物体からの光束を集光して該物体の中間像を形成する反射屈折部と、該中間像が形成される位置に配置されたフィールドレンズ部と、該中間像を像面に結像させる屈折部を有する反射屈折光学系であって、該反射屈折部は、該物体側から順に、該物体側の面が凸形状で光軸周辺に設けられた正の屈折力の光透過部と該光透過部より外周側に設けられた該物体側の面が反射面である裏面反射部とを有する第1の光学素子と、該物体側に凹面を向けたメニスカス形状で光軸周辺に設けられた負の屈折力の光透過部と該光透過部より外周側に設けられた該像面側の面が反射面である裏面反射部とを有する第2の光学素子とを有し、該第1の光学素子の裏面反射部の反射面と該第2の光学素子の裏面反射部の反射面とが向き合うように配置されており、該物体からの光束は、順に該第1の光学素子の光透過部、該第2の光学素子の裏面反射部、該第1の光学素子の裏面反射部、該第2の光学素子の光透過部を介して、該フィールドレンズ部側へ出射しており、該第2の光学素子の該物体側と該像面側の面の曲率半径を各々RM2a、RM2b、該第2の光学素子の光軸上の厚さをt、該第2の光学素子の材料の波長587.6nmでの屈折率をNdとし、とおいたとき、Rapl×0.8<|RM2a|<Rapl×1.2なる条件を満足することを特徴とする反射屈折光学系。前記第2の光学素子の硝材のアッベ数をνM2とするとき、νM2>40なる条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の反射屈折光学系。前記第2の光学素子の裏面反射部の反射面は非球面形状を有することを特徴とする請求項1または2に記載の反射屈折光学系。前記物体側と前記像面側はテレセントリックに構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の反射屈折光学系。前記反射屈折部に開口絞りを配置したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の反射屈折光学系。光源手段と、前記光源手段からの光束で物体を照明する照明光学系と、該物体を結像する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の反射屈折光学系と、該反射屈折光学系によって結像された物体像を光電変換する撮像素子と、該撮像素子からの信号を用いて画像情報を生成する画像処理系と、を有することを特徴とする撮像装置。しかしながら、特許文献1の光学系は、可視光全域に渡って諸収差を良好に低減しているが、撮像領域の大きさが必ずしも十分でない。また、特許文献2の光学系は可視光全域に渡って諸収差を良好に低減し、高い解像力を有しているものの撮像領域の大きさが必ずしも十分でない。また、特許文献3の光学系は広い領域に渡って高い解像力を有するものの、諸収差を良好に補正している波長領域が可視光全域に渡っておらず、十分でない。そこで、本発明は、可視光全域に渡って諸収差を良好に補正した広い撮像領域に渡って高い解像力を有する反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置の提供を目的とする。本発明の反射屈折光学系は、物体からの光束を集光して該物体の中間像を形成する反射屈折部と、該中間像が形成される位置に配置されたフィールドレンズ部と、該中間像を像面に結像させる屈折部を有し、該反射屈折部は、該物体側から順に、該物体側の面が凸形状で光軸周辺に設けられた正の屈折力の光透過部と該光透過部より外周側に設けられた該物体側の面が反射面である裏面反射部とを有する第1の光学素子と、該物体側に凹面を向けたメニスカス形状で光軸周辺に設けられた負の屈折力の光透過部と該光透過部より外周側に設けられた該像面側の面が反射面である裏面反射部とを有する第2の光学素子とを有し、該第1の光学素子の裏面反射部の反射面と該第2の光学素子の裏面反射部の反射面とが向き合うように配置されており、該物体からの光束は、順に該第1の光学素子の光透過部、該第2の光学素子の裏面反射部、該第1の光学素子の裏面反射部、該第2の光学素子の光透過部を介して、該フィールドレンズ部側へ出射しており、該第2の光学素子の該物体側と該像面側の面の曲率半径を各々RM2a、RM2b、該第2の光学素子の光軸上の厚さをt、該第2の光学素子の材料の波長587.6nmでの屈折率をNdとし、とおいたとき、Rapl×0.8<|RM2a|<Rapl×1.2なる条件を満足することを特徴とする。本発明によれば、可視光全域に渡って諸収差を良好に補正し、広い撮像領域に渡って高い解像力を有する持つ反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置が得られる。図1に示す通り、本発明の反射屈折光学系104は、物体103からの光束を集光して物体の中間像IMを形成する反射屈折部CATと、中間像IMが形成される位置に配置されたフィールドレンズ部FLとを有する。更に中間像IMを像面撮像素子105に結像させる屈折部DIOを有する。また、本発明の撮像装置1000は光源手段101と、光源手段101からの光束で物体103を照明する照明光学系102と、物体103を結像する反射屈折光学系104を有する。更に反射屈折光学系104によって結像された物体像を光電変換する撮像素子105と、撮像素子105からのデータより画像情報を生成する画像処理系106とを有する。図1は本発明の撮像装置の要部概略図である。図2は本発明の反射屈折光学系の実施例1の要部概略図である。図3は本発明の反射屈折光学系の実施例1の横収差図である。図4は本発明の反射屈折光学系の実施例2の要部概略図である。図5は本発明の反射屈折光学系の実施例2の横収差図である。図6は本発明の反射屈折光学系の実施例3の要部概略図である。図7は本発明の反射屈折光学系の実施例3の横収差図である。図8は本発明の反射屈折光学系の実施例4の要部概略図である。図9は本発明の反射屈折光学系の実施例4の横収差図である。横収差図は、試料103上で収差を計算した結果を、ミリメートル単位で、中心波長587.6nm、波長656.3nm、波長486.1nm、波長435.8nmに関して示した。以下、図1を参照して、本発明の反射屈折光学系104を有する撮像装置1000の構成について説明する。撮像装置1000は、光源光源手段101からの光を照明光学系102によって集光して試料物体103を均一に照明する。このとき使用する光は可視光例えば、波長400nm~波長700nmが用いられる。結像光学系104は、試料物体103の像を撮像素子105上に結像する反射屈折光学系より成っている。撮像素子105で取得した信号画像情報から画像処理系106によって画像データを生成し、生成した画像データをディスプレイ表示手段107などに表示する。画像処理系106では結像光学系104で補正しきれなかった収差を補正する、または撮像位置の異なった画像データを繋げて一枚の画像データに合成するなど用途に応じた処理が行われる。図2、4、6、8に示すように、各実施例の反射屈折光学系104は、試料物体103の光束を集光し、所定面に中間像IMを形成する反射面と屈折面を含む反射屈折部CATを有する。更に、中間像IMからの光束を集光し、後述する屈折部DIO方向へ導光するフィールドレンズ部FLを有し、中間像IMを撮像素子像面105に結像する屈折部DIOを有する。反射屈折光学系104を構成する反射屈折部CATは、物体側から順に、第1の光学素子M1と第2の光学素子M2を少なくとも有する。第1の光学素子M1は、試料103側物体側の面M1aが凸形状で光軸周辺が正の屈折力の光透過部M1Tと、その外周側に試料103側の面M1aに反射面例えばアルミや銀等の反射膜が施された裏面反射部を有する。第2の光学素子M2は、試料103側に凹面を向け、メニスカス形状で光軸周辺が負の屈折力の光透過部M2Tと、その外周側に撮像素子105側像面側の面M2bに反射面例えばアルミや銀等の反射膜が施された裏面反射部を有する。第1の光学素子M1の裏面反射部の反射面と第2の光学素子M2の裏面反射部の反射面が向き合うように配置されている。屈折部DIOは、試料103からの光束のうち面M1aや面M2bで反射されずに直接光透過部を通過してきた光軸近傍の光束を遮光し、撮像素子105に入射するのを防止する遮光板SHを有する。このとき遮光する領域を大きくすると結像性を悪化させてしまうため、なるべく遮光する割合以後この割合を遮光率とするを低くすることが重要である。各実施例の反射屈折光学系104では、照明光学系102からの光束で照明され、試料103から出射した光束は第1の光学素子M1の光透過部M1Tを通過する。その後、第2の光学素子M2の屈折面M2aに入射し、その後裏面M2bで反射し、反射面M2aを通過して第1の光学素子M1の屈折面M1bに入射する。その後、第1の光学素子M1の裏面M1aで反射する。そして屈折面M1bを通過し、第2の光学素子M2の光透過部M2Tを通過して通過してフィールドレンズ部FL側へ出射し、試料103の中間像IMを形成する。中間像IMは、フィールドレンズ部FLを構成するレンズ内部に形成される。中間像IMは、複数の屈折光学素子を含む屈折部DIOによって撮像素子105上に拡大結像される。撮像素子105に結像された試料103の像は画像処理系106によって処理されて、表示手段107に表示される。各実施例において、第2の光学素子M2の物体側と像側の面M2a、M2bの曲率半径を各々RM2a、RM2bとする。第2の光学素子M2の光軸上の厚さをtとする。第2の光学素子M2の材料の波長587.6nmでの屈折率をNdとする。そしてとおいたとき、Rapl×0.8<|RM2a|<Rapl×1.21なる条件を満足するのが良い。また第2の光学素子M2の硝材のアッベ数をνM2とする。このときνM2>402なる条件を満足している。条件式1は、第2の光学素子M2の物体側の面M2aに強い負の屈折力を持たせても収差の発生を抑制し、広い波長領域に渡って収差を低減するためのものである。第2の光学素子M2の屈折面M2aの強い負の屈折力により強い発散作用を持たせることは、以下に示すような光学効果を得るためにも重要である。正レンズ作用の第1の光学素子M1の中心付近の光透過部を有効径と比較して相対的に小さくすることができ、遮光率を低く抑えることができる。反射屈折部CATと屈折部DIOの軸上色収差を相殺することができるため、屈折部DIOの凸レンズパワー正レンズの屈折力を強くすることができ、全長の短縮が容易になる。ここでa1式は、反射面M2bに対する結像関係の式であり、物点が屈折面M2aの曲率中心にあり、像点が反射面M2bから距離S’の位置にあることを表している。a2式は、反射面M2bから距離S’の位置にある虚像の物点に対し、屈折面M2aがアプラナティックな条件となるための曲率半径Raplを示している。条件式1は、屈折面M2aがアプラナティックな条件となるための曲率半径Raplからどの程度外れて良いかを示している。条件式1である程度幅があるのは、他の面で発生する収差とのバランスを取るためであり、第1の光学素子M1とバランスを取るためにも条件式1を満たすことが好ましい。条件式1を満たさないと第2の光学素子M2の屈折面M2aで大きな収差が発生し、広い波長領域に渡って収差を抑制することが困難となる。条件式2は、第2の光学素子M2の硝材を低分散にすることで、2次の軸上色収差を低減するためのものである。通常の屈折光学系では、物体を結像させるために正レンズのパワーを負レンズのパワーより強くしなければならない。そのため、正レンズに低分散の硝材、負レンズに高分散の硝材を用いることによって色収差の補正を行っている。このとき、低分散の硝材と高分散の硝材で波長に対する屈折率変化の割合が違うため、2次の色収差となって現れる。一方、本実施例に係る反射屈折光学系では、第2の光学素子M2の負の屈折面M2aのパワー屈折力を大きくしても、色収差の生じない反射面M2bのパワーを強くすることで結像させることができる。このため、第2の光学素子M2の硝材に低分散のアッベ数の大きな硝材を用いることで、2次の軸上色収差を低減することができる。条件式2を満たさないと2次の軸上色収差を低減することができず、広い波長領域に渡って収差を抑制することが困難となる。各実施例ではa1、a2、条件式1の3つの式を満たすことによって、以下に示すような屈折面M2aでの収差が抑えられた構成とすることができる。最初に屈折面M2aに入射する光線がほぼ0度で入射する。反射面M2bによって反射された光線が屈折面M2aから射出する際、屈折面M2aの曲率半径がアプラナティックな条件となっている。各実施例において最も有効径の大きな屈折面M2aで収差を低減することにより、広い波長領域に渡って収差を低減するのを容易にしている。更に好ましくは条件式1、2の数値を次の如く設定するのが良い。Rapl×0.9<|RM2a|<Rapl×1.11aνM2>502aまた、第2の光学素子M2の反射面は非球面形状を有し、光透過部M2T側から外周側にかけて曲率が緩やかになっていくことが好ましい。このように設定することで、色収差の発生を低減し、球面収差を良好に補正している。[実施例1]図2は、本発明の実施例1における反射屈折光学系104Aの要部断面図である。実施例1の反射屈折光学系において、物体側の開口数NAは0.7であって、結像倍率は10倍、試料103の物体高はφ14mmであり、反射屈折部CATに開口絞りASが配置されている。反射屈折部CATに開口絞りASを配置することによって、屈折部に配置する場合と比べて絞り径が大きくなってしまう半面、瞳の歪みを低減することができる。光学系104Aは、物体側、像面側ともテレセントリックに構成されており、遮光率が面積比で2割以下と抑えられている。また白色光での波面収差の最悪値が50mλrms以下に抑えられている。[実施例2]図4は、本発明の実施例2における反射屈折光学系104Bの要部断面図である。図4において図2と同じ部材には同符号を付している。実施例2の構成は実施例1と略同じである。実施例2の光学系において、物体側の開口数NAは0.7であって、結像倍率は4倍、試料103の物体高はφ20mmであり、実施例1と違い屈折部DIOに開口絞りASが配置されている。物体側、像面側ともテレセントリックに構成されており、遮光率が面積比で2割以下と抑えられている。また白色光での波面収差最悪値が50mλrms以下に抑えられている。[実施例3]図6は、本発明の実施例3における反射屈折光学系104Cの要部断面図である。図6において、図2と同じ部材には同符号を付している。実施例3の構成は実施例1と略同じである。実施例3の光学系において、物体側の開口数NAは0.7であって、結像倍率は6倍、試料103の物体高はφ17.5mmであり、実施例1と違い屈折部DIOに開口絞りASが配置されている。物体側、像面側ともテレセントリックに構成されており、遮光率が面積比で2割以下と抑えられている。また白色光での波面収差最悪値が100mλrms以下に抑えられている。[実施例4]図8は、本発明の実施例4における反射屈折光学系104Dの要部断面図である。図8において、図2と同じ部材には同符号を付している。実施例4は実施例1に比べて反射屈折部CATの構成が異なっている。実施例4は反射屈折部CATを構成する第1、第2の光学素子M1、M2との間に平行平板PLを設けている。試料103からの光束は、平行平板PLを2回通過してフィールドレンズ部FL側へ出射する。本実施例では、平行平板PLの中心に遮光板SHを配置することによって、光軸近傍の光束を屈折部DIOに到達する前に遮光している。このことによって、屈折部DIO内で発生する不要光を減らすことができる。また、平行平板PLを傾ける機構を備えることによって、組み立て時に発生するレンズの偏心によるコマ収差を調整することができる。実施例4の光学系において、物体側の開口数NAは0.7であって、倍率は4倍、資料103の物体高はφ20mmであり、実施例1と違い屈折部DIOに開口絞りASが配置されている。物体側、像面側ともテレセントリックに構成されており、遮光率が面積比で2割以下と抑えられている。また白色光での波面収差最悪値が50mλrms以下に抑えられている。以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、本発明はスキャンすることで大きな試料を撮像する撮像装置にも、スキャンせずに試料を撮像する撮像装置にも適用可能である。以下、各実施例の数値実施例を示す。面番号は、物体面試料面から像面まで数えた光学面の順番である。rは第i番目の光学面の曲率半径である。dは第i番目と第i1番目の間隔である符号は物体側から像面側へ測ったときを光が近行するときを正、逆方向を負としている。Nd、νdは波長587.6nmに対する材料の屈折率とアッベ数をそれぞれ示している。非球面の形状は、以下の式に示す一般的な非球面の式で表される。以下の式において、Zは光軸方向の座標、cは曲率曲率半径rの逆数、hは光軸からの高さ、kは円錐係数、a、b、c、d、e、f、g、h、iは各々、4次、6次、8次、10次、12次、14次、16次、18次、20次、の非球面係数である。E-Xは10-Xを意味する。前述した各条件式と数値実施例との関係を表-1に示す。数値実施例1Rapl=8752RM2a=8705νM2=4075面番号rdNdνd物体面531157296117415264142397193709338705737158407541159673715840755870560936絞り1000739719311741526414857296117415264149397193709310870573715840751111596440122806275517345751324255001762758146313050154430803162603216134041513176429141715658801857902093192652500170339420602433721203538156816335462270440892311793215316839582474170502556791202174309726177003062716539500176275828534240672938605001762758302298513993135705001762758321817911223314330226615253643456432357352190417881753424361103710937426961178116357693828270300像面数値実施例2Rapl=14719RM2a=11831νM2=7024面番号rdNdνd物体面1339173661240814970242966175976731183193814970244170299381497024511831976769661752408149702477366124081497024896617597679118319381497024101702910001145841589164583712119833291354795001653379149988211551626025155452073167977704162602917483743405185902115317640101910931050206570205214970352111881260022絞り18842349263331181254324792705025122532667164553826864605027579015511497035287867173929124445741574286305849156431147568961764782327581119033597281016038033427255912351786219271723472366840050371362891690151604938142771050像面数値実施例3Rapl=14221RM2a=16782νM2=5243面番号rdNdνd物体面13721770392233152589022378981118231678211371525243420781113715252435167821118262378982233152589077703922331525890823789811182916782113715252431020781532119386162717444851269678311361439191762758141446192716357851553510501647711472162603217140401160185713213117048311940246481673207208971168621絞り139922329657115160742327001897243794914341752815256723124262115519561585781277667052285911176416260342919746569930254085061762758316665171432701689117437463347204823441795001516355353276920123638886831762758371561646038158312261174427039610807640353151911169492741226391700像面数値実施例4Rapl=14596RM2a=12205νM2=5243面番号rdNdνd物体面133918190016401497024232014128353∞139714970244∞68555122059541525243617282954152524371220568558∞139714970249∞2835103201411640149702411819001640149702412320141283513∞1397149702414∞685515122059541525243161728210001712658622174448518950129321964865001683136205375487416260322156790502282227501497041236353423002464841427169498725618895011762758267094910482796828381753446286850281429絞り480030577361475174448531104660503211663197017444853322226050346569794176275835707813163648366500174283937539751453843905001623683394291461340138531704174445041588705042357861306174448543313151050像面