"テーブル表面の傾きが異なる複数の保持テーブル間で板状物を搬送する板状物搬送装置であって、少なくとも垂直移動可能に支持されたアームと、該アームの先端部に固定され、上端部が逆円錐台形状の支持穴を有する支持ベースと、逆円錐台形状の頭部を有し、該頭部が該支持穴の逆円錐台形状部分に係合することにより該支持穴中に挿入支持された管状部材と、該管状部材の下端に連結された板状物を吸引保持する吸着パッドと、一端部が該管状部材の上端部に接続され他端が吸引源に接続された配管と、該管状部材に外嵌され、該支持ベースの肩部と該吸着パッドとの間に介装されたコイルばねと、を具備したことを特徴とする板状物搬送装置。特許文献1に開示された板状物搬送装置では、装置の初期設定時に、二つのチャックテーブルに対してメインテナンス要員による吸着パッドの平行調整作業が必ず必要であり、対応できる平面が二種類と限られているため、セルフグラインドなどのプロセスでチャックテーブルの表面角度に変化が発生した場合は、再度平行調整が必要になる。また、三つ以上のチャックテーブル間で板状物の搬送を行うプロセスでは、そのまま適用することができず、少なくとも一つのチャックテーブルの平行調整が再度必要になるという点に改善の余地がある。特許文献2に開示された板状物搬送装置では、流体噴射ノズルと吸着パッドの組み合わせを備え、流体をチャックテーブルに噴射して吸着パッドの角度を調整してから吸着パッドで半導体ウエーハを吸着するという方法を提案している。しかし、この板状物搬送装置の構造は複雑であり、流体の噴射量や圧力調整を微妙に調整する必要があるため、実際の使用は難しいという課題が残されている。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、搬送元及び搬送先の保持テーブル面と搬送用の吸着パッド面との平行が保たれていない場合においても、簡単な機構で保持テーブルと吸着パッドの平行度の自動調整を実現可能な板状物搬送装置を提供することである。本発明によると、テーブル表面の傾きが異なる複数の保持テーブル間で板状物を搬送する板状物搬送装置であって、少なくとも垂直移動可能に支持されたアームと、該アームの先端部に固定され、上端部が逆円錐台形状の支持穴を有する支持ベースと、逆円錐台形状の頭部を有し、該頭部が該支持穴の逆円錐台形状部分に係合することにより該支持穴中に挿入支持された管状部材と、該管状部材の下端に連結された板状物を吸引保持する吸着パッドと、一端部が該管状部材の上端部に接続され他端が吸引源に接続された配管と、該管状部材に外嵌され、該支持ベースの肩部と該吸着パッドとの間に介装されたコイルばねと、を具備したことを特徴とする板状物搬送装置が提供される。本発明の板状物搬送装置では、頭部を逆円錐台形状にした管状部材とコイルばねを用いた吸着パッドの傾き角度を調整する手段を備えているため、傾いた保持テーブルの表面角度に吸着パッド自体が倣うように吸着パッドの角度を調整することができ、保持テーブルの傾き角度に対応する対応幅が広く、しかも構造が簡単であるため故障しにくく、安価であるという効果を有している。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明実施形態にかかる板状物搬送装置2の全体斜視図が示されている。板状物搬送装置2の基部4にはボール螺子10に螺合するナットが収容固定されており、ボールねじ10の一端部に連結されたパルスモータ12を駆動することにより、基部4が一対のガイドレール6,8に案内されて水平方向に移動する。基部4からはシャフト14が上方に突出しており、シャフト14は基部4内に収容された第1駆動手段により上下方向に移動され、第2駆動手段により旋回される。シャフト14の先端部にはアーム16の基端部がシャフト14と概略直角をなすように固定されている。アーム16の先端部には、連結部18を介して円板状支持プレート20が取り付けられている。支持プレート20には円周方向に120度離間して3個の支持部材22がねじ26で固定されている。図2に示すように、各支持部材22は逆円錐台形状の支持穴23を有しており、支持プレート20には支持穴23に整列して3個の挿入穴21が形成されている。本実施形態では、支持プレート20と支持部材22とで支持ベース24を構成する。代替実施形態として、厚みの厚い支持プレート20を採用し、支持プレート20に逆円錐台形状の支持穴23及び挿入穴21を形成することにより、支持部材22の使用を不要にすることができる。各挿入穴21中に管状部材28が挿入されており、管状部材28の頭部28aは支持穴23の形状に対応した逆円錐台形状に形成されている。各管状部材28の下端部には環状鍔部32が形成されており、この環状鍔部32にゴム等の弾性体から形成された吸着パッド30が連結されている。挿入穴21の上端には支持部材22の肩部22aが形成されており、管状部材28に外嵌して肩部22aと鍔部32との間にコイルばね34が介装されている。各吸着パッド30は管状部材28及び管路36を介して図示しない負圧吸引源に接続されている。以下、このように構成された本発明実施形態の板状物搬送装置2の作用について説明する。本実施形態では、板状物搬送装置2を研削装置に適用した例について説明する。図3Aに示すように、板状物である半導体ウエーハ11の裏面研削を実施する場合には、ウエーハ11の表面に表面保護テープ13が貼着される。研削装置では、ウエーハ11を保持するチャックテーブル保持テーブル38の上面吸引面が僅かに傾いており、この傾いたチャックテーブル38に吸引保持されたウエーハ11を本実施形態の板状物搬送装置2で搬送する場合には、吸着パッド30が弾性的に支持されているため、第1駆動手段を駆動して支持プレート20を下方に移動して吸着パッド30をウエーハ11に押し付ける。その結果、図3Aに示すように、左側のコイルばね34が縮み右側のコイルばね34が伸びることにより、全ての吸着パッド30がチャックテーブル38に僅かに傾斜して保持されているウエーハ11に接触する。この状態でチャックテーブル38の吸引保持を解除し、吸着パッド30を真空吸引源に接続することにより、ウエーハ11が吸着パッド30に吸引保持され、基部4内に収容されている第1駆動手段を駆動することにより、図3Bに示すように、吸着パッド30はウエーハ11を吸引保持してチャックテーブル38から離間することができる。図4を参照して、傾きの異なる保持テーブルチャックテーブル38,38Aの間で、ウエーハ11を搬送する際の本発明実施形態に係る板状物搬送装置2の作用について説明する。ここでは、右側の保持テーブル38Aに保持されていたウエーハ11を、左側の保持テーブル38に搬送する際の動作について説明する。保持テーブル38Aの吸引保持面は水平状態であるため、シャフト14を下降させて吸着パッド30で保持テーブル38A上のウエーハ11を吸着する。次いで、シャフト14を所定位置まで上昇させてから旋回することにより、吸着パッド30を左側の保持テーブル38に対向するように位置付ける。このとき、必要に応じて図1のパルスモータ12を駆動してシャフト14を所定量水平方向に移動する。次いで、シャフト14を下降させて吸着パッド30に保持されているウエーハ11を保持テーブル38に押し付けると、コイルばね34の伸縮動作により吸着パッド30に吸引保持されているウエーハ11の傾きが保持テーブル38の吸引保持面の傾きに倣うようになる。この状態で、保持テーブル38の真空吸引を開始してから吸着パッド30の真空吸引を解除することにより、半導体ウエーハ11は吸着パッド30から保持テーブル38に受け渡される。本発明の板状物搬送装置は、例えば、研削装置内のチャックテーブルからスピンナ洗浄装置のスピンナ保持テーブルへのウエーハの搬送や、テープマウンタ内の複数のチャックテーブル間でウエーハを搬送する場合に使用可能である。上述した実施形態では、3個の吸着パッド30が円周方向に等間隔離間して配設されているが、本実施形態の変形例として、中央部に1個の吸着パッドを配設するような構成でもよい。"