クロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法であって、鉄系材料の表面にクロムメッキを設けた後、熱処理することにより鉄系材料中の炭素をクロム中に拡散させ、該クロムをクロム炭化物に変化させるクロム炭化物生成工程と、前記クロム炭化物生成工程の後、窒化処理により窒素を該クロム炭化物中に拡散させ、該クロム炭化物を窒素化合物に変化させる工程と、を含むことを特徴とするクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法。前記熱処理は850°C以上の条件であることを特徴とする請求項1に記載のクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法。母材である鉄系材料の表面にクロム窒化物またはクロム炭窒化物が形成されたクロム窒化物またはクロム炭窒化物であって、表面からクロム窒化物層、それより深い中間層にはクロム炭窒化物層および窒素が拡散した前記母材部分を有することを特徴とするクロム窒化物またはクロム炭窒化物。クロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法であって、鉄系材料の表面に窒化処理により窒素を拡散させた後、該表面にクロムメッキを設け、さらにそれを真空中にて熱処理することにより前記窒素をクロム中に拡散させ、該クロムを化合物に変化させる工程、を含むことを特徴とするクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法。前記熱処理は900°C以上の条件であることを特徴とする請求項3に記載のクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法。母材である鉄系材料の表面にクロム窒化物またはクロム炭窒化物が形成されたクロム窒化物またはクロム炭窒化物であって、前記クロム窒化物またはクロム炭窒化物からなる層と前記母材との間には、前記層及び前記母材に含有する炭素より多い炭素元素を含む中間層、またはクロム及び鉄元素の含有量が厚さ方向に対して当該各々の元素が反対の方向に傾斜する中間層を有することを特徴とするクロム窒化物またはクロム炭窒化物。圧電素子を備え、圧電素子への電圧の印加により振動する振動体と、摩擦摺動部を備え、摩擦摺動部が前記振動体に接触し、前記振動により摩擦駆動する移動体と、を有する振動波駆動装置であって、前記摩擦摺動部が、請求項3または請求項6に記載のクロム窒化物またはクロム炭窒化物によって形成されていることを特徴とする振動波駆動装置。上記特許文献1の製造方法では、クロム中の窒素含有量を変化させて、母材との密着性と耐摩耗性の両立を達成している。しかし、この製造方法はドライプロセスと言われるものであって、膜の成長速度は余り大きくない上、一回の処理ごとに容器内を真空にしなければならず、必ずしも大量生産に向いているとは言えない面がある。一方、特許文献2にあるように、窒化層の表面にクロムメッキを施した後、塩浴中でクロム窒化物などを形成させる処理がある。この処理によれば大量生産を可能にしている。しかし、このような処理では塩浴中での処理が必要となり、処理条件の安定化のため塩浴の管理が必要となる。また、有毒ガスの発生等の問題があり、更に、廃棄物処理、処理物の中性化、洗浄、塩の飛散、等クリーンな製造条件を達成する上で解決すべき多くの問題が存在する。本発明は、上記課題に鑑み、簡易でクリーンな製造方法により、量産性を図り耐摩耗性を向上させることが可能となる、クロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法、クロム窒化物またはクロム炭窒化物、及びクロム窒化物またはクロム炭窒化物を用いた振動波駆動装置の提供を目的とする。本発明のクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法は、鉄系材料の表面にクロムメッキを設けた後、熱処理することにより鉄系材料中の炭素をクロム中に拡散させ、該クロムをクロム炭化物に変化させるクロム炭化物生成工程と、前記クロム炭化物生成工程の後、窒化処理により窒素を該クロム炭化物中に拡散させ、該クロム炭化物を窒素化合物に変化させる工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明のクロム窒化物またはクロム炭窒化物は、母材である鉄系材料の表面にクロム窒化物またはクロム炭窒化物が形成されたクロム窒化物またはクロム炭窒化物であって、表面からクロム窒化物層、それより深い中間層にはクロム炭窒化物層および窒素が拡散した前記母材部分を有することを特徴とする。また、本発明のクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法は、鉄系材料の表面に窒化処理により窒素を拡散させた後、該表面にクロムメッキを設け、さらにそれを真空中にて熱処理することにより前記窒素をクロム中に拡散させ、該クロムを化合物に変化させる工程、を含むことを特徴とする。また、本発明のクロム窒化物またはクロム炭窒化物は、母材である鉄系材料の表面にクロム窒化物またはクロム炭窒化物が形成されたクロム窒化物またはクロム炭窒化物であって、前記クロム窒化物またはクロム炭窒化物からなる層と前記母材との間には、前記層及び前記母材に含有する炭素より多い炭素元素を含む中間層、またはクロム及び鉄元素の含有量が厚さ方向に対して当該各々の元素が反対の方向に傾斜する中間層を有することを特徴とする。また、本発明の振動波駆動装置は、圧電素子を備え、圧電素子への電圧の印加により振動する振動体と、摩擦摺動部を備え、摩擦摺動部が前記振動体に接触し、前記振動により摩擦駆動する移動体と、を有する振動波駆動装置であって、前記摩擦摺動部が、上記したクロム窒化物またはクロム炭窒化物によって形成されていることを特徴とする。本発明によれば、簡易でクリーンな製造方法により、量産性を図り耐摩耗性を向上させることが可能となる、クロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法、クロム窒化物またはクロム炭窒化物、及びクロム窒化物またはクロム炭窒化物を用いた振動波駆動装置を実現することができる。[実施例1]実施例1として、本発明を適用したクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法及びそれを用いた振動波駆動装置の構成例について説明する。本実施例では、鉄系材料の表面にクロムメッキを施し、それを真空中で熱処理することにより、一旦クロム炭化物を生成させた後、それをクロム窒化物またはクロム炭窒化物に変化させることでクロム窒化物またはクロム炭窒化物を製造した。以下に、これらの製造方法について更に詳細に説明する。まず、上記一旦クロム炭化物を生成させるクロム炭化物生成工程として、鉄系材料の表面にクロムメッキを設けた後、熱処理することにより鉄系材料中の炭素をクロム中に拡散させ、該クロムをクロム炭化物に変化させる工程について説明する。その際、試料の材料として、つぎの材料を用いた。すなわち、電磁軟鉄炭素量0.02重量以下、炭素鋼JISS20C炭素含有量0.2重量、炭素鋼JISS45C炭素含有量0.45重量、JISSK4炭素含有量1.0重量、ステンレスSUS420J2炭素含有量0.35重量、SUS420F炭素含有量0.35重量、ステンレスSUS440C炭素含有量1.0重量、を用いた。それぞれの材料の表面に、厚さ約3~5μmのクロムメッキを施した。但し、ステンレス以外の材料にはクロムの下層に厚さ約0.5μmのニッケルメッキ層がある。その後、各材料を真空中にて850°C~1150°Cの各温度50°Cおきに1時間および6時間保持した後、窒素ガスによる急冷または炉中にて徐冷20K/分を行い、各試料を常温まで冷却した。なお、熱処理後の試料を分析表面溶出抽出ジフェニルカルバンド吸光光度法によるすると、六価クロム量は2.5ppm以下検出限度以下という極めて低い含有量であった。なお、参考までにRoHS指令値は1000ppm以下である。図1はJISSUS420Fの表面にクロムメッキした試料を真空炉中で900~1150°C50°Cおきの各温度で各1時間保持した後、徐冷したものの表面ビッカース硬さ試験の結果である。メッキのままでは硬さは900HVであり、900°Cでは一旦400HVまで低下するがその後950°Cから硬さが上昇し、1000~1150°Cでは1300HV程度になった。図2は、JISSUS420Fの表面にクロムメッキした試料を真空炉中で900~1150°C50°Cおきの各温度で各1時間保持した後徐冷したものの表面をXMAX線マイクロアナライザーにて元素分析した結果を示すものである。この結果によると硬さの変化と同様、950°C以上でクロム中に炭素元素が急激に拡散しており、その結果クロム炭化物または鉄を含むクロム複炭化物に相変化したことが予測された。確認のため950°C以上の熱処理を経た試料表面をX線回折により結晶構造を分析すると、Cr、Fe23C6になっていた。なお、本発明ではクロム窒化物、クロム炭窒化物およびクロム炭化物と称する化合物には、クロム鉄複窒化物Cr、FexNy、クロム鉄複炭窒化物Cr、FexC、Nyおよびクロム鉄複炭化物Cr、FexCyが含まれるx、yは自然数。図3は、前記試料において、900°C、950°C、1050°Cおよび1150°Cにて熱処理した表面の走査電子顕微鏡写真を示す。900°Cの試料は表面にクラックが見られ、まだほとんどクロム元素のままの状態である。950°Cの試料では凹凸のある部分と滑らかな表面を呈している部分とがある。炭化物が生成した部分と金属クロムのままの部分が混在しているとみられ、硬さ試験の結果においても、炭化物および焼きなましされた金属クロムの各硬さの間の硬さになっていた。炭化物と金属クロムの割合によって、硬さは異なるとみられる。1050°Cの試料ではほぼ全面1μm大の角ばった粒子で覆われている。クロム炭化物粒子が析出したものである。その後さらに温度を上げた1150°C処理の試料では、粒子が大きくなると同時に丸みを帯びてきた。粗大化コースニングが進んだためである。他の材料試料においても状況はほぼ同様であるが、S45CとSK4についてはクロムメッキの下層にNi層を付与してしまったため、母材から表面への炭素原子の拡散を困難にしてしまった。その結果1150°Cになってやっと表面に炭素が拡散してきた。なるべく低温処理を可能ならしめるために、母材にはクロムメッキを直接付与させることが重要である。SUS420Fにおいて、各温度に保持する時間を6時間にした場合を次に示す。図4は、上記と同様JISSUS420Fの表面にクロムメッキした試料を真空炉中で850~1000°C50°Cおきの各温度で各6時間保持した後徐冷したものの表面をXMAにて元素分析した結果を示すものである。この結果によると、850°C以上でクロム中に炭素元素が急激に拡散しており、前記した各温度に1時間保持した場合と比較して約100°C低い温度で同量の炭素が拡散している。すなわち、保持時間を6倍にすることで、炭素を拡散させるための温度を約100°C低下させることができた。図5には前記試料において、850°Cにて熱処理した表面の走査電子顕微鏡写真を示す。これによると、前記した950°Cで1時間保持した場合の材料組織と同程度の炭化物が生成し、再結晶化が進んでいる。組織の上でも保持時間を6倍にすることが、温度を約100°C低下させることに相当する。図6はJISSUS440Cの表面にクロムメッキした試料を真空炉中で900~1150°C50°Cおきの各温度で各1時間保持した後徐冷したものの表面ビッカース硬さ試験の結果を示すものである。SUS420Fと同様にメッキのままでは硬さは900HVであり、900°Cでは一旦400HV程度まで低下するがその後950°Cから硬さが急上昇し、1150°CまでSUS420Fの場合より硬い1400HV程度を維持した。図7は、同様にJISSUS440Cの表面にクロムメッキした試料を真空炉中で900~1150°C50°Cおきの各温度で各1時間保持した後、徐冷したものの表面をXMAにて元素分析した結果を示すものである。この結果によると、やはり950°C以上でクロム中に炭素元素が急激に拡散しており、その結果クロム炭化物または鉄を含むクロム複炭化物に相変化したことが予測された。確認のため950°C以上の熱処理を経た試料表面をX線回折により結晶構造を分析すると、SUS420Fとは異なり、Cr、Fe7C3になっていた。図8に、前記試料において、900°C、950°C、1050°Cにて熱処理した表面の走査電子顕微鏡写真を示す。900°CではSUS420Fの場合と異なり、既にわずかであるが炭化物の微細粒子が観察された。950°Cになると全面微細粒子で覆われ、1050°Cの試料では網目状の組織になった。この網の部分をXMAで分析すると他の部分よりもFeの含有量が多いことがわかった。この網目の部分は旧オーステナイトγ粒界に相当し、該粒界部分はFeの拡散が先行したようである。次に、上記クロム炭化物生成工程の後、窒化処理により窒素を該クロム炭化物中に拡散させ、該クロム炭化物を窒素化合物に変化させるようにする工程について説明する。クロム炭化物を窒素化合物に変化させる工程では、上記のようにして生成した表面のクロム炭化物部分を、550°Cにて2時間イオン窒化処理する。これにより、相変化を起こしクロム窒化物に変化することが確認された。図9は、一旦クロム炭化物にしてからクロム窒化物に変化させた例を示す断面写真およびその元素マッピングである。具体的には振動波駆動装置の振動体の表面に摩擦材として使用するために、当該方法によりクロム窒化物を生成したものである。母材の材質はJISSUS440Cであり、その表面に約15μmのクロムメッキを施した後、真空炉中にて1200°Cで1時間保持すると前述したようにクロム炭化物が生成した。さらに、この振動体を550°Cにて2時間イオン窒化処理した結果のものである。写真の左側が表面であり、以下に説明するが該表面側から窒化により窒素元素が内部へと拡散していることがわかる。Cr元素のマッピング面分析をみると、クロム元素については旧γ粒界に沿って母材側に拡散しているが、ほとんどは表面付近に残存している。一方、Fe元素については反対に元々クロムメッキ部分であった表面方向に、やはり旧γ粒界に沿って拡散している。このように互いの元素が拡散し合うことで、表面の硬い化合物層の母材に対する密着性が増加して、はく離しにくくなる。次に、C元素を見てみると、この元素が多く存在する部分には同時にCr元素も多く存在することがわかる。それは、母材側に拡散しているCr元素の多い部分でも同様である。さらに、表面から10~15μm付近の深さ部分が最も多く存在する。しかし、一方N元素について見てみると、表面から10μm程度の深さまで最も多量に存在する部分と、さらにその内部の5μm程度の中間的な量が存在する部分中間層および最も少ない量が存在する母材部分に明瞭に判別できる。以上から、該断面は表面からクロム窒化物層、それより深い部分中間層にはクロム炭窒化物層および若干窒素が拡散した母材部分から構成される。なお、クロムメッキに直接イオン窒化処理した場合は、処理温度を800°Cという高温にしても、表面からわずか1μm程度しかクロム窒化物に変化しない。なお、イオン窒化処理においては800°Cという温度は実用的とは言えず、装置を構成する容器の材料や冶具などを耐熱材料に変更しなければならない。その点、一旦クロム炭化物にしておくと、炭素の部分がそれと原子の大きさが同程度の窒素に置換するだけですむので、前記した温度と比較すると低温であって充分実用的な550°Cという比較的低温の窒化温度でも窒素は拡散すると考えられる。また、その条件ではクロム炭化物よりもクロム窒化物の方が安定だから相変化するとも言える。以上、説明したようにこの実施例を用いると、実用的な窒化処理条件においても比較的短時間で厚いクロム窒化物層が得られる。図10は、前記した振動波駆動装置を示す図である。この振動波駆動装置は主に振動体1、その下面に貼付した圧電素子2、振動体の振動を上端部1aの摩擦摺動部1aaにて接触させ回転駆動に変換するロータ3および該ロータの回転運動を出力する軸4から構成されている。これらにより、圧電素子2への電圧の印加により振動体1が振動し、振動体1に接触している摩擦摺動部が振動体1の振動により、ロータ移動体3が回転駆動摩擦駆動されるように構成されている。その際、本実施例では、上記振動波駆動装置の摩擦摺動部を、本発明の製造方法で製造されたクロム窒化物またはクロム炭窒化物によって形成する構成を採ることができる。図11は振動体1の部分を示す図であるが、上方に多数あるくし歯の上端部1aには摩擦摺動部1aaがある。当該部分に本発明のクロム窒化物またはクロム炭窒化物を設けて、耐久性の高い振動波駆動装置が出来る。[実施例2]実施例2として、実施例1とは異なる形態のクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造方法の構成例について説明する。本実施例では、鉄系材料の表面に窒化処理により窒素を拡散させた後、該表面にクロムメッキを設け、さらに、それを真空中にて熱処理することにより前記窒素をクロム中に拡散させ、該クロムを化合物に変化させることによりクロム窒化物層またはクロム炭窒化物層を生成した。次に、本実施例の具体的な製造方法について説明する。まず、JISSUS420J2製の振動体にイオン窒化処理した後XMA分析したところ表面の窒素含有量は7重量であった。その後、真空中1000°Cにて1時間保持したところ表面の窒素含有量を1重量まで低下した。つまり加熱により脱窒したのである。そして当該振動体の表面に10~20μm厚のクロムメッキを施した。図12は、このようにして製造した試料を真空中にて、50°Cおきに800~1100°Cの各温度で1時間保持後窒素急冷して、その表面の各元素含有量をXMAにて分析した結果を示すものである。非摺動部表面においては900°C、摩擦摺動面においては950°C以上で急激に窒素含有量が増大した。後に当該試料断面からメッキ厚を測定すると、非摺動部では10μm、摩擦摺動部では20μmであった。つまり、メッキが厚い部分は表面の窒素含有量が増大するために、同じ1時間では約50°C高い温度を必要としたことがわかる。図13は、当該振動体試料の熱処理温度と表面硬さの関係を示している。これからわかるように、窒素含有量の増大と硬さの増大する温度は一致していた。つまり、当初SUS420J2母材表面に含まれていた窒素がクロムメッキ側に拡散してきて、1500HVという高硬度のクロム窒化物またはクロム炭窒化物を生成した。図14は1100°Cの熱処理を施した当該試料の表面付近の断面写真と、各元素の線分析の結果を示している。この結果から表面付近はほぼクロム窒化物になっている。また、図14の炭素と窒素スペクトルのみを再度詳細に分析した図15をみると、窒素元素が中間層部分で滑らかに表面に向かって増大するとともに、母材との中間層部分は母材及び表面のクロム窒化物より炭素含有量が多くなっていることがわかった。本実施例では、真空中で900°C以上の温度にするだけでクロム窒化物ないしクロム炭窒化物という硬い化合物相を生成することが出来た。実施例1と共通する利点は、各元素が表面から母材にかけてなめらかに傾斜していることであって、化合物相のはく離強度が高く、過酷な摩擦摺動特性を要求する振動波駆動装置の摩擦材として最適である。特に、クロム元素の含有量が多い表面層と鉄元素の含有量が多い母材との間に、それぞれの元素含有量がそれぞれ反対の方向に傾斜する中間層が存在しており、そのことが密着性の高い化合物相になっていると考えられる。また、当該中間層では炭素元素が両側の表面層及び母材よりも高くなっており、その炭素含有量が多い化合物相が存在することで密着性の高い化合物相になっていると考えられる。一方、本実施例特有の効果としては、一般的な表面硬化処理とは異なり、窒素が母材内部から拡散することにある。その結果、表面層より内部の方が硬い層が得られ易い。そのため、摩擦摺動による初期のなじみが容易に進行し、その後は高耐摩耗性を維持するという特徴がある。また、一般には表面硬化層を設けた後、当該表面をラップ加工などにより平滑化処理を施すわけであるが、その場合でもせっかく設けた高耐摩耗性、高耐食性などといった優れた特性をもつ層を除去することが少ないので好ましい。以上に説明したように、本発明によれば、環境に配慮した条件の下、工業的大量生産に適したクロム窒化物またはクロム炭窒化物の製造が可能である。また、本発明の製造方法によるクロム窒化物またはクロム炭窒化物は表面に10μm以上の厚さでも容易に製造することができ、これらの表面を研削やラップなど平滑化処理して使用することも可能となる。また、母材である鉄系材料との密着性が良好なため、剥離も発生しにくい。