"ウェハキャリア用の治具であって、ウェハキャリアが備える複数のスロットの数に対応し、前記スロットの並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定されたウェハ保護プレート群からなり、前記各ウェハ保護プレートは、前記スロット内に収納されるウェハの直径以下の幅を有し前記スロットに差し込まれる挿入部と、前記挿入部の幅方向に延びて前記スロットの開口面に接する一対のストッパー部とを有し、手動にて、ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくはウェハキャリアから取り出す場合において、前記挿入部が隣り合うウェハ同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止することを特徴とするウェハキャリア用治具。前記各ウェハ保護プレートが、ウェハをウェハキャリアに収納する、もしくはウェハキャリアから取り出すための真空ピンセットの先端が挿入できるように、前記スロットの開口面側に開口する切欠きによる逃げ部分を前記挿入部の反対側に持つことを特徴とする請求項1に記載のウェハキャリア用治具。前記各ウェハ保護プレートの材質がエポキシグラスであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のウェハキャリア用治具。前記各ウェハ保護プレートのストッパー部を連結板により連結することにより前記各ウェハ保護プレートを前記スロットの並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定したことを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載のウェハキャリア用治具。ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくは、ウェハキャリアから取り出す場合において、背景技術で一例として挙げたべべリング装置のような自動のハンドリングは実は少なく、オペレータが手動でハンドリングを行う場合のほうが圧倒的に多い。例えば、ウェハの汚れや疵を検査する品質検査では、オペレータが人手でウェハを1枚づつウェハキャリアから取り出し、検査し、ウェハキャリアへ収納する動作を繰り返している。また、ウェハの平坦度や直径などを全数ではなく、抜き取りで、代表のウェハを検査する場合もある。ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくはウェハから取り出す場合、ウェハキャリアのスロット間隔は数mmしかないため、指で摘み出すのは難しい。そこで、真空ピンセットが用いられる場合が多い。真空ピンセットとは、先端に、厚みが1~2mm程度の真空チャックを備えた細いロッド状の道具である。ウェハキャリアのスロット間に真空チャックを挿入し、真空チャックでウェハ表面を吸着することにより、ウェハを容易にハンドリングすることができる。しかしながら、オペレータが手動でウェハをウェハキャリアに出し入れする場合、真空ピンセットに吸着してハンドリング中のウェハを隣接するウェハに接触させてしまう問題がある。図1に示すとおり、ウェハキャリア11のスロット12は、円盤状のウェハ10の直径とほぼ等しい間隔で対向しスロット奥で間隔が縮小するように設けられる一対の溝14であり、収納状態のウェハ10は、その外周縁の赤道部分の両側を溝14によって支えられている。しかし、ウェハ10を溝14に出し入れする途中のウェハ10の外周縁が溝14に嵌まっていない状態では、ウェハ10は何ら支えが無いため、真空ピンセット33を持つオペレータの手元がふらつくと、真空ピンセット33に吸着されたウェハ10は隣接するウェハ10に意図せずすぐに接触する。接触は疵やチッピングの発生につながるため、歩留まりを低下させる。強くあたった場合、ウェハが割れることもある。当然ながら、直径が大きいほど難易度は上がり、例えば直径6インチのウェハを、隣接するウェハに接触させずに引き抜くには、相応の習熟度、力量が要求される。請求項1の発明は、ウェハキャリアが備える複数のスロットの数に対応し、前記スロットの並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定されたウェハ保護プレート群からなり、前記各ウェハ保護プレートは、前記スロット内に収納されるウェハの直径以下の幅を有し前記スロットに差し込まれる挿入部と、前記挿入部の幅方向に延びて前記スロットの開口面に接する一対のストッパー部とを有し、手動にて、ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくはウェハキャリアから取り出す場合において、前記挿入部が隣り合うウェハ同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止するウェハキャリア用治具である。請求項2の発明は、前記各ウェハ保護プレートが、ウェハをウェハキャリアに収納する、もしくはウェハキャリアから取り出すための真空ピンセットの先端が挿入できるように、前記スロットの開口面側に開口する切欠きによる逃げ部分を前記挿入部の反対側に持つことを特徴とするウェハキャリア用治具である。請求項3の発明は、前記各ウェハ保護プレートの材質がエポキシグラスであることを特徴とするウェハキャリア用治具である。請求項4の発明は、前記各ウェハ保護プレートのストッパー部を連結板により連結することにより前記各ウェハ保護プレートを前記スロットの並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定したウェハキャリア用治具である。本発明に係るウェハキャリア用治具を用いれば、ウェハキャリアの隣り合うスロットの間にウェハ保護プレートによる隔壁を設けることとなり、手動にて、ウェハをウェハキャリアのスロットに収納する場合もしくは、スロットから取り出す場合において、隣り合うウェハ同士の接触を防止でき、ウェハに疵やチッピングを発生することが無い。オペレータの習熟度、力量を問わず、効果は不変である。請求項2の発明では、前記各ウェハ保護プレートにスロットの開口面側に開口する切欠きによる逃げ部分を設け、逃げ部分から無理なく真空ピンセットの先端をウェハキャリア内に挿入できるようにした。請求項3の発明では、前記各ウェハ保護プレートの材質をウェハに対し比較的に柔らかいエポキシグラスとしたので、ハンドリング時にウェハとウェハ保護プレートとが接触しても、ウェハに疵やチッピングが生じにくい。請求項4の発明では、前記各ウェハ保護プレートのストッパー部を連結板により連結する構造としたので、一体成形でウェハキャリア用治具を製作した場合と比較して、連結するウェハ保護プレートの枚数を容易に変更でき、収納枚数の異なるウェハキャリアに柔軟に対応できる。図を用い、発明を実施するための最良の形態を説明する。図1はウェハ10とウェハキャリア11の一例を説明する図であり、ウェハ10がウェハキャリア11に収納された状態を示している。本発明のウェハキャリア用治具1は、ウェハキャリア11に適用される。図示の例では、ウェハキャリア11は、上面開口型のほぼ直方体の箱であり、短辺の一方の側面16は上部と下部に切欠き17a,17bを有するほぼH字形状をしており、他方の側面18は全面が閉塞している。ウェハキャリア11は、上方からウェハ10が挿入されるスロット12を25列備えており、スロット12は、ウェハキャリア11の長辺の対向する側面19の内側面に等間隔で平行に多数形成された溝14によって構成されている。対向する一対の溝14はスロット12を一つ構成している。一対の溝14は、円盤状のウェハ10の直径とほぼ等しい間隔で対向し、下方スロット奥で間隔が縮小している。ウェハ10は、各スロット12に1枚ずつ収納されている。収納状態のウェハ10は、その赤道部分水平な直径から下の外周部分の両側が対向する一対の溝14に嵌まっており、かつ、一対の溝14の間隔の縮小部分によって自重を支えられている。このため、収納状態の25枚のウェハ10は、スロット12の並び間隔と同じ間隔で整列した状態で位置決めされ、互いに接触しないようになっている。ウェハキャリア11のスロット12の一対の開口面15には、その長手方向両端にウェハ移し替え固定ピン12A,12B、ウェハ移し替え固定穴13A,13Bが設けられている。これらは、ウェハキャリア11から他のウェハキャリア11へウェハ10を移し替えるために両ウェハキャリア11の開口面15を互いに合わせる際、両ウェハキャリア11のスロット12を揃えるための位置決めに用いる。図2は、本発明に係るウェハキャリア用治具1の一例を示している。ウェハキャリア用治具1は、複数枚のほぼU字形のウェハ保護プレート21を有しており、こらら複数の各ウェハ保護プレート21は、ウェハ保護プレート群20を形成している。ウェハ保護プレート群20は、ウェハキャリア11が備える複数のスロット12の数に対応したウェハ保護プレート21により構成されており、図示の例では、ウェハ保護プレート群20は25枚のウェハ保護プレート21により構成されている。なお、一番外側の一方のウェハ保護プレート21の外面には、ウェハキャリア11の移し替え固定ピン12Aに嵌まる位置決め用の位置決め片27が設けられている。個々のウェハ保護プレート21は、厚みが1mm程度のエポキシグラス板で製作されており、隣り合うウェハ保護プレート21の間隔は、ウェハキャリア11のスロット12の並び間隔と合わせてある。各ウェハ保護プレート21は、スロット12に差し込まれる挿入部22と、挿入部22の幅方向に延びてスロット12の開口面15に接する一対のストッパー部23とを有している。挿入部22は、スロット12内に収納されるウェハ10の直径以下の幅を有し、挿入方向の先端は半円状に加工されている。一対のストッパー部23は、ウェハキャリア11の一対の開口面15の間を差し渡すように形成されている。ストッパー部23の端部は、ウェハ保護プレート連結板25,26にて側面から固定されており、複数のウェハ保護プレート21は、ウェハキャリア11のスロット12の並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定されている。また、各ウェハ保護プレート21には、挿入部22の反対側の部分に切欠きによる逃げ部分35が形成されている。図3に示すとおり、ウェハキャリア用治具1をウェハキャリアに装着し、ウェハ保護プレート21がスロット12内に挿入された状態では、逃げ部分35は、スロット12の開口面側に開口しており、この逃げ部分35からウェハ10をウェハキャリア11に収納する、もしくはウェハキャリア11から取り出すための真空ピンセット33の先端をウェハキャリア11内に挿入することができるようになっている。図3は、本発明に係るウェハキャリア用治具1の運用形態を表す図である。ウェハキャリア用治具1は、ストッパー部23をウェハキャリア11の開口面15につき当てた状態でウェハキャリア11に装着されており、ウェハ保護プレート群20の挿入部22は、ウェハキャリア11のスロット12に挿入されている。また、ウェハキャリア用治具1の一番外側の一方のウェハ保護プレート21をウェハ移し替え固定ピン12Bにつき当て、他方のウェハ保護プレート21に設けられた位置決め片27をウェハキャリア11のウェハ移し替え固定ピン12Aに嵌め込んで位置決めすることにより、各ウェハ保護プレート21の位置がウェハキャリア11の各スロット12の位置と合致している。図示の例では、ウェハキャリア用治具1は、上記の位置決めにより、ウェハ保護プレート群20がスロット12の溝14の山の部分に位置するように設計されている。なお、ウェハキャリア用治具1の長手方向の寸法をウェハ移し替え固定ピン12A、12Bの間隔とほぼ等しく設計し、ウェハ移し替え固定ピン12A、12Bによりウェハキャリア用治具1の両外側のウェハ保護プレート21を挟み込んで位置決めするようにしてもよい。ウェハキャリア用治具1をウェハキャリア11に装着すれば、ウェハキャリア11内にウェハ保護プレート21とウェハ10とが交互に並んだ状態となり、真空ピンセット33にて手動でウェハ10をウェハキャリア11に収納する場合もしくはウェハキャリア11から取り出す場合、ウェハ保護プレート群20がウェハ10をスロット12の位置へ導くガイドとなり、かつ、隣接するウェハ10との接触を妨げる隔壁の役割を果たす。よって、ウェハ10同士は接触しようが無いから、ウェハ10に疵やチッピングを発生することが無い。そして、オペレータの習熟度、力量を問わず、この効果は不変である。ウェハ10は、ウェハキャリア11に収められている場合及び出し入れに際して、ウェハ保護プレート群20とは接触するから、ウェハ保護プレート群20はウェハ10に対し比較的に柔らかい材質であることが望ましい。本例ではエポキシグラスを用いているが、ウェハ10によっては、更に柔らかい材質への変更が考えられる。また、ウェハキャリア用治具1をウェハキャリア11に装着した場合、ウェハキャリア11内にウェハ保護プレート21とウェハ10とが交互に並んで存在するため、前述した逃げ部分35を設けないとすると、ウェハキャリア用治具1をウェハキャリア11に装着しない場合と比較して、ウェハキャリア11内のスペースが少なくなり、スロット12へ真空ピンセット33の先端を挿入することが困難となる。本発明では、前述したとおり、ウェハ保護プレート21に逃げ部分35を設けて真空ピンセット33を挿入するスペースを確保し、逃げ部分35から真空ピンセット33の先端をウェハキャリア11内に挿入することができるようにした。したがって、逃げ部分35は、本発明に係るウェハキャリア用治具1にはほぼ必須のデザインであるといえる。なお、図示のウェハキャリア傾斜治具30のように、ウェハキャリアを傾ける治具を併用すれば、ハンドリングは更に容易となり、望ましい。また、図3のウェハキャリア用治具1は、ウェハ保護プレート群20がスロット12の溝14の山の部分に位置するように設計されているが、図4に示すとおり、位置決め片27を設けたり、ウェハキャリア用治具1の長手方向寸法を調整等することにより、ウェハ保護プレート20群がスロット12の溝14の谷の部分に位置するように設計されていてもよい。この場合、スロット12の溝14内にウェハ保護プレート21とウェハ10とが存在することとなるが、スロット12の溝14の幅に比べてウェハ10の厚さははるかに薄いので、特に問題はない。直径6インチ、厚みが0.25mmのタンタル酸リチウムウェハ100枚25枚収納ウェハキャリア×4について、本発明のウェハキャリア用治具を用いて検査作業を行った場合と、用いずに検査作業を行った場合との歩留りの比較を表1に示す。オペレータがウェハを1枚づつ、ウェハキャリアから取り出し、検査し、収納する作業を繰り返した。本発明のウェハキャリア用治具を用いて検査作業を行った場合、ウェハの接触による疵、チッピングの発生は皆無であったのに対し、治具を用いずに検査作業を行った場合、ウェハの接触による疵、チッピングの発生は3枚で歩留まりは97であった。直径4インチ、厚みが0.20mmのタンタル酸リチウムウェハを500枚25枚収納ウェハキャリア×20について、本発明のウェハキャリア用治具を用いて検査作業を行った場合と、用いずに検査作業を行った場合との歩留りの比較を表2に示す。オペレータがウェハを1枚づつ、ウェハキャリアから取り出し、検査し、収納する作業を繰り返した。本発明のウェハキャリア用治具を用いて検査作業を行った場合、ウェハの接触による疵、チッピングの発生は皆無であったのに対し、治具を用いずに検査作業を行った場合、ウェハの接触による疵、チッピングの発生は13枚で歩留まりは97.4であった。直径4インチ、厚みが0.15mmのタンタル酸リチウムウェハを200枚25枚収納ウェハキャリア×8について、本発明のウェハキャリア用治具を用いて検査作業を行った場合と、用いずに検査作業を行った場合との歩留りの比較を表3に示す。オペレータがウェハを1枚づつ、ウェハキャリアから取り出し、検査し、収納する作業を繰り返した。本発明のウェハキャリア用治具を用いて検査作業を行った場合、ウェハの接触による疵、チッピングの発生は皆無であったのに対し、治具を用いずに検査作業を行った場合、ウェハの接触による疵、チッピングの発生は21枚で歩留まりは94.5であった。以上のとおり、本発明に係るウェハキャリア用治具1を用いれば、手動にて、ウェハ10をウェハキャリア11に収納する場合もしくは、ウェハキャリア11から取り出す場合において、ウェハ保護プレート群20からなる治具1が、ウェハキャリア1に挿入されていることにより、ウェハ保護プレート群20がガイド及び隔壁として機能し、ウェハ10同士の接触を防ぎ、疵やチッピングが発生することが無い。なお、各実施例において検査作業を行ったオペレータのウェハ検査経験は1年であるが、作業の歩留りは、オペレータの習熟度、力量の差により上下するものであり、各実施例の治具未使用の場合の歩留りもオペレータが変われば上下するため、上記実施例から歩留まりの向上度合いを一定に評価することは必ずしもできないが、本発明に係るウェハキャリア用治具を用いれば、そもそもの、ウェハの接触による疵、チッピングの発生が皆無になるわけであるから、本発明の効果は揺るぎなく、不変である。"