"一つの搬送ガスからプラズマジェットを生成するための装置であって、この装置は、長手方向の軸を有する一つの放電室と前記放電室に接続された一つの放射ノズルを含み、前記放射ノズルには生成されたプラズマジェットを放射するための出口が備えられており、前記放電室および前記放射ノズルは前記プラズマジェットの所定の出力の関数として調節可能な長さを有する、装置。前記搬送ガスから前記プラズマジェットの生成を可能とする放電を生じるように適合させた、一つの放電電極および一つの関連する対向電極を含む、請求項1に記載の装置。前記対向電極が前記放射ノズルによって構成されており、放電電極と前記放射ノズルの前記出口との間に前記プラズマジェットを生成するために必要な電気アークを生じさせることが可能である、請求項2に記載の装置。前記放電電極は、前記放電室の長手方向の軸上に配置されており、さらに前記放電室および前記放電ノズルの前記長さを調整することができるようにこの軸上で移動させることができる、請求項1ないし3の何れか一つに記載の装置。前記放射ノズルの出口が前記プラズマジェットの所定の出力の関数として調整可能な直径を有する、請求項1ないし4の何れか一つに記載の装置。前記放射ノズルの前記出口の方向において前記長手方向の軸に沿って搬送ガスの渦を生じさせるため、前記長手方向の軸に対して概ね垂直となる方向で前記放電室の中に前記搬送ガスを注入することができるような少なくとも一つの放射状の開口が設けられた、請求項1ないし5の何れか一つに記載の装置。少なくとも一つの前記放射状の開口が、前記搬送ガスを亜音速から概ね超音速まで加速することが可能となるように作られている、請求項1ないし6の何れか一つに記載の装置。前記プラズマジェットを生成するため、少なくとも一つの軸方向の開口が、一つの反応性のガスを前記搬送ガスと混合することが可能となるように構成されている、請求項1ないし7の何れか一つに記載の装置。前記軸方向の開口が、前記放射ノズルの前記出口の方向において長手方向の軸に沿って前記反応性ガスの渦を生じさせるのに適している、請求項8に記載の装置。前記搬送ガスが空気である、請求項1ないし9の何れか一つに記載の装置。前記放射ノズルの前記出口が、前記搬送ガスを亜音速から概ね超音速まで加速することが可能となるように作られている、請求項1ないし10の何れか一つに記載の装置。前記放射ノズルの前記出口が、前記プラズマジェットの角放出を可能とするよう少なくとも一つの放射状の開口を含む、請求項1ないし11の何れか一つに記載の装置。前記装置が複数の放電室および放射ノズルから成ることを特徴とする、請求項1ないし12の何れか一つに記載の装置。本発明の目的は、構成部品点数が少なく、しかも適用分野が広い、搬送ガスからプラズマジェットを生成するための新規の装置を提案することにある。この目的は、搬送ガスからプラズマジェットを生成する装置によって達成されるものであり、該装置は、長手方向の軸を有する放電室と該放電室に接続された放射ノズルから構成され、該放射ノズルには生成されたプラズマジェットを放射するための出口が設けられている。前記放電室および前記放射ノズルは、前記プラズマジェットの所定の出力の関数として調整可能な長さを有する。他の実施例としては、幾つかの放電室および幾つかの放射ノズルから構成される装置がある。これにより、表面の処理領域を拡大することができる。幾つかの放射ノズルから放出される数種類の搬送ガスを利用することも可能である。すなわち、順次処理の実行を可能とするため、各ノズルには異なるガスを使用するのである。したがって、本発明によれば、本装置の放電室および放射ノズルの長さを適切に調節して生成されるプラズマジェットの出力を増加し、あるいは減少させることによって搬送ガスからプラズマジェットを生成する装置の適用分野を拡大することができるのである。本発明に係る装置は、好ましくは一つの放電電極と、それに関連した一つの対向電極から構成され、搬送ガスからプラズマジェットを生成することを可能にする放電を生じさせるように適合化されている。その対向電極は好ましくは放射ノズルから作られており、放電は放電電極と放射ノズルの出口の間にプラズマジェットを生成するために必要な電気アークを生じさせることができる。短時間持続する電気パルスを放電電極と対向電極の間に印加することができる。そのパルスは、全ての周波数域において、一定もしくは変動といった異なる極性を有することができる。したがって、放射ノズルを一つの対向電極として用いることにより、この装置の作製に必要な部品点数を有利に減少させることができる。本発明の一つの実施例によれば、放電電極は放電室の長手方向の軸に沿って配置され、放電室と放射ノズルの長さを調節できるようその位置を変化させることができる。放射ノズルの出口は、プラズマジェットの予め設定された出力の関数として調節することが可能な直径を有することが好ましい。したがって、本発明は、放電室および放射ノズルの長さを調節することにより、そして/または放射ノズルの出口の直径を調節することにより、迅速かつ容易にプラズマジェットの所定の出力を調節することを可能にしている。放電ノズルの出口の方向において長手方向の軸に沿って搬送ガスの渦を生じさせるためおおよそ長手方向の軸とは垂直な方向に搬送ガスを放電室に注入できるよう、好ましくは少なくとも一つの放射状の開口が設けられる。この実施例によれば、搬送ガスの速度を亜音速から概ね超音速にまで加速することができるよう少なくとも一つの放射状の開口が設けられている。したがって、搬送ガスからのプラズマジェット生成を有利に改善し得るものである。一つの実施例によれば、装置は搬送ガスと混合してプラズマジェットを生成することができるように、反応性のガスを注入するための少なくとも一つの軸方向の開口を有している。その軸方向の開口は、放射ノズルの出口の方向において長手方向の軸に沿って反応性のガスの渦を生じさせるのに適したものであることが好ましい。したがって、本発明は、異なる特性や適用分野を有する、異なるプラズマジェットを生成することを可能にするものである。搬送ガスは、空気であることが好ましい。その結果として、容易に利用でき、かつ安価な搬送ガスを使用することができる。一つの実施例によれば、放射ノズルの出口は、プラズマジェットを亜音速から概ね超音速にまで加速することができるように製作されている。したがって、本発明は、装置から出て行くプラズマジェットを迅速、かつ効率的に冷却することを可能にする。放射ノズルの出口は、プラズマジェットを、角度をもって放射できるように少なくとも一つの放射状の開口を有することが好ましい。したがって、生成されたプラズマジェットの適用分野をさらに有利に拡大することが可能である。本発明に係る搬送ガスからプラズマジェットを生成する装置の作製上の詳細および利点は、例としてまた図式的に示すために添付した図面として与えられる以下の異なる実施例の詳しい記述によって明らかになるだろう。後に続く付図の詳しい記述では、同一の部品は同一の参照記号によって識別されている。一般的には、これらの部品およびその機能は、簡潔さおよび繰り返しを避けるために一度だけ説明される。図1は、プラズマジェット11を生成する装置10の下流側を例示するものであって、一つの長手方向の軸13を有する一つの放電室12および該放電室12に接続された一つの放射ノズル14から構成されている。放射ノズル14には、プラズマジェット11を放射する一つの出口15が設けられている。装置10はまた、一つの放電電極16と、例として放射ノズル14から構成された一つの対向電極を含む。図示のため、放電電極16は放電室12の長手方向の軸13上に配置されたピンの形に作られている。放電電極16およびこれに関連する対向電極は、放電電極16と放射ノズル14の出口15の間で電気アーク17を起こしてプラズマジェット11を生成することができるよう、放電を生じるように適合化されることが好ましい。プラズマジェット11の生成は、矢印19によって図示されているように、空気のような搬送ガスを、例えば、放電電極16と放射ノズル14の間に設けられた開口例えば図8中の82から放電室12に注入することによって行われる。一実施例においては、放電室12と放射ノズル14は、プラズマジェット11の所定の出力の関数として調節することができるような長さを有している。換言すれば、この長さを調整することは、電気アーク17の長さの調整、したがって生成されるプラズマジェット11の出力の調整を可能にする。これを行うために、放電電極16は、一実施例として、放電電極12と放射ノズル14の長さを間接的に調整することができるように、放電室12の長手方向の軸13に沿って位置を変えられるように配置される。より詳しくは、放電電極16とこれに関連する対向電極に印加される固定電流によって生成されるプラズマジェット11の出力は、電気アーク17の電圧降下に依存しているのである。この電圧降下は、電気アーク17の長さLに直接的に依存しており、したがって放電室12および放射ノズル14の長さにも依存するものであり、また図2に図説されているように装置10に注入される搬送ガスの圧力にも依存する。したがって、放電室12とノズル14の長さを変えることにより、他のパラメータ、特に搬送ガスの圧力を固定しつつ、プラズマジェット11の出力を調節することができるのである。一実施例では、放射ノズル14の出口15は、プラズマジェット11を亜音速から概ね超音速にまで加速できるように構成されている。加えて、その出口は、プラズマジェット11の所定の出力の関数として調節可能な直径D1を有する一つの開口からなることが好ましい。より詳しくは、出口15の直径D1を調節することにより電気アークの電圧降下を増加させることが可能になり、その結果としてプラズマジェット11の出力を増加させることが可能となるのである。直径D1を狭めると、放電室12とノズル14の中の圧力の増加が生じる。したがって、出口15の直径D1を調節することによりプラズマジェット11の出口15における動圧を増加させることができるのである。一例として、図2は、図1の装置10の上流側を図示したものである。図2に図示されているように、放射ノズル14は、放電電極16を受け入れることができるような開口24と開口直径D2を有する少なくとも一つの放射状の開口25を備えた境界壁22からなる。これが搬送ガスの流れの速度を決定し、また場合によっては、プラズマジェット11の速度をも制限する。一実施例では、放電電極16には一つの軸方向の開口27が備えられている。軸方向の開口27には、矢印23として図示されているように反応性ガス、例えば4フッ化炭素CF4、の注入のために適合化されていることが好ましい。少なくとも一つの放射状の開口25は、対向電極を構成する放射ノズル14の内表面に搬送ガスを注入するため、すなわち矢印21で図示されているように長手方向の軸の向きに対して概ね垂直な方向、に調整されていることが好ましい。このことが、矢印26で図示されているように、放射ノズル14の出口図1中の15の方向であって長手方向の軸13に沿って搬送ガスの輪状の渦を生じさせることを可能にする。この渦は、その全長に渡り図1中のL電気アーク17およびプラズマジェット11図1を安定化させるのに必要なものである。搬送ガスにはプラズマジェット11を生成するために反応性のガスを混合することができる。図3は、もう一つの実施例としての図2の装置10における上流側の境界壁22を図示したものである;図3に図示されているように、搬送ガスを注入するための幾つかの放射状の開口25が設けられている。これにより、放電室内でのガスの伝播速度を一定に保ちながら放電室図2中の12への搬送ガスの全流入量を増加させることができる。少なくとも一つの放射状の開口25は、搬送ガスを亜音速から概ね超音速にまで加速させることができるように構成されていることが望ましい。例えば、開口25の一つはラバールノズルの形状を有していてもよい。これにより、搬送ガスが注入されるときの搬送ガスの究極的な冷却が達成され、放電電極16の冷却が可能になり、またその浸食も減少させることができる。図4は、生成中のプラズマジェット図1および2中の11について、図1および2の放電室12の半径Rおよび放射ノズル14に依存する温度Tの動径分布40を図示したものである。図4に示したように、主要なオーム加熱は図1および2の放電室12の長手方向の軸図1および2中の13に沿って生じている。図5は、生成中のプラズマジェット図1および2中の11について、図1および2の放電室12および放射ノズル14に依存する圧力Pの動径分布を図示したものである。図5に示したように、圧力Pは、図1および2の放電室12の長手方向の軸図1および2中の13の近傍に位置し、長手方向の軸図1および2中の13に沿った搬送ガスの輪状の渦図2中の26からは離れた領域で減少している。したがって、放射状の開口図2中の27を通して反応性のガスを導入あるいは注入することによって、後者は容易に加熱され、引き続くプラズマ化学反応に必要な変換が生じるのである。図6は、図2の装置10の上流側の例を図示したものであり、ここでは、反応性のガスが放電電極16に設けられた軸方向の開口27によって導入あるいは注入されている。この反応性ガスは、矢印61によって示されるような特殊な乱流を伴って注入されることが好ましい。これにより、二つの回転するガス流、すなわち、長手方向の軸13に沿って生じる放電室12の反応性ガスの気流と搬送ガスの気流の流体力学的な安定状態が確保されるとともに、長距離、すなわち図1の長さL、に渡ってガスの混合が可能になるのである。図7は、電気アーク図1、2および6中の17について、その開始点72の移動の様子を図解的に示したものである。矢印74で示されるように、この開始点72は、回転するガスの流れ、すなわち図6に示されるような反応性ガスおよび搬送ガスの渦、のために放電電極16の周囲を時計回りに移動する。図8は、図1で説明したような、搬送ガスの注入のための軸方向の開口82を放電電極16とともに規定する境界壁81を有する図1の装置10を図示したものである。放電電極16に対して軸方向で対向し、したがってこれと向かい合う形で、実施例のように放電室12および放射ノズル図1中の14と電気的に直接接続された付加的な電極89が配置されている。付加電極89を放電室12の長手方向の軸13上に配置することにより放電、したがって電気アーク17の安定性が増し、さらにはその可能な長さが増加する。加えて、付加電極89は、プラズマジェット11が長手方向の軸13との関係で様々の角度をもって出口15から離れることを可能にする。図9および10は、図1、2、6および8の装置10の放電電極16とその対向電極に印加して、いわゆる短パルスモード動作を可能とする持続時間の短いパルス90、100を図示したものである。これらの電気パルスを印加することにより連続動作モード、すなわち直流を電極に印加する、でのプラズマ生成に比べ非平衡状態のプラズマを増加させることが可能になり、プラズマ-化学反応が加速される。図9および10に示したように、パルス90、100は、すべての周波数帯において一定あるいは変化する、異なる極性を有しうるものである。図11および12は、図1、2、6および8の装置10の放射ノズル14の出口15についての異なる二つの実施例を図示したものである。より具体的には、出口15は、生成されるプラズマジェット11を亜音速から概ね超音速にまで加速することを可能にするように作製され得る。これを達成するために、出口は、例えばラバールノズルに近い形状を有するものであり、これにより放射ノズル14から飛び去るときにプラズマジェット11を十分かつ迅速に冷却することが可能になるので、必要により上述のプラズマ-化学反応により上昇した正味の温度変化をなくすことができる。図13は、図1、2、6および8の装置10の配置130を図示したものであり、ここで放射ノズル14の出口15はプラズマジェット11の角放出またはその一部を可能とするため少なくとも一つの放射状の開口132を備えている。図14は、異なるプラズマジェット11を生成する、図示のために構成した数個の放電室12と副放射ノズル14からなる配置140を示している。例えば管や輪のような、一つの拡張された物体135の内表面133図13の処理は、矢印149で示されるように、生成された異なるプラズマジェット11を該表面133との関係において移動させて行うことができる。したがって、拡張された物体135の内表面133を処理できる面積を拡大することができ、例えば、続く技術的処理:表面133のクリーニング、その活性化、もしくは機能性を有する層あるいは装飾的な層の形成を目的とするプラズマジェット11によって搬送されるプラズマを利用したプラズマ堆積、などを連続して行うことができる。図15は、図13に基づく放射ノズル14の出口15に放射状の開口132を有する図1、2、6および8に基づく装置10による、筐体155の閉鎖空間154の内表面153の処理を図解する配置150を示したものである。配置150の動作を理解するために、プラズマジェット11から離れる自由ラジカルや他の粒子が一定時間そのエネルギーを保持することを知る必要がある。装置10を用いて閉鎖空間154の中にプラズマジェット11を導入すると、これは、例えば、その内表面153を活性化することができる。これを行うためには、プラズマジェット11により生成された活性ガス159に、内表面153と相互作用するために必要な十分な長さの時間が与えられなければならない。さらに、搬送ガスとして空気の代わりに窒素を用いれば活性ガス159による処理の効果を強めることができる、それは、窒素の活性化自由ラジカルは空気中に含まれる酸素の自由ラジカルに比べかなり長い寿命を有するからである。図16は、1つの物体162、例えば管や輪のように、処理すべき内表面164を有する、および図1から15において上述したように装置10から放射されるプラズマジェット11の向きを変えるための一つの物体165を含む配置160を示したものである。物体165は錐体の形状に作製され、物体162の概ね軸上に置かれる。物体165は、プラズマジェット11の付随する襲来角が増加するように、プラズマジェット11を物体162の表面164に向かうように調整される。プラズマジェット11の襲来角を増加させるために、物体165の外表面は、実質的に双曲線形状を有するものである。一実施例によれば、装置10の動作中、プラズマジェット11は物体165に到達し、その外形に従って処理すべき表面164に規則的に到達するよう再分配される。例えば、長い管の処理のために、装置10および物体165は、矢印169で示したように、一緒に、もしくは互いに関連性をもって配置される。図17は、図16の配置160の異なる形態170を示したものであり、ここでは、プラズマジェット11および放射ノズル14の向きを変えるための物体165の電気的な接続、すなわち、対向電極、は接地状態となっている。物体165および放電電極16は放射ノズル14の長手方向の軸13の上に配置されることが好ましい。その結果、粒子生成領域をプラズマジェット11から処理すべき表面164まで移動させて、その実効性を増加させることにより、電気アーク17を放電電極16から物体165まで延伸させることができるのである。図18は、図17の配置170の異なる形態180を示したものであり、ここで、プラズマジェット11の方向を変えるための物体165は、プリズムの形に作られており、また処理すべき内表面164を有する目的物162は、処理すべき二つの側面183および185を有する二枚の板182,184から構成されている。この配置180においては、板182、184の一つの表面のみを処理するために、プラズマジェット11をプリズム165の側面に向かわせることができる。例えば、プラズマジェット11は、プリズム165の一つの側面189に向かわせることができ、これにより板184の横表面185のみを処理することができる。プラズマジェット11の襲来角を増やすため、プリズム165の断面は実質的に双曲線形状を有する。また、横表面183、185を処理している間、板182、184およびプリズム165は、矢印187、188によって図示したように、二つの面に関してその一つを他に対して相対的に移動させることができる。説明のため、本発明によるプラズマジェット生成装置の幾つかの実施例を以下に示す。例1:この例では、図1に基づいて作製された装置10を用いる。パラメータ:エネルギー源直流印加電流1A搬送ガス空気搬送ガスの流量50l/min外部圧力大気圧放電電極直径3.2mm放電室直径7mmノズル出口直径2.2mm使用した第1ノズルの長さ60mm使用した第2ノズルの長さ110mm結果:第1ノズルを用いた場合にプラズマによって消費された電力は1500Wであり、第2ノズルを用いた場合は2300Wである。したがって、ノズルを長くするとプラズマによって消費される電力が増加する。例2:この例では、図1に基づいて作製された装置10を用いる。パラメータ:エネルギー源直流印加電流1A搬送ガス空気搬送ガスの流量50l/min外部圧力大気圧放電電極直径3.2mm放電室直径7mm使用した第1ノズルの出口直径2.2mm使用した第2ノズルの出口直径2.0mm使用した第1および第2ノズルの長さ60mm結果:第1ノズルを用いた場合にプラズマによって消費された電力は1500Wであり、第2ノズルを用いた場合は1700Wである。したがって、ノズルの出口直径を減少させるとプラズマによって消費される電力が増加する。第1ノズルの中で測定した圧力は概ね4.5バールであり、第2ノズルの中の圧力は概ね5バールである。例3:この例では、図2および6に基づいて作製された装置10を用いる。パラメータ:エネルギー源交流24kHz印加電流1.5A搬送ガス窒素搬送ガスの流量25l/min反応性ガスCF4反応性ガスの流量0.2l/min外部圧力大気圧放電電極直径4mm放電電極に設けた軸方向の開口の直径1.5mm放電室直径7mm使用したノズルの出口直径2.2mm使用したノズルの長さ60mm搬送ガスを注入するための放射状の開口の数2結果:この構成では、フォトレジスト層の連続的なエッチングが可能である。例4:この例では、図9および10に基づくモードで動作する装置10を用いる。パラメータ:エネルギー源短パルスパルスの印加電流2.0Aパルス周波数可変、50から2000Hzパルス持続時間可変、5から95印加した直流電流0.1A搬送ガス空気搬送ガスの流量40l/min外部圧力大気圧結果:短パルスモードでの動作というこの構成では、同一のエネルギー消費を伴う直流電流を使う場合に比べてプラズマの速度の増加および処理されるべき表面の活性度の増加が可能となる。例5:この例では、図12に基づいて作製された装置10を用いる。パラメータ:エネルギー源直流印加電流1.5A搬送ガス空気搬送ガスの流量80l/min外部圧力大気圧使用したノズルの外径4mm使用したノズル出口における放射状の開口の数8これら各開口の直径1.2mm処理される管の内径可変、30から50mm相対走査速度可変、50から500mm/s結果:この構成では、処理すべき内表面のクリーニングと活性化を連続して行うことができる。例6:この例では、図13に基づいて作製された装置10を用いる。パラメータ:エネルギー源直流プラズマジェットにより印加される電流1.5A搬送ガス空気プラズマジェットによる搬送ガス流量50l/min外部圧力大気圧使用したノズルの外径20mm使用したノズルの数12処理すべき管の内径1420mm処理されるべき管の長さ方向における使用ノズル間距離20mm回転速度6t/min相対走査線速度1.44m/min結果:この構成では、処理すべき内表面に対する緻密なクリーニングおよび活性化を連続的に行うことができる。例7:この例では、図13に基づいて作製された装置10を用いる。パラメータ:エネルギー源直流プラズマジェットにより印加される電流1.5A使用したノズルの数3外部圧力大気圧第1搬送ガス空気第1搬送ガスの流量50l/min第2搬送ガスN292/H28第2搬送ガスの流量20l/min第3搬送ガス薬剤N2HMDSO蒸気第3搬送ガスの流量20l/min相対走査線速度12m/min結果:この構成では、1サイクルで連続的な工学的処理を施すことができる:酸化物の還元や処理すべき表面へのSiOx薄膜の堆積などの緻密なクリーニングや活性化である。例8:この例では、図14に基づいて作製された装置10を用いる。パラメータ:エネルギー源交流印加電流1.5A搬送ガス空気搬送ガスの流量40l/min外部圧力大気圧パルス持続時間0.6s処理すべき閉鎖空間シリンダー,0.5lシリンダー当たりのパルス数3通気前の中断時間2min結果:この構成では、シリンダー内に2分間プラズマおよび対応する反応性のガスを滞留させることにより該シリンダーの内表面を活性化することができる。該表面のエネルギーは、プラズマ処理前の35-38mN/mから56-72mN/mにまで増加し得る。本発明について特定の適用場面という文脈の中で述べてきたが、本発明は、その射程をはずれない変更や順応を許すものである。"