"光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する複数の正レンズを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系。ndA≧1.540の時νdA>66.5ndA<1.540の時νdA>75.04.75<f1/fw<11.000.28<f1/ft<0.52但し、ndA:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のd線に対する屈折率νdA:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項1に記載の変倍光学系。前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、ndは1.30以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載の変倍光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の変倍光学系。0.25<Δ1/f1<1.10但し、f1:前記第1レンズ群の焦点距離Δ1:広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第1レンズ群の移動量以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の変倍光学系。0.65<f1A/f1<1.75但し、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f1A:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの焦点距離以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の変倍光学系。1.75<φ1A/fw<4.50但し、fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離φ1A:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの有効径前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズは2枚であることを特徴とする請求項1から14のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項1から15のいずれか1項に記載の変倍光学系。1.750<ndN28.0<νdN<50.0但し、ndN:前記第1レンズ群中の前記負レンズの材質のd線に対する屈折率νdN:前記第1レンズ群中の前記負レンズの材質のd線に対するアッベ数前記第1レンズ群中の前記負レンズは1枚であることを特徴とする請求項16に記載の変倍光学系。前記第3レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズを有することを特徴とする請求項1から17のいずれか1項に記載の変倍光学系。νd3>65.5但し、νd3:前記第3レンズ群中の前記正レンズの材質のd線に対するアッベ数前記第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、正屈折力の第32レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項1から18のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、負屈折力の第32レンズ群と、正屈折力の第33レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は変化し、前記第32レンズ群と前記第33レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項1から18のいずれか1項に記載の変倍光学系。広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は増大し、前記第32レンズ群と前記第33レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項20に記載の変倍光学系。請求項1から21のいずれか1項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔が増大可能、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔が減少可能に配置し、前記第1レンズ群中に以下の条件式を満足する複数の正レンズを配置し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。ndA≧1.540の時νdA>66.5ndA<1.540の時νdA>75.04.75<f1/fw<11.000.28<f1/ft<0.52但し、ndA:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のd線に対する屈折率νdA:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズAを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系。νdA>85.03.90<f1/fw<11.00但し、νdA:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項24に記載の変倍光学系。前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、ndは1.30以下であることを特徴とする請求項24または25に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項24から26のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項27に記載の変倍光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項27に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項24から26のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項30に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項30に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項30に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項30に記載の変倍光学系。以下の条件式を満足することを特徴とする請求項24から34のいずれか1項に記載の変倍光学系。0.28<f1/ft<0.52但し、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離以下の条件式を満足することを特徴とする請求項24から35のいずれか1項に記載の変倍光学系。0.25<Δ1/f1<1.10但し、f1:前記第1レンズ群の焦点距離Δ1:広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第1レンズ群の移動量以下の条件式を満足することを特徴とする請求項24から36のいずれか1項に記載の変倍光学系。0.65<f1A/f1<1.75但し、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f1A:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの焦点距離以下の条件式を満足することを特徴とする請求項24から37のいずれか1項に記載の変倍光学系。1.75<φ1A/fw<4.50但し、fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離φ1A:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの有効径前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズBを有することを特徴とする請求項24から38のいずれか1項に記載の変倍光学系。ndB>1.580但し、ndB:前記第1レンズ群中の前記正レンズBの材質のd線に対する屈折率前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズBを有することを特徴とする請求項24から39のいずれか1項に記載の変倍光学系。40.0<νdB<66.5但し、νdB:前記第1レンズ群中の前記正レンズBの材質のd線に対するアッベ数以下の条件式を満足することを特徴とする請求項39又は40に記載の変倍光学系。0.65<f1B/f1<1.75但し、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f1B:前記第1レンズ群中の前記正レンズBの焦点距離以下の条件式を満足することを特徴とする請求項39から41のいずれか1項に記載の変倍光学系。1.75<φ1B/fw<4.50但し、fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離φ1B:前記第1レンズ群中の前記正レンズBの有効径前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項24から42のいずれか1項に記載の変倍光学系。1.750<ndN28.0<νdN<50.0但し、ndN:前記第1レンズ群中の前記負レンズの材質のd線に対する屈折率νdN:前記第1レンズ群中の前記負レンズの材質のd線に対するアッベ数前記第1レンズ群は、1枚の負レンズと、2枚の正レンズで構成されることを特徴とする請求項24から43のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記第3レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズを有することを特徴とする請求項24から44のいずれか1項に記載の変倍光学系。nd3≧1.540の時νd3>65.5nd3<1.540の時νd3>75.0但し、nd3:前記第3レンズ群中の前記正レンズの材質のd線に対する屈折率νd3:前記第3レンズ群中の前記正レンズの材質のd線に対するアッベ数前記第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、正屈折力の第32レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項24から45のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、負屈折力の第32レンズ群と、正屈折力の第33レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は変化し、前記第32レンズ群と前記第33レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項24から45のいずれか1項に記載の変倍光学系。広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は増大し、前記第32レンズ群と前記第33レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項47に記載の変倍光学系。請求項24から48のいずれか1項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔が増大可能、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔が減少可能に配置し、前記第1レンズ群中に以下の条件式を満足する正レンズAを配置し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。νdA>85.03.90<f1/fw<11.00但し、νdA:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、以下の条件式を満足する正レンズAを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系。ndA>1.540νdA>66.53.90<f1/fw<11.00但し、ndA:前記正レンズAの材質のd線に対する屈折率νdA:前記正レンズAの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項51に記載の変倍光学系。前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、ndは1.30以下であることを特徴とする請求項51または52に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項51から53のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項54に記載の変倍光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項54に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項51から53のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項57に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項57に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項57に記載の変倍光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項57に記載の変倍光学系。以下の条件式を満足することを特徴とする請求項51から61のいずれか1項に記載の変倍光学系。0.28<f1/ft<0.52但し、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離以下の条件式を満足することを特徴とする請求項51から62のいずれか1項に記載の変倍光学系。0.25<Δ1/f1<1.10但し、f1:前記第1レンズ群の焦点距離Δ1:広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第1レンズ群の移動量前記第3レンズ群は前記正レンズAを有することを特徴とする請求項51から63のいずれか1項に記載の変倍光学系。以下の条件式を満足することを特徴とする請求項64に記載の変倍光学系。0.75<f3A/f3<2.25但し、f3:前記第3レンズ群の焦点距離f3A:前記第3レンズ群中の前記正レンズAの焦点距離前記第1レンズ群は前記正レンズAを有することを特徴とする請求項51から65のいずれか1項に記載の変倍光学系。以下の条件式を満足することを特徴とする請求項66に記載の変倍光学系。0.65<f1A/f1<1.75但し、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f1A:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの焦点距離以下の条件式を満足することを特徴とする請求項66又は67に記載の変倍光学系。1.75<φ1A/fw<4.50但し、fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離φ1A:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの有効径以下の条件式を満足することを特徴とする請求項66から68のいずれか1項に記載の変倍光学系。0.055<φ1A/ft<0.420但し、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離φ1A:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの有効径前記第1レンズ群は2枚の正レンズを有することを特徴とする請求項51から69のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項51から70のいずれか1項に記載の変倍光学系。1.750<ndN28.0<νdN<50.0但し、ndN:前記第1レンズ群中の前記負レンズの材質のd線に対する屈折率νdN:前記第1レンズ群中の前記負レンズの材質のd線に対するアッベ数前記第1レンズ群中の前記負レンズは1枚であることを特徴とする請求項71に記載の変倍光学系。前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズBを有することを特徴とする請求項51から72のいずれか1項に記載の変倍光学系。νdB>75.0但し、νdB:前記第1レンズ群中の前記正レンズBの材質のd線に対するアッベ数前記第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、正屈折力の第32レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項51から73のいずれか1項に記載の変倍光学系。前記第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、負屈折力の第32レンズ群と、正屈折力の第33レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は変化し、前記第32レンズ群と前記第33レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項51から73のいずれか1項に記載の変倍光学系。広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第31レンズ群と前記第32レンズ群との間隔は増大し、前記第32レンズ群と前記第33レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項75に記載の変倍光学系。前記第31レンズ群は前記正レンズAを有することを特徴とする請求項74から76のいずれか1項に記載の変倍光学系。以下の条件式を満足することを特徴とする請求項77に記載の変倍光学系。0.55<f31A/f31<2.45但し、f31:前記第31レンズ群の焦点距離f31A:前記第31レンズ群中の前記正レンズAの焦点距離請求項51から78のいずれか1項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔が増大可能、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔が減少可能に配置し、以下の条件式を満足する正レンズAを配置し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。ndA>1.540νdA>66.53.90<f1/fw<11.00但し、ndA:前記正レンズAの材質のd線に対する屈折率νdA:前記正レンズAの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離従来の変倍光学系をさらに高変倍化しようとすると、収差変動が増大し、十分に高い光学性能を得ることが困難であった。それと同時に、このような変倍光学系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、収差変動を抑え、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を有する変倍光学系とこれを有する光学装置、変倍光学系の製造方法を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する複数の正レンズを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系を提供する。ndA≧1.540の時νdA>66.5ndA<1.540の時νdA>75.04.75<f1/fw<11.000.28<f1/ft<0.52但し、ndA:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のd線に対する屈折率νdA:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離また、本発明は、前記変倍光学系を備えたことを特徴とする光学装置を提供する。また、本発明は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔が増大可能、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔が減少可能に配置し、前記第1レンズ群中に以下の条件式を満足する複数の正レンズを配置し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法を提供する。ndA≧1.540の時νdA>66.5ndA<1.540の時νdA>75.04.75<f1/fw<11.000.28<f1/ft<0.52但し、ndA:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のd線に対する屈折率νdA:前記第1レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離また、本発明は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第1レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズAを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系を提供する。νdA>85.03.90<f1/fw<11.00但し、νdA:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離また、本発明は、前記変倍光学系を備えたことを特徴とする光学装置を提供する。また、本発明は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔が増大可能、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔が減少可能に配置し、前記第1レンズ群中に以下の条件式を満足する正レンズAを配置し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法を提供する。νdA>85.03.90<f1/fw<11.00但し、νdA:前記第1レンズ群中の前記正レンズAの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離また、本発明は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、以下の条件式を満足する正レンズAを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系を提供する。ndA>1.540νdA>66.53.90<f1/fw<11.00但し、ndA:前記正レンズAの材質のd線に対する屈折率νdA:前記正レンズAの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離また、本発明は、前記変倍光学系を有することを特徴とする光学装置を提供する。また、本発明は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔が増大可能、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔が減少可能に配置し、以下の条件式を満足する正レンズAを配置し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法を提供する。ndA>1.540νdA>66.53.90<f1/fw<11.00但し、ndA:前記正レンズAの材質のd線に対する屈折率νdA:前記正レンズAの材質のd線に対するアッベ数fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離本発明によれば、収差変動を抑え、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を有する変倍光学系とこれを有する光学装置、変倍光学系の製造方法を提供することができる。以下、本願の実施形態にかかる変倍光学系について説明する。第1実施形態本第1実施形態にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、第2レンズ群と第3レンズ群との間隔は減少する構成とすることで、変倍可能な光学系を実現し、同時に変倍に伴う歪曲収差の変動を抑えている。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群は以下の条件式1-1を満足する複数の正レンズを有し、以下の条件式1-2、1-3を満足する。1-1ndA≧1.540の時νdA>66.5ndA<1.540の時νdA>75.01-24.75<f1/fw<11.001-30.28<f1/ft<0.52但し、ndAは第1レンズ群中の複数の正レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対する屈折率、νdAは第1レンズ群中の複数の正レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、ftは望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離、f1は第1レンズ群の焦点距離である。条件式1-1は、第1レンズ群中の複数の正レンズの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1-1の下限値を下回った場合、軸上色収差と倍率色収差の変動を抑えることが困難となり、また材質の異常分散が小さい材質となるため2次色収差の変動を抑えることが困難なことに加え、特に望遠端状態における軸上色収差と倍率色収差の可視光領域における量が大きくなって、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、ndA≧1.540の時、条件式1-1の下限値を67.5とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、ndA<1.540の時、条件式1-1の下限値を80.5とすることが好ましい。条件式1-2は、第1レンズ群の最適な焦点距離範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1-2の下限値を下回った場合、第1レンズ群の屈折力が強くなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式1-2の上限値を上回った場合、第1レンズ群の屈折力が弱くなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の像面に対する移動量を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-2の下限値を5.10とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-2の上限値を8.80とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式1-2の上限値を7.60とすることが更に好ましい。条件式1-3は、第1レンズ群の最適な焦点距離範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1-3の下限値を下回った場合、第1レンズ群の屈折力が強くなり、軸上色収差と球面収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式1-3の上限値を上回った場合、第1レンズ群の屈折力が弱くなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の像面に対する移動量を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-3の下限値を0.31とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-3の上限値を0.48とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式1-3の上限値を0.44とすることが更に好ましい。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んでいる。このように構成することで、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、反射防止膜は多層膜であり、ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、屈折率ndが1.30以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において物体側から見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。なお、本第1実施形態にかかる変倍光学系では、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が1.30以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式1-4を満足することが望ましい。1-40.25<Δ1/f1<1.10但し、f1は第1レンズ群の焦点距離、Δ1は広角端状態から望遠端状態までの像面に対する第1レンズ群の移動量である。条件式1-4は、第1レンズ群の広角端状態から望遠端状態までの像面に対する最適な移動量を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1-4の下限値を下回った場合、第1レンズ群の移動量が少なくなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の屈折力を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式1-4の上限値を上回った場合、第1レンズ群の像面に対する移動量が多くなり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となって、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-4の下限値を0.36とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式1-4の下限値を0.48とすることが更に好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-4の上限値を0.95とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式1-4の上限値を0.85とすることが更に好ましい。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式1-5を満足することが望ましい。1-50.65<f1A/f1<1.75但し、f1は第1レンズ群の焦点距離、f1Aは第1レンズ群中の複数の正レンズの焦点距離である。条件式1-5は、第1レンズ群中の複数の正レンズそれぞれの最適な焦点距離を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1-5の下限値を下回った場合、正レンズの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式1-5の上限値を上回った場合、正レンズの屈折力が弱くなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、本願実施形態の効果を確実にするために、条件式1-5の下限値を0.80とすることが好ましい。また、本願実施形態の効果を確実にするために、条件式1-5の上限値を1.35とすることが好ましい。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式1-6を満足することが望ましい。1-61.75<φ1A/fw<4.50但し、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、φ1Aは第1レンズ群中の複数の正レンズの有効径である。条件式1-6は、第1レンズ群中の複数の正レンズの最適な有効径を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1-6の下限値を下回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の複数の正レンズを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が少なくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式1-6の上限値を上回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の複数の正レンズを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-6の下限値を2.45とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-6の上限値を3.80とすることが好ましい。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群中の複数の正レンズは2枚であることが望ましい。この構成とすることにより、第1レンズ群の厚さを抑えることが可能となり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群の最も物体側の面を通る軸外光束の光軸からの高さの変動を抑えることが可能になって、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることができ、高い光学性能を実現できる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群は以下の条件式1-7、1-8を満足する負レンズを有することが望ましい。1-71.750<ndN1-828.0<νdN<50.0但し、ndNは第1レンズ群中の負レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対する屈折率、νdNは第1レンズ群中の負レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数である。条件式1-7は、第1レンズ群中の負レンズの最適な屈折率範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を得るための条件式である。条件式1-7の下限値を下回った場合、第1レンズ群中の負レンズの面の曲率が大きくなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して負レンズ中を通る軸外光束の光軸からの高さの変動による軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-7の下限値を1.780とすることが好ましい。条件式1-8は、第1レンズ群中の負レンズの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1-8の下限値を下回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して2次色収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式1-8の上限値を上回った場合、第1レンズ群で所定の色消しを行おうとすると、正負各レンズの屈折力が大きくなり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して負レンズ中を通る軸外光束の光軸からの高さの変動による軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式1-8の上限値を43.0とすることが好ましい。また、本実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群中の負レンズは1枚であることが望ましい。この構成とすることにより、第1レンズ群の厚さを抑えることが可能となり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群の最も物体側の面を通る軸外光束の光軸からの高さの変動を抑えることが可能になって、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることができ、高い光学性能を実現できる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、第3レンズ群は以下の条件式1-9を満足する正レンズを有することが望ましい。1-9νd3>65.5但し、νd3は第3レンズ群中の正レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数である。条件式1-9は、第3レンズ群中の正レンズの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1-9の下限値を下回った場合、軸上色収差と倍率色収差の変動を抑えることが困難となり、また材質の異常分散が小さい材質となるため2次色収差の変動を抑えることが困難なことに加え、特に望遠端状態における軸上色収差と倍率色収差の可視光領域における量が大きくなって、高い光学性能を実現できない。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、正屈折力の第32レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は減少することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群を一体で移動させるより第3レンズ群の変倍率を上げることが可能となり、さらに球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、負屈折力の第32レンズ群と、正屈折力の第33レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は変化し、第32レンズ群と第33レンズ群との間隔は変化することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群を一体で移動させるより第3レンズ群で発生する収差変動を抑えることが可能となり、特に球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。また、本第1実施形態にかかる変倍光学系は、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は増大し、第32レンズ群と第33レンズ群との間隔は減少することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群の変倍率を上げることが可能となり、球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。第1実施形態の実施例以下、本第1実施形態にかかる各実施例について図面を参照しつつ説明する。なお、反射防止膜の詳細については、実施例の後に別途説明する。第1実施形態の第1実施例図1は、第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系の構成を示す断面図である。図1に示すように、第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、負屈折力の第32レンズ群G32と、正屈折力の第33レンズ群G33とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は増大し、第32レンズ群G32と第33レンズ群G33との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32と第33レンズ群G33は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。また、第31レンズ群G31と第33レンズ群G33は、像面Iに対して一体で移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成されている。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第33レンズ群G33は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成されている。第33レンズ群G33の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL54から射出した光線は像面Iに結像する。像面Iは、不図示の撮像素子上に形成され、該撮像素子はCCDやCMOS等から構成されている以降の実施例についても同様である。本第1実施形態の第1実施例では、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表1に第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系の諸元値を掲げる。表中の面データにおいて、物面は物体面、面番号は物体側からのレンズ面の番号、rは曲率半径、dは面間隔、ndはd線波長λ=587.6nmにおける屈折率、νdはd線波長λ=587.6nmにおけるアッベ数、可変は可変面間隔、絞りは開口絞りS、像面は像面Iをそれぞれ表している。なお、空気の屈折率nd=1.000000は記載を省略している。また、曲率半径r欄の∞は平面を示している。非球面データにおいて、非球面は以下の式で表される。Xy=y2r[1[1-κy2r2]12]A4×y4A6×y6A8×y8A10×y10ここで、光軸に垂直な方向の高さをy、高さyにおける光軸方向の変位量各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離をXy、基準球面の曲率半径近軸曲率半径をr、円錐係数をκ、n次の非球面係数をAnとする。なお、Enは×10-nを示し、例えば1234E05は1234×10-5を示す。また、各非球面は、面データにおいて、面番号の右側にを付して示している。各種データにおいて、ズーム比は変倍光学系の変倍比、Wは広角端状態、Mは中間焦点距離状態、Tは望遠端状態、fは全系の焦点距離、FNOはFナンバー、ωは半画角単位:°、Yは像高、TLは無限遠合焦状態における第1レンズ群G1の最も物体側の面から像面Iまでのレンズ系全長、Bfはバックフォーカス、diは面番号iでの可変面間隔値をそれぞれ表している。ズームレンズ群データは、各レンズ群の始面番号とレンズ群の焦点距離をそれぞれ示す。条件式対応値は、各条件式の対応値をそれぞれ示す。なお、以下の全ての諸元値において、掲載されている焦点距離f、曲率半径r、面間隔dその他の長さ等は、特記の無い場合一般にmmが使われるが、光学系は比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。また、単位はmmに限定されること無く他の適当な単位を用いることもできる。さらに、これらの記号の説明は、以降の他の第1実施形態の実施例においても同様とし説明を省略する。表1面データ面番号rdndνd物面∞∞11865996022000018340003717269089008800001497820825634944454501000047340222645000159319067875201671160可変684850000100001553890380977402192120000183481042728170974769500093797970100000181600046631077671270150001136265575300001784720256812362655708000013256964210000018160004663146608300205000180809022791566670366可変16絞り∞1000001768307273400001593190678718479959601000019685236724500014874907045201369839201000021465267142000014874907045223616400100000180809022792320295328可変24550984002000015538903809255724715090000169680055522628151002150001728250284627877085643500028266987710000017291605466297647707可変30333895004650001589130611831246439501000032311962558500014874907045334338887145000341097164510000018830004077352029920530000154814045793680881321像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=313350E06A6=473080E10A8=340500E11A10=116620E13第24面κ=10000A4=524030E06A6=200730E09A8=000000E00A10=000000E00第30面κ=10000A4=154020E05A6=169500E09A8=134490E11A10=207220E13各種データズーム比15721WMTf18523631045214329121725FNO360558569344589616ω3889095741882271146Y142014201420TL164744202254886025139424Bf394425071575308310134d521570053256507694960d1533801401131350200000d2334565011601701304330d291058680244160100000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11118.9691026-15.6254231640.08868W33.90635M32.38356T311627.174633224-25.41506333034.39022条件式対応値1-1ndA=1.497820L12νdA=82.56L121-1ndA=1.593190L13νdA=67.87L131-2f1/fw=6.4231-3f1/ft=0.4091-4Δ1/f1=0.7281-5f1A/f1=1.029L121-5f1A/f1=1.078L131-6φ1A/fw=3.100φ1A=57.42L121-6φ1A/fw=2.915φ1A=54.00L131-7ndN=1.834000L111-8νdN=37.17L111-9νd3=67.87L31図2は、第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図において、FNOはFナンバー、Aは半画角単位:°を示す。また、dはd線波長587.6nm、gはg線波長435.8nmに対する諸収差、記載のないものはd線に対する諸収差をそれぞれ表す。非点収差図において、実線はサジタル像面、破線はメリディオナル像面を示す。なお、以降の他の第1実施形態の実施例においても同様の記号を使用し、以降の説明を省略する。各収差図から、第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。図3は、第1実施形態の第1実施例の変倍光学系において、物体側から入射した光線BMによりゴーストが発生する状態を示している。図3において、物体側からの光線BMが図示のように変倍光学系に入射すると、両凹形状の負レンズL22における物体側のレンズ面第1番目の反射光の発生面でありその面番号は9で反射し、その反射光は負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面第2番目の反射光の発生面でありその面番号は8で再度反射して像面Iに到達し、ゴーストおよびフレアを発生させてしまう。なお、第1番目の反射光の発生面面番号9は物体から見て凹形状のレンズ面であり、第2番目の反射光の発生面面番号8は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストおよびフレアを効果的に低減することができる。第1実施形態の第2実施例図4は、第1実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系の構成を示す断面図である。図4に示すように、第1実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、正屈折力の第32レンズ群G32とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と両凹形状の負レンズL34との接合レンズと、両凹形状の負レンズL35と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL36との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL37とから構成されている。両凹形状の負レンズL35は物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL41と、両凹形状の負レンズL42と両凸形状の正レンズL43との接合レンズとから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凸形状の正レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状のレンズL43から射出した光線は像面Iに結像する。本第1実施形態の第2実施例では、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凸形状のレンズL23における像面側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表2に第1実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系の諸元値を掲げる。表2面データ面番号rdndνd物面∞∞1123959452000001850260323526581889930000149782082523679818980100004666349462000015931906787541993083可変61623241601500015538903809714607537100000183480742728161303565500093527597100000188299740761060445030100001137372265200001846660237812327279208214313239462810000018829974076142524149720000018080902279157244788可変16絞り∞100000173672216330000159319067871811819629010000194137679315000148749070412092342920100002142340333800001487490704122410035710000018051812543232593609238190924636485310000018061004094252200000290000180518125432615057815420000274582441100000188299740762821598952可変2977179363150001589130611630371186601000031261294881000001882997407632399807644000015182295893334852092像面∞非球面データ第6面κ=57774A4=679980E06A6=252730E08A8=826150E11A10=102860E13第24面κ=28196A4=459750E06A6=428350E09A8=000000E00A10=000000E00第29面κ=65363A4=195310E05A6=179050E08A8=155070E10A10=413770E13各種データズーム比15696WMTf18539791049974629099204FNO410702539973539939ω3899845750128273812Y142014201420TL160008852189916523779997Bf391169389390519916649d521515345026276569297d1540454821314016200000d28884506199420150000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11103.2522326-15.1308431639.55369W35.07124M34.78685T311644.76649322947.36030条件式対応値1-1ndA=1.497820L12νdA=82.52L121-1ndA=1.593190L13νdA=67.87L131-2f1/fw=5.5691-3f1/ft=0.3551-4Δ1/f1=0.7531-5f1A/f1=1.172L121-5f1A/f1=1.285L131-6φ1A/fw=2.999φ1A=55.60L121-6φ1A/fw=2.918φ1A=54.10L131-7ndN=1.850260L111-8νdN=32.35L111-9νd3=67.87L31図5は、第1実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第1実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。第1実施形態の第3実施例図6は、第1実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系の構成を示す断面図である。図6に示すように、第1実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、負屈折力の第32レンズ群G32と、正屈折力の第33レンズ群G33とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は増大し、第32レンズ群G32と第33レンズ群G33との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32と第33レンズ群G33は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成されている。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第33レンズ群G33は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の負レンズL54との接合レンズとから構成されている。第33レンズ群G33の最も物体側に位置する両凸形状の正レンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL54から射出した光線は像面Iに結像する。本第1実施形態の第3実施例では、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表3に第1実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系の諸元値を掲げる。表3面データ面番号rdndνd物面∞∞11756056022000018340003716267430208800001497820825235877848001000047227100645000159319067875182613880可変684768700100001553890380977393750120000183480742728171873069500093698220100000181600046621077926300150001136634605300001784723256812366346008000013261991010000018160004662146373960205000180809022791564327060可変16絞り∞1000001765836503400001593190678718501546001000019656817024500014874907041201549743001000021467333042000014874907041223578330100000180809022792319193180可変245729660020000155389038092559725000900001696797555226285100021500017282502846279199760414020283289540100000172915754662914433150可変306427191904650001589130611831273818001000032314776058500014874907041334375390145000341135897010000018829974076352034810530000154814145793670914530像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=288220E06A6=229350E11A8=235280E11A10=921570E14第24面κ=10000A4=432780E06A6=188460E09A8=000000E00A10=000000E00第30面κ=10000A4=136170E05A6=355860E10A8=183080E11A10=186790E13各種データズーム比15701WMTf18560601046515029142454FNO357565562482581064ω3880191744205272113Y142014201420TL164764352252889925061470Bf388470573579298664770d521570053010007625220d1533363601130360200000d23346820964300962460d291183830266290100000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11117.7293726-15.6094531640.44471W33.95695M32.70088T311627.354733224-26.50041333035.20423条件式対応値1-1ndA=1.497820L12νdA=82.52L121-1ndA=1.593190L13νdA=67.87L131-2f1/fw=6.3431-3f1/ft=0.4041-4Δ1/f1=0.7291-5f1A/f1=1.037L121-5f1A/f1=1.076L131-6φ1A/fw=3.081φ1A=57.19L121-6φ1A/fw=2.909φ1A=54.00L131-7ndN=1.834000L111-8νdN=37.16L111-9νd3=67.87L31図7は、第1実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第1実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。第1実施形態の第4実施例図8は、第1実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系の構成を示す断面図である。図8に示すように、第1実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、正屈折力の第32レンズ群G32とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と両凹形状の正レンズL34との接合レンズと、両凹形状の負レンズL35と両凸形状の正レンズL36との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL37とから構成されている。両凹形状の負レンズL35は物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL41と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL42と両凸形状の正レンズL43との接合レンズとから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凸形状の正レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL43から射出した光線は像面Iに結像する。本第1実施形態の第4実施例では、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL12における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表4に第1実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系の諸元値を掲げる。表4面データ面番号rdndνd物面∞∞1127944472000001850260323526654596785000149782082523596230690100004674402954000015931906787543618989可変613529609015000155389038097107259661000001804000465881526261670000934549861000001834807427210518989701000011340967045000017847232568123212451090000132111569100000188299740761423902062021000019228602050156761249可変16絞り∞10000017316133536500015931906787182185545401000019491304432000014874907041206362105010000213535729425000148749070412234078261000001846660237823659960583900002435036651000001756998478225175822139000016989473013269526227335000275552002100000188299740762858551718可変2943979346220000158913061163053206880100003165134021000001834000371632277295641000014874907041335813289像面∞非球面データ第6面κ=43350A4=945630E06A6=151470E08A8=116860E12A10=165790E13第24面κ=03009A4=623810E06A6=896820E09A8=000000E00A10=000000E00第29面κ=200000A4=192960E05A6=596200E09A8=165600E10A10=418100E13各種データズーム比15698WMTf18539281050016929102949FNO360631576130578825ω3900856748510273699Y142014201420TL148799232173465924282932Bf3900067911196510534665d521000046659376733267d1533503101098454200000d28754546193303150000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11104.3065426-13.8115231636.15068W32.66171M32.42030T311639.54020322948.03635条件式対応値1-1ndA=1.497820L12νdA=82.52L121-1ndA=1.593190L13νdA=67.87L131-2f1/fw=5.6261-3f1/ft=0.3581-4Δ1/f1=0.9011-5f1A/f1=1.157L121-5f1A/f1=1.282L131-6φ1A/fw=2.982φ1A=55.29L121-6φ1A/fw=2.919φ1A=54.12L131-7ndN=1.850260L111-8νdN=32.35L111-9νd3=67.87L31図9は、第1実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第1実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。以下、本願第1実施形態に係る変倍光学系の製造方法の概略を説明する。図10は、本願の第1実施形態に係る変倍光学系の製造方法を示す図である。本願の第1実施形態に係る変倍光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含む変倍光学系の製造方法であって、図10に示すステップS1,S2,S3を含むものである。ステップS1:第1レンズ群と第2レンズ群と第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔が増大可能、第2レンズ群と第3レンズ群との間隔が減少可能に配置する。ステップS2:第1レンズ群中に以下の条件式1-1を満足する複数の正レンズを配置する。1-1ndA≧1.540の時νdA>66.5ndA<1.540の時νdA>75.0ステップS3:以下の条件式1-2、1-3を満足するようにする。1-24.75<f1/fw<11.001-30.28<f1/ft<0.52但し、ndAは第1レンズ群中の複数の正レンズの材質のd線に対する屈折率、νdAは第1レンズ群中の複数の正レンズの材質のd線に対するアッベ数、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、ftは望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離、f1は第1レンズ群の焦点距離である。本願の第1実施形態に係る変倍光学系の製造方法によれば、収差変動を抑え、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を有する変倍光学系を製造することができる。第2実施形態本願の第2実施形態に係る変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、第2レンズ群と第3レンズ群との間隔は減少する構成とすることで、変倍可能な光学系を実現し、同時に変倍に伴う歪曲収差の変動を抑えている。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群は以下の条件式2-1を満足する正レンズAを有し、以下の条件式2-2を満足する。2-1νdA>85.02-23.90<f1/fw<11.00但し、νdAは第1レンズ群中の正レンズAの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、f1は第1レンズ群の焦点距離である。条件式2-1は、第1レンズ群中の正レンズAの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-1の下限値を下回った場合、軸上色収差と倍率色収差の変動を抑えることが困難となり、また材質の異常分散が小さい材質となるため2次色収差の変動を抑えることが困難なことに加え、特に望遠端状態における軸上色収差と倍率色収差の可視光領域における量が大きくなって、高い光学性能を実現できない。条件式2-2は、第1レンズ群の最適な焦点距離範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-2の下限値を下回った場合、第1レンズ群の屈折力が強くなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-2の上限値を上回った場合、第1レンズ群の屈折力が弱くなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の像面に対する移動量を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-2の下限値を4.75とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式2-2の下限値を5.10とすることが更に好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-2の上限値を8.80とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式2-2の上限値を7.60とすることが更に好ましい。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んでいる。このように構成することで、本第2実施形態にかかる変倍光学系は、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、反射防止膜は多層膜であり、ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、屈折率ndが1.30以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において物体側から見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。なお、本第2実施形態にかかる変倍光学系では、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が1.30以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、以下の条件式2-3を満足することが望ましい。2-30.28<f1/ft<0.52但し、ftは望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離、f1は第1レンズ群の焦点距離である。条件式2-3は、第1レンズ群の最適な焦点距離範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-3の下限値を下回った場合、第1レンズ群の屈折力が強くなり、軸上色収差と球面収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-3の上限値を上回った場合、第1レンズ群の屈折力が弱くなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の像面に対する移動量を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-3の下限値を0.31とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-3の上限値を0.48とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式2-3の上限値を0.44とすることが更に好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、以下の条件式2-4を満足することが望ましい。2-40.25<Δ1/f1<1.10但し、f1は第1レンズ群の焦点距離、Δ1は広角端状態から望遠端状態までの像面に対する第1レンズ群の移動量である。条件式2-4は、第1レンズ群の広角端状態から望遠端状態までの像面に対する最適な移動量を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-4の下限値を下回った場合、第1レンズ群の像面に対する移動量が少なくなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の屈折力を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-4の上限値を上回った場合、第1レンズ群の像面に対する移動量が大きくなり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となって、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-4の下限値を0.36とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式2-4の下限値を0.48とすることが更に好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-4の上限値を0.95とすることが好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、以下の条件式2-5を満足することが望ましい。2-50.65<f1A/f1<1.75但し、f1は第1レンズ群の焦点距離、f1Aは第1レンズ群中の正レンズAの焦点距離である。条件式2-5は、第1レンズ群中の正レンズAの最適な焦点距離を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-5の下限値を下回った場合、正レンズAの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-5の上限値を上回った場合、正レンズAの屈折力が弱くなり、第1レンズ中の正レンズA以外の正レンズの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-5の下限値を0.80とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-5の上限値を1.35とすることが好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、以下の条件式2-6を満足することが望ましい。2-61.75<φ1A/fw<4.50但し、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、φ1Aは第1レンズ群中の正レンズAの有効径である。条件式2-6は、第1レンズ群中の正レンズAの最適な有効径を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-6の下限値を下回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が少なくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-6の上限値を上回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-6の下限値を2.45とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-6の上限値を3.80とすることが好ましい。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群は以下の条件式2-7を満足する正レンズBを有することが望ましい。2-7ndB>1.580但し、ndBは第1レンズ群中の正レンズBの材質のd線波長λ=587.6nmに対する屈折率である。条件式2-7は、第1レンズ群中の正レンズBの材質の最適な屈折率を規定し、変倍に際して発生する軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-7の下限値を下回った場合、正レンズBの面の曲率が大きくなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズBを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう偏角変化が大きくなり、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群は以下の条件式2-8を満足する正レンズBを有することが望ましい。2-840.0<νdB<66.5但し、νdBは第1レンズ群中の正レンズBの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数である。条件式2-8は、第1レンズ群中の正レンズBの材質の最適なアッベ数を規定し、変倍に際して発生する色収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-8の下限値を下回った場合、正レンズBの材質の分散が大きくなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して軸外光束の通る光軸からの高さの変動にともなう分散の変化が大きくなり、倍率色収差変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-8の上限値を上回った場合、正レンズBの材質の分散が小さくなるため、第1レンズ群に負レンズがある場合には、色収差補正が過剰になり倍率色収差変動を抑えることが困難となる。また、負レンズがない場合は色収差が残るため色収差変動を抑えることが困難となる。従って、いずれの場合でも高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-8の下限値を49.0とすることが好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、以下の条件式2-9を満足することが望ましい。2-90.65<f1B/f1<1.75但し、f1は前記第1レンズ群の焦点距離、f1Bは第1レンズ群中の正レンズBの焦点距離である。条件式2-9は、第1レンズ群中の正レンズBの最適な焦点距離を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-9の下限値を下回った場合、正レンズBの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズBを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-9の上限値を上回った場合、正レンズBの屈折力が弱くなり、第1レンズ群中の正レンズB以外の正レンズの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズBを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-9の下限値を0.77とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-9の上限値を1.42とすることが好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、以下の条件式2-10を満足することが望ましい。2-101.75<φ1B/fw<4.50但し、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、φ1Bは第1レンズ群中の正レンズBの有効径である。条件式2-10は、第1レンズ群中の正レンズBの最適な有効径を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-10の下限値を下回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の正レンズBを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が少なくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-10の上限値を上回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の正レンズBを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-10の下限値を2.45とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-10の上限値を3.80とすることが好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群は以下の条件式2-11、2-12を満足する負レンズを有することが望ましい。2-111.750<ndN2-1228.0<νdN<50.0但し、ndNは第1レンズ群中の負レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対する屈折率、νdNは第1レンズ群中の負レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数である。条件式2-11は、第1レンズ群中の負レンズの最適な屈折率範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を得るための条件式である。条件式2-11の下限値を下回った場合、第1レンズ群中の負レンズの面の曲率が大きくなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して負レンズ中を通る軸外光束の光軸からの高さの変動による軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-11の下限値を1.780とすることが好ましい。条件式2-12は、第1レンズ群中の負レンズの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-12の下限値を下回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して2次色収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式2-12の上限値を上回った場合、第1レンズ群で所定の色消しを行おうとすると、正負各レンズの屈折力が大きくなり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して負レンズ中を通る軸外光束の光軸からの高さの変動による軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式2-12の上限値を43.0とすることが好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群は、1枚の負レンズと、2枚の正レンズで構成されることが望ましい。この構成とすることにより、第1レンズ群の厚さを抑えることが可能となり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群の最も物体側の面を通る軸外光束の光軸からの高さの変動を抑えることが可能になって、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることができ、高い光学性能を実現できる。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、第3レンズ群は以下の条件式2-13を満足する正レンズを有することが望ましい。2-13nd3≧1.540の時νd3>65.5nd3<1.540の時νd3>75.0但し、nd3は第3レンズ群中の正レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対する屈折率、νd3は第3レンズ群中の正レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数である。条件式2-13は、第3レンズ群中の正レンズの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2-13の下限値を下回った場合、軸上色収差と倍率色収差の変動を抑えることが困難となり、また材質の異常分散が小さい材質となるため2次色収差の変動を抑えることが困難なことに加え、特に望遠端状態における軸上色収差と倍率色収差の可視光領域における量が大きくなって、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、nd3≧1.540の時、条件式2-13の下限値を67.5とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、nd3<1.540の時、条件式2-13の下限値を80.5とすることが好ましい。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、正屈折力の第32レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は減少することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群を一体で移動させるより第3レンズ群の変倍率を上げることが可能となり、さらに球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、負屈折力の第32レンズ群と、正屈折力の第33レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は変化し、第32レンズ群と第33レンズ群との間隔は変化することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群を一体で移動させるより第3レンズ群で発生する収差変動を抑えることが可能となり、特に球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。また、本第2実施形態に係る変倍光学系は、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は増大し、第32レンズ群と第33レンズ群との間隔は減少することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群の変倍率を上げることが可能となり、球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。第2実施形態の実施例以下、本第2実施形態に係る各実施例について図面を参照しつつ説明する。なお、反射防止膜の詳細については、実施例の後に別途説明する。第2実施形態の第1実施例図11は、第2実施形態の第1実施例に係る変倍光学系の構成を示す断面図である。図11に示すように、第2実施形態の第1実施例に係る変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、負屈折力の第32レンズ群G32と、正屈折力の第33レンズ群G33とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は増大し、第32レンズ群G32と第33レンズ群G33との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32と第33レンズ群G33は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。また、第31レンズ群G31と第33レンズ群G33は、像面Iに対して一体で移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、両凸形状の正レンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成されている。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第33レンズ群G33は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成されている。第33レンズ群G33の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL54から射出した光線は像面Iに結像する。像面Iは、不図示の撮像素子上に形成され、該撮像素子はCCDやCMOS等から構成されている以降の実施例についても同様である。本第2実施形態の第1実施例では、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表5に第2実施形態の第1実施例に係る変倍光学系の諸元値を掲げる。表中の面データにおいて、物面は物体面、面番号は物体側からのレンズ面の番号、rは曲率半径、dは面間隔、ndはd線波長λ=587.6nmにおける屈折率、νdはd線波長λ=587.6nmにおけるアッベ数、可変は可変面間隔、絞りは開口絞りS、像面は像面Iをそれぞれ表している。なお、空気の屈折率nd=1.000000は記載を省略している。また、曲率半径r欄の∞は平面を示している。非球面データにおいて、非球面は以下の式で表される。Xy=y2r[1[1-κy2r2]12]A4×y4A6×y6A8×y8A10×y10ここで、光軸に垂直な方向の高さをy、高さyにおける光軸方向の変位量各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離をXy、基準球面の曲率半径近軸曲率半径をr、円錐係数をκ、n次の非球面係数をAnとする。なお、Enは×10-nを示し、例えば1234E05は1234×10-5を示す。また、各非球面は、面データにおいて、面番号の右側にを付して示している。各種データにおいて、ズーム比は変倍光学系の変倍比、Wは広角端状態、Mは中間焦点距離状態、Tは望遠端状態、fは全系の焦点距離、FNOはFナンバー、ωは半画角単位:°、Yは像高、TLは無限遠合焦状態における第1レンズ群G1の最も物体側の面から像面Iまでのレンズ系全長、Bfはバックフォーカス、diは面番号iでの可変面間隔値をそれぞれ表している。ズームレンズ群データは、各レンズ群の始面番号とレンズ群の焦点距離をそれぞれ示す。条件式対応値は、各条件式の対応値をそれぞれ示す。なお、以下の全ての諸元値において、掲載されている焦点距離f、曲率半径r、面間隔dその他の長さ等は、特記の無い場合一般にmmが使われるが、光学系は比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。また、単位はmmに限定されること無く他の適当な単位を用いることもできる。さらに、これらの記号の説明は、以降の他の第2実施形態の実施例においても同様とし説明を省略する。表5面データ面番号rdndνd物面∞∞12050918020000018829974076267524209071901456000912033614271001000047010040686700160300165465247083790可変684768700150001553890380977393750120000183480742728170367064697094948220100000181600046621052140600150001131614905450801761820265612444482011935013251358010000018160004662146450360242190180809022791516654310可変16絞り∞1000001763102203491301593190678718502215001000019586826027220014874907041201214345001000021486432041042014874907041223450080100000180809022792320515990可変246696860100000169350153202526571202158101761820265626633384047873027247041010000017291575466287486360可変29569794203960901589130611630235350001000031371485050060014874907041324519690171640331070363010000018829974076342336210450160154814145793563755850像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=361880E06A6=610680E09A8=467380E12A10=577660E14第24面κ=10000A4=381940E06A6=172450E09A8=000000E00A10=000000E00第29面κ=10000A4=163630E05A6=894380E09A8=298150E11A10=287630E14各種データズーム比15709WMTf18560801041554629157422FNO360018560084587404ω3895554745367271157Y142014201420TL163296922255951025297281Bf391524270612808277641d521467055860308053690d1534338301146250200000d2333875010669301183690d28944940216760100000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11122.1040626-15.8665431639.50539W33.18380M31.88175T311626.566943224-24.00147332933.81791条件式対応値2-1νdA=91.20L122-2f1/fw=6.5792-3f1/ft=0.4192-4Δ1/f1=0.7342-5f1A/f1=1.029L122-6φ1A/fw=3.007φ1A=55.81L122-7ndB=1.603001L132-8νdB=65.46L132-9f1B/f1=0.927L132-10φ1B/fw=2.909φ1B=54.00L132-11ndN=1.882997L112-12νdN=40.76L112-13nd3=1.593190L31νd3=67.87L31図12は、第2実施形態の第1実施例に係る変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図において、FNOはFナンバー、Aは半画角単位:°を示す。また、dはd線波長587.6nm、gはg線波長435.8nmに対する諸収差、記載のないものはd線に対する諸収差をそれぞれ表す。非点収差図において、実線はサジタル像面、破線はメリディオナル像面を示す。なお、以降の他の第2実施形態の実施例においても同様の記号を使用し、以降の説明を省略する。各収差図から、第2実施形態の第1実施例に係る変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。図13は、第2実施形態の第1実施例の変倍光学系において、物体側から入射した光線BMによりゴーストが発生する状態を示している。図13において、物体側からの光線BMが図示のように変倍光学系に入射すると、両凹形状の負レンズL22における物体側のレンズ面第1番目の反射光の発生面でありその面番号は9で反射し、その反射光は負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面第2番目の反射光の発生面でありその面番号は8で再度反射して像面Iに到達し、ゴーストおよびフレアを発生させてしまう。なお、第1番目の反射光の発生面面番号9は物体から見て凹形状のレンズ面であり、第2番目の反射光の発生面面番号8は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストおよびフレアを効果的に低減することができる。第2実施形態の第2実施例図14は、第2実施形態の第2実施例に係る変倍光学系の構成を示す断面図である。図14に示すように、第2実施形態の第2実施例に係る変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、正屈折力の第32レンズ群G32とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は単調に物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24とから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL33との接合レンズと、両凹形状の負レンズL34と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL35との接合レンズとから構成されている。両凹形状の負レンズL34は物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL41と、両凸形状の正レンズL42と両凹形状の負レンズL43との接合レンズと、両凸形状の正レンズL44とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凸形状の正レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL44から射出した光線は像面Iに結像する。本第2実施形態の第2実施例では、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23における像面側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表6に第2実施形態の第2実施例に係る変倍光学系の諸元値を掲げる。表6面データ面番号rdndνd物面∞∞1107020601800001903658313126129680901320145650090273505779700100004565708065660016030016544526314480可変61076633001500015538903809779435701200001816000466281254980589610928136101000001816000466210768103001000011290330050805018466602378122829410070210132032340100000178800147371432832220可変15絞り∞05000016385144043804015275106672173108680010000182482780570920149700081641922484901000001850260323520119941670300000215255750010000155389038092256776901000001772499496023329354019482018051812542248342590可変253817010515170167790054892630307500100002711912160579370151179049722816926201000001878780417329402625007994030887687040188014979705326313187250像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=823600E06A6=268070E08A8=285680E10A10=896110E13第21面κ=10000A4=839680E06A6=490050E09A8=000000E00A10=000000E00第25面κ=10000A4=105940E05A6=260370E08A8=000000E00A10=000000E00各種データズーム比15666WMTf18575811347930829101598FNO358467630198635739ω3875301590773274550Y142014201420TL141061182141372622718745Bf380232885338269260805d521208050672306267010d142369130780730180000d241001650311010290000ズームレンズ群データ群始面焦点距離1195.6894626-11.4619531531.13029W27.66506M27.57169T311542.77504322540.12768条件式対応値2-1νdA=90.27L122-2f1/fw=5.1512-3f1/ft=0.3292-4Δ1/f1=0.9002-5f1A/f1=1.258L122-6φ1A/fw=2.998φ1A=55.69L122-7ndB=1.603001L132-8νdB=65.44L132-9f1B/f1=1.234L132-10φ1B/fw=2.799φ1B=52.00L132-11ndN=1.903658L112-12νdN=31.31L112-13nd3=1.497000L32νd3=81.64L32図15は、第2実施形態の第2実施例に係る変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第2実施形態の第2実施例に係る変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。第2実施形態の第3実施例図16は、第2実施形態の第3実施例に係る変倍光学系の構成を示す断面図である。図16に示すように、第2実施形態の第3実施例に係る変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、負屈折力の第32レンズ群G32と、正屈折力の第33レンズ群G33とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は増大し、第32レンズ群G32と第33レンズ群G33との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32と第33レンズ群G33は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、両凸形状の正レンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成されている。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第33レンズ群G33は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成されている。第33レンズ群G33の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL54から射出した光線は像面Iに結像する。本第2実施形態の第3実施例では、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL12における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表7に第2実施形態の第3実施例に係る変倍光学系の諸元値を掲げる。表7面データ面番号rdndνd物面∞∞119338060200000188300040772668356092308014370009500334114920010000468789506987601603000654752649893207977200可変684768700150001553890380977393750120000183481042728169482064297095317850100000181600046631046709400150001130639205378801761820265612489688013969013244225010000018160004663146910450252380180809022791512194360200000可変16絞り∞10000017660818034359015928206869185037120010000195942650278060148749070452010847870010000214967940411660148749070452233836401000001808090227923167679001182210可変246489240100000169350053222527124002144401761820265626658441047317027251485010000017291605466287372860100000可変29448314203900501589130611830236418001000031374375049809014874907045324496410173250331026299010000018830004077342317730451170154814045793561902620Bf像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=416398E06A6=755222E09A8=291689E12A10=562106E14第24面κ=10000A4=383569E06A6=103578E09A8=000000E00A10=000000E00第29面κ=10000A4=160868E05A6=816360E09A8=355020E11A10=760058E14各種データズーム比15714WMTf18555661039594729157591FNO363338562730588308ω3894112746798271133Y142014201420TL163380922251786125225324Bf391716270496518247674d521270055322807977200d1534077801135470200000d2333620010676701182210d28946010214550100000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11120.7788526-15.5957231639.12629W32.72813M31.47773T311626.385583224-24.49396332934.76717条件式対応値2-1νdA=9500L122-2f1/fw=6.5092-3f1/ft=0.4142-4Δ1/f1=0.7362-5f1A/f1=1.066L122-6φ1A/fw=3.043φ1A=56.47L122-7ndB=1.603000L132-8νdB=65.47L132-9f1B/f1=0.922L132-10φ1B/fw=2.910φ1B=54.00L132-11ndN=1.883000L112-12νdN=40.77L112-13nd3=1.592820L31νd3=68.69L31図17は、第2実施形態の第3実施例に係る変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第2実施形態の第3実施例に係る変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。以下、本願の第2実施形態に係る変倍光学系の製造方法の概略を説明する。図18は、本願の第2実施形態に係る変倍光学系の製造方法を示す図である。本願の第2実施形態に係る変倍光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含む変倍光学系の製造方法であって、図18に示すステップS1,S2,S3を含むものである。ステップS1:第1レンズ群と第2レンズ群と第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔が増大可能、第2レンズ群と第3レンズ群との間隔が減少可能に配置する。ステップS2:第1レンズ群中に以下の条件式2-1を満足する正レンズAを配置する。2-1νdA>85.0ステップS3:以下の条件式2-2を満足するようにする。2-23.90<f1/fw<11.00但し、νdAは第1レンズ群中の正レンズAの材質のd線に対するアッベ数、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、f1は第1レンズ群の焦点距離である。本願の第2実施形態に係る変倍光学系の製造方法によれば、収差変動を抑え、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を有する変倍光学系を製造することができる。第3実施形態本願の第3実施形態にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、第2レンズ群と第3レンズ群との間隔は減少する構成とすることで、変倍可能な光学系を実現し、同時に変倍に伴う歪曲収差の変動を抑えている。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式3-1、3-2を満足する正レンズAを有し、以下の条件式3-3を満足する。3-1ndA>1.5403-2νdA>66.53-33.90<f1/fw<11.00但し、ndAは正レンズAの材質のd線波長λ=587.6nmに対する屈折率、νdAは正レンズAの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、f1は第1レンズ群の焦点距離である。条件式3-1は、正レンズAの材質の最適な屈折率を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する球面収差や像面湾曲の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-1の下限値を下回った場合、球面収差や像面湾曲の変倍時の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、本願実施形態の効果を確実にするために、条件式3-1の下限値を1.550とすることが好ましい。条件式3-2は、正レンズAの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-2の下限値を下回った場合、軸上色収差や倍率色収差の変動を抑えることが困難となり、また材質の異常分散が小さい材質となるため2次色収差の変動を抑えることが困難なことに加え、特に望遠端における軸上色収差と倍率色収差の可視光領域における量が大きくなって、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-2の下限値を67.5とすることが好ましい。条件式3-3は、第1レンズ群の最適な焦点距離範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-3の下限値を下回った場合、第1レンズ群の屈折力が強くなり、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-3の上限値を上回った場合、第1レンズ群の屈折力が弱くなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の像面に対する移動量を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-3の下限値を4.75とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式3-3の下限値を5.10とすることが更に好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-3の上限値を8.80とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式3-3の上限値を7.60とすることが更に好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んでいる。このように構成することで、本実施形態にかかる変倍光学系は、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、反射防止膜は多層膜であり、ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、屈折率ndが1.30以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において物体側から見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。なお、本第3実施形態にかかる変倍光学系では、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が1.30以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式3-4を満足することが望ましい。3-40.28<f1/ft<0.52但し、ftは望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離、f1は第1レンズ群の焦点距離である。条件式3-4は、第1レンズ群の最適な焦点距離範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-4の下限値を下回った場合、第1レンズ群の屈折力が強くなり、軸上色収差と球面収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-4の上限値を上回った場合、第1レンズ群の屈折力が弱くなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の像面に対する移動量を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-4の下限値を0.31とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-4の上限値を0.48とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式3-4の上限値を0.44とすることが更に好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式3-5を満足することが望ましい。3-50.25<Δ1/f1<1.10但し、f1は第1レンズ群の焦点距離、Δ1は広角端状態から望遠端状態までの像面に対する第1レンズ群の移動量である。条件式3-5は、第1レンズ群の広角端状態から望遠端状態までの像面に対する最適な移動量を規定し、変倍に際して発生する軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-5の下限値を下回った場合、第1レンズ群の像面に対する移動量が少なくなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の屈折力を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-5の上限値を上回った場合、第1レンズ群の像面に対する移動量が大きくなり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群を通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となって、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-5の下限値を0.36とすることが好ましい。また、実施形態の効果を更に確実にするために、条件式3-5の下限値を0.48とすることが更に好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-5の上限値を0.95とすることが好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第3レンズ群は正レンズAを有することが望ましい。この構成とすることにより、広角端状態から望遠端状態までの変倍に際して発生する軸上色収差や色の球面収差の変動を抑えることが可能になり、高い光学性能を実現できる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式3-6を満足することが望ましい。3-60.75<f3A/f3<2.25但し、f3は第3レンズ群の焦点距離、f3Aは第3レンズ群中の正レンズAの焦点距離である。条件式3-6は、第3レンズ群中の正レンズAの最適な焦点距離を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸上収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-6の下限値を下回った場合、正レンズAの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズAを通る軸上光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、軸上色収差や球面収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-6の上限値を上回った場合、正レンズAの屈折力が小さくなるため、第3レンズ群中の正レンズA以外の正レンズの屈折力が強くなり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、軸上色収差や球面収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-6の下限値を0.90とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-6の上限値を1.95とすることが好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群は正レンズAを有することが望ましい。この構成とすることにより、広角端状態から望遠端状態までの変倍に際して発生する軸上色収差や倍率色収差の変動を抑えることが可能になり、高い光学性能を実現できる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式3-7を満足することが望ましい。3-70.65<f1A/f1<1.75但し、f1は第1レンズ群の焦点距離、f1Aは第1レンズ群中の正レンズAの焦点距離である。条件式3-7は、第1レンズ群中の正レンズAの最適な焦点距離を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-7の下限値を下回った場合、正レンズAの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-7の上限値を上回った場合、正レンズAの屈折力が小さくなるため、第1レンズ中の正レンズA以外の正レンズの屈折力が強くなり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-7の下限値を0.80とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-7の上限値を1.35とすることが好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式3-8を満足することが望ましい。3-81.75<φ1A/fw<4.50但し、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、φ1Aは第1レンズ群中の正レンズAの有効径である。条件式3-8は、第1レンズ群中の正レンズAの最適な有効径を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-8の下限値を下回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が少なくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-8の上限値を上回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-8の下限値を2.45とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-8の上限値を3.80とすることが好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式3-9を満足することが望ましい。3-90.055<φ1A/ft<0.420但し、ftは望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離、φ1Aは第1レンズ群中の正レンズAの有効径である。条件式3-9は、第1レンズ群中の正レンズAの最適な有効径を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-9の下限値を下回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が少なくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-9の上限値を上回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第1レンズ群中の正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動が大きくなり、倍率色収差と軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-9の下限値を0.080とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-9の上限値を0.350とすることが好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群は2枚の正レンズを有することが望ましい。この構成とすることにより、第1レンズ群の厚さを抑えることが可能となり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群の最も物体側の面を通る軸外光束の光軸からの高さの変動を抑えることが可能になって、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることができ、高い光学性能を実現できる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群は以下の条件式3-10、3-11を満足する負レンズを有することが望ましい。3-101.750<ndN3-1128.0<νdN<50.0但し、ndNは第1レンズ群中の負レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対する屈折率、νdNは第1レンズ群中の負レンズの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数である。条件式3-10は、第1レンズ群中の負レンズの最適な屈折率範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する軸外収差の変動を抑えて高い光学性能を得るための条件式である。条件式3-10の下限値を下回った場合、第1レンズ群中の負レンズの面の曲率が大きくなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して負レンズ中を通る軸外光束の光軸からの高さの変動による軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-10の下限値を1.780とすることが好ましい。条件式3-11は、第1レンズ群中の負レンズの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-11の下限値を下回った場合、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して2次色収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-11の上限値を上回った場合、第1レンズ群で所定の色消しを行おうとすると、正負各レンズの屈折力が大きくなり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して負レンズ中を通る軸外光束の光軸からの高さの変動による軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-11の上限値を43.0とすることが好ましい。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群中の負レンズは1枚であることが望ましい。この構成とすることにより、第1レンズ群の厚さを抑えることが可能となり、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、第1レンズ群の最も物体側の面を通る軸外光束の光軸からの高さの変動を抑えることが可能になって、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることができ、高い光学性能を実現できる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第1レンズ群は以下の条件式3-12を満足する正レンズBを有することが望ましい。3-12νdB>75.0但し、νdBは第1レンズ群中の正レンズBの材質のd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数である。条件式3-12は、正レンズBの材質の最適なアッベ数を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する色収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-12の下限値を下回った場合、軸上色収差や倍率色収差の変動を抑えることが困難となり、また材質の異常分散が小さい材質となるため2次色収差の変動を抑えることが困難なことに加え、特に望遠端状態における軸上色収差と倍率色収差の可視光領域における量が大きくなって、高い光学性能を実現できない。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、正屈折力の第32レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は減少することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群を一体で移動させるより第3レンズ群の変倍率を上げることが可能となり、さらに球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第3レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群と、負屈折力の第32レンズ群と、正屈折力の第33レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は変化し、第32レンズ群と第33レンズ群との間隔は変化することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群を一体で移動させるより第3レンズ群で発生する収差変動を抑えることが可能となり、特に球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第31レンズ群と第32レンズ群との間隔は増大し、第32レンズ群と第33レンズ群との間隔は減少することが望ましい。この構成とすることにより、第3レンズ群の変倍率を上げることが可能となり、球面収差やコマ収差、非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、第31レンズ群は正レンズAを有することが望ましい。この構成とすることにより、広角端状態から望遠端状態までの変倍に際して発生する軸上色収差や色の球面収差の変動を抑えることが可能になり、高い光学性能を実現できる。また、本第3実施形態にかかる変倍光学系は、以下の条件式3-13を満足することが望ましい。3-130.55<f31A/f31<2.45但し、f31は第31レンズ群の焦点距離、f31Aは第31レンズ群中の正レンズAの焦点距離である。条件式3-13は、第31レンズ群中の正レンズAの最適な焦点距離を規定し、変倍に際して発生する色収差と軸上収差の変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3-13の下限値を下回った場合、正レンズAの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズAを通る軸上光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、軸上色収差や球面収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。条件式3-13の上限値を上回った場合、正レンズAの屈折力が弱くなり、第31レンズ群中の正レンズA以外の正レンズの屈折力が強くなるため、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して、正レンズAを通る軸外光束の光軸からの高さの変動にともなう屈折力変化が大きくなり、軸上色収差や球面収差の変動を抑えることが困難となり、高い光学性能を実現できない。なお、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-13の下限値を0.73とすることが好ましい。また、実施形態の効果を確実にするために、条件式3-13の上限値を1.95とすることが好ましい。第3実施形態の実施例以下、本第3実施形態にかかる各実施例について図面を参照しつつ説明する。なお、反射防止膜の詳細については、実施例の後に別途説明する。第3実施形態の第1実施例図19は、第3実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系の構成を示す断面図である。図19に示すように、第3実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、負屈折力の第32レンズ群G32と、正屈折力の第33レンズ群G33とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は増大し、第32レンズ群G32と第33レンズ群G33との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32と第33レンズ群G33は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。また、第31レンズ群G31と第33レンズ群G33は、像面Iに対して一体で移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、両凸形状の正レンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成されている。両凸形状の正レンズL31は条件式3-1、3-2を満足する正レンズである。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第33レンズ群G33は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成されている。第33レンズ群G33の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL54から射出した光線は像面Iに結像する。像面Iは、不図示の撮像素子上に形成され、該撮像素子はCCDやCMOS等から構成されている以降の実施例についても同様である。本第3形態の第1実施例では、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表8に第3実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系の諸元値を掲げる。表中の面データにおいて、物面は物体面、面番号は物体側からのレンズ面の番号、rは曲率半径、dは面間隔、ndはd線波長λ=587.6nmにおける屈折率、νdはd線波長λ=587.6nmにおけるアッベ数、可変は可変面間隔、絞りは開口絞りS、像面は像面Iをそれぞれ表している。なお、空気の屈折率nd=1.000000は記載を省略している。また、曲率半径r欄の∞は平面を示している。非球面データにおいて、非球面は以下の式で表される。Xy=y2r[1[1-κy2r2]12]A4×y4A6×y6A8×y8A10×y10ここで、光軸に垂直な方向の高さをy、高さyにおける光軸方向の変位量各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離をXy、基準球面の曲率半径近軸曲率半径をr、円錐係数をκ、n次の非球面係数をAnとする。なお、Enは×10-nを示し、例えば1234E05は1234×10-5を示す。また、各非球面は、面データにおいて、面番号の右側にを付して示している。各種データにおいて、ズーム比は変倍光学系の変倍比、Wは広角端状態、Mは中間焦点距離状態、Tは望遠端状態、fは全系の焦点距離、FNOはFナンバー、ωは半画角単位:°、Yは像高、TLは無限遠合焦状態における第1レンズ群G1の最も物体側の面から像面Iまでのレンズ系全長、Bfはバックフォーカス、diは面番号iでの可変面間隔値をそれぞれ表している。ズームレンズ群データは、各レンズ群の始面番号とレンズ群の焦点距離をそれぞれ示す。条件式対応値は、各条件式の対応値をそれぞれ示す。なお、以下の全ての諸元値において、掲載されている焦点距離f、曲率半径r、面間隔dその他の長さ等は、特記の無い場合一般にmmが使われるが、光学系は比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。また、単位はmmに限定されること無く他の適当な単位を用いることもできる。さらに、これらの記号の説明は、以降の他の第3実施形態の実施例においても同様とし説明を省略する。表8面データ面番号rdndνd物面∞∞12050918020000018829974076267524209071901456000912033614271001000047010040686700160300165465247083790可変684768700150001553890380977393750120000183480742728170367064697094948220100000181600046621052140600150001131614905450801761820265612444482011935013251358010000018160004662146450360242190180809022791516654310可変16絞り∞1000001763102203491301593190678718502215001000019586826027220014874907041201214345001000021486432041042014874907041223450080100000180809022792320515990可変246696860100000169350153202526571202158101761820265626633384047873027247041010000017291575466287486360可変29569794203960901589130611630235350001000031371485050060014874907041324519690171640331070363010000018829974076342336210450160154814145793563755850像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=361880E06A6=610680E09A8=467380E12A10=577660E14第24面κ=10000A4=381940E06A6=172450E09A8=000000E00A10=000000E00第29面κ=10000A4=163630E05A6=894380E09A8=298150E11A10=287630E14各種データズーム比15709WMTf18560801041554629157422FNO360018560084587404ω3895554745367271157Y142014201420TL163296922255951025297281Bf391524270612808277641d521467055860308053690d1534338301146250200000d2333875010669301183690d28944940216760100000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11122.1040626-15.8665431639.50539W33.18380M31.88175T311626.566943224-24.00147332933.81791条件式対応値3-1ndA=1.593190L313-2νdA=67.87L313-3f1/fw=6.5793-4f1/ft=0.4193-5Δ1/f1=0.7343-6f3A/f3=1.207L31W3-6f3A/f3=1.437L31M3-6f3A/f3=1.496L31T3-10ndN=1.882997L113-11νdN=40.76L113-12νdB=91.20L123-13f31A/f31=1.795L31図20は、第3実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図において、FNOはFナンバー、Aは半画角単位:°を示す。また、dはd線波長587.6nm、gはg線波長435.8nmに対する諸収差、記載のないものはd線に対する諸収差をそれぞれ表す。非点収差図において、実線はサジタル像面、破線はメリディオナル像面を示す。なお、以降の実施例においても同様の記号を使用し、以降の説明を省略する。各収差図から、第3実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。図21は、第3実施形態の第1実施例の変倍光学系において、物体側から入射した光線BMによりゴーストが発生する状態を示している。図21において、物体側からの光線BMが図示のように変倍光学系に入射すると、両凹形状の負レンズL22における物体側のレンズ面第1番目の反射光の発生面でありその面番号は9で反射し、その反射光は負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面第2番目の反射光の発生面でありその面番号は8で再度反射して像面Iに到達し、ゴーストおよびフレアを発生させてしまう。なお、第1番目の反射光の発生面面番号9は物体から見て凹形状のレンズ面であり、第2番目の反射光の発生面面番号8は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストおよびフレアを効果的に低減することができる。第3実施形態の第2実施例図22は、第3実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系の構成を示す断面図である。図22に示すように、第3実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、正屈折力の第32レンズ群G32とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。正メニスカスレンズL13は条件式3-1、3-2を満足する正レンズである。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズL24と像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と両凹形状の負レンズL34との接合レンズと、両凹形状の負レンズL35と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL36との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL37とから構成されている。両凹形状の負レンズL35は物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL31は条件式3-1、3-2を満足する正レンズである。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL41と、両凹形状の負レンズL42と両凸形状の正レンズL43との接合レンズとから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凸形状の正レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL43から射出した光線は像面Iに結像する。本第3実施形態の第2実施例では、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23における像面側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表9に第3実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系の諸元値を掲げる。表9面データ面番号rdndνd物面∞∞1123959452000001850260323526581889930000149782082523679818980100004666349462000015931906787541993083可変61623241601500015538903809714607537100000183480742728161303565500093527597100000188299740761060445030100001137372265200001846660237812327279208214313239462810000018829974076142524149720000018080902279157244788可変16絞り∞100000173672216330000159319067871811819629010000194137679315000148749070412092342920100002142340333800001487490704122410035710000018051812543232593609238190924636485310000018061004094252200000290000180518125432615057815420000274582441100000188299740762821598952可変2977179363150001589130611630371186601000031261294881000001882997407632399807644000015182295893334852092像面∞非球面データ第6面κ=57774A4=679980E06A6=252730E08A8=826150E11A10=102860E13第24面κ=28196A4=459750E06A6=428350E09A8=000000E00A10=000000E00第29面κ=65363A4=195310E05A6=179050E08A8=155070E10A10=413770E13各種データズーム比15696WMTf18539791049974629099204FNO410702539973539939ω3899845750128273812Y142014201420TL160008852189916523779997Bf391169389390519916649d521515345026276569297d1540454821314016200000d28884506199420150000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11103.2522326-15.1308431639.55369W35.07124M34.78685T311644.76649322947.36030条件式対応値3-1ndA=1.593190L133-1ndA=1.593190L313-2νdA=67.87L133-2νdA=67.87L313-3f1/fw=5.5693-4f1/ft=0.3553-5Δ1/f1=0.7533-6f3A/f3=1.204L31W3-6f3A/f3=1.358L31M3-6f3A/f3=1.369L31T3-7f1A/f1=1.285L133-8φ1A/fw=2.918φ1A=54.10L133-9φ1A/ft=0.186φ1A=54.10L133-10ndN=1.850260L113-11νdN=32.35L113-12νdB=82.52L123-13f31A/f31=1.064L31図23は、第3実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第3実施形態の第2実施例にかかる変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。第3実施形態の第3実施例図24は、第3実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系の構成を示す断面図である。図24に示すように、第3実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、負屈折力の第32レンズ群G32と、正屈折力の第33レンズ群G33とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は増大し、第32レンズ群G32と第33レンズ群G33との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32と第33レンズ群G33は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。正メニスカスレンズL13は条件式3-1、3-2を満足する正レンズである。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成されている。両凸形状の正レンズL31は条件式3-1、3-2を満足する正レンズである。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第33レンズ群G33は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成されている。第33レンズ群G33の最も物体側に位置する両凸形状の正レンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL54から射出した光線は像面Iに結像する。本第3実施形態の第3実施例では、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表10に第3実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系の諸元値を掲げる。表10面データ面番号rdndνd物面∞∞11756056022000018340003716267430208800001497820825235877848001000047227100645000159319067875182613880可変684768700100001553890380977393750120000183480742728171873069500093698220100000181600046621077926300150001136634605300001784723256812366346008000013261991010000018160004662146373960205000180809022791564327060可変16絞り∞1000001765836503400001593190678718501546001000019656817024500014874907041201549743001000021467333042000014874907041223578330100000180809022792319193180可変245729660020000155389038092559725000900001696797555226285100021500017282502846279199760414020283289540100000172915754662914433150可変306427191904650001589130611831273818001000032314776058500014874907041334375390145000341135897010000018829974076352034810530000154814145793670914530像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=288220E06A6=229350E11A8=235280E11A10=921570E14第24面κ=10000A4=432780E06A6=188460E09A8=000000E00A10=000000E00第30面κ=10000A4=136170E05A6=355860E10A8=183080E11A10=186790E13各種データズーム比15701WMTf18560601046515029142454FNO357565562482581064ω3880191744205272113Y142014201420TL164764352252889925061470Bf388470573579298664770d521570053010007625220d1533363601130360200000d23346820964300962460d291183830266290100000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11117.7293726-15.6094531640.44471W33.95695M32.70088T311627.354733224-26.50041333035.20423条件式対応値3-1ndA=1.593190L133-1ndA=1.593190L313-2νdA=67.87L133-2νdA=67.87L313-3f1/fw=6.3433-4f1/ft=0.4043-5Δ1/f1=0.7293-6f3A/f3=1.200L31W3-6f3A/f3=1.429L31M3-6f3A/f3=1.484L31T3-7f1A/f1=1.076L133-8φ1A/fw=2.909φ1A=54.00L133-9φ1A/ft=0.185φ1A=54.00L133-10ndN=1.834000L113-11νdN=37.16L113-12νdB=82.52L123-13f31A/f31=1.774L31図25は、第3実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第3実施形態の第3実施例にかかる変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。第3実施形態の第4実施例図26は、第3実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系の構成を示す断面図である。図26に示すように、第3実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、負屈折力の第32レンズ群G32と、正屈折力の第33レンズ群G33とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は増大し、第32レンズ群G32と第33レンズ群G33との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32と第33レンズ群G33は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。また、第31レンズ群G31と第33レンズ群G33は、像面Iに対して一体で移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。正メニスカスレンズL13は条件式3-1、3-2を満足する正レンズである。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成されている。両凸形状の正レンズL31は条件式3-1、3-2を満足する正レンズである。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第33レンズ群G33は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成されている。第33レンズ群G33の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL54から射出した光線は像面Iに結像する。本第3実施形態の第4実施例では、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表11に第3実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系の諸元値を掲げる。表11面データ面番号rdndνd物面∞∞11865996022000018340003717269089008800001497820825634944454501000047340222645000159319067875201671160可変684850000100001553890380977402192120000183481042728170974769500093797970100000181600046631077671270150001136265575300001784720256812362655708000013256964210000018160004663146608300205000180809022791566670366可変16絞り∞1000001768307273400001593190678718479959601000019685236724500014874907045201369839201000021465267142000014874907045223616400100000180809022792320295328可変24550984002000015538903809255724715090000169680055522628151002150001728250284627877085643500028266987710000017291605466297647707可変30333895004650001589130611831246439501000032311962558500014874907045334338887145000341097164510000018830004077352029920530000154814045793680881321像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=313350E06A6=473080E10A8=340500E11A10=116620E13第24面κ=10000A4=524030E06A6=200730E09A8=000000E00A10=000000E00第30面κ=10000A4=154020E05A6=169500E09A8=134490E11A10=207220E13各種データズーム比15721WMTf18523631045214329121725FNO360558569344589616ω3889095741882271146Y142014201420TL164744202254886025139424Bf394425071575308310134d521570053256507694960d1533801401131350200000d2334565011601701304330d291058680244160100000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11118.9691026-15.6254231640.08868W33.90635M32.38356T311627.174633224-25.41506333034.39022条件式対応値3-1ndA=1.593190L133-1ndA=1.593190L313-2νdA=67.87L133-2νdA=67.87L313-3f1/fw=6.4233-4f1/ft=0.4093-5Δ1/f1=0.7283-6f3A/f3=1.198L31W3-6f3A/f3=1.417L31M3-6f3A/f3=1.484L31T3-7f1A/f1=1.078L133-8φ1A/fw=2.915φ1A=54.00L133-9φ1A/ft=0.185φ1A=54.00L133-10ndN=1.834000L113-11νdN=37.17L113-12νdB=82.52L123-13f31A/f31=1.768L31図27は、第3実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第3実施形態の第4実施例にかかる変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。第3実施形態の第5実施例図28は、第3実施形態の第5実施例に係る変倍光学系の構成を示す断面図である。図28に示すように、第3実施形態の第5実施例に係る変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1と、負屈折力の第2レンズ群G2と、正屈折力の第3レンズ群G3とから構成される。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第31レンズ群G31と、負屈折力の第32レンズ群G32と、正屈折力の第33レンズ群G33とから構成される。広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少するように、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦像側へ移動してから物体側へ移動し、第3レンズ群G3は単調に物体側へ移動する。さらに、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32との間隔は増大し、第32レンズ群G32と第33レンズ群G33との間隔は減少するように、第31レンズ群G31と第32レンズ群G32と第33レンズ群G33は像面Iに対して単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第31レンズ群G31と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、両凸形状の正レンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成されている。第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第31レンズ群G31は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成されている。両凸形状の正レンズL31は条件式3-1、3-2を満足する正レンズである。第32レンズ群G32は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第32レンズ群G32の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第33レンズ群G33は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成されている。第33レンズ群G33の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。両凸形状の正レンズL54から射出した光線は像面Iに結像する。本第3実施形態の第5実施例では、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL12における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表12に第3実施形態の第5実施例に係る変倍光学系の諸元値を掲げる。表12面データ面番号rdndνd物面∞∞119338060200000188300040772668356092308014370009500334114920010000468789506987601603000654752649893207977200可変684768700150001553890380977393750120000183481042728169482064297095317850100000181600046631046709400150001130639205378801761820265612489688013969013244225010000018160004663146910450252380180809022791512194360200000可変16絞り∞10000017660818034359015928206869185037120010000195942650278060148749070452010847870010000214967940411660148749070452233836401000001808090227923167679001182210可変246489240100000169350053222527124002144401761820265626658441047317027251485010000017291605466287372860100000可変29448314203900501589130611830236418001000031374375049809014874907045324496410173250331026299010000018830004077342317730451170154814045793561902620Bf像面∞非球面データ第6面κ=10000A4=416398E06A6=755222E09A8=291689E12A10=562106E14第24面κ=10000A4=383569E06A6=103578E09A8=000000E00A10=000000E00第29面κ=10000A4=160868E05A6=816360E09A8=355020E11A10=760058E14各種データズーム比15714WMTf18555661039594729157591FNO363338562730588308ω3894112746798271133Y142014201420TL163380922251786125225324Bf391716270496518247674d521270055322807977200d1534077801135470200000d2333620010676701182210d28946010214550100000ズームレンズ群データ群始面焦点距離11120.7788526-15.5957231639.12629W32.72813M31.47773T311626.385583224-24.49396332934.76717条件式対応値3-1ndA=1.592820L313-2νdA=68.69L313-3f1/fw=6.5093-4f1/ft=0.4143-5Δ1/f1=0.7363-6f3A/f3=1.246L31W3-6f3A/f3=1.490L31M3-6f3A/f3=1.549L31T3-10ndN=1.883000L113-11νdN=40.77L113-12νdB=95.00L123-13f31A/f31=1.848L31図29は、第3実施形態の第5実施例に係る変倍光学系の無限遠合焦状態での諸収差図を示し、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示す。各収差図から、第3実施形態の第5実施例に係る変倍光学系は、諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有していることがわかる。以下、本願の第3実施形態に係る変倍光学系の製造方法の概略を説明する。図30は、本願の第3実施形態に係る変倍光学系の製造方法を示す図である。本願の第3実施形態に係る変倍光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第1レンズ群と、負屈折力の第2レンズ群と、正屈折力の第3レンズ群とを有し、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された草を少なくとも1層含む変倍光学系の製造方法であって、図30に示すステップS1,S2,S3を含むものである。ステップS1:第1レンズ群と第2レンズ群と第3レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔が増大可能、第2レンズ群と第3レンズ群との間隔が減少可能に配置する。ステップS2:以下の条件式3-1、3-2を満足する正レンズAを配置する。3-1ndA>1.5403-2νdA>66.5ステップS3:以下の条件式3-3を満足するようにする。3-33.90<f1/fw<11.00但し、ndAは正レンズAの材質のd線に対する屈折率、νdAは正レンズAの材質のd線に対するアッベ数、fwは広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離、f1は第1レンズ群の焦点距離である。本願の第3実施形態に係る変倍光学系の製造方法によれば、収差変動を抑え、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を有する変倍光学系を製造することができる。ここで、第1~第3実施形態の各実施例にかかる変倍光学系に用いられる反射防止膜多層広帯域反射防止膜とも言うについて説明する。図31は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜101は7層からなり、レンズ等の光学部材102の光学面に形成される。第1層101aは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第1層101aの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第2層101bが形成される。さらに、この第2層101bの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第3層101cが形成され、この第3層101cの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第4層101dが形成される。またさらに、この第4層101dの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第5層101eが形成され、この第5層101eの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第6層101fが形成される。そして、このようにして形成された第6層101fの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第7層101gが形成されて本実施形態の反射防止膜101が形成される。第7層101gの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル-ゲル法を用いている。ゾル-ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル-ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。このように、この反射防止膜101の第1層101a~第6層101fまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第7層101gは、フッ酸/酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面上述の光学部材102の光学面に真空蒸着装置を用いて第1層101aとなる酸化アルミニウム層、第2層101bとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第3層101cとなる酸化アルミニウム層、第4層101dとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第5層101eとなる酸化アルミニウム層、第6層101fとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材102を取り出した後、フッ酸/酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第7層101gとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸/酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式aに示す。a2HFMgCH3COO2→MgF22CH3COOHこの成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで140°C、24時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材102は、第7層101gの成膜終了後、大気中で160°C、1時間加熱処理して完成される。このようなゾル-ゲル法を用いることにより、大きさが数nmから数十nmの粒子が空隙を残して堆積することにより第7層101gが形成される。このようにして形成された反射防止膜101を有する光学部材の光学的性能について図32に示す分光特性を用いて説明する。本第1~第3実施形態の各実施例にかかる反射防止膜を有する光学部材レンズは、以下の表13に示す条件で形成されている。ここで表13は、基準波長をλとし、基板の屈折率光学部材が1.62、1.74及び1.85について反射防止膜101の各層101a第1層~101g第7層の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表11では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2SiO2とそれぞれ表している。表13物質屈折率光学膜厚光学膜厚光学膜厚媒質空気1第7層MgF2SiO21260268λ0271λ0269λ第6層ZrO2TiO22120057λ0054λ0059λ第5層Al2O31650171λ0178λ0162λ第4層ZrO2TiO22120127λ013λ0158λ第3層Al2O31650122λ0107λ008λ第2層ZrO2TiO22120059λ0075λ0105λ第1層Al2O31650257λ003λ003λ基板の屈折率162174185図32は、表13において基準波長λを550nmとして反射防止膜101の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。図32から、基準波長λを550nmで設計した反射防止膜101を有する光学部材は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率を0.2以下に抑えられることが判る。また、表13において基準波長λをd線波長587.6nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜101を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図32に示す基準波長λが550nmの場合とほぼ同等の分光特性を有することがわかっている。次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は5層からなり、表13と同様、以下の表14で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第5層の形成に前述のゾル-ゲル法を用いている。図33は、表14において、基板の屈折率が1.52及び基準波長λを550nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図33から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率が0.2以下に抑えられることがわかる。なお、表14において基準波長λをd線波長587.6nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図33に示す分光特性とほぼ同等の特性を有することがわかっている。図34は、図33に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図33、図34には表14に示す基板の屈折率が1.46の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が1.52とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。表14物質屈折率光学膜厚光学膜厚媒質空気1第5層MgF2SiO21260275λ0269λ第4層ZrO2TiO22120045λ0043λ第3層Al2O31650212λ0217λ第2層ZrO2TiO22120077λ0066λ第1層Al2O31650288λ0290λ基板の屈折率146152また比較のため、図35に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図35は、表14と同じ基板の屈折率1.52に以下の表15で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図36は、図35に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。表15物質屈折率光学膜厚媒質空気1第7層MgF21390243λ第6層ZrO2TiO22120119λ第5層Al2O31650057λ第4層ZrO2TiO22120220λ第3層Al2O31650064λ第2層ZrO2TiO22120057λ第1層Al2O31650193λ基板の屈折率152図32~図34で示される第1~第3実施形態にかかる反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図35および図36で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。次に、本願の第1実施形態の第1実施例から第3実施形態の第5実施例に、上記表13および上記表14に示す反射防止膜を適用した例について説明する。本第1実施形態の第1実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表1に示すように、nd=1.834810であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22の屈折率は、nd=1.816000であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凹形状の負レンズL22の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第1実施形態の第2実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表2に示すように、nd=1.593190であり、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の屈折率は、nd=1.846660であるため、正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面に基板の屈折率が1.62に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凸形状の正レンズL23の像面側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第1実施形態の第3実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表3に示すように、nd=1.593190であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24の屈折率は、nd=1.816000であるため、正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面に基板の屈折率が1.62に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凹形状の負レンズL24の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第1実施形態の第4実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL12の屈折率は、表4に示すように、nd=1.497820であり、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、nd=1.804000であるため、両凸形状の正レンズL12における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.52に対応する反射防止膜101表14参照を用い、負メニスカスレンズL21の像面側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第2実施形態の第1実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表5に示すように、nd=1.834807であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22の屈折率は、nd=1.816000であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凹形状の負レンズL22の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第2実施形態の第2実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表6に示すように、nd=1.603001であり、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の屈折率は、nd=1.846660であるため、正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面に基板の屈折率が1.62に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凸形状の正レンズL23の像面側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第2実施形態の第3実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL12の屈折率は、表7に示すように、nd=1.437000であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24の屈折率は、nd=1.816000であるため、両凸形状の正レンズL12における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.46に対応する反射防止膜101表14参照を用い、両凹形状の負レンズL24の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第3実施形態の第1実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表8に示すように、nd=1.834807であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22の屈折率は、nd=1.816000であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凹形状の負レンズL22の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第3実施形態の第2実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表9に示すように、nd=1.593190であり、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の屈折率は、nd=1.846660であるため、正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面に基板の屈折率が1.62に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凸形状の正レンズL23の像面側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第3実施形態の第3実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表10に示すように、nd=1.593190であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24の屈折率は、nd=1.816000であるため、正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面に基板の屈折率が1.62に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凹形状の負レンズL24の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第3実施形態の第4実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表11に示すように、nd=1.834810であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22の屈折率は、nd=1.816000であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表13参照を用い、両凹形状の負レンズL22の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第3実施形態の第5実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL12の屈折率は、表12に示すように、nd=1.437000であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24の屈折率は、nd=1.816000であるため、両凸形状の正レンズL12における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.46に対応する反射防止膜101表14参照を用い、両凹形状の負レンズL24の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表13参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。以上のように、第1から第3実施形態によれば、収差変動を抑え、高い光学性能を有する変倍光学系を提供することができる。次に、第1から第3の実施形態にかかる変倍光学系を搭載したカメラについて説明する。なお、第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系を搭載した場合について説明するが、他の実施例でも同様である。図37は、第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系を備えたカメラの構成を示す図である。図37において、カメラ1は、撮影レンズ2として第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系を備えたデジタル一眼レフカメラである。カメラ1において、不図示の物体被写体からの光は、撮影レンズ2で集光されて、クイックリターンミラー3を介して焦点板4に結像される。そして焦点板4に結像されたこの光は、ペンタプリズム5中で複数回反射されて接眼レンズ6へ導かれる。これにより撮影者は、被写体像を接眼レンズ6を介して正立像として観察することができる。また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー3が光路外へ退避し、不図示の被写体からの光は撮像素子7へ到達する。これにより被写体からの光は、撮像素子7によって撮像されて、被写体画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者はカメラ1による被写体の撮影を行うことができる。カメラ1に撮影レンズ2として第1実施形態の第1実施例にかかる変倍光学系を搭載することにより、高い性能を有するカメラを実現することができる。なお、前記クイックリターンミラー3を有しないミラーレスカメラであっても上記カメラ1と同様の効果を奏することができる。なお、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。実施例では、3群構成を示したが、4群等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、変倍時に変化する空気間隔で分離された、少なくとも1枚のレンズを有する部分を示す。単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としても良い。前記合焦レンズ群は、オートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の超音波モータ等を用いたモータ駆動にも適している。特に、第2レンズ群の少なくとも一部を合焦レンズ群とするのが好ましい。また、レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直な方向の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動揺動させて、手ブレによって生じる像ブレを補正する防振レンズ群としても良い。特に、第3レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。また、レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を防げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。レンズ面が非球面の場合、非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、レンズ面は回折面としても良く、レンズを屈折率分布型レンズGRINレンズあるいはプラスチックレンズとしても良い。また、本実施形態の変倍光学系は、変倍比が7~25程度である。また、本実施形態の変倍光学系は、第1レンズ群が正のレンズ成分を2つ有するのが好ましい。また、第1レンズ群は、物体側から順に、正正の順番にレンズ成分を、空気間隔を介在させて配置するのが好ましい。また、本実施形態の変倍光学系は、第2レンズ群が正のレンズ成分を1つと負のレンズ成分を3つ有するのが好ましい。また、第2レンズ群は、物体側から順に、負負正負の順番にレンズ成分を、空気間隔を介在させて配置するのが好ましい。また、本実施形態の変倍光学系は、第3レンズ群が少なくとも正のレンズ成分を3つと少なくとも負のレンズ成分を1つ有するのが好ましい。また、本実施形態の変倍光学系は、第3レンズ群が正のレンズ成分を6または7つと負のレンズ成分を3または4つ有するのが好ましい。なお、本発明を分かり易く説明するために実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。"