ポンプ室を形成するダイヤフラムおよび隔壁体と、この隔壁体と共にダイヤフラムを挟持するダイヤフラムホルダーと、このダイヤフラムホルダーが載置され駆動源であるモータが固定される取付台とを備え、ポンプ室が拡縮することによりポンプ作用が行われるダイヤフラムポンプにおいて、前記取付台に外部から流体を吸入するための吸入口を設け、前記隔壁体の裏面に、ポンプ室に一端が連通する第1連通溝と、前記吸入口から吸入された流体をポンプ室に吸入する第3連通溝とを設け、前記隔壁体の表面に、ポンプ室から吐出された流体を外部に吐出する吐出口を設け、前記ダイヤフラムホルダーの表面に、前記第1連通溝の他端と前記吐出口とを連通させる第2連通溝を設け、前記ダイヤフラムに、ポンプ室が収縮するときにポンプ室から前記第3連通溝への流体の逆流を規制する吸入用弁体と、ポンプ室が拡張するときに前記吐出口からポンプ室への逆流を規制する吐出用弁体とを一体に設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。ポンプ室を形成するダイヤフラムおよび隔壁体と、この隔壁体と共にダイヤフラムを挟持するダイヤフラムホルダーとを備え、ポンプ室が拡縮することによりポンプ作用が行われるダイヤフラムポンプにおいて、前記隔壁体に、外部からポンプ室へ流体を吸入する吸入口を設け、前記隔壁体の表面に、ポンプ室から吐出された流体を外部に吐出する吐出口を設け、前記隔壁体の裏面に、ポンプ室に一端が連通する第1連通溝を設け、前記ダイヤフラムホルダーの表面に、第1連通溝の他端と前記吐出口とを連通させる第2連通溝を設け、前記ダイヤフラムに、ポンプ室が収縮するときにポンプ室から前記吸入口への流体の逆流を規制する吸入用弁体と、ポンプ室が拡張するときに前記吐出口からポンプ室への流体の逆流を規制する吐出用弁体とを一体に設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。上述したような従来のダイヤフラムポンプにおいては、ポンプ室の収縮動作によってポンプ室から吐出された流体をバルブホルダーの外側で一つに集める構造としているので、バルブホルダーの外側に流体を一つに集めるための吐出空間を形成する必要があり、この吐出空間を形成するための蓋体が必要になる。このため、部品点数が増加するので製造コストが増大するだけではなく装置の高さ方向の寸法も大きくなるという問題があった。本発明は上記した従来の問題に鑑みなされたものであり、その目的は、部品点数を削減し製造コストの低減を図るとともに装置の高さ方向の寸法を小さくすることにある。この目的を達成するために、本発明は、ポンプ室を形成するダイヤフラムおよび隔壁体と、この隔壁体と共にダイヤフラムを挟持するダイヤフラムホルダーと、このダイヤフラムホルダーが載置され駆動源であるモータが固定される取付台とを備え、ポンプ室が拡縮することによりポンプ作用が行われるダイヤフラムポンプにおいて、前記取付台に外部から流体を吸入するための吸入口を設け、前記隔壁体の裏面に、ポンプ室に一端が連通する第1連通溝と、前記吸入口から吸入された流体をポンプ室に吸入する第3連通溝とを設け、前記隔壁体の表面に、ポンプ室から吐出された流体を外部に吐出する吐出口を設け、前記ダイヤフラムホルダーの表面に、前記第1連通溝の他端と前記吐出口とを連通させる第2連通溝を設け、前記ダイヤフラムに、ポンプ室が収縮するときにポンプ室から前記第3連通溝への流体の逆流を規制する吸入用弁体と、ポンプ室が拡張するときに前記吐出口からポンプ室への逆流を規制する吐出用弁体とを一体に設けたものである。本発明は、ポンプ室を形成するダイヤフラムおよび隔壁体と、この隔壁体と共にダイヤフラムを挟持するダイヤフラムホルダーとを備え、ポンプ室が拡縮することによりポンプ作用が行われるダイヤフラムポンプにおいて、前記隔壁体に、外部からポンプ室へ流体を吸入する吸入口を設け、前記隔壁体の表面に、ポンプ室から吐出された流体を外部に吐出する吐出口を設け、前記隔壁体の裏面に、ポンプ室に一端が連通する第1連通溝を設け、前記ダイヤフラムホルダーの表面に、第1連通溝の他端と前記吐出口とを連通させる第2連通溝を設け、前記ダイヤフラムに、ポンプ室が収縮するときにポンプ室から前記吸入口への流体の逆流を規制する吸入用弁体と、ポンプ室が拡張するときに前記吐出口からポンプ室への流体の逆流を規制する吐出用弁体とを一体に設けたものである。本発明によれば、ポンプ室の収縮動作によってポンプ室から吐出された流体はダイヤフラムホルダーに設けた第2連通溝によって予め一つに集められた状態で隔壁体の吐出口から外部に吐出される。したがって、ダイヤフラムホルダーの外側で流体を一つに集める吐出空間を形成するために従来必要とされていた蓋体が不要になるので、部品点数が削減され製造コストを低減することができるとともに、装置の高さ方向の寸法を小さくすることができる。また、吸入用弁体および吐出用弁体をダイヤフラムに一体に形成したので部品点数を削減することができる。以下、本発明の実施の形態を図1~図7に基づいて説明する。なお、図1および図7において、ダイヤフラム部17と吐出用弁体21との間の関係を説明する便宜上、吐出用弁体21を中央部に位置させ、本来、ダイヤフラムポンプ1の中央部に位置する吐出用筒部26は中央部から変位した位置に図示している。実施の形態1先ず、図1~図6を用いて、本発明の第1の実施の形態について説明する。図1に全体を符号1で示す3気筒のダイヤフラムポンプは、略有底円筒状に形成された取付台2を備えており、この取付台2の底部には、図3に示すように平面視において円周方向に等角度120°をおいて三個の吸入口2aが設けられている。図1に示すように、取付台2の底部の外側にはモータ3が固定されており、このモータ3の出力軸3aは取付台2の孔から取付台2内に突出し、突出端部にはクランク台4が軸着されている。5は下部がクランク台4の出力軸3aから偏心した部位に、出力軸3aの軸線方向に対して傾斜した状態で軸着された駆動軸であって、上部が駆動体6の中央部に設けた非貫通穴7内に嵌挿されており、駆動体6はこの駆動軸5に回転自在に枢支されている。この駆動体6には、非貫通孔7と略直交するように三個の駆動子8二個の駆動子8は図示を省略が先端に向かって共に下方に同じ角度だけわずかに傾斜するように形成されており、各駆動子8の先端部にはダイヤフラム部取付孔8aが設けられている。10は下方が開口された有底円筒状に形成されたダイヤフラムホルダーであって、上板には、図4に示すように後述するダイヤフラム15のダイヤフラム部17を保持する平面視において円周方向に互いに等角度120°をおいて三つの保持孔11が設けられている。13は三つの保持孔11の間に位置するようにダイヤムラムホルダー10の上板の表面に凹設された三本の第2連通溝であって、ダイヤフラムホルダー10の中心から半径方向に放射状に延設され互いに円周方向に等角度120°をもって平面視Y字状に形成されている。これら第2連通溝13の一端部は、ダイヤフラムホルダー10の中心部において互いに合流し後述する吐出口26aと連通する合流部13aが形成されており、他端部13bが後述する第1連通溝27の他端部27bと連通する。また、このダイヤフラムホルダー10の上板には、平面視において円周方向に互いに等角度120°をおいて三つの連通路14が設けられており、この連通路14は後述するダイヤフラム15の連通口22を介して、後述する隔壁体25の第3連通溝28の一端部28aと連通する。このダイヤフラムホルダー10は取付台2の上部開口端に載置される。15はゴム等の柔軟性を有する材料によって形成されたダイヤフラムであって、図5に示すように中央部に、上記した第2連通溝13の合流部13aと連通する中心穴16が設けられている。このダイヤフラム15は、中心穴16を中心とした円周方向に互いに等角度120°をおいた三つのダイヤフラム部17と、これら三つのダイヤフラム部17の上端部を連設する略円板状に形成されたフランジ18とによって一体に形成されている。各ダイヤフラム部17の下部には、図1に示すようにピストン19が設けられており、各ピストン19の下部には、細径の首部19aを介して係止用の凸部19bが一体に形成されている。ダイヤフラム15は、各ダイヤフラム部17をダイヤフラムホルダー10の保持孔11のそれぞれに嵌挿させ、ダイヤフラム部17の凸部19bを弾性変形させながら、駆動体6の駆動子8のダイヤフラム部取付孔8aに圧入することにより、首部19aがダイヤフラム部取付孔8aに取り付けられて、ダイヤフラムホルダー10上に載置される。図1および図5に示すように、各ダイヤフラム部17の上部は開口しており、この開口17aの周縁の一部から開口17a後述するポンプ室30の一部を臨む吸入用弁体20がダイヤフラム15に一体に水平方向に突設されている。この吸入用弁体20は、図5に示すように平面視において三日月状説明の便宜上、破線によってハッチングを施した部分を呈している。この吸入用弁体20は、第3連通溝28の他端部28bを開閉し、ポンプ室30が収縮するとき、ポンプ室30内のエアーが他端部28bに逆流するのを規制する逆止弁として機能する。ダイヤフラム15のフランジ18の隣接するダイヤフラム部17間の部位には、図5に示すように、平面視において鱗状に形成された三つの吐出用弁体21説明の便宜上、破線によってハッチングを施した部分が、互いに中心穴16を中心とした円周方向に等角度120°をおいて、ダイヤフラム15に一体に設けられている。これら吐出用弁体21は、切欠き22が隣接して設けられており、第1連通溝27の他端部27bと第2連通溝13の他端部13bとの間を開閉し、ポンプ室30が拡張するとき、吐出口26aからポンプ室30へのエアーの逆流を規制する逆止弁として機能する。22は吸入用弁体20と吐出用弁体21との間に位置するように設けられた三つの連通口であって、中心穴16を中心とした円周方向に等角度120°をおいて形成されており、ダイヤフラムホルダー10の連通路14と連通する。図1において、25は略円板状に形成された隔壁体であって、図6に示すように表面の中央部には吐出口26aを有する吐出用筒部26が立設されており、吐出口26aは、上記したダイヤフラム15の中心穴16を介して第2連通溝13の合流部13aに連通している。この隔壁体25の裏面には、吐出口26aを中心とした円周方向に等角度120°をおいて三つの第1連通溝27が凹設されている。この第1連通溝27の一端部27aは、図1および図5に示すようにポンプ室30に連通し、他端部27bは、図1および図4に示すように第2連通溝13の他端部13bに連通している。これら第1連通溝27の他端部27bと第2連通溝13の他端部13bとの間は、図1および図5に示すように吐出用弁体21によって開閉される。また、隔壁体25の裏面の周縁部には、三つの第3連通溝28が吐出口26aを中心とした円周方向に等角度120°をおいて設けられている。この第3連通溝28の一端部28aは、図6に示すように上記したダイヤフラム15の連通口22に連通し、他端部28bは、図1および図5に示すように吸入用弁体20に開閉され、吸入用弁体20が開くことによりポンプ室30と連通する。したがって、この他端部28bは、ポンプ室30に流体を吸入するための吸入通路として機能する。上記したダイヤフラム15は、図1に示すようにフランジ部18がダイヤフラムホルダー10と隔壁体25とによって挟持され、挟持されることにより、ダイヤフラム部17と隔壁体25との間に三つのポンプ室30が形成される。また、取付台2、ダイヤフラムホルダー10、隔壁体25は、積載状態でばね図示せずによって一体に結合されている。次に、図1および図2を用いて、このように構成されたダイヤフラムポンプ1において、ポンプ動作中におけるエアーの流れを説明する。図1において、モータ3を駆動し出力軸3aを回転させると、クランク台4も一体的に回転し、駆動軸5が傾斜した状態で回転するため、駆動体6の三つの駆動子8の両端部が図中上下方向へ往復動する。したがって、三つのダイヤフラム部17が順次に上下方向に往復動するため、三つのポンプ室30も順次拡縮する。ポンプ室30が拡張することにより、ポンプ室30内が負圧状態となって、取付台2の吸入口2aから吸入されたエアーは矢印A方向に流れ、ダイヤフラムホルダー10の連通路14およびダイヤフラム15の連通口22を通って矢印B方向に流れ、隔壁体25の第3連通溝28の一端部28aから第3連通溝28内に導入される。第3連通溝28内に導入されたエアーは矢印C方向に流れ、吸入用弁体20が開くことにより、他端部28bから矢印D方向に流れポンプ室30内に吸入される。次いで、ポンプ室30が収縮すると、ポンプ室30内のエアーは圧力が上昇するので、吐出用弁体21が開き、ポンプ室30内のエアーは、第1連通溝27内を矢印E方向に流れ、第1連通溝27の他端部27bから矢印F方向に流れ第2連通溝13の他端部13bに導入される。第2連通溝13内に導入されたエアーは、第2連通溝13内を矢印G方向に流れ、合流部13aから矢印H方向に流れ、ダイヤフラムホルダー10の中心穴16を通って矢印I方向に流れ、隔壁体25の吐出口26aから矢印J方向に流れて外部に吐出される。各ポンプ室30は順次拡縮し、順次拡縮することにより、各ポンプ室30から吐出されたエアーは、順次三本の第2連通溝13のそれぞれを矢印G方向に流れ、合流部13aに集められ、一つの吐出口26aから大気中に吐出される。このように、ダイヤフラムホルダー10の表面に吐出口26aに連通する第2連通溝13を設け、三本の第2連通溝13内を流れるエアーを予め合流部13aで一つに集めて、ダイヤフラムホルダー10の中央部の一つの中心穴16を通って、一つの吐出口26aからエアーを吐出するように構成したので、従来のように複数の吐出通路から吐出されたエアーを一つにまとめる吐出空間を必要としないから、吐出空間を形成するために隔壁体25を覆う蓋体が不要になる。このため、部品点数が削減され、製造コストを低減できるとともに装置の高さ方向を小さくすることができる。また、吸入用弁体20および吐出用弁体21をダイヤフラム15に一体に形成したので部品点数を削減することができる。実施の形態2次に、図7を用いて、本発明の第2の実施の形態について説明する。この第2の実施の形態においては、吸入口を取付台2に設けるのではなく、隔壁体25に設けた点が上述した第1の実施の形態と異なるところである。すなわち、同図に示すように吸入用弁体20に開閉され、吸入用弁体20が開くことにより各ポンプ室30に連通する三つの吸入口25aが隔壁体25に設けられている。また、この第2の実施の形態に係るダイヤフラムポンプ101には、上述した第1の実施の形態に係るダイヤフラムポンプ1に必要とされていた第3連通溝28、連通路14、連通口22が設けられていない。このような構成において、モータ3を駆動すると、三つのポンプ室30も順次拡縮し、ポンプ室30が拡張することにより、ポンプ室30内が負圧状態となり、吸入用弁体20が開くことにより、外部からエアーが吸入口25aを通ってポンプ室30内に吸入される。次いで、ポンプ室30が収縮すると、ポンプ室30内のエアーは圧力が上昇するので、吐出用弁体21が開き、ポンプ室30内のエアーは、第1連通溝27、第2連通溝13、ダイヤフラムホルダー10の中心穴16を通って、隔壁体25の吐出口26aから外部に吐出される。なお、本実施の形態においては、ポンプ室35が三つ備えられた三気筒のダイヤフラムポンプについて説明したが、一気筒でも二気筒でも、また四気筒以上のダイヤフラムポンプにも適用できることは勿論である。