"少なくとも片面にシリコーン系離型層を有する離型フィルムであり、当該離型フィルムの内部透明度が96.5以上であり、前記シリコーン系離型層の表面の粗さRaが9.0nm以上であり、当該離型フィルムのMOR値が1.5~3.0であることを特徴とする離型ポリエステルフィルム。本発明は、上記実情に鑑みなされたものであって、その解決課題は、偏光板のクロスニコル法による光学検査において、高度な精度を実現できる離型ポリエステルフィルムを提供することにある。本発明者らは、上記実情に鑑み鋭意検討した結果、特定の構成を有するポリエステルフィルムによれば、上記課題を容易に解決できることを見いだし、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の要旨は、少なくとも片面にシリコーン系離型層を有する離型フィルムであり、当該離型フィルムの内部透明度が96.5以上であり、前記シリコーン系離型層の表面の粗さRaが9.0nm以上であり、当該離型フィルムのMOR値が1.5~3.0であることを特徴とする離型ポリエステルフィルムに存する。本発明によれば、離型フィルムが貼り合わされた状態の偏光等の部材について、クリア感に優れ、歪みやムラのような欠陥や異物有無の検査をクロスニコル法による目視検査で行う場合に検査性に優れ、かつ、生産性に優れたポリエステルフィルムを提供することができるため、本発明の工業的価値は高い。本発明で言うポリエステルフィルムとは、押出口金から溶融押出される、いわゆる押出法により押出した溶融ポリエステルシートを冷却した後、必要に応じ、延伸、熱処理を施したフィルムである。本発明のフィルムを構成するポリエステルとは、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものである。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1,4-シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレートPEN等が例示される。また、用いるポリエステルは、ホモポリエステルであっても共重合ポリエステルであってもよい。共重合ポリエステルの場合は、30モル以下の第三成分を含有した共重合体であればよい。このような共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸およびオキシカルボン酸例えば、P-オキシ安息香酸など等から選ばれる一種または二種以上が挙げられる。一方のグリコール成分としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等から選ばれる一種または二種以上が挙げられる。本発明で得られるポリエステルには、本発明の要旨を損なわない範囲で、耐候剤、耐光剤、帯電防止剤、潤滑剤、遮光剤、抗酸化剤、蛍光増白剤、マット化剤、熱安定剤、および染料、顔料などの着色剤などを配合してもよい。フィルムに配合する粒子としては、酸化ケイ素、アルミナ、炭酸カルシウム、カオリン、酸化チタンおよび特公昭59-5216号公報に記載されているような架橋高分子微粉体等を挙げることができる。これらの粒子は、単独あるいは2成分以上を同時に使用してもよい。これら粒子の配合量は、フィルムを構成するポリエステルに対し、通常1重量以下、好ましくは0.01~1重量、さらに好ましくは0.02~0.6重量の範囲である。粒子の含有量が少ない場合には、フィルム表面を適度な粗面にすることができず、フィルム製造工程において、表面のキズが発生しやすかったり、巻き特性が劣ったりする傾向がある。また、粒子の含有量が1重量を超える場合には、フィルム表面の粗面化の度合いが大きくなりすぎて透明性が損なわれることがある。ポリエステルフィルム中に配合する粒子の平均粒径としては、特に限定されるものではないが、通常0.02μm~5μm、好ましくは0.02μm~3.5μm、さらに好ましくは0.02μm~3.2μmの範囲である。平均粒径が0.02μm未満の粒子を用いた場合には、十分な易滑性の付与が出来ないため、フィルム製造工程における巻き特性が劣る傾向がある。また、平均粒径が5μmを超える場合には、フィルム表面の粗面化の度合いが大きくなりすぎてフィルムの曇り度が高くなる場合がある。一方、フィルムの透明性を向上させるため、2層以上の積層フィルムとした場合、表層のみに粒子を配合する方法も好ましく採用される。この場合の表層とは、少なくとも表裏どちらか1層であり、もちろん表裏両層に粒子を配合することもできる。かかる積層フィルムとした場合の粒子の配合量は、表層を構成するポリエステルに対し、好ましくは0.01~1重量、さらに好ましくは0.02~0.6重量の範囲である。また、用いられる粒子の粒度分布はシャープな物が好ましい。具体的には、粒度分布のシャープさを表す指標である粒度分布値が1.0~2.0のものが好ましい。なお、ここで粒度分布値とは、粒度分布値d25/d75d25、d75は粒子群の積算堆積を大粒子側から計算し、それぞれ総体積の25、75に相当する粒径μmを示すにより定義される値である。粒度分布値が2.0を超える場合、透明性が不十分になる可能性がある。本発明において、ポリエステルに粒子を配合する方法としては、特に限定されるものではなく、公知の方法を採用し得る。例えば、ポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後重縮合反応開始前の段階でエチレングリコール等に分散させたスラリーとして添加し重縮合反応を進めてもよい。またベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または、混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行われる。なおポリエステルは、溶融重合後これをチップ化し、加熱減圧下または窒素等不活性気流中に必要に応じてさらに固相重合を施してもよい。得られるポリエステルの固有粘度は0.40dL/g以上であることが好ましく、0.40~0.90dL/gであることがさらに好ましい。本発明のフィルムの総厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲で有れば特に限定されるものではないが、通常4~300μm、好ましくは25~188μmの範囲である。次に本発明のフィルムの製造方法に関して具体的に説明するが、本発明の要旨を満足する限り、以下の例示に特に限定されるものではない。まず、本発明で使用するポリエステルの製造方法の好ましい例について説明する。ここではポリエステルとしてポリエチレンテレフタレートを用いた例を示すが、使用するポリエステルにより製造条件は異なる。常法に従って、テレフタル酸とエチレングリコールからエステル化し、または、テレフタル酸ジメチルとエチレングリコールとを、エステル交換反応させ、その生成物を重合槽に移送し、減圧しながら温度を上昇させ、最終的に真空下で280°Cに加熱して重合反応を進め、ポリエチレンテレフタレート得る。次に例えば上記のようにして得、公知の手法により乾燥したポリエステルチップを溶融押出装置に供給し、それぞれのポリマーの融点以上である温度に加熱し溶融する。次いで、溶融したポリマーを口金から押出し、回転冷却ドラム上でガラス転移温度以下の温度になるように急冷固化し、実質的に非晶状態の未配向シートを得る。この場合、シートの平面性を向上させるため、シートと回転冷却ドラムとの密着性を高めることが好ましく、本発明においては静電印加密着法および/または液体塗布密着法が好ましく採用される。本発明においては、このようにして得られたシートを2軸方向に延伸してフィルム化する。延伸条件について具体的に述べると、前記未延伸シートを好ましくは縦方向に70~145°Cで2~6倍に延伸し、縦1軸延伸フィルムとした後、横方向に90~160°Cで2~6倍延伸を行い、150~240°Cで1~600秒間熱処理を行うことが好ましい。さらにこの際、熱処理の最高温度ゾーンおよび/または熱処理出口のクーリングゾーンにおいて、縦方向および/または横方向に0.1~20弛緩する方法が好ましい。また、必要に応じて再縦延伸、再横延伸を付加することも可能である。さらに、前記の未延伸シートを面積倍率が10~40倍になるように同時二軸延伸を行うことも可能である。本発明のポリエステルフィルムは、本発明の効果を損なわない範囲であれば、延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆるインラインコーティングを施すこともできる。それは以下に限定するものではないが、例えば、1段目の延伸が終了して、2段目の延伸前に、帯電防止性、滑り性、接着性等の改良、2次加工性改良、耐候性および表面硬度の向上等の目的で、水溶液、水系エマルジョン、水系スラリー等によるコーティング処理を施すことができる。また、フィルム製造後にオフラインコートで各種のコートを行ってもよい。このようなコートは片面、両面のいずれでもよい。コーティングの材料としてはオフラインコーティングの場合は水系、溶媒系のいずれでもよいが、インラインコーティングの場合は水系が好ましい。本発明において用いる塗布液は、通常、安全性や衛生性の観点から水を主たる媒体として調整されていることが好ましい。水を主たる媒体とする限りにおいて、水への分散を改良する目的あるいは造膜性能を改良する目的で少量の有機溶剤を含有していてもよい。有機溶剤は、主たる媒体である水と混合して使用する場合、水に溶解する範囲で使用することが好ましいが、長時間の放置で分離しないような安定した乳濁液エマルジョンであれば、水に溶解しない状態で使用してもよい。有機溶剤は単独で用いてもよいが、必要に応じて二種以上を併用してもよい。本発明における離型層は、離型性を有する材料を含有していれば、特に限定されるものではない。その中でも、硬化型シリコーン樹脂を含有するものによれば離型性が良好となるので好ましい。硬化型シリコーン樹脂を主成分とするタイプでもよいし、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーンタイプ等を使用してもよい。硬化型シリコーン樹脂の種類としては、付加型縮合型紫外線硬化型電子線硬化型無溶剤型等何れの硬化反応タイプでも用いることができる。硬化型シリコーン樹脂の具体例を挙げると、信越化学工業株製KS-774、KS-775、KS-778、KS-779H、KS-847H、KS-856、X-62-2422、X-62-2461、ダウコーニングアジア株製DKQ3-202、DKQ3-203、DKQ3-204、DKQ3-205、DKQ3-210、東芝シリコーン株製YSR-3022、TPR-6700、TPR-6720、TPR-6721、東レダウコーニング株製SD7220、SD7226、SD7229等が挙げられる。さらに離型層の剥離性等を調整するために剥離コントロール剤を併用してもよい。また、上述のとおり、離型層中にアミノ基を有するシラン化合物を添加することもある。本発明において、ポリエステルフィルムに離型層を設ける方法としては、リバースロールコート、グラビアコート、バーコート、ドクターブレードコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。本発明における離型層の塗布量は、通常0.01~1g/m2の範囲である。本発明において、離型層が設けられていない面には、接着層、帯電防止層、オリゴマー析出防止層等の塗布層を設けてもよく、また、ポリエステルフィルムにはコロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。また、粘着剤層または離型層の塗膜の乾燥および/または硬化熱硬化、電離放射線硬化等は、それぞれ個別又は同時に行うことができる。同時に行う場合には、80°C以上の温度で行うことが好ましい。乾燥および硬化の条件としては、80°C以上で10秒以上が好ましい。乾燥温度が80°C未満または硬化時間が10秒未満では塗膜の硬化が不完全であり、塗膜が脱落しやすくなる傾向がある。本発明のポリエステルフィルムの塗布層を綺麗かつ頑丈にするため、遷移金属系触媒を用いる。塗布層中の遷移金属系触媒含有量は、0.5~5.0重量、好ましくは1.5~4.0重量の範囲である。塗布層中の遷移金属系触媒含有量が0.5重量よりも低い場合、剥離力の不具合や、塗布層での硬化反応が不十分になるため、面状悪化などの不具合を生じる場合があり、一方、塗布層中の遷移金属系触媒の含有量が5.0重量を超える場合には、コストがかかる、また、反応性が高まり、ゲル異物が発生する等の工程不具合を生じてしまう。本発明においては、通常のオリゴマー含有量のポリエステルからなる層の少なくとも片側の表面に、オリゴマー含有量の少ないポリエステルを共押出積層した構造を有するフィルムであってもよく、かかる構造を有する場合、本発明で得られる離型フィルム用ポリエステルフィルムにおいて、析出したオリゴマーによる輝点を防止する効果が得られ、特に好ましい。本発明において、後述する測定法におけるフィルムの内部透明度は96.5以上であることが必要であり、97以上であることが好ましい。フィルムの透明度が96.5を下回る場合、フィルムの透明感が低下する。フィルムの内部透明度を上記範囲とするためには、例えば、用いる粒子の種類、粒径、添加量、製造ラインにおけるフィルターの強化、フィルム製造条件フィルム延伸温度、延伸倍率、フィルム製造ラインで使用するロールの平滑化等、種々の条件を適宜組み合わせることによって達成することができる。また、離型層の表面粗さRaは、9.0nm以上であり、12nm以上であることが好ましい。フィルムのRaが9.0nmを下回る場合、フィルム表面が極端に平坦となり、フィルム製造工程における巻き特性が劣る。また、フィルムのRaが22nmを超える場合、表面の平面性が損なわれることがあり、フィルムが白っぽくなる恐れがあるので、Raの上限は22nmとすることが好ましい。上記、ポリエステルフィルムの粗さの範囲を満足するための手段は、任意の粒度分布の範囲を持つ、適当な有機粒子を用いて、配合量を最適に調整することである。本発明の離型ポリエステルフィルムにおいて、工程の光学検査等で異物や光干渉色の発生を低減するには、離型フィルムをマイクロ波方式分子配向計で測定したMOR_C値の最適化が非常に重要である。本発明の離型フィルムのMOR_C値は1.5~3.0であり、好ましくは1.8~2.7、さらに好ましくは2.1~2.4である。MOR_C値が3.0よりも大きい場合には、離型層の均一性に欠けたり、光学検査において、光干渉色が見えやすくなる等の不具合が生じたりする。MOR_C値が1.5よりも小さい場合には、離型フィルム自体の生産歩留まり悪くなってしまう等の問題がある。本発明の離型フィルムのMOR_C値の範囲を満足させるための手段は、製膜時に所望のフィルム厚みに対して、延伸条件を創意工夫することにある。以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。また、本発明で用いた測定法および評価方法は次のとおりである。1ポリエステルの固有粘度の測定ポリエステルに非相溶な他のポリマー成分および顔料を除去したポリエステル1gを精秤し、フェノール/テトラクロロエタン=50/50重量比の混合溶媒100mlを加えて溶解させ、30°Cで測定した。2平均粒径d50:μmの測定遠心沈降式粒度分布測定装置株式会社島津製作所社製SA-CP3型を使用して測定した等価球形分布における積算重量基準50の値を平均粒径とした。3ポリエステルフィルムの透過率測定JIS-K7105に準じ、日本電色工業社製積分球式濁度計NDH-300Aによりポリエステルフィルムの全光線透過率を測定した。次のような基準で判断する。4ポリエステルフィルムの加熱収縮率測定ポリエステルフィルムを縦長さの方向以後、MDと略すると横幅の方向以後、TDと略するにそれぞれ、任意の長さLcmでサンプリングする。続いて、そのサンプルをオーブンで160°C、5分の加熱を行い、そのサンプルをオーブンから取り出して長さlcmを測定する。この操作を3回行い、平均値を加熱収縮率の値として採用する。下記式で加熱収縮率は算出できる。加熱収縮率={L-l/L}×1005離型フィルムの剥離力Fの評価試料フィルムの離型層表面に両面粘着テープ日東電工製No.502の片面を貼り付けた後、50mm×300mmのサイズにカットした後、室温にて1時間放置後の剥離力を測定する。剥離力は、引張試験機株インテスコ製インテスコモデル2001型を使用し、引張速度300mm/分の条件下、180°剥離を行った。6フィルム内部透明度の測定フィルム内部透明度は、村上色彩技術研究所製の透明度測定器TM1D小数点以下2桁型:光源波長546±5nmを用いてエタノール中で測定した。なお、内部透明度は下記の式で定義される。内部透明度=エタノール溶液中にフィルムがあるときの光量/エタノール溶液中にフィルムがないときの光量×1007ポリエステルフィルムの二次元表面粗度Raの測定Raは、小坂研究所社製表面粗さ測定機SE3500型を用いて、JISB0601-1994に準じて測定した。なお測定長は2.5mmとした。8ポリエステルフィルムの3波長蛍光灯下でのクリア感観察フィルムに3波長蛍光灯光を透過させてフィルムのクリア感を目視観察した。フィルムのクリア感透明度、鮮明度、粒子感などは下記基準で評価した。<3波長蛍光灯下での粒子感観察判定基準>クリア感高○>△>×クリア感低なお、上記判定基準中、△以上のものが実使用上問題なく使用できるレベルである。9ポリエステルフィルムのキズのつきにくさの評価フィルム表面のキズの個数を数え、キズのつきにくさを3段階で評価した。評価はA4サイズのフィルムで行った。<キズのつきにくさ判定基準>キズがつきにくい○>△>×キズがつきやすいなお、上記判定基準中、○のみが実使用上問題なく使用できるレベルである。3、5、6、7の評価結果を踏まえてフィルム性能を総合的に評価した。10ポリエステルフィルムのマイクロ波分子配向計によるMOR_C値測定王子計測機器株式会社製のマイクロ波方式分子配向計を用い、透過マイクロ波強度パターンからMOR_C値を求めた。11ポリエステルフィルムのマイクロ波分子配向計によるMOR_C値測定王子計測機器株式会社製のマイクロ波方式分子配向計を用い、透過マイクロ波強度パターンからMOR_C値を求めた。次のような基準で判断する。○:2.0~2.5△:1.5~1.9、もしくは、2.6~3.0×:1.5よりも低い、もしくは、3.0よりも高い12実用特性<反射光下での目視検査性>偏光板検査を考慮に入れて、フィルム上に離型剤を塗布しドライヤー温度120°C、ライン速度30m/minの条件で得た離型フィルムの幅方向が、偏光フィルムの配向軸と平行となるように、粘着剤を介して離型フィルムを偏光フィルムに密着させ偏光板とし、蛍光灯反射下で偏光板を目視にて観察し、反射光下での目視検査性を下記基準に従い評価した。なお、測定の際には、A4サイズのサンプルを切り出して実施した。判定基準○:検査性良好△:ほぼ問題なく検査できる×:検査性不良○および△のものが実使用上問題のないレベルである<クロスニコル下での目視検査性>偏光板検査を考慮に入れて、フィルム上に離型剤を塗布しドライヤー温度120°C、ライン速度30m/minの条件で得た離型フィルムの幅方向が、偏光フィルムの配向軸と平行となるように、粘着剤を介して離型フィルムを偏光フィルムに密着させ偏光板とした。ここで上記偏光板を作成する際、粘着剤と偏光フィルムとの間に50μm以上の大きさを持つ黒色の金属粉異物を50個/m2となるように混入させた。このようにして得られた異物を混入させた偏光板離型フィルム上に配向軸が離型フィルム幅方向と直交するように検査用の偏光板を重ね合わせ、偏光板側より白色光を照射し、検査用の偏光板より目視にて観察し、クロスニコル下で粘着剤と偏光フィルムとの間に混入させた異物を見いだせるかどうかを下記基準に従い評価した。なお、測定の際には、得られたフィルムの幅方向に対し中央部と両端部の計3ヶ所から、それぞれA4サイズのサンプルを切り出して実施した。判定基準○:異物認知性良好△:比較的問題なく異物認知できる×:異物認知性不良○および△のものが実使用上問題のないレベルである上記判定基準中、○以上のものが実使用上問題なく使用できるレベルである。<離型特性>粘着層を有する積層フィルムより離型フィルムを剥がした時の状況より、離型特性を評価した。○:離型フィルムが綺麗に剥がれ、粘着剤が離型層に付着する現象が見られない△:離型フィルムは剥がれるが、速い速度で剥離した場合に粘着剤が離型層に付着する×:離型フィルムに粘着剤が付着する13総合評価製膜性、生産性、検査特性等、全てを考慮に入れた評価を行う。次のような基準で判断する。○:生産しても充分に製品として供給できる△:生産性が良い、かつ、光学検査での不具合の頻度が少ない×:生産性が悪い。光学検査での不具合が多発する。実施例および比較例において使用したポリエステルは、以下のようにして準備したものである。ポリエステルAの製造テレフタル酸ジメチル100重量とエチレングリコール60重量とを出発原料とし、触媒として酢酸マグネシウム四水塩を加えて反応器にとり、反応開始温度を150°Cとし、メタノールの留去とともに徐々に反応温度を上昇させ、3時間後に230°Cとした。4時間後、実質的にエステル交換反応を終了させた。この反応混合物にエチルアシッドフォスフェートを添加した後、重縮合槽に移し、三酸化アンチモン0.04部を加えて、4時間重縮合反応を行った。すなわち、温度を230°Cから徐々に昇温し280°Cとした。一方、圧力は常圧より徐々に減じ、最終的には0.3mmHgとした。反応開始後、反応槽の攪拌動力の変化により、極限粘度0.64dL/gに相当する時点で反応を停止し、窒素加圧下ポリマーを吐出させ、ポリエステルのチップAを得た。この、ポリエステルの極限粘度は0.64dL/gであった。ポリエステルBの製造テレフタル酸ジメチル100重量部とエチレングリコール60重量部とを出発原料とし、触媒として酢酸マグネシウム四水塩を加えて反応器にとり、反応開始温度を150°Cとし、メタノールの留去とともに徐々に反応温度を上昇させ、3時間後に230°Cとした。4時間後、実質的にエステル交換反応を終了させた。この反応混合物にエチルアシッドフォスフェートを添加した後、重縮合槽に移し、三酸化アンチモン0.04部を加えて、4時間重縮合反応を行った。すなわち、温度を230°Cから徐々に昇温し280°Cとした。一方、圧力は常圧より徐々に減じ、最終的には0.3mmHgとした。反応開始後、反応槽の攪拌動力の変化により、固有粘度0.45に相当する時点で反応を停止し、窒素加圧下ポリマーを吐出させ、ポリエステルのチップBを得た。このポリエステルの固有粘度は0.45であった。ポリエステルCの製造このポリエステルチップを固相重縮合法にて固有粘度を上げた。予備結晶化槽にて170°Cの窒素雰囲気化にて0.5時間処理した後、不活性ガスを流す塔式乾燥機を用い、200°Cの温度下にて水分率が0.005になるまで乾燥した。その後固相重合槽へ送り、240°Cにて3時間、固相重合を行い固有粘度0.70のポリエステルCを得た。ポリエステルDの製造ポリエステルCを製造する際、固相重合槽にて5時間固相重合を行い、固有粘度0.80のポリエステルDを得た。ポリエステルEの製造ポリエステルAの製造方法において、エチルアシッドフォスフェートを添加後、平均粒子径1.4μmのジビニルベンゼン/メタクリル酸メチル共重合架橋粒子のエチレングリコールスラリーを粒子のポリエステルに対する含有量が0.5重量となるように添加した以外は、ポリエステルAの製造方法と同様の方法を用いてポリエステルEを得た。得られたポリエステルEは極限粘度0.62dL/gであった。ポリエステルFの製造ポリエステルEの製造方法において、添加粒子を、平均粒子径2.7μmのシリカ粒子に、ポリエステルに対する含有量を0.3重量にした以外は、ポリエステルEの製造方法と同様の方法を用いてポリエステルFを得た。得られたポリエステルFは極限粘度0.61dL/gであった。であった。ポリエステルGの製造ポリエステルEの製造方法において、添加粒子を、平均粒子径3.2μmのシリカ粒子に、ポリエステルに対する含有量を、0.6重量にした以外は、ポリエステルEの製造方法と同様の方法を用いてポリエステルGを得た。なお、平均粒径はレーザー法により求めた。得られたポリエステルGは極限粘度0.62dL/gであった。実施例1:ポリエステルフィルムの製造上記ポリエステルA、Dチップと、ポリエステルE、F、Gチップとを、下記表1および2に示すとおりの割合で混合した混合原料を最外層表層および中間層の原料とし、2台の押出機に各々供給し、280°Cで溶融押出した後、静電印加密着法を用いて表面温度を40°Cに設定した冷却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。次いで、100°Cにて縦方向に2.8倍延伸した後、テンター内で予熱工程を経て120°Cで5.1倍の横延伸を施した後、220°Cで10秒間の熱処理を行い、その後180°Cで幅方向に4の弛緩を加え、幅4000mmのマスターロールを得た。このマスターロールの端から1400mmの位置よりスリットを行い、コアに1000m巻き取りし、ポリエステルフィルムを得た。得られたフィルムの全厚みは50μm層構成:表層2.5μm/中間層45μm/表層2.5μmであった。得られたポリエステルフィルムに、下記に示す離型剤組成-Aからなる離型剤を塗布量乾燥後が0.1g/m2になるようにリバースグラビアコート方式により塗布し、ドライヤー温度120°C、ライン速度30m/minの条件でロール状の剥離力が21mN/cm、内部透明度が96.9、Raが9.5nm、MOR_C値が2.5の離型ポリエステルフィルムを得た。<離型剤組成-A>硬化型シリコーン樹脂KS-847H:信越化学製20部触媒PL-50T:信越化学製0.3部1.5重量MEK/トルエン混合溶媒混合比率は1:1今回新たにフィルムの評価に導入した内部透明度という指標は、従来の透明性の指標である内部ヘーズよりも、より目視検査によるクリア感と高い相関を示している。得られたポリエステルフィルムは、下記方法で偏向板を作成し、光学特性の検査性と剥離特性の評価を行った。得られた離型フィルムは反射による検査性良好、異物認知性良好であり、かつ、偏光板綺麗に剥がれ、粘着剤が離型層に付着する現象が見られなかった。<離型フィルム付き偏光板の製造>偏光板に下記に示すアクリル粘着剤を、乾燥後の厚みが25μmとなるように塗布し、130°Cの乾燥炉内を30秒で通過させた後、離型フィルムを貼り合わせ、粘着剤を介して離型フィルムと偏光フィルムが密着された離型フィルム付き偏光板を作成した。フィルムの貼り合せ方向は、離型フィルムの幅方向が、偏光フィルムの配向軸と平行となるように行った。アクリル粘着剤塗布液アクリル粘着剤オリバインBPS429-4:東洋インキ製100部硬化剤BPS8515:東洋インキ製3部MEK/トルエン混合溶媒混合比率は1:150部実施例2~4:実施例1において、ポリエステルフィルム製造時の延伸倍率、フィルム厚さ、表層の粒子含有ポリエステル種、表層の粒子含有ポリエステルの配合量をそれぞれ変更したこと以外は実施例1と同様にして製造し、ポリエステルフィルムを得た。得られた結果をまとめて下記表1に示す。比較例1~6:実施例1において、ポリエステルフィルム製造時の延伸倍率、フィルム厚さ、表層の粒子含有ポリエステル種、表層の粒子含有ポリエステルの配合量をそれぞれ変更したこと以外は実施例1と同様にして製造し、ポリエステルフィルムを得た。得られた結果をまとめて下記表2に示す。"