"ワーク加工用のレーザー光を生成するレーザー生成器と、外部からの緊急停止信号に基づいて上記レーザー光のワークへの出射を禁止する緊急停止状態へ移行した後、当該緊急停止状態を解除するための緊急停止解除信号に基づいて上記緊急停止状態を解除する緊急停止制御手段と、ユーザが上記緊急停止状態を解除するための解除操作を行う解除スイッチと、上記解除スイッチに対する解除操作を検出し、検出タイミングに基づく複数の解除操作検出信号を出力する解除操作検出手段と、上記解除操作検出手段から出力される複数の解除操作検出信号の出力タイミングの時間差に基づいて、上記緊急停止解除信号を生成する停止解除手段とを備えたことを特徴とするレーザー加工装置。上記解除操作検出手段から出力される複数の解除操作検出信号の出力タイミングの時間差を第1閾値と比較する第1比較手段を備え、上記停止解除手段は、上記時間差が第1閾値以下である場合に、上記緊急停止解除信号を生成することを特徴とする請求項1に記載のレーザー加工装置。上記解除操作検出手段は、同一の上記解除スイッチに連結された2つの電気接点回路からなり、同一の上記解除操作によってそれぞれ開閉されることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザー加工装置。複数の上記解除操作検出信号は、一方が正論理の信号であり、他方が負論理の信号であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のレーザー加工装置。上記解除操作検出信号の継続時間を第2閾値と比較する第2比較手段を備え、上記停止解除手段は、上記時間差が第1閾値以下であり、かつ、上記継続時間がともに第2閾値以上である場合に、上記緊急停止解除信号を生成することを特徴とする請求項2~4のいずれかに記載のレーザー加工装置。上記緊急停止制御手段は、上記レーザー生成器に対する電力供給を制御することを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載のレーザー加工装置。本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、緊急停止状態を解除するための解除手順を簡素化しつつ、緊急停止状態が誤って解除されるのを抑制することができるレーザー加工装置を提供することを目的とする。特に、解除スイッチからの出力信号にノイズが混入しても、緊急停止状態が誤って解除されるのを防止することができるレーザー加工装置を提供することを目的とする。また、緊急停止状態の解除操作の操作性を向上させたレーザー加工装置を提供することを目的とする。第1の本発明によるレーザー加工装置は、ワーク加工用のレーザー光を生成するレーザー生成器と、外部からの緊急停止信号に基づいて上記レーザー光のワークへの出射を禁止する緊急停止状態へ移行した後、当該緊急停止状態を解除するための緊急停止解除信号に基づいて上記緊急停止状態を解除する緊急停止制御手段と、ユーザが上記緊急停止状態を解除するための解除操作を行う解除スイッチと、上記解除スイッチに対する解除操作を検出し、検出タイミングに基づく複数の解除操作検出信号を出力する解除操作検出手段と、上記解除操作検出手段から出力される複数の解除操作検出信号の出力タイミングの時間差に基づいて、上記緊急停止解除信号を生成する停止解除手段とを備えて構成される。この様な構成により、解除スイッチに対する解除操作が、解除操作検出手段によって検出され、解除操作検出手段から検出タイミングに応じて出力される複数の解除操作検出信号の出力タイミングの時間差に基づいて、緊急停止状態が解除される。このため、ノイズなどの影響を受けて、解除操作検出手段から誤って解除操作検出信号が出力されたとしても、緊急停止状態が解除されることを抑制することができる。また、解除操作検出手段から誤って複数の解除操作検出信号が出力されたとしても、これらの解除操作検出信号の出力タイミングの時間差が十分に大きければ、緊急停止状態が解除されることはない。従って、解除操作が行われていないにもかかわらず、ノイズなどの影響によって、誤って緊急停止状態が解除されるのを防止することができる。なお、解除操作は、解除スイッチに対する回転操作、スライド操作、押圧操作などを指し、解除操作検出手段は、同一の解除スイッチに対する同一の解除操作を検出して複数の解除操作検出信号を出力するものであってもよいし、同一の解除スイッチに対する異なる解除操作を検出するものであってもよいし、異なる解除スイッチに対する解除操作を検出するものであってもよい。第2の本発明によるレーザー加工装置は、上記構成に加えて、上記解除操作検出手段から出力される複数の解除操作検出信号の出力タイミングの時間差を第1閾値と比較する第1比較手段を備え、上記停止解除手段が、上記時間差が第1閾値以下である場合に、上記緊急停止解除信号を生成するように構成される。第3の本発明によるレーザー加工装置は、上記構成に加えて、上記解除操作検出手段が、同一の上記解除スイッチに連結された2つの電気接点回路からなり、同一の上記解除操作によってそれぞれ開閉されるように構成される。この様な構成により、同一の解除スイッチに対する同一の解除操作によって、2つの電気接点回路から解除操作検出信号がそれぞれ出力される。このため、2つの解除操作検出信号の出力タイミングには僅かな時間差しか生じないことから、第1閾値を比較的短い時間にすることができる。従って、解除操作が行われていないにもかかわらず、ノイズなどの影響によって、誤って緊急停止状態が解除されるのをより確実に防止することができる。なお、同一の解除操作とは、解除スイッチに対し、ユーザが指を離すことなく行う一連の操作が同一であることを指す。また、緊急停止状態を解除するために、1又は2以上のスイッチに対し、複数の操作を順次に行う必要がある場合には、これらの操作が完結する最後の操作が、ここでいう解除操作に該当する。第4の本発明によるレーザー加工装置は、上記構成に加えて、複数の上記解除操作検出信号の一方が正論理の信号であり、他方が負論理の信号であるように構成される。この様な構成により、複数の解除操作検出信号が、ともにノイズの影響を受けた場合であっても、それぞれに混入するノイズ成分が同一であれば、誤って緊急停止状態が解除されることはない。第5の本発明によるレーザー加工装置は、上記構成に加えて、上記解除操作検出信号の継続時間を第2閾値と比較する第2比較手段を備え、上記停止解除手段が、上記時間差が第1閾値以下であり、かつ、上記継続時間がともに第2閾値以上である場合に、上記緊急停止解除信号を生成するように構成される。この様な構成により、複数の解除操作検出信号に対し、パルス状のノイズがそれぞれ混入し、その時間差が第1閾値以下となる場合であっても、その継続時間がともに第2閾値以上でなければ、緊急停止状態が解除されることはない。このため、複数の解除操作検出信号に対し、ほぼ同時にパルス状のノイズが混入した場合であっても、誤って緊急停止状態が解除されることはない。第6の本発明によるレーザー加工装置は、上記構成に加えて、上記緊急停止制御手段が、上記レーザー生成器に対する電力供給を制御するように構成される。この様な構成により、レーザー光の出力を確実に停止させることができる。本発明によるレーザー加工装置では、解除スイッチに対する解除操作が、解除操作検出手段によって検出され、解除操作検出手段から検出タイミングに応じて出力される複数の解除操作検出信号の出力タイミングの時間差に基づいて、緊急停止状態が解除される。このため、ノイズなどの影響を受けて、解除操作検出手段から誤って解除操作検出信号が出力されたとしても、緊急停止状態が解除されることを抑制することができる。また、解除操作検出手段から誤って複数の解除操作検出信号が出力されたとしても、これらの解除操作検出信号の出力タイミングの時間差が十分に大きければ、緊急停止状態が解除されることはない。従って、解除操作が行われていないにもかかわらず、ノイズなどの影響によって、誤って緊急停止状態が解除されるのを防止することができる。また、本発明によるレーザー加工装置では、複数の解除操作検出信号の一方を正論理の信号とし、他方を負論理の信号とすることにより、複数の解除操作検出信号に対し、同じノイズ成分が混入しても、誤って緊急停止状態が解除されることはない。従って、解除操作が行われていないにもかかわらず、ノイズなどの影響によって、誤って緊急停止状態が解除されるのを防止することができる。また、本発明によるレーザー加工装置では、解除操作検出信号の継続時間が第2閾値以上である場合に、緊急停止状態が解除される。このため、複数の解除操作検出信号に対し、ほぼ同時にパルス状のノイズが混入した場合であっても、誤って緊急停止状態が解除されることはない。従って、解除操作が行われていないにもかかわらず、ノイズなどの影響によって、誤って緊急停止状態が解除されるのを防止することができる。さらに本発明によるレーザー加工装置では、解除スイッチを操作することにより、レーザー出力の緊急停止状態を解除することができるため、解除手順を簡素化し、操作性を向上させることができる。<レーザーマーキングシステム1>図1は、本発明の実施の形態によるレーザー加工装置を含むレーザーマーキングシステム1の概略構成の一例を示したシステム図であり、レーザー加工装置の一例としてレーザーマーカ20が示されている。このレーザーマーキングシステム1は、レーザー光Lを照射してワークWを加工するレーザーマーカ20と、その加工条件を編集するための端末装置10とにより構成される。また、レーザーマーカ20は、レーザー光Lの生成及び走査を行うマーカヘッド21と、マーカヘッド21の動作制御を行うマーカコントローラ22とからなる。端末装置10は、レーザーマーカ20を制御するための装置であり、例えば、レーザーマーカ用のアプリケーションプログラムがインストールされたパーソナルコンピュータを用いることができる。ユーザは、端末装置10を用いることにより、レーザーマーカ20の加工条件を規定する加工設定データを作成し、編集することができる。マーカコントローラ22は、端末装置10から受信した加工設定データに基づいて、マーカヘッド21の動作制御を行っている。また、レーザー発振用の励起光は、マーカコントローラ22において生成され、光ファイバー23を介してマーカヘッド21へ伝送される。マーカヘッド21は、マーカコントローラ22からの励起光に基づいて、レーザー光Lを生成し、ワークWへ照射する。このとき、マーカコントローラ22からの制御信号に基づいてレーザー光Lの出射軸を走査することにより、ワークW上に文字、記号、図形などのシンボルを印字することができる。また、マーカヘッド21内には、図示しない照明光源及びカメラが内蔵され、当該カメラにより撮影されたワークWの撮影画像が、マーカコントローラ22を介して端末装置10に転送され、ディスプレイ上に表示される。ユーザは、この撮影画像を閲覧することにより、ワークW上の加工位置の確認、調整などを行うことができる。マーカコントローラ22には、PLCや緊急停止ボタンなどの外部機器を接続するための複数の入出力端子からなる端子台31と、レーザー出力用電源SWスイッチ32が設けられている。ユーザが緊急停止ボタンを操作し、或いは、PLCが異常を検知すれば、レーザー光LのワークWへの出射を禁止するための緊急停止信号が端子台31を介して入力される。マーカコントローラ22は、緊急停止信号が入力されれば、レーザー光LがワークWに向けて出射されるのを禁止する緊急停止状態となる。この緊急停止状態は、ユーザが所定の解除操作を行わない限りレーザー光LのワークWへの出射を再開させることができないインターロック状態である。レーザー出力用電源SW32は、レーザー光Lの生成部に対して電力供給を行うオン状態と、レーザー出力を停止させるオフ状態を切り替えるスイッチである。緊急停止状態は、レーザー出力用電源SW32のオン状態時に、緊急停止信号が入力された場合に発生する。この緊急停止状態を解除するには、レーザー出力用電源SW32を一旦オフ状態に切り替え、再度、オン状態に切り替えれば良い。<レーザーマーカ20>図2は、図1のレーザーマーカ20の詳細構成を示したブロック図であり、マーカヘッド21及びマーカコントローラ22の内部構成の一例が示されている。このレーザーマーカ20は、テレセントリックレンズ48を介してレーザー光Lを照射することにより、高精度のレーザー加工を行うことができる。また、ワークWを撮影するための照明光源53及びカメラ56を備え、照明光源53の光軸及びカメラ56の撮影軸が、レーザー光Lの出射軸と同軸になるように配置されている。このため、テレセントリックレンズ48を介して、歪みの少ない撮影画像を得ることができる。また、照明光源53は、レーザー光Lと略同一の波長を含む照明光を生成し、カメラ56は、レーザー光と略同一の波長からなる戻り光を撮影している。このため、レーザー光Lと略同一の波長の光を用いてワークWを撮影することができるので、鮮明な撮影画像が得られる。さらに、カメラ56の撮影軸上にカメラ用シャッタ55を備えることにより、ワークWで反射したレーザー光Lが、戻り光としてカメラ56に入射し、カメラ56が破損するのを防止している。<マーカコントローラ22>マーカコントローラ22は、商用電源を利用してマーカヘッド21へ電力を供給し、レーザー発振のための励起光を生成する。この励起光は、光ファイバー23を介してマーカヘッド21に伝送される。また、マーカコントローラ22は、端末装置10から転送された加工設定データに基づいてマーカヘッド21を制御し、レーザー光Lの出力制御及び走査制御を行う。<マーカヘッド21>マーカヘッド21は、レーザー発振器41、ビームサンプラー42、発振器用シャッタ43、ミキシングミラー44、Zスキャナ45、偏光ビームスプリッタ46、XYスキャナ47、テレセントリックレンズ48、パワーモニタ51、ガイド光源52、照明光源53、ハーフミラー54、カメラ用シャッタ55及びカメラ56により構成される。レーザー発振器41は、励起光を吸収してレーザービームからなるレーザー光Lを生成するレーザー生成器であり、レーザー媒質、共振器、Qスイッチなどによって構成される。ここでは、レーザー発振器41が、パルス発振する固体レーザー発振器、例えば、SHG型レーザー発振器であるものとする。SHG型レーザー発振器は、レーザー媒質として、NdネオジムがドープされたYVO4イットリウムバナデート結晶を用い、第2高調波を利用して波長532nmの緑色光を出力する。上記レーザー媒質を励起するための励起光には、波長808nmのレーザー光が用いられる。レーザー発振器41によって生成されたレーザー光Lは、ビームサンプラー42、ミキシングミラー44、Zスキャナ45、偏光ビームスプリッタ46、XYスキャナ47及びテレセントリックレンズ48を順に経由してワークWに照射される。ビームサンプラー42は、レーザー発振器41から出力されるレーザー光Lのうち、一定割合をサンプリングビームとして分岐させる光学スプリッタである。例えば、透明基板の表面反射などを利用することにより、入射したレーザー光Lの全光量の約3が分光され、サンプリングビームとしてパワーモニタ51へ入射される。パワーモニタ51は、レーザー発振器41の出力パワーを検出するための光強度検出手段であり、例えば、サーモパイルなどの感熱素子からなり、その検出結果はレーザー発振器41の出力制御に用いられる。発振器用シャッタ43は、レーザー光Lの出射経路を開閉可能に遮断し、レーザー光Lの漏出を防止する漏出防止用遮断手段であり、偏光ビームスプリッタ46よりも上流側に配置される。ここでは、ビームサンプラー42及びミキシングミラー44間に発振器用シャッタ43が設けられ、レーザー光Lの出力制御信号に基づいて、レーザー光Lの照射時を除き、レーザー光Lの出射経路を遮断している。このため、カメラ56によるワークWの撮影時には、レーザー光Lの出射経路が、発振用シャッタ43により遮断されている。ミキシングミラー44は、ガイド光の出射軸をレーザー光Lの出射軸と略一致させる光混合用光学スプリッタであり、レーザー発振器41からのレーザー光Lを透過させ、ガイド光源52からのガイド光を反射させることにより、ともにZスキャナ45へ送り出している。ガイド光源52は、加工位置をワークW上に表示するガイド光を生成する光源装置であり、LDレーザーダイオードなどの発光素子からなる。ガイド光の点灯制御と、ガイド光の出射軸の高速スキャンとによって、印字しようとするシンボルパターンを照射スポットの残像として視認させることができる。Zスキャナ45は、レーザー光Lのビーム径を調整するビーム径制御手段であり、レーザー光Lの光軸上に配置された2枚のレンズからなり、これらのレンズの相対距離を変化させることにより、例えば、レーザー光Lのビーム径2mmφを最大8mmφまで拡大させることができる。レーザー光のスポット径を拡大させることにより、スポット内におけるエネルギー密度を低下させるデフォーカス制御を行うことができる。偏光ビームスプリッタ46は、レーザー光Lの出射経路上であって、XYスキャナ47よりも上流側に配置され、Zスキャナ45からのレーザー光Lを透過させる一方、カメラ56の受光軸をレーザー光Lの出射軸と略一致させるカメラ用光学スプリッタである。すなわち、ワークWによる反射光のうち、テレセントリックレンズ48に入射してレーザー光Lの出射経路を遡る戻り光は、偏光ビームスプリッタ46で反射されることにより、レーザー光Lの出射軸から分離され、カメラ56に入射する。また、偏光ビームスプリッタ46は、ハーフミラー54を介して入射される照明光をXYスキャナ47に向けて反射し、照明光の出射軸をレーザー光Lの出射軸と略一致させている。例えば、レーザー発振器41により、P偏光のレーザー光Lが生成される場合、P偏光成分を選択的に透過させ、S偏光成分を反射させる偏光ビームスプリッタ46を用いることにより、レーザー光Lを通過させる一方、S偏光成分を含む戻り光及び照射光をそれぞれ反射させることができる。XYスキャナ47は、レーザー光Lの出射軸を2次元走査させるための走査装置であり、レーザー光Lを反射させる走査用ミラーなどの光学系と、走査用ミラーを回動させる駆動部からなる。走査用ミラーは、ガルバノミラーと呼ばれ、レーザー光Lの出射経路上に配置される。このXYスキャナ47は、マーカコントローラ22からの位置制御信号に基づいて、上記走査用ミラーを回動させる。テレセントリックレンズ48は、レーザー光LをワークWに向けて出射させる出射光学系であり、レーザー光Lの出射経路においてXYスキャナ47よりも下流側、すなわち、ワークW側に配置される。このテレセントリックレンズ48は、複数の光学レンズやカバーガラスによって構成され、ワークW側の画角が略0°となるオブジェクト側テレセントリック光学系からなる。つまり、テレセントリックレンズ48は、レーザー光Lの入射角度に関わらず、レーザー光の主光線がレンズ光軸と略平行となるように、ワークWに向けてレーザー光Lを出射させる。照明光源53は、ワークWを照明するための照明光を生成する光源装置であり、LED発光ダイオードなどの発光素子からなる。この照明光源53は、少なくともレーザー光Lと略同一の波長を含む照明光を生成し、ハーフミラー54へ出射する。ハーフミラー54は、カメラ56の受光経路上に配置され、偏光ビームスプリッタ46からの戻り光を透過させる一方、照明光の出射軸をカメラ56の受光軸と略一致させる照明用光学スプリッタである。すなわち、偏光ビームスプリッタ46からの戻り光を透過させ、カメラ56に入射する一方、照明光源53からの照明光を偏光ビームスプリッタに向けて反射する。カメラ用シャッタ55は、カメラ56の受光経路を開閉可能に遮断し、レーザー光Lの照射時に戻り光がカメラ56に入射するのを防止するためのカメラ保護用遮断手段であり、偏光ビームスプリッタ46よりも上流側に配置される。ここでは、ハーフミラー54及びカメラ56間にカメラ用シャッタ55が設けられ、レーザー光Lの出力制御信号に基づいて開閉され、少なくともレーザー光Lの照射期間中は、カメラ56の受光経路を遮断している。このため、レーザー照射のタイミングと、カメラ撮影のタイミングを異ならせれば、レーザー光Lの戻り光によってカメラ56が損傷を受けるのを防止することができる。カメラ56は、ワークWを撮影し、撮影画像を生成するための撮像ユニットであり、マーカコントローラ22からの撮像制御信号に基づいて撮影を行い、得られた撮影画像をマーカコントローラ22へ出力する。ここでは、カメラ56が、レーザー光と略同一の波長を受光し、撮影画像を生成しているものとする。<マーカコントローラ22>図3は、図2のマーカコントローラ22の構成例を示したブロック図である。このマーカコントローラ22は、端子台31、レーザー出力用電源SW32、電源SW33、主電源220、SSR221、励起光生成部222、主制御部223及びレーザー出力制御部224により構成される。主電源220は、商用電源を利用して、マーカヘッド21、励起光生成部222、主制御部223及びレーザー出力制御部224へ電力供給を行う電源装置であり、所定の電源SW33を操作することにより、動作状態がオン状態及びオフ状態間で切り替えられる。主電源220のオフ状態では、マーカヘッド21、励起光生成部222、主制御部223及びレーザー出力制御部224への電力供給が遮断され、電源SW33を操作しない限り、オン状態に移行できない。SSRSolidStateRelay221は、レーザー出力制御部224からのリレー制御信号に基づいて、励起光生成部222に対する電力供給を遮断し、或いは、遮断状態を解除して電力供給を再開させるためのリレー回路であり、半導体素子からなる。励起光生成部222は、レーザー発振のための励起光を生成する励起光源装置であり、SSR221を介して主電源220から電力が供給される。主制御部223は、端末装置10から転送された加工設定データに基づいて励起光生成部222及びマーカヘッド21を制御し、レーザー光Lの出力制御、走査制御を行う。レーザー出力制御部224は、レーザー出力用電源SW32に対する操作を検出し、SSR221をオン状態又はオフ状態に切り替えるためのリレー制御信号を生成する。このレーザー出力制御部224は、レーザー出力用電源SW32がオン状態である場合に、端子台31を介して、PLCや緊急停止ボタンから所定の緊急停止信号が入力されれば、励起光生成部222に対する電力供給を遮断するためのリレー制御信号を生成し、緊急停止状態へ移行する。これにより、レーザー光LのワークWへの出射が禁止される。緊急停止状態では、レーザー発振を停止させ、或いは、Qスイッチを制御し、或いは、発振器用シャッタ43を閉じることによって、レーザー光LのワークWへの出射が禁止される。一方、緊急停止信号に基づく緊急停止状態時に、レーザー出力用電源SW32がオン状態からオフ状態に切り替えられた後手動切替でも良いし、自動切替であっても良い、オフ状態からオン状態に切り替えられた場合には、緊急停止状態を解除してレーザー光Lの出力を再開させるためのリレー制御信号が生成される。<レーザー出力制御部224>図4は、図3のマーカコントローラ22内のレーザー出力制御部224の構成例を示した図である。このレーザー出力制御部224は、レーザー出力用電源SW32を操作することによってほぼ同時にオン状態へ移行する2つの電気接点回路11,12と、2つのSSR制御部13と、1つの論理回路14により構成される。電気接点回路11は、レーザー出力用電源SW32に対する解除操作を検出し、所定の解除操作検出信号をSSR制御部13へ出力する解除操作検出回路であり、電気接点111、抵抗素子R11、LPF112及びシュミットトリガ113からなる。電気接点111は、例えば、2つの端子電極からなるメカニカル接点であり、レーザー出力用電源SW32を操作することによってこれらの端子電極が互いに接触すれば、端子電極間が導通し、オン状態となる。この電気接点回路11は、オフ状態時に電圧レベルがハイレベルとなる負論理の状態信号として解除操作検出信号を生成する。抵抗素子R11は、電気接点111をプルアップするための素子であり、電気接点111の一方の端子電極は接地され、他方の端子電極には抵抗素子R11を介して直流電源が供給されている。LPFローパスフィルタ112は、高周波成分を除去するための回路素子であり、抵抗素子R12及び容量素子C1からなる。シュミットトリガ113は、信号の揺らぎを除去するための回路素子であり、その出力状態が入力の変化に対してヒステリシスを持って変化する。シュミットトリガ113には、LPF112を介して、電気接点111の出力が入力される。電気接点回路12は、オフ状態時に電圧レベルがローレベルとなる正論理の状態信号として解除操作検出信号を生成する接点回路であり、電気接点回路11と同様に構成される。具体的には、電気接点121と、電気接点121をプルダウンするための抵抗素子R21と、LPF122及びシュミットトリガ123により構成される。電気接点121の一方の端子電極は抵抗素子R21を介して接地され、他方の端子電極には直流電源が供給されている。電気接点121の出力は、抵抗素子R22及び容量素子C2からなるLPF122を介して、シュミットトリガ123に入力される。電気接点回路11及び12は、同一のレーザー出力用電源SW32に連結され、同一の解除操作によってそれぞれ開閉される。つまり、電気接点111及び121は、レーザー出力用電源SW32を操作することによってほぼ同時にオン状態へ移行する。SSR制御部13は、SSR制御部13の外部から入力される緊急停止信号に基づいて、レーザー光Lの出力を停止させるリレー制御信号を生成し、緊急停止状態へ移行する。一方、緊急停止信号に基づく緊急停止状態では、電気接点回路11及び12からの解除操作検出信号に基づいて、各電気接点回路11,12がほぼ同時にオン状態に移行したことを検知し、レーザー光Lの出力を再開させるリレー制御信号を生成し、緊急停止状態を解除する。この例では、SSR制御部13に不具合が生じた場合に、緊急停止状態が誤って解除されるのを抑制するために、同様の構成からなる2つのSSR制御部13が設けられている。各SSR制御部13の出力は、論理回路14に入力される。論理回路14は、2つの入力の論理積を出力する回路素子であり、2つのSSR制御部13から概ね同じ電圧レベルのリレー制御信号が入力された場合にだけ、SSR221をオンさせて、レーザー出力の停止状態を解除する。<SSR制御部13>図5は、図4のレーザー出力制御部224内のSSR制御部13の構成例を示したブロック図である。このSSR制御部13は、緊急停止制御部131、時間差比較部132、継続時間比較部133及び停止解除部134からなる。緊急停止制御部131は、緊急停止信号に基づいて、レーザー光Lの出力を強制的に停止させる緊急停止状態へ移行し、励起光生成部222に対する電力供給を遮断するためのリレー制御信号を生成する。一方、停止解除部134からの緊急停止解除信号に基づいて、緊急停止状態を解除し、レーザー光Lの出力を再開させるためのリレー制御信号を生成する。この緊急停止制御部131は、所定のラッチ回路からなる。時間差比較部132は、シュミットトリガ113及び123から解除操作検出信号を受信した場合に、2つの解除操作検出信号の出力開始タイミングの時間差を所定の判定閾値Th1と比較し、その比較結果を停止解除部134へ出力する。継続時間比較部133は、シュミットトリガ113及び123から解除操作検出信号を受信した場合に、各解除操作検出信号について、解除操作検出信号の継続時間を所定の判定閾値Th2と比較し、その比較結果を停止解除部134へ出力する。停止解除部134は、時間差比較部132の比較結果と、継続時間比較部133の比較結果とに基づいて、所定の緊急停止解除信号を生成し、緊急停止制御部131へ出力する。具体的には、2つの解除操作検出信号の出力開始タイミングの時間差が判定閾値Th1以下であり、かつ、各解除操作検出信号の継続時間がともに判定閾値Th2以上である場合に、緊急停止解除信号が生成される。つまり、緊急停止状態は、2つの電気接点回路11及び12がほぼ同時にオン状態に移行し、そのまま判定閾値Th2以上オン状態が持続した場合にのみ、解除される。<レーザー出力用電源SW32>図6は、図3のマーカコントローラ22のレーザー出力用電源SW32の構成例を模式的に示した説明図であり、電気接点111,121が共に遮断状態である場合が示されている。このレーザー出力用電源SW32は、ロータリー式スイッチであり、キー部61と、キー部41が挿抜可能に挿入されるシリンダー部62とからなる。キー部61をシリンダー部62に差し込んだ状態でキー部61を回すことにより、シリンダー部62を回動させることができる。シリンダー部62は、電気接点111及び121に共通の可動部であり、これらの電気接点に対応づけて突出部62a及び62bが設けられている。突出部62a,62bは、いずれも平板状の絶縁部材からなり、シリンダー部62の回転軸方向の異なる位置に設けられている。電気接点111は、突出部62aが当該電気接点111の端子電極間に挿入されることにより、オフ状態となる。電気接点121は、突出部62bが当該電気接点121の端子電極間に挿入されることにより、オフ状態となる。つまり、シリンダー部62を所定の位置まで回動させることにより、電気接点111及び121をほぼ同時にオフ状態に移行させることができる。図7は、図6のレーザー出力用電源SW32を操作することにより、電気接点111,121が共に導通状態に移行した場合を示した図である。電気接点111は、突出部62aが端子電極間から抜き出されれば、端子電極間が導通してオン状態となる。電気接点121は、突出部62bが端子電極間から抜き出されれば、端子電極間が導通してオン状態となる。つまり、電気接点111,121がオフ状態となる位置からシリンダー部62を所定量だけ回動させることにより、電気接点111及び121をほぼ同時にオン状態に移行させることができる。<電気接点回路の出力>図8は、図3のマーカコントローラ22のレーザー出力用電源SW32の操作時の動作の一例を示した図であり、電気接点回路11,12の出力が示されている。電気接点回路11は、オフ状態時に出力レベルがハイレベルとなる負論理の解除操作検出信号を生成する接点回路であり、レーザー出力用電源SW32を操作することによって、出力レベルがローレベルのオン状態へ移行する。この例では、電気接点回路接点1がレーザー出力用電源SW32の操作によって、時刻t1にオン状態に移行している。一方、電気接点回路12は、オフ状態時に出力レベルがローレベルとなる正論理の解除操作検出信号を生成する接点回路であり、レーザー出力用電源SW32を操作することによって、出力レベルがハイレベルのオン状態へ移行する。この例では、電気接点回路接点2がレーザー出力用電源SW32の操作によって、時刻t2にオン状態に移行している。SSR制御部13の時間差比較部132は、2つの電気接点回路がオン状態に移行した場合、時間差T1=t2-t1を判定閾値Th1と比較し、時間差T1が判定閾値Th1以下であれば、これらの電気接点回路がほぼ同時にオン状態に移行したと判断される。例えば、一方の電気接点回路がオンしてから他方の電気接点回路がオンするまでの時間差T1が100ms程度以下であれば、同時にオン状態に移行したものとみなされる。継続時間比較部133は、電気接点回路がオン状態に移行した場合に、オン状態の継続時間T2を判定閾値Th2と比較する。停止解除部134は、2つの電気接点回路がほぼ同時にオン状態に移行し、かつ、継続時間T2が判定閾値Th2以上となった場合にだけ、緊急停止状態を解除する。具体的には、継続時間T2=t3-t2が判定閾値Th2よりも長ければ、レーザー出力の停止状態が解除される。例えば、2つの電気接点回路が同時にオンしてから継続時間T2=1s程度オン状態が持続すれば、レーザー出力の停止状態が解除される。図9のステップS101~S109は、図4のレーザー出力制御部224の動作の一例を示したフローチャートである。SSR制御部13は、外部から緊急停止信号が入力されれば、SSR221をオフ状態へ切り替えるためのリレー制御信号を生成する。これにより、レーザーマーカ20は、緊急停止状態へ移行するステップS101。次に、電気接点回路11,12は、ユーザの解除操作があれば、検出タイミングに応じて解除操作検出信号を出力するステップS102,S103。このとき、SSR制御部13は、電気接点回路11,12からそれぞれ出力される解除操作検出信号の出力タイミングの時間差を時間差判定用の閾値Th1と比較するとともに、各解除操作検出信号の継続時間を継続時間判定用の閾値Th2と比較するステップS104。そして、SSR制御部13は、これらの比較結果に基づいて、時間差が判定閾値Th1以下であり、かつ、継続時間がともに判定閾値Th2以上であれば、緊急停止状態を解除するための緊急停止解除信号を生成するステップS105,S106。一方、時間差が判定閾値Th1を越えているか、又は、継続時間が判定閾値Th2未満である場合には、緊急停止状態を解除せず、緊急停止解除信号は生成されないステップS105,S109。次に、レーザー出力制御部224は、各SSR制御部13において生成される緊急停止解除信号に基づいて、緊急停止状態を解除すべきか否かを判別するステップS107。緊急停止状態を解除する場合、SSR221をオン状態へ切り替えるためのリレー制御信号が生成され、緊急停止状態は解除されるステップS108。一方、緊急停止状態を解除しない場合には、SSR221のオフ状態が維持されるステップS109。本実施の形態によれば、レーザー出力用電源SW32に対する解除操作が、2つの電気接点回路11,12によって検出され、これらの電気接点回路11,12による検出開始の時間差が判定閾値Th1以下である場合に、緊急停止状態が解除される。このため、ノイズなどの影響を受けて、電気接点回路11,12の一方から誤って解除操作検出信号が出力されたとしても、緊急停止状態が解除されることはない。また、電気接点回路11,12の両方から誤って解除操作検出信号が出力されたとしても、これらの解除操作検出信号の出力開始タイミングの時間差が判定閾値Th1よりも大きければ、緊急停止状態が解除されることはない。また、同一のレーザー出力用電源SW32に対する同一の解除操作によって、2つの電気接点回路11,12から解除操作検出信号がそれぞれ出力される。このため、2つの解除操作検出信号の出力開始タイミングには僅かな時間差しか生じないことから、判定閾値Th1を比較的短い時間にすることができる。また、2つの解除操作検出信号の一方が正論理の信号であり、他方が負論理の信号であるので、2つの解除操作検出信号が、ともにノイズの影響を受けた場合であっても、それぞれに混入するノイズ成分が同一であれば、誤って緊急停止状態が解除されることはない。さらに、2つの解除操作検出信号に対し、パルス状のノイズがそれぞれ混入し、その時間差が判定閾値Th1以下となる場合であっても、その継続時間T2がともに判定閾値Th2以上でなければ、緊急停止状態が解除されることはない。このため、2つの解除操作検出信号に対し、ほぼ同時にパルス状のノイズが混入した場合であっても、誤って緊急停止状態が解除されることはない。なお、本実施の形態では、2つの電気接点回路11,12が、いずれも1つのレーザー出力用電源SW32に対する同一の解除操作を検出する場合の例について説明したが、本発明はこの様な構成に限定されるものではない。例えば、異なる2つの解除SWに対する解除操作を各電気接点回路がそれぞれ検出するような構成であっても良い。また、本実施の形態では、解除SWに対する解除操作を検出する解除操作検出手段が電気接点回路からなる場合の例について説明したが、本発明は解除操作検出手段の構成が電気接点回路に限定されるものではない。例えば、フォトインタラプタを用いた無接点回路によって、解除SWに対する解除操作を検出しても良い。また、本実施の形態では、電気接点回路11,12の電気接点111,121が、2つの端子電極からなるメカニカル接点である場合の例について説明したが、電気接点の構成はこれに限定されるものではない。例えば、静電容量の変化を検出してオン又はオフする静電容量式の接点を用いるものにも本発明は適用することができる。また、本実施の形態では、電気接点111,121の端子電極間が導通している状態を電気接点回路11,12のオン状態とする場合の例について説明したが、端子電極間が導通している状態を電気接点回路11,12のオフ状態とするような構成であっても良い。また、本実施の形態では、緊急停止信号に基づく緊急停止時に、励起光生成部222に対する電力供給を遮断する場合の例について説明したが、レーザー光LのワークWへの出射を禁止する構成はこれに限定されるものではない。例えば、レーザー発振器41のQスイッチ又は発振器用シャッタ43を制御して、レーザー光LのワークWへの出射を禁止するような構成であっても良い。また、本実施の形態では、レーザーマーカ20がSHG型レーザーマーキング装置である場合の例について説明したが、本発明によるレーザー加工装置はこれに限定されるものではない。例えば、ファイバーレーザー型のマーキング装置にも本発明は適用することができる。ファイバーレーザー型マーキング装置は、Ybイッテルビウムをドープしたファイバーを増幅器として用いるレーザーマーカである。"