複数の同一機種の装置間の運転状態を同一状態で行う運転状態管理方法において、各装置間に共通する複数の互いに独立した装置パラメータにより装置毎の特性値が与えられるとともに、ある装置の運転の結果により修正された装置パラメータにより、各装置の特性値へフィードバックを行った各装置パラメータを用いて各装置の運転を行うことを特徴とする運転状態管理方法。前記フィードバックが運転中も随時行われることを特徴とする請求項1記載の運転状態管理方法。前記各装置の特性値が、各装置における各装置パラメータと各パラメータ定数の積の和と、装置定数の和からなることを特徴とする請求項1または2記載の運転状態管理方法。前記ある装置の運転の結果により修正された装置パラメータが、各装置パラメータと各パラメータ定数の積と装置定数の和が一定である関係を利用して、前記各装置の特性値へフィードバックを行うことを特徴とする請求項1ないし3何れか記載の運転状態管理方法。前記ある装置の運転の結果により修正された装置パラメータが、特性値を目標値に近づける様に計算された値であることを特徴とする請求項1ないし4何れか記載の運転状態管理方法。前記装置が検査装置であり、特性値が検査結果であることを特徴とする請求項1ないし5何れか記載の運転状態管理方法。前記装置が生産装置であり、特性値が生産装置による生産物の検査結果である請求項1ないし5何れか記載の運転状態管理方法を用いて生産物を生産することを特徴とする同一生産物の生産方法。上記の従来技術においては、機差情報は一度取得したら、基本的にはその情報を利用し続けるものであったために、装置の運転自体による経時的変化が生じやすい装置においては、そのまま運転を継続するのが困難か、熟練操作者による経験による微調整を行ってその経時的変化を吸収することが必要であった。そこで本願は、バッチであれ連続であれ、運転を継続しながら、その運転による各種経時的変化を自動的に補正することにより、熟練者を必要とせず、長時間の連続運転を可能にする、複数台による装置の平行運転が可能な運転状態管理方法、およびこの運転状態管理方法を用いて生産物を生産することを特徴とする同一生産物の生産方法を提供するものである。上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、複数の同一機種の装置間の運転状態を同一状態で行う運転状態管理方法において、各装置間に共通する複数の互いに独立した装置パラメータにより装置毎の特性値が与えられるとともに、ある装置の運転の結果により修正された装置パラメータにより、各装置の特性値へフィードバックを行った各装置パラメータを用いて各装置の運転を行うことを特徴とする運転状態管理方法を提供するものである。また、請求項2に記載の発明は、前記フィードバックが運転中も随時行われることを特徴とする請求項1記載の運転状態管理方法を提供するものである。また、請求項3に記載の発明は、前記各装置の特性値が、各装置における各装置パラメータと各パラメータ定数の積の和と、装置定数の和からなることを特徴とする請求項1または2記載の運転状態管理方法を提供するものである。また、請求項4に記載の発明は、前記ある装置の運転の結果により修正された装置パラメータが、各装置パラメータと各パラメータ定数の積と装置定数の和が一定である関係を利用して、前記各装置の特性値へフィードバックを行うことを特徴とする請求項1ないし3何れか記載の運転状態管理方法を提供するものである。また、請求項5に記載の発明は、前記ある装置の運転の結果により修正された装置パラメータが、特性値を目標値に近づける様に計算された値であることを特徴とする請求項1ないし4何れか記載の運転状態管理方法を提供するものである。また、請求項6に記載の発明は、前記装置が検査装置であり、特性値が検査結果であることを特徴とする請求項1ないし5何れか記載の運転状態管理方法を提供するものである。また、請求項7に記載の発明は、前記装置が生産装置であり、特性値が生産装置による生産物の検査結果である請求項1ないし5何れか記載の運転状態管理方法を用いて生産物を生産することを特徴とする同一生産物の生産方法を提供するものである。本発明の運転状態管理方法、およびこの運転状態管理方法を用いて生産物を生産することを特徴とする同一生産物の生産方法により、運転を継続しながら、その運転による各種経時的変化を自動的に補正することにより、熟練者を必要とせず、長時間の連続運転を可能にする、複数台による装置の平行運転が可能な運転状態管理方法、およびこの運転状態管理方法を用いて生産物を生産することを特徴とする同一生産物の生産方法を提供することが可能になった。特に請求項2においては、随時フィードバックが行われるため、常に最適状態での運転が望める。また、請求項3では、各装置における各装置パラメータと特性値との関係を明確にし、容易に制御できるものとなった。また、請求項4では、フィードバックする方法を明確にし、即座にフィードバックすることが可能になった。また、請求項5では、特性値の意味をより明確化し、単に現在の運転状態を継続するのではなく、より目標値へ近い制御を可能にするものである。さらに、請求項6では、検査だけに用いることで、簡易な管理方法とすることができる。また、請求項7では、実際の生産物の生産に寄与することができるため、従来に比べてより同一性の高い同一物の生産が可能になったものである。図1は製造装置に応用した本発明の一実施の形態を示すシステム構成の模式図である。もちろん、検査装置等への変形応用も可能である。以下、簡単のために製造装置を2台だけの構成で説明するが、2台だけの構成も可能だが、効果は薄く、多ければ多いほど効果を発揮する。サーバー11は、製造装置A21、製造装置B22、検査装置31とデータ交換が可能な構成になっている。図2は、実際のフィードバック制御の動作説明概念図である。まず最初の各装置の装置パラメータは初期値として任意のパラメータを用いる。なお、立ち上がり時間を短くしたい場合等は、多変量解析などを用いて装置ごとになるべく最適に近い値をを利用するのは常套手段である。まず、製造装置A21と製造装置B22は同一工程の、平行運転装置である。ここでの動作は、図3に示すフローチャートで一例が示される。S1製造装置A21で任意の初期値装置パラメータX0で製品の生産を行い、その装置パラメータX0をサーバー11へ送信し、その結果をサーバー11で保存する。この例では製造装置Aのみが稼動している場合の例である。S2製造装置A21で生産した製品を検査装置31へ搬送し、その検査装置31で製品の検査を行う。もちろん、製造装置A21から生産した製品を移動することなく検査装置で検査する場合、もしくは製造装置と検査装置が一体化している場合に搬送は不要である。S3検査装置31の検査結果特性値Yの情報をサーバー11へ送信し、それを受信したサーバー11で保存する。この場合の検査結果をそのまま特性値としてもいし、それを適宜加工した値を特性値としても構わない。S4S3で取得した検査結果特性値Yを目標値に近づけるための製造装置A21の装置パラメータA1の算出を行う。この場合の目標値は固定値であっても構わないが、人工的に与えられた目標値である場合が多いが、適宜選択しうる。S5S4で算出した装置パラメータA1を製造装置A21にフィードバックを行う。このようなフィードバックを必要に応じて繰り返し行う。S6製造装置A21の装置パラメータの変更値A1から製造装置B22の装置パラメータB1を算出し、その値が適正かの判断を行う。なお、この場合の適正かの判定は製造装置B22での特性値Yと装置パラメータB1の関係から行う。適正かいなかの判断は、物理的に採用できるか否かのほかに、フィードバックになっているか、その結果目標値に近づけることができるかなど、各種の適正か否かの判断からなっているものでも構わない。S7S6で算出した装置パラメータB1が適正と判断された場合は、製造装置B22へのフィードバックを行う。当然、これは製造装置A21からの一度の検査によるフィードバックであるので、随時製品が検査されるたびにフィードバックが発生するものであっても構わないし、間歇的に発生するものであっても構わない。また、以上の例では製造装置A21で製造した結果が製造装置A21だけでなく製造装置B22へのフィードバックも行われるこのであるが、製造装置B22で製造したものも含めて随時フィードバックも行われるものでもよい。これにより、製造装置からのフィードバックの精度が向上する。例えば、製造装置A21である品質規格の製品を製造する際の装置パラメータの条件を求めた際に、製造装置B22で同じ品質規格の製品を製造するための装置パラメータを機差情報から算出を行うことで、製造装置B22へのフィードバック頻度を挙げることができ、製造装置B22での最終的な条件出しの時間を短縮することが可能となる。また、それだけではなく、製造装置の連続運転による運転条件の変化への対応も容易となる。また、機差情報を補正することは、特性値と装置パラメータの関係式を補正することとなる。そこで、生産中の装置パラメータと特性値のデータを用いて関係式の再計算を行うことで関係式、機差情報の精度を向上させる効果もある。従って、機差情報を一度取得したら基本的にはその情報を利用し続ける構成と相違し、機差情報そのものを生産の情報を利用して更新し続けることになる。これにより、連続運転による運転条件の変化に追従できるというだけではなく、運転条件の変化が生じない場合であっても初期値からの調整を早める効果を生じ、また、その運転精度も高めることができる。以下、運転して検査するたびに同様の計算とフィードバックを行う。以上、製造装置が2台、検査装置が共通で1台の場合で説明したが、製造装置が3台以上であっても構わないし、検査装置は複数台あっても構わない。なお、検査装置が複数台の場合は、検査装置どうしの機差が発生するため、その検査装置パラメータを考慮に入れるのが好ましい。加えて、製造装置ではなく複数台の検査装置の性能をフィードバック制御するものであっても構わない。このような機差情報の算出方法は、各製造装置毎の特性値と製造装置パラメータの関係式を用いて算出する。例えば、製造装置Aの特性値YAが、YA=αA×XA1βA×XA2γAの関係が成り立ちなお、α、β、γは各々定数、Yは特性値、Xは装置パラメータであり、添え字Aは製造装置A、添え字1はパラメータ1、添え字2はパラメータ2を示す、製造装置Bの特性値YBが、YB=αB×XB1βB×XB2γBの関係が成り立ち、製造装置Bの特性値YBが、YB=αB×XB1βB×XB2γBの関係が成り立ちなお、α、β、γは各々定数、Yは特性値、Xは装置パラメータであり、添え字Bは製造装置B、添え字1はパラメータ1、添え字2はパラメータ2を示す、製造装置Bの特性値YBが、YB=αB×XB1βB×XB2γBの関係が成り立つとして、機差の関係は、YA=YBとなる様な各装置パラメータの関係を算出することで求められる。ここでパラメータ1とパラメータ2が互いに影響を与えない独立として、パラメータ1が製造装置Aと製造装置Bの特性値に与える影響はの関係は、αA×XA1γA=αB×XB1γBより、XA1=αB×XB1γB-γA/αAとなり、各定数を置き換えると製造装置Aと製造装置Bでのパラメータ1の機差の関係は、XA1=αC×XB1γCと求められる。他のパラメータも、同様に求めることができる。以上の算出方法は、製造装置が二つの場合で説明したが、製造装置が三台以上の場合は、それに応じて式の数とパラメータが増加するが、原理的には以上の説明を拡張することで実施することができる。また、以上の実施の形態では、装置が製造装置の場合で説明してきたが、測定装置や検査装置などの各種間接装置における運転状態管理方法であっても構わない。また、装置パラメータとしては、最終製品の望まれる設計値が寸法その他の値に対する装置毎のバラツキを示す特性値であっても構わないが、その設計値自体が得られないか、得ることが困難な場合や、むしろその方が好ましい場合は、その装置毎の機差の集合そのものを装置パラメータとして把握してもよく、実測値を装置パラメータとしなくとも、測定結果自体を装置パラメータとしてもよく、また、最終製品のパラメータではなくとも、製造装置の温度や回転数、電源電圧などの運転条件そのものを装置パラメータとしてもよく、さらに、それらを演算等で複合した値が管理目標として最も適切な場合は、それを装置パラメータとして用いてもよい。以上の説明は、装置パラメータが単一パラメータの場合で説明したが、ベクトル、テンソル、行列などの複数の値の複合体自体を装置パラメータとして用いることが管理上適切と思われる場合は、そのようなパラメータでもよい。