インク室と、前記インク室に供給するためのインクが流れるインク供給流路と、前記インク室から排出された前記インクが流れるインク排出流路と、前記インク室の側面を構成する隔壁と、前記隔壁に形成され、前記インク供給流路と連通しているインク入口孔と、前記隔壁に形成され、前記インク排出流路と連通しているインク出口孔と、前記インク室の天面を構成するピエゾプレートと、前記インク室内に配置され、伸縮可能な積層ピエゾ素子であって、前記ピエゾプレートに固定された固定端と、伸縮方向の端部である可動端とを有する積層ピエゾ素子と、前記インク室の底面を構成するノズルプレートと、前記ノズルプレートに形成され、前記インク室と連通するノズルと、を有するインクジェットヘッドであって、前記積層ピエゾ素子は、前記隔壁と離間しており、前記インク入口孔は、前記積層ピエゾ素子の前記可動端より前記固定端側に位置する、インクジェットヘッド。前記インク入口孔と前記インク供給流路とを繋ぐインク入口流路をさらに有し、前記インク入口流路は、屈曲点を有する、請求項1に記載のインクジェットヘッド。前記インク出口孔と前記インク排出流路とを繋ぐインク出口流路をさらに有し、前記インク出口流路は、屈曲点を有する、請求項1に記載のインクジェットヘッド。請求項1~3のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを具備するインクジェット装置。しかしながら、インク室内をインクが流れる循環式のインクジェットヘッドであっても、インクが滞留し、よどむことがあった。図2は、他の循環式のインクジェットヘッド2の断面図である。図2に示されるインクジェットヘッド2は、インク室10と、インク供給流路11と、インク排出流路12とを有する。インク室10は、ノズル21が形成されたノズルプレート20と、積層ピエゾ素子31が固定されたピエゾプレート30と、インク室10の側面を構成する隔壁40とから構成される。隔壁40には、インク供給流路11からインク室10にインクを供給するためのインク入口孔33と、インク室10からインク排出流路12にインクを排出するためのインク出口孔35と、が形成されている。また、インクジェットヘッド2では、積層ピエゾ素子31は、隔壁40と離間している。このため、積層ピエゾ素子31と隔壁40との間には隙間が形成される。図2に示されるようにインク室10内にインクを流しても、積層ピエゾ素子31と隔壁40との間の隙間に入りこんだインクは流動しにくい。このため、積層ピエゾ素子31と隔壁40との間には隙間に入りこんだインクが滞留し、よどむおそれがある。インク室内のインクがよどむと、インクの吐出が不安定になるなどのインクの吐出に悪影響を及ぼす。このような、積層ピエゾ素子31と隔壁40との間に入りこんだインクの滞留を防止するために、特許文献2に開示されたように、隔壁ではなくピエゾプレート30にインク入口孔を形成することも考えられる。図1に示された特許文献2のインクジェットヘッド1のように、ピエゾプレート30にインク入口孔を形成すれば、インク入口孔から供給されたインクは、ピエゾ素子31と、隔壁40との間を流れるので、ピエゾ素子と、隔壁40との間のインクが滞留することはない。しかし、ピエゾプレート30にインク入口孔を形成すると、ピエゾ素子の駆動によって生じた力の一部がインク入口孔を通して逃げてしまい、インクの吐出力が下がってしまう図6A参照。本発明の目的は、インク室内でのインクのよどみの解消と、強い吐出力とを両立することができる循環式インクジェットヘッドを提供することである。本発明者は、インク入口孔と積層ピエゾ素子との位置関係を工夫することで、インク室内でのインクのよどみの解消と、強い吐出力をと両立できることを見出し、さらに検討を加え、本発明を完成させた。すなわち、本発明の第1は、以下に示すインクジェットヘッドに関する。[1]インク室と、前記インク室に供給するためのインクが流れるインク供給流路と、前記インク室から排出された前記インクが流れるインク排出流路と、前記インク室の側面を構成する隔壁と、前記隔壁に形成され、前記インク供給流路と連通しているインク入口孔と、前記隔壁に形成され、前記インク排出流路と連通しているインク出口孔と、前記インク室の天面を構成するピエゾプレートと、前記インク室内に配置され、伸縮可能な積層ピエゾ素子であって、前記ピエゾプレートに固定された固定端と、伸縮方向の端部である可動端とを有する積層ピエゾ素子と、前記インク室の底面を構成するノズルプレートと、前記ノズルプレートに形成され、前記インク室と連通するノズルと、を有するインクジェットヘッドであって、前記積層ピエゾ素子は、前記隔壁と離間しており、前記インク入口孔は、前記積層ピエゾ素子の前記可動端より前記固定端側に位置する、インクジェットヘッド。[2]前記インク入口孔と前記インク供給流路とを繋ぐインク入口流路をさらに有し、前記インク入口流路は、屈曲点を有する、[1]に記載のインクジェットヘッド。[3]前記インク出口孔と前記インク排出流路とを繋ぐインク出口流路をさらに有し、前記インク出口流路は、屈曲点を有する、[1]または[2]に記載のインクジェットヘッド。本発明の第2は、以下に示すインクジェット装置に関する。[4][1]~[3]のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドを具備するインクジェット装置。本発明のインクジェットヘッドでは、インク室内でインクが滞留せず、かつインクの吐出力が強い。このため、本発明のインクジェットヘッドは、高粘度のインクを安定して吐出することができる。1.本発明のインクジェットヘッドについて本発明のインクジェットヘッドは、積層型のピエゾ素子を用いるベンドモード型のインクジェットヘッドである。また、本発明は、インク室内をインクが流れるインク循環型のインクジェットヘッドである。本発明のインクジェットヘッドは、1インク供給流路と、2インク排出流路と、3インク室とを有する。以下それぞれの構成要素について説明する。1インク供給流路インク供給流路は、インク室に供給するインクが流れる流路である。インク供給流路は、外部からインクが供給される導入口を有する。インク供給流路には、インクの流れに沿って、複数のインク室が接続している。インク供給流路に供給されるインク供給量は、特に限定されず、数mlminであっても、それ以上であってもよい。2インク排出流路インク排出流路は、インク室から排出されたインクが流れる流路である。インク排出流路は、外部にインクを排出するための排出口を有する。インク排出流路には、インクの流れに沿って、複数のインク室が接続している。3インク室インク室は、後述するノズルから吐出させるインクを収容するための空間である。インク室はインク供給流路およびインク排出流路と接続している。したがって、インクは、インク供給流路からインク室内を通って、インク排出流路まで流れる。これによりインク室内には常に新しいインクが供給される。インク室内に常に新しいインクを供給することで、インク室内のインクのよどみやエアーの混入などによるインクの吐出不良を防止することができる。インク室内を流れるインクの流量は10~100ml/minであることが好ましい。1のインク供給流路およびインク排出流路に接続するインク室の最大数は、通常1024個である。インク室に収容されるインクの種類は、特に限定されず、製造物の種類によって適宜選択される。たとえば、製造物が有機ELパネルである場合、インク室に収容されるインクの例には、発光材料などの有機発光物質を含む溶液が含まれる。また、液晶パネルを製造する場合、インクの例には、液晶材料などの高粘度の機能液が含まれる。次にインク室を構成する部材について説明する。本発明では、インク室は、ノズルプレートと、隔壁と、ピエゾプレートとから構成される。したがって本発明のインクジェットヘッドは、さらに4ノズルプレート、5隔壁、および6ピエゾプレートを有する。4ノズルプレートノズルプレートは、インク室の底面を構成する板である。ノズルプレートは例えば厚さ10~100μmのステンレス鋼例えばSUS304ステンレス鋼板である。さらに、本発明のインクジェットヘッドは、ノズルプレートに形成されたノズルを有する。ノズルは、インク室からインクを吐出するための吐出孔を有する管である。インクジェットヘッドは、1つのインク室に対して、1つのノズルを有していてもよいし、2以上のノズルを有していてもよい。インク室内のインクは、ノズル内部を通り、吐出孔から外部に吐出される。吐出孔の径は、特に限定されず、例えば10~100μm程度であればよい。5隔壁隔壁は、インク室の側面を構成する板である。隔壁は、例えば、複数のステンレス鋼例えばSUS304ステンレス鋼板を熱拡散接合によって貼り合わすことで製造されてもよい。隔壁の断面形状は、矩形状でもよくテーパ状でもよい。隔壁の高さは、積層ピエゾ素子の高さよりも5~100μm高ければよく、通常105~1100μmである。隔壁はピエゾプレートおよびノズルプレートに貼り付けられている。隔壁は、ピエゾプレートおよびノズルプレートに接着剤によって貼り付けられたり、溶接によって貼り付けられたりしてもよいが、熱拡散接合熱圧着によって貼り付けられてもよい。さらに、本発明のインクジェットヘッドは、隔壁に形成されたインク入口孔およびインク出口孔を有する。インク入口孔は、インク供給流路と連通した孔である。したがって、インクはインク供給流路からインク入口孔を通ってインク室に流入する。インク入口孔とインク供給流路とは、通常インク入口流路によって繋がれる。インク入口流路は直線状であってもよいが、屈曲点を有することが好ましい実施の形態2、図7参照。インク出口孔は、インク排出流路と連通した孔である。したがって、インクはインク室からインク出口孔を通ってインク排出流路に流入する。インク出口孔とインク排出流路とは、通常インク出口流路によって繋がれる。インク出口流路は直線状であってもよいが、屈曲点を有することが好ましい実施の形態2、図7参照。6ピエゾプレートピエゾプレートは、インク室の天面を構成する板である。ここでインク室の天面とは、ノズルプレートに対向する面を意味する。ピエゾプレートの材料は例えばセラミックスである。ピエゾプレートの材料をセラミックスとすることで、後述するピエゾ素子とピエゾプレートの熱膨張係数を同じにすることができる。さらに本発明のインクジェットヘッドは、ピエゾプレートに固定されたピエゾ素子を有する。ピエゾ素子は、制御信号を実際の動きに変換する作動装置である。ピエゾ素子に駆動電圧を印加することで、ピエゾ素子が伸縮し、インク室内のインクに圧力が加わる。これにより、ノズルの吐出孔からインクが吐出される。本発明におけるピエゾ素子は、伸縮可能な積層型のピエゾ素子以下単に積層ピエゾ素子とも称するであることを特徴とする。積層ピエゾ素子は、入力に対する出力応答が遅いが、大きい出力を有する。そのため積層ピエゾ素子は、強い力を発生させることができる。積層ピエゾ素子の高さ積層方向の長さは、通常100~1000μmである。積層ピエゾ素子は、インク室内に配置され、後述するピエゾプレートに固定される固定端と、積層ピエゾ素子の伸縮方向の端部である可動端とを有する。また、本発明では、積層ピエゾ素子と上述した隔壁とが離間していることを特徴とする。このため、積層ピエゾ素子と隔壁との間には、隙間が形成される。積層ピエゾ素子と隔壁との間の隙間の幅は5~100μmであることが好ましく、5~20μmであることがさらに好ましい。積層ピエゾ素子と隔壁との間の隙間の幅が5μm以下であると、電圧の印加によって積層ピエゾ素子が膨張したときに、積層ピエゾ素子が隔壁に接触する恐れがある。一方、積層ピエゾ素子と隔壁との間の隙間の幅が20μm以上であると、インクに圧力を加えたときに、インクが積層ピエゾ素子と隔壁との間の隙間に逃げ、インクに充分な圧力を加えられない場合がある。上述のように、積層ピエゾ素子は大きい出力を有するが、発生する振動も大きい。このため、積層ピエゾ素子の振動が隔壁を介して、隣接するインク室に伝わる恐れがある。このように、1のインク室内のピエゾ素子の振動が他のインク室に影響を与えることはクロストークと称される。クロストークが生じると、インク室間で吐出するインク滴の量が不安定になったり、インクの吐出ピッチが不安定になったりする。しかし、本発明では、積層ピエゾ素子と隔壁とが離間しているので、積層ピエゾ素子の振動が隔壁を通して隣接するインク室に伝わることが無い。このため、本発明によればインク室間のクロストークが軽減される。本発明は、インク入口孔と積層ピエゾ素子との位置関係を工夫することで、インク室内のよどみの解消と、強い吐出力とを両立させたことを特徴とする。より具体的には、本発明は、インク入口孔を積層ピエゾ素子の可動端よりも固定端側に配置し、かつ上述のようにインク入口孔を隔壁に形成したことでインク室内のよどみの解消と、強い吐出力とを両立させたことを特徴とする。ここでインク入口孔が積層ピエゾ素子の可動端よりも固定端側に配置されているとは、駆動されてない状態の積層ピエゾ素子の可動端と固定端との間隔積層ピエゾ素子の高さよりもインク入口孔とピエゾプレートとの間隔の方が、小さいことを意味する。インク入口孔とピエゾプレートとの間隔は、100μm以下であることが好ましく、0であることがより好ましい図4B参照。インク入口孔とピエゾプレートとの間隔が100μm以上であると、積層ピエゾ素子と隔壁との間のインクが滞留し、よどむ恐れがある。積層ピエゾ素子の可動端とインク入口孔との、積層ピエゾ素子の伸縮方向に沿った距離以下単に積層ピエゾ素子の可動端とインク入口孔との距離とも称するは、100μm以上であることが好ましく、300μm以上であることがより好ましい図4B参照。積層ピエゾ素子の可動端とインク入口孔との間隔が100μm未満であると、積層ピエゾ素子と隔壁との間のインクが滞留したり、積層ピエゾ素子の駆動によって生じた力が、インク入口孔に逃げやすくなったりする。このように、インク入口孔を積層ピエゾ素子の可動端よりも固定端側に配置することで、積層ピエゾ素子と隔壁との間に入り込んだインクが滞留することを防止することができる図5A参照。さらに本発明では、積層ピエゾ素子の可動端よりも固定端側に配置されたインク入口孔は、上述のように隔壁インク室の側面に形成されている。このように、インク入口孔を積層ピエゾ素子の可動端よりも固定端側であって、かつ隔壁に形成することで、積層ピエゾ素子の駆動によって生じた力がインク入口孔に逃げることを防止することもできる図5B参照。積層ピエゾ素子の駆動によって生じた力がインク入口孔に逃げることを防止することによって、積層ピエゾ素子の駆動によって生じた力を効率的にインクの吐出力に変換することができ、強いインクの吐出力が得られる。以上のように本発明によれば、インク室内のよどみの解消と、強い吐出力とを両立させることができる。このため、本発明のインクジェットヘッドは、高粘度のインクを安定して吐出することができる。本発明の効果については、実施の形態1で詳細に説明する。2.本発明のインクジェットヘッドの製造方法について上述した本発明のインクジェットヘッドは、本発明の効果を損なわない限り任意の方法で製造される。本発明のインクジェットヘッドの製造方法の好ましい例は、1ピエゾプレートを準備する第1ステップと、2ピエゾプレート上にフレームを積層する第2ステップと、3フレーム上に、隔壁が接続されたノズルプレートを積層する第3ステップと、を有する。1第1ステップでは、複数の積層ピエゾ素子が固定されたピエゾプレートを準備する。複数の積層ピエゾ素子は、iまず、ピエゾプレート上にチタン酸ジルコニウム酸鉛PZTのシートと導電膜とを複数積層して、駆動体を作製し、iiそして駆動体を分割することで作製されればよい。駆動体を分割するには、回転ブレードが組み込まれたダイシング装置を用いればよい。2第2ステップでは、ピエゾプレート上にフレームを積層する。ここでフレームとは、インクジェットヘッドの側面を構成する部材である図3、図4A~C、符番160参照。フレームは、ピエゾプレートに接着剤によって貼り付けられたり、溶接によって貼り付けられたりしてもよいが、熱拡散接合熱圧着によって貼り付けられてもよい。3第3ステップでは、フレーム上に、複数の隔壁が接続されたノズルプレートを積層する。これにより、底面、側面および天面を有するインク室が構成される。隔壁は、積層ピエゾ素子と積層ピエゾ素子との間に挿入されるように配列されている。隔壁は、ノズルプレートに接着剤によって貼り付けられたり、溶接によって貼り付けられたりしてもよいが、熱拡散接合熱圧着によって貼り付けられてもよい。また、ノズルプレートは、フレームに接着剤によって貼り付けられたり、溶接によって貼り付けられたりしてもよいが、熱拡散接合熱圧着によって貼り付けられてもよい。3.本発明のインクジェット装置について本発明のインクジェット装置は、前述のインクジェットヘッドを具備することを特徴とするが、それ以外は公知のインクジェット装置の部材を適宜有する。例えば、本発明のインクジェット装置は、インクジェットヘッドを固定する部材や、インクを塗布する対象物を載置して移動するための移動ステージなどを有する。インクジェット装置は、インク循環装置を具備する。インク循環装置は、インクに駆動圧力を供給することでインクを循環させる。インクに駆動圧力を供給するには、ポンプを用いてもよいが、圧縮空気を利用して圧力を供給するレギュレータを用いることが好ましい。レギュレータを用いることで駆動圧力が一定になり、インクの循環速度が安定するからである。インクジェット装置は、インクジェットヘッドのインクを、装置作動中に絶えず循環させてもよいし、断続的に循環させてもよい。以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明するが、本発明はこれらの実施の形態により限定されない。実施の形態1図3は、本発明の実施の形態1のインクジェットヘッド100の斜視図である。図3に示されるように、インクジェットヘッド100は、インク供給流路101と、インク排出流路102と、インク室110とを有する。インク供給流路101は、インク導入口103を有する。また、インク排出流路102は、インク排出口104を有する。図4Aは、図3に示されたインクジェットヘッド100のA線による断面図である。図4Bは、図3に示されたインクジェットヘッド100のB線による断面図である。図4Cは、図3に示されたインクジェットヘッド100のC線による断面図である。図4A~図4Cに示されるように、インクジェットヘッド100は、吐出孔112を有するノズル111、積層ピエゾ素子113、インク入口孔121、インク入口流路123、インク出口孔125、およびインク出口流路127を有する。またインクジェットヘッド100は、ノズル111が形成され、インク室110の底面を構成するノズルプレート130、積層ピエゾ素子113が固定され、インク室110の天面を構成するピエゾプレート140、インク入口孔121およびインク出口孔125が形成され、インク室110の側面を構成する隔壁150を有する。また、インクジェットの側面は、フレーム160によって構成される。インク室110は、インク入口孔121およびインク入口流路123を介して、インク供給流路101と接続している。また、インク室110は、インク出口孔125およびインク出口流路127を介してインク排出流路102と接続している。本実施の形態ではインク入口流路123およびインク出口流路127は、屈曲点を有さず直線状である。図4Aに示されるように、積層ピエゾ素子113は、隔壁150に接触していない。積層ピエゾ素子113と隔壁150との間の隙間は、5~100μmである。積層ピエゾ素子113は、ピエゾプレート140に固定された固定端113aと、ピエゾの伸縮方向の端部である可動端113bとを有する。図4Bに示されるように、インク入口孔121およびインク出口孔125は、隔壁150に形成されている。また、インク入口孔121が形成されている隔壁150と、インク出口孔125が形成されている隔壁150とは対向している。インク入口孔121は、積層ピエゾ素子113の可動端113bよりも固定端113a側に配置されている。本実施の形態では、インク入口孔121とピエゾプレート140との間隔は、0である。また、図4Bに示される積層ピエゾ素子113の可動端113bと、インク入口孔121との、積層ピエゾ素子113の伸縮方向に沿った距離Dは、100μm以上であることが好ましく、300μm以上であることがより好ましい。一方、インク出口孔125は、積層ピエゾ素子113の可動端113bよりもノズルプレート130側に配置されている。次に、図5A~図5Dを用いて実施の形態1のインクジェットヘッド100の動作について説明する。図5Aおよび図5Cは、図4Aに示されたインク室110の拡大断面図であり、図5Bおよび図5Dは、図4Bに示されたインク室110の説明図である。まず、インクタンク105からインク供給流路101にインクを供給する。インクタンク105は圧力調節機構を有することが好ましい。インクタンクが圧力調節機構を有することで、インクタンク内のインクが消費され、インクタンク内のインク液面が下がっても、インクタンクからインク供給流路101にインクを一定の圧力で供給することができる。圧力調節機構は、インクタンクの高さを調節し、インク液面の高さを一定にすることで、供給されるインクの圧力を一定にしてもよい。インク供給流路101に供給されたインクは、インク入口流路123およびインク入口孔121を通って各インク室110に供給される図5Aおよび図5B参照。インク室110に供給されたインクは、さらにインク出口孔125およびインク出口流路127を通ってインク排出流路102に排出される。このため、インク室110内をインクが流れる。これにより、インク室110内には常に新しいインクが供給される。また、上述のように、インク入口孔121は、積層ピエゾ素子113の可動端113bよりも固定端113a側に配置されている。このため、積層ピエゾ素子113と隔壁150との間の空間にもインクが供給され、積層ピエゾ素子113と隔壁150との間の空間でもインクの流れが生じる。これにより、積層ピエゾ素子113と隔壁150との間のインクがよどむことを防止することができる。一方、図2に示されるように、インク入口孔33が、積層ピエゾ素子31の可動端よりもノズルプレート20側に配置されていると、積層ピエゾ素子31と隔壁40との間の空間でインクが滞留し、積層ピエゾ素子31と隔壁40との間のインクがよどむおそれがある。次に、積層ピエゾ素子113に駆動電圧を加える。これにより、積層ピエゾ素子113の高さが増加し、インク室110の容量が縮小する図5Cおよび図5D。上述のように、本実施の形態では、積層ピエゾ素子113と隔壁150とが離間している。このため、図5Cおよび図5Dに示すように積層ピエゾ素子113の高さが増加した場合であっても、積層ピエゾ素子113の振動が隔壁150に伝達しない。これにより、インク室110間のクロストークを減少させることができる。また、積層ピエゾ素子113の高さが増加することで、インクの吐出方向Xと同じ方向の力F1が発生する。これにより、インク室110内のインクは、積層ピエゾ素子113が駆動することによって生じた力によって吐出される。また、積層ピエゾ素子113が駆動することによって生じた力の一部は、ノズルプレート130に跳ね返されたり、隔壁150に跳ね返されたりすることで、吐出方向Xに垂直方向な力F2および吐出方向Xに逆方向な力F3に変換される。本発明では、インク入口孔121は、隔壁150に形成され、かつ積層ピエゾ素子113の可動端113bよりも、固定端113a側に配置されているので、吐出方向Xに逆方向な力F3の方向の延長上にインク入口孔121が存在しない。したがって、力F3は、インク入口孔121に逃げ難い。このため、積層ピエゾ素子113の駆動によって生じる力が、効率よく吐出力に変換される。一方、図6Aに示されるようにインク入口孔121をインク室110の側面ではなく、インク室の天面ピエゾプレート140に設けた場合、吐出方向Xに逆方向な力F3は、インク入口孔121に逃げやすい。このため、積層ピエゾ素子113の駆動によって生じた力は、効率よくインクの吐出力に変換されず、インクの吐出力が減少する。さらに、インク入口孔121を隔壁150に形成した場合であっても、図6Bに示されたように、インク入口孔121を積層ピエゾ素子113の可動端113bよりもノズルプレート130側に配置すると、吐出方向Xに垂直方向な力F2が、インク入口孔121に逃げやすい。このため、積層ピエゾ素子113の駆動によって生じる力は、効率よくインクの吐出力に変換されず、インクの吐出力が減少する。また、吐出方向Xに垂直方向な力F2が、インク出口孔125に逃げることを防止するため、インク出口孔125を積層ピエゾ素子113の可動端113bよりも、ピエゾプレート140側に配置することも考えられる。しかし、インク出口孔125を、積層ピエゾ素子113の可動端113bよりもピエゾプレート140側に配置した場合、インク室110内にインクを循環させたときに、ノズル111から意図せずインクが漏れ出してしまう恐れがあるので好ましくない。その後、積層ピエゾ素子113に駆動電圧と逆の電圧を加えると、積層ピエゾ素子の高さが減少し、インク室110の容量が拡大する。これにより、インク供給流路101からインク室110にインクが再び流入する。このように本実施の形態のインクジェットヘッドによれば、インク室内のよどみの解消と、強い吐出力とを両立させることができる。実施の形態2実施の形態1では、インク入口流路およびインク出口流路が直線状である形態について説明した。実施の形態2では、インク入口流路およびインク出口流路が屈曲点を有する形態について説明する。図7は、実施の形態2のインクジェットヘッド200の断面図である。インクジェットヘッド200は、インク入口流路およびインク出口流路が屈曲点を有する以外は、図4Bに示された実施の形態1のインクジェットヘッド100と同じである。実施の形態1のインクジェットヘッド100と同一の構成要素については、同一の符号を付し説明を省略する。図7に示されるように、本実施の形態のインクジェットヘッド200では、インク入口流路223およびインク出口流路227が屈曲点Cを有する。これにより、インク入口流路223およびインク出口流路227の圧力損失が高まる。このため、積層ピエゾ素子113の駆動によって生じた力のうち吐出方向Xに垂直方向な力F2は、インク入口孔121にもインク出口孔125にもより逃げにくくなる。このため、本実施の形態によれば、さらにインクの吐出力を向上させることができる。実施の形態3実施の形態1では、インク室の側面隔壁が天面ピエゾプレートおよび底面ノズルプレートに対して垂直である形態について説明した。実施の形態3では、インク室の側面にテーパ部が設けられている形態について説明する。図8は、実施の形態3のインクジェットヘッド300の断面図である。インクジェットヘッド300は、インク室の側面にテーパ部が設けられている以外は、図4Bに示された実施の形態1のインクジェットヘッド100と同じである。実施の形態1のインクジェットヘッド100と同一の構成要素については、同一の符号を付し説明を省略する。図8に示されるように、本実施の形態のインクジェットヘッド300では、インク室110の側面にテーパ部310が設けられている。より具体的には、インク入口孔121が設けられた隔壁150に対向する隔壁150にテーパ部310が設けられている。このようにすることで、ピエゾ素子113と隔壁150との隙間にインクおよび気泡が滞留しにくくなる。したがって、本実施の形態によれば、さらにインクの吐出力を向上させることができる。実施の形態4実施の形態4では、インク室の側面に凸部が設けられている形態について説明する。図9Aは、実施の形態4のインクジェットヘッド400の断面図である。図9Bは、実施の形態4のインクジェットヘッド400の部分拡大平面図である。図9Bでは、ピエゾプレート140を除去した状態を図示している。インクジェットヘッド400は、インク室の側面に凸部が設けられている以外は、図4Bおよび図4Cに示された実施の形態1のインクジェットヘッド100と同じである。実施の形態1のインクジェットヘッド100と同一の構成要素については、同一の符号を付し説明を省略する。図9Aおよび図9Bに示されるように、本実施の形態のインクジェットヘッド400では、インク室110の側面に凸部410が設けられている。凸部410は、ピエゾ素子113の周囲を取り囲むように隔壁150上に設けられている。インク入口孔121から供給されたインクは、ピエゾ素子113と凸部410との隙間からインク室110の下部に流入する。このようにすることで、インク室110内の特定の領域にインクおよび気泡が滞留しにくくなる。したがって、本実施の形態によれば、さらにインクの吐出力を向上させることができる。実施の形態5実施の形態1では、インク入口孔の幅がインク室の幅よりも狭い形態について説明した。実施の形態5では、インク入口孔の幅がインク室の幅と同じである形態について説明する。図10Aは、実施の形態5のインクジェットヘッド500の断面図である。図10Bは、実施の形態5のインクジェットヘッド500の部分拡大平面図である。図10Bでは、ピエゾプレート140を除去した状態を図示している。インクジェットヘッド500は、インク入口流路523の幅が徐々に大きくなっていること以外は、図4Bおよび図4Cに示された実施の形態1のインクジェットヘッド100と同じである。実施の形態1のインクジェットヘッド100と同一の構成要素については、同一の符号を付し説明を省略する。図10Aおよび図10Bに示されるように、本実施の形態のインクジェットヘッド500では、インク入口流路523の幅が徐々に大きくなっており、インク入口孔521の幅がインク室110と同じ幅となっている。このようにすることで、インク入口孔521の周囲においてインクおよび気泡が滞留しにくくなる。したがって、本実施の形態によれば、さらにインクの吐出力を向上させることができる。なお、インク入口流路523の入口部分インク供給流路101との接続部分の幅は、インク入口孔521に比べて狭い。これは、吐出圧力をロスしないようにするためである。実施の形態6実施の形態1では、1つのインク入口流路が1つのインク室に接続する形態について説明した。実施の形態6では、2つ以上のインク入口流路が1つのインク室に接続する形態について説明する。図11は、実施の形態6のインクジェットヘッド600の部分拡大平面図である。図11では、ピエゾプレート140を除去した状態を図示している。インクジェットヘッド600は、複数のインク入口孔621および複数のインク入口流路623を有すること以外は、図4Cに示された実施の形態1のインクジェットヘッド100と同じである。実施の形態1のインクジェットヘッド100と同一の構成要素については、同一の符号を付し説明を省略する。図11に示されるように、本実施の形態のインクジェットヘッド600では、3つのインク入口流路623が1つのインク室110に接続している。両端のインク入口流路623は、インク室110の隅の部分に接続している。このようにすることで、インク室110の隅の部分においてインクおよび気泡が滞留しにくくなる。したがって、本実施の形態によれば、さらにインクの吐出力を向上させることができる。インク室110の隅の部分におけるインクおよび気泡の滞留を防止するためには、インク入口流路623の数を増やす代わりに、1つのインク入口流路623の幅をインク室110の幅と同じにすることも考えられる。しかしながら、吐出圧力をロスしないようにする観点からは、インク入口流路623の幅をインク室110の幅と同じにすることは好ましくない。