長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールとを備え、前フィードロールの周速度をキャンロールの周速度より遅くしてキャンロールに搬入される長尺帯状体に対し搬入張力を付与し、かつ、後フィードロールの周速度をキャンロールの周速度と同一若しくはキャンロールの周速度より速くしてキャンロールから送り出される長尺帯状体に対し搬出張力を付与しながら長尺帯状体の搬送を行なう搬送制御方法において、前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度×100=前フィード率で定義される前フィードロールの上記前フィード率が、事前に行われる工程Aから工程Cの確認試験を経て設定されていることを特徴とする長尺帯状体の搬送制御方法。A上記前フィードロールの周速度を低速から高速へ連続的に変化させて、キャンロールに搬入される長尺帯状体がスリップする状態から前フィードロールとキャンロール間で弛む状態になるまで前フィード率を連続的に変化させる周速度調整工程、B上記周速度調整工程において前フィード率を連続的に変化させたときのキャンロールのモータ軸トルクCnと前フィードロールのモータ軸トルクFnをそれぞれ測定し、下記数式1から計算される長尺帯状体の搬入張力Ffをその都度求める搬入張力計算工程、C連続的に変化させた前フィード率と、各前フィード率に対応する長尺帯状体の搬入張力Ffとの関係をグラフ化し、得られたグラフから搬入張力Ffが高過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体がスリップしてしまうことが確認されるスリップ領域と、搬入張力Ffが低過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体が弛んでしまうことが確認される弛み領域と、これ等スリップ領域と弛み領域間に存在して長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことなくキャンロールの外周面に密着しながら搬送されることが確認されるグリップ領域をそれぞれ求め、求めたグリップ領域の範囲内から上記前フィードロールの前フィード率を設定する条件設定工程。搬入張力Ff=Cn×Cg×Cr-Fn×Fg×Fr式1但し、式1中、Cgはキャンロールのギア比、Crはキャンロールのロール半径を示し、Fgは前フィードロールのギア比、Frは前フィードロールのロール半径を示すスリップ領域における搬入張力の最小値をH1、弛み領域における搬入張力の最大値をH2とした場合、グリップ領域における搬入張力の値が、[H20.1×H1-H2]~[H20.9×H1-H2]の範囲になるように前フィードロールの上記前フィード率が設定されていることを特徴とする請求項1に記載の長尺帯状体の搬送制御方法。前フィードロールの上記前フィード率が99.7以上100未満であることを特徴とする請求項1または2に記載の長尺帯状体の搬送制御方法。後フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度×100=後フィード率で定義される後フィードロールの上記後フィード率が、100以上101以下であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の長尺帯状体の搬送制御方法。上記長尺帯状体が、長尺樹脂フィルムであることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の長尺帯状体の搬送制御方法。長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールが減圧室内に配置され、かつ、キャンロールの外周面近傍に設けられた表面処理手段により長尺帯状体の表面処理を行なう方法において、上記長尺帯状体を搬送する制御手段が、請求項1~5のいずれかに記載の長尺帯状体の搬送制御方法で構成されていることを特徴とする長尺帯状体の表面処理方法。上記表面処理手段が、乾式めっき手段であることを特徴とする請求項6に記載の長尺帯状体の表面処理方法。上記乾式めっき手段が、スパッタリング成膜手段であることをと特徴とする請求項7に記載の長尺帯状体の表面処理方法。本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、事前の確認試験を経ることにより上記前フィード率の適正値を簡便に設定できる方法、すなわち搬送中の長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことのない長尺帯状体の搬送制御方法および長尺帯状体の表面処理方法を提供することにある。すなわち、請求項1に係る発明は、長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールとを備え、前フィードロールの周速度をキャンロールの周速度より遅くしてキャンロールに搬入される長尺帯状体に対し搬入張力を付与し、かつ、後フィードロールの周速度をキャンロールの周速度と同一若しくはキャンロールの周速度より速くしてキャンロールから送り出される長尺帯状体に対し搬出張力を付与しながら長尺帯状体の搬送を行なう搬送制御方法において、前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度×100=前フィード率で定義される前フィードロールの上記前フィード率が、事前に行われる工程Aから工程Cの確認試験を経て設定されていることを特徴とする。A上記前フィードロールの周速度を低速から高速へ連続的に変化させて、キャンロールに搬入される長尺帯状体がスリップする状態から前フィードロールとキャンロール間で弛む状態になるまで前フィード率を連続的に変化させる周速度調整工程、B上記周速度調整工程において前フィード率を連続的に変化させたときのキャンロールのモータ軸トルクCnと前フィードロールのモータ軸トルクFnをそれぞれ測定し、下記数式1から計算される長尺帯状体の搬入張力Ffをその都度求める搬入張力計算工程、C連続的に変化させた前フィード率と、各前フィード率に対応する長尺帯状体の搬入張力Ffとの関係をグラフ化し、得られたグラフから搬入張力Ffが高過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体がスリップしてしまうことが確認されるスリップ領域と、搬入張力Ffが低過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体が弛んでしまうことが確認される弛み領域と、これ等スリップ領域と弛み領域間に存在して長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことなくキャンロールの外周面に密着しながら搬送されることが確認されるグリップ領域をそれぞれ求め、求めたグリップ領域の範囲内から上記前フィードロールの前フィード率を設定する条件設定工程。搬入張力Ff=Cn×Cg×Cr-Fn×Fg×Fr式1但し、式1中、Cgはキャンロールのギア比、Crはキャンロールのロール半径を示し、Fgは前フィードロールのギア比、Frは前フィードロールのロール半径を示すまた、請求項2に係る発明は、請求項1に記載の発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法において、スリップ領域における搬入張力の最小値をH1、弛み領域における搬入張力の最大値をH2とした場合、グリップ領域における搬入張力の値が、[H20.1×H1-H2]~[H20.9×H1-H2]の範囲になるように前フィードロールの上記前フィード率が設定されていることを特徴とし、請求項3に係る発明は、請求項1または2に記載の発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法において、前フィードロールの上記前フィード率が99.7以上100未満であることを特徴とし、請求項4に係る発明は、請求項1~3のいずれかに記載の発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法において、後フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度×100=後フィード率で定義される後フィードロールの上記後フィード率が、100以上101以下であることを特徴とし、請求項5に係る発明は、請求項1~4のいずれかに記載の発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法において、上記長尺帯状体が、長尺樹脂フィルムであることを特徴とする。次に、請求項6に係る発明は、長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールが減圧室内に配置され、かつ、キャンロールの外周面近傍に設けられた表面処理手段により長尺帯状体の表面処理を行なう方法において、上記長尺帯状体を搬送する制御手段が、請求項1~5のいずれかに記載の長尺帯状体の搬送制御方法で構成されていることを特徴とし、請求項7に係る発明は、請求項6に記載の発明に係る長尺帯状体の表面処理方法において、上記表面処理手段が、乾式めっき手段であることを特徴とし、請求項8に係る発明は、請求項7に記載の発明に係る長尺帯状体の表面処理方法において、上記乾式めっき手段が、スパッタリング成膜手段であることを特徴とする。本発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法によれば、長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールとを備え、前フィードロールの周速度をキャンロールの周速度より遅くしてキャンロールに搬入される長尺帯状体に対し搬入張力を付与し、かつ、後フィードロールの周速度をキャンロールの周速度と同一若しくはキャンロールの周速度より速くしてキャンロールから送り出される長尺帯状体に対し搬出張力を付与しながら長尺帯状体の搬送を行なう搬送制御方法において、前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度×100=前フィード率で定義される前フィードロールの上記前フィード率が、事前の確認試験により求められたグリップ領域、すなわち、長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことなく搬送されるグリップ領域の範囲内から設定されているため、巻出ロールから供給される長尺帯状体をキャンロールの外周面に確実に密着させながら搬送することが可能となる。従って、長尺帯状体に対しスパッタリング等の表面処理を行なった場合、長尺帯状体への熱的負荷に起因した皺の発生を効率よく抑制できる効果を有する。以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。本発明の搬送制御方法は、長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールとを備え、前フィードロールの周速度をキャンロールの周速度より遅くしてキャンロールに搬入される長尺帯状体に対し搬入張力を付与し、かつ、後フィードロールの周速度をキャンロールの周速度と同一若しくはキャンロールの周速度より速くしてキャンロールから送り出される長尺帯状体に対し搬出張力を付与しながら長尺帯状体の搬送を行なう搬送制御方法において、前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度×100=前フィード率で定義される前フィードロールの上記前フィード率が、事前の確認試験により求められたグリップ領域の範囲内から設定されていることを特徴とするものである。まず、本発明の搬送制御方法を説明する前に、本発明の搬送制御方法が採用されるスパッタリングウェブコーターについて説明する。尚、このスパッタリングウェブコーター成膜装置において、ロールツーロール方式で搬送される長尺樹脂フィルムを長尺帯状体の一例として挙げている。1スパッタリングウェブコータースパッタリングウェブコーター成膜装置50は、減圧室内に、図1に示すように長尺樹脂フィルム52を巻き出す巻出ロール51と、長尺樹脂フィルム52を巻き取る巻取ロール64と、巻出ロール51と巻取ロール64間に設けられかつ内部で温調された冷媒が循環していると共にサーボモータにより回転駆動される冷却用キャンロール56と、キャンロール56の上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロール51から供給された長尺樹脂フィルム52をキャンロール56に搬入させる前フィードロール55と、キャンロール56の下流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共にキャンロール56から送り出される長尺樹脂フィルム52を上記巻取ロール64側へ搬出させる後フィードロール61が配置された構造を有しており、かつ、成膜手段乾式めっき手段としてマグネトロンスパッタリングカソード57、58、59、60が上記キャンロール56の外周面に沿って設けられている。また、上記巻出ロール51からキャンロール56までの上流側搬送路上には、長尺樹脂フィルム52を案内するフリーロール53と、長尺樹脂フィルム52の張力測定を行う張力センサロール54と、サーボモータにて回転駆動される前フィードロール55がそれぞれ配置されている。そして、サーボモータにて回転駆動されるキャンロール56に対しその周速度が遅くなるように調整された上記前フィードロール55により長尺樹脂フィルム52に搬入張力が作用し、張力センサロール54から送り出されてキャンロール56に向かう長尺樹脂フィルム52が、キャンロール56の外周面に密着し搬送されるようになっている。尚、キャンロール56の周速度に対する前フィードロール55の周速度の比率、すなわち前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度×100を、上述したように前フィード率と定義している。また、キャンロール56から巻取ロール64までの下流側搬送路上にも、サーボモータにて回転駆動される後フィードロール61と、長尺樹脂フィルム52の張力測定を行う張力センサロール62と、長尺樹脂フィルム52を案内するフリーロール63がそれぞれ配置されている。そして、キャンロール56に対しその周速度が同一若しくは速くなるように調整された上記後フィードロール61により長尺樹脂フィルム52に搬出張力が作用し、キャンロール56から巻取ロール64側に向けて長尺樹脂フィルム52が排出されるようになっている。また、キャンロール56の周速度に対する後フィードロール61の周速度の比率、すなわち後フィードロール61の周速度÷キャンロール56の周速度×100を後フィード率と定義している。また、上記巻出ロール51と巻取ロール64では、パウダークラッチ等によるトルク制御によって、長尺樹脂フィルム52の張力バランスが保たれるようになっている。更に、キャンロール56の回転と、これに連動して回転するサーボモータ駆動の前フィードロール55と後フィードロール61により、巻出ロール51から長尺樹脂フィルム52が巻き出されて上記巻取ロール64に巻き取られるようになっている。また、スパッタリングウェブコーター成膜装置50では、上述したように成膜手段乾式めっき手段としてマグネトロンスパッタリングカソード57、58、59、60が上記キャンロール56の外周面に沿って設けられている。そして、スパッタリング成膜に際して、スパッタリングウェブコーター50の減圧室内を到達圧力104Pa程度まで減圧した後、スパッタリングガスの導入により0.1~10Pa程度の圧力調整が行われる。スパッタリングガスにはアルゴン等公知のガスが使用され、目的に応じて更に酸素等のガスが添加される。スパッタリングウェブコーター成膜装置50の形状や材質に関しては、減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものが使用される。また、スパッタリングウェブコーター50における減圧室内の減圧状態を維持するため、スパッタリングウェブコーター50には、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が付設されている。尚、金属膜のスパッタリング成膜の場合には、板状のターゲット図示せずを使用することができるが、板状ターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール異物の成長が発生することがある。これが問題となる場合には、ノジュールの発生がなく、ターゲットの使用効率が高い円筒形のロータリーターゲットを使用することが好ましい。また、図1に示すスパッタリングウェブコーター成膜装置50は、熱的負荷が掛かるスパッタリング処理を想定したものであることからマグネトロンスパッタリングカソード57、58、59、60が示されているが、熱的負荷の掛かる処理が蒸着処理等他のものである場合は、板状ターゲットに代えて他の成膜手段乾式めっき手段を備えることもできる。尚、熱的負荷が掛かる他の成膜手段乾式めっき手段として、CVD化学的気相成長または真空蒸着等がある。次に、図1に示すスパッタリングウェブコーター成膜装置50における主要部巻出ロール51、前フィードロール55、キャンロール56、後フィードロール61、巻取ロール64の回転駆動系について図2を用いて説明する。図2に示すようにキャンロール56の速度設定が基準となり、前フィードロール55と後フィードロール61それぞれのフィード率が設定され、前フィードロール55、キャンロール56と後フィードロール61がそれぞれ設定された周速度で駆動するようになっている。キャンロール56と前後のフィードロール55、61は、それぞれサーボモータで回転駆動されるので回転数等のフィードバックが掛かる。各サーボモータに接続されるコントローラは回転数等の情報を他のコントローラと相互に交換するので、前フィードロール55と後フィードロール61のフィード率は設定された値を維持できる。尚、図2中における前フィードロール55と後フィードロール61の符号×は、キャンロール56の設定速度にフィード率を掛けることを意味している。また、図2においては後フィードロール61もサーボモータで回転駆動する構成になっているが、後フィードロール61をサーボモータで駆動することなくフリーロールで構成しても、スパッタリングウェブコーター成膜装置50における長尺樹脂フィルム52の搬出効果を発揮させることは可能である。後フィードロール61をフリーロールで構成した場合、後フィードロール61の周速度はキャンロール56と略同じであり、後フィードロール61とキャンロール56間において長尺樹脂フィルム52が弛みを起こすことは生じ難い。但し、後フィードロール61をフリーロールとせずにサーボモータで回転駆動すればより望ましいことは勿論である。尚、巻出ロール51と巻取ロール64は、それぞれの張力センサロール54、62からの信号により指定張力となるようにトルク制御されて駆動する。図1に示すスパッタリングウェブコーター成膜装置50であれば、張力センサロール54は巻出ロール51と前フィードロール55の張力を測定し、その結果、巻出ロール51のトルクが制御される。巻取ロール64側も同様である。2本発明に係る搬送制御方法本発明に係る搬送制御方法は、上記前フィード率が事前に行われる下記工程Aから工程Cの確認試験を経て設定されていることを特徴とするものである。A上記前フィードロールの周速度を低速から高速へ連続的に変化させて、キャンロールに搬入される長尺帯状体がスリップする状態から前フィードロールとキャンロール間で弛む状態になるまで前フィード率を連続的に変化させる周速度調整工程、B上記周速度調整工程において前フィード率を連続的に変化させたときのキャンロールのモータ軸トルクCnと前フィードロールのモータ軸トルクFnをそれぞれ測定し、下記数式1から計算される長尺帯状体の搬入張力Ffをその都度求める搬入張力計算工程、C連続的に変化させた前フィード率と、各前フィード率に対応する長尺帯状体の搬入張力Ffとの関係をグラフ化し、得られたグラフから搬入張力Ffが高過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体がスリップしてしまうことが確認されるスリップ領域と、搬入張力Ffが低過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体が弛んでしまうことが確認される弛み領域と、これ等スリップ領域と弛み領域間に存在して長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことなくキャンロールの外周面に密着しながら搬送されることが確認されるグリップ領域をそれぞれ求め、求めたグリップ領域の範囲内から上記前フィードロールの前フィード率を設定する条件設定工程。搬入張力Ff=Cn×Cg×Cr-Fn×Fg×Fr式1但し、式1中、Cgはキャンロールのギア比、Crはキャンロールのロール半径を示し、Fgは前フィードロールのギア比、Frは前フィードロールのロール半径を示すまず、図3は、連続的に変化させた前フィード率と各前フィード率に対応する長尺帯状体長尺樹脂フィルム52を例示の搬入張力Ff[フィルム張力計算値N]との関係を模式的に示すグラフ図である。尚、搬入張力とは、前フィードロール55とキャンロール56間に存在する長尺樹脂フィルム52に作用する張力を意味し、長尺樹脂フィルム52がキャンロール56に搬入されるときに作用する張力である。スパッタリング成膜時における長尺樹脂フィルム52への熱的負荷を抑制するには、上述したようにキャンロール56の外周面に長尺樹脂フィルム52を密着させることが重要となる。そして、キャンロール56の外周面に長尺樹脂フィルム52を密着させるには、長尺樹脂フィルム52を引っ張りながらキャンロール56に搬入させることが必要となり、長尺樹脂フィルム52搬入時における張力搬入張力が重要なパラメータとなる。しかし、図1に示したように上記キャンロール56と前フィードロール55は極めて接近した位置関係で配置されているため、キャンロール56と前フィードロール55間に上述した張力センサロールを配置することは困難である。ところで、上記前フィードロール55とキャンロール56間に存在する長尺樹脂フィルム52に作用する搬入張力Ffについては、キャンロール56のモータ軸トルクCn、ギア比Cg、ロール半径Crとし、前フィードロール55のモータ軸トルクFn、ギア比Fg、ロール半径Frとした場合、下記数式1により求めることができる。搬入張力Ff=Cn×Cg×Cr-Fn×Fg×Fr式1尚、搬入張力Ffは、前フィードロール55とキャンロール56がサーボモータで駆動されるので両ロール前後の長尺樹脂フィルム52の張力を考慮する必要はない。ここで、前フィードロール55の周速度を低速から高速へ連続的に変化させて、キャンロール56に搬入される長尺樹脂フィルム52がスリップする状態から前フィードロール55とキャンロール56間で弛む状態になるまで前フィード率を連続的に変化させ、かつ、前フィード率を連続的に変化させたときのキャンロール56のモータ軸トルクCnと前フィードロール55のモータ軸トルクFnをそれぞれ測定し、上記数式1から計算される長尺樹脂フィルム52の搬入張力Ffをその都度求めると共に、連続的に変化させた前フィード率と各前フィード率に対応する長尺樹脂フィルム52の搬入張力Ff[フィルム張力計算値N]との関係をグラフ化すると、例えば、図3に示すようなグラフ図が得られる。そして、得られた図3のグラフ図から、搬入張力Ffが高過ぎて前フィードロール55とキャンロール56間に存在する長尺樹脂フィルム52がスリップしてしまうことが確認されるスリップ領域と、搬入張力Ffが低過ぎて前フィードロール55とキャンロール56間に存在する長尺樹脂フィルム52が弛んでしまうことが確認される弛み領域と、これ等スリップ領域と弛み領域の中間に存在して長尺樹脂フィルム52がスリップや弛みを起こすことなくキャンロール56の外周面に密着しながら搬送されることが確認されるグリップ領域をそれぞれ求めることができる。尚、図3のグラフ図においてスリップ領域となる前フィード率での長尺樹脂フィルム52の搬入張力Ffは、キャンロール56のモータ軸トルクCnと前フィードロール55のモータ軸トルクFnに基づき数式1から求めた値[フィルム張力計算値N]であり、長尺樹脂フィルム52がスリップしているので、各ロールと長尺樹脂フィルム52の動摩擦により発生していると推定できる。一方、弛み領域となる前フィード率での長尺樹脂フィルム52の搬入張力Ffも、キャンロール56のモータ軸トルクCnと前フィードロール55のモータ軸トルクFnに基づき数式1から求めた値[フィルム張力計算値N]であり、長尺樹脂フィルム52が弛んでいるので、前フィードロール55はキャンロール56に長尺樹脂フィルム52を送っているだけである。尚、長尺樹脂フィルム52の搬入張力Ffが負なのは、スパッタリングウェブコーター成膜装置50の機械的損失等による。そして、図3に示されたスリップ領域の条件では、長尺樹脂フィルム52にすり傷が付いてしまい好ましくない。他方、図3に示された弛み領域の条件では、長尺樹脂フィルム52が弛んでしまいキャンロール56の外周面に密着させることができない。このため、長尺樹脂フィルム52がスリップや弛みを起こすことなくキャンロール56の外周面に密着されるグリップ領域の条件内に前フィード率を設定することが重要になる。尚、スリップ領域弛み領域およびグリップ領域の各範囲は、長尺樹脂フィルム52の種類により、伸び易さ、滑り易さ、乾燥度合いや静電気等が相違するので、上記前フィード率とグリップ領域との関係は変化することがある。しかし、上記工程Aから工程Cの確認試験を経て前フィード率と長尺樹脂フィルム52の搬入張力Ff[フィルム張力計算値N]との関係を求め、適正な前フィード率とグリップ領域との関係を知ることにより対応は可能である。このように前フィードロール55における前フィード率の設定を、従来からの長い経験値経験則に頼ることなく工程Aから工程Cの確認試験を経ることで、適正な前フィード率とグリップ領域との関係を知ることができ、かつ、新しい品種のフィルムや膜厚、表面状態等にも敏速に対応できる顕著な効果を有する。ここまで前フィードロール55における前フィード率の設定方法について説明してきたが、以下、後フィードロール62について説明する。まず、上述したように図2において後フィードロール61はサーボモータで回転駆動する構成になっているが、後フィードロール61をサーボモータで駆動することなくフリーロールで構成してもスパッタリングウェブコーター成膜装置50における長尺樹脂フィルム52の搬出効果を発揮させることは可能である。後フィードロール61をフリーロールで構成した場合、後フィードロール61の周速度はキャンロール56と略同じであり、後フィードロール61とキャンロール56間において長尺樹脂フィルム52が弛みを起こし難いからである。しかし、グリップ領域の後フィード率条件にて、サーボモータにより後フィードロール61を回転駆動することが望ましいしことは勿論である。前フィードロール55とキャンロール56の搬入張力Ffにより、長尺樹脂フィルム52をキャンロール56の外周面に密着させて搬送しても、長尺樹脂フィルム52がキャンロール56から離れていくに従い後フィードロール61付近で長尺樹脂フィルム52が弛むこともあり、後フィードロール61により長尺樹脂フィルム52を引っ張る必要がある場合もあるからである。特に、搬送速度、スパッタリングウェブコーター成膜装置の機械的性能、長尺樹脂フィルム等の種類、搬送条件等によっては、後フィードロール61をサーボモータで回転駆動し、グリップ領域の後フィード率条件にて制御する必要があることに留意すべきである。ここで、上記後フィードロール61の周速度は、キャンロール56の周速度と同一若しくはキャンロール56の周速度より速くする必要がある。後フィードロール61の周速度がキャンロール56の周速度より遅い場合、長尺樹脂フィルム52がキャンロール56から離れる箇所において弛むことがあるからである。また、後フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度×100で定義される後フィード率については、必ずしも前フィード率の逆数とするのではなく、長尺樹脂フィルム52がキャンロール56と後フィードロール61間でスリップすることがないフィード率を選択すればよい。前フィードロール55の上記前フィード率の値については、前フィードロール55とキャンロール56間の長尺樹脂フィルム52がスリップしてしまうことが確認されるスリップ領域における搬入張力[フィルム張力計算値N]の最小値をH1とし、前フィードロール55とキャンロール56間の長尺樹脂フィルム52が弛んでしまうことが確認される弛み領域における搬入張力[フィルム張力計算値N]の最大値をH2とした場合、グリップ領域における搬入張力[フィルム張力計算値N]の値が[H20.1×H1-H2]~[H20.9×H1-H2]の範囲になるように設定されていることが好ましい。この理由は、前フィードロール55の前フィード率が、静電気等の予期せぬ状況によりスリップ領域や弛み領域に入ってしまうことが無いようにするためである。そして、前フィードロール55の周速度が上記グリップ領域内とするため、前フィードロール55の前フィード率は、99.7以上100未満とすることが望ましい。また、後フィードロール61の後フィード率については、キャンロール56と前フィードロール55間の長尺樹脂フィルム52がスリップし、弛んでしまうことがないようにするため100以上101以下とすることが望ましい。3表面処理方法等本発明の搬送制御方法は、上記スパッタリングウェブコーター成膜装置以外にも、例えば、プラズマ処理やイオンビーム処理にも好適に使用することができる。すなわち、キャンロール上で行われるプラズマ処理やイオンビーム処理は、長尺樹脂フィルムの表面改質を目的として真空チャンバー内の減圧雰囲気下で行われるが、長尺樹脂フィルムに熱的負荷が掛かる処理であるため皺発生の原因となる。このため、本発明の搬送制御方法を適用することにより、キャンロールと長尺樹脂フィルムを密着させることができることから皺の発生を抑制することが可能となる。尚、プラズマ処理とは、公知のプラズマ処理方法により例えばアルゴンと酸素の混合ガスまたはアルゴンと窒素の混合ガスからなる減圧雰囲気下において放電を行うことで、酸素プラズマまたは窒素プラズマを発生させて長尺樹脂フィルムを処理する方法である。また、イオンビーム処理とは、公知のイオンビーム源を用い、強い磁場を印加した磁場ギャップでプラズマ放電を発生させ、プラズマ中の陽イオンを陽極による電解でイオンビームとして照射することにより長尺樹脂フィルムを処理する方法である。次に、本発明に係る搬送制御方法の対象となる長尺帯状体には、上述した長尺樹脂フィルムに加えて長尺の金属箔等も用いることが可能で、本発明の搬送制御方法を適用することにより、リチウムイオン二次電池等の集電体の金属箔に乾式めっき法による表面処理を効率よく施すことも、銅箔の表面にNi合金等をスパッタリングして3層基板に用いる銅箔の製造に応用することも可能である。そして、金属膜を成膜した金属膜付耐熱性樹脂フィルムに用いられる長尺樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートPETフィルム、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルム、液晶ポリマー系フィルム等が挙げられる。これ等の耐熱性樹脂フィルムは、金属膜付フレキシブル基板としての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有する点から好ましいものである。長尺樹脂フィルムとして耐熱性樹脂フィルムを用い、かつ、金属膜をスパッタリング等により成膜することで金属膜付耐熱性樹脂フィルムが得られる。具体的には、金属膜付耐熱性樹脂フィルムのスパッタリングウェブコーター成膜装置を用いるメタライジング法により、皺のない金属膜付耐熱性樹脂フィルムを製造することができる。上記金属膜付耐熱性樹脂フィルムとしては、耐熱性樹脂フィルムの表面にNi系合金等からなる膜とCu膜が積層された構造体が例示される。このような構造を有する金属膜付耐熱性樹脂フィルムは、サブトラクティブ法によりフレキシブル配線基板に加工される。ここで、上記サブトラクティブ法とは、レジストで覆われていない金属膜例えば、上記Cu膜をエッチングにより除去してフレキシブル配線基板を製造する方法である。上記Ni合金等からなる膜はシード層と呼ばれ、Ni-Cr合金またはインコネル、コンスタンタンやモネル等の各種公知の合金を用いることができるが、その組成は金属膜付耐熱性樹脂フィルムの電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性に応じて選択される。また、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの金属膜を更に厚くしたい場合は、湿式めっき法を用いて金属膜を形成することがある。尚、電気めっき処理すなわち、電解めっき処理のみで金属膜を形成する場合と、一次めっきとして無電解めっき処理を行い、二次めっきとして電解めっき処理等の湿式めっき法を組み合わせて行う場合もある。湿式めっき処理は、常法による湿式めっき法の諸条件を採用すればよい。このようにして、皺発生のない高品質の金属膜付耐熱性樹脂フィルムを高い歩留まりで作製し、液晶テレビ、携帯電話等のフレキシブル配線基板に適用することができる。尚、上記金属膜付耐熱性樹脂フィルムとして、長尺耐熱性樹脂フィルムにNiCr合金やCu等の金属膜を積層した構造体を例示したが、上記金属膜以外に目的に応じて酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等を用いることも可能である。この場合にも、酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等の成膜に本発明の搬送制御方法を用いることができる。以下、本発明の実施例について具体的に説明する。[実施例1]図1に示すスパッタリングウェブコーター成膜装置50を用いて、長尺樹脂フィルム52上にシード層であるNi-Cr膜を成膜し、その上にCu膜を成膜した。尚、長尺樹脂フィルム52には、幅500mm、長さ800m、厚さ12μmの東レディポン株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルムカプトン登録商標を使用した。上記スパッタリングウェブコーター成膜装置50のキャンロール56は、直径900mm、幅750mmであり、前フィードロール55と後フィードロール61は、それぞれ直径200mm、幅750mmである。尚、全てのロール表面には、ハードクロムめっきを施した。上記長尺樹脂フィルムポリイミドフィルム52上に、シード層であるNi-Cr膜とCu膜を成膜するため、マグネトロンスパッタリングカソード57にはNi-Crターゲットを用い、マグネトロンスパッタリングカソード58~60にはCuターゲットを使用した。また、アルゴンガスを300sccmで導入し、各カソードへの印加電力は5kWとした。更に、巻出ロール51と巻取ロール64の張力は80Nとし、キャンロール56は水冷により20°Cに制御した。そして、巻出ロール51に上記長尺樹脂フィルムポリイミドフィルムをセットし、キャンロール56を経由してポリイミドフィルムの先端部を巻取ロール64に取り付けた。また、減圧室真空チャンバーを複数台のドライポンプにより5Paまで排気した後、更に複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて3×103Paまで排気した。次に、ポリイミドフィルムの搬送速度を2m/分にした。そして、前フィード率を99.00~101.00まで変化させて、キャンロール56へのフィルム搬入張力を数式1で計算して、図3のグラフを求めた。このグラフから前フィード率をグリップ領域の中間付近の99.85に設定した。各マグネトロンスパッタカソードにアルゴンガスを導入して電力を印加し、Ni-Cr膜およびその上にCu膜の成膜を開始した。そして、成膜中におけるキャンロール56上のポリイミドフィルム表面観察が可能なスパッタリングウェブコーター成膜装置の観察窓図示せずから観察しながら、各カソードへの印加電力を徐々に増加していった。その結果、スパッタリングの熱的負荷による皺が発生しない最大スパッタリング電力4台の合計は20kWであった。ここで、前フィード率が99.95を越えると長尺樹脂フィルムポリイミドフィルムに皺が発生し出し、99.70未満だと長尺樹脂フィルムポリイミドフィルムにすり傷が発生し出した。従って、長尺樹脂フィルムポリイミドフィルムの前フィード率は99.70~99.95が適正範囲である。この前フィード率の範囲は、図3に示したグラフ図のスリップ領域における搬入張力の最小値をH1、弛み領域における搬入張力の最大値をH2とした場合、グリップ領域における搬入張力の値は[H20.8×H1-H2]の近傍領域値に相当した。[実施例2]図1に示すスパッタリングウェブコーター成膜装置50を用いて、長尺樹脂フィルム52上にシード層であるNi-Cr膜を成膜し、その上にCu膜を成膜した。尚、長尺樹脂フィルム52には、幅500mm、長さ800m、厚さ25μmの東レディポン株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルムカプトン登録商標を使用した。上記スパッタリングウェブコーター成膜装置50のキャンロール56は、直径900mm、幅750mmであり、前フィードロール55と後フィードロール61は、それぞれ直径200mm、幅750mmである。尚、全てのロール表面には、ハードクロムめっきを施した。上記長尺樹脂フィルムポリイミドフィルム52上に、シード層であるNi-Cr膜とCu膜を成膜するため、マグネトロンスパッタリングカソード57にはNi-Crターゲットを用い、マグネトロンスパッタリングカソード58~60にはCuターゲットを使用した。また、アルゴンガスを300sccmで導入し、各カソードへの印加電力は5kWとした。更に、巻出ロール51と巻取ロール64の張力は80Nとし、キャンロール56は水冷により20°Cに制御した。そして、巻出ロール51に上記長尺樹脂フィルムポリイミドフィルムをセットし、キャンロール56を経由してポリイミドフィルムの先端部を巻取ロール64に取り付けた。また、減圧室真空チャンバーを複数台のドライポンプにより5Paまで排気した後、更に複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて3×103Paまで排気した。次に、ポリイミドフィルムの搬送速度を4m/分にした。そして、前フィード率を99.00~101.00まで変化させて、キャンロール56へのフィルム搬入張力を数式1で計算して、図4のグラフを求めた。このグラフから前フィード率をグリップ領域の中間付近の99.95に設定した。各マグネトロンスパッタカソードにアルゴンガスを導入して電力を印加し、Ni-Cr膜およびその上にCu膜の成膜を開始した。そして、成膜中におけるキャンロール56上のポリイミドフィルム表面観察が可能なスパッタリングウェブコーター成膜装置の観察窓図示せずから観察しながら、各カソードへの印加電力を徐々に増加していった。その結果、スパッタリングの熱的負荷による皺が発生しない最大スパッタリング電力4台の合計は40kWであった。ここで、前フィード率が99.98を越えると長尺樹脂フィルムポリイミドフィルムに皺が発生し出し、99.92未満だと長尺樹脂フィルムポリイミドフィルムにすり傷が発生し出した。従って、長尺樹脂フィルムポリイミドフィルムの前フィード率は99.92~99.98が適正範囲である。この前フィード率の範囲は、図4に示したグラフ図のスリップ領域における搬入張力の最小値をH1、弛み領域における搬入張力の最大値をH2とした場合、グリップ領域における搬入張力の値は[H20.8×H1-H2]の近傍領域値に相当した。