"A重合性単量体およびB重合開始剤を含有する硬化性組成物を、200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも1回通過させる工程を有することを特徴とするインプリント用硬化性組成物の製造方法。A重合性単量体およびB重合開始剤を含有する硬化性組成物を、200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも2回通過させる工程を有することを特徴とするインプリント用硬化性組成物の製造方法。後に通過させるフィルターの方が、孔径が小さいことを特徴とする、請求項2に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が0.5MPa以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記フィルターのうち、少なくとも1種類の孔径が0.1μm以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記フィルターの孔径が、いずれも、0.1μm以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記フィルターのうち、少なくとも1種類がフッ素樹脂系フィルターまたはポリエチレン系フィルターであることを特徴とする、請求項1~6のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記フィルターのうち、少なくとも1種類が、メンブレンフィルターをプリーツ状に加工したフィルターカートリッジであることを特徴とする、請求項1~7のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記重合性単量体Aが芳香族構造および/または脂環炭化水素構造を有する重合性単量体であることを特徴とする、請求項1~8のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記インプリント用硬化性組成物が、フッ素原子とシリコン原子のうち少なくとも一方を有する重合性単量体を含有することを特徴とする、請求項1~9のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記硬化性組成物が溶剤を実質的に含まないことを特徴とする、請求項1~10のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。前記硬化性組成物の25°Cにおける粘度が5~50mPasであることを特徴とする、請求項1~11のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。請求項1~12のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法によって、インプリント用硬化性組成物を調製する工程と、該インプリント用硬化性組成物を、基材上に適用する工程と、該インプリント用硬化性組成物にモールドを圧接する工程と、光を照射する工程と、を含むパターン形成方法。前記インプリント用硬化性組成物を基材上に適用する工程がインクジェット法またはスピンコート法による、請求項13に記載のパターン形成方法。請求項1~14のいずれか1項に記載の方法を用いて製造される、インプリント用硬化性組成物。200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを有する、インプリント用硬化性組成物の製造装置。A重合性単量体およびB重合開始剤を含有するインプリント用硬化性組成物を、200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも1回通過させる手段を有することを特徴とする、請求項16に記載のインプリント用硬化性組成物の製造装置。ここで、インプリント用硬化性組成物を用いたパターン形成の際、モールド剥離時にパターンの一部が剥がれるという問題が生じていた。また、インクジェット法を用いた硬化性組成物の基板への適用の際に目詰まりによる吐出不良抑制を生じたり、ろ過後に長時間保存することで組成物の液中にパーティクルが発生したりすることも問題であった。本願発明は、かかる課題を解決するものであって、モールド剥離が抑制されたインプリント用硬化性組成物を提供することを目的とする。上記課題のもと、本発明者らはインプリント用硬化性組成物を用いたパターン形成性に関して検討を行ない、インプリント用硬化性組成物を有効濾過面積が200cm2以上であるフィルターを通過させることで、パターン形成の際にモールド剥離時のパターン剥がれが抑制されることを見出した。その理由は必ずしも明らかではないが、以下のように考えることができる。すなわち、インプリント用硬化性組成物中に重合性を有しないポリマー不純物が異物として含まれる場合、インプリント用硬化性組成物の膜中あるいは液滴中において該不純物が占める領域が硬化反応を生じず、パターン強度の低下および基板に対する密着性の低下を引き起こす原因となりうる。ここで、インプリント用硬化性組成物を小さい印加圧力で有効濾過面積が小さいフィルターを通過させた場合は容器に対する印加圧力の変動や容器内組成物量の変動に伴いフィルターにかかる圧力が変動することによって流速が変化した際に異物の一部がフィルターを透過してしまう一方、有効濾過面積を増大することで流速を増大させた際にも異物の透過が抑制され、上記パターン剥がれを抑制していると考えられる。また、フィルターを透過した異物がインプリント用硬化性組成物の液中に存在することでインクジェット法によるインプリント用硬化性組成物の基板への適用の際の目詰まりによる吐出不良抑制や経時によるパーティクル発生の核になると考えられるが、本発明の製造方法を用いることで同時にこれらの不良をも抑制することができることがわかった。具体的には、下記手段により、上記課題を解決しうることを見出すに至った。1A重合性単量体およびB重合開始剤を含有する硬化性組成物を、200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも1回通過させる工程を有することを特徴とするインプリント用硬化性組成物の製造方法。2A重合性単量体およびB重合開始剤を含有する硬化性組成物を、200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも2回通過させる工程を有することを特徴とするインプリント用硬化性組成物の製造方法。3後に通過させるフィルターの方が、孔径が小さいことを特徴とする、2に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。4前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が0.5MPa以下である、1~3のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。5前記フィルターのうち、少なくとも1種類の孔径が0.1μm以下である、1~4のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。6前記フィルターの孔径が、いずれも、0.1μm以下である、1~4のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。7前記フィルターのうち、少なくとも1種類がフッ素樹脂系フィルターまたはポリエチレン系フィルターであることを特徴とする、1~6のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。8前記フィルターのうち、少なくとも1種類が、メンブレンフィルターをプリーツ状に加工したフィルターカートリッジであることを特徴とする、1~7のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。9前記重合性単量体Aが芳香族構造および/または脂環炭化水素構造を有する重合性単量体であることを特徴とする、1~8のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。10前記インプリント用硬化性組成物が、フッ素原子とシリコン原子のうち少なくとも一方を有する重合性単量体を含有することを特徴とする、1~9のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。11前記硬化性組成物が溶剤を実質的に含まないことを特徴とする、1~10のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。12前記硬化性組成物の25°Cにおける粘度が5~50mPasであることを特徴とする、1~11のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。131~12のいずれか1項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法によって、インプリント用硬化性組成物を調製する工程と、該インプリント用硬化性組成物を、基材上に適用する工程と、該インプリント用硬化性組成物にモールドを圧接する工程と、光を照射する工程と、を含むパターン形成方法。14前記インプリント用硬化性組成物を基材上に適用する工程がインクジェット法またはスピンコート法による、13に記載のパターン形成方法。151~14のいずれか1項に記載の方法を用いて製造される、インプリント用硬化性組成物。16200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを有する、インプリント用硬化性組成物の製造装置。17A重合性単量体およびB重合開始剤を含有するインプリント用硬化性組成物を、200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも1回通過させる手段を有することを特徴とする、16に記載のインプリント用硬化性組成物の製造装置。本発明の製造方法を用いれば、良好なパターンを形成することができる。特に超微細パターン形成時において、パターンの形成性を向上させることが可能になった。以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において~とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。なお、本明細書中において、メタアクリレートはアクリレートおよびメタクリレートを表し、メタアクリルはアクリルおよびメタクリルを表し、メタアクリロイルはアクリロイルおよびメタクリロイルを表す。また、本明細書中において、単量体とモノマーとは同義である。本発明における単量体は、オリゴマーおよびポリマーと区別され、重量平均分子量が1,000以下の化合物をいう。本明細書中において、官能基は重合反応に関与する基をいう。また、本発明でいうインプリントは、好ましくは、1nm~10mmのサイズのパターン転写をいい、より好ましくは、およそ10nm~100μmのサイズナノインプリントのパターン転写をいう。尚、本明細書における基原子団の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、アルキル基とは、置換基を有さないアルキル基無置換アルキル基のみならず、置換基を有するアルキル基置換アルキル基をも包含するものである。本発明のインプリント用硬化性組成物の製造方法は、A重合性単量体およびB重合開始剤を含有する硬化性組成物を、200cm2以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも1回通過させる工程を有することを特徴とする。本発明における有効濾過面積とは、濾過工程において、フィルター接液部分のうちフィルターを透過しない粒子が堆積する部分の面積を示し、通常は、濾過フィルターの表面積である。本発明の製造方法では、フィルターを2回以上通過させることが好ましく、2回~10回がより好ましい。フィルターを2回以上通過させる場合、それぞれのフィルターは同じであってもよいし、異なっていても良い。フィルターを2回以上通過させることにより、異物を効率的に除去できる。インプリント用硬化性組成物をフィルターに複数回通過させる手段としては、特に限定されないが、好ましい例としてフィルターを含む装置内で組成物を循環させる方式、直列に接続した複数のフィルターを各々1回以上通過させる方式、濾過工程後に同一のまたは異なるフィルターを用いて再度ろ過を行なう方式およびそれらの組み合わせによる方式が挙げられる。フィルターの有効濾過面積は、300cm2以上が好ましく、500cm2以上がより好ましく、1000cm2以上がさらに好ましい。2回以上フィルターを通過させる場合、後に通過させるフィルターの方が、孔径が小さいことが好ましい。このような構成とすることにより、パターン剥がれがより効果的に抑制される傾向にある。フィルターを通過させる工程における印加圧力は、ろ過の際の圧力印加は、フィルターろ過装置の材質や硬化性組成物の化学構造などにより変化しうるが、0.5MPa以下であることが好ましい。このような範囲とすることにより、不純物によって、パーティクルがフィルターを透過してしまうのをより効果的に抑止できる。印加圧力は、より好ましくは、0.05MPa~0.3MPaであり、さらに好ましくは、0.05MPa~0.1MPaである。本発明では、インプリント用硬化性組成物の平均流量が、毎分0.1L以上であることが好ましく、毎分0.1L~3.0Lであることがより好ましい。本発明で用いるフィルターのうち、少なくとも1種類の孔径が0.1μm以下であることが好ましく、いずれのフィルターも、0.1μm以下であることがより好ましい。孔径は、0.05μm以下であることがより好ましく、0.005~0.05μmであることがさらに好ましい。前記孔径のフィルターを通過させることでサブミクロンサイズの微細粒子や異物を除去することができ、インクジェット法による硬化性組成物の基板への適用の際に目詰まりによる吐出不良を抑制することができる。本発明で用いるフィルターの材質は、特に定めるものではないが、少なくとも1種類が、ポリプロピレン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ナイロン系樹脂などのものが好ましく使用できる。特に、少なくとも1種類が、フッ素樹脂系フィルターまたはポリエチレン系フィルターが異物除去およびフィルターの経時安定性の観点から好ましい。本発明で用いるフィルターは、少なくとも1種類が、メンブレンフィルターをプリーツ状に加工したフィルターカートリッジであることが好ましい。プリーツ状に加工したフィルターカートリッジは有効濾過面積を大きく製造することができるという点でメリットがある。本発明のインプリント用硬化性組成物の製造装置は、上記フィルターを含んでいる限り、特に定めるものではなく、他の部分は公知の技術を採用できる。具体的には、例えば特許第4323074号公報などに記載の技術を参酌できる。本発明における用硬化性組成物はA重合性単量体およびB重合開始剤を含有することを特徴とする。A重合性単量体としては重合性基を有する単量体、重合性基を有するオリゴマーおよび重合性基を有するポリマー、ならびにそれらの混合物が挙げられる。本発明に用いるインプリント用硬化性組成物に用いられる重合性単量体の種類は本発明の趣旨を逸脱しない限り特に定めるものではないが、例えば、エチレン性不飽和結合含有基を1個以上有する重合性不飽和単量体;エポキシ化合物、オキセタン化合物;ビニルエーテル化合物;スチレン誘導体;フッ素原子を有する化合物;プロペニルエーテルまたはブテニルエーテル等を挙げることができる。前記エチレン性不飽和結合含有基を1個以上有する重合性不飽和単量体について説明する。まず、エチレン性不飽和結合含有基を1つ有する重合性不飽和単量体としては具体的に、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、ブチルメタアクリレート、N-ビニルピロリジノン、2-アクリロイロキシエチルフタレート、2-アクリロイロキシ2-ヒドロキシエチルフタレート、2-アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタレート、2-アクリロイロキシプロピルフタレート、2-エチル-2-ブチルプロパンジオールアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、2-エチルヘキシルカルビトールメタアクリレート、2-ヒドロキシブチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、4-ヒドロキシブチルメタアクリレート、アクリル酸ダイマー、ベンジルメタアクリレート、1-または2-ナフチルメタアクリレート、ブトキシエチルメタアクリレート、セチルメタアクリレート、エチレンオキシド変性以下EOという。クレゾールメタアクリレート、ジプロピレングリコールメタアクリレート、エトキシ化フェニルメタアクリレート、イソオクチルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、イソボルニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチルメタアクリレート、イソミリスチルメタアクリレート、ラウリルメタアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタアクリレート、メトキシトリプロピレングリコールメタアクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタアクリレート、ネオペンチルグリコールベンゾエートアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、オクチルアクリレート、パラクミルフェノキシエチレングリコールアクリレート、エピクロロヒドリン以下ECHという変性フェノキシアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコールアクリレート、フェノキシテトラエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコール-ポリプロピレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールアクリレート、ステアリルアクリレート、EO変性コハク酸アクリレート、トリブロモフェニルアクリレート、EO変性トリブロモフェニルアクリレート、トリドデシルアクリレート、p-イソプロペニルフェノール、N-ビニルピロリドン、N-ビニルカプロラクタムが例示される。前記エチレン性不飽和結合を含有する単官能の重合性単量体の中でも、本発明では単官能メタアクリレート化合物を用いることが、光硬化性の観点から好ましい。単官能メタアクリレート化合物としては、前記エチレン性不飽和結合を含有する単官能の重合性単量体で例示した中における、単官能メタアクリレート化合物類を例示することができる。さらに前記単官能メタアクリレート化合物の中でも、芳香族構造および/または脂環式炭化水素構造を有する単官能メタアクリレートがドライエッチング耐性の観点で好ましく、芳香族構造を有する単官能メタアクリレートがさらに好ましい。このような芳香族構造および/または脂環式炭化水素構造を有する単官能メタアクリレートの中でも、ベンジルメタアクリレート、芳香環上に置換基を有するベンジルメタアクリレート好ましい置換基としては炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、シアノ基、1-または2-ナフチルメタアクリレート、1-または2-ナフチルメチルメタアクリレート、1-または2-ナフチルエチルメタアクリレート、ジシクロペンタニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチルメタアクリレート、イソボロニルメタアクリレート、アダマンチルメタアクリレートが好ましく、ベンジルメタアクリレート、芳香環上に置換基を有するベンジルメタアクリレート、ナフタレン構造を有する単官能メタアクリレート化合物がより好ましく、1-または2-ナフチルメタアクリレート、1-または2-ナフチルメチルメタアクリレートが特に好ましい。本発明では、重合性単量体として、エチレン性不飽和結合含有基を2つ以上有する多官能重合性不飽和単量体を用いることも好ましい。本発明で好ましく用いることのできるエチレン性不飽和結合含有基を2つ有する2官能重合性不飽和単量体の例としては、ジエチレングリコールモノエチルエーテルメタアクリレート、ジメチロールジシクロペンタンジメタアクリレート、ジメタアクリル化イソシアヌレート、1,3-ブチレングリコールジメタアクリレート、1,4-ブタンジオールジメタアクリレート、EO変性1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、ECH変性1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、アリロキシポリエチレングリコールアクリレート、1,9-ノナンジオールジメタアクリレート、EO変性ビスフェノールAジメタアクリレート、PO変性ビスフェノールAジメタアクリレート、変性ビスフェノールAジメタアクリレート、EO変性ビスフェノールFジメタアクリレート、ECH変性ヘキサヒドロフタル酸ジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、EO変性ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレンオキシド以後POという。変性ネオペンチルグリコールジアクリレート、カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコール、ステアリン酸変性ペンタエリスリトールジメタアクリレート、ECH変性フタル酸ジメタアクリレート、ポリエチレングリコール-テトラメチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコール-テトラメチレングリコールジメタアクリレート、ポリエステルジアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、ECH変性プロピレングリコールジメタアクリレート、シリコーンジメタアクリレート、トリエチレングリコールジメタアクリレート、テトラエチレングリコールジメタアクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジメタアクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、EO変性トリプロピレングリコールジメタアクリレート、トリグリセロールジメタアクリレート、ジプロピレングリコールジメタアクリレート、ジビニルエチレン尿素、ジビニルプロピレン尿素、o-,m-,p-キシリレンジメタアクリレート、1,3-アダマンタンジアクリレートノルボルナンジメタノールジアクリレートが例示される。これらの中で特に、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、1,9-ノナンジオールジメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、テトラエチレングリコールジメタアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、o-,m-,p-ベンゼンジメタアクリレート、o-,m-,p-キシリレンジメタアクリレート、等の2官能メタアクリレートが本発明に好適に用いられる。エチレン性不飽和結合含有基を3つ以上有する多官能重合性不飽和単量体の例としては、ECH変性グリセロールトリメタアクリレート、EO変性グリセロールトリメタアクリレート、PO変性グリセロールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、EO変性リン酸トリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリメタアクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリメタアクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリメタアクリレート、トリスアクリロキシエチルイソシアヌレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヒドロキシペンタメタアクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールポリメタアクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラメタアクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート等が挙げられる。これらの中で特に、EO変性グリセロールトリメタアクリレート、PO変性グリセロールトリメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリメタアクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート等の3官能以上の官能メタアクリレートが本発明に好適に用いられる。前記エチレン性不飽和結合を2つ以上有する多官能の重合性不飽和単量体の中でも、本発明では多官能メタアクリレートを用いることが、光硬化性の観点から好ましい。なお、ここでいう多官能メタアクリレートとは、前記2官能メタアクリレートおよび前記3官能以上の官能メタアクリレートを総称するもののことである。多官能メタアクリレートの具体例としては、前記エチレン性不飽和結合を2つ有する多官能重合性不飽和単量体で例示した中、および、前記エチレン性不飽和結合を3つ以上有する多官能重合性不飽和単量体で例示した中における、各種多官能メタアクリレートを例示することができる。前記オキシラン環を有する化合物エポキシ化合物としては、例えば、多塩基酸のポリグリシジルエステル類、多価アルコールのポリグリシジルエーテル類、ポリオキシアルキレングリコールのポリグリシジルエーテル類、芳香族ポリオールのポリグリシジルエテーテル類、芳香族ポリオールのポリグリシジルエーテル類の水素添加化合物類、ウレタンポリエポキシ化合物およびエポキシ化ポリブタジエン類等を挙げることができる。これらの化合物は、その一種を単独で使用することもできるし、また、その二種以上を混合して使用することもできる。本発明に好ましく使用することのできる前記オキシラン環を有する化合物エポキシ化合物としては、特開2009-73078号公報の段落番号0053に記載のものを好ましく採用することができる。特に、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールFジグリシジルエーテル、14-ブタンジオールジグリシジルエーテル、16-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテルが好ましい。グリシジル基含有化合物として好適に使用できる市販品としては、特開2009-73078号公報の段落番号0055に記載のものを好ましく採用することができる。これらは、1種単独で、または2種以上組み合わせて用いることができる。また、これらのオキシラン環を有する化合物はその製法は問わないが、例えば、丸善KK出版、第四版実験化学講座20有機合成II、213~、平成4年、EdbyAlfredHasfnerThechemistryofheterocycliccompounds-SmallRingHeterocyclespart3OxiranesJohnWileyandSonsAnIntersciencePublicationNewYork1985、吉村、接着、29巻12号、32、1985、吉村、接着、30巻5号、42、1986、吉村、接着、30巻7号、42、1986、特開平11-100378号公報、特許第2906245号公報、特許第2926262号公報などの文献を参考にして合成できる。本発明で用いることができる重合性単量体として、ビニルエーテル化合物を併用してもよい。ビニルエーテル化合物は公知のものを適宜選択することができ、例えば、特開2009-73078号公報の段落番号0057に記載のものを好ましく採用することができる。これらのビニルエーテル化合物は、例えば、StephenCLapinPolymersPaintColourJournal179、321に記載されている方法、即ち多価アルコールもしくは多価フェノールとアセチレンとの反応、または多価アルコールもしくは多価フェノールとハロゲン化アルキルビニルエーテルとの反応により合成することができ、これらは1種単独あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。また、本発明で用いることができる重合性単量体としては、スチレン誘導体も採用できる。スチレン誘導体としては、例えば、スチレン、p-メチルスチレン、p-メトキシスチレン、β-メチルスチレン、p-メチル-β-メチルスチレン、α-メチルスチレン、p-メトキシ-β-メチルスチレン、p-ヒドロキシスチレン、等を挙げることができる。本発明における用硬化性組成物では、ドライエッチング耐性、インプリント適性、硬化性等の調製の観点から、インプリント用硬化性組成物が前記重合性単量体よりもさらに分子量の大きい重合性オリゴマーおよび/または重合性ポリマーをA重合性単量体として含有することも好ましい。前記重合性オリゴマーとしてはポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアクリレート、エポキシアクリレート等の各種アクリレートオリゴマーが挙げられる。オリゴマー成分の添加量としては、0~30質量が好ましく、より好ましくは0~20質量、さらに好ましくは0~10質量、最も好ましくは0~5質量である。前記ポリマー成分としては側鎖に重合性官能基を有するポリマーが好ましい。前記ポリマー成分の重量平均分子量としては、重合性単量体との相溶性の観点から、2000~100000が好ましく、5000~50000がさらに好ましい。ポリマー成分の添加量としては組成物の溶剤を除く成分に対し、0~30質量が好ましく、より好ましくは0~20質量、さらに好ましくは0~10質量、最も好ましくは2質量以下である。本発明における用硬化性組成物において溶剤を除く成分中、分子量2000以上のポリマー成分の含有量が30質量以下であると、パターン形成性が向上する。本発明の硬化性組成物はフッ素原子とシリコン原子のうち少なくとも一方を有する重合性単量体を含有することが好ましい。本発明におけるフッ素原子とシリコン原子のうち少なくとも一方を有する重合性単量体は、フッ素原子、シリコン原子、または、フッ素原子とシリコン原子の両方を有する基を少なくとも1つと、重合性官能基を少なくとも1つ有する化合物である。重合性官能基としてはメタアクリロイル基、エポキシ基が好ましい。本発明における用硬化性組成物中におけるフッ素原子とシリコン原子のうち少なくとも一方を有する重合性単量体の含有量は、特に制限はないが、硬化性向上の観点や、組成物の低粘度化の観点から、全重合性単量体中、0.1~20質量が好ましく、0.2~15質量がより好ましく、0.5~10質量がさらに好ましく、0.5~5質量が特に好ましい。1フッ素原子を有する重合性単量体フッ素原子を有する重合性単量体が有するフッ素原子を有する基としては、フロロアルキル基およびフロロアルキルエーテル基から選ばれる含フッ素基が好ましい。前記フロロアルキル基としては、炭素数が2~20のフロロアルキル基が好ましく、4~8のフロロアルキル基より好ましい。好ましいフロロアルキル基としては、トリフロロメチル基、ペンタフロロエチル基、ヘプタフロロプロピル基、ヘキサフロロイソプロピル基、ノナフロロブチル基、トリデカフロロヘキシル基、ヘプタデカフロロオクチル基が挙げられる。本発明では、フッ素原子を有する重合性単量体が、トリフロロメチル基構造を有する重合性単量体であることが好ましい。トリフロロメチル基構造を有することで、少ない添加量例えば、10質量以下でも本発明の効果が発現するため、他の成分との相溶性が向上し、ドライエッチング後のラインエッジラフネスが向上する上、繰り返しパターン形成性が向上する。前記フロロアルキルエーテル基としては、前記フロロアルキル基の場合と同様に、トリフロロメチル基を有しているものが好ましく、パーフロロエチレンオキシ基、パーフロロプロピレンオキシ基を含有するものが好ましい。-CFCF3CF2O-などのトリフロロメチル基を有するフロロアルキルエーテルユニットおよび/またはフロロアルキルエーテル基の末端にトリフロロメチル基を有するものが好ましい。前記フッ素原子を有する重合性単量体が有する全フッ素原子の数は、1分子当たり、6~60個が好ましく、より好ましくは9~40個、さらに好ましくは12~40個、特に好ましくは12~20個である。前記フッ素原子を有する重合性単量体は、下記に定義するフッ素含有率が20~60のフッ素原子を有することが好ましく、30~60であることが好ましく、さらに好ましくは35~60である。フッ素含有率を適性範囲とすることで他成分との相溶性に優れ、モールド汚れを低減でき且つ、ドライエッチング後のラインエッジラフネスが向上する上、繰り返しパターン形成性が向上する。本明細書中において、前記フッ素含有率は下記式で表される。前記フッ素原子を有する重合性単量体のフッ素原子を有する基の好ましい一例として、下記一般式Iで表される部分構造を有する化合物が挙げられる。このような部分構造を有する化合物を採用することにより、繰り返しパターン転写を行ってもパターン形成性に優れ、かつ、組成物の経時安定性が良好となる。一般式I一般式I中、nは1~8の整数を表し、好ましくは4~6の整数である。前記フッ素原子を有する重合性単量体の好ましい他の一例として、下記一般式IIで表される部分構造を有する化合物が挙げられる。もちろん、一般式Iで表される部分構造と、一般式IIで表される部分構造の両方を有していてもよい。一般式II一般式II中、L1は単結合または炭素数1~8のアルキレン基を表し、L2は炭素数1~8のアルキレン基を表し、m1およびm2はそれぞれ、0または1を表し、m1およびm2の少なくとも一方は1である。m3は1~3の整数を表し、pは1~8の整数を表し、m3が2以上のとき、それぞれの、-CpF2p1は同一であってもよいし異なっていてもよい。前記L1およびL2は、それぞれ、炭素数1~4のアルキレン基であることが好ましい。また、前記アルキレン基は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において置換基を有していてもよい。前記m3は、好ましくは1または2である。前記pは4~6の整数が好ましい。前記フッ素原子を有する重合性単量体としては、トリフルオロエチルアクリレート、ペンタフルオロエチルアクリレート、パーフルオロブチルエチルアクリレート、パーフルオロブチル-ヒドロキシプロピルアクリレート、パーフルオロヘキシルエチルアクリレート、オクタフルオロペンチルアクリレート、パーフルオロオクチルエチルアクリレート、テトラフルオロプロピルメタアクリレート、ヘキサフルオロプロピルメタアクリレート等のフッ素原子を有する単官能重合性単量体が挙げられる。また、前記フッ素原子を有する重合性単量体としては、2,2,3,3,4,4-ヘキサフロロペンタンジメタアクリレート、2,2,3,3,4,4,5,5-オクタフロロヘキサンジメタアクリレートなどのフロロアルキレン基を有するジメタアクリレートを有する2以上の重合性官能基を有する多官能重合性単量体も好ましい例として挙げられる。また、含フッ素基、例えばフロロアルキル基、フロロアルキルエーテル基を1分子中に2つ以上有する化合物も好ましく用いることができる。好ましくは、フロロアルキル基およびフロロアルキルエーテル基から選ばれる含フッ素基を少なくとも2つ含有し、かつ、該含フッ素基の少なくとも2つは、炭素数2以上の連結基により隔てられている化合物である。フロロアルキル基としては、炭素数が2以上のフロロアルキル基であることが好ましく、4以上のフロロアルキル基であることがより好ましく、上限値としては特に定めるものではないが、20以下が好ましく、8以下がより好ましく、6以下がさらに好ましい。最も好ましくは炭素数4~6のフロロアルキル基である。また、フロロアルキル基の少なくとも2つは、トリフロロメチル基構造を含有することが好ましい。トリフロロメチル基構造を複数有することで、少ない添加量例えば、10質量以下でも本願発明の効果が発現するため、他の成分との相溶性が向上し、ドライエッチング後のラインエッジラフネスが向上する。同様の観点から、フッ素原子を有する重合性単量体中にトリフロロメチル基構造を3つ以上含有する化合物も好ましい。より好ましくはトリフロロメチル基構造を3~9個、さらに好ましくは4~6個含有する化合物である。トリフロロメチル基構造を3つ以上含有する化合物としては1つの含フッ素基に2つ以上のトリフロロメチル基を有する分岐のフロロアルキル基、例えば-CHCF32基、-CCF33、-CCH3CF32CH3基などのフロロアルキル基を有する化合物が好ましい。フロロアルキルエーテル基としては、トリフロロメチル基を有しているものが好ましく、パーフロロエチレンオキシ基、パーフロロプロピレンオキシ基を含有するものが好ましい。-CFCF3CF2O-などのトリフロロメチル基を有するフロロアルキルエーテルユニットおよび/またはフロロアルキルエーテル基の末端にトリフロロメチル基を有するものが好ましい。フッ素原子を有する重合性単量体が有する含フッ素基のうち少なくとも2つは炭素数2以上の連結基により隔てられていることが好ましい。すなわち、A重合性単量体が含フッ素基を2つ有する場合は、その2つの含フッ素基は炭素数2以上の連結基で隔てられている。A重合性単量体が含フッ素基を3つ以上有する場合は、このうち少なくとも2つが炭素数2以上の連結基で隔てられており、残りの含フッ素基はどのような結合形態を有していても良い。炭素数2以上の連結基はフッ素原子で置換されていない炭素原子を少なくとも2つ有する連結基である。炭素数2以上の連結基中に含まれる官能基としては、アルキレン基、エステル基、スルフィド基、アリーレン基、アミド基およびウレタン基の少なくとも1つを含有する基が例示され、少なくとも、エステル基および/またはスルフィド基を有することがより好ましい。炭素数2以上の連結基は、アルキレン基、エステル基、スルフィド基、アリーレン基、アミド基、ウレタン基およびこれらの組み合わせから選ばれる基が好ましい。これらの基は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、置換基を有していても良い。フッ素原子を有する重合性単量体の好ましい一例として、一般式A1で表される化合物が挙げられる。一般式A1中、Rfはフロロアルキル基およびフロロアルキルエーテル基から選ばれる含フッ素基を有する官能基を表し、A1は連結基を表す。Yは重合性官能基を表し、好ましくはメタアクリルエステル基、エポキシ基、ビニルエーテル基を表す。xは1~4の整数を表し、好ましくは1または2である。xが2以上の場合、それぞれのYは同一であってもよいし、異なっていてもよい。A1は好ましくはアルキレン基および/またはアリーレン基を有する連結基であり、さらにヘテロ原子を含む連結基を含有していても良い。ヘテロ原子を有する連結基としては-O-、-C=OO-、-S-、-C=O-、-NH-が挙げられる。これらの基は本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において置換基を有していても良いが、有していない方が好ましい。A1は、炭素数2~50であることが好ましく、炭素数4~15であることがより好ましい。フッ素原子を有する重合性単量体として好ましくは下記一般式IIIで表される重合性単量体である。一般式III中、R1は水素原子、アルキル基、ハロゲン原子またはシアノ基を表し、Aはa1a2価の連結基を表し、a1は1~6の整数を表す。a2は2~6の整数を表し、R2およびR3はそれぞれ炭素数1~8のアルキレン基を表す。m1およびm2はそれぞれ、0または1を表し、m1およびm2の少なくとも一方は1である。m3は1~3の整数を表す。m4およびm5は、それぞれ、0または1を表し、m4およびm5の少なくとも一方は1であり、m1およびm2の両方が1のとき、m4は1である。nは1~8の整数を表す。R1は、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子またはシアノ基を表し、水素原子またはアルキル基が好ましく、水素原子またはメチル基がより好ましく、水素原子であることがさらに好ましい。Aはa1a2価の連結基であり、好ましくはアルキレン基および/またはアリーレン基を有する連結基であり、さらにヘテロ原子を含む連結基を含有していても良い。ヘテロ原子を有する連結基としては-O-、-C=OO-、-S-、-C=O-、-NH-が挙げられる。これらの基は本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において置換基を有していても良いが、有していない方が好ましい。Aは、炭素数2~50であることが好ましく、炭素数4~15であることがより好ましい。R2、R3、m1、m2、m3およびnは、一般式IIと同義であり、好ましい範囲も同義である。a1は1~6の整数であり、好ましくは1~3、さらに好ましくは1または2である。a2は2~6の整数であり、好ましくは2または3、さらに好ましくは2である。a1が2以上のとき、それぞれのAは同一であってもよいし、異なっていても良い。a2が2以上のとき、それぞれのR2、R3、m1、m2、m3、m4、m5およびnは同一であっても良いし、異なっていても良い。本発明で用いるフッ素原子を有する重合性単量体の分子量は、好ましくは500~2000である。また、本発明で用いるA重合性単量体の粘度は、好ましくは600~1500であり、より好ましくは600~1200である。以下に、本発明のインプリント用硬化性組成物で用いられるA重合性単量体の具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記式中におけるR1はそれぞれ、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子およびシアノ基のいずれかである。2シリコン原子を有する重合性単量体前記シリコン原子を有する重合性単量体が有する含シリコン官能基としては、トリアルキルシリル基、鎖状シロキサン構造、環状シロキサン構造、籠状シロキサン構造などが挙げられ、他の成分との相溶性、モールド剥離性の観点から、トリメチルシリル基またはジメチルシロキサン構造を有する官能基が好ましい。シリコン原子を有する重合性単量体としては3-トリストリメチルシリルオキシシリルプロピルメタアクリレート、トリメチルシリルエチルメタアクリレート、メタアクリロキシメチルビストリメチルシロキシメチルシラン、メタアクリロキシメチルトリストリメチルシロキシシラン、3-メタアクリロキシプロピルビストリメチルシロキシメチルシラン、メタアクリロイル基を末端あるいは側鎖に有するポリシロキサン例えば信越化学工業社製X-22-164シリーズ、X-22-174DX、X-22-2426、X-22-2475などが挙げられる。これらのほか、本発明で用いることができる重合性単量体としては、プロペニルエーテルおよびブテニルエーテルを用いることもできる。前記プロペニルエーテルまたはブテニルエーテルとしては、例えば1-ドデシル-1-プロペニルエーテル、1-ドデシル-1-ブテニルエーテル、1-ブテノキシメチル-2-ノルボルネン、1-4-ジ1-ブテノキシブタン、1,10-ジ1-ブテノキシデカン、1,4-ジ1-ブテノキシメチルシクロヘキサン、ジエチレングリコールジ1-ブテニルエーテル、1,2,3-トリ1-ブテノキシプロパン、プロペニルエーテルプロピレンカーボネート等が挙げられる。また、本発明で用いる重合性単量体として、下記一般式で表される重合性単量体群も例示される。一般式中、Zは芳香族基を含有する分子量100以上の基を表し、R1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表す。但し、重合性単量体Axが25°Cにおいて液体であるとき、25°Cにおける粘度が500mPas以下である。R1は、好ましくは、水素原子またはアルキル基であり、水素原子またはメチル基が好ましく、硬化性の観点から、水素原子がさらに好ましい。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が例示され、フッ素原子が好ましい。Zは、好ましくは置換基を有していても良いアラルキル基、置換基を有していても良いアリール基、または、これらの基が連結基を介して結合した基である。ここでいう連結基は、ヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよく、好ましくは、-CH2-、-O-、-C=O-、-S-およびこれらの組み合わせからなる基である。Zに含まれる芳香族基としてはフェニル基が好ましく、フェニル基のみが含まれていることが好ましい。多環芳香族基、ヘテロ芳香族基に比べフェニル基のみの方が粘度が低くパターン形成性が良好で、且つパーティクル欠陥を抑制できる。Zの分子量としては100~300であることが好ましく、より好ましくは120~250である。重合性単量体に含まれる重合性基の数と芳香族基の数は重合性基の数≦芳香族基の数であることが粘度、ドライエッチング耐性の点から好ましい。この際、ナフタレンなどの縮合芳香環は1つの芳香族基として数え、ビフェニルのような2つの芳香環が結合を解して連結している場合、2つの芳香族基として数える。重合性単量体が25°Cにおいて液体であるときの25°Cにおける粘度としては2~500mPasが好ましく、3~200mPasがより好ましく、3~100mPasが最も好ましい。重合性単量体は25°Cにおいて液体であるか、固体であっても融点が60°C以下であることが好ましく、25°Cにおいて液体であることがより好ましい。Zは-Z1-Z2で表される基であることが好ましい。ここで、Z1は、単結合または炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Z2は、置換基を有していてもよい芳香族基であり、分子量90以上である。Z1は、好ましくは、単結合またはアルキレン基であり、該アルキレン基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Z1は、より好ましくは、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含まないアルキレン基であり、さらに好ましくはメチレン基、エチレン基である。ヘテロ原子を含む連結基としては-O-、-C=O-、-S-およびこれらとアルキレン基の組み合わせからなる基などが挙げられる。また、炭化水素基の炭素数は1~3であることが好ましい。Z2は、分子量が15以上の置換基を有する芳香族基であることが好ましい。Z2に含まれる芳香族基の一例として、フェニル基及びナフチル基が挙げられ、分子量が15以上の置換基を有するフェニル基がより好ましい例として挙げられる。Z2は、単環の芳香族基から形成される方が好ましい。Z2は、2つ以上の芳香族基が、直接にまたは連結基を介して連結した基であることも好ましい。この場合の連結基も、好ましくは、-CH2-、-O-、-C=O-、-S-およびこれらの組み合わせからなる基である。芳香族基が有していても良い置換基としては、置換基の例としては例えばハロゲン原子フッ素原子、クロロ原子、臭素原子、ヨウ素原子、直鎖、分岐または環状のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、シアノ基、カルボキシル基、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、アミノ基、ニトロ基、ヒドラジノ基、ヘテロ環基などが挙げられる。又、これらの基によってさらに置換されている基も好ましい。本発明における重合性単量体は25°Cにおいて液体であることが好ましく、重合性単量体は25°Cにおいて液体である時、25°Cにおける粘度が500mPas以下である。より好ましくは25°Cにおける粘度が300mPas以下であり、更に好ましくは200mPas以下であり、最も好ましくは100mPas以下である。一般式で表される化合物の光硬化性組成物中における添加量は、10~100質量であることが好ましく、20~100質量であることがより好ましく、30~80質量であることが特に好ましい。一般式で表される化合物は、下記一般式IIで表される化合物であることが好ましい。一般式II中、R1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表し、X1は単結合または炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Y1は分子量15以上の置換基を表し、n1は0~3の整数を表す。但し、n1が0のときは、X1は炭素数2以上の炭化水素基である。Arは、芳香族基、または芳香族連結基を表し、フェニル基またはフェニレン基が好ましい。R1は、上記一般式のR1と同義であり、好ましい範囲も同義である。X1は、上記Z1と同義であり、好ましい範囲も同義である。Y1は、分子量15以上の置換基であり、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ハロゲン原子などが挙げられる。これら置換基は更なる置換基を有していても良い。n1が0のときは、X1は炭素数2または3のアルキレン基であることが好ましく、n1が2のときは、X1は単結合または炭素数1の炭化水素基であることが好ましい。特に、好ましい様態としてはn1が1で、X1は炭素数1~3のアルキレン基である。一般式IIで表される化合物は、さらに好ましくは、下記一般式IIIで表される化合物である。一般式III中、R1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表す。X1は単結合または炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Y1は分子量15以上の置換基を表し、n1は0~3の整数を表す。但し、n1が0のときは、X1は炭素数2以上の炭化水素基である。R1は、上記一般式のR1と同義であり、好ましい範囲も同義である。X1は、上記Z1と同義であり、好ましい範囲も同義である。Y1は、上記一般式IIにおけるY1と同義であり、好ましい範囲も同義である。n1は、上記一般式IIにおけるn1と同義であり、好ましい範囲も同義である。一般式IIIで表される化合物は、さらに好ましくは、IV~VIのいずれかで表される化合物である。一般式IVで表される化合物一般式IV中、R1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表す。X2は単結合、または、炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Y2は分子量15以上の芳香族基を有さない置換基を表し、n2は0~3の整数を表す。但し、n2が0のときは、X2は炭素数2または3の炭化水素基である。R1は、上記一般式のR1と同義であり、好ましい範囲も同義である。X2は、炭化水素基である場合、炭素数1~3の炭化水素基であることが好ましく、置換又は無置換の炭素数1~3のアルキレン基であることが好ましく、無置換の炭素数1~3のアルキレン基であることがより好ましく、エチレン基であることがさらに好ましい。このような炭化水素基を採用することにより、より低粘度で低揮発性を有する光硬化性組成物とすることが可能になる。Y2は分子量15以上の芳香族基を有さない置換基を表し、Y1の分子量の上限は80以下であることが好ましい。Y2としては、メチル基、エチル基、イソプロピル基、tert-ブチル基、シクロヘキシル基などの炭素数1~6のアルキル基、クロロ基、ブロモ基などのハロゲン原子、メトキシ基、エトキシ基、シクロヘキシルオキシ基などの炭素数1~6のアルコキシ基が好ましい例として挙げられる。n2は、0~2の整数であることが好ましい。n2が1の場合、置換基Yはパラ位にあるのが好ましい。また、粘度の観点から、n2が2のときは、X2は単結合もしくは炭素数1の炭化水素基が好ましい。一般式IVで表される化合物はメタアクリレート基を1つ有する単官能メタアクリレートであることが好ましい。低粘度と低揮発性の両立という観点から、一般式IVで表されるメタアクリレート化合物の分子量は175~250であることが好ましく、185~245であることがより好ましい。また、一般式IVで表されるメタアクリレート化合物の25°Cにおける粘度が10mPas以下であることが好ましく、6mPas以下であることがより好ましい。一般式IVで表される化合物は、反応希釈剤としても好ましく用いることができる。一般式IVで表される化合物の光硬化性組成物中における添加量は、組成物の粘度や硬化後のパターン精度の観点から10質量以上であることが好ましく、15質量以上であることがより好ましく、20質量以上であることが特に好ましい。一方、硬化後のタッキネスや力学強度の観点からは、添加量は95質量以下であることが好ましく、90質量以下であることがより好ましく、85質量以下であることが特に好ましい。以下に、一般式IVで表される化合物を例示するが、本発明がこれらに限定されるものではないことは言うまでも無い。R1は、水素原子、メチル基またはハロゲン原子である。一般式Vで表される化合物一般式V中、R1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表し、X3は単結合、または、炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Y3は分子量15以上の芳香族基を有する置換基を表し、n3は1~3の整数を表す。R1は、上記一般式のR1と同義であり、好ましい範囲も同義である。X1は、上記Z1と同義であり、好ましい範囲も同義である。Y3は、分子量15以上の芳香族基を有する置換基を表し、芳香族基を有する置換基としては芳香族基が単結合、あるいは連結基を介して一般式Vの芳香環に結合している様態が好ましい。連結基としては、アルキレン基、ヘテロ原子を有する連結基好ましくは-O-、-S-、-C=OO-、あるいはこれらの組み合わせが好ましい例として挙げられ、アルキレン基または-O-ならびにこれらの組み合わせからなる基がより好ましい。分子量15以上の芳香族基を有する置換基としてはフェニル基を有する置換基であることが好ましい。フェニル基が単結合または上記連結基を介して結合している様態が好ましく、フェニル基、ベンジル基、フェノキシ基、ベンジルオキシ基、フェニルチオ基が特に好ましい。Y3の分子量は好ましくは、230~350である。n3は、好ましくは、1または2であり、より好ましくは1である。一般式Vで表される化合物の組成物中における添加量は、10質量以上であることが好ましく、20質量以上であることがより好ましく、30質量以上であることが特に好ましい。一方、硬化後のタッキネスや力学強度の観点からは、添加量は90質量以下であることが好ましく、80質量以下であることがより好ましく、70質量以下であることが特に好ましい。以下に、一般式Vで表される化合物を例示するが、本発明がこれらに限定されるものではないことは言うまでも無い。R1は、水素原子、メチル基またはハロゲン原子である。一般式VIで表される化合物一般式VI中、X6はn61価の連結基であり、R1は、それぞれ、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子である。R2およびR3は、それぞれ、置換基であり、n4およびn5は、それぞれ、0~4の整数である。n6は1または2であり、X4およびX5は、それぞれ、炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。X6は、n61価の連結基を表し、好ましくは、アルキレン基、-O-、-S-、-C=OO-、およびこれらのうちの複数が組み合わさった連結基である。アルキレン基は、炭素数1~8のアルキレン基が好ましく、より好ましくは炭素数1~3のアルキレン基である。また、無置換のアルキレン基が好ましい。n6は、好ましくは1である。n6が2のとき、複数存在する、R1、X5、R2は、それぞれ、同一であってもよいし、異なっていても良い。X4およびX5は、は、それぞれ、連結基を含まないアルキレン基が好ましく、より好ましくは炭素数1~5のアルキレン基であり、より好ましくは炭素数1~3のアルキレン基であり、最も好ましくはメチレン基である。R1は、上記一般式のR1と同義であり、好ましい範囲も同義である。R2およびR3は、それぞれ、置換基を表し、好ましくは、アルキル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシル基、アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基である。アルキル基としては、炭素数1~8のアルキル基が好ましい。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が例示され、フッ素原子が好ましい。アルコキシ基としては、炭素数1~8のアルコキシ基が好ましい。アシル基としては、炭素数1~8のアシル基が好ましい。アシルオキシ基としては、炭素数1~8のアシルオキシ基が好ましい。アルコキシカルボニル基としては、炭素数1~8のアルコキシカルボニル基が好ましい。n4およびn5は、それぞれ、0~4の整数であり、n4またはn5が2以上のとき、複数存在するR2およびR3は、それぞれ、同一でも異なっていても良い。一般式VIで表される化合物は、下記一般式VIIで表される化合物が好ましい。X6は、アルキレン基、-O-、-S-および、これらのうちの複数が組み合わさった連結基であり、R1は、それぞれ、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子である。R1は、上記一般式のR1と同義であり、好ましい範囲も同義である。X6がアルキレン基である場合、炭素数1~8のアルキレン基が好ましく、より好ましくは炭素数1~3のアルキレン基である。また、無置換のアルキレン基が好ましい。X6としては、-CH2-、-CH2CH2-、-O-、-S-が好ましい。本発明に用いられる光硬化性組成物中における一般式VIで表される化合物の含有量は、特に制限はないが、硬化性、組成物粘度の観点から、全重合性単量体中、1~100質量が好ましく、5~70質量がさらに好ましく、10~50質量が特に好ましい。以下に、一般式VIで表される化合物を例示するが、本発明がこれらに限定されるものではないことは言うまでも無い。下記式中におけるR1はそれぞれ、一般式VIにおけるR1と同義であり、好ましい範囲も同義であり、特に好ましくは水素原子である。さらにまた、本発明で用いられる重合性単量体として、下記一般式で表される重合性単量体群も例示される。一般式中、X1~X3はそれぞれ独立に単結合または連結基を表す。Meはメチル基を表す。X1~X3が連結基の場合、好ましくは、有機連結基であり、炭素数1~50の有機連結基であることが好ましい。有機連結基の具体例としては、オキシアルキレン基、-O-C=O-、アルキレン基およびこれらの2以上の組み合わせからなる基が挙げられる。オキシアルキレン基としては、エチレンオキシド基、プロピレンオキシド基が例示される。また、アルキレン基としては、プロピレン基、ブチレン基、ペンチル基、ヘキシル基等が例示される。X1~X3は単結合であることが好ましい。一般式で表される化合物は25°Cにおいて液体状であることが好ましいが、液体状でなくてもよい。以下に本発明における重合性単量体の具体例を示す。m1、m2、m3、n1、n2、n3は、それぞれ、0~10の整数を表し、m1、m2、m3、n1、n2およびn3の和は、1よりも大きい化合物であるか、該和の平均が1より大きい化合物の混合物である。l1、l2、l3は、それぞれ、0~10の整数を表し、k1、k2、k3は、それぞれ、3~6の整数を表し、l1、l2およびl3の和は、1よりも大きい化合物であるか、該和の平均が1より大きい化合物の混合物である。さらにまた、下記一般式で表される重合性単量体群も、本発明で用いられる重合性単量体として例示される。I[式中、Arは置換基を有していてもよいアリーレン基を表し、Xは単結合または有機連結基を表し、R1は水素原子またはメチル基を表し、nは2または3を表す。]一般式中、前記アリーレン基としてはフェニレン基、ナフチレン基などの炭化水素系アリーレン基;インドール、カルバゾールなどが連結基となったヘテロアリーレン基などが挙げられ、好ましくは炭化水素系アリーレン基であり、更に好ましくは粘度、エッチング耐性の観点からフェニレン基である。前記アリーレン基は置換基を有していてもよく、好ましい置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、水酸基、シアノ基、アルコキシカルボニル基、アミド基、スルホンアミド基が挙げられる。前記Xの有機連結基としては、鎖中にヘテロ原子を含んでいてもよいアルキレン基、アリーレン基、アラルキレン基が挙げられる。その中でも、アルキレン基、オキシアルキレン基が好ましく、アルキレン基がより好ましい。前記Xとしては、単結合またはアルキレン基であることが特に好ましい。前記R1は水素原子またはメチル基であり、好ましくは水素原子である。nは2または3であり、好ましくは2である。前記重合性単量体が下記一般式I-aまたはI-bで表される重合性単量体であることが、組成物粘度を低下させる観点から好ましい。[式中、X1、X2は、それぞれ独立に単結合または炭素数1~3の置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、R1は水素原子またはメチル基を表す。]前記一般式I-a中、前記X1は、単結合またはメチレン基であることが好ましく、メチレン基であることが粘度低減の観点からより好ましい。前記X2の好ましい範囲は、前記X1の好ましい範囲と同様である。前記R1は一般式におけるとR1と同義であり、好ましい範囲も同様である。前記重合性単量体は25°Cにおいて液体であると、添加量を増やした際にも異物の発生が抑制でき好ましい。好ましい重合性単量体の具体例を示す。R1は一般式におけるとR1と同義であり、水素原子またはメチル基を表す。なお、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。これらの重合性単量体の中でも、A重合性単量体としては、メタアクリレート化合物が、組成物粘度、光硬化性の観点から好ましく、アクリレートがより好ましい。また、本発明では、重合性官能基を2つ以上有する多官能重合性単量体が好ましい。本発明では特に、単官能メタアクリレート化合物と多官能メタアクリレート化合物の配合比が、重量比で80/20~0/100が好ましく、70/30~0/100がより好ましく、40/60~0/100であることが好ましい。適切な比率を選択することで、十分な硬化性を有し、且つ組成物を低粘度とすることができる。前記多官能メタアクリレート化合物において、前記2官能メタアクリレートと前記3官能以上のメタアクリレートの比率は、質量比で100/0~20/80が好ましく、より好ましくは100/0~50/50、さらに好ましくは100/0~70/30である。前記3官能以上のメタアクリレートは前記2官能メタアクリレートよりも粘度が高いため、前記2官能メタアクリレートが多い方が本発明における用硬化性組成物の粘度を下げられるため好ましい。A重合性単量体としては芳香族構造および/または脂環炭化水素構造を有する置換基を含有している化合物を含むことがドライエッチング耐性、ドライエッチング後のライエッジラフネスの点で好ましく、芳香族構造および/または脂環炭化水素構造を有する重合性単量体をA成分中50質量以上含有していることがより好ましく、80質量以上含有していることがさらに好ましい。芳香族構造を有する重合性単量体としては、芳香族構造を有するメタアクリレート化合物が好ましい。芳香族構造を有するメタアクリレート化合物としては、ナフタレン構造を有する単官能メタアクリレート化合物、例えば1-または2-ナフチルメタアクリレート、1-または2-ナフチルメチルメタアクリレート、1-または2-ナフチルエチルメタアクリレート、芳香環上に置換基を有するベンジルアクリレートなどの単官能アクリレート、カテコールジアクリレート、キシリレングリコールジアクリレートなどの2官能アクリレートが特に好ましい。脂環炭化水素構造を有する重合性単量体としてはイソボロニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチルメタアクリレート、ジシクロペンテニルメタアクリレート、アダマンチルメタアクリレート、トリシクロデカニルメタアクリレート、テトラシクロドデカニルメタアクリレートなどが好ましい。また、A重合性単量体として、メタアクリレートを用いる場合、メタクリレートよりも、アクリレートの方が好ましい。本発明における用硬化性組成物中におけるA重合性単量体の総含有量は、硬化性改善、本発明における用硬化性組成物の粘度改善の観点から、溶剤を除いた全成分中、50~99.5質量が好ましく、70~99質量がさらに好ましく、90~99質量が特に好ましい。本発明における用硬化性組成物は、A重合性単量体成分に関し、より好ましくは25°Cにおける粘度が3~100mPasである重合性単量体の含有量が全重合性単量体に対し80質量以上であることが好ましく、3~70mPasの重合性単量体が80質量以上であることがより好ましく、7~50mPasの重合性単量体が80質量以上であることが特に好ましく、8~30mPasの重合性単量体が80質量以上であることが最も好ましい。本発明における用硬化性組成物は、溶剤を除く全成分の混合液の25°Cにおける粘度が5~50mPasであることが好ましく、より好ましくは6~40mPas、さらに好ましくは7~30mPas、最も好ましくは8~25mPasである。組成物の粘度を5~50mPasにすることでモールド充填性がより向上し、インプリント時のモールドの圧着圧力が低くても矩形なパターンプロファイルが得られやすくなる。本発明の方法は低粘度な重合性単量体を用いた際に特に効果が顕著である。本発明における用硬化性組成物に含まれるA重合性単量体は、25°Cにおいて液体である重合性単量体が全重合性単量体中50質量以上であることが経時安定性の観点で好ましい。さらに本発明には、A重合性単量体の一部が重合してなるポリマー不純物を除去する工程を含むインプリント用重合性単量体の製造方法、該インプリント用重合性単量体の製造方法を含む、インプリント用硬化性組成物の製造方法、前記インプリント用重合性単量体の製造方法により製造された重合性単量体を含有するインプリント用硬化性組成物が含まれる。ここで、ポリマー不純物とは、A重合性単量体の製造時や保存時、さらには、インプリント用硬化組成物の製造時や保存時などに、A重合性単量体同士が重合してしまうことによって生成してしまうポリマーを表す。従って、界面活性剤などのポリマー添加剤とは完全に異なるものである。本発明において、A重合性単量体を2種類以上含む場合、ポリマー不純物には、それぞれの重合性単量体を由来とするポリマーのほか、2種以上の重合性単量体を由来とするコポリマーも含まれる。本願発明者が検討したところ、重合性単量体の市販品として販売されているもののような、A重合性単量体と該ポリマー不純物を含む組成物から、極微量のポリマー不純物をGPCで検出するのは困難であることが分かった。そして、GPCで検出できない程度の微量のポリマーでもインプリントのパターンに影響を与えることが分かった。かかる観点から、本発明における用硬化性組成物が含む該重合性組成物は、A重合性単量体が可溶であり、ポリマー不純物が不溶または難溶である溶剤に、該重合性単量体組成物を、10質量の濃度で混合した際の溶液の濁度が1000ppm以下であることが好ましい。より好ましい濁度としては、700ppm以下であり、さらに好ましくは500ppm以下であり、よりさらに好ましくは100ppm以下であり、特に好ましくは10ppm以下であり、最も好ましくは1ppm以下である。ここで前記ポリマー不純物が不溶または難溶である溶剤としては、ポリマー成分の溶解度が5質量以下、好ましくは1質量以下である溶媒のことを表し、炭化水素溶剤例えば、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、トルエン、キシレン、ベンゼン、あるいはアルコール溶剤例えば、メタノール、エタノール、1-または2-プロパノール、1-または2-ブタノールを含有する溶剤が好ましい。本発明におけるポリマー不純物とは、A重合性単量体よりも分子量の大きい成分を表し、いわゆる、オリゴマーも含む趣旨である。好ましくはGPCにおける重量平均分子量が1万以上、より好ましくは重量平均分子量が3万以上、さらに好ましくは重量平均分子量が5万以上、最も好ましくは10万以上の成分である。特に分子量の大きいポリマー不純物を含有しているとインプリント時のパターン転写性が悪化する。A重合性単量体とA重合性単量体が重合してなるポリマー不純物を含む組成物から該ポリマー不純物を除去する工程としては、公知の方法を広く採用できるが、A重合性単量体が可溶であり、該ポリマー不純物が不溶または難溶である溶剤と、前記組成物を混合してポリマー不純物を析出させる工程を含有していることが好ましい。混合する濃度としては、前記組成物の濃度として1~99質量が好ましく、3~50質量がより好ましく、5~30質量がさらに好ましく、5~20質量が最も好ましい。析出したポリマーを除去した後、そのままの溶液または、濃縮あるいは溶剤置換などの方法によりインプリント用硬化組成物に配合する形態にする。本発明において、重合性単量体を製造する際には、重合禁止剤を添加することが好ましく、濃縮工程よりも前の段階において添加されていることが好ましい。本発明の技術は、蒸留精製が困難な高沸点の重合性単量体に適用すると特に効果が顕著である。適用するのに好ましい重合性単量体の沸点は、1気圧での沸点が200°C以上であり、より好ましくは250°C以上、さらに好ましくは300°C以上である。1気圧での沸点観測が困難な場合は、減圧状態にて沸点を測定し、減圧度と減圧状態での沸点から1気圧における沸点に換算した値を用いる。本発明の技術は、A重合性単量体が2つ以上の重合性官能基を有する重合性単量体に適用すると特に効果が顕著である。2つ以上の重合性官能基を有する重合性単量体由来のポリマーは架橋構造を有し、高分子量化しやすいため、インプリント時のパターン形成性の劣化が大きく、それの含有量を少なくすることでインプリント時のパターン形成性の劣化を抑制できる。B光重合開始剤本発明における用硬化性組成物は、光重合開始剤を含む。本発明に用いられる光重合開始剤は、光照射により上述のA重合性単量体を重合する活性種を発生する化合物であればいずれのものでも用いることができる。光重合開始剤としては、カチオン重合開始剤、ラジカル重合開始剤が挙げられ、ラジカル重合開始剤が好ましい。また、本発明において、光重合開始剤は複数種を併用してもよい。本発明に用いられる光重合開始剤の含有量は、溶剤を除く全組成物中、例えば、0.01~15質量であり、好ましくは0.1~12質量であり、さらに好ましくは0.2~7質量である。2種類以上の光重合開始剤を用いる場合は、その合計量が前記範囲となる。光重合開始剤の含有量が0.01質量以上であると、感度、解像性、ラインエッジラフネス性、塗膜強度が向上する傾向にあり好ましい。一方、光重合開始剤の含有量を15質量以下とすると、光透過性、着色性、取り扱い性などが向上する傾向にあり、好ましい。染料および/または顔料を含む系では、これらがラジカルトラップ剤として働くことがあり、光重合性、感度に影響を及ぼす。その点を考慮して、これらの用途では、光重合開始剤の添加量が最適化される。一方で、本発明に用いられる組成物では、染料および/または顔料は必須成分でなく、光重合開始剤の最適範囲がインクジェット用硬化性組成物や液晶ディスプレイカラーフィルタ用硬化性組成物等の分野のものとは異なる場合がある。本発明で使用されるラジカル光重合開始剤としては、例えば、市販されている開始剤を用いることができる。これらの例としては、例えば、特開平2008-105414号公報の段落番号0091に記載のものを好ましく採用することができる。この中でもアセトフェノン系化合物、アシルホスフィンオキサイド系化合物、オキシムエステル系化合物が硬化感度、吸収特性の観点から好ましい。アセトフェノン系化合物として好ましくはヒドロキシアセトフェノン系化合物、ジアルコキシアセトフェノン系化合物、アミノアセトフェノン系化合物が挙げられる。ヒドロキシアセトフェノン系化合物として好ましくはCiba社から入手可能なIrgacure登録商標2959でもよい。露光に際しては、露光照度を1mW/cm2~50mW/cm2の範囲にすることが好ましい。1mW/cm2以上とすることにより、露光時間を短縮することができるため生産性が向上し、50mW/cm2以下とすることにより、副反応が生じることによる永久膜の特性の劣化を抑止できる傾向にあり好ましい。露光量は5mJ/cm2~1000mJ/cm2の範囲にすることが望ましい。5mJ/cm2未満では、露光マージンが狭くなり、光硬化が不十分となりモールドへの未反応物の付着などの問題が発生しやすくなる。一方、1000mJ/cm2を超えると組成物の分解による永久膜の劣化の恐れが生じる。さらに、露光に際しては、酸素によるラジカル重合の阻害を防ぐため、窒素やアルゴンなどの不活性ガスを流して、酸素濃度を100mg/L未満に制御してもよい。本発明のパターン形成方法においては、光照射によりパターン形成層を硬化させた後、必要に応じて硬化させたパターンに熱を加えてさらに硬化させる工程を含んでいてもよい。光照射後に本発明の組成物を加熱硬化させる熱としては、150~280°Cが好ましく、200~250°Cがより好ましい。また、熱を付与する時間としては、5~60分間が好ましく、15~45分間がさらに好ましい。[パターン]上述のように本発明のパターン形成方法によって形成されたパターンは、液晶ディスプレイLCDなどに用いられる永久膜構造部材用のレジストやエッチングレジストとして使用することができる。また、前記永久膜は、製造後にガロン瓶やコート瓶などの容器にボトリングし、輸送、保管されるが、この場合に、劣化を防ぐ目的で、容器内を不活性な窒素、またはアルゴンなどで置換しておいてもよい。また、輸送、保管に際しては、常温でもよいが、より永久膜の変質を防ぐため、-20°Cから0°Cの範囲に温度制御してもよい。勿論、反応が進行しないレベルで遮光することが好ましい。また、本発明における用硬化性組成物を用いたパターンは、耐溶剤性も良好である。本発明における用硬化性組成物は多種の溶剤に対する耐性が高いことが好ましいが、一般的な基板製造工程時に用いられる溶剤、例えば、25°CのN-メチルピロリドン溶媒に10分間浸漬した場合に膜厚変動を起こさないことが特に好ましい。本発明のパターン形成方法によって形成されたパターンは、エッチングレジストとしても有用である。本発明における用硬化性組成物をエッチングレジストとして利用する場合には、まず、基材として例えばSiO2等の薄膜が形成されたシリコンウエハ等を用い、基材上に本発明のパターン形成方法によってナノオーダーの微細なパターンを形成する。その後、ウェットエッチングの場合にはフッ化水素等、ドライエッチングの場合にはCF4等のエッチングガスを用いてエッチングすることにより、基材上に所望のパターンを形成することができる。本発明における用硬化性組成物は、フッ化炭素等を用いるドライエッチングに対するエッチング耐性も良好であることが好ましい。以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。本実施例で用いた重合性単量体の25°Cにおける粘度および1気圧における沸点を下記表1に示した。粘度の測定は、東機産業株社製のRE-80L型回転粘度計を用い、25±0.2°Cで測定した。R1重合性単量体:m-キシリレンジアクリレートの合成蒸留水1000mlに水酸化ナトリウム411gを加え、これに氷冷下アクリル酸781gを滴下して加えた。これにベンジルトリブチルアンモニウムクロリド107g、α,α’-ジクロロメタキシレン600g加え、85°Cで7時間反応させた。反応液に酢酸エチル1600ml加え有機層を1塩酸水溶液、1テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液、蒸留水で洗浄し、有機層に重合禁止剤としてp-ベンゾキノン0.01g添加し、有機層を溶剤含量が1質量以下になるまで真空濃縮し、重合性単量体R1を得た。R1の粘度は25°Cにおいて9.5mPasであった。R2重合性単量体:2-ナフチルメチルアクリレートの合成窒素気流下2-メチルナフタレン600gを酢酸エチル6000mlに溶解させ、これに1,3-ジブロモ-5,5-ジメチルヒダントイン422gを加え40°Cに加熱した。これに和光純薬工業製V-65を7.4g、添加し40°Cで7時間反応した。その後反応液を65°Cで3時間反応し、放冷した。反応液を炭酸水素ナトリウム水溶液、蒸留水で洗浄した後、濃縮した。これにイソプロパノール3600ml加え、30分攪拌した後、蒸留水900mlを加えさらに30分攪拌した。析出した固体を濾取し、これにイソプロパノール1800ml加え、30分攪拌した後、蒸留水450mlを加えさらに30分攪拌した。固体を濾取、乾燥すると2-ブロモメチルナフタレンが300g得られた。蒸留水200mlに水酸化ナトリウム81.4gを加え、これに氷冷下アクリル酸147gを滴下して加えた。これにベンジルトリブチルアンモニウムクロリド42.4g、2-ブロモメチルナフタレン300gを加え、75°Cで2時間反応させた。反応液に酢酸エチル/ヘキサン=2/8体積比800ml加え有機層を1塩酸水溶液、1テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液、蒸留水で洗浄し、有機層に重合禁止剤としてp-ベンゾキノン0.01g添加し、有機層を溶剤含量が1質量以下になるまで真空濃縮し、重合性単量体R2を得た。R2の粘度は25°Cにおいて10.3mPasであった。R3重合性ポリマーポリエチレングリコールジアクリレート200:NKエステルA-200新中村化学社製R4下記化合物インプリント用硬化性組成物の調製表2に示す使用量の合計分についてさらに上記重合性化合物の追加合成を行ない、表2に示す化合物を加え、表1に示すフィルターを用いて表2に示す条件でろ過を行なうことにより、硬化性組成物C-1~C-25を得た。ここで、UPEは、ポリエステル樹脂を、PTFEは、フッ素樹脂をそれぞれ示している。インプリント用硬化性組成物の総流量は、それぞれ1Lとした。<重合開始剤>P-1:IRGACURE-379EGBASF社製P-2:2,4,6-トリメチルベンゾイル-エトキシフェニル-ホスフィンオキシドBASF社製:LucirinTPO-LP-3:IRGACURE-OXE01BASF社製<界面活性剤>W-1:フッ素系界面活性剤トーケムプロダクツ株製:フッ素系界面活性剤W-2:シリコーン系界面活性剤大日本インキ化学工業株製:メガファック31<パターン形成性評価>パターン剥がれ-1上記で調製した硬化性組成物を8インチシリコン基板上に1500rpmでスピンコートして塗布膜を作成し、これに40nmのライン/スペース1/1を有し、溝深さが80nmのパターンを有し、表面がパーフロロポリエーテル構造を有するシランカップリング剤ダイキン社製、オプツールHD1100で離型処理されたモールドを乗せ、窒素気流下1MPaの圧力でモールドを組成物に押し付けながら365nmの光を含有する水銀ランプ光にて、露光照度10mW/cm2、露光量200mJ/cm2で硬化させ、硬化後、ゆっくりモールドを剥がした。得られたパターンを走査型顕微鏡にて観察し、パターンの剥がれを以下のように評価した。結果を表3に示す。A:パターンの欠損が全くみられなかった。B:パターンの欠損がみられる領域が、パターン形成面積中1未満であった。C:パターンの欠損がみられる領域が、パターン形成面積中1以上3未満であった。D:パターンの欠損がみられる領域が、パターン形成面積中3以上10未満であった。E:パターンの欠損がみられる領域が、パターン形成面積中10未満であった。パターン剥がれ-2膜の作成をインクジェット法によって行なう以外は上記評価と同様にしてパターン形成を行なった。得られたパターンを上記パターン剥がれ-1と同様に評価した。吐出不良パターン剥がれ-2の評価を20回連続で行ない、目詰まりによる吐出不良の有無を確認した。吐出不良とは、吐出初期と比較した際に単位時間あたりのノズル先端からの組成物吐出量が低下する現象を意味する。吐出不良が生じなかった水準を○、生じた水準を×とした。結果を表4に示す。<経時安定性評価>硬化性組成物C-1~C-25について、遮光した状態で4°C、23°C、30°C、45°Cの各温度で180日間静置した後、液中のパーティクル数をリオン社製パーティクルカウンターKS-41にてカウントし、下記式で計算されるパーティクル増加数を評価した。パーティクル増加数=経時後のパーティクル数-パーティクル初期値パーティクル数としては、硬化性組成物1ml中の0.25μm以上のパーティクル密度を測定した。結果を表5に示す。上記表から明らかなとおり、本発明の製造方法を用いた場合、モールド剥離時のパターンの剥がれを抑制できることが分かった。また同時に、インクジェット時の連続吐出性および経時でのパーティクル抑制に優れていることが分かった。"