"第1スピンドルと、該第1スピンドルを回転可能に支持する第1スピンドルハウジングと、該第1スピンドルの先端に固定された第1マウントフランジと、該第1マウントフランジに装着された第1切削ブレードと、該第1切削ブレードを該第1マウントフランジに固定する第1固定手段と、を有する第1切削手段と、該第1スピンドルと直線上に整列して配設された第2スピンドルと、該第2スピンドルを回転可能に支持する第2スピンドルハウジングと、該第2スピンドルの先端に固定された第2マウントフランジと、該第1切削ブレードに対向して該第2マウントフランジに装着された第2切削ブレードと、該第2切削ブレードを該第2マウントフランジに固定する第2固定手段と、を有する該第1切削手段に対向して配設された第2切削手段と、該第1切削手段を該第1スピンドルの軸線方向に移動させる第1移動手段と、該第2切削手段を該第2スピンドルの軸線方向に移動させる第2移動手段と、を備えた切削装置で該第1マウントフランジの端面と該第2マウントフランジの端面とを修正するフランジの端面修正方法であって、該第2スピンドルハウジング側から延出して該第1切削ブレードが取り外された該第1マウントフランジの端面に対面するように研削部材を配設する第1研削部材配設ステップと、該第1スピンドルを回転させつつ、該研削部材が該第1マウントフランジの端面に接近する方向へ該第2切削手段と該第1切削手段とを相対移動させて該第1マウントフランジの端面を修正する第1マウントフランジ端面修正ステップと、該第1マウントフランジ端面修正ステップを実施した後、該第2ハウジング側から該研削部材を取り外すとともに、該第1スピンドルハウジング側から延出して該第2切削ブレードが取り外された該第2マウントフランジの端面に対面するように該研削部材を配設する第2研削部材配設ステップと、該第2スピンドルを回転させつつ、該研削部材が該第2マウントフランジの端面に接近する方向へ該第1切削手段と該第2切削手段とを相対移動させて該第2マウントフランジの端面を修正する第2マウントフランジ端面修正ステップと、該第2マウントフランジ端面修正ステップを実施した後、該第1ハウジング側から該研削部材を取り外す取り外しステップとを具備したことを特徴とするフランジの端面修正方法。前記第1切削手段は前記第1スピンドルハウジングに配設された前記第1切削ブレードを覆う第1ブレードカバーを有しており、前記第2切削手段は前記第2スピンドルハウジングに配設された前記第2切削ブレードを覆う第2ブレードカバーを有しており、前記第1研削部材配設ステップでは、前記研削部材が該第2ブレードカバーに配設され、前記第2研削部材配設ステップでは、前記研削部材が該第1ブレードカバーに配設される請求項1記載のフランジの端面修正方法。しかし、二つのスピンドルに切削ブレードが対向して取り付けられたフェイシングデュアルダイサーで、従来の方法によりマウントフランジの端面修正作業を実施すると、作業者からスピンドルまでの距離が離れているため、端面修正治具とマウントフランジの端面との位置合わせが難しいという問題がある。更に、マウントフランジの端面が作業者に向いていない方のマウントフランジでは、マウントフランジの背面側から端面修正を実施しなければならず、端面修正が更に困難となる。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フェイシングデュアルダイサーでも容易にマウントフランジの端面修正を行うことのできるフランジの端面修正方法を提供することである。本発明によると、第1スピンドルと、該第1スピンドルを回転可能に支持する第1スピンドルハウジングと、該第1スピンドルの先端に固定された第1マウントフランジと、該第1マウントフランジに装着された第1切削ブレードと、該第1切削ブレードを該第1マウントフランジに固定する第1固定手段と、を有する第1切削手段と、該第1スピンドルと直線上に整列して配設された第2スピンドルと、該第2スピンドルを回転可能に支持する第2スピンドルハウジングと、該第2スピンドルの先端に固定された第2マウントフランジと、該第1切削ブレードに対向して該第2マウントフランジに装着された第2切削ブレードと、該第2切削ブレードを該第2マウントフランジに固定する第2固定手段と、を有する該第1切削手段に対向して配設された第2切削手段と、該第1切削手段を該第1スピンドルの軸線方向に移動させる第1移動手段と、該第2切削手段を該第2スピンドルの軸線方向に移動させる第2移動手段と、を備えた切削装置で該第1マウントフランジの端面と該第2マウントフランジの端面とを修正するフランジの端面修正方法であって、該第2スピンドルハウジング側から延出して該第1切削ブレードが取り外された該第1マウントフランジの端面に対面するように研削部材を配設する第1研削部材配設ステップと、該第1スピンドルを回転させつつ、該研削部材が該第1マウントフランジの端面に接近する方向へ該第2切削手段と該第1切削手段とを相対移動させて該第1マウントフランジの端面を修正する第1マウントフランジ端面修正ステップと、該第1マウントフランジ端面修正ステップを実施した後、該第2ハウジング側から該研削部材を取り外すとともに、該第1スピンドルハウジング側から延出して該第2切削ブレードが取り外された該第2マウントフランジの端面に対面するように該研削部材を配設する第2研削部材配設ステップと、該第2スピンドルを回転させつつ、該研削部材が該第2マウントフランジの端面に接近する方向へ該第1切削手段と該第2切削手段とを相対移動させて該第2マウントフランジの端面を修正する第2マウントフランジ端面修正ステップと、該第2マウントフランジ端面修正ステップを実施した後、該第1ハウジング側から該研削部材を取り外す取り外しステップとを具備したことを特徴とするフランジの端面修正方法が提供される。本発明のフランジ端面修正方法によると、一方のスピンドルに装着されたマウントフランジの端面に対面して他方のスピンドル側に研削部材が配設されるため、煩雑な位置合わせが不要となり、端面修正を容易に実施することができる。また、スピンドルやチャックテーブル等の可動部を動かしながらの位置合わせ作業が不要となるため、作業者の安全性が向上する。更に、作業者に対面しないほうのマウントフランジの端面修正を容易に行うことができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明のフランジの端面修正方法が適用可能なフェイシングデュアルダイサー2の斜視図が示されている。フェイシングデュアルダイサー2では、チャックテーブル4においてウエーハW等の被加工物を吸引保持し、チャックテーブル4が切削送り方向X軸方向に往復動しながら、割り出し送り方向Y軸方向及び切り込み送り方向Z軸方向に移動する第1の切削手段6及び第2の切削手段8の作用により被加工物が切削される。例えば、半導体ウエーハWをダイシングする場合は、図1に示すように、ダイシングテープTを介して環状フレームFに保持された半導体ウエーハWが、チャックテーブル4に載置されて吸引保持される。チャックテーブル4は切削送り手段X軸移動手段10によってX軸方向に移動可能となっており、第1の切削手段6と一体に形成された第1カメラ第1撮像手段13を有する第1のアライメント手段12及び第2の切削手段8と一体に形成された第2カメラ第2撮像手段15を有する第2のアライメント手段14によって、チャックテーブル4に吸引保持されたウエーハWの切削すべき領域であるストリートが検出され、そのストリートと切削ブレードとのY軸方向の位置合わせがなされた後に、切削が行われる。切削送り手段10は、X軸方向に配設された一対のX軸ガイドレール16と、X軸ガイドレール16に摺動可能に支持されたX軸移動基台18と、X軸移動基台18に形成されたナット部図示せずに螺合するX軸ボールねじ20と、X軸ボールねじ20を回転駆動するX軸パルスモータ22とから構成される。チャックテーブル4を回転可能に支持する支持基台24はX軸移動基台18に固定されており、X軸パルスモータ22に駆動されてX軸ボールねじ20が回転することによって、チャックテーブル4がX軸方向に移動される。一方、第1切削手段6及び第2切削手段8は、ガイド手段26によってY軸方向に割り出し送り可能に支持されている。ガイド手段26は、チャックテーブル4の移動を妨げないようにX軸に直交するY軸方向に配設される垂直コラム28と、垂直コラム28の側面においてY軸方向に配設された一対のY軸ガイドレール30とから構成される。第1切削手段6は、Y軸ガイドレール30と平行に配設された第1のボールねじ32と、第1のボールねじ32に連結された第1のY軸パルスモータ36とにより構成される第1割り出し送り手段第1Y軸移動手段37により、Y軸方向に割り出し送りされる。第1Y軸移動手段37が請求項1の第1移動手段に対応する。同様に、第2切削手段8は、Y軸ガイドレール30と平行に配設された第2のボールねじ34と、第2のボールねじ34に連結された第2のY軸パルスモータ38とから構成される第2割り出し送り手段第2Y軸移動手段39により、Y軸方向に割り出し送りされる。第2Y軸移動手段39が請求項1の第2移動手段に対応する。Y軸ガイドレール30は、第1の支持部材40及び第2の支持部材42をY軸方向に摺動可能に支持しており、第1の支持部材40及び第2の支持部材42に備えたナット図示せずが第1のボールねじ32及び第2のボールねじ34にそれぞれ螺合している。第1のY軸パルスモータ36および第2のY軸パルスモータ38に駆動されて第1のボールねじ32及び第2のボールねじ34がそれぞれ回転することにより、第1の支持部材40及び第2の支持部材42がそれぞれ独立してY軸方向に移動される。第1の支持部材40及び第2の支持部材42のY軸方向の位置はリニアスケール44によって計測され、Y軸方向の位置の精密制御に供される。なお、リニアスケールを各支持部材毎に別個に設けることも可能ではあるが、一本のリニアスケール44で第1の支持部材40及び第2の支持部材42の双方の位置を計測するほうが、両者の間隔を精密に制御することができる。第1の支持部材40には、第1の切削手段6が取り付けられた第1の移動部材46が上下方向Z軸方向に摺動可能に取り付けられており、第1のZ軸パルスモータ48及び図示しないボールねじとから構成された第1のZ軸移動手段49により、第1の移動部材46がZ軸方向に移動される。同様に、第2の支持部材42には、第2の切削手段8が取り付けられた第2の移動部材50が上下方向Z軸方向に摺動可能に取り付けられており、第2のZ軸パルスモータ52と図示しないボールねじとから構成された第2のZ軸移動手段53により、第2の移動部材50がZ軸方向に移動される。図2を参照すると、ブレードカバー82を開放位置にずらして第1切削ブレード58図1参照を第1マウントフランジ64から取り外し、更に研削部材98を配設した状態の第1の切削手段6の先端部斜視図が示されている。第1マウントフランジ64はねじ65により第1スピンドル56図3乃至図6参照の先端に固定される。第1マウントフランジ64は、取り付けられた第1切削ブレード58に当接する環状端面66と、中心ボス部68を有している。中心ボス部68には雄ねじ70が形成されている。第1切削ブレード58を第1マウントフランジ64に装着するには、第1切削ブレード58がワッシャーブレードの場合には、第1切削ブレード58の装着穴を中心ボス部68に嵌合して第1マウントフランジ64に取り付け、更に着脱フランジの装着穴を中心ボス部68に挿入して固定ナットを雄ねじ70に螺合して締め付けることにより、第1切削ブレード58は第1マウントフランジ64と着脱フランジで挟持されて第1スピンドル56の先端部に取り付けられる。第1切削ブレード58がワッシャーブレードの場合には、着脱フランジと固定ナットとで第1固定手段を構成する。一方、第1切削ブレード58がハブブレードの場合には、固定ナットのみで第1固定手段を構成する。第1切削手段6の第1スピンドルハウジング54の端部には第1プレート部材80が固定されている。この第1プレート部材80は内部にエアシリンダを内蔵しており、エアシリンダのピストンロッド84に前ブレードカバー前ホイールカバー82が取り付けられている。第1プレート部材80と前ホイールカバー82と切削水ノズルブロック83とで第1ホイールカバーが構成される。切削水ブロック83内には、切削ブレード58の先端に向かって切削水を供給する切削水ノズルが内蔵されている。図2に示した状態は、ピストンロッド84を伸長して前ブレードカバー82が第1切削ブレード58の上半分を覆う閉鎖位置から開放位置にずらされた状態を示している。86,88は冷却水ノズルであり、前ブレードカバー82が閉鎖位置に閉じられると、冷却水ノズル86,88は第1切削ブレード58の両側に伸長するようになっている。本発明のフランジの端面修正方法で使用する研削部材98は、L形状部材90の先端に取り付けられた固定ブロック94に押さえブロック96をねじ100で固定することにより、固定ブロック94と押さえブロック96で挟まれた状態でL形状部材90の先端部に取り付けられる。L形状ブロック90は第2マウントフランジ72の端面環状端面74の修正時には、図2及び図5に示すように、ねじ92により第1プレート部材80に固定される。第2の切削手段8は第2スピンドルハウジング60中に回転可能に収容された第2スピンドル62を有しており、第1の切削手段6の第1スピンドル56の軸線56aと第2の切削手段8の第2スピンドル62の軸線62aがY軸方向に一致している一直線上に整列している。第2スピンドル62の先端部には第2マウントフランジ72が固定されている。第2マウントフランジ72は、端面環状端面74と中心ボス部76を有しており、中心ボス部76には雄ねじ78が形成されている。図3乃至図6に示すように、第2の切削手段8の第2スピンドルハウジング60には第2プレート部材102が固定されている。この第2プレート部材102に対して図2に示したのと同様な前ブレードカバー82が装着されて、切削水ノズルブロック83とともに第2ブレードカバーを構成し、第2マウントフランジ72に装着された第2切削ブレードの上半分を覆うようになっている。以下、上述したように構成されたフェイシングデュアルダイサー2のフランジ端面の修正方法について、図3乃至図6を参照して詳細に説明する。本発明のフランジの端面修正方法では、まず図3に示す第1研削部材配設ステップを実施する。この第1研削部材配設ステップでは、第2スピンドルハウジング60に固定された第2プレート部材102に、研削部材98が第1フランジ64の端面66に対面するように、先端に研削部材98を有するL形状部材90をねじ104により固定する。次いで、図4に示すように、第1スピンドル56を回転させつつ、研削部材98を矢印Z方向に往復移動しながら研削部材98が第1マウントフランジ64の端面66に接近する矢印Y1方向に移動するように第2Y軸移動手段39で第2の切削手段8を移動させることにより、第1マウントフランジ64の端面66を修正する第1フランジ端面修正ステップを実施する。代替方法として、第1フランジ端面修正ステップは、第2の切削手段8は移動させずに、第1の切削手段6を矢印Y1方向と反対方向に移動させることにより実施してもよい。また、研削部材98を矢印Z方向に往復移動させずに、研削部材98が第1マウントフランジ64の端面66に丁度対面するように配設したままZ軸方向の移動はなしに実施するようにしてもよい。第1フランジ端面修正ステップを実施した後、先端に研削部材98を有するL形状部材90を第2ハウジング60から取り外す。そして、図5に示すように、研削部材98が第2マウントフランジ72の端面74に対面するように、先端に研削部材98を有するL形状部材90を第1ハウジング54に固定された第1プレート部材80にねじ92で固定する。そして、図6に示すように、第2スピンドル62を回転させつつ、研削部材98を矢印Z方向に往復移動しながら研削部材98が第2マウントフランジ72の端面74に接近する矢印Y2方向に移動するように第1の切削手段6を第1Y軸移動手段37で移動させることにより、第2マウントフランジ72の端面74を修正する第2フランジ端面修正ステップを実施する。第1フランジ端面修正ステップと同様に、第2フランジ端面修正ステップでは、第1の切削手段6は移動させずに、第2の切削手段8を矢印Y2方向と反対方向に移動させながら実施してもよい。また、研削部材98を矢印Z方向に往復移動させずに、研削部材98が第2マウントフランジ72の端面74に丁度対面するように配設したままZ軸方向の移動はなしに実施するようにしてもよい。第2フランジ端面修正ステップを実施した後、第1ハウジング54に固定された第1プレート部材80から先端に研削部材98を有するL形状部材90を取り外す。上述した実施形態のフランジ端面修正方法によると、一方のスピンドルに装着されたマウントフランジの対面に対して、他方のスピンドルを収容するスピンドルハウジング側に研削部材98が配設されるため、従来必要であった煩雑な位置合わせ作業が不要となる。また、スピンドルやチャックテーブル等の可動部を動かしながらの位置合わせは不要となるため、フランジの端面修正作業時に作業者の安全性が向上する。"