太陽電池基板を、この基板と当接する面の少なくとも一部に凹構造が施された保持板に大気圧より低い圧力P1の雰囲気中において保持する工程と、この保持を維持した状態において前記圧力P1より高い雰囲気圧力P2に曝して、前記基板を前記保持板に固定した接合体を形成する工程とを含むことを特徴とする太陽電池基板の保持方法。前記接合体を前記圧力P1以下の雰囲気において前記固定を解除し、太陽電池基板を保持板から離脱する工程を有する請求項1記載の太陽電池基板の保持方法。保持板の凹構造が、その開口部の幅を凹構造の深さ方向における最大幅より狭く形成した構成を有する請求項1又は2記載の太陽電池基板の保持方法。請求項1~3のいずれか1項記載の保持方法により形成された接合体の太陽電池基板を前記圧力P2以上の圧力雰囲気中で加工又は処理し、又は該接合体を搬送することを特徴とする太陽電池の製造方法。太陽電池基板と当接する面の少なくとも一部に凹構造が施され、大気圧より低い圧力P1の雰囲気中において太陽電池基板を前記と当接面において保持すると共に、この保持状態を維持して前記圧力P1より高い雰囲気圧力P2に曝すことにより、太陽電池基板を固定保持する太陽電池基板用保持板。凹構造が、その開口部の幅を凹構造の深さ方向における最大幅より狭く形成した構成を有する請求項5記載の保持板。少なくとも一部が、酸化シリコン、炭化シリコン、窒化シリコンから選ばれる材料により形成された請求項5又は6記載の保持板。本発明は、上記問題に鑑みなされたものであり、粘着剤を使用せず、簡単な構成で薄厚太陽電池基板を保持し、搬送及び加工できる太陽電池基板の保持方法及び太陽電池の製造方法、並びにその方法に用いる保持板を提供することを目的とする。本発明は上記目的を達成するため、下記の太陽電池基板の保持方法、太陽電池の製造方法、及びそれに用いる保持板を提供する。請求項1:太陽電池基板を、この基板と当接する面の少なくとも一部に凹構造が施された保持板に大気圧より低い圧力P1の雰囲気中において保持する工程と、この保持を維持した状態において前記圧力P1より高い雰囲気圧力P2に曝して、前記基板を前記保持板に固定した接合体を形成する工程とを含むことを特徴とする太陽電池基板の保持方法。請求項2:前記接合体を前記圧力P1以下の雰囲気において前記固定を解除し、太陽電池基板を保持板から離脱する工程を有する請求項1記載の太陽電池基板の保持方法。請求項3:保持板の凹構造が、その開口部の幅を凹構造の深さ方向における最大幅より狭く形成した構成を有する請求項1又は2記載の太陽電池基板の保持方法。請求項4:請求項1~3のいずれか1項記載の保持方法により形成された接合体の太陽電池基板を前記圧力P2以上の圧力雰囲気中で加工又は処理し、又は該接合体を搬送することを特徴とする太陽電池の製造方法。請求項5:太陽電池基板と当接する面の少なくとも一部に凹構造が施され、大気圧より低い圧力P1の雰囲気中において太陽電池基板を前記と当接面において保持すると共に、この保持状態を維持して前記圧力P1より高い雰囲気圧力P2に曝すことにより、太陽電池基板を固定保持する太陽電池基板用保持板。請求項6:凹構造が、その開口部の幅を凹構造の深さ方向における最大幅より狭く形成した構成を有する請求項5記載の保持板。請求項7:少なくとも一部が、酸化シリコン、炭化シリコン、窒化シリコンから選ばれる材料により形成された請求項5又は6記載の保持板。太陽電池を安価に製造するには、太陽電池の基板を薄くして原材料費を削減する必要がある。しかしながら、基板の機械的強度は薄型化に伴って低下するため、基板自体を搬送したり加工したりすると破損しやすくなり、また、更に薄型化を進めると基板自体で形状を保持できなくなるため、既存の太陽電池製造工程を適用することが難しいという課題があるが、本発明によれば、太陽電池の基板を、保持板に吸着させて固定すると共に前記基板の強度を補い、吸着を維持したまま前記基板の搬送及び加工処理を行うことができ、厚さ50μm程度の薄厚基板でも搬送、加工や処理を安定して行うことが可能になり、太陽電池の低コスト化が可能になる。以下、図2~5を参照して本発明の実施例を説明する。図2は、本発明の一実施例に係る太陽電池基板用保持板1で、この保持板1は、保持板本体2の太陽電池基板10との当接面3に多数の凹構造凹部4が形成されたものである。この保持板1を用いて太陽電池基板10を保持し、また搬送、加工又は処理を行う場合は、まず図3aに示すように、大気圧のチャンバー20内において太陽電池基板101と凹構造4が施された保持板1を離して配置する。次に、図3bに示すように、チャンバー20の内部を真空ポンプにより大気圧より低い圧力P1に減圧する。圧力がP1に達したら、図3cに示すように、基板10と保持板1の所定の位置に配置する。次に、図3dに示すように、基板10と保持板1の接触を保ったまま雰囲気圧力をP1より高い圧力P2に昇圧する。しかし、このとき凹構造4内の圧力は基板10と保持板1に密閉されてP1に保たれているので、差圧P2-P1により基板10は保持板1に吸着され固定される。これにより、基板10が保持板1と一体化された接合体30が形成され、上記圧力P2以上の圧力雰囲気において、接合体30を搬送し、また保持板1に固定、一体化された基板10は、保持板1から脱落することなく加工、処理することができる。なお、昇圧には大気を導入してもよいし、続けて何らかの処理を基板に行う場合には工程所望のプロセスガスを用いてもよい。本発明によれば、保持板と保持板に固定された太陽電池基板を一体化した擬似基板として様々な処理を行うことが可能である。従って、圧力P1の値は、太陽電池工程によって最適化されるべきものであるが、目安としては工程における雰囲気圧力つまり圧力P2の1/10以下にするのがよい。保持板の材質はある程度の剛性を有すると同時に、太陽電池の各製造工程によって使い分けるのが望ましい。例えば化学薬品を使ったウェット洗浄では耐薬品性の高い樹脂や石英を使用するのがよく、また焼結性金属ペーストの焼成熱処理等では、耐熱性の高いセラミックスが使用できる。しかし、高い太陽電池特性を得るには、特に高温工程での不純物汚染を抑制する必要があるので、好ましくは石英酸化シリコン、炭化シリコン、窒化シリコン又はこれらの組合せを用いるのがよい。これらはバルク材を加工して保持板としてもよいが、コストや適用する工程によっては、例えば比較的安価なセラミック基板や金属基板にコーティング材として適用してもよい。凹構造の形成は、保持板の母材に適した加工法により形成されればよく、特に限定するものではない。例えば金属であれば、その表面を機械的に研削加工する方法が適用できる。但し、基板との接触面は平坦である必要があり、加工時の変形や異物は取り除く必要がある。このほか母材にセラミックス等を用いる場合には、鋳型による成型加工法や、プレス加工法等が適用できる。凹構造の断面は、図4aに示すように、開口幅4aが最大溝幅4bと同じか又はより広くなっていても基板を吸着できるが、望ましくは図4bに示すように、開口幅4aが最大溝幅4bより狭くなっている方がよい。このような構造にすることで、凹構造の容量を増やし、基板吸着のための差圧をより安定的に保つことが可能になる。図4bのような凹構造は、例えば保持板にパターンマスクを形成し、凹構造形成部分を露出させた上でエッチングを行うことで形成できる。または、図4cのように、保持板本体2に切削等で凹構造4を形成し、その上に溝幅4bよりも狭い開口幅4aを持つ板5をはり合わせてもよい。保持板の形状は、基板の大きさと形に応じて適した形状にすればよい。また、凹構造のパターンは様々なものが適用可能である。図5は例として正方形の保持板を基板支持面側から見た図である。凹構造のパターンは図5aに示すような同心状パターンでもよいし、図5bのような格子パターンでもよいし、図5cのような点パターンでもよい。基板を保持板から取り外すには、基板及び保持板を再度チャンバーに入れ、圧力をP1以下にする。これにより凹構造による吸引力がなくなり、基板を保持板から取り外すことができる。基板の取り外しは、例えば吸盤や、弱粘性の粘着パッド等で行うのがよい。ここで、基板を別の保持板に載せ替えて次工程の処理を行う場合は、基板を保持板から離した状態を保ちつつ、チャンバー内を次工程に適した圧力にし、以降は図2の手順で基板を次工程用保持板に固定する。