"コンベアによって回路基板を搬送すると共に、フィーダによって供給される部品を吸着ノズルで吸着して該回路基板に実装する部品実装機において、前記吸着ノズルの静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段を前記コンベアによって搬送し、前記コンベアによって前記メンテナンス手段が所定位置に搬送されたときに、前記吸着ノズルをメンテナンス位置まで移動させて該メンテナンス手段により該吸着ノズルの静電気除去又はクリーニングを行うことを特徴とする部品実装機。コンベアによって回路基板を搬送すると共に、フィーダによって供給される部品を吸着ノズルで吸着して該回路基板に実装する部品実装機において、部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段を前記コンベアによって搬送し、前記コンベアによって前記メンテナンス手段が所定位置に搬送されたときに、前記吸着ノズル又はこれと一体的に移動する移動部に該メンテナンス手段を保持させて部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うことを特徴とする部品実装機。前記メンテナンス手段は、前記回路基板と同一幅の搬送板上に搭載され、該搬送板を前記コンベアに載せて搬送することで前記メンテナンス手段を前記所定位置に搬送し、前記搬送板には、前記メンテナンス手段の情報を記憶又は記録した情報記録部が設けられ、前記情報記録部に記憶又は記録された情報を読み取る情報読取り部を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の部品実装機。前記情報記録部は、前記メンテナンス手段の情報を表すコードが記録され、前記情報読取り部は、前記回路基板の基準位置マークを撮像するカメラであり、該カメラで前記情報記録部のコードを撮像して画像処理することで該コードを読み取ることを特徴とする請求項3に記載の部品実装機。前記回路基板の搬送経路に沿って複数台の部品実装機が配列されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の部品実装機。前記コンベアによって複数種類のメンテナンス手段を搬送し、複数種類のメンテナンス手段の中から使用するメンテナンス手段を選択することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の部品実装機。フィーダによって供給される部品を吸着ノズルで吸着して回路基板に実装する部品実装機において、部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段を該部品実装機の所定場所に保管し、前記吸着ノズル又はこれと一体的に移動する移動部に前記メンテナンス手段を保持させて部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うことを特徴とする部品実装機。前記メンテナンス手段を前記移動部に保持させる構造は、前記吸着ノズル又は装着ヘッドを該移動部に保持させる構造と共通化されていることを特徴とする請求項2又は7に記載の部品実装機。上記特許文献1の構成では、部品実装機の装着ヘッド又は該装着ヘッドを移動させる移動機構に、予め除電手段を取り付けておく構成であり、吸着ノズルや吸着部品の静電気除去を行わない場合でも、除電手段が装着ヘッド又は移動機構と一体的に移動するため、部品吸着動作や部品実装動作の際に除電手段が他の部材と干渉する可能性があると共に、使用する除電手段も、イオン化された空気をシャワー状に吹き付ける構成のもの等に限定されてしまう。そこで、本発明が解決しようとする課題は、吸着ノズル又は他の部位に対する静電気除去又はクリーニングを自動的に行う機能を極めて安価に実現できると共に、静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段が部品吸着動作や部品実装動作の邪魔にならず、且つ、メンテナンス手段の種類を選択する自由度が大きく、メンテナンス性を向上できる部品実装機を提供することである。上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、コンベアによって回路基板を搬送すると共に、フィーダによって供給される部品を吸着ノズルで吸着して該回路基板に実装する部品実装機において、前記吸着ノズルの静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段を前記コンベアによって搬送し、前記コンベアによって前記メンテナンス手段が所定位置に搬送されたときに、前記吸着ノズルをメンテナンス位置まで移動させて該メンテナンス手段により該吸着ノズルの静電気除去又はクリーニングを行うようにしたものである。この構成では、吸着ノズルの静電気除去又はクリーニングを行うときに、コンベアによってメンテナンス手段を搬送すれば良いため、予めメンテナンス手段を部品実装機の装着ヘッド等に取り付けておく必要がなく、吸着ノズルの静電気除去又はクリーニングを自動的に行う機能を極めて安価に実現できると共に、吸着ノズルの静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段が部品吸着動作や部品実装動作の邪魔になることはない。しかも、コンベアで搬送可能なメンテナンス手段であれば、様々な種類のメンテナンス手段の中から使用するメンテナンス手段を選択できるため、メンテナンス手段の種類を選択する自由度が大きくなり、既存の部品実装機にも容易に適用して実施できる。上記請求項1に係る発明では、メンテナンス手段をコンベアに載せた状態で吸着ノズルの静電気除去又はクリーニングを行うようにしたが、請求項2のように、部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段をコンベアによって搬送し、前記コンベアによって前記メンテナンス手段が所定位置に搬送されたときに、吸着ノズル又はこれと一体的に移動する移動部例えば装着ヘッド、装着ヘッドを保持する保持部、装着ヘッドに保持させたチャック等に該メンテナンス手段を保持させて部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うようにしても良い。このようにすれば、部品実装機の内部を吸着ノズル又は装着ヘッド等の移動部の移動可能な範囲で静電気除去又はクリーニングすることができる。この場合も、部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うときに、コンベアによってメンテナンス手段を搬送すれば良いため、予めメンテナンス手段を部品実装機の装着ヘッド等に取り付けておく必要がなく、部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを自動的に行う機能を極めて安価に実現できると共に、部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段が部品吸着動作や部品実装動作の邪魔になることはない。しかも、コンベアで搬送可能なメンテナンス手段であれば、様々な種類のメンテナンス手段の中から使用するメンテナンス手段を選択できるため、メンテナンス手段の種類を選択する自由度が大きくなり、メンテナンス性を向上できる。上述した請求項1,2のいずれの発明でも、請求項3のように、メンテナンス手段を回路基板と同一幅の搬送板上に搭載し、該搬送板をコンベアに載せて搬送することで前記メンテナンス手段を前記所定位置に搬送し、該搬送板には、前記メンテナンス手段の情報を記憶又は記録した情報記録部を設け、該情報記録部に記憶又は記録された情報を読み取る情報読取り部を備えた構成とすると良い。このようにすれば、メンテナンス手段を搭載した搬送板を回路基板と全く同様に搬送できるため、部品実装基板の生産中に、定期的にメンテナンス手段を搭載した搬送板を回路基板の中に混ぜて投入することが可能となり、部品実装基板の生産を継続しながら定期的にメンテナンス手段を搬送して静電気除去又はクリーニングを行うことができる。しかも、搬送板の情報記録部に記憶又は記録された情報を部品実装機の情報読取り部を読み取ることで、搬送板上のメンテナンス手段の情報例えばメンテナンス手段の種類、位置、サイズ等を自動的に取得することができるため、作業者がメンテナンス手段の情報を入力する作業を行う必要がなく、作業性を向上できると共に、作業者の入力ミスによるメンテナンス不良の問題も解消できる。この場合、情報記録部は、バーコード、2次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶する電子タグや、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良い。情報記録部からメンテナンス手段の情報を読み取る情報読取り部は、情報記録部の記録方式に応じて専用のリーダを設けても良いが、その分、コストアップする。そこで、近年の部品実装機には、回路基板の基準位置マークを撮像するカメラが標準装備されていることを考慮して、請求項4のように、情報記録部に、メンテナンス手段の情報を表すコードを記録し、情報読取り部として、回路基板の基準位置マークを撮像するカメラを使用し、該カメラで情報記録部のコードを撮像して画像処理することで該コードを読み取るようにすると良い。このようにすれば、情報記録部からメンテナンス手段の情報を読み取る情報読取り部を、部品実装機に標準装備された基準位置マーク撮像用のカメラに兼用させることができ、コストアップを回避できる。以上説明した請求項1~4に係る発明は、請求項5のように、回路基板の搬送経路に沿って複数台の部品実装機を配列したものに適用しても良い。このようにすれば、複数台の部品実装機で共通のメンテナンス手段を順番に使い回すことができ、複数台の部品実装機で使用するメンテナンス手段の数を少なくできる。また、請求項6のように、コンベアによって複数種類のメンテナンス手段を搬送し、複数種類のメンテナンス手段の中から使用するメンテナンス手段を選択するようにしても良い。このようにすれば、メンテナンスの対象部位に応じて、より適切なメンテナンス手段を選択できる。以上説明した請求項1~6に係る発明では、メンテナンス手段をコンベアによって搬送するようにしたが、請求項7のように、部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段を部品実装機の所定場所に保管し、吸着ノズル又はこれと一体的に移動する移動部例えば装着ヘッド、装着ヘッドを保持する保持部、装着ヘッドに保持させたチャック等に、前記メンテナンス手段を保持させて部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うようにしても良い。このようにしても、部品実装機の内部を装着ヘッドの移動可能な範囲で静電気除去又はクリーニングすることができる。上述した請求項2,7に係る発明では、メンテナンス手段を移動部に保持させる構造を、吸着ノズル又は装着ヘッドを該移動部に保持させる構造と共通化すると良い。このようにすれば、移動部側の保持構造を変更する必要がなく、コストアップを回避できる。以下、本発明を実施するための形態をモジュール型部品実装システムに適用して具体化した4つの実施例1~4を説明する。本発明の実施例1を図1及び図2を用いて説明する。まず、図2に基づいてモジュール型部品実装システムの構成を説明する。モジュール型部品実装システムのベース台11上に、回路基板の搬送方向X方向に隣接して複数台の実装機モジュール12部品実装機が取り替え可能に整列配置されている。各実装機モジュール12は、本体ベッド13上に、テープフィーダ等のフィーダ14、回路基板を搬送するコンベア15、部品撮像用のカメラ16パーツカメラ、装着ヘッド17、回路基板の基準位置マーク撮像用のカメラマークカメラ等を搭載して構成されている。図示はしないが、装着ヘッド17には、1本又は複数本の吸着ノズルが交換可能に保持され、XYZ方向に移動する移動機構によって装着ヘッド17がXYZ方向に移動して部品吸着動作と部品実装動作を行うようになっている。上部フレーム18の前面部には、液晶ディスプレイ、CRT等の表示装置19と、操作キー等の操作部20とが設けられている。各実装機モジュール12は、上流側の実装機モジュール12から搬送されてくる回路基板をコンベア15によって所定の実装位置まで搬送してクランプ機構図示せずで該回路基板をクランプして位置決めすると共に、フィーダ14によって供給される部品を装着ヘッド17の吸着ノズルで吸着してコンベア15上の回路基板に実装する。本実施例1では、図1に示すように、複数本例えば2本のコンベア15が並列に設けられ、各コンベア15でそれぞれ別の回路基板を搬送できるようになっている。各コンベア15は、回路基板の搬送方向をガイドする基板ガイド15a,15bと、コンベアベルト図示せず等から構成されている。尚、コンベア15を1本のみとした構成としても良いことは言うまでもない。次に、吸着ノズルの静電気除去を行うための構成を説明する。コンベア15で搬送する回路基板と同一幅の搬送板21を用い、この搬送板21の所定位置に静電気除去手段22メンテナンス手段を搭載し、該搬送板21をコンベア15に載せて搬送することで静電気除去手段22を所定位置へ搬送するようになっている。搬送板21は、コンベア15で搬送する回路基板と同一サイズ同一の縦横寸法でも良いが、回路基板と同一幅の搬送板21であれば、部品実装基板の生産を継続しながら、定期的に回路基板の中に混ぜて搬送板21をコンベア15に投入して静電気の除去を行うことができる。尚、搬送板21の幅が回路基板の幅と異なる場合は、静電気の除去を行うときに、部品実装基板の生産を停止して、コンベア15の幅基板ガイド15a,15b間の幅を搬送板21の幅に合わせて変更すれば良い。また、静電気除去手段22は、搬送板21上に載せただけでも良いが、搬送中や後述する静電気除去動作中に静電気除去手段22が搬送板21上を位置ずれしないようにするために、該静電気除去手段22をねじ止め、接着、係合等により搬送板21上に固定しても良い。或は、静電気除去手段22と搬送板21とを一体に形成しても良い。静電気除去手段22は、どの様な構成のものであっても良く、要は、吸着ノズルに帯電した静電気を除去できるものであれば良い。従って、静電気除去手段22は、例えば、クリーンルームで使用する精密な静電気除去装置でも良いし、安価な静電気ブラシや、市販の除電シート等を用いても良く、作業者が入手可能な様々な種類の静電気除去手段の中から、除電性能、価格、サイズ等を考慮して選択すれば良い。搬送板21の所定位置例えば回路基板の基準位置マークと同じ位置には、静電気除去手段22の種類、位置、サイズ等の情報を記憶又は記録した情報記録部23が設けられている。この情報記録部23は、バーコード、2次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶する電子タグや、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良い。情報記録部23から静電気除去手段22の情報を読み取る情報読取り部は、情報記録部23の記録方式に応じて専用のリーダを設けても良いが、その分、コストアップする。そこで、各実装機モジュール12には、回路基板の基準位置マーク撮像用のカメラマークカメラが標準装備されていることを考慮して、本実施例1では、情報記録部23に、静電気除去手段22の情報を表すコードを記録し、情報読取り部23として、基準位置マーク撮像用のカメラを使用し、該カメラで情報記録部23のコードを撮像して画像処理することで該コードを読み取るようにしている。このようにすれば、情報記録部23から静電気除去手段22の情報を読み取る情報読取り部を、実装機モジュール12に標準装備された基準位置マーク撮像用のカメラに兼用させることができ、コストアップを回避できる。ところで、モジュール型部品実装システムの稼働時間が長くなるに従って、装着ヘッド17の吸着ノズルに帯電する静電気量が増加して、静電気による部品吸着動作のエラーや部品実装動作のエラーが発生する頻度が増加する。この対策として、吸着ノズルの静電気によるエラーが発生する頻度を調査したデータ等に基づいて、吸着ノズルの静電気を除去する時間間隔を予め決めておき、この時間が経過する毎に、次のようにして吸着ノズルの静電気を除去する。まず、静電気除去手段22を搭載した搬送板21をコンベア15に投入する。この際、モジュール型部品実装システムの稼働を停止することなく、部品実装基板の生産を継続しながら、回路基板の中に混ぜて搬送板21をコンベア15に投入しても良いし、部品実装基板の生産終了時に搬送板21をコンベア15に投入しても良い。また、本実施例1のように、複数本のコンベア15を備えている場合、部品実装基板の生産に使用していない未使用のコンベアがあれば、その未使用のコンベアを静電気除去手段22の搬送専用のコンベアとして用いても良い。コンベア15による搬送板21の搬送動作は、回路基板の搬送動作と同じであり、搬送板21が実装機モジュール12の所定の実装位置まで搬送されると、該搬送板21がクランプ機構図示せずでクランプされて位置決めされた状態となる。この後、実装機モジュール12の制御装置図示せずは、基準マーク撮像用のカメラを搬送板21の情報記録部23の上方回路基板の基準位置マークの上方と同じ位置へ移動させて、該カメラで情報記録部23のコードを撮像して画像処理することで該コードを読み取る。これにより、実装機モジュール12の制御装置は、クランプされている基板が静電気除去手段22の搬送板21か回路基板かを判別すると共に、静電気除去手段22の搬送板21と判断した場合は、読み取ったコードから静電気除去手段22の種類、位置、サイズ等の情報を認識する。この後、実装機モジュール12の制御装置は、読み取った情報に基づいて装着ヘッド17の吸着ノズルを静電気除去手段22の上方に移動させて、該吸着ノズルに帯電した静電気を静電気除去手段22により取り除く。この際、例えば、静電気除去手段22が静電気ブラシの場合は、装着ヘッド17を静電気ブラシ上で移動させて該装着ヘッド17の吸着ノズルを静電気ブラシでブラッシングすれば良い。また、静電気除去手段22が除電シートの場合は、装着ヘッド17の吸着ノズルを除電シートに接触させれば良い。以上説明した本実施例1によれば、吸着ノズルの静電気除去を行うときに、コンベア15によって静電気除去手段22を搬送すれば良いため、予め静電気除去手段22を実装機モジュール12の装着ヘッド17等に取り付けておく必要がなく、吸着ノズルの静電気除去を自動的に行う機能を極めて安価に実現できると共に、吸着ノズルの静電気除去を行うための静電気除去手段22が部品吸着動作や部品実装動作の邪魔になることはない。しかも、コンベア15で搬送可能な静電気除去手段であれば、様々な種類の静電気除去手段の中から使用する静電気除去手段22を選択できるため、静電気除去手段22の種類を選択する自由度が大きくなり、既存の部品実装機にも容易に適用して実施できる。前述したように、搬送板21に搭載する静電気除去手段22は、安価な静電気ブラシや市販の除電シート等に限定されず、高価な静電気除去装置を用いても良い。一般に、高価な静電気除去装置は、安価なものに比べて、静電気の除去速度や効果持続時間等が優れている。従って、各実装機モジュール12毎に安価な静電気除去手段を配置して、緊急時の静電気除去を行い、定期的に高価な静電気除去装置を搬送して、予防的に静電気対策を行うようにしても良い。静電気除去装置にオン/オフスイッチが付いている場合は、装着ヘッド17でオン/オフスイッチを操作するようにしても良い。また、搬送板21上に複数種類の静電気除去手段を搭載して、吸着ノズルの種類ノズル径等に応じて複数種類の静電気除去手段の中から最適な静電気除去手段を選択して静電気を除去するようにしても良い。この場合も、搬送板21上に搭載した複数種類の静電気除去手段の種類、位置、サイズ等の情報を情報記録部23に記憶又は記録しておけば良い。上記実施例1では、吸着ノズルの静電気を除去するようにしたが、図3及び図4に示す本発明の実施例2では、静電気除去手段22に代えて、吸着ノズル24をクリーニングするクリーニング手段25メンテナンス手段を搭載した搬送板21をコンベア15によって所定位置まで搬送し、装着ヘッド17をクリーニング手段25の上方に移動させて、装着ヘッド17の吸着ノズル24のノズル孔を該クリーニング手段25によりクリーニングするようにしている。以下の説明では、上記実施例1と実質的に同一部分については同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分について説明する。従来は、吸着ノズル24のノズル孔のクリーニングを作業者が手作業で行っていたため、非常に手間のかかる作業となっていた。そこで、本実施例2では、吸着ノズル24のノズル孔のクリーニング作業を自動化するために、図4に示す構成のクリーニング手段25を用いる。クリーニング手段25は、各実装機モジュール12で使用する吸着ノズル24の孔径の種類数と同数又はそれ以上の本数の外径の異なるドリル26を上向きに固定し、吸着ノズル24の孔径に合った1本のドリル26を選択して、当該ドリル26に上方から当該吸着ノズル24のノズル孔を差し込むことで、吸着ノズル24のノズル孔をクリーニングする。また、ドリル26は細いため、これを保護する円筒部材27をドリル26と同心状に設けている。この円筒部材27の内径は、ドリル26に差し込む吸着ノズル24の外径よりも若干大きく形成され、ドリル26への吸着ノズル24の差し込みをガイドするガイド部材としても機能する。円筒部材27の上端は、ドリル26の上端よりも少し高くなっており、円筒部材27の上端部内周側をテーパ状に形成すると共に、ドリル26の上端部をテーパ状に形成することで、吸着ノズル24を下降させてノズル孔をドリル26に差し込む際に、吸着ノズル24をドリル26に対して自動的に位置合わせして吸着ノズル24のノズル孔をドリル26にスムーズに差し込むことができるようになっている。搬送板21に設けた情報記録部23には、クリーニング手段25のドリル26の径、位置等の情報が記憶又は記録されている。情報記録部23は、バーコード、2次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶する電子タグや、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良いが、本実施例2では、情報記録部23に、クリーニング手段25の情報を表すコードを記録し、情報読取り部23として、基準位置マーク撮像用のカメラを使用し、該カメラで情報記録部23のコードを撮像して画像処理することで該コードを読み取るようにしている。ところで、モジュール型部品実装システムの稼働時間が長くなるに従って、吸着ノズル24のノズル孔に異物が詰まって部品吸着不良が発生する頻度が増加する。この対策として、吸着ノズル24の部品吸着不良が発生する頻度を調査したデータ等に基づいて、吸着ノズル24のノズル孔をクリーニングする時間間隔を予め決めておき、この時間が経過する毎に、次のようにして吸着ノズル24のノズル孔をクリーニングする。まず、クリーニング手段25を搭載した搬送板21をコンベア15に投入する。この際、モジュール型部品実装システムの稼働を停止することなく、部品実装基板の生産を継続しながら、回路基板の中に混ぜて搬送板21をコンベア15に投入しても良いし、部品実装基板の生産終了時に搬送板21をコンベア15に投入しても良い。また、複数本のコンベア15を備えている場合、部品実装基板の生産に使用していない未使用のコンベアがあれば、その未使用のコンベアをクリーニング手段25の搬送専用のコンベアとして用いても良い。搬送板21が実装機モジュール12の所定の実装位置まで搬送されると、該搬送板21がクランプ機構図示せずでクランプされて位置決めされた状態となる。この後、実装機モジュール12の制御装置図示せずは、基準マーク撮像用のカメラを搬送板21の情報記録部23の上方へ移動させて、該カメラで情報記録部23のコードを撮像して画像処理することで該コードを読み取る。これにより、実装機モジュール12の制御装置は、クランプされている基板がクリーニング手段25の搬送板21か回路基板かを判別すると共に、クリーニング手段25の搬送板21と判断した場合は、読み取ったコードからクリーニング手段25のドリル26の径、位置等の情報を認識する。この後、実装機モジュール12の制御装置は、読み取った情報に基づいて、搬送板21上の複数本のドリル26の中から、クリーニング対象となる吸着ノズル24の孔径に合った1本のドリル26を選択して、当該ドリル26の上方へ当該吸着ノズル24を移動させて、当該吸着ノズル24をゆっくり下降させることで、吸着ノズル24のノズル孔をドリル26に差し込んで吸着ノズル24のノズル孔をクリーニングする。この際、吸着ノズル24を回転させるようにしても良い。以上説明した本実施例2では、吸着ノズル24のノズル孔をクリーニングするときに、コンベア15によってクリーニング手段25を搬送すれば良いため、予めクリーニング手段25を実装機モジュール12の装着ヘッド17等に取り付けておく必要がなく、吸着ノズル24のノズル孔を自動的にクリーニングする機能を極めて安価に実現できると共に、吸着ノズル24のノズル孔をクリーニングするクリーニング手段25が部品吸着動作や部品実装動作の邪魔になることはない。しかも、コンベア15で搬送可能なクリーニング手段25であれば、様々な種類のクリーニング手段の中から使用するクリーニング手段25を選択できるため、クリーニング手段25の種類を選択する自由度が大きくなり、既存の部品実装機にも容易に適用して実施できる。以上説明した実施例1,2では、搬送板21に、メンテナンス手段静電気除去手段22又はクリーニング手段25の情報を記憶又は記録した情報記録部23を設け、該情報記録部23に記憶又は記録された情報をカメラ等で読み取るようにしたため、作業者がメンテナンス手段の情報を入力する作業を行う必要がなく、作業性を向上できると共に、作業者の入力ミスによるメンテナンス不良の問題も解消できる。但し、本発明は、作業者がメンテナンス手段の情報を、モジュール型部品実装システム全体を管理するホストコンピュータ等に入力するようにしても良い。また、搬送板21に静電気除去手段22とクリーニング手段25の両方を搭載して、吸着ノズル24の静電気除去とクリーニングを適宜選択できるようにしても良い。上述した実施例1,2では、メンテナンス手段静電気除去手段22又はクリーニング手段25を搬送板21上に載せた状態で吸着ノズル24の静電気除去又はクリーニングを行うようにしたが、吸着ノズル24又はこれと一体的に移動する移動部例えば装着ヘッド17、装着ヘッド17を保持する保持部、装着ヘッド17に保持させたチャック等にメンテナンス手段静電気除去手段又はクリーニング手段を保持させて実装機モジュール12部品実装機の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うようにしても良い。以下、これを具体化した本発明の実施例3を図5に基づいて説明する。但し、前記実施例1,2と実質的に同一部分については同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分について説明する。本実施例3では、複数本の吸着ノズル24を保持する装着ヘッド17が保持部31に着脱可能に保持されている。保持部31は、移動機構によってXYZ方向に移動する。メンテナンス手段32は、静電気除去手段又はクリーニング手段であり、前記実施例1,2と同様に、様々な構成のものを使用可能である。メンテナンス手段32の上部は、装着ヘッド17の上部と同じ構成となっており、メンテナンス手段32を保持部31に保持させる構造が装着ヘッド17を保持部31に保持させる構造と共通化され、メンテナンス手段32が装着ヘッド17と取り替え可能となっている。メンテナンス手段32は、前記実施例1,2と同様の搬送板21に載せてコンベア15に投入する。搬送板21の所定位置には、前記実施例1,2と同様の情報記録部23が設けられ、該情報記録部23には、メンテナンス手段32の種類、位置、サイズ等の情報を表すコードが記録されている。実装機モジュール12の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行う場合は、メンテナンス手段32を搬送板21に載せてコンベア15に投入する。搬送板21が実装機モジュール12の所定の実装位置まで搬送されると、該搬送板21がクランプ機構図示せずでクランプされる。この後、実装機モジュール12の制御装置図示せずは、基準マーク撮像用のカメラを搬送板21の情報記録部23の上方へ移動させて、該カメラで情報記録部23のコードを撮像して画像処理することで該コードを読み取る。これにより、実装機モジュール12の制御装置は、クランプされている基板がメンテナンス手段32の搬送板21か回路基板かを判別すると共に、メンテナンス手段32の搬送板21と判断した場合は、読み取ったコードからメンテナンス手段32の情報を認識すると共に、図5bに示すように、保持部31から装着ヘッド17を取り外して、保持部31を搬送板21上のメンテナンス手段32の上方に移動させて、図5dに示すように、保持部31にメンテナンス手段32を保持させる。この後、実装機モジュール12の制御装置は、メンテナンス手段32を保持した保持部31を実装機モジュール12の所定部位に移動させて、所定部位の静電気除去又はクリーニングを行う。以上説明した本実施例3では、実装機モジュール12の内部を装着ヘッド17の移動可能な範囲で静電気除去又はクリーニングすることができる。この場合も、実装機モジュール12の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うときに、コンベア15によってメンテナンス手段32を搬送すれば良いため、予めメンテナンス手段32を実装機モジュール12の装着ヘッド17等に取り付けておく必要がなく、実装機モジュール12の所定部位の静電気除去又はクリーニングを自動的に行う機能を極めて安価に実現できると共に、実装機モジュール12の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うためのメンテナンス手段32が部品吸着動作や部品実装動作の邪魔になることはない。しかも、コンベア15で搬送可能なメンテナンス手段32であれば、様々な種類のメンテナンス手段の中から使用するメンテナンス手段32を選択できるため、メンテナンス手段32の種類を選択する自由度が大きくなり、メンテナンス性を向上できる。しかも、メンテナンス手段32を保持部31に保持させる構造を、装着ヘッド17を保持部31に保持させる構造と共通化したので、保持部31側の保持構造を変更する必要がなく、コストアップを回避できる。図6に示す本発明の実施例4では、複数本の吸着ノズル24を保持するノズルホルダ33が装着ヘッド17に着脱可能に保持されている。本実施例4では、以下のような手順でメンテナンス手段32を装着ヘッド17に保持させる。まず、図6bに示すように、装着ヘッド17からノズルホルダ33を取り外し、該装着ヘッド17にメカチャック34を保持させる。この後、図6eに示すように、メカチャック34でメンテナンス手段32を掴む。以上の動作は、実装機モジュール12の制御装置によって自動的に行われる。その他の事項は、前記実施例3と同じである。以上説明した本実施例4でも、前記実施例3と同様の効果を得ることができる。尚、メンテナンス手段32が小型のものであれば、吸着ノズル24で吸着するようにしても良い。上記各実施例1~4では、回路基板の搬送経路に沿って複数台の実装機モジュール12を配列し、複数台の実装機モジュール12で共通のメンテナンス手段を順番に使い回すようにしたので、複数台の実装機モジュール12で使用するメンテナンス手段の数を少なくできる利点がある。但し、本発明は、1台のみの部品実装機にも適用して実施できる。また、上記実施例3,4では、メンテナンス手段32をコンベア15によって搬送するようにしたが、メンテナンス手段32を実装機モジュール12の所定場所に保管し、実装機モジュール12の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うときに、上記実施例3,4と同様の方法で、吸着ノズル24又はこれと一体的に移動する移動部例えば装着ヘッド17、装着ヘッド17を保持する保持部31、装着ヘッド17に保持させたメカチャック34等にメンテナンス手段32を保持させて実装機モジュール12の所定部位の静電気除去又はクリーニングを行うようにしても良い。このようにしても、実装機モジュール12の内部を吸着ノズル24又は装着ヘッド17等の移動部の移動可能な範囲で静電気除去又はクリーニングすることができる。その他、本発明は、上記各実施例1~4に限定されず、例えば、保持部31、装着ヘッド17、吸着ノズル24等の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施できる。"