碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、前記突き上げポットは、係合手段により前記突き上げ機構のポット取付部に他の突き上げポットと交換可能に係合保持され、前記突き上げポットの下部には、突き上げ動作時に前記突き上げポットの上端面に前記ダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を導入するバキューム圧導入管の接続口部が設けられ、前記突き上げ機構のポット取付部には、前記突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部と接続されるバキューム圧供給口部が設けられ、該ポット取付部に前記突き上げポットを係合保持させる際に該突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部を前記バキューム圧供給口部に接続することで該突き上げポットの係合位置を位置決めすることを特徴とするダイ供給装置。前記突き上げポットは、ベース部材と、該ベース部材上に付勢手段により上方に付勢された状態で上下動可能に組み付けられたポット本体とから構成され、前記係合手段は、前記ベース部材に設けられ、前記ポット本体には、前記突き上げポットの突き上げ動作時に該ポット本体の上端面が前記ダイシングシートに接触する位置で該ポット本体の上昇を停止させるためのストッパが設けられ、前記突き上げ機構は、前記突き上げポットの突き上げ動作時に前記ポット本体のストッパが固定壁に当接して該ポット本体の上昇を停止した後も前記ポット取付部を所定量上昇させることで、該ポット本体内に設けられた突き上げピンを該ポット本体の上端面の孔から上方に突出させて前記ダイシングシートを突き上げることを特徴とする請求項1に記載のダイ供給装置。前記係合手段は、前記突き上げポットに1箇所のみに設けられ、前記係合手段には、係合位置と係合解除位置とを切り換える着脱操作部が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイ供給装置。前記突き上げ機構には、複数のポット取付部が設けられ、前記複数のポット取付部に係合保持された複数の突き上げポットの中から前記ダイシングシート上のダイのサイズ又は種類に応じた突き上げポットを突き上げ動作位置に位置させるように前記複数のポット取付部の位置を移動させるポット移動機構を備えていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のダイ供給装置。しかし、上記特許文献1の構成では、突き上げ機構の4箇所のポット取付部に取り付けた4種類の突き上げポットの中から、ダイシングシート上のダイのサイズ等に合った突き上げポットを選択して使用するようにしているが、4種類の突き上げポットの中にダイのサイズ等に合った突き上げポットが無い場合は、突き上げ機構の4箇所のポット取付部に取り付けたいずれかの突き上げポットを取り外してダイのサイズ等に合った突き上げポットに交換する必要がある。しかし、上記特許文献1の構成では、突き上げ機構のポット取付部に突き上げポットがボルトで取り付けられていたため、突き上げポットの交換作業が手間のかかる面倒な作業となっていた。そこで、本発明が解決しようとする課題は、突き上げ機構のポット取付部に取り付けた突き上げポットの交換作業を簡単化できるダイ供給装置を提供することである。上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、前記突き上げポットを、係合手段により前記突き上げ機構のポット取付部に他の突き上げポットと交換可能に係合保持する構成とし、前記突き上げポットの下部には、突き上げ動作時に前記突き上げポットの上端面に前記ダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を導入するバキューム圧導入管の接続口部を下向きに設けると共に、前記突き上げ機構のポット取付部には、前記突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部と接続されるバキューム圧供給口部を設け、該ポット取付部に前記突き上げポットを係合保持させる際に該突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部を前記バキューム圧供給口部に接続することで該突き上げポットの係合位置を位置決めするようにしたものである。本発明では、突き上げ機構のポット取付部に突き上げポットを係合手段により係合保持するようにしているため、突き上げ機構のポット取付部から突き上げポットを簡単に取り外すことができると共に、突き上げ機構のポット取付部に他の突き上げポットを係合保持させる際に、該突き上げポットのバキューム圧導入管の接続口部をポット取付部のバキューム圧供給口部に接続することで該突き上げポットの係合位置を簡単に位置決めして、該突き上げポットをポット取付部に簡単に係合保持させることができ、突き上げポットの交換作業を簡単に行うことができる。この場合、請求項2のように、突き上げポットは、ベース部材と、該ベース部材上に付勢手段により上方に付勢された状態で上下動可能に組み付けられたポット本体とから構成し、前記係合手段を前記ベース部材に設けると共に、前記ポット本体には、前記突き上げポットの突き上げ動作時に該ポット本体の上端面が前記ダイシングシートに接触する位置で該ポット本体の上昇を停止させるためのストッパを設け、前記突き上げ機構は、前記突き上げポットの突き上げ動作時に前記ポット本体のストッパが固定壁に当接して該ポット本体の上昇を停止した後も前記ポット取付部を所定量上昇させることで、該ポット本体内に設けられた突き上げピンを該ポット本体の上端面の孔から上方に突出させて前記ダイシングシートを突き上げるようにすると良い。この構成では、突き上げポットのベース部材を突き上げ機構のポット取付部に係合保持させて、該ベース部材上に付勢手段により上方に付勢されたポット本体を上下動可能に支持させることができる。これにより、突き上げポットの突き上げ動作時に、ポット本体の上端面がダイシングシートに接触する位置で該ポット本体の上昇が停止した後も、ポット取付部が上昇することで、ポット本体内の突き上げピンが該ポット本体の上端面の孔から上方に突出してダイシングシートを突き上げるという突き上げピンの突き上げ動作が可能となる。本発明は、前記係合手段を突き上げポットに複数箇所に設けても良いが、請求項3のように、前記係合手段を突き上げポットに1箇所のみに設け、該係合手段には、係合位置と係合解除位置とを切り換える着脱操作部を設けた構成とすることが好ましい。このようにすれば、作業者が突き上げポットをワンタッチ操作で交換できる。以上説明した請求項1~3に係る発明は、突き上げ機構に設けるポット取付部の数を1個のみとしても良いし、或は、請求項4のように、突き上げ機構に複数のポット取付部を設け、前記複数のポット取付部に係合保持された複数の突き上げポットの中からダイシングシート上のダイのサイズ又は種類に応じた突き上げポットを突き上げ動作位置に位置させるように前記複数のポット取付部の位置を移動させるポット移動機構を備えた構成としても良い。このようにすれば、突き上げ機構の複数のポット取付部に係合保持された複数の突き上げポットの中に、ダイのサイズ等に応じた突き上げポットが存在すれば、突き上げポットを交換する必要がないため、突き上げポットの交換作業の回数を少なくすることができる。以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を説明する。図1に示すように、本実施例のダイ供給装置11は、マガジン保持部12トレイタワー、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転機構17、突き上げ機構18図3参照、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。このダイ供給装置11は、図2に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。ダイ供給装置11のマガジン保持部12内に上下動可能に収納されたマガジンには、ダイ21を載せたウエハパレット22と、トレイ部品を載せたトレイパレット図示せずとを多段に混載できるようになっている。ウエハパレット22は、碁盤目状にダイシングされたウエハ多数のダイ21を貼着した伸縮可能なダイシングシート図示せずを、円形の開口部を有するウエハ装着板23にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板23をパレット本体28にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシートのエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシートを下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板23に装着すれば良い。パレット引き出し機構14は、ウエハパレット22、トレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部12内のマガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出すものであり、パレット上の部品やダイを部品実装機25図2参照の吸着ノズル図示せずでピックアップする位置以下部品実装機用引き出し位置というと、マガジンに近い引き出し位置以下サブロボット用引き出し位置というとのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル13の前端の位置マガジンから最も離れた位置であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット15の吸着ノズル図示せずでウエハパレット22のダイシングシート上のダイ21を吸着可能な位置である。サブロボット15は、マガジン保持部12の背面部サブロボット用引き出し位置側の面のうちのパレット引き出しテーブル13の上方に位置して設けられ、XZ方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及び垂直方向に移動するように構成されている。尚、サブロボット15の移動方向をX方向のみとし、ウエハパレット22に対するサブロボット15のY方向パレット引き出し方向の相対的位置は、パレット引き出し機構14によってウエハパレット22をY方向に徐々に引き出すことで制御している。このサブロボット15には、1本又は複数本の吸着ノズル図示せずが下向きに設けられ、ピックアップするダイ21のサイズや種類等に応じてノズルチェンジャー20で吸着ノズルを交換できるようになっている。サブロボット15には、カメラ24が設けられ、このカメラ24の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ21の位置又はダイ21の吸着姿勢を確認できるようになっている。シャトル機構16は、サブロボット15の吸着ノズルでピックアップされた部品をシャトルノズル26で受け取って部品実装機25の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。反転機構17は、サブロボット15から受け取るダイ21を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ21の種類によっては、ウエハパレット22のダイシングシートに上下反対に貼着されたダイ例えばフリップチップ等が存在するためである。突き上げ機構18図3参照は、パレット引き出しテーブル13に設けられて、ウエハパレット22のダイシングシート下方の空間領域をXY方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及びその直角方向に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット22を引き出した場合でも、ダイシングシートのうちのピックアップしようとするダイ21の貼着部分をその下方から突き上げポット27で局所的に突き上げることで、当該ダイ21の貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させてダイ21をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げ機構18は、ダイ21のサイズや種類に応じて突き上げポット27を選択できるようにするために、複数種類例えば4種類の突き上げポット27が所定角度ピッチ本実施例では90°ピッチで放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げポット27が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。突き上げポット27の構成と取付方法については、後で詳しく説明する。突き上げ機構18は、サーボモータ図示せずを駆動源として突き上げ機構18全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げ機構18が上昇して突き上げポット27の上端がウエハパレット22のダイシングシートに接触すると、その位置で該突き上げポット27に設けられたストッパ45が固定壁37図3参照に当接して突き上げポット27の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット27の上端面の孔から突き上げピン図示せずが上方に突出して、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイ21の貼着部分吸着ノズルの吸着点を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピンの突き上げ高さを調整できるようになっている。尚、NGコンベア19は、不良部品や吸着不良のダイ21を排出するコンベアである。以上のように構成したダイ供給装置11の制御装置32は、キーボード、マウス等の入力装置33と、液晶ディスプレイ等の表示装置34等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、部品実装機25に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構14、サブロボット15及びシャトル機構16、反転機構17、突き上げ機構18等の動作を次のように制御する。1小さいダイ21の場合小さいダイ21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品実装機25の吸着ノズルへのダイ21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウエハパレット22を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット22のダイシングシート上のダイ21を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。2上記以外のサイズのダイ21の場合ダイ21のつかみ替えが可能なサイズのダイ21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15の吸着ノズルで当該ウエハパレット22のダイシングシート上のダイ21をピックアップし、当該ダイ21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からダイ21を部品実装機25の吸着ノズルでピックアップする。3トレイ部品の場合トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。次に、突き上げポット27の構成と取付方法を図3乃至図8を用いて説明する。突き上げポット27は、ベース部材41と、該ベース部材41に複数本例えば2本のスライド軸42を介して上下動可能に組み付けられたポット本体43とから構成され、各スライド軸42の上端部にポット本体43が固定され、各スライド軸42がベース部材41に設けられたスプリングケース44内のスプリング等の付勢手段で上方に付勢されることで、ポット本体43が上方に付勢されている。ポット本体43には、突き上げポット27の突き上げ動作時に該ポット本体43の上端面がダイシングシートに接触する位置で該ポット本体43の上昇を停止させるためのストッパ45が設けられ、突き上げポット27の突き上げ動作時にポット本体43のストッパ45が固定壁37図3参照に当接して該ポット本体43の上昇を停止した後もベース部材41を所定量上昇させることで、該ポット本体43内に設けられた突き上げピン図示せずを該ポット本体43の上端面の孔から上方に所定量突出させてダイシングシートを突き上げるようになっている。また、ポット本体43には、突き上げ動作時にポット本体43の上端面にダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を導入するバキューム圧導入管47[図6b、図7b参照]が下方に突出するように設けられ、該バキューム圧導入管47の接続口部がベース部材41を貫通して下方に突出している。一方、ベース部材41には、係合手段であるクランプ機構49のクランプ軸50が上下方向に貫通されて回動可能且つ上下動可能に支持され、該クランプ軸50の下端部に係合ピン51図8参照が貫通固定され、該係合ピン51の両端部がクランプ軸50の両側に突出している。このクランプ軸50の上端部には、クランプレバー52着脱操作部が固定され、該クランプ軸50のうちのクランプレバー52とベース部材41との間に複数枚の皿ばね座金53付勢手段が嵌め込まれ、該皿ばね座金53のばね力によりクランプ軸50が上方に付勢されている。このクランプ機構49は、ベース部材41の1箇所のみに設けられている。以上のように構成した突き上げポット27は、図4に示すように、突き上げるダイ21のサイズや種類に応じて選択できるように複数種類の突き上げポット27が用意されている。各突き上げポット27は、ポット本体43の径やその内部の突き上げピンの径本数等が異なるだけであり、それ以外の部分ベース部材41、クランプ機構49、バキューム圧導入管47の接続口部、ポット本体43の支持構造等は共通化されている。一方、突き上げ機構18には、複数例えば4個の突き上げポット27を取り付けるための複数例えば4個のポット取付部55が所定角度ピッチ例えば90°ピッチで設けられ、各ポット取付部55の位置がポット回転機構56ポット移動機構によって回転方向に所定角度ピッチで移動するようになっている。各ポット取付部55には、突き上げポット27のバキューム圧導入管47の接続口部と接続されるバキューム圧供給口部57と位置決めピン58が所定の位置関係で設けられている。ポット取付部55に突き上げポット27を係合保持させる際に、該突き上げポット27のバキューム圧導入管47の接続口部をバキューム圧供給口部57に接続し、且つベース部材41の下面部に形成した位置決め穴図示せずを位置決めピン58に嵌合することで、該突き上げポット27の係合位置を位置決めするようにしている。また、ポット取付部55には、クランプ軸50を上方から挿通するクランプ孔60が形成され、該クランプ孔60の内周面部には、これに挿通するクランプ軸50の下端部の係合ピン51を逃げるための逃げ溝61が上下方向に形成されている。図6b、図7bに示すように、ポット取付部55の下面のうちのクランプ孔60の下端開口縁の周囲部分には、逃げ溝61から下方に抜け出た係合ピン51が回転方向の移動に伴って徐々に下降するようにガイドする傾斜面62が形成されている。クランプレバー52を図6に示すアンクランプ位置係合解除位置に回動操作した状態では、クランプ軸50の下端部の係合ピン51が逃げ溝61の真下に位置し、クランプ軸50をクランプ孔60から抜き出し可能な状態となっている。クランプレバー52を図6に示すアンクランプ位置から図7に示すクランプ位置係合位置に回動操作した状態では、クランプ軸50の下端部の係合ピン51が逃げ溝61の真下位置から傾斜面62を乗り上げる方向に移動してポット取付部55の下面に係合した状態となり、この状態が皿ばね座金53のばね力により保持される。次に、ポット取付部55に取り付けた突き上げポット27を他の突き上げポット27に交換する作業手順を説明する。ポット取付部55に取り付けた突き上げポット27を取り外す場合は、まず、作業者の指先でクランプレバー52を図7に示すクランプ位置から図6に示すアンクランプ位置に回動させる。これにより、クランプ軸50の下端部の係合ピン51が逃げ溝61の真下に位置し、クランプ軸50をクランプ孔60から抜き出し可能な状態になるため、突き上げポット27をそのまま真上に引き上げれば、クランプ軸50がクランプ孔60から抜き出されて突き上げポット27がポット取付部55から取り外される。この後、交換する突き上げポット27を次のようにしてポット取付部55に取り付ける。まず、交換する突き上げポット27のクランプレバー52を図6に示すアンクランプ位置に回動させた状態で、突き上げポット27のバキューム圧導入管47の接続口部をバキューム圧供給口部57に接続し、且つベース部材41の下面部に形成した位置決め穴図示せずを位置決めピン58に嵌合することで、該突き上げポット27の係合位置を位置決めしながら、クランプ軸50の下端部の係合ピン51を、ポット取付部55のクランプ孔60の逃げ溝61に差し込んで、該クランプ軸50をクランプ孔60に挿通し、該係合ピン51を逃げ溝61から下方に抜き出した状態図6に示す状態とする。この状態で、作業者の指先でクランプレバー52を図6に示すアンクランプ位置から図7に示すクランプ位置に回動させる。これにより、クランプ軸50の下端部の係合ピン51が逃げ溝61の真下位置から傾斜面62を乗り上げる方向に移動してポット取付部55の下面に係合した状態となり、この状態が皿ばね座金53のばね力により保持されることで、突き上げポット27がポット取付部55に係合保持された状態となる。以上説明した本実施例によれば、突き上げ機構18のポット取付部55に突き上げポット27をクランプ機構49により係合保持するようにしているため、突き上げ機構18のポット取付部55から突き上げポット27を簡単に取り外すことができると共に、突き上げ機構18のポット取付部55に他の突き上げポット27を係合保持させる際に、該突き上げポット27のバキューム圧導入管47の接続口部をポット取付部55のバキューム圧供給口部57に接続することで該突き上げポット27の係合位置を簡単に位置決めして、該突き上げポット27をポット取付部55に簡単に係合保持させることができ、突き上げポット27の交換作業を簡単に行うことができる。しかも、本実施例では、クランプ機構49を突き上げポット27のベース部材41の1箇所のみに設けたので、作業者が突き上げポット27をワンタッチ操作で交換できる利点がある。但し、本発明は、クランプ機構49を突き上げポット27のベース部材41の複数箇所に設けた構成としても良い。また、クランプ機構49係合手段の構成を適宜変更しても良い。更に、本実施例では、突き上げ機構18に複数のポット取付部55を設け、複数のポット取付部55に係合保持された複数の突き上げポット27の中からダイシングシート上のダイ21のサイズ又は種類に応じた突き上げポット27を突き上げ動作位置に位置させるように複数のポット取付部55の位置をポット回転機構56により移動させるようにしたので、突き上げ機構18の複数のポット取付部55に係合保持された複数の突き上げポット27の中に、ダイ21のサイズ等に応じた突き上げポット27が存在すれば、突き上げポット27を交換する必要がなく、突き上げポット27の交換作業の回数を少なくすることができる利点がある。但し、本発明は、突き上げ機構18に設けるポット取付部55の数を1個のみとしても良い。その他、本発明は、ダイ供給装置11の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。