"試料を移動する試料移動ステージが前記試料を電子ビームと直角をなすx方向に移動するxテーブルと、前記試料を前記電子ビームと直角をなし、かつ前記x方向と直角をなすy方向に移動し、前記xテーブルの上に取り付けられるyテーブルと、前記電子ビームと同じ方向のz方向に移動するzテーブルと、前記試料をxy平面と平行な面内に回転させるローテーションテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるチルトテーブルを備え、前記xテーブルは前記チルトベースの上に取り付けられ、前記xテーブルおよびyテーブルがそれぞれクロスローラガイド等のころがり摩擦要素で案内され、かつ試料室内に配置されてボールネジにカップリングを介して連結したパルスモータによって移動させられ、前記試料上を電子ビームで走査し、前記試料から発生する信号を検出器により検出し、前記検出器で検出された信号により試料像表示を行う走査型電子顕微鏡において、xテーブルとyテーブルの間およびチルトベースとxテーブルの間で、試料に対してボールネジと同じ側にすべり摩擦要素を配置したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。請求項1に記載の走査型電子顕微鏡において、前記すべり摩擦要素は、相対的に移動する一方のテーブルあるいはベースに板バネの一端を挟んで摺動子ベースの一端を固定し、前記板バネの他端の一面で、他方のテーブルあるいはベースに取り付けた相手板に対向して薄い板状の摩擦材を接着し、もう一つの面にバネ座板を接着し、前記摺動子ベースとバネ座板との間に一つまたは複数のコイルバネを入れて、摩擦材を相手板に押圧したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。請求項1または2に記載の走査型電子顕微鏡において、前記すべり摩擦要素は、xテーブルとチルトベースの間では縦方向に配置し、yテーブルとxテーブルの間では横方向に配置したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。請求項2に記載の走査型電子顕微鏡において、前記板バネおよび摩擦材のテーブルの移動方向の長さをそれと直角方向の長さを2倍以上にしたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。請求項1に記載の走査型電子顕微鏡において、前記テーブルを駆動するボールネジのナットが連結部材を介してすべり摩擦要素に取り付けられたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。従来技術ではxおよびyテーブルを駆動するパルスモータは真空外のステージケースに取り付けられる。xパルスモータの出力軸とxボールネジの間にはxステージジョイント等の伝達系が入っているため、この部分のバックラッシュ、そしてねじり変形が発生し、x,yテーブルの特に動かし始めや逆方向に動かそうとしたときの応答性が悪い。例えばトラックボールによって操作する場合は、像が動き始めるまでにボールを空回しさせなければならず、テーブル駆動すなわち像を移動させるための操作性が悪かった。yテーブルに関しては、駆動系にさらにバックラッシュを持つ傘歯車が加わるため、xテーブルよりさらに応答性が悪くなり、操作性が悪化する。xおよびyテーブルはクロスローラガイドで案内され、ボールネジの作用でxおよびyテーブルを移送する。これらはころがり摩擦を利用した要素部品であるが、ころがり接触は摩擦が小さいために動きやすく、テーブルの動きに小さなふらつきが入って不安定な動きになる。この小さなふらつきは高倍率下で像を移動させるときに見えてしまうために操作に支障をきたし、位置決めを不安定にさせる。ボールネジは送り精度が良いために通常のネジ送りに替わって用いられるようになったのであるが、ネジ送りの場合はすべり摩擦を利用しているのでこのような不安定性は生じなかった。また、以前はつまみを手で回すことによってテーブルを操作していたが、そのときは手で操作しているということでこのような不安定性は許容されていた。しかし、操作もトラックボールやジョイスティックを使って行うようになり、微妙な位置決めが可能となったが、この不安定性が操作性を悪くしていた。上記の問題点は、試料を移動する試料移動ステージが前記試料を電子ビームと直角をなすx方向に移動するxテーブルと、前記試料を前記電子ビームと直角をなし、かつ前記x方向と直角をなすy方向に移動し、前記xテーブルの上に取り付けられるyテーブルと、前記電子ビームと同じ方向のz方向に移動するzテーブルと、前記試料をxy平面と平行な面内に回転させるローテーションテーブルと、前記試料に傾斜動作を与えるチルトテーブルを備え、前記xテーブルは前記チルトベースの上に取り付けられ、前記xテーブルおよびyテーブルがそれぞれクロスローラガイド等のころがり摩擦要素で案内され、かつボールネジにカップリングを介して連結したパルスモータによって移動させられ、前記パルスモータは試料室内に配置され、前記試料上を電子ビームで走査し、前記試料から発生する信号を検出器により検出し、前記検出器で検出された信号により試料像表示を行う走査型電子顕微鏡において、xテーブルとyテーブルの間およびチルトベースとxテーブルの間で、ボールネジに近い位置にすべり摩擦要素を配置することにより解決できる。テーブルを移動するボールネジを直接パルスモータで駆動することにより駆動系で生じていたバックラッシュを低減することができ、テーブルの応答性が良くなり操作性が向上する。テーブルを移動させるボールネジやクロスローラガイドは摩擦の小さいころがり要素であり、動きやすいためにテーブルの動きに不安定性を与えていたが、xテーブルについてはTベースとの間に、yテーブルについてはxテーブルとの間にすべり摩擦要素である摺動子をボールネジの直近に配置し、さらに摺動子の形状,構造を適切なものとして、ころがり要素が発生させるテーブルの不安定な動きを防止し、かつテーブルの動きの遅れや不安定性を効果的に防止することができ、操作性が向上する。そのためトラックボールやジョイスティックを使った微妙な位置決めも安定してできるようになる。以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。図5に本発明の実施例を示す。図6は図5のC-C線矢視図を示す。試料室104にステージケース114が取り付けられ、ステージケース114に取り付けられたzテーブル系とチルトテーブル駆動系は従来技術と基本的に同じである。zテーブル115がクロスローラ軸受図示せずを介してステージケース114に連結されている。zテーブ115はバネ117で上方向に引っ張られ、zパルスモータ118によってz移動軸119を上下させることによりクロスローラ軸受に案内されてz方向に移動し、試料106をz方向に移動する。z移動軸119にはオネジが切られ、zテーブル115の上下はz移動軸119のオネジ部とzテーブル115に取り付けられたメネジ部116の作用で行う。チルトテーブル120の一端にはチルト軸121が取り付けられ、チルト軸121はころがり軸受122,123を介して回転自在にzテーブル115に連結されている。チルトテーブル120の他端はロック板124が取り付けられ、試料室104に取り付けられたステージロック機構125により押されている。チルト軸121にはウォームホィール126aが取り付けられ、これと組み合わされるウォームギヤ126bは玉軸受127,128で支持され、軸受ハウジング129,130でzテーブル115に取り付けられている。ウォームホィール126aとウォームギヤ126bを回転させるTパルスモータ131はスプライン軸132a,132bによって連結され、zテーブル115のz方向移動に追随可能となっている。Tパルスモータ131を回すことによりチルト軸121が回転し試料106を傾斜させ、一定の傾斜角に保持される。試料106をx方向に移動するxテーブル133はクロスローラガイド134を介してチルトテーブル120に取り付けられている。xテーブル133はxボールネジ135とxボールネジナット136の送り作用で駆動する。xボールネジナット136はxツギテ142,x摺動子143を介してxテーブル133に固定されている。xボールネジ135は両端を玉軸受137,138で支持され、軸受ハウジング139,140でチルトテーブル120に取り付けられている。xボールネジ135はxパルスモータ141とxカップリング144で連結され、xパルスモータ141はxブラケット145に取り付けられ、xブラケット145はチルトテーブル120に固定される。xテーブル133はxパルスモータ141を駆動してxボールネジ135を回転させてxボールネジナット136を移送することによりx方向に移動し、試料106をx方向に移動する。yテーブル153はクロスローラガイド154a,154bを介してxテーブル133に取り付けられている。yテーブル153はyボールネジ155とyボールネジナット156の送り作用で駆動する。yボールネジナット156はyツギテ148,yボールネジベース149を介してyテーブル153に固定されている。yボールネジ155は両端を玉軸受157,158で支持され、軸受ハウジング159,160でxテーブル133に取り付けられている。yボールネジ155はyパルスモータ161とyカップリング162で連結され、yパルスモータ161はyブラケット163に取り付けられ、yブラケット163はxテーブル133に固定される。yテーブル153はyパルスモータ161を駆動してyボールネジ155を回転させてyボールネジナット156を移送することによりy方向に移動し、試料106をy方向に移動する。y摺動子164はyボールネジナット156に向き合うようにyテーブル153に取り付けられる。ローテーションテーブル166はウォームホィール167aが取り付けられ、玉軸受168によってyテーブル153に回転自在に結合されている。ウォームギヤ167bは両端を玉軸受169,170で支持され、軸受ハウジング171,172でyテーブル153に取り付けられている。ウォームギヤ167bはDCモータ173によって回転させる。ローテーションテーブル166にはDCモータ173を回してウォームギヤ167b,ウォームホィール167aを回転させることにより回転し、試料106を回転させる。試料106は試料ホルダ107に接着され、試料ホルダ107はローテーションテーブル166に取り付けられたホルダ台108に挿入,固定されている。図7は図6のD-D線矢視図を示し、x摺動子の一実施例を示す。図8は図7の側面図を示し、図9は図8の平面図を示す。x摺動子143のx摺動子ベース180がx板バネ181を挟んでxテーブル133にボルトによって固定される。xボールネジ135のxボールネジナット136はxツギテ142を介してx摺動子ベース180に固定される。x板バネ181の先端部分の一面にはチルトテーブル120に取り付けられたx相手板182と摺動するx摩擦材183、他面にはxバネ座板184が接着される。x摺動子ベース180とxバネ座板184の間にxバネ185を入れ、x摩擦材183をx相手板182に押圧する力を与える。xバネ185はコイルバネでx摩擦材183の両端に185a,185bの2個装着される。x摩擦材183は高分子材料の薄い板材で作られている。xバネ座板184はx摩擦材183の平面を保つために設けられたものである。x摩擦材183とxバネ座板184は接着によって作成されるのでx摺動子143を薄い構造とすることができる。xボールネジ135がxボールネジナット136を駆動してxテーブル133を移動させるとき、xボールネジ135およびxクロスローラガイド134aはころがり摩擦接触をしているので摩擦が小さく動きやすいので逆にxテーブル133の動きに不安定性、すなわち像を移動させているとき細かなふらつきが入り、特に高倍で観察する場合見にくさが生じる。x摩擦材183はxバネ185によってチルトテーブル120のx相手板182に押圧され、x摩擦材183とx相手板182との間ですべり摩擦を発生させてこの不安定性を防止する。ころがり摩擦要素の動きやすさによる不安定性を防止するだけであるのですべり摩擦は小さい値で良い。x摩擦材183とx相手板182との間のすべり摩擦が小さいのでそれによって発生する駆動系のねじれ変形を小さく押えられるので、xテーブル133の移動し始めの遅れを小さくすることができる。x摺動子143をxボールネジ135と反対側のxテーブル面に設置すると設置が容易であるが、摩擦が小さいといってもxボールネジ135との距離が大きくなり、xテーブル133が移動する面と平行な面内の摩擦力によって生じるモーメントは大きくなって、ボールネジ135に曲げ変形が生じ、クロスローラガイド134のローラが変形し、始動時にxテーブル133の遅れが生じてしまう。ボールネジ135,クロスローラガイド134の変形は僅かなものであるが、高倍率下で像を動かす場合にはこれらの変形が操作に現れてしまう。すなわち、トラックボールのボールを回してxパルスモータ141を回転させ、ボールネジ135が回転しても、ボールネジ135,クロスローラガイド134の変形によって、xテーブル133が始動時に動かない時間が生じる。方向を反転させたときの動き始めにも同じ現象が生じる。そのため高倍率での微妙な位置決めがしにくくなる。本発明ではxボールネジ135の直近にx摺動子143を配置し、さらに薄く作られているので、x摺動子143の摩擦力Fx1によるモーメントMx1が小さくなり、xボールネジ135などの変形が小さくなって始動時にxテーブル133の遅れが生じることを防止することができる。x板バネ181はすべり方向の長さをそれと直角方向の長さの2倍以上と大きくし、図8の紙面と平行な面内で発生するモーメントMx1によるx板バネ181の変形を小さくしてx板バネ181の変形によるxテーブル133の始動の遅れを防止している。Pxはxボールネジ135とxボールネジナット136によってxテーブル133に作用する駆動力である。x摩擦材183はすべり方向の長さをそれと直角方向の長さの2倍以上と大きくし、図9の紙面と平行な面内で発生するモーメントMx2によるx摩擦材183とx相手板182との接触の不安定性を防ぎ、さらにx摩擦材183は薄いためにMx2が小さくなり、Mx2によるx板バネ181の変形を小さくしてx摩擦材のx相手板との摩擦の不安定性を防止する。このようにx摺動子143によって動きの良すぎによる不安定性をすべり摩擦を付与して防止し、かつx摺動子143が入ることによって生じるxテーブル133の動き始めの遅れや不安定性をx摺動子143を薄くし、かつボールネジ135の直近に配置することにより防止する。図10は図6のE-E線矢視図を示し、y摺動子の一実施例を示す。図11は図10の側面図を示し、図12は図10の平面図を示す。x摺動子143は垂直に配置したが、yテーブル153が薄いために垂直に配置できず、y摺動子164は水平に配置した。y摺動子ベース190がy板バネ191を挟んでyテーブル153にボルトによって固定される。yボールネジ155のyボールネジナット156はyツギテ148を介してyテーブル153に固定されている。y板バネ191の先端部分の一面にはxテーブル133に取り付けられたy相手板192と摺動するy摩擦材193、他面にはyバネ座板194が接着される。y摩擦材193は高分子材料の薄板で作られている。y摺動子ベース190とyバネ座板194の間にyバネ195を入れ、y摩擦材193をy相手板192に押圧する力を与える。yバネ195はコイルバネでy摩擦材193の両端に195a,195bの2個装着される。yバネ座板194はy摩擦材193の平面を保つために設けられたものである。yボールネジ155がyボールネジナット156を駆動してyテーブル153を移動させるとき、yボールネジ155およびyクロスローラガイド154a,154bはころがり摩擦接触をしているので摩擦が小さく動きやすいので逆にyテーブル153の動きに不安定性が生じる。この不安定性をy摺動子で除去するが、y摺動子164の機能や効果はx摺動子143と同じである。またy板バネ191はx板バネ181と同じようにすべり方向の長さをそれと直角方向の長さの2倍以上と大きくし、またy摩擦材193はx摩擦材183と同じようにすべり方向の長さをそれと直角方向の長さの2倍以上と大きくしている。従って、xテーブル133におけるFx1とMx1,Mx2の関係は、yテーブル153におけるFy1とMy1,My2の関係と同じである。図13は摩擦材と相手板との間の摩擦係数が経時的に変化する場合について、摩擦力を調整して常にテーブルの動きに適切な安定性を与えるために考案されたものである。xテーブルについて説明することにする。x摺動子ベース200がx板バネ201を挟んでxテーブル202のボルトによって固定される。xボールネジ203のxボールネジナット204はxツギテ205を介してx摺動子ベース200に固定される。x板バネ201の先端部分の一面にはチルトテーブル206に取り付けられたx相手板207と摺動するx摩擦材208、他面にはバネ座板209が接着される。xバネ座板209はx摩擦材208の平面を保つために設けられたものである。x摺動子ベース200とxバネ座板209の間にxバネ210を入れ、xバネ座211を摺動子ベース200から調整ネジ212で押すことにより、x摺動材208をx相手板207に押圧する。押圧する力は調整ネジ212のネジ込み量で調整する。"