"マニピュレータを作動するサーボアンプに対して電力の供給及び遮断を行う動力遮断器と、前記マニピュレータに設けられたインターロック信号生成手段と、前記インターロック信号生成手段が生成したインターロック信号に基づいて前記動力遮断器に遮断を行わせる遮断制御手段を備えた産業用ロボットの安全装置において、前記インターロック信号に基づき、前記動力遮断器が遮断動作する以前に前記サーボアンプのサーボ制御を停止するサーボアンプ停止手段を有することを特徴とする産業用ロボットの安全装置。複数のマニピュレータをそれぞれ作動する複数のサーボアンプに対してそれぞれ電力の供給及び遮断を行う複数の動力遮断器と、各々の前記マニピュレータに対してそれぞれ設けられたインターロック信号生成手段と、前記インターロック信号生成手段が生成したインターロック信号に基づいて、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関する動力遮断器に遮断を行わせる単一の遮断制御手段を備えた産業用ロボットの安全装置において、前記インターロック信号生成手段が生成した前記インターロック信号に基づき、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関する前記動力遮断器が遮断動作する以前に、当該マニピュレータに関するサーボアンプのサーボ制御を停止するサーボアンプ停止手段を有することを特徴とする産業用ロボットの安全装置。前記サーボアンプ停止手段は、前記インターロック信号があったとき、当該インターロック信号を生成したインターロック信号生成手段を有するマニピュレータを制御する制御手段に対して、異常通知を行い、前記制御手段は、前記異常通知を、当該異常通知と関連のあるマニピュレータを特定して記憶することを特徴とする請求項2に記載の産業用ロボットの安全装置。前記サーボアンプのサーボ制御を停止後は、サーボアンプはマニピュレータが備える駆動モータのトルクを低減させるように制御することを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちいずれか1項に記載の産業用ロボットの安全装置。前記インターロック信号生成手段が、ショックセンサ及びオーバートラベルリミットスイッチの少なくともいずれか1つを含む回路であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちいずれか1項に記載の産業用ロボットの安全装置。前記インターロック信号生成手段の回路は、断線したときに、インターロック信号を生成し、前記サーボアンプ停止手段は、前記インターロック信号に基づき、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関するサーボアンプのサーボ制御を停止し、その後、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関する前記動力遮断器を遮断動作させることを特徴とする請求項5に記載の産業用ロボットの安全装置。上記のように従来はショックセンサや、オーバートラベルリミットスイッチからインターロック信号が出力されると、マニピュレータの駆動モータに対して電力を供給している回路を遮断器により遮断するようにしているが、インターロック信号が出力されたた場合、少しでも速くマニピュレータの駆動モータの制御を停止させたい要望がある。本発明の目的は、インターロック信号生成手段がインターロック信号を生成したとき、マニピュレータの駆動モータを制御するサーボアンプのサーボ制御を、動力遮断器の遮断前に停止させることができる産業用ロボットの安全装置を提供することにある。上記問題点を解決するために、請求項1に記載の発明は、マニピュレータを作動するサーボアンプに対して電力の供給及び遮断を行う動力遮断器と、前記マニピュレータに設けられたインターロック信号生成手段と、前記インターロック信号生成手段が生成したインターロック信号に基づいて前記動力遮断器に遮断を行わせる遮断制御手段を備えた産業用ロボットの安全装置において、前記インターロック信号に基づき、前記動力遮断器が遮断動作する以前に前記サーボアンプのサーボ制御を停止するサーボアンプ停止手段を有することを特徴とする産業用ロボットの安全装置を要旨としている。請求項2の発明は、複数のマニピュレータをそれぞれ作動する複数のサーボアンプに対してそれぞれ電力の供給及び遮断を行う複数の動力遮断器と、各々の前記マニピュレータに対してそれぞれ設けられたインターロック信号生成手段と、前記インターロック信号生成手段が生成したインターロック信号に基づいて、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関する動力遮断器に遮断を行わせる単一の遮断制御手段を備えた産業用ロボットの安全装置において、前記インターロック信号生成手段が生成した前記インターロック信号に基づき、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関する前記動力遮断器が遮断動作する以前に、当該マニピュレータに関するサーボアンプのサーボ制御を停止するサーボアンプ停止手段を有することを特徴とする産業用ロボットの安全装置を要旨としている。請求項3の発明は、請求項2において、前記サーボアンプ停止手段は、前記インターロック信号があったとき、当該インターロック信号を生成したインターロック信号生成手段を有するマニピュレータを制御する制御手段に対して、異常通知を行い、前記制御手段は、前記異常通知を、当該異常通知と関連のあるマニピュレータを特定して記憶することを特徴とする。請求項4の発明は、請求項1又は請求項2において、前記サーボアンプのサーボ制御を停止後は、サーボアンプはマニピュレータが備える駆動モータのトルクを低減させるように制御することを特徴とする。請求項5の発明は、請求項1乃至請求項3のうちいずれか1項において、前記インターロック信号生成手段が、ショックセンサ及びオーバートラベルリミットスイッチの少なくともいずれか1つを含む回路であることを特徴とする。請求項6の発明は、請求項4において、前記インターロック信号生成手段の回路は、断線したときに、インターロック信号を生成し、前記サーボアンプ停止手段は、前記インターロック信号に基づき、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関するサーボアンプのサーボ制御を停止し、その後、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関する前記動力遮断器を遮断動作させることを特徴とする。以上詳述したように、請求項1の発明によれば、インターロック信号生成手段がインターロック信号を生成したとき、マニピュレータを作動するサーボアンプのサーボ制御を、サーボアンプに対して電力の供給を遮断する動力遮断器の遮断前に停止させることができる。請求項2の発明によれば、複数のマニピュレータが制御される産業用ロボットの安全装置において、請求項1と同様に、インターロック信号生成手段がインターロック信号を生成したとき、マニピュレータを作動するサーボアンプのサーボ制御を、サーボアンプに対して電力の供給を遮断する動力遮断器の遮断前に停止させることができる。請求項3の発明によれば、インターロック信号があったとき、複数のマニピュレータのうち、いずれのマニピュレータでインターロック信号が生成されたのかを、制御手段が記憶しているため、どのマニピュレータで異常があったのかを判別することができる。請求項4の発明によれば、サーボアンプのサーボ制御を停止後は、サーボアンプはマニピュレータが備える駆動モータのトルクを低減させるように制御する結果、駆動モータのトルクが増加することがないため、衝撃直後のツールの動きの抑制ができる。請求項5の発明によれば、インターロック信号生成手段を、ショックセンサ及びオーバートラベルリミットスイッチの少なくともいずれか1つを含む回路で構成しても、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の効果を容易に実現できる。請求項6の発明によれば、インターロック信号生成手段の回路は、断線した場合に、インターロック信号を生成するため、断線時において、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関するサーボアンプのサーボ制御を停止し、その後、当該インターロック信号生成手段を有するマニピュレータに関する前記動力遮断器を遮断動作させることができる。第1実施形態以下、本発明を具体化した産業用ロボットの安全装置の第1実施形態を図1及び図2に従って説明する。本実施形態の産業用ロボットは、アーク溶接ロボットであるが、本発明はアーク溶接ロボットの安全装置に限定するものではなく、他の産業用ロボット、例えばハンドリングロボット、塗装ロボット、搬送ロボット等の安全装置としてもよい。アーク溶接ロボットは、ツールとして図示しない溶接トーチを備えた6軸の溶接ロボットマニピュレータ以下、単にマニピュレータという10である。マニピュレータ10の前記ツールには、ショックセンサSSが設けられている。ショックセンサSSは、前記ツールに衝撃が加わった際に、その衝撃を検出するものであれば限定されるものではなく、例えば、リミットスイッチ、加速度センサ等をショックセンサSSとして挙げる。本実施形態では、常閉のリミットスイッチによりショックセンサが構成され、該リミットスイッチはショックがあるときに、開路動作する。ショックセンサSSと該ショックセンサSSをロボット制御装置20に接続する回路はインターロック信号生成手段に相当する。図1に示すロボット制御装置20は、制御手段としての主制御部30と、主制御部30に電気的に接続されたシーケンス部40と、主制御部30に電気的に接続されたモータ制御部50と、モータ制御部50に対して3相交流電源70からの電力を供給及び遮断する動力遮断器60を備えている。動力遮断器60は電磁スイッチからなる。シーケンス部40は遮断制御手段に相当する。主制御部30は、コンピュータからなり、図示しないティーチペンダントにより教示されたデータに基づく作業プログラムにより、マニピュレータ10を作動させるための制御指令を出力する。モータ制御部50は、サーボドライブ52、及びサーボアンプ54を備えている。サーボドライブ52は主制御部30からの制御指令と、図示しない駆動モータのエンコーダからのフィードバックに基づき、サーボ制御を行うべく位置速度制御により求めた駆動モータ図示しないの指令電流値を算出する。また、サーボアンプ54は、前記動力遮断器60を介して3相交流電源70から出力される3相交流を整流する図示しない整流回路と、前記整流回路の整流出力を平滑する大容量の平滑コンデンサと、前記平滑コンデンサにより平滑された直流が入力されるとともに該直流を前記指令電流値に基づきPWM変換した3相交流をマニピュレータ10の駆動モータサーボモータに出力する図示しないインバータを備えた公知の構成からなる。すなわち、サーボアンプ54は、マニピュレータ10の駆動モータをPWM制御により駆動する。動力遮断器60は、後述する動力遮断回路部43からのオン又はオフ信号に基づいて3相交流電源70からサーボアンプ54への電力の供給又は遮断を行う。前記ショックセンサSSは、ロボット制御装置20のモータ制御部50に設けられたフォトカプラ55に接続されている。フォトカプラ55は、ショックセンサSSに電気的に接続された発光ダイオードDと、一対の受光素子例えばフォトトランジスタK1,K2とからなる。受光素子K1は、シーケンス部40に電気的に接続されている。本実施形態のシーケンス部40は、プログラマブルロジックコントローラにより構成されている。なお、図1では、説明の便宜上、概念的にシーケンス部40を有接点リレー方式での回路により示されている。すなわち、シーケンス部40の構成を有接点リレー方式で概念的に説明すると、前記受光素子K1には一端が接地されたリレーコイル41の他端に接続されている。受光素子K1は、発光ダイオードDが発光した場合、導通してリレーコイル41を励磁するとともに、発光ダイオードDが消光した場合、導通がなくなりリレーコイル41を消磁する。また、シーケンス部40は、リレーコイル41の励磁時にオンするとともに消磁時にオフするリレースイッチ42と、リレースイッチ42と直列に接続された動力遮断回路部43を有する。動力遮断回路部43は、下記のように動作する。1リレースイッチ42がオンであって、かつ主制御部30からのオン指令が継続して出力されている場合、動力遮断器60にオン信号を出力する。2リレースイッチ42がオフ時、又は主制御部30からのオフ指令により、動力遮断器60にオフ信号を出力する。動力遮断器60は、主制御部30からのオン信号により、サーボアンプ54へ電力を供給するとともに、主制御部30からのオフ信号により、サーボアンプ54への電力を遮断する。また、フォトカプラ55の受光素子K2は、サーボドライブ52に接続されている。受光素子K2は、発光ダイオードDが発光した場合、サーボドライブ52に、サーボアンプ54のPWM制御を許容するオン信号を入力するとともに、発光ダイオードDが消光した場合、サーボドライブ52にサーボアンプ54のPWM制御を無効にするオフ信号を入力する。サーボドライブ52は、受光素子K2からのオン信号が出力されている場合、主制御部30からの制御指令に基づく指令電流値を演算するとともに受光素子K2からのオフ信号が出力されている場合、サーボアンプ54への指令電流の演算を停止して、マニピュレータ10の駆動モータのPWM制御を停止し、マニピュレータ10の駆動モータのトルクを低減させる。動力遮断器60、ショックセンサSSと該ショックセンサSSをロボット制御装置20に接続する回路インターロック信号生成手段、シーケンス部40遮断制御手段、及びサーボドライブ52サーボアンプ停止手段により安全装置が構成されている。第1実施形態の作用さて、上記のように構成された安全装置による処理を図2のフローチャートを参照して説明する。S10において、インターロック動作がない場合すなわち、インターロック信号が出力されていない場合には、S70にジャンプする。S70では、主制御部30は、作業プログラムに従った制御指令を出力し、サーボドライブ52は、前記制御指令に基づいて指令電流値の算出し、サーボアンプ54はその指令電流値に基づきPWM変換した3相交流をマニピュレータ10の駆動モータサーボモータに出力してロボット動作させてS10に戻る。なお、この場合、動力遮断器60及びショックセンサSSは閉路している。S10において、図示しない溶接トーチツールに予期しない周辺の物と当たった場合、ショックセンサSSが開路する。この開路により、フォトカプラ55の発光ダイオードDが消灯する。前記開路による消灯は、ショックセンサSSがインターロック信号が生成したことと同等である。S20では、このインターロック信号の生成により、すなわち、発光ダイオードDの消灯により、受光素子K2は、サーボドライブ52にオフ信号を出力し、サーボアンプ54のPWM制御を無効にする。すなわち、サーボアンプ54は指令電流値の演算を停止してマニピュレータ10の駆動モータのPWM制御を停止し、直前の指令電流値よりもデューティ比を低減することによりマニピュレータ10の駆動モータのトルクを低減させる。すなわち、インターロック信号の生成により、サーボドライブ52はサーボ制御を停止する。なお、後の動力遮断器60の遮断により、サーボアンプ54への電力の供給が行われるが、この遮断動作とサーボ制御の停止時の時間差は、わずかであるが存在する。この時間差を利用して、マニピュレータ10の動作が衝撃を起こしたときの動作を軽減する。S30では、ショックセンサSSのインターロック信号の生成に基づき、モータ制御部50からシーケンス部40に異常通知を行う。具体的には、発光ダイオードDが消光するため、受光素子K1の導通がなくなるとともにシーケンス部40のリレーコイル41が消磁する。また、サーボドライブ52は、主制御部30に対してインターロック信号の生成に基づき異常があったことを通知する。主制御部30は、その異常通知を、図示しない記憶部に、衝撃があった作業プログラム名及びそのステップナンバーを記憶する。S40では、リレーコイル41が消磁してリレースイッチ42がオフするため、動力遮断回路部43は、動力遮断器60に対してオフ信号を出力する。動力遮断器60はこのオフ信号によりサーボアンプ54へ電力を遮断する。S50では、インターロック信号の生成が解除されるまで動力遮断が継続される。ここで図示しない溶接トーチの周辺の物に対する干渉が除去されて、ショックセンサSSが閉路されると発光ダイオードDが発光して受光素子K1が導通することにより、リレーコイル41が励磁してリレースイッチ42がオンする。この状態で、主制御部30から動力遮断回路部43にオン指令が出力されると、動力遮断器60は閉路してサーボアンプ54に電力を供給する。また、主制御部30は、動力遮断回路部43へのオン指令とともにサーボドライブ52に制御指令が付与する。一方、受光素子K2は、発光ダイオードDが発光すると、サーボドライブ52にサーボアンプ54のPWM制御を許容するオン信号を入力する。このため、サーボドライブ52は、前記制御指令に基づいて指令電流値の算出し、サーボアンプ54はその指令電流値に基づきPWM変換した3相交流をマニピュレータ10の駆動モータサーボモータに出力してロボット動作させてS10に戻る。また、本実施形態では、ショックセンサSSをロボット制御装置20に接続する回路インターロック信号生成手段に断線があると、該回路が通電しなくなるため、フォトカプラ55の発光ダイオードDが消灯する、すなわち、インターロック信号を生成することと同等となる。この結果、前記回路が断線した場合にも、同様にマニピュレータ10を作動するサーボアンプ54のサーボ制御を、動力遮断器の遮断前に停止させる。さて、本実施形態によれば、以下のような特徴がある。1本実施形態の産業用ロボットの安全装置では、マニピュレータ10の駆動モータを作動するサーボアンプ54に対して電力の供給及び遮断を行う動力遮断器60と、マニピュレータ10に設けられたショックセンサSSと該ショックセンサSSをロボット制御装置20に接続する回路インターロック信号生成手段と、インターロック信号生成手段が生成したインターロック信号に基づいて動力遮断器60に遮断を行わせるシーケンス部40遮断制御手段を備えている。そして、本実施形態の安全装置は、インターロック信号に基づき、動力遮断器60が遮断動作する以前にサーボアンプ54のサーボ制御を停止するサーボドライブ52サーボアンプ停止手段を有する。この結果、ショックセンサSSと該ショックセンサSSをロボット制御装置20に接続する回路インターロック信号生成手段がインターロック信号を生成したとき、マニピュレータ10の駆動モータを制御するサーボアンプ54のサーボ制御を、動力遮断器の遮断前に停止させることができる。2本実施形態の産業用ロボットの安全装置では、サーボアンプ54のサーボ制御を停止後は、サーボアンプ54はマニピュレータ10が備える図示しない駆動モータのトルクを低減させるように制御する。この結果、駆動モータのトルクが増加することがないため、衝撃直後のツールの動きの抑制ができる。3本実施形態の安全装置では、ショックセンサSSをインターロック信号生成手段としている。この結果、本実施形態の安全装置によれば、インターロック信号生成手段としてショックセンサを含む回路で構成しても、上記1に記載の効果を容易に実現できる。4本実施形態の安全装置では、ショックセンサSSを含む回路が断線したときにおいても、インターロック信号を生成する。そして、サーボドライブ52サーボアンプ停止手段は、インターロック信号に基づき、マニピュレータ10すなわち、駆動モータのサーボアンプ54のサーボ制御を停止し、その後、動力遮断器60を遮断動作させることができる。第2実施形態次に、第2実施形態の産業用ロボットの安全装置を図3を参照して説明する。なお、第2実施形態では、第1実施形態の構成と異なる構成を中心にして説明する。本実施形態のロボット制御装置20では、制御手段としての主制御部30により、複数のマニピュレータを協調制御するところが異なっている。以下、ロボット制御装置20の主制御部30により、2台のマニピュレータ10a,10bを制御する場合の例で説明する。第2実施形態の各マニピュレータ10a,10bには、それぞれショックセンサSSa,SSbが第1実施形態のマニピュレータ10と同様に設けられている。また、第1実施形態では、マニピュレータ10に関連する構成として、モータ制御部50、フォトカプラ55発光ダイオードD、受光素子K1,K2、サーボドライブ52、サーボアンプ54、及び動力遮断器60を備えているが、第2実施形態ロボット制御装置20においても、各マニピュレータ10a,10b毎に同様の構成が設けられている。すなわち、各マニピュレータ10a,10bには、図3に示すようにモータ制御部50a,50b、フォトカプラ55a.55b発光ダイオードDa,Db、受光素子K1a,K1b,K2a,K2b、サーボドライブ52a,52b、サーボアンプ54a,54b、動力遮断器60a,60bが第1実施形態と同様に接続されている。第1実施形態と同一構成又は相当する構成には、同じ番号を付すと共に、各マニピュレータに関連する構成では、各マニピュレータに関連することを識別するために、それぞれa及びbの符号を当該番号に付加している。なお、シーケンス部40のリレーコイル41は図3に示すように受光素子K1a,と受光素子K1bに対しては、シリーズ接続されている。また、各動力遮断器60a,60bに対しては、共通の動力遮断回路部43から、オン信号又はオフ信号が入力される。本実施形態では、サーボドライブ52a,52bは、サーボアンプ停止手段に相当する。また、単一のシーケンス部40は、遮断制御手段に相当するとともに、ショックセンサSSa,SSbを含む回路はインターロック信号生成手段に相当する。第2実施形態の作用次に、上記のように構成された第2実施形態の産業用ロボットの安全装置の作用について説明する。本実施形態では、各マニピュレータ10a、10bにそれぞれショックセンサSSa,SSbが設けられている。そして、各マニピュレータ10a,10bにおいて、ショックセンサSSa,SSbを含む回路がインターロック信号を生成すると、第1実施形態の図2で示すフローチャートのS10~S70と同様の処理が行われる。ここで、説明の便宜上、マニピュレータ10aでインターロック信号が生成されたとすると、第1実施形態と同様に、図2のS10~S70の処理が行われる。また、S30では、サーボドライブ52aは、主制御部30に対してインターロック信号の生成に基づき、異常があったことを通知する。主制御部30は、その異常通知に基づいて、衝撃があったマニピュレータ10aの作業プログラム名及びそのステップナンバーを図示しない記憶部に記憶する。なお、マニピュレータ10bでインターロック信号が生成された場合には、サーボドライブ52bは異常通知を主制御部30制御手段に行い、主制御部30は該異常通知に基づいて同様に衝撃があったマニピュレータ10bの作業プログラム名及びそのステップナンバーを図示しない記憶部に記憶する。さて、本実施形態によれば、第1実施形態の効果1~4の効果に加えて以下のような特徴がある。1本実施形態の産業用ロボットの安全装置は、複数のマニピュレータ10a,10bをそれぞれ作動する複数のサーボアンプ54a,54bに対してそれぞれ電力の供給及び遮断を行う複数の動力遮断器60a,60bと、各々のマニピュレータ10a,10bに対してそれぞれ設けられたショックセンサSSa,SSbを含む回路インターロック信号生成手段と、インターロック信号に基づいて当該ショックセンサSSa,SSbを含む回路を有するマニピュレータに関する動力遮断器60a,60bに遮断を行わせる単一のシーケンス部40遮断制御手段を備える。そして、ショックセンサSSa,SSbを含む回路が生成したインターロック信号に基づき、ショックセンサSSa,SSbを含む回路を有するマニピュレータ10a,10bに関する動力遮断器60a,60bが遮断動作する以前に、当該マニピュレータ10a,10bに関するサーボアンプ54a,54bのサーボ制御を停止するサーボドライブ52a,52bサーボアンプ停止手段を有する。本実施形態によれば、単一の主制御部30で複数のマニピュレータが制御される産業用ロボットの安全装置において、第1実施形態の1と同様に、ショックセンサSSa,SSbを含む回路がそれぞれインターロック信号を生成したとき、マニピュレータ10a,10bを作動するサーボアンプ54a,54bのサーボ制御を、サーボアンプ54a,54bに対して電力の供給を遮断する動力遮断器60a,60bの遮断前に停止させることができる。2本実施形態の産業用ロボットの安全装置では、サーボアンプ停止手段は、インターロック信号があったとき、当該インターロック信号を生成したインターロック信号生成手段を有するマニピュレータを制御する主制御部30制御手段に対して、異常通知を行う。そして、主制御部30は、該異常通知を、当該異常通知と関連のあるマニピュレータを特定して記憶する。この結果、本実施形態によれば、インターロック信号があったとき、複数のマニピュレータのうち、いずれのマニピュレータでインターロック信号が生成されたのかを、主制御部30制御手段が記憶しているため、どのマニピュレータで異常があったのかを判別することができる。図6は、複数のマニピュレータ100a,100bにそれぞれショックセンサSSa,SSbを備えた従来例のロボット制御装置110の例である。なお、図5の従来例と同一構成及び相当する構成については、同一番号を付すと共に各マニピュレータに関連する構成では、各マニピュレータに関連することを識別するために、それぞれa及びbの符号を当該番号に付加している。なお、シーケンス回路120の動力遮断回路130は、図6に示すようにマニピュレータ100aのショックセンサSSaと、マニピュレータ100bのショックセンサSSbとシリーズ接続されている。また、遮断器150a,150bは、共通の動力遮断回路130から、オン信号又はオフ信号が入力される。従来例では、図6に示すように構成されていたため、インターロック信号がショックセンサSSa又はショックセンサSSbで生成された場合、動力遮断回路130により、遮断器150a,150bを遮断動作する。しかしこの場合、いずれのショックセンサSSa,SSbが動作したことにより、遮断器150a,150bを遮断動作したのかが不明であり、遮断動作の原因の早期の探求に支障を来す問題がある。本実施形態によれば、主制御部30でいずれのマニピュレータのインターロック信号生成手段によってインターロック信号を生成したかが分かるため、遮断動作の原因の早期の探求ができる効果がある。第3実施形態次に、第3実施形態に具体化した産業用ロボットの安全装置を図4を参照して説明する。本実施形態は第1実施形態の変形例であり、第1実施形態と同一構成及び相当する構成については同一符号を付して異なる構成を中心に説明する。本実施形態では、マニピュレータ10に対してショックセンサSS以外に、オーバートラベルリミットスイッチLSが設けられている。オーバートラベルリミットスイッチLSは、作業プログラムでマニピュレータ10が動作する範囲を超えると、オフ動作するように構成されている。オーバートラベルリミットスイッチLSは、モータ制御部50に設けられたフォトカプラ56に接続されている。フォトカプラ56は、オーバートラベルリミットスイッチLSに電気的に接続された発光ダイオードD1と、一対の受光素子例えばフォトトランジスタK3,K4とからなる。フォトカプラ55の受光素子K1とフォトカプラ56の受光素子K3は、シーケンス部40に対してパラレル接続されている。また、フォトカプラ56の受光素子K4は、サーボドライブ52に接続されている。受光素子K4は、発光ダイオードD1が発光した場合、サーボドライブ52に、サーボアンプ54のPWM制御を許容するオン信号を入力するとともに、発光ダイオードD1が消光した場合、サーボドライブ52にサーボアンプ54のPWM制御を無効にするオフ信号を入力する。ショックセンサSSを含む回路及びオーバートラベルリミットスイッチLSを含む回路は、インターロック信号生成手段に相当する。他の構成は、第1実施形態と同様の構成である。第3実施形態の作用本実施形態では、ショックセンサSSが衝撃により、オフ動作した場合、及びショックセンサSSが断線した場合は、第1実施形態と同様の処理がサーボドライブ52及びシーケンス部40で行われる。また、オーバートラベルリミットスイッチLSが、作業プログラムでマニピュレータ10が動作する範囲を超えると、或いはオーバートラベルリミットスイッチLSを含む回路が断線するとオフ動作する。この場合は、ショックセンサSSがインターロック信号を生成した場合と同様に、第1実施形態と同様の処理がサーボドライブ52及びシーケンス部40で行われる。さて、本実施形態によれば、第1実施形態の効果1~4の効果に加えて以下のような特徴がある。1本実施形態の産業用ロボットの安全装置では、インターロック信号生成手段をショックセンサSSを含む回路及びオーバートラベルリミットスイッチLSを含む回路でそれぞれ構成している。この結果、本実施形態によれば、インターロック信号生成手段を、ショックセンサSSを含む回路及びオーバートラベルリミットスイッチLSを含む回路で構成しても、第1実施形態と同様の効果を容易にそうすることができる。なお、本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。前記実施形態では、ショックセンサSSをフォトカプラ55に接続したが、フォトカプラの代わりに、半導体リレー等のリレーに変更してもよい。前記実施形態では、シーケンス部40をプログラマブルロジックコントローラに代えて無接点リレー方式、或いは有接点方式で構成してもよい。前記シーケンス部40の代わりに、遮断制御手段をマイクロプロセッサで構成してもよい。前記実施形態では、サーボアンプ54のサーボ制御を停止する場合、すなわち、サーボアンプ54は指令電流値の演算を停止してマニピュレータ10の駆動モータのPWM制御を停止し、直前の指令電流値よりもデューティ比を低減することによりマニピュレータ10の駆動モータのトルクを低減させるようにした。この代わりに、サーボアンプ54のサーボ制御を停止する場合、制御指令値及びフィードバックに基づく電流指令値の演算を停止して、直前のデューティ比と同じ値とするようにしてもよい。第1実施形態において、ショックセンサSSの代わりに、マニピュレータ10にオーバートラベルリミットスイッチを設けるようにしてもよい。前記各実施形態では、フォトカプラ55、56を設けたが、フォトカプラ55の代わりに論理回路で構成するようにしてもよい。"