"下面に粘着テープが貼着された電子部品の上面を吸着保持して搬送する電子部品の吸着ヘッドであって、上記電子部品の上面を吸着する吸着面を有するヘッド本体と、上記吸着面に開口形成された吸着孔と、上記吸着面のほぼ全体に上記吸着孔に連通して形成され上記吸着孔に生じる吸引力を上記吸着面に分散させる連通溝とを具備したことを特徴とする電子部品の吸着ヘッド。上記ヘッド本体の吸着面は、上記粘着テープが貼着するのを阻止する非粘着性に形成されていることを特徴とする請求項1記載の電子部品の吸着ヘッド。上記吸着孔は、上記吸着面の幅方向に対して複数のグループに分けられていて、各グループの吸着孔には吸引力を別々に発生させることができるようになっていることを特徴とする請求項1記載の電子部品の吸着ヘッド。下面に粘着テープが貼着された電子部品を基板の側辺部の上面に実装する電子部品の実装装置であって、上記電子部品を供給する供給手段と、この供給手段から供給された上記電子部品の上面を吸着保持する複数の第1の吸着ヘッドが周方向に所定間隔で設けられて回転駆動されるインデックステーブルと、このインデックステーブルの第1の吸着ヘッドに上面が吸着保持された上記電子部品の下面に上記粘着テープを貼着する貼着手段と、この貼着手段によって下面に粘着テープが貼着された上記電子部品の上面を吸着して受け取り、上記基板の側辺部の上面に実装する第2の吸着ヘッドを具備し、上記第1の吸着ヘッドと上記第2の吸着ヘッドは請求項1に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置。ところで、上記第1、第2の吸着ヘッドに上面を吸着されて搬送される上記TCPは、上記パネルのサイズ変更などに伴って異なるサイズ、つまり異なる幅寸法に変更されるということがある。しかしながら、従来、上記第1、第2の吸着ヘッドは、上述したように所定のサイズのTCPの幅寸法に対応する幅寸法に設定されていた。そのため、パネルのサイズ変更などに伴ってTCPのサイズが変更になると、そのTCPを吸着搬送する上記第1、第2の吸着ヘッドを、TCPの幅寸法に対応する幅寸法のものに交換するということが行なわれていた。しかしながら、第1、第2の吸着ヘッドを異なるサイズのものに交換するという作業は非常に多くの手間が掛かるため、交換時に実装装置を休止させる時間が長くなり、生産性を大きく低下させる原因となっていた。この発明は電子部品のサイズが変更になっても、そのサイズ変更に応じて異なるサイズに変更せずにすむようにした電子部品の吸着ヘッド及びその吸着ヘッドを用いた電子部品の実装装置を提供することにある。この発明は、下面に粘着テープが貼着された電子部品の上面を吸着保持して搬送する電子部品の吸着ヘッドであって、上記電子部品の上面を吸着する吸着面を有するヘッド本体と、上記吸着面に開口形成された吸着孔と、上記吸着面のほぼ全体に上記吸着孔に連通して形成され上記吸着孔に生じる吸引力を上記吸着面に分散させる連通溝とを具備したことを特徴とする電子部品の吸着ヘッドにある。上記ヘッド本体の吸着面は、上記粘着テープが貼着するのを阻止する非粘着性に形成されていることが好ましい。上記吸着孔は、上記吸着面の幅方向に対して複数のグループに分けられていて、各グループの吸着孔には吸引力を別々に発生させることができるようになっていることが好ましい。この発明は、下面に粘着テープが貼着された電子部品を基板の側辺部の上面に実装する電子部品の実装装置であって、上記電子部品を供給する供給手段と、この供給手段から供給された上記電子部品の上面を吸着保持する複数の第1の吸着ヘッドが周方向に所定間隔で設けられて回転駆動されるインデックステーブルと、このインデックステーブルの第1の吸着ヘッドに上面が吸着保持された上記電子部品の下面に上記粘着テープを貼着する貼着手段と、この貼着手段によって下面に粘着テープが貼着された上記電子部品の上面を吸着して受け取り、上記基板の側辺部の上面に実装する第2の吸着ヘッドを具備し、上記第1の吸着ヘッドと上記第2の吸着ヘッドは請求項1に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置にある。この発明によれば、吸着ヘッドのヘッド本体の吸着面に吸着孔を開口形成するとともに、上記吸着面のほぼ全体にわたって上記吸着孔に連通する連通溝を形成したから、上記吸着面には吸引孔が開口した部分だけでなく、連通溝が形成された吸着面全体に吸引力が発生する。そのため、上記電子部品は上記吸引孔を覆う大きさから、上記吸着面の全体を覆う大きさまでの範囲で、上記吸引孔に生じる吸引力によって上記吸着面に吸着保持することが可能となるから、電子部品のサイズが変更になっても、吸着ヘッドを交換せずに電子部品を吸着保持して搬送することができる。以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図1乃至図7はこの発明の第1の実施の形態を示す。図1は実装装置の内部構造を示す平面図、図2は同じく側面図である。図1と図2に示すように、上記実装装置はクリーンルームに設置される箱型状の装置本体1を備えている。この装置本体1の前後方向後端側の幅方向中央部には後方へ突出した突出部2が形成されていて、この突出部2にはキヤリアテープ3から電子部品としてのTCP4を打ち抜くための第1の打ち抜き装置5Aと第2の打ち抜き装置5Bが装置本体1の幅方向の中心線O図1に示すに対して左右に対称に配置されている。上記第1の打ち抜き装置5Aと第2の打ち抜き装置5Bは交互に稼動され、一方の打ち抜き装置5A又は5Bによって打ち抜かれたTCP4は一対の第1の受け渡し手段6A、6Bによって受け取られる。すなわち、第1の打ち抜き装置5AによってTCP4を打ち抜いているときには第2の打ち抜き装置5Bが待機しており、第1の打ち抜き装置5Aに供給されるからTCP4を打ち抜き終わったときに、第2の打ち抜き装置5Bが稼動されて第1の打ち抜き装置5Aにキヤリアテープ3の新たな部分が供給される。それによって、キヤリアテープ3から打ち抜かれたTCP4は一対の第1の受け渡し手段6A6Bに交互に供給されるようになっている。上記第1、第2の打抜き装置5A,5Bは、図2に示すように下面にポンチ11aが設けられた上金型11と、上記ポンチ11aが入り込む貫通孔12aが上下方向に形成された下金型12を備えている。上記上金型11は駆動源13によって矢印で示す上下方向に駆動されるようになっている。上記キヤリアテープ3は供給リール14から繰り出され、複数のガイドローラ15によって方向変換され、一部が上記下金型12の上面に沿って平行に走行するようガイドされて巻き取りリール16に巻き取られるようになっている。なお、供給リール14にはキヤリアテープ3を保護する保護テープ17がキヤリアテープ3と重ねて巻装されている。上記供給リール14からキヤリアテープ3とともに繰り出された保護テープ17とキヤリアテープ3に分離され、上記第1、第2の打抜き装置5A,5BによってTCP4が打抜かれたキヤリアテープ3と一緒に上記巻き取りリール16に巻き取られるようになっている。一方の上記第1の受け渡し手段6Aが受けたTCP4は第1のインデックス手段18Aまで搬送され、この第1のインデックス手段18Aに設けられた第1の吸着ヘッドとしての保持ヘッド19に受け取られる。保持ヘッド19の詳細な構成は後述する。他方の第1の受け渡し手段6Bが受けたTCP4は第2のインデックス手段18Bまで搬送され、この第2のインデックス手段18Bに設けられた保持ヘッド19に受け取られる。すなわち、この実施の形態では、上記第1、第2の打ち抜き装置5A,5Bと上記一対の第1の受け渡し手段6A、6BがTCP4を第1、第2のインデックス手段18A,18Bに供給する供給手段となっている。上記第1、第2のインデックス手段18A,18Bは、図2に示すように第1のθ駆動源21によって周方向に90度間隔で間欠的に回転駆動されるインデックステーブル22を有する。各インデックステーブル22の下面には周方向に90度間隔で上記保持ヘッド19が設けられている。それによって、上記一対の第1の受け渡し手段6A,6Bによって搬送されたTCP4は各インデックス手段18A,18Bの保持ヘッド19によって吸着保持される。つまり、TCP4は第1の受け渡し手段6A,6Bからインデックス手段18A,18Bの保持ヘッド19に受け渡される。インデックス手段18A,18Bの保持ヘッド19がTCP4を受け取る受け取り位置を図1にAで示す。なお、各インデックステーブル22の回転方向は図1に矢印で示すように逆方向となっている。上記第1、第2の打ち抜き装置5A,5Bによって打ち抜かれたTCP4は、各受け渡し手段6A,6Bのそれぞれの受け具24によって交互に受け取られる。この受け具24は図2に矢印で示すX方向、つまり装置本体1の前後方向に沿って駆動されるXテーブル25にZθ駆動源23によって上下方向となるZ方向及び回転方向となるθ方向に駆動可能に設けられている。上記Xテーブル25は、X方向に沿って設けられたXガイド体26に移動可能に設けられ、図示しないリニアモータなどによって上記Xガイド体26に沿って駆動可能となっている。一方の第1の受け渡し手段6Aの受け具24は、第1の打ち抜き装置5AからTCP4を受けると、図1に矢印Xで示す装置本体1の前後方向及び矢印Yで示す幅方向に駆動され、上記受け具24の上面に保持されたTCP4の一端部が第1のインデックス手段18Aのインデックステーブル22の下面に周方向に90度間隔で設けられた4つの保持ヘッド19のうちの、上記受け取り位置Aに位置決めされた保持ヘッド19の下方に対向するよう駆動位置決めされる。同様に、他方の第1の受け渡し手段6Bの受け具24は、TCP4を受けると第2のインデックス手段18Bのインデックステーブル22の下面に周方向に90度間隔で設けられた4つの保持ヘッド19のうちの、上記受け取り位置Aに位置決めされた保持ヘッド19の下方に対向するよう駆動位置決めされる。位置決めされた受け具24はZθ駆動源23によって上昇方向に駆動される。それによって、受け具24に保持されたTCP4が上記インデックステーブル22に設けられた保持ヘッド19の下面に接触接近し、その状態でTCP4が上記受け具24から上記保持ヘッド19に受け渡されて吸着保持される。TCP4が第1、第2のインデックス手段18A,18Bのインデックステーブル22に設けられた保持ヘッド19に受け渡されると、一対のインデックステーブル22は上記第1のθ駆動源21によって図1に矢印で示す逆方向にそれぞれ90度の角度で間欠的に回転駆動される。それによって、TCP4を吸着保持した各インデックステーブル22の保持ヘッド19は図1にBで示すブラッシング位置に位置決めされる。上記受け具24からTCP4を受けた保持ヘッド19がインデックステーブル22とともに周方向に90度回転駆動されてブラッシング位置Bに位置決めされると、上記保持ヘッド19に保持された上記TCP4の下面の一端部に複数の端子4a図6に示すが所定間隔で設けられた部分が回転ブラシ図示せずによってブラッシング、つまりクリーニングされる。それによって、端子4aに付着した塵埃が除去される。TCP4の端子4aが設けられた端部が回転ブラシによってクリーニングされると、そのTCP4を保持した保持ヘッド19は、インデックステーブル22とともに周方向に90度回転駆動されて図1にCで示す貼着位置に位置決めされる。貼着位置Cに位置決めされたTCP4は、貼着手段としての第1、第2の貼着装置31A,31Bによって上記TCP4のクリーニングされた端子4aの部分に、TCP4の幅寸法と対応する長さに切断された異方性導電部材ACFからなら粘着テープ32が後述するように貼着される。上記第1、第2のインデックス手段18A,18B及び第1、第2の貼着装置31A,31Bは、第1、第2の打ち抜き装置5A,5Bと同様、装置本体1の幅方向の中心線Oに対して左右対称に配置されている。第1、第2のインデックス手段18A,18Bは第1、第2の打ち抜き装置5A,5Bよりも装置本体1の幅方向外方に配置され、第1、第2の貼着装置31A,31Bは第1、第2のインデックス手段18A,18Bよりも幅方向外方に配置されている。上記第1、第2の貼着装置31A,31Bは図2に示すように装置本体1内の底面に近い下部に配置された供給リール34を有する。この供給リール34には上記粘着テープ32が離型テープ35の一側面に貼着されて巻装されている。離型テープ35の一側面に貼着された上記粘着テープ32は上記供給リール34から帯板状の支持ブロック33の板面に沿って上方にほぼ垂直に引き出され、第1のガイドローラ36によって粘着テープ32が上を向くよう水平方向に方向変換されて走行する。図3に示すように、上記粘着テープ32が上記支持ブロック33に対向して垂直に走行する部分では、切断手段37を構成する駆動源37aによって二枚刃を有するカッタ37bが矢印で示す粘着テープ32に接近する方向に駆動されることで、その粘着テープ32に2本の切断線32aを所定間隔で形成する。なお、粘着テープ32が貼着された離型テープ35はカッタ37bによって切断されないよう、上記カッタ37bによる切込み量が設定されている。上記粘着テープ32の2本の切断線32aによって他の部分と分離された部分、つまり抜き取り部分32bは切断手段37よりも上方に配置された抜き取り手段39によって抜き取られる。それによって、粘着テープ32は所定長さ、つまりTCP4に対応する長さに分離される。上記抜き取り手段39は、駆動源39aと、この駆動源39aによって上記粘着テープ32に接離する方向に駆動される押圧部39bと、この押圧部39bによって上記抜き取り部分32bに押圧される除去テープ40を有する。除去テープ40の一部が上記押圧部39bによって粘着テープ32の抜き取り部分32bに押圧されることで、この抜き取り部分32bが除去テープ40に貼着されて除去される。なお、除去テープ40は図示しない供給リールから繰り出され、同じく図示しない巻き取りリールによって所定長さずつ巻き取られるようになっている。所定長さに分離された粘着テープ32は、図2に示すように離型テープ35とともに上記第1のガイドローラ36によって水平方向に方向変換されて走行し、上記第1のガイドローラ36に対して所定間隔で配置された第2のガイドローラ41によって下方に方向変換される。上記離型テープ35の上記第1のガイドローラ36と第2のガイドローラ41との間の部分は、上記インデックステーブル22の貼着位置Cに位置決めされた保持ヘッド19に保持されたTCP4のクリーニングされた端子4a部分の下面を走行する。上記離型テープ35は、図示しない駆動源によって開閉駆動及び図2にZで示す上下方向に往復駆動されるチャック機構42によって挟持されて所定長さずつ間欠的に搬送される。つまり、離型テープ35の所定長さに切断された粘着テープ32が貼着された部分はチャック機構42によって貼着位置Cに位置決めされた保持ヘッド19の下方を水平に走行するようになっている。上記離型テープ35がチャック機構42によって間欠的に搬送され、所定長さに分離された粘着テープ32が貼着位置Cに位置決めされた保持ヘッド19に保持されたTCP4の端子4aの部分の下方に対向するよう位置決めされると、その粘着テープ32は押し上げ手段43によって加熱されながら上記TCP4に加圧貼着される。上記押し上げ手段43は、駆動源44によって上昇方向に駆動される加圧体45を有する。この加圧体45は熱源となるヒータ45aが内蔵されている。そして、加圧体45が上昇方向に駆動されると、この加圧体45は離型テープ35を介して所定長さに分離された上記粘着テープ32を、上記TCP4の端子4aの部分に加熱しながら加圧する。なお、TCP4の上記端子4aが設けられた反対側の面である上面の一端部側の幅方向中央部には図6に示すようにチップ4bが実装されている。それによって、粘着テープ32がTCP4の端子4aの部分に貼着される。なお、粘着テープ32はヒータ45aによって加熱されることで粘着性が向上するから、TCP4の端子4aの部分に確実に貼着されることになる。粘着テープ32がTCP4に貼着されると、図示しない離型ローラによってその粘着テープ32から離型テープ35が剥離される。剥離後、インデックステーブル22はさらに90度回転させられる。それによって、粘着テープ32が貼着されたTCP4を保持した保持ヘッド19は図1にDで示す受け渡し位置に位置決めされる。それと同時に、離型テープ35がチャック機構42によって搬送され、粘着テープ32の所定長さに切断された新たな部分が貼着位置CのTCP4に対向位置決めされる。なお、離型テープ35の粘着テープ32が貼着除去された部分は回収容器46に格納される。粘着テープ32が貼着されて受け渡し位置Dに位置決めされたTCP4は、一対の第2の受け渡し手段51A、51Bによってそれぞれ吸着ヘッドとしての一対の実装ヘッド53にそれぞれ受け渡される。なお、一対の第2の受け渡し手段51A、51Bから一対の実装ヘッド53へのTCP4の受け渡しは、一対の第2の受け渡し手段51A、51Bの一方から一対の実装ヘッド53の一方に対して行った後、他方から他方の実装ヘッド53に対して行われる。つまり、TCP4は一対の実装ヘッド53に対して交互に受け渡されるようになっている。実装ヘッド53の詳細な構成は後述する。図4に示すように、上記第2の受け渡し手段51A、51BはX方向に沿って配置されたXガイド体55を有する。このXガイド体55には可動体56が図示せぬ駆動源によって駆動可能に設けられている。この可動体56にはZ駆動源57が設けられている。このZ駆動源57の駆動軸57aは上下方向であるZ方向に駆動されるようになっていて、その先端には側面形状がL字状の受け具54が取り付けられている。受け具54は、上記可動体56によってX方向に駆動され、その上面吸着面が上記受け渡し位置Dに位置決めされた保持ヘッド19に吸着保持されたTCP4の粘着テープ32が貼着されていない他端部に対向するよう位置決めされる。ついで、受け具54は2点鎖線で示すようにZ方向上方に駆動されて上記TCP4の他端部の下面を吸着する。それと同時に、TCP4は保持ヘッド19による吸着保持が解除される。それによって、TCP4はインデックステーブル22の保持ヘッド19から受け具54に受け渡される。TCP4を受けた受け具54が下降すると、可動体56は図4に矢印Xで示す方向に駆動され、2点鎖線で示す位置に位置決めされる。それによって、受け具54は、その移動方向の上方で待機した上記実装ヘッド53の下方に対向するよう位置決めされる。実装ヘッド53はXYZθ駆動源58によってX、Y、Z及びθ方向に駆動されるようになっている。上記実装ヘッド53の下方に上記受け具54が位置決めされると、実装ヘッド53は下降方向に駆動されて受け具54に吸着保持されたTCP4の粘着テープ32が貼着された一端部の上面を吸着する。それと同時に、上記受け具54による上記TCP4の吸着状態が解除される。それによって、TCP4が上記受け具54から実装ヘッド53に受け渡される。TCP4を受けた実装ヘッド53は、図2に示すようにテーブル装置61の上面に吸着保持された液晶表示パネルなどの基板Wの上記TCP4が実装される側部の上方に位置決めされる。実装ヘッド53と基板Wは図示しない撮像手段によって撮像され、その撮像手段からの撮像信号に基いて上記基板Wの実装位置の上方に上記TCP4が位置決めされるよう上記XYZθ駆動源58によってX、Y及びθ方向に対して駆動される。上記実装ヘッド53に吸着保持されたTCP4が基板Wの実装位置の上方に位置決めされると、上記実装ヘッド53は上記XYZθ駆動源58によって下降方向に駆動される。それによって、実装ヘッド53に吸着保持されたTCP4が基板Wの側辺部に実装される。このようにして、粘着テープ32が貼着された複数のTCP4が図1に鎖線で示すようにテーブル装置61の上面に吸着保持された基板Wの側辺部に対して所定間隔で順次実装される。上記装置本体1内の前端部には一対のYガイドレール62が装置本体1の幅方向、つまりX方向と直交するY方向に沿って敷設されている。上記テーブル装置61は上記Yガイドレール62に移動可能に設けられていて、図示せぬ駆動源によってYガイドレール62に沿って駆動されるようになっている。図1に示すように、上記装置本体1の前端部の幅方向の一側部には供給口64が開口形成され、この供給口64は扉67によって開閉されるようになっている。上記テーブル装置61がYガイドレール62に沿って上記装置本体1の幅方向の一側部に移動したとき、図1に鎖線で示す供給装置63が上記供給口64から装置本体1内の上記テーブル装置61に基板Wを供給するようになっている。上記装置本体1の前端部の幅方向の他側部には排出口66が開口形成されている。上記テーブル装置61がYガイドレール62に沿って上記装置本体1の幅方向の他側部に移動したとき、図1に鎖線で示す排出装置65が上記排出口66から装置本体1内に入り込み、上記テーブル装置61の基板W、つまり側辺部に複数のTCP4が実装された基板Wを搬出するようになっている。上記保持ヘッド19と実装ヘッド53は図5乃至図7に示すように構成されている。すなわち、上記各ヘッド19,53はほぼ逆L字状をなしたヘッド本体71を有する。このヘッド本体71の先端部の下面にはこのヘッド本体71よりも大きな幅寸法の吸着部72が設けられている。この吸着部72は重合された上プレート74と下プレート75からなる。図7aに示すように、上記下プレート75の下面には上記TCP4の上面に設けられたチップ4bを避ける凹部76が形成され、この凹部76を除く部分は上記TCP4の端子4a側の上面を吸着保持する吸着面77に形成されている。上記吸着面77の幅方向両端部分にはそれぞれ複数の吸着孔78、この実施の形態では各4つの吸着孔78が開口形成されている。さらに、上記吸着面77には、上記吸着孔78に連通する所定の深さの連通溝79が上記吸着面77のほぼ全体にわたって格子状に形成されている。上記連通溝79は、上記吸着面77の上記吸着孔78に対応する部分及び吸着孔78よりも上記吸着面77の幅方向外側の部分にも形成されている。つまり、上記吸着面77の上記吸着孔78が形成された部分の幅寸法をL1とすると、この幅寸法L1よりも上記吸着面77の上記連通溝79が形成された部分の幅寸法L2の方が大きくなるよう設定されている。たとえば、L1は40mmで、L2は44mmに設定されている。上記吸着面77は非粘着性となるよう非粘着性処理が施されている。この非粘着性処理は、上記吸着面77をブラスト処理してその面を粗面にする。ついで、その粗面にフッ素樹脂やシリコン系樹脂等の非粘着性樹脂を塗布することで、非粘着性に形成されている。それによって、上記吸着面77に上記TCP4の上面の一端部が吸着保持されたとき、その一端部の下面に貼着された粘着テープ32の両端部が上記TCP4の幅方向両端から外方に突出し、その突出部分が上方に競りあがっていても、その競りあがった部分が非粘着性に形成された上記吸着面77に貼着するのが防止されるようになっている。なお、上記吸着面77を非粘着性に処理する際、上記吸着面77に塗布される非粘着性樹脂が上記連通溝79を埋めることがないよう考慮されている。たとえば、上記吸着面77に非粘着性樹脂を塗布してから、上記連通溝79を形成してもよいが、上記連通溝79を埋め尽くすことがないよう上記連通溝79の深さと非粘着性樹脂の塗布量を制御して、上記連通溝79も非粘着性とするようにしてもよい。下端を上記吸着面77に開口させた上記吸着孔78は、上記下プレート75の厚さ方向に貫通して形成されている。上記吸着孔78の上端は図7bに示すように、上記上プレート74の下面に開口形成された凹状の吸引路81に連通している。この吸引路81には上記上プレート74の端面に一端を開口させた接続口82の他端が連通している。この接続口82には図7bに2点鎖線で示す吸引チューブ83の一端が接続される。この吸引チューブ83の他端には吸引ポンプ84が接続される。上記吸引ポンプ84が作動すると、その吸引力が上記吸引路81を介して上記吸着孔78に作用する。吸着孔78に生じた吸引力によって上記吸着面77にTCP4の一端部の上面を吸着すると、上記吸引ポンプ84の吸引力が吸着孔78に連通して形成された連通溝79にも作用するから、その連通溝79にも吸引力が発生する。つまり、吸着面77のほぼ全面に吸引力が生じることになるから、上記TCP4は上記吸着面77の上記吸引孔78と上記連通溝79とで吸着保持されるようになっている。上記TCP4の幅寸法がL2よりも小さいときには、上記連通溝79の一部が露出し、上記吸着孔78に生じる吸引力によって連通溝79を通じて外気を吸引し、吸着面77に生じる吸引力が低下する虞がある。しかしながら、上記連通溝79の深さや幅寸法を吸着孔78に生じる吸引力に応じて設定すれば、吸着面77に生じる吸引力を、この吸着面77にTCP4を吸着保持するに十分となるよう確保することができる。上記構成の実装装置において、インデックステーブル22に供給されたTCP4の上面を吸着保持する第1の吸着ヘッドとしての保持ヘッド19及びインデックステーブル22で下面に粘着テープ32が貼着されたTCP4の上面を吸着保持して基板Wに実装する第2の吸着ヘッドとしての実装ヘッド53の吸着面77に、吸着孔78を開口形成するとともに、吸着面77のほぼ全体にわたって上記吸着孔78に連通する連通溝79を格子状に形成した。吸着部72の吸着面77に吸着孔78と連通溝79が形成されていると、上記吸着面77にTCP4を吸着保持する際、上記吸着孔78に生じた吸引力によってTCP4が吸着面77に吸引されることで吸着孔78がTCP4によって塞がれると、吸着孔78に生じた吸引力が連通溝79にも作用することになる。つまり、上記保持ヘッド19及び実装ヘッド53の吸着面77には、吸着孔78が開口形成された部分の幅寸法L1の範囲だけでなく、この幅寸法L1よりも大きな幅寸法L2である、吸着面77のほぼ全体に吸引力が生じることになる。そのため、上記基板Wの品種変更などによって、基板Wに実装されるTCP4の幅寸法が吸着面77の吸着孔78が開口形成された部分の幅寸法L1に対応する大きさから、吸着面77の連通溝79が形成された部分の幅寸法L2に代わった場合であっても、上記保持ヘッド19及び実装ヘッド53を異なる大きさのものに交換することなく、そのTCP4を吸着面77に確実に吸着保持して搬送することができる。つまり、TCP4の大きさが変更になった場合でも、上記保持ヘッド19及び実装ヘッド53を交換せずにすむため、交換作業に掛かる手間によって生産性の低下を招くのを防止できる。上記保持ヘッド19及び実装ヘッド53の吸着面77は非粘着性に形成されている。そのため、上記吸着面77によってTCP4の上面を吸着保持した際、下面に貼着された粘着テープ32の両端部がTCP4の下面両端から上面側に競りあがっていることがあっても、その部分が上記吸着面77に貼着するのが防止される。仮に、上記粘着テープ32の両端部が吸着面77に貼着すると、TCP4を上記保持ヘッド19から受け具54に受け渡す際、TCP4が保持ヘッド19に残留して受け渡しが円滑に行えないということが生じる。また、上記実装ヘッド53に保持されたTCP4を基板Wに実装して実装ヘッド53を上昇させる際、TCP4が基板Wに残留せず、実装ヘッド53に付着して上昇し、実装が確実に行えないということがある。さらに、実装ヘッド53を上昇させたときにTCP4が付着してしまうと、その実装ヘッド53がつぎのTCP4を受けて基板WにTCP4を2枚重ねで実装するということがあり、その場合には基板Wが通常よりも強く押圧されることになるから、基板Wに欠けや割れが生じる原因になる。しかしながら、上記保持ヘッド19及び実装ヘッド53の吸着面77は非粘着性に形成されているため、その吸着面77に粘着テープ32が接触しても、その粘着テープ32が吸着面77に貼着してTCP4の受け渡しや実装が円滑に行なえなくなるのを確実に防止することができるということもある。図8と図9はこの発明の第2の実施の形態を示す。この実施の形態は下プレート75の吸着面77に開口形成される吸着孔78の配置状態が第1の実施の形態と異なっている。すなわち、図8aに示すように、吸着部72の下プレート75の吸着面77には幅方向の中央部分と両端部分とにそれぞれ吸着孔78が形成されている。上記吸着面77の幅方向の中央部分に形成された吸着孔78を第1のグループG1とし、両端部分に形成された吸着孔78を第2のグループG2とする。上記吸着面77における第1のグループG1の吸着孔78が形成された部分の幅寸法をL3とし、第2のグループG2の吸着孔78が形成された部分の幅寸法をL4とする。L3<L4であって、たとえばL3は28mm,L4は42mmに設定される。下プレート75を上プレート74に接合すると、上記第1のグループG1の吸着孔78は図8bに示す上記吸着部72の上プレート74の下面に形成された第1の凹部86に連通し、一対の第2のグループG2の吸着孔78は一対の第2の凹部87に連通する。各凹部86,87にはそれぞれ上プレート74の端面に開口する接続口86a,87aが形成されていて、これらの接続口86a,87aを介して各グループG1、G2の吸着孔78は図9に示すように吸引ポンプ84に接続されている。すなわち、第1のグループG1の吸着孔78が連通した上記第1の凹部86の接続口86aには可撓性のチューブからなる第1の配管88の一端が接続されている。この第1の配管88は中途部に第1の開閉弁89が設けられ、他端は上記吸引ポンプ84に接続されている。一対の上記第2のグループG2の吸着孔78が連通した上記第2の凹部87の接続口87aには可撓性のチューブからなる第2の配管91の一端が接続されている。この第2の配管91は中途部に第2の開閉弁92が設けられ、他端は上記吸引ポンプ84に接続されている。上記第1、第2の開閉弁89,92は図示しない制御装置によって開閉が制御されるようになっている。なお、この第2の実施の形態においても、上記下プレート75の吸着面77は第1の実施の形態と同様、非粘着性に処理されている。このような構成によれば、上記吸引ポンプ84を作動して上記第1の開閉弁89を開にすれば、上記吸着面77の第1のグループG1の吸着孔78に吸引力を生じさせることができる。それによって、上記吸着面77には幅寸法がL3のTCP4を吸着保持することができる。また、上記第1の開閉弁89とともに第2の開閉弁92を開にすれば、上記吸着面77の第1のグループG1と一対の第2のグループG2の吸着孔78に吸引力を生じさせることができる。それによって、上記吸着面77には幅寸法がL4のTCP4を吸着保持することができる。つまり、基板Wのサイズ変更などによってTCP4の幅寸法がL3からL4又はその逆に変更になる場合、吸引力を生じさせる吸着孔78のグループを第1のグループG1或いは第1、第2のグループG1、G2両方とすることで、保持ヘッド19や実装ヘッド53を異なるサイズに変更せずに対応することができる。この第2の実施の形態において、第1の実施の形態のように、吸着面77のほぼ全体に第1、第2のグループG1、G2の吸着孔78にそれぞれ連通する連通溝79を形成してもよい。そうすれば、吸着孔78の数が少なくとも、TCP4を幅方向全長にわたった吸着面77に吸着保持することが可能となる。しかも、TCP4の幅寸法がL3よりも大きく、L4よりも小さい場合であっても、第1のグループG1の吸着孔78に生じる吸引力が連通溝79に作用するから、そのTCP4の幅方向全長を吸着面77に確実に吸着保持することができる。しかも、第1のグループG1或いは第2のグループG2のどちらか一方の吸着孔78に吸引力を作用させれば、その吸引力を上記連通溝79を介して吸着面77のほぼ全体に作用させることができる。そのため、TCP4を吸着面77に確実に吸着保持することができる。また、吸着孔78を第1のグループG1と第2のグループG2との2つのグループに分けたが、第2のグループG2を上記吸着面77の幅方向に対して2つ以上のグループに分け、各グループ毎に選択的に吸引力を生じさせることができるようにすれば、上記吸着面77に吸着保持することができるTCP4の幅寸法のサイズを第2のグループの数に応じて多様化することができる。"