"圧電材料を含む振動体を振動させ、前記振動体の端面に突設された凸部を対象物に接触させることによって、前記対象物を移動させる圧電モーターであって、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合することを特徴とする圧電モーター。請求項1に記載の圧電モーターであって、前記基台は、前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接しない側の端面を支える側圧弾性体保持部を備え、前記側圧弾性体の前記側圧弾性体保持部に接する側の端面は、前記側圧弾性体保持部と嵌合することを特徴とする圧電モーター。請求項1または請求項2に記載の圧電モーターであって、前記加圧弾性体は、前記振動体ケースに対して前記摺動部が設けられている側、あるいは前記側圧弾性体が設けられている側に設けられていることを特徴とする圧電モーター。請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを備える駆動装置。請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを備える印刷装置。請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを備えるロボットハンド。請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーター、または請求項6に記載のロボットハンドを備えるロボット。把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行うことを特徴とする電子部品検査装置。把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合してことを特徴とする電子部品検査装置。電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、前記電子部品を把持する把持装置と、前記把装置を互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、前記検査ソケットから見て前記第1軸上または前記第2軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第1軸および前記第2軸の方向への位置および前記第3軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第1軸または前記第2軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品検査装置であって、前記制御装置は、前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第1制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第2制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第3制御部と、を備えており、前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品検査装置。把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記電子部品の位置合わせを行うことを特徴とする電子部品搬送装置。把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合していることを特徴とする電子部品搬送装置。電子部品を把持する把持装置と、互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品搬送装置であって、前記把持装置は、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品搬送装置。しかし近年では、圧電モーターを搭載した装置の小型化および性能向上に対する要請は益々強くなっており、これに伴って圧電モーターに対しても、より一層の小型化および駆動精度の向上が要請されている。この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、圧電モーターを小型化し、且つ、駆動精度を向上させることが可能な技術の提供を目的とする。上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、圧電材料を含む振動体を振動させ、前記振動体の端面に突設された凸部を対象物に接触させることによって、前記対象物を移動させる圧電モーターであって、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合することを特徴とする。このような本発明の圧電モーターにおいては、振動体の凸部を振動体ケースごと対象物に接触させた状態で、振動体を振動させることによって、対象物を移動させることができる。また、振動体ケースは側圧弾性体によって基台の摺動部に押しつけられているので、対象物を駆動する時に凸部が対象物から受ける反力で振動体が逃げてしまうことがない。ここで、振動体ケースは、対象物に対して近付いたり離れたりする方向に摺動し得る。それにも拘わらず、振動体ケースの摺動方向と交差する方向から振動体ケースを摺動部に押しつける側圧弾性体は、振動体ケースに接する側の端面が振動体ケースに嵌合している。こうすれば、側圧弾性体の端面が、振動体ケースに対して相対的に移動することがない。このため、側圧弾性体の端面と振動体ケースとの間に、耐摩耗性のある部材やコロなどを設ける必要がなくなるので、圧電モーターを小型化することができる。もちろん、振動体ケースは対象物に対して摺動するので、側圧弾性体の端面が振動体ケースに嵌合した構造では、側圧弾性体は振動体ケースを基台の摺動部に押しつけるだけでなく、振動体ケースの摺動を妨げる方向の力も生じる。この力は、振動体の凸部が対象物に押しつけられる力を変動させる方向に作用するので、凸部と対象物との間で生じる摩擦力を変動させ、その結果、圧電モーターの駆動力を変動させる要因となり得る。しかし、実際には、側圧弾性体の端面が振動体ケースとの間で滑ることによる摩擦力の変動や、側圧弾性体と振動体ケースとの間に設けたコロが転がる時の摩擦力の変動による影響の方が大きく、従って、側圧弾性体の端面が振動体ケースとの間で滑らない構造とすることで、むしろ、振動体の凸部が対象物に押しつけられる力の変動を小さくすることができる。また、側圧弾性体の端面が振動体ケースに嵌合することで、側圧弾性体が凸部の押しつけ力に与える変動は、加圧弾性体の製造ばらつきによる押しつけ力のばらつきよりも小さな値に過ぎない。以上のような理由から、側圧弾性体の端面が振動体ケースに嵌合する構造を採用することで、振動体の凸部を対象物に押しつける力の変動を抑制することができる。その結果、圧電モーターの駆動力が安定し、しかも振動体の振動によって凸部が楕円運動する度に同じ距離だけ対象物を移動させることができる。このため、本発明によれば、圧電モーターを小型化し、且つ、駆動精度を向上させることが可能となる。尚、加圧弾性体あるいは側圧弾性体は、振動体ケースを付勢することが可能であれば良く、コイルバネや板バネなどの、種々の形態のバネを用いることができる。また、たとえば板バネを側圧弾性体として用いた場合は、側圧弾性体の表面のうち、振動体ケースに接触して力を及ぼしている部分が、側圧弾性体の端面となる。一方、コイルバネは大きく変形させて使用することで、振動体ケースが摺動しても付勢力がほとんど変わらない状態で使用することができるので、加圧弾性体あるいは側圧弾性体として好適に用いることができる。また、側圧弾性体の端面は、振動体ケースが摺動する時に振動体ケースとの間で滑らないように嵌合していれば良い。従って、側圧弾性体の端面が振動体ケースに嵌合する態様としては、たとえば、振動体ケースに凹部を設けて側圧弾性体の端面を嵌合しても良いし、振動体ケースから突起を設けて、この突起に側圧弾性体の端面を嵌合しても良い。更には、側圧弾性体の端面から突起を設けて、この突起を振動体ケースに設けた凹部に嵌合しても良い。また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、側圧弾性体の振動体ケースに接しない側の端面を側圧弾性体保持部で支えることとして、側圧弾性体の側圧弾性体保持部に接する側の端面が、側圧弾性体保持部に嵌合するようにしてもよい。こうすれば、側圧弾性体の振動体ケースに接していない側の端面も滑ることがない。このため、滑りによって摩擦力が変動し、振動体の凸部が対象物に押しつけられる力が変動することを回避することができる。その結果、圧電モーターの駆動精度をより一層向上させることが可能となる。また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、加圧弾性体を、振動体ケースの後ろ側対象物に面する側と反対側に設けるのではなく、振動体ケースに対して摺動部が設けられている側、あるいは振動体ケースに対して側圧弾性体が設けられている側に設けるようにしてもよい。こうすれば、振動体ケースの後ろ側に加圧弾性体を設けた場合に比べて、圧電モーターの長さを短くすることができる。その結果、圧電モーターをより一層小型化することが可能となる。また、上述した本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成しても良い。本発明の圧電モーターは、小型で且つ高い駆動精度を実現することができる。従って、本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成してやれば、小型で高性能な駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを得ることができる。また、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品検査装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、検査ソケットに対する電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。上述したように、本発明の圧電モーターは小型で且つ高い駆動精度を実現することができるから、電子部品を精度良く位置合わせを行うことができ、且つ、小型な電子部品検査装置を実現することが可能となる。あるいは、本発明の電子部品検査装置は、次のような態様で把握することもできる。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合してことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。更に、上述した本発明の電子部品検査装置は、次のような態様、すなわち、電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、前記電子部品を把持する把持装置と、前記把装置を互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、前記検査ソケットから見て前記第1軸上または前記第2軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第1軸および前記第2軸の方向への位置および前記第3軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第1軸または前記第2軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品検査装置であって、前記制御装置は、前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第1制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第2制御部と、前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第3制御部と、を備えており、前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。このような構成の電子部品検査装置は、把持装置に設けられた第1ないし第3の圧電モーターを用いて電子部品の姿勢を調整した後、検査ソケットに装着することができる。ここで、本発明の圧電モーターは、小型で且つ対象物を精度良く駆動することができるので、把持装置に設ける第1ないし第3の圧電モーターとして特に優れている。更には、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品搬送装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。上述したように、本発明の圧電モーターは小型で且つ高い駆動精度を実現することができるから、電子部品を精度良く位置合わせを行うことができ、且つ、小型な電子部品搬送装置を実現することができる。あるいは、本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、前記圧電モーターは、圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、前記振動体を収容する振動体ケースと、前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、を備え、前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合していることを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。更には、上述した本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、電子部品を把持する把持装置と、互いに直交する第1軸および第2軸と、前記第1軸および第2軸に直交する第3軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、前記移動装置の動作を制御する制御装置とを備える電子部品搬送装置であって、前記把持装置は、前記電子部品を前記第1軸方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記第2軸方向に移動させる第2の圧電モーターと、前記第3軸まわりに回転させる第3の圧電モーターとを有しており、前記第1ないし第3の圧電モーターは、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の圧電モーターであることを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。A.装置構成:B.圧電モーターの動作原理:C.側圧バネの取り付け構造:D.変形例:E.適用例:A.装置構成:図1は、本実施例の圧電モーター10の大まかな構成を示した説明図である。図1aには、本実施例の圧電モーター10の全体図が示されており、図1bには分解組立図が示されている。図1aに示されるように、本実施例の圧電モーター10は、大まかには、本体部100と、基台部200とから構成されている。本体部100は基台部200内に取り付けられており、その状態で一方向に摺動可能となっている。尚、本明細書中では、本体部100の摺動方向をX方向と称する。また、図中に示すように、X方向と直交する方向を、それぞれY方向、Z方向と称するものとする。本体部100および基台部200は、それぞれ複数の部品が組み合わされて構成されている。たとえば基台部200は、略矩形形状をした基板230の上面の両側に、第1側壁ブロック210および第2側壁ブロック220が止めネジ240で締結されることによって構成されている図1bを参照のこと。圧電モーター10を組み立てる際には、本体部100の上方から、第1側壁ブロック210および第2側壁ブロック220を、止めネジ240を用いて基板230に取り付ける。また、第1側壁ブロック210には、前方ハウジング212、中央ハウジング214、後方ハウジング216の3つの凹部が形成されている。そして、第1側壁ブロック210を基板230に取り付ける際には、前方ハウジング212に前方側圧バネ212sを収容し、後方ハウジング216に後方側圧バネ216sを収容した状態で取り付ける。その結果、本体部100は、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sによって第2側壁ブロック220に押しつけられた状態となる。また、本体部100の側面の、第2側壁ブロック220に面する側には、前側コロ102rおよび後側コロ106rが取り付けられている。更に、本体部100の側面には加圧バネ222sが設けられている。この加圧バネ222sは、前側コロ102rの後ろ側の箇所で本体部100をX方向に押圧している。尚、本実施例では、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが本発明の側圧弾性体に対応し、加圧バネ222sが本発明の加圧弾性体に対応する。更に、基台部200が本発明の基台に対応し、基台部200を構成する第1側壁ブロック210および第2側壁ブロック220が、それぞれ本発明の側圧弾性体保持部および摺動部に対応する。また、前側コロ102rおよび後側コロ106rが設けられた側と反対側の本体部100の側面には、Z方向図面上では上方に向けて押さえコロ104rが設けられている。第1側壁ブロック210を取り付けた状態では、この押さえコロ104rは、第1側壁ブロック210の中央ハウジング214に収容される。また、本体部100の押さえコロ104rが設けられた部分の裏面側と、基板230との間には、押さえバネ232sが設けられている。このため、押さえコロ104rは中央ハウジング214の内面に対してZ方向図面上では上方に押しつけられた状態となっている。図2は、本実施例の本体部100の構造を示す分解組立図である。本体部100は、大まかには、振動体ケース120内に振動部110が収容された構造となっている。振動部110は、圧電材料によって直方体形状に形成された振動体112と、振動体112の長手方向X方向の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部114と、振動体112の一方の側面を4分割して設けられた4枚の表電極116などから構成されている。尚、図2では示されていないが、4枚の表電極116が設けられた側と反対側の側面には、側面のほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極はグランドに接地されている。尚、本実施例では、駆動凸部114が本発明の凸部に対応する。振動部110は、表電極116および裏電極が設けられた両側面図2では、Z方向の両側面から樹脂製の緩衝部材130で挟まれた状態で、振動体ケース120に収容される。更に、表電極116側の緩衝部材130の上から、押さえ板140、皿バネ142、および押さえ蓋144が載せられて、押さえ蓋144が止めネジ146で振動体ケース120に締結される。このため振動部110は、皿バネ142のバネ力によって押さえ付けられながらも、樹脂製の緩衝部材130が剪断変形することによって、振動体ケース120内で振動体112が振動し得る状態で収容されている。B.圧電モーターの動作原理:図3は、圧電モーター10の動作原理を示す説明図である。圧電モーター10は、振動部110の表電極116に一定周期で電圧を印加したときに、振動部110の駆動凸部114が楕円運動することによって動作する。振動部110の駆動凸部114が楕円運動するのは次の理由による。先ず、周知のように振動体112は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図3aに示すように、4つの表電極116の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、振動体112は長手方向X方向に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体112が長手方向X方向に伸縮を繰り返す動作を伸縮振動と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数共振周波数は、振動体112の物性と、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTとによって決定される。また、図3bあるいは図3cに示すように、互いに対角線の位置にある2つの表電極116を組表電極116aおよび表電極116dの組、あるいは表電極116bおよび表電極116cの組として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体112は、長手方向X方向の先端部駆動凸部114が取り付けられた部分が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図3bに示したように、表電極116aおよび表電極116dの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体112は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図3cに示したように、表電極116bおよび表電極116cの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体112の動作を屈曲振動と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体112の物性と、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTとによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある2つの表電極116に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体112は右方向あるいは左方向Y方向に大きく首を振って振動する。ここで、図3aに示した伸縮振動の共振周波数も、図3bあるいは図3cに示した屈曲振動の共振周波数も、振動体112の物性や、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTによって決定される。従って、振動体112の寸法幅W、長さL、厚さTを適切に選んでやれば共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体112に対して、図3bあるいは図3cに示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図3bあるいは図3cに示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図3aの伸縮振動も誘起される。その結果、図3bに示す態様で電圧を印加した場合には、振動体112の先端部分駆動凸部114が取り付けられた部分が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図3cに示す態様で電圧を印加した場合には、振動体112の先端部分が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。圧電モーター10は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体112の駆動凸部114を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させる。すると駆動凸部114は、振動体112が伸張する際には対象物に押しつけられた状態で左から右に向かってあるいは右から左に向かって移動した後、振動体112が収縮する際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、駆動凸部114から受ける摩擦力によって一方向に駆動されることになる。また、対象物が受ける駆動力は、駆動凸部114との間で生じる摩擦力に等しいから、駆動力の大きさは、駆動凸部114と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部114が対象物に押しつけられる力とによって決定される。以上に説明した圧電モーター10の動作原理から明らかなように、圧電モーター10は、駆動凸部114を対象物に押しつけた状態で使用する必要がある。このため、本実施例の圧電モーター10では、駆動凸部114を備える本体部100が基台部200に対して摺動可能となっており、本体部100と基台部200との間に設けられた加圧バネ222sによって、本体部100から突き出た駆動凸部114を対象物に押しつけるようになっている図1参照。また、対象物を駆動すると、駆動凸部114は対象物から反力を受ける。そして、この反力は本体部100に伝達される。上述したように本体部100は基台部200に対して摺動可能としなければならないが、駆動時に受ける反力で本体部100が摺動方向とは直交する方向に逃げてしまうと、対象物に対して十分な駆動力を伝達することができなくなる。また、本体部100が逃げると駆動凸部114の移動量が減少するので対象物の駆動量が少なくなる。更に、本体部100の逃げ量は、常に安定しているとは限らないから、対象物の駆動量が不安定となってしまう。そこで、図1に示すように、本実施例の圧電モーター10では、本体部100の摺動方向と直交する方向から、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sによって本体部100を第2側壁ブロック220に押しつけるようになっている。ここで、本実施例の圧電モーター10では、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが次のようにして取り付けられている。C.側圧バネの取り付け構造:図4は、本実施例の圧電モーター10の断面を取ることによって、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの取り付け構造を示した説明図である。尚、図4aには、加圧バネ222sが取り付けられている様子も示されている。図4aに示されるように、加圧バネ222sは、本体部100実際には本体部100の振動体ケース120と第2側壁ブロック220との間に設けられて、本体部100をX方向図面上では上方向に付勢している。また、本体部100実際には振動体ケース120と、第1側壁ブロック210との間には、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが設けられており、本体部100は前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sによって、第2側壁ブロック220に押しつけられている。そして、本体部100と第2側壁ブロック220との間には、前側コロ102rおよび後側コロ106rが設けられている。このため、本体部100は第2側壁ブロック220に押しつけられた状態で、第2側壁ブロック220に対して滑らかに摺動する。その結果、振動体ケース120は、Y方向には位置決めされた状態のまま、X方向に摺動することが可能である。ここで、前方側圧バネ212sは第1側壁ブロック210の前方ハウジング212内に収容されており、後方側圧バネ216sは第1側壁ブロック210の後方ハウジング216内に収容されている。但し、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sは、単に前方ハウジング212および後方ハウジング216内に収容されているのではなく、少なくとも本体部100正確には振動体ケース120の側の端面が振動体ケース120に対して滑らないような状態で、前方ハウジング212および後方ハウジング216内に収容されている。また、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの反対側の端面第1側壁ブロック210側の端面についても、前方ハウジング212および後方ハウジング216内で端面が第1側壁ブロック210に対して滑らないような状態で収容されている。図4bには、前方ハウジング212内で前方側圧バネ212sが収容されている部分の断面拡大図が示されている。図示されているように、第1側壁ブロック210の前方ハウジング212の奥側の内壁面には、円形の凹部212tが形成されている。凹部212tの内径は、前方側圧バネ212sの外径と同じ大きさとなっており、前方側圧バネ212sは、端面が凹部212tに嵌め込まれている。また、振動体ケース120の側にも同様に、前方側圧バネ212sの外径と同じ大きさを有する円形の凹部122tが形成されており、前方側圧バネ212sの端面が嵌め込まれている。また、前方ハウジング212の大きさは、前方ハウジング212内で前方側圧バネ212sが動き得るように、前方側圧バネ212sの外径に対して余裕を持たせた大きさに形成されている。更に、図示は省略するが、後方側圧バネ216sについても同様に、後方ハウジング216および振動体ケース120に凹部が形成されており、この凹部に後方側圧バネ216sの端面が嵌め込まれている。そして、後方ハウジング216の大きさは、後方側圧バネ216sの外径に対して余裕を持たせた大きさに形成されている。尚、本実施例では、前方ハウジング212および振動体ケース120に形成された凹部212t,122tに、前方側圧バネ212sの端面が嵌め込まれているので、前方側圧バネ212sの端面は外径部分で取り付けられていることになる。しかし、前方側圧バネ212sの端面を取り付けることができるのであれば、このような方法に限られるものではない。たとえば、図5に示したように、振動体ケース120から、前方側圧バネ212sの内径に相当する外径の凸部122uを突設させて、この凸部122uに前方側圧バネ212sの内径を嵌め込むようにしても良い。また、前方ハウジング212の内壁面からも、前方側圧バネ212sの内径に相当する外径の凸部212uを突設させて、この凸部212uに前方側圧バネ212sの内径を嵌め込むようにしても良い。ここで、前述したように本体部100は、第2側壁ブロック220にガイドされてX方向に摺動可能に構成されている。従って、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの端面が、少なくとも振動体ケース120に対して滑らないように取り付けられていると、本体部100がX方向に摺動した時に、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが撓むように変形する。また、第1側壁ブロック210の側でも、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの端面が第1側壁ブロック210に取り付けられていると、本体部100が摺動した時に、第1側壁ブロック210側の端面で滑って前方側圧バネ212sあるいは後方側圧バネ216sの位置がずれることがない。このため、本体部100の摺動と共に、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが撓むように変形する。図6には、本実施例の圧電モーター10で、本体部100がX方向に摺動することによって前方側圧バネ212sが撓む様子が示されている。図6aは、本体部100が未だ摺動しておらず、従って前方側圧バネ212sが撓んでいない状態を示している。この状態から、本体部100がプラスのX方向図面上では上向きに摺動すると、前方側圧バネ212sの本体部100側の端面が引きずられるように移動する。その結果、図6bに示したように、前方側圧バネ212sには上向きに反るような撓みが生じる。また逆に、図6aに示した状態から、本体部100がマイナスのX方向図面上では下向きに摺動すると、前方側圧バネ212sには、図6cに示したように下向きに反るような撓みが生じる。また、後方側圧バネ216sについても、全く同様なことがあてはまる。ここで、図3を用いて前述したように、圧電モーター10の駆動力は、駆動凸部114と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部114を対象物に押しつける力加圧バネ222sのバネ力とによって決定される。また、図6bまたは図6cに示すように、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが撓むと、駆動凸部114を対象物に押しつける力を弱めたり、あるいは強めたりする方向の反力を本体部100に対して生じさせる。従って、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sに生じる撓みは、圧電モーター10の駆動力を変動させる要因となり得る。そこで、このような駆動力の変動要因を排除して、安定した駆動力の圧電モーター10を得るために、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sと第2側壁ブロック220との間にコロを設けることが考えられる。図7は、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sと第2側壁ブロック220との間にコロを設けた参考例の圧電モーター90の断面図である。図示されるように、参考例の圧電モーター90では、前方側圧バネ212sと本体部100正確には振動体ケース120との間に前側コロ912rが設けられており、後方側圧バネ216sと本体部100振動体ケース120との間に後側コロ916rが設けられている。前側コロ912rは、前方側圧バネ212sと共に第1側壁ブロック910の前方ハウジング912内に収容されており、後側コロ916rは、後方側圧バネ216sと共に第1側壁ブロック910の後側コロ916r内に収容されている。また、前方側圧バネ212sの両端面は、前側コロ912rおよび第1側壁ブロック910に対して取り付けられておらず、後方側圧バネ216sの両端面も、後側コロ916rおよび第1側壁ブロック910に対して取り付けられていない。その他の点については、参考例の圧電モーター90も、本実施例の圧電モーター10と全く同様である。図7に示した参考例の圧電モーター90と、図4の本実施例の圧電モーター10とを比較すれば明らかなように、参考例の圧電モーター90では、前側コロ912rおよび後側コロ916rが追加されている分だけ、第1側壁ブロック910が大きくなっている。このため、参考例の圧電モーター90は、本実施例の圧電モーター10よりも大型化する。換言すれば、本実施例の圧電モーター10は、前側コロ912rや後側コロ916rを介さず、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが本体部100正確には振動体ケース120を直接押す構造を採用することで、圧電モーター10が小型化されていることになる。また、前側コロ912rや後側コロ916rを省くことができれば構造が簡単になるので、圧電モーター10を容易に製造することも可能となる。また、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが本体部100を直接押す構造を採用した場合、本体部100の摺動によって前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sに撓みが生じる。このため一見すると、圧電モーター10の駆動力が変動し易くなるように思われる。しかし、参考例の圧電モーター90から前側コロ912rおよび後側コロ916rを省いた上で、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの少なくとも振動体ケース120に接する側の端面が、振動体ケース120に対して滑らないような構造とすることで、以下のような理由から、圧電モーター10の駆動力および駆動量を安定させることができる。更に、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの第1側壁ブロック210に接する側の端面も、第1側壁ブロック210に対して滑らないような構造としてやれば、こうした効果をより確実に発揮させることができる。結局、本実施例の圧電モーター10では、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが振動体ケース120および第1側壁ブロック210に直接当接し、且つ、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの端面が滑らないような構造を採用することで、圧電モーター10の小型化および製造容易化を実現するだけでなく、駆動力および駆動量の安定化をも実現していることになる。以下、この理由について詳しく説明する。先ず、本体部100がX方向に摺動する要因としては、対象物を駆動しているうちに駆動凸部114が摩耗することや、駆動された対象物が移動することによって、対象物の位置が圧電モーター10に対して近付いたり遠ざかったりすることが挙げられる。但し、圧電モーター10によって駆動される対象物は、裏側から支えられていたり、あるいはガイド部材などによってガイドされたりすることが通常なので、実際には、対象物の位置が大きく変動することはない。また、駆動凸部114の摩耗は僅かな量に過ぎない。従って、本体部100がX方向に摺動したとしてもその摺動量は僅かであり、このため、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが撓んで駆動凸部114の押しつけ力に影響を与えたとしても、その影響は僅かなものに過ぎない。たとえば、駆動凸部114を対象物に押しつける加圧バネ222sの製造ばらつきでバネ定数が±10程度はばらつくので、駆動凸部114の押しつけ力も同程度±10程度にばらつく。しかし、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが撓んだことによる影響は、バネ定数のばらつきによる影響よりも1桁小さくなり、大きめに見積もっても、数分の1程度にしかならない。また、上述したように本体部100が摺動する主な原因は、対象物が駆動されて移動するときに、対象物の位置が圧電モーター10に対して近付いたり遠ざかったりすることにあるから、本体部100は、ごく小さな振幅で振動するような態様で摺動する。このような態様で摺動する部分にコロ前側コロ912r、後側コロ916rを用いると、コロの外周面およびコロを支える軸の部分では、静止摩擦状態と動摩擦状態とが繰り返されることになって、転がり摩擦係数が不定期に変化する。更に、転がり摩擦係数が変化する際には静止摩擦係数と動摩擦係数との間で変化するから、大きくなる時には2倍以上に大きくなり、小さくなる時には半分以下に小さくなる。加えて、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが本体部100を押さえつける力は、対象物を駆動した時に駆動凸部114が受ける反力で本体部100が第2側壁ブロック220から離れないように押さえつけておくための力である。このため、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sのバネ力は、対象物に加える駆動力の2倍程度の大きさが必要となり、かなりの大きな力となる。その結果、転がり摩擦係数が不定期に変化することで、コロ前側コロ912r、後側コロ916rの部分での摩擦力が不定期に且つ大きく変動することになり、駆動凸部114の押しつけ力に対して大きな影響を与える。実際に、ある条件で見積もってみたところ、コロの部分での摩擦力が変動することによる影響は、加圧バネ222sのバネ定数のばらつきによる影響と同程度の大きさとなる。更に加えて、コロ前側コロ912r、後側コロ916rあるいはコロを支える軸は、断面が完全な真円となるように製造できるわけではないから、このことによる摩擦力の変動も重畳される。以上の理由から、図7の参考例の圧電モーター90のように、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが前側コロ912rや後側コロ916rを介して本体部100を押す構造では、コロ前側コロ912r、後側コロ916rの部分で摩擦力が不定期に且つ大きく変化して、駆動凸部114の押しつけ力を変化させてしまう。これに対して、本実施例の圧電モーター10のように、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが、コロを介さずに本体部100を直接押すようにしても、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sが撓んで駆動凸部114の押しつけ力に影響を与えることはほとんどない。むしろ、コロを無くすことで駆動凸部114の押しつけ力を安定させることができ、その結果、圧電モーター10の駆動力を安定させることが可能となる。また、本実施例の圧電モーター10では、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの本体部100正確には振動体ケース120に接する側の端面が、振動体ケース120に対して滑らないようになっている。これは次のようなことを考慮したためである。図8は、振動体ケース120の側面に前方側圧バネ212sが嵌め込まれる凹部122tを設けなかった場合を例示した説明図である。尚、図8では、前方側圧バネ212sについてのみ表示しているが、後方側圧バネ216sについても全く同様なことが当て嵌まる。振動体ケース120の側面に凹部122tを設けなかった場合、前方側圧バネ212sの端面は、振動体ケース120の側面に押しつけられている。このため本体部100が摺動すると、前方側圧バネ212sの端面が振動体ケース120によって引きずられる結果、たとえば図8aに示すように前方側圧バネ212sに撓みが生じる。しかし、前方側圧バネ212sの端面は、単に振動体ケース120の側面に押しつけられているだけであり、しかも圧電モーター10の動作中は、本体部100は常に細かく動いている。このため、振動体ケース120に引きずられていた前方側圧バネ212sの端面が何かの拍子に滑って動いてしまい、図8bに示すように、前方側圧バネ212sの撓みが戻ってしまうことが起こり得る。このようなことが生じると、駆動凸部114の押しつけ力が不連続に変化し、従って圧電モーター10の駆動力が不連続に変化することになるので好ましいことではない。また、図8cに示したように、前方側圧バネ212sを組み付けた状態本体部100が摺動していない状態で、前方側圧バネ212sが撓んで組み付けられている場合も起こり得る。そして圧電モーター10の動作中は、本体部100は常に細かく動いているので、何かの拍子に前方側圧バネ212sの端面が滑って動いてしまい、図8dに示すように前方側圧バネ212sの撓みが戻ってしまうことが起こり得る。このような場合にも、圧電モーター10の駆動力が不連続に変化することになるので好ましいことではない。そこで、本実施例の圧電モーター10では、振動体ケース120の側面に凹部122tを設けて、前方側圧バネ212sの端面を凹部122tに嵌め込んでいる。このため、本体部100が摺動して前方側圧バネ212sが撓んでも、前方側圧バネ212sの端面が滑って前方側圧バネ212sの撓みが元に戻ってしまうことがない。また、前方側圧バネ212sを組み付ける際には、前方側圧バネ212sの端面が振動体ケース120の凹部122tに嵌め込まれるので、前方側圧バネ212sが撓んだ状態で組み付けられることもない。このため、圧電モーター10の動作中に駆動力が不連続に変化する事態を回避することが可能となる。以上では、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの振動体ケース120側の端面について説明した。前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの第1側壁ブロック210側の端面についても、ほぼ同様なことが当て嵌まる。すなわち、仮に、前方ハウジング212内に凹部212tが形成されておらず、前方側圧バネ212sの端面が前方ハウジング212内で滑り得るような状態であった場合には、圧電モーター10の動作中に駆動力が突然、不連続に変化することが起こり得る。後方側圧バネ216sについても同様に、後方側圧バネ216sの端面が後方ハウジング216内で滑り得るような状態であった場合には、圧電モーター10の動作中に駆動力が突然、不連続に変化することが起こり得る。以下、この点について補足して説明する。図9は、前方側圧バネ212sが嵌め込まれる凹部212tが前方ハウジング212内に設けられていない場合を例示した説明図である。尚、図9では、前方側圧バネ212sについてのみ表示しているが、後方側圧バネ216sについても全く同様なことが当て嵌まる。前方ハウジング212内に凹部212tを設けなかった場合でも、本体部100が摺動すると、図9aに示すように前方側圧バネ212sに撓みが生じる。しかし、前方ハウジング212内で前方側圧バネ212sの端面が、単に第1側壁ブロック210に押しつけられているだけの場合には、何かの拍子に、前方側圧バネ212sの端面が振動体ケース120側から引きずられて、前方ハウジング212内で滑ってしまうことが起こり得る。その結果、図9bに示したように、前方側圧バネ212sの撓みが戻ってしまうことが起こり得る。このようなことが生じると、駆動凸部114の押しつけ力が不連続に変化し、圧電モーター10の駆動力が不連続に変化する。また、図9cに示したように、前方側圧バネ212sを組み付けた時に、前方ハウジング212内で前方側圧バネ212sが正しい位置に取り付けられておらず、前方側圧バネ212sが撓んだ状態となっている場合も起こり得る。そして圧電モーター10の動作中に、何かの拍子に、前方ハウジング212内で前方側圧バネ212sの端面が滑って、図9dに示すように前方側圧バネ212sの撓みが戻ってしまうことが起こり得る。このような場合にも、圧電モーター10の駆動力が不連続に変化する。本実施例の圧電モーター10ではこのようなことを考慮して、図4に示すように、第1側壁ブロック210の前方ハウジング212内にも凹部212tを設けて、前方側圧バネ212sの端面を嵌め込むこととしている。また、後方側圧バネ216sについても同様に、後方ハウジング216内に凹部216tを設けて、後方側圧バネ216sの端面を嵌め込むこととしている。尚、前方ハウジング212内および後方ハウジング216内で、前方側圧バネ212sや後方側圧バネ216sの端面が滑らないような構造となっていればよく、必ずしも前方ハウジング212内や後方ハウジング216内に凹部212tあるいは凹部216tを設ける必要はない。たとえば、図10に示すように、前方ハウジング212の少なくとも奥側を、前方側圧バネ212sの外径に合わせた大きさとしておき、前方ハウジング212の内壁面で前方側圧バネ212sの外側を押さえるようにしてもよい。後方ハウジング216についても同様に、後方ハウジング216の少なくとも奥側を後方側圧バネ216sの外径に合わせた大きさとして、後方ハウジング216の内壁面で後方側圧バネ216sの外側を押さえるようにしてもよい。こうすれば、前方ハウジング212内および後方ハウジング216内で、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの端面が滑って動くことがないので、圧電モーター10の動作中に駆動力が突然、不連続に変化する事態を回避することができる。尚、本実施例の圧電モーター10では、以上のように、前方ハウジング212内および後方ハウジング216内でも、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの端面が滑らないようになっている。しかし、振動体ケース120側の端面とは異なり、前方ハウジング212内および後方ハウジング216内については、圧電モーター10の製造を容易とする目的で、端面が滑らない構造を省略することも可能である。これは次の理由による。先ず、振動体ケース120が摺動した時に、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの振動体ケース120側の端面は、振動体ケース120から直接力を受けている。これに対して、前方ハウジング212内および後方ハウジング216内の端面は、前方側圧バネ212sあるいは後方側圧バネ216sを介して、間接的に振動体ケース120からの力を受けるに過ぎない。その一方で、バネ力によって端面が押しつけられる力は、振動体ケース120側の端面も、前方ハウジング212内あるいは後方ハウジング216内の端面も変わりはない。従って、端面の滑り易さは、振動体ケース120側の端面の方が大きくなる。換言すれば、圧電モーター10の動作中に、前方ハウジング212内あるいは後方ハウジング216内で前方側圧バネ212sあるいは後方側圧バネ216sの端面が滑ることは稀である。そこで、前方ハウジング212内あるいは後方ハウジング216内に凹部212tや凹部216tを設けたり図4参照、凸部212uや凸部216uを設けたり図5参照、あるいは、前方ハウジング212や後方ハウジング216の奥側の部分を狭く形成したりすることなく、前方ハウジング212および後方ハウジング216を形成することで、圧電モーター10のより一層の製造容易化を図ることとしても良い。また、本実施例の圧電モーター10は、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sの端面が、振動体ケース120に対して滑らないように取り付けられているので、次のような利点も得ることができる。図11は、前方側圧バネ212sの中心軸の位置で取った圧電モーター10の断面図である。図11aには断面位置を示す上面図が示されており、図11bには断面図が示されている。図11bに示すように、前方側圧バネ212sの振動体ケース120側の端面は、振動体ケース120の側面に設けられた凹部212tに嵌め込まれている。また、振動体ケース120の反対側の側面には前側コロ102rが取り付けられており、前側コロ102rは第2側壁ブロック220に設けられたコロ溝102tに嵌め込まれている。このため振動体ケース120は、一方の側は凹部212tの部分で前方側圧バネ212sによってZ方向図では上下方向に位置決めされ、他方の側は前側コロ102rを介してコロ溝102tでZ方向に位置決めされている。このため、振動体ケース120をZ方向に位置決めするために設けられた押さえコロ104rおよび押さえバネ232s図1を参照のことを省略することもできる。そして、押さえコロ104rおよび押さえバネ232s図1を参照のことを省略すれば、圧電モーター10の構造が更に簡単になるので、より一層製造が容易となるだけでなく、圧電モーター10を更に小型化することも可能となる。更に、前側コロ102r、押さえコロ104r、後側コロ106rの3つのコロで振動体ケース120を位置決めする構造は、コロおよびコロが転動する相手側の面転動面の加工誤差を考慮すると、必ずしも安定して位置決めできるわけではない。何故なら、振動体ケース120は、前側コロ102rと第2側壁ブロック220との接触点、後側コロ106rと第2側壁ブロック220との接触点、押さえコロ104rと第2側壁ブロック220の接触点の3点によって完全に位置決めされてしまう。そして、この状態で振動体ケース120がX方向に摺動すると、前側コロ102r、後側コロ106r、および押さえコロ104rは、それぞれの第2側壁ブロック220の転動面を転動する。当然ながら、第2側壁ブロック220の転動面にも加工誤差があるから、何れかのコロが転動面から浮いてしまうことが起こり得る。そして、浮いたコロを転動面に押し付けようとすると、振動体ケース120の姿勢が変わってしまうことになる。これに対して、押さえコロ104rおよび押さえバネ232sを省略することができれば、このような問題を発生させることなく、振動体ケース120を安定して位置決めすることが可能となる。また、本実施例の圧電モーター10では、本体部100をX方向に付勢する加圧バネ222sが、本体部100の側方本体部100に対してY方向に設けられている図1あるいは図4を参照。本体部100はX方向に長く形成されることが多いから、こうすることでX方向への長さを抑制することができ、圧電モーター10をより一層小型化することが可能となる。D.変形例:上述した本実施例の圧電モーター10には、種々の変形例が存在する。以下では、これらの変形例について簡単に説明する。尚、以下の変形例では、上述した本実施例の圧電モーター10と異なる部分に焦点を当てて説明し、本実施例の圧電モーター10と同様な構成については、同じ番号を付すこととして説明を省略する。図12は、第1変形例の圧電モーター20の構造を示す断面図である。図4に示した本実施例の圧電モーター10では、前側コロ102rおよび後側コロ106rが振動体ケース120側に設けられていた。これに対して図12に示す第1変形例の圧電モーター20では、前側コロ102rおよび後側コロ106rが第2側壁ブロック220の側に設けられている。こうすれば、本体部100の重量を小さくすることができるので、本体部100がX方向に摺動し易くすることができる。図13は、第2変形例の圧電モーター30の構造を示す断面図である。第2変形例の圧電モーター30では、第2側壁ブロック320からガイドポール320gが立設されており、このガイドポール320gによって本体部100の摺動がガイドされるようになっている。こうすれば、圧電モーター30の構造をより簡単にすることができる。図14は、第3変形例の圧電モーター40の構造を示す断面図である。第3変形例の圧電モーター40では、加圧バネ418sが本体部100に対して斜めに設けられている。こうすれば、1つの加圧バネ418sで、本体部100を対象物に押しつけながら、同時に本体部100を第2側壁ブロック420に押しつけることができる。このため、図14に示したように、加圧バネ418sが後方側圧バネ216sを兼ねることが可能となり、圧電モーター40を、より一層小型化することが可能となる。もちろん、後方側圧バネ216sだけでなく、前方側圧バネ212sも加圧バネ418sで兼ねるようにすれば、図14に示した状態から更に前方側圧バネ212sも省略することができるので、更に、圧電モーター40を小型化することも可能となる。図15は、第4変形例の圧電モーター50の構造を示す断面図である。第4変形例の圧電モーター40では、加圧バネ518sが、本体部100に対して、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sと同じ側に設けられている。また、このことに伴って、本実施例の圧電モーター10に設けられていた押さえコロ104rや押さえバネ232sは省略されている。こうすれば、第2側壁ブロック520の構造が簡単になるので、圧電モーター50をより一層小型化することができる。また、本体部100のZ方向図15では、紙面に垂直な方向への動きは、前方側圧バネ212sおよび後方側圧バネ216sによって規制されているので、押さえコロ104rおよび押さえバネ232sを省略しても問題が生じることはない。E.適用例:上述した本実施例の圧電モーター10あるいは各種変形例の圧電モーター20、30,40,50は、小型で対象物を精度良く駆動することができるから、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。図16は、本実施例の圧電モーター10を組み込んで構成された電子部品検査装置600を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置600は、大まかには基台610と、基台610の側面に立設された支持台630とを備えている。基台610の上面には、検査対象の電子部品1が載置されて搬送される上流側ステージ612uと、検査済みの電子部品1が載置されて搬送される下流側ステージ612dとが設けられている。また、上流側ステージ612uと下流側ステージ612dとの間には、電子部品1の姿勢を確認するための撮像装置614と、電気的な特性を検査するために電子部品1がセットされる検査台616とが設けられている。尚、電子部品1の代表的なものとしては、半導体や、CLDやOLEDなどの表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイスなどが挙げられる。また、本実施例の検査台616は、本発明の検査ソケットに対応する。また、支持台630には、基台610の上流側ステージ612uおよび下流側ステージ612dと平行な方向Y方向に移動可能にYステージ632が設けられており、Yステージ632からは、基台610に向かう方向X方向に腕部634が延設されている。また、腕部634の側面には、X方向に移動可能にXステージ636が設けられている。そして、Xステージ636には、撮像カメラ638と、上下方向Z方向に移動可能なZステージを内蔵した把持装置650が設けられている。また、把持装置650の先端には、電子部品1を把持する把持部652が設けられている。更に、基台610の前面側には、電子部品検査装置600の全体の動作を制御する制御装置618も設けられている。尚、本実施例では、支持台630に設けられたYステージ632や、腕部634や、Xステージ636や、把持装置650が、本発明の電子部品搬送装置に対応する。また、本実施例では、Xステージ636、Yステージ632、および把持装置650に内蔵されたZステージが、本発明の移動装置に対応する。更に、本実施例の制御装置618は、本発明の第1制御部、第2制御部、第3制御部に対応する。以上のような構成を有する電子部品検査装置600は、次のようにして電子部品1の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品1は、上流側ステージ612uに載せられて、検査台616の近くまで移動する。次に、Yステージ632およびXステージ636を動かして、上流側ステージ612uに載置された電子部品1の真上の位置まで把持装置650を移動させる。このとき、撮像カメラ638を用いて電子部品1の位置を確認することができる。そして、把持装置650内に内蔵されたZステージを用いて把持装置650を降下させて、把持部652で電子部品1を把持すると、そのまま把持装置650を撮像装置614の上に移動させて、撮像装置614を用いて電子部品1の姿勢を確認する。続いて、把持装置650に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品1の姿勢を調整する。そして、把持装置650を検査台616の上まで移動させた後、把持装置650に内蔵されたZステージを動かして電子部品1を検査台616の上にセットする。把持装置650内の微調整機構を用いて電子部品1の姿勢が調整されているので、検査台616の正しい位置に電子部品1をセットすることができる。そして、検査台616を用いて電子部品1の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台616から電子部品1を取り上げた後、Yステージ632およびXステージ636を動かして、下流側ステージ612dの上まで把持装置650を移動させ、下流側ステージ612dに電子部品1を置く。その後、下流側ステージ612dを動かして、検査が終了した電子部品1を所定位置まで搬送する。図17は、把持装置650に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置650内には、把持部652に接続された回転軸654や、回転軸654が回転可能に取り付けられた微調整プレート656などが設けられている。また、微調整プレート656は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、X方向およびY方向に移動可能となっている。ここで、図17に斜線を付して示されるように、回転軸654の端面に向けて回転方向用の圧電モーター10θが搭載されており、圧電モーター10θの駆動凸部図示は省略が回転軸654の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター10θを動作させることによって、回転軸654および把持部652をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能となっている。また、微調整プレート656に向けてX方向用の圧電モーター10xと、Y方向用の圧電モーター10yとが設けられており、それぞれの駆動凸部図示は省略が微調整プレート656の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター10xを動作させることによって、微調整プレート656および把持部652をX方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター10yを動作させることによって、微調整プレート656および把持部652をY方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能となっている。従って、図16の電子部品検査装置600は、圧電モーター10θ、圧電モーター10x、圧電モーター10yを動作させることにより、把持部652で把持した電子部品1の姿勢を微調整することが可能である。尚、本実施例では、圧電モーター10x、圧電モーター10yがそれぞれ本発明の第1の圧電モーター、第2の圧電モーターに対応し、圧電モーター10θが本発明の第3の圧電モーターに対応する。また、回転軸654や、微調整プレート656、圧電モーター10θ、圧電モーター10x、圧電モーター10yによって構成される微調整機構が、本発明の駆動装置に対応する。図18は、本実施例の圧電モーター10を組み込んだ印刷装置700を例示した斜視図である。図示した印刷装置700は、印刷媒体2の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置700は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ701や、排出口702や、複数の操作ボタン705が設けられている。また、背面側には供給トレイ703が設けられている。供給トレイ703に印刷媒体2をセットして操作ボタン705を操作すると、供給トレイ703から印刷媒体2が吸い込まれて、印刷装置700の内部で印刷媒体2の表面に画像が印刷された後、排出口702から排出される。印刷装置700の内部には、印刷媒体2上で主走査方向に往復動するキャリッジ720と、キャリッジ720の主走査方向への動きをガイドするガイドレール710が設けられている。また、図示したキャリッジ720は、印刷媒体2上にインクを噴射する噴射ヘッド722や、キャリッジ720を主走査方向に駆動するための駆動部724などから構成されている。噴射ヘッド722の底面側印刷媒体2に向いた側には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体2に向かってインクを噴射することができる。また、駆動部724には、圧電モーター10m,10sが搭載されている。圧電モーター10mの駆動凸部図示は省略はガイドレール710に押しつけられている。このため、圧電モーター10mを動作させることで、キャリッジ720を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター10sの駆動凸部114は、噴射ヘッド722に対して押しつけられている。このため、圧電モーター10sを動作させることで、噴射ヘッド722の底面側を印刷媒体2に近付けたり、印刷媒体2から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷媒体2として、いわゆるロール紙を用いる印刷装置700では、画像を印刷したロール紙を切断する機構が必要となる。このような場合には、キャリッジ720にカッターを取り付けて主走査方向に移動させれば、ロール紙を切断することも可能である。図19は、本実施例の圧電モーター10を組み込んだロボットハンド800を例示した説明図である。図示したロボットハンド800は、基台802から複数本の指部803が立設されており、手首804を介してアーム810に接続されている。ここで、指部803の根元の部分は基台802内で移動可能となっており、この指部803の根元の部分に駆動凸部114を押しつけた状態で圧電モーター10fが搭載されている。このため、圧電モーター10fを動作させることで、指部803を移動させて対象物を把持することができる。また、手首804の部分にも、手首804の端面に駆動凸部114を押しつけた状態で圧電モーター10rが搭載されている。このため、圧電モーター10rを動作させることで、基台802全体を回転させることが可能である。図20は、ロボットハンド800を備えたロボット850を例示した説明図である。図示されるようにロボット850は、複数本のアーム810と、それらアーム810の間を屈曲可能な状態で接続する関節部820とを備えている。また、ロボットハンド800はアーム810の先端に接続されている。そして、関節部820には、関節部820を屈曲させるためのアクチュエーターとして圧電モーター10jが内蔵されている。このため、圧電モーター10jを動作させることにより、それぞれの関節部820を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。"