式ICxF2x13POI式中、xは、1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11または12である、で表される化合物の製造方法であって、式IICxF2x‐13PF2II式中、xは、上に示した意味のひとつを有する、で表される化合物の、アルカリ土類金属酸化物、アルカリ土類金属炭酸塩、酸化亜鉛、酸化銅I、酸化銅II、酸化銀、酸化水銀II、酸化カドミウムまたは炭酸カドミウムとの反応による、前記方法。式中、xが2、3、4、5または6を示す式IIで表される化合物が用いられることを特徴とする、請求項1に記載の方法。アルカリ土類金属酸化物またはアルカリ土類金属炭酸塩が選択されることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。CaO、CaCO3、MgOまたはBaCO3が使用されることを特徴とする、請求項4に記載の方法。15°C~200°Cの温度で反応が起こることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載の方法。