コヒーレント光を結像する受光素子を備えた撮像装置の該受光素子を照射したときの光スポット像位置を検出するスポット像位置検出装置であって、前記撮像装置に対して前記コヒーレント光を照射する発光手段と、前記受光素子、及び該受光素子に前記コヒーレント光を結像させる光学系部品を備えた撮像装置と、前記発光手段の射出ビーム径よりも前記撮像装置の光学系部品に入射する際のビーム径が細くなる位置に配置されたビームウエスト光学系と、前記受光素子上の輝度情報に基づいて前記光スポット像位置を算出する画像処理手段と、を備えたことを特徴とするスポット像位置検出装置。前記ビームウエスト光学系は、前記撮像装置の光学系部品に入射する前記コヒーレント光のビーム径が最小となる位置に配置されることを特徴とする請求項1に記載のスポット像位置検出装置。前記画像処理手段は、スポット像位置検出アルゴリズムとして、重心法、又はガウスフィッティング法を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載のスポット像位置検出装置。前記コヒーレント光は、レーザー光であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のスポット像位置検出装置。しかし、従来の測定方法においては、以下の問題点がある。1受光素子面での画素サイズに対して、スポット像が小さい場合、重心法やガウスフィッティング法によってスポット像位置を高精度に算出することが困難になる。2カメラに照射されたレーザー光は、各画素にあるマイクロレンズで受光されるが、マイクロレンズの中心にレーザーが入射する場合と端に入射する場合では、受光感度が異なるという現象がある。この現象は上述したレーザーによるキャリブレーションシステムの要求精度である、サブピクセル精度でのスポット像位置検出に悪影響を及ぼす。即ち、受光素子の種類ごとにマイクロレンズの受光特性は異なるため、アルゴリズムによってサブピクセル精度のスポット像位置検出を行う場合は、受光素子の種類ごとにアルゴリズムを再検討しなければならないという問題点があった。また、特許文献1に開示されている従来技術は、スポット像位置を高精度に検出することを求める点では本発明と類似しているが、上記問題2の受光素子の種類に応じたアルゴリズムを再検討しなければならないという問題は解消できていない。本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、レーザー光を結像するカメラの受光素子面におけるスポット像の画素数を増やし、受光素子の種類に依存したアルゴリズムを検討することなく、スポット像位置検出を高精度に行うことができるスポット像位置検出装置を提供することを目的とする。本発明はかかる課題を解決するために、請求項1は、コヒーレント光を結像する受光素子を備えた撮像装置の該受光素子を照射したときの光スポット像位置を検出するスポット像位置検出装置であって、前記撮像装置に対して前記コヒーレント光を照射する発光手段と、前記受光素子、及び該受光素子に前記コヒーレント光を結像させる光学系部品を備えた撮像装置と、前記発光手段の射出ビーム径よりも前記撮像装置の光学系部品に入射する際のビーム径が細くなる位置に配置されたビームウエスト光学系と、前記受光素子上の輝度情報に基づいて前記光スポット像位置を算出する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする。一般に、コヒーレント光のビーム系は、ビームウエスト位置からの距離と波長を変数として表される。即ち、ビームウエスト位置からコヒーレント光を結像する撮像装置のレンズ面までの距離が長いほどビーム径が大きくなる。また、撮像装置のレンズに入射するビーム径が小さいほど受光素子上でのスポット像は大きくなる。このことから、本発明では、ビームウエスト光学系を発光手段の射出ビーム径よりも撮像装置の光学系に入射する際のビーム径が細くなる位置に配置する。これにより、ビームスポット径を大きくしてスポット像位置検出を高精度に行うことができる。請求項2は、前記ビームウエスト光学系は、前記撮像装置の光学系部品に入射する前記コヒーレント光のビーム径が最小となる位置に配置されることを特徴とする。コヒーレント光のビーム径が最小となる位置をビームウエスト位置という。即ち、コヒーレント光を結像する撮像装置のレンズにビーム径が細くなるように入射させるには、撮像装置のレンズに入射するコヒーレント光のビーム径をビームウエスト径になるようにする必要がある。これにより、スポットビーム光の径を大きくして、コヒーレント光を結像する撮像装置の受光素子面におけるスポット像の画素数を増やすことができる。請求項3は、前記画像処理手段は、スポット像位置検出アルゴリズムとして、重心法、又はガウスフィッティング法を用いることを特徴とする。アルゴリズムとして知られているのが、重心法、又はガウスフィッティング法である。本発明では、いずれのアルゴリズムでも用いることができ、且つ、受光素子の種類によりアルゴリズムを再検討する必要がない。請求項4は、前記コヒーレント光は、レーザー光であることを特徴とする。レーザー光は指向性や収束性に優れており、また、レーザー光を特徴づける性質のうち最も重要なのは、その高いコヒーレンス可干渉性である。レーザー光のコヒーレンスは、空間的コヒーレンスと時間的コヒーレンスに分けて考えることが出来る。これにより、レーザー光は長距離を拡散せずに伝搬したり、非常に小さなスポットに収束したりすることが可能になる。本発明によれば、カメラのレンズに入射するビーム径が平面波となるビームウエスト径になるようにすることで、受光素子上のスポット径を大きくでき、且つ、スポット像の画素数を増やすことができるので、受光素子の種類ごとにアルゴリズムを検討することなく、簡単な光学系を組むことで受光素子上のスポット像位置を大きくできるので、スポット像位置を高精度に算出することができる。また、使用するレーザーの波長を長波長にすることによって、更にスポット像の画素数を増やすことができる。以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。図1Aは本発明に係るスポット像位置検出装置の概略構成を示すブロック図である。本発明のスポット像位置検出装置50は、レーザー光コヒーレント光3を結像するカメラ撮像装置10の受光素子受光面7を照射した光スポット像位置を検出するスポット像位置検出装置50であって、レーザー光3を結像するレンズ光学系6、及び受光素子7から構成されるカメラ10と、カメラ10に対してレーザー光3を照射するレーザー光源発光手段1と、レーザー光源1の射出ビーム径2よりもカメラ10のレンズ6に入射する際のビーム径5が細くなる位置に配置されたレンズビームウエスト光学系4と、受光素子7上の輝度情報に基づいて光スポット像位置を算出する画像処理装置画像処理手段8と、画像処理装置8により画像処理された画像データを表示するディスプレイ9と、を備えて構成されている。一般に、レーザー光3のビーム系は、ビームウエスト位置2からの距離と波長を変数として表される。即ち、ビームウエスト位置2からレーザー光3を結像するカメラ10のレンズ面5までの距離が長いほどビーム径が大きくなる。また、カメラ10のレンズ6に入射するビーム径5が小さいほど受光素子7上でのスポット像は大きくなる。このことから、本実施形態では、レンズ4をレーザー光源1の射出ビーム径2よりもカメラ10のレンズ6に入射する際のビーム径5が細くなる位置に配置する。これにより、ビームスポット径を大きくしてスポット像位置検出を高精度に行うことができる。即ち、レンズ4は、カメラ10のレンズ6に入射するレーザー光3のビーム径が最小となる位置に配置される。レーザー光3のビーム径が最小となる位置をビームウエスト位置という。即ち、レーザー光3を結像するカメラ10のレンズ6にビーム径が細くなるように入射させるには、カメラ10のレンズ6に入射するレーザー光3のビーム径をビームウエスト径になるようにする必要がある。これにより、スポットビーム光の径を大きくして、レーザー光3を結像するカメラ10の受光素子面7におけるスポット像の画素数を増やすことができる。さらに具体的には、以下に示す1と2を組み合わせることにより実現できる。1レーザー光3を結像するカメラ10のレンズ6にビーム径が細くなるように入射させる。レーザー光3のビーム径が一番小さくなる場所をビームウエスト位置という。カメラ10のレンズ6に入射するレーザー光3のビーム径5をビームウエスト径になるようにする。2ビーム径の小さい光が入射すると受光素子7上ではスポット像が大きくなる。レーザー光3をカメラ10に細く入射させると、開口が小さくなるため、受光素子7上のスポット像の大きさは大きくなる。このスポット像の大きさはエアリーディスク径として知られている。図1Aが本発明の光学系の一例である。レーザー光源1、レーザー光源1のビームウエスト位置2からカメラ10のレンズ6までの光路の半分の距離を焦点距離fとするレンズ4と、レーザー光3を結像するカメラ10から成る。レーザー光源1とカメラ10の間に入れたレンズ4は一枚である必要はなく、カメラ10のレンズ6に入射するビーム径5がビームウエスト径になれば良い。この光路中に例えばピンホールなどを入れても良い。尚、図1Bは上述したレンズ4を光路に入れなかった場合の光学系を示している。一般に、レーザー光3のビーム径はビームウエスト位置5からの距離と波長を変数とし、式1で表される。ビームウエスト位置5では、ビーム径が最も細くなる。ビームウエスト位置5の波面は平面であるので、レーザー光3のビーム径が細くなるように入れたときよりも、カメラ10のレンズ面に入射するレーザー光の位置は変化しにくいという利点がある。式1はビームウエスト位置5からレーザー光3を結像するカメラ10のレンズ面までの距離が長ければ長いほどビーム径が大きくなる事を示している。また、スポット像の大きさはエアリーディスク径として、式2で表される。式2より、Dが小さいほど受光素子上におけるスポット像の大きさ、つまりエアリーディスク径は大きくなる事を示している。つまり、カメラ10のレンズ6に入射するビーム径は小さければ小さいほど受光素子上でのスポット像は大きくなるはずである。図1Aに示した通り、レーザー光源1からカメラ10のレンズ6までの光路の半分の位置に、上述したレンズ4を組み込むことで、カメラ10のレンズ6に入射するレーザー光3がレーザー光3のビームウエスト位置となる。ビーム径が細い事によって式2で示したように、受光素子7上でのスポット像は大きくなる。このスポット像の輝度情報を用いて、画像処理装置8によりスポット像位置を算出する。スポット像の画素数が増えることから高精度にスポット像位置を検出することができる。尚、スポット像位置検出アルゴとしては、重心法やガウスフィッティング法を用いてもよい。即ち、アルゴリズムとして知られているのが、重心法、又はガウスフィッティング法である。本発明では、いずれのアルゴリズムでも用いることができ、且つ、受光素子7の種類によりアルゴリズムを再検討する必要がない。また、光源としてレーザー光を使用する。レーザー光は指向性や収束性に優れており、レーザー光を特徴づける性質のうち最も重要なのは、その高いコヒーレンス可干渉性である。レーザー光のコヒーレンスは、空間的コヒーレンスと時間的コヒーレンスに分けて考えることが出来る。これにより、レーザー光は長距離を拡散せずに伝搬したり、非常に小さなスポットに収束したりすることが可能になる。この構成は、レーザーオートコリメータ、レーザーキャリブレーション、波面収差測定などの高精度にレーザースポット像位置を求める要請がある技術に簡単に応用することができる。また、スポット像位置検出アルゴリズムを受光素子の種類ごとに再検討しなくてもいいという利点がある。次に、カメラ10のレンズ6に入射するビーム径の大きさの変化によって受光素子7上のスポット径はどのように変化するのかをシミュレーションで確かめた。シミュレーションに用いたカメラ10の光学系は、6群7枚の球面レンズから構成される。この光学系は白色光でフォーカス位置があわせてある。632.8nm赤の波長を用い、無限遠からガウス分布をもった光を画角0で入射させ、カメラ10のレンズ6直前の1/e^2の直径の値が5mmとした。式1の分子にλがある事からわかる通り、理想的なレンズの場合、レーザーは緑よりも赤色、つまり波長が長い方が像面におけるスポット径は大きくなる。シミュレーションでは、ビーム径の大きさを変化させるために入射瞳径の大きさを変化させた。入射瞳径を2.0mm、1.5mm、1.0mmとしたときの受光素子上のスポット径を求めた。図2がシミュレーション結果であり、入射瞳径を変化させたときの受光素子上でのスポットの様子である。図2aが入射瞳径2.0mm、図2bが入射瞳径1.5mm、図2cが入射瞳径1.0mmの場合である。図のスケールは3つとも全て等しく、30μm×30μmとした。aからcへいくに従って、入射瞳径が小さくなり、逆にスポット径は大きくなっている事が確かめられる。この結果を表にしたのが図3である。白い場所ほど受光素子上でレーザーの輝度値が高い場所である。例えば、1画素サイズが6μmのセンサを用いたとき、入射瞳径が2.0mmの場合ではスポット像はほぼ1画素内におさまってしまうサイズであった。しかし、光学系に入射させるビーム径を小さくして入射瞳径1.0mmにすると、3×3画素からスポット像の輝度情報を得る事ができる事が確かめられる。