一方向に延設された突起部を有する振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体の製造方法であって、前記振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材を製造する第一の工程と、前記第一の工程で製造された異形材を、該異形材の長手方向と直交する方向から、前記振動体における前記突起部の延設方向の幅の寸法に対応させて該異形材の一部を切断する第二の工程と、を有することを特徴とする振動波モータにおける振動体の製造方法。前記異形材は、圧延加工、押し出し加工、引き抜き加工のいずれかによって製造されることを特徴とする請求項1に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。前記異形材における前記突起部との対応部はレール状の肉厚部で構成され、前記第二の工程が、前記レール状の肉厚部の一部を切削して前記突起部を所定の形状に加工すると共に、前記振動体の基部を構成する振動板を所定の形状に加工する工程を含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。前記振動子の楕円運動は、該振動子の短手方向における1次の面外屈曲振動による第一の振動モードと、該振動子の長手方向における2次の面外屈曲振動による第二の振動モードとを励振し、これらを合成することによって生成される楕円運動であって、前記第一の振動モードの共振周波数と前記第二の振動モードの共振周波数を計測する工程と、前記共振周波数を計測する工程において計測した共振周波数に基づいて、前記第一の振動モードの共振周波数と前記第二の振動モードの共振周波数の差が所定の周波数となるように前記突起部を加工する工程と、を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。前記突起部を加工する工程が、前記第一の振動モードに対する該突起部の曲げ剛性を減少させる工程であることを特徴とする請求項4に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。前記第一の振動モードに対する該突起部の曲げ剛性を減少させる工程において、前記突起部の幅または厚さを調整することによって、該突起部の曲げ剛性を減少させることを特徴とする請求項5に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。前記第一の振動モードに対する該突起部の曲げ剛性を減少させる工程において、前記突起部に溝部を形成することによって、該突起部の曲げ剛性を減少させることを特徴とする請求項5に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。一方向に延設された突起部を有する振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体であって、前記振動体が、前記振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材の一部を切断した部材によって構成されていることを特徴とする振動波モータにおける振動体。振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータであって、前記振動体が、請求項8に記載の振動波モータにおける振動体によって構成されていることを特徴とする振動波モータ。しかしながら、特許文献1に開示される製造方法では、突起部を高く形成する上で、つぎのような課題を有している。すなわち、プレス加工で振動板から突起部を絞り出すため、振動板の基部厚さに対して高さの比を大きく取る上で制約がある。また、高さを大きく取ろうとすると、突起部の領域を大きくして、絞り出す肉の量を確保する必要があり、振動子の振動モードに好ましくない影響を与えてしまうこととなる。また、特許文献2に開示されるエッチングによる加工法も同様に突起部を高く形成するには不向きの加工法である。また、特許文献3の方法では、部品点数が増えること、加工工数が増えること、等によりコストアップになってしまう。また、接合部の信頼性を確保する上で、必ずしも好ましくないものである。本発明は、上記課題に鑑み、被駆動体と接触する突起部の高さを振動体の基部の厚さに対して大きく構成することができる振動体を、安定した加工精度で、低コストで製造することが可能となる振動波モータにおける振動体の製造方法及び振動体、振動波モータの提供を目的とする。本発明の振動波モータにおける振動体の製造方法は、一方向に延設された突起部を有する振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体の製造方法であって、前記振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材を製造する第一の工程と、前記第一の工程で製造された異形材を、該異形材の長手方向と直交する方向から、前記振動体における前記突起部の延設方向の幅の寸法に対応させて該異形材の一部を切断する第二の工程と、を有することを特徴とする。また、本発明の振動波モータにおける振動体は、一方向に延設された突起部を有する振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体であって、前記振動体が、前記振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材の一部を切断した部材によって構成されていることを特徴とする。また、本発明の振動波モータは、振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータであって、前記振動体が、上記の振動波モータにおける振動体によって構成されていることを特徴とする。本発明によれば、被駆動体と接触する突起部の高さを振動体の基部の厚さに対して大きく構成することができる振動体を、安定した加工精度で、低コストで製造することが可能となる振動波モータにおける振動体の製造方法及び振動体、振動波モータを実現することができる。本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。[実施例1]実施例1として、素材となる板材の断面形状が突起部を備えた振動板振動体に対応する形状を有する異形材を用いた振動波モータにおける振動体の製造方法及び振動体、振動波モータの構成例について、図1~5を用いて説明する。本実施例の振動波モータは、一方向に延設された突起部を有する振動体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動するように構成されている。本実施例においては、このような振動波モータにおける振動体が、つぎのような製造方法によって製造される。まず、第一の工程において、振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材を製造する。本発明において上記直交するとは、実質的に直交することを意味する。実質的に直交するとは、例えば加工誤差や、意図的な設計等により、厳密には直交していなくても、直交している場合と同様の効果を奏する状態にあることを意味する。例えば直交90°から±3°ずれていたとしても、本発明の効果を奏する場合には、実質的に直交しているとみなすことができる。その際、この異形材における上記突起部との対応部はレール状の肉厚部で構成される。具体的には、図1に示す異形材を圧延加工等熱間又は冷間押し出し加工、引き抜き加工等を含むで製造する。ここでは振動板振動体の最終形状を見据えて、極力後加工の工程が少なくなるように断面形状を設定することがポイントとなる。すなわち、図1に示す異形材の幅B1は図3に示す振動子4の振動板2の長さL1にほぼ等しくなるように設定されている。また、レール状の肉厚部による突起1-1、1-2はそのまま振動板2の突起部2-1、2-2として使えるように、その高さ丸数字1と幅丸数字2および突起間の距離丸数字3等が、それぞれh1、t1、P1と等しくなる様に設定されている。次に、第二の工程において、図2に示すように第一の工程で製造した異形材を所定の寸法形状に切断する。本実施例ではカッター10により前記異形材1を幅がB2となるように切断する。このように切断された部材によって、図3に示すような突起を備えた振動板振動体2が製造される。次に、第三の工程において、第二の工程で切断した振動板に電気-機械エネルギ変換素子である圧電素子3を接合接着して振動子4を製造する。そして、第四の工程において、前記圧電素子にFPCフレキシブルプリント基板など給電部材を接合する。不図示の給電部材FPC等から圧電素子3に交流電界を印加すると、振動子4には図4に示すような第一の振動モードモード1と第二の振動モードモード2とが励振される。このモード1は、図4中の短手方向と直交する方向に2本の節線振動の節となる線状の部分l1、l2を有し、それらの中央部が振動の腹となる、振動子4の短手方向における1次の面外屈曲振動モードである。一方、モード2は図4中の前記2本の節線l1、l2と直交する3本の節線l3、l4、l5を有する、振動子4の長手方向における2次の面外屈曲振動モードである。図に示すように、突起部2-1、2-2はl4、l5の位置とほぼ一致するように設定されているため、モード2が励振された時には、この突起部2-1、2-2の先端上面はZ方向の振動振幅はほぼゼロで、X方向の振動振幅のみ発生する。また、モード1が励振された時には、突起部2-1、2-2ともにモード1と同様の変形をするため、同突起部の中央付近2-1C、2-2CはX方向の振動振幅はほぼゼロでZ方向の振動振幅が最大となる。そこで、これら2つの振動モードを同時に励振し、振動の位相を適切に調整して合成すると、振動板2に形成された突起部2-1と2-2の中央部付近2-1Cと2-2Cには楕円運動が生成される。そのため、この突起部に図5に示すような被駆動体5を接触させると、この被駆動体スライダーは前記楕円運動による摩擦力で矢印Aの方向に駆動されることになる。以上のように、本実施例の振動体の製造方法では、振動板振動体2を加工する工程として、まず断面形状が突起部2-1、2-2を備えた振動板振動体2に対応する形状を有する異形材を製造する。そして、次にその異形材の不要な部分を除去して突起部や振動体の基部を構成する振動板を所定の形状に仕上げるというプロセスを踏むことで、加工工数低減と加工歪を最小限に抑えた加工精度の高い振動体が、低コストで製造することが可能となる。[実施例2]実施例2として、実施例1とは異なる形態の振動波モータにおける振動体の製造方法について、図6~8を用いて説明する。実施例1図3の振動子では突起部2-1と2-2が振動板の短手方向端部まで形成されていたが、本実施例では図7に示すように突起部2-3と2-4は、振動板の中央部幅:W3のみ形成される。そこで、本実施例における加工工程では、まず、第一の工程において、実施例1と同じく図1に示す異形材を圧延加工等熱間又は冷間押し出し加工、引き抜き加工等を含むで製造する。次に、第二の工程において、図6に示すようにレール状の突起部1-1と1-2をカッター11幅:W1を用いて加工ピッチがW2となるように切削加工し、突起の一部が断続的に残るような形状に加工する。さらに、第三の加工工程において、上記加工された異形材1を図2と同様のカッター10を用いてピッチがW2となるように切断し、図7に示すような振動板2を製造する。ここにおいて、切断加工のピッチは、切断後の振動板の幅がL4になるように切断時の取り代も考慮してピッチW2を設定するものとする。第四、第五の工程においては、実施例1における第三、第四と同じ工程を用い、圧電素子及びFPCの接着をして図7に示す振動子4を製造する。このように振動板の突起部形状を幅狭に形成することで、図8に示すモード1における曲げ剛性を小さくできる。そのため、Z振幅を容易に大きくすることが可能となる。また、突起部と被駆動体の接触部を限定できるため、効率のよい駆動が可能となる。[実施例3]実施例3として、上記各実施例とは異なる形態の振動波モータにおける振動体の製造方法について、図9~12を用いて説明する。本実施例では、図11に示すように振動体が支持部22-3、22-4と固定部22-5、22-6とを一体的に形成することによって構成される。本実施例においても、振動板の形状を仕上げるための加工が最小限になるように、素材となる異形材の形状が工夫されている。まず、第一の工程において、図9に示すような異形材を圧延加工で製造する。図9に示すように異形材板21には、レール状の肉厚部21-1、21-2とその外側に薄肉部21-3、21-4とさらにその外側に中央部と同じ厚さの部分21-5、21-6とが形成されている。次に、第二の工程において、図10aに示すようにこのレール状突起部の一部を幅W5のカッター12を用いて切削加工し、厚肉部21-11、21-21の一部が長さW4B5-W5、ピッチB5で断続的に残るように切削加工を施す。次に、第三の工程において、図10bに示すように、点線25で示した外形線に沿って切断し、図11に示す振動板22を製造する。この切断加工では、外形形状に沿ったプレス型を製作し、このプレス型で打ち抜き加工を施すことにより、加工時間の短縮化を図っている。第四の工程と第五の工程においては、実施例1、2と同様の工程を用いて圧電素子とFPCの接合をする。本実施例の振動子は、固定部22-5、22-6とを有しており、この一部を不図示の固定部材に接合、固定することにより振動子22を支持している。その際に、圧電素子を接合している振動部の振動を阻害しないように支持部22-3、22-4が設けられており、この部分は他の部分よりも曲げ剛性が小さくなるように幅および厚さが狭く、薄く設定されている図12。また、この厚さが薄い部分は、図9に示すように異形材21の薄肉部21-3、21-4として設定されており、後の加工工程を極力少なくするように予め断面形状を設定している。尚、本実施例の外形加工では、プレスによる打ち抜き加工を採用しているが、加工法はこれに限定されるものではなく、その他の機械加工たとえばワイヤーカットなどでもよい。また、以上の実施例1~3を通して、振動板に圧電素子を接合する工程では振動板の圧電素子接合面を平滑化する工程を省略した。しかし、第一の工程で形成された該接合面が所定の平面形状平面度、面粗さになっていない場合は、平面研削、ポリッシュなどの仕上げ加工を施してもよい。[実施例4]実施例4として、上記各実施例とは異なる形態の振動波モータにおける振動体の製造方法について、図13を用いて説明する。実施例1~3で示したような工程で振動体を製造した場合でも、以下のような要因でモード1およびモード2の共振周波数が所定の値からズレてしまう可能性がある。例えば、1第一の工程で異形材を製造する際の断面寸法の製造精度、2切断時の加工精度、3圧電素子の接合面などの反りが大きい場合に研削などの後加工を施すことにより生じる厚さムラ、などの要因が考えられる。これらの誤差要因は加工する際の管理等で極力小さくする必要があるが、生産上は限界がある。そこで、本実施例では振動子を製造した後に共振周波数を調整し、モード1とモード2の共振周波数を所定の値に設定する。実施例1でも説明したが、モード1は振動子4の短手方向の1次の面外屈曲振動モードである。すなわち、Z方向紙面垂直方向へ変位する板の面外曲げ振動であり、振動の節節線はl1、l2の2本が形成され、その中央部にZ振幅が最大となる振動の腹が形成されるような振動モードである。突起部24-1と24-2はこのモード1の腹の部分に位置しているため、これらの部分はモード1の曲げ剛性への寄与率が最も高い部分となっている。一方、モード2は、モード1と節線が直行するように3本l3、l4、l5形成され、図に示すように振動子の中央部と突起部24-1、24-2の位置がそれぞれ振動の節となるような振動モードとなっている。そのため、突起部24-1、24-2はモード2を励振してもZ方向に振動することはなく、この振動モードへの影響は小さい。したがって、前記突起部24-1、24-2の形状を操作することで、モード2には影響を与えず、モード1の共振周波数のみ変更されることが可能となる。そこで共振周波数を調整する方法としては、まず、振動子が製造された後に振動子の振動特性アドミタンス特性を計測する工程を設け、その結果を基に該振動子の突起部の一部を除去し、モード1の共振周波数を所定の値まで下げる工程を設けている。図14にはここで測定したモード1およびモード2のアドミタンスを示している。図14中横軸は周波数を示し、縦軸はアドミタンスを表している。図14に示すようにモード1およびモード2は周波数f1及びf2でピークを持つ特性を示しており、この周波数がそれぞれの振動モードの共振周波数とほぼ一致することは周知の通りである。モータを駆動するにはこの2つの振動モードを同時に励振し、振動子の2箇所の突起部に楕円運動を生成することが必要である。そのため、これら2つの振動モードの共振周波数f1、f2をある程度近接させ、図中のΔFf1-f2を所定の範囲に設定する必要がある。本実施例においては、f2<f1となっており、f1がΔF許容範囲を超えているので、突起部24-1、24-2の両端部24-3を削る。これによりモード1に対する曲げ剛性を減少させ、f1をf1’まで下げてf1’がΔFの許容範囲内に入るように周波数を調整することが可能となる。[実施例5]実施例5として、上記各実施例とは異なる形態の振動波モータにおける振動体の製造方法について、図15を用いて説明する。本実施例では実施例4と同様に、モード1の共振周波数を下げてΔFを調整する例であるが、モード1の曲げ剛性を低減するために突起部を削る位置を突起部の中央部26-3にしている。すなわち、突起部の中央部に溝部を形成する。図15に示すように、モード1の振動の腹は振動子の幅方向のほぼ中央に位置しているため、この部分が剛性への寄与率が最も高く、少ない加工で同モードの共振周波数調整が可能となる。以上に説明した実施例4、5では、突起部の幅方向Y方向を切除除去してモード1に寄与する曲げ剛性を調整したが、同突起部のX方向厚さを調整してもモード1の曲げ剛性を変化させることが可能である。また、上記実施例では切除する部分をそれぞれの突起部で対称になるように加工しており、振動モードのバランス対称性を保つようにしているが、これに影響ない範囲であれば、突起の一方のみ、または突起の片端のみ加工することで周波数調整してもよい。[実施例6]実施例6として、実施例1~5において製造した振動子を用いて構成した振動波モータの構成例について、図16a、bを用いて説明する。図16aは、振動板26と圧電素子27とで構成された振動子の支持部27-5、27-6を振動子保持リング6に溶接などの手段によって接合し、振動子ユニットを構成した例を示す図である。図16bに示すように、ロータ7は、この振動子ユニットの3つの振動子に設けられた突起部26-1、26-2に摺動面が接触するように設定されており、不図示の加圧機構により適切な加圧力が付与されており、モータを構成している。不図示の電源からこれら3つ振動子に交番電圧を印加すると、それぞれの振動子の突起部先端には楕円運動が励振され、ロータ7は摩擦力により矢印の方向に回転する。ここにおいて、前記振動子ユニットに接合された振動子のそれぞれの突起部6カ所は、その上面ロータとの接触面が同一平面内に形成されていることが望ましい。このため、それぞれの振動子を保持リングに接合後、前記突起部をポリッシュ盤などで平滑化処理を行っている。なお、本実施例では振動子と保持リングとの接合を溶接で行った例を示したが、これに限らず接着またはロウ付けなどの手段でもよい。振動拡大率の大きな振動子、すなわち、振動を拡大する突起部高さが他の振動部の厚さに対して大きな振動板を安定した加工精度で、かつローコストに製造することができるようになる。また、振動子の共振周波数を簡単に調整できる手段を設けることで、振動子の歩留まりを向上でき、安価で高性能な超音波モータの提供が可能となる。