"大気側に配置される基端部と真空内に配置される試料支持フレームとからなる試料ホルダであって、前記試料支持フレームは、先端部に平行フレームと平行フレームの先端を連結する連結フレームによって形成される電子ビームを通過させるための開口を備えると共に、該開口を横切るように前記平行フレーム間に張架される試料支持ワイヤと、該試料支持ワイヤに支持された試料に向けて前記基端部側からガスを吹き付けるためのノズルとを備えた電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダにおいて、前記連結フレームの前記ノズルから発生し前記試料支持ワイヤを通過したガスを受ける面に、前記ガスの進行方向に対して後退する斜面を設けたことを特徴とする電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ。前記斜面が、試料支持ワイヤに平行な稜線の両側に設けられることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ前記斜面に前記ガスの進行方向に沿う複数の溝を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ。前記試料支持ワイヤを通電加熱する手段を備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ。本試料ホルダの試料支持フレーム28の連結フレーム28Cの開口面が、電子線に平行な平面であり、雰囲気ガスを放出するノズル17Bの放出口に対向している。このため、以下のような問題が発生する。図4は、図3のO-O断面で、導管から吹き出した雰囲気ガスの振る舞いを示したものである。連結フレーム28Cの開口面に対向するノズル17Bから放出した雰囲気ガスが、試料支持ワイヤ16に付着した粉体試料に向かい進んだ後、その進行方向にある連結フレーム28Cの開口面に直接衝突し、衝突により反射した雰囲気ガスが電子ビーム近傍に戻ってきてしまう。このような状況では、下記に示す問題が生じてしまう。1雰囲気ガスの流れが不規則となり、試料に一定の条件でガスが吹き付けられない。2試料上で、放出した雰囲気ガスと反射した雰囲気ガスが混ざりあうため、一定の濃度の環境で観察することができない3反射により温度が下がったガスが試料近傍に戻るために、雰囲気ガスの温度が下がり、試料表面の温度に変化が生じ、試料がドリフトしてしまう。4試料近傍の圧力が低下してしまう。5高温ガスが連結フレーム28Cの開口面に常時直接当たり、試料載置フレームが熱で膨張するため、フレームが熱ドリフトしてしまう。このように、高温の雰囲気ガスが、試料支持フレーム先端の連結フレーム28Cの開口面に直接あたり、かつその大部分のガスが試料近傍に戻り、滞留してしまい、安定したガス雰囲気濃度で試料が反応せず、さらに、試料載置フレームと試料の温度変化による熱ドリフトにより、観察位置がずれてしまう。また、ガスの反射による影響をなくすために、連結フレーム28Cの開口面の部分を削除すると、試料支持フレーム28の強度が低下し、振動に弱い構造になるため、試料が振動して観察画像観察時の分解能が低下してしまう。本発明は、この様な問題点を解決する透過電子顕微鏡の試料ホルダを提供することを目的とするものである。大気側に配置される基端部と真空内に配置される試料支持フレームとからなる試料ホルダであって、前記試料支持フレームは、先端部に平行フレームと平行フレームの先端を連結する連結フレームによって形成される電子ビームを通過させるための開口を備えると共に、該開口を横切るように前記平行フレーム間に張架される試料支持ワイヤと、該試料支持ワイヤに支持された試料に向けて前記基端部側からガスを吹き付けるためのノズルとを備えた電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダにおいて、前記連結フレームの前記ノズルから発生し前記試料支持ワイヤを通過したガスを受ける面に、前記ガスの進行方向に対して後退する斜面を設けたことを特徴とする電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ。本発明によれば、試料支持フレームの連結フレームの開口面の形状に、雰囲気ガス進行方向に対して後退斜面を形成することにより、導管より放出された雰囲気ガスが、試料側に反射せず、試料上のガス流量及び温度が安定したので、観察場所を一定の条件で、連続的にその場観察することができる。以下、図面を使用して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図5、図6に、本発明の電子顕微鏡の試料ホルダの一概略例を示す。図5のaは、第1中間室側から見た平面図、図5のbは、図5aにおけるO-O線に沿う断面図であり、図中、前記図2に使用されている記号と同一記号が付されたものは、同一構成要素である。図5a,bに示す試料ホルダが、図1で示す装置と異なる所は、主に試料ホルダ先端の試料支持フレーム42の構造である。図6に、試料ホルダ先端の試料支持フレーム42の詳細を示す。図6aは、図5に示す試料支持フレーム42近傍の斜視図を、図6bには、試料支持フレーム42先端の連結フレーム42Cの構造を示す。試料支持フレーム42は、先端部に平行フレーム42A,42Bと前記平行フレームの先端を連結した連結フレーム42Cによって形成される電子ビームを通過させる開口43が設けられている。開口43のO-O軸を挟んだ平行フレーム42A,42Bの開口面には、対向して接続端子31,32が設けられている。なお、接続端子は、平行フレーム42A,42Bが導体の場合は、接続端子を設ける位置に適宣なサイズで絶縁体膜を形成し、その絶縁体膜の上に導電性のある接続端子31,32を設ければ良い。そして、これらの接続端子31,32の間には、試料支持ワイヤ16がたわみ無く、電子線照射位置を横切るように張架されている。従って、試料支持ワイヤ16は、試料ホルダの挿入方向と同じO-O方向に対し、垂直方向に横切るように張架されている。接続端子31,32には、接続線33,34の一端が接続されている。これらの接続線の他端は、真空外に接続するためのハーメチックシール38を経由し、試料ホルダ外部に引き出され、コネクタ35を介して加熱電源36に接続されている。また、試料支持フレーム42には、雰囲気ガスを試料に吹き付けるための導管17Aが貫通口37を通り、導管17Aの先端ノズル17Bが、前記試料支持ワイヤ16に対向するように取り付けられている。開口43の先端側に面している連結フレーム42Cの開口面は、複数の角度を持つ面と溝で形成される。連結フレーム42Cの開口面は、試料支持ワイヤ16と平行でかつ、導管17のガス放出口と対峙した正面位置にあり、ガスの進行方向に対して、上方向に傾斜した面44A,44B,44C、下方向に傾斜した面45A,45Bとガスの進行方向に平行に切り取られた溝46A,46B,47A,47B,47Cで構成される。そして、連結フレーム42Cの開口面は、上方向に傾斜した面44A,44B,44Cと下方向に傾斜した面45A,45Bは、溝46A,46B,47A,47B,47Cを挟み、それぞれ交互に隣り合いながら連なっている。この様な構成の試料ホルダを装着した電子顕微鏡により、例えば、粉末試料をガス雰囲気中で加熱しながら試料と雰囲気ガスとの反応過程を動的に観察する場合、電子顕微鏡鏡筒外にて試料ホルダ8の試料支持ワイヤ16に粉体試料を付着させ、該試料ホルダを電子顕微鏡のゴニオメータ15に装着することにより該試料ホルダを試料室7内に挿入する。そして、前記試料室7を含む鏡筒内を真空排気する。該試料室を含む鏡筒内が所定の圧力に達したら、前記電子銃2からの電子ビームを前記試料支持ワイヤ16に付着した試料に照射して試料観察を開始する。この時、試料を観察しながら、前記加熱電源36により前記試料支持ワイヤ16とガス加熱用ヒータ39を通電加熱すると共に、前記ガスボンベ18からの雰囲気ガスをガス流量制御装置20で流量調整して前記導管17Aに供給する。該導管17Aに供給された雰囲気ガスは前記ガス加熱用ヒータ39により加熱されて前記試料支持ワイヤ16で加熱されている試料と略同じ温度になり、前記試料支持ワイヤ16に付着している試料に吹きかけられので、試料のガス反応が起こり、該反応過程が観察されることに成る。さて、この様な観察において、前記導管17Aの先端ノズル17Bから雰囲気ガスが前記試料支持ワイヤ16に付着された試料に向かって放出された場合、該雰囲気ガスには該試料に衝突するものと衝突しないものがあるが、衝突したものの一部と衝突しなかったものの大部分の雰囲気ガスが、その進行方向にある連結フレーム42の開口面に向かう。その内、前記溝46A,46B,47A,47B,47Cに向かった雰囲気ガスはこれらの溝を通過して、試料支持フレーム42外に出て行き、少なくとも、試料周辺部には行かない。又、上方に傾斜した面44A,44B,44C及び下方に傾斜した面45A,45Bに向かった雰囲気ガスはこれらに衝突して反射し、試料支持フレーム42外に出て行き、試料周辺部には行かない。この結果、所定の流速,所定の濃度及び所定の温度を保った雰囲気ガスを、常時、試料に吹き掛けることが出来、加熱試料と加熱雰囲気ガスとの反応過程の動的観察を安定に且つ精度良く行うことが出来る。又、試料を通過した雰囲気ガスの一部は前記試料支持フレーム42自身に当たらずに前記各上方傾斜部分の間と該各上方傾斜部分の下部に設けられた溝を通過するので、該フレーム内側先端面に常時直接当たる雰囲気ガス量が少なくなり、前記試料支持フレーム42自体結果的に試料が熱ドリフトを起こすことはない。尚、前記試料支持フレーム42は雰囲気ガスが衝突する部分と溝の部分が交互に連なる構造に成っているので、該試料載置フレームの強度も一定以上に保たれ、該試料載置フレームの振動に基づく試料の振動は発生しない。"