"光学素子と、伝播方向に長尺なコアを含み、前記光学素子から光電力が伝送される外部伝送光導波管と、伝播方向に長尺なコアを含み、前記外部伝送光導波管から光電力が伝送される伝送光導波管と、を備え、前記伝送光導波管は、第1の基板に形成され、前記光学素子及び前記外部伝送光導波管は、それらの間での光電力の伝送を可能とするように、第2の基板上に光学的に集積化されており、前記外部伝送光導波管と前記伝送光導波管とが、各々の光接合領域にて光接合してトランスバース伝送を行う光学装置において、前記伝送光導波管と前記外部伝送光導波管との間で断熱光電力伝送を可能とするよう、以下のi又はiiの構成を有し、i平面から見たとき、前記外部伝送光導波管における前記光接合領域に対応する位置にあるコアの少なくとも一部に、伝播方向に垂直な方向における所定のコア幅から伝播方向に向けて幅が減少するテーパーをつける。ii平面から見たとき、前記伝送光導波管における前記光接合領域に対応する位置にあるコアの少なくとも一部に、伝播方向に垂直な方向における所定のコア幅へと伝播方向に向けて幅が増加するテーパーをつける。前記外部伝送光導波管の前記所定のコア幅と、前記伝送光導波管の前記所定のコア幅とが異なる幅であって、iの構成の場合、平面から見たとき、前記外部伝送光導波管のコアにおけるテーパーの部分と、前記伝送光導波管のコアとが、少なくとも一部にて重なっており、iiの構成の場合、平面から見たとき、前記伝送光導波管のコアにおけるテーパーの部分と、前記外部伝送光導波管のコアとが、少なくとも一部にて重なっており、前記光接合領域内にΔβ=0の点があるようにすると共に、前記光接合領域の両端部にてΔβの符号を逆とすることを特徴とする光学装置。但し、Δβは、外部伝送光導波管と伝送光導波管との間のβ伝播定数の差である。伝播方向に長尺なコアを含む伝送光導波管と、伝播方向に長尺なコアを含み、前記伝送光導波管から光電力が伝送される外部伝送光導波管と、前記外部伝送光導波管から光電力が伝送される光学素子と、を備え、前記伝送光導波管は、第1の基板に形成され、前記光学素子及び前記外部伝送光導波管は、それらの間での光電力の伝送を可能とするように、第2の基板上に光学的に集積化されており、前記外部伝送光導波管と前記伝送光導波管とが、各々の光接合領域にて光接合してトランスバース伝送を行う光学装置において、前記伝送光導波管と前記外部伝送光導波管との間で断熱光電力伝送を可能とするよう、以下のi又はiiの構成を有し、i平面から見たとき、前記伝送光導波管における前記光接合領域に対応する位置にあるコアの少なくとも一部に、伝播方向に垂直な方向における所定のコア幅から伝播方向に向けて幅が減少するテーパーをつける。ii平面から見たとき、前記外部伝送光導波管における前記光接合領域に対応する位置にあるコアの少なくとも一部に、伝播方向に垂直な方向における所定のコア幅へと伝播方向に向けて幅が増加するテーパーをつける。前記伝送光導波管の前記所定のコア幅と、前記外部伝送光導波管の前記所定のコア幅とが異なる幅であって、iの構成の場合、平面から見たとき、前記伝送光導波管のコアにおけるテーパーの部分と、前記外部伝送光導波管のコアとが、少なくとも一部にて重なっており、iiの構成の場合、平面から見たとき、前記外部伝送光導波管のコアにおけるテーパーの部分と、前記伝送光導波管のコアとが、少なくとも一部にて重なっており、前記光接合領域内にΔβ=0の点があるようにすると共に、前記光接合領域の両端部にてΔβの符号を逆とすることを特徴とする光学装置。但し、Δβは、伝送光導波管と外部伝送光導波管との間のβ伝播定数の差である。伝播方向に長尺なコアを含み、前記光学素子から光電力が伝送される第2の外部伝送光導波管と、伝播方向に長尺なコアを含み、前記第2の外部伝送光導波管から光電力が伝送される第2の伝送光導波管と、を更に備え、前記第2の外部伝送光導波管と前記第2の伝送光導波管との間にて、トランスバース伝送を行うよう、前記第2の外部伝送光導波管と前記第2の伝送光導波管とが、各々の第2の光接合領域にて光接合し、前記伝送光導波管及び第2の伝送光導波管は、i機械的に独立した部材、ii単一の機械的部材の要素、iii共通の伝送導波基板上に形成された平面光導波管、のうちの1つを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学装置。前記伝送光導波管及び外部伝送光導波管は、iコア及び低屈折率クラッドであって、コア及びクラッドの少なくとも1つのトランスバース寸法が前記光接合領域の少なくとも一部に沿って軸方向に変化するコア及びクラッド、iiコア及び低屈折率クラッドであって、コア及びクラッドの少なくとも1つの屈折率が前記光接合領域の少なくとも一部に沿って軸方向に変化するコア及びクラッド、iiiコア及び低屈折率クラッドであって、コア及びクラッドの少なくとも1つが前記光接合領域の少なくとも一部に沿って傾斜したコア及びクラッド、のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の光学装置。前記光学素子及び前記外部伝送光導波管の少なくとも1つは、i端部伝送、ii実質的に空間モード適合した端部伝送、iiiエッチングされた素子端面を通じての端部伝送、ivトランスバース伝送、vモード干渉結合トランスバース伝送、vi能動的で実質的にモード屈折率適合したモード干渉結合トランスバース伝送、vii受動的で実質的にモード屈折率適合したモード干渉結合トランスバース伝送、viii実質的に断熱的なトランスバース伝送、ix偏光依存トランスバース伝送、x波長依存トランスバース伝送、のうちの少なくとも1つにより、光電力伝送を可能とするように適合するとともに相対的に配置されたことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の光学装置。前記外部伝送光導波管及び前記伝送光導波管は、i平面光導波管、ii低モード屈折率光導波管、iii高モード屈折率光導波管、ivコア及び低屈折率クラッド、vコア及び金属膜を含むクラッド、vi少なくとも1つの多層反射スタックを含む多層光導波構造、viiシリカベース光導波管、viiiポリマーベース光導波管、ix半導体ベース光導波管、xシリコンベース光導波管、xiIII/V半導体ベース光導波管、xiiシリカベースのコア及び低屈折率シリカベースのクラッド、xiii窒化シリコンのコア及びシリカベースのクラッド、xivシリコンオキシニトリドのコア及びシリカベースのクラッド、xv複数のコア及び低屈折率クラッド、xvi量子井戸混合半導体ベース光導波管、xvii導波基板上にあって平面導波回路を形成している複数の平面導波管の1つである平面光導波管、xviii光接合領域を形成している光ファイバのテーパー部を有する光ファイバ、xix光接合領域の一部からトランスバース方向に非対称に除去されたクラッドを有する光ファイバ、xx光接合領域が傾斜した端部となった光ファイバ、のうちの1つ又はそれ以上を含むことを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の光学装置。前記伝送光導波管は、i他の伝送光導波管とのトランスバース伝送、ii他の伝送光導波管との端部伝送、iii他の伝送光導波管との実質的に空間モード適合した端部伝送、iv光ファイバとの端部伝送、v光ファイバとの実質的に空間モード適合した端部伝送、vi光学空間モード拡張、vii複数の分岐導波管への光電力の分割、の少なくとも1つに適合したことを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の光学装置。前記光学素子は、i半導体ベースの光学素子、iiIII-V半導体ベースの光学素子、iiiレーザ、iv変調器、v光検出器、vi波長選択光学素子、vii偏光選択光学素子、のうちの少なくとも1つを備えたことを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の光学装置。前記外部伝送光導波管及び前記伝送光導波管の少なくとも1つの少なくとも一部は、前記光学素子の機能の一部を提供するように適合し、このように提供された機能は、i波長別機能、ii光導波格子部、iii熱光学機能、iv偏光別機能、v光電力監視機能、vi光検出、vii光電力監視、viii空間モード別機能、ix熱補償、のうちの少なくとも1つを含みうることを特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載の光学装置。前記伝送光導波管及び前記外部伝送光導波管の少なくとも1つは、そこでのトランスバースオフセットした光電力伝送損失を、少なくともトランスバースオフセットの許容誤差について、約0.5dB未満又は公称伝送損失が約0.5dB以下の状態を維持するように適合し、そのトランスバースオフセットの許容誤差は、前記伝送光導波管及び前記外部伝送光導波管における対応するトランスバース光学モードサイズ特性の約±1.5倍であることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の光学装置。前記伝送光導波管及び前記外部伝送光導波管の少なくとも1つは、そこでのトランスバースオフセットした光電力伝送損失を、少なくともトランスバースオフセットの許容誤差について、約0.5dB未満又は公称伝送損失が約0.5dB以下の状態を維持するように適合し、そのトランスバースオフセットの許容誤差は、前記伝送光導波管及び前記外部伝送光導波管における対応するトランスバース光学モードサイズ特性の約±1.0倍であることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の光学装置。前記伝送光導波管及び前記外部伝送光導波管の少なくとも1つは、そこでのトランスバースオフセットした光電力伝送損失を、少なくともトランスバースオフセットの許容誤差について、約0.5dB未満又は公称伝送損失が約0.5dB以下の状態を維持するように適合し、そのトランスバースオフセットの許容誤差は、前記伝送光導波管及び前記外部伝送光導波管における対応するトランスバース光学モードサイズ特性の約±0.5倍であることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の光学装置。前記外部伝送光導波管の前記テーパーの傾斜を、前記伝送光導波管における前記テーパーの傾斜とは異なる傾斜とすることを特徴とする請求項1~12のいずれか1項に記載の光学装置。断熱光電力伝送は、モード干渉結合に関係した組立光学部材及び素子のために、製造許容誤差を緩和するのに利用される。例えば、断熱光電力伝送を用いて一方の導波管から他方の導波管へと光電力を実質的に完全に伝送することを実現するために、光学素子の製造及び組立の際に、実質的に完全な光電力伝送が、|κ|及び|Δβ|のほぼ全ての値について発生すると想定されるように、接合領域長は、実質的に長く取られるべきである通例、数百μm乃至おそらくは数mm。従って、κ及びΔβにおける製造変動は、導波管間モード干渉結合とは異なりの光電力の実質的に完全な伝送には、ほとんど又は全く影響しないこととなる。例えば、基板3~5μm幅、長さ数百μmの接合領域に亘って変化するモード屈折率上の誘電体導波管の上面に結合した光ファイバのテーパー部直径2~3μmの上述の例では、モード干渉結合に必要なものよりも約3乃至5倍大きい範囲内の位置精度のみが必要とされうる。従って、断熱光電力伝送の技術及び構成は、光学素子を構築するために開発されてもよい。なお、この光学素子は、最初は別個の光学部材であり、その後、組み合わされることにより、光学部材間の光信号電力を伝送するために、上述の様々な欠点を克服する装置及び方法を提供する。光信号電力を断熱光接合により接合された導波管間で伝送する装置及び方法を提供することが、望ましい。端部結合及びモード干渉トランスバース結合に比べて、製造、組立、及び/又は位置決め許容誤差が実質的に緩和された、断熱光電力伝送装置及び方法を実装することが、望ましい。導波管の受動位置決めが可能であることが望ましい。少なくとも1つの導波管を、基板上の集積光学部材として提供することが、望ましい。実質的に断熱光電力トランスバース伝送断熱装置及び方法を実装することが、望ましい。これら装置及び方法は、既成の光学素子技術と互換性があってもよい。ファイバ光学通信分野における基本的な問題として、光信号電力を発生及び/又は操作するために、光学ファイバと光学素子との間で光信号電力を効率的に伝送するということがある。光信号電力のトランスバース伝送は、中間外部伝送工学導波管を通じて光電力を光ファイバと光学素子との間で伝送するために、有利に用いられる。基板上の光学素子と該基板上の光学素子と光学的に一体となった伝送導波管との間で、光信号電力を、外部伝送導波管を通じて、光信号電力を伝送する装置及び方法を提供することが、望ましい。ここで、光信号電力は、光電力トランスバース伝送断熱その他により、外部伝送導波管と伝送導波管を伝送される。光電力は、端部伝送又はトランスバース伝送断熱その他により、素子と外部伝送導波管との間で伝送されてもよい。光学素子のある端部伝送に適合した外部伝送導波管は、実質的に空間モードが適合していてもよい。伝送光学導波管は、光ファイバトランスバース伝送に適切に適合でもよく、平面導波管でもよい。このような平面導波管は、光ファイバへ/光ファイバからの伝送をより容易に可能とする。既成の光学素子技術と互換性がありうる外部伝送導波装置及び方法により、光電力伝送を実装することが、望ましい。外部伝送光学導波管光電力トランスバース伝送、断熱その他に適合、伝送導波管を伴うは、光学素子と光学的に一体となった部材であってもよく、光学素子の製造及び処理に用いられるものに類似した空間選択製造及び処理技術を用いて、提供されてもよい。このような製造技術を用いることにより、単一の基板上で平行な多くの外部伝送導波管/素子対のウエハ規模の製造及び精度位置決めが可能となるので、光学素子を製造するための時間及びコストが著しく節約される。2つ以上の伝送導波管のある組立/位置決めを実質的に同時に可能とする及び/又は推進することが、望ましい。本発明のいくつかの側面は、従来技術における上述の1つ以上の欠点が克服し、及び/又は、光電力伝送の技術の状態を進歩させ、さらに、以下の目的の1つ以上に合致してもよい。光導波管間の実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送のための装置及び方法を提供すること。光導波管間の実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した、機械的に独立した光導波管を提供すること。光電力伝送について、製造及び/又は位置決めの許容誤差が緩和された、実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した導波管を提供すること。光導波管間の実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した装置及び方法を提供することであって、その光電力のトランスバース伝送は、端部伝送及び/又はモード干渉結合トランスバース伝送の場合よりも、導波管の寸法及び/又は相対位置の影響を受けにくくなっていること。受動的に位置決めされて組み合わされた場合に、光導波管間の実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した、機械的に独立した光導波管を提供すること。光導波管間の実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した装置及び方法を提供することであって、その電力伝送レベルは、導波管間の相対的なトランスバース位置の実質的な範囲に亘って、実質的に平坦なままとなっていること。光導波管間の実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した装置及び方法を提供することであって、その電力伝送レベルは、導波管のトランスバースオフセットの範囲に亘って、その最大レベルが約0.5dB未満にとどまり、その範囲は、光導波管における対応するトランスバース空間モードサイズ特性の約±1.0倍であること。実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した少なくとも1つの光導波管を、基板上に統合された光学部材として提供すること。実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した少なくとも1つの光導波管を、基板上の平面導波間として提供すること。確立された光学素子技術と互換性がある、実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した装置及び方法を提供すること。光ファイバと基板上の光学素子との間の光信号電力の伝送を可能にし、及び/又は、促進する、装置及び方法を提供すること。光学素子と伝送光導波管との間で外部伝送光導波管を通じて光信号電力を伝送する装置及び方法を提供することであって、外部伝送光導波管は、共通基板上の光学素子と統合され、外部伝送光導波管及び伝送光導波管は、それらの間の光電力のトランスバース伝送に適合していること。適切にトランスバース伝送に適合した光ファイバを、伝送光導波管として提供すること。適切にトランスバース伝送に適合した平面導波管を、伝送光導波管として提供すること。適切にトランスバース伝送に適合した平面導波管を、伝送光導波管として提供することであって、平面導波管は、光ファイバへの/光ファイバからの光電力の伝送にさらに適合していること、光電力の実質的に空間モード適合した端部伝送に適合した光学素子及び/又は外部伝送光導波管を提供すること。光電力のトランスバース伝送に適合した光学素子及び/又は外部伝送光導波管を提供すること。実質的に断熱的な光電力のトランスバース伝送に適合した外部伝送光導波管及び/又は伝送光導波管を提供すること。光電力の受動的にモード屈折率整合したモード干渉結合トランスバース伝送に適合した外部伝送光導波管及び/又は伝送光導波管を提供すること。光電力の能動的にモード屈折率整合したモード干渉結合トランスバース伝送に適合した外部伝送光導波管及び/又は伝送光導波管を提供すること。伝送光導波管及び統合された光学素子/外部伝送光導波管を、組み合わされた場合に外部伝送光導波管と伝送光導波管との間の光電力のトランスバース伝送に適合した機械的に独立した部材として提供すること。伝送光導波管及び統合された光学素子/外部伝送光導波管を、受動的に位置決めされて組み合わされた場合に外部伝送光導波管と伝送光導波管との間の光電力のトランスバース伝送に適合した機械的に独立した部材として提供すること。光学素子に対して、リソグラフィ、蒸着、マスキング、及び/又はエッチング技術等の精密加工技術を適用して、外部伝送光導波管と光学素子との高精度の位置決めを可能とすることにより、光学的に統合された外部伝送導波管を提供すること。確立された光学素子技術と互換性のある外部伝送光導波装置及び方法を提供すること。単一の基板上で並行した光学的に統合された多くの外部伝送導波管/素子対のウエハ規模の製造及び精密位置決めを提供すること。共通の平面導波基板上での複数の光学素子の組立/位置決めを可能にする装置及び方法を提供することであって、各素子は、平面導波基板上での1つ又はそれ以上の平面伝送導波管との光電力の伝送に適合していること。光電力のトランスバース伝送を確立するように、導波管を2つ以上の他の伝送導波管と実質的に同時に組立/位置決めすることを、可能とし、及び/又は促進すること。素子と各導波管との間に光接合を確立するように、光学素子を2つ以上の導波管と実質的に同時に組立/位置決めすることを、可能とし、及び/又は促進すること。1つ又はそれ以上の上述の目的は、本発明にて、第1の導波管と第2の導波管との間の光電力のトランスバース伝送のための装置により、達成される。第1及び第2の導波管は、当初は機械的に独立しており、後に組み合わされて、光電力伝送のための光接合を形成する。その装置は、光接合領域を含む第1の光導波管と、光接合領域を含む第2の光導波管とを、備えている。導波管の一方又は双方の接合領域は、全長に亘る1つ又はそれ以上の光学特性の変化により、実質的に断熱的な光電力の伝送に適合している。第1及び第2の導波管の寸法及び/又は光学特性の軸方向の変化は、誘導されたシステム光学モードと他の光学モードとの間の望ましくない光電力の伝送が、結果として、実際的に許容可能なレベル以下となるのに充分に漸進的である。第1及び第2の導波管を組み合わせることは、それぞれの光接合領域を、導波管間の実質的に断熱的な光電力の伝送を可能とするように配置する役割を果たす。断熱的な光電力の伝送の性質により、端部演奏及び/又はモード干渉結合トランスバース伝送に比べて、位置決め許容誤差が実質的に緩和される結果となる。光電力伝送のために第1及び第2の導波管を組み立てるのに、受動的な位置決めが、用いられてもよい。接合領域は、導波管間の光電力の実質的に完全な伝送を提供するために適合してもよい。上述の目的の1つ又はそれ以上は、本発明にて、光学素子と伝送光導波管との間の光電力の伝送のための装置により達成されてもよく、その装置は、a基板上の光学素子、b伝送光導波管、c光学素子と光学的に統合された外部伝送光導波管を備え、外部伝送導波管は、光学素子と伝送光導波管との間の光電力の伝送に適合している。光学素子及び/又は外部伝送光導波管は、光電力の端部伝送又はトランスバース伝送に適合するとともに配置されることが望ましい。外部伝送導波管及び/又は伝送光導波管は、それらの間のトランスバース伝送モード干渉結合又は断熱に適合していることが望ましい。伝送光導波管は、当初、光学素子及び外部伝送光導波管から機械的に独立した部材として提供される。伝送光導波管を、基板、光学素子、及び/又は外部伝送光導波管と組み合わせることは、伝送光導波管と外部伝送光導波管を、それらの間の光電力のトランスバース伝送のために配置する役割を果たす。光学素子と光学的に統合された外部伝送導波管は、ウエハ規模の製造及び精密位置決めを用いて提供されてもよく、それにより、多くの外部伝送導波管/素子対の単一の基板上での並行したウエハ規模の製造及び精密位置決めが可能となる。伝送光導波管は、適切に外部伝送光導波管とのトランスバース伝送に適合した光ファイバであってもよく、あるいは、望ましくは、適切に外部伝送導波管とのトランスバース伝送に適合した平面伝送光導波管であってもよい。平面導波管は、光ファイバへの/光ファイバからの光電力伝送に、さらに適合してもよく、それにより、統合された外部伝送導波管及び組み合わされた平面伝送導波管を通じた、素子とファイバとの間の光電力の伝送が可能となる。平面伝送導波管は、平面導波回路の一部であってもよい。本発明のさらなる目的及び利点は、図面に図示されるとともに、以下の書面による説明及び/又は特許請求の範囲に記述されるように、本発明の好適な実施形態及び代替的な実施形態を参照することにより、明らかとなるであろう。なお、図に示した様々な構造の相対的な比率は、本発明をより明瞭に説明するために変形されていることがある。様々な素子、導波管、共振子、光ファイバ/テーパー等の相対寸法は、それらのトランスバース及び/又は軸方向の比率と同様、互いに変形されていることがある。多くの図面において、光学部材のトランスバース寸法は、明瞭にするために、軸方向寸法に対して拡大されている。それにより、トランスバース寸法の変化が軸方向位置に対して誇張されて現れることになる。また、光電力の端部伝送のための光ファイバを示す図面において、ファイバの寸法は、通例、図示された他の導波管の寸法と比較して、かなり大きくなっている。ファイバを正確な縮尺で示すと、図面用紙のサイズより大きくなってしまう。一方、ファイバのテーパー部を示す図は、実際の相対縮尺にかなり近くなっている。図面に示した実施形態は例示的なものであり、ここに開示及び/又は特許請求された本発明の範囲を制限するものとして解釈されるべきではない。書面による説明及び/又は特許請求の範囲のために、屈折率は、特定の材料の体積屈折率を意味してもよくここで材料屈折率とも称される、β=2πneff/λによって特定の光学部材における特定の光学モードの伝播定数βと関連する有効屈折率neffを意味してもよい。ここで、有効屈折率は、モード屈折率とも称されうる。ここで称されるように、低屈折率なる用語は、屈折率が約2.5未満の任意の材料及び/又は光学構造を示すことになり、高屈折率なる用語は、屈折率が約2.5を超える任意の材料及び/又は構造を示すことになる。このような範囲内で、低屈折率は、シリカSiOx、ケイ酸ゲルマニウム、ケイ酸化ホウ素、他のドープシリカ、及び/又は他のシリカベースの材料、窒化ケイ素SixNy及び/又はシリコンオキシニトリドSiOxNy、他のガラス、他の酸化物、様々なポリマー、及び/又は屈折率が約2.5未満の任意の他の適切な光学材料を、示すことが望ましい。また、低屈折率としては、光ファイバ、光導波管、平面導波管、並びに/又は、このような材質が組み込まれ及び/若しくは約2.5未満のモード屈折率を示す他の光学部材等もある。同様に、高屈折率は、半導体、IR材料、及び/若しくは、屈折率が約2.5を超えた他の任意の適切な光学材料、並びに/又はこのような材料が組み込まれ及び/若しくは約2.5を超えたモード屈折率を示す任意の適切な種類等の材料を示すことが望ましい。高屈折率及び低屈折率なる用語は、ここにおいても用いられる低い屈折率及び高い屈折率とは区別されるべきである。高屈折率及び低屈折率は、屈折率の絶対的な数値を示すが約2.5を超えるかあるいはそれ未満、低い屈折率及び高い屈折率は、屈折率の絶対的な数値にかかわらず、2つの個々の材料のいずれが高い屈折率であるかを示す相対的な用語である。ここに用いられる平面光導波管なる用語は、実質的に平面状の基板上に設けられた任意の光学導波管を示すことになる。このような導波管の例としては、リッジ導波管、埋込導波管、半導体導波管、他の高屈折率導波管、シリカベース導波管、ポリマー導波管、他の低屈折率導波管、コア/クラッド型導波管、多層反射導波管、メタルクラッド導波管、エアガイド導波管、光結晶/光バンドギャップ導波管、並びに、ここでは特に示されないもののここに開示及び/又は特許請求される発明の概念の範囲内にある他の無数の例がある。半導体、結晶、シリカ又はシリカベース、他のガラス、セラミック、金属、並びに、ここでは特に示されないもののここに開示及び/又は特許請求される発明の概念の範囲内にある他の無数の例等、多くの適切な基板が、用いられうる。本発明による光接合装置及び方法を提供するために、当初は別個であってその後に組み合わされた光学部材間における光電力のトランスバース伝送断熱又はモード干渉結合が、用いられうる。このような光接合は、組立光学素子、システム、及び/又はサブシステムを構築するのに用いられる様々な種類の光学部材間で、光信号を伝送するために用いられうる。当初は別個であって光電力の伝送を実現するために組みたれられうる光学部材としては、2本の別個の光ファイバ、2個の別個の平面導波管、光ファイバと平面導波管、基板上に組み込まれた光学素子と光ファイバや平面導波管や基板から独立した他の光学導波管、別個の基板上に組み込まれた2つの光学素子等があってもよい。但し、それに限定されるものではない。なお、本発明による装置及び方法を、光伝送システムファイバ光学伝送システムと基板上の半導体ベースの光素子との間の光電力の伝送に用いることについて、特に留意されたい。別個の光学部材の他の組み合わせは、本発明による光電力のトランスバース伝送に適合した装置及び方法を用いて、光結合されてもよい。ある種の接合部材は、通例、当初は別個でその後に組み合わされる部材を組み合わせるために用いられうる。このような接合部材の例部材間の相互作用から及び/又は1つ若しくは双方の部材に関連した構造部材から生じうるには、保持器、クランプ、係止具、接着剤、ハンダ、ポッティング若しくは埋込材料、クリップ、タブ/スロット、溝、光接触、静電及び/若しくは静磁力MEMSベース素子を含む、スプリング若しくはマイクロスプリング、組立部材のハーメチック又はマイクロハーメチックシール、ウォーターボンディング技術等があってもよい。但し、それに限定されるものではない。光学素子の機能における様々な側面が当初は別個の光学部材上にある光学素子が構築されてもよく、その光学素子は、組み合わされると、完全に機能するようになって、別個の部材間の光接合を確立する。素子の機能は、本発明の光接合により、提供、変更、及び/又は制御されてもよい。複数の平面光導波管が共通の基板上に設けられて、いわゆる平面導波回路が形成されうる。なお、平面導波回路は、平面光回路PLC、光集積回路、又は光電子集積回路とも称される。複数の平面導波間は、全て、基礎となる導波基板上に同じ高さ又は厚さで設けられて、3次元光ネットワークが形成されてもよい。複数の平面導波間を単一の導波基板上に設けることにより、任意の適切な配列で結合された複数の光学素子を含む複合光アセンブリを、構築することができる。平面導波管及び平面導波回路は、本発明の実施に用いられる伝送光導波管における重要な部類を含む。平面導波管は、実質的に平面状の基板上に作製された低屈折率コア/クラッド型誘電体導波管多くの場合、酸化物被覆シリコン基板上に作製されたシリカ又はシリカベースの導波管を、含むことが多い。シリコンは、以下の様々な理由但しそれに限定されないにより望ましい導波基板材料である。すなわち、比較的容易かつ周知の材料加工技術、成熟した業界規格、高度に平面な単結晶面が得られること、選択的な乾式及び/又は湿式エッチングで修正可能、剛性が高いこと、望ましい熱特性である。シリコン基板には、シリカオーバーレイヤ、該シリカオーバーレイヤ上の1つ以上の平面導波管が、設けられることが多い。シリカ及びシリカベース材料は、ほぼ理想的で周知の光学材料である。光電力の実質的に断熱的なトランスバース伝送が、光接合確立時に位置決め感度を低減させるために用いられうる。光電力の実質的に断熱的なトランスバース伝送を実現するために、少なくとも1つの接合光学部材通例、導波管が、接合領域に沿って変化するモード屈折率を有する必要があり、それにより、実質的に断熱的なトランスバース伝送に導波管を適合させる。このモード屈折率の変換は、様々な方法で実現されうる。すなわち、1導波管のコア及び/又はクラッドにおける一方又は双方のトランスバース寸法が、導波管の全長に亘って変化、2コア及び/又はクラッドの屈折率が、導波管の全長に亘って変化、3選択された屈折率の材料が、導波管の全長に亘って変化した量及び/又は距離で導波管近傍に配置される、4チャープ格子が導波管に沿って書き込まれ、屈折率の異なる材料が配置され、導波管の全長に亘って有効屈折率の変化がもたらされる。他の技術が案出されてもよく、任意の適切な技術が単独又は組み合わされて用いられて、本発明の光接合を提供するために、導波管を、実質的に断熱的な光電力伝送に適合させてもよい。本発明の書面による説明及び/又は特許請求の範囲のために、断熱条件は、一般に、対象となる孤立又はシステムモードと、他の孤立、システム、又は放射モードとの間の光電力の伝送を実際上許容可能なレベルに近くあるいはそれより低く維持するように充分に漸進的な、1つ又はそれ以上の導波管特性の軸方向変化として、定義されることになる。実際上許容可能なレベルは、性能、製造、歩留まり、組立、検査、入手可能性、コスト、供給、需要、並びに/又は、製造業者を取り囲む他の要因、及び個々の組立光学素子の配備による制約及び/又は要件により、規定されうる。図1A、図1B、図1C、図2A、図2B、図2C、図3A、図3B、及び図3Cに、積層された一対の導波管110,120すなわち面接合を、模式的に示す。ここで、導波管110は基板111上に配置され、導波管120は基板121上に配置されている基板121は、図1A、図2A及び図3Aでは、理解しやすいように省略されている。各導波管のコア112/122は、接合領域101に亘って、それぞれの導波管の長さに沿って幅が変化している。導波管のコアは、接合領域の全長に亘り、高さ又は両トランスバース寸法について、等価に変化してもよいここでは図示せず。コアの寸法が変化すると、導波管の全長に亘ってΔβが対応して変化する。それは、接合領域101のある点にてΔβ=0となるように構成されることが望ましい。導波管110に基板111のどこかから入る光信号電力は、1接合領域101の端部にて|κ|<<|Δβ|、2接合領域101の中央部ではκが充分大きい、かつ、3Δβは、接合領域の一端近傍で正であり、他端近傍で負である、という条件が満たされれば、導波管120へと実質的に完全に伝送される。その代わりに、導波管120へと入ってくる光信号電力が、実質的に完全に導波管110へと従って、もし存在すれば、導波管110と光学的に一体の他の部材へと、伝送されてもよい。誘電体導波管110,120についての例示的な寸法は、最大コア幅が1~10μm、望ましくは約2~5μm、接合領域101の長さが約100乃至2000μm、通例は数百μm、導波管コア同士の間隔が約0~3μmとなりうる。κの変化に対する断熱光電力の挙動は、導波管110,120間の光電力の実質的に完全な伝送が、端部結合又はモード干渉結合素子にて許容されるものよりも、導波管110,120の相対位置のより広い範囲内において、実現されうることを示す。従って、導波管120は、受動位置決め技術を用いて配置されうる。なお、この技術は、導波管120を導波管110に対して受容及び配置するための位置決め構造図示せずを基板111上に設けること例えば、先に引用された出願A9のように、導波管110,120を適切に配置するように、基板111と係合するようになった基板121上に導波管120を設けること、又は、他の手段等である。また、能動位置決め技術が用いられてもよく機械視覚アセンブリ技術、又は結合された導波管の光学的挙動を監視することによる等、本発明により提供されると、位置決め許容誤差が緩和されて、より容易かつ経済的に実装されることになる。図1A、図1B、及び図1Cでは、各進入領域102/103は、導波管120又は導波管110とともに示されている。導波管は、それぞれ、最終的に端部に達する前に、左右対称に水平にテーパーがついている。例えば、導波管110の孤立モードは、導波管120の端部における細い先端の外形により最小限乱されることになる。導波管120が進入領域102に沿って幅が拡がっているのは、他のシステムモードへの望ましくない光電力伝送を実質的に防止するのに充分に漸進的であることが望ましいすなわち、幅が断熱的に拡大。同様に、導波管110は、細い先端にて終端する前に進入領域103に沿って左右対称にテーパーがついており、そこにおいて、導波管120の孤立モードを最小限乱している。図2A、図2B、及び図2Cに、進入領域102/103の同様の配列を示し、そこでは、導波管は、一方の側からのみ水平にテーパーがついている同等に傾斜。図3A、図3B、及び図3Cに、導波管110/120が、垂直方向にテーパーがついた、すなわち、進入領域103/102に沿って傾斜した配列を示す。本実施形態では、断熱条件は、他の導波管へと次第に近接してゆくテーパーがついた導波管表面の漸進的な進入により、主に実現している。このような配列は、例示的なものであり、他の多くの配列が、進入領域に沿った断熱条件を維持するために、等価に用いられうる。なお、これらの例及び後続の例における進入領域と接合領域との分割は、構造あるいは機能上、尖鋭になっている必要はなく、実際には、断熱条件を満たすために、進入領域と接合領域とは、一方から他方へと滑らかに移行することが望ましい。図4A,図4B、図4C、図5A、図5B、及び図5Cに、並列されたすなわち側面接合された一対の導波管410,420を模式的に示し、導波管410が基板411上に図示され、導波管420が基板421上に図示されている明瞭にするために、基板421は図4A及び図5Aでは省略されている。各導波管コア412/422は、それぞれの導波管の全長方向に沿って接合領域401に亘り、幅が変化するあるいは、高さ、又は両トランスバース方向に、接合領域に沿って等価に変化してもよい。ここには図示せず。上述の例におけるように、コア寸法が変化すると、導波管の全長に沿ってΔβが対応して変化する。なお、接合領域401におけるある点にてΔβ=0となるように構成されることが望ましい。光信号電力の実質的に完全な伝送は、以下の条件で実現されうる。すなわち、1接合領域401の端部にて|κ|<<|Δβ|、2κは、接合領域401の中央部では実質的に大きい、3Δβは、接合領域の一端近傍では正であり、他端近傍では負である、という条件である。光電力の実質的に完全な伝送を実現するための位置の許容誤差は、これらの実施形態では、上述の例での記述と同様の場合におけるモード干渉結合の導波管と比較して緩和されており、これらの側面接合の例は、同様の技術を用いて、位置決め/組立されてもよい。図4A、図4B、及び図4Cでは、各進入領域402/403は、導波管420又は導波管410とともに示されている。導波管は、それぞれ、他方の導波管に実質的に接した細い先端における端部に最終的に達する前に、テーパーがついている、すなわち水平に傾斜している。例えば、導波管410の孤立モードは、導波管420の端部における細い先端の外形により最小限乱されることになる。導波管420が進入領域402に沿って幅が拡がっているのは、他のシステムモードへの望ましくない光電力伝送を実質的に防止するのに充分に漸進的であることが望ましいすなわち、幅が断熱的に拡大。同様に、導波管410は、細い先端にて終端する前に進入領域403に沿ってテーパーがついており、そこにおいて、導波管420の孤立モードを最小限乱している。図5A、図5B、及び図5Cに一配列を示し、そこでは、導波管410/420は、進入領域402/403に沿って水平にテーパーがついている、すなわち傾斜しているが、各導波管の細い先端は、他方の導波管から離反して配置されている。本実施形態では、断熱条件は、他の導波管へと次第に近接してゆくテーパーがついた導波管表面の漸進的な進入により、主に実現している。このような配列は、例示的なものであり、他の多くの配列が、進入領域に沿った断熱条件を維持するために、等価に用いられうる。図6A及び図6Bに、基板611上に側面接合図6Aされるか、あるいは、基板621明瞭にするために図6Aでは省略上の導波管620に対して表面接合された導波管610を示す。これらの各実施形態では、導波管のモード屈折率の変化が、導波管コア612/622とそれぞれの導波管クラッドとの屈折率の差が軸方向に漸進的に変化することにより、実現している。各導波管では、屈折率差は、一端導波管610/620の入力/出力端にて最大であり、接合領域に亘って実質的にゼロまで減少してもよい。屈折率差の傾斜は、クラッドの屈折率の傾斜から、コアの屈折率の傾斜から、あるいは、両者から発生してもよい。ここに開示された結合導波管の特定の例、又はその等価物は、屈折率分布差型導波管等で実装されてもよい。図1A乃至図6Bの実施形態に示した軸方向モード屈折率の変化は、標準的な空間選択性の材料加工技術を用いて、容易に実現しうる。その技術には、リソグラフィ、蒸着、ドーピング、注入、マスキング、エッチング、光学的焼締opticaldensification、光化学等があるが、それに限定されるものではない。また、これらの技術は、断熱光電力伝送に適合した導波管の1つとともに基板上に他の光学部材を製造するのに、用いられてもよい。それにより、基板上に組み込まれた様々な部材から個々の導波管へと光電力を伝送可能となる。このような外部伝送導波管の使用については、先に引用された出願A8にて、広範に説明されているそこでは、外部伝送導波管は、外部結合導波管と称される。これらの語句は、本説明及び/又は特許請求の範囲の目的については、等価とみなされうるものであり、以下に詳細に説明される。出願A8は、共通の基板上の光学部材に対して端部結合され、別個の伝送導波管に対してモード干渉結合された、外部伝送導波管の使用について、開示している。先に引用された出願A8に開示された方法、装置、及び実施形態の全ては、外部伝送導波管を含めるように修正されてもよい。なお、そうでなければ、外部伝送導波管は、別個の伝送光導波管への実質的に断熱的な光電力伝送に、適合されるものである。従って、製造、組立、及び位置決め許容誤差は緩和されており、このような素子の構築は、それに応じて、難しく、高価で、及び/又は時間がかかるという程度が、より少なくなりうる。光電力の実質的に断熱的なトランスバース伝送が導波管の位置に依存する度合いは、それぞれの導波管に固有のトランスバース光学モードサイズに関して、最も容易に特徴づけられうる。トランスバース伝送の多くの例では、導波管の充分に正確で高精度の配置は、1つのトランスバース方向基板に対して垂直又は水平/横において容易に実現しうる。これは、位置の許容誤差が、導波管固有の対応するトランスバース光学モードサイズにおけるわずかな部分のみ例えば、位置の許容誤差は、対応するトランスバース方向におけるトランスバースモードサイズの0.5倍未満であったとしてもである。図1A乃至図3Cの例示的な実施形態では、垂直相対配置が、表面接合導波管間、一方の導波管と他方の導波基板上に設けられた支持/位置決め構造との間、及び/又は、各導波基板上の支持/位置決め構造間の機械的接触により、決定される。このような位置決めの正確さは、導波管を製造するために用いられた高精度の材料加工及び処理技術に依存しているので、信頼性及び再現性のある光電力のトランスバース伝送を実現するために充分な正確さ及び精度が提供されうる。垂直トランスバースモードサイズのわずかな部分となる許容誤差内であってもである。同様に、図4A乃至図6Bの例示的な実施形態では、導波管を精密加工に加工することにより、側面接合導波管間の機械的結合により、高精度の横又は水平配置が可能となる。水平トランスバースモードサイズのわずかな部分内であってもである。他のトランスバース方向図1A乃至図3Cにおける水平、又は横方向配置、図4A乃至図6Bについての垂直配置における導波管の同様に正確な相対配置は、そのように容易に達成されないことが多い。しかしながら、実質的に断熱的なトランスバース伝送について、導波管間の実質的に完全な光電力の伝送が、導波管固有の横方向トランスバース光学モードサイズと同じ、あるいはその2倍内の横方向の位置許容誤差内で実現しうることが、実証されている。図46にて曲線を生成する単純な解析モデルにより示されるように、導波管の相対的なトランスバースオフセット表面接合導波管については横方向を基準として、光電力伝送の度合いにおける変化は、実質的に断熱トランスバース伝送のかなりの範囲に亘って平坦である。モード干渉結合トランスバース伝送及び端部伝送についての光電力伝送の対応する度合いは、トランスバース位置でより急激に変化する。このような計算単純な解析モデルに基づくは、幅が約5μmで厚さが約3μmの導波管コアで、約1μmのクラッドにより垂直配置され、コア屈折率が約1.5でクラッド屈折率が約1.45となったものに基づいている。コアの幅は、断熱の場合については、約750μmの接合領域に亘って約20変化する。導波管の横方向オフセットが、横方向トランスバースモードサイズの約±0.3倍で最大電力伝送位置から離れていると、端部結合電力伝送通例、空間モード不整合により制限されるについて実現可能な最大電力伝送と比べて、約0.5dBのトランスバースオフセット光学伝送損失がもたらされる。トランスバースモードサイズは、ここに、強度についての1/e2半値幅として定義され、平方二乗平均モードサイズは、異なるサイズの光学モードに導波管が対応している場合、関連したモードサイズである。モード干渉結合の場合についての光接合長は、導波管が適切に屈折率適合しているという前提で、実質的に完全な光電力伝送がもたらされるように、選択される。モード干渉結合トランスバース伝送については、横方向の導波管オフセットが、横方向トランスバースモードサイズの約±0.7倍であることにより、相似の0.5dBトランスバースオフセット伝送損失がもたらされる最大達成可能トランスバース伝送と比較して。原則的に、実質的に完全な光電力伝送。トランスバースオフセット伝送損失は、約0.5dB未満にとどまり、断熱トランスバース伝送のトランスバースモードサイズの約1.5倍の横方向オフセットについては、実質的に平坦である。トランスバースオフセット伝送損失は、トランスバースオフセットの特定の許容可能な範囲内この例における100の伝送の0.5dB内に残ったものとして、特徴づけられる。これらの値は、光電力のトランスバース伝送用に用いられる導波管の特定の形状、用いられているコア及びクラッド材料、並びに結合定数κのサイズに、依存している。また、モード干渉結合トランスバース伝送についてのオフセット許容誤差も、要求された相互作用長が実現される精度に依存している。断熱トランスバース伝送については、オフセット許容誤差も、光接合領域の長さ、並びに、接合領域における導波管に沿ったκ及びΔβの変化に、依存している。結合定数κの比較可能値については、断熱トランスバース伝送に関し、モード干渉結合トランスバース伝送に要求されるものよりも5倍長い光接合領域にて、図46の結果が達成されている。より大きな横方向オフセットは、導波管に沿って実質的に断熱条件が維持されるように配慮されるとして、断熱トランスバース伝送用の長い接合領域であっても、及び/又はκ値が増加しても、許容可能である。アスペクト比が大きな導波管を用いることにより、断熱トランスバース伝送が示すトランスバースオフセット強度が増大しうる。図47に、薄膜型コアの表面接合導波管間の光電力伝送につき、数値モデル化された曲線及び測定データを示す。各導波管は、約250μmの光接合領域長に亘って幅が約2.2μmから約0.5μmへと減少してゆくコアを有する。コアは、厚さが約0.13μmで、約0.8μmのクラッドにより垂直に区切られており、コアの屈折率が約2.0で、クラッドの屈折率が約1.45である。コアは幅が約1.4μmであり、それによる光学モードサイズは、横方向においてΔβが光接合領域にて0となる点で約0.7μmである。トランスバースオフセット光電力伝送損失は、横方向オフセットが±1.5μmの領域に亘って約0.5dB未満そして実質的に平坦、あるいは、対応するトランスバース光学モードサイズの約±2倍にとどまる。光電力のモード干渉結合トランスバース伝送を実質的に用いている、ここに説明された様々な光接合については、トランスバースオフセット光電力伝送損失は、少なくとも、個々の導波管に固有の対応するトランスバース光学モードサイズの約±0.5倍のトランスバースオフセットにつき、約0.5dB未満にとどまることが望ましい。光電力の断熱トランスバース伝送を実質的に用いている、ここに説明された様々な光接合については、トランスバースオフセット光電力伝送損失は、望ましくは、個々の導波管に固有の対応するトランスバース光学モードサイズの約±1倍、最も望ましくは、少なくとも、対応するトランスバース光学モードサイズの約±1.5倍につき、約0.5dB未満にとどまるとよい。光電力の断熱トランスバース伝送を実質的に用いている、ここに説明された様々な光接合については、平坦として特徴づけられるトランスバースオフセット光電力伝送損失は、望ましくは、少なくとも対応するトランスバース光学モードサイズの約±1倍、最も望ましくは、少なくとも、対応するトランスバース光学モードサイズの約±1.5倍につき、望ましくは、公称伝送損失が±0.5dB以内に、最も望ましくは±0.3dB以内にとどまるとよい。図47に示す実験及び数値データにより、これらの条件が容易に実現しうることが示されている。本発明による位置決めの影響を受けない光接合を実装した導波管は、より標準的な導波管構造すなわち、導波管、光ファイバ、又は、当初は軸方向に実質的に変動がないコア及び/若しくはクラッド特性を有する同様の構造を機械的に修正することにより、提供されてもよい。標準的な導波管を非常に浅い角度でエッチング又は研磨することにより、軸方向にモード屈折率が変化する傾斜した結合領域が、形成されてもよい。このようにエッチング又は研磨された面を他の導波管に対向配置することにより、終端条件が合致するならば、導波管間の実質的に断熱な光電力伝送が可能となる。側面及び表面接合例を、図7A及び図7B側面接合及び図8A及び図8B表面接合に示す。基板711上のコア712を含む導波管710は、浅い角度でエッチングされている例えば、約0.5°、その結果、5μm幅の導波管について約600μmの接合領域となる。なお、他の角度及び接合領域長が用いられてもよい。基板721上のコア722のある第2の導波管720明瞭にするために図7Aでは省略は、同様にエッチング又は研磨されて、図示のように導波管710に対して配置され、望ましくは、導波管のエッチング/研磨面が当接するとよい。上述の実施形態におけるように、断熱光電力伝送の性質により、導波管710,720の広範な相対位置について、導波管間における信号電力の実質的に完全な伝送がもたらされる。従って、受動的及び/又は低精度の組立/位置決め技術が、上述のように、装置を構築するために、容易及び/又は経済的に実行されうる。クラッド層が任意の厚さでよく、クラッドが厚いと、一方の導波管の孤立モードの乱れは、他方の導波管の細い先端形状により減少するため、実質的に漸進的な進入条件が、容易に実現しうる。導波管間の実質的に完全な光電力の伝送を保障するのに役立つ一方法として、ここまでに提示された実施形態の場合のように、2つの実質的に同一の導波管無論、モード屈折率の傾斜が逆を用いるということがある。このことにより、接合領域内にΔβ=0の点があり、Δβは接合領域の両端部にて符号が逆になること実質的に位置決めの影響を受けない、実質的に完全な断熱光電力伝送のために必須の条件が保障されるので、設計工程が簡略化される。また、このような対称の配置により、入力終端条件が満たされれば、出力終端が同様に満たされることも、保障される。しかしながら、ここに開示及び/又は特許請求された発明の概念から離れることなく、位置決めの影響を受けない断熱光電力伝送を用いた光接合装置及び方法が、異なる導波管を用いて実装されてもよい。このような導波管は、一般的な型が同じであって、サイズ、材料、屈折率、軸方向の傾斜等が異なるものであってもよい。その代わりに、導波管は、適切な終端及び断熱条件が実質的に満たされている限り、実質的に異なる型であってもよい。特に、両導波管が、軸方向モード屈折率の傾斜を有する必要はないことに、留意されたい。一方又は双方の導波管に軸方向モード屈折率の傾斜がある断熱トランスバース伝送が、本発明の方法及び装置に実装されてもよい。図9A、図9B、及び図9Cでは、浅い角度で研磨されて軸方向に変化するモード屈折率を有する傾斜した領域ができた、コア922のある光ファイバ920が示されている。例えば、コア径が約8μmで研磨角度が約0.5°の単一モード光ファイバにより、約1mmの接合領域が形成されてもよい。なお、他の角度及び接合領域長が用いられてもよい。基板911上のコア912のある導波管910に対して表面接合された光ファイバ920が、図示されている。また、側面接合が用いられてもよいが、光ファイバ920のクラッド径による機械的な不都合があるであろう。モード屈折率の軸方向の変化がない導波管910が、図示されている。導波管910のモード屈折率は、ファイバ920のクラッド層の屈折率よりも大きく、ファイバ920全体完全なコア912と完全なクラッドのモード屈折率未満となっているべきである。その代わりに、導波管910には、図1乃至図8Bに示したものを含む任意の適切な様式で、軸方向に変化したモード屈折率が付与されてもよい。図10A、図10B、図11A、図11B、図12に、光ファイバのテーパー部、及び実質的に断熱的な光電力伝送に適合した様々な導波管を示す。図10A及び図10Bでは、テーパー部1020は、導波管1010に対して、断熱的に表面接合図10A又は側面接合図10Bされており、導波管1010は、軸方向にテーパーがついたコア1012を含んでいる。導波管1010のモード屈折率は、テーパー部1020のモード屈折率よりも大きいことが望ましく、導波管1010のクラッドの屈折率は、テーパー部1020のモード屈折率未満であることが望ましい。図11A及び図11Bでは、テーパー部1120は、導波管1110に対して、断熱的に表面接合図11A又は側面接合図11Bされており、導波管1110は、軸方向に屈折率差の傾斜があるコア1112を含んでいる。導波管1110のモード屈折率は、テーパー部1120のモード屈折率よりも大きいことが望ましく、導波管1110のクラッドの屈折率は、テーパー部1120のモード屈折率未満であることが望ましい。図12に、側面エッチング又は側面研磨された傾斜した導波管1210に対して断熱的に側面接合された光ファイバのテーパー部1220を示す。また、表面接合には、エッチングされた導波管及びテーパー部が用いられてもよいが、機械的な不都合があるであろう。導波管1210のモード屈折率は、テーパー部1220のモード屈折率よりも大きいことが望ましく、導波管1210のクラッドの屈折率は、テーパー部1220のモード屈折率未満であることが望ましい。なお、これらの実施形態にて断熱光電力伝送接合を形成したように図示された光ファイバのテーパー部1020/1120/1220の部分は、光ファイバのテーパーの実質的に直線状の中央部であることが望ましく、通例、テーパー部に沿った軸方向位置に対して実質的に一定の直径及びモード屈折率を有する。軸方向に変化する直径及び/又は屈折率を有する光ファイバのテーパーの部分を用いて、断熱光電力伝送素子を構築することが、望ましい。図10A乃至図12の実施形態のいずれにおいても、導波管1010/1110/1210は、基板1011/1111/1211上に配置されてもよく、そこにおいて、他の光学部材と一体化されてもよい。先に引用された出願A9に記述された型の位置決め構造が、光ファイバのテーパー部1020/1120/1220を導波管に対して位置決めするのに、用いられてもよい。断熱光電力伝送の性質により、光ファイバのテーパー部と導波管との間の光電力の伝送は、光ファイバのテーパー部の数マイクロメートルの範囲内の高精度の位置決めに関して実質的に影響を受けないことが、保証される。光ファイバのテーパーと導波管との間の実質的に断熱的な光電力伝送を用いた素子の構築は、それに応じて、導波管に対してモード干渉結合された光ファイバのテーパーが組み込まれた類似の素子よりも、困難でなくなり、高価でなくなり、及び/又は時間がかからなくなりうる。それでも、モード干渉結合素子が用いられてもよく、以下に説明するある種の環境下では、好適なものとなりうる。図13A、図13B、図14A、図14B、図15A、図15Bに、いわゆるフリップチップ構造及び平面導波管を用いた断熱光電力伝送用の光導波管のアセンブリを示す。図13A及び図13Bに、テーパーのついた導波コア1312a,1312bをそれぞれ有する平面導波管1310a,1310bを含んだ、基板1311上の平面導波回路の一部の平面図及び側面図をそれぞれ示す。明瞭にするためにトランスバース方向の双方にテーパーがついたテーパー付のコア1312a,1312bが、図示されている。なお、テーパーは、軸方向屈折率差の傾斜にて、あるいは、接合領域に沿ってモード屈折率を軸方向に変化させるための任意の他の適切な形態にて、1つのトランスバース方向にのみつけられてもよい。基板1311には、位置決めガイド1315及び電気接点1316が設けられている。平面導波回路は、光学部材を受けて、そこに対して導波管1310a/1310bを通じて光電力を送受するように、適合している。図14A及び図14Bに、基板1321上の光学素子1324の側面図及び底面図をそれぞれ示す。素子1324は、任意の所望の種類の能動又は受動素子であってもよい。また、外部伝送導波管1320a,1320bは、基板1321上に配置されおり、先に引用された出願A8そこでは、外部伝送導波管は、外部結合導波管と称され、その用語は、書面による本説明及び/又は特許請求の範囲の目的に関して、等価とみなされうるに開示された様式にて、素子1324に対して端部結合されている。外部伝送導波管1320a/1320bには、コア1322a/1322bがそれぞれ設けられ、その各々が、上述のような任意の適切な様式にて提供された軸方向に変化するモード屈折率を有する。光学素子1324には、接点1316と係合させるための電気接点1326が設けられてもよい。図15A及び図15Bに、導波基板1311と組み合わされた基板1321上の素子1324の平面図及び側面図を、それぞれ示す。位置決めガイド1315は、素子基板1321におけるリソグラフで規定された位置決めエッジを、外部伝送導波管1320a/1320bを平面導波管1310a/1310bそれぞれでの断熱光電力伝送のために配置するように、係合させる。リッジ、エッジ、タブ、スロット、ピン、フランジ、噛合歯、光学ターゲット等、位置決めガイドの他の多くの形態が、等価に用いられてもよい。但し、それらに限定されるものではない。従って、光学信号は、平面導波管から素子へと実質的に完全に伝送され、その素子による作用を受けた後、他の平面導波管へと実質的に完全に伝送される。その代わりに、素子1324から発せられた光信号電力は、外部伝送導波管1310a/1310bへと伝送されてもよい。断熱トランスバース伝送では許容誤差が緩和されているので、光学素子は、実質的に、短時間、低コスト、及び/若しくは難しくなく、並びに/又は、素子の歩留まりを向上させながら、平面導波システムへと容易に挿入可能である。特に、許容誤差が緩和されているので、図15A及び図15Bに例示されているように、複数の導波管がある光学素子を同時に位置決めすることが可能となる。このように同時に位置決めすることは、端部結合やモード干渉結合では実現が非常に困難であった。図13A及び図13Bに示すような複数の素子の位置が、単一の導波基板上に提供されてもよく、それにより、図14A及び図14Bに示す様式で提供されている複数の光学素子を容易に組み合わせられるようになる。先に引用された出願A8に開示された方法及び装置のいずれかは、外部伝送導波管先に引用された出願A8では、外部伝送導波管は、外部結合導波管と称されている。その用語は、本発明の書面での説明及び/又は特許請求の範囲の目的について、等価とみなされうるとしてここに開示されたように、実質的に断熱的な光電力伝送に適合した導波管を用いて実装されてもよい。断熱光電力伝送により提供された位置決め許容誤差の緩和により、さらに、出願A8による外部伝送導波管により提供される利益が強化される。図16A、図16B、図17A、図17B、図18A,及び図18Bに、平面導波ガイドシステムと光ファイバとの間の実質的に断熱的な光信号伝送に適したアセンブリを示す。図16A及び図16Bは、それぞれ、光ファイバへの実質的に断熱的な光信号伝送に適した平面導波基板1611の一部の平面図及び側面図である。導波管1610は、基板1611上に、テーパー付きコア1612とともに設けられていてもよい。テーパー付きコア1612によりもたらされる軸方向に変化したモード屈折率は、一方又は双方のトランスバース方向にテーパーがついたコア、屈折率分布差型コア、又は他の適切な形式等、他の適切な構造によりもたらされてもよい。基板1611には、位置決めガイド1615が設けられている。図17A及び図17Bは、それぞれ、傾斜したV字ブロック1621内に配置された、傾斜研磨された光ファイバ1620の側面図及び底面図である。ブロック1621の傾斜したV字溝1623は、光ファイバ1620を適切な傾斜角に研磨するのに用いられることが望ましく、導波管1610に対してファイバ1620及びコア1622の傾斜した端部を配置するのに用いられる。図18A及び図18Bは、それぞれ、ブロック1621と組み合わされた平面導波基板1611の平面図及び側面図である。位置決めガイド1615は、ブロック1621におけるリソグラフで規定された位置決めエッジを、ファイバ1620の研磨部分をテーパー付のコア1612を基準としてそこでの断熱光電力伝送のために配置するように、係合させる。リッジ、エッジ、タブ、スロット、ピン、フランジ、噛合歯、光学ターゲット等、位置決めガイドの他の多くの形態が、等価に用いられてもよい。但し、それらに限定されるものではない。断熱トランスバース伝送では許容誤差が緩和されているので、光ファイバは、実質的に、短時間、低コスト、及び/若しくは難しくなく、並びに/又は、素子の歩留まりを向上させながら、平面導波システムへと容易に挿入可能である。本発明による装置及び方法は、光学部材又はサブアセンブリと、他の2つ以上の光導波管、素子、及び/又はサブアセンブリとの組立/位置決めに、特に良好に適することにもなる。本発明の範囲内にある限り、様々な型の導波管が、実質的に断熱的な光電力伝送に適合した導波管として用いられてもよい。コア及び低屈折率のクラッドを含む低屈折率誘電体導波管は、実質的に光電力伝送に適した好適な導波管となりうるそして図に示されている。このような導波管は、シリカベース材料を使用して、精密材料加工技術を用いて、製造されてもよい。それによりもたらされる導波管は、シリカベースの光ファイバテーパー部又は傾斜研磨光ファイバへの断熱的な光電力伝送用に、容易に用いられうる。他の導波材料及び/又は構成が、等価に用いられてもよく、断熱光電力伝送の効用を変化及び/又は向上させるのに用いられる導波管の特性が多様となる。ケイ酸ゲルマニウムは、導波管又はファイバコア材料として一般に用いられ、本願におけるコア材料としても適している。また、窒化ケイ素SixNy及び/又はシリコンオキシニトリドSiOxNyも、断熱トランスバース伝送に適した導波管のコアを形成するための好適な材料となりうる。導波管は、導波管の光学モードの閉じ込めが以下により影響されるところに、用いられる。すなわち、低屈折率のクラッド層に囲まれた1つ又はそれ以上の導波管コア、分散ブラッグ反射器、他の多層反射器、光バンドギャップ/光結晶ベース技術、金属反射コーティング、誘電体反射コーティング、及び/又は内部反射、空気/導波管境界に影響されるところにである。コアのある導波管には、単一コアやマルチコアがあり、後者は、対応している孤立又はシステムモードの分布を変更するために用いられうるいわゆるフィールド平坦化であり、それにより、組み合わされた光学素子の位置決め感度をさらに低下させる。導波管材料としては以下のものの1つ又はそれ以上がある。すなわち、シリカ、ケイ酸ゲルマニウム、及び/若しくは他のドープシリカ、又はシリカベース材料や、窒化ケイ素、及び/又はシリコンオキシニトリドや、半導体材料や、有機材料や、無機材料や、結晶性材料や、ガラス状材料又はアモルファス材料や、高分子材料や、電子光学材料や、他の低屈折率又は高屈折率誘電体材料等がある。但し、それに限定されるものではない。低屈折率誘電体材料例えば、シリカ、ケイ酸ゲルマニウム、窒化ケイ素、及び/又はシリコンオキシニトリドベース及びシリカベース光ファイバ傾斜研磨及び/又はテーパー付は、本発明による断熱光電力トランスバース伝送のために、特に、適切な導波管とされている。このような導波管は、断熱光電力伝送性能について、波長又は偏向にほとんど依存しないか、あるいは全く依存しないこととなり、このことは、本発明による実質的に断熱的な光電力伝送に適合した導波管を用いた様々な光学素子について、望ましいことにもなる。また、先に引用したA1及びA10に開示された多層導波管は、実質的に断熱的な光電力伝送に適合した導波管として使用するのに、場合によっては望ましい候補である。このような導波管は、断熱光電力トランスバース伝送性能について、波長及び/又は偏光に実質上依存することになり、このことは、様々な光学素子にとって望ましいものともなる。実質的に断熱的な光電力トランスバース伝送に適合した導波管に、電子活性及び/又は非線形光学材料を組み込むことにより、導波管の性能を動的に制御することが可能となる。図示した例示的な実施形態では、断熱光電力伝送に適合した導波管又はそのコアは、終端して示されており、図示の実施形態については、いずれも、導波管間における光信号電力の実質的に完全な伝送が望まれる状況に使用することが意図されている。導波管又はコアは、このような実施形態にて必ずしも終端する必要はなく、導波管及び/又はコアが終端しない実施形態も、ここに開示及び/又は特許請求される本発明の範囲内に入る。また、ここに開示及び/又は特許請求される本発明の範囲内に入る限り、断熱光電力伝送に適合した導波管が、導波管間の光信号電力の完全とはいえない伝送に用いられてもよい。断熱光電力伝送に適した導波管の製造には、精密材料加工技術が役立てられてもよい。このことは、このような導波管が、同様の技術を用いて製造された他の光学部材及び/又は素子上に組み込まれて設けられる場合に、特に有利である。これらには、リソグラフィ、蒸着、ドーピング、マスキング、エッチン等の精密及び/又は空間選択的材料加工技術が、含まれてもよい。このような技術は、光学素子、部材、及び/又は導波管が集積された多数のグループを同時に製造するために、ウエハ規模で実施されてもよい。特に、先に引用された出願A8に開示されたように、外部伝送導波管として光学素子に用いられる断熱光電力伝送に適合した導波管は、これらの技術を用いてウエハ規模で製造されることが、望ましい。外部伝送光導波管を基板上に製造された光学素子と伝送光導波管との間のリンクとして用いることは、強力な技術であり、先に引用された出願A8及びA11にて採用されている。ウエハ規模の製造が、伝送導波管との光接合を提供するための光学的に統合された外部伝送光導波管を有する多くの光学素子を同時に製造するのに、用いられてもよい。精密材料加工技術により、各光学素子及びそれぞれの光電力伝送用の外部伝送光導波管を、適切に位置づけて位置決めすることすなわち、端部伝送又はトランスバース伝送のための光集積が、容易に可能となる。外部伝送光導波管と光学プローブとして構成された伝送光導波管との間の光電力トランスバース伝送例えば、先に引用された出願A3のようににより、ウエハを個々の素子に分割するという、困難で、時間がかかり、費用がかかる工程の前に、基板上の光学素子を検査及び格付することが可能となる。光電力トランスバース伝送について特に、実質的に断熱的なトランスバース伝送について位置決め許容誤差が緩和されることにより、外部伝送光導波管と伝送光導波管とを適切に配置して位置決めすることが、容易に可能となる。断熱トランスバース伝送は、光電力の実質的に完全な伝送が求められている場合、及び/又は、実質的に、偏光及び/又は波長独立の伝送がもとめられているときに、特に適切であり、一般に、ここに説明する光電力伝送技術の最小の位置決め許容誤差を提供する。なお、光接合領域は、かなり長くともよく、長さが1ミリを超えてもよいが、全体の素子サイズを増大させてしまう。モード干渉結合トランスバース伝送は、偏光及び/又は波長依存の伝送が求められているとき、光電力伝送の動的制御が求められているとき、光電力伝送の度合いを変化させることが求められているとき、及び/又は、短い光接合領域100μm未満及び小サイズが求められていときに、特に適切となりうる。図19A、図19B、図19C、及び図19Dに、本発明による光学素子1910と光電力の伝送に適合した外部伝送光導波管1930がある伝送光導波管1920との一般的な例を、模式的に示す。通例、光学素子1910は、幅がわずかに数マイクロメートルの空間的光学モード1911を規定しうる。このような素子対応モードは、水平寸法と垂直寸法とで異なってもよく、高さが1マイクロメートル未満となることもある。一般に、従来の光学素子の端面は、一般に、材料の劈開端面を含んでいる。なお、その材料から素子が製造され、その材料を通じて光信号電力が伝送されることになる。本発明により実装された光学素子については、端面1914は、壁解されるのではなく、エッチングされてもよる。素子基板1902上に外部伝送光導波管1930を製造するために、さらなる材料加工工程リソグラフィ、蒸着、マスキング、エッチング等が用いられてもよい。精密材料加工技術により、素子1910により規定される空間モード1911に対する素子基板1902上の外部伝送光学導波管1930の製造及び位置決めにおいて、サブミクロンの許容誤差が容易に可能となる。外部伝送工学導波管1930は、素子1910により規定された光学モード1911に対して実質的に空間モード適合した光学モード1931孤立時に、実質的に導波管1930の特性に対応するように、製造されることが望ましい。この空間モード適合の結果として、光電力は、光学素子1910と外部伝送光導波管1930との間で、効率的に伝送されてもよい。その代わりに、光電力は、光学素子と外部伝送光導波管との間で、端部伝送及びトランスバース伝送断熱又はモード干渉結合等の任意の適切な方法により、伝送されてもよい。光学素子と外部伝送光導波管との間の光電力伝送のために、どのような手法が用いられても、光学素子及び外部伝送光導波管の共通の基板上における製造/組込により、高精度の位置決め及び効率的、再現可能、並びに信頼性のある光電力伝送が可能となる。外部伝送光導波管1930には、トランスバース伝送光接合部1934が設けられて、光学素子1910と伝送光導波管1920との間の光信号電力の伝送が可能となる。好適な伝送光導波管としては、トランスバース伝送用のテーパー部を有する光ファイバ、基板上に製造されてトランスバース伝送光接合部を有する平面導波管若しくは平面導波回路、側面エッチングされたトランスバース光接合部を有する光ファイバ若しくは光導波管、又は、適切に適合したトランスバース伝送光接合部を有する適切な伝送光導波管等が含まれうる。伝送光導波管は、光学モード1921孤立時の導波管1920の特徴に対応していてもよい。外部伝送光導波管1930のそれぞれの光接続部1934/1924、及び伝送光導波管1920は、モード干渉結合光電力トランスバース伝送図19A及び図19Bに模式的に図示に適合していてもよく、実質的に断熱的な光電力トランスバース伝送図19C及び図19Dに模式的に図示、図19Dにおける基板1922上に伝送導波管1920を図示に適合していてもよい。接合領域1924/1934におけるその部分/近傍の光学モードは、孤立導波モード1921/1931の重ね合わせに似ていてもよく、孤立導波モード又はその重ねあわせには特に似ていないシステムモードであってもよい。伝送導波管1920の光接合部1924は、外部伝送光導波管1930の光学モードと伝送光導波管1920の光学モード1921との間の光電力のトランスバース伝送を実現するように、外部伝送光導波管1930の光接合部1934を基準として配置されてもよい。光接合部1924及び/又は1934の構造、寸法、及び/又は位置は、光電力の効率的な伝送のために結合係数κ及び相互作用長Lの適切な組み合わせを提供することにより、実質的にモード屈折率が適合したトランスバース伝送を実現するように、選択されてもよい。その代わりに、光接合部1924及び/又は1934の構造、寸法、材料、及び/又は位置は、適切な結合係数κzの軸方向変化及びモード屈折率不整合Δβzを提供することにより、実施的に断熱トランスバース伝送を実現するように、選択されてもよい。位置決め構造は、外部伝送光導波管の光接合部を基準として伝送光導波管の光接合部を受動的に位置決め可能とするように、光学素子上に提供されてもよい。図20Aの実施形態及び以降の多くの図に、光学素子と伝送光導波管との間の外部伝送光導波管を通じた光電力トランスバース伝送に適した構成を、一般的に示す。これらの図に示した実施形態は、いずれも、外部伝送光導波管と伝送光導波管との間のモード干渉結合又は実質的に断熱的なトランスバース伝送に適合していてもよく、特に明記されない限り、両構成を含むものとみなされるべきである。外部伝送光導波管によって伝送光導波管に対して接続された光学素子の例を、図20A乃至図20Hに示す。アクティブ層2016及びクラッド層2018により規定された素子光学モードを有する標準的なエッジ放射半導体レーザ2010が、示されている。レーザは、面2013,2014にて終端しており、望ましくは、素子のエッチングにより形成されている。外部伝送光導波管2030は、半導体レーザ2010と同じ基板2020上に製造されている。外部伝送導波管2030は、半導体レーザ出力の空間モードと実質的に空間モード整合した光学モードに対応するように、公正及び配置されてもよい。個々の部材を能動的に位置決めすることにより実現可能なものよりも、はるかに精密なレーザ出力に対して、外部伝送光導波管2030を位置決めするために、高度な精密材料加工技術リソグラフィ、蒸着、マスキング、エッチング等が、用いられてもよい。自動調整工程を含みうるこのようなシステムは、半導体レーザ2010を製造するのに用いられる技術と同一又は同様であることが多く、ウエハ規模の工程の際に、光学的に統合された精密位置決めされた多数のレーザ/導波管素子を同時に製造するためのスケールになっていてもよい。レーザ2010及び外部演奏光導波管2030は、単一のマルチステップ製造工程間に、あるいは、別個のレーザ及び導波管製造工程間に、製造されてもよい。レーザ2010,2030は、同様の材料例えばいずれも半導体ベースで、あるいは、異なる材料例えば半導体ベースのレーザとシリカベースの導波管で、製造されてもよい。レーザ2010と導波管2030との境界は、はっきりしていても段階的であってもよい。なお、光学素子と外部伝送光導波管との区別は、機能的及び/又は構造的なものであってもよい。これらのいずれの場合にも、レーザ2010により発せられた光電力は、半導体レーザ2010の面2014を通じて外部伝送光導波管2030へと、効率的に端部伝送される。面2014を形成するのに、エッチングが用いられてもよい。その代わりとして、光電力の端部伝送に適合した面2014を形成するのに、他の任意の適切な空間選択材料加工技術が用いられてもよい。レーザの切子面2013上に、及び/又は、レーザの端面と外部伝送導波管の切子面2014との間に、1つ又はそれ以上の光学被覆層を設けることが望ましい。このようなレーザの端面上の光学被覆は、端面とレーザの動作特性との反射率を変更及び/又は制御する役割を果たす。レーザの端面2014上の任意の光学被覆は、外部伝送導波管2030の製造前に施されてもよく、あるいは、製造後、端面2014と導波管2030との間に形成されてもよい。なお、レーザ2010へのフィードバックを低減させるとともに、レーザ2010と外部伝送導波管2030との間の効率的な端部伝送を可能とするために、切子面2014を傾斜した端面として提供すること、及び、外部伝送導波管2030に、傾斜端面を相補的に傾斜させて設けることが望ましい。その代わりに、光学素子及び対応する外部伝送光導波管は、そこでの光電力のトランスバース伝送のために、配置されて位置決めされてもよい。上述の精密製造技術は、光学素子と外部伝送光導波管との間の効率的な光電力トランスバース伝送を実現するために、用いられてもよい。光電力は、一旦、外部伝送光導波管2030へと伝送されると、トランスバース伝送図20A乃至図20Dに、モード干渉結合トランスバース伝送に適合したものとして図示、図20E乃至図20Hに、断熱トランスバース伝送に適したものとして図示により、伝送及び外部伝送光導波管2020/2030のそれぞれの光接合部2024/2034にて、伝送光導波管2020これらの例における光ファイバのテーパー部へと伝送されてもよい。これらの例示的な素子では、外部伝送光導波管2030は、低屈折率のクラッド層2038に囲まれたコア2036を含む低屈折率光導波管シリカ、ケイ酸ゲルマニウム、窒化シリコン、シリコンオキシニトリド、他のガラス、ポリマー等を含むを、備えていることが望ましい。このような低屈折率導波管は、モード屈折率が適合したトランスバース伝送図20A乃至図20Dについて、シリカベースの光ファイバの光ファイバテーパー部2020に対して通例、光接合部のトランスバース形状/寸法を適切に設計することにより、受動的にモード屈折率適合していてもよい。レーザ2010に対する空間モード整合に必要な外部伝送光導波管2030のトランスバース形状/寸法と、光ファイバのテーパー部2020に対するモード屈折率整合とが、実質的に異なる場合、外部伝送導波管2030は、異なる形状/寸法間での実質的に断熱的な伝送が可能となるように、実質的に長く作製される。その代わりに、外部伝送光導波管は、電子活性及び/又は非線形光学材料並びに電子及び/又は光学制御信号を用いることにより、能動モード屈折率整合に適合していてもよい。光ファイバのテーパー部2020は、外部伝送光導波管2030を基準として位置決めされて、結合係数κにより特徴づけられるまた、外部伝送光導波管2030の光接合部2034のトランスバース形状/寸法による部分にも規定されたモード干渉結合トランスバース伝送が実現されてもよい。外部伝送光導波管2030及び光ファイバのテーパー部2020の光接合部2034,2024は、それぞれ、結合係数κ及び相互作用長Lが、κL≒π/2となるように構成されることが望ましい。それにより、外部伝送光導波管から光ファイバへと光電力が実質的に完全に伝送されるという結果になる。図20E乃至図20Hの例示的な実施形態では、実質的に断熱的なトランスバース伝送が、上述の方法のいずれかにおける光接合領域2024/2034間に用いられてもよい。他の例示的な実施形態では、光ファイバのテーパー部2020の代わりに、他の型の伝送光導波管が用いられてもよい。例えば、光電力トランスバース伝送は、外部伝送光導波管2030と平面導波管との間に、確立されてもよい。光電力伝送の所望の度合い通例、実質的に完全な伝送が望まれるを実現するように配置されるべき、モード干渉結合又は実質的に断熱的なトランスバース伝送を用いた、伝送光導波管2020及び外部伝送光導波管2030の光接合部2024/2034の精度について、以下、詳細に説明する。正確なトランスバース位置決めは、基板内及び/又は基板上に、伝送光導波管この例では光ファイバのテーパー部の光接合部を、外部伝送光導波管の光接合部を基準として適切に位置決めされた位置に案内して、それにより位置決めを維持するための、溝、フランジ、ポスト、タブ、スロット、ヨーク、ハンダ/金属面張力等の位置決め構造を設けることにより、容易になるかあるいは可能となりうる。光ファイバの部分光信号を搬送する光ファイバとは別は、光ファイバのテーパー又は他の伝送導波管を位置決めして支持するための構造部材として用いられてもよく、リング、溝、フランジ、及び/又はナイフエッジを作製してもよい。図20C/20D及び図20G/20Hに、光ファイバのテーパー部2020を外部伝送導波管2030を基準として位置決めするための、例示的な位置決め構造2060を示す。他の同様な位置決め構造が、先に引用した出願A9に開示されている。モード干渉結合トランスバース伝送については、外部伝送光導波管2030の光接合部2034は、外部伝送光導波管2030から伝送光導波管2020への実質的に完全な光電力伝送又は他の所望の光電力伝送レベルのために、適切な相互作用長Lがもたらされるように、構成されてもよい。相互作用長は、レーザ2010と光接合部2034との間の外部伝送光導波管2030に曲げを与えることにより決定され、曲げを越えた外部伝送光導波管の部分が適切な相互作用長となる図20A乃至図20H。その代わりに、外部伝送光導波管2130の光接合部2134には、長さLの高い部分、及び、光ファイバのテーパー部2120の光接合部2124図21への/からの、所望の値κのモード屈折率整合したトランスバース伝送が、設けられてもよい。いずれの場合にも、光ファイバのテーパー部の外部伝送光導波管に対する高精度の軸方向位置決めは、必要とされていない。光ファイバすなわち、本実施形態における伝送導波管及びその光ファイバのテーパー部の、外部伝送光導波管との従って半導体レーザとの充分に正確な位置決めは、受動位置決め技術により実現しうる。レーザ出力能を有する光ファイバは、ファイバ光学ベースの光学システムに対して、任意の適切な技術により、連結され、接合され、あるいは、結合されてもよい。モード干渉結合トランスバース伝送の代わりに、断熱トランスバース伝送が用いられている場合、光接合部についての位置決め精度及び長さ許容誤差は、さらに緩和される。上述のように光学集積外部伝送光導波管を含んだ光学素子先の例では半導体レーザにより、かなりの経済性が実現可能となる。伝送光導波管及び光学素子に対する受動位置決め技術を用いるとともに、高効率の光電力伝送を実現することは、従来技術と比較してかなり重要である。追加的な利益として、単一のウエハ上に製造された多数の素子/導波管を同時に事前検査及び事前評価する能力がある。劈開端部結合素子では、ウエハは、素子の検査に先立って劈開されていなければならない。従って、後に廃棄されうる素子があると、実質的な処理時間、労力、コストが増大してしまう。しかしながら、本発明によると、各素子には、ウエハのいかなる劈開にも先立って外部伝送光導波管が設けられ、該外部伝送光導波管により、ウエハのいかなる分割にも先立って、検査及び特徴づけのための光結合が可能となる。また、素子自体が、電子的検査及び接触を用いて、隣接する素子を診断するのに用いられてもよい。例えば、レーザーダイオードのウエハ上で、ダイオードは、隣接する素子からのレーザ出力電力を監視するために、光検出器として機能するように逆バイアスがかけられてもよい。その代わりに、診断素子が、結果として光学素子をもたらす製造工程へと特別に設計されてもよい。先の段落で記述された光集積外部伝送導波管を含む半導体レーザの説明では、本発明の1つの例示的な実装例のみが提供されている。実際には、本発明は、基板上に製造されうる他のあらゆる光学素子に、一般化される。このような素子として、外部伝送光導波管が、外部伝送光導波管と光学素子との間の端部伝送及び/又はトランスバース伝送による光電力伝送に適合した集積素子部材として素子基板上に、製造されてもよい。外部伝送光導波管の光接合部は、素子と伝送光導波管との間の光電力の効率的な伝送を提供するのに用いられてもよい。本発明は、上述の例における半導体レーザ等の単一終端又は単一ポート素子のために実装されてもよく、変調器、フィルタ、スイッチ、多重化器、スプリッタ/結合器等の素子のために実装されてもよい。一旦、素子に適切な数の入力/出力部が製造されると、それらは、光電力伝送端部又はトランスバース伝送及び各々に設けられた外部伝送光導波管に、適切に適合してもよい。そして、これら各外部伝送光導波管は、光学素子と光学システムへの結合用のそれぞれの伝送導波管との間の光電力トランスバース伝送を提供する。各外部伝送光導波管とそれぞれの伝送光導波管との間の光電力トランスバース伝送は、断熱的又はモード干渉結合能動又は受動モード屈折率整合であってもよく、光学素子に対応した全ての外部伝送導波管について同じである必要はない。図22A及び図22Bに、具体的な2ポートの例を示す。これらの図には、入力及び出力面2214,2215にそれぞれ端部結合した入力及び出力外部伝送光伝送間2230,2231を有する半導体電子吸収変調器2210が、示されている。変調器2210及び外部伝送光導波管2230/2231は、共通の基板2202上に製造されることが望ましい。外部伝送光導波管2230/2231は、実質的に、空間モード整合され、変調器2210により規定された光学モードに対して整合してもよい。入力及び出力外部伝送光導波管2230/2231により、変調器2210と入力及び出力伝送光導波管2220/2221との間の光電力トランスバース伝送が、それぞれ可能となる本例における光ファイバのテーパー部、図13A乃至図15Bに示すように、平面導波管等の他の伝送光導波管が、等価に用いられてもよい。変調されるべき光信号は、入力伝送光導波管2220を通じて光システムから受信され、入力外部伝送光導波管2230へのトランスバース伝送により伝送され、変調器2210への端部伝送により伝送され、変調器を伝播するにつれて変調され、出力外部伝送光導波管2231への端部伝送により伝送され、出力伝送導波管2221へのトランスバース伝送により伝送され、光システムへと伝送されてもよい。その代わりに、光電力トランスバース伝送は、変調器2210と外部伝送光導波管2230/2231との間に用いられてもよい。光電力の各伝送が高効率であることにより、変調器の挿入損失は低くなる。上述の製造及び製作の経済性及びウエハ規模の事前検査及び事前格付機能は、本発明により製造されるあらゆる素子について、実現することになる。様々な型の導波管が、本発明の範囲内にある限り、外部伝送光導波管断熱又はモード干渉結合トランスバース伝送に適合として、用いられてもよい。コア及び低屈折率クラッド層を含む低屈折率誘電体導波管は、好適な外部伝送導波管となりうる。このような導波管は、シリカ、ケイ酸ゲルマニウム、他のドープシリカ、窒化ケイ素、シリコンオキシニトリド、他のガラス、ポリマー等を用い、精密材料加工技術を用いて製造されてもよい。結果としての導波管は、同様の材料又はシリカベースの光ファイバのテーパー部を用いた平面導波管に対して、容易にモード屈折率整合する。他の導波管材料及び/又は構成が等価に用いられて、光学素子の機能を変更及び/又は向上させようとしている導波管特性を変化させる。本発明の好適な実施形態に適切な外部伝送光導波管は、1その端部にて、外部伝送光導波管と光学素子との間の光電力端部伝送に適合、2外部伝送光導波管と光学素子断熱、能動モード屈折率適合、又は受動モード屈折率適合との間の光電力トランスバース伝送に適合、3その光接合部にて、モード干渉結合トランスバース伝送能動又は受動モード屈折率整合用の伝送光導波管に適したκ、L、及び/若しくはΔβの値が得られるように適合、並びに/又は、4その光接合部にて、伝送光導波管に、実質的に断熱的なトランスバース伝送のために適合してもよい。低屈折率クラッド層に囲まれた1つ又はそれ以上の導波管のコア、分散ブラッグ反射器、他の多層反射器、誘電体反射被覆、及び/又は空気/導波管の境界での内部反射により、光学モードの閉じ込めがもたらされる導波管が、用いられてもよい。コアのある導波管としては、単一コア又はマルチコアがあってもよく、後者は、対応した孤立又はシステムモードの電磁界の分布を変更するために、用いられてもよいいわゆるフィールド平坦化、それにより、組み立てられた光学素子の位置決め精度をさらに低減させる。導波管の材料としては、シリカ、ケイ酸ゲルマニウム、及び/若しくはシリカベースの材料、窒化シリコン、シリコンオキシニトリド、有機材料、無機材料、結晶性材料、ガラス若しくはアモルファス材料、ポリマー材料、半導体材料、電子光学材料等の1つ又はそれ以上であってもよい。但し、それに限定されるものではない。低屈折率誘電体導波管例えばシリカベースは、同様の屈折率の伝送導波管に対して、受動的にモード屈折率整合してもよい。このような導波管は、波長又は偏光についてトランスバース結合効率依存性がほとんどなくとも、全くなくともよく、このことは、本発明による外部伝送光導波管を用いた様々な光学素子について望ましい。なお、外部伝送光導波管の先端光学素子に結合していない側の端部を様々に変更することが、特に、モード干渉結合トランスバース伝送を用いる場合望ましい。外部伝送光導波管の先端から反射してきた光電力により発生する、光学素子への光学的フィードバックを、実質的に除去することが望ましい。光学損失部材光学吸収体、及び/若しくは光学散乱体を設けることにより、並びに/又は、外部伝送光導波管の端面を意図的にずらして、反射してきた光電力が導波管へ戻って伝播しないようにすることにより、先端は、このようなフィードバックを実質的に除去するように、変更されてもよい。このように傾斜した端面により、光学素子を検査及び/又は監視する追加的な用途が提供されてもよい。実質的に平面状又は、合焦特性が必要であれば、適切に湾曲の傾斜端面は、外部伝送光導波管から下方へ基板へと、実質的に基板と平行に、あるいは、基板から上方へトランスバースに光電力を反射させる役割を果たしてもよい。外部伝送光導波管からこのように誘導された光電力は、光学素子の検査/特徴づけ/監視のために、検出及び/又は分析される。ウエハから上方又は下方へと光電力を誘導するために傾斜した導波管の端面について、製造工程中、素子の検査及び格付のために、外部検出器が用いられてもよい。その代わりに、検出器は、ウエハ内/ウエハ上に、光学素子及び外部伝送光導波管とともに組み込まれてもよく、製造中に検査可能とするだけでなく、完成した光学素子の一部として残されて、素子の現場でのモニタとして機能してもよい。所与の波長近傍のモード屈折率整合には、より広い許容誤差が与えられることが、望ましい。図23に示す代替的な実施形態では、外部伝送光導波管2330には、複数の別個の光接合部2334a~2334dが作製されてもよい。各光接合部は、伝送光導波管2320を異なる波長でモード屈折率整合するように設計されている。モード屈折率整合した波長は、接合部2334aから接合部2334dへと単調変化することが望ましく、光接合部2334a~2334dについてのそれぞれのモード屈折率整合した波長は、実質的に連続した波長範囲を提供するように、いくらか重複していた方がよい。光学素子の組立中、伝送導波管2320は、実質的にモード屈折率整合した光結合部を検出するまで、各光接合部2334a~2334dに対して順に結合されてもよい。4つの光接合部2334が図示されているが、別個の光学接合部2334の適切な数が提供されてもよい。ある状況下では、光学素子へ/光学素子からの、波長又は偏光依存の光電力伝送を、提供することが望ましい。例えば、図24の素子は、複数の半導体レーザ源2410a~2410dを示している。各半導体レーザ光源2410a~2410dは、単一の伝送導波管2420に対して、対応して光学的に統合された外部伝送光導波管2430a~2430dを通じて接続され、波長多重化器を形成している。レーザ2410a~2410d及び外部伝送光導波管2430a~2430dは、共通の基板2402上に製造されることが、望ましい。しかしながら、伝送導波管2420と各外部伝送光導波管2430a~2430dとの間のトランスバース伝送が波長依存でない限り、伝送導波管2420へと第1のレーザ2410aから伝送される光電力は、少なくとも部分的に、伝送導波管2420から後続の外部伝送光導波管2430b~2430dへと伝送されて、失われる。伝送導波管2420と外部伝送導波管2430a~2430dの光接合部2434a~2434dとの間に、波長別のトランスバース伝送を提供することにより、伝送導波管へと1つのレーザから伝送される光電力は、実質的に乱されていない後続の外部伝送光導波管を通過する。波長依存トランスバース光結合は、モード干渉結合トランスバース伝送に適合した、伝送導波管と外部伝送光導波管との間のモード屈折率適合を操作することにより、最も容易に実現しうる。外部伝送光導波管の分散特性及びトランスバースサイズ並びに/又は光接合部の形状が、所望の波長域のみに亘るトランスバース伝送をもたらすために、利用されてもよい。材料の分散だけでは、トランスバース伝送に適した狭さの波長域をもたらすのには、充分でないことがある。多層反射導波管出願A1及びA2にてDBR導波管と称され、出願A10にてMLR導波管と称されるは、通例、対応した光学モードのモード屈折率にて、かなり大きな波長分散を示し、本発明の光学素子のための波長依存外部伝送光導波管を実装することが望ましい。このような導波管は、先に引用された出願A1、A2、及びA10に、詳述されており、通例、異なる屈折率を有する材料の上部及び下部λ/4スタックこれらスタックは、多層ミラー又は多層反射面とも称される間のコア層を含んでいる。上部及び下部スタックは、所望の波長特性に応じて、材料、及び/又は層数の点で同じであっても異なっていてもよいある種の実装例では、上部スタック及びコアまでもが全て抜けていてもよい。MLR導波管へのトランスバース伝送は、導波管側面からMLRスタック格子波動ベクトルに対して実質的に垂直、実現してもよく、導波管表面からMLRスタック格子波動ベクトルに実質的に沿って、実現してもよい。スタックは、導波管の光学モードを閉じ込めるのに役立ち、MLR導波管の分散特性を発生させる。本発明にて使用するのに適したMLR導波管は、誘電体及び/又は半導体層を用いて製造されてもよく、所望の分散特性を示すように設計されてもよい。このようなMLR導波管を充分に正確に設計して製造することにより、伝送光導波管と外部伝送光導波管との間の、所望の波長域に亘る、受動モード屈折率適合モード干渉結合トランスバース伝送が、可能となりうる。その代わりに、MLR導波管の電気光学特性使用されている材料に固有の、あるいは、1つ又はそれ以上の電気光学材料層に特に組み込まれたものが、能動モード屈折率適合モード干渉結合トランスバース伝送を可能とするために、用いられてもよい。図25に示すように、制御電力又は接点2536,2538は、外部伝送光導波管2530の光接合部2534上に設けられてもよく、制御電圧が、光ファイバのテーパー2520の光接合部2524との所望の波長域に亘るモード屈折率適合を実現するために印加されてもよい。素子2510及び外部伝送光導波管2530は、共通の基板2502上に製造されて、実質的に空間モード適合した端部結合を実現することが望ましい。このように能動モード屈折率整合した実装により、所望のトランスバース伝送波長を選択することが可能となる。なお、MLR導波管が充分に厳密に設計及び製造できなかったり、素子2510の設計波長に製造上の許容誤差があったりした場合にも、可能となる。また、このような能動モード屈折率整合により、動的に再構成可能な波長依存特性を有する光学素子を構築することが、可能となる。その代わりに、多層分散設計の光導波管が、断熱光電力トランスバース伝送に適合した外部伝送光導波管として、用いられてもよい。多層反射導波管の光学特性は、断熱トランスバース伝送を実現するために、その全長に沿って様々な様式で変化してもよい。1層又は多層における屈折率、厚さ、及び幅の様々なものが、本発明の断熱トランスバース伝送に適合した外部伝送光導波管を提供するために、用いられてもよい。この多層反射面の実装例により、光電力トランスバース伝送に対する能動制御が可能になるとともに、断熱トランスバース伝送に典型的な位置決め許容誤差の緩和が、享受される。MLR導波管は、通例、対応する光学モードについて偏光依存モード屈折率を示す。この特性は、伝送光学導波管と外部伝送光導波管との間の偏光選択モード干渉結合トランスバース伝送を可能とするために、最も容易に用いられる。このような偏光選択トランスバース伝送は、他の例もある中で、特に、励起レーザ電力をドープファイバ利得媒体へと伝達するための偏光依存ビーム結合を含んだ、様々な状況下において、望ましいものとなりうる。光電力トランスバース伝送のための様々な偏光依存装置及び方法が、偏光独立トランスバース伝送が効果的に用いられた様々な状況とともに、先に引用された出願A4に開示されている。なお、本発明による外部伝送光導波管として利用されるだけでなく、MLR導波管は、変調器、フィルタ、N×Nスイッチ、多重化器/多重分離器等の光学素子の全部又は一部としても利用されうる。このように実装された光学素子には、本発明による1つ又はそれ以上の外部伝送光導波管が設けられてもよく、これらの外部伝送光導波管には、MLR導波管等、ここに開示された外部伝送光導波管の種類のうちの任意のものが、含まれてもよい。外部伝送光導波管は、伝送光導波管からの/伝送光導波管へのモード干渉結合トランスバース伝送に、能動又は受動モード屈折率整合してもよく、伝送導波管に対する波長及び/又は偏光依存トランスバース結合を、示していてもいなくともよい。その代わりに、外部伝送光導波管は、本発明による断熱トランスバース伝送のために実装されてもよい。なお、外部伝送光学導波管とともに素子部分の双方のためにMLR導波管を用いた本発明による光学素子については、その各々が、実質的に同じ型のMLR構造を備えてもよく、その各々が、MLR構造における別個の型を備えてもよい。光学的に統合された本発明による外部伝送光導波管を伴うMLRベースの光学素子の例について、図26A/26B及び図27A/27Bに示す。各図では、MLR導波管に基づくとともに本発明による外部伝送光導波管を組み込んだ単一ポート素子が、示されている。図26A及び図26Bでは、MLR素子2610は、外部伝送光導波管2630両者とも基板2602上に製造されているに、端部結合している。そしてまた、外部伝送光導波管2630は、伝送光導波管2620これらの例では、光ファイバのテーパー部への/からの、トランスバース伝送に適合している。図26Aの例では、光ファイバのテーパー部に対して表面接合され、接点2632/2634により提供された能動モード屈折率整合を伴うモード干渉結合トランスバース伝送に適合した、外部伝送光導波管2630が図示されている。図26Bの例では、光ファイバのテーパー部に対して側面接合され、受動モード屈折率整合を伴うモード干渉結合トランスバース伝送に適合した、外部伝送光導波管2630が図示されている。接点2612/2614は、素子2610への電子的アクセスを提供する例:レーザの駆動電流を提供、バイアス電圧を提供、及び/又は変調器の駆動信号を提供。外部伝送光導波管2630は、MLR素子2610と伝送光導波管2620との間で、必要に応じていずれかの方向又は双方向へと、光信号電力を伝送するのに役立つ。図27A及び図27Bでは、MLR素子2710は、外部伝送光導波管2730に端部結合しているいずれも基板2702上に製造されている。そしてまた、外部伝送光導波管2730は、伝送光導波管2720これらの例では平面導波管明瞭にするために導波基板は図から省略への/からの、トランスバース伝送に適合している。図27Aの例では、平面導波管に対して表面接合され、断熱トランスバース伝送に適合した、外部伝送光導波管2730が図示されている。図27Bの例では、平面導波管に対して側面接合され、接点2732/2734により提供された断熱条件の能動制御を伴う断熱トランスバース伝送に適合した、外部伝送光導波管2730が図示されている。接点2712/2714は、素子2710への電子アクセスを提供している。ここに開示された本発明の概念の範囲内である限り、多くの他の素子の組み合わせ及び/又は構成が実装されてもよく、図28A/B及び後続の図に実施例が示されている。図示された素子構成は、例示的なものであり、本発明により実装されうる素子の組を網羅的に表すものではない。これらの素子は、任意の好適な素子の型又は構成MLRベースの素子を含んでもよく、任意の好適な外部伝送光導波管の型を用いてもよい。外部伝送導波管を伴うこれらの素子は、光ファイバのテーパー部及び平面導波管等但しそれに限定されるものではない、任意の好適な伝送光導波管の型との光接合を形成するように適合していてもよい。外部伝送光導波管と伝送光導波管との間の光電力伝送は、個々の状況に必要とされるモード干渉結合及び/又は断熱トラスバース伝送を、用いてもよい。1つ又はそれ以上の光学的に統合された外部伝送光導波管を伴う光学素子は、特に、平面伝送光導波管とともに使用することが意図されている場合、フリップチップ構成図15A/図15Bに、有利に実装されてもよい。図28A及び図28Bに、本発明により基板2802上にて外部伝送光導波管2830/2831と光学的に統合された例示的な2ポート光学素子2810を示す。これらの例における伝送光導波管2820は、光ファイバのテーパー部である。電極又は接点2812/2814は、素子2810への電気的アクセスを提供する。図28Aの例では、外部伝送光導波管2830/2831と表面接合伝送光導波管2820との間の光電力トランスバース伝送は、能動モード屈折率適合モード干渉結合であり、接点2832/2833/2834/2835が、モード屈折率適合に提供されている。図28Bの例では、外部伝送光導波管2830/2831と側面接合伝送光導波管2820との間の光電力トランスバース伝送は、受動モード屈折率適合モード干渉結合である。図28A/28Bの素子は、伝送導波管2820から素子へと、一方の外部伝送導波管2830/2831を通じて、また、素子2810による操作後、伝送導波管へと他の外部伝送導波管を通じて戻る、光電力の実質的に完全な伝送で動作する。その代わりに、素子2810、及び、伝送導波管2820における2つの外部伝送導波管間の部分は、マッハツェンダー干渉計の2つのアームとして機能してもよい。素子2810は、このように形成された干渉計の一方のアーム用の位相変調器として機能してもよく、それにより、外部伝送導波管2830/2831以降に伝送導波管2820を通る光電力の伝送を、変調することができる。図29A乃至図29Dに、基板2902上に外部伝送光導波管2930/2931とともに製造されたマッハツェンダー干渉変調器2910を示す。光電力は、伝送導波管2910から外部伝送導波管2930、及び、マッハツェンダー干渉計2910へと、実質的に完全に伝送されてもよい。接点又は電極2911/2912/2913/2914は、干渉計2910を通る伝送を制御するために用いられ、そこを通る光電力は、伝送導波管2910へと、外部伝送導波管2931を通じて伝送される。マッハツェンダー干渉計2910は、任意の型の電子活性材料を含んだ任意の適切な型の導波管多層導波管等を用いて、構築されてもよい。電極や電子活性材料の代わりに、非線形光学素子が、マッハツェンダー干渉計2910に用いられ、そこを通る伝送を制御するために光制御信号が用いられてもよい。図29Aに、伝送導波管2920を、外部伝送導波管2930/2931に表面接合するとともに受動モード屈折率整合モード干渉結合トランスバース伝送を用いた光ファイバのテーパー部として示す。図29Bに、伝送導波管2920を、外部伝送導波管2930/2931に側面接合するとともに電極2932/2933/2934/2935により制御される能動モード屈折率整合モード干渉結合トランスバース伝送を用いた光ファイバのテーパー部として示す。図29Cに、伝送導波管2920/2921を、外部伝送導波管2930/2931に表面接合するとともに断熱トランスバース伝送を用いた平面導波管明瞭にするために図29Cでは導波基板を省略として示す。図29Dに、伝送導波管2920/2921を、外部伝送導波管2930/2931に側面接合するとともに断熱トランスバース伝送を用いた平面導波管明瞭にするために図29Dでは導波基板を省略として示す。図30に、基板3002上に外部伝送導波管3030/3031/3032/3033とともに製造された2×2光スイッチ3010を示す。外部伝送導波管に表面接合した、対応する伝送導波管3020/3021/3022/3023が、図示されており、平面導波管として示されている明瞭にするため図30では導波基板を省略。他の伝送導波管の型光ファイバのテーパー部等が、等価に用いられてもよく、側面接合が等価に用いられてもよい。各伝送導波管と、対応する外部伝送導波管との間の、光電力のトランスバース伝送は、断熱的、能動モード屈折率整合モード干渉結合、又は受動モード屈折率整合モード干渉結合であってもよい。トランスバース伝送の性質は、全ての伝送導波管/外部伝送導波管の対について、同一である必要はない。電極又は接点3011/3012/3013/3014に対して与えられる制御信号は、2×2スイッチ3010を通る光伝送を制御する。なお、2×2スイッチ3010は、任意の適切な型の電子活性材料を含んだ任意の適切な型の導波管多層導波管等を用いて構築されてもよい。電極や電子活性材料の代わりに、2×2スイッチ3010に、非線形光学材料が用いられて、そこを通る伝送を制御するのに光制御信号が用いられてもよい。図31に、いずれも基板3102上に外部伝送導波管3130/3131とともに製造された、共振子3110、光学損失部材3117、導波管3118を含んだ、共振光学変調器を示す。外部伝送導波管に表面接合した対応する伝送導波管3120/3121が図示されており、平面光導波管として示されている明瞭にするために図31では導波基板を省略。他の伝送導波管の型光ファイバのテーパー部等が、等価に用いられてもよく、側面接合が等価に用いられてもよい。各伝送導波管と、対応する外部伝送導波管との間の、光電力のトランスバース伝送は、断熱的、能動モード屈折率整合モード干渉結合、又は受動モード屈折率整合モード干渉結合であってもよい。トランスバース伝送の性質は、伝送導波管/外部伝送導波管の対の双方について、同一である必要はない。電極又は接点3111/3112導波管/共振結合、3113/3114共振損失、及び3115/3116共振周波数に対して与えられる制御信号は、共振変調器を通る光伝送を制御する。なお、共振変調器は、任意の適切な型の電子活性材料を含んだ任意の適切な型の導波管多層導波管等を用いて構築されてもよい。電極や電子活性材料の代わりに、共振変調器に、非線形光学材料が用いられて、そこを通る伝送を制御するのに光制御信号が用いられてもよい。図31の素子は、伝送導波管3120/3118を通じて伝送される波長における特定の帯域のみを変調するために用いられてもよい。図32に、いずれも基板3202上に外部伝送導波管3230/3231/3232/3233とともに製造された、共振子3210及び導波管3217/3218を含んだ、共振光学フィルタを示す。外部伝送導波管に表面接合した対応する伝送導波管3220/3221/3222/3223が図示されており、平面光導波管として示されている明瞭にするために図32では導波基板を省略。他の伝送導波管の型光ファイバのテーパー部等が、等価に用いられてもよく、側面接合が等価に用いられてもよい。各伝送導波管と、対応する外部伝送導波管との間の、光電力のトランスバース伝送は、断熱的、能動モード屈折率整合モード干渉結合、又は受動モード屈折率整合モード干渉結合であってもよい。トランスバース伝送の性質は、伝送導波管/外部伝送導波管の対の双方について、同一である必要はない。電極又は接点3111/3112導波管/共振結合、3113/3114導波管/共振結合、及び3115/3116共振周波数に対して与えられる制御信号は、共振フィルタを通る光伝送を制御する。なお、共振フィルタは、任意の適切な型の電子活性材料を含んだ任意の適切な型の導波管多層導波管等を用いて構築されてもよい。電極や電子活性材料の代わりに、共振変調器に、非線形光学材料が用いられて、そこを通る伝送を制御するのに光制御信号が用いられてもよい。図32の素子は、伝送導波管3217/3218間の波長における特定の帯域のみを切り換えるために、用いられてもよい。図28A/28B及び図29A/29Bの実施例では、伝送導波管は、外部伝送導波管の双方へのトランスバース伝送のために適合するとともに配置された単一の導波管として示されている。伝送導波管からの完全な光電力の伝送が、光素子による後続の操作及び同一の伝送導波管へと戻る伝送のために望まれている、あらゆる素子構成において、信号伝送導波管の中間部分に、光学損失機構を提供することが望ましいことがある。このような損失機構は、外部伝送導波管間に配置されるとともにトランスバース伝送に適合した追加的な光導波管、吸収若しくは散乱コーティング、吸収若しくは散乱トランスバース結合光学部材、吸収若しくは散乱構造部材、ブラッグ分布、ドーピング、又は他の光学損失機構の形態をとってもよい。このように、伝送導波管の両端は、素子の製造及び/又は組立に役立つように機械的には結合されていながら、光学的に減結合されてもよい。図33Aに、外部伝送光導波管3330/3331とともに、外部伝送導波管とのトランスバース伝送のために配置されて適合した伝送導波管3320とともに、基板3302上に製造された、2ポート素子3310の実施例を示す。追加の光導波管3380は、外部伝送導波管間における伝送導波管3320からのトランスバース伝送による光学損失を提供する。図33Bに、同様の実施例を示し、ここでは、構造的伝送導波位置決め部材3370もまた、外部伝送導波管間の光学損失を提供している。この時点までに開示されたほとんどの実施例は、平面光導波管又は光ファイバのテーパー部を、伝送導波間として用いていた。先に引用された出願A6に開示されたような側面エッチング光ファイバ部が、外部伝送導波管におけるトランスバース伝送のために適切に配列された部分とともに、用いられてもよい。同様に、断熱又はモード干渉結合トランスバース伝送に適合した構成の任意の光導波管が、本発明を実施するために用いられてもよい。平面導波管及び平面導波回路は、本発明を実施するために用いられる伝送光導波管における重要な部類を含んでいる。平面導波管は、実質的に平面状の基板上に製造された低屈折率コア/クラッド型の誘電体導波管多くの場合、酸化膜シリコン基板上に製造されたシリカ、又はシリカベースの導波管を、含むことも多い。シリコンは、様々な理由から、望ましい導波管基板材料である。その理由を以下に挙げるが、それに限定されるものではない。すなわち、材料加工技術が比較的容易かつ周知、産業規格が成熟している、大きなウエハサイズにより規模の経済を享受できる能力、選択的な乾式及び/又は湿式エッチングに修正可能、高剛性、望ましい熱特性等の理由がある。シリコン基板には、シリカオーバーレイヤ、該オーバーレイヤ上の1つ又はそれ以上の平面導波管が、設けられることが多い。シリカ及びシリカベース材料は、ほぼ理想的であり、周知の光学材料である。その代わりに、平面導波管は、石英、シリカ、又は他の低屈折率又は絶縁基板又は半導体基板上のオーバーレイヤ上に形成された、1つ又はそれ以上の高屈折率導波管例えば半導体導波管を、含んでもよい。このような高屈折率の導波管は、他の高屈折率光学部材へのトランスバース伝送をより容易に実現できるという利点を、提供してもよい。シリカベース平面導波管は、従来、光学素子及び/又は光ファイバとともに端部結合構成に用いられてきたが、通例、貧弱な空間モード適合により、特に半導体ベースの光学素子との間で、挿入損失が高くなっていた。本発明により実装された外部伝送導波管は、平面導波管への/平面導波管からの、トランスバース伝送を可能にすることにより、このような光学素子についての挿入損失を著しく減少させてもよい。2ポート光学素子に光学的に組み込まれた平面伝送導波管と外部伝送導波管との間の断熱トランスバース伝送に適合した実施例は、図13A/13B、図14A/14B、及び図15A/15Bに、既に示されている。光学的に統合された入力及び出力外部伝送導波管3430/3431を伴う2ポート光学素子3410例えば電子吸収変調器を含む他の実施例が、図34A及び図34Bに示されている。外部伝送導波管は、光学素子により規定された光学モードに対して空間モード整合した端部結合に適するとともに平面伝送導波管3420/3421へのトランスバース伝送に適した任意の型のものであってもよい。トランスバース伝送は、断熱的、能動モード屈折率整合モード干渉結合、又は受動モード屈折率整合モード干渉結合であってもよい。光ファイバテーパーベースの伝送導波管におけるように、平面導波管と外部伝送導波管との間の効率的なトランスバース伝送を実現するために必要とされる位置決め精度の度合いは、空間モード整合平面伝送導波管と光学素子との端部伝送に必要とされる精度未満のオーダーであり、それにより、光学素子の平面伝送導波管に対する位置決めのための受動位置決め技術が可能となる。図34A/34Bの例示的な実施形態では、光学素子3410及び外部伝送導波管3430/3431が、共通の基板3402上に製造されている。平面伝送導波管3430/3421は、基板3422上に製造されている。2つの要素は、外部伝送導波管3430/3431と平面伝送導波管3420/3421との間のトランスバース伝送、及び、電極3414と接点3424との間の電子的結合を確立するために、いわゆるフリップチップ構成に組み合わされている。操作されるべき光信号は、光学システムから平面伝送導波管3420を通じて受信され、トランスバース伝送により外部伝送導波管3430へと伝送され、端部伝送により素子3410へと伝送され、素子3410を通って伝播するに従って操作され、端部伝送により他の外部伝送導波管3431へと伝送され、トランスバース伝送により他の平面伝送導波管3421へと伝送され、光学システムへと伝送されてもよい。光電力の各伝送が高効率であることにより、挿入損失が低い素子がもたらされる。この型の平面導波管の実装は、任意の好適な光学素子とともに適用されてもよい。本発明の平面導波管の実装例は、複数の光学部材を高レベルで統合する可能性を提供して、ハイブリッド又は複合光学素子を形成する。任意の望ましい配列の光ネットワークを形成した複数の平面伝送導波管が、光学部材の位置しうる各点におけるギャップのある基板上に、製造されてもよい。伝送導波管は、光電力トランスバース伝送断熱及び/又はモード干渉結合、いずれの型も単一の平面導波基板上で組み合わされてもよいの可能な各素子位置近傍に適合してもよい。各光学部材は、本発明により光学的に統合された1つ又はそれ以上の外部伝送導波管であってもよく、その各々は、光学素子への/光学素子からの、効率的な端部又はトランスバース結合のために、要素である素子を基準として配置される。各外部伝送導波管は、部材が平面導波基板上に配置される場合に、対応する平面伝送導波管からの/への、トランスバース伝送を可能とするために、配置されて適合されてもよい。各外部伝送導波管と基板上にてそれに対応する平面導波管との間のトランスバース伝送を確立するために、いわゆるフリップチップ構成が用いられてもよい。外部伝送導波管とそれぞれの平面伝送導波管との相対的な精密位置決めを適切に確立するために、部材上、及び/又は、平面導波基板上に、嵌合位置決め構造が設けられてもよい。図35A/35B、図36A/36B、及び図37A/37Bに、複数のトランスバース結合サブコンポーネントを伴う光学素子の実施例を示す。そこでは、各々が1つ又はそれ以上の光学的に統合された外部伝送導波管を有する、レーザ/導波管ハイブリッド部材、及び、変調器/導波管ハイブリッド部材が、平面導波基板3522上にフリップチップ搭載されている。1つの平面伝送導波管3524が、光電力を、レーザ3542から変調器3552へと伝送する一方で、第2の平面伝送導波管3526が、変調された光電力を光ファイバのテーパー3520へとトランスバース伝送するために、トランスバース伝送部3528にて終端してもよい図35A。レーザ3542からの光電力は、端部伝送により外部伝送導波管3546基板3544にてレーザ3542と光学的に統合へと伝送され、トランスバース伝送により、第1の平面伝送導波管3524へと伝送され、トランスバース伝送により、入力外部伝送導波管3556基板3554上にて変調器3552と光学的に統合へと伝送され、端部伝送により変調器3552へと伝送され、変調器3552を通って伝播するに従って変調され、端部伝送により、出力外部伝送導波管3557基板3554上にて変調器3552と光学的に統合へと伝送され、トランスバース伝送により、第2の平面伝送導波管3526へと伝送され、トランスバース伝送により、光ファイバのテーパー部3520へと伝送される図35A。トランスバース伝送のステップは、断熱的図36A/36Bであるか、あるいは、モード干渉結合能動又は受動、図37A/37Bであり、アセンブリにおける各トランスバース伝送光接合について、同じ型である必要はない。光ファイバのテーパーへのトランスバース伝送の代わりに、伝送導波管3526が、光ファイバ3529への端部伝送のための、空間モードエキスパンダとして機能するように、適合してもよい。全体としての光電力の高いスループットすなわち、低い挿入損失が、ハイブリッド素子について実現しうる。図35Aに示したのと同様に、図24における波長多重の実施例が、光ファイバのテーパーへの光電力の伝送のための基板上の平面伝送導波管を用いて構築されてもよく、各レーザ光源は、平面伝送導波管へのトランスバース伝送のための統合された外部伝送導波管を有するフリップチップ搭載されたレーザを備えている。任意の光学素子が、本発明による1つ又はそれ以上の外部伝送導波管を用いて、上述のように、1つ又はそれ以上の平面伝送導波管と結合されてもよい。平面導波基板から/平面導波基板へと、光電力を、平面伝送導波管3528からの/への、トランスバース伝送により伝送するための、光ファイバのテーパー部3520が、図35Aに図示されているが、他の方法及び/又は構成が、等価に用いられてもよい。平面伝送光導波管3526が、空間モード拡張部を備えて、伝播する光電力が光ファイバ3529へと端部伝送されてもよい。空間モードの拡張は、望ましくない光学損失を最小限にするために、実質的に断熱的であることが望ましい。本発明による装置及び方法は、複雑な光学素子を組み合わせるための光学的なブレッドボード手法を可能とするように、さらに適用されてもよい。基板には、モジュール式の光学素子のフリップチップ搭載用に提供された複数の位置が、設けられてもよく、各素子は、本発明による1つ又はそれ以上の外部伝送導波管を組み込んでいる。これらのフリップチップ搭載位置は、基板上に、アレイ状パターン正方形、長方形、三角形/六角形等で設けられてもよく、複数の平面伝送導波管が、各フリップチップ搭載位置をその近傍のうちの1つ又はそれ以上に接続する基板上に、設けられてもよい。任意の所望の型の個々のモジュール式光学素子には、その素子が基板上の搭載位置にフリップチップ搭載されている場合、外部伝送導波管が、対応する平面伝送導波管への/からの、トランスバース伝送を確立するように、設けられてもよい。そうでなければ空いているフリップチップ搭載位置を光学的にブリッジするために、その上に1つの外部伝送導波管のみを有する追加の素子はなし、追加のフリップチップ部材が、設けられてもよい。そして、これらのモジュール式の光学部材の任意の望ましい組み合わせが、複雑なハイブリッド光学素子を構築するために、実質的に任意の組み合わせで、実質的に任意の構成で、光学的に結合されてもよい。光学的ブレッドボードには、光ファイバのテーパー部若しくは他の導波管へのトランスバース伝送、又は、光ファイバ若しくは他の導波管への端部伝送に適合した平面導波管が、さらに設けられてもよく、それにより、ブレッドボード素子への/からの、光電力の伝送が可能となる。このようなモジュール式ブレッドボード手法は、素子の試作、及び/又は、順応性のある素子製造に有用となりうる。その代わりに、光学素子の統合の高度な度合いにも、本発明による方法及び装置が用いられてもよい。複数の平面導波管、複数の光接合部、及び複数の素子位置がある単一の平面導波基板は、任意の所望の平面導波回路構成にて製造されてもよい。複数の対応する外部演奏導波管がある素子は、単一の素子基板上に製造されてもよい。複数の素子及び外部伝送光導波管は、素子位置の導波基板上における配列に対応した位置で、素子基板上に位置していてもよい。同様に、複数の外部伝送導波管の光接合領域は、平面導波管の光接合領域に対応して配置されてもよい。そして、導波基板及び素子基板を組み合わせる単一の組立工程は、複数の平面導波管及び複数の外部伝送導波管間の光接合を同時に確立して、任意の所望の度合いの複雑さの複合光学素子を形成する役割を果たしてもよい。必要とされる正確な位置決めの大部分は、精密、高度に並行的な材料加工技術を用いて、基板及びその上の構造の製造時に達成されてもよい。光学素子及び光学的に組み込まれた外部伝送導波管は、素子の性能や特性を変更及び/又は制御するために、あるいは、それ以外に素子の機能を提供するために、共通の基板上に製造されてもよい。図38の例では、レーザ3810は、光学的に組み込まれた外部伝送導波管3830,3831とともに、基板3802上に製造されている。導波管3830は、レーザ3810と伝送導波管3820との間の光電力伝送を提供してもよい。導波管3831は、レーザ3810の光学特性及び/又は性能を変更する役割を果たしてもよい。例えば、導波管3831の格子構造は、レーザ3810のレーザ発光波長を規定する役割を果たす。その代わりに、導波管3831が対応している空間光学モードにより、レーザ出力のトランスバース空間モード特性が規定されてもよい。様々な構造及び特性の外部伝送導波管が、本発明により、様々な光学素子のための以下の様々な光学素子機能を提供するために、用いられてもよい但しそれに限定されない。すなわち、波長選択性、空間モード選択性、光学フィルタ、偏光選択性、熱補償、電力監視、反射、変調等である。選択性は、チューニング、関連した光学特性の安定化、及び/又は変調とも称されうる。外部伝送光導波管には、格子構造、熱光学部材、又は他の適切な機能部材が、含まれうる。素子の端面は、製造の際、及び/又は、本発明により実装された素子の光学特性を変更する処理の際に、操作されてもよい。例えば、端面は、波長別、変更別等に、コーティングされてもよい。素子の端面は、レンズとして機能するように曲率をつけて製造されてもよい。傾斜した端面は、素子の監視又は光学的フィードバックを低減させるために、光電力を外部伝送導波管からトランスバース方向へ向ける役割を果たしてもよい回転ミラーとして機能。図39に、代替的な実施形態を示す。ここでは、光学素子機能の一部が伝送光導波管内に提供され、及び/又は、素子と伝送導波管との間の光電力の伝送が外部伝送光導波管を通じて可能となるまで、光学素子が完全には機能しない。平面導波基板3922が、平面伝送導波管3920,3921とともに図示されている。レーザーダイオード3910は、組み込まれた外部伝送光導波管3930,3931とともに、基板3902上に設けられている。外部伝送導波管3930と伝送導波管3920との間のトランスバース伝送により、出力レーザ3910の出力用の光学経路が提供される。レーザ3910と伝送導波管3921との間の外部伝送導波管393を通じての光電力の伝送は、伝送導波管3921をレーザーキャビティの要素とすることにより、レーザ3910の出力の制御、変更、及び/又は操作を、可能としてもよい。伝送導波管3921の光学/スペクトル特性の制御又は操作は、対応する効果をレーザ3910の出力にもたらす。例えば、格子構造が、レーザ3910の波長を安定させるために設けられてもよく、又は、伝送導波管3921の空間モード特性が、レーザ3910の出力の空間モード特性を制御してもよい。他の素子及び方式が、本発明の範囲内にある限り、容易に工夫されてもよい。そのような場合として、素子と素子機能の一部を提供している伝送光導波管との間に光電力伝送が確立されるまで、素子が機能するようにならないということがある。様々な構造及び特性の伝送導波管が、本発明により、様々な光学素子のための以下の様々な光学素子機能を提供するために、用いられてもよい但しそれに限定されない。すなわち、波長選択性、空間モード選択性、光学フィルタ、偏光選択性、熱補償、電力監視、反射、変調等である。伝送光導波管には、格子構造、熱光学部材、又は他の適切な機能部材が、含まれうる。いくつかの実施形態では、伝送導波管は、光学素子の動作を変更するだけでもよい。なお、他の実施例では、伝送導波管は、素子が実際に機能するために必要とされるということがある。先の2つの段落の議論の見地から、光学素子なる用語について説明が必要となろう。ここに使用されるように、光学素子は、レーザ、変調器、フィルタ、スイッチ等の独立に機能する部材を示している。その代わりに、光学素子は、独立して動作せずに、他の部材と組み合わされて機能する部材を示してもよい。ある例には、反射防止コーティングが施された端面及び外部伝送導波管を伴う半導体ゲイン媒体が、含まれてもよい。このような部材だけで、レーザ光源として機能するわけではない。反射面が、外部伝送導波管内に、あるいは、外部伝送導波管と光接合を形成している伝送導波管内に設けられているならば、反射面及び半導体は、機能するレーザをともに形成することになる。他の多くの同様な実施例が、ここに開示及び/又は特許請求される本発明の概念の範囲内に含まれうる。図40及び図41は、本発明による好適な平面伝送導波管の製造を示す処理フロー図それぞれトランスバース方向の断面図及び平面図である。寸法及び材料の組成は、例示的なものであり、本発明の範囲内にある限り変更されうる。シリコン基板4002には、シリカ4004の5μm厚のバッファ層、ケイ酸ゲルマニウム4006の10μm厚の層、及び窒化ケイ素4008SixNyの70nm厚の層が加工される。窒化ケイ素は、パターン化及びエッチングされて、6μm幅で各端部にて横方向にテーパーがついた図41に示す所望の形状の導波管コア4124が形成される。そして、ケイ酸ゲルマニウム層がエッチングされて、位置決め/支持構造4170の上部と同様、約10μm幅で高さが約6μmのリッジ導波管4120が形成される。残りのケイ酸ゲルマニウム4006及びシリカバッファ4004は、パターン化されて除去され、ケイ酸ゲルマニウム層残された厚さが約4μ及びシリカ層を含んだある程度幅広のバッファリッジ4126により支持された、リッジ導波管4120が残される。また、位置決め/支持構造4170の下部も、これらの工程により形成される。そして、リッジ4120,4126は、0.5μm厚の蒸着されたケイ酸ゲルマニウムのオーバーレイヤにより被覆される。基礎となるシリコンは、パターン化されてエッチングされ、単一モード光ファイバの端部を最終的に受けるためのv字溝4150が形成される。溝4152は、v字溝を鋸引又は他の適切な方法により終端させて光ファイバが導波管4120の端部に達するように、設けられる。そして、接点/電極4160及び他の所望の部材が、空間的に選択可能な適切な材料加工技術を用いて、設けられてもよい。パターン化/エッチングがここでの様々な加工工程に列挙されているが、任意の適切な空間選択材料加工技術が、等価に用いられてもよい。同様の加工シーケンスは、図42A/42B、図43A/43B、及び図44A/44Bに図示された例示的な実施形態等の様々な構成を製造するのに用いられてもよい。また、これらの平面導波部材等価に、PLC様部材は、本発明による1つ又はそれ以上の組み込まれた外部伝送導波管を伴う光学素子を、望ましくは、フリップチップ構成又は任意の適切な組立配列にて、受けてもよい。リッジ導波管4120の窒化ケイ素コアのテーパーつきの一端は、光学素子の外部伝送光導波管を伴う断熱光電力トランスバース伝送に適合している。その代わりに、リッジ導波管4120は、モード干渉結合光電力トランスバース伝送用の外部伝送光導波管とともに、構成されてもよい。リッジ導波管4120の窒化ケイ素コアのテーパーつきの他端は、リッジ導波管4120とv字溝4150内に配置された光ファイバとの間の光電力の端部伝送を可能とするためのモードエキスパンダとしての役割を果たす。コア4122の幅が減少するにつれて、コア/導波管4122/4120が対応する光学モードは導波管4120へと拡がる。モードの拡大が断熱条件ここにおいて、先に規定済みを満たすように、コア4122のテーパーが充分に漸進的であることが望ましい。リッジ導波管4120のために適切なトランスバース寸法を選択することにより、導波管4120と光ファイバとの間の光電力端部伝送を可能とするために、導波管4120と光ファイバとの間の空間モード適合の所望の度合いが、達成されうる。図42A及び図42Bには、平面導波基板4222が、ダイオードレーザの外部伝送導波管との光電力の断熱的なトランスバース伝送のために第1の端部が適合した平面伝送導波管4222とともに、示されている。ダイオードレーザ及び外部伝送導波管は、レーザ基板4202基板4222上にフリップチップ搭載されて図示上で光学的に統合されている。基板4222におけるv字溝4250は、導波管4220との端部伝送のために光ファイバ4290図42Bに図示を位置決めする役割を果たす。導波管4220は、モード拡張及びファイバ4290との空間モード整合のために、第2の端部にて適合されてもよい。基板4222には、導波管4220からのダイオードレーザの光出力電力の一部分の伝送のために、第1の端部にて位置決めされて適合した補助導波管4240が、設けられてもよい。導波管4240の第2の端部は、光電力をモニタフォトダイオードへと伝達するために、適合していてもよい。接点/電極4224/4244は、それぞれダイオードレーザ及びフォトダイオードへの電子的アクセスのために、設けられている。位置決め/支持部材4270/4272は、それぞれフリップチップ搭載されたダイオードレーザ及びフォトダイオードの位置決め及び支持のために、設けられている。モニタフォトダイオードは、平面導波基板4222上に組み込まれてもよく、望ましくは、フォトダイオード基板4242上に独立した部材として設けられるとよい図42Bでは、平面導波基板4222上にフリップチップ搭載されて図示。導波管4240の第1の端部は、望ましくは、図42A/42Bに示すように導波管4220からの光電力のトランスバース伝送に適合しているとよく、あるいはその代わりに、導波管4220からの光電力の伝送のための他の任意の適切な方法で、適合していてもよい。導波管4240の第2の端部は、光電力を基板4222から上方へと向ける回転ミラーとして機能するように、適合していることが望ましい。このことは、基板4222加工時に、導波管4222の傾斜した第2の端面を提供することにより、実現してもよい。その代わりに、導波管4240からモニタフォトダイオードへと光電力を伝送するために、任意の適切な手段が用いられてもよい。例えば、導波管4240の第2の端部には、光学散乱体が、設けられてもよく、散乱した光電力の一部がフォトダイオードにより向けられる。他の実施例では、フォトダイオードには、導波管4240からの光電力のトランスバース伝送断熱又はモード干渉結合及び光電力のフォトダイオードへの伝送に適合した、本発明による外部伝送光導波管が、設けられてもよい。他の手段が等価に用いられてもよい。図43A/43Bに、平面伝送光導波管4320,4321を搭載した平面導波基板4322を示す。ダイオードレーザには、レーザ基板4302図43Bでは基板4322上にフリップチップ搭載されて図示上に外部伝送光導波管が、設けられてもよい。光学変調器には、変調基板4303図43Bでは基板4322上にフリップチップ搭載されて図示上に2つの外部伝送光導波管が、設けられてもよい。導波管4320は、第1の端部にて、ダイオードレーザの外部伝送導波管との光電力のトランスバース伝送断熱又はモード干渉結合に適合していてもよく、第2の端部にて、変調器の第1の外部伝送導波管との光電力のトランスバース伝送断熱又はモード干渉結合に適合していてもよい。導波管4321は、第1の端部にて、変調器の第2の外部伝送導波管との光電力のトランスバース伝送断熱又はモード干渉結合に適合していてもよく、第2の端部にて、モード拡張及び光ファイバ4390図43Bでは、v字溝4350内に配置されて図示との端部伝送に適合していてもよい。補助導波管4340,4390は、第1の端部にてそれぞれ導波管4320及び導波管4321からの光電力の一部分の伝送に適合した基板4322上に、設けられている。分流された部分は、フォトダイオードへと向けられる。なお、フォトダイオードは、望ましくは独立したフォトダイオード基板4344/4345上に設けられるとよく、図43Bでは、基板4322上にフリップチップ搭載されて図示されている。導波管4340/4341及びフォトダイオードは、先の段落で説明されたように適合してもよい。接点/電極4370/4371/4372/4373は、ダイオードレーザ、変調器、及びフォトダイオードへの電子的アクセスのために、設けられている。位置決め/支持部材4380/4381/4382/4383は、ダイオードレーザ、変調器、及びフォトダイオードの位置決め及び支持のために、基板4322上に設けられてもよい。上記の実施形態は、例示的なものである。光学素子外部伝送導波管を伴う及び伝送導波管は、ここに開示及び/又は特許請求される特許請求の範囲内に含まれる。図44A及び図44Bでは、平面導波基板4422が、ダイオードレーザの外部伝送導波管との光電力の断熱的なトランスバース伝送のために第1の端部が適合した平面伝送導波管4420とともに、示されている。ダイオードレーザ及び外部伝送導波管は、レーザ基板4402図44Bでは、基板4422上にフリップチップ搭載されて図示上で光学的に統合されている。基板4422におけるv字溝4450は、導波管4420との端部伝送のために光ファイバ4490図44Bに図示を位置決めする役割を果たす。導波管4420は、モード拡張、及びボールレンズ4494基板4422の凹部内に収容されて図示と組み合わされたファイバ4290との空間モード整合のために、第2の端部にて適合されてもよい。基板4422は、ボールレンズ4494と光ファイバ4490との間に挿入された光学アイソレータ4496を収容するための追加の凹部を、有してもよい。基板4422には、導波管4420からのダイオードレーザの光出力電力の一部分の伝送のために、第1の端部にて位置決めされて適合した補助導波管4440が、設けられてもよい。導波管4440の第2の端部は、光電力を、フリップチップ搭載された基板4444上に設けられたモニタフォトダイオードへと伝達するために、適合していてもよい。接点/電極4470/4472は、それぞれダイオードレーザ及びフォトダイオードへの電子的アクセスのために、設けられている。位置決め/支持部材4480/4482は、それぞれフリップチップ搭載されたダイオードレーザ及びフォトダイオードの位置決め及び支持のために、設けられている。ここに示した様々な例示的な実施形態には、光学素子を外部伝送導波管のある基板上に正確に位置決めして支持するための支持/位置決め部材が含まれる。素子基板上に支持及び又は位置決め構造を提供することが、望ましい。このような支持構造は、外部伝送光導波管突出構造であることが多いを、素子及び導波基板の組立時に損傷しないように保護する役割を果たしてもよい。図45A及び図45Bに、例示的な支持部材を示す。光学素子図示せず及び外部伝送光導波管4530は、支持部材4560導波管4530に実質的に平行に伸びて突出したリッジの形態をとるとともに、素子基板上4502にて光学的に統合されている。素子を平面伝送導波管4520とともに導波基板4522明瞭にするために図45Aでは省略上に組み合わせると、リッジ4560が導波基板表面に係合して、外部伝送導波管4530に機械的支持及び保護を提供することになる。本発明は、好適及び代替的な実施形態の形態にて説明された。しかしながら、ここに開示及び/又は特許請求された本発明の概念の範囲内に留まる限り、光電力のトランスバース伝送を用いた、開示された光接合装置及び方法に対する修正が、なされてもよい。"