"被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の表面を旋削加工するバイトユニットを有する旋削手段を備え、該旋削手段は、スピンドルと、該スピンドルの下端に配設されたバイトホイールと、該バイトホイールに装着されたバイトユニットと、該スピンドルの回転中心を基準に該バイトユニットに対して点対称位置において該バイトホイールに装着された、該バイトユニットの重量を相殺する重量を有するバランス取り用錘と、を備えたバイト切削装置であって、該バイトユニットと該バランス取り用錘のどちらか一方、又は両方に該スピンドルの回転バランス調整用の錘ネジを螺着可能なネジ孔が形成されていることを特徴とするバイト切削装置。ところが、従来のバイトを備えた加工装置では、一個のバイトユニットがホイール基台バイトホイールに着脱可能に取り付けられている構成であるため、バイトホイールの回転に伴って振動が発生し、この振動により切削した被加工物の加工品質が悪化するという問題があった。この問題を解決するための方法として、切削に用いるバイトユニットに対し回転軸心を基準に点対称の位置に全く同じバイトユニット当然同一の重さとなるを装着することで、回転バランスを調整し、回転に伴って発生していた振動を抑制することが行われていた。ところが、この方法では全く同じバイトユニットを2つ用意する必要があるうえ、バイトユニット先端の切削刃チップ、又は、バイト体とも称されるの刃先が摩耗したり、刃先を接着しているロウの量が異なるなど、全く同じ重さのものを二つ用意するのが難しいという問題があった。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、厳密に重量が同一なバイトユニットを2つ用意する必要がなく、回転バランスの調整作業の自由度の高いバイト切削装置を提供することである。本発明では、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物の表面を旋削加工するバイトユニットを有する旋削手段を備え、旋削手段は、スピンドルと、スピンドルの下端に配設されたバイトホイールと、バイトホイールに装着されたバイトユニットと、スピンドルの回転中心を基準にバイトユニットに対して点対称位置においてバイトホイールに装着された、バイトユニットの重量を相殺する重量を有するバランス取り用錘と、を備えたバイト切削装置であって、バイトユニットとバランス取り用錘のどちらか一方、又は両方にスピンドルの回転バランス調整用の錘ネジを螺着可能なネジ孔が形成されていることを特徴とするバイト切削装置が提供される。本発明によれば、回転バランス調整に際し、適当な重量のバランス取り用錘66を用い、更に、錘ネジによる重量バランス調整を適宜行うことで、スピンドルの回転バランス重量バランスが調整可能となり、厳密に重量が同一なバイトユニットを2つ用意する必要をなくすことができる。加えて、バランス取り用錘のみならず、バイトユニットについても錘調整用のネジ孔を設けることにより、バランス取り用錘、及び、バイトユニットのいずれにおいても錘ネジによる重量バランス調整が可能となり、回転バランスの調整作業に際し、調整作業の自由度を高めることができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明のバイトホイールで切削するのに適した半導体ウェーハWの斜視図が示されている。半導体ウェーハWの表面においては、第1のストリートS1と第2のストリートS2とが直交して形成されており、第1のストリートS1と第2のストリートS2とによって区画された各領域にそれぞれデバイスチップDが形成されている。図1の拡大図に示すように、各デバイスDの4辺には複数の突起状のバンプ5が形成されている。これらのバンプ5は、例えば、図9Aの拡大断面図に示すように、アンダーフィル材7内に埋設されている。アンダーフィル材7としては、エポキシ樹脂やベンゾシクロブテンBCBが使用される。次に図2を参照して、本発明実施形態に係るバイトホイールを装着したバイト切削装置2について説明する。4はバイト切削装置2のベースハウジングであり、ベース4の後方にはコラム6が立設されている。コラム6には、上下方向に伸びる一対のガイドレール一本のみ図示8が固定されている。この一対のガイドレール8に沿ってバイト切削ユニット10が上下方向に移動可能に装着されている。バイト切削ユニット10は、そのハウジング20が一対のガイドレール8に沿って上下方向に移動する移動基台12に取り付けられている。バイト切削ユニット10は、ハウジング20と、ハウジング20中に回転可能に収容されたスピンドル22図8参照と、スピンドル22の先端に固定されたマウント24と、マウント24に着脱可能に装着されたバイトホイール25とを含んでいる。バイトホイール25にはバイトユニット26が着脱可能に取り付けられている。バイト切削ユニット10は、バイト切削ユニット10を一対のガイドレール8に沿って上下方向に移動するボールねじ14とパルスモータ16とから構成されるバイト切削ユニット送り機構18を備えている。パルスモータ16をパルス駆動すると、ボールねじ14が回転し、移動基台12が上下方向に移動される。ベース4の中間部分にはチャックテーブル30を有するチャックテーブル機構28が配設されており、チャックテーブル機構28は図示しないチャックテーブル移動機構によりY軸方向に移動される。33は蛇腹であり、チャックテーブル移動機構をカバーする。ベース4の前側部分には、第1のウェーハカセット32と、第2のウェーハカセット34と、ウェーハ搬送用ロボット36と、複数の位置決めピン40を有する位置決め機構38と、ウェーハ搬入機構ローディングアーム42と、ウェーハ搬出機構アンローディングアーム44と、スピンナ洗浄ユニット46が配設されている。また、ベース4の概略中央部には、チャックテーブル30を洗浄する洗浄水噴射ノズル48が設けられている。この洗浄水噴射ノズル48は、チャックテーブル30が装置手前側のウェーハ搬入搬出領域に位置づけられた状態において、チャックテーブル30に向かって洗浄水を噴射する。図3を参照すると、バイトホイール25の斜視図が示されている。バイトホイール25は、環状のホイール基台50と、ホイール基台50に着脱可能に取り付けられたバイトユニット26と、ホイール基台50の回転中心を基準にバイトユニット26に対して点対象位置のホイール基台50に着脱可能に取り付けられたバイトユニット26と同一重量に調整されるバランス取り用錘カウンターバランス66とから構成される。バイトホイール25は矢印R方向に回転されてウェーハWの表面に形成されたバンプ5図9A参照を切削する。バイトユニット26は、図4Aの分解斜視図に示すように、略直方体形状のシャンクバイトシャンク52と、シャンク52に着脱可能に取り付けられたバイト54とから構成される。バイト54は板状を呈しており、長手方向の一端部の表面側には所定形状に形成されたダイアモンド等からなる切削刃56が固着されている。バイト54にはねじ58が挿入される丸穴59が形成されている。シャンク52の一側面には、バイト54の厚さと同等の深さを有するピット60が形成されている。ピット60にはねじ穴61が形成されている。バイト54をシャンク52のピット60内に挿入し、バイト54の丸穴59を通してねじ58をねじ穴61に螺合することにより、バイト54がシャンク52に固定される。さらに、シャンク52の上面から下方に向けて、回転バランス調整用の錘ネジ71を螺着可能なネジ孔52aが形成されている。この錘ネジ71は、本実施形態では、いわゆるイモネジネジ頭部とネジ部の径が同じであるネジにて構成され、その軸方向端部には、六角棒レンチなどの工具が係合され得る係合穴71aが設けられている。このように錘ネジ71をシャンク52に螺着可能に構成することで、バイトユニット26の重量を調整することが可能となる。なお、ネジ孔52aを形設する方向は、特に本実施形態のような上下方向に限定されるものではなく、螺着した錘ネジ71がシャンク52の表面から突出しない構成であればよい。なお、図4Aに示す本実施形態では、錘ネジ71を一つだけ用いる形態としているが、一つのネジ孔52aに複数の錘ネジ71を挿入することとしてもよい。また、錘ネジ71は、回転バランス調整の際に、適当な重量のものが利用される。図6ABに示すように、ホイール基台50には直方体形状の取り付け穴62と、取り付け穴62に開口するねじ穴63が形成されている。バイトユニット26のシャンク52をホイール基台50に形成された取り付け穴62中に挿入し、ねじ64をねじ穴63に螺合して締め付けることにより、バイトユニット26がホイール基台50に固定される。一方、図4Bに示すように、バランス取り用錘66はバイトユニット26と同一重量となるように設定され、バイトホイール25スピンドル22の回転バランスを調整するためのものである。このバランス取り用錘66は、任意のブロック形状の部材を用いるほか、例えば、バイトユニット26においてバイト54から切削刃56またはバイト54を取り外したものにより構成することができ、これによれば、バイトユニット26の重量に近いものを実現することができる。バランス取り用錘66には、その上面から下方に向けて、回転バランス調整用の錘ネジ72を螺着可能なネジ孔66aが形成されている。この錘ネジ72は、本実施形態では、いわゆるイモネジネジ頭部とネジ部の径が同じであるネジにて構成され、その軸方向端部には、六角棒レンチなどの工具が係合され得る係合穴72aが設けられている。このように錘ネジ72をバランス取り用錘66に螺着可能に構成することで、バランス取り用錘66の重量を調整することが可能となる。なお、ネジ孔66aを形設する方向は、特に本実施形態のような上下方向に限定されるものではなく、螺着した錘ネジ72がバランス取り用錘66の表面から突出しない構成であればよい。なお、図4Bに示す本実施形態では、錘ネジ72を一つだけ用いる形態としているが、一つのネジ孔66aに複数の錘ネジ72を挿入することとしてもよい。また、錘ネジ72は、回転バランス調整の際に、適当な重量のものが利用される。バランス取り用錘66は、図3及び図7ABに示すように、ホイール基台50の回転中心を基準にバイトユニット26に対して点対称位置においてホイール基台50に形成された取り付け用穴68中に挿入され、ねじ穴69中にねじ70を螺合して締め付けることにより、ホイール基台50に固定される。さらに、図4ABに示されるバイトユニット26,バランス取り用錘66の形態とするほか、図5ABに示されるバイトユニット26A,バランス取り用錘66Aの形態のように、シャンク52A,バランス取り用錘66Aの側面から内側に向かう水平方向のネジ孔52b,66bを形成し、水平方向に錘ネジ71,72が挿入される形態も考えられる。この場合、錘ネジ71、72のネジ孔52b、66bの深さ方向の位置の調整により、バイトホイール25の重心の位置を調整することが可能となり、回転バランス調整において、より厳密な調整を行うことが可能となる。以上に説明した本実施形態では、被加工物であるウェーハWを保持するチャックテーブル30と、チャックテーブル30に保持されたウェーハWの表面を旋削加工するバイトユニット26を備えたバイト切削ユニット10旋削手段を備え、バイト切削ユニット10は、スピンドル22と、スピンドル22の下端に配設されたバイトホイール25と、バイトホイール25に装着されたバイトユニット26と、スピンドル22の回転中心を基準にバイトユニット26に対して点対称位置においてバイトホイール25に装着された、バイトユニット26の重量を相殺する重量を有するバランス取り用錘66と、を備えたバイト切削装置2が実現される。そして、バイトユニット26とバランス取り用錘66の両方にスピンドル22の回転バランス調整用の錘ネジ71,72を螺着可能なネジ孔52a,66aが形成されている構成が実現され、適宜、錘ネジ71,72をネジ孔52a,66aに螺着することで、スピンドル22の回転バランスを調整することができる。以上の本実施形態によれば、回転バランス調整に際し、適当な重量のバランス取り用錘66を用い、更に、錘ネジ71,72による重量バランス調整を適宜行うことで、スピンドル22の回転バランス重量バランスが調整可能となり、厳密に重量が同一なバイトユニットを2つ用意する必要をなくすことができる。加えて、バランス取り用錘66のみならず、バイトユニット26についても錘調整用のネジ孔52a,66aを設けることにより、バランス取り用錘66、及び、バイトユニット26のいずれにおいても錘ネジ71,72による重量バランス調整が可能となり、回転バランスの調整作業に際し、調整作業の自由度を高めることができる。この調整作業は、バイトホイール25からバイトユニット26、バランス取り用錘66を取り外すとともに、適当な重量の錘ネジ71,72を適宜使用することにより行うことができる。なお、本実施形態では、バランス取り用錘66とバイトユニット26の両方に錘調整用のネジ孔52a,66aを設けることとしたが、この例に限らず、バランス取り用錘66とバイトユニット26のどちらか一方に錘調整用のネジ孔を設ける構成とすることも考えられる。次に、図8を参照して、バイトホイール25による半導体ウェーハWの切削加工方法について説明する。半導体ウェーハWの表面には、図9Aの拡大断面図に示すように、各デバイスDの電極にそれぞれ接続された複数のバンプ5が形成されており、これらのバンプ5はエポキシ樹脂等から形成されたアンダーフィル材7中に埋設されている。スピンドル22を約2000rpmで回転させつつ、バイトホイール送り機構18を駆動してバイトユニット26の切削刃56をアンダーフィル材7に所定深さ切り込ませ、チャックテーブル30を矢印Y方向に1mm/sの送り速度で移動させながら、アンダーフィル材7とともにバンプ5を切削する。この切削加工時には、チャックテーブル30は回転させずにY軸方向に加工送りする。チャックテーブル30に吸引保持されたウェーハWの左端が切削刃56の取り付け位置を通過すると、ウェーハWの切削が終了し、図9Bに示すように、アンダーフィル材7の表面は平坦となり、バンプ5はアンダーフィル材7とともに切削されてその高さが均一に加工される。そして、以上に説明した切削加工がなされる際には、本実施形態の構成によりスピンドルの回転バランスが調整され、ひいては、バイトホイール25の回転に伴う振動が軽減され、振動に起因する被加工物の加工品質の悪化を抑制することができる。つまり、加工精度の高い切削加工が実現可能となる。"