"表面弾性波共振子を有した振動センサと、前記振動センサの故障を診断する故障判定処理部を有した質問器から構成された振動センサシステムであって、前記質問器から前記振動センサにパルス状にチョッピングした搬送波信号を送信し、前記質問器は前記振動センサからの反射波を受信し、前記故障判定処理部にて、前記反射波の包絡波形を検出し、前記包絡波形の立ち上がり部分と立ち下がり部分に、前記振動センサの表面弾性波共振子が正常に機能している場合に現れる正常時波形の特徴の有無を検出し、前記正常時波形の特徴がない場合は前記振動センサが故障していると判断することを特徴とする振動センサシステム。前記正常時波形の特徴は、前記包絡波形の立ち上がり部分に周期性を有していること、および前記包絡波形の立ち下がり時間は所定の時間以上かかることを特徴とする請求項1に記載の振動センサシステム。前記振動センサは、圧電体基板と、前記圧電体基板上に形成された櫛歯電極を有する前記表面弾性波共振子と、前記櫛歯電極に電気的に接続されているアンテナ部をさらに備える事を特徴とする請求項1または2に記載の振動センサシステム。前記質問器は、前記振動センサに前記搬送波信号を送信して前記振動センサからの反射波を受信するアンテナ部をさらに備える事を特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の振動センサシステム。前記質問器は、それぞれ異なる周波数の出力信号を生成するための第1の送信部および第2の送信部と、前記第1の送信部から出力された出力信号を2つの出力に分波するための第1の分波器と、第1の分波器から出力された出力信号の一つを前記第2の送信部から出力された出力信号でパルス状にチョッピングする第1のミキサーと、チョッピングされた出力信号をアンテナ部に出力して、アンテナ部から入力された入力信号を第2のミキサーに出力するサーキュレーターと、前記第1の分波器から出力された他の出力信号と前記入力信号が入力される前記第2のミキサーと、第2のミキサーから出力された信号を前記故障判定処理部に出力する第2の分波器を備えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の振動センサシステム。表面弾性波共振子を備えた振動センサと、振動センサの故障を診断する機能を有する質問器とから構成され、前記質問器から前記振動センサにパルス状にチョッピングした搬送波信号を送信する処理と、前記振動センサから前記質問器が受信した反射波の包絡波形を検出する処理と、前記包絡波形の立ち上がり部分および立ち下がり部分に、前記振動センサの表面弾性波共振子の機能が正常に機能している場合に現れる正常時波形の特徴の有無を検出し、前記正常時波形の特徴がない場合は前記振動センサが故障していると判断する処理とを備えたことを特徴とする故障診断方法。前記正常時波形の特徴は、前記包絡波形の立ち上がり部分に周期性を有していること、および前記包絡波形の立ち下がり時間は所定の時間以上かかることを特徴とする請求項6に記載の故障診断方法。そこで本発明は、振動センサの振動や他の外部機器によるノイズに影響されず、振動センサの故障を容易に診断できる、振動センサシステムおよび故障診断方法を提供することを目的とする。上記の課題を解決するために、本発明の振動センサシステムは、表面弾性波共振子を有した振動センサと、前記振動センサの故障を診断する故障判定処理部を有した質問器から構成された振動センサシステムであって、前記質問器から前記振動センサにパルス状にチョッピングした搬送波信号を送信し、前記質問器は前記振動センサからの反射波を受信し、前記故障判定処理部にて、前記反射波の包絡波形を検出し、前記包絡波形の立ち上がり部分と立ち下がり部分に、前記振動センサの表面弾性波共振子が正常に機能している場合に現れる正常時波形の特徴の有無を検出し、前記正常時波形の特徴がない場合は前記振動センサが故障していると判断することを特徴とする。ここで、正常な振動センサとは表面弾性波共振子が正常に機能する状態の事であり、振動センサの故障とは表面弾性波共振子の機能が損なわれる状態の事を示す。前記振動センサにパルス状にチョッピングした搬送波を送信することによって、反射波の包絡波形に、連続波の場合には得られない立ちあがり部分と立ち下がり部分を確認することができる。その立ち上がり部分および立ち下がり部分に、振動センサの表面弾性波共振子が正常に機能している場合にのみ発生する正常時波形が現れるため、正常時波形の特徴の有無を検知することによって、振動センサの故障を判断することができる。反射波の包絡波形を検出するため、振動センサのノイズや他の外部機器によるノイズによる反射波の波形の違いが振動センサの故障判断に影響することはなく、また、正常時波形は振動センサの表面弾性波共振によって発生する現象であるため、さらに、これらノイズに影響されることなく振動センサの故障を容易に診断できる。また、本発明による前記正常時波形の特徴は、前記包絡波形の立ち上がり部分に周期性を有していること、および前記包絡波形の立ち下がり時間は所定の時間以上かかることであってもよい。振動センサから放射された反射波の包絡波形を検出すると、振動センサの表面弾性波共振の影響により、立ち上がり部分は立ち上がり直後から安定した電圧になるまで、振動センサが故障している場合には現れない周期性を有する波形が発生する。そのため、立ち上がりから所定時間の間、特定の周波数成分を有していることを検出することによって、振動センサの故障を判断することができる。また、立ち下がり部分は振動センサが故障している場合にかかる立ち下がり時間以上であることを検出することによって、振動センサの故障を判断することができる。さらに、これら正常時波形の特徴は、振動センサが外部より振動が加えられた場合にも現れるため、振動センサの振動の有無に左右されることなく、故障診断を行うことが可能である。また、本発明による振動センサシステムの前記振動センサは、圧電体基板と、前記圧電体基板上に形成された櫛歯電極を有する前記表面弾性波共振子と、前記櫛歯電極に電気的に接続されているアンテナ部をさらに備えていてもよい。ここで、表面弾性波共振子の機能が損なわれる状態とは、櫛歯電極に異常が生じた事を示し、振動センサの故障とは、櫛歯電極の断線や、櫛歯電極とアンテナ間の配線の断線などの異常、櫛歯電極が形成されている部分の圧電体基板の折れなどの異常の事を示す。また、本発明による振動センサシステムの前記質問器は、前記振動センサに前記搬送波信号を送信して前記振動センサからの反射波を受信するアンテナ部をさらに備えていてもよい。また、本発明による振動センサシステムの前記質問器は、それぞれ異なる周波数の出力信号を生成するための第1の送信部および第2の送信部と、前記第1の送信部から出力された出力信号を2つの出力に分波するための第1の分波器と、第1の分波器から出力された出力信号の一つを前記第2の送信部から出力された出力信号でパルス状にチョッピングする第1のミキサーと、チョッピングされた出力信号をアンテナ部に出力して、アンテナ部から入力された入力信号を第2のミキサーに出力するサーキュレーターと、前記第1の分波器から出力された他の出力信号と前記入力信号が入力される前記第2のミキサーと、第2のミキサーから出力された信号を前記故障判定処理部に出力する第2の分波器を備えていてもよい。第1の送信部から出力された出力信号を、第2の送信部から出力された出力信号でパルス状にチョッピングし、振動センサに搬送波として送信することによって、連続波では検出できない波形の立ち上がり部分と立ち下がり部分を得る事ができるようになる。さらに、振動センサから質問器に送信された反射波の包絡波形の立ち上がり部分および立ち下がり部分には、振動センサの表面弾性波共振子の機能が損なわれた場合には現れない正常時波形が発生するため、正常時波形の特徴の有無を判断することによって振動センサの故障を判断することができる。また、本発明の故障診断方法は表面弾性波共振子を備えた振動センサと、振動センサの故障を診断する機能を有する質問器とから構成され、前記質問器から前記振動センサにパルス状にチョッピングした搬送波信号を送信する処理と、前記振動センサから前記質問器が受信した反射波の包絡波形を検出する処理と、前記包絡波形の立ち上がり部分および立ち下がり部分に、前記振動センサの表面弾性波共振子の機能が正常に機能している場合に現れる正常時波形の特徴の有無を検出し、前記正常時波形の特徴がない場合は前記振動センサが故障していると判断する処理とを備えたことを特徴とする。また、本発明による故障診断方法の前記正常時波形の特徴は、前記包絡波形の立ち上がり部分に周期性を有していること、および前記包絡波形の立ち下がり時間は所定の時間以上かかることを特徴とする。本発明によれば、振動センサにパルス状にチョッピングした搬送波を送信することによって、連続波形では得られない反射波の立ちあがり部分および立ち下がり部分を確認することができる。また、この立ちあがり部分および立ち下がり部分には、表面弾性波共振子の機能が損なわれている場合には発生しない正常時波形が現れるため、正常時波形の特徴の有無を検出することで、振動センサの故障を判断することができる。また、正常時波形は振動センサの表面弾性波共振によって発生する現象であり、反射波の包絡波形によってこの正常時波形の特徴の有無を検出しているため、振動センサのノイズや他の外部機器によるノイズによる反射波の波形の違いが、振動センサの故障判断に影響することはない。以上のことより、振動センサの振動や他の外部機器によるノイズに影響されず、振動センサの故障を容易に診断できる、振動センサシステムおよび故障診断方法が得られる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について、詳細に説明する。図1は本発明の実施の形態による振動センサシステムのシステム構成図である。図1に示すように、本発明の振動センサシステムは、表面弾性波共振子を有した振動センサ1と図示しない故障判定処理部を有した質問器6から構成している。質問器6はアンテナ5より、対象物に取り付けた振動センサ1に対して搬送波3を送信し、アンテナ2にて搬送波3を受信した振動センサ1は、表面弾性波共振子のインピーダンス変化に応じた反射波4をアンテナ2より放射する。質問器6は搬送波3を送信する一方で、振動センサ1からの反射波4を監視しており、受信した反射波4の包絡波形を故障判定処理部で検出する。さらに、故障判定処理部では、この包絡波形の立ち上がり部分および立ち下がり部分に、振動センサ1の表面弾性波共振子の機能が正常に機能している場合に発生する正常時波形の特徴の有無を検知し、この正常時波形の特徴がない場合は、振動センサ1の表面弾性波共振子の機能が損なわれているとし、振動センサの故障として判断する。図2は本発明の実施の形態による振動センサの構造を模式的に示す斜視図である。本発明に係る振動センサの一例として、ガラスの機械的振動現象を検知するための振動センサの構造図を示している。図2に示すように、振動センサ11は板状の圧電体基板14と、圧電体基板14上に形成された櫛歯電極13を有するシングルポート表面弾性波共振子と、圧電体基板14を片持ち梁状に支持する支持基板15と、櫛歯電極13と電気的に接続されているアンテナ12から構成している。また、表面弾性波共振子の圧電体基板14は、振動可能となるように圧電体基板14の一端を支持基板15に支持され、その支持部の根元に近いところに櫛歯電極13が位置している為、圧電体基板14の振動を櫛歯電極13近傍に効率よく集中させることができる構成となっている。圧電体基板の品質係数は、公知の支持基板との固定法等により、約50~3,000で調整可能である。振動センサの外部より圧電体基板14に振動が加わると、圧電体基板14に歪が生じ、櫛歯電極13を構成する電極間の距離と圧電体基板14を伝搬する弾性波の速度が変化し、その結果、表面弾性波共振子のインピーダンスが変化する。ここで、支持基板15に支持された圧電体基板14の共振周波数は、検知対象である対象物の機械振動における特徴的な周波数帯に属するように設計されている。図3は本発明の実施の形態による質問器の簡易ブロック図である。図3に示すように、公知のPLLPhaseLockedLoop等から構成される、第1の送信部である送信部21より送信周波数信号が生成され、第1の分波器である分波器22にて2つに分波される。2つに分波された一方は送信信号として第1のミキサーであるミキサー23へ送られ、他方は局部発信信号としてアッテネータ25を経由して、第2のミキサーであるミキサー30へ分配される。送信信号は、ミキサー23にて第2の送信部である送信部24より出力される送信周波数信号によってパルス状にチョッピングされ、パワーアンプ26およびサーキュレータ27を経由してアンテナ28から所望の電力量で送信される。振動センサによって受信された搬送波は、微弱な反射波としてアンテナ28から受信され、サーキュレータ27を経由してローノイズアンプ29により増幅される。その後、ミキサー30にてダウンコンバートされた後、第2の分波器である分波器31へ送られ、2つに分波される。2つに分波された一方は、検出信号としてバンドパスフィルタ33にて振動信号を有する出力信号が取り出され、他方は、故障判定処理部32に出力される。故障判定処理部32では、反射波の包絡波形を検出した後、包絡波形の立ち上がり部分および立ち下がり部分に正常時波形の特徴の有無を確認し、正常時波形の特徴がない場合に振動センサの故障を判断する。図4は本発明による振動センサシステムでの反射波である。振動センサが外部振動によって振動した場合は、パルス状のチョッピングされた搬送波が振動センサにかかる外部振動によって変調された周波数のパルス状波形が得られ、外部振動がかかっていない場合は、チョッピングされた搬送波がそのまま反射波として得られる。この反射波の包絡波形を検出し、正常時波形の特徴の有無を確認する立ち上がり部分41の包絡波形を第1の包絡波形とし、立ち下がり部分42の包絡波形を第2の包絡波形とする。図5は本発明の実施の形態による質問器の故障判定処理部の信号処理フローチャートである。図5に示すように、故障判定処理部に入力された反射波は、包絡検波回路によって包絡波に変調される。その後、得られた包絡波形の立ち上がり部分である第1の包絡波形に、振動センサが故障している場合は現れない正常時波形の特徴が現れているかどうかの確認を行い、正常時波形の特徴が得られた場合は、振動センサが正常に機能していると判断する。一方、正常時波形の特徴が得られなかった場合は、立ち下がり部分である第2の包絡波形に、振動センサが故障している場合は現れない正常時波形の特徴が現れているかどうかの確認を行う。正常時波形の特徴が得られた場合は、振動センサが正常に機能していると判断し、正常時波形の特徴が得られなかった場合は、振動センサが故障していると判断する。ここで、第1の包絡波形での正常時波形の特徴とは、立ち上がり直後から安定した電圧になるまで発生する、周期性を有する波形の事である。そのため、立ち上がりから所定時間の間、特定の周波数成分を有していることを検出することによって、振動センサの故障を判断することができる。また、第2の包絡波形での正常時波形の特徴とは、立ち下がり時間が所定の時間以上かかる波形の事である。振動センサが故障している場合にかかる立ち下がり時間以上であることを検出することによって、振動センサの故障を判断することができる。正常時波形の特徴が得られない場合は、図2の振動センサでは、櫛歯電極に断線や、櫛歯電極とアンテナ間の配線の断線、櫛歯電極が形成されている部分の圧電体基板が折れるなどの異常が振動センサに生じており、振動センサの表面弾性波共振子の機能が損なわれている状態と判断する。振動センサが故障していると判断した場合は、アラームを出してもよいし、警告灯を点灯させるなどの警告手段により、使用者に振動センサの故障を伝えてもよい。また、正常時波形の特徴の有無によって振動センサの故障と判断する回数は、任意に設定可能である。例えば、正常時波形の特徴が続けて複数回、存在しなかった場合に故障と判断してもよい。このようにすることで診断の冗長性を高めることができる。以下、本発明の実施例について説明する。図2に示した振動センサの実施例について説明する。圧電体基板14として、片持ち梁の張出し長さ2mm、幅1mm、厚み0.25mmの水晶STカット基板を用いた。このときの片持ち梁の共振周波数は、60kHzである。櫛歯電極の間隔は、表面弾性波共振子の共振周波数が2.45GHz帯となるように0.35μmとした。また、櫛歯電極は、外部振動に対して圧電体基板の歪が最大となる支持部近傍に配置した。加えて、アンテナは、表面弾性波共振子の共振周波数に合わせて、2.45GHz帯の半波長ダイポールアンテナとした。圧電基板の品質係数は、約100である。尚、品質係数は、公知の支持基板との固定法等により、約50~3,000まで調整可能である。本実施例での振動センサでは、図3において、まず送信部21より周波数が2.45GHzである出力波形が生成され、分波器22にて、一方は送信信号としてミキサー23へ送られ、他方は局部発信信号としてミキサー30へ分配される。送信信号は、ミキサー23にて送信部24より出力される周波数500kHz出力でパルス状にチョッピングされ、パワーアンプ26およびサーキュレータ27を経由してアンテナ28から所望の電力量で送信される。振動センサによって受信された搬送波は、微弱な反射波としてアンテナ28から受信され、サーキュレータ27を経由してローノイズアンプ29により増幅される。その後、ミキサー30にてダウンコンバートされた後、分波器31にて、一方は、検出信号としてバンドパスフィルタ33にて振動信号を有する出力信号が取り出される。この出力信号の中心周波数は、片持ち梁の共振周波数である60kHzとなる。また、他方は故障判定処理部32に出力される。図4に示される本実施例による振動センサシステムでの反射波は、周波数500kHzでチョッピングされた周波数2.45GHzのパルス状波形が得られた。図6は本発明による振動センサシステムの振動センサが正常に機能している場合での反射波の立ち上がり部分の包絡波形である。故障判定処理部に入力された図4で示される反射波が包絡検波回路によって包絡波に変調され、得られた包絡波形の立ち上がり部分である第1の包絡波形である。図6からわかるように、立ち上がり直後から40ナノ秒の間に10ナノ秒周期の包絡波形が発生した。これは振動センサの表面弾性波共振の容量成分によるものであり、表面弾性波共振子の機能が正常に機能しているため、立ち上がり直後から安定した電圧になるまで、周期性を有する波形が発生している。一方、図7は本発明による振動センサシステムの振動センサが故障している場合での反射波の立ち上がり部分の包絡波形である。振動センサの櫛歯電極の断線や、櫛歯電極とアンテナ間の配線、櫛歯電極が形成されている部分の圧電体基板が折れるなどの異常が振動センサに生じており、表面弾性波共振子の機能が損なわれている場合に得られた、包絡波形の立ち上がり部分である第1の包絡波形である。図7からわかるように、振動センサが正常に機能している場合の図6の波形に現れた正常時波形の特徴が発生していない。これは、表面弾性波共振子の機能が損なわれた為で、質問器から送信された搬送波が共振されることなく、そのまま反射波として返信されたためである。また、図8は本発明による振動センサシステムの振動センサが正常に機能している場合での反射波の立ち下がり部分の包絡波形である。故障判定処理部に入力された図4で示される反射波が包絡検波回路によって包絡波に変調され、得られた包絡波形の立ち下がり部分である第2の包絡波形である。図8からわかるように、振動センサの表面弾性波共振の影響により、立ち下がり時間が800ナノ秒かかり、振動センサが故障している場合にかかる立ち下がり時間以上の包絡波形が発生した。一方、表面弾性波共振子の機能が損なわれている場合は、質問器から送信された搬送波が共振されることなく、そのまま反射波として返信されるため、図8のような正常時波形の特徴は発生しない。以上より、振動センサにパルス状にチョッピングした搬送波を送信し、質問器によりその反射波を受信して、質問器の故障判定処理部にて反射波の包絡波形を検出する。さらにその包絡波形の立ち上がり部分および立ち下がり部分に、振動センサの表面弾性波共振子が正常に機能している場合に現れる正常時波形の特徴の有無を検出することによって、振動センサの振動や他の外部機器によるノイズに影響されず、振動センサの故障を容易に判断できる、振動センサシステムおよび故障診断方法が得られる。以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は、上記に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の変更や修正、フローチャートの変更が可能である。例えば、立ち上がりから所定時間の間、特定の周波数成分を有していることを検出することによって振動センサの故障を判断できると例示したが、これに限らず、立ち上がりから立ち下がりまでの波形より、特定の周波数成分を有していることを検出することによって振動センサの故障を判断してもよい。すなわち、当業者であれば成し得るであろう各種変形、修正もまた本発明に含まれることは勿論である。"