"ポリアクリロニトリルを含む紡糸原液を紡糸する紡糸工程、前延伸工程、乾燥工程および後延伸工程をこの順に含むポリアクリロニトリル繊維の製造方法において、該後延伸工程として、下記a~cのいずれかの乾熱延伸工程を含んでいるポリアクリロニトリル繊維の製造方法;a後延伸を複数個のロールを用いた乾熱延伸で行い、前記複数個のロールのうち少なくとも1つのロールがホットロールであり、このホットロール上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの糸温度を130°C以上として、空中で延伸を行う工程;b後延伸を複数個のロールを用いた乾熱延伸で行い、前記複数個のロールのうち少なくとも1つのロールがホットロールであり、このホットロール上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの距離を20cm以下として延伸を行う工程;c後延伸を2個のロール間に熱板を置いた熱板延伸ゾーンで行い、前記2個のロールのうち前記熱板延伸ゾーン内の前方に配置された1個は予熱ホットロールであり、前記熱板と糸との接糸開始点が前記予熱ホットロール上の糸離れ点から30cm以下の距離となるように前記熱板を位置させ、かつ、前記予熱ホットロールの表面速度を100m/分以上として延伸を行う工程。前記a~cのいずれかの後延伸工程に供されるポリアクリロニトリル繊維の、広角X線回折から求められる配向度が60~85である、請求項1記載のポリアクリロニトリル繊維の製造方法。前記aの乾熱延伸工程において、予熱ホットロール上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの距離を20cm以下とする、請求項1または2記載のポリアクリロニトリル繊維の製造方法。前記aまたはbの乾熱延伸工程において、複数個のホットロールのうち、前方に配置された予熱ロールの温度を160°C以上とする、請求項1~3のいずれか一項記載のポリアクリロニトリル繊維の製造方法。前記aまたはbの乾熱延伸工程において、予熱HRの表面速度を100m/分以上とする、請求項1~4のいずれか一項記載のポリアクリロニトリル繊維の製造方法。前記乾熱延伸工程における延伸倍率が1.5倍以上である、請求項1~5のいずれか一項記載のポリアクリロニトリル繊維の製造方法。前記a~cのいずれかの乾熱延伸工程が行われる領域を加熱または保温できる断熱手段で囲んだ、請求項1~6のいずれか一項記載のポリアクリロニトリル繊維の製造方法。ポリアクリロニトリル中のアクリロニトリルモノマー由来成分が95質量以上である、請求項1~7のいずれか一項記載のポリアクリロニトリル繊維の製造方法。ポリアクリロニトリルがゲルパーミエーションクロマトグラフ法で測定されるz平均分子量が80万~600万、かつ、多分散度が2.5~10のものである、請求項1~8のいずれか一項記載のポリアクリロニトリル繊維の製造方法。請求項1~9のいずれか一項記載の方法で得られたポリアクリロニトリル繊維に対して、さらに炭化処理を行う工程を含む炭素繊維の製造方法。本発明の課題は、高速乾熱延伸でも充分な延伸倍率が得られるとともに、毛羽や糸切れが少ない生産性に優れたポリアクリロニトリル繊維の製造方法を提供することにある。本発明のポリアクリロニトリル繊維の製造方法は、以下のとおりである。ポリアクリロニトリルを含む紡糸原液を紡糸する紡糸工程、前延伸工程、乾燥工程および後延伸工程をこの順に含むポリアクリロニトリル繊維の製造方法において、該後延伸工程として、下記a~cのいずれかの乾熱延伸工程を含んでいるポリアクリロニトリル繊維の製造方法;a後延伸を複数個のロールを用いた乾熱延伸で行い、前記複数個のロールのうち少なくとも1つのロールがホットロールであり、このホットロール上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの糸温度を130°C以上として、空中で延伸を行う工程;b後延伸を複数個のロールを用いた乾熱延伸で行い、前記複数個のロールのうち少なくとも1つのロールがホットロールであり、このホットロール上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの距離を20cm以下として延伸を行う工程;c後延伸を2個のロール間に熱板を置いた熱板延伸ゾーンで行い、前記2個のロールのうち前記熱板延伸ゾーン内の前方に配置された1個は予熱ホットロールであり、前記熱板と糸との接糸開始点が前記予熱ホットロール上の糸離れ点から30cm以下の距離となるように前記熱板を位置させ、かつ、前記予熱ホットロールの表面速度を100m/分以上として延伸を行う工程。また本発明は、上記の方法で得られたポリアクリロニトリル繊維に対して、さらに炭化処理を行う工程を含む炭素繊維の製造方法を含む。本発明のポリアクリロニトリル繊維の製造方法によれば、従来問題となっていた高速乾熱延伸時の延伸倍率低下を解決するだけでなく、毛羽や糸切れを改善し、ポリアクリロニトリル繊維の生産性を向上することができる。また、本発明の炭素繊維の製造方法によれば、炭素繊維の生産性を向上させることができ、炭素繊維のコストダウンが可能である。以下に、本発明について、望ましい実施の形態とともに詳細に説明する。本発明でいうポリアクリロニトリルPANとは、アクリロニトリルモノマー以下、ANと呼ぶを重合して得られるポリマーであるが、AN以外の共重合成分を含むこともできる。AN以外の共重合成分としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸およびそれらのアルカリ金属塩、アンモニウム塩および低級アルキルエステル;アクリルアミドおよびその誘導体;アリルスルホン酸、メタリルスルホン酸およびそれらの塩またはアルキルエステルなどを用いることができる。PAN繊維を炭素繊維前駆体として用いる場合には、少ない共重合量で耐炎化を促進する観点からイタコン酸がAN以外の共重合成分として用いられることが特に好ましい。ただし、AN以外の共重合成分の含有率は以下の理由から少ない方が好ましく、PAN中のAN由来成分は95質量以上であることが好ましい。すなわち、AN由来成分を高含有率とすることで、PAN繊維を焼成して炭素繊維化する際に焼失による質量減少が少なく、収率を向上できるとともに、焼失による炭素繊維中の欠陥発生を抑制でき、炭素繊維の力学物性低下を抑制することができる。この観点から、PAN中のAN由来成分は99質量以上であることがより好ましい。なお、特許文献2等のいわゆる衣料用アクリル繊維で用いられているAN以外の共重合成分の含有量の多いPANは、延伸性や染色性を向上させる効果を奏するものであるが、炭素繊維化する際の焼成時には、共重合成分がグラフェンシート形成には寄与しないため欠陥の原因となり、炭素繊維の力学特性を低下させるため、炭素繊維前駆体としては不適であると考えられる。PAN繊維の製造方法は、PANを含む紡糸原液を紡糸する紡糸工程、前延伸工程、乾燥工程および後延伸工程を含む。本発明においては、この後延伸工程として、従来のスチームチューブを用いた延伸に代えて、後述の乾熱延伸を行う。本発明の特徴は、以下のようなPAN繊維の乾熱延伸の特異性に基づいている。これを説明するため、HR延伸を行う典型的な例であるポリエステルPET繊維とPAN繊維の乾熱HR延伸時の細化挙動の比較を図1に示す。図1は、糸をHR延伸し、その時の糸速度変化をレーザードップラー速度計でオンライン計測し、引き取りロールの表面速度で規格化して変形完了率として、予熱HR上の糸離れ点からの距離に対してプロットしたものである。PANでは予熱HRの表面速度を100m/分、温度180°C、第2HRの表面速度を200m/分、温度180°Cとした。一方、PETでは予熱HRの表面速度を140m/分、温度90°C、第2HRの表面速度を196m/分、温度130°Cとした。なお、ここでPANとPETの温度設定が異なっているのは、それぞれのポリマーの軟化温度が異なっているためである。また、予熱HRとは、延伸ゾーンにおける最初のホットロールを、第2HRとは、予熱HRの次のホットロールを意味する。PETでは予熱HR表面温度を130°C程度にすると、かえって延伸倍率が低下したので、衣料用PET繊維の通常の温度条件である予熱温度90°Cとした。PANは後述するように予熱温度180°C以上が好ましいので、このような温度条件とした。まずPETでは予熱HR近傍で急激なネック状変形を示すのに対し、PANでは予熱HR上の糸離れ点から約30cmにわたって冷却過程で緩慢に変形が行われていることがわかる。このように、PANは冷却過程で変形が進行するが、PETは冷却される前にほぼ等温で変形が進行するという大きな違いがある。PANでは低温でも変形が進むため延伸応力が高くなり易く、これが高倍率変形を阻害している可能性が推定された。このため、PANの延伸工程の高倍率延伸化のためには、糸を高温に保持して延伸を完了させることが重要と考えられる。本発明は、後述の方法によって、PANの通常のHR延伸で見られる低温延伸領域を無くすることを狙ったものである。これにより、延伸応力を低下させることができると考えられ、高倍率延伸であっても変形をスムーズに進めることが可能となると考えられる。本発明のポリアクリロニトリル繊維の製造方法は、後延伸工程として、下記a~cのいずれかの乾熱延伸工程を含んでいることを特徴とする。a後延伸を複数個のロールを用いた乾熱延伸で行い、前記複数個のロールのうち少なくとも1つのロールがホットロールであり、このホットロール上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの糸温度を130°C以上として、空中で延伸を行う工程。b後延伸を複数個のロールを用いた乾熱延伸で行い、前記複数個のロールのうち少なくとも1つのロールがホットロールであり、このホットロール上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの距離を20cm以下として延伸を行う工程。c後延伸を2個のロール間に熱板を置いた熱板延伸ゾーンで行い、前記2個のロールのうち前記熱板延伸ゾーン内の前方に配置された1個は予熱ホットロールであり、前記熱板と糸との接糸開始点が前記予熱ホットロール上の糸離れ点から30cm以下の距離となるように前記熱板を位置させ、かつ、前記予熱ホットロールの表面速度を100m/分以上として延伸を行う工程。上記aの工程について詳細を説明する。この乾熱延伸工程は、複数個のロールを用い、そのうちの少なくとも1つをホットロールHRとする。このHRは延伸前の糸の予熱に使用される。すなわち、1対のロールを用いる場合には、このHRは前方のロールに用いられる。以後、これを予熱HRと称する。HRやロールは繊維に対して擦過体とならないため、繊維を過度に擦過することがなく、PAN繊維の油剤が付着堆積しにくいことから、毛羽や糸切れが起こりにくい。そして、aの工程における最大の特徴は、予熱HR上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの糸温度を130°C以上と高温に保つことにある。ここでaの工程における乾熱延伸が行われる領域、すなわち、1対のロールとロールの間で130°C以上に保持された糸を含む領域を、特定の延伸ゾーンと称することにする。上記したように、繊維油剤の堆積膠着を抑制する観点から、この特定の延伸ゾーンで糸と接する延伸装置はロールのみであることが好ましい。ここで特定の延伸ゾーン中の糸温度を高温に保つ意味は、予熱HRで予熱された糸が冷却される前に空中で延伸され、次のロールで引き取ることで、糸温度が高温に保たれた状態で延伸変形を完了させることである。従来、予熱HRと次のロールを用いて延伸を行う場合以下、HR延伸と称するは、予熱HR上で糸が予熱された後、空中で糸が冷却されて次のロールに引き取られるように工程を設計するため、本発明とは技術思想が全く異なる。本発明の特徴は、前述したPAN乾熱延伸の特異性に基づいており、後方の引き取りロールに入るまでの糸温度を高温に保持して延伸を進めることで、PANの通常のHR延伸で見られる低温延伸領域を無くすることを狙ったものである。次に糸温度について具体的に説明する。糸温度はサーモグラフィー等の非接触糸温度計で計測することができる。予熱HR温度を180°C、予熱HR表面速度を100m/分とした時の延伸時の糸温度を計測したところ、予熱HR上の糸離れ点を0cmとして、5cm、10cm、20cm、30cm地点での糸温度計測値は、それぞれ161°C、150°C、136°C、127°Cであった。PAN繊維の変形完了率ほぼ100の30cm地点では糸温度が127°Cであったことより、130°C以上の糸温度で延伸が行われている。130°C以上の糸温度で空中での延伸変形を完了させると、通常のHR延伸の場合に比べて糸温度が高温の状態で変形が完了するため、延伸性を向上し得ることがわかった。すなわち、本発明において特定の延伸ゾーン中の予熱HRと次のロール間の糸温度は130°C以上の状態とすることが重要である。特定の延伸ゾーン中の予熱HRと次のロール間の糸温度を130°C以上に保持することで、充分に糸を軟化することができ、延伸倍率を高く設定できる。ロール間の糸温度は、好ましくは150°C以上である。また、特定の延伸ゾーン中の予熱HRと次のロール間の糸温度を240°C以下とすることで、過度に糸を軟化させることがないので、毛羽や糸切れを抑制することができる。上記したようなHR間の糸温度を実現するために、例えば以下のようにロール温度を設定することが好ましい。特定の延伸ゾーンの予熱HR温度は高温ほど糸温度を十分昇温でき好ましい。具体的には、予熱HR、すなわち特定の延伸ゾーン中において前方に配置されたホットロールの温度を160°C以上とすることが好ましく、より好ましくは180°C以上である。ただし、過度に高温にすると、かえって糸切れが発生するため、240°C以下とすることが好ましい。また、特定の延伸ゾーン中において後方に配置されたロール引取りロールは、室温でも良いが、ホットロールHRとすると特定の延伸ゾーン中の糸温度を高温に保持し易いため好ましい。具体的には、引取りロールの温度を150°C以上とすることが好ましい。ただし、過度に高温にすると、かえって糸切れが発生するため、引取りロールの温度を200°C以下とすることが好ましく、より好ましくは180°C以下である。また、特定の延伸ゾーン中の予熱HRの表面速度は100m/分以上とすることで、最終延伸速度、すなわち巻き取り速度を向上できるため好ましい。また、PAN繊維の後延伸後の巻き取り速度を350m/分以上とすると、生産性が向上するため好ましい。巻き取り速度は、より好ましくは600m/分以上、さらに好ましくは800m/分以上である。また、上記したようなHR間の糸温度を実現するために、後述のb項に示す予熱HRと引取りロールを極端に近接させる近接HR延伸も好ましく採用することができる。より具体的には、予熱HR上の糸離れ点から引取りロール上の最初の接糸点までの距離を20cm以下と、従来のHR延伸の場合に比べ極端に短くすることが好ましい。ここで延伸長を極端に短くする意味は、予熱HRで糸を高温まで予熱し、それが冷却されるまでに次のロールで引き取り、糸温度が130°C以上の高温状態で延伸を完了させるためである。次に、前記bの工程について詳細を説明する。この乾熱延伸工程は、複数個のロールを用い、そのうちの少なくとも1つをホットロールHRとするものである。このHRは延伸前の糸の予熱に使用される。1対のロールを用いる場合には、このHRは前方のロールに用いられる。以後、これを予熱HRと称する。HRやロールは繊維に対して擦過体とならないため繊維を過度に擦過することなく、PAN繊維の油剤が付着堆積しにくいことから、毛羽や糸切れが起こりにくい。そして、bの工程における最大の特徴は、予熱に用いるHR上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの距離を20cm以下と、従来のHR延伸の場合に比べ極端に短くすることにある。なお、HR上の糸離れ点から次のロール上の最初の接糸点までの距離を、今後は単に延伸長と称することにする。そして、この延伸長が極端に短い状態は、例えば図2に示したようにHRと次のロールを極限まで近づけることで実現することができる。さらに、bの乾熱延伸工程が行われる領域、すなわち、1対のロールにおいて、予熱HRと極端に短い延伸部および次のロールを含む領域を特定の延伸ゾーンと称することにする。なお、上記したように、繊維油剤の堆積膠着を抑制する観点から、この特定の延伸ゾーンで糸と接する延伸装置はロールのみであることが好ましい。ここで延伸長を極端に短くする意味は、予熱HRで糸を高温まで予熱し、それが冷却されるまでに次のロールで引き取り、糸温度が高温の状態で延伸を完了させるためである。通常、予熱HRとロールを用いて延伸を行う場合以下、HR延伸と称するは、予熱HR上で糸が予熱された後、空中で糸が冷却されて次のロールに引き取られるように工程を設計するため、本発明とは技術思想もロールの配置も全く異なるのである。本発明の特徴は、上記したPAN乾熱延伸の特異性に基づいており、延伸長を極限まで短くすることで、糸が冷却される前に延伸を進め、通常のHR延伸で見られる低温延伸領域を無くすることを狙ったものである。特定の延伸ゾーンでの延伸長を20cm以下とすることで、前記した延伸性向上効果が顕著とすることができる。延伸長は10cm以下とするとより延伸性向上効果が著しくなるため、より好ましい。また、延伸長を10cm以下とすると延伸変形している領域が短くなるため延伸点固定効果が得られ、糸斑を低減できるため好ましい。従来の熱板延伸では特許文献3または4記載のように延伸長100cm程度で延伸を行う場合が多く、糸は高温下で100cmにわたって変形し続けるため延伸点が固定できず、糸斑が増加する課題があったが、本発明ではこれも解決することができる。一方、延伸長の現実的な下限は、装置設計レベルの観点から1cmである。特定の延伸ゾーン中でのロール間の糸温度は予熱HRから離れるにしたがって低下するが、特定の延伸ゾーン中の予熱HRと次のロール間の糸温度を130°C以上に保温すると、充分に糸を軟化することができ、延伸倍率を高く設定できる。糸温度は好ましくは150°C以上である。また、特定の延伸ゾーン中の予熱HRと次のロール間の糸温度を240°C以下とすることで、過度に糸を軟化させることなく毛羽や糸切れを抑制することができる。糸温度はサーモグラフィー等の非接触糸温度計で計測することができる。予熱HR温度を180°C、予熱HR表面速度を100m/分としたときのPAN延伸時の糸温度を計測したところ、予熱HR上の糸離れ点を0cmとして、5cm、10cm、20cm、30cm地点での糸温度計測値は、それぞれ161°C、150°C、136°C、127°Cであった。一方、予熱HR表面速度が12m/分のときの10cm、20cm、30cm地点での糸温度計測値は、それぞれ131°C、97°C、71°Cであった。これより、高速延伸では距離に対する冷却が遅く、延伸長を短くすると糸温度を高温に保ったまま延伸変形を進められることが分かった。また、予熱HR表面速度が100m/分の高速延伸のときは、20cm地点での糸温度が136°Cであるため、延伸長を20cmとした場合には引き取りロールが室温であるとしても糸温度は136°C以上であることが分かる。また、変形完了率100の30cm地点では糸温度が127°Cであるため、本態様における延伸過程での糸温度はそれより高温の状態、具体的には130°C以上の状態とすることが好ましいことが分かる。一方、予熱HR表面速度が12m/分の低速延伸のときは、20cm地点での糸温度が97°Cであり、延伸長を短くしても延伸変形にはほとんど影響を与えないことが推定される。好ましい糸温度を実現するために、例えば以下のようにロール温度を設定することが好ましい。特定の延伸ゾーンの予熱HR温度は、高温であるほど糸温度を十分昇温できるので好ましい。具体的には、予熱HR、すなわち特定の延伸ゾーン中の最初のホットロールの温度を160°C以上とすることが好ましく、より好ましくは180°C以上である。ただし、過度に高温にすると、かえって糸切れが発生するため、240°C以下とすることが好ましい。また、後部側の引き取りロールは、室温でも良いがホットロールHRとすると特定の延伸ゾーン中の糸温度を高温に保持し易いため好ましい。具体的には、後部側の引き取りロール、すなわち予熱HRの次のロールの温度を150°C以上とすることが好ましい。ただし、過度に高温にすると、かえって糸切れが発生するため、ロールの温度を200°C以下とすることが好ましく、より好ましくは180°C以下である。また、予熱HRの表面速度は100m/分以上とすることで、最終延伸速度、すなわち巻き取り速度を向上でき好ましい。本態様の技術ポイントである延伸長を極端に短くし糸温度が高温の状態で強制的に延伸することで延伸性を向上させる効果は、延伸速度が高いほど顕在化し易いのである。その理由は以下の通りである。PANのHR延伸においては、図1に示したように長距離にわたって変形が続くのであるが、この変形が続く距離は延伸速度が高いほど長くなるのである。例えば予熱HRの表面速度が12m/分程度の低速の場合には予熱HR上の糸離れ点からわずか6cm程度の間に変形がほぼ完了するが、予熱HRの表面速度が100m/分の場合には30cmにわたって変形が進むため、本発明の効果が顕著に現れるためより好ましい。この理由からも延伸速度を高速化する方が本態様の技術ポイントを有効に活用できるわけである。さらに、多段延伸においては、多段延伸の後段では予熱HRの表面速度が1段延伸に比べて高速になるため、ロール間距離を規定したことによる延伸性の向上が効果的に発現しやすくなるというメリットもある。以上説明した技術ポイントは、長距離にわたって延伸変形するポリマーであるPANに特有である。なお、本発明においてはPAN繊維の後延伸後の巻き取り速度は350m/分以上とすると、生産性が向上し、好ましい。巻き取り速度は、より好ましくは600m/分以上、さらに好ましくは800m/分以上である。以下にb項の特定の延伸ゾーンで用いることができる装置の例について述べる。延伸装置としては、前記したように、複数個のロールを備え、前記複数個のロールのうち少なくとも1つのロールがホットロールであり、このホットロール上の糸離れ点に相当する箇所から次のロール上の最初の接糸点に相当する箇所までの距離が20cm以下であることが好ましい。先に述べたように、従来のHR延伸装置は、延伸変形がほぼ完了した糸が充分冷却された後、引き取りロールや熱セットロールで引き取るように設計されているため、糸が高温のうちに強制的に延伸変形させて引き取る本発明の延伸装置とはロール間距離の設計が全く異なる。例えば、通常のポリエステルの延伸装置であれば、延伸長は短くとも30cm程度である。また、特許文献4の比較例1にはHR延伸が記載されているが、このときの延伸長FR-BR間を図2から見積もると131cm程度である。また、HRやロールとしては、糸を複数回巻きまわすネルソン型とすると、ロール径を小径化し、さらに高速延伸しても糸を確実に昇温できるのみならず、糸を確実にロールに把持できるため延伸過程での変形の変動が少なく糸斑を低減できるため、好ましい。一方、HRやロールを片掛け型とすると、設備簡略化や糸掛け容易性の観点から好ましい。また、本発明のb項では、ロールを近接させるため、ロール間距離が狭くなり、糸掛け容易性が低下する場合がある。このため、ロール間距離をある程度取った状態で糸掛けを行い、その後ロールを移動させてロールを近接できる装置とすることが好ましい。このロールの移動は、糸掛け後、自動制御で行うとより簡便である。さらに、本態様では延伸長を短くすることで延伸性を向上させるので、上記のようにロール間を広げて糸掛けした場合には所望の延伸倍率が達成できず糸掛け不能となる場合もある。このため、まず各ロールの表面速度比を小さく、すなわち低倍率延伸状態で糸掛けを行い、その後各ロール表面速度を同期して増加させ、最終的に所望の延伸倍率および巻き取り速度を達成できるような制御を延伸装置に組み込んでおくことが好ましい。また、延伸装置において、ロールの回転方向や配置を工夫して、糸掛性と延伸長を短くすることを両立することもできる。特に大径ロールを用いた場合には、これを従来の延伸装置のように単純に並べただけではロール径以下には延伸長を短くできない。このため、図2のようにロールの回転方向を逆にしたロールを対向させることが有効である。また、ロールの配置についても横に並べるだけでなく縦や斜方に配置することが有効である。炭素繊維前駆体であるPANはフィラメント数12000~36000といった太繊度で製糸されることが多いので、ロールは大径の物が使用される場合が多い。このため、回転方向を逆としたロールを対向させる配置は特に有効である。また、特定の延伸ゾーンでの延伸倍率として1.5倍以上かつ予熱HRの表面速度100m/分以上を達成できるようにしたロール駆動系を備えておくことが好ましい。次に、前記cの工程について説明する。この乾熱延伸工程には、予熱のためのホットロール予熱HRの後に熱板HPLを置き、その後ろにさらにロールを置く構成HR-HPL-Rを基本とした構成を用いる。この構成を含む領域、すなわちcの乾熱延伸工程が行われる領域を特定の延伸ゾーンと称する。なお、この後ろ側のロールはHRとしても良い。このような特定の延伸ゾーンを実現する装置の一例を図3に示す。2個のロール間にHPLを配置し、その2個のロールには1個の予熱HRを含んでおり、その予熱HRがHPLの前方に配置されている。予熱HRの表面速度が100m/分以上の高速延伸とすることが、生産性向上の観点から好ましい。PANポリマーの曳糸性や凝固浴、水洗浴あるいは浴延伸での液面の安定性も考慮すると、予熱HRの表面速度は500m/分以下とすることが現実的である。予熱HRの表面速度は好ましくは160m/分以下である。同様に生産性向上の観点から、延伸後の巻き取り速度は350m/分以上が好ましく、より好ましくは600m/分以上、さらに好ましくは800m/分以上である。本態様は、特定の延伸ゾーンにおいて予熱HRからHPLまでの距離を短くすること、すなわちHPLと糸の接糸開始点が予熱HR上の糸離れ点から30cm以下の距離となるようにHPLを位置させることが重要である。これはHPL上の糸の接糸開始点と予熱HR上の糸離れ点の距離HR-HPL距離が短いほどHPLによる限界延伸倍率向上効果が高いことを発見したことに基づいている。HR-HPL距離と限界延伸倍率の関係を図4に例示する。HR-HPL距離が長いと限界延伸倍率向上効果が低く、HR-HPL距離が短いと限界延伸倍率向上効果が高いことが分かる。本態様の特徴は、上記したPAN乾熱延伸の特異性に基づいており、高倍率延伸化のためには、糸を高温に保持して延伸を完了させることが重要と考えられる。なお、ここで限界延伸倍率とは、延伸倍率を徐々に高めていって、糸が破断するときの延伸倍率をいう。すなわち、糸の冷却が進む前、あるいは延伸変形が進む前にHPLで糸を高温に保持し変形を進めることによりPANの低温変形領域を減少させることで、限界延伸倍率を向上することができると考えられる。一方、糸が既に冷却された後、あるいは通常のHR-HR延伸において延伸変形が完了した後にHPLを位置させても、HPL上での糸の延伸変形量を大きくすることができず低温延伸領域が残るため、限界延伸倍率向上効果が劣るのである。HR-HPL距離は好ましくは20cm以下、より好ましくは10cm以下であればさらに限界延伸倍率を向上させることができる。HR-HPL距離は短いほうが限界延伸倍率向上には有利であるが、現在の糸掛け容易性のレベルから考えてHR-HPL距離の下限は1cmとすることが現実的である。また、HPL長は、糸温度を高温に保って変形させる観点から、長い方が好ましい。具体的にはHPL長は20cm以上とすれば十分な限界延伸倍率向上効果が得られるが、より限界延伸倍率を向上させる観点からは45cm以上がより好ましい。ただし、延伸点を固定し糸斑を抑制する観点からはHPL長は短いほうが好ましい。また、糸が接糸するHPL表面には繊維油剤等が付着堆積膠着し、毛羽や糸切れを誘発する場合があるので、この観点からはHPL長は短い方が好ましい。具体的にはHPL長は70cm以下とすることが好ましい。なお、この繊維油剤等に起因するHPL表面汚れは、繊維油剤の主成分がシリコーンの場合には経時で硬化し、さらに毛羽や糸切れにつながる場合があるので、HPL上のPAN繊維の通過量に応じて、HPLあるいはその接糸板を交換し、常にHPL表面汚れが少ない状態にしておくことが好ましい。例えばHPLを複数台準備しておき、巻き取りの切り替え時に合わせて自動あるいは手動でHPLあるいはその接糸板を交換できる装置にしておくことが好ましい。こうすることでHPL交換によるロスを抑制することが可能である。また、HPL上での糸の滞在時間は0.05~0.5秒と短くすることが、延伸点固定の観点から好ましい。滞在時間は、より好ましくは0.25秒以下、さらに好ましくは0.15秒以下である。HPL温度は、糸温度を高温に保持する観点からは高温の方が好ましい。具体的にはHPL温度は、160°C以上とすることが好ましく、180°C以上とすることがより好ましい。一方、HPL温度を、240°C以下とすることで、糸が過度に軟化することを防ぎ、毛羽や糸切れの発生を抑制することができる。また、予熱HR温度は、高温ほど糸温度を十分昇温できるので好ましい。具体的には予熱HR温度は、160°C以上とすることが好ましく、より好ましくは180°C以上である。一方、予熱HR温度を240°C以下とすることで、糸が過度に軟化することを防ぎ、毛羽や糸切れの発生を抑制することができる。また、HPL後方の引き取りロールは、室温でも良いがホットロールHRとすると、PAN繊維構造を安定化し易いため好ましい。ロール温度は、具体的には150°C以上とすることが好ましい。ただし、過度に高温にすると、かえって糸切れが発生する場合があるため、ロール温度は200°C以下とすることが好ましく、より好ましくは180°C以下である。上述のa~cのいずれの工程においても、特定の延伸ゾーン中での延伸倍率は1.5倍以上とすると、生産性が向上するため好ましい。延伸倍率は、より好ましくは2倍以上、さらに好ましくは2.5倍以上である。なお、乾熱延伸工程中に複数の特定の延伸ゾーンを含む場合には、どれか1つが延伸倍率1.5倍以上であれば良いが、その際、最初の特定の延伸ゾーンでの延伸倍率が1.5倍以上であることが好ましい。延伸倍率1.5倍以上の特定の延伸ゾーンが2つ以上あっても良い。なお、後延伸工程は、上述のa~cの工程のいずれか1つを含んでも良いが、これらをいくつか含む多段延伸を行うとトータルでの延伸倍率が向上するため、生産効率が向上するので、好ましい。延伸段数は、好ましくは2段以上である。多段延伸は、段数が多いほどトータル延伸倍率が向上し生産性も向上するため好ましい。延伸段数は6段以上が、より好ましい。ただし、過度に延伸段数を増やすと設備コストがかさむため、延伸段数は8段以下とすることが現実的である。多段延伸での場合には、前記a~cのいずれかの工程を1つ以上含んでいれば良く、2種以上を組み合わせることでさらに延伸性が向上することから好ましい。具体的には、HR-HPL-HR-HPL-HRというようにHPLを用いた多段延伸を行っても良いし、HR-HPL-HR-HRあるいはHR-HR-HPL-HRのように一部はHPL延伸とHR延伸を組み合わせて多段延伸を行っても良い。また、HRのみを用いても良い。例えばHRを5つ並べると4段延伸が可能となる。このときのHR温度設定としては、最初の予熱HRである第1HRを200°C、第2HR以降を180°Cとするように第2HR以降の後段のHRは第1HR温度より低温とすることが、毛羽や糸切れ抑制の観点から好ましい。また、延伸後に、ワインダーに糸を巻き取るが、ワインダーの前に非加熱のコールドロールを置くと、巻き取り張力の変動を抑制し、糸斑を低減できるため、好ましい。前記a~cの工程において、糸と非接触状態で加熱または保温することで、糸温度を保持することが好ましい。その加熱または保温手段としては、特定の延伸ゾーンを、加熱または保温できる断熱手段で囲むことが好ましい。例えば、特定の延伸ゾーンを断熱機能を有する手段で覆い雰囲気温度を高温に保温することが好ましい。さらにこの断熱機能を有する手段に加熱機能を追加し雰囲気温度を任意に設定できるようにすると、延伸変形過程での糸の冷却を抑制し、糸を高温に保持した状態で延伸変形を進めることができる。このような機能を具体化する装置の一例を図5に示す。図5の装置では、同一の表面速度で回転するHR2個が1対になったネルソン型HRを4つ組み合わせている。非加熱のフィードロール5-2を介して未延伸糸5-1を供給し、HR5-3~5-6で3段延伸を施した後、非加熱のコールドロール5-7を介して延伸糸を巻き取る。そして、この4組のHRは加熱ヒーター付の保温箱5-8で覆い、箱内の雰囲気温度を所望の温度に保持できるようにしている。このような装置を用いた場合、前記のaの要件を満たせば近接HRあるいはHPLを用いる必然性は無いが、近接HRあるいはHPL延伸を組み合わせると、上記した断熱機能を有する装置もコンパクトに設計できるメリットがある。特定の延伸ゾーンを加熱または保温する装置としては、公知の装置を使用することができるが、特定の延伸ゾーンを断熱するための機能を有するものを開閉自在の箱型とすると、糸掛け容易性や装置のコンパクトさの観点から好ましい。特定の延伸ゾーンを加熱または保温する方法として、上記の断熱手段で囲む方法に加えて、一方あるいは複数の方向から赤外線ヒーター、ハロゲンヒーター、熱風などの非接触ヒーターで糸を直接加熱する方法も好ましい。また、特定の延伸ゾーン内で、糸を加熱あるいは保温する場所としては、少なくともホットロール上の糸離れ点から30cmの距離までを含むことが、糸の変形が大きく延伸性向上効果が高いため好ましい。前記特定の延伸ゾーンは、後記の乾燥工程の後に改めて設けることもできるが、設備を簡略化させ、工程を省略するために、乾燥工程に組み込んでも良い。このときには、十分PAN繊維が乾燥され、PAN繊維の構造の緻密化が進んだ後に、乾燥ロールを用いて前記特定の延伸工程を含む多段延伸を行うようにすると、工程省略と確実な延伸が行えるため好ましい。一方、PAN繊維の乾燥を行いながら本発明の特定の延伸工程を含む多段延伸を進めることも可能であり、これによりさらなる設備の簡略化が可能となる。また、元々多数の乾燥ロールを有する装置に適用すれば、新たな設備投資を極小化できるため好ましい。本発明において、後延伸工程に供されるPAN繊維は、広角X線回折から求められる配向度が60~85であることが好ましい。配向度が85以下であることで、高い延伸倍率でも毛羽や糸切れが少なくなるため生産性が向上して好ましい。また、配向度が60以上であることが後延伸前のポリアクリロニトリル繊維の現実的な配向度である。配向度は、より好ましくは、65~83である。配向度を制御する方法としては、限定されないが、紡糸工程あるいは前延伸工程における浴延伸において高配向化を抑制することが好ましい。具体的には、紡糸速度の制御、吐出量の制御、口金の孔径の選択などの手法を単独あるいは組み合わせることで、凝固時の張力を低減することにより、PAN繊維が高配向化するのを抑制することができる。PAN繊維を高速で延伸するためには、紡糸速度を向上させることが好ましく、このためにはPANの曳糸性を向上させることが有効である。PANの曳糸性を向上させるためには、特許文献1に記載されるとおり、PANの歪み硬化を大きくし、口金孔吐出から凝固されるまでの間での紡糸原液の細化にしたがい、紡糸原液の伸長粘度が急激に大きくなるようにすることで紡糸線を安定化させることが好ましい。そして、この歪み硬化を実現するためには、通常分子量のPANに超高分子量PANを少量添加したブレンドポリマーを用いることが有効である。これは、通常分子量PAN分子鎖と高分子量PAN分子鎖が絡み合い、伸長にしたがい高分子量PAN分子鎖を中心に絡み合い間の分子鎖が緊張するためと考えられる。望ましい曳糸性は、ゲルパーミエーションクロマトグラフGPC法で測定されるz平均分子量Mzが80万~600万、かつ、多分散度が2.5~10であるPANで実現することができる。ここで、Mzとは各分子鎖の分子量の2乗に重量をかけたものの総和を各分子鎖の分子量に重量をかけたものの総和で徐したものであり、高分子量成分の寄与が大きいパラメータである。また、多分散度とはMz/Mwであり、Mwとは重量平均分子量である。多分散度は1より大きくなるにつれて、分子量の分布が高分子量側を中心にブロードになることを示す。すなわち、上記で規定する多分散度が2.5~10とは、高分子量成分が含まれていることを表現するものである。高分子量成分の含有量を増加させ、歪み硬化を起こしやすくするためには、Mz、多分散度は大きい方が良い。一方、これらの上限値を設けることで歪み硬化を過度に大きくしないようにし、口金孔からのPAN溶液吐出安定性を確保することができる。以上の観点から、Mzは好ましくは200万~600万、より好ましくは250万~400万、さらに好ましくは250万~320万である。また、多分散度は好ましくは3~7であり、より好ましくは5~7である。なお、上記GPC法で測定される分子量はポリスチレン換算分子量である。また同様の観点から、PANのMwは10~60万であることが好ましい。GPC法の測定においては、超高分子量まで精度良く測定するためには、溶出時間の希釈濃度依存性のないすなわち溶液粘度変化が少ない程度まで希薄溶液とすることが好ましい。また、良好な検出感度を得るためには注入量をなるべく多くすることが好ましい。また、広い分子量分布測定に対応できるよう溶媒流速とカラムの選択を行うことが好ましい。カラムの排除限界分子量は少なくとも1000万以上であり、ピークのテーリングが無いように設定することが好ましい。通常、希釈濃度は0.1質量/体積とし、注入量は200μLとした。なお、上記したような歪み硬化を促進するPANの合成方法、溶液調製方法は以下のとおりに説明される。分子量が異なる2種のPANA成分、B成分と記すを混合することにより、歪み硬化を促進するPANを得ることができる。ここで、分子量が異なる2種のPANを混合するとは、最終的にA成分とB成分の混合物を得ることを言う。具体的な混合方法については後述するが、それぞれの単一成分の物を混合することに限定されない。まず、混合する2種のPANについて説明する。分子量の大きいPANをA成分とし、分子量の小さいPANをB成分とすると、A成分の重量平均分子量Mwは、好ましくは100万~1500万であり、より好ましくは100万~500万である。B成分のMwは、15万~100万であることが好ましい。A成分とB成分のMwの差が大きいほど、混合されたPANの多分散度Mz/Mwが大きくなる傾向があるため好ましい。A成分のMwが1500万を超えるとA成分の重合生産性が低下する場合がある。B成分のMwが15万未満のときには炭素繊維前駆体であるPAN繊維の強度が不足することがある。A成分とB成分のMw比は2~45であることが好ましく、より好ましくは4~45であり、さらに好ましくは20~45である。また、A成分/B成分の質量比は0.001~0.3であることが好ましく、より好ましくは0.005~0.2であり、さらに好ましくは0.01~0.1である。A成分とB成分の質量比が0.001未満では、歪み硬化が不足することがある。A成分とB成分の質量比が0.3より大きいときは、PAN溶液の粘度が高くなりすぎ、吐出困難となることがある。A成分とB成分のMwと質量比はGPCにより測定された分子量分布をピーク分割し、それぞれのピークのMwおよびピーク面積比を算出することにより測定される。A成分とB成分を含むPAN溶液を調製するには、両成分を混合してから溶媒に溶解する方法、各成分それぞれを溶媒に溶解したもの同士を混合する方法、溶解しにくい高分子量物であるA成分を初めに溶媒に溶解した後にB成分を混合する方法、および高分子量物であるA成分を初めに溶媒に溶解した後にB成分を構成するモノマーを混合して該モノマーを溶液重合する方法などを採用することができる。高分子量物を均一に溶解させる観点から、高分子量物であるA成分を初めに溶解する方法が好ましい。工程簡略化の観点から、高分子量物であるA成分を初めに溶解し、B成分を構成するモノマーを混合して、該モノマーを溶液重合する方法がより好ましい。特にPAN繊維を炭素繊維前駆体とする場合には、高分子量物であるA成分の溶解状態が極めて重要であり、僅かでも未溶解物が残存していた場合には異物となって、炭素繊維内部にボイドを形成することがある。上記A成分のポリマー濃度は、ポリマーの集合状態としてポリマーが僅かに重なり合った準希薄溶液とすることが好ましい。B成分を混合する、あるいはB成分を構成するモノマーを混合する際、混合状態を均一とし易いため、孤立鎖の状態となる希薄溶液とすることがさらに好ましい。具体的には、上記A成分の濃度は0.1~5質量が好ましい。上記A成分の濃度は、より好ましくは0.3~3質量であり、さらに好ましくは0.5~2質量である。希薄溶液となる濃度は、ポリマーの分子量と溶媒に対するポリマーの溶解性によって決まる分子内排除体積によって決まると考えられるため、一概には決められないが、概ね前記範囲にすることにより炭素繊維の性能を最大化できることが多い。上記A成分の濃度が5質量を超える場合は、A成分の未溶解物が存在することがあり、0.1質量未満の場合は分子量にもよるが希薄溶液となっているため歪み硬化が弱い場合が多い。溶液中のA成分の濃度を0.1~5質量とする方法としては、A成分を溶媒に溶解した後、希釈する方法でも、A成分を構成するモノマーを溶液重合する方法でもかまわない。A成分を溶解した後、希釈する場合は、均一に希釈できるまで攪拌することが重要である。希釈温度としては50~120°Cが好ましい。希釈時間は希釈温度や希釈前濃度により異なるため、適宜設定すればよい。希釈温度が50°C未満の場合は、希釈に時間がかかることがあり、120°Cを超える場合はA成分が変質する場合がある。また、重合体の重なり合いを希釈する工程を減らし、均一に混合する観点から、A成分を溶液重合により製造する際に、ポリマー濃度が5質量以下で停止させ、それにB成分を混合する、あるいはB成分を構成するモノマーを混合し該モノマーを重合する方法が好ましい。工程簡略化の観点から、A成分を溶液重合した後、その未反応モノマーを用いてB成分を溶液重合することが好ましい。具体的には、ANを主成分とするモノマーを含む溶液に重合開始剤を導入し溶液重合することにより、まずA成分を製造し、その溶液重合が終了するまでの間に別途重合開始剤を追加導入し、残存する未反応モノマーを溶液重合することによりB成分を製造することにより、A成分およびB成分を含むPAN溶液を得ることができる。好ましくは、重合開始剤が少なくとも2回に分けて導入され、重合開始剤の1回目の導入量とそれ以外の導入量の比1回目の導入量/それ以外の導入量を0.1以下、より好ましくは0.01以下、さらに好ましくは0.003以下とすることである。1回目の重合開始剤の量が少ないほど分子量が高まり易いため、導入量の比1回目の計量導入量/それ以外の計量導入量が0.1を超える場合は、必要とするMwが得られにくい場合がある。一方、1回目の重合開始剤の量が少ない場合は、重合速度が遅くなり、生産性が低下しやすいので、導入量の比1回目の計量導入量/それ以外の計量導入量の下限は0.0001であることが好ましい。A成分のMwを調整するためには、ANと重合開始剤のモル比を調整することが好ましく、1回目のそれぞれの導入量は、モル比重合開始剤/ANが好ましくは1×10-7から1×10-4である。2回目以降の重合開始剤の導入量は、それまでに導入されているAN全て反応未反応は問わないと重合開始剤のモル比重合開始剤/ANが好ましくは5×10-4から5×10-3である。共重合組成をA成分とB成分で変える場合には、2回目以降の重合開始剤の導入時に共重合可能な単量体を追加してもかまわない。その際、AN、連鎖移動剤および溶媒などを追加してもかまわない。重合開始剤としては、油溶性アゾ系化合物、水溶性アゾ系化合物および過酸化物などが好ましい。安全面からの取り扱い性および工業的に効率よく重合を行うという観点から、ラジカル発生温度が30~150°Cの範囲、より好ましくは40~100°Cの範囲の重合開始剤が好ましく用いられる。中でも、分解時に重合を阻害する酸素発生の懸念がないアゾ系化合物が好ましく用いられ、溶液重合で重合する場合には、溶解性の観点から油溶性アゾ化合物が好ましく用いられる。重合開始剤の具体例としては、2,2’-アゾビス4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリルラジカル発生温度30°C、2,2’-アゾビス2,4’-ジメチルバレロニトリルラジカル発生温度51°C、および2,2’-アゾビスイソブチロニトリルラジカル発生温度65°Cなどが挙げられる。1回目とそれ以外の重合開始剤は、同一の重合開始剤を用いてもかまわないし、複数の重合開始剤を組み合わせることで重合開始剤が発生させるラジカル量を調整することもできる。また、重合開始剤として過酸化物を用いる場合、還元剤を共存させラジカル発生を促進させてもよい。重合温度は、重合開始剤の種類と量によっても好ましい範囲は変化するが、好ましくは30°C以上90°C以下である。重合温度が30°C未満では重合開始剤が発生させるラジカル量が少なくなる。重合温度が90°Cを超えるとANの沸点よりも高くなり、生産管理が困難になることが多い。1回目の重合開始剤導入後の重合と2回目以降の重合開始剤導入後の重合は同一の重合温度で行ってもかまわないし、異なる重合温度で行ってもかまわない。重合時に酸素が共存すると、これがラジカルを消費してしまうため、重合時の酸素濃度は低い方が高分子量物を得やすい。重合時の酸素濃度は、例えば反応容器内をチッ素やアルゴン等の不活性ガスで置換することで制御可能である。高分子量PANを得る観点からは重合時の酸素濃度は200ppm以下とすることが好ましい。A成分のPAN全体に対する質量含有率の測定は、A成分とB成分と混合する場合は、混合前のA成分の重量と混合後のPAN全体の質量を測定し、その質量比から計算することができる。また、B成分を構成するモノマーをA成分と混合してそのモノマーを溶液重合する場合は、A成分を重合後、B成分を重合するための重合開始剤を導入前の溶液中のA成分の重量を測定し、B成分の重合後の溶液中のPAN全体の質量を測定し、その質量比から計算することができる。A成分であるPANポリマーの組成としては、AN由来成分が98~100モルであることが好ましい。ANと共重合可能なモノマーを2モル以下なら共重合させてもよいが、共重合成分の連鎖移動定数がANより小さく、必要とするMwを得にくい場合は、共重合成分の量をなるべく減らすことが好ましい。A成分においてANと共重合可能なモノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸およびそれらのアルカリ金属塩、アンモニウム塩および低級アルキルエステル類、アクリルアミドおよびその誘導体、アリルスルホン酸、メタリルスルホン酸およびそれらの塩類またはアルキルエステル類などを用いることができる。炭素繊維前駆体繊維とする場合は、B成分と耐炎化の促進度合をほぼ同等にすることが得られる炭素繊維のストランド強度を向上される観点で好ましく、少ない共重合量で耐炎化を促進するために、共重合可能なモノマーとしてイタコン酸が特に好ましい。A成分を製造するための重合方法としては、溶液重合法、懸濁重合法および乳化重合法などから選択することができるが、ANや共重合成分を均一に重合する目的からは、溶液重合法を用いることが好ましい。溶液重合法を用いて重合する場合、溶媒としては、例えば、塩化亜鉛水溶液、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミドおよびジメチルアセトアミドなどPANが可溶な溶媒が好適に用いられる。必要とするMwを得にくい場合は、連鎖移動定数の大きい溶媒、すなわち、塩化亜鉛水溶液による溶液重合法、あるいは水による懸濁重合法も好適に用いられる。B成分であるPANポリマーの組成としては、AN由来成分が98~100モルであることが好ましい。ANと共重合可能な単量体を2モル以下なら共重合させてもよいが、共重合成分量が多くなるほど共重合部分での熱分解による分子断裂が顕著となり、得られる炭素繊維のストランド強度が低下する。B成分においてANと共重合可能なモノマーとしては、耐炎化を促進する観点から、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸およびそれらのアルカリ金属塩、アンモニウム塩および低級アルキルエステル類、アクリルアミドおよびその誘導体、アリルスルホン酸、メタリルスルホン酸およびそれらの塩類またはアルキルエステル類などを用いることができる。また、紡糸時の吐出を安定化させる観点から、AN主鎖を共重合可能な単量体によって架橋させることも好ましい態様である。このような単量体として、メタアクリロイル基-C1-10直鎖あるいは分岐アルキル基-X-直鎖あるいは分岐C1-10アルキル基-メタアクリロイル基で示される化合物アルキル基は、一部水酸基で置換されていても構わなく、Xはシクロアルキル基、エステル基およびエステル基-C1-6直鎖あるいは分岐アルキル基-エステル基およびから選ばれるいずれかの基もしくは単結合であるが好ましく用いられる。ここで、メタアクリロイル基とは、アクリロイル基またはメタクリロイル基のことである。特に、メタアクリロイル基-C2-20直鎖あるいは分岐アルキル基-メタアクリロイル基で示される化合物が好ましい。具体的な化合物として、エチレングリコールジメタクリレート、1,3-ブチレンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、および1,6-ヘキサンジオールジアクリレートなどを挙げることができる。架橋させることに用いられる共重合可能な単量体の共重合量は、重合体の分子量によって適正値が変わるため一概には言えないが、AN100モルに対して好ましくは0.001~1モルであり、より好ましくは0.01~0.3モルであり、さらに好ましくは0.05~0.1モルである。B成分を製造するための重合方法としては、溶液重合法、懸濁重合法および乳化重合法などから選択することができるが、ANや共重合成分を均一に重合する目的からは、溶液重合法を用いることが好ましい。溶液重合法を用いて重合する場合、溶媒としては、例えば、塩化亜鉛水溶液、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミドおよびジメチルアセトアミドなどPANが可溶な溶媒が好適に用いられる。中でも、PANの溶解性の観点から、ジメチルスルホキシドを用いることが好ましい。PAN繊維の製造方法については、特許文献1記載の方法を用いることができるが、後延伸工程については、スチーム延伸工程ではなく、本発明で規定される乾熱延伸工程に置き換える。具体的には、以下のような紡糸から巻き取りまでのプロセスを行う。まず、前記したPANをジメチルスルホキシドDMSO、ジメチルホルムアミドDMF、またはジメチルアセトアミドDMAなどのPANの良溶媒に溶解し、紡糸原液とする。また、この紡糸原液には、紡糸原液中でPANが凝固しない範囲で、水、メタノール、またはエタノールなどの貧溶媒を含んでいても良い。さらに酸化防止剤、重合禁止剤などをPANに対し、5質量以下の範囲で含んでいても良い。紡糸原液中のPANの濃度としては15~30質量が好ましい。また、45°Cにおける紡糸原液の粘度は15~200Pasが好ましい。なお、この粘度はB型粘度計で測定することができる。より具体的には、ビーカーに入れた紡糸原液を45°Cに調整された温水浴に入れ、株東京計器製B8L型粘度計を用い、ローターNo.4を使用し、紡糸原液粘度が0~100Pasの場合はローター回転数6rpmで測定し、100~1000Pasの場合にはローター回転数0.6rpmで測定する。紡糸原液は、紡糸前にフィルターを通し不純物やゲルを除去することで、製糸性を向上させるとともに、高強度炭素繊維を得ることができる。フィルター濾材の濾過精度は3~15μmが好ましく、5~15μmがより好ましく、5~10μmがさらに好ましい。フィルター濾材の濾過精度とは、フィルター濾材を通過する間に95を捕集することができる球粒子の粒子径直径で定義する。そのため、フィルター濾材の濾過精度はその開孔径と関係し、開孔径を狭くすることで濾過精度を高めることが一般的である濾過精度を15μm以下とすることで、紡糸原液の不純物やゲルなどの異物を除去でき、また焼成延伸工程における延伸時の毛羽発生を抑制できる。一方、濾過精度を3μm以上とすることで、紡糸原液中に含まれる超高分子量成分を捕捉することを抑制できる。次に、紡糸工程において、紡糸原液を口金から吐出して凝固させ、凝固糸を得る。紡糸工程としては、湿式紡糸、乾式紡糸または乾湿式紡糸等、公知の紡糸方法を採用できる。紡糸速度高速化および高紡糸ドラフトを得る観点から、乾湿式紡糸が好ましい。紡糸ドラフトは1.5~15とすることが好ましい。なお、紡糸ドラフトとは、紡糸糸条フィラメントが口金から吐出された後に最初に接触する駆動源を持ったローラーの表面速度凝固糸の引き取り速度を口金孔での吐出線速度で割った値のことを言い、紡糸原液が固化するまでに引き伸ばされる倍率を意味する。乾湿式紡糸においては、紡糸原液の変形の大部分は空中で起こり、歪み硬化の大きなPANの特性を十分発揮することができる。紡糸ドラフトが大きいと製糸速度を高速化して生産効率を向上できるだけでなく、繊維の細繊度化も容易となるため好ましい。ここで、紡糸ドラフトの上限値の15は現在の工業的技術レベルを考えて規定した。また、凝固糸の引き取り速度は20~500m/分とすると、凝固浴の液面揺れを抑制しつつ生産性を向上することができる。また、紡糸口金の吐出孔径は0.04~0.4mmとすると、口金背面圧を抑制しつつ細単糸繊度繊維を得ることができる。凝固浴の凝固液は、前記した貧溶媒単独でも良いが、良溶媒と貧溶媒を混合して用いることもできる。また、凝固促進剤を併用することもできる。より具体的な組成としては、良溶媒と貧溶媒の相溶性を考慮し、DMSOと水の混合物を用いることができる。具体的な凝固液の条件は公知の方法を使用して適宜決めることができる。次に、前延伸工程によって、この凝固糸に前延伸を施す。前延伸工程は、浴中延伸でも空気中で延伸を行っても良い。前延伸では浴中延伸が一般的である。このとき、温水浴を用いると良好な延伸性が得られるのみならず、有機溶媒を用いる場合に比べ液回収負荷を減じるとともに安全性を向上することが好ましい。浴中延伸温度は60~95°C、延伸倍率は1~5倍とすることが好ましい。なお前延伸前後で繊維の洗浄を行うが、前延伸前でも前延伸後でも良い。洗浄は水洗が一般的である。前延伸工程を経た繊維は、その後、繊維油剤を付与される。繊維油剤は、単繊維同士の接着を防止する目的で付与され、通常、シリコーン系の油剤が使用される。特に耐熱性の高いアミノ変性シリコーンを用いることで、乾燥工程や後延伸工程でのトラブルを抑制することができる。次の乾燥工程は160~200°Cで10~200秒間の条件で行うと、充分な乾燥ができるとともに、PAN繊維の構造の緻密化ができ、ボイドの発生を抑制することができるので好ましい。そして、乾燥工程後にさらに後延伸工程として、前記の特定の乾熱延伸工程が実施される。前記したように、本発明ではこの後延伸工程に特徴がある。本発明の乾熱延伸方法は、PAN繊維一般に有効であるが、特に高速製糸が可能な上述のz平均分子量Mzが80万~600万で、多分散度が2.5~10であるPANに適用すると生産性向上が飛躍的に向上するばかりか、本発明の特徴とも合致するので、好ましい。高速製糸において、後延伸工程として従来のスチームチューブを用いると、スチームチューブからのスチーム洩れが多くなりエネルギーロスが大きくなる。また、スチームチューブを長尺化せざるを得ず、スチーム使用量が多くなるとともにスチームチューブへの糸通しが格段に難しくなり、生産スタート時や糸切れ時のロスが大きくなると考えられる。さらに、スチームチューブ内の温度斑の制御も格段に難しくなり、毛羽や糸切れも増加すると考えられる。また、得られるPAN繊維の延伸斑や構造斑が大きくなると、PAN繊維を前駆体繊維として炭素繊維を製造したときにも欠陥などを誘発しやすく、炭素繊維の力学物性低下に繋がる懸念があった。しかしながら、本発明の乾熱延伸を用いると、このような高速製糸とスチームチューブの組み合わせの問題点を根本的に解決できるのである。さらに、従来の熱板や熱ピン等の加熱擦過体を用いた延伸と比較しても延伸変形する距離を格段に短くできるため、延伸点の固定効果が高く糸斑を抑制する観点からも好ましい。このように本発明のPAN繊維の製造方法は、従来のスチーム延伸や熱板や熱ピン等の加熱擦過体を用いた後延伸工程を用いる方法に比べ大きなメリットを有する。本発明によって初めて乾熱延伸での毛羽や糸切れを実用レベルまで抑制するとともに、高速延伸でも充分な延伸倍率を確保できるようになり、乾熱延伸のメリットを充分活かせるようになった。本発明により得られるPAN繊維の単繊維繊度は、0.1~1.5dtexであることが好ましい。炭素繊維用前駆体繊維として使用する場合には、単繊維繊度が小さいほど炭素繊維としたときの力学的物性が高くできる。一方、単繊維繊度が小さくなるほど、工程安定性および生産性が低下するので、目的とする炭素繊維の力学的物性とコストを勘案し、単繊維繊度を選択するのが良い。PAN繊維の単繊維繊度は、0.5~1.2dtexがより好ましく、0.7~1.0dtexがさらに好ましい。次に、得られたPAN繊維を炭素繊維用前駆体繊維として用い、これに炭化処理を施すことで、炭素繊維を得ることができる。好ましくは、PAN繊維に耐炎化処理を施して耐炎化繊維を得て、該耐炎化繊維に予備炭化処理を施して予備炭化繊維を得て、さらに該予備炭化繊維に炭化処理を施して炭素繊維を得ることが好ましい。具体的には、PAN繊維に対して、200~300°Cの空気中において、延伸比0.8~2.5で耐炎化処理を行い、耐炎化繊維を得る。そして、耐炎化繊維に対して、300~800°Cの不活性ガス雰囲気中において、延伸比0.9~1.5で予備炭化処理を行い、予備炭化繊維を得る。さらに予備炭化繊維に対して、1000~3000°Cの不活性ガス雰囲気中において、延伸比0.9~1.1で炭化処理を行うことにより炭素繊維を得ることができる。特に、炭素繊維のストランド弾性率を向上させる観点から、炭化処理時の繊維の応力を5.9~13.0mN/dtexとして炭化処理を施すことが好ましい。このときの応力は、炭化炉出側のローラー手前で測定した張力をPAN繊維の絶乾時の繊度で徐した値である。また、炭化処理を多段にすることもストランド弾性率向上の観点から好ましい。本発明で得られた炭素繊維は、プリプレグとしてオートクレーブ成形を行う方法、織物などのプリフォームとしてレジントランスファーモールディングで成形を行う方法、およびフィラメントワインディングで成形を行う方法など種々の成形法を用いることにより、航空機部材、圧力容器部材、自動車部材、風車部材、スポーツ部材などとして好適に用いることができる。以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。なお、実施例中の測定方法は以下の方法を用いた。A.GPCによるPAN分子量および多分散度の測定測定しようとする重合体をその濃度が0.1質量となるように、ジメチルホルムアミド0.01Nの臭化リチウムを添加に溶解して検体溶液を作製し、下記のGPCにかけた。PAN繊維について測定する場合には、PAN繊維を溶媒に溶解して前記検体溶液とする必要がある。PAN繊維は高度に配向し、緻密であるほど溶解しにくく、溶解時間が長いほど、また、溶解温度が高いほど低分子量に測定される傾向にあるので、PAN繊維を微粉砕して、40°Cに制御された溶媒中においてスターラーで攪拌しながら1日かけて溶解した。そして、以下の測定条件で測定したGPC曲線から分子量分布曲線を求め、MzおよびMwを算出した。測定は3回行い、その平均値を採用した。多分散度はMz/Mwで求めた。なお、ジメチルホルムアミドおよび臭化リチウムは和光純薬工業株製を用いた。GPC:株島津製作所製CLASS-LC2010カラム:極性有機溶媒系GPCカラム東ソー株製TSK-GEL-α-M×2東ソー株製TSK-guardColumnα流速:0.5mL/分温度:75°Cサンプル濾過:メンブレンフィルターミリポアコーポレーション製0.45μ-FHLPFILTER注入量:200μL検出器:示差屈折率検出器株島津製作所製RID-10AV。分子量分布は、分子量が異なる分子量既知の単分散ポリスチレンを少なくとも6種用いて、溶出時間-分子量の検量線を作成し、その検量線上において、該当する溶出時間に対応するポリスチレン換算の分子量を読み取ることにより求めた。本実験では、検量線作製用ポリスチレンとして、分子量が184000、427000、791000、1300000、1810000、4240000のものを用いた。B.紡糸原液の粘度ビーカーに入れた紡糸原液を45°Cに調整された温水浴に入れ、株東京計器製B8L型粘度計を用い、ローターNo.4を使用し、紡糸原液粘度が0~100Pasの場合はローター回転数6rpmで測定し、100~1000Pasの場合にはローター回転数0.6rpmで測定した。C.広角X線による配向度繊維軸方向の配向度は、次のように測定した。繊維束を40mm長に切断して、20mgを精秤して採取し、試料繊維軸が正確に平行になるようにそろえた後、試料調整用治具を用いて幅1mmの厚さが均一な試料繊維束に整えた。試料繊維束に薄いコロジオン液を含浸させて形態が崩れないように固定した後、広角X線回折測定試料台に固定した。X線源として、Niフィルターで単色化されたCuのKα線を用い、2θ=17°付近に観察される回折の最高強度を含む子午線方向のプロフィールの広がりの半価幅H ゚から、次式を用いて結晶配向度を求めた。測定は3回行い、平均値を求めた。結晶配向度=[180-H/180]×100なお、上記広角X線回折装置として、島津製作所製XRD-6100を用いた。D.PAN繊維の毛羽数得られた繊維束を1m/分の速度で走行させながら繊維300m当たりの毛羽の数を計数した。毛羽には毛玉状のものも含めた。評価は以下のとおり。30個以下:A合格31~49個:B合格50個以上:C不合格。E.PAN製糸での糸切れ各実験において24時間の連続製糸を行い、糸切れ回数を数えた。評価は以下のとおり。0回:A合格1回:B合格2回以上:C不合格。F.炭素繊維のストランド強度およびストランド弾性率JISR76011986樹脂含浸ストランド試験法に従い評価を行った。測定する炭素繊維の樹脂含浸ストランドは、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシ-シクロヘキシル-カルボキシレート100質量部/3フッ化ホウ素モノエチルアミン3質量部/アセトン4質量部を炭素繊維または黒鉛化炭素繊維に含浸させ、130°Cで30分間硬化させて作製した。また、炭素繊維のストランドの測定本数は6本とし、各測定結果の平均値をストランド強度およびストランド弾性率とした。ここでは、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシ-シクロヘキシル-カルボキシレートとして、ユニオンカーバイド株製ベークライト登録商標ERL4221を用いた。G.オンライン糸速度計測延伸過程での糸の変形プロフィールを調べるため、TSI社製非接触速度測定装置TSI-LDVLS50Sを用いて、延伸領域の糸道に沿った糸速度を測定した。このとき、予熱HR上の糸離れ位置を0cmとした。そして、各測定位置での糸速度を引き取りロールの表面速度で規格化し変形完了率とした。H.オンライン糸温度計測延伸過程での糸温度は、NECAvio赤外線テクノロジー社製のサーモグラフィーTH9100WRに95μm近接拡大レンズを装着して測定した。熱画像ベースラインの補正は、接触式温度で計測定したロール温度および糸温度予熱HR上の糸離れ点から0~5mmを基準として、サーモグラフィーに表示される値が接触式で測定した温度に合うように放射率補正および距離補正することで行った。参考例1PANの合成、多分散度=5.7AN100質量部、イタコン酸1質量部、およびジメチルスルホキシド130質量部を混合し、それを還流管と攪拌翼を備えた反応容器に入れた。反応容器内の空間部を酸素濃度が100ppmになるまで窒素置換した後、ラジカル開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル以下、AIBNと呼ぶ0.002質量部を投入し、撹拌しながら下記の条件重合条件Aの熱処理を行った。165°Cの温度で2時間保持265°Cから30°Cへ降温降温速度120°C/時間。次に、その反応容器中に、ジメチルスルホキシド240質量部、ラジカル開始剤としてAIBN0.4質量部、および連鎖移動剤としてオクチルメルカプタン0.1質量部を導入した後、さらに撹拌しながら下記の条件による熱処理を行い、残存する未反応単量体を溶液重合法により重合してPAN重合体溶液を得た。130°Cから60°Cへ昇温昇温速度10°C/時間260°Cの温度で4時間保持360°Cから80°Cへ昇温昇温速度10°C/時間480°Cの温度で6時間保持。得られたPAN重合体溶液を重合体濃度が20質量となるように調製した後、アンモニアガスをpHが8.5になるまで吹き込むことにより、イタコン酸を中和しつつアンモニウム基をPAN重合体に導入し、紡糸原液を得た。得られた紡糸原液におけるPAN重合体は、Mwが48万、Mzが274万、Mz/Mwが5.7、Mz1/Mwが14であり、紡糸原液の粘度は45Pasであった。また、高分子量体であるA成分のMwは340万、低分子量体であるB成分のMwは35万であった。得られた紡糸原液を、濾過精度10μmのフィルターを通過させた後、40°Cの温度で、孔数3,000、口金孔径0.19mmの紡糸口金孔数3000から吐出した。紡糸は、紡糸原液を紡糸口金から一旦空気中に吐出し、約2mmの空間を通過させた後、3°Cの温度にコントロールされた20質量ジメチルスルホキシドの水溶液からなる凝固浴に導入する乾湿式紡糸法により行い、膨潤糸を得た。得られた膨潤糸を水洗した後、張力を2.2mN/dtexとして浴中で前延伸を行った。このときの浴温度は65°Cであり、延伸倍率は2.7倍であった。前延伸した糸条にアミノ変性シリコーン系シリコーン油剤を付与し、165°Cの温度に加熱したローラーを用いて30秒間乾燥熱処理を行い、単繊維繊度4.4dtexの乾燥糸を得た。このときの乾燥ローラーの最終速度は140m/分であった。参考例2PANの合成、多分散度=2.71回目のAIBNの投入量を0.001質量部に変更したことと、反応容器内の空間部を酸素濃度が1000ppmまで窒素置換したこと、参考例1の重合条件Aを以下の重合条件Bに変更した以外は、参考例1と同様にして紡糸原液を得た。170°Cの温度で4時間保持270°Cから30°Cへ降温降温速度120°C/時間。得られた紡糸原液におけるPAN重合体は、Mwが34万、Mzが92万、Mz/Mwが2.7、MZ1/Mwが7.2であり、紡糸原液の粘度は40Pasであった。また、高分子量体であるA成分のMwは150万、低分子量体であるB成分のMwは30万であった。紡糸原液を上記のものに変更した以外は参考例1と同様にして製糸を行い、乾燥糸を得た。このときの乾燥ローラーの最終速度は100m/分であった。参考例3PANの合成、多分散度=1.8AN100質量部、イタコン酸1質量部、ラジカル開始剤としてAIBN0.4質量部、および連鎖移動剤としてオクチルメルカプタン0.1質量部をジメチルスルホキシド370質量部に均一に溶解し、それを還流管と攪拌翼を備えた反応容器に入れた。反応容器内の空間部を酸素濃度が1000ppmになるまで窒素置換した後、撹拌しながら下記の条件による熱処理を行い、溶液重合法により重合して、PAN重合体溶液を得た。130°Cから60°Cへ昇温昇温速度10°C/時間260°Cの温度で4時間保持360°Cから80°Cへ昇温昇温速度10°C/時間480°Cの温度で6時間保持。得られたPAN重合体溶液を、重合体濃度が20質量となるように調製した後、アンモニアガスをpHが8.5になるまで吹き込むことにより、イタコン酸を中和しつつ、アンモニウム基を重合体に導入し、紡糸原液を得た。得られた紡糸原液におけるPAN重合体は、Mwが40万であり、Mzが72万、Mz/Mwが1.8、MZ1/Mwが3.0であり、紡糸原液の粘度は50Pasであった。また、このPANでは、高分子量体であるA成分に相当するものは見られなかった。紡糸原液を上記のものに変更し、ローラー速度を変更した以外は参考例1と同様にして製糸を行い、乾燥糸を得た。このときの乾燥ローラーの最終速度は50m/分であった。なお、ここで使用したPANは多分散度が低いため曳糸性が参考例1、2のものより低く、乾燥最終ローラー速度140m/分では糸がつながらず、高速製糸には不向きであった。参考例4配向の異なるPAN乾燥糸参考例1と同様に紡糸原液を得た。得られた紡糸原液におけるPAN重合体はMwが48万、Mzが274万、Mz/Mwが5.7、Mz1/Mwが14であり、紡糸原液の粘度は45Pasであった。また、高分子量体であるA成分のMwは340万、低分子量体であるB成分のMwは35万であった。得られた紡糸原液を、濾過精度10μmのフィルターを通過させた後、40°Cの温度で、孔数3,000、口金孔径0.19mmの紡糸口金孔数3000から吐出した。紡糸は、紡糸原液を紡糸口金から一旦空気中に吐出し、約2mmの空間を通過させた後、3°Cの温度にコントロールされた20質量ジメチルスルホキシドの水溶液からなる凝固浴に導入する乾湿式紡糸法により行い、膨潤糸を得た。得られた膨潤糸を水洗した後、浴中で前延伸を行った。このときの浴温度は65°Cであり、延伸倍率は2.7倍であった。前延伸した糸条にアミノ変性シリコーン系シリコーン油剤を付与し、165°Cの温度に加熱したローラーを用いて30秒間乾燥熱処理を行い、単繊維繊度4.4dtexの乾燥糸を得た。乾燥ローラーの最終速度を、それぞれ30m/分参考例4-1、50m/分参考例4-2、140m/分参考例1に変えて、配向の異なるPAN乾燥糸を得た。乾燥糸の配向度を測定したところ、それぞれ、82.0、82.5、84.0だった。また、乾燥ローラーの最終速度を30m/分として、浴中での前延伸倍率を2.7倍から、それぞれ1.9倍参考例4-3、4.5倍参考例4-4に変更し、配向の異なるPAN乾燥糸を得た。それぞれの乾燥糸の配向度は、79.2、84.7だった。また、乾燥ローラーの最終速度を140m/分として、浴中での前延伸倍率を2.7倍から、それぞれ1.9倍4-5、4.5倍4-6に変更し、配向の異なるPAN乾燥糸を得た。それぞれの乾燥糸の配向度は、81.2、86.7だった。参考例5延伸過程での糸速度計測PAN繊維のフィラメント数を100とした以外は参考例1と同様に作製したPAN乾燥糸を一旦巻き取り、これに改めて下記の通り延伸を施した。極限粘度0.63のホモPETを紡糸した後600m/分で巻き取り、これを予熱HR温度90°C、第2HR温度130°C、延伸倍率3倍でHR延伸したものを一旦巻き取ってPET繊維を得て、これに改めて下記の通り延伸を施した。2つのHRそれぞれに駆動機構付きが1組になったネルソン型鏡面HRを1対用いた延伸装置を用いた。HR間距離は170cmとし、PANの場合は、予熱HRの表面速度を100m/分、温度180°C、第2HRの表面速度を200m/分、温度180°Cとした。一方、PETの場合は、予熱HRの表面速度を140m/分、温度90°C、第2HRの表面速度を196m/分、温度130°Cとした。結果を図1に示す。まずPETでは予熱HR近傍で急激なネック状変形を示すのに対し、PANでは予熱HR上の糸離れ点から約30cmにわたって緩慢に変形が行われていることがわかった。また、PAN繊維については予熱HRの表面速度を12m/分とし、延伸倍率は2.0倍としたときの糸速度も計測したが、予熱HR上の糸離れ点から約6cmでほぼ変形完了率100となり、高速延伸時に比べかなり短い距離で延伸変形が完了することが明らかとなった。参考例6延伸過程での糸温度計測予熱HRの表面速度を12m/分および100m/分とし、延伸倍率を2.0倍にして、参考例5と同様にPAN繊維の延伸を行い、このときの糸温度変化を計測した。予熱HR上の糸離れ点を0cmとして、予熱HR表面速度が100m/分のときの5cm、10cm、20cm、30cmの位置の糸温度計測値は、それぞれ161°C、150°C、136°C、127°Cであった。一方、予熱HR表面速度が12m/分のときの10cm、20cm、30cmの位置の糸温度計測値は、それぞれ131°C、97°C、71°Cであった。これより、高速延伸では距離に対する冷却が遅く、延伸長を短くすると糸温度を高温に保ったまま延伸変形を進められることが分かった。また、高速延伸では、20cm地点での糸温度が136°Cであるため、延伸長を20cm以下とした場合には、引き取りロールが室温であるとしても糸温度は136°C以上であることが分かる。また、変形完了率100の30cm地点では糸温度が127°Cであるため、本発明における延伸過程での糸温度はそれより高温の状態、具体的には130°C以上の状態とすることが好ましいことが分かる。一方、低速延伸の20cm地点では糸温度が97°Cであり、延伸長を短くしても延伸変形にはほとんど影響を与えないことが推定される。実施例1~9参考例1のPAN乾燥糸を一旦巻き取った後、これを未延伸糸として改めて後延伸を行った。このとき、図2に示したように1対のネルソンロールを逆回転として対向横置きとした延伸装置を用いた。そして、予熱HR2-1、引取りロール2-2の温度を表1のように変更し、また2つのロールのロール間距離を変更することで延伸長を変更した。予熱HRの表面速度は100m/分とした。糸温度は、最高温度を予熱HR温度とし、最低温度は延伸長10cm以上の場合には実測から求めた。延伸長3cmの場合の最低温度は、通常のHR延伸とした場合の3cm地点の糸温度と同じであると推定した。実施例1~4の比較から、延伸長が短い方が、すなわち糸温度が高温の方が、延伸倍率が向上することが分かる。また、実施例1、5、7および8の比較から、毛羽および糸切れを抑制する観点からは、糸温度は240°Cを超えない範囲とすることが好ましいことが分かる。また、この比較から予熱HR温度が高い方が延伸倍率が向上するが、毛羽および糸切れを抑制する観点からは予熱HR温度が180°C以上で240°C以下の範囲が好ましいことが分かる。同様に、実施例5と実施例6の比較から引き取りロールの温度は180°C以下が好ましいことが分かる。一方、延伸倍率向上の観点からは、実施例5と実施例9の比較から、引き取りロールの温度は150°C以上が好ましいことが分かる。比較例1~3表1に示すように延伸長を、それぞれ30cm、80cmに変更した以外は実施例1または実施例6と同様に延伸を行ったが、糸温度が130°C未満となり、延伸倍率は低いものであった。参考例7~10予熱HR速度を、それぞれ12m/分および30m/分とした以外は実施例1糸温度が180~170°C、延伸長3cmと同様に延伸を行った参考例9、10。可能な延伸倍率は、予熱HR速度が12m/分の場合糸温度が180~167°Cで3.6倍参考例9、予熱HR速度が30m/分の場合糸温度が180~168°Cで3.1倍参考例10であった。予熱HR速度を、それぞれ12m/分および30m/分とした以外は比較例2糸温度が180~92°C、延伸長80cmと同様に延伸を行った参考例7、8。可能な延伸倍率は、予熱HR速度が12m/分の場合糸温度が180~25°Cで3.6倍参考例7、予熱HR速度が30m/分の場合糸温度が180~25°Cで3.1倍参考例8であった。また、予熱HR速度を、それぞれ12m/分および30m/分とした以外は実施例1糸温度が180~170°C、延伸長3cmと同様に延伸を行った参考例9、10。可能な延伸倍率は、予熱HR速度が12m/分の場合糸温度が180~167°Cで3.6倍参考例9、予熱HR速度が30m/分の場合糸温度が180~168°Cで3.1倍参考例10であった。これらの結果から、延伸長短縮による延伸倍率向上効果は見られなかった。実施例10~13参考例1で作製した乾燥糸をそのまま図6に示した延伸装置に導き、乾熱延伸を行った。この延伸装置図6は、同一の表面速度で回転するHR2個が1対になったネルソン型HRを6組み合わせたものである。非加熱のフィードロール6-2を介して未延伸糸6-1を供給し、第1HR6-3と第2HR6-4間で1段目延伸、第2HR6-4と第3HR6-5の間で2段目延伸、第3HR6-5と第4HR6-6の間で3段目延伸、第4HR6-6と第5HR6-7の間で4段目延伸、第5HR6-7と第6HR6-8の間で5段目延伸を施し、非加熱のコールドロール6-9を介して延伸糸を巻き取った。ここで、1段目延伸、3段目延伸および5段目延伸の延伸長を10cm糸温度下限が156°C以上、特定の延伸ゾーンとし、2段目延伸および4段目延伸は延伸長を100cm糸温度下限が25°Cまで冷却とした。そして、第1HR6-3と第2HR6-4の回転方向はお互いに逆回転とし、斜め上下方向に対向して配置した。第3HR6-5と第4HR6-6の関係および第5HR6-7と第6HR6-8の関係も同様である。さらに第2HR6-4、第4HR6-6および第6HR6-8は上下方向に可動式として、糸掛け時はHR間を広げ、糸掛け終了後HR間が自動で狭くできるような装置とした。また、糸掛け時には各HR間のロール表面速度比は全て1.05倍の極低倍率延伸状態とし、糸掛け終了後、第2HR6-4、第4HR6-6および第6HR6-8が所定の位置に移動した後、各HRが所定の表面速度となるような制御を組み込んだ装置とした。これにより、糸掛性を損なうことなく延伸長を短くできるようにした。また、各HRの直径は40cmとし、全てのロール表面は鏡面とし、各HRには糸を6回巻きつけた。第1HR6-3の表面速度を140m/分とし、各ネルソンHR温度および各段の延伸倍率を表2のように変更して高速延伸を行った。実施例10では5段延伸により巻取速度830m/分の製糸が可能であった。実施例11では第6HR6-8に糸を通すことなくコールドロール6-9を介して延伸糸を巻き取る4段延伸を行い、巻取速度688m/分の製糸が可能であった。実施例12では第5HR6-7および第6HR6-8に糸を通すことなくコールドロール6-9を介して延伸糸を巻き取る3段延伸を行い、巻取速度706m/分の製糸が可能であった。ただし、このときは第2HR6-4の温度が若干高かったため実施例11に比べるとやや毛羽および糸切れが増加した。実施例13では、糸掛後に第1HR6-3/第2HR6-4および第3HR6-5/第4HR6-6および第5HR6-7/第6HR6-8のペア特定の延伸ゾーンを加熱ヒーター付の保温箱で覆って5段延伸を行い、巻取速度996m/分の製糸が可能であった。このとき、保温箱内の雰囲気温度は180°Cとなるようにした実施例13では糸温度の下限値は180°C。特定の延伸ゾーンをさらに保温箱で覆い糸の冷却を抑制することにより、さらに延伸倍率を向上することができた。実施例14、15供給する未延伸糸を参考例2または3で作製した乾燥糸に変更し、各HRの表面速度を、延伸倍率が表3に示したようになるように変更した以外は実施例10と同様に延伸を行った。実施例14では、1段目延伸、3段目延伸および5段目延伸の糸温度下限が153°C以上特定の延伸ゾーン、2段目延伸および4段目延伸の糸温度下限が25°Cであった。実施例15では、1段目延伸、3段目延伸および5段目延伸の糸温度下限が150°C以上特定の延伸ゾーン、2段目延伸および4段目延伸の糸温度下限が25°Cであった。結果は実施例10と対比して表3に示した。実施例14、15は、実施例10と比較して、使用したPANのz平均分子量および多分散度が低いために乾燥糸の製糸速度が低くなることから、結果として延伸後の巻き取り速度も、実施例10より低くなった。実施例16~18参考例1で作製した乾燥糸をそのまま図7に示した延伸装置に導き乾熱延伸を行った。非加熱のフィードロール7-2を介して未延伸糸7-1を供給し、HR8個7-3~10に片掛けで糸を通し、非加熱のコールドロール7-11を介して延伸糸を巻き取った。各HRの直径は50cm、各HRの表面状態は鏡面とし、各HRと糸が接する距離はHR周長の50以上とした。そして各HR間で延伸を行い、第1HR7-3/第2HR7-41段目、第2HR7-4/第3HR7-52段目、第3HR7-5/第4HR7-63段目、第5HR7-7/第6HR7-85段目、第6HR7-8/第7HR7-96段目および第7HR7-9/第8HR7-107段目間の延伸長は10cmとした。また、第4HR7-6/第5HR7-74段目間の延伸長は2mとした。また、糸掛け時には各HR間のロール表面速度比は全て1.05倍の極低倍率延伸状態とし、糸掛け終了した後、各HRが所定の表面速度となるような制御を組み込んだ装置とした。第1HR7-3の表面速度を140m/分とし、各HR温度および各段の延伸倍率を表4および5のように変更して高速延伸を行った。実施例171段目~3段目および5段目~7段目延伸での糸温度の下限値は153°Cでは、第2HR7-4および第3HR7-5の温度が若干高かったため、実施例161段目~3段目および5段目~7段目延伸での糸温度の下限値は153°Cに比べるとやや毛羽および糸切れが増加した。実施例18では、糸掛後にフィードロール6~第4HR7-6までを1組とし、第5HR7-7~コールドロール7-11までを1組として加熱ヒーター付の保温箱で覆って延伸を行い、巻取速度1022m/分の製糸が可能であった。このとき、保温箱内の雰囲気温度は180°Cとなるようにした糸温度の下限値は180°C。特定の延伸ゾーンを保温箱で覆い、糸の冷却を抑制することにより、さらに延伸倍率を向上することができた。比較例4参考例1で作製した乾燥糸を一旦巻き取った後、改めて以下の通り延伸を施した。予熱HRと引き取りロールの間に180°Cの熱ピンφ80mm、梨地表面を置き、これに糸条を2回回して延伸を行った。熱ピンに繊維油剤が膠着し、毛羽および糸切れが頻発した。特に延伸開始後2時間後から糸切れが増加し、4時間後には延伸不能となった。このとき、予熱HR温度は180°C、表面速度は100m/分、引き取りロールの温度は180°C、表面速度は230m/分とした。実施例19実施例10で得たPAN繊維を240~260°Cの温度分布を有する空気中において延伸比1.0で張力をかけながら90分間耐炎化処理を行い、耐炎化繊維を得た。続いて、得られた耐炎化繊維を300~700°Cの温度分布を有する窒素雰囲気中において延伸比1.0で延伸しながら予備炭化処理を行い、予備炭化繊維を得た。さらに予備炭化繊維を最高温度1300°Cの窒素雰囲気中において延伸比0.95で張力をかけながら炭化処理を行い炭素繊維を得た。得られた炭素繊維のストランド強度は5.3GPa、ストランド弾性率は240GPaであり、良好な力学物性を示した。実施例20炭化処理において、延伸比を0.96、応力を8.0mN/dtexとした以外は実施例19と同様にして炭素繊維を得た。ストランド強度5.5GPa、ストランド弾性率250GPaと、良好な力学物性を示す炭素繊維が得られた。実施例21実施例20で得た炭素繊維に対して、さらに最高温度1500°Cの窒素雰囲気下で応力を8.0mN/dtexとして2段目の炭化処理を行った。得られた炭素繊維のストランド強度は5.8GPa、ストランド弾性率270GPaであった。実施例22実施例21において、2段目の炭化処理を最高温度1950°Cの窒素雰囲気とし、さらに最高温度2050°Cの窒素雰囲気中で延伸比を1.01として3段目の炭化処理を行った。得られた炭素繊維のストランド強度は5.0GPa、ストランド弾性率は320GPaであった。実施例23実施例14で得たPAN繊維を用い、実施例19と同様に耐炎化処理、予備炭化処理および炭化処理を行った。得られた炭素繊維の力学物性はストランド強度5.0GPa、ストランド弾性率240GPaであり、良好であった。実施例24実施例15で得たPAN繊維を用い、実施例19と同様に耐炎化処理、予備炭化処理および炭化処理を行った。得られた炭素繊維の力学物性はストランド強度5.1GPa、ストランド弾性率240GPaであり、良好であった。参考例11特開2007-126794号公報記載のAN由来成分94質量、アクリル酸メチル由来成分5質量およびメタリルスルホン酸ナトリウム由来成分1質量からなる、衣料用に用いられる共重合PANを用いた以外は実施例10と同様にして、単繊維繊度1dtexの共重合PAN繊維を得た。これを実施例19と同様に耐炎化処理、予備炭化処理および炭化処理を行った。得られた炭素繊維の力学物性はストランド強度3.8GPa、ストランド弾性率150GPaであった。実施例25参考例1で作製した乾燥糸をそのまま図5に示した延伸装置に導き乾熱延伸を行った。この延伸装置は、同一の表面速度で回転するHR2個が1対になったネルソン型HRを4つ組み合わせたものである。非加熱のフィードロール5-2を介して未延伸糸5-1を供給し、3段延伸を施し、非加熱のコールドロール5-7を介して延伸糸を巻き取った。各HRは同方向に回転し、HR間の延伸長は全て50cmとした。さらに、糸掛け後この4組のHRは加熱ヒーター付の保温箱5-8で覆い、箱内の雰囲気温度は160°Cとした糸温度の下限値は160°C。また、4組のHRの温度は全て180°Cとし、予熱HRである第1HRの表面速度は140m/分とし、1段延伸目の延伸倍率は2.5倍、2段目および3段目の延伸倍率は1.4倍として686m/分で巻き取った。毛羽および糸切れともAの評価であった。実施例26~34、比較例5~14参考例1のPAN乾燥糸を一旦巻き取った後、これを未延伸糸として図3に示した延伸装置に供給して、改めて後延伸を行った。予熱HR3-3、HPL3-4、引き取りロール3-6の表面速度、温度、HR-HPL距離およびHPL長を表6のように変更した。ここで、HR-HPL距離は、予熱HR3-3上の糸離れ点から、HPL3-4と糸との接糸開始点までの距離である。また、HPL上の糸の滞在時間は、延伸過程の各点の糸速度を計測し、これを時間に換算して見積もった。延伸性は限界延伸倍率で評価し、表6に示した。また、実施例26~29、比較例5~7、11~13におけるHR-HPL距離と限界延伸倍率との関係をグラフにプロットして図4に示した。図4中の速度は予熱HRの表面速度を示している。なお、比較例5、10および14は、HPLを用いない通常のHR-HR延伸である。予熱HR速度が100m/分の場合、HR-HPL距離が30cmより長い比較例6、7よりもHR-HPL距離が30cm以下である実施例26~28の方が限界延伸倍率向上効果が大きく、生産性向上効果がより大きいものであった。また、HPL長が長いほど限界延伸倍率向上効果が大きいことが実施例29~32の比較で分かる。また、実施例33では予熱HR温度およびHPL温度が高いため、実施例34では逆にそれらの温度が低いため、限界延伸倍率向上効果が実施例26より低かった。また、予熱HR速度が低速の比較例8~14では、巻き取り速度が低くなり、生産性が上がらなかった。また、比較例8~14から、HPLを用いることで、HPLを用いない場合よりも限界延伸倍率を向上することができるが、HR-HPL距離を短くすることによるさらなる限界延伸倍率向上効果は見られなかった。これより、本発明のHR-HPL距離を短くすることによる効果は高速延伸特有のものであることが分かる。実施例35参考例1のPAN乾燥糸を一旦巻き取った後、図8の装置を用いて改めて予熱HR-HPL-HR-HPL-HR-HPL-HRの3段乾熱延伸を施した。このとき、第1~第3熱板の長さをそれぞれ50cm、25cm、25cmとし、温度をそれぞれ200°C、180°C、180°Cとし、HR-HPL距離は全て9cmとした。ここで、HR-HPL距離は、HR上の糸離れ点から、HPLと糸との接糸開始点までの距離である。また、第1~第4ホットロールの温度をそれぞれ200°C、180°C、180°C、180°Cとした。また、第1ホットロール8-3の表面速度は140m/分とした。さらに、第1ホットロール8-3/第2ホットロール8-5間1段目延伸、第2ホットロール8-5/第3ホットロール8-7間2段目延伸、第3ホットロール8-7/第4ホットロール8-9間3段目延伸での延伸倍率をそれぞれ3.6倍、1.3倍、1.3倍とし、巻き取り速度852m/分として巻き取った。また、巻き取り糸の切り替えの際、各HPLは交換を行い、HPL上に汚れが堆積しないようにした。これにより、生産性向上と毛羽および糸切れ抑制を両立させることができた。実施例36、37第1ホットロール8-3の表面速度および延伸倍率を表7に示すように変更した以外は実施例35と同様に延伸を行った。いずれも生産性向上と毛羽および糸切れ抑制を両立させることができた。実施例38、39、参考例12それぞれ参考例1~3で作製した乾燥糸をそのまま図8に示した延伸装置に導き第1ホットロール8-3の表面速度および延伸倍率を表8に示すように変更した以外は実施例35と同様に乾熱延伸を施した。これより、PANポリマーの多分散度およびz平均分子量が大きいほど巻き取り速度を高速化でき、生産性向上に有利であることが分かった。実施例40実施例38で得たPAN繊維を240~260°Cの温度分布を有する空気中において延伸比1.0で張力をかけながら90分間耐炎化処理を行い、耐炎化繊維を得た。続いて、耐炎化繊維を300~700°Cの温度分布を有する窒素雰囲気中において延伸比1.0で延伸しながら予備炭化処理を行い、予備炭化繊維を得た。さらに予備炭化繊維を最高温度1300°Cの窒素雰囲気中において延伸比0.95で張力をかけながら炭化処理を行い、炭素繊維を得た。得られた炭素繊維のストランド強度は5.3GPa、ストランド弾性率は240GPaであり、良好な力学物性を示した。実施例41炭化処理において、延伸比を0.96、応力を8.0mN/dtexとした以外は実施例40と同様にして炭素繊維を得た。ストランド強度5.5GPa、ストランド弾性率250GPaと、良好な力学物性を示す炭素繊維が得られた。実施例42実施例41で得た炭素繊維に対して、さらに最高温度1500°Cの窒素雰囲気下で応力を8.0mN/dtexとして2段目の炭化処理を行った。得られた炭素繊維のストランド強度は5.8GPa、ストランド弾性率270GPaであった。実施例43実施例42において、2段目の炭化処理を最高温度1950°Cの窒素雰囲気とし、さらに最高温度2050°Cの窒素雰囲気中で延伸比を1.01として3段目の炭化処理を行った。得られた炭素繊維のストランド強度は5.0GPa、ストランド弾性率は320GPaであった。実施例44実施例39で得たPAN繊維を用い、実施例41と同様に耐炎化処理、予備炭化処理および炭化処理を行った。得られた炭素繊維の力学物性はストランド強度5.0GPa、ストランド弾性率240GPaであり、良好であった。実施例45参考例12で得たPAN繊維を用い、実施例40と同様に耐炎化処理、予備炭化処理および炭化処理を行った。得られた炭素繊維の力学物性はストランド強度5.1GPa、ストランド弾性率240GPaであり、良好であった。参考例13特開2007-126794号公報記載のAN由来成分94質量、アクリル酸メチル由来成分5質量およびメタリルスルホン酸ナトリウム由来成分1質量からなる、衣料用に用いられる共重合PANを実施例35と同様に紡糸および延伸し、単繊維繊度1dtexの共重合PAN繊維を得た。これを実施例40と同様に耐炎化処理、予備炭化処理、炭化処理を行った。得られた炭素繊維の力学物性はストランド強度3.8GPa、ストランド弾性率150GPaであった。実施例46~51参考例4のPAN乾燥糸を一旦巻き取った後、これを未延伸糸として図2の装置に供給して、改めて後延伸を行った。延伸倍率を表9に示すように変更した以外は実施例1と同様に行った。実施例46~51の結果から、延伸倍率と毛羽および糸切れの抑制を両立する観点からは、未延伸糸の配向度が低い方が好ましいことが分かる。実施例52~57参考例4のPAN乾燥糸を一旦巻き取った後、これを未延伸糸として図3の装置に供給して、改めて後延伸を行った。延伸倍率を表10に示すように変更した以外は実施例26と同様に行った。実施例52~57の結果から、延伸倍率と毛羽および糸切れの抑制を両立する観点からは、配向度が低い方が好ましいことが分かる。"