被圧延材を加熱する加熱装置、該加熱装置よりも前記被圧延材の搬送方向下流側に配設されたデスケーリング装置、該デスケーリング装置よりも前記被圧延材の搬送方向下流側に配設された仕上圧延機列、該仕上圧延機列に配設された冷却装置、及び、前記仕上圧延機列の直後に配設された急冷装置を用いて熱延鋼板を製造する際に、前記加熱装置、前記冷却装置、及び、前記急冷装置の動作を制御することにより、前記仕上圧延機列の入側における前記被圧延材の温度T1、前記仕上圧延機列の最終スタンドの入側における前記被圧延材の温度T2、及び、前記急冷装置の出側における前記被圧延材の温度T3を制御することを特徴とする、熱延鋼板の製造方法。前記被圧延材は、前記加熱装置を用いて、1100°C以上へと昇温されることを特徴とする、請求項1に記載の熱延鋼板の製造方法。前記加熱装置に、誘導加熱装置及び/又はガス燃焼炉が含まれる、請求項1又は2に記載の熱延鋼板の製造方法。前記加熱装置よりも前記被圧延材の搬送方向上流側に配置された粗圧延機によって、前記加熱装置で加熱される前記被圧延材が粗圧延されている、請求項1~3のいずれか1項に記載の熱延鋼板の製造方法。前記加熱装置よりも前記被圧延材の搬送方向上流側に、前記被圧延材を巻き取るコイルボックスが配置され、該コイルボックスから払い出された前記被圧延材が前記加熱装置で加熱される、請求項1~4のいずれか1項に記載の熱延鋼板の製造方法。前記加熱装置よりも前記被圧延材の搬送方向上流側に配設された温度検出手段を用いて検出した前記被圧延材の温度の検出結果に基づいて、前記温度T1、前記温度T2、及び、前記温度T3を制御することを特徴とする、請求項1~5のいずれか1項に記載の熱延鋼板の製造方法。被圧延材を加熱する加熱装置、該加熱装置よりも前記被圧延材の搬送方向下流側に配設されたデスケーリング装置、該デスケーリング装置よりも前記被圧延材の搬送方向下流側に配設された仕上圧延機列、該仕上圧延機列に配設された冷却手段、前記仕上圧延機列の直後に配設された急冷装置、並びに、前記加熱装置、前記冷却手段、及び、前記急冷装置の動作を制御可能な制御手段、を備え、前記制御手段によって前記加熱装置、前記冷却手段、及び、前記急冷装置の動作を制御することで、前記仕上圧延機列の入側における前記被圧延材の温度T1、前記仕上圧延機列の最終スタンドの入側における前記被圧延材の温度T2、及び、前記急冷装置の出側における前記被圧延材の温度T3を制御する、熱延鋼板の製造装置。前記加熱装置は、前記被圧延材を1100°C以上へと昇温可能であることを特徴とする、請求項7に記載の熱延鋼板の製造装置。前記加熱装置に、誘導加熱装置及び/又はガス燃焼炉が含まれる、請求項7又は8に記載の熱延鋼板の製造装置。前記加熱装置よりも前記被圧延材の搬送方向上流側に、前記被圧延材を粗圧延する粗圧延機が配置されている、請求項7~9のいずれか1項に記載の熱延鋼板の製造装置。前記加熱装置よりも前記被圧延材の搬送方向上流側に、前記被圧延材を巻き取るコイルボックスが配置されている、請求項7~10のいずれか1項に記載の熱延鋼板の製造装置。前記加熱装置よりも前記被圧延材の搬送方向上流側に温度検出手段が配設され、該温度検出手段を用いて検出した前記被圧延材の温度の検出結果に基づいて、前記温度T1、前記温度T2、及び、前記温度T3を制御することを特徴とする、請求項7~11のいずれか1項に記載の熱延鋼板の製造装置。特許文献1に開示されている技術は、仕上圧延前の粗バーのオーステナイト粒径を微細化することによって、仕上圧延後のフェライト粒の微細化を図るものである。オーステナイト粒径を微細化する手段として逆変態を利用するが、粗バーを冷却してベイナイト変態させた後、再加熱して逆変態を誘起して微細なオーステナイト組織を得るものである。実施例には1000°Cの粗バーを350°Cまで冷却した後、900°Cまで加熱する製造方法が記載されている。しかしながら、粗バーの温度を350°Cから900°Cまで550°Cも上昇させるには、多大なエネルギーが必要となり、その加熱装置も大規模なものとなる。さらに、酸化スケールを十分に除去するためには、仕上圧延前の粗バー温度を1100°C以上まで上昇させることが望ましいが、粗バーの温度を350°Cから1100°C以上まで750°C以上も上昇させなければならず、問題点はより拡大する。以上のように、特許文献1の技術は非常にエネルギー消費が大きく大規模設備も必要で、製品の製造コストが嵩むだけでなく、CO2削減の観点からも好ましくない。一方、特許文献2に開示されている技術は、微細な組織を有する鋼板を製造する技術ではないが、加熱装置の大型化を避け、効率的に仕上圧延機の入側温度を所定の温度まで上昇させると共に、仕上圧延機の出側温度を所定の温度に制御するもので、仕上圧延機入側と出側の鋼板温度を同時に制御する技術として限定すると、本発明との共通点は多い。しかし、特許文献2に開示の技術は効率的に鋼板温度を制御する手段として、粗バーの板厚と仕上圧延速度を修正しているが、微細粒組織の鋼板を製造するためには仕上圧延時に歪みの蓄積が必要で仕上圧延速度の低速化は望ましくなく、温度制御の目的だけで仕上圧延速度を自由に変更することはできない。さらに、仕上圧延後の鋼板冷却には強大な冷却能力が必要なため、狭い範囲に大量の冷却水を噴出する高水量密度の急冷装置を用いるが、大量の冷却水を短時間に増減させることが難しく、冷却能力の調整は最小限に留める必要があることから、加速圧延などの仕上圧延速度変化への対応が難しい。ところが、特許文献2の技術は仕上圧延中に仕上圧延機入側に留まる粗バー尾端部の温度低下を補償する手段が加熱装置だけしかなく、加熱に要するエネルギーを小さく抑えるためには、仕上圧延機入側に留まる時間を短縮することが必要となり、仕上圧延速度を徐々に高速化する加速圧延を実施しなければならず、仕上圧延速度の変化が避けられない。そこで、本発明は、微細な組織を有する、優れた機械的特性及び表面性状を備えた熱延鋼板を低コストで製造することが可能な熱延鋼板の製造方法及び製造装置を提供することを課題とする。微細な組織を有する鋼板を製造するために必要な条件は次の3つである。第1の条件は、仕上圧延の後段における高圧下率圧延によるオーステナイト粒の微細化及び圧延歪みの蓄積。第2は仕上圧延直後の急冷及び急冷開始時、及び、急冷終了時における鋼板温度の厳密な制御。第3の条件は酸化スケールの除去である。本発明者らは鋭意研究の結果、3つの条件を低コストで実現する手段を考案した。第1の条件であるオーステナイト粒の微細化と圧延歪みの蓄積には、必要な高圧下率を得るための仕上圧延ロール間隔の設定と、圧延歪みが解放されてしまわない圧延時間間隔となる仕上圧延速度の設定を行う。仕上圧延速度は仕上圧延機列の最も下流側のスタンドと、その1つ上流側のスタンドで圧延する時間間隔を1秒以内にすることが望ましい。第2の条件である、仕上圧延直後の急冷は、仕上圧延機列の最終スタンドの出側に配置され、最終スタンド内にその少なくとも一部が配置され、鋼板の片面に対し10m3/m2min以上の水量密度で鋼板の両面から冷却水を噴出可能な急冷装置にて実施する。次に、第2の条件の急冷開始時及び急冷終了時の鋼板温度の制御と、第3の条件である酸化スケールの除去について説明する。これらの実現には、圧延歪みの蓄積に必要な仕上圧延速度を保ちつつ、鋼板の急冷中に仕上圧延直後の急冷装置の冷却能力変更を極力行わないことが必要になるため、仕上圧延速度が限定され、かつ速度変化の生じない一定速度での圧延が求められる。仕上圧延速度一定の条件で、仕上圧延機入側での粗バー温度を酸化スケールの除去に適した温度に保つためには、加熱装置だけでも実施可能であるが、仕上圧延中に仕上圧延機入側に留まっている粗バーの尾端部が空冷によって温度低下する分の熱エネルギーまで補償しなければならず、大規模な加熱装置と多大なエネルギーが必要になってしまう。そこで、補熱装置であるコイルボックスを導入すると粗バー尾端部の温度低下の抑制が可能となり、小規模の加熱装置を組み合わせることで、少ないエネルギーで所定の温度を保つことが可能となる。また、薄スラブ連続鋳造からスタートする、いわゆるミニミルにおいても、仕上圧延機入側の温度を所定値以上に保つことにより、酸化スケールを容易に除去することができる。設備建造コスト低減の観点から、ミニミルでは仕上圧延機入側の加熱装置に効率の悪いガス燃焼式の炉を用いることが多いが、このようなミニミルを用いる形態によっても、設備費を含めたトータルコストの低減を図ることができる。次に、仕上圧延直後の急冷開始時の温度を所定の温度に保つためには、仕上圧延機列の間に設置された冷却装置を用い、冷却装置の冷却ヘッダー数の調整、または、冷却水量の調整、または、冷却ヘッダー数と冷却水量の両方を適切に設定して鋼板を所定の温度に制御する。最後に急冷終了後の鋼板温度を所定の温度に保つためには、急冷装置内の冷却ヘッダー数の調整、または、冷却水量の調整、または、冷却ヘッダー数と冷却水量の両方を適切に設定して制御する。急冷開始時の鋼板温度は所定の温度に保たれており、鋼板の急冷中に鋼板の速度変化は生じず、酸化スケールも十分に除去されているため、初期設定さえ適切であれば、冷却中に急冷装置の設定変更を行わずとも鋼板温度を高精度に制御することができる。以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするため、添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。本発明の第1の態様は、被圧延材1を加熱する加熱装置5、14、該加熱装置よりも被圧延材の搬送方向下流側に配設されたデスケーリング装置6、該デスケーリング装置よりも被圧延材の搬送方向下流側に配設された仕上圧延機列7、該仕上圧延機列に配設された冷却装置8、及び、前記仕上圧延機列の直後に配設された急冷装置9を用いて熱延鋼板を製造する際に、加熱装置、冷却装置、及び、急冷装置の動作を制御することにより、仕上圧延機列の入側における被圧延材の温度T1、仕上圧延機列の最終スタンド7gの入側における被圧延材の温度T2、及び、急冷装置の出側における被圧延材の温度T3を制御することを特徴とする、熱延鋼板の製造方法である。ここに、本発明において、仕上圧延機列の直後に配設された急冷装置9とは、仕上圧延機列7の最終スタンド7gによって仕上圧延された直後の被圧延材1を急冷可能なように配設された急冷装置9を言う。より具体的には、例えば、仕上圧延機列7の最終スタンド7g内にその少なくとも一部が配置され、被圧延材1の片面に対し10m3/m2min以上の水量密度で被圧延材1の両面から冷却水を被圧延材1の板幅方向の全体に亘って噴射することによって、被冷却材1の温度を600°C/s以上、好ましくは1000°C/s以上の速度で低下させ得る急冷装置9を言う。また、上記本発明の第1の態様において、被圧延材1は、加熱装置5、14を用いて、1100°C以上へと昇温されても良い。また、上記本発明の第1の態様において、加熱装置に、誘導加熱装置5及び/又はガス燃焼炉14が含まれることが好ましい。また、上記本発明の第1の態様において、加熱装置5、14よりも被圧延材1の搬送方向上流側に配置された粗圧延機3によって、加熱装置で加熱される被圧延材が粗圧延されていても良い。また、上記本発明の第1の態様において、加熱装置5よりも被圧延材1の搬送方向上流側に、被圧延材を巻き取るコイルボックス4が配置され、該コイルボックスから払い出された被圧延材が加熱装置で加熱されることが好ましい。また、上記本発明の第1の態様において、加熱装置5よりも被圧延材1の搬送方向上流側に配設された温度検出手段10を用いて検出した被圧延材の温度の検出結果に基づいて、温度T1、温度T2、及び、温度T3を制御することが好ましい。本発明の第2の態様は、被圧延材1を加熱する加熱装置5、14、該加熱装置よりも被圧延材の搬送方向下流側に配設されたデスケーリング装置6、該デスケーリング装置よりも被圧延材の搬送方向下流側に配設された仕上圧延機列7、該仕上圧延機列に配設された冷却手段8、仕上圧延機列の直後に配設された急冷装置9、並びに、加熱装置、冷却手段、及び、急冷装置の動作を制御可能な制御手段20、を備え、該制御手段によって加熱装置、冷却手段、及び、急冷装置の動作を制御することで、仕上圧延機列の入側における被圧延材の温度T1、仕上圧延機列の最終スタンド7gの入側における被圧延材の温度T2、及び、急冷装置の出側における被圧延材の温度T3を制御する、熱延鋼板の製造装置30、31、32である。また、上記本発明の第2の態様において、加熱装置5、14は、被圧延材1を1100°C以上へと昇温可能であっても良い。また、上記本発明の第2の態様において、加熱装置に、誘導加熱装置5及び/又はガス燃焼炉14が含まれることが好ましい。また、上記本発明の第2の態様において、加熱装置5、14よりも被圧延材1の搬送方向上流側に、被圧延材を粗圧延する粗圧延機3が配置されていても良い。また、上記本発明の第2の態様において、加熱装置5よりも被圧延材1の搬送方向上流側に、被圧延材を巻き取るコイルボックス4が配置されていることが好ましい。また、上記本発明の第2の態様において、加熱装置5よりも被圧延材1の搬送方向上流側に温度検出手段10が配設され、該温度検出手段を用いて検出した被圧延材の温度の検出結果に基づいて、温度T1、温度T2、及び、温度T3を制御することが好ましい。本発明の第1の態様では、加熱装置5、14、冷却手段8、及び、急冷装置9の動作を制御することによって、温度T1、温度T2、及び、温度T3が制御される。かかる形態とすることにより、従来技術と比較すると、温度T1を目標温度に上昇させるために必要とされるエネルギーが小さく、設備コスト及びエネルギーコストを削減することが可能になる。さらに、加速圧延の実施が不要になり、温度制御の外乱となる仕上圧延速度の変化が生じない。そのため、本発明の第1の態様によれば、温度T2及び温度T3を高精度に制御することが可能になり、製品の品質を向上させることが可能になる。したがって、本発明の第1の態様によれば、微細な組織を有する、優れた機械的特性及び表面性状を備えた熱延鋼板を低コストで製造することが可能な、熱延鋼板の製造方法を提供することができる。また、本発明の第1の態様において、加熱装置5、14を用いて粗圧延材1が1100°C以上に昇温されることにより、被圧延材にSiが含有されている場合に母材と酸化スケールとの境界部に生成される酸化物を溶融させることが可能になるので、酸化スケールを除去しやすくなり、その結果、表面性状を向上させやすくなる。また、加熱装置に特に誘導加熱装置5が含まれていることにより、温度が低下した部位を集中的に加熱することも容易になるので、温度T1が高精度に制御できると共に、エネルギーコストを削減しやすくなる。また、本発明の第1の態様では粗圧延機3やコイルボックス4を用いることができ、特にコイルボックス4を用いることにより、被圧延材の尾端部における温度低下が防止されるため、温度T1を目標温度に上昇させるために必要とされるエネルギーを低減して設備コスト及びエネルギーコストを削減することが容易になる。また、本発明の第1の態様において、温度検出手段10を用いて検出した被圧延材1の温度の検出結果に基づいて温度T1、温度T2、及び、温度T3を制御することにより、温度T1、温度T2、及び、温度T3を高精度に制御することが容易になる。本発明の第2の態様では、加熱装置5、14、冷却手段8、及び、急冷装置9の動作を制御して、温度T1、温度T2、及び、温度T3を制御する、制御手段20が備えられている。そのため、本発明の第2の態様によれば、微細な組織を有する、優れた機械的特性及び表面性状を備えた熱延鋼板を低コストで製造することが可能な、熱延鋼板の製造装置30、31、32を提供することができる。また、本発明の第2の態様において、加熱装置5、14を用いて粗圧延材1が1100°C以上に昇温されることにより、被圧延材にSiが含有されている場合に母材と酸化スケールとの境界部に生成される酸化物を溶融させることが可能になるので、酸化スケールを除去しやすくなり、その結果、表面性状を向上させやすくなる。また、加熱装置に特に誘導加熱装置5が含まれていることにより、温度が低下した部位を集中的に加熱することも容易になるので、温度T1が高精度に制御できると共に、エネルギーコストを削減しやすくなる。また、本発明の第2の態様においても粗圧延機3やコイルボックス4を用いることができ、特にコイルボックス4を用いることにより、被圧延材の尾端部における温度低下が防止されるため、温度T1を目標温度に上昇させるために必要とされるエネルギーを低減して設備コスト及びエネルギーコストを削減することが容易になる。また、本発明の第2の態様において、温度検出手段10を用いて検出した被圧延材1の温度の検出結果に基づいて温度T1、温度T2、及び、温度T3を制御することにより、温度T1、温度T2、及び、温度T3を高精度に制御することが容易になる。以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面に示す形態は本発明の例示であり、本発明は図示の形態に限定されるものではない。以下の説明において、被圧延材の搬送方向下流側を単に下流側と表記し、被圧延材の搬送方向上流側を単に上流側と表記する。図1は、本発明の熱延鋼板の製造装置30以下において、単に製造装置30ということがある。の形態例を簡略化して示す概念図である。図1において、被圧延材1は、紙面の左側から右側へと向かう方向に移動する。図1に示すように、被圧延材1を圧延して熱延鋼板を製造する製造装置30は、粗圧延機3、該粗圧延機3の下流側に設置されたコイルボックス4、該コイルボックス4の下流側に設置された温度センサ10、該温度センサ10の下流側に設置された加熱装置5、該加熱装置5の下流側に設置されたスタンド7a~7gを有する仕上圧延機列7、該仕上圧延機列7の入側上流側に配置されたデスケーリング装置6、加熱装置5とデスケーリング装置6との間に設置された温度センサ11、仕上圧延機列7に配設された冷却手段8、スタンド7fとスタンド7gとの間に設置された温度センサ12、仕上圧延機列7の下流側に設置された急冷装置9、及び、急冷装置9の下流側に設置された温度センサ13を備え、さらに、加熱装置5、冷却装置8、及び、急冷装置9の動作を制御可能な制御手段20を備えている。製造装置30において、粗圧延機3は、加熱炉2から抽出されたスラブを、所定の厚さの粗バーへと粗圧延する設備である。粗圧延機3によって粗圧延された粗バーは、コイルボックス4によってコイル状に巻き取られ、粗バーからの放熱を抑制することにより、粗バーの温度低下を防止する。コイル状に巻き取られた粗バーは、コイルボックス4から払い出された後、温度センサ10によって温度を測定され、加熱装置5を経て仕上圧延機列7へと達する。仕上圧延機列7はタンデム圧延機であり、7基のスタンド7a~7gによって粗バーを連続的に圧延することにより、所定の仕上厚の被圧延材とされる。仕上圧延機列7によって圧延された被圧延材は、その後、急冷装置9によって冷却される。加熱装置5は、コイルボックス4から払い出された粗バーを加熱するための装置であり、誘導加熱等の公知の方法によって粗バーを板幅方向の全体に亘って加熱することにより、粗バーの温度を上昇させる。また、冷却装置8は、スタンド7aとスタンド7bとの間に配設された冷却装置8a、スタンド7bとスタンド7cとの間に配設された冷却装置8b、スタンド7cとスタンド7dとの間に配設された冷却装置8c、スタンド7dとスタンド7eとの間に配設された冷却装置8d、及び、スタンド7eとスタンド7fとの間に配設された冷却装置8eを有しており、冷却装置8a、8b、8c、8d、8eは、冷却水を被圧延材の板幅方向の全体に亘って噴射することによって、被冷却材の温度を低下させる。急冷装置9は仕上圧延機列7の最終スタンド7gの出側に配置され、最終スタンド7g内にその少なくとも一部が配置され、鋼板の片面に対し10m3/m2min以上の水量密度で鋼板の両面から冷却水を被圧延材の板幅方向の全体に亘って噴射することによって、被圧延材の温度を低下させる。製造装置30では、加熱装置5、冷却装置8、及び、急冷装置9を適切に作動させることにより、仕上圧延機列7の入側スタンド7aの上流側における被圧延材1の温度T1、仕上圧延機列7の最終スタンド入側スタンド7gの上流側における被圧延材1の温度T2、及び、急冷装置9の出側における被圧延材1の温度T3を制御する。制御手段20は、温度センサ10による粗バーの温度検出結果に基づいて、加熱装置5、冷却装置8、及び、急冷装置9の動作を制御する機器である。温度センサ10によって検出された粗バーの温度は、制御手段20によって、粗バーの長手方向の定長ピッチに与えられる各サンプリング点と対応させてサンプリングされる。次に、制御手段20は図示しない圧延ライン総括計算機圧延ラインの全体を監視し、被圧延材の情報や圧延情報等を出力するプロセスコンピュータから送信された粗圧延機3と仕上圧延機列7との間の搬送テーブルの搬送速度パターンの設定値と、仕上圧延機列7の圧延速度パターンの設定値に基づいて、粗バーの各サンプリング点が加熱装置5の出側及び仕上圧延機列7の最終スタンド7gの入側及び急冷装置9の出側に到達するタイミングが計算される。さらに、圧延ライン総括計算機から送信された粗バーの板厚及び仕上圧延機列7の板厚設定値を用いて、温度センサ10によって検出された粗バーの温度を初期値として、下記式1~式9に基づいて、加熱装置5の出側、仕上圧延機列7の最終スタンド7gの入側、及び、急冷装置9の出側のそれぞれにサンプリング点が到達する際の温度を計算により予測する。T1c=T0ΔTBH-ΔTa式1T2c=T1c-ΔTs-ΔTa-ΔTrΔTq式2T3c=T2c-ΔTc-ΔTa-ΔTr式3ΔTBH=P/cρHBV式4ΔTs=hsT-Twtw/cρH式5ΔTc=hcT-Twtw/cρH式6ΔTa=haT-Tata/cρH式7ΔTr=hrT-Trtr/cρH式8ΔTq=Gη/cρH式9式1~式9において、T1cは加熱装置5の出側温度[°C]、T2cは仕上圧延機列7の最終スタンド7gの入側温度[°C]、T3cは急冷装置9の出側温度[°C]、T0は粗バーの初期温度[°C]、ΔTBHは加熱装置5による温度上昇量[°C]、ΔTsは冷却装置8による温度低下量[°C]、ΔTcは急冷装置9による温度低下量[°C]、ΔTaは空冷による温度低下量[°C]、ΔTrはロール接触による温度低下量[°C]、ΔTqは圧延時の加工発熱による温度上昇量[°C]である。また、tw、ta、trは、それぞれ、水冷、空冷、仕上圧延に要した時間[s]であり、それぞれ、仕上圧延機列7や搬送テーブルの速度パターンから算出される。また、Twは冷却装置8及び急冷装置9から噴射される冷却水の温度[°C]、Taは空気の温度[°C]、Trは仕上圧延機列7の圧延ロールの表面温度[°C]であり、hs、hc、ha、hrは、それぞれ、水冷、水冷、空冷、仕上圧延機列7の圧延ロールとの接触による熱伝達係数[W/m2°C]である。また、c、ρ、Hは、それぞれ、被圧延材1の比熱[J/kg°C]、密度[kg/m3]、厚さ[m]である。Gは圧延トルク[Nm]、ηは圧延トルクが加工発熱に変化する割合である。Pは加熱装置5の実効出力[W]、Bは被圧延材の板幅[m]、Vは粗バーが加熱装置5を通過する際の速度[m/s]である。製造装置30では制御装置20で、上記式1~式9を用いた温度計算を行うことにより、加熱装置5による粗バーの温度上昇量温度T1を目標値とするために必要とされる温度上昇量、及び、冷却装置8による被圧延材1の温度低下量温度T2を目標値とするために必要とされる温度低下量、及び、急冷装置9による被圧延材1の温度低下量温度T3を目標値とするために必要とされる温度低下量が算出される。本発明において、温度上昇量の調整は、加熱装置5の実効出力Pを調整することにより行われ、温度低下量の調整は、冷却装置8及び急冷装置9から噴射される冷却水の水量を調整することにより行われる。本発明では、さらに、温度センサ11の検出値と温度T1の目標値との差を縮減するように加熱装置5の実効出力Pを調整すれば、さらに、高精度に温度制御を実施することが可能になる。同様に、温度センサ12の検出値を用いて冷却装置8の冷却水量調整を実施することにより、温度T2を高精度に制御することができ、温度センサ13の検出値を用いて急冷装置9の冷却水量調整を実施することにより、温度T3を高精度に制御することができる。このように、本発明によれば、温度センサ10によって検出した粗バーの温度に基づいて加熱装置5を適切に作動させることによって、仕上圧延機列7の入側における被圧延材1の温度T1を目標値に制御することが可能になる。続いて、冷却装置8を適切に作動させることによって、仕上圧延機列7の最終スタンド7gの入側における被圧延材1の温度T2を目標値に制御することが可能で、さらに、急冷装置9を適切に作動させることによって被圧延材1の温度T3を目標値に制御することが可能になる。温度T1を目標値へ制御することにより、デスケーリング装置6によって被圧延材1の表面の酸化スケールを容易に除去することが可能になる。また、温度T2と温度T3を目標値へ制御することにより、微細で均一な組織を有する鋼板の製造が可能となる。したがって、本発明によれば、表面性状が良好な微細で均一な組織を有する熱延鋼板の製造方法を提供することができ、当該製造方法を適用することが可能な製造装置30を提供することができる。さらに、製造装置30にはコイルボックス4が備えられており、粗バー尾端部の温度低下を抑制できる。それゆえ、加熱装置5に必要とされる加熱量を比較的小さな加熱量に留めることができる。したがって、大規模な加熱設備が不要になるので、本発明によれば、設備コスト及びエネルギーコストを抑制することができる。また、本発明によれば、加速圧延の実施が不要になるので、温度制御の外乱となる仕上圧延速度の変化が生じない。そのため、本発明によれば、温度T2及び温度T3を高精度に制御することが可能になり、優れた機械的特性及び表面性状を備えた熱延鋼板を製造することが可能になる。なお、急冷装置9は、仕上圧延機列7の出側に存在する被圧延材1を冷却可能に構成されていれば、その形態は特に限定されるものではない。ただし、例えば平均粒径が2μm以下のフェライト結晶粒を有する熱延鋼板以下において、超微細粒鋼という。を製造可能にする等の観点からは、スタンド7gによる圧延終了から0.2秒以内に600°C/s以上の冷却速度で被圧延材を急冷可能なように構成されていることが好ましい。急冷装置9をこのような形態とすることにより、表面性状を向上させた超微細粒鋼を製造することが可能な熱延鋼板の製造方法、及び、この製造方法を適用することが可能な製造装置10を提供することができる。また、上記式4~式9における比熱は、被圧延材の材質成分の影響を受けると共に、鋼板の温度によっても変化する。これは、鋼板が冷却されて鋼板の温度か降下する際、鋼板の結晶構造がオーステナイト相からフェライト相に変態するためで、オーステナイト相とフェライト相で比熱が異なり、かつ変態する温度が被圧延材の材質成分によって異なるためである。したがって、本発明では、より正確な温度計算を可能にする等の観点から、被圧延材の材質と温度によって比熱の値を変えることが好ましい。本発明による熱延鋼板の製造条件を以下に示す。鋼板のサイズは、製品板厚2mm、製品板幅1000mm、製品重量15tで、C:0.10質量、Mn:1.00質量、及び、Si:0.05質量を含有する高張力鋼板を、図1に示した製造装置30、図2に示した製造装置31、及び、図3に示した製造装置32を用いて製造するシミュレーションを実施した実施例1~3。仕上圧延条件は、7スタンドの仕上圧延機列7で、各スタンドの間隔は5.5m、後段側3スタンド7e~7gの圧下率は30とした。また、仕上圧延機列7の最終スタンド7gと、その1つ上流側のスタンド7fで圧延する時間間隔は0.76秒と圧延歪みの蓄積に適した条件とした。実施例1では、上記製造条件で製造装置30を用いたシミュレーションを実施した。加熱炉2でスラブを所定の温度まで加熱し、粗圧延機3で所定の厚みまで圧延して粗バーを生成する。粗バーはコイルボックス4でコイル状に巻き取った後、払い出して仕上圧延機列7で圧延するが、仕上圧延機列7の前に設置された加熱装置5で所定の温度T1まで加熱する。この加熱装置5は誘導加熱装置で加熱効率が高く、製造ライン上に占める体積も小さい。加熱した粗バーを仕上圧延機列7で所定の板厚に圧延すると共に、冷却装置8を用いて仕上圧延機列7の最終スタンド7gの前で所定の温度T2に冷却した後、急冷装置9を用いて急冷装置出側で所定の温度T3となるように冷却した。実施例2では、上記製造条件で、図2に示した製造装置31を用いたシミュレーションを実施した。製造装置31では、薄スラブ連続鋳造装置15で鋳造したスラブを、粗圧延機3で所定の厚みまで圧延して粗バーを生成する。粗バーは、仕上圧延機列7の前に設置された加熱装置14で所定の温度T1まで加熱される。この加熱装置14はガス燃焼炉で、誘導加熱方式の加熱装置5と比較すると単位面積あたりの加熱能力は小さいが、炉長が長いため必要な温度まで昇温可能なものである。仕上圧延機列7の入側以降は実施例1と同じである。実施例3では、上記製造条件で、図3に示した製造装置32を用いたシミュレーションを実施した。製造装置32では、薄スラブ製造装置15で鋳造したスラブは粗圧延工程を経ることなく、仕上圧延機列7の前に設置された加熱装置14で所定の温度T1まで加熱される。この加熱装置14は実施例2と同様のもので、仕上圧延機列7入側以降は実施例1と同じである。実施例1~3のシミュレーション条件を表1~表3に、実施例1~3による製造鋼板の平均フェライト粒径の結果を表3に、それぞれ示す。表3に記載した加熱装置の加熱効率は、誘導加熱装置の加熱効率とガス燃焼炉の加熱効率の比率を示したものである。ここでの加熱効率は、加熱装置に投入したエネルギーと鋼板に加えられる熱エネルギーの比率である。実施例2及び実施例3で用いたガス燃焼炉加熱装置14は炉体から漏出する熱量が大きいため、実施例1で用いた誘導加熱装置加熱装置5の43の加熱効率に留まる。なお、実施例3で用いた製造装置32は粗圧延機を有していないため、粗圧延後の温度は想定されない。そこで、これに対応する温度として、実施例3では、加熱装置14の入側における被圧延材の温度1000°Cを、表1の粗圧延後の欄に記載した。同様に、実施例3では粗圧延後の板厚が想定されない。そこで、これに対応する板厚として、実施例3では、加熱装置14の入側における被圧延材の板厚50mmを、表2の粗圧延後の欄に記載した。また、特許文献1に記載の製造方法を比較例1とし、特許文献2に記載の製造方法を比較例2としたシミュレーション条件を表1~表3に、比較例1による製造鋼板の平均フェライト粒径の結果を表3に、それぞれ示す。比較例1及び比較例2では、誘導加熱装置を用いた。なお、比較例2は微細粒鋼の製造方法ではないが、仕上圧延機入側温度及び仕上圧延機出側温度を同時に制御する技術として比較している。比較例2は微細粒鋼の製造方法ではないため、製造鋼板の平均フェライト粒径の結果は記載していない。表1に示したように、実施例1~3の本発明例、及び、比較例1は、製造鋼板の平均フェライト粒径が同じ2μmであった。ところが、本発明例では粗バー冷却及び再加熱が不要なため、加熱装置の設備容量及び加熱に要するエネルギーが比較例1よりも極めて少なく、鋼板を製造するためのコストを低く抑えることが可能であった。次に、比較例2と比較しても、実施例1は、加熱装置の容量及び加熱に要するエネルギーが明らかに小さく、仕上圧延機列の入側及び出側における被圧延材の温度を制御するための技術として捉えても、本発明の方が明らかに優位であった。なお、実施例2及び実施例3は、加熱装置の必要加熱エネルギーでは、実施例1及び比較例2に劣るが、実施例2及び実施例3は設備コストが低いというメリットがあり、選択の余地がある。以上、現時点において実践的であり、かつ好ましいと思われる実施形態に関連して本発明を説明したが、本発明は本願明細書中に開示された実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う熱延鋼板の製造方法及び熱延鋼板の製造装置も本発明の技術的範囲に包含されるものとして理解されなければならない。