"互いに逆相の第1駆動信号および第2駆動信号を圧電素子に印加する圧電素子用駆動回路であって、互いに逆相の矩形波からなる第1制御信号と第2制御信号とを生成する制御信号発生部と、前記第1制御信号が入力される第1入力端子および前記第2制御信号が入力される第2入力端子と、前記圧電素子に前記第1駆動信号を印加する第1出力端子および前記圧電素子に前記第2駆動信号を印加する第2出力端子とを有するHブリッジ回路と、を備え、前記制御信号発生部の直後且つ前記Hブリッジ回路の前記第1入力端子および前記第2入力端子の直前に、スルーレート低下回路を備えた、圧電素子用駆動回路。前記スルーレート低下回路は、ローパスフィルタ回路である、請求項1に記載の圧電素子用駆動回路。前記制御信号発生部は、前記第1制御信号を発生する元信号発生部と、該元信号発生部から出力された前記第1制御信号を反転処理して、前記第2制御信号を出力する反転回路と、を備える、請求項1または請求項2に記載の圧電素子用駆動回路。前記第1制御信号および前記第2制御信号の取り得る電圧は、前記Hブリッジ回路を構成するFETの不飽和領域の電圧範囲に設定されている、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の圧電素子用駆動回路。前記Hブリッジ回路の入力電圧の正負極性反転の周波数が圧電素子の共振周波数付近である、請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の圧電素子用駆動回路。しかしながら、Hブリッジ回路はスイッチ制御回路であるため、Hブリッジ回路から出力される駆動信号は矩形波となる。矩形波は、単位時間当たりの電圧変化量以下、スルーレートが急峻な波形であり、圧電素子の共振周波数の周波数成分のみではなく、非常に広範囲の周波数成分を有している。したがって、圧電素子の実質的な動作に寄与する周波数成分のみでなく、例えば圧電素子の共振周波数の高調波のように、実質的な動作に寄与せず、単に共振して電力を消費するだけの周波数成分も存在する。このため、実質的な動作に寄与しない電力も消費されてしまう。したがって、本発明の目的は、圧電素子に対して高い駆動電圧を確保しながら、無駄な電力消費を抑制することができる圧電素子用駆動回路を実現することにある。この発明は、互いに逆相の第1駆動信号および第2駆動信号を圧電素子に印加する圧電素子用駆動回路に関する。圧電素子用駆動回路は、制御信号発生部、Hブリッジ回路を備える。制御信号発生部は、互いに逆相の矩形波からなる第1制御信号と第2制御信号とを生成する。Hブリッジ回路は、第1制御信号が入力される第1入力端子および第2制御信号が入力される第2入力端子と、圧電素子に第1駆動信号を印加する第1出力端子および圧電素子に第2駆動信号を印加する第2出力端子とを有する。圧電素子用駆動回路は、さらに、制御信号発生部の直後且つHブリッジ回路の第1、第2入力端子の直前に、スルーレート低下回路を備える。この構成では、制御信号発生部から出力された矩形波からなる第1、第2制御信号の波形がスルーレート低下回路によって緩やかになる。すなわち、Hブリッジ回路の制御信号入力部の立ち上がり特性および立ち下がり特性が緩やかになる。このため、圧電素子の動作に寄与しない周波数成分不要周波数成分が抑制され、圧電素子に印加されることを抑制できる。したがって、例えば圧電素子を圧電ポンプに利用する場合には、ポンプの流量に寄与しない高調波成分を抑制することにより、流量を低下させることなく、低消費電力で動作する圧電素子用駆動回路を実現できる。これにより、圧電ポンプを電池によって駆動する場合に、電池の寿命を長くすることができる。また、この発明の圧電素子用駆動回路のスルーレート低下回路は、ローパスフィルタ回路であることが好ましい。この構成では、スルーレート低下回路がローパスフィルタであることにより、比較的簡素な回路構成で、矩形波からなる第1、第2制御信号のスルーレートを低下させることができる。また、この発明の圧電素子用駆動回路は、制御信号発生部を、第1制御信号を発生する元信号発生部と、元信号発生部から出力された第1制御信号を反転処理して、第2制御信号を出力する反転回路と、から構成することもできる。また、この発明の圧電素子用駆動回路では、第1制御信号および第2制御信号の取り得る電圧は、Hブリッジ回路を構成するFETの不飽和領域の電圧範囲に設定されている、ことが好ましい。この構成では、Hブリッジ回路から出力される第1、第2駆動信号の波形の傾斜が緩やかになる。このため、不要周波数成分がさらに抑制される。これにより、消費電力をさらに低下させることができる。また、この発明の圧電素子用駆動回路では、Hブリッジ回路の入力電圧の正負極性反転の周波数が圧電素子の共振周波数付近であることが好ましい。この発明によれば、圧電素子を用いた各種デバイスの性能を低下させることなく、低消費電力で動作する圧電素子用駆動回路を実現できる。これにより、電池によって圧電素子を駆動する場合に、当該電池の寿命を長くすることができる。例えば、圧電素子を用いた圧電ポンプであれば、ポンプの流量に寄与しない高調波成分を抑制することができ、流量を低下することなく、低消費電力化することができる。これにより、電池駆動の圧電ポンプの電池の寿命を長くすることができる。本発明の第1の実施形態に係る圧電素子用駆動回路10について、図を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施形態に係る圧電素子用駆動回路10の回路構成図である。圧電素子用駆動回路10は、Hブリッジ回路11、ローパスフィルタ回路12A,12B、制御信号発生部13を備える。ローパスフィルタ12A,12Bが本発明のスルーレート低下回路に相当する。なお、本実施形態の圧電素子用駆動回路10で駆動する圧電素子Pは、例えば圧電ポンプに用いられるものである。ただし、基本波がベンディング信号で高調波がコリオリ力のセンシングに寄与しない振動となる圧電ジャイロ等の各種振動センサに用いる圧電素子にも適用することができる。Hブリッジ回路11は、第1入力端子IN1、第2入力端子IN2、第1出力端子OUT1、第2出力端子OUT2を備える。Hブリッジ回路11は、第1入力端子IN1に入力される第1制御信号と、第2入力端子IN2に入力される第2制御信号とに応じて、第1出力端子OUT1から第1駆動信号を出力し、第2出力端子OUT2から第2駆動信号を出力する。第1入力端子IN1は、ローパスフィルタLPF12Aの出力端子に接続する。第2入力端子IN2は、ローパスフィルタLPF12Bの出力端子に接続する。第1出力端子OUT1は圧電素子Pの第1端子に接続する。第2出力端子OUT2は圧電素子Pの第2端子に接続する。ローパスフィルタ12Aの入力端子は、制御信号発生部13の第1制御信号出力端子に接続する。ローパスフィルタ12Bの入力端子は、制御信号発生装置13の第2制御信号出力端子に接続する。図2は本発明の第1の実施形態に係るローパスフィルタ回路12Aの回路図である。ローパスフィルタ12A,12B、例えば同一の回路構成からなる。ローパスフィルタ回路12Aは、オペアンプ120、抵抗器121,122R、コンデンサ122Cを備える。オペアンプ120の反転入力端子は、抵抗器121を介して第1制御信号出力端子に接続する。オペアンプ120の非反転入力端子は、例えば接地されているが、基準電位となる中間電位VMが印加されていてもよい。オペアンプ120の出力端子は、抵抗器122Rとコンデンサ122Cとの並列回路を介して、オペアンプ120の反転入力端子に接続する。抵抗器122Rとコンデンサ122Cとの並列回路の素子値を適宜設定することで、ローパスフィルタ12A12Bの通過帯域および減衰特性が設定される。圧電素子Pは、例えば入力信号との共振駆動によりベンディング振動を行う。圧電素子Pの共振周波数は例えば25kHzである。ローパスフィルタの通過帯域及び減衰帯域は、圧電素子Pがベンディング振動する共振周波数が通過帯域内となり、当該共振周波数の3次高調波以上の周波数が減衰帯域内となるように、各素子値が設定されている。制御信号発生部13は、詳細は後述するが、矩形波からなる第1制御信号と第2制御信号とを発生し、逆相の状態で同期して出力する。制御信号発生部13は、第1制御信号を、第1制御信号出力端子から出力し、第2制御信号を第2制御信号出力端子から出力する。このような構成からなる圧電素子用駆動回路10は、次に示すように動作する。図3は、制御信号発生部13から出力される第1、第2制御信号、Hブリッジ回路11に入力される第1、第2制御信号および出力する第1、第2駆動信号と、圧電素子の駆動電圧の波形を示す図である。図3において、破線は従来のHブリッジ回路のみの構成による波形であり、実線は本実施形態の構成による波形である。制御信号発生部13は、図3の上段から一段目と二段目に記載されているように、矩形波からなる第1制御信号、第2制御信号を発生する。第1制御信号と第2制御信号の矩形パルスの繰り返し周期は、圧電素子Pが共振周波数でベンディングする基本周期と略一致するように設定されている。第1制御信号と第2制御信号は、逆相の信号である。すなわち、第1制御信号がHi状態の時には第2制御信号はLow状態となり、第1制御信号がLow状態の時には第2制御信号はHi状態となる。この矩形波からなる第1、第2制御信号は、ローパスフィルタ12A,12Bを通過することで、図3の上段から三段目と四段目に記載したような波形となる。ローパスフィルタ12A,12Bでは、矩形波からなる第1、第2制御信号の高調波周波数成分が抑制される。したがって、第1、第2制御信号のスルーレートは、図3に示すように低下する。すなわち、第1、第2制御信号の立ち上がりおよび立ち下がりは、緩やかになる。言い換えれば、第1、第2制御信号は、Lowレベル電位からHiレベル電位への状態遷移およびHiレベルからHiレベルへの状態遷移が瞬時に切り替わらず、徐々にLowレベルからHiレベル、HiレベルからLowレベルへ状態遷移する。このように、スルーレートが低下した第1制御信号は、Hブリッジ回路11の第1入力端子IN1に入力され、同じくスルーレートが低下した第2制御信号は、Hブリッジ回路11の第2入力端子IN2に入力される。ここで、図3の上段から三段目と四段目に記載したように、Hブリッジ回路11の各FETのスイッチング閾値VTH1,VTH2を、第1、第2制御信号に対してLowレベルに近いレベルに設定する。これにより、第1制御信号と第2制御信号との状態遷移タイミングが異なる。言い換えれば、第1制御信号によるスイッチの切り替えタイミングと、第2制御信号によるスイッチの切り替えタイミングと、が異なる。このようにスイッチの切り替えタイミングが異なることにより、図3の上段から五段目と六段目に記載したように、第1出力端子OUT1から出力される第1駆動信号の状態遷移タイミングと第2出力端子OUT2から出力される第2駆動信号の状態遷移タイミングが異なる。具体的には、第1、第2駆動信号のHiレベルの期間がLowレベルの期間よりも短くなる。このような制御により、第1駆動信号と第2駆動信号との差分である圧電素子Pの駆動電圧は、図3の最下段に示すように、段階状に電圧が遷移しながら振動する信号となる。図4は、本発明の第1の実施形態に係る圧電素子用駆動回路10における駆動信号波形と従来の圧電素子用駆動回路における駆動信号波形とを示す図である。図4に示すように、本実施形態の駆動信号は、従来の駆動信号の波形である矩形波と比較して正弦波に近い波形である。これは、不要な高調波成分が抑制されたことを意味する。また、第1駆動信号OUT1および第2駆動信号OUT2がともにLowレベルの期間では、圧電素子用駆動回路は圧電素子に対して仕事をなさないため、この期間での電力を削減できる。また、本実施形態の駆動信号のように波形を正弦波に近づけることで、圧電素子に印加される駆動信号のスルーレートが低下する。このような駆動方法で駆動された圧電素子を用いて圧電ポンプを構成することで、次のような作用効果が得られる。図5は本発明の第1の実施形態に係る圧電素子用駆動回路によって駆動される圧電素子を用いた圧電ポンプと、従来の駆動回路によって駆動される圧電素子を用いた圧電ポンプとで、スルーレートに対する流量の変化と消費電力の変化を示した図である。図5に示すように、スルーレートを低下さても、所定のスルーレートまで殆ど流量は低下しない。一方スルーレートを低下させることで、消費電力を低下させることできる。すなわち、スルーレートを適宜設定することで、流量を低下させることなく消費電力を抑えた圧電ポンプを実現することができる。例えば、図5のような特性を得られる場合であれば、スルーレートを5V/μs程度とすることで、流量を低下させることなく、効果的に消費電力を低下させることができる。図6は、本実施形態の圧電素子用駆動回路によって駆動される圧電素子を用いた圧電ポンプと、従来の駆動回路によって駆動される圧電素子を用いた圧電ポンプとで、流量の時間変化を示した図である。図6の結果は、同じ容量の電池で駆動した場合の比較例である。図6に示すように、従来の圧電素子用駆動回路での電池の持続時間を基準として、本実施形態の圧電素子用駆動回路の電池の持続時間を比較すると、本実施形態の圧電素子用駆動回路の電磁の持続時間は、1.6倍となっていることが分かる。さらに、従来と比較して流量が大幅に低下することなく、安定した動作を示す。このように、本実施形態の圧電素子用駆動回路を用いることで、従来の駆動回路よりも大幅に省電力化を行うことができる。特に、当該圧電素子用駆動回路を圧電ポンプの圧電素子の駆動に利用する場合、圧電ポンプの流量を大幅に低下させることなく、大幅に省電力化を行うことができる。なお、上述の説明では、スルーレート低下回路として、オペアンプを備えるローパスフィルタを例に示したが、これに限るものではない。例えば、ローパスフィルタは多段接続されていてもよい。また、キャパシタや抵抗器等の受動素子を組み合わせたローパスフィルタや、キャパシタのみであってもよい。さらに、スルーレートが低いリニアアンプ等、スルーレートを低下させることが可能な回路であれば、利用することができる。次に、第2の実施形態に係るに係る圧電素子用駆動回路10Aについて、図を参照して説明する。図7は本発明の第2の実施形態に係る圧電素子用駆動回路10Aの回路構成図である。本実施形態の圧電素子用駆動回路10Aは、第1の実施形態に示した圧電素子用駆動回路10に対して、LPFの構成、制御信号発生部の構成が異なるものである。したがって、異なる箇所のみを説明する。制御信号発生部13は、元信号発生部131と反転回路132とを備える。元信号発生部131の出力端は、ローパスフィルタLPF12Cの一方端と反転回路132の入力端子に接続されている。反転回路132の出力端子は、ローパスフィルタLPF12Dの一方端に接続されている。ローパスフィルタLPF12Cは、信号ラインとグランド電位との間に接続されたコンデンサ123Cのみからなる。ローパスフィルタLPF12Cの他方端は、Hブリッジ回路11の第1入力端子IN1に接続されている。ローパスフィルタLPF12Dは、信号ラインとグランド電位との間に接続されたコンデンサ123Dのみからなる。ローパスフィルタLPF12Dの他方端は、Hブリッジ回路11の第2入力端子IN2に接続されている。コンデンサ123Dのキャパシタンスとコンデンサ123Dのキャパシタンスとは同じである。制御信号発生部13の元信号発生部131は、第1の実施形態で示した第1制御信号を元信号として発生する。元信号は、反転回路132に入力される。反転回路132は、元信号を反転処理して、第1の実施形態で示した第2駆動信号を発生する。このような構成であっても、第1の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。また、上述の各実施形態の説明では、Hブリッジ回路11に入力する第1、第2制御信号の電圧値について、特に詳細に説明していない。入力する第1、第2制御信号の電圧を、Hブリッジ回路11を構成するFETの非線形特性領域内となるように設定すると、よりよい。なお、この電圧設定は、電源回路からの回路駆動用電圧、および当該回路駆動用電圧から設定可能な中間電位VMを、適宜設定することにより実現できる。これにより、図8に示すような圧電素子の駆動電圧波形を実現することができる。図8はFETの非線形特性領域を利用し場合の圧電素子への駆動電圧の波形を示す図である。図8に示すように、FETの非線形特性領域を用いることで、段階状に電圧が変化する際の電圧の時間変化率を低下させることができる。すなわち、各段でのスルーレートを低下させることができる。これにより、さらに正弦波に近い駆動電圧波形となり、基本周波数圧電素子のベンディングする共振周波数を抑制することなく、高調波周波数成分を更に抑制することができる。この結果、さらに消費電力を低下させ、電池を長寿命化することができる。上述の実施形態では、圧電素子Pは共振駆動を行う圧電ポンプで利用することを主たる目的としているが、これに限るものではなく、例えば圧電素子単体であってもよい。圧電素子は、例えば、チタン酸ジルコン酸系セラミックスや、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等や、水晶、リチウムタンタレート、リチウムナイオベートから構成される。また、上述の実施形態では、圧電素子Pの振動モードはベンディング振動モードとしたが、これに限るものではなく、例えば、厚み縦振動モードを用いて駆動を行ってもよい。また、上述の実施形態では、Hブリッジ回路は、FETで構成されているが、これに限るものではなく、例えば、バイポーラトランジスタで構成されていてもよい。最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"