"液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室が設けられたシリコンからなる流路形成基板と、前記圧力発生室に対向して前記流路形成基板に設けられ、前記圧力発生室内の前記液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力発生手段を収容する保持部を有し、前記流路形成基板の前記圧力発生手段が設けられている面に接合される流路部材と、を備え、前記流路部材はシリコンからなり、前記流路部材の前記流路形成基板とは反対側の面に温度センサーが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項1に記載の液体噴射ヘッドにおいて、前記温度センサーには、電気的に接続するリード線が設けられており、前記リード線は、前記圧力発生手段を駆動させる回路が設けられている基板に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項1または請求項2に記載の液体噴射ヘッドを有するとともに、前記温度センサーが検出する温度に基づいて前記圧力発生手段を駆動させる駆動波形を切替えられるように構成されることを特徴とする液体噴射装置。上述の如き特許文献1では、温度センサーがインクが接触するような状態で発熱基板に埋設されているので、その電極等の絶縁性の確保に問題が残ると考えられる。また、特許文献2では、流路形成基板上に形成された下部電極上に絶縁膜を介して下部電極との間の相互絶縁を確保した上で温度検出センサーを前記絶縁膜の上面に配設しているので、この部分の構造が複雑になるばかりでなく、下電極膜及び絶縁膜を介してのインク温度を計測することになるので、その分精度も低下するという問題がある。なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。本発明は、このような事情に鑑み、液体の粘度に応じた適切な駆動波形で液体を吐出させるべく、吐出される液体の温度を正確に計測し得る温度センサーを備えた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室が設けられたシリコンからなる流路形成基板と、前記圧力発生室に対向して前記流路形成基板に設けられ、前記圧力発生室内の前記液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力発生手段を収容する保持部を有し、前記流路形成基板の前記圧力発生手段が設けられている面に接合される流路部材と、を備え、前記流路部材はシリコンからなり、前記流路部材の前記流路形成基板とは反対側の面に温度センサーが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。かかる態様では、ノズルから吐出される液体の温度を表す熱が良好な熱伝導率を有するシリコン基板を介し、同様にシリコン基板で形成された流路部材に伝導されて温度センサーで検出される。この結果、前記液体の温度を高精度に計測することができる。ここで、前記温度センサーには、電気的に接続するリード線が設けられており、前記リード線は、前記圧力発生手段を駆動させる回路が設けられている基板に接続されていることが望ましい。この場合には、基板の配線を利用して所定の基板等に温度センサーが計測した温度情報を良好に送出することができるからである。さらに、本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを有するとともに、前記温度センサーが検出する温度に基づいて前記圧力発生手段を駆動させる駆動波形を切替えられるように構成されることを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、液体噴射ヘッドから吐出される液体の温度を表す温度情報を高精度に検出することができるので、これに対応させた適切な駆動波形で液体噴射ヘッドを駆動させることができる。この結果、液体の吐出特性の向上により印刷物等の品質向上を可能とする液体噴射装置を実現できる。以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド以下、単に記録ヘッドともいう。の分解斜視図であり、図2は、記録ヘッドの圧力発生室の長手方向における断面図である。両図に示すように、記録ヘッド20を構成する流路形成基板21には、複数の圧力発生室22が流路形成基板21の幅方向に並設された列が2列設けられている。また、各列の圧力発生室22の長手方向外側の領域には連通部23が形成され、連通部23と各圧力発生室22とが、圧力発生室22毎に設けられたインク供給路24及び連通路25を介して連通されている。本形態における流路形成基板21はシリコン基板にエッチングにより圧力発生室22等を形成したものである。流路形成基板21の一方の面には、各圧力発生室22のインク供給路24とは反対側の端部近傍に連通するノズル26が穿設されたノズルプレート27が接合されている。一方、流路形成基板21のノズルプレート27とは反対側の面には、弾性膜28及び絶縁体膜29を介して圧電素子30が形成されている。圧電素子30は、第1電極31と、圧電体層32と、第2電極33とで構成されている。各圧電素子30を構成する第2電極33には、絶縁体膜29上まで延設されたリード電極34が接続されている。リード電極34は、一端部が第2電極33に接続されていると共に、他端部側が、圧電素子30を駆動するための駆動IC35aが実装されたCOF基板35と接続されている。このようにCOF基板35の一端側にはリード電極34が接続され、COF基板35の他端側は当該記録ヘッド20の上方のケース部材図示せずに固定された回路基板図示せずに接続されている。このような圧電素子30が形成された流路形成基板21上には、圧電素子30に対向する領域に、圧電素子30を保護するための空間である圧電素子保持部36を備えた保護基板37が接着剤38によって接合されている。また、保護基板37には、マニホールド部39が設けられている。このマニホールド部39は、本実施形態では、流路形成基板21の連通部23と連通されて各圧力発生室22の共通のインク室となるマニホールド40を構成している。また、保護基板37には、保護基板37を厚さ方向に貫通する貫通孔41が設けられている。貫通孔41は、本実施形態では、2つの圧電素子保持部36の間に設けられている。そして、各圧電素子30から引き出されたリード電極34の端部近傍は、貫通孔41内に露出するように設けられている。かかる保護基板37はシリコン基板で形成してあり、このシリコン基板のエッチングにより圧電素子保持部36やマニホールド部39等を形成したものであり、その流路形成基板21と反対側図2中、上側の面には温度センサーであるサーミスター52が配設されている。かくして保護基板37の上面の温度が計測される。なお、この部分の接続構造等、詳細な構成は後に詳述する。さらに保護基板37上には、封止膜44及び固定板45からなるコンプライアンス基板46が接合されている。ここで、封止膜44は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜44によってマニホールド部39の一方面が封止されている。また、固定板45は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板45のマニホールド40に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部47となっているため、マニホールド40の一方面は可撓性を有する封止膜44のみで封止されている。さらにコンプライアンス基板46には、マニホールド40内にインクを導入するためのインク導入口48が設けられている。コンプライアンス基板46上には、ヘッドケース49が固定されている。ヘッドケース49には、インク導入口48に連通してカートリッジ等の貯留手段からのインクをマニホールド40に供給するインク導入路50が設けられている。さらに、ヘッドケース49には、保護基板37に設けられた貫通孔41と連通する配線部材保持孔51が設けられており、COF基板35は配線部材保持孔51内に挿通された状態でその一端側がリード電極34と接続されている。図3は図2におけるサーミスター部分を抽出して示す拡大図である。同図に示すように、サーミスター52の2本のリード線53A,53Bは何れもCOF基板35に接続されている。すなわち、リード線53A,53Bは保護基板37の貫通孔41に臨む壁面に沿って保護基板37の上面から下方に向けて配設され、絶縁体膜29の上面でリード電極34と同様にCOF基板35の2本の配線にそれぞれ接続されて回路基板図示せずに接続され、さらに外部の所定の回路と接続されている。ここで、リード線53Bは接地される。したがって、リード線53AのみをCOF基板35の配線に接続し、リード線53Bは別途接地電位の部分に接続しても、勿論構わない。図4はこの場合の温度測定部分の等価回路の一例である。同図に示すように、温度によって抵抗値が変化する可変抵抗Rtであるサーミスター52には固定抵抗R1が直列に接続してある。したがって、固定抵抗R1の両端の電圧を電圧計Vで計測することにより可変抵抗Rtの抵抗値を介して計測すべき温度を検出することができる。電圧計Vで計測される電圧は、固定抵抗R1と可変抵抗Rtとの抵抗値で決まる分割比で電源電圧Vccを分割した値として与えられるからである。かかる記録ヘッド20においては、所定の駆動信号により圧電素子30が駆動される。この結果圧力発生室22に発生する圧力により、圧力発生室22からノズル26を介してインク滴が吐出される。ここで、保護基板37上に配設されたサーミスター52ではインク温度を反映した温度情報が検出されるので、この温度情報に基づき適切な駆動信号を選択し、選択した駆動信号で圧電素子30を駆動することができる。ここで、サーミスター52で検出する温度は、シリコン基板で形成され、良好な熱伝導性を有する保護基板37の温度が計測されるので、実際のインクの温度を高精度に反映したものとなる。ちなみに、流路形成基板21は圧力発生室22および連通部23のインクの温度を、また保護基板37はマニホールド部39の温度を良好に伝導する。したがって、かかる温度情報に基く駆動信号も当該インク温度を考慮した最適な波形のものとすることができる。他の実施形態以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、サーミスター52のリード線53A,53BをCOF基板35に接続して外部に引き出す構成としたが、勿論これに限るものではない。サーミスター52の配設位置が流路部材である保護基板37の上面であれば、それ以上の制限はない。したがって、例えばワイヤボンディングにより保護基板上のICとリード電極とを接続する形式のものでは、一端部が保護基板の上面に接続されるFPCを利用してサーミスター52の信号を外部に取り出すように構成することもできる。上記実施形態では圧力発生室22に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子30を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。上記実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図5は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。同図に示すように、上記実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A,1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A,2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8に巻き掛けられて搬送されるようになっている。なお、上述した例では、記録シートSの搬送方向と交差する方向主走査方向に移動するキャリッジ3に記録ヘッドユニット1A,1Bを搭載し、記録ヘッドユニット1A,1Bを主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置であるがこれに限るものではない。記録ヘッドが固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット記録装置であっても、勿論構わない。さらに上記実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED電界放出ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。"