イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを加速させる加速モード運転において、前記加速管に印加する加速電圧を0kVとならないように制御するイオン注入装置の制御方法。イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを減速させる減速モード運転において、前記イオン源からイオンビームを引き出す引出電圧と前記加速管に印加する減速電圧とが互いに異なる電圧となるように制御するイオン注入装置の制御方法。イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを加速させる加速モード運転において、前記加速管に印加する加速電圧を0kVとならないように制御するとともに、前記加速管によりイオンビームを減速させる減速モード運転において、前記イオン源からイオンビームを引き出す引出電圧と前記加速管に印加する減速電圧とが互いに異なる電圧となるように制御するイオン注入装置の制御方法。イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを減速させる減速モード運転と前記加速管によりイオンビームを加速させる加速モード運転との切り替え時に、前記イオン源からイオンビームを引き出す引出電圧と前記加速管に印加する減速電圧とが互いに異なる電圧となるように制御するイオン注入装置の制御方法。イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを減速させる減速モード運転と前記加速管によりイオンビームを加速させる加速モード運転との切り替え時に、前記加速管に印加する加速電圧を0kVとならないように制御するイオン注入装置の制御方法。そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、引出電極の放電によりイオン源内で生成された複数種類のイオンを含むイオンビームがターゲットに到達して所望イオン以外の質量及びエネルギーをもったイオンがターゲットに注入されないようにすることをその主たる所期課題とするものである。すなわち本発明に係るイオン注入装置の制御方法は、イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを加速させる加速モード運転において、前記加速管に印加する加速電圧を0kVとならないように制御することを特徴とする。このようなものであれば、加速モード運転において、イオン源からイオンビームを引き出すための引出電極が放電した場合であっても、加速電圧を0kVとならないように制御しているので、イオン源内で生じた所望以外のイオンをエネルギー分離器で分離させることができ、所望のイオンのみをターゲットに到達させることができる。なお詳細な作用については後述する。また本発明に係るイオン注入装置の制御方法は、イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを減速させる減速モード運転において、前記イオン源からイオンビームを引き出す引出電圧と前記加速管に印加する減速電圧とが互いに異なる電圧となるように制御することを特徴とする。このようなものであれば、減速モード運転において、イオン源からイオンビームを引き出すための引出電極が放電した場合であっても、引出電圧と減速電圧とを互いに異なる電圧となるように制御しているので、イオン源内で生じた所望以外のイオンをエネルギー分離器で分離させることができ、所望のイオンのみをターゲットに到達させることができる。なお詳細な作用については後述する。また本発明に係るイオン注入装置の制御方法は、イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを加速させる加速モード運転において、前記加速管に印加する加速電圧を0kVとならないように制御するとともに、前記加速管によりイオンビームを減速させる減速モード運転において、前記イオン源からイオンビームを引き出す引出電圧と前記加速管に印加する減速電圧とが互いに異なる電圧となるように制御することを特徴とする。このようなものであれば、加速モード運転及び減速モード運転のいずれにおいても、イオン源からイオンビームを引き出すための引出電極が放電した場合に、イオン源内で生じた所望以外のイオンをエネルギー分離器で分離させることができ、所望のイオンのみをターゲットに到達させることができる。また本発明に係るイオン注入装置の制御方法は、イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを減速させる減速モード運転と前記加速管によりイオンビームを加速させる加速モード運転との切り替え時に、前記イオン源からイオンビームを引き出す引出電圧と前記加速管に印加する減速電圧とが互いに異なる電圧となるように制御することを特徴とする。このようなものであれば、減速モード運転と加速モード運転の切り替え時に、引出電圧と減速電圧とが等しい電圧になるが、この際に引出電極に放電が生じた場合に所望以外のイオンがターゲットに到達してしまうという問題を解決することができる。また本発明に係るイオン注入装置の制御方法は、イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数及び価数のイオンを選別して導出する質量分離器と、当該質量分離器から導出されたイオンビームを加速又は減速する加速管と、当該加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器とを有するイオン注入装置の制御方法であって、前記加速管によりイオンビームを減速させる減速モード運転と前記加速管によりイオンビームを加速させる加速モード運転との切り替え時に、前記加速管に印加する加速電圧を0kVとならないように制御することを特徴とする。このようなものであれば、減速モード運転と加速モード運転の切り替え時に、加速電圧が0kVになるが、この際に引出電極に放電が生じた場合に所望以外のイオンがターゲットに到達してしまうという問題を解決することができる。このように構成した本発明によれば、引出電極の放電によりイオン源内で生成された複数種類のイオンを含むイオンビームがターゲットに到達して所望イオン以外の質量及びエネルギーをもったイオンがターゲットに注入されないようにすることができる。以下に本発明に係るイオン注入装置の制御方法の一実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態に係るイオン注入装置100は、図1及び図3に示すように、イオンビームIBを引き出すイオン源2と、このイオン源2の下流側に設けられて、イオン源2から引き出されたイオンビームIBから特定のイオン種このイオン種は、質量数及び価数で特定される。を選別して導出する質量分離器たる質量分離マグネット3と、この質量分離マグネット3の下流側に設けられて、質量分離マグネット3から導出されたイオンビームIBを加速又は減速する加速管4と、この加速管4の下流側に設けられて、加速管4から導出されたイオンビームIBから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分離器たるエネルギー分離マグネット5と、このエネルギー分離マグネット5の下流側に設けられて、エネルギー分離マグネット5から導出されたイオンビームIBを磁気的に一次元で図1では紙面に沿った方向でありX軸方向に走査する走査マグネット6と、この走査マグネット6の下流側に設けられて、走査マグネット6から導出されたイオンビームIBを基準軸Z軸方向に沿った軸に対して平行になるように曲げ戻して走査マグネット6と協働してイオンビームIBの平行走査を行うビーム平行化マグネット7と、このビーム平行化マグネット7の下流側に設けられて、ビーム平行化マグネット7から導出されたイオンビームIBの照射領域内でターゲットW例えばウエハを走査マグネット6におけるイオンビームIBの走査方向と実質的に直交する方向に図1では紙面の表裏方向でありY軸方向に機械的に走査する走査機構8とを備えている。このターゲットWにイオンビームIBが照射されてイオン注入が行われる。なお、質量分離マグネット3のイオン導出部には、質量分離マグネット3により選別されたイオンを通過させる質量分離スリット9が設けられており、エネルギー分離マグネット5のイオン導出部には、エネルギー分離マグネット5により選別されたイオンを通過させるエネルギー分離スリット10が設けられている。イオン源2は、図2に示すように、例えばECR放電によってプラズマを生成するプラズマ生成部21と、そこから電界の作用でイオンビームIBを引き出す引出電極22とを備えており、両者間には、プラズマ生成部21を正側にして直流の引出電源23から引出電圧VEが印加される。なお、図2中、左から1枚目及び2枚目の電極には、サプレッション電源24が接続されており、引出電極22よりも下流側で発生した電子の逆流を防止している。加速管4は、多段の電極を有しており、その両端部に、加速モード運転の場合には、図1に示すように、加速管の上流側を正側にして直流の加速モード電源11から加速電圧VAが印加される。また加速管4の最下流側の電極は接地される。なお、加速モード運転とは、イオン源2から引出電極22により引き出されたイオンを加速モード電源11で加速することで必要なビームエネルギーとする運転方法である。この加速モード運転でのビームエネルギーは、引出電圧VEと加速電圧VAとの合計の電圧で決まる。一方、加速管4は、減速モード運転の場合は、加速モード電源11は加速管4から切り離され、イオン源2のプラズマ生成部21とアースとの間に、図3に示すように、プラズマ生成部21を正側にして直流の減速モード電源12から減速モード電圧VDが印加される。なお、減速モード運転とは、ビームエネルギーが例えば40keV程度以下が必要なレシピの場合、引出電圧VEを40kV程度以下にした場合、イオン源2から引き出されるビーム電流が小さくなるので、引出電圧VEを上げて必要なビーム電流を確保して引き出した後に、減速モード電源12で減速することで必要なビームエネルギーとする運転方法である。この減速モード運転でのビームエネルギーは、減速電圧VDで決まる。更にこのイオン注入装置100は、図1及び図3に示すように、当該イオン注入装置100全体の制御を司る制御装置13と、この制御装置13に接続されて、オペレータとの入出力を行うマンマシンコントローラ14とを備えている。マンマシンコントローラ14は表示装置15を有している。上記構成によって、所望のイオン種およびエネルギーのイオンビームIBを平行走査しながらターゲットWに照射すると共に、ターゲットWを機械的に走査して、ターゲットWの全面に均一にイオン注入を行うことができる。このように構成したイオン注入装置100が正常運転を行っている場合には、イオン注入装置100の質量分離マグネット3及びエネルギー分離マグネット5の磁束密度は、所望のイオンのみが通過できるように設定されており、複数種類のイオンが発生しているイオン源2であっても所望以外のイオンはターゲットWには注入されない。なお、質量分離マグネット3及びエネルギー分離マグネット5における磁束密度Bとマス値mとは以下の式で表すことができる。ここでR:曲率半径、q:イオンの電荷数、V:電圧、e:電気素量である。しかして本実施形態のイオン注入装置100の加速モード運転図1参照において、図4に示すように、加速管4に印加する加速電圧VAを0kVとならないように制御している。この加速モード運転において加速電圧VAがゼロ0kVの場合、引出電極22が放電すると、ごく短時間の間に微量の所望以外のイオンがターゲットWに到達してしまう。例えば、引出電圧VEが40kVであって、引出電極22の放電が発生した場合、引出電圧VEが瞬時に40kVから0kVになる。加速電圧VAがゼロ0kVの場合、エネルギー分離マグネット5の磁束密度Bは、引出電圧VEで決定されるエネルギーをもったイオンがエネルギー分離スリット10を通過できるようになっている。そのため、引出電極22の放電が発生した場合、質量分離スリット9を通過するイオン所望以外のイオンが存在し、そのイオンはエネルギー分離スリット10を通過することになる。その結果、所望以外のイオンがターゲットWに到達する。一方、加速電圧VAが0kVでない場合、エネルギー分離マグネット5の磁束密度Bは、引出電圧VEと加速電圧VAの合計で決定されるエネルギーを持ったイオンがエネルギー分離スリット10を通過できるようになっている。そのため、40kV未満の引出電圧VEと加速電圧VAの合計電圧で決まるエネルギーのイオンはエネルギー分離スリット10を通過できない。その結果、引出電極22が放電しても、ターゲットWまで所望以外の質量を持ったイオンを到達しない。また本実施形態のイオン注入装置の100の減速モード運転図3参照において、図4に示すように、イオン源2からイオンビームIBを引き出す引出電圧VEと加速管4に印加する減速電圧VDとが互いに異なる電圧つまり、VE≠VDとなるように制御している。この減速モード運転において引出電圧VEと減速電圧VDとが等しい場合、引出電極22が放電すると、質量分離スリット3を所望以外のイオンが通過してしまう。また、エネルギー分離マグネット5の磁束密度は、減速電圧VD=引出電圧VEで決定されるエネルギーを持ったイオンがエネルギー分離スリット10を通過できるようになっているため、質量分離スリット9を通過するイオンは、エネルギー分離スリット10も通過することになる。その結果、所望以外のイオンがターゲットWに到達してしまう。一方、引出電圧VEが減速電圧VDと異なる電圧の場合、例えば引出電圧VEを50kV、減速電圧VDを30kVとした場合、引出電極22が放電すると、引出電圧VEが50kVから0kVになる。このとき、質量分離スリット9を通過するイオンは、上記1式のルート内の式が一定であるという式が成立する下式ことから、引出電極22の放電により引出電圧VEが変化すれば、質量分離スリット9を通過するイオンの質量も反比例して変化する。エネルギー分離マグネット5の磁束密度Bは、減速電圧30kVで決まるエネルギーを持ち、且つ引出電極22の放電の無い時に質量分離スリット9を通過したイオンのみがエネルギー分離スリット10を通過できるように設定されている。そして引出電極22の放電が生じた場合でも、エネルギー分離スリット10を通過できるイオンのエネルギーは変化しない。したがって、エネルギー分離スリット10を通過できるイオンは、引出電極22の放電が無いときにエネルギー分離スリット10を通過したイオンのみであるので、所望以外のイオンがターゲットWに到達しない。また本実施形態では、図4に示すように、減速モード運転から加速モード運転へ切り替える際又は加速モード運転から減速モード運転へ切り替える際に、加速電圧VAを0kVとならないように制御するとともに、引出電圧VE及び減速電圧VDを異なる電圧となるように制御している。このように構成した本実施形態に係るイオン注入装置100の各制御方法によれば、引出電極22の放電によりイオン源2内で生成された複数種類のイオンを含むイオンビームIBがターゲットWに到達して所望イオン以外の質量及びエネルギーをもったイオンがターゲットWに注入されないようにすることができる。なお、本発明は前記実施形態に限られない。例えば前記実施形態ではユーザが加速モード運転においてオペレータが加速電圧を0kVとならないように制御するとともに、減速モード運転においてオペレータが引出電圧及び減速電圧を異なる電圧となるように制御しているが、オペレータがマンマシンコントローラに入力した所定のレシピに基づいて制御装置が、上記のように加速電圧、引出電圧及び減速電圧を制御するように構成しても良い。その他本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。