"双アーム基板移送ロボットであって、前記移送ロボットを中心軸のまわりに回転させるための中央アクチュエータと、第1の端部およびほぼ反対側の第2の端部を有する連結アームであって、前記第1の端部と前記第2の端部の間の前記連結アームの中央近辺で前記中央アクチュエータに結合される、連結アームと、前記連結アームの前記第1の端部に回転可能なように結合された第1のフォアアームと、前記連結アームの前記第2の端部に回転可能なように結合された第2のフォアアームと、前記連結アームに対する前記第1のフォアアームの前記回転を制御するための第1のフォアアームアクチュエータと、前記連結アームに対する前記第2のフォアアームの前記回転を制御するための第2のフォアアームアクチュエータとを備え、前記第1のフォアアームアクチュエータおよび前記第2のフォアアームアクチュエータは、前記中央アクチュエータから横方向にずらされる双アーム基板移送ロボット。前記第1のフォアアームの第1の端部に回転可能なように結合された第1のエンドエフェクタと、前記第2のフォアアームの第1の端部に回転可能なように結合された第2のエンドエフェクタとをさらに備え、各エンドエフェクタは、前記エンドエフェクタの上の基板を支持するように構成される請求項1に記載の基板移送ロボット。前記第1のフォアアームおよび前記第2のフォアアームのそれぞれが、前記エンドエフェクタに結合され、前記第1のフォアアームおよび前記第2のフォアアームのそれぞれの前記第1の端部に回転可能なように結合された第1のプーリと、前記第1のフォアアームおよび前記第2のフォアアームの前記第1の端部と反対側の第2の端部に結合され、前記連結アームに固定的に結合された第2のプーリと、前記第1のフォアアームアクチュエータまたは前記第2のフォアアームアクチュエータの作動が、前記第1のフォアアームまたは前記第2のフォアアームに対する前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタのそれぞれの回転を引き起こすように、前記第1のプーリを前記第2のプーリに結合するベルトとをさらに備える請求項2に記載の基板移送ロボット。前記第1のプーリと前記第2のプーリの間の中心間の距離が前記第1のプーリと前記中心軸の間の中心間の距離に等しく、前記第1のプーリおよび前記第2のプーリは、前記第1のプーリと前記第2のプーリのサイズの比がおよそ2:1である請求項3に記載の基板移送ロボット。基板処理システムの移送チャンバ内に配置される請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。前記移送チャンバが、前記基板移送ロボットを前記移送チャンバに結合するための底面であって、前記第1のフォアアームアクチュエータ、前記第2のフォアアームアクチュエータ、および前記中央アクチュエータが前記移送チャンバ内で回転することを可能にするための複数の凹部を備える、前記底面を備える請求項5に記載の基板移送ロボット。前記基板移送ロボットの垂直移動を制御するための、前記中央アクチュエータに結合されたリフトをさらに備える請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。前記リフトが、リフトアクチュエータと、前記リフトアクチュエータを前記中央アクチュエータに結合する運び台とを備え、前記リフトアクチュエータが、前記運び台の垂直移動を制御する請求項7に記載の基板移送ロボット。前記中央アクチュエータ、前記第1のフォアアームアクチュエータ、および前記第2のフォアアームアクチュエータが、回転油圧ポンプ、電気モータ、油圧モータ、または空気圧モータである請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。前記第1のフォアアームを前記第1のフォアアームアクチュエータに回転可能なように結合して前記第1のフォアアームアクチュエータから前記フォアアームに回転エネルギーを伝達する第1のギアボックスと、前記第2のフォアアームを前記第2のフォアアームアクチュエータに回転可能なように結合して前記第2のフォアアームアクチュエータから前記第2のフォアアームに回転エネルギーを伝達する第2のギアボックスとをさらに備える請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。前記第1のフォアアームアクチュエータの回転軸、前記第2のフォアアームアクチュエータの回転軸、および前記中心軸が同一平面上にある請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。前記第1のフォアアームアクチュエータの回転軸および前記第2のフォアアームアクチュエータの回転軸が、互いに対して同一平面上にあり、前記中心軸に対してずれている請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。前記第1のフォアアームおよび前記第2のフォアアームのそれぞれが、前記連結アームの長さの2分の1に実質的に等しい長さを有する請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。前記第1のフォアアームおよび前記第2のフォアアームのそれぞれが、前記連結アームの長さの2分の1よりも長い長さを有する請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。前記第1のフォアアームアクチュエータおよび前記第2のフォアアームアクチュエータのそれぞれが、大部分、前記連結アームの下に配置される請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。理解しやすくするために、可能な場合、図面に共通である同一の要素を示すために同一の参照番号を使用した。図面は、正確な縮尺で描かれておらず、明瞭にするために単純化されている場合がある。1つの実施形態の要素および特徴は、さらに詳細な説明がなくても、その他の実施形態に有利に組み込まれ得ると考えられる。本発明の実施形態は、概して、一体型基板製造システムで使用するための基板移送ロボットに関する。有利なことに、発明の基板移送ロボットは、共通の連結アームと、移送ロボットのアームを個々に制御するための別々の横方向にずらした回転アクチュエータとを設け、そのため、移送ロボットの全体的なサイズを削減しながら移送ロボットを制御し易くし、その結果、移送ロボットが容易に取り付けられ、整備されることを可能にする。図1は、本明細書において開示される本発明の装置で使用するために好適な場合がある例示的なマルチチャンバ処理システム100の概略上面図である。本明細書で与えられる教示にしたがって適切に修正され得る好適なマルチチャンバ処理システムの例としては、California州SantaClaraにあるAppliedMaterials,Inc.から販売されているENDURA登録商標、CENTURA登録商標、およびPRODUCER登録商標GT商標などのPRODUCER登録商標処理システム、ADVANTEDGE商標処理システム、またはその他の好適な処理システムが挙げられる。その他の製造業者の処理システムを含むその他の処理システムが本発明から恩恵を受けるように適合されてよいと考えられる。一部の実施形態において、処理システム100は、概して、真空気密処理プラットフォーム102と、ファクトリインターフェース104と、システムコントローラ140とを備えることができる。プラットフォーム102は、移送チャンバ188に結合されている複数のプロセスチャンバ190A~Fおよび2つが示されている少なくとも1つのロードロックチャンバ184を含み得る。図2および図3に関連して以下で説明される移送ロボット106は、ロードロックチャンバ184とプロセスチャンバ190A~Fの間で基板を移送するために移送チャンバ188の中央に配置される。プロセスチャンバ190A~Fは、原子層堆積ALD、化学気相堆積CVD、物理的気相堆積PVDを含む層堆積、エッチング、前洗浄、脱気、配向および心出し、アニール、ならびにその他の基板プロセスを含むさまざまな機能を実行するように構成され得る。プロセスチャンバ190A~Fのそれぞれは、プロセスチャンバ190A~Fのそれぞれの内部体積を移送チャンバ188の内部体積に選択的に流体で結合するためのスリットバルブまたはその他の選択的に密閉可能な開口を含み得る。同様に、各ロードロックチャンバ184は、ロードロックチャンバ184のそれぞれの内部体積を移送チャンバ188の内部体積に選択的に流体で結合するためのポートを含み得る。ファクトリインターフェース104は、ロードロックチャンバ184を介して移送チャンバ188に結合される。一部の実施形態において、ロードロックチャンバ184のそれぞれは、ファクトリインターフェース102に結合された第1のポート123と、移送チャンバ188に結合された第2のポート125とを含み得る。ロードロックチャンバ184は、移送チャンバ188の真空環境とファクトリインターフェース104の実質的な周囲例えば、大気環境の間で基板を受け渡すことを容易にするためにロードロックチャンバ184の空気を抜き、排気する圧力制御システムに結合され得る。一部の実施形態において、ファクトリインターフェース104は、基板を処理のためにロードロックチャンバ184を通じてファクトリインターフェース104から処理プラットフォーム102に移送することを容易にするための少なくとも1つのドッキングステーション183および1つが示されている少なくとも1つのファクトリインターフェースロボット185を備える。ドッキングステーション183は、4つが示されている1つまたは複数の前方開口型統一ポッドFOUP187A~Dを受けるように構成される。任意選択で、1つまたは複数の計測ステーション図示せずが、FOUP187A~Dからの基板の測定を容易にするためにファクトリインターフェース104に結合され得る。一部の実施形態において、ファクトリインターフェース104内に配置されたファクトリインターフェースロボット185は、ロードロックチャンバ184と複数のFOUP187A~Dの間で基板のカセットを往復移送するために直線または回転移動する矢印182ことができる。システムコントローラ140は、処理プラットフォーム102およびファクトリインターフェース104の構成要素すなわち、プロセスチャンバ190A~F、移送ロボット102などのうちの1つもしくは複数の直接制御を用いて、または代替的にプロセス処理プラットフォーム102およびファクトリインターフェース104の構成要素に関連するコンピュータもしくはコントローラを制御することによって処理システム100の動作を制御する。一部の実施形態においては、システムコントローラ140は、処理システム100の性能を最適化するために、処理システム100の構成要素からのデータ収集およびフィードバックを可能にする。一部の実施形態において、システムコントローラ140は、概して、中央処理装置CPU142、メモリ144、および補助回路146を含む。CPU142は、工業環境で使用可能な任意の形態の汎用コンピュータプロセッサのうちの1つであってよい。メモリ144またはコンピュータ可読媒体は、CPU138がアクセス可能であり、ランダムアクセスメモリRAM、読み出し専用メモリROM、フロッピー登録商標ディスク、ハードディスク、またはローカルもしくはリモートの任意のその他の形態のデジタルストレージなどの容易に入手可能なメモリのうちの1つまたは複数であってよい。補助回路146は、通常、CPU142に結合され、キャッシュ、クロック回路、入力/出力サブシステム、電源などを備えてよい。基板のスループットを向上させるために、移送ロボット106は、2つの基板を同時に扱うことができる双アーム基板移送ロボットである。例えば、図2Aを参照すると、一部の実施形態において、移送ロボット106は、概して、中央アクチュエータ206に結合された連結アーム204と、連結アーム204の第1の端部210に回転可能なように結合された第1のフォアアーム208と、連結アーム204の第2の端部214に回転可能なように結合された第2のフォアアーム212とを備える。第1のフォアアームアクチュエータ230が、連結アーム204の第1の端部210に結合され、連結アーム204に対する第1のフォアアーム208の回転を制御するように構成され、第2のフォアアームアクチュエータ228が、連結アーム204の第2の端部214に結合され、連結アーム204に対する第2のフォアアーム212の回転を制御するように構成される。中央アクチュエータ206は、連結アーム204を支持し、連結アーム204の、中心軸226のまわりの回転移動を容易にする。中央アクチュエータ206は、例えば、油圧モータ、空気圧モータなどの機械モータ、またはサーボモータ、ステッピングモータなどの電気モータなどの、上述の回転移動を行うことができる任意の回転アクチュエータであってよい。一部の実施形態において、中央アクチュエータ206および連結アーム204は、正確な移動を容易にし、中央アクチュエータ206から連結アーム204へのエネルギーの効率的な伝達を容易にするための調整可能なギア比を提供するギアボックスまたは波動歯車システムなどの機械式ギアシステム267に結合され得る。中央アクチュエータ206が電気モータである実施形態においては、電気フィードスルー264および/またはスリップリング266が、電源図示せずから中央アクチュエータ206に電力が流れやすくするために中央アクチュエータ206に結合され得る。一部の実施形態において、中央アクチュエータ206は、移送ロボット106の垂直移動を容易にするためのリフト246に結合され得る。一部の実施形態において、リフト246は、概して、ハウジング250に結合され、中央アクチュエータ206の垂直移動を行うように構成されたリフトアクチュエータ256を備えてよい。一部の実施形態においては、ベローズ265が、真空密閉を行って移送チャンバ188の内部体積242内の所望の雰囲気例えば、真空状態を維持することを容易にするためにハウジング250およびリフトアクチュエータ256に結合される。リフトアクチュエータ256は、中央アクチュエータ206の垂直運動を行うために好適な任意のアクチュエータを備えてよい。例えば、一部の実施形態において、リフトアクチュエータ256は、ボールねじ260のねじ山が切られたシャフト258に結合された回転アクチュエータ262を備えてよい。そのような実施形態において、ボールねじ260は、運び台254を介して中央アクチュエータ206に結合され得る。一部の実施形態において、運び台254は、運び台254の滑らかで正確な移動を容易にするための1つが示されている1つまたは複数のガイドレール268に移動可能なように結合され得る。動作の際、回転アクチュエータ262が、ねじ山の切られたシャフト258を回転させ、ボールねじ260の垂直移動、ひいては、運び台254の垂直移動を引き起こし、そのため中央アクチュエータ206の移動を容易にする。図2Aは中央アクチュエータ206の底部299の近辺で中央アクチュエータ206に結合された運び台254を示すが、運び台254は、中央アクチュエータ206に任意の位置で結合され得る。例えば、図2Bに示されるような一部の実施形態においては、運び台254は、中央アクチュエータ206の頂部298の近辺で中央アクチュエータ206に結合され得る。そのような実施形態においては、中央アクチュエータ206は、運び台254の貫通孔295内に配置されたシャフト297を介して連結アーム204に結合され得る。一部の実施形態において、シャフト297は、プレート293を介して連結アーム204に結合され得る。運び台254を中央アクチュエータ206の頂部298の近辺で中央アクチュエータ206に結合することによって、真空の雰囲気などの所望の雰囲気に維持されている内部体積242と所望の雰囲気に維持されていない外部体積243の間の仕切りが、中央アクチュエータ206の上に位置し、その結果、移送チャンバ188の内部体積242に進入する必要なしに中央アクチュエータ206が整備されることを可能にする。図2Aに戻ると、移送ロボット106は、移送ロボット106が基板の移動を容易にすることを可能にするために十分な安定性をもたらすことに適した任意の方法で移送チャンバ188の内部体積242に結合され得る。一部の実施形態においては、移送チャンバ188の底面232が、中央アクチュエータ206、第1のフォアアームアクチュエータ230、および第2のフォアアームアクチュエータ228のサイズおよび移動を受け入れるように構成された1つまたは複数の凹部すなわち、第1の凹部234および第2の凹部244を備えてよい。例えば、そのような実施形態において、第2の凹部244は、中央アクチュエータ206が移送チャンバ188の中心軸226まわりに移送ロボット106を回転させるときに第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228が第2の凹部244の中を動くことを可能にする環状の経路を提供することができる。1つまたは複数の凹部は、存在するとき、移送ロボット106の全高を受け入れるために必要な内部体積242のサイズを削減する。移送チャンバ188の内部体積242のサイズを削減することは、所望の雰囲気例えば、真空状態を得るために空気を抜かれる必要がある体積をより小さくする。さらに、利用可能な物理的空間が小さい既存の機器において、移送ロボットの高さが低いことは、適切に修正された既存の機器に移送ロボット106を組み込むことを容易にする。一部の実施形態において、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、連結アーム204の両端すなわち、それぞれ第1の端部210および第2の端部214に結合され、中央アクチュエータ206から横方向にずらした位置に置かれる。横方向にずらした構成で中央アクチュエータ206、第1のフォアアームアクチュエータ230、および第2のフォアアームアクチュエータ228を設けることは、連結アーム204の下に互いに積み重ねられた複数のアクチュエータを持つ必要性をなくし、そのため、移送ロボット106の全高を低くする。加えて、中央アクチュエータ206、第1のフォアアームアクチュエータ230、および第2のフォアアームアクチュエータ228を横方向にずらすことは、各アクチュエータが個々にアクセスされることを可能にし、そのため、メンテナンスまたは修理のために移送ロボット106全体を取り外す必要性をなくす。さらに、一部の実施形態においては、中央アクチュエータ206、第1のフォアアームアクチュエータ230、および第2のフォアアームアクチュエータ228は、例えば図3に示されるように、一直線に並んでいる必要がない。図2Aに戻ると、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、確実で固定的な結合を行うために好適な任意の方法で連結アーム204に結合され得る。一部の実施形態においては、図2Aおよび図4Aに示されるように、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、それらのアクチュエータが全体的に連結アーム204の下に配置されるように連結アーム204に結合され得る。一部の実施形態においては、例えば、図4Bに示されるように、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、アクチュエータが全体的に連結アーム204の上に配置されるように連結アーム204に結合され得る。一部の実施形態において、連結アーム204の第1の端部210および第2の端部214は、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228のそれぞれの少なくとも一部を受け入れるようにサイズを決められた貫通孔274をそれぞれ含み得る。そのような実施形態においては、シャフト280、281が、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228を第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212に結合することを容易にするためにそれぞれの貫通孔274を通って延び、そのため、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228が第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212の回転をそれぞれ制御することを可能にすることができる。一部の実施形態においては、1つまたは複数の玉軸受け第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212のそれぞれについて1つの玉軸受け279が示されているが、滑らかな回転移動を行うために第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212とそれぞれのシャフト280、281との間の間隙277内に配置され得る。第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228のそれぞれは、第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212の、それぞれ第1のフォアアーム軸270および第2のフォアアーム軸272のまわりの回転移動を行うことができる任意の種類の回転アクチュエータであってよい。例えば、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、中央アクチュエータ206に関して上で検討された回転アクチュエータのうちのいずれかであってよい。一部の実施形態においては、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、中央アクチュエータ206と同じ種類のアクチュエータであってよく、または一部の実施形態においては、中央アクチュエータ206とは異なる種類のアクチュエータであってよい。一部の実施形態において、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、正確な移動を容易にし、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228からそれぞれ第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212へのエネルギーの効率的な伝達を容易にするための調整可能なギア比を提供するギアボックスまたは波動歯車システムなどの機械式ギアシステム276、278に結合され得る。加えて、一部の実施形態においては、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、正確な回転を容易にするための電気機械式デバイス図示せず、例えば、ロータリエンコーダまたはシャフトエンコーダなどのエンコーダをさらに備えてよい。一部の実施形態において、連結アーム204の第1の端部210および第2の端部214のそれぞれは、例えば、図4Aおよび図4Bに示されるように、構成要素、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228を収容するように構成されたハウジング406を備えてよい。例えば、そのような実施形態においては、第1のフォアアームアクチュエータ230および第2のフォアアームアクチュエータ228は、ハウジング406に結合され、第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212のそれぞれに結合された回転子404の回転を制御するように構成された固定子402をそれぞれ備えてよい。玉軸受け408が、滑らかな回転移動を行うために、回転子404とハウジング406に固定的に結合されたシャフト410の間に配置され得る。ハウジング406と連結アーム204は1つの一体的な部分として図面に示されているが、ハウジング406は、連結アーム204に結合されるように構成された別々の構成要素であってよい。再び図2Aを参照すると、一部の実施形態において、第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212のそれぞれは、第1の端部282、284で連結アーム204に回転可能なように結合される。エンドエフェクタ286、288が、フォアアーム208、212の第1の端部282、284と反対側の第2の端部294、296の近辺で第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212のそれぞれに回転可能なように結合される。一部の実施形態において、各エンドエフェクタ286、288は、エンドエフェクタ取り付け面290、292を介して第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212に結合される。存在するとき、エンドエフェクタ取り付け面290、292は、第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212とそれぞれのエンドエフェクタ286、288の間に間隔を設ける。一部の実施形態においては、第1のプーリ201、203が、第1のフォアアーム208の第1の端部282および第2のフォアアーム212の第1の端部284のそれぞれに結合される。一部の実施形態において、第1のプーリ201、203は、例えば、図4Aおよび図4Bに示されるように、シャフト410に固定的に結合される。再び図2Aを参照すると、第1のプーリ201、203は、第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212の第2の端部294、296の近辺に配置されたそれぞれの第2のプーリ209、211にそれぞれのベルト205、207を介して結合される。第2のプーリ209、211は、第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212の第2の端部294、296に回転可能なように結合され、シャフト291を介してエンドエフェクタ286、288に固定される。一部の実施形態において、第2のプーリ209、211は、例えば、図4Aおよび図4Bに示されるように、第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212の第2の端部294、296内に配置されたシャフト416を介して第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212に回転可能なように結合される。そのような実施形態においては、滑らかな回転移動を行うために第2のプーリ209、211とシャフト416の間に軸受け414が配置され得る。図4Aおよび図4Bを参照すると、動作の際、第1のフォアアームアクチュエータ230および/または第2のフォアアームアクチュエータ228は、連結アーム204に対して固定的な回転位置に留まるシャフト410およびそれぞれの第1のプーリ201、203のまわりに第1のフォアアーム208および/または第2のフォアアーム212を回転させる。第1のフォアアーム208および/または第2のフォアアーム212の回転は、ベルト205、207を介して第2のプーリ209、211の回転を引き起こし、そのため、第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212に対してエンドエフェクタ286、288を回転させる。一部の実施形態において、第1のプーリ201、203と第2のプーリ209、211のサイズの比は、第1のプーリ201、203によって回転されるときの第2のプーリ209、211およびエンドエフェクタ286、288の回転および回転変位の比を制御することを容易にするように選択され得る。例えば、一部の実施形態において、第1のプーリ201、203と第2のプーリ209、211の間の中心間の距離が第1のプーリ201、203と中心軸226の中心間の距離に等しいとき、第1のプーリ201、203と第2のプーリ209、211のサイズの比は、およそ1:2であってよい。そのような比は、第1のフォアアーム208および/または第2のフォアアーム212の作動中に、移送ロボット106に対するエンドエフェクタの配向を維持する。その他のサイズの比が、上で検討されたように、さまざまな中心間の距離とともに使用され得る。エンドエフェクタ286、288は、エンドエフェクタ286、288の上に置かれた基板を適切に支持するために好適な任意の方法で構成され得る。例えば、一部の実施形態において、エンドエフェクタ286、288は、図3に示されるように、2つが示されている1つまたは複数の支持アーム314、316を備えてよい。動作の際、アクチュエータすなわち、中央アクチュエータ206、第1のフォアアームアクチュエータ230、および第2のフォアアームアクチュエータ228が協調して、基板の所望の移動を行うために必要とされる任意の方向の移送ロボット106の移動を行うことができる。例えば、一部の実施形態においては、中央アクチュエータ206が、第1の方向310、例えば時計回りに回転されてよく、第1のフォアアームアクチュエータ230または第2のフォアアームアクチュエータ228が、反対方向308、例えば反時計回りに回転されてよく、そのため、第1のフォアアーム208または第2のフォアアーム212およびエンドエフェクタ286を前方に移動させる。一部の実施形態において、第1のフォアアーム軸270から第2のフォアアーム軸272までで測定される連結アーム204の長さ302に対する第1のフォアアーム軸270または第2のフォアアーム軸272からエンドエフェクタ286、288の回転軸310までで測定される第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212のそれぞれの長さは、連結アーム204に対する第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212の回転変位を調整するように変えられ得る。そのような実施形態においては、連結アーム204の長さ302に対する第1のフォアアーム208および第2のフォアアーム212のそれぞれの長さが、所望の方向にエンドエフェクタ286、288を移動させるために必要な第1のフォアアームアクチュエータ230または第2のフォアアームアクチュエータ228の回転変位に対する中央アクチュエータ206の回転変位を決定付けることができる。例えば、上述のように、エンドエフェクタ286を前方に移動させるために中央アクチュエータ206が第1の方向310に回転されてよく、第1のフォアアームアクチュエータ230が反対方向308に回転されてよい実施形態においては、第1のフォアアーム208の長さ306が連結アーム204の長さ302の約2分の11/2である場合、第1のフォアアームアクチュエータ230の回転変位αは、中央アクチュエータ206の回転変位の約2倍2αであってよい。あるいは、第1のフォアアーム208の長さ306が連結アーム204の長さ302の2分の11/2よりも長いか、または2分の11/2よりも短い実施形態においては、所望の方向のエンドエフェクタ286、288の移動を実現するために、第1のフォアアームアクチュエータ230の回転変位は、中央アクチュエータ206の回転変位の約2倍よりも大きくなるように、または約2倍よりも小さくなるように変えられ得る。このように、一体型製造システムで使用するための改善された基板移送ロボットが、本明細書において提供された。有利なことに、発明の基板移送ロボットは、共通の連結アームと、移送ロボットのアームを個々に制御するための別々の横方向にずらした回転アクチュエータとを設け、そのため、移送ロボットの全体的なサイズを削減しながら移送ロボットを制御し易くし、その結果、移送ロボットが容易に取り付けられ、整備されることを可能にする。上述の内容は本発明の実施形態を対象とするが、本発明のその他のさらなる実施形態が、本発明の基本的な範囲を逸脱することなしに考案され得る。"