複数の光電変換素子の各々に対応して多角形状の画素を有し、各画素毎に1個のマイクロレンズを設けた固体撮像素子におけるマイクロレンズの製造方法であって、マイクロレンズを構成する第一の層を設けた後に、マイクロレンズを構成する第二の層を、第一の層とは異なる形状で第一の層に積層して設け、その後両層を熱処理して一体化することにより、所望の形状のマイクロレンズを形成する工程を含み、第一の層の形状が、各画素の中央から画素境界に向かう放射状パターンを含み、第二の層の形状が、多角形状の各画素の形状に近く、画素境界を越えない凸図形パターンであることを特徴とするマイクロレンズの製造方法。第一の層と第二の層とは、マイクロレンズ形成後に同一の光学特性を示す材料からなることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズの製造方法。第一の層が、画素の中央に一方の端部を共有し、画素の各隅に他方の端部を有する複数の線分パターンを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロレンズの製造方法。第一の層が第二の層より薄いことを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法。前記多角形状が四角形状であって、四角形状の画素毎に各隅を除いた八角形状の層を第二の層として積層してなることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法。第一の層の画素境界に近い方の端部を、積層する第二の層の端部より画素境界に近接して設けることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法。請求項1~6のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法に用いる露光用マスクにおいて、積層される各層のパターンに対応したパターン形状をそれぞれ別個の複数枚に有することを特徴とする露光用マスク。前述のように異なる色の画素に対応するマイクロレンズ71、72を形成するための露光用マスクを別個に準備し、形状の異なるパターン73、74を用いることにより、隣接するマイクロレンズとのギャップを狭くすることが可能となる。しかし、画素区分による領域分割に対応して形状の異なるパターンを用いて、全画素上のマイクロレンズを2段階で形成する方法では、狭ギャップ化は達成できても、マイクロレンズの形状も含めて同一に揃えることは困難であり、高さを一定にしてもその断面形状は必ずしも同一にできないため、マイクロレンズの集光性能にばらつきが生じ、カラー固体撮像素子においては色別の感度に差異が生じる。本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、固体撮像素子に設けるマイクロレンズを、隣接するマイクロレンズとのギャップを狭くして高い集光性能を与えるとともに、各マイクロレンズの形状が均一になるように形成する製造方法を提供することである。上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、複数の光電変換素子の各々に対応して多角形状の画素を有し、各画素毎に1個のマイクロレンズを設けた固体撮像素子におけるマイクロレンズの製造方法であって、マイクロレンズを構成する第一の層を設けた後に、マイクロレンズを構成する第二の層を、第一の層とは異なる形状で第一の層に積層して設け、その後両層を熱処理して一体化することにより、所望の形状のマイクロレンズを形成する工程を含み、第一の層の形状が、各画素の中央から画素境界に向かう放射状パターンを含み、第二の層の形状が、多角形状の各画素の形状に近く、画素境界を越えない凸図形パターンであることを特徴とするマイクロレンズの製造方法である。また、請求項2に記載の発明は、第一の層と第二の層とは、マイクロレンズ形成後に同一の光学特性を示す材料からなることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズの製造方法である。また、請求項3に記載の発明は、第一の層が、画素の中央に一方の端部を共有し、画素の各隅に他方の端部を有する複数の線分パターンを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロレンズの製造方法である。また、請求項4に記載の発明は、第一の層が第二の層より薄いことを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法である。また、請求項5に記載の発明は、前記多角形状が四角形状であって、四角形状の画素毎に各隅を除いた八角形状の層を第二の層として積層してなることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法である。また、請求項6に記載の発明は、第一の層の画素境界に近い方の端部を、積層する第二の層の端部より画素境界に近接して設けることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法である。また、請求項7に記載の発明は、請求項1~6のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法に用いる露光用マスクにおいて、積層される各層のパターンに対応したパターン形状をそれぞれ別個の複数枚に有することを特徴とする露光用マスクである。本発明のマイクロレンズの製造方法は、異なるパターンを組み合わせた2段階のフォトリソグラフィー法による工程を使用するが、画素区分による領域分割に対応する従来の方法ではなく、各マイクロレンズを画素区分によらず同一に処理し、レンズ形状の骨格となる第一の層に略被せて第二の層を積層して熱処理により一体化するので、固体撮像素子に設けるマイクロレンズを、隣接するマイクロレンズとのギャップを狭くして高い集光性能を与えるとともに、各マイクロレンズの形状が均一になるように形成することができる。従って、本発明により、マイクロレンズの集光性能にばらつきが生じず、カラー固体撮像素子に用いられる場合には色別の感度に差異が生じない。以下、図面に従って、本発明を実施するための形態について説明する。図1は、本発明の製造方法において分割形成されるマイクロレンズの各層のパターンの例を部分拡大して説明するための模式図であって、a1、a2はマイクロレンズを構成する第一の層の2種類のパターンの例を示す平面図、bはマイクロレンズを構成する第二の層のパターンの例を示す平面図、cはマイクロレンズを設けた固体撮像素子の構造例を示す断面図である。本発明は、半導体基板2上に平面配置した複数の光電変換素子3の各々に対応して定義され、対応領域を図の破線で仕切って明示する平面形状が多角形状となる画素60を有し、各画素毎に1個のマイクロレンズ7を設けた固体撮像素子10、におけるマイクロレンズ7の製造方法である。本例における画素60は、従来例を説明した図2cの着色透明画素パターン6や透明平坦化層5や第二の透明平坦化層51を含むものであっても良く、従って固体撮像素子10は、カラー固体撮像素子であっても良い。多角形状の画素60の平面配列例として、図2に示したベイヤ配列と呼ばれる市松模様の配列を構成する四角形状を例として以下に説明するが、これに限定されない。マイクロレンズの基本的な製造プロセスとしては、前述のとおり、フローレンズタイプや転写タイプが、いずれも可能である。本発明は、マイクロレンズを骨格構造に相当する第一の層と外形構造に相当する第二の層との2段階に分割設計して、それぞれを基本的な製造プロセスにより実施して積層し、しかる後に熱処理により統合するものであり、以下の説明では、簡単のためにフローレンズタイプの製造プロセスに統一して説明する。本発明は、マイクロレンズの骨格構造に相当する第一の層を設けた後に、マイクロレンズの外形構造に相当する第二の層を、第一の層とは異なる形状で第一の層に積層して設け、その後両層を熱処理して一体化することにより、所望の形状のマイクロレンズを形成する工程を含む。第一の層と第二の層とを別個に形成するプロセスは、例えば、透明なアクリル系感光性樹脂をフォトリソグラフィー法により選択的にパターン形成する工程を繰り返すことで可能であり、第一の層を形成した後に、材料の熱リフロー性を利用して一旦先行熱処理を行うことができる。第一の層と第二の層とは、熱処理による変形後に一体となってマイクロレンズを形成するので、熱処理後の光学特性が同一になることが望ましい。各層を構成する材料は、例えば透明なアクリル系感光性樹脂の同一種を用いることができるが、積層後の最終処理により各層による構成部分の光学特性に差異が生じないことが望ましいので、各パターンのプロセス処理の経過の詳細条件により、元の材料を若干調整することも可能である。本発明は、また、第一の層81、82の形状が、多角形状の各画素の中央から画素境界に向かう放射状パターンを含み、第二の層85の形状が、多角形状の各画素の形状に近く、一点鎖線で示す画素境界を越えない凸図形パターンであることを特徴とする。第一の層および第二の層は、前記フォトリソグラフィー法により別個に形成するものであり、露光プロセスに用いる露光用マスクにおける透過非透過の選択的パターンの形状に対応する。例えば、マイクロレンズを形成するアクリル系感光性樹脂が光分解性を有するポジタイプであれば、上記の選択的パターンは非透過すなわち遮光パターンを、透過すなわち透明な背景中に形成すればよい。なお、第一の層が、マイクロレンズの骨格構造を作るための放射状パターンを主体とする以外に、マイクロレンズの外形構造を作るための第二の層の機能を一部分担して、他種パターンを併せたものとすることを排除しない。また、第二の層の形状を示す凸図形とは、図形上の任意の2点を結ぶ線分上の点が常に同一図形上に存在するような図形を指し、本例の場合は平面図形である。本例において、前記第一の層81、82は、図1a1、a2に示すように、各画素60の中央に一方の端部を共有し、画素の各隅に他方の端部を有する複数の線分パターンを含み、各画素上に有する同一の孤立した放射状の線分パターンを、画素配列上の同一の相対位置に繰り返す配列で形成することができる。特に上記のような線分パターンが、画素60の領域内をできるだけ広く、すなわち、隣接する画素のマイクロレンズとのギャップをできるだけ狭く、最終のマイクロレンズ形状を規定するための骨格構造を作ることになる。また、前記第二の層85は、図1bに示すように、各画素60上に同一の孤立した凸図形のパターンを、画素配列上の同一の相対位置に繰り返す配列で形成することができる。前記孤立した凸図形のパターンは、多角形状の各画素の形状に近く、各画素領域を略覆うことができ、画素境界を越えないものであるので、マイクロレンズの全体形状を各画素の平面形状に対応して決める上で適正である。しかも、第二のパターンには、前述の骨格構造を作る第一のパターンとの積層、熱処理による接触状態での流動性の制御が働くので、マイクロレンズの外形構造を制御しやすい。従って、隣接するマイクロレンズとのギャップを狭くして高い集光性能を与えるとともに、各マイクロレンズの形状が均一になるように形成することができる。また、以下に記述する工夫により、さらに適正形状のマイクロレンズを簡単な方法で得ることができる。前記積層される層は、2層に限定されず、例えば、第一の層と第二の層との中間に同種の材料で別の層を形成することも可能であるが、製造工程をできるだけ短くするためには、2層からなる構成が望ましい。2層からなる構成で、本発明のマイクロレンズの製造方法を実施する場合に、下層、すなわち、骨格構造を作る第一の層を外形構造を作る第二の層より薄く形成することが好ましい。先行して構築する第一の層を上層に較べて相対的に薄く設けることにより、流動する樹脂量を抑制して正確に制御された端部の位置を実現することができ、上層、すなわち、外形構造を作る第二の層の挙動を導くことに最適に利用できる。図3は、本発明の製造方法において分割形成されるマイクロレンズの各層のパターンの他の一例を、一つの画素60の最小単位で部分拡大して説明するための模式平面図であって、a、bはそれぞれマイクロレンズを構成する第一の層のパターンと第二の層のパターンの例を示し、cは第一の層と第二の層を積層した状態を示し、dは積層した2層を熱処理により一体化した状態を示す。本例においては、画素の平面形状を表す多角形状が四角形状であって、図3bに示すように、四角形状の画素毎に各隅を除いた八角形状の層を第二の層85として積層する。四角形状の画素毎の各隅においては、特に第二の層単独での形状制御が難しいため、マイクロレンズの最終的に形成される形状を第一の層に依存させることを目的とした設計である。また、図3aに示すように、第一の層81である放射状パターンの点線で示す画素境界61に近い方の端部をできるだけ画素境界に近接し、上層を積層した状態を示す図3cで明らかなように、第二の層85の端部より第一の層81の端部を画素境界61に近接して設けることができる。この状態に積層したものを熱処理して一体化したマイクロレンズ7を形成すると、図3dに示すように、隣接するマイクロレンズとのギャップを狭くして高い集光性能を与えるとともに、各マイクロレンズの形状を均一に形成できる。また、本発明のマイクロレンズの製造方法に用いる露光用マスクは、上述の第一の層および第二の層をそれぞれ別個に有する複数枚のマスクであって、それらの露光用マスクを順次使用して積層パターンを実現する。前記複数枚の露光用マスクは、共通のマークにより位置合わせされた露光用マスクの組を提供するものである。