"A、B1、B2、C及びDを含む感光性樹脂組成物。Aアルカリ可溶性樹脂B1炭素数2~4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物B2B1とは異なる重合性化合物C重合開始剤D溶剤B1が、炭素数2~4の環状エーテル構造及びメタアクリロイルオキシ基を有する重合性化合物である請求項1記載の感光性樹脂組成物。B1が、オキシラニル基及びメタアクリロイルオキシ基を有する重合性化合物又はオキセタニル基及びメタアクリロイルオキシ基を有する重合性化合物を含む請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。B2が、分子内に環状エーテル構造を有さないメタアクリル酸エステルである請求項1乃至3のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。B2が、分子内に環状エーテル構造を有さず、かつメタアクリロイルオキシ基を3つ以上有する重合性化合物である請求項1乃至4のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。B1の含有量が、AとB2との合計量100質量部に対して、1質量部以上20質量部以下である請求項1乃至5のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。Aが、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、炭素数2~4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体に由来する構造単位とを含む付加重合体である請求項1乃至6のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。請求項1乃至7のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物から形成されるパターン。請求項8記載のパターンを含む表示装置。しかしながら、従来から提案されている感光性樹脂組成物から得られるパターンは、回復率が必ずしも十分に満足できるものではなかった。本発明は、以下の[1]~[9]を提供するものである。[1]A、B1、B2、C及びDを含む感光性樹脂組成物。Aアルカリ可溶性樹脂B1炭素数2~4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物B2B1とは異なる重合性化合物C重合開始剤D溶剤[2]B1が、炭素数2~4の環状エーテル構造及びメタアクリロイルオキシ基を有する重合性化合物である[1]記載の感光性樹脂組成物。[3]B1が、オキシラニル基及びメタアクリロイルオキシ基を有する重合性化合物又はオキセタニル基及びメタアクリロイルオキシ基を有する重合性化合物を含む[1]記載の感光性樹脂組成物。[4]B2が、分子内に環状エーテル構造を有さないメタアクリル酸エステルである[1]乃至[3]のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。[5]B2が、分子内に環状エーテル構造を有さず、かつメタアクリロイルオキシ基を3つ以上有する重合性化合物である[1]乃至[4]のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。[6]B1の含有量が、AとB2との合計量100質量部に対して、1質量部以上20質量部以下である[1]乃至[5]のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。[7]Aが、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する構造単位と、炭素数2~4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する単量体に由来する構造単位とを含む付加重合体である[1]乃至[6]のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。[8][1]乃至[7]のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物から形成されるパターン。[9][8]記載のパターンを含む表示装置。本発明の感光性樹脂組成物によれば、該感光性樹脂組成物から形成されるパターンは、加重を抜いたときの回復率が高いため、機械特性に優れる。本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂A、炭素数2~4の環状エーテル構造及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物B1以下重合性化合物B1という場合がある、B1とは異なる重合性化合物B2以下重合性化合物B2という場合がある、重合開始剤C及び溶剤Dを含む感光性樹脂組成物である。なお、本明細書においては、各成分として例示する化合物は、特に断りのない限り、単独で又は組合せて使用することができる。本明細書において、メタアクリロイルオキシ基とは、アクリロイルオキシ基及びメタクリロイルオキシ基からなる群から選ばれる少なくとも1種を表す。メタアクリル酸及びメタアクリレート等の表記も同様の意味を有する。本発明の感光性樹脂組成物に用いられる樹脂は、アルカリ可溶性樹脂Aである。ここで、アルカリ可溶性とは、アルカリ化合物の水溶液に溶解する性質のことをいう。ここでいうアルカリ化合物の水溶液としては、感光性樹脂組成物からパターンを形成する際に得られる現像液が挙げられる。前記のアルカリ可溶性を示す樹脂としては、樹脂A-1:不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種a以下aという場合があると炭素数2~4の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体b以下bという場合があるとを重合してなる共重合体、樹脂A-2:a及びbと共重合可能な単量体cただし、a及びbとは異なる。以下cという場合があると、aとbとを重合してなる共重合体、樹脂A-3:aとcとを重合してなる共重合体、樹脂A-4:aとcとを重合してなる共重合体にbを反応させて得られる樹脂樹脂A-5:bとcとを重合してなる共重合体にaを反応させて得られる樹脂等が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂Aとしては、樹脂A-1及び樹脂A-2からなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、樹脂A-1がより好ましい。aとしては、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、o-ビニル安息香酸、m-ビニル安息香酸、p-ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、3‐ビニルフタル酸、4-ビニルフタル酸、3,4,5,6-テトラヒドロフタル酸、1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、1、4-シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類;メチル-5-ノルボルネン-2,3-ジカルボン酸、5-カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-6-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-カルボキシ-6-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類;無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3-ビニルフタル酸無水物、4-ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6-テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6-ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン無水物等の不飽和ジカルボン酸類無水物;こはく酸モノ2-メタアクリロイルオキシエチル、フタル酸モノ2-メタアクリロイルオキシエチル等の2価以上の多価カルボン酸の不飽和モノメタアクリロイルオキシアルキルエステル類;α-ヒドロキシメチルアクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。これらのうち、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が共重合反応性の点やアルカリ溶解性の点から好ましく用いられる。bは、炭素数2~4の環状エーテル構造例えば、オキシラン環、オキセタン環及びテトラヒドロフラン環からなる群から選ばれる少なくとも1種を有する不飽和化合物であり、炭素数2~4の環状エーテル構造とエチレン性不飽和二重結合とを有する化合物が好ましく、炭素数2~4の環状エーテル構造とメタアクリロイルオキシ基とを有する化合物がより好ましい。かかるbは、上述のa又はcと共重合可能なものである。bとしては、例えば、オキシラニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体b1以下b1という場合がある、オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体b2以下b2という場合がある、テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体b3以下b3という場合がある等が挙げられる。b1としては、直鎖状又は分枝鎖状の脂肪族不飽和炭化水素がエポキシ化された構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体b1-1以下b1-1という場合がある、脂環式不飽和炭化水素がをエポキシ化された構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体b1-2以下b1-2という場合があるが挙げられる。b1としては、オキシラニル基とメタアクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましく、不飽和脂環式炭化水素がエポキシ化された構造とメタアクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。これらの単量体であると、感光性樹脂組成物の保存安定性に優れる。b1-1としては、具体的には、グリシジルメタアクリレート、β-メチルグリシジルメタアクリレート、β-エチルグリシジルメタアクリレート、グリシジルビニルエーテル、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、α-メチル-p-ビニルベンジルグリシジルエーテル、2,3-ビスグリシジルオキシメチルスチレン、2,4-ビスグリシジルオキシメチルスチレン、2,5-ビスグリシジルオキシメチルスチレン、2,6-ビスグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,4-トリスグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,5-トリスグリシジルオキシメチルスチレン、2,3,6-トリスグリシジルオキシメチルスチレン、3,4,5-トリスグリシジルオキシメチルスチレン、2,4,6-トリスグリシジルオキシメチルスチレン、特開平7-248625号公報に記載される化合物等が挙げられる。b1-2としては、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、1,2-エポキシ-4-ビニルシクロヘキサン例えば、セロキサイド2000;ダイセル化学工業株製、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート例えば、サイクロマーA400;ダイセル化学工業株製、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート例えば、サイクロマーM100;ダイセル化学工業株製、式Iで表される化合物、式IIで表される化合物等が挙げられる。[式I及び式IIにおいて、R1及びR2は、互いに独立に、水素原子、又は炭素数1~4のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる水素原子はヒドロキシ基で置換されていてもよい。X1及びX2は、互いに独立に、単結合、-R3-、-R3-O-、-R3-S-、-R3-NH-を表す。R3は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。は、Oとの結合手を表す。]炭素数1~4のアルキル基としては、具体的には、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基等が挙げられる。ヒドロキシアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、1-ヒドロキシエチル基、2-ヒドロキシエチル基、1-ヒドロキシプロピル基、2-ヒドロキシプロピル基、3-ヒドロキシプロピル基、1-ヒドロキシ-1-メチルエチル基、2-ヒドロキシ-1-メチルエチル基、1-ヒドロキシブチル基、2-ヒドロキシブチル基、3-ヒドロキシブチル基、4-ヒドロキシブチル基等が挙げられる。R1及びR2としては、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、1-ヒドロキシエチル基、2-ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基等が挙げられる。X1及びX2としては、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、-CH2-O-はOとの結合手を表す基、-CH2CH2-O-基が挙げられ、より好ましくは単結合、-CH2CH2-O-基が挙げられる。式Iで表される化合物としては、式I-1~式I-15のいずれかで表される化合物等が挙げられる。好ましくは式I-1、式I-3、式I-5、式I-7、式I-9又は式I-11~式I-15で表される化合物が挙げられる。より好ましくは式I-1、式I-7、式I-9又は式I-15で表される化合物が挙げられる。式IIで表される化合物としては、式II-1~式II-15のいずれかで表される化合物等が挙げられる。好ましくは式II-1、式II-3、式II-5、式II-7、式II-9又は式II-11~式II-15で表される化合物が挙げられる。より好ましくは式II-1、式II-7、式II-9又は式II-15で表される化合物が挙げられる。式Iで表される化合物及び式IIで表される化合物は、それぞれ単独でb1-2として用いることができる。また、それらは、任意の比率で混合し、b1-2として用いることもできる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式I:式IIで、5:95~95:5、より好ましくは10:90~90:10、とりわけ好ましくは20:80~80:20である。b2としては、オキセタニル基とメタアクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましい。b2としては、例えば、3-メチル-3-メタアクリロイルオキシメチルオキセタン、3-エチル-3-メタアクリロイルオキシメチルオキセタン、3-メチル-3-メタアクリロイルオキシエチルオキセタン、3-エチル-3-メタアクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。b3としては、テトラヒドロフリル基とメタアクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましい。b3としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート例えば、ビスコートV150、大阪有機化学工業株製、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。cとしては、メタアクリル酸エステル類、N-置換マレイミド類、不飽和ジカルボン酸ジエステル類、脂環式不飽和化合物類、スチレン類、その他のビニル化合物等が挙げられる。メタアクリル酸エステル類としては、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、sec-ブチルメタアクリレート、tert-ブチルメタアクリレート等のアルキルエステル類;シクロヘキシルメタアクリレート、2-メチルシクロヘキシルメタアクリレート、トリシクロ[5.2.1.026]デカン-8-イルメタアクリレート当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニルメタアクリレートといわれている。、トリシクロ[5.2.1.026]デセン-8-イルメタアクリレート当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンテニルメタアクリレートといわれている。、ジシクロペンタニルオキシエチルメタアクリレート、イソボルニルメタアクリレート等のシクロアルキルエステル類;2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート等のヒドロキシアルキルエステル類;フェニルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレート等のアリール及びアラルキルエステル類等が挙げられる。不飽和ジカルボン酸ジエステル類としては、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等が挙げられる。N-置換マレイミド類としては、N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド、N-スクシンイミジル-3-マレイミドベンゾエート、N-スクシンイミジル-4-マレイミドブチレート、N-スクシンイミジル-6-マレイミドカプロエート、N-スクシンイミジル-3-マレイミドプロピオネート、N-9-アクリジニルマレイミド等が挙げられる。脂環式不飽和化合物類としては、ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-2’-ヒドロキシエチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジ2’-ヒドロキシエチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシ-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシ-5-エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-ヒドロキシメチル-5-メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-tert-ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5-フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ビスtert-ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン、5,6-ビスシクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン等のビシクロ不飽和化合物類等が挙げられる。スチレン類としては、スチレン、α-メチルスチレン、m-メチルスチレン、p-メチルスチレン、ビニルトルエン、p-メトキシスチレン等が挙げられる。その他のビニル化合物としては、メタアクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、メタアクリルアミド、酢酸ビニル、1,3-ブタジエン、イソプレン、2,3-ジメチル-1,3-ブタジエン等が挙げられる。cとしては、スチレン、N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド、ジシクロペンテニルメタアクリレート、ビシクロ[2.2.1]ヘプト-2-エン等が、共重合反応性及びアルカリ溶解性の点から好ましい。樹脂A-1において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂A-1を構成する構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。aに由来する構造単位;5~60モルより好ましくは10~50モルbに由来する構造単位;40~95モルより好ましくは50~90モル樹脂A-1の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、感光性樹脂組成物の保存安定性、パターンを形成する際の現像性、並びに、パターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度が良好になる傾向がある。樹脂A-1としては、bがb1である樹脂A-1が好ましく、bがb1-2である樹脂A-1がより好ましい。樹脂A-1は、例えば、文献高分子合成の実験法大津隆行著発行所株化学同人第1版第1刷1972年3月1日発行に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。具体的には、a及びbの所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に入れて、例えば、窒素により大気中の酸素を置換することにより、脱酸素雰囲気にして、攪拌しながら、加熱及び保温する方法が例示される。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。例えば、重合開始剤としては、アゾ化合物2,2′-アゾビスイソブチロニトリル、2,2′-アゾビス2,4-ジメチルバレロニトリル等や有機過酸化物ベンゾイルペルオキシド等が挙げられ、溶剤としては、各単量体を溶解するものであればよく、感光性樹脂組成物の溶剤Dとして後述する溶剤等を用いることができる。得られる樹脂の分子量を調整するために、重合反応の際に連鎖移動剤を加えてもよい。連鎖移動剤としては、n-ブタンチオール、tert-ブタンチオール、n-ドデカンチオール、2-スルファニルエタノール、チオグリコール酸、チオグリコール酸エチル、チオグリコール酸2-エチルヘキシル、チオグリコール酸メトキシブチル、3-スルファニルプロピオン酸、スルファニル基含有シリコーンKF-2001:信越化学製等のチオール類;クロロホルム、四塩化炭素、四臭化炭素等のハロゲン化アルキル類等が挙げられる。なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま本発明の感光性樹脂組成物の調製に使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体粉体として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる溶剤と同一の溶剤を使用することにより、反応後の溶液をそのまま本発明の感光性樹脂組成物の調製に使用することができるため、本発明の感光性樹脂組成物の製造工程を簡略化することができる。樹脂A-2において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂A-2を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。aに由来する構造単位;2~40モルより好ましくは5~35モルbに由来する構造単位;2~95モルより好ましくは5~80モルcに由来する構造単位;1~65モルより好ましくは1~60モル樹脂A-2の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、感光性樹脂組成物の保存安定性、パターンを形成する際の現像性、並びに、パターンの耐溶剤性及び耐熱性が良好になる傾向がある。樹脂A-2としては、bがb1である樹脂A-2が好ましく、bがb1-2である樹脂A-2がより好ましい。樹脂A-2は、樹脂A-1と同様の方法により製造することができる。樹脂A-3において、各単量体に由来する構造単位の比率が、樹脂A1-1を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。aに由来する構造単位;2~40モルより好ましくは5~35モルcに由来する構造単位;60~98モルより好ましくは65~95モル樹脂A-3の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、感光性樹脂組成物の保存安定性、パターンを形成する際の現像性、パターンの耐溶剤性が良好になる傾向がある。樹脂A-3は、樹脂A-1と同様の方法により製造することができる。樹脂A-4は、aとcとの共重合体に、bを反応させて得られる樹脂である。樹脂A-4は、例えば、二段階の工程を経て製造することができる。この場合も、上述した文献高分子合成の実験法大津隆行著発行所株化学同人第1版第1刷1972年3月1日発行に記載された方法、特開2001-89533号公報に記載された方法等を参考にして製造することができる。まず、第一段階として、上述した樹脂A-1の製造方法と同様にして、aとcとの共重合体を得る。この場合、上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体粉体として取り出したものを使用してもよい。また、上記と同様のポリスチレン換算の重量平均分子量及び分子量分布[重量平均分子量Mw/数平均分子量Mn]とすることが好ましい。ただし、a及びcに由来する構造単位の比率が、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。aに由来する構造単位;5~50モルより好ましくは10~45モルcに由来する構造単位;50~95モルより好ましくは55~90モル次に、第二段階として、得られた共重合体に由来するaのカルボン酸及びカルボン酸無水物の一部を、前述のbの環状エーテルと反応させる。環状エーテルの反応性が高く、未反応のbが残存しにくいことから、樹脂A1-2に用いられるbとしてはb1又はb2が好ましく、b1-1がより好ましい。具体的には、上記に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、aのモル数に対して、5~80モルのb、カルボキシ基と環状エーテルとの反応触媒例えばトリスジメチルアミノメチルフェノール等をa、b及びcの合計量に対して0.001~5質量、及び重合禁止剤例えばハイドロキノン等をa、b及びcの合計量に対して0.001~5質量をフラスコ内に入れて、60~130°Cで、1~10時間反応させ、樹脂A1-2を得ることができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。また、この場合、bのモル数は、aのモル数に対して、10~75モルとすることが好ましく、より好ましくは15~70モルである。この範囲とすることにより、感光性樹脂組成物の保存安定性、パターンを形成する際の現像性及び感度、並びに、パターンの耐溶剤性及び耐熱性のバランスが良好になる傾向がある。樹脂A-4の具体例としては、メタアクリル酸/ジシクロペンタニルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/ベンジルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/スチレンの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/メタアクリル酸メチルの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/ジシクロペンタニルメタアクリレート/ベンジルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/ジシクロペンタニルメタアクリレート/シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/ジシクロペンタニルメタアクリレート/スチレンの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/ジシクロペンタニルメタアクリレート/メタアクリル酸メチルの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸/ジシクロペンタニルメタアクリレート/N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/ジシクロペンタニルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂;クロトン酸/ベンジルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/スチレンの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/クロトン酸メチルの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸/N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレート/ベンジルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレンの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートクロトン酸メチルの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂;マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ベンジルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸スチレンの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸マレイン酸メチルの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレンの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートマレイン酸メチルの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂;メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ベンジルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物スチレンの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物メタアクリル酸メチルの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレンの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートメタアクリル酸メチルの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジルメタアクリレートを反応させた樹脂;メタアクリル酸ジシクロペンタニルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸ベンジルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸スチレンの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸メタアクリル酸メチルの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレンの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸ジシクロペンタニルメタアクリレートメタアクリル酸メチルの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂;クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ベンジルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸スチレンの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸クロトン酸メチルの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレンの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートクロトン酸メチルの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂;マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ベンジルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸スチレンの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸マレイン酸メチルの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレンの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートマレイン酸メチルの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂;メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ベンジルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物シクロヘキシルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物スチレンの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物メタアクリル酸メチルの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物N-シクロヘキシルマレイミドの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレンの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートメタアクリル酸メチルの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、メタアクリル酸マレイン酸無水物ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドの共重合体に3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂等が挙げられる。樹脂A-5は、第一段階として、上述した樹脂A-1の製造方法と同様にして、bとcとの共重合体を得る。この場合、上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体粉体として取り出したものを使用してもよい。b及びcに由来する構造単位の比率が、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。bに由来する構造単位;5~95モルより好ましくは10~90モルcに由来する構造単位;5~95モルより好ましくは10~90モルさらに、樹脂A-4の製造方法と同様にして、bととの共重合体中のbに由来する環状エーテルに、aが有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより得ることができる。環状エーテルとカルボン酸又はカルボン酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、さらにカルボン酸無水物を反応させてもよい。前記の共重合体に反応させるaの使用量は、bのモル数に対して5~80モルであることが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応のbが残存しにくいことから、bとしてはb1が好ましく、さらにb1-1が好ましい。樹脂A-5の具体例としては、ジシクロペンタニルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ベンジルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、シクロヘキシルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、スチレングリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、メタアクリル酸メチルグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、N-シクロヘキシルマレイミドグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレングリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートメタアクリル酸メチルグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂;ジシクロペンタニルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ベンジルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、スチレングリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、クロトン酸メチルグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、N-シクロヘキシルマレイミドグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレングリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートクロトン酸メチルグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドグリシジルメタアクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂;ジシクロペンタニルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ベンジルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、スチレングリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、マレイン酸メチルグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、N-シクロヘキシルマレイミドグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレングリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートマレイン酸メチルグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドグリシジルメタアクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂;ジシクロペンタニルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ベンジルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、シクロヘキシルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、スチレングリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、メタアクリル酸メチルグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、N-シクロヘキシルマレイミドグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレートグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレングリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートメタアクリル酸メチルグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミドグリシジルメタアクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂;ジシクロペンタニルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ベンジルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、シクロヘキシルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、スチレン3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、メタアクリル酸メチル3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、N-シクロヘキシルマレイミド3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレン3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートメタアクリル酸メチル3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミド3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸を反応させた樹脂;ジシクロペンタニルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ベンジルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、スチレン3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、クロトン酸メチル3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、N-シクロヘキシルマレイミド3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレン3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートクロトン酸メチル3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミド3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にクロトン酸を反応させた樹脂;ジシクロペンタニルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ベンジルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、シクロヘキシルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、スチレン3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、マレイン酸メチル3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、N-シクロヘキシルマレイミド3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレン3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートマレイン酸メチル3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミド3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にマレイン酸を反応させた樹脂;ジシクロペンタニルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ベンジルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、シクロヘキシルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、スチレン3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、メタアクリル酸メチル3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、N-シクロヘキシルマレイミド3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートベンジルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートシクロヘキシルメタアクリレート3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートスチレン3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートメタアクリル酸メチル3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂、ジシクロペンタニルメタアクリレートN-シクロヘキシルマレイミド3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートの共重合体にメタアクリル酸及びマレイン酸無水物を反応させた樹脂等が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂Aのポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3,000~100,000、より好ましくは5,000~50,000である。アルカリ可溶性樹脂Aの重量平均分子量が、前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物は塗布性に優れる傾向があり、またパターンを作製する際の現像時に露光部の膜減りが生じにくく、さらに非露光部が現像で除去されやすい。アルカリ可溶性樹脂Aの分子量分布[重量平均分子量Mw/数平均分子量Mn]は、好ましくは1.1~6.0であり、より好ましくは1.2~4.0である。分子量分布が、前記の範囲にあると、パターンを作製する際の現像性に優れる傾向がある。アルカリ可溶性樹脂Aの酸価は、20~150mgKOH/gであり、好ましくは40~135mgKOH/g、より好ましくは50~135mgKOH/gである。アルカリ可溶性樹脂Aの含有量は、アルカリ可溶性樹脂A、重合性化合物B1及び重合性化合物B2の合計量に対して、好ましくは5~95質量、より好ましくは20~80質量であり、さらに好ましくは40~60質量である。アルカリ可溶性樹脂Aの含有量が、前記の範囲にあると、パターンを高感度で形成することができ、かつ現像性に優れる。本発明の感光性樹脂組成物は、重合性化合物B1及び重合性化合物B2を含む。重合性化合物B1は、炭素数2~4の環状エーテルとエチレン性不飽和二重結合とを有する重合性化合物である。重合性化合物B1としては、例えば、炭素数2~4の環状エーテル構造とメタアクリロイルオキシ基とを有する重合性化合物が好ましい。重合性化合物B1としては、例えば、オキシラニル基及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物B1-1以下B1-1という場合がある、オキセタニル基及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物B1-2以下B1-2という場合がある及びテトラヒドロフリル基及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物B1-3以下B1-3という場合がある等が挙げられる。B1-1としては、直鎖状又は分枝鎖状の脂肪族不飽和炭化水素がエポキシ化された構造及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに、脂環式不飽和炭化水素がエポキシ化された構造及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物が挙げられる。また、B1-1としては、オキシラニル基とメタアクリロイルオキシ基とを有する重合性化合物が好ましい。直鎖状又は分枝鎖状の不飽和脂肪族炭化水素がエポキシ化された構造とメタアクリロイルオキシ基とを有する重合性化合物としては、グリシジルメタアクリレートが特に好ましい。不飽和脂環式炭化水素がエポキシ化された構造及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物としては、式Iで表される化合物及び式IIで表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種であることが特に好ましい。B1-2としては、オキセタニル基とメタアクリロイルオキシ基とを有する重合性化合物が好ましく、3-エチル-3-アクリロイルオキシメチルオキセタンが特に好ましい。B1-3としては、テトラヒドロフリル基とメタアクリロイルオキシ基とを有する化合物が好ましい。重合性化合物B1として具体的には、前記bとして挙げた化合物と同じものが挙げられる。重合性化合物B1の使用量は、アルカリ可溶性樹脂A及び重合性化合物B2の合計量100質量部に対して、好ましくは1~20質量部、より好ましくは2~15質量部である。重合性化合物B1の量が前記の範囲にあると、機械特性がより一層良好である。重合性化合物B1の使用量は、重合性化合物B2の含有量100質量部に対して、好ましくは1~40質量部、より好ましくは2~30質量部、特に好ましくは5~10質量部である。重合性化合物B1の量が前記の範囲にあると、機械特性がより一層良好である。重合性化合物B2は、重合性化合物B1とは異なる重合性化合物である。重合性化合物B2は、重合開始剤Cから発生した活性ラジカルによって重合しうる化合物であって、例えば、分子内に環状エーテル構造を有さず、かつエチレン性不飽和結合を有する化合物である。重合性化合物B2としては、例えば、前記a及びcとして挙げた化合物と同じものが挙げられる。重合性化合物B2としては、例えば、分子内に環状エーテル構造を有さないメタアクリル酸エステルが挙げられる。エチレン性不飽和結合を2つ有する重合性化合物B2としては、1,3―ブタンジオールジメタアクリレート、1,3-ブタンジオールメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、エチレングリコールジメタアクリレート、ジエチレングリコールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、トリエチレングリコールジメタアクリレート、テトラエチレングリコールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ビスフェノールAのビスアクリロイロキシエチルエーテル、エトキシ化ビスフェノールAジメタアクリレート、プロポキシ化ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、エトキシ化ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、3-メチルペンタンジオールジメタアクリレート等が挙げられる。エチレン性不飽和結合を3つ以上有する重合性化合物B2としては、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、トリス2-ヒドロキシエチルイソシアヌレートトリメタアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリメタアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、トリペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレートと酸無水物との反応物、トリペンタエリスリトールヘプタメタアクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリメタアクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、カプロラクトン変性トリス2-ヒドロキシエチルイソシアヌレートトリメタアクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタメタアクリレート、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールオクタメタアクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリメタアクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレートと酸無水物との反応物、カプロラクトン変性トリペンタエリスリトールヘプタメタアクリレートと酸無水物との反応物等が挙げられる。また、重合性化合物B2としては、エチレンオキサイド変性以下EO変性という場合がある又はプロピレンオキサイド変性以下PO変性という場合があるを施したポリオール化合物のメタアクリレート類や、ウレタン結合を有するアクリレート、エポキシ樹脂とアクリル酸の反応により生成するエポキシアクリレート樹脂、シロキサン結合を有するアクリル化合物も挙げられる。EO変性を施したポリオール化合物としては、EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、EO変性ペンタエリスリトールテトラアクリレート、EO変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、EO変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が挙げられる。中でも、重合性化合物B2としては、分子内に環状エーテル構造を有さず、かつエチレン性不飽和結合を3つ以上有する重合性化合物が好ましく、分子内に環状エーテル構造を有さず、かつメタアクリロイルオキシ基を3つ以上有する重合性化合物がより好ましく、ジペンタエリスリトールのメタアクリル酸エステルがさらに好ましく、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレートが特に好ましい。重合性化合物B2の含有量は、アルカリ可溶性樹脂A、重合性化合物B1及び重合性化合物B2の合計量に対して、好ましくは5~95質量、より好ましくは20~80質量であり、さらに好ましくは30~70質量であり、特に好ましくは40~55質量である。重合性化合物B2の含有量が、前記の範囲にあると、感度や、平滑性及び信頼性が良好になる傾向がある。本発明の感光性樹脂組成物は、重合開始剤Cを含む。重合開始剤Cとしては、光又は熱の作用により重合を開始しうる化合物であれば特に限定されることなく、公知の重合開始剤を用いることができる。重合開始剤Cとして、例えば、アルキルフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物が挙げられる。また、特開2008-181087号公報に記載された光及び/又は熱カチオン重合開始剤例えば、オニウムカチオンとルイス酸由来のアニオンとから構成されているものを用いてもよい。中でも、ビイミダゾール化合物、アルキルフェノン化合物及びオキシムエステル化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、特にビイミダゾール化合物及びオキシムエステル化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。これらの化合物を含む重合開始剤であると、特に、高感度になる傾向があり好ましい。前記のアルキルフェノン化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、ベンジルジメチルケタール、2-ヒドロキシ-1-4-2-ヒドロキシエトキシフェニル-2-メチルプロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル-ベンジル]―フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-モルホリノ-1-4-メチルスルファニルフェニル-2-メチルプロパン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-ベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-メチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-3-メチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-エチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-プロピルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-ブチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2,3-ジメチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2、4-ジメチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-クロロベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-ブロモベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-3-クロロベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-クロロベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-3-ブロモベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-ブロモベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-メトキシベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-3-メトキシベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-4-メトキシベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-メチル-4-メトキシベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-メチル-4-ブロモベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ジメチルアミノ-2-2-ブロモ-4-メトキシベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-4-1-メチルビニルフェニルプロパン-1-オンのオリゴマー等が挙げられる。前記のビイミダゾール化合物としては、2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス2,3-ジクロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール例えば、特開平6-75372号公報、特開平6-75373号公報等参照。、2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラアルコキシフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラジアルコキシフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラトリアルコキシフェニルビイミダゾール例えば、特公昭48-38403号公報、特開昭62-174204号公報等参照。、4,4’5,5’-位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物例えば、特開平7-10913号公報等参照。等が挙げられる。好ましくは2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス2、3-ジクロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス2、4-ジクロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。前記のトリアジン化合物としては、2,4-ビストリクロロメチル-6-4-メトキシフェニル-1,3,5-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-4-メトキシナフチル-1,3,5-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-ピペロニル-1,3,5-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6--1,3,5-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-2-5-メチルフラン-2-イルエテニル-1,3,5-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-2-フラン-2-イルエテニル-1,3,5-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-2-4-ジエチルアミノ-2-メチルフェニルエテニル-1,3,5-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-2-3,4-ジメトキシフェニルエテニル-1,3,5-トリアジン等が挙げられる。前記のアシルホスフィンオキサイド化合物としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。前記のオキシムエステル化合物としては、N-ベンゾイルオキシ-1-4-フェニルスルファニルフェニルブタン-1-オン-2-イミン、N-エトキシカルボニルオキシ-1-フェニルプロパン-1-オン-2-イミン、N-ベンゾイルオキシ-1-4-フェニルスルファニルフェニルオクタン-1-オン-2-イミン、N-アセトキシ-1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]エタン-1-イミン、N-アセトキシ-1-[9-エチル-6-{2-メチル-4-3,3-ジメチル-2,4-ジオキサシクロペンタニルメチルオキシベンゾイル}-9H-カルバゾール-3-イル]エタン-1-イミン等が挙げられる。イルガキュア登録商標OXE-01、OXE-02以上、チバジャパン社製、N-1919ADEKA社製等の市販品を用いてもよい。さらに重合開始剤Cとしては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン系化合物;ベンゾフェノン、o-ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、4-ベンゾイル-4’-メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’-テトラtert-ブチルパーオキシカルボニルベンゾフェノン、2,4,6-トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物;9,10-フェナンスレンキノン、、2-エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン系化合物;10-ブチル-2-クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。これらは、後述の重合開始助剤C1と組み合わせて用いることが好ましい。また、連鎖移動を起こしうる基を有する重合開始剤として、特表2002-544205号公報に記載されている光重合開始剤を使用してもよい。前記の連鎖移動を起こしうる基を有する重合開始剤としては、例えば、下記式a~fの化合物が挙げられる。前記の連鎖移動を起こしうる基を有する重合開始剤は、アルカリ可溶性樹脂Aを構成する成分cとしても使用することができる。本発明の感光性樹脂組成物において、上述した重合開始剤Cとともに、重合開始助剤C1を用いることができる。重合開始助剤C1は、重合開始剤Cと組み合わせて用いられ、重合開始剤によって重合が開始された重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。重合開始助剤C1としては、下記式III~式Vで表される化合物、チオキサントン化合物、アミン化合物及びカルボン酸化合物等が挙げられる。[式III中、W1で示される点線はハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数6~12の芳香環を表す。Y1は、-O-又は-S-を表す。R4は、炭素数1~6の1価の飽和炭化水素基を表す。R5は、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1~12の1価の飽和炭化水素基又はハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数6~12のアリール基を表す。]ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。炭素数6~12の芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環等が挙げられる。ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数6~12の芳香環としては、例えば、ベンゼン環、メチルベンゼン環、ジメチルベンゼン環、エチルベンゼン環、プロピルベンゼン環、ブチルベンゼン環、ペンチルベンゼン環、ヘキシルベンゼン環、シクロヘキシルベンゼン環、クロロベンゼン環、ジクロロベンゼン環、ブロモベンゼン環、ジブロモベンゼン環、フェニルベンゼン環、クロロフェニルベンゼン環、ブロモフェニルベンゼン環、ナフタレン環、クロロナフタレン環、ブロモナフタレン環等が挙げられる。炭素数1~6の1価の飽和炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、1-メチルプロピル基、2-メチルプロピル基、tert-ブチル基、n-ペンチル基、1-メチルブチル基、2-メチルブチル基、3-メチルブチル基、1,1-ジメチルプロピル基、1,2-ジメチルプロピル基、2,2-ジメチルプロピル基、n-ヘキシル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1~12の1価の飽和炭化水素基としては、例えば、上記の炭素数1~6の1価の飽和炭化水素基に加え、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、1-クロロブチル基、2-クロロブチル基、3-クロロブチル基等が挙げられる。ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数6~12のアリール基としては、フェニル基、クロロフェニル基、ジクロロフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、クロロブロモフェニル基、ビフェニル基、クロロビフェニル基、ジクロロビフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、ナフチル基、クロロナフチル基、ジクロロナフチル基、ブロモナフチル基、ジブロモナフチル基等が挙げられる。式IIIで表される化合物として、具体的には、2-[2-オキソ-2-2-フェニルエチリデン]-3-メチルナフト[2,1-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-フェニルエチリデン]-3-メチルナフト[1,2-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-フェニルエチリデン]-3-メチルナフト[2,3-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチルベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチルベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-フェニルベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-フェニルベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-フルオロベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-フルオロベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-クロロベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-クロロベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-ブロモベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-ブロモベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フェニルフェニルエチリデン]-3-メチルベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フェニルフェニルエチリデン]-3-メチル-5-フェニルベンゾチアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチルナフト[2,1-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチルナフト[1,2-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フェニルフェニルエチリデン]-3-メチルナフト[2,1-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フェニルフェニルエチリデン]-3-メチルナフト[1,2-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フルオロフェニルエチリデン]-3-メチルナフト[2,1-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フルオロフェニルエチリデン]-3-メチルナフト[1,2-d]チアゾリン、2-[2-オキソ-2-2-フェニルエチリデン]-3-メチルナフト[2,1-d]オキサゾリン、2-[2-オキソ-2-2-フェニルエチリデン]-3-メチルナフト[1,2-d]オキサゾリン、2-[2-オキソ-2-2-フェニルエチリデン]-3-メチルナフト[2,3-d]オキサゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチルベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチルベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-フェニルベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-フェニルベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-フルオロベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-フルオロベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-クロロベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-クロロベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-ブロモベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチル-5-ブロモベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フェニルフェニルエチリデン]-3-メチルベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フェニルフェニルエチリデン]-3-メチル-5-フェニルベンゾオキサゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチルナフト[2,1-d]オキサゾリン、2-[2-オキソ-2-1-ナフチルエチリデン]-3-メチルナフト[1,2-d]オキサゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フェニルフェニルエチリデン]-3-メチルナフト[2,1-d]オキサゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フェニルフェニルエチリデン]-3-メチルナフト[1,2-d]オキサゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フルオロフェニルエチリデン]-3-メチルナフト[2,1-d]オキサゾリン、2-[2-オキソ-2-4-フルオロフェニルエチリデン]-3-メチルナフト[1,2-d]オキサゾリン等が挙げられる。[式IV及び式V中、環W2、環W3及び環W4は、互いに独立に、炭素数6~12の芳香環又は炭素数2~10の複素環を表し、該芳香環及び該複素環に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。Y2~Y5は、互いに独立に、-O-又は-S-を表す。R6~R9は、互いに独立に、炭素数1~12の1価の飽和炭化水素基又は炭素数6~12のアリール基を表し、該飽和炭化水素基及び該アリール基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数1~6のアルコキシ基で置換されていてもよい。]炭素数6~12の芳香環としては、式IIIで挙げたものと同様の芳香環が挙げられ、該芳香環に含まれる水素原子は、前記で挙げたハロゲン原子で任意に置換されていてもよい。ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数2~10の複素環としては、ピリジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、ピラジン環、ピラン環等が挙げられる。1価のヒドロキシ基置換飽和炭化水素基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブチル基等が挙げられる。ヒドロキシ基置換アリール基としては、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基等が挙げられる。1価のアルコキシ基置換飽和炭化水素基としては、メトキシメチル基、メトキシエチル基、メトキシプロピル基、メトキシブチル基、ブトキシメチル基、エトキシエチル基、エトキシプロピル基、プロポキシブチル基等が挙げられる。アルコキシ基置換アリール基としては、メトキシフェニル基、エトキシナフチル基等が挙げられる。式IV及び式Vで表される化合物としては、具体的には、ジメトキシナフタレン、ジエトキシナフタレン、ジプロポキシナフタレン、ジイソプロポキシナフタレン、ジブトキシナフタレン等のジアルコキシナフタレン類;9,10-ジメトキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジメトキシアントラセン、9,10-ジエトキシアントラセン、2-エチル-9,10-ジエトキシアントラセン、ジプロポキシアントラセン、ジイソプロポキシアントラセン、ジブトキシアントラセン、ジペンチルオキシアントラセン、ジヘキシルオキシアントラセン、メトキシエトキシアントラセン、メトキシプロポキシアントラセン、メトキシイソプロポキシアントラセン、メトキシブトキシアントラセン、エトキシプロポキシアントラセン、エトキシイソプロポキシアントラセン、エトキシブトキシアントラセン、プロポキシイソプロポキシアントラセン、プロポキシブトキシアントラセン、イソプロポキシブトキシアントラセン等のジアルコキシアントラセン類;ジメトキシナフタセン、ジエトキシナフタセン、ジプロポキシナフタセン、ジイソプロポキシナフタセン、ジブトキシナフタセン等のジアルコキシナフタセン類;等が挙げられる。チオキサントン化合物としては、例えば、2-イソプロピルチオキサントン、4-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン等が挙げられる。アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン等の脂肪族アミン化合物、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4-ジメチルアミノ安息香酸2-エチルヘキシル、安息香酸2-ジメチルアミノエチル、N,N-ジメチルパラトルイジン、4,4’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン通称;ミヒラーズケトン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノンのような芳香族アミン化合物が挙げられる。カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、N-フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N-ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等の芳香族ヘテロ酢酸類が挙げられる。重合開始剤Cと重合開始助剤C1との組合せとしては、アセトフェノン化合物とチオキサントン化合物、アセトフェノン化合物と芳香族アミン化合物が挙げられ、具体的には、2-モルホリノ-1-4-メチルスルファニルフェニル-2-メチルプロパン-1-オンと2,4-ジエチルチオキサントン、2-ジメチルアミノ-2-ベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オンと2,4-ジエチルチオキサントン、2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オンと2,4-ジエチルチオキサントン、2-モルホリノ-1-4-メチルスルファニルフェニル-2-メチルプロパン-1-オンと2-イソプロピルチオキサントンと4-イソプロピルチオキサントン、2-モルホリノ-1-4-メチルスルファニルフェニル-2-メチルプロパン-1-オンと4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、2-ジメチルアミノ-2-ベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オンと4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、2-ジメチルアミノ-2-4-メチルベンジル-1-4-モルホリノフェニルブタン-1-オンと4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン等が挙げられる。中でも、アセトフェノン化合物とチオキサントン化合物との組合せが好ましく、2-モルホリノ-1-4-メチルスルファニルフェニル-2-メチルプロパン-1-オンと2,4-ジエチルチオキサントン、2-モルホリノ-1-4-メチルスルファニルフェニル-2-メチルプロパン-1-オンと2-イソプロピルチオキサントンと4-イソプロピルチオキサントンがより好ましい。これらの組合せであると、高感度で、かつ可視光透過率の高いパターンが得られる。重合開始剤Cの含有量は、アルカリ可溶性樹脂A、重合性化合物B1及び重合性化合物B2の合計量100質量部に対して、好ましくは0.5~30質量部、より好ましくは1~20質量部であり、さらに好ましくは1~10質量部である。重合開始剤Cの含有量が前記の範囲にあると、高感度でパターンを得ることができる。重合開始助剤C1の使用量は、アルカリ可溶性樹脂A、重合性化合物B1及び重合性化合物B2の合計量100質量部に対して、好ましくは0.1~10質量部、より好ましくは0.3~7質量部である。重合開始助剤C1の量が前記の範囲にあると、高感度でパターンを得ることができ、得られるパターンは形状が良好である。本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤Dを含む。本発明において使用し得る溶剤としては、例えば、エステル溶剤分子内に-COO-を含み、-O-を含まない溶剤、エーテル溶剤分子内に-O-を含み、-COO-を含まない溶剤、エーテルエステル溶剤分子内に-COO-と-O-とを含む溶剤、ケトン溶剤分子内に-CO-を含み、-COO-を含まない溶剤、アルコール溶剤、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤、ジメチルスルホキシド等の中から選択して用いることができる。エステル溶剤としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2-ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n-ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート、γ-ブチロラクトン等が挙げられる。エーテル溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、3-メトキシ-1-ブタノール、3-メトキシ-3-メチルブタノール、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4-ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、アニソール、フェネトール、メチルアニソール等が挙げられる。エーテルエステル溶剤としては、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシプロピオン酸メチル、2-メトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシプロピオン酸プロピル、2-エトキシプロピオン酸メチル、2-エトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-エトキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。ケトン溶剤としては、4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペンタノン、アセトン、2-ブタノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン、4-ヘプタノン、4-メチル-2-ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロン等が挙げられる。アルコール溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン等が挙げられる。芳香族炭化水素溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等が挙げられる。アミド溶剤としては、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン等が挙げられる。これらの溶剤は、単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、1atmにおける沸点が120°C以上180°C以下である有機溶剤が好ましい。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシ-1-ブタノール等が好ましい。溶剤Dがこれらの溶剤であると、塗布時のムラを抑制し、塗膜の平坦性を良好にすることができる。感光性樹脂組成物における溶剤Dの含有量は、感光性樹脂組成物に含まれる成分の合計量に対して、好ましくは60~95質量であり、より好ましくは63~90質量である。言い換えると、感光性樹脂組成物の固形分は、好ましくは5~40質量であり、より好ましくは10~37質量である。溶剤Dの含有量が前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物を塗布した膜の平坦性が高い傾向がある。ここで、固形分とは、感光性樹脂組成物から溶剤Dを除いた量のことをいう。また、本発明の感光性樹脂組成物は、さらに多官能チオール化合物Tを含有することが好ましい。多官能チオール化合物Tとは、分子内に2個以上のスルファニル基-SHを有する化合物をいう。特に、脂肪族炭化水素基に由来する炭素原子と結合する2個以上のスルファニル基を有する化合物を用いると、本発明の感光性樹脂組成物の感度が高くなる傾向にある。多官能チオール化合物Tとしては、具体的には、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ビスメチルスルファニルベンゼン、ブタンジオールビス3-スルファニルプロピオネート、ブタンジオールビス3-スルファニルアセテート、エチレングリコールビス3-スルファニルアセテート、トリメチロールプロパントリス3-スルファニルアセテート、ブタンジオールビス3-スルファニルプロピオネート、トリメチロールプロパントリス3-スルファニルプロピオネート、トリメチロールプロパントリス3-スルファニルアセテート、ペンタエリスリトールテトラキス3-スルファニルプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス3-スルファニルアセテート、トリスヒドロキシエチルトリス3-スルファニルプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス3-スルファニルブチレート、1,4-ビス3-スルファニルブチルオキシブタン等が挙げられる。多官能チオール化合物Tの含有量は、アルカリ可溶性樹脂Aと重合性化合物B1と重合性化合物B2との合計量100質量部に対して、好ましくは0.1~10質量部、より好ましくは0.5~7質量部である。多官能チオール化合物Tの含有量が前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物の感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向があり好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は界面活性剤Eを含有することが好ましい。界面活性剤としては、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、トーレシリコーンDC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、ポリエーテル変性シリコーンオイルSH8400商品名:東レダウコーニング株製、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341信越化学工業株製、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF-4446、TSF4452、TSF4460モメンティブパフォーマンスマテリアルズジャパン合同会社製等が挙げられる。フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、フロリナート登録商標FC430、同FC431住友スリーエム株製、メガファック登録商標F142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同R30DIC株製、エフトップ登録商標EF301、同EF303、同EF351、同EF352三菱マテリアル電子化成株製、サーフロン登録商標S381、同S382、同SC101、同SC105旭硝子株製、E5844株ダイキンファインケミカル研究所製等が挙げられる。フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック登録商標R08、同BL20、同F475、同F477、同F443DIC株製等が挙げられる。好ましくはメガファック登録商標F475が挙げられる。界面活性剤Eの含有量は、感光性樹脂組成物に含まれる成分の合計量に対して、0.001質量以上02質量以下であり、好ましくは0002質量以上0.1質量以下、より好ましくは001質量以上0.05質量以下である。界面活性剤をこの範囲で含有することにより、塗膜の平坦性を良好にすることができる。本発明の感光性樹脂組成物は、酸化防止剤Fを含有することが好ましい。酸化防止剤Fとしては、フェノール系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤、リン系酸化防止剤及びアミン系酸化防止剤が挙げられる。中でも、パターンや塗膜の着色が少ないという点で、フェノール系酸化防止剤が好ましい。フェノール系酸化防止剤としては、例えば、2-tert-ブチル-6-3-tert-ブチル-2-ヒドロキシ-5-メチルベンジル-4-メチルフェニルアクリレート、2-[1-2-ヒドロキシ-3,5-ジ-tert-ペンチルフェニルエチル]-4,6-ジ-tert-ペンチルフェニルアクリレート、3,9-ビス[2-{3-3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-メチルフェニルプロピオニルオキシ}-1,1-ジメチルエチル]-2,4,8,10-テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、2,2’-メチレンビス6-tert-ブチル-4-メチルフェノール、4,4’-ブチリデンビス6-tert-ブチル-3-メチルフェノール、4,4’-チオビス2-tert-ブチル-5-メチルフェノール、2,2’-チオビス6-tert-ブチル-4-メチルフェノール、1,3,5-トリス3,5-ジ-tert-ブチル-4-ヒドロキシベンジル-1,3,5-トリアジン-2,4,61H,3H,5H-トリオン、3,3’,3,5,5’,5-ヘキサ-tert-ブチル-a,a’,a-メシチレン-2,4,6-トリイルトリ-p-クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス[3-3,5-ジ-tert-ブチル-4-ヒドロキシフェニルプロピオネート]、2,6-ジ-tert-ブチル-4-メチルフェノール及び6-[3-3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-メチルフェニルプロポキシ]-2,4,8,10-テトラ-tert-ブチルジベンズ[d、f][1,3,2]ジオキサホスフェピン等が挙げられる。前記フェノール系酸化防止剤としては、市販品を使用してもよい。市販されているフェノール系酸化防止剤としては、例えば、スミライザー登録商標BHT、GM、GS、GP以上、全て住友化学株製、イルガノックス登録商標1010、1076、1330、3114以上、全てBASF社製等が挙げられる。イオウ系酸化防止剤としては、例えば、ジラウリル3,3’-チオジプロピオネート、ジミリスチル3,3’-チオジプロピオネート、ジステアリル3,3’-チオジプロピオネート、ペンタエリスリチルテトラキス3-ラウリルチオプロピオネート等が挙げられる。前記イオウ系酸化防止剤としては、市販品を使用してもよい。市販されているイオウ系酸化防止剤としては、例えば、スミライザー登録商標TPL-R、TP-D以上、全て住友化学株製等が挙げられる。リン系酸化防止剤としては、例えば、トリオクチルホスファイト、トリラウリルホスファイト、トリデシルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイト、ジステアリルペンタエリスリトールジホスファイト、テトラトリデシル-1,1,3-トリス2-メチル-5-tert-ブチル-4-ヒドロキシフエニルブタンジホスファイト等が挙げられる。前記リン系酸化防止剤としては、市販品を使用してもよい。市販されているリン系酸化防止剤としては、例えば、イルガフォス登録商標168、12、38以上、全てBASF社製、アデカスタブ329K、アデカスタブPEP36以上、全てADEKA製等が挙げられる。アミン系酸化防止剤としては、例えば、N,N-ジ-sec-ブチル-p-フェニレンジアミン、N,N-ジ-イソプロピル-p-フェニレンジアミン、N,N-ジシクロヘキシル-p-フェニレンジアミン、N,N-ジフェニル-p-フェニレンジアミン、N,N-ビス2-ナフチル-p-フェニレンジアミン等が挙げられる。前記アミン系酸化防止剤としては、市販品を使用してもよい。市販されているアミン系酸化防止剤としては、例えば、スミライザー登録商標BPA、BPA-M1、4ML以上、全て住友化学株製等が挙げられる。酸化防止剤Fの含有量は、アルカリ可溶性樹脂A100質量部に対して、0.1質量部以上5質量部以下であり、0.5質量部以上3質量部以下が好ましい。酸化防止剤Fの含有量が前記の範囲内であると、パターンや塗膜の耐熱性に優れる傾向がある。酸化防止剤Fの含有量が前記範囲を超えると、感度が低下する恐れがある。本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、密着促進剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤等の種々の添加剤を併用してもよい。本発明の感光性樹脂組成物は、顔料及び染料等の着色剤を実質的に含有しない。すなわち、本発明の感光性樹脂組成物において、組成物全体に対する着色剤の含量は、例えば、好ましくは1質量未満、より好ましくは0.5質量未満である。本発明の感光性樹脂組成物は、光路長が1cmの石英セルに充填し、分光光度計を使用して測定波長400~700nmの条件下で透過率を測定した場合の平均透過率が、好ましくは70以上であり、より好ましくは80以上である。本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、アルカリ可溶性樹脂A、重合性化合物B1、重合性化合物B2、重合開始剤C、溶剤D、並びに必要に応じて用いられる重合開始助剤C1、界面活性剤E、酸化防止剤F、多官能チオール化合物T及びその他成分を混合することにより調製できる。混合後の感光性樹脂組成物は、孔径0.01~10μm程度のフィルタでろ過することが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、塗膜にした際に、塗膜の平均透過率が、好ましくは90以上であり、さらに95以上となることがより好ましい。この平均透過率は、加熱硬化例えば、100~250°C、5分~3時間の条件で硬化後の厚みが3μmの塗膜を、分光光度計を使用して、測定波長400~700nmの条件下で測定した場合の平均値である。これにより、可視光領域での透明性に優れた塗膜を提供することができる。本発明の感光性樹脂組成物からパターンを製造する方法としては、フォトリソグラフ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。中でも、フォトリソグラフ法が好ましい。フォトリソグラフ法は、前記感光性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥させて未硬化塗膜を形成し、フォトマスクを介して該未硬化塗膜を露光して、現像する方法である。フォトリソグラフ法において、露光の際にフォトマスクを用いないこと、及び/又は現像しないことにより、上記未硬化塗膜の硬化物である塗膜を形成することができる。これら塗膜又はパターンを、表示装置等の構成部品の一部として形成して使用してもよい。基板としては、例えば、ガラス、金属、プラスチック等の基板が挙げられ、該基板にはカラーフィルタ、各種絶縁又は導電膜、駆動回路等が形成されていてもよい。フォトリソグラフ法によるパターンの形成は、公知又は慣用の装置や条件で行うことができる。例えば、下記のようにして形成することができる。まず、本発明の感光性樹脂組成物を、基板上に塗布する。塗布は、上述したように、スピンコーター、スリットスピンコーター、スリットコーター、インクジェット、ロールコーター、ディップコーター等の種々の塗布装置を用いて行うことができる。次いで、乾燥又はプリベークして、溶剤等の揮発成分を除去することが好ましい。これにより、平滑な未硬化塗膜を得ることができる。この場合の塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、1~6μm程度である。さらに、得られた未硬化塗膜に、目的のパターンを形成するためのフォトマスクを介して、光、例えば、水銀灯、発光ダイオードから発生する紫外線等を照射する。この際のフォトマスクの形状は特に限定されず、形状や大きさは、パターンの用途に応じて選択すればよい。近年の露光機では、350nm未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、436nm付近、408nm付近、365nm付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出して、露光面全体に均一に略平行光線を照射したりすることができる。マスクアライナ、ステッパ等の装置を用いれば、このときマスクと基板との正確な位置合わせを行うことができる。露光後の未硬化塗膜を現像液に接触させて所定部分、例えば、非露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするパターン形状を得ることができる。現像方法は、液盛り法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。現像に使用する現像液は、塩基性化合物の水溶液が好ましい。塩基性化合物は、無機及び有機の塩基性化合物のいずれでもよい。無機の塩基性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア等が挙げられる。有機の塩基性化合物としては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2-ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン等が挙げられる。これらの無機及び有機の塩基性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは0.01~10質量であり、より好ましくは0.03~5質量である。前記の現像液は、界面活性剤を含んでいてもよい。界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等が挙げられる。アニオン系界面活性剤としては、例えば、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類等が挙げられる。カチオン系界面活性剤としては、例えば、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩又は第四級アンモニウム塩等が挙げられる。アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは0.01~10質量の範囲、より好ましくは0.05~8質量、より好ましくは0.1~5質量である。現像後、水洗を行うことで、パターンを得ることができる。さらに必要に応じて、ポストベークを行ってもよい。ポストベークは、例えば、150~240°Cの温度範囲、10~180分間が好ましい。このようにして本発明の感光性樹脂組成物から得られるパターン及び塗膜は、カラーフィルタ基板及び/又はアレイ基板の一部を構成するフォトスペーサ及びオーバーコート、パターニング可能なオーバーコート、インクジェット法でカラーフィルタ、液晶表示素子のITO電極、有機EL表示素子及び回路配線基板等を作製するために用いられる隔壁として有用であり、中でも、本発明の感光性樹脂組成物から得られるパターンは、優れた機械特性を有しているため、フォトスペーサとして特に有用である。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明する。例中の及び部は、特記ない限り、質量及び質量部である。合成例1還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、3-メトキシ-1-ブタノール200質量部及び3-メトキシブチルアセテート105質量部を入れ、撹拌しながら70°Cまで加熱した。次いで、メタクリル酸60質量部、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート式I-1で表される化合物及び式II-1で表される化合物を、モル比で、50:50で混合。240質量部及び、3-メトキシブチルアセテート140質量部に溶解して溶液を調製し、該溶解液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、70°Cに保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤2,2’-アゾビス2,4-ジメチルバレロニトリル30質量部を3-メトキシブチルアセテート225質量部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70°Cに保持し、その後室温まで冷却して、固形分32.6質量、酸価110mg-KOH/g固形分換算の共重合体樹脂Aaの溶液を得た。得られた樹脂Aaの重量平均分子量Mwは、13,400、分子量分布Mw/Mnは2.50であった。樹脂Aaは、下記の構造単位を有する。合成例2還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えたフラスコ内に窒素を0.02L/分で流して窒素雰囲気とし、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル140質量部を入れ、撹拌しながら70°Cまで加熱した。次いで、メタクリル酸40質量部、3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート式I-1で表される化合物及び式II-1で表される化合物の混合物、モル比=50:50340質量部、ジシクロペンテニルアクリレート式x1で表される化合物及び式x2で表される化合物の混合物、モル比=50:5020質量部をジエチレングリコールエチルメチルエーテル190質量部に溶解して、溶液を調製した。得られた溶解液を、滴下ポンプを用いて4時間かけて、70°Cに保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤2,2’-アゾビス2,4-ジメチルバレロニトリル30質量部をジエチレングリコールエチルメチルエーテル240質量部に溶解した溶液を、別の滴下ポンプを用いて、5時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70°Cに保持し、その後室温まで冷却して、固形分418の共重合体樹脂Abの溶液を得た。得られた樹脂Abの重量平均分子量Mwは9.6×103、分子量分布Mw/Mnは2.02であり、固形分換算した酸価は60mg-KOH/gであった。樹脂Abは、下記の構造単位を有する。合成例で得られた樹脂の重量平均分子量Mw及び数平均分子量Mnの測定は、GPC法を用いて、以下の条件で行なった。装置;K2479株島津製作所製カラム;SHIMADZUShim-packGPC-80Mカラム温度;40°C溶媒;THFテトラヒドロフラン流速;1.0mL/min検出器;RI校正用標準物質;TSKSTANDARDPOLYSTYRENEF-40、F-4、F-288、A-2500、A-500東ソー株製上記で得られたポリスチレン換算の重量平均分子量及び数平均分子量の比Mw/Mnを分子量分布とした。実施例1~5、比較例1<感光性樹脂組成物の調製>表1の成分を混合して、感光性樹脂組成物1~6を得た。表1中各成分は以下のとおりである。樹脂の部数は、固形分換算の質量部を表す。アルカリ可溶性樹脂A;Aa:合成例1で得られた樹脂AaAb:合成例2で得られた樹脂Ab重合性化合物B1;B1a:3-エチル-3-アクリロイルオキシメチルオキセタンOXE-10;大阪有機化学株製B1b:グリシジルメタクリレート和光純薬株製B1c:3,4-エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート式I-1で表される化合物及び式II-1で表される化合物の混合物、モル比=50:50重合性化合物B2;ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートKAYARAD登録商標DPHA;日本化薬株製重合開始剤C;2,2-ビス2-クロロフェニル-4,4,5,5-テトラフェニル-1,2-ビイミダゾールB-CIM;保土谷化学株製重合開始助剤C1;C2a:2-[2-オキソ-2-2-ナフチルエチリデン]-3-メチルベンゾチアゾリン式III-1で表される化合物多官能チオール化合物T:ペンタエリスリトールテトラキス3-スルファニルプロピオネートSC有機化学製;PEMP溶剤D;Da:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートDb:3-エトキシプロピオン酸エチルDc:3-メトキシ1-ブタノールDd:3-メトキシブチルアセテートDe:ジエチレングリコールメチルエチルエーテル界面活性剤E;ポリエーテル変性シリコーンオイルトーレシリコーンSH8400;東レダウコーニング株製酸化防止剤F;1,3,5-トリス4-ヒドロキシ-3,5-ジ-tert-ブチルベンジル-1,3,5-トリアジン-2,4,61H,3H,5H-トリオンIRGANOX登録商標3114;チバジャパン社製溶剤Dは、感光性樹脂組成物の固形分量が表1の固形分量となるように混合し、溶剤D中の溶剤成分Da~Deの値は、溶剤D中での質量比を表す。<組成物の平均透過率>得られた感光性樹脂組成物1~4について、それぞれ、紫外可視近赤外分光光度計V-650;日本分光株製石英セル、光路長;1cmを用いて、400~700nmにおける平均透過率を測定した。結果を表2に示す。<塗膜の平均透過率>得られた感光性樹脂組成物1~4を用いて、それぞれ、硬化後の膜厚が3μmになるように、以下の条件で塗膜を作製した。2インチ角のガラス基板1737;コーニング社製を、中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、感光性樹脂組成物を、ポストベーク後の膜厚が3.0μmになるようにスピンコートし、減圧乾燥機マイクロテック株製で減圧度が66kPaになるまで減圧乾燥させた後、ホットプレートで80°Cで2分間プレベークして乾燥させて未硬化塗膜を形成した。放冷後、この未硬化塗膜が形成された基板に、露光機TME-150RSK;トプコン株製、光源;超高圧水銀灯を用いて、大気雰囲気下、露光量100mJ/cm2405nm基準の光を照射した。なお、このときの未硬化塗膜感光性樹脂組成物への照射は、超高圧水銀灯からの放射光を、光学フィルタLU0400;朝日分光株製を通過させて行った。光照射後、非イオン系界面活性剤0.12と水酸化カリウム0.04を含む水系現像液に前記未硬化塗膜を25°Cで100秒間浸漬揺動して現像し、その後、235°Cで15分加熱して塗膜を得た。得られた塗膜について、顕微分光測光装置OSP-SP200;OLYMPUS社製を用いて、400~700nmにおける平均透過率を測定した。透過率が高くなることは、吸収が小さくなることを意味する。結果を表2に示す。<パターン形成>2インチ角のガラス基板1737;コーニング社製を、中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、感光性樹脂組成物を、ポストベーク後の膜厚が4.0μmになるようにスピンコートし、減圧乾燥機マイクロテック株製で減圧度が66kPaになるまで減圧乾燥させた後、ホットプレートで80°Cで2分間プレベークして乾燥させて未硬化塗膜を形成した。冷却後、この未硬化塗膜が形成された基板と石英ガラス製フォトマスクとの間隔を10μmとし、露光機TME-150RSK;トプコン株製、光源;超高圧水銀灯を用いて、大気雰囲気下、露光量100mJ/cm2405nm基準の光を照射した。なお、このときの未硬化塗膜感光性樹脂組成物への照射は、超高圧水銀灯からの放射光を、光学フィルタLU0400;朝日分光株製を通過させて行った。また、フォトマスクとして、パターン1辺が19μmである正方形の透光部を有し、当該正方形の間隔が100μmが同一平面上に形成されたフォトマスクを用いた。光照射後、非イオン系界面活性剤0.12と水酸化カリウム0.04を含む水系現像液に前記未硬化塗膜を25°Cで100秒間浸漬揺動して現像し、水洗後、オーブン中、235°Cで15分間ポストベークを行い、パターンを得た。<パターン幅の測定>得られたパターンの幅を、三次元非接触表面形状計測システムMicromapMM527N-PS-M100;株菱化システム社製で計測した。パターン高さに対し、基板面より5の高さのパターン幅を計測した。結果を表2に示す。<機械特性総変位量及び回復率>得られたパターンについて、ダイナミック超微小硬度計DUH-W201;株島津製作所製を用いて、総変位量μm及び弾性変位量μmを測定し、回復率を算出した。パターンの回復率が高いほど、柔軟性が高いため、フォトスペーサとして有用であるといえる。このようなパターンをフォトスペーサとして用いると、強度に優れた液晶パネルを製造することが可能である。結果を表2に示す。同じ感光性樹脂組成物から形成されるパターンと塗膜とは同様の機械特性を示す。-測定条件-試験モード;負荷-除荷試験試験力;50mN負荷速度;4.41mN/sec保持時間;5sec圧子;円錐台圧子直径50μm回復率;弾性変位量μm/総変位量μm×100"