"カラーフィルタの製造方法であって、ガラス基板の上面をカラーレジスト膜で被覆するカラーレジスト膜形成ステップと、該カラーレジスト膜形成ステップを実施した後、該カラーレジスト膜上にフォトマスクを介して所定のパターンを露光した後、現像して該カラーレジスト膜を局所的に残存させるとともに、ガラス基板露出部を形成するフォトリソステップと、該フォトリソステップを実施した後、局所的に残存する該カラーレジスト膜を加熱して硬化させ画素を形成する硬化ステップと、該硬化ステップを実施した後、該カラーレジスト膜形成ステップと、該フォトリソステップと、該硬化ステップと、を異なる色のカラーレジスト膜について繰り返して該ガラス基板露出部に異なる色の画素を形成して、上面に複数色の画素が形成された複数色画素付きガラス基板を形成する複数色画素付きガラス基板形成ステップと、該複数色画素付きガラス基板をバイト切削装置のチャックテーブルの保持面で保持する保持ステップと、該チャックテーブルに保持された該複数色画素付きガラス基板の上面の該複数の画素にバイト工具を当接させるとともに該保持面と平行な面で該バイト工具を回転させつつ、該バイト工具と該チャックテーブルとを水平方向に相対移動させることで該複数色の画素を平坦化する平坦化ステップと、を具備したことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。カラーフィルタの製造方法であって、ガラス基板の上面をカラーレジスト膜で被覆するカラーレジスト膜形成ステップと、該カラーレジスト膜形成ステップを実施した後、該カラーレジスト膜上にフォトマスクを介して所定のパターンを露光した後、現像して該カラーレジスト膜を局所的に残存させるとともに、ガラス基板露出部を形成するフォトリソステップと、該フォトリソステップを実施した後、局所的に残存する該カラーレジスト膜を加熱して硬化させ画素を形成する硬化ステップと、該硬化ステップを実施した後、バイト切削装置のチャックテーブルの保持面で該画素の形成されたガラス基板を保持する保持ステップと、該チャックテーブルに保持されたガラス基板の上面の該画素にバイト工具を当接させるとともに該保持面と平行な面で該バイト工具を回転させつつ、該バイト工具と該チャックテーブルとを水平方向に相対移動させることで該画素を平坦化する平坦化ステップと、複数色のカラーレジスト膜について、該カラーレジスト膜形成ステップと、該フォトリソステップと、該硬化ステップと、該平坦化ステップとを繰り返してガラス基板上に複数色の画素を形成する繰り返しステップと、を具備したことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。カラーフィルタにおいては、透過する光の均一性が極めて重要であり、ガラス基板上にカラーレジスト膜をできるだけ平坦に形成することが望まれている。一般に、カラーレジスト膜の塗布にはスピンコートが広く用いられていたが、高精度に平坦なカラーレジスト膜を形成することが難しいという問題がある。従って、近年では、より大型のガラス基板に対応するとともにより平坦にカラーレジスト膜を塗布することのできるスリットコータ等の高精度なコータが用いられているが、製造コストがかかるという問題がある。また、カラーフィルタの形成では、二色目及び三色目のカラーレジストをガラス基板上に塗布する際、それより前に作製したカラーパターンの上にカラーレジストが塗布され、しかもその上から露光するため、二色目及び三色目のカラーフィルタの表面に凹凸が生じるという問題がある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、より平坦なカラーフィルタを製造可能なカラーフィルタの製造方法を提供することである。請求項1記載の発明によると、カラーフィルタの製造方法であって、ガラス基板の上面をカラーレジスト膜で被覆するカラーレジスト膜形成ステップと、該カラーレジスト膜形成ステップを実施した後、該カラーレジスト膜上にフォトマスクを介して所定のパターンを露光した後、現像して該カラーレジスト膜を局所的に残存させるとともに、ガラス基板露出部を形成するフォトリソステップと、該フォトリソステップを実施した後、局所的に残存する該カラーレジスト膜を加熱して硬化させ画素を形成する硬化ステップと、該硬化ステップを実施した後、該カラーレジスト膜形成ステップと、該フォトリソステップと、該硬化ステップと、を異なる色のカラーレジスト膜について繰り返して該ガラス基板露出部に異なる色の画素を形成して、上面に複数色の画素が形成された複数色画素付きガラス基板を形成する複数色画素付きガラス基板形成ステップと、該複数色画素付きガラス基板をバイト切削装置のチャックテーブルの保持面で保持する保持ステップと、該チャックテーブルに保持された該複数色画素付きガラス基板の上面の該複数の画素にバイト工具を当接させるとともに該保持面と平行な面で該バイト工具を回転させつつ、該バイト工具と該チャックテーブルとを水平方向に相対移動させることで該複数色の画素を平坦化する平坦化ステップと、を具備したことを特徴とするカラーフィルタの製造方法が提供される。請求項2記載の発明によると、カラーフィルタの製造方法であって、ガラス基板の上面をカラーレジスト膜で被覆するカラーレジスト膜形成ステップと、該カラーレジスト膜形成ステップを実施した後、該カラーレジスト膜上にフォトマスクを介して所定のパターンを露光した後、現像して該カラーレジスト膜を局所的に残存させるとともに、ガラス基板露出部を形成するフォトリソステップと、該フォトリソステップを実施した後、局所的に残存する該カラーレジスト膜を加熱して硬化させ画素を形成する硬化ステップと、該硬化ステップを実施した後、バイト切削装置のチャックテーブルの保持面で該画素の形成されたガラス基板を保持する保持ステップと、該チャックテーブルに保持されたガラス基板の上面の該画素にバイト工具を当接させるとともに該保持面と平行な面で該バイト工具を回転させつつ、該バイト工具と該チャックテーブルとを水平方向に相対移動させることで該画素を平坦化する平坦化ステップと、複数色のカラーレジスト膜について、該カラーレジスト膜形成ステップと、該フォトリソステップと、該硬化ステップと、該平坦化ステップとを繰り返してガラス基板上に複数色の画素を形成する繰り返しステップと、を具備したことを特徴とするカラーフィルタの製造方法が提供される。本発明のカラーフィルタの製造方法によると、ガラス基板上に形成された画素はバイト工具を円軌道で旋回切削することによって平坦化される。従って、カラーレジスト膜塗布時の平坦性によらず、高精度な平坦化が可能となる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。特に図示しないが、まず、バックライトの光漏れやRGBの混色防止のために、最初にガラス基板上にクロム等からなる厚さ0.1μm程度のブラックマトリックスを形成する。次いで、図1に示すように、スピンコータの保持テーブル4でガラス基板2を保持し、保持テーブル4を回転しながらノズル6から例えば赤顔料が分散されたカラーレジスト液7を滴下すると、遠心力により滴下されたカラーレジスト液7がレベリングされてほぼ一様な厚さのカラー赤レジスト膜8が形成される。次いで、カラーレジスト膜8上にフォトマスクを介して所定のパターンを紫外線で露光して、露光された部分をUV硬化し不溶化させる。更に、現像液によりカラーレジスト膜8の不要な部分を除去した後、カラーレジスト膜8を所定温度に加熱ベーキングして硬化させる。露光及びベーキング後の状態が図2に示されている。ガラス基板2上に所定間隔おいて複数の赤画素赤レジスト膜10aが形成されている。カラーレジスト膜形成ステップ、フォトリソステップ、及び硬化ステップベーキングステップを緑色カラーレジスト膜及び青色カラーレジスト膜について繰り返し、図3に示すように、ガラス基板2上に光の三原色である赤画素赤レジスト膜10a、緑画素緑レジスト膜10b及び青画素青レジスト膜10cを形成する。本発明のカラーフィルタの製造方法の第1実施形態では、このようにガラス基板2上に光の三原色であるRGBの画素10a,10b,10cを形成した後、これらの画素を図4に示すようなバイト切削装置12で切削して平坦化する。図4において、14はバイト切削装置12のベースであり、ベース14の後方にはコラム16が立設されている。コラム16には、上下方向に伸びる一対のガイドレール一本のみ図示18が固定されている。この一対のガイドレール18に沿ってバイト切削ユニット20が上下方向に移動可能に装着されている。バイト切削ユニット20は、そのハウジング30が一対のガイドレール18に沿って上下方向に移動する移動基台22に取り付けられている。バイト切削ユニット20は、ハウジング30と、ハウジング30中に回転可能に収容されたスピンドル32図6参照と、スピンドル32の先端に固定されたマウント34と、マウント34に着脱可能に装着されたバイトホイール35とを含んでいる。バイトホイール35にはバイト工具36が着脱可能に取り付けられている。バイト切削ユニット20は、バイト切削ユニット20を一対の案内レール18に沿って上下方向に移動するボールねじ24とパルスモータ26とから構成されるバイト切削ユニット送り機構28を備えている。パルスモータ26をパルス駆動すると、ボールねじ24が回転し、移動基台22が上下方向に移動される。ベース14の中間部分にはチャックテーブル40を有するチャックテーブル機構38が配設されており、チャックテーブル40は図示しないチャックテーブル移動機構によりY軸方向に移動される。43は蛇腹であり、チャックテーブル機構38をカバーする。スピンドル32はチャックテーブル40の保持面4aに対して垂直な軸心を有している。ベース14の前側部分には、第1のウエーハカセット42と、第2のウエーハカセット44と、ウエーハ搬送用ロボット46と、複数の位置決めピン50を有する位置決め機構48と、ウエーハ搬入機構ローディングアーム52と、ウエーハ搬出機構アンローディングアーム54と、スピンナ洗浄ユニット56が配設されている。また、ベース14の概略中央部には、チャックテーブル40を洗浄する洗浄水噴射ノズル58が設けられている。この洗浄水噴射ノズル58は、チャックテーブル40が装置手前側のウエーハ搬入搬出領域に位置づけられた状態において、チャックテーブル40に向かって洗浄水を噴射する。本実施形態のカラーフィルタの製造方法では、ガラス基板2上にRGBの画素10a,10b,10cを形成した後、図5に示すように、バイト切削装置2のチャックテーブル40で複数画素付きガラス基板2を保持する保持ステップを実施する。チャックテーブル40は、多孔質セラミックス又はピンチャック等から形成された吸引保持部60を有しており、吸引保持部60はステンレス鋼等の金属材料によって形成されたチャックテーブル本体62の嵌合凹部7中に嵌合されている。吸引保持部60の保持面60aはチャックテーブル本体62の上面と面一に形成されている。チャックテーブル40のチャックテーブル本体62は、一端が吸引保持部60に連通し他端が図示しない切替弁を介して負圧吸引源66に選択的に接続される吸引路64を有している。本実施形態の平坦化ステップでは、図6に示すように、スピンドル32を回転してバイト工具36を円軌道で回転させながら、チャックテーブル40に保持されたガラス基板2上に形成された赤画素赤レジスト膜10a、緑画素緑レジスト膜10b及び青画素青レジスト膜10cの表面に所定深さ切り込み、チャックテーブル40を矢印Y方向に所定の加工送り速度で直線的に加工送りして、ガラス基板2上に形成されたRGB画素10a,10b,10cの表面をバイト工具36によって旋回切削して、その表面を平坦に加工して、例えば1.2μm厚に仕上げる。図7を参照すると、本発明第2実施形態のカラーフィルタの製造方法の平坦化ステップが示されている。本実施形態のカラーフィルタの製造方法では、例えば赤レジスト膜についてカラーレジスト膜形成ステップと、フォトリソステップと、硬化ステップを実施してガラス基板2上に赤画素赤レジスト膜10aを形成した後、図7に示すように、バイト切削ユニット20で赤画素赤レジスト膜10aを平坦化する平坦化ステップを実施する。同様に、緑レジスト膜及び青レジスト膜について、カラーレジスト膜形成ステップと、フォトリソステップと、硬化ステップと、平坦化ステップとを繰り返して、ガラス基板2上に一様な厚さを有する赤画素赤レジスト膜10a、緑画素緑レジスト膜10b、青画素青レジスト膜10cの形成されたカラーフィルタを形成する。上述した各実施形態のカラーフィルタの製造方法によると、ガラス基板2上に形成された画素10a,10b,10cはバイト切削ユニット20によって平坦化される。従って、カラーレジスト膜塗布時の平坦性によらず、カラーレジスト膜の高精度な平坦化が可能となる。"