"内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじの前記ナットの製造方法であって、円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹部に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凹部を前記ナット素材の内周面に塑性加工で形成することを特徴とするボールねじ用ナットの製造方法。前記凹部は前記ナットの内周面に複数形成され、前記カムスライダには、前記複数の凹部に対応する複数の凸部の少なくとも一つが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記金型として、前記カムドライバが前記ナット素材の軸方向と平行な荷重受け面を有し、前記カムドライバ以外の部材に前記荷重受け面と接触する荷重受け面が形成されているものを用いてプレスを行うことを特徴とする請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記金型として、前記カムスライダがカムドライバとナット素材との間に配置される保持部材に保持され、前記保持部材に前記荷重受け面が形成されているものを用いてプレスを行うことを特徴とする請求項3に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記複数のカムスライダに形成された凸部の前記ナット素材の径方向外側への移動量を変えることで、前記複数の凹部が均一に形成されるようにすることを特徴とする請求項2に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記カムドライバと、前記カムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、前記外周面を受ける内周面に前記凸部に対応する凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹部を形成し、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の外周部を突出させることを特徴とする請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記ナットの外周面の一部を、前記ナットの外周面の他の部位となる円形状の部位の半径よりも、ナット中心軸からの距離が短くなるような位置に形成して、前記ナットの内周面に前記凸部を押し込んで前記凹部を成形することにより前記ナットの外周面に突出される突起が前記外周面の一部上に形成されるようにし、前記外周面の一部は、前記突起のナット中心軸からの距離が前記円形状の部位の半径よりも短くなる位置に前記突起が位置されるように形成されることを特徴とする請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記凹部の成形による前記ナットにおける材料の逃げを許容しつつ、前記材料の逃げを前記凹部の形状に応じて調整することを特徴とする請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記ナットの外周側への材料の逃げを前記凹部の形状に応じて調整することを特徴とする請求項8に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記ナットの軸方向端部側への材料の逃げを前記凹部の形状に応じて調整することを特徴とする請求項8に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記ナットの内周面に前記凸部を押し込んで前記凹部を成形するとともに、前記ナットの内周面のうち該凹部の外周に、前記凸部による塑性加工により生じる前記凹部のダレを減少させるためのダレ用凹部を成形することを特徴とする請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法。少なくとも前記凹部の曲がる部位に隣接して前記ダレ用凹部を成形することを特徴とする請求項11に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記ダレの量に応じて前記ダレ用凹部の形状と深さを決定することを特徴とする請求項11に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記凹部のダレを減少させるための余肉部を前記ナットの円形状の内周面から突出させて設けて、前記余肉部に前記凸部を押し込んで前記凹部を成形することを特徴とする請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法。前記余肉部は、前記凹部の形状に応じた形状であることを特徴とする請求項14に記載のボールねじ用ナットの製造方法。円筒状のナット素材の内周面の前記凹部を形成する位置に、断面形状が前記凹部の断面円弧に内包される下地凹部を形成した後、前記ナット素材の外周面と軸方向一端面を拘束した状態で、前記ナット素材に内挿された前記カムスライダを前記ナット素材の径方向外側に移動することにより前記凹部を形成することを特徴とする請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法。請求項1に記載の方法により前記凹部を形成するボール戻し経路形成工程と、前記ナットの内周面に、前記凹部の端部と接続するように前記螺旋溝を形成する螺旋溝形成工程と、前記凹部と前記螺旋溝との境界部分にブラシ加工及びブラスト加工の少なくとも一方を施してバリを除去するバリ除去工程と、を備えることを特徴とするボールねじ用ナットの製造方法。請求項6の方法で製造され、前記ナットの外周面の前記凹部に対応する位置に突起が形成されているボールねじ用ナットを備えることを特徴とするボールねじ。内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール循環溝とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじであって、前記ボール循環溝の両側面と各側面に連続する軸方向に延びる面との角部のうち少なくとも一部が丸く形成されていることを特徴とするボールねじ。螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路が、前記ナットの内周面の一部を凹化させてなる凹溝で構成されているとともに、潤滑剤を保持可能な潤滑剤溜まりを備えており、該潤滑剤溜まりは、前記凹溝の内面の一部を凹化させてなる凹部からなることを特徴とするボールねじ。前記ボール循環路は、前記ボール転走路との接続部分である両端部と、前記両端部の間の中間部とからなり、前記ボール循環路の長手方向に直交する平面で切断した前記潤滑剤溜まりの断面の面積は、前記端部に隣接する部分よりも前記中間部に隣接する部分の方が大きいことを特徴とする請求項20に記載のボールねじ。前記ボール循環路は湾曲しており、前記ボール循環路の湾曲の径方向外方側に配された潤滑剤溜まりよりも、前記ボール循環路の湾曲の径方向内方側に配された潤滑剤溜まりの方が、前記ボール循環路の長手方向に直交する平面で切断した断面の面積が大きいことを特徴とする請求項20に記載のボールねじ。前記ボール循環路を構成する凹溝及び前記潤滑剤溜まりを構成する凹部は、鍛造により同時に形成されたものであることを特徴とする請求項20に記載のボールねじ。請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法で製造されたナットを備え、前記ボール戻し経路の長手方向の少なくとも一部分は、前記長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状が略V字状をなしていることを特徴とするボールねじ。請求項1に記載のボールねじ用ナットの製造方法で製造されたナットを備え、前記ナットの螺旋溝と前記凹部との接続部分には、前記凹部の周縁部から径方向内方に突出するフランジが設けられていることを特徴とするボールねじ。前記ナットの螺旋溝との接続部分である前記凹部の両端部は、前記ボールの直線状導入部となっているとともに、前記フランジは少なくとも前記直線状導入部の周縁部に設けられていることを特徴とする請求項25に記載のボールねじ。前記フランジの先端と前記ナットの径方向中心との間の距離Hは、前記ボールの中心軌跡円径BCDの1/2以下であり、前記フランジは、前記ねじ軸の外周面に接触しないように設けられていることを特徴とする請求項25に記載のボールねじ。しかしながら、特許文献1に記載された方法では、ナットの軸方向寸法が長く内径が小さい場合、金型の加工ヘッドが細長くなるため、強度が不足して破損し易くなるという問題点がある。この発明の課題は、ボール戻し経路をなす凹部を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記凹部を形成できる方法、及び、該方法により得られたナットを備えるボールねじを提供することである。前記課題を解決するため、本発明の各態様は、次のような構成からなる。すなわち、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法は、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじの前記ナットの製造方法であって、円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹部に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凹部を前記ナット素材の内周面に塑性加工で形成することを特徴とする。このような本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法においては、前記凹部は前記ナットの内周面に複数形成され、前記カムスライダには、前記複数の凹部に対応する複数の凸部の少なくとも一つが形成されていることが好ましい。また、前記金型として、前記カムドライバが前記ナット素材の軸方向と平行な荷重受け面を有し、前記カムドライバ以外の部材に前記荷重受け面と接触する荷重受け面が形成されているものを用いてプレスを行うことが好ましい。このとき、前記金型として、前記カムスライダがカムドライバとナット素材との間に配置される保持部材に保持され、前記保持部材に前記荷重受け面が形成されているものを用いてプレスを行うことがより好ましい。さらに、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法においては、前記複数のカムスライダに形成された凸部の前記ナット素材の径方向外側への移動量を変えることで、前記複数の凹部が均一に形成されるようにすることができる。さらに、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法においては、前記カムドライバと、前記カムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、前記外周面を受ける内周面に前記凸部に対応する凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹部を形成し、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の外周部を突出させることが好ましい。この方法で製造されたナットは、外周面の前記凹部に対応する位置に突起が形成されており、このナットを用いてボールねじを得ることができる。さらに、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法においては、前記ナットの外周面の一部を、前記ナットの外周面の他の部位となる円形状の部位の半径よりも、ナット中心軸からの距離が短くなるような位置に形成して、前記ナットの内周面に前記凸部を押し込んで前記凹部を成形することにより前記ナットの外周面に突出される突起が前記外周面の一部上に形成されるようにし、前記外周面の一部は、前記突起のナット中心軸からの距離が前記円形状の部位の半径よりも短くなる位置に前記突起が位置されるように形成されることが好ましい。さらに、前記凹部の成形による前記ナットにおける材料の逃げを許容しつつ、前記材料の逃げを前記凹部の形状に応じて調整することが好ましい。このとき、前記ナットの外周側への材料の逃げ、又は、前記ナットの軸方向端部側への材料の逃げを、前記凹部の形状に応じて調整することが好ましい。さらに、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法においては、前記ナットの内周面に前記凸部を押し込んで前記凹部を成形するとともに、前記ナットの内周面のうち該凹部の外周に、前記凸部による塑性加工により生じる前記凹部のダレを減少させるためのダレ用凹部を成形することが好ましい。このとき、少なくとも前記凹部の曲がる部位に隣接して前記ダレ用凹部を成形することが好ましい。また、前記ダレの量に応じて前記ダレ用凹部の形状と深さを決定することが好ましい。さらに、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法においては、前記凹部のダレを減少させるための余肉部を前記ナットの円形状の内周面から突出させて設けて、前記余肉部に前記凸部を押し込んで前記凹部を成形することが好ましい。このとき、前記余肉部は、前記凹部の形状に応じた形状であることが好ましい。さらに、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法においては、円筒状のナット素材の内周面の前記凹部を形成する位置に、断面形状が前記凹部の断面円弧に内包される下地凹部を形成した後、前記ナット素材の外周面と軸方向一端面を拘束した状態で、前記ナット素材に内挿された前記カムスライダを前記ナット素材の径方向外側に移動することにより前記凹部を形成することが好ましい。さらに、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法においては、前述のようにして前記凹部を形成するボール戻し経路形成工程と、前記ナットの内周面に、前記凹部の端部と接続するように前記螺旋溝を形成する螺旋溝形成工程と、前記凹部と前記螺旋溝との境界部分にブラシ加工及びブラスト加工の少なくとも一方を施してバリを除去するバリ除去工程と、を備えることが好ましい。さらに、本発明の他の態様に係る第1のボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール循環溝とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじであって、前記ボール循環溝の両側面と各側面に連続する軸方向に延びる面との角部のうち少なくとも一部が丸く形成されていることを特徴とする。さらに、本発明の他の態様に係る第2のボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路が、前記ナットの内周面の一部を凹化させてなる凹溝で構成されているとともに、潤滑剤を保持可能な潤滑剤溜まりを備えており、該潤滑剤溜まりは、前記凹溝の内面の一部を凹化させてなる凹部からなることを特徴とする。このような本発明の他の態様に係る第2のボールねじにおいては、前記ボール循環路は、前記ボール転走路との接続部分である両端部と、前記両端部の間の中間部とからなり、前記ボール循環路の長手方向に直交する平面で切断した前記潤滑剤溜まりの断面の面積は、前記端部に隣接する部分よりも前記中間部に隣接する部分の方が大きいことが好ましい。また、前記ボール循環路は湾曲しており、前記ボール循環路の湾曲の径方向外方側に配された潤滑剤溜まりよりも、前記ボール循環路の湾曲の径方向内方側に配された潤滑剤溜まりの方が、前記ボール循環路の長手方向に直交する平面で切断した断面の面積が大きいことが好ましい。さらに、前記ボール循環路を構成する凹溝及び前記潤滑剤溜まりを構成する凹部は、鍛造により同時に形成されたものであることが好ましい。さらに、本発明の他の態様に係る第3のボールねじは、前述のようなボールねじ用ナットの製造方法で製造されたナットを備え、前記ボール戻し経路の長手方向の少なくとも一部分は、前記長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状が略V字状をなしていることを特徴とする。さらに、本発明の他の態様に係る第4のボールねじは、前述のようなボールねじ用ナットの製造方法で製造されたナットを備え、前記ナットの螺旋溝と前記凹部との接続部分には、前記凹部の周縁部から径方向内方に突出するフランジが設けられていることを特徴とする。このような本発明の他の態様に係る第4のボールねじにおいては、前記ナットの螺旋溝との接続部分である前記凹部の両端部は、前記ボールの直線状導入部となっているとともに、前記フランジは少なくとも前記直線状導入部の周縁部に設けられていることが好ましい。また、前記フランジの先端と前記ナットの径方向中心との間の距離Hは、前記ボールの中心軌跡円径BCDの1/2以下であり、前記フランジは、前記ねじ軸の外周面に接触しないように設けられていることが好ましい。この発明の方法によれば、ボール戻し経路をナット素材の内周面に塑性加工で直接形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記凹部を形成することができる。本発明に係るボールねじ用ナットの製造方法及びボールねじの実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。第1実施形態[第1例]第1例で使用する金型は、図1に示すように、ナット素材1を保持する凹部21を有する素材ホルダ2と、ナット素材1の内部に配置するカムスライダ3およびカムドライバ4と、を備えている。カムスライダ3は、図2aおよびbに示すように、外周面31と軸方向に平行な平面32を有する略半円柱状部材であって、外周面31をなす円の径は、ナット素材1の内周面11をなす円11aの径より僅かに小さい。カムスライダ3の平面32には、径方向の中央部に、軸方向に延びる斜面33が形成されている。この斜面33は、軸方向一端上端の凹部34の底面ライン34aと、平面32の下端をなすライン32dを結ぶ平面に相当する。また、ボール戻し経路をなすS字状凹部に対応するS字状凸部35が、カムスライダ3の外周面31に形成されている。カムドライバ4は、図2cに示すように、長尺な板状部材であって、一方の側面41がカムスライダ3の斜面33と同じ傾斜の斜面になっている。他方の側面42は、ナット素材1の内周面11をなす円11aに沿った円周面となっている。カムドライバ4の軸方向寸法は、カムスライダ3の軸方向寸法より長い。また、カムドライバ4の厚さは、カムスライダ3の凹部34の開口幅斜面33の両側面間の寸法に相当する厚さより僅かに薄い。カムスライダ3の斜面31とカムドライバ4の傾斜した側面41が、金型のカム機構を構成する。この金型を用い、以下の方法で、ナット素材1の内面にボール戻し経路をなすS字状凹部を形成する。先ず、素材ホルダ2の凹部21にナット素材1を配置し、ナット素材1の内部に、カムスライダ3を、凹部34側を上にし、S字状凸部35をナット素材1の内周面11に向けて挿入する。次に、カムスライダ3とナット素材1の間にカムドライバ4を挿入する。その際に、カムスライダ3の凹部34にカムドライバ4の側面41側の部分を嵌めて、カムスライダ3の斜面33とカムドライバ4の傾斜した側面41を接触させる。図1aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ4を上から押すと、カムドライバ4の傾斜した側面41からカムスライダ3の斜面33に力が伝達される。これに伴い、カムドライバ4の下向きの力がカムスライダ3を径方向外側へ動かす力に変換されて、カムスライダ3に形成されたS字状凸部35が、ナット素材1の内周面11を押して塑性変形させる。図1bはこの状態を示す。これにより、ナット素材1の内周面11にボール戻し経路をなすS字状凹部15が形成される。よって、この実施形態の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ4に破損を生じさせずにS字状凹部15を形成することができる。なお、ナット素材1の内周面11に二つのS字状凹部を形成する場合は、上述の方法で一つのS字状凹部15を形成した後、カムドライバ4とカムスライダ3を抜いてから、凸部35の軸方向での位置が異なる別のカムスライダ3を使用し、再度カムドライバ4を挿入して上述の方法を行う。三つ以上のS字状凹部を形成する場合はこれを繰り返す。これにより、ナット素材1の軸方向で異なり、内周面11の周方向で異なる位置に複数のS字状凹部を形成することができる。また、カムスライダ3の外周面に複数のS字状凸部を設けることにより、カムドライバ4を上から押す操作を1回行うことで複数のS字状凹部を形成することができる。図3の例では、カムスライダ3の外周面に2個のS字状凸部35,36を、ナット素材1の軸方向で異なり、内周面11の周方向で同じ位置に設けている。これにより、ナット素材1の内周面11の軸方向で異なり、周方向で同じ位置に、2個のS字状凹部15,16が形成される。[第2例]第2例で使用する金型は、図4に示すように、ナット素材1を保持する凹部21を有する素材ホルダ2と、ナット素材1の内部に挿入する1対のカムスライダ3と、両カムスライダ3の間に配置するカムドライバ4とを備えている。各カムスライダ3は、図5aおよびbに示すように、ナット素材1の内径より僅かに小さい径の外周面31を有する略半円柱状部材であって、外周面31の反対面をなすライン32はナット素材1の内径より小さい。よって、図5aに示すように、両カムスライダ3の外周面31を、ナット素材1の内周面11をなす円11aに合わせて配置すると、両カムスライダ3のライン32間に隙間32aが生じる。両カムスライダ3の対向面ライン32に沿った面32bには、ライン32の中央部に、軸方向に延びる斜面33が形成されている。この斜面33の両側に、軸方向に延びる溝39が形成されている。斜面33は、軸方向一端上端の凹部34の底面ライン34aと、下端のライン32を結ぶ平面に相当する。また、二つのボール戻し経路をなすS字状凹部に対応するS字状凸部35,36が、各カムスライダ3の外周面31にそれぞれ形成されている。カムドライバ4は、図5cに示すように、長尺な四角柱の互いに平行な一対の側面に、軸方向に傾斜する斜面41aと軸方向に平行な平行面42aが凹状に形成され、斜面41aおよび平行面42aの幅方向両側に板状の側板部43が残っている形状である。カムドライバ4の斜面41aは、傾斜および幅がカムスライダ3の斜面33と同じである。側板部43の板厚は、カムスライダ3の溝39の幅より僅かに小さい寸法である。すなわち、カムドライバ4は、一対の斜面41aからなる楔状部41と、一対の平行面42aからなる板状部42と、一対の側板部43とで構成されている。楔状部41の板状部42側の端部の厚さ斜面41a間の寸法は、板状部42の厚さより厚いため、両者の境界に段差面44が存在する。また、カムドライバ4の先端部は、板状部42とその両側の側板部43によりH形になっている。カムスライダ3の斜面33とカムドライバ4の斜面41aが、金型のカム機構を構成する。素材ホルダ2の底板部の中心に、カムドライバ4のH形の先端部が入るH形の貫通穴22が形成されている。H形の貫通穴22において、Hの横棒に対応する壁面22a間にカムドライバ4の先端部の板状部42が入り、Hの縦棒に対応する壁面22b間にカムドライバ4の側板部43が入る。この金型を用い、以下の方法で、ナット素材1の内面にボール戻し経路をなすS字状凹部を形成する。先ず、素材ホルダ2の凹部21にナット素材1を配置し、ナット素材1の内部に、1対のカムスライダ3を両斜面33が向かい合うように挿入する。次に、両カムスライダ3の凹部34間にカムドライバ4を板状部42側から挿入し、板状部42の先端を貫通穴22に挿入する。図4aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ4を上から押すと、カムドライバ4の斜面41aからカムスライダ3の斜面33に力が伝達される。これに伴い、カムドライバ4の下向きの力が各カムスライダ3を径方向外側へ動かす力に変換されて、各カムスライダ3に形成されたS字状凸部35,36が、ナット素材1の内周面11を押して塑性変形させる。図4bはこの状態を示す。これにより、ナット素材1の内周面11に二つのボール戻し経路をなすS字状凹部15,16が形成される。その際に、カムドライバ4のH形の先端部が素材ホルダ2のH形の貫通穴22に案内される。また、カムスライダ3に伝達された径方向の力の反力を、素材ホルダ2の壁面22aとカムドライバ4の板状部42の平行面42aとの接触、素材ホルダ2の壁面22bとカムドライバ4の側板部43の板幅方向端面43aとの接触、およびカムスライダ3の溝39の溝底部39aとカムドライバ4の側板部43の板幅方向端面43aとの接触で受ける反力に垂直な面で受ける。これにより、前記反力を反力の延長線上およびその軸方向における近傍で受けるため、カムドライバ4が受ける曲げモーメントを小さくすることができる。また、カムスライダ3に伝達された径方向の力の反力がナット素材1に作用しない。よって、この第2例の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ4に破損を生じさせずに、二つのS字状凹部15,16を同時に形成することができる。また、金型の構造が単純なため堅牢であり、同じ製品を大量生産する方法として好適である。なお、この第2例では1対のカムスライダ3の外周面に、それぞれ1個のS字状凸部35,36を設けているが、それぞれ複数のS字状凸部を設けてもよい。図6の例では、一方のカムスライダ3Aの外周面に2個のS字状凸部35,35aを設け、他方のカムスライダ3Bの外周面に2個のS字状凸部36,36aを設けている。カムスライダ3Aの2個のS字状凸部35,35aの配置は、ナット素材1の軸方向で異なり、内周面11の周方向で同じである。カムスライダ3Bの2個のS字状凸部36,36aの配置は、ナット素材1の軸方向で異なり、内周面11の周方向で同じである。そして、4個のS字状凸部35,35a,36,36aの配置は、ナット素材1の軸方向で全て異なる。これにより、カムドライバ4を上から押す操作を1回行うことで、ナット素材1の内周面11に4個のS字状凹部15,15a,16,16aを形成することができる。この例では、4個のS字状凹部15,15a,16,16aの形成位置が、ナット素材1の軸方向で全て異なり、内周面11の周方向で2個ずつ同じになる。[第3例]この第3例で使用する金型は、図7に示すように、ナット素材1を保持する凹部21を有する素材ホルダ2と、ナット素材1の内部に挿入する筒状部材カムスライダの保持部材5と、筒状部材5の中心穴51に挿入するカムドライバ6と、筒状部材5の貫通穴52,53に配置されるカムスライダ7,8とを有する。カムドライバ6は、図8に示すように、長尺な板状に形成された本体部61と円柱状の先端部62とからなる。本体部61の一側面は、先端部62側から、軸方向と平行な第一の平行面61a、軸方向に対して傾斜している斜面61b、第二の平行面61cとなっている。本体部61の他側面は、先端部62側から、軸方向に対して傾斜している斜面61d、軸方向と平行な平行面61eとなっている。他側面の斜面61dと平行面61eとの境界は、一側面の平行面61aと斜面61bとの境界より少し先端部62側にある。先端部62をなす円柱の直径は、本体部61の下端先端部62側の幅と同じである。筒状部材5は、ナット素材1の内周面より僅かに小さい外周面を有する。図9abに示すように、筒状部材5の中心穴51は、軸方向で形状が変化する矩形の断面形状を有する。この中心穴51を形成する面として、軸方向と平行な平行面51a~51eが形成されている。平行面51a~51cは、カムドライバ6の一側面が配置される面であり、平行面51aと平行面51bとの間に、段部51fが形成されている。貫通穴52は、この段部51fを下端として筒状部材5の径方向に貫通している。平行面51d,51eは、カムドライバ6の他側面が配置される面であり、平行面51dの平行面51cと対向する位置に、筒状部材5の径方向に貫通する貫通穴53が形成されている。平行面51dと平行面51eとの境界をなす段部51gが、貫通穴53の下端となっている。カムスライダ7,8は略台形柱状の部材であって、カムドライバ6の斜面61b,61dと同じ斜面71,81を有し、斜面71,81の反対側が、図9cに示すように、ナット素材1の内周面11をなす円11aに対応する円周面72,82となっている。この円周面72,82に、ボール戻し経路をなすS字状凹部に対応するS字状凸部73,83が形成されている。カムドライバ6の本体部61の軸方向寸法は、筒状部材5の軸方向寸法より長い。カムスライダ7の斜面71とカムドライバ6の斜面61b、およびカムスライダ8の斜面81とカムドライバ6の斜面61dが、金型のカム機構を構成する。カムドライバ6の平行面61cと筒状部材5の平行面51a、カムドライバ6の平行面61aと筒状部材5の平行面51c、カムドライバ6の平行面61eと筒状部材5の平行面51dが、それぞれ互いに接触する荷重受け面となっている。素材ホルダ2の底板部の中心に、カムドライバ6の先端部62が入る円穴22bと、カムドライバ6の本体部61の先端部62側が入る矩形穴22cが、連続する貫通穴として形成されている。この金型を用い、以下の方法で、ナット素材1の内面にボール戻し経路をなすS字状凹部を形成する。先ず、素材ホルダ2の凹部21にナット素材1を配置した後、ナット素材1の内部に、カムスライダ7,8が凸部73,83を外側に向けて貫通穴52,53に保持された筒状部材5を挿入する。次に、筒状部材5の中心穴51に先端部62側からカムドライバ6を挿入し、カムドライバ6の先端部62を、素材ホルダ2の貫通穴22b,22cに入れる。図7aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ6を上から押すと、カムドライバ6の斜面61bからカムスライダ7の斜面71に、カムドライバ6の斜面61dからカムスライダ8の斜面81に、それぞれ力が伝達される。これに伴い、カムドライバ6の下向きの力がカムスライダ7,8をそれぞれ径方向外側へ動かす力に変換されて、カムスライダ7,8に形成されたS字状凸部73,83が、ナット素材1の内周面11を押して塑性変形させる。図7bはこの状態を示す。これにより、ナット素材1の内周面11に二つのボール戻し経路をなすS字状凹部15,16が形成される。その際に、カムドライバ6の先端部62は素材ホルダ2の底部材22の貫通穴22bに案内される。また、カムスライダ7に伝達された径方向の力の反力を、筒状部材5の平行面51dとカムドライバ6の平行面61eが接触することで受ける反力の延長線上の反力に垂直な面で受ける。また、カムスライダ8に伝達された径方向の力の反力を、筒状部材5の平行面51cとカムドライバ6の平行面61aとの接触、および筒状部材5の平行面51aとカムドライバ6の平行面61cとの接触で受ける反力の延長線上の反力に垂直な面で受ける。そのため、カムドライバ6が受ける曲げモーメントを小さくすることができる。よって、この第3例の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ6に破損を生じさせずに、二つのS字状凹部15,16を同時に形成することができる。また、ナット素材1の内径が同じであれば円筒部材5とカムドライバ6は共通部品として使用でき、S字状凸部73,83が異なるカムスライダ7,8を用意することで、形状が異なる多種のS字状凹部を形成できるため、少量多品種を生産する方法として好適である。また、摩耗、変形が最も生じ易いS字状凸部の交換をカムスライダ7,8のみの交換で行えるため、メンテナンスの面での利点も有する。なお、この第3例では、カムスライダの保持部材として、図9a,bに示す筒状部材5を使用しているが、カムスライダ7,8の押し出し時に筒状部材5にかかる径方向外側に広げようとする力を緩和するために、筒状部材5の外周円から中心穴51に至り軸方向全体に延びる切れ込みを設けることが好ましい。図10の例では、この切れ込み54を平行面51a~51eと平行に、筒状部材5の外周円の直径に沿って2本入れている。つまり、図10a,bに示すカムスライダの保持部材は、筒状部材5が外周円の直径に沿った面で二分割された形状の、分割体5A,5Bからなる。このような分割体5A,5Bからなるものをカムスライダの保持部材として使用することで、筒状部材5を使用した場合よりも破損しにくくなる。また、この第3例では、図7に示すように、外周面に1個のS字状凸部73,83を有するカムスライダ7,8を使用しているが、外周面に複数のS字状凸部を有するカムスライダを使用してもよいし、外周面に1個のS字状凸部を有するカムスライダを3個以上使用してもよい。図11の例では、一方のカムスライダ7の外周面に2個のS字状凸部73,73aを設け、他方のカムスライダ8の外周面に2個のS字状凸部83,83aを設けている。カムスライダ7,8の軸方向寸法は図7の場合より大きくなり、これに対応させた寸法で保持部材5の貫通穴52,53が形成されている。また、カムドライバ6の斜面61b,61dが、カムスライダ7,8の斜面71,81に対応させて形成されている。カムスライダ7の2個のS字状凸部73,73aの配置は、ナット素材1の軸方向で異なり、内周面11の周方向で同じである。カムスライダ8の2個のS字状凸部83,83aの配置は、ナット素材1の軸方向で異なり、内周面11の周方向で同じである。そして、4個のS字状凸部73,73a,83,83aの配置は、ナット素材1の軸方向で全て異なる。よって、図11の例では、カムドライバ6を上から押す操作を1回行うことで、ナット素材1の内周面11に4個のS字状凹部15,15a,16,16aを形成することができる。この例では、4個のS字状凹部15,15a,16,16aの形成位置が、ナット素材1の軸方向で全て異なり、内周面11の周方向で2個ずつ同じになる。また、図11の例では、カムスライダ7に伝達された径方向の力の反力を、軸方向におけるS字状凸部73の位置では、筒状部材5の平行面51dとカムドライバ6の平行面61eが接触することで受ける反力の延長線上の反力に垂直な面で受ける。S字状凸部73aに作用する径方向の力の反力は、カムスライダ8の2個のS字状凸部83,83aとナット素材1の内周面11との接触点で受ける。カムスライダ8に伝達されてS字状凸部83aに作用する径方向の力の反力は、カムスライダ7の2個のS字状凸部73,73aとナット素材1の内周面11との接触点で受ける。S字状凸部83に作用する径方向の力の反力は、筒状部材5の平行面51cとカムドライバ6の平行面61aとの接触で受ける反力の延長線上の軸方向における近傍の反力に垂直な面で受ける。そのため、カムドライバ6が受ける曲げモーメントを小さくすることができる。図12の例では、1個のS字状凸部を有するカムスライダを4個使用している。具体的には、図7のカムスライダ7と周方向で同じ位置で、軸方向で異なる位置にカムスライダ7Bを配置し、カムスライダ8と周方向で同じ位置で、軸方向で異なる位置にカムスライダ8Bを配置している。カムドライバ6には、カムスライダ7,8の斜面71,81に対応する斜面61b,61dに加えて、カムスライダ7B,8Bの斜面71B,81Bに対応する斜面61f,61gが形成されている。筒状部材5には、カムスライダ7,8を配置するための貫通穴52,53に加えて、カムスライダ7B,8Bを配置するための貫通穴52a,53aが形成されている。図12の金型は、カムドライバ6の斜面61b,61f間および斜面61g,61d間に、段差面61i,61jが形成されているため、カムドライバ6と全てのカムスライダを筒状部材5に組み込んでから、ナット素材1の内部に挿入する必要がある。4個のカムスライダ7,8,7B,8Bに形成されているS字状凸部73,83,73b,83bの配置は、ナット素材1の軸方向で全て異なり、内周面11の周方向で2個ずつ同じである。よって、図12の例では、カムドライバ6を上から押す操作を1回行うことで、ナット素材1の内周面11に4個のS字状凹部15,15a,16,16aを形成することができる。この例では、4個のS字状凹部15,15a,16,16aの形成位置が、ナット素材1の軸方向で全て異なり、内周面11の周方向で2個ずつ同じになる。さらに、図7の筒状部材5と類似の筒状部材カムスライダの保持部材50と、図7のカムドライバ6と類似のカムドライバ6Aと、1個のカムスライダ7を有する金型を用いて、1個のS字状凹部15を形成する例を図13に示す。図13の例では、1個のカムスライダ7が筒状部材50で保持されており、筒状部材50には貫通穴52は形成されているが、貫通穴53は形成されていない。カムドライバ6は、斜面61dがなくて、平行面荷重受け面61eが先端部62の近くまで延びていて、段差面61hを有する。また、カムドライバ6の平行面61eに接触する平行面荷重受け面51dが筒状部材50に形成されている。そのため、カムドライバ6Aを上から押して、カムドライバ6Aの斜面61bからカムスライダ7の斜面71に力を伝達してカムスライダ7を径方向外側へ動かす時に、カムスライダ7に伝達された径方向の力の反力を、筒状部材50の平行面51dとカムドライバ6Aの平行面61eが接触することで受ける反力の延長線上の反力に垂直な面で受ける。なお、第1実施形態の場合は、ナット素材1の内周面11が反力の延長線上の反力に垂直な面となっている。図13の例は、第1例のように筒状部材50を用いない場合と比較して、ナット素材1の内径が同じであれば円筒部材50とカムドライバ6Aを共通部品として使用でき、S字状凸部73が異なるカムスライダ7を用意することで、形状が異なる多種のS字状凹部を形成できるため、少量多品種を生産する方法として好適である。また、摩耗、変形が最も生じ易いS字状凸部の交換をカムスライダ7のみの交換で行えるため、メンテナンスの面での利点も有する。また、図11~13の例においても、筒状部材5,50に代えて図10に示すような分割体5A,5Bからなるものをカムスライダの保持部材として使用することで、破損しにくくすることができる。カムスライダが周方向で複数箇所に配置される場合は、各カムスライダを配置する部分図10の貫通穴52,53が分離されるように、切れ込み54を入れることが好ましい。すなわち、例えば、カムスライダが周方向で3等配されている場合は、3分割された形状の分割体を用いることが好ましい。[第4例]この第4例で使用する金型は、図14に示すように、ナット素材1を保持する凹部21を有する素材ホルダ2と、ナット素材1の内部に挿入する筒状部材カムスライダの保持部材9と、筒状部材9の中心穴91に挿入するカムドライバ60と、筒状部材9の貫通穴92,93に配置されるカムスライダ7A,8Aとを有する。素材ホルダ2の凹部21の中心に、筒状部材9の先端部を保持する凹部21aが形成されている。カムドライバ60は、図15に示すように、長尺な四角柱状に形成された本体部63と円柱状の先端部62とからなる。本体部63の両側面64,65の先端部62側に、凹部66,67が形成されている。一側面64側の凹部66には、先端部62側から、軸方向と平行な平行面66a、軸方向に対して傾斜している斜面66bが形成されている。他側面65側の凹部67には、軸方向に対して傾斜している斜面67aが形成されている。他側面65の凹部67開始位置平行面65と斜面67aとの境界は、一側面の平行面66aと斜面66bとの境界より少し先端部62側にある。先端部62をなす円柱の直径は、本体部63の下端先端部62側での凹部66の底面と凹部67の底面との間隔と同じである。これらの事項は必須ではないが、このようにすることで、先端部62および本体部63の先端部62に近い部分の強度が高くなるため好ましい。筒状部材9は、ナット素材1の内周面より僅かに小さい外周面を有する。図16abに示すように、筒状部材9の中心穴91は、カムドライバ60の本体部63に対応する断面形状を有する。この中心穴91を形成する軸方向と平行な平行面91a,91bが、カムドライバ60の軸方向と平行な側面64,65を受ける面荷重受け面となっている。カムスライダ7A,8Aは、図16cに示すように、斜面71,81を有する略台形柱状部の外側に、円周面72,82を有する弓形柱状部が存在している形状の部材であり、ボール戻し経路をなすS字状凹部に対応するS字状凸部73,83が、円周面72,82に形成されている。斜面71,81は、カムドライバ60の斜面66b,67aと同じ傾斜であり、円周面72,82は、円11aで示されるナット素材1の内周面11とほぼ同じである。カムドライバ60の本体部63の軸方向寸法は、筒状部材9の軸方向寸法より長い。カムスライダ7Aの斜面71とカムドライバ60の斜面66b、およびカムスライダ8Aの斜面81とカムドライバ60の斜面67aが、それぞれ金型のカム機構を構成する。素材ホルダ2の底板部の中心に、カムドライバ60の先端部62が入る円形の貫通穴23が形成されている。この金型を用い、以下の方法で、ナット素材1の内面にボール戻し経路をなすS字状凹部を形成する。先ず、素材ホルダ2の凹部21にナット素材1を配置した後、ナット素材1の内部に、カムスライダ7A,8Aが凸部73,83を外側に向けて貫通穴92,93に保持された筒状部材9を挿入して、その先端部を凹部21aに配置する。次に、筒状部材9の中心穴91に先端部62側からカムドライバ60を挿入し、カムドライバ60の先端部62を素材ホルダ2の貫通穴23に入れる。図14aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ60を上から押すと、カムドライバ60の斜面66bからカムスライダ7Aの斜面71に、カムドライバ60の斜面67aからカムスライダ8Aの斜面81に、それぞれ力が伝達される。これに伴い、カムドライバ60の下向きの力がカムスライダ7A,8Aをそれぞれ径方向外側へ動かす力に変換されて、カムスライダ7A,8Aに形成されたS字状凸部73,83が、ナット素材1の内周面11を押して塑性変形させる。図14bはこの状態を示す。これにより、ナット素材1の内周面11に、二つのボール戻し経路をなすS字状凹部15,16が形成される。その際に、カムドライバ60の先端部62は素材ホルダ2の貫通穴23に案内される。また、カムスライダ7Aに伝達された径方向の力の反力を、筒状部材9の平行面91bとカムドライバ60の側面65が接触することで受ける反力の延長線上の反力に垂直な面で受ける。また、カムスライダ8Aに伝達された径方向の力の反力を、筒状部材9の平行面91aとカムドライバ60の側面64の平行面66aの両側部分64aが接触することで受ける反力と同じ軸方向位置で、反力の延長線上の近傍、且つ、反力に垂直な面で受ける。そのため、カムドライバ60が受ける曲げモーメントを小さくすることができる。よって、この第4例の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ60に破損を生じさせずに、二つのS字状凹部15,16を同時に形成することができる。また、この第4例の方法で使用するカムドライバ60および保持部材9は、第3例で使用するカムドライバ6および保持部材5と比較して荷重受け面の面積が大きいため、第3例の方法よりもカムドライバに破損が生じにくい。さらに、荷重受け面筒状部材9の平行面91a,91bおよびカムドライバ60の側面63,64が軸方向全体に設けてあるため、ナット素材1に形成する二つのS字状凹部15,16の軸方向間隔が狭い場合でも、カムスライダに伝達された径方向の力の反力を十分に受けることができる。また、ナット素材1の内径が同じであれば円筒部材9とカムドライバ60は共通部品として使用でき、S字状凸部73,83が異なるカムスライダ7A,8Aを用意することで、形状が異なる多種のS字状凹部を形成できるため、少量多品種を生産する方法として好適である。また、摩耗、変形が最も生じ易いS字状凸部の交換をカムスライダ7A,8Aのみの交換で行えるため、メンテナンスの面での利点も有する。なお、この第4例では、カムスライダの保持部材として、図16a,bに示す筒状部材9を使用しているが、カムスライダ7A,8Aの押し出し時に筒状部材9にかかる径方向外側に広げようとする力を緩和するために、筒状部材9の外周円から中心穴91に至り軸方向全体に延びる切れ込みを設けることが好ましい。図17の例では、この切れ込み94を平行面91a,91bと平行に、筒状部材9の外周円の直径に沿って2本入れている。つまり、図17a,bに示すカムスライダの保持部材は、筒状部材9が外周円の直径に沿った面で二分割された形状の、分割体9A,9Bからなる。このような分割体9A,9Bからなるものをカムスライダの保持部材として使用することで、筒状部材9を使用した場合よりも破損しにくくなる。また、この第4例では、図14に示すように、外周面に1個のS字状凸部73,83を有するカムスライダ7A,8Aを使用しているが、外周面に複数のS字状凸部を有するカムスライダを使用してもよいし、外周面に1個のS字状凸部を有するカムスライダを3個以上使用してもよい。図18の例では、一方のカムスライダ7Aの外周面に2個のS字状凸部73,73aを設け、他方のカムスライダ8Aの外周面に2個のS字状凸部83,83aを設けている。カムスライダ7A,8Aの軸方向寸法は図14の場合より大きくなり、これに対応させた寸法で保持部材9の貫通穴92,93が形成されている。また、カムドライバ60の斜面66b,67aが、カムスライダ7A,8Aの斜面71,81に対応させて形成されている。カムスライダ7Aの2個のS字状凸部73,73aの配置は、ナット素材1の軸方向で異なり、内周面11の周方向で同じである。カムスライダ8Aの2個のS字状凸部83,83aの配置は、ナット素材1の軸方向で異なり、内周面11の周方向で同じである。そして、4個のS字状凸部73,73a,83,83aの配置は、ナット素材1の軸方向で全て異なる。よって、図18の例では、カムドライバ60を上から押す操作を1回行うことで、ナット素材1の内周面11に4個のS字状凹部15,15a,16,16aを形成することができる。この例では、4個のS字状凹部15,15a,16,16aの形成位置が、ナット素材1の軸方向で全て異なり、内周面11の周方向で2個ずつ同じになる。また、図18の例では、カムスライダ7Aに伝達された径方向の力の反力を、S字状凸部73,73aのいずれの位置でも、筒状部材9の平行面91bとカムドライバ60の側面65が接触することで受ける反力の延長線上の反力に垂直な面で受ける。また、カムスライダ8Aに伝達された径方向の力の反力を、S字状凸部83,83aのいずれの位置でも、筒状部材9の平行面91aとカムドライバ60の側面64の平行面66aの両側部分64aが接触することで受ける反力と同じ軸方向位置で、反力の延長線上の近傍、且つ、反力に垂直な面で受ける。そのため、カムドライバ60が受ける曲げモーメントを小さくすることができる。また、図11の例と図18の例を比較すると、図11の例は図18の例よりも金型の構造が簡単なものであるという点で有利であり、図18の例は図11の例よりもカムドライバが受ける曲げモーメントを小さくすることができるという点で有利である。第2実施形態第2実施形態は、ボールねじを構成するナットの製造方法に関する。ボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。ボールねじのボール戻し経路には循環チューブ方式やコマ方式などがあり、コマ方式の場合は、ボール戻し経路をなす凹部が形成されたコマをナットの貫通穴に嵌めている。これに対して、特許文献1には、ボール戻し経路をなす凹部循環溝を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成することが記載されている。その形成方法は、図19を用いて説明した通りであるので、ここでの説明は省略する。前記特許文献1に記載された方法では、ナットの軸方向寸法が長く内径が小さい場合に、金型の加工ヘッドが細長くなるため、強度が不足して破損し易くなるという問題点がある。第2実施形態の課題は、複数のボール戻し経路をナット素材の内周面に塑性加工で直接、複数の凹部として形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記複数の凹部を形成できる方法を提供することである。上記課題を解決するために、この第2実施形態は、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に複数の凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻す複数のボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじの前記ナットの製造方法であって、円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記複数の凹部に対応する複数の凸部の少なくとも一つが形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動する複数のカムスライダと、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記複数の凹部を前記ナット素材の内周面に塑性加工で同時に形成することを特徴とする。この第2実施形態の方法によれば、前記金型を用いたプレス法により、カム機構をなす斜面でカムドライバの前記軸方向への運動が前記径方向へ方向を変えて複数のカムスライダに伝達され、複数のカムスライダに形成された複数の凸部がナット素材の内周面を押して塑性変形させることで、前記ナット素材の内周面に前記複数の凹部が形成される。そして、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、特許文献1の方法と比較して前記金型に破損が生じ難い。この第2実施形態の方法は、前記金型として、前記カムドライバが前記ナット素材の軸方向と平行な荷重受け面を有し、前記カムドライバ以外の部材例えば、ナット素材を保持する部材の底部やカムスライダを保持する部材に前記荷重受け面と接触する荷重受け面が形成されているものを用いてプレスを行うことができる。これにより、前記カムスライダに伝達された前記径方向の力の反力を、前記両荷重受け面が接触することで受ける反力に垂直な面で受けることができるため、カムドライバが細長い形状であっても、カムドライバが受ける曲げモーメントを小さくすることができる。この第2実施形態の方法は、また、前記金型として、前記複数のカムスライダがカムドライバとナット素材との間に配置される保持部材に保持され、前記保持部材が前記荷重受け面を有するものを用いてプレスを行うことができる。この第2実施形態の方法において、前記複数のカムスライダに形成された凸部の前記ナット素材の径方向外側への移動量押し込み量を、例えば、ナット素材の前記複数の凹部を形成する部分の塑性流動の違いに対応させて変える塑性流動し易い部分の押し込み量を少なくし、塑性流動しにくい部分の押し込み量を多くすることにより、前記複数の凹部の形状および寸法を均一に形成することができる。前記複数のカムスライダとカムドライバが接触する複数の斜面の傾斜角度を変えることで、各カムスライダに形成された凸部の前記ナット素材の径方向外側への移動量を変えることができる。この第2実施形態の方法によれば、複数のボール戻し経路をナット素材の内周面に塑性加工で直接、複数の凹部として形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記複数の凹部を形成することができる。[第1例]第1実施形態の第2例の方法では、図4に示すように、斜面33の傾斜角度が同じで、凸部35,36の径方向への突出寸法が同じである1対のカムスライダ3を用い、凸部35,36がナット素材1の内周面11を押し始めるタイミングを同じにすることで、凸部35,36の押し込み量ナット素材1の径方向への移動量を同じにしてS字状凹部15,16を形成している。ナット素材1の拘束型として、ナット素材1の軸方向下端面と外周面が拘束される素材ホルダ2を用いている場合、ナット素材1の軸方向下部は、素材ホルダ2の凹部21で拘束されている端面に近いため、凹部21で拘束されていない端面に近い軸方向上部よりも塑性流動しにくくなる。よって、第1実施形態の方法のように、凸部35,36の押し込み量が同じであると、上側のS字状凹部15と下側のS字状凹部16が均一な形状および寸法に形成されにくい。これに対して、第2実施形態の第1例の方法では、図20に示すように、斜面133の傾斜角度が同じで、凸部135,136の径方向への突出寸法が異なる上側のS字状凹部115を形成する凸部135が、下側のS字状凹部116を形成する凸部136より小さいカムスライダ103A,103Bを用いている。この点を除くと、第2実施形態の第1例で使用する金型は第1実施形態の第2例で使用する金型と同じである。そのため、図20に示すように、カムスライダ103A,103Bの凸部135,136の径方向外端部がナット素材101の内周面111と接触し、且つカムスライダ103Bの斜面133がカムドライバの斜面141aと接触している状態、すなわち、カムスライダ103Bの凸部136がナット素材101の内周面111に押し込まれる直前の状態において、カムドライバ104の斜面141aとカムスライダ103Aの斜面133が隙間を有して対向している。よって、この状態でカムドライバ104を上から押した時に、凸部136が形成されているカムスライダ103Bが、凸部135が形成されているカムスライダ103Aよりも先に径方向外側へ移動して、凸部136の方が凸部135よりも先にナット素材101の内周面111を押し始める。その後、カムドライバ104の移動に伴ってカムドライバ104の斜面141aとカムスライダ103Aの斜面133が接触した後は、カムスライダ103A,103Bがそれぞれ径方向外側へ移動していく。このとき、カムスライダ103A,103Bの斜面133カムドライバ104の一対の斜面141aの傾斜角度が同じであるため、径方向外側への移動量は、ナット素材101の内周面111を押し始めるタイミングが遅い凸部135の方が凸部136より少なくなる。凸部135,136の径方向への突出寸法の差は、この移動量の差に対応させている。以上のように、この第2実施形態の第1例の方法によれば、凸部135,136がナット素材101の内周面111を押し始めるタイミングを変えて、ナット素材101の内周面111に対する凸部135,136の押し込み量を変えることにより、第1実施形態の第2例の方法と比較して、上側のS字状凹部115と下側のS字状凹部116を均一な形状および寸法に形成され易くなる。なお、図20bでは、上側のS字状凹部115と下側のS字状凹部116が、対応する凸部135,136の突出寸法に対応した異なる深さで形成されているように見えるが、この図は説明図に過ぎず、この第2実施形態の第1例の方法を実施すると、実際には、上側のS字状凹部115と下側のS字状凹部116が均一な形状および寸法に形成される。また、第1実施形態の第3例および第4例の方法に、この第2実施形態の第1例の方法1対のカムスライダで凸部がナット素材の内周面を押し始めるタイミングを変えることで、各凸部の押し込み量を変える方法を適用することもできる。[第2例]この第2実施形態の第2例の方法では、図21に示すように、第1実施形態の第3例で使用する図7の金型と以下の点を除いて同じ金型を使用する。すなわち、第2例で使用する金型は、上側のS字状凹部115を形成するカムスライダ107の凸部173の径方向への突出寸法が、下側のS字状凹部116を形成するカムスライダ108の凸部183より小さい。カムスライダ107の斜面171の傾斜角度がカムスライダ108の斜面181の傾斜角度より小さく、これに対応して、カムドライバ106の斜面161bの傾斜角度が斜面161dの傾斜角度より小さい。そのため、カムドライバ106を上から押した時に、カムスライダ107,108は同時に、ナット素材101の径方向外側へ移動して、凸部173,183がナット素材101の内周面を押し始める。その後、カムスライダ107,108は、それぞれカムドライバ106の移動に伴って径方向外側へ移動していくが、カムスライダ107の斜面171の傾斜角度がカムスライダ108の斜面181の傾斜角度より小さいため、径方向外側への移動量は、カムスライダ107の方がカムスライダ108より少なくなる。凸部173,183の径方向への突出寸法の差は、この移動量の差に対応させている。以上のように、この第2実施形態の第2例の方法によれば、凸部173,183がナット素材101の内周面111を押し始めるタイミングは同じであるが、カムドライバ106とカムスライダ107,108が接触する斜面171,181の傾斜角度を変えて、ナット素材101の内周面111に対する凸部173,183の押し込み量を変えることにより、第1実施形態の第3例の方法と比較して、上側のS字状凹部115と下側のS字状凹部116を均一な形状および寸法に形成され易くなる。なお、図21bでは、上側のS字状凹部115と下側のS字状凹部116が、対応する凸部173,183の突出寸法に対応した異なる深さで形成されているように見えるが、この図は説明図に過ぎず、この第2実施形態の第2例の方法を実施すると、実際には、上側のS字状凹部115と下側のS字状凹部116が均一な形状および寸法に形成される。また、この第2実施形態の第2例の方法では、カムドライバ106とカムスライダ107,108が接触する斜面171,181の傾斜角度を変えることと、凸部173,183がナット素材101の内周面111を押し始めるタイミングを変えること第1実施形態の第4例の方法を組み合わせて、ナット素材101の内周面111に対する凸部173,183の押し込み量を変えるようにしてもよい。また、第2実施形態の第1例および第2例では、上側のS字状凹部115と下側のS字状凹部116を均一な形状および寸法に形成するために、拘束状態の違いによるナット素材101の塑性流動の違いに対応させて、一対のカムスライダの凸部の押し込み量を変化させている。このようなナット素材の拘束状態の違いに伴う塑性流動の違いがある例以外に、ナット素材の外周にフランジが形成されている場合などでも、ナット素材の内周面に対する複数のカムスライダの凸部の押し込み量を変えることで、複数の凹部を均一に形成し易くすることができる。また、第2実施形態の第1例および第2実施形態の第2例では、上側の凸部の押し込み量を下側の凸部の押し込み量より少なくしているが、ナット素材の拘束状態や外周形状などに応じて、上側の凸部の押し込み量を下側の凸部の押し込み量より多くしてもよい。また、第1実施形態の第2例、第3例、第4例、及び、第2実施形態の第1例、第2例では、ナット素材1101の内周面11111に2個のS字状凹部ボール戻し経路を形成する凹部15115,16116を形成する場合を説明しているが、第2実施形態の方法は、ボール戻し経路を形成する凹部をナット素材の内周面に3個以上形成する場合にも当然に適用できる。第3実施形態第3実施形態は、ボールねじの製造方法およびこの方法で製造されたボールねじに関する。ボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。ボールねじのボール戻し経路には循環チューブ方式やコマ方式などがあり、コマ方式の場合は、ボール戻し経路をなす凹部が形成されたコマをナットの貫通穴に嵌めている。これに対して、特許文献1には、ボール戻し経路をなす凹部循環溝を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成することが記載されている。その形成方法は、図19を用いて説明した通りであるので、ここでの説明は省略する。しかしながら、特許文献1に記載された方法では、ナットの軸方向寸法が長く内径が小さい場合、金型の加工ヘッドが細長くなるため、強度が不足して破損し易くなるという問題点がある。また、前記凹部の形成に伴う材料の流れが制御できず、前記ナット素材の軸方向に向かうことで、ナット素材の軸方向両端面が変形して凸状になる。ナット素材の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面となるため、凸状になるとそのままでは螺旋溝加工精度が低下するという問題点もある。第3実施形態の課題は、ボール戻し経路をなす凹部を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記凹部を形成できるとともに、前記ナット素材の軸方向両端面の変形が抑制できる方法を提供することである。上記課題を解決するために、第3実施形態は、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじの製造方法であって、円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹部に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、前記外周面を受ける内周面に前記凸部に対応する凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹部を形成し、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の外周部を突出させることを特徴とする。この第3実施形態の方法によれば、前記金型を用いたプレス法により、カム機構をなす斜面でカムドライバの前記軸方向への運動が前記径方向へ方向を変えてカムスライダに伝達され、カムスライダに形成された凸部がナット素材の内周面を押して塑性変形させることで、前記ナット素材の内周面に前記凹部が形成される。そして、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、特許文献1の方法と比較して前記金型に破損が生じ難い。また、前記拘束部材により、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面が拘束され、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の外周部を突出させるため、前記凹部の形成に伴い材料が前記ナット素材の軸方向に流れることが抑制される。よって、前記凹部の形成時に、前記ナット素材の軸方向両端面が変形しにくくなる。ナット素材の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面となるため、そのまま使用した場合の螺旋溝加工精度が向上する。この第3実施形態の方法で製造されたボールねじは、前記ナットの外周面の前記凹部に対応する位置に突起が形成されたものとなる。第3実施形態の方法によれば、ボール戻し経路をなす凹部を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記凹部を形成できるとともに、前記ナット素材の軸方向両端面の変形を抑制できる。以下、第3実施形態について説明する。この実施形態で使用する金型は、図22~24に示すように、ナット素材201の内部に挿入するカムドライバ202と、ナット素材201とカムドライバ202との間に配置されるカムスライダ203A~203Dと、ナット素材201と同じ内径の凹部241が上面の中心に形成された台204と、ナット素材201の上端面と外周面を拘束する拘束部材205と、拘束部材205の外側への移動を規制する外方部材206と、を備えている。カムドライバ202は、図23aに示すように、断面が正方形の棒状部材であって、断面の正方形が軸方向で変化しない基端部221と、断面の正方形が先端に向けて小さくなる本体部222とからなる。すなわち、基端部221の四つの側面221a~221dは前後と左右でそれぞれ平行な面であり、本体部222の四つの側面222a~222bは、傾斜が同じ斜面になっている。カムスライダ203A~203Dは、図23bおよびcに示すように、ナット素材201の内径より僅かに小さい径の外周面231を有する円柱を、周方向で四分割した形状の部材であって、外周面231の反対側に、カムドライバ202の四つの側面222a~222bと傾斜が同じ斜面233が形成されている。カムスライダ203A~203Dを、外周面231をナット素材201の内周面211をなす円211aに合わせて配置すると、円211aの中心に、四つの斜面233により、カムドライバ202が挿入される空間が形成される。また、各カムスライダ203A~203Dの外周面231に、四つのボール戻し経路をなすS字状凹部に対応するS字状凸部235A~235Dが形成されている。カムドライバ202の傾斜した側面222a~222dとカムスライダ203の斜面233が、金型のカム機構を構成する。拘束部材205は、図24aに示すように、外周円が軸方向でテーパ状に変化する円筒体が、周方向で四分割された形状の分割体251~254からなる。図24bに示すように、各分割体251~254の内周面は、外周面の大径側が、ナット素材201の外径に対応させた大径部251a~254aに形成され、外周面の小径側が、ナット素材201の内径より少し大きな外径よりは小さい小径部251b~254bに形成されている。これにより、大径部251a~254aと小径部251b~254bの境界に、ナット素材201の上端面に接触させる拘束面251c~254cが形成されている。また、各分割体251~254の内周面の大径部251a~254aに、カムスライダ203のS字状凸部235A~235Dに対応する凹み部251d~254dが形成されている。各分割体251~254の内周面の大径部251a~254aが、ナット素材201の外周面を受ける内周面に相当する。外方部材206は、拘束部材205のテーパ状外周面に対応する内周面261と、台204の外形と同じ外形面を有する筒状体である。この金型を用い、以下の方法で、ナット素材201の内面に四つのボール戻し経路をなすS字状凹部を形成する。先ず、台204の上の中心にナット素材201を配置し、凹部241の内周面にナット素材201の内周面を合わせる。次に、拘束部材205の各分割体251~254を台204の上に配置し、内周面の大径部251a~254aをナット素材201の外周面に接触させ、拘束面251c~254cをナット素材201の上端面に接触させる。次に、外方部材206を台204の上に配置して、内周面261を拘束部材205のテーパ状外周面に接触させる。この状態で外方部材206を台204に固定する。これにより、外方部材206で、拘束部材205をなす分割体251~254の径方向外側への移動が規制され、拘束部材205と台204で、ナット素材201の軸方向両端面と外周面が拘束された状態となる。次に、ナット素材201内にカムスライダ203A~203Dを、各外周面231をナット素材201の内周面に向けて挿入する。これにより、カムスライダ203A~203Dの四つの斜面233で、カムドライバ202が挿入される空間が形成される。次に、この空間にカムドライバ202の本体部222の先端を挿入する。図22aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ202を上から押すと、カムドライバ202の傾斜した側面222a~222dから、カムスライダ203A~203Dの斜面233に力が伝達される。これに伴い、カムドライバ202の下向きの力が、各カムスライダ203A~203Dを径方向外側へ動かす力に変換されて、各カムスライダ203A~203Dに形成されたS字状凸部235A~235Dが、ナット素材201の内周面211を押して塑性変形させる。これに伴って、ナット素材201の外周部に存在する材料が、拘束部材205を構成する分割体251~254の凹み部251d~254dに押し込まれる。図22bはこの状態を示す。これにより、ナット素材201の内周面211に、四つのボール戻し経路をなすS字状凹部212A~212Dが形成される。また、拘束部材205を構成する分割体251~254の凹み部251d~254dに、ナット素材201の外周部が突出して、突起213A~213Dが形成される。この方法で、S字状凹部212A~212Dと突起213A~213Dが形成されたナット素材201を図25に示す。図25aは正面図であり、図25bはそのA-A断面図であり、図25cはそのB矢視図であり、図25dは斜視図である。このナット素材201に螺旋溝やシール取付溝などを形成することで、ボールねじのナットが製造される。この実施形態の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ202に破損を生じさせずに、ナット素材201に四つのS字状凹部212A~212Dを同時に形成することができる。また、S字状凸部235A~235Dにより径方向外側に押されたナット素材201の材料が凹み部251d~254dに向かうことで、軸方向端面に向かうことが抑制されるため、ナット素材201の軸方向両端面に変形が生じにくい。ナット素材201の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面となるため、そのまま使用して螺旋溝の加工を行った場合でも加工精度が良好となる。なお、ナット素材201の軸方向端面には、上記方法による加工前に、予め切り欠き214が設けられている。この切り欠き214は、例えば後述する図74に示すナットの製造工程の鍛造時や切削時において、ナット素材の位置決めに利用されるものである。上記方法による加工においては、切り欠き214に肉が流れ込まないようにし、且つ、ナット素材201を位置決めするために、金型に形成された凸部図示せずを切り欠き214内に嵌め込んで加工を行う。第4実施形態第4実施形態は、ボールねじの製造方法及びボールねじ用のナットに関する。ボールねじは、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ねじ軸の螺旋溝と対向する螺旋溝が内周面に形成されたナットと、ねじ軸の螺旋溝とナットの螺旋溝とで形成される空間において転動自在なボールと、を備え、ボールが転動することでナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。そして、ボールねじには、ナットの内周面にS字形状の循環溝により、ボール戻し経路が実現されているものがある例えば特許文献4~6を参照。このようなS字形状の循環溝を成形する方法として、パンチによる塑性加工によりナットナット素材の内周面に成形する方法がある例えば特許文献1を参照。このとき、成形品の変形の減少や材料流動の減少によるS溝のピッチやS溝の深さ、位相の精度向上、又はパンチの成形面圧の減少による寿命の向上のために、S字形状の循環溝の成形に際してナットの外周方向に材料の逃がすことは効果的である。図30は、S字形状の循環溝が成形されたナット素材を示す。図30aは正面図であり、図30bはそのA-A断面図であり、図30cはそのB矢視図であり、図30dは斜視図である。図30に示すように、ナット素材350の内周面351には、S字形状の循環溝352a~352dが形成されている。また、ナット素材350には、循環溝352a~352dの成形の際の材料の逃げにより、該循環溝352a~352dに対応して、外周面353から突出する突起354a~354dが形成されている。しかしながら、そのように材料を逃がしてナットナット素材の外周面の一部から突出した突起は、ボールねじの取り扱いや外観の観点から、断続切削加工等の除去加工により除去する場合がある。そして、このような除去加工を経ることにより、ナットの製造のコストアップが生じるおそれがあるため、改善の余地があった。第4実施形態の目的は、突起の除去工程を省くことを可能にすることである。第4実施形態のボールねじの製造方法は、外周面に転動体転動溝が形成されたねじ軸と、前記ねじ軸の転動体転動溝と対向する転動体転動溝、及び少なくとも1条の該転動体転動溝の両端部を接続するS字形状の循環用の溝が内周面に形成されたナットと、前記ねじ軸の転動体転動溝と前記ナットの転動体転動溝とで形成される空間及び前記S字形状の循環用の溝において転動自在なボールと、を備えるボールねじの製造方法において、前記ナットの外周面の一部を、前記ナットの外周面の他の部位となる円形状の部位の半径よりも短い距離に位置されるように形成して、前記ナットの内周面にパンチを押し込んで前記S字形状の循環用の溝を成形することにより前記ナットの外周面に突出される突起が前記外周面の一部上に形成されるようにし、前記外周面の一部は、前記突起が前記円形状の部位の半径よりも短い距離に位置されるように形成されることを特徴とする。また、第4実施形態のボールねじ用のナットは、ねじ軸の外周面に形成された転動体転動溝と対向するように内周面に転動体転動溝が形成されるとともに、少なくとも1条の該転動体転動溝の両端部を接続するS字形状の循環用の溝が内周面に形成され、該転動体転動溝と前記ねじ軸の転動体転動溝とで形成される空間及び前記S字形状の循環用の溝においてボールを転動自在に保持するボールねじ用のナットにおいて、前記ナットの内周面にパンチを押し込んで前記S字形状の循環用の溝を成形することにより前記ナットの外周面に突出される突起が、前記ナットの外周面の円形状の部位の半径よりも短い距離に位置されることを特徴とする。第4実施形態よれば、突起がナットの外周面の円形状の部位の半径よりも短い距離に位置されるように形成されるため、突起の除去工程を省くことが可能になる。以下に、第4実施形態のボールねじナットの製造方法について説明する。構成等図26は、第4実施形態のボールねじナットの製造方法によりS字形状の循環溝以下、S溝ともいう。を成形するナット素材301の形状を示す。図26の上図は正面図であり、図26の下図は軸方向に沿った縦断面図である。図26に示すように、ナット素材301は円筒形状をなしている。そして、ナット素材301の外周面301aの一部は、他の部位となる円形状の部位の半径二点鎖線で示す仮想面301dよりも、ナット中心軸からの距離が短くなるような位置に形成された平面部301bとされている。すなわち、ナット素材301は、円形状の外周面301aの一部が面削ぎされたような形状になっている。この平面部301bは、ナット素材301の軸方向に延在するように形成されている。後述するように、ナット素材301の内周面301cにS溝を成形すると、ナット素材301の外周面301aのこの平面部301b上に突起が形成されるようになる。このようなことから、平面部301bは、該平面部301b上に形成される突起が円形状部位の半径の位置二点鎖線で示す仮想面301dよりも外方に出ることがないように形成されている。また、第4実施形態では、ナット素材301の内周面301cに成形されるS溝に対応して、ナット素材301の周方向に90°の間隔をおいて4箇所の平面部301bが形成されている。例えば、平面部301bは、プレス加工や切削加工等によりナット素材301の外周面301aに設けられる。図27は、第4実施形態のボールねじナットの製造方法として、パンチ311による塑性加工によりナット素材301の内周面301cにS溝302を成形する方法を示す。図27a及びbに示すように、この方法では、円筒状のナット素材301を拘束型312で拘束し、拘束したナット素材301の内周面301cにパンチ311を押し込んでいる。拘束型312は、ナット素材301の外周面301aに対応する形状の内周面312aを有しており、その内周面312aでナット素材301を拘束する。ここで、拘束型312の内周面312aには、ナット素材301の内周面にパンチ311を押し当てる位置に対応して、内方に突出した平面部312bが形成されている。そして、平面部312b上には、凹溝形状の材料逃がし部312cが形成されている。例えば、材料逃がし部312cは、平面視で略S字形状をなしている。パンチ311は、ナット素材301の内周面301cにS溝を成形可能な形状をなしている。すなわち例えば、パンチ311は、平面視で略S字形状をなしている。これにより、図27a成形開始時を示す図からb成形終了時を示す図に示すように、この方法では、拘束型312により外周面301aを拘束されたナット素材301の内周面301cに対して、パンチ311を押し込んでS溝302を成形している。図28は、第4実施形態のボールねじナットの製造方法によりS溝302が成形されたナット素材301の形状を示す。図28の上図は正面図であり、図28の下図は軸方向に沿った縦断面図である。図28に示すように、ナット素材301の内周面301cにはS溝302が複数形成される。また、ナット素材301の外周面301aの平面部301bには、内周面301cに形成された各S溝302に対応して、突起303が形成される。そして、この突起303は、ナット素材301の外周面301aの円形状部位の半径の位置よりも内側に位置される。図29は、以上のような製造方法により製造されたナットナット素材301を備えるボールねじ320を示す。図29に示すように、ボールねじ320は、ナット素材301の他に、ねじ軸330及びボール340を有する。ねじ軸330には、その外周面に断面円弧状の雄螺旋溝331が形成されている。このボールねじ320では、ねじ軸330とナット素材301の両螺旋溝331,304により規定される空間内に多数のボール340が転動自在に配され、このボール340は、ねじ軸330とナット素材301との相対螺旋運動時に螺旋溝331,304に沿って転動移動可能となっている。そして、ナット素材301の内周面では、雌螺旋溝304より深い半径方向外方に突出した部分を有する循環路302が雌螺旋溝304の両端部をなめらかに接続している。ねじ軸330の雄螺旋溝331に沿って転動移動するボール340は、ねじ軸330の隣り合う雄螺旋溝331を隔てている峰332に沿って案内され、更に循環路302に案内されることで、この峰332を乗り越えて隣の転動してきた雄螺旋溝331に戻されすなわち循環可能となっている。なお、図29に示す例では、循環路302により案内されるボール340を示しており、実際には、両螺旋溝331,304により規定される空間内にもボール340が存在している。また、ナット素材301が非回転状態に支持されている場合、ねじ軸330を回転させると、ボール案内路螺旋溝331,304及び循環路302毎にボール340が転動しつつ無限循環を繰り返して、ナット素材301は、ねじ軸330の回転方向に応じて前進又は後退方向に直進運動をすることとなる。作用、効果等前述のように、第4実施形態では、ナット素材1の外周面301aに平面部301bを形成することで、ナット素材301の内周面301cへのS溝302の成形の際に外周面301aに形成される突起303が、ナット素材301の外周面301aの円形状部位の半径位置よりも内側に位置されるようにしている。すなわち、第4実施形態では、S溝の成形の際に材料逃げにより生じた突起303が製品外径から飛び出さないようにしている。これにより、第4実施形態では、そのような突起を除去するための断続切削加工等の除去加工を省略することができる。これにより、第4実施形態では、ナットの製造のコストアップを抑制できる。第4実施形態の変形例第4実施形態では、ナット素材301の外周面301aの一部を平面部平面形状にするのではなく、他の形状にすることもできる。例えば、第4実施形態では、ナット素材301の外周面301aに、ナット素材301の中心方向に向かって凸となる略U字形状の面やスロット溝細長い溝を形成することもできる。また、第4実施形態では、ナット素材301の外周面301aに形成するそのような平面形状等の部位をナット素材301の軸方向に延在するように形成するのではなく、形成される突起に対応する部位にのみ形成することもできる。この場合、そのような平面形状等の部位は、内周面301cのS溝302の形成位置に対応して、ナット素材301の外周面301aに点在するようになる。また、第4実施形態では、図28に示したように、ナット素材301にS溝302を4箇所設けることに限定されるものではなく、少なくとも1箇所に設けるようにしてもよい。さらに、第4実施形態では、S溝302の成形前のナット素材301の外周面301aのうち、S溝302の形成位置に対応する部分に、凹部を設けておいてもよい。このような凹部が設けられたナット素材301に対してS溝302の成形を行うと、ナット素材301の内周面301cへのS溝302の成形によってナット素材301の外周面側に材料が逃げても、該外周面側には凹部が設けられているため、突起303は生じない。あるいは、突起303が生じたとしても、突起303の先端が、ナット素材301の外周面301aの円形状部位の半径位置よりも内側に位置されるようにしている。すなわち、突起303の先端が、製品外径から外方に飛び出すことはない。よって、突起を除去するための断続切削加工等の除去加工を省略することができる。これにより、第4実施形態では、ナットの製造のコストアップを抑制できる。例えば、図31の例であれば、S溝302の成形前のナット素材301の外周面301aに、略楕円形状の開口部を有する凹部301fが形成されている。この凹部301fによる除肉量は、S溝302の成形による内周面301cの除肉量とほぼ同体積である。凹部301fの形成方法は特に限定されるものではないが、切削加工があげられる。また、鍛造や鋳造によりナット素材301を製造する際に凹部301fを形成してもよい。このナット素材301の内周面301cへS溝302を成形すると、逃げた材料が径方向外方へ押し出された上、内周面301cに沿って広がって、凹部301fがほぼ埋められる。その結果、図32に示すように、ナット素材301の外周面301aはほぼ円筒状となる。凹部301fが略楕円形状の場合は、凹部301fを切削加工で形成する際に、切削工具をナット素材301の径方向に動かすだけで形成することができるので、凹部301fの形成が容易である。ただし、凹部301fの形状は略楕円形状に限定されるものではなく、例えば図33のように、S溝302と相似の形状としてもよい。S溝302と相似の形状の場合は、除肉量を最小とすることができる。この形状の場合も、略楕円形状の場合と同様に、ナット素材301の外周面301aはほぼ円筒状となる図34を参照。また、凹部301fによる除肉量は、S溝302の成形による内周面301cの除肉量よりも大としてもよい図35を参照。このナット素材301の内周面301cへS溝302を成形すると、略矩形の開口を有する凹部301f内に逃げた材料によって突起303が形成されるものの、この突起303の先端は、ナット素材301の外周面301aの円形状部位の半径位置よりも内側に位置される図36を参照。なお、図36の突起303の形状は略楕円形であるが、S溝302と略同形状としてもよい。さらに、図37のように、ナット素材301の軸方向に延びて軸方向両端面に至る凹部301fを設けてもよい。さらに、図38のように、ナット素材301の周方向に延びる環状の凹部301fを設けてもよい。図38の例では、2つの凹部301fが軸方向に並べられている。第5実施形態第5実施形態は、ボールねじの製造方法及びボールねじ用のナットに関する。ボールねじは、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ねじ軸の螺旋溝と対向する螺旋溝が内周面に形成されたナットと、ねじ軸の螺旋溝とナットの螺旋溝とで形成される空間において転動自在なボールと、を備え、ボールが転動することでナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。そして、ボールねじには、ナットナット素材の内周面にS字形状の循環溝により、ボール戻し経路が実現されているものがある例えば特許文献4~6を参照。ところで、ナットナット素材の内周面にS字形状の循環溝を成形する方法として、パンチによる塑性加工によりS字形状の循環溝をナットナット素材の内周面に直接形成する方法がある例えば特許文献1を参照。しかし、そのような塑性加工では、S字形状の循環溝の輪郭形状が崩れる、いわゆるダレが大きくなってしまう場合がある。このダレ量やダレの発生部位によっては、ボールねじの作動性低下やS字形状に形成した循環溝の寿命が低下してしまう恐れがある。この第5実施形態の目的は、パンチによる塑性加工によりS字形状の循環溝を成形する場合に、ダレの発生を抑えて、ボールねじの作動性や循環溝の寿命を向上させることである。前記課題を解決するために、第5実施形態のボールねじの製造方法は、外周面に転動体転動溝が形成されたねじ軸と、前記ねじ軸の転動体転動溝と対向する転動体転動溝、及び少なくとも1条の該転動体転動溝の両端部を接続するS字形状の循環用の溝が内周面に形成されたナットと、前記ねじ軸の転動体転動溝と前記ナットの転動体転動溝とで形成される空間及び前記S字形状の循環用の溝において転動自在なボールと、を備えるボールねじの製造方法において、前記ナットの内周面にパンチを押し込んで前記S字形状の循環用の溝を成形するとともに前記循環用の溝の成形による前記ナットにおける材料の逃げを許容しつつ、前記材料の逃げを前記循環用の溝の形状に応じて調整することを特徴とする。このボールねじの製造方法においては、前記ナットの外周側への材料の逃げを前記循環用の溝の形状に応じて調整することが好ましい。また、前記ナットの端部側への材料の逃げを前記循環用の溝の形状に応じて調整することが好ましい。さらに、第5実施形態のボールねじ用のナットは、ねじ軸の外周面に形成された転動体転動溝と対向するように内周面に転動体転動溝が形成されるとともに、少なくとも1条の該転動体転動溝の両端部を接続するS字形状の循環用の溝が内周面に形成され、該転動体転動溝と前記ねじ軸の転動体転動溝とで形成される空間及び前記S字形状の循環用の溝においてボールを転動自在に保持するボールねじ用のナットにおいて、前記ナットの内周面にパンチを押し込んで前記S字形状の循環用の溝を成形することにより前記ナットの外周面に突出される突起の、該溝の曲がる部位に対応して突出する部位の突出量が、他の部位よりも少ないことを特徴とする。第5実施形態によれば、材料の逃げを循環用の溝の形状に応じて調整することで、ダレの発生を抑えることができる。ダレの発生メカニズム第5実施形態のボールねじナットの製造方法を説明する前に、先ず、ダレの発生メカニズムを説明する。図39は、パンチ401による塑性加工によりS字形状の循環溝以下、S溝ともいう431をナットナット素材430の内周面430aに直接形成する方法を示す。図39a及びbに示すように、この方法では、筒状のナット430を拘束型402で拘束し、拘束したナット430の内周面430aにパンチ401を押し込んでいる。拘束型402は、ナット430の外周面430bに対応する形状の内周面402aを有しており、その内周面402aでナット430を拘束する。そして、拘束型402の内周面402aには、ナット430の内周面にパンチ401を押し当てる位置に対応して、凹溝形状の材料逃がし部402bが形成されている。例えば、材料逃がし部402bは、平面視で略S字形状をなしている。パンチ401は、ナット430の内周面430aにS溝431を成形可能な形状をなしている。すなわち例えば、パンチ401は、平面視で略S字形状をなしている。これにより、図39a成形開始時を示す図からb成形終了時を示す図に示すように、この方法では、拘束型402により外周面430bを拘束されたナット430の内周面430aに対して、パンチ401を押し込んでS溝431を成形する。ここで、成形品の変形の減少や材料流動の減少によるS溝のピッチやS溝の深さ、位相の精度向上、又はパンチ401の成形面圧の減少による寿命の向上のために、S溝の成形に際して、ナット430において、その内周面のS溝に対応する外周に材料を逃がすことは効果的である。このようなことから、材料逃がし部402bが拘束型402に設けられている。図40は、S溝431の成形終了時を示す図39bのA-A断面を示す。さらに、図41は、S溝431が成形されたナット430の内周面430aを示す。これら図40及び図41に示すように、パンチ401が押し込まれて成形されたS溝431の外周部には、塑性変形し輪郭形状が崩れる、いわゆるダレ図41ではハッチングで示す領域432が発生する。このダレ432は、拘束型402に材料逃がし部402bを設けてナット430の外周に材料を逃がしてしまうと、増加する傾向を示す。また、図42に示すように、このダレ432の量例えば広さや深さ等は、S溝431に対する位置によっても変化し、例えば、S字形状の曲がる部位の内側に位置する部位432aで多くなるハッチングで示す領域が広くなっている。そして、S溝431の長手方向端部432bで少なくなる。また、ナット430の内周面に成形するS溝431を、ナット430の軸方向に複数形成するような場合、すなわち、ナット430に形成した複数の螺旋溝転動体転動溝に対応して複数のS溝431を形成するような場合、その軸方向の位置によってもダレ量は変化する。このようなダレ量やダレの発生部位に応じて、ボールねじの作動性低下やS溝の寿命が低下してしまう恐れがある。第5実施形態では、このようなボールねじの作動性低下やS溝の寿命が低下してしまうのを防止することができる。第5実施形態の一例の説明構造次に、第5実施形態のボールねじナットの製造方法の一例を説明する。図42は、ボールねじナットの製造方法を実現するパンチ410及び拘束型420を示す。なお、図42は、図40のようにS溝の成形終了時を示す図39bのA-A断面に対応するものである。パンチ410は、図39及び図40を用いて説明したのと同様な、ナット430の内周面にS溝を成形可能な形状をなしている。すなわち例えば、パンチ以下、S溝成形パンチという。410は、平面視で略S字形状をなしている。また、S溝成形パンチ410は、S字形状における曲がる部位曲率が大きい2箇所の部位410aが、他の部位直線部位、曲率が小さい部位410bよりも突出量が少なくなっている。拘束型420は、ナット430の外周面430bに対応する形状の内周面420aを有しており、その内周面420aでナット430を拘束する。そして、拘束型420の内周面420aには、ナット430の内周面430aにS溝成形パンチ410を押し込む位置に対応して、凹溝形状の材料逃がし部420bが形成されている。図43は、拘束型420の内周面420aに形成されている材料逃がし部420bを示す。図43に示すように、材料逃がし部420bは、平面視で略S字形状をなしている。材料逃がし部420bには、材料逃げ抑制部420b1,420b2が設けられている。材料逃げ抑制部420b1,420b2は、S字形状において曲がる部位曲率が大きい2箇所の部位に設けられている。すなわち、材料逃げ抑制部420b1,420b2は、拘束型420の内周面420aの周方向に予め決められた所定の幅をもって設けられている。この材料逃げ抑制部420b1,420b2は、他の部位直線部位、曲率が小さい部位420b3,420b4,420b5よりも深さが浅くなっている。このように、材料逃がし部420bは、S溝成形パンチ410の形状又はS溝431の形状の変化に対応して、その形状が変化している。以上のようなS溝成形パンチ410及び拘束型420を用いて、ボールねじナットの製造方法では、ナット430の外周面430bを拘束型420で拘束し、拘束したナット430の内周面430aにS溝成形パンチ410を押し込む。これにより、S溝成形パンチ410によりS溝431を成形する。図44は、以上のような製造方法により製造されたナット430を備えるボールねじ440を示す。図44に示すように、ボールねじ440は、ナット430の他に、ねじ軸450及びボール転動体460を有する。ねじ軸450には、その外周面に断面円弧状の雄螺旋溝451が形成されている。図45はナット430の断面図を示す。図45に示すように、ナット430は、ねじ軸450の外周面に近接する内周面を有し、この内周面にねじ軸450の雄螺旋溝451と対向して雌螺旋溝435が形成されている。そして、ナット430に3条形成された雌螺旋溝435は、各々1周だけ螺旋的に形成され、その両端が循環路S溝431により連結されている。図44に戻り、ねじ軸450とナット430の両螺旋溝451,435により規定される空間内には多数のボール460が転動自在に配され、このボール460は、ねじ軸450とナット430との相対螺旋運動時に螺旋溝451,435に沿って転動移動可能となっている。そして、ナット430の内周面では、雌螺旋溝435より深い半径方向外方に突出した部分を有する循環路431が雌螺旋溝435の両端部をなめらかに接続している。ねじ軸450の雄螺旋溝451に沿って転動移動するボール460は、ねじ軸450の隣り合う雄螺旋溝451を隔てている峰452に沿って案内され、更に循環路431に案内されることで、この峰452を乗り越えて隣の転動してきた雄螺旋溝451に戻されすなわち循環可能となっている。ナット430が非回転状態に支持されている場合、ねじ軸450を回転させると、3条の閉じた各ボール案内路螺旋溝451,435及び循環路431毎にボール460が転動しつつ無限循環を繰り返して、ナット430は、ねじ軸450の回転方向に応じて前進又は後退方向に直進運動をすることとなる。作用、効果等作用、効果等を図46を用いて説明する。図46は、ナット430を示す。図46に示すように、ナット430の外周面430bは、拘束型420の内周面の形状に対応する形状になっている。すなわち、ナット430の外周面430bには、ナット430の内周面430aにS溝431が形成されたことに対応して、すなわち、拘束型420の材料逃がし部420bに対応して、同様な略S字形状に突出する部位430cが現れる。そして、ナット430の外周面430bのその突出部位430cのうち、材料逃がし部420bの材料逃げ抑制部420b1,420b2に対応する部位430c1が、他の部位430c2,430c3よりも突出量が少なくなっている。すなわち、突出部位430cにおいて、S溝431の曲がる部位に対応して突出する部位430c1の突出量が、他の部位430c2,430c3よりも少なくなっている。すなわち、材料逃がし部420bの材料逃げ抑制部420b1,420b2によりナット430の外周側への材料の逃げが抑制されており、これにより、対応するS溝の曲がる部位の外周のダレが抑制される図46における符号Zで示す部分が、ダレが減少した領域である。つまり、第5実施形態では、材料逃がし部420bにおいてS溝431の形状に応じて材料逃げ抑制部420b1,420b2を設けることで、ナット430の外周側への材料の逃げをS溝431の形状に応じて逃げの形状及び深さを調整して、S溝431の曲がる部位の外周のダレを抑制している。第5実施形態の変形例図47は、第5実施形態の変形例を示す。図47に示すように、第5実施形態では、材料逃がし部420bにおける深さを異ならせるのではなく、その幅軸方向の幅を異ならせた材料逃げ抑制部420b6を設けることもできる。すなわち、図47に示すように、材料逃がし部420bにおいて、その外周を切り欠いた切り欠き部420b7を設けることで材料逃げ抑制部420b6を形成する。この第5実施形態の変形例では、このように、材料逃がし部420bの幅をS溝431の形状に応じたものにすることにより、ナット430の軸方向端部側への材料の逃げをS溝431の形状に応じて調整して、S溝431の曲がり部位の外周のダレを抑制している。また、第5実施形態では、S溝431の形状に応じて材料逃がし部420bにおける前述の深さ及び幅の両方を変化させることもできる。また、第5実施形態の別の変形例として、パンチ応力や材料流動の低減を目的に、材料逃げ抑制部420b1,420b2第5実施形態や、切り欠き部420b7の部分を弾性体例えばウレタンで受けるようにしても良い。すなわち、例えば図42において、拘束型420の内周面420aは、材料逃げ抑制部420b1,420b2においても他の部分とほぼ同一面で連続しているが、材料逃げ抑制部420b1,420b2の部分に弾性体が埋め込まれている構造としたり、材料を拘束している部材拘束型420とは別体をバネ等の弾性体で支持している構造としたりしても良い。第6実施形態第6実施形態は、ボールねじの製造方法及びボールねじ用のナットに関する。ボールねじは、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ねじ軸の螺旋溝と対向する螺旋溝が内周面に形成されたナットと、ねじ軸の螺旋溝とナットの螺旋溝とで形成される空間において転動自在なボールと、を備え、ボールが転動することでナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。そして、ボールねじには、ナットナット素材の内周面にS字形状の循環溝により、ボール戻し経路が実現されているものがある例えば特許文献4~6を参照。ところで、ナットナット素材の内周面にS字形状の循環溝を成形する方法として、パンチによる塑性加工によりS字形状の循環溝をナットナット素材の内周面に直接形成する方法がある例えば特許文献1を参照。しかし、そのような塑性加工では、S字形状の循環溝の輪郭形状が崩れる、いわゆるダレが大きくなってしまう場合がある。このダレ量やダレの発生部位によっては、ボールねじの作動性低下やS字形状に形成した循環溝の寿命が低下してしまう恐れがある。この第6実施形態の目的は、パンチによる塑性加工によりS字形状の循環溝を成形する場合に、ダレの発生を抑えて、ボールねじの作動性や循環溝の寿命を向上させることである。第6実施形態のボールねじの製造方法は、外周面に転動体転動溝が形成されたねじ軸と、前記ねじ軸の転動体転動溝と対向する転動体転動溝、及び少なくとも1条の該転動体転動溝の両端部を接続するS字形状の循環用の溝が内周面に形成されたナットと、前記ねじ軸の転動体転動溝と前記ナットの転動体転動溝とで形成される空間及び前記S字形状の循環用の溝において転動自在なボールと、を備えるボールねじの製造方法において、前記ナットの内周面にパンチを押し込んで前記S字形状の循環用の溝を成形するとともに、前記ナットの内周面であって、該S字形状の循環用の溝の外周に、前記パンチによる塑性加工により生じるS字形状の循環用の溝のダレを減少させるための凹部を成形することを特徴とする。第6実施形態のボールねじの製造方法においては、少なくとも前記S字形状の循環用の溝の曲がる部位に隣接して前記凹部を成形することが好ましい。また、前記ダレの量に応じて前記凹部の形状と深さを決定することが好ましい。また、第6実施形態のボールねじ用のナットは、ねじ軸の外周面に形成された転動体転動溝と対向するように内周面に形成された転動体転動溝と、少なくとも1条の該転動体転動溝の両端部を接続するように内周面に形成されたS字形状の循環用の溝と、パンチによる塑性加工により前記S字形状の循環用の溝を成形したときに生じるS字形状の循環用の溝のダレを減少させるための凹部と、を有する。第6実施形態のボールねじ用のナットにおいては、前記凹部は、前記S字形状の循環用の溝の曲がる部位に隣接することが好ましい。また、前記凹部の深さは、前記ダレの量に応じて決定されることが好ましい。さらに、前記凹部は、断面が、曲面形状、テーパ面形状、曲面とテーパ面とを組み合わせた面形状、及びノッヂ形状の何れかであることが好ましい。第6実施形態によれば、パンチによる塑性加工によりS字形状の循環用の溝を成形する場合に、ナットの内周面であって、S字形状の循環用の溝の外周に凹部を成形することで、ダレの発生を抑えることができる。次に、第6実施形態のボールねじナットの製造方法の一例を説明する。構造図48は、ボールねじナットの製造方法を実現するパンチ510及び拘束型520を示す。なお、図48は、図40のようにS溝の成形終了時を示す図39bのA-A断面に対応するものである。パンチ510は、S溝531を成形するためのS溝成形パンチ511と、ダレを減少させるための窪み成形パンチ512とを有する。S溝成形パンチ511は、図39及び図40を用いて説明したのと同様な、ナット530の内周面530aにS溝531を成形可能な形状をなしている。すなわち例えば、S溝成形パンチ511は、平面視で略S字形状をなしている。窪み成形パンチ512は、S溝成形パンチ511に隣接して設けられている。窪み成形パンチ512は、S溝成形パンチ511の全周を囲むように設けられたり、全周を囲むのではなく、部分的に設けられたりしている。例えば、部分的に設けられている場合には、窪み成形パンチ512は、少なくとも、S溝成形パンチ511により成形されるS溝531の2箇所の曲がる部位の周囲に位置するように設けられている。すなわち、S溝成形パンチ511が略S字形状をなしている場合には、窪み成形パンチ512は、そのS字形状の曲がる部位曲率が大きくなる部位に対向又は隣接するようにパンチ510に設けられている。また、窪み成形パンチ512は、窪みを構成する面形状が曲面形状、テーパ面平面の斜面、又は曲面とテーパ面とを組み合わせた面形状になるような外周面形状になっている。また、窪み成形パンチ512は、S溝成形パンチ511と同様に、固定パンチ固定支持されているパンチでもよく、弾性体例えば完全弾性体で支持されていても良い。拘束型520は、ナット530の外周面530bに対応する形状の内周面520aを有しており、その内周面520aでナット530を拘束する。また、拘束型520の内周面520aには、ナット530の内周面530aにS溝成形パンチ511を押し込む位置に対応して、凹溝形状の材料逃がし部520bが形成されている。例えば、材料逃がし部520bは、平面視で略S字形状をなしている。以上のようなパンチ510及び拘束型520を用いて、ボールねじナットの製造方法では、ナット530の外周面530bを拘束型520で拘束し、拘束したナット530の内周面530aにパンチ510を押し込む。これにより、S溝成形パンチ511によりS溝531を成形するとともに、窪み成形パンチ512により該S溝531凹部の外周に窪みダレ用凹部533を成形する。例えば、窪みの深さ、すなわち、ナット530の内周面530aに窪み成形パンチ512を押し込む量は、許容可能なダレ量に応じて決定する。例えば、許容可能なダレ量が少ないほど、窪みの深さを深くする。図44は、以上のような製造方法により製造されたナット530図44では符号430を備えるボールねじ440を示す。図44に示すように、ボールねじ440は、ナット430の他に、ねじ軸450及びボール転動体460を有する。ねじ軸450には、その外周面に断面円弧状の雄螺旋溝451が形成されている。図45はナット430の断面図を示す。図45に示すように、ナット430は、ねじ軸450の外周面に近接する内周面を有し、この内周面にねじ軸450の雄螺旋溝451と対向して雌螺旋溝435が形成されている。そして、ナット430に3条形成された雌螺旋溝435は、各々1周だけ螺旋的に形成され、その両端が循環路S溝431により連結されている。図44に戻り、ねじ軸450とナット430の両螺旋溝451,435により規定される空間内には多数のボール460が転動自在に配され、このボール460は、ねじ軸450とナット430との相対螺旋運動時に螺旋溝451,435に沿って転動移動可能となっている。そして、ナット430の内周面では、雌螺旋溝435より深い半径方向外方に突出した部分を有する循環路431が雌螺旋溝435の両端部をなめらかに接続している。ねじ軸450の雄螺旋溝451に沿って転動移動するボール460は、ねじ軸450の隣り合う雄螺旋溝451を隔てている峰452に沿って案内され、更に循環路431に案内されることで、この峰452を乗り越えて隣の転動してきた雄螺旋溝451に戻されすなわち循環可能となっている。ナット430が非回転状態に支持されている場合、ねじ軸450を回転させると、3条の閉じた各ボール案内路螺旋溝451,435及び循環路431毎にボール460が転動しつつ無限循環を繰り返して、ナット430は、ねじ軸450の回転方向に応じて前進又は後退方向に直進運動をすることとなる。作用、効果等作用、効果等を、図49及び図50を用いて説明する。図49は、S溝531及び窪み533が成形されたナット530の内周面530aを示す。なお、図49は、S溝531のS字形状の曲がる部位2箇所に対応して窪み成形パンチ512を設けて窪み533を成形した例を示す。図49に示すように、S溝531の外周に窪み533が成形されることにより、その窪み533が成形されたS溝531の外周部位のダレが減少する。図50は、図49と比較するための例であり、S溝531のS字形状の曲がる部位1箇所に対応して窪み成形パンチ512を設けて窪み533を成形した例を示す。なお、図49及び図50において、図中の二点鎖線は、窪み533が成形されない場合のダレを示したものである。図49及び図50について、窪みが成形されていないS溝531のS字形状の曲がる部位の外周部について比較すると、図49では、ハッチングの領域が少なくなっていることからもわかるように、窪み533が成形されることにより、その窪み533が成形されたS溝531の外周部のダレが減少するハッチングの領域が減少する。これにより、第6本実施形態では、ダレ量を抑えて、ボールねじの作動性や循環溝S溝の寿命を向上させることができる。また、特に、S溝531のS字形状の曲がる部位に発生するダレが、大きく影響して、ボールねじの作動性やS溝の寿命を低下させてしまうが、そのような部位に対応して部分的に窪み533を設けてダレ量を抑えることで、効果的に、そのようなボールねじの作動性やS溝の寿命の低下を抑制できる。第6実施形態の変形例第6実施形態では、窪み533を断面が三角形状のノッヂ形状とすることができるような形状を有する窪み成形パンチ512とすることもできる。図51は、そのような窪み成形パンチ512により窪み533が成形されたナット530の内周面530aを示す。図51に示すように、窪み533は、断面が三角形状のノッヂ形状になる。また、第6実施形態では、ナット530が、前述の例以外の数のS溝を有することもできる。さらに、以上に説明の第6実施形態では、S溝成形パンチと窪み成形パンチが同一のパンチに形成されているが、別体のパンチにそれぞれ設けられていても良い。また、S溝と窪みは必ずしも同時に成形される必要はなく、S溝が形成された後に、窪みが成形されても良い。第7実施形態第7実施形態は、ボールねじの製造方法及びボールねじ用のナットに関する。ボールねじは、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ねじ軸の螺旋溝と対向する螺旋溝が内周面に形成されたナットと、ねじ軸の螺旋溝とナットの螺旋溝とで形成される空間において転動自在なボールと、を備え、ボールが転動することでナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。そして、ボールねじには、ナットの内周面にS字形状の循環溝により、ボール戻し経路が実現されているものがある例えば特許文献4~6を参照。ところで、ナットナット素材の内周面にS字形状の循環溝を成形する方法として、パンチによる塑性加工によりS字形状の循環溝をナットナット素材の内周面に直接形成する方法がある。しかし、そのような塑性加工では、S字形状の循環溝の輪郭形状が崩れる、いわゆるダレが大きくなってしまう場合がある。このダレ量やダレの発生部位によっては、ボールねじの作動性低下やS字形状に形成した循環溝の寿命が低下してしまう恐れがある。この第7実施形態の目的は、パンチによる塑性加工によりS字形状の循環溝を成形する場合に、ダレの発生を抑えて、ボールねじの作動性や循環溝の寿命を向上させることである。第7実施形態のボールねじの製造方法は、外周面に転動体転動溝が形成されたねじ軸と、前記ねじ軸の転動体転動溝と対向する転動体転動溝、及び少なくとも1条の該転動体転動溝の両端部を接続するS字形状の循環用の溝が内周面に形成されたナットと、前記ねじ軸の転動体転動溝と前記ナットの転動体転動溝とで形成される空間及び前記S字形状の循環用の溝において転動自在なボールと、を備えるボールねじの製造方法において、パンチによる塑性加工により生じるS字形状の循環用の溝のダレを減少させるための余肉部を前記ナットの円形状の内周面から突出させて設けて、前記余肉部にパンチを押し込んでS字形状の循環用の溝を成形することを特徴とする。この第7実施形態のボールねじの製造方法においては、前記余肉部は、前記S字形状の循環用の溝の形状に応じた形状であることを特徴とするボールねじの製造方法である。また、第7実施形態のボールねじ用のナットは、ねじ軸の外周面に形成された転動体転動溝と対向するように内周面に転動体転動溝が形成されるとともに、少なくとも1条の該転動体転動溝の両端部を接続するS字形状の循環用の溝が内周面に形成され、該転動体転動溝と前記ねじ軸の転動体転動溝とで形成される空間及び前記S字形状の循環用の溝においてボールを転動自在に保持するボールねじ用のナットにおいて、パンチによる塑性加工により生じるS字形状の循環用の溝のダレを減少させるために前記ナットの円形状の内周面から突出した余肉部を有する。この第7実施形態のボールねじ用のナットにおいては、前記余肉部は、前記S字形状の循環用の溝の形状に応じた形状であることが好ましい。第7実施形態によれば、パンチによる塑性加工によりS字形状の循環用の溝を成形する場合に、ナットの内周面の該溝の成形部位に発生するダレ量を見込んだ余肉部を設けておくことで、ダレの発生を抑えることができる。次に、第7実施形態のボールねじナットの製造方法の一例を説明する。図52は、第7実施形態のボールねじナットの製造方法によりS溝を成形するナット素材630の形状を示す。図52aは正面図であり、図52bは軸方向に沿った縦断面図である。図52に示すように、ナット素材630は円筒形状をなしている。そして、ナット素材630の内周面630aの一部には、円形状となる他の部位に対して突出されて肉付けされたダレ吸収用余肉部635が形成されている。このダレ吸収用余肉部635は、ナット素材630の軸方向に延在するように形成されており、ナット素材630の内方に向かう面635aが平面形状になっている。例えば、第7実施形態では、S溝の成形部位に対応して、ナット素材630の周方向に90°の間隔をおいて4箇所のダレ吸収用余肉部635が形成されている。このダレ吸収用余肉部635は、ナット素材630の内周面630aにS溝を成形する際に発生するダレ量を見込んだ形状形成領域の広さ、形成厚さ等に形成されている。図53は、第7実施形態のボールねじナットの製造方法によりS溝631が成形されたナット素材630の形状を示す。図53aは正面図であり、図53bは軸方向に沿った縦断面図である。図53に示すように、ナット素材630の内周面630aには、各ダレ吸収用余肉部635に対応してS溝631が複数形成される。例えば、第7実施形態のボールねじナットの製造方法では、図39及び図40に示したように、パンチ401及び拘束型402を用いて、ナット素材630図39では符号430の外周面430bを拘束型402で拘束し、拘束したナット素材630の内周面630aのダレ吸収用余肉部635にパンチ401を押し込むことにより、ダレ吸収用余肉部635にS溝631を成形している。また、このとき、ナット素材630の外周面430bには、ナット素材630の内周面630aに成形したS溝631に対応して、すなわち、拘束型402の材料逃がし部402b内に位置するように、突起材料逃げによる隆起部636が形成される。図54は、以上のような製造方法により製造されたナットナット素材630を備えるボールねじ640を示す。図54に示すように、ボールねじ640は、ナット630の他に、ねじ軸650及びボール660を有する。ねじ軸650には、その外周面に断面円弧状の雄螺旋溝651が形成されている。このボールねじ640では、ねじ軸650とナット630の両螺旋溝651,637により規定される空間内に多数のボール660が転動自在に配され、このボール660は、ねじ軸650とナット630との相対螺旋運動時に螺旋溝651,637に沿って転動移動可能となっている。そして、ナット630の内周面では、雌螺旋溝637より深い半径方向外方に突出した部分を有する循環路631が雌螺旋溝637の両端部をなめらかに接続している。ねじ軸650の雄螺旋溝651に沿って転動移動するボール660は、ねじ軸650の隣り合う雄螺旋溝651を隔てている峰652に沿って案内され、更に循環路631に案内されることで、この峰652を乗り越えて隣の転動してきた雄螺旋溝651に戻されすなわち循環可能となっている。なお、図54に示す例では、循環路631により案内されるボール660を示しており、実際には、両螺旋溝651,637により規定される空間内にもボール660が存在している。また、ナット630が非回転状態に支持されている場合、ねじ軸650を回転させると、ボール案内路螺旋溝651,637及び循環路631毎にボール660が転動しつつ無限循環を繰り返して、ナット630は、ねじ軸650の回転方向に応じて前進又は後退方向に直進運動をすることとなる。作用、効果等前述のように、第7実施形態では、ナット素材630の内周面630aにダレ吸収用余肉部635を設けて、そのダレ吸収用余肉部635にパンチ例えば図39及び図40に示すパンチ401を押し込むことによりS溝631を成形している。これにより、第7実施形態では、発生するダレ量を見込んだダレ吸収用余肉部635を設けることで、ダレの発生を最小限に抑えることができる。よって、第7実施形態では、ボールねじの作動性や循環溝の寿命を向上させることができる。第7実施形態の変形例第7実施形態では、ダレ吸収用余肉部を前述の形状に限定されない他の形状にすることもできる。図55は、他の形状のダレ吸収用余肉部638が形成されているナット素材630の形状を示す。図55aは正面図であり、図55bは軸方向に沿った縦断面図である。図55に示すように、ダレ吸収用余肉部638は、周方向における端部638a,638bの肉厚、すなわち、ナット素材630の内周面630aの円形状部位に隣接する部位638a,638bの肉厚が、周方向における中央部638cの肉厚よりも厚くなっている。図56は、第7実施形態のボールねじナットの製造方法によりS溝631が成形されたナット素材630の形状を示す。図56aは正面図であり、図56bは軸方向に沿った縦断面図である。図56に示すように、ナット素材630の内周面630aには、各ダレ吸収用余肉部638に対応してS溝が複数形成される。例えば、この第7実施形態の変形例でも、図39及び図40に示したように、パンチ401及び拘束型402を用いて、ナット素材630図39では符号430の外周面430bを拘束型402で拘束し、拘束したナット素材630の内周面630aのダレ吸収用余肉部638にパンチ401を押し込むことにより、ダレ吸収用余肉部638にS溝631を成形している。また、このとき、ナット素材630の外周面430bには、ナット素材630の内周面630aに成形したS溝631に対応して、すなわち、拘束型402の材料逃がし部402b内に位置するように、突起材料逃げによる隆起部636が形成される。ここで、ナット素材630の内周面630aに形成されるS溝631は、ナット素材630の周方向に沿うように設けられることで、一方の曲がる部位曲率が大きい部位631a、略直線となる部位曲率が小さい部位631c、他の方向の曲がる部位曲率が大きい部位631bの順序で、ナット素材630の内周面630aの周方向に位置されるようになる。第7実施形態の変形例におけるダレ吸収用余肉部638は、このようなS溝631の配置に対応しており、肉厚が厚い両端部638a,638bが、成形されるS溝631の両端の曲がる部位631a,631bに位置されるようになり、肉厚が薄い中央部638cが、成形されるS溝631の略直線となる部位631cに位置されるようになっている。以上より、第7実施形態の変形例でも、発生するダレ量を見込んだダレ吸収用余肉部638を設けることで、ダレの発生を最小限に抑えることができる。さらに、第7実施形態の変形例では、S溝631の曲がる部位631a,631bで大きくなるダレの発生の抑制を重点的に行うことができる。また、第7実施形態では、前記図52に示したような、ナット630にS溝631又はダレ吸収用余肉部を4箇所設けることに限定されるものではなく、少なくとも1箇所に設けるようにすることもできる。第8実施形態第8実施形態は、ボールねじ及びその製造方法、並びに、ボールねじの製造に使用される金型に関する。近年、車両等の省力化が進み、例えば自動車分野においては、トランスミッションやパーキングブレーキなどをギヤやワイヤーなどを介した手動力の直接伝達ではなく、電動モータの力により作動させるシステムが開発されている。そのような用途に用いる電動アクチュエータには、電動モータから伝達される回転運動を高効率で軸線方向運動に変換し自動車の各機構を駆動するために、ボールねじ機構が用いられる場合がある。通常、ボールねじ機構は、ねじ軸と、ナットと、該両者間に形成された転動路内を転動するボールとからなるが、ボールねじ機構の外径寸法の省スペース化の要求に貢献する、いわゆるコマ式のボールねじ機構においては、転動路の一端から他端へとボールを戻し循環させるためのS字状のボール循環路が設けられたコマを、ナットの所定の箇所に挿入し取り付けている。しかるに、従来技術のコマ式ボールねじ機構においては、コマがナットとは別部材であるため、ボールが転動するナットの雌ねじ溝と、コマに形成されたボール循環路とは別部材となる。そのため、その境目において段差が生じることが避けられず、結果として無視できない異音や作動トルク変動が生じ、ひいては寿命低下によるメンテナンスコスト高騰という問題があった。これらの問題を解決する先行技術として、例えば特許文献1がある。特許文献1においては、ボール循環コマを用いることなくナットの内周面にボール循環路を直接成型するので、ボール循環路と雌ねじ溝との間に段差が形成されることがなく、滑らかに接続できる。これによりボール循環路と雌ねじ溝との間をボールが通過しても、異音や作動トルク変動を生じることがなく、また寿命低下等を抑制することができる。しかしながら、特許文献1では、ボール循環路の形状に対応する形状の凸型の治具金型をナットの内周面に押し当て押圧塑性変形させてボール循環路を形成させているため、加工時にボール循環路部分の余肉が移動する場所逃げがなく、ナット素材や金型に予想外の変形や割れが起こったり、或いはボール循環路や転動路に変形が起こったりする場合があった。その結果、精度が低下し、その修正加工作業が必要であるなど、生産性が悪化するおそれがあった。例えば、ボール循環路は、その中心部分が最も深く、他の部分に移動すべき余肉が多いため、塑性加工時には、ボール循環路の中心部分にねじ軸と干渉する程度の大きな突起が生じる場合があった。突起が生じた場合には、その突起を機械加工により取り除く作業が必要であった。特に、複数のボール循環路のうちナットの中心部に設けられたボール循環路は、この傾向が大きい。また、図65のa~cのような、複数のボール循環路726,727を備えたナット725にあっても、特許文献1と同様の問題を有していた。さらには、図66のa,bに示すような、ボール循環路が同位相に配置される従来のナット725においては、まず溝加工治具による第一のボール循環路726の形成過程で、ナット端面725aに変形が生じる。ナット端面725aは、その後の第二のボール循環路727の形成時における基準面Lとなっているので、ねじ軸のねじ溝とナット725のねじ溝とのピッチが狂って、ボールねじ機構の作動不良を招きかねない。さらには、第二のボール循環路727の形成過程にて第一のボール循環路726に余肉が流れ込み、第一のボール循環路726を変形させてしまうため、修正加工作業を要していた。そこで、第8実施形態は、上記のような従来技術が有する問題点を解決し、ボール循環路が高精度で長寿命なボールねじ及びその製造方法、並びに、そのようなボールねじの製造に使用される金型を提供することを課題とする。前記課題を解決するため、第8実施形態は次のような構成からなる。すなわち、第8実施形態のボールねじは、外周面に雄ねじ溝を形成したねじ軸と、前記ねじ軸を包囲するように配置され内周面に雌ねじ溝を形成したナットと、対向する前記両ねじ溝間に形成された転走路に沿って転動自在に配置された複数のボールと、前記ボールを前記転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備えるボールねじにおいて、前記ボール循環路は、前記ナットの内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成されているとともに、前記転走路と前記ボール循環路との接続部分には、前記ボール循環路の周縁部から径方向内方に突出するフランジが設けられていることを特徴とする。このような第8実施形態のボールねじにおいては、前記転走路との接続部分である前記ボール循環路の両端部は、前記ボールの直線状導入部となっているとともに、前記フランジは少なくとも前記直線状導入部の周縁部に設けられていることが好ましい。また、前記フランジの先端と前記ナットの径方向中心との間の距離Hは、前記ボールの中心軌跡円径BCDの1/2以下であり、前記フランジは、前記ねじ軸の外周面に接触しないように設けられていることが好ましい。さらに、前記ボール循環路を構成する凹溝は、金型の表面から突出する凸部を前記ナットの内周面に押圧し塑性加工して前記内周面の一部を凹化させることにより形成されたものであり、前記フランジは、前記凸部の周囲に設けられ前記金型の表面から凹んだ逃げ溝により形成されたものであることが好ましい。さらに、前記逃げ溝の深さは、前記凸部に近い側が深く、遠い側が浅いことが好ましい。さらに、前記金型のうち、前記逃げ溝の周囲を囲むように設けられ前記金型の表面から突出する土手部と前記凸部のみが前記ナットの内周面に当接するようになっていることが好ましい。また、第8実施形態の金型は、外周面に雄ねじ溝を形成したねじ軸と、前記ねじ軸を包囲するように配置され内周面に雌ねじ溝を形成したナットと、対向する前記両ねじ溝間に形成された転走路に沿って転動自在に配置された複数のボールと、前記ボールを前記転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備えるボールねじの製造に使用される金型において、前記ナットの内周面に押圧して塑性加工することにより前記ナットの内周面の一部を凹化させて、前記ボール循環路を構成する凹溝を形成するための凸部と、前記凸部の周囲に設けられ、且つ、前記ボール循環路の周縁部から径方向内方に突出するフランジを形成するための逃げ溝とを、表面に備えることを特徴とする。このような第8実施形態の金型においては、前記逃げ溝の深さは、前記凸部に近い側が深く、遠い側が浅いことが好ましい。また、表面には、前記凸部と、前記逃げ溝と、前記逃げ溝の周囲を囲むように設けられ表面から突出する土手部と、が形成されており、前記凸部と前記土手部のみが前記ナットの内周面に当接するようになっていることが好ましい。さらに、第8実施形態のボールねじの製造方法は、外周面に雄ねじ溝を形成したねじ軸と、前記ねじ軸を包囲するように配置され内周面に雌ねじ溝を形成したナットと、対向する前記両ねじ溝間に形成された転走路に沿って転動自在に配置された複数のボールと、前記ボールを前記転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備えるボールねじを製造する方法において、前記金型に設けられた凸部を前記ナットの内周面に押圧して塑性加工することにより、前記内周面の一部を凹化させて、凹溝からなる前記ボール循環路を形成するとともに、前記逃げ溝により、前記ボール循環路の周縁部から径方向内方に突出するフランジを形成することを特徴とする。第8実施形態のボールねじは、ボール循環路が高精度であるため長寿命である。また、第8実施形態のボールねじの製造方法は、ボール循環路の形成時に生じた余肉によりフランジを形成するので、余肉によるボール循環路の変形が抑制される。よって、ボール循環路の形成後に修正加工作業をすることなく、ボール循環路が高精度なボールねじを製造することができる。さらに、第8実施形態の金型は、ボール循環路の形成時に生じた余肉によりフランジを形成する逃げ溝を備えているので、第8実施形態の金型を使用すれば、ボール循環路が高精度なボールねじを製造することができる。第8実施形態に係るボールねじ及びその製造方法、並びに、ボールねじの製造に使用される金型の一例を、図面を参照しながら詳細に説明する。[第1例]図57は、第8実施形態の第1例のボールねじの構造を説明する図であり、aは断面図軸方向に沿う平面で切断した断面図、bは、ナットの内周面のS字状循環路を示す断面図である。図57に示すように、第1例のボールねじは、螺旋状の雄ねじ溝710aを外周面に有するねじ軸710と、ねじ軸710の雄ねじ溝710aに対向する螺旋状の雌ねじ溝705aを内周面に有し、ねじ軸710を包囲するように配置されたナット705と、両ねじ溝710a,705aの間に形成された螺旋状のボール転走路708内に転動自在に装填された複数のボール711と、ボール711をボール転走路708の終点から始点へ戻し循環させるS字状のボール循環路706,707以降はS字状循環路と記すこともあると、を備えている。すなわち、ボール711は、ボール転走路708内を移動しつつねじ軸710の回りを回ってボール転走路708の終点に至り、そこでS字状循環路706707の一方の端部から掬い上げられてS字状循環路706707内を通り、S字状循環路706707の他方の端部からボール転走路708の始点に戻されるようになっている。なお、ねじ軸710,ナット705,及びボール711の材質は特に限定されるものではなく、一般的な材料を使用可能であり、例えば金属鋼等,焼結合金,セラミック,樹脂があげられる。また、ねじ溝710a,705aの断面形状は、円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。このようなボールねじは、ボール711を介してねじ軸710に螺合されているナット705とねじ軸710とを相対回転運動させると、ボール711の転動を介してねじ軸710とナット705とが軸方向に相対移動するようになっている。そして、ボール転走路708とS字状循環路706707により無端状のボール通路が形成されており、ボール転走路708内を転動するボール711が無端状のボール通路内を無限に循環するようになっているため、ねじ軸710とナット705とは継続的に相対移動することができる。ここで、S字状循環路706,707について、図57のbの断面図軸方向に直交する平面で切断した断面図を参照しながら詳細に説明する。S字状循環路706,707は、ナット705の内周面に一体的に形成されている。詳述すると、ナット705の円柱面状の内周面の一部を塑性加工により凹化させて形成した凹溝を、S字状循環路706,707としている。よって、図57のbには図示されていないボール転走路708の終点に転動してきたボール711は、S字状循環路706707の一方の端部から掬い上げられてナット705の内部径方向外方側に沈み込む。そして、S字状循環路706707内を通ってねじ軸710のランド部雄ねじ溝710aのねじ山を乗り越え、S字状循環路706707の他方の端部からボール転走路708の始点に戻される。なお、S字状循環路706,707の断面形状は、円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。また、凹溝からなるS字状循環路706,707の場合は、チューブ式,コマ式等のボール循環形式の場合とは異なり、S字状循環路706,707を構成する別部材は取り付けられていない。そのため、S字状循環路706707と雌ねじ溝705aとの間に段差が形成されることがなく、滑らかに接続されている。その結果、S字状循環路706707と雌ねじ溝705aとの間をボール711が通過しても、異音や作動トルク変動を生じることがなく、また寿命低下も生じにくい。次に、S字状循環路706,707の形成に使用する循環路加工治具金型704について説明する。循環路加工治具金型704は、図58のa~cに図示のように、断面半円形状の基部701の表面円弧面に凹溝を形成するための凸型702が設けられており、凸型702の周囲には、基部701の表面から凹んだ逃げ溝703が形成されている。なお、基部701の表面円弧面の曲率半径は、ナット705の内周面の曲率半径と同一とされている。図59のa及びbに示すように、循環路加工治具704を、中空状の素材であるナット705に挿入した後、図59のbの矢印の様にナット705の内周面に押し当て、第一のS字状循環路706を形成する。次いで、ナット705の端面を基準面として循環路加工治具704をナット705の軸方向又は回転方向に移動させ、先の第一のS字状循環路706と同様に押し当て、第二のS字状循環路707を形成する。これにより、循環路加工治具704の凸型702に押し付けられたナット705の内周面は塑性変形を起こし、S字状循環路706,707が形成される。その際に凸型702の押圧によって押しやられたナット素材の余肉は、循環路加工治具704の凸型702の周囲に設けられた逃げ溝703に流れ込み、第一のS字状循環路706の周囲及び第二のS字状循環路707の周囲に、S字状循環路706,707の周縁部から径方向内方に突出するフランジF1をそれぞれ形成するので、余肉圧力によるナット705の割れが防止される。そして、ナット705と一体的に形成されたフランジF1により、ボール転走路708よりS字状循環路706707に転動してくるボール711、及び、S字状循環路706707からボール転走路708へ転動していくボール711を円滑に案内するボール案内部が形成される。なお、図59で説明する方法ではなく第1実施形態の方法でも、同様のナット705を形成することができる。その場合は、図58に示すような、S字状の凸部を有するカムスライダを用いる。また、ボール転走路708雌ねじ溝705aとの接続部分であるS字状循環路706707の両端部は、直線状に溝が形成されており、これにより直線状導入部709が構成されている。ナット705にS字状循環路706707を形成した後に、雌ねじ溝705aが切削により形成されてS字状循環路706707と接続されるが、この際に直線状導入部709が雌ねじ溝705aの形成誤差等を吸収できるようになっているため、ボール711の円滑な転動に寄与する。この後、ナット705の内周面に高周波焼入れ等の熱処理を施して、S字状循環路706707の耐久性を高める。第1例の循環路一体式ナットによると、S字状循環路706707の形成により生成された余肉を、ボール案内部であるフランジF1の形成に利用できる。また、従来のコマ式循環路を備えるナットでは、コマ穴付きのナットの焼入れ等においてコマ挿入用の貫通穴で局所的な温度上昇が起こり、ナットの割れ変形等が生じることが問題になっていたが、第1例の循環路一体式ナットによれば、上記のような局所的な温度上昇によるナットの割れ変形等も回避できる。また、第1例によれば、図65のa~cに示す従来技術と同様の、同位相のS字状循環路を備えたナットであっても、余肉は循環路加工治具704の逃げ溝703に流れ込むため、ナット705の端面の突出変形、及び、既に形成されている別のS字状循環路の変形を抑制できる。その結果、S字状循環路706,707が高精度となるため、高精度なボールねじが製作でき耐久性の向上が実現できるとともに、S字状循環路706,707を形成した後に形状の修正加工が不要となるため、製造作業の煩雑化が回避され製造コストの低減が図られる。さらに、逃げ溝703によって形成されたフランジF1をナット705のボール案内部として利用できるので、円滑なボール711の転動を行うことができる。このような第1例のボールねじの用途は特に限定されるものではないが、一般産業用機械や各種車両やアクチュエータに組み込まれるボールねじとして好適である。[第2例]図60,61は、第8実施形態に係る第2例のボールねじの構造を説明する図である。図60は、ナットの内周面のS字状循環路を示す断面図であり、図61は、S字状循環路を形成する治具の斜視図である。なお、第2例のボールねじの構成及び作用効果は、第1例とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。なお、これ以降の各図においては、図57,58と同一又は相当する部分には、図57,58と同一の符号を付してある。第2例のボールねじにおいては、ナット705のS字状循環路706707の形成に際して余肉により形成されるフランジF2を、直線状導入部709の周縁部に設けたものである。S字状循環路706707を形成した後に、ナット705にねじ溝705aが切削形成されるが、直線状導入部709がねじ溝705aの接続しろとなり、ねじ溝705aの切削誤差等を吸収するため、ボール711の円滑な転動に寄与している。そして、余肉を受け入れる逃げ溝703を部分的に設けた循環路加工治具704をナット705の内周面に押圧して塑性加工することによって、両直線状導入部709の周縁部にはフランジF2が形成される。このため、不図示のねじ軸と組み合わせてボールねじとした場合には、ボール711がボール転走路708を転動しS字状循環路706707で方向転換する際に、フランジF2によりボール711がS字状循環路706707へ円滑に案内される。[第3例]図62は、第8実施形態に係る第3例のボールねじの構造を説明する図であり、ナットのフランジ高さとBCDとの関係を示す図である。なお、第3例のボールねじの構成及び作用効果は、第1例,第2例とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。第1例,第2例と同様に、S字状循環路706707の形成による余肉によりフランジF1F2がナット705の内周面に形成され、このフランジF1F2がボール案内機能を有しているが、第3例の場合は、循環路加工治具704の逃げ溝703によるフランジF1F2の形成箇所を局部的に集約している。これにより、余肉として押出され形成されるフランジF1F2の高さ径方向長さを充分に確保できるので、確実なボール案内が可能である。具体的には、ナット705の径方向中心からフランジF1F2の先端までの径方向距離Hが、少なくともボールねじ組み込み時のボール711のボール中心軌跡円径BCD:ボールセンターダイアメータの1/2程度以下であり、且つ、フランジF1F2の先端がねじ軸710の外周面に接触しないように設けられている。そうすれば、フランジF1F2がボール711の中心に接触することによりボール711を効果的に案内することができるので、より滑らかな循環が可能となる。また、ボール711の直径が小さいボールねじの場合は、S字状循環路706707の深さも浅いため、ナット705のS字状循環路706707に相当する部分の余肉だけでは、フランジF1F2の高さが充分に得られない場合もある。その場合は、ナット素材の内径をBCDと同等にし、S字状循環路706707を形成する際の塑性加工により、S字状循環路706707の周縁部に余肉が流れるようにすれば、フランジF1F2はボール711の中心の軌跡よりもナット705の径方向中心側に突出することができるので、滑らかなボール案内が可能となる。[第4例]図63は、第8実施形態に係る第4例のボールねじを説明する図であり、塑性加工によりS字状循環路及びフランジを形成するための金型の構造を示す図である。なお、第4例のボールねじの構成及び作用効果は、第1例~第3例とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。図63のa~cに示すように、金型704に形成された逃げ溝703の形状を、凸型702に近い側が深く、遠い側が浅い形状とした。これにより、S字状循環路706707を形成した際に生じる余肉が逃げ溝703に流れ込みやすくなるため、フランジ形状が出やすく、より効果的にフランジF1F2を形成することができる。[第5例]図64は、第8実施形態に係る第5例のボールねじを説明する図であり、塑性加工によりS字状循環路及びフランジを形成するための金型の構造を示す図である。なお、第5例のボールねじの構成及び作用効果は、第1例~第4例とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。図64のa~dに示すように、金型704の表面には、S字状循環路706707を形成するための凸型702と、フランジF1F2を形成するための逃げ溝703と、が形成されているとともに、逃げ溝703の周囲を囲むように形成された土手部712が表面から突出している。そのため、金型704をナット705の内周面に押し当てた際には、凸型702と土手部712のみがナット705の内周面に当接する。金型704の表面の全域がナット705の内周面に当接するのではなく、凸型702及びその近傍の土手部712のみがナット705の内周面に当接するような形状となっているので、接触面圧が高くなり余肉の移動が容易となる。なお、逃げ溝703の形状は、第4例と同様に、凸型702に近い側が深く、遠い側が浅い形状となっている。これにより、S字状循環路706707を形成した際に生じる余肉が逃げ溝703に流れ込みやすくなるため、フランジ形状が出やすく、より効果的にフランジF1F2を形成することができる。以上のように、第8実施形態に係るボールねじの例を説明したが、第8実施形態のボールねじは、上述した第1例~第5例に限定されるものではなく、第8実施形態の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記の各例においては、ボール711をボール転走路708の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路706,707をナット705に形成したナット循環方式のボールねじを例示したが、第8実施形態は、ボール循環路706,707に相当するものをねじ軸に形成したねじ軸循環方式のボールねじにも適用可能である。第9実施形態第9実施形態は、ボールねじに関する。ボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路内に転動自在に装填された複数のボールと、からなる。そして、ボールを介してねじ軸に螺合されているナットとねじ軸とを相対回転運動させると、ボールの転動を介してねじ軸とナットとが軸方向に相対移動するようになっている。このようなボールねじには、ボール転走路の始点と終点とを連通させて無端状のボール通路を形成するボール循環路が備えられている。すなわち、ボールは、ボール転走路内を移動しつつねじ軸の回りを回ってボール転走路の終点に至ると、ボール循環路の一方の端部から掬い上げられてボール循環路内を通り、ボール循環路の他方の端部からボール転走路の始点に戻される。このように、ボール転走路内を転動するボールがボール循環路により無限に循環されるようになっているので、ねじ軸とナットとは継続的に相対移動することができる。このようなボールねじにおけるボール循環路の形状としては、例えば特許文献7に開示されているように、ボール循環路の長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状が略U字状のものが知られている。しかしながら、金型を用いた鍛造によりナットの内周面の一部を凹化させて凹溝を形成し、この凹溝でボール循環路を構成する場合には、断面形状が略U字状のボール循環路は、鍛造に大きなエネルギーを要する傾向があった。すなわち、金型が有する凸部をナット用素材の内周面に接触させ、強く押圧することにより塑性加工して凹溝を形成するが、断面形状が略U字状のボール循環路を形成する場合は、鍛造時に金型の凸部の先端部とナット用素材との当接角度が大きいので、鍛造に大きなエネルギーを要する傾向があった。よって、ボール循環路の形成に要するエネルギーが小さくなるよう、さらなる改良が望まれていた。そこで、第9実施形態は、上記のような従来技術が有する問題点を解決し、製造時に必要なエネルギーが小さいボールねじを提供することを課題とする。前記課題を解決するため、第9実施形態は次のような構成からなる。すなわち、第9実施形態のボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備えるボールねじにおいて、前記ボール循環路は、前記ナットの内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成されており、前記ボール循環路の長手方向の少なくとも一部分は、前記長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状が略V字状をなしていることを特徴とする。このような第9実施形態のボールねじにおいては、前記ボール循環路は、前記ボール転走路との接続部分である両端部と、前記両端部の間の中間部とからなり、前記中間部及び前記端部の少なくとも一方は、前記ボール循環路の長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状が略V字状をなしていることが好ましい。また、前記ボール循環路を構成する凹溝の底部に潤滑剤溜まりを設けることが好ましい。第9実施形態のボールねじは、ボール循環路の長手方向の少なくとも一部分は、前記長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状が略V字状をなしているので、製造時に必要なエネルギーが小さい。第9実施形態係るボールねじの一例を、図面を参照しながら詳細に説明する。[第1例]図67は、第9実施形態に係る第1例のボールねじの構造を説明する断面図軸方向に沿う平面で切断した断面図である。図67に示すように、ボールねじ801は、螺旋状のねじ溝803aを外周面に有するねじ軸803と、ねじ軸803のねじ溝803aに対向する螺旋状のねじ溝805aを内周面に有するナット805と、両ねじ溝803a,805aにより形成される螺旋状のボール転走路807内に転動自在に装填された複数のボール809と、ボール809をボール転走路807の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路ボール戻し経路811と、を備えている。すなわち、ボール809は、ボール転走路807内を移動しつつねじ軸803の回りを回ってボール転走路807の終点に至り、そこでボール循環路811の一方の端部から掬い上げられてボール循環路811内を通り、ボール循環路811の他方の端部からボール転走路807の始点に戻されるようになっている。なお、ねじ溝803a,805aの断面形状長手方向に直交する平面で切断した場合の断面の形状は、円弧状単一円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。また、ねじ軸803,ナット805,及びボール809の材質は特に限定されるものではなく、一般的な材料を使用可能である。例えば、金属鋼等,焼結合金,セラミック,樹脂があげられる。このようなボールねじ801は、ボール809を介してねじ軸803に螺合されているナット805とねじ軸803とを相対回転運動させると、ボール809の転動を介してねじ軸803とナット805とが軸方向に相対移動するようになっている。そして、ボール転走路807とボール循環路711により無端状のボール通路が形成されており、ボール転走路807内を転動するボール809が無端状のボール通路内を無限に循環するようになっているため、ねじ軸803とナット805とは継続的に相対移動することができる。ここで、ボール循環路811について、図68,69の断面図軸方向に直交する平面で切断した断面図を参照しながら詳細に説明する。ボール循環路811は、ナット805の内周面に一体的に形成されている。詳述すると、ナット805の円柱面状の内周面の一部を塑性加工例えば、金型を用いて鍛造を行う後述の方法により凹化させて形成した凹溝822を、ボール循環路811としている。よって、チューブ式,コマ式等のボール循環形式の場合とは異なり、ボール循環路を構成する別部材は取り付けられていない。そして、別部材が用いられていないので、別部材が用いられた場合に境界部分に生じる、エッジ部を有する段差が生じるおそれはない。図69に示すように、ボール転走路807の終点に転動してきたボール809は、ボール循環路811の一方の端部から掬い上げられてナット805の内部径方向外方側に沈み込む。そして、ボール循環路811内を通ってねじ軸803のランド部803bねじ溝803aのねじ山を乗り越えて、ボール循環路811の他方の端部からボール転走路807の始点に戻される。また、図70に示すように、ボール循環路811凹溝822は、ボール転走路807ねじ溝805aとの接続部分である両端部811a,811aが直線状となっており、両端部811a,811aの間に位置する中間部811bが曲線状となっている。この中間部811bの両端と両端部811a,811aとが滑らかに接続されていて、図68のA矢視方向から見たボール循環路811凹溝822の全体形状は略S字状をなしている。ただし、ボール循環路811の全体形状は、図70に示すような略S字状に限定されるものではない。この直線状の端部811aによりボール809の導入部が形成されており、ボール転走路807からボール循環路811に入ってきたボール809は、導入部を通って中間部811bの湾曲部分に突き当たることにより案内されて、進行方向を変える。よって、この導入部は、ボール809が激しく衝突する部分である。なお、ボール循環路811とボール転走路807とは、滑らかに接続されている。すなわち、ボール809と凹溝822の内面との接点の軌跡と、ボール809とねじ溝805aの内面との接点の軌跡とが、滑らかに連続するように接続されている。その結果、ボール809が滑らかに循環する。さらに、ボール循環路811の形状について、図70~73を参照しながら詳細に説明する。図71は、ボール循環路811の端部811aの断面形状を示す凹溝822の断面図であり、図72は、ボール循環路811の中間部811bの断面形状を示す凹溝822の断面図である。また、図73は、ボール転走路807の断面形状を示すねじ溝805aの断面図である。いずれの断面図も、ボール循環路811又はボール転走路807の長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図である。第1例のボールねじ801においては、ナット805の略周方向に延びるボール循環路811の断面形状ボール循環路811の長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状が、前記長手方向全体でV字状をなしている。例として、ボール循環路811の端部811aの断面形状を、図71に示す。図71から分かるように、端部811aの断面形状は、2直線が交差してなるV字状である。断面形状がV字状のボール循環路811を形成する場合は、断面形状が円弧状や略U字状のボール循環路を形成する場合と比べて、鍛造時に金型の凸部の先端部V字状凸部の先端とナット用素材との当接角度が小さいので、冷間鍛造が容易となり、また、鍛造に要するエネルギーが大幅に小さくなる。よって、ボールねじ801の製造に際して必要なエネルギーが小さい。このような効果をより高く得るためには、V字部分のなす角度交差する前記2直線がなす角度は90°以上であることが好ましい。ただし、凹溝822の底部からナット805の内周面まで前記2直線が延びた断面V字状である必要はなく、前記2直線が途中から屈曲した断面五角形状でもよい。すなわち、断面形状が全体としてV字状でなくてもよく、凹溝822のうち底部近傍部分のみが断面V字状であってもよい。例として、ボール循環路811の中間部811bの断面形状を、図72に示す。図72のような断面形状であれば、図71のようなV字状の場合と比べて凹溝822の幅が小さくなるので、鍛造における除肉量を削減することができる。よって、鍛造に要するエネルギーがより小さくなる。なお、図72の凹溝822は、底部近傍部分が断面V字状で、開口部近傍部分は断面矩形状であるが、開口部近傍部分は断面台形状でもよい。また、ボール循環路811の断面形状がV字状であるため、図71,72から分かるように、ボール809は凹溝822の内面と2点で接触し支持される。その結果、ボール循環路811内でのボール809の挙動が安定する。さらに、ボール循環路811の断面形状がV字状であるため、ボール循環路811を構成する凹溝822の底部に、凹溝822の内面とボール809とに囲まれた空間が形成される。この空間には、潤滑油,グリース等の潤滑剤を保持可能なので、該空間は潤滑剤溜まりとして機能する。潤滑剤溜まりに保持されている潤滑剤は、ボールねじ801の使用中にボール809に適宜供給されるので、潤滑剤はボール循環路811内でボール809の表面に付着し、ボール809とともにボール転走路807に至り、ねじ溝803a,805a及びボール809の表面の潤滑に供される。そのため、ボールねじ801は潤滑性に優れ長寿命となる。また、潤滑剤溜まり内に保持された潤滑剤によってボールねじ801が潤滑されるため、ボールねじ801の内部に潤滑剤を補給するメンテナンス作業の頻度を少なくすることができる。このような第1例のボールねじ801の用途は特に限定されるものではないが、自動車部品,位置決め装置等に好適に使用可能である。次に、第1例のボールねじ801の製造方法の一例を、図74,75を参照しながら説明する。まず、円柱状の鋼製素材820を冷間鍛造等の塑性加工により加工し、ナット805と略同一形状略円筒形状のブランク821を得た粗成形工程。このとき、塑性加工により、ブランク821の外周面にはフランジ813も形成される。次に、ブランク821の円柱面状の内周面の一部を冷間鍛造等の塑性加工により凹化させて、ボール転走路807の終点と始点を連通するボール循環路811をなす略S字状の凹溝822を形成したボール循環路形成工程。この凹溝822を形成する方法の具体例としては、以下のようなものがあげられる。すなわち、凹溝822に対応する形状の凸部を有する金型図示せずをブランク821内に挿入し、ブランク821の内周面に金型の凸部を接触させ、ブランク821の内周面に向かって金型を強く押圧することにより塑性加工して、凹溝822を形成することができる。例えば、カムドライバ図示せずと、凹溝822に対応する形状の凸部を有するカムスライダ図示せずと、を有するカム機構の金型を用いて、凹溝822を形成してもよい。詳述すると、ブランク821内にカムドライバとカムスライダを挿入し、そのときカムスライダは、ブランク821とカムドライバとの間に配置するとともに、凸部をブランク821の内周面に向けて配置する。ブランク821内に配されたカムスライダとカムドライバは、ブランク821の略軸方向ブランク821の軸方向から若干傾斜した方向に延びる傾斜面で相互に接触しており、両傾斜面が金型のカム機構を構成している。ここで、カムドライバをブランク821の軸方向に沿って移動させると、両傾斜面で構成されるカム機構くさびの作用によりカムスライダがブランク821の径方向外方に移動する。すなわち、カムドライバの傾斜面からカムスライダの傾斜面に力が伝達され、カムドライバの軸方向の力がカムスライダを径方向外方へ動かす力に変換される。その結果、カムスライダの凸部がブランク821の内周面を強く押圧することとなるので、塑性加工によりブランク821の内周面に凹溝822が形成される。次に、ナット805の内周面に、慣用の切削加工により、ボール循環路811凹溝822の最端部と接続するようにねじ溝805aを形成したねじ溝形成工程。このとき、凹溝822ボール循環路811の最端部は球面状をなしているので、ねじ溝805aとの境界部分830の段差にコマ式ボールねじの場合のようなエッジ部は発生せず、滑らかな段差となる。その結果、境界部分830をボール809が通過しても、異音や作動トルク変動が生じにくく、また寿命低下も生じにくい。最後に、所望の条件で焼入れ,焼戻し等の熱処理を施して、ナット805が得られた。この熱処理の例としては、浸炭処理,浸炭窒化処理,高周波熱処理等があげられる。熱処理が浸炭処理又は浸炭窒化処理である場合は、ナット805の材質は、炭素の含有量が0.10~0.25質量のクロム鋼又はクロムモリブデン鋼例えばSCM420であることが好ましく、熱処理が高周波焼入れである場合は、炭素の含有量が0.4~0.6質量の炭素鋼例えばS53C,SAE4150であることが好ましい。このようにして製造されたナット805と、慣用の方法により製造されたねじ軸803及びボール809とを組み合わせて、ボールねじ801を製造した。なお、前述の粗成形工程及びボール循環路形成工程を塑性加工で行ったので、このボールねじ801の製造方法は、材料歩留まりが高いことに加えて、高精度のボールねじを安価に製造することができる。また、塑性加工により製造するため、鋼製素材820が有するメタルフロー鍛流線がほとんど切断されず、また、加工硬化するので、高強度のナット805が得られる。塑性加工の種類は特に限定されるものではないが、鍛造が好ましく、特に冷間鍛造が好ましい。熱間鍛造を採用することも可能であるが、冷間鍛造は熱間鍛造に比べて高精度な仕上げが可能であるので、後加工を施さなくても十分に高精度なナット805を得ることができる。よって、ボールねじ801を安価に製造することができる。粗成形工程及びボール循環路形成工程における塑性加工を冷間鍛造とすることが好ましいが、いずれか1つの工程における塑性加工を冷間鍛造としてもよい。[第2例]第9実施形態の第2例のボールねじの構成及び作用効果は、第1例とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。第1例のボールねじ801においては、ボール循環路811の断面形状は、長手方向全体でV字状をなしているが、ボール循環路811の一部分ボール循環路811の長手方向の一部分の断面形状がV字状であってもよい。第2例のボールねじ801においては、中間部811bのみが断面V字状となっており、両端部811a,811aの断面形状は、円弧状単一円弧状又はゴシックアーク状となっている。鍛造時の除肉量が最も多い中間部811bが断面V字状となっているので、鍛造に要するエネルギーが大幅に小さくなる。[第3例]第9実施形態の第3例のボールねじの構成及び作用効果は、第1例とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。第3例のボールねじ801においては、第2例の場合とは逆に、両端部811a,811aが断面V字状となっており、中間部811bの断面形状は円弧状単一円弧状又はゴシックアーク状となっている。ボール809の導入部である端部811aは、ボール809が負荷領域から無負荷領域へ移動する部分であり、ボール809の挙動が最も不安定な部分である。このような部分の断面形状がV字状であり、ボール809が凹溝822の内面と2点で接触し支持されているため、ボール809の挙動が安定する。また、ボール809が滑りによって移動する中間部811bの断面形状を、ボール809が凹溝822の内面と1点で接触する円弧状又は略U字状とすれば、ボール809の摩耗損失を低減することができる。なお、上記第1例~第3例は第9実施形態の一例を示したものであって、第9実施形態は上記第1例~第3例に限定されるものではない。例えば、第1例~第3例のボールねじ801においては、凹溝822を鍛造により形成した例を示したが、鍛造以外の方法によって、ブランク821の円柱面状の内周面の一部を凹化させて凹溝822を形成してもよい。例えば、切削加工,研削加工によって凹化させてもよい。あるいは、鋳造によって、内周面に凹溝822を有するブランク821を製造し、この凹溝822をボール循環路811としてもよい。これらの方法により凹溝822を形成した場合には、ボールねじ801の製造に際して必要なエネルギーが小さいという効果は奏されないが、ボール循環路811内でのボール809の挙動が安定するという効果は奏される。また、第1例~第3例のボールねじ801においては、ボール809をボール転走路807の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路811をナット805に形成したナット循環方式のボールねじを例示したが、第9実施形態は、ボール循環路811に相当するものをねじ軸に形成したねじ軸循環方式のボールねじにも適用可能である。第10実施形態第10実施形態は、ボールねじを構成するナットの製造方法に関する。ボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。ボールねじのボール戻し経路には循環チューブ方式やコマ方式などがあり、コマ方式の場合は、ボール戻し経路をなす凹部が形成されたコマをナットの貫通穴に嵌めている。これに対して、特許文献4には、ボール戻し経路をなす凹部ボール循環溝がナットの内周面に直接形成されているボールねじが記載されている。具体的には、ボールねじのナット部材は、周方向において分割面を有さず、切削加工や鍛造加工で一体的に形成され、ナット部材の内周面に、雌螺旋溝ボール転動溝より深い半径方向外方に突出した部分を有する長S字状の循環路ボール循環溝が形成され、雌螺旋溝の両端を滑らかに接続していると記載されている。しかし、雌螺旋溝および循環路を具体的にどのようにして形成するかについては記載されていない。特許文献5には、ボール戻し経路をなす凹部戻り溝と螺旋溝内ねじ溝と外周面の突出部外径面を形成する部分を有するナットを、焼結合金で一体に成形することが提案されている。特許文献6には、螺旋状の負荷ボール転動溝と、その一端と他端を接続するボール循環溝と、からなるボール循環路が、ナットの内周面に形成されているねじ装置が記載されている。ボール循環路の形成方法としては、内カムと呼ばれていた内径溝入れ加工の手法で作製が可能であると記載されている。特許文献1には、ボール循環溝をナット素材の内周面に塑性加工で直接形成する方法が記載されている。この方法では、図19に示すように、ボール循環溝の形状に対応するS字状の凸部37,38を有する円柱状の加工ヘッド30を備えた金型を用いる。そして、ナット素材1を台200の上に横向きに軸方向が水平方向に沿うように置き、ナット素材1の内部に凸部37,38を上に向けて加工ヘッド30を入れ、基端部30aと先端部30bを固定した状態で、金型の上部材20にプレス圧を掛けて下降させる。これにより、凸部37,38をナット素材1の内周面11に押し当ててナット素材1の内周面11を塑性変形させる。このようなボール循環溝をナット素材を塑性変形させて形成する方法であって、特許文献1の方法とは異なる方法として、円筒状のナット素材例えば第1実施形態で示したものを、軸方向が鉛直方向に沿うように配置し、外周面と軸方向一端面を拘束した状態で、前記ナット素材に内挿されたパンチを前記ナット素材の径方向外側に移動して、前記ナット素材の内周面に押し当てる方法パンチを用いた鍛造加工法があげられる。この方法では、ナット素材の内周面をパンチの押圧力で凹ませることにより、パンチの突起形状に対応した凹部ボール循環溝を形成するため、加工条件や拘束条件によっては、パンチに強い曲げ応力が作用する。また、同様に凹ませた部分に存在していた材料の流動に起因して、ボール循環溝の形状精度が低くなる場合もある。特に、複数のボール循環溝を一度に形成する場合には、形状精度と軸方向および周方向での位置精度が低く、ボール循環溝毎の形状のバラツキが生じ易い傾向がある。この第10実施形態の課題は、パンチを用いた鍛造加工法によりナット素材の内周面に、断面が円弧状でボール移動方向がS字状であるボール循環溝を形成する方法として、ナット素材の材料流動が抑制されるとともに、パンチに作用する曲げ応力が低下できる方法を提供することである。上記課題を解決するために、この第10実施形態は、ねじ軸およびボールとともにボールねじを構成し、前記ボールを転動軌道の終点から始点に戻す戻し経路として、断面が円弧状でボール移動方向がS字状であるボール循環溝を内周面に有するボールねじ用ナットを製造する方法であって、円筒状のナット素材の内周面の前記ボール循環溝を形成する位置に、断面形状が前記ボール循環溝の断面円弧に内包される下地凹部を形成した後、前記ナット素材の外周面と軸方向一端面を拘束した状態で、前記ナット素材に内挿されたパンチを前記ナット素材の径方向外側に移動することにより前記ボール循環溝を形成することを特徴とする。前記ナット素材に前記下地凹部を形成する方法としては、旋削加工、切削加工、放電加工等が挙げられる。この第10実施形態の方法によれば、前記下地凹部が形成されたナット素材にパンチを用いた鍛造加工法で前記ボール循環溝の形成を行うことで、前記下地凹部が形成されていないナット素材にパンチを用いた鍛造加工法で前記ボール循環溝を形成する場合と比較して、ナット素材の内周面をパンチの押圧力で凹ませる量が少なくなる。そのため、材料の流動量が少なくなるとともに、パンチに作用する曲げ応力が低減できる。前記下地凹部は、例えば、断面が略V字状で、深さが前記ボール循環溝と同じで、断面の開口が前記ボール循環溝の断面円弧の開口と同じに形成する。前記下地凹部を、断面が略V字状で、深さが前記ボール循環溝より深く、断面の開口が前記ボール循環溝の断面円弧の開口と同じに形成し、前記ボール循環溝の形成後に、前記下地凹部の深さ方向先端部を前記ボール循環溝の底部に逃げ溝として残してもよい。この場合、前記逃げ溝を潤滑溜まりとして利用できる。なお、この場合、前記下地凹部の前記逃げ溝となる部分は前記ボール循環溝の断面円弧から外れるが、それ以外の部分が前記ボール循環溝の断面円弧に内包されている。この第10実施形態の方法によれば、パンチを用いた鍛造加工法によりナット素材の軸方向端部の内周面に、断面が円弧状でボール移動方向がS字状であるボール循環溝を形成する方法において、材料の流動が抑制されるとともにパンチに作用する曲げ応力が低減できるため、前記ボール循環溝の形状精度および位置精度が良好になるとともにパンチの寿命が向上する。以下、第10実施形態について説明する。[第1例]この第10実施形態の第1例では、図76に示すように、円筒状のナット素材901の内面に、断面が円弧状でボール移動方向がS字状であるボール循環溝915を形成する作業を、2工程で行う。先ず、ボール循環溝915を形成する位置に、ボール循環溝915のS字状ボール移動方向に沿って、断面が略V字状でボール循環溝915の断面円弧に内包される下地凹部913を、旋削加工により形成する。ただし、下地凹部913を切削加工により形成してもよい。また、下地凹部913の形成位置の精度が良好であるので、旋削加工や切削加工が好ましいが、プレス加工等の塑性加工も採用可能である。この下地凹部913は、深さがボール循環溝915と同じで、断面の開口がボール循環溝915の断面円弧の開口と同じである。次に、ナット素材901の内周面911の下地凹部913が形成されている位置に、図77に示す方法でボール循環溝915を形成する。図77に示す方法で使用する金型は、第1実施形態と同様のものであり、円筒状のナット素材901の外周面を拘束する外周拘束型902と、ナット素材901の下端面を拘束する下型903と、ナット素材901の上端面に載せる円筒状の押え部材904を有する。また、ナット素材901の内部に挿入する円筒状のカムケース905と、カムケース905の中心穴951に挿入するカムドライバ906と、カムケース905の径方向に沿った貫通穴952に配置されるパンチカムスライダ907を有する。カムケース905は、貫通孔952が形成されている方を上側に配置してナット素材901に挿入されている。パンチ907には、ボール循環溝915の形状断面が円弧状でボール移動方向がS字状に対応する突起971が形成されている。パンチ907は、カムドライバ906の斜面961と同じ斜面972を有する。これらの斜面961,972がカム機構を構成する。この金型を用いることで、ナット素材901の下端面軸方向一端面とカムケース905の下端面が下型903で拘束される。この状態で、カムドライバ906を押し込むことにより、パンチ907がナット素材901の径方向外側に移動し、ナット素材901の内周面911の下地凹部913にパンチ907の突起971が押し込まれて、ボール循環溝915が形成される。これにより、ナット素材901に下地凹部913を設けずにボール循環溝915を形成した場合と比較して、ナット素材901の内周面911をパンチ907の押圧力で凹ませる量が少なくなる。そのため、ナット素材901に下地凹部913を設けずにボール循環溝915を形成した場合と比較して、材料の流動量が少なくなるとともに、パンチ907に作用する曲げ応力が低減できる。その結果、ボール循環溝915の形状精度や軸方向および周方向での位置精度が良好になるとともに、パンチ907の寿命が向上する。なお、ナット素材901の内周面911に複数のボール循環溝を一度に形成する場合は、対応する複数の位置に下地凹部913を設けた後、例えば図78に示す方法で、パンチを用いた鍛造加工法を行う。図78に示す方法で使用する金型は、円筒状のナット素材901の外周面を拘束する外周拘束型902と、ナット素材901の下端面を拘束する下型903と、ナット素材901の上端面に載せる円筒状の押え部材904を有する。また、ナット素材901の内部に挿入する円筒状のカムケース905Aと、カムケース905Aの中心穴951に挿入するカムドライバ906Aと、カムケース905Aの径方向に沿った貫通穴952,953に配置されるパンチカムスライダ907A,907Bを有する。パンチ907A,907Bには、ボール循環溝915,916の形状断面が円弧状でボール移動方向がS字状に対応する突起971A,971Bが形成されている。カムドライバ906Aは、パンチ907Aの斜面972Aと同じ斜面961Aおよびパンチ907Bの斜面972Bと同じ斜面961Bを有する。斜面961A,972Aは斜面961B,972Bよりも傾斜角度が小さい。斜面961Aと斜面972Aおよび斜面961Bと斜面972Bがそれぞれカム機構を構成する。この金型を用いることにより、ナット素材901の下端面軸方向他端面とカムケース905Aの下端面とが下型903で拘束される。この状態で、カムドライバ906Aを押し込むことにより、パンチ907A,907Bがそれぞれナット素材901の径方向外側に移動し、ナット素材901の内周面911の各下地凹部913にパンチ907A,907Bの突起971A,971Bが押し込まれて、ボール循環溝915,916が形成される。これにより、ナット素材901に各下地凹部913を設けずにボール循環溝915,916を形成した場合と比較して、ナット素材901の内周面911をパンチ907A,907Bの押圧力で凹ませる量が少なくなる。そのため、ナット素材901に各下地凹部913を設けずにボール循環溝915,916を形成した場合と比較して、材料の流動量が少なくなるとともに、パンチ907A,907Bに作用する曲げ応力が低減できる。その結果、ボール循環溝915,916の形状精度や軸方向および周方向での位置精度が良好になるとともに、パンチ907A,907Bの寿命が向上する。[第2例]この第10実施形態の第2例では、図79に示すように、円筒状のナット素材901の内面に、断面が円弧状でボール移動方向がS字状であるボール循環溝915を形成する作業を、2工程で行う。先ず、ボール循環溝915を形成する位置に、ボール循環溝915のS字状ボール移動方向に沿って、断面が略V字状で深さ方向先端部以外がボール循環溝915の断面円弧に内包される下地凹部914を、旋削加工により形成する。ただし、下地凹部913を切削加工により形成してもよい。また、下地凹部913の形成位置の精度が良好であるので、旋削加工や切削加工が好ましいが、プレス加工等の塑性加工も採用可能である。この下地凹部914は、深さがボール循環溝915より深く、断面の開口がボール循環溝915の断面円弧の開口と同じである。次に、第1例と同様に、図77の金型を用いた方法で、ナット素材901の内周面911の下地凹部914が形成されている位置にボール循環溝915を形成し、下地凹部914の深さ方向先端部をボール循環溝915の底部に逃げ溝914aとして残す。これにより、ナット素材901に下地凹部914を設けずにボール循環溝915を形成した場合と比較して、ナット素材901の内周面911をパンチ907の押圧力で凹ませる量が少なくなる。そのため、ナット素材901に下地凹部914を設けずにボール循環溝915を形成した場合と比較して、材料の流動量が少なくなるとともに、パンチ907に作用する曲げ応力が低減できる。その結果、ボール循環溝915の形状精度や軸方向および周方向での位置精度が良好になるとともに、パンチ907の寿命が向上する。また、逃げ溝914aを潤滑溜まりとして利用できるため潤滑性能が向上する。なお、ナット素材901の内周面911に複数のボール循環溝を一度に形成する場合は、対応する複数の位置に下地凹部914を設けた後、例えば図78の金型を用いた方法で、パンチ907A,907Bを用いた鍛造加工を行う。これにより、ナット素材901の内周面911の各下地凹部914が形成されている位置にボール循環溝915,916を形成し、各下地凹部914の深さ方向先端部をボール循環溝915,916の底部に逃げ溝914aとして残す。よって、ナット素材901に各下地凹部914を設けずにボール循環溝915,916を形成した場合と比較して、ナット素材901の内周面911をパンチ907A,907Bの押圧力で凹ませる量が少なくなる。そのため、ナット素材901に各下地凹部914を設けずにボール循環溝915,916を形成した場合と比較して、材料の流動量が少なくなるとともに、パンチ907A,907Bに作用する曲げ応力が低減できる。その結果、ボール循環溝915,916の形状精度や軸方向および周方向での位置精度が良好になるとともに、パンチ907A,907Bの寿命が向上する。第11実施形態第11実施形態は、溝状のボール戻し経路ボール循環溝を有するボールねじに関する。ボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。ボールねじのボール戻し経路には循環チューブ方式やコマ方式などがあり、コマ方式の場合は、ボール戻し経路をなす凹部溝状のボール戻し経路が形成されたコマをナットの貫通穴に嵌めている。これに対して、溝状のボール戻し経路ボール循環溝と称されることが多いがナットの内周面に直接形成されていれば、組み付けの手間やコストが低減できるとともに、ボール循環の信頼性向上も期待できる。特許文献1には、ボール循環溝がナットの内周面に直接形成されているボールねじの製造方法として、循環溝ボール循環溝をナット素材の内周面に塑性加工で直接形成した後、雌ねじ溝ボール転動溝を切削加工することが記載されている。特許文献9には、ナットの軸方向一端部に、ナットと一体に同軸の円環状のボール循環部を設け、このボール循環部にボール循環溝を設けることが記載されている。特許文献7には、循環溝ボール循環溝のボール進行方向に直交する、溝底と一対の側面を有する断面形状を、溝底から離れる方向に向けて側面が広がる形状とすることが記載されている。これにより、循環溝とボールとの隙間を小さく設定して、ボールの蛇行および循環溝とねじ軸との間の段差を抑えることができるため、異音や振動を抑制し、円滑な動作を確保できると記載されている。特許文献10には、ボール循環溝をねじ軸に設け、ボール循環溝の全体を径方向で穏やかに波打つ形状にするとともに、ねじ軸のねじ溝との連結部分を極端に鋭いエッジのたたない形状にすることが記載されている。これにより、ねじ軸のねじ溝とボール循環溝との間でボールが円滑に出入りできるようにしている。特許文献1,7,9,10に記載された方法では、溝状のボール戻し経路ボール循環溝を有するボールねじの耐久性、ボール循環性能、および加工性能を向上させるという点で更なる改善の余地がある。この第11実施形態の課題は、溝状のボール戻し経路ボール循環溝を有するボールねじの耐久性、ボール循環性能、および加工性能を更に向上させることである。上記課題を解決するために、第11実施形態のボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール循環溝とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじであって、前記ボール循環溝の両側面と各側面に連続する軸方向に延びる面との角部が丸く形成されていることを特徴とする。この第11実施形態のボールねじは、前記ボール循環溝の両側面と各側面に連続する軸方向に延びる面との角部が丸く形成されていることにより、前記角部が丸く形成されていないものと比較して、ボールが循環する際にボール表面に傷や打痕が発生しにくく、ボール循環溝自体も角部の欠け等が生じにくいため、耐久性が向上する。また、ボール循環溝を進行するボールがランド部を超える際にもスムーズに移動できるため、ボール循環性能が向上する。さらに、角部が丸く形成されていないものは、加工後に角部のバリ取りを行う必要があるが、角部が丸く形成されていることによりその手間が省略できるため、加工性能が向上する。第11実施形態のボールねじは、溝状のボール戻し経路ボール循環溝を有するボールねじとして、耐久性、ボール循環性能、および加工性能が良好なものとなる。以下、第11実施形態について説明する。図80~82に示すように、第11実施形態の第1例のボールねじは、ねじ軸1001と、ナット1002と、ボール1003と、コマ1004を備えている。ねじ軸1001の外周面に螺旋溝1001aが形成されている。ナット1002の内周面に螺旋溝1002aが形成されている。ナット1002の径方向に貫通する貫通穴1002bにコマ1004が嵌めてある。ボール1003は、ナット1002の螺旋溝1002aとねじ軸1001の螺旋溝1001aで形成される軌道の間に配置されている。図81および82に示すように、コマ1004に、ボール1003を軌道の終点から始点に戻すボール循環溝1041が形成されている。コマ1004に形成されたボール循環溝1041は、図82に示すように、溝底1041aと、溝底1041aに連続する1対の側面1041bを有する。ボール循環溝1041の両側面1041bと各側面1041bに連続する軸方向に延びる面1042との角部1041cが、丸く形成されている。図83および図84に示す第11実施形態の第2例のボールねじでは、ボール循環溝1041がナット1002の内周面1002dに直接形成されており、ナット1002に図80に示すような貫通穴1002bは形成されていないし、コマ1004も有さない。図84に示すように、ナット1002の内周面1002dに形成されたボール循環溝1041は、溝底1041aと、溝底1041aに連続する1対の側面1041bを有する。ボール循環溝1041の両側面1041bと各側面1041bに連続する軸方向に延びる面ナット1002の内周面1002dとの角部1041cが、丸く形成されている。第1および第2例のボールねじによれば、ボール循環溝1041の角部1041cが丸く形成されているため、丸く形成されていないものと比較して、ボール1003が循環する際にボール1003の表面に傷や打痕が発生しにくく、ボール循環溝1041の角部1041cの欠け等が生じにくい。よって、耐久性が向上する。また、ボール循環溝1041を進行するボール1003が、ねじ軸1001の外周面ランド部1001bを超える際にもスムーズに移動できるため、ボール循環性能が向上する。さらに、ボール循環溝1041の角部1041cが丸く形成されていることにより、角部1041cにバリがほとんど発生しないため、バリ取りの後工程が省略できるため、加工性能が向上する。図84に示すような、角部1041cが丸いボール循環溝1041が直接形成されたナット1002は、例えば、ナット用素材から作製された円筒状ブランクの内周面に、図85aに示すような金型1005を用いた塑性加工でボール循環溝を形成した後に、このボール循環溝の両端を接続するようにボール転動溝を切削加工で形成することにより、製造することができる。図85aに示す金型1005は、基部の面1051に、ボール循環溝1041に対応させた突起1052,1053が形成されている。第1の突起1052はボール循環溝1041の溝底1041aおよび側面1041bを形成し、第2の突起1053が角部1041cの丸みを形成する。角部1041cが丸いボール循環溝1041をナット1002に直接形成する他の方法としては、従来の方法で角部が尖ったボール循環溝1041をナット1002に直接形成した後、ショットブラスト等のメディア投射法で尖った角部を丸める方法や、図85bに示すように、第2の突起1053の無い金型1005を用いて塑性流動を利用して角部を丸める方法が挙げられる。ボール循環溝1041は、図86に示すように、ナット1002の螺旋溝1002aと接続されている。ボール循環溝1041のボール導入側A部では、図87の右図に示すように、螺旋溝1002aからボール循環溝1041に入ったボール1003は、ボール循環溝1041の側面1041bに当たって矢印方向の力を受ける。この力が付与されたボール1003は、ボール循環溝1041の中央部B部で、図87の左図に示すように、ねじ軸1001の外周面ランド部1001bを乗り越えて隣の螺旋溝1002aに移動する。よって、角部1041cの丸みの度合いは、ボール1003がスムーズにねじ軸1001のランド部1001bを乗り越えられる力が付与される範囲に設定する必要がある。また、特許文献9のように、ナットの軸方向一端部に、ナットと一体に同軸の円環状のボール循環部を設け、このボール循環部にボール循環溝を設けた上で、このボール循環溝の両側面と各側面に連続する軸方向に延びる面との角部を丸く形成してもよい。これにより、ボールねじの耐久性、ボール循環性能、および加工性能を更に向上できる。また、特許文献7のように、循環溝ボール循環溝のボール進行方向に直交する、溝底と一対の側面を有する断面形状を、溝底から離れる方向に向けて側面が広がる形状とした上で、このボール循環溝の両側面と各側面に連続する軸方向に延びる面との角部を丸く形成してもよい。これにより、ボールねじの耐久性、ボール循環性能、および加工性能を更に向上できる。また、ナット用素材から作製された円筒状ブランクの内周面に、金型を用いた塑性加工でボール循環溝を形成する際に、前記内周面のボール循環溝の周囲にフランジを突出させたボールねじ日本国特許願2009年第226241号明細書において、このボール循環溝フランジ形成部分はフランジの両側面と各側面に連続する軸方向に延びる面との角部を丸く形成してもよい。これにより、ボールねじの耐久性、ボール循環性能、および加工性能を更に向上できる。また、ボール循環溝がナットではなく、ねじ軸に形成されている場合にも、このボール循環溝の両側面と各側面に連続する軸方向に延びる面との角部を丸く形成することによって、同様の効果を得ることができる。第12実施形態第12実施形態は、ボールねじに関する。ボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路内に転動自在に装填された複数のボールと、からなる。そして、ボールを介してねじ軸に螺合されているナットとねじ軸とを相対回転運動させると、ボールの転動を介してねじ軸とナットとが軸方向に相対移動するようになっている。このようなボールねじには、ボール転走路の始点と終点とを連通させて無端状のボール通路を形成するボール循環路が備えられている。すなわち、ボールは、ボール転走路内を移動しつつねじ軸の回りを回ってボール転走路の終点に至ると、ボール循環路の一方の端部から掬い上げられてボール循環路内を通り、ボール循環路の他方の端部からボール転走路の始点に戻される。このように、ボール転走路内を転動するボールがボール循環路により無限に循環されるようになっているので、ねじ軸とナットとは継続的に相対移動することができる。ボールねじの潤滑性を向上させる方法として、潤滑油,グリース等の潤滑剤を保持する油溜まりを設ける技術が知られている。例えば、特許文献11には、射出成形法により製造された樹脂製ナットのボール転走路に油溜まりが設けられたボールねじが開示されている。すなわち、ナットのねじ溝の表面に、油溜まりを構成する凹部が形成されており、この油溜まりに潤滑剤が充填されるようになっている。しかしながら、多くの場合ナットは金属製であるため、ボール転走路に油溜まりを設けるためには、ねじ溝を形成した後に、その溝面に切削加工等により凹部を形成する必要がある。そのため、ボールねじを製造する際の加工コストが上昇するという問題点があった。また、ねじ溝に凹部を設けると、ボールねじの負荷容量や寿命の低下を招くおそれがあった。そこで、第12実施形態は、上記のような従来技術が有する問題点を解決し、負荷容量及び寿命の低下並びに製造コストの上昇を伴うことなく潤滑性を向上させたボールねじを提供することを課題とする。前記課題を解決するため、第12実施形態は次のような構成からなる。すなわち、第12実施形態のボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路が、前記ナットの内周面の一部を凹化させてなる凹溝で構成されているボールねじにおいて、潤滑剤を保持可能な潤滑剤溜まりを備えており、該潤滑剤溜まりは、前記凹溝の内面の一部を凹化させてなる凹部からなることを特徴とする。このような第12実施形態のボールねじにおいては、前記ボール循環路は、前記ボール転走路との接続部分である両端部と、前記両端部の間の中間部とからなり、前記ボール循環路の長手方向に直交する平面で切断した前記潤滑剤溜まりの断面の面積は、前記端部に隣接する部分よりも前記中間部に隣接する部分の方が大きいことが好ましい。また、前記ボール循環路は湾曲しており、前記ボール循環路の湾曲の径方向外方側に配された潤滑剤溜まりよりも、前記ボール循環路の湾曲の径方向内方側に配された潤滑剤溜まりの方が、前記ボール循環路の長手方向に直交する平面で切断した断面の面積が大きいことが好ましい。さらに、前記ボール循環路を構成する凹溝及び前記潤滑剤溜まりを構成する凹部は、鍛造により同時に形成されたものであることが好ましい。第12実施形態のボールねじは、ナットのボール循環路に潤滑剤溜まりを備えることにより、負荷容量及び寿命の低下並びに製造コストの上昇を伴うことなく、優れた潤滑性を実現している。第12実施形態に係るボールねじ及びその製造方法の例を、図面を参照しながら詳細に説明する。[第1例]図67は、第12実施形態の第1例のボールねじの構造を説明する断面図軸方向に沿う平面で切断した断面図である。図67に示すように、ボールねじ801は、螺旋状のねじ溝803aを外周面に有するねじ軸803と、ねじ軸803のねじ溝803aに対向する螺旋状のねじ溝805aを内周面に有するナット805と、両ねじ溝803a,805aにより形成される螺旋状のボール転走路807内に転動自在に装填された複数のボール809と、ボール809をボール転走路807の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路811と、を備えている。すなわち、ボール809は、ボール転走路807内を移動しつつねじ軸803の回りを回ってボール転走路807の終点に至り、そこでボール循環路811の一方の端部から掬い上げられてボール循環路811内を通り、ボール循環路811の他方の端部からボール転走路807の始点に戻されるようになっている。なお、ねじ溝803a,805aの断面形状は、円弧状単一円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。また、ねじ軸803,ナット805,及びボール809の材質は特に限定されるものではなく、一般的な材料を使用可能である。例えば、金属鋼等,焼結合金,セラミック,樹脂があげられる。このようなボールねじ801は、ボール809を介してねじ軸803に螺合されているナット805とねじ軸803とを相対回転運動させると、ボール809の転動を介してねじ軸803とナット805とが軸方向に相対移動するようになっている。そして、ボール転走路807とボール循環路811とにより無端状のボール通路が形成されており、ボール転走路807内を転動するボール809が無端状のボール通路内を無限に循環するようになっているため、ねじ軸803とナット805とは継続的に相対移動することができる。ここで、ボール循環路811について、図68及び図69の断面図軸方向に直交する平面で切断した断面図を参照しながら詳細に説明する。ボール循環路811は、例えばナット805の内周面に一体的に形成されている。詳述すると、ナット805の円柱面状の内周面の一部を塑性加工又は切削加工により凹化させて形成した凹溝822を、ボール循環路811としている。よって、チューブ式,コマ式等のボール循環形式の場合とは異なり、ボール循環路を構成する別部材は取り付けられていない。そして、別部材が用いられていないので、別部材が用いられた場合に境界部分に生じる、エッジ部を有する段差が生じるおそれはない。図69に示すように、ボール転走路807の終点に転動してきたボール809は、ボール循環路811の一方の端部から掬い上げられてナット805の内部径方向外方側に沈み込む。そして、ボール循環路811内を通ってねじ軸803のランド部803bねじ溝803aのねじ山を乗り越えて、ボール循環路811の他方の端部からボール転走路807の始点に戻される。なお、ボール循環路811の断面形状は、円弧状単一円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。また、図88に示すように、ボール循環路811を構成する凹溝1122は、ボール転走路807ねじ溝805aとの接続部分である両端部が直線状となっており、該両端部の間に位置する中間部1124が略S字状に湾曲した曲線状となっている。さらに、直線状の端部には、ボール1109の導入部1125が形成されているとともに、直線状の端部の最端部は円弧状をなしている。なお、凹溝1122の全体形状は、図88に示すような略S字状に限定されるものではない。さらに、ナット1105は、潤滑剤を保持可能な潤滑剤溜まりを備えている。この潤滑剤溜まりは、凹溝1122の内面の一部を凹化させてなる凹部1131からなる図89を参照。グリース,潤滑油等の潤滑剤が潤滑剤溜まり内に保持され、ボールねじ801の使用中にボール循環路811に適宜供給される。そして、潤滑剤はボール循環路811内においてボール809の表面に付着し、ボール809とともにボール転走路807に至り、ねじ溝803a,805a及びボール809の表面の潤滑に供されるため、ボールねじ801は潤滑性に優れている。また、潤滑剤溜まり内に保持された潤滑剤によってボールねじ801が潤滑されるため、ボールねじ801の内部に潤滑剤を補給するメンテナンス作業の頻度を少なくすることができる。凹部1131を形成する部位は、凹溝1122の内面であるならば特に限定されるものではないが、例えば図88に示すように、略S字状の中間部1124の湾曲部分及び円弧状の最端部の共通接線と、凹溝1122の縁部とで囲まれる部位図88における略弓形状の斜線部に形成するとよい。そして、図89に示すように、凹部1131のナット内周面側は、開放されていてもよい。言い換えれば、ナット1105の内周面を凹化させて、凹溝1122に連続する凹部1131を形成してもよい。また、凹部1131は、凹溝1122に滑らかに接続している。すなわち、図89の断面図から分かるように、ナット1105の内周面から凹部1131を経由して凹溝1122に至るまで、その表面は、曲率が徐々に変化しつつ滑らかに連続している。そのため、凹部1131内の潤滑剤は、凹溝1122内へ容易に供給される。さらに、凹部1131の深さナット1105の径方向の長さは、凹部1131の長手方向の中央において最も深くなっているが、いずれの部分においても、その深さは凹溝1122の曲率半径中間部1124の溝幅tの1/2よりも小さくなっている。さらに、ボール転走路807からボール循環路811に入ってきたボール1109は、導入部1125を通って中間部1124の湾曲部分に突き当たることにより案内されて、進行方向を変える。図88,89から分かるように、ボール循環路811の導入部1125や湾曲部分のうち、湾曲の径方向外方側すなわちボール1109が突き当たる部分には凹部1131が形成されていないので、ボール循環路811の循環性ボール1109の案内性能が低下することはない。なお、ボール循環路811の湾曲の径方向外方側に凹部1131を設けてもよいが、湾曲の径方向内方側に設けた凹部1131よりも小さいことが、上記と同様の観点から好ましい。詳述すると、ボール循環路811凹溝1122の長手方向に直交する平面で潤滑剤溜まり凹部1131を切断したと仮定すると、その断面の面積は、ボール循環路811の湾曲の径方向内方側に設けた凹部1131よりも、湾曲の径方向外方側に設けた凹部1131の方が小さいことが好ましい。このような構成から、第12実施形態の第1例のボールねじ801は、優れた潤滑性を有している。また、ボール転走路807ではなくボール循環路811に潤滑剤溜まりが形成されているので、ボールねじ801の負荷容量や寿命の低下が生じることがない。このような第1例のボールねじ801の用途は特に限定されるものではないが、自動車部品,位置決め装置等に好適に使用可能である。次に、第12実施形態のボールねじ801の製造方法の一例を、図74,75を参照しながら説明する。まず、円柱状の鋼製素材820を冷間鍛造等の塑性加工により加工し、ナット805と略同一形状略円筒形状のブランク821を得た粗成形工程。このとき、塑性加工により、ブランク821の外周面にはフランジ813も形成される。次に、ブランク821の円柱面状の内周面の一部を冷間鍛造等の塑性加工又は切削加工でもよいにより凹化させて、ボール転走路807の終点と始点を連通するボール循環路811をなす略S字状の凹溝8221122を形成したボール循環路形成工程。さらに、油溜まりを構成する凹部1131を塑性加工又は切削加工でもよいにより形成した。凹溝1122及び凹部1131を形成する方法の具体例としては、以下のようなものがあげられる。すなわち、凹溝1122に対応する形状の凸部、及び、凹部1131に対応する形状の別の凸部を有する金型図示せずをブランク821内に挿入し、ブランク821の内周面に金型の両凸部を接触させ、ブランク821の内周面に向かって金型を強く押圧することにより塑性加工して、凹溝1122及び凹部1131を形成することができる。凹溝1122と凹部1131は別々に形成してもよいが、上記のように1つの工程で同時に形成すれば、ボールねじ801の製造コストを低く抑えることができる。例えば、カムドライバ図示せずと、凹溝1122に対応する形状の凸部、及び、凹部1131に対応する形状の別の凸部を有するカムスライダ図示せずと、を有するカム機構の金型を用いて、凹溝1122及び凹部1131を形成してもよい。詳述すると、ブランク821内にカムドライバとカムスライダを挿入し、そのときカムスライダは、ブランク821とカムドライバとの間に配置するとともに、両凸部をブランク821の内周面に向けて配置する。ブランク821内に配されたカムスライダとカムドライバは、ブランク821の略軸方向ブランク821の軸方向から若干傾斜した方向に延びる傾斜面で相互に接触しており、両傾斜面が金型のカム機構を構成している。ここで、カムドライバをブランク821の軸方向に沿って移動させると、両傾斜面で構成されるカム機構くさびの作用によりカムスライダがブランク821の径方向外方に移動する。すなわち、カムドライバの傾斜面からカムスライダの傾斜面に力が伝達され、カムドライバの軸方向の力がカムスライダを径方向外方へ動かす力に変換される。その結果、カムスライダの両凸部がブランク821の内周面を強く押圧することとなるので、塑性加工によりブランク821の内周面に凹溝1122及び凹部1131が形成される。次に、ナット805の内周面に、慣用の切削加工により、ボール循環路811凹溝1122の最端部と接続するようにねじ溝805aを形成したねじ溝形成工程。このとき、凹溝1122ボール循環路811の最端部は球面状をなしているので、ねじ溝805aとの境界部分の段差にコマ式ボールねじの場合のようなエッジ部は発生せず、滑らかな段差となる。その結果、境界部分830をボール809が通過しても、異音や作動トルク変動が生じにくく、また寿命低下も生じにくい。最後に、所望の条件で焼入れ,焼戻し等の熱処理を施して、ナット805が得られた。この熱処理の例としては、浸炭処理,浸炭窒化処理,高周波熱処理等があげられる。熱処理が浸炭処理又は浸炭窒化処理である場合は、ナット5の材質はSCM420であることが好ましく、熱処理が高周波焼入れである場合は、S53C又はSAE4150であることが好ましい。このようにして製造されたナット805と、慣用の方法により製造されたねじ軸803及びボール809とを組み合わせて、ボールねじ801を製造した。なお、前述の粗成形工程及びボール循環路形成工程を塑性加工で行ったので、このボールねじ801の製造方法は、材料歩留まりが高いことに加えて、高精度のボールねじを安価に製造することができる。また、塑性加工により製造するため、鋼製素材820が有するメタルフロー鍛流線がほとんど切断されず、また、加工硬化するので、高強度のナット805が得られる。塑性加工の種類は特に限定されるものではないが、鍛造が好ましく、特に冷間鍛造が好ましい。熱間鍛造を採用することも可能であるが、冷間鍛造は熱間鍛造に比べて高精度な仕上げが可能であるので、後加工を施さなくても十分に高精度なナット805を得ることができる。よって、ボールねじ801を安価に製造することができる。粗成形工程及びボール循環路形成工程における塑性加工を冷間鍛造とすることが好ましいが、いずれか1つの工程における塑性加工を冷間鍛造としてもよい。[第2例]図90~92は、第12実施形態の第2例のボールねじの構造を説明する図である。図90は、ナットの内周面の凹溝及び凹部を示す図であり、図91,92は、図90の凹溝及び凹部の断面図である。なお、第2例のボールねじの構成及び作用効果は、第12実施形態の第1例とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。また、これ以降の各図においては、図67~69及び図88,89と同一又は相当する部分には、図67~69及び図88,89と同一の符号を付してある。第12実施形態の第2例のボールねじにおいては、凹部1131を形成する部位は、図90に示すように、凹溝1122の縁部のうち、導入部1125と中間部1124に沿う部分に形成されている図90における斜線部。そして、図91,92に示すように、凹部1131は、導入部1125に沿う部分よりも中間部1124に沿う部分の方が大きく形成されている。詳述すると、ボール循環路811凹溝1122の長手方向に直交する平面で潤滑剤溜まり凹部1131を切断したと仮定すると、その断面の面積は、導入部1125に沿う部分は小さく、中間部1124に沿う部分はそれよりも大きい。そして、導入部1125に沿う部分の断面積が最も小さく、凹部1131の長手方向の中央に近づくに従って断面積が徐々に大きくなり、凹部1131の長手方向の中央において最も断面積が大きくなっている。また、凹部1131の深さナット805の径方向の長さは、凹部1131の長手方向の中央において最も深くなっているが、いずれの部分においても、その深さは凹溝1122の曲率半径中間部1124の溝幅tの1/2よりも小さくなっている。さらに、ボール転走路807からボール循環路811に入ってきたボール8091109は、導入部1125を通って中間部1124の湾曲部分に突き当たることにより案内されて、進行方向を変える。導入部1125にもボール1109が突き当たるので、図92から分かるように、湾曲の径方向内方側図92においては右側よりも径方向外方側図92においては左側の方が、前記断面積が小さい凹部1131が形成されている。よって、ボール循環路811の循環性ボール1109の案内性能はほとんど低下しない。[第3例]図93は、第12実施形態の第3例のボールねじの構造を説明する図であり、ナットの内周面の凹溝及び凹部を示す図である。なお、第3例のボールねじの構成及び作用効果は、第12実施形態の第1例,第2例とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。第12実施形態の第3例のボールねじにおいては、図93に示すように、凹部1131が凹溝1122の縁部全体に沿うように形成されている図93における斜線部。なお、ボール循環路811凹溝1122の長手方向に直交する平面で潤滑剤溜まり凹部1131を切断したと仮定した場合の断面の面積は、潤滑剤溜まり凹部1131のどの部分についてもほぼ同一であり、凹溝1122の縁部全体に沿って凹部1131が一様に形成されている。凹溝1122の最端部円弧状の部分にまで潤滑剤溜まりが形成されているので、より多くの潤滑剤を潤滑剤溜まりに保持することが可能となる。よって、ボールねじ801の潤滑性がより優れている。なお、上記第1例~第3例は第12実施形態の一例を示したものであって、第12実施形態は上記第1例~第3例に限定されるものではない。例えば、第1例~第3例のボールねじ801においては、ボール809をボール転走路807の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路811をナット805に形成したナット循環方式のボールねじを例示したが、第12実施形態は、ボール循環路811に相当するものをねじ軸に形成したねじ軸循環方式のボールねじにも適用可能である。第13実施形態第13実施形態は、ボールねじの製造方法に関する。ボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路内に転動自在に装填された複数のボールと、からなる。そして、ボールを介してねじ軸に螺合されているナットとねじ軸とを相対回転運動させると、ボールの転動を介してねじ軸とナットとが軸方向に相対移動するようになっている。このようなボールねじには、ボール転走路の始点と終点とを連通させて無端状のボール通路を形成するボール循環路が備えられている。すなわち、ボールは、ボール転走路内を移動しつつねじ軸の回りを回ってボール転走路の終点に至ると、ボール循環路の一方の端部から掬い上げられてボール循環路内を通り、ボール循環路の他方の端部からボール転走路の始点に戻される。このように、ボール転走路内を転動するボールがボール循環路により無限に循環されるようになっているので、ねじ軸とナットとは継続的に相対移動することができる。ボール循環路を用いたボール循環形式としては、チューブ式,コマ式等が一般的である。コマ式ボールねじにおいては、図97に示すように、ボール循環路を構成する循環溝1301が設けられたコマ1302が、ナット1303に形成されたコマ穴1304に挿入されて固定されている。このようなコマ式ボールねじのナット1303は、円筒状の素材に切削によって穴開け加工や内外周面の加工を行うことにより製造されるため、材料歩留まりが悪かった。また、ナット1303とコマ1302が別部材であるため、ナット1303とコマ1302の寸法のバラツキにより、その境界部分に、エッジ部を有する段差1305が生じるおそれがあったコマ1302及びコマ穴1304の周辺部と段差周辺部を拡大して示した図97を参照。なお、符号1300はボール転走路である。ナットとコマの境界部分に、エッジ部を有する段差が形成されていると、該境界部分をボールが通過した際に異音や作動トルク変動が生じるおそれがあり、ひいては寿命低下が生じて、そのメンテナンスのためにコストが高騰するという問題点があった。そして、この段差を滑らかにするために、砥石,エンドミル等を用いた機械加工を施すと、コマとコマ穴との間に砥粒,切粉等が残留するおそれがあった。これらの問題を解決する先行技術としては、例えば特許文献12がある。特許文献12においては、コマをナットに取り付ける前に、ナットのねじ溝におけるコマ穴に隣接する部位に、ショットピーニング加工を施している。また、コマの循環溝にもショットピーニング加工を施している。しかしながら、ショットピーニング加工は高コストであるため、加工コストが嵩んでしまうという問題点があった。そのため、特許文献5においては、ナットを焼結合金で構成することにより、ボール循環路を構成する戻り溝をナットの内周面に一体的に形成している。すなわち、ナットとボール循環路が別部材ではなく一体的に形成されているため、前述のようなエッジ部を有する段差が形成されることがない。しかしながら、特許文献5に記載のボールねじのナットは、焼結合金によって構成されているので、密度が低いという問題点があった。また、気孔の発生等によって、ナットの強度がボールねじのナットとして十分ではない場合があった。そこで、第13実施形態は、上記のような従来技術が有する問題点を解決し、異音や作動トルク変動が生じにくく長寿命で安価なボールねじの製造方法を提供することを課題とする。前記課題を解決するため、第13実施形態は次のような構成からなる。すなわち、第13実施形態のボールねじの製造方法は、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備えるボールねじを製造する方法において、前記ナットの内周面の一部を凹化させて、凹溝からなる前記ボール循環路を形成するボール循環路形成工程と、前記ナットの内周面に、前記ボール循環路の端部と接続するように前記ねじ溝を形成するねじ溝形成工程と、前記ボール循環路と前記ボール転走路との境界部分にブラシ加工及びブラスト加工の少なくとも一方を施してバリを除去するバリ除去工程と、を備えることを特徴とする。このような第13実施形態のボールねじの製造方法においては、前記ボール循環路形成工程において、前記ナットの内周面の一部を鍛造により凹化させて、凹溝からなる前記ボール循環路を形成してもよい。第13実施形態のボールねじの製造方法は、ボール循環路とボール転走路との境界部分に生じるバリを除去するバリ除去工程を備えているので、境界部分をボールが通過する際に異音や作動トルク変動が生じにくく長寿命なボールねじを安価に製造することができる。第13実施形態に係るボールねじの製造方法の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図67は、第13実施形態の一例であるボールねじの断面図軸方向に沿う平面で切断した断面図である。図67に示すように、ボールねじ801は、螺旋状のねじ溝803aを外周面に有するねじ軸803と、ねじ軸803のねじ溝803aに対向する螺旋状のねじ溝805aを内周面に有するナット805と、両ねじ溝803a,805aにより形成される螺旋状のボール転走路807内に転動自在に装填された複数のボール809と、ボール809をボール転走路807の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路811と、を備えている。すなわち、ボール809は、ボール転走路807内を移動しつつねじ軸803の回りを回ってボール転走路807の終点に至り、そこでボール循環路811の一方の端部から掬い上げられてボール循環路811内を通り、ボール循環路811の他方の端部からボール転走路807の始点に戻されるようになっている。なお、ねじ溝803a,805aの断面形状は、円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。また、ねじ軸803,ナット805,及びボール809の材質は特に限定されるものではなく、一般的な材料を使用可能であり、例えば金属鋼等,セラミック,樹脂があげられる。例えば、ナット805を焼結合金で構成すると、密度が低いという問題点や、気孔の発生等によってナット805の強度がボールねじのナットとして不十分となるという問題点が生じるおそれがあるが、ナット805を鋼等の金属で構成すれば、ボールねじのナットとして十分な強度を付与できる。このようなボールねじ801は、ボール809を介してねじ軸803に螺合されているナット805とねじ軸803とを相対回転運動させると、ボール809の転動を介してねじ軸803とナット805とが軸方向に相対移動するようになっている。そして、ボール転走路807とボール循環路811とにより無端状のボール通路が形成されており、ボール転走路807内を転動するボール809が無端状のボール通路内を無限に循環するようになっているため、ねじ軸803とナット805とは継続的に相対移動することができる。ここで、ボール循環路811について、図68,69の断面図軸方向に直交する平面で切断した断面図を参照しながら詳細に説明する。ボール循環路811は、ナット805の内周面に一体的に形成されている。詳述すると、ナット805の円柱面状の内周面の一部を塑性加工又は切削加工により凹化させて形成した凹溝822を、ボール循環路811としている。よって、チューブ式,コマ式等のボール循環形式の場合とは異なり、ボール循環路を構成する別部材は取り付けられていない。そして、別部材が用いられていないので、別部材が用いられた場合に境界部分に生じる、エッジ部を有する段差が生じるおそれはない。図69に示すように、ボール転走路807の終点に転動してきたボール809は、ボール循環路811の一方の端部から掬い上げられてナット805の内部径方向外方側に沈み込む。そして、ボール循環路811内を通ってねじ軸803のランド部803bねじ溝803aのねじ山を乗り越えて、ボール循環路811の他方の端部からボール転走路807の始点に戻される。なお、ボール循環路811の断面形状は、円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。このような第13実施形態の本例のボールねじ801の用途は特に限定されるものではないが、自動車部品,位置決め装置等に好適に使用可能である。次に、第13実施形態のボールねじ801の製造方法の一例を、図74,75及び図94~96を参照しながら説明する。まず、円柱状の鋼製素材820を冷間鍛造等の塑性加工により加工し、ナット805と略同一形状略円筒形状のブランク821を得た粗成形工程。このとき、塑性加工により、ブランク821の外周面にはフランジ813も形成される。次に、ブランク821の円柱面状の内周面の一部を冷間鍛造等の塑性加工又は切削加工でもよいにより凹化させて、ボール転走路807の終点と始点を連通するボール循環路811をなす凹溝822を形成したボール循環路形成工程ボール戻し経路形成工程。凹溝822を形成する方法の具体例としては、以下のようなものがあげられる。すなわち、凹溝822に対応する形状の凸部を有する金型図示せずをブランク821内に挿入し、ブランク821の内周面に金型の凸部を接触させ、ブランク821の内周面に向かって金型を強く押圧することにより塑性加工して、凹溝822を形成することができる。例えば、カムドライバ図示せずと、凹溝822に対応する形状の凸部を有するカムスライダ図示せずと、を有するカム機構の金型を用いて、凹溝822を形成してもよい。詳述すると、ブランク821内にカムドライバとカムスライダとを挿入し、そのときカムスライダは、ブランク821とカムドライバとの間に配置するとともに、その凸部をブランク821の内周面に向けて配置する。ブランク821内に配されたカムスライダとカムドライバは、ブランク821の略軸方向ブランク821の軸方向から若干傾斜した方向に延びる傾斜面で相互に接触しており、両傾斜面が金型のカム機構を構成している。ここで、カムドライバをブランク821の軸方向に沿って移動させると、両傾斜面で構成されるカム機構くさびの作用によりカムスライダがブランク821の径方向外方に移動する。すなわち、カムドライバの傾斜面からカムスライダの傾斜面に力が伝達され、カムドライバの軸方向の力がカムスライダを径方向外方へ動かす力に変換される。その結果、カムスライダの凸部がブランク821の内周面を強く押圧することとなるので、塑性加工によりブランク821の内周面に凹溝822が形成される。次に、ナット1205の内周面に、慣用の切削加工により、ボール循環路1211凹溝1222の端部と接続するようにねじ溝1205aを形成したねじ溝形成工程螺旋溝形成工程。このとき、凹溝1222ボール循環路1211の端部は球面状をなしているので、ねじ溝1205aとの境界部分の段差にコマ式ボールねじの場合のようなエッジ部は発生せず、滑らかな段差1227となる凹溝1222の周辺部及び段差周辺部を拡大して示した図94を参照。ただし、凹溝822ボール循環路811とねじ溝805aボール転走路807との境界部分830図75を参照に、切削加工により微小なバリが生じるおそれがある。バリが存在すると、前記境界部分をボール809が通過した際に異音や作動トルク変動が生じるおそれがあり、ひいては寿命低下が生じるおそれがある。そこで、バリを除去するために、ブラシ加工図95を参照。符号1251はブラシである。及びブラスト加工図96を参照。符号1252はブラストノズルである。の少なくとも一方を前記境界部分に施したバリ除去工程。境界部分830にバリが存在しないので、ボール循環路811とボール転走路807が滑らかに接続されている。その結果、境界部分830をボール809が通過しても、異音や作動トルク変動を生じることがなく、また寿命低下も生じにくい。また、ブラシ加工やブラスト加工を施すと、表面の圧縮残留応力により疲労強度が向上する。さらに、ブラシ加工やブラスト加工は、ショットピーニング加工に比べて低コストであるため、ボールねじ801を安価に製造することができる。さらに、ブラシ加工やブラスト加工によって、境界部分830にバリが存在せず、しかも、面だらし形状となるため、これらの効果により、ボール809をより円滑に循環させることができる。なお、面だらし形状とは、曲面状の面取り形状である。さらに、従来のコマ式ボールねじにおいては、ブラシ加工やブラスト加工を施すと、後述する砥粒,メディア,切粉等がコマとコマ穴との間に残留するおそれがあった。しかしながら、第13実施形態の本例のボールねじ801においては、ナット805とボール循環路811とが一体になっているので、上記のような砥粒,メディア,切粉等の残留という不都合が生じるおそれはない。ブラシ加工においては、スチール,ステンレス,ポリアミド樹脂ナイロン等からなるブラシを用いることができる。このブラシは、砥粒を備えるブラシでもよい。砥粒の種類は特に限定されるものではないが、アルミナ,炭化ケイ素,ダイヤモンド等が好ましい。また、ブラスト加工は、ブラストノズルからメディアを境界部分830に吹き付ける処理である。メディアの種類は特に限定されるものではないが、スチール,ガラス,アルミナや、ポリアミド樹脂ナイロン等のプラスチックが好ましい。また、メディアを吹き付ける時間は特に限定されるものではないが、2秒以上5秒以下が好ましく、3秒前後がより好ましい。さらに、バリ除去工程を終えた境界部分830の表面粗さは、1.6μmRa以下であることが好ましい。最後に、所望の条件で焼入れ,焼戻し等の熱処理を施して、ナット805が得られた。この熱処理の例としては、浸炭処理,浸炭窒化処理,高周波熱処理等があげられる。なお、このような熱処理は、バリ除去工程の前に行ってもよい。熱処理後にブラシ加工やブラスト加工を施すと、表面の圧縮残留応力により疲労強度が向上するという効果が、より高まる。また、熱処理が浸炭処理又は浸炭窒化処理である場合は、ナット805の材質はSCM420であることが好ましく、熱処理が高周波焼入れである場合は、S53C又はSAE4150であることが好ましい。このようにして製造されたナット805と、慣用の方法により製造されたねじ軸803及びボール809とを組み合わせて、ボールねじ801を製造した。前述の粗成形工程及びボール循環路形成工程を塑性加工で行ったので、このボールねじ801の製造方法は、材料歩留まりが高いことに加えて、高精度のボールねじを安価に製造することができる。また、塑性加工により製造するため、鋼製素材820が有するメタルフロー鍛流線がほとんど切断されず、また、加工硬化するので、高強度のナット805が得られる。塑性加工の種類は特に限定されるものではないが、鍛造が好ましく、特に冷間鍛造が好ましい。熱間鍛造を採用することも可能であるが、冷間鍛造は熱間鍛造に比べて高精度な仕上げが可能であるので、後加工を施さなくても十分に高精度なナット805を得ることができる。よって、ボールねじ801を安価に製造することができる。粗成形工程及びボール循環路形成工程における塑性加工を冷間鍛造とすることが好ましいが、いずれか1つの工程における塑性加工を冷間鍛造としてもよい。なお、本例は第13実施形態の一例を示したものであって、第13実施形態は本例に限定されるものではない。例えば、本例のボールねじにおいては、ボール809をボール転走路807の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路811をナット805に形成したナット循環方式のボールねじを例示したが、第13実施形態は、ボール循環路11に相当するものをねじ軸に形成したねじ軸循環方式のボールねじにも適用可能である。なお、第2~第13実施形態の各例において示したボールねじ用ナットの製造方法及びボールねじは、第1実施形態において示したボールねじ用ナットの製造方法及びボールねじに対して適用することができる。また、第4~第13実施形態において、パンチ、循環路加工治具はカムスライダの一部であってもよい。さらに、第1~第13実施形態の各実施形態に記載の熱処理や材質は、他の実施形態にも適用可能である。さらに、第1~第13実施形態において示したボールねじの潤滑方法は、グリースを用いた潤滑でもよいし、油を用いた潤滑でもよい。さらに、第1~第13実施形態におけるボールねじナットの製造は、塑性加工鍛造のみで行われることが好ましいが、塑性加工鍛造に他の加工方法を組み合わせることも可能である。他の加工方法としては、例えば、旋削,研削等の切削加工や、放電加工や、ショットブラストがあげられる。また、この塑性加工は、冷間鍛造が好ましいが、熱間鍛造も採用可能である。さらに、第1~第13実施形態において示したボールねじは、電動パワーステアリング装置特にラック式電動パワーステアリング装置に好適に使用することができる。図98は、電動パワーステアリング装置のステアリングギヤの一部断面図である。図98において、ステアリングギヤケースを構成するラックピニオンハウジング1621内には、ラックピニオン機構を構成するラックシャフト1623や図示しないピニオンが内装され、ピニオンはロアシャフト1622に連結されている。ラックシャフト1623は、ピニオンに噛合するラック1625が図の左方に形成されていると共に、両端部には、タイロッド1615を揺動自在に支持する球面継手1627が固定されている。ボールねじのねじ軸は、このラックシャフト1623に使用されている。ラックピニオンハウジング1621の図示右方端部には、ボールねじハウジング1633が取付けられている。ボールねじハウジング1633には、その下部に電動モータ1635の前端がボルトで固定されると共に、電動モータ1635のシャフトに固定されたドライブギヤ1637と、そのドライブギヤ1637に噛合するドリブンギヤ1639とが収納されている。また、ボールねじハウジング1633には、複列アンギュラ玉軸受を介して、ボールナット1645が回転自在に保持されている。ボールナット1645はドリブンギヤ1639の内径内に収納されている。そして、ドリブンギヤ1639の軸心内径側と、ボールナット1645の外径側との間には、スプライン嵌合部1661が設けてある。これにより、ドリブンギヤ1639とボールナット1645とは、自由に相対摺動することができる。ラックシャフト1623の図示右方には、雄ボールねじ溝ねじ部1651が形成される。一方、ボールナット1645には、雌ボールねじ溝1653が形成され、雄ボールねじ溝1651と雌ボールねじ溝1653との間には、循環ボールを構成する多数個の鋼球1655が介装されている。また、ボールナット1645には、鋼球1655を循環させるための図示しない循環溝が装着されている。この電動パワーステアリング装置では、運転者によってステアリングホイールが操舵されると、その操舵力がロアシャフト1622からピニオンに伝達され、それに噛合するラック1625に伴ってラックシャフト1623が図の左右の何れかの方向に移動し、左右のタイロッドを介して転舵輪が転舵する。同時に、図示しない操舵トルクセンサの出力に基づき、電動モータ1635が正逆何れかの方向に所定の回転トルクをもって回転し、その回転トルクがドライブギヤ1637、ドリブンギヤ1639を介してボールナット1645に伝達される。そして、このボールナット1645を回転することにより、雌ボールねじ溝1653に係合した鋼球1655を介してラックシャフト1623の雄ボールねじ溝1651にスラスト力が作用し、これにより操舵アシストトルクが発現する。"