"反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積体の製造装置であって、前記反応容器には、前記バーナの配置側の側面にクリーンエア導入口が設けられ、前記クリーンエア導入口には、少なくとも前記反応容器の内部側が凸曲面である複数本の棒材を所定の隙間をあけて並べた整流部が設けられていることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造装置。請求項1に記載のガラス微粒子堆積体の製造装置であって、前記棒材の配列方向が異なる複数の前記整流部が、前記棒材の配列面に交差する方向に互いに間隔をあけて設けられていることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造装置。ところが、網状の板やハニカム形状の板を複数重ねた整流板では、網を構成する線材同士の接触箇所や互いに重ね合わせたハニカム形状の板同士の接触箇所から発生する金属粉等が反応容器内に飛散してガラス微粒子堆積体に混入するおそれがある。また、多数の筒を並べた整流板やパンチングメタル等の多数の通路となる穴を有する整流板では、クリーンエアの通路となる穴以外の部分に反応容器内の浮遊ガラス微粒子が付着して堆積し、それが堆積処理中に反応容器内へ飛散し、ガラス微粒子堆積体に付着して混入するおそれがあった。このように、ガラス微粒子堆積体中に異物が混入すると、このガラス微粒子堆積体に割れが発生するなどの不具合が生じる。また、異物が混入したガラス微粒子堆積体を透明化し、それを母材として光ファイバを線引きすると、光ファイバの線引き時に断線の原因となる。なお、整流板を装置から取り外して洗浄すれば、整流板に付着した異物を除去することができるが、煩雑な洗浄作業及び着脱作業を行わなければならない。また、ハニカム形状の板や多数の筒を並べた整流板では、クリーンエアが整流板を素通りしてガラス微粒子堆積体へ直接的に吹き付けられ、ガラス微粒子堆積体の割れ等の原因となるおそれがある。本発明の目的は、異物の付着や混入を抑制しつつ安定的に高品質なガラス微粒子堆積体を効率良く製造することが可能なガラス微粒子堆積体の製造装置を提供することにある。上記課題を解決することのできる本発明のガラス微粒子堆積体の製造装置は、反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積体の製造装置であって、前記反応容器には、前記バーナの配置側の側面にクリーンエア導入口が設けられ、前記クリーンエア導入口には、少なくとも前記反応容器の内部側が凸曲面である複数本の棒材を所定の隙間をあけて並べた整流部が設けられていることを特徴とする。本発明のガラス微粒子堆積体の製造装置において、前記棒材の配列方向が異なる複数の前記整流部が、前記棒材の配列面に交差する方向に互いに間隔をあけて設けられていることが好ましい。本発明の製造装置によれば、棒材同士が互いに重なり合うことなく所定の隙間をあけて並列に配置された整流部を備えているので、メッシュ板のように金属線同士が接触して擦れることにより金属粉が発生するような不具合を防止することができる。しかも、整流部を構成する棒材の少なくとも反応容器の内部側が凸曲面とされているので、クリーンエアを、コアンダ効果によって浮遊粒子を寄せ付けずに凸曲面である棒材の表面に沿って良好に整流させることができ、反応容器内でのガラス微粒子の堆積時に生じた浮遊ガラス微粒子の棒材表面への付着も防止することができる。これにより、付着したガラス微粒子が剥がれてガラス微粒子堆積体へ付着するような不具合もなくすことができる。このように、本発明によれば、異物の付着や混入を抑制しつつ安定的に高品質なガラス微粒子堆積体を効率良く製造することができる。以下、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造装置の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。図1及び図2に示すように、ガラス微粒子堆積体の製造装置10は、反応容器11内のターゲット15にバーナ13の火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させて、光ファイバの母材となるガラス微粒子堆積体17を製造する装置である。製造装置10は、回転するターゲット15を収容する反応容器11と、ガラス微粒子をターゲット15に向けて吹き付ける複数のバーナ13と、ターゲット15とバーナ13とを相対的に移動させる移動手段図示省略と、清浄化ガスであるクリーンエアCAを供給するためのクリーンエア供給装置図示省略とを備えている。バーナ13は、ガラス原料ガスと可燃性ガスおよび助燃性ガスとから火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成するものである。反応容器11の上部には、ターゲット15が上下方向に気密的に挿通するように配置される。ターゲット15は、上端が回転チャック図示省略に把持されて回転されるとともに、移動手段により上下方向に往復移動するようになっている。ターゲット15を回転させながらその軸方向に沿って往復移動させることにより、ターゲット15の表面にガラス微粒子を均一に堆積させてガラス微粒子堆積体17を製造するようにしている。このように、製造装置10は、複数のバーナ13が短く相対的に往復してガラス微粒子を堆積させるMMD多バーナ多層付け法によりガラス微粒子堆積体17を製造する構成を有する。反応容器11は、ニッケル等の耐食性金属材料から形成されたものである。この反応容器11は、バーナ13の配列側の一側面側が、クリーンエア導入口39とされており、このクリーンエア導入口39からクリーンエアCAが送り込まれる。反応容器11のクリーンエア導入口39には、整流部23が設けられ、この整流部23によって反応容器11のクリーンエア導入口39側が仕切られ、ターゲット15と反対側の空間がクリーンエアCAの流入するチャンバーであるクリーンブース43となっている。このクリーンブース43には、複数のクリーンエア供給路21が接続されており、これらのクリーンエア供給路21からクリーンエアCAが供給される。クリーンブース43にはバーナ13の支持と、自動後退を行う自動後退機構45が設けられている。また、反応容器11には、整流部23を有するクリーンエア導入口39と反対側に複数の排気路27が設けられている。これらの排気路27は外部に突出され、排気ライン図示省略に接続されている。排気ラインは反応容器11の内面への、浮遊する余剰のガラス微粒子ススとも呼ばれるの付着を防ぐために、排気部27から余剰ガラス微粒子を含んだクリーンエアCAを吸引ファンで効率良く排気するよう構成されている。上記構成を有する製造装置10では、反応容器11内へクリーンエアCAが直接的に反応容器11内に流入することが無く、整流部23からの整流したクリーンエアCAのみが安定して供給される。図3に示すように、整流部23は、複数本の整流棒棒材24を横方向に沿って配列したものである。この整流部23を構成する整流棒24としては、例えば、ニッケルまたはチタン等の耐食性金属材料から形成された外径5~15mm程度の棒材が用いられる。図4に示すように、整流棒24から構成された整流部23には、バーナ13が貫通して設置されている。図5に示すように、上記構成の整流部23では、それぞれの整流棒24が、所定の隙間Gをあけて配列されており、各整流棒24同士の隙間GをクリーンエアCAが通過する。そして、クリーンエアCAは、整流部23を構成する整流棒24同士の隙間Gを通過することにより整流される。整流部23からのクリーンエアCAによる整流効果は、整流部23がターゲット15に近いほど良好となる。この整流部23を構成する整流棒24は断面円形に形成されており、これにより、各整流棒24は反応容器11の内部側が凸曲面とされている。なお、これらの整流棒24は、少なくとも反応容器11の内部側が凸曲面とされていれば良く、例えば半円形状、楕円形状であっても良い。また、整流棒24は中実であってもよく、中空であってもよい。上記構成の製造装置10によりガラス微粒子堆積体17を製造する際には、ガラス原料の酸水素火炎をバーナ13から噴出させ、反応容器11の内部で火炎加水分解して生成されるガラス微粒子を、回転するターゲット15に吹き付けて堆積させてガラス微粒子堆積体17を成長させていく。また、バーナ13は、堆積によるガラス微粒子堆積体17の拡径にしたがって後退させる。上記のように、ターゲット15へのガラス微粒子の堆積時に、クリーンブース43へクリーンエアCAを供給すると、このクリーンエアCAが整流部23で整流されて反応容器11内へ送り込まれる。これにより、異物の付着や混入を抑制しつつバーナ13の火炎の乱れを抑制して安定的にガラス微粒子堆積体17を製造することができる。このようにして製造されたガラス微粒子堆積体17によれば、線引き時における断線の頻度を極力抑えつつ円滑に高品質な光ファイバを製造することができる。また、本実施形態に係る製造装置10によれば、整流棒24同士が、互いに重なり合うことなく、所定の隙間Gをあけて並列に配置された整流部23を備えているので、メッシュ板のように金属線同士が接触して擦れることにより金属粉が発生するような不具合を防止することができる。しかも、整流部23を構成する整流棒24の反応容器11の内部側が凸曲面とされているので、クリーンエアCAを、コアンダ効果によって浮遊粒子を寄せ付けずに凸曲面である整流棒24の表面に沿って良好に整流させることができ、反応容器11内でのガラス微粒子の堆積時に生じた余剰ガラス微粒子の整流棒24の表面への付着も防止することができる。これにより、整流棒24に付着したガラス微粒子が剥がれてガラス微粒子堆積体17へ付着するような不具合もなくすことができる。これにより、異物の付着や混入を抑制しつつ安定的に高品質なガラス微粒子堆積体17を効率良く製造することができる。なお、整流部23を構成する整流棒24としては、上記のように断面円形のものに限らず、断面楕円形であっても良い。また、クリーンエアCAの下流側である反応容器11の内部側が凸曲面となっていれば、クリーンエアCAの上流側である反応容器11の外部側が凸曲面でなく、平面等であっても良い。また、整流部23の整流棒24の配列方向としては、横方向に限定されないが、バーナ13から噴射させる酸水素火炎は上昇しやすいことから、整流棒24を横方向に沿って配列してクリーンエアCAを上下方向に対して整流し、火炎が上下方向に乱れないようにすることが好ましい。また、上記実施形態では、1枚の整流部23を設けたが、整流棒24の配列方向が異なる複数の整流部23を設けても良い。2つの整流部23を設けた製造装置について説明する。図6に示すように、この製造装置10Aは、クリーンエアが流れる方向棒材24の配列面に交差する方向に対して互いに間隔をあけて配置された2つの整流部23A,23Bを備えている。整流部23Aは、図7aに示すように、複数本の整流棒24を横方向に沿って配列させたものであり、また、整流部23Bは、図7bに示すように、複数本の整流棒24を縦方向に沿って配列させたものである。このように、整流棒24が横方向に沿って配列された整流部23A及び整流棒24が縦方向に沿って配列された整流部23Bを設けると、クリーンエアCAを、整流部23Bによって縦方向に整流し、さらに整流部23Aによって横方向に整流することができる。これにより、反応容器11へ送り込むクリーンエアCAをむらなく整流し、さらに高品質なガラス微粒子堆積体17を効率良く製造することができる。なお、整流部23A,23B同士の間隔は、クリーンエアCAの供給時に撓んでも互いに接触しない間隔とされており、例えば、10~20mm程度が好ましい。なお、上記実施形態の製造装置10では、ターゲット15の軸線に沿って複数のバーナ13を一列に配置させたが、ターゲット15の軸線に沿って複数のバーナ13を上下に千鳥状に配置させ、ターゲット15に対して周方向の異なる位置から火炎を吹き付けるようにしても良い。また、製造装置10は、OVDOutsideVaporPhaseDeposition法またはVADVaporPhaseAxialDeposition法によってガラス微粒子堆積体17を製造する装置構成であっても良い。次に、参考例として、異なる構造の整流部について説明する。図8a,bに示すものは、複数本の金属線51を格子状に編んだメッシュ板52からなる整流部である。このようなメッシュ板52からなる整流部では、気流の変動によって振動が生じると、この振動によって金属線51同士が擦れ合い、金属粉αが発生する。そして、この金属粉αがガラス微粒子堆積体17へ付着するおそれがある。図9a,bに示すものは、複数の穴61を形成したパンチングメタル62からなる整流部である。このようなパンチングメタル62からなる整流部では、穴61のない部分で気流が停滞するため、この穴61のない部分に反応容器11内でのガラス微粒子の堆積時に生じた残留ガラス微粒子βが堆積する。そして、この堆積したガラス微粒子βが剥離すると、この剥離したガラス微粒子βがガラス微粒子堆積体17へ付着するおそれがある。また、パンチングメタル62からなる整流部では、穴61の出口付近で乱流が生じ、このため、クリーンエアCAの流れが不安定となり、整流効果が低下するおそれもある。また、穴61を有するパンチングメタル62では、開口率が大き過ぎると整流効果が不十分となり、ガラス微粒子堆積体17に割れが生じるおそれがある。図8に示したメッシュ板52からなる整流部を備えた比較例1に係る製造装置及び図9に示したパンチングメタル62からなる整流部を備えた比較例2の製造装置、本実施形態に係る1枚の整流部23を備えた実施例1に係る製造装置、本実施形態の変形例に係る2枚の整流部23A,23Bを備えた実施例2に係る製造装置によって、それぞれガラス微粒子堆積体17を製造した。そのときの反応容器11内におけるクリーン度パーティクル個数、整流部へのガラス微粒子の付着の有無、風速変動の大きさ、製造したガラス微粒子堆積体17から光ファイバを線引きした際の断線の頻度、ガラス微粒子堆積体17の割れの頻度を調査した。なお、パーティクル個数は、立法フィート中における0.5μm以上の粒子の個数pc/cf0.5μmとした。比較例1の整流部としては、線径0.2mmの金属線を格子状に編み込んだ50メッシュのメッシュ板を6枚重ねたものを用いた。比較例2の整流部としては、穴径5mmで開口率30のパンチングメタル62を用いた。実施例1の整流部としては、外径10mmのニッケル製の中実または中空の整流棒を横方向に沿って1mmの隙間Gをあけて配列させた整流板を用いた。実施例2の整流部としては、外径10mmのニッケル製の中実または中空の整流棒を横方向に沿って1mmの隙間Gをあけて配列させた整流部と、外径10mmのニッケル製の中実または中空の整流棒を縦方向に沿って1mmの隙間Gをあけて配列させた整流部を用い、これらを20mmの間隔をあけて配置した。評価結果評価結果を表1に示す。1クリーン度反応容器11内のパーティクル個数を測定した結果、比較例1では100、比較例2では70であった。また、実施例1では50、実施例2では40であった。このことからメッシュ板52からなる整流部を用いた比較例1では、気流の変動によって生じた振動により、金属線51同士が擦れ合い、金属粉が発生し、反応容器11内のパーティクル個数が増加することがわかった。2ガラス微粒子の付着比較例1では整流部へのガラス微粒子の付着はなかったが、比較例2では整流部にガラス微粒子が付着した。また、実施例1,2では、いずれも整流部へのガラス微粒子の付着はなかった。このことからパンチングメタル62からなる整流部を用いた比較例2では、穴61のない部分に反応容器11内でのガラス微粒子の堆積時に生じた残留ガラス微粒子が堆積することがわかった。3風速変動の大きさ風速変動の大きさは、比較例1,2及び実施例1,2の何れの場合も良好であった。但し、実施例1は一方向のみの整流であるため、実施例2や比較例1に比べ、風速変動が大きかった。また、比較例2は穴の開いているところと開いていないところの風量の差が大きいため、比較例1や実施例2に比べ、風速変動が大きかった。4線引き断線頻度比較例1の線引き断線頻度を基準の1とすると、比較例2では0.7、実施例1では0.5、実施例2では0.4であった。このことからメッシュ板52からなる整流部を用いた比較例1では、メッシュ板52自体が発塵源となり、このメッシュ板52で発生した金属粉がガラス微粒子堆積体17に付着することにより、線引き時における断線の頻度が高まることがわかった。5割れ頻度比較例2の割れ頻度を基準の1とすると、比較例1では0.3、実施例1では0.2、実施例2では0.1であった。このことからパンチングメタル62からなる整流部を用いた比較例2では、パンチングメタル62に付着したガラス微粒子が剥離してガラス微粒子堆積体17に付着することにより、ガラス微粒子堆積体17の割れ頻度が高まることがわかった。"