"振動板ホルダに周縁部が取り付けられた振動板と、電気絶縁性のスペーサを介して前記振動板と所定の間隔をもって対向するように配置された金属素材による固定電極とが具備され、前記振動板の背面空間が閉塞されてなる無指向性コンデンサマイクロホンユニットであって、前記固定電極における前記スペーサに接する部分には、前記振動板と固定電極との間の背面空間が外部と連通するようにエッチング加工により有底凹状の溝部が形成され、前記溝部と前記スペーサとの間で形成される連通部を、圧力等価用の音響抵抗としたことを特徴とするコンデンサマイクロホンユニット。前記固定電極には、前記振動板の配置側とその反対面との間を連通させる連通孔が備えられ、前記固定電極における振動板の配置側とは反対面において、前記連通孔を介して閉塞された空気室を形成し、当該空気室を含めて前記振動板の背面空間を構成したことを特徴とする請求項1に記載されたコンデンサマイクロホンユニット。前記固定電極にエッチング加工により形成される有底凹状の溝部は、前記スペーサによって覆われる位置に形成された環状の溝部と、前記環状の溝部における180度対向する位置に形成されて前記環状の溝部より外側に向かう第1の溝部および前記環状の溝部より内側に向かう第2の溝部より構成され、前記第1の溝部が前記環状の溝部と外部とを連通するように構成され、前記第2の溝部が前記環状の溝部と振動板の背面空間とを連通するように構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載されたコンデンサマイクロホンユニット。前記請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載されたコンデンサマイクロホンユニットを、マイクロホンケースに取り付けたことを特徴とするコンデンサマイクロホン。この発明は、前記した技術的な背景に基づいてなされたものであり、固定電極におけるスペーサに接する部分に、エッチング加工により有底凹状の溝部を形成し、この溝部を圧力等価するための音響抵抗として利用するものである。すなわち、前記エッチング加工によると深さが極めて浅い溝部を精度よく形成することが可能であり、特に無指向性コンデンサマイクロホンに必要な圧力等価用の極めて高い音響抵抗を安定的に得ることができるコンデンサマイクロホンユニットおよびコンデンサマイクロホンを提供することを課題とするものである。前記した課題を解決するためになされたこの発明にかかるコンデンサマイクロホンユニットは、振動板ホルダに周縁部が取り付けられた振動板と、電気絶縁性のスペーサを介して前記振動板と所定の間隔をもって対向するように配置された金属素材による固定電極とが具備され、前記振動板の背面空間が閉塞されてなる無指向性コンデンサマイクロホンユニットであって、前記固定電極における前記スペーサに接する部分には、前記振動板と固定電極との間の背面空間が外部と連通するようにエッチング加工により有底凹状の溝部が形成され、前記溝部と前記スペーサとの間で形成される連通部を、圧力等価用の音響抵抗とした点に特徴を有する。この場合、前記固定電極には、前記振動板の配置側とその反対面との間を連通させる連通孔が備えられ、前記固定電極における振動板の配置側とは反対面において、前記連通孔を介して閉塞された空気室を形成し、当該空気室を含めて前記振動板の背面空間が構成されることが望ましい。また、好ましい1つの形態においては、前記固定電極にエッチング加工により形成される有底凹状の溝部は、前記スペーサによって覆われる位置に形成された環状の溝部と、前記環状の溝部における180度対向する位置に形成されて前記環状の溝部より内側に向かう第1の溝部および前記環状の溝部より外側に向かう第2の溝部より構成され、前記第1の溝部が前記環状の溝部と振動板の背面空間とを連通するように構成され、前記第2の溝部が前記環状の溝部と外部とを連通するように構成される。そして、前記した構成のコンデンサマイクロホンユニットは、マイクロホンケースに取り付けられ、前記コンデンサマイクロホンユニットにおいて生成された音声信号を導出できるように構成することで、コンデンサマイクロホンを構成することができる。前記した構成のコンデンサマイクロホンユニットによると、固定電極におけるスペーサに接する部分には、振動板と固定電極との間の背面空間が外部と連通するようにエッチング加工ハーフエッチング加工による有底凹状の溝部が形成され、この溝部と前記スペーサとの間で形成される連通部を、圧力等価用の音響抵抗として利用するように構成される。すなわち、前記したエッチング加工ハーフエッチング加工によると、金属製の固定電極に対して、エッチング深さが5μm前後の極めて浅い有底凹状の溝部を精度よく形成することができ、かつその長さや幅を任意に設定することができる。したがって、低域の集音限界を適切に設定することができると共に、溝部の加工寸法の安定性が良いことから、安定した音響抵抗を構成することができ、これにより集音限界周波数の個体差を防止することができる。以下、この発明にかかるコンデンサマイクロホンユニットおよびコンデンサマイクロホンについて、図1~図4に示す第1の形態、図5および図6に示す第2の形態に基づいて説明する。なお、図1~図6においては、すでに説明した図8および図9に示す各部と同一の機能を果たす部分を同一符号で示しており、したがってその詳細な説明は適宜省略する。図1ないし図4に示すこの発明にかかるコンデンサマイクロホンユニットの第1の形態においては、例えば真鍮などの金属素材により円板状に形成された固定電極6の一面に、エッチング加工により有底凹状の溝部が形成されている。すなわち、図3に示すように前記固定電極6の外周縁におけるスペーサ5に接する部分に、エッチング加工による有底凹状の溝部16aが直線状に形成されている。加えて、この実施の形態においては、固定電極6の外周縁と同心円状にエッチング加工により有底凹状の環状溝部16cが形成され、この環状溝部16cの一部において前記直線状の溝部16aが連通した状態になされている。なお、前記した溝部16a,16cは、エッチング加工により固定電極6の一面側に形成されるものであり、固定電極6の一面側に前記溝部を形成するにあたっては、前記溝部16a,16cの形成位置を除いた部分をレジスト剤によって被覆し、固定電極6の一面側の前記溝部の形成位置のみをエッチング液等により食刻処理を施すものとなる。このように素材の片面のみにエッチング加工を施す手段をハーフエッチング加工とも呼んでいる。図4は、前記した溝部16a,16cが形成された固定電極6に、リング状のスペーサ5が重ねられ、さらに振動板8が取り付けられてなるリング状の振動板ホルダ4が順に重ね合わされる状態を模式図で示したものである。前記固定電極6におけるスペーサ5が接する部分は、前記したハーフエッチング加工により形成された溝部16a,16cと、これを覆う前記スペーサ5とによって実線の矢印で示されたように連通部が形成される。すなわち、実線の矢印で示された前記連通部は、前記振動板8と固定電極6との間の背面空間が外部と連通するように機能する。この場合、溝部16a,16cは、前記したハーフエッチング加工により、エッチングの深さが5μm前後の極めて浅い有底凹状の溝部になされ、この溝部は精度よく形成することができ、かつその長さや幅を任意に設定することができる。したがって、前記連通部は無指向性マイクロホンユニットの圧力等価用の音響抵抗として効果的に機能させることができる。前記した圧力等価用の連通部音響抵抗を備えた固定電極6と振動板8を含むユニットは、図1および図2に示すようにユニットケース1内に配置される。この場合、図2に拡大して示したとおり、溝部16a,16cで構成される圧力等価用の連通部は、ユニットケース1の内周面側に連通し、さらに破線の矢印で示すようにユニットケース1の内周面と振動板ホルダ4の外周縁との隙間を介して、図11に示した例と同様にメッシュ状スペーサ14側に連通して外部と接続される。なお、前記固定電極6には、図3に示されたように前記振動板8の配置側とその反対面との間を連通させる多数の連通孔6aが備えられており、前記振動板8の配置側とは反対面において、前記該空気室11を含めて前記振動板8の背面空間を形成している。以上説明した図1~図4に示した第1の形態においては、固定電極6に環状の溝部16cが形成されているが、この例においては、環状の溝部16cは必ずしも必要ではなく、固定電極6の外周縁に至る直線状の溝部16aを備えることで、圧力等価用の音響抵抗として機能させることができる。次に図5および図6に示すコンデンサマイクロホンユニットの第2の形態は、前記環状の溝部16cも圧力等価用の音響抵抗として機能させる例を示している。すなわち、図6はリング状のスペーサ5を上にした状態の固定電極6の構成を透視した状態で示したものである。この第2の形態においては、固定電極6における前記スペーサ5によって覆われる位置に、環状の溝部16cが形成されている。また前記環状の溝部16cにおける180度対向する位置に、第1の溝部16aおよび第2の溝部16bが形成されている。すなわち、前記第1の溝部16aは前記環状の溝部16cに連通し、固定電極6の外側に向かうように構成され、前記第2の溝部16bは前記環状の溝部16cに連通し、固定電極6の内側に向かうように構成されている。なお、前記第1の溝部16a、第2の溝部16bおよび前記環状の溝部16cは、すでに説明したハーフエッチング加工により形成される。そして、環状の溝部16cは前記したリング状のスペーサ5によって覆われるので、環状の溝部16cの全周にわたって圧力等価用の音響抵抗を構成することができる。図5は、前記環状の溝部16cに対する前記第1の溝部16aおよび第2の溝部16bの連通状態を示すものである。前記第1の溝部16aは、実線の矢印で示したように前記環状の溝部16cを外部と連通させる機能を果たし、180度対向する位置における前記第2の溝部16bは、実線の矢印で示したように前記振動板8と固定電極6との間の背面空間を、前記環状の溝部16cに連通させるように機能する。したがって、図5および図6に示すコンデンサマイクロホンユニットの第2の形態によると、前記環状の溝部16cとリング状のスペーサ5により形成される連通部は、無指向性マイクロホンの圧力等価用の音響抵抗として効果的に機能させることができる。そして、図5および図6に示す第2の形態においても、図1に示したようにユニットケース1内に装着されて、前記コンデンサマイクロホンユニットが形成される。図7は、前記したマイクロホンユニット1を円筒状の本体ケースマイクロホンケース21の前端部に取り付けられてコンデンサマイクロホンを構成した全体構成の例を示している。前記マイクロホンユニット1は、円筒状の本体ケース21に対してねじ込みにより取り付けられて図7Aに正面図、図7Bに側面図で示した外観構成になされる。円筒状の本体ケース21内には、図7Cに断面図で示すように、絶縁素材で形成された支持部材22および出力コネクタ23が収容されており、この支持部材22および出力コネクタ23の間に回路基板24が支持されている。前記回路基板24には、インピーダンス変換器としてのFET等が搭載され、前記マイクロホンユニット側の引出電極ロッド9を経由する信号は、前記FET等によるインピーダンス変換を含む信号処理を受けて出力コネクタ23より出力されるように構成されている。"