"基板と天板との間に、前記板に形成された供給口を通して供給されたインクを供給し、前記基板に備えられた電気熱変換素子が発生する熱エネルギーを利用して、前記インクを前記天板に形成された吐出口から吐出するインクジェット記録ヘッドであって、前記供給口は、第1の方向にずれて位置する第1および第2供給口と、前記第1の方向における前記第1供給口と前記第2供給口との間に位置する第3供給口と、を含み、前記第1、第2および第3供給口は、それぞれ、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿う第1、第2および第3の供給口列を形成するように複数形成され、前記吐出口は、前記第1の方向における前記第1供給口と前記第3供給口との間に位置する第1吐出口と、前記第1の方向における前記第2供給口と前記第3供給口との間に位置する第2吐出口と、を含み、前記第1および第2吐出口は、それぞれ、前記第2の方向に沿う第1および第2の吐出口列を形成するように複数形成され、前記電気熱変換素子は、前記第1および第2の吐出口列に沿って複数備えられ、前記第3供給口は、前記第1の方向において前記第1吐出口寄りに位置する第1部分と、前記第1の方向において前記第2吐出口寄りに位置する第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間に位置する第3部分と、を含み、前記第1および第2部分は、前記第1の方向と交差する第2の方向における寸法が前記第3部分よりも大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。前記第2の方向において前記第1供給口を挟む対の位置の一方であって、前記第3供給口と反対側における前記基板の位置に、前記第1の吐出口列に沿って位置する電気熱変換素子を駆動するための第1駆動回路が形成され、前記第2の方向において前記第2供給口を挟む対の位置の一方であって、前記第3供給口と反対側における前記基板の位置に、前記第2の吐出口列に沿って位置する電気熱変換素子を駆動するための第2駆動回路が形成されることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。前記基板に、前記第1の方向に隣接する前記第1供給口の相互間に位置する部分を通って、前記第1の吐出口列に沿って位置する電気熱変換素子と、前記第1駆動回路と、を接続するための第1配線を形成し、前記基板に、前記第1の方向に隣接する前記第2供給口の相互間に位置する部分を通って、前記第2の吐出口列に沿って位置する電気熱変換素子と、前記第2駆動回路と、を接続するための第2配線を形成することを特徴とする請求項2に記載のインクジェット記録ヘッド。前記基板は多層基板であり、前記第1および第2配線は、それぞれ、前記基板における異なる層に形成される上下の配線部を含み、前記第1の方向に隣接する前記第3供給口の前記第3部分の相互間に位置する前記基板の部分に、前記第1配線における前記上下の配線部を接続する第1スルーホールと、前記第2配線における前記上下の配線部を接続する第2スルーホールと、を形成することを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記録ヘッド。前記第3供給口は、前記第1の方向にずれて位置する2つの供給口に分けて形成され、前記2つの供給口の一方は、前記第1部分と前記第3部分とを含み、前記2つの供給口の他方は、前記第2部分と前記第3部分とを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。前記基板は多層基板であり、前記第1および第2配線は、それぞれ、前記基板における異なる層に形成される上下の配線部を含み、前記2つの供給口の間に位置する前記基板の部分に、前記第1配線における前記上下の配線部を接続する第1スルーホールと、前記第2配線における前記上下の配線部を接続する第2スルーホールと、を形成することを特徴とする請求項5に記載のインクジェット記録ヘッド。請求項1から6のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載可能なキャリッジと、前記キャリッジを前記第1の方向に移動させる移動手段と、前記第2の方向に記録媒体を搬送する搬送手段と、前記前記第1、第2および第3供給口にインクを供給する供給手段と、前記電気熱変換素子を駆動する駆動手段と、を備えることを特徴とするインクジェット記録装置。シリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置において、記録ヘッド71を用いて画像を記録する場合には、吐出口列LA-1,LA-2と交差する主走査方向に記録ヘッド71を移動させつつ、記録データに基づいて吐出口78からインクを吐出する。その場合、高画質の画像を記録するためには、吐出口列LA-1,LA-2の間の距離を、主走査方向における画像の記録解像度の整数倍に設定する必要がある。そのため、供給口列LC上の供給口72Bは主走査方向における大きさが制約され、供給口72Bの供給口列LCの延材方向に垂直な方向の寸法を、インクの供給性能に必要な寸法以上に大きくせざるを得ない場合がある。そのため、基板72の全体が大きくなり、記録ヘッド71の大型化および高価格化を招くおそれがある。一方、複数の供給口7474A,74B,74Cをドライエッチングによって同一の基板72に形成する工程において、それらの供給口74の開口面積が異なる場合には、それらのエッチングレートに差が生じ、それらの形成が完了までの時間が異なる。その結果、開口面積が大きい供給口は、エッチングが過多となり、その開口寸法がより大きくなったり、開口形状がノッチ状になるおそれがある。そのため、同一基板72に、複数の供給口74を高精度にドライエッチングにより形成する場合には、それらの供給口74の開口面積を同程度に設計する必要がある。しかし、供給口72Bのインクの供給性能を維持するために、その供給口72Bを吐出口列LCの延在方向と垂直な方向に大きくして、その開口面積を充分に大きく設定した場合には、それに合わせて、他の供給口72A,72Cの開口面積も大きくする必要がある。しかし、この場合には、基板72の全体が大きくなり、記録ヘッド71の大型化および高価格化を招くおそれがある。本発明の目的は、基板の小型化を図りつつ、供給口を通してのインクの供給性能を確保することができるインクジェット記録ヘッド、および、それを用いるインクジェット記録装置を提供することにある。本発明のインクジェット記録ヘッドは、基板と天板との間に、前記板に形成された供給口を通して供給されたインクを供給し、前記基板に備えられた電気熱変換素子が発生する熱エネルギーを利用して、前記インクを前記天板に形成された吐出口から吐出するインクジェット記録ヘッドであって、前記供給口は、第1の方向にずれて位置する第1および第2供給口と、前記第1の方向における前記第1供給口と前記第2供給口との間に位置する第3供給口と、を含み、前記第1、第2および第3供給口は、それぞれ、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿う第1、第2および第3の供給口列を形成するように複数形成され、前記吐出口は、前記第1の方向における前記第1供給口と前記第3供給口との間に位置する第1吐出口と、前記第1の方向における前記第2供給口と前記第3供給口との間に位置する第2吐出口と、を含み、前記第1および第2吐出口は、それぞれ、前記第2の方向に沿う第1および第2の吐出口列を形成するように複数形成され、前記電気熱変換素子は、前記第1および第2の吐出口列に沿って複数備えられ、前記第3供給口は、前記第1の方向において前記第1吐出口寄りに位置する第1部分と、前記第1の方向において前記第2吐出口寄りに位置する第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間に位置する第3部分と、を含み、前記第1および第2部分は、前記第1の方向と交差する第2の方向における寸法が前記第3部分よりも大きいことを特徴とする。本発明のインクジェット記録装置は、上記のインクジェット記録ヘッドを搭載可能なキャリッジと、前記キャリッジを前記第1の方向に移動させる移動手段と、前記第2の方向に記録媒体を搬送する搬送手段と、前記前記第1、第2および第3供給口にインクを供給する供給手段と、前記電気熱変換素子を駆動する駆動手段と、を備えることを特徴とする。本発明によれば、2つの吐出口の間に位置するインクの供給口の形状を特定することにより、供給口が形成される基板の小型化を図りつつ、供給口を通してのインクの供給性能を確保することができる。したがって、インクを安定的に供給して、吐出口からインクを適確に吐出することができ、この結果、高品位な画像を記録することができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。第1の実施形態図1aは、本発明の第1の実施形態におけるインクジェット記録ヘッド要部の平面図、図1bは、図1aのIB-IB線に沿う断面図である。基板2には、インクジェット記録ヘッド1内にインクを導入するためインク供給口44A,4B,4Cが複数形成されている。インク供給口4A第1供給口は、供給口列Lb-1第1の供給口列に沿って配列され、インク供給口4C第2供給口は、供給口列Lb-2第2の供給口列に沿って配列されている。また、インク供給口4B第3供給口は、供給口列Lc第3の供給口列に沿って配列されている。これらの供給口列Lb-1,Lc,Lb-2は、図1aの左右方向第1の方向にずれて位置し、かつ、その第1の方向と交差本例の場合は、直交する第2の方向に延在する。また、インク供給口4A,4B,4Cのそれぞれは、基板2と天板3との間に形成された共通液室5A,5B,5Cに連通されている。共通液室5A,5Bの間、および共通液室5B,5Cの間のそれぞれには、流路壁6によって複数のインク流路7が形成されている。天板3には、インク流路7のそれぞれに対応する吐出口8が形成されている。共通液室5A,5Bの間のインク流路7に対応する吐出口第1吐出口8は、吐出口列第1の吐出口列La-1に沿って配列されている。また、共通液室5B,5Cの間のインク流路7に対応する吐出口第2吐出口8は、吐出口列第2の吐出口列La-2に沿って配列されている。吐出口8は、それぞれの吐出口列La-1,La-2において同一のピッチPで配列され、かつ、吐出口列La-1の吐出口8と吐出口列La-2の吐出口8は半ピッチP/2ずらされている。基板2には、吐出口8のそれぞれに対応する電気熱変換素子ヒータ9が複数備えられている。また、基板2には、それらのヒータ9通電を制御するための駆動回路11,12が形成されている。駆動回路11,12とヒータ9とを接続する配線は、インク供給口4Aの相互間に位置する基板2の梁部2A、インク供給口4Bの相互間に位置する基板2の梁部2B、およびインク供給口4Cの相互間に位置する基板2の梁部2Cを通して形成することができる。このように、本実施形態の記録ヘッド1には、2つの吐出口列La-1,La-2と、3つの供給口列Lb-1,Lc,Lb-2が形成されている。なお、10は円柱状のフィルターであり、共通液室5A,5B,5Cとインク流路7との間に位置するように、基板2と天板3との間に形成されている。インク供給口44A,4B,4C内に供給されるインクは、共通液室55A,5B,5Cから、フィルター10の間を通ってそれぞれのインク流路7内に導入され、それぞれの吐出口8においてインクのメニスカスを形成する。ヒータ9は、駆動回路11,12からの駆動パルスにより発熱し、その発熱によって、対応するインク流路7内のインクを発泡させることにより、対応する吐出口8からインクを吐出させる。吐出口8から吐出されたインクを記録媒体上に付与してインクドットを形成することにより、その記録媒体上に画像を記録することができる。このようなインクの吐出後、気泡の消泡に伴って、共通液室55A,5B,5Cから、それぞれのインク流路7内にインクが供給される。吐出口8とヒータ9との間に位置するインク流路7の部分は、インクの発泡を利用してインクを吐出させる圧力室として機能する。本実施形態においては、以下のようにインク供給口4Bの形状が特定されている。以下、吐出口列La-1,La-2によって挟まれる供給口列Lc上のインク供給口4Bを内列供給口ともいい、また出口列La-1,La-2によって挟まれない供給口列Lb-1,Lb-2上のインク供給口4A,4Cを外列供給口ともいう。吐出口8の中心と、その吐出口8に隣接するインク供給口44A,4B,4Cと、の間の距離は、一定の距離dxに設定されている。hy0は、供給口列Lb-1,Lb-2の延在方向における外列供給口4A,4Cの寸法、hx0は、供給口列Lb-1,Lb-2と直交する方向における外列供給口4A,4Cの寸法である。hysは、供給口列Lb-1,Lc,Lb-2の延在方向における梁部2A,2B,2Cの寸法幅である。内列供給口4Bにおいて、吐出口列La-1寄りの部分第1部分と吐出口列La-2寄りの部分第2部分は、供給口列Lcの延在方向の寸法がhcであり、それら部分の間に位置する部分第3部分は、供給口列Lcの延在方向の寸法hfである。寸法hcは、寸法hfよりも大きいつまり、吐出口列La-1寄り第1吐出口寄りに位置する第1部分と、吐出口列La-2寄り第2吐出口寄りに位置する第2部分の寸法hcが大きく設定されている。wcは、内列供給口4Bの寸法hcの部分が供給口列Lcと直交する方向において存在する領域の寸法であり、wfは、内列供給口4Bの寸法hfの部分が供給口列Lcと直交する方向において存在する領域の寸法である。decは、吐出口列La-1上の吐出口8の中心と、吐出口列La-2列上の吐出口8の中心と、の間の吐出口列間距離である。このような記録ヘッド1は、後述するように、シリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置において用いることができる。本例の場合、記録ヘッド1による主走査方向の記録解像度は1200dpiであり、吐出口列間距離decは、1200dpiに対応する21μmの整数倍の168μmとなっている。また、距離dxは50μmであり、インク供給口44A,4B,4Cの配列ピッチPaは記録解像度300dpiに対応する85μmである。外列供給口4A,4bに関する寸法hy0,hx0は50μmhy0=hx0=50μmであり、それらの開口面積は、2500μm2=50×50μmである。インク供給口44A,4B,4Cの配列ピッチPaが300dpiに対応する85μmであるため、梁部2A,2B,2Cの寸法hysは35μm=85-50μmとなる。ドライエッチングによって、基板2に、内列供給口4Bと外列供給口4A,4Cを一括して高精度に形成するためには、内列供給口4Bの開口面積は、外列供給口4A,4Cの開口面積とほぼ等しくするように約2500μm2に設定する必要がある。内列供給口4Bの寸法hx1wcwfwcはdec-2dxであるため、hx1は68μm=168-100μmとなる。仮に、内列供給口4Bの開口形状を長方形として、つまりhc=hfとして、その開口面積を約2500μm2に設定しようとした場合には、内列供給口4Bの図1a中上下方向の寸法は、38μm≒2500/68μmとなる。その場合には、内列供給口4Bの相互間の梁部2Bの図1a中上下方向の寸法hys ́は、47μm=85-38μmとなり、梁部2A,2Cの寸法hysの35μmよりも大きくなる。そのため、梁部2Bが占める面積が増加し、その分、内列供給口4Bからインク流路7までの間のインクの流抵抗が増加し、特に、吐出口から連続的にインクを吐出した場合にインクの供給不足が生じるおそれがある。そこで本例においては、内列供給口4Bに関する寸法をhc=50μm、hf=20μm、wc=19μm、wf=30μmとした。これにより、内列供給口4Bの開口面積を2500μm2=50×19×220×30μm2に維持しつつ、内列供給口4Bにおける吐出口列側の寸法hcを外列供給口4A,4Cの寸法hy0と同じ50μmに設定することができる。この結果、内列供給口4Bの梁部2Bの近傍におけるインクの流抵抗は、外列供給口4A,4Cの梁部2A,2Cの近傍におけるインクの流抵抗と同程度に維持することが可能となる。この結果、それぞれの吐出口に対するインクの供給量を適切に維持し、インクをスムーズに供給して、高品位な画像を安定的に記録することができる。記録装置の構成例図2は、本例の記録ヘッド1を適用可能なシリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置の構成例を説明するための斜視図である。50は、記録ヘッド1を搭載可能なキャリッジであり、ガイド軸51によって、矢印Aの主走査方向に往復移動可能にガイドされている。記録ヘッド1は、吐出口列La-1,La-2の延在方向が主走査方向と交差本例の場合は、直交するように、キャリッジ50に着脱可能に搭載される。本例の場合、4つの記録ヘッド11Y,1M,1C,1Bが搭載されており、それぞれには、対応するインクタンク5252Y,52M,52C,52BからイエローY,マゼンタM,シアンCおよびブラックBのインクが供給される。4つの記録ヘッド1は一体的に構成してもよく、あるいは、対応するインクタンク52と共に個別のインクジェットカートリッジを構成するものであってもよい。記録ヘッド11Y,1M,1C,1Bのそれぞれは、前述したように、複数のヒータ9を選択的に駆動することにより、対応する吐出口からインクY,M,C,Kを吐出して記録媒体上にインクのドットを形成する。キャリッジ50には、プーリ53,54の間に掛け渡されたベルト55が連結されており、キャリッジモータ56によって駆動されるプーリ53の回転方向に応じて、ベルト55を介して、キャリッジ50が主走査方向に往復移動される。記録媒体としての用紙Pは、主走査方向と交差本例の場合は、直交する矢印Bの副走査方向に間欠的に搬送される。すなわち、用紙Pは、上流側の一対のローラ57,58の間、および下流側の一対のローラ59,60の間に挟持されつつ、記録ヘッド1と対向する位置を通して副走査方向に搬送される。キャリッジ50は、必要に応じて、回復処理機構61が備わるホームポジションに移動する。回復処理機構61は、記録ヘッド1におけるインクの吐出状態を良好に維持するためのキャップ61A、ブレード61B、吸引ポンプ61Cなどが備えられている。画像を記録する際には、キャリッジ50と共に記録ヘッド1を主走査方向に移動させつつ、記録ヘッド1からインクを吐出する記録動作と、用紙Pを副走査方向に所定量だけ搬送する搬送動作と、を繰り返す。記録ヘッド1における吐出口列La-1,La-2上の吐出口8の配列ピッチは、副走査方向における画像の記録解像度に応じて設定される。また、吐出口列La-1,La-2の間の距離decは、主走査方向における画像の記録解像度の整数倍に設定される。高画質な画像を記録する上においては、記録装置が扱う画像データの主走査方向における記録解像度の整数倍となるように、吐出口列La-1,La-2の間の距離decを設定することが必要となる。このように本実施形態においては、複数の供給口列Lb-1,Lc,Lb-2に挟まれるように複数の吐出口列La-1,La-2を備える記録ヘッドにおいて、吐出口列間の距離decを主走査方向における記録解像度の整数倍に設定する。しかも、その場合に、内列供給口4Bの寸法hcを寸法hfよりも大きくすることにより、その内列供給口4Bの幅hx1を小さくしつつ、インクの流抵抗を小さく抑えることができる。これらの結果、基板2のサイズを小さくして、高品位な画像を安定的に記録可能な記録ヘッドを構成することができる。第2の実施形態図3および図4は、本発明の第2の実施形態を説明するための図である。本実施形態の場合は、基板2を多層基板とし、駆動回路11,12とヒータ9との間の配線を基板2において多層化して、内列供給口4B間の梁部2Bにおける広い領域に、スルーホールTHを設ける。駆動回路11は、図4aの左右方向第2の方向において供給口4Aを挟む対の位置の一方であって、かつ供給口4Bと反対側における位置に形成されている。駆動回路12は、図4aの左右方向において供給口4Cを挟む対の位置の一方であって、かつ供給口4Bと反対側における位置に形成されている。吐出口列La-1側のヒータ9の一端には第1配線21が接続され、そのヒータ9の他端には第2配線22が接続されており、これらの配線21,22は、図4bのように、多層構造の基板2における同一の層内に形成されている。第1配線21は、吐出口列La-1側のヒータ9の一端から図4a中の左方に延在するように形成され、外列供給口4Aの相互間の梁部2Aを通って、ヒータ9の一端と駆動回路11第1駆動回路の電源端子11Aとの間を接続する。第2配線22は、吐出口列La-1側のヒータ9の他端から図4a中の右方に延在するように形成され、その端部22Aは、内列供給口4Bの相互間の梁部2Bにおける寸法wfの部分、つまり図4a中上下方向の幅が広い梁部2Bの部分に位置する。その寸法wfの部分は、図4b中上側の内列供給口4Bにおける中央部分小さい寸法hfの部分と、同図中下側の内列供給口4Bにおける中央部分小さい寸法hfの部分と、の間に位置する基板2の部分である。多層構造の基板2において、配線21,22と異なる層には第3配線23が形成されている。第3配線23は、その一端23Aが駆動回路11の制御端子11Bに接続され、その他端23Bは、第2配線22の端部22Aと対向し、かつスルーホール第1スルーホールTHによって第2配線22の端部22Aと接続されている。本例においては、第1および第2配線21,22が図4b中の上側に形成され、第3配線23が同図中の下側に形成されている。しかし、それら上下の配線部は上下逆に形成してもよい。図4aにおいては、説明の便宜上、第1および第2配線21,22と、第3配線23と、をずらして表しているが、配線領域を狭くするために、それらを図4aにおいて重ねるようにレイアウトしてもよい。駆動回路11において、電源端子11Aにヒータ9の駆動電源の一方に接続され、制御端子11Bは駆動トランジスタを介して駆動電源の他方に接続されており、その駆動トランジスタがオンすることにより、ヒータ9の駆動電圧VHが印加される。ヒータ9は、その駆動電圧VHが印加されることにより発熱し、その熱エネルギーにより、前述したように吐出口8からインクを吐出される。本例においては、基板2における1つの梁部2Aと1つの梁部2Bに対して、隣接する2つのヒータ9のそれぞれに対する計2組の第1,第2,および第3配線21,22,23が形成されている。それらのヒータ9は、個別の電源端子11Aと制御端子11Bに接続されている。それらのヒータ9の第1配線21は、それらの一部を共通化したり、それらを共通の電源端子11Aに接続してもよい。このような駆動回路11に対する吐出口列La-1側のヒータ9の接続と同様に、吐出口列La-2側のヒータ9は、配線21,22,23およびスルーホール第2スルーホールTHを介して駆動回路12第2駆動回路に接続される。図3においては、吐出口列La-1側の2つのヒータ9に対する配線のみを示す。本実施形態において、配線に対して比較的大きいスルーホールTHは、内列供給口4Bの相互間の梁部2Bにおける寸法Wfの部分、つまり図4a中上下方向の幅が広い梁部2Bの部分に位置する。したがって、その広い部分をスルーホールTHの形成スペースとして確保することができる。内列供給口4Bに関しては、スルーホールTHを形成する梁部2Bの位置に対応する領域wfのみを小さい寸法hfとし、その他の領域wcは大きい寸法hcとすることができる。このことにより、スルーホールTHの形成スペースを確保しつつ、インクの流抵抗を小さく抑えることができる。これらの結果、多層構造の基板2にスルーホールTHをスペース的に効率よく形成して、基板2のサイズの大型化を招くことなく、高品位な画像を安定的に記録可能な記録ヘッドを構成することができる。仮に、内列供給口4Bにおける図4a中上下方向の寸法を部分的に小さくしなかった場合には、スルーホールTHの形成スペースを確保するために、梁部2Bの幅hysが多くする必要がある。そのため、内列供給口4Bから圧力室までの間の流抵抗は、外列供給口4A,4Cから圧力室までの流抵抗よりも大きくなり、特に、梁部2Bの近傍から圧力室へ流入するインクの流抵抗が大きくなってしまう。この結果、インクの供給不良が発生し、記録画像に乱れが生じるおそれがある。また、本実施例で説明した上述の構成は吐出口列が2列と供給口列が3列の構成であるが、更に吐出口列数と供給口列が多い構成の場合でも本実施例の構成が適用可能である。例えば吐出口列数が4列、供給口列が5列の構成では中央の供給口列の梁部に中央の供給口列の左右の吐出口列2列分の合計8個のヒータの配線のスルーホールを配置することにより同様の効果を得ることが可能となる。第3の実施形態図5は、本発明の第3の実施形態を説明するための図である。本実施形態においては、内列供給口4Bは、外列供給口4A寄り第1供給口寄りに位置する供給口4B-1と、外列供給口4C寄り第2供給口寄りに位置する供給口4B-2と、を形成する。これらの供給口4B-1,4B-2は開口形状がL字状であり、互いに点対称に形成されており、それらの間に位置する梁部2Dに複数のスルーホールTHが形成されている。これらのスルーホールTHは、前述した第2の実施形態と同様に、多層構造の基板2にヒータ9の駆動回路を形成するために用いられる。供給口4B-1,4B-2のそれぞれの面積は、外列供給口4A,4Cの開口面積とほぼ同一である。本実施形態においては、スルーホールTHの形成スペースを確保しつつ、供給口4B-1,4B-2の寸法hcの部分を大きくして、インクの供給性をさらに向上させることができる。"