"基板上に形成される光導波路型の偏波分離素子であって、入力光分波部と、出力光合波部と、前記入力光分波部と前記出力光合波部とを接続する、複屈折性を有する光導波から構成される第1アーム導波路および第2アーム導波路と、前記第1アーム導波路および前記第2アーム導波路のそれぞれの上方に形成された1つ以上の加熱部と、を備え、前記第2アーム導波路の幾何学的長さは、前記第1アーム導波路に複屈折性を付与するために前記加熱部が加熱を施した場合に該第1アーム導波路に生じる光路長の増加量に対応する程度以下だけ、前記第1アーム導波路の幾何学的長さよりも長いことを特徴とする偏波分離素子。前記入力光分波部はY分岐導波路で構成されており、前記出力光合波部は方向性結合器、波長無依存型光カプラ、および多モード干渉型光カプラのいずれか一つで構成される2入力2出力型の光合波器であることを特徴とする請求項1に記載の偏波分離素子。前記加熱の前における前記第1アーム導波路および前記第2アーム導波路でのTE偏波とTM偏波とに対する実効屈折率の平均値をそれぞれn1Ave0、n2Ave0とし、前記第1アーム導波路および前記第2アーム導波路において前記加熱により複屈折性が付与される部分の長さをL1、L2とし、前記第1アーム導波路に前記複屈折性を付与する加熱を施した場合の前記実効屈折率の平均値の増加量をδn1とすると、前記第2アーム導波路の幾何学的長さと前記第1アーム導波路の幾何学的長さとの差δL2は、下記式1を満たすように設定されていることを特徴とする請求項2に記載の偏波分離素子。前記入力光分波部に入力される偏波分離すべき光の波長をλとし、mを0以上の整数とすると、前記差δL2は、下記式2δL2=mλ/2×n2Ave02を満たすように設定されていることを特徴とする請求項3に記載の偏波分離素子。前記入力光分波部および前記出力光合波部は、方向性結合器、波長無依存型光カプラ、および多モード干渉型光カプラのいずれか一つで構成される2入力2出力型の光合波器であることを特徴とする請求項1に記載の偏波分離素子。前記入力光分波部および前記出力光合波部は、いずれも同一構造の波長無依存型光カプラで構成されており、かつ幾何学的に点対称に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の偏波分離素子。前記加熱の前における前記第1アーム導波路および前記第2アーム導波路でのTE偏波とTM偏波とに対する実効屈折率の平均値をそれぞれn1Ave0、n2Ave0とし、前記第1アーム導波路および前記第2アーム導波路において前記加熱により複屈折性が付与される部分の長さをL1、L2とし、前記第1アーム導波路に前記複屈折性を付与する加熱を施した場合の前記実効屈折率の平均値の増加量をδn1とすると、前記第2アーム導波路の幾何学的長さと前記第1アーム導波路の幾何学的長さとの差δL2は、下記式3を満たすように設定されていることを特徴とする請求項5または6に記載の偏波分離素子。前記入力光分波部に入力される偏波分離すべき光の波長をλとし、mを0以上の整数とすると、前記差δL2は、下記式4δL2=m0.5×λ/2×n2Ave04を満たすように設定されていることを特徴とする請求項7に記載の偏波分離素子。前記第1アーム導波路および前記第2アーム導波路のそれぞれの断面構造が、光導波方向にわたって略同一であることを特徴とする請求項1~8のいずれか一つに記載の偏波分離素子。請求項1~8のいずれか一つに記載の偏波分離素子と、前記偏波分離素子に接続した2つの光導波路型の90度ハイブリッド素子と、が同一基板上に集積されたものであることを特徴とする光集積素子。しかしながら、偏波分離素子を構成するMZI干渉計の一方のアーム導波路第1アーム導波路とするを加熱し、第1アーム導波路の複屈折を大きくするような調整を行うと、同時に第1アーム導波路の実効屈折率も高くなってしまう。これによって、第1アーム導波路ともう一方の第2アーム導波路との実効的な光路長に大きな差が発生し、MZI干渉計のFSRFreeSpectralRangeが小さくなる。その結果、偏波分離素子の動作波長帯域が狭帯域化するという問題がある。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、動作波長帯域が広い偏波分離素子および光集積素子を提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る偏波分離素子は、基板上に形成される光導波路型の偏波分離素子であって、入力光分波部と、出力光合波部と、前記入力光分波部と前記出力光合波部とを接続する、複屈折性を有する光導波から構成される第1アーム導波路および第2アーム導波路と、前記第1アーム導波路および前記第2アーム導波路のそれぞれの上方に形成された1つ以上の加熱部と、を備え、前記第2アーム導波路の幾何学的長さは、前記第1アーム導波路に複屈折性を付与するために前記加熱部が加熱を施した場合に該第1アーム導波路に生じる光路長の増加量に対応する程度以下だけ、前記第1アーム導波路の幾何学的長さよりも長いことを特徴とする。また、本発明に係る光集積素子は、上記発明の偏波分離素子と、前記偏波分離素子に接続した2つの光導波路型の90度ハイブリッド素子と、が同一基板上に集積されたものであることを特徴とする。本発明によれば、動作波長帯域が広い偏波分離素子および光集積素子を実現できるという効果を奏する。以下に、図面を参照して本発明に係る偏波分離素子および光集積素子の実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一または対応する要素には適宜同一の符号を付している。さらに、図面は模式的なものであり、各層の厚みと幅との関係、各層の比率などは、現実のものとは異なる場合がことに留意する必要がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。実施の形態1はじめに、本発明の実施の形態1に係る偏波分離素子について説明する。図1は、実施の形態1に係る偏波分離素子の模式的な平面図である。図1に示すように、偏波分離素子10は、入力光分波部1と、出力光合波部2と、入力光分波部1と出力光合波部2とを接続する第1アーム導波路3および第2アーム導波路4と、第1アーム導波路3の上方に形成された第1加熱部であるトリミング用ヒータ5aと、第2アーム導波路4の上方に形成された第2加熱部であるトリミング用ヒータ6aと、を備えている。偏波分離素子10はMZI干渉計で構成されている。入力光分波部1は、Y分岐導波路で構成されており、入力ポートから入力された光L1を2分岐して第1アーム導波路3および第2アーム導波路4のそれぞれに入力する。出力光合波部2は、光導波路型で2入力2出力型の方向性結合器で構成されており、第1アーム導波路3および第2アーム導波路4のそれぞれを伝搬した光が入力されると、これらの光を合波してその出力ポートPout1、Pout2から出力する。図2は、図1に示す偏波分離素子10のX-X線断面図である。図2に示すように、第1アーム導波路3、第2アーム導波路4は、シリコンなどの基板11上に形成された石英系ガラスからなるクラッド層12内に、クラッド層12よりも屈折率が高いコア部を形成することによって構成されている。なお、入力光分波部1および出力光合波部2も同様に、クラッド層12層内にコア部を形成することによって構成されている。トリミング用ヒータ5a、6aは、たとえばタンタルTa系材料などのヒータ材料からなる薄膜ヒータである。トリミング用ヒータ5a、6aはクラッド層12上に形成されている。なお、偏波分離素子10の各光導波路を構成するコア部の断面のサイズは、たとえば6μm×6μmである。クラッド層12に対するコア部の比屈折率差はたとえば0.75である。第1アーム導波路3と第2アーム導波路4との距離はたとえば250μmである。トリミング用ヒータ5a、6aのサイズは、たとえば厚さが0.1μm、幅が40μmである。また、アーム導波路3、4の断面構造サイズおよ実効屈折率は、光導波方向にわたって略同一である。この偏波分離素子10では、第2アーム導波路4の幾何学的長さが、第1アーム導波路3の幾何学的長さよりも長くなっている。これについては後で詳述する。つぎに、偏波分離素子10の特性について説明する。偏波分離素子10の入力光分波部1に入力される光L1の光強度をP0、第2アーム導波路4を伝搬した光に対する第1アーム導波路3を伝搬した光の位相遅れの量位相差をΔφ、出力光合波部2の結合効率をkとする。すると、出力光合波部2の出力ポートPout1、Pout2から得られる出力光の強度P1、P2はそれぞれ式11、12で表すことができる。ここで議論を簡単にするために、結合効率kを0.5とすると、式11、12は、以下の式11a、12aとなる。なお、kを0.5に設定したとしても、議論の一般性は失われない。図3は、k=0.5としたときの、位相差ΔφとP1との関係を示す図である。図4は、k=0.5としたときの、位相差ΔφとP2との関係を示す図である。図3、4から、たとえば以下の式13、14に示す位相差Δφの条件が満たされる場合に、偏波分離素子10は、出力ポートPout1からTM偏波成分の光を出力し、出力ポートPout2からTE偏波成分の光を出力する偏波分離素子として機能する。なお、ΔφTMはTM偏波に対する位相差を意味し、ΔφTEはTE偏波に対する位相差を意味する。ここで、各偏波状態に対するΔφを設定するにあたって、式13、14を満たすΔφに2πの整数倍を加算した値に設定しても偏波分離素子として機能する。ただし、Δφの絶対値が大きくなるにつれて、MZI干渉計のFSRが小さくなり、結果として偏波分離素子の動作波長帯域が狭帯域化するため好ましくない。よって、図1に示す偏波分離素子10において、式13、14を満たすように各偏波状態に対するΔφを±π/2のいずれかに設定すれば、動作波長帯域を最も広帯域化することができるので好適である。偏波分離素子10を作製する際には、式13、14を満たすためにトリミング用ヒータ5aにて第1アーム導波路3に複屈折を付与するトリミングを行うことが好ましい。第1アーム導波路3においてトリミングの効果が及ぶすなわち複屈折が付与される部分の長さと、その部分の長さ方向での実効屈折率以下、単に屈折率と記載した場合には実効屈折率を意味するの平均値とをそれぞれL1、n1とし、第2アーム導波路4においてトリミングの効果が及ぶ部分の長さと、その部分での屈折率の平均値とをそれぞれL2、n2とし、入力される光L1の波長をλとすると、位相差Δφは以下の式15で表される。なお、第1アーム導波路3においてトリミングの効果が及ぶ部分の長さL1は、トリミング用ヒータ5aの長さに略等しい。また、第2アーム導波路4においてトリミングの効果が及ぶ部分の長さL2は、トリミング用ヒータ6aの長さに略等しい。式15に式13、14で与えられる条件を適用すると、TEおよびTMの各偏波成分に対する位相差Δφは以下の式13a、14aで表される。なお、niTEおよびniTMi=1,2は、それぞれTEおよびTMの各偏波成分の光に対するniの値を意味する。上記式13a、14aから、第1アーム導波路3および第2アーム導波路4の各光導波路の複屈折Bi=niTM-niTEと、TEおよびTMの各偏波成分に対する屈折率の偏波間平均値niAve=niTMniTE/2について、偏波分離素子10が機能する際に第1アーム導波路3と第2アーム導波路4との間での満たすべき関係式は、以下の式16、17になる。すなわち、上記式16、17を満たすようにトリミングを行うことによって、偏波分離素子10は所望の偏波分離機能を有するものになる。なお、式16、17においてL1=L2=Lの場合は、第1アーム導波路3の複屈折B1を第2アーム導波路4の複屈折B2よりもλ/2Lだけ大きくし、一方でTEおよびTMの各偏波成分の屈折率の平均値を等しくするようなトリミングを実施すればよい。たとえば、L1=L2=L=4mm、λ=1.55μmとすると、ΔB=B1-B2=λ/2L=1.9375×10-4である。そこで、第1アーム導波路3のトリミング用ヒータ5aに電流を印可し、第1アーム導波路3の複屈折値が第2アーム導波路4の複屈折値よりもΔB=1.9375×10-4だけ大きくなるように、トリミングを行う。ところで、光導波路にトリミングを施すと、トリミング時間が長くなるにつれてその複屈折率が大きくなるが、それとともに屈折率も高くなる。たとえば、図5は、第1アーム導波路3に対するトリミング時間と第1アーム導波路3の屈折率との関係を示す図である。ここで、線L10はTE偏波成分に対する屈折率n1TEを示し、線L11はTM偏波成分に対する屈折率n1TMを示し、線L12はn1TEとn1TMとに対する屈折率の偏波間平均値niAve=niTMniTE/2を示している。また、複屈折Bはトリミング時間tでの複屈折B1=n1TM-n1TEを示している。図5に示すように、トリミング時間が長くなるにつれてその複屈折率B1が大きくなるが、それとともに屈折率n1TE、n1TM、および偏波間平均値niAveも高くなる。一例として、本発明者らが実測値から見出したn1Aveの増大量はδn1=4×10-4である。このように第1アーム導波路3の屈折率が高くなると、第1アーム導波路3と第2アーム導波路4との実効的な光路長に大きな差が発生する場合がある。このように大きな光路長差が発生すると、位相差Δφの絶対値が大きくなるため、動作波長帯域が広い偏波分離素子を実現する上では好ましくない。また、この位相差Δφの絶対値を小さくするために第2アーム導波路4の屈折率を高めるトリミングを行っても良い。しかし、第2アーム導波路4のトリミングを行うと、第1アーム導波路3のトリミングによって実現したΔBが小さくなってしまうことがある。その結果、偏波分離特性が低下するので好ましくない。または、ΔBが小さくなることを考慮して第1アーム導波路3のトリミングを行われなければならないので設計が煩雑になり好ましくない。これに対して、本実施の形態1に係る偏波分離素子10では、上述したように、第2アーム導波路4の幾何学的長さが、第1アーム導波路3の幾何学的長さよりも長くなっている。具体的には、第2アーム導波路4の幾何学的長さは、第1アーム導波路3をトリミングした場合に生じる第1アーム導波路3の光路長の増加量に対応する程度だけ、第1アーム導波路3よりも長くなっている。このように、第2アーム導波路4の幾何学的長さは予め第1アーム導波路3の光路長の増加量に対応する程度だけ長くなっているので、トリミング後の第1アーム導波路3と第2アーム導波路4との実効的な光路長に大きな差は発生せず、位相差Δφも小さくなる。その結果、偏波分離素子10は動作波長帯域が広い偏波分離素子となる。たとえば、トリミングの前における第1アーム導波路3および第2アーム導波路4でのTE偏波とTM偏波とに対する実効屈折率の偏波間平均値をそれぞれn1Ave0、n2Ave0とし、第1アーム導波路3にトリミングを施した場合の屈折率の偏波間平均値の増加量をδn1とすると、第2アーム導波路4の幾何学的長さと第1アーム導波路3の幾何学的長さとの差δL2は、下記式18を満たすように設定されることが好ましい。また、L1=L2=Lであり、かつn1Ave0=n2Ave0の場合は、式18は式18aとなる。一例として、n2Ave0=1.45、L=4mm、δn1=4×10-4とすると、δL2=1.103μmである。この長さは、光波の一波長分に相当する長さであるλ/n2Ave0=1.069μmよりも長く、位相差にして2π以上の大きな値である。また、アーム導波路の幾何学的な長さに関する一般的な製造誤差である0.1μm程度よりも10倍以上長いものである。また、本発明の効果を奏するためには、δL2としては、一般的な製造誤差の3倍以上であるたとえば0.3μm以上とすることが好ましい。なお、上記の長さの差δL2を算出し、第2アーム導波路4の幾何学的な長さの設計に適用するためには、第1アーム導波路3にトリミングを施した場合の屈折率の平均値の増加量δn1の値が必要である。この増加量δn1については予備実験等によってデータを取得したり、理論的に導出したりして求めればよい。以上説明したように、本実施の形態1に係る偏波分離素子10は、動作波長帯域が広いものとなる。なお、本実施の形態1では、第2アーム導波路4の幾何学的長さは、第1アーム導波路3をトリミングした場合に生じる第1アーム導波路3の光路長の増加量に対応する程度だけ、第1アーム導波路3よりも長くなっている。しかし、第2アーム導波路4の幾何学的長さは、これよりも短くても良い。たとえば式18、18aは等式であるが、長さの差δL2は式18、18aを満たす値よりも短くても良い。この場合は、長さの差δL2を設けたことによっては位相差Δφの絶対値を十分には小さくできない場合があるため第2アーム導波路4のトリミングを行うことが好ましい。この場合のトリミング量は長さの差δL2を設けない場合よりも小さくてよいため、偏波分離機能の低下は抑制され、または設計の煩雑さが軽減されるので好ましい。つぎに、第1アーム導波路3の複屈折を増大させるトリミングを実施する前の段階で、第2アーム導波路4の光路長補正が及ぼす影響について考える。n1Ave0=n2Ave0=n0とおき、L1=L、L2=LδL2とすると、式15の位相差Δφは式15bのようになる。δL2=λ/4n0であれば、Δφ=-π/2となり、出力ポートPout1で消光することが図3よりわかる。いずれかの出力ポートで消光すると、トリミング前の偏波分離素子のチップ特性評価に支障をきたすため、好ましくない。これに対して、δL2の値として、Δφ=-mπmは0以上の整数となるような値を選ぶと、トリミング前の段階ではPout1とPout2とから得られる出力光のパワー比が1対1になるため、特性評価上都合がよい。したがって、δL2としては、式19を満たす値に設定することがより好ましい。ただし、mとしては、0以上の整数であり、かつδL2が式18を満たす値を超えないような最大の整数以下の値にすることが好ましい。実施の形態2つぎに、本発明の実施の形態2に係る偏波分離素子について説明する。図6は、実施の形態2に係る偏波分離素子の模式的な平面図である。図1に示すように、偏波分離素子20は、図1に示す偏波分離素子10において、入力光分波部1を入力光分波部21に置き換え、トリミング用ヒータ5b、6bを追加したものである。入力光分波部21は、光導波路型で2入力2出力型の方向性結合器で構成されており、一方の入力ポートから入力された光L1を2分岐して第1アーム導波路3および第2アーム導波路4のそれぞれに入力する。この偏波分離素子20では、入力光分波部21が方向性結合器で構成されているため、偏波分離素子10とは異なる特性を有している。以下、偏波分離素子10の特性について説明する。偏波分離素子20の入力光分波部21に入力される光L1の光強度をP0、第2アーム導波路4を伝搬した光に対する第1アーム導波路3を伝搬した光の位相遅れの量位相差をΔφ、入力光分波部21および出力光合波部2の結合効率をkとする。すると、出力光合波部2の出力ポートPout1、Pout2から得られる出力光の強度P1、P2はそれぞれ式31、32で表すことができる。ここで議論を簡単にするために、結合効率kを0.5とすると、式31、32は、以下の式31a、32aとなる。となる。なお、kを0.5に設定したとしても、議論の一般性は失われない。図7は、k=0.5としたときの、位相差ΔφとP1との関係を示す図である。図8は、k=0.5としたときの、位相差ΔφとP2との関係を示す図である。図7、8から、たとえば以下の式33、34に示す位相差Δφの条件が満たされる場合に、偏波分離素子20は、出力ポートPout1からTM偏波成分の光を出力し、出力ポートPout2からTE偏波成分の光を出力する偏波分離素子として機能する。ここで、各偏波状態に対するΔφを設定するにあたって、式33、34を満たすΔφに2πの整数倍を加算した値に設定しても偏波分離素子として機能する。ただし、ΔφTEに関しては、絶対値が0より大きくなるにつれてMZI干渉計のFSRが小さくなり、結果として偏波分離素子の動作波長帯域が狭帯域化するため好ましくない。よって、図1に示す偏波分離素子20において、ΔφTEを0に設定すれば、動作波長帯域を最も広帯域化することができるので好適である。一方、ΔφTMに関しても同様の議論が可能である。ただし、ΔφTMの場合は、ΔφTM=πの場合のみならず、-πの場合でも、最大の動作帯域が期待できるため、どちらを採用してもよい。以下では、式33、34を満たすように偏波分離素子20を作製する場合を説明する。偏波分離素子20を作製する際に、式33、34を満たすようにするためには、トリミング用ヒータ5aにて第1アーム導波路3に複屈折を付与するトリミングを行うことが好ましい。ここで、実施の形態1の場合と同様に位相差は式15で表される。式15に式33、34で与えられる条件を適用すると、TEおよびTMの各偏波成分に対する位相差Δφは以下の式33a、34aで表される。上記式33a、34aから、第1アーム導波路3および第2アーム導波路4の各光導波路の複屈折Biと、TEおよびTMの各偏波成分に対する屈折率の平均値niAveについて、偏波分離素子20が機能する際に第1アーム導波路3と第2アーム導波路4との間での満たすべき関係式が以下の式36、37として得られる。すなわち、上記式36、37を満たすようにトリミングを行うことによって、偏波分離素子20は所望の偏波分離機能有するものになる。なお、式36、37においてL1=L2=Lの場合は、第1アーム導波路3の複屈折B1の値を第2アーム導波路4の複屈折B2よりもλ/2Lだけ大きくし、TEおよびTMの各偏波成分の屈折率の平均値については、第1アーム導波路3の平均値n1Aveを第2アーム導波路4の平均値n2Aveよりもλ/4Lだけ大きくするようなトリミングを実施すればよい。たとえば、L1=L2=L=4mm、λ=1.55μmとすると、ΔB=B1-B2=λ/2L=1.9375×10-4である。そこで、第1アーム導波路3のトリミング用ヒータ5aに電流を印可し、第1アーム導波路3の複屈折値が第2アーム導波路4の複屈折値よりもΔB=1.9375×10-4だけ大きくなるように、トリミングを行う。このとき、上述したようにトリミング時間が長くなるにつれてその複屈折率B1が大きくなるとともに平均値n1Aveも高くなる。これに対して、本実施の形態2に係る偏波分離素子20でも、第2アーム導波路4の幾何学的長さが、第1アーム導波路3の幾何学的長さよりも長くなっている。具体的には、第2アーム導波路4の幾何学的長さは、第1アーム導波路3をトリミングした場合に生じる第1アーム導波路3の光路長の増加量に対応する程度だけ、第1アーム導波路3よりも長くなっている。その結果、偏波分離素子20は動作波長帯域が広い偏波分離素子となる。たとえば、偏波分離素子20における第2アーム導波路4の幾何学的長さと第1アーム導波路3の幾何学的長さとの差δL2は、下記式38を満たすように設定されることが好ましい。また、L1=L2=Lであり、かつn1Ave0=n2Ave0の場合は、式38は式38aとなる。一例として、n2Ave0=1.45、L=4mm、δn1=4×10-4とすると、δL2=0.716μmである。この長さは、光波の一波長分に相当する長さであるλ/n2Ave0=1.069μmに近く、位相差にして2π近い大きな値である。また、アーム導波路の幾何学的な長さに関する一般的な製造誤差である0.1μm程度よりも10倍近く長いものである。また、本発明の効果を奏するためには、δL2としては、一般的な製造誤差の3倍以上であるたとえば0.3μm以上とすることが好ましい。なお、偏波分離素子20の場合における第1アーム導波路3にトリミングを施した場合の屈折率の偏波間平均値の増加量δn1についても、予備実験等によってデータを取得したり、理論的に導出したりして求めればよい。以上説明したように、本実施の形態1に係る偏波分離素子20は、動作波長帯域が広いものとなる。なお、本実施の形態2においても、第2アーム導波路4の幾何学的長さは、第1アーム導波路3をトリミングした場合に生じる第1アーム導波路3の光路長の増加量に対応する程度だけ、第1アーム導波路3よりも長くなっている。しかし、第2アーム導波路4の幾何学的長さは、これよりも短くても良い。たとえば式38、38aは等式であるが、長さの差δL2は式38、38aを満たす値よりも短くても良い。この場合も、実施の形態1の場合と同様に、第2アーム導波路4のトリミングを行う際のトリミング量は長さの差δL2を設けない場合よりも小さくてよいため、偏波分離機能の低下は抑制され、または設計の煩雑さが軽減されるので好ましい。つぎに、第1アーム導波路3の複屈折を増大させるトリミングを実施する前の段階で、第2アーム導波路4の光路長補正が及ぼす影響について考える。n1Ave0=n2Ave0=n0とおき、L1=L、L2=LδL2とすると、式15の位相差Δφは上述した式15bのようになる。δL2=0であればΔφ=0となって出力ポートPout1で消光し、δL2=λ/2×n0であればΔφ=-πとなって出力ポートPout2で消光することが図7、8よりわかる。いずれかの出力ポートで消光すると、トリミング前の偏波分離素子のチップ特性評価に支障をきたすため、好ましくない。これに対して、δL2の値として、Δφ=-m0.5πmは0以上の整数となるような値を選ぶと、トリミング前の段階ではPout1とPout2とから得られる出力光のパワー比が1対1になるため、特性評価上都合がよい。したがって、δL2としては、式39を満たす値に設定することがより好ましい。ただし、mとしては、0以上の整数であり、かつδL2が式38を満たす値を超えないような最大の整数以下の値にすることが好ましい。実施の形態3つぎに、本発明の実施の形態3に係る光集積素子について説明する。図9は、実施の形態3に係る光集積素子の模式的な平面図である。図9に示すように、この光集積素子100は、基板S上にPLCの技術によって形成されたものであり、実施の形態1に係る偏波分離素子10と、光導波路型の90度ハイブリッド素子30、40とが基板S上に集積されたものである。また、光集積素子100は、偏波分離素子10、90度ハイブリッド素子30、40のそれぞれに光を入力させる入力光導波路51、52、53と、偏波分離素子10と90度ハイブリッド素子30、40のそれぞれを接続する接続光導波路54、55と、90度ハイブリッド素子30、40からの出力をそれぞれ出力する4本の光導波路から構成される出力光導波路56、57とを備えている。この光集積素子100は、DP-QPSK方式用のコヒーレントミキサとして構成されている。以下、光集積素子100の動作について説明する。この光集積素子100の入力光導波路51にDP-QPSK信号光L2を入力し、互いに直交する直線偏波を有する局所発振光L3、L4をそれぞれ入力光導波路52、53に入力する。すると、偏波分離素子10はDP-QPSK信号光L2を直交する2つの直線偏波の信号光L21、L22に偏波分離する。90度ハイブリッド素子30は、信号光L21と局所発振光L3とが入力されると、信号光L21をIチャネル成分の信号光とQチャネル成分の信号光とに分離して出力光導波路56から出力する。同様に、90度ハイブリッド素子40は、信号光L22と局所発振光L4とが入力されると、信号光L22をIチャネル成分の信号光とQチャネル成分の信号光とに分離して出力光導波路57から出力する。この光集積素子100は、実施の形態1に係る偏波分離素子10を備えているので、動作波長帯域が広いコヒーレントミキサとなる。なお、上記実施の形態では、2入力2出力型の入力光分波部または出力光合波部として方向性結合器を用いている。しかし、入力光分波部または出力光合波部としては、他の2入力2出力型の光カプラを用いても良く、たとえば波長無依存型光カプラWavelengthinsensitivecoupler:WINCや多モード干渉MultiModeInterferometer:MMI型光カプラを用いてもよい。特に、入力光分波部および出力光合波部の両方にWINCを用いる場合は、非特許文献4に開示されているように、入力側と出力側とで同一構造のWINCを幾何学的に点対称の配置とすることで、WINCの位相特性をキャンセルすることができる。そのため、設計を行いやすく、動作波長帯域が広い偏波分離素子を実現できる。また、上記実施の形態では、各アーム導波路について一つのヒータトリミング用ヒータ5aあるいは6aを用いて複屈折あるいは屈折率を調整するトリミング手法について述べたが、図6のトリミング用ヒータ5bや6bのように、各アーム導波路について二つ以上のヒータが搭載されていて、複数のヒータを用いて各アーム導波路の複屈折や屈折率を調整するトリミングを実施してもよい。また、非特許文献1では、光導波路の幅を太くすることによって複屈折を誘起している。この場合は光導波路の実効屈折率の値が変わってしまうため、FSRが小さくなる場合がある。その結果、偏波分離素子としての動作波長帯域が狭くなる場合がある。これに対して、実施の形態1、2に係る偏波分離素子のように、アーム導波路の断面構造サイズおよ実効屈折率が光導波方向にわたって略同一とすれば、動作波長帯域の狭帯域化が抑制され、さらに広帯域となるのでより好ましい。また、上記実施の形態により本発明が限定されるものではない。上記各実施形態の各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。たとえば、実施の形態3における光集積素子に実施の形態2に係る偏波分離素子を適用しても良い。その他、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明に含まれる。"