"スライダ部が、転動体を介して、所定の方向に移動可能に支持されたガイド装置であって、前記所定の方向に沿って第1溝部が形成されたスライダ部本体と、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットと、を備えたスライダ部と、前記第1溝部に対向し、前記所定の方向に沿って第2溝部が形成されたレール部と、前記第1溝部及び前記第2溝部に挟まれることにより前記第1溝部と前記第2溝部との間を転動し、転動した後に前記転動体循環路を通過し、前記転動体循環路を通過した後、再び、前記第1溝部と前記第2溝部との間を転動する転動体と、を有し、前記転動体循環路の内周面には、潤滑剤を含んだ潤滑剤含有部材が配置されていることを特徴とするガイド装置。前記スライド部の前記第1溝部、前記レール部の前記第2溝部、及び前記転動体循環路は、それぞれ2つずつ形成され、前記転動体は、前記第1溝部と前記第2溝部とに、前記所定の方向と直交する方向に挟まれることを特徴とする請求項1に記載のガイド装置。前記潤滑剤含有部材は、貫通孔が形成された円筒形状に形成され、前記転動体は、前記貫通孔を通過することを特徴とする請求項1又は2に記載のガイド装置。前記転動体が移動する前記転動体循環路は、直線部と円弧部とから構成される略長円形状に形成され、前記潤滑剤含有部材は、前記潤滑剤含有部材の前記貫通孔の貫通方向における長さが、前記転動体循環路の前記直線部の長さよりも小さく形成されていることを特徴とする請求項3に記載のガイド装置。前記転動体収納ユニットは、筐体と、前記スライド部の移動方向と直交する方向に移動可能に前記筐体に嵌め込まれたシール部材と、を有し、前記シール部材の端部は、前記レール部の第2溝部に接触することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のガイド装置。前記筐体には、潤滑剤含有部材に潤滑剤を注入するための第1注入孔が形成されていることを特徴とする請求項5に記載のガイド装置。前記転動体収納ユニットは、前記シール部材を覆い、前記筐体に取り付けられる蓋体を有し、前記蓋体には、前記転動体を円滑に転動させるためのグリスを注入するための第2注入孔が形成されており、前記第2注入孔は、前記転動体循環路に通じていることを特徴とする請求項6に記載のガイド装置。前記筐体及び前記蓋体のいずれか一方には、ボス部が形成され、他方には、前記ボス部の形状に対応するように孔が形成され、前記ボス部は、前記孔に嵌め込まれていることを特徴とする請求項7に記載のガイド装置。前記請求項1乃至8のいずれか一項に記載のガイド装置を備えることを特徴とするアクチュエータ。上記特許文献1に記載のガイド装置の潤滑剤供給ユニットは、潤滑剤含有部材、この潤滑剤含有部材をレール部の溝に付勢する付勢部材、これらを収納する筐体等を有している。このため、構造が複雑であり、組み立て作業が煩雑であった。また、組み立て作業を自動化することも困難であった。本発明は、上述の事情の下になされたもので、構造が簡素で、組み立ての作業性を向上させることができるガイド装置及びアクチュエータを提供することを目的とする。上述の目的を達成するために、本発明の第1の観点に係るガイド装置は、スライダ部が、転動体を介して、所定の方向に移動可能に支持されたガイド装置であって、前記所定の方向に沿って第1溝部が形成されたスライダ部本体と、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットと、を備えたスライダ部と、前記第1溝部に対向し、前記所定の方向に沿って第2溝部が形成されたレール部と、前記第1溝部及び前記第2溝部に挟まれることにより前記第1溝部と前記第2溝部との間を転動し、転動した後に前記転動体循環路を通過し、前記転動体循環路を通過した後、再び、前記第1溝部と前記第2溝部との間を転動する転動体と、を有し、前記転動体循環路の内周面には、潤滑剤を含んだ潤滑剤含有部材が配置されていることを特徴とする。前記ガイド装置は、前記スライド部の前記第1溝部、前記レール部の前記第2溝部、及び前記転動体循環路は、それぞれ2つずつ形成され、前記転動体は、前記第1溝部と前記第2溝部とに、前記所定の方向と直交する方向に挟まれてもよい。前記潤滑剤含有部材は、貫通孔が形成された円筒形状に形成され、前記転動体は、前記貫通孔を通過することとしてもよい。前記転動体が移動する前記転動体循環路は、直線部と円弧部とから構成される略長円形状に形成され、前記潤滑剤含有部材は、前記潤滑剤含有部材の前記貫通孔の貫通方向における長さが、前記転動体循環路の前記直線部の長さよりも小さく形成されていてもよい。前記転動体収納ユニットは、筐体と、前記スライド部の移動方向と直交する方向に移動可能に前記筐体に嵌め込まれたシール部材と、を有し、前記シール部材の端部は、前記レール部の第2溝部に接触していてもよい。前記筐体には、潤滑剤含有部材に潤滑剤を注入するための第1注入孔が形成されていてもよい。前記転動体収納ユニットは、前記シール部材を覆い、前記筐体に取り付けられる蓋体を有し、前記蓋体には、前記転動体を円滑に転動させるためのグリスを注入するための第2注入孔が形成されており、前記第2注入孔は、前記転動体循環路に通じていてもよい。前記筐体及び前記蓋体のいずれか一方には、ボス部が形成され、他方には、前記ボス部の形状に対応するように孔が形成され、前記ボス部は、前記孔に嵌め込まれていてもよい。本発明の第2の観点に係るアクチュエータは、上記に記載のガイド装置を備えることを特徴とする。本発明によれば、潤滑剤を含有した素材からなる潤滑剤供給部材が、転動体循環路に配置されている。これにより、構造が簡素で、組み立ての作業性を向上させることができる。また、ガイド装置の組み立てを自動化にすることも可能になる。以下、本発明の第1実施形態に係るガイド装置30及びアクチュエータ10について図1~図31を用いて説明する。なお、図中のXY平面は水平な面であり、図中のZ軸の方向は鉛直方向である。アクチュエータ10は、図1に示すように、Y軸方向に往復運動するロッド11を有するリニアアクチュエータである。このアクチュエータ10は、ロッド11と、モータユニット20と、フロントハウジング80と、ベアリングハウジング90と、カバー18とを有している。カバー18は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。カバー18には、Z軸方向に貫通する貫通孔18aが形成されており、図2Aに示すように、ボルト19によって、フロントハウジング80及びベアリングハウジング90に固定されている。アクチュエータ10は、図2Bに示すように、ロッド11等に加えて、ロッド11をY軸方向に案内するガイド装置30と、モータユニット20の回転運動を直線運動に変換するボールねじ70とを有している。ロッド11は、図3に示すように、内部に孔11aが形成された円筒状の部材で、例えば、ステンレス鋼からなる。ロッド11の-Y側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具12がねじ込まれることによって固定されている。また、ロッド11のY側の端部の外周には、雄ねじ部11bが形成されている。モータユニット20は、モータ21と、モータ21を収納するモータハウジング22と、アクチュエータケーブル24とを有する。モータ21は、例えば、ステッピングモータであり、出力軸23、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ21には、アクチュエータケーブル24を介して電源からの電力が供給される。モータ21に電力が供給されることによって、モータ21のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸23に出力される。また出力軸23の先端は、カップリング継ぎ手として構成されている。モータハウジング22は、略直方体のケースであり、モータハウジング22の-Y側の面には、開口22aが形成されている。モータ21の出力軸23は、この開口22aから外部に露出している。また、開口22aの上側Z側には、Z方向に貫通するねじ孔22bが形成されている。このねじ孔22bには、ボルト25が挿入される。ガイド装置30は、ロッド11がスライド部31に固定されることにより、ロッド11をY方向及び-Y方向の双方向に案内する。このガイド装置30は、図4に示すように、スライド部31と、レール部60と、スライド部31とレール部60との間に配置されたボール50転動体とを有する。このボール50は、金属からなり、スライド部31とレール部60との間に複数配置されている。スライド部31は、図5に示すように、ボール50を介して、レール部60にY軸方向に移動可能に支持されている。なお、スライド部31は、複数のボール50のみでレール部60に支持されている。スライド部31は、スライド部本体32と、スライド部本体32の-Z側の面にボルト49で固定されたリターン40とを有する。スライド部本体32は、図6に示すように、Y方向に貫通する貫通孔32aが形成された略直方体の部材で、例えば、鉄等の金属からなる。貫通孔32aの-Y側の開口近傍の内周面には、雌ねじ部32bが形成されている。また、スライド部本体32の下端には、-Z方向に突出する一対の凸部33,34が形成されている。この凸部33,34は、Y方向に沿って形成されており、X側の面及び-X側の面には、ボール50が転動するための溝部33a,34aがそれぞれ形成されている。溝部33a,34aの内面は、略湾曲面として構成されている。具体的には、図7Aに示すように、溝部33a,34aの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部33a,34aの内面は、図7Bに示すように、その曲率半径R1が、ボール50の半径R2と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。また、貫通孔32aには、図6に示すように、リング36が嵌め込まれている。このリング36は、雌ねじ部32bのY側に固定されている。また、スライド部本体32の下面-Z側の面には、ねじ孔32c及び一対のボス孔32dが形成され、スライド部本体32のX側の側面には、孔32eが形成されている。リターン40は、図8に示すように、ボール50が配置される一対のボール循環路が形成された部材である。このリターン40は、筐体41と、この筐体41の上面に取り付けられる蓋体42と、ボール50を円滑に移動させるためのオイルを含んだパイプ51と、シール部材52と、を有し、リターン40のX側の面及び-X側の面には凹部45,46が形成されている。筐体41は、例えば、ポリアセタール樹脂を射出成形することによって形成されている。筐体41には、図9に示すように、一対のボール循環路43,44が形成されている。このボール循環路43,44は、ボール50が移動するための通路で、ストレート通路部43a,44aとカーブ通路部43b,44bとから構成されている。ボール循環路43,44は、その断面形状がボール50の直径と同等の直径の円形になるように形成されている。また、ストレート通路部43a,44aには、パイプ51を配置するためのパイプ配置部53がそれぞれ形成されている。このパイプ配置部53は、その断面がU字形状になるように形成されている。また、筐体41の上面Z側の面には、Z方向に突出した円筒形状の一対のボス部47が形成されている。このボス部47は、その径が、スライド部本体32のボス孔32dの径と同等になるように形成されている。また、筐体41には、Z方向に貫通する貫通孔41aが4つ形成されている。この貫通孔41aには、ボルト49が挿入される。また、筐体41の上面Z側の面には、複数の窪み41bが形成されている。この窪み41bの形状は任意であり、筐体41の射出成形時の引けの発生を抑制するために、窪み41bは形成される。また、筐体41のY側の端部及び-Y側の端部には、シール部材52を配置するためのシール部材配置部54がそれぞれ形成されている。また、図10Aに示すように、筐体41の上面Z側の面には、グリスを注入したときにグリスが流れるグリス通路41cがY軸方向に沿って形成されている。また、図10Bに示すように、筐体41には、オイル注入孔56が形成されている。パイプ51は、図11Aに示すように、例えば、ポリマー樹脂を熱硬化させることによりで円筒状に形成した部材であり、筐体41に形成されたパイプ配置部53に嵌め込まれる。このパイプ51は、ボール50がボール循環路33,34を移動するときに生じる摩擦を軽減するためのオイルを含有している。これにより、図11Bに示すように、ボール50がパイプ51の孔51aを通過すると、ボール50にオイルが付着する。また、パイプ51は、そのY軸方向における長さH1が、ボール循環路43,44のストレート通路部43a,44aのY軸方向における長さH2よりも小さくなるように形成されている。シール部材52は、図12に示すように、X側の端部及び-X側の端部それぞれにリップ部52aが形成され、このリップ部52aにより、レール部60の溝に付着した付着物等がボール循環路43,44に進入することを防ぐ部材である。このシール部材52は、例えば、ニトリルゴムからなり、筐体41のシール部材配置部54に配置される。また、シール部材52には、突出部52bが形成されており、筐体41のシール部材配置部54に配置されると、シール部材52の突出部52bが、シール部材配置部54に形成された窪み54aに嵌め込まれる。なお、嵌め込まれたシール部材52は、シール部材配置部54に対して、X軸方向に移動可能に配置される。また、突出部52bが形成された面の反対側の面は、XZ平面に対して水平な平面として構成されている。蓋体42は、筐体41と同様に、例えば、ポリアセタール樹脂を射出成形することによって形成されている。この蓋体42には、図13に示すように、Z方向に貫通する一対のボス孔42aが形成されている。ボス孔42aには、筐体41のボス部47が挿入される。また、蓋体42には、Z方向に貫通する貫通孔42bが4つ形成されている。貫通孔42bには、筐体41の貫通孔41aとともに、ボルト49が挿入される。また、蓋体42には、グリスを注入するためのグリス注入孔48が形成されている。グリス注入孔48は、筐体41に形成されたグリス通路41cを介して、ボール循環路43,44に通じている。また、蓋体42の下面-Z側の面には、パイプ51を配置するためのパイプ配置部55が形成されている。リターン40を組み立てる場合は、先ず、オイルが含有されていないパイプ51が、筐体41のパイプ配置部53に配置される。次に、シール部材52が、筐体41のシール部材配置部54に配置される。そして、筐体41のボス部47を、蓋体42のボス孔42aに嵌め込むことにより、蓋体42は、筐体41に取り付けられる。次に、パイプ51にオイルを含有させる。詳しくは、図14に示すように、リターン40の下側-Z側から、オイル注入孔56を介して、パイプ配置部53にオイルを注入する。これにより、パイプ配置部53に配置されているパイプが、オイルを含有させる。以上により、リターン40の組み立てが完了する。次に、スライド部31の組み立て方法について、図15を参照して説明する。先ず、図15Aに示すように、スライド部本体32の凸部33,34が、リターン40の凹部45,46に嵌め込まれる。このとき、リターン40の筐体41のボス部47も、スライド部本体32のボス孔32dに嵌め込まれる。ボス部47がボス孔32dに嵌め込まれることにより、図15Bを参照するとわかるように、スライド部本体32のねじ孔32cと、リターン40の蓋体42の貫通孔42bと、リターン40の筐体41の貫通孔41aとが同軸上に配置される。次に、図15Bに示すように、ボルト49が、貫通孔41aと貫通孔42bとを介して、スライド部本体32のねじ孔32cにねじ込まれる。ボルト49がねじ込まれることにより、リターン40は、スライド部本体32に固定される。リターン40がスライド部本体32に固定されることにより、図16に示すように、リターン40の筐体41に形成されたボール循環路43と、スライド部本体32の凸部33に形成された溝部33aとが、ボール50の軌道T1に沿って配置される。同様に、リターン40の筐体41に形成されたボール循環路44と、スライド部本体32の凸部34に形成された溝部34aとが、ボール50の軌道T2に沿って配置される。これら軌道T1,T2は、ストレート部分とカーブ部分とを有する長円形状に形成される。これにより、スライド部31の組み立てが、完了する。ボール50は、リターン40の筐体41に形成されたボール循環路43,44や、スライド部本体32の凸部33に形成された溝部33a、凸部34に形成された溝部34a等に配置される。これにより、ボール50は、図16に示す軌道T1,T2に沿って配置される。レール部60は、図17に示すように、Y軸方向を長手方向とする板状のベース61と、このベース61のX側及び-X側に形成された側壁62,63とを有する。レール部60は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。ベース61には、Z方向に貫通する複数の貫通孔61aが形成されている。また、側壁62の-X側の面及び側壁63のX側の面には、凹部62a,63aがそれぞれ形成されている。この凹部62a,63aには、Y軸方向を長手方向とする略直方体に形成された鋼製部材64,65が取り付けられている。鋼製部材64の-X側の面及び鋼製部材65のX側の面には、溝部64a,65aがそれぞれ形成されている。溝部64a,65aの内面は、湾曲面として構成されている。具体的には、図18Aに示すように、溝部64a,65aの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部64a,65aの内面は、図18Bに示すように、その曲率半径R3が、ボール50の半径R2と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。また、この溝部64aと65aとの間の距離は、リターン40のシール部材52のX軸方向における長さと同等である。レール部60には、図19に示すように、複数のボール50を介して、スライド部31が取り付けられる。レール部60にスライド部31が取り付けられると、レール部60の鋼製部材64の溝部64aと、スライド部31のスライド部本体32の凸部33に形成された溝部33aとにボール50が挟まれる。同様に、レール部60の鋼製部材65の溝部65aと、スライド部31のスライド部本体32の凸部34に形成された溝部34aとにボール50が挟まれる。溝部64aと溝部33aとの間にボール50が挟まれるとともに、溝部65aと溝部34aとの間にボール50が挟まれることにより、スライド部31は、ボール50のみでレール部60に支持される。また、レール部60に対して、Y軸方向に移動可能になる。また、レール部60にスライド部31が取り付けられると、図20に示すように、リターン40のシール部材52の両端のリップ部52aが、レール部60の鋼製部材64,65の溝64a,65aに接触する。ガイド装置30は、レール部60にスライド部31が取り付けられることによって完成する。そして、スライド部31のスライド部本体32の貫通孔32aには、図21に示すように、ロッド11のY側の端部が挿入される。ロッド11のY側の端部が挿入されると、貫通孔32aに形成された雌ねじ部32bに、ロッド11のY側の端部に形成された雄ねじ部11bが螺合する。これにより、ロッド11は、ガイド装置30のスライド部31に固定される。ボールねじ70は、図22に示すように、ボールねじ軸71と、ボールねじナット72と、ボールねじ軸71の-Y側の端部に取り付けられた弾性部材110とを有する。ボールねじ軸71は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールねじ軸本体71aと、ボールねじ軸本体71aのY側の端部及び-Y側の端部それぞれに形成された小径部71b,71cとから構成される。小径部71b,71cは、その径がボールねじ軸本体71aの径よりも小さくなるように形成されている。また、ボールねじ軸71の小径部71cには、弾性部材110が嵌め込まれて、抜け止め部材112によって、抜け止めされている。これにより、弾性部材110は、ボールねじ軸71に回転可能に取り付けられる。ボールねじナット72は、ボールねじ軸71のボールねじ軸本体71aの外周に配置されている。ボールねじナット72の内周面にはボールねじ部が形成されている。このボールねじナット72が、ボールねじ軸71に剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸71の回転運動が、ボールねじナット72の直線運動に変換される。また、ボールねじ軸71の小径部71bは、カップリング継ぎ手として構成されている。この小径部71bが、カップリングとして構成されたモータユニット20の出力軸23に、出力軸23の回転とともに回転するように接続される。これにより、出力軸23の回転運動がボールねじ軸71に伝達される。弾性部材110は、例えば、樹脂からなり、図23に示すように、中央に貫通孔110aが形成されたリング形状に形成されている。また、この弾性部材110は、その外径が、ロッド11の孔11aの内径とほぼ同等となるように形成されている。具体的には、ボールねじ軸71の小径部71cを、ロッド11の孔11aに挿入した場合に、弾性部材110の外周が、孔11aの内周面に接触するように形成されている。この弾性部材110が取り付けられることにより、ボールねじ軸71の-Y側の端部は、この弾性部材110によって、ロッド11の孔11aの内周面に支持される。これにより、ボールねじ軸71の先端部の振れの発生を抑制することができる。すなわち、弾性部材110は、ボールねじ軸71の小径部71cの振れを抑える振れ止め部材として構成されている。また、弾性部材110には、Y軸を中心とした円周上に沿って等間隔に形成された複数の溝111が形成されている。本実施形態のおいては、溝111は、8つ形成されている。この溝111が形成されることにより、ロッド11の孔11aと、弾性部材110の-Y側の面とによって規定された空間の、ロッド11の移動に伴って生じる内圧の変化を防ぐことができる。ボールねじ70は、図24に示すように、ガイド装置30に固定される。具体的には、ボールねじ軸71の-Y側の端部が、スライド部本体32の貫通孔32aにY側から挿入され、これにより、ボールねじナット72が、貫通孔32a内に配置される。そして、スライド部本体32の孔32eに挿入された一対のボルト74をねじ込むことによって、ボールねじ70は、ガイド装置30に固定される。また、ボールねじ70が、ガイド装置30に固定されると、図25に示すように、ボールねじ軸71の-Y側の小径部71cは、ロッド11の孔11a内まで移動する。このとき、弾性部材110の外周が、ロッド11の孔11aの内周面に接触する。これにより、ボールねじ軸71の-Y側の端部が、この弾性部材110によって支持される。フロントハウジング80は、図3に示すように、ガイド装置30の-Y側に、ボルト81によって固定されている。フロントハウジング80は、例えば、ダイカストにより形成されている。また、フロントハウジング80には、ロッド11を通すための貫通孔80aが形成されており、この貫通孔80aの内周面には、オイルレスベアリング82が配置されている。オイルレスベアリング82は、ロッド11をY軸方向に移動可能に支持する。また、フロントハウジング80は、Y方向に突出する突出部83が形成されており、この突出部83の上面Z側の面には、ねじ孔が形成されている。このねじ孔は、カバー18を固定するために用いられる。突出部83のねじ孔には、カバー18に形成された貫通孔18aを介して、ボルト19が挿入される。ベアリングハウジング90は、図3に示すように、ガイド装置30のY側に、ボルト91によって固定されている。ベアリングハウジング90は、フロントハウジング80と同様に、ダイカストにより形成されている。また、ベアリングハウジング90は、ボールねじ軸71を挿入するための貫通孔90aが形成されており、この貫通孔90aの内周面には、ベアリング92が配置されている。ベアリング92は、貫通孔90aのY側から嵌め込まれ、ベアリング押さえ92aによって固定されている。このベアリング92によって、ボールねじ軸71は回転可能に支持される。また、ベアリングハウジング90には、-Y方向に突出する突出部93が形成されており、この突出部93の上面Z側の面には、ねじ孔が形成されている。このねじ孔には、カバー18に形成された貫通孔18aを介して、ボルト19が挿入される。また、突出部93の-Y側の面には、Y方向に移動してきたスライド部31に接触し、スライド部31からの衝撃を吸収する衝撃吸収部材94が配置されている。衝撃吸収部材94は、弾性の素材からなり、衝撃吸収部材94の素材には、任意の樹脂が用いられる。また、ベアリングハウジング90には、Y方向に突出する突出部95が形成されている。ベアリングハウジング90には、図26Aに示すように、ボールねじ軸71の小径部71bが挿入される。これにより、ボールねじ70は、ベアリングハウジング90に回転可能に支持される。また、ベアリングハウジング90の突出部95は、モータユニット20のモータハウジング22の開口22aに嵌め込まれる。このとき、カップリングとして構成されたボールねじ軸71の小径部71bが、カップリングとして構成された出力軸23に、出力軸23の回転とともに回転するように接続される。これにより、モータ21内で生じた回転運動が、ボールねじ軸71に伝達される。そして、図26Bに示すように、モータハウジング22に形成されたねじ孔22bには、ボルト25がねじ込まれる。これにより、ボルト25の下端が、ベアリングハウジング90の突出部95の上面Z側の面に押し付けられるため、モータユニット20は、ベアリングハウジング90に対して固定される。上述のように構成されたアクチュエータ10の動作について、図27~図29を用いて説明する。先ず、モータユニット20のモータ21に電源が供給されることによって、図27Iに示すように、モータ21の出力軸23が所定の方向に回転する。出力軸23が所定の方向に回転すると、出力軸23に接続されているボールねじ軸71が、出力軸23とともに回転する。ボールねじ軸71が回転すると、図27IIに示すように、ボールねじ軸71の回転運動に伴って、ボールねじナット72が、例えば、-Y方向に直線運動をする。ボールねじナット72が、-Y方向に移動すると、ボールねじナット72に固定されているガイド装置30のスライド部31も、ボールねじナット72とともに-Y方向に移動をする。このとき、図28Iに示すように、レール部60の鋼製部材64の溝部64aと、スライド部本体32の凸部33の溝部33aと間に配置されたボール50は、溝部64a及び溝部33aに転がり接触しながら転動する。ボール50は、Y方向に移動していき、溝部64aと溝部33aとの間から、リターン40に形成されたボール循環路43に移動する。ボール循環路43に移動したボール50は、ボール循環路43のカーブ通路部43b、ストレート通路部43aを通過し、再び、ボール循環路43から、溝部64aと溝部33aとの間に移動する。そして、ボール50は、溝部64a及び溝部33aに転がり接触しながら転動する。同様に、レール部60の鋼製部材65の溝部65aと、スライド部本体32の凸部34の溝部34aと間に配置されたボール50は、溝部65a及び溝部34aに転がり接触しながら転動する。ボール50は、Y方向に移動していき、溝部65aと溝部34aとの間から、リターン40に形成されたボール循環路44に移動する。ボール循環路44に移動したボール50は、ボール循環路43のカーブ通路部43b、ストレート通路部43aを通過し、再び、ボール循環路44から、溝部65aと溝部34aとの間に移動する。そして、ボール50は、溝部65a及び溝部34aに転がり接触しながら転動する。ボール50が、溝部64a,65a及び溝部33a,34aに転がり接触しながら転動することにより、スライド部31は、レール部60に案内されつつ、-Y方向に移動する。スライド部31が-Y方向に移動すると、図29Iに示すように、筐体41の-Y側の端部近傍に配置されたシール部材52のリップ部52aが、レール部60の鋼製部材64,65の溝部64a,65aに接触しながら、シール部材52も-Y方向に移動する。このとき、嵌め込まれたシール部材52がX軸方向に移動可能に配置されているため、シール部材52は、リップ部52aが溝部64a,65aに接触するように、X軸方向における位置を調整しながら移動する。これにより、鋼製部材64,65の溝部64a,65aの表面に付着したごみ、ほこりのボール循環路43,44への進入を防ぐ。ガイド装置30のスライド部31が-Y方向に移動をすると、図27IIに示すように、スライド部31に固定されているロッド11も、スライド部31とともに-Y方向に移動する。これにより、ロッド11の先端に取り付けられた先端金具12が-Y方向に移動する。以上により、ロッド11及び先端金具12の-Y方向への移動が完了する。次に、モータユニット20の出力軸23が所定の方向とは逆方向に回転すると、図27IIIに示すように、出力軸23に接続されているボールねじ軸71は、出力軸23とともに回転する。ボールねじ軸71が回転すると、ボールねじ軸71の回転運動に伴って、ボールねじナット72が、Y方向に直線運動をする。ボールねじナット72が、Y方向に移動すると、ボールねじナット72に固定されているガイド装置30のスライド部31も、ボールねじナット72とともにY方向に移動をする。このとき、図28IIに示すように、レール部60の鋼製部材64,65の溝部64a,65aと、スライド部本体32の凸部33,34の溝部33a,34aと間に配置されたボール50は、溝部64a,65a及び溝部33a,34aに転がり接触しながら転動する。ボール50は、-Y方向に移動していき、やがて、リターン40に形成されたボール循環路43,44に移動する。ボール循環路43,44に移動したボール50は、ボール循環路43,44のカーブ通路部43b,44b、ストレート通路部43a,44aを通過し、再び、溝部64a,65aと溝部33a,34aとの間に移動する。溝部64a,65aと溝部33a,34aとの間に移動したボール50は、転がり接触しながら転動する。ボール50が、溝部64a,65a及び溝部33a,34aに転がり接触しながら転動することにより、スライド部31は、レール部60に案内されつつ、Y方向に移動する。スライド部31がY方向に移動すると、図29IIに示すように、筐体41のY側の端部近傍に配置されたシール部材52のリップ部52aが、レール部60の鋼製部材64,65の溝部64a,65aに接触しながら、シール部材52もY方向に移動する。このとき、シール部材52はリップ部52aが溝部64a,65aに接触するように、X軸方向における位置を調整しながら移動する。そして、シール部材52は、空気中に含まれるちり、ほこりのボール循環路43,44への進入を防ぐ。ガイド装置30のスライド部31がY方向に移動をすると、図27IIIに示すように、スライド部31に固定されているロッド11も、スライド部31とともにY方向に移動する。これにより、ロッド11の先端に取り付けられた先端金具12がY方向に移動する。以上により、ロッド11及び先端金具12のY方向への移動が完了し、ロッド11及び先端金具12は、初期位置まで戻る。次に、ガイド装置30へのグリスの注入方法ついて、図30を用いて説明する。ガイド装置30にグリスを注入する場合には、ガイド装置30のユーザーは、図30Aに示すように、先ず、リターン40の蓋体42に形成されたグリス注入孔48に、Z側からグリスを注入する。グリスの注入には、例えば、注射器等が用いられる。グリス注入孔48からグリスが注入されると、グリス注入孔48の-Z側には、グリス通路41cが形成されているため、グリス注入孔48を通過したグリスは、グリス通路41cに移動する。そして、グリスは、グリス通路41をY軸方向に移動する。グリス通路41をY軸方向に移動したグリスは、図30Bに示すように、ボール循環路43,44に流出する。これにより、ボール循環路43,44に配置されているボール50にグリスが付着する。以上、説明したように、本実施形態に係るガイド装置30によれば、オイルが含有された素材からなるパイプ51が、筐体41のボール循環路43,44に配置されている。これにより、ガイド装置30の構造を簡素にでき、組み立ての作業性を向上させることができる。例えば、このようなパイプ51を有さないガイド装置の場合、潤滑剤供給ユニットを別途用意しなければならず、この潤滑剤供給ユニットをスライド部に取り付ける作業も必要になる。また、潤滑剤供給ユニットは、パイプ51に比べて、部品点数が多くなるおそれがあり、これに伴い、ガイド装置の構造も複雑になるおそれがある。これに対し、本実施形態によれば、パイプ51が、筐体41のボール循環路43,44に配置されているため、ガイド装置30の構造を簡素にでき、組み立ての作業性を向上させることができ、ひいては、ガイド装置30の組み立てを自動化にすることも可能になる。また、パイプ51は、そのY軸方向における長さH1が、ボール循環路43,44のストレート通路部43a,44aのY軸方向における長さH2よりも小さくなるように形成されている。これにより、ボール50は、レール部60の鋼製部材64,65の溝部64a,65aと、スライド部本体32の凸部33,34の溝部33a,34aと間をより円滑に転動できる。例えば、図31Aに示すように、長さH1と長さH2とが同等の場合は、パイプ51に入る直前のボール50の進行方向の角度と、パイプ51に入った直後のボール50の進行方向の角度とに差がある。これにより、ボール50がパイプ51に入るときに、ボール50が、パイプ51の端部に接触しやすくなり、パイプ51に対するボール50の円滑な進入の妨げになるおそれがある。これに対し、本実施形態に係るパイプ51は、図31Bに示すように、長さH1が、ストレート通路部43a,44aの長さH2よりも小さくなるように形成されているため、パイプ51に入る直前のボール50の進行方向の角度と、パイプ51に入った直後のボール50の進行方向の角度とが同等になる。これにより、ボール50がパイプ51に入るときに、ボール50が、パイプ51の端部に接触しにくくなり、このため、ボール50はパイプ51に円滑に進入することができる。また、本実施形態に係るガイド装置30においては、シール部材52が、筐体41のシール部材配置部54にX軸方向に移動可能に嵌め込まれている。このため、シール部材52は、リップ部52aが溝部64a,65aに接触するように、X軸方向における位置を調整しながら移動する。これにより、鋼製部材64,65の溝部64a,65aの表面に付着したごみ、ほこりのボール循環路43,44への進入を防ぐ。また、シール部材52は、筐体41のシール部材配置部54に嵌め込まれているため、シール部材52を接着するための接着剤等を必要とせず、ガイド装置30の組み立ての作業性を向上させることができる。また、製造コストを抑えることもできる。また、シール部材52には、シール部材配置部54に形成された窪み54aに嵌め込まれる突出部52bが形成されている。これにより、誤ってシール部材52をY軸方向に反対に嵌め込むことがなくなる。このため、ガイド装置30の組み立ての作業性を向上させることができ、また、製造コストを抑えることもできる。また、リターン40の筐体41にはボス部47が形成されているとともに、蓋体42には貫通孔42aが形成されている。このボス孔32dにボス部47が嵌め込まれることにより、スライド部本体32のねじ孔32c、リターン40の蓋体42の貫通孔42b、リターン40の筐体41の貫通孔41aの3つの孔が同軸上に配置される。このため、これらのねじ孔32c、貫通孔42b、貫通孔41aにボルト49が挿入しやすくなり、ひいては、ガイド装置30の組み立ての作業性を向上させることができる。また、ねじ孔32c、貫通孔42b、貫通孔41aを同軸に配置させるための位置決めピン等を別途形成する必要がなくなる。また、リターン40の蓋体42には、グリス注入孔48が形成されているとともに、筐体41には、グリス注入孔48が形成されている。これにより、ガイド装置30からリターン40を取り外して、蓋体42を開けなくとも、容易にグリスを注入することができる。また、リターン40の筐体41の下面には、オイル注入孔56が形成されている。これにより、オイルが含有されていないパイプ51を用いて、ガイド装置30を組み立てた後に、このオイル注入孔56を介して、パイプ51にオイルを含有させることができる。例えば、オイル注入孔56が形成されていない場合には、すでにオイルが含有されているパイプ51を用いて、ガイド装置30を組み立てなければならないため、パイプ51の取り扱いが難しく、組み立て作業が難しくなる。これに対して、本実施形態においては、ガイド装置30の組み立て時には、オイルが含有されていないパイプ51を用いることができるため、パイプ51の取り扱いが容易になり、この結果、ガイド装置30の組み立ての作業性を向上させることができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。例えば、本第1実施形態のアクチュエータは、ガイド装置30のスライド部31にロッド11が固定されたロッド式のアクチュエータとして構成されている。しかしながら、これに限られない。図32に示すように、Y軸方向に往復運動するテーブル130を備えるアクチュエータ10Aとして構成してもよい。この場合、ガイド装置30Aのスライド部31のZ側の面には、テーブルを固定するための取付孔131を形成して、この取付孔131を介して、テーブル130を取り付けることができる。また、本第1実施形態のアクチュエータは、図1~図31に示すように、ロッドタイプのアクチュエータとして、本第2実施形態のアクチュエータは、図32に示すように、テーブルタイプのアクチュエータとして構成されているが、これに限らず、これ以外のアクチュエータにも適することが可能である。また、本実施形態においては、パイプ51は円筒形状に形成されているが、これに限らず、半円形状にしてもよいし、板状のものをボール循環路43,44の内周面に貼り付けてもよい。また、ガイド装置30のスライド部31とリターン40との間には、複数のボール50が配置されているが、これに限らず、ころローラを配置してもよい。また、レール部60の鋼製部材64,65には、溝部64a,65bが形成されているが、レール部60の側壁62,63に直接溝部を形成してもよい。また、本実施形態においては、オイルが含有されていないパイプ51を用いて、ガイド装置30を組み立てた後に、このオイル注入孔56を介して、パイプ51にオイルを含有させているが、すでにオイルが含有されたパイプ51を用いて、ガイド装置30を組み立ててもよい。本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。"