"透明プラスチック基材フィルム上に、直接又は他の層を介して、最表面層として低屈折率層を形成する反射防止フィルムの製造方法であって、該低屈折率層内には、撥水撥油性基の導入処理及び架橋基の導入処理が施された空隙を有するシリカ微粒子が含まれており、該撥水撥油性基の導入処理及び架橋基の導入処理が施された空隙を有するシリカ微粒子は、以下の1~3の工程を用いて製造することを特徴とする反射防止フィルムの製造方法:1空隙を有するシリカ微粒子をイオン交換樹脂にて前処理することにより、不純物イオンを取り除いてシリカ微粒子表面にあるシラノール基の活性を高める工程、2該シラノール基の活性が高められた空隙を有するシリカ微粒子に対して撥水撥油処理剤を添加し加熱を行うことにより、撥水撥油性基を導入する工程、3該撥水撥油性基を導入した空隙を有するシリカ微粒子に対して架橋性基を有する化合物を添加し還流することにより架橋基を導入する工程。前記撥水撥油処理剤は、パーフルオロアルキル基を有する化合物であり、該基の末端がトリフルオロ基であり、且つ、該基のアルキル基の長さがCF23以上である請求項1に記載の反射防止フィルムの製造方法。前記撥水撥油処理剤は、フッ素系シランカップリング剤であり、且つ、前記架橋性基を有する化合物は、メタアクリル系シランカップリング剤である請求項1に記載の反射防止フィルムの製造方法。前記撥水撥油処理剤の前記シリカ微粒子への処理量は、シリカ微粒子100質量部に対して3質量部~25質量部であり、前記架橋性基を有する化合物の前記シリカ微粒子への処理量は、シリカ微粒子100質量部に対して5質量部~25質量部であり、前記撥水撥油処理剤と前記架橋性基を有する化合物との合計量が、前記シリカ微粒子100質量部に対し8質量部~30質量部である請求項1、2又は3に記載の反射防止フィルムの製造方法。請求項1乃至3の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法により製造されてなる反射防止フィルム。本発明は、プラスチックフィルム基材上に、他の層を介して又は介さずに、撥水撥油性で、且つ耐擦傷性を兼ね備えた、低屈折率層を形成した反射防止フィルムの製造方法を提供することを目的とする。上記課題を解決するための本発明の反射防止フィルムの製造方法は、透明プラスチック基材フィルム上に、直接又は他の層を介して、最表面層として低屈折率層を形成する反射防止フィルムの製造方法であって、該低屈折率層内には、撥水撥油性基の導入処理及び架橋基の導入処理が施された空隙を有するシリカ微粒子が含まれており、該撥水撥油性基の導入処理及び架橋基の導入処理が施された空隙を有するシリカ微粒子は、以下の1~3の工程を用いて製造することを特徴とする反射防止フィルムの製造方法である。1空隙を有するシリカ微粒子をイオン交換樹脂にて前処理することにより、不純物イオンを取り除いてシリカ微粒子表面にあるシラノール基の活性を高める工程。2該シラノール基の活性が高められた空隙を有するシリカ微粒子に対して撥水撥油処理剤を添加し加熱を行うことにより、撥水撥油性基を導入する工程。3該撥水撥油性基を導入した空隙を有するシリカ微粒子に対して架橋性基を有する化合物を添加し還流することにより架橋基を導入する工程。また、前記、低屈折率層内に含まれる空隙を有するシリカ微粒子は、撥水撥油処理剤による撥水撥油性基の導入処理後に、架橋性基を有する化合物硬化性処理剤により、架橋性基を導入処理されたものが望ましい。本明細書において撥水撥油とは、撥水と撥油の両方、又は撥水と撥油の何れか一方を意味する。シリカ微粒子に撥水撥油性処理剤と硬化性処理剤の両方の化合物を反応させ、撥水耐擦傷性シリカ微粒子を得る。シリカ微粒子に対し撥水撥油性化合物及び硬化性化合物の処理を撥水撥油性処理剤、続いて硬化性処理剤の順に行うことが、未反応の撥水撥油性化合物による塗膜の外観を損なうことを防ぐ上で好ましい。本発明の製造方法により得られた反射防止フィルムに対して、さらに、耐擦傷性を付与するために、透明プラスチック基材フィルムと低屈折率層との間に、必要に応じてハードコート層を設けてもよい。また、本発明の反射防止フィルムに対して、帯電防止性を付与するために、透明プラスチック基材フィルムと低屈折率層との間に、必要に応じて帯電防止層を設けてもよい。本発明の製造方法により得られた反射防止フィルムにおける低屈折率層は、撥水撥油処理剤による撥水撥油性基が導入処理され、及び架橋性基を有する化合物硬化性処理剤による架橋性基が導入処理された空隙を有するシリカ微粒子が含まれているので、本発明の製造方法により得られた反射防止フィルムは、油及び/又は水に対する耐汚染性があり、且つ、耐擦傷性に優れる。<シリカ微粒子の処理方法について>シリカ微粒子本発明で使用するシリカ微粒子は、通常のシリカ微粒子よりも屈折率が低い空隙を有するシリカ微粒子を用いる。空隙を有する微粒子とは、微粒子の内部に気体が充填された構造及び/または気体を含む多孔質構造をとった結果、或いは微粒子が集合体を形成した結果、気体が屈折率1.0の空気である場合、微粒子本来の屈折率に比べて微粒子中の空気の占有率に反比例して、屈折率が低下した微粒子及びその集合体のことを言う。微粒子の平均粒子径は、5nm以上300nm以下であり、好ましくは下限が8nm以上であり上限が100nm以下であり、より好ましくは下限が10nm以下であり上限が80nm以下である。シリカ微粒子の平均粒子径がこの範囲内にあることにより、低屈折率層に優れた透明性を付与することが可能となる。上記シリカ微粒子の表面に撥水性耐擦傷性を付与する際、シリカ微粒子は前処理なしでそのまま用いても良いが、好ましくは前処理として、シリカ微粒子をイオン交換樹脂などを用いてシリカ微粒子表面にあるシラノール基の活性を高めた後に、撥水撥油処理及び耐擦傷性処理を行うと良い。撥水撥油性処理剤シリカ微粒子の表面に撥水性基を導入する方法としては、シリカ微粒子の表面にシラノール基が多数存在するため、該シラノール基と、疎水性基を有する疎水性化合物を反応させることにより撥水性基を導入する方法、疎水性基を有する界面活性剤でシリカ微粒子表面を処理する方法、疎水性基を有する重合体でシリカ微粒子表面を被覆する方法、疎水性基を含有するガス存在下でプラズマ重合膜をシリカ表面に軽水する方法が挙げられる。疎水性基を有する疎水性化合物としては、パーフルオロ基、アルキル基、トリメチルシリル基、ジメチルシリレン基、フェニル基、ポリジメチルシロキサンセグメント等を含む疎水性化合物が挙げられる。この疎水性化合物の中でも、撥水性と撥油性を兼ね備えたパーフルオロアルキル基を有する化合物をシリカ微粒子表面のシラノール基と結合させることが、撥水撥油性を付与できるため特に好ましい。上記、シリカ微粒子表面のパーフルオロアルキル化の方法としては、パーフルオロアルキル基を少なくとも1個以上含む金属アルコキシ化合物、金属ハロゲン化合物、金属イソシアネート化合物などを、シリカ微粒子表面のシラノール基と反応させる方法、フルオロ界面活性剤でシリカ微粒子を処理する方法、フルオロアルキル基を有する重合体でシリカ微粒子を被覆する方法、フッ素含有ガス存在下でプラズマ重合膜をシリカ微粒子表面に形成する方法などが挙げられる。この中でも、金属アルコキシ化合物、金属ハロゲン化合物、金属イソシアネート化合物を撥水撥油性処理剤として用いることが望ましい。金属化合物の中でも、珪素を有する化合物は最も好ましい。パーフルオロアルキル基含有化合物としては、3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、3,3,3-トリフルオロプロピルトリエトキシシラン、3,3,3-トリフルオロプロピルトリイソプロポキシシラン、3,3,3-トリフルオロプロピルトリクロロシラン、3,3,3-トリフルオロプロピルトリイソシアネートシラン、2-パーフルオロオクチルトリメトキシシラン、2-パーフルオロオクチルエチルトリエトキシシラン、2-パーフルオロオクチルエチルトリイソプロポキシシラン、2-パーフルオロオクチルエチルトリクロロシラン、2-パーフルオロオクチルイソシアネートシラン等が挙げられる。パーフルオロアルキル基の撥水撥油性向上の構造としては、パーフルオロアルキル基の末端がトリフルオロ基CF3であること、パーフルオロアルキル基のアルキル鎖の長さがCF23以上であることが好ましい。さらに、上記記載の末端がトリフルオロ基CF3とアルキル鎖の長さがCF23以上の両方兼ね備えた化合物が最も好ましい。架橋性基を有する化合物硬化性処理剤撥水撥油性処理を施したシリカ微粒子に、架橋性基を有する化合物で処理することにより架橋性基を導入することで、シリカ微粒子とバインダー樹脂とが結合するため、該シリカ微粒子を含有する塗膜は耐擦傷性が向上する。架橋性基をシリカ微粒子に導入する方法としては、上記撥水撥油性化合物をシリカ微粒子に導入する方法と同手法を用いることができるため、例えば、架橋性基を1つ以上有する金属アルコキシ化合物、金属ハロゲン化合物、金属イソシアネート化合物を用いることができる。架橋性基として、光ラジカル重合、光カチオン重合、光アニオン重合のような重合反応、或いは、光二量化を経て進行する付加重合又は縮重合等の反応形式により反応が進行するものが挙げられる。その中でも、特に、アクリル基、ビニル基、アリル基等のエチレン性不飽和結合基は、紫外線、電子線のような電離放射線の照射により直接的に、又は開始剤の作用を受けて間接的に光ラジカル重合反応を生じるものであり、光硬化の工程を含む取り扱いが比較的容易なものとして好ましい。表面処理上記、撥水撥油性処理、架橋性基導入処理においては、撥水撥油性処理剤をシリカ微粒子の表面に反応させた後に、架橋性基を有する化合物硬化性処理剤を反応させて、架橋性基を導入することが好ましい。該順序で撥水撥油性処理、及び架橋性基導入処理を行うことにより、未反応の撥水撥油性化合物が減少し、塗膜面の外観を損なうことが防止できるからである。撥水撥油性処理剤のシリカ微粒子への処理量としてはシリカ微粒子100質量部に対して、3質量部~25質量部が好ましい。3質量部以下だと撥水撥油性を付与できず、25質量部以上だと塗膜外観を損ねてしまう。硬化性処理剤のシリカ微粒子への処理量はシリカ微粒子100質量部に対して5質量部~25質量部が好ましい。5質量部以下だと、塗膜の強度は得られず、25質量部以上では膜の強度向上は得られない。撥水撥油性処理剤と硬化性処理剤を組み合わせる際に、双方の処理量の合計はシリカ微粒子100質量部に対して8質量部~30質量部が好ましい。8質量部以下だと、撥水撥油性及び膜の強度の両立は困難である。また、30質量部以上だと塗膜の外観が損なわれる。<低屈折率層の作成について>低屈折率層は、前記した撥水撥油性処理且つ硬化性処理が行われたシリカ微粒子を、バインダー樹脂として電離放射線硬化型樹脂、及び溶剤中に混合分散してなる低屈折率層用コーティング組成物を塗布、電離放射線硬化して形成し、下層の屈折率よりも低くなるようにする。電離放射線硬化型樹脂及び溶剤には下記に示すものが使用できる。低屈折率層用コーティング組成物は、例えば、スピンコート法、デイップ法、スプレー法、スライドコート法、バーコート法、ロールコーター法、メニスカスコーター法、フレキソ印刷法、スクリーン印刷法、ビードコーター法等の各種方法で基材上に塗布することができる。塗工物は、通常は、必要に応じて乾燥し、その後、紫外線や電子線等の電離放射線を放射して硬化させることにより低屈折率層が形成される。電離放射線硬化型樹脂電離放射線硬化型樹脂には、電離放射線の照射を受けたときに直接、又は開始剤の作用を受けて間接的に、重合や二量化等の大分子化を進行させる反応を起こす重合性官能基を有するモノマー、オリゴマー及びポリマーを用いることができる。具体的には、アクリル基、ビニル基、アリル基等のエチレン性不飽和結合を有するラジカル重合性のモノマー、オリゴマーが好ましく、バインダー成分の分子間で架橋結合が生じるように、一分子内に重合性官能基を2個以上、好ましくは3個以上有する多官能のバインダー成分であることが望ましい。しかしながら、その他の電離放射線硬化性のバインダー成分を用いることも可能であり、例えば、エポキシ基含有化合物のような光カチオン重合性のモノマーやオリゴマーを用いてもよい。該バインダー樹脂が光硬化型樹脂である場合には、ラジカル重合を開始させるために光開始剤を用いることが望ましい。光開始剤は特に限定されないが、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ケタール類、アントラキノン類、ジスルフィド化合物類、チウラム化合物類、フルオロアミン化合物類などが挙げられる。溶剤固形成分を溶解分散するための有機溶剤が必須であり、その種類は限定されないが、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類;ハロゲン化炭化水素類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類が挙げられる。<反射防止フィルムの作成について>透明プラスチック基材フィルム透明プラスチック基材フィルムの材質は、特に限定されないが、反射防止フィルムに用いられる一般的な材料を用いることができ、例えば、トリアセテートセルロースResin商品名、BIORADLaboratoriesINCにて、不純物イオンをとり除いた空隙を有するシリカゾルイソプロピルアルコールの10溶液93質量部にフッ素系シランカップリング剤TSL-8233:商品名、東芝シリコーン社製0.5質量部を添加し、溶剤としてイソプロピルアルコールを5.5質量部加えた。得られた混合物に対して、更に、水を添加した。該水の添加量はフッ素系シランカップリング剤1molに対し3molとした。また、HCl水溶液にて全体の溶液をpH=4に調節した後、80°C、2.5時間過熱攪拌を行った。次いで、得られた処理物に対してメタアクリル系シランカップリング剤KBM-503:商品名、信越化学社製を1質量部添加し、さらに80°C、2.5時間還流攪拌を行い、撥水撥油性及び耐擦傷性のシリカ微粒子を得た。作製した溶液は、イソプロピルアルコールからメチルイソブチルケトンに溶剤置換を行った。[実施例2]シリカ微粒子の表面処理前記実施例1のシリカ微粒子の表面処理において、フッ素系シランカップリング剤TSL-8233:商品名、東芝シリコーン社製を1質量部に変更した以外は、前記実施例1と同様の処理を行い、本実施例2の表面処理シリカ微粒子を得た。[比較例1]1晩イオン交換樹脂にて、不純物イオンをとり除いた空隙を有するシリカゾルイソプロピルアルコールの10溶液を用いた。[比較例2]前記実施例1のシリカ微粒子の表面処理において、メタアクリル系シランカップリング剤による処理を施さない以外は、前記実施例1と同様の処理を行い、比較例2の表面処理シリカ微粒子を得た。[比較例3]前記実施例1のシリカ微粒子の表面処理において、フッ素系シランカップリング剤による処理を施さない以外は、前記実施例1と同様の処理を行い、比較例3の表面処理シリカ微粒子を得た。[比較例4]前記実施例1のシリカ微粒子の表面処理において、フッ素系シランカップリング剤による処理、及びメタアクリル系シランカップリング剤による処理を常温で行った以外は、前記実施例1と同様な処理を行い、比較例4の表面処理シリカ微粒子を得た。前記実施例1、2、比較例1~4の表面処理シリカ微粒子を用いて作製した反射防止フィルムについての各評価の結果を下記の表1に示す。表1によれば、本実施例1及び2の反射防止フィルムは、撥水性、撥油性が共に優れ、且つ耐擦傷性に優れることが分かる。"