戻り反射を低減又は防止するレーザ加工システムであって、入射レーザビームを生成するレーザ源と、前記入射レーザビームをビーム経路に沿ってワーク表面に向けて方向付けるレーザビーム出力部と、前記ビーム経路に沿ってアパーチャを備えた空間フィルタであって、前記レーザビーム出力部からの前記入射レーザビームを前記アパーチャへ通過させる空間フィルタと、前記空間フィルタを通って受けた前記入射レーザビームの直径を拡大するビーム拡大器と、前記拡大された入射レーザビームの焦点をワーク表面上の目標位置に合わせる走査レンズと、を備え、前記ワーク表面からの反射レーザビームは前記走査レンズを通って前記ビーム拡大器に戻り、前記ビーム拡大器は、前記反射ビームの直径を減少させるとともに、前記反射レーザビームの発散角を増加させ、前記空間フィルタは、前記発散する反射レーザビームの一部分が前記アパーチャを通過して前記レーザビーム出力部へ戻ることを阻止する、レーザ加工システム。前記入射レーザビームを前記ビーム経路に沿った内部焦点位置に集束させる集束光学系をさらに備え、前記空間フィルタの前記アパーチャは前記焦点位置に位置する、請求項1に記載のシステム。前記集束光学系はケプラー望遠鏡である、請求項2に記載のシステム。前記走査レンズはテレセントリックレンズである、請求項1に記載のシステム。前記走査レンズは非テレセントリックレンズである、請求項1に記載のシステム。前記非テレセントリックレンズはfθレンズである、請求項5に記載のシステム。前記fθレンズの走査範囲の中央部分は、前記目標位置で前記ワーク表面をレーザ加工するために使用されない、所定サイズの不感帯を備える、請求項6に記載のシステム。前記レーザビーム出力部と前記走査レンズとの間に配置され、前記fθレンズを横断して前記入射レーザビームを走査する2次ビームポジショナをさらに備える、請求項6に記載のシステム。前記2次ビームポジショナは、前記fθレンズに対して前記入射レーザビームの前記経路を第1の位置から第2の位置に変更し、前記2次ビームポジショナは、前記不感帯を回避するように前記fθレンズでの前記入射レーザビームの走査角を制御する、請求項8に記載のシステム。前記2次ビームポジショナは1対のガルバノメーター駆動ミラーである、請求項8に記載のシステム。前記レーザ源はファイバレーザである、請求項1に記載のシステム。前記レーザビーム出力部は光ファイバである、請求項1に記載のシステム。前記レーザビーム出力部と前記空間フィルタとの間に配置されたコリメータをさらに備える、請求項12に記載のシステム。レーザでワークピースを加工するための方法であって、レーザで入射レーザビームを生成し、前記入射レーザビームをビーム経路に沿ってワーク表面に向けて伝搬させ、前記ビーム経路に沿って前記入射レーザビームを第1の直径から第2の直径に拡大し、該拡大により前記入射レーザビームの発散が減少され、前記ビーム経路に沿って反対の方向に前記ワーク表面から反射レーザビームを受け、前記反射レーザビームのサイズを前記第2の直径から前記第1の直径に減少させ、該減少により前記反射レーザビームの発散が増加し、前記発散する反射レーザビームを空間フィルタリングして該発散する反射レーザビームの少なくとも一部分が前記レーザに戻るのを阻止する、方法。さらに、前記入射レーザビームの焦点を前記ビーム経路に沿った内部焦点位置で合わせ、前記内部焦点位置は、前記発散する反射レーザビームを阻止するために使用される空間フィルタのアパーチャに対応する、請求項14に記載の方法。前記入射レーザビームを前記ビーム経路に沿って前記ワーク表面に向けて伝搬させるときに、ある走査角で前記拡大された入射レーザビームをfθレンズに通過させる、請求項14に記載の方法。さらに、前記fθレンズの走査範囲内の中央位置に不感帯を規定し、該規定は、前記反射レーザビームのうち前記レーザに戻る一部の閾値パワーレベルに基づいており、前記不感帯を避けるように前記fθレンズでの前記拡大された入射レーザビームの前記走査角を選択する、請求項14に記載の方法。レーザでワークピースを加工するためのシステムであって、入射レーザビームを生成する手段と、前記入射レーザビームをビーム経路に沿ってワーク表面に向けて伝搬する手段と、前記ビーム経路に沿って前記入射レーザビームを第1の直径から第2の直径に拡大する手段であって、該拡大により前記入射レーザビームの発散が減少されるような手段と、前記ビーム経路に沿って反対の方向に前記ワーク表面から反射レーザビームを受ける手段と、前記反射レーザビームのサイズを前記第2の直径から前記第1の直径に減少させる手段であって、該減少により前記反射レーザビームの発散が増加するような手段と、前記発散する反射レーザビームを空間フィルタリングして該発散する反射レーザビームの少なくとも一部分が前記入射レーザビームを生成するための手段に戻るのを阻止する手段と、を備えた、システム。