ターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたノズル部と、前記ターゲット物質が通過するための貫通孔が設けられ、前記ノズル部を覆うように設けられるカバーと、前記カバーによって画定される空間を排気するための排気機構と、を備えるターゲット供給装置。ターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたノズル部と、前記ノズル部に対向して配置された電極と、前記ターゲット物質と前記電極との間に電圧を印加するための電圧生成器と、少なくとも前記ノズル部と前記電極との間の空間を排気するための排気機構と、を備えるターゲット供給装置。前記ターゲット物質が通過するための貫通孔及び前記排気機構に接続するための排気ポートが設けられ、前記ノズル部と前記電極との間の空間を覆うように設けられるカバーをさらに備える請求項2記載のターゲット供給装置。前記カバーは、絶縁性材料で構成される、請求項3記載のターゲット供給装置。前記カバーの少なくとも前記貫通孔周辺は、導電性材料で形成される、請求項4記載のターゲット供給装置。ターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたノズル部と、前記ターゲット物質の出力方向に配置される複数の電極と、前記複数の電極を保持するための絶縁部材と、前記複数の電極間に電圧を印加するための少なくとも1つの電圧生成器と、前記ターゲット物質が通過するための貫通孔が設けられ、前記ノズル部、前記複数の電極、及び前記絶縁部材を覆うように設けられるカバーと、前記カバーによって画定される空間を排気するための排気機構と、を備えるターゲット供給装置。