円筒状の筐体と、外側面にエアー噴出し口をそれぞれ有する少なくとも1組のヘッド部材と、前記筐体に取り付けられ、前記少なくとも1組のヘッド部材を、前記中心軸に対して対称に保持する少なくとも1組のヘッド保持機構と、前記少なくとも1組のヘッド部材の前記中心軸に対する位置を変化させるヘッド位置変化機構と、前記少なくとも1組のヘッド部材の前記エアー噴出し口にエアーを供給するエアー供給機構と、を備え、前記少なくとも1組のヘッド保持機構のそれぞれは、前記筐体に取り付けられる基材と、前記基材と前記ヘッド部材を連結する平行な2枚の板バネと、を備え、前記ヘッド部材を前記筐体の中心軸に垂直な方向にのみ移動可能に保持することを特徴とするエアーマイクロメータ。前記ヘッド位置変化機構は、前記中心軸と同軸で、一部にテーパ面を有し、前記筐体に対して摺動可能に保持されたテーパ軸と、各ヘッド部材に設けられ、前記テーパ面に押し当てられるローラと、前記テーパ軸を前記筐体に対して移動するテーパ軸移動機構と、を備える請求項1記載のエアーマイクロメータ。前記テーパ軸は、前記テーパ面の間に設けられた前記中心軸と平行な少なくとも1つの円筒面を有する請求項2記載のエアーマイクロメータ。前記テーパ軸移動機構は、エアーシリンダ機構を有する請求項2または3記載のエアーマイクロメータ。前記エアー供給機構は、前記筐体に設けられたエアー経路から分岐した少なくとも1組の分岐経路を、前記少なくとも1組のヘッド部材の前記エアー噴出し口に接続する少なくとも1組の可撓性のチューブを備える請求項1から4のいずれか1項記載のエアーマイクロメータ。各種の内径に対応可能なエアーマイクロメータが要望されている。そこで、上記の放射方向に回転自在な複数のガイドを設ける接触式内径測定装置の構成を、エアーマイクロメータに適用することが考えられる。しかし、放射方向に回転自在なガイドにエアーセンサを設けた場合、回転に伴って、エアーセンサの穴の面に対する傾きが変化することが避けられない。上記のように、良好な測定精度で測定を行うためには、エアーセンサの位置や傾きが被測定物の穴の面に対して所定の状態であること必要であり、傾きずれが発生したのでは、良好な測定精度で測定を行うことができないという問題を生じる。本発明は、各種の内径を高精度に測定可能なエアーマイクロメータの実現を目的とする。上記課題を解決するため、本発明のエアーマイクロメータは、エアーセンサを有するヘッド部材を平行な2枚の板バネで筐体と連結する。すなわち、本発明のエアーマイクロメータは、円筒状の筐体と、外側面にエアー噴出し口をそれぞれ有する少なくとも1組のヘッド部材と、筐体に取り付けられ、少なくとも1組のヘッド部材を、中心軸に対して対称に保持する少なくとも1組のヘッド保持機構と、少なくとも1組のヘッド部材の中心軸に対する位置を変化させるヘッド位置変化機構と、少なくとも1組のヘッド部材のエアー噴出し口にエアーを供給するエアー供給機構と、を備え、少なくとも1組のヘッド保持機構のそれぞれは、筐体に取り付けられる基材と、基材とヘッド部材を連結する平行な2枚の板バネと、を備え、ヘッド部材を筐体の中心軸に垂直な方向にのみ移動可能に保持することを特徴とする。ヘッド部材を平行な2枚の板バネで筐体と連結することにより、ヘッド部材をエアーマイクロメータの中心軸に対して放射方向に平行移動可能に支持することが可能である。したがって、測定する穴の内径に応じてヘッド部材をエアーマイクロメータの中心軸に対して放射方向に移動しても、ヘッド部材の中心軸に対する傾き、すなわち穴の面に対する傾きは変化しない。これにより、内径を高精度に測定可能である。ヘッド位置変化機構は、中心軸と同軸で、一部にテーパ面を有し、筐体に対して摺動可能に保持されたテーパ軸と、各ヘッド部材に設けられ、テーパ面に押し当てられるローラと、テーパ軸を筐体に対して移動するテーパ軸移動機構と、を備えるように構成できる。ヘッド部材を平行な2枚の板バネで筐体と連結することにより、ヘッド部材は、テーパ軸に常時付勢した状態にできる。テーパ軸を移動すると、ローラのテーパ面との接触位置が変化し、ヘッド部材の放射方向の位置が変化する。各ヘッド部材に設けられたローラがテーパ面に押し当てられるので、移動時のガタおよび抵抗が小さく、高精度の移動が可能である。テーパ軸は、テーパ面の間に設けられた中心軸と平行な少なくとも1つの円筒面を有することが望ましい。ローラがこの部分に接触している状態を測定状態とし、テーパ面の間の中心軸と平行な円筒面の部分を複数設ければ、測定する内径を段階的に設定できる。テーパ軸の所定の移動範囲であれば、ローラのテーパ面との接触点の放射方向の位置は変化しないので、ヘッド部材の放射方向の位置を高精度に設定できる。テーパ軸移動機構は、例えば、エアーシリンダ機構により移動される。エアー供給機構は、筐体に設けられたエアー経路から分岐した少なくとも1組の分岐経路と、少なくとも1組のヘッド部材のエアー噴出し口を、少なくとも1組の可撓性のチューブで接続することにより構成できる。本発明のエアーマイクロメータは、測定する内径に応じて、エアーセンサを有するヘッド部材の中心軸からの放射方向の位置を変化させても、ヘッド部材の中心軸に対する傾きは変化しないので、各種の内径を高精度に測定可能である。図1は、実施形態のエアーマイクロメータの外観を示す斜視図である。また、図2は、実施形態のエアーマイクロメータの内部構造を示す図である。実施形態のエアーマイクロメータ10は、円筒状の筐体31と、2個のヘッド部材21Aおよび21Bと、筐体31に取り付けられたヘッド保持基材32Aおよび32Bと、ヘッド保持基材32Aおよび32Bとヘッド部材21Aおよび21Bを連結する平行な2枚の板バネ33AAおよび33AB;33BAおよび33BBと、筐体31に取り付けられたシリンダ部材34と、軸受け部材35と、テーパ軸41と、カバー11と、上部部材12と、を有する。上部部材12には、エアーセンサに供給するエアーを外部から供給するための測定エアー供給口13と、テーパ軸41を移動するエアーシリンダ機構のための2個のシリンダーエアー供給口14が設けられている。テーパ軸41は、筐体31に設けられたブッシュ47と、軸受け部材35に設けられたブッシュ48により、軸方向に移動可能に支持されている。テーパ軸41は、一方の端部に、シリンダーヘッド42を有する。シリンダーヘッド42は、シリンダ部材34内を摺動可能に保持され、シリンダーヘッド42により隔てられたシリンダ部材34内の一方の室36内にシリンダーエアーを供給することにより、右方向に移動し、他方の室37内にシリンダーエアーを供給することにより、左方向に移動する。図2では、室36内にシリンダーエアーを供給する経路を参照符号Qで示す一点差線の経路で、室37内にシリンダーエアーを供給する経路を参照符号Rで示す一点差線の経路で、それぞれ示している。実際には、可撓性のチューブなどで経路を形成する。テーパ軸41の他方の端部側には、直径が変化するテーパ部43を有する。テーパ部43のテーパ表面44には、ヘッド部材21Aおよび21Bに設けられたローラ24Aおよび24Bが押し当てられ、テーパ軸41の移動に伴って、ローラ24Aおよび24Bが接触するテーパ表面44の直径が変化し、ローラ24Aおよび24Bの中心軸から放射方向の位置、すなわちヘッド部材21Aおよび21Bの放射方向の位置が変化する。ヘッド部材21は、凹部24を有し、凹部24内にエアーセンサ22が取り付けられる。エアーセンサ22は、ギャップを測定するためのエアーの噴出し口23を有する。測定エアー供給口13に供給されたエアーは、上部部材12、シリンダ部材34および筐体31内に設けられた経路を介して、エアーセンサ22の噴出し口23に供給される。図2では、エアーセンサ22に測定用のエアーを供給する経路を参照符号Pで示している。実際には、可撓性のチューブなどで経路を形成する。この経路は、途中で2つの経路に分岐され、ヘッド保持基材32Aおよび32Bを経て、ヘッド部材21Aおよび21Bに設けられたエアーセンサ22につながる。ヘッド保持基材とヘッド部材の間は、少なくとも可撓性のチューブで接続する必要がある。ヘッド保持基材32Aおよび32B、ヘッド部材21Aおよび21B、および板バネ33AAおよび33AB;33BAおよび33BBは、それぞれ同じ構成を有する。以下、ヘッド保持基材32Aおよび32Bをヘッド保持基材32として、ヘッド部材21Aおよび21Bをヘッド部材21として、板バネ33AAおよび33AB;33BAおよび33BBを板バネ33Aおよび33Bとして説明する。図3は、板バネ33Aおよび33Bによるヘッド部材21の平行移動機構を説明する図である。ヘッド保持基材32は、筐体31に固定される。図3のAに示すように、ヘッド保持基材32とヘッド部材21は、平行な2枚の板バネ33Aおよび33Bにより連結される。板バネ33Aおよび33Bは、ヘッド保持基材32とヘッド部材21に平行になるように固定されており、図示のZ方向を含む板バネ33Aおよび33Bに垂直な方向のみで屈曲可能である。また、板バネ33Aおよび33Bは、両端がそれぞれヘッド保持基材32およびヘッド部材21に固定されており、さらに、板バネ33Aおよび33Bの中央部分には、板バネ押え38が設けられており、平行な板バネの屈曲位置を制限する。そのため、平行な板バネ33Aおよび33Bは、図3のBに示すように屈曲し、ヘッド部材21は傾きを維持しながら平行移動する。図3のBにおいて、参照符号39は、ヘッド保持基材31のエアー経路とヘッド部材21に設けられたエアーセンサ22を接続する可撓性のチューブを示す。図4は、テーパ軸41の移動に伴うヘッド部材21Aおよび21Bの移動を説明する図であり、Aは第1の内径を測定する場合を、Bは第1の内径より小さい第2のネ畏敬を測定する場合を示す。また、図5は、テーパ軸41のテーパ部43のテーパ面44の形状を説明する図であり、Aはテーパ部43全体を、Bはテーパ面44の中間の円筒面部45の拡大図である。図5のAおよびBに示すように、テーパ部43は、2箇所の円筒面部45を有し、円筒面部45の両側は、直径がリニアに変化するテーパ面44になっている。図4のAは、図2において、室36にシリンダーエアーを供給してテーパ軸41を右側に移動し、ヘッド部材21Aおよび21Bに設けられたローラ24Aおよび24Bが、一方の円筒面部45上に接触した状態を示す。ヘッド部材21Aおよび21Bは、板バネ33AAおよび33AB;33BAおよび33BBにより、エアーマイクロメータ10の中心軸46に向かう方向に付勢されており、ローラ24Aおよび24Bが、円筒面部45に押し当てられる。円筒面部45は、ある幅を有しており、この幅の範囲であれば、テーパ軸41の移動位置がずれても、ローラ24Aおよび24Bの放射方向の位置は同じである。したがって、テーパ軸41の移動精度はこの範囲程度の誤差が許容される。この状態で、ヘッド部材21Aおよび21Bに固定されたエアーセンサ22の外側面の位置、すなわちヘッド部材21Aおよび21Bにそれぞれ固定された2個のエアーセンサの噴出し口23Aおよび23Bの表面間の距離が所定の第1の値になる。この第1の値を、第1種の被測定物の穴の直径に対応させる。次に、第1種の直径より少し小さい第2種の被測定物の穴の直径を測定する場合には、図4のBに示すように、図2において、室37にシリンダーエアーを供給してテーパ軸41を左側に移動し、ヘッド部材21Aおよび21Bに設けられたローラ24Aおよび24Bが、他方の円筒面部45上に接触した状態にする。この状態でも、ローラ24Aおよび24Bが、円筒面部45に押し当てられる。この状態で、ヘッド部材21Aおよび21Bに固定されたエアーセンサ22の外側面の位置、すなわちヘッド部材21Aおよび21Bにそれぞれ固定された2個のエアーセンサの噴出し口23Aおよび23Bの表面間の距離は、第1の値より小さい所定の第2の値になる。この第2の値が、第2種の被測定物の穴の直径に対応している。図4のAとBで、噴出し口23Aおよび23Bの位置は、放射方向に変位するだけでなく、中心軸46の方向Z方向にも若干変化するが、非常に小さな量であり、問題にならない。以上説明したように、第1種の被測定物の穴の直径を測定する場合には、テーパ軸41を右側に移動して図4のAに示す状態にした後、第1種の基準となるマスタワークを測定してキャリブレーションを行い、その後実施形態のエアーマイクロメータの先端を被測定物の穴に挿入し、噴出し口23Aおよび23Bを穴の直径を測定する深さに位置させて測定を行う。第2種の被測定物の穴の直径を測定する場合には、テーパ軸41を左側に移動して図4のBに示す状態にした後、第2種の基準となるマスタワークを測定してキャリブレーションを行い、その後実施形態のエアーマイクロメータの先端を被測定物の穴に挿入し、噴出し口23Aおよび23Bを穴の直径を測定する深さに位置させて測定を行う。以上説明したように、実施形態のエアーマイクロメータは、測定する穴の直径に応じて、エアーセンサの傾きを維持しながら放射方向に移動させて最適なギャップで内径を測定することが可能である。実施形態では平行な板バネを使用しているため、エアーセンサの傾きを高精度に維持でき、構造も簡単にできる。以上本発明の実施形態を説明したが、各種の変形例が可能であるのはいうまでもない。例えば、実施形態では、2個のヘッド部材を設ける例を説明したが、4個のヘッド部材を設けることも可能である。さらに、実施形態では、テーパ軸をエアーシリンダで移動したが、ネジを設けたテーパ軸をモータ等で回転して中心軸方向に移動することも可能である。さらに、実施形態では、2個の円筒面部を有する例を説明したが、3個以上とすることも可能である。この場合、ネジを設けたテーパ軸をモータ等で回転して中心軸方向に移動する移動機構を使用することが望ましい。