固定端側が連結部により連結されたコ字状に形成された一対の振動板と、前記連結部と反対側を自由端とする片持ち支持される前記一対の振動板間に架設された梁部によって支持されたミラー部と、前記振動板上に設けられた振動源と、を具備し、前記振動源の振動により共振する前記一対の振動板の振動波の節位置近傍に前記梁部が設けられ、前記振動源を作動させて当該一対の振動板を撓ませることにより前記梁部を揺動軸として前記ミラー部を揺動させながら照射光を反射することで走査することを特徴とする光走査装置。前記ミラー部と梁部との共振周波数に対し±10の共振周波数となるように前記一対の振動板の長さが決められ、前記梁部は前記一対の振動板に形成される節から当該振動板の全長の±20以内に形成されている請求項1記載の光走査装置。前記振動板は振動により節が1か所ずつ形成される一次モードで共振し、前記梁部は前記基板の固定端に近くに形成される振動波の節に設けられている請求項1又は2記載の光走査装置。前記振動板は振動により節がnnは2以上の整数か所ずつ形成されるn次モードで共振し、前記梁部は前記振動板の振動により形成される振動波のいずれかの節位置に設けられている請求項1又は2記載の光走査装置。前記振動源は一対の振動板に各々設けられ、同一位相若しくは異なる位相の周波数で各振動板を振動させる請求項1乃至4のいずれか1項記載の光走査装置。上述した光走査装置を試作する場合、基板53に対してミラー部55を支持する梁部54を何処に設けるかは設計が難しいという問題がある。梁部54の共振周波数を求めることは比較的容易であるが、基板53の振動モードや形状から最適な位置を決めることが困難である。特に走査精度が高性能な光走査装置を製造する場合、基板のL寸が長くなる傾向があり、サイズやコスト面で不利になる。本発明は、ミラー部を支持する梁部の並進運動が小さくミラー部に大きな回転振動が得られる光走査装置を提供することを目的とする。本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。即ち、固定端側が連結部により連結されコ字状に形成された一対の振動板と、前記連結部と反対側を自由端とする片持ち支持される前記一対の振動板間に架設された梁部によって支持されたミラー部と、前記振動板上に設けられた振動源と、を具備し、前記振動源の振動により共振する前記一対の振動板の振動波の節位置近傍に前記梁部が設けられ、前記振動源を作動させて当該一対の振動板を撓ませることにより前記梁部を揺動軸として前記ミラー部を揺動させながら照射光を反射することで走査することを特徴とする。また、前記ミラー部と梁部との共振周波数に対し±10の共振周波数となるように前記一対の振動板の長さが決められ、前記梁部は前記一対の振動板に形成される節から当該振動板の全長の±20以内に形成されていることを特徴とする。前記振動板は振動により節が1か所ずつ形成される一次モードで共振し、前記梁部は前記基板の固定端に近くに形成される振動波の節に設けられていることを特徴とする。前記振動板は振動により節がnnは2以上の整数か所ずつ形成されるn次モードで共振し、前記梁部は前記振動板の振動により形成される振動波のいずれかの節位置に設けられていることを特徴とする。前記振動源は一対の振動板に各々設けられ、同一位相若しくは異なる位相の周波数で各振動板を振動させることを特徴とする。本発明に係る光走査装置を設計する際には、ミラー部と梁部の共振周波数と振動板の共振周波数がほぼ一致するように振動板の長さを設定して、一対の振動板の振動波の節位置近傍に梁部を設ければよいので、ミラー部の振動板に対する位置の設定が容易に行える。このように設計された光走査装置は梁部が振動波の節近傍にあるのでミラー部の上下動が少なく、高い走査精度を維持することができる。更には、基板の低次の共振モードを利用することにより小さな基板サイズでも梁部-ミラー部の共振系を効率よく加振することができる。これは、一般的に同じエネルギーで加振するのであれば低次の振動モードのほうが大きい振幅を得ることができるためである。また、固定端近傍に梁部を設けることにより節の位置が移動しなくなるため走査範囲も安定し、振動板のクランプ位置の調整作業も簡略化することができる。以下、本発明に係る光学走査装置の実施形態について図面を参照して説明する。本実施例では、レーザービームプリンタ用に用いられる光走査装置スキャナーを例示して説明するものとする。図1abを参照して一次モードで振動する光走査装置の概略構成について説明する。図1bに示すように、振動板1は固定端側が連結部1aによって連結され、図1aに示すように平面視でコ字状に形成された一対の短冊板1bが形成されている。振動板1は、金属板ステンレススチール;SUS304若しくはシリコン基板Siなどの基板が好適に用いられる。図1bに示すように、振動板1は連結部1a側を支持部材2とクランプ部材3に挟み込まれて片持ち状に支持されている。また、各短冊板1bの所定位置例えば長手方向中央部付近には振動源4として圧電素子PZT;チタン酸ジルコン酸鉛が接着等により設けられている。振動源4は一対の短冊板1bの一方のみに設けられていても良い。振動体1の一対の短冊板1b間には両側を梁部5により支持されたミラー部6が設けられている。梁部5は振動源4の振動により共振する一対の短冊板1b振動板の振動波の節位置近傍に設けられている。具体的には、ミラー部6と梁部5との共振周波数に対し±10の共振周波数となるように一対の短冊板1bの長さが決められ、梁部5は一対の短冊板1bに形成される節位置から当該振動板4の全長の±20以内に形成されている。振動源4を作動させて振動体1をミラー部6と梁部5との共振周波数近傍で振動させることにより、梁部5を揺動軸としてミラー部6を揺動させながら照射光を反射することで走査するようになっている。図1では、振動板1はミラー部6と梁部5との共振周波数近傍において振動波形に節が1か所だけ形成される一次振動モードで共振し、梁部5は振動板1の固定端に近くに形成される振動波の節に設けられている。図4において、一様な棒や板の振動モードに応じた振動波の波形を模式的に示す。一次振動モードの振動波形はEであり、理論上は固定端0位置を節eとして振動する。しなしながら、実際は、ミラー部6を支持する梁部5の位置が固定端に設けることができないため、振動板1連結部1aのクランプ位置から1.0~1.5mm程度自由端側へシフトした位置に設けられている。前述したようにミラー部6と梁部5との共振周波数に対し±10の共振周波数となるように一対の短冊板1bの長さが決められており、経験的に梁部5は一対の短冊板1bに形成される節位置eから当該振動板1の全長の±20以内となる近傍に配置されている。二次振動モードの振動波形はFであり、節位置fが2箇所で腹位置f ́が1箇所形成される。この場合、後述するように、2箇所ある節位置fのいずれかに梁部5とミラー部6を設けても良いし、2箇所ある節位置fのそれぞれに梁部5を設けてミラー部6を併設することもできる。三次振動モードの振動波形はGであり、節位置gが3箇所で腹位置g ́が2箇所形成される。この場合、3箇所ある節位置gのいずれかに梁部5を設けてミラー部6の位置を設けても良いし、3箇所ある節位置gのそれぞれに梁部5を設けてミラー部6を併設することもできる。以上のように、ミラー部6と梁部5との共振周波数に対して振動板1は節がnnは2以上の整数か所ずつ形成されるn次モードの共振点を持つように長さを設定することができ、梁部5は振動板1の振動により形成される振動波のいずれかの節位置に設けることが理論上可能である。図5abに示すように、実験では短冊板1bの一次振動モードにおいて、節位置eがクランプ位置より1.0mmで梁部5の共振周波数が3075Hz付近の場合図5a参照と、節位置がクランプ位置より1.5mmで梁部5の共振周波数が3100Hz付近の場合図5b参照について最大光学走査角が得られることを確認した。次に、振動板1を二次振動モードで駆動する場合について図2及び図3を参照して説明する。上述したように、ミラー部6と梁部5との共振周波数に対して短冊板1bが二次の共振周波数近傍となるように短冊板1bの長さを設定して、振動波形に2箇所形成される節位置f図4参照のいずれかに梁部5とミラー部6とを設ければ良い。図2abは、クランプ位置近傍に形成される節位置fに梁部5を設けた場合について例示している。理論上は固定端0位置を節fとして振動するが、実際には、ミラー部6を支持する梁部5の位置が固定端に設けることができないため、クランプ位置から1.0~1.5mm程度自由端側へシフトした位置に設けられているのは一次振動モードの場合と同様である。図2aに示すように、振動源4は短冊板1bの長手方向中央部付近に設けられており、図2bに示すように梁部5は固定端近傍に設けられている。この場合、短冊板1bの振幅が同じ場合に自由端近傍よりも固定端近傍のほうがたわみ角が小さいために駆動効率が低下する傾向がある。しかしながら、固定端近傍であるために外乱に対して影響を受けにくいという利点がある。図3abは、自由端近傍に形成される節位置f近傍に梁部5を設けた場合について例示している。図3aに示すように、振動源4は短冊板1bの長手方向中央部付近に設けられており、図3bに示すように梁部5は自由端近傍に設けられている。この場合、短冊板1bの振幅が同じ場合に固定端近傍よりも自由端近傍のほうがたわみ角が大きいために図2に比べて駆動効率が向上する傾向がある。しかしながら、自由端近傍であるために外乱の影響を受けやすくなる。また、各短冊板1bに設けられた振動源4は、同一位相の共振周波数で駆動する場合について説明したが、異なる位相の周波数で各振動板を振動させることも可能である。この場合には、梁部5の上下動を相殺するように振動源4の位相を異ならせることで、ミラー部6の走査精度を向上させることが期待される。また、梁部5を節位置として確実に振動させるためには、短冊板1bの節位置近傍に凹部、ノッチ、切欠きなどを形成して強度的に弱めるようにしても良い。また、短冊板1bの共振周波数を調整するために、短冊板1bに孔を一つまたは複数設けてもよい。上述した光走査装置を設計する際には、ミラー部6と梁部5の共振周波数と短冊板1bの共振周波数がほぼ一致するように短冊板1bの長さを設定して、一対の振動板1bの振動波の節位置近傍に梁部5を設ければよいので、ミラー部6の振動板1に対する位置の設定が容易に行える。このように設計された光走査装置は梁部5が振動波の節近傍にあるのでミラー部6の上下動が少なく、走査精度を維持することができる。更には、短冊板1bの低次共振モードを利用することにより小さな基板サイズでも梁部5-ミラー部6の共振系を効率よく加振することができる。また、固定端近傍に梁部5の位置を設けることにより節が移動しなくなるため走査範囲も安定し、振動板1のクランプ位置の調整作業も簡略化することができる。尚、振動源4としては、圧電素子のほかに、圧電体、磁歪体又は永久磁石体のいずれかが基板上に膜状に直接形成されていてもよい。成膜法としては、例えばエアロゾルデポジション法AD法、真空蒸着法、スパッタリング法や化学的気相成長法CVDChemicalVaporDeposition、ゾル-ゲル法などの薄膜形成技術を用いて、圧電体、磁歪体又は永久磁石体のいずれかが基板上に膜状に直接形成されていると、低電圧駆動で低消費電力の光走査装置を提供できる。磁歪体や永久磁石体を用いる場合、外部から印加する交番磁界は、上記磁歪膜、永久磁石膜が形成された基板部近傍に設けられたコイルに交流電流を流すことで交番磁界を発生させる。尚、磁歪膜や永久磁石膜を基板に形成する場合、基板材料は非磁性材料である方が、より効率的に撓みを発生することができる。尚、ミラー部6は、振動板1に金属板を使用する場合には鏡面仕上げされた基板を用いると良い。金属板以外の基板や、金属板においてもより高い反射性能が要求され場合には、真空蒸着、スパッタリング、CVD化学的気相成長法等の薄膜形成技術により、ミラー部6へ薄膜を形成するか、或いはミラー部6へ別途ミラー用反射材料を貼付けてもよい。また、薄膜を形成する材料には、金Au、二酸化ケイ素SiO2、アルミニウムAl、あるいはフッ化マグネシウムMgF2から1つを選択、或いは2つ以上の材料を組み合わせ、さらに前記薄膜成形技術による同一層、或いは2層以上の多層構成を適度な膜厚に制御することによって、反射性能を向上する薄膜が形成できる。あるいは、ミラー部4へ別途ミラー用反射材を貼付ける場合は、鏡面仕上げしたシリコンSiまたはアルミナチタンカーバイトAl2O3TiCのセラミック等の材料へ、前記薄膜成形技術にて薄膜を形成しても良い。また、振動板1の厚みに関しては、動作中のミラー部6の平坦性やプロジェクターデバイスなどへの応用で要求されるミラーサイズを考慮し、シリコンSi、ステンレススチールSUS304等等の、或いはさらにカーボンナノチューブを前記材料へ成長させた基板を想定すると、少なくとも10μm以上の厚みが望ましい。