"前面開放式ウエハ容器であって、前記容器の内部の両側に配置された、450mmウエハを保持するための大きさに作られた棚の対向する柱を備えた内部と、前面開口部を画定する扉フレームとを有する容器部分と、前記容器部分の前面開口部を作動的に閉じる扉と、を含む前面開放式ウエハ容器において、前記扉が、それぞれが前記扉の側部において外部的に動作可能な一対の掛止機構であって、各掛止機構が、前記扉の上部周縁部および底部周縁部から、前記扉に配置された受容部内に突出可能な一対の掛止チップを有する、一対の掛止機構と、離間した積み重ね構成において配置された水平ウエハの前部縁端を支持するためのウエハクッションであって、間に水平に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を有しており、前記弓状のウエハ係合部が前記扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置され、前記前扉の内部表面から離間しており、前記ウエハクッションが、前記容器部分のウエハクッションと後部ウエハ支持部との間における前記ウエハの圧縮保持による荷重が前記ウエハクッションと前記前扉との間に伝達される、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において前記扉の内部に固定されている、ウエハクッションと、前記掛止機構のための複数のロボットアクセス用キー孔であって、前記垂直方向に延びる荷重接合部から水平に外側に向かって離間しており、各々の掛止式機構の掛止チップが前記ロボットアクセス用キー孔から水平に片寄っており、前記掛止チップが前記垂直方向に延びる荷重接合部と垂直線において整列して配置されている、複数のロボットアクセス用キー孔と、を含む、前面開放式ウエハ容器。前記容器がポリカーボネートを含む、請求項1に記載の前面開放式ウエハ容器。前記容器がフルオロポリマー類を含む、請求項1に記載の前面開放式ウエハ容器。前記容器がポリエーテルエーテルケトンを含む、請求項1に記載の前面開放式ウエハ容器。二次ラッチが、前記扉の角を前記ウエハ容器に対してさらに固定するために使用される、請求項1に記載の前面開放式ウエハ容器。ウエハ容器であって、前面開口部を備えた、450mmウエハ用の大きさに作られた容器部分と、前扉であって、前記前面開口部にはめ込むための大きさに作られており、前記扉の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっている掛止部材を有する2つの掛止機構を備えている前扉と、前記前扉によって前記2つの掛止機構の掛止部材と垂直整列している位置に支持されているウエハクッションと、を含む、ウエハ容器。前記ウエハクッションが、間に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を含む、請求項6に記載のウエハ容器。前記弓状のウエハ係合部が前記前扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている、請求項7に記載のウエハ容器。前記ウエハクッションが、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において、前記扉の内部に固定されている、請求項7に記載のウエハ容器。前記前扉が、前記2つの掛止機構を操作するための複数のロボット用キー孔を含む、請求項6に記載のウエハ容器。前記ウエハ容器が、ポリカーボネート類、フルオロポリマー類およびポリエーテルエーテルケトンの1つまたは複数から作製されている、請求項6に記載のウエハ容器。二次ラッチが、前記扉の角を前記ウエハ容器に対してさらに固定するために使用されている、請求項6に記載のウエハ容器。前面開放式ウエハ容器のための前扉であって、前扉構造であって、前記前扉構造の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっており、前面開放式ウエハ容器の扉フレームとの掛止機構係合部を提供している掛止機構を備えた前扉構造と、ウエハクッションであって、前記掛止機構係合部と実質的に垂直整列しているウエハクッションと前記前扉構造との間に垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部を有するウエハクッションと、を含む、前扉。前記ウエハクッションが、間に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を含む、請求項13に記載の前扉。前記ウエハクッションが、前記垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において、前記前扉の内部に固定されている、請求項14に記載の前扉。前記弓状のウエハ係合部が前記前扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている、請求項15に記載の前扉。前記前扉が、前記掛止機構を操作するための複数のロボット用キー孔を含む、請求項13に記載の前扉。二次ラッチが、前記扉の角を前記ウエハ容器に対してさらに固定するために使用されている、請求項13に記載の前扉。前面開放式ウエハ容器のための前扉であって、前記前扉の内部表面にある中心凹部を備えた扉ハウジングであって、前記凹部が少なくとも2つの深さレベルを有し、前記少なくとも2つの深さレベルが、前記凹部内の中央に配置されている前記少なくとも2つの深さレベルのうち第1のより深い深さレベルと、前記凹部の縁に配置されており、前記扉に、ウエハクッション取付部または前記ウエハクッションのウエハ荷重担持位置を有している前記少なくとも2つの深さレベルのうち第2のより浅い深さレベルであって、前記第2のより浅い深さレベルにより、扉機構が、前記扉ハウジング内において、前記前扉の、前記ウエハクッション取付位置または前記ウエハクッションの荷重担持位置の直前にあることが可能になる、第2のより浅い深さレベルと、を含む、扉ハウジングを含む、前扉。前面開放式ウエハ容器のための前扉であって、扉ハウジングと、前記扉ハウジングの内部表面にある、水平に積み重ねられたウエハを担持するためのウエハクッションと、前記ウエハの係合による荷重を担持する、前記扉ハウジングの内部表面にある前記ウエハクッションの部分と垂直整列している、複数のウエハ掛止タブと、を含む、前扉。前記ウエハクッションが、間に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を含む、請求項20に記載の前扉。前記ウエハクッションが、前記垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において前記前扉の内部に固定されている、請求項21に記載の前扉。前記弓状のウエハ係合部が前記扉ハウジングの内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている、請求項22に記載の前扉。前記前扉が、ポリカーボネート類、フルオロポリマー類およびポリエーテルエーテルケトンの1つまたは複数から作製される、請求項20に記載の前扉。前面開放式ウエハ容器内における扉のたわみを最小化する方法であって、ウエハ容器を用意するステップと、垂直支持部材により前記扉によって支持された一組の内側に配置されたウエハ支持クッションを有する前記ウエハ容器のための前扉を用意するステップと、前記前扉を前記ウエハ容器内に保持するため、一組の掛止機構を前記支持部材と垂直整列している位置から展開するステップと、を含む、方法。本発明は上記した懸案を鑑みてなされたものである。450mmに適した前面開放式ウエハ容器は、前面開口部と、前面開口部を閉じる前扉とを有する容器部分を有する。前扉は、扉の左側および右側のそれぞれにおいて外部的に動作可能な一対の掛止機構を有する。各掛止式機構は、扉の上部周縁部および底部周縁部から、容器部分の前面開口部を画定する扉フレームに配置された受容部内に突出可能な一対の掛止チップを有する。離間した積み重ね構成において配置された水平ウエハの前部縁端をウエハクッションが支持する。本発明の一実施形態では、ウエハクッションは、その間に水平に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ領域を有する。弓状のウエハ係合部は、扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている。弓状のウエハ係合部は前扉の内部表面から離間している。ウエハクッションは、ウエハクッションと後部ウエハ支持部との間におけるウエハの圧縮保持による荷重がウエハクッションと前扉との間に伝達される、一対の垂直方向に延びる荷重接合部loadingjunctureにある一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において扉の内部に固定されている。掛止機構のロボットアクセス用キー孔は、垂直方向に延びる荷重接合部から水平に外側に向かって離間している。各々の掛止機構の掛止チップはロボットアクセス用キー孔から水平に片寄っており、掛止チップは垂直方向に延びる荷重接合部と垂直線において整列している。これまで認識されていなかった問題は、前扉のクッションと係合するウエハの重量により、z方向における相当な力の成分を生じ、主として扉ならびに後壁の外側への湾曲により示される、z方向における容器の歪みの原因となるおそれがあることである。上部ウエハのある扉の上部縁端の近傍から底部ウエハのある扉の底部縁端まで、および扉の中心部において荷重がかけられるため、この力により、扉の扉フレームへの取り付け箇所が中心力受容領域centralforcereceivingregionの外側に水平に配置されている位置において、扉の反りが促進される。この力は、特に450mmウエハ容器という状況において扉と扉フレームとの間のシールの完全性に影響しうる扉のたわみ問題を引き起こすおそれがあることがわかっている。本発明の実施形態の特徴および利点は、ウエハ保持力が扉に直に伝達され、扉を横断して通過しないことである。本発明の実施形態の特徴および利点は、扉ラッチがウエハ保持取付物と並んでいることである。これは扉のたわみを最小限にする。本発明のさらなる利点および特徴は、ウエハによる扉の荷重が中心垂直領域に延びるため1つの基準水平から次の基準水平まで実質的に均一であり、かつ、扉と扉フレームとのラッチが、通常、扉フレームの上部部分および底部部分にあるため、水平x方向軸線を中心とした扉の最小限の反りが扉に生じることである。したがって、垂直y方向軸線を中心としたあらゆる反りに関して反り成分を除去することによって、扉の扉フレームシールに対する完全性および均一性を、大径ウエハ容器、特に450mm容器において向上させることができる。本発明の一実施形態では、ウエハクッションと前扉構造との間に垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部は、実質的に扉フレームとの掛止機構係合部と垂直整列している。本発明の一実施形態では、前扉の内部表面上の中心凹部は少なくとも2つの深さレベルを有しており、少なくとも2つの深さレベルのうち最も深いものが凹部内の中央に配置されている。より浅い深さレベルは凹部の縁に配置されており、扉に、ウエハクッション取付部またはウエハクッションのウエハ荷重担持位置を有している。より浅い深さの第2のレベルにより、扉機構が、扉ハウジング内において、扉の、前記ウエハ取付位置またはウエハクッションの荷重担持位置の直前にあることが可能となる。この凹部の圧力は300mmウエハ容器では一般的であり、多くの450mm容器の扉では、中心凹部がなければ、扉機能は均一な厚さの扉よりも反りやすくなる傾向がある。本発明の別の実施形態は、前面開放式ウエハ容器に関する。ウエハ容器は、内部の容器の両側に配置された、450mmウエハを保持するための大きさに作られた棚の対向する柱を備えた内部を有する容器部分と、前面開口部を画定する扉フレームとを含む。ウエハ容器は、また、容器部分の前面開口部を作動的に閉じる扉を含む。扉は、それぞれが扉の側部において外部的に動作可能な一対の掛止機構を含み、各掛止機構は、扉の上部周縁部および底部周縁部から、扉フレームに配置された受容部内に突出可能な一対の掛止チップを有する。扉は、また、離間した積み重ね構成において配置された水平ウエハの前部縁端を支持するためのウエハクッションを含み、その間に水平に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を有する。弓状のウエハ係合部は扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されており、前扉の内部表面から離間している。ウエハクッションは、容器部分のウエハクッションと後部ウエハ支持部との間におけるウエハの圧縮保持による荷重がウエハクッションと前扉との間に伝達される、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において扉の内部に固定されている。扉は、また、垂直方向に延びる荷重接合部から水平に外側に向かって離間した、掛止機構のための複数のロボットアクセス用キー孔を含む。各々の掛止式機構の掛止式チップはロボットアクセス用キー孔から水平に片寄っており、掛止式チップは垂直方向に延びる荷重接合部と垂直線において整列して配置されている。ウエハは450mm径ウエハであってもよい。本発明の他の実施形態は、前面開口部と、前扉と、ウエハクッションとを備えた容器部分を含む、450mmウエハ用の大きさに作られたウエハ容器に関する。前扉は、前面開口部にはめ込むための大きさに作られており、扉の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっている掛止部材を有する2つの掛止機構を備えている。ウエハクッションは、前扉によって2つの掛止機構の掛止部材と垂直整列している位置に支持されている。本発明の一実施形態は、前面開放式ウエハ容器のための前扉を含む。前扉は、前面開放式ウエハ容器の扉フレームとの掛止機構係合部を提供するために、前扉構造の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっている掛止機構を備えた前扉構造を含む。前扉は、また、掛止機構係合部と実質的に垂直整列している、ウエハクッションと前扉構造との間に垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部を有するウエハクッションを含む。本発明のさらなる実施形態は、前面開放式ウエハ容器のための前扉に関する。前扉は、前扉の内部表面にある中心凹部を備えた扉ハウジングを含み、凹部は少なくとも2つの深さレベルを有する。少なくとも2つの深さレベルのうち第1のより深い深さレベルは凹部内の中央に配置されている。少なくとも2つの深さレベルのうち第2のより浅い深さレベルは凹部の縁に配置されており、扉に、ウエハクッション取付部またはウエハクッションのウエハ荷重担持位置を有している。この実施形態では、第2のより浅い深さレベルにより、扉機構が、扉ハウジング内において、前扉の、ウエハクッション取付位置またはウエハクッションの荷重担持位置の直前にあることが可能になる。別の実施形態は、前面開放式ウエハ容器のための前扉を含む。前扉は、扉ハウジングと、ウエハクッションと、複数のウエハ掛止タブとを含む。扉ハウジングの内部表面上のウエハクッションは水平に積み重ねられたウエハを担持するようになっている。複数のウエハ掛止タブは、ウエハの係合による荷重を担持する、扉ハウジングの内部表面にあるウエハクッションの部分と垂直整列している。他の実施形態は、前面開放式ウエハ容器内における扉のたわみを最小化するための方法を含む。そのような方法には、ウエハ容器を用意するステップと、垂直支持部材により扉によって支持された一組の内側に配置されたウエハ支持クッションを有するウエハ容器のための前扉を用意するステップと、前扉をウエハ容器内に保持するため、一組の掛止機構を支持部材と垂直整列している位置から展開するステップと、を含む。図1を参照すると、前面開放式ウエハ容器20が示され、全般的に、上部壁23と、一対の側壁24、25と、後壁26と、前面開口部29を画定する扉フレーム28と、開いた前面を閉じるように構成された前扉30とを有する容器部分22を含む。扉は、扉ハウジング44の内部に位置する掛止機構42に通じる一対のキー穴36,38を有する。このような掛止機構は、一般に、米国特許第4995430号明細書、米国特許第7182203号明細書または米国特許第7168587号明細書に示されているように構成することができる。これらのすべては本出願の権利者により所有され、すべてが参照により本明細書中に組み込まれる。扉は、外部表面50と、周縁部54と、内部表面56とを有する。長穴60が周縁部に配置されており、扉フレームの内部表面にある凹部70に係合および解放するために、掛止タブ64またはチップが扉から突出すること、およびそれらを扉に引き込むことを可能にする。シールまたはガスケット72は、ラッチが作動されたときに扉を密封的に閉じるため扉の周縁に追従し、扉フレームに係合している。複数のウエハ係合部76を含むウエハクッション74は、前扉の内部表面の凹部80内に配置されている。凹部80は、扉の上部から扉の底部まで延びており、扉の左側および右側に対して中央に配置されている。容器部分22は、容器部分の内側側部に棚84の形態のウエハ支持部と、また、後部に、ウエハの後部縁端に係合するための90度回転させたV字形の溝を有するクッションとして、または剛性支持部として構成されてもよい支持部86とを有する。扉が所定の位置に設置および掛止されると、ウエハが持ち上げられてもよい。これは450mmの分野において採用される傾向にある。ウエハの持ち上げの動作については、本発明の権利者により所有されており、参照により本明細書中に組み込む米国特許第6267245号明細書に示されている。ウエハは、扉の内部表面にあるウエハクッションと、容器部分の後部にあるウエハ支持部との間において圧縮される。図2、3、4および5に最も良く示されるように、ウエハ掛止チップまたはタブ64が、前記前部クッションと後部ウエハ支持部との間にウエハを圧縮している、ウエハの係合による荷重を担持する、前扉の内部表面にあるウエハクッションの部分と垂直に整列している。前記整列は、曲げモーメントが扉に付与されることを排除する。曲げモーメントは、特に、450mmウエハに関連する拡張部において、扉の密封問題はもとより、容器が閉じているときのウエハの確実な拘束の維持における問題を生じさせるおそれがある。キー穴または従来よりそのような掛止機構を駆動する回転式ホイールの中心からの掛止チップの片寄りを提供する掛式機構が、前に参照によって組み込まれた米国特許第7182203号明細書に示されている。図2~5のそれぞれでは、位置88において、前扉30の上部周縁部および底部周縁部の周りの位置にあるウエハ保持取付物と並んだ扉ラッチが見られる。450mmウエハ99を含む配置の断面図を図5に示す。図5に示すように、ウエハクッション74により作用されるウエハ保持力Fがラッチ64に直に伝達される。この配置では、扉の外側への湾曲を引き起こす曲げモーメントをほとんどまたはまったく扉30に作用することができない。したがって、ウエハ保持力がラッチ64から片寄っていない場合、たわみが最小化される。垂直方向に延びる支持ストリップ部90およびウエハクッション74の弓状のウエハ係合部92の配置は図2~5からより良く理解されうる。さらに、一対の垂直方向に延びる荷重接合部94における、垂直方向に延びる支持ストリップ部90の固定についても図5の断面図に示される。追加の二次掛止構造98をさらに図3に見ることができる。二次ラッチ98を、さらに、前扉30の周縁部の上部および底部の角の近辺に含んでもよい。これら二次掛止構造98は、掛止タブ64の動作と同様、外側に向かって突出することができ、したがって、扉30の角の容器22に対するさらなる固定を提供することができる。本出願の全体にわたり説明される種々の実施形態では、種々のウエハ容器構成要素を、全般的に、半導体ウエハに通常使用される高分子から射出成形してもよい。例えば、ポリカーボネート類、フルオロポリマー類、ポリエーテルエーテルケトンである。また、1つまたは複数の例示的な実施形態は単に例であり、本発明の範囲、適用性または構成をいかようにも限定することを意図するものではないことを理解すべきである。むしろ、前述の詳細な説明は1つまたは複数の例示的な実施形態を実施するための可能な開示を当業者に提供するものである。添付の特許請求の範囲およびその法的均等物において説明する本発明の範囲から逸脱することなく要素の機能および配置に種々の変更を施すことができることを理解すべきである。上記実施形態は例証的なものであり、限定的なものではない。追加の実施形態は特許請求の範囲内に含まれる。本発明は特定の実施形態を参照して記載されているが、当業者であれば、本発明の精神および範囲から逸脱することなく形態および細部に変更を施してもよいことを理解するであろう。当業者がこの開示を読むと本発明に対する種々の変更が明らかとなろう。例えば、関連技術において通常の技量を有する者であれば、本発明の異なる実施形態において記載した種々の特徴を、本発明の精神内において、他の特徴と、単独で、または種々の組み合わせにおいて、適切に組み合わせることも、組み合わせないことも、再び組み合わせることもできることは理解されよう。同様に、上記の種々の特徴はすべて、本発明の範囲または精神を限定するというよりもむしろ、実施形態例とみなされるべきである。したがって、上記は本発明の範囲を限定するものと企図されるものではない。"