"ガス通路が形成されかつガス通路の一端側に蒸発燃料ガスを導入するチャージポート、ガス通路から蒸発燃料ガスをパージするパージポート、及び、ガス通路の他端側にパージ用空気を導入する大気ポートを有するケースと、前記ガス通路において蒸発燃料を吸着及び離脱可能でかつガス通路の流通方向に通気性を有するハニカム構造のハニカム吸着体とを備える蒸発燃料処理装置であって、前記大気ポートと前記ハニカム吸着体との間に、前記大気ポートから前記ハニカム吸着体に流れるパージ用空気を拡散する密度勾配型フィルタが設けられ、前記密度勾配型フィルタは、パージ用空気の流れ方向において上流側に配置される目の細かい密層部と、その密層部の下流側に配置される目の粗い粗層部と、その粗層部の下流側に配置される目の細かい密層部とを有する複層構造としたことを特徴とする蒸発燃料処理装置。請求項1に記載の蒸発燃料処理装置であって、前記密度勾配型フィルタは、前記下流側の密層部の下流側、及び、前記上流側の密層部の上流側の少なくとも一側に配置される目の粗い粗層部を有することを特徴とする蒸発燃料処理装置。請求項2に記載の蒸発燃料処理装置であって、前記密度勾配型フィルタは、隣り合う密層部と粗層部とを2層1組として複数組備えたことを特徴とする蒸発燃料処理装置。前記特許文献1によると、パージ時のパージ用空気の流速が大きい速い場合、パージ用空気がフィルタで十分拡散されず、ハニカム吸着体の中央部分を優先的に流れていまう。このため、ハニカム吸着体の外周部分における蒸発燃料を十分に脱離することができず、蒸発燃料の脱離効率が低下する場合があった。このため、ハニカム吸着体に蒸発燃料が残存していると、給油等において大気ポート側へ蒸発燃料が吹き抜けやすくなるという問題があった。すなわち、ハニカム吸着体に残存する蒸発燃料量以下、残存量というが多いほど、大気ポート側へ吹き抜ける蒸発燃料量以下、吹き抜け量というも増大することになる。また、前記特許文献2によると、粒状の吸着体の大気側に、大気からの空気の流れ方向に積層状に並ぶ目の粗い粗層部と目の細かい密層部とを有するフィルタが設けられているが、このようなフィルタではパージ用空気の拡散効果が十分とはいえない。本発明が解決しようとする課題は、ハニカム吸着体における蒸発燃料の脱離効率を向上し、残存量及び吹き抜け量を低減することのできる蒸発燃料処理装置を提供することにある。前記課題は、特許請求の範囲に記載された構成を要旨とする蒸発燃料処理装置により解決することができる。請求項1に記載された蒸発燃料処理装置によると、ガス通路が形成されかつガス通路の一端側に蒸発燃料ガスを導入するチャージポート、ガス通路から蒸発燃料ガスをパージするパージポート、及び、ガス通路の他端側にパージ用空気を導入する大気ポートを有するケースと、ガス通路において蒸発燃料を吸着及び離脱可能でかつガス通路の流通方向に通気性を有するハニカム構造のハニカム吸着体とを備える蒸発燃料処理装置であって、大気ポートとハニカム吸着体との間に、大気ポートからハニカム吸着体に流れるパージ用空気を拡散する密度勾配型フィルタが設けられ、密度勾配型フィルタは、パージ用空気の流れ方向において上流側に配置される目の細かい密層部と、その密層部の下流側に配置される目の粗い粗層部と、その粗層部の下流側に配置される目の細かい密層部とを有する複層構造としたものである。この構成によると、パージ時において、大気ポートからハニカム吸着体に流れるパージ用空気が、密度勾配型フィルタの密層部、粗層部、密層部を順に通ることによって次第に拡散されていく。このため、拡散されたパージ用空気がハニカム吸着体に対して全面的に均一に流れることができる。また、両密層部の相互間に粗層部を備えたことにより、パージ用空気を効果的に拡散することができる。これによって、ハニカム吸着体における蒸発燃料の脱離効率を向上し、残存量及び吹き抜け量を低減することができる。請求項2に記載された蒸発燃料処理装置によると、密度勾配型フィルタは、下流側の密層部の下流側、及び、上流側の密層部の上流側の少なくとも一側に配置される目の粗い粗層部を有する。したがって、パージ用空気の拡散効果を一層向上することができる。請求項3に記載された蒸発燃料処理装置によると、密度勾配型フィルタは、隣り合う密層部と粗層部とを2層1組として複数組備えたものである。したがって、密度勾配型フィルタの組付性を向上することができる。以下、本発明を実施するための形態について図面を用いて説明する。[実施形態1]本実施形態では、自動車等の車両に搭載されるキャニスタとしての蒸発燃料処理装置について例示する。図1は蒸発燃料処理装置を示す平断面図、図2は図1のII部を示す拡大図である。説明の都合上、蒸発燃料処理装置の基本的構成を説明した後、要部の構成について説明することにする。また、蒸発燃料処理装置については、図1の平断面図を基準として前後左右を定める図中矢印参照。蒸発燃料処理装置の基本的構成について説明する。図1に示すように、蒸発燃料処理装置10は、例えば樹脂製で、長四角形箱状に形成されたケース12を備えている。ケース12は、主体をなすケース本体13を有している。ケース本体13は、角筒状に形成されかつその前端面を閉鎖する端壁13eを有している。ケース本体13の後端開口面は蓋部材14により閉鎖されている。ケース本体13内には、左側壁13a及び右側壁13bと平行状をなす隔壁13fが形成されている。隔壁13fによって、ケース本体13内が左右二室に仕切られている。ケース本体13の右室と左室とは、ケース本体13と蓋部材14との間に形成された連通路15によって相互に連通されている。これにより、ケース本体13の右室及び左室と連通路15とからなるU字状のガス通路が形成されている。前記ケース本体13の端壁13eには、右室に連通するタンクポート17及びパージポート18と、左室に連通する大気ポート19が形成されている。タンクポート17は、蒸発燃料通路21を介して燃料タンク22詳しくはタンク内の気層部に連通されている。また、パージポート18は、パージ通路24を介してエンジン25詳しくは吸気管におけるスロットルバルブより下流側部位に連通されている。また、パージ通路24の途中にはパージ弁26が介装されている。パージ弁26は、車両のエンジンコントロールユニットいわゆるECU27によって開閉制御されるようになっている。また、大気ポート19は大気に連通すなわち開放されている。また、各ポート17,18,19は、前記ケース本体13の端壁13eの前面側に突出されている。なお、タンクポート17は本明細書でいうチャージポートに相当する。また、エンジン25は本明細書でいう内燃機関に相当する。また、ECU27は本明細書でいう制御手段に相当する。前記ケース本体13の右室の前端部は、ケース本体13に形成された仕切壁13hにより左右に仕切られている。すなわち、タンクポート17側の部分とパージポート18側の部分とに仕切られている。また、ケース本体13の右室の後端開口部には、例えば樹脂製の通気性を有する多孔板31が該開口部を閉鎖するように設けられている。これにより、ケース本体13の右室に吸着室33が形成されている。その吸着室33を、説明の都合上、第3吸着室33という。前記第3吸着室33の前端面、詳しくは、タンクポート17側の部分とパージポート18側の部分の前端面には、それぞれ前側のフィルタ29が該端面を閉鎖するように設けられている。また、前記多孔板31の前面側には、後側のフィルタ30が積層状に設けられている。また、多孔板31と蓋部材14との間には、コイルバネからなるバネ部材32が介装されている。バネ部材32は多孔板31を前方へ付勢する。前記ケース本体13の左室における前後方向ガス通路の直線状の流通方向の中間部には、該左室を前後に二分する保持部材42が配置されている。これにより、ケース本体13の左室における保持部材42の前側に吸着室46が形成されている。その吸着室46を、説明の都合上、第1吸着室46という。また、ケース本体13の左室の後端開口部には、例えば樹脂製の通気性を有する多孔板37が該開口部を閉鎖するように設けられている。これにより、ケース本体13の左室における保持部材42の後側に吸着室48が形成されている。その吸着室48を、説明の都合上、第2吸着室48という。また、第1吸着室46は本明細書でいう大気ポート側の吸着室に相当する。前記保持部材42は、例えば樹脂製で、通気性を有する多孔板状に形成されている。保持部材42の前後両端面には、それぞれフィルタ44が該端面を閉鎖するように設けられている。また、前記第1吸着室46には、ハニカム吸着体52が配置されている。ハニカム吸着体52は、円柱状をなすハニカム構造の吸着体で、軸方向図1において上下方向に延びる多数の通気路を有する。このため、ハニカム吸着体52は、ガス通路の流通方向に通気性を有している。また、ハニカム吸着体52は、蒸発燃料ガスに含まれる蒸発燃料を吸着及び脱離可能である。なお、ハニカム吸着体52は、例えばセラミック等の熱容量の高い材料と活性炭等の吸着材とを所定の割合で混合した後、所定形状例えば円柱状に成形してから焼成したもので、ハニカム活性炭とも呼ばれる。また、ハニカム吸着体52は、ケース本体13の左室における周壁部に対して、前後一対をなす環状のパッキン54を介して弾性的に支持されている。前記ハニカム吸着体52の後端部は、前記保持部材42の前面側に形成された嵌合凹部42aに嵌合されることによって支持されている。ハニカム吸着体52の後端面は保持部材42の前側のフィルタ44と面している。また、前記多孔板37の前面側には、後側のフィルタ36が積層状に設けられている。また、多孔板37と蓋部材14との間には、コイルバネからなるバネ部材38が介装されている。バネ部材38は多孔板37を前方へ付勢する。前記第2吸着室48及び前記第3吸着室33には、蒸発燃料を吸着及び離脱可能な粒状吸着体50が充填されている。詳しくは、第2吸着室46においては、前記保持部材42の後側のフィルタ44と前記後側のフィルタ36との間に粒状吸着体50が充填されている。また、第3吸着室33においては、前記前側のフィルタ29と前記後側のフィルタ30との間に粒状吸着体50が充填されている。また、粒状吸着体50としては、例えば粒状の活性炭を用いることができる。さらに、粒状の活性炭としては、破砕した活性炭破砕炭、粒状あるいは粉末状の活性炭をバインダともに造粒した造粒炭等を用いることができる。なお、各フィルタ29,30,36,44は、例えば樹脂製の不織布、発泡ウレタン等により形成されている。次に、前記蒸発燃料処理装置10を備えた蒸発燃料システムの作用について説明する図1参照。なお、蒸発燃料処理システムは、蒸発燃料処理装置10、蒸発燃料通路21、パージ通路24、パージ弁26、ECU27等によって構成されている。車両のエンジン25が停止している状態では、パージ弁26が閉弁されており、燃料タンク22で発生した蒸発燃料を含むガス蒸発燃料ガスが蒸発燃料通路21からタンクポート17を介して第3吸着室33に導入される。その導入された蒸発燃料ガスに含まれる蒸発燃料は、第3吸着室33の粒状吸着体50に吸着される。そして、第3吸着室33の粒状吸着体50に吸着されなかった蒸発燃料は、連通路15を通り、第2吸着室48に導入され、第2吸着室48の粒状吸着体50に吸着される。さらに、第2吸着室48の粒状吸着体50に吸着されなかった蒸発燃料は、第1吸着室46に導入され、第1吸着室46のハニカム吸着体52に吸着される。そして、ほとんど空気となったガスは、大気ポート19から大気へ放出される。また、パージ時エンジン25の運転中のパージ制御時においては、パージ弁26が開弁されることで、パージ通路24からパージポート18を介して吸気負圧がケース12内のガス通路に作用する。これにともない、大気ポート19から大気中の空気新気がパージ用空気として第1吸着室46に導入される。第1吸着室46に導入されたパージ用空気は、第1吸着室46のハニカム吸着体52から蒸発燃料を脱離させた後、第2吸着室48に導入され、第2吸着室48の粒状吸着体50から蒸発燃料を脱離させる。さらに、蒸発燃料を含むパージ用空気は、連通路15を介して、第3吸着室33に導入され、第3吸着室33の粒状吸着体50から蒸発燃料を脱離させる。そして、蒸発燃料を含むパージ用空気は、パージポート18からパージ通路24を介してエンジン25にパージされることにより、エンジン25で燃焼処理される。次に、前記蒸発燃料処理装置の要部の構成について説明する。図2は図1のII部を示す拡大図である。図2に示すように、前記第1吸着室46における大気ポート19詳しくはケース本体13の端壁13eと前記ハニカム吸着体52との間には、密度勾配型フィルタ56が、第1吸着室46の前端面を閉鎖するように設けられている。また、密度勾配型フィルタ56は、パージ用空気の流れ方向図2において上から下方において上流側に配置される目の細かい密層部56aと、その密層部56aの下流側に配置される目の粗い粗層部56bと、その粗層部56bの下流側に配置される目の細かい密層部56aと、その密層部56aの下流側に配置される目の粗い粗層部56bを有する複層構造すなわち4層構造となっている。また、各密層部56a及び粗層部56bは、不織布によってそれぞれシート状に形成されている。また、パージ用空気の流れ方向において上流側に位置する密層部56aと、その密層部56aの下流側の粗層部56bとは、2層1組として2組並設されている。この場合、各組の粗層部56bと密層部56aとが相互に接合により一体化されたフィルタ材を使用することができる。前記密度勾配型フィルタ56と前記ハニカム吸着体52との間には、通気性を有する発泡ウレタン等からなる保護部材58が介装されている。保護部材58は、ハニカム吸着体52の保護を目的としたのであって、密度勾配型フィルタ56の粗層部56bの目よりも粗い目を有する。なお、保護部材58は、必要に応じて設けられるものであり、省略することもできる。前記した蒸発燃料処理装置10によると、パージ時において、大気ポート19からハニカム吸着体52に流れるパージ用空気が、密度勾配型フィルタ56の密層部56a、粗層部56b、密層部56a、粗層部56bを順に通ることによって次第に拡散されていく。このため、拡散されたパージ用空気がハニカム吸着体52に対して全面的に均一に流れることができる。また、両密層部56aの相互間に粗層部56bを備えたことにより、パージ用空気を効果的に拡散することができる。これによって、ハニカム吸着体52における蒸発燃料の脱離効率を向上し、残存量及び吹き抜け量を低減することができる。また、密度勾配型フィルタ56は、下流側の密層部56aの下流側に配置される目の粗い粗層部56bを有する。したがって、パージ用空気の拡散効果を一層向上することができる。この場合、パージ用空気の流れ方向の下流側すなわちハニカム吸着体52からの異物、例えば粒状吸着体による目詰まりの防止に有効である。また、密度勾配型フィルタ56は、隣り合う密層部56aと粗層部56bとを2層1組のフィルタ材として2組備えたものである。したがって、密度勾配型フィルタ56の組付性を向上することができる。なお、フィルタ材は3組以上備えることもできる。[実施形態2]本発明の実施形態2を説明する。本実施形態以降の実施形態は、前記実施形態1に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、重複する説明は省略する。図3は蒸発燃料処理装置の要部を図2に準じて示す断面図である。図3に示すように、本実施形態の密度勾配型フィルタ56は、前記実施形態1図2参照における各組のフィルタ材を表裏反転すなわち上下反転したものである。これにより、パージ用空気の流れ方向図3において上から下方において上流側に配置される粗層部56bと、その粗層部56bの下流側に配置される密層部56aと、その密層部56aの下流側に配置される粗層部56bと、その粗層部56bの下流側に配置される目の細かい密層部56aとを有している。本実施形態によると、密度勾配型フィルタ56は、上流側の密層部56aの上流側に配置される粗層部56bを有する。したがって、パージ用空気の拡散効果を一層向上することができる。この場合、パージ用空気の流れ方向の上流側からの異物による目詰まりの防止に有効である。[実施形態3]本発明の実施形態3を説明する。本実施形態は、前記実施形態1に変更を加えたものである。図4は蒸発燃料処理装置を一部破断して示す平面図である。図4に示すように、本実施形態の蒸発燃料処理装置符号、60を付すは、前記実施形態1におけるケース12を主ケース12とし、その主ケース12と別体をなす副ケース62を追加したものである。主ケース12における前記大気ポート19図1参照は、接続ポート大気ポート19と同一符号を付す19に変更されている。接続ポート19には、接続管64の一端部が接続されている。また、図示しないが、ケース本体13図1参照の左室における保持部材42、ハニカム吸着体52、パッキン54、密度勾配型フィルタ56、保護部材58は省略されることにより、第1吸着室46と第2吸着室48とが1室の吸着室とされ、その吸着室には粒状吸着体が充填されている。前記副ケース62は、樹脂製で、有底円管状のケース部材66と、ケース部材66の開口端面を閉鎖する蓋板67とにより構成されている。本実施形態では、ケース部材66の底側が後方へ向けられ、蓋板67が前方へ向けられている。ケース部材66の後側の端壁66aには、後方図4において下方へ向けて突出する大気ポート69が同心状に突出されている。大気ポート69は、ケース部材66内に連通しかつ大気に開放されている。また、蓋板67には、前方図4において上方へ向けて突出する接続ポート70が同心状に形成されている。接続ポート70には、前記接続管64の他端部が接続されている。これにより、主ケース12内と副ケース62内とが接続管64を介して連通されている。なお、接続管64は本明細書でいう配管部材に相当する。前記副ケース62内はガス通路になっている。前記ケース部材66の前端部には、保持部材72が配置されている。これにより、ケース部材66内における保持部材72の後側に吸着室73が形成されている。その吸着室73を、説明の都合上、第1吸着室73という。また、保持部材72は、例えば樹脂製で、通気性を有する多孔板状に形成されている。また、保持部材72の後端面には、フィルタ74が該端面を閉鎖するように設けられている。フィルタ74は、例えば樹脂製の不織布、発泡ウレタン等により形成されている。前記第1吸着室73にはハニカム吸着体52が配置されている。ハニカム吸着体52は、ケース部材66における周壁部に対して、前後一対をなす環状のパッキン54を介して弾性的に支持されている。また、ハニカム吸着体52の前端部は、前記保持部材72の後面側に形成された嵌合凹部72aに嵌合されることによって支持されている。ハニカム吸着体52の前端面は保持部材72のフィルタ74と面している。また、第1吸着室73における大気ポート69詳しくは端壁66aとハニカム吸着体52との間には、密度勾配型フィルタ56及び保護部材58が設けられている。また、保持部材72と蓋板67との間には、コイルバネからなるバネ部材78が介装されている。バネ部材78は保持部材72を後方へ付勢する。次に、前記蒸発燃料処理装置60を備えた蒸発燃料システムの作用について説明する図4参照。車両のエンジン25が停止している状態では、パージ弁26が閉弁されており、燃料タンク22で発生した蒸発燃料を含むガス蒸発燃料ガスが蒸発燃料通路21からタンクポート17を介して主ケース12内のガス通路に導入される。その導入された蒸発燃料ガスに含まれる蒸発燃料は、主ケース12内の粒状吸着体に吸着される。そして、ほとんど空気となったガスは、接続ポート19から接続管64を介して副ケース62の接続ポート70を介して第1吸着室73に導入される。そのガスに含まれる蒸発燃料があれば、その蒸発燃料がハニカム吸着体52に吸着される。そして、ほとんど空気となったガスは、大気ポート69から大気へ放出される。また、パージ時エンジン25の運転中のパージ制御時においては、パージ弁26が開弁されることで、パージ通路24からパージポート18を介して吸気負圧が主ケース12内のガス通路に作用する。これにともない、大気ポート69から大気中の空気新気がパージ用空気として副ケース62の第1吸着室73に導入される。第1吸着室73に導入されたパージ用空気は、第1吸着室73のハニカム吸着体52から蒸発燃料を脱離させた後、ケース12内のガス通路に導入され、ケース12内の粒状吸着体から蒸発燃料を脱離させる。そして、蒸発燃料を含むパージ用空気は、パージポート18からパージ通路24を介してエンジン25にパージされることにより、エンジン25で燃焼処理される。また、パージ時において、大気ポート69からハニカム吸着体52に流れるパージ用空気が、密度勾配型フィルタ56を通ることによって次第に拡散されていく。このため、拡散されたパージ用空気がハニカム吸着体52に対して全面的に均一に流れることができる。本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更が可能である。例えば、車両に対する蒸発燃料処理装置の搭載上の配置形態は適宜変更することができる。また、密度勾配型フィルタ56は、密層部56a、粗層部56bを個別に組付けることによって構成することができる。また、各組毎の密層部56aの目の細かさは、同一でもよいし、あるいは異なっていてもよい。また、各組毎の粗層部56bの目の粗さは、同一でもよいし、あるいは異なっていてもよい。また、各組毎の粗層部56bと密層部56aとは、別体のものを重ねて1組として取り扱ってもよい。この場合、実施形態1図2参照の密度勾配型フィルタ56において保護部材58に面する粗層部56bは省略することもできる。また、実施形態2図3参照の密度勾配型フィルタ56において大気ポート19に面する粗層部56bは省略することもできる。また、密度勾配型フィルタ56の材料は、不織布に限らず、例えば発泡ウレタンを用いることもできる。"