液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記ノズルプレートと前記流路形成基板との間に設けられて、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通する連通路が設けられた連通板と、を具備し、前記連通板には、前記連通路と複数の前記圧力発生室に共通して連通する共通液体室とを連通する循環流路が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。前記流路形成基板には、前記圧力発生室が並設された列が少なくとも2列設けられていると共に、前記循環流路は、2列の前記圧力発生室に連通する共通の液室として設けられていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。前記流路形成基板には、前記圧力発生室が並設された列が複数列設けられていると共に、前記循環流路は、前記圧力発生室の各列に連通して列毎に独立して設けられていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。前記流路形成基板には、前記循環流路と連通して、当該循環流路の断面積を広げる拡張部が設けられていることを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記循環流路が、前記流路形成基板と前記連通板との積層方向において、前記圧力発生室と重なる位置に配置されていることを特徴とする請求項1~4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記循環流路には、前記圧力発生室から前記共通液体室に向かって液体が流れる流方向に対して傾斜して設けられて、当該循環流路の断面積を下流に向かって漸小させる第1壁面と、前記流方向に対して傾斜して設けられて前記第1壁面によって漸小した断面積を漸大させる第2壁面と、を具備する絞り部が設けられており、前記第1壁面の前記循環流路の当該第1壁面よりも上流側の内面に対する傾斜角度は、前記第2壁面の前記循環流路の当該第2壁面よりも下流側の内面に対する傾斜角度よりも大きいことを特徴とする請求項1~5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記絞り部が複数設けられていることを特徴とする請求項6記載の液体噴射ヘッド。前記第1壁面が、曲面で形成されていることを特徴とする請求項6又は7記載の液体噴射ヘッド。請求項1~8の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。しかしながら、特許文献1及び2のように、複数の圧力発生室に共通して連通する共通液体室のインクを循環させたとしても、インク滴として吐出される直前のノズル開口近傍のインクの増粘やインクの成分の沈降を抑制することができず、液体の噴射品質が低下してしまうという問題がある。なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。本発明はこのような事情に鑑み、液体の増粘や成分の沈降を確実に抑制して液体の噴射品質を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記ノズルプレートと前記流路形成基板との間に設けられて、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通する連通路が設けられた連通板と、を具備し、前記連通板には、前記連通路と複数の前記圧力発生室に共通して連通する共通液体室とを連通する循環流路が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。かかる態様では、連通路及び循環流路を有する連通板を設けることで、圧力発生室よりもノズル開口に近い流路によってノズル開口近傍の液体を循環させることができ、液滴として吐出される直前の液体の乾燥や含まれる成分の沈降を確実に抑制することができる。また、連通板に連通路及び循環流路といった様々な機能の流路を設けることで、ノズルプレートや流路形成基板の流路をシンプルにできる。そのため、ノズルプレートや流路形成基板の面積を小さくすることができ、ノズルプレートや流路形成基板の取り数を増大させてコストを低減することができる。ここで、前記流路形成基板には、前記圧力発生室が並設された列が少なくとも2列設けられていると共に、前記循環流路は、2列の前記圧力発生室に連通する共通の液室として設けられていることが好ましい。これによれば、2列の圧力発生室の液体を1つの循環流路で循環することができ、構造を簡略化して、コストを低減することができる。また、前記流路形成基板には、前記圧力発生室が並設された列が複数列設けられていると共に、前記循環流路は、前記圧力発生室の各列に連通して列毎に独立して設けられていることが好ましい。これによれば、各圧力発生室の列毎に異なる種類の液体を供給して、吐出させることができる。また、前記流路形成基板には、前記循環流路と連通して、当該循環流路の断面積を広げる拡張部が設けられていることが好ましい。これによれば、循環流路の断面積を増大させて循環特性を向上することができる。また、前記循環流路が、前記流路形成基板と前記連通板との積層方向において、前記圧力発生室と重なる位置に配置されていることが好ましい。これによれば、循環流路の断面積を増大させて循環特性を向上することができる。また、前記循環流路には、前記圧力発生室から前記共通液体室に向かって液体が流れる流方向に対して傾斜して設けられて、当該循環流路の断面積を下流に向かって漸小させる第1壁面と、前記流方向に対して傾斜して設けられて前記第1壁面によって漸小した断面積を漸大させる第2壁面と、を具備する絞り部が設けられており、前記第1壁面の前記循環流路の当該第1壁面よりも上流側の内面に対する傾斜角度は、前記第2壁面の前記循環流路の当該第2壁面よりも下流側の内面に対する傾斜角度よりも大きいことが好ましい。これによれば、絞り部を設けることで、循環流路を通る液体の圧力発生室からマニホールドに向かう順方向と、その逆の方向である逆方向とで流路抵抗に差を生じさせることができる。このため、圧力発生手段による圧力発生室内の液体への圧力変動だけで、液体を循環させることができ、別途ポンプ等が不要となってコストを低減することができる。また、前記絞り部が複数設けられていることが好ましい。これによれば、順方向と逆方向との流路抵抗の差比率を大きくすることができる。また、前記第1壁面が、曲面で形成されていてもよい。さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、液体の噴射品質を向上した液体噴射装置を実現できる。以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。実施形態1図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の短手方向の断面図であり、図3は、図2のA-A′線断面図及びその要部を拡大した断面図であり、図4は、流路構成を示す断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位110のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、複数の圧力発生室12が略直線上に並設された列が2列形成されている。なお、圧力発生室12が略直線上に並設された2列は、一方の圧力発生室12の列に対して、他方の圧力発生室12の列が、並設方向で圧力発生室12の隣り合う間隔の半分だけずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口21も同様に、ノズル開口21の2列が半分の間隔だけずれて配置されて、解像度を2倍にしている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向の一端部側には、インク供給路14が設けられており、複数の圧力発生室12に共通する共通液体室であるマニホールドからのインクがインク供給路14を介して圧力発生室12に供給される。なお、インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、マニホールド100から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。ちなみに、本実施形態では、共通流路であるマニホールドに連通する複数の個別流路を圧力発生室12とインク供給路14とが構成している。また、流路形成基板10の開口面側弾性膜50とは反対側には、連通板15が接着剤や熱溶着フィルム等を介して設けられている。連通板15には、各圧力発生室12に連通する厚さ方向に貫通した連通路16が設けられている。連通路16は、圧力発生室12の長手方向において、インク供給路14と連通する端部とは反対側の端部に連通して設けられている。また、連通路16は、各圧力発生室12毎に独立して設けられている。そのため、連通路16も、圧力発生室12が成す列と同様に略直線上に並設されている。このような連通路16を介して圧力発生室12は詳しくは後述するノズル開口21と連通している。また、連通板15には、循環流路17が設けられている。循環流路17は、並設された圧力発生室12が成す列と当該列に隣接されて略直線上に並設された圧力発生室12のもう一つの列の間に、圧力発生室12の並設方向に沿って、複数の圧力発生室12に亘って設けられている。そして、この循環流路17には、連通板15の各連通路16が、各連通路16毎に設けられて、ノズルプレート20側に開口する凹形状を有する循環連通路16aを介してそれぞれ連通されている。また、本実施形態では、循環流路17には、並設された圧力発生室12が成す列のそれぞれが各連通路16を介して共通して連通されている。このような循環流路17は、連通板15を厚さ方向に貫通して設けられている。また、本実施形態では、流路形成基板10の循環流路17の一部に面するように、凹形状を有する拡張部18が設けられている。この拡張部18は、循環流路17と略同じ開口幅を有し、且つ循環流路17と略同じ開口長さを有する凹形状で設けられており、循環流路17の断面積流路径方向の断面積を広げている。すなわち、実際には、連通板15に設けられた循環流路17と、流路形成基板10に設けられた拡張部18とが本実施形態の循環流路を構成している。なお、循環流路17の拡張部18が設けられたのとは反対側の面ノズルプレート20側の面は、ノズルプレート20によって封止されている。このような連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積流路形成基板10との接合面を有し、流路形成基板10のインク供給路14の外側で詳しくは後述するケース部材40との間でマニホールド100を画成する。このため、連通板15は、液滴の吐出方向からの平面視において、ケース部材40と略同じ面積を有する。また、連通板15の流路形成基板10とは反対側には、ノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等を介して設けられている。ノズルプレート20は、各連通路16を介して各圧力発生室12と連通するノズル開口21が設けられている。なお、ノズルプレート20は、ステンレス鋼等の金属や、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板などからなる。このようなノズルプレート20は、本実施形態では、連通板15よりも小さい。ノズルプレート20は、少なくとも2列の連通路16のノズルプレート20側の開口を共通して覆う大きさを有する。また、ノズルプレート20は、循環流路17を封止する大きさを有する。すなわち、ノズルプレート20は、連通板15の一方面を全て覆うことなく、連通板15に設けられた循環流路17と連通路16とを覆う大きさで設けられている。このように、ノズルプレート20の吐出方向からの平面視の面積を連通板15の吐出方向からの平面視の面積よりも小さくすることで、コストを低減することができる。ちなみに、図示していないが、ノズルプレート20の液体噴射面連通板15とは反対側の面には、撥水性撥液性を有する撥水膜が設けられている。このような撥水膜は高価であり、撥水膜を成膜する面積に応じてノズルプレート20のコストは高くなる。本実施形態では、ノズルプレート20の面積を小さくすることで、撥水膜を成膜する面積を狭めてノズルプレート20のコストを低減することができる。もちろん、ノズルプレート20の材料である金属板やセラミックス板の面積を単純に小さくすることでコストを低減することができる。一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、例えば、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とが、成膜及びリソグラフィ法によって順次積層されて圧電アクチュエーター300を構成している。ここで、圧電アクチュエーター300は、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第1電極60は圧電アクチュエーター300の共通電極とし、第2電極80を圧電アクチュエーター300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び第1電極60が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50及び絶縁体膜55を設けずに、第1電極60のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター300自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。また、各圧電アクチュエーター300の個別電極である第2電極80には、例えば、金Au等からなるリード電極90がそれぞれ接続されている。このリード電極90には、駆動IC等の駆動回路120が設けられたフレキシブル配線であるCOF等の配線基板121が接続されており、駆動回路120からの信号は、配線基板121及びリード電極90を介して各圧電アクチュエーター300に供給される。また、流路形成基板10上の圧電アクチュエーター300側の面には、圧電アクチュエーター300に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な保持部31を有する保護基板30が接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。圧電アクチュエーター300は、この保持部31内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。本実施形態では、圧力発生室12が幅方向に並設された2列に対応して圧電アクチュエーター300が幅方向に並設された列が2列設けられているため、保持部31を圧電アクチュエーター300の幅方向に並設された列に亘って共通して設けると共に、保持部31を各圧電アクチュエーター300の列毎に独立して設けた。また、保護基板30には、2つの保持部31の間に、保護基板30を厚さ方向に貫通して設けられた貫通孔32が設けられている。流路形成基板10の圧電アクチュエーター300から引き出されたリード電極90の端部は、貫通孔32内に露出するように延設されており、リード電極90と配線基板121とは貫通孔32内で電気的に接続されている。このような保護基板30は、本実施形態では、流路形成基板10と略同じ大きさ接合面側の面積で形成されている。また、保護基板30の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。また、保護基板30の流路形成基板10とは反対面側には、マニホールド100を構成するケース部材40が接合されている。ケース部材40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30を内部に保持する凹部41を有する。凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い面積を有し、流路形成基板10と保護基板30とを接合して合わせた厚さと略同じ深さを有する。そして、凹部41の開口面を連通板15で封止することで、凹部41内に保護基板30及び流路形成基板10を保持する。すなわち、凹部41の内面に保護基板30の流路形成基板10とは反対側の面が接合されていると共に、ケース部材40の凹部41が開口する面凹部41の周囲の面に連通板15の流路形成基板10側の面が接合されている。これにより、凹部41内に流路形成基板10及び保護基板30が保持されると共に、流路形成基板10及び保護基板30のインク供給路14側の外側端面に、ケース部材40と連通板15とによって画成された空間であるマニホールド100が形成される。本実施形態では、ケース部材40の凹部41の中央部に保護基板30及び流路形成基板10を保持させて、凹部41の中央部の両側に、各圧力発生室12に共通して連通するマニホールド100を形成するようにした。このようなマニホールド100は、図4に示すように、ケース部材40に設けられた導入路42から流入したインクをそれぞれの圧力発生室12の列に分配するように分岐した流路を有している。また、ケース部材40には、マニホールド100に連通して当該マニホールド100にインクを供給する導入路42と、循環流路17に連通して当該循環流路17からのインクを排出する排出路43と、が設けられている。導入路42は、流路形成基板10及び保護基板30の圧力発生室12の短手方向の一方側の辺に設けられたマニホールド100の上部連通板15とは反対側の中央部に連通するように配置されている。排出路43は、圧力発生室12の並設方向において、導入路42とは反対側に配置されている。また、流路形成基板10、保護基板30及び後述する封止膜45には、ケース部材40の排出路43と循環流路17とを連通する連通排出路44が設けられている。このような導入路42及び排出路43には、図4に示すように、外部のインクが貯留された液体貯留手段5に接続されたチューブなどの管状部材である供給管8及び回収管9が接続される。具体的には、供給管8は、一端部が液体貯留手段5に接続されると共に、他端部が導入路42に接続されて、液体貯留手段5のインクをケース部材40に供給する。また、回収管9は、一端部が液体貯留手段5に接続されると共に、他端部が排出路43に接続される。また、回収管9の途中には、ポンプ9aが設けられており、液体貯留手段5からのインクは、ポンプ9aの圧力によってインクジェット式記録ヘッド1から液体貯留手段5に戻される。また、ケース部材40の凹部41の保護基板30が接合される底面には、封止膜45が設けられている。封止膜45は、剛性が低く可撓性を有する材料、例えば、ポリフェニレンサルファイドPPS等からなり、この封止膜45によってマニホールド100の一部が封止されている。また、ケース部材40のマニホールド100に相対向する領域は、凹形状を有する空間部46となっているため、マニホールド100のケース部材40側連通板15とは反対側の一部は、封止膜45のみで封止された撓み変形可能な可撓部47となっている。さらに、ケース部材40には、厚さ方向に貫通して、保護基板30の貫通孔32に連通する接続口48が設けられている。この接続口48に挿通された配線基板121が、保護基板30の貫通孔32を挿通されてリード電極90と接続される。また、ケース部材40の凹部41が開口する面とは反対面の接続口48の開口縁部には、壁部49が設けられている。この壁部49には、配線基板121と、配線基板121に接続される接続基板122と、が保持されている。接続基板122は、本実施形態では、外部配線が接続されるコネクター123が設けられたリジット基板からなり、リード電極90に接続された配線基板121が電気的に接続される。そして、接続基板122のコネクター123に外部配線図示なしが接続されることで、外部配線からの印刷信号を配線基板121に供給する。このようなケース部材40を用いてマニホールド100を形成することで、流路形成基板10及び保護基板30を小型化することができる。ここで例えば、流路形成基板や保護基板にマニホールドを設ける場合、流路形成基板及び保護基板がマニホールドの周壁を画成させることになり、流路形成基板と保護基板とが圧力発生室の長手方向に大きくなってしまう。これに対して、本実施形態では、流路形成基板10及び保護基板30の端面がマニホールド100の一方面圧力発生室12の長手方向を画成し、マニホールド100の他方の面をケース部材40が画成するようにしたため、流路形成基板10及び保護基板30を小型化することができる。これにより、シリコンウェハー等の大判の基板に、複数の流路形成基板10や保護基板30を一体的に形成する際に、流路形成基板10及び保護基板30を小型化することで、大判の基板からの取り数を増やすことができ、コストを低減することができる。なお、シリコンウェハー等の大判の基板に複数の流路形成基板10や保護基板30を一体的に形成することで、複数の流路形成基板10や保護基板30を同時に形成することが可能となり、コストを低減することができる。また、本実施形態では、マニホールド100のノズルプレート20側の面を連通板15で画成するようにしたため、ノズルプレート20が積層方向厚さ方向でマニホールド100に重なる大きさは不要になる。これにより、ノズルプレート20の面積を狭くすることができ、ノズルプレート20のコストを低減することができる。このようなインクジェット式記録ヘッド1では、液体貯留手段5からのインクが供給管8を介して導入路42に供給される。導入路42に供給されたインクはマニホールド100から各圧力発生室12に供給される。そして、駆動回路120からの信号に従い、圧力発生室12に対応する圧電アクチュエーター300を駆動させてたわみ変形させることで、圧力発生室12の容積を変化させて、ノズル開口21からインク滴が吐出される。また、圧力発生室12に供給されたインクは、ポンプ9aの圧力によって連通路16、循環流路17及び排出路43を介して回収管9に排出され、回収管9を介して液体貯留手段5に回収される。このとき、圧力発生室12とノズル開口21とを連通する連通路16を設け、連通路16を循環流路17と接続することにより、ノズル開口21近傍の吐出直前のインクを液体貯留手段5に回収する、所謂、循環を行わせることができる。したがって、吐出直前のインクの乾燥による増粘や、インクに含まれる成分の沈降を抑制して、一定時間が経過した後であっても、インク吐出特性を略一定に揃えることができる。これにより、吐出特性のばらつきを抑制して液体の噴射品質を向上することができる。実施形態2図5は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。図5に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド1Aは、圧電アクチュエーター300等が設けられた流路形成基板10と、ノズル開口21が設けられたノズルプレート20と、流路形成基板10とノズルプレート20との間に設けられた連通板15Aと、保護基板30と、ケース部材40と、を具備する。連通板15Aは、流路形成基板10とノズルプレート20との間に設けられたものであり、流路形成基板10側に設けられた第1連通板151と、ノズルプレート20側に設けられた第2連通板152と、が積層されて形成されている。連通板15Aには、連通路16Aと、循環流路17Aと、連通路16Aと循環流路17Aとを連通する循環連通路16aと、が設けられている。連通路16Aは、圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部で圧力発生室12とノズル開口21とを連通する。循環流路17Aは、第1連通板151の第2連通板152側に開口する凹形状を有し、循環流路17Aのノズルプレート20側の開口は、第2連通板152によって封止されている。このような循環流路17Aは、連通板15Aと流路形成基板10の積層方向において、幅方向に並設された圧力発生室12の列と、この圧力発生室12の1列に共通するマニホールド100と、に重なる位置に配置されている。また、循環流路17Aは、圧力発生室12の幅方向に並設された列毎に設けられている。そして、循環流路17Aと、連通路16Aとは、第1連通板151の第2連通板152側の面に開口する凹形状を有し、各連通路16A毎に設けられた循環連通路16aを介して連通されている。このような循環流路17Aを有するインクジェット式記録ヘッド1Aでは、圧力発生室12の列毎に循環流路17Aが設けられているため、2つのマニホールド100に供給するインクの種類を異ならせることができる。すなわち、ノズル開口21の2列から異なるインクを吐出させることが可能となる。実施形態3図6は、本発明の実施形態3に係る流路構成を示す断面図であり、図7は、循環流路の要部を拡大した斜視図であり、図8は、循環流路の要部を拡大した平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド1Bは、循環流路17Aの途中に絞り部200を有する以外は、上述した実施形態1と同様の構成となっている。具体的には、絞り部200は、循環流路17Aの各循環連通路16aに接続された領域よりも下流側排出路43側に複数、本実施形態では2つ設けられている。この絞り部200は、循環流路17Aの内面から流路の径方向に突出して設けられている。すなわち、絞り部200は、循環流路17Aを圧力発生室12側からマニホールド100排出路43側に向かって流れるインクの流れ以下、順方向dというに対して交差する方向に突出して、循環流路17Aの流路径方向の断面積を狭く絞るように設けられている。なお、以下、循環流路17Aの断面積とは、流路径方向の断面積のことであり、順方向dを横断する断面積のことである。また、絞り部200は、順方向dに対して傾斜して設けられて循環流路17Aの断面積を下流側排出路43側に向かって漸小させる第1壁面201と、順方向dに対して傾斜して設けられて第1壁面201によって漸小した循環流路17Aの断面積を漸大させて、第1壁面201の上流側と同じ断面積に戻す第2壁面202と、を具備する。すなわち、絞り部200は、順方向dにおいて上流側に相対向する第1壁面201と、下流側に相対向する第2壁面202と、を有する。また、絞り部200は、第1壁面201及び第2壁面202が、平坦面で形成されており、その先端面で連続した形状、すなわち、絞り部200を流路形成基板10側から上面視した際に三角形状を有する。そして、絞り部200の第1壁面201は、当該第1壁面201よりも順方向dで上流側の循環流路17Aの内面に対する傾斜角度θ1が、第2壁面202の当該第2壁面202よりも順方向dで下流側の循環流路17Aの内面に対する傾斜角度θ2よりも大きくなっているθ1>θ2。すなわち、絞り部200の第1壁面201は、順方向dの単位距離当たりの循環流路17Aの断面積を減少させる割合減少率:傾きが、第2壁面202の順方向dとは反対向きの逆方向の単位距離当たりの循環流路17Aの断面積を減少させる割合減少率:傾きよりも小さくなっている。このように第1壁面201及び第2壁面202を有する絞り部200を設けると、循環流路17Aを流れるインクの順方向dの流路抵抗は、逆方向の流路抵抗よりも小さくすることができる。具体的には、絞り部200によって絞った循環流路17Aの幅圧力発生室12の長手方向の幅を5.0μmにすると、順方向dの流路抵抗と、逆方向の流路抵抗との比率は、0.84となる。また、絞り部200によって循環流路17Aの幅を10μmにすると、流路抵抗の比率は0.65となる。したがって、このようなインクジェット式記録ヘッド1Bでは、圧電アクチュエーター300の駆動によって圧力発生室12の容積を拡大縮小して、圧力発生室12内のインクに正圧及び負圧を発生させると、循環流路17A内をインクが順方向d及び逆方向に往復する。このとき、絞り部200を設けることによって、循環流路17A内を流れるインクの流路抵抗は順方向dと逆方向とで差があるため、順方向dにはインクが流れやすく、逆方向にはインクが流れ難くなる。これにより、圧電アクチュエーター300の駆動によって、圧力発生室12内のインクを循環流路17Aを順方向dに送ることができる。また、上述した実施形態1又は2のように、ポンプ9aを設けることなく、圧電アクチュエーター300の駆動だけで、インクを循環させることができる。このため、循環流路17Aを、直接、マニホールド100に接続するようにしてもよい。このような例を図9に示す。図9に示すインクジェット式記録ヘッドでは、排出路43及び連通排出路44が設けられておらず、流路形成基板10及び保護基板30の外周に亘ってマニホールド100Aが設けられている。そして、循環流路17Aの一端部第2壁面202側がマニホールド100Aに接続されている。このような構成としても、ポンプ9a等を設けることなく、圧電アクチュエーター300の駆動だけで、インクを循環させることができる。なお、上述した例では、2つの絞り部200を循環流路17Aの相対向する壁面にそれぞれ設けるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図10に示すように、2つの絞り部200を循環流路17Aの同一壁面から同じ方向に突出させて設けてもよい。また、絞り部200の第1壁面201及び第2壁面202は、循環流路17Aの断面積を順方向dに漸小又は漸大させればよいため、平坦面に限定されるものではない。すなわち、例えば、図11に示すように、絞り部200Aに、平坦面ではなく、曲面状断面が円弧状となる第1壁面201Aを設けるようにしてもよい。もちろん、絞り部200、200Aの数やその配置は上述したものに限定されず、例えば、絞り部200、200Aを1個又は3個以上設けるようにしてもよく、また、絞り部200、200Aを循環連通路16a等に設けるようにしてもよい。他の実施形態以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した各実施形態では、流路形成基板10として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、SOI基板、ガラス、金属等の材料を用いるようにしてもよい。また、上述した各実施形態では、圧力発生室12に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター300を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。また、これら上述したインクジェット式記録ヘッド1は、インクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図12は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。本実施形態のインクジェット式記録装置は、装置本体にインクジェット式記録ヘッド1を固定し、ノズル開口21の並設方向に対して直交する方向に記録用紙等の被噴射媒体を搬送することで被噴射媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置である。具体的には、図12に示すように、インクジェット式記録装置Iは、インクジェット式記録ヘッド1を具備するインクジェット式記録ヘッドユニット2と、装置本体3と、被記録媒体である記録シートSを給紙するローラー4と、液体貯留手段5とを備えている。インクジェット式記録ヘッドユニット2以下、ヘッドユニット2とも言うは、複数のインクジェット式記録ヘッド1と、複数のインクジェット式記録ヘッド1を保持する板状のベースプレート6と、を具備する。このヘッドユニット2は、ベースプレート6に取り付けられたフレーム部材7を介して装置本体3に固定されている。また、装置本体3にはローラー4が設けられている。ローラー4は、装置本体3に給紙された被噴射媒体である紙等の記録シートSを搬送し、記録シートSをインクジェット式記録ヘッド1のインクの吐出面側を通過させる。また、上述したように、各インクジェット式記録ヘッド1には、装置本体3に固定されてインクを貯留する液体貯留手段5がフレキシブルチューブ等の供給管8及び回収管9を介して接続されている。液体貯留手段5からのインクは、供給管8を介して各インクジェット式記録ヘッド1に供給され、インクジェット式記録ヘッド1で吐出されなかったインクは回収管9を介して液体貯留手段5に回収される。また、回収管9の途中にはポンプ9aが設けられており、液体貯留手段5からのインクは、ポンプ9aの圧力によってインクジェット式記録ヘッド1内の液体流路マニホールド100、循環流路17等を通過して循環する。このようなインクジェット式記録装置Iでは、ローラー4により搬送方向に記録シートSが搬送されると共に、ヘッドユニット2のインクジェット式記録ヘッド1によってインクが吐出されて記録シートSに画像等が印刷される。なお、上述した例では、複数のインクジェット式記録ヘッド1を具備するヘッドユニット2をインクジェット式記録装置Iに1つだけ設けるようにしたが、インクジェット式記録装置Iに搭載するヘッドユニット2を2つ以上設けてもよい。また、インクジェット式記録装置Iに直接インクジェット式記録ヘッド1を搭載するようにしてもよい。また、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド1が固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置Iを例示したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、記録シートSの搬送方向と交差する方向主走査方向に移動するキャリッジにインクジェット式記録ヘッド1を搭載し、インクジェット式記録ヘッド1を主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。また、本実施形態では、液体貯留手段5が装置本体3に固定されたタイプのインクジェット式記録装置Iを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクカートリッジ等の液体貯留手段を各インクジェット式記録ヘッド1、インクジェット式記録ヘッドユニット2又はキャリッジ等に固定するタイプのインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。さらに本実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED電界放出ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。