"基板保持部に水平に保持された基板の表面に、処理液供給部から処理液を供給して上記基板の表面に向けて吐出させて液処理をする液処理装置において、上記処理液供給部から供給される上記処理液の流路を形成した処理液ノズルと、上記処理液ノズルの先端部から基板表面間の領域に光を照射する光源と、上記処理液ノズルと基板表面間のうちの、少なくとも上記処理液ノズルの先端部から上記基板表面間の領域を撮像する撮像部と、上記処理液ノズルから上記基板に向けて上記処理液を吐出するための吐出信号を出力すると共に上記撮像部により撮像を開始させる制御部と、上記基板に向けて吐出される処理液中に上記光が入射して上記処理液に反射されたときの光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、上記処理液ノズルからの上記処理液の吐出の有無及び上記処理液ノズルから吐出される上記処理液の吐出状態の変化の有無を判定する判定部と、を備えた、ことを特徴とする液処理装置。請求項1記載の液処理装置において、上記光源は上記光を基板表面に向けて照射し、上記基板表面に反射されてから、上記処理液ノズルの先端部から上記基板表面間の領域に照射される、ことを特徴とする液処理装置。請求項1記載の液処理装置において、上記光源は上記光を上記基板表面の上記処理液ノズルから吐出される上記処理液の吐出位置に向けて照射する、ことを特徴とする液処理装置。請求項2に記載の液処理装置において、上記撮像部は、上記光の上記処理液への入射角度に等しい反射角方面に設置される、ことを特徴とする液処理装置。請求項1ないし4のいずれかに記載の液処理装置において、上記処理液ノズルは、光透過性部材で形成される筒状体で形成され、上記撮像部は、上記処理液ノズルの流路内の上記処理液に反射された光の明暗を撮像可能に形成される、ことを特徴とする液処理装置。請求項1ないし5のいずれかに記載の液処理装置において、上記処理液ノズルからの上記処理液の吐出の有無及び上記処理液ノズルから吐出される上記処理液の吐出状態の変化の有無を判断する基準となる基準情報を記憶する記憶部を更に備え、上記判定部は、上記撮像結果と上記基準情報の光の明暗を比較した結果に基づいて上記処理液ノズルからの上記処理液の吐出の有無及び上記処理液ノズルから吐出される上記処理液の吐出状態の変化の有無を判定する、ことを特徴とする液処理装置。請求項6記載の液処理装置において、上記基準情報は、上記処理液ノズルからの上記処理液の吐出動作が正常に動作していた際に上記撮像部により撮像された撮像結果である、ことを特徴とする液処理装置。請求項1ないし7のいずれかに記載の液処理装置において、上記処理液ノズルを上記基板保持部に保持された基板の上方に搬送するノズル搬送機構を更に備え、上記ノズル搬送機構には、上記処理液ノズルが直線上に並列に複数配置されており、直線の側方方面に配置された1の光源から、全ての上記処理液ノズルの先端部から上記基板表面間の領域に上記光をライン状に照射する、ことを特徴とする液処理装置。請求項1ないし7のいずれかに記載の液処理装置において、上記処理液ノズルを上記基板保持部に保持された基板の上方に搬送するノズル搬送機構を更に備え、上記ノズル搬送機構には、上記処理液ノズルは直線上に並列に複数配置されており、直線と平行な直線上に上記処理液ノズル毎に配置された光源から上記光を照射する、ことを特徴とする液処理装置。請求項1ないし3のいずれかに記載の液処理装置において、上記光源は、対称位置にある第1の光源と第2の光源が、上記処理液ノズルを鉛直軸とし、上記撮像部との水平方向の角度が120度から160度をなす位置にそれぞれ設置される、ことを特徴とする液処理装置。請求項1ないし3のいずれかに記載の液処理装置において、上記光源は、上記処理液ノズルを挟んで上記撮像部と対向する側に設置され、更に、上記処理液ノズルを挟んで上記光源と対向する側に補助光源を設置する、ことを特徴とする液処理装置。請求項10又は11に記載の液処理装置において、上記処理液ノズルは、光透過性部材で形成される筒状体で形成され、上記撮像部は、上記処理液ノズルの流路内の上記処理液に反射された光の明暗を撮像可能に形成される、ことを特徴とする液処理装置。請求項12記載の液処理装置において、上記光源は、更に上記処理液ノズルに光を照射し、上記判定部は、上記処理液ノズルの流路内の光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、上記処理液ノズルの流路内の処理液の液面の変化の有無を更に判定する、ことを特徴とする液処理装置。請求項13記載の液処理装置において、上記光源は、上記処理液ノズルの流路内の上記処理液の所定の液面位置より上方に設置されると共に、上記液面位置にある液面に対し上記光源と上記撮像部のなす鉛直方向の角度が120度から160度の位置に設置される、ことを特徴とする液処理装置。しかし、特許文献1に記載のものは、ノズル先端部の状態をカメラで撮像して、撮像情報を解析するものであるため、ノズルから吐出される塗布液の吐出の有無や、ノズルから吐出され基板上に供給される間の塗布液の吐出状態が変化、例えば塗布液中に気体が混入する泡噛み現象や塗布液の液柱が細る液細り現象が発生しても早期に発見することは難しかった。本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、処理液ノズルからの処理液の吐出の有無及び処理液ノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を正確に判定することができる液処理装置を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明に係る液処理装置は、基板保持部に水平に保持された基板の表面に、処理液供給部から処理液を供給して上記基板の表面に向けて吐出させて液処理をする液処理装置において、上記処理液供給部から供給される上記処理液の流路を形成した処理液ノズルと、上記処理液ノズルの先端部から基板表面間の領域に光を照射する光源と、上記処理液ノズルと基板表面間のうちの、少なくとも上記処理液ノズルの先端部から上記基板表面間の領域を撮像する撮像部と、上記処理液ノズルから上記基板に向けて上記処理液を吐出するための吐出信号を出力すると共に上記映像部により撮像を開始させる制御部と、上記基板に向けて吐出される処理液中に上記光が入射して上記処理液に反射されたときの光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、上記処理液ノズルからの上記処理液の吐出の有無及び上記処理液ノズルから吐出される上記処理液の吐出状態の変化の有無を判定する判定部と、を備えたことを特徴とする。このように構成することによって、光源から処理液ノズルの先端部から基板表面間の領域に光を照射するため、基板に向けて吐出される処理液中に光が入射して処理液に反射されることにより処理液が発光し、その光の明暗を撮像部が撮像し、判定部はその撮像結果に基づいて、処理液中に光が入射して処理液に反射されたときの光の明暗を識別することによって、処理液ノズルからの処理液の吐出の有無及び処理液ノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無、例えば処理液中に気体が混入する泡噛み現象や処理液がボタ落ちする途切れ現象、処理液の液柱が細る液細り現象、あるいは処理液の吐出時間等を判定することができる。また、光を処理液ノズルの先端部から基板表面間の領域にのみ照射するため、処理液ノズル等に光が直接照射され不必要な光の反射が発生することを抑制することができるので、撮像結果の精度を向上させることができる。本発明において、上記光源は上記光を基板表面に向けて照射し、上記基板表面に反射されてから、上記処理液ノズルの先端部から上記基板表面間の領域に照射するか、あるいは、上記光源は上記光を上記基板表面の上記処理液ノズルから吐出される上記処理液の吐出位置に向けて照射する方がよい。このように構成することによって、撮像部は基板表面で反射された光を捉えずに光の明暗を撮像することができるため、更に撮像結果の精度を向上させることができる。また、上記撮像部は、上記光の上記処理液への入射角度に等しい反射角方面に設置されてもよい。このように構成することにより、撮像部は、処理液ノズルから吐出される処理液に反射された光のうち、最も光度の高い反射光の光路上で撮像することができるため、更に撮像結果の精度を向上させることができる。また、上記処理液ノズルは、光透過性部材で形成される筒状体で形成され、上記撮像部は、上記処理液ノズルの流路内の上記処理液に反射された光の明暗を撮像可能に形成されている方がよい。このように構成することにより、撮像部は処理液ノズルの流路内の処理液に反射された光の明暗を撮像することができ、判定部は、処理液ノズルの先端部から基板表面間の領域の撮像結果のみならず、処理液ノズルの流路内の撮像結果に基づいて判定することができるため、処理液ノズルからの処理液の吐出の有無及び処理液ノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を更に正確に判定することができる。本発明において、上記処理液ノズルからの上記処理液の吐出の有無及び上記処理液ノズルから吐出される上記処理液の吐出状態の変化の有無を判断する基準となる基準情報を記憶する記憶部を更に備え、上記判定部は、上記撮像結果と上記基準情報の光の明暗を比較した結果に基づいて上記処理液ノズルからの上記処理液の吐出の有無及び上記処理液ノズルから吐出される上記処理液の吐出状態の変化の有無を判定する方がよい。なお、上記基準情報は、上記処理液ノズルからの上記処理液の吐出動作が正常に動作していた際に上記撮像部により撮像された撮像結果であってもよい。このように構成することにより、判定部は、処理液ノズルからの処理液の吐出の有無及び処理液ノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を更に正確に判定することができる。また、本発明において、上記処理液ノズルを上記基板保持部に保持された基板の上方に搬送するノズル搬送機構を更に備え、上記ノズル搬送機構には、上記処理液ノズルが直線上に並列に複数配置されており、直線の側方方面に配置された1の光源から、全ての上記処理液ノズルの先端部から上記基板表面間の領域に上記光をライン状に照射するか、あるいは、直線と平行な直線上に上記処理液ノズル毎に配置された光源から上記光を照射してもよい。また、本発明において、上記光源は、対称位置にある第1の光源と第2の光源が、上記処理液ノズルを鉛直軸とし、上記撮像部との水平方向の角度が120度から160度をなす位置にそれぞれ設置されてもよい。この場合、第1の光源と第2の光源を撮像部との水平方向の角度が120度より小さい角度の位置に設置すると、処理液の側部の光の明暗が不鮮明となり、処理液の側部を際立たせることができない。また、第1の光源と第2の光源を撮像部との水平方向の角度が160度より大きい角度の位置に設置すると、基板に向けて吐出される処理液の側部から撮像部に向かう反射光及び屈折光の光度が低く、処理液の側部を際立たせることができない。そこで、上記のように構成することによって、両側に設置された第1の光源と第2の光源から処理液ノズル方向に向けて光を照射し、基板に向けて吐出される処理液の側部から撮像部に向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、処理液の側部の光の明暗を鮮明にして、処理液の側部を安定して際立たせることができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。また、本発明において、上記光源は、上記処理液ノズルを挟んで上記撮像部と対向する側に設置され、更に、上記処理液ノズルを挟んで上記光源と対向する側に補助光源を設置してもよい。このように構成することによって、基板に向けて吐出される撮像部側の処理液の表面を安定して際立たせて光の明暗を鮮明にすることができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。また、本発明において、上記処理液ノズルは、光透過性部材で形成される筒状体で形成され、上記撮像部は、上記処理液ノズルの流路内の上記処理液に反射された光の明暗を撮像可能に形成されている方がよい。このように構成することにより、撮像部は処理液ノズルの流路内の処理液に反射された光の明暗を撮像することができ、判定部は、処理液ノズルの先端部から基板表面間の領域の撮像結果のみならず、処理液ノズルの流路内の撮像結果に基づいて判定することができるため、処理液ノズルからの処理液の吐出の有無及び処理液ノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を更に正確に判定することができる。また、本発明において、上記光源は、更に上記処理液ノズルに光を照射し、上記判定部は、上記処理液ノズルの流路内の光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、上記処理液ノズルの流路内の処理液の液面の変化の有無を更に判定してもよい。このように構成することによって、処理液ノズルの流路内の処理液の液面の変化の有無、例えば処理液ノズルの流路内で待機する処理液の所定の液面位置からの上昇もしくは下降、更には液面の形状の変化の有無等を判定することができる。ここで、所定の液面位置とは、処理液ノズルの先端部から処理液が吐出されていない状態において、処理液ノズルの流路内において予め設定されるサックバックされた処理液の液面が待機する位置である。また、本発明において、上記光源は、上記処理液ノズルの流路内の上記処理液の所定の液面位置より上方に設置されると共に、上記液面位置にある液面に対し上記光源と上記撮像部のなす鉛直方向の角度が120度から160度の位置に設置される方がよい。この場合、液面位置にある液面に対し光源と撮像部のなす鉛直方向の角度が120度より小さい角度の位置に設置されると、処理液の液面から撮像部に向かう反射光及び屈折光の光度が低く、処理液の液面を際立たせることができない。また、液面位置にある液面に対し光源と撮像部のなす鉛直方向の角度が160度より大きい角度の位置に設置されると、処理液の液面の光の明暗が不鮮明となり、処理液の液面を際立たせることができない。そこで、上記のように構成することによって、処理液ノズルの流路内の処理液の液面に直接照射される光と、基板に反射して液面に照射された光を、処理液の液面に照射し、処理液の液面から撮像部に向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、処理液の液面の光の明暗を鮮明にして、処理液の液面を安定して際立たせることができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。本発明の液処理装置によれば、処理液ノズルからの処理液の吐出の有無及び処理液ノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を正確に判定することができる。<第1実施形態>この発明の第1実施形態に係る液処理装置を、基板以下にウエハWというに、処理液であるレジスト液及びレジスト液を広がり易くするためのシンナーと以下、これらを総称して塗布液Rというを塗布する塗布ユニットに適用した実施の形態について説明する。本実施形態における塗布ユニットの構成の概要を説明する。図1に示すように、本実施形態における塗布ユニット1は、箱状の筐体30内に、横方向図中のY方向に一列に配列された3つの液処理部2a,2b,2cと、これらの液処理部2a,2b,2cにレジスト液やシンナー等の塗布液Rを供給する複数本の処理液ノズル10以下、ノズル10というと、このノズル10を搬送するためのノズル搬送機構20と、ノズル10を待機させるノズルバス14と、ウエハWに塗布されたレジスト膜の周縁部を除去するためのエッジビードリムーバEdgeBeadRemover:EBR機構6と、を備えている。液処理部2a,2b,2cは、共通の構成を備えており、基板保持部としてのスピンチャック41と、このスピンチャック41に保持されウエハWを取り囲むように設置されたカップ体5とを備えている。以下、液処理部2a,2b,2c以下に符号2で代表するの構成について説明する。スピンチャック41は、ウエハWの裏面側中央部を吸引吸着して水平に保持するための基板保持部としての役割を果たす。図2に示すようにスピンチャック41は軸部42を介して駆動機構スピンチャックモータ43に連結されており、ウエハWを保持した状態で回転及び昇降自在に構成されている。スピンチャック41の側方には、昇降機構44aに連結された昇降ピン44がウエハWの裏面を支持して昇降可能なように設けられており、後述する搬送手段搬送アームA3との協働作用によって筐体30の外部から搬入されてきたウエハWの受け渡しを行えるようになっている。なお図1bに示した30aは、搬送手段に臨む筐体30壁面に形成されたウエハWの搬入出口である。カップ体5は、スピンコーティング等の際にウエハWを回転させることによって飛散したミストが筐体30内に飛び散るのを抑え塗布ユニット1外に排出する役割を果たす。カップ体5は、図2に示すように、傾斜したリング状の第1のリング部材51と第2のリング部材52とが設置されており、これらのリング部材51、52との間の隙間は、ウエハWから飛散したミストを含む気体の通流する気体流路51aとなっている。ウエハWから飛散した液体は気体流路51aに形成された液受け部54へと案内され、ドレインポート56から排出される。一方、気体流路51aを通流した気体は排気ポート55から図示しない排気ダクト介して筐体30外に排出される。次に、ノズル10及びそのノズル搬送機構20の構成について説明する。ノズル10は、スピンチャック41に保持されたウエハW表面に塗布液Rを供給吐出する役割を果たす。本実施形態における塗布ユニット1は、例えば濃度や成分の異なる10種類のレジスト液と、ウエハW上でレジスト液を広がり易くするためのシンナーとを供給できるように、11本のノズル10を備えている図5参照。なお、図1a及び図2では図示の便宜上ノズル10の本数を省略して示してある。また、本実施形態においては、10種類のレジスト液とシンナーを供給するため11本のノズル10を備えているが、例えば任意の液処理装置において吐出する処理液が1種類であれば1本のノズルであってよい。図1aに示すように、ノズル搬送機構20はノズル10を保持するノズルアーム11と、このノズルアーム11を支える基台12と、基台12の走行軌道をなすレール13と、レール13上で基台12を移動させる駆動機構15図4参照とから構成されている。図3a,図5aに示すようにノズルアーム11は、11本のノズル10を保持するノズルヘッド部11aと、このノズルヘッド部11aを支えるアーム部11bとから構成されている。ノズルヘッド部11aの下面には、上述したノズル10の基部10bを嵌入可能な形状となっており、ノズル10の基部10bを差し込むだけでそれぞれのノズル10を保持できるようになっている。この結果、11本のノズル10は先端部10dを下向きにした状態で一列に並び、且つそれらの配列方向が図1aに示したノズル10の搬送方向と一致するように配置される。一方、ノズルヘッド部11aの基部側には後述する供給ユニット7の供給管71が接続されており、ノズルヘッド部11a内部を介してノズル10へ塗布液Rを供給できるようになっている。アーム部11bは、スピンチャック41に保持されたウエハWの略中央部の上方でノズル10を搬送できるように、ノズルヘッド部11aと基台12との間に介設された支持部材である。基台12は、駆動機構15に取り付けられており、レール13上で基台12を移動させることによって、ノズルアーム11を図1bに示したY方向に自在に移動できるようになっている。また、基台12は、図示しない昇降機構を備えており、アーム部11bの基部はこの昇降機構に取り付けられている。これによりノズルアーム11は、Z方向を自在に昇降できるようになっている。以上の構成により、ノズル10をウエハWの略中央部上方まで移動させ、その位置からウエハWへ塗布液Rを供給することができる。EBR機構6は、ウエハWに塗布されたレジスト膜の周縁部の剥がれ等を防止するためにレジスト膜を除去するリンス液をウエハW周縁部に供給する役割を果たす。図1aに示すように、リンス液を吐出するノズルを保持するEBRアーム61と、このEBRアーム61を移動させる基台62と、基台62の走行軌道をなすレール63と、リンス液の供給を行わないときにノズル10を載置して待機させるEBRノズルバス64とを備えている。次にノズル10に塗布液Rを供給する供給ユニット7処理液供給部の構成について図2を参照しながら説明する。供給ユニット7は、例えば塗布液Rを溜めた図示しない供給タンクと、この供給タンクにガスを供給してその内部を加圧することにより供給タンク内の塗布液Rを塗布ユニット1へ向けて送液するための図示しない加圧部と、を含む塗布液供給機構70を塗布液Rの種類に対応する数だけ備えている。塗布液供給機構70は、塗布液Rの給断を切り替えるためのエアオペレーティドバルブ72と、塗布液Rを供給していないときにノズル10の先端部から塗布液Rを引き込むためのサックバックバルブ73とを介して供給管71により各ノズル10に接続されており、10種類のレジスト液とシンナーとを切り替えて供給することができるようになっている。また、図2に示すように、塗布ユニット1や供給ユニット7は各機器の動作を統括制御する制御ユニット9と接続されている。なお制御ユニット9は、本実施形態における塗布ユニット1を備える塗布、現像装置全体の動作を統括制御する機能も兼ね備えている。以上の構成に基づいて塗布ユニット1によりウエハWに塗布液Rを塗布する動作について簡単に説明する。外部の搬送手段によって3つの搬入出口30aのいずれか一つより筐体30内に搬入されたウエハWは、昇降ピン44により裏面側を支持され、搬送手段を筐体30外へ退避させて昇降ピン44を下降させることにより、搬入された搬入出口30aに対応する液処理部2のスピンチャック41に受け渡される。そして、ノズル搬送機構20を作動させ、シンナー雰囲気となっているノズルバス14上で待機させたノズル10を持ち上げて、図1のY方向に搬送する。次いでシンナーを供給するノズル10がウエハWの略中央上方の位置に到達したらノズルアーム11の移動を停止し、その位置にてノズルアーム11を降下させる。その後静止しているウエハW上にノズル10からシンナーを供給した後、当該処理にて塗布するレジスト液の供給ノズル10がウエハWの略中央上方に位置するように、ノズルアーム11を移動させる。この移動動作と並行して、スピンチャック41を例えば高速回転させ、その回転中のウエハW上にレジスト液を吐出、停止してウエハWの径方向に広げるスピンコーティングを行う。続けてスピンチャック41を低速で回転させ、スピンコーティングしたレジスト膜の膜圧を均一にし、次いで再び高速回転させることによりコーティングしたレジスト液の振り切り乾燥を行う。この間、ノズル搬送機構20は上述の経路とは反対の経路でノズルアーム11を移動させて、塗布液Rの供給の完了したノズル10をノズルバス14で待機させ、レジスト液の乾燥を抑える。一方、振り切り乾燥の完了したウエハWに対しては対応するEBR機構6を稼働させて、ウエハW周縁部に塗布したレジスト膜を除去する。レジスト膜の形成されたウエハWは、搬入時とは逆の順序で搬送手段に受け渡され塗布ユニット1から搬出される。こうして各液処理部2には、塗布、現像装置に決められたウエハWの搬送サイクルに従ってウエハWが例えば24秒間隔で順次搬送され、同様の処理が行われる。以上に説明した構成に加え、本発明に係る塗布ユニット1は、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に光例えばレーザー光Lを照射する光源例えばレーザー光源110と、ノズル10及びノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域を撮像する撮像部例えばCCDカメラ等のカメラ17と、ノズル10からウエハWに向けて塗布液Rを吐出するための吐出信号を出力すると共にカメラ17により撮像を開始させる制御部9aと、ウエハWに向けて吐出される塗布液R中に光が入射して塗布液Rに反射乱反射を含む。以下同じされたときの光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定する判定部9bを備えている。以下、これらの構成について説明する。カメラ17は、図3aに示すように、ノズル搬送機構20のノズルアーム11に固定部材を介して固定されている。このカメラ17は、各ノズル10を撮像できるように、ノズルヘッド部11aに保持されたノズル10の配列方向と略直交する方角からノズル10を撮像する構成となっている。また、カメラ17は例えば広角レンズを備えており、一列に配列された全てのノズル10及びノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域を撮像領域に収めるように設定されている。またカメラ17は、イメージセンサであればよく、CCD以外のC-MOSタイプのものであっても勿論よい。なお、カメラ17は、必ずしもノズルアーム11に固定されている必要はない。また、図3a,bに示すように、ノズルヘッド部11aの下面のノズル10とカメラ17との間にはノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にレーザー光Lを照射するレーザー光源110が設置されている。レーザー光源110は、例えば半導体レーザーであって、指向性が強いレーザー光Lは、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にのみ正確に照射することができる。レーザー光源110には図示しない角度調節手段を備えており、レーザー光Lを照射する角度を調整することができる。なお、本実施形態においては、レーザー光Lを照射したが、LED光源からの光を集光して照射してもよい。また、図5aに示すように、ノズルアーム11のノズルヘッド部11aに保持された11本のノズル10は直線上に並列に配置されており、ノズルアーム11に取り付けられた1のレーザー光源110から、すべてのノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にレーザー光Lをライン状に照射している。矢印の方向がレーザー光Lを照射する方向である。図3a~cに示すように、ノズルアーム11のノズルヘッド部11aに保持されたノズル10は、基部10bと筒状部10cから形成される筒状体であって、基部10bをノズルアーム11のノズルヘッド部11aに取り付けることができるようになっている。ノズル内部には塗布液Rの流路10eが形成されており、ノズルアーム11側から供給された塗布液Rをノズル10の先端部10dからウエハWへ向けて吐出できるようになっている。ノズル10の筒状部10cは、光透過性部材で形成され、例えば石英や透明な樹脂で形成される。このように構成することにより、ノズル10の流路10e内の塗布液R中を乱反射して発光する光はノズル10の筒状部10cを透過することができる。本発明に係る塗布ユニット1は、例えば濃度や成分の異なる10種類のレジスト液と、ウエハW上でレジスト液を広がり易くするためのシンナーが11本のノズル10から供給される。塗布液Rは、濃度や成分によって異なる固有の反射率を有しており、あらかじめ測定された各塗布液の反射率は基準情報として記憶部95に記憶してある。図2に示すように、カメラ17は、図示しないA/D変換器を介して制御ユニット9と接続されている。制御ユニット9の判定部9bはカメラ17より取得した撮像結果に基づいて、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無判定し、判定の結果を表示操作部8に表示する。以下、これらの機能の詳細について説明する。制御ユニット9は、図4に示すように、本実施形態における塗布ユニット1を含む塗布現像装置全体を統括制御する制御部9aと、カメラ17による撮像結果である画像の処理や、その処理結果に基づいてノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定する判定部9bと、を備えている。制御部9aは、中央演算処理装置CPU90と、プログラム格納部91と、を備えたコンピュータとして構成されている。プログラム格納部91は、カメラ17、ノズル搬送機構20の駆動機構15や塗布液供給機構70、エアオペレーティドバルブ72、サックバックバルブ73、レーザー光源110に塗布処理を実行させるためのコンピュータプログラムプロセス用プログラムと示してある格納する役割を果たす。また、判定部9bにて独立に判定された塗布液Rの吐出の有無等の情報に基づいて、塗布ユニット1、供給ユニット7内の各機器を作動させ、これらの事象に対する対処動作やメンテナンス管理を実行するためのステップ群を備えたコンピュータプログラム対処動作用プログラム、メンテナンス管理用プログラムと示してあるを格納されていてもよい。プログラム格納部91は、例えば磁気ディスク等の記憶媒体により構成されている。判定部9bは例えば中央演算処理装置CPU90aと、プログラム格納部94と、を備えたコンピュータとして構成されている。プログラム格納部94は、カメラ17より取得した撮像結果に画像処理を施したり、この撮像結果に基づいて塗布液Rの吐出の有無等を判定したりするためのステップ群を備えたコンピュータプログラム画像処理用プログラム、判定用プログラムと示してあるを格納する役割を果たす。プログラム格納部94は、例えば磁気ディスク等の記憶媒体により構成されている。画像処理用プログラムによる画像処理について説明すると、上述したようにカメラ17は一列に配列された全てのノズル10及びノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間ウエハ表面W1間の領域を撮像領域に収めるように設定されているため、カメラ17はこの領域を撮像結果として判定部9bに出力する。判定部9bは入力された撮像結果を、判定に必要な撮像範囲に切り出すため、画像処理用プログラムを実行して画像処理をする。例えば、図7の画像は、判定部9bにおいて画像処理用プログラムを実行して切り出された撮像結果である。判定部9bは更に、塗布液Rの吐出の有無及び塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定するために、ノズル10からの塗布液Rの吐出動作が正常に動作していた際にカメラ17により撮像された撮像結果を記憶するための記憶部95を備えている。記憶部95は、磁気ディスク等の記憶媒体により構成されている。制御ユニット9には更に表示操作部8が接続されており、表示操作部8は制御ユニット9内の判定部9bの指示に基づいて判定の結果をモニタに表示し、作業者に判定部9bによる判定の結果を伝達する役割を果たす。次に、レーザー光源110から照射されたレーザー光Lの挙動について説明する。図3a,bに示すように、レーザー光源110は、レーザー光Lをカメラ17方向からウエハ表面W1であってノズル10から塗布液Rが吐出される吐出位置Tの手前の照射位置T1に向けて照射する。そして、レーザー光Lはウエハ表面W1に反射されてから、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に照射される。角度調節手段により、レーザー光Lを照射する角度を調整して、レーザー光Lが図3aのような光路を取るように設定されている。ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に照射されたレーザー光Lは、図3aに示すように、ノズル10の先端部10dから塗布液Rが吐出されていない状態の場合は、当該領域に光が反射する物体は存在しないため、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域で乱反射することなくその領域を通過する。この状態をカメラ17により撮像すると、図7aに示すような撮像結果となる。レーザー光Lの反射光は確認されず、画像全体が明度V0暗部を表示する。一方、ノズル10から塗布液Rを吐出した状態を図3b,cに示す。光の動きを矢印で図示してある。ノズル10の先端部10dから吐出された塗布液Rは、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間に液柱R1を瞬間的に形成する。ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に照射されたレーザー光Lは、液柱R1に照射され液柱R1内を乱反射し、液柱R1が発光する。乱反射したレーザー光Lは筒状部10c内部の流路10e内にある塗布液Rまで達し、筒状部10cは光透過性部材で形成されているため、流路10e内にある塗布液Rについても発光が確認できる。この状態をカメラ17により撮像すると、図7bに示すような撮像結果となる。液柱R1は、レーザー光Lの反射光が直接カメラ17に到達するため、最も明るい明度V3を確認することができる。ノズル10の流路10e内にある塗布液Rが反射光は、筒状部10cを透過してカメラ17に到達するため、液柱R1より、若干明度が落ちた明度V2を確認することができる。そして、筒状部10cを透過する反射光のうち一部が反射してカメラ17に到達するため、筒状部10cは更に明度の落ちた明度V1として確認される。また、ノズル10と液柱R1の周囲には反射する物体が存在しないため明度V0が確認される。次に、本発明に係る塗布ユニット1の判定部9bの判定について説明する。まず、判定部9bは基準情報を記憶部95に記憶させる。基準情報とは、ノズル10からの塗布液Rの吐出動作が正常に動作している際、作業者の制御ユニット9への指示によりカメラ17により撮像された撮像結果である。そこで、塗布液Rの吐出動作が正常に動作している際に例えば200msの間隔でカメラ17より撮像結果を取得する。この撮像結果は、カメラ17にて撮像されたアナログ画像を例えば256階調表示が可能な所定解像度の8ビットのディジタル信号に変換されている。吐出動作が正常に動作している際に取得される画像は、上述したように、図7a:正常な停止動作を示す基準情報、図7b:正常な吐出動作を示す基準情報、である。記憶部95はこの2つの画像を基準情報として記憶する。なお、基準情報は、記憶部95からの出力により表示操作部8のモニタに表示され、作業者は基準情報を確認及び選択することができるように構成されている。記憶部95に基準情報を記憶した判定部9bは、撮像結果と基準情報の塗布液R中を乱反射する光の明暗を比較した結果に基づいてノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定することができる。図6は、判定部9bによる判定を説明するためのフローチャートである。塗布ユニット1が稼働を開始するとスタート、判定部9bは、カメラ17から出力される撮像結果を取得しステップS101、後述する制御部9aからの確認信号の入力の有無によりステップS102、基準情報図7aもしくはbと同一か否か判定するステップS103,S106。基準情報と同一であると判定される場合には、上記ステップを繰り返す。一方、基準情報と同一でないと判定された場合は、判定部9bは画像解析により原因を特定しステップS104、表示操作部8に原因に応じた警告表示をするステップS105。具体的に説明すると、制御部9aは、プロセス用プログラムを実行し、カメラ17、ノズル搬送機構20の駆動機構15や塗布液供給機構70、エアオペレーティドバルブ72、サックバックバルブ73、レーザー光源110を作動させるスタート。そして、ノズル10から塗布液Rを吐出させる際、制御部9aは、エアオペレーティドバルブ72に塗布液Rの吐出信号を出力するのと同時に判定部9bに確認信号を出力する。吐出信号によりエアオペレーティドバルブ72が開閉し、ノズル10から塗布液Rが吐出されると、その動作をカメラ17が撮像し、取得した撮像結果を判定部9bへ出力するステップS101。判定部9bは、制御部9aからの確認信号の入力が有るのを判定した上でステップS102:Y、画像結果と記憶部95に記憶してある基準情報図7bとの光の明暗を比較解析する。その結果、判定部9bにより撮像結果と基準情報とが同一であると識別された場合、ノズル10から塗布液Rの吐出は有と判定されるステップS103:Y。この場合、判定部9bは表示操作部8に信号を出力しないステップS101に戻る。なお、表示操作部8は判定部9bからの信号の入力がされないと正常を表示するように構成してある。また、比較解析や画像解析は判定用プログラムを実行して行う。更に、カメラ17が撮像し、取得した撮像結果を判定部9bへ送るステップS101。判定部9bは、制御部9aからの確認信号の入力が無いのを判定した上でステップS102:N、撮像結果と基準情報図7aとの光の明暗を比較解析する。その結果、撮像結果と基準情報とが同一であると識別された場合、ノズル10から塗布液Rの吐出は無と判定されるステップS106:Y。この場合、判定部9bは表示操作部8に信号を出力せずステップS101に戻る、表示操作部8は正常を表示したままである。一方、カメラ17が撮像し、取得した撮像結果を判定部9bへ出力しステップS101、判定部9bは制御部9aからの上記確認信号の入力が有るにもかかわらずステップS102:Y、判定部9bにより撮像結果と基準情報図7bを比較解析した結果、撮像結果と基準情報が同一でないと識別されステップS103:N、更に画像解析の結果、図7aに示す画像と同一であると識別された場合は、ノズル10から塗布液Rの吐出は無いと判定するステップS104。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:吐出無を警告表示させるステップS105。上記のように、本発明に係る塗布ユニット1はノズル10からの塗布液Rの吐出の有無を判定することができるが、更にノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定することが可能である。例えば、カメラ17が撮像し、取得した撮像結果を判定部9bへ出力しステップS101、判定部9bは制御部9aからの確認信号の入力が無いと判定したにもかかわらずステップS102:N、判定部9bにより撮像結果と基準情報図7aを比較解析した結果、撮像結果と基準情報が同一でないと識別されステップS103:N、更に画像解析の結果、図7bに示す画像と同一でないと識別された場合は、ノズル10から塗布液Rの吐出のタイミングがずれている判定をするステップS104。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:タイミングずれを警告表示させるステップS105。なお、判定部9bは制御部9aからの確認信号が入力されたにもかかわらず、撮像結果図7bが入力されるまでタイムラグがある場合についても、ノズル10から塗布液Rの吐出のタイミングがずれている判定することができる。ノズル10の先端面10dから下方に塗布液Rが分離してボタ落ちする途切れ現象及びノズル10から塗布液Rの吐出し始めに気体を巻き込む泡噛み現象が起きると、図7cに示すような撮像結果が得られる。途切れ及び泡噛みは、塗布液Rの液柱R1が途中で分離するため、ノズル10内まで反射光が入光することができず、ノズル10部は発光しない。途切れ及び泡噛みが発生した塗布液Rを吐出したウエハWは不均一な膜厚のレジスト膜が形成されるため露光不良の原因となる。例えば、図7cに示すような撮像結果がカメラ17から出力された場合ステップS101、判定部9bは制御部9aからの確認信号の入力を判定した上でステップS102、判断部9bは、撮像結果と基準情報図7aもしくはbと同一でない旨の判定をするステップS103:N、S106:N。判断部9bは更に画像解析を進め、あらかじめ記憶部95に記憶された途切れ泡噛みの画像と比較解析や、演算処理による明度V0~V3ごとの面積比率の比較により、途切れ泡噛みが発生していると判定するステップS104。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:途切れ泡噛みを警告表示させるステップS105。また、ノズル10の先端面10dから下方に吐出される塗布液Rの液柱R1が細る液細り現象が起きると、図7dに示すような撮像結果が得られる。液細りは、サックバックバルブ73による塗布液Rのノズル10内への引き込みが悪くノズル10の先端部10dから下方に垂れてしまう現象である。また、ノズル10からの塗布液Rの吐出する際の出が悪い場合に起きる現象である。更に塗布液Rが上記途切れ現象を起こす前兆としても発生する。例えば、図7dに示すような撮像結果がカメラ17から出力された場合ステップS101、判定部9bは制御部9aからの確認信号の入力を判定した上でステップS102、判断部9bは、撮像結果と基準情報図7aもしくはbと同一でない旨の判定をするステップS103:N、S106:N。判断部9bは更に画像解析を進め、あらかじめ記憶部95に記憶された液細りの画像と比較解析や、撮像結果と基準情報図7bの液柱W1の幅の比較解析により、液細りが発生していると判定するステップS104。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:液細りを警告表示させるステップS105。上述したように、基準情報図7bにおいて、ノズル10の流路10e内にある塗布液Rは明度V2が確認される。判断部9bはカメラ17から出力された撮像結果を解析した結果、上記明度V2が位置する範囲に明度V0もしくはV1の黒点が識別される場合は、塗布液Rに気泡が混入していると判定することができる。その場合、判定部9bは表示操作部8に異常:気泡を警告表示させる。また、ノズル10の流路10e内のある座標から上方すべてが明度V0もしくはV1と識別される場合は供給ユニット7からの塗布液Rの供給がなくなり液切れが発生していると判定する。その場合、判定部9bは表示操作部8に異常:液切れを警告表示させる。また、判断部9bはカメラ17から出力された撮像結果から光度を解析し、照射されるレーザー光Lの光度データからノズル10から吐出されている塗布液Rの反射率を測定することができる。上記のように記憶部95には各塗布液Rの反射率があらかじめ記憶されており、判定部9bは測定された反射率と比較し、現在ノズル10から吐出されている塗布液Rの種類を識別することができる。この情報に基づき、判定部9bは表示操作部8に信号を出力し、表示操作部8に現在吐出されている塗布液の種類や吐出量等のパラメータを表示させることができる。更に、上記のようにカメラ17は200msの間隔で撮像結果を取得する。判断部9bは時間経過毎の撮像結果を解析することにより、塗布液Rの発光していた時間を測定することができる。塗布液Rが発光している時間は、塗布液Rが吐出された時間と同一とみなすことができる。判断部9bは、撮像結果から塗布液Rの発光時間を測定して、あらかじめ記憶部95に記憶された発光時間と比較解析することにより、発光時間の異常を判定することができる。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:吐出量を警告表示させることができる。なお、判定部9bが塗布液Rの吐出の無や、塗布液Rの吐出状態の異常を判定した場合、判定部9bは異常信号を制御部9aに出力し、制御部9aはその信号に基づいて、対処動作用プログラムもしくはメンテナンス管理用プログラムを実行し、カメラ17、ノズル搬送機構20の駆動機構15や塗布液供給機構70、エアオペレーティドバルブ72、サックバックバルブ73、レーザー光源110を作動させ、所定の対処動作を実行させることができる。上記実施形態によれば、レーザー光源110からノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にレーザー光Lを照射するため、ウエハWに向けて吐出される塗布液R中にレーザー光Lが入射して塗布液Rに反射されることにより塗布液Rが発光し、その光の明暗をカメラ17で撮像することができる。判定部9bは、その撮像結果に基づいて、塗布液R中に光が入射して塗布液Rに反射されたときの光である塗布液R中を乱反射して発光する光の明暗を識別することによって、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無、例えば塗布液R中に気体が混入する泡噛み現象や塗布液Rがボタ落ちする途切れ現象、塗布液Rの液柱R1が細る液細り現象、あるいは塗布液Rの吐出時間等を判定することができる。このため、塗布ユニット1は、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を正確に判定することが可能となるため、ノズル10からの塗布液Rの吐出動作に異常が生じた際の被害の拡大を抑えて塗布液Rの無駄を最小限にすることができる。また、光であるレーザー光Lをノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にのみ照射するため、ノズル10等に光が直接照射され不必要な光の反射が発生することを抑制することができるので、カメラ17による撮像結果の精度を向上させることができる。また、レーザー光源110は、レーザー光Lをウエハ表面W1であってノズル10から塗布液Rが吐出される吐出位置Tの手前の照射位置T1に向けてから照射し、ウエハ表面W1に反射されてから、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に照射されることにより、カメラ17は、ウエハ表面W1で反射された光を捉えずに光の明暗を撮像することができるので、更に撮像結果の精度を向上させることができる。また、ノズル10の筒状部10cを光透過性部材で形成することにより、ノズル10の流路10e内の塗布液R中を乱反射して発光する光はノズル10の筒状部10cを透過することができる。このためカメラ17はノズル10の流路10e内の塗布液R中を乱反射する光の明暗を撮像することができ、判定部9bは、ノズル10の先端部10dから基板表面W1間の領域の撮像結果のみならず、ノズル10の流路10e内の撮像結果に基づいて判定することができるため、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を更に正確に判定することができる。また、判定部9bに吐出動作が正常に動作していた際にカメラ17により撮像された撮像結果である基準情報を記憶する記憶部95を備え、判定部9bは、撮像結果と基準情報の光の明暗を比較した結果に基づいてノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定するため、判定部9bは、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を更に正確に判定することができる。また、ノズル10をスピンチャック41に保持されたウエハWの上方に搬送するノズル搬送機構20を備え、ノズル搬送機構20には、ノズル10が直線上に並列に11本配置されており、直線の側方方面に配置された1のレーザー光源110から、全てのノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にレーザー光Lをライン状に照射することにより、複数のノズル10を備えていても、レーザー光源110から照射されるレーザー光Lをノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に正確に照射できる。上記実施形態では、ノズルアーム11のノズルヘッド部11aに保持された11本のノズル10は直線上に並列に配置されており、ノズルアーム11に取り付けられた1のレーザー光源110から、全てのノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にレーザー光Lをライン状に照射したが、ノズル10の先端部10dから基板表面間W1の領域に光を照射すればよい。例えば、図5bに示すように、ノズル搬送機構20には、ノズル10が直線上に並列に11本配置されており、直線と平行な直線上にノズル10毎にレーザー光源110aを11本配置し、レーザー光Laをポイント状に照射してもよい。このように構成されることにより、複数のノズル10を備えていても、レーザー光源110aから照射されるレーザー光Laをノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に正確に照射できる。上記実施形態では、レーザー光源110から照射されるレーザー光Lは、カメラ17方向からウエハ表面W1であってノズル10から塗布液Rが吐出される吐出位置Tの手前の照射位置T1に向けて照射され、ウエハ表面W1に反射されてから、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に照射されたが、レーザー光Lはノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に照射されればよい。例えば、図8に示すように、レーザー光源110はレーザー光Lをウエハ表面W1のノズル10から吐出される塗布液Rの吐出位置Tに向けて照射してもよい。この場合、カメラ17とレーザー光源110は図示しない固定手段により、例えば筐体30に取り付けてある。このように構成することにより、レーザー光源110はレーザー光Lをノズル10から吐出される塗布液Rの吐出位置Tに向けて照射するため、カメラ17は、ウエハ表面W1で反射された光を捉えずに光の明暗を撮像することができるので、更に撮像結果の精度を向上させることができる。上記実施形態では、カメラ17はノズルヘッド部11aに保持されたノズル10とウエハ表面W1間の領域を撮像することができる位置に設置されたが、例えば図9に示すように、カメラ17は、レーザー光Lの塗布液Rへの入射角度αに等しい反射角α方面に設置されてもよい。この場合、カメラ17とレーザー光源110は図示しない固定手段により、例えば筐体30に取り付けてある。このように構成されることにより、カメラ17は、ノズル10から吐出される塗布液Rに反射された光のうち、最も光度の高い反射光の光路上で撮像することができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。<第2実施形態>上記第1実施形態では、レーザー光源110からノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にレーザー光Lを照射したが、図10に示すように、光源である赤外照明111から、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に加え、ノズル10に対しても赤外光Iを照射し、判定部9bは、塗布液R中に光が入射して塗布液Rに反射したときの光の明暗を識別することによって、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定すること加えて、ノズル10の流路10e内の光の明暗を識別することによって、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の変化の有無を判定してもよい。第2実施形態に係る塗布ユニットは、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に加え、ノズル10に対して赤外光Iを照射する光源例えば赤外照明111と、ノズル10及びノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域を撮像する撮像部例えばCCDカメラ等のカメラ17Aと、ノズル10からウエハWに向けて塗布液Rを吐出するための吐出信号を出力すると共にカメラ17Aにより撮像を開始させる制御部9a図示せずと、ウエハWに向けて吐出される塗布液R中に赤外光Iが入射して塗布液Rに反射されたときの赤外光Iの明暗を撮像する撮像結果及びノズル10の流路10e内の光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定すると共に、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の変化の有無を判定する判定部9b図示せずを備えている。赤外照明111は、例えば赤外線LED照明であって、ノズル10及びノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域及びウエハ表面W1に赤外光Iを照射することができる。この場合、照射される光が例えば可視光波長400nm~700nmであると、塗布液Rの種類は無数であってその色も様々であるため、例えば赤、青、緑等に着色されたレジスト液を塗布する場合、照射された可視光がレジスト液に吸収及び反射され、レジスト液を透過する光が弱くなり液柱R1を明確に捉えることが困難となる。また、色が透明であるシンナーを塗布する場合、液柱R1の周辺を明るくして可視光を照射しても、カメラ17Aが液柱R1を明確に捉えることが困難となる。この点、波長の長い赤外光Iを照射することにより、塗布液Rの色がどのような色であっても、その液柱R1、液面R2を安定して際立たせ、液の見やすさの共通化を図ることができる。このため、液柱R1及び液面R2を観察し易くし、画像処理等で判断する場合にも、誤検知リスクを減らすことが出来る。したがって、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域、更にはノズル10に照射される光は、赤外光Iであることが好ましい。また、図11に示すように、赤外照明111は、第1の光源である第1の赤外照明111aと第2の光源である第2の赤外照明111bの2つが設置されている。この場合、対称位置にある第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bは、ノズル10を鉛直軸とし、カメラ17Aとの水平方向の角度γ,δが120度から160度をなす位置にそれぞれ設置されている。このように構成することにより、両側に設置された第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bからノズル10方向に向けて赤外光Iを照射し、ウエハWに向けて吐出される塗布液R液柱R1の側部からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、液柱R1の側部の光の明暗を鮮明にして、塗布液R中の側部を安定して際立たせることができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。上述したノズル10に設定される鉛直軸について詳細を説明すると、カメラ17A方面から確認されるノズル10内の塗布液Rの両側の側部のうち、第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bが設置される側と対向する側の塗布液Rの側部をそれぞれの鉛直軸として、第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bの位置角度γ,δを設定してある図11参照。図15に示すように、ノズル10を鉛直軸とする赤外照明111とカメラ17Aとの水平方向の角度δを90度から180度まで10度毎に光源を移動して、移動毎にカメラ17Aにて撮像する実験を行った。なお、ノズル10の右側に設置される赤外照明111は、対向する側である塗布液Rの左側の側部を鉛直軸として水平方向の角度δを設定してある。また、赤外照明111の鉛直方向の角度βは、すべて120度の位置で撮像している。実験を行った結果、図16に示すような撮像結果を示す写真が得られた。これにより、水平方向の角度δを120度から160度をなす位置に赤外照明111を設置すると、液柱R1の左側の側部の光の明暗を鮮明にして、液柱R1の側部を安定して際立たせることができることが判った。一方、水平方向の角度δを120度より小さい角度の位置に赤外照明111を設置すると、液柱R1の側部の光の明暗が不鮮明となり、液柱R1の側部を際立たせることができないことが判った。また、水平方向の角度δを160度より大きい角度の位置に赤外照明111を設置すると、ウエハWに向けて吐出される液柱R1の側部からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度が低く、液柱R1の側部を際立たせることができないことが判った。例えば、水平方向の角度δ=170度,180度においては、液柱R1の中央部の反射光及び屈折光を確認することができるが、液柱R1の側部からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度が低く、液柱R1の側部を際立たせることができない。なお、上記実験例では、1つの赤外照明111をノズル10の右側に設置して赤外線を照射して液柱R1の左側の側部の光の明暗を鮮明にしたが、もう1つの赤外照明111をノズル10の左側の対称位置に更に設置することにより、液柱R1の左右両側の側部の光の明暗を鮮明にして、液柱R1の左右両側の側部を安定して際立たせることができる。また、図10に示すように、第1の赤外照明111aは、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの所定の液面位置Pより上方に設置されると共に、液面位置Pにある液面R2に対し赤外照明111aとカメラ17Aのなす鉛直方向の角度βが120度から160度の位置に設置される。ここで、所定の液面位置Pとは、ノズル10の先端部10dから塗布液Rが吐出されていない状態において、ノズル10の流路10e内において予め設定されるサックバックされた塗布液Rの液面R2が待機する位置である。なお、第2の赤外照明111bについても同様の位置に設置されている。このように構成することによって、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2に直接照射される光と、ウエハWに反射して液面R2に照射された光を、液面R2に照射し、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の光の明暗を鮮明にして、塗布液Rの液面R2を安定して際立たせることができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。図17に示すように、液面R2に対し赤外照明111とカメラ17Aがなす鉛直方向の角度βについて、90度から180度までの10度毎に赤外照明111を移動して、移動毎にカメラ17Aが撮像する実験を行った。なお、赤外照明111の水平方向の角度δは、すべて120度の位置で撮像してある。実験を行った結果、図18に示すような撮像結果が得られた。これにより、角度βが120度から160度をなす位置に赤外照明111を設置すると、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の光の明暗を鮮明にして、塗布液Rの液面R2を安定して際立たせることができることが判った。一方、鉛直方向の角度βを120度より小さい角度に赤外照明111を設置すると、塗布液Rの液面R2からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度が低く、塗布液Rの液面R2を際立たせることができないことが判った。また、鉛直方向の角度βを160度より大きい角度の位置に赤外照明111を設置すると、塗布液Rの液面R2が不鮮明となり、塗布液Rの液面R2のみを際立たせることができないことが判った。例えば、鉛直方向の角度β=170度,180度においては、例えば液面R2より下のノズル10の流路10eの反射光により、塗布液Rの液面R2と流路10eの境界が不鮮明となる。この場合、カメラ17Aは、赤外光Iを撮像可能なイメージセンサであればよく、例えばCCD以外のC-MOSタイプのものであっても勿論よい。制御ユニット9の判定部9bは、第1実施形態と同様に、その処理結果に基づいてノズル10からの塗布液Rの吐出の有無、ノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定し、更にノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の変化の有無を判定することができるように形成されている。なお、第2実施形態において、その他の部分は上述した第1実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明を省略する。次に、第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bから照射された赤外光Iの挙動について説明する。図10,図11に示すように、第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bは、ノズル10及びノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域及びウエハ表面W1に赤外光Iを照射する。赤外照明111から照射される赤外光Iは、ノズル10の先端部10dから塗布液Rが吐出されていない状態の場合であっても、ノズル10及びノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域及びウエハ表面W1に照射されている。この塗布液Rが吐出されていない状態をカメラ17Aにより撮像すると、図12aに示すような撮像結果となる。ノズル10の周囲には反射する物体が存在しないため明度Y0が確認される。対称位置にある第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bは、ノズル10を鉛直軸とし、カメラ17Aとの水平方向の角度γ,δが120度から160度をなす位置にそれぞれ設置されるため、流路10e内において塗布液Rがサックバックし、流路10eの先端に空気層からなるスペースが形成されると、両側に設置された第1の赤外照明111a,第2の赤外照明111bからノズル10方向に向けて赤外光Iを照射するので、そのスペースが形成された流路10eの内面側部に反射して発光し、最も明度の高いY4が確認される。また、ノズル10の筒状部10cの側部に反射して発光し、最も明度の高いY4が確認される。筒状部10cに照射された赤外光Iは、上述したY4より明度の落ちた明度Y3として確認される。そして、筒状部10c内の塗布液Rに照射された赤外光Iは、塗布液R及び筒状部10c透過した赤外光Iのみがカメラに到達するため、更に明度の落ちた明度Y1として確認される。一方、図12aに示すように、ノズル10の先端部10dから塗布液Rが吐出されていない状態においてノズル10の流路10e内で待機する塗布液Rの液面R2は、赤外照明111a,111bが、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの所定の液面位置Pより上方に設置されると共に、液面位置Pにある液面R2に対し赤外照明111a,111bとカメラ17Aのなす鉛直方向の角度βが120度から160度の位置に設置され、液面R2に直接照射される赤外光Iと、ウエハWに反射して液面R2に照射された赤外光Iを、液面R2に照射し、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の光の明暗を鮮明にして、際立たせることができるため、最も明度の高いY4が確認される。図12bは、ノズル10から塗布液Rを吐出した状態の場合の撮像結果である。ノズル10の先端部10dから吐出された塗布液Rは、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間に液柱R1を瞬間的に形成する。照射された赤外光Iは、塗布液Rの液柱R1を透過する赤外光Iがカメラ17Aに到達するため、筒状部10c内の塗布液Rを透過した明度Y1より若干明度の上がった明度Y2として確認される。図12bに示すように、液柱R1の側部は、対称位置にある第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bは、ノズル10を鉛直軸とし、カメラ17Aとの水平方向の角度γ,δが120度から160度をなす位置にそれぞれ設置されるため、両側に設置された第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bからノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間に向けて赤外光Iを照射し、ウエハWに向けて吐出される塗布液Rの側部から撮像部に向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、ウエハWに向けて吐出される塗布液Rの側部を際立たせることができるため、最も明度の高いY4が確認される。このように、ウエハWに向けて吐出される塗布液Rの側部の光の明暗を鮮明にして、塗布液R中の側部を安定して際立たせて、液柱R1及びその幅を明確にすることができる。上記のように構成することにより、液柱R1の側部を安定して際立たせることができるため、観察し易く、画像処理等で判断する場合にも、誤検知リスクを減らすことができる。また、画像処理を行う場合には、簡単な処理で側部エッジ部分を判断できるため。コントローラの解析負荷が下がり、処理能力を抑えることが出来るため、安価な部材を選択することが可能となる。次に、第2実施形態に係る塗布ユニットの判定部9bの判定について、図4,図6,図12及び図13を参照して説明する。まず、判定部9bはノズル10からの塗布液Rの吐出動作が正常に動作している際、作業者の制御ユニット9への指示によりカメラ17Aにより撮像された撮像結果である基準情報を記憶部95に記憶させる。吐出動作が正常に動作している際に取得される画像は、上述したように、図12a:正常な停止動作を示す基準情報、図12b:正常な吐出動作を示す基準情報、である。記憶部95はこの2つの画像を基準情報として記憶する。記憶部95に基準情報を記憶した判定部9bは、撮像結果と基準情報の光の明暗を比較した結果に基づいてノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定することができる。そして、第1実施形態と同様の手順により、吐出信号によりエアオペレーティドバルブ72が開閉し、ノズル10から塗布液Rが吐出されると、その動作をカメラ17Aが撮像し、取得した撮像結果を判定部9bへ出力するステップS101。判定部9bは、制御部9aからの確認信号の入力が有るのを判定した上でステップS102:Y、画像結果と記憶部95に記憶してある基準情報図12bとの光の明暗を比較解析する。その結果、判定部9bにより撮像結果と基準情報とが同一であると識別された場合、ノズル10から塗布液Rの吐出は有と判定されるステップS103:Y。この場合、判定部9bは表示操作部8に信号を出力しないステップS101に戻る。更に、カメラ17Aが撮像し、取得した撮像結果を判定部9bへ送るステップS101。判定部9bは、制御部9aからの確認信号の入力が無いのを判定した上でステップS102:N、撮像結果と基準情報図12aとの光の明暗を比較解析する。その結果、撮像結果と基準情報とが同一であると識別された場合、ノズル10から塗布液Rの吐出は無と判定されるステップS106:Y。この場合、判定部9bは表示操作部8に信号を出力せずステップS101に戻る、表示操作部8は正常を表示したままである。一方、カメラ17Aが撮像し、取得した撮像結果を判定部9bへ出力しステップS101、判定部9bは制御部9aからの上記確認信号の入力が有るにもかかわらずステップS102:Y、判定部9bにより撮像結果と基準情報図12bを比較解析した結果、撮像結果と基準情報が同一でないと識別されステップS103:N、更に画像解析の結果、図12aに示す画像と同一であると識別された場合は、ノズル10から塗布液Rの吐出は無いと判定するステップS104。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:吐出無を警告表示させるステップS105。上記のように、第2実施形態に係る塗布ユニットはノズル10からの塗布液Rの吐出の有無を判定することができるが、更にノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定することが可能である。例えば、ノズル10の先端面10dから下方に吐出される塗布液Rの液柱R1が細る液細り現象が起きると、図12cに示すような撮像結果が得られる。液細りは、サックバックバルブ73による塗布液Rのノズル10内への引き込みが悪くノズル10の先端部10dから下方に垂れてしまう現象である。また、ノズル10からの塗布液Rの吐出する際の出が悪い場合に起きる現象である。更に塗布液Rが上記途切れ現象を起こす前兆としても発生する。例えば、図12cに示すような撮像結果がカメラ17Aから出力された場合ステップS101、判定部9bは制御部9aからの確認信号の入力を判定した上でステップS102、判断部9bは、撮像結果と基準情報図12aもしくはbと同一でない旨の判定をするステップS103:N、S106:N。判断部9bは更に画像解析を進め、予め記憶部95に記憶された液細りの画像と比較解析や、撮像結果と基準情報図12bの液柱R1の幅の比較解析により、液細りが発生していると判定するステップS104。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:液細りを警告表示させるステップS105。更に、第2実施形態に係る塗布ユニットは、ノズル10の流路10e内の光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の変化の有無を更に判定することが可能である。上述したように、サックバックバルブ73は、塗布液Rを供給していない場合にノズル10の先端部10dから塗布液Rを引き込み、液面R2をノズル10の流路10e内の所定の液面位置Pに保持する。サックバックバルブ73の引き込み圧が強すぎ、液面R2が所定の液面位置Pより上昇すると、塗布液Rの吐出時に気泡を巻き込み易くなると共に、吐出タイミングがずれる問題が生じる。一方、サックバックバルブ73の引き込み圧が弱すぎ、液面R2が所定の液面位置Pより下降すると、液だれが生じ易くなると共に、吐出タイミングがずれる問題が生じる。この場合、図13aは、正常な停止動作を示す基準情報である。すなわち液面R2が予め設定されたノズル10の流路10e内の所定の液面位置Pに保持された状態の撮像結果である。そして、ノズル10の先端部10dから塗布液Rが吐出されていない状態においてノズル10の流路10e内で待機する塗布液Rの液面R2は、赤外照明111a,111bは、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの所定の液面位置Pより上方に設置されると共に、液面位置Pにある液面R2に対し赤外照明111a,111bとカメラ17Aのなす鉛直方向の角度βが120度から160度の位置に設置されるため、液面R2に直接照射される赤外光Iと、ウエハWに反射して液面R2に照射された赤外光Iを、液面R2に照射し、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2を際立たせることができるため、最も明度の高いY4が確認される。例えば、図13bに示すように、サックバックバルブ73の引き込み圧が強すぎると液面R2は上昇するため、液面R2に入射してY4の発光が確認される位置が上昇する。図13aに示すように、正常な停止動作を示す基準情報では、液面R2の形状は平面である。例えば、図13bに示すように、サックバックバルブ73の引き込み圧が強すぎると、液面R2は上向きの湾曲形状になる。このように、液面の形状の変化の有無を確認することができる。また、図13aに示すように、流路10e内において塗布液Rがサックバックし、流路10eの先端に空気層からなるスペースが形成されると、そのスペースが形成された流路10eの内面側部が赤外光Iを反射して発光する。これは、対称位置にある第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bを、ノズル10を鉛直軸とし、カメラ17Aとの水平方向の角度γ,δが120度から160度をなす位置にそれぞれ設置し、両側に設置された第1の赤外照明111a,第2の赤外照明111bからノズル10方向に向けて赤外光Iを照射するためである。このため、例えば、図13bに示すように、サックバックバルブ73の引き込み圧が強すぎると、液面R2が上昇してスペースが大きくなるため、流路10eの内面側部の発光する長さ面積が大きくなる。上述した液面R2の発光位置、液面R2の形状、及び、流路10eの内面側部の発光を識別することにより、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の変化の有無を確認することができる。そして、図13bに示すような撮像結果がカメラ17Aから出力された場合ステップS101、判定部9bは、制御部9aからの確認信号の入力が無いのを判定した上でステップS102:N、撮像結果と基準情報図13aとの光の明暗を比較解析する。その結果、撮像結果と基準情報とが同一でない旨の判定をするステップS103:N。判断部9bは更に画像解析を進め、例えば液面R2の発光位置、液面R2の湾曲形状、流路10eの内面側部の発光部位の長さの解析、また、あらかじめ記憶部95に記憶された液面上昇の画像と比較解析により、液面R2が上昇していると判定するステップS104。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:液面上昇を警告表示させるステップS105。また、図13cに示すような撮像結果がカメラ17Aから出力された場合ステップS101、判定部9bは、制御部9aからの確認信号の入力が無いのを判定した上でステップS102:N、撮像結果と基準情報図13aとの光の明暗を比較解析する。その結果、撮像結果と基準情報とが同一でない旨の判定をするステップS103:N。判断部9bは更に画像解析を進め、例えば液面R2の発光位置、液面R2の湾曲形状、流路10eの内面側部の発光部位の長さの解析、また、あらかじめ記憶部95に記憶された液面下降の画像と比較解析により、液面R2が下降していると判定するステップS104。この場合、判定部9bは表示操作部8に警告信号を出力し、表示操作部8に異常:液面下降を警告表示させるステップS105。上記実施形態によれば、赤外照明111からノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に赤外光Iを照射するため、ウエハWに向けて吐出される塗布液R中に赤外光Iが入射して塗布液Rに反射されることにより塗布液Rが発光し、その光の明暗をカメラ17で撮像することができる。判定部9bは、その撮像結果に基づいて、塗布液Rに反射されたときの光の明暗を識別することによって、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を判定することができる。このため、第2実施形態における塗布ユニットは、ノズル10からの塗布液Rの吐出の有無及びノズル10から吐出される塗布液Rの吐出状態の変化の有無を正確に判定することが可能となるため、ノズル10からの塗布液Rの吐出動作に異常が生じた際の被害の拡大を抑えて塗布液Rの無駄を最小限にすることができる。また、赤外照明111は、ノズル10に赤外光Iを照射し、判定部9bは、ノズル10の流路10e内の光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の変化の有無の判定を行って、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の変化の有無、例えばノズル10の流路10e内で待機する塗布液Rの所定の液面位置Pからの上昇もしくは下降、更には液面R2の形状の変化の有無等を判定することができる。このため、ノズル10からの塗布液Rの吐出動作に異常が生じた際の被害の拡大を抑えて塗布液Rの無駄を最小限にすることができる。上記実施形態では、第1の赤外照明111a,第2の赤外照明111bは、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの所定の液面位置Pより上方に設置されると共に、液面位置Pにある液面R2に対し第1の赤外照明111a,第2の赤外照明111bとカメラ17Aのなす鉛直方向の角度βが120度から160度の位置に設置されるたが、例えば第1の赤外照明111a,第2の赤外照明111bの設置角度βを適宜変更して設置し、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域にのみ赤外光Iを照射してもよい。このように構成することにより、対称位置にある第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bは、ノズル10を鉛直軸とし、カメラ17Aとの水平方向の角度γ,δが120度から160度をなす位置にそれぞれ設置されるため、両側に設置された第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bからノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域に向けて赤外光Iを照射し、ウエハWに向けて吐出される塗布液Rの側部からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、塗布液Rの側部の光の明暗を鮮明にして、塗布液R中の側部を安定して際立たせることができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。上記実施形態では、赤外照明111は、第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bの2つの赤外照明111が設置されており、対称位置にある第1の赤外照明111aと第2の赤外照明111bは、ノズル10を鉛直軸とし、カメラ17Aとの水平方向の角度γ,δが120度から160度をなす位置にそれぞれ設置したが、図14に示すように、赤外照明111cを、ノズル10を挟んでカメラ17Aと対向する側に一つ設置し、更に、ノズル10を挟んで赤外照明11bと対向する側に補助光源112を設置してもよい。この場合、赤外照明111cは、ノズル10を挟んでカメラ17Aと対向する側に設置される。また、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの所定の液面位置Pより上方に設置されると共に、液面位置Pにある液面R2に対し赤外照明111aとカメラ17Aのなす鉛直方向の角度βが120度から160度の位置に設置されている。一方、補助光源112は、例えば赤外線LED照明であって、ノズル10を挟んで赤外照明111cと対向する側に設置されており、ノズル10、ノズル10の先端部10dからウエハ表面W1間の領域及びウエハ表面W1に赤外光Iを照射することができる。このように構成することによって、ノズル10を挟んでカメラ17Aと対向する側に設置される赤外照明111cと、補助光源112により液柱のカメラ17A側の表面状態を安定して際立たせて光の明暗を鮮明にすることができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。また、赤外照明111cは、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの所定の液面位置Pより上方に設置されると共に、液面位置Pにある液面R2に対し赤外照明111cとカメラ17Aのなす鉛直方向の角度βが120度から160度の位置に設置されることによって、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2に直接照射される光と、ウエハWに反射して液面R2に照射された光を、液面R2に照射し、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2からカメラ17Aに向かう反射光及び屈折光の光度を高くして、ノズル10の流路10e内の塗布液Rの液面R2の光の明暗を鮮明にして、塗布液Rの液面R2を安定して際立たせることができるため、撮像結果の精度を向上させることができる。次に塗布、現像装置に上述した塗布ユニット1を適用した一例について簡単に説明する。この装置にはキャリアブロックS1が設けられており、その載置台100a上に載置された密閉型のキャリア100から受け渡しアームCがウエハWを取り出して処理ブロックS2に受け渡し、処理ブロックS2から受け渡しアームCが処理済みのウエハWを受け取ってキャリア100に戻すように構成されている。上記処理ブロックS2は、図20に示すようにこの例では現像処理を行うための第1のブロックDEV層B1、レジスト膜の下層側に形成される反射防止膜の形成処理を行うための第2のブロックBCT層B2、レジスト膜の塗布を行うための第3のブロックCOT層B3、レジスト膜の上層側に形成される反射防止膜の形成を行うための第4のブロックTCT層B4を、下から順に積層して構成されている。第2のブロックBCT層B2と第4のブロックTCT層B4とは、各々反射防止膜を形成するための薬液をスピンコーティングにより塗布する本形態に係わる塗布ユニット1と、この塗布ユニット1にて行われる処理の前処理及び後処理を行うための加熱冷却系の処理ユニット群と、上記塗布ユニット1と処理ユニット群との間に設けられ、これらの間でウエハWの受け渡しを行う搬送アームA2、A4と、で構成されている。第3のブロックCOT層B3についても上記薬液がレジスト液であることを除けば同様の構成である。一方、第1のブロックDEV層B1については図21に示すように一つのDEV層B1内に現像ユニットが2段に積層されている。そして当該DEV層B1内には、これら2段の現像ユニットにウエハWを搬送するための搬送アームA1が設けられている。つまり2段の現像ユニットに対して搬送アームA1が共通化されている構成となっている。更に処理ブロックS2には、図19及び図21に示すように棚ユニットU5が設けられ、キャリアブロックS1からのウエハWは上記棚ユニットU5の一つの受け渡しユニット、例えば第2のブロックBCT層B2の対応する受け渡しユニットCPL2に、上記棚ユニットU5の近傍に設けられた昇降自在な第1の受け渡しアームD1によって順次搬送される。第2のブロックBCT層B2内の搬送アームA2は、この受け渡しユニットCPL2からウエハWを受け取って各ユニット反射防止膜ユニット及び加熱冷却系の処理ユニット群に搬送し、これらユニットにてウエハWには反射防止膜が形成される。その後、ウエハWは棚ユニットU5の受け渡しユニットBF2、受け渡しアームD1、棚ユニットU5の受け渡しユニットCPL3及び搬送アームA3を介して第3のブロックCOT層B3に搬入され、レジスト膜が形成される。更にウエハWは、搬送アームA3→棚ユニットU5の受け渡しユニットBF3→受け渡しアームD1を経て棚ユニットU5における受渡しユニットBF3に受け渡される。なおレジスト膜が形成されたウエハWは、第4のブロックTCT層B4にて更に反射防止膜が形成される場合もある。この場合は、ウエハWは受け渡しユニットCPL4を介して搬送アームA4に受け渡され、反射防止膜の形成された後搬送アームA4により受け渡しユニットTRS4に受け渡される。一方DEV層B1内の上部には、棚ユニットU5に設けられた受け渡しユニットCPL11から棚ユニットU6に設けられた受け渡しユニットCPL12にウエハWを直接搬送するための専用の搬送手段であるシャトルアームEが設けられている。レジスト膜や更に反射防止膜の形成されたウエハWは、受け渡しアームD1を介して受け渡しユニットBF3、TRS4から受け取り受け渡しユニットCPL11に受け渡され、ここからシャトルアームEにより棚ユニットU6の受け渡しユニットCPL12に直接搬送され、インターフェイスブロックS3に取り込まれることになる。なお図21中のCPLが付されている受け渡しユニットは温調用の冷却ユニットを兼ねており、BFが付されている受け渡しユニットは複数枚のウエハWを載置可能なバッファユニットを兼ねている。次いで、ウエハWはインターフェイスアームBにより露光装置S4に搬送され、ここで所定の露光処理が行われた後、棚ユニットU6の受け渡しユニットTRS6に載置されて処理ブロックS2に戻される。戻されたウエハWは、第1のブロックDEV層B1にて現像処理が行われ、搬送アームA1により棚ユニットU5の受け渡し台TRS1に受け渡される。その後、第1の受け渡しアームD1により棚ユニットU5における受け渡しアームCのアクセス範囲の受け渡し台に搬送され、受け渡しアームCを介してキャリア100に戻される。なお図19においてU1~U4は各々加熱部と冷却部とを積層した熱系ユニット群である。なお、上述した実施形態は塗布、現像装置における塗布ユニットに係るものであったが、本発明は例えば半導体ウエハや液晶ディスプレイ用のガラス基板LCD基板といった基板表面に対して処理液を供給する任意の液処理装置やアプリケーション例えばウエハWの洗浄処理で用いられる枚葉式洗浄装置等に適用可能である。したがって、本発明における処理液としては、塗布液以外にも、例えば洗浄液や現像液等も可能である。"