それ自身よりも線膨張係数の大きな部材に接合された圧電層と、前記圧電層の一方の面に配置された第1電極と、前記圧電層の前記一方の面における前記第1電極とは異なる部分に配置され、前記第1電極と導通する第2電極と、前記圧電層と前記第2電極との間に形成された低誘電層と、を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。前記第1電極と前記第2電極とは、絶縁材料に金属粒子を含有した材料により形成されており、前記第2電極は、前記第1電極よりも前記金属粒子の径が大きい材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。前記第1電極と前記第2電極とは、絶縁材料に金属粒子を含有した材料により形成されており、前記第2電極は、前記第1電極よりも前記金属粒子の配合比率が小さい材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。前記第2電極は、少なくとも、前記圧電層の面方向と平行な所定の一方向に関する前記第1電極の両側に配置されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。前記第2電極は、前記第1電極を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項4に記載の圧電アクチュエータ。前記圧電アクチュエータは、前記圧電層と積層して配置され、基材の一表面に配置される振動板を有し、前記振動板は、前記圧電層の変形を許容する前記基材の変形許容部を覆った状態で、前記基材の前記変形許容部の周囲領域に接合されており、前記第1電極は、前記圧電層の前記一方の面における前記変形許容部と対向する領域内に配置され、前記第2電極は、前記変形許容部と対向する領域内において、前記第1電極を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータ。前記圧電アクチュエータは、前記圧電層と積層して配置され、基材の一表面に配置される振動板を有し、前記振動板は、前記圧電層の変形を許容する前記基材の変形許容部を覆った状態で、前記基材の前記変形許容部の周囲領域に接合されており、前記第1電極は、前記圧電層の前記一方の面における前記変形許容部と対向する領域内に配置され、前記第2電極は、前記圧電層の前記一方の面における前記変形許容部と対向する領域を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータ。前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記一方の面に配線部材が接続されるものであって、前記圧電層の前記一方の面に配置され、前記第1電極から引き出され、前記変形許容部と対向しない領域まで延在した引出電極と、前記引出電極の前記変形許容部と対向しない領域に形成され、前記配線部材と接続される接続端子と、をさらに備えていることを特徴とする請求項6または7に記載の圧電アクチュエ-タ。前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記一方の面に配線部材が接続されるものであって、前記圧電層の前記一方の面と反対側の他方の面において、前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれと共通に対向して配置された共通電極と、前記圧電層の一方の面の前記第1電極と前記第2電極と異なる部分において、前記共通電極と対向して配置され、前記第2電極と同じ材料で形成された表面電極と、前記圧電層の前記共通電極と前記表面電極とが対向する部分において前記厚み方向に貫通し、導電材料が充填されたスルーホールと、前記第2電極及び前記表面電極に形成され、前記配線部材と接続される接続端子と、をさらに備えていることを特徴とする請求項6または7に記載の圧電アクチュエータ。圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに設けられて、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備えた液体移送装置であって、前記圧電アクチュエータは、それ自身よりも線膨張係数の大きな部材に接合された圧電層と、前記圧電層の一方の面における前記圧力室と対向する領域に配置された第1電極と、前記圧電層の前記一方の面における前記第1電極とは異なる部分に配置され、前記第1電極とは異なる材料で形成され、前記第1電極と導通する第2電極と、前記圧電層と前記第2電極との間に形成された低誘電層と、を備えていることを特徴とする液体移送装置。請求項1に記載の圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電層にそれ自身よりも線膨張係数の大きな部材を熱硬化性接着剤により加熱接合する接合工程と、前記圧電層の前記一方の面に前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、前記圧電層の前記一方の面に前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、前記接合工程、前記第1電極形成工程及び前記第2電極形成工程の後に、前記第1電極または前記第2電極に分極電圧を印加する分極工程と、を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。請求項1に記載の圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電層にそれ自身よりも線膨張係数の大きな部材を熱硬化性接着剤により加熱接合する接合工程と、前記圧電層の前記一方の面に、前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、前記接合工程及び前記第2電極形成工程の後に、前記第2電極に分極電圧を印加する第1の分極工程と、前記第1の分極工程の後に、前記圧電層の前記一方の面に、前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、前記第1電極形成工程の後に、前記第1電極に前記第1の分極工程時よりも小さな分極電圧を印加する第2の分極工程と、を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記一方の面に配線部材が接続されるものであって、前記圧電層の前記一方の面と反対側の他方の面に配置され、前記第1電極及び前記第2電極と共通に対向する共通電極と、前記圧電層の一方の面の前記第1電極と前記第2電極と異なる部分において、前記共通電極と対向して配置され、前記第2電極と同じ材料で形成された表面電極と、前記圧電層の前記共通電極と前記表面電極とが対向する部分において前記厚み方向に貫通し、導電材料が充填されたスルーホールと、を備え、前記第2電極及び前記表面電極に、前記配線部材と接続される接続端子が設けられており、前記第2電極形成工程と同じ工程において、前記圧電層の前記一方の面に、前記表面電極を形成する表面電極形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項11または12に記載の圧電アクチュエータの製造方法。しかしながら、特許文献1に記載の圧電アクチュエータにおいては、圧電層の第1電極と対向する部分に電界を付与する駆動するために第1電極に電圧を印加するための端子や配線などに加えて、圧電層の第2電極と対向する部分を面方向に収縮させるために第2電極に電圧を印加するための端子や配線などが必要となり、端子数や配線数が2倍になり、構成が煩雑になってしまう。また、端子や配線を共通化すると、圧電層の第2電極と対向する部分も圧電変形してしまう。そこで、本発明の目的は、端子や配線を共通化しても問題なく、圧電層の第2電極と対向する部分を面方向に収縮させて、圧電層の第1電極と対向した部分に生じた圧縮応力を緩和させる圧電アクチュエータ、液体移送装置及び圧電アクチュエータの製造方法を提供することである。本発明の圧電アクチュエータは、それ自身よりも線膨張係数の大きな部材に接合された圧電層と、前記圧電層の一方の面に配置された第1電極と、前記圧電層の前記一方の面における前記第1電極とは異なる部分に配置され、前記第1電極と導通する第2電極と、前記圧電層と前記第2電極との間に形成された低誘電層と、を備えている。上述したように、圧電層がそれ自身よりも線膨張係数の大きい部材に接合される場合、圧電層にはその面方向に圧縮応力が残留する。すると、第1電極に電圧を印加して、圧電層の第1電極と対向する部分以下、第1部分と称すに電界をかけて圧電変形させようとしたときに、圧電層の第1部分の変形量が小さくなってしまう。そこで、本発明の圧電アクチュエータによると、圧電層の一方の面における第1電極とは異なる部分に第2電極を配置している。これにより、第2電極に分極電圧を印加して、圧電層の第2電極と対向する部分以下、第2部分と称すをその面方向に収縮させることで、圧電層の第1部分を面方向に引っ張り、圧電層の接合にともない圧電層の第1部分に生じた圧縮応力を緩和させて、変形量が低下してしまうのを抑制することができる。また、第1電極と第2電極は導通しているため、圧電層の第1部分を圧電変形させようと第1電極に駆動電圧を印加すると、第2電極にも駆動電圧が印加される。しかしながら、第2電極と圧電層との間に低誘電層が形成されており、駆動電圧印加時には、低誘電層に電圧が集中するため、圧電層の第2部分には電圧がほとんどかからなくなる。その結果、圧電層の第2部分の圧電変形が小さくなり、圧電層の第1部分の圧電変形を阻害しにくい。以上のように、駆動時には、第1部分にのみ電界を付与することができる。また、分極時には、第1部分と第2部分ともに電界を付与することができる。そして、仮に、第1電極と第2電極が導通していなければ、それぞれの電極に対して駆動時や分極時に電圧を印加するための端子や配線などが必要となる。しかしながら、第1電極と第2電極が導通していることで、端子数や配線数を共通化することができる。そして、前記第1電極と前記第2電極とは、絶縁材料に金属粒子を含有した材料により形成されており、前記第2電極は、前記第1電極よりも前記金属粒子の径が大きい材料で形成されていてもよい。1つの金属粒子が圧電層と接触する面積は径によらずほぼ同じである。したがって、圧電層と接触する金属粒子の数が多いほど、圧電層と接触する面に露出した導電部分の面積は大きいことになる。これによると、第2電極を第1電極よりも金属粒子の径が大きい材料で形成することで、圧電層の一方の面と接触する金属粒子の数が少なく、絶縁材料や空気が圧電層の一方の面に多く接触することになり、第2電極と圧電層との間に低誘電層を形成することができる。また、前記第1電極と前記第2電極とは、絶縁材料に金属粒子を含有した材料により形成されており、前記第2電極は、前記第1電極よりも前記金属粒子の配合比率が小さい材料で形成されていてもよい。これによると、第2電極を第1電極よりも金属粒子の配合比率が小さい材料で形成することで、圧電層の一方の面と接触する金属粒子の数が少なく、絶縁材料や空気が圧電層の一方の面に多く接触することになり、第2電極と圧電層との間に低誘電層を形成することができる。また、前記第2電極は、少なくとも、前記圧電層の面方向と平行な所定の一方向に関する前記第1電極の両側に配置されていることが好ましい。これによると、圧電層の第2部分を面方向に収縮させると、圧電層の第1部分が所定の一方向の両側に引っ張られるので、圧電層の第1部分の圧縮応力を効率よく緩和することができる。さらに、前記第2電極は、前記第1電極を取り囲むように配置されていることが好ましい。これによると、圧電層の第2部分を面方向に収縮させると、圧電層の第1部分がその面方向に平行な複数の異なる方向に引っ張られるので、圧電層の第1部分の圧縮応力をさらに効率よく緩和することができる。また、圧電層の面方向にクラックが生じたときに、このクラックが圧電層の第1部分に到達して、圧電層の第1部分の圧電特性が変動するのを抑制することができる。そして、前記圧電アクチュエータは、前記圧電層と積層して配置され、基材の一表面に配置される振動板を有し、前記振動板は、前記圧電層の変形を許容する前記基材の変形許容部を覆った状態で、前記基材の前記変形許容部の周囲領域に接合されており、前記第1電極は、前記圧電層の前記一方の面における前記変形許容部と対向する領域内に配置され、前記第2電極は、前記変形許容部と対向する領域内において、前記第1電極を取り囲むように配置されていてもよい。これによると、圧電層の第2部分は、振動板の基材と接合されていない領域と対向して配置されており、第1部分に近い位置なので、圧電層の第1部分における圧縮応力を大きく緩和することができる。また、前記圧電アクチュエータは、前記圧電層と積層して配置され、基材の一表面に配置される振動板を有し、前記振動板は、前記圧電層の変形を許容する前記基材の変形許容部を覆った状態で、前記基材の前記変形許容部の周囲領域に接合されており、前記第1電極は、前記圧電層の前記一方の面における前記変形許容部と対向する領域内に配置され、前記第2電極は、前記圧電層の前記一方の面における前記変形許容部と対向する領域を取り囲むように配置されていてもよい。仮に、第2電極が変形許容部と対向する領域に配置されていると、第2電極の剛性で圧電層の第1部分の変形を阻害する要因となる。そこで、本発明では、圧電層の第2部分は、第1部分を取り囲みつつ、振動板の基材と接合された領域と対向して配置されるため、圧電層の第1部分における圧縮応力を緩和しつつ、圧電層の第1部分の圧電変形を阻害しにくい。そして、前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記一方の面に配線部材が接続されるものであって、前記圧電層の前記一方の面に配置され、前記第1電極から引き出され、前記変形許容部と対向しない領域まで延在した引出電極と、前記引出電極の前記変形許容部と対向しない領域に形成され、前記配線部材と接続される接続端子と、をさらに備えていてもよい。これによると、第1電極と第2電極は、材料は異なるが導通している。そこで、仮に第2電極に接続端子を形成して、接続端子から第2電極を介して第1電極に電圧を印加することも考えられるが、その場合に比べて、第1電極と同じ材料からなり、第1電極から引き出された引出電極に接続端子を形成することで、接続端子から第1電極に確実に電圧を印加することができる。また、接続端子を変形許容部と対向しない領域に形成することで、圧電層の、基材の変形許容部と対向する部分の圧電変形を阻害しにくい。また、前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記一方の面に配線部材が接続されるものであって、前記圧電層の前記一方の面と反対側の他方の面において、前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれと共通に対向して配置された共通電極と、前記圧電層の一方の面の前記第1電極と前記第2電極と異なる部分において、前記共通電極と対向して配置され、前記第2電極と同じ材料で形成された表面電極と、前記圧電層の前記共通電極と前記表面電極とが対向する部分において前記厚み方向に貫通し、導電材料が充填されたスルーホールと、前記第2電極及び前記表面電極に形成され、前記配線部材と接続される接続端子と、をさらに備えていてもよい。これによると、第1電極と第2電極は、材料は異なるが導通しているため、第2電極に形成された接続端子に電圧を印加すれば、第2電極を介して第1電極に電圧を印加することができる。また、第2電極と表面電極とを同じ材料で形成するため、第2電極と表面電極とを同一工程で形成することが可能であり、同一工程で形成すれば第2電極の高さと表面電極の高さを均一にすることができ、配線部材の接続不良を抑制することができる。本発明の液体移送装置は、圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに設けられて、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備えた液体移送装置であって、前記圧電アクチュエータは、それ自身よりも線膨張係数の大きな部材に接合された圧電層と、前記圧電層の一方の面における前記圧力室と対向する領域に配置された第1電極と、前記圧電層の前記一方の面における前記第1電極とは異なる部分に配置され、前記第1電極とは異なる材料で形成され、前記第1電極と導通する第2電極と、前記圧電層と前記第2電極との間に形成された低誘電層と、を備えている。上述したように、圧電層がそれ自身よりも線膨張係数の大きい部材に接合される場合、圧電層にはその面方向に圧縮応力が残留する。すると、第1電極に電圧を印加して、圧電層の第1電極と対向する部分以下、第1部分と称すに電界をかけて圧電変形させようとしたときに、圧電層の第1部分の変形量が小さくなってしまい、その結果、液体の移送量が低下してしまう。そこで、本発明の液体移送装置によると、圧電層の一方の面における第1電極とは異なる部分に第2電極を配置している。これにより、第2電極に分極電圧を印加して、圧電層の第2電極と対向する部分以下、第2部分と称すをその面方向に収縮させることで、圧電層の第1部分を面方向に引っ張り、圧電層の接合にともない圧電層の第1部分に生じた圧縮応力を緩和させて、変形量が低下してしまうのを抑制し、液体の移送量が低下してしまうのを抑制することができる。また、第1電極と第2電極は導通しているため、圧電層の第1部分を圧電変形させようと第1電極に駆動電圧を印加すると、第2電極にも駆動電圧が印加される。しかしながら、第2電極と圧電層との間に低誘電層が形成されており、駆動電圧印加時には、低誘電層に電圧が集中するため、圧電層の第2部分には電圧がほとんどかからなくなる。その結果、圧電層の第2部分の圧電変形が小さくなり、圧電層の第1部分の圧電変形を阻害しにくい。以上のように、駆動時には、第1部分にのみ電界を付与することができる。また、分極時には、第1部分と第2部分ともに電界を付与することができる。そして、仮に、第1電極と第2電極が導通していなければ、それぞれの電極に対して駆動時や分極時に電圧を印加するための端子や配線などが必要となるが、第1電極と第2電極が導通していることで、端子数や配線数を共通化することができる。本発明の圧電アクチュエータの製造方法は、上述した圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電層にそれ自身よりも線膨張係数の大きな部材を熱硬化性接着剤により加熱接合する接合工程と、前記圧電層の前記一方の面に前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、前記圧電層の前記一方の面に前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、前記接合工程、前記第1電極形成工程及び前記第2電極形成工程の後に、前記第1電極または前記第2電極に分極電圧を印加する分極工程と、を備えている。本発明における圧電アクチュエータの製造方法によると、接合工程において圧電層に残留した面方向の圧縮応力を、分極工程において第2電極に電圧を印加させて、圧電層の第2電極と対向する部分を面方向に収縮させることで、圧電層の第1部分に生じた圧縮応力を緩和させることができる。また、第1電極と第2電極が導通しているため、第1電極と第2電極を形成した後に、第1電極または第2電極に分極電圧を印加すると、圧電層の第1電極と対向する部分と、圧電層の第2電極と対向する部分とを1度に分極することができ、製造工程を簡単化することができる。また、別の観点では、本発明の圧電アクチュエータの製造方法は、上述した圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電層にそれ自身よりも線膨張係数の大きな部材を熱硬化性接着剤により加熱接合する接合工程と、前記圧電層の前記一方の面に、前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、前記接合工程及び前記第2電極形成工程の後に、前記第2電極に分極電圧を印加する第1の分極工程と、前記第1の分極工程の後に、前記圧電層の前記一方の面に、前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、前記第1電極形成工程の後に、前記第1電極に前記第1の分極工程時よりも小さな分極電圧を印加する第2の分極工程と、を備えている。本発明における圧電アクチュエータの製造方法によると、接合工程において圧電層に残留した面方向の圧縮応力を、第1の分極工程において第2電極に電圧を印加させて、圧電層の第2電極と対向する部分を面方向に収縮させることで、圧電層の第1部分に生じた圧縮応力を緩和させることができる。また、圧電層の第2部分の分極電圧を、圧電層の第1部分の分極電圧よりも大きくすることができる。したがって、大きな分極電圧で分極させて圧電層の第2部分を形成することで、圧電層の第2部分が大きく収縮して、圧電層の第1部分を大きく引っ張ることができ、圧電層の第1部分に生じた圧縮応力を大きく緩和させることができる。また、小さな分極電圧で分極させて圧電層の第1部分を形成することで、圧電層の第1部分の圧電特性の経年変化の程度を小さくすることができる。また、前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記一方の面に配線部材が接続されるものであって、前記圧電層の前記一方の面と反対側の他方の面に配置され、前記第1電極及び前記第2電極と共通に対向する共通電極と、前記圧電層の一方の面の前記第1電極と前記第2電極と異なる部分において、前記共通電極と対向して配置され、前記第2電極と同じ材料で形成された表面電極と、前記圧電層の前記共通電極と前記表面電極とが対向する部分において前記厚み方向に貫通し、導電材料が充填されたスルーホールと、を備え、前記第2電極及び前記表面電極に、前記配線部材と接続される接続端子が設けられており、前記第2電極形成工程と同じ工程において、前記圧電層の前記一方の面に、前記表面電極を形成する表面電極形成工程をさらに備えていることが好ましい。これによると、第1電極と第2電極は、材料は異なるが導通しているため、第2電極に形成された接続端子に電圧を印加すれば、第2電極を介して第1電極にも電圧を印加することができる。また、第2電極と表面電極とを同じ材料で同一工程で形成すれば、第2電極の高さと表面電極の高さを均一にすることができ、配線部材の接続不良を抑制することができる。圧電層の第2電極と対向する部分を分極により面方向に収縮させて、圧電層の第1電極と対向する部分を面方向に引っ張り、圧電層の接合にともない圧電層の第1電極と対向する部分に生じた圧縮応力を緩和させて、変形量が低下してしまうのを抑制することができる。また、第2電極と圧電層との間に低誘電層が形成されており、駆動電圧印加時には、低誘電層に電圧が集中するため、圧電層の第2部分には電圧がほとんどかからなくなる。その結果、圧電層の第2部分の圧電変形が小さくなり、圧電層の第1部分の圧電変形を阻害しにくい。以上のように、駆動時には、第1部分にのみ電界を付与することができる。また、分極時には、第1部分と第2部分ともに電界を付与することができる。そして、仮に、第1電極と第2電極が導通していなければ、それぞれの電極に対して駆動時や分極時に電圧を印加するための端子や配線などが必要となる。しかしながら、第1電極と第2電極が導通していることで、端子数や配線数を共通化することができる。以下、本発明の実施形態について説明する。本実施形態は、記録用紙に対してインクを噴射するインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。まず、本実施形態のインクジェットプリンタの概略構成について説明する。図1は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略構成図である。図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、キャリッジ2、インクジェットヘッド3液体移送装置、搬送ローラ4などを有している。キャリッジ2は、走査方向図1の左右方向に往復移動する。インクジェットヘッド3は、キャリッジ2に搭載されており、その下面に形成されたノズル15図3、4参照からインクを噴射する。搬送ローラ4は、記録用紙Pを紙送り方向図1の手前方向に搬送する。そして、インクジェットプリンタ1においては、搬送ローラ4により搬送される記録用紙Pに、キャリッジ2とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド3からインクが噴射されることにより、記録用紙Pに画像や文字などが記録される。次に、インクジェットヘッド3について説明する。図2は、インクジェットヘッドの平面図である。図3は、図2の部分拡大図である。図4は、図3のIV-IV線断面図である。図5は、図3のV-V線断面図であり、aは分極について説明する図であり、bは応力緩和について説明する図である。なお、図2、図3においては、図面をわかりやすくするために、インクジェットヘッド3の上面を覆うように配置されるフレキシブル配線基板FPC48を仮想線で示している。また、図5においては、FPC48、及び、流路ユニット6の一番上の圧力室10が形成されたプレートを除く残りのプレートの図示を省略している。図2~図5に示すように、インクジェットヘッド3は、ノズル15や圧力室10を含むインク流路が形成された流路ユニット6基材と、圧力室10内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ7と、を有している。また、圧電アクチュエータ7の上面には、FPC48が接合される。そして、図4に示すように、流路ユニット6は、複数枚ここでは、4枚のプレートが互いに積層されることによって形成されており、これらのプレートのうち、ノズル15が形成された最下層のプレートを除くプレートは、例えば、SUS430、SUS316といったステンレス鋼などの導電性を有しているとともに後述する圧電層41、42を構成する圧電材料よりも線膨張係数の大きい材料からにより形成されている。また、ノズル15が形成されたプレートはポリイミドなどの合成樹脂材料から形成されている。あるいは、ノズル15が形成されたプレートも、他のプレートと同様の材料によって構成されていてもよい。なお、SUS430、SUS316の線膨張係数は、それぞれ、10.4[10-6/°C]、16.0[10-6/°C]程度である。そして、流路ユニット6内において、インク供給口9に連なるマニホールド11が圧力室10に連通し、さらに、圧力室10はノズル15に連通している。つまり、流路ユニット6には、マニホールド11から圧力室10を経てノズル15に至る個別インク流路12が複数形成されている。次に、圧電アクチュエータ7について説明する。圧電アクチュエータ7は、複数の圧力室10を覆うように流路ユニット6の上面に積層された2枚の圧電層41、42と、上側の圧電層41の上面に配置された複数の個別電極44第1電極及び複数の外周電極45第2電極と、2枚の圧電層41、42の間に配置された共通電極43とを有している。2枚の圧電層41、42は、共に、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTを主成分とする圧電材料からなり、矩形の同一平面形状をそれぞれ有する。積層された2枚の圧電層41、42は、複数の圧力室10を覆った状態で流路ユニット6の上面に接合されている。なお、上側の圧電層42は、個別電極44と共通電極43との間に所定の分極電圧が印加されることによって、2種類の電極44、43に挟まれた圧電層部分以下、活性部R1ともいうが厚み方向下向きに分極されている。また、上側の圧電層42は、外周電極45と共通電極43との間に所定の分極電圧が印加されることによって、2種類の電極45、43に挟まれた圧電層部分以下、応力緩和部R2ともいうも厚み方向下向きに分極されている。また、圧電層41は、複数の圧力室10を覆うように、流路ユニット6の最上層のプレートの上面に熱硬化性の接着剤などにより接合されている。圧電層41、42を構成する圧電材料の線膨張係数は、5.5[10-6/°C]程度であり、圧電層41は、上述したように、自身よりも線膨張係数の大きい流路ユニット6圧力室10が形成されたプレートに接合されている。なお、圧電層41は、後述するように圧電アクチュエータ7を駆動させたときに、圧電層41、42をユニモルフ変形させるための振動板として動作する。複数の個別電極44は、ガラス材料に数10~数100nmのAg-Pdからなる金属粒子を含有した材料からなり、圧電層42の上面に複数の圧力室10に対応して配置されている。図2、図3に示すように、個別電極44は、圧力室10よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有しており、圧力室10の略中央部と対向している。複数の外周電極45は、個別電極44を形成する材料と比較してガラス材料と金属粒子との配合比率は同じであり、ガラス材料に個別電極44よりも大径の数ミクロンの金属粒子を含有した材料からなり、圧電層42の上面に複数の個別電極44を取り囲んで配置されている。外周電極45は、複数の個別電極44の全周と接触して導通しつつ、圧力室10よりも若干大きい略楕円の平面形状を有している。そして、外周電極45の厚みは、個別電極44よりも厚く形成されている。複数の外周電極45の端部からは、複数の接続端子45aが楕円状の個別電極44の長手方向にそれぞれ引き出されている。共通電極43は、個別電極44と同様の導電性材料からなり、圧電層41と圧電層42との間にそのほぼ全域にわたって形成されており、複数の個別電極44及び複数の外周電極45と圧電層42を挟んで対向している。図4に示すように、複数の接続端子45aには、導電性接着剤からなるバンプ52がそれぞれ配置され、各接続端子45aは、バンプ52を介して、圧電アクチュエータ7の上面を覆うように配置されるFPC48の第1接続電極部57と接続される。なお、導電性接着剤は、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂に多数の金属粒子例えば、銀Ag粒子を含有したものであり、加圧加熱によって硬化しつつ導電性を発現し、2つの接続対象を機械的に接合するとともに、両者を電気的に導通させるものである。そして、複数の個別電極44のそれぞれには、FPC48に実装されたドライバIC50図2参照から複数の外周電極45のそれぞれを介して、駆動電位例えば20V程度及びグランド電位を組み合わせた数kHzの駆動周波数の駆動信号が付与される。図2に示すように、圧電層42の上面圧電アクチュエータ7の上面の、走査方向における両端部縁部には、縁に沿って紙送り方向に延びる2つの表面電極46がそれぞれ形成されている。図4に示すように、表面電極46が形成された領域において、圧電層42にはスルーホール42aが形成されており、このスルーホール42a内に導電性材料が充填されて、表面電極46と2枚の圧電層41、42の間に配置された共通電極43とが導通している。さらに、各表面電極46には、その長手方向に沿って適当間隔を空けて、バンプ52と同様の導電性接着剤からなる複数のバンプ53が配置され、表面電極46は、バンプ53を介して、FPC48の第2接続電極部59と接続される。また、共通電極43は、FPC48に実装されたドライバIC50に接続され、常にグランド電位に保持されている。FPC48は、一部が圧電アクチュエータ7の上面と対向するように配置された状態で圧電アクチュエータ7に接合されるとともに、この圧電アクチュエータ7からノズル15の配列方向の一方図2の上方から水平に引き出され、さらに、曲げられて上方へ引き出されている。図5aに示すように、圧電アクチュエータ7において、圧電層42の個別電極44と共通電極43とに挟まれた活性部R1は、製造段階において、高い分極電圧が長時間印加されることで、厚み方向の下向きに分極されている。また、圧電層42の外周電極45と共通電極43とに挟まれた応力緩和部R2も、製造段階において、活性部R1に対する分極電圧と同じ、高い分極電圧が長時間印加されることで、厚み方向に分極されている。そして、応力緩和部R2は、分極されることによって、厚み方向と直交する面方向に収縮して、その収縮状態を保持している。ここで、上述したように、圧電材料からなる圧電層41、42と流路ユニット6の圧力室10が形成された、金属材料からなるプレートとを熱硬化性の接着剤により接合する場合には、接合の際にこれらを加熱する必要があるが、加熱後、常温に戻したときに、両者の線膨張係数の違いから、圧電層41及び活性部R1を含む圧電層42には、その面方向に圧縮応力が残留することになる。そこで、本実施形態では、平面視で個別電極44活性部R1を取り囲むように配置された応力緩和部R2がその面方向に収縮しているため、この収縮によって、圧電層41、42の活性部R1が、その面方向と平行に、活性部R1の外側に向かって複数の異なる方向に引っ張られ、これにより、活性部R1に残留した圧縮応力が緩和されている。次に、圧電アクチュエータ7の駆動方法について説明する。圧電アクチュエータ7は、駆動前には、共通電極43がドライバIC50と接続されてグランド電位に保持され、個別電極44がドライバIC50と接続された外周電極45を介して予めグランド電位に保持されている。そして、圧電アクチュエータ7を駆動させる際には、個別電極44の電位を所定の駆動電位例えば、20V程度に切り替える。すると、個別電極44と共通電極43との間に電位差が生じ、この電位差によって活性部R1にはその厚み方向の電界が発生する。この電界の方向は活性部R1の分極方向と一致するため、活性部R1は分極方向と直交するその面方向に収縮し、圧電層41、圧電層42の圧力室10と対向する部分が全体として圧力室10に向かって凸となるように変形いわゆるユニモルフ変形する。これにより、圧力室10の容積が低下して圧力室10内のインクの圧力が上昇し圧力室10内のインクに圧力が付与され、圧力室10に連通するノズル15からインクが噴射される。ここで、上述したように、外周電極45は、個別電極44共通電極43よりも金属粒子の径が大きい材料からなる。図6は、圧電層の外周電極と対向する部分の圧電変形について説明する図であり、aは圧電層の個別電極と共通電極とに挟まれた部分及び外周電極と共通電極とに挟まれた部分の断面図であり、bはaの等価回路図である。すると、図6aに示すように、1つの金属粒子62が圧電層42と接触する面積は径によらずほぼ同じである。したがって、圧電層42と接触する金属粒子62の数が多いほど、圧電層42と接触する面に露出した導電部分の面積は大きいことになる。すなわち、外周電極45を個別電極44共通電極43よりも金属粒子62の径が大きい材料で形成することで、圧電層42と接触する金属粒子62の数が少なく、絶縁材料や空気が圧電層42の一方の面に多く接触することになり、金属粒子62の接触面積が小さくなる。そして、外周電極45の圧電層42と接触する部分には、絶縁材料や空気からなる低誘電層47図6参照が存在することになる。なお、本発明における低誘電層47の比誘電率は、圧電層42の比誘電率よりも低ければよい。そして、図6bに示すように、圧電層42の個別電極44と共通電極43とに挟まれた部分、及び、圧電層42の外周電極45と共通電極43とに挟まれた部分を等価回路図として記載すると、外周電極45と共通電極43とに挟まれた部分については、圧電層42の応力緩和部R2からなるコンデンサC1と上述した低誘電層47からなるコンデンサC2とが直列に接続された回路図となる。また、個別電極44と共通電極43とに挟まれた部分については、圧電層42の活性部R1からなるコンデンサC3のみの回路図となる。そして、本実施形態においては、圧電層42の厚みが約20μmであり、低誘電層47の厚みが約1μmとなっている。また、圧電層42の誘電率は約2000であり、低誘電層47の誘電率は約1~10となっている。したがって、コンデンサC1とコンデンサC2との合成容量は、コンデンサC3と比較して非常に小さくなる。したがって、数kHzの駆動周波数の駆動信号では、コンデンサC2に電圧が集中するため、コンデンサC1には電圧がほとんど印加されず、圧電層42の応力緩和部R2には微小な電界が短時間しかかからない。以上のことから、圧電アクチュエータ7を駆動させるために駆動信号を入力したときに、圧電層42の活性部R1は圧電変形するが、応力緩和部R2は圧電変形しない。一方、圧電層42の応力緩和部R2の分極時には、駆動周波数のようなkHzオーダーの交流ではなく、上述したように、長時間直流の高い分極電圧を印加するため、低誘電層47コンデンサC2が絶縁状態を保てず電荷リークして放電が生じる。したがって、圧電層42の応力緩和部R2コンデンサC1に電圧が印加される。そして、圧電層42の応力緩和部R2を分極することができる。なお、個別電極44の圧電層42と接触する部分についても、絶縁材料や空気からなり、圧電層42よりも誘電率の低い層以下、この層を第2低誘電層と称す。が存在する場合も考えられる。しかしながら、上述した第2低誘電層は、低誘電層47にくらべて厚みが薄い。そのため、第2低誘電層は、低誘電層47に比べて静電容量が大きい。したがって、周波数の高い駆動信号を流した場合、第2低誘電層に加わる電圧は、低誘電層47に加わる電圧に比べて低くなる。このため、圧電層42の個別電極44の下に位置する部分以下、第1圧電部と称すに加わる電圧は、圧電層42の引出電極45の下に位置する部分に加わる電圧よりも十分大きくなる。よって、駆動信号を流した場合に、所望量のインクを噴射させる十分な圧電変形を起こすための電界が、第1圧電部には印加される。このように、個別電極44と圧電層42との間に第2低誘電層が存在したとしても、第1圧電部には十分な電界が印加される。本実施形態によると、圧電層42の共通電極43が配置された面と反対側の面に個別電極44を取り囲んで、個別電極44と導通して外周電極45を配置している。これにより、圧電層42の外周電極45と共通電極43とに挟まれた部分を厚み方向に分極させると、その面方向の収縮して保持され、圧電層42の個別電極44と共通電極43とに挟まれた活性部R1を面方向に引っ張り、圧電層41、42の接合にともない圧電層42の活性部R1圧縮応力を緩和させて、変形量が低下してしまうのを抑制し、インクの噴射量が低下してしまうのを抑制することができる。また、個別電極44と外周電極45は導通しているため、圧電層42の活性部R1を圧電変形させようと個別電極44に駆動電圧を印加するときには、外周電極45にも駆動電圧が印加される。しかしながら、外周電極45と圧電層42との間に低誘電層47が形成されており、駆動電圧印加時には、低誘電層47に電圧が集中するため、圧電層42の応力緩和部R2には電圧がほとんどかからなくなる。その結果、圧電層42の応力緩和部R2の圧電変形が小さくなり、圧電層42の活性部R1の圧電変形を阻害しにくい。以上のように、駆動時には、活性部R1にのみ電界を付与することができる。また、分極時には、活性部R1と応力緩和部R2ともに電界を付与することができる。さらに、仮に、個別電極44と外周電極45が導通していなければ、それぞれの電極に対して電圧を印加するための端子や配線などの構成が必要となり、外周電極45が存在しない場合に比べて、例えば端子数や配線数については2倍になる。しかしながら、個別電極44と外周電極45は導通していることで、端子数や配線数を共通化することができる。また、圧電層42の応力緩和部R2は、活性部R1を取り囲むように配置されているため、圧電層42の活性部R1がその面方向に平行な複数の異なる方向に引っ張られるので、圧電層42の活性部R1の圧縮応力をさらに効率よく緩和することができる。また、圧電層42の面方向にクラックが生じたときに、このクラックが圧電層42の活性部R1に到達して、圧電特性が変動するのを抑制することができる。さらに、接続端子45aの配置自由度が上がる。さらに、圧電層42の応力緩和部R2は、圧力室10と対向する領域において活性部R1を取り囲むように配置されているため、圧電層42の活性部R1に近く、圧電層42の活性部R1における圧縮応力を大きく緩和することができる。また、個別電極44に電圧を印加するためのバンプ52と、共通電極43に電圧を印加するためのバンプ53とは、同じ材料により形成された外周電極45と表面電極46とに形成されているため、同一工程で形成すれば、外周電極45の高さと表面電極46の高さを均一にすることができ、FPC48の接続不良を抑制することができる。また、外周電極45は、個別電極44と金属粒子の径は異なるが、ガラス材料との配合比率は同じであるため、低誘電層47を形成しつつ、抵抗値を小さく維持することができる。次に、圧電アクチュエータ7を製造し、FPC48と接続するまでの工程について説明する。図7は、圧電アクチュエータを製造しFPCと接続するまでの工程図である。まず、上述したように熱硬化性の接着剤により圧電層41に流路ユニット6を加熱接合する接合工程。そして、図7aに示すように、圧電層41の一方の面に共通電極43を形成し、共通電極43を挟んで圧電層41とスルーホール42aを形成した圧電層42とを積層する。そして、スルーホール42aに導電材料を充填する。そして、図7bに示すように、圧電層41の表面に個別電極44を形成した第1電極形成工程後、図7cに示すように、外周電極45及び表面電極46を形成する第2電極形成工程:表面電極形成工程。なお、外周電極45は、個別電極44と確実に導通させるために乗り上げるように形成するのが好ましい。また、第1電極形成工程と第2電極形成工程表面電極形成工程の順序は問わない。その後、図7dに示すように、個別電極44または外周電極45と共通電極43との間に分極電圧を印加して、圧電層41の個別電極44と共通電極43とに挟まれた部分及び外周電極45と共通電極43とに挟まれた部分を分極させる分極工程。そして、図7eに示すように、外周電極45上にバンプ52を形成するとともに、表面電極46上にバンプ53を形成するバンプ形成工程。そして、図7fに示すように、圧電層42の上面を覆うようにFPC48を配置して、第1接続電極部57とバンプ52とを接合するとともに、第2接続電極部59とバンプ53とを接合する。この圧電アクチュエータ7の製造方法によると、接合工程において圧電層42に残留した面方向の圧縮応力を、分極工程において外周電極45に電圧を印加させて、圧電層42の外周電極45と対向する部分を面方向に収縮させることで、圧電層42の個別電極44と対向する部分に生じた圧縮応力を緩和させることができる。また、個別電極44と個別電極44に導通した外周電極45を形成した後に、個別電極44または外周電極45と共通電極43の間に分極電圧を印加している。そのため、圧電層の個別電極44と対向する部分活性部R1と、圧電層の外周電極45と対向する部分応力緩和部R2とを1度に分極することができ、製造工程を簡単化することができる。また、同一工程で、外周電極45と表面電極46を形成しているため、外周電極45の高さと表面電極46の高さを均一にすることができ、FPC48の接続不良を抑制することができる。次に、本実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。本実施形態においては、外周電極45は、圧電層42の圧力室10と対向する領域において、個別電極44の全周と接触して配置されていたが、外周電極45は圧電層42の個別電極44とは異なる位置に配置されていればよい。以下、例を挙げて説明する。図8aに示すように、外周電極145は、圧電層42の圧力室10と対向する領域を取り囲む領域に配置され、個別電極44と連結部150を介して接続されて導通していてもよい変形例1。このとき、連結部150は、外周電極145と同じ材料により形成される。そして、外周電極145に接続端子145aが形成されて、接続端子145a上にバンプ52が形成される。仮に、外周電極145が圧力室10と対向する領域に配置されていると、外周電極145の剛性で圧電層42の活性部の変形を阻害する要因となる。そこで、本変形例では、圧電層42の応力緩和部は、活性部を取り囲みつつ、圧電層41の流路ユニット6と接合された領域と対向して配置されるため、圧電層42の活性部における圧縮応力を緩和しつつ、圧電層42の活性部の圧電変形を阻害しにくい。また、図8bに示すように、外周電極245は、個別電極44の全周を取り囲まずに、紙送り方向の両側に配置されてもよい変形例2。そして、個別電極44を紙送り方向に挟んだ外周電極245は、連結部250を介して連結されて導通している。そして、連結部250は、外周電極245と同じ材料により形成される。そして、連結部250に接続端子250aが形成されて、接続端子250a上にバンプ52が形成される。これによると、圧電層42の外周電極245と対向した応力緩和部が、圧電層42を面方向に収縮させると、圧電層42の活性部R1が紙送り方向の両側に引っ張られるので、圧電層42の活性部R1の圧縮応力を効率よく緩和することができる。なお、外周電極245は、個別電極44の走査方向の両側に配置されてもよい。さらに、本実施形態においては、バンプ52は、外周電極45と同じ材料からなる接続端子45a上に形成されていたが、図9に示すように、個別電極44から引き出され、圧力室10と対向しない領域まで延在した引出電極344が形成され、引出電極344の圧力室10と対向しない領域に接続端子344aが形成され、接続端子344a上にバンプ52が形成されてもよい変形例3。これによると、個別電極44と外周電極45は、材料は異なるが導通している。そこで、仮に外周電極45にバンプ52を形成して、バンプ52から外周電極45を介して個別電極44に電圧を印加することも考えられるが、その場合に比べて、個別電極44と同じ材料からなり、個別電極44から引き出された引出電極344にバンプ52を形成することで、バンプ52から個別電極44に確実に電圧を印加することができる。また、バンプ52を圧力室10と対向しない領域に形成することで、圧電層42の圧力室10と対向する部分の変形を阻害しにくい。なお、このとき、共通電極43に電圧を印加するためのバンプ53が形成される表面電極46は、個別電極44と同じ材料で同一工程で形成した方が、高さが均一になりやすく好ましい。また、本実施形態においては、圧電層42の活性部R1と応力緩和部R2を一度の分極工程で同時に分極させていたが、分極程度に差をつけた場合には以下の工程で行うことが好ましい。図10は、変形例における圧電アクチュエータを製造しFPCと接続するまでの工程図である。まず、上述した実施形態と同様に、熱硬化性の接着剤により圧電層41に流路ユニット6を加熱接合する接合工程。そして、図10aに示すように、圧電層42の一方の面に共通電極43を形成し、共通電極43を挟んで圧電層41とスルーホール42aが形成された圧電層42とを積層する。そして、スルーホール42aに導電材料を充填する。そして、図10bに示すように、圧電層41の表面に外周電極45及び表面電極46を形成する第2電極形成工程。その後、図10cに示すように、外周電極45と共通電極43との間に分極電圧を印加して、圧電層41の外周電極45と共通電極43とに挟まれた部分を分極させる第1分極工程。続いて、図10dに示すように、圧電層42の表面に個別電極44を形成する第1電極形成工程。なお、個別電極44は、外周電極45と確実に導通させるために乗り上げるように形成するのが好ましい。そして、図10eに示すように、外周電極45と共通電極43との間に、第1分極工程時よりも小さな分極電圧を印加して、圧電層41の個別電極44と共通電極43とに挟まれた部分及び外周電極45と共通電極43とに挟まれた部分を分極させる第2分極工程。そして、図10fに示すように、外周電極45上にバンプ52を形成するとともに、表面電極46上にバンプ53を形成するバンプ形成工程。そして、図10gに示すように、圧電層42の上面を覆うようにFPC48を配置して、第1接続電極部57とバンプ52とを接合するとともに、第2接続電極部59とバンプ53とを接合する。この圧電アクチュエータ7の製造方法によると、接合工程において圧電層42に残留した面方向の圧縮応力を、分極工程において外周電極45に電圧を印加させて、圧電層42の外周電極45と対向する部分を面方向に収縮させることで、圧電層42の個別電極44と対向する部分に生じた圧縮応力を緩和させることができる。また、圧電層42の応力緩和部R2の分極電圧を、圧電層42の活性部R1の分極電圧よりも大きくすることができる。したがって、大きな分極電圧で分極させて圧電層42の応力緩和部R2を形成することで、圧電層42の応力緩和部R2が大きく収縮して、圧電層42の活性部R1を大きく引っ張ることができ、圧電層42の活性部R1に生じた圧縮応力を大きく緩和させることができる。また、小さな分極電圧で分極させて圧電層42の活性部R1を形成することで、圧電層42の活性部R1の圧電特性の経年変化の程度を小さくすることができる。さらに、個別電極44と外周電極45が導通しているため、先に大きな分極電圧を印加する外周電極45に配線などを構成すれば、この外周電極45に第2分極工程において小さな分極電圧を印加して、個別電極44に分極電圧を印加することができ、端子や配線などの構成を簡単化することができる。さらに、本実施形態においては、外周電極45は、個別電極44を形成する材料と比較してガラス材料と金属粒子との配合比率は同じであり、ガラス材料に個別電極44よりも大径の数ミクロンの金属粒子を含有した材料からなり、圧電層42と接触する低誘電層47を有していたが、外周電極45は、個別電極44よりも金属粒子の配合比率が小さい材料で形成されてもよい。この場合においても、外周電極45は、材料内における金属粒子の配合比率が小さいため、圧電層42と接触する金属粒子の数が少なく、圧電層42の外周電極45との接触界面には、ガラス材料や空気が多く接触することになり、金属粒子の接触面積が小さくなり、圧電層42に接触した低誘電層47を形成することができる。また、外周電極45の圧電層42との接触面の表面粗さを粗くすることでも、金属粒子と圧電層42との接触面積が小さくなり、圧電層42に接触した低誘電層47を形成することができる。さらに、本実施形態においては、圧電材料からなる圧電層41、42と流路ユニット6の圧力室10が形成された金属材料からなるプレートを熱硬化性の接着剤により加熱接合する場合を例に挙げて説明したが、振動板として機能する圧電層41は、圧電材料に限らず、金属材料からなる金属プレートにより形成されることがある。その場合、この金属プレートと圧電層42を熱硬化性の接着剤により加熱接合するときに、上述したような圧電層42に面方向の圧縮応力が残留することになる。したがって、本発明を適用することで、上述したような効果を奏することができる。また、応力緩和部R2の分極方向は、圧電層42の厚み方向であれば、下向きに限らず、上向きであってもよい。また、以上では、ノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータに本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、インクジェットヘッド以外の種々の装置に用いられる、個別電極と外周電極とを有する圧電アクチュエータ、及び、このような圧電アクチュエータを有する液体移送装置に本発明を適用することも可能である。