"基板の一側に対する感知データをセンサーから受信する段階と、前記感知データから前記基板の状態を判断する段階と、を含み、前記基板の状態を判断する段階は、前記基板の前記一側に対する受信可能な基準データの個数と前記感知データの個数を比較し、前記基準データと前記感知データとの個数が異なる遺失データを判断する段階を含むことを特徴とする基板感知方法。前記感知データを受信する段階は、前記基板及び前記センサーのうち何れか一つを移動し、前記基板の前記一側に向かって光信号を放出する段階と、前記基板を経た前記光信号を受信する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板感知方法。前記基板の状態を判断する段階は、前記遺失データの位置から前記基板の不良位置を判断する段階を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板感知方法。前記方法は、前記基準データ及び前記感知データの個数を調節し、前記基板の状態に対する正確度を調節することを特徴とする請求項1に記載の基板感知方法。基板の第1移動経路上に位置し、前記基板の第1移動経路と略平行な前記基板の一側を感知する第1センサーと、前記第1移動経路と異なる前記基板の第2移動経路上に位置し、前記基板の第2移動経路と略平行な前記基板の他側を感知する第2センサーと、を含み、前記第1センサー及び前記第2センサーは、前記基板の前記一側及び前記他側に対する受信可能な基準データの個数と前記感知データの個数を比較し、前記基準データと前記感知データとの個数が異なる遺失データを判断することを特徴とする基板処理装置。前記基板処理装置は、ロードロックチャンバー、工程チャンバー、及び前記ロードロックチャンバー内の前記基板を搬出して前記工程チャンバーに収納する搬送チャンバーをさらに含み、前記基板は、前記第1移動経路に沿って前記ロードロックチャンバーから前記搬送チャンバーに搬出され、前記第2移動経路に沿って前記搬送チャンバーから前記工程チャンバーに搬送されることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。前記基板処理装置は、ロードロックチャンバー、工程チャンバー、及び前記ロードロックチャンバー内の前記基板を搬出して前記工程チャンバーに収納する搬送チャンバーをさらに含み、前記基板は、前記第1移動経路に沿って前記工程チャンバーから前記搬送チャンバーに搬出され、前記第2移動経路に沿って前記搬送チャンバーから前記ロードロックチャンバーに搬送されることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。前記第1及び第2センサーは、前記第1及び第2移動経路上にそれぞれ偏心配置されることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の基板処理装置。第1移動経路に沿って移動する基板の一側を感知する段階と、前記第1移動経路と異なる第2移動経路に沿って移動する前記基板の他側を感知する段階と、を含み、前記一側を感知する段階及び前記他側を感知する段階は、前記基板の前記一側及び前記他側に対する受信可能な基準データの個数と前記感知データの個数を比較し、前記基準データと前記感知データとの個数が異なる遺失データを判断する段階を含むことを特徴とする基板処理方法。前記基板は、前記第1移動経路に沿って前記ロードロックチャンバーから前記搬送チャンバーに搬出され、前記第2移動経路に沿って前記搬送チャンバーから前記工程チャンバーに搬送されることを特徴とする請求項9に記載の基板処理方法。前記基板は、前記第1移動経路に沿って前記工程チャンバーから前記搬送チャンバーに搬出され、前記第2移動経路に沿って前記搬送チャンバーから前記ロードロックチャンバーに搬送されることを特徴とする請求項9に記載の基板処理方法。本発明の目的は、基板の状態を迅速かつ正確に判断できる基板感知方法を提供することにある。本発明の他の目的は、基板の搬入搬出時に基板を感知できる基板処理装置及び基板処理方法を提供することにある。本発明の更に他の目的は、下記の詳細な説明及び添付された図面を通して一層明確になるだろう。本発明によると、基板感知方法は、基板の一側に対する感知データをセンサーから受信する段階と、前記感知データから前記基板の状態を判断する段階とを含む。前記感知データを受信する段階は、前記基板及び前記センサーのうち何れか一つを移動し、前記基板の前記一側に向かって光信号を放出する段階と、前記基板を経た前記光信号を受信する段階とを含むことができる。前記基板の状態を判断する段階は、前記基板の前記一側に対する受信可能な基準データの個数と前記感知データの個数を比較し、遺失データを判断する段階を含むことができる。前記基板の状態を判断する段階は、前記遺失データの位置から前記基板の不良位置を判断する段階を含むことができる。前記方法は、前記基準データ及び前記感知データの個数を調節し、前記基板の状態に対する正確度を調節することができる。本発明によると、基板処理装置は、基板の第1移動経路上に位置し、前記基板の第1移動経路と略平行な前記基板の一側を感知する第1センサーと、前記第1移動経路と異なる前記基板の第2移動経路上に位置し、前記基板の第2移動経路と略平行な前記基板の他側を感知する第2センサーとを含む。前記基板処理装置は、ロードロックチャンバー、工程チャンバー、及び前記ロードロックチャンバー内の前記基板を搬出して前記工程チャンバーに収納する搬送チャンバーをさらに含み、前記基板は、前記第1移動経路に沿って前記ロードロックチャンバーから前記搬送チャンバーに搬出され、前記第2移動経路に沿って前記搬送チャンバーから前記工程チャンバーに搬送される。前記基板処理装置は、ロードロックチャンバー、工程チャンバー、及び前記ロードロックチャンバー内の前記基板を搬出して前記工程チャンバーに収納する搬送チャンバーをさらに含み、前記基板は、前記第1移動経路に沿って前記工程チャンバーから前記搬送チャンバーに搬出され、前記第2移動経路に沿って前記搬送チャンバーから前記ロードロックチャンバーに搬送される。前記第1及び第2センサーは、前記第1及び第2移動経路上にそれぞれ偏心配置される。本発明によると、第1移動経路に沿って移動する基板の一側を感知する段階と、前記第1移動経路と異なる第2移動経路に沿って移動する前記基板の他側を感知する段階とを含む。本発明によると、基板の状態を正確に判断することができる。また、基板の状態を迅速に判断することができる。また、基板の状態を判断するのに要される時間を調節することができる。本発明によると、搬送アームによって搬入搬出される基板を正確に感知することができる。また、センサーを最小限に設置することができ、全体装備の製作費用を節減することができる。以下、本発明の好適な各実施例を添付された図1乃至図7に基づいて一層詳細に説明する。本発明の各実施例は多様な形態に変形可能であり、本発明の範囲は、以下で説明する各実施例に限定されるものとして解析されてはならない。本発明の各実施例は、当該発明の属する技術分野で通常の知識を有する者に本発明を一層詳細に説明するために提供されるものである。したがって、図面には、一層明確な説明を強調するために、各要素の形状が誇張されて図示されることがある。以下では、基板処理装置を例に挙げて説明しているが、本発明の技術的思想及び範囲がこれに限定されることはない。図1は、本発明に係る基板処理装置を概略的に示した平面図である。基板処理装置は、その中央部にトランスファーモジュールである搬送チャンバー20とロードロックチャンバー30が連結設置されている。搬送チャンバー20の周囲には、3個の工程チャンバー10a,10b,10cが配置されている。また、搬送チャンバー20とロードロックチャンバー30との間、搬送チャンバー20と工程チャンバー10との間、及びロードロックチャンバー30と外側の大気雰囲気とを連通する開口部には、これらの間を気密に密封するとともに、開閉可能に構成されたゲートバルブ22がそれぞれ介在されている。ロードロックチャンバー30の外側には基板搬送手段40が設置され、基板搬送手段40は、カセット図示せず内の基板をロードロックチャンバー30内に搬入したり、ロードロックチャンバー30内の基板を搬出してカセット内に積載する。搬送チャンバ20の内部には搬送ロボット図示せずが設置される。搬送ロボットは、ロードロックチャンバー30と工程チャンバー10a,10b,10cとの間で基板を搬送する。搬送ロボットは、ロードロックチャンバー30内の基板を搬出して工程チャンバー10a,10b,10c内に搬入したり、工程チャンバー10a,10b,10c内の基板を搬出してロードロックチャンバー30内に搬入する。図1に示すように、ロードロックチャンバー30内には第1センサー32が設置され、搬送チャンバー20内には第2センサー12a,12b,12cが設置される。第1センサー32は、ロードロックチャンバー30と搬送チャンバー20との間で移動する基板の経路上に設置され、基板の経路から偏心配置される。第2センサー12a,12b,12cは、工程チャンバー10a,10b,10cと搬送チャンバー20との間で移動する基板の経路上に設置され、基板の経路から偏心配置される。上述したように、第1センサー32は、ロードロックチャンバー30と搬送チャンバー20との間で移動する基板の経路上に設置され、ロードロックチャンバー30と搬送チャンバー20との間で基板が移動するとき、基板Sの状態を感知する。第2センサー12a,12b,12cは、工程チャンバー10a,10b,10cと搬送チャンバー20との間で移動する基板の経路上に設置され、工程チャンバー10a,10b,10cと搬送チャンバー20との間で基板が移動するとき、基板Sの状態を感知する。このとき、第1及び第2センサー32,12a,12b,12cは基板の移動経路から偏心配置され、第1センサー32が基板の移動方向と平行な基板の一側を感知し、第2センサー12a,12b,12cが基板の移動方向と平行な基板の他側を感知する。第1センサー32は、搬送チャンバー20の中心を基準にして左側に偏心配置され、第2センサー12a,12b,12cは、搬送チャンバー20の中心を基準にして右側に偏心配置される。したがって、例えば、基板をロードロックチャンバー30から搬出して工程チャンバー10a,10b,10cに搬入する場合、第1センサー32は搬出方向と略平行な基板Sの左側を感知し、第2センサー12a,12b,12cは搬入方向と略平行な基板Sの右側を感知する。したがって、ロードロックチャンバー30内に設置された第1センサー32及び搬送チャンバー20内に設置された第2センサー12a,12b,12cを用いることで、基板Sの両側を感知することができる。一方、本実施例と異なり、第2センサー12a,12b,12cが搬送チャンバー20の中心を基準にして左側に偏心配置されることもあるが、この場合、基板Sの回転を通して基板Sの右側が第2センサー12a,12b,12cを経由することができる。上記と同様に、基板Sを工程チャンバー10a,10b,10cから搬出してロードロックチャンバー30に搬入する場合、第2センサー12a,12b,12cは搬入方向と略平行な基板Sの右側を感知し、第1センサー32は搬出方向と略平行な基板Sの左側を感知する。したがって、被処理基板Sを工程チャンバー10a,10b,10cに搬入したり、処理完了状態の基板Sを工程チャンバー10a,10b,10cから搬出するとき、基板Sの状態を感知することができ、工程の前後を基準にして基板Sの状態を感知することができる。図2乃至図5は、図1のセンサーを用いて基板の状態を判断する方法を示した図である。以下、図2乃至図5を参考にして基板の状態を判断する方法を説明する。図2及び図3に示すように、センサー12aは上部センサー12au及び下部センサー12adを備えており、下部センサー12adは発光センサーで、上部センサー12auは受光センサーである。そして、下部センサー12adは光信号を放出し、上部センサー12auは、基板Sを透過した光信号を受信する。図2及び図3に示すように、基板Sが移動すると、下部センサー12adは周期的に光信号を放出し、上部センサー12auは、放出後に基板Sを透過した光信号を受信する。このとき、図3に示すように、基板SにクラックCがある場合、光信号はクラックCで散乱され、散乱された光信号は、上部センサー12auを通して受信されないまたは、散乱によって光信号が弱くなるので、微弱な光信号のみが受信される。クラックCが上部センサー12auと下部センサー12adとの間を通過すると、光信号は元通りに受信される。一方、基板Sの移動速度、基板Sの大きさ及び光信号の放出周期によって受信可能な基準データの数が決定される。すなわち、基板Sの長さが2mで、基板Sの移動速度が0.5m/secで、光信号の放出周期が0.1secであるとき、受信可能な基準データの数は2÷0.5÷0.1=40である。また、上部センサー12auを通して感知された光信号は感知データとして作成され、作成された感知データの数は基準データの数と比較される。感知データの数が基準データの数と異なる場合または、感知データの数が基準データの数より小さいか大きい場合、上述したように、基板S上に存在するクラックCによって光信号が正常的に受信されていないことが分かり、これによって遺失データが発生したことが分かる。一方、感知データの数と基準データの数が同一である場合、基板S上にクラックCが存在しないと判断することができる。また、作成された感知データから遺失データの発生位置を確認することができ、遺失データの発生位置から基板S上に存在するクラックCの位置を把握することができる。すなわち、作成された感知データが基板S上の状態をそのまま反映するので、遺失データの発生位置が前半部であると、基板Sの前半部でクラックCが発生したと把握することができ、遺失データの発生位置が後半部であると、基板Sの後半部でクラックCが発生したと把握することができる。また、基板Sの移動速度または光信号の放出周期を調節することで、基板Sの状態に対する正確度及び判断速度を調節することができる。例えば、基板Sの移動速度が増加する場合、基準データ及び感知データの数が減少し、正確度は低くなるが、基板Sの移動速度が増加するので、判断速度は増加する。また、光信号の放出周期を速くする場合、基準データ及び感知データの数が増加し、判断正確度は増加する。上記のような感知方法は、第1及び第2センサー32,12b,12cにも同一に適用される。図4及び図5に示すように、センサー12aは反射型センサーでもある。すなわち、センサー12aは、光信号を放出し、基板Sに反射された光信号を受信する。図4及び図5に示すように、基板Sが移動すると、センサー12aは、周期的に光信号を放出し、放出後に基板Sから反射された光信号を受信する。このとき、図5に示すように、基板SにクラックCがある場合、光信号はクラックCで散乱され、散乱された光信号は、センサー12aを通して受信されないまたは、散乱によって光信号が弱くなるので、微弱な光信号のみが受信される。クラックCがセンサー12aを通過すると、光信号は元通りに受信される。センサー12aを通して基板Sの状態を判断する方法は、図2及び図3に基づいて説明した方法とほぼ同一であるので、それに対する説明は省略する。図6及び図7は、図1のセンサーを用いて基板Sを感知する方法を示した図である。第1及び第2センサー32,12a,12b,12cは基板Sを感知する。センサー12aは、上部センサー12au及び下部センサー12adを備えており、下部センサー12adは発光センサーで、上部センサー12auは受光センサーである。そして、下部センサー12adは光を放出し、上部センサー12auは、放出された光を受けて物体を感知する。図6に示すように、基板Sが上部センサー12auと下部センサー12adとの間に位置する場合、下部センサー12adから放出された光が基板Sによって反射されるので、光が上部センサー12auによって感知されない。したがって、上部センサー12auが如何なる光も感知できない場合、制御器図示せずは、基板Sが存在すると判断する。一方、図7に示すように、破損によって基板Sが上部センサー12auと下部センサー12adとの間に位置しない場合または、基板Sが存在しない場合、下部センサー12adから放出された光が上部センサー12auによって感知される。したがって、上部センサー12auが光を感知した場合、制御器図示せずは、基板Sが破損されたまたは、基板Sが存在しないと判断する。上記のような感知方法は、第1及び第2センサー32,12b,12cにも同一に適用される。上述したように、第1センサー32は、ロードロックチャンバー30と搬送チャンバー20との間で移動する基板の経路上に設置され、ロードロックチャンバー30と搬送チャンバー20との間で基板が移動するとき、基板Sの状態を感知する。第2センサー12a,12b,12cは、工程チャンバー10a,10b,10cと搬送チャンバー20との間で移動する基板の経路上に設置され、工程チャンバー10a,10b,10cと搬送チャンバー20との間で基板が移動するとき、基板Sの状態を感知する。このとき、第1及び第2センサー32,12a,12b,12cは基板の移動経路から偏心配置され、第1センサー32が基板の移動方向と平行な基板の一側を感知し、第2センサー12a,12b,12cが基板の移動方向と平行な基板の他側を感知する。第1センサー32は搬送チャンバー20の中心を基準にして左側に偏心配置され、第2センサー12a,12b,12cは搬送チャンバー20の中心を基準にして右側に偏心配置される。したがって、例えば、基板をロードロックチャンバー30から搬出して工程チャンバー10a,10b,10cに搬入する場合、第1センサー32は搬出方向と略平行な基板Sの左側を感知し、第2センサー12a,12b,12cは搬入方向と略平行な基板Sの右側を感知する。したがって、ロードロックチャンバー30内に設置された第1センサー32及び搬送チャンバー20内に設置された第2センサー12a,12b,12cを用いることで、基板Sの両側を感知することができる。一方、本実施例と異なり、第2センサー12a,12b,12cが搬送チャンバー20の中心を基準にして左側に偏心配置されることもあるが、この場合、基板Sの回転を通して基板Sの右側が第2センサー12a,12b,12cを経由することができる。上記と同様に、基板Sを工程チャンバー10a,10b,10cから搬出してロードロックチャンバー30に搬入する場合、第2センサー12a,12b,12cは搬入方向と略平行な基板Sの右側を感知し、第1センサー32は搬出方向と略平行な基板Sの左側を感知する。したがって、被処理基板Sを工程チャンバー10a,10b,10cに搬入したり、処理完了状態の基板Sを工程チャンバー10a,10b,10cから搬出するとき、基板Sの状態を感知することができ、工程の前後を基準にして基板Sの状態を感知することができる。本発明を好適な各実施例に基づいて詳細に説明したが、これと異なる形態の各実施例も可能である。したがって、以下に記載された特許請求の範囲の技術的思想及び範囲は、好適な各実施例に限定されるものでない。"