"流体に含まれる固体成分を捕集除去するハニカムフィルタであって、一方の端部が開口され且つ他方の端部が目封止され流体の流路となる複数のセルを形成する複数の多孔質の隔壁部と、前記隔壁部上に形成され前記流体に含まれる固体成分を捕集除去する層である捕集層と、を備え、前記隔壁部の厚さである隔壁厚さtpが150μm以上460μm以下であり、前記捕集層の厚さの平均値である平均厚さtAveが5μm以上80μm以下であり、ハニカムフィルタの上流領域での前記捕集層の厚さを上流厚さthとし、ハニカムフィルタの中流領域での前記捕集層の厚さを中流厚さtmとし、ハニカムフィルタの下流領域での前記捕集層の厚さを下流厚さtlとし、該上流厚さth及び該中流厚さtmの平均値である上中流厚さthmとしたとき、該上中流厚さthmに対する該下流厚さtlの比である膜厚比Y1が式1の関係を満たし、前記捕集層の厚さの最大値を最大厚さtmaxとしたとき、前記捕集層の平均厚さtAveに対する該最大厚さtmaxの比である膜厚比Y2が式2の関係を満たし、入口側の前記セルの水力直径HDinが式3の関係を満たす、ハニカムフィルタ。-4/375tAve2.05≦Y1≦-17/375tAve10.23...式1Y2≦-1/15tAve8.33...式20.95≦HDin≦2.0...式3前記上流厚さthと前記中流厚さtmと前記下流厚さtlとが式4の関係を満たす、請求項1に記載のハニカムフィルタ。th≦tm<tl...式4前記捕集層は、気体を搬送媒体とし該捕集層の原料である無機材料を前記セルへ供給することにより形成されている、請求項1又は2に記載のハニカムフィルタ。前記隔壁部は、コージェライト、SiC、ムライト、チタン酸アルミニウム、アルミナ、窒化珪素、サイアロン、リン酸ジルコニウム、ジルコニア、チタニア及びシリカから選択される1以上の無機材料を含んで形成されている、請求項1~3のいずれか1項に記載のハニカムフィルタ。前記ハニカムフィルタは、前記隔壁部及び前記捕集層を有する2以上のハニカムセグメントが接合層によって接合されて形成されている、請求項1~4のいずれか1項に記載のハニカムフィルタ。前記隔壁部及び前記捕集層のうち少なくとも一方には、触媒が担持されている、請求項1~5のいずれか1項に記載のハニカムフィルタ。本発明のハニカムフィルタの一実施形態を図面を用いて説明する。図1は、本発明の一実施形態であるハニカムフィルタ20の構成の概略の一例を示す説明図である。図2は、SEM観察による捕集層の厚さの算出方法の説明図であり、図3は、捕集層24の形成厚の測定位置の説明図である。本実施形態のハニカムフィルタ20は、図1に示すように、隔壁部22を有する2以上のハニカムセグメント21が接合層27によって接合された形状を有し、その外周に外周保護部28が形成されている。なお、図1には、ハニカムフィルタ20の外形が円柱状に形成され、ハニカムセグメント21の外形が矩形柱状に形成され、セル23が矩形状に形成されているものを一例として示す。このハニカムフィルタ20は、一方の端部が開口され且つ他方の端部が目封止部26により目封止され、流体としての排ガスの流路となる複数のセル23を形成する多孔質の隔壁部22と、隔壁部22上に形成され流体排ガスに含まれる固体成分PMを捕集除去する層である捕集層24と、を備えている。このハニカムフィルタ20では、隔壁部22は、一方の端部が開口され且つ他方の端部が目封止されたセル23と一方の端部が目封止され且つ他方の端部が開口したセル23とが交互に配置されるよう形成されている。また、ハニカムフィルタ20では、入口側からセル23へ入った排ガスが捕集層24及び隔壁部22を介して出口側のセル23を通過して排出され、このとき、排ガスに含まれるPMが捕集層24上に捕集される。ハニカムフィルタ20は、隔壁部22の厚さである隔壁厚さtpが150μm以上460μm以下で形成されている。隔壁厚さtpが150μm以上では、フィルタとしての熱容量が大きくなるため、ハニカムフィルタ20に堆積したPMを燃焼除去する再生処理時に許容されるPMの堆積量である再生限界をより高めることができる。また、隔壁厚さtpが460μm以下では、隔壁の透過抵抗をより抑えられ、圧力損失の上昇をより抑制することができる。なお、再生限界とは、堆積したPMの燃焼除去時に、ハニカムフィルタ内部の最高温度が所定の許容温度例えば1000°Cに到達するPM堆積量とすることができる。この隔壁厚さtpは、200μm以上400μm以下であることがより好ましく、280μm以上350μm以下であることが更に好ましい。この隔壁部22は、多孔質であり、例えば、コージェライト、Si結合SiC、再結晶SiC、チタン酸アルミニウム、ムライト、窒化珪素、サイアロン、リン酸ジルコニウム、ジルコニア、チタニア、アルミナ及びシリカから選択される1以上の無機材料を含んで形成されているものとしてもよい。このうち、コージェライトやSi結合SiC、再結晶SiCなどが好ましい。隔壁部22は、その気孔率が30体積以上85体積以下であることが好ましく、35体積以上65体積以下であることがより好ましい。この隔壁部22は、その平均細孔径が10μm以上60μm以下の範囲であることが好ましい。この隔壁部22の気孔率や平均細孔径は、水銀圧入法により測定した結果をいうものとする。このような気孔率、平均細孔径、厚さで隔壁部22を形成すると、排ガスが通過しやすく、PMを捕集除去しやすい。捕集層24は、排ガスに含まれるPMを捕集除去する層であり、隔壁部22の平均細孔径よりも小さい平均粒径で構成された粒子群により隔壁部22上に形成されているものとしてもよい。捕集層24は、平均細孔径が、0.2μm以上10μm以下であることが好ましく、気孔率が40体積以上95体積以下であることが好ましく、捕集層を構成する粒子の平均粒径が0.5μm以上15μm以下であることが好ましい。平均細孔径が0.2μm以上であればPMが堆積していない初期の圧力損失が過大になるのを抑制することができ、10μm以下であれば捕集効率が良好なものとなり、捕集層24を通り抜け隔壁部22の細孔内部にPMが到達するのを抑制可能であり、PM堆積時の圧力損失低減効果の低下を抑制することができる。また、気孔率が40体積以上であると、PMが堆積していない初期の圧力損失が過大となるのを抑制することができ、95体積以下では耐久性のある捕集層24としての表層を作製することができる。また、捕集層を構成する粒子の平均粒径が0.5μm以上であれば捕集層を構成する粒子の粒子間の空間のサイズを十分に確保可能であるため捕集層の透過性を維持でき急激な圧力損失の上昇を抑制することができ、15μm以下であれば粒子同士の接触点が十分に存在するから粒子間の結合強度を十分に確保可能であり捕集層の剥離強度を確保することができる。このように、良好なPM捕集効率の維持、PM捕集開始直後の急激な圧力損失上昇防止、PM堆積時の圧力損失低減、捕集層の耐久性を実現することができる。この捕集層24は、排ガスの入口側セル及び出口側セルの隔壁部22に形成されているものとしてもよいが、図1に示すように、入口側セルの隔壁部22上に形成されており、出口側セルには形成されていないものとするのが好ましい。こうすれば、より圧力損失を低減して流体に含まれているPMをより効率よく除去することができる。また、ハニカムフィルタ20の作製が容易となる。この捕集層24は、コージェライト、SiC、ムライト、チタン酸アルミニウム、アルミナ、窒化珪素、サイアロン、リン酸ジルコニウム、ジルコニア、チタニア及びシリカから選択される1以上の無機材料を含んで形成されているものとしてもよい。このとき、捕集層24は、隔壁部22と同種の材料により形成されているものとすることが好ましい。また、捕集層24は、セラミック又は金属の無機繊維を70重量以上含有しているものとするのがより好ましい。こうすれば、繊維質によりPMを捕集しやすい。また、捕集層24は、無機繊維がアルミノシリケート、アルミナ、シリカ、ジルコニア、セリア及びムライトから選択される1以上の材料を含んで形成されているものとすることができる。なお、捕集層24の粒子群の平均粒径は、走査型電子顕微鏡SEMで捕集層24を観察し、撮影した画像に含まれる捕集層24の各粒子を計測して求めた平均値をいうものとする。また、原料粒子における平均粒径は、レーザ回折/散乱式粒度分布測定装置を用い、水を分散媒として原料粒子を測定したメディアン径D50をいうものとする。ハニカムフィルタ20は、捕集層24の粒子群の厚さの平均値である平均厚さtAveが5μm以上80μm以下で形成されている。平均厚さtAveが5μm以上では、捕集層24にてPMを十分に捕集することができ、PMの堆積していない初期状態で十分な捕集効率を得ることができる。また、平均厚さtAveが80μm以下では、堆積したPM層が厚くなりすぎず、また捕集層自体の透過抵抗も大きくならず、圧力損失の増加を抑制でき好ましい。平均厚さtAveは、20μm以上60μm以下がより好ましく、30μm以上50μm以下がより好ましい。捕集層24は、無機材料の粒子群から形成されており、隔壁部22の表面に均一な層として形成されていてもよいし、隔壁部22の表面に部分的な層として形成されていてもよい。ハニカムフィルタ20は、ハニカムフィルタの上流領域での捕集層24の粒子群の厚さを上流厚さthとし、ハニカムフィルタの中流領域での捕集層24の粒子群の厚さを中流厚さtmとし、ハニカムフィルタの下流領域での捕集層24の粒子群の厚さを下流厚さtlとし、上流厚さth及び中流厚さtmの平均値である上中流厚さthmとしたとき、上中流厚さthmに対する下流厚さtlの比である膜厚比Y1tl/thmが式1の関係を満たしている。膜厚比Y1が-4/375tAve2.05以上では、入口セルの下流領域でのPM堆積量の増加がより抑制され、PMの燃焼除去時の急激な温度上昇をより抑えることができ、フィルタの保護を図ることができる。一般的に、ハニカムフィルタにおける入口チャネル内の流速分布に関して、慣性抵抗管路抵抗よりも隔壁の透過抵抗の方が大きいことから、上流中流領域では排ガス透過流速は非常に小さく、下流領域での透過流速が大きくなる。捕集層が隔壁部上に形成されている場合、隔壁部の透過抵抗に捕集層の透過抵抗も加わることから、更にこの流速分布の傾向が強くなり、下流領域での透過流速がより大きくなり、PMがより多く下流領域に堆積する。PMの燃焼除去時に異常燃焼が発生した場合、上流側よりPMが急燃焼を起こすことで温度が上昇し、その熱が徐々に下流側へ伝播していき、下流領域では温度が最も高くなる。ここで、下流領域でのPM堆積量が多いと、この異常燃焼時の下流領域での温度上昇が更に大きくなる。このハニカムフィルタ20では、下流側の捕集層24の厚さを大きくすることにより意図的に下流領域での透過抵抗を上げて上流中流域での隔壁透過流速を増加させることにより、上流中流領域でのPM堆積量を増やすのである。更に、PMを燃焼させるための高温の排ガスが、下流領域の透過抵抗が大きいことにより下流領域に流れにくくなるため、より一層下流領域での急昇温を抑制する事ができる。一方、膜厚比Y1が-17/375tAve10.23よりも小さいと、下流領域での捕集層24の厚さが大きくなりすぎず、透過抵抗の増加を抑制して圧力損失の増加をより抑制することができる。このハニカムフィルタ20は、中流厚さtmは上流厚さth以上であり、下流厚さtlは上流厚さth及び中流厚さtmよりも大きい厚さであるものとしてもよいth≦tm<tl。ハニカムフィルタ20では、図1に示すように、上流捕集層32、中流捕集層34、下流捕集層36の順に厚い捕集層24が形成されている。こうすれば、より上流側に固体成分を捕集することができ、固体成分の燃焼除去時に下流側での温度上昇をより低減することができる。-4/375tAve2.05≦Y1≦-17/375tAve10.23...式1ハニカムフィルタ20は、捕集層24の粒子群の厚さの最大値を最大厚さtmaxとしたとき、粒子群の平均厚さtAveに対する最大厚さtmaxの比である膜厚比Y2tmax/tAveが式2の関係を満たしている。膜厚比Y2が-1/15tAve8.33以下では、下流領域の捕集層の膜厚分だけ小さくなった入口セルの有効面積を捕集層の表層の凹凸によりカバーし、PM堆積時の圧力損失の上昇を抑制することができる。一方、膜厚比Y2がこれを超えると、最大厚さtmaxの部分にPMが凝集堆積し、その部分より下流側へPMが堆積しにくくなるため、逆に入口セルの有効面積有効体積を減少させてしまい、PM堆積時の圧力損失が上昇してしまう。Y2≦-1/15tAve8.33...式2ハニカムフィルタ20は、入口側のセル23の水力直径HDinが式3の関係を満たしている。水力直径HDinが式3を満たすと、十分な有効膜面積を持ちながら、且つ、管路抵抗を一定以下に抑制可能であるため、PM堆積時の圧力損失の上昇を抑制することができる。水力直径HDinが0.95より小さいと管路抵抗が大きくなりすぎるためPMが堆積していない状態での圧力損失が上昇し、更にPM堆積時の圧力損失も大きくなる。一方、水力直径HDinが2.0より大きいと、PMが堆積する際の有効膜面積が小さくなるため、ある一定量のPMが堆積した際の圧力損失上昇率が非常に大きくなり、結果としてPM堆積時の圧力損失の上昇が起きる。ここで、水力直径HDinの算出方法について説明する。入口側のセルの水力直径HDinは、ハニカムフィルタ20の隔壁基材を樹脂埋めした後に研磨した観察用試料を用意し、走査型電子顕微鏡SEM観察を行い得られた画像を解析することによって算出する。まず、観察用試料を用い、入口側セル全体が観察できるよう倍率を調整し、SEM画像を取得する。次に、画像解析によって、捕集層に覆われた入口側のセルの面積Amm2及び周長Lmmを計測し、水力直径HDin=4A/Lの式から算出するものとする。0.95≦HDin≦2.0...式3ここで、捕集層24の厚さや、ハニカムフィルタ20の上流、中流、下流領域などについて説明する。まず、捕集層24の厚さの測定方法について図2を用いて説明する。捕集層24の厚さ、換言すると捕集層を構成する粒子群の厚さは、以下のようにして求めるものとする。ここでは、ハニカムフィルタ20の隔壁基材を樹脂埋めした後に研磨した観察用試料を用意し、走査型電子顕微鏡SEM観察を行い得られた画像を解析することによって捕集層の厚さを求める。まず、流体の流通方向に垂直な断面を観察面とするように切断研磨した観察用試料を用意する。次に、SEMの倍率を100倍~500倍に設定し、後述する測定位置において、視野をおよそ500μm×500μmの範囲として用意した観察用試料の観察面を撮影する。次に、撮影した画像において、隔壁の最外輪郭線を仮想的に描画する。この隔壁の最外輪郭線とは、隔壁の輪郭を示す線であって、隔壁表面照射面、図2上段参照に対して垂直の方向からこの隔壁表面に仮想平行光を照射したものとしたときに得られる投影線をいうものとする図2中段参照。即ち、隔壁の最外輪郭線は、光が当たっているものとする高さの異なる複数の隔壁上面の線分と、隣り合う高さの異なる隔壁上面の線分の各々をつなぐ垂線とにより形成される。この隔壁上面の線分は、例えば、100μmの長さの線分に対して5μmの長さ以下の凹凸については無視する5解像度により描画するものとし、水平方向の線分が細かくなりすぎないようにするものとする。また、隔壁の最外輪郭線を描画する際には、捕集層の存在については無視するものとする。続いて、隔壁の最外輪郭線と同様に、捕集層を形成する粒子群の最外輪郭線を仮想的に描画する。この粒子群の最外輪郭線とは、捕集層の輪郭を示す線であって、捕集層表面照射面、図2上段参照に対して垂直の方向からこの捕集層表面に仮想平行光を照射したものとしたときに得られる投影線をいうものとする図2中段参照。即ち、粒子群の最外輪郭線は、光が当たっているものとする高さの異なる複数の粒子群上面の線分と、隣り合う高さの異なる粒子群上面の線分の各々をつなぐ垂線とにより形成される。この粒子群上面の線分は、例えば、上記隔壁と同じ解像度により描画するものとする。多孔性の高い捕集層では、樹脂埋めして研磨して観察用試料を作製すると、空中に浮いているように観察される粒子群もあることから、このように仮想光の照射による投影線を用いて最外輪郭線を描画するのである。続いて、描画した隔壁の最外輪郭線の上面線分の各々の高さ及び長さに基づいて隔壁の最外輪郭線の平均線である隔壁の標準基準線を求める図2下段参照。また、隔壁の標準基準線と同様に、描画した粒子群の最外輪郭線の上面線分の各々の高さ及び長さに基づいて粒子群の最外輪郭線の平均線である粒子群の平均高さを求める図2下段参照。そして、得られた粒子群の平均高さと隔壁の標準基準線との差をとり、この差長さを、この撮影画像における捕集層の厚さ粒子群の厚さとする。このようにして、捕集層の厚さを求めることができる。また、ハニカムフィルタ20の上流、中流、下流領域とは、図3に示すように、ハニカムフィルタ20の流路方向に対して上流側、中央側及び下流側に3分割した領域をいうものとする。このとき、例えば、矩形のハニカムセグメント21において、上流厚さthは、上流側端面から流路方向のハニカムセグメント21の全長の20の部位での断面の中央部、外周部の9点を測定し、これらの平均値とする。同様に、中流厚さtmは、上流側端面から流路方向のハニカムセグメント21の全長の50の部位での断面の中央部、外周部の9点を測定し、これらの平均値とする。下流厚さtlは、下流側端面から流路方向のハニカムセグメント21の全長の20の部位での断面の中央部、外周部の9点を測定し、これらの平均値とする。また、上流領域、中流領域及び下流領域は、それぞれの断面から全長に対して前後5の領域をいうものとする。ハニカムセグメント21が接合されたハニカムフィルタ20においては、更に、ハニカムフィルタ20での上流領域、中流領域及び下流領域の厚さをそれぞれ平均してそれぞれをハニカムフィルタ20の上流厚さth、中流厚さtm及び下流厚さtlとする。また、上中流厚さthmは、上流厚さth及び中流厚さtmの平均値をいうものとする。また、平均厚さtAveは、上流厚さth、中流厚さtm及び下流厚さtlの平均値をいうものとする。最大厚さtmaxは、上記測定点のうち最大値をいうものとする。このようにして、各々の領域の粒子群の厚さを求めることができる。捕集層24の平均細孔径及び気孔率は、SEM観察による画像解析によって求めるものとする。上述した捕集層の厚さと同様に、図2に示すように、ハニカムフィルタ20の断面をSEM撮影して画像を得る。次に、隔壁の最外輪郭線と粒子群の最外輪郭線との間に形成される領域を捕集層の占める領域捕集層領域とし、この捕集層領域のうち、粒子群の存在する領域を粒子群領域とすると共に、粒子群の存在しない領域を捕集層の気孔領域とする。そして、この捕集層領域の面積捕集層面積と、粒子群領域の面積粒子群面積とを求める。そして、粒子群面積を捕集層面積で除算し100を乗算することにより、得られた値を捕集層の気孔率とする。また、捕集層の気孔領域において、粒子群及び隔壁の最外輪郭線と粒子群の外周とに内接する内接円を直径が最大になるように描く処理を行う。このとき、例えばアスペクト比の大きい長方形の気孔領域など、1つの捕集層の気孔領域に複数の内接円を描くことができるときには、気孔領域が十分に埋められるように、できるだけ大きい内接円を複数描くものとする。そして、観察した画像範囲において、描いた内接円の直径の平均値を捕集層の平均細孔径とするものとする。このようにして、捕集層24の平均細孔径及び気孔率を求めることができる。捕集層24の形成方法は、気体空気を捕集層の原料の搬送媒体とし、捕集層の原料を含む気体を入口セルへ供給するものとしてもよい。こうすれば、捕集層を構成する粒子群がより粗に形成されるため、極めて高い気孔率の捕集層を作製することができ、好ましい。捕集層の原料は、例えば、無機繊維や無機粒子を用いてもよい。あるいは、無機繊維は上述したものを用いることができ、例えば平均粒径が0.5μm以上8μm以下、平均長さが100μm以上500μm以下であるものが好ましい。無機粒子としては、上述した無機材料の粒子を用いることができる。例えば、平均粒径が0.5μm以上15μm以下のSiC粒子やコージェライト粒子を用いることができる。この捕集層の原料は、隔壁部22の平均細孔径よりも小さい平均粒径を有することが好ましい。このとき、隔壁部22と捕集層24との無機材料を同じ材質とすることが好ましい。また、無機粒子を含む気体を流入させる際に、気体の出口側を吸引することが好ましい。また、捕集層24の形成において、無機繊維や無機粒子と共に結合材も供給してもよい。結合材としてはゾル材料、コロイド材料から選択でき特にコロイダルシリカを用いることが好ましい。無機粒子はシリカにより被覆されており且つ無機粒子同士、及び無機粒子と隔壁部の材料とがシリカにより結合されていることが好ましい。例えば、コージェライトやチタン酸アルミニウムなどの酸化物材料の場合には、無機粒子同士、及び無機粒子と隔壁部の材料とが焼結により結合されているのが好ましい。捕集層24は、隔壁部22上に原料の層を形成したあと、熱処理を行い結合することが好ましい。熱処理での温度としては、例えば650°C以上1350°C以下の温度とするのが好ましい。熱処理温度が650°C以上では十分な結合力を確保することができ、1350°C以下であると過度な粒子の酸化による細孔の閉塞を抑制することができる。なお、捕集層24の形成方法は、例えば、捕集層24の原料になる無機粒子を含むスラリーを用いてセル23の表面に形成するものとしてもよい。また、捕集層24の形成では、時間経過に伴い揮発する溶媒をより上流側の隔壁部22に含ませて、気体により捕集層24の原料粒子をセル23へ供給するものとしてもよい。こうすると、捕集層24の原料粒子を隔壁部22上へ堆積させ始めた初期段階では、高い透過抵抗により、流入した原料粒子の大半は下流領域に堆積するが、その後揮発溶媒が気化していくことから、徐々に透過抵抗が低下し、揮発溶媒を浸漬させた領域へも原料粒子が堆積していく。このように、揮発溶媒を用いて下流厚さtlが厚い傾向を示す捕集層24をより容易に形成することができる。なお、この揮発溶媒の濃度などを調整することにより気化速度をコントロールし、各領域での原料粒子の堆積量を制御することができる。揮発溶媒としては、アルコールやアセトン、ベンゼンなどの有機溶媒や、水などが挙げられる。このうち、揮発溶媒としては、水との混合により気化速度を変更しやすいアルコールが好ましい。このようにして捕集層24を形成することができる。接合層27は、ハニカムセグメント21を接合する層であり、無機粒子、無機繊維及び結合材などを含むものとしてもよい。無機粒子は、上述した無機材料の粒子とすることができ、その平均粒径は0.1μm以上30μm以下であることが好ましい。無機繊維は、上述したものとしてもよく、例えば平均粒径が0.5μm以上8μm以下、平均長さが100μm以上500μm以下であることが好ましい。結合材としてはコロイダルシリカや粘土などとすることができる。接合層27は、0.5mm以上2mm以下の範囲で形成されていることが好ましい。なお、平均粒径は、レーザ回折/散乱式粒度分布測定装置を用い、水を分散媒として測定したメディアン径D50をいうものとする。外周保護部28は、ハニカムフィルタ20の外周を保護する層であり、上述した無機粒子、無機繊維及び結合材などを含むものとしてもよい。ハニカムフィルタ20において、40°C~800°Cにおけるセル23の通過孔方向の熱膨張係数は、6.0×106/°C以下であることが好ましく、1.0×106/°C以下であることがより好ましく、0.8×106/°C以下であることが更に好ましい。この熱膨張係数が6.0×106/°C以下であると、高温の排気に晒された際に発生する熱応力を許容範囲内に抑えることができる。このハニカムフィルタ20の外形は、特に限定されないが、円柱状、四角柱状、楕円柱状、六角柱状などの形状とすることができる。ハニカムセグメント21の外形は、特に限定されないが、接合しやすい平面を有していることが好ましく、断面が多角形の角柱状四角柱状、六角柱状などの形状とすることができる。セルは、その断面の形状として3角形、4角形、6角形、8角形などの多角形の形状や円形、楕円形などの流線形状、及びそれらの組み合わせとすることができる。例えば、セル23は排ガスの流通方向に垂直な断面が4角形に形成されているものとしてもよい。ハニカムフィルタ20において、セルピッチは、1.0mm以上2.5mm以下とするのが好ましい。PM堆積時の圧力損失は、濾過面積が大きいほど小さい値を示す。一方、初期の圧力損失は、セル直径が小さいほど大きい値を示す。したがって、初期圧力損失、PM堆積時の圧力損失、PMの捕集効率のトレードオフを考慮して、セルピッチ、セル密度や隔壁部22の厚さを設定するものとすればよい。ハニカムフィルタ20において、隔壁部22や捕集層24は、触媒を含むものとしてもよい。この触媒は、捕集されたPMの燃焼を促進する触媒、排ガスに含まれる未燃焼ガスHCやCOなどを酸化する触媒及びNOXを吸蔵/吸着/分解する触媒のうち少なくとも1種以上としてもよい。こうすれば、PMを効率よく除去することや未燃焼ガスを効率よく酸化することやNOXを効率よく分解することなどができる。この触媒としては、例えば、貴金属元素、遷移金属元素を1種以上含むものとするのがより好ましい。また、ハニカムフィルタ20では、他の触媒や浄化材が担持されていてもよい。例えば、アルカリ金属Li、Na、K、Cs等やアルカリ土類金属Ca、Ba、Sr等などを含むNOx吸蔵触媒、少なくとも1種の希土類金属、遷移金属、三元触媒、セリウムCe及び/又はジルコニウムZrの酸化物に代表される助触媒、HCHydroCarbon吸着材等が挙げられる。具体的には、貴金属としては、例えば、白金Pt、パラジウムPd、ロジウムRhや、金Au及び銀Agなどが挙げられる。触媒に含まれる遷移金属としては、例えば、Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Sc,Ti,V,Cr等が挙げられる。また、希土類金属としては、例えば、Sm,Gd,Nd,Y,La,Pr等が挙げられる。また、アルカリ土類金属としては、例えば、Mg,Ca,Sr,Ba等が挙げられる。このうち、白金及びパラジウムがより好ましい。また、貴金属及び遷移金属、助触媒などは、比表面積の大きな担体に担持してもよい。担体としては、例えば、アルミナ、シリカ、シリカアルミナ、ゼオライトなどを用いることができる。PMの燃焼を促進する触媒を有するものとすれば、捕集層24上に捕集されたPMをより容易に除去することができるし、未燃焼ガスを酸化する触媒やNOXを分解する触媒を有するものとすれば、排ガスをより浄化することができる。以上説明した実施形態のハニカムフィルタによれば、隔壁厚さtpや、平均厚さtAve、上中流厚さthmに対する下流厚さtlの比である膜厚比Y1、捕集層の平均厚さtAveに対する最大厚さtmaxの比である膜厚比Y2、セルの水力直径HDinがなどを好適な範囲とすることにより、排ガスに含まれているPMの捕集除去性能をより高めることができる。このように、上記因子が各数値範囲内にあると、固体成分の隔壁部のすり抜け及び隔壁部の細孔内への侵入を抑制することができ、入口セルの下流領域での固体成分の過剰な堆積を抑制可能であり、固体成分の偏在詰まりを抑制することができる。また、排ガスの流れる流路を十分に確保可能であり、且つ、必要な熱容量を維持することができるため、固体成分の堆積時の圧力損失の増加をより抑制し、高い再生限界を示し、更に、固体成分の捕集効率をより高めることができる。圧力損失が低いほど車両の走行時の抵抗が小さく、車両出力を得るための余剰燃料消費を抑制可能であるため、圧力損失が低いほど走行時の燃費を改善することができる。一方、再生限界が高いほど堆積したPMの燃焼に至るまでのインターバルを長く設定可能であり、燃費を改善することができる。捕集層24を隔壁部22上に形成するハニカムフィルタ20において、膜厚、セル構造の組み合わせの好適化を図ることにより、流体に含まれている固体成分の捕集除去性能をより高め、更には燃費の向上を図ることができる。なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。例えば、上述した実施形態では、ハニカムセグメント21を接合層27により接合したハニカムフィルタ20としたが、図4に示すように、一体成形されたハニカムフィルタ40としてもよい。ハニカムフィルタ40において、隔壁部42、セル43、捕集層44、目封止部46、上流捕集層52、中流捕集層54及び下流捕集層56などは、ハニカムフィルタ20の隔壁部22、セル23、捕集層24、目封止部26、上流捕集層32、中流捕集層34及び下流捕集層36と同様の構成とすることができる。こうしても、排ガスに含まれているPMの捕集除去性能をより高めることができる。上述した実施形態では、ハニカムフィルタ20には触媒が含まれるものとしたが、流通する流体に含まれる除去対象物質を浄化処理可能なものであれば特にこれに限定されない。あるいは、ハニカムフィルタ20は、触媒を含まないものとしてもよい。また、排ガスに含まれるPMを捕集するハニカムフィルタ20として説明したが、流体に含まれる固体成分を捕集除去するものであれば特にこれに限定されず、建設機器の動力エンジン用のハニカムフィルタとしてもよいし、工場や発電所用のハニカムフィルタとしてもよい。以下には、ハニカムフィルタを具体的に製造した例を実施例として説明する。ここでは、複数のハニカムセグメントを接合した構造のハニカムフィルタを作製した。[ハニカムフィルタの作製]SiC粉末及び金属Si粉末を80:20の質量割合で混合し、これにメチルセルロース及びヒドロキシプロポキシルメチルセルロース、界面活性剤及び水を添加して混練し、可塑性の坏土を得、所定の金型を用いて坏土を押出成形し、所望形状のハニカムセグメント成形体を成形した。ここでは、隔壁部の厚さが305μm、セルピッチが1.47mm、断面が35mm×35mm、長さが152mmの形状に成形した。次に、得られたハニカムセグメント成形体をマイクロ波により乾燥させ、更に熱風にて乾燥させた後、目封止をして、酸化雰囲気において550°C、3時間で仮焼きした後に、不活性雰囲気下にて1400°C、2時間の条件で本焼成を行った。目封止部の形成は、セグメント成形体の一方の端面のセル開口部に交互にマスクを施し、マスクした端面をSiC原料を含有する目封止スラリーに浸漬し、開口部と目封止部とが交互に配設されるように行った。また、他方の端面にも同様にマスクを施し、一方が開口し他方が目封止されたセルと一方が目封止され他方が開口したセルとが交互に配設されるように目封止部を形成した。得られたハニカムセグメント焼成体の排ガス流入側の開口端部より、隔壁の平均細孔径よりも小さい平均粒径を有するSiC粒子を含む空気を流入させ、且つハニカムセグメントの流出側より吸引しながら、排ガス流入側の隔壁の表層に堆積させた。このとき、後述する捕集層の膜厚分布処理を行い、流れ方向に膜厚の分布を有する捕集層を隔壁部に形成した。次に、大気雰囲気下にて1300°C、2時間の条件の熱処理により、隔壁の表層に堆積させたSiC粒子同士、及び堆積させたSiC粒子と隔壁を構成するSiC及びSi粒子と結合させた。このように、隔壁部上に捕集層を形成したハニカムセグメントを作製した。このようにして得られたハニカムセグメントの側面に、アルミナシリケートファイバ、コロイダルシリカ、ポリビニルアルコール、炭化珪素、および水を混練してなる接合用スラリーを塗布し、互いに組み付けて圧着した後、加熱乾燥して、全体形状が四角形状のハニカムセグメント接合体を得た。さらに、そのハニカムセグメント接合体を、円柱形状に研削加工した後、その周囲を、接合用スラリーと同等の材料からなる外周コート用スラリーで被覆し、乾燥により硬化させることにより所望の形状、セグメント形状、セル構造を有する円柱形状のハニカムフィルタを得た。ここでは、ハニカムフィルタは、断面の直径が144mm、長さが152mmの形状とした。また、後述する実施例1~30及び比較例1~24の隔壁部の気孔率は40体積であり、平均細孔径は15μmであり、捕集層を形成する粒子の平均粒径は2.0μmであった。また、後述する実施例1~26及び比較例1~22の隔壁厚さtpは305μmとした。なお、隔壁部の気孔率及び平均細孔径は水銀ポロシメータMicromeritics社製AutoPoreIII型式9405を用いて測定した。また、捕集層の原料粒子の平均粒径は、レーザ回折/散乱式粒度分布測定装置堀場製作所社製LA-910を用い、水を分散媒として測定したメディアン径D50である。[捕集層の膜厚分布処理]濃度の異なるアルコール溶液を準備し、ハニカムセグメントの上流域中流域にそのアルコール溶液を浸漬させたあと、所定時間内に捕集層の粒子群を形成するSiC粒子を空気と共に供給し、SiC粒子を隔壁部上に堆積させた。堆積させ始めた初期段階では、高い透過抵抗により、流入したSiC粒子の大半は下流領域に堆積するが、その後アルコール溶液が気化していくことから、徐々に透過抵抗が低下し、アルコール溶液を浸漬させた領域へもSiC粒子が堆積していく。アルコール溶液の濃度を調整することにより気化速度をコントロールし、各領域でのSiC粒子の堆積量を制御した。例えば、後述する比較例9では、アルコール濃度95の水溶液を準備し、ハニカムフィルタの上流側より100mmの部分をこのアルコール溶液に浸漬させたあと、余剰分を除去し、出口側から吸引しながら所定の製膜量のSiC粒子を入口セルへ空気と共に供給することで捕集層を形成した。作製した比較例9は、平均厚さtAveが40μm、膜厚比Y1が1.5、膜厚比Y2が1.0であった。また、実施例10では、アルコール濃度89の水溶液を準備し、比較例9と同様の方法で捕集層を形成した。作製した実施例10は、平均厚さtAveが40μm、膜厚比Y1が2.1、膜厚比Y2が1.7であった。また、実施例11では、アルコール濃度32の水溶液を準備し、比較例9と同様の方法で捕集層を形成した。作製した実施例11は、平均厚さtAveが40μm、膜厚比Y1が8.4、膜厚比Y2が1.5であった。なお、このハニカムセグメント21において、上流厚さは、上流側端面から全長の20での断面の中央部、外周部の9点を測定し、これらの平均値とし、中流厚さは、上流側端面から全長の50での断面の中央部、外周部の9点を測定し、これらの平均値し、下流厚さは、下流側端面から全長の20での断面の中央部、外周部の9点を測定し、これらの平均値とした。また、ハニカムフィルタの上流厚さth、中流厚さtm及び下流厚さtlとしては、全ハニカムセグメントの上流厚さthの平均値、中流厚さtmの平均値、下流厚さtlの平均値とした。[触媒担持]まず、重量比でアルミナ:白金:セリア系材料=7:0.5:2.5とし、セリア系材料を重量比でCe:Zr:Pr:Y:Mn=60:20:10:5:5とした原料を混合し、溶媒を水とした触媒のスラリーを調製した。次に、ハニカムセグメントの出口端面排ガスが流出する側を所定の高さまで浸漬させ、入口端面排ガスが流入する側より、所定の吸引圧力と吸引流量に調整しながら所定時間にわたって吸引し、隔壁に触媒を担持し、120°C2時間で乾燥させた後、550°C1時間で焼付けを行った。ハニカムフィルタの単位体積当たりの触媒量は、30g/Lとなるようにした。比較例1,2上流厚さthが1.2μm、中流厚さtmが2.6μm、下流厚さtlが7.8μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例1とした。比較例1の最大厚さtmaxは7.6μmであり、膜厚比Y1は4.1であり、膜厚比Y2は2.0であった。また、上流厚さthが2.4μm、中流厚さtmが2.8μm、下流厚さtlが7.4μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例2とした。比較例2の最大厚さtmaxは8.1μmであり、膜厚比Y1は2.8であり、膜厚比Y2は1.9であった。実施例1~4上流厚さthが3.7μm、中流厚さtmが3.9μm、下流厚さtlが7.4μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例1とした。実施例1の最大厚さtmaxは7.6μmであり、膜厚比Y1は2.0であり、膜厚比Y2は1.6であった。なお、実施例1~4、比較例3~5の平均厚さtAveは5μmであった。また、上流厚さthが1.8μm、中流厚さtmが3.1μm、下流厚さtlが11μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例2とした。実施例2の最大厚さtmaxは14μmであり、膜厚比Y1は4.5であり、膜厚比Y2は2.6であった。また、上流厚さthが1.1μm、中流厚さtmが1.4μm、下流厚さtlが13μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例3とした。実施例3の最大厚さtmaxは32μmであり、膜厚比Y1は10.0であり、膜厚比Y2は6.4であった。また、上流厚さthが1.1μm、中流厚さtmが1.4μm、下流厚さtlが13μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例4とした。実施例4の最大厚さtmaxは40μmであり、膜厚比Y1は10.0であり、膜厚比Y2は8.0であった。比較例3~5上流厚さthが3.7μm、中流厚さtmが3.9μm、下流厚さtlが7.4μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例3とした。比較例3の最大厚さtmaxは7.6μmであり、膜厚比Y1は1.9であり、膜厚比Y2は1.5であった。また、上流厚さthが1.1μm、中流厚さtmが1.4μm、下流厚さtlが13μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例4とした。比較例4の最大厚さtmaxは42μmであり、膜厚比Y1は10.0であり、膜厚比Y2は8.4であった。また、上流厚さthが1.0μm、中流厚さtmが1.1μm、下流厚さtlが13μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例5とした。比較例5の最大厚さtmaxは18μmであり、膜厚比Y1は12.4であり、膜厚比Y2は3.6であった。実施例5~8上流厚さthが14μm、中流厚さtmが18μm、下流厚さtlが28μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例5とした。実施例5の最大厚さtmaxは38μmであり、膜厚比Y1は1.8であり、膜厚比Y2は1.9であった。なお、実施例5~8、比較例6~8の平均厚さtAveは20μmであった。また、上流厚さthが10μm、中流厚さtmが13μm、下流厚さtlが38μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例6とした。実施例6の最大厚さtmaxは45μmであり、膜厚比Y1は3.3であり、膜厚比Y2は2.2であった。また、上流厚さthが5.2μm、中流厚さtmが5.6μm、下流厚さtlが50μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例7とした。実施例7の最大厚さtmaxは55μmであり、膜厚比Y1は9.2であり、膜厚比Y2は2.7であった。また、上流厚さthが5.2μm、中流厚さtmが5.6μm、下流厚さtlが50μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例8とした。実施例8の最大厚さtmaxは140μmであり、膜厚比Y1は9.2であり、膜厚比Y2は7.0であった。比較例6~8上流厚さthが15μm、中流厚さtmが18μm、下流厚さtlが27μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例6とした。比較例6の最大厚さtmaxは35μmであり、膜厚比Y1は1.6であり、膜厚比Y2は1.8であった。また、上流厚さthが5.2μm、中流厚さtmが5.6μm、下流厚さtlが50μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例7とした。比較例7の最大厚さtmaxは150μmであり、膜厚比Y1は9.2であり、膜厚比Y2は7.5であった。また、上流厚さthが4.6μm、中流厚さtmが5.4μm、下流厚さtlが50μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例8とした。比較例8の最大厚さtmaxは60μmであり、膜厚比Y1は10.0であり、膜厚比Y2は3.0であった。実施例9~12上流厚さthが31μm、中流厚さtmが35μm、下流厚さtlが54μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例9とした。実施例9の最大厚さtmaxは72μmであり、膜厚比Y1は1.6であり、膜厚比Y2は1.8であった。なお、実施例9~12、比較例9~11の平均厚さtAveは40μmであった。また、上流厚さthが21μm、中流厚さtmが38μm、下流厚さtlが61μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例10とした。実施例10の最大厚さtmaxは68μmであり、膜厚比Y1は2.1であり、膜厚比Y2は1.7であった。また、上流厚さthが9.0μm、中流厚さtmが14μm、下流厚さtlが97μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例11とした。実施例11の最大厚さtmaxは60μmであり、膜厚比Y1は8.4であり、膜厚比Y2は1.5であった。また、上流厚さthが9.0μm、中流厚さtmが14μm、下流厚さtlが97μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例11とした。実施例11の最大厚さtmaxは226μmであり、膜厚比Y1は8.4であり、膜厚比Y2は5.7であった。比較例9~11上流厚さthが33μm、中流厚さtmが36μm、下流厚さtlが51μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例9とした。比較例9の最大厚さtmaxは40μmであり、膜厚比Y1は1.5であり、膜厚比Y2は1.0であった。また、上流厚さthが9.0μm、中流厚さtmが14μm、下流厚さtlが97μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例10とした。比較例10の最大厚さtmaxは240μmであり、膜厚比Y1は8.4であり、膜厚比Y2は6.0であった。また、上流厚さthが8.0μm、中流厚さtmが12μm、下流厚さtlが100μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例11とした。比較例11の最大厚さtmaxは120μmであり、膜厚比Y1は10.0であり、膜厚比Y2は3.0であった。実施例13~16上流厚さthが50μm、中流厚さtmが56μm、下流厚さtlが74μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例13とした。実施例13の最大厚さtmaxは75μmであり、膜厚比Y1は1.4であり、膜厚比Y2は1.3であった。なお、実施例13~16、比較例12~14の平均厚さtAveは60μmであった。また、上流厚さthが42μm、中流厚さtmが48μm、下流厚さtlが89μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例14とした。実施例14の最大厚さtmaxは90μmであり、膜厚比Y1は2.0であり、膜厚比Y2は1.5であった。また、上流厚さthが15μm、中流厚さtmが23μm、下流厚さtlが142μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例15とした。実施例15の最大厚さtmaxは118μmであり、膜厚比Y1は7.5であり、膜厚比Y2は2.0であった。また、上流厚さthが15μm、中流厚さtmが23μm、下流厚さtlが142μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例16とした。実施例16の最大厚さtmaxは260μmであり、膜厚比Y1は7.5であり、膜厚比Y2は4.3であった。比較例12~14上流厚さthが52μm、中流厚さtmが57μm、下流厚さtlが71μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例12とした。比較例12の最大厚さtmaxは72μmであり、膜厚比Y1は1.3であり、膜厚比Y2は1.2であった。また、上流厚さthが15μm、中流厚さtmが23μm、下流厚さtlが142μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例13とした。比較例13の最大厚さtmaxは270μmであり、膜厚比Y1は7.5であり、膜厚比Y2は4.5であった。また、上流厚さthが14μm、中流厚さtmが21μm、下流厚さtlが145μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例14とした。比較例14の最大厚さtmaxは155μmであり、膜厚比Y1は8.3であり、膜厚比Y2は2.6.6であった。実施例17~20上流厚さthが74μm、中流厚さtmが76μm、下流厚さtlが90μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例17とした。実施例17の最大厚さtmaxは106μmであり、膜厚比Y1は1.2であり、膜厚比Y2は1.3であった。なお、実施例17~20、比較例15~18の平均厚さtAveは80μmであった。また、上流厚さthが53μm、中流厚さtmが72μm、下流厚さtlが114μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例18とした。実施例18の最大厚さtmaxは128μmであり、膜厚比Y1は1.8であり、膜厚比Y2は1.6であった。また、上流厚さthが22μm、中流厚さtmが34μm、下流厚さtlが184μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例19とした。実施例19の最大厚さtmaxは198μmであり、膜厚比Y1は6.6であり、膜厚比Y2は2.5であった。また、上流厚さthが22μm、中流厚さtmが34μm、下流厚さtlが184μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを実施例20とした。実施例20の最大厚さtmaxは238μmであり、膜厚比Y1は6.6であり、膜厚比Y2は2.5であった。比較例15~17上流厚さthが75μm、中流厚さtmが78μm、下流厚さtlが7.4μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例15とした。比較例15の最大厚さtmaxは92μmであり、膜厚比Y1は1.1であり、膜厚比Y2は1.2であった。また、上流厚さthが22μm、中流厚さtmが34μm、下流厚さtlが184μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例16とした。比較例16の最大厚さtmaxは250μmであり、膜厚比Y1は6.6であり、膜厚比Y2は3.1であった。また、上流厚さthが21μm、中流厚さtmが33μm、下流厚さtlが186μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例17とした。比較例17の最大厚さtmaxは210μmであり、膜厚比Y1は6.9であり、膜厚比Y2は2.6であった。比較例18~20上流厚さthが58μm、中流厚さtmが75μm、下流厚さtlが120μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例18とした。比較例18の平均厚さtAveは84μmであり、最大厚さtmaxは132μmであり、膜厚比Y1は1.8であり、膜厚比Y2は1.6であった。また、上流厚さthが42μm、中流厚さtmが58μm、下流厚さtlが155μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例19とした。比較例19の平均厚さtAveは85μmであり、最大厚さtmaxは164μmであり、膜厚比Y1は3.1であり、膜厚比Y2は1.9であった。また、上流厚さthが28μm、中流厚さtmが37μm、下流厚さtlが190μmとなるようにアルコール溶液及びSiC粒子の供給量を調整し、得られたハニカムフィルタを比較例20とした。比較例20の平均厚さtAveは85μmであり、最大厚さtmaxは195μmであり、膜厚比Y1は5.8であり、膜厚比Y2は2.3であった。実施例21~26入口セルの水力直径HDinをそれぞれ2.0mm、1.7mm、1.4mm、1.2mm、1.1mm、0.97mmとし、得られたハニカムフィルタをそれぞれ実施例21~26とした。なお、実施例21~26、比較例21~22については、上流厚さthは21μm、中流厚さtmは38μm、下流厚さtlは61μm、平均厚さtAveは40μm、最大厚さtmaxは68μm、膜厚比Y1は2.1、膜厚比Y2は1.7とした。比較例21,22入口セルの水力直径HDinをそれぞれ2.1mm、0.92mmとし、得られたハニカムフィルタをそれぞれ比較例21,22とした。実施例27~30隔壁厚さtpをそれぞれ152μm、254μm、356μm、457μmとし、得られたハニカムフィルタをそれぞれ実施例27~30とした。なお、実施例27~30、比較例23~24については、上流厚さthは21μm、中流厚さtmは38μm、下流厚さtlは61μm、平均厚さtAveは40μm、最大厚さtmaxは68μm、膜厚比Y1は2.1、膜厚比Y2は1.7とした。比較例23,24隔壁厚さtpをそれぞれ140μm、470μmとし、得られたハニカムフィルタをそれぞれ比較例23,24とした。[SEM撮影]作製したハニカムフィルタの断面のSEM撮影を走査型電子顕微鏡日立ハイテクノロジーズ製S-3200Nを用いて行った。図5は、実施例10の隔壁部の断面のSEM写真である。図5に示すように、上中流厚さthmよりも下流厚さtlが大きいことが確認された。また、このSEM撮影により、捕集層24の厚さを求めた。まず、ハニカムフィルタの隔壁基材を樹脂埋めした後に流体の流通方向に垂直な断面を観察面とするように切断研磨した観察用試料を用意し、SEMの倍率を100倍~500倍に設定し、後述する測定位置において、視野をおよそ500μm×500μmの範囲として用意した観察用試料の観察面を撮影した。測定位置は、ハニカムフィルタの入口端面から15mm、中央部、出口端面から15mm上流側の断面において、その中央領域の1点および、外周領域の8点の9箇所とした図3参照。撮影した画像において、隔壁表面に対して垂直の方向からこの隔壁表面に仮想光を照射したものとしたときに得られる投影線を隔壁の最外輪郭線として仮想的に描画した。また、同様に、捕集層表面に対して垂直の方向からこの捕集層を形成する粒子群の表面に仮想光を照射したものとしたときに得られる投影線を粒子群の最外輪郭線として仮想的に描画した。続いて、描画した隔壁の最外輪郭線の上面線分の各々の高さ及び長さに基づいて隔壁の最外輪郭線の平均線である隔壁の標準基準線を求めた。また、隔壁の標準基準線と同様に、描画した粒子群の最外輪郭線の上面線分の各々の高さ及び長さに基づいて粒子群の最外輪郭線の平均線である粒子群の平均高さを求めた。そして、得られた粒子群の平均高さと隔壁の標準基準線との差をとり、この差長さを、この撮影画像における捕集層の厚さ粒子群の厚さとした。そして、得られた捕集層の厚さを用いて、上中下流での捕集層の厚さをそれぞれ平均するなどして、上流厚さth、中流厚さtm、下流厚さtl、平均厚さtAve、最大厚さtmax、膜厚比Y1、膜厚比Y2などを求めた。また、別例として、上述した実施例と同様の手法により捕集層を形成した一体構造を有するハニカムフィルタをコージェライトにより作製し、そのセル表面及び断面をSEM撮影した。図6は、コージェライトによる一体構造を有するハニカムフィルタのSEM写真である。これについても、上中流厚さthmよりも下流厚さtlが大きいことが確認された。また、観察用試料を用い、水力直径HDinを算出した。観察用資料を用い、入口側セル全体が観察できるよう倍率を調整してSEM画像を取得し、画像解析によって、捕集層に覆われた入口側のセルの面積Amm2及び周長Lmmを計測し、水力直径HDin=4A/Lの式から算出した。[圧力損失試験]上記作製したハニカムフィルタを2.0Lディーゼルエンジンに搭載し、エンジン回転数2200rpm、トルク45Nmの定常状態にてPMを堆積させながら、圧力損失の挙動を計測した。エンジン試験前後にハニカムフィルタの重量を測定し、試験後の重量から試験前の重量を引くことで、試験時の堆積PM量を算出した。PMは一定速度で発生しているものとすることで堆積PM量に対する圧力損失の値を得た。ハニカムフィルタの性能評価としてPMが4g/L堆積した状態の圧力損失値を用いた。[初期捕集効率]圧力損失試験と同条件にてPMを堆積させていく際に、ハニカムフィルタの上流側と下流側でのPMの濃度を、走査型モビリティ粒径分析装置ScanningMobilityParticleSizer:SMPSにより計測し、ハニカムフィルタ上流でのPMの濃度に対するハニカムフィルタ下流でのPMの濃度の減少率よりハニカムフィルタの捕集効率を算出した。試験開始直後の最も捕集効率が低い時点での捕集効率を初期捕集効率とした。[再生限界]圧力損失試験と同条件にてPMを堆積させたあと、ポストインジェクションによりハニカムフィルタの入口ガス温度を650°Cまで上昇させ、ハニカムフィルタに堆積しているPMが燃焼しはじめ、ハニカムフィルタの圧力損失が下がり始めたところでポストインジェクションを停止すると同時にエンジン状態をアイドル状態に切り替えた。その際、高い酸素濃度と低流量によりハニカムフィルタ内部で残存PMの異常燃焼が起こり、ハニカムフィルタ内部温度は急上昇する。その高温度によりハニカムフィルタにコートされている触媒が劣化し、未燃ガス浄化効率が低下する。PMを堆積させる時間を制御することでポストインジェクションの前の堆積PM量を調整し、所望のPM量を堆積させた。堆積させるPM量を徐々に増加させていき、ハニカムフィルタの内部温度を測定した。一般的に、触媒は900°C~1000°C程度で劣化が起こると言われているが、今回コートした触媒は1000°Cの熱履歴を加える事で再生処理時の未燃ガスの浄化効率が20悪化し、再生処理時のエミッションを考慮した際の車両エミッションが規制値を達成できなくなる懸念が生じることから、今回の再生限界試験にてハニカムフィルタ内部の最高温度が1000°Cに到達するPM堆積量を各ハニカムフィルタの再生限界値とした。実験結果実施例1~20及び比較例1~17についての測定結果等を表1に示し、実施例21~30及び比較例18~24についての測定結果等を表2に示した。図7は、平均厚さtAveに対する初期捕集効率の測定結果である。図8は、平均厚さtAveに対する圧力損失の測定結果である。図9は、平均厚さtAveに対する再生限界の測定結果である。図10は、圧力損失に対する再生限界をまとめた図である。この図7~10は、実施例1~20及び比較例1~20の測定結果をまとめたものである。図11は、平均厚さtAveに対する膜厚比Y1をまとめた図である。図12は、平均厚さtAveに対する膜厚比Y2をまとめた図である。また、図13は、入口セルの水力直径HDinに対する圧力損失の測定結果である。図14は、隔壁厚さtpに対する圧力損失及び再生限界の測定結果である。図7に示すように、捕集層の平均厚さtAveが5μmを下回ると、初期捕集効率が低下することがわかった。図8,9及び表1に示すように、実施例1~4及び比較例3~5においては、膜厚比Y1が2.0以上10以下の範囲、且つ膜厚比Y2が1.6以上8.0以下では、圧力損失及び再生限界が好適であった。また、実施例5~8及び比較例6~8においては、膜厚比Y1が1.8以上9.2以下の範囲、且つ膜厚比Y2が1.9以上7.0以下では、圧力損失及び再生限界が好適であった。また、実施例9~12及び比較例9~11においては、膜厚比Y1が1.6以上8.4以下の範囲、且つ膜厚比Y2が1.5以上5.7以下では、圧力損失及び再生限界が好適であった。また、実施例13~16及び比較例12~14においては、膜厚比Y1が1.4以上7.5以下の範囲、且つ膜厚比Y2が1.3以上4.3以下では、圧力損失及び再生限界が好適であった。また、実施例17~20及び比較例15~17においては、膜厚比Y1が1.2以上6.6以下の範囲、且つ膜厚比Y2が1.3以上3.0以下では、圧力損失及び再生限界が好適であった。図10に示すように、各捕集層の平均厚さtAveの値に応じて、圧力損失の減少に伴い、屈曲点をもって再生限界が急激に低下することがわかった。一般に、圧力損失と再生限界との関係であるが、隔壁部の気孔率や開口率セル密度、隔壁部の厚さが高くなると圧力損失及び再生限界が低くなるというトレードオフの関係にある。例えば、捕集層の平均厚さtAveが4μmから85μmへ大きくなると、捕集層の熱容量によって温度が上昇しにくくなることから、再生限界は徐々に向上すると考えられる。一方、平均厚さtAveが大きくなると入口セルの有効体積が減少していくことから、圧力損失は徐々に悪化すると考えられる。即ち、平均厚さtAveを変化させることによっても圧力損失と再生限界のトレードオフの関係が生じるといえる。例えば、実施例17~20及び比較例15~17では、より高い再生限界を指向するものであるが、圧力損失値に対して再生限界値が小さい比較例15など、圧力損失及び再生限界のうちいずれか一方が相対的に悪化しているものは好ましくないといえる。ここでは、捕集層の平均厚さtAveに応じて圧力損失の基準値を設定し、その基準値を15超えたものについては、比較例であると判定した。例えば、捕集層の平均厚さtAveが5μmのハニカムフィルタにおいては、圧力損失の基準値を4.5kPaに定めることができ、捕集層の平均厚さtAveが20μmのハニカムフィルタにおいては、圧力損失の基準値を4.7kPaに定めることができる。図11に示すように、この結果を膜厚比Y1でまとめると、膜厚比Y1が-4/375tAve2.05の関係以上であると再生限界が向上することがわかった。また、膜厚比Y1が-17/375tAve10.23の関係以下であると下流厚さtlが大きくなりすぎず、透過抵抗を低減し、圧力損失の増加をより抑制することができることがわかった。また、図12に示すように、この結果を膜厚比Y2でまとめると、膜厚比Y2が-1/15tAve8.33の関係以下であると、最大厚さtmaxが大きくなりすぎず、圧力損失の増加をより抑制することができることがわかった。また、図13に示すように、水力直径HDinが0.95以上では、PMが堆積しうる有効表面積がより大きくなり隔壁を通過する平均透過流速の上昇を抑え、圧力損失の上昇をより抑制することができる。また、水力直径HDinが2以下では、PMが堆積する際の有効膜面積が大きくなり、ある一定量のPMが堆積した際のPM堆積時の圧力損失の増加をより抑制することができる。また、図14に示すように、隔壁厚さtpが150μm以上では、再生限界をより高めることができ、460μm以下では、圧力損失の増加をより抑制することができることがわかった。したがって、隔壁厚さtpが150μm以上460μm以下であり、平均厚さtAveが5μm以上80μm以下であり、式1~3の関係を満たすものとすると、圧力損失の上昇を抑え、再生効率を高めることができることが明らかとなった。本出願は、2010年3月31日に出願された日本国特許出願第2010-81896号を優先権主張の基礎としており、引用によりその内容の全てが本明細書に含まれる。"