"第1方向及び前記第1方向と直交する第2方向に平行な平面に沿い、互いに表裏関係にある2つの主面を有する基部と、前記基部から前記第1方向に沿って延設された駆動用振動腕と、前記基部の前記駆動用振動腕側とは反対側に、前記基部から前記第1方向とは反対の方向に沿って延設された検出用振動腕と、を備え、前記基部の少なくとも一方の前記主面には、前記駆動用振動腕と前記検出用振動腕とを結ぶ仮想線と交差するように溝部が設けられていることを特徴とする振動片。請求項1に記載の振動片において、前記溝部は、前記第2方向に沿って延設されていることを特徴とする振動片。請求項1または請求項2に記載の振動片において、前記溝部は、前記基部の前記駆動用振動腕側または前記検出用振動腕側に設けられていることを特徴とする振動片。請求項1または請求項2に記載の振動片において、前記溝部は、前記基部の前記駆動用振動腕側及び前記検出用振動腕側に設けられていることを特徴とする振動片。請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の振動片において、前記溝部は、前記基部の両方の前記主面に設けられていることを特徴とする振動片。請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の振動片において、前記基部の前記駆動用振動腕側の端から前記溝部までの前記第1方向とは反対の方向の距離をL1、前記基部の前記第1方向とは反対の方向の全長をL2としたときに、前記溝部が一方の前記主面のみに設けられている場合には、0.19<L1/L2<0.27及び0.82<L1/L2<0.90の少なくとも一方を満足し、前記溝部が両方の前記主面に設けられている場合には、0.28<L1/L2<0.36及び0.73<L1/L2<0.81の少なくとも一方を満足していることを特徴とする振動片。請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の振動片において、前記基部には、前記駆動用振動腕に接続されている駆動用電極パッドと、前記検出用振動腕に接続されている検出用電極パッドと、が設けられ、前記駆動用電極パッドと前記検出用電極パッドとの間には、前記溝部が設けられていることを特徴とする振動片。請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とするジャイロセンサー。請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。特許文献1の振動片は、各振動腕の延設方向回りに角速度が加わったときに、一対の検出用振動腕が厚さ方向において互いに逆方向逆相に振動することにより、各電気信号各検出信号の差信号差分が大きくなり、角速度の検出精度が良好になるとされている。また、この振動片は、角速度が加わらない状態における一対の駆動用振動腕の駆動振動に起因した一対の検出用振動腕の厚さ方向の不要振動以下、漏れ振動というが、互いに同方向同相且つ同程度の振動となることにより、各電気信号各漏れ信号の差分が殆どなくなり、漏れ振動による角速度の検出精度への悪影響を抑制できるとされている。しかしながら、上記振動片は、製造時の形状ばらつき例えば、水晶を用いた場合のエッチング異方性や、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング時のマスクの位置ずれなどに起因する形状ばらつきにより、一対の検出用振動腕が完全な同一形状に形成されないことがある。これにより、上記振動片は、漏れ振動が同相であっても漏れ振動の程度例えば、振幅が各検出用振動腕で異なったり、漏れ振動が同相ではなく逆相となったりする場合がある。これらにより、上記振動片は、角速度が加わらない状態における各漏れ信号の差分が大きくなり、この大きくなった差分が、角速度が加わった状態における各検出信号の本来の差分に上乗せされることから、角速度の検出精度が悪化するという問題がある。これに対して、特許文献2の振動片は、基部の支持部材固着領域を挟む両側領域に、駆動用振動腕の長手方向に沿って溝部を設けることによって、支持部材の拘束作用を受けないことから、基部における歪みの上下表裏非対称性が抑制され、角速度が加わらない状態における駆動用振動腕から基部を介して検出用振動腕へ漏れる駆動振動検出用振動腕の漏れ振動が低減するとされている。しかしながら、上記振動片は、基部の溝部が駆動用振動腕の長手方向に沿って設けられていることから、溝部にかからない駆動用振動腕と検出用振動腕とを結ぶ基部の平坦部分を介しての、駆動用振動腕から検出用振動腕へ漏れる駆動振動の低減が不十分という問題がある。また、特許文献3の振動片は、基部の検出用振動腕の延出方向と交差する方向に延在する1または複数の溝部貫通孔が好ましいとされているを有することから、基部が歪み易くなっている。これにより、上記振動片は、基部の厚さ方向回りに加わる角速度に伴って働くコリオリ力によって発生した駆動用振動腕の歪みを、基部を介して効率よく検出用振動腕へ伝達できるとされている。しかしながら、上記振動片は、角速度が加わらない状態における駆動用振動腕の駆動振動における厚さ方向の不要振動成分が、歪み易くなった基部を介して隣り合う検出用振動腕上検出腕へ漏れ易くなる虞がある。これにより、上記特許文献3の振動片の構成を、例えば、特許文献1、2の振動片のような、角速度の検出軸が各振動腕の延設方向である場合における、検出用振動腕の漏れ振動の低減策として用いることは、効果が期待できず困難である。本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例にかかる振動片は、第1方向及び前記第1方向と直交する第2方向に平行な平面に沿い、互いに表裏関係にある2つの主面を有する基部と、前記基部から前記第1方向に沿って延設された駆動用振動腕と、前記基部の前記駆動用振動腕側とは反対側に、前記基部から前記第1方向とは反対の方向に沿って延設された検出用振動腕と、を備え、前記基部の少なくとも一方の前記主面には、前記駆動用振動腕と前記検出用振動腕とを結ぶ仮想線と交差するように溝部が設けられていることを特徴とする。これによれば、振動片は、基部の少なくとも一方の主面に一対の駆動用振動腕と一対の検出用振動腕とを結ぶ仮想線と交差するように溝部が設けられていることから、駆動用振動腕の駆動振動における厚さ方向第1方向及び第2方向と直交する方向の振動成分以下、面外振動成分ともいうが、基部を介して検出用振動腕に伝播することを抑制することができる。この結果、振動片は、検出用振動腕の漏れ振動を抑制できることから、例えば、角速度などの物理量の検出精度を向上させることができる。なお、上記構成は、発明者らのシミュレーションによる漏れ振動の解析結果から得られた知見に基づくものである。これは、以降の適用例2~適用例6についても同様である。[適用例2]上記適用例にかかる振動片において、前記溝部は、前記第2方向に沿って延設されていることが好ましい。これによれば、振動片は、溝部が第2方向に沿って延設されていることから、各振動腕の延設方向と直交することとなる。この結果、振動片は、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、効率よく、且つ、検出用振動腕間でバランスよく抑制することができる。[適用例3]上記適用例にかかる振動片において、前記溝部は、前記基部の前記駆動用振動腕側または前記検出用振動腕側に設けられていることが好ましい。これによれば、振動片は、溝部が基部の駆動用振動腕側または検出用振動腕側に設けられていることから、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、例えば、溝部が基部の中央部分に設けられている場合と比較して、更に抑制することができる。[適用例4]上記適用例にかかる振動片において、前記溝部は、前記基部の前記駆動用振動腕側及び前記検出用振動腕側に設けられていることが好ましい。これによれば、振動片は、溝部が基部の駆動用振動腕側及び検出用振動腕側に設けられていることから、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、例えば、溝部が基部の駆動用振動腕側または検出用振動腕側に設けられている場合と比較して、更に抑制することができる。[適用例5]上記適用例にかかる振動片において、前記溝部は、前記基部の両方の前記主面に設けられていることが好ましい。これによれば、振動片は、溝部が基部の両方の主面に設けられていることから、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、例えば、溝部が基部の一方の主面のみに設けられている場合と比較して、更に抑制することができる。[適用例6]上記適用例にかかる振動片において、前記基部の前記駆動用振動腕側の端から前記溝部までの前記第1方向とは反対の方向の距離をL1、前記基部の前記第1方向とは反対の方向の全長をL2としたときに、前記溝部が一方の前記主面のみに設けられている場合には、0.19<L1/L2<0.27及び0.82<L1/L2<0.90の少なくとも一方を満足し、前記溝部が両方の前記主面に設けられている場合には、0.28<L1/L2<0.36及び0.73<L1/L2<0.81の少なくとも一方を満足していることが好ましい。これによれば、振動片は、溝部が一方の主面のみに設けられている場合には、0.19<L1/L2<0.27及び0.82<L1/L2<0.90の少なくとも一方を満足し、溝部が両方の主面に設けられている場合には、0.28<L1/L2<0.36及び0.73<L1/L2<0.81の少なくとも一方を満足している。これにより、振動片は、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、より効果的に抑制することができる。[適用例7]上記適用例にかかる振動片において、前記基部には、前記駆動用振動腕に接続されている駆動用電極パッドと、前記検出用振動腕に接続されている検出用電極パッドと、が設けられ、前記駆動用電極パッドと前記検出用電極パッドとの間には、前記溝部が設けられていることが好ましい。これによれば、振動片は、基部に備えられた駆動用電極パッドと検出用電極パッドとの間に溝部が設けられていることから、溝部によって駆動用電極パッドと検出用電極パッドとを隔てることができる。これにより、振動片は、駆動用電極パッドと検出用電極パッドとの間に生じる静電容量を低減することができる。この結果、振動片は、例えば、角速度などの物理量の検出における静電容量に起因した誤差が低減されることから、角速度などの物理量の検出精度を向上させることができる。[適用例8]本適用例にかかるジャイロセンサーは、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることを特徴とする。これによれば、本構成のジャイロセンサーは、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果が反映されたジャイロセンサーを提供することができる。[適用例9]本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることを特徴とする。これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果が反映された電子機器を提供することができる。以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。第1実施形態最初に、振動片の一例としてのセンサー素子について説明する。図1は、第1実施形態のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図1aは、Z軸方向から俯瞰した平面図であり、図1bは、図1aのA-A線での断面図である。なお、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。図1に示すように、センサー素子1は、第1方向としてのプラスY軸方向及びプラスY軸方向と直交する第2方向としてのプラスX軸方向に平行な平面XY平面に沿った主面10a,10bを有する矩形平板状の基部10と、基部10のプラスY側からプラスY軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕11a,11bと、基部10を挟んで一対の駆動用振動腕11a,11bの反対側に、基部10のマイナスY側からマイナスY軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕12a,12bと、を備えている。なお、Z軸は、X軸及びY軸と直交し、主面10a,10bと直交する軸である。センサー素子1は、一対の駆動用振動腕11a,11b及び一対の検出用振動腕12a,12bのそれぞれの先端からプラスY軸方向及びマイナスY軸方向に沿って延設され、プラスX軸方向の幅が駆動用振動腕11a,11b及び検出用振動腕12a,12bの先端におけるプラスX軸方向の幅よりも広い質量部13a,13b,14a,14bを備えている。センサー素子1の基部10の両方の主面10a,10bには、駆動用振動腕11a,11bと検出用振動腕12a,12bとを結ぶ仮想線15a,15b,15c,15dと交差するように、有底の溝部16a,16b,17a,17bが設けられている。溝部16a,16b,17a,17bは、プラスX軸方向に沿って設けられ、主面10aに設けられた溝部16aと主面10bに設けられた溝部17a、及び主面10aに設けられた溝部16bと主面10bに設けられた溝部17bとは、平面視で互いに重なるように設けられている。溝部16a,17aは、基部10の駆動用振動腕11a,11b側寄りに設けられ、溝部16b,17bは、基部10の検出用振動腕12a,12b側寄りに設けられている。詳述すると、センサー素子1は、基部10の駆動用振動腕11a,11b側の端から溝部16a,17aの中心までのマイナスY軸方向の距離をL11、同じく溝部16b,17bの中心までの距離をL12、基部10のマイナスY軸方向の全長をL2としたときに、0.28<L11/L2<0.36、及び0.73<L12/L2<0.81を満足するように溝部16a,16b,17a,17bが設けられている。センサー素子1は、基部10の主面10aまたは主面10bに、駆動用振動腕11a,11bの図示しない駆動用電極に接続された駆動用電極パッド18a,18bと、検出用振動腕12a,12bの図示しない検出用電極に接続された検出用電極パッド19a,19b,19c,19dと、を備えている。基部10の駆動用電極パッド18a,18bと、検出用電極パッド19a,19b,19c,19dとの間には、溝部16a,16bまたは溝部17a,17bが設けられている。これにより、駆動用電極パッド18a,18bと、検出用電極パッド19a,19b,19c,19dとは、溝部16a,16bまたは溝部17a,17bにより互いに隔てられていることとなる。なお、仮想線15aは、駆動用振動腕11aの根元のマイナスX側と検出用振動腕12aの根元のマイナスX側とを結ぶ直線であり、仮想線15bは、駆動用振動腕11aの根元のプラスX側と検出用振動腕12aの根元のプラスX側とを結ぶ直線であり、仮想線15cは、駆動用振動腕11bの根元のマイナスX側と検出用振動腕12bの根元のマイナスX側とを結ぶ直線であり、仮想線15dは、駆動用振動腕11bの根元のプラスX側と検出用振動腕12bの根元のプラスX側とを結ぶ直線である。センサー素子1は、圧電材料である水晶を基材主要部分を構成する材料として形成されている。水晶は、電気軸と呼ばれるX軸、機械軸と呼ばれるY軸、及び光学軸と呼ばれるZ軸を有している。そして、センサー素子1は、水晶結晶軸において直交するX軸及びY軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するZ軸方向に所定の厚さを有している。なお、所定の厚さは、発振周波数共振周波数、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。また、センサー素子1を構成する平板は、水晶からの切り出し角度の誤差を、X軸、Y軸及びZ軸の各々につき多少の範囲で許容できる。例えば、平板は、X軸を中心に0度から7度の範囲で回転して切り出されたものを使用することができる。これは、Y軸及びZ軸についても同様である。センサー素子1は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングウエットエッチングまたはドライエッチングにより形成されている。なお、センサー素子1は、1枚の水晶ウエハーから複数個取りすることが可能である。なお、センサー素子1は、図示しないが、平面視において、一対の駆動用振動腕11a,11b及び一対の検出用振動腕12a,12bの基部10との接続部分、質量部13a,13b,14a,14bの駆動用振動腕11a,11b及び検出用振動腕12a,12bとの接続部分には、応力緩和の観点から、曲線部を設けることが好ましい。ここで、センサー素子1の動作について説明する。図2は、センサー素子の動作に関わる模式回路図である。図3は、センサー素子の動作について説明する模式斜視図である。図3aは、駆動振動状態を示す斜視図であり、図3bは、角速度が加わった状態における検出振動状態を示す斜視図である。なお、図3では、各電極パッドを省略してある。図2、図3aに示すように、角速度が加わらない状態において、センサー素子1の駆動用振動腕11a,11bの図示しない駆動用電極に、駆動用電極パッド18a,18bを介して発振源21から交流電圧の駆動信号が印加されることにより、駆動用振動腕11a,11bは、X軸方向主面10aに沿った方向に屈曲振動する面内振動ともいう。詳述すると、駆動用振動腕11a,11bは、X軸方向において、図3aで黒矢印、白矢印で示すように、互いに離れる方向と、互いに近づく方向との屈曲振動を交互に繰り返す。つまり、駆動用振動腕11a,11bは、互いに逆方向逆相に所定の周波数例えば、約50kHz~約100kHzで屈曲振動している。次に、図3bに示すように、この駆動振動状態で、センサー素子1にY軸回りの角速度ωが加わるとセンサー素子1がY軸回りに回転すると、センサー素子1の駆動用振動腕11a,11bには、コリオリ力が作用し、駆動用振動腕11a,11bがZ軸方向主面10aに直交する方向に屈曲振動面外振動、ウオークモード振動ともいうする。センサー素子1は、この駆動用振動腕11a,11bの面外振動に対して、検出用振動腕12a,12bが面外振動モードで共振し、Z軸方向に屈曲振動する。詳述すると、駆動用振動腕11a,11b及び検出用振動腕12a,12bは、Z軸方向において、図3bで黒矢印、白矢印で示すように、互いに逆方向逆相に駆動振動の周波数と同じまたは近似した周波数で屈曲振動する。なお、Z軸方向の屈曲振動の振幅は、コリオリ力の大きさに応じて変化する。図2に示すように、センサー素子1は、この検出用振動腕12a,12bの図示しない検出用電極に生じる検出用振動腕12aの電気信号電圧と、検出用振動腕12bの電気信号電圧との差分を、検出用電極パッド19a,19b,19c,19dを介して取り出し回路22で検出信号として取り出し、この検出信号によって角速度を検出する構成となっている。なお、この検出信号の大きさは、コリオリ力角速度の大きさに応じて変化する。この際、検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとでは、振動方向が互いに逆であることから、例えば、検出用振動腕12aに生じる電圧が電位のときに、検出用振動腕12bに生じる電圧は-電位となり、検出用振動腕12aに生じる電圧が-電位のときに、検出用振動腕12bに生じる電圧は電位となり、相対的に両者の電位差差分は大きくなる。そして、センサー素子1は、前述した角速度が加わらない状態における検出用振動腕12a,12bの漏れ振動Z軸方向を主体とした不要振動を抑制できれば、漏れ振動に起因して生じる電気信号である漏れ信号が検出信号に上乗せされることなく、角速度の検出精度を向上させることができることとなる。検出用振動腕12a,12bの漏れ振動は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における振動成分のうち、面外振動成分Z軸方向の振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播し、検出用振動腕12a,12bを面外振動モードで励振して、Z軸方向に振動させているために生じると考えられる。なお、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における振動成分に、面外振動成分が存在するのは、駆動用振動腕11a,11bのX軸方向に沿った断面形状が、水晶のエッチング異方性、エッチング時のマスクの位置ずれなどにより完全な矩形形状に形成されないことや、駆動信号の印加により生じる電界の強度が、駆動用振動腕11a,11bの部位水晶結晶軸に対する向きの違いによって微妙に異なることなどに起因する。図1に戻って、これを踏まえて、本実施形態のセンサー素子1では、基部10の駆動用振動腕11a,11b側の端から溝部16a,17aの中心までのマイナスY軸方向の距離をL11、同じく溝部16b,17bの中心までの距離をL12、基部10のマイナスY軸方向の全長をL2としたときに、0.28<L11/L2<0.36、及び0.73<L12/L2<0.81を満足するように溝部16a,16b,17a,17bを設けている。これにより、センサー素子1では、後述するように検出用振動腕12a,12bの漏れ振動を格段に低減抑制する効果を得ることができた。なお、上記の範囲設定は、発明者らのシミュレーションによる漏れ振動の解析結果から得られた知見に基づいている。ここで、センサー素子1における漏れ振動の低減効果について図を用いて詳述する。図4は、溝部の概略の位置と漏れ振動の減少量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフであり、横軸は溝部の概略の位置を示し、縦軸は漏れ振動の減少量ppmを示す。図5は、溝部の具体的な位置と漏れ振動の発生量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフであり、横軸は溝部の具体的な位置をL11,2/L2の比で示し、縦軸は漏れ振動量ppmを示す。なお、図5では、基部の両主面に溝部が設けられている設定本実施形態の構成となっている。なお、図4、図5、後述する図7で、実線の折れ線は、検出用振動腕12aを表し、破線の折れ線は、検出用振動腕12bを表す。図4に示すように、漏れ振動は、A:溝部を両主面10a,10bの中央に1個ずつ例えば、16a,17a設けることにより、溝部なしと比較して、2000ppm弱程度減少する。そして、漏れ振動は、B:溝部を主面10aまたは主面10bの検出用振動腕12a,12b側に1個例えば、16bまたは17b設けることにより、溝部なしと比較して、2000~3000ppm程度減少する。そして、漏れ振動は、C:溝部を両主面10a,10bの検出用振動腕12a,12b側に1個ずつ例えば、16b,17bまたは、D:溝部を両主面10a,10bの駆動用振動腕11a,11b側に1個ずつ例えば、16a,17a設けることにより、溝部なしと比較して、4000ppm強~6000ppm弱程度減少する。さらに、漏れ振動は、E:溝部を両主面10a,10bの駆動用振動腕11a,11b側及び検出用振動腕12a,12b側の両方に1個ずつ例えば、16a,17a,16b,17b設けることにより、溝部なしと比較して、9000ppm強~10000ppm強程度減少する。次に、上記の結果から、漏れ振動の減少量が最大であるE:溝部を両主面10a,10bの駆動用振動腕11a,11b側及び検出用振動腕12a,12b側の両方に1個ずつ例えば、16a,17a,16b,17b設ける場合の具体的な位置を考察する。ここで、溝部の最適な位置としては、検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとの漏れ振動の差分を略0とすることが可能な、漏れ振動量が検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとで略等しくなる位置が好ましい。この漏れ振動量が検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとで略等しくなる位置とは、図5において、2つの折れ線が交差する2箇所である。図5から、2つの折れ線が交差する位置は、センサー素子1において、基部10の駆動用振動腕11a,11b側の端から溝部16a,17aの中心までのY軸方向の距離をL11、同じく溝部16b,17bの中心までの距離をL12、基部10のY軸方向の全長をL2としたときに、0.28<L11/L2<0.36、及び0.73<L12/L2<0.81の範囲内である。つまり、センサー素子1は、溝部16a,16b,17a,17bの位置が上記条件を満足すれば、漏れ振動量が検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとで略等しくなる。これにより、センサー素子1は、検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとの漏れ振動の差分を略0とすることが可能となる。上述したように、第1実施形態のセンサー素子1は、基部10の両方の主面10a,10bに一対の駆動用振動腕11a,11bと一対の検出用振動腕12a,12bとを結ぶ仮想線15a,15b,15c,15dと交差するように溝部16a,16b,17a,17bが設けられていることから、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における厚さ方向主面10aと直交する方向、Z軸方向の振動成分面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを抑制することができる。この結果、センサー素子1は、検出用振動腕12a,12bの漏れ振動を抑制できることから、例えば、角速度などの物理量の検出精度を向上させることができる。また、センサー素子1は、溝部16a,16b,17a,17bがプラスX軸方向に沿って延設されていることから、駆動用振動腕11a,11b及び検出用振動腕12a,12bの延設方向であるY軸方向と直交することとなる。この結果、センサー素子1は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、効率よく、且つ、検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとの間でバランスよく抑制することができる。また、センサー素子1は、溝部16a,16b,17a,17bが基部10の両方の主面10a,10bに設けられていることから、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、例えば、溝部が基部10の一方の主面10aまたは主面10bのみに設けられている場合と比較して、更に抑制することができる。また、センサー素子1は、溝部16a,17aの位置が、0.28<L11/L2<0.36を満足し、溝部16b,17bの位置が、0.73<L12/L2<0.81を満足している。これにより、センサー素子1は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、より効果的に抑制することができる。また、センサー素子1は、基部10に備えられた駆動用電極パッド18a,18bと、検出用電極パッド19a,19b,19c,19dとの間に、溝部16a,16b,17a,17bが設けられていることから、溝部16a,16b,17a,17bによって駆動用電極パッド18a,18bと検出用電極パッド19a,19b,19c,19dとを隔てることができる。これにより、センサー素子1は、駆動用電極パッド18a,18bと検出用電極パッド19a,19b,19c,19dとの間に生じる静電容量を低減することができる。この結果、センサー素子1は、例えば、角速度などの物理量の検出における静電容量に起因した誤差が低減されることから、角速度などの物理量の検出精度を向上させることができる。また、センサー素子1は、駆動用振動腕11a,11b及び検出用振動腕12a,12bの先端から延設された質量部13a,13b,14a,14bを備えていることから、質量部13a,13b,14a,14bの質量効果によって駆動用振動腕11a,11b及び検出用振動腕12a,12bを長くすることなく、例えば、角速度の検出に適した比較的低周波数例えば、約50kHz~約100kHzで振動させることができる。この結果、センサー素子1は、駆動用振動腕11a,11b及び検出用振動腕12a,12bのY軸方向の長さを抑制することにより、低周波数化に伴うサイズアップを抑制することが可能となる。次に、第1実施形態の変形例について説明する。第1実施形態のセンサー素子1では、溝部16a,16b,17a,17bが両主面10a,10bの駆動用振動腕11a,11b側及び検出用振動腕12a,12b側に設けられていたが、溝部16a,16b,17a,17bの配置位置は、これに限定されるものではなく、以下の変形例に示すような配置としてもよい。変形例1図6は、変形例1のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図6aは、Z軸方向から俯瞰した平面図であり、図6bは、図6aのA-A線での断面図である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。図6に示すように、変形例1のセンサー素子2は、第1実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子2は、主面10aに溝部16a,16bが設けられ、主面10bから溝部17a,17bが除去されている。この構成における溝部16a,16bの位置は、0.19<L11/L2<0.27及び0.82<L12/L2<0.90の範囲内となっている。なお、上記の範囲設定は、発明者らのシミュレーションによる漏れ振動の解析結果から得られた知見に基づいている。溝部16a,16bの位置設定について図7を用いて詳述する。図7は、溝部の位置と漏れ振動の発生量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフであり、横軸は溝部の位置をL11,2/L2の比で示し、縦軸は漏れ振動量ppmを示す。なお、図7では、一方の主面のみに溝部が設けられている設定となっている。前述したように、溝部16a,16bの位置については、漏れ振動量が検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとで略等しくなる位置が好ましい。この漏れ振動量が検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとで略等しくなる位置とは、図7において、2つの折れ線が交差する2箇所である。図7から、2つの折れ線が交差する位置は、センサー素子2において、0.19<L11/L2<0.27、及び0.82<L12/L2<0.90の範囲内である。つまり、センサー素子2は、溝部16a,16bの位置が上記条件を満足すれば、漏れ振動量が検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとで略等しくなる。これにより、センサー素子2は、検出用振動腕12aと検出用振動腕12bとの漏れ振動の差分を略0とすることが可能となる。上述したように、センサー素子2は、溝部16a,16bが一方の主面10aのみに設けられ、溝部16a,16bの位置が、0.19<L11/L2<0.27及び0.82<L12/L2<0.90の範囲内である。これにより、センサー素子2は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、例えば、後述する変形例2よりも効果的に抑制することができる。また、センサー素子2は、溝部16a,16bが主面10aのみに設けられていることから、製造工程において、主面10aのみのエッチングで溝部16a,16bを形成することができる。これにより、センサー素子2は、主面10bのエッチングが不要となることから、第1実施形態と比較して、製造工数を削減することができる。なお、センサー素子2は、主面10aの溝部16a,16bを除去し、主面10bに溝部17a,17bを設けても同様の効果を奏することが可能である。なお、図7において、2つの折れ線の交点を結んだ方向が、図5と異なり傾斜している図5は略水平のは、溝部の有無による、基部10の主面10a側と主面10b側との剛性の違いに起因するものと考えられる。基部10における主面10a側と主面10b側との剛性のバランスの観点から考察すれば、溝部は、両主面10a,10bに設けられていることが好ましいといえる。変形例2図8は、変形例2のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図8aは、Z軸方向から俯瞰した平面図であり、図8bは、図8aのA-A線での断面図である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。図8に示すように、変形例2のセンサー素子3は、第1実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子3は、主面10aのY軸方向の略中央に溝部16aが設けられ、主面10bのY軸方向の略中央に溝部17aが設けられている。なお、溝部16aと溝部17aとは、平面視において、互いに重なるように設けられている。これにより、図4に示すように、センサー素子3図4のAに相当は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、基部10に溝部16a,17aがない構成と比較して抑制することができる。なお、センサー素子3は、溝部16a,17aがいずれか一方のみの場合でも上記効果を少なからず奏するものと考えられる。変形例3図9は、変形例3のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図9aは、Z軸方向から俯瞰した平面図であり、図9bは、図9aのA-A線での断面図である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。図9に示すように、変形例3のセンサー素子4は、第1実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子4は、主面10aの検出用振動腕12a,12b側のみに溝部16bが設けられている。センサー素子4の溝部16bの位置は、図7によれば、0.82<L12/L2<0.90の範囲内にあることが好ましい。これにより、図4に示すように、センサー素子4図4のBに相当は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、変形例2図4のAに相当よりも抑制することができる。なお、センサー素子4は、主面10aに代えて、主面10bの検出用振動腕12a,12b側のみに溝部17bを設けた場合でも上記効果を奏することが可能である。変形例4図10は、変形例4のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図10aは、Z軸方向から俯瞰した平面図であり、図10bは、図10aのA-A線での断面図である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。図10に示すように、変形例4のセンサー素子5は、第1実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子5は、主面10aの駆動用振動腕11a,11b側のみに溝部16aが設けられている。センサー素子5の溝部16aの位置は、図7によれば、0.19<L11/L2<0.27の範囲内にあることが好ましい。これにより、センサー素子5は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、変形例3と同様に、変形例2よりも抑制することができる。なお、センサー素子5は、主面10aに代えて、主面10bの駆動用振動腕11a,11b側のみに溝部17aを設けた場合でも上記効果を奏することが可能である。変形例5図11は、変形例5のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図11aは、Z軸方向から俯瞰した平面図であり、図11bは、図11aのA-A線での断面図である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。図11に示すように、変形例5のセンサー素子6は、第1実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子6は、両主面10a,10bの検出用振動腕12a,12b側のみに溝部16b,17bが設けられている。センサー素子6の溝部16b,17bの位置は、図5によれば、0.73<L12/L2<0.81の範囲内にあることが好ましい。これにより、図4に示すように、センサー素子6図4のCに相当は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、変形例3図4のBに相当よりも抑制することができる。変形例6図12は、変形例6のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図12aは、Z軸方向から俯瞰した平面図であり、図12bは、図12aのA-A線での断面図である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。図12に示すように、変形例6のセンサー素子7は、第1実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子7は、両主面10a,10bの駆動用振動腕11a,11b側のみに溝部16a,17aが設けられている。センサー素子7の溝部16a,17aの位置は、図5によれば、0.28<L11/L2<0.36の範囲内にあることが好ましい。これにより、図4に示すように、センサー素子7図4のDに相当は、駆動用振動腕11a,11bの駆動振動における面外振動成分が、基部10を介して検出用振動腕12a,12bに伝播することを、変形例5と同様に、変形例3よりも抑制することができる。なお、センサー素子1などは、溝部16aなどのX軸方向の長さを、仮想線15a,15b,15c,15dと交差しないように短くした場合でも、ある程度の漏れ振動の抑制効果を奏することができる。しかしながら、この構成における漏れ振動の抑制効果は、上述した第1実施形態及び各変形例における漏れ振動の抑制効果には及ばないことが、発明者らの解析によって確認されている。なお、溝部16aなどのY軸方向の幅、Z軸方向の深さなどは、基部10の平面サイズ、基部10の厚さ、駆動用振動腕11a,11bの共振周波数、漏れ振動の程度などに応じて適宜設定される。第2実施形態次に、上記第1実施形態及び各変形例で述べたセンサー素子を備えたジャイロセンサーの一例について説明する。図13は、第2実施形態のジャイロセンサーの概略構成を示す模式断面図である。なお、図13は、Y軸方向に沿って各駆動用振動腕間及び各検出用振動腕間を切断したときの断面図である。また、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。図13に示すように、ジャイロセンサー8は、センサー素子1~7のいずれか、ここでは1とすると、センサー素子1を駆動制御するICチップ20と、センサー素子1及びICチップ20を収納するパッケージ30とを備えている。パッケージ30は、平面形状が略矩形で凹部を有するパッケージベース31と、パッケージベース31の凹部を覆う平板状のリッド蓋体32と、を備え、略直方体形状に形成されている。パッケージベース31には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコン高抵抗シリコンなどが用いられている。リッド32には、パッケージベース31と同材料、または、コバール、42アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。ICチップ20は、センサー素子1の駆動用振動腕11a,11bを駆動振動させる駆動回路発振源21、図2参照、検出用振動腕12a,12b間の電位差を検出信号として取り出す取り出し回路22図2参照、この検出信号によってY軸回りの角速度を検出する検出回路などを備えていることが好ましい。ICチップ20は、パッケージベース31の凹部の内底面33に、例えば、図示しない接続パッド面を下にしてフリップチップボンディングにより接合されている。センサー素子1は、パッケージベース31の、凹部の内底面33に固定されたICチップ20を取り囲むように形成された段差部34上に固定された略枠状の基板40に支持されている。基板40は、ポリイミドなどの樹脂からなる基板本体41と、基板本体41の段差部34側に積層されたCuなどの金属箔からなるタブテープ42と、を備えている。基板40は、ICチップ20の上方リッド32側に位置する開口部分の縁から、中央部に向かって斜め上方に折り曲げられた複数の帯状のタブテープ42が延設されている。タブテープ42の先端は、センサー素子1の基部10に設けられている図示しない各電極パッドに、バンプなどの接合部材を介して電気的に接続されている。これにより、センサー素子1は、基板40によって水平にXY平面に平行に支持されている。なお、前述したように、基部10の各電極パッドは、駆動用振動腕11a,11b及び検出用振動腕12a,12bの図示しない駆動用電極及び検出用電極と電気的に接続されている。基板40タブテープ42は、パッケージベース31内の図示しない内部配線によりICチップ20及びパッケージベース31の外底面35に設けられた外部端子36と電気的に接続されている。ジャイロセンサー8は、センサー素子1が基板40に支持された状態で、パッケージベース31の開口部がリッド32により覆われ、パッケージベース31とリッド32とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材37で接合されることにより、パッケージ30内が気密に封止されている。なお、気密に封止されたパッケージ30内は、減圧された真空状態真空度の高い状態または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。ジャイロセンサー8は、外部端子36を介して外部から電源や入力信号が供給され、ICチップ20からの駆動信号によりセンサー素子1が所定の周波数で屈曲振動することによって、Y軸回りに印加された角速度の検出を行い、角速度の検出結果を外部端子36から外部へ出力する。上述したように、第2実施形態のジャイロセンサー8は、センサー素子1を備えたことから、センサー素子1の奏する効果が反映されて角速度の検出精度が向上したジャイロセンサーを提供することができる。なお、ジャイロセンサー8は、センサー素子1に代えてセンサー素子2~7のいずれかを備えていても、同様の効果を奏することができる。第3実施形態次に、上記第1実施形態及び各変形例で述べたセンサー素子を備えた電子機器として、携帯電話を一例に挙げて説明する。図14は、第3実施形態の携帯電話を示す模式斜視図である。図14に示す携帯電話700は、上述したセンサー素子1~7のいずれかを、例えば、ジャイロセンサーなどのセンサーデバイスの主要構成要素として用い、更に液晶表示装置701、複数の操作ボタン702、受話口703、及び送話口704を備えて構成されている。なお、携帯電話の形態は、図示のタイプに限定されるものではなく、いわゆるスマートフォンタイプの形態でもよい。上述したセンサー素子は、上記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、ナビゲーション装置、車体姿勢検出装置、ポインティングデバイス、ゲームコントローラー、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器などに搭載されるセンサーデバイスの主要構成要素として好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態及び各変形例で説明した効果が反映された電子機器を提供することができる。なお、振動片の材料としては、水晶に限定されるものではなく、タンタル酸リチウムLiTaO3、四ホウ酸リチウムLi2B4O7、ニオブ酸リチウムLiNbO3、チタン酸ジルコン酸鉛PZT、酸化亜鉛ZnO、窒化アルミニウムAlNなどの圧電体、またはシリコンSiなどの半導体でもよい。また、屈曲振動の駆動方法は、圧電体の圧電効果によるものの他に、クーロン力による静電駆動であってもよい。"