"過飽和固溶体を二相共存領域で時効処理したときに、スピノーダル分解により二相分離可能な合金基材を準備する工程と、この合金基材を二相共存領域で時効処理してスピノーダル分解させ、規則的に配列された第1の相と、第1の相の間に配列された第2の相とを形成する工程と、前記第2の相を所定の深さまで選択的に溶解除去して、第1の相を浮き上がらせる工程と、第2の相の溶解除去により浮き上がった第1の相を、超音波により物理的に除去する工程と、第1の相を超音波により物理的に除去した後、表面にある第1の相を選択的に溶解除去する工程と、を具備することを特徴とする、波長選択性の熱放射または熱吸収材料の製造方法。表面にある第1の相を選択的に溶解除去した後、表層にある第2の相の表面に、合金基材の第2の相よりも高融点で、かつ、前記第2の相よりも電気伝導度の高い金属又は合金、又は貴金属をコーティングする工程を更に備えていることを特徴とする、請求項1に記載の波長選択性の熱放射または熱吸収材料の製造方法。第2の相よりも高融点で、かつ、前記第2の相よりも電気伝導度の高い前記金属又は合金は、W,Ta,及びMoから選択される金属又はその合金であることを特徴とする、請求項2に記載の波長選択性の熱放射または熱吸収材料の製造方法。合金基材は、スピノーダル分解によりγ相第1の相とγ ́相第2の相との二相に分離可能なニッケル基合金単結晶である、請求項1~3のいずれかに記載の波長選択性の熱放射または熱吸収材料の製造方法。しかし、一方で、ドライエッチング法は、大面積の熱放射または熱吸収材料を作製するのは非常に困難な方法であるという課題を残している。例えば、mm2レベルの材料を作製するのに6時間程度もかかる。本発明者は、上記の課題を解決するためにスピノーダル分解させたNi基超合金をエッチング液で処理することで周期的微細構造を形成する技術に着目した例えば、特許文献2参照。この特許文献2は、Ni基超合金をエッチング液で処理することで形成されるメゾスケールの方形の規則的な凹凸を利用して、これを電子素子用又はIC用冷却フィン等に適用することを意図したものである。ただし、このような用途では、規則的な凹凸の寸法に厳密な精度は必要としない。これに対し、波長選択性の熱放射または熱吸収材料では、規則的な凹凸の寸法に厳格な精度が要求される。すなわち、スピノーダル分解させたNi基超合金をエッチング液で処理することで得られる周期的微細構造は、そのキャビティの大きさが500nm程度であるが、本発明の用途に有効に適用するには、その10分の1程度の50nm原子約500個分程度の表面平滑さが必要である。しかし、このような表面平滑さは精密な研磨を行なっても実現することはできない。そこで、本発明者は、規則的な凹凸を形成する基板の最表面の相構造γ相γ ́相をそのまま利用してキャビティ凹凸を形成するのではなく、最表面の相構造を化学的、電気化学的の溶解、及び/又は物理的に削除し、そのことにより表出した内側の相構造γ相γ ́相を利用してキャビティ凹凸を形成することにより、この問題を解決できることを見出し、本発明を完成した。即ち本発明は、過飽和固溶体を二相共存領域で時効処理したときに、スピノーダル分解により二相分離可能な合金基材を準備する工程と、この合金基材を二相共存領域で時効処理してスピノーダル分解させ、規則的に配列された第1の相と、第1の相の間に配列された第2の相とを形成する工程と、前記第2の相を所定の深さまで選択的に溶解除去して、第1の相を浮き上がらせる工程と、第2の相の溶解除去により浮き上がった第1の相を超音波により物理的に除去する工程と、第1の相を超音波により物理的に除去した後、表面にある第1の相を選択的に溶解除去する工程と、を具備することを特徴とする、波長選択性の熱放射または熱吸収材料の製造方法である。ここで、波長選択性熱放射材料と波長選択性熱吸収材料とは、材料自体は同一である。この材料は、ヒーターなどの熱源によりこの材料を加熱すると、特定の波長領域でのみ熱放射するという特性を有するが、このような特性を利用した用途目的で用いられる場合、波長選択性熱放射材料となる。一方、太陽など、外部からの熱放射を受けると、ある特定の波長領域のみを吸収するという特性を有するが、このような特性を利用した用途目的で用いられる場合、波長選択性熱吸収材料となる。本発明は、スピノーダル分解で第1の相と第2の相とが規則的に配列された合金基材の、最表面にある第1の相と第2の相とをいずれも除去してから、その内側にある第1の相と第2の相とを利用してキャビティを形成するようにしたので、合金基材の最表面にあるマクロ的な凹凸例えば、切り出しや、機械加工によって生じる表面の残留凹凸、更には表面の段違いによる最表面結晶相の違い、バルク材料から所定の結晶面結晶軸を切り出す際に発生するずれ誤差に起因する最表面の構造の空間的不均一性の悪影響を排除して、微視的に一様な表面構造50nm程度の平滑さを得ることにより、波長選択性の熱放射または熱吸収材料として有効な精度の高い寸法精度のキャビティを形成することができる。しかも、合金基材を二相共存領域で時効処理してスピノーダル分解させた合金基板をエッチングすることにより、大面積の熱放射または熱吸収材料を短時間で容易に作製することができる。又、スピノーダル分解する合金基材、例えばNi基合金は、電気伝導度が低く、したがって赤外領域の反射が低くなる。これを防ぐ為、合金基材よりも電気伝導度が高い金属又は合金をコーティングすることにより赤外領域の反射を向上することができる。また、コーティングする金属又は合金を合金基材よりも高融点とすることにより、高温でも安定して使用することができる。以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。まず、過飽和固溶体を二相共存領域で時効処理したときに、スピノーダル分解により二相分離可能な合金基材を準備する。スピノーダル分解により二相分離可能な合金基材は、合金の自由エネルギー対濃度図における自由エネルギー曲線の変曲があるものをいう。スピノーダル分解は、核生成を伴わない相分解で、スピノーダル分解によって生成した組織は周期的な変調構造を呈する。典型的な合金は、Ni基合金である特許文献1参照。Ni基合金以外でも、スピノーダル分解により二相分離可能な合金基材は、当業者に広く知られているところである。例えば、金属物理-材料科学の基礎一藤田英一著,アグネ技術センター発行p157166参照。したがって、本発明の合金基材は、Ni基合金に限定されるものではない。この合金基材は、単結晶であることが望ましいが、結晶方位が実質的に同じ方位である多結晶例えば、結晶成長方向を揃えて鋳造された多結晶でも、本発明に係る用途に有効に適用することができる。また、本発明で適用される合金基材表面の結晶方位は特に特定されるものではない。例えば、001面、110面などで適用可能である。次いで、この合金基材を二相共存領域で時効処理してスピノーダル分解させ、規則的に配列された第1の相と、第1の相の間に配列された第2の相とを形成する。本発明の用途に適用するためには、規則的に配列された第1の相と第2の相との寸法を精度よく設定する必要がある。そのためには、合金の組成添加元素の種類、配合量、時効処理条件などを適宜設定する必要がある例えば、特許文献1参照。所望の寸法の規則配列とするための各種手法は公知である。例えば、時効処理温度を高くするとγ ́相の組織は粗大化することは当業者に広く知られている。Ni基超合金における時効処理温度とγ ́相の組織の関係については、AMGesOFornaroHAPalacioCoarseningbehaviorofaNibasesuperalloyunderdifferentheattreatmentconditionsMaterialsScienceandEngineeringA458pp96100に述べられている。従って、本発明は、これらの公知の知見に基づいて、規則的に配列される第1の相と第2の相との所望する寸法を設定することができる。ついで、規則的に配列された第1の相と、第1の相の間に配列された第2の相とを形成した合金基材図11参照の、最表面にある第2の相γ相を所定の深さまで選択的に溶解除去して、最表面にある第1の相γ ́相を浮き上がらせる図12参照。これは、最表面にある第2の相γ相に対してのみ作用する化学的な或いは電気化学的なエッチング処理を行い、最表面にある第1の相γ ́相を残存させる処理である。エッチング処理の制御基材に対するエッチング深さの制御は、処理液の組成、濃度、温度、時間などを調整することにより行なう。このような手法自体は当業者に広く知られている。例えば、γ相のエッチングには、HClO4:2-ブトキシエタノール:グリセリン10486体積比率のエッチング処理液を用いて電気化学的にエッチングする。エッチング処理の深さの制御は、処理液の濃度、処理液の温度、電流密度等により異なるが、一般的には1分程度の処理時間で所望の深さ最表面の第1の相γ ́相の一部が浮き上がる深さにエッチングすることができる。その後、第2の相γ相の溶解除去により浮き上がった最表面の第1の相γ ́相を除去する。例えば、最表面に残存している第1の相γ ́相を、超音波洗浄等の物理的手法により除去する。超音波洗浄は当業者に広く知られている一般的な装置を用いることができる。その結果、基材の最表面にあった、第1の相γ ́相と第2の相γ相とがいずれも合金基材の表面から除去され、その内側にあった第1の相γ ́相と第2の相γ相とが合金基材の表面に表出してくることになる図13参照。このような状態で、表出した第1の相γ ́相を選択的に溶解除去する図14参照。γ ́相のエッチングでは、例えば、HCl37:HNO3:純水42833体積比率の処理液を用いる。このエッチングでは、エッチング処理液温度が上昇すると、エッチング速度は速くなるものの、エッチング深さにバラツキがでる。また、エッチング処理液濃度が薄すぎると合金基材の微細構造の壁面が荒れてしまう傾向があり、エッチング処理液濃度が濃すぎるとエッチング速度が速すぎてエッチング深さの制御が困難となる。したがって、例えば、エッチング処理液温度40°C以下、エッチング処理液に含まれる水の含有量が20~40とする。このことにより、基材表面は、最表面の凹凸の影響を受けない波長選択性の熱放射または熱吸収材料として有効な、高い寸法精度のキャビティを形成することができる。なお、このエッチング処理では、γ相もその表面領域の一部がエッチング処理される図14参照。次いで、表出した第2の相γ相の表面に、合金基材の第2の相γ相よりも高融点で、かつ、第2の相γ相よりも電気伝導度の高い金属又は合金、好適には、白金などの貴金属、W,Ta及びMoから選択される金属又はその合金をコーティングする。白金は、波長選択特性に優れ、好適である。コーティング厚は最低でも電磁波の侵入深さ分は必要である。また、高温にした際の剥離を避けるため、あまり厚くするのもよくない。したがって、コーティング金属の種類にもよるが、70nm~150nmが好適である。過飽和固溶体を二相共存領域で時効処理した時にスピノーダル分解により、γ相とγ ́相とに二相分離するNi基超合金基材単結晶を用意した。このNi基超合金基材の組成は以下のとおりである。質量で、Cr:6.4,Al:5.6,Ti:1.0,Mo:0.6,W:6.4,Co:9.7,Re:3.0,Hf:0.1,残部Ni及び不可避的不純物このNi基超合金基材を熱処理した。熱処理条件は以下のとおりである。溶体化熱処理7ステップ1276°Cまで3時間で昇温後1276°C/4時間保持1286°Cまで10分昇温後1286°C/2時間保持1296°Cまで10分昇温後1296°C/3時間保持1303°Cまで10分昇温後1303°C/3時間保持1312°Cまで10分昇温後1312°C/2時間保持1315°Cまで10分昇温後1315°C/2時間保持1317°Cまで5分昇温後1317°C/1時間保持後急速冷却1300°C付近より300°C/分で冷却1次時効熱処理1ステップ溶体化熱処理後400°C以下に冷却後1140°C/6時間保持後急速冷却2次時効熱処理1ステップ1次時効熱処理後400°C以下に冷却後870°C/20時間保持後急速冷却得られた基材を110面が表面となるように、所定の大きさに切り出し、機械加工、及び研磨をした。次いで、最表面のγ相をエッチング処理した。エッチング処理条件は以下とのとおりである。エッチング液温度25°C処理液濃度HClO4:2-ブトキシエタノール:グリセリン=10:48:630V一定として定電圧電源を用い、電流値は、1-1.1A1分程度のエッチング処理時間で所望のエッチング深さを得ることができた。次に、超音波洗浄処理をした。処理条件は以下のとおりである。国際電気アルファ株式会社製UA100出力100W,周波数36kHz次いで、γ ́相のエッチング処理を行なった。エッチング処理条件は以下とのとおりである。処理液濃度HC1:HNO3:純水=42833体積比率エッチング液温度は25°C一定、処理液濃度は42:8:33一定13分程度のエッチングでアスペクト比が1程度の微細講造キャビティを有する凹凸構造が得られた。さらに、得られた表面に凹凸構造に、めっきによりコーティングを施した。コーティング成分白金コーティング厚さ100nmこの方法により、平方メートルクラスの面積を1時間単位で製造することができた。得られた微細構造を走査型電子顕微鏡で写した結果を図2a及びbに示す。aは、真上から見た写真、bは斜めから見た写真である。比較例実施例1と同様のNi基合金基材を用意し、このNi基合金基材を実施例1と同様の熱処理条件で熱処理した。得られた基材を実施例1と同様に、110面が最表面となるように、所定の大きさに切り出し、機械加工、及び研磨をした。次いで、最表面のγ ́相をエッチング処理して、γ ́相を除去した。γ ́相のエッチング処理条件は実施例と同様である。得られた微細構造キャビティを有する凹凸構造に、めっきによりコーティングを施した。コーティング条件は実施例と同様である。得られた微細構造を走査型電子顕微鏡で写した結果を図3a、bに示す。aは、真上から見た写真、bは斜めから見た写真である。得られた実施例及び比較例の波長選択性の熱放射または熱吸収材料の寸法精度を測定した。同じ面積内に存在する一辺が200nm~1000nmの長方形の個数を数えたところ、実施例の波長選択性の熱放射または熱吸収材料は、比較例のものに比べて、165倍あり、本発明製造方法により、凹凸構造の寸法精度が向上していることが確認された。また、実施例と比較例との波長選択性能を比較した実験結果を、理想的構造の計算結果と共に図4に示す。この図から、実施例では、比較例に比べて波長選択性が向上していることがわかる。例えば可視光領域と赤外領域における平均反射率の差分を比較すると比較例では033となり実施例では052となっている。実験例上記の実施例において、時効処理条件を以下ように変えて試料を作成した。1溶体化処理後1140°Cで6時間時効処理を行なった2溶体化処理後1175°Cで6時間時効処理を行なった3溶体化処理後1135°Cで6時間時効処理を行なった各試料の表面微細講造を走査型電子顕微鏡で観察した結果を図5a~cに示すとともに、各試料1~3の凹部の平均寸法の測定結果を以下に示す。1337nm2350nm3480nm以上の実験結果から、時効処理条件を変えることにより、規則的に配列された第1の相と第2の相との寸法を精度よく設定できることが確認された。"