"距離を隔てて対向して設けられた第一,第二電極を備え、外力の付与もしくは操作者の接近または接触に伴って前記第一,第二電極間の静電容量が変化する静電容量型センサと、前記静電容量型センサの前記第一電極に直列接続され、前記静電容量型センサに周期性の矩形波電圧を印加する電圧印加手段と、前記静電容量型センサの前記第二電極に接続され、前記電圧印加手段が周期性の前記矩形波電圧を印加した場合に前記静電容量型センサに充放電される電荷を整流する整流器と、前記整流器に並列接続される平滑コンデンサと、前記平滑コンデンサに並列接続される電流計測用シャント抵抗と、前記電流計測用シャント抵抗の両端電圧を計測する電圧計測手段と、を備える静電容量型センサ装置。請求項1において、前記電圧計測手段は、前記静電容量型センサの充電電圧、前記電圧印加手段により印加する前記矩形波電圧の周波数、および、前記電流計測用シャント抵抗の抵抗値に基づいて、前記電流計測用シャント抵抗の両端電圧を前記静電容量型センサの静電容量として計測する静電容量型センサ装置。請求項1または2において、前記静電容量型センサ、前記電圧印加手段、前記整流器、前記平滑コンデンサおよび前記電流計測用シャント抵抗は、一体のユニットとして形成される静電容量型センサ装置。請求項3において、前記静電容量型センサの前記第一,第二電極は、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する電極であり、前記静電容量型センサは、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する静電容量型センサ装置。請求項1~4の何れか一項において、前記静電容量型センサは、面形状に形成された静電容量型センサであり、前記静電容量型センサの面法線方向に距離を隔てて対向して設けられた前記第一,第二電極と前記第一,第二電極間に設けられた誘電層とを備え、前記静電容量型センサの前記面法線方向の圧縮力、または、前記静電容量型センサの面接線方向の引張力に応じて、前記誘電層の変形により前記第一電極と前記第二電極との離間距離または電極面積が変化するセンサである静電容量型センサ装置。請求項1~4の何れか一項において、前記静電容量型センサは、面形状に形成された静電容量型センサであり、前記静電容量型センサの面法線方向に距離を隔てて対向して設けられた前記第一,第二電極と、前記第一,第二電極間に設けられた誘電層と、前記静電容量型センサの表面側に設けられた絶縁層とを備え、前記静電容量型センサの表面への導電体としての操作者の接近または接触状態に応じて、前記第一,第二電極間の静電容量が変化するセンサである静電容量型センサ装置。請求項1~4の何れか一項において、前記静電容量型センサは、面形状に形成された静電容量型センサであり、前記静電容量型センサの面方向に距離を隔てて設けられた前記第一,第二電極と、前記静電容量型センサの表面側に設けられた絶縁層とを備え、前記静電容量型センサの表面への導電体としての操作者の接近または接触状態に応じて、前記第一,第二電極間の静電容量が変化するセンサである静電容量型センサ装置。請求項6または7において、前記整流器、前記平滑コンデンサおよび前記電流計測用シャント抵抗は、前記第二電極の複数箇所にそれぞれに接続した複数からなり、複数の前記整流器は、前記第二電極のそれぞれ異なる位置に接続され、前記静電容量型センサ装置は、前記電圧印加手段により前記矩形波電圧を印加した場合に前記電圧計測手段により計測されたそれぞれの前記電流計測用シャント抵抗の前記両端電圧に基づいて、前記静電容量型センサに接近または接触した操作者の接近位置、接触位置および接触状態の少なくとも何れかを推定する状態推定手段をさらに備える静電容量型センサ装置。請求項1~8の何れか一項において、前記静電容量型センサは、複数の前記第一電極を備え、前記静電容量型センサは、それぞれの前記第一電極に対して、前記第一電極を前記電圧印加手段に接続する第一状態と前記第一電極を接地する第二状態とを切り換える入力側切換回路と、選択された1つの前記第一電極に対して前記第一状態とし、残りの前記第一電極に対して前記第二状態とするように前記入力側切換回路を制御する切換制御手段と、を備える静電容量型センサ装置。距離を隔てて対向して設けられた第一,第二電極を備え、外力の付与もしくは操作者の接近または接触に伴って前記第一,第二電極間の静電容量が変化する静電容量型センサの前記静電容量を計測する計測装置であって、前記静電容量型センサの前記第一電極に直列接続され、前記静電容量型センサに周期性の矩形波電圧を印加する電圧印加手段と、前記静電容量型センサの前記第二電極に接続され、前記電圧印加手段が周期性の前記矩形波電圧を印加した場合に前記静電容量型センサに充放電される電荷を整流する整流器と、前記整流器に並列接続される平滑コンデンサと、前記平滑コンデンサに並列に接続される電流計測用シャント抵抗と、前記電流計測用シャント抵抗の両端電圧を計測する電圧計測手段と、を備える静電容量型センサの静電容量計測装置。ここで、静電容量を電圧に変換する回路が大型であると、当該静電容量電圧変換回路を静電容量型センサの設置位置に設けることができず、静電容量型センサから離れた位置に設置しなければならない。そうすると、静電容量型センサと静電容量電圧変換回路とを接続する配線が長くなり、配線容量の増加および配線に乗るノイズによって静電容量の計測精度が低下することがある。そこで、高精度な静電容量の計測を可能とするために、上記影響を受けにくい静電容量電圧変換回路が求められている。そこで、静電容量電圧変換回路を小型にできると、静電容量型センサと静電容量電圧変換回路とを一体のユニットとして形成することができるため、静電容量型センサと静電容量電圧変換回路とを接続する配線を非常に短くできる。つまり、配線容量を低減することができ、かつ、配線に乗るノイズの影響を低減することができる。しかしながら、特許文献1,2に記載の計測装置を構成する静電容量電圧変換回路は、多種の素子を用いているため、静電容量型センサと静電容量電圧変換回路とを一体のユニットとすることができず、上述した問題を有する。なお、特許文献3に記載の電位を計測する装置は、電位の変化を計測するために用いるものであり、静電容量を計測する装置ではない。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、静電容量を電圧に変換する静電容量電圧変換回路の小型化を図りつつ、高精度に静電容量を計測することができる静電容量型センサ装置および静電容量型センサの静電容量計測装置を提供することを目的とする。本発明者らは、鋭意研究した結果、キャパシタに定電圧を印加して充電した後、放電する電荷量が計測できれば、そのキャパシタの静電容量が計測できることを思いつき、本発明に至った。つまり、本発明は、充放電1回分の電荷量は極めて小さいため矩形波を発生させる発信子を使って充放電を繰り返させ、単位時間当たり電荷量電流にするために、充放電させた電荷の流れを整流器で一方向とし、断続的に放電した電荷のみをコンデンサで平滑化積分し、電流計測用シャント抵抗により電圧として電荷量を計測することとした。具体的には、以下の通りである。静電容量型センサ装置静電容量型センサ装置に係る本発明は、距離を隔てて対向して設けられた第一,第二電極を備え、外力の付与もしくは操作者の接近または接触に伴って第一,第二電極間の静電容量が変化する静電容量型センサと、静電容量型センサの第一電極に直列接続され、静電容量型センサに周期性の矩形波電圧を印加する電圧印加手段と、静電容量型センサの第二電極に接続され、電圧印加手段が周期性の矩形波電圧を印加した場合に静電容量型センサに充放電される電荷を整流する整流器と、整流器に並列接続される平滑コンデンサと、平滑コンデンサに並列接続される電流計測用シャント抵抗と、電流計測用シャント抵抗の両端電圧を計測する電圧計測手段とを備える。ここで、本発明の静電容量型センサ装置において、整流器と平滑コンデンサと電流計測用シャント抵抗が、静電容量型センサの静電容量を電圧に変換する静電容量電圧変換回路となる。つまり、本発明によれば、静電容量電圧変換回路が、非常に簡易的な構成、具体的には素子の数の非常に少ない構成からなる。従って、静電容量型センサ装置における静電容量電圧変換回路を非常に小型に形成することができる。ここで、簡易な構成としたことにより静電容量の計測精度が低下するおそれがあるが、電圧印加手段により矩形波電圧を印加するようにしたことにより、高精度に静電容量の計測ができるようになった。つまり、本発明は、一定の電圧で充放電する電荷量を計測する考え方を静電容量を計測する装置に適用し、簡素な矩形波電圧印加手段と整流、平滑手段の組合せにより、小型でありつつ高精度に静電容量型センサの静電容量を計測することができるようになった。なお、本発明の静電容量型センサ装置において、電圧印加手段は、発振子などの電圧を印加する素子を用いることもでき、発振回路およびコントロールユニットマイコンのタイマ出力を用いることもできる。また、電圧計測手段は、電流計測用シャント抵抗の両端電圧そのものを計測対象とすることもできるし、増幅器を介して入力された電圧を計測対象とすることもできる。また、電圧計測手段は、静電容量型センサの充電電圧、電圧印加手段により印加する矩形波電圧の周波数、および、電流計測用シャント抵抗の抵抗値に基づいて、電流計測用シャント抵抗の両端電圧を静電容量型センサの静電容量として計測するようにしてもよい。これにより、確実に、静電容量型センサの静電容量を変換した電圧を計測し、静電容量型センサの静電容量を算出することができる。また、静電容量型センサ、電圧印加手段、整流器、平滑コンデンサおよび電流計測用シャント抵抗は、一体のユニットとして形成されるようにしてもよい。このように、一体のユニットとして形成される場合には、特に、静電容量型センサ装置における静電容量型センサ以外の部分、特に、静電容量を電圧に変換する静電容量電圧変換回路が小型であることが望まれる。本発明を適用することにより、静電容量電圧変換回路の構成部品が整流ダイオード、平滑コンデンサおよび電流計測用シャント抵抗のみと簡素なため、静電容量電圧変換回路の小型化を図ることができる。このとき、静電容量型センサの第一,第二電極は、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する電極であり、静電容量型センサは、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有するようにするとよい。つまり、静電容量型センサが柔軟な形状からなることを意味する。これにより、静電容量型センサを種々の用途に用いることができるようになる。そして、静電容量型センサ装置のうち静電容量型センサと静電容量電圧変換回路を一体のユニットとして形成する場合であって、静電容量型センサが可撓性を有する場合には、静電容量型センサ装置における静電容量電圧変換回路を小型化することで、静電容量電圧変換回路が含まれる回路基板の堅さを相対的に感じにくくすることができる。従って、本発明によれば、静電容量型センサと静電容量電圧変換回路とを含む一体のユニット全体として、柔軟な形状として認識することができる。また、静電容量型センサは、面形状に形成された静電容量型センサであるとする。このとき、静電容量型センサは、静電容量型センサの面法線方向に距離を隔てて対向して設けられた第一,第二電極と第一,第二電極間に設けられた誘電層とを備え、静電容量型センサの面法線方向の圧縮力、または、静電容量型センサの面接線方向の引張力に応じて、誘電層の変形により第一電極と第二電極との離間距離、電極面積、またはその両方が変化するセンサとしてもよい。これにより、各種の外力を把握することができる。また、静電容量型センサは、面形状に形成された静電容量型センサである場合に、静電容量型センサの面法線方向に距離を隔てて対向して設けられた第一,第二電極と、第一,第二電極間に設けられた誘電層と、静電容量型センサの表面側に設けられた絶縁層とを備え、静電容量型センサの表面への導電体としての操作者の接近または接触状態に応じて、第一,第二電極間の静電容量が変化するセンサとしてもよい。この場合、操作者が電極を構成することで、第一電極と第二電極のうち表面側に位置する電極と操作者自身とがキャパシタを形成する。その結果、第一電極と第二電極とにより形成されるキャパシタの静電容量に影響を与える。従って、第二電極に流れる電流を計測することにより、操作者の接近、接触または接触度合を把握することができる。なお、接触状態とは、接触の有無、接触度合を含む意味で用いている。また、静電容量型センサは、面形状に形成された静電容量型センサである場合に、静電容量型センサの面方向に距離を隔てて設けられた第一,第二電極と、静電容量型センサの表面側に設けられた絶縁層とを備え、静電容量型センサの表面への導電体としての操作者の接近または接触状態に応じて、第一,第二電極間の静電容量が変化するセンサとしてもよい。この場合、操作者が電極を構成することで、第一電極と操作者自身とが第一のキャパシタを形成し、かつ、第二電極と操作者自身とが第二のキャパシタを形成する。その結果、第一電極と第二電極とにより形成されるキャパシタの静電容量に影響を与える。従って、第二電極に流れる電流を計測することにより、操作者の接近、接触または接触度合を把握することができる。また、整流器、平滑コンデンサおよび電流計測用シャント抵抗は、第二電極の複数箇所にそれぞれに接続した複数からなり、複数の整流器は、第二電極のそれぞれ異なる位置に接続され、静電容量型センサ装置は、電圧印加手段により矩形波電圧を印加した場合に複数の電圧計測手段により計測されたそれぞれの電流計測用シャント抵抗の両端電圧に基づいて、静電容量型センサに接近または接触した操作者の接近位置、接触位置または接触状態の少なくとも何れかを推定する状態推定手段をさらに備えるようにしてもよい。ここで、第二電極の抵抗成分の影響によって、複数の静電容量電圧変換回路から出力される電圧は、操作者の接近位置、接触位置または接触状態に応じて異なる値となる。このことを利用して、複数の出力側の静電容量電圧変換回路を第二電極のそれぞれ異なる位置に接続することで、それぞれの出力側の静電容量電圧変換回路の電圧計測手段により計測される両端電圧によって、操作者の接近位置、接触位置または接触状態を算出することができる。また、静電容量型センサは、複数の第一電極を備え、静電容量型センサは、それぞれの第一電極に対して、第一電極を電圧印加手段に接続する第一状態と第一電極を接地する第二状態とを切り換える入力側切換回路と、選択された1つの第一電極に対して第一状態とし、残りの第一電極に対して第二状態とするように入力側切換回路を制御する切換制御手段と、を備えるようにしてもよい。複数の第一電極がある場合には、電圧印加手段に接続する第一電極を順次切り換える必要がある。このとき、電圧印加手段に接続していない第一電極が接地されていない場合には、近接する第一電極同士がキャパシタを形成してしまい、第二電極に充放電される電荷に影響を与えてしまう。そのため、所定の第一電極と第二電極との静電容量を高精度に計測することができない。そこで、電圧印加手段に接続していない第一電極を接地することで、所定の第一電極と第二電極との静電容量を高精度に計測することができる。ここで、接地とは、グランドアースに接続する場合の他、充電電圧が印加されている状態を含む。静電容量型センサの静電容量計測装置上記においては、本発明を静電容量型センサ装置として把握した場合について説明したが、この他に、静電容量型センサ装置のうち計測装置部分のみを抽出して把握することができる。すなわち、静電容量型センサの静電容量計測装置に係る本発明は、距離を隔てて対向して設けられた第一,第二電極を備え、外力の付与もしくは操作者の接近または接触に伴って第一,第二電極間の静電容量が変化する静電容量型センサの静電容量を計測する計測装置であって、静電容量型センサに周期性の矩形波電圧を印加する電圧印加手段と、静電容量型センサの第二電極に接続され、電圧印加手段が周期性の矩形波電圧を印加した場合に静電容量型センサに充放電される電荷を整流する整流器と、整流器に並列接続される平滑コンデンサと、平滑コンデンサに並列に接続される電流計測用シャント抵抗と、電流計測用シャント抵抗の両端電圧を計測する電圧計測手段とを備える。これにより、上述した静電容量型センサ装置における効果と同一の効果を奏することができる。また、上述した静電容量型センサ装置における他の特徴部分について、当該静電容量計測装置に適用することができ、同一の効果を奏する。以下、本発明の静電容量型センサ装置および静電容量計測装置を具体化した実施形態について図面を参照しつつ説明する。<第一実施形態>第一実施形態の静電容量型センサ装置について、図1および図2を参照して説明する。静電容量型センサ装置は、例えば、感圧センサとして用いたり、車両のシートベルトに貼り付けられ、シートベルトに付与される張力を計測することに用いたりすることができる。静電容量型センサ装置は、部品ユニットとして捉えた場合には、静電容量型センサユニット1と、電源100と、電圧計測器200のそれぞれの各部品ユニットを備えて構成される。そこで、まずは、図1abを参照して主として静電容量型センサユニット1の形状に関する部分について説明し、後に、図2を参照して静電容量型センサ装置の電気回路について詳細に説明する。静電容量型センサユニット1は、静電容量型センサ10と、回路基板20と、配線部30とを備えて構成され、これらを一体的なユニットとして形成している。静電容量型センサ10は、本実施形態においては、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質からなり、ゴムのような柔軟な材質により形成している。ただし、本発明において、静電容量型センサ10は、可撓性を有するもの以外にも適用可能である。そして、静電容量型センサ10は、図1abに示すように、面形状に形成されている。この静電容量型センサ10は、面法線方向図1bの上下方向に距離を隔てて対向して設けられた第一,第二電極11,12と、第一,第二電極11,12間に設けられた誘電層13と、第二電極12側の表面および第一電極11側の裏面を被覆するように設けられた絶縁層14,15を備えて構成される。そして、付与される外力に応じて第一電極11と第二電極12との離間距離、電極面積、またはその両方が変化し、この変化に伴って第一電極11と第二電極12の間の静電容量が変化する。なお、静電容量が離間距離、電極面積、またはその両方に比例する関係にあることは周知であるため、詳細な説明は省略する。静電容量型センサ10を構成する第一,第二電極11,12は、同一材質でありかつ同一形状により形成されている。具体的には、第一,第二電極11,12は、薄膜状の矩形状に形成されている。第一,第二電極11,12の材質は、エラストマー中に導電性フィラーを配合させることにより成形している。そして、第一,第二電極11,12は、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有するようにしている。第一,第二電極11,12を構成するエラストマーは、例えば、シリコーンゴム、エチレン-プロピレン共重合ゴム、天然ゴム、スチレン-ブタジエン共重合ゴム、アクリロニトリル-ブタジエン共重合ゴム、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ウレタンゴムなどが適用できる。また、第一,第二電極11,12に配合される導電性フィラーは、導電性を有する粒子であればよく、例えば、炭素材料や金属等の微粒子を適用できる。誘電層13は、エラストマーにより成形され、第一,第二電極11,12と同様に、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する。この誘電層13を構成するエラストマーは、例えば、シリコーンゴム、アクリロニトリル-ブタジエン共重合ゴム、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ウレタンゴムなどが適用できる。この誘電層13は、設定された厚みを有し、第一,第二電極11,12と同程度の矩形状に形成されている。絶縁層14,15は、第一,第二電極11,12と同様に、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する。この絶縁層14,15を構成するエラストマーは、例えば、誘電層13を構成するエラストマーとして記載した材料が適用される。以上説明した第一,第二電極11,12、誘電層13および絶縁層14,15からなる静電容量型センサ10は、全体として、所定の厚みを有する任意の形状図1aでは例えば矩形状として図示するに形成されている。さらに、静電容量型センサ10は、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する。そして、静電容量型センサ10が静電容量型センサ10の面法線方向に圧縮力を受けた場合には、誘電層13が当該面法線方向に圧縮変形することにより、第一,第二電極11,12間の離間距離が短くなる。この場合、静電容量型センサ10の静電容量は大きくなる。また、静電容量型センサ10が静電容量型センサ10の面接線方向に引張力を受けた場合には、誘電層13が当該面接線方向に伸張変形することにより、第一,第二電極11,12それぞれの電極面積が広がる。この場合も、静電容量型センサ10の静電容量は大きくなる。このように、静電容量型センサ10が外力を受けた場合に、その外力に応じて第一電極11と第二電極12とにより形成されるキャパシタの静電容量が変化する。回路基板20は、電圧印加素子21と静電容量電圧変換回路22とを備え、これらを同一の基板上に形成している。電圧印加素子21は、静電容量型センサ10に対して周期性の矩形波電圧を印加する素子例えば、発振子である。なお、本実施形態においては、矩形波電圧を印加する手段として、電圧印加素子21としての発振子を用いる場合を例に挙げるが、その他に例えば発振回路およびコントロールユニットマイコンのタイマ出力などを用いることもできる。静電容量電圧変換回路22は、静電容量型センサ10の静電容量を電圧に変換することにより、当該静電容量を電圧として取り出すことができる回路である。概要としては、静電容量電圧変換回路22は、静電容量型センサ10の第一電極11に対して周期性の矩形波電圧を印加した場合に、静電容量型センサ10の出力側である第二電極12で充放電される電流を電圧に変換して出力する回路である。電圧印加素子21および静電容量電圧変換回路22の詳細な説明については、図2を用いて後述する。配線部30は、静電容量型センサ10と回路基板20とを電気的に接続する。配線部30は、実質的に、静電容量型センサ10と同様な構成をなしている。この配線部30は、第一,第二電極31,32と、絶縁層33,34,35とを備えて構成される。第一,第二電極31,32は、それぞれ、静電容量型センサ10の第一,第二電極11,12と一体的に同一材質により形成されたものであり、当然にそれぞれに電気的に接続されている。中間の絶縁層33は、静電容量型センサ10の誘電層13と一体的に同一材質により形成されたものである。また、絶縁層34,35は、静電容量型センサ10の絶縁層14,15と一体的に同一材質により形成されたものである。そして、配線部30の第一電極31が回路基板20の電圧印加素子21に電気的に接続され、配線部30の第二電極32が回路基板20の静電容量電圧変換回路22に電気的に接続されている。以上説明した静電容量型センサユニット1は、ハーネスを介して、電源100および電圧計測器200に接続される。次に、静電容量型センサ装置の電気回路について、図2を参照して詳細に説明する。ここで、静電容量型センサ10は可変静電容量として機能するため、図2において、静電容量型センサ10は可変静電容量として図示している。図2に示すように、静電容量型センサ装置は、電気回路の機能的に捉えた場合には、静電容量型センサ10と、静電容量計測装置2とを備えて構成される。静電容量型センサ装置の静電容量計測装置2は、電源100と、電圧印加素子21と、静電容量電圧変換回路22と、電圧計測器200とを備えて構成される。電源100は、直流電源である。電圧印加素子21は、周期性の矩形波電圧を発生する素子であって、静電容量型センサ10に当該矩形波電圧を印加する。具体的には、電圧印加素子21の出力端は、静電容量型センサ10の第一電極11に接続され、電圧印加素子21の接地端は、電源100の負極側に接続され、電圧印加素子21の電源端は、電源100から電圧が印加される。電圧印加素子21は、このように接続されることで周期性の矩形波電圧を発生する。この電圧印加素子21により印加される電圧は、例えば、周波数250kHzで、最大電圧5Vで、ONデューティ比50とする。もちろん、周波数、最大電圧、および、ONデューティ比を適宜変更することは可能である。静電容量計測装置2を構成する静電容量電圧変換回路22は、整流器22aと、平滑コンデンサC1と、電流計測用シャント抵抗R1とにより構成される。整流器22aは、静電容量型センサ10の出力側に接続され、電圧印加素子21が静電容量型センサ10の第一電極11に対して周期性の矩形波電圧を印加した場合に静電容量型センサ10の第二電極12に充放電される電荷を整流する。この整流器22aは、第一ダイオードD1と第二ダイオードD2とから構成される。第一ダイオードD1は、静電容量型センサ10に直列接続され、第二ダイオードD2は、静電容量型センサ10に並列接続されている。具体的には、第一ダイオードD1のアノードは、静電容量型センサ10の第二電極12に接続されている。第二ダイオードD2のアノードは、電源100の負極側に接続され、第二ダイオードD2のカソードは、静電容量型センサ10の第二電極12および第一ダイオードD1のアノードに接続されている。従って、電圧印加素子21の矩形波電圧がONの場合に、第二ダイオードD2を介して静電容量型センサ10の第二電極12に電荷が充電される。一方、電圧印加素子21の矩形波電圧がOFFの場合に、第一ダイオードD1を介して静電容量型センサ10の第二電極12から電荷が放電される。平滑コンデンサC1は、整流器22aの出力側に並列接続され、整流器22aに流れる電流を平滑化する。つまり、平滑コンデンサC1は、一端が第一ダイオードD1のカソードに接続され、他端が第二ダイオードD2のアノードに接続されている。上述したように、整流器22aには、静電容量型センサ10の第二電極12に充電される際と放電する際において電荷の流れが異なるため、整流器22aの出力側の電流の時間変化は断続形状となる。そこで、平滑コンデンサC1がこの矩形波状の電流を平滑化する役割を有する。電流計測用シャント抵抗R1は、平滑コンデンサC1の出力側に並列接続されている。つまり、電流計測用シャント抵抗R1の両端は、平滑コンデンサC1の両端にそれぞれ接続されている。ここで、静電容量型センサ10の第二電極12による放電電荷は全て電流計測用シャント抵抗R1を通過するため、電流計測用シャント抵抗R1の両端電圧Vxを計測することで、静電容量型センサ10の第二電極12による放電電流を計測できる。静電容量計測装置2を構成する電圧計測器200は、電圧増幅器210と、静電容量算出部220本発明の電圧計測手段に相当とから構成される。電圧増幅器210は、電流計測用シャント抵抗R1の出力側に並列接続されており、電流計測用シャント抵抗R1の両端電圧Vxを増幅する。なお、本実施形態における静電容量計測装置2は、電圧増幅器210を備える構成としたが、電圧増幅器210を備えずに静電容量算出部220のみにより構成されるものとしてもよい。静電容量算出部220は、電圧増幅器210により増幅された電流計測用シャント抵抗R1の両端電圧Vxを計測し、計測した当該両端電圧Vxから静電容量型センサ10の静電容量Cxを算出する。ここで、電流計測用シャント抵抗R1の両端電圧Vxは、式1のように示される。なお、式1において、V-Vfは、電圧印加素子21により電圧を印加された場合の静電容量型センサ10による充電電圧に相当する。[数1]Vx=CxFreqR11Vx:電流計測用シャント抵抗R1の両端電圧Cx:静電容量型センサ10の可変静電容量V:電圧印加素子21により印加される最大電圧Freq:電圧印加素子21により印加される矩形波電圧の周波数Vf:第一,第二ダイオードD1D2の順方向電圧R1:電流計測用シャント抵抗そして、静電容量型センサ10の静電容量Cxは、式1より、式2のように表される。そして、式2において、静電容量Cx以外の値は既知であるため、静電容量Cxを算出することができる。[数2]Cx=Vx/FreqR12以上説明したように、非常に簡易的な電気回路、つまり素子の数が非常に少ない構成により静電容量型センサ10の静電容量Cxを算出することができる。従って、静電容量型センサ装置における静電容量電圧変換回路22は、非常に小型に形成することができる。従って、この静電容量電圧変換回路22を備える回路基板20も小型化することができる。ここで、電圧印加素子21が周期的な矩形波電圧を印加するようにしたため、式2に示すように矩形波電圧の周波数Freqと最大電圧Vを高精度に適用することができる。つまり、周期的な矩形波電圧を静電容量型センサ10に印加することにより、高精度に静電容量Cxを計測することができるようになる。このように、小型でありながら、高精度に静電容量Cxを計測することができる。また、静電容量型センサユニット1は、静電容量型センサ10、電圧印加素子21、静電容量電圧変換回路22および配線部30と一体とするユニットとして形成している。上述したように、静電容量電圧変換回路22の小型化を図ることができるようになったため、静電容量型センサユニット1全体を一体のユニットとして形成した場合であっても、静電容量型センサユニット1全体の小型化を図ることができる。特に、静電容量電圧変換回路22の小型化を図り、静電容量型センサユニット1のユニット化を行うことで、配線部30の長さを従来に比べて格段に短くできる。その結果、配線部30の配線容量を低減することができ、かつ、配線部30に乗るノイズの低減を図ることができる。従って、高精度な静電容量の計測が可能となる。また、本実施形態においては、静電容量型センサ10が可撓性且つ伸縮自在な性質を有するものとした。このような柔軟な形状性質を有するセンサの用途は非常に多様である。ところが、静電容量電圧変換回路22が大型であると、静電容量電圧変換回路22を搭載する回路基板20が大型化してしまう。そうすると、静電容量型センサユニット1をユニット化した場合に、静電容量型センサ10の柔軟な性質があっても、相対的に回路基板20の堅さが際立ってしまう。しかし、本実施形態の静電容量型センサ装置であれば、静電容量電圧変換回路22の小型化を図ることができるため、静電容量型センサユニット1と一体のユニットとした場合であっても、回路基板20の部分の堅さを相対的に感じにくくすることができる。従って、本実施形態の静電容量型センサユニット1全体として、柔軟な形状として認識することができる。<第二実施形態>第二実施形態の静電容量型センサ装置について、図3を参照して説明する。本実施形態の静電容量型センサ装置は、広範囲の感圧センサとして適用した場合の例である。第一実施形態の静電容量型センサ10は一箇所の感圧センサとして機能するため、第二実施形態では第一実施形態の静電容量型センサ10を複数箇所に設けるようにしたものである。ただし、単に複数設けるのでは静電容量電圧変換回路22の配置が容易ではないため、図3に示すように構成した。なお、第二実施形態において、第一実施形態の静電容量型センサ装置の各構成と実質的に同一の構成については同一符号を付している。図3に示すように、第二実施形態の静電容量型センサ装置は、静電容量型センサ110と、電源100と、電圧印加素子21と、複数の静電容量電圧変換回路122a~122dと、第一,第二接続切換部310,320と、電圧計測器200と、切換制御部330と、状態推定部340とを備えて構成される。また、電圧印加素子21と、第一,第二接続切換部310,320と、電圧計測器200と、切換制御部330と、状態推定部340は、それら全て、または、それら一部機能をコントロールユニットマイコンに搭載された同等の機能により置き換えて構成してもよい。静電容量型センサ110は、全体として矩形板状に形成されている。静電容量型センサ110は、複数の長尺板状の第一電極111a~111dと、複数の長尺板状の第二電極112a~112dと、誘電層113とから構成される。なお、図3においては、表面および裏面の絶縁層は図示していない。第一,第二電極111a~111d,112a~112dは、第一実施形態の静電容量型センサ10の第一,第二電極11,12と同一材質により形成されている。そして、複数の第一電極111a~111dは、それぞれ面接線方向図3の上下方向に距離を隔てて平行に配置されている。複数の第二電極112a~112dは、それぞれ面接線方向図3の左右方向に距離を隔てて平行に配置されている。そして、第一電極111a~111dのそれぞれが平行に配置される方向図3の上下方向と第二電極112a~112dのそれぞれが平行に配置される方向図3の左右方向とは直交するように配置されている。つまり、静電容量型センサ110の面法線方向から見た場合に、第一電極111a~111dと第二電極112a~112dとにより格子状を形成するように、第一電極111a~111dおよび第二電極112a~112dが配置されている。誘電層113は、複数の第一電極111a~111dと複数の第二電極112a~112dとの間に介在するように配置されている。この誘電層113は、法接線方向に伸縮可能な材質により形成されている。入力側切換回路310は、複数のスイッチ310a~310dにより構成されている。各スイッチ310a~310dの一端は、電圧印加素子21の出力端と、グランドアースへの接地端とを選択して切換可能に構成されている。一方、各スイッチ310a~310dの他端は、対応する第一電極111a~111dに接続されている。つまり、入力側切換回路310の各スイッチ310a~310dは、第一電極111a~111dを電圧印加素子21に接続する第一状態と、第一電極111a~111dを接地する第二状態とを切り換える。そして、後述する切換制御部330により、第一電極111a~111dの中から選択された1つと電圧印加素子21とを接続し第一状態、第一電極111a~111dの残りを接地する第二状態。また、図3には図示しないが、電圧印加素子21の電源端は、図2を用いて説明したように、電源100の正極側に接続され、電圧印加素子21の接地端は、電源100の負極端に接続される。複数の静電容量電圧変換回路122a~122dは、対応する第二電極112a~112dのそれぞれの端部に接続されている。静電容量電圧変換回路122a~122dは、第一実施形態の静電容量電圧変換回路22と同一構成からなる。出力側切換回路320は、複数のスイッチ320a~320dにより構成されている。各スイッチ320a~320dの一端は、対応する静電容量電圧変換回路122a~122dに接続され、各スイッチ320a~320dの他端は、電圧計測器200に接続される。そして、切換制御部330により、静電容量電圧変換回路122a~122dの中から選択された1つと電圧計測器200とを接続し、静電容量電圧変換回路122a~122dの残りを切断する。切換制御部330は、入力側切換回路310および出力側切換回路320のON/OFF動作を切り換える制御を行う。図4を参照して、入力側切換回路310および出力側切換回路320のON/OFF動作のタイミングチャートを参照して説明する。電圧印加素子21が周期性の矩形波電圧を印加した後に、入力側切換回路310の第一スイッチ310aがONする。ここで、入力側切換回路310の各スイッチ310a~310dのONとは、各スイッチ310a~310dが電圧印加素子21側に接続される状態第一状態を意味する。このとき、入力側切換回路310の第二,第三,第四スイッチ310b,310c,310dは、グランドに接地されている第二状態。つまり、第一電極111aのみに周期性の矩形波電圧が印加される。同時に、出力側切換回路320の第一スイッチ320aがONする接続状態。このとき、出力側切換回路320の第二,第三,第四スイッチ320b,320c,320dは、OFFである切断状態。この状態において、電圧計測器200は、第一電極111aと第二電極112aとの間の静電容量に応じた電圧を計測することになる。ここで、第一電極111a~111d同士は、平行に設けられているため、キャパシタとして機能するおそれがある。つまり、第二電極112a~112dに充放電される電荷に影響を与えるおそれがある。しかし、上述したように、当該状態において、入力側切換回路310の第二,第三,第四スイッチ310b,310c,310dは、接地されている。そのため、上記状態において、第一電極111aのみに電圧が印加された場合に、第一電極111aと他の第一電極111b~111dとの間で、キャパシタは機能しない。従って、第一電極111aは、第二電極112a~112dとの間にのみ、キャパシタとして機能する。従って、他の第一電極111b~111dが、第二電極112a~112dに充放電される電荷に影響を与えることを防止できる。その結果、電圧計測器200は、高精度に第一電極111aと第二電極112aとの間の静電容量に応じた電圧を計測することができる。続いて、出力側切換回路320の第一スイッチ320aをOFFに切り換え、第二スイッチ320bをONに切り換える。従って、電圧計測器200は、第一電極111aと第二電極112bとの間の静電容量に応じた電圧を計測することになる。このように、入力側切換回路310の第一スイッチ310aが電圧印加素子21側第一状態の間、出力側切換回路320のスイッチ320a~320dに対して、ONとOFFとを順次切り換えていく。続いて、入力側切換回路310の第一スイッチ310aをグランドへの接地第二状態に切り換え、第二スイッチ310bを電圧印加素子21側第一状態へ切り換える。この状態で、上述したように、出力側切換回路320のスイッチ320a~320dを順次切り換える。そして、入力側切換回路310のスイッチ310a~310dに対して、ONとグランドとを順次切り換えていく。上記のようにすることで、電圧計測器200は、図3において、第一電極111a~111dと第二電極112a~112dとが交差するそれぞれの位置における静電容量に応じた電圧を取得することができる。そこで、状態推定部340は、これらの電圧を用いて、誘電層113の各部位の変形状態を推定することができる。推定した誘電層113の変形状態に基づいて、外力が付与された位置および外力の大きさを推定することができる。すなわち、状態推定部340は、静電容量型センサ110に付与された面圧の分布を算出することができる。<第二実施形態の第一変形態様>ここで、上記実施形態において、誘電層113が変形することにより、第一電極111a~111dと第二電極112a~112dとの離間距離が変化することに伴って、電極間の静電容量が変化すると説明した。この態様の他に、本発明は、人間操作者が指を接触した位置を検出するタッチパネルなどに適用することができる。この場合、人間の指が導電体として機能するため、導電体が静電容量型センサ110に接近または接触した場合には、第二電極112a~112dと指との間でキャパシタを形成することになる。その結果、指が接触または近接した位置における第一電極111a~111dと第二電極112a~112dとの静電容量は、指が接触および近接していない位置における当該静電容量とは異なる。つまり、状態推定部340は、誘電層113が変形するか否かに関わらず、導電体としての人間の指が接近位置、接触位置または接触度合を算出することができる。<第二実施形態の第二変形態様>上記実施形態において、入力側切換回路310の各スイッチ310a~310dの一端は、電圧印加素子21の出力端と、グランドアースへの接地端とを選択して切換可能に構成されているものとした。この他の態様について、図5を参照して説明する。図5に示すように、入力側切換回路311の各スイッチ311aから311dの一端は、電圧印加素子21の出力端と、電源100の正極側の端子とを選択して切換可能に構成されている。一方、各スイッチ311a~311dの他端は、対応する第一電極111a~111dに接続されている。つまり、電源100の正極側の端子は、一定電圧が印加されている端子であり、高圧側接地に相当する。この場合、入力側切換回路311の各スイッチ311a~311dの切換動作は、上述した入力側切換回路310の各スイッチ310a~310dの切換動作と同一である。ただし、入力側切換回路311の各スイッチ311a~311dのONとは、各スイッチ311a~311dが電圧印加素子21側に接続される状態第一状態を意味する。従って、この場合も、上記実施形態と同様の効果を奏する。<第三実施形態>次に、第三実施形態の静電容量型センサ装置について図6~図8を参照して説明する。図6および図7に示すように、本実施形態の静電容量型センサ10は、第一実施形態と実質的同一の構成からなる静電容量型センサ10を用いる。ただし、静電容量型センサ10の形状を長尺状とする。また、第一電極11の一端に電圧印加素子21の出力端を接続する。さらに、第二電極12の一端に、第一の静電容量電圧変換回路222aを接続し、第二電極12の他端に、第二の静電容量電圧変換回路222bを接続する。なお、図6~図8には図示しないが、電源100および電圧計測器200も備える。そして、静電容量型センサ10の表面側に、図6および図7に示すように、人間の指を接触または近接させる。ここで、第一の静電容量電圧変換回路222aにより出力される電圧と、第二の静電容量電圧変換回路222bにより出力される電圧とは、指が接触または近接している位置によって異なる。これは、第二電極12の抵抗成分の影響によるものである。従って、第一の静電容量電圧変換回路222aにより出力される電圧と、第二の静電容量電圧変換回路222bにより出力される電圧とを計測することにより、指が接触または近接している位置を算出することができる。さらに、図8に示すように、人間の指を静電容量型センサ10に強く押し付ける場合を考える。この場合には、人間の指が導電体として機能するため、図6の状態に比べて図8の状態は、キャパシタの電極の面積が変化すると捉えることができる。そのため、指を押し付けた力に応じて、第一の静電容量電圧変換回路222aにより出力される電圧、および第二の静電容量電圧変換回路222bにより出力される電圧が変化する。従って、両電圧に基づいて、指による押付状態を推定することができる。<第四実施形態>次に、第四実施形態の静電容量型センサ装置について図9を参照して説明する。第三実施形態では、静電容量型センサ10の形状を長尺状とした。第三実施形態の考え方を、矩形状の静電容量型センサ10に適用した場合が、本実施形態である。つまり、図9に示すように、静電容量型センサ10は矩形状からなり、各層の構成は、第一実施形態と同一構成からなる。第一電極11の1つの角部に、電圧印加素子21の出力端が接続されている。第二電極12のそれぞれの角部に、静電容量電圧変換回路322a~322dが接続されている。この場合、それぞれの静電容量電圧変換回路322a~322dにより出力される電圧は、指が接触または近接している位置によって、さらには、指を押し付けた力によって異なる。従って、それぞれの静電容量電圧変換回路322a~322dにより出力される電圧を計測することにより、指が接触または近接している位置、並びに、指による押付状態を推定することができる。<第五実施形態>上記実施形態においては、第一電極と第二電極を静電容量型センサの面法線方向に対向して設けられることとした。この他に、第一電極と第二電極を静電容量型センサの面方向平面であれば面接線方向に相当に対向するように設けることもできる。この場合の実施形態について、図10および図11を参照して説明する。図10および図11に示すように、静電容量型センサ410は、第一電極411a,411bと、第二電極412a,412bと、絶縁層413とを備える。絶縁層413は、第一実施形態の絶縁層14と同一材質により形成されている。当該材料からなる絶縁層413は、可撓性を有するが、可撓性を有しない材料を適用することもできる。第一電極411a,411bおよび第二電極412a,412bは、第一実施形態の第一,第二電極11,12と同一材質により形成されている。第一電極411a,411bおよび第二電極412a,412bは、絶縁層413の裏面側に、絶縁層413の面方向図10の上下方向に距離を隔てて平行に配置されている。そして、第一電極411a,411bと第二電極412a,412bとが交互に配置されている。さらに、電圧計測器200図1,2に示すは、第一電極411aと第二電極412aとの間の静電容量、第一電極411bと第二電極412aとの間の静電容量、第一電極411bと第二電極412bとの間の静電容量の総量に応じた電圧を計測することができる。この場合、第一電極411a,411bと第二電極412a,412bとを跨ぐようにして、導電体として機能する人間の指が絶縁層413に接触または接近した場合に、当該指が、該当する第一電極411a,411bおよび第二電極412a,412bに対してキャパシタの他方の電極として機能する。そのため、第三実施形態同様に指を押し付けた力に応じて、電極間の静電容量が変化する。従って、指による押付状態を推定することができる。<第六実施形態>第五実施形態では、第一電極411a,411bおよび第二電極412a,412bを長尺状に形成し、それぞれ平行に配置した。第五実施形態の考え方を、環状に形成した第一,第二電極に適用した場合が、本実施形態である。つまり、図12および図13に示すように、静電容量型センサ510における第一電極511は、環状に形成され、絶縁層513の裏面側に配置されている。また、第二電極512は、第一電極511よりも小径の環状に形成され、絶縁層513の裏面側であって、第一電極511の径方向内側に同心的に配置されている。そして、第一電極511に電圧印加素子21の出力端が接続され、第二電極512に静電容量電圧変換回路522が接続されている。この場合、第一電極511と第二電極512とを跨ぐように人間の指が接触または接近した場合には、静電容量電圧変換回路522から出力される電圧が変化するため、指の接触または接近を検知することができる。<第七実施形態>第七実施形態の静電容量型センサ装置について図14および図15を参照して説明する。静電容量型センサ610は、第五実施形態図10に示すにおける静電容量型センサ410とほぼ同様の構成からなる。そして、電圧印加素子21が、第一電極611の一端に接続されている。また、第二電極612の一端に、第一の静電容量電圧変換回路622aを接続し、第二電極612の他端に、第二の静電容量電圧変換回路622bを接続する。この場合、第二電極612の抵抗成分の影響により、図16に示すように、第一,第二の静電容量電圧変換回路622a,622bが接続される第二電極612の位置から遠ざかるほど、出力電圧が低下する。このことを利用して、第一,第二の静電容量電圧変換回路622a,622bの出力電圧の差を用いて、第一電極611などの長手方向における指の位置を算出することができる。<その他>なお、本実施形態において、電圧印加素子21と、第一,第二接続切換部310,320と、電圧計測器200と、切換制御部330と、位置算出部340は、それら全て、または、それら一部機能をコントロールユニットマイコンに搭載された同等の機能により置き換えて構成することもできる。本実施形態においては、静電容量型センサ10が可撓性且つ伸縮自在な性質を有するものとしたが、計測する対象に合わせて伸縮する方向を制限する、または、タッチパネルなどに適用する場合、可撓性または伸縮性を有する必要がない静電容量型センサ10は、第一,第二電極11,12、誘電層13、絶縁層14,15の一部または全ての材料を伸縮性が有しない材料、例えば、木材、樹脂、紙、布などで置き換えることができる。"