"液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に供給する前記液体を貯留しておく液体貯留部と、前記圧力発生室内の前記液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記流路形成基板の前記ノズル開口とは反対側の面に温度センサーを配設するとともに、前記液体貯留部に一端を臨ませて前記流路形成基板の前記面に形成された配線に前記温度センサーの一方のリード線を接続したことを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項1に記載する液体噴射ヘッドにおいて、前記温度センサーの少なくとも一方の前記リード線は、一端側が前記圧力発生手段のリード電極に接続されるCOF基板の前記一端側に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項1または請求項2に記載する液体噴射ヘッドにおいて、前記温度センサーは前記流路形成基板の中央部に配設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項1~請求項3の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、前記配線は、前記液体貯留部を前記流路形成基板にエッチングにより形成する際、前記流路形成基板の前記ノズル開口とは反対側で前記液体貯留部を閉塞するように前記リード電極と同一部材で前記リード電極とは不連続に形成された配線層であって、前記エッチング終了後に前記閉塞した部分を破る工程において残った前記配線層を利用したものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項1~請求項4の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを有するとともに、前記圧力発生手段を駆動する駆動波形が、前記温度センサーが検出した温度に基づき切替えられるように構成したことを特徴とする液体噴射装置。上述の如き、特許文献1では、温度センサーがインクが接触するような状態で発熱基板に埋設されているので、その電極等の絶縁性の確保に問題が残ると考えられる。また、特許文献2では、流路形成基板上に形成された下部電極上に絶縁膜を介して下部電極との間の相互絶縁を確保した上で温度検出センサーを前記絶縁膜の上面に配設しているので、この部分の構造が複雑になるばかりでなく、下電極膜及び絶縁膜を介してのインク温度を計測することになるので、その分精度も低下するという問題がある。なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。本発明は、このような事情に鑑み、液体の粘度に応じた適切な駆動波形で液体を吐出させるべく、吐出される液体の温度を正確に計測し得る温度センサーを備えた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に供給する前記液体を貯留しておく液体貯留部と、前記圧力発生室内の前記液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記流路形成基板の前記ノズル開口とは反対側の面に温度センサーを配設するとともに、前記液体貯留部に一端を臨ませて前記流路形成基板の前記面に形成された配線に前記温度センサーの一方のリード線を接続したことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。かかる態様では、ノズル開口から吐出される液体の温度が良好な熱伝導率を有する流路形成基板を介して温度検出センサーで検出される。この結果、前記液体の温度を高精度に計測することができる。しかも、液体貯留部に貯留されている液体が、配線および一方のリード線を介して温度検出センサーに接触しているので、配線を介してその温度が直接温度検出センサーに伝達されることになり、実際の液体の温度を高精度に反映した計測を行うことが可能になる。ここで、前記温度センサーの少なくとも一方の前記リード線は、一端側が前記圧力発生手段のリード電極に接続されるCOF基板の前記一端側に接続されているのが望ましい。この場合には、COF基板の配線を利用して所定の基板等に温度センサーが計測した温度情報を良好に送出することができる。また、前記温度センサーは前記流路形成基板の中央部に配設されていることが望ましい。この場合、流路形成基板の中央部は流体の平均的な温度を反映した部位となっているので、流体の温度を計測する部位として最適であり、高精度の温度情報計測に資することができる。さらに、前記配線は、前記液体貯留部を前記流路形成基板にエッチングにより形成する際、前記流路形成基板の前記ノズル開口とは反対側で前記液体貯留部を閉塞するように前記リード電極と同一部材で前記リード電極とは不連続に形成された配線層であって、前記エッチング終了後に前記閉塞した部分を破る工程において残った前記配線層を利用したものであることが望ましい。この場合には、当該液体噴射ヘッドの流路形成基板の作製に伴う、いわゆる膜破り工程で発生した配線層を有効活用して液体の温度を温度センサーに伝達することができる。この結果、流路形成基板のエッチングの際にのみ必要で、膜破り工程の後は不要となっていた配線層の有効利用も併せて図ることが可能になる。さらに、本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを有するとともに、前記圧力発生手段を駆動する駆動波形が、前記温度センサーが検出した温度に基づき切替えられるように構成したことを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、液体噴射ヘッドから吐出される液体の温度を表す温度情報を高精度に検出することができるので、これに対応させた適切な駆動波形で液体噴射ヘッドを駆動させることができる。この結果、液体の吐出特性の向上により印刷物等の品質向上を可能とする液体噴射装置を実現できる。以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド以下、単に記録ヘッドともいう。の分解斜視図であり、図2は、記録ヘッドの圧力発生室の長手方向における断面図である。両図に示すように、記録ヘッド20を構成する流路形成基板21には、複数の圧力発生室22が流路形成基板21の幅方向に並設された列が2列設けられている。また、各列の圧力発生室22の長手方向外側の領域には連通部23が形成され、連通部23と各圧力発生室22とが、圧力発生室22毎に設けられたインク供給路24及び連通路25を介して連通されている。流路形成基板21の一方の面には、各圧力発生室22のインク供給路24とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口26が穿設されたノズルプレート27が接合されている。一方、流路形成基板21のノズルプレート27とは反対側の面には、弾性膜28及び絶縁体膜29を介して圧電素子30が形成されている。圧電素子30は、第1電極31と、圧電体層32と、第2電極33とで構成されている。各圧電素子30を構成する第2電極33には、絶縁体膜29上まで延設されたリード電極34が接続されている。リード電極34は、一端部が第2電極33に接続されていると共に、他端部側が、圧電素子30を駆動するための駆動IC35aが実装されたCOF基板35と接続されている。このようにCOF基板35の一端側にはリード電極34が接続され、COF基板35の他端側は当該記録ヘッド20の上方のケース部材図示せずに固定された回路基板図示せずに接続されている。このような圧電素子30が形成された流路形成基板21上には、圧電素子30に対向する領域に、圧電素子30を保護するための空間である圧電素子保持部36を備えた保護基板37が接着剤38によって接合されている。また、保護基板37には、マニホールド部39が設けられている。このマニホールド部39は、本実施形態では、流路形成基板21の連通部23と連通されて各圧力発生室22の共通のインク室となるマニホールド40を構成している。また、保護基板37には、保護基板37を厚さ方向に貫通する貫通孔41が設けられている。貫通孔41は、本実施形態では、2つの圧電素子保持部36の間に設けられている。そして、各圧電素子30から引き出されたリード電極34の端部近傍は、貫通孔41内に露出するように設けられている。さらに保護基板37上には、封止膜44及び固定板45とからなるコンプライアンス基板46が接合されている。ここで、封止膜44は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜44によってマニホールド部39の一方面が封止されている。また、固定板45は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板45のマニホールド40に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部47となっているため、マニホールド40の一方面は可撓性を有する封止膜44のみで封止されている。さらにコンプライアンス基板46には、マニホールド40内にインクを導入するためのインク導入口48が設けられている。コンプライアンス基板46上には、ヘッドケース49が固定されている。ヘッドケース49には、インク導入口48に連通してカートリッジ等の貯留手段からのインクをマニホールド40に供給するインク導入路50が設けられている。さらに、ヘッドケース49には、保護基板37に設けられた貫通孔41と連通する配線部材保持孔51が設けられており、COF基板35は配線部材保持孔51内に挿通された状態でその一端側がリード電極34と接続されている。図2、図2におけるサーミスター部分を抽出して示す拡大図である図3、図1における流路形成基板を平面的に見た拡大図である図4に詳細に示すように、流路形成基板21のノズルプレート27と反対側の面の中央部には温度センサーであるサーミスター52が配設してある。サーミスター52の一方のリード線53Aは流路形成基板21において圧電素子30が形成する長手方向の列の一方の外側で接続パッド54Aに接続されている。また、サーミスター52の他方のリード線53Bは、液体貯留部であるマニホールド40の連通部23に一端を臨ませて流路形成基板21の前記面に形成された配線層54Bに接続されている。本形態においては圧電素子30の列に対応させて2個形成されている連通部23にそれぞれ臨む配線層54Bに、リード線53Bがそれぞれ接続されている。ただ、これは何れか一方の配線層54Bに接続されていれば良い。さらに、本形態においては配線層54Bおよび配線層54Bの一端部が接触しているマニホールド40内のインクを介してサーミスター52のリード線53B側が接地されている。この場合、インクが導電性のインクである必要があり、またインクが接地電位となっている必要がある。これは、例えばノズルプレート27を導電性部材であるSUSで形成するか、または外部から導電性部材で形成した針状部材をマニホールド40内に臨ませ、この針状部材を接地電位とすることで良好に実現できる。接続パッド54AはCOF基板35に接続されている。すなわち、本形態においてサーミスター52の一方のリード線53Aは各圧電素子30に所定の駆動信号を供給するCOF基板35の配線の一本を利用することによりCOF基板35を介して外部の配線基板図示せずに接続されている。ここで、サーミスター52は流路形成基板21の中央部の温度に対応する抵抗値を表わす信号を温度信号として送出するが、前記抵抗値は他方のリード線53Bを介して直接伝達される配線層54Bを介してのマニホールド40内のインクの温度も反映したものとなる。したがって、サーミスター52は、より正確にノズル開口26を介して吐出されるインクの温度を反映した値を測定値として検出することができる。本形態における配線層54Bは、マニホールド40の連通部23を流路形成基板21にエッチングにより形成する際、流路形成基板21のノズル開口26とは反対側で連通部23を閉塞する膜であって、前記エッチング終了後に前記閉塞した部分を破る工程膜破り工程において残った膜を利用したものである。ここで、本形態に係る記録ヘッド20の製造工程における膜破り工程に関連する工程を説明しておく。図6および図7は実施形態に係る記録ヘッドの製造工程の一部を示す断面図図2の右半分に対応する部分のみを示しているである。なお、両図中、図1および図2と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。図6aはシリコンウェハーである流路形成基板用ウェハー110に弾性膜28、絶縁体膜29および圧電素子30までを形成した状態を示している。かかる状態からリード電極34を形成する。具体的には、図6bに示すように、流路形成基板用ウェハー110の全面に亘って配線層90を形成する。そして、この配線層90上に、例えば、レジスト等からなるマスクパターン図示なしを形成し、このマスクパターンを介して配線層90を圧電素子30毎にパターニングすることによりリード電極34を形成するとともに、弾性膜28の貫通部に対応する領域後に連通部23が形成される領域に、リード電極34とは不連続の配線層54Bを残し、この配線層90によって貫通部が封止されるようにしておく。次に、図6cに示すように、リザーバー形成基板用ウェハー130を、流路形成基板用ウェハー110上に接着剤38によって接着する。ここで、このリザーバー形成基板用ウェハー130には、マニホールド部39および圧電素子保持部36等が予め形成されている。続いて流路形成基板用ウェハー110を所定の厚みになるまで薄くしておく。その後、図7aに示すように、流路形成基板用ウェハー110上にマスク膜57を新たに形成し、所定形状にパターニングする。そして、図7bに示すように、このマスク膜57を介して流路形成基板用ウェハー110を異方性エッチングウェットエッチングして、流路形成基板用ウェハー110に圧力発生室22、連通部23、インク供給路24および連通路25を形成する。ここで、配線層90はマニホールド部39の流路形成基板21側の開口端面を封止して連通部23を形成するためのエッチング液がマニホールド部39側に流入するのを防止している。流路形成基板用ウェハー110に圧力発生室22、連通部23、インク供給路24および連通路25が形成された後、マニホールド40を形成するため、図7cに示すように、連通部23とマニホールド部39との間の配線層90を弾性膜28および絶縁体膜29とともに除去して膜破り連通部23をマニホールド部39に連通させる。この結果、連通部23の周囲に膜破り工程で残り、連通部23に端部が臨む配線層54Bが形成される。このように配線層54Bはリード電極34と同一材料で形成されているので、良導体であるとともに、熱伝導性も良好な部材となる。かかる記録ヘッド20においては、所定の駆動信号により圧電素子30が駆動される。この結果、圧力発生室22に発生する圧力により、圧力発生室22からノズル開口26を介してインク滴が吐出される。ここで、流路形成基板21上に配設されたサーミスター52ではインク温度を反映した温度情報が検出されるので、この温度情報に基づき適切な駆動信号を選択し、選択した駆動信号で圧電素子30を駆動することができる。ここで、サーミスター52で検出する温度は、通常シリコン基板で形成され、良好な熱伝導性を有する流路形成基板21の温度を計測するとともにリード線53Bにはマニホールド40内のインクの熱が直接伝導されるので、実際のインクの温度を高精度に反映したものとなる。したがって、かかる温度情報に基く駆動信号も当該インク温度を考慮した最適な波形のものとすることができる。図8はこの場合の温度測定部分の等価回路の一例である。同図に示すように、温度によって抵抗値が変化する可変抵抗Rtであるサーミスター52には固定抵抗R1が直列に接続してある。したがって、固定抵抗R1の両端の電圧を電圧計Vで計測することにより可変抵抗Rtの抵抗値を介して計測すべき温度を検出することができる。電圧計Vで計測される電圧は、固定抵抗R1と可変抵抗Rtとの抵抗値で決まる分割比で電源電圧Vccを分割した値として与えられるからである。他の実施形態以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、サーミスター52のリード線53Bは配線層54Bのみに接続し、インクを介して接地するようにしたが、リード線53Aと同様にCOF基板35を利用し、COF基板35の配線の一本を利用することにより外部の配線基板図示せずを介して接地しても勿論構わない。この場合、配線層54Bは電位的には浮いた状態でも良い。また、サーミスター52は一個のみを流路形成基板21の中央部に配設したが、その数および流路形成基板21の面であれば設置部位には特別な制限はない。上記実施形態では圧力発生室22に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子30を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。上記実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図9は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。同図に示すように、上記実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A、1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A、2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。なお、上述した例では、記録シートSの搬送方向と交差する方向主走査方向に移動するキャリッジ3に記録ヘッドユニット1A,1Bを搭載し、記録ヘッドユニット1A,1Bを主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置であるがこれに限るものではない。記録ヘッドが固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット記録装置であっても、勿論構わない。さらに上記実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED電界放出ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。"