荷電極板および集塵極板を交互に積層し、前記荷電極板と前記集塵極板に異なる電圧を印加して電場を形成する集塵部を有する電気式の集塵装置において、前記荷電極板または前記集塵極板の少なくともどちらか一方は107~1013Ω/□の表面抵抗率を有する半導電性極板であり、前記半導電性極板は極板固定手段により固定するとともに、前記荷電極板と前記集塵極板との間に電圧を印加し電界の力を受けた時の前記半導電性極板のたわみを抑制する極板保持手段を設けたことを特徴とする集塵装置。半導電性極板は、少なくとも繊維状のセラミックスを含んだ板状の基材から成ることを特徴とする、請求項1に記載の集塵装置。極板保持手段は、半導電性極板の、少なくとも集塵部の奥行き方向の一辺を挟み込んで固定することを特徴とする請求項1または2に記載の集塵装置。極板保持手段により挟み込む長さが、辺の長さの3分の1以上であることを特徴とする請求項3に記載の集塵装置。極板保持手段は、半導電性極板との間に、導電または半導電性の滑り止めを有することを特徴とする請求項3または4に記載の集塵装置。極板保持手段に、引張力を加える引張力印加手段を設けたことを特徴とする請求項3~5のいずれかに記載の集塵装置。特許文献1に記載される荷電極板は吸湿性樹脂で構成されているため、集塵部の軽量化やコストダウンを目的として板厚を薄くした場合に剛性が不足し、荷電極板と集塵極板との間に電圧を印加したときに電界の力を受けて荷電極板がたわみ、集塵極板との間隔が一方では狭く、他方では広くなることで、間隔が広くなった部分の集塵効率が大きく低下するという課題があった。そこで本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、火花放電を抑制しつつ、板厚が薄くて極板自体の剛性が低くても、電界の力による極板のたわみを抑制して、高い集塵効率を維持できる集塵装置を提供することを目的とする。そして、この目的を達成するために、本発明は、荷電極板および集塵極板を交互に積層し、前記荷電極板と集塵極板に異なる電圧を印加して電場を形成する集塵部を有する電気式の集塵装置において、前記荷電極板または前記集塵極板の少なくともどちらか一方は107~1013Ω/□の表面抵抗率を有する半導電性極板であり、前記半導電性極板は極板固定手段により固定するとともに、前記荷電極板と前記集塵極板との間に電圧を印加し電界の力を受けた時の前記半導電性極板のたわみを抑制する極板保持手段を設けたことを特徴とする集塵装置としたものであり、これにより所期の目的を達成するものである。本発明によれば、荷電極板および集塵極板を交互に積層し、前記荷電極板と集塵極板に異なる電圧を印加して電場を形成する集塵部を有する電気式の集塵装置において、前記荷電極板または前記集塵極板の少なくともどちらか一方は107~1013Ω/□の表面抵抗率を有する半導電性極板であり、前記半導電性極板は極板固定手段により固定するとともに、前記荷電極板と前記集塵極板との間に電圧を印加し電界の力を受けた時の前記半導電性極板のたわみを抑制する極板保持手段を設けたことを特徴とする集塵装置としたことにより、適切な表面抵抗率によって火花放電を抑制しつつ、板厚が薄くて剛性が低い材料を極板に用いても、極板保持手段により電界の力による極板のたわみを抑制し、高い集塵効率を維持できる集塵装置を提供することを目的とする。本発明の請求項1記載の発明は、荷電極板および集塵極板を交互に積層し、前記荷電極板と前記集塵極板に異なる電圧を印加して電場を形成する集塵部を有する電気式の集塵装置において、前記荷電極板または前記集塵極板の少なくともどちらか一方は107~1013Ω/□の表面抵抗率を有する半導電性極板であり、前記半導電性極板は極板固定手段により固定するとともに、前記荷電極板と前記集塵極板との間に電圧を印加し電界の力を受けた時の前記半導電性極板のたわみを抑制する極板保持手段を設けたことを特徴とする集塵装置である。これにより、適切な表面抵抗率によって火花放電を抑制しつつ、板厚が薄くて剛性が低い材料を極板に用いても、極板保持手段により電界の力による極板のたわみを抑制し、高い集塵効率を維持できる集塵装置を提供することができる。また、半導電性極板は、少なくとも繊維状のセラミックスを含んだ板状の基材としてもよい。繊維状のセラミックスを含んだ板状の基材として、例えばセラミックペーパーがある。セラミックペーパーは空気中の水分を吸着することにより、その表面抵抗率が107~1013Ω/□となるため、それ自身が半導電性極板となることができ、火花放電を抑制しつつ、集塵部としての機能を十分に発揮することができる。また、繊維状のセラミックスは重量が軽いため、極板の重量を軽くすることができ、集塵部としての重量を軽減することができる。また、極板保持手段は、半導電性極板の、少なくとも集塵部の奥行き方向の一辺を挟み込んで固定してもよい。集塵部の奥行き方向、すなわち集塵部を通過する風の流れと平行に位置している極板の辺を極板保持手段で挟み込むことにより、極板保持手段が風の流れを妨げないように極板を保持することができ、圧力損失を低減させることができる。また、極板保持手段により挟み込む長さを、辺の長さの3分の1以上としてもよい。挟み込む長さが3分の1未満だと、極板を固定する力が不足し、電圧を印加したときに、発生した電界の力を受けて極板がたわんでしまう恐れがある。挟み込んで支持する長さを3分の1以上とすることで、極板を確実に固定することができ、たわみを抑制することができる。また、極板保持手段は、半導電性極板との間に、導電または半導電性の滑り止めを挟んでもよい。極板保持手段と半導電性極板の材質によっては、挟み込んで固定しても表面で滑りが生じてしまい、電圧を印加したときに、発生した電界の力を受けて極板がたわんでしまう恐れがある。両者の間に導電または半導電性の滑り止めを挟むことにより、極板に電圧を印加しつつ、極板のたわみを抑制することができる。また、極板保持手段に、引張力を加える引張力印加手段を設けてもよい。これにより、極板保持手段によって固定された極板に引張力を印加することができ、極板の剛性が低くても、電界の力によるたわみの発生を抑制することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。実施の形態1本発明の集塵装置の集塵部1を上から見た斜視図を図1に、下から見た斜視図を図2に示す。集塵部1は、外郭として枠体2を備え、その内部に高電圧を印加する荷電極板3と、それと対向してアースに接続された集塵極板4とが交互に一定の間隔で配置されている。本実施の形態では、荷電極板3には-7kVを、集塵極板4には0kVすなわちアースを印加し、荷電極板3と集塵極板4との間隔は6mmである。これにより、荷電極板3と集塵極板4との間に電界が発生し、帯電部図示せずを通過する際にマイナスに帯電された塵埃が、集塵部1を通過する際に電界によるクーロン力を受け、主に集塵極板4上に捕集される。荷電極板3は、板厚1mmで、繊維状のセラミックスを含んだ板状の基材であるセラミックペーパーからなる半導電性極板である。セラミックペーパーは空気中の水分を吸着することにより、その表面抵抗率が10の7~13乗Ω/□オーダーとなる。荷電極板3の表面抵抗率を10の13乗Ω/□オーダー以下にすることで、電圧が印加されたときに極板表面に速やかに電荷を与えることができ、速やかに荷電極板3と集塵極板4との間に電場を発生させることができる。荷電極板3の表面抵抗率を10の7乗Ω/□オーダー以上にすることで、火花放電のような大電流が流れようとする際には、極板表面での電圧降下が大きくなるため、極板間の電位差は小さくなり、火花放電が抑制される。火花放電が発生しないことで、集塵装置としての捕集効率の低下がなく、また不快な音や光、ノイズなどの発生を抑制することができる。集塵極板4は導電性を有する極板であればよく、例えばステンレス等の金属板や、導電性を有する樹脂板などを用いることができる。本実施の形態では、集塵極板4は板厚0.5mmのアルミ板とした。荷電極板3は、極板固定手段7によって集塵部1の底面側の辺を固定されているとともに、極板保持手段5によって集塵部1の天面側の辺を固定されている。ここで、本願の特徴である、剛性の低いセラミックペーパーで半導電性極板を構成した場合に、電界の力による極板のたわみを抑制できる極板保持手段5について詳しく説明する。荷電極板3が、金属等の剛性が十分に高い材質で構成されている場合は、集塵部1に電圧が印加されて荷電極板3と集塵極板4との間に電界が働いても、電界の力による荷電極板3のたわみが生じないため、極板固定手段7のみでも荷電極板3と集塵極板4との極間は維持され、集塵性能が低下することはない。本実施の形態では、上記の通り、荷電極板3は板厚1mmのセラミックペーパーからなる。荷電極板3をセラミックペーパーからなる半導電性極板で構成することにより、火花放電を抑制しつつ高い集塵性能を有する集塵装置を提供することができる。しかし、セラミックペーパーはそれ自身の剛性が低いため、極板固定手段7のみでは荷電極板3を十分に固定することができない。荷電極板3の上端が固定されていないため、集塵部1に電圧が印加されて荷電極板3と集塵極板4との間に電界が働いた場合にたわみが生じてしまい、結果として集塵効率の低下を招く恐れがある。本実施の形態では、荷電極板3は極板固定手段7および極板保持手段5によって固定されている。極板保持手段5を用いて荷電極板3の上端を固定することにより、集塵部1に電圧が印加されて荷電極板3と集塵極板4との間に電界が働いても、電界の力による極板のたわみを抑制し、高い集塵効率を維持できる集塵装置を提供することができる。また荷電極板3をセラミックペーパーで構成することにより、極板の重量を軽くすることができ、集塵部1の重量を軽減することができる。本実施の形態では、極板保持手段5によって、荷電極板3の辺のうち、集塵部1の奥行き方向の1辺を挟み込んだ構成とした。集塵部1の奥行き方向、すなわち集塵部1を通過する風の流れと平行に位置している荷電極板3の辺を極板保持手段5で挟み込むことにより、極板保持手段5が風の流れを妨げないように荷電極板3を保持することができ、圧力損失を低減させることができる。本実施の形態では、極板保持手段5は、荷電極板3の辺の3分の1以上を挟み込んだ構成とした。挟み込む長さが3分の1未満だと、荷電極板3を固定する力が不足し、電圧を印加したときに、発生した電界の力を受けて極板がたわんでしまう恐れがある。挟み込んで支持する長さを3分の1以上とすることで、荷電極板3を確実に固定することができ、たわみを抑制することができる。極板保持手段5の斜視図を図3に示す。その一部を拡大した模式図を図4に示す。極板保持手段5は、ステンレスからなる極板挟み部材8と、絶縁性の樹脂からなる支持碍子9からなり、支持碍子9には突起部10が設けられている。極板挟み部材8は荷電極板3に電圧を印加するための部材を兼ねており、これにより部品点数を削減することができる。極板保持手段5の一部を拡大した模式図を図4に示す。極板保持手段5は、支持碍子9に設けられた突起部10を、枠体2に設けられた溝に嵌合させるような構成となっている。このとき、極板保持手段5と枠体2との間には、弾性を有するゴムからなる引張力印加手段6が設けられているため、極板保持手段5は、上方向に引っ張り上げられるような力を受け、突起部10が枠体2の溝に引っかかり、固定される。これにより、極板保持手段5によって固定された荷電極板3に引張力を印加することができ、セラミックペーパーのような剛性の低い材料を荷電極板3として用いても、荷電極板3に上下方向の張力を加えて保持することで、電界の力によるたわみの発生を抑制することができる。極板保持手段5の断面を示す構成図を図5に示す。極板挟み部材8には滑り止め11が設けられている。滑り止め11は導電性のゴムからなり、この部分に荷電極板3を挟み込む構成となっている。極板挟み部材8がステンレスであり、荷電極板3がセラミックペーパーであるため、滑り止め11を設けない場合、挟み込んで固定しても表面で滑りが生じてしまい、電圧を印加したときに、発生した電界の力を受けて荷電極板3がたわんでしまう恐れがある。両者の間に滑り止め11を挟むことにより、これを抑制することができる。なお、滑り止め11は半導電性でもかまわない。なお、本実施の形態では、荷電極板3には-7kVを、集塵極板4には0kVすなわちアースを印加し、荷電極板3と集塵極板4との間隔は6mmとしたが、これに限定されるものではなく、所望の集塵性能を達成できる値であればよい。例えば、荷電極板3に0kVすなわちアースを印加し、集塵極板4に-7kVを印加しても、同様の効果を得ることができる。この場合、帯電した塵埃は主に荷電極板3上に捕集される。なお、本実施の形態では、極板保持手段5によって荷電極板3の一辺を挟み込む構成として、連続した構造により荷電極板3の辺の3分の1以上を挟み込んだ構成としているが、これに限定されるものではなく、同様の効果が得られる構成であればよい。例えば、極板保持手段5が荷電極板3を挟み込む部分を複数に分割して、その合計の長さが荷電極板3の辺の3分の1以上を挟み込むようにしてもよい。なお、本実施の形態では、極板保持手段5と枠体2との間に引張力印加手段6を設けているが、これに限定されるものではなく、同様の効果が得られる構成であればよい。例えば、極板保持手段5を構成する極板挟み部材8と支持碍子9との間に引張力印加手段6を設けて、極板挟み部材8を通じて荷電極板3に引張力を印加する構成としてもよい。なお、本実施の形態では、引張力印加手段6として弾性を有するゴムを用いているが、これに限定されるものではなく、極板保持手段5を通じて荷電極板3に引張力を印加することができる構成であればよい。例えば、ゴムの代わりにそれ自身が弾性を有するバネ体や、荷電極板3に引張力を印加できるようなバネ構造を用いてもよい。なお、本実施の形態では、極板保持手段5を枠体2に固定する手段として、突起部10を枠体2に設けられた溝に嵌合させる構成としているが、これに限定されるものではなく、同様の効果が得られる構成であればよい。なお、本実施の形態では、極板挟み部材8に導電性のゴムからなる滑り止め11を設けているが、これに限定されるものではなく、同様の効果が得られる構成であればよい。例えば、極板挟み部材8と荷電極板3とを、導電性の接着剤等で固定してもよい。なお、本実施の形態では、極板挟み部材8の材質をステンレスとし、荷電極板3に電圧を印加するための部材を兼ねる構成としたが、これに限定されるものではなく、要件を満たす構成であればどのような構成でも構わない。