多孔質体の一端面から対向する他端面に貫通するとともに、内壁に分離機能を有する分離膜が形成され、被分離流体が前記一端面側から導入され、前記他端面側に排出される複数の第1流路と、該第1流路が開口する前記多孔質体の前記一端面に開口部を有し、前記被分離流体中の前記分離膜を透過した分離成分が排出される複数の第2流路と、を備え、前記第1流路と前記第2流路とが、交互に積み重なるように配置されていることを特徴とする分離膜付き多孔質体。前記多孔質体の前記一端面または前記他端面に沿う断面における、前記第1流路の断面積が、前記一端面側よりも前記他端面側の方が小さいことを特徴とする請求項1に記載の分離膜付き多孔質体。前記第1流路と前記第2流路を隔てる前記多孔質体の厚さが、前記他端面側よりも前記一端面側の方が小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の分離膜付き多孔質体。前記多孔質体の前記一端面または前記他端面に沿う断面における、前記第1流路の断面積が、段階的または連続的に変化していることを特徴とする請求項2または3に記載の分離膜付き多孔質体。前記多孔質体において、前記第1流路および前記第2流路のいずれも開口していない面が、気体非透過性の材料で被覆されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の分離膜付き多孔質体。請求項1乃至5のいずれかに記載の分離膜付き多孔質体と、前記第1流路に前記被分離流体を導入するための流体導入口と、前記第1流路を通過した前記被分離流体を分離膜付き多孔質体外部に排出するための流体排出口と、前記被分離流体中の前記分離膜を透過した分離成分を前記第2流路から排出するための分離成分排出口と、を備えることを特徴とする流体分離モジュール。前記分離成分排出口が、減圧装置に接続されていることを特徴とする請求項6に記載の流体分離モジュール前記多孔質体の前記第1流路および前記第2流路のいずれも開口していない面に接するように、加熱機構を備えることを特徴とする請求項6または7に記載の流体分離モジュール。しかしながら、特に浸透気化分離に使用される分離膜の場合、多孔質体の細孔内部から分離成分が気化して排出される際に、分離成分の気化潜熱により多孔質体の温度が低下し、気化した分離成分が多孔質体表面に再凝縮して分離成分の排出が阻害され、分離成分の透過速度が低下する場合がある。特に、被分離流体の流路の上流部では分離成分の濃度が高く、温度低下と再凝縮が起こりやすいという問題があった。本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、分離成分の再凝縮が起こり難く、分離膜付き多孔質体全体として分離効率の高い分離膜付き多孔質体および流体分離モジュールを提供することを目的とする。本発明の分離膜付き多孔質体は、多孔質体の一端面から対向する他端面に貫通するとともに、内壁に分離機能を有する分離膜が形成され、被分離流体が前記一端面側から導入され、前記他端面側に排出される複数の第1流路と、該第1流路が開口する前記多孔質体の前記一端面に開口部を有し、前記被分離流体中の前記分離膜を透過した分離成分が排出される複数の第2流路と、を備え、前記第1流路と前記第2流路とが、交互に積み重なるように配置されていることを特徴とする。本発明の流体分離モジュールは、上記の分離膜付き多孔質体と、前記第1流路に前記被分離流体を導入するための流体導入口と、前記第1流路を通過した前記被分離流体を外部に排出するための流体排出口と、前記被分離流体中の前記分離膜を透過した分離成分を前記第2流路から排出するための分離成分排出口と、を備えることを特徴とする。本発明によれば、分離成分の濃度が高く、温度低下と再凝縮が起こりやすい被分離流体の流路の上流側から分離成分を排出することにより、被分離流体の流路の上流側における分離成分の濃度低下を促進し、再凝縮が起こり難く、分離膜付き多孔質体全体として分離効率の高い分離膜付き多孔質体および流体分離モジュールを提供することができる。本発明の分離膜付き多孔質体の一例について、図1および図2を基に説明する。分離膜付き多孔質体1は、例えば四角柱状の多孔質体11に、一端面14から対向する他端面15に貫通する複数の第1流路12と、一端面14のみに開口した複数の第2流路13を備え、これら複数の第1流路12と第2流路13とが、交互に積み重なるように配置されている。第1流路12の内壁には、分離機能を有する例えば炭素膜等の分離膜図示せずが形成されている。第2流路13の、多孔質体1の他端面15側は、例えばガラスで閉じられている。このような分離膜付き多孔質体1に、第1流路の一端面14側から被分離流体を導入する流体導入口と、第1流路を通過した被分離流体を他端面15側から外部に排出するための流体排出口と、被分離流体中の分離膜を透過した分離成分を第2流路の一端面14側の開口部から排出するための分離成分排出口とを組み合わせることにより、流体分離モジュールとなる。なお、第2流路13の多孔質体1の一端面14側の開口部は、例えば凝縮装置を備えた真空ポンプ等の減圧装置に接続することが好ましい。図2cにおいて、矢印実線は被分離流体の流れを、矢印破線は分離成分の流れを示している。被分離流体は、多孔質体11の一端面14側から第1流路12に導入され、被分離流体が第1流路内を通過する際に、被分離流体中に含まれる分離成分が第1流路12の内壁に形成された分離膜を透過して分離されることにより被分離流体が濃縮される。第1流路12内を通過して濃縮された被分離流体は、多孔質体11の他端面15側から排出される。第1流路内壁に形成された分離膜を透過した分離成分は、さらに多孔質体11の細孔内を移動して、減圧装置に接続され減圧状態となっている第2流路13の内部に排出されたのち、多孔質体11の一端面14側に開口した第2流路13の開口部から分離膜付き多孔質体1の外部に排出され、例えば凝縮装置等により捕集される。このように、被分離流体が通過する第1流路12の上流側に、分離成分が排出される第2流路13の開口部を配置して分離成分を排出することにより、分離成分の濃度が高く温度低下と再凝縮が起こりやすい第1流路の上流側に位置する第2流路内部において、分離成分の濃度低下を促進し、再凝縮の発生を抑制することができる。また、図3に示すように、多孔質体11の一端面14および他端面15に平行な、もしくはそれに沿う断面において、第1流路12の断面積が、一端面14側よりも他端面15側の方が小さいことが好ましい。第1流路12を通過する被分離流体は、第1流路12の上流側から下流側に向けて分離成分の濃度が薄くなり、分離成分が透過しにくくなるが、下流側の断面積を小さくすることにより、分離成分と第1流路12の内壁に形成された分離膜との接触の機会を増やし、分離成分の透過を促進することができる。第1流路12の断面積の変化は、一端面14側から他端面15側にかけて連続的であっても段階的であってもよいが、被分離流体に乱流を発生させ分離膜との接触機会が増えるという点から、段階的に変化していることが好ましい。第1流路12の断面積は、たとえば隣接する第1流路12と第2流路13とを隔てる多孔質体11の厚さや、第1流路12の内壁に設ける分離膜の厚さ、もしくは多孔質体11と分離膜との間に中間層を設け、その中間層の厚さを調整することにより調整できる。また、多孔質体11や分離膜、中間層の厚みは変えずに、隣接する第2流路13の断面積を調整してもよい。第1流路12と第2流路13とを隔てる多孔質体11の厚さは、多孔質体11の一端面14側から他端面15側にかけて同じ厚さであってもよいが、他端面15側よりも一端面14側の方が小さいことが好ましい。これにより、分離成分の濃度が高い被分離流体の上流側において、分離成分が多孔質体11の細孔内部を通過する距離を短くすることができ、被分離流体の透過速度を向上することができる。また、例えば気化浸透法等により、凝縮しやすい分離成分を分離する場合などは、第2流路13内部で分離成分が再凝縮して第2流路13の内壁である多孔質体11の表面に付着してしまい、分離成分が透過しにくくなるが、図4に示すように、多孔質体11の一端面14および他端面15に平行な、もしくはそれに沿う断面において、第2流路13の断面積を、たとえばガラス等で閉じられた他端面15側から、一端面14側の減圧装置に接続された開口部に向けて大きくすることにより、減圧装置の圧損を第2流路13内部全体にわたって低減し、分離成分を速やかに排出して第2流路13内部の分離成分の濃度低下を促進することで、さらに第2流路13内部における分離成分の再凝縮の発生を抑制することができる。また、多孔質体11の第1流路および第2流路のいずれも開口していない外周表面以下、単に外周表面ともいうは、不純物の混入を防ぐために被覆されていることが好ましく、例えば被覆する材料はガラス層等の気体非透過性を有することが好ましい。なお、分離膜付き多孔質体1が容器内に収納され、第2流路13の開口部に接続される減圧装置が、多孔質体11の外周表面が接する容器内の空間にも接続されている場合には、多孔質体11の外周表面からも分離成分を排出可能なため、ガラス層等の被覆は不要である。多孔質体11の第1流路12および第2流路13のいずれも開口していない外周表面には、さらに、多孔質体の外周表面に接するように、例えばバンド型ヒーター等の加熱装置を配置することが好ましい。これにより、分離膜付き多孔質体全体を容易に加熱することができ、再凝縮を完全に防止することができる。なお、この場合、多孔質体の外周表面が気体非透過性を有する材料で被覆されていることがより好ましい。なお、本発明においては、分離膜付き多孔質体1の形状は、四角柱状に限るものではなく、例えば円柱状や、楕円柱状、三角柱等の多角柱状でもかまわない。図5は、分離膜付き多孔質体1の形状を円柱状とした場合の斜視図である。また、第1流路12と第2流路13の寸法は特に規定するものではなく、多孔質体11の大きさや強度等を考慮して決めれば良い。本発明の分離膜付き多孔質体の製造方法について、その一例を説明する。まず、第1流路12や第2流路13となる貫通孔が設けられた多孔質体11を準備する。多孔質体11の形状や、貫通孔の大きさや配置等については、たとえば押出成形で成形するのであれば金型等を適宜設計して所望の成形体を作製してもよいし、成形体や仮焼体、焼成体に加工を施してもよい。なお、一端面14または他端面15に沿う面における断面積が、一端面14側と他端面15側とで異なる第1流路12もしくは第2流路13を形成するためには、断面積がそれぞれの流路の最小の断面積より小さい貫通孔を有する成形体を押出成形で成形し、この成形体、或いはこの成形体を焼成した多孔質体11の貫通孔を機械加工して、所望の断面積を有する第1流路12もしくは第2流路13となる貫通孔を形成すればよい。多孔質体11の材料としては、アルミナ、ムライト、コージェライト、ジルコニア、マグネシア、炭化珪素、窒化珪素などのセラミックスを好適に用いることができる。多孔質体11を構成するセラミック粒子の平均粒径は1~100μm、好ましくは1~30μmの範囲であり、平均細孔径は0.1~30μm、好ましくは0.1~10μmの範囲であることが好ましい。次に、第2流路13となる貫通孔の開口部のうち、他端面15側を、例えばガラスで封止する。第1流路12となる貫通孔の内壁には、必要に応じ、多孔質体11よりも平均粒径が小さいセラミック粒子で構成される中間層を設けてもよい。中間層の材料としては、アルミナ、ムライト、コージェライト、ジルコニア、マグネシア、炭化珪素、窒化珪素などのセラミックスを好適に用いることができる。中間層は、たとえば平均粒径0.01~10μm、好ましくは0.02~1μmのセラミック粒子からなる原料粉末を適宜秤量し、例えば親水性の分散剤を用いて水に分散させ、例えばディップコート法浸漬塗布法などの塗布手段を用いて多孔質体11の第1流路12となる貫通孔の内壁に塗布し、乾燥した後、熱処理することで形成できる。このとき、形成された中間層を構成するセラミック粒子はネックにより部分的に結合していればよく、その粒径は原料粉末の粒径にほぼ等しい。中間層の厚さは、例えば浸漬時間や浸漬回数により調整可能であり、例えば5~1000μmの範囲とすることができる。また、中間層の平均細孔径は0.01~3μm、好ましくは0.1~0.5μmの範囲で適宜選択すればよい。中間層の厚さは、多孔質体11の第1流路12となる貫通孔の内壁に存在する凹凸を中間層で覆うことができる厚さであればよい。その上に形成される分離膜の内壁にピンホール等の表面欠陥が残留するのを防ぎ、かつ透過速度を大きくするという点から、中間層の厚みは、多孔質体11の第1流路12となる貫通孔の内壁を構成するセラミック粒子の平均粒径の1~50倍が好ましく、更には2~20倍がより好ましい。なお、中間層の厚さ、多孔質体11および中間層の平均粒径は、多孔質体11および中間層の走査型電子顕微鏡SEMによる断面写真から求めることができ、平均粒径は、たとえばインターセプト法により算出できる。また、多孔質体11および中間層の平均細孔径は、水銀圧入法で求めることができる。多孔質体11の第1流路12となる貫通孔の内壁もしくはそこに形成された中間層上に、炭素膜等の分離膜を形成することで、分離膜付き多孔質体1を得ることができる。分離膜の形成方法は、たとえば炭素膜を分離膜として形成する場合であれば、まず、炭素膜の前駆体として芳香族ポリイミド、ポリプロピレン、ポリフリルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、フェノール樹脂等を溶媒に溶かして炭素膜の前駆体溶液以下、単に前駆体溶液という場合もあるを作製する。作製した前駆体溶液を用いて、ディップコート等により多孔質体11の第1流路12となる貫通孔の内壁もしくはそこに形成された中間層上に炭素膜前駆体被膜を形成し、乾燥した後、窒素雰囲気等の非酸化性雰囲気または真空下で、550~1000°Cの温度で熱処理することで、炭素膜が形成され、分離膜付き多孔質体1が得られる。なお、炭素膜前駆体被膜を形成する際、多孔質体11の細孔内への前駆体溶液の侵入を防止するため、多孔質体11の細孔内に1kPa程度の圧力でヘリウムガスを供給して細孔内を加圧しながら行ってもよい。また、炭素膜前駆体被膜の形成と乾燥とを複数回繰り返した後に、熱処理をおこなっても構わない。分離膜の厚さは、ピンホール等の欠陥の発生を抑制し、透過速度を大きくするという点から、0.01~5μmが好ましく、特には0.1~3μmが好ましい。さらに、この分離膜付き多孔質体1の第1流路12および第2流路13のいずれも開口していない外周表面を封止する場合には、たとえば周知のガラス粉末をスラリー化するなどして塗布し、熱処理してガラス層を形成するなどの処理を行えばよい。なお、第1流路12および第2流路13となる貫通孔が形成された多孔質体11を用いる代わりに、一方の主面に分離膜を設けた多孔質板を複数、分離膜を形成した主面同士または主面と反対側の面同士が対向するように、所定の間隔をおいて積み重ねて多孔質板の集合体とし、その集合体の積層方向に沿う側面と、第2流路13となる多孔質板の主面と反対側の面同士が対向する空間の他端面15側とを、気体不透過性の材料で封止することにより、分離膜付き多孔質体1を構成することもできる。