"スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって、該スピンドルに固定されたベース部と、該切削ブレードの外周端面と対向配置され該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する該ベース部に移動可能に装着されたノズル機構とを具備し、該ノズル機構は、該ベース部に移動可能に取り付けられた本体部と、該本体部に取り付けられた該ノズルを備えたノズルアセンブリと、該ベース部に対して該本体部の鉛直方向への移動を許容する位置調整手段と、該ベース部に対して鉛直方向における該本体部の位置を示す目盛と表示マークとからなる位置表示手段と、を含むことを特徴とするブレードカバー装置。前記位置調整手段は、前記スピンドルの軸方向と平行な方向に伸長する前記ベース部に形成されたねじ穴と、前記本体部に形成された鉛直方向に伸長する長穴と、該長穴を通して該ねじ穴に螺合し該本体部を該ベースに固定するねじとからなり、前記位置表示手段は、該ベース部と該本体部の何れか一方に形成された目盛と、他方に形成された表示マークとからなることを特徴とする請求項1記載のブレードカバー装置。ノズルの位置調整機構は様々提案されているが、従来は調整したノズルの位置を表示する機構がないため、最適なノズルのセッティングが決まった後も、同様のノズルの位置を再現するためには、ノズルを写真で撮ったり、何らかの基準物からのノズル位置を測定したりしていたため、非常に再現が難しいという問題があった。また、実験を行う際にも、ノズルの位置を細かく規定できないため、微妙な位置による違いを検証しにくいという問題もあった。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ノズルの位置を規定及び確認し易く、再現性も確保可能なブレードカバー装置を提供することである。本発明によると、スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって、該スピンドルに固定されたベース部と、該切削ブレードの外周端面と対向配置され該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する該ベース部に移動可能に装着されたノズル機構とを具備し、該ノズル機構は、該ベース部に移動可能に取り付けられた本体部と、該本体部に取り付けられた該ノズルを備えたノズルアセンブリと、該ベース部に対して該本体部の鉛直方向への移動を許容する位置調整手段と、該ベース部に対して鉛直方向における該本体部の位置を示す目盛と表示マークとからなる位置表示手段と、を含むことを特徴とするブレードカバー装置が提供される。好ましくは、前記位置調整手段は、前記スピンドルの軸方向と平行な方向に伸長する前記ベース部に形成されたねじ穴と、前記本体部に形成された鉛直方向に伸長する長穴と、該長穴を通して該ねじ穴に螺合し該本体部を該ベースに固定するねじとからなり、前記位置表示手段は、該ベース部と該本体部の何れか一方に形成された目盛と、他方に形成された表示マークとからなる。本発明のブレードカバー装置によると、ノズルの鉛直方向Z方向における位置が調整可能であり、且つ位置の調整が表示マークと目盛とによって細かくなされるため、ノズルの位置の規定及び確認をし易く、再現性も確保できるという効果を奏する。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は半導体ウエーハ等の被加工物をダイシングして個々のチップに分割することのできる切削装置2の外観を示している。本発明のブレードカバー装置は、切削装置2の切削ブレードをカバーするために使用される。切削装置2の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル4が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるCRT等の表示モニタ6が設けられている。切削対象であるウエーハWは粘着テープであるダイシングテープTに貼着され、ダイシングテープTの外周縁部は環状フレームFに貼着されている。これにより、ウエーハWはダイシングテープTを介してフレームFに支持された状態となり、図1に示したウエーハカセット8中にウエーハが複数枚例えば25枚収容される。ウエーハカセット8は上下動可能なカセットエレベータ9上に載置される。ウエーハカセット8の後方には、ウエーハカセット8から切削前のウエーハWを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット8に搬入する搬出入ユニット10が配設されている。ウエーハカセット8と搬出入ユニット10との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域12が設けられており、仮置き領域12には、ウエーハWを一定の位置に位置合わせする位置合わせ機構14が配設されている。仮置き領域12の近傍には、ウエーハWと一体となったフレームFを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送ユニット16が配設されており、仮置き領域12に搬出されたウエーハWは、搬送ユニット16により吸着されてチャックテーブル18上に搬送され、このチャックテーブル18に吸引されるとともに、複数のクランプ19によりフレームFが固定されることでチャックテーブル18上に保持固定される。チャックテーブル18は、回転可能且つX軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル18のX軸方向の移動経路の上方には、ウエーハWの切削すべきストリートを検出するアライメントユニット20が配設されている。アライメントユニット20は、ウエーハWの表面を撮像する撮像ユニット22を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像ユニット22によって取得された画像は、表示モニタ6に表示される。アライメントユニット20の左側には、チャックテーブル18に保持されたウエーハWに対して切削加工を施す切削ユニット24が配設されている。切削ユニット24はアライメントユニット20と一体的に構成されており、両者が連動してY軸方向及びZ軸方向に移動する。切削ユニット24は、回転可能なスピンドル26の先端に切削ブレード28が装着されて構成され、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード28は撮像ユニット22のX軸方向の延長線上に位置している。図2を参照すると、スピンドルと、スピンドルに装着されるブレードマウントとの関係を示す分解斜視図が示されている。スピンドルユニット30のスピンドルハウジング32中には、図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル26が回転可能に収容されている。スピンドル26はテーパ部26a及び先端小径部26bを有しており、先端小径部26bには雄ねじ34が形成されている。36はボス部凸部38と、ボス部38と一体的に形成された固定フランジ40とから構成されるブレードマウントであり、ボス部38には雄ねじ42が形成されている。さらに、ブレードマウント36は装着穴43を有している。ブレードマウント36は、装着穴43をスピンドル26の先端小径部26b及びテーパ部26aに挿入して、ナット44を雄ねじ34に螺合して締め付けることにより、図3に示すようにスピンドル26の先端部に取り付けられる。図3はブレードマウント36が固定されたスピンドル26と、切削ブレード28との装着関係を示す分解斜視図である。切削ブレード28はハブブレードと呼ばれ、円形ハブ48を有する円形基台46の外周にニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散された切刃50が電着されて構成されている。切削ブレード28の装着穴52をブレードマウント36のボス部38に挿入し、固定ナット54をボス部38の雄ねじ42に螺合して締め付けることにより、図4に示すように切削ブレード28がスピンドル26に取り付けられる。図5を参照すると、スピンドル26に装着された切削ブレード28の概略上半分をブレードカバー装置56で包囲した状態の側面図が示されている。図6は図5の平面図である。ブレードカバー装置56は、スピンドルハウジング56に固定され、切削ブレード28の概略上半分を包囲するベース部58を備えている。ベース部58には、切削ブレード28の外周縁に切削液を供給するノズルを備えたノズル機構60が位置調整手段64により、ベース部58に対して鉛直方向Z軸方向に位置調整可能に取り付けられている。ノズル機構60は本体部62を有しており、位置調整手段64は、ブレードカバー装置56のベース部58に形成された一対のねじ穴66図6参照と、該ねじ穴66に螺合する一対のねじ68と、本体部62に形成されねじ68が挿入される長穴70とから構成される。ねじ穴66はスピンドル26の軸方向と平行に伸長しており、長穴70は鉛直方向に伸長している。ノズル機構60の本体部62は、目盛板92がねじ98により着脱可能に取り付けられている。目盛板92には、鉛直方向の高さを示す目盛94と、ノズルアセンブリ72の回転の度合いを示す目盛96とが形成されている。ブレードカバー装置56の本体部58には、目盛94と協働してノズル機構60の高さ位置を示す表示マーク100がねじ102により取り付けられている。目盛94と表示マーク100とでZ軸方向位置表示手段を構成する。ねじ68を緩めてノズル機構60の本体部60の取付位置を調整することにより、ノズル機構60は図7Aに示す最上位位置と、図7Bに示す最下位位置との間で位置調整可能である。オペレータは、表示マーク100が指し示す目盛94を読むことにより、ノズル機構60の高さ位置を知ることができる。よって、ノズル機構60に備わったノズル112の高さ位置を規定及び確認し易く、再現性も確保することができる。ノズル機構60の本体部62には、本体部62から突出した突出部62a,62bが一体的に形成されている。調整ボルト82が突出部62bに形成された垂直方向の貫通穴中に挿入され、調整ボルト82の先端部が図6に示すように、突出部62aに形成されたねじ穴80に螺合している。調整ボルト82には突出部62aと突出部62bとの間で回転ナット84が螺合しており、回転ナット84を回転することにより調整ボルト82が上下方向に移動される。図10に示すように、調整ボルト82の下端部にはブロック86が固定されており、ブロック86にはL形状ブラケット78の一端部が回転可能に係合している。図6に示すように、L形状ブラケット78にはスピンドル26の軸方向に伸長するシャフト88が固定されている。L形状ブラケット78はねじ76によりノズル機構60の本体部62に固定されている。L形状ブラケット78の他端部下端部には、図8に示すノズルアセンブリ72の切削液供給管108が固定されている。よって、L形状ブラケット78の一端部が調整ボルト82の回転により上下方向に移動すると、L形状ブラケット78の他端部に固定されたノズルアセンブリ72はねじ76を中心に回動する。目盛板92には円弧状の長穴93が形成されており、この長穴93中にシャフト88の端部88aが挿入されている。シャフト88の端部88aには表示マーク90が形成されており、目盛板92の円弧状長穴93部分にはねじ76を中心とした放射状の目盛96が形成されている。表示マーク90と目盛96とで回転方向位置表示手段95を構成する。図8を参照すると、ノズルアセンブリ72の縦断面図が示されている。上述したように切削液供給管108はL形状ブラケット78の他端部に固定されている。切削液供給管108には、切削液を供給するノズル112が一体的に形成された摺動管110が外嵌されている。切削液供給管108は図5に示した切削液供給口104に接続されており、切削液供給口104はホース106を介して図示しない切削液供給源に接続されている。ノズル112は切削液供給孔114を介して切削液供給管108の内部に連通している。切削液供給孔114は一対のO-リング116により液密にシールされている。切削液供給管108の端部外周には雄ねじ118が形成されている。この雄ねじ118には調整ナット120の雌ねじ122が螺合している。図5に示すように、切削液供給管108の端部108aには表示マーク126が形成されている。そして、調整ナット120の端面には、切削液供給管108の軸心を中心とした放射状の目盛124が形成されている。目盛124と表示マーク126とでY軸方向位置表示手段125を構成する。調整ナット120を回転することにより、摺動管110が図8で矢印Yに示したY軸方向に移動され、摺動管110と一体的に形成されたノズル112の位置が切削ブレード28の厚み方向に調整され、ノズル112から噴出される切削液を切削ブレード28の外周端部に向けることができる。回転ナット120を回転して、ノズル112をY軸方向に調整すると、回転ナット120の端部に形成された目盛124が回転するため、表示マーク126に合致した目盛124の位置を読み取ることにより、ノズル112のY軸方向の位置を知ることが出来る。ノズル112の位置の表示が表示マーク126と目盛124とによって細かくなされているため、ノズル112の位置を規定し易く、ノズル位置の再現性も確保することができる。位置調整後、ねじ128を締結することによりノズル112の位置を固定する。ノズル112の切削ブレード28の外周端面からの位置の調整は、回転ナット84を回転することにより実施する。即ち、ねじ76を緩めて、回転ナット84を一方向に回転すると、調整ボルト82は図9A及び図10Aに示す上方位置に移動され、L形状ブラケット78がねじ76を中心にして反時計回り方向に回転する。その結果、ノズル112は切削ブレード28の外周端面から離反する。反対に、回転ナット84を反対方向に回転して、図9B及び図10Bに示すように、調整ボルト82を下方に移動すると、L形状ブラケット78はねじ76を中心にして時計回り方向に回転する。その結果、ノズル112は切削ブレード28の外周端面に接近する。ノズル112の位置を最適位置に調整後、ねじ76を締め付けてノズル112の位置を固定する。図9Aに示すように、調整ボルト82が上方に移動されてノズル112が切削ブレード28の外周端面から離反した位置では、シャフト88の端部88aが目盛板92に形成した長穴93中を上方に移動し、図9Bに示すように、回転ナット84を回転して調整ボルト82を下方に移動してノズル112を切削ブレード28の外周端面に接近させると、シャフト88の端部88aが長穴93中を下方に移動するため、目盛96により表示マーク90の位置を読み取ることにより、オペレータはノズル112の回動位置を把握することができる。この実施形態によれば、ノズル112の回転方向における位置が調整ボルト82の回転によって容易に調整可能であり、且つ位置の表示が表示マーク90と目盛96とによって細かくなされるため、ノズル112の回転方向の位置を規定し易く、再現性も確保できる。本実施形態によると、ノズル機構60の本体部62に形成したスピンドル26の軸方向Y軸方向に伸長する雌ねじに螺合するねじ76と、ねじ76によって本体部62に固定され、下端部にノズルアセンブリ72が装着されたL形状ブラケット78とによりノズルアセンブリ72の支持部74を構成する。また、本体部62から突出した突出部62aに形成された雌ねじ80と、雌ねじ80に螺合して下方に伸長した調整ボルト82と、調整ボルト82に固定されたブロック86と、ブロック86に回転可能に係合したL形状ブラケット78と、L形状ブラケット78に固定されて軸方向に伸長するシャフト88により位置調整部85を構成する。図11を参照すると、目盛を読み取るための拡大鏡130の一例が示されている。拡大鏡130はフレネルレンズ等から構成され、クリップ132及び伸縮コード134を介して切削装置2の図示しない外装カバー等に形成されたブラケット136に装着されている。例えば、拡大鏡130を調整ナット120の前方に位置付けて、目盛124と表示マーク126とを拡大することにより、表示マーク126が指し示す目盛126を容易に読み取ることができる。上述した実施形態では、ノズルアセンブリ72をノズル機構60の本体部62に回動可能に取り付けているが、本発明はノズル112を有するノズルアセンブリ72の切削液研削管108を本体部62の下端に固定した実施形態も含むものである。"