"板材を相手部材の表面に複数箇所の溶接結合部により結合された板材の結合構造であって、前記板材と相手部材との間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有する、ことを特徴とする板材の結合構造。請求項1記載の板材の結合構造であって、前記板材及び相手部材の両者間で少なくとも一方に形成された凹部又は溝部を備え、前記樹脂座は、前記凹部又は溝部に形成された、ことを特徴とする板材の結合構造。請求項2記載の板材の結合構造であって、前記凹部又は溝部は、前記板材及び相手部材の両者間外へ連通する連通部を備え、前記連通部から樹脂を注入して前記樹脂座を設けた、ことを特徴とする板材の結合構造。請求項3記載の板材の結合構造であって、前記連通部は、前記板材又は相手部材の両者間外に臨んだ前記凹部又は溝部の端部である、ことを特徴とする板材の結合構造。請求項3記載の板材の結合構造であって、前記連通部は、前記板材又は相手部材に形成され前記凹部又は溝部を外部へ連通させる貫通孔である、ことを特徴とする板材の結合構造。請求項1~5の何れかに記載の板材の結合構造であって、前記樹脂座は、ダンピング特性を有する、ことを特徴とする板材の結合構造。請求項1~6の何れかに記載の板材の結合構造であって、前記樹脂座は、接着剤により形成された、ことを特徴とする板材の結合構造。キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベースプレートと、剛体部及びばね部を含み基端側が前記ベースプレートに複数個所の溶接結合部により結合されたロードビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロードビームに複数箇所の溶接結合部により結合されたフレキシャとを備え、前記ロードビームとフレキシャとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有する、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項8記載のヘッドサスペンションであって、前記ロードビームとフレキシャとの両者間で少なくとも一方に形成された凹部又は溝部を備え、前記樹脂座は、前記凹部又は溝部に形成された、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項9記載のヘッドサスペンションであって、前記凹部又は溝部は、前記ロードビームとフレキシャとの両者間外へ連通する連通部を備え、前記連通部から樹脂を注入して前記樹脂座を設けた、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項10記載のヘッドサスペンションであって、前記連通部は、前記ロードビームとフレキシャとの両者間外に臨んだ前記凹部又は溝部の端部である、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項10記載のヘッドサスペンションであって、前記連通部は、前記ロードビーム又はフレキシャに形成され前記凹部又は溝部を外部へ連通させる貫通孔である、ことを特徴とするヘッドサスペンション。キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベースプレートと、ばね部を介して先端側に剛体部を有しばね部の基端側に補強プレートが一体に設けられ前記ベースプレートに前記補強プレートが複数箇所の溶接結合部により結合されたロードビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロードビームに取り付けられたフレキシャとを備えたヘッドサスペンションであって、前記ベースプレートと補強プレートとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有する、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項13記載のヘッドサスペンションであって、前記ベースプレートと補強プレートとの両者間で少なくとも一方に形成された凹部又は溝部を備え、前記樹脂座は、前記凹部又は溝部に形成された、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項14記載のヘッドサスペンションであって、前記凹部又は溝部は、前記ベースプレートと補強プレートとの両者間外へ連通する連通部を備え、前記連通部から樹脂を注入して前記樹脂座を設けた、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項15記載のヘッドサスペンションであって、前記連通部は、前記ベースプレートと補強プレートとの両者間外に臨んだ前記凹部又は溝部の端部である、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項15記載のヘッドサスペンションであって、前記連通部は、前記ベースプレートと補強プレートとの一方に形成され前記凹部又は溝部を外部へ連通させる貫通孔である、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項8~17の何れかに記載のヘッドサスペンションであって、前記樹脂座は、ダンピング特性を有する、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項8~18の何れかに記載のヘッドサスペンションであって、前記樹脂座は、接着剤により形成された、ことを特徴とするヘッドサスペンション。キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベースプレートと、ばね部を介して先端側に剛体部を有し基端側に補強プレートを有し前記ベースプレートに前記補強プレートが複数箇所の溶接結合部により結合されたロードビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロードビームに取り付けられたフレキシャとを備え、前記ベースプレート及び補強プレートに設けられ圧電素子を取り付ける開口部と、前記開口部に接着剤を介して取り付けられ電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子とを有し、前記圧電素子の変形に従って前記ベースプレートに対し前記ロードビームを介して前記ヘッド部をスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションであって、前記補強プレートは前記開口部内に突出して前記圧電素子を支持する支持縁部を備え、前記補強プレートに形成され端部が前記支持縁部に臨む凹部又は溝部を有し、前記接着剤が前記支持縁部に臨む凹部又は溝部の端部から該凹部又は溝部へ流れ込んで前記ベースプレート及び補強プレート間に形成され振動による相互間の衝突を規制する樹脂座とした、ことを特徴とするヘッドサスペンション。請求項20記載のヘッドサスペンションであって、前記凹部又は溝部の反支持縁部側に前記接着剤の流れ止めを行う流れ止め部を設けた、ことを特徴とするヘッドサスペンション。解決しようとする問題点は、洗浄時等の超音波振動等により破壊された表面のパーティクルが零れ落ちて不具合を招く点である。本発明は、洗浄時等の超音波振動等による表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することを可能とするため、板材を相手部材の表面に複数箇所の溶接結合部で結合された板材の結合構造であって、前記板材と相手部材との間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有することを板材の結合構造の特徴とする。本発明は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベースプレートと、剛体部及びばね部を含み基端側が前記ベースプレートに溶接結合部により結合されたロードビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロードビームに複数箇所の溶接結合部により結合されたフレキシャとを備え、前記ロードビームとフレキシャとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有することをヘッドサスペンションの特徴とする。本発明は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベースプレートと、ばね部を介して先端側に剛体部を有しばね部の基端側に補強プレートが一体に設けられ前記ベースプレートに前記補強プレートが複数箇所のスポット溶接により結合されたロードビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロードビームに取り付けられたフレキシャとを備えたヘッドサスペンションであって、前記ベースプレートと補強プレートとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座を有することをヘッドサスペンションの特徴とする。本発明は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベースプレートと、ばね部を介して先端側に剛体部を有し基端側に補強プレートを有し前記ベースプレートに前記補強プレートが複数箇所の溶接結合部により結合されたロードビームと、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えて前記ロードビームに取り付けられたフレキシャとを備え、前記ベースプレート及び補強プレートに設けられ圧電素子を取り付ける開口部と、前記開口部に接着剤を介して取り付けられ電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子とを有し、前記圧電素子の変形に従って前記ベースプレートに対し前記ロードビームを介して前記ヘッド部をスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションであって、前記補強プレートは前記開口部内に突出して前記圧電素子を支持する支持縁部を備え、前記補強プレートに形成され端部が前記支持縁部に臨む凹部又は溝部を有し、前記接着剤が前記支持縁部に臨む凹部又は溝部の端部から該凹部又は溝部へ流れ込んで前記ベースプレート及び補強プレート間に形成され振動による相互間の衝突を規制する樹脂座としたことをヘッドサスペンションの特徴とする。本発明は、上記構成の板材の結合構造であるから、板材と相手部材との相互間の振動による衝突を樹脂座により規制することができ、板材と相手部材との表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。本発明は、上記構成のヘッドサスペンションであるから、ロードビームとフレキシャとの相互間の振動による衝突を樹脂座により規制することができ、ロードビームとフレキシャとの間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。上記構成のヘッドサスペンションであるから、ベースプレートと補強プレートとの相互間の振動による衝突を樹脂座により規制することができ、ベースプレートと補強プレートとの間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。本発明は、上記構成のヘッドサスペンションであるから、圧電素子周辺でのベースプレート及び補強プレート間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。洗浄時等の超音波振動等による表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することを可能にするという目的を、ロードビームとフレキシャとの間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座により実現した。[ヘッドサスペンション]図1は、本発明実施例1のヘッドサスペンションを示す斜視図である。図1のように、ヘッドサスペンション1は、板材の結合構造を適用したものであり、板材としてのベースプレート3とロードビーム5とフレキシャ7とを備え、圧電素子9を有している。ステンレス製などのベースプレート3とステンレス製の補強プレート11との間には、レーザーによる複数箇所のスポット溶接で溶接結合部12が形成され、相互に結合されている。これらベースプレート3及び補強プレート11によりヘッドサスペンション1の基部が構成されている。べースプレート3及び補強プレート11には、両者を貫通する貫通孔13が形成されている。ベースプレート3の貫通孔13には、ボス部15が一体に形成されている。ボス部15は、ボイスコイルモータ図示せずに取り付けられたキャリッジ図示せずの取付穴にボールカシメにより取り付けられている。したがって、ベースプレート3は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動される構成となっている。ロードビーム5は、剛体部17とばね部19とを備え、前記補強プレート11が一体に形成されている。ばね部19の基端側及びベースプレート3の先端側間には、レーザーによる複数箇所のスポット溶接で溶接結合部21が形成され、相互に結合されている。したがって、ロードビーム5は、剛体部17及びばね部19を含み基端側が前記ベースプレート3に溶接結合部21により結合された構成となっている。フレキシャ7は、板材としてのステンレス製の薄板23に書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えている。このフレキシャ7及びロードビーム5間には、レーザーによる複数箇所のスポット溶接で溶接結合部24が形成され、相互に結合されている。ヘッド部のスライダは、フレキシャ7のタング部に支持されている。ロードビーム5の基端側において、ベースプレート3及び補強プレート11には、PZTチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電素子9を取り付ける開口部25が形成されている。開口部25には、圧電素子9が非導電性の接着剤27を介して取り付けられている。圧電素子9は、電圧の印加状態に応じて変形し、この圧電素子9の変形に従ってベースプレート3に対しロードビーム5を介してヘッド部をスウェイ方向に変位させる。[ロードビーム及びフレキシャ間の樹脂座]図2は、樹脂座を示すロードビームとフレキシャとの関係の斜視図、図3Aは、ロードビームとフレキシャとの間の樹脂座を示す断面図、Bは、ロードビームの溝部を示す断面図である。図2、図3のように、ロードビーム5相手部材、板材とフレキシャ7板材との間には、溶接結合部24間の中間部に樹脂座29が一対設けられている。樹脂座29は、超音波洗浄時などのロードビーム5とフレキシャ7との間の振動による相互間の衝突を規制するものであり、本実施例においてダンピング特性を有している。但し、樹脂座29は、ダンピング特性を有さない構成にすることもできる。樹脂座29を設ける位置は、ロードビーム5の剛体部17とフレキシャ7との間、ロードビーム5のばね部19近傍とフレキシャ7との間の双方、又は何れか一方に設けることができる。ロードビーム5の剛体部17とフレキシャ7との間に樹脂座29を設ける場合と、ロードビーム5のばね部19近傍とフレキシャ7との間に樹脂座29を設ける場合とは、ほぼ同様の構成である。したがって、ロードビーム5の剛体部17とフレキシャ7との間に樹脂座29を設ける場合について説明する。図2のように、ロードビーム5の剛体部17に溝部31が形成され、樹脂座29は、溝部31に形成されている。溝部31は、剛体部17とフレキシャ7との少なくとも一方に形成されればよく、双方に形成し、或いはフレキシャ7に形成することもできる。剛体部17及びフレキシャ7の双方に溝部を形成する場合は、溝部を同位置に形成して対向させ、或いは異なる位置に形成することもできる。図2において、溝部31は、フレキシャ7の幅よりも長く形成され、剛体部17及びフレキシャ7の両者間外へ連通する連通部として溝部の端部31aを備えている。溝部がフレキシャ7に形成されているときは、フレキシャ7の幅方向縁部に開口する溝部の端部が連通部となる。図3のように、溝部31は、断面形状がほぼ矩形であり、例えばパーシャルエッチングにより形成されている。ヘッドサスペンション1の組立完成後に、図2の端部31aから溝部31に樹脂として非導電性の接着剤が注入され、毛管現象により剛体部17及びフレキシャ7間に満たされ、さらに溝部31周辺で剛体部17及びフレキシャ7間の隙間に至って固化する。固化した接着剤は、剛体部17及びフレキシャ7間において樹脂座29となる。なお、樹脂座29は、剛体部17及びフレキシャ7の衝突を規制できれば良く、接着剤以外の樹脂で形成することもできる。[ベースプレート及び補強プレート間の樹脂座]図4Aは、ベースプレートと補強プレートとの間の樹脂座を示す断面図、Bは、ベースプレートの溝部を示す断面図である。図4のように、ベースプレート3相手部材と補強プレート11板材との間には、溶接結合部12間図1の中間部等に樹脂座33が設けられている。樹脂座33は、ベースプレート3の溝部35に形成されている。溝部35は、ベースプレート3と補強プレート11との少なくとも一方に形成されればよく、双方に形成し、或いは補強プレート11に形成することもできる。ベースプレート3及び補強プレート11の双方に溝部を形成する場合は、溝部を同位置に形成して対向させ、或いは異なる位置に形成することもできる。溝部35は、補強プレート11の幅外へ延設される。この延設でベースプレート3及び補強プレート11の両者間外へ連通する連通部として溝部35の端部を備える。溝部が補強プレート11に形成されているときは、補強プレート11の幅方向縁部に開口する溝部の端部を連通部として構成することができる。図4のように、溝部35は、断面形状がほぼ山形であり、本実施例では、例えばコイニングによりベースプレート3に形成されている。ヘッドサスペンション1の組立完成後に、この溝部35に端部から非導電性の接着剤が注入され、毛管現象によりベースプレート3及び補強プレート11間に満たされ、さらに溝部35周辺でベースプレート3及び補強プレート11間の隙間に至って固化する。固化した接着剤は、ベースプレート3及び補強プレート11間においてダンピング特性を有する樹脂座33となる。但し、樹脂座33も、ダンピング特性を有さない構成にすることができる。なお、樹脂座33は、ベースプレート3及び補強プレート11の衝突を規制できれば良く、接着剤以外の樹脂で形成することもできる。[圧電素子周辺の樹脂座]図5Aは、ヘッドサスペンションの斜視図、Bは、AのVBにおける接着剤の領域を示す斜視図、図6Aは、補強プレートの直線状の溝部を示す斜視図、Bは、同変形例の溝部を示す斜視図である。なお、図5のヘッドサスペンションは、図1のヘッドサスペンションの概略を示したものである。図5、図6Aのように、補強プレート11は、開口部25内に突出して圧電素子9を支持する支持縁部11aを備えている。圧電素子9は、支持縁部11aに載置され、この圧電素子9と開口部25との間に接着剤27が充填されて圧電素子9の取り付けが行われている。補強プレート11には、長い溝部37a、短い溝部37bが形成されている。溝部37a、37bは、直線状に形成され、ロードビーム5方向へ直線的かつ平行に延設されている。溝部37a、37bの一方の端部37aa、37baは支持縁部11a上に臨み、支持縁部11aの端縁には開放されず、その手前まで至っている。溝部37a、37bの他方の端部37ab、37bbは支持縁部11a外に至っている。溝部37a、37bの支持縁部11a上の端部37aa、37baは、ベースプレート3及び補強プレート11の両者間外へ連通する連通部として構成されている。そして、圧電素子9を取り付ける接着剤27が、注入時に支持縁部11aに臨む溝部37a、37bの端部37aa、37baから該溝部37a、37b及びその周辺の隙間へ流れ込んで固化する。固化した接着剤27は、ベースプレート3及び補強プレート11間においてダンピング特性を有する樹脂座39となる。但し、樹脂座39も、ダンピング特性を有さない構成にすることができる。図6Bは、補強プレートの直線状の溝部の変形例を示す斜視図である。図6Bの溝部37Aa、37Abは、支持縁部11a上の端部37Aaa、37Abaが、支持縁部11aの端縁に開放されたものである。図7Aは、補強プレートの傾斜状の溝部を示す斜視図、Bは、同溝部の変形例を示す斜視図である。図7Aの例は、図6Aに基本的な構造が対応しており、同符号を用いて説明する。溝部37a、37bは、支持縁部11a側から離間する方向へ漸次直線状に広がる形態に配置されたものである。図7Bの例も、図6Aに基本的な構造が対応しており、同符号を用いて説明する。溝部37a、37bは、支持縁部11a側から離間する方向へ漸次直線状に広がる形態に配置され、支持縁部11a上に形成された溜まり凹部41に端部37aa、37baが解放されたものである。この例では、溜まり凹部41から溝部37a、37b側へ接着剤27を十分に行き渡らせることができる。図8は、ヘッドサスペンションの流れ止め部を示す斜視図である。図9Aは、溝形状の流れ止め部を示す平面図、Bは、同断面図、図10Aは、凹部形状の流れ止め部を示す平面図、Bは、同断面図、図11Aは、凹部形状の流れ止め部を示す平面図、Bは、同断面図である。図8は、図6に基本的な構造が対応しており、同符号を用いて説明する。溝部37a、37bの反支持縁部側に前記接着剤27の流れ止めを行う流れ止め部43を設けたものである。流れ止め部43は、図9ABのように長溝に形成され、一対の溝部37aの端部37abに直交するように配置されている。流れ止め部43の両端は、溝部37aの相互間外の両側へ突出している。図10ABは、図9ABの流れ止め部43に代えて流れ止め部43Bとした。流れ止め部43Bは、平面視及び断面で矩形の凹部43Baを連設したものであり、配置長は、流れ止め部43に対応させている。図11ABは、図9ABの流れ止め部43に代えて流れ止め部43Cとした。流れ止め部43Cは、平面視で円形及び断面で半円形の凹部43Caを連設したものであり、配置長は、流れ止め部43に対応させている。この例では、溝部37a、37b側へ流れ込んだ前記接着剤27を流れ止め部43、43B、43Cで止めることができ、接着剤27によるロードビーム5のばね部19側への影響を規制することができる。流れ止め部43、43B、43Cへ流れ込んだ樹脂も、ベースプレート3及び補強プレート11間で固化することで樹脂座の機能を奏する。[実施例1の効果]本発明実施例のヘッドサスペンション1は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベースプレート3と、剛体部17及びばね部19を含み基端側がベースプレート3に複数個所の溶接結合部21により結合されたロードビーム5と、書き込み用及び読み取り用のヘッド部及び配線を備えてロードビーム5に複数箇所の溶接結合部24により取り付けられたフレキシャ7とを備え、ロードビーム5の剛体部17とフレキシャ7との間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座29を有する。したがって、剛体部17とフレキシャ7との相互間の超音波振動による微振動の衝突を樹脂座により規制することができ、剛体部17とフレキシャ7との間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制することができる。すなわち、ヘッドサスペンション1の超音波洗浄時により、表面の微小なパーティクルは除去され、樹脂座29により衝突による表面の破壊を規制して剛体部17とフレキシャ7との間の隙間へのパーティクルの挟み込みを抑制することができる。このため、HDD内に製品が組み込まれるまでパーティクルが残ることは殆どなく、微小なパーティクルが、HDD内で剛体部17とフレキシャ7との隙間から零れ落ちる可能性を除去することができる。また、ヘッドサスペンション1の清浄度評価にはLPCリキッドパーティクルカウンタ測定値を用いるが、LPC測定用検体抽出時に使用する超音波振動があっても、樹脂座29により、微振動の破壊によるパーティクルの誘発が抑制されるため、測定値を正確なものにすることが可能となる。剛体部17とフレキシャ7との両者間で剛体部17に形成された溝部31を備え、樹脂座29は、溝部31に形成された。このため、樹脂座29の位置決めが容易であり、且つ溝部31に沿って樹脂を浸透させることができる。溝部31は、剛体部17とフレキシャ7との両者間外へ連通する連通部として端部31aを備えた。このため、ヘッドサスペンション1の完成後に図2の端部31aから溝部31に樹脂として非導電性の接着剤を注入することができ、毛管現象により剛体部17及びフレキシャ7間に満たされ、さらに溝部31周辺で剛体部17及びフレキシャ7間に至って固化させることができる。固化した接着剤は、剛体部17及びフレキシャ7間において樹脂座29として構成させることができ、樹脂座29を容易に形成することができる。ヘッドサスペンション1の完成後に接着剤を注入することで、樹脂の溶接部介在に伴う溶接不良を防止することができる。溝部31の端部31aから接着剤を導くことで、剛体部17及びフレキシャ7間の奥深くまで樹脂を浸透させることができる。溝部31を設けることで、樹脂の流れを制御し、余計な流れを規制することができ、ヘッドサスペンション1の剛性のアンバランス化やバラつきを防止することができ、共振などの振動特性を安定化することができる。ロードビーム5をエッチングで形成する際に、溝部31を追加工程なくパーシャルエッチングで形成することができる。ベースプレート3と補強プレート11との間に設けられ振動による相互間の衝突を規制する樹脂座33を有する。このため、ベースプレート3と補強プレート11との間で上記同様の効果を得ることができる。ベースプレート3は、金型で曲げやつぶし加工するため、溝部35を追加工程なくコイニングにより形成することができる。樹脂座29,33は、ダンピング特性を有する。このため、剛体部17とフレキシャ7との相互間、ベースプレート3と補強プレート11との相互間の微振動による衝突を樹脂座29,33により確実に規制することができ、且つヘッドサスペンション1の振動特性を向上させることができる。樹脂座29,33は、接着剤により形成された。このため、剛体部17とフレキシャ7との相互間、ベースプレート3と補強プレート11との相互間を樹脂座29,33により固定し、溶着結合部12,21,24と相俟って剛体部17とフレキシャ7との相互間、ベースプレート3と補強プレート11との相互間をより強固に結合し、微振動による衝突を確実に規制することができる。補強プレート11は開口部25内に突出して圧電素子9を支持する支持縁部11aを備え、補強プレート11に形成され端部37aa、37ab、37Aaa、37Aabが支持縁部11aに臨む溝部37a、37b、37Aa、37Abを有し、接着剤が支持縁部11aに臨む溝部37a、37b、37Aa、37Abの端部37aa、37ba、37Aaa、37Abaから溝部37a、37b、37Aa、37Abへ流れ込んでベースプレート3及び補強プレート11間に形成され振動による相互間の衝突を規制する樹脂座とした。このため、圧電素子周辺でのベースプレート3及び補強プレート11間の表面の破壊を規制し、パーティクルの零れ落ちによる不具合を抑制し、上記同様の効果を奏することができる。溝部37a、37b、37Aa、37Abを圧電素子9の接着部である支持縁部11aにかかるようにすることで、追加工程なく接着剤を導くことができる。溝部37a、37bの反支持縁部側に接着剤の流れ止めを行う流れ止め部43、43B、43Cを設けた。このため、溝部37a、37b側へ流れ込んだ前記接着剤27を流れ止め部43、43B、43Cで止めることができ、接着剤27によるロードビーム5のばね部19側への影響を規制することができる。図12、図13は、LPC測定による結果を示し、図12は、0.3μm以上のパーティクルの数、図13は、0.6μm以上のパーティクルの数を示すグラフである。測定対象製品の形態は、図1で示すものであり、ロードビーム5及びフレキシャ7間の溝部31、ベースプレート3及び補強プレート11間の溝部35に樹脂座29、33を備え、圧電素子9周辺の溝部37a、37bにも樹脂座を備えた。図12、図13共に、縦軸は、単位面積cm2当たりのパーティクルの数を示し、横軸に並ぶ製品1、2、3に対し、それぞれ左から溝幅50μm、100μm、150μm、200μmについて測定した結果を示した。横軸の右端にその平均についても示した。図12、図13のように、全体的な傾向として、限度はあるが、溝部31、35、37a、37bの幅が広いほどパーティクルの数が少ないことが確認できた。図14~図16は、本発明の実施例2に係り、図14は、ヘッドサスペンションの一部を省略した概略斜視図、図15Aは、図14のXVA部における断面図、Bは、同変形例の断面図、図16は、ヘッドサスペンションの一部を省略した変形例に係る概略斜視図である。である。なお、基本的な構成は実施例1と同様であり、対応する構成部分には同符号にDを付し、重複した説明は省略する。図14、図15Aの本実施例2のヘッドサスペンション1Dでも、ロードビーム5Dに補強プレート11Dが一体に設けられ、ベースプレート3Dに補強プレート11Dが複数箇所の溶接結合部図示せずにより結合されている。また、フレキシャ7Dがロードビーム5Dに複数箇所の溶接結合部図示せずにより結合されている。ベースプレート3Dと補強プレート11Dとの間、ロードビーム5Dの剛体部17Dとフレキシャ7Dとの間には、樹脂座33D、29Dが設けられている。補強プレート11Dには、溝部45が設けられ、樹脂座33Dは、主に溝部45に設けられている。溝部45は、ベースプレート3Dと補強プレート11Dとの両者間外へ連通する連通部として溝部45を外部へ連通させる貫通孔47を備えている。ヘッドサスペンション1Dの組立完成後に、貫通孔47から樹脂として非導電性の接着剤が注入され、毛管現象により溝部45側へ移動する。さらに貫通孔47及び溝部45周辺でベースプレート3D及び補強プレート11D間の隙間にも至って固化する。固化した接着剤は、ベースプレート3D及び補強プレート11D間において樹脂座33Dとなる。フレキシャ7Dには、貫通した溝部49が設けられ、樹脂座29Dは、溝部49及び貫通孔51周辺に設けられている。ヘッドサスペンション1Dの組立完成後に、貫通孔51から樹脂として非導電性の接着剤が注入され、毛管現象により溝部49側へ移動する。さらに貫通孔51及び溝部49周辺で剛体部17D及びフレキシャ7D間の隙間にも至って固化する。固化した接着剤は、剛体部17D及びフレキシャ7D間において樹脂座29Dとなる。図15Bの例では、溝部45をベースプレート3D側に設けて樹脂座33Dを設けた。図16の例では、補強プレート11D及びフレキシャ7Dに貫通孔47、51を設け、ベースプレート3D及びロードビーム5Dの剛体部17Dに溝部45、49をリング状に形成した。ヘッドサスペンション1Dの組立完成後に、貫通孔47、51から樹脂として非導電性の接着剤が注入され、毛管現象により溝部45,49側へ移動して固化する。固化した接着剤は、ベースプレート3D及び補強プレート11D間において樹脂座33Dとなり、剛体部17D及びフレキシャ7D間において樹脂座29Dとなる。したがって、本実施例においても、樹脂座29D、33Dにより、上記実施例と同様な作用効果を奏することができる。また、溝部45,49を貫通孔47、51と組み合わせて配置し、例えば板間振動が極大化する部分をピンポイントで固定することができ、接着剤使用量の抑制等を図ることができる。[その他]上記各実施例の溝部は、凹部に代えることもできる。溝部31、35、37a、37b、37Aa、37Abは、曲線状、波線状等に形成することもできる。流れ止め部43は、曲線状、波線状等に形成することもできる。流れ止め部43B、43Cは、曲線状、波線状等に配列することもできる。本発明は、ヘッドサスペンションの板材の結合構造に適用したが、その他、超音波による微振動などで面衝突の破壊でパーティクルが問題となり得る部材に広く適用することができる。"