"感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成された水晶振動子を含む水晶発振器の発振周波数の変化分を測定して感知対象物を評価する感知装置に用いられる感知センサーおいて、水晶片を互いに独立して振動する第1の振動領域と第2の振動領域とに分割し、これら第1の振動領域及び第2の振動領域に各々電極を設けて第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子を構成し、前記第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子の一方に感知対象物を吸着する吸着層を形成し、他方には感知対象物を吸着しないように構成したことを特徴とする感知センサー。本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、良好な周波数温度特性を備えた水晶発振器を提供することにある。更に他の目的は、この水晶発振器を利用することにより、感知対象物を高精度に検出することのできる感知装置を提供することにある。本発明の水晶発発振器は、水晶片に弾性波の伝播を止めるための境界領域を形成してこの境界領域により、厚さが互いに同じである、互いに独立して振動する第1の振動領域と第2の振動領域とに分割し、これら第1の振動領域及び第2の振動領域に各々電極を設けて第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子を構成し、前記第1の水晶振動子と負荷容量とを含む第1の発振部と、前記第2の水晶振動子と負荷容量とを含む第2の発振部と、を備え、第1の発振部の発振周波数と第2の発振部の発振周波数との差は、発振周波数に対して0.05よりも小さいことを特徴とする。なお、第1の発振部の発振周波数と第2の発振部の発振周波数とは極めて近いので両発振部のいずれの発振周波数対しても0.05の周波数値は実質同じである。前記境界領域は、例えば水晶片を加工することにより形成されたものである。この場合、前記境界領域は、溝または透孔であるか、あるいは溝及び透孔を組み合わせたものとすることができる。なお境界領域としては、例えば水晶片の一面の中央領域を接着剤などの弾性波吸収体を介して基体に接着し、この吸収体に弾性波を吸収させる構成であってもよい。また上述した水晶発振器は、前記第1の発振部及び第2の発振部の後段に、夫々発振部の第3次高調波を除去するための第1の水晶フィルタ回路及び第2の水晶フィルタ回路を接続し、第1の振動領域及び第2の振動領域の各々に、水晶片の厚さが互いに異なる発振部用の振動領域とフィルタ用振動領域とを形成し、第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子は、前記発振部用の振動領域に各々電極を設け、第1の水晶フィルタ回路に用いられる水晶振動子は第1の振動領域におけるフィルタ用振動領域に電極を設け、また第2の水晶フィルタ回路に用いられる水晶振動子は、第2の振動領域におけるフィルタ用振動領域に電極を設けた構成であってもよい。この水晶発振器の適用例としては、第1の発振部は、矩形波を発振する矩形波発振部として構成され、第2の発振部は第1の発振部の出力波形を正弦波として出力するフィルタを構成する波形整形部として構成されている水晶発振器を挙げることができる。この場合より具体的には、第1の水晶振動子に対する負荷容量と第2の水晶振動子に対する負荷容量とを揃えるための可変用容量コンデンサを第2の水晶振動子に直列に接続する構成を挙げることができる。他の発明は、感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成された水晶振動子を含む水晶発振器と、この水晶発振器の発振周波数の変化分を測定するための手段と、を備えた感知装置において、本発明の上記の水晶発振器を用い、第1の発振部と第2の発振部との各発振周波数の差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する周波数差取り出し手段を設け、前記第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子の一方に前記吸着層を形成し、他方に、感知対象物を吸着しないが前記吸着層と同等のダミー層を形成し、前記周波数差取り出し手段の後段に前記測定手段を設けたことを特徴とする。この感知装置において、水晶発振器の発振周波数の変化分を測定する手段は、周波数をカウントして周波数の変化分を測定する場合、及び周波数の周期を測定して周波数の変化分を求める場合のいずれも該当する。発振周波数の変化分を測定した後は、例えば発振周波数の変化分と感知対象物との濃度との関係式検量線を用いて感知対象物の濃度を求めることができる。本発明によれば、水晶片を境界領域により第1の振動領域と第2の振動領域とに分割することにより、つまり共通の水晶片を用いて第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子を構成しているので、それらの厚さは互いに同じであり、従って負荷容量を同じにすれば互いの共振周波数も実質同じになると共に、周波数温度特性も同じになる。このためこれらの発振出力を用いることにより温度に対する周波数変化を実質ゼロにすることができ、周波数の安定した機器を得ることができる。例えば第1の水晶振動子を用いた矩形波発生部の後段に第2の水晶振動子を用いたフィルタをなす波形整形部を接続して正弦波パルスを得る場合に、両方の発振周波数を極めて高い精度で一致させることができ、そしてこれらの周波数温度特性が実質同じであることから、位相ノイズが少なく、安定した周波数を得ることができる。また第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子の一方に、感知対象物を吸着するための吸着層を形成して感知対象物の吸着量と周波数変化との対応を利用して感知対象物を検出する装置に適用すれば、第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子の水晶片は共通であり、いわば両水晶振動子は同一であることから、他方の水晶振動子にダミー層を設けてこれをリファレンス参照用として用いることで、温度変化に伴う周波数変化をキャンセルすることができる。更に温度検出側の発振部とリファレンス側の発振部との発振周波数が実質一致しているので、副振動が入り込んで誤差を生じる余地がなくなり、また既述のように両水晶振動子が同一であることに加えて発振周波数を実質一致させることで、液体に浸漬したときや温度変化による周波数変化の仕方が全く同じになり、こうした点から感知対象物を高精度に検出することができる。また第1の水晶振動子が置かれる環境は液体中などであることから、OCXOの構造は採用しにくく、このため本発明の手法は極めて有効である。本発明は、共通の水晶片を用いて、第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子を構成し、これら水晶振動子を用いて互いの発振周波数を揃えた実質同じにした第1の発振部及び第2の発振部を構成したものであり、これらの出力を上述のように適用機器に応じて利用することにより良好な周波数温度特性を備えた水晶発振器となる。先ず適用機器として感知対象物を水晶振動子の周波数変化に基づいて感知する感知装置を例にとって説明する。図1は、本発明に係る水晶発振器の実施の形態を示す回路図である。水晶振動子及び発振回路からなる構成部分を発振部と呼ぶことにすると、この水晶発振器は、第1の発振部1Aと、第2の発振部1Bと、これら発振部1A、1Bからの発振周波数の差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する周波数差取り出し手段をなす混合器であるヘテロダイン検波器2と、を備えている。第1の発振部1A及び第2の発振部1Bは同じ構成である。3A3Bは例えばATカットの水晶片を用いた水晶振動子であり、第1の水晶振動子3A第2の水晶振動子3Bには、例えばコルピッツ形の発振回路4A4Bが接続されている。41は増幅素子であるトランジスタ、42、43は分圧用コンデンサ、44、45は抵抗、46は負荷容量を調整するための可変容量コンデンサである。また第1の水晶振動子3Aの負荷容量第1の水晶振動子3Aからみた容量成分の容量と第2の水晶振動子3Bの負荷容量第2の水晶振動子3Bからみた容量成分の容量とは同じ値に設定されている。水晶振動子3A3Bの構成例を図2に示す。図2aの例は、例えばATカットの角型の水晶片31の一面及び他面における中央部に、弾性波の伝播を止めるための境界領域としての溝部32を一縁から他縁に亘って設けることにより、互いに左右に分割された第1の振動領域33及び第2の振動領域34を形成し、これら第1の振動領域33及び第2の振動領域34の各々の両面に電極35、36他面側の電極は図4では見えないを設けて、第1の水晶振動子3A及び第2の水晶振動子3Bを構成したものである。水晶片31に境界領域を設けて第1の振動領域33及び第2の振動領域34を形成すれば、これら領域33,34は互いに独立して振動することになる。このように第1の水晶振動子3A及び第2の水晶振動子3Bの水晶片を共通化すれば、両者は厚さが同じであり、動作が全く同じになる。即ち負荷容量を同じにすれば同じ周波数で振動し、また周波数温度特性が同じになる。溝部32としては、水晶片31の両面に設けることに限らず、図2bに示すように水晶片31の片面のみに設けるようにしてもよい。次ぎに感知装置の全体ブロック図を示す図3及び水晶振動子の感知センサー部分を示す図4を参照しながら説明を進める。図3に示すように第1の水晶振動子3Aの両面の電極には信号線5Aが各々接続され、信号線5Aは第1の発振回路4Aに接続されている。また第2の水晶振動子3Bの両面の電極には信号線5Bが各々接続され、信号線5Bは第2の発振回路4Bに接続されている。図4には図示の便宜上信号線5A、5Bは記載していない。また第1の水晶振動子3A及び第2の水晶振動子3Bの片面他面は例えば樹脂からなる上面開口の容器61により接着剤により封止されており、第1の水晶振動子3A及び第2の水晶振動子3Bの一面は露出している。図3及び図4に示すように、第1の水晶振動子3Aの一面には感知対象物質である例えばダイオキシンを吸着する吸着層62が形成されている。この吸着層62はダイオキシンと反応して捕獲する抗体を含むものである。一方第2の水晶振動子3Bの一面にも、前記吸着層62と同じ厚さでかつ密度が同等のダミー層63が形成されている。このダミー層63は、ダイオキシンを吸着する能力はなく、吸着層62にダイオキシンが捕獲されていないときには水晶振動子3A、3Bの特性が同じになるように設けられたものである。即ちこの例では、水晶振動子3A、3Bは環境が同じであればそれ自体は同じ周波数で振動するように構成されており、各水晶振動子3A、3Bからみた負荷容量は同じに設定されているので、互いの発振周波数は同じである。ここでいう同じであるとは、発振周波数を一般的に比較する場合に同じであるという意味であり、本発明では両水晶振動子3A,3Bの差の周波数を用いることから、周波数は微視的には僅かに異なっている。このような水晶振動子3A、3Bはランジュバン型水晶振動子と呼ばれ、露出している面に測定雰囲気例えば溶液が接触することになる。図3の例では容器64内の溶液に浸漬して用いられるが、溶液を水晶振動子3A、3Bの一面に垂らすようにしてもよい。図3に説明を戻すと、ヘテロダイン検波器2の後段には、ローパスフィルタ71、アンプ72及び周波数信号パルスをカウントするカウンタ73が接続されており、カウンタ73の後段にはデータ処理部74が設けられている。次いでこの感知装置の作用について説明する。第1の発振部1A及び第2の発振部1Bの各発振周波数はいずれも30MHzとされる。両者の発振周波数の差は、ゼロであることが理想であるが、現実にはゼロに設定することが難しいことから、発振周波数この例では30MHzに対して0.05以内の差に収めることが必要である。しかし感知装置は、かなり高精度なものが要求されていることからすれば、0.02以内の差に収めることがより好ましく、0.01以内の差に収めることがより好ましい。ここでは、0.01に収めたものとすると、第1の発振部1A及び第2の発振部1Bの各発振周波数の差は、3kHzとなる。水晶振動子3A、3Bを所定の溶液中例えば超純水に浸漬すると、溶液が水晶面に付着したことにより大気雰囲気よりもわずかに例えば5kHz程度発振周波数が低くなった状態で発振する。このとき第1の発振回路4Aの発振周波数と第2の発振回路4Bの発振周波数との差に相当する周波数の周波数信号がヘテロダイン検波器2から取り出され、その周波数信号がローパスフィルタ71を介してアンプ72に入力され、ここで増幅されてカウンタ73に入力される。カウンタ73にて周波数信号がカウントされてデータ処理部74にてその周波数が求められる。そしてこの周波数が安定したときにその値をブランク値としてデータ処理部74のメモリに記憶しておく。上述のように2つの水晶振動子3A、3Bは共通の水晶片で構成されていて厚さが同じであるため、大気雰囲気から超純水に浸漬したときの周波数の変わり方は同じであり、従って3kHzの周波数信号がヘテロダイン検波器2から取り出される。なお厳密には3kHzからわずかにシフトした周波数となっているが、便宜上この値で説明を進める。続いて容器64内の溶液中に、感知対象物例えばダイオキシンが含まれている溶液を供給して攪拌すると、前記ダイオキシンが抗ダイオキシン抗体による選択的な分子捕捉により水晶振動子3Aの表面の吸着層62に捕獲され、その吸着量に応じて水晶振動子3Aの共振周波数固有振動数がΔfだけ変化する。このためカウンタ73における周波数のカウント値がΔfだけ変化するので、データ処理部74においてこの状態で安定した周波数と先のメモリ内のブランク値に相当する周波数とを比較することにより、Δfが周波数の変化分として求められ、予め求めておいた関係式検量線に基づいてダイオキシンの濃度が測定できる。この濃度は例えば図示しない表示部に表示される。なお検出した濃度と予め設定した濃度とを比較して、設定濃度よりも高ければ有り、設定濃度よりも低ければ無しとして出力するようにしてもよい。以上の実施の形態は、カウンタ73とデータ処理部74は、水晶発振器の発振周波数の変化分を測定するための測定手段に相当する。なお、図6に第1の水晶振動子3A測定用の周波数温度特性と第2の水晶振動子3B参照用の周波数温度特性との一例を示しておく。なお、図6中の縦軸は発振周波数fであり、横軸は温度Tである。この実施の形態によれば、共通の水晶片を用いて第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子を形成し、各水晶片は同じ厚さであることから、両者の共振周波数は同じになり、このため一方の水晶振動子を感知用とし、他方の水晶振動子をリファレンス参照用として用いることで、温度変化に伴う周波数変化をキャンセルすることができる。またブランク用の液体に浸漬したときや、検体をブランク用の液体に供給したときなど、周囲の粘度の変化による周波数変化の仕方、そして温度変化による周波数変化の仕方が全く同じになり、こうした点からデータ処理部74にて処理される周波数変化分は、感知物質の吸着による周波数変化分だけになるので、測定感度を高めても感知対象物を高精度に検出することができる。また温度検出側の発振部とリファレンス側の発振部との発振周波数が実質一致しているので、副振動が入り込んで誤差を生じる余地がなくなる。なお感知対象物としては、例えば疫病マーカー蛋白質、伝染病の細菌、PCBなどであってもよい。また液体中の物質を感知することに限られず気体中の物質、例えば毒性のガスを感知したり臭いを感知したりする場合にも適用できる。ここで本発明に用いられる水晶振動子の構造の他の例を図7~図12に示しておく。図7~図11の構成は、水晶片に弾性波の伝播を止めるために形成した境界領域の構成以外は、図3の構成と同様である。図7a、bは図3に形成した境界領域をなす溝32の形状を夫々V字状及び丸みを帯びた形状にしたものである。図8は、水晶片31の幅いっぱいよりも少し小さく、つまり両縁部分を残して溝の代わりに帯状の透孔37を開けた構成であり、図9は、1本の帯状の透孔37とする代わりに複数例えば2本の帯状の透孔37、37に分割した構成である。図10は、図3に示めした溝の代わりに多数の透孔38を幅方向に配列したものであり、図11は、溝と透孔とを組み合わせた構成例であり、図4に示した溝32の底部に透孔38を配列した構成である。いずれの場合においても、水晶片31の同じ面に形成されている電極35、36のうち少なくとも一方は、帯状に伸びる境界領域の長さよりも水晶片の幅方向の長さを小さくすることが好ましい。例えば電極35については、電極36側から見たときに境界領域の両端からはみ出ていないようにすることが好ましい。また図12の構造は、基体例えば基板39aに一対の水晶片保持部39b、39bを設け、これに水晶片31を保持させて基板39aから浮かした状態とすると共に、この水晶片31の中央部図3において溝32が形成されている領域を接着剤39cにより基板39aに固定したものである。この場合、接着剤が弾性波の吸収体として作用するので、前記境界領域の役割を果たす。なお水晶片31の形状は矩形に限られるものではなく、円形などであってもよい。更に本発明の水晶発振器をクロック発生器に適用した例について図13を参照しながら説明する。図13において8は、矩形波発生部、9はフィルタを構成する波形整形部である。矩形波発生部8は、アンプ80の入出力側に第1の水晶振動子3Aを接続して構成され、波形整形部9は、第2の水晶振動子3Bに直列に可変容量コンデンサ91を接続して構成される。81、82はコンデンサ、83は可変容量コンデンサ、92は抵抗である。矩形波発生部8において第1の水晶振動子3A以外の容量成分は、第1の水晶振動子3Aの負荷容量に相当し、また波形整形部9において第2の水晶振動子3B以外の容量成分は、第2の水晶振動子3Bの負荷容量に相当する。これらの負荷容量の値を同じにするために例えば可変容量コンデンサ91、83の容量を調整する。このような構成によれば、矩形波発生部8にて発生した矩形波が波形整形部9にて正弦波になるので、スプリアスが小さいクロックを得ることができる。そして第1の水晶振動子3A及び第2の水晶振動子3Bは、共振周波数が同じであってつまり同じ負荷容量とすればそれらとの直列共振周波数が一致するので、周波数温度特性が全く同じであり、このため位相雑音が極めて少なく、また温度に対して周波数が安定している。第1の発振部及び第2の発振部の発振周波数の差、この例では矩形波発生部8及び波形整形部9の両発振周波数の差は、0.05よりも小さいことが前提であるが、0.02以下が好ましく、0.01以内であればより好ましい。続いて本発明の他の実施の形態について図14及び図15を参照しながら説明する。この実施の形態は、第1の発振部1A及び第2の発振部1Bの後段に夫々第3次高周波を除去するための第1の水晶フィルタ回路2A及び第2の水晶フィルタ回路2Bを接続すると共に、これら水晶フィルタ回路2A,2Bの水晶片を第1の発振部1A及び第2の発振部1Bの水晶片と共通化させる構成を採用したものである。一般に発振回路は発振周波数の整数倍の周波数の高調波を発生し、厚みすべり水晶振動子は奇数倍の高周波を出力する。そして発振回路の第3次高調波の周波数と水晶振動子の第3次高調波の周波数とが互いに近づくとその間の周波数で周波数ジャンプが発生することがある。このような周波数ジャンプが起きると、図1に示す感知装置では、測定系に入力される周波数の変化に周波数のジャンプ分が加わってくるので測定結果が狂ってしまう。また図13に示す発振回路の場合、その後段にPLL回路が存在するとPLLのロックが外れてしまう。このようなことからこの実施の形態では図15に示すように第1の発振部1Aのトランジスタ41のエミッタとヘテロダイン検波器2との間に第1の水晶フィルタ回路2Aを、また第2の発振部1Bのトランジスタ41のエミッタとヘテロダイン検波器2との間に第2の水晶フィルタ回路2Bを夫々設けることとしている。そして図2a,bに示すように水晶片31を第1の振動領域33と、第2の振動領域34とに分割し、更にこの実施の形態では第1の振動領域33を発振部用の振動領域33-1とフィルタ用の振動領域33-2とに分けている。なお、溝部32の伸びる方向を前後方向とすると、前後方向の寸法は図2のサイズの2倍とする。即ち、第1の振動領域33を溝部32の伸びる方向に沿って例えば半分に分けて、一方の半分領域の厚さを発振部の発振領域に対応した厚さに設定し、他方の半分領域を第3次高調波の発振周波数に対応する厚さに設定し、これら半分領域を夫々発振部用の振動領域33-1及びフィルタ用の振動領域33-2としている。従って、フィルタ用の振動領域33-2の厚さt2は発振部用の振動領域33-1の厚さt1の1/3になっており、例えば量産品ではt2は0.32t1~0.34t1とされる。また第2の振動領域34についても同様に発振部用の振動領域34-1及びフィルタ用の振動領域34-2を形成している。なお、図14中の30,39は励振電極であり、裏面側にも設けられている。また図14bに、水晶片31の片面のみに溝部32を設けた構成例を示す。このように第1の発振部1A及び第2の発振部1Bから出力される第3次高調波を取り除くために第1の水晶フィルタ回路2A及び第2の水晶フィルタ回路2Bを設けるに当たって、これら水晶フィルタ回路2A,2Bを構成する2つの水晶振動子30A,30Bを、図14に示すように第1の水晶振動子3A及び第2の水晶振動子3Bと一体化することで、水晶発振器をよりコンパクトにすることができる。また第1の発振部1A第2の発振部1Bと第1の水晶フィルタ回路2A第2の水晶フィルタ回路2Bとの間の温度特性がキャンセルされるので、高いフィルタ機能が得られる利点もある。更にまた図13に示す回路において矩形波発生部8及び波形整形部9の後段に夫々第3次高調波除去用の第1の水晶フィルタ回路及び第2の水晶フィルタ回路を設け、矩形波発生部8の水晶振動子3Aと波形整形部9の水晶振動子3Bとこれら水晶フィルタ回路の水晶振動子を一体化して図14のように構成してもよい。"