シリコン粉末および成形助剤を含む混合粉を成形してなる複数の板状成形体を積層配置すること、前記積層配置した成形体の最上部に荷重をかけること、および前記積層配置し、荷重をかけられた成形体を、非酸化性雰囲気下もしくは還元性雰囲気下で焼成処理することを具備することを特徴とする多結晶シリコン焼結体の製造方法。前記荷重は、0.05g/cm2以上であることを特徴とする請求項1に記載の多結晶シリコン焼結体の製造方法。耐熱性を有する板もしくは粉末を前記積層配置した成形体の最上部に載置することにより、前記荷重をかけることを特徴とする請求項1又は2に記載の多結晶シリコン焼結体の製造方法。前記複数の板状成形体は、表面に敷粉を敷いた焼成用治具の上に積層配置されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の多結晶シリコン焼結体の製造方法。本発明は、以上の事情の下になされ、歪みが小さい多結晶シリコン焼結体を、複数枚同時に製造することを可能とする多結晶シリコン焼結体の製造方法を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明の一態様は、シリコン粉末および成形助剤を含む混合粉を成形してなる複数の板状成形体を積層配置すること、前記積層配置した成形体の最上部に荷重をかけること、および前記積層配置し、荷重をかけられた成形体を、非酸化性雰囲気下もしくは還元性雰囲気下で焼成処理することを具備することを特徴とする多結晶シリコン焼結体の製造方法を提供する。このような多結晶シリコン焼結体の製造方法において、前記荷重として、0.05g/cm2以上をかけることができる。また、耐熱性を有する板もしくは粉末を前記積層配置した成形体の最上部に載置することにより、前記荷重をかけることができる。また、前記複数の板状成形体を、表面に敷粉を敷いた焼成用治具の上に積層配置することができる。本発明によると、歪みが小さい多結晶シリコン焼結体を、複数枚同時に製造することを可能とする多結晶シリコン焼結体の製造方法が提供される。以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の一実施形態に係る多結晶シリコン焼結体の製造方法は、aシリコン粉末と成形助剤を含む混合粉末を成形する工程、b同一形状の複数の板状成形体を多段に積層配置する工程、c積層配置した成形体の最上部に荷重をかける工程、d積層配置した成形体を焼成処理する工程を具備する。本実施形態は、特に、bの同一形状の複数の板状成形体を多段に積層配置する工程、およびcの積層配置した成形体の最上部に荷重をかける工程に大きな特徴を有している。以下、図1を参照して、各工法順に説明する。aシリコン粉末と成形助剤の混合粉末を成形する工程シリコン粉末としては、通常、粉末冶金法による多結晶シリコン焼結体の製造に使用される高純度のシリコン粉末を用いることができる。このようなシリコン粉末は、例えば、流動床法、亜鉛還元法、又は冶金学的方法により得ることができ、要求されるシリコンの純度は、例えば、5N99.999~6N99.9999程度である。シリコン粉末の粒径は、平均粒径が5μm以下であることが望ましく、3μm以下であることがより望ましい。シリコン粉末の平均粒径が小さくなるほど、また粒径が小さい粉末の含有率が高くなるほど、成形体の焼結が進行しやすくなる。シリコン粉末の平均粒子径の下限は特に限定されないが、0.05μm以上であることがより好ましい。シリコン粉末の粒子径が極端に小さくなると、粒子間に働く付着力ファンデルワールス力が大きくなる。粒径が大きな凝集状態の粒子2次粒子として成形体中に存在するため、焼結を阻害する恐れがある。なお、上述のシリコン粉末の平均粒子径は、レーザー回折散乱法により得られた値である。成形助剤としては、ポリビニルブチラールやポリビニルアルコールのような有機バインダ、ベントナイトや水ガラスのような無機バインダが挙げられる。また、これらに限らず、カドミウム、亜鉛、マグネシウム、カルシウム、ビスマス、バリウム、サマリウム、鉛などの金属、これらを含む合金、金属化合物のような金属バインダーを用いることも可能である。シリコン粉末と成形助剤の混合粉の成形方法としては、金型加圧成形、湿式プレス成形、又はドクターブレード法による成形等が挙げられる。得られた成形体の厚みは特に限定されないが、2mm以下のものが好適に使用される。特にドクターブレード法では加圧成形が難しい数百mm角のような大型成形体、厚さ1mm~0.5mm、あるいはそれ未満の板状の成形体を作製することができる。なおシリコン粉末の成形法は、以上に挙げた方法に限定されるものではない。一般に、成形体を大型化および薄型化した時、成形圧を低くした時、ドクターブレード法にて成形した時などの場合には、成形体中で密度のばらつきが生じやすくなり、焼成処理による焼結体の歪みの原因になる。本実施形態に係る方法は、このような成形体の場合に特に効果を発揮する。b同一形状の複数の板状成形体を多段に積層配置する工程図1に示すように、複数の板状成形体1を多段に積層配置する。このように積層することで、特に下部に位置する成形体に荷重がかかり、焼結による歪みを抑えることができる。なお、板状成形体1は、通常、焼成用治具セッター2の上に載置される。焼成用治具セッター2としては、耐熱性を有する板を用いることができる。具体的には、アルミナ、ジルコニア、ムライト、酸化マグネシウム、窒化珪素等といった、耐熱強度に優れたセラミックが主に使用される。シリコンの融点近傍の高温での焼成処理時に成形体と反応して焼結体の特性が低下することを防止するためである。積層配置する板状成形体1の枚数は、焼成炉中に入れることができるのであれば、特に限定されないが、5~80枚程度であるのが特に好ましい。枚数が少なすぎる場合には、製造効率が劣り、多すぎる場合には、下段の成形体にかかる重量が大きくなりすぎて、成形体が割れてしまう場合がある。このような焼成用治具2の上に敷粉3を敷き、この敷粉3の上に板状の成形体1を多段に積層配置することができる。後述するように、焼成処理はシリコンの焼結温度、即ちシリコンの融点近傍で行うので、焼成用治具2上に敷粉3を敷き詰めることで、焼結時に成形体1が焼成用治具2に溶着することを防止できる。また、焼成用治具2と成形体1との接触抵抗が減るので、成形体1の焼結による収縮がスムーズに起こり、焼結体の歪みを防止できる。焼成用治具2の上に敷かれる敷粉3は、耐熱性粉末であり、この耐熱性粉末としては、具体的にはシリコン、シリカ、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、アルミナなどが挙げられる。従来のように敷粉を介して成形体1を積層配置しても構わないが、本実施形態では、複数の成形体1の間に敷粉を介在させることなく成形体1を積層配置することができる。これにより敷粉を介する時よりもより多い枚数の成形体1を一度に多段積層し、焼結することができることから、更に製造効率が良くなる。そして、成形体1間に敷粉を介さずとも焼成温度の調整により焼成処理後の焼結体同士が互いに溶着接合を起こすことはほとんどない。なお、敷粉を介した場合は焼結体を1枚ずつ、より容易に取り外すことができる。成形体1の間に介在する敷粉としては、焼成用治具の上に敷かれる敷粉と同様のものを用いることが出来る。また、敷粉の代わりに離形剤を用いることが出来る。離形剤としては、具体的にはステアリン酸亜鉛、ステアリン酸カルシウム、ベントナイト、黒鉛粉、雲母粉、蛭石粉、蛭目粘土等が挙げられる。また、原料のシリコン粉末を成形体間の敷粉として用いても構わない。c積層配置した成形体の最上部に荷重をかける工程この工程は、具体的には、積層配置した成形体1の最上部に耐熱性板4もしくは耐熱性粉末を荷重として載せることにより行うことが出来る。耐熱性板4としては、具体的にはアルミナ、ジルコニア、ムライト、酸化マグネシウム、窒化珪素等といった、耐熱強度に優れるセラミックが主に使用されるが、これらに限定されるものではない。また、耐熱性粉末としては、具体的にはシリコン、シリカ、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、アルミナなどが挙げられる。荷重の値、即ち、耐熱性板4もしくは耐熱性粉末の重量は、1cm2あたり0.05g以上であることが望ましい。積層配置した板状成形体1の下部は、その上の板状成形体1が荷重となり、焼結による歪みは起こりにくい。しかし上部にいくに従って成形体1にかかる荷重は低減し、最上部ではゼロになる。積層成形体の最上部の歪みを解消するために、最上部に耐熱性板等を載せて荷重をかけるが、最上部の荷重が0.05g/cm2未満である場合は、荷重が小さ過ぎて、最上部の焼結体に歪みが生じてしまう。この最上部の焼結体の歪みから、その下の成形体1にかかる荷重にもばらつきが生じ、歪みが生じる。これが積み重ねた成形体1の下部にまで及ぶことから、平坦な焼結体が得られる割合は極端に小さくなる。なお、最上部の荷重の上限は特に限定されないが、無闇に大きな荷重をかけると、焼成前あるいは焼成処理中に変形したり割れが生じたりするような不都合を生じる場合がある。d積層配置した成形体1を焼成処理する工程最上部に耐熱性板4もしくは耐熱性粉末により荷重をかけられた積層成形体1は、焼成炉中に装入され、非酸化性雰囲気または還元性雰囲気下で焼成処理を行う。非酸化性雰囲気としては、窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン等の不活性ガス雰囲気が挙げられ、還元性雰囲気としては、水素雰囲気が挙げられる。雰囲気の圧力は、減圧でも常圧でもよい。焼成温度は、シリコンの焼結温度であり、本実施形態では1270°C以上シリコンの融点1410°C未満であることが望ましい。焼成温度が1270°C未満である場合には、シリコンの焼結が進行しにくくなり、また、シリコンの融点以上であると、板状成形体1が融解してしまう。以上の工程a~dを経ることにより、特に、積層配置した成形体1の最上部に荷重をかけた状態で焼成処理を行うことにより、焼結により発生する歪みが抑制され、歪みの少ない平坦な多結晶シリコン焼結体を、1回の焼成処理で複数枚、効率よく作製することができる。なお、焼成炉から取り出したシリコン焼結体が互いにくっついている場合があるが、これは薄いヘラ等を用いて簡単に引き離すことができる。また、必ずしも必要ではないが、b工程で、成形体同士の接触面に敷粉を挟んだり、又は離形剤を塗布した場合には、より簡単に取り外すことが可能である。以下に本発明の実施例を示し、本発明の実施形態に係る多結晶シリコン焼結体の製造方法による効果を具体的に説明する。実施例1~4平均粒径が0.5μmであるシリコン粉末に成形助剤としてポリビニルブチラールを、シリコン粉末に対して5wt添加し、混合および造粒することにより、混合粉を作製した。この混合粉を成形圧1.0トン/cm2でプレス成形して、50mmφ×0.5mmtの板状成形体を多数枚作製した。実施例1として、表面に平均粒径10μmのシリコン粉末を敷粉として敷き詰めたジルコニア製セッターを焼成用治具として用い、その上に20枚の板状成形体を載せ、多段積層体とした。また、実施例2および3として、板状成形体間にシリコン粉末からなる敷粉を介して20枚の板状成形体を積層し、多段積層体とした。更に、実施例4として、板状成形体間および焼成用治具と板状成形体との間に敷粉を敷かないで、20枚の板状成形体を積層し、多段積層体とした。以上の多段積層体について、板状成形体の最上部に荷重としてジルコニア製セッターを載せ、最上部にかかる荷重を0.5g/cm2とした。これらの多段積層体を真空管状炉内に装入し、1L/分の水素ガスフロー、焼成温度1360°Cで3時間焼成処理した。焼成処理後の多段積層体から板状焼結体を1枚ずつ取り外した。このようにして作製した板状焼結体を、下記の特性について1枚ずつ評価した。板状焼結体の歪み板状焼結体の中心部分の高さHcと端部分の高さHoをそれぞれインジケータにて測定し、その差から求められる長さHc-Hoの絶対値を焼結体の歪みの大きさとして求めた。板状焼結体同士の熱溶着接合の有無多段積層焼結体からの板状焼結体の取り外し簡便性として、焼結体同士の熱溶着接合の有無を評価した。即ち、多段積層配置して焼成処理した焼結体を1枚ずつ取り外す時、手で簡単に取り外せるものを○、ヘラ等の道具を要するものを△、焼結体同士が溶着し1枚ずつ取り外せないものあるいは取り外す時に割れるものを×と判定した。板状焼結体の歩留り多段積層焼結体から板状焼結体を1枚ずつ取り外した後に大きな割れが無く、きれいな焼結体である割合を焼結体歩留りとした。板状焼結体の密度浮力法JISA1225に準拠により測定し、これをシリコンの理論密度2.33g/cm3で割って相対密度を求めた。以上の評価結果を下記表1に示す。上記表1から、実施例1~4のいずれの板状焼結体も、歪みが平均値および最大値のいずれにおいても小さいことがわかる。これは、多段積層体の最上部に0.5g/cm2の荷重をかけた状態で焼成したためである。歪みの最大値は多段積層体の最上部で主に現れるが、歪みの最大値と平均値との差は少なくなっている。また、焼結密度についても、実施例1~4のいずれの板状焼結体も高く、均一であることがわかる。なお、実施例2および3の板状焼結体の歪みが、実施例1および4と比較してやや大きくなっているのは、板状成形体間にシリコン粉末からなる敷粉を介在させているため、荷重が均一にかかりにくいためと考えられる。実施例1では、成形体間に敷粉を介すことなく焼成処理を行っているが、敷粉を介した実施例2および3と同様に焼成処理後に焼結体を割れなく1枚ずつ取り外すことが可能であった。焼結体歩留りも敷粉の有無でほとんど差は見られなかった。また敷粉が無いのでより平坦度が高い焼結体を作製することができた。実施例4では、歪みおよび焼結密度については、上述したように、優れた結果を得ているが、積層配置した成形体と焼成用治具との間に敷粉が無いので、シリコンの融点近傍といった高温で焼成処理をすること、および成形体にかかる荷重により、成形体が焼成用治具に溶着接合してしまうという現象が生じた。特に、積層下部で焼結体が焼成用治具および焼結体同士から取り外す際に割れが発生し、これが焼結体歩留まり低下の原因となった。実施例5~7、比較例1実施例1と同様に、シリコン粉末とバインダとの混合粉から板状成形体を作製し、これを20枚積み重ね、敷粉を敷き詰めたジルコニア製セッター上に載せた。また、積層した板状成形体の最上部に実施例5および6ではシリコン粉末、実施例7ではジルコニア製セッターを載せ、成形体の最上部にかかる荷重を、下記表2に示す通り、変化させた。また比較例1として、成形体の最上部に荷重をかけない多段積層体も作製した。その後は実施例1と同様に焼成処理し、板状焼結体を作製した。これらの板状焼結体について、実施例1~4と同様にして各特性を評価した。その結果を、比較のため実施例1の結果と併せて、下記表2に示す。上記表2から、板状成形体の最上部に0.05g/cm2以上の荷重がかけられている場合実施例1および実施例5~7には、いずれも歪みが少なくかつ均一であり、また焼結密度も高くかつ均一であることがわかる。この場合、荷重が増加するに従い、歪みも減少していることがわかる。また、荷重の増加は、積層焼結体を1枚ずつ取り外すことを困難にしているが、成形体同士が溶着したり、取り外し時に割れが発生するまでには至らなかった。従って、積層配置した板状成形体の最上部に荷重をかけることで、成形体の焼成処理による歪みは小さくなり、1回の焼成処理で多数枚の、平坦な多結晶シリコン焼結体を作製することが可能であった。これに対し、板状成形体の最上部に荷重がかけられていない場合比較例1には大きな歪みが生じていることがわかる。この大きな歪みのために焼結体に割れが生じやすくなり、焼結体歩留りが大きく低下している。