"回転軸が略平行で互いに噛み合いながら回転する雄ロータ及び雌ロータと、前記雄ロータ及び雌ロータを収納するボアを有するメインケーシングと、このメインケーシングのロータ軸方向吐出側端面に当接して前記ボアの開口を覆う吐出ケーシングとを有し、前記雄ロータ及び雌ロータにより形成された圧縮作動室から、前記メインケーシングまたは前記吐出ケーシングの少なくとも何れかに形成された吐出ポートを介して圧縮ガスが吐出される吐出室または吐出流路と、前記吐出ポート近傍で前記雄ロータまたは雌ロータの少なくとも一方側の前記吐出ケーシングの端面であって前記圧縮作動室に開口する位置に形成された弁孔と、この弁孔と前記吐出室または吐出流路とを連通するバイパス流路と、前記弁孔内に配置された弁体とを備えているスクリュー圧縮機において、前記弁体の背面側に設けられたシリンダ室と、該シリンダ室内を往復動するピストンと、該ピストンと前記弁体を接続するロッドと、前記ピストンの反弁体側及び弁体側のシリンダ室内に圧縮機の吐出側の流体を導くための連通路と、前記ピストンの反弁体側及び弁体側のシリンダ室内に導かれた流体を圧縮機の吸込側に排出するための圧力排出路と、前記圧力排出路または前記連通路に設けられ、前記ピストンの反弁体側及び弁体側のシリンダ室内の圧力を変化させるための複数の弁手段と、前記圧縮作動室に過圧縮が発生しているか否かを検知し、過圧縮が検知された場合に前記弁体を開き、過圧縮が検知されない場合には前記弁体を閉じるように、前記複数の弁手段を制御する制御装置を備えることを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項1に記載のスクリュー圧縮機において、前記ピストンの反弁体側のシリンダ室内と圧縮機の吐出側とを接続する第1の連通路と、前記ピストンの反弁体側のシリンダ室内と圧縮機の低圧空間とを接続する第1の圧力排出路と、この第1の圧力排出路に設けられ該圧力排出路を開閉するための第1の弁手段と、前記ピストンの弁体側のシリンダ室内と圧縮機の吐出側とを接続する第2の連通路と、前記ピストンの弁体側のシリンダ室内と圧縮機の低圧空間とを接続する第2の圧力排出路と、この第2の圧力排出路に設けられ該圧力排出路を開閉するための第2の弁手段とを備え、前記制御装置は、前記圧縮作動室に過圧縮が発生しているか否かを検知し、過圧縮の発生が検知された場合には前記弁体を開き、過圧縮の発生が検知されない場合には前記弁体を閉じるように前記第1及び第2の弁手段を制御することを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項2に記載のスクリュー圧縮機において、前記制御装置は、圧縮機への吸入圧力と圧縮機の吐出圧力に基づいて運転中の圧力比を求め、この圧力比と予め記憶されている設定された圧力比とを比較し、運転中の圧力比が前記設定された圧力比よりも小さくなった場合に過圧縮が発生したと判断し、前記弁体を開くように、前記第1及び第2の弁手段を制御することを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項3に記載のスクリュー圧縮機において、前記制御装置は、過圧縮が発生したと判断した場合には、前記第1の弁手段を開き、前記第2の弁手段を閉じるように制御し、過圧縮が発生していないと判断した場合には、前記第1の弁手段を閉じ、前記第2の弁手段を開くように制御することを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項4に記載のスクリュー圧縮機において、吸入圧力を検出するための吸入圧力センサと、吐出圧力を検知するための吐出圧力センサを備えていることを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項5に記載のスクリュー圧縮機において、前記圧縮機の吐出側と前記シリンダ内とを接続している前記第1、第2の連通路は、それぞれ、吐出側の圧力をシリンダ室に供給するための圧力供給路と、前記シリンダ室へ圧力を給排するための給排路で構成され、前記第1、第2の連通路における前記圧力供給路のそれぞれにキャピラリチューブが備えられていることを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項6に記載のスクリュー圧縮機において、前記シリンダ室内に接続されている前記第1、第2の連通路は、それらの上流側が、圧縮機吐出側と連通された油タンクに接続されていることを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項2に記載のスクリュー圧縮機において、前記第1及び第2の圧力排出路に設けられている前記第1及び第2の弁手段は電磁弁であることを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項2に記載のスクリュー圧縮機において、シリンダ室内に接続する前記第1及び第2の連通路は、それぞれ前記ピストンの移動範囲外のシリンダ室内に開口させ、低圧空間に接続される前記圧力排出路は圧縮機の吸入ポートに開口する構成としたことを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項2において、前記第1の圧力排出路は、前記第1の連通路の途中と圧縮機の低圧空間とを接続し、前記第2の圧力排出路は、前記第2の連通路の途中と圧縮機の低圧空間とを接続するように構成されていることを特徴とするスクリュー圧縮機。請求項1に記載のスクリュー圧縮機において、前記ピストンの反弁体側のシリンダ室内と圧縮機の吐出側とを接続する第1の連通路と、前記ピストンの反弁体側のシリンダ室内と圧縮機の低圧空間とを接続する第1の圧力排出路と、前記第1の連通路に設けられ該連通路を開閉するための第1の弁手段と、前記第1の圧力排出路に設けられたキャピラリチューブまたは絞りと、前記ピストンの弁体側のシリンダ室内と圧縮機の吐出側とを接続する第2の連通路と、前記ピストンの弁体側のシリンダ室内と圧縮機の低圧空間とを接続する第2の圧力排出路と、前記第2の連通路に設けられ該連通路を開閉するための第2の弁手段と、前記第2の圧力排出路に設けられたキャピラリチューブまたは絞りとを備え、前記制御装置は、前記圧縮作動室に過圧縮が発生しているか否かを検知し、過圧縮の発生が検知された場合には前記弁体を開き、過圧縮の発生が検知されない場合には前記弁体を閉じるように前記第1及び第2の弁手段を制御することを特徴とするスクリュー圧縮機。圧縮機、油分離器、凝縮器、膨張弁及び蒸発器を冷媒配管で接続して構成されたチラーユニットにおいて、前記圧縮機として請求項1に記載のスクリュー圧縮機を用いると共に、前記圧縮機への吸入圧力を検出するための吸入圧力センサと、前記圧縮機からの吐出圧力を検知するための吐出圧力センサを備え、前記スクリュー圧縮機に設けられている前記複数の弁手段はそれぞれ電磁弁で構成され、前記スクリュー圧縮機の制御装置は前記吸入圧力センサ及び前記吐出圧力センサからの検出値に基づいて、前記電磁弁を開閉制御することを特徴とするスクリュー圧縮機を用いたチラーユニット。請求項12に記載のスクリュー圧縮機を用いたチラーユニットにおいて、前記制御装置は、圧縮機への吸入圧力と圧縮機の吐出圧力に基づいて運転中の圧力比を求め、この圧力比と予め記憶されている設定された圧力比とを比較し、運転中の圧力比が前記設定された圧力比よりも小さくなった場合に前記スクリュー圧縮機に設けられている前記弁体を開くように、スクリュー圧縮機に設けられている前記複数の電磁弁を開閉制御することを特徴とするスクリュー圧縮機を用いたチラーユニット。しかしながら、上記従来技術のものでは、次のような改善すべき課題があることがわかった。即ち、上記従来技術において、前記弁体には圧縮作動室からの圧力が作用しているので、圧縮作動室が過圧縮の状態圧縮作動室の圧力>吐出室の圧力になり、前記ばねの押圧力に打ち勝つと前記弁体は開く。しかし、弁体が開くと、弁体の圧縮作動室側の圧力は吐出室側の圧力とすぐに同じになる。一方、前記弁体の背圧は常に吐出室の圧力になっているため、弁体に作用する圧力はすぐにバランスする。このため、弁体をメインケーシング側に付勢する前記ばねの作用により、前記弁体はすぐに閉じられる。従って、圧縮作動室が過圧縮状態になった場合、ロータの回転に伴って圧縮作動室が弁体を通過する度に弁体は開閉を繰り返すことになり、弁体がストッパを叩く打撃音や振動が発生するという課題がある。本発明の目的は、過圧縮を軽減する弁体の打撃音や振動を低減できるスクリュー圧縮機及びこれを用いたチラーユニットを得ることにある。上記目的を達成するため、本発明は、回転軸が略平行で互いに噛み合いながら回転する雄ロータ及び雌ロータと、前記雄ロータ及び雌ロータを収納するボアを有するメインケーシングと、このメインケーシングのロータ軸方向吐出側端面に当接して前記ボアの開口を覆う吐出ケーシングとを有し、前記雄ロータ及び雌ロータにより形成された圧縮作動室から、前記メインケーシングまたは前記吐出ケーシングの少なくとも何れかに形成された吐出ポートを介して圧縮ガスが吐出される吐出室または吐出流路と、前記吐出ポート近傍で前記雄ロータまたは雌ロータの少なくとも一方側の前記吐出ケーシングの端面であって前記圧縮作動室に開口する位置に形成された弁孔と、この弁孔と前記吐出室または吐出流路とを連通するバイパス流路と、前記弁孔内に配置された弁体とを備えているスクリュー圧縮機において、前記弁体の背面側に設けられたシリンダ室と、該シリンダ室内を往復動するピストンと、該ピストンと前記弁体を接続するロッドと、前記ピストンの反弁体側及び弁体側のシリンダ室内に圧縮機の吐出側の流体を導くための連通路と、前記ピストンの反弁体側及び弁体側のシリンダ室内に導かれた流体を圧縮機の吸込側に排出するための圧力排出路と、前記圧力排出路または前記連通路に設けられ、前記ピストンの反弁体側及び弁体側のシリンダ室内の圧力を変化させるための複数の弁手段と、前記圧縮作動室に過圧縮が発生しているか否かを検知し、過圧縮が検知された場合に前記弁体を開き、過圧縮が検知されない場合には前記弁体を閉じるように、前記複数の弁手段を制御する制御装置を備えることを特徴とする。本発明の他の特徴は、圧縮機、油分離器、凝縮器、膨張弁及び蒸発器を冷媒配管で接続して構成されたチラーユニットにおいて、前記圧縮機として上記のスクリュー圧縮機を用いると共に、前記圧縮機への吸入圧力を検出するための吸入圧力センサと、前記圧縮機からの吐出圧力を検知するための吐出圧力センサを備え、前記スクリュー圧縮機に設けられている前記複数の弁手段はそれぞれ電磁弁で構成され、前記スクリュー圧縮機の制御装置は前記吸入圧力センサ及び前記吐出圧力センサからの検出値に基づいて、前記電磁弁をを開閉制御するようにしたスクリュー圧縮機を用いたチラーユニットにある。本発明によれば、過圧縮を軽減する弁体の打撃音や振動を低減できるスクリュー圧縮機及びこれを用いたチラーユニットを得ることができる。本発明のスクリュー圧縮機及びこれを用いたチラーユニットの実施例1を図1~図10を用いて説明する。各図において、同一符号を付した部分は同一或いは相当する部分を示している。図1は、本発明のスクリュー圧縮機の実施例1を示す縦断面図、図2は図1のII-II線矢視断面図である。図1において、スクリュー圧縮機は、圧縮機本体1と、この圧縮機本体1を駆動するモータ電動機2と、このモータ2を収納するモータケーシング13とを備えている。モータケーシング13は、モータ2の反圧縮機本体側に吸込室低圧室5を形成しており、吸込口6からストレーナ7を介して前記吸込室5内にガスが流入するようになっている。前記モータ2は、回転軸10に取り付けられた回転子11と、この回転子11の外周側に配設された固定子12とで構成され、前記固定子12は前記モータケーシング13の内面に固定されている。前記圧縮機本体1は、前記モータケーシング13に接続され、スクリューロータ14を内蔵するメインケーシング15と、このメインケーシング15の吐出側に接続された吐出ケーシング16とを備えている。前記メインケーシング15には前記スクリューロータ14の歯部を収容する円筒状のボア20が形成され、このボア20のロータ軸方向吐出側は開口されている。この開口を形成している前記メインケーシング15の端面21側には径方向の吐出ポート23が形成され、またこの吐出ポート23に接続される吐出流路90も形成されている。図2に示すように、前記スクリューロータ14は、回転軸が平行で互いに噛み合いながら回転する雄ロータ14A及び雌ロータ14Bから構成されている。また、前記ボア20は、雄ロータを収容するボア20Aと雌ロータを収容するボア20Bから構成されており、前記雄ロータ14A及び雌ロータ14Bの歯溝との間には圧縮作動室36A,36Bが形成されている。この圧縮作動室36A,36Bは、メインケーシング15の吸込側モータケーシング13側に形成した吸込ポート22図1参照に連通する吸気行程の圧縮作動室、吸気されたガスを圧縮する圧縮行程の圧縮作動室、軸方向の吐出ポート25雄ロータ側の吐出ポート25A、雌ロータ側の吐出ポート25B及び前記径方向の吐出ポート23図1参照に連通して圧縮したガスを吐出する吐出行程の圧縮作動室に、スクリューロータの回転と共に順次変化する。前記軸方向の吐出ポート2525A,25Bは、前記吐出行程の圧縮作動室に対して雄ロータ14Aまたは雌ロータ14Bの軸方向側図2の正面側の吐出ケーシング16の端面24メインケーシングの端面21側に形成されている。また、前記径方向の吐出ポート23は、前記吐出行程の圧縮作動室に対して雄ロータまたは雌ロータの径方向外側図1の上側に形成されている。前記メインケーシング15のロータ軸方向吸込側図1の左側は前記モータケーシング13と接続され、該モータケーシング13内部の前記回転子11と固定子12との間の隙間等は、前記吸込室5と前記圧縮機本体1とを連通させる吸込通路となっている。図1に示すように、前記雄ロータ14Aの吸込側軸部は、前記メインケーシング15に配設されたころ軸受17及びモータケーシング13に配設された玉軸受91で支持され、前記雄ロータ14Aの吐出側軸部は、吐出ケーシング16に配設されたころ軸受18及び玉軸受19で支持されている。また、前記雌ロータ14Bの吸込側軸部は、前記メインケーシング15に配設されたころ軸受図示せずで支持され、前記雌ロータ14Bの吐出側軸部は、吐出ケーシング16に配設されたころ軸受及び玉軸受図示せずで支持されている。なお、60は前記ころ軸受18及び玉軸受19を収容している軸受室の外方側端部を覆うエンドカバー、110は前記吸込口6に設けられ吸入圧力を検出するための吸入圧力センサ、111は前記吐出配管94に設けられ圧縮機からの吐出圧力を検出するための吐出圧力センサである。前記雄ロータ14Aの前記吸込側軸部は前記モータ2の回転軸10と直結され、モータ2の駆動によって雄ロータ14Aが回転し、これに伴い前記雌ロータ14Bも雄ロータ14Aと噛み合いながら回転する。前記スクリューロータ1414A,14Bで圧縮されたガスは、前記吐出ポート23,25から、前記吐出ケーシング16の吐出側端面24に形成された吐出室26或いは前記吐出流路90内に流出し、この吐出流路90からメインケーシング15に設けた吐出口9に流れ、この吐出口9に接続された吐出配管冷媒配管94を介して油分離器92に送られる。この油分離機92では、圧縮機本体1内で圧縮されたガスとこのガスに混入された油とを分離する。油分離機92で分離された油は、油戻し管93を介して前記圧縮機本体1下部に設けられた油タンク95に戻され、ここに溜められた油41は、スクリューロータ14の軸部やモータ2の回転軸10を支持している前記軸受17、18、19、91を潤滑するため、これらの軸受に再び供給される。一方、油分離機92で油を分離された高圧ガスは配管冷媒配管96を介して外部例えば冷凍サイクルを構成する凝縮器へ供給される。吸込口6から吸込室5に吸入されたガスは、モータケーシング13の内部を通過する際、回転子11及び固定子12を冷却し、その後圧縮機本体1の吸込ポート22を介して前記スクリューロータ14により形成された圧縮作動室に流入し、雄ロータ14A及び雌ロータ14Bの回転に伴い、圧縮作動室36A,36Bがロータ軸方向に移動しつつ容積が縮小され、ガスは圧縮される。圧縮作動室で圧縮されたガスは、吐出ポート23,25及び吐出室26を介して吐出流路90に流入し、吐出口9から吐出配管94へ送り出される構成となっている。図2に示すように、前記吐出ケーシング16には、その吐出側端面24における雌ロータ14B側の吐出ポート25Bの近傍で、該雌ロータ14Bの回転方向とは反対側図2の右側の位置で開口する弁孔シリンダ28が形成されており、この弁孔28は、雌ロータ14Bとボア20Bとで形成されている前記圧縮作動室36Bに開口するように構成されている。また、前記弁孔28には該弁孔28を開閉するための弁体31が設けられている。また、前記吐出ケーシング16には、メインケーシング15の端面21における雌ロータ14B側のボア20Bの開口縁よりロータ径方向外側に位置し、前記弁孔28と前記吐出室26を連通するバイパス溝29が形成されており、該バイパス溝29とこれを覆うメインケーシング15の端面21とでバイパス流路が形成されている。次に、前記弁体31を駆動するための弁体駆動装置部30の構成を、図3~図6により説明する。図3及び図4は弁体駆動装置部30の要部断面図で、図3は弁体31が閉状態を示す図、図4は弁体31が開状態を示す図、図5は弁体駆動装置の全体構成を説明する系統図、図6は図5と同じ系統図で図5の一部変形例である。図3及び図4において、弁体駆動装置部30は、前記弁孔28内を摺動して往復動可能に設けられている前記弁体31の背面に一端が接続されたロッド53、該ロッド53の他端側にボルト52を介して接続されたピストン51、該ピストン51を摺動可能に収納するシリンダ室35,70を備えている。前記シリンダ室35,70は前記吐出ケーシング16に形成され、この吐出ケーシング16には前記ロッド53を摺動自在に支持するロッド穴101も設けられている。また、前記ロッド穴101にはシールリング50が設けられており、シリンダ室35内と弁体31の背圧室28aとの間をシールするようにしている。前記背圧室28aには、圧縮機吐出側の圧力が吐出ケーシング16に形成された連通孔102を介して導入される。即ち、前記連通孔102の一端側は前記背圧室28aに開口し、前記連通孔102の他端側は前記吐出室26図1参照に連通している。前記ピストン51の外周には、該ピストン51の両側に形成されたシリンダ室35,70間の漏れを防止するためのシールリング54が装着されている。前記シリンダ室70反弁体側のシリンダ室における前記ピストン51の移動範囲の外側の部分には、第1の連通路給排路85の一端が開口している。即ち、シリンダ室70の外方側端部は前記エンドカバー60により塞がれており、このエンドカバー60には連通孔112が形成されていて、この連通孔112に前記連通路85の一端が接続されている。この連通路85の他端側は、キャピラリチューブ121を有する第1の連通路圧力供給路83に接続され、該連通路83の他端側は、図1に示す油タンク95に連通している。また、前記第1の連通路83の前記キャピラリチューブ121より下流側の部分分岐部88は、第1の圧力排出路8080aを介して吸込ポート22図1参照などの低圧空間にも連通するように構成されている。前記圧力排出路80aの途中には、該圧力排出路80aを開閉するための電磁弁第1の弁手段42が設けられており、前記電磁弁42の開閉により、油タンク95の高圧油をシリンダ室70に導入したり、シリンダ室70の油を、連通路85、第1の圧力排出路8080a及び前記電磁弁42を介して吸入ポート22側に排出できるようにして、シリンダ室70の圧力を変化させることができるようになっている。前記シリンダ室35弁体側のシリンダ室における前記ピストン51の移動範囲外の部分シリンダ室35の左端側には、第2の連通路給排路86の一端が開口しており、この連通路86の他端側はキャピラリチューブ120を有する第1の連通路圧力供給路84に接続され、該連通路84の他端側は、前記油タンク95に連通している。また、前記第2の連通路84の前記キャピラリチューブ120より下流側の部分分岐部89は、第2の圧力排出路8080bを介して前記吸込ポート22などの低圧空間に連通するように構成されている。前記第2の圧力排出路80bの途中には、該連通路80bを開閉するための電磁弁43が設けられており、前記電磁弁43の開閉により、油タンク95の高圧油をシリンダ室35に導入したり、シリンダ室35の油を、連通路86、第2の圧力排出路8080b及び前記電磁弁43を介して吸入ポート22側に排出できるようにして、シリンダ室35の圧力を変化させることができるようになっている。図5及び図6は、それぞれ本実施例における弁体駆動装置の全体構成を説明する系統図である。図5、図6において、図1~図4と同一符号を付した部分は同一または相当する部分を示している。まず、図5の系統図で説明する。油分離器92で分離された油は油戻し管93を通って、圧縮機のメインケーシング15図1参照に形成された油タンク95に入る。この油タンク95の油はほぼ吐出圧力となっており、別の油戻し管81から取り出され、分岐部87で、各軸受への給油路82と、前記弁体駆動装置部30のシリンダ室70に圧油を供給するための第1の連通路83と、前記弁体駆動装置部30のシリンダ室35に圧油を供給するための第2の連通路84とに分岐されている。前記各連通路圧力供給路83,84にはそれぞれキャピラリチューブ121,120が設けられ、また第1の連通路83の下流側は分岐部88で、シリンダ室70に接続される第1の連通路給排路85と、吸入ポート22に接続される第1の圧力排出路80aとに分岐され、この第1の圧力排出路80aには電磁弁42が設けられている。前記連通路84の下流側も同様に、分岐部89で、シリンダ室35に接続される第2の連通路給排路86と、吸入ポート22に接続される第2の圧力排出路80bとに分岐され、この第2の圧力排出路80bにも電磁弁43が設けられている。前記第1、第2の圧力排出路80aと80bの下流側は合流されて1本の圧力排出路80とされて吸入ポート22に接続されている。なお、前記軸受への給油路82では軸受への給油のため、常時油が流れている。従って、前記油戻し管81には圧力損失が生じてしまうため、その圧力損失分だけシリンダ室35,70の圧力も低下してしまう。前記油戻し管81に圧力損失が生じないようにするためには、前記給油路82と前記第1、第2の連通路83,84とで前記油戻し管81を共有せず、図6に示すように、前記給油路82については独立して前記油タンク95から圧油を取り出すようにすると良い。このようにすれば、各連通路83,84へは少量の油が流れるようにすることができるから、前記油戻し管81での圧力損失はほぼ0にすることができる。なお、図6において、他の構成は図5と同一である。上記図1~図6に示した実施例では、前記油タンク95はメインケーシング15に一体に形成しているが、前記圧力排出路80,80a,80b、前記連通路83~86、及び前記給油路82についても、前記メインケーシング15に一体に内蔵するように形成すると、圧縮機周りの配管を減少できる。なお、前記キャピラリチューブ120,121や電磁弁42,43についてはケーシングの外周に設置すると良い。次に、前記弁体31の制御について、上記図3、図4及び図5を用いて説明する。前記弁体31は、前記圧縮作動室36A,36Bに過圧縮が生じていない場合には閉じられるように制御され、過圧縮が生じている場合には開くように制御される。弁体31を閉じるように制御する場合には、前記電磁弁42を閉状態にし、前記電磁弁43を開状態にする。これにより、シリンダ室35の油は、前記第2の連通路給排路86、及び圧力排出路80b,80を介して吸入ポート22側に排出され、シリンダ室35は低圧となる。一方、シリンダ室70には、油タンク95の高圧油が、前記キャピラリチューブ121及び前記第1の連通路83,85を介して導入され、シリンダ室70の圧力は高圧≒Pdの油で満たされるので、図3に示すように、前記弁体31は弁孔28に押し付けられて該弁孔28を閉じる。なお、このとき、前記キャピラリチューブ120が設けられている前記第2の連通孔84と、前記圧力排出路80b,80側は前記吸入ポート22に連通されるが、前記キャピラリチューブ120により油の流れが絞られているため、油タンク95から吸入ポート22に排出される油の量は十分に少ない量にすることができる。従って、圧縮機へ吸入されるガス例えば冷媒ガスが前記油で加熱されるのを十分少なく抑えて体積効率の低下を抑制するようにしている。また、本実施例では前記油を吸入ポート22に排出するようにしているから、圧縮機に吸入される冷媒ガスが前記油で加熱される時間も極小にでき、この点からも冷媒ガスが前記油で加熱されるのを少なくできるから、体積効率の低下を抑えることができる。前記圧縮作動室36A,36Bに過圧縮が生じた場合、前記弁体31は開くように制御される。この場合には、前記電磁弁42を開状態にし、前記電磁弁43は閉状態にする。このようにすることで、油タンク95の高圧油は、前記キャピラリチューブ120、前記第2の連通路84,86を介してシリンダ室35に導入され、シリンダ室35の圧力は高圧≒Pdとなる。一方、シリンダ室70の油は第1の連通路給排路85、及び圧力排出路80a,80を介して前記吸入ポート22に排出される。従って、図4に示すように、ピストン51はエンドカバー60側に移動し、前記弁体31は前記メインケーシング15から離れて、前記弁孔28は開かれる。なお、上記実施例では、図3~6に示すように、前記第1、第2の連通路83,84にキャピラリチューブ120,121を設けた例について説明したが、前記キャピラリチューブ120,121の代わりに絞りを設ける、或いは電磁弁を設けて前記電磁弁42,43の開閉に対して逆に連動するようにしても良い。キャピラリチューブ120,121の代わりに電磁弁を設けることで吸入ポート22側に流れる油量を無くすことができる。更に、前記電磁弁42と前記キャピラリチューブ121の設置位置、或いは前記電磁弁43と前記キャピラリチューブ120の設置位置を逆にしても前記弁体31の開閉制御は可能である。図7は上述したスクリュー圧縮機を用いたチラーユニットの一例を示す冷凍サイクル構成図である。弁体31を開閉駆動するための前記弁体駆動装置の構造については図3~図6で説明したが、弁体駆動装置を構成する前記電磁弁42,43を制御する制御装置については、この図7により説明する。まず、図7に示すチラーユニットの構成を説明する。チラーユニットは、順次冷媒配管96で接続されたスクリュー圧縮機圧縮機130図1に示すスクリュー圧縮機1に相当、油分離器92、凝縮器140、電子膨張弁膨張弁142、蒸発器141などで構成されている。前記スクリュー圧縮機130の吐出口は吐出配管94を介して前記油分離器92と接続され、前記吐出配管には圧縮機の吐出側圧力を検出するための吐出圧力センサ111が設けられ、また前記圧縮機の吸込口側には吸入圧力センサ110が設けられている。42,43は前記弁体駆動装置を構成する電磁弁であり、上記図3~図6に示す電磁弁42,43と同じものである。113は前記吸入圧力センサ110及び吐出圧力センサ111での検出値に基づいて運転中の圧力比を求め、過圧縮が発生しているかどうかを判断して、前記電磁弁42,43を制御する制御装置である。この制御装置113での制御について詳しく説明する。前記各圧力センサ110,111からの信号は制御装置113に送られる。制御装置113では、前記各圧力センサ110,111からの信号に基づき、その時点での運転中の圧力比吐出圧/吸入圧を計算する。また、前記制御装置113には予め設定された圧力比が記憶されており、前記計算された運転中の圧力比と比較する。この比較の結果、予め設定された圧力比に対して、計算された運転中の圧力比が同じか高い場合には、圧縮作動室36A,36Bに過圧縮は発生していないと判断し、前記電磁弁42を閉状態とし、前記電磁弁43を開状態とするように制御する。これにより、図3に示すように、弁体31はメインケーシング15側に移動して押圧され、弁孔28は閉じられる。一方、予め設定された圧力比に対して計算された運転中の圧力比が低い場合には、圧縮作動室36A,36Bに過圧縮が発生していると判断し、前記電磁弁42を開状態とし、前記電磁弁43を閉状態とするように制御する。これにより、図4に示すように、弁体31をメインケーシング15とは反対側図4の右側に移動させて、弁孔28を開けるように制御する。このため、圧縮作動室36A,36Bの圧縮ガスは、弁孔28からバイパス流路バイパス溝29図4、図5参照を介して吐出室26図2参照に吐出されるので、圧縮作動室36A,36Bの圧力は、ほぼ吐出室26の圧力となるまで低減される。従って、圧縮作動室36A,36Bでの過圧縮を軽減することができ、無駄な動力の消費を抑えることができる。次に、前記シリンダ室35,70内に導入される油圧の大きさと弁体駆動装置部30における駆動力との関係について、上記図5を参照しながら、図8~図10により説明する。前記電磁弁42,43を閉止した場合、シリンダ室35,70内の油圧圧力は、圧縮機から吐出された直後の吐出冷媒ガスの吐出圧力Pdとほぼ等しい値になる。しかし、ロータの回転速度が増え、吐出量が多くなると、図8に示すように、圧縮機吐出直後から油分離器92までの間の圧力損失C、及び油分離器92から分岐点87までの間の圧力損失Bが生じ、これらの圧力損失B,Cを合わせた圧力損失Dが生じる。この圧力損失Dは圧縮機の回転数の増加と共に増加する。このため、図9に示すように、シリンダ室35,70内の圧力は、前記電磁弁42,43を閉止した場合でも、吐出圧力Pdに対して、図8に示した圧力損失D分だけ降下する。なお、図9において、Psは圧縮機に吸入される冷媒ガスの吸入圧力である。更に詳しく説明する。図3に示すように、弁体31を閉じる場合、前記電磁弁42を閉状態にし、前記電磁弁43を開状態にする。これによりシリンダ室35は、第2の連通路給排路86及び第2の圧力排出路80b,80を介して吸入ポート22側に連通され、低圧図9に示す吸入圧力Psとなる。一方、シリンダ室70は、油タンク95の高圧の油が、キャピラリチューブ121を有する第1の連通路圧力供給路83及び第1の連通路85を介してシリンダ室70に導入され、シリンダ室70の圧力は、吐出圧力Pdから圧力損失D図7参照分を減じた圧力Pd-Dとなる。従って、ピストン51には、Pd-D-PSの差圧が作用するので、図3に示すように、弁孔28は閉じられる。図4に示すように、弁体31を開く場合には、前記電磁弁42を開状態にし、前記電磁弁43を閉状態にする。これによりシリンダ室35には、油タンク95の高圧の油が、キャピラリチューブ120を有する第2の連通路圧力供給路84及び第2の連通路86を介して導入され、シリンダ室35の圧力は、吐出圧力Pdから圧力損失D図7参照分を減じた圧力Pd-Dとなる。一方、シリンダ室70は、第2の連通路給排路85及び第1の圧力排出路80a,80を介して吸入ポート22側に連通され、低圧図9に示す吸入圧力Psとなる。従って、ピストン51には、Pd-D-PSの差圧が、上記弁体31を閉じる場合とは逆方向に作用するので、図4に示すように、弁体31は弁孔28を開くように移動する。図10は、上記弁体過圧縮防止弁31を駆動する力を示す線図である。弁体31の駆動力は、シリンダ室35内とシリンダ室70内との差圧により発生するが、シリンダ室に供給される高圧油の圧力は、回転速度が増加するほど低下する。このため、図10に示すように、前記弁体31の駆動力は回転速度の増加に伴い減少するが、本実施例の構成とすることにより、回転速度が上昇しても十分な弁体駆動力を得ることができ、確実に弁体を駆動することができる。また、図5に示す例では、キャピラリチューブを設けた圧力供給路第1、第2の連通路83と84を、分岐部87で給油路82と分岐しているが、前記圧力供給路83,84を、図6にし示すように直接油タンク95に接続することで、シリンダ室35,70に供給される圧油の圧力損失を低減することができるから、弁体31の駆動力を増すことができ、弁体31を更に確実に駆動することが可能となる。前記特許文献1に記載されたような従来のスクリュー圧縮機では、弁体の背圧側にばねを設け、このばねの伸縮作用により弁体の開閉を行うようにしているため、ばねが必要であると共に、ばねの強さの調整も難しい。更に、ばねの耐久性、弁体の振動や打撃音も問題になる。これに対して上述した本発明の実施例によれば、弁体に直結されたピストンの両側のシリンダ室内に、圧縮機高圧側の圧力を導入できる構成とし、吸入側との圧力差を利用して前記ピストン両側のシリンダ室の圧力を変化させるようにし、この圧力差により前記ピストンを移動させる構成としている。従って、前記ピストンに直結された弁体により、前記弁孔を全開または全閉するように制御できるから、従来のようなばねは必要なくなり、また前記弁体が振動することも防止できる。更に、シリンダ室内を流出入する流体上記実施例では油タンクからの油とした場合について説明したが、吐出側の圧縮ガスを導入するようにしても良いは、キャピラリチューブが抵抗となり弁体の動きを緩やかにして、弁体の打撃音もなくすことができ、弁体の作動も確実にできる。以上述べたように、本実施例によれば、過圧縮を軽減する弁体の打撃音や振動を低減できるスクリュー圧縮機及びこれを用いたチラーユニットを得ることができ、更に、圧縮機の運転圧力条件やロータの回転速度にかかわらず、弁体を確実に開閉可能とすることができるから、過圧縮を軽減して性能向上を図ることもできる。"