"軸線方向に往復移動する直動軸及び前記直動軸に取付けられた複数の永久磁石からなる1以上の永久磁石列を備えてなる可動子と、前記可動子が内部空間内を往復移動するように巻線導体がコイル状に巻回されてなる複数の励磁巻線が、前記直動軸の軸線に沿って並ぶように配置された構造を有する固定子とを備えたリニアモータ本体と、前記リニアモータ本体の前記固定子の外側に設けられて、前記リニアモータ本体の磁気回路の一部を構成するバックヨークとを備え、前記バックヨークは、磁性材料からなり、前記リニアモータ本体を全体的に包むバックヨークアセンブリによって構成されていることを特徴とするリニアモータ。前記バックヨークアセンブリは、前記軸線方向に沿って分割面が延びるように組み合わされた第1及び第2の分割アセンブリから構成されていることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。前記第1及び第2の分割アセンブリは、同じ形状寸法を有している請求項2に記載のリニアモータ。前記第1及び第2の分割アセンブリは、磁性板をプレス加工して成形されていることを特徴とする請求項2に記載のリニアモータ。前記複数の励磁巻線には、それぞれ前記励磁巻線に電力を供給するリード線が接続されており、前記第1及び第2の分割アセンブリの少なくとも一方には、前記リード線が通過する貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項2に記載のリニアモータ。前記貫通穴は前記軸線方向に延びるスリットからなり、前記貫通穴の前記軸線方向中心と、前記第1の分割アセンブリまたは前記第2の分割アセンブリの前記軸線方向中心との間の寸法は、1/4τp~1/2τpτp=前記複数の永久磁石のピッチの範囲内であり、前記貫通穴の前記軸線方向の長さ寸法がn-1/2τp~n1/2τpn=自然数,τp=前記複数の永久磁石のピッチであることを特徴とする請求項5記載のリニアモータ。前記固定子は、内部に前記可動子が配置され且つ前記励磁巻線が装着される絶縁パイプを備えており、前記絶縁パイプの前記軸線方向の両端には、前記直動軸の両端を軸線方向に移動可能に且つ周方向に回転不可能に支持する軸受が固定された一対のエンドブラケットが固定されており、前記バックヨークアセンブリは、前記一対のエンドブラケットに亘って配置されていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載のリニアモータ。前記直動軸は、同じ極性の磁極が向き合うように並べられた複数の前記永久磁石からなる前記永久磁石列が収容される筒状の直動軸本体と、前記直動軸本体の前記軸線方向の両端に接続されて前記軸受にそれぞれ支持される一対の直動軸端部材とからなり、前記直動軸本体と前記一対の直動軸端部材とは、連結ピースにより連結されており、前記直動軸本体は、前記連結ピースの外周部に嵌合されて固定されており、前記直動軸端部材は、前記連結ピースの内周部に嵌合されて固定されていることを特徴とする請求項7に記載のリニアモータ。前記連結ピースの前記外周部は、前記直動軸本体の長手方向中心側に位置する滑面部と、前記直動軸本体の長手方向中心から離れた側に位置する粗面部とを有しており、前記直動軸本体の両端部は、前記滑面部と前記粗面部の両方に接触して配置されていることを特徴とする請求項8に記載のリニアモータ。前記連結ピースの前記外周部には、複数の凹部が形成されており、前記直動軸本体の両端部には、前記複数の凹部に嵌合する複数の凸部が形成されていることを特徴とする請求項8に記載のリニアモータ。前記一対のエンドブラケットは、前記絶縁パイプが挿入嵌合され且つ前記バックヨークアセンブリの端部が嵌合されるエンドブラケット本体部と、前記エンドブラケット本体部に連続して設けられて前記エンドブラケット本体部よりも前記軸線方向と直交する方向の寸法が大きい拡大部とをそれぞれ有しており、前記拡大部には、前記第1の分割アセンブリの外面に沿い且つ前記第1の分割アセンブリを前記エンドブラケット本体部に押し付ける少なくとも一本以上の押圧部材と、前記第2の分割アセンブリの外面に沿い且つ前記第2の分割アセンブリを前記エンドブラケット本体部に押し付ける少なくとも一本以上の押圧部材が固定されている請求項7に記載のリニアモータ。前記拡大部の前記軸線方向から見た輪郭形状は、矩形形状であり、前記拡大部の四隅に前記押圧部材を構成するピンが固定されている請求項11に記載のリニアモータ。このような従来のリニアモータでは、パイプからなるバックヨークをリニアモータ本体に取り付けるため、製造が煩雑であった。また、バックヨークが大きく重いため、リニアモータの体積及び重量が大きくなるという問題があった。本発明の目的は、リニアモータ本体に容易にバックヨークを取り付けることができるリニアモータを提供することにある。本発明の他の目的は、上記目的に加えて、リニアモータの体積及び重量を小さくできるリニアモータを提供することにある。本発明のリニアモータは、リニアモータ本体とバックヨークとを備えている。リニアモータ本体は、軸線方向に往復移動する直動軸及び該直動軸に取付けられた複数の永久磁石からなる1以上の永久磁石列を備えてなる可動子と、可動子が内部空間内を往復移動するように巻線導体がコイル状に巻回されてなる複数の励磁巻線が、直動軸の軸線に沿って並ぶように配置された構造を有する固定子とを備えている。バックヨークは、リニアモータ本体の固定子の外側に設けられて、リニアモータ本体の磁気回路の一部を構成する。そして、バックヨークは、磁性材料からなり、リニアモータ本体を全体的に包むバックヨークアセンブリによって構成されている。本発明のように、バックヨークをリニアモータ本体を全体的に包むバックヨークアセンブリによって構成すれば、リニアモータ本体に対してバックヨークアセンブリを組み合わせるだけでリニアモータ本体に容易にバックヨークを取り付けることができる。バックヨークアセンブリは、軸線方向に沿って分割面が延びるように組み合わされた第1及び第2の分割アセンブリから構成するのが好ましい。このようにすれば、第1及び第2の分割アセンブリを組み合わせるだけでバックヨークアセンブリを容易に組み立てられる。第1及び第2の分割アセンブリは、同じ形状寸法を有しているのが好ましい。このようにすれば、1種類の分割アセンブリを第1及び第2の分割アセンブリのいずれの分割アセンブリにも用いることができる。第1及び第2の分割アセンブリは、磁性板をプレス加工して成形することができる。このようにすれば、第1及び第2の分割アセンブリの形状が複雑な形状であっても、プレス加工により容易に第1及び第2の分割アセンブリを形成できる。また、磁性板を用いるので、リニアモータの体積及び重量を小さくできる。通常、複数の励磁巻線には、それぞれ励磁巻線に電力を供給するリード線が接続されている。この場合、第1及び第2の分割アセンブリの少なくとも一方には、リード線が通過する貫通穴を形成するのが好ましい。このようにすれば、リード線を容易に外部に導出できる。貫通穴は軸線方向に延びるスリットから構成することができる。この場合、貫通穴の軸線方向中心と、第1の分割アセンブリまたは第2の分割アセンブリの軸線方向中心との間の寸法は1/4τp~1/2τpτp=前記複数の永久磁石のピッチの範囲内とし、貫通穴の軸線方向の長さ寸法はn-1/2τp~n1/2τpn=自然数,τp=前記複数の永久磁石のピッチとするのが好ましい。このようにすれば、スリット端部によるコギングの影響を小さくできる。固定子は、内部に可動子が配置され且つ励磁巻線が装着される絶縁パイプを備えることができる。その場合、絶縁パイプの軸線方向の両端には、直動軸の両端を軸線方向に移動可能に且つ周方向に回転不可能に支持する軸受が固定された一対のエンドブラケットを固定する。そして、バックヨークアセンブリは、一対のエンドブラケットに亘って配置するのが好ましい。このようにすれば、絶縁パイプに励磁巻線が装着するだけで容易に複数の励磁巻線を配置することができる。そして、バックヨークアセンブリをしっかりとリニアモータの本体に固定できる。直動軸は、同じ極性の磁極が向き合うように並べられた複数の永久磁石からなる永久磁石列が収容される筒状の直動軸本体と、直動軸本体の軸線方向の両端に接続されて一対の軸受にそれぞれ支持される一対の直動軸端部材とから構成することができる。その場合、直動軸本体と一対の直動軸端部材とは、連結ピースにより連結し、直動軸本体は、連結ピースの外周部に嵌合して固定し、直動軸端部材は、連結ピースの内周部に嵌合して固定するのが好ましい。このようにすれば、嵌合作業だけで容易に直動軸本体と一対の直動軸端部材とを連結ピースを介して接続できる。連結ピースの外周部は、直動軸本体の長手方向中心側に位置する滑面部と、直動軸本体の長手方向中心から離れた側に位置する粗面部とを有しており、直動軸本体の両端部は連結ピースの滑面部と粗面部の両方に接触して配置するのが好ましい。このようにすれば、直動軸本体と連結ピースとの同芯を保ちつつ直動軸本体と連結ピースとをしっかりと固定できる。また、連結ピースの外周部に複数の凹部を形成し、直動軸本体の両端部に、複数の凹部に嵌合する複数の凸部を形成することができる。このようにすれば、連結ピースの複数の凹部と直動軸本体の複数の凸部との嵌合により、連結ピースと直動軸本体とを強固に固定できる。一対のエンドブラケットは、絶縁パイプが挿入嵌合され且つバックヨークアセンブリの端部が嵌合されるエンドブラケット本体部と、エンドブラケット本体部に連続して設けられてエンドブラケット本体部よりも軸線方向と直交する方向の寸法が大きい拡大部とをそれぞれ有するように構成できる。そして、拡大部には、第1の分割アセンブリの外面に沿い且つ第1の分割アセンブリをエンドブラケット本体部に押し付ける少なくとも一本以上の押圧部材と、第2の分割アセンブリの外面に沿い且つ第2の分割アセンブリをエンドブラケット本体部に押し付ける少なくとも一本以上の押圧部材を固定することができる。このようにすれば、押圧部材で、第1及び第2の分割アセンブリをエンドブラケット本体部に押し付けることで、第1及び第2の分割アセンブリをエンドブラケット本体部にしっかりと固定できる。また、第1及び第2の分割アセンブリとエンドブラケット本体部とを接着剤等で固定する場合、接着剤等による両者の固定を確実に行うことができる。拡大部の前記軸線方向から見た輪郭形状は、矩形形状とすることができる。この場合、拡大部の四隅に押圧部材を構成するピンを固定すればよい。このようにすれば、第1及び第2の分割アセンブリをエンドブラケット本体部に部分的な偏り無くほぼ均等に、しっかりと固定できる。以下、本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。図1~図3は、本発明のリニアモータの一例の正面図、右側面図及び平面図である。各図に示すように、本例のリニアモータ1は、1個のリニアモータ本体3とバックヨーク5とを有している。リニアモータ本体3は、図4に示すように、可動子7と固定子9とを有している。なお、図4は、リニアモータ本体3の断面図であるが、理解を容易にするため、後述する永久磁石21は、平面で表している。可動子7は、直動軸11と、永久磁石列13と、リニアスケール15とを有している。直動軸11は、直動軸本体17と、一対の直動軸端部材19A,19Bとを有しており、軸線方向に往復移動する。図5及び図6に示すように、直動軸本体17は、非磁性のステンレスからなる円筒形のパイプからなり、内部には永久磁石列13が収容されている。なお、図5は図4の部分拡大図であり、図6は図5において後述する連結ピース25及び直動軸端部材19Aを平面で表わした図である。永久磁石列13は、複数の円柱形の永久磁石21が鉄などの磁性材料からなるスペーサ23を介して並べた構造を有している。複数の永久磁石21は、隣り合う2つの永久磁石が軸線方向に同じ極性の磁極が向き合うように並べられている。図4に示すように、一対の直動軸端部材19A,19Bは、細長い棒のような形状を有している。一対の直動軸端部材19A,19Bは、直動軸本体17の軸線方向の両端に接続されて、後述する一対の軸受35にそれぞれスラスト方向にスライド可能に支持されている。図4に向かって右側に位置する直動軸端部材19Bには、リニアスケール15が取り付けられている。リニアスケール15は、リニアモータの外部に配置された図示しないリニアセンサと対向するように配置されている。リニアスケール15と図示しないリニアセンサとにより、可動子7の位置を検出する位置検出装置が構成される。なお図2及び図3には、リニアスケールの図示は省略してある。一対の直動軸端部材19A,19Bは、図5及び図6示すように、連結ピース25により直動軸本体17に連結されている。連結ピース25は、鉄、ステンレス等の金属材料からなり、図5に示すように、内部に中空部25aを有している。中空部25aは、小径部25bと小径部25bより径寸法が大きく小径部25bの両側に位置する大径部25c,25dとを有している。言い換えるならば、中空部25aの軸線方向中央に近い部分に径方向内側に突出する突部25eが形成されている。また、図6に示すように、連結ピース25の外周部25fは、直動軸本体17の長手方向中心側に位置する表面が滑らかな滑面部25gと、直動軸本体17の長手方向中心から離れた側に位置する表面が粗い粗面部25hとを有している。粗面部25hは、加工器具で0.1~0.3mm程度の棘のような傷をつけて形成されている。そして、直動軸本体17の両端部の内周面は、滑面部25gと粗面部25hとに接触して配置されている。本例では、連結ピース25の外周面25fに接着剤を塗布してから、連結ピース25を直動軸本体17内に圧入した。このため、連結ピース25と直動軸本体17とは塑性変形と接着力とによりしっかり固定される。一対の直動軸端部材19A,19Bは、図5に示すように、連結ピース25の内周部の大径部25cに嵌合されて固定されている。一対の直動軸端部材19A,19Bは端部に雌螺子が形成された孔部19cを有している。孔部19cに形成された雌螺子は、連結ピース25の中空部25a内に配置された螺子27に螺合されている。これにより、一対の直動軸端部材19A,19Bは、連結ピース25に強固に固定されている。図4に示すように、固定子9は、絶縁パイプ29と複数の励磁巻線31A~31Lと一対のエンドブラケット33と一対の軸受35とを有している。絶縁パイプ29は、ガラエポや、絶縁塗料が表面に塗布されたステンレス等により形成されている。絶縁パイプ29は、図7A及びBに示すように、厚み0.2mm程度の円筒形の本体部29aと、本体部29aから径方向に延びる円環状形の13個の隔壁部29bとを有している。そして、隣接する2個の隔壁部29bの間には、励磁巻線31A~31Lのそれぞれが配置されている。励磁巻線31A~31Lは、巻線導体が隣り合う2つの隔壁部29b間に位置する絶縁パイプ29の本体部29a上にコイル状に巻回されて構成されている。励磁巻線31A~31Lには、連続する3つの励磁巻線を一つのユニットとして、電気角で120度ずつ位相がずれた3相の励磁電流が供給される。この結果、励磁巻線31A~31Lには、U相、V相、W相、U相、V相、W相、の順で電流が流れることとなる。励磁巻線31A~31Lには、励磁巻線31A~31Lにそれぞれ電力を供給するリード線31mがそれぞれ接続されている。図8A~Cの部分断面図に示すように、一対のエンドブラケット33は、アルミ等の金属材料または加工性を有するプラスチックなどから形成されており、筒形状を有している。エンドブラケット33は、エンドブラケット本体部33aと、エンドブラケット本体部33aよりも軸線方向と直交する方向の寸法が大きい拡大部33bとを有している。エンドブラケット本体部33aは、軸線方向から見た輪郭形状が円形であり、拡大部33bは、軸線方向から見た輪郭形状が矩形形状である。拡大部33bの四隅には、エンドブラケット本体部33a側に位置するピン挿入孔33cと、エンドブラケット本体部33aの反対側に位置するタップ孔33hとが形成されている。4つのピン挿入孔33cには、図2及び図3に示すような押圧部材を構成するピン37がそれぞれ嵌合されている。ピン37は、いずれもステンレス等からなり、細長い円柱形を有している。4つのピン37の内、2本のピン37は、後述する第1の分割アセンブリ39Aの外面に沿い且つ第1の分割アセンブリ39Aをエンドブラケット本体部33aに押し付ける。また、4つのピン37の内、他の2本のピン37は、後述する第2の分割アセンブリ39Bの外面に沿い且つ第2の分割アセンブリ39Bをエンドブラケット本体部33aに押し付ける。4つのタップ孔33hは、内部に雌螺子が形成されており、リニアモータ1を外部の被取付部材に取付ける際に利用される。また、図8Bに示すように、エンドブラケット33は、内部に中空部33dを有している。中空部33dは、小径部33eと小径部33eより径寸法の大きく小径部33eの両端に位置する第1及び第2の大径部33f,33gとを有している。絶縁パイプ29は、エンドブラケット33の第2の大径部33gに嵌合されて固定されている。軸受35は、エンドブラケット33の第1の大径部33fに嵌合されて固定されている。図4に示すように、一対の軸受35は、一対のエンドブラケット33にそれぞれ固定された状態で、可動子7の直動軸11の両端をスラスト方向軸線方向にスライド移動可能に且つ周方向に回転不可能に支持している。図1~図3に戻って説明すると、上記において説明したリニアモータ本体3は、バックヨーク5により包まれている。バックヨーク5は、リニアモータ本体3の固定子9の外側に設けられて、リニアモータ本体3の磁気回路の一部を構成している。このバックヨーク5は、第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bを含むバックヨークアセンブリから構成されている。第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bは、同じ寸法及び形状を有しており、厚み0.5~1.0mmの珪素鋼板またはSPCCからなる磁性板をプレス加工して成形されている。第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bは、同じ寸法及び形状を有しているので、1つの分割アセンブリの正面及び右側面を示す図9A及びBを参照して、その構造を説明する。図9A及びBに示すように、第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bは、軸線方向から見た形状が円弧形状であり、中央には、励磁巻線31A~31Lに接続されたリード線31mが通過する貫通穴39cが形成されている。貫通穴39cは、直動軸11の軸線方向中央に位置して軸線方向に延びるスリットからなり、軸線方向の長さ寸法Lがn-1/2τp~n1/2τpn=自然数,τp=複数の永久磁石のピッチ:図4参照である。貫通穴39cの軸線方向中心と、第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bの軸線方向中心との間の寸法は、1/4τp~1/2τpτp=前記複数の永久磁石のピッチの範囲内に設定するのが好ましい。本例では、図2及び図3に示すように、励磁巻線31A~31Lに接続されたリード線31mを束ねた束41を貫通穴39cの一方の端部から外部に導出している。そして、各リード線31mと貫通穴39cの大部分とを絶縁材料からなるカバーまたは樹脂モールド材43で覆っている。第1の分割アセンブリ39Aの幅方向に位置する一対の端部39d,39eは、第2の分割アセンブリ39Bの幅方向に位置する一対の端部39e,39dにそれぞれ当接している。このため、図2に示すように、第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bは、軸線方向に沿って分割面Aが延びるように組み合わされて、リニアモータ本体3の一対のエンドブラケット33のエンドブラケット本体部33aの間に配置される。以下、第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bをリニアモータ本体3に取り付ける方法を説明する。まず、ピン37A~37Dを取り付けていないエンドブラケット本体部33aを形成する。そして、第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bまたはリニアモータ本体3の所定位置にエポキシ樹脂等からなる接着剤を塗布する。次に、第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bを組み合わせるように、両者をリニアモータ本体3上に配置する。次に、励磁巻線31A~31Lに接続されたリード線31mを束ねた束41を貫通穴39cの一方の端部から外部に導出する。そして、各リード線31mと貫通穴39cの大部分とを絶縁材料からなるカバーまたは樹脂モールド材43で覆う。次に、4つのピン37をエンドブラケット33の拡大部33bの4隅のピン挿入孔33cにそれぞれ挿入する。これにより、ピン37で第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bをエンドブラケット本体部33aに押しつける。本例のリニアモータによれば、バックヨーク5をリニアモータ本体3を全体的に包むバックヨークアセンブリ第1及び第2の分割アセンブリ39A,39Bによって構成するので、リニアモータ本体3に対してバックヨーク5を容易に取り付けることができる。図10は、本発明の他の実施の形態のリニアモータの右側面図である。本例のリニアモータは、バックヨークを除いて図1~図9に示すリニアモータと同じ構造を有している。そのため、バックヨーク以外の部材には、図1~図9に付した符号に100を加えた数の符号を付して、その説明を省略する。本例のリニアモータのバックヨーク105も第1及び第2の分割アセンブリ139A,139Bを含むバックヨークアセンブリから構成されている。第1及び第2の分割アセンブリ139A,139Bは、同じ寸法及び形状を有しているので、1つの分割アセンブリの正面、平面及び右側面を示す図11A~Cを参照して、その構造を説明する。本例のリニアモータの第1及び第2の分割アセンブリ139A,139Bは、円弧形状の中央部139fと中央部139fの両端に配置された一対の平板部139gとを有している。図11Bに示すように、中央部139fの中央には、リード線が通過する貫通穴139cが形成されている。また、図11Cに示すように、一対の平板部139gの幅方向端部には、2つの凸部139hと2つの凹部139iとが交互に形成されている。凸部139hは、半円の円弧形状を有しており、凹部139iは、凸部139hが嵌合可能な半円の円弧形状を有している。図10に示すように、第1及び第2の分割アセンブリ139A,139Bが軸線方向に沿って分割面Aが延びるように組み合わされた状態で、第1の分割アセンブリ139Aの凸部139hは、第2の分割アセンブリ139Bの凹部139iに嵌合し、第2の分割アセンブリ139Bの凸部139hは、第1の分割アセンブリ139Aの凹部139iに嵌合する。本例のリニアモータによれば、凸部139hと凹部139iとの嵌合により、第1の分割アセンブリ139Aと第2の分割アセンブリ139Bとの位置決めを正確に行って、両者をしっかりと固定できる。図12A~Cは、本発明のさらに他の実施の形態のリニアモータに用いる第1及び第2の分割アセンブリの正面図、平面図及び右側面である。本例のリニアモータの第1及び第2の分割アセンブリは、中央部239fが矩形の平板形状を有している。また、一対の平板部239gの幅方向の寸法が図10及び図11に示すリニアモータの一対の平板部139gの幅方向の寸法より長くなっている。本発明のリニアモータでは、図5及び図6に示す連結ピース以外にも図13及び図14の断面図に示すような種々の連結ピースを採用できる。図13に示す連結ピースは、中空部内の突部を除いて図5及び図6に示す連結ピース25と同じ構造を有している。そのため、突部以外の部材には、図5及び図6に付した符号に300を加えた数の符号を付して、その説明を省略する。本例の連結ピース325は、突部325eに雌螺子325jが形成されている。そのため、連結ピース325の中空部325a内に配置された螺子図5の螺子27を参照は、突部325eの雌螺子325jにも螺合される。図14に示す連結ピース425は、中空部を有しておらず、連結ピース本体425kと連結ピース本体425kから一対の直動軸端部材図5の直動軸端部材19Aを参照側に突出する突出部425mとを有している。突出部425mには雄螺子425nが形成されている。雄螺子425nは、一対の直動軸端部材の端部の孔内に形成された雌螺子に螺合される。本例の連結ピース425を用いれば、螺子を用いずに、一対の直動軸端部材を連結ピース425に固定できる。図15は、本発明のリニアモータで用いることができる他の可動子の部分断面図である。本例の可動子では、直動軸本体及び連結ピースを除いて図5及び図6に示すリニアモータの可動子と同じ構造を有している。そのため、直動軸本体及び連結ピース以外の部材には、図5及び図6に付した符号に500を加えた数の符号を付して、その説明を省略する。図16A及びBに示すように、本例のリニアモータの連結ピース525の外周部525fは、全体が滑面部となっている。また、外周部525fには、径方向に対向する2つの矩形の凹部525iが形成されている。図15に示すように、直動軸本体517には、連結ピース525の2つの凹部525iにそれぞれ嵌合する凸部517aが形成されている。凸部517aは、図17に示すように、プレス機Pにより、連結ピース525を嵌合した直動軸本体517をプレスして形成した。連結ピース525と直動軸本体517は、凹部525iと凸部517aとの嵌合により、強固に固定される。"