インゴットを水平に載置する切断テーブルと、プーリー間に張設され、該プーリーの回転によって周回駆動される、前記インゴットを切断するためのエンドレスベルト状のブレードと、該ブレードの周回方向に対して前記インゴットの切断位置の前後にそれぞれ配置され、前記ブレードの両側面からクーラントを噴出して前記ブレードが切断中の前記インゴットの軸方向に対して変位しないように案内する静圧パッドとを具備し、周回駆動された前記ブレードを前記静圧パッドによって案内しながら、前記ブレードを前記インゴットの上方から相対的に下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するバンドソー切断装置であって、さらに、前記静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前後方向に移動させる駆動部と、該駆動部による前記静圧パッドの移動距離及び移動速度を制御する制御部とを有し、前記静圧パッドを前記制御部で移動制御しながら前記インゴットを切断するものであることを特徴とするバンドソー切断装置。前記インゴットの切断中における前記静圧パッドの移動を、前記インゴットの側面形状に沿うように制御するものであることを特徴とする請求項1に記載のバンドソー切断装置。切断テーブルにインゴットを水平に載置し、プーリーの回転によって周回駆動される、前記インゴットを切断するためのエンドレスベルト状のブレードを前記プーリー間に張設し、前記ブレードの両側面からクーラントを噴出して前記ブレードが切断中の前記インゴットの軸方向に対して変位しないように案内する静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前記インゴットの切断位置の前後に配置し、周回駆動された前記ブレードを前記静圧パッドによって案内しながら、前記ブレードを前記インゴットの上方から相対的に下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴットの切断方法であって、前記静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前後方向に移動させながら前記インゴットを切断することを特徴とするインゴットの切断方法。前記インゴットの切断中における前記静圧パッドの移動を、前記インゴットの側面形状に沿うように行うことを特徴とする請求項3に記載のインゴットの切断方法。しかし、上記のような静圧パッドを具備したバンドソー切断装置を用いてインゴットを切断しても、切断開始から切断終了までの間にブレードの変位がずっと安定して抑制されるわけではなく、切断中にブレードの変位が大きくなって切断面に段差や欠けが発生したり、切断したウェーハに反りが発生することがある。これにより製品歩留まりやブレードの寿命が低下する問題が生じる。また、ブレードの変位が大きくなることで、切断速度を向上できないという問題もある。本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、切断中にブレードの変位を安定的に抑制でき、これにより切断されたインゴットブロックやウェーハの切断面の品質を安定して保つことができ、ブレードの寿命を延長でき、切断速度を向上できるバンドソー切断装置及びインゴットの切断方法を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明によれば、インゴットを水平に載置する切断テーブルと、プーリー間に張設され、該プーリーの回転によって周回駆動される、前記インゴットを切断するためのエンドレスベルト状のブレードと、該ブレードの周回方向に対して前記インゴットの切断位置の前後にそれぞれ配置され、前記ブレードの両側面からクーラントを噴出して前記ブレードが切断中の前記インゴットの軸方向に対して変位しないように案内する静圧パッドとを具備し、周回駆動された前記ブレードを前記静圧パッドによって案内しながら、前記ブレードを前記インゴットの上方から相対的に下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するバンドソー切断装置であって、さらに、前記静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前後方向に移動させる駆動部と、該駆動部による前記静圧パッドの移動距離及び移動速度を制御する制御部とを有し、前記静圧パッドを前記制御部で移動制御しながら前記インゴットを切断するものであることを特徴とするバンドソー切断装置が提供される。このようなバンドソー切断装置であれば、切断中にインゴットの切断部の位置に応じてそれぞれの静圧パッドとインゴットとの距離や静圧パッドの間の距離を制御できるので、ブレードの変位を安定的に抑制できるものとなる。これにより切断面の品質を安定して保つことができ、ブレードの寿命を延長でき、切断速度を向上できるものとなる。このとき、前記インゴットの切断中における前記静圧パッドの移動を、前記インゴットの側面形状に沿うように制御するものであることが好ましい。このようなものであれば、ブレードの変位をより確実に安定的に抑制できるものとなる。また、本発明によれば、切断テーブルにインゴットを水平に載置し、プーリーの回転によって周回駆動される、前記インゴットを切断するためのエンドレスベルト状のブレードを前記プーリー間に張設し、前記ブレードの両側面からクーラントを噴出して前記ブレードが切断中の前記インゴットの軸方向に対して変位しないように案内する静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前記インゴットの切断位置の前後に配置し、周回駆動された前記ブレードを前記静圧パッドによって案内しながら、前記ブレードを前記インゴットの上方から相対的に下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴットの切断方法であって、前記静圧パッドを前記ブレードの周回方向に対して前後方向に移動させながら前記インゴットを切断することを特徴とするインゴットの切断方法が提供される。このような切断方法であれば、切断中にインゴットの切断部の位置に応じてそれぞれの静圧パッドとインゴットとの距離や静圧パッドの間の距離を調整できるので、ブレードの変位を安定的に抑制できる。これにより切断面の品質を安定して保つことができ、ブレードの寿命を延長でき、切断速度を向上できる。このとき、前記インゴットの切断中における前記静圧パッドの移動を、前記インゴットの側面形状に沿うように行うことが好ましい。このようにすれば、ブレードの変位をより確実に安定的に抑制できる。本発明では、バンドソー切断装置において、静圧パッドを制御部でブレードの周回方向に対して前後方向に移動制御しながらインゴットを切断するので、切断中にインゴットの切断部の位置に応じてそれぞれの静圧パッドとインゴットとの距離や静圧パッドの間の距離を適切に制御できるので、ブレードの変位を安定的に抑制できる。これにより切断面の品質を安定して保つことができるとともに、ブレードの寿命を延長でき、切断速度を向上できる。以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。一般に、インゴットを切断するバンドソー切断装置にはブレードの変位を抑制するための静圧パッドが設けられている。しかし、このバンドソー切断装置でインゴットを切断しても、切断中にブレードの変位が大きくなってしまうことがある。これにより、切断精度及び品質の悪化、ブレード寿命の低下、切断速度を向上できないなどの問題を生じる。そのため、ブレードの変位を切断開始から切断終了までに亘って安定的に抑制することが課題となっている。そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、静圧パッドによりブレードを案内する位置を切断開始から切断終了まで固定させていることがブレードの変位を安定して抑えられない原因となることを見出した。そして、静圧パッドをブレードの周回方向に対して前後方向に移動させながら静圧パッドの位置を制御することでブレードの変位を安定的に抑制することが可能になることに想到した。そして、これを実施するための装置の構成について検討し、本発明を完成させた。まず、本発明のバンドソー切断装置について説明する。図1に示すように、本発明のバンドソー切断装置1は、インゴット4を水平に載置するための切断テーブル5、インゴット4を切断するためのエンドレスベルト状のブレード2、ブレード2を周回駆動させるためのプーリー3、3’、ブレード2が切断中のインゴット4の軸方向に対して変位しないように案内する静圧パッド6、6’等を具備している。静圧パッドの材質は、例えば、カーボン材とすることができる。ブレード2は薄いブレード台金の端部にダイヤモンドの砥粒を糊着してなるブレード砥粒部で構成されている。ここで、特に限定されることはないが、例えば、ブレード砥粒部の粒度は120番~220番とすることができ、ブレード台金の幅は60mm、厚さは0.1~0.7mmとすることができる。プーリー3、3’はその回転軸周りに回転可能に構成され、その回転軸が切断テーブル5上に水平に載置されたインゴット4の中心軸に対して垂直になるように配置される。これらプーリー3、3’間にエンドレスベルト状のブレード2がブレード砥粒部を下方に向けるようにして張設される。ブレード2はプーリー3、3’が回転することで周回駆動する。ここで、2つのプーリー3、3’のうち回転駆動可能であるプーリーをどちらか1つにして1軸駆動としても良いし、両方にして2軸駆動としても良い。またここで、特に限定されることはないが、ブレード2をプーリー3、3’間で張り上げる張力を1t以上とすることができる。このようにプーリー3、3’間での張り上げ張力を1t以上とすれば、1軸駆動の場合であっても、ブレード2の周回駆動の方向に関わらず回転中にブレード2にブレが発生するのを防ぐことができる。切断テーブル5は、インゴット4を切断する位置をブレード2の位置に合わせるように調整する移動機構を有している。静圧パッド6、6’はブレードが切断中のインゴット4の軸方向に対して変位しないように案内するものであり、一対のパッド部材で構成される。それぞれのパッド部材にはクーラントを噴出するための噴出口が設けられている。静圧パッド6、6’はこの一対のパッド部材でブレードを挟み込むように配置される。インゴットの切断中には静圧パッド6、6’の噴出口からブレードの両側面に対してクーラントが噴出され、ブレード砥粒部の目詰まりや加工熱が除去されるとともに、噴出されたクーラントの静圧によってブレード2が変位するのを抑制する。図1Bに示すように、ブレード2の変位を測定する変位センサ11を設けることができる。図1ABに示すように、静圧パッド6、6’はインゴット4とプーリー3、3’との間の位置に配置され、すなわち、ブレード2の周回方向に対してインゴット4の切断位置の前後にそれぞれ配置される。また、本発明のバンドソー切断装置には、図1Aに示すように、駆動部7、7’と制御部8とが設けられている。駆動部7、7’は、静圧パッド6、6’をブレード2の周回方向に対して前後方向に移動させるものであり、例えば、LMガイドやボールネジを用いて構成できる。制御部8は駆動部7、7’によって静圧パッド6、6’を移動する際の移動距離及び移動速度を制御するものであり、例えば、サーボモータを用いて構成できる。このような本発明のバンドソー切断装置1を用いてインゴット4を切断する際には、まず、インゴット4を切断テーブル5上に水平に載置し、ブレード2をプーリー3、3’の回転により周回駆動し、その周回駆動されたブレード2を静圧パッド6、6’によって案内しながら、ブレード2をインゴット4の上方から相対的に下方に送り出すことによってインゴット4を切断する。インゴット4の切断中には静圧パッド6、6’を駆動部7、7’によって移動させ、その移動を制御部8で制御する。すなわち、切断中の静圧パッド6、6’の位置を制御部8で制御する。このような本発明のバンドソー切断装置であれば、切断中にインゴットの切断部の位置に応じてそれぞれの静圧パッドとインゴットとの距離や静圧パッドの間の距離を調整できるので、インゴットの切断開始から切断終了に亘ってブレードの変位を安定的に抑制できるものとなる。具体的な静圧パッドの移動制御として、例えば、図2に示すように、切断の進行とともに静圧パッド6、6’をインゴット4の側面形状に沿うように移動制御することができる。ここで、図2中の9はインゴット4の側面形状、10は静圧パッド6’の移動軌跡を表す。この場合、特にインゴット4の側面と静圧パッド6、6’との距離d、d’が切断中に常に一定になるように移動制御することができる。さらに、距離dとd’が同じになるように静圧パッド6と6’とをそれぞれ移動制御すればブレードの変位をより安定的に抑制できるので好ましい。このように、切断中に静圧パッドを移動制御することで、ブレードの変位をより確実に安定的に抑制できるものとなる。或いは、切断の進行に伴って切断部のインゴット径が変化することに起因する切断抵抗の変化に応じて、静圧パッドを移動制御することもできる。例えば、切断抵抗が最も高くなるインゴットの中心部分の切断時には静圧パッド6と6’との距離d、d’を短くするなどといった制御を行うことができるし、これを前記したインゴットの側面形状に沿うように移動させる制御と組み合わせることもできる。また、ブレードのインゴットへの入り側と出る側とでd、d’の値を変えることも可能である。次に本発明のインゴットの切断方法について説明する。ここでは、図1に示す本発明のバンドソー切断装置1を用いた場合について説明する。まず、インゴット4を切断するためのエンドレスベルト状のブレード2をプーリー3、3’間に張設し、静圧パッド6、6’をブレード2の周回方向に対してインゴット4の切断位置の前後に配置する。上記したように、静圧パッド6、6’はブレード2の両側面からクーラントを噴出してブレード2が切断中のインゴット4の軸方向に対して変位しないように案内するものである。次に、インゴット4を切断テーブル5上に水平に載置し、インゴット4を切断する位置をブレード2の位置に合わせるように切断テーブル5の移動機構によりインゴット4の位置を調整する。そして、ブレード2をプーリーの回転によって周回駆動させ、この周回駆動されたブレード2を静圧パッド6、6’によって案内しながら、ブレード2をインゴット4の上方から相対的に下方に送り出す。そして、静圧パッド6、6’をブレード2の周回方向に対して前後方向に移動させながらインゴット4を切断する。このような本発明のインゴットの切断方法であれば、切断中にインゴットの切断部の位置に応じてそれぞれの静圧パッドとインゴットとの距離や静圧パッドの間の距離を調整できるので、インゴットの切断開始から切断終了に亘ってブレードの変位を安定的に抑制できる。具体的な静圧パッドの移動方法として、上記装置で説明したのと同様に、図2に示すように、静圧パッド6、6’をインゴット4の側面形状に沿うように移動させることができる。特に、インゴット4の側面と静圧パッド6、6’との距離d、d’が一定になるように移動させることができ、さらに距離dとd’とが同じになるように移動させることが好ましい。このように、静圧パッドを移動させることで、ブレードの変位をより確実に安定的に抑制できる。或いは、上記装置で説明したのと同様に、切断の進行に伴って切断部のインゴット径が変化することに起因する切断抵抗の変化に応じて、例えば静圧パッド間の距離を変更するように移動させることもできる。その他の切断条件としては従来と同様にすることができるが、例えば、ブレードを相対的に下方に送る速度切断速度を25~30mm/minとすることができる。また、クーラントを噴出する際の圧力を0.1~0.4MPa、流量を300~2000cc/minとすることができる。上記本発明のバンドソー切断装置及びインゴットの切断方法において、ブレードをインゴットの上方から相対的に下方に送り出すとは、ブレードをインゴットの上方から下方に送り出す、若しくは、インゴットをブレードの下方から上方に送り出す、或いはこれらの両方を行うことを意味する。以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。実施例図1に示すような本発明のバンドソー切断装置を用い、本発明のインゴットの切断方法に従って、直径300mmのシリコン単結晶インゴットをサンプルウェーハに切断し、切断中のブレードの変位量を測定し、切断されたウェーハの不良率、ブレードの寿命を評価した。ここで、不良率はブレードの変位が大きくなることでウェーハに基準以上の大きさのソリが発生した割合を表し、ブレードの寿命は切断した回数で表す。ここで、切断条件を以下のようにした。ブレードはブレード台金の厚さが0.5mmのものを使用した。ブレードの送り速度切断速度を27mm/minとし、クーラント噴出時の圧力を0.2MPa、その流量を2000cc/minとした。切断中には静圧パッドを、図2に示すように、インゴットの側面形状に沿うように移動させ、インゴットの側面と静圧パッドとの距離d、d’が一定30mmで、かつ距離dとd’とが同じになるようにした。その結果、実施例では切断開始から切断終了に亘ってブレードの変位量が100μm以下に抑制されていたのに対し、後述する比較例では200~300μm間で推移し安定しなかった。また、ウェーハの不良率は2と後述する比較例の10と比べ改善されていた。ブレードの寿命は約400回と後述する比較例の300回と比べ約1.3倍に改善された。また、ブレードの変位を安定して抑制できたことで、ブレードの送り速度を30mm/minまで増加させてもブレードの変位を十分安定的に抑制でき、切断速度を10程度向上できた。このように、本発明のバンドソー切断装置及びインゴットの切断方法は、切断中にブレードの変位を安定的に抑制でき、これにより切断面の品質を安定して保つことができ、ブレードの寿命を延長でき、切断速度を向上できることが確認できた。比較例図3に示すような、本発明のバンドソー切断装置の駆動部及び制御部を有していない従来のバンドソー切断装置を用い、切断中に静圧パッドを移動させずその位置を固定させた以外、実施例と同様な条件でインゴットを切断し、実施例と同様に評価した。その結果、ブレードの変位量が200~300μm間で不安定に推移し、実施例の100μm以下の結果と比べ悪化していた。また、ウェーハの不良率は10と実施例と比べ悪化していた。ブレードの寿命は300回と実施例と比べ少なかった。また、ブレードの送り速度を30mm/minとして切断したところ、ブレードが変位量が大きくなり過ぎてしまい、目的の品質のウェーハを得ることができなかった。なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。