"入射光線を第1光軸に沿って入射させて第1光線とする入射光学系と、互いに所定の角度を持って設定され、前記第1光線を複数回反射させて第2光線となす、複数の可動平面鏡から構成される可動平面鏡群と、前記第1光軸に対して所定の角度で且つ前記第1光線を遮らないように配置され、前記第2光線を反射させて第3光線となす固定平面鏡とを備え、前記第3光線が再度前記可動平面鏡群で複数回反射されて第4光線となって前記第1光軸を前記第1光線とは逆の向きに進んで射出し、前記可動平面鏡群が前記固定平面鏡および前記第1光軸に対して相対運動することにより、入射から射出までの光路長が可変となるように構成され、前記第2光線が前記固定平面鏡に垂直入射するように、前記第1光軸、可動平面鏡群、固定平面鏡の各々が配置されていることを特徴とする光路長可変装置。請求項1に記載の光路長可変装置であって前記可動平面鏡群が、2個の平面鏡を互いに垂直に配置してなる2面組み合わせミラーにより構成され、且つ、前記第1光軸が前記固定平面鏡に対して垂直であるように設定され、しかも、前記第1光軸および、前記可動平面鏡群を構成する2個の平面鏡と固定平面鏡の各法線がすべて同一平面上にあることを特徴とする光路長可変装置。請求項1に記載の光路長可変装置であって、前記可動平面鏡群が、2個の平面鏡を互いに所定の角度φをなすように配置してなる2面組み合わせミラーにより構成され、且つ、前記第1光軸が前記固定平面鏡に対してなす角度δとφの関係が、φ=270°-δ/2となるように、前記第1光軸と前記固定平面鏡の関係が設定され、しかも、前記第1光軸および、前記可動平面鏡群を構成する2個の平面鏡と固定平面鏡の各法線がすべて同一平面上にあることを特徴とする光路長可変装置。請求項1に記載の光路長可変装置であって、前記光路長可変装置における可動平面鏡群が、3個の平面鏡を互いに垂直に配置してなるコーナーキューブミラーにより構成され、且つ、前記第1光軸が前記固定平面鏡の表面に対して垂直であるように設定されていることを特徴とする光路長可変装置。請求項1に記載の光路長可変装置であって、第1可動平面鏡、第2可動平面鏡、第3可動平面鏡を互いに所定の角度をなすように配置することで前記可動平面鏡群が構成されており、そのうち前記第1可動平面鏡と第2可動平面鏡のなす角度がφに設定され、また、前記第1可動平面鏡と第3可動平面鏡のなす角度および前記第2可動平面鏡と第3可動平面鏡のなす角度が共に90°になるよう設定され、且つ、前記第1光軸の前記第3可動平面鏡表面またはその仮想的延長面上への射影と、前記固定平面鏡表面またはその仮想的延長面が前記第3可動平面鏡の表面またはその仮想的延長面によって切られて形成される直線とのなす角度δとφの関係が、φ=270°-δ/2であるように構成されていることを特徴とする光路長可変装置。請求項1~5のいずれか1項に記載の光路長可変装置であって、前記可動平面鏡群が所定の回転軸のまわりに回転することにより、装置内での光路長を変化させることを特徴とする光路長可変装置。請求項1~5のいずれか1項に記載の光路長可変装置であって、前記可動平面鏡群が所定の回転軸のまわりに振動することにより、装置内での光路長を変化させることを特徴とする光路長可変装置。請求項1~7のいずれか1項に記載の光路長可変装置であって、前記固定平面鏡が、前記第1光軸を通過させる細孔を持つ反射構造を備えることにより、前記固定平面鏡が前記第1光線を遮らない構成とされていることを特徴とする記載の光路長可変装置。被測定光線を分割して固定光路と可変光路に各々入射させる分割光学系と、前記可変光路中に配置され、前記可変光路に入射された可変光路長光線に所定の光路差を付加して射出する請求項1~8のいずれか1項に記載の光路長可変装置と、前記固定光路を経た光線と前記光路長可変装置から射出された光線とを合成する合成光学系とを備え、前記両光路の光路差により発生する位相のずれにより前記固定光路を経た光線と前記光路長可変装置から射出された光線を干渉させるための光干渉計。請求項9に記載の光干渉計を用い、その光干渉計の出力波形を逆フーリエ変換することにより、被測定光線のスペクトルを測定することを特徴とするフーリエ変換分光器。しかしながら、前記従来例においては、プリズム12、12を相互に精度良く平行移動させる必要があり、そのための複雑な揺動メカニズムと駆動装置が必要である。また、2個のプリズム12,12の対向面に高度な平行度が要求されるとともに、BS面で互いに接触して動作することにより、その表面の摺動による温度上昇に伴う屈折率変動や、長期の稼動による表面劣化が発生する。これらの結果、複雑で精密な構造や駆動機構が必要となり、装置の寸法が大きくなってしまい、また同じ理由により装置の製造や維持のための費用が高価となり、その精度を長期にわたって維持することにも支障があった。本発明は、上記事情を考慮し、光路長を可変にするためのメカニズムとして、小型で簡単な装置構成の採用を可能とし、また、可動方法としても、回転等、簡便で駆動しやすい方式の採用を可能とし、さらに、使用する部材の精度への要求を緩和でき、また、長期に駆動しても光学面の劣化の少ない可変光路長装置、および、それを用いた安価で小型、且つ、高精度、高信頼性の光干渉計、ならびに、その光干渉計を用いたフーリエ変換分光器を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、請求項1の発明の光路長可変装置は、入射光線を第1光軸に沿って入射させて第1光線L1とする入射光学系2と、互いに所定の角度を持って設定され、前記第1光線を複数回反射させて第2光線L2となす、複数の可動平面鏡Mm1、Mm2から構成される可動平面鏡群Mmと、前記第1光軸に対して所定の角度で且つ前記第1光線を遮らないように配置され、前記第2光線を反射させて第3光線L3となす固定平面鏡Mfとを備え、前記第3光線が再度前記可動平面鏡群で複数回反射されて第4光線L4となって前記第1光軸を前記第1光線とは逆の向きに進んで射出し、前記可動平面鏡群が前記固定平面鏡および前記第1光軸に対して相対運動することにより、入射から射出までの光路長が可変となるように構成され、前記第2光線が前記固定平面鏡に垂直入射するように、前記第1光軸、可動平面鏡群、固定平面鏡の各々が配置されていることを特徴とする。請求項2の発明は、請求項1に記載の光路長可変装置であって前記可動平面鏡群が、2個の平面鏡を互いに垂直に配置してなる2面組み合わせミラーにより構成され、且つ、前記第1光軸が前記固定平面鏡に対して垂直であるように設定され、しかも、前記第1光軸および、前記可動平面鏡群を構成する2個の平面鏡と固定平面鏡の各法線がすべて同一平面上にあることを特徴とする。請求項3の発明は、請求項1に記載の光路長可変装置であって、前記可動平面鏡群が、2個の平面鏡を互いに所定の角度φをなすように配置してなる2面組み合わせミラーにより構成され、且つ、前記第1光軸が前記固定平面鏡に対してなす角度δとφの関係が、φ=270°-δ/2となるように、前記第1光軸と前記固定平面鏡の関係が設定され、しかも、前記第1光軸および、前記可動平面鏡群を構成する2個の平面鏡と固定平面鏡の各法線がすべて同一平面上にあることを特徴とする。請求項4の発明は、請求項1に記載の光路長可変装置であって、前記光路長可変装置における可動平面鏡群が、3個の平面鏡を互いに垂直に配置してなるコーナーキューブミラーにより構成され、且つ、前記第1光軸が前記固定平面鏡の表面に対して垂直であるように設定されていることを特徴とする。請求項5の発明は、請求項1に記載の光路長可変装置であって、第1可動平面鏡、第2可動平面鏡、第3可動平面鏡を互いに所定の角度をなすように配置することで前記可動平面鏡群が構成されており、そのうち前記第1可動平面鏡と第2可動平面鏡のなす角度がφに設定され、また、前記第1可動平面鏡と第3可動平面鏡のなす角度および前記第2可動平面鏡と第3可動平面鏡のなす角度が共に90°になるよう設定され、且つ、前記第1光軸の前記第3可動平面鏡表面またはその仮想的延長面上への射影と、前記固定平面鏡表面またはその仮想的延長面が前記第3可動平面鏡の表面またはその仮想的延長面によって切られて形成される直線とのなす角度δとφの関係が、φ=270°-δ/2であるように構成されていることを特徴とする。請求項6の発明は、請求項1~5のいずれか1項に記載の光路長可変装置であって、前記可動平面鏡群が所定の回転軸Pのまわりに回転することにより、装置内での光路長を変化させることを特徴とする。請求項7の発明は、請求項1~5のいずれか1項に記載の光路長可変装置であって、前記可動平面鏡群が所定の回転軸のまわりに振動することにより、装置内での光路長を変化させることを特徴とする。請求項8の発明は、請求項1~7のいずれか1項に記載の光路長可変装置であって、前記固定平面鏡が、前記第1光軸を通過させる細孔を持つ反射構造を備えることにより、前記固定平面鏡が前記第1光線を遮らない構成とされていることを特徴とする。請求項9の発明の光干渉計10は、被測定光線を分割して固定光路と可変光路に各々入射させる分割光学系BSと、前記可変光路中に配置され、前記可変光路に入射された可変光路長光線に所定の光路差を付加して射出する請求項1~8のいずれか1項に記載の光路長可変装置1と、前記固定光路を経た光線と前記光路長可変装置から射出された光線とを合成する合成光学系BS、Mとを備え、前記両光路の光路差により発生する位相のずれにより前記固定光路を経た光線と前記光路長可変装置から射出された光線を干渉させることを特徴とする。請求項10の発明のフーリエ変換分光器は、請求項9に記載の光干渉計10を用い、その光干渉計の出力波形を逆フーリエ変換することにより、被測定光線のスペクトルを測定することを特徴とする。本発明の可変光路長装置によれば、光路長を可変にするためのメカニズムとして、小型で簡単な装置構成の採用が可能となり、また、可動方法としても、回転等の簡便で駆動しやすい方式の採用が可能となる。さらに、使用する部材の精度への要求を緩和でき、また、長期にわたって駆動しても、光学面の劣化を防止することができるようになる。従って、その可変光路長装置を用いることにより、FTIRフーリエ変換赤外分光光度計等に用いられる光干渉計を、小型安価高精度高信頼性に構成することができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図1は第1実施形態の可変光路長装置の概略構成図、図2は同可変光路長装置の作用説明図である。この光路長可変装置1は、入射光学系2、固定平面鏡Mf、および、可動平面鏡群Mmを備える。この例では、固定平面鏡Mfは紙面に対して垂直に設置されており、また、可動平面鏡群Mmは、紙面に垂直な2枚の平面鏡Mm1,Mm2を相互に90°の角度になるよう組み合わせて構成されている。所定の光源図示されないから入射光学系2を介して光路長可変装置1に入射した光線は、第1光線L1となる。この例では、固定平面鏡に対して第1光線L1が90°の角度を持つように入射光学系2の光軸第1光軸が調整されている。即ち、第1光軸第1光線L1の進む光路および、可動平面鏡群Mmを構成する2個の平面鏡Mm1,Mm2と固定平面鏡Mfの各法線がすべて同一平面上にある。第1光線L1は、光路長可変装置1内を進行して、第1、第2の可動平面鏡Mm1,Mm2により順次反射されて第2光線L2となる。第2光線L2は、さらに光路長可変装置1内を進行し、固定平面鏡Mfに入射する。この際、第1光線L1、固定平面鏡Mf、可動平面鏡群Mmを上記のような相対角度に設置した光学系においては、第2光線L2は、固定平面鏡Mfに対して垂直に入射することになる。その結果、第2光線L2が固定平面鏡Mfで反射されて第3光線L3となる際に、第3光線L3は第2光線L2とまったく同じ光路を逆方向に進行する。第3光線はさらに、第2、第1可動平面鏡Mm2、Mm1により順次反射されて、第1光線L1とまったく同じ光路を逆方向に進む第4光線L4となり、光路長可変装置1から射出される。以上の説明からわかるように、この光路長可変装置1は、入射光線に対して所定の付加光路差ΔSが加えられた射出光線が、入射光線とまったく同じ光軸上を逆方向に進行する光線として射出される。さらに、可動平面鏡群Mmは、上記の条件を維持したまま可動であるように構成してある。例えば、図2に示すように、紙面に垂直な回転軸Pの周りに回転動作が可能なように構成してある。この場合、可動平面鏡群Mmの回転に伴って、第1光線L1に対する第1可動平面鏡Mm1の角度θが変化する。この角度θの変化に伴い、付加光路差ΔSを変化させることができる。したがって、この光路長可変装置1は、入射光線に対して可変の光路差が印加されて、入射光線と同じ光軸上を逆方向に進行する射出光線を発生することができる。このように、第1実施形態の光路長可変装置1によれば、光路長を可変にするためのメカニズムとして、小型で簡単な装置構成の採用が可能となる。また、可動方法として、回転等、簡便で駆動しやすい方式の採用が可能となる。さらに、特許文献1に記載の技術と違って、使用する部材の精度への要求を緩和できる。また、長期にわたって駆動しても光学面の劣化を防止することができる。図3は、第1実施形態の光路長可変装置1を用いた光干渉計10の構成例を示す。この光干渉計10には、光路長可変装置1に加えて、分割光学系BSが備えられている。この分割光学系BSとしては、例えば、ハーフミラーを用いることができる。光干渉計10の入射部INを介して入射した光線L11は、分割光学系BSで可変光路長光線L12と固定光路長光線L15とに分割される。可変光路長光線L12は、光路長可変装置1に入射して、その内部で、上で述べたように、可変の光路長が付加されて、光線L12と同じ光軸上を逆方向に進行する光線L13となって戻される。一方、固定光路長光線L15は、長さが固定された光路上を通過した後、光線L14となって戻される。図3の例では、固定光路長光線L15は、固定ミラーMで反射された後に光線L14となって戻される。この後、光線L13の一部が分割光学系BSを通過し、また光線L14の一部が分割光学系BSで反射され、それらが合成されて光線L16となり、光干渉計10の射出部OUTを介して出力される。ここでは、分割光学系BSの一部機能と固定ミラー反射光学系Mとにより合成光学系が構成されている。以上の構成において、光干渉計10の入射光線L11は、光路長可変装置1内の固定平面鏡Mfの表面に平行になるように入射される。また入射光線L11に対して、分割光学系BSとして用いるハーフミラーは45°の姿勢で、また固定ミラーMは90°の姿勢で各々設置されている。射出部OUTから出力される光線L16は、可変光路長装置1を経て所定の光路差ΔSが付加された光線L13と、固定光路長を経た光線L14とが合成されたものであるため、両者の位相差により干渉パターンを発生し、インターフェログラムとなる。したがって、この光干渉計10をフーリエ変換分光器に組み込み、光干渉計10の出力波形を逆フーリエ変換することにより、被測定光線のスペクトルを測定することができる。この光干渉計10は、上述した光路長可変装置1を用いているので、安価に実現できると共に、小型化、高精度化、高信頼性を図ることができる。図4は第2実施形態の光路長可変装置の概略構成図、図5は同可変光路長装置の作用説明図である。この第2実施形態の光路長可変装置は、第1実施形態の光路長可変装置を、より一般化したものである。この第2実施形態の光路長可変装置では、固定平面鏡Mfは、紙面に垂直な姿勢で設置されると共に、紙面に平行な第1光線L1第1光軸に対して所定の角度δを持つように設置され、可動平面鏡群Mmを構成する2枚の可動平面鏡Mm1、Mm2は、紙面に垂直な姿勢で設置されると共に、互いに相対角度φをなすように組み合わせられている。即ち、第1光軸第1光線L1および、可動平面鏡群Mmを構成する2個の平面鏡Mm1、Mm2と固定平面鏡Mfの各法線がすべて同一平面上にある。さらに、角度δとφの関係が、φ=270°-δ/2となるように、これらの配置が調整されている。可動平面鏡群Mmは、少なくともある時間範囲では前記第1光線を遮るように配置される平面鏡を含む複数の平面鏡が互いに所定の角度を持って相互に固定されてなる。この結果として、第1光線L1が2枚の可動平面鏡Mm1,Mm2で順次反射された後の第2光線L2は、固定平面鏡Mfに垂直入射する。そのため、図1の場合と同様に、第4光線L4は、第1光線L1とまったく同じ光軸上を逆向きに進行する。また、図5のように、可動平面鏡を、例えば、回転軸Pの周りに回転させることにより、射出光線の光軸を変えずに、光路長のみを変化させることができる効果も第1実施形態の光路長可変装置の効果と同様である。この第2実施形態の光路長可変装置のように、可動平面鏡群Mmを構成する2枚の平面鏡Mm1、Mm2の組み合わせ角度φを一般化することにより、可動平面鏡群Mmを製造する場合の自由度が増す一般的に、工業的に平面鏡を組み合わせるのであれば、相対角度を90°に設定する図1の実施形態ことが望ましいと考えられる。しかしながら、例えば、Si結晶を特定のアルカリ溶液KOH等でエッチングする際の結晶面方位によるエッチング速度の差を利用することにより、111面を反射面とする精度の高いミラー面を形成できるので、この技術を応用することにより、高精度な相対角度と個々のミラー面を持つミラー構造体を自動的に容易に得ることができる。さらに、この場合はSi加工技術の応用であるために、全体を小型化できて微細で量産性の高い光学部品とすることができるメリットがある。この際の、隣接する111面間の相対角度は70.6°である。この場合、図4における2枚の可動平面鏡Mm1,Mm2の相対角度をこの70.6°に設定することで、容易に、かつ量産性をもって可動平面鏡群Mmを製造できる。なお、この際の、固定平面鏡Mfの第1光線L1に対する角度δは128.8°となる。この場合の光路長可変装置の構成例を図6に示す。図1の光路長可変装置に対して、δが鈍角となっているが、構成及び原理はまったく同様である。さらに別の実施形態として、可動平面鏡群が3面の場合も可能である。即ち、図1の例で可動平面鏡群Mmが、垂直配置の2枚の可動平面鏡Mm1,Mm2から構成されていたのに対して、3枚の平面鏡を互いに垂直になるように組み合わせた、いわゆるコーナーキューブミラーを利用する請求項4に相当。この場合も、固定平面鏡は、第1光線L1に対して垂直に設置することにより、可動平面鏡群であるコーナーキューブミラーから射出される第2光線L2は、固定平面鏡に垂直入射し、同様の光路長可変装置が構成できる。さらに別の実施例として、コーナーキューブミラーを、より一般化し、3枚の可動平面鏡間の角度の少なくとも1つが垂直ではない構成例が考えられる。即ち第1可動平面鏡、第2可動平面鏡、第3可動平面鏡を互いに所定の角度をなすように配置して可動平面鏡群を構成し、そのうち第1可動平面鏡と第2可動平面鏡のなす角度をδとし、また、第1可動平面鏡と第3可動平面鏡のなす角度、および、第2可動平面鏡と第3可動平面鏡のなす角度を共に90°になるよう設定し、且つ、第1光軸の第3可動平面鏡表面またはその仮想的延長面上への射影と、固定平面鏡表面またはその仮想的延長面が第3可動平面鏡の表面またはその仮想的な延長面によって切られて形成される直線とのなす角度φが、φ=270°-δ/2であるように構成する請求項5に相当。この場合でも、射出光線の光軸を変えずに光路長のみを可変できる効果は同様である。また、図2、図5では、光路長を可変にする手段として、可動平面鏡群Mmを回転軸Pに対して回転する例を示したが、例えば、並進運動や揺動振動など、より一般的な可動平面鏡の動きでも、同様な効果が得られる。また、前記実施形態では、図1、図4、図6に示すように、固定平面鏡Mfの位置を、第1光線L1の進行を遮らない位置にずらして配置した場合を示したが、固定平面鏡Mfに、第1光軸第1光線L1を通過させる細孔を形成することで、固定平面鏡Mfによって第1光線L1の進行を遮らないようにすることもできる。"