導電性ボールと直面する側を外表面側に位置させた硬質素材からなる水平板部にその面方向とは直交する方向を孔方向として穿設された多数の通気孔を具備させて該通気孔を介しての吸排気を自在に形成された治具本体と、前記通気孔と各別に対面合致して連通する多数の吸着孔を有して治具本体の前記外表面側に設けられたクッション性のある緩衝層とで構成され、前記導電性ボールの吸着とその開放とは、前記緩衝層における前記吸着孔を介しての吸排気により自在としたことを特徴とする導電性ボール搭載用治具。前記緩衝層は、前記通気孔のそれぞれの孔縁回りに各別に設けた請求項1に記載の導電性ボール搭載用治具。しかし、特許文献1の開示技術による場合には、水平板部2が比較的柔らかい素材により形成されているため、該水平板部2に対する精度の高い吸着孔3の穿設加工が難しくなるという不都合があった。また、各吸着孔3から空気引きして導電性ボールBを吸着させた際には、治具本体1内が負圧となることから比較的柔らかい素材からなる水平板部2側に凹みが生じてその平面度が簡単に変化してしまう結果、導電性ボールBの搭載作業の精度を低下させてしまうという不具合もあった。本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、導電性ボールを吸着保持させる吸着孔を精度よく形成することができるほか、その平面度も安定化させることができる導電性ボール搭載用治具を提供することを目的とする。本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、導電性ボールと直面する側を外表面側に位置させた硬質素材からなる水平板部にその面方向とは直交する方向を孔方向として穿設された多数の通気孔を具備させて該通気孔を介しての吸排気を自在に形成された治具本体と、前記通気孔と各別に対面合致して連通する多数の吸着孔を有して治具本体の前記外表面側に設けられたクッション性のある緩衝層とで構成され、前記導電性ボールの吸着とその開放とは、前記緩衝層における前記吸着孔を介しての吸排気により自在としたことを最も主要な特徴とする。この場合、クッション性のある前記緩衝層は、前記通気孔のそれぞれの孔縁回りに各別に設けておくのが好ましい。請求項1に記載の発明によれば、導電性ボールの吸着は、クッション性のある緩衝層に設けられて通気口と連通している吸着孔を介して行われるので、該吸着孔における孔縁部を変形させながら当接させることで、その当接部位に変形を生じさせたり、傷を付けたりすることなく確実に導電性ボールを吸着保持させることができる。また、緩衝層は、治具本体の水平板部における外表面側に設けられているので、被搭載対象物側に仮に反りがあっても緩衝層によりこれを円滑に吸収して精度よく導電性ボールを被搭載対象物の搭載位置に搭載することができる。さらに、緩衝層側の平面度は、治具本体において硬質な素材で形成されている水平板部の平面度に依存させることができるので、緩衝層に安定した平面性を保持させることができる。請求項2に記載の発明によれば、通気孔の孔縁回りに各別に緩衝層が形成されているので、被搭載対象物の例えば比較的狭い中心面領域が複数の導電性ボールの搭載位置となっているような場合であっても、水平板部の外表面の広い面領域を1つの緩衝層で覆っている場合に比べ、被搭載対象物側の反りが緩衝層側に当たってしまうことがあっても、上記搭載位置との関係ではこの反りを吸収して緩衝層側を確実に搭載位置に直面させることができる。本発明に係る導電性ボール搭載用治具は、半田ボールなどからなる微小な導電性ボールBを被搭載対象物31である例えば図2に示す配線基板32における搭載位置である図示しない電極上に搭載させるための可動搭載ヘッドに組み込まれて用いられる。なお、本発明の被搭載対象物31には、配線基板32のほか、半導体ウエハ、半導体チップ等の電子部品も含まれる。すなわち、図1によれば、導電性ボール搭載用治具を構成している治具本体11は、導電性ボールBと直面する側に通気孔13を有する水平板部12を備えるとともに、図示しない通気路と連通させた通気孔13を介してのみ吸排気が可能となった密閉構造が付与されて形成されている。この場合、治具本体11は、空気引き時における保形性を確保するためにその全体を硬質な素材で形成するのが望ましく、特に、通気孔13を有する水平板部12側は、精度の高い平面度を維持させる観点から金属材などのようなより硬質な素材を用いて形成されている。しかも、水平板部12には、被搭載対象物31である例えば配線基板32において導電性ボールBが搭載される電極の配置位置との関係で定まる適宜の配置パターンのもとで、その面方向とは直交する方向を孔方向とし、かつ、導電性ボールB外径よりも小径な多数の通気孔13が穿設されている。他方、クッション性のある緩衝層22は、水平板部12よりも軟質な素材である例えばフッ素系樹脂液によりフッ素系コーティング層として塗布したり、例えばポリイミドなどの適宜の素材からなる樹脂シート材を貼着するなどして治具本体11における水平板部12の外表面12a側に形成される。この場合、緩衝層22は、治具本体11における水平板部12の外表面12aの全面に形成してもよいが、被搭載対象物31側の反りによく追随させてこれを確実に吸収する観点からは、水平板部12の通気孔13を各別に塞いだ状態のもとで、それぞれの孔縁14回りに導電性ボールBの外径よりも小径で、通気孔13の口径よりは大径な島状となった状態で各別に設けておくのが好ましい。このようにして水平板部12の外表面12a側に緩衝層22を形成した後は、水平板部12内表面12b側から各通気孔13の孔縁14に向けてレーザー光を照射したり、エッチングしたり切削加工を施すなどして通気孔13を塞いでいる緩衝層22を部分的に除去することで、吸着孔23を形成することができる。かくして、緩衝層22は、水平板部12における多数の通気孔13と各別に対面合致して連通する多数の吸着孔23を有して治具本体11における水平板部12の外表面12a側に形成されることになる。次に、上記構成からなる本発明の作用効果を図示例に基づいて説明すれば、通気孔13を介してのみ吸排気が可能となった密閉構造が付与されて形成されている治具本体11は、吸気動作を開始させることで、水平板部12の通気口13と、該通気孔13と連通する緩衝層22の吸着孔23とを介しての空気引きが開始される。このため、図1の左側に示す状態にあった各導電性ボールBは、図1の右側に示すように緩衝層22の各吸着孔23側に各別に吸着保持されるに至る。このとき、クッション性のある緩衝層22は、水平板部12の外表面12a側にフッ素系コーティング層や樹脂シート材により形成されているので、図1の右側に示されているように吸着孔23における孔縁部24を変形させながらそのシール効果を高めた状態のもとで、それぞれの導電性ボールBを各吸着孔23に確実に吸着保持させることができる。しかも、緩衝層22は、その平面度をより硬質な素材からなる水平板部12の平面度に依存させることができるので、導電性ボールBを吸着孔23に吸着保持させた際における平面度も安定したものとすることができる。このため、本発明によれば、導電性ボールBの吸着は、クッション性のある緩衝層22に設けられて水平板部12の通気口13と連通している吸着孔23を介して行わせることができるので、該吸着孔23における孔縁部24を図1の右側に示されているように変形させながら当接させることで、導電性ボールBの当接部位に変形を生じさせたり、傷を付けたりすることなく確実に吸着保持させることができる。つまり、導電性ボールBは、これを吸着保持させた状態のもとでその下面側を圧潰して平坦部を形成する際においても、吸着孔23との当接部位に変形を生じさせたり、傷を付けたりすることをなくすことができることになる。しかも、吸着孔23は、水平板部12内表面12b側から各通気孔13の孔縁14に向けてレーザー光を照射するなどして高精度に形成することができる。また、緩衝層22は、治具本体11の水平板部12における外表面12a側に設けられているので、仮に配線基板32等からなる被搭載対象物31側に反りがあっても緩衝層22によりこれを円滑に吸収して導電性ボールBを被搭載対象物31の搭載位置に正確に搭載させることができる。さらに、緩衝層22側の平面度は、治具本体11において硬質な素材で形成されている水平板部12の平面度に依存させることができるので、緩衝層22に安定した平面性を保持させることができる。また、水平板部12における通気孔13の孔縁14回りに各別に緩衝層22が島状に形成されている場合には、配線基板32などの被搭載対象物31の例えば比較的狭い中心面領域が複数の導電性ボールBの搭載位置となっているような場合であっても、水平板部2の外表面12aの広い面領域を1つの緩衝層22で覆っている場合に比べ、被搭載対象物31側の反りが緩衝層22側に当たってしまうことがあっても、上記搭載位置との関係ではこの反りを吸収して緩衝層22側を確実に搭載位置に直面させることができる。