上下方向に積み重ねられた複数のトレイに対して、その最上段トレイをピックアップするピックアップ装置であって、上下方向に積み重ねられた複数のトレイが載置される昇降台と、最上段トレイに対して少なくとも前後左右の4箇所に配置されて、前記昇降台の上昇によって上昇してきた最上段トレイを保持する複数のトレイ保持機構と、水平面に対する最上段トレイの傾斜に対応して各保持機構位置を上下方向に変位させる倣い機構とを備えたことを特徴とするピックアップ装置。トレイ保持機構は、昇降台を介して上昇してきた最上段トレイに対してその上面を受ける押さえ爪と、押さえ爪にて上面が押さえられた状態において、その最上段トレイの係合部に係合する係合爪とを有することを特徴とする請求項1に記載のピックアップ装置。トレイの下面側には係合部を有し、この係合部に前記係合爪が外方から揺動して係合し、この係合状態で、この係合爪と前記押さえ爪とで協働してトレイの周縁部を挟持することを特徴とする請求項2に記載のピックアップ装置。固定側に配置されるシリンダ機構と、トレイ保持機構の上下方向の変位に追従してシリンダ機構の駆動により前記係合爪を揺動させる連結機構とを備えたことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のピックアップ装置。トレイ保持機構にてトレイを保持した状態で、このトレイを水平状に戻す戻し機構を備えることを特徴とする請求項1~請求項4のいずれか1項に記載のピックアップ装置。しかしながら、図7に示すように複数のトレイ2を上下方向に積み重ねれば、図6に示すように傾く場合がある。このように傾けば、一のチャック爪1a1a1が最上段のトレイ2の一の係合部33a1の高さ位置にあって係合することができても、他のチャック爪1a1a2が最上段のトレイ2の他の係合部33a2の高さ位置に合わない場合が生じる。このような場合、最上段のトレイ2をピックアップできない。このような傾きに対応するために、例えば、チャック爪1aを、前記傾きを見越して薄くしたりする方法を提案できる。しかしながら、傾きの度合いによって、このようにチャック爪を薄くしても対応できない場合もある。そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、上下方向に複数枚のトレイが積み上げてのその積層体が傾いても、最上段のトレイを安定して順次ピックアップしていくことができるピックアップ装置を提供しようとするものである。本発明のピックアップ装置は、上下方向に積み重ねられた複数のトレイに対して、その最上段トレイをピックアップするピックアップ装置であって、上下方向に積み重ねられた複数のトレイが載置される昇降台と、最上段トレイに対して少なくとも前後左右の4箇所に配置されて、前記昇降台の上昇によって上昇してきた最上段トレイを保持する複数のトレイ保持機構と、水平面に対する最上段トレイの傾斜に対応して各保持機構位置を上下方向に変位させる倣い機構とを備えたものである。本発明のピックアップ装置によれば、トレイ保持機構にて昇降台の上昇によって上昇してきた最上段トレイを保持することができる。しかも、各トレイ保持機構は倣い機構を介して、水平面に対する最上段トレイの傾斜に対応して上下方向に変位することができるので、最上段トレイが水平面に対して傾斜していても、各トレイ保持機構は最上段トレイを保持することができる。また、このようにトレイ保持機構にて最上段トレイを保持した状態で、昇降台が下降すれば、最上段のトレイを他のトレイから離間した状態、つまり、最上段のトレイをピックアップした状態となる。トレイ保持機構は、昇降台を介して上昇してきた最上段トレイに対してその上面を受ける押さえ爪と、押さえ爪にて上面が押さえられた状態において、その最上段トレイの係合部に係合する係合爪とを有するものとできる。このように、トレイ保持機構が押さえ爪と係合爪とを有するものでは、水平面に対して最上段トレイが傾斜している場合、最上段トレイが上昇してきた際に、まず、最上段トレイの最上位に対応するトレイ保持機構の押さえ爪が最上段トレイの上面に接触する。すなわち、このトレイ保持機構の押さえ爪にて最上段トレイに対してその上面を押さえた状態となる。この状態となれば、このトレイ保持機構の係合爪が最上段トレイの係合部に係合する。この際、他のトレイ保持機構の押さえ爪は最上段トレイに接触していない。その後、さらに、最上段トレイが上昇すれば、次の高さ位置に対応するトレイ保持機構の押さえ爪が最上段トレイの上面に接触することになる。このため、このトレイ保持機構の係合爪が最上段トレイの係合部に係合する。この上昇の際には、最初に係合爪にて係合したトレイ保持機構は、倣い機構にて上下動が可能であるため、この係合状態を維持したままの上昇が可能である。以後、最上段トレイが上昇していけば、順次、他のトレイ保持機構の係合爪が最上段トレイの係合部に係合していくことになる。そのため、最終的に、全てのトレイ保持機構の係合爪にて係合することができる。このため、少なくとも前後左右の4箇所にて最上段トレイを保持することができる。トレイの下面側には係合部を有し、この係合部に前記係合爪が外方から揺動して係合し、この係合状態で、この係合爪と前記押さえ爪とで協働してトレイの周縁部を挟持するように構成できる。このように構成することによって、係合爪と押さえ爪とで協働してトレイの周縁部を挟持することができ、トレイの保持状態が安定する。しかも、係合爪が係合部に係合する際には、外方から揺動することになるので、係合爪がトレイの上下動の妨げにならない。固定側に配置されるシリンダ機構と、トレイ保持機構の上下方向の変位に追従してシリンダ機構の駆動により前記係合爪を揺動させる連結機構を備えたものが好ましい。このように構成することによって、シリンダ機構の駆動によって、連結機構を介して係合爪を揺動させることができてこの係合爪をトレイの係合部に係合させることができる。しかも、シリンダ機構が固定側に配置されるものであるので、上下動するトレイ保持機構側にこのような駆動源を配置する必要がなく、トレイ保持機構の軽量化を図ることができる。保持機構にてトレイを保持した状態で、このトレイを水平状に戻す戻し機構を備えたものとできる。本発明のピックアップ装置では、最上段トレイが水平面に対して傾斜していても、各トレイ保持機構は最上段トレイを保持することができ、安定したトレイのピックアップ作業を行うことができる。トレイ保持機構が押さえ爪と係合爪とを有するものでは、全トレイ保持機構の係合爪にて最上段トレイを受けることができ、安定した状態で最上段トレイを保持できる。係合爪と押さえ爪とで協働してトレイの周縁部を挟持することができ、トレイの保持状態が安定する。しかも、係合爪が係合部に係合する際には、係合爪がトレイの上下動の妨げにならず、ピックアップ動作が安定する。シリンダ機構と連結機構とを備えたものでは、シリンダ機構の駆動によって係合爪をトレイの係合部に係合させることができ、この係合動作が安定する。しかも、トレイ保持機構の軽量化を図ることができ、トレイ保持機構の上下動が安定して、トレイの傾きの追従性に優れる。戻し機構を備えたものでは、保持機構にてトレイを保持した状態で、このトレイを水平状に戻すことができ、その後の工程が安定する。すなわち、このトレイが水平状に配設されるので、吸着装置等にて、トレイに収納されたワーク例えば、基板を他の部位を搬送する際に、基板を安定して吸着することができるからである。