"磁気ディスクに記憶されている情報を読み取る磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持するアームと、前記アームを駆動して前記磁気ディスク上で前記磁気ヘッドを移動させる粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドの位置を保持させる微動アクチュエータと、前記微動アクチュエータの変位を前記粗動アクチュエータの目標値にフィードバックするフィードバック経路とを制御するフィードバックコントローラとを具備し、前記フィードバックコントローラは、前記粗動アクチュエータと微動アクチュエータとを加算する2重サーボ系の前記フィードバック経路による非干渉の制御を行う磁気ディスク装置。フィードバックコントローラは、構成要素として、前記粗動アクチュエータを制御する粗動コントローラと、前記微動アクチュエータを制御する微動コントローラと、前記微動コントローラの変位を前記粗動コントローラの目標値にフィードバックするフィードバック経路とを備えるを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク装置。前記フィードバック経路は、構成要素として、前記微動コントローラの変位を増幅して前記粗動コントローラの目標値にフィードバックし、そのフィードバックの値Kが可変である第1増幅器を備える請求項2に記載の磁気ディスク装置。前記粗動コントローラは、構成要素として、前記粗動コントローラに入力される信号を増幅する第2増幅器と、前記第2増幅器の出力をノッチさせる第1ノッチフィルタとを備える請求項2または3に記載の磁気ディスク装置。前記微動コントローラは、構成要素として、前記微動コントローラに入力される信号を増幅する第3増幅器と、前記第3増幅器の出力を積分する積分器と、前記積分器の出力をノッチさせる第2ノッチフィルタとを備える請求項2乃至4のいずれか1項に記載の磁気ディスク装置。前記第1増幅器のフィードバック量Kは、K=0.5以上1.0以下、である請求項3乃至5のいずれか1項に記載の磁気ディスク装置。磁気ディスクに記憶されている情報を読み取る磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持するアームと、前記アームを駆動して前記磁気ディスク上で前記磁気ヘッドを移動させる粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドの位置を保持させる微動アクチュエータとを制御するフィードバックコントローラとを具備し、前記フィードバックコントローラは、前記粗動アクチュエータと微動アクチュエータとを加算する2重サーボ系の干渉の制御を行い、フィードバックコントローラは、構成要素として、入力される信号を増幅する第1増幅器と、前記第1増幅器の出力をノッチさせる第1ノッチフィルタとを備え、前記粗動アクチュエータを制御する粗動コントローラと、入力される信号を増幅する第2増幅器と、前記第2増幅器の出力を積分する積分器と、前記積分器の出力をノッチさせる第2ノッチフィルタとを備え、前記微動アクチュエータを制御する微動コントローラとを備える磁気ディスク装置。磁気ディスクに記憶されている情報を読み取る磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持するアームと、前記アームを駆動して前記磁気ディスク上で前記磁気ヘッドを移動させる粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドの位置を保持させる微動アクチュエータとを制御するフィードバックコントローラとを具備し、前記フィードバックコントローラは、前記安定な粗動アクチュエータと不安定な微動アクチュエータとを加算することで、前記粗動アクチュエータを安定器として作用させ、全体として安定化させる制御を行う磁気ディスク装置。外乱圧縮特性を向上できる磁気ディスク装置を提供する。実施形態によれば、一態様に係る磁気ディスク装置は、磁気ディスクに記憶されている情報を読み取る磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持するアームと、前記アームを駆動して前記磁気ディスク上で前記磁気ヘッドを移動させる粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドの位置を保持させる微動アクチュエータと、前記微動アクチュエータの変位を前記粗動アクチュエータの目標値にフィードバックするフィードバック経路とを制御するフィードバックコントローラとを具備し、前記フィードバックコントローラは、前記粗動アクチュエータと微動アクチュエータとを加算する2重サーボ系の前記フィードバック経路による非干渉の制御を行い、前記フィードバック経路のフィードバック量を可変して制御する。実施形態によれば、一態様に係る磁気ディスク装置は、磁気ディスクに記憶されている情報を読み取る磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持するアームと、前記アームを駆動して前記磁気ディスク上で前記磁気ヘッドを移動させる粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドの位置を保持させる微動アクチュエータとを制御するフィードバックコントローラとを具備し、前記フィードバックコントローラは、前記粗動アクチュエータと微動アクチュエータとを加算する2重サーボ系の干渉の制御を行い、フィードバックコントローラは、構成要素として、入力される信号を増幅する第1増幅器と、前記第1増幅器の出力をノッチさせる第1ノッチフィルタとを備え、前記粗動アクチュエータを制御する粗動コントローラと、入力される信号を増幅する第2増幅器と、前記第2増幅器の出力を積分する積分器と、前記積分器の出力をノッチさせる第2ノッチフィルタとを備え、前記微動アクチュエータを制御する微動コントローラとを備える。磁気ディスクに記憶されている情報を読み取る磁気ヘッドと、実施形態によれば、一態様に係る磁気ディスク装置は、前記磁気ヘッドを支持するアームと、前記アームを駆動して前記磁気ディスク上で前記磁気ヘッドを移動させる粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドの位置を保持させる微動アクチュエータとを制御するフィードバックコントローラとを具備し、前記フィードバックコントローラは、前記安定な粗動アクチュエータと不安定な微動アクチュエータとを加算することで、前記粗動アクチュエータを安定器として作用させ、全体として安定化させる制御を行う。<作用効果>第2の実施形態に係る磁気ディスク装置によれば、少なくとも上記1と同様の効果が得られる。第2の実施形態に係るフィードバックコントローラ110の構成要素は、上記フィードバック経路113を設ける必要がないため、シンプルな制御となる点で有利である。また、必要に応じて、本例のような構成を適用することが可能である。第1乃至第2の実施形態を用いて本発明の説明を行ったが、上記各実施形態は、発明の範囲を限定することは意図していない。また、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更をすることが可能である。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。100...参照信号発生部110...フィードバックコントローラ120...ホールド部130...プラント部140...サンプラー111...VCMコントローラ112...DSAコントローラ113...フィードバック経路Decoupledpath以下、実施形態について図面を参照して説明する。尚、この説明においては、全図にわたり共通の部分には共通の参照符号を付す。[第1実施形態]<1.構成例>1-1.外観構成例第1の実施形態に係る磁気ディスク装置の外観構成例について、図1乃至図3を用いて説明する。図1に示すように、磁気ディスク装置HDD1は、ケース2と、スピンドル3を中心に回転する磁気ディスク4と、ピボット軸5を中心に旋回可能なキャリッジ6と、キャリッジ6を駆動するための粗動アクチュエータとしてのポジショニング用モータボイスコイルモータ:VCM7などを有している。ケース2は、図示しない蓋によって密閉される。図2は、磁気ディスク装置1の一部を模式的に示す断面図である。図2に示されるように、キャリッジ6にアーム8が設けられている。アーム8の先端部にサスペンション10が取付けられている。サスペンション10の先端部に、磁気ヘッドを構成するスライダ11が設けられている。ディスク4が高速で回転すると、ディスク4とスライダ11との間にエアベアリングが形成される。ポジショニング用モータ7によってキャリッジ6を旋回させると、サスペンション10がディスク4の径方向に移動することにより、スライダ11がディスク4の所望トラックまで移動する。スライダ11の端部には、例えばMR素子のように電気信号と磁気信号とを変換することができる素子が設けられている。これらの素子によって、ディスク4に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。このように、ポジショニング用モータVCM7は、磁気ヘッドのヘッド位置を移動させる粗動アクチュエータを構成する。図3は、第1の実施形態に係るサスペンション10を示している。このサスペンション10は、ベースプレート18aを含むベース部18と、ロードビーム20と、配線付きフレキシャ21と、マイクロアクチュエータ搭載部30などを備えている。ロードビーム20は、ベース部18を介してキャリッジ6のアーム8図1と図2に示すに固定される。ロードビーム20の基部後端部に、厚さ方向に弾性的に撓むことができるヒンジ部22が形成されている。図3と図4に矢印Xで示す方向がサスペンション10の長手方向前後方向すなわちロードビーム20の長手方向である。矢印Sがスウェイ方向である。フレキシャ21はロードビーム20に沿って配置されている。フレキシャ21の一部はレーザ溶接等の固定手段によってロードビーム20に固定されている。フレキシャ21の先端部付近にジンバル部として機能するタング21a図3に示すが形成されている。タング21aに前記スライダ11が取付けられている。このようにロードビーム20の先端部に磁気ヘッドのスライダ11が配置され、サスペンション10とスライダ11とによってヘッドジンバルアセンブリが構成されている。マイクロアクチュエータ搭載部30には、PZT等の圧電素子からなるマイクロアクチュエータ素子32などが搭載される。このマイクロアクチュエータ素子PZT32は、磁気ヘッドのヘッド位置Headpositionを高速かつ微動に移動させる微動アクチュエータを構成する。<2.制御2重サーボ系制御モデルについて>次に、本例に係る磁気ディスク装置の制御モデルについて説明する。本例に係る制御は、粗動を行うボイスコイルモータVCMと、その先端に設置されて微動を担当しヘッドを保持させるマイクロアクチュエータPZTとを加算する2重サーボ系DualStageServo制御を行うフィードバック制御FBControlを行う。2-1.HDD制御システムControlsystemofHDDまず、図4を用い、第1の実施形態に係る磁気ヘッドの制御システムControlsystemofHDDについて説明する。図示するように、本例に係る磁気ヘッドの制御システムは、参照信号発生部100、フィードバックコントローラ110、ホールド部120、プラント部130、およびサンプラー140により表される。参照信号発生部Referencesignalgenerator100は、磁気ヘッド位置の目標位置の参照信号rReferencetrajectoryおよび外乱の予測信号Feedforwardinputを発生させる。フィードバックコントローラFBController110は、参照信号Rとサンプラー140より出力されるヘッド位置Headpositionの位置信号との差分である入力信号In変位信号Eを、外乱を圧縮させたフィードバック信号を出力としてフィードバックさせる。このフィードバックコントローラ110の詳細については、後述する。ホールド部Hold120は、入力される上記フィードバック信号および外乱の予測信号を取り込み、これを電気信号Currentに変換して出力する。プラント部Plant130は、外乱Disturbanceなどに応じて、上記電気信号により磁気ヘッドを駆動させる。サンプラーSampler140は、磁気ヘッドの位置信号HeadPositionを取り込み、再びフィードバックコントローラ110に出力する。2-2.フィードバックコントローラFBControllerの感度について次に、図5を用い、第1の実施形態に係るフィードバックコントローラ110の制御について説明する。図示するように、本例に係るフィードバックコントローラ110の制御は、粗動を行うボイスコイルモータVCMGと、その先端に設置されて高速かつ微動にヘッドを保持するマイクロアクチュエータPZTHとを加算する2重サーボ系DualStageServoである。さらに、本例では、推定のマイクロアクチュエータPZTHの変位をボイスコイルモータVCMGの目標値にフィードバックする経路Decoupledpathを備える、非干渉Decouple制御方式である。図示するPZTHおよびVCMGによる非干渉Decoupleは、以下のように示される。aに示すオープンループOpenLoopでは、伝達関数は下記式1のように示される。GHGH式1bに示すクローズドループClosedLoopでは、伝達関数は下記式2のように示される。G1HH/1G1H式2cに示す感度Sensitivityでは、上記より、感度関数は下記式3のように示される。1/1G1H式3結果、本例にかかる感度関数は、HとGそれぞれの積として表される。2-3.フィードバックコントローラの構成要素次に、図6を用い、第1の実施形態に係るフィードバックコントローラ110の構成要素について説明する。図示するように、フィードバックコントローラ110の構成要素は、VCMコントローラ111,DSAコントローラ112,およびフィードバック経路Decoupledpath113、により表される。また、DSADualStageActuatorは上記PZT素子32であり、VCMは上記ポジショニング用モータボイスコイルモータ7であり、これらの構成要素も図6のように示される。VCMコントローラVCMController111は、VCMを制御する。VCMコントローラ111は、構成要素として、増幅器Gain1、ノッチフィルタnotchとして表される。増幅器Gain1はVCMコントローラ111に入力される信号を増幅Kする。ノッチフィルタnotchは増幅器Gain1の出力をノッチnumdenさせる。ここで、上記numden=Hsは、下記式Iのように表される。Hs=S22kζωSω2/S22ζωSω2...式Iζ:ノッチの幅を決めるパラメータk:ノッチの深さを決めるパラメータDSAコントローラDSAController112は、DSAPZTを制御する。DSAコントローラ112は、構成要素として、増幅器Gain2、積分器Integrator3、ノッチフィルタnotch1として表される。増幅器Gain2はDSAコントローラ112に入力される信号を増幅Kする。積分器Integrator3は増幅器Gain2の出力を積分1sする。ノッチフィルタnotch1は、積分器Integrator3の出力をノッチnumdenさせる。フィードバック経路Decoupledpath113は、DSAPZTの変位をVCMコントローラ112にフィードバックする。フィードバック経路113は、構成要素として、増幅器Gain7として示される。増幅器Gain7はVCMコントローラ111に入力される信号を増幅Kする。本例の場合、増幅器Gain7のフィードバック量ゲインKK倍を可変K=0.5~1.0とし、Kを上記の値に選択することが望ましい。上記のように、フィードバック量を選択することにより、フィードバックコントローラ110の全制御系の感度関数を、後述する優れた外乱圧縮特性を実現することができる点で有利である。DSAPZTは、構成要素として、増幅器Gain7およびDSAの共振DSAres1として表される。増幅器Gain7はDSAPZTに入力される信号を増幅Kする。PZTの伝達関数DSAres1は1denとして示される。上記1den=Fpは、下記式IIのように表される。Fp=1/S22ζpωpSωp2...式IIωp:ピエゾ共振周波数ζp:ピエゾダンピング定数VCMは、構成要素として、ベアリングの共振bearingres、増幅器Gain4、増幅器Gain5、機械部分の共振mechres、加算器、積分器Integrator、および積分器Integrator1として表される。ベアリングの伝達関数bearingresはs2denとして示される。増幅器Gain4はVCMに入力される信号を増幅Kする。上記s2den=Fbは、下記式IIIのように表される。Fb=S2/S22ζbωbSωb2...式IIIωb:ベアリング共振周波数ζb:ベアリングダンピング定数増幅器Gain5はベアリングの伝達関数の出力を増幅1する。機械部分の伝達関数mechresはs2denとして示される。加算器は機械部分の伝達関数mechresおよび増幅器Gain5の出力を加算する。積分器Integratorは加算器の出力を積分1sする。積分器Integrator1は積分器Integratorの出力を積分1sする。上記s2den=Fmは、下記式IVのように表される。Fm=S2/S22ζmωmSωm2...式IVωm:メカ共振周波数ζm:メカベアリングダンピング定数DSAPZTおよびVCMが加算されて、このフィードバックコントローラ110の出力Out1となる。また、出力Out1は、フィードバックコントローラ110の入力In1としてフィードバックされる。上記のように、本例に係るフィードバックコントローラ110は、構成要素として、例えば、ロウパスフィルタLPF等が不要であるにもかかわらず、後述するような優れた外乱圧縮特性を実現することができる。その他の一般的には必要と思われる構成要素として、本例に係るフィードバックコントローラ110は、例えば、増幅器Gain3、積分器Intergrator2、リードラグLeadLag等が無い方が良い。それは、リードラグLeadLag等が必要なくなることで位相ロスが減少し、その結果、低域で十分なゲインを得ることができるからである。<3.作用効果>第1の実施形態に係る磁気ディスク装置によれば、少なくとも下記1乃至3と同様の効果が得られる。1二重アクチュエータ系のパフォーマンスを最大限引き出し、外乱圧縮特性を向上できる。上記のように、本例に係る磁気ディスク装置は、粗動を行うボイスコイルモータVCMGと、その先端に設置されて高速かつ微動にヘッドを保持させるマイクロアクチュエータPZTHとを加算する2重サーボ系DualStageServoについて、フィードバックコントローラ110が制御を行う。さらに、本例では、推定のマイクロアクチュエータPZTHの変位をボイスコイルモータVCMGの目標値にフィードバックする経路Decoupledpathを備える、非干渉Decouple制御方式である。上記フィードバックコントローラ110の構成要素は、図6に示したように、VCMコントローラ111,DSAコントローラ112,およびフィードバック経路Decoupledpath113、により表される。上記構成要素におけるオープンループのゲインGainと位相Phaseとは図7abのように示される。図7aに示すように、本例によれば、VCMコントローラ111の構成要素として、例えば、積分器Intergrator2等がなくとも、低域で十分なゲインが得られることが分かる。また、DSAコントローラ112中の積分器Integrator3が、この制御システムを積分補償していることが確認できる。換言すると、実際にはDecoupledPath113の有無は関係なく、安定なDSA側が不安定なVCM側の加算されることで、全体として安定となると言える。言わば、DSAが安定機として作用しているということである。図7bに示すように、VCMコントローラ111の構成要素として、例えば、ロウパスフィルタLPFや、増幅器Gain3、積分器Intergrator2、リードラグLeadLag等の補償をなくすことにより、位相マージンをほぼ90°とすることができる。また、上記構成要素における感度関数のゲインGainと位相Phaseとは図8abのように示される。図8aに示すように、本例によれば、VCMコントローラ111の構成要素として、例えば、積分器Intergrator2等がなくとも、高域での盛り上がりを非常に小さくすることができる。また同じく図8aに示すように、外乱の多い中域でも、従来に比べ、例えば、5dB程度改善することが可能である。上記のように、本例に係る構成要素によれば、二重アクチュエータ系のパフォーマンスを最大限引き出し、外乱圧縮特性を向上できる。換言すれば、第1の実施形態は、VCM単独では不安定な設計とし、これをPZT制御系のDSAコントローラ112により、フィードバック制御全体の系を安定化させたものと言える。さらに換言すると、DSAコントローラ112と、補償器その他の構成要素を持たないVCMコントローラ111とを含めた、2重サーボシステム全体を積分補償する、非干渉計の制御であるとも言える。2フィードバック経路Decoupledpath113のフィードバック量を最適に可変することにより、外乱の種類により、最適値に対応することができる。本例の場合、例えば、フィードバック経路113の構成要素の増幅器Gain7のフィードバック量ゲインKK倍を可変K=0.5~1.0とし、Kを上記の値に選択することが望ましい。上記のように、フィードバック量を選択することにより、フィードバックコントローラ110の全制御系の感度関数を、優れた外乱圧縮特性を実現することができる点で有利である。例えば、フィードバック経路113の構成要素の増幅器Gain7のフィードバック量ゲインKK倍を可変K=0.0~1.0とし、シングルVCMのみと比較した感度関数のゲインGainと位相Phaseとは図9abのように示される。図9abに示すように、フィードバック経路113の構成要素の増幅器Gain7のフィードバック量が、-K=0.4以下の場合は、望ましくない。一方、フィードバック経路113の構成要素の増幅器Gain7のフィードバック量が、-K=0.5~1.0の場合では、全領域で、シングルVCMのみの場合よりも外乱圧縮特性を向上できることが分かる。加えて、増幅器Gain7のフィードバック量が、-K=0.5~1.0のうち、いずれを選択するかは、例えば、外乱の種類により、最適なものを選択すれば良い。これは、フィードバック経路113の構成要素の増幅器Gain7のフィードバック量を、制御系として可変構造にしておき、磁気ディスク装置の動作中等にフィードバック量Kを切り替え、より最適な制御を行えば良い。また、外乱の検知には、磁気ディスク装置の本体に別途設けた加速度センサ等の出力を使用すればよい。より具体的に、外乱の種類別において、フィードバック量Kを選択例する例としては、例えば、以下に示す値が望ましい。例えば、シーク時は、増幅器Gain7のフィードバック量を、K=1、とすることが望ましい。例えば、一般のオントラック時は、増幅器Gain7のフィードバック量を、K=0.5~0.7、とすることが望ましい。これは、ディスクフラッタ対策である。例えば、箱振動など、低域外乱が検知された場合は、増幅器Gain7のフィードバック量を、K=0.8~1.0、とすることが望ましい。なお、最終的なKの値は、これに限られず、磁気ディスク装置の設計毎に、微調整して最適化しても良い。このように、本例によれば、フィードバック経路Decoupledpath113のフィードバック量を最適に可変することにより、外乱の種類により、最適値に対応することができる。3位相ロスが減少し、その結果、低域で十分なゲインを得ることができる。また、本例では、リードラグLeadLag等を積極的に配置しないことで、リードラグLeadLag等が必要なくなることで位相ロスが減少し、その結果、低域で十分なゲインを得ることができることが分かった。そのため、リードラグLeadLag等が無い方が良い。[第2実施形態干渉couple制御の一例]次に、第2の実施形態に係る磁気ディスク装置について、図10乃至図11を用いて説明する。第2の実施形態は、上記フィードバック経路113が設けられない干渉couple制御の構成例に関するものである。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。<フィードバックコントローラFBControllerの感度>まず、図10を用い、第2の実施形態に係るフィードバックコントローラ110の制御について説明する。図示するように、本例に係るフィードバックコントローラ110の制御は、粗動を行うボイスコイルモータVCMGと、その先端に設置されて高速かつ微動にヘッドを保持させるマイクロアクチュエータPZTHとを加算する2重サーボ系DualStageServoである。さらに、本例では、上記フィードバック経路113がない、干渉couple制御方式である。そのため、図示するHPZTおよびGVCMによる干渉couple系では、以下のように示される。aに示すオープンループOpenLoopでは、下記式4のように示される。GH式4bに示すクローズドループClosedLoopでは、下記式5のように示される。GH/1GH式5cに示す感度Sensitivityでは、上記より、下記式6のように示される。1/1GH式6結果、第2の実施形態に係る干渉coupleでの感度は、G、Hそれぞれの和として表される。<フィードバックコントローラの構成要素>次に、図11を用い、第2の実施形態に係るフィードバックコントローラ110の構成要素について説明する。図示するように、第2の実施形態に係るフィードバックコントローラ110の構成要素は、上記フィードバック経路113が設けられていない点で、上記第1の実施形態と相違する。本例に係るフィードバックコントローラ110でも、構成要素として、例えば、ロウパスフィルタLPF等が不要である点は同様である。同様に、本例に係るフィードバックコントローラ110は、例えば、増幅器Gain3、積分器Intergrator2、リードラグLeadLag等も必要がない。<作用効果>第2の実施形態に係る磁気ディスク装置によれば、少なくとも上記1と同様の効果が得られる。第2の実施形態に係るフィードバックコントローラ110の構成要素は、上記フィードバック経路113を設ける必要がないため、シンプルな制御となる点で有利である。また、必要に応じて、本例のような構成を適用することが可能である。第1乃至第2の実施形態を用いて本発明の説明を行ったが、上記各実施形態は、発明の範囲を限定することは意図していない。また、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更をすることが可能である。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。"