"基板の少なくとも一方の面上に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズの製造方法であって、レンズ部の形状に対応するネガ形状の成形面であるキャビティ部を複数有する成形型を準備する工程と、重合性組成物、重合開始剤および無機粒子を含み、25°Cにおける粘度が10~20PaSの範囲内である硬化性樹脂材料を準備する工程と、前記基板または前記成形型の前記キャビティ部に、前記硬化性樹脂材料を前記キャビティ部のそれぞれに対応するよう個別に滴下して提供する工程と、前記基板または前記成形型を押圧し、前記キャビティ部のそれぞれに対応するよう提供された前記硬化性樹脂材料同士が互いに接触しないように、前記キャビティ部と前記基板との間に前記硬化性樹脂材料を充填する工程と、前記キャビティ部と前記基板との間に充填された前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程と、を含む、ウエハレンズの製造方法。前記硬化性樹脂材料の25°Cにおける粘度は、10~15PaSの範囲内である、請求項1に記載のウエハレンズの製造方法。基板の少なくとも一方の面上に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズであって、前記複数のレンズ部は、それぞれ、重合性組成物、重合開始剤および無機粒子を含み、25°Cにおける粘度が10~20PaSの範囲内である硬化性樹脂材料の硬化物からなり、前記複数のレンズ部は、前記硬化性樹脂材料の硬化物により互いに連結されていない、ウエハレンズ。前記硬化性樹脂材料の25°Cにおける粘度は、10~15PaSの範囲内である、請求項3に記載のウエハレンズ。無機粒子を分散させた硬化性樹脂材料は、1硬化樹脂の線膨張係数が小さい、2硬化樹脂の屈折率の温度係数dn/dtが小さい、3硬化収縮率が小さい、などの、ウエハレンズのレンズ部形成用の樹脂材料として優れた性質を有する。しかしながら、無機粒子を分散させた硬化樹脂は脆性が高いため、無機粒子を分散させた硬化樹脂からなる樹脂部では、ダイシング時に割れや剥離が発生しやすい。たとえば、特許文献1に記載の残膜型の第2のウエハレンズ30では、無機粒子を分散させた硬化樹脂からなる第4の樹脂部36は、ダイシングライン40と交差している。したがって、第4の樹脂部36は、ダイシングブレードなどで直接切断される。このとき、第4の樹脂部36は脆性が高いため、第4の樹脂部36では割れや剥離が発生しやすい。その結果、製造されたレンズユニットの信頼性試験の結果が悪くなり、レンズユニットの製造歩留まりが低下してしまう。このように、無機粒子を分散させた硬化性樹脂材料は、レンズ部の性能を向上させる観点からは優れた材料である。その一方で、無機粒子を分散させた硬化性樹脂材料には、ウエハレンズをダイシングすることで得られる光学レンズまたはレンズユニットの製造歩留まりを低下させてしまうという問題がある。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、樹脂部レンズ部が無機粒子を含む硬化樹脂からなるウエハレンズであって、ダイシング時における樹脂部の割れおよび剥離を抑制することができるウエハレンズおよびその製造方法を提供することを目的とする。本発明のウエハレンズの製造方法は、基板の少なくとも一方の面上に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズの製造方法であって、レンズ部の形状に対応するネガ形状の成形面であるキャビティ部を複数有する成形型を準備する工程と、重合性組成物、重合開始剤および無機粒子を含み、25°Cにおける粘度が10~20PaSの範囲内である硬化性樹脂材料を準備する工程と、前記基板または前記成形型の前記キャビティ部に、前記硬化性樹脂材料を前記キャビティ部のそれぞれに対応するよう個別に滴下して提供する工程と、前記基板または前記成形型を押圧し、前記キャビティ部のそれぞれに対応するよう提供された前記硬化性樹脂材料同士が互いに接触しないように、前記キャビティ部と前記基板との間に前記硬化性樹脂材料を充填する工程と、前記キャビティ部と前記基板との間に充填された前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする。本発明のウエハレンズは、基板の少なくとも一方の面上に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズであって、前記複数のレンズ部は、それぞれ、重合性組成物、重合開始剤および無機粒子を含み、25°Cにおける粘度が10~20PaSの範囲内である硬化性樹脂材料の硬化物からなり、前記複数のレンズ部は、前記硬化性樹脂材料の硬化物により互いに連結されていないことを特徴とする。本発明によれば、樹脂部レンズ部が無機粒子を含む硬化樹脂からなるウエハレンズであって、ダイシング時における樹脂部の割れおよび剥離の発生が少ないウエハレンズを製造することができる。したがって、本発明によれば、ウエハレンズをダイシングすることで得られる光学レンズまたはレンズユニットの製造歩留まりを向上させることができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。1.ウエハレンズの構成図2は、本発明の実施の形態に係るウエハレンズ100の構成を示す図である。図2Aは、ウエハレンズ100の平面図であり、図2Bは、図2Aに示されるB-B線の断面図であり、図2Cは、図2Bに示される断面図の一部を拡大した部分拡大断面図である。図2A~Cに示されるように、ウエハレンズ100は、基板110と、基板110の一方の面上に形成された複数のレンズ部120とを有する。基板110は、光透過性を有する平板である。基板110は、例えばガラス基板や透明樹脂基板などである。基板110の大きさ、厚さおよび形状は、特に限定されず、求められる光学的特性などに応じて適宜選択されうる。通常、基板110の厚さは、離型時に破損しない程度の厚さである。複数のレンズ部120は、基板110の一方の面上においてマトリックス状に配置されており、基板110に接合されている。複数のレンズ部120は、それぞれ光学面122を有しており、凹レンズとして機能する。複数のレンズ部120は、それぞれ、重合性組成物、光重合開始剤および無機粒子を含む光硬化性樹脂材料以下有機無機複合材料ともいうの硬化物からなる。すなわち、複数のレンズ部120は、それぞれ、無機粒子が分散した硬化樹脂からなる。[光硬化性樹脂]光硬化性樹脂の例には、アクリル樹脂やアリルエステル樹脂、ビニル系樹脂、エポキシ系樹脂などが含まれる。アクリル樹脂材料やアリルエステル樹脂材料、ビニル系樹脂材料は、光重合開始剤のラジカル重合により硬化されうる。エポキシ系樹脂材料は、光重合開始剤のカチオン重合またはアニオン重合により硬化されうる。以下、重合性組成物樹脂材料および光重合開始剤について説明する。1アクリル樹脂材料アクリル樹脂材料として用いられるメタアクリレートの種類は、特に限定されない。メタアクリレートの例には、エステルメタアクリレート、ウレタンメタアクリレート、エポキシメタアクリレート、エーテルメタアクリレート、アルキルメタアクリレート、アルキレンメタアクリレート、芳香環を有するメタアクリレート、多官能メタアクリレート、脂環式構造を有するメタアクリレートが含まれる。これらは、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。これらの中でも、脂環式構造を持つメタアクリレートが好ましい。脂環式構造は、酸素原子または窒素原子を含む脂環式構造であってもよい。そのようなメタアクリレートの例には、シクロヘキシルメタアクリレート、シクロペンチルメタアクリレート、シクロヘプチルメタアクリレート、ビシクロヘプチルメタアクリレート、トリシクロデシルメタアクリレート、トリシクロデカンジメタノールメタアクリレートや、イソボロニルメタアクリレート、水添ビスフェノール類のジメタアクリレートなどが含まれる。また、脂環式構造を有するメタアクリレートの中でも、アダマンタン骨格を持つものが特に好ましい。そのようなメタアクリレートの例には、2-アルキル-2-アダマンチルメタアクリレート特開2002-193883号公報参照、アダマンチルジメタアクリレート特開昭57-500785号公報参照、アダマンチルジカルボン酸ジアリル特開昭60―100537号公報参照、パーフルオロアダマンチルアクリル酸エステル特開2004-123687号公報参照、2-メチル-2-アダマンチルメタクリレート新中村化学工業株式会社、1,3-アダマンタンジオールジアクリレート、1,3,5-アダマンタントリオールトリアクリレート、不飽和カルボン酸アダマンチルエステル特開2000-119220号公報参照、3,3-ジアルコキシカルボニル-1,1ビアダマンタン特開2001-253835号公報参照、1,1-ビアダマンタン化合物米国特許第3342880号明細書参照、テトラアダマンタン特開2006-169177号公報参照、2-アルキル-2-ヒドロキシアダマンタン、2-アルキレンアダマンタン、1,3-アダマンタンジカルボン酸ジ-tert-ブチルなどの芳香環を有しないアダマンタン骨格を有する硬化性樹脂特開2001-322950号公報参照、ビスヒドロキシフェニルアダマンタン類やビスグリシジルオキシフェニルアダマンタン特開平11-35522号公報および特開平10-130371号公報参照などが含まれる。また、アクリル樹脂材料は、メタアクリレートや多官能メタアクリレートなどの、その他の反応性単量体を含有していてもよい。そのようなメタアクリレートの例には、メチルアクリレート、メチルメタアクリレート、n-ブチルアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタアクリレート、tert-ブチルアクリレート、tert-ブチルメタアクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレートなどが含まれる。また、多官能メタアクリレートの例には、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールトリメタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールセプタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、トリペンタエリスリトールトリメタアクリレートなどが含まれる。2アリルエステル樹脂材料アリルエステル樹脂材料は、アリル基を有し、ラジカル重合によって硬化する樹脂材料である。アリルエステル樹脂材料の種類は、特に限定されない。アリルエステル樹脂材料の例には、芳香環を含まない臭素含有メタアリルエステル樹脂特開2003-66201号公報参照、アリルメタアクリレート樹脂特開平5-286896号公報参照、アリルエステル樹脂特開平5-286896号公報、特開2003-66201号公報参照などが含まれる。3ビニル系樹脂材料ビニル系樹脂材料の種類は、透明な樹脂硬化物を形成できる物であれば特に限定されない。ポリビニル系樹脂のモノマーは、一般式CH2=CH-Rで表される。ポリビニル系樹脂の例には、ポリ塩化ビニルやポリスチレンなどが含まれる。ポリビニル系樹脂としては、Rに芳香族を含む芳香族系ビニル樹脂が好ましい。特に、モノマー1分子中に2つ以上のビニル基を有するジビニル系樹脂がより好ましい。これらは、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。4エポキシ系樹脂材料エポキシ系樹脂材料の種類は、エポキシ基を有し、光または光および熱により重合硬化するものであれば特に限定されない。硬化開始剤は、酸無水物、カチオン発生剤、アニオン発生剤などを使用することができる。エポキシ系樹脂は、硬化収縮率が低いため、成形精度を向上させる観点からは好ましい。エポキシ系樹脂の例には、ノボラックフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂が含まれる。より具体的には、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、2,2-ビス4-グリシジルオキシシクロヘキシルプロパン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシシクロヘキサンカーボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシド、2-3,4-エポキシシクロヘキシル-5,5-スピロ-3,4-エポキシシクロヘキサン-1,3-ジオキサン、ビス3,4-エポキシシクロヘキシルアジペート、1,2-シクロプロパンジカルボン酸ビスグリシジルエステルなどを重合したものを例示することができる。5光重合開始剤光重合開始剤の種類は、基本的には重合成組成物樹脂材料の種類に応じて選択される。光重合開始剤の種類は、紫外域400nm以下の波長に吸収極大を持ち、当該紫外域の波長でラジカル、カチオンまたはアニオンを発生するものであれば特に限定されない。なお、光重合開始剤を選択する際には、使用波長域での光透過率を低下させないように配慮するとともに、硬化光紫外線に対する吸光度が適切な値になるように考慮することが好ましい。ラジカルを発生する光重合開始剤としては、分子内開裂型開始剤および水素引き抜き型開始剤のいずれも使用することができる。分子内開裂型開始剤には、ベンゾインエーテル誘導タイプ、アセトフェノンタイプ、アシルフォスフィンオキサイドタイプなどがある。アセトフェノンタイプの例には、ベンジルケタール、α-ヒドロキシアセトフェノン、α-アミノアセトフェトンなどが含まれる。アシルフォスフィンオキサイドタイプの例には、ビスアシルフォスフィンオキサイドBAPO、モノアシルフォスフィンオキサイドMAPOなどが含まれる。水素引き抜き型開始剤には、ベンゾフェノンタイプ、アミンタイプ、チオキサントンタイプなどがある。ここで、レンズ部に用いるために樹脂が黄変しないことなどを考慮すると、α-ヒドロキシアセトフェノンとしては、DAROCURE1173、IRGACURE184、IRGACURE127いずれもチバジャパン株式会社などを使用することが好ましい。また、α-アミノアセトフェトンとしては、IRGACURE907、IRGACURE369いずれもチバジャパン株式会社などを使用することが好ましい。また、ラジカルを発生する光重合開始剤として、UV照射後に光退色フォトブリーチングする効果を有する光重合開始剤を使用することも好ましい。そのような光重合開始剤の例には、アシルフォスフィンオキサイドなどが含まれる。光退色効果を有する光重合開始剤を使用した場合、光反応に伴い光重合開始剤の吸収帯が消失光退色することにより、硬化光がより樹脂の深部まで到達できるようになり、樹脂の内部硬化が促進される。アシルフォスフィンオキサイドの例には、MAPOの2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイドDAROCURTPOや、BAPOのビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-フェニルフォスフィンオキサイドIRGACURE819や、チタノセン化合物のIRGACURE784いずれもチバジャパン株式会社などが含まれる。特に、DAROCURETPOやIRGACURE819などは、光反応に伴い無色となるため、レンズ用途としてより好ましい。カチオンを発生する光重合開始剤には、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、ジアゾニウム塩、フェロセニウム塩などがある。スルホニウム塩の例には、CYRACUREUVI-6976、UVI-6992いずれもダウケミカル社、サンエイドSI-60L、SI-80L三新化学工業株式会社、アデカオプトマーSP-150、SP-170株式会社ADEKA、Uvacure1590ダイセルUCB株式会社などが含まれる。ヨードニウム塩の例には、UV9380Cモメンティブパフォーマンスマテリアルズジャパン合同会社、IRGACURE250チバジャパン株式会社などが含まれる。アニオンを発生する光重合開始剤には、アルキルリチウム、カルバメート誘導体、オキシムエステル誘導体、光アミン発生剤などがある。光重合開始剤の添加量は、光硬化性樹脂材料樹脂材料および光重合開始剤に対して、0001質量~5質量の範囲内が好ましく、001質量~3質量の範囲内がより好ましく、005質量~1質量の範囲内が特に好ましい。[無機粒子]本実施の形態のウエハレンズ100は、レンズ部120を構成する硬化樹脂が無機粒子を含有することを一つの特徴とする。レンズ部120を構成する硬化樹脂に無機粒子を分散させることで、硬化樹脂の線膨張係数や、硬化樹脂の屈折率の温度係数dn/dt、硬化収縮率などを低減させることが可能となり、レンズ部120の性能を向上させることができる。無機粒子の種類は、光学的に透明なもの光透過性を有するものが好ましい。光透過性を有する無機粒子には、酸化物粒子、硫化物粒子、セレン化物粒子、テルル化物粒子などがある。具体的な無機粒子の例には、酸化ケイ素粒子、酸化アルミ粒子、リン酸アルミ粒子、酸化チタン粒子、酸化亜鉛粒子、硫化亜鉛粒子などが含まれる。これらの中でも、酸化ケイ素粒子シリカ粒子、炭酸カルシウム粒子が好ましい。これらの無機粒子は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。無機粒子の配合量は、ウエハレンズの製造時における光硬化性樹脂材料の粘度に応じて調整される。すなわち、25°Cにおける光硬化性樹脂材料の粘度が10~20PaSの範囲内好ましくは10~15PaSの範囲内となるように、無機粒子の配合量は調整される。光硬化性樹脂材料の粘度を上記範囲内とする理由については、ウエハレンズの製造方法について説明する際に説明する。無機粒子の形状は、特に限定されない。無機粒子の形状の例には、球状、楕円状、扁平状、ロッド状などが含まれる。レンズ部の機能をより発揮させる観点からは、無機粒子の形状は、球状が好ましい。無機粒子の平均粒径は、特に限定されないが、1~30nmの範囲内が好ましく、1~20nmの範囲内がより好ましく、1~10nmの範囲内が特に好ましい。平均粒径が1nm未満の場合、無機粒子を分散させることが困難であるため、無機粒子の機能を十分に発揮させることができないおそれがある。一方、平均粒径が30nm超の場合、レンズ部120の透明性が低下し、光線透過率が70未満となるおそれがある。無機粒子の平均粒径は、無機粒子の体積を球に換算したときの直径で表される。具体的には、無機粒子の電子顕微鏡写真から無作為に100個以上の無機粒子を抽出し、各無機粒子の粒径の算術平均を平均粒径とする。無機粒子の粒径の分布は、特に限定されないが、レンズ部の機能をより発揮させる観点からは、ある程度狭いほうが好ましい。無機粒子の製造方法は、特に限定されず、公知の方法から適宜選択されうる。無機粒子の製造方法の例には、金属塩の熱分解や、金属塩または金属アルコキシドの加水分解などが含まれる。金属塩の熱分解による製造方法では、金属塩またはそれらの溶液を噴霧し、加熱分解することで無機粒子を製造する。金属塩または金属アルコキシドの加水分解による製造方法では、予め作製された金属塩または金属アルコキシドの溶液に水を添加し、加水分解重合を進行させることで無機粒子を製造する。無機粒子は、表面処理がなされていることが好ましい。表面処理方法の種類は、特に限定されず、公知の方法から適宜選択されうる。無機粒子の表面処理に使用される表面処理剤の例には、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラフェノキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリフェノキシシラン、エチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、3-メチルフェニルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジフェノキシシラン、トリメチルメトキシシラン、トリエチルエトキシシラン、トリフェニルメトキシシラン、トリフェニルフェノキシシラン、シクロペンチルトリメトキシラン、シクロヘキシルトリエトキシシラン、ベンジルジメチルエトキシシラン、オクチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、γ-クロロプロピルトリメトキシシラン、γ-クロロプロピルメチルジクロロシラン、γ-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ-クロロプロピルメチルジエトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-2-アミノエチルアミノプロピルトリメトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ-2-アミノエチルアミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ-アニリノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、N-β-N-ビニルベンジルアミノエチル-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩、アミノシラン配合物などが含まれる。また、シランの代わりにアルミニウムやチタン、ジルコニアなどを使用することもできる。たとえば、アルミニウムトリエトキシドやアルミニウムトリイソプロキシドなども表面処理剤として使用されうる。また、イソステアリン酸、ステアリン酸、シクロプロパンカルボン酸、シクロヘキサンカルボン酸、シクロペンタンカルボン酸、シクロヘキサンプロピオン酸、オクチル酸、パルミチン酸、ベヘン酸、ウンデシレン酸、オレイン酸、ヘキサヒドロフタル酸などの脂肪酸やそれらの金属塩、さらに有機リン酸系表面処理剤のいずれの表面処理剤も使用可能である。これらの表面処理剤は、単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。使用する表面処理剤の種類は、光硬化性樹脂材料との親和性などに応じて選択されうる。表面処理剤の量は、特に限定されないが、表面処理後の無機粒子において10~99質量の範囲内が好ましく、30~98質量の範囲内がより好ましい。レンズ部120の説明に戻る。本実施の形態のウエハレンズ100は、各レンズ部120が隣接する他のレンズ部120と有機無機複合材料の硬化物により連結されていないことを一つの特徴とする。すなわち、各レンズ部120の間には、有機無機複合材料の硬化物が存在しない領域が必ず存在する。後述するように、残膜方式図9参照ではなく個別方式図8参照で複数のレンズ部120を形成することで、それぞれが独立した複数のレンズ部120を形成することができる。本実施の形態のウエハレンズ100をレンズ部120ごとに分割個片化することで、複数のレンズ部120を得ることができる。図3は、本実施の形態のウエハレンズ100のダイシングライン130を示す図である。図3Aは、図2Aに対応する平面図であり、図3Bは、図2Cに対応する部分拡大断面図である。これらの図に示されるように、ウエハレンズ100は、レンズ部120の間に設定されるダイシングライン130に沿って切断される。レンズ部120を構成する硬化樹脂は、無機粒子を含有するため脆性が高い。しかしながら、ダイシングライン130は、レンズ部120間の硬化樹脂が存在しない部位に位置するため、ダイシング時にレンズ部120に割れや剥離などが発生することはほとんどない。2.ウエハレンズの製造方法次に、本実施の形態のウエハレンズ100の製造方法について説明する。図4および図5は、ウエハレンズ100のレンズ部120を形成するための成形型の例を示す図である。図4Aは、マスター成形型の平面図であり、図4Bは、図4Aに示されるB-B線の断面図である。また、図5Aは、サブマスター成形型の平面図であり、図5Bは、図5Aに示されるB-B線の断面図である。図4Aに示されるように、マスター成形型200は、その一方の面上に、サブマスター成形型300の転写面330後述を形成するための転写面210を有する。転写面210は、ウエハレンズ100のレンズ部120の形状に対応する複数のキャビティ部220ポジ形状のレンズ部成形面を含む。複数のキャビティ部220は、マトリックス状に配置されており、それぞれ凹形状に形成されている。マスター成形型200の転写面210に形成されるキャビティ部220の数は、ウエハレンズ100のレンズ部120と同数であってもよいが、通常は、図4Aに示されるようにレンズ部120の数よりも少ない。マスター成形型200は、通常、金属材料で形成されている。金属材料の例には、鉄系材料や鉄系合金、非鉄系合金などが含まれる。鉄系材料の例には、熱間金型用鋼、冷間金型用鋼、プラスチック金型用鋼、高速度工具鋼、一般構造用圧延鋼材、機械構造用炭素鋼、クロムモリブデン鋼、ステンレス鋼が含まれる。プラスチック金型用鋼の例には、例えばプリハードン鋼、焼入れ焼戻し鋼、時効処理鋼が含まれる。プリハードン鋼の例には、SC系、SCM系、SUS系が含まれる。SC系の例には、PXZが含まれる。SCM系の例には、HPM2、HPM7、PX5、IMPAXが含まれる。SUS系の例には、HPM38、HPM77、S-STAR、G-STAR、STAVAX、RAMAX-S、PSLが含まれる。鉄系合金の例には、特開2005-113161号公報および特開2005-206913号公報に開示されている合金が含まれる。非鉄系合金としては、主に、銅合金、アルミ合金、亜鉛合金がよく知られている。非鉄合金の例には、特開平10-219373号公報および特開2000-176970号公報に示されている合金が含まれる。マスター成形型200は、金属ガラスやアモルファス合金などで形成されていてもよい。金属ガラスはダイヤモンド切削における被削性が高く、工具の磨耗が少ない点で優れている。金属ガラスの例には、PdCuSiやPdCuSiNiなどが含まれる。アモルファス合金は、ダイヤモンド切削における被削性が高い点で優れている。アモルファス合金の例には、無電解または電解のニッケルリンメッキなどが含まれる。これらの高被削性材料は、マスター成形型200の全体に適用してもよいし、マスター成形型200の転写面210のみに適用してもよい。図5Aに示されるように、サブマスター成形型300は、基板310と、樹脂からなる成形部320とを有する。成形部320は、基板310上に形成されており、ウエハレンズ100のレンズ部120を形成するための転写面330を有する。転写面330は、ウエハレンズ100のレンズ部120の形状に対応する複数のキャビティ部340ネガ形状のレンズ部成形面を含む。複数のキャビティ部340は、マトリックス状に配置されており、それぞれ凸形状に形成されている。サブマスター成形型300の転写面330に形成されるキャビティ部340の数は、図5Aに示されるようにウエハレンズ100のレンズ部120と同数である。成形部320は、光透過性樹脂の硬化物により形成されている。成形部320を構成する樹脂としては、ウエハレンズ100のレンズ部120と同様に、アクリル樹脂、アリルエステル樹脂、エポキシ系樹脂、ビニル系樹脂などが使用可能である。また、成形部320を構成する樹脂としては、離型性の良好な樹脂が好ましく、離型剤を塗布しなくても離型できる樹脂が特に好ましい。図6~8は、図4および図5に示されるマスター成形型200およびサブマスター成形型300を使用してウエハレンズ100を作製する手順を示す図である。まず、研削加工などによって、レンズ部120の形状に対応する転写面210を有するマスター成形型200を作製する図4参照。次に、図6Aに示されるように、マスター成形型200の転写面210の上に光硬化性樹脂材料320’を提供するディスペンス工程。次いで、図6Bに示されるように、マスター成形型200をサブマスター成形型300用の基板310に押し付けて、マスター成形型200の転写面210の形状を光硬化性樹脂材料320’に転写するインプリント工程。このとき、マスター成形型200を移動させてもよいし、基板310を移動させてもよい。次いで、図6Cに示されるように、マスター成形型200の転写面210と基板310との間に充填された光硬化性樹脂材料320’に紫外線400を照射して、光硬化性樹脂材料320’を硬化させる硬化工程。このとき、基板310側から紫外線400を照射してもよいし、マスター成形型200側から紫外線400を照射してもよい。次いで、図6Dに示されるように、マスター成形型200と基板310とを離して、基板310に接合された成形部320光硬化性樹脂材料320’の硬化物をマスター成形型200から離型する。以上の工程を終えた後、図7Aおよび図7Bに示されるように、マスター成形型200の位置をずらし、再度ディスペンス工程、インプリント工程、硬化工程および離型工程を行うステップアンドリピート方式。図7Aは、2回目の成形工程を行っている様子を示しており、図7Bは、3回目の成形工程を行っている様子を示している。1回の成形工程に掛かる時間は、例えば1~5分程度である。以後、マスター成形型200の位置を変えながら上記成形工程を繰り返すことで、多数のキャビティ部340を有するサブマスター成形型300を形成することができる図5参照。成形工程を繰り返す回数は、特に限定されず、マスター成形型200が有するキャビティ部220の数と、作製しようとするウエハレンズ100が有するレンズ部120の数との関係により設定される。次に、図8Aに示されるように、サブマスター成形型300の転写面330の上に有機無機複合材料120’無機粒子を含む光硬化性樹脂材料を提供するディスペンス工程。このとき、キャビティ部340のそれぞれの上に、有機無機複合材料120’を個別に滴下する個別方式。また、サブマスター成形型300の転写面330ではなく、基板110の上に有機無機複合材料120’を提供してもよい。この場合も、サブマスター成形型300の複数のキャビティ部340のそれぞれに対応するように、基板110の上に有機無機複合材料120’を個別に滴下する個別方式。いずれの場合であっても、1回あたりの有機無機複合材料120’の量は、隣接する有機無機複合材料120’同士が接触しないように設定される。次いで、図8Bに示されるように、サブマスター成形型300をウエハレンズ100用の基板110に押し付けて、サブマスター成形型300のキャビティ部340の形状を有機無機複合材料120’に転写するインプリント工程。このとき、サブマスター成形型300を移動させてもよいし、基板110を移動させてもよい。次いで、図8Cに示されるように、サブマスター成形型300のキャビティ部340と基板110との間に充填された有機無機複合材料120’に紫外線400を照射して、有機無機複合材料120’を硬化させる硬化工程。このとき、基板110側から紫外線400を照射してもよいし、サブマスター成形型300側から紫外線400を照射してもよい。次いで、図8Dに示されるように、サブマスター成形型300と基板110とを離して、基板110に接合されたレンズ部120有機無機複合材料120’の硬化物をサブマスター成形型300から離型する。前述の通り、本実施の形態のウエハレンズ100は、レンズ部120を構成する硬化樹脂が無機粒子を含有することを一つの特徴とする。したがって、図8Aに示されるディスペンス工程では、無機粒子を含有する有機無機複合材料120’をサブマスター成形型300の転写面330または基板110の上に供給する。また、本実施の形態のウエハレンズ100は、各レンズ部120が隣接する他のレンズ部120と有機無機複合材料120’の硬化物により連結されていないことを一つの特徴とする。すなわち、本実施の形態のウエハレンズ100は、個別型のウエハレンズである。したがって、図8Bに示されるインプリント工程において、サブマスター成形型300を基板110に押し当てても、有機無機複合材料120’同士が確実に連結しないようにしなければならない。このため、本実施の形態のウエハレンズ100の製造方法では、有機無機複合材料120’の25°Cにおける粘度を、10PaS10000cP以上とする。一方で、有機無機複合材料120’の粘度を過剰に高くすると、図8Aに示されるディスペンス工程において、キャビティ部340のそれぞれの上または基板110においてキャビティ部340のそれぞれに対応する位置の上に、適切な量の有機無機複合材料120’を提供することが困難となる。すなわち、有機無機複合材料120’の提供量の誤差が大きくなる。このため、本実施の形態のウエハレンズ100の製造方法では、有機無機複合材料120’の25°Cでの粘度を、20PaS20000cP以下とし、好ましくは15PaS15cP以下とする。有機無機複合材料120’の粘度は、無機粒子の配合量を調整することで制御することができる。無機粒子の好ましい配合量は、無機粒子の種類により異なるが、有機無機複合材料120’の粘度が上記範囲内となるように無機粒子を配合すれば、無機粒子の効果を十分に発揮させることができる。たとえば、25°Cにおける粘度が10~20PaSの範囲内の有機無機複合材料120’の硬化収縮率は、3以下となる。有機無機複合材料120’の調製方法は、特に限定されない。たとえば、溶融させた光硬化性樹脂材料に無機粒子を添加し、混練することで、有機無機複合材料120’を調製することができる。また、有機溶媒に溶解させた光硬化性樹脂材料に無機粒子を添加し、混合した後に、有機溶媒を除去することでも、有機無機複合材料120’を調製することができる。製造コストを低減させる観点からは、溶融混練法により有機無機複合材料120’を調製することが好ましい。無機粒子の存在下で重合性組成物を調製したり、重合性組成物の存在下で無機粒子を調製したりすることも可能であるが、多くの場合は特殊な条件が必要となる。これに対し、溶融混練法では、それぞれ別個に調製した重合性組成物と無機粒子とを混合することで、有機無機複合材料120’を容易に調製することができる。溶融混練に用いることのできる装置としては、ラボプラストミルやブラベンダー、バンバリーミキサー、ニーダー、ロールなどの密閉式混練装置またはバッチ式混練装置を挙げることができる。また、単軸押出機や二軸押出機などの連続式の溶融混練装置を用いることもできる。具体的な混練装置の例には、KRCニーダー株式会社栗本鐵工所;ポリラボシステムHAAKE社;ナノコンミキサー株式会社東洋精機製作所;ナウターミキサーブスコニーダーBuss社;TEM型押出機東芝機械株式会社;TEX二軸混練機株式会社日本製鋼所;PCM混練機株式会社池貝;三本ロールミル、ミキシングロールミル、ニーダー株式会社井上製作所;ニーデックス日本コークス工業株式会社;MS式加圧ニーダー、ニダールーダー株式会社モリヤマ;バンバリーミキサー株式会社神戸製鋼所が含まれる。溶融混練法により有機無機複合材料120’を調製する場合、有機溶剤を使用することも可能である。有機溶剤を使用することで、溶融混練時の温度を下げることができ、光硬化性樹脂材料の劣化を抑制することができる。有機溶剤を使用する場合は、溶融混練後に脱揮を行い、有機無機複合材料120’から有機溶剤を除去することが好ましい。また、溶融混練法により有機無機複合材料120’を調製する場合、光硬化性樹脂材料に無機粒子を一回で全量を添加して混練してもよいし、段階的に分割添加して混練してもよい。後者の場合、押出機などの溶融混練装置では、段階的に添加する成分をシリンダーの途中から添加することもできる。さらに、溶融混練法により有機無機複合材料120’を調製する場合、粉体または凝集状態のまま無機粒子を添加することも、液中に分散させた状態で添加することも可能である。液中に分散させた状態で添加する場合は、混練後に脱揮を行うことが好ましい。以上の手順により、本実施の形態のウエハレンズ100を製造することができる。以上のように、本実施の形態に係るウエハレンズの製造方法では、有機無機複合材料無機粒子を含む光硬化性樹脂材料を使用するため、線膨張係数や、屈折率の温度係数dn/dt、硬化収縮率などが小さいレンズ部を形成することができる。また、本実施の形態に係るウエハレンズの製造方法では、25°Cにおける粘度が10PaS以上の有機無機複合材料を使用して、個別方式図8参照でレンズ部を形成するため、レンズ部間に有機無機複合材料の硬化物樹脂膜が存在しないウエハレンズを製造することができる。このようなウエハレンズは、有機無機複合材料の硬化物に接触することなくダイシングを行うことができるため、光学レンズまたはレンズユニットの製造歩留まりを向上させることができる図3参照。また、本実施の形態に係るウエハレンズの製造方法は、25°Cにおける粘度が20PaS以下好ましくは15PaS以下の有機無機複合材料を使用することで、有機無機複合材料のディスペンス性も確保している。図9は、残膜方式のウエハレンズの製造工程を示す図である。図9Aおよび図9Bに示されるように、残膜方式のウエハレンズの製造方法では、サブマスター成形型300の転写面330の全面に有機無機複合材料120’を供給する。このため、製造されたウエハレンズでは、図9Cおよび図9Dに示されるように、各レンズ部120間に有機無機複合材料の硬化物からなる樹脂膜410非レンズ部が存在する。このように各レンズ部120間に樹脂膜410が存在する場合、ダイシングブレードなどが脆性の高い樹脂膜410を切断する際に、樹脂膜410およびレンズ部120に割れや剥離が発生しやすくなるこの後の実施例参照。本実施の形態に係るウエハレンズの製造方法では、樹脂の供給量が少ない個別方式でレンズ部を形成するため、レンズ部におけるヒケの発生が問題となる。しかしながら、本実施の形態に係るウエハレンズの製造方法では、硬化収縮率が低い有機無機複合材料を使用しているため、ヒケの発生を抑制することができる。このように、無機粒子を含む有機無機複合材料は、個別方式のウエハレンズの製造方法に好適な樹脂材料である。なお、本実施の形態では、凹形状の光学面を有するレンズ部が形成されているウエハレンズの例について説明したが、レンズ部の光学面の形状は特に限定されず、凸形状であってもよい。また、本実施の形態では、基板の片面にのみ複数のレンズ部が形成されているウエハレンズの例について説明したが、基板の両面に複数のレンズ部が形成されているウエハレンズであってもよい。以下、本発明の具体的な実施例を説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されない。1.成形型の作製クロムモリブデン鋼のブロックの一面転写面に9個のキャビティ部レンズ部成形面を形成して、マスター成形型を作製した。各キャビティ部は、直径φ2mm、曲率半径R16mm、深さ035mmの凹形状の球面とした。9個のキャビティ部は、マトリックス状3×3に配置した図4A参照。サブマスター成形型の基板として、直径4インチのガラス基板を準備した。マスター成形型の転写面に光硬化性エポキシ樹脂材料ビスフェノールA型エポキシ樹脂材料に光重合開始剤として芳香族スルホニウムを添加したものを供給した後図6A参照、ガラス基板にマスター成形型を押し当てて図6B参照、マスター成形型の転写面とガラス基板との間に光硬化性樹脂材料を充填した。この状態で、水銀ランプを使用して光硬化性樹脂材料に紫外線を照射し、光硬化性樹脂材料を硬化させて、9個の凸形状のキャビティ部レンズ部成形面をガラス基板上に形成した図6C参照。これらの工程をマスター成形型の位置を変えながら9回繰り返し、81個の凸形状のキャビティ部を有するサブマスター成形型を作製した図5A参照。サブマスター成形型の成形部およびガラス基板の表面に、SiO2膜を蒸着し、さらにその上に離型剤オプツールDSX;ダイキン工業株式会社を塗布して離型膜を形成した。2.ウエハレンズの作製光硬化性エポキシ樹脂材料ビスフェノールA型エポキシ樹脂材料に光重合開始剤として芳香族スルホニウムを添加したものまたは光硬化性アクリル樹脂材料アクリル樹脂材料に光重合開始剤としてパーオキサイドエステルを添加したものに、終濃度が0~65質量となるようにシリカ粒子アエロジルRX300粒径7nm;日本アエロジル株式会社を添加して、様々な粘度30~230PaSの有機無機複合材料を調製した。有機無機複合材料の粘度は、振動式粘度計を使用して測定した。各有機無機複合材料の組成および粘度を表1に示す。ウエハレンズの基板として、直径4インチ、厚さ03mmのガラス基板を準備した。このガラス基板の上に、個別方式の成形方法図8参照または残膜方式の成形方法図9参照で、有機無機複合材料の硬化物からなるレンズ部を形成して、個別型または残膜型のウエハレンズを作製した。個別方式の成形方法では、ウエハ1枚あたりの樹脂滴下量の狙い値を48mgとした。一方、残膜方式の成形方法では、ウエハ1枚あたりの樹脂滴下量の狙い値を72mgとした。有機無機複合材料の硬化は、室温において、水銀ランプを使用して20mWの強度で有機無機複合材料に紫外線を600秒間照射し、次いで150°Cで1時間加熱することで行った。3.評価試験1ディスペンス性試験各有機無機複合材料のディスペンス性について評価した。所定量72mgまたは48mgの有機無機複合材料をサブマスター成形型の転写面に滴下した後に、滴下した有機無機複合材料の質量を電子天秤を用いて測定した。各有機無機複合材料について、測定した有機無機複合材料の質量と、狙い値72mgまたは48mgとの差を算出した。得られた差に基づき、有機無機複合材料のディスペンス性を評価した。各有機無機複合材料について、差が1mg未満の場合は○と評価し、1mg以上5mg未満の場合は△と評価し、5mg以上の場合は×と評価した。2ダイシング耐性試験各ウエハレンズについて、ダイシングに対する耐性試験を行った。各ウエハレンズをレンズ部ごとにダイシングした。ダイシングは、厚み01mmのダイシングブレードを装着したダイシングソーDAD3350;株式会社ディスコを使用して、13000回転/分のスピンドル回転数、20mm/秒の速度で実施した。得られた各レンズについて、界面破壊または剥離の有無を顕微鏡を用いて調べた。レンズの総数合計81個に対する、界面破壊または剥離が発生している不良レンズの個数の割合に基づき、各ウエハレンズのダイシング耐性を評価した。各ウエハレンズについて、不良レンズの割合が10未満の場合は◎と評価し、10以上30未満の場合は○と評価し、30以上50未満の場合は△と評価し、50以上の場合は×と評価した。3信頼性試験1加熱試験個片化された各レンズについて、加熱試験を行った。各レンズを125°Cのオーブン内に入れて、24時間加熱した。室温まで冷却した後、各レンズについて、界面破壊または剥離の有無を顕微鏡を用いて調べた。評価基準はダイシング判定試験と同じである。4信頼性試験2冷熱衝撃試験加熱試験を終えた各レンズについて、冷熱衝撃試験を行った。冷熱衝撃試験機を用いて、-40°Cで30分間冷却した後、85°Cで30分間加熱するという工程を50サイクル繰り返した。室温まで冷却した後、各レンズについて、界面破壊または剥離の有無を顕微鏡を用いて調べた。評価基準はダイシング判定試験と同じである。5バックフォーカスの変化各ウエハレンズについて、温度変化によるバックフォーカスの位置ずれ幅を測定した。各ウエハレンズから得られた81個のレンズから、信頼性試験で良好な結果を示した良品レンズをそれぞれ3個抽出した。これらのレンズについて、25°CでのバックフォーカスfBの距離と、45°Cでのバックフォーカスの距離を測定した。各レンズについてバックフォーカスの変化量を算出し、ウエハレンズごとにその平均値を算出した。各ウエハレンズについて、バックフォーカスの変化量が±10μm未満の場合は○と評価し、±10μm以上±30μm未満の場合は△と評価し、±30μm以上の場合は×と評価した。6結果各ウエハレンズの評価結果を表1に示す。表1において、No1~4,11~14に示されるように、無機粒子を含有しない光硬化性樹脂材料を使用してレンズ部を作製したウエハレンズは、レンズ部の屈折率の温度係数dn/dtが大きいため、バックフォーカスfBの位置ずれが大きかった。No3,5,7,9,13,15,17,19に示されるように、無機粒子を含有する有機無機複合材料を使用して残膜方式でレンズ部を作製したウエハレンズは、ダイシングブレードが接触する非レンズ部の脆性が高いため、ダイシング時に多数の割れや剥離が生じてしまった。No4,14に示されるように、25°Cにおける粘度が10PaS未満の有機無機複合材料を使用して個別方式でレンズ部を作製したウエハレンズは、有機無機複合材料の粘度が低く、ディスペンス時に有機無機複合材料同士が連結してしまったため、残膜型のウエハレンズと同様に、ダイシング時に割れや剥離が生じてしまった。No10,20に示されるように、25°Cにおける粘度が20PaS超の有機無機複合材料を使用して個別方式でレンズ部を作製したウエハレンズは、有機無機複合材料のディスペンス性が悪いため、有機無機複合材料の供給量が狙い値から大きくずれてしまった。一方、25°Cにおける粘度が10~20PaSの無機粒子を含有する有機無機複合材料を使用して個別方式でレンズ部を作製したウエハレンズは、すべての評価項目について良好な結果が得られた。"