"基材フィルムと、その少なくとも片面に形成された離型層とからなる離型フィルムであって、離型層表面における10点平均粗さRzが650nm以上、1200nm以下である、光学用透明粘着シート用離型フィルム。離型層表面において、高さ0.2μm以上の突起が100~800個/mm2であり、高さ0.6μm以上の突起が10~130個/mm2であり、高さ1.2μm以上の突起が10個/mm2以下である、請求項1に記載の光学用透明粘着シート用離型フィルム。離型層表面における剥離力が、常温測定時において19.5mN/25mm以上、200mN/25mmであり、70°C20時間加熱後の測定時において45mN/25mm以上、350mN/25mm以下である、請求項1または2に記載の光学用透明粘着シート用離型フィルム。粘着層の両面に離型フィルムを有する積層体であって、該積層体における離型フィルムの少なくとも一方が請求項1~3のいずれか1項に記載の離型フィルムである、積層体。しかしながら、本発明者らは、従来の離型フィルムをキャリアフィルムとして用いたOCAでは、キャリアフィルム剥離後のOCA粘着層のヘーズ上昇により、タッチパネル等の光学製品の品質検査がし難くなる問題を新たに見出した。すなわち、例えばタッチパネル等の光学製品の製造時において、OCAのセパレーターを剥離し、部材に貼り付け、次いでキャリアフィルムを剥離した後、相手方の部材を貼り付ける前に、光学製品の品質検査を行う場合があるが、そのような場合においては、OCA粘着層のヘーズが高くなってしまうと品質検査が行い難くなる。そして、本発明者らは、このヘーズ上昇の原因として、離型フィルムの離型層表面における表面粗さがOCA粘着層へ転写してしまうことが一因となっていることに着目した。この対策として、離型層表面を平滑にするような設計が考えられるが、一方で、平滑すぎると滑り性、取り扱い性が悪化し、搬送時等においてスクラッチが入りやすくなり、かかるスクラッチにより、キャリアフィルム剥離前の品質検査において検査し難くなったり、スクラッチがOCA粘着層に不具合を生じ、キャリアフィルム剥離後の品質検査がし難くなったりする問題がある。そこで本発明は、OCAに用いられる離型フィルムであって、OCA粘着層のヘーズ上昇を抑制し、かつ取り扱い性に優れた離型フィルムを提供することを目的とする。本発明は、上記課題を解決するために、以下の構成を採用するものである。1.基材フィルムと、その少なくとも片面に形成された離型層とからなる離型フィルムであって、離型層表面における10点平均粗さRzが650nm以上、1200nm以下である、光学用透明粘着シート用離型フィルム。2.離型層表面において、高さ0.2μm以上の突起が100~800個/mm2であり、高さ0.6μm以上の突起が10~130個/mm2であり、高さ1.2μm以上の突起が10個/mm2以下である、上記1に記載の光学用透明粘着シート用離型フィルム。3.離型層表面における剥離力が、常温測定時において19.5mN/25mm以上、200mN/25mmであり、70°C20時間加熱後の測定時において45mN/25mm以上、350mN/25mm以下である、上記1または2に記載の光学用透明粘着シート用離型フィルム。4.粘着層の両面に離型フィルムを有する積層体であって、該積層体における離型フィルムの少なくとも一方が上記1~3のいずれか1に記載の離型フィルムである、積層体。本発明によれば、OCA粘着層のヘーズ上昇を抑制し、かつ取り扱い性に優れた、OCA用離型フィルムを提供することができる。かかるOCA用離型フィルムは、OCAのキャリアフィルムとして好適に用いることができる。<離型フィルム>本発明の離型フィルムは、基材フィルムと、その少なくとも片面に形成された離型層とからなる離型フィルムである。表面粗さ本発明の離型フィルムは、離型層表面における10点平均粗さRzが650nm以上、1200nm以下である。離型層表面のRzが上記数値範囲にあると、離型フィルムを剥離した後のOCA粘着層のヘーズ上昇が起こりにくい。Rzが上記範囲より高いと、離型フィルムを剥離した後のOCA粘着層のヘーズが上昇してしまう。このような観点から、Rzは、好ましくは1150nm以下、さらに好ましくは1000nm以下である。反対に、Rzが上記範囲より低いと、離型層の塗工時やOCA製造時の工程等において取り扱い性が低く、スクラッチが発生しやすくなる。このような観点から、Rzは、好ましくは700nm以上、さらに好ましくは730nm以上である。かかる10点平均粗さRzは、基材フィルムに添加する粒子の態様を後述の好ましい態様にすることで達成できる。又、基材フィルム製造時に、溶融状態のポリエステル樹脂を回転冷却ドラム上で冷却する方法を採用する際は、該回転冷却ドラム面に接した側のフィルム表面に離型層を設けると、より容易に、かかる10点平均粗さを達成することができて好ましい。突起分布本発明の離型フィルムは、離型層表面において、高さ0.2μm以上の突起が100~800個/mm2であり、高さ0.6μm以上の突起が10~130個/mm2であり、高さ1.2μm以上の突起が10個/mm2以下であることが好ましい。このような態様とすることで、優れた滑り性を確保しながら、OCA粘着層への凹凸形状の転写抑制の向上効果を高くすることができ、OCA粘着層のヘーズ上昇抑制の向上効果を高くできる。いずれも低すぎると滑り性の向上効果が低く、いずれも高すぎるとヘーズ上昇抑制の向上効果が低い。このような観点から、高さ0.2μm以上の突起は、より好ましくは150~700個/mm2、さらに好ましくは200~600個/mm2であり、高さ0.6μm以上の突起は、より好ましくは20~100個/mm2、さらに好ましくは30~70個/mm2であり、高さ1.2μm以上の突起は、より好ましくは8個/mm2以下、さらに好ましくは5個/mm2以下である。かかる突起高さは、基材フィルムに添加する粒子の態様を後述の好ましい態様にすることで達成できる。又、基材フィルム製造時に、溶融状態のポリエステル樹脂を回転冷却ドラム上で冷却する方法を採用する際は、該回転冷却ドラム面に接していた側のフィルム表面に離型層を設けると、より容易に、かかる突起高さ分布の態様を満足する表面が得られ、好ましい。以下、本発明の離型フィルムを構成する各構成成分について説明する。<基材フィルム>ポリエステル本発明における基材フィルムは、特に限定されないが、可撓性を有し、耐熱性を備えた熱可塑性樹脂からなる熱可塑性樹脂フィルムが好ましく用いられる。かかる熱可塑性樹脂フィルムを構成するポリマーとしては、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステル、脂肪族ポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリエチレン、ポリプロピレン等が好ましく例示される。中でも、耐熱性や剛性、品質等に優れ、OCAに適していることから、ポリエステルが好ましい。本発明におけるポリエステルは、第1成分としてのジカルボン酸成分および第2成分としてのグリコール成分からなる。ジカルボン酸成分としてはテレフタル酸、イソフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、4,4’-ジフェニルジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、ドデカンジカルボン酸等を例示できる。特に、基材フィルムの機械特性に優れるという観点から、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸が好ましい。また、グリコール成分としてはエチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、1,3-プロパンジオール、1,4-ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、1,6-へキサンジオール、シクロヘキサンジメタノール、ポリエチレングリコール等を例示できる。特に、基材フィルムの剛直性に優れるという観点から、エチレングリコールが好ましい。上記のポリエステルは、さらに第3成分として、さらに上記ジカルボン酸成分の少なくとも1つ、あるいはグリコール成分の少なくとも1つを共重合したコポリエステルであっても良い。かかる第3成分としては、第1成分として選択されたジカルボン酸成分あるいは第2成分として選択されたグリコール成分とは異なる共重合成分を選択することができる。また、第3成分としては、三官能以上の多価カルボン酸成分あるいはポリオール成分を含んでも良いが、その場合の共重合量は、得られるポリエステルが実質的に線状となる範囲例えば5モル以下、さらに好ましくは3モル以下、特に好ましくは1モル以下で少量共重合したポリエステルであることが好ましい。以上のような本発明におけるポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン-2,6-ナフタレートが好ましく、ポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。かかるポリエステルは常法により作ることができ、ポリエステルの固有粘度オルトクロロフェノール中、35°Cにおける固有粘度が、0.45単位:dl/g以上であると、フィルムの剛性が高い等機械特性に優れるため好ましい。本発明における基材フィルムは単層であっても、積層構成であっても良い。表面粗さ本発明においては、OCA粘着層のヘーズ上昇を防ぐ為に、上述のごとく、離型層表面における10点平均粗さRzが650nm以上、1200nm以下である必要がある。このためには、基材フィルム表面離型層を形成する側の表面であって、離型層を形成する前の表面における10点平均粗さRzは、600nm以上、1200nmの範囲であることが好ましく、基材フィルムの10点平均粗さRzを上記数値範囲とすることによって、離型層形成後の離型フィルム表面離型層表面におけるRzを調整しやすくなり、離型フィルムを剥離した後のOCAのヘーズが上昇するのを抑制することができる。基材フィルムの10点平均10点Rzを上記数値範囲とするためには、基材フィルムに無機又は有機物の粒子を添加することで調整することができる。又、回転冷却ドラムへの接地面も重要であり、接地面は非接地面よりも平滑になる傾向がある。粒子本発明において基材フィルムに含有することが好ましい粒子としては、有機粒子、無機粒子のいずれであっても良いが、酸化チタン粒子、酸化ケイ素粒子、硫酸バリウム粒子、酸化アルミニウム粒子、酸化マグネシウム粒子、炭酸カルシウム粒子、カオリン粒子、タルク粒子等のような無機粒子、ポリスチレン樹脂粒子、アクリル樹脂粒子、尿素樹脂粒子、メラミン樹脂粒子等のような有機粒子が挙げられる。有機粒子としては、ポリエチレン粒子、ポリプロピレン粒子、エチレン-プロピレンターポリマー粒子、オレフィン系アイオノマー粒子等のような他の樹脂粒子も挙げられる。これらのうち1種又は2種以上用いてもよい。本発明においては、より好ましい表面粗さ、光線透過率、ヘーズ値が得られるという観点から、無機粒子が好ましい。とりわけ、酸化チタン粒子、シリカ粒子が好ましい。また、基材フィルム中にボイドが形成され難く、透明性に優れるという点、また、適した表面態様が得やすいという点から、塊状粒子が好ましい。とりわけ好ましい粒子は、塊状シリカ粒子である。基材フィルムにおける粒子の平均粒径は、0.1μm以上、3μm以下が好ましい。また、含有量は、基材フィルムの質量を基準として、0.02質量以上、0.08質量以下が好ましい。このような態様とすることによって、基材フィルム表面におけるRzを、上述したごとく本発明における好ましい範囲としやすくなり、それにより本発明が規定する離型層表面のRzを達成しやすくなる。平均粒径が大きすぎたり、含有量が多すぎたりすると、Rzが大きくなりすぎる傾向にあり、他方平均粒径が小さすぎたり、含有量が少なすぎたりすると、Rzが小さくなりすぎる傾向にある。このような観点から、平均粒径は、0.1μm以上がより好ましく、0.2μm以上がさらに好ましく、2.5μm以下がより好ましく、2.0μm未満がさらに好ましい。また含有量は、0.025質量以上がより好ましく、0.03質量以上がさらに好ましく、0.07質量以下がより好ましく、0.06質量以下がさらに好ましい。本発明においては、異なる種類や、異なる粒子径の2種以上の粒子を併用することができる。例えば、比較的粒径の大きな塊状粒子と、比較的粒径の小さな粒子、好ましくは球状粒子を併用することができる。これにより、比較的小さな粒子によりフィルム表面に微細な凹凸が形成され、滑り性の向上効果が高くなり好ましい。積層構成また、本発明における基材フィルムは、離型層を形成する表面となる表層と芯層とを有する、2層以上の積層フィルムであってもよい。例えば、2~5層の積層フィルム例えば、表層/芯層の2層構成や、表層/芯層/表層の3層構成、表層/芯層1/芯層2/表層の4層構成等が好ましく、特に、表層と芯層とからなる3層フィルム表層/芯層/表層の構成であることが好ましく、これにより、表層に含有される粒子による表面突起形成と、芯層に含有される粒子による芯層からの突き上げによる表面突起形成との両方を調整できるようになり、Rzをより達成しやすくなる。かかる積層フィルムにおいても、粒子の平均粒径の好ましい範囲は単層の場合と同様である。また、含有量については、表層においては、表層の質量を基準として0.01質量以上、0.03質量以下であることが好ましい。また、芯層においては、芯層の質量を基準として0.03質量以上、0.09質量以下であることが好ましい。これによりRzを達成しやすくなる。また、積層フィルムの場合、離型層側となる表層の厚み1層の厚みは、1~8μmであることが好ましく、さらに好ましくは2~5μmであり、上述した粒子の態様と合わせて、Rzが達成しやすくなる。また、芯層の厚み複数の芯層を有する場合は、それらの合計の厚みは、15~186μmであることが好ましく、さらに好ましくは25~175μmである。このような態様とすることで、離型層を形成する側のフィルム表面に、芯層が含有する粒子に起因する突起が形成されて、Rzがより達成しやすくなる。又、基材フィルムには、本発明の目的を損なわない限りにおいて、必要に応じて酸化防止剤、紫外線吸収剤、蛍光増白剤、帯電防止剤等の添加剤を含有することもできる。<離型層>本発明における離型層は、付加型シリコーン及び縮合型シリコーンを用いることができるが、生産性の点から、反応の速い付加型シリコーンが好ましく用いられる。縮合型シリコーンは、生産時に十分に硬化しにくいため、離型層を形成する工程内の搬送ローラーにシリコーンが転写し、堆積し、堆積したシリコーンがフィルムに再度移行することにより異物欠点となる場合がある。また、離型性の点からも、樹脂変性シリコーンは、OCAのキャリアフィルムとして用いられる離型フィルムとして好適に用いられる低剥離領域を達成することが比較的困難である。このような観点からも、付加型シリコーンが好適に用いられる。本発明における離型層の厚みは、0.01~1μmが好ましい。離型層の厚みが上記数値範囲にあると、OCAのキャリアフィルムとして適した離型性を得ることが容易となる。このような観点から、厚みは、さらに好ましくは0.05~0.5μm、特に好ましくは0.08~0.3μmである。<離型フィルムの製造方法>基材フィルムの製造方法本発明における基材フィルムは、二軸延伸フィルムであることが好ましい。かかる二軸延伸フィルムは、従来から知られている方法で製造することができる。例えば、ポリエステルからなる二軸延伸フィルムの場合は、ポリエステルを乾燥後、Tm~Tm70°Cの温度ただし、Tmはポリエステルの融点単位:°Cを表す。で押出機にて溶融し、ダイ例えばT-ダイ、I-ダイ等から回転冷却ドラム上に押出し、20~90°Cで急冷して未延伸フィルムを製造し、次いで、該未延伸フィルムをTg-10~Tg70°Cの温度ただし、Tgはポリエステルのガラス転移点温度単位:°Cを表す。で縦方向に2.5~8.0倍、好ましくは2.9~5.0倍、さらに好ましくは3.2~4.0倍の倍率で延伸し、横方向に2.5~8.0倍、好ましくは3.1~5.2倍、さらに好ましくは3.4~4.2倍の倍率で延伸し、必要に応じて180~250°Cの温度で1~60秒間熱固定することにより製造できる。延伸倍率を上記数値範囲とすることによって、厚み斑をより小さくすることができる。上記において、回転冷却ドラムの表面が鏡面処理された表面であると、後述するように、かかる面に接地したフィルム表面に離型層を形成することで、本発明における好ましい離型層表面を得やすくなるため、好ましい。なお、本発明における基材フィルムの厚みは、基材フィルムとして適度なコシがあれば特に限定されないが、好ましくは20μm以上、より好ましくは30μm以上、さらに好ましくは50μm以上、特に好ましくは80μm以上である。他方、厚すぎても取り扱い難く、好ましくは188μm以下、より好ましくは175μm以下、さらに好ましくは150μm以下、特に好ましくは120μm以下である。このような範囲であると、OCAキャリアフィルムとして好適である。離型層の形成方法本発明における離型層は、離型層を構成する各構成成分を含有する塗液以下、離型層塗液と呼称する場合がある。を、基材フィルム上に塗布し、乾燥、硬化することによって形成する。塗布する面は、離型層表面のRzを好ましい値にしやすいという観点から、基材フィルムにおいて、樹脂をダイより押し出して、回転冷却ドラムに接した側の面が好ましい。離型層塗液を基材フィルムに塗布するための塗布方法としては、公知の任意の塗布方法が適用でき、例えばグラビアロールコート法、リバースロールコート法、ダイコート法、キスコート法、リバースキスコート法、オフセットグラビアコート法、マイヤーバーコート法、ロールブラッシュ法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、含浸法、カーテンコート法、ドクターブレード法等を単独または組み合わせて適用することができる。また、ハジキなど塗布外観の安定性を向上させる目的で、塗液には若干量の界面活性剤を含有させることができる。離型層塗液を塗布後、乾燥、および硬化する条件としては、100°C以上、180°C以下の温度で10秒以上、120秒以下の時間加熱することが好ましく、110°C以上、160°C以下の温度で20秒以上、90秒以下の時間加熱することがさらに好ましく、120°C以上、140°C以下の温度で30秒以上、60秒以下の時間加熱することが特に好ましい。上記のごとく乾燥条件を採用することによって、離型層の強度をより高くすることができ、更にはポリエステルフィルムの熱シワの発生を抑えることができる。<離型フィルムの特性>剥離力本発明における離型フィルムは、離型層表面における常温剥離力常温測定時における剥離力が19.5mN/25mm以上、200mN/25mm以下であることが好ましい。常温剥離力が上記数値範囲にあると、OCA粘着層との剥離力が安定し、またOCAキャリアフィルムとして適度な剥離力で剥離することができる。常温剥離力が低すぎると、OCAの製造工程でOCA粘着層と離型フィルムとの間で浮きが生じ易くなる傾向にある。このような観点から、常温剥離力は、より好ましくは22mN/25mm以上、さらに好ましくは24mN/25mm以上である。他方、高すぎると、完成したOCA製品を使用する際に、OCA粘着層から剥離することが困難となる傾向にある。このような観点から、常温剥離力は、より好ましくは160mN/25mm以下、さらに好ましくは50mN/25mm以下、特に好ましくは40mN/25mm以下である。また、離型層表面における加熱剥離力70°C20時間加熱後測定における剥離力は、45mN/25mm以上、350mN/25mm以下であることが好ましい。加熱剥離力が上記数値範囲にあると、高温に晒されたとしてもOCA粘着層との剥離力が安定し、また高温に晒されたとしてもOCAキャリアフィルムとして適度な剥離力で剥離することができる。加熱剥離力が低すぎると、OCAの製造工程でOCA粘着層と離型フィルムとの間で浮きが生じ易くなる傾向にある。このような観点から、加熱剥離力は、より好ましくは50mN/25mm以上、さらに好ましくは52mN/25mm以上、特に好ましくは54mN/25mm以上である。他方、高すぎると、完成したOCA製品を使用する際に、OCA粘着層から剥離することが困難となる傾向にある。このような観点から、加熱剥離力は、より好ましくは250mN/25mm以下、さらに好ましくは100mN/25mm以下、特に好ましくは70mN/25mm以下である。なお、OCAキャリアフィルムとしては、このように、常温剥離力と加熱剥離力との剥離力差がある程度あったとしても、問題なく用いることができる。かかる剥離力差は、例えば20mN/25mmを超える範囲であってもよい。また、剥離力差の上限は、例えば50mN/25mm以下である。上記剥離力は、離型層の態様を適宜調整することにより達成することができる。すなわち、離型層がシリコーン系である場合は、用いられるシリコーンの架橋点を少なくしたり、塗膜厚みを厚くしたりすると、常温剥離力は高くなる傾向にある。また、残存するSi-Hを減少させると、加熱剥離力は低くなる傾向にあり、残存するSi-Hを多くすると、加熱剥離力は高くなる傾向にある。残留接着率本発明における離型フィルムの離型層表面における残留接着力は、好ましくは80以上、より好ましくは90以上、さらに好ましくは95以上である。残留接着率の値が前記範囲であると、離型層からの移行成分が少なく、品質のより優れた、すなわち接着性のより安定したOCAを得ることができる。かかる残留接着率は、離型層からの移行成分を低減することにより達成できる。例えば、未反応成分を低減させたり、架橋反応を十分に進行させたりすればよい。密着性本発明における離型フィルムは、基材フィルムへの離型層の密着性にも優れたものであることが望ましい。離型層の密着性が悪いと、ハンドリングの際の擦れにより離型層が脱落したり、OCAから離型フィルムを剥離した際にOCA面に離型層が転写することがあり好ましくない。離型層の基材フィルムに対する密着性を高くするには、基材フィルムにあらかじめ密着向上の前処理を行う、コロナ処理、プラズマ処理、火炎処理等の方法があり、本発明においてはこれらを採用することが好ましい。光学用透明粘着シート以上のような本発明の離型フィルムを用いて、光学用透明粘着シートOCAを作成することができる。かかるOCAは、OCA粘着層の両面に離型フィルムを有する積層体の構成を有する。かかる積層体における離型フィルムの少なくとも一方として、本発明の離型フィルムを採用することが好ましい。とりわけ、キャリアフィルム重剥離側の離型フィルムとして、本発明の離型フィルムを採用することが好ましい。以下、実施例により本発明をさらに説明する。なお、各特性値は以下の方法で測定した。1剥離力1-1常温剥離力サンプルフィルムの離型層表面にポリエステル粘着テープNo.31B、日東電工株式会社製を貼り合わせ、5kgの圧着ローラーで圧着した後、離型層と粘着テープとの剥離カ単位:mN/25mmを引張り試験機にて測定した。剥離角度は180度、ヘッドスピードは300mm/分とした。任意の5箇所の平均値として、常温剥離力を求めた。1-2加熱剥離力サンプルフィルムの離型層表面にポリエステル粘着テープNo.31B、日東電工株式会社製を貼り合わせ、5kgの圧着ローラーで圧着した後、サンプル上に20g/cm2の重りを乗せて70°Cのオーブンで20時間加熱した後、取り出して室温にて冷ました後に、上記と同様にして離型層と粘着テープとの剥離力単位:mN/25mmを引張り試験機にて測定した。任意の5箇所の平均値として、過熱剥離力を求めた。2残留接着率ポリエステル粘着テープNo.31B、日東電工株式会社製を、JISG4305に規定する冷間圧延ステンレス板SUS304に貼り付けた後、それを剥離して剥離力を測定し、基礎接着力f0単位:N/25mmとした。次に新しいポリエステル粘着テープをサンプルフィルムの離型層表面に5kgの圧着ローラーで圧着した後、30秒間放置してから粘着テープを剥がした。そして、この剥がしたポリエステル粘着テープを前記ステンレス板に貼り付け、それを剥離して剥離力を測定し残留接着力f単位:N/25mmとした。得られた基礎接着力f0と残留接着カfとから下記式を用いて残留接着率を求めた。残留接着率=f/f0×1003密着性離型フィルムを作成した後、サンプルを温度23°C、相対湿度55RHの環境下で24時間放置した。次いで、経時処理後のサンプルについて、離型層表面を親指で10回強く擦り、ラブオフテストを実施した。この時、親指はあらかじめエタノールを含ませたガーゼでよく拭き、脱脂してから上記作業を実施した。得られたラブオフテスト後のサンプルについて、親指で擦った部分における離型層の状態を目視観察し、以下の基準に従って判定した。○:目視にて、離型層に曇りが観測されない。△:目視にて、離型層に多少の曇りが観測された。×:目視にて、離型層に曇りが観測された。さらに、親指で擦った部分にセロハン粘着テープを貼り付け、それを剥離する際の引っ掛かりの度合いについて、以下の基準に従って評価した。引っ掛かりがあるということは、離型層が除去されてしまったことを意味する。○:セロハン粘着テープを剥離する際に、引っ掛かりが無い。△:セロハン粘着テープを剥離する際に、多少の引っ掛かりがある。×:セロハン粘着テープを剥離する際に、引っ掛かりがある。××:セロハン粘着テープを剥離する際に、強い引っ掛かり離型層が無い部分と同等の引っ掛かりがある。410点平均粗さRz離型フィルムの離型層表面の突起プロファイルを、三次元粗さ測定装置SE-3CKT株式会社小坂研究所製にて、縦倍率5000倍、横倍率200倍、走査ピッチ2nm、測定長1mm、カットオフ0.25mmで測定した。得られた突起プロファイルにおいて、ピークHpの高い方から5点と谷Hvの低い方から5点をとり、次の式により10点平均粗さRz、単位:nmを求めた。尚、解析には三次元粗さ解析装置SPA-11株式会社小坂研究所製を用いた。また、得られた突起プロファイル横軸:突起高さ、縦軸:突起個数の突起プロファイルから、0.2μm以上、0.6μm以上、1.2μm以上のそれぞれの突起高さ個数個/mm2を求めた。5OCAヘーズ評価5-1OCAの作成平坦なガラス基板上に、キャリアフィルム用離型フィルムとしての本発明の離型フィルムを、離型面を上にして置き、該離型フィルムの四辺に厚さ2.0mmのスペーサーを置いて成形下型とし、該離型フィルムの中心部に、混合、脱泡した未硬化の液状シリコーンゲル旭化成ワッカーシリコーン株社製、品番:SLJ3363を、気泡を巻き込まないように流し入れ、次いで、気泡を巻き込まないように、セパレーター用離型フィルム帝人デュポンフィルム株式会社製、品番:A50-50μmの離型面を前記液状シリコーンゲル原料表面に接触被覆し、次いで、セパレーター用離型フィルムの上から上押し型となる平坦なガラス板を乗せて、手で押してスペーサー厚みに成形した。次に、前記成形工程のガラス板型とともに、前記シリコーンゲル原料を熱風式オーブン中で70°C1時間加熱硬化させ、その後、オーブンから取り出してガラス基板を取り外して、室温まで自然冷却し、OCAキャリアフィルム用離型フィルム/OCA粘着層/セパレーター用離型フィルムの構成を得た。なお、OCA粘着層は厚みが300μmとなるよう調整した。5-2ヘーズ評価次いで、上記により得られたOCAのセパレーター軽剥離側を剥離して、ポリカーボネート板に貼り合せた後、離型フィルム重剥離側、本発明の離型フィルムを剥がした状態で、日本精密光学製へーズメータースガ試験機株製、ヘイズメーターHCM-2B、波長:580nmを使用し、OCA面側を光源に向けてヘーズを測定した。かかる測定値をHz1とした。次に、OCA粘着層において、離型フィルム重剥離側を剥離した側の面にも上と同様のポリカーボネート板を貼り合わせ、これにより表面ヘーズをキャンセルした状態で、同様にヘーズを測定して、かかる測定値をHz2とした。これらの数値を下記の基準に従い、評価した。○:Hz1-Hz2≦0.3△:0.3<Hz1-Hz2≦0.45×:0.45<Hz1-Hz26ガラス転移点温度Tg、融点Tm樹脂サンプルの場合は試料10mg、フィルムサンプルの場合は試料20mgを、パーキンエルマー社製のDSC装置示差走査熱量計にセットし、室温から20°C/分で300°Cまで昇温し、試料を300°Cの温度で5分間保持した後、液体窒素中で急冷し、この急冷試料を10°C/分で300°C付近まで昇温してガラス転移温度Tg単位:°Cおよび融点Tm単位:°Cを測定した。7粒子の平均粒径試料台上に、粒子の粉体を個々の粒子ができるだけ重らないように散在させ、金スパッター装置によりこの表面に金薄膜蒸着層を厚み200~300オングストロームで形成し、走査型電子顕微鏡を用いて1万~3満倍で観察し、日本レギュレーター株製ルーゼックス500にて、少なくとも110個の粒子について、長径Dli、短径Dsi、および面積円相当径Diを求めた。粒子の個数nとし、上記で得られた値を下記式に用いて、面積相当粒径Diの数平均値を平均粒径Dとした。8滑り性評価JIS-K7125に従い、離型層表面の静摩擦係数μsを測定した。測定は5回行い、平均値を算出した。測定値を下記の基準で評価した。○:摩擦係数の値が<0.5×:摩擦係数の値が≧0.5また、上記測定後のフィルム表面の傷について、下記の基準で評価した。○:測定後のフィルム表面に傷が見られない。×:測定後のフィルム表面に微細な傷が見られる。[実施例1]基材フィルム固有粘度0.65dl/gのポリエチレンテレフタレートペレットPETガラス転移点温度Tg=78°C、融点Tm=258°C、DSC法による。を100質量部、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子を0.05質量部の割合にて混合し、乾燥し、2軸タイプエスクトルーダーにて溶融混合し、冷却ドラム上に押出し、未延伸シートを得た。続いて、かかる未延伸シートを、90°Cで縦延伸倍率3.3倍、130°Cで横延伸倍率3.5倍に延伸した後、熱固定温度210°Cで4秒間熱処理し、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。離型層メチルエチルケトンMEK70質量部とトルエン30質量部とからなる混合溶剤に、ポリジメチルシロキサンを主成分とするシリコーン信越化学工業株式会社製:TFR14766質量部を溶解し、触媒信越化学工業株式会社製:CM670をシリコーン100質量部に対し2質量部の割合で混合して離型層塗液を作成した。この離型層塗液を常法のロールコートにより、上記で得られたポリエステルフィルムの冷却ドラムに接触した面上に塗布し、130°Cの乾燥温度にて30秒乾燥し、乾燥膜厚みが0.10μmの離型層を形成し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。[実施例2]基材フィルムに添加する粒子を、PET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子を0.04質量部と、平均粒径0.1μmのアルミナ粒子を0.02質量部とにした以外は実施例1と同様にして、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。更に、実施例1と同様にして離型層を形成し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。[実施例3]基材フィルム極限粘度0.65dl/gのポリエチレンテレフタレートペレットPETガラス転移点温度Tg=78度、融点Tm=258°C、DSC法による。を100質量部、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子を0.02質量部の割合にて混合したものを表層側ポリエステルAとし、同様のポリエチレンテレフタレートペレット100質量部に、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子を0.08質量部の割合にて混合したものを芯層側ポリエステルBとして準備した。各ポリエステルを乾燥し、ポリエステルAを第1の押し出し機に、ポリエステルBを第2の押し出し機に供給し、溶融状態にして、3層フィードブロック装置を使用して、ポリエステルAを表層として2層に分岐させ、ポリエステルBを芯層として1層に分岐させ、表層/芯層/表層の3層積層状態の溶融体として冷却ドラム上に押出し、未延伸シートを得た。続いて、かかる未延伸シートを90°Cで縦延伸倍率3.3倍、130°Cで横延伸倍率3.5倍に延伸した後、熱固定温度210°C、4秒間熱処理し、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。尚、両表層の厚みが各6μm、芯層の厚みが88μmとなるよう制御した。離型層得られたポリエステルフィルムに、実施例1と同様にして離型層を形成し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。[実施例4]離型層塗液を、ポリエステルフィルムの冷却ドラムに接触していない面に塗布したこと以外は実施例1と同様にして、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。[比較例1]基材フィルムに添加する粒子を、PET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子0.06質量部とした以外は実施例1と同様にして、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得て、実施例1と同様にして離型層を形成し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。[比較例2]基材フィルムに添加する粒子を、PET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子0.008質量部とした以外は実施例1と同様にして、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得て、実施例1と同様にして離型層を形成し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。[比較例3]基材フィルム上に離型層を付与しなかった以外は実施例1と同様にして、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。得られたポリエステルフィルムの特性を表1に示す。[比較例4]表層側ポリエステルAに添加する粒子を、表層側ポリエステルAにおけるPET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子0.07質量部とし、芯層側ポリエステルBに添加する粒子を、芯層側ポリエステルBにおけるPET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子0.08質量部とした以外は実施例3と同様にして、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。更に、実施例1と同様にして離型層を形成し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。[比較例5]表層側ポリエステルAに添加する粒子を、表層側ポリエステルAにおけるPET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子0.10質量部とし、芯層側ポリエステルBに添加する粒子を、芯層側ポリエステルBにおけるPET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子0.05質量部とした以外は実施例3と同様にして、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。更に、実施例1と同様にして離型層を形成し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。[比較例6]表層側ポリエステルAに添加する粒子を、表層側ポリエステルAにおけるPET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子0.05質量部とし、芯層側ポリエステルBに添加する粒子を、芯層側ポリエステルBにおけるPET100質量部に対して、平均粒径1.7μmの塊状酸化ケイ素粒子0.10質量部とした以外は実施例3と同様にして、厚さ100μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。更に、実施例1と同様にして離型層を形成し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの特性を表1に示す。"