基板上に透明電極膜を形成する透明電極膜形成工程と、前記透明電極膜上にホール輸送層を形成するホール輸送層形成工程と、前記ホール輸送層上に活性層を形成する活性層形成工程と、前記活性層上に電子輸送層を形成する電子輸送層形成工程と、前記電子輸送層上に電極層を形成する電極層形成工程と、を有する太陽電池の製造方法であって、前記透明電極膜、前記ホール輸送層、前記活性層、および前記電子輸送層の少なくとも1層以上を、超音波振動によってミスト化された原料を堆積することによって薄膜形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。前記基板を加温し、前記ミスト化された原料を堆積する際、加温された当該基板を介して当該原料に熱処理を施すことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。前記ホール輸送層形成工程において、前記ホール輸送層を形成する際に用いられる前記ミスト化された原料は、透明導電性ポリマー原液を水で希釈したものであることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池の製造方法。請求項1ないし3に記載の太陽電池の製造方法を含む工程によって製造された太陽電池。基板上に透明電極膜を形成する透明電極膜形成工程と、前記透明電極膜上にホール輸送層を形成するホール輸送層形成工程と、前記ホール輸送層上に活性層を形成する活性層形成工程と、前記活性層上に電子輸送層を形成する電子輸送層形成工程と、前記電子輸送層上に電極層を形成する電極層形成工程と、を有する太陽電池の製造方法であって、少なくとも前記活性層を、超音波振動によってミスト化された複数種類の原料を堆積することによって薄膜形成するものであり、前記ミスト化は、前記活性層を構成する前記複数種類の原料毎に別々に行われることを特徴とする太陽電池の製造方法。しかしながら、特許文献1に開示されたような太陽電池の製造方法の場合、時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の観点から実用化には幾つかの問題がある。例えば、ディッピング法は、有機溶液の中に基板を浸して薄膜を形成する手法であるが、この場合、ディップされた基板に熱処理を施して乾燥させる必要があり、時間効率が非常に悪い。また、スピンコート法は、回転する基板上に原料を滴下し、回転の遠心力で原料を延伸することにより成膜する技術である。このスピンコート法の場合、成膜後にフォトリソグラフィーによってパターニングを施す必要があるため、フォトリソグラフィー工程による時間のロスや、レジストなどのコストが掛かり、時間効率および材料効率が悪く、基板形成追随性も欠如している。また、スプレーコート法は、スプレーによって基板上に原料を散布することで成膜する技術である。このスプレーコート法の場合、メタルマスクを用いてパターニングをすることができるため、時間効率および材料効率は良い。しかしながら、スプレーされる原料の粒子径を最小化するには限界があるため、複雑なパターニングの成膜をする場合、エッジの細部にまで原料を到達させることが難しく、パターニング精細度が悪く、均質な膜を得ることが難しい。また、インックジェット印刷法は、インクジェット装置を用いて、必要な部分にのみ成膜できる技術である。インックジェット印刷法の場合も、メタルマスクを用いてパターニングをすることができるため、時間効率および材料効率は良いが、例えば表面に凹凸があるような複雑な形状への成膜は不可能であり、パターニング精細度が悪い。さらに、特許文献2に開示されたような薄膜の製造方法を用いた場合、スプレーコート法の難点であるパターニング精細度を向上させることはできるが、基板に水素を導入する工程が必要になり、その分の材料費や時間が掛かり、時間効率および材料効率が悪い。本発明は、上記の問題を鑑みてされたものであり、時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の全てが良好な太陽電池の製造方法と、その製造方法を用いて製造された太陽電池を提供することを目的とする。本発明の太陽電池の製造方法は、基板上に透明電極膜を形成する透明電極膜形成工程と、前記透明電極膜上にホール輸送層を形成するホール輸送層形成工程と、前記ホール輸送層上に活性層を形成する活性層形成工程と、前記活性層上に電子輸送層を形成する電子輸送層形成工程と、前記電子輸送層上に電極層を形成する電極層形成工程と、を有する太陽電池の製造方法であって、前記透明電極膜、前記ホール輸送層、前記活性層、および前記電子輸送層の少なくとも1層以上を、超音波振動によってミスト化された原料を堆積することによって薄膜形成する。上記の製造方法によれば、透明電極膜、ホール輸送層、活性層、および電子輸送層の少なくとも1層以上を、超音波振動によってミスト化された原料を堆積することによって薄膜形成しているため、ディッピング法のように長時間の乾燥時間を確保する必要がなく、スピンコート法のようにフォトリソグラフィー工程による時間のロスや、レジストなどのコストが掛かることがない。また、超音波振動によってミスト化された原料は、スプレーコート法でスプレーされる原料よりも粒子径が小さいため、パターニングのエッジの細部にまで原料を到達させることができ、スプレーコート法では難しかった複雑なパターニングが可能である。さらに、インクジェット法では難しかった表面に凹凸があるような複雑な形状への成膜も可能である。従って、従来よりも時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の全てにおいて効率良く太陽電池を製造することができる。また、本発明の太陽電池の製造方法において、前記基板を加温し、前記ミスト化された原料を堆積する際、加温された当該基板を介して当該原料に熱処理を施してもよい。上記の製造方法によれば、加温された基板の熱によってミスト化された原料が熱処理される。これにより、原料に熱分解による化学反応を起こさせて、基板上に薄膜形成することもできるため、高純度の薄膜を形成することができ、被覆性も向上する。また、本発明の太陽電池の製造方法において、前記ホール輸送層形成工程において、前記ホール輸送層を形成する際に用いられる前記ミスト化された原料は、透明導電性ポリマー原液を水で希釈したものであってもよい。上記の製造方法によれば、透明導電性ポリマー原液をそのまま用いるよりも少量で済むため、さらに材料効率が良好である。また、原料の一部が水で構成されているため、取り扱う際にも安全である。また、本発明の太陽電池は、上記の太陽電池の製造方法を含む工程によって製造された太陽電池である。上記の構成によれば、透明電極膜、ホール輸送層、活性層、および電子輸送層の少なくとも1層以上が、超音波振動によってミスト化された原料を堆積することによって薄膜形成されているため、従来よりも時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の全てにおいて効率の良い太陽電池を提供することができる。また、本発明の太陽電池の製造方法は、基板上に透明電極膜を形成する透明電極膜形成工程と、前記透明電極膜上にホール輸送層を形成するホール輸送層形成工程と、前記ホール輸送層上に活性層を形成する活性層形成工程と、前記活性層上に電子輸送層を形成する電子輸送層形成工程と、前記電子輸送層上に電極層を形成する電極層形成工程とを有し、少なくとも前記活性層を、超音波振動によってミスト化された複数種類の原料を堆積することによって薄膜形成するものであり、前記ミスト化は、前記活性層を構成する前記複数種類の原料毎に別々に行われることを特徴としている。上記の製造方法によれば、活性層を、超音波振動によってミスト化された複数種類の原料を堆積することによって薄膜形成するに際して、ミスト化は、活性層を構成する複数種類の原料毎に別々に行うことができる。このため、活性層を、ミスト化された複数種類の原料を別々の経路から堆積させて薄膜形成することができる。例えば、活性層として堆積させる原料の比率を変えることにより、複数種類の原料を所望の比率で混合した活性層を薄膜形成することができる。また、例えば、活性層として堆積させる原料のミスト化のタイミングを変えることにより、複数種類の原料を所望の順序で積層した活性層を薄膜形成することができる。本発明の太陽電池の製造方法によると、従来よりも時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の全てにおいて効率良く太陽電池を製造することができる。第1実施形態以下、本発明の第1実施形態について、図面を参照しつつ説明する。太陽電池の製造方法図1および図2に示すように、本実施形態に係る太陽電池20の製造方法は、基板21を配置する基板配置工程S11と、基板21上に透明電極膜22を形成する透明電極膜形成工程S12と、透明電極膜22上にホール輸送層23を形成するホール輸送層形成工程S13と、ホール輸送層23上に活性層24を形成する活性層形成工程S14と、活性層24上に電子輸送層25を形成する電子輸送層形成工程S15と、電子輸送層25上に電極層26を形成する電極層形成工程S16と、を有する太陽電池20の製造方法であって、透明電極膜22、ホール輸送層23、活性層24、および電子輸送層25の少なくとも1層以上を、超音波振動によってミスト化された原料を堆積することによって薄膜形成している。太陽電池20の製造方法を、図1を用いて具体的に説明する。先ず、基板配置工程S11において、ガラスで構成された基板21を配置する。なお、基板21はガラスに限らず、例えばプラスチックなどの他の材料から構成されていてもよい。次に、透明電極膜形成工程S12において、基板21上に酸化インジウム錫を塗布して透明電極膜22を形成する。なお、透明電極膜22は酸化インジウム錫に限らず、他の材料を用いていてもよい。次に、ホール輸送層形成工程S13において、図3に示す超音波噴霧ミストデポジション装置10を用いて、ガス状にミスト化された原料41を透明電極膜22上に噴霧して薄膜することによって、ホール輸送層23を形成する。超音波噴霧ミストデポジション装置10を用いた具体的な成膜方法については、図3を用いて後述する。なお、ホール輸送層23に用いられる原料41は、透明導電性ポリマー原液PEDOT:PSSを水で原液から100倍までの間で希釈したものである。そのため、透明導電性ポリマー原液をそのまま用いる場合に比べて材料効率が良い。なお、透明導電性ポリマー原液を水で100倍より上に希釈してしまうと、透明導電性ポリマーが薄まりすぎて薄膜を上手く形成できなくなる。また、材料効率や薄膜形成の仕上がりの面から、より好適には、透明導電性ポリマー原液PEDOT:PSSを水で10倍に希釈する方が効果的である。なお、透明導電性ポリマーを用いて形成された薄膜は、可視光領域、さらには紫外領域において80を越える透過性を有しているため、ホール輸送層23の形成に適している。また、透明導電性ポリマーに導電性向上剤のジメチルスルホキシドDMSO、エチレングリコール、NMPnメチルピロリドンなどを添加すると、導電性が向上するため効果的である。さらに、透明導電性ポリマーにエタノールなどのアルコールを加えると、乾燥速度が向上するため効果的である。次に、活性層形成工程S14において、ホール輸送層23上に活性層24を形成する。活性層24には、ドナー材料としてpoly3hexylthiopheneポリ3-ヘルシルチオフェン略称P3HTが用いられ、アクセプター材料として66PhenylC61ButyricAcidMethylEsterフェニルC61酪酸メチルエステル略称PCBMが用いられており、スピンコート法によって薄膜形成される。なお、活性層24のドナー材料およびアクセプター材料には、上記に限らず他の材料を用いていてもよい。活性層24は、上記のドナー材料およびアクセプター材料を混合してバルクへテロ接合される。次に、電子輸送層形成工程S15において、活性層24上に酸化チタンTioxを積層して電子輸送層25を形成する。なお、電子輸送層25は酸化チタンTioxに限らず、例えば酸化モリブデンMoO3、酸化バナジウムV2O5などの金属酸化物、フッ化リチウムLiF、バリウムBa、カルシウムCa、BathocuproineBCPなどの色素から構成されていてもよい。この電子輸送層25により、太陽電池20の整流特性が高まり、曲線因子の増大をもたらすようになる。最後に、電極層形成工程S16において、電子輸送層25上にアルミAlを真空蒸着して電極層26を形成し、これらを複合化する。上記の製造方法によれば、ホール輸送層23を、超音波振動によってミスト化された原料41を堆積することによって薄膜形成しているため、ディッピング法のように長時間の乾燥時間を確保する必要がなく、スピンコート法のようにフォトリソグラフィー工程による時間のロスや、レジストなどのコストが掛かることがない。また、超音波振動によってミスト化された原料41は、スプレーコート法でスプレーされる原料よりも粒子径が小さいため、パターニングのエッジの細部にまで原料を到達させることができ、スプレーコート法では難しかった複雑なパターニングが可能である。さらに、インクジェット法では難しかった表面に凹凸があるような複雑な形状への成膜も可能である。従って、従来よりも時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の全てにおいて効率良く太陽電池20を製造することができる。また、上記の製造方法によれば、透明導電性ポリマーをそのまま用いるよりも少量で済むため、さらに材料効率が良好である。また、原料41の一部が水で構成されているため、取り扱う際にも安全である。なお、図1の太陽電池20の製造方法を示す工程図では、ホール輸送層23を、ガス状にミスト化された原料41を用いて薄膜形成しているが、これに限定される必要はない。即ち、透明電極膜22、ホール輸送層23、活性層24、および電子輸送層25の少なくとも1層以上を、ミスト化された原料夫々の層に、無機、有機、およびハイブリッドを問わず適合する原料を堆積、熱処理を繰り返すことによって薄膜形成していても同効果を有する。太陽電池の構成以上、図1に示す製造方法により製造された太陽電池20は、図2に示すように、上から基板21、透明電極膜22、ホール輸送層23、活性層24、電子輸送層25、電極層26の順に形成されている。基板21側から太陽の光が当たると、活性層24において電子と正孔が発生し、電子は電子輸送層25へ、正孔はホール輸送層23へ引き寄せられる。これにより、透明電極膜22側をプラス電極、電極層26側をマイナス電極として接続することで、透明電極膜22側から電極層26側へと電気が流れるようになっている。上記の太陽電池20の構成によれば、超音波振動によってミスト化された原料41を堆積することによって薄膜形成されているため、従来よりも時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の全てにおいて効率の良い太陽電池20を提供することができる。超音波噴霧ミストデポジション装置10の構成図3に示すように、本実施形態に係る超音波噴霧ミストデポジション装置10は、原料ガス供給装置30と、原料ガス噴出ノズル50と、エネルギー供給装置60と、を単一または複数備えている。原料ガス供給装置30は、伝搬溶液42を収容する伝搬溶液収容部32と、原料41を収容する原料収容部35と、伝搬溶液収容部32の底に配置された超音波振動子31と、原料収容部35にキャリアガス44を供給するキャリアガス供給部34と、原料ガス43を原料ガス噴出ノズル50へ運ぶ通路となる原料ガス連絡部38と、原料ガス連絡部38に希釈ガス45を供給する希釈ガス供給部37と、を有する。伝搬溶液42には、通常は水が用いられる。キャリアガス44および希釈ガス45は例えばエアー、窒素が挙げられ、その流量は4L/minである。なお、キャリアガス44および希釈ガス45はエアー、窒素に限らずその他のガスを用いてもよく、流量は適宜設定可能である。なお、原料41には複数の材料を所定の割合で予め混ぜた混合溶液を使用してもよい。原料収容部35は、例えば直方体の形状を有し、その内部の底には原料41を収容している。原料41の海面と原料収容部35の上側の内面との間には、後述する原料ガス43が収まる程度の空間が設けられている。つまり、原料収容部35は、原料41を収容しても原料ガス43が収まる程度の大きさの空間を内部に有している。また、原料収容部35の外側の底面は、伝搬溶液収容部32に収容された伝搬溶液42内に浸漬されており、超音波振動子31の振動によって発生した超音波が伝搬溶液42を介して原料41に伝搬される。なお、伝搬溶液42は、超音波を伝搬する役割の他に、超音波振動子31を冷却する役割を有している。超音波振動子31は振動によって熱を発生して能力が劣る場合があるが、この伝搬溶液42によって冷却されているため、そのような不具合を生じることがない。キャリアガス供給部34にはキャリアガス流量制御弁33が設けられており、開栓することによってキャリアガス44を原料収容部35内に供給できる。また、希釈ガス供給部37には希釈ガス流量制御弁36が設けられており、開栓することによって希釈ガス45を原料ガス連絡部38内に供給できる。原料ガス噴出ノズル50は、筐体51と、筐体51の内部に設けられたガイド部材52と、を有している。筐体51は、例えば上下方向に延びた直方体の形状をベースとしており、その上方から下方にかけて徐々に内部空間が狭くなっている。筐体51の底面には開口部53が形成されており、そこからガイド部材52が突出している。また、原料ガス噴出ノズル50は、図示しないヒーターによって高温に保つなど、温度を調整することができる。ガイド部材52は、筐体51の内部で上下方向に沿って設けられており、その上部は原料ガス連絡部38と連絡されている。また、ガイド部材52の下部は、開口部53から外部に向けて突出し、基板21の表面に対して垂直を保ちながら基板21の表面近くまで配置されている。なお、必ずしもガイド部材52の下部は、基板21の表面に対して垂直を保つ必要はないが、ガイド部材52を通って原料ガス43を噴霧する場合、垂直に保っていた方が綺麗に薄膜形成することができる。エネルギー供給装置60は、基板21を載せることができる平板状であり、基板21に熱を供給して基板21の温度を調整することができる。また、エネルギー供給装置60は、水平方向に移動可能であり、固定されたガイド部材52に対して基板21を水平移動させることができる。超音波噴霧ミストデポジション装置10の動作以上の構成を有する超音波噴霧ミストデポジション装置10は、基板21上に形成された透明電極膜22上に超音波振動によってミスト化された原料41を噴霧して薄膜することによってホール輸送層23を形成することができる。具体的には、先ず、超音波振動子31が作動されると、発生した超音波は伝搬溶液42を伝搬し、原料収容部35に収容された原料41に伝搬する。その結果、原料41は超音波によって振動され、溶液粒子が細分化されることによりガス状にミスト化されて放出される。これが、原料41がミスト化された原料ガス43である。この時、原料ガス43は、原料収容部35の内部に設けられた空間に一旦滞留する。原料41がミスト化されて原料ガス43が生成されると、キャリアガス供給部34に設けられたキャリアガス流量制御弁33が開栓される。そして、キャリアガス流量制御弁33の開度に応じた供給量でキャリアガス44が原料収容部35内に供給される。これにより、原料収容部35内に供給されたキャリアガス44によって、原料ガス43が原料ガス連絡部38へ向けて上方へ運ばれる。この時、原料ガス43の内で大きな粒子径を有するものは、下方へ落ち、やがて原料収容部35に収容された原料41へと戻される。これにより、粒子径の小さな原料ガス43のみがキャリアガス44によって原料ガス連絡部38へ運ばれる。次に、原料ガス43が原料ガス連絡部38へ運ばれると、希釈ガス供給部37に設けられた希釈ガス流量制御弁36が開栓され、希釈ガス45が原料ガス連絡部38内に供給される。これにより、原料ガス連絡部38内に供給された希釈ガス45によって、原料ガス43が原料ガス連絡部38内を通って原料ガス噴出ノズル50側へと運ばれる。この時、原料ガス連絡部38内を通っている間に、原料ガス43の内で小さな粒子径を有するもの同士が集まり、大きな粒子径を有するものになる場合がある。この大きな粒子径を有するものは、自重によって原料ガス連絡部38内を先に進めなくなり、逆戻りをしてやがて原料収容部35に収容された原料41へと戻される。これにより、粒子径の極小さな原料ガス43のみが希釈ガス45によって原料ガス噴出ノズル50側へと運ばれる。なお、希釈ガス45は供給されなくても、キャリアガス44によって原料ガス43は原料ガス噴出ノズル50へと運ばれる。しかしながら、希釈ガス45によって原料ガス43の速度を調整したり、原料ガス43を希釈して濃度を調整したりすることができるため、あった方がより効果的である。原料ガス連絡部38内を通って原料ガス噴出ノズル50へ運ばれた原料ガス43は、やがてガイド部材52に到達する。そして、原料ガス43は、ガイド部材52の面状に沿って下方へと流れる。この時、原料ガス噴出ノズル50は、図示しないヒーターによって80°Cに温められているため、原料ガス43は一定の極小さな粒子径を保つことができる。その後、原料ガス43は、原料ガス噴出ノズル50内で均一な濃度になり、ガイド部材52によって均一な流れとなって基板21の表面へと放出される。このようにして、原料ガス43が基板21上に形成された透明電極膜22の表面に均一に噴霧される。また、基板21はエネルギー供給装置60によって7.5~15mm/minの速度で水平移動されている。そのため、この速度を調整することによって基板21上に均一に所望の厚さの透明導電性ポリマーの薄膜を形成することができる。さらに、基板21はエネルギー供給装置60によって温められている。原料ガス43は極小さい粒子径であり、大部分が水によるものであるため、原料ガス43が基板21に当たった瞬間に基板21の温度によって成分である水が蒸発する。これにより、従来では、透明導電性ポリマーを用いて薄膜を形成した場合、酸性の透明導電性ポリマーによって透明電極膜22が腐食していたが、本実施形態の場合、原料ガス43が極小さい粒子径であるため、基板21に当たった瞬間に基板21の温度によって水が蒸発し、透明電極膜22が腐食することがない。また、加温された基板21の熱によって原料ガス43が熱処理される。これにより、原料ガス43に熱分解による化学反応を起こさせて、基板21上に薄膜形成することができるため、高純度の薄膜を形成することができ、被覆性も向上する。なお、エネルギー供給装置60によって温められる基板21の温度は、5°C~200°Cの間である。これは、5°Cよりも低いと、原料ガス43の水分が基板21上で残ってしまい、200°Cよりも高いと、原料ガス43が熱分解しすぎて上手く薄膜形成できないからである。また、上記の観点から、より好適には、基板21を150°Cに加温する方が効果的である。また、パターニングについては、図示しないメタルマスクを用いており、そのエッジの細部にまで極小さい粒子径を有する原料ガス43は到達することができるため、パターニング精細度が非常に良好である。なお、原料ガス噴出ノズル50の温度およびエネルギー供給装置60によって温められる基板21の温度は適宜設定可能である。また、エネルギー供給装置60によって水平移動される基板21の移動速度は、膜厚の設計に対応して適宜設定可能である。実施例と比較例次に、実施例と比較例を用いて本実施形態に係る太陽電池20の特性を評価する。ここで、実施例1としては、本実施形態に係る太陽電池20を用いて評価する。つまり、超音波振動によってミスト化された原料41を透明電極膜22上に噴霧して薄膜することによってホール輸送層23が形成された太陽電池20を用いる。一方、比較例1としては、ホール輸送層が従来のスピンコート法によって薄膜形成された太陽電池を用いる。ホール輸送層以外の構成および製造方法については、実施例1および比較例1ともに差はないものとする。図4は、実施例1における太陽電池20の電流-電圧特性を示したものである。また、表1は、実施例1における太陽電池20と比較例1における太陽電池の特性を値で示したものである。図4および表1に示すように、実施例1における太陽電池20は、短絡電流密度が5.28mA/cm2、開放電圧が0.54v、曲線因子が0.54となり、エネルギー変換効率1.55を達成している。一方、比較例1における太陽電池は、短絡電流密度が4.66mA/cm2、開放電圧が0.54v、曲線因子が0.51となり、エネルギー変換効率1.27であった。これらの結果より、実施例1における太陽電池20は、比較例1における太陽電池より2割ほど良好な特性を有していることが分かる。第2実施形態次に、本発明の第2実施形態について、図面を参照しつつ説明する。上記で説明した第1実施形態では、活性層形成工程S14において、ホール輸送層23上に活性層24を形成するに際して、ドナー材料としてpoly3hexylthiopheneポリ3-ヘルシルチオフェン略称P3HTを用いり、アクセプター材料として66PhenylC61ButyricAcidMethylEsterフェニルC61酪酸メチルエステル略称PCBMを用いて、スピンコート法によって薄膜形成する場合について説明した。一方、第2実施形態では、図5に示す超音波噴霧ミストデポジション装置210を用いて、ガス状にミスト化された2種類の原料241、及び、原料341をホール輸送層23上に噴霧して薄膜することによって、活性層24を形成する場合について説明する。なお、原料241には、ドナー材料としてpoly3hexylthiopheneポリ3-ヘルシルチオフェン略称P3HTを使用し、原料341には、アクセプター材料として66PhenylC61ButyricAcidMethylEsterフェニルC61酪酸メチルエステル略称PCBMを使用するものとして以下説明する。超音波噴霧ミストデポジション装置210の構成まず、第2実施形態で使用する超音波噴霧ミストデポジション装置210の構成について図5を参照して説明する。第2実施形態で使用する超音波噴霧ミストデポジション装置210は、第1実施形態で使用する超音波噴霧ミストデポジション装置10と比較すると、2種類の原料241及び原料341を収容するために原料ガス供給装置を2つ備えている点で相違している。なお、第1実施形態の超音波噴霧ミストデポジション装置10とその構造役割が同じものについては説明を省略する。図5に示すように、本実施形態に係る超音波噴霧ミストデポジション装置210は、2つの原料ガス供給装置230、330と、原料ガス噴出ノズル250と、エネルギー供給装置260と、を単一または複数備えている。原料ガス供給装置230は、第1実施形態同様に、伝搬溶液242を収容する伝搬溶液収容部232と、原料241を収容する原料収容部235と、伝搬溶液収容部232の底に配置された超音波振動子231と、原料収容部235にキャリアガス244を供給するキャリアガス供給部234と、原料241がミスト化された原料ガス243を原料ガス噴出ノズル250へ運ぶ通路となる原料ガス連絡部238と、原料ガス連絡部238に希釈ガス245を供給する希釈ガス供給部237と、を有する。また、キャリアガス供給部234にはキャリアガス流量制御弁233が設けられており、開栓することによってキャリアガス244を原料収容部235内に供給できる。また、希釈ガス供給部237には希釈ガス流量制御弁236が設けられており、開栓することによって希釈ガス245を原料ガス連絡部238内に供給できる。また、前述したように、原料241には、ドナー材料としてpoly3hexylthiopheneポリ3-ヘルシルチオフェン略称P3HTを使用する。原料ガス供給装置330も、原料ガス供給装置230同様に、伝搬溶液342を収容する伝搬溶液収容部332と、原料341を収容する原料収容部335と、伝搬溶液収容部332の底に配置された超音波振動子331と、原料収容部335にキャリアガス344を供給するキャリアガス供給部334と、原料341がミスト化された原料ガス343を原料ガス噴出ノズル250へ運ぶ通路となる原料ガス連絡部338と、原料ガス連絡部338に希釈ガス345を供給する希釈ガス供給部337と、を有する。また、キャリアガス供給部334にはキャリアガス流量制御弁333が設けられており、開栓することによってキャリアガス344を原料収容部335内に供給できる。また、希釈ガス供給部337には希釈ガス流量制御弁336が設けられており、開栓することによって希釈ガス345を原料ガス連絡部338内に供給できる。また、前述したように、原料341には、アクセプター材料として66PhenylC61ButyricAcidMethylEsterフェニルC61酪酸メチルエステル略称PCBMを使用する。原料ガス噴出ノズル250は、筐体251と、筐体251の内部に設けられたガイド部材252と、を有している。筐体251は、例えば上下方向に延びた直方体の形状をベースとしており、その上方から下方にかけて徐々に内部空間が狭くなっている。筐体251の底面には開口部253が形成されており、そこからガイド部材252が突出している。また、原料ガス噴出ノズル250は、図示しないヒーターによって高温に保つなど、温度を調整することができる。ガイド部材252は、筐体251の内部で上下方向に沿って設けられており、その上部は原料ガス連絡部238及び原料ガス連絡部338と連絡されている。また、ガイド部材252の下部は、開口部253から外部に向けて突出し、基板21の表面に対して垂直を保ちながら基板21の表面近くまで配置されている。エネルギー供給装置60は、基板21を載せることができる平板状であり、基板21に熱を供給して基板21の温度を調整することができる。また、エネルギー供給装置60は、水平方向に移動可能であり、固定されたガイド部材252に対して基板21を水平移動させることができる。超音波噴霧ミストデポジション装置210の動作以上の構成を有する超音波噴霧ミストデポジション装置210は、基板21上に形成されたホール輸送層23上に超音波振動によってミスト化された原料241及び原料341を噴霧して薄膜することによって活性層24を形成することができる。本実施形態では、例えば、原料241と原料341とを、体積比率1:1で混合してバルクヘテロ接合により活性層を薄膜形成する場合について説明する。なお、原料241と原料341との混合体積比率を1:1にしているが、所望の比率を設定できる。また、原料241と原料341とを混合する際の比率は、体積比率だけでなく重量比率により規定してもよい。具体的には、先ず、原料ガス供給装置230側の超音波振動子231が作動されると、発生した超音波は伝搬溶液242を伝搬し、原料収容部235に収容された原料241に伝搬する。その結果、原料241は超音波によって振動され、溶液粒子が細分化されることによりガス状にミスト化されて放出される。これが、原料241がミスト化された原料ガス243である。この時、原料ガス243は、原料収容部235の内部に設けられた空間に一旦滞留する。次に、原料241がミスト化されて原料ガス243が生成されると、キャリアガス供給部234に設けられたキャリアガス流量制御弁233が開栓される。そして、キャリアガス流量制御弁233の開度に応じた供給量でキャリアガス244が原料収容部235内に供給される。これにより、原料収容部235内に供給されたキャリアガス244によって、原料ガス243が原料ガス連絡部238へ向けて上方へ運ばれる。次に、原料ガス243が原料ガス連絡部238へ運ばれると、希釈ガス供給部237に設けられた希釈ガス流量制御弁236が開栓され、希釈ガス245が原料ガス連絡部238内に供給される。これにより、原料ガス連絡部238内に供給された希釈ガス245によって、原料ガス243が原料ガス連絡部238内を通って原料ガス噴出ノズル250側へと運ばれる。一方、原料ガス供給装置330側においても超音波振動子331が作動され、発生した超音波は伝搬溶液342を伝搬し、原料収容部335に収容された原料341に伝搬する。その結果、原料341は超音波によって振動され、溶液粒子が細分化されることによりガス状にミスト化されて放出される。これが、原料341がミスト化された原料ガス343である。この時、原料ガス343は、原料収容部335の内部に設けられた空間に一旦滞留する。次に、原料341がミスト化されて原料ガス343が生成されると、キャリアガス供給部334に設けられたキャリアガス流量制御弁333が開栓される。そして、キャリアガス流量制御弁333の開度に応じた供給量でキャリアガス344が原料収容部335内に供給される。これにより、原料収容部335内に供給されたキャリアガス344によって、原料ガス343が原料ガス連絡部338へ向けて上方へ運ばれる。次に、原料ガス343が原料ガス連絡部338へ運ばれると、希釈ガス供給部337に設けられた希釈ガス流量制御弁336が開栓され、希釈ガス345が原料ガス連絡部338内に供給される。これにより、原料ガス連絡部338内に供給された希釈ガス345によって、原料ガス343が原料ガス連絡部338内を通って原料ガス噴出ノズル250側へと運ばれる。そして、原料ガス連絡部238内及び原料ガス連絡部338内を通って原料ガス噴出ノズル250へ運ばれた原料ガス243及び原料ガス343は、やがてガイド部材252に到達する。なお、原料ガス噴出ノズル250において混合される原料ガス243と原料ガス343との混合体積比率を1:1に設定しているが、これは、図示しないプログラミング制御されるコンピュータによって、原料ガス供給装置230側の超音波振動子231の作動制御、キャリアガス流量制御弁233の開度制御、及び、希釈ガス流量制御弁236が開度制御、原料ガス供給装置330側の超音波振動子331の作動制御、キャリアガス流量制御弁333の開度制御、及び、希釈ガス流量制御弁336BRェ開度制御をすることにより、原料ガス噴出ノズル250において、所望の混合体積比率1:1で混合される。そして、混合された原料ガス243及び原料ガス343は、ガイド部材252の面状に沿って下方へと流れる。この時、原料ガス噴出ノズル250は、図示しないヒーターによって80°Cに温められているため、混合された原料ガス243及び原料ガス343は一定の極小さな粒子径を保つことができる。その後、混合された原料ガス243及び原料ガス343は、原料ガス噴出ノズル250内で体積比率1:1の均一な濃度になり、ガイド部材252によって均一な流れとなって基板21の表面へと放出される。このようにして、体積比率1:1で混合した原料241と原料341とが、基板21上に形成されたホール輸送層23の表面に均一に噴霧されることにより、バルクヘテロ接合された活性層が薄膜形成される。活性層の試験体作成方法上記では超音波噴霧ミストデポジション装置210の動作について説明したが、上記超音波噴霧ミストデポジション装置210を使用して、太陽電池の短絡電流密度や開放電圧や曲線因子やエネルギー変換効率といった太陽電池特性を最大化する原料241と原料341との混合体積比率や混合重量比率を見つける際に使用する活性層が堆積された試験体110の作成方法について説明する。太陽電池を製造する過程において、活性層24を薄膜形成するに際して、太陽電池特性が最大化する原料241と原料341との混合体積比率を、試験体を使用して調べることがある。例えば、原料241と原料341との混合体積比率が8:2の場合、7:3の場合、6:4の場合、5:5の場合、4:6の場合、3:7の場合のうちどの混合体積比率が最も太陽電池特性を最大化するかを知りたい場合、従来のスピンコート法により試験体を作成するには、予め原料241と原料341との混合体積比率を所望の比率で混合した原料を、回転する基板上に滴下し、回転の遠心力で原料を延伸することにより成膜して、図6のAに示すように、原料241と原料341との混合体積比率が8:2の試験体161、原料241と原料341との混合体積比率が7:3の試験体162、原料241と原料341との混合体積比率が6:4の試験体163、原料241と原料341との混合体積比率が5:5の試験体164、原料241と原料341との混合体積比率が4:6の試験体165、原料241と原料341との混合体積比率が3:7の試験体166といった具合に1つ1つ作成して、各試験体に電極等を接続して太陽電池特性を調べて比較する必要がある。しかし、1種類の混合体積比率で構成された試験体を複数作成しなければならず効率が悪い。そこで、超音波噴霧ミストデポジション装置210を使用することにより、1つの試験体110に複数の混合体積比率で形成された活性層を堆積させる方法を以下に説明する。具体的には、まず、エネルギー供給装置60の上に活性層が堆積されていない試験体110を載置する。そして、図示しないプログラミング制御されるコンピュータによって、原料ガス供給装置230側の超音波振動子231の作動制御、キャリアガス流量制御弁233の開度制御、及び、希釈ガス流量制御弁236が開度制御、原料ガス供給装置330側の超音波振動子331の作動制御、キャリアガス流量制御弁333の開度制御、及び、希釈ガス流量制御弁336が開度制御をすることにより、原料ガス噴出ノズル250において、混合体積比率8:2で混合し、混合された原料ガス243及び原料ガス343は、開口部253から試験体110の表面へと放出される。この際、図6のBに示すように、エネルギー供給装置60が、水平方向に距離Kだけ移動することにより試験体110の領域111に、原料241と原料341との混合体積比率が8:2でバルクヘテロ接合された活性層が薄膜形成される。同様に、プログラミング制御されるコンピュータによって、原料ガス噴出ノズル250において、混合体積比率7:3で混合し、混合された原料ガス243及び原料ガス343を、開口部253から試験体110の表面に放出する。この際、エネルギー供給装置60が、水平方向に距離Kだけ移動することにより試験体110の領域112に、原料241と原料341との混合体積比率が7:3でバルクヘテロ接合された活性層が薄膜形成される。同様に、試験体110の領域113に、原料241と原料341との混合体積比率が6:4でバルクヘテロ接合された活性層が薄膜形成され、試験体110の領域114に、原料241と原料341との混合体積比率が5:5でバルクヘテロ接合された活性層が薄膜形成され、試験体110の領域115に、原料241と原料341との混合体積比率が4:6でバルクヘテロ接合された活性層が薄膜形成され、試験体110の領域116に、原料241と原料341との混合体積比率が3:7でバルクヘテロ接合された活性層が薄膜形成される。このようにして作成された試験体110は、図6Bに示すように、1つの試験体110に複数の混合体積比率で形成された活性層が堆積された状態になる。そして、各領域111~116に電極を接続し、太陽電池特性の調査に不用な領域にマスキングをしたうえで、太陽電池特性を調べたい領域にだけ光をあてる手順を繰り返すことにより、各領域111~116における太陽電池特性を順次調べることができる。この方法によれば、スピンコート法により、混合体積比率を変えた試験体を複数作成した場合に比べて、効率良く太陽電池特性が最大化する原料241と原料341との混合体積比率を調べることができる。なお、上記説明では、原料241と原料341との混合体積比率で説明したが、原料241と原料341との重量比率で規定してもよい。また、原料は2種類に限らず3種類以上であってもよいし、その場合は、原料ガス供給装置を追加して対応することになる。活性層24の平面ヘテロ接合次に、上記超音波噴霧ミストデポジション装置210を使用して、活性層24として複数種類の原料を複数積層させて薄膜形成する方法について説明する。まず、エネルギー供給装置60の上に、最上位にホール輸送層23が積層された基板21を載置する。そして、図示しないプログラミング制御されるコンピュータによって、原料ガス供給装置230側の超音波振動子231の作動制御、キャリアガス流量制御弁233の開度制御、及び、希釈ガス流量制御弁236が開度制御、原料ガス供給装置330側の超音波振動子331の作動制御、キャリアガス流量制御弁333の開度制御、及び、希釈ガス流量制御弁336が開度制御をすることにより、原料ガス噴出ノズル250において、原料ガス343だけが、開口部253から基板21の表面へと放出するようにする。この際、エネルギー供給装置60が、水平方向に所定の距離を所定の時間をかけて移動することにより、ミスト化された原料ガス343が噴霧されて、図7に示すように、所定の厚みをもった原料341が積層される。続いて、プログラミング制御されるコンピュータによって、原料ガス供給装置230側の超音波振動子231の作動制御、キャリアガス流量制御弁233の開度制御、及び、希釈ガス流量制御弁236が開度制御、原料ガス供給装置330側の超音波振動子331の作動制御、キャリアガス流量制御弁333の開度制御、及び、希釈ガス流量制御弁336が開度制御をすることにより、原料ガス噴出ノズル250において、原料ガス243だけが、開口部253から基板21の表面へと放出するようにする。この際、エネルギー供給装置60が、水平方向に所定の距離を所定の時間をかけて移動することにより、ミスト化された原料ガス243が噴霧されて、図7に示すように、所定の厚みをもった原料241が積層される。上記手順を繰り返すことにより、図7に示すように、所定の厚みをもった原料341と原料241が交互に複数積層されて平面ヘテロ接合された活性層24を形成することができる。この方法では、超音波振動によってミスト化された原料341と原料241を使用して活性層24を薄膜形成しているため、非常に薄い原料341の層と原料241の層を交互に多数堆積させることが可能となる。なお、上記説明では、2つの原料ガス供給装置230、330に対応する原料ガス噴出ノズル250を一つとして説明したが、これに限らず、2つの原料ガス供給装置230、330それぞれに対応する原料ガス噴出ノズルを個別に設けた構成としてもよい。本実施形態の概要以上のように、第1実施形態に係る太陽電池20の製造方法は、基板21上に透明電極膜22を形成する透明電極膜形成工程と、透明電極膜22上にホール輸送層23を形成するホール輸送層形成工程と、ホール輸送層23上に活性層24を形成する活性層形成工程と、活性層24上に電子輸送層25を形成する電子輸送層形成工程と、電子輸送層25上に電極層26を形成する電極層形成工程と、を有する太陽電池20の製造方法であって、透明電極膜22、ホール輸送層23、活性層24、および電子輸送層25の少なくとも1層以上を、超音波振動によってミスト化された原料41を堆積することによって薄膜形成する。上記の製造方法によれば、透明電極膜22、ホール輸送層23、活性層24、および電子輸送層25の少なくとも1層以上を、超音波振動によってミスト化された原料を堆積することによって薄膜形成しているため、ディッピング法のように長時間の乾燥時間を確保する必要がなく、スピンコート法のようにフォトリソグラフィー工程による時間のロスや、レジストなどのコストが掛かることがない。また、超音波振動によってミスト化された原料41は、スプレーコート法でスプレーされる原料よりも粒子径が小さいため、パターニングのエッジの細部にまで原料を到達させることができ、スプレーコート法では難しかった複雑なパターニングが可能である。さらに、インクジェット法では難しかった表面に凹凸があるような複雑な形状への成膜も可能である。従って、従来よりも時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の全てにおいて効率良く太陽電池20を製造することができる。また、第1実施形態に係る太陽電池20の製造方法においては、基板21を加温し、ミスト化された原料41を堆積する際、加温された基板21を介して原料41に熱処理を施している。上記の製造方法によれば、加温された基板21の熱によってミスト化された原料41が熱処理される。これにより、原料41に熱分解による化学反応を起こさせて、基板21上に薄膜形成することもできるため、高純度の薄膜を形成することができ、被覆性も向上する。また、第1実施形態に係る太陽電池20の製造方法のホール輸送層形成工程において、ホール輸送層23を形成する際に用いられるミスト化された原料41は、透明導電性ポリマー原液を水で希釈したものである。上記の製造方法によれば、透明導電性ポリマー原液をそのまま用いるよりも少量で済むため、さらに材料効率が良好である。また、原料の一部が水で構成されているため、取り扱う際にも安全である。また、第1実施形態に係る太陽電池20は、本実施形態に係る太陽電池20の製造方法を含む工程によって製造されている。上記の構成によれば、透明電極膜22、ホール輸送層23、活性層24、および電子輸送層25の少なくとも1層以上が、超音波振動によってミスト化された原料41を堆積することによって薄膜形成されているため、従来よりも時間効率、材料効率、パターニング精細度、ハイブリッド膜形成、膜構造制御の全てにおいて効率の良い太陽電池20を提供することができる。また、第2実施形態に係る太陽電池の製造方法は、基板21上に透明電極膜22を形成する透明電極膜形成工程と、透明電極膜22上にホール輸送層23を形成するホール輸送層形成工程と、ホール輸送層23上に活性層24を形成する活性層形成工程と、活性層24上に電子輸送層25を形成する電子輸送層形成工程と、電子輸送層25上に電極層26を形成する電極層形成工程とを有し、少なくとも活性層24を、超音波振動によってミスト化された原料241及び原料341複数種類の原料を堆積することによって薄膜形成するものであり、ミスト化は、活性層24を構成する原料241及び原料341毎に別々に行われることを特徴としている。上記の製造方法によれば、活性層24を、超音波振動によってミスト化された原料241及び原料341複数種類の原料を堆積することによって薄膜形成するに際して、ミスト化は、活性層24を構成する原料241及び原料341毎に別々に行うことができる。このため、活性層24を、ミスト化された原料241及び原料341を別々の原料ガス供給装置230及び原料ガス供給装置330を介して薄膜形成することができる。例えば、活性層24として堆積させる原料241及び原料341の比率を変えることにより、原料241及び原料341を所望の比率で混合した活性層24を薄膜形成することができる。また、例えば、活性層24として堆積させる原料241及び原料341のミスト化のタイミングを変えることにより、原料241及び原料341を所望の順序で積層した活性層24を薄膜形成することができる。以上、本発明の実施例を説明したが、具体例を例示したに過ぎず、特に本発明を限定するものではなく、具体的構成などは、適宜設計変更可能である。また、発明の実施形態に記載された、作用および効果は、本発明から生じる最も好適な作用および効果を列挙したに過ぎず、本発明による作用および効果は、本発明の実施形態に記載されたものに限定されるものではない。