基板を保持した板状の基板保持部材が進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記基板保持部材は脆性材料からなる板状体と、この板状体の表面に沿って伸びるように、または広がるように設けられた延性材料からなる飛散抑制部材と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。前記飛散抑制部材は線状部材または面状部材であることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。前記基板保持部材には、他の部位よりも強度を小さくして衝撃が加わったときに破損個所を形成するための溝部が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送装置。前記飛散抑制部材は接地された導電性材料で構成されたことを特徴とする、請求項1、2ないし3のいずれか一項に記載の基板搬送装置。本発明はこのような事情の下になされたものであり、基板搬送装置に設けられた、基板保持部材が破損した場合に飛散を抑制し、破片回収の簡易化をして装置復旧までの時間を短縮することにある。本発明は基板を保持した板状の基板保持部材が進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記基板保持部材は脆性材料からなる板状体と、この板状体の表面に沿って伸びるように、または広がるように設けられた延性材料からなる飛散抑制部材と、を備えたことを特徴とする。板状体の表面に沿って伸びるように、または広がるようにとは、飛散保持部材が板状体の上面または下面に固着されている場合、飛散保持部材の一部または全部が板状体の中に埋設されている場合のいずれも含まれる。本発明によれば、板状の脆性材料を用いた基板保持部材を備えた基板搬送装置において基板保持部材に延性材料を組み込んでいるため、基板保持部材が破損した場合に、破片の飛散が抑えられ、破片の回収が容易になる。