機械部品での周辺監視のためのセンサシステム100であって、少なくとも1つの容量性センサ素子10;10a;10b;10cを有しており、当該容量性センサ素子は機械の表面または機械部分の表面に取り付け可能であり、前記少なくとも1つのセンサ素子10;10a;10b;10cは、柔軟な層と導電性層と電気的絶縁性層とからなる層構造体14、15、16、17;17a~17c、18;18a~18c、19;19a~19c、20;20a~20cから形成されており、層の複数の導電性ポテンシャル面は、当該導電性ポテンシャル面間に電気力線1、2が形成されるように側方で間隔をあけて、当該導電性ポテンシャル面間に位置する絶縁層を介して配置されており、前記電気力線1、2は、身体または物体の接近および/または接触時に測定可能に変化する、センサシステム100において、センサ素子10;10a;10b;10cの前記層構造体は、相互に別個に動作する、少なくとも2つの測定素子21、22を有している、ことを特徴とするセンサシステム100。前記センサ素子10;10a;10b;10cは、前記少なくとも2つの測定素子21、22を別個に駆動制御および評価する手段50、60を含んでいる、請求項1記載のセンサシステム。前記手段50、60は、前記少なくとも2つの測定素子21、22を時間的に連続して駆動制御する、請求項2記載のセンサシステム。前記少なくとも2つの測定素子21、22の測定信号を評価する評価手段35、36が設けられており、当該評価手段35、36は前記機械または機械部分と少なくとも間接的に作用接続されており、かつ前記少なくとも2つの測定素子21、22の信号が所定の限界値内にある場合にのみ、前記機械または機械部分が動作するように、前記機械または機械部分を駆動制御する、請求項1から3までのいずれか1項記載のセンサシステム。前記少なくとも1つのセンサ素子10;10a;10b;10cは三角形または四角形の基準面を有しており、複数のセンサ素子10;10a;10b;10cが存在する場合には、当該複数のセンサ素子は相互に電気的かつ機械的に接触接続され、有利にはセンサ外被25を形成する、請求項1から4までのいずれか1項記載のセンサシステム。前記少なくとも2つの測定素子21、22は電気的に相互に分離されて構成されている、請求項1から5までのいずれか1項記載のセンサシステム。前記複数の測定素子21、22は共に、少なくとも1つの層の上に配置されており、かつ空間的に相互に分離されている、請求項1から6までのいずれか1項記載のセンサシステム。請求項1から7までのいずれか1項記載のセンサシステムの駆動制御および評価方法であって、複数のセンサ素子10;10a;10b;10cが存在する場合には、少なくとも1つの電子評価装置に手段50、60が設けられており、当該手段は周期的に前記センサ素子10;10a;10b;10cをアドレッシングし、かつ少なくとも1つのセンサ素子10;10a;10b;10cにおいて、基準値に対する重大な容量変化が起こったか否かを検査し、前記手段50、60は、センサ素子10;10a;10b;10cの前記少なくとも2つの測定素子21、22を、時間的に前後してアドレッシングする、ことを特徴とする、センサシステムの駆動制御および評価方法。第1のセンサ素子10;10a;10b;10cの1つの測定素子21、22と、別のセンサ素子10;10a;10b;10cの別の測定素子22、21とを前記手段50、60によって同時にアドレッシングする、請求項8記載の方法。線形に連結されて接続されている複数のセンサ素子10;10a;10b;10cをアドレッシングするために、センサ素子10;10a;10b;10cを起動させるための情報を前記連結に沿って複数のセンサ素子10;10a;10b;10cを介して転送することで、前記センサ素子10;10a;10b;10cのシーケンスを利用する、請求項8または9記載の方法。後の周期において、各センサ素子10;10a;10b;10cは自己診断を受け、この際に前記センサ素子10;10a;10b;10cに検査電圧または特徴的な信号パターンを加える、請求項10記載の方法。図において、同じ構成部分ないしは同じ機能を有する構成部分には、同じ参照符号が付与されている。図1および2には、センサ素子10が、後でより詳細に説明するセンサシステム100の構成部分として示されている。センサシステム100ないしはセンサ素子10はここで、機械部品、例えば産業用ロボット等の可動ロボットアームでの周辺監視のために用いられる。殊に図2から見て取れるように、センサ素子10は、相互に接続された複数の柔軟な層から成る層構造体を有している。この層構造体は例示的に、従って制限するものでなく、基本層11を含んでいる。この基本層は例えば約5mmの厚さのフォームラバーまたはゴムから成る。基本層11内には、2つの中抜き部分12、13が、図1、2に示されていない電子回路を収容するために、ないしは電子部品を収容するために形成されている。基本層11の下面は、例えば機械部品に接して配置されている。基本層11の上面には、相互に分離された、それぞれ三角形の2つの接地面14、15が配置されている。2つの接地面14、15は、例えば0.5mmの厚さを有する銅フリースから成る。2つの接地面14、15は、基本層11に対向する側で、絶縁層16によって覆われている。この絶縁層は例えば、1.5mmの厚さを有するフォームラバーから成る。絶縁層16の上面で、これは、全部で4つの、殊に銅から成る、導電性ポテンシャル面を形成している電極面17~20と接続されている。電極面17と19はそれぞれ角度を成して、2つの同じ長さの辺で形成されており、2つの別の電極面18と20はそれぞれ三角形に形成されている。さらに、2つの電極面17と19は送信電極として作用し、2つの電極面18と20は、受信電極として作用する。これに対して、2つの接地面14および15はシールド電極として作用する。重要なのはさらに、電極面17~20がそれぞれ相互に間隔を空けて配置されている、ということである。電極面17と18は、第1の測定素子21を形成し、2つの別の電極面19と20は、第2の測定素子22を形成する。殊に、図6と図7から見て取れるように、第1の測定素子21ないしは第2の測定素子22への電圧の印加時には、各電極面17と18の間、ないしは、19と20の間の電気力線1ないし2を有するそれぞれ1つの電界が形成される。換言すれば、これは次のことを意味する。すなわち、第1の測定素子21と第2の測定素子22とがそれぞれ1つの容量性センサを形成する、ということを意味する。この容量性センサの電気力線1ないしは2は、対象物または人間への接近時に、例えば30mm~60mmを下回る間隔から、変化し始める。電気力線1、2のこの変化は結果として、2つの測定素子21ないし22の容量変化を生起させる。この容量変化は、センサ素子10によって検出される。同時に存在する電気力線1、2によって生じるであろう、センサ素子10の2つの測定素子21、22の測定結果の双方向の影響を阻止するために、本発明では2つのセンサ素子21、22が時間的に相前後して駆動制御される。このことは図6および図7に示されており、図6では、例えば電気力線1を伴う第1の測定素子21が起動されており、別の測定素子22は起動されていない。これに対して図7では第2の測定素子22が起動されて、これによって電気力線2が形成され、第1の測定素子21は起動されていない。図1に示されているセンサ素子10は、平面図において、例えば約60mmのエッジ長を有する正方形の基準面を有している。図3および図4には、変形されたセンサ素子10aおよび10bが示されている。これらのセンサ素子は、それぞれ長方形の基準面を有している。ここでこのセンサ素子10aは、例えば40mmと60mmのエッジ長を有しており、センサ素子10bは30mmと60mmのエッジ長を有している。センサ素子10aおよび10bでは、電極面17a、17b、18a、18b、19a、19b並びに20a、20bはそれぞれ、長方形ないしはストリップ状に形成されており、交互に間隔を空けて、各センサ素子10a、10bの上面に配置されている。図5に示されているセンサ素子10cはこれとは異なり、平面図において、三角形の形を有している。ここで2つの短い辺のエッジ長は、例えばそれぞれ60mmである。電極面17cと19cはそれぞれストリップ状に形成されており、2つの別の電極面18cと20cはそれぞれ三角形の形を有している。図8には、センサ外被25の一部が示されている。このセンサ外被は、実施例においてはそれぞれ正方形に形成されている複数のセンサ素子10から成る。センサ素子10はここでは、自身の側面で、機械的に、例えば面ファスナーの形態でも、また、電気的に、例えば図示されていない差し込み接続の形態でも、相互に接続されている。ここで重要なのは、センサ素子10の電気的な接続時に、各第1の測定素子21並びに各第2の測定素子22が電気的に相互に接続されている、ということである。従って、接続は、センサ素子10の線形連結の形態で行われる。当然ながら、図8に示された実施例の変形において、ないしは実際に、センサ外被25を形成するために、異なった形状を有するセンサ素子10、10a、10b、10cが相互に機械的かつ電気的に接続されているのが通常である。このセンサ外被は、監視されるべき機械部分、例えば、産業用ロボットのアームの形に次のように合わせられている。すなわち、このセンサ外被25が例えばロボットアームを取り囲んで置かれるように合わせられている。このために同様に、センサ外被25によって監視されるべき機械部分とセンサ外被25が相互に接続されるようにされる。これは、例えば同様に、面ファスナー素子によって行われる。このような面ファスナー素子は、センサ外被の迅速な取り付け、ないしは機械部分からの剥離を可能にする。付加的に、センサ外被25は非導電性の、例えば繊維の保護層によって覆われ、湿気、汚れおよび他の物理的または化学的な外乱影響がセンサ外被25から遠ざけられる。電気力線1、2はここでこの保護層を突き抜ける。従ってセンサ機能は影響を受けない。センサシステム100は、これまで説明してきたセンサ素子10、10a、10bおよび10cの他に、センサ素子10、10a、10b、10cの2つの測定素子21、22を監視するために、2つの中央ユニット50、60を有している。これらを、以降でより詳細に説明する。さらにセンサシステム100は、センサシステム100のアプリケーションおよびメンテナンスのためのコンピューターソフトウェアと、センサシステム100を監視されるべき部品に固定するための附属品例えばケーブル、面ファスナーおよび取り付け材料とを含んでいる。監視されるべき構成部分、例えば産業用ロボットの一部は、図9に示されている制御部30を有している。これは少なくとも、産業用ロボットの場合には、ロボット制御部31と安全制御部32とを含んでいる。さらに、図9に基づいて、センサシステム100が、ロボット制御部31とも安全制御部32とも作用接続されていることが見て取れる。図9では、センサシステム100が、自身の2つの測定素子21および22を有する唯一のセンサ素子10の例に即して示されている。2つの測定素子21および22の各々に、それぞれ1つの入力段33、34が割り当てられていることが見て取れる。これらの入力段33、34はここでは殊に、中抜き部分12、13内に配置されている、センサ素子10の電子回路である。2つの入力段33、34は、評価段35、36と作用的に接続されている。これらの評価段は、中央ユニット50、60の構成部分である。2つの評価段35、36はそれぞれ1つのGo/NoGo出力側37を有している。これは、ロボット制御部31と接続されている。また、Err/NoErr出力側38は安全制御部32と作用的に接続されている。上述したように、各センサ素子10の2つの測定素子21および22は、時間的に前後して駆動制御される。ここでは、電極面17、18ないし19、20の容量が検出され、1つないしは複数の所定の限界値と比較される。容量の特定の変化速度の場合、または容量が事前に定められた境界値を下回るないしは上回る場合に、ここから、センサ素子10と対象物、例えば人との間の衝突の危険のある接近が推測される。この場合には、各測定素子21、22のGo/NoGo出力側37でNoGo信号が形成される。この信号は、ロボット制御部31に入力値として供給される。ロボット制御部31はこれに、例えば、操作ロボットの運動速度の低減または停止でもって応答する。センサ素子10の2つの測定素子21、22の1つにおいて相応の信号が形成されれば、事足りる。さらに、2つの測定素子21、22は、以降でより詳細に説明するように、周期的に繰り返される自己診断を受ける。その結果は、各測定素子21、22のErr/NoErr出力側38で出力される。第1の測定素子21または第2の測定素子22における自己診断内で、測定素子21、22のエラーが推測される場合には、相応の信号がErr/NoErr出力側38で形成され、安全回路32へ入力信号として供給される。安全制御部32はこれに応答する。これは例えば同様に、産業用ロボットの動作が停止される、ないしは制限されることによって行われる。従って、接近に関する、相互に独立した2つのチャネルの周辺検査並びに相応の自己診断が行われる。評価段35、36は、上述したように、各中央ユニット50ないしは60の構成部分である。次に図10では、任意の数のセンサ素子10が電気的に連結の形態で並びに機械的に相互に接続されているケースが示されている。殊に、各測定素子21ないしは22の各入力段33、34が相互に接続されていることも見て取れる。2つの中央ユニット50、60は、センサ素子10の各測定素子21、22に前後して周期的に問い合わせる。ここで有利には、各センサ素子10が特別なアドレスを有しているようにされており、このアドレスに基づいて各センサ素子10は、センサ外被25内の自身の位置に関して識別される。2つの中央ユニット50、60は接続部39を介して相互に次のように接続されるないしは同期される。すなわち、個々のセンサ素子10の問い合わせ、ないしはアドレッシングが中央ユニット50、60によって前後して行われるように、接続ないしは同期される。さらに、2つの中央ユニット50、60がそれぞれ同じ構成を有しており、電圧供給部40と、PCのオプションとしての接続のためのシリアルインタフェース41と、ロボット制御部31用のGo信号ないしはNoGo信号としての出力側42、43と、安全制御部32用のErr信号ないしはNoErr信号としての出力側44、45と、スピーカーのための接続端子47と、ロボット制御部31と接続されている入力側48を有していることが見て取れる。図11には、中央ユニット50、60によるセンサ素子10の可能な駆動制御の時間的な経過が示されている:殊に、例えば6つのセンサ素子10で、この1つの中央ユニット50は各第1の測定素子21を前後して、第1のセンサ素子10から開始して駆動制御することが見て取れる。これに相応して、第2の中央ユニット60は、第1の中央ユニット50が第1の測定素子10の第1の測定素子21を駆動制御する時点において、自身の第2の測定素子22での第4のセンサ素子10を駆動制御する。これに続いて、第5および第6のセンサ素子10、引き続き最初の3つのセンサ素子10が駆動制御される。換言すればこれは、同一の時点において、2つの中央ユニット50、60がそれぞれセンサ素子10を自身の各測定素子21ないしは2で駆動制御するが、同時に2つの測定素子21、22が、同一のセンサ素子10で、中央ユニットから駆動制御されることがないことを意味している。中央ユニット50、60による各センサ素子10のアドレッシングは、電子的に、シフトレジスターによって行われる。メインプログラムループの各周期の後、各センサ素子10は一度読み出され、マイクロコントローラーのRAM領域内に格納される。全てのセンサ素子10、接続ケーブルおよびマイクロコントローラーは周期的に自己診断を受け、これによって機能エラー時には、例えば産業用ロボットは確実にスイッチオフされる。中央ユニット50、60およびその接続ケーブルは通常は固定して、スイッチングボックス内に取り付けられるが、センサ素子10およびその接続ケーブルは、例えばロボットアームの運動および生じ得る衝突に晒される。各センサ素子10は、1秒間に複数回、完全に自己診断によって検査される。中断、アースに対するショート、動作電圧に対するショート、電気部品の故障並びにさらなるエラーが識別される。ここではエラーは、例えば、6つの診断基準に基づいて診断される。この診断基準は、例えばセンサ素子10への検査電圧の印加または特徴的な信号パターンに応じて形成される。ここでは、6つの診断基準のうちの1つが反応すれば、自己診断時に相応するエラー信号が形成される。ここまで記載してきたセンサシステム100ないしはセンサ素子10、10a、10b、10c並びに制御部での接続は、本発明の意図を逸脱することなく、多様に変更ないしは修正可能である。従って殊に、センサ素子10、10a、10b、10cが別の大きさまたは別の形状を有することが可能である。同様に、異なる形状の電極面配置が可能である。さらに、アナログの測定値ないしは信号伝達の代わりに、デジタル信号伝送を、センサ素子10、10a、10b、10cから、各中央ユニット50、60へと行うことができる。基本素子ないしは相互に接続されている個々のセンサ素子10、10a、10b、10cから成るセンサ外被25のモジュール構造の代わりに、モノリシックな製造方法が使用可能である。この製造方法によって、完全なセンサ外被25が1つの部分から製造される例えば射出成形による被覆によって、ケーブル製品としての製造。さらに、安全性を高めるために、センサシステム100の動作時に、各センサ素子10、10a、10b、10cは、相互に独立して動作する2つの測定素子21、22の代わりに、より多くの数の測定素子、例えば3つまたは4つの測定素子を有することができる。このシステムは異なる使用領域内で使用可能であり、これは例えば産業用ロボットまたはサービスロボット、モバイルプラットフォーム、車両殊に無人車両、医療技術または娯楽産業において使用可能である。安全機能の他に、センサシステム10は、他のまたは付加的な周辺監視機能を担うことができる。例えば、周囲とロボットのインターアクションまたはジェスチャー識別を行うことができる。これは制御部が制御データをセンサ素子10、10a、10b、10cの空間配置に関する情報と結び付け、解釈することによって行われる。センサデータの時間的な展開もさらに、有用な情報を提供することができる。1つの変化形態では、容量測定が行われる。これは送信動作および受信動作を、2つまたはそれよりも多くのセンサ素子10、10a、10b、10cに分配することによって行われる。測定フィールドの電気力線1、2はこの場合にはより大きい基礎間隔にわたって延在し、これによって、到達距離が拡大され、センサ素子10、10a、10b、10c間の生じ得る間隙が閉じられる。