ターゲット物質を励起してプラズマ化することにより極端紫外光を生成するための装置であって、フレームと、極端紫外光の生成が内部で行われるチャンバと、前記チャンバの内部に前記ターゲット物質を供給するためのターゲット供給部と、前記フレームと前記チャンバとをフレキシブルに接続するための第1の接続部材と、前記ターゲット供給部を前記フレームに固定するための機構と、前記ターゲット供給部を前記チャンバにフレキシブルに接続するための第2の接続部材と、を備える装置。前記チャンバには、貫通孔が形成されており、前記ターゲット供給部は、前記ターゲット物質を前記チャンバ内に供給するための開口が形成されたノズルを含み、前記第2の接続部材は、前記チャンバの前記貫通孔の周囲と、前記ターゲット供給部とをフレキシブルに接続し、前記チャンバを密閉するためのフレキシブル管である、請求項1記載の装置。前記フレームに固定され、前記チャンバの内部に供給された前記ターゲット物質の軌道を検出するためのターゲットセンサをさらに備える、請求項1記載の装置。前記フレームに固定されて、前記チャンバの内部に位置し、前記チャンバの内部において生成された極端紫外光を集光するための集光ミラーをさらに備える、請求項1記載の装置。前記チャンバには、第2の貫通孔が形成される、請求項4記載の装置。前記第2の貫通孔を貫通して前記集光ミラーを前記フレームに固定するための固定部材と、前記チャンバの前記第2の貫通孔の周囲と、前記固定部材とをフレキシブルに接続し、前記チャンバを密閉するためのフレキシブル管である第3の接続部材と、をさらに備える請求項5記載の装置。前記フレームに固定され、前記チャンバの内部において生成された極端紫外光のエネルギーを検出するための極端紫外光センサをさらに備える、請求項1記載の装置。前記フレームを構成する少なくとも1つの材質の熱膨張率が、前記チャンバを構成する少なくとも1つの材質の熱膨張率より小さい、請求項1記載の装置。前記チャンバが、弾性部材を介して前記フレームに接続されている、請求項1記載の装置。前記フレームの少なくとも一部が、前記チャンバの外部に位置している、請求項1記載の装置。前記チャンバにフレキシブル管である第4の接続部材を介して接続された真空ポンプをさらに備える、請求項1記載の装置。ターゲット物質を励起してプラズマ化することにより極端紫外光を生成するためのシステムであって、フレームと、極端紫外光の生成が内部で行われるチャンバと、前記チャンバの内部に前記ターゲット物質を供給するためのターゲット供給部と、前記フレームと前記チャンバとをフレキシブルに接続するための第1の接続部材と、前記ターゲット供給部を前記フレームに固定するための機構と、前記ターゲット供給部を前記チャンバにフレキシブルに接続するための第2の接続部材と、前記ターゲット供給部から前記チャンバの内部に供給された前記ターゲット物質に照射されるレーザ光を出力するよう構成されるドライバレーザと、前記フレームに固定され、前記チャンバの内部に出力された前記レーザ光を反射するためのミラーと、前記ミラーによって反射された前記レーザ光の進行方向に配置されて、前記レーザ光を吸収するためのビームダンプと、を備えるシステム。