貼り合せステージ上に載置された第1板状部材と、該第1板状部材よりも上方に位置する第2板状部材との位置合せを行った後に、前記第2板状部材のさらに上方に位置する押圧手段により前記第2板状部材の一端部を前記第1板状部材に押し付けた状態で、前記第1板状部材および前記第2板状部材に対する前記押圧手段の相対位置を貼り合せ方向に変化させることにより、前記第2板状部材を前記第1板状部材に貼り合せる貼り合せ装置であって、前記第2板状部材よりも前記貼り合せ方向の長さが長く、かつ貼り合せの際に前記第2板状部材と前記押圧手段との間に位置し、前記第2板状部材を保持する補助プレートと、保持された前記第2板状部材の前記一端部側に位置する前記補助プレートの第1端部の下面を支持することにより、前記貼り合せの際に前記第1端部が下方向へ移動するのを規制する支持部を有する第1ピローと、前記第1端部に対向した前記補助プレートの第2端部の下面を支持することにより、前記貼り合せの際に前記第2端部が下方向へ移動するのを規制する支持部を有する第2ピローと、を備え、前記第1ピローおよび前記第2ピローは、独立して上下に昇降可能となっており、前記第2端部を前記第1端部よりも高い位置に維持した状態で、前記補助プレートを介して前記押圧手段により前記第2板状部材を押圧することにより、前記第2板状部材の未だ押圧されていない部分と前記第1板状部材とが接触しないよう構成したことを特徴とする貼り合せ装置。前記補助プレートは、自重により湾曲することなく、かつ前記押圧手段に押圧されることにより前記第2板状部材とともに湾曲する程度の剛性を有していることを特徴とする請求項1に記載の貼り合せ装置。前記補助プレートは、自重により予め設定された範囲内で湾曲する程度の剛性を有していることを特徴とする請求項1に記載の貼り合せ装置。前記補助プレートは、前記第2板状部材の上面を吸着して保持する第1補助プレートと、該第1補助プレート上に重ねて設けられた第2補助プレートとからなり、前記第2補助プレートの下面側には、前記貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝が、前記貼り合せ方向に対して平行に複数設けられており、前記第1補助プレートには、前記吸着溝と連通した吸着孔が、前記吸着溝に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の貼り合せ装置。前記補助プレートは、前記第2板状部材の上面を吸着して保持する第1補助プレートと、該第1補助プレート上に重ねて設けられた第2補助プレートとからなり、第1補助プレートの上面側には、前記貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝が、前記貼り合せ方向に対して平行に複数設けられており、第1補助プレートの下面側には、前記吸着溝と連通した吸着孔が、前記吸着溝に沿って複数設けられており、前記第2補助プレートは、前記吸着溝を覆っていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の貼り合せ装置。複数の前記吸着溝は、前記貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びた連結溝によって互いに連結されており、複数の前記吸着溝および前記連結溝のうち一の溝が、外部の真空源に接続されていることを特徴とする請求項4または5に記載の貼り合せ装置。前記第2ピローの前記支持部は、前記第2板状部材と前記第1板状部材との貼り合せ角度に応じて傾動自在となっていることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の貼り合せ装置。しかしながら、従来の貼り合せ装置11では、第2板状部材202の大きさや材質が変わる度に、コイルばね210を交換したり、コイルばね210のテンションを調整したりする必要があるので非常に手間がかかる。さらに、従来の貼り合せ装置11では、コイルばね210を使用しているので、第2板状部材202が第1板状部材201よりも小さいと、コイルばね210によりテンションを付与することが困難になり、第2板状部材202と第1板状部材201との貼り合せを精度良く行うことができない場合がある。したがって、従来の貼り合せ装置11では、第2板状部材202の大きさや材質がある程度制限されていた。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題とするところは、貼り合せる板状部材の大きさや材質にかかわらず精度良く貼り合せることができる貼り合せ装置を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明に係る貼り合せ装置は、貼り合せステージ上に載置された第1板状部材と、該第1板状部材よりも上方に位置する第2板状部材との位置合せを行った後に、第2板状部材のさらに上方に位置する押圧手段により第2板状部材の一端部を第1板状部材に押し付けた状態で、第1板状部材および第2板状部材に対する押圧手段の相対位置を貼り合せ方向に変化させることにより、第2板状部材を第1板状部材に貼り合せる貼り合せ装置であって、第2板状部材よりも貼り合せ方向の長さが長く、かつ貼り合せの際に第2板状部材と押圧手段との間に位置し、第2板状部材を保持する補助プレートと、保持された第2板状部材の一端部側に位置する補助プレートの第1端部の下面を支持することにより、貼り合せの際に第1端部が下方向へ移動するのを規制する支持部を有する第1ピローと、第1端部に対向した補助プレートの第2端部の下面を支持することにより、貼り合せの際に第2端部が下方向へ移動するのを規制する支持部を有する第2ピローと、を備え、第1ピローおよび第2ピローは、独立して上下に昇降可能となっており、第2端部を第1端部よりも高い位置に維持した状態で、補助プレートを介して押圧手段により第2板状部材を押圧することにより、第2板状部材の未だ押圧されていない部分と第1板状部材とが接触しないよう構成したことを特徴とする。この構成によれば、第2板状部材よりも貼り合せ方向の長さが長い補助プレートにより第2板状部材を保持し、補助プレートを介して押圧手段により第2板状部材を押圧することができるので、補助プレートで保持可能な第2板状部材であれば、大きさや材質にかかわらず精度良く第1板状部材に貼り合せることができる。本発明に係る貼り合せ装置は、上記補助プレートが、自重により湾曲することなく、かつ押圧手段に押圧されることにより第2板状部材とともに湾曲する程度の剛性を有していることが好ましい。この構成によれば、自重により補助プレートの中央部分が沈み込むことにより第2板状部材の中央部分が撓み、押圧手段で押圧する前に第2板状部材が第1板状部材に貼り付いてしまうのを防ぐことができる。したがって、この構成によれば、第1板状部材と第2板状部材との間に気泡が混入してしまうのを確実に防ぐことができる。ここで、補助プレートにおける自重とは、補助プレートの重さだけでなく、保持した第2板状部材の重さも含むものとする。なお、貼り合せの状態によっては、上記補助プレートは、自重により予め設定された範囲内で湾曲する程度の剛性を有していてもよい。本発明に係る貼り合せ装置は、上記補助プレートが、第2板状部材の上面を吸着して保持する第1補助プレートと、該第1補助プレート上に重ねて設けられた第2補助プレートとからなり、第2補助プレートの下面側には、貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝が、貼り合せ方向に対して平行に複数設けられており、第1補助プレートには、吸着溝と連通した吸着孔が、吸着溝に沿って複数設けられていることが好ましい。この構成によれば、第2板状部材の上面を吸着保持することにより第2板状部材を補助プレートに沿って湾曲させることができるので、第2板状部材の中央部分が第2板状部材自身の自重により湾曲してしまうのを防ぐことができる。したがって、この構成によれば、自重による湾曲がない分だけ第2板状部材の貼り合せ角度を小さくすることができるので、第2板状部材にかかる負荷を減らすことができ、第2板状部材の変形や損傷を抑えることができる。さらに、この構成によれば、吸着溝が貼り合せ方向に対して平行に複数設けられているので、貼り合せ方向における補助プレートの厚みを均一にすることができ、押圧箇所に応じて補助プレートの強度が異なるのを防ぐことができる。したがって、この構成によれば、押圧手段で押圧した際に補助プレートが必要以上に湾曲してしまうのを防ぐことができ、第2板状部材に局所的なストレスがかかるのを防ぐことができる。また、本発明に係る貼り合せ装置は、上記補助プレートが、第2板状部材の上面を吸着して保持する第1補助プレートと、該第1補助プレート上に重ねて設けられた第2補助プレートとからなり、第1補助プレートの上面側には、貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝が、貼り合せ方向に対して平行に複数設けられており、第1補助プレートの下面側には、吸着溝と連通した吸着孔が、吸着溝に沿って複数設けられており、第2補助プレートが、吸着溝を覆っていてもよい。さらに、本発明に係る貼り合せ装置は、複数の吸着溝が、貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びた連結溝によって互いに連結されており、複数の吸着溝および連結溝のうち一の溝が外部の真空源に接続されていてもよい。この構成によれば、連結溝が貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びているので、連結溝を設けたことによる貼り合せ方向における補助プレートの厚みの差を低減することができ、押圧箇所に応じて補助プレートの強度が異なるのを防ぐことができる。したがって、この構成によれば、押圧手段で押圧した際に補助プレートが必要以上に湾曲してしまうのを防ぐことができ、第2板状部材に局所的なストレスがかかるのを防ぐことができる。また、本発明に係る貼り合せ装置は、第2ピローの支持部が第2板状部材と第1板状部材との貼り合せ角度に応じて傾動自在となっていることが好ましい。この構成によれば、貼り合せ角度にかかわらず、補助プレートの下面を確実に支持することができる。本発明によれば、貼り合せる板状部材の大きさや材質にかかわらず精度良く貼り合せることができる貼り合せ装置を提供することができる。以下、添付図面を参照して、本発明に係る貼り合せ装置の好ましい実施形態について説明する。[貼り合せ装置の構成]図1に、本発明の一実施形態に係る貼り合せ装置1を示す。同図に示すように、本実施形態に係る貼り合せ装置1は、大気中で第1板状部材101と第2板状部材102とを貼り合せるためのものである。本実施形態では、第1板状部材101は60~70インチのTV用の液晶パネル、第2板状部材102は厚さ0.7[mm]程度のカバーガラスである。また、本実施形態では、第2板状部材102は第1板状部材101よりも貼り合せ方向の長さが短くなっている。第1板状部材101は、貼り合せ面の一部に透明の液体接着剤からなる接着層103が形成されており、接着層103を介して第2板状部材102と貼り合される。第2板状部材102は、該第2板状部材102よりも貼り合せ方向の長さが長い補助プレート110によって吸着保持されており、補助プレート110を介して本発明の押圧手段に相当するローラー8により押圧される。補助プレート110は、自重により湾曲することなく、かつローラー8に押圧されることで第2板状部材102とともに湾曲する程度の剛性を有している。このため、自重により補助プレート110の中央部分が沈み込むことにより第2板状部材102の中央部分が撓み、ローラー8で押圧される前に第2板状部材102が第1板状部材101接着層103に貼り付いてしまうことはない。また、本実施形態に係る貼り合せ装置1は、水平移動するステージ移動手段2を備えている。ステージ移動手段2上には、第1板状部材101が載置される貼り合せステージ3と、第1ピロー4と、第1ピロー4を上下に昇降させる第1ピロー駆動手段5と、第2ピロー6と、第2ピロー6を上下に昇降させる第2ピロー駆動手段7とが設けられている。第1ピロー4および第1ピロー駆動手段5と、第2ピロー6および第2ピロー駆動手段7とは、貼り合せステージ3を挟んで対向配置されている。貼り合せステージ3の上方には、ローラー8と、ローラー8を上下に昇降させるローラー駆動手段9とが設けられている。ステージ移動手段2は、所定のガイドに沿って貼り合せ方向およびその逆方向に移動可能となっている。ステージ移動手段2が貼り合せ方向と逆の方向に移動すると、貼り合せステージ3、第1ピロー4、第1ピロー駆動手段5、第2ピロー6および第2ピロー駆動手段7も貼り合せ方向と逆の方向に移動し、これらとローラー8との相対位置が変化する。すなわち、ステージ移動手段2に対して、ローラー8が貼り合せ方向に相対移動する。貼り合せステージ3は、前工程の装置から搬送されてきた第1板状部材101を載置するための水平な載置面と、該載置面に設けられた複数の吸着ノズル3aとを有している。各吸着ノズル3aは不図示の真空ポンプに接続されており、真空ポンプが作動すると、載置面上の第1板状部材101が吸着保持される。また、貼り合せステージ3は単独でも水平移動することができる。これにより、貼り合せステージ3上で吸着保持された第1板状部材101と、補助プレート110に吸着保持された第2板状部材102との相対位置を微調整することができる。第1ピロー4は、図2に示すように、第1ピロー駆動手段5に固定された軸部4aと、本体部4bと、本体部4bの貼り合せステージ3側下部に設けられた平板状の支持部4cと、支持部4cの上面に設けられた緩衝材4dとを有している。本体部4bは、軸部4aを中心として、支持部4cが水平位置から下向きに所定の角度範囲で傾動可能となるように構成されている。支持部4cは、吸着保持された第2板状部材102の一端部側に位置する補助プレート110の第1端部110aの下面を支持するとともに、貼り合せの際に第1端部110aが下方向へ移動するのを規制する。また、緩衝材4dは、第1端部110aが本体部4bの貼り合せステージ3側の面に接触した際に生じる衝撃を和らげるためのものであり、樹脂等の比較的軟らかい材料で形成されている。第1ピロー4では、上記のように本体部4bが水平位置から下向きに傾動可能に構成されているものの、傾動部分本体部4bの重心を通る垂線L1が、軸部4aの軸心を通る垂線L2よりも外側貼り合せステージ3反対側に位置するため、本体部4bは貼り合せの際にも傾動することなく、支持部4cは水平位置を保っている図6参照。なお、傾動部分の重心を求める場合、支持部4c、緩衝材4dおよび補助プレート110の重さも考慮する必要があるが、これらの重さは本体部4bの重さに比べてかなり小さいため、ここでは無視している。また、本実施形態では、第1ピロー4が貼り始め側に位置し、第2ピロー6が貼り終わり側に位置するため、第1ピロー4は傾動しない。第2ピロー6は、図3aおよびbに示すように、第2ピロー駆動手段7に固定された軸部6a、本体部6b、本体部6bの貼り合せステージ3側下部に設けられた平板状の支持部6c、および支持部6cの上面に設けられた緩衝材6dに加えて、本体部6bの貼り合せステージ3とは反対側の面に設けられ、かつ該面の下端および両側端から突出した平板状の連結部6eと、連結部6eの両側端下部に設けられた一対の重り部6fとをさらに有している。本体部6bは、軸部6aを中心として支持部6cが水平位置から下向きに所定の角度範囲で傾動可能となるように構成されている。支持部6cは、第1端部110aに対向した補助プレート110の第2端部110bの下面を支持するとともに、貼り合せの際に第2端部110bが下方向へ移動するのを規制する。緩衝材6dは、第2端部110bが本体部6bの貼り合せステージ3側の面に接触した際に生じる衝撃を和らげるためのものであり、緩衝材4dと同様、樹脂等の比較的軟らかい材料で形成されている。また、緩衝材6dは、緩衝材4dとともに補助プレート110を挟み込むことで、貼り合せ時に補助プレート110が位置ずれを起こさないように補助プレート110を固定する役割も兼ねている。連結部6eは、本体部6bに重り部6fを取り付けるためのものである。重り部6fは、本体部6bおよび連結部6eからなる傾動部分の重心位置を軸部4aの軸心に近づけて、僅かな力で支持部6cを水平位置から下向きに傾動させるためのものである。重り部6fには、支持部6cを傾動させるために、軸部4aの軸心よりも内側貼り合せステージ3側に位置する部分に矩形状の重りWが設けられている。重り部6fの重りWは、貼り合せが開始される前の初期状態図6a参照において支持部6cが水平位置を保ち、かつ、貼り合せ時図6b参照において支持部6cが第2板状部材102の貼り合せ角度に応じて傾動するように、形状や大きさが調整されている。ここで、貼り合せ角度とは、第1板状部材101の貼り合せ面接着面と第2板状部材102の湾曲した貼り合せ面とのなす角度である。貼り合せ角度は、図6b中に符号θで示されている。再び図1を参照して、ローラー駆動手段9は、不図示の装置天井部とローラー8との間に配置されている。ローラー駆動手段9は主にシリンダーから構成され、ローラー駆動手段9が伸縮すると、それにともなってローラー8が昇降する。これにより、ローラー8は、補助プレート110を介して第2板状部材102を第1板状部材101接着層103に押し付け、接着層103が所定の厚さになるように下降した押付位置と、それよりも上方にある退避位置とをとる。ローラー8の長さは、補助プレート110の幅方向貼り合せ方向に対して直交する方向の長さとほぼ等しくなっている図4参照。補助プレート110は、図4に示すように、貼り合せ方向に沿って延びた複数の吸着溝114aと、貼り合せ方向に対して直交しないように該プレート110の対角線上に延びた連結溝114bと、吸着溝114aに沿って設けられた吸着孔113と、外部の真空源に接続するための接続孔115とを有している。より具体的には、補助プレート110は、図5aおよびbに示すように、第2板状部材102の上面を吸着して保持する厚さ5.0[mm]程度の第1補助プレート111と、該第1補助プレート111上に重ねて設けられた厚さ5.0[mm]程度の第2補助プレート112とから構成されている。第1補助プレート111には、厚さ方向に貫通した複数の吸着孔113が設けられており、第2補助プレート112には、複数の吸着溝114aと、吸着溝114a同士を連結した連結溝114bと、連結溝114bと連通した接続孔115とが設けられている。第1補助プレート111と第2補助プレート112とはボルト等の接合手段116により分離可能に接合されており、第1補助プレート111と第2補助プレート112との間には、吸着溝114aや連結溝114bを囲むようにパッキン等のシール手段117が設けられている図4参照。吸着溝114aおよび連結溝114bは、上記のように貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びているので、貼り合せ時において、これらの溝114a、114bとローラー8とが平行になることはない。すなわち、本実施形態に係る貼り合せ装置1では、貼り合せ方向における補助プレート110の厚みがほぼ一定になるので、ローラー8の押圧箇所により補助プレートの強度が異なるのを防ぐことができる。したがって、本実施形態に係る貼り合せ装置1では、ローラー8で押圧した際に補助プレート110が必要以上に湾曲してしまうのを防ぐことができ、第2板状部材102に局所的なストレスがかかるのを防ぐことができる。なお、補助プレート110に接続された真空源、貼り合せステージ3に接続された真空ポンプ、ステージ移動手段2、第1ピロー駆動手段5、第2ピロー駆動手段7およびローラー駆動手段9は、不図示の制御部の制御下でそれぞれ独立に駆動する。結局、本実施形態に係る貼り合せ装置1によれば、第2板状部材102よりも貼り合せ方向の長さが長い補助プレート110を用いているので、第2板状部材102の大きさにかかわらず精度よく貼り合せを行うことができる。また、本実施形態に係る貼り合せ装置1によれば、自重により湾曲しない補助プレート110を用いて第2板状部材102の上面を吸着保持しているので、第2板状部材102の材質にかかわらず貼り合せを行うこともできる。なお、補助プレート110がない場合は、第2板状部材102の大きさや材質に応じて第2ピロー駆動手段7の高さ調整を行う必要がある。[貼り合せ装置の貼り合せ動作]続いて、本実施例に係る貼り合せ装置1の貼り合せ動作について、図6a~cを参照して説明する。図6aは、貼り合せが開始される前の初期状態を示す。貼り合せステージ3の載置面上には、液体接着剤からなる接着層103が形成された第1板状部材101が吸着保持されている。第1ピロー4の支持部4cおよび第2ピロー6の支持部6c上には、補助プレート110が載置されている。補助プレート110第1補助プレート111の下面には第2板状部材102が貼り合せ面を下向けにして吸着保持されている。初期状態では、第1ピロー4の支持部4cおよび第2ピロー6の支持部6cは、傾動することなく水平位置に保たれており、かつ高さが揃っている。このため、初期状態では、補助プレート110と、補助プレート110に吸着保持された第2板状部材102と、貼り合せステージ3上に吸着保持された第1板状部材101とが、ほぼ平行になっている。なお、初期状態においては、すでに、補助プレート110と第2板状部材102との位置合せ、および補助プレート110と第1板状部材101との位置合せが完了している。具体的には、所定位置において第2板状部材102を吸着保持した補助プレート110が第1ピロー4の支持部4cおよび第2ピロー6の支持部6c上に移動させられ、所定位置において第1板状部材101を吸着保持した貼り合せステージ3が移動させられることで、補助プレート110と第1板状部材101との位置合せが完了している。すなわち、本実施形態に係る貼り合せ装置1では、第2板状部材102を吸着保持した補助プレート110と第1板状部材101との位置合せを行うことで、間接的に第2板状部材102と第1板状部材101との位置合せを行っている。図6bは、ローラー駆動手段9を伸ばしてローラー8を押付位置まで下降させた状態を示す。ローラー8が下降すると、補助プレート110の第1端部110aは鉛直方向に押し下げられ、第2板状部材102が第1板状部材101に貼り合される。補助プレート110の第1端部110aが押し下げられると、それにともなって第1ピロー4も所定位置まで下降する。第1ピロー4は、所定位置まで下降すると、それ以後は下降しなくなる。一方、第2ピロー6は接着層103よりも上方の位置に維持されているので、補助プレート110および第2板状部材102には同図に示すような湾曲が生じる。このとき、第2ピロー6の支持部6cは、第2板状部材102の貼り合せ角度θに応じて傾動し、補助プレート110の第2端部110bの下面を支持することで、第2端部110bが下方向へ移動するのを規制している。また、補助プレート110の第2端部110bの下面を支持部6cの上面で支持することにより、補助プレート110が支持部6cのエッジにより傷ついてしまうのを防ぐことができる。図6cは、貼り合せが終了した状態を示す。貼り合せは、図6bに示す状態から、ステージ移動手段2を貼り合せ方向と逆の方向に移動させて、補助プレート110、第2板状部材102および第1板状部材101に対するローラー8の相対位置を貼り合せ方向に相対変化させることにより行われる。押圧したままローラー8の相対位置を貼り合せ方向に変化させていくことで、第1板状部材101と第2板状部材102とが補助プレート110の第1端部110a側から第2端部110b側に向かって貼り合されていく。貼り合せ時には、第2ピロー駆動手段7は所定の貼り合せ角度θを確保できるように、第2ピロー6の高さを変化させる。貼り合せ角度θは、第2板状部材102の未だ押圧されていない部分と第1板状部材101接着層103とが接触しなければ、湾曲による負荷を減らす観点から、できるだけ小さい方が好ましい。本実施形態に係る貼り合せ装置1では、自重により湾曲しない程度の剛性を有する補助プレート110を用いて第2板状部材102の上面を吸着保持しているため、第2板状部材102が第2板状部材102自身の自重により湾曲してしまうくらい剛性が低くても、第2板状部材102が第2板状部材自身102の自重により湾曲することはない。したがって、本実施形態に係る貼り合せ装置1では、自重による湾曲がない分だけ第2板状部材102の貼り合せ角度θを小さくすることができるので、第2板状部材102にかかる負荷をより一層減らすことができる。以上、本発明に係る貼り合せ装置の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態の構成に限定されるものではない。例えば、上記補助プレート110に替えて、図7aおよびbに示す補助プレート110’を用いてもよい。同図に示すように、補助プレート110’は、第2板状部材102の上面を吸着して保持する第1補助プレート111’と、該第1補助プレート111’上に重ねて設けられた第2補助プレート112’とからなる。第1補助プレート111’の上面側には、貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝114aが、貼り合せ方向に対して平行に複数設けられている。吸着溝114a同士は、貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びた連結溝114bによって連結されており、連結溝114bには、外部の真空源に接続するための接続孔115が設けられている。一方、第1補助プレート111’の下面側には、吸着溝114aと連通した吸着孔113が、吸着溝114aに沿って複数設けられている。第2補助プレート112’は、吸着溝114aおよび連結溝114bを覆っている。なお、補助プレート110、110’は、連結溝114bに外部の真空源に接続するための接続孔115を設けるかわりに、吸着溝114aおよびの連結溝114bのうちの1つの溝を、第1補助プレート111’の端部まで延ばして外部の真空源に接続してもよい。また、上記実施形態では、液体接着剤により接着層103を形成しているが、固体接着剤により接着層103を形成してもよい。固体接着剤により接着層103を形成した場合、液体接着剤により接着層103を形成した場合と比べて、押圧による補助プレート110の沈み込み量を減らすことができるので、補助プレート110に求められる強度の範囲を広げることができる。このため、固体接着剤により接着層103を形成した場合、例えば、連結溝114bを貼り合せ方向に対して直交する方向に設けることができる。さらに、上記実施形態では、第1板状部材101に接着層103を形成しているが、第2板状部材102に接着層103を形成してもよい。また、本発明に係る貼り合せ装置は、補助プレート110、110’を貼り合せステージ3上に、または貼り合せステージ3上から移動させる移動手段を備えていてもよい。これにより、本発明に係る貼り合せ装置では、第2板状部材102を吸着保持した状態の補助プレート110、110’を任意の作業位置へ移動させることが可能となる。例えば、接着剤を塗布するために塗布ステージ上に載置された第2板状部材102および補助プレート110を、移動手段により、貼り合せステージ3上に移動させることができる。また、上記実施形態では、第2ピロー6にのみ連結部6eおよび一対の重り部6fを設けたが、第1ピロー4にも設けることができる。なお、重り部6fの形状および大きさは任意に変更することができる。さらに、上記実施形態では、第2ピロー6の支持部6cが貼り合せ角度θに応じて傾動自在となるように、連結部6eおよび一対の重り部6fを設けているが、電気的駆動手段により支持部6cを傾動させてもよい。また、上記実施形態では、ステージ移動手段2を移動させて、貼り合せステージ3、第1ピロー4、第1ピロー駆動手段5、第2ピロー6および第2ピロー駆動手段7と、ローラー8との相対位置を変化させているが、ステージ移動手段2を移動させる替わりにローラー8を移動させてもよい。さらに、上記実施形態では、平板状の補助プレート110を用いたが、はじめから貼り合せ角度θ程度に湾曲しており、かつローラー8等の押圧手段に押圧されることにより平板化する程度の剛性を有する湾曲板状の補助プレートを用いてもよい。また、貼り合せの状態によっては例えば、厚み精度の条件が比較的緩い場合、自重により予め設定された範囲内で湾曲する程度の剛性を有する平板状または湾曲板状の補助プレートを用いてもよい。なお、補助プレート110が自重により湾曲する範囲補助プレート110の撓み量は、第1補助プレート111および第2補助プレート112の材質、厚さ、吸着溝114aや連結溝114bの配置、深さおよび本数等を変更することにより任意に設計する事ができる。また、上記実施形態では、液晶パネル第1板状部材101にカバーガラス第2板状部材102を貼り付けたが、本発明に係るフィルム貼付装置は、任意の第1板状部材101に任意の第2板状部材102を貼り付けることができ、例えば、ガラス第1板状部材101に、該ガラスよりも貼り合せ方向の長さが長いガラス第2板状部材102を貼り付けることができる。