複数のメインローラの間にワイヤを多重に巻き掛け、往復走行状態のワイヤにワークを押し当て、ワークを所定の厚みの多数の板状体に切断し、ウェーハとして産出するワイヤソーにおいて、入力装置によって複数の加工条件として下記の事項を制御装置に入力し、総ワーク長さmmメインローラの溝ピッチmmウェーハ1枚当たりに使用するワイヤ量m/waferワークのフィード移動量mmワークのフィード速度mm/min往復走行のワイヤのサイクル数回/minワイヤの加速時間secワイヤの減速時間secワイヤの停止時間secワイヤの最高速度mm/min下記の式により、11スライスに産出されるウェーハ枚数wafer=総ワーク長さmm/溝ピッチmm21スライスに使用するワイヤ距離m=1スライスに産出されるウェーハ枚数wafer×ウェーハ1枚当たりに使用するワイヤ量m/枚3加工所要時間min=フィード移動量mm÷フィード速度mm/min4新線供給量m/min=1スライスに使用するワイヤ距離m÷加工所要時間min51サイクルの時間sec=60/サイクル数回/min6最高速度の時間sec=1サイクルの時間sec-加速時間sec×2減速時間sec×2停止時間sec×27加速距離m=最高速度m/min/60×加速時間sec/28減速距離m=最高速度m/min/60×減速時間sec/29送り距離m=最高速度の時間sec×最高速度m/min/60/2加速距離m減速距離m新線供給量m/min/サイクル数回/min/2戻り距離m=最高速度の時間sec×最高速度m/min/60/2加速距離m減速距離m-新線供給量m/min/サイクル数回/min/21サイクルでのワイヤの送り距離および戻り距離を演算して求め、入力した前記複数の加工条件および求めた前記の送り距離および戻り距離を制御装置に自動的に設定する、ことを特徴とするワイヤソーの加工条件設定方法。総ワーク長さを1または2以上のワークの切断方向に対する直交方向の長さの総和から求める、ことを特徴とする請求項1記載のワイヤソーの加工条件設定方法。フィード速度、最高速度をフィード移動量毎に設定する、ことを特徴とする請求項1、または請求項2記載のワイヤソーの加工条件設定方法。ワイヤの速度方向の切り換えを速度0の停止時間の経過後に設定する、ことを特徴とする請求項1、請求項2または請求項3記載のワイヤソーの加工条件設定方法。送り距離および戻り距離を画面上に表示した後、設定の指令にもとづいて設定する、ことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3または請求項4記載のワイヤソーの加工条件設定方法。総ワーク長さをワイヤソーの機内に設置した測長器の出力データから制御装置の内部に自動的に取り込むことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4または請求項5記載のワイヤソーの加工条件設定方法。本発明の課題は、加工条件を決定するに際して、オペレータの入力作業を少なくし、基本的な加工条件の数値を入力することによって、自動演算により加工条件に適合する数値データを制御装置に自動的に設定できるようにすることである。上記課題のもとに、本発明は、往復走行状態のワイヤにワークを押し当て、ワークを多数のウェーハとして産出するワイヤソーにおいて、入力装置によって基本的な複数の加工条件を制御装置に入力し、前記加工条件から1サイクルでのワイヤの送り距離および戻り距離を演算により求め、入力した前記複数の加工条件および求めた前記の送り距離および戻り距離を制御装置に自動的に設定するようにしている。具体的に記載すると、本発明のワイヤソーの加工条件設定方法は、複数のメインローラの間にワイヤを多重に巻き掛け、往復走行状態のワイヤにワークを押し当て、ワークを所定の厚みの多数の板状体に切断し、ウェーハとして産出するワイヤソーにおいて、入力装置によって複数の加工条件として下記の事項を制御装置に入力し、総ワーク長さmmメインローラの溝ピッチmmウェーハ1枚当たりに使用するワイヤ量m/waferワークのフィード移動量mmワークのフィード速度mm/min往復走行のワイヤのサイクル数回/minワイヤの加速時間secワイヤの減速時間secワイヤの停止時間secワイヤの最高速度mm/min下記の式により、11スライスに産出されるウェーハ枚数wafer=総ワーク長さmm/溝ピッチmm21スライスに使用するワイヤ距離m=1スライスに産出されるウェーハ枚数wafer×ウェーハ1枚当たりに使用するワイヤ量m/枚3加工所要時間min=フィード移動量mm÷フィード速度mm/min4新線供給量m/min=1スライスに使用するワイヤ距離m÷加工所要時間min51サイクルの時間sec=60/サイクル数回/min6最高速度の時間sec=1サイクルの時間sec-加速時間sec×2減速時間sec×2停止時間sec×27加速距離m=最高速度m/min/60×加速時間sec/28減速距離m=最高速度m/min/60×減速時間sec/29送り距離m=最高速度の時間sec×最高速度m/min/60/2加速距離m減速距離m新線供給量m/min/サイクル数回/min/2戻り距離m=最高速度の時間sec×最高速度m/min/60/2加速距離m減速距離m-新線供給量m/min/サイクル数回/min/21サイクルでのワイヤの送り距離および戻り距離を演算して求め、入力した前記複数の加工条件および求めた前記の送り距離および戻り距離を制御装置に自動的に設定する、ようにしている請求項1。総ワーク長さは、1または2以上のワークの切断方向に対する直交方向の長さの総和から求められる請求項2。フィード速度、最高速度は、フィード移動量毎に設定される請求項3。ワイヤの速度方向の切り換えは、ワイヤの速度0の停止時間の経過後に設定される請求項4。送り距離および戻り距離は、画面上に表示された後、設定の指令にもとづいて設定される請求項5。総ワーク長さは、ワイヤソーの機内に設置した測長器の出力データから制御装置の内部に自動的に取り込まれる請求項6。本発明に係る本発明のワイヤソーの加工条件設定方法によると、基本的な加工条件の数値を入力すると、計算式に基づいて基本的な加工条件から1サイクルでのワイヤの送り距離および戻り距離が演算され、入力された加工条件および演算された送り距離、戻り距離が制御装置に自動的に設定されるから、送り距離や戻り距離の机上での計算や画面上での手操作による数値の入力がなくなり、誤計算や誤入力にともなう加工時のワイヤの断線、ウェーハの品質問題が引き起こされず、また、ワーク長さが変わったときにも速やかに対応でき、作業時間が短縮化できる請求項1。総ワーク長さによって切断方向に対する直交方向の長さが決定できるから、1個のワークのほかに2以上のワークの切断に対しても、柔軟な対応が可能となる請求項2。フィード速度、最高速度がフィード移動量毎に設定できるから、ワークの切断始め時におけるワイヤの不安定に起因する切り始め厚さのばらつき対策、ワークの切り終わり時におけるワーク形状の変化によるスラリーの持ち込み変化や、ワークからワーク支持部材への切断時の負荷変動に起因する切り終わりソーマークチッピング対策などに有効に対処できる請求項3。速度方向の切り換えが速度0の停止時間の経過後に設定され、目標の指令時間に対して実際の応答動作にずれがあったとしても、応答動作のずれが停止時間中に吸収されるからメインローラなどの機械的な回転系の慣性の影響を回避しながら、ワイヤの安定な往復走行が実現できる請求項4。1サイクルでのワイヤの送り距離および戻り距離が画面上に表示した後、設定の指令にもとづいて設定されると、それらの距離の数値データの視認ができ、確認してから数値データの設定が行える請求項5。総ワーク長さが測長器の出力データから制御装置の内部に自動的に取り込まれると、入力操作がなくなり、ワーク長さの加算計算もなくなるため、プログラムが簡単化でき、誤動作も少なくなる請求項6。図1は、ワイヤソー1の要部の構成を示している。例えば砥粒固定型のワイヤ2は、繰り出しリール3から繰り出され、繰り出し側のトラバース装置4、ダンサローラ装置5を経て、複数例えば3本のメインローラ6に螺旋状として多重に巻き掛けられ、巻き取り側のダンサローラ装置7、トラバース装置8を経て、巻き取りリール9に巻き取られる。トラバース装置4、8は、それぞれ繰り出しリール3または巻き取りリール9の軸線に対してワイヤ2を常に直交させるために設けられており、また、ダンサローラ装置5、7は、図示しないダンサローラの往復運動によってワイヤ2の往復走行を許容しながらワイヤ2に一定の張力を付与するために設けられている。3本のメインローラ6は、例えば逆三角形の頂点位置に配置されており、ワイヤ2は、2本のメインローラ6の間で加工対象のワーク14に対向する範囲において、切断域を形成している。切断域でのワイヤ2の間隔は、メインローラ6の外周面に形成されている溝ピッチによって規制されており、この溝ピッチは、ワーク14を切断した後の板状体すなわちウェーハの厚みを決定する。繰り出しリール3、メインローラ6および巻き取りリール9は、それぞれ専用の繰り出し用のモータ11、メインローラ駆動用のモータ12および巻き取り用のモータ13によって駆動される。これらのモータ11、12、13は、いずれも制御装置10によって制御される。ワーク14は、メインローラ6の間のワイヤ2の切断域に対応する位置において、加工送り用のフィード装置15に固定され、所定のフィード速度のもとにワイヤ2の切断域に押し当てられる。フィード装置15のフィード用のモータ16は、図示しないが、例えば送りねじユニットなどの回転-直線運動変換機構を内蔵しており、制御装置10の制御下におかれ、ワーク14の加工のために、ワイヤ2による切り込み方向のフィード移動量に応じて、ワーク14を所定のフィード速度で加工送り方向に移動させる。フィード移動量は、ワーク14のフィード位置ないし切り込み深さに対応しており、フィード用のモータ16に連結されているエンコーダ17によって検出されるようになっている。制御装置10は、所定のプログラムにもとづいて入出力、記憶、演算機能を有するCPUなどにより構成されており、入力側でエンコーダ17、キーボードなどの入力装置18に接続され、出力側で表示装置19、繰り出し用のモータ11のドライバー22、メインローラ駆動用のモータ12のドライバー23、巻き取り用のモータ13のドライバー24およびフィード用のモータ16のドライバー25にそれぞれ接続され、さらに、各種プログラム格納用のROM20および各種データ記憶用のRAM21に対して双方向通信可能な状態として接続されている。図2は、ワイヤ2の往復走行の状況を示している。切断加工時に、ワイヤ2は、往復走行を繰り返して、往走行と復走行とで1サイクルを構成しており、往走行のときに、1サイクルでのワイヤ2の送り距離だけ前進し、また復走行のときに、1サイクルでのワイヤ2の戻り距離だけ後退する。したがって、1サイクルでのワイヤ2の新線使用量は、1サイクルでのワイヤ2の送り距離と戻り距離との差となり、新線使用量=送り距離-戻り距離の式から求められる。図3は、時間軸上で、ワイヤ2の往復走行の1サイクルにおけるワイヤ2の速度変化を示している。時間軸上において、往走行は、符号で表され、復走行は、-符号で表されている。往走行のときに、ワイヤ2の速度は、加速時間中に、0から最高速度に達し、最高速度の時間にわたって最高速度を維持し、その後の減速時間中に、最高速度から0に達し、所定の停止時間だけ停止する。往走行後の復走行のときに、ワイヤ2の速度は、往走行のときと同様に、加速時間中に、0から最高速度に達し、最高速度の時間にわたって最高速度を維持し、その後の減速時間中に、最高速度から0に達し、所定の停止時間だけ停止する。ワイヤ2の往復走行は、このサイクルを繰り返して進行する。往走行のときの最高速度の時間は、1サイクルにおいてワイヤ2の必要な新線の供給量を発生させるために、復走行のときの最高速度の時間よりも長く設定されている。また、ワイヤ2の速度方向の切り換えは、速度0の停止時間の経過後に設定される。この停止時間は、ワイヤ2の速度方向の目標の切り換え時点に対する実際の切り換え時点のずれ、すなわち速度切り換えの応答動作のずれを停止時間中に吸収するとともに、メインローラ6などの機械的な回転系の慣性の影響を回避し、また、停止時間中にトラバース装置4、8の位置補正を行い、ワイヤの安定な往復走行を実現するために設定される。通常、停止時間は、実際の応答動作のずれに応じて、通常、0.1secから1secまでの範囲で設定される。しかし、応答動作のずれを考慮しなくてもよいときには、0secに設定することもできる。停止時間=0secの設定は、後述の式6において停止時間の項を無くすることと対応している。さて、複数の加工条件の設定に際して、オペレータは、入力装置18を操作して、下記の複数の基本的な加工条件の数値を制御装置10に入力する。総ワーク長さmmメインローラ6の溝ピッチmmウェーハ1枚当たりに使用するワイヤ量m/waferワーク14のフィード移動量mmワーク14のフィード速度mm/min往復走行のワイヤ2のサイクル数回/minワイヤ2の加速時間secワイヤ2の減速時間secワイヤ2の停止時間secワイヤ2の最高速度mm/min制御装置10は、上記の基本的な加工条件の数値を入力とし、予め入力されている加工条件設定用のプログラムの計算式から自動的に演算し、ワイヤ2について1サイクルでの送り距離および1サイクルでの戻り距離の数値を求め、求めた数値を加工条件の数値データとして制御装置10の内部に設定する。これらの1サイクルでの送り距離および1サイクルでの戻り距離は、入力された上記の基本的な加工条件から次の計算式によって求められる。1スライス1回の切断に産出されるウェーハ枚数waferは、入力される総ワーク長さmmおよびメインローラ6の溝ピッチmmから下記の式1により求められる。11スライスに産出されるウェーハ枚数wafer=総ワーク長さmm/溝ピッチmm上記の総ワーク長さmmは、1スライスでワーク14として複数、例えば3個のインゴットA、B、Cを同時に切断するときの切断方向に対する直交方向、つまりウェーハの厚み方向における各インゴットサイズワーク長さの合計であるが、1個のインゴットを切断するときは、切断方向における1個のインゴットサイズワーク長さとなる。このため、1個のインゴットのほかに、2または3個のインゴットの切断に対しても柔軟な対応が可能となる。なお、総ワーク長さmmは、図1に例示するように、ワイヤソー1の機内にワーク14の設置位置に対向させて、パルス計数式接触型センサや光学式非接触型センサによる測長器41を設置し、この測長器41の出力データから制御装置10の内部に自動的に取り込むこともできる。測長器41の設置によると、入力操作がなくなり、ワーク長さの加算計算もなくなるため、プログラムが一層、簡単化でき、誤動作も少なくなる。1スライスに使用するワイヤ距離mは、上記の式1で求めたウェーハ枚数waferと入力されるウェーハ1枚当たりに使用するワイヤ量m/枚とから下記の式2により求められる。21スライスに使用するワイヤ距離m=1スライスに産出されるウェーハ枚数wafer×ウェーハ1枚当たりに使用するワイヤ量m/枚1スライスの加工所要時間minは、加工条件として入力されるワーク14の加工送りのためのフィード移動量mmおよびフィード速度mm/minから下記の式3により求められる。3加工所要時間min=フィード移動量mm÷フィード速度mm/min1スライスでの新線供給量m/minは、上記の式2で求めた1スライスに使用するワイヤ距離m、および式3で求めた加工所要時間minを用いて下記の式4により求められる。4新線供給量m/min=1スライスに使用するワイヤ距離m÷加工所要時間min1サイクルの時間secは、加工条件として入力されるサイクル数から下記の式5により求められる。51サイクルの時間sec=60/サイクル数回/min最高速度の時間secは、式5、入力される加速時間sec、入力される減速時間secおよび入力される停止時間secから下記の式6により求められる。6最高速度の時間sec=1サイクルの時間sec-加速時間sec×2減速時間sec×2停止時間sec×2加速距離mは、入力されるワイヤ2の最高速度m/minと加速時間secとから下記の式7により求められる。7加速距離m=最高速度m/min/60×加速時間sec/2減速距離mは、入力されるワイヤ2の最高速度m/minと減速時間secとから下記の式8により求められる。8減速距離m=最高速度m/min/60×減速時間sec/2したがって、1サイクルでのワイヤ2の送り距離mおよび1サイクルでのワイヤ2の戻り距離mは、下記の式9の2つの計算式から求められる。9送り距離m=最高速度の時間sec×最高速度m/min/60/2加速距離m減速距離m新線供給量m/min/サイクル数回/min/2戻り距離m=最高速度の時間sec×最高速度m/min/60/2加速距離m減速距離m-新線供給量m/min/サイクル数回/min/2次に、図4および図5は、加工条件の入力設定プログラムのフローチャートを示しており、図6および図7は、それぞれ図4および図5のフローチャートに対応する加工条件設定用の入力画面26、27を示している。まず、オペレータは、図4の入力設定プログラムをスタートさせ、ステップ1で、表示装置19によって図6の入力画面26を表示し、入力装置18のテンキーを操作して、1個または2以上、例えば1個のインゴットAについてのワーク長さmm、ウェーハ1枚当たりに使用するワイヤ量m/枚およびメインローラ6の溝ピッチmmの数値を対応の入力欄28、30、31に入力してから、つぎのステップ2で、入力装置18の機能キーまたは表示装置19の図示しないタッチボタンなどを操作して、入力の完了を指示する。このときに、入力設定プログラムは、ステップ3で入力されたワーク長さmmから総ワーク長さmmを演算により求め、ステップ4で、表示装置19の総ワーク長さの入力欄29に総ワーク長さmmの計算値を表示し、このプログラムを終了する。この例では、1個のインゴットAのワーク長さmmがそのまま総ワーク長さmmとなる。つぎに、オペレータは、図5の入力設定プログラムをスタートさせ、表示装置19の画面を切り換え、図7の入力画面27を表示させてから、他の加工条件として、ステップ1で、入力装置18のテンキーを操作して、加速時間sec、減速時間sec、停止時間sec、サイクル数回/min、フィード移動量mm、フィード速度mm/minおよび最高速度mm/minを入力欄32、33、34、35、36、37、38に入力してから、ステップ2で、入力装置18の機能キーまたは表示装置19の図示しないタッチボタンなどを操作して入力の完了を指示する。一般に、ワーク14のフィード速度mm/minおよびワイヤ2の最高速度mm/minは、ワーク14として例えば立方体のインゴットならば、インゴットに対して切断開始前のフィード移動量フィード位置mm、切断開始初期のフィード移動量フィード位置mm、その後の切断中のフィード移動量フィード位置mmおよび切断終了前のフィード移動量フィード位置mmの4態様毎に設定される。図7において、フィード移動量フィード位置のNo.1からNo.4までの4つの入力欄36、37、38は、これらの複数の入力に備えるために設けられている。したがって、オペレータは、ワーク14の形状や材質半導体の種類、単結晶インゴット、多結晶インゴットに応じて、複数のフィード移動量フィード位置mm毎にフィード速度mm/minおよび最高速度mm/minを入力欄37、38に入力することになる。このような複数のフィード移動量フィード位置の態様は、ワーク14の切断始め時におけるワイヤ2の不安定に起因する切り始め厚さのばらつき対策、ワーク14の切り終わり時における形状の変化によるスラリーの持ち込み変化や、ワーク14からワーク支持部材ガラスへの切断時の負荷変動に起因する切り終わりソーマークチッピング対策などのために設定される。しかし、上記の対策が必要とされないならば、フィード速度mm/minおよび最高速度mm/minは、ワーク14に対する1つのフィード移動量フィード位置mmについてのみ1つの値として設定することもできる。なお、図5のステップ1では、送り距離や戻り距離の計算以外に、図示しないが、必要に応じてその他の加工条件として、繰り出しリール3の繰り出し速度、巻き取りリールの巻き取り速度、クーラント温度、クーラント量やワイヤ2のたわみ取り時間などが入力される。ステップ2での入力の完了指示の後に、入力設定プログラムは、次のステップ3で、すべての加工条件の入力の判断を行い、ここで必要なすべての加工条件が入力されていないと判断され、NOであれば、ステップ1に戻るが、必要なすべての加工条件が入力されていると判断され、YESであれば、次のステップ4で、前記の式1から式9までの計算式の演算を自動的に行い、演算の結果、求めた1サイクルでのワイヤ2の送り距離および戻り距離の数値データをフィード移動量フィード位置に対応させて表示装置19の表示欄39、40によりで表示し、確認できるようにする。オペレータは、表示欄39、40を見て、1サイクルでのワイヤ2の送り距離および戻り距離の数値データを確認し、つぎのステップ5で、入力装置18の機能キーまたは表示装置19の図示しないタッチボタンなどを操作して、設定の指示を与える。このとき、入力設定プログラムは、図7の入力画面27の数値データを加工条件の設定データとして制御装置10に自動的に設定して、プログラムを終了する。なお、図7の入力画面27には、必要に応じて、総ワーク長さmmの入力欄29、ワイヤ量m/枚の入力欄30、メインローラ6の溝ピッチmmの入力欄31が表示され、ここでも確認できるようになっている。このように、オペレータは、1サイクルでのワイヤ2の送り距離および戻り距離のほかに、他の加工条件の数値データを画面上で確認してから、それらの加工条件の数値データの設定を行う。したがって、加工条件の数値データの設定過程で、基本的な加工条件から演算によって導き出される送り距離および戻り距離の数値データの入力操作は、必要とされず、その分、ミス入力は、無くなり、正しく設定される。また、総ワーク長さ以外の加工条件が同一ならば、総ワーク長さのみの入力によって、加工条件の入力設定は、直ちに完了する。以上のように、オペレータは、演算結果の数値データを加工条件の設定のために改めて手動入力する必要はなく、手動入力の過程での誤入力を防止できる。このようにして、ワイヤソー1の制御装置10は、複数の加工条件として自動的に設定された多くの数値データによって、モータ11、12、13、16を駆動して、ワーク14を加工条件にしたがって切断できる状態に設定される。上記の例は、2つの入力画面を利用しているが、入力画面は、2つの入力画面を合成した1つの入力画面として構成することもできる。入力設定プログラムも、入力画面ごとに独立するものでなく、1つの連続的なプログラムとすることもできる。また、ワークは、立方体に限らず、円柱体、その他の形状であってもよい。