"複数の吸着孔が形成された吸着面を有し、該吸着面上に載置された表示基板を吸着する表示基板保持機構を備え、前記表示基板保持機構は、前記複数の吸着孔から空気を吸引するための真空発生器と、前記複数の吸着孔のうち、前記吸着面の第1吸着領域に形成された第1吸着孔群と、前記真空発生器とを接続する第1配管と、前記第1配管に設けられ、開閉することで前記真空発生器から前記第1吸着孔群への空気の流れをまとめて制御する第1吸着領域切替用弁と、前記複数の吸着孔のうち、前記吸着面の前記第1吸着領域以外の第2吸着領域に形成された第2吸着孔群と、前記真空発生器とを接続する第2配管と、前記第2配管に設けられ、開閉することで前記真空発生器から前記第2吸着孔群への空気の流れをまとめて制御する第2吸着領域切替用弁と、前記第1吸着孔群を構成する吸着孔のうち、前記第2吸着領域に最も近い位置にある境界吸着孔と、第1配管との間に設けられる自動切替機能付弁と、を備え、前記自動切替機能付弁は、前記真空発生器による吸引時に、前記境界吸着孔が前記表示基板によって完全に塞がれた場合には前記境界吸着孔と前記第1配管との間を流れる空気を連通させ、前記境界吸着孔が前記表示基板によって完全に塞がれていない場合には前記境界吸着孔と前記第1配管との間を流れる空気を遮断するFPDモジュール組立装置。前記表示基板保持機構の前記吸着面の吸着領域の大きさは、前記表示基板の長辺部あるいは短辺部の長さに応じて変更される請求項1に記載のFPDモジュール組立装置。しかしながら、上記したように様々な種類の表示基板があるので、これらの表示基板を確実に保持するためには、細かく吸着エリアを設定する必要があり、設定された吸着エリアの数だけ吸着エリア切替用バルブを設けなければならない。そのため、吸着エリア切替用バルブの点数増大に伴い、FPDモジュール組立装置の製造費用が高くなるという問題があった。本発明の目的は、上記の問題点を考慮し、様々なサイズの表示基板を確実に保持することができ、なおかつ、吸着エリア切替バルブの点数を少なくすることが可能なFPDモジュール組立装置を提供することにある。上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明のFPDモジュール組立装置は、複数の吸着孔が形成された吸着面を有し、該吸着面上に載置された表示基板を吸着する表示基板保持機構を備える。この表示基板保持機構は、複数の吸着孔から空気を吸引するための真空発生器と、複数の吸着孔のうち、吸着面の第1吸着領域に形成された第1吸着孔群と、真空発生器とを接続する第1配管と、第1配管に設けられ、開閉することで真空発生器から第1吸着孔群への空気の流れをまとめて制御する第1吸着領域切替用弁とを備える。また、表示基板保持機構は、複数の吸着孔のうち、吸着面の第1吸着領域以外の第2吸着領域に形成された第2吸着孔群と、真空発生器とを接続する第2配管と、第2配管に設けられ、開閉することで真空発生器から第2吸着孔群への空気の流れをまとめて制御する第2吸着領域切替用弁とを備える。さらに、表示基板保持機構は、第1吸着孔群を構成する吸着孔のうち、第2吸着領域に最も近い位置にある境界吸着孔と、第1配管との間に設けられる自動切替機能付弁を備える。そして、この自動切替機能付弁は、真空発生器による吸引時に、境界吸着孔が表示基板によって完全に塞がれた場合には境界吸着孔と第1配管との間を流れる空気を連通させ、境界吸着孔が前記表示基板によって完全に塞がれていない場合には前記境界吸着孔と第1配管との間を流れる空気を遮断する。上記構成のFPDモジュール組立装置によれば、所定のサイズの表示基板が吸着面に配置された状態以下、配置状態というにおいて、当該表示基板によって一部が塞がれる可能性がある境界吸着孔の直下に自動切替機能付弁を配置した。これにより、配置状態になると、この表示基板によってその一部が塞がれた境界吸着孔での吸引を自動的に停止することができる。その結果、従来のように、一部が塞がれた境界吸着孔での吸引のON/OFFを制御するための電磁弁を設ける必要がなくなる。したがって、設ける電磁弁の数を必要最低限に押さえることができ、コスト削減を図ることができる。また、表示基板のサイズ種類によらず、表示基板によって塞がれた吸着孔だけで吸着を行うことができるので、表示基板を確実に保持することができる。以下、本発明のFPDモジュール組立装置の実施の形態例について、図1~図13を参照して説明する。なお、各図において共通の部材には、同一の符号を付す。説明は以下の順序で行う。1.一実施形態例1-1.FPDモジュールの構成例1-2.FPDモジュール組立装置の構成例1-3.表示基板保持装置の構成例1-4.表示基板保持装置の動作例2.他の実施形態2-1.表示基板保持装置の構成例2-2.表示基板保持装置の動作例1.本発明の一実施形態例本発明の一実施形態例を、図1~図8を参照して説明する。1-1.FPDモジュールの構成例まず、FPDモジュールについて、図1を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るFPDモジュール組立装置によって組み立てられるFPDモジュールの概略構成を示す平面図である。図1に示すように、FPDモジュール7は、表示基板1と、複数の搭載部材2と、PCB6とから構成される。表示基板1は、その表示面が略長方形状に形成される。表示基板1の両短辺部には、搭載部材2が3枚ずつ接続搭載される。また、表示基板1の一方の長辺部には、PCB6が貼り付けられた5枚1組の搭載部材2が2組接続搭載される。なお、これらの搭載部材2と表示基板1との接続搭載には、ACF不図示が用いられる。また、表示基板1の搭載部材2が実装される両短辺部および一方の長辺部作業辺部には、当該搭載部材2と電気的に接続するための端子端子部が設けられる。搭載部材2は、扁平な長方形のポリイミドフィルムに銅箔による印刷回路不図示を施したFPCFlexiblePrintedCircuit4に、ICチップ5を搭載した電子部品である。ICチップ5は、FPC4の略中央に実装される。FPC4の下面には、印刷回路が設けられており、長手方向の両側2つの長辺にアウターリード端子不図示が設けられる。1-2.FPDモジュール組立装置の構成例次に、本発明の一実施形態に係るFPDモジュール組立装置の構成について、図2を参照して説明する。図2は、本発明の一実施形態に係るFPDモジュール組立装置を示す上面図である。FPDモジュール組立装置10は、表示基板1の搬送経路の上流からその下流側に向って図2中のX軸方向の一側から他側に向って表示基板1を搬送しながら、FPDモジュール7図1参照を組み立てるものである。以下では、X軸方向に直交する鉛直上下方向をZ軸方向と定義し、X軸方向およびZ軸方向に直交する方向をY軸方向と定義する。FPDモジュール組立装置10は、受け入れユニット100、仮圧着ユニット200、本圧着ユニット300およびPCB接続ユニット400から構成される。これらの作業ユニット100,200,300,400は、図2中のX軸方向に沿って一側図2の紙面左側から他側図2の紙面右側に向う順で配置される。なお、図2の紙面下側をY軸方向の一側と定義し、図2の紙面上側をY軸方向の他側と定義する。また、FPDモジュール組立装置10は、次の処理を行う作業ユニットに表示基板1を搬送する搬送ユニット500を備える。仮圧着ユニット200、本圧着ユニット300およびPCB接続ユニット400は、それぞれ表示基板保持装置600を備える。表示基板保持装置600は、搬送ユニット500で搬送された表示基板1を吸着して各作業ユニット仮圧着ユニット200、本圧着ユニット300およびPCB接続ユニット400の作業位置に配置する。また、表示基板保持装置600は、作業位置に配置された表示基板1の作業辺部両短辺部および一方の長辺部を吸着して平坦化を行う。なお、表示基板保持装置600のより詳細な構成については図3~5を参照して後述する。なお、本実施形態では、作業辺として両短辺部および一方の長辺部を処理する3辺処理の例について説明するが、他方の長辺部も処理する4辺処理の場合には、後述する吸着テーブル710図3にて後述をZ軸を中心に回転させることで、他方の長辺部の平坦化を行うこともできる。[仮圧着ユニット]仮圧着ユニット200は、表示基板1の作業辺部両短辺部および一方の長辺部に搭載部材2図1参照をACFによって仮圧着する。仮圧着ユニット200では、予め搭載部材2にACFが貼り付けられる。そして、仮圧着ユニット200は、ACFが貼り付けられた搭載部材2を表示基板1の作業辺部両長辺部および一方の短辺部に仮圧着搭載する。仮圧着ユニット200は、搭載部材供給部220と、ACF貼付部230と、搭載部240とを備える。搭載部材供給部220は、リール221と、リール221を回転させるリール送り機構222と、打ち抜き機構223とを備える。表示基板1に搭載する搭載部材2は、長尺のリボン状フィルムとしてリール221に巻きつけられる。リール221は、リール送り機構222によってX軸方向に平行な軸を中心に回転し、リボン状フィルムを規定ピッチで送り出す。打ち抜き機構223は、リール221から送り出されたリボン状フィルムを打ち抜いて、搭載部材2を個別に切り出す。切り出された搭載部材2は、取り出し機構不図示によって取り出され、ACF貼付部230に供給される。ACF貼付部230は、搬入十字アーム231と、ACF貼付ブロック232と、搬出十字アーム233とを備える。搬入十字アーム231は、4つのアーム片を備えており、ACF貼付ブロック232に搭載部材2を供給する。搬入十字アーム231の4つのアーム片は、それぞれ搭載部材2を真空吸着する。この搬入十字アーム231は、約90度ずつ回転し、吸着した搭載部材2をACF貼付ブロック232に渡す。ACF貼付ブロック232は、供給された搭載部材2の一方の長辺部にACFを貼り付ける。搬出十字アーム233は、4つのアーム片を備える。搬出十字アーム233の4つのアーム片は、それぞれACFが貼り付けられた搭載部材2を真空吸着する。搬出十字アーム233は、約90度ずつ回転し、真空吸着した搭載部材2を受け渡し部234に渡す。なお、受け渡し部234は、X軸ガイド235に移動可能に支持される。搭載部240は、表示基板1の一方の長辺部に搭載部材2を搭載する長辺搭載部240Aと、表示基板1の各短辺部に搭載部材2を搭載する短辺搭載部240B,240Cとから構成される。これらの長辺搭載部240Aおよび短辺搭載部240B,240Cは、受け渡し部234から搭載部材2を受け取る。長辺搭載部240Aは、シャトルチャック241と、搭載ブロック242とを備える。シャトルチャック241は、受け渡し部234から搭載部材2を受け取る。このシャトルチャック241は、Y軸ガイド不図示に移動可能に支持される。そして、Y軸ガイドは、X軸ガイド244に移動可能に支持される。これにより、シャトルチャック241は、X軸方向およびY軸方向に移動可能となる。シャトルチャック241は、受け渡し部234から受け取った搭載部材2を搭載ブロック242に渡す。搭載ブロック242は、X軸ガイド245に移動可能に支持されており、シャトルチャック241から搭載部材2を受け取る。この搭載ブロック242は、搭載ヘッド不図示を有する。この搭載ヘッドは、表示基板1の長辺部における搭載位置に搭載部材2を仮圧着搭載する。短辺搭載部240B,240Cは、長辺搭載部240Aと同様の構成を有する。つまり、短辺搭載部240B,240Cは、シャトルチャック241と、搭載ブロック242とをそれぞれ備える。短辺搭載部240B,240Cのシャトルチャック241は、X軸ガイド不図示に移動可能に支持される。そして、X軸ガイドは、Y軸ガイド247に移動可能に支持される。短辺搭載部240B,240Cの搭載ブロック242は、Y軸ガイド248に移動可能に支持されており、搭載ヘッド不図示によって、表示基板1の短辺における搭載位置に搭載部材2を仮圧着搭載する。[本圧着ユニット]本圧着ユニット300は、3つの圧着部320A,320Bおよび320Cを有し、表示基板1の両短辺部および一方の長辺部に搭載された搭載部材2図1参照の圧着作業を同時に、あるいは、オーバーラップさせて行う。3つの圧着部320A,320Bおよび320Cは、上刃を有する圧着ヘッドと、上刃に対向する下刃とを備える。上刃および下刃は、ヒータにより加熱され、搭載部材2を加熱加圧して表示基板1に接続する。[PCB接続ユニット]PCB接続ユニット400は、表示基板1の長辺部に接続されたソース側の搭載部材2にPCB6を接続する。PCB接続ユニット400は、PCB供給装置430と、ACF貼付装置440と、移載装置450と、本圧着部460とを備える。PCB供給装置430は、トレー不図示から供給されたPCB6を1枚ずつACF貼付装置440に供給する。ACF貼付装置440は、PCB供給装置430から供給されたPCB6にACFを貼り付ける。移載装置450は、ACFの貼り付けが終了したPCB6を本圧着部460に搬送する。そして、本圧着部460は、PCB6を加圧加熱して複数のソース側の搭載部材2に接続する。なお、ACF貼付ブロック232が搭載部材2の両方の長辺部にそれぞれACFを貼り付けることが可能な構成の場合は、ACF貼付装置440を設けなくてもよい。この場合、移載装置450は、PCB供給装置430から直接供給されたPCB6を本圧着部460に搬送する。1-3.表示基板保持装置の構成例次に、表示基板保持装置600の構成について図3~図5を参照して説明する。図3は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置600の構成を示す斜視図である。図4は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置600を構成する吸着ビームおよび吸着テーブルの構成を示す上面図である。図5は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置600を構成する真空圧供給ユニットの構成を示す模式図である。表示基板保持装置600表示基板保持機構は、図3に示すように、表示基板1を吸着して作業位置まで運ぶ供給搬送ユニット700と、作業位置に配置された表示基板1の作業辺部両短辺部および一方の長辺部を吸着する吸着ビーム800とを備える。また、表示基板保持装置600は、図5に示すように、表示基板1を吸着するための真空圧を供給搬送ユニット700および吸着ビーム800に供給する真空圧供給ユニット900をさらに備える。供給搬送ユニット700について説明する。供給搬送ユニット700は、図3に示すように、吸着ビーム800のY軸方向の一側に配置される。供給搬送ユニット700は、搬送ユニット500図2参照から供給された表示基板1を作業ユニットの作業位置へ搬送し、吸着ビーム800に載置する。供給搬送ユニット700は、吸着テーブル710と、回動駆動部720と、昇降部730と、X軸スライダ740と、Y軸スライダ750と、Y軸ガイド760とを備える。吸着テーブル710は、載置された表示基板1を真空吸着する吸着面710A図4に示す吸着面711A,712A,713Aを有し、この吸着面710Aにより当該表示基板1を着脱可能に保持する。なお、吸着テーブル710の詳細な構成については図4を参照して後述する。回動駆動部720は、Z軸方向に平行な回動軸を中心に吸着テーブル710を回動させる。この回動駆動部720は、例えば、モータと、このモータにおける回転軸の回転速度を減速させる減速機構と、この減速機構と吸着テーブル710とを接続する接続部材とから構成される。また、回動駆動部720の減速機構としては、例えば、歯車減速機を用いることができる。昇降部730は、回動駆動部720を支持する。この昇降部730は、回動駆動部720をZ軸方向へ移動させる。これにより、吸着テーブル710は、回動駆動部720を介してZ軸方向に移動可能となる。なお、昇降部730としては、例えば、エアシリンダや油圧シリンダなどを適用することができる。X軸スライダ740は、昇降部730を支持する。Y軸スライダ750は、X軸スライダ740をX軸方向に移動可能に支持する。X軸スライダ740は、Y軸スライダ750上を移動するための駆動部を有しており、Y軸スライダ750は、Y軸ガイド760上を移動するための駆動部を有する。なお、X軸スライダ740およびY軸スライダ750の駆動部、回動駆動部720、昇降部730は、制御部不図示により制御される。次に、図4を参照して吸着テーブル710の構成について説明する。吸着テーブル710は、固定吸着ボード711と、固定吸着ボード711を挟むようにX軸方向に沿って配置された第1および第2移動吸着ボード712,713とを備える。そして、吸着テーブル710は、第1移動吸着ボード712がX軸方向に移動可能となるように、固定吸着ボード711および第1移動吸着ボード712を連結する第1連結部714を備える。さらに、吸着テーブル710は、第2移動吸着ボード713がX軸方向に移動可能となるように、固定吸着ボード711および第2移動吸着ボード713を連結する第2連結部715を備える。なお、第1および第2連結部714,715は、第1および第2移動吸着ボード712,713がそれぞれ独立して移動可能になるよう構成される。固定吸着ボード711は、両面が略長方形の板状部材で構成される。この固定吸着ボード711は、短辺部がX軸方向と平行となり、かつ、長辺部がY軸方向と平行となるように回動駆動部720図3参照に固定される。固定吸着ボード711の一方の面鉛直上方側の面が、吸着面711Aである。なお、吸着面711Aは、上述した吸着面710Aの一部を構成する。この吸着面711Aには、一対の吸着孔716a~716dがY軸方向に沿って等間隔に形成される。一対の吸着孔716a~716dは、固定吸着ボード711のY軸方向の他側の端部から中間部にかけて配置される。第1移動吸着ボード712は、固定吸着ボード711と同様の構成である。この第1移動吸着ボード712は、短辺部がX軸方向と平行となり、かつ、長辺部がY軸方向と平行となるように、固定吸着ボード711のX軸方向の他側に配置される。第1移動吸着ボード712の一方の面鉛直上方側の面が、吸着面712Aである。なお、吸着面712Aは、上述した吸着面710Aの一部を構成する。この吸着面712Aには、一対の吸着孔717a~717dがY軸方向に沿って等間隔に形成される。一対の吸着孔717a~717dは、第1移動吸着ボード712のY軸方向の他側の端部から中間部にかけて配置される。第2移動吸着ボード713も、固定吸着ボード711と同様の構成である。この第2移動吸着ボード713は、短辺部がX軸方向と平行となり、かつ、長辺部がY軸方向と平行となるように、固定吸着ボード711のX軸方向の一側に配置される。第2移動吸着ボード713の一方の面鉛直上方側の面が、吸着面713Aである。なお、吸着面713Aは、上述した吸着面710Aの一部を構成する。この吸着面713Aにも、一対の吸着孔718a~718dがY軸方向に沿って等間隔に形成される。一対の吸着孔718a~718dは、第2移動吸着ボード713のY軸方向の他側の端部から中間部にかけて配置される。第1連結部714は、固定吸着ボード711の吸着面711Aと第1移動吸着ボード712の吸着面712Aとが同一平面内に配置されるように、固定吸着ボード711および第1移動吸着ボード712を支持する。また、第1連結部714は、不図示のガイド部材およびモータを備える。不図示のガイド部材は、第1連結部714とともに第1移動吸着ボード712をX軸方向に移動可能に支持する。また、不図示のモータは、これを駆動することで、第1移動吸着ボード712をガイド部材に沿ってX軸方向に移動させる。なお、このモータは制御部不図示によって制御される。第2連結部715は、固定吸着ボード711の吸着面711Aと第2移動吸着ボード713の吸着面713Aとが同一平面内に配置されるように、固定吸着ボード711および第2移動吸着ボード713を支持する。また、第2連結部715は、不図示のガイド部材およびモータを備える。不図示のガイド部材は、第2連結部715とともに第2移動吸着ボード713をX軸方向に移動可能に支持する。また、不図示のモータは、これを駆動することで、第2移動吸着ボード713をガイド部材に沿ってX軸方向に移動させる。なお、このモータは制御部不図示によって制御される。次に、吸着ビーム800について図4を参照して説明する。吸着ビーム800は、固定吸着バー801と、第1および第2移動吸着バー802,803と、第1および第2被移動吸着バー804,805と、モータ不図示から構成される。固定吸着バー801は、四角柱状の棒状部材で構成される。固定吸着バー801の4つの側面のうちの一つの側面が吸着面801Aである。固定吸着バー801は、吸着面801AがZ軸に直交し、かつ、固定吸着バー801の軸がX軸方向と平行になるように、固定される。そして、固定吸着バー801は吸着面801Aが搬送ユニット500とZ軸方向で対向するように鉛直上方を向くように配置される。この吸着面801Aには、吸着孔806a~806dがX軸方向に沿って等間隔に形成される。固定吸着バー801の側面801BY軸方向の他側の側面には、不図示のガイド部材が設けられる。この不図示のガイド部材は、第1および第2移動吸着バー802,803をX軸方向に移動可能に支持する。吸着ビーム800が備えるモータ不図示は、駆動されることで、第1および第2移動吸着バー802,803をそれぞれ独立してガイド部材に沿ってX軸方向に移動させる。なお、このモータは制御部不図示によって制御される。第1移動吸着バー802は、固定吸着バー801と同様に、四角柱状の棒状部材で構成される。第1移動吸着バー802の4つの側面のうちの一つの側面が吸着面802Aである。第1移動吸着バー802は、吸着面802AがZ軸に直交し、かつ、軸がX軸方向と平行になるように、固定吸着バー801の側面801Bに沿って配置される。第1移動吸着バー802は、固定吸着バー801に設けられたガイド部材不図示によってX軸方向に移動可能に支持される。そして、吸着面802Aは、固定吸着バー801の吸着面801Aと同一平面内に配置される。吸着面802Aには、吸着孔807a~807cがX軸方向に沿って等間隔に形成される。なお、第1移動吸着バー802のX軸方向の他側の端部には、第1被移動吸着バー804が接続される。第2移動吸着バー803は、固定吸着バー801と同様に、四角柱状の棒状部材で構成される。第2移動吸着バー803の4つの側面のうちの一つの側面が吸着面803Aである。第2移動吸着バー803は、吸着面803AがZ軸と直交し、かつ、軸がX軸方向と平行になるように、固定吸着バー801の側面801Bに沿って配置される。第2移動吸着バー803は、固定吸着バー801に設けられたガイド部材不図示によってX軸方向に移動可能に支持される。そして、吸着面803Aは、固定吸着バー801の吸着面801Aと同一平面内に配置される。この吸着面803Aには、吸着孔808a~808cがX軸方向に沿って等間隔に形成される。なお、第2移動吸着バー803のX軸方向の一側の端部には、第2被移動吸着バー805が接続される。第1被移動吸着バー804は、固定吸着バー801と同様に、四角柱状の棒状部材で構成される。第1被移動吸着バー804の4つの側面のうちの一つの側面が吸着面804Aである。第1被移動吸着バー804は、吸着面804AがZ軸と直交し、かつ、軸がY軸方向と平行になるように、第1移動吸着バー802に接続される。そして、吸着面804Aは、第1移動吸着バー802の吸着面802Aと同一平面内に配置される。この吸着面804Aには、吸着孔809a~809dがY軸方向に沿って形成される。第2被移動吸着バー805は、固定吸着バー801と同様に、四角柱状の棒状部材で構成される。第2被移動吸着バー805の4つの側面のうちの一つの側面が吸着面805Aである。第2被移動吸着バー805は、吸着面805AがZ軸と直交し、かつ、軸がY軸方向と平行になるように、第2移動吸着バー803に接続される。そして、吸着面805Aは、第2移動吸着バー803の吸着面803Aと同一平面内に配置される。この吸着面805Aには、吸着孔810a~810dがY軸方向に沿って形成される。本例では、図4に示すように、吸着ビーム800の吸着面801A~805Aにおいて、吸着孔806a~806d,807a~807c,808a~808c,809a~809c,810a~810cが形成された領域を第1エリア851と定義する。また、吸着ビーム800の吸着面801A~805Aにおいて、吸着孔809d,810dが形成された領域を第2エリア852と定義する。そして、吸着テーブル710の吸着面710A711A~713Aにおいて、吸着孔716a~716c,717a~717c,718a~718cが形成された領域を第3エリア853と定義する。さらに、吸着テーブル710の吸着面710A711A~713Aにおいて、吸着孔716d,717d,718dが形成された領域を第4エリア854と定義する。次に、真空圧供給ユニット900について図5を参照して説明する。真空圧供給ユニット900は、吸着テーブル710および吸着ビーム800に形成された各吸着孔による吸着のオン/オフを、図4に示した吸着エリア第1~第4エリア851~854ごとに切り替えるものである。この真空圧供給ユニット900は、図5に示すように、第1~第4配管901~904と、自動切替機能付弁905~909と、第1~第4吸着領域切替用弁910~913と、真空吸引装置914真空発生器とから構成される。真空吸引装置914は、空気を吸引する装置であり、第1~第4吸着領域切替用弁910~913を介して第1~第4配管901~904にそれぞれ接続される。第1~第4吸着領域切替用弁910~913は、不図示の制御部によってそれぞれの開閉が制御される電磁バルブである。すなわち、第1~第4吸着領域切替用弁910~913が開いている状態では、真空吸引装置914によって第1~第4配管901~904から空気が吸引される。一方、第1~第4吸着領域切替用弁910~913が閉じている状態では、真空吸引装置914による第1~第4配管901~904からの空気の吸引が遮断される。第1配管901は、第1エリア851図4参照に形成された吸着孔806a~806d,807a~807c,808a~808c,809a,809b,810a,810b吸着孔809c,810c以外の吸着孔にそれぞれ独立して連通する。また、第1配管901は、吸着孔809c,810cそれぞれの直下に配置された自動切替機能付弁905,906に独立して接続される。第3配管903は、第3エリア853図4参照に形成された吸着孔716a,716b,717a,717b,718a,718b吸着孔716c,717c,718c以外の吸着孔にそれぞれ独立して連通する。また、第3配管903は、吸着孔716c,717c,718cそれぞれの直下に配置された自動切替機能付弁907,908,909に独立して接続される。なお、第2配管902は、第2エリア852図4参照に形成された各吸着孔に連通し、第4配管904は、第4エリア854図4参照に形成された各吸着孔に連通する。自動切替機能付弁905,906は、真空吸引装置914による吸引が行われた際に吸着孔809c,810cが完全に塞がれると、開いた状態となり、第1配管901が吸着孔809c,810cに連通する。一方、吸着孔809c,810cが少しでも塞がれていないときには、自動切替機能付弁905,906は、閉じた状態となり、第1配管901は吸着孔809c,810cと連通が遮断される。それと同様に、自動切替機能付弁907,908,909は、真空吸引装置914による吸引が行われた際に吸着孔716c,717c,718cが完全に塞がれると、開いた状態となり、第3配管903が吸着孔716c,717c,718cに連通する。一方、吸着孔716c,717c,718cが少しでも塞がれていない状態のときには、自動切替機能付弁907,908,909は、閉じた状態となり、第3配管903は吸着孔716c,717c,718cとの連通が遮断される。1-4.表示基板保持装置の動作例次に、表示基板保持装置600の動作例について図4,図6~図8を参照して説明する。表示基板保持装置600で保持する表示基板1が最も大きなサイズLサイズの表示基板1Aである場合の動作例について図4および図6を参照して説明する。なお、図6は、図面を見やすくするため、図4で示した符号の一部を省略している。図6は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置600の上面図である。まず、不図示の操作部を介して表示基板1Aの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル710および吸着ビーム800のX軸方向の幅がそれぞれ決定される。続いて、吸着テーブル710のX軸方向の幅が決定された幅になるように、吸着テーブル710の第1移動吸着ボード712および第2移動吸着ボード713がそれぞれX軸に沿う方向に所定量移動する。そして、吸着ビーム800のX軸方向の幅が決定された幅になるように、吸着ビーム800の第1移動吸着バー802および第1被移動吸着バー804と、第2移動吸着バー803および第2被移動吸着バー805とがそれぞれX軸に沿う方向に所定量移動する。この状態における吸着テーブル710および吸着ビーム800のX軸方向の幅を、それぞれ吸着テーブル基準幅および吸着ビーム基準幅と呼ぶ。続いて、第1~第4吸着領域切替用弁910~913図5参照のうち、第3および第4吸着領域切替用弁912,913のみが開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第3および第4配管903,904から空気が吸引される。続いて、図6Aに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル710の吸着面710Aに形成されたすべての吸着孔を完全に塞ぐように当該吸着面710Aに表示基板1Aが載置される。このとき、自動切替機能付弁907,908,909直上の吸着孔716c,717c,718cが表示基板1Aで完全に塞がれるので、自動切替機能付弁907,908,909は開いた状態となる。その結果、表示基板1Aは、吸着テーブル710の吸着面710Aに形成されたすべての吸着孔で吸着される。続いて、吸着テーブル710はY軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル710に吸着された表示基板1Aは、図6Bに示すように、吸着ビーム800の上方に配置される。そして、吸着テーブル710は昇降部730図3参照により降下される。そして、吸着テーブル710に吸着された表示基板1Aは、吸着ビーム800の吸着面吸着面801A~805Aに形成されたすべての吸着孔を完全に塞ぐように当該吸着面吸着面801A~805Aに載置される。続いて、第1および第2吸着領域切替用弁910,911図5参照が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第1および第2配管901,902から空気が吸引される。このとき、自動切替機能付弁905,906直上の吸着孔809c,810cは表示基板1Aによって完全に塞がれているので、自動切替機能付弁905,906は開いた状態となる。これにより、表示基板1Aは、吸着ビーム800の吸着面吸着面801A~805Aに形成されたすべての吸着孔によってその作業辺部両短辺部および一方の長辺部が吸着され、作業ユニットの作業位置で保持される。以上の処理が完了した後、第3および第4吸着領域切替用弁912,913図5参照が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置914による第3および第4配管903,904からの空気の吸引が遮断され、吸着テーブル710による表示基板1Aの吸着が解除される。そして、吸着テーブル710は、図6Cに示すように、Y軸スライダ750によりY軸ガイド760上をY軸方向の他側から一側に向って動かされ、受け取り位置に戻る。次に、表示基板保持装置600で保持する表示基板1が中サイズMサイズの表示基板1Bである場合の動作例について図4および図7を参照して説明する。なお、図7は、図6と同様に、図面を見やすくするため、図4で示した符号の一部を省略している。図7は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置600の上面図である。まず、不図示の操作部を介して表示基板1Bの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル710および吸着ビーム800のX軸方向の幅がそれぞれ決定される。具体的には、表示基板1Aの長辺部の長さと表示基板1Bの長辺部の長さとの差分以下、L-M差分というだけ吸着テーブル基準幅および吸着ビーム基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル710および吸着ビーム800のX軸方向の幅がそれぞれ決定される。そして、図6Aに示した状態から、吸着テーブル710の第1移動吸着ボード712および第2移動吸着ボード713がそれぞれ固定吸着ボード711に近づく方向に、L-M差分の1/2に相当する距離ずつX軸に沿って移動する。このとき、吸着ビーム800の第1移動吸着バー802および第1被移動吸着バー804と、第2移動吸着バー803および第2被移動吸着バー805とが、それぞれ固定吸着バー801に近づく方向に、L-M差分の1/2に相当する距離ずつX軸に沿って移動する。続いて、第1~第4吸着領域切替用弁910~913図5参照のうち、第3吸着領域切替用弁912のみが開いた状態とされる。すると、真空吸引装置914によって第3配管903から空気が吸引される。続いて、図7Aに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル710の吸着面710Aの第3エリア853図4参照に形成されたすべての吸着孔を完全に塞ぐように、当該吸着面710Aに表示基板1Bが載置される。このとき、自動切替機能付弁907,908,909直上の吸着孔716c~718cが表示基板1Bで完全に塞がれ、自動切替機能付弁907,908,909は開いた状態となる。その結果、表示基板1Bは、吸着テーブル710の吸着面710Aの第3エリア853図4参照に形成されたすべての吸着孔で吸着される。続いて、吸着テーブル710は、Y軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル710に吸着された表示基板1Bは、図7Bに示すように、吸着ビーム800の上方に配置される。そして、吸着テーブル710は昇降部730により降下され、吸着テーブル710に吸着された表示基板1Bは、吸着面吸着面801A~805Aの第1エリア851図4参照に形成されたすべての吸着孔を完全に塞ぐように当該吸着面吸着面801A~805Aに載置される。続いて、第1吸着領域切替用弁910図5参照が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第1配管901から空気が吸引される。このとき、自動切替機能付弁905,906直上の吸着孔809c,810cは表示基板1Bによって完全に塞がれているので、自動切替機能付弁905,906は開いた状態となる。これにより、表示基板1Bは、吸着ビーム800の第1エリア851に形成されたすべての吸着孔によってその作業辺部両短辺部および一方の長辺部が吸着され、作業ユニットの作業位置で保持される。以上の処理が完了した後、第3吸着領域切替用弁912図5参照が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置914による第3配管903から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル710による表示基板1Bの吸着が解除される。そして、吸着テーブル710は、図7Cに示すように、Y軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の他側から一側に向って動かされ、受け取り位置に戻る。次に、表示基板保持装置600で保持する表示基板1が最も小さいサイズSサイズの表示基板1Cである場合の動作例について図8を参照して説明する。なお、図8は、図6と同様に、図面を見やすくするため、図4で示した符号の一部を省略している。図8は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置600の上面図である。まず、不図示の操作部を介して表示基板1Cの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル710および吸着ビーム800のX軸方向の幅がそれぞれ決定される。具体的には、表示基板1Aの長辺部の長さと表示基板1Cの長辺部の長さとの差分以下、L-S差分というだけ基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル710および吸着ビーム800のX軸方向の幅が決定される。続いて、図6Aに示した状態から、吸着テーブル710の第1移動吸着ボード712および第2移動吸着ボード713がそれぞれ固定吸着ボード711に近づく方向に、L-S差分の1/2に相当する距離ずつX軸に沿って移動する。このとき、吸着ビーム800の第1移動吸着バー802および第1被移動吸着バー804と、第2移動吸着バー803および第2被移動吸着バー805とが、それぞれ固定吸着バー801に近づく方向に、L-S差分の1/2に相当する距離ずつX軸に沿って移動する。続いて、第1~第4吸着領域切替用弁910~913図5参照のうち、第3吸着領域切替用弁912のみが開いた状態とされる。すると、真空吸引装置914によって第3配管903から空気が吸引される。続いて、受け取り位置に配置された吸着テーブル710の吸着面710Aに表示基板1Cが載置される。このとき、図8Aに示すように、第3エリア853図4参照の吸着孔716a,716b,717a,717b,718a,718bは表示基板1Cによって完全に塞がれるが、吸着孔716c,717c,718cは完全には塞がれない。そのため、吸着孔716c,717c,718c直下に配置された自動切替機能付弁907~909は閉じた状態となる。その結果、表示基板1Cで完全に塞がれた吸着孔716a,716b,717a,717b,718a,718bだけで当該表示基板1Cを吸着する。したがって、表示基板1Cを確実に保持することができる。続いて、吸着テーブル710はY軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル710に吸着された表示基板1Cは、図8Bに示すように、吸着ビーム800の上方に配置される。そして、吸着テーブル710は昇降部730により降下され、吸着テーブル710に吸着された表示基板1Cは、吸着ビーム800の吸着面吸着面801A~805Aに載置される。このとき、第1エリア851の吸着孔806a~806d,807a~807c,808a~808c,809a,809b,810a,810bは表示基板1Cによって完全に塞がれるが、吸着孔809c,810cは完全には塞がれない。続いて、第1吸着領域切替用弁910図5参照を開いた状態にする。すると、真空吸引装置914によって第1配管901から空気が吸引される。ここでは、自動切替機能付弁905,906直上の吸着孔809c,810cは表示基板1Cによって完全に塞がれていないので図8B参照、自動切替機能付弁905,906は閉じた状態となる。これにより、表示基板1Cで完全に塞がれた吸着孔806a~806d,807a~807c,808a~808c,809a,809b,810a,810bだけで当該表示基板1Cを吸着する。その結果、表示基板1Cの作業辺部両短辺部および一方の長辺部を確実に保持することができる。以上の処理が完了した後、第3吸着領域切替用弁912図5参照が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置914による第3配管903から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル710による表示基板1Cの吸着が解除される。そして、吸着テーブル710は、図8Cに示すように、Y軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の他側から一側に向って動かされ、受け取り位置に戻る。以上説明したように、本発明の一実施形態では、例えば表示基板1CSサイズの表示基板1が吸着テーブルの吸着面および吸着ビームの吸着面に配置された状態以下、配置状態というにおいて、当該表示基板1Cによってその一部が塞がれる吸着孔の直下に自動切替機能付弁を配置した。これにより、配置状態になると、表示基板1Cによってその一部が塞がれた吸着孔での吸引を自動的に停止することができる。その結果、従来のように、表示基板1Cによってその一部が塞がれた吸着孔での吸引のON/OFFを制御するための電磁弁を設ける必要がなくなる。したがって、設ける電磁弁の数を必要最低限に押さえることができ、コスト削減を図ることができる。また、本発明の一実施形態では、表示基板1のサイズに関わらず、表示基板1によって完全に塞がれた吸着孔だけで当該表示基板1を吸着するようにした。これにより、表示基板を確実に保持することができる。また、本発明の一実施形態では、吸着ビームおよび吸着テーブルのX軸方向の幅を、表示基板1の種類に応じて変更することができる。これにより、吸着ビームおよび吸着テーブルの吸着面を例えば4つの吸着エリア第1~第4エリア以上に分ける必要がなくなる。したがって、各吸着エリアにつき1つ設ける必要のある電磁弁の個数をさらに減らすことができ、よりコスト削減を図ることができる。2.他の実施形態例次に、本発明の他の実施形態例を、図9~図13を参照して説明する。2-1.表示基板保持装置の構成例図9は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置を構成する吸着ビーム、吸着テーブルおよび移動支持バーを示す上面図である。図10は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置を構成する真空圧供給ユニットの構成を示す模式図である。本例のFPDモジュール組立装置を構成する表示基板保持装置は、図9に示すように、一実施形態に係る吸着テーブル710図4参照および吸着ビーム800の代わりに、吸着テーブル920および吸着ビーム930を備え、さらに移動支持バー940を有する。また、この表示基板保持装置は、図10に示すように、一実施家形態に係る真空圧供給ユニット900の代わりに真空圧供給ユニット960を備える。まず、吸着テーブル920について図9を参照して説明する。吸着テーブル920は、固定吸着ボード921と、第1~第3移動吸着ボード922~924とから構成される。固定吸着ボード921は、両面が略長方形の板状部材で構成される。この固定吸着ボード921は、図9に示すように、長辺部がX軸方向と平行となり、かつ、短辺部がY軸方向と平行となるように回動駆動部720図3参照に固定される。固定吸着ボード921の一方の面鉛直上方側の面が、吸着面921Aである。そして、この吸着面921Aの四隅には吸着孔925a~925dが形成される。第1移動吸着ボード922は、固定吸着ボード921と同様の構成である。この第1移動吸着ボード922は、長辺部がX軸方向と平行となり、かつ、短辺部がY軸方向と平行となるように、固定吸着ボード921のX軸方向の他側に配置される。また、第1移動吸着ボード922は、回動駆動部720に設けられた不図示のガイド部材によってX軸方向に移動可能に支持される。なお、第1移動吸着ボード922のX軸方向への移動は不図示のモータによって行われる。この第1移動吸着ボード922の一方の面鉛直上方側の面が吸着面922Aであり、この吸着面922Aは、固定吸着ボード921の吸着面921Aと同一平面内に位置する。そして、この吸着面922Aの四隅には吸着孔926a~926dが形成される。第2移動吸着ボード923は、固定吸着ボード921と同様の構成である。この第2移動吸着ボード923は、長辺部がX軸方向と平行となり、かつ、短辺部がY軸方向と平行となるように、固定吸着ボード921のY軸方向の一側に配置される。また、第2移動吸着ボード923は、回動駆動部720に設けられた不図示のガイド部材によってY軸方向に移動可能に支持される。なお、第2移動吸着ボード923のY軸方向への移動は不図示のモータによって行われる。この第2移動吸着ボード923の一方の面鉛直上方側の面が、吸着面923Aであり、この吸着面923Aは、固定吸着ボード921の吸着面921Aと同一平面内に位置する。そして、この吸着面923Aの四隅には吸着孔927a~927dが形成される。第3移動吸着ボード924は、固定吸着ボード921と同様の構成である。この第3移動吸着ボード924は、長辺部がX軸方向と平行となり、かつ、短辺部がY軸方向と平行となるように、第1移動吸着ボード922のY軸方向の一側、かつ、第2移動吸着ボード923のX軸方向の他側に配置される。そして、第3移動吸着ボード924は、回動駆動部720に設けられた不図示のガイド部材によってX軸方向およびY軸方向に移動可能に支持される。なお、第3移動吸着ボード924のX軸方向およびY軸方向への移動は不図示のモータによって行われる。この第3移動吸着ボード924の一方の面鉛直上方側の面が、吸着面924Aであり、この吸着面924Aは、固定吸着ボード921の吸着面921Aと同一平面内に位置する。そして、この吸着面924Aの四隅には吸着孔928a~928dが形成される。次に、吸着ビーム930について図9を参照して説明する。吸着ビーム930は、第1および第2固定吸着バー931,932から構成される。第1固定吸着バー931は、四角柱状の棒状部材で構成される。第1固定吸着バー931の4つの側面のうちの一つの側面が吸着面931Aである。この吸着面931AがZ軸に直交し、かつ、第1固定吸着バー931の軸がX軸方向と平行になるように、第1固定吸着バー931は固定される。そして、第1固定吸着バー931の吸着面931Aは、搬送ユニット500とZ軸方向で対向するように配置される。この吸着面931Aには、吸着孔933a~933hがX軸方向に沿って等間隔に形成される。第2固定吸着バー932は、第1固定吸着バー931と同様に四角柱状の棒状部材で構成される。第2固定吸着バー932の4つの側面のうちの一つの側面が吸着面932Aである。第2固定吸着バー932は、吸着面932AがZ軸に直交し、かつ、第2固定吸着バー932の軸がY軸方向と平行になるように、第1固定吸着バー931のX軸方向の一側の端部に固定される。第2固定吸着バー932の吸着面932Aは、第1固定吸着バー931の吸着面931Aと同一平面内に位置する。この吸着面932Aには、吸着孔934a~934dがY軸方向に沿って等間隔に形成される。本例では、図9に示すように、吸着ビーム930の吸着面吸着面931A,932Aにおいて、吸着孔933a~933f,934a~934cが形成された領域を第1エリア951と定義する。また、吸着ビーム930の吸着面吸着面931A,932Aにおいて、吸着孔933g,933h,934dが形成された領域を第2エリア952と定義する。そして、吸着テーブル920の吸着面吸着面921A~924Aにおいて、吸着孔925a~925d,926a~926d,927a~927d,928a~928dが形成された領域を第3エリア953と定義する。次に、移動支持バー940について図9を参照して説明する。移動支持バー940は、四角柱状の棒状部材で構成される。移動支持バー940の4つの側面のうちの一つの側面が載置面940Aである。移動支持バー940は、載置面940AがZ軸に直交し、かつ、移動支持バー940の軸がY軸方向と平行になるように、吸着ビーム930のX軸方向の他側に配置される。そして、移動支持バー940は、不図示のガイド部材によってX軸方向に移動可能に支持される。移動支持バー940の載置面940Aは、吸着ビーム930の吸着面吸着面931A,932Aと同一平面内に位置する。次に、真空圧供給ユニット960について図10を参照して説明する。なお、一実施形態の真空圧供給ユニット900と同一の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。真空圧供給ユニット960は、吸着テーブル920および吸着ビーム930に形成された吸着孔による吸着のオン/オフを、図9に示した吸着エリア第1~第3エリア951~953ごとに切り替えるものである。この真空圧供給ユニット960は、図10に示すように、第1~第3配管961~963と、自動切替機能付弁964~969と、第1~第3吸着領域切替用弁970~972と、真空吸引装置914から構成される。真空吸引装置914は、一実施形態と同様の空気を吸引する装置であり、第1~第3吸着領域切替用弁970~972を介して第1~第3配管961~963に接続される。第1~第3吸着領域切替用弁970~972は、不図示の制御部によってそれぞれの開閉が制御される電磁バルブである。すなわち、第1~第3吸着領域切替用弁970~972が開いている状態では、真空吸引装置914によって第1~第3配管961~963から空気が吸引される。一方、第1~第3吸着領域切替用弁970~972が閉じている状態では、真空吸引装置914による第1~第3配管961~963からの空気の吸引が遮断される。第1配管961は、第1エリア951図9参照に形成された吸着孔933a~933e,934a,934bにそれぞれ独立して連通する。また、第1配管961は、第1エリア951に形成された吸着孔833f,934cそれぞれの直下に配置された自動切替機能付弁964,965に独立して接続される。第3配管963は、第3エリア953図9参照に形成された吸着孔925a~925d,926a~926d,927a,927b,928a,928bにそれぞれ独立して連通する。また、第3配管963は、第3エリア953に形成された吸着孔927c,927d,928c,928dそれぞれの直下に配置された自動切替機能付弁966~969に独立して接続される。なお、第2配管962は、第2エリア952図9参照に形成された吸着孔933g,933h,934dに独立して連通する。自動切替機能付弁964,965は、真空吸引装置914による吸引が行われた際に吸着孔933f,934cが完全に塞がれると、開いた状態となり、第1配管961は吸着孔933f,934cと連通する。一方、自動切替機能付弁964,965は、吸着孔933f,934cが少しでも塞がれていないときには、閉じた状態となり、第1配管961は吸着孔933f,934cとの連通が遮断される。それと同様に、自動切替機能付弁966~969は、真空吸引装置914による吸引が行われた際に吸着孔927c,927d,928c,928dが完全に塞がれると、開いた状態となり、第3配管963が吸着孔927c,927d,928c,928dに連通する。一方、第3配管963は、吸着孔927c,927d,928c,928dが少しでも塞がれていない状態のときには、自動切替機能付弁966~969は、閉じた状態となり、吸着孔927c,927d,928c,928dとの連通が遮断される。2-2.表示基板保持装置の動作例次に、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の動作例について図9,図11~図13を参照して説明する。表示基板保持装置で保持する表示基板1が最も大きなサイズLサイズの表示基板1Aである場合の動作例について図9および図11を参照して説明する。なお、図11は、図面を見やすくするため、図9で示した符号の一部を省略している。図11は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の上面図である。まず、不図示の操作部を介して表示基板1Aの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル920のX軸方向およびY軸方向の幅とともに移動支持バー940の配置位置が決定される。そして、決定された幅になるように、吸着テーブル920の第1移動吸着ボード922はX軸に沿う方向に移動し、第2移動吸着ボード923はY軸に沿う方向に移動する。第3移動吸着ボードは、X軸に沿う方向に移動するとともにY軸に沿う方向に移動する。そして、決定された位置に配置されるように、移動支持バー940がX軸方向に沿って移動する。この状態における吸着テーブル920のX軸方向およびY軸方向それぞれの幅をX軸方向基準幅およびY軸方向基準幅と呼び、移動支持バー940の配置位置を基準配置位置と呼ぶ。続いて、第1~第3吸着領域切替用弁970~972図10参照のうち、第3吸着領域切替用弁972のみが開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第3配管963から空気が吸引される。続いて、図11Aに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル920の吸着面吸着面921A~924Aに形成されたすべての吸着孔を塞ぐように当該吸着面吸着面921A~924Aに表示基板1Aが載置される。このとき、自動切替機能付弁966~969直上の吸着孔927c,927d,928c,928dが表示基板1Aで塞がれる。その結果、自動切替機能付弁966~969は開いた状態となり、表示基板1Aは、吸着テーブル920の吸着面921A~924Aに形成されたすべての吸着孔で吸着される。続いて、吸着テーブル920はY軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の一側から他側に向う方向に動かされ、吸着テーブル920に吸着された表示基板1Aは、図11Bに示すように、吸着ビーム930の鉛直上方に配置される。そして、吸着テーブル920は昇降部730により降下される。すると、吸着テーブル920に吸着された表示基板1Aは、吸着ビーム930の吸着面吸着面931A,932Aに形成されたすべての吸着孔を塞ぐように当該吸着面吸着面931A,932Aおよび移動支持バー940の載置面940Aに載置される。続いて、第1および第2吸着領域切替用弁970,971図10参照が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第1および第2配管961,962から空気が吸引される。このとき、自動切替機能付弁964,965直上の吸着孔933f,934cは表示基板1Aによって塞がれているので、自動切替機能付弁964,965は開いた状態となる。これにより、表示基板1Aは、吸着ビーム930の吸着面吸着面931A,932Aに形成されたすべての吸着孔によってその作業辺部X軸の一側の短辺部およびY軸の他側の長辺部が吸着され、作業ユニットの作業位置で保持される。以上の処理が完了した後、第3吸着領域切替用弁972図10参照が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置914による第3配管963から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル920による表示基板1Aの吸着が解除される。そして、吸着テーブル920は、図11Cに示すように、Y軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の他側から一側に向けて動かされ、受け取り位置に戻る。次に、表示基板保持装置で保持する表示基板1が中サイズMサイズの表示基板1Bである場合の動作例について図9および図12を参照して説明する。なお、図12は、図11と同様に、図面を見やすくするため、図9で示した符号の一部を省略している。図12は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の上面図である。まず、不図示の操作部を介して表示基板1Bの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル920のX軸方向およびY軸方向の幅とともに移動支持バー940の配置位置が決定される。具体的には、表示基板1Aの長辺部の長さと表示基板1Bの長辺部の長さとの差分以下、L-M長辺部差分というだけX軸方向基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル920のX軸方向の幅が決定される。そして、表示基板1Aの短辺部の長さと表示基板1Bの短辺部の長さとの差分以下、L-M短辺部差分というだけY軸方向基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル920のY軸方向の幅が決定される。続いて、図11Aで示した状態から、決定された幅になるように、吸着テーブル920の第1~第3移動吸着ボード922~924が移動する。すなわち、第1移動吸着ボード922は、固定吸着ボード921に近づく方向に、L-M長辺部差分に相当する距離X軸に沿って移動する。第2移動吸着ボード923は、固定吸着ボード921に近づく方向に、L-M短辺部差分に相当する距離Y軸に沿って移動する。第3移動吸着ボード924は、固定吸着ボード921に近づく方向に、L-M長辺部差分に相当する距離X軸に沿って移動するとともに、固定吸着ボード921に近づく方向に、L-M短辺部差分に相当する距離Y軸に沿って移動する。このとき、移動支持バー940は、X軸に沿って吸着ビーム930に近づく方向にL-M長辺部差分に相当する距離移動する。続いて、第1~第3吸着領域切替用弁970~972図10参照のうち、第3吸着領域切替用弁972のみが開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第3配管963から空気が吸引される。続いて、図12Aに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル920の吸着面吸着面921A~924Aに形成されたすべての吸着孔を塞ぐように当該吸着面吸着面921A~924Aに表示基板1Bが載置される。このとき、自動切替機能付弁966~969直上の吸着孔927c,927d,928c,928dが表示基板1Bで塞がれる。その結果、自動切替機能付弁966~969は開いた状態となり、表示基板1Bは、吸着テーブル920の吸着面921A~924Aに形成されたすべての吸着孔で吸着される。続いて、吸着テーブル920は、Y軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル920に吸着された表示基板1Bは、図12Bに示すように、吸着ビーム930の鉛直上方に配置される。そして、吸着テーブル920は昇降部730により降下される。すると、吸着テーブル920に吸着された表示基板1Bは、吸着ビーム930の第1エリア951に形成された吸着孔933a~933f,934a~934cを塞ぐように吸着面吸着面931A,932Aおよび移動支持バー940の載置面940Aに載置される。続いて、第1吸着領域切替用弁970図10参照が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第1配管961から空気が吸引される。このとき、自動切替機能付弁964,965直上の吸着孔933f,934cは表示基板1Bによって塞がれているので、自動切替機能付弁964,965は開いた状態となる。これにより、表示基板1Bは、吸着ビーム930の第1エリア951に形成された吸着孔933a~933f,934a~934cによってその作業辺部X軸の一側の短辺部およびY軸の他側の長辺部が吸着され、作業ユニットの作業位置で保持される。以上の処理が完了した後、第3吸着領域切替用弁972図10参照が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置914による第3配管963から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル920による表示基板1Bの吸着が解除される。そして、吸着テーブル920は、図12Cに示すように、Y軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸の他側から一側に向う方向に動かされ、受け取り位置に戻る。次に、表示基板保持装置で保持する表示基板1が最も小さいサイズSサイズの表示基板1Cである場合の動作例について図9および図13を参照して説明する。なお、図13は、図面を見やすくするため、図9で示した符号の一部を省略している。また、吸着テーブル920のX軸方向およびY軸方向それぞれの幅は、図12にて示した幅よりも小さくならないものとする。図13は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の上面図である。まず、不図示の操作部を介して表示基板1Cの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル920のX軸方向およびY軸方向の幅とともに移動支持バー940の配置位置が決定される。具体的には、表示基板1Aの長辺部の長さと表示基板1Cの長辺部の長さとの差分以下、L-S長辺部差分というだけX軸方向基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル920のX軸方向の幅が決定される。そして、表示基板1Aの短辺部の長さと表示基板1Cの短辺部の長さとの差分以下、L-S短辺部差分というだけY軸方向基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル920のY軸方向の幅が決定される。続いて、図11Aで示した状態から、決定された幅になるように、吸着テーブル920の第1~第3移動吸着ボード922~924がそれぞれ移動する。しかし、吸着テーブル920のX軸方向およびY軸方向それぞれの幅は、図12にて示した幅よりも小さくならない。そのため、第1移動吸着ボード922は、固定吸着ボード921に近づく方向に、L-M長辺部差分に相当する距離X軸に沿って移動して、その移動が停止される。第2移動吸着ボード923は、固定吸着ボード921に近づく方向に、L-M短辺部差分に相当する距離Y軸に沿って移動して、その移動が停止される。第3移動吸着ボード924は、固定吸着ボード921に近づく方向に、L-M長辺部差分に相当する距離X軸に沿って移動するとともに、固定吸着ボード921に近づく方向に、L-M短辺部差分に相当する距離Y軸に沿って移動して、その移動が停止される。このとき、移動支持バー940は、X軸に沿って吸着ビーム930に近づく方向にL-S長辺部差分に相当する距離移動する。続いて、第1~第3吸着領域切替用弁970~972図10参照のうち、第3吸着領域切替用弁972のみが開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第3配管963から空気が吸引される。続いて、図13Aに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル920の吸着面吸着面921A~924Aに表示基板1Cが載置される。このとき、第3エリア953図9参照の吸着孔925a~925d,926a~926d,927a,927b,928a,928bは表示基板1Cによって完全に塞がれるが、吸着孔927c,927d,928c,928dは完全には塞がれない。そのため、吸着孔927c,927d,928c,928d直下に配置された自動切替機能付弁966~969は閉じた状態となる。その結果、表示基板1Cで完全に塞がれた吸着孔925a~925d,926a~926d,927a,927b,928a,928bだけで当該表示基板1Cを吸着する。したがって、表示基板1Cを確実に保持することができる。続いて、吸着テーブル920はY軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル920に吸着された表示基板1Cは、図13Bに示すように、吸着ビーム930の鉛直上方に配置される。そして、吸着テーブル920は昇降部730により降下される。すると、吸着テーブル920に吸着された表示基板1Cは、吸着ビーム930の吸着面吸着面931A,932Aおよび移動支持バー940の載置面940Aに載置される。このとき、第1エリア951の吸着孔933a~933e,934a,934bは表示基板1Cによって完全に塞がれるが、吸着孔933f,934cは完全には塞がれない。続いて、第1吸着領域切替用弁970図10参照が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置914によって第1配管961から空気が吸引される。ここでは、自動切替機能付弁964,965直上の吸着孔933f,934cは表示基板1Cによって完全に塞がれていないので図13B参照、自動切替機能付弁964,965は閉じた状態となる。これにより、表示基板1Cで完全に塞がれた吸着孔933a~933e,934a,934bだけで当該表示基板1Cを吸着する。その結果、表示基板1Cの作業辺部短辺部および一方の長辺部が保持された状態で、当該表示基板1Cは作業ユニットの作業位置に配置される。以上の処理が完了した後、第3吸着領域切替用弁972図10参照が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置914による第3配管963から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル920による表示基板1Cの吸着が解除される。そして、吸着テーブル920は、図13Cに示すように、Y軸スライダ750図3参照によりY軸ガイド760上をY軸方向の他側から一側に向って動かされ、受け取り位置に戻る。以上説明したように、本発明の他の実施形態では、一実施形態と同様に、例えば表示基板1CSサイズの表示基板1が吸着テーブルの吸着面および吸着ビームの吸着面に配置された状態以下、配置状態というにおいて、当該表示基板1Cによってその一部が塞がれる吸着孔の直下に自動切替機能付弁を配置した。これにより、配置状態になると、表示基板1Cによってその一部が塞がれた吸着孔での吸引を自動的に停止することができる。その結果、従来のように、表示基板1Cによってその一部が塞がれた吸着孔での吸引のON/OFFを制御するための電磁弁を設ける必要がなくなる。したがって、設ける電磁弁の数を必要最低限に押さえることができ、コスト削減を図ることができる。また、本発明の他の実施形態では、一実施形態と同様に、表示基板1のサイズに関わらず、表示基板1によって完全に塞がれた吸着孔だけで当該表示基板1を吸着するようにした。これにより、表示基板を確実に保持することができる。また、本発明の他の実施形態では、吸着テーブルのX軸方向およびY軸方向それぞれの幅を、表示基板1の種類に応じて変更することができる。これにより、吸着ビームおよび吸着テーブルの吸着面を例えば3つの吸着エリア第1~第3エリア以上に分ける必要がなくなる。したがって、各吸着エリアにつき1つ設ける必要のある電磁弁の個数をさらに減らすことができ、よりコスト削減を図ることができる。以上、本発明のFPDモジュール組立装置の実施の形態について、その作用効果も含めて説明した。しかしながら、本発明のFPDモジュール組立装置は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。"