド層4で覆うことなく、露出させてもよい。図6は、本発明のタッチパネル用光導波路の他の実施の形態を示している。この実施の形態のタッチパネル用光導波路は、上記実施の形態において、コア3のレンズ部30の前方を覆うオーバークラッド層4の端部が、第2のレンズ部40に形成されている。この第2のレンズ部40の端面は、外側に向かって反る側面視略1/4円弧状曲面41に形成されている。その第2のレンズ部40の寸法は、コア3の端部のレンズ部30の先端楕円弧部32の平面視楕円弧状曲面の先端から側面視略1/4円弧状曲面41の曲率中心Mまでの距離L2と、側面視略1/4円弧状曲面41の曲率半径R2とが下記の条件6を満たすように設定される。それ以外は、上記実施の形態と同様であり、同様の部分は同じ符号を付している。そして、コア3の端部のレンズ部30から出射された光横方向の発散が抑制された光Wは、オーバークラッド層4の端部の上記第2のレンズ部40の屈折作用により、縦方向アンダークラッド層2と直角な面に沿う方向の発散が抑制される。また、その光Wを受光する際には、その光Wは、第2のレンズ部40の屈折作用により、縦方向に絞って集束され、その状態で、コア3の端面楕円弧部32の平面視円弧状曲面からコア3内に入射するこのとき、光Wは、横方向に絞って集束される。このため、光伝送効率は高くなり、タッチパネル10図2参照において、指検知の正確性をより向上させることができる。このようなタッチパネル用光導波路の製造方法は、コア3を形成するまでは、上記実施の形態と同様にして、図5a~cに示すように形成される。その後のオーバークラッド層4の形成は、まず、図7に示すように、オーバークラッド層4図6参照の表面形状第2のレンズ部40を含むと同形状の型面を有する凹部が形成された、石英紫外線等の照射線を透過させる材料製の成形型50を用い、その凹部の開口面を基台1の表面の所定位置に位置決めし密着させる。ついで、上記成形型50に形成された注入口51から、上記凹部の型面と、基台1,アンダークラッド層2,コア3の各表面とで囲まれる空間成形空間Sに、オーバークラッド層4に形成される感光性樹脂を充填する。そして、上記成形型50を通して、上記実施の形態と同様にして、紫外線等の照射線により露光し、脱型後、加熱処理等を行い、オーバークラッド層4第2のレンズ部40を含むを形成する図6参照。その後は、上記実施の形態と同様の工程を経て、タッチパネル用光導波路が製造される。なお、上記各実施の形態では、アンダークラッド層2およびオーバークラッド層4の形成において、材料として感光性樹脂を用い、その形成を露光および現像により行ったが、それ以外であってもよい。例えば、材料としてポリイミド樹脂,エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を用い、その熱硬化性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布等した後、加熱処理通常、300~400°C×60~180分間により硬化させてアンダークラッド層2,オーバークラッド層4を形成してもよい。また、上記各実施の形態では、感光性樹脂を用いてアンダークラッド層2を形成したが、それ以外でもよく、樹脂フィルムをアンダークラッド層2として用いてもよい。また、アンダークラッド層2に代えて、金属フィルム,金属薄膜が表面に形成された基板等を用い、その金属材の表面を、コア3内を伝播する光Wの反射面として作用させてもよい。また、上記各実施の形態では、タッチパネル用光導波路を2つのL字形光導波路A,Bからなるものとしたが、その2つのL字形光導波路A,Bをそれぞれの両端部で一体化した四角形の枠状としてもよい。その製造方法としては、上記タッチパネル用光導波路の製造方法において、2つのL字形に切断するのに代えて、四角形の枠状に切断することが行われる。また、上記タッチパネル用光導波路の製造方法において、基台1としてフィルム状のものを用いる場合には、そのフィルム状の基台1と共に上記L字形平板状に切断した後に、基台1とアンダークラッド層2とを剥離してもよいし、また、基台1を剥離することなくタッチパネル用光導波路とともに使用してもよい。つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、実施例に限定されるわけではない。実施例1~16および比較例1~9アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料エポキシ樹脂ダイセル化学社製、EHPE315075重量部、エポキシ樹脂日油社製、マープルーフG-0150M25重量部、光酸発生剤サンアプロ社製、CPI-200K4重量部を、溶剤シクロヘキサノン:和光純薬社製70重量部に溶解することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。コアの形成材料エポキシ樹脂東都化成社製、YDCN-700-10100重量部と、光酸発生剤サンアプロ社製、CPI-200K2重量部とを、溶剤乳酸エチル60重量部に溶解することにより、コアの形成材料を調製した。タッチパネル用光導波路の作製ポリエチレンナフタレートPENフィルム100mm×100mm×188μm厚みの表面に、上記アンダークラッド層の形成材料をスピンコート法により塗布した後、2000mJ/cm2の紫外線照射による露光を行った。つづいて、100°C×15分間の加熱処理を行うことにより、アンダークラッド層を形成した。このアンダークラッド層の厚みを接触式膜厚計で測定すると15μmであった。また、このアンダークラッド層の、波長850nmにおける屈折率は、1.51であった。ついで、上記アンダークラッド層の表面に、上記コアの形成材料をスピンコート法により塗布した後、150°C×2分間の乾燥処理を行った。ついで、その上方に、模擬的に、レンズ部のみからなるコアを作製するために、それと同形状の開口パターンが形成された合成石英系のクロムマスク露光マスクを配置した。そして、その上方から、プロキシミティ露光法にて4000mJ/cm2の紫外線照射による露光を行った後、120°C×5分間の加熱処理を行った。つぎに、γ-ブチロラクトン水溶液を用いて現像することにより、未露光部分を溶解除去した後、120°C×5分間の加熱処理を行うことにより、コアを形成した。このコアレンズ部のみの寸法図8におけるレンズ部30′の長手方向の長さL、テーパ部31′のテーパ角度α,端面の楕円弧部32′の長軸半径a、短軸半径bは、その寸法に対応した開口パターンが形成された上記クロムマスク露光マスクを用いることにより、下記の表1~表5に示す値に設定した実施例1~16,比較例1~9。上記各寸法は、SEM電子顕微鏡で測定した。また、このコアの厚みは50μm、レンズ部30′の開始端60の幅図8におけるL0は15μm、波長850nmにおける屈折率は、1.57であった。そして、上記コアを被覆するよう、上記アンダークラッド層の表面に、上記オーバークラッド層の形成材料をスピンコート法により塗布した後、2000mJ/cm2の紫外線照射による露光を行った。つづいて、100°C×15分間の加熱処理を行うことにより、オーバークラッド層を形成した。このオーバークラッド層の厚みを接触式膜厚計で測定すると60μmであった。また、このオーバークラッド層の、波長850nmにおける屈折率は、1.51であった。その後、上記PENフィルムをアンダークラッド層から剥離し、光導波路模擬品を得た。出射光の広がり評価得られた各光導波路模擬品のコアのレンズ部30′の開始端60図8参照に、波長850nmの光を入射させ、レンズ部30′の楕円弧部32′の先端から光を出射させた。そして、上記楕円弧部32′の端面先端から100mm前方に受光器61を配置し、受光した光の広がり幅を測定した。その結果、広がり幅が10mm以下のものを、集光性能が良好であるとして○、広がり幅が10mmより大きいものを、集光性能が不良であるとして×と評価し、下記の表1~表5に併せて表記した。その結果、実施例1~16の光導波路模擬品は、比較例1~9と比較して、出射光の広がりが大幅に抑制されていることがわかる。したがって、上記レンズ部の形状をコア端面に適用したタッチパネル用光導波路は、光を出射する側の光導波路と光を入射する側の光導波路との間で、高効率で光伝送を行うことができ、タッチパネルにおける指検知の正確性を、非常に高めることができる。"