"形状記憶合金ワイヤで構成され、該形状記憶合金ワイヤに電流を流すことで発生する熱に応じて前記形状記憶合金ワイヤが伸縮することに連動して、被駆動物を駆動するアクチュエータの駆動装置であって、電流源トランジスタから前記形状記憶合金ワイヤに電流を供給する電流回路と、前記形状記憶合金ワイヤに直列に接続された抵抗素子と、前記抵抗素子による電圧の分圧により前記形状記憶合金ワイヤの抵抗値に対応した電圧を検出し、該検出電圧を増幅する増幅回路と、前記増幅回路の出力電圧に基づいてパルス幅変調したパルス信号により、前記電流源トランジスタのオン、オフ制御を行うパルス幅変調回路とを備える、アクチュエータの駆動装置。前記パルス幅変調回路は、前記被駆動物の駆動量を設定する目標位置電圧と、前記検出電圧との差に基づいてパルス出力のデューティ比を決める、請求項1記載のアクチュエータの駆動装置。前記形状記憶合金ワイヤの抵抗値に対する前記抵抗素子の抵抗値の比が、10:1~20:1である、請求項1または請求項2記載のアクチュエータの駆動装置。レンズユニットと、前記レンズユニットを移動する形状記憶合金ワイヤで構成された形状記憶合金アクチュエータとを備えたレンズ駆動装置であって、請求項1ないし請求項3に何れか1項に記載のアクチュエータの駆動装置によって前記形状記憶合金アクチュエータが駆動される、レンズ駆動装置。以上説明したように、SMAの抵抗値を測定して、その値から被駆動物の現在位置を取得する技術は周知であり、SMAの抵抗値を測定するには、SMAに定電流Iを流した時のSMA両端の電圧Vを測定し、R=V/Iの式から抵抗値Rを求める方法が最も簡単で一般的である。従って、抵抗値を検出するという観点から、SMAの駆動回路としては定電流回路が適しており、その電流量を制御するためにはPWMPulseWidthModulation制御等が必要となる。一方、携帯電話等のバッテリーを電源とする小型機器のアクチュエータにおいては、電源電圧は数ボルトと低電圧のものが多く、消費電力をより低く抑えることが要求されているが、定電流回路では駆動用トランジスタのコレクタ損失が大きく、これまでは、低消費電力化が十分達成されていなかった。本発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、SMAを用いたアクチュエータの駆動装置において、さらなる低消費電力化を達成したアクチュエータの駆動装置を提供することを目的とする。本発明に係るアクチュエータの駆動装置の第1の態様は、形状記憶合金ワイヤで構成され、該形状記憶合金ワイヤに電流を流すことで発生する熱に応じて前記形状記憶合金ワイヤが伸縮することに連動して、被駆動物を駆動するアクチュエータの駆動装置であって、電流源トランジスタから前記形状記憶合金ワイヤに電流を供給する電流回路と、前記形状記憶合金ワイヤに直列に接続された抵抗素子と、前記抵抗素子による電圧の分圧により前記形状記憶合金ワイヤの抵抗値に対応した電圧を検出し、該検出電圧を増幅する増幅回路と、前記増幅回路の出力電圧に基づいてパルス幅変調したパルス信号により、前記電流源トランジスタのオン、オフ制御を行うパルス幅変調回路とを備えている。本発明に係るアクチュエータの駆動装置の第2の態様は、前記パルス幅変調回路が、前記被駆動物の駆動量を設定する目標位置電圧と、前記検出電圧との差に基づいてパルス出力のデューティ比を決める。本発明に係るアクチュエータの駆動装置の第3の態様は、前記形状記憶合金ワイヤの抵抗値に対する前記抵抗素子の抵抗値の比が、10:1~20:1となるように前記抵抗素子の抵抗値を設定する。本発明に係るレンズ駆動装置は、レンズユニットと、前記レンズユニットを移動する形状記憶合金ワイヤで構成された形状記憶合金アクチュエータとを備えたレンズ駆動装置であって、第1ないし第3の態様の何れか1つに記載のアクチュエータの駆動装置によって前記形状記憶合金アクチュエータが駆動される。本発明に係るアクチュエータの駆動装置の第1の態様によれば、さらなる低消費電力化を達成することができる。本発明に係るアクチュエータの駆動装置の第2の態様によれば、フィードバック制御に適したパルス出力を得ることができる。本発明に係るアクチュエータの駆動装置の第3の態様によれば、消費電力の増加を抑制することができる。本発明に係るレンズ駆動装置の態様によれば、さらなる低消費電力化を達成することができる。<レンズ駆動装置の構成>発明に実施の形態の説明に先立って、SMAを用いたアクチュエータSMAアクチュエータの適用例について図1~図3を用いて説明する。図1および図2は、SMAを用いたアクチュエータを駆動源とするレンズ駆動装置100の主要構成部分を概略的に示しており、図1は、レンズ側から見た平面図であり、図2および図3は、図1における矢示A方向から見た側面図を示している。なお、図2は、駆動前の状態を、図3は、駆動後の状態を表している。このレンズ駆動装置100は、主に、レンズユニット1被駆動物、このレンズユニット1を光軸AX方向第1軸方向に移動させるレバー部材2、SMAアクチュエータ3、ベース部材4、天板5、平行板バネ6a,6bおよびバイアスバネ7等を備え、ベース部材4に対してレンズユニット1等が組み付けられた構成となっている。天板5および平行板バネ6a,6bは、便宜上、図1では省略している。なお、レンズ駆動装置100は、バッテリー駆動の携帯機器に搭載されるものである。ベース部材4は、レンズ駆動装置100の取り付け対象となる部材例えば携帯電話機のフレームやマウント基板等に固定されるものであり、レンズ駆動装置100の底辺を構成する不動の部材である。このベース部材4は、平面視正方形の板状に形成され、全体が樹脂材料等により構成されている。なお、ベース部材4には、撮像センサが取付けられるが、図示は省略している。レンズユニット1は円筒形を有し、撮像レンズ10と、この撮像レンズ10を保持するレンズ駆動枠12と、該レンズ駆動枠12が収納される鏡筒14とから構成されている。撮像レンズ10は、対物レンズ、フォーカスレンズ、ズームレンズ等を有し、図外の撮像素子に対する被写体像の結像光学系を構成している。レンズ駆動枠12は、所謂玉枠であって、鏡筒14と共に光軸AX方向に移動する。レンズ駆動枠12の対物側先端の外周縁部には、周方向に180°の角度差を有して一対の支持部16が突設されている。レンズユニット1は、天板5に形成される開口部分に挿入された状態でベース部材4上に配置されている。詳しくは、一対の支持部16がベース部材4の一対の対角の近傍に位置するように配置されている図1参照。ベース部材4および天板5には、それぞれ平行板バネ6a,6bが固定されており、これら平行板バネ6a,6bにレンズユニット1が固定されている。これによってレンズユニット1がベース部材4等に対して変位可能に支持されると共に、その変位自由度が、光軸AXに沿った方向に規制されている。なお、天板5は、ベース部材4に対して図外の支柱等を介して固定しても良いし、ベース部材4と一体となる構造でも良い。レバー部材2は、支持部16を介してレンズユニット1に係合することによってレンズユニット1に光軸AX方向の駆動力を付与するものである。このレバー部材2は、レンズユニット1の側方、具体的には、ベース部材4の角部であってレンズユニット1の支持部16が位置する角部以外の一の角部に設置されている。このレバー部材2は、光軸AXと直交し、かつ一対の支持部16の並び方向図1では上下方向に延びる軸線回りに揺動可能に支持されている。図2に示すように、レバー部材2は、アーム部分21と、このアーム部分21の基端部分から光軸AX方向に延びる延設部分22とを有した側面視逆L字型の形状を有しており、アーム部分21と延設部分22との境となる屈曲部分が、ベース部材4に立設された支持脚8の先端で支持されることによってベース部材4上に支持されている。支持脚8の先端以下、レバー支持部8aというの形状は、光軸AX方向と直交する方向図2の紙面と直交する方向に延びる略円柱形状とされている。これにより、レバー部材2が、当該レバー支持部8aを支点として光軸AX方向と直交する軸線回りに揺動可能に支持されている。アーム部分21は平面視で円弧状に形成されている。詳しくは、図1に示すように、延設部分22からからレンズユニット1の両側に二股に分かれて当該レンズユニット1の外周面に近接してそれぞれ均等に延び、全体としてレンズユニット1の片側半分を包囲するように形成されている。アーム部分21の先端両端は、それぞれレンズユニット1の各支持部16の位置に達している。そして、延設部分22にSMAアクチュエータ3が架け渡され、この架け渡し位置変位入力部2aというに光軸AX方向と直交する方向第2軸方向:図2の左右方向の移動力F1図3参照が入力されることにより、レバー部材2が揺動する。この揺動に伴いアーム部分21の先端変位出力部2bというが光軸AX方向に変位し、当該変位出力部2bが各支持部16に係合してレンズユニット1に光軸AX方向の駆動力が付与されることとなる。SMAアクチュエータ3は、レバー部材2に対して移動力F1図3参照を付与するもので、例えばNi-Ti合金等のSMAワイヤで構成される線状アクチュエータである。このSMAアクチュエータ3は、低温で弾性係数が低い状態マルテンサイト相において所定の張力を与えられることで伸長し、この伸長状態において熱が与えられると相変態して弾性係数が高い状態オーステナイト相:母相に移行し、伸長状態から元の長さに戻る形状回復するという性質を有している。本例では、SMAアクチュエータ3を通電加熱することで、上述の相変態を行わせる構成が採用されている。すなわち、SMAアクチュエータ3は所定の抵抗値を有する導体であることから、当該SMAアクチュエータ3自身に通電することでジュール熱を発生させ、該ジュール熱に基づく自己発熱によりマルテンサイト相からオーステナイト相へ変態させる構成とされている。このため、SMAアクチュエータ3の両端には、通電加熱用の第1電極30aおよび第2電極30bが固着されている。これら電極30a,30bはベース部材4に設けられる所定の電極固定部に固定されている。SMAアクチュエータ3は、図1に示すように、レバー部材2の延設部分22に係合する部分を折り返し地点として、電極30aおよび30bの間に架け渡されている。かかる構成により、SMAアクチュエータ3が電極30a,30bを介して通電加熱され、作動収縮すると、レバー部材2に対して移動力F1図3参照が付与され、この移動力F1によりレバー部材2が揺動することとなる。なお、電極30a,30bは、ベース部材4のうちレンズユニット1の支持部16の近傍にそれぞれ配置されている。SMAアクチュエータ3のうち各電極30a,30bから折り返し地点までのそれぞれの長さは等しく設定されており、これによって変位入力部2a両側のSMAアクチュエータ3の伸縮量が等しくなってSMAアクチュエータ3作動時のレバー部材2とSMAアクチュエータ3との擦れが防止される。また、延設部分22にはV溝21a上記変位入力部2aに相当するが形成されており、当該V溝21aに嵌り込むようにSMAアクチュエータ3が架け渡されることにより、レバー部材2に対してSMAアクチュエータ3が安定的に懸架されている。バイアスバネ7は、SMAアクチュエータ3の作動収縮により変位出力部2bが移動する向きとは逆向に、レンズユニット1を光軸AX方向に付勢するものである。このバイアスバネ7は、レンズ駆動枠12の周縁サイズと略合致した径の圧縮コイルバネからなり、レンズ駆動枠12の頂面に一端側下端側が当接している。なお、バイアスバネ7の他端側上端側は、図示しないカバー部材の内壁Nに当接される。なお、SMAアクチュエータ3は、作動していない状態では、レンズユニット1支持部16およびレバー部材2を介して作用するバイアスバネ7の押圧力を受けて緊張するようにその線長が設定されている。つまり、その作動状態に拘わらず、常にレバー部材2アーム部分21をレンズユニット1支持部16に当接圧接させるようにその線長が設定されている。この構成により、当実施形態では、支持脚8とレバー部材2とを直接連結することなく支持脚8の先端にレバー部材2を揺動可能に支持しており、また、SMAアクチュエータ3の作動時には、その変位を速やかに伝えて当該レバー部材2を揺動させる構成となっている。<一般的な定電流回路の構成>SMAの駆動回路としては定電流回路が適していることは先に説明したが、図4には一般的な定電流回路の構成の一例を示す。図4において、電源電圧Vcc例えば3Vを供給する電源ラインPLと接地ラインGLとの間に、電源ラインPL側から、PNPトランジスタ101電流源トランジスタ、SMAアクチュエータ3抵抗値RSMAおよび抵抗R11が直列に接続されている。SMAアクチュエータ3は、図1~図3に示したレンズ駆動装置100のSMAアクチュエータ3に相当する。そして、SMAアクチュエータ3と抵抗R11との接続ノードはコンパレータ102の非反転入力に接続され、コンパレータ102の出力は、抵抗R12を介して、PNPトランジスタ101のベースに接続されている。また、コンパレータ102の反転入力-には、基準電圧Vrが与えられる構成となっている。なお、SMAアクチュエータ3の両端の電位差が、図示しない差動増幅器によって増幅され、PWM制御回路に与えられるが、簡単化のため図示は省略している。このような構成の定電流回路においては、抵抗R11に発生する電圧V1と基準電圧Vrとが等しくなるようにコンパレータ102とPNPトランジスタ101とで帰還制御を行う。ここで定電流Iは、I=Vr/R11で与えられ、I=100mAの場合、R11=1Ω、Vr=0.1Vに設定する。これは、基準電圧Vrをできるだけ小さくして、抵抗R11で消費される電力無効電力を小さくするための設定である。ここで、SMAアクチュエータ3の上端の電圧Vaは、Va=R11RSMAI=VrRSMAIとなり、電圧Vaは基準電圧Vrと定電流Iが一定でも、抵抗値RSMAにより変動する。しかし、この電圧Vaは、電源電圧Vccを超えてはならず、超えると定電流が維持できなくなる。一方、SMAアクチュエータ3の抵抗値RSMAは、SMAアクチュエータ3の個々のばらつきや、環境温度、経時変化等により10以上変動する。従って、定電流Iを固定値とした場合は、電圧Vaは抵抗値RSMAのあらゆる条件下での最大値を考慮して、電源電圧Vccよりも十分低くなるように設定する必要があるが、そうすると定電流Iの設定値は制限を受け、消費電力効率も低下する。定電流駆動にはこのような問題を含んでいる。<定電流駆動を採用しない場合の構成>ここで、SMAアクチュエータ3の抵抗値を検出するには、SMAアクチュエータ3に直列に検出抵抗を入れる必要があり、検出抵抗を入れた分だけ消費電力が増えるので、検出抵抗の抵抗値は極力小さくすることが望ましい。しかし、抵抗値が小さくなると検出電圧も小さくなるので、検出電圧を増幅するための構成が必要となる。以下、図5を用いて検出電圧の増幅回路200の構成について説明する。図5において、電源電圧Vcc例えば3Vを供給する電源ラインPLと接地ラインGLとの間に、電源ラインPL側から、PNPトランジスタ101電流源トランジスタ、SMAアクチュエータ3抵抗値RSMAおよび抵抗R5が直列に接続されている。なお、PNPトランジスタ101のベースにはPWM制御のための制御信号が与えられるが、これについては後に説明する。そして、SMAアクチュエータ3と抵抗R5との接続ノードは抵抗R2を介して差動増幅器103の非反転入力に接続され、差動増幅器103の出力は、抵抗R3を介して、差動増幅器103の反転入力-に接続されている。また、差動増幅器103の反転入力-は、抵抗R1を介して接地ラインGLに接続され、非反転入力は抵抗R4を介して接地ラインGLに接続される構成となっている。なお、差動増幅器103は、SMAアクチュエータ3と抵抗R5との接続ノードの電圧検出電圧Vinをn倍に増幅するものであり、その出力Voutが増幅回路200の出力であり、その値はnVinとなる。このような構成において、検出電圧Vinは、Vin=Vcc-VsatR5/RSMAR5となる。なお、Vccはこの回路の電源電圧であり、VsatはPNPトランジスタ101の飽和電圧、RSMAはSMAアクチュエータ3の抵抗値である。ここで、Vcc=3V、Vsat=0.1V、R5=1Ωとすると、RSMAが20Ωから18Ωまで変化した場合、検出電圧Vinは以下のように変化する。すなわち、RSMA=20Ωの場合は、Vin=3-0.11/201=0.1381Vとなる。RSMA=18Ωの場合は、Vin=3-0.11/181=0.1526Vとなる。このように、検出電圧Vin自体の変化は15mV程度であるので、差動増幅器103を用いて、実用的な電圧にまで増幅する。なお、増幅を考慮すると、SMAアクチュエータ3の抵抗値に対する検出抵抗R5の抵抗値の比は、10:1~20:1となるように検出抵抗R5の抵抗値を設定することが望ましい。ここで、SMAアクチュエータ3の抵抗値と、検出電圧Vinと、図5に示した差動増幅器103の出力電圧Voutとの関係を図6に示す。図6においては横軸にSMAアクチュエータ3の抵抗値Ωを示し、縦軸に電圧Vを示している。なお、差動増幅器103の増幅率は10倍となっている。図6から明らかなように、検出Vinの値は明らかに小さく、変化量も少ないが、これを10倍に増幅した出力電圧Voutは実用的な値となり、変化量も大きくなっている。このように、SMAアクチュエータ3を定電流で駆動しなくても、固定抵抗R5をSMAアクチュエータ3に直列に接続し、抵抗R5により検出した電圧に基づいて、SMAアクチュエータ3の抵抗値を検出することができる。このため、PNPトランジスタ101等で消費される無効電力を大幅に減らすことが可能となる。ここで、本発明に係る駆動装置において、図4に示した定電流回路に比べてどの程度の無効電力の削減効果があるかについての試算を行う。電源電圧Vccを2.7~3.3Vとし、SMAアクチュエータ3の抵抗値を、個々のばらつき、温度特性、収縮による変動等をすべて含ませて14Ω~22Ωとする。ここで、図7に、図1~3に示したレンズユニット1のオートフォーカス動作における駆動量に対する抵抗値の特性を示す。図7において、横軸にレンズの駆動量μm、縦軸に抵抗値Ωを示し、環境温度が60°C、40°C、20°C、0°Cおよび-20°Cの場合の特性を示している。図7より、レンズ駆動量収縮量が大きくなると、抵抗値が下がり、また、環境温度が高くなると、抵抗値が高くなることが判る。このように、SMAの抵抗値は、収縮量と環境温度により変化する。まず、図4に示した定電流回路での無効電力比無効電力/消費電力を求める。定電流値の設計は、電源電圧を超えない範囲で、可能な限り大きい値が望ましい。電源電圧の最小値は2.7Vであるので、PNPトランジスタ101の飽和電圧Vsatの最大値を考慮すると、2.4Vが上限となる。さらに、定電流回路に必要な検出抵抗R11で発生する電圧を0.1Vとすると、上限値は2.3Vとなる。この結果、定電流値は2.3V/22Ω=105mAとなるが、電流のばらつきも考慮して、設計値は100mAとする。また、実際にSMAアクチュエータ3が収縮した場合の抵抗値は、図7の例から中心値は17Ω程度であることが判るので、17Ωとする。この条件下において、SMAアクチュエータ3で消費される電力P1は、P1=0.10.117=170mWとなる。一方、消費電力P0は、電源電圧の中心値を3Vとすると、P0=0.13=300mWとなる。従って、PNPトランジスタ101および検出抵抗R11で消費される無効電力は、P0-P1=130mWとなる。以上より、無効電力比は130/300=43となり、消費電力の約4割が、無効な電力として消費されることとなる。次に、図5に示した検出電圧の増幅回路200を有した本発明に係る駆動装置での無効電力比を求める。ここで、電源電圧Vccの中心値を3Vとし、PNPトランジスタ101の飽和電圧Vsatの中心値を0.1Vとし、検出抵抗R5の抵抗値を1Ω、MAアクチュエータ3の抵抗値を17Ωとすると、SMAアクチュエータ3で消費される電力P1は、P1=17{2.9/171}2=441mWとなる。一方、消費電力P0は、P0=3{2.9/171}=483mWとなる。従って、PNPトランジスタ101および検出抵抗R5で消費される無効電力は、P0-P1=42mWとなる。以上より、無効電力比は、42/483=8.7となり、定電流回路で駆動する場合に比べて、無効電力を大幅に低減することができる。この結果、アクチュエータ全体の消費電力を削減できる。<実施の形態><装置構成>以上説明した検出電圧の増幅回路200を有したアクチュエータの駆動装置を、本発明に係る実施の形態として以下に説明する。図8は、実施の形態のアクチュエータの駆動装置の構成を示すブロック図である。図8において、電源電圧Vcc例えば3Vを供給する電源ラインPLと接地ラインGLとの間に、電源ラインPL側から、PNPトランジスタ101電流源トランジスタ、SMAアクチュエータ3抵抗値RSMAおよび抵抗R5が直列に接続されている。SMAアクチュエータ3は、図1~図3に示したレンズ駆動装置100のSMAアクチュエータ3に相当する。SMAアクチュエータ3と抵抗R5との接続ノードは抵抗R2を介して差動増幅器103の非反転入力に接続され、差動増幅器103の出力は、抵抗R3を介して、差動増幅器103の反転入力-に接続されている。また、差動増幅器103の反転入力-は、抵抗R1を介して接地ラインGLに接続され、非反転入力は抵抗R4を介して接地ラインGLに接続される構成となっている。なお、差動増幅器103は、SMAアクチュエータ3と抵抗R5との接続ノードの電圧検出電圧Vinをn倍に増幅するものであり、差動増幅器103の出力は、サンプルホールド回路107に与えられる構成となっている。サンプルホールド回路107は、PWM制御におけるパルスがオンとなってPNPトランジスタ101がオンするタイミングで差動増幅器103の出力電圧をサンプリングし、当該電圧をPWM制御におけるパルスがオフとなっている期間も保持して出力する回路である。サンプルホールド回路107から出力されるホールドされた電圧は、差動増幅器104の非反転入力に与えられる。従って、PNPトランジスタ101がオフの場合も、差動増幅器104の非反転入力には、SMAアクチュエータ3の抵抗値によって決まる電圧が入力され続ける。また、差動増幅器104の反転入力-には、目標位置電圧設定回路108から出力される目標位置電圧が与えられる構成となっており、差動増幅器104の出力は、パルス幅変調PWM回路110に与えられる。パルス幅変調回路110は、差動増幅器104の出力に基づいてパルス幅変調したパルス信号を、スイッチ回路106に与え、パルス幅変調されたパルス信号に基づいてPNPトランジスタ101のオン、オフ制御を行う。すなわち、スイッチ回路106がオンの場合にPNPトランジスタ101がオンし、SMAアクチュエータ3および検出抵抗R5に電流が流れる。この時の電流は、電源電圧Vccから、PNPトランジスタ101の飽和電圧0.1V程度を差し引いた電圧を、SMAアクチュエータ3の抵抗値と検出抵抗R5の抵抗値で割った値となる。スイッチ回路106とPNPトランジスタ101のベースとの間には抵抗R6が介挿されている。抵抗R6は、PNPトランジスタ101がオンしている場合のベース電流制限抵抗であり、その値は、SMAアクチュエータ3に流す電流の最大値ISMAmaxと、PNPトランジスタ101の電流増幅率hfeの最小値hfeminと電源電圧Vccと、ベースエミッタ間電圧VBEとに基づいて設定される。すなわち、ベース電流制限抵抗R6の抵抗値R6と記載は、R6≦{VccVBE/ISMAmax/hfemin}となるように設定される。タイミング発生回路109は、サンプルホールド回路107に、サンプリングおよびホールドのタイミング信号を供給すると共に、パルス幅変調回路110にも同様のタイミング信号を供給する。目標位置電圧設定回路108は、予め設定された当初の目標位置、あるいは、被写体にフォーカスするための目標位置を定め、目標位置に相当する電圧を設定して、目標位置電圧として出力する回路であり、図6を用いて説明したSMAアクチュエータ3の抵抗値と検出電圧との関係および図7を用いて説明したSMAアクチュエータ3の抵抗値とレンズ駆動量との関係に基づいて目標位置に相当する電圧が設定される。差動増幅器104は、サンプルホールド回路107の出力電圧と目標位置電圧設定回路108の出力電圧とを比較し、その差を増幅して出力し、目標位置電圧に対して、サンプルホールド回路107の出力電圧が高いほど、差動増幅器104の出力電圧は高くなる。パルス幅変調回路110は、差動増幅器104の出力をパルス幅変調して出力するが、ここでは差動増幅器104の出力電圧が高いほど、すなわち目標位置電圧に対して、サンプルホールド回路107の出力電圧が高いほど、オン幅が小さくなるようにデューティ比が小さくなるようにPWM変調され、逆に、サンプルホールド回路107の出力電圧に対して、目標位置電圧が高いほど、オン幅が大きくなるようにデューティ比が大きくなるようにPWM変調される。ここで、パルスのオン幅が大きいほど、SMAアクチュエータ3には多くの電流が流れ、その発熱によってSMAアクチュエータ3の収縮量は増えることとなり、オン幅が小さいほど、SMAアクチュエータ3の発熱は少なく、収縮量も少ない。なお、一度収縮した後は、放熱により伸長する。なお、パルスのオン幅が予め定めた閾値以下では、収縮量は0ゼロとなるように設定されている。次に、図9に示すタイミングチャートを用いて、サンプルホールド回路107、タイミング発生回路109およびパルス幅変調回路110の基本動作について説明する。タイミング発生回路109は、図9のa部に示すようなタイミング発生回路109外部から与えられる基本タイミングパルスの立ち上がりおよび立ち下がりのタイミングにそれぞれ基づいて、図9のb部およびc部に示すリセットパルスおよびホールドパルスを発生させて出力する。サンプルホールド回路107では、タイミング発生回路109から与えられるホールドパルスにより差動増幅器103の出力電圧をサンプリングして保持し、リセットパルスによりホールドを解除する。図9のd部にはサンプルホールド回路107の出力波形を示しており、リセットパルスが与えられるタイミングによりホールドが解除され、ホールドパルスが与えられるタイミングにより電圧がホールドされることが判る。図9のe部には、差動増幅器104の出力波形を示しており、図9のd部に示したサンプルホールド回路107の出力波形と、目標位置電圧設定回路108の出力電圧である目標位置電圧との差が増幅されて出力されている。図9のf部には、パルス幅変調回路110内のコンパレータ図示せずに入力される、差動増幅器104の出力波形と、三角波掃引波形とを重ねて示しており、上記コンパレータにおいて両波形の重なりを検出することで、パルス幅変調を行う。図9のg部には、上記コンパレータの出力波形を示しており、これがパルス幅変調回路110の出力波形となる。<装置動作>次に、図8に示すアクチュエータの駆動装置の一連の動作について説明する。電源投入後、目標位置電圧設定回路108において、レンズの繰り出し量レンズ駆動量について、予め設定された当初の目標位置、あるいは、被写体にフォーカスするための目標位置を定め、目標位置に相当する電圧を設定して目標位置電圧として出力する。この電圧は、図6を用いて説明したSMAアクチュエータ3の抵抗値と検出電圧との関係および図7を用いて説明したSMAアクチュエータ3の抵抗値とレンズ駆動量との関係に基づいて設定される。具体的には、例えば、温度20°Cの場合に、レンズ繰り出し量レンズ駆動量を250μmに設定すると、図7より、SMAアクチュエータ3の目標抵抗値は17.0Ωとなり、そのときの差動増幅器104の出力電圧は、図6より1.61Vとなる。従って、目標とするレンズ繰り出し量が250μm温度20°Cの場合は、目標位置電圧として、1.61Vを出力する。この目標位置電圧は、具体的には、マイクロコンピュータ等のメモリから上記電圧に対応するデータを読み出し、それをD/A変換器においてデジタル-アナログ変換してアナログ電圧として出力することで得られる。従って、目標位置電圧設定回路108は、図示しないメモリやD/A変換器を構成要素として含むこととなる。電源投入時直後は、SMAアクチュエータ3は収縮しておらず、SMAアクチュエータ3の抵抗値は大きいSMAは収縮すると抵抗値が小さくなる。そのために、目標値電圧に対して、検出抵抗R5の両端電圧を増幅した差動増幅器103の出力は低く、これをホールドしたサンプルホールド回路107の出力も低い。差動増幅器104は、サンプルホールド回路107の出力、すなわち差動増幅器103の出力電圧と目標位置電圧との差を増幅するので、差動増幅器104の出力も低電圧であるサンプルホールド回路107の出力が、目標位置電圧よりも高い場合に差動増幅器104の出力が高くなる。パルス幅変調回路110は、差動増幅器104の出力電圧が低い場合にはHハイレベルのパルス幅は小さく、出力電圧が高い場合にはHのパルス幅が大きくなるように構成されている。そして、パルス幅変調回路110の出力がHである場合に、スイッチ回路106がオフし、パルス幅変調回路110の出力がLである場合にスイッチ回路106がオンするLowアクティブ。以上より、目標位置電圧に対して、SMAアクチュエータ3の抵抗値が大きい場合収縮していない場合は、パルス幅変調回路110の出力電圧は、Hのパルス幅が小さく、Lのパルス幅が大きい。このため、スイッチ回路106のオン時間が長く、SMAアクチュエータ3に高い割合で電流が流れる。この電流により、SMAアクチュエータ3が発熱し、収縮を始める。SMAアクチュエータ3が収縮すると、SMAアクチュエータ3と機械的に連動した可動物レンズ鏡胴等は目標位置に向かって移動する。そして、収縮量に応じて、SMAアクチュエータ3の抵抗値が下がり、SMAアクチュエータ3と検出抵抗R5に流れる電流は大きくなり検出抵抗R5の両端の電圧が上昇する。この結果、差動増幅器103の出力電圧も上昇し、その電圧がサンプルホールド回路107でホールドされて、差動増幅器104の非反転入力に与えられる。差動増幅器104の反転入力-には、目標位置電圧設定回路108から目標位置電圧が入力されているが、この値は一定であるので、差動増幅器104の非反転入力の電圧が上昇すると、差動増幅器104の出力電圧も上昇する。パルス幅変調回路110の入出力特性は、前述の通り、入力電圧が低い場合にはLのパルス幅が大きく、入力電圧が高くなるに従い、Hのパルス幅が大きくなるので、SMAアクチュエータ3が収縮すると、パルス幅変調回路110の出力は、収縮前に比べて、Hのパルス幅が大きくなる。先に説明したように、スイッチ回路106はLowアクティブであるので、SMAアクチュエータ3が収縮すると、PNPトランジスタ101のオンしている期間は短くなり、オフしている期間が長くなる。このように、SMAアクチュエータ3が収縮して、可動物レンズ鏡胴等が目標位置に近づくにつれて、SMAアクチュエータ3を駆動するPNPトランジスタ101のオンしている期間が短くなる。そして、レンズ駆動量が目標位置に達すると、オン期間の減少は止まり、目標位置近傍で安定する。なお、可動物を別の位置に移動させる場合は、目標位置電圧を更新し、新しい目標位置電圧を差動増幅器104の反転入力-に入力し、上述したフィードバック制御により、新しい目標位置に向かってSMAアクチュエータ3が収縮または伸長し、新しい目標位置近傍で安定する。<効果>以上説明したように、本発明に係るアクチュエータの駆動装置においては、SMAアクチュエータ3に直列に接続した固定抵抗による電圧の分圧により、SMAアクチュエータ3の抵抗値に対応した電圧を検出し、当該検出電圧に基づいて電流源トランジスタであるPNPトランジスタ101のオン、オフをフィードバック制御するので、電流源トランジスタを定電流制御する場合よりも簡単な回路構成で、かつ低消費電力回路内で消費される無効電力が少ないでの動作が可能となる。この結果、アクチュエータの駆動装置の小型化、低コスト化および低消費電力化を達成できる。"