"内燃機関の排気通路に設けられ排気中の粒子状物質を捕集するフィルタと、前記フィルタよりも下流側に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から該選択還元型NOx触媒へ還元剤を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合には、前記PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施する除去部と、を備える内燃機関の排気浄化装置。前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合とは、前記還元剤が前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける程度を示す指数であって、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度が低いほど大きくなる指数、排気の流量が多いほど大きくなる指数、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が多いほど大きくなる指数、の何れか1つの値又は2つ以上を乗算した値が閾値以上の場合である請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度が低いほど多くなり、排気の流量が多いほど多くなり、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が多いほど多くなるものとして、前記除去部は、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度、前記排気の流量、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量の少なくとも1つに基づいて算出し、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合とは、該選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上の場合である請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記除去部は、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合で、且つ、前記PMセンサの検出値が減少する場合に、前記PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施する請求項1から3の何れか1項に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記除去部は、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合で、且つ、前記PMセンサに付着している粒子状物質を除去する処理を実施してから前記PMセンサの検出値が規定値以上となるまでの時間が閾値以下の場合に、前記PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施する請求項1から3の何れか1項に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記除去部は、前記PMセンサの温度を360°C以上とすることで、前記PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施する請求項1から5の何れか1項に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記除去部は、前記PMセンサの温度を360°C以上としたときに、前記PMセンサの検出値が減少する場合には、前記PMセンサの検出値が減少しない場合よりも、前記PMセンサの温度を高くする請求項6に記載の内燃機関の排気浄化装置。本発明は、上記したような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、PMセンサの検出精度の低下により、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制することにある。上記課題を達成するために本発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、内燃機関の排気通路に設けられ排気中の粒子状物質を捕集するフィルタと、前記フィルタよりも下流側に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から該選択還元型NOx触媒へ還元剤を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合には、前記PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施する除去部と、を備える。ここで、供給装置から還元剤を供給したときに、排気や選択還元型NOx触媒の状態によっては、還元剤の一部が選択還元型NOx触媒を通り抜けてPMセンサに付着することがある。PMセンサに還元剤が付着すると、該PMセンサの出力値が変化してしまい、PMを正確に検出することが困難となる。これに対し除去部は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態の場合に、PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施する。これにより、PMセンサの検出値が還元剤により変化することを抑制できるため、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制できる。そして、選択還元型NOx触媒の温度が低い場合、または、排気の温度が低い場合、排気の流量が多い場合、選択還元型NOx触媒に吸着している還元剤の量が多い場合には、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態となり得る。選択還元型NOx触媒の温度が低くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤が反応し難くなるため、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けやすくなる。すなわち、選択還元型NOx触媒の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒よりも上流側の排気の温度が低くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤が反応し難くなるため、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けやすくなる。すなわち、排気の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒を通過する排気の流量が多くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤の反応が終了する前に還元剤が該選択還元型NOx触媒を通り抜けやすくなる。すなわち、排気の流量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒に吸着している還元剤量が多くなると、該選択還元型NOx触媒に還元剤が吸着し難くなるので、還元剤が該選択還元型NOx触媒を通り抜けやすくなる。すなわち、還元剤の吸着量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。このため、選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合には、PMセンサに還元剤が付着する虞があるものとして、還元剤を除去する処理を実施している。そうすると、PMセンサに付着した還元剤により検出値が変化することを抑制できるため、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制できる。なお、ここでいう選択還元型NOx触媒の温度における閾値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける温度の上限値、または、PMセンサに還元剤が付着する温度の上限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が許容範囲内となる選択還元型NOx触媒の温度を閾値としてもよい。また、排気の温度における閾値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける温度の上限値、または、PMセンサに還元剤が付着する温度の上限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が許容範囲内となる排気の温度を閾値としてもよい。また、排気の流量における閾値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける流量の下限値、または、PMセンサに還元剤が付着する流量の下限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が許容範囲内となる流量を閾値としてもよい。なお、排気の流量に代えて排気の流速としてもよい。また、還元剤の吸着量における閾値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける吸着量の下限値、または、PMセンサに還元剤が付着する吸着量の下限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が許容範囲内となる吸着量を閾値としてもよい。なお、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量に代えて、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着率としてもよい。この吸着率は、吸着している還元剤量を、最大限吸着可能な還元剤量で除算した値である。PMセンサに付着している還元剤を除去する処理は、例えば、PMセンサの温度を上昇させることにより行われる。例えば、排気の温度を上昇させることにより、PMセンサの温度を上昇させることができる。なお、還元剤には、供給装置から供給される物質、供給装置から供給される物質から最終的に生成される物質、供給装置から供給される物質から最終的に生成される物質に至るまでの中間生成物が含まれる。この何れかが選択還元型NOx触媒においてNOxと反応し、該NOxが還元される。また、除去部は、PMセンサに実際に還元剤が付着しているか否かにかかわらず、選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合には、PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施する。また、本発明においては、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合とは、前記還元剤が前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける程度を示す指数であって、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度が低いほど大きくなる指数、排気の流量が多いほど大きくなる指数、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が多いほど大きくなる指数、の何れか1つの値又は2つ以上を乗算した値が閾値以上の場合であってもよい。指数には、選択還元型NOx触媒の温度の影響で還元剤が選択還元型NOx触媒を通り抜ける程度を示すもの、排気の温度の影響で還元剤が選択還元型NOx触媒を通り抜ける程度を示すもの、排気の流量の影響で還元剤が選択還元型NOx触媒を通り抜ける程度を示すもの、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量の影響で還元剤が選択還元型NOx触媒を通り抜ける程度を示すものがある。還元剤が選択還元型NOx触媒を通り抜ける程度とは、たとえば選択還元型に流入する還元剤に対して、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の割合であってもよい。また、指数は、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の大小を示す値としてもよい。たとえば、指数が大きいほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤が多くなるとしてもよい。これら指数を用いることにより、温度、流量、吸着量などの異なる物理量を同じように扱うことができる。これにより、PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施するか否かを容易に判定することができる。また、本発明においては、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度が低いほど多くなり、排気の流量が多いほど多くなり、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が多いほど多くなるものとして、前記除去部は、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度、前記排気の流量、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量の少なくとも1つに基づいて算出し、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合とは、該選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上の場合であってもよい。ここで、選択還元型NOx触媒の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、選択還元型NOx触媒の温度が低くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、排気の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、排気の温度が低くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、排気の流量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、排気の流量が多くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、吸着量が多くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。これらの関係に基づけば、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を求めることができる。そして、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多いほど、PMセンサに付着する還元剤の量も多くなる。選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量は、所定期間に選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量の積算値であってもよく、単位時間当たりに選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量であってもよい。選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量の閾値は、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤量であって、PMセンサの検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの還元剤量とすることができる。また、この閾値は、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤量であって、PMセンサの検出値が変化する還元剤量の下限値としてもよい。すなわち、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上となると、PMセンサに付着する還元剤の影響によりフィルタの故障判定の精度が低くなる。これに対し、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上のときに、PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施すれば、還元剤がPMセンサの検出値にほとんど影響を与えないため、フィルタの故障判定の精度が低くなることを抑制できる。また、本発明においては、前記除去部は、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合で、且つ、前記PMセンサの検出値が減少する場合に、前記PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施してもよい。ここで、PMセンサに還元剤及びPMが付着しなければ検出値は一定値となる。また、PMセンサにPMのみが付着する場合には、PMセンサの検出値が増加する。一方、PMセンサに還元剤が付着するとPMセンサの検出値が増加するが、該還元剤が気化すると検出値が減少する。そして、PMセンサにPMのみが付着している場合には、該PMを除去する処理を実施しない限りは検出値が減少することはない。すなわち、PMセンサの検出値が減少する場合には、PMセンサに還元剤が付着している虞がある。したがって、PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施するか否かの判定を行うときに、PMセンサの検出値が減少することを考慮して判定を行えば、より適切な判定が可能となる。また、本発明においては、前記除去部は、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合で、且つ、前記PMセンサに付着している粒子状物質を除去する処理を実施してから前記PMセンサの検出値が規定値以上となるまでの時間が閾値以下の場合に、前記PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施してもよい。PMセンサにPMが付着することによりPMの量を検出することができるが、PMの付着量が多くなると検出精度が低下する虞があるため、PMセンサからPMを除去する処理を実施することがある。この処理を実施することにより、PMセンサに付着していたPM及び還元剤が除去される。このように、PMセンサにPM及び還元剤が付着していない状態から、PMセンサにPMまたは還元剤が付着すると、PMセンサの検出値が増加していく。ここで、内燃機関から排出されるPMの量は限られているため、PMセンサの検出値が増加する度合いにも限度がある。この限度を超えて検出値が増加する場合には、PMセンサにPM以外の還元剤が付着していると考えられる。そして、PMセンサに付着しているPMを除去する処理を実施してから、PMセンサの検出値が規定値以上となるまでの時間が閾値以下の場合には、PMセンサに還元剤が付着していると考えることができる。ここでいう閾値は、内燃機関から排出されるPMの量が最も多い運転状態で且つフィルタが存在していないと仮定した場合に、PMセンサの検出値が規定値まで増加するまでに要する時間よりも長い時間とすることができる。すなわち、内燃機関から排出されるPMの量が最も多い運転状態で且つフィルタが存在していない場合に、PMセンサに最も多くのPMが付着する。このときのPMセンサの検出値の増加度合いよりも、実際の検出値の増加度合いのほうが高ければ、PMセンサに還元剤が付着していると考えられる。なお、閾値は、PMセンサの検出値の規定値によって変わる。また、この閾値は、PMセンサに付着している還元剤の量が許容範囲を超えたときにPMセンサの検出値が規定値まで増加するのに要する時間としてもよい。このように、PMセンサに付着している粒子状物質を除去する処理を実施してから前記PMセンサの検出値が規定値以上となるまでの時間を考慮して、PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施するか否かの判定を行えば、より適切な判定が可能となる。また、フィルタが存在していないと仮定するため、フィルタが故障している場合であってPMセンサの検出値の上昇の度合いが高くなっている場合であっても適切な判定が可能となる。また、本発明においては、前記除去部は、前記PMセンサの温度を360°C以上とすることで、前記PMセンサに付着している還元剤を除去する処理を実施してもよい。還元剤は、PMよりも比較的低温で気化する。このため、PMセンサに還元剤が付着したとしても、還元剤が気化して除去された後であれば、PMをより正確に検出することができる。ここで、供給装置から還元剤として尿素水を供給した場合には、最終的に生成されるNH3に至るまでの中間生成物として、ビウレットまたはシアヌル酸が生成される。ビウレットは、190°C以上で気化し、シアヌル酸は、360°C以上で気化する。このため、PMセンサの温度を360°C以上とすれば、中間生成物を気化させることができる。これにより、PMセンサに付着している還元剤を除去することができるため、PMセンサの検出値が変化することを抑制できる。なお、PMセンサの温度を360°C以上とするときには、PMが酸化される温度未満となるようにしてもよい。すなわち、PMセンサから還元剤を除去し、PMは除去しなくてもよい。また、本発明においては、前記除去部は、前記PMセンサの温度を360°C以上としたときに、前記PMセンサの検出値が減少する場合には、前記PMセンサの検出値が減少しない場合よりも、前記PMセンサの温度を高くすることができる。ここで、PMセンサの温度を360°C以上としたときに、PMセンサの検出値が減少する場合には、該PMセンサに還元剤が付着していると考えられる。すなわち、PMセンサの温度を360°C以上としたことにより、還元剤が気化してPMセンサの検出値が減少したと考えられる。このような場合には、PMセンサの温度をさらに上昇させることにより、還元剤の除去をより速やかに完了させることができる。これにより、フィルタの故障判定をより早期に行うことが可能となる。本発明によれば、PMセンサの検出精度の低下により、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制できる。以下、本発明に係る内燃機関の排気浄化装置の具体的な実施態様について図面に基づいて説明する。図1は、本実施例に係る内燃機関の排気浄化装置の概略構成を示す図である。図1に示す内燃機関1は、ディーゼル機関であるが、ガソリン機関であってもよい。内燃機関1には、吸気通路2及び排気通路3が接続されている。吸気通路2には、該吸気通路2を流通する吸気の量を検出するエアフローメータ11が設けられている。一方、排気通路3には、排気の流れ方向の上流側から順に、酸化触媒4、フィルタ5、噴射弁6、選択還元型NOx触媒7以下、NOx触媒7という。が設けられている。酸化触媒4は、酸化能を有する触媒であればよく、たとえば三元触媒であってもよい。酸化触媒4は、フィルタ5に担持されていてもよい。フィルタ5は、排気中のPMを捕集する。なお、フィルタ5には、触媒が担持されていてもよい。フィルタ5によってPMが捕集されることで、該フィルタ5にPMが徐々に堆積する。そして、フィルタ5の温度を強制的に上昇させる、所謂フィルタの再生処理を実行することで、該フィルタ5に堆積したPMを酸化させて除去することができる。たとえば、酸化触媒4にHCを供給することでフィルタ5の温度を上昇させることができる。また、酸化触媒4を備えずに、フィルタ5の温度を上昇させる他の装置を備えていてもよい。さらに、内燃機関1から高温のガスを排出させることでフィルタ5の温度を上昇させてもよい。噴射弁6は、還元剤を噴射する。還元剤には、例えば、尿素水等のアンモニア由来のものが用いられる。たとえば、噴射弁6から噴射された尿素水は、排気の熱で加水分解されアンモニアNH3となり、その一部又は全部がNOx触媒7に吸着する。以下では、噴射弁6から還元剤として尿素水を噴射するものとする。なお、本実施例においては噴射弁6が、本発明における供給装置に相当する。NOx触媒7は、還元剤が存在するときに、排気中のNOxを還元する。例えば、NOx触媒7にアンモニアNH3を予め吸着させておけば、NOx触媒7をNOxが通過するときにNOxをアンモニアにより還元させることができる。酸化触媒4よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第一排気温度センサ12が設けられている。酸化触媒4よりも下流で且つフィルタ5よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第二排気温度センサ13が設けられている。フィルタ5よりも下流で且つ噴射弁6よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第三排気温度センサ14及び排気中のNOx濃度を検出する第一NOxセンサ15が設けられている。NOx触媒7よりも下流の排気通路3には、排気中のNOx濃度を検出する第二NOxセンサ16及び排気中のPM量を検出するPMセンサ17が設けられている。これらセンサの全てが必須というわけではなく、必要に応じて設けることができる。以上述べたように構成された内燃機関1には、該内燃機関1を制御するための電子制御ユニットであるECU10が併設されている。このECU10は、内燃機関1の運転条件や運転者の要求に応じて内燃機関1を制御する。ECU10には、上記センサの他、アクセルペダルの踏込量に応じた電気信号を出力し機関負荷を検出可能なアクセル開度センサ18、及び機関回転数を検出するクランクポジションセンサ19が電気配線を介して接続され、これらセンサの出力信号がECU10に入力される。一方、ECU10には、噴射弁6が電気配線を介して接続されており、該ECU10により噴射弁6が制御される。ECU10は、フィルタ5に堆積しているPM量が所定量以上になると、前記フィルタの再生処理を実施する。なお、フィルタの再生処理は、内燃機関1が搭載されている車両の走行距離が所定距離以上となったときに行ってもよい。また、規定期間ごとにフィルタの再生処理を実施してもよい。また、ECU10は、PMセンサ17により検出されるPM量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行う。ここで、フィルタ5が割れる等の故障が発生すると、該フィルタ5を通り抜けるPM量が増加する。このPM量の増加をPMセンサ17により検出すれば、フィルタ5の故障を判定することができる。例えば、フィルタ5の故障判定は、PMセンサ17の検出値に基づいて算出される所定期間中のPM量の積算値と、フィルタ5が所定の状態であると仮定した場合における所定期間中のPM量の積算値とを比較することで行われる。なお、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行ってもよい。例えば、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量が閾値以上のときに、フィルタ5が故障していると判定してもよい。ここで図2は、PMセンサ17の概略構成図である。PMセンサ17は、自身に堆積したPM量に対応する電気信号を出力するセンサである。PMセンサ17は、一対の電極171と、該一対の電極171の間に設けられる絶縁体172と、を備えて構成されている。一対の電極171の間にPMが付着すると、該一対の電極171の間の電気抵抗が変化する。この電気抵抗の変化は、排気中のPM量と相関関係にあるため、該電気抵抗の変化に基づいて、排気中のPM量を検出することができる。このPM量は、単位時間当たりのPMの質量としてもよく、所定時間におけるPMの質量としてもよい。なお、PMセンサ17の構成は、図2に示したものに限らない。すなわち、PMを検出し、且つ、還元剤の影響により検出値に変化が生じるPMセンサであればよい。次に、図3は、PMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。内燃機関1の始動直後のAで示される期間は、排気通路3内で凝縮する水がPMセンサ17に付着する虞がある期間である。PMセンサ17に水か付着すると、該PMセンサ17の検出値が変化したり、PMセンサ17が故障したりするため、この期間ではPMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Aで示される期間の後のBで示される期間では、前回の内燃機関1の運転時にPMセンサ17に付着したPMを除去する処理以下、PM除去処理という。を行う。このPM除去処理は、PMセンサ17の温度を、PMが酸化する温度まで上昇させることにより行われる。このBで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Bで示される期間の後のCで示される期間は、PMの検出に適した温度となるまでに要する期間である。すなわち、Bで示される期間においてPMセンサ17の温度がPMの検出に適した温度よりも高くなるため、温度が低下してPMの検出に適した温度となるまで待っている。このCで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。そして、Cで示される期間の後のDで示される期間でPMの検出が行われる。なお、Dで示される期間であっても、PMセンサ17にある程度のPMが堆積するまでは、検出値が増加しない。すなわち、ある程度のPMが堆積して、一対の電極171の間に電流が流れるようになってから検出値が増加を始める。その後は、排気中のPM量に応じて検出値が増加していく。ここで、PMセンサ17は、フィルタ5よりも下流側に設けられている。そのため、PMセンサ17には、フィルタ5に捕集されずに、該フィルタ5を通過したPMが付着する。従って、PMセンサ17におけるPM堆積量は、フィルタ5を通過したPM量の積算値に対応した量となる。ここで、図4は、フィルタ5が正常な場合と故障している場合とのPMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。フィルタ5が故障している場合には、PMセンサ17にPMが早く堆積するため、検出値の増加が始まる時点Eが、正常なフィルタ5と比較して早くなる。このため、たとえば、内燃機関1の始動後から所定時間Fが経過したときの検出値が閾値以上であれば、フィルタ5が故障していると判定できる。この所定時間Fは、正常なフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加しておらず、且つ、故障しているフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加している時間である。この所定時間Fは、実験等により求められる。また、閾値は、フィルタ5が故障しているときのPMセンサ17の検出値の下限値として予め実験等により求められる。ところで、PMセンサ17をフィルタ5よりも下流で且つNOx触媒7よりも上流に設けることも考えられる。しかし、このような位置にPMセンサ17を設けると、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が短くなる。このため、フィルタ5の割れている箇所を通過したPMが排気中に分散しないままPMセンサ17の周辺に到達する虞がある。そうすると、フィルタ5が割れている位置によっては、PMセンサ17にPMがほとんど付着しないために、PMが検出されないこともあり、故障判定の精度が低下する虞がある。これに対して本実施例では、NOx触媒7よりも下流にPMセンサ17を設けているため、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が長い。このため、PMセンサ17の周辺では、フィルタ5を通過したPMが排気中に分散している。したがって、フィルタ5の割れている位置によらずにPMを検出することができる。しかし、噴射弁6よりも下流側にPMセンサ17を設けているため、該噴射弁6から噴射される還元剤がPMセンサ17に付着する虞がある。このPMセンサ17に付着する還元剤は、たとえば、尿素、及び、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物ビウレット、シアヌル酸である。このようにPMセンサ17に還元剤が付着すると、PMセンサ17の検出値が変化する虞がある。ここで図5は、PMセンサ17の検出値が正常な場合と、異常な場合との推移を示したタイムチャートである。異常な検出値は、PMセンサ17に還元剤が付着したときの検出値とすることができる。正常な検出値は、時間の経過とともに検出値が増加するか、または検出値が変化しない。すなわち、PMセンサ17に付着したPM量に応じて検出値が増加していく。一方、異常な検出値は、検出値が増加するだけでなく減少する場合がある。ここで、PMセンサ17に前記中間生成物が付着して所定量以上堆積すると、PMが堆積したときと同じように、PMセンサ17の検出値が増加する。ここで、中間生成物であるビウレットは、132-190°Cのときに生成され、それよりも温度が高くなると気化する。また、中間生成物であるシアヌル酸は、190-360°Cで生成され、それよりも温度が高くなると気化する。このように、PMと比較すると中間生成物は低温で気化する。このため、PMセンサ17に付着していた中間生成物は、内燃機関1の排気の温度が高いときに気化する。そうすると、中間生成物の堆積量が減少するため、PMセンサ17の検出値が減少する。これは、PMセンサ17にPMのみが堆積しているときには起こらない現象である。また、PMセンサ17のカバーに中間生成物が付着して堆積すると、該カバーを閉塞させる虞がある。このカバーが中間生成物により閉塞されると、PMが一対の電極171に到達できなくなるので、PMが検出されにくくなる。したがって、PMセンサ17の検出値の増加が始まる時期が、正常な場合よりも遅くなる。このため、フィルタ5の故障判定の精度が低下する虞がある。このように、NOx触媒7を還元剤が通り抜けると、フィルタ5の故障判定が困難となる虞がある。一般的に尿素水から熱分解及び加水分解を経てNH3が生成されることを考慮すると、NOx触媒7を還元剤が通り抜ける原因として、以下の3つが考えられる。1NOx触媒7の温度又は排気の温度が低い。すなわち、NOx触媒7または排気の温度が低いと、還元剤の熱分解などの反応に時間がかかるので、還元剤の反応が完了する前にNOx触媒7を通過してしまう。2NOx触媒7を通過する排気の流量が多い。なお、NOx触媒7を通過する排気の流速が速いとしてもよい。また、内燃機関1の吸入空気量が多いとしてもよい。すなわち、排気の流量が多いと、還元剤がNOx触媒7と接する時間が短くなるため、還元剤の反応が完了する前にNOx触媒7を通過してしまう。3NOx触媒7に吸着しているNH3量が多い。なお、NH3吸着率が高いとしてもよい。NH3吸着率は、NOx触媒7に最大限吸着可能なNH3量に対して、NOx触媒7に吸着しているNH3量の比である。すなわち、NOx触媒7に吸着しているNH3量が多いほど、加水分解が進み難くなるので、還元剤の反応が完了する前にNOx触媒7を通過してしまう。上記1,2は、反応時間が不足することにより起こる現象であり、3はNH3の吸着量が多いことにより起こる現象である。そして、本実施例では、例えば、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速、NOx触媒7の温度または排気の温度、NOx触媒7におけるNH3の吸着率またはNH3の吸着量の少なくとも1つに基づいて、PMセンサ17に到達する還元剤量を算出する。なお、PMセンサ17に到達する還元剤量は、フィルタ5を通過する還元剤量としてもよい。また、PMセンサ17に付着する還元剤量としてもよい。そして、PMセンサ17に到達する還元剤量が閾値以上の場合には、PMセンサ17に付着している還元剤を除去する処理以下、還元剤除去処理ともいう。を実施する。この閾値は、PMセンサ17の検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの値として予め実験等により求めることができる。PMセンサ17に到達する還元剤量は、単位時間当たりの還元剤量であってもよく、積算値であってもよい。還元剤除去処理は、還元剤が気化する温度までPMセンサ17の温度を上昇させることにより実施される。ここで、中間生成物であるビウレットは、190°C以上で気化し、シアヌル酸は、360°C以上で気化する。このため、本実施例では、PMセンサ17の温度を360°C以上として中間生成物を気化させる。このときには、PMが酸化される温度未満とする。なお、本実施例ではPMセンサ17に付着している還元剤を除去する処理を実施するECU10が、本発明における除去部に相当する。図6は、本実施例に係る還元剤除去処理のフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、ECU10により所定の時間毎に実行される。ステップS101では、還元剤を供給する前提条件が成立しているか否か判定される。本ステップでは、還元剤を供給可能な状態であるか否か判定される。また、還元剤の供給が行われたか否か判定してもよい。たとえば各種センサが正常であるときに、還元剤を供給する前提条件が成立していると判定される。各種センサが正常であるか否かは、周知の技術により判定することができる。また、たとえば内燃機関1の運転状態が、還元剤の供給に適した運転状態であるときに、還元剤を供給する前提条件が成立していると判定される。ステップS101で肯定判定がなされた場合にはステップS102へ進み、否定判定がなされた場合には本ルーチンを終了させる。ステップS102では、NOx触媒7を通過する排気の流量に基づいて第一係数K1が算出される。この第一係数K1は、NOx触媒7に流入する還元剤量に対して、排気の流量が多いことが原因となってNOx触媒7を通り抜ける還元剤量の割合を示した値である。なお、NOx触媒7を通過する排気の流量に代えて、NOx触媒7を通過する排気の流速に基づいて第一係数K1を算出してもよい。また、NOx触媒7を通過する排気の流量に代えて、排気通路3を流通する排気の流量または排気の流速としてもよい。排気の流量または流速は、エアフローメータ11により検出される吸入空気量に基づいて算出することができる。ここで、図7は、NOx触媒7を通過する排気の流量と、第一係数K1との関係を示した図である。なお、排気の流量に代えて排気の流速としても同様の関係になる。ここで、排気の流量が例えば50g/sになるまでは、還元剤がNOx触媒7を通り抜けることがないものとし、この間の第一係数K1は一定の値とする。そして、排気の流量が例えば50g/s以上となると、排気の流量の増加に従って、第一係数K1が増加する。すなわち、排気の流量が多いほど、還元剤がNOx触媒7を通り抜けやすくなる。このため、排気の流量が多いほど、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量が多くなるので、第一係数K1が大きくなる。この関係は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。ステップS103では、NOx触媒7の温度に基づいて第二係数K2が算出される。この第二係数K2は、NOx触媒7に流入する還元剤量に対して、NOx触媒7の温度が低いことが原因となってNOx触媒7を通り抜ける還元剤量の割合を示した値である。なお、NOx触媒7の温度に代えて、排気の温度に基づいて第二係数K2を算出してもよい。排気の温度は、NOx触媒7よりも下流側の排気の温度、またはNOx触媒7を通過する排気の温度としてもよい。また、NOx触媒7の温度は、第三排気温度センサ14により検出される温度としてもよい。また、NOx触媒7の温度を検出するセンサを備えて、該NOx触媒7の温度を直接検出してもよい。ここで、図8は、NOx触媒7の温度と、第二係数K2との関係を示した図である。なお、NOx触媒7の温度に代えて排気の温度としても同様の関係になる。NOx触媒7の温度が例えば220°C以上となると、NOx触媒7の温度が十分に高いことにより還元剤の反応が促進される。このため、220°C以上では還元剤がNOx触媒7を通り抜けることがないものとし、この間の第二係数K2は一定の値とする。そして、NOx触媒7の温度が例えば220°C未満となると、NOx触媒7の温度が低いほど、第二係数K2が大きくなる。すなわち、NOx触媒7の温度が低いほど、還元剤がNOx触媒7を通り抜けやすくなる。このため、NOx触媒7の温度が低いほど、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量が多くなるので、第二係数K2が大きくなる。この関係は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。ステップS104では、NOx触媒7におけるNH3の吸着率に基づいて第三係数K3が算出される。この第三係数K3は、NOx触媒7に流入する還元剤量に対して、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が高いことが原因となってNOx触媒7を通り抜ける還元剤量の割合を示した値である。NOx触媒7におけるNH3の吸着率は、NOx触媒7に吸着されているNH3量を、NOx触媒7が最大限吸着可能なNH3量で除算した値である。NOx触媒7に吸着されているNH3量は、たとえば還元剤の供給量、NOx触媒7の温度、排気の流量などに基づいて求めることができる。また、NOx触媒7が最大限吸着可能なNH3量は、たとえばNOx触媒7の温度及びNOx触媒7の劣化の度合いに応じて変化する。これらの関係は、予め実験等により求めておくことができる。なお、NOx触媒7におけるNH3の吸着率は、周知の技術により求めることもできる。ここで、図9は、NOx触媒7におけるNH3の吸着率と、第三係数K3との関係を示した図である。なお、NH3の吸着率に代えてNH3の吸着量としても同様の関係になる。NOx触媒7におけるNH3の吸着率が例えば0.8になるまでは、還元剤がNOx触媒7を通り抜けることがないものとし、この間の第三係数K3は一定の値とする。そして、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が例えば0.8以上となると、吸着率の増加に従って、第三係数K3が増加する。すなわち、吸着率が高いほど、還元剤がNOx触媒7を通り抜けやすくなる。このため、吸着率が高いほど、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量が多くなるので、第三係数K3が大きくなる。この関係は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。また、NOx触媒7におけるNH3の吸着量と、第三係数K3との関係を実験等により求めてECU10に記憶させておいてもよい。ステップS105では、通り抜け係数RMが算出される。通り抜け係数RMは、第一係数K1に第二係数K2及び第三係数K3を乗算した値である。すなわち、通り抜け係数RMは、NOx触媒7に流入する還元剤量に対して、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量の割合を示した値である。ステップS106では、還元剤の供給量QUに、ステップS105で算出される通り抜け係数RMを乗算して、推定発生量QMが算出される。推定発生量QMは、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量の推定値である。還元剤の供給量QUは、ECU10で算出される指令値を用いることができる。還元剤の供給量QUは、たとえば、排気中のNOx量に応じた値に設定される。排気中のNOx量は内燃機関1の運転状態に基づいて推定することができる。ステップS107では、推定発生量QMが閾値QP以上であるか否か判定される。この閾値QPは、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量であって、PMセンサ17の検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの還元剤量である。すなわち、推定発生量QMが閾値QP以上となると、PMセンサ17に付着する還元剤の影響によりフィルタ5の故障判定の精度が低くなる。ステップS107で肯定判定がなされた場合にはステップS108へ進み、一方、否定判定がなされた場合には本ルーチンを終了させる。ステップS108では、還元剤除去処理が実施される。すなわち、PMセンサ17に付着している還元剤によりPMセンサ17の検出値が変化する虞があるため、PMセンサ17から還元剤を除去するための処理を実施する。還元剤除去処理は、PMセンサ17の温度を上昇させることにより実施される。例えば、排気の温度を上昇させることにより、PMセンサ17の温度を上昇させる。例えば、酸化触媒4にHCを供給することで排気の温度を上昇させることができる。また、内燃機関1から高温のガスを排出させることでフィルタ5の温度を上昇させてもよい。また、排気の温度をヒータ等により加熱してもよい。なお、図6に示したフローでは、第一係数K1,第二係数K2,第三係数K3の全てを用いて通り抜け係数RMを算出しているが、何れか1つの値を通り抜け係数RMとしてもよい。また、何れか2つの値を乗算して通り抜け係数RMとしてもよい。さらに、通り抜け係数RMが閾値以上のときに還元剤除去処理を実施してもよい。また、本実施例では通り抜け係数RMを用いて還元剤除去処理を実施するか否か判定しているが、通り抜け係数RMや第一係数K1,第二係数K2,第三係数K3を用いずに判定することもできる。すなわち、NOx触媒7を通り抜ける還元剤の量が閾値以上の場合に、還元剤除去処理を実施すればよい。この場合、上記ステップS102からステップS106は必要ない。そして、ステップS107において、NOx触媒7を通り抜ける還元剤の量が閾値以上か否か判定する。また、PMセンサ17に付着する中間生成物の量が閾値以上の場合に、還元剤除去処理を実施してもよい。ここで、図10は、還元剤量と、NOx触媒7の温度と、中間生成物の生成量と、の関係を示した図である。また、図11は、吸入空気量Gaと、NH3吸着率と、NOx触媒7に流入する中間生成物に対してNOx触媒7を通過する中間生成物の割合と、の関係を示した図である。NOx触媒7へ供給する還元剤量が多くなるほど、中間生成物の生成量が多くなる。また、NOx触媒7の温度が低いほど、中間生成物の生成量が多くなる。これらの関係を予め実験等により求めてマップ化したものが図10である。このマップと、NOx触媒7へ供給する還元剤量及びNOx触媒7の温度と、から、中間生成物の生成量を得ることができる。また、吸入空気量Gaが多いほど、排気の流量が多くなるため、中間生成物がNOx触媒7を通り抜けやすくなる。また、NH3吸着率が高いほど、中間生成物がNOx触媒7を通り抜けやすくなる。これらの関係を予め実験等により求めてマップ化したものが図11である。このマップと、吸入空気量Ga及びNH3吸着率と、から、NOx触媒7に流入する中間生成物に対してNOx触媒7を通過する中間生成物の割合を得ることができる。そして、図10に示したマップにより得られる中間生成物の生成量と、図11に示したNOx触媒7を通過する中間生成物の割合と、を乗算することにより、NOx触媒7を通過する中間生成物の量を算出することができる。また、NOx触媒7を通過する中間生成物が、所定の割合でPMセンサ17に付着すると仮定すれば、該PMセンサ17に付着する中間生成物の量を算出することができる。そして、ステップS107において、PMセンサ17に付着する中間生成物の量が閾値以上であれば、ステップS108へ進んで、還元剤除去処理を実施してもよい。また、PMセンサ17に付着する中間生成物の量を積算することにより、PMセンサ17に付着している中間生成物の総量を算出することができる。なお、NOx触媒7を通過する中間生成物の量を積算してもよい。そして、ステップS107において、積算値が閾値以上であれば、ステップS108へ進んで、還元剤除去処理を実施してもよい。また、ステップS107では、たとえば、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速が閾値以上、NOx触媒7の温度または排気の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率またはNH3の吸着量が閾値以上の少なくとも1つに該当するか否か判定してもよい。これらの閾値は、PMセンサ17の検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの値として予め実験等により求めておく。以上説明したように、本実施例によれば、PMセンサ17に付着した還元剤によりPMセンサ17の検出値の精度が低くなる虞がある場合に、PMセンサ17から還元剤を除去することができる。これにより、PMセンサ17の検出値が還元剤により変化することを抑制できるため、フィルタ5の故障判定の精度が低下することを抑制できる。前記図6に示したフローでは、推定発生量QMが閾値以上であるときに還元剤除去処理を実施している。これは、NOx触媒7を通過する還元剤量が許容範囲を超えるときに還元剤除去処理を実施しているともいえる。これに対し、本実施例では、NOx触媒7を通り抜ける還元剤の量によらず、NOx触媒7を還元剤が通り抜ける状態の場合に、還元剤除去処理を実施する。たとえば、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速が閾値以上、NOx触媒7の温度または排気の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率またはNH3の吸着量が閾値以上の少なくとも1つに該当するときに還元剤除去処理を実施する。これら閾値は、還元剤がNOx触媒7を通り抜ける値として設定される。その他の装置等は実施例1と同じため説明を省略する。図12は、本実施例に係る還元剤除去処理のフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、ECU10により所定の時間毎に実行される。なお、図6に示したフローと同じ処理がなされるステップについては、同じ符号を付して説明を省略する。ステップS101で肯定判定がなされた場合にステップS201へ進む。ステップS201では、NOx触媒7を通過する排気の流量が閾値以上、NOx触媒7の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が閾値以上の少なくとも1つに該当するか否か判定される。これらの閾値は、還元剤がNOx触媒7を通り抜ける値として予め実験等により求めておく。排気の流量は、排気の流速又は内燃機関1の吸入空気量としてもよい。NOx触媒7の温度は、排気の温度としてもよい。NOx触媒7におけるNH3の吸着率は、NOx触媒7におけるNH3の吸着量としてもよい。なお、ステップS201では、還元剤がNOx触媒7を通り抜けるか否か判定してもよい。また、ステップS201では、図6に示したフローと同様にして、第一係数K1,第二係数K2,第三係数K3を算出し、これらの何れかの値が閾値以上であるか否か判定してもよい。また、第一係数K1,第二係数K2,第三係数K3のうち、少なくとも2つを乗算した値が閾値以上であるか否か判定してもよい。また、ステップS105で算出される通り抜け係数RMが閾値以上であるか否か判定してもよい。これら閾値は、還元剤がNOx触媒7を通り抜ける値として予め実験等により求めておく。ステップS201で肯定判定がなされた場合にはステップS108へ進み、一方、否定判定がなされた場合には本ルーチンを終了させる。なお、本実施例では還元剤除去処理を実施するECU10が、本発明における除去部に相当する。以上説明したように、本実施例によれば、NOx触媒7を通り抜けた還元剤によりPMセンサ17の検出値の精度が低くなる虞がある場合に、還元剤除去処理を実施することができる。これにより、PMセンサ17の検出値が還元剤により変化することを抑制できるため、フィルタ5の故障判定の精度が低下することを抑制できる。本実施例では、還元剤除去処理を実施する条件として、実施例1または2で説明した条件の他に、PMセンサ17の検出値が減少することを加える。その他の装置などは実施例1と同じため説明を省略する。ここで、図5に示されるように、PMセンサ17が正常であれば、還元剤除去処理またはPM除去処理を実施しない限りは、時間の経過と共に検出値が増加するか、又は、検出値は変化しない。すなわち、PMセンサ17が正常であれば、時間の経過と共に検出値が減少することはない。一方、PMセンサ17に還元剤が付着すると、該還元剤が気化することにより、検出値が減少する場合がある。したがって、PMセンサ17の検出値が減少した場合に、PMセンサ17に還元剤が付着していると判断できる。例えば、前回のPMセンサ17の検出値よりも、今回のPMセンサ17の検出値が小さければ、PMセンサ17に還元剤が付着したと判定する。また、例えば、PMセンサ17の検出値の微分値が負の値になった場合に、PMセンサ17に還元剤が付着したと判定してもよい。本実施例では、例えば、図6のステップS107において、推定発生量QMが閾値QP以上で、且つ、PMセンサ17の検出値が減少したか否か判定される。また、例えば、図12のステップS201において、NOx触媒7を通過する排気の流量が閾値以上、NOx触媒7の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が閾値以上の少なくとも1つに該当し、且つ、PMセンサ17の検出値が減少したか否か判定される。そして、本実施例では還元剤除去処理を実施するECU10が、本発明における除去部に相当する。以上説明したように本実施例によれば、NOx触媒7を通過する排気の流量、NOx触媒7の温度、NOx触媒7におけるNH3の吸着率の他に、PMセンサ17の検出値を考慮して、PMセンサ17の異常を判定するため、フィルタ5の故障判定の精度が低下することを、より抑制できる。本実施例では、還元剤除去処理を実施する条件として、実施例1または2で説明した条件の他に、PM除去処理を実施してからPMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間を加える。その他の装置などは実施例1と同じため説明を省略する。ここで、図13は、PMセンサ17の検出値が正常な場合と、異常な場合と、の該検出値の推移を示したタイムチャートである。実線は、PMセンサ17にPMのみが付着する正常な場合である。一点鎖線は、PMセンサ17に還元剤が付着する異常な場合である。PMセンサ17に還元剤が付着すると、PMセンサ17の検出値が増加する。このため、PMセンサ17にPMのみが付着した場合と比較して、PMセンサ17に還元剤が付着した場合には、検出値の上昇の度合いが高い。このため、規定値に達するまでの時間が短くなる。また、PMセンサ17には、一対の電極171に水などが付着することを抑制するためのカバーが取り付けられることがある。このカバーには、排気が流通する孔が設けられているが、この孔が還元剤により塞がれると、PMが一対の電極171に到達し難くなるため、検出値の上昇が緩慢になる。そうすると、規定値に達するまでの時間が長くなる。したがって、PMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間には、正常な範囲が存在する。そして、PMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間が正常な範囲より短くても、また長くても、PMセンサ17に還元剤が付着していると考えられる。このように、PMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間に基づいて、PMセンサ17に還元剤が付着しているか否か判定することができる。この規定値は、予め実験等により最適値を求めて設定される。そして、例えば、内燃機関1から排出されるPMが最も多い運転状態で且つフィルタ5が設けられていないと仮定した場合に、PMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間を閾値として設定しておく。この閾値は、許容範囲の下限値としてもよい。ここで、図13においては、正常限界で示される実線が、内燃機関1から排出されるPMが最も多い運転状態で且つフィルタ5が設けられていないと仮定した場合のPMセンサ17の検出値に相当し、該正常限界で示される実線が規定値に達する時点が閾値に相当する。なお、内燃機関1から排出されるPMが最も多い運転状態で且つフィルタ5が設けられていないと仮定した場合とは、PMセンサ17に付着するPMの量が最も多くなる場合である。すなわち、PMセンサ17に付着するPMの量が最も多い状況のときにPMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間を閾値として設定しておけば、実際の時間が閾値以下であるときに、PMセンサ17に還元剤が付着していると判定することができる。また、例えば、PMセンサ17のカバーに還元剤が付着していないと仮定した場合に、PMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間の上限値を閾値として設定してもよい。この閾値は、許容範囲の上限値としてもよい。すなわち、一対の電極171にPMが付着し得る状況のときにPMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間を閾値として設定しておけば、実際の時間が閾値を超えれば、PMセンサ17のカバーに還元剤が付着していると判定できる。本実施例では、例えば、図3で説明したPM除去処理を実施してからの経過時間をECU10がカウントしておく。さらに、図6のステップS107において、推定発生量QMが閾値QP以上で、且つ、PM除去処理を実施してからPMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間が許容範囲外であるか否か判定する。また、図12のステップS201において、NOx触媒7を通過する排気の流量が閾値以上、NOx触媒7の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が閾値以上の少なくとも1つに該当し、且つ、PM除去処理を実施してからPMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間が許容範囲外であるか否か判定する。そして、本実施例では還元剤除去処理を実施するECU10が、本発明における除去部に相当する。以上説明したように本実施例によれば、NOx触媒7を通過する排気の流量、NOx触媒7の温度、NOx触媒7におけるNH3の吸着率の他に、PMセンサ17の検出値が規定値に達するまでの時間を考慮して、PMセンサ17の異常を判定するため、フィルタ5の故障判定の精度が低下することを、より抑制できる。本実施例では、還元剤除去処理を実施しているときに、PMセンサ17の検出値が減少した場合には、減少しない場合よりも、PMセンサ17の温度をより高くする。その他の装置などは実施例1,2と同じため説明を省略する。ここで、PMセンサ17の温度を例えば360°C以上としたときに、PMセンサ17の検出値が減少する場合には、該PMセンサ17に還元剤が付着していると考えられる。すなわち、PMセンサ17の温度を例えば360°C以上としたことにより、還元剤が気化してPMセンサ17の検出値が減少したと考えられる。このような場合には、PMセンサ17の温度をさらに上昇させることにより、還元剤の除去をより速やかに完了させることができる。これにより、フィルタ5の故障判定をより早期に行うことが可能となる。図14は、本実施例に係る還元剤除去処理のフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、ECU10により所定の時間毎に実行される。なお、図12に示したフローと同じ処理がなされるステップについては、同じ符号を付して説明を省略する。なお、ステップS108では、PMセンサ17の温度を例えば360°Cとして還元剤除去処理が実施される。この温度は、還元剤が気化する温度で且つPMが酸化しない温度として設定される。ステップS301では、PMセンサ17の検出値が減少したか否か判定される。ここで、PMセンサ17の温度を例えば360°Cとしても、該PMセンサ17に付着しているPMは酸化されない。したがって、PMセンサ17の検出値が減少する場合には、該PMセンサ17に還元剤が付着していると考えられる。すなわち、本ステップでは、PMセンサ17に還元剤が本当に付着しているか否か判定している。ここで、ステップS201では、PMセンサ17に還元剤が付着し得る条件が成立しているか否か判定しているだけなので、PMセンサ17に実際に還元剤が付着しているとは限らない。これに対し、本ステップでは、PMセンサ17に実際に還元剤が付着しているか否か判定することができる。ステップS301で肯定判定がなされた場合にはステップS302へ進み、一方、否定判定がなされた場合にはステップS108で設定される温度のまま還元剤除去処理が行われる。ステップS302では、PMセンサ17の温度が上昇される。本ステップでは、PMセンサ17の温度を例えば600°Cとして還元剤除去処理が実施される。すなわち、PMセンサ17の温度を例えば360°Cから例えば600°Cに上昇させる。これにより、PMセンサ17に付着している還元剤の気化を促進させることができるため、PMセンサ17から還元剤をより速やかに除去することができる。なお、図6に示したフローのステップS108の後においても同様に、本実施例に係るステップS301以降の処理を行うことができる。図6に示したフローにおいても、PMセンサ17に還元剤が付着し得る条件が成立しているか否か判定しているだけなので、PMセンサ17に実際に還元剤が付着しているとは限らない。これに対し、ステップS108の後に、ステップS301以降の処理を行うことにより、PMセンサ17に実際に還元剤が付着しているか否か判定することができる。以上説明したように本実施例によれば、PMセンサ17に還元剤が付着しているときには、還元剤除去処理においてPMセンサ17の温度がより高くされるため、PMセンサ17から速やかに還元剤を除去することができる。このため、フィルタ5の故障判定を速やかに行うことができる。一方、PMセンサ17に還元剤が付着していないときには、還元剤除去処理においてPMセンサ17の温度を高くしないため、NOx触媒7や酸化触媒4、センサの劣化を抑制できる。また、還元剤除去処理は、例えば酸化触媒4にHCを供給して排気の温度を上昇させることにより実施される。このときには、燃料を消費するため燃費が悪化する虞がある。これに対し、PMセンサ17に還元剤が付着していないときにはHCの供給量が少ないため、燃費の悪化を抑制できる。"