振動減衰能のある粘弾性樹脂を表皮ばね鋼板の間にラミネート状に張合せた樹脂ラミネートばね板を曲げ加工により両端をフランジ状に中央部を凸状に一体加工成形し、荷重によって撓むことができるように層状に交互に重ねたハニカム除振ばねを含んで構成されることを特徴とする除振装置。振動減衰能のある粘弾性樹脂を表皮ばね鋼板の間にラミネート状に張合せた樹脂ラミネートばね板を曲げ加工により両端をフランジ状に中央部を凸状に一体加工成形し、荷重によって撓むことができるように層状に交互に重ねたハニカム除振ばねの、数式1によって計算される除振形状ファクタFD-が、5×10-5~5×10-4あることを特徴とする請求項1に記載した除振装置。[数式1]除振形状ファクタFD-=W/2D/Ln21ここで、Wmmはハニカム除振ばねの幅、Dmmは表皮ばね鋼板の厚さ、Lmmはハニカムの有効長さ、nはハニカムを構成する樹脂ラミネートばね板の枚数である。振動減衰能のある粘弾性樹脂を表皮ばね鋼板の間にラミネート状に張合せた樹脂ラニネートばね板を曲げ加工により両端をフランジ状に中央部を凸状に一体加工成形し、荷重によって撓むことができるように層状に交互に重ねたハニカム除振ばねを含んで構成される除振装置であって、共振周波数が、4~20Hz、振動減衰時間Tsecが、0.2~1.2sec、振動試験で得られる数式2で計算される加振応答率κ-が、0.2~0.6、数式3で計算されるばね定数kN/mmが、20~200N/mmであることを特徴とする請求項1乃至2に記載した除振装置。[数式2]加振応答率κ-=A1/A02ここで、A0cm/sec2はパルス加振の加速度振幅、A1cm/sec2はパルス加振後の最初の振動波形振幅である。[数式2]ばね定数kN/mm=P/δ3ここで、PNは荷重、δmmは撓み量である。振動減衰能のある粘弾性樹脂を表皮ばね鋼板の間にラミネート状に張合せた樹脂ラミネートばね材の損失係数ηが、0.05~0.8であることを特徴とする請求項1乃至3に記載した除振装置。除振装置の荷重による撓み量が5mm以上、20mm以下の状態で使用することを特徴とする請求項1乃至4に記載した除振装置。請求項1乃至5のいずれかに記載された除振装置によって構成されることを特徴とする除振機能付き搬送装置。本発明が解決しようとする課題は、該技術を実際使用する現場の研究者や技術者からの真の評価結果をもとに、樹脂ラミネートばね板を組み合わせたハニカム除振ばねの除振部の構造寸法を最適化して、除振性能の優れた信頼性の高い除振装置を提供することである。さらに、搬送用除振台車の場合にも適用可能な、積載重量が大きいときにも優れた除振機能を発揮させる具体的な設計指針を提示することである。本発明者は、上記の課題を解決するために研究した結果、特許文献5に示す別の研究結果から得た振動現象を解析することの出来るサンプルの形状ファクタFの考え方を導入することとし、数式1に示す除振形状ファクタFD-を定義した。ここで、Wは除振部の幅mm、Dは樹脂ラミネートばね板の表皮ばね鋼板の厚さmm、Lは除振部の樹脂ラミネートばね板の有効長さmm、nはその構成枚数である。このFDは、特許文献5の研究結果よりサンプルの振動吸収能の指標となることが分かっている。数式1には、本発明の除振部はハニカム状に構成されているので、その全ての構成要素を取り入れる工夫をしている。以下に、本発明に係る除振装置について具体的に説明する。本発明の請求項1に記載したハニカム除振ばねの形状の例を図3に示す。図3Aは、開発初期の形状であるが、図中Lは、有効長さである。図3のBは、例えば、これをプレス加工によって曲げて一体型にして量産タイプに改善したものであり、有効長さLは、プレス加工前の直線に伸ばした長さである。また、図3中のCは、除振部の高さを低くして装置の全高さを低くしたものである。ハニカムの両端及び中央を固定する方法は、表皮鋼板及び粘弾性樹脂を十分固定するために、例えば、鋲かしめが推奨される。本発明の請求項2において、ハニカム除振ばねの除振形状ファクタFD-を5×10-5~5×10-4することを主張している。これは、除振形状ファクタFDが、5×10-5未満であると、振動吸収能が不十分となり振動減衰時間Tが長くなり、除振効果が不十分となるためである。除振形状ファクタFDが、5×10-4を超えると、加振応答率κ-が高くなり、パルス加振に対する緩和効果が不十分となるためである。望ましくは、除振形状ファクタFDは、5×10-5~2×10-4である。本発明の請求項3において、ハニカム除振ばねの共振周波数fnを4~20Hz、自由減衰時間Tsecを0.2~1.2sec、加振応答率κ-を、0.2~0.6、ばね定数kを20~200N/mmと主張している。ここで、共振周波数fnを4~20Hzとするのは、4Hz未満であると振動吸収能が不十分となるためであり、20Hzを超えると低周波領域の振動吸収が不十分となるためであり、望ましくは、5~10Hzである。自由減衰時間Tsecを0.2~1.2secと主張しているが、1.2secを超えると振動吸収能が不十分となることを示すものであり、望ましくは、0.2~0.7secである。加振応答率κ-を、0.2~0.6と主張しているが、0.6を超えると、パルス加振を緩和する機能が不十分となるためであり、望ましくは、0.2~0.5である。ばね定数kを20~200N/mmと主張していのは、20N/mm未満では、許容積載重量が少なすぎるためであり、200N/mmを超えると、パルス加振の緩和効果が不十分となるためであり、望ましくは、50~110N/mmである。本発明の請求項4において、ハニカム除振ばねを構成する樹脂ラミネートばね板の損失係数ηが、0.05~0.8であることを主張している。これによれば、樹脂ラミネートばね板は、ばね材と粘弾性体との特性を発揮させて、ばね材で共振周波数を低く抑えつつ、粘弾性体でばね材の自由振動の継続時間を低く抑えることができるので、薄型でコンパクトかつ安価な除振装置が提供できる。ここで、樹脂ラミネートばね板を構成する表皮ばね鋼板であるが、例えば、SUS304等のオーステナイトステンレス鋼や高炭素ばね鋼が推奨されるが、その目安として0.2耐力が180MPa以上とするのが好ましい。ここで、損失係数ηが、0.05未満であると、ハニカム除振ばねの振動吸収能が不十分となり、自由減衰時間が、1.2secを越えるので、損失係数ηを0.05以上とした。本発明の請求項5において、除振装置の荷重による撓み量が、5~20mmの状態で使用することを主張している。これは、撓み量が5mm未満のときは、共振周波数fnが、10Hzを超えることになり、10Hz以下の低周波領域での除振効果が低減するためである。このような時には、ダミー錘を乗せて撓み量を調整すればよい。また、撓み量が20mmを超える場合は、ハニカム層間が接触するためであり、このような時には、ハニカム除振ばねの構造を本発明を基にして変更することによって定数kを高めるようにする必要がある。本発明の請求項6において、本発明の除振装置によって構成される除振機能付き搬送装置の提案がなされている。この場合、積載荷重や搬送地面の凹凸、或いは、それに起因する振動等に適合するように請求項1乃至5に示された設計指針によって、最適化を図ることができる。以下、本発明を実施例によって説明する。実施例1は、ハニカム除振ばねの方式の比較を示したものである。表2において、本発明例は、樹脂ラミネートばね板をハニカム状に組み立てたものである。比較例1は、SUS304の1.0mm厚を本発明例と同じ形状のハニカムにしたものである。比較例2は、ゴムのブロックを除振部としたものである。これらの除振装置に1除振部当たり10kgの荷重を乗せ、10mmの撓み量とした。これに、架台と除振台天板に各々加速度センサを取付け、架台に5G1G=9.80m/sec2のパルス加振を与え、その後の天板の加速度の時間軸減衰曲線を計測した。本発明例の場合は、加振応答比κ:0.3、振動減衰時間T:0.5sec、ばね定数k:100N/mmであった。この値は、熱機械分析装置における除振効果として高く評価された値である。比較例1の場合は振動吸収能がないので、減衰時間T:5.0secであった。比較例2の場合は、加振応答比:0.9であり、パルス加振の衝撃緩和能が著しく劣っている。これからも明らかなように、本発明になる除振装置の除振能が他の方式に比べて極めて優れていることが分かる。実施例2は、除振部の寸法が除振性能に及ぼす影響を定量的に求めて、除振性能評価を行ったものである。表3に結果を示す。除振性能試験は、一つの除振部当たり10kgの荷重を懸けて、実施例1と同じ方法で行った。幅は50mmと固定させた。表皮厚さは0.5を中心に、1.0、1.5、0.3、0.2mmに変えた。図5は、除振形状ファクタFDと共振周波数との関係、図6は、除振形状ファクタFDと加振応答率、減衰時間及びばね定数の関係を示す。本発明例1は、本発明の除振性能を最大限に発揮した例であり、精密分析装置において真価を確認した例である。熱機械分析装置等の精密分析機器の除振装置として推奨できる例である。本発明例2及び3は、表皮厚を1.0mmにして有効長さを調整した例である。本発明例2は、有効長さを150mmにすることによって、良好な除振性能を発現させることができる。本発明例3は、表皮厚を1.0mmとして、有効長さを110とした場合であるが、共振周波数、加振応答率、減衰時間をある程度維持した状態で、ばね定数を上げることができる。即ち、積載重量の大きいものに適した設計である。比較例1~3は、表皮厚と有効長さとの関係で、最適値から外れた条件を示している。このように除振形状ファクタFDを指標にして、使用環境及び要求除振性能を満たす設計をすることが出来るようになった。比較例1は、表皮厚を0.2mmにした場合であるが、FDが4×10-5となり過小である。このような条件では、減衰時間Tが1.1secとなり振動吸収能が不十分である。比較例2は、有効長Lが150mmと長くした場合であるが、この場合も減衰時間Tが大となる。比較例は表皮厚Dを1.5mmと厚くした場合は、ばね効果が不十分となり、加振応答率κが0.7となる。実施例3は、請求項4を実証するものである。即ち、表4に示す樹脂ラミネートばね板の制振性能とそれをもって構成されたハニカム除振ばねの除振性能の検証を行った結果を示す。樹脂ラミネートばね板の制振性能は、粘弾性樹脂の厚さを変えることによってある程度変えることができる。表皮は、0.5mm厚のSUS304である。ハニカム除振ばねの寸法は、実施例1の本発明例1である。結果を表4に示す。樹脂ラミネートばね板の損失係数ηは、減衰時間に影響していることが分かる。実施例4は、本発明になる除振部を搬送用除振台車に適用した例を示す。検討の結果、除振部の寸法は、表3の中で、本発明例3が適していることが分かった。これを、8つ装着すると、100kg以上の積載重量で、搬送中の振動を緩和しながら移送できることが分かった。表5は、本発明になる搬送用除振台車の仕様であり、図8は、その一例の概念図である。これにより、優れた除振性能を持つ搬送用除振台車の諸元を提案することができる。