ウエハーに対して検査を行い、プラットフォーム、プローブカード、照明器、テストサーバー、ロードボード、少なくとも1個のリレー回路板、少なくとも1個のイメージ処理カード、少なくとも1個のイメージ処理装置、制御回路板、少なくとも1個のテスト回路板を備え、前記プラットフォームには、前記ウエハーを置き、前記プローブカード上には、開口、複数のプローブを備え、前記プローブは、前記ウエハーに直接触れ、電気信号を伝送及び受信し、前記照明器は、前記プローブカードの開口を通して、光を前記ウエハー上に照射し、前記テストサーバーは、照明器に連接し、ウエハー検査の関連プロセス及びデータ処理の執行を制御し、前記少なくとも1個のリレー回路板は、前記プローブカード、前記ロードボードにそれぞれ連接し、伝送データの伝送方向を切り替え、前記少なくとも1個のイメージ処理カードは、前記少なくとも1個のリレー回路板に一つ一つ連接し、それと相互に連接し、受信するイメージ信号を処理し、記少なくとも1個のイメージ処理装置は、前記テストサーバー、及び前記少なくとも1個のイメージ処理カードに連接し、前記少なくとも1個のイメージ処理カードからのイメージ信号を受信し、処理を行い、テスト結果を、前記テストサーバーに伝送し、前記制御回路板は、前記テストサーバー、及び前記ロードボードに連接し、前記テストサーバーが発する命令を受信し、前記ロードボードを通して制御命令を発信し、前記少なくとも1個のテスト回路板は、前記ロードボードに連接し、それが受信した制御命令に基づき、テスト信号を送信し、それが受信した結果信号に対して、判断を行い、判断結果を、前記ロードボードを通して、前記制御回路板に伝送することを特徴とするウエハー検査システム。請求項1記載のウエハー検査システムにおいて、前記テストサーバーは、制御命令を前記制御回路板に発信し、前記制御回路板は、前記ロードボードを経て、前記少なくとも1個のテスト回路板に対して制御を行い、テスト信号を発信し、前記少なくとも1個のリレー回路板は、前記テスト信号を受信し、切り替えを行い、前記テスト信号を、前記プローブカードに伝送し、前記プローブカードは、前記各プローブを通して、前記テスト信号を、前記ウエハーに伝え、前記ウエハーから反応信号を受信し、前記反応信号を、前記少なくとも1個のリレー回路板に伝送し、前記少なくとも1個のリレー回路板は切り替えを行い、前記反応信号を、前記少なくとも1個のイメージ処理カード、或いは前記ロードボードに伝送することを特徴とする、ウエハー検査システム。請求項2記載のウエハー検査システムにおいて、前記少なくとも1個のイメージ処理カードは、それが受信した反応信号に対して処理を行い、イメージ信号を発生し、前記少なくとも1個のイメージ処理装置に伝送し、それにより処理を行うことを特徴とする、ウエハー検査システム。請求項2記載のウエハー検査システムにおいて、前記ロードボードは、前記受信した反応信号を、前記少なくとも1個のテスト回路板に伝送し、それにより判断を行い、結果信号を発生し、記結果信号を、前記ロードボードを経て、前記制御回路板に伝送し、前記テストサーバーに伝送することを特徴とする、ウエハー検査システム。請求項1記載のウエハー検査システムにおいて、前記少なくとも1個のリレー回路板は、複数のリレーをそれぞれ備え、しかも前記各リレーは、前記プローブカードの各プローブに一つ一つ対応することを特徴とする、ウエハー検査システム。本発明が解決しようとする課題は、リレー回路板により、テスト結果信号の分流を行い、イメージ信号はイメージ処理装置に直接伝送して処理を行うウエハー検査システムを提供することである。上記課題を解決するため、本発明は下記のウエハー検査システムを提供する。ウエハー検査システムは、ウエハーに対して検査を行い、プラットフォーム、プローブカード、照明器、テストサーバー、ロードボード、少なくとも1個のリレー回路板、少なくとも1個のイメージ処理カード、少なくとも1個のイメージ処理装置、制御回路板、少なくとも1個のテスト回路板を備え、該プラットフォームには、ウエハーを置き、該プローブカード上には開口、複数のプローブを備え、該各プローブは直接ウエハーに触れ、電気信号を伝送及び受信し、該照明器は、該プローブカードの開口を通して、光をウエハー上に照射し、該テストサーバーは、該照明器に連接し、ウエハー検査の関連プロセス及びデータ処理の執行を制御し、該少なくとも1個のリレー回路板は、該プローブカード、該ロードボードにそれぞれ連接し、伝送データの伝送方向を切り替え、該少なくとも1個のイメージ処理カードは、該少なくとも1個のリレー回路板に一つ一つ対応し、相互に連接し、受信してイメージ信号を処理し、該少なくとも1個のイメージ処理装置は、該テストサーバー、及び該少なくとも1個のイメージ処理カードに連接し、該少なくとも1個のイメージ処理カードからのイメージ信号を受信し、処理を行い、テスト結果を、該テストサーバーに伝送し、該制御回路板は、該テストサーバー、及び該ロードボードに連接し、該テストサーバーが発する命令を受信し、該ロードボードを通して制御命令を発信し、該少なくとも1個のテスト回路板は、該ロードボードに連接し、それが受信した制御命令に基づき、テスト信号を送信し、それが受信した結果信号に対して、判断を行い、判断結果を、該ロードボードを通して、該制御回路板に伝送する。本発明のウエハー検査システムは、少なくとも1個のリレー回路板により、伝送データの伝送方向を切り替えるため、すべてのテスト信号、及びウエハーからの反応信号を、直接目標に伝送させ、後続の処理プロセスを行うことができる。例えば、ウエハーから受信したイメージ読取信号は、リレー回路板を通して、直接切り替え、イメージ処理装置に伝送することができる。従来のシステムとは異なり、テストサーバーにより、電気信号及びイメージ読取信号などのすべての信号の処理と伝送を行うわけではないため、ウエハー検査システムの作動効率、信号処理効率、データ伝送速度のすべては、テストサーバーのハードウエア設備の制限を受けることはない。また、本発明のウエハー検査システムは、使用において、非常にフレキシブルで、使用者の必要に応じて、十分な数のテスト回路板、リレー回路板、イメージ処理カード、イメージ処理装置を自由に拡充することができる。これにより、ウエハー検査の効率を向上させられるばかりか、ダイ検査の総数を増加させることもできる。本発明一実施例のウエハー検査システムの模式図である図2に示すように、ウエハー検査システムは、プラットフォーム201、プローブカード202、照明器203、テストサーバー204、少なくとも1個のイメージ処理装置205、少なくとも1個のイメージ処理カード206、少なくとも1個のリレー回路板207、ロードボード208、制御回路板209、少なくとも1個のテスト回路板210、電源回路板211を備える。プラットフォーム201は、テストサーバー204に連接し、それは好ましくは、GPIBGeneralPurposeInterfaceBusインターフェースを通して連接する。テストサーバー204は、照明器203、少なくともイメージ処理装置205、制御回路板209に連接する。少なくとも1個のイメージ処理装置205は、少なくとも1個のイメージ処理カード206に連接し、それは好ましくは、USBインターフェースを通して連接する。少なくとも1個のリレー回路板207は、プローブカード202、ロードボード208に連接し、相互に対応するイメージ処理カード206に一つ一つ連接し、それは好ましくは、それぞれ配線を通して、少なくとも1個のイメージ処理カード206、及びロードボード208連接する。ロードボード208は、制御回路板209、少なくとも1個のテスト回路板210、電源回路板211に連接する。プラットフォーム201には、ウエハー9を置き、それは複数のダイdieを含む。プローブカード202上には、開口2021、複数のプローブ2022を備える。プローブ2022は、ウエハー9に直接触れ、電気信号を伝送及び受信する。照明器203は、プローブカード202の開口2021を通して、光をウエハー9上に照射する。テストサーバー204により、使用者は制御命令を下し、ウエハー検査の関連プロセス、及びテスト結果のデータ処理を執行することができる。さらに、テストサーバー204は、プラットフォーム201の移動を制御し、これによりプローブカード202の各プローブは1個或いは数個のダイに触れることができる。イメージ処理装置205は、イメージ処理カード206からのイメージ信号を受信し、処理を行い、テスト結果を、テストサーバー204に伝送する。イメージ処理カード206は、それが対応するリレー回路板207のイメージ信号を受信し、処理を行う。リレー回路板207は、伝送データの伝送方向を切り替える。制御回路板209は、テストサーバー204が発する命令を受信し、ロードボード208を通して制御命令を発信する。テスト回路板210は、PEカードPinElectronicsCardで、それは好ましくは、リレー回路板207に一つ一つ対応し、それが受信した制御命令に基づき、テスト信号を送信し、それが受信した結果信号に対して、判断を行い、判断結果を、ロードボード208を通して、制御回路板209に伝送する。電源回路板211は、必要な電圧を提供する。使用者がウエハー検査を行おうとする際には、先ず、ウエハー9を、プラットフォーム201上に置き、プローブカード202の各プローブ2022により、ウエハー9に直接接触する。次に、テストサーバー204は、制御命令を下す。テストサーバー204は、制御命令を制御回路板209に発信し、制御回路板209は、ロードボード208を経て、テスト回路板210に対して制御を行い、テスト回路板210は、テスト信号を発信する。リレー回路板207は、テスト信号を受信し、切り替えを行い、テスト信号をプローブカード202に伝送する。プローブカード202は、各プローブ2022を通して、テスト信号をウエハー9に伝送し、ウエハー9から反応信号を受信する。続いて、反応信号を、リレー回路板207に伝送する。リレー回路板207は、反応信号を受信し、切り替えを行い、反応信号を、対応するイメージ処理カード206、或いはロードボード208に伝送する。反応信号が、イメージ読取信号であるなら、対応するイメージ処理カード206に伝送し、反応信号が、直流テスト関連の電気信号であるなら、ロードボード208に伝送する。イメージ処理カード206は、それが受信した反応信号に対して処理を行い、イメージ信号を生じ、イメージ処理装置205に伝送し、それにより処理を行う。ロードボード208は、それが受信した反応信号を、テスト回路板210に伝送し、それにより判断を行い、結果信号を発生する。次に、結果信号を、ロードボード208を経て、制御回路板209に伝送し、それをテストサーバー204に伝送する。本発明一実施例ウエハー検査システムのリレー回路板の模式図である図3に示すように、リレー回路板207は、配線31を通して、プローブカード202に連接し、配線32を通して、イメージ処理カード206に連接し、配線33を通して、ロードボード208に連接する。リレー回路板207は、複数のリレー2071を備え、それは好ましくは、プローブカード202の各プローブ2022にそれぞれ対応し、しかも配線31を通して、一つ一つ相互に連接する。よって、各リレー2071に切り替えることで、リレー回路板207は、それが受信した電気信号、或いはイメージ読取信号を、それが連接するイメージ処理カード206、或いはロードボード208に伝送し、こうして後続のデータ処理プロセスを行うことができる。本発明のウエハー検査システムは、少なくとも1個のリレー回路板により、伝送データの伝送方向を切り替えるため、すべてのテスト信号、及びウエハーからの反応信号を、直接目標に伝送させ、後続の処理プロセスを行うことができる。例えば、ウエハーから受信したイメージ読取信号は、リレー回路板を通して、直接切り替え、イメージ処理装置に伝送することができる。従来のシステムとは異なり、テストサーバーにより、電気信号及びイメージ読取信号などのすべての信号の処理と伝送を行うわけではないため、ウエハー検査システムの作動効率、信号処理効率、データ伝送速度のすべては、テストサーバーのハードウエア設備の制限を受けることはない。また、本発明のウエハー検査システムは、使用において、非常にフレキシブルで、使用者の必要に応じて、十分な数のテスト回路板、リレー回路板、イメージ処理カード、イメージ処理装置を自由に拡充することができる。これにより、ウエハー検査の効率を向上させられるばかりか、ダイ検査の総数を増加させることもできる。