各々の場合に少なくとも1つのSi-Si直接結合を有する純粋な化合物または化合物の混合物としての中鎖長ポリシランであって、その置換基がハロゲンおよび/または水素からなり、その組成は置換基:ケイ素の原子比が少なくとも1:1である中鎖長ポリシランにおいて、a前記中鎖長は、3より大きく50未満、好ましくは3より大きく9未満、より好ましくは3より大きく7未満であり、b前記ポリシランは、適切な不活性溶媒に可溶であり、c前記ポリシランは、ケイ素の堆積のための出発原料として適切であり、d前記ポリシランは、酸素結合特性および塩素結合特性を有し、e前記ポリシランは、熱処理によってより長鎖の生成物およびより短鎖の生成物に分解することを特徴とする中鎖長ポリシラン。IR分子振動スペクトルにおいて波数2400未満の範囲に唯一のバンドを有することを特徴とする、請求項1に記載の中鎖長ポリシラン。ラマン分子振動スペクトルにおいて波数2300未満の範囲に唯一のバンドを有することを特徴とする、請求項1または2に記載の中鎖長ポリシラン。a前記ハロゲンはフッ素であり、b29SiのNMRスペクトルにおいて、8ppm~-40ppmおよび/または-45ppm~-115ppmの化学シフト範囲内にその顕著な生成物信号を有し、c10cm-1~165cm-1、170cm-1~240cm-1、245cm-1~360cm-1、380cm-1~460cm-1、および480cm-1~650cm-1ならびに900cm-1~980cm-1の範囲内に典型的なラマン強度を有することを特徴とする、請求項1~3のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。a前記ハロゲンは塩素であり、b29SiのNMRスペクトルにおいて、15ppm~-10ppm、-25ppm~-40ppmおよび/または-65ppm~-96ppmの化学シフト範囲内にその顕著な生成物信号を有し、c10cm-1~165cm-1、170cm-1~240cm-1、245cm-1~360cm-1、380cm-1~460cm-1、および480cm-1~650cm-1の範囲内に典型的なラマン強度を有することを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。a前記ハロゲンは臭素であり、b29SiのNMRスペクトルにおいて、-10ppm~-42ppm、-46ppm~-55ppmおよび/または-63ppm~-96ppmの化学シフト範囲内にその顕著な生成物信号を有し、c10cm-1~150cm-1、155cm-1~350cm-1、390cm-1~600cm-1、および930cm-1~1000cm-1の範囲内に典型的なラマン強度を有することを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。a前記ハロゲンはヨウ素であり、b29SiのNMRスペクトルにおいて、-20ppm~-55ppm、-65ppm~-105ppmおよび/または-135ppm~-181ppmの化学シフト範囲内にその顕著な生成物信号を有し、c10cm-1~150cm-1、155cm-1~600cm-1、および930cm-1~1000cm-1の範囲内に典型的なラマン強度を有することを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。a前記置換基は水素からなり、b29SiのNMRスペクトルにおいて、-65ppm~-170ppmの化学シフト範囲内にその顕著な生成物信号を有し、cラマン分子振動スペクトルにおいて、波数2000~2200の範囲内に特徴的なバンドを有し、波数2000~1100の範囲内にバンドを有しないことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。短い分枝鎖および環を実質的に含まず、全生成物の混合物を基準とした前記短鎖成分における分枝部位の含量が2未満であることを特徴とする、請求項1から8のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。短い分枝鎖および環の含量が高く、全生成物の混合物を基準とした前記短鎖成分における分枝部位の含量が2より多く、好ましくは10より多いことを特徴とする、請求項1から8のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。複数の異なったハロゲンからなるハロゲン置換基を含むことを特徴とする、請求項1から10のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。前記置換基は、ハロゲンのみからまたはハロゲンおよび水素のみからなることを特徴とする、請求項1から11のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。直鎖状の長鎖を主に含むことを特徴とする、請求項1から12のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。前記ポリシランの基本構造の平均サイズがn=8~20であることを特徴とする、請求項1から13のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。短鎖ポリシランを蒸留によって除去した後の前記ポリシランの基本構造の平均サイズがn=15~30であることを特徴とする、請求項1から14のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。粘性ないし固体であることを特徴とする、請求項1から15のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。塩素化ポリシランとして存在する場合、緑黄色ないし強い橙色または赤褐色であり、臭素化ポリシランもしくは水素化ポリシランとして存在する場合、無色ないし黄色であることを特徴とする、請求項1から16のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。適切な不活性溶媒に完全に溶解することを特徴とする、請求項1から17のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。水素含量が2atom未満であることを特徴とする、請求項1から18のいずれかに記載の中鎖長ポリシラン。請求項1から19のいずれかに記載の中鎖長ポリシランSinX2n2およびSinX2n式中、nは3より大きく50未満、好ましくは3より大きく9未満、より好ましくは3より大きく7未満であり、X=F、Cl、Br、Iおよび/またはHであるを調製する方法であって、aハロシランのプラズマ支援合成ステップ、bハロゲンが臭素であるハロシランのプラズマ支援合成ステップ、cH-シランおよび/またはH-オリゴシランのプラズマ支援合成ステップ、d特に好ましくはハロゲン化ジシランおよびハロゲン化トリシランを使用する、ハロゲン化オリゴシランのプラズマ支援合成ステップ、e有機基で置換されたシランおよび/またはオリゴシランをも含む混合物のプラズマ支援合成ステップ、fHClおよび/またはHBrを用いてポリシランを分割するためのハロゲン化水素処理ステップ、gジシランおよび/またはトリシランと有機ホスホニウム塩および/または有機アンモニウム塩との触媒カップリングステップ、h低級ハロシランとアルカリ金属および/またはマグネシウムとのウルツカップリングステップ、iシクロシランSinX2nの開環重合ステップ、j脱ハロゲン化水素によるカップリングステップ、k部分水素化シランと遷移金属錯体との脱水素カップリングステップ、l中鎖長ポリシランの水素化ステップ、mポリシランの熱分解ステップ、n触媒物質上の熱分解的鎖延長ステップ、oケイ素とSiX4との熱反応ステップの合成ステップの1つまたは複数を含むことを特徴とする方法。前記中鎖長ポリシランの水素化において金属水素化物またはメタロイド水素化物を用いることを特徴とする、請求項20に記載の方法。前記プラズマ支援合成ステップの場合、ハロシラン:水素の混合比を1:0~1:2とすることを特徴とする、請求項20に記載の方法。前記プラズマ支援合成ステップの間、圧力範囲を0.8~10hPaとすることを特徴とする、請求項20に記載の方法。前記熱分解ステップの間、圧力範囲を10~1013hPaとすることを特徴とする、請求項20に記載の方法。前記ハロゲン化水素処理ステップの間、圧力範囲を1bar~43barとすることを特徴とする、請求項20に記載の方法。前記反応が起こる反応器のパーツが、-70°C~500°C、特に-20°C~280°Cの温度に保たれることを特徴とする、請求項20に記載の方法。PCSの前記プラズマ支援合成ステップに引き続いて熱分解処理を行なうことを特徴とする、請求項20に記載の方法。PCSの前記プラズマ支援合成ステップに引き続いて塩素化を行なうことを特徴とする、請求項20に記載の方法。本発明の目的は、そのようなポリシランの特に効率的な調製法を達成するために、各々の場合に少なくとも1つのSi-Si直接結合を有する純粋な化合物または化合物の混合物としての中鎖長ポリシランであって、その置換基がハロゲンおよび/または水素のみからなり、その組成は置換基:ケイ素の原子比が少なくとも1:1である中鎖長ポリシランおよびその調製方法を提供することにある。この目的は請求項1に記載の特徴を有する中鎖長ポリシランおよび請求項20に記載の特徴を有する方法により、本発明によって達成される。本発明の中鎖長ポリシランの化学的特性はSi-Si直接結合が存在することが特徴であり、その結果として、これらの物質は酸素および塩素に強い親和性を有し、これらの元素と結合するのに適している。たとえば、塩素化オリゴシランは脱酸素反応に使用される。本発明のポリシランはさらに適切な不活性溶媒に完全に溶解する。それはポリシランの平均鎖長が3より大きく50未満、好ましくは3より大きく9未満、より好ましくは3より大きく7未満であるためであり、それらのあるものは200°C、即ちその典型的には250°Cを超える分解温度より充分に低い温度で1Paを超える500hPa未満顕著な蒸気圧を有し、そのためポリシランは気相または液相からのケイ素の堆積に使用することに適している。蒸気圧は、好ましくは200°Cで1hPaを超え、1000hPa未満である。ここで特に強調すべきことは、ポリシランから適切なプロセス、たとえば高温で焼き戻すことによって、その分子組成によって純粋なケイ素が得られるという、本発明による全てのポリシランの特性である。本発明の全てのポリシランに共通の別の特徴は、これらが熱処理の過程で不均化すること、即ちより長鎖の生成物およびより短鎖の生成物に分解することである。本発明の好ましい発展は、従属請求項2~19から明らかである。たとえば、臭素化ポリシランまたは水素化ポリシランは、無色ないし淡黄色である。塩素化ポリシランは、無色ないし緑黄色、強い橙色または赤褐色である。中鎖長ポリシランはその分子構造によって液体または粘性ないし固体である。しかし純粋な形で固体であるポリシランは、液状ポリシランに部分的にまたは完全に溶解しても存在し得る。ポリシランの適切な金属含量は1未満である。結晶ケイ素の堆積のためには、水素含量2atom未満のポリシランを使用することが好ましい。特定の液体コーティングプロセスのためには、直鎖状の長鎖を主に含み、短い分枝鎖および環状化合物を実質的に含まないポリシランを使用することが好ましい。これに関連して、全生成物を基準とした短鎖成分における分枝部位の含量は、好ましくは2未満である。低温での堆積反応のためには、その置換基が水素のみからなるポリシランを使用することが特に好ましい。ポリシランの置換基は、好ましくはハロゲンのみからまたはハロゲンおよび水素のみからなる。中鎖長ポリシランは、複数の異なったハロゲンからなるハロゲン置換基を含んでいてもよい。特定の液体コーティングプロセスのためには、基本構造の平均サイズがn=8~20のポリシランを使用することが好ましい。短鎖成分を蒸留によって除去した後の基本構造の平均サイズがn=15~30のポリシランを使用することが特に好ましい。<分光学的特性>ポリシランは、aそのIR分子振動スペクトルにおいて波数2400未満の範囲に唯一のバンドを有し、bラマン分子振動スペクトルにおいて波数2300未満の範囲に唯一のバンドを有する。置換基がフッ素からなるポリシランは、a29SiのNMRスペクトルにおいて、8ppm~-40ppmおよび/または-45ppm~-115ppmの化学シフト範囲内に顕著な生成物信号を有し、b10cm-1~165cm-1、170cm-1~240cm-1、245cm-1~360cm-1、380cm-1~460cm-1、および480cm-1~650cm-1ならびに900cm-1~980cm-1の範囲内に典型的なラマン強度を有する。置換基が塩素からなるポリシランは、a29SiのNMRスペクトルにおいて、15ppm~-10ppm、-25ppm~-40ppmおよび/または-65ppm~-96ppmの化学シフト範囲内に顕著な生成物信号を有し、b10cm-1~165cm-1、170cm-1~240cm-1、245cm-1~360cm-1、380cm-1~460cm-1、および480cm-1~650cm-1の範囲内に典型的なラマン強度を有する。置換基が臭素からなるポリシランは、a29SiのNMRスペクトルにおいて、-10ppm~-42ppm、-46ppm~-55ppmおよび/または-63ppm~-96ppmの化学シフト範囲内にその顕著な生成物信号を有し、b10cm-1~150cm-1、155cm-1~350cm-1、390cm-1~600cm-1、および930cm-1~1000cm-1の範囲内に典型的なラマン強度を有する。置換基がヨウ素からなるポリシランは、a29SiのNMRスペクトルにおいて、-20ppm~-55ppm、-65ppm~-105ppmおよび/または-135ppm~-181ppmの化学シフト範囲内に顕著な生成物信号を有し、b10cm-1~150cm-1、155cm-1~600cm-1、および930cm-1~1000cm-1の範囲内に典型的なラマン強度を有する。置換基が水素からなるポリシランは、a29SiのNMRスペクトルにおいて、-65ppm~-170ppmの化学シフト範囲内に顕著な生成物信号を有し、bラマン分子振動スペクトルにおいて、波数2000~2200の範囲内に特徴的なバンドを有し、波数2000~1100の範囲内にバンドを有しない。IR測定は、Jasco社のFT/IR-420分光計を用い、KBrディスクとして得た。液体は前もって形成したKBrディスクに吸収させるか、またはNaClプレートの間で測定した。ラマン分子振動スペクトルは、Dilor社のXY800分光計を用い、調節可能なレーザ励起T-サファイアレーザ、Arイオンレーザによる励起および共焦点ラマンおよび発光顕微鏡、液体窒素で冷却したCCD検出器を用いて、測定温度を室温とし、514.53nmおよび750nmを含む可視スペクトル範囲における励起波長で測定した。29SiのNMRスペクトルは、250MHzのBrukerOPX250型の装置を用い、zg30パルスシーケンスで、外部標準としてテトラメチルシランTMSを参照して記録された[δ29Si=0.0]。ここで取得パラメータは、TD=32k、AQ=1.652s、D1=10s、NS=2400、O1P=-40、SW=400である。中鎖長ポリシランSinX2n2およびSinX2n式中、nは3より大きく50未満、好ましくは3より大きく9未満、より好ましくは3より大きく7未満であり、X=F、Cl、Br、Iおよび/またはHであるを調製するための本発明の方法は、以下に述べる合成ステップの1つまたは複数を含むことを特徴とする。個別の変形例は以下に再現する。第1の変形例において、ポリシランは、ハロシランのプラズマ支援合成によって得られる。第2の変形例において、ポリシランは、ハロゲンが臭素であるハロシランのプラズマ支援合成によって得られる。第3の変形例においては、ポリシランは、H-シランおよび/またはH-オリゴシランのプラズマ支援合成によって得られる。第4の変形例において、ポリシランは、ハロゲン化オリゴシランのプラズマ支援合成によって得られる。ハロゲン化ジシランおよびハロゲン化トリシランを使用することが特に好ましい。第5の変形例において、ポリシランは、有機基で置換されたシランおよび/またはオリゴシランをも含む混合物のプラズマ支援合成によって得られる。この目的のためには、たとえばメチルクロロシランが使用される。プラズマ支援合成の間、ハロシラン:水素の混合比は1:0~1:2、圧力範囲は0.8~10hPaとすることが好ましい。第6の変形例において、ポリシランは、より長鎖のポリシランを分割するためのHClおよび/またはHBrを用いたハロゲン化水素によって得られる。ここでは圧力範囲を1bar~43barとすることが好ましい。ハロゲン化水素は触媒、たとえばアンモニウム塩によって促進され得る。第7の変形例において、ポリシランは、ジシランおよび/またはトリシランと、触媒としての有機ホスホニウム塩および/または有機アンモニウム塩との触媒的カップリングによって得られる。これは副生成物として短鎖ポリシランを生成する不均化反応に対応する。第8の変形例において、ポリシランは、低級ハロシランたとえばジシランおよび/またはトリシランとアルカリ金属および/またはマグネシウムとのウルツカップリングによって得られる。活性化金属、たとえばRiekeマグネシウムが特に好ましい。第9の変形例において、ポリシランは、シクロシランSinX2nここでnは好ましくは4、5および/または6の開環重合によって得られる。第10の変形例において、ポリシランは脱ハロゲン化水素によるカップリングによって得られる。これはハロゲン化水素分子の脱離を伴う重縮合に対応する。第11の変形例において、ポリシランは、水素化および/または部分水素化シランと遷移金属錯体との脱水素カップリングによって得られる。第12の変形例において、ポリシランは、中鎖長ポリシランの水素化によって得られる。この目的のためには、ハロゲン化ポリシランを使用することが好ましい。ポリシランの水素化のためには、金属水素化物またはメタロイド水素化物を使用することが好ましい。上記の反応が起こる反応器のパーツは、-70°C~500°C、特に-20°C~280°Cの温度に保たれる。第13の変形例において、ポリシランは、ポリシランの熱分解により、不均化して蒸気相から本発明のポリシランを分離することによって得られる。圧力範囲10~1013hPaで行なうことが好ましい。第14の変形例において、ポリシランは、触媒物質上の熱分解的鎖延長によって得られる。出発原料の不均化の後、より長鎖の成分を生成混合物から分離することが好ましい。第15の変形例において、ポリシランは、ケイ素とSiX4との熱反応によって得られる。以下、実施例および図面によって本発明の種々の形態を説明する。<実施例1>PCSの合成:500sccmのH2と500sccmのSiCl4との混合物1:1を、処理圧を1.6~1.8hPaの範囲内で一定に保ちながら、石英ガラス反応器に導入する。次いで高周波放電によって気体混合物をプラズマ状態に転化する。この過程で、生成した塩素化ポリシランが反応器の冷却された20°C石英ガラス壁に沈着する。放射電力は400Wである。2時間後、黄色~橙黄色の生成物を少量のSiCl4に溶解することによって反応器から取り出す。減圧でSiCl4を除去することにより、91.1gのポリシランが橙黄色の粘稠物質の形態で得られる。凝固点降下法により平均分子量が約1700g/molと決定され、これは塩素化ポリシランSiCl2nまたはSinCl2n2について、平均鎖長約n=17SiCl2nについてまたは約n=16SinCl2n2についてに対応する。<実施例2>PCSのプラズマ合成およびその後の熱分解:300sccmのH2と600sccmのSiCl4との混合物1:2を、処理圧を1.5~1.6hPaの範囲内で一定に保ちながら、石英ガラス反応器に導入する。次いで高周波放電によって気体混合物をプラズマ状態に転化する。この過程で、生成した塩素化ポリシランが反応器の冷却された20°C石英ガラス壁に沈着する。放射電力は400Wである。4時間後、橙黄色の生成物を少量のSiCl4に溶解することによって反応器から取り出す。減圧でSiCl4を除去することにより、187.7gの塩素化ポリシランが橙黄色の粘稠物質の形態で得られる。凝固点降下法により平均分子量が約1400g/molと決定され、これは塩素化ポリシランSiCl2nまたはSinCl2n2について、平均鎖長約n=14SiCl2nについてまたは約n=13SinCl2n2についてに対応する。SiCl4中に溶解している、平均実験式SinCl2nφn=18を有するこのポリクロロシラン混合物の50~60溶液を最初にガラス容器に入れ、2~3時間、300~500mbarの圧で300°Cに加熱する。その後、3時間にわたって最後には10mbarまで圧を段階的に低下させ、900°Cに加熱する。最後に1時間、900°Cの温度で放置する。ポリクロロシラン混合物の熱分解の間に逃散する蒸気は、液体窒素で冷却したコールドトラップに凝縮される。ポリクロロシラン混合物は、実験式SiCl0.05~SiCl0.07の固体状で高度に架橋した塩素化ポリシラン塩化物含有ケイ素と短鎖クロロシランとに転化する。反応完了時に、容器を冷却して固体状の生成物を取り出した。出発物質を基準とした収率は10~15質量のSiCl0.05~SiCl0.07および85~90質量の短鎖クロロシランであり希釈剤を含まず、本発明に係るOCS約35が存在していた。蒸留により、主にn=5の分画を分離する。29SiのNMRスペクトル図1において、これは塩素化ペンタシランの異性体混合物3化合物であることが明白である。<実施例3>PCSのプラズマ合成およびその後の塩素化:200sccmのH2と600sccmのSiCl4蒸気の混合物1:3を、処理圧を1.50~1.55hPaの範囲内で一定に保ちながら、石英ガラス反応器に導入する。次いで高周波放電によって気体混合物をプラズマ状態に転化する。この過程で、生成した塩素化ポリシランが反応器の冷却された20°C石英ガラス壁に沈着する。放射電力は400Wである。2時間9分後、橙黄色の生成物を少量のSiCl4に溶解することによって反応器から取り出す。減圧でSiCl4を除去することにより、86.5gの塩素化ポリシランが橙黄色の粘稠物質の形態で得られる。凝固点降下法により平均分子量が約1300g/molと決定され、これは塩素化ポリシランSiCl2nまたはSinCl2n2について平均鎖長約n=13SiCl2nについてまたは約n=12SinCl2n2についてに対応する。このようにして得られた塩素化ポリシラン80gを36.5gのSi2Cl6で希釈し、圧が1213hPaを超えないように、閉じた装置内で激しく撹拌しながら温度100~131°Cで24.5時間、塩素ガスと接触させた。この後、分別蒸留を行ない、SinCl2n2ここでn=1~3を除去して、残渣9.25gを得た。29Siのスペクトル解析によれば、これは主に複数のネオクロロシランとイソSi4Cl10とからなる。鎖長は、化合物中で互いに直接結合したケイ素原子の数を指す。本明細書において使用する用語中鎖長は、nが3より大きく50未満、好ましくはnが3より大きく9未満、より好ましくはnが3より大きく7未満である化合物に関連する。本明細書において使用する用語より長鎖は、nが3より大きい化合物に関連する。nは互いに直接結合したケイ素原子の数である。実質的にないは、混合物中の存在量が2未満であることを意味するものである。主には、問題の成分が混合物中に50を超えて存在することを意味すると理解される。のみは、混合物中に存在する不純物のレベルが高純度のファインケミカル製品で通常であったレベルたとえば99を超えるよりもずっと低いことを意味することになっている。したがって、本明細書においては少なくとも99.9の純度を意味する。不活性溶媒は、標準条件下で中鎖長のたとえばハロゲン化ポリシラン以後、簡潔にポリシランと称すると自発的には反応しない溶媒たとえばSiCl4、ベンゼン、トルエン、パラフィン等を意味すると理解される。ポリシランは、好ましくは半導体技術における適用、より好ましくは光発電において通例の適用のための要求を満たす。本発明による方法については、実施する変形例に応じて、使用する出発原料はモノシランおよび/またはポリシランであってよい。本発明に係る方法に関連して、モノシランはHnSiX4-n型X=F、Cl、Br、I;n=0~4の化合物、ポリシランはSinX2nおよび/またはSinX2n2型X=F、Cl、Br、Iおよび/またはHの化合物、またはその混合物を指す。