基板を保持する基板保持部および当該基板保持部の周囲に配設されるカップが内部に設けられた処理室と、前記基板保持部に保持された基板に対して処理液を供給するためのノズルと、前記カップの上部に洗浄液を供給することにより当該カップの洗浄を行うカップ洗浄部と、を備え、前記カップの上部には凹部が形成されており、前記カップ洗浄部は、前記カップの上部の前記凹部に洗浄液を供給するようになっていることを特徴とする液処理装置。前記カップの上部は、その内周縁から外周縁に向かって途中部分までは高さレベルが小さくなるよう傾斜しており、その途中部分から外周縁までは高さレベルが大きくなるよう傾斜しており、前記カップ洗浄部は、前記カップの上部の前記途中部分に洗浄液を供給するようになっていることを特徴とする請求項1記載の液処理装置。前記カップの上部は、その内周縁の高さレベルがその外周縁の高さレベルよりも大きくなっており、前記カップ洗浄部により前記カップの上部の前記凹部に供給された洗浄液は、前記カップの上部の外周縁から排出されるようになっていることを特徴とする請求項1または2記載の液処理装置。前記カップの上部は、その内周縁の高さレベルがその外周縁の高さレベルよりも小さくなっており、前記カップ洗浄部により前記カップの上部の前記凹部に供給された洗浄液は、前記カップの上部の内周縁から排出されるようになっていることを特徴とする請求項1または2記載の液処理装置。前記カップは鉛直方向に重ねて配置されるよう複数設けられており、前記カップ洗浄部は、前記複数のカップのうち最上段のカップの洗浄を行うようになっていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液処理装置。前記カップの内側に、基板を保持する前記基板保持部とともに回転する回転カップが設けられ、当該回転カップの回転に伴って生じる旋回空気流により前記カップの上部の前記凹部全域に洗浄液を行き渡らせることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の液処理装置。前記カップ洗浄部は、前記カップの上部の前記凹部に洗浄液を上方から供給する洗浄液供給ノズルを有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の液処理装置。前記回転カップの外周に外方へ突出するとともに円周状に延びる円周突起が設けられ、前記回転カップの円周突起により旋回空気流を生じさせることを特徴とすることを特徴とする請求項6記載の液処理装置。処理室の内部に設けられた基板保持部により基板を水平状態に保持させる工程と、前記基板保持部により基板を回転させ、前記処理室内に進出したノズル支持アームのノズルにより、前記基板保持部により保持されて回転する基板に処理液を供給する工程と、前記処理室内においてカップの上部に形成された凹部に洗浄液を供給することにより当該カップの洗浄を行う工程と、を備えたことを特徴とする液処理方法。前記カップの上部は、その内周縁の高さレベルがその外周縁の高さレベルよりも小さくなっており、前記カップの洗浄を行う工程において、前記カップの上部の前記凹部に供給された洗浄液は、前記カップの上部の内周縁から排出され、この排出された洗浄液により前記カップの内周面の洗浄が行われることを特徴とする請求項9記載の液処理方法。前記カップの上部は、その内周縁の高さレベルがその外周縁の高さレベルよりも大きくなっており、前記カップの洗浄を行う工程において、前記カップの上部の前記凹部に供給された洗浄液は、前記カップの上部の外周縁から排出されることを特徴とする請求項9記載の液処理方法。前記カップの内側に、基板を保持する前記基板保持部とともに回転する回転カップが設けられ、前記カップの洗浄工程において、前記回転カップの回転に伴って生じる旋回空気流により前記カップの上部の前記凹部全域に洗浄液を行き渡らせることを特徴とする請求項9記載の液処理保方法。図9および図10に示すような従来の液処理装置200では、処理室210内でウエハWの液処理を行う際に薬液等が飛散してしまい、処理室210内においてカップ230の上部に薬液等が付着して残存してしまうおそれがある。この場合、その後のウエハWの処理においてこの残存した薬液の雰囲気によりウエハWが汚れてしまう等の悪影響を与えてしまうおそれがある。本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、カップの洗浄を行うことによって、カップに付着した汚れにより処理室内の基板が汚れてしまうことを防止することができる液処理装置および液処理方法を提供することを目的とする。本発明の液処理装置は、基板を保持する基板保持部および当該基板保持部の周囲に配設されるカップが内部に設けられた処理室と、前記基板保持部に保持された基板に対して処理液を供給するためのノズルと、前記カップの上部に洗浄液を供給することにより当該カップの洗浄を行うカップ洗浄部と、を備え、前記カップの上部には凹部が形成されており、前記カップ洗浄部は、前記カップの上部の前記凹部に洗浄液を供給するようになっていることを特徴とする。本発明の液処理方法は、処理室の内部に設けられた基板保持部により基板を水平状態に保持させる工程と、前記基板保持部により基板を回転させ、前記処理室内に進出したノズル支持アームのノズルにより、前記基板保持部により保持されて回転する基板に処理液を供給する工程と、前記処理室内においてカップの上部に形成された凹部に洗浄液を供給することにより当該カップの洗浄を行う工程と、を備えたことを特徴とする。このような液処理装置および液処理方法によれば、カップの洗浄を行うことによって、カップに付着した汚れにより処理室内の基板が汚れてしまうことを防止することができる。本発明の液処理装置においては、前記カップの上部は、その内周縁から外周縁に向かって途中部分までは高さレベルが小さくなるよう傾斜しており、その途中部分から外周縁までは高さレベルが大きくなるよう傾斜しており、前記カップ洗浄部は、前記カップの上部の前記途中部分に洗浄液を供給するようになっていてもよい。本発明の液処理装置においては、前記カップの上部は、その内周縁の高さレベルがその外周縁の高さレベルよりも大きくなっており、前記カップ洗浄部により前記カップの上部の前記凹部に供給された洗浄液は、前記カップの上部の外周縁から排出されるようになっていてもよい。あるいは、前記カップの上部は、その内周縁の高さレベルがその外周縁の高さレベルよりも小さくなっており、前記カップ洗浄部により前記カップの上部の前記凹部に供給された洗浄液は、前記カップの上部の内周縁から排出されるようになっていてもよい。本発明の液処理装置においては、前記カップは鉛直方向に重ねて配置されるよう複数設けられており、前記カップ洗浄部は、前記複数のカップのうち最上段のカップの洗浄を行うようになっていてもよい。本発明の液処理装置においては、前記カップの内側に、基板を保持する前記基板保持部とともに回転する回転カップが設けられ、当該回転カップの回転に伴って生じる旋回空気流により前記カップの上部の前記凹部全域に洗浄液を行き渡らせてもよい。本発明の液処理装置においては、前記カップ洗浄部は、前記カップの上部の前記凹部に洗浄液を上方から供給する洗浄液供給ノズルを有していてもよい。本発明の液処理装置においては、前記回転カップの外周に外方へ突出するとともに円周状に延びる円周突起が設けられ、前記回転カップの円周突起により旋回空気流を生じさせてもよい。本発明の液処理方法においては、前記カップの上部は、その内周縁の高さレベルがその外周縁の高さレベルよりも小さくなっており、前記カップの洗浄を行う工程において、前記カップの上部の前記凹部に供給された洗浄液は、前記カップの上部の内周縁から排出され、この排出された洗浄液により前記カップの内周面の洗浄が行われるようになっていてもよい。あるいは、前記カップの上部は、その内周縁の高さレベルがその外周縁の高さレベルよりも大きくなっており、前記カップの洗浄を行う工程において、前記カップの上部の前記凹部に供給された洗浄液は、前記カップの上部の外周縁から排出されるようになっていてもよい。本発明の液処理方法においては、前記カップの内側に、基板を保持する前記基板保持部とともに回転する回転カップが設けられ、前記カップの洗浄工程において、前記回転カップの回転に伴って生じる旋回空気流により前記カップの上部の前記凹部全域に洗浄液を行き渡らせてもよい。本発明の液処理装置および液処理方法によれば、カップに付着した汚れにより処理室内の基板が汚れてしまうことを防止することができる。第1の実施の形態以下、図面を参照して本発明の第1の実施の形態について説明する。図1乃至図8は、本実施の形態による液処理装置を示す図である。より詳細には、図1は、本発明の実施の形態による液処理装置を含む液処理システムを上方から見た上面図である。また、図2は、本発明の実施の形態による液処理装置の概略的な構成を示す上面図であり、図3は、図2に示す液処理装置の概略的な構成を示す側面図である。また、図4および図5は、図2に示す液処理装置の構成の詳細を示す縦断面図である。また、図6Aは、図4等に示す液処理装置における保持プレートに設けられた保持部材の構成を示す拡大縦断面図であり、図6Bは、図4等に示す液処理装置におけるカップ外周筒の構成を示す斜視図である。また、図7および図8は、図4等に示す液処理装置のドレインカップの構成の詳細を示す側断面図である。まず、図1を用いて、本実施の形態による液処理装置を含む液処理システムについて説明する。図1に示すように、液処理システムは、外部から被処理基板としての半導体ウエハ等の基板W以下、ウエハWともいうを収容したキャリアを載置するための載置台101と、キャリアに収容されたウエハWを取り出すための搬送アーム102と、搬送アーム102によって取り出されたウエハWを載置するための棚ユニット103と、棚ユニット103に載置されたウエハWを受け取り、当該ウエハWを液処理装置10内に搬送する搬送アーム104と、を備えている。図1に示すように、液処理システムには、複数図1に示す態様では4個の液処理装置10が設けられている。次に、本実施の形態による液処理装置10の概略的な構成について図2および図3を用いて説明する。図2および図3に示すように、本実施の形態による液処理装置10は、ウエハWが収容され、この収容されたウエハWの液処理が行われる処理室チャンバー20を備えている。図3に示すように、処理室20内には、ウエハWを水平状態で保持して回転させるための保持部21が設けられており、この保持部21の周囲にはリング状の回転カップ40が配設されている。また、図2および図3に示すように、処理室20内において回転カップ40の周囲には円筒状のカップ外周筒50が配設されている。後述するように、このカップ外周筒50はウエハWの処理状況に応じて昇降可能となっている。これらの保持部21、回転カップ40およびカップ外周筒50の構成の詳細については後述する。また、液処理装置10には、保持部21に保持されたウエハWに対してウエハWの上方から処理液やN2ガス等の流体を供給するためのノズル82aおよびこのノズル82aを支持するノズル支持アーム82が設けられている。図2に示すように、1つの液処理装置10には複数具体的には例えば6つのノズル支持アーム82が設けられており、各ノズル支持アーム82の先端にノズル82aが設けられている。また、図3に示すように、各ノズル支持アーム82にはアーム支持部84が設けられており、各アーム支持部84はアーム駆動機構図示せずによって図3における左右方向に駆動されるようになっている。このことにより、各ノズル支持アーム82は、ノズル82aが処理室20内に進出した進出位置と、ノズル82aが処理室20から退避した退避位置との間で水平方向に直線運動を行うようになっている図2および図3における各ノズル支持アーム82に設けられた矢印参照。また、図3に示すように、各ノズル支持アーム82には表面処理液供給管82mが設けられており、各表面処理液供給管82mは表面処理液供給部89に接続されている。そして、表面処理液供給部89から各表面処理液供給管82mを介して各ノズル支持アーム82のノズル82aに処理液やN2ガス等の流体が供給されるようになっている。図2および図3に示すように、液処理装置10において、アーム待機部80が処理室20に隣接して設けられている。このアーム待機部80において、処理室20から退避したノズル支持アーム82が待機するようになっている。また、アーム待機部80と処理室20との間には鉛直方向に延びる壁90が設けられている。この壁90は、各ノズル支持アーム82が通過可能な開口88pが設けられたアーム洗浄部88を有している。このアーム洗浄部88により各ノズル支持アーム82の洗浄が行われるようになっている。また、図3に示すように、処理室20の上方にはFFUファンフィルタユニット70が設けられており、このFFU70からN2ガス窒素ガスやクリーンエア等のガスがダウンフローで処理室20内に送られるようになっている。また、図2および図3に示すように、処理室20の底部におけるカップ外周筒50の内側には排気部54が設けられており、この排気部54により処理室20内の雰囲気の排気が行われるようになっている。このように、FFU70から処理室20内にクリーンエア等のガスがダウンフローで送られ、このガスが排気部54により排気されることにより、処理室20内の雰囲気の置換が行われるようになっている。また、図2および図3に示すように、処理室20の底部におけるカップ外周筒50の外側には排気部56が設けられており、この排気部56により処理室20内の雰囲気の排気が行われるようになっている。この排気部56により、処理室20内におけるカップ外周筒50の外側の雰囲気の排気を行うことができるようになっている。具体的には、排気部56により、アーム待機部80内の雰囲気がカップ外周筒50内に入り込むことが抑止される。また、この排気部56により、カップ外周筒50内の雰囲気がアーム待機部80に出てしまうことが抑止される。また、図2および図3に示すように、アーム待機部80の底部には排気部58が設けられており、この排気部58によりアーム待機部80内の雰囲気の排気が行われるようになっている。具体的には、各ノズル支持アーム82を駆動するためのアーム駆動機構図示せずから発生するパーティクルを排気部58により引くことができるようになっている。また、図2に示すように、液処理装置10の処理室20およびアーム待機部80の出入口にはそれぞれメンテナンス用のシャッター60、62が設けられている。処理室20およびアーム待機部80にそれぞれメンテナンス用のシャッター60、62が設けられていることにより、これらの処理室20内やアーム待機部80内の機器を個別にメンテナンスすることができる。また、処理室20内でウエハWを処理している最中でも、シャッター62を開くことによりアーム待機部80内の機器をメンテナンスすることができるようになる。また、図2に示すように、液処理装置10の側壁には、搬送アーム104により処理室20内へウエハWを搬入したり処理室20からウエハWを搬出したりするための開口94aが設けられており、この開口94aには、当該開口94aを開閉するためのシャッター94が設けられている。なお、図2に示す液処理装置10において、処理室20内におけるカップ外周筒50の内部の領域はクリーンルームに対して微陽圧となっており、一方、処理室20内におけるカップ外周筒50の外側の領域はクリーンルームに対して微陰圧となっている。このため、処理室20内において、カップ外周筒50の内部の領域の気圧はカップ外周筒50の外側の領域の気圧よりも大きくなっている。次に、図2および図3に示すような液処理装置10の構成の詳細について図4および図5を用いて説明する。図4および図5に示すように、保持部21は、ウエハWを保持するための円板形状の保持プレート26と、保持プレート26の上方に設けられた円板形状のリフトピンプレート22とを備えている。リフトピンプレート22の上面には、ウエハWを下方から支持するためのリフトピン23が周方向に等間隔で3つ設けられている。なお、図4および図5では2つのリフトピン23のみを表示している。また、リフトピンプレート22にはピストン機構24が設けられており、このピストン機構24によりリフトピンプレート22が昇降するようになっている。より具体的には、搬送アーム104図1参照によりウエハWをリフトピン23上に載置したりリフトピン23上からウエハWを取り出したりするときには、ピストン機構24によりリフトピンプレート22が図4等に示すような位置から上方に移動させられ、このリフトピンプレート22は回転カップ40よりも上方に位置するようになる。一方、処理室20内でウエハWの液処理を行う際には、ピストン機構24によりリフトピンプレート22が図4等に示すような下方位置に移動させられ、ウエハWの周囲に回転カップ40が位置するようになる。保持プレート26には、ウエハWを側方から支持するための保持部材25が周方向に等間隔で3つ設けられている。なお、図4および図5では2つの保持部材25のみを表示している。各保持部材25は、リフトピンプレート22が上方位置から図4および図5に示すような下方位置に移動したときにこのリフトピン23上のウエハWを支持し、このウエハWをリフトピン23からわずかに離間させるようになっている。リフトピンプレート22および保持プレート26の構成について、図6Aを用いてより詳細に説明する。図6Aにおいて、aは、リフトピンプレート22が上方位置から図4等に示すような下方位置に移動する途中での状態を示す図であり、bは、aに示す状態からリフトピンプレート22が下方に移動したときの状態を示す図であり、cは、bに示す状態からリフトピンプレート22が更に下方に移動し、リフトピンプレート22が図4等に示すような下方位置に到達したときの状態を示す図である。図6Aに示すように、保持部材25は軸25aを介して保持プレート26に軸支されている。より詳細には、図6Aに示すように、保持プレート26には軸受け部26aが取り付けられており、この軸受け部26aに設けられた軸受け孔26bに軸25aが受け入れられる。軸受け孔26bは水平方向に延びるような細長い孔からなり、保持部材25の軸25aはこの軸受け孔26bに沿って水平方向に移動することができる。このようにして、保持部材25は、軸受け部26aの軸受け孔26bに受け入れられた軸25aを中心として揺動することができる。保持部材25の軸25aには、ねじりバネ等のバネ部材25dが巻き掛けられている。このバネ部材25dは、軸25aを中心として保持部材25を図6Aにおける時計回りの方向に回転させるような力を保持部材25に付勢するようになっている。これにより、保持部材25に何ら力が加えられていない場合には、保持部材25が保持プレート26に対して傾斜した状態となり、保持部材25におけるウエハWを側方から支持するための支持部分25b後述は保持プレート26の中心から遠ざかった状態となる。また、軸25aに巻き掛けられたバネ部材25dからは線状部分が伸び出しており、この線状部分は軸受け部26aの内壁面26cに係止されて、軸25aを保持プレート26の中心に向かって押し返す。このように、バネ部材25dの線状部分により、軸25aは保持プレート26の中心に向かってすなわち、図6Aにおける左方向に向かって常時押圧される。このため、比較的径が小さなウエハWが保持部材25により保持される場合には、軸25aは、図6Aに示すように、軸受け孔26bにおける保持プレート26の中心に近い位置すなわち、図6Aにおける左側の位置に位置する。一方、比較的径が大きなウエハWが保持部材25により支持される場合には、バネ部材25dの線状部分による力に抗して、軸25aは軸受け孔26bに沿って図6Aに示す位置から右方向に移動する。なお、ここでのウエハWの径の大小とは、許容寸法誤差内でのウエハWの径の大小を意味している。また、保持部材25は、ウエハWを側方から支持する支持部分25bと、軸25aに関して支持部分25bと反対側に設けられた被押圧部材25cとを有している。被押圧部材25cは、リフトピンプレート22と保持プレート26との間に設けられており、この被押圧部材25cは、図6Aに示すようにリフトピンプレート22が下方位置またはその近傍位置にあるときに当該リフトピンプレート22の下面により下方に向かって押圧される。図6Aに示すように、保持部材25は、リフトピンプレート22が上方位置から下方位置に移動したときに、当該リフトピンプレート22の下面により被押圧部材25cが下方に押圧されることにより軸25aを中心として図6Aにおける反時計回りの方向図6Aにおける矢印方向に回転する。そして、保持部材25が軸25aを中心として回転することにより、支持部分25bがウエハWに向かって当該ウエハWの側方から移動する。これにより、リフトピンプレート22が下方位置に到達したときに、図6Acに示すように、ウエハWが保持部材25により側方から支持される。ここで、図6Acに示すように、ウエハWが保持部材25により側方から支持されたときに、このウエハWはリフトピン23の先端から上方に離間し、リフトピン23から上方に浮いた状態となる。また、前述のように、ウエハWの大きさによっては、バネ部材25dの線状部分による力に抗して軸25aが軸受け孔26bに沿って図6Aに示す位置から右方向に移動する場合もある。このため、比較的大きなウエハWが保持部材25により支持される場合であっても、保持部材25が水平方向に移動可能となっているので、ウエハWを変形させたり破損させたりすることなくウエハWを側方から支持することができる。また、リフトピンプレート22および保持プレート26の中心部分にはそれぞれ貫通穴が形成されており、これらの貫通穴を通るよう処理液供給管28が設けられている。この処理液供給管28は、保持プレート26の各保持部材25により保持されたウエハWの裏面に薬液や純水等の処理液を供給するようになっている。また、処理液供給管28はリフトピンプレート22と連動して昇降するようになっている。処理液供給管28の上端には、リフトピンプレート22の貫通穴を塞ぐよう設けられたヘッド部分28aが形成されている。また、図4等に示すように、処理液供給管28には処理液供給部29が接続されており、この処理液供給部29により処理液供給管28に処理液が供給されるようになっている。図4および図5に示すように、保持部21の周囲にはリング状の回転カップ40が配設されている。この回転カップ40は保持プレート26に取り付けられており、保持プレート26と一体的に回転するようになっている。より詳細には、回転カップ40は、保持プレート26の各保持部材25により支持されたウエハWを側方から囲うよう設けられており、ウエハWの液処理を行う際にこのウエハWから側方に飛散した処理液を受けるようになっている。また、回転カップ40の周囲には、ドレインカップ42、第1案内カップ43、第2案内カップ44および第3案内カップ45が上方から順に設けられている。ドレインカップ42および各案内カップ43、44、45はそれぞれリング状に形成されている。ここで、ドレインカップ42は処理室20において固定されている。一方、各案内カップ43、44、45にはそれぞれ昇降シリンダ図示せずが連結されており、これらの案内カップ43、44、45は対応する昇降シリンダにより互いに独立して昇降自在となっている。図4および図5に示すように、ドレインカップ42や各案内カップ43、44、45の下方には、第1処理液回収用タンク46a、第2処理液回収用タンク46b、第3処理液回収用タンク46cおよび第4処理液回収用タンク46dがそれぞれ設けられている。そして、各案内カップ43、44、45の上下方向における位置により、ウエハWの液処理を行う際にこのウエハWから側方に飛散した処理液が、この処理液の種類に基づいて、4つの処理液回収用タンク46a、46b、46c、46dのうちいずれか一つの処理液回収用タンクに選択的に送られるようになっている。具体的には、全ての案内カップ43、44、45が全て上方位置にあるときには図4および図5に示すような状態、ウエハWから側方に飛散した処理液は第4処理液回収用タンク46dに送られるようになっている。一方、第3案内カップ45のみが下方位置にあるときには、ウエハWから側方に飛散した処理液は第3処理液回収用タンク46cに送られるようになっている。また、第2案内カップ44および第3案内カップ45が下方位置にあるときには、ウエハWから側方に飛散した処理液は第2処理液回収用タンク46bに送られるようになっている。また、全ての案内カップ43、44、45が下方位置にあるときには、ウエハWから側方に飛散した処理液は第1処理液回収用タンク46aに送られるようになっている。また、図4および図5に示すように、第4処理液回収用タンク46dの内側には排気部48が設けられている。そして、各案内カップ43、44、45の上下方向における位置が所定の位置となることにより、ウエハWの周囲の雰囲気が、排気部48により排気されるようになっている。また、本実施の形態の液処理装置10においては、処理室20内においてドレインカップ42や各案内カップ43、44、45の周囲にカップ外周筒50が設けられている。このカップ外周筒50は、図4に示すような下方位置と図5に示すような上方位置との間で昇降可能となっている。また、図2および図3に示すように、カップ外周筒50には、ノズル支持アーム82が通過可能な開口50mが設けられている。カップ外周筒50は、図5に示すような上方位置にあるときに、カップ外周筒50内の領域を外部に対して隔離するようになっている。このようなカップ外周筒50の構成の詳細について図6Bを用いて説明する。図6Bは、カップ外周筒50の構成を示す斜視図である。図6Bに示すように、カップ外周筒50の側面には、ノズル支持アーム82が通過可能な開口50mが、ノズル支持アーム82の本数に応じて設けられている例えばノズル支持アーム82が6本の場合、6つの開口50mが設けられる。また、カップ外周筒50の上部には、このカップ外周筒50を支持するための支持部材50aが連結されており、支持部材50aには当該支持部材50aを昇降させる駆動機構50bが設けられている。そして、駆動機構50bにより支持部材50aを昇降させることにより、この支持部材50aに支持されるカップ外周筒50も昇降するようになっている。また、図4および図5に示すように、FFU70にはガイド部材51が取り付けられている。このガイド部材51は、図5に示すようにカップ外周筒50が上方位置にあるときに、このカップ外周筒50から内側にわずかに距離を隔てて位置するよう配置されている。また、本実施の形態の液処理装置10においては、図5に示すようにカップ外周筒50が上方位置にあるときには、カップ外周筒50内の気圧はカップ外周筒50の外側の気圧よりも大きくなるようになっている。このため、カップ外周筒50が上方位置にあるときには、FFU70により生じる処理室20内のダウンフローのガスが、ガイド部材51によりカップ外周筒50の上端近傍において当該カップ外周筒50の内側から外側に案内されるようになっている。また、図4および図5に示すように、処理室20内には、カップ外周筒50を洗浄するための洗浄部52が設けられている。この洗浄部52は、純水等の洗浄液を貯留するための貯留部分52aを有しており、図4に示すようにカップ外周筒50が下方位置にあるときにこのカップ外周筒50が貯留部分52aに貯留された洗浄液に浸されるようになっている。洗浄部52は、貯留部分52aに貯留された洗浄液にカップ外周筒50が浸されることにより、このカップ外周筒50の洗浄を行うようになっている。貯留部分52aに貯留される洗浄液としては、例えば室温以上の、好ましくは40°C以上の、更に好ましくは60°C以上の純水等が用いられる。貯留部分52aに貯留される洗浄液の温度が高い場合には、カップ外周筒50に対する洗浄効果がより大きくなる。図4に示すように、カップ外周筒50が下方位置にあるときにはこのカップ外周筒50の大部分が貯留部分52aに貯留された洗浄液に浸されるようになる。また、図5に示すように、カップ外周筒50が上方位置にあるときにもこのカップ外周筒50の下部が貯留部分52aに貯留された洗浄液に浸されるようになる。このため、カップ外周筒50が上方位置にあるときには、貯留部分52aに貯留された洗浄液とカップ外周筒50の下部との間で水シールを行うとともに、カップ外周筒50の上部とガイド部材51との間が狭くなるので、カップ外周筒50内の領域を外部から隔離することができるようになる。また、図4および図5に示すように、処理室20内において、洗浄部52の内側には処理室20内の雰囲気の排気を行うための排気部54が設けられており、また、洗浄部52の外側には処理室20内の雰囲気の排気を行うための排気部56が設けられている。このような排気部54および排気部56が設けられていることにより、カップ外周筒50が図4に示すような下方位置にあるときには、これらの排気部54および排気部56により処理室20内全体の雰囲気の排気を行うことができる。一方、カップ外周筒50が図5に示すような上方位置にあるときには、カップ外周筒50内の領域が外部から隔離されるので、排気部54によりカップ外周筒50の内部の雰囲気の排気を行うことができ、また、排気部56によりカップ外周筒50の外側の雰囲気の排気を行うことができる。前述のように、本実施の形態においては、1つの液処理装置10に複数具体的には例えば6つのノズル支持アーム82が設けられており、各ノズル支持アーム82の先端にノズル82aが設けられている。具体的には、各ノズル82aは、それぞれ、第1の薬液具体的には、例えば酸性の薬液、第2の薬液具体的には、例えばアルカリ性の薬液、純水、N2ガス、IPAイソプロピルアルコール、純水のミストをウエハWの上面に供給するようになっている。次に、処理室20内において回転カップ40の周囲に配設されたドレインカップ42の構成の詳細について以下に説明する。図4および図5に示すように、ドレインカップ42の上部には凹部42aが形成されている。このような凹部42aの構成の詳細について図7を参照して説明する。図7に示すように、ドレインカップ42の上部には、その内周縁42cから外周縁42dに向かって途中部分42eまで高さレベルが徐々に小さくなるよう傾斜するような第1傾斜部分42a1、および途中部分42eから外周縁42dまで高さレベルが徐々に大きくなるよう傾斜するような第2傾斜部分42a2がそれぞれ形成されている。これらの第1傾斜部分42a1および第2傾斜部分42a2により凹部42aが構成されている。図7に示すようなドレインカップ42では、内周縁42cの高さレベルが外周縁42dの高さレベルよりも大きくなっている。また、ドレインカップ42の上部に設けられた途中部分42eには洗浄液供給管49aが接続されており、この洗浄液供給管49aには洗浄液供給部49が接続されている。そして、洗浄液供給部49から洗浄液供給管49aに洗浄液が供給されるようになっている。このことにより、洗浄液供給管49aから凹部42a内に洗浄液が送られ、この凹部42aに洗浄液が貯留されるようになる。このようにして、洗浄液供給部49からドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液によりドレインカップ42の洗浄が行われる。本実施の形態では、洗浄液供給部49および洗浄液供給管49aにより、ドレインカップ42の洗浄を行うためのドレインカップ洗浄部が構成されている。ドレインカップ洗浄部によるドレインカップ42の洗浄は例えば処理毎に、または一日一回、あるいは月に一回行われるようになっている。また、洗浄液供給管49aには切替バルブ49bが設けられており、この切替バルブ49bにはドレインライン49cが接続されている。そして、切替バルブ49bによりドレインカップ42の凹部42aとドレインライン49cとを連通させることにより、凹部42aに残存する洗浄液をドレインライン49cによりドレイン部49dに排出することができるようになっている。ここで、図7に示すようなドレインカップ42では、その内周縁42cの高さレベルが外周縁42dの高さレベルよりも大きくなっているため、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液は、ドレインカップ42の上部の外周縁42dから外方に図7における左方に排出されるようになる。そして、ドレインカップ42の上部の外周縁42dから排出された洗浄液は、洗浄部52の貯留部分52aに送られてこの貯留部分52aに貯留されるようになる。その後、貯留部分52aの側部に設けられたドレイン管52cにより、貯留部分52a内の洗浄液が装置外に排出される。本実施の形態の液処理装置10に設けられるドレインカップ42は、図7に示すような構成のものに限定されることはない。ドレインカップ42として、図8に示すような、その内周縁42cの高さレベルが外周縁42dの高さレベルよりも小さくなっているものを用いてもよい。この場合、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液は、ドレインカップ42の上部の内周縁42cから内方に図8における右方に排出される。この場合には、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液により、ドレインカップ42の内周面42fや回転カップ40の洗浄を行うことができるようになる。ドレインカップ42の内周面42fや回転カップ40に洗浄液が供給された後、回転カップ40を回転させることにより、ドレインカップ42の内周面42fや回転カップ40の乾燥が行われる。また、ドレインカップ42として、その内周縁42cの高さレベルが外周縁42dの高さレベルと略同一であるものを用いてもよい。この場合、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液は、ドレインカップ42の上部の内周縁42cおよび外周縁42dの両方から排出されるようになる。次に、このような構成からなる液処理装置10の動作について説明する。まず、保持部21におけるリフトピンプレート22および処理液供給管28を図4に示す位置から上方に移動させることと、処理室20の開口94aに設けられたシャッター94をこの開口94aから退避させることにより開口94aを開くことを行う。そして、液処理装置10の外部からウエハWが搬送アーム104により開口94aを介して処理室20内に搬送され、このウエハWがリフトピンプレート22のリフトピン23上に載置され、その後、搬送アーム104は処理室20から退避する。この際に、カップ外周筒50は図4に示すような下方位置に位置している。また、各ノズル支持アーム82は処理室20から退避した退避位置に位置している。すなわち、各ノズル支持アーム82はアーム待機部80で待機している。また、FFU70から処理室20内にクリーンエア等のガスが常にダウンフローで送られ、このガスが排気部54により排気されることにより、処理室20内の雰囲気の置換が行われるようになっている。次に、リフトピンプレート22および処理液供給管28を下方に移動させ、これらのリフトピンプレート22および処理液供給管28を図4に示すような下方位置に位置させる。この際に、保持プレート26に設けられた各保持部材25が、リフトピン23上のウエハWを支持し、このウエハWをリフトピン23からわずかに離間させる。その後に、またはリフトピンプレート22の下降中に、カップ外周筒50に設けられた駆動機構50bにより、このカップ外周筒50を上方に移動させ、カップ外周筒50を図5に示すような上方位置に位置させる。そして、カップ外周筒50が上方位置に移動した後、アーム待機部80で待機している6つのノズル支持アーム82のうち一または複数のノズル支持アーム82が壁90のアーム洗浄部88の開口88pおよびカップ外周筒50の開口50mを介して処理室20内に進出する。この際に、アーム駆動機構図示せずによりノズル支持アーム82は直線運動を行う。次に、保持部21における保持プレート26およびリフトピンプレート22を回転させる。このことにより、保持プレート26の各保持部材25により支持されているウエハWも回転する。そして、ウエハWが回転した状態で、処理室20内に進出したノズル支持アーム82のノズル82aからウエハWの上面に処理液を供給する。また、この際に、ウエハWの下面裏面に向かって処理液供給管28から薬液や純水等の処理液を供給する。このようにして、ウエハWの上面および下面の両方に処理液が供給され、ウエハWの液処理が行われる。ウエハWに供給された処理液は、この処理液の種類に基づいて、各案内カップ43、44、45が上方位置または下方位置にそれぞれ位置することにより、4つの処理液回収用タンク46a、46b、46c、46dのうちいずれか一つの処理液回収用タンクに選択的に送られて回収される。その後、ウエハWの液処理が終了すると、処理室20に進出したノズル支持アーム82はこの処理室20から退避してアーム待機部80で待機するようになる。そして、カップ外周筒50に設けられた駆動機構50bにより、このカップ外周筒50を下方に移動させ、カップ外周筒50を図4に示すような下方位置に位置させる。その後、保持部21におけるリフトピンプレート22および処理液供給管28を図4に示す位置から上方に移動させる。この際に、保持プレート26の保持部材25により支持されたウエハWがリフトピンプレート22のリフトピン23上に受け渡される。次に、処理室20の開口94aに設けられたシャッター94をこの開口94aから退避させることにより開口94aを開き、液処理装置10の外部から開口94aを介して搬送アーム104を処理室20内に進出させ、この搬送アーム104によりリフトピンプレート22のリフトピン23上のウエハWを取り出す。搬送アーム104により取り出されたウエハWは液処理装置10の外部に搬送される。このようにして、一連のウエハWの液処理が完了する。また、洗浄液供給部49からドレインカップ42の上部の凹部42aに洗浄液が供給されることにより、ドレインカップ42の洗浄が行われる。このようなドレインカップ42の洗浄は、ウエハWに対する各処理後に行ってもよいし、あるいは定期的に行ってもよい。ドレインカップ42の洗浄が終了した後、ドレインカップ42の上部の凹部42aに残存する洗浄液は、切替バルブ49bによりドレインカップ42の凹部42aとドレインライン49cとを連通させることにより、ドレインライン49cによりドレイン部49dに排出される。以上のように本実施の形態の液処理装置10によれば、処理室20内において保持部21の周囲にドレインカップ42が配設されており、洗浄液供給部49および洗浄液供給管49aからなるドレインカップ洗浄部によって、ドレインカップ42の上部に洗浄液を供給することにより当該ドレインカップ42の洗浄を行うようになっている。この際に、ドレインカップ42の上部には凹部42aが形成されており、洗浄液供給部49により、ドレインカップの上部の凹部42aに洗浄液を供給するようになっている。このことにより、ドレインカップの上部の凹部42aに洗浄液を貯留することができるようになり、この凹部42aに貯留された洗浄液によりドレインカップ42の洗浄が行われる。このように、ドレインカップ42の洗浄を行うことによって、ドレインカップ42に付着した汚れにより処理室20内のウエハWが汚れてしまうことを防止することができる。また、本実施の形態の液処理装置10においては、ドレインカップ42の上部は、その内周縁42cから外周縁42dに向かって途中部分42eまでは高さレベルが小さくなるよう傾斜しており第1傾斜部分42a1、その途中部分42eから外周縁42dまでは高さレベルが大きくなるよう傾斜しており第2傾斜部分42a2、洗浄液供給部49により、ドレインカップ42の上部の途中部分42eに洗浄液を供給するようになっている。この途中部分42eはドレインカップ42の凹部42aの底部に位置している。また、本実施の形態の液処理装置10においては、図7に示すように、ドレインカップ42の上部は、その内周縁42cの高さレベルがその外周縁42dの高さレベルよりも大きくなっており、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液は、ドレインカップ42の上部の外周縁42dから排出されるようになっている。この場合、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部に供給された洗浄液は、カップ外周筒50を洗浄するための洗浄部52の貯留部分52aに排出されるようになる。このような液処理装置10によれば、ウエハWの処理に用いられる薬液等の処理液と、ドレインカップ42の洗浄のための洗浄液とを分離することができ、これらの液体が処理室20内で混じってしまうことを防止することができる。あるいは、図8に示すように、ドレインカップ42の上部は、その内周縁42cの高さレベルがその外周縁42dの高さレベルよりも小さくなっており、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液は、ドレインカップ42の上部の内周縁42cから排出されるようになっていてもよい。この場合には、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液により、ドレインカップ42の内周面42fや回転カップ40の洗浄を行うことができるようになる。また、本実施の形態の液処理装置10においては、ドレインカップ42、第1案内カップ43、第2案内カップ44および第3案内カップ45は鉛直方向に重ねて配置されるよう複数設けられており、複数のカップのうち最上段にあるドレインカップ42に洗浄液が送られてこのドレインカップ42の洗浄が行われるようになっている。なお、本実施の形態による液処理装置は、上記の態様に限定されるものではなく、様々の変更を加えることができる。例えば、処理室20内に進出したノズル支持アーム82のノズル82aおよび処理液供給管28によりウエハWの上面および下面の両方に処理液を供給する必要はなく、ノズル支持アーム82のノズル82aによりウエハWの上面のみに処理液を供給するようになっていてもよい。また、本実施の形態による液処理装置は、基板の洗浄処理以外に、エッチング処理、メッキ処理、現像処理等の処理にも用いることができる。第2の実施の形態次に図11および図12により本発明の第2の実施の形態について説明する。図11および図12に示す第2の実施の形態は、回転カップ40およびドレインカップ42からなるドレインカップ42の洗浄構造が異なるのみであり、他の構成は図1乃至図8に示す第1の実施の形態と略同一である。図11および図12において、図1乃至図8に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。図11に示すように、ドレインカップ42の上部には、その内周縁42cから外周縁42dに向かって途中部分42eまで高さレベルが徐々に小さくなるよう傾斜するような第1傾斜部分42a1、および途中部分42eから外周縁42dまで高さレベルが徐々に大きくなるよう傾斜するような第2傾斜部分42a2がそれぞれ形成されている。これらの第1傾斜部分42a1および第2傾斜部分42a2により凹部42aが構成されている。図11に示すようなドレインカップ42では、内周縁42cの高さレベルが外周縁42dの高さレベルよりも大きくなっている。また、ドレインカップ42の上方にはノズル支持アーム82が進退自在に配置され、ノズル支持アーム82の先端に取付けられたノズル82aからドレインカップ42の上部の凹部の42aに純水洗浄液が上方から供給されるようになっている。ドレインカップ42の凹部42aに純水を供給するノズル支持アーム82としては、図2に示す6本のノズル支持アーム82のいずれか一つが用いられる。そしてノズル支持アーム82の先端に設けられたノズル82aからドレインカップ42の凹部42a内に洗浄液が供給され、この凹部42aに洗浄液が供給され、この凹部42aに洗浄液が貯留される。このようにして、ノズル支持アーム82のノズル82aからドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液によりドレインカップ42の洗浄が行われる。本実施の形態では、ノズル82aを有するノズル支持アーム82により、ドレインカップ42の洗浄を行うためのドレインカップ洗浄部が構成されている。ドレインカップ洗浄部によるドレインカップ42の洗浄はウエハWに対する各処理毎に行なってもよいし、あるいは定期的に行なってもよい例えば、一日に一回、あるいは一月に一回等自由に設定できる。また、ドレインカップ42の凹部42aの途中部分42eには洗浄液排出管49eが設けられ、洗浄液排出管49eには開閉バルブ49fが設けられており、この開閉バルブ49fにはドレインライン49gが接続されている。そして、開閉バルブ49eによりドレインカップ42の凹部42aとドレインライン49gとを連通させることにより、凹部42aに残存する洗浄液をドレインライン49gによりドレイン部49iに排出することができるようになっている。ここで、図11に示すようなドレインカップ42では、その内周縁42cの高さレベルが外周縁42dの高さレベルよりも大きくなっているため、洗浄液供給部49によりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液は、ドレインカップ42の上部の外周縁42dから外方に図11における左方に排出されるようになる。そして、ドレインカップ42の上部の外周縁42dから排出された洗浄液は、洗浄部52の貯留部分52aに送られてこの貯留部分52aに貯留されるようになる。その後、貯留部分52aの側部に設けられたドレイン管52cにより、貯留部分52a内の洗浄液が装置外に排出される。ところで、上述のようにドレインカップ42の内側には、ウエハWを保持する保持部21とともに回転する回転カップ40が設けられている。この回転カップ40の外周は、ドレインカップ42の内周縁42cよりわずかに上方に位置しており、この回転カップ40の外周には外方へ突出するとともに円周状に延びる円周突起40aが設けられている。この円周突起40aは回転カップ40の回転に伴って回転カップ40の外周に旋回空気流を生じさせる。この回転カップ40の回転により生じる旋回空気流はドレインカップ42側へ送られ、後述のようにドレインカップ42の凹部42aに供給された洗浄液を撹拌し、かつ凹部42aの全周に行き渡らせるよう機能する。本実施の形態の液処理装置10に設けられるドレインカップ42は、図11に示すような構成のものに限定されることはない。ドレインカップ42として、図12に示すような、その内周縁42cの高さレベルが外周縁42dの高さレベルよりも小さくなっているものを用いてもよい。この場合、ノズル支持アーム82ノズル82aによりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液は、ドレインカップ42の上部の内周縁42cから内方に図12における右方に排出される。この場合には、ノズル支持アーム82のノズル82aによりドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液により、ドレインカップ42の内周面42fや回転カップ40の洗浄を行うことができるようになる。また、ドレインカップ42として、その内周縁42cの高さレベルが外周縁42dの高さレベルと略同一であるものを用いてもよい。この場合、ドレインカップ42の上部の凹部42aに供給された洗浄液は、ドレインカップ42の上部の内周縁42cおよび外周縁42dの両方から排出されるようになる。次にドレインカップ42の洗浄工程について、図11および図12により説明する。図11および図12において、一連のウエハWの液処理工程が終了し、搬送アーム104によりウエハWが液処理装置10の外部へ搬送された後、ドレインカップ42の洗浄工程が行われる。なお、洗浄水をノズル82aからドレインカップ42の上部に供給した例を示したが、これに限らずドレインカップ42の上部にノズル82aから洗浄水を供給するとともに、ドレインカップ42の下方から洗浄液供給部49から洗浄液を供給してもよい。また、所定時間毎に回転カップ40の回転方向を変えることにより、ドレインカップ42を効果的に洗浄することができ、かつドレインカップ42の内周面42fおよび回転カップ40も効果的に洗浄することができる。