"四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せ、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部は、別途成形され、前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部が形成され、前記基板支持部の上側から前記基板保持部が、下側から前記振動制御部が、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記嵌合部が嵌合することにより固定されることを特徴とする基板保持部材。四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せ、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形された基板保持部材であって、前記基板保持部材を、前記基板支持部に設けられた穴もしくは切り欠き部へ、嵌め込むことにより固定されることを特徴とする基板保持部材。四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せ、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形された基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が、可撓性を有するヒンジ部を介して一体成形され、前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部を有し、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記基板保持部と前記振動制御部が、ヒンジ部を折り曲げるとともに、前記嵌合部が嵌合することにより固定されることを特徴とする基板保持部材。請求項1もしくは請求項3のいずれかに記載の基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が嵌合部を有するとともに、位置固定部を有することを特徴とする基板保持部材。請求項1ないし4のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材は、熱可塑性樹脂からなることを特徴とする基板保持部材。本発明は、剛性のある四角状の板状物の面方向を水平方向として、該板状物を撓ませた状態で保持し、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用または保管用のトレイに関し、特に、自重により撓む、平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料例えば、ガラスやプラスチックなどないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物や、それらに処理を施した板状の処理部材の、搬送、保管に適したトレイに関するものであり、その表面を損傷したり汚したりすることなく、効率良く輸送及び保管することが可能な基板用トレイに用いる基板保持部材であって、ねじ等の固定用治具を使用することなく、容易にかつ安定に前記基板保持部材を前記保管用トレイに固定することが可能な基板保持部材を提供することを目的とする。本発明の基板保持部材は、以下の各態様に記載の手段により上記の課題を解決するものである。本発明の第1の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部は、別途成形され、前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部が形成され、前記基板支持部の上側から前記基板保持部が、下側から前記振動制御部が、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記嵌合部が嵌合することにより固定されることを特徴とする。本発明の第2の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形された基板保持部材であって、前記基板保持部材を、前記基板支持部に設けられた穴もしくは切り欠き部へ、嵌め込むことにより固定されることを特徴とする。本発明の第3の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形された基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が、可撓性を有するヒンジ部を介して一体成形され、前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部を有し、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記基板保持部と前記振動制御部が、ヒンジ部を折り曲げるとともに、前記嵌合部が嵌合することにより固定されることを特徴とする。本発明の第4の態様は、前記第1の態様もしくは第3の態様いずれかひとつに記載の基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が嵌合部を有するとともに、基板保持部材が、位置固定部を有することを特徴とする。本発明の前記第1乃至第4の態様いずれかひとつに記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材は、熱可塑性樹脂からなることを特徴とする、本発明の第1の態様によれば、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部は、別途成形され、前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部が形成され、前記基板支持部の上側から前記基板保持部が、下側から前記振動制御部が、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記嵌合部が嵌合することにより固定することが出来ることにより、前記トレイへの前記基板支持部材の設置を、固定治具を用いることなく行なうことが可能となり、前記基板支持部材の設置の簡略化を図ることが可能となる。本発明の第2の態様によれば、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形された基板保持部材であって、前記基板保持部材を、前記基板支持部に設けられた穴もしくは切り欠き部へ、嵌め込むことにより固定することが出来ることにより、前記トレイへの前記基板支持部材の設置を、固定治具を用いることなく行なうことが可能となり、前記基板支持部材の設置の簡略化を図ることが可能となる。本発明の第3の態様によれば、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で、前記基板をその下側から保持する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイは、前記枠部に支持された基板支持部を備え、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で1段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなるとともに、さらに、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形された基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が、可撓性を有するヒンジ部を介して一体成形され、前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部を有し、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記基板保持部と前記振動制御部が、ヒンジ部を折り曲げるとともに、前記嵌合部が嵌合することにより固定することが出来ることにより、前記トレイへの前記基板支持部材の設置を、固定治具を用いることなく行なうことが可能となり、前記基板支持部材の設置の簡略化を図ることが可能となる。本発明の第4の態様によれば、前記第1の態様もしくは第3の態様いずれかひとつに記載の基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が嵌合部を有するとともに、前記基板保持部材が、位置固定部を有することにより、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ固定後の前記基板保持部材の移動を抑制することが可能となる。また、前記位置固定部は、嵌合部が機能を兼ね備えてもよい。本発明の前記第1乃至第4の態様いずれかひとつに記載の基板保持部材は、基板を保持する目的に使用するものであり、樹脂からなる材料で前記基板保持部材が形成されていることにより、前記基板の搬送もしくは保管時に前記基板への傷付きを防止するという効果がある。さらに、熱可塑性樹脂からなることにより、射出成形等の方法により、安価に大量生に製造することが可能となる。本発明は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板111の面方向を水平方向として、前記基板111を、トレイ枠部12の枠内側領域で、前記基板111をその下側から保持する基板用トレイ11において、前記基板用トレイ11は、前記枠部12に支持された基板支持部13を備え、前記基板支持部13に固定され、前記基板111を保持する基板保持部材14であって、前記枠部12に支持された基板支持部13を備え、前記基板支持部13に固定され、前記基板111を保持する基板保持部材14に関する発明であり、固定治具を使用する等の、煩雑な作業を行うことなく、前記基板保持部材14を前記基板支持部13へ容易に固定することを可能にするものである。前記基板用トレイ11は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板111の面方向を水平方向として、トレイ枠部12の枠内側領域で、前記基板111を保持するトレイであって、前記枠部12に支持された基板支持部13を備え、前記基板保持部材14は、前記基板支持部13に固定され、その上面に、前記基板111を下側から保持する。前記基板用トレイ11は、図1a~cに図示されるように、前記基板保持部材14上に基板111を保持するものである。また、前記基板用トレイ11は、前記基板111の保管、搬送等を行う為、図2a、bに図示されるように、搬送用架台103上に多段に重ねて使用される。前記基板用トレイ111の使用形態の1例の概略を図1に示す。図1aは枠部12の4辺に支持された基板支持部13が、直線状に基板111の端部を支持する基板用トレイの実施の形態の1例の概略図である。図1bは枠部12の4辺のうち一方の対向する2辺に固定された基板支持部13が直線状に基板111の両端を支持し、枠部12の4辺のうち他方の対向する2辺に固定された基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませて、基板111の両端を支持する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略図である。また、図示はしていないが、基板用トレイ11は、基板を安定に保持する為に、4辺に固定された基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませて、基板111の4辺を支持する基板用トレイ11であってもよい。また、基板支持部13のみを鉛直方向下側に撓ませる場合、撓んだ基板支持部13を支持する枠部12は、直線であってもよく、前記基板支持部13の撓みにあわせて撓んだ形状であってもよい。前記撓みの形状は、円弧状でも放物線上でもよく、撓ませた基板の、端部中央部の高さの差は基板サイズによって適宜設計される。本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ11は、上下に位置するトレイ間の相対的な位置関係を一定に保つため、例えば特開2006-168749号公報特許文献1に開示されているような、複数枚重ねた時に、上下に位置するトレイの相対的な位置関係が一定になるような嵌合部を有している。嵌合部の形状は、上下に位置するトレイの相対的な位置関係を一定に保つことが出来る形状であれば、どのような形状を有していてもよい。さらに、機械搬送に用いるための取手部等の部位を有していてもよい。また、図1の基板用トレイ11の枠部12は、搬送または保管時に多数積層して使用されるため、強度が必要とされ、一般に金属材料が使用される。ガラスファイバー、カーボンファイバーと樹脂により成形した材料を用いてもよいが、積層時、輸送時等に傷が発生しやすく異物問題の要因となる為、金属性であることが好ましい。特に、多層積層時の軽量化を図る為、強度、軽量性を兼ね備えたジュラルミン等のアルミ合金を使用するのが好ましい。また、前記枠部12が支持する基板支持部13は、溶接等により前記枠部12と接合させてもよいが、強度、作製のしやすさ等を鑑みて、押し出し成形等により、前記枠部12と同時に作製するのが好ましい。図3、図4は、図1のA-A’断面およびDD’断面の概略図である。尚、図1のB-B’断面およびC-C’断面は、A-A’と同様である。本発明の基板保持部材14は、図3、図4に図示されるように、基板支持部13の上面より上側に突出して固定され、基板111を上側に支持する基板保持部14bと、前記基板支持部13の下面より下側に突出して、前記基板用トレイ12を複数重ねた状態で1段下に支持された基板111に上下方向の基板振動が発生した時のみ前記基板111と接触する面を有する振動制御部14aからなるとともに、さらに、前記基板111の水平方向の移動を規制する突起部15を有する。また、前記基板保持部材14の前記基板保持部14bおよび前記振動制御部14aは、図3、図4に示される通り、基板保持部14bは、基板を保持する為、基板との接触面は平滑に形成され、前記振動制御部14aは、前記振動制御部14aが固定された枠部12の辺部側から基板用トレイ11内側へ向かって、肉厚部21、厚さ変化部22、肉薄部23より形成される。前記突起部15は、図3に示すように前記振動制御部14aの枠部12側の端部に形成され、下方向へ突出していても良いし、図4に示すように前記基板保持部14bの枠部12側の端部に形成され、上方向へ突出していても良い。さらに、図1に示すように、前記基板保持部材14は、基板用トレイ11の枠部12の各辺に対し、複数個設置されていても良い。図8、図9は、前記基板用トレイ11に基板111を積載し、複数重ねた状態の概略図である。肉厚部21は、基板用トレイ11を複数重ねた状態で1段下に支持された基板111に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板111の端部もしくは端部近傍表面と接触し、発生した振動を抑制する。一般的に、前記基板111は、端部近傍領域は、非有効エリアとなっており、前記非有効エリアの幅はおよそ10mm程度であり、前記端部近傍領域が前記振動制御部14aと接触しても、問題は発生しない。肉薄部23は、前記肉厚部21より肉薄に形成され、前記基板111と接触することは無い。突発的に激しい振動が発生した時に、前記基板が金属製の基板支持部13と接触し、前記基板111が傷付くことを防止している。厚さ変化部22は、前記肉厚部21と前記肉薄部23を、外側に凸形状を持つ角部を形成することなくつなぐ為の連結部としての機能を持つ。また、前記振動制御部14aの枠部12側の端部に形成され、下方向へ突出した前記突起部15、もしくは、前記基板保持部14bの枠部12の辺部側の端部に形成され、上方向へ突出した前記突起部15は、基板用トレイ11を複数重ねた状態で、上下の基板支持部13との間隙が保持される基板の厚み以下になるように設計され、上下の基板支持部13の間に保持された基板に基板振動が発生した時、特に水平方向の基板振動が発生した時に、前記基板の水平方向前記基板111の面方向の移動を制限するものである。図7は、前記基板保持部材14が前記基板支持部13に固定された状態を示す概略図である。平面状の基板支持部13図7a及び湾曲した基板支持部13図7bへ、基板保持部材が、基板支持部13に沿って固定されている。また、前記基板支持部13には、前記基板保持部材14を固定する為の穴61もしくは切り欠き部62,63が設けられている。図6に、前記穴もしくは切り欠き部の1例を図示する。図6aは、前記基板支持部13に、前記基板保持部材14を固定する為の穴61が設けられている概略図である。前記穴61の形状は、前記基板保持部材14が安定に固定できれば良く、図示された形状に限定されるものではない。図6bは、前記基板保持部材14を固定する為の切り欠き部62が設けられている概略図である。前記切欠き部62の端部に基板保持部材固定用突起64が設けられている。前記切り欠き部62の形状は、前記基板保持部材14が安定に固定できれば良く、図示された形状に限定されるものではない。また、前記基板保持部材固定用突起64の形状、位置は、図示された形状、位置に限定するものではなく、図6b中に破線で示した前記基板保持部材固定用突起65のように、角部を持たない突起でもよく、前記切欠き部62の端部以外に形成されていてもよい。図6cは、前記基板保持部材固定用突起64が形成されていない、前記基板保持部材14を固定する為の切り欠き部63が設けられている概略図である。前記切欠き部に加えて、基板保持部材固定穴66が設けられている。前記切り欠き部63の形状及び基板保持部材固定穴66の形状は、前記基板保持部材14が安定に固定できれば良く、図示された形状に限定されるものではない。図1では、基板保持部材14は、基板用トレイ11の枠部12の各辺に4個ずつ固定した基板用トレイ11が1例として記載しているが、基板保持部材14の数は1個でもよく、さらに多数固定されていても良い。本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ11が支持する基板111の大きさに合わせて、基板保持部材14のサイズ、製造の容易さ、交換の容易さ等を考慮して設計される。基板保持部材の図2aのA-A’方向の長さは、作製の容易さ、交換の容易さ等を考慮すると、3cm-10cm程度が好ましく、基板保持部材の図2aのA-A’方向に垂直平面方向の長さは、作製の容易さ、交換の容易さ等を考慮すると、15cm-30cm程度が好ましい。また、前記基板保持部材14は、複数固定した場合、該基板保持部材同士のこすれ等による異物発生を防止する、該基板保持部材間で振動時に基材が金属製の基板支持部に接しない等を考慮して、隣り合った基板保持部材間の間隔は0.2cm-10cm程度が好ましい。例えば、液晶用のG6サイズの基板1,500mm×1,800mm用の基板用トレイの場合、長辺側は8個程度、短辺側は7個程度で設計するのが好ましい。さらに、図1では、基板保持部材14は、基板用トレイ11の枠部12の各辺に支持された基板支持部13に固定してあるが、前記枠部12の少なくとも一対の対向する2辺に固定されていればよい。また、前記基板保持部材14は、前記基板用トレイ11の基板支持部13に固定されるが、図7に概略を示すように、直線部、湾曲部ともに前記基板支持部13の形状に沿って固定される。図5aは、本発明の第1の態様に記載の基板保持部材14の概略図である。前記基板保持部材14の、前記基板保持部14bと、前記振動制御部14aは、別途成形される。また、前記振動制御部14aは、前記肉厚部21、前記厚さ変化部22、前記肉薄部23及び前記突起部15からなる。さらに、前記基板保持部14bと前記振動制御部14aは、前記基板保持部14bと前記振動制御部14aを嵌合させるため、図5に図示したように、それぞれに嵌合部161a、161bが形成されている。図5に図示した前記嵌合部161a、161bの形状は、1例であり、前記基板保持部14bと前記振動制御部14aを、前記基板支持部13へ、安定に固定することが可能であればよく、前記嵌合部161a、161bの形状は適宜設計できる。また、図5aに例示したように、振動保持部14aおよび基板保持部14bからなる前記基板保持部材14は、位置決め部162を有していてもよい。前記位置決め部162は、前記嵌合部161a、161bにより前記基板支持部13へ固定された基板保持部材14の移動を防止するため、前記基板保持部材14を固定する為の穴61もしくは切り欠き部62,63の端部に、例えば、長方形に形成された場合、4辺に対して、もしくは4つの角に対して接触するように形成される。長方形に形成された場合、4辺に対して、もしくは4つの角に対して、部分的に接触するように形成される。前記位置決め部162により、前記基板保持部材14の移動を抑制できれば、位置、形状は限定されない。前記位置決め部162は、前記嵌合部161a、161bが機能を兼ねていてもよい。前記基板保持部材14を前記基板支持部13へ固定する概略を、図5a、図10に示す。図10では、嵌合部161a、161bが、位置決め部162を兼ねている嵌合部兼位置決め部151を形成された基板保持部材14を前記基板支持部13へ固定する概略を図示している。図示されるように、固定部品を用いることなく、前記基板保持部材14を前記基板支持部13へ、容易かつ安定に固定することが可能となる。図11、図12、図14、図15及び図16は、本発明の第2の態様に記載の基板保持部材14の概略図である。前記基板保持部材14の、前記基板保持部14bと、前記振動制御部14aは、一体成形される。また、前記振動制御部14aは、前記肉厚部21、前記厚さ変化部22、前記肉薄部23及び前記突起部15からなる。図11、図14及び図15は、一体成型された前記基板保持部材14を、前記基板支持部13へ、前記基板支持部13の上側から嵌め込んで固定する、前記基板保持部材14の概略である。図11及び図14の前記基板保持部材14は、前記基板保持部14bと、前記振動制御部14aの間に嵌め込み部141を有しており、前記嵌め込み部141の外形は、前記基板保持部材14を固定する為の穴61もしくは切り欠き部62,63と同様の形状、もしくは、前記基板保持部材14を固定する為の穴61もしくは切り欠き部62,63に沿った位置決め部162を有する形状をしている。前記基板保持部14bは、前記基板保持部材14を固定する為の穴61もしくは切り欠き部62,63より大きく、前記穴61もしくは切り欠き部62,63から下方向に脱落しない形状で作成される。前記振動制御部14aは、前記基板保持部材14を固定する為の穴61もしくは切り欠き部62,63に嵌め込み可能で、且つ、嵌め込み後に、前記穴61もしくは切り欠き部62,63から外れない形状で作成される。前記振動制御部14aは、前記基板保持部材14を固定する為の穴61もしくは切り欠き部62,63より小さく形成し、固定用の爪142を形成しても良い図15。図11では、一体成型された前記基板保持部材14を、前記基板支持部13へ、前記基板支持部13の上側から嵌め込んで固定する概略を図示している。図示されるように、前記基板保持部材14を前記基板支持部13へ嵌め込むことにより、固定部品を用いることなく、容易にかつ安定に、固定することが可能となる。図12、及び図16は、一体成型された前記基板保持部材14を、前記基板支持部13へ、前記基板支持部13の切欠き部62,63へ横側から嵌め込んで固定する、前記基板保持部材14の概略である。図6b、図12aに図示されるように、前記基板保持部材14を、前記基板支持部13へ、前記基板支持部13の切欠き部62の横側から嵌め込んで固定する場合、前記基板保持部材14を固定するための基板保持部材固定用突起64が、前記切欠き部62の端部に設けられている。前記基板保持部材固定用突起64の形状、位置は、図示された形状、位置に限定するものではなく、図6b中に破線で示した前記基板保持部材固定用突起65のように、角部を持たない突起でもよく、前記切欠き部62の端部以外に形成されていてもよい。前記基板保持部材固定用突起64により、前記基板支持部13の横側から嵌め込まれた前記基板保持部材14の脱落が防止できる。また、図6c、図12bに図示されるように、前記基板保持部材固定用突起64を形成せずに、前記基板保持部材14を、前記基板支持部13へ、前記基板支持部13の切欠き部63へ横側から嵌め込んで固定する場合、図6cに図示されるように、前記基板保持部材14を固定するため、前記切欠き部63に加えて、基板保持部材固定穴66が設けられている。この場合、前記基板保持部材14を、前記基板支持部13へ、前記基板支持部13の切欠き部63へ横側から嵌め込んで固定するため、前記基板保持部材固定穴66の位置に合わせて、前記基板保持部14bと、前記振動制御部14a両方、もしくは一方に突起を形成する。前記基板保持部材固定穴66と前記突起により、前記基板支持部13の横側から嵌め込まれた前記基板保持部材14の脱落が防止できる。前記切欠き部62,63、およびの前記基板保持部材固定穴66形状は、前記基板保持部材14が安定に固定できれば良く、図示された形状に限定されるものではない。上述のように、前記基板保持部材14を、前記基板支持部13へ嵌め込んで固定することにより、図12に図示されるように、固定部品を用いることなく、容易にかつ安定に設置することが可能となる。図5b、図13、及び図17は、本発明の第3の態様に記載の基板保持部材14の概略図である。前記基板保持部材14の、前記基板保持部14bと、前記振動制御部14aが、可撓性を有するヒンジ部171を介して一体成形される。また、前記振動制御部14aは、前記肉厚部21、前記厚さ変化部22、前記肉薄部23及び前記突起部15からなる。さらに、前記基板保持部14bと前記振動制御部14aは、前記基板保持部14bと前記振動制御部14aを嵌合させるため、図5に図示したように、それぞれに嵌合部161a、161bが形成されている。図5に図示した前記嵌合部161a、161bの形状は、1例であり、前記基板保持部14bと前記振動制御部14aを、前記基板支持部13へ、安定に固定することが可能であればよく、前記嵌合部161a、161bの形状は適宜設計できる。また、図5bに例示したように、振動保持部14aおよび基板保持部14bからなる前記基板保持部材14は、位置決め部162を有していてもよい。前記位置決め部162は、前記嵌合部161a、161bにより前記基板支持部13へ固定された基板保持部材14の移動を防止するため、前記基板保持部材14を固定する為の穴61もしくは切り欠き部62,63の端部に、例えば、長方形に形成された場合、4辺に対して、もしくは4つの角に対して接触するように形成される。長方形に形成された場合、4辺に対して、もしくは4つの角に対して、部分的に接触するように形成される。前記位置決め部162により、前記基板保持部材14の移動を抑制できれば、位置、形状は限定されない。前記位置決め部162は、前記嵌合部161a、161bが機能を兼ねていてもよい。前記基板保持部材14を前記基板支持部13へ固定する概略を、図5b、図13に示す。図13では、嵌合部161a、161bが、位置決め部162を兼ねている嵌合部兼位置決め部151を形成された基板保持部材14を前記基板支持部13へ固定する概略を図示している。図示されるように、前記基板保持部材14を、ヒンジ部171を折り曲げるとともに、嵌合部161a、161bを嵌合させて、前記基板支持部13へ固定することにより、固定部品を用いることなく、前記基板保持部材14を前記基板支持部13へ、容易かつ安定に固定することが可能となる。また、基板保持部材14は、成形のしやすさ、振動の緩衝材としての機能、異物発生の少なさ、基板111への汚染等を考慮して、熱可塑性樹脂が用いられる。さらに、熱可塑性樹脂の中でも、特にポリエチレンPE、ポリプロピレンPP、ナイロン66やナイロン610といったポリアミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトンPEEKやポリイミドが望ましい。なお、同様の機能を有すれば、基板保持部材14の材質はこれらに限定はされない。"