検査基板にパターン光を提供する少なくとも一つの照明モジュールと、前記検査基板から反射されたパターン光を透過させる結像レンズと、前記結像レンズを透過したパターン光のうち一部を透過させ、残りを反射させる第1ビームスプリッタと、前記第1ビームスプリッタを透過したパターン光以下、透過光の印加を受けて撮像する第1カメラと、前記第1ビームスプリッタから反射されたパターン光以下、反射光の印加を受けて撮像する第2カメラと、を含むことを特徴とする基板検査装置。前記第1ビームスプリッタは、前記結像レンズから印加されるパターン光のうち一部を透過させ、残りを反射させる第1反射面を含むことを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。前記第1反射面は、前記結像レンズの基準面と所定の角度を成すことを特徴とする請求項2記載の基板検査装置。前記第1カメラ及び前記第2カメラは、前記検査基板の互いに異なる領域を撮像することを特徴とする請求項3記載の基板検査装置。前記第1カメラ及び前記第2カメラは、前記検査基板の互いに異なる方向に配置されたことを特徴とする請求項4記載の基板検査装置。前記第1反射面は、前記結像レンズから印加されるパターン光のうち50を透過させ、残り50を反射させることを特徴とする請求項2記載の基板検査装置。前記第1カメラの撮像素子の中心と結像レンズの中心とは、互いに擦れ違うように配置されたことを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。前記第1カメラの撮像素子の幅をiとし、前記第1カメラの撮像素子の中心と前記結像レンズの中心と間の水平距離をbとすると、i>2bの関係を満たすことを特徴とする請求項7記載の基板検査装置。前記第1カメラによって測定される第1領域と前記第2カメラによって測定される第2領域の少なくとも一部領域は互いに重畳されることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。前記第1カメラの撮像素子の中心と前記結像レンズの中心とは互いに擦れ違うように配置されたことを特徴とする請求項9記載の基板検査装置。前記第1ビームスプリッタと前記第1カメラとの間に配置され、前記透過光のうち一部を透過させて前記第1カメラに提供し、残りを反射させる第2ビームスプリッタと、前記第2ビームスプリッタから反射された光の印加を受けて撮像する第3カメラと、をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。前記第2ビームスプリッタは前記透過光のうち一部を透過させ、残りを反射させる第2反射面を含み、前記第2反射面は前記結像レンズの基準面と所定角度を成すことを特徴とする請求項11記載の基板検査装置。前記第1ビームスプリッタと前記反射光カメラとの間に配置され、前記反射光のうち一部を透過させ前記第2カメラに提供し、残りを反射させる第3ビームスプリッタと、前記第3ビームスプリッタから反射された光の印加を受けて撮像する第4カメラをさらに含むことを特徴とする請求項11記載の基板検査装置。前記第3ビームスプリッタは前記反射光のうち一部を透過させ、残りを反射させる第3反射面を含み、前記第3反射面は前記結像レンズの基準面と所定角度を成すことを特徴とする請求項13記載の基板検査装置。従って、本発明は前記のような問題点を解決しようとするものであって、その課題は、検査精密度の向上及びアリゴリズムの単純化を達成し、より広い領域を検査することのできる基板検査装置を提供することにある。また、複数個のカメラを適用した構造において検査装置の大きさを減少させることにある。本発明の一実施例による基板検査装置は、少なくとも一つの照明モジュール、結像レンズ、第1ビームスプリッタ、第1カメラ及び第2カメラを含む。前記照明モジュールは検査基板に光を提供し、前記結像レンズは前記検査基板から反射された光を透過させる。前記第1ビームスプリッタは前記結像レンズを透過した光のうち一部を透過させ残りを反射させる。前記第1カメラは前記第1ビームスプリッタを透過した光以下、透過光の印加を受けて撮像し、前記第2カメラは前記第1ビームスプリッタから反射された光以下、反射光の印加を受けて撮像する。前記第1ビームスプリッタは前記結像レンズから印加される光の一部を透過させ、残りを反射させる第1反射面を含んでいてもよい。この際、前記第1反射面は前記結像レンズの基準面と所定の角度を成してもよく、前記第1カメラ及び前記第2カメラは前記検査基板の互いに異なる領域を撮像することができる。この際、前記第1カメラ及び第2カメラは互いに異なる方向に配置してもよい。また、前記第1反射面は前記結像レンズから印加される光のうち約50を透過させ、残りの約50を反射させることができる。前記第1カメラの中心と前記結像レンズの中心とが互いに擦れ違うように配置してもよい。ここで、前記第1カメラの撮像素子の幅をiとし、前記第1カメラの撮像素子の中心と前記結像レンズの中心と間の水平距離をbとすると、i>2bの関係を満たすことができる。また、前記第1カメラによって測定される第1領域と前記第2カメラによって測定される第2領域の少なくとも一部領域は互いに重畳されてもよい。前記基板検査装置は第2ビームスプリッタ及び第3カメラをさらに含んでいてもよい。前記第2ビームスプリッタは前記第1ビームスプリッタと前記第1カメラとの間に配置され、前記透過光のうち一部を透過させ前記第1カメラに提供し、残りを反射させる。この際、前記第2ビームスプリッタは前記透過光のうち一部を透過させ、残りを反射させる第2反射面を含んでいてもよく、前記第2反射面は前記結像レンズの基準面と所定の角度を成すことができる。また、前記基板検査装置は第3ビームスプリッタ及び第4カメラをさらに含んでいてもよい。前記第3ビームスプリッタは前記第1ビームスプリッタと前記反射光カメラとの間に配置され、前記反射光のうち一部を透過させ前記第2カメラに提供し、残りを反射させる。前記第4カメラは前記第3ビームスプリッタから反射された光の印加を受け撮像する。この際、前記第3ビームスプリッタは前記反射光のうち一部を透過させ、残りを反射させる第3反射面を含み、前記第3反射面は前記結像レンズの基準面と所定の角度を成す。このような基板検査装置によると、第1ビームスプリッタが検査基板から反射された光を分けて2つのカメラにそれぞれ提供することにより、一つの結像レンズを用いて測定領域の拡張が可能である。その結果、従来のように結像レンズ間の光軸または倍率の差異、前記結像レンズと前記検査基板との間の距離の差異などによって前記検査基板の検査精密度が減少することを防止することができ、また、前記2つのカメラで撮像されたイメージを一つの統合イメージに合成するアリゴリズムが従来に比べて単純化される。また、複数個のカメラを適用することにおいて、カメラを互いに異なる方向に配置して検査装置の嵩を減少させることができる。本発明は多様な変更を加えることができ、多様な形態を有することできる。ここでは、特定の実施例を図面に例示し本文に詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の開示形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物乃至代替物を含むこととして理解されるべきである。第1、第2などの用語は多用な構成要素を説明するのに使用されることがあるが、前記構成要素は前記用語によって限定解釈されない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみとして使用される。例えば、本発明の権利範囲を外れることなく第1構成要素を第2構成要素ということができ、類似に第2構成要素も第1構成要素ということができる。本出願において使用した用語は単なる特定の実施例を説明するために使用されたもので、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は文脈上明白に示さない限り、複数の表現を含む。本出願において、含むまたは有するなどの用語は明細書に記載された特徴、数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを意味し、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加する可能性を予め排除しないこととして理解されるべきである。以下、図面を参照して本発明の好適な一実施例をより詳細に説明する。図1は本発明の第1実施例による基板検査装置を示す断面図であり、図2は図1の基板検査装置のうちビームスプリッタとカメラを概念的に示す断面図であり、図3は図1の基板検査装置のうち照明モジュールを拡大して示す図面である。図1、図2及び図3を参照すると、本実施例による基板検査装置はステージ図示せずに配置された検査基板10の表面の3次元形状を検査する検査装置として、少なくとも一つの照明モジュール100、結像レンズ200、第1ビームスプリッタ310、第1カメラ410、第2カメラ420及び制御システム図示せずを含む。前記照明モジュール100は照明ユニット110、格子ユニット120、透写レンズ130及び格子移送ユニット140を含んでいてもよい。前記照明ユニット110は照明源と少なくとも一つのレンズとで構成されて光を発生させ、前記格子ユニット120は前記照明ユニット110の下部に配置されて前記照明ユニット110から発生された光を、格子柄パターンを有する格子パターン光に変更させる。前記透写レンズ130は前記格子ユニット120の下部に配置され前記格子ユニット120から出射された前記格子パターン光を透過させる。前記格子移送ユニット140は前記格子ユニット120を事前に定められた画数分だけ一定ピッチずつ移動させる。前記照明モジュール100の個数は2個、3個、4個またはそれ以上であることができ、例えば、前記照明モジュール100の個数が4個である場合、正方形の各頂点に前記照明モジュール100が配置されてもよい。この際、前記検査基板10の中心は前記正方形の中心と実質的に一致することが望ましい。前記第1ビームスプリッタ310は前記結像レンズ200を透過した光のうち一部を透過させ、残りを反射させる。具体的に、前記第1ビームスプリッタ310は前記結像レンズ200から印加される光のうち一部を透過させ、残りを反射させる第1反射面312を含む。この際、前記第1反射面312は前記結像レンズ200の基準面210と所定の角度、例えば、約45°を成してもよい。また、前記第1反射面312は前記結像レンズ200から印加される光のうち約50を透過させ、残り約50を反射させることができる。一方、本実施例においては、前記結像レンズ200を透過した光を入射光Liとし、前記入射光Liのうち前記第1ビームスプリッタ310を透過した光を透過光L1とし、前記入射光Liのうち前記第1ビームスプリッタ310において反射した光を反射光L2とする。前記第1カメラ410は前記第1ビームスプリッタ310から出射された前記透過光L1の印加を受けることのできる位置に配置され、前記透過光L1を撮像することのできる第1撮像素子412を含む。また、前記第2カメラ420は前記第1ビームスプリッタ310から出射された前記反射光L2の印加を受けることのできる位置に配置され、前記反射光L2を撮像することのできる第2撮像素子422を含む。この際、前記第1カメラ410及び第2カメラ420は、一例として、CCDカメラ及びCMOSカメラのいずれか一つが適用される。前記第1カメラ410及び前記第2カメラ412は前記検査基板10の互いに異なる領域を撮像することができる。しかし、これとは異なり、前記第1カメラ410及び前記第2カメラ420は前記検査基板10の少なくとも一部を重畳して撮像することもできる。即ち、前記第1カメラ410によって測定される第1領域と前記第2カメラ420によって測定される第2領域の少なくとも一部領域は互いに重畳されてもよい。前記第1カメラ410及び第2カメラ420は互いに異なる方向に配置され、具体的に前記第1反射面312に沿って延びるように形成された仮想の第1対称面312aを基準として互いに対称である位置に配置されてもよい。例えば、前記入射光Liのうち前記第1ビームスプリッタ310を基準として一方側に位置する光は前記第1カメラ410の第1撮像素子412に印加されて撮像され、前記入射光Liのうち前記第1ビームスプリッタ310を基準として他方側に位置する光は第2カメラ420の第2撮像素子422に印加されて撮像される。即ち、第1撮像素子412は前記透過光L1のうち前記第1ビームスプリッタ310を基準として一方側に位置する光を撮像し、前記第2撮像素子422は前記反射光L2のうち前記第1ビームスプリッタ310を基準として他方側に位置する光を撮像する。その結果、本実施例による基板検査装置は前記第1撮像素子412及び前記第2撮像素子422を用いて前記入射光Liを全領域に渡って撮像することができる。前記制御システムは前記撮像モジュールから撮像されたイメージを用いて前記検査基板を検査する。例えば、前記制御システムは画像獲得部、モジュール制御部及び中央制御部をさらに含んでいてもよい。前記画像獲得部は前記第1カメラ410及び前記第2カメラ420と電気的に接続され、前記第1カメラ410及び前記第2カメラ420から前記検査基板10のパターン画像を獲得して記憶する。前記モジュール制御部は前記検査基板10を支えるステージ、前記第1カメラ410、前記第2カメラ420及び前記照明モジュール100などと電気的に連結されて制御し、例えば、前記照明ユニットを制御する照明コントローラ、前記格子移送ユニットを制御する格子コントローラ及び前記ステージを制御するステージコントローラを含んでいてもよい。前記中央制御部は前記画像獲得部及び前記モジュール制御部と電気的に連結されてそれぞれを制御し、例えば、イメージ処理ボード、制御ボード及びインターフェースボードを含んでいてもよい。また、図3を参照すると、複数個の照明モジュール100のうちいずれか一つの照明部から出射された格子パターン光が前記検査基板10に照射されるとき、前記検査基板10上には格子柄パターンイメージが形成される。この際、前記格子柄パターンイメージは複数個の格子柄を含んでいるが、本実施例において前記格子柄の間の間隔は前記格子パターン光の種類と関係なしに同一の値を有することができるが、これとは異なり、前記格子パターン光の種類によって互いに異なる値を有することもできる。前記検査基板10から反射された前記格子パターン光は前記第1及び第2カメラによって複数のパターン画像を形成する。具体的には、前記格子パターン光のそれぞれはN回、例えば、3回または4回横に移動しながら前記検査基板10に照射されることで、前記各方向毎に前記検査基板10に対するN個のパターン画像が形成される。続いて、前記制御システムは各方向のパターン画像からX-Y座標系の各位置においてのN個の明るさを抽出した後、前記各方向においての位相、平均明るさ、及び可視度などを求める。この際、前記各方向においての位相、平均明るさ及び可視度はN-バケットアルゴリズムを用いて計算されてもよい。図4は図1の検査装置のうち検査基板、結像レンズ及び第1カメラ間の関係を説明するための図面である。ここで、前記第1ビームスプリッタ310は図4において省略されている。図4を参照すると、前記第1カメラ410の中心、即ち、前記第1撮像素子412の中心と前記結像レンズ200の中心とが互いに擦れ違うように配置され、前記検査基板10の中心と前記結像レンズ200の中心も互いに擦れ違うように配置されてもよい。例えば、前記第1撮影素子412の中心及び前記検査基板10の中心は前記結像レンズ200の中心を基準として両側に配置されてもよい。前記検査基板10と前記結像レンズ200の基準面210と間の垂直距離を第1離隔距離S1とし、前記結像レンズ200の基準面210と前記第1撮像素子412と間の垂直距離を第2離隔距離S2と定義するとき、1S11S2=1Fただし、Fは結像レンズ200の焦点距離であるを有する。また、前記結像レンズ200の中心と前記検査基板10の中心と間の水平距離をaとし、前記結像レンズ200の中心と前記第1撮像素子412の中心と間の水平距離をbとし、前記検査基板10の中心と前記第1撮像素子412の中心とを接続する線と前記結像レンズ200の中心間の角度をθとすると、a=S1tanθ、b=S2tanθの関係を有する。本実施例において、前記第1撮像素子412の幅、即ち、前記第1撮像素子412が撮像可能な幅をiとし、前記第1撮像素子412の中心と前記結像レンズ200の中心と間の水平距離をbとすると、i≧2bである関係を満たすことができる。即ち、前記結像レンズ200一つと複数個のカメラを用いて前記検査基板10を各領域別に測定するとき、前記検査基板10の全体領域を測定するためには前記結像レンズ200と複数個のカメラはi≧2bである関係を満たさなければならない。ここで、図3のように前記第1撮像素子412が前記結像レンズ200の中心と重畳されるとき、i≧2bである関係を満たすことができ、その結果、前記カメラの撮像素子のそれぞれが撮像できる領域は少なくとも一部が互いに重畳されて前記検査基板10の全体領域を測定することができる。一方、前記検査基板10、前記結像レンズ200及び前記第2カメラ420の間の関係は説明できないが、前記第2カメラ420が第1ビームスプリッタから光の印加を受けることのみ除けば、前記検査基板10、前記結像レンズ200及び前記第1カメラ410の間の関係と実質的に同一である。このように本実施例によると、前記第1ビームスプリッタ310が前記検査基板10から反射された光を分けて前記第1カメラ410及び前記第2カメラ420にそれぞれ提供することにより、前記結像レンズ200一つでも前記検査基板10の前記領域の撮像が可能である。その結果、従来のように複数個の結像レンズ間の光軸または倍率の差異、前記結像レンズと前記検査基板10との間の距離の差異などによって前記検査基板10の検査精密度が減少することを防止することができる。また、前記第1カメラ410及び前記第2カメラ420で撮像されたイメージを一つの統合イメージに合成するアリゴリズムも従来に比べて単純化できる。また、本実施例においては複数のカメラを適用することにおいて前記カメラを互いに異なる方向に配置することによって、基板検査装置の嵩をより減少させることができる。図5は本発明の第2実施例による基板検査装置を示す断面図であり、図6は図5の基板検査装置のうちビームスプリッタとカメラを概念的に示す断面図である。図5及び図6を参照すると、本実施例による基板検査装置は少なくとも一つの照明モジュール100、結像レンズ200、第1ビームスプリッタ310、第2ビームスプリッタ320、第3ビームスプリッタ330、第1カメラ410、第2カメラ420、第3カメラ430、第4カメラ440及び制御システム図示せずを含む。ここで、前記照明モジュール100、前記結像レンズ200、前記第1ビームスプリッタ310、前記第1カメラ410、前記第2カメラ420及び前記制御システムは図1及び図2を通じて説明した第1実施例においての各構成要素と同一の参照符号を付与し、これに対する詳細な説明は省略する。前記第2ビームスプリッタ320は前記第1ビームスプリッタ310と前記第1カメラ410との間に配置され、前記透過光L1のうち一部を透過させ前記第1カメラ410に提供し、残りを反射させる。即ち、前記第2ビームスプリッタ320は前記透過光L1のうち一部を透過させ残りを反射させる第2反射面322を含む。第2反射面322は前記結像レンズ200の基準面210と所定の角度、例えば、約45°を成すことができる。また、前記第2反射面322は前記透過光Lのうち約50を透過させ、残り約50を反射させることができる。一方、本実施例においては前記透過光L1のうち前記第2ビームスプリッタ320を透過した光を透過-透過光L3とし、前記透過光L1のうち前記第2ビームスプリッタ320から反射された光を透過-反射光L4と定義する。前記第3カメラ430は前記第2ビームスプリッタ320から出射された前記透過-反射光L4の印加を受けることのできる位置に配置され、前記透過-反射光L4を撮像することのできる第3撮像素子432を含む。前記第1カメラ410及び前記第3カメラ430は前記第2反射面322に沿って延びるように形成された仮想の第2対称面322aを基準として互いに対称である位置に配置されてもよい。本実施例において、図1及び図2においての第1ビームスプリッタ310、第1カメラ410及び第2カメラ420間の関係は図3及び図4において第2ビームスプリッタ320、第1カメラ410及び第3カメラ430間の関係と実質的に同一であり、図1及び図2においての入射光Li、透過光及び反射光L2間の関係は図3及び図4においての透過光L1、透過-透過光L3及び透過-反射光L4間の関係と実質的に同一である。従って、図3及び図4においての第2ビームスプリッタ320、第1カメラ410及び第3カメラ430間の関係と、図3及び図4においての透過光L1、透過-透過光L3及び透過-反射光L4間の関係に対する説明は省略する。前記第3ビームスプリッタ330は前記第1ビームスプリッタ310と前記第2カメラ420との間に配置され、前記反射光L2のうち一部を透過させ前記第2カメラ420に提供し、残りを反射させる。即ち、前記第3ビームスプリッタ330は前記反射光L2のうち一部を透過させ残りを反射させる第3反射面332を含む。前記第3反射面332は前記結像レンズ200の基準面210と所定の角度、例えば、45°を成すことができる。また、前記第3反射面332は前記反射光L2のうち約50を透過させ、残り約50を反射させることができる。一方、本実施例においては前記反射光L2のうち前記第3ビームスプリッタ330を透過した光を反射-透過光L5とし、前記反射光L2のうち前記第3ビームスプリッタ300から反射された光を反射-反射光L6とする。前記第4カメラ440は前記第3ビームスプリッタ330から出射された前記反射-反射光L6の印加を受けることのできる位置に配置され、前記反射-反射光L6を撮像することのできる第4撮像素子442を含む。前記第2カメラ420及び前記第4カメラ440は前記第3反射面332に沿って延長されて形成された仮象の第3対称面322aを基準として互いに対称である位置に配置されてもよい。本実施例において、図1及び図2においての第1ビームスプリッタ310、第1カメラ410及び第2カメラ420間の関係は図3及び図4において第3ビームスプリッタ330、第2カメラ420及び第4カメラ440間の関係と実質的に同一であり、図1及び図2においての入射光Li、透過光L1及び反射光L2間の関係は図3及び図4においての透過光L2、反射-透過光L5及び反射-反射光L6間の関係と実質的に同一である。従って、図3及び図4においての第3ビームスプリッタ330、第2カメラ420及び第4カメラ440間の関係と、図3及び図4においての透過光L2、反射-透過光L5及び反射-反射光L6間の関係に対する説明は省略する。一方、本実施例において、前記基板検査装置は3個のビームスプリッタ310、320、330と4個のカメラ410、420、430、440を含むこととして説明したが、ビームスプリッタの個数とカメラの個数は場合によって変更可能である。即ち、いずれか一つのビームスプリッタといずれか一つのカメラとの間に他のビームスプリッタをさらに配置し、前記他のビームスプリッタから反射される光を撮像するための他のカメラをさらに配置させる場合、前記ビームスプリッタの個数と前記カメラの個数はさらに増加することができる。このように本実施例によると、前記ビームスプリッタの個数を増加させ前記結像レンズ200を透過した光の分割経路を多様化させることによって、前記結像レンズ200一つで撮像することのできる撮像可能領域がより増加される。以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。