"過熱蒸気が通される管内にノズルから水を噴霧して、過熱蒸気を減温する過熱蒸気減温器であって、前記ノズルは、水の送り路と戻り路とが接続され、戻り流量を調整して噴霧量を変化させるリターンフローノズルであることを特徴とする過熱蒸気減温器。前記管としての混合管は、基端側の周側壁に蒸気導入口が設けられる一方、先端側に蒸気導出口が設けられ、前記ノズルは、前記混合管の軸線に沿って、前記混合管の基端側の開口部から前記混合管内に挿入され、先端部から先端側へ向けて水を噴霧し、前記蒸気導入口は、前記ノズルの先端部よりも基端側において、前記混合管の周側壁に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の過熱蒸気減温器。前記混合管の基端側の開口部から前記混合管内に挿入される保護管を備え、この保護管の先端部よりも前記ノズルの先端部を設定距離だけ引っ込めた状態まで、前記保護管内に前記ノズルが挿入されたことを特徴とする請求項2に記載の過熱蒸気減温器。前記混合管に、蒸気の流路を一時的に狭める絞り部が設けられたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の過熱蒸気減温器。前記混合管の管内に、メッシュを介して蒸気を通過させるストレーナが設けられたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の過熱蒸気減温器。前記混合管で減温された蒸気は、気水分離器を介して蒸気使用設備へ送られ、前記気水分離器の出口側の蒸気温度または蒸気圧力に基づき、前記リターンフローノズルの戻り流量を調整することを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の過熱蒸気減温器。従来技術では、冷却水を噴霧するためのノズルとして、圧力噴霧ノズルが用いられている。つまり、単にノズルに一方的に水を送り込み、その圧力でノズル孔から水を噴出させている。しかしながら、このような圧力噴霧ノズルでは、流量の可変範囲が狭く、低流量時には水の微粒化が悪化し、所望の減温や、乾き度を維持できないおそれがある。また、従来技術では、スプレノズルは、蒸気配管の直径方向に跨るようにして設置されると共に、スプレノズル冷却用蒸気で冷却されている。しかしながら、このような構成は、ノズルからの噴霧水の蒸発を促すものではない。蒸気の冷却は噴霧水が気化する際の蒸発潜熱によるので、ノズル内の水は蒸気により加熱され噴霧後には速やかに蒸発されるのが好ましい。さらに、従来技術では、スプレノズルはスプレノズル保護筒に収容されるが、この保護筒はスプレノズル冷却用蒸気を通すために設けられている。しかも、スプレノズル保護筒の開口部またはこの開口部に対向するスプレノズルの外表面において、スプレノズルとスプレノズル保護筒との間隔は、狭くする方がよいとのことである。しかしながら、このような構成は、ノズルから噴霧された水が微粒化するまでの区間を全く考慮していない。ノズルから水を噴霧した場合、噴霧直後の水は微粒化されていないので、その状態で蒸気流に当たると微粒化が阻害されてしまうことになる。本発明が解決しようとする課題は、噴霧流量によらず水を微粒化でき、所望の減温や乾き度を実現できる過熱蒸気減温器を提供することにある。また、好ましくは、蒸気による加熱により噴霧後には速やかに蒸発され、またノズルから噴霧された水が蒸気流で微粒化を阻害されない過熱蒸気減温器を提供することにある。本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項1に記載の発明は、過熱蒸気が通される管内にノズルから水を噴霧して、過熱蒸気を減温する過熱蒸気減温器であって、前記ノズルは、水の送り路と戻り路とが接続され、戻り流量を調整して噴霧量を変化させるリターンフローノズルであることを特徴とする過熱蒸気減温器である。請求項1に記載の発明によれば、リターンフローノズルを用いることで、噴霧流量によらず水を微粒化することができる。そのため、過熱蒸気の流量変化に対応して最適な水量で噴霧することができ、蒸気の乾き度を悪化させることなく、所望の減温を図ることができる。また、噴霧水の微粒化が確実になされるので、過熱蒸気との接触面積を増加させて短時間に蒸発を完了させることができ、蒸発区間の短縮によるコンパクト化を図ることができる。請求項2に記載の発明は、前記管としての混合管は、基端側の周側壁に蒸気導入口が設けられる一方、先端側に蒸気導出口が設けられ、前記ノズルは、前記混合管の軸線に沿って、前記混合管の基端側の開口部から前記混合管内に挿入され、先端部から先端側へ向けて水を噴霧し、前記蒸気導入口は、前記ノズルの先端部よりも基端側において、前記混合管の周側壁に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の過熱蒸気減温器である。請求項2に記載の発明によれば、混合管の軸方向に沿ってノズルを挿入し、ノズルの先端部よりも基端側において混合管の周側壁から過熱蒸気を導入する。従って、ノズル内の水は蒸気で予熱され、噴霧後には円滑に蒸発することになる。請求項3に記載の発明は、前記混合管の基端側の開口部から前記混合管内に挿入される保護管を備え、この保護管の先端部よりも前記ノズルの先端部を設定距離だけ引っ込めた状態まで、前記保護管内に前記ノズルが挿入されたことを特徴とする請求項2に記載の過熱蒸気減温器である。請求項3に記載の発明によれば、保護管の先端部よりも設定距離だけ引っ込めてノズルを設けることで、ノズルから噴霧された直後における噴霧水の蒸気流への接触を防止して、水の微粒化を確実に図ることができる。請求項4に記載の発明は、前記混合管に、蒸気の流路を一時的に狭める絞り部が設けられたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の過熱蒸気減温器である。ノズルからの噴霧水は、一部が微粒化されずに混合管の壁面特に下部に付着したり溜まったりしても、請求項4に記載の発明によれば、絞り部を設けることで、絞り部の出口において水が噴出するので、再度の微粒化を図り、蒸気との再度の混合を図ることができる。請求項5に記載の発明は、前記混合管の管内に、メッシュを介して蒸気を通過させるストレーナが設けられたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の過熱蒸気減温器である。ノズルからの噴霧水は、一部が微粒化されずに混合管の壁面特に下部に付着したり溜まったりしても、請求項5に記載の発明によれば、ストレーナを設けることで、ストレーナのメッシュを通過することで再度の微粒化を図り、蒸気との再度の混合を図ることができる。さらに、請求項6に記載の発明は、前記混合管で減温された蒸気は、気水分離器を介して蒸気使用設備へ送られ、前記気水分離器の出口側の蒸気温度または蒸気圧力に基づき、前記リターンフローノズルの戻り流量を調整することを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の過熱蒸気減温器である。請求項6に記載の発明によれば、蒸気使用設備への蒸気温度や蒸気圧力を所望に維持することができる。本発明によれば、リターンフローノズルを用いて、噴霧流量によらず水を微粒化して、蒸気の乾き度を悪化させることなく、所望の減温を図ることができる。また、蒸気配管の軸方向に沿ってノズルを設けることで、噴霧水を蒸気で予熱しておくことができ、噴霧後の蒸発を円滑に図ることができる。さらに、保護管の先端部よりも設定距離だけ引っ込めてノズルを設けることで、ノズルから噴霧された直後における噴霧水の蒸気流への接触を防止して、水の微粒化を確実に図ることができる。以下、本発明の具体的実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の過熱蒸気減温器1の一実施例を示す概略図であり、一部を断面にして示している。本実施例の過熱蒸気減温器1は、過熱蒸気が通される管2と、この管2内に冷却水を噴霧するノズル3とを備える。前記管2内で過熱蒸気と噴霧水との混合が図られるので、以下、前記管2を混合管2という。また、図1において、混合管2には左から右へ向けて過熱蒸気が通されるので、左側を基端側、右側を先端側という。混合管2は、円管状とされるが、ノズル3の先端部よりも先端側において、断面積が絞られた絞り部4を備えるのが好ましい。また、混合管2は、単一の管から構成されてもよいし、複数の管が接続されて構成されてもよい。本実施例では、第一管5、第二管6および第三管7が、順次接続されて構成される。第一管5、第二管6および第三管7は、それぞれ、軸方向両端部が開口すると共に、軸方向両端部にフランジ8~13を備える。そして、第一管5の先端側のフランジ9と、第二管6の基端側のフランジ10とが接続される。また、第二管6の先端側のフランジ11と、第三管7の基端側のフランジ12とが接続される。さらに、第一管5の中空穴の基端側開口部を閉塞するように、第一管5の基端側のフランジ8にはノズル取付板14が取り付けられる。また、第三管7の先端側のフランジ13には、気水分離器15の蒸気入口管16のフランジ17が接続される。第二管6は、軸方向中央部が小径部に形成され、この小径部の軸方向両側には、軸方向外側へ行くに従って拡径するテーパ部に形成されている。そして、第二管6の基端部の内径は、第一管5の内径と同一とされ、第二管6の先端部の内径は、第三管7の内径と同一とされる。なお、本実施例では、第一管5と第三管7との内径を同一としているが、第三管7の内径は第一管5の内径より小さくてもよい。混合管2より具体的には第一管5の基端側の周側壁には、蒸気導入管18が接続される。つまり、混合管2には、その中空穴の基端側の開口部ではなく、基端側の周側壁から過熱蒸気が導入される。混合管2の中空穴には、基端側開口部からノズル3が挿入される。このノズル3は、そのノズルパイプが混合管2の軸線に沿って配置され、先端部ノズルチップから先端側へ向けて水を噴霧する。ノズル3は、ノズル取付板14に気密に貫通して取り付けられ、ノズル取付板14は、前述したように、第一管5の基端側のフランジ8に取り付けられる。本実施例のノズル3は、水の送り路19と戻り路20とが接続され、戻り流量を調整して噴霧量を変化させるリターンフローノズルとされる。具体的には、ノズル3は、タンク21からの水の送り路19と、タンク21への水の戻り路20とが接続されている。タンク21からの水の送り路19には、タンク21の側から順に、給水ポンプ22と第一電磁弁23とが設けられる。一方、タンク21への水の戻り路20には、ノズル3の側から順に、第二電磁弁24と流量調整弁25とが設けられる。給水ポンプ22を作動させた状態で第一電磁弁23を開くと、タンク21内の水をノズル3へ供給して、ノズル3の先端部から水を噴霧することができる。この際、第二電磁弁24を開いた状態で流量調整弁25の開度を調整して、戻り路20を介してタンク21へ戻す流量、言い換えれば戻り路20の水圧を調整することにより、ノズル3からの噴霧量を変化させることができる。混合管2への蒸気導入管18の接続開口蒸気導入口は、ノズル3の先端部よりも基端側に配置される。これにより、蒸気導入管18から混合管2に導入された蒸気は、ノズル3を取り囲んでノズル3に沿って移動した後、ノズル3より先端側へ出て、ノズル3からの水が噴霧されることになる。従って、ノズル3内の水は、蒸気で予熱され、噴霧後には円滑に蒸発する。また、混合管2の周側壁に蒸気導入管18を接続することで、ノズル3を混合管2の中空穴の基端側開口部から挿入して取り付けることができ、ノズル3の取り付けが容易となる。ノズル3は、少なくとも先端部が保護管26内に収容されるのが好ましい。本実施例では、混合管2の中空穴の基端側開口部から円筒状の保護管26が挿入され、この保護管26内にノズル3が挿入される。この際、保護管26の先端部よりもノズル3の先端部を設定距離Aだけ引っ込めた状態まで、保護管26内にノズル3が挿入される。なお、保護管26は、ノズル取付板14に保持される。保護管26の直径や、保護管26の先端部とノズル3の先端部との軸方向の離隔距離Aは、適宜に設定されるが、ノズル3からの噴霧水が保護管26に当たらず、またノズル3からの噴霧水が保護管26を出るまでに微粒化されるように設定される。このような構成の場合、ノズル3からの噴霧水は、噴霧直後には保護管26内あり、蒸気流には接触しないので、水の微粒化が阻害されない。また、ノズル3および保護管26を混合管2の軸方向に取り付け、ノズル3の周側面ではなく先端部から水を噴霧するので、噴霧水が蒸気流に接触しない区間の調整、すなわち保護管26の先端部とノズル3の先端部との軸方向の離隔距離Aの調整が容易である。混合管2にて減温された蒸気は、各種の蒸気使用設備たとえばスチームモータまたはタービンなどへ送られるが、この際、図示例のように気水分離器15を介して、各種の蒸気使用設備へ送られるのが好ましい。気水分離器15の構成は、特に問わないが、本実施例では遠心式の気水分離器とされる。具体的には、気水分離器15は、縦向き円筒状の胴27を備え、この胴27内に接線方向で蒸気入口管16から蒸気が導入される。従って、混合管2からの蒸気は、胴27内で旋回して、その遠心力で水分は外方へ飛ばされ下方へ脱落する一方、そのようにして乾き度を向上された蒸気は、胴27の上部に設けた蒸気出口管28から導出され、各種の蒸気使用設備へ送られる。なお、胴27内において分離された水は、分離水戻し管29を介して、たとえば前記タンク21へ戻して利用できる。気水分離器15の出口側の蒸気温度または蒸気圧力に基づき、ノズル3からタンク21への戻り流量を調整してもよい。本実施例では、気水分離器15の出口側に温度センサ30または圧力センサを設け、その検出温度または検出圧力を所望に維持するように流量調整弁25の開度を調整して、ノズル3からの噴霧量が調整される。次に、本実施例の過熱蒸気減温器1の使用について説明する。混合管2には、基端側の周側壁から過熱蒸気が導入される。この過熱蒸気は、ノズル3内の水を加温した後、ノズル3からの噴霧水と混合して冷却され、本実施例ではほぼ飽和蒸気とされて導出される。気水分離器15の出口側の蒸気温度または蒸気圧力を所望に維持するように流量調整弁25の開度を調整して、ノズル3からの噴霧量が調整される。本実施例のノズル3によれば、噴霧流量によらず水を微粒化することができる。特に、従来の圧力噴霧ノズルでは低流量時には供給圧力が低下するため微粒化が悪化したが、本実施例のノズル3によれば、幅広い流量範囲で良好な微粒化を図ることができる。また、噴霧水を微粒化して表面積を増加させることで、過熱蒸気との接触面積を増し、短時間に蒸発を完了させることができる。これにより、蒸発区間を小さくでき、コンパクトに構成できる。また、本実施例のノズル3によれば、広範囲に流量を可変できるので、過熱蒸気の流量変化に対応して最適な水量で噴霧することができる。これにより、蒸気の乾き度の悪化や温度ムラを小さくすることができる。また、混合管2の軸方向に沿ってノズル3を挿入し、ノズル3の先端部よりも基端側において混合管2の周側壁から過熱蒸気を導入することで、ノズル3内の水は蒸気で予熱され、噴霧後には円滑に蒸発することになる。さらに、保護管26の先端部よりも設定距離だけ引っ込めてノズル3を設ければ、ノズル3から噴霧された直後における蒸気流への噴霧水の接触を防止して、水の微粒化を確実に図ることができる。また、ノズル3の噴霧部が保護管26内に収容されるので、蒸気による噴霧部の損傷を防止することができる。さらに、ノズル3からの噴霧水は、一部が微粒化されずに混合管2の壁面特に下部に付着したり溜まったりしても、混合管2に絞り部4を設けることで、絞り部4の出口において水が噴出するので、再度の微粒化を図り、蒸気との再度の混合を図ることができる。図2は、前記実施例の過熱蒸気減温器1の変形例を示す図であり、一部を断面にすると共に一部を省略して示している。本変形例は、基本的には前記実施例と同様の構成であるから、以下においては両者の異なる点を中心に説明し、対応する箇所には同一の符号を付して説明する。前記実施例では、第一管5と第三管7との間に、絞り部4を有する第二管6を接続したが、本変形例では、第二管6つまり絞り部4の設置に代えて、管内にストレーナ31が設けられる。図示例のストレーナ31は、混合管2の先端側へ行くに従って先細りとなる円錐台状または円錐状に形成されると共に、その円錐面がメッシュ状に形成されている。そして、ストレーナ31は、基端部に径方向外側へ延出してツバ部32を有する。そして、このツバ部32が第一管5と第三管7のフランジ9,12に挟まれて、混合管2内に取り付けられる。ノズル3からの噴霧水は、一部が微粒化されずに混合管2の壁面特に下部に付着したり溜まったりしても、混合管2内にストレーナ31を設けることで、ストレーナ31のメッシュの通過により、再度の微粒化を図り、蒸気との再度の混合を図ることができる。本発明の過熱蒸気減温器1は、前記実施例およびその変形例の構成に限らず適宜変更可能である。たとえば、図1に示した実施例では、混合管2に絞り部4を設けたが、この絞り部4は、混合管2自体の管径を絞って構成する以外に、混合管2にオリフィスを設けて構成してもよい。また、図2に示した変形例では、混合管2に円錐台状または円錐状のストレーナ31を設けたが、これは単なる板状のメッシュであってもよい。"