上面に研磨布が貼付された下定盤と、該下定盤の上方に上下動自在に支持され、下面に研磨布が貼付された上定盤と、該下定盤と上定盤との間に配置され、ワークを保持する透孔を有するキャリアと、前記上下定盤を軸線を中心として回転駆動する駆動装置と、前記キャリアを回転駆動するキャリア駆動装置と、前記上下定盤の少なくとも一方に設けられたスラリー供給用の供給孔と、該供給孔に接続され、スラリー供給源から送られるスラリーを前記供給孔を通じて研磨布面に供給する供給パイプとを具備し、スラリーを前記定盤上に供給しつつ、上下定盤を回転させ、かつキャリアを回転させることにより、上下定盤間に挟まれたワークの両面を研磨する両面研磨装置において、前記供給孔の一方の端部である、前記研磨布が貼付された前記定盤面側の開口縁がテーパー面に形成されて、当該部位の供給孔が定盤面に向けて広がる拡径孔に形成され、前記研磨布の、前記供給孔を覆う部分に、供給孔対応孔が形成され、該供給孔対応孔の開口縁が前記供給孔内に押し込まれると共に、一端部に、前記拡径孔の前記テーパー面に対向するフランジ部が形成された固定パイプが前記供給孔に挿入された状態で定盤に固定され、前記供給孔対応孔の開口縁が、前記拡径孔のテーパー面と前記固定パイプのフランジ部との間で挟圧、保持されることを特徴とする両面研磨装置。前記固定パイプの他端部側が前記供給孔から前記定盤の外方に突出する突出部に形成され、該突出部に雄ねじ部が形成され、該雄ねじ部にナットが螺合されて前記定盤面に締め付けられることによって、前記固定パイプが前記定盤に固定されることを特徴とする請求項1記載の両面研磨装置。前記固定パイプの、前記雄ねじ部よりもさらに外方の部分が、スラリー供給用の前記供給パイプを接続可能な管継手部に形成されていることを特徴とする請求項2記載の両面研磨装置。前記供給孔対応孔の開口縁が複数の舌片に分割され、前記各舌片が、前記テーパー面とフランジ部との間で挟圧、保持されることを特徴とする請求項1~3いずれか1項記載の両面研磨装置。前記固定パイプの他端部に、前記供給孔の内壁面に設けた係止凹部に係止する係止片が設けられていることを特徴とする請求項1記載の両面研磨装置。前記供給孔の他方の端部側に、スラリー供給用の前記供給パイプを接続する管継手が取り付けられていることを特徴とする請求項1または5記載の両面研磨装置。前記固定パイプの一端部側が前記供給孔の前記拡径部内に位置して、前記研磨布側に突出していないことを特徴とする請求項1~6いずれか1項記載の両面研磨装置。特許文献1に示されるように繊維層の端面を溶融処理する場合、研磨布の外周縁を溶融処理するのは比較的容易であるが、多数の、スラリー供給用の供給孔に対応する、狭いエリアに設けた孔または切れ目の端面を溶融処理するのは極めて厄介であり、また切れ目の場合には、切れ目が再度塞がってしまうことも考えられる。また、溶融処理したとしても、スラリー供給用の供給孔は、研磨面内に存在することから、溶融処理した繊維層の端面が研磨面内に存在し、繊維層が例えほつれなくても、硬い、溶融処理した端面によってワークが傷つけられるおそれがある。本発明は、上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、研磨布が繊維層を含むものであっても、ワークを精度よく研磨することのできる両面研磨装置を提供するにある。上記の目的を達成するため、本発明は次の構成を備える。すなわち、本発明に係る両面研磨装置は、上面に研磨布が貼付された下定盤と、該下定盤の上方に上下動自在に支持され、下面に研磨布が貼付された上定盤と、該下定盤と上定盤との間に配置され、ワークを保持する透孔を有するキャリアと、前記上下定盤を軸線を中心として回転駆動する駆動装置と、前記キャリアを回転駆動するキャリア駆動装置と、前記上下定盤の少なくとも一方に設けられたスラリー供給用の供給孔と、該供給孔に接続され、スラリー供給源から送られるスラリーを前記供給孔を通じて研磨布面に供給する供給パイプとを具備し、スラリーを前記定盤上に供給しつつ、上下定盤を回転させ、かつキャリアを回転させることにより、上下定盤間に挟まれたワークの両面を研磨する両面研磨装置において、前記供給孔の一方の端部である、前記研磨布が貼付された前記定盤面側の開口縁がテーパー面に形成されて、当該部位の供給孔が定盤面に向けて広がる拡径孔に形成され、前記研磨布の、前記供給孔を覆う部分に、供給孔対応孔が形成され、該供給孔対応孔の開口縁が前記供給孔内に押し込まれると共に、一端部に、前記拡径孔の前記テーパー面に対向するフランジ部が形成された固定パイプが前記供給孔に挿入された状態で定盤に固定され、前記供給孔対応孔の開口縁が、前記拡径孔のテーパー面と前記固定パイプのフランジ部との間で挟圧、保持されることを特徴とする。また、前記固定パイプの他端部側が前記供給孔から前記定盤の外方に突出する突出部に形成され、該突出部に雄ねじ部が形成され、該雄ねじ部にナットが螺合されて前記定盤面に締め付けられることによって、前記固定パイプが前記定盤に固定されることを特徴とする。また、前記固定パイプの、前記雄ねじ部よりもさらに外方の部分が、スラリー供給用の前記供給パイプを接続可能な管継手部に形成されていることを特徴とする。また、前記供給孔対応孔の開口縁が複数の舌片に分割され、前記各舌片が、前記テーパー面とフランジ部との間で挟圧、保持されることを特徴とする。あるいは、前記固定パイプの他端部に、前記供給孔の内壁面に設けた係止凹部に係止する係止片を設けて固定パイプを定盤に固定するようにしてもよい。この場合、前記供給孔の他方の端部側に、スラリー供給用の前記供給パイプを接続する管継手を取り付けるようにするとよい。また、上記各場合に、前記固定パイプの一端部側が前記供給孔の前記拡径部内に位置して、前記研磨布側に突出していないようにするとよい。本発明によれば、スラリー供給孔の部位の研磨布を簡易な構造で固定でき、精度よくワークの研磨が行える両面研磨装置を提供できる。以下本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は両面研磨装置30の正面説明図である。両面研磨装置30の基本的な構造は公知のものを採用しうるので、以下簡単に説明する。両面研磨装置30は、上面が研磨面とされた下定盤32と、下定盤32の上方に上下動自在に支持され、下面が研磨面とされた上定盤36を具備する。下定盤32の上面および上定盤36の下面には研磨布34が貼付されている図4。研磨布34は、不織布からなるもの、繊維層と樹脂層との積層構造のもの等、特に限定されない。上下定盤32、36は駆動装置により軸線を中心として互いに反対方向に回転される。すなわち、上定盤36は、支持フレーム38に配設された駆動装置40によって、軸線を中心に回転自在、かつ上下動自在に設けられている。駆動装置40は、上下動機構として例えばシリンダ装置図示せずを有し、また回転機構としてモータ図示せずを有している。42は下定盤32を回転駆動するモータである。下定盤32と上定盤36との間に、ワークを保持する透孔を有するキャリア44が配置される。キャリア44は、下定盤32の中心孔に配置されたサンギア内側ピン歯車46とインターナルギア外側ピン歯車48とにより、自転、かつ公転するように回転駆動される図2。サンギア46、インターナルギア48も公知の機構により回転される。なお、サンギア46とインターナルギア48は、ピン歯車に限定されない。他の公知のギア機構であってもよい。上定盤36上には、複数本の支持ロッド50を介して上定盤36に取付けられ、上定盤36とともに回転する回転円板52が配設されている。回転円板52上には、複数図示の場合2個のリング状樋54、56が同心状に固定されている。リング状樋54、56の底面には、スラリーの流下孔60が設けられている。リング状樋54、56には、配管62を介してスラリー供給源64からスラリーが供給される。配管62中には流量調整弁66が配設されている。配管62から、まず、アーム68上に立設された受けパイプ70、70内にスラリーが供給される。この受けパイプ70、70からは図示しない分配チューブを介して、スラリーがそれぞれリング状樋54、56に流下される。アーム68は、図示しない支持部材を介して支持フレーム38に支持されている。図3に示すように、上定盤36には、放射状にスラリーの供給孔76が形成され、この上定盤36の供給孔76と、リング状樋54、56に設けられた流下孔60とが供給パイプ78により連絡されている。この供給パイプ78を通じて、下定盤32の研磨面上にスラリーが供給される。そして、同心状のリング状樋のうち、内側のリング状樋54からは、上定盤36に設けた供給孔76のうち、内周側の3つの供給孔76にスラリーを供給するようにして、下定盤32の研磨布34の内周側のゾーンにスラリーを供給するようにする。外側のリング状樋56からは、上定盤36に設けた供給孔76のうち、外周側の3つの供給孔76にスラリーを供給するようにして、下定盤32の研磨布34の外周側のゾーンにスラリーを供給するようにする。下定盤32から流下したスラリーは回収樋80、戻しパイプ82によりスラリー供給源64に戻され、循環して用いられる。したがって、スラリーを供給パイプ78を通じて下定盤32上に供給しつつ、上下定盤32、36を回転させ、かつキャリア44を回転させることにより、上下定盤32、36間に挟まれたワークの両面を研磨することができる。なお、上記実施の形態では、2つのリング状樋を設けたが、リング状樋は1つでも、あるいは3つ以上の複数であってもよい。図4は、上定盤36に設けた、スラリーを流下させる供給孔76の部位における研磨布34の固定構造を示す説明図である。本実施の形態では、研磨布34が貼付された定盤面側の、供給孔76の開口縁をテーパー面76aに形成して、該部位の供給孔76が定盤面に向けて広がる拡径孔に形成している。そして、研磨布34の、供給孔76を覆う部分に例えば十字状に切れ目図示せずを入れて供給孔対応孔を形成し、該供給孔対応孔の開口縁を4つの舌片34aに分割している。84は固定パイプであり、一端部に、拡径孔のテーパー面76aに対向するテーパー面を有するフランジ部84aを有し、他端部に、供給孔76の内壁面に設けた係止凹部76bに係止する係止片84bを有する。係止片84bは複数片の舌片状のものでもよいし、フランジ状のものでもよい。この固定パイプ84によって、研磨布34の舌片34aを固定するようにする。すなわち、4つの各舌片34aを拡径孔内に折り込むと共に、供給孔76内に固定パイプ84の他端部側を挿入し、係止片84bを係止凹部76bに弾性的に係止させることによって、固定パイプ84を上定盤36に固定する。これにより、各舌片34aは、拡径孔のテーパー面76aとフランジ部84aのテーパー面との間で、強固に挟圧して保持される。また、固定パイプ84の抜け止めもされる。なお、舌片34aはその長さによって、舌片34aの先端部が拡径孔より上部の供給孔76内にも入り込む場合があるが、その場合、該先端部を供給孔内壁と固定パイプ84の外壁との間で挟圧して保持するようにするとよい。供給孔76の他端側には、公知の管継手86が取り付けられる。これにより、供給パイプ78が供給孔76に接続される。このように、舌片34aを、供給孔76側に折り込んで、拡径孔のテーパー面76aとフランジ部84aのテーパー面とで挟み込んで固定することによって、研磨中に、舌片34aの端面がワークと接触することがないので、繊維層を含む研磨布であっても、舌片34aの端面がほつれることがなく、研磨に悪影響を及ぼさず、精度のよい研磨が行えることになる。また、キャリアが研磨布に引っかかることによるクラッシュを防止できるので、安定した研磨が可能な両面研磨装置を提供できる。また、各舌片34aを、供給孔76内に折り込む際、各舌片34aは、テーパー面76aに沿って折り込まれるので、直角に急激に折り込まれることがなく、折り込んだ際のコーナー部によってワークが傷付けられることもない。舌片34aが緩やかな角度で折り曲げられるように、テーパー面76aの定盤面になす角度は、30°~45°程度となるようにするとよい。また、舌片34aの数は特に限定されるものではなく、例えば研磨布34に3本の交差する切れ目を入れることにより、6片の舌片に形成してもよい。舌片34aの数が多い方が、各舌片34aの折り曲げ幅を小さくでき、折り曲げた際のコーナー部の膨らみを小さくでき、それだけ、ワークへの負担を小さくできる。なお、上記実施の形態では、供給孔76に対応する部位の研磨布34に十字状等の切れ目を入れて供給孔対応孔を形成したが、当該部位に、拡径孔よりも小径の小穴を設けて供給孔対応孔としてもよい図示せず。この場合も、供給孔対応孔の開口縁を拡径孔側に折り込み、この折り込み部を、拡径孔のテーパー面76aとフランジ部84aのテーパー面とで挟圧して保持するようにする。なお、供給孔対応孔の開口縁を拡径孔側に折り込みにくいときは、適宜な治具図示せずを使って、当該部位を拡径孔側に押し込むようにするとよい。あるいは、開口縁に切れ目を入れて、舌片を形成し図示せず、この舌片を拡径孔側に折り込むようにしてもよい。また、フランジ部84a側は必ずしもテーパー面に形成しなくともよい。この場合にあっても、テーパー面76aとフランジ部84aとの間で研磨布34の開口縁を挟圧して保持するようにすることができる。図5はさらに他の実施の形態を示し、上記各実施の形態と同一の部材は同一の符号を付し、その説明を省略する。本実施の形態では、固定パイプ84の他端部側を供給孔76から上定盤36の外方に突出する突出部84cに形成している。そしてこの突出部84cに雄ねじ部84dを形成し、この雄ねじ部84dにナット88を螺合して上定盤面に締め付けることによって、固定パイプ84を上定盤36に固定するとともに、舌片34aを両テーパー面で挟圧、保持するようにしている。また、固定パイプ84の、雄ねじ部84dよりもさらに外方の部分を、スラリー供給用の供給パイプ78を接続可能な管継手部84eに形成している。このようにすることで、舌片34aを挟圧保持する固定パイプ84を、供給パイプ78を接続する管継手と兼用することができて、簡易な構造とすることができる。管継手部84eは、単に供給パイプ78内に嵌入する筒状のものでもよいし、供給パイプ78を締め付ける締付手段図示せずを有する継手であってもよい。本実施の形態においても、供給孔対応孔は、十字状等の切れ目を入れて設けるのでなく、拡径孔よりも小径の小穴を設けて形成するようにしてもよい。上記各実施の形態において、固定パイプ84の下端は、供給孔76の拡径部内に位置するようにし、研磨布34側に突出しないようにするとよい。また、以上の各実施の形態では、スラリーの供給孔76を上定盤36に設けて、スラリーを上定盤36から流下させて下定盤32の研磨布34上に供給するようにしたが、場合によっては、下定盤32にスラリーを供給する供給孔図示せずを設けて、下定盤32側から、両定盤間にスラリーを圧送して供給するようにしてもよい。この場合にも、該供給孔を覆う研磨布を上記と同様に処理をして、ほつれを防止するようにすることができる。また、研磨布34は、前記したように、材質は特に限定されるものではなく、ほつれの心配のない、従来の不織布のような研磨布であっても、そのスラリーの供給孔部分の研磨布を、上記と同様の、供給孔内に折り曲げて、固定パイプにより挟圧、保持する構成とすることで、ワークへの悪影響を解消でき、精度のよい研磨が行える。