"透明支持体と、前記透明支持体の一方の表面に形成された金属薄膜と、前記金属薄膜の、前記透明支持体とは接していないもう一方の表面に形成された自己組織化単分子膜SAMと、前記SAMの、前記金属薄膜とは接していないもう一方の表面に形成された、3次元構造を有する固相化層と、前記固相化層に固定化されたリガンドとを含む表面プラズモン励起増強蛍光分光法SPFS用センサチップであって;前記透明支持体の、前記金属薄膜とは接していない一方の表面から所定の角度で入射した光に対して、前記透明支持体の他方の表面側にある光量検出器で測定した反射光量を、該角度に対してプロットしたグラフから得られる半値幅αに対する、前記SPFS用センサチップから前記SAMと前記固相化層と前記リガンドとを除いた、前記透明支持体と、前記透明支持体の一方の表面に形成された前記金属薄膜とを含む基板の半値幅βの、下記式:{半値幅α-半値幅β}/半値幅β×100で表される変動率が、0以上30以下であることを特徴とするSPFS用センサチップ。上記固相化層が、グルコース,カルボキシメチル化グルコース,ならびにビニルエステル類,アクリル酸エステル類,メタクリル酸エステル類,オレフィン類,スチレン類,クロトン酸エステル類,イタコン酸ジエステル類,マレイン酸ジエステル類,フマル酸ジエステル類,アリル化合物類,ビニルエーテル類およびビニルケトン類それぞれに包含される単量体からなる群より選択される少なくとも1種の単量体から構成される高分子を含む請求項1に記載のSPFS用センサチップ。上記固相化層は、その密度が2ng/mm2未満である請求項1または2に記載のSPFS用センサチップ。上記固相化層は、その平均膜厚が、3nm以上80nm以下である請求項1~3のいずれか一項に記載のSPFS用センサチップ。上記固相化層に固定化された上記リガンドの密度が、10フェムトmol/cm2以上100ピコmol/cm2以下である請求項1~4のいずれか一項に記載のSPFS用センサチップ。少なくとも、下記工程a~dを含むことを特徴とするアッセイ法;工程a:請求項1~5のいずれか一項に記載のSPFS用センサチップに、検体を接触させる工程、工程b:前記工程aを経たSPFS用センサチップに、さらに、前記SPFS用センサチップに含まれるリガンドとは同じであっても異なっていてもよいリガンドと蛍光色素とのコンジュゲートを反応させる工程、工程c:前記工程bを経たSPFS用センサチップに、上記透明支持体の、上記金属薄膜を形成していないもう一方の表面から、レーザ光を照射し、励起された蛍光色素から発光された蛍光量を測定する工程、および工程d:前記工程cで得られた測定結果から、検体中に含有されるアナライト量を算出する工程。上記アナライトに、上記コンジュゲートが結合する請求項6に記載のアッセイ法。上記アナライトが、腫瘍マーカーまたはがん胎児性抗原である請求項6または7に記載のアッセイ法。請求項1~5のいずれか一項に記載のSPFS用センサチップを用い、請求項6~8のいずれか一項に記載のアッセイ法に用いられることを特徴とするアッセイ用装置。透明支持体と、前記透明支持体の一方の表面に形成された金属薄膜と、前記金属薄膜の、前記透明支持体とは接していないもう一方の表面に形成された自己組織化単分子膜SAMと、前記SAMの、前記金属薄膜とは接していないもう一方の表面に形成された、3次元構造を有する固相化層とからなり、請求項1~5のいずれか一項に記載のSPFS用センサチップに用いられるセンサチップ用基板を、少なくとも含むことを特徴とするアッセイ用キット。例えば、特許文献1に記載のセンサユニットに含まれるリガンド抗体の固定化密度を大きくしても、アッセイシグナルがそれほど増加しない割にチップ毎のシグナル強度のバラツキが大きいという問題を克服するために、本発明は、抗原-抗体反応や蛍光検出の効率を最大化できるSPFS用センサチップ、それを用いたアッセイ法およびアッセイ用装置ならびにアッセイ用キットを提供することを目的とする。本発明者らの分析から、SPFS測定において、抗体等リガンドの密度、リガンドを固定化する固相化層の材質デキストラン等の高分子の種類、この固相化層の膜厚や固相化層上のリガンドを含めたリガンドと固相化層からなる膜厚が、シグナル強度およびそのバラツキに影響することがわかった。そして、上記条件によって変動する、光源入射角に対して、光量検出器で測定した反射光量をプロットしたグラフから得られる半値幅の変動率をある特定の数値範囲内とすることによって、アッセイのシグナルが安定化し、かつ増加することを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明のSPFS用センサチップは、透明支持体と;前記透明支持体の一方の表面に形成された金属薄膜と;前記金属薄膜の、前記透明支持体とは接していないもう一方の表面に形成された自己組織化単分子膜SAMと;前記SAMの、前記金属薄膜とは接していないもう一方の表面に形成された、3次元構造を有する固相化層と;前記固相化層に固定化されたリガンドとを含む表面プラズモン励起増強蛍光分光法SPFS用センサチップであって;前記透明支持体の、前記金属薄膜とは接していない一方の表面から所定の角度で入射した光に対して、前記透明支持体の他方の表面側にある光量検出器例:フォトダイオードPDで測定した反射光量を、該角度に対してプロットしたグラフから得られる半値幅αに対する、前記SPFS用センサチップから前記SAMと前記固相化層と前記リガンドとを除いた、前記透明支持体と、前記透明支持体の一方の表面に形成された前記金属薄膜とを含む基板の半値幅のβの、下記式:{半値幅α-半値幅β}/半値幅β×100で表される変動率が、0以上30以下であることを特徴とする。上記固相化層は、グルコース,カルボキシメチル化グルコース,ならびにビニルエステル類,アクリル酸エステル類,メタクリル酸エステル類,オレフィン類,スチレン類,クロトン酸エステル類,イタコン酸ジエステル類,マレイン酸ジエステル類,フマル酸ジエステル類,アリル化合物類,ビニルエーテル類およびビニルケトン類それぞれに包含される単量体からなる群より選択される少なくとも1種の単量体から構成される高分子を含むことが好ましい。上記固相化層は、その密度が、2ng/mm2未満であることが好ましい。上記固相化層は、その平均膜厚が、3nm以上80nm以下であることが好ましい。上記固相化層に固定化された上記リガンドの密度は、10フェムトmol/cm2以上100ピコmol/cm2以下であることが好ましい。本発明のアッセイ法は、少なくとも、下記工程a~dを含むことを特徴とする;工程a:本発明のSPFS用センサチップに、検体を接触させる工程、工程b:前記工程aを経たSPFS用センサチップに、さらに、前記SPFS用センサチップに含まれる上記リガンドとは同じであっても異なっていてもよいリガンドと蛍光色素とのコンジュゲートを反応させる工程、工程c:前記工程bを経たSPFS用センサチップに、上記透明支持体の、上記金属薄膜を形成していないもう一方の表面から、レーザ光を照射し、励起された蛍光色素から発光された蛍光量を測定する工程、および工程d:前記工程cで得られた測定結果から、検体中に含有されるアナライト量を算出する工程。本発明のアッセイ法において、上記アナライトに、上記コンジュゲートが結合することが好ましい。上記アナライトは、腫瘍マーカーまたはがん胎児性抗原であってもよい。本発明のアッセイ用装置は、上述のSPFS用センサチップを用い、上記アッセイ法に用いられることを特徴とする。また、本発明のアッセイ用キットは、透明支持体と;前記透明支持体の一方の表面に形成された金属薄膜と;前記金属薄膜の、前記透明支持体とは接していないもう一方の表面に形成されたSAMと;前記SAMの、前記金属薄膜とは接していないもう一方の表面に形成された、3次元構造を有する固相化層とからなり、上述のSPFS用センサチップに用いられるセンサチップ用基板を、少なくとも含むことを特徴とする。本発明のSPFS用センサチップはデキストラン等を含む固相化層を用いているにも関わらず、アッセイに用いた際、シグナルのムラが出ずすなわち、変動係数CVが極めて小さく、安定化している、かつシグナルが増加することから、検出の安定性向上および高感度化が達成できる。以下、本発明のSPFS用センサチップおよびその製造方法について具体的に説明する。<SPFS用センサチップ>本発明のSPFS用センサチップは、透明支持体と;該支持体の一方の表面に形成された金属薄膜と;該薄膜の、該支持体とは接していないもう一方の表面に形成されたSAMと;該SAMの、該薄膜とは接していないもう一方の表面に形成された、3次元構造を有する固相化層と;該固相化層の中および外面に固定化されたリガンドとを含むSPFS用センサチップであって;該センサチップにおいて、該支持体の、該薄膜とは接していない一方の表面から所定の角度で入射した光に対して、該支持体の他方の表面側にある光量検出器例:フォトダイオードPDで測定した反射光量を、該角度に対してプロットしたグラフから得られる半値幅αに対する、透明支持体と、該支持体の一方の表面に形成された金属薄膜とを含む基板の半値幅βの、下記式:{半値幅α-半値幅β}/半値幅β×100で表される変動率が、0以上30以下であることを特徴とする。すなわち、本発明のSPFS用センサチップの半値幅を半値幅αとし、本発明のSPFSセンサチップからSAMと固相化層と固相化層に固定化されたリガンドとを除いた基板すなわち透明支持体と金属薄膜からなる基板の半値幅を半値幅βとしたとき、{半値幅α-半値幅β}/{半値幅β}×100と定義する変動率が0以上30以下、好ましくは0以上20以下、より好ましくは0.001以上20以下であることを特徴とする。なお、一般に、半値幅α>半値幅βである。本発明で用いる半値幅とは、上記グラフにおいて、直行平面座標のx軸である光源入射角°に対して、y軸である反射光量PD出力Vをプロットしたものは下に凸の曲線を描き、上記半値幅とは、該反射光量の最大値と最小値との和を2で割った値すなわち、半値における凸状曲線のx軸方向の幅を意味する。上記変動率が、上記数値範囲の上限値を超えると、SPFS用センサチップをアッセイ法に用いた場合に電場増強度が低下し、SPFSシグナルが低減する虞がある。この変動率が0に近づくにつれ、SPFS用センサチップは本発明の効果をより高いレベルで達成できるようになり、変動率が0のSPFS用センサチップが理想的な状態と言える。なお、本明細書において、透明支持体と該金属薄膜とがこの順序で積層された基板を、単に基板といい、透明支持体と該金属薄膜と該SAMとがこの順序で積層された基板を、特にセンサ基板といい、該センサ基板のSAM表面に該固相化層を形成したものを、特にセンサチップ用基板という。センサ基板のSAM上に固相化層を積層することなく、SAMを介してリガンドを固定化したものもここではSPFS用センサチップといい、例えば、図3AのSPFS用センサチップが挙げられるが、本発明のSPFSセンサチップとは異なる。センサチップ用基板の固相化層にリガンドを固定化したものが、本発明のSPFS用センサチップに相当する。本発明のSPFS用センサチップの好ましい一態様を図1および図3Cに示す。図1および図3Cに示すように、3次元構造を有する固相化層を形成するカルボキシメチルデキストランCMD1本1本がそれぞれ垂直に近い状態でセンサ基板に固定化されていても、1本のデキストランが複数箇所でセンサ基板に固定化されていてもよく、本発明はいずれの態様にも限定されるものではない。透明支持体本発明において、SPFS用センサチップの構造を支持する支持体として透明支持体が用いられる。本発明において、支持体として透明支持体を用いるのは、後述する金属薄膜への光照射をこの透明支持体を通じて行うからである。本発明で用いられる透明支持体について、本発明の目的が達せられる限り、材質に特に制限はない。例えば、この透明支持体はガラス製であってもよく、また、ポリカーボネートPC,シクロオレフィンポリマーCOPなどのプラスチック製であってもよい。また、透明支持体は、d線588nmにおける屈折率ndが好ましくは1.40~2.20であり、厚さが好ましくは0.01~10mm、より好ましくは0.5~5mmである。透明支持体の大きさ縦×横は特に限定されない。なお、ガラス製の透明支持体は、市販品として、ショット日本株製のBK7屈折率nd1.52およびLaSFN9屈折率nd1.85,株住田光学ガラス製のK-PSFn3屈折率nd1.84,K-LaSFn17屈折率nd1.88およびK-LaSFn22屈折率nd1.90,ならびに株オハラ製のS-LAL10屈折率nd1.72などが、光学的特性と洗浄性との観点から好ましい。透明支持体は、その表面に金属薄膜を形成する前に、その表面を酸および/またはプラズマにより洗浄することが好ましい。酸による洗浄処理としては、0.001~1Nの塩酸中に、1~3時間浸漬することが好ましい。プラズマによる洗浄処理としては、例えば、プラズマドライクリーナーヤマト科学株製のPDC200中に、0.1~30分間浸漬させる方法が挙げられる。金属薄膜本発明に係るSPFS用センサチップでは、上記透明支持体の一方の表面に金属薄膜を形成する。この金属薄膜は、光源からの照射光により表面プラズモン励起を生じ、電場を発生させ、蛍光色素の発光をもたらす役割を有する。上記透明支持体の一方の表面に形成された金属薄膜としては、金,銀,アルミニウム,銅および白金からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属からなることが好ましく、金からなることがより好ましい。これらの金属は、その合金の形態であってもよい。このような金属種は、酸化に対して安定であり、かつ表面プラズモンによる電場増強が大きくなることから好適である。なお、透明支持体としてガラス製基板を用いる場合には、ガラスと上記金属薄膜とをより強固に接着するため、あらかじめクロム,ニッケルクロム合金またはチタンの薄膜を形成することが好ましい。透明支持体上に金属薄膜を形成する方法としては、例えば、スパッタリング法,蒸着法抵抗加熱蒸着法,電子線蒸着法等,電解メッキ,無電解メッキ法などが挙げられる。薄膜形成条件の調整が容易なことから、スパッタリング法または蒸着法によりクロムの薄膜および/または金属薄膜を形成することが好ましい。金属薄膜の厚さとしては、金:5~500nm,銀:5~500nm,アルミニウム:5~500nm,銅:5~500nm,白金:5~500nm,およびそれらの合金:5~500nmが好ましく、クロムの薄膜の厚さとしては、1~20nmが好ましい。電場増強効果の観点から、金:20~70nm,銀:20~70nm,アルミニウム:10~50nm,銅:20~70nm,白金:20~70nmおよびそれらの合金:10~70nmがより好ましく、クロムの薄膜の厚さとしては、1~3nmがより好ましい。金属薄膜の厚さが上記範囲内であると、表面プラズモンが発生し易いので好適である。また、金属薄膜の大きさ縦×横は特に限定されない。SAMSAMSelf-AssembledMonolayer;自己組織化単分子膜は、上記固相化層を固定化する足場として、またSPFS用センサチップをアッセイ法に用いた場合に蛍光分子の金属消光を防止する目的で、上記金属薄膜の、上記透明支持体とは接していないもう一方の表面に形成される。SAMを構成する単分子としては、通常、炭素原子数4~20程度のカルボキシアルカンチオール例えば、株同仁化学研究所、シグマアルドリッチジャパン株などから入手可能、特に好ましくは10-カルボキシ-1-デカンチオールが用いられる。炭素原子数4~20のカルボキシアルカンチオールは、それを用いて形成されたSAMの光学的な影響が少ない、すなわち透明性が高く、屈折率が低く、膜厚が薄いなどの性質を有していることから好適である。このようなSAMの形成方法としては、特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。具体例として、金属薄膜がその表面に形成された透明支持体を、10-カルボキシ-1-デカンチオール株同仁化学研究所製を含むエタノール溶液に浸漬する方法などが挙げられる。このように、10-カルボキシ-1-デカンチオールが有するチオール基が、金属と結合し固定化され、金薄薄膜の表面上で自己組織化し、SAMを形成する。また、SAMを形成する前に誘電体からなるスペーサ層を形成してもよく、この場合、SAMを構成する単分子としては、加水分解でシラノール基SiOHを与えるエトキシ基またはメトキシ基を有し、他端にアミノ基やグリシジル基、カルボキシル基などの反応基を有するシランカップリング剤を用いることが好ましい。このようなSAMの形成方法としては、特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。このような誘電体からなるスペーサ層の形成に用いられる誘電体としては、光学的に透明な各種無機物、天然または合成ポリマーを用いることもできる。その中で、化学的安定性、製造安定性および光学的透明性に優れていることから、二酸化ケイ素SiO2,二酸化チタンTiO2または酸化アルミニウムAl2O3を含むことが好ましい。誘電体からなるスペーサ層の厚さは、通常10nm~1mmであり、共鳴角安定性の観点からは、好ましくは30nm以下、より好ましくは10~20nmである。一方、電場増強の観点から、好ましくは200nm~1mmであり、さらに電場増強の効果の安定性から、400nm~1,600nmがより好ましい。誘電体からなるスペーサ層の形成方法としては、例えば、スパッタリング法,電子線蒸着法,熱蒸着法,ポリシラザン等の材料を用いた化学反応による形成方法,またはスピンコータによる塗布などが挙げられる。固相化層固相化層は、上記SAMの、上記金属薄膜とは接していないもう一方の表面に形成され、3次元構造を有するものである。この3次元構造とは、後述するリガンドの固定化を、センサ基板表面およびその近傍の2次元に限定することなく、該基板表面から遊離した3次元空間にまで広げられる固相化層の構造をいう。このような固相化層は、グルコース,カルボキシメチル化グルコース,ならびにビニルエステル類,アクリル酸エステル類,メタクリル酸エステル類,オレフィン類,スチレン類,クロトン酸エステル類,イタコン酸ジエステル類,マレイン酸ジエステル類,フマル酸ジエステル類,アリル化合物類,ビニルエーテル類およびビニルケトン類それぞれに包含される単量体からなる群より選択される少なくとも1種の単量体から構成される高分子を含むことが好ましく、デキストランおよびデキストラン誘導体などの親水性高分子ならびにビニルエステル類,アクリル酸エステル類,メタクリル酸エステル類,オレフィン類,スチレン類,クロトン酸エステル類,イタコン酸ジエステル類,マレイン酸ジエステル類,フマル酸ジエステル類,アリル化合物類,ビニルエーテル類およびビニルケトン類それぞれに包含される疎水性単量体から構成される疎水性高分子を含むことがより好ましく、カルボキシメチルデキストランCMDなどのデキストランが生体親和性、非特異的な吸着反応の抑制性、高い親水性の観点から特に好適である。CMDの分子量は、1kDa以上5,000kDa以下が好ましく、4kDa以上1,000kDaがより好ましい。固相化層例えば、デキストランまたはデキストラン誘導体からなるものは、その密度として2ng/mm2未満を有することが好ましい。固相化層の密度は、用いる高分子の種類に応じて適宜調整することができる。上記高分子が上記SAMに、このような密度の範囲内で固相化されていると、SPFS用センサチップをアッセイ法に用いた場合に、アッセイのシグナルが安定化し、かつ増加するため好適である。なお、Biacoreライフサイエンス社製SensorChipCM5の密度は2ng/mm2であった。この密度は、このCM5基板および金膜のみの基板を用いて、Biacoreライフサイエンス社製のSPR測定機器により得られた測定シグナルにおいて、平均2000RUを測定した結果、2ng/mm2と見積もられたものである。固相化層の平均膜厚は、3nm以上80nm以下であることが好ましい。この膜厚は原子間力顕微鏡AFMなどを用いて測定することができる。固相化層の平均膜厚がこのような範囲内であると、SPFS用センサチップをアッセイ法に用いた場合に、アッセイのシグナルが安定化し、かつ増加するため好適である。固相化層の形成方法については、後述する<SPFS用センサチップの製造方法>の項目で詳述する。リガンド本発明では、リガンドは、上記固相化層の中および外面に固定化、すなわち固相化層の3次元構造の中に分散して固定化され、本発明のSPFS用センサチップを本発明のアッセイ法に用いた際に、検体中のアナライトを固定捕捉させる目的で用いられるものである。本明細書において、本発明のアッセイ法に用いるリガンドと蛍光色素とのコンジュゲートのリガンドと区別するために、本発明のSPFS用センサチップで用いるリガンドを以下第1のリガンドとし、本発明のアッセイ法に用いるリガンドを以下第2のリガンドとする。なお、第1のリガンドと第2のリガンドは同じであっても異なっていてもよい。本発明において、第1のリガンドとは、検体中に含有されるアナライトを特異的に認識しまたは、認識され結合し得る分子または分子断片をいう。このような分子または分子断片としては、例えば、核酸一本鎖であっても二本鎖であってもよいDNA,RNA,ポリヌクレオチド,オリゴヌクレオチド,PNAペプチド核酸等,またはヌクレオシド,ヌクレオチドおよびそれらの修飾分子,タンパク質ポリペプチド,オリゴペプチド等,アミノ酸修飾アミノ酸も含む。,糖質オリゴ糖,多糖類,糖鎖等,脂質,またはこれらの修飾分子,複合体などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。タンパク質としては、例えば、抗体などが挙げられ、具体的には、抗αフェトプロテインAFPモノクローナル抗体株日本医学臨床検査研究所などから入手可能,抗ガン胎児性抗原CEAモノクローナル抗体,抗CA19-9モノクローナル抗体,抗PSAモノクローナル抗体などが挙げられる。なお、本発明において、抗体という用語は、ポリクローナル抗体またはモノクローナル抗体,遺伝子組換えにより得られる抗体,および抗体断片を包含する。この第1のリガンドの固定化方法としては、例えば、カルボキシメチルデキストランCMDなどの反応性官能基を有する高分子が有するカルボキシル基を、水溶性カルボジイミドWSC例えば、1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩EDCなどとN-ヒドロキシコハク酸イミドNHSとにより活性エステル化し、このように活性エステル化したカルボキシル基と、第1のリガンドが有するアミノ基とを水溶性カルボジイミドを用いて脱水反応させ固定化させる方法;上記SAMが有するカルボキシル基を、上述のようにして第1のリガンドが有するアミノ基と脱水反応させ固定化させる方法などが挙げられる。なお、後述する検体等がSPFS用センサチップに非特異的に吸着することを防止するため、上記リガンドを固定化させた後に、SPFS用センサチップの表面を牛血清アルブミンBSA等のブロッキング剤により処理することが好ましい。上記固相化層の中および外面に固定化されたリガンドの密度は、1フェムトmol/cm2以上1ナノmol/cm2以下が好ましく、10フェムトmol/cm2以上100ピコmol/cm2以下がより好ましい。リガンドの密度が上記範囲内であると、図6に示すように、信号強度が大きくなるため好適である。<SPFS用センサチップの製造方法>本発明のSPFS用センサチップの製造方法は、分子量1kDa以上5,000kDa以下の上記高分子を0.01mg/mL以上100mg/mL以下;N-ヒドロキシコハク酸イミドNHSを0.01mM以上300mM以下;水溶性カルボジイミドWSCを0.01mM以上500mM以下含む、pH4.0以上pH6.5以下のMES緩衝生理食塩水イオン強度:0.1mM以上300mM以下に、透明支持体と;該支持体の一方の表面に形成された金属薄膜と;該薄膜の、該支持体とは接していないもう一方の表面に形成されたSAMとを含むセンサ基板を0.2時間以上3.0時間以下浸漬する工程を少なくとも含むことを特徴とする。上記高分子として例えばCMDを用いる場合、膨大な実験により、CMDの分子量とCMDの濃度と反応に用いる緩衝液生理食塩水の組成とを調整することで、CMDの膜厚やその密度などを任意に設定できることを本発明者らは見出した。また、CMDの固定化条件が変動すると、その後の抗体固定化条件が同一であったとしても、抗体固相密度や固相膜厚が変動することもわかっている。換言すると、本発明者らは、抗体固相密度と固相膜厚との組み合わせを試行錯誤し、{半値幅α-半値幅β}/半値幅β×100の式で表される変動率が0~30を満たすこれらの組み合わせをすべて把握している。SPFS測定は、センサ表面極近傍の高さ方向数百nmに存在する不均一な局在電場と固相抗体に起因する免疫反応と、さらに抗体固相密度に起因する増強電場低下などの現象とが複雑に関与し、最終的な蛍光シグナルを出力する。そのため、シグナルの強度相関は膜厚や抗体固相密度などの一義的な各パラメータで決定されるものではなく、それぞれが複雑に関与していると思われる。すなわち、この工程は、上記SAMの、上記金属薄膜とは接していないもう一方の表面に3次元構造を有する固相化層を形成することによってセンサチップ用基板を得る工程である。透明支持体と金属薄膜とSAMとがこの順序で積層されたセンサ基板を製造する工程、および該センサチップ用基板にリガンドを固定化することによって本発明のSPFS用センサチップを得る工程は上述した通りである。固相化層に含まれる高分子として、カルボキシメチルデキストランCMDを用いた場合の、上記センサチップ用基板製造工程について具体的に説明する。なお、本発明の製造方法に係る該工程は、CMDに限定されない。すなわち、好ましくは分子量1kDa以上5,000kDa以下であり、上述したようなカルボキシメチルデキストランを0.01mg/mL以上100mg/mL以下と、N-ヒドロキシコハク酸イミドNHSを0.01mM以上300mM以下と、水溶性カルボジイミドWSCを0.01mM以上500mM以下とを含むMES緩衝生理食塩水MESに、透明支持体と金属薄膜とSAMとがこの順序で積層されたセンサ基板を0.2時間以上3.0時間以下浸漬し、SAMにカルボキシメチルデキストランを固定化することができ、センサチップ用基板が得られる。得られた固相化層の密度は、反応点数SAMの官能基数,反応溶液のイオン強度およびpH,ならびにカルボキシメチルデキストラン分子のカルボキシル基数に対するWSC濃度によって調整することができる。また固相化層の平均膜厚は、カルボキシメチルデキストランの分子量および反応時間によって調整することができる。<アッセイ法>本発明のアッセイ法は、少なくとも下記工程a~d、好ましくはさらに洗浄工程を含むことを特徴とする。工程a:本発明のSPFS用センサチップに、検体を接触させる工程。工程b:該工程aを経て得られたSPFS用センサチップに、さらに、該SPFS用センサチップに含まれるリガンドとは同じであっても異なっていてもよいリガンドと蛍光色素とのコンジュゲートを反応させる工程。工程c:該工程bを経て得られたSPFS用センサチップに、上記透明支持体の、上記金属薄膜を形成していないもう一方の表面から、プリズムを経由してレーザ光を照射し、励起された蛍光色素から発光された蛍光量を測定する工程。工程d:該工程cで得られた測定結果から、検体中に含有されるアナライト量を算出する工程。洗浄工程:上記工程aを経て得られたSPFS用センサチップの表面および/または上記工程bを経て得られたSPFS用センサチップの表面を洗浄する工程。[工程a]工程aは、本発明のSPFS用センサチップに、検体を接触させる工程である。検体検体としては、例えば、血液血清血漿,尿,鼻孔液,唾液,便,体腔液髄液,腹水,胸水等などが挙げられ、所望の溶媒、緩衝液等に適宜希釈して用いてもよい。これら検体のうち、血液,血清,血漿,尿,鼻孔液および唾液が好ましい。接触接触は、流路中に循環する送液に検体が含まれ、SPFS用センサチップの第1のリガンドが固定化されている片面のみが該送液中に浸漬されている状態において、SPFS用センサチップと検体とを接触させる態様が好ましい。なお、第1のリガンドに検体を接触させて、検体中のアナライトが第1のリガンドに捕捉されれば良く、必ずしも流路は設けなくてもよい。流路とは、上述のとおり角筒状または丸筒管状のものであって、SPFS用センサチップを設置する個所近傍は角筒状構造を有することが好ましく、薬液を送達する個所近傍は丸筒管状を有することが好ましい。その材料としては、SPFS用センサチップ部または流路天板ではメチルメタクリレート,スチレン等を原料として含有するホモポリマーまたは共重合体;ポリエチレン等のポリオレフィンなどからなり、薬液送達部ではシリコーンゴム,テフロン登録商標,ポリエチレン,ポリプロピレン等のポリマーを用いることが好ましい。SPFS用センサチップ部においては、検体との接触効率を高め、拡散距離を短くする観点から、SPFS用センサチップ部の流路の断面として、縦×横がそれぞれ独立に100nm~1mm程度が好ましい。流路にSPFS用センサチップを固定する方法としては、小規模ロット実験室レベルでは、まず、SPFS用センサチップの金属薄膜が形成されている表面に、流路高さ0.5mmを有するポリジメチルシロキサンPDMS製シートを該SPFS用センサチップの金属薄膜が形成されている部位を囲むようにして圧着し、次に、該ポリジメチルシロキサンPDMS製シートとSPFS用センサチップとをビス等の閉め具により固定する方法が好ましい。工業的に製造される大規模ロット工場レベルでは、流路にSPFS用センサチップを固定する方法としては、プラスチックの一体成形品にセンサ基板を形成、または別途作製したセンサ基板を固定し、金属薄膜表面に好ましくは誘電体からなるスペーサ層SAM,固相化層およびリガンドの固定化を行った後、流路天板に相当するプラスチックの一体成形品により蓋をすることで製造できる。必要に応じてプリズムを流路に一体化することもできる。送液としては、検体を希釈した溶媒または緩衝液と同じものが好ましく、例えば、リン酸緩衝生理食塩水PBS,トリス緩衝生理食塩水TBS,HEPES緩衝生理食塩水HBSなどが挙げられるが、特に限定されるものではない。送液の温度および送液を循環させる循環時間としては、検体の種類などにより異なり、特に限定されるものではないが、通常20~40°C×1~60分間、好ましくは37°C×5~15分間である。送液の総量、すなわち流路の容積としては、通常0.001~20mL、好ましくは0.1~1mLである。送液の流速は、通常1~2000μL/min、好ましくは5~500μL/minである。[洗浄工程]洗浄工程とは、上記工程aを経て得られたSPFS用センサチップの表面および/または下記工程bを経て得られたSPFS用センサチップの表面を洗浄する工程である。洗浄工程に使用される洗浄液としては、例えば、工程aおよびbの反応で用いたものと同じ溶媒または緩衝液に、Tween20,TritonX100などの界面活性剤を溶解させ、好ましくは0.00001~1重量含有するもの、または塩化ナトリウムや塩化カリウムなどの塩を10~500mM含有するものが望ましい。あるいは、低pHの緩衝液、例えば、10mMGlycineHClでpHが1.5~4.0のものであってもよい。洗浄液を循環させる温度および流速は、上記工程aの送液を循環させる温度および流速と同じであることが好ましい。洗浄液を循環させる時間は、通常0.5~180分間、好ましくは5~60分間である。[工程b]工程bとは、上記工程a、好ましくは上記洗浄工程を経て得られたSPFS用センサチップに、さらに、該SPFS用センサチップに含まれるリガンド第1のリガンドとは同じであっても異なっていてもよいリガンド第2のリガンドと蛍光色素とのコンジュゲートを反応させる工程である。蛍光色素蛍光色素とは、本発明において、所定の励起光を照射する、または電界効果を利用して励起することによって蛍光を発光する物質の総称であり、該蛍光は、燐光など各種の発光も含む。本発明で用いられる蛍光色素は、金属薄膜による吸光に起因する消光を受けない限りにおいて、その種類に特に制限はなく、公知の蛍光色素のいずれであってもよい。一般に、単色比色計monochromometerよりむしろフィルタを備えた分光蛍光計の使用をも可能にし、かつ検出の効率を高める大きなストークスシフトを有する蛍光色素が好ましい。このような蛍光色素としては、例えば、フルオレセインファミリーの蛍光色素IntegratedDNATechnologies社製,ポリハロフルオレセインファミリーの蛍光色素アプライドバイオシステムズジャパン株製,ヘキサクロロフルオレセインファミリーの蛍光色素アプライドバイオシステムズジャパン株製,クマリンファミリーの蛍光色素インビトロジェン株製,ローダミンファミリーの蛍光色素GEヘルスケアバイオサイエンス株製,シアニンファミリーの蛍光色素,インドカルボシアニンファミリーの蛍光色素,オキサジンファミリーの蛍光色素,チアジンファミリーの蛍光色素,スクアラインファミリーの蛍光色素,キレート化ランタニドファミリーの蛍光色素,BODIPY登録商標ファミリーの蛍光色素インビトロジェン株製,ナフタレンスルホン酸ファミリーの蛍光色素,ピレンファミリーの蛍光色素,トリフェニルメタンファミリーの蛍光色素,AlexaFluor登録商標色素シリーズインビトロジェン株製などが挙げられ、さらに米国特許番号第6406297号、同第6221604号、同第5994063号、同第5808044号、同第5880287号、同第5556959号および同第5135717号に記載の蛍光色素も本発明で用いることができる。これらファミリーに含まれる代表的な蛍光色素の吸収波長nmおよび発光波長nmを表1に示す。また、蛍光色素は、上記有機蛍光色素に限られない。例えば、Eu,Tb等の希土類錯体系の蛍光色素も、本願発明に用いられる蛍光色素となりうる。希土類錯体は、一般的に励起波長310~340nm程度と発光波長Eu錯体で615nm付近、Tb錯体で545nm付近との波長差が大きく、蛍光寿命が数百マイクロ秒以上と長い特徴がある。市販されている希土類錯体系の蛍光色素の一例としては、ATBTA-Eu3が挙げられる。本発明においては、後述する蛍光量の測定を行う際に、金属薄膜に含まれる金属による吸光の少ない波長領域に最大蛍光波長を有する蛍光色素を用いることが望ましい。例えば、金属薄膜として金を用いる場合には、金薄膜による吸光による影響を最小限に抑えるため、最大蛍光波長が600nm以上である蛍光色素を使用することが望ましい。したがって、この場合には、Cy5,AlexaFluor登録商標647等近赤外領域に最大蛍光波長を有する蛍光色素を用いることが特に望ましい。このような近赤外領域に最大蛍光波長を有する蛍光色素を用いることは、血液中の血球成分由来の鉄による吸光の影響を最小限に抑えることができる点で、検体として血液を用いる場合においても有用である。一方、金属薄膜として銀を用いる場合には、最大蛍光波長が400nm以上である蛍光色素を使用することが望ましい。これら蛍光色素は1種単独でも、2種以上併用してもよい。第2のリガンドと蛍光色素とのコンジュゲート本発明のSPFS用センサチップに含まれるリガンド第1のリガンドとは同じであっても異なっていてもよいリガンド第2のリガンドと蛍光色素とのコンジュゲートは、リガンドとして2次抗体を用いる場合、検体中に含有されるアナライト標的抗原を認識し結合し得る抗体であることが好ましい。本発明のアッセイ法において、第2のリガンドは、アナライトに蛍光色素による標識化を行う目的で用いられるリガンドであり、上記第1のリガンドと同じでもよいし、異なっていてもよい。ただし、第1のリガンドとして用いる1次抗体がポリクローナル抗体である場合、第2のリガンドとして用いる2次抗体は、モノクローナル抗体であってもポリクローナル抗体であってもよいが、該1次抗体がモノクローナル抗体である場合、2次抗体は、該1次抗体が認識しないエピトープを認識するモノクローナル抗体であるか、またはポリクローナル抗体であることが望ましい。さらに、検体中に含有されるアナライト標的抗原と競合する第2のアナライト競合抗原;ただし、標的抗原とは異なるものである。と2次抗体とがあらかじめ結合した複合体を用いる態様も好ましい。このような態様は、蛍光信号蛍光シグナル量と標的抗原量とを比例させることができるため好適である。第2のリガンドと蛍光色素とのコンジュゲートの作製方法としては、第2のリガンドとして2次抗体を用いる場合、例えば、まず蛍光色素にカルボキシル基を付与し、該カルボキシル基を、水溶性カルボジイミドWSC例えば、1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩EDCなどとN-ヒドロキシコハク酸イミドNHSとにより活性エステル化し、次いで活性エステル化したカルボキシル基と2次抗体が有するアミノ基とを水溶性カルボジイミドを用いて脱水反応させ固定化させる方法;イソチオシアネートおよびアミノ基をそれぞれ有する2次抗体および蛍光色素を反応させ固定化する方法;スルホニルハライドおよびアミノ基をそれぞれ有する2次抗体および蛍光色素を反応させ固定化する方法;ヨードアセトアミドおよびチオール基をそれぞれ有する2次抗体および蛍光色素を反応させ固定化する方法;ビオチン化された蛍光色素とストレプトアビジン化された2次抗体あるいは、ストレプトアビジン化された蛍光色素とビオチン化された2次抗体とを反応させ固定化する方法などが挙げられる。このように作製された第2のリガンドと蛍光色素とのコンジュゲートの送液中の濃度は、0001~10000μg/mLが好ましく、1~1000μg/mLがより好ましい。送液を循環させる温度、時間および流速は、それぞれ上記工程aの場合と同様である。[工程c]工程cとは、上記工程bを経て得られたSPFS用センサチップに、上記透明支持体の、上記金属薄膜を形成していないもう一方の表面から、必要に応じてプリズム等を経由してレーザ光を照射し、励起された蛍光色素から発光された蛍光量を測定する工程である。光学系本発明のアッセイ法で用いる光源は、金属薄膜にプラズモン励起を生じさせることができるものであれば、特に制限がないものの、波長分布の単一性および光エネルギーの強さの点で、レーザ光を光源として用いることが好ましい。レーザ光は、光学フィルタを通して、プリズムに入射する直前のエネルギーおよびフォトン量を調節することが望ましい。レーザ光の照射により、全反射減衰条件ATRにおいて、金属薄膜の表面に表面プラズモンが発生する。表面プラズモンの電場増強効果により、照射したフォトン量の数十~数百倍に増えたフォトンにより蛍光色素を励起する。なお、該電場増強効果によるフォトン増加量は、透明支持体の屈折率、金属薄膜の金属種およびその膜厚に依存するが、通常、金では約10~20倍の増加量となる。蛍光色素は、光吸収により分子内の電子が励起され、短時間のうちに第一電子励起状態に移動し、この状態準位から基底状態に戻る際、そのエネルギー差に相当する波長の蛍光を発する。レーザ光としては、例えば、波長200~900nm,0001~1000mWのLD;波長230~800nm金属薄膜に用いる金属種によって共鳴波長が決まる。,0.01~100mWの半導体レーザなどが挙げられる。プリズムは、各種フィルタを介したレーザ光が、SPFS用センサチップに効率よく入射することを目的としており、屈折率が透明支持体と同じであることが好ましい。本発明は、全反射条件を設定できる各種プリズムを適宜選択することができることから、角度、形状に特に制限はなく、例えば、60度分散プリズムなどであってもよい。このようなプリズムの市販品としては、上述したガラス製の透明支持体の市販品と同様のものが挙げられる。光学フィルタとしては、例えば、減光NDフィルタ、ダイアフラムレンズなどが挙げられる。減光NDフィルタまたは、中性濃度フィルタは、入射レーザ光量を調節することを目的とするものである。特に、ダイナミックレンジの狭い検出器を使用するときには精度の高い測定を実施する上で用いることが好ましい。偏光フィルタは、レーザ光を、表面プラズモンを効率よく発生させるP偏光とするために用いられるものである。カットフィルタは、外光装置外の照明光,励起光励起光の透過成分,迷光各所での励起光の散乱成分,プラズモンの散乱光励起光を起源とし、SPFS用センサチップ表面上の構造体または付着物などの影響で発生する散乱光などの光学ノイズ,および蛍光色素の自家蛍光を除去するフィルタであって、例えば、干渉フィルタ,色フィルタなどが挙げられる。集光レンズは、検出器に蛍光シグナルを効率よく集光することを目的とするものであり、任意の集光系でよい。簡易な集光系として、顕微鏡などで使用されている、市販の対物レンズ例えば、株ニコン製またはオリンパス株製等を転用してもよい。対物レンズの倍率としては、10~100倍が好ましい。SPFS検出部としては、超高感度の観点からは光電子増倍管浜松ホトニクス株製のフォトマルチプライヤーが好ましい。また、これらに比べると感度は下がるが、画像として見ることができ、かつノイズ光の除去が容易なことから、多点計測が可能なCCDイメージセンサも好適である。[工程d]工程dとは、上記工程cで得られた測定結果から、検体中に含有されるアナライト量を算出する工程である。より具体的には、工程dは、既知濃度の標的抗原もしくは標的抗体での測定を実施することで検量線を作成し、作成された検量線に基づいて被測定検体中のアナライト標的抗原量もしくは標的抗体量を測定シグナルから算出する工程である。アナライトアナライトとしては、第1のリガンドに特異的に認識されまたは、認識し結合し得る分子または分子断片であって、このような分子または分子断片としては、例えば、核酸一本鎖であっても二本鎖であってもよいDNA,RNA,ポリヌクレオチド,オリゴヌクレオチド,PNAペプチド核酸等,またはヌクレオシド,ヌクレオチドおよびそれらの修飾分子,タンパク質ポリペプチド,オリゴペプチド等,アミノ酸修飾アミノ酸も含む。,糖質オリゴ糖,多糖類,糖鎖等,脂質,またはこれらの修飾分子,複合体などが挙げられ、具体的には、AFPαフェトプロテインなどのがん胎児性抗原や腫瘍マーカー,シグナル伝達物質,ホルモンなどであってもよく、特に限定されない。アッセイシグナル変化量さらに、工程dは、上記工程bの前に測定したシグナルをブランクシグナル、としたとき、下記式で表されるアッセイシグナル変化量を算出することができる。シグナル変化量=|アッセイ蛍光シグナル-ブランク蛍光シグナル|<アッセイ用装置>本発明のアッセイ用装置は、少なくとも、上述のSPFS用センサチップを含み、上記アッセイ法に用いられることを特徴とする。このような装置としては、上記SPFS用センサチップ以外に、例えば、レーザ光の光源,各種光学フィルタ,プリズム,カットフィルタ,集光レンズ,表面プラズモン励起増強蛍光SPFS検出部なども含むものとし、検体液,洗浄液または標識抗体液などを取り扱う際に、SPFS用センサチップと組み合った送液系を有することが好ましい。送液系としては、例えば、送液ポンプと連結したマイクロ流路デバイスなどでもよい。また、表面プラズモン共鳴SPR検出部、すなわちSPR専用の受光センサとしてのフォトダイオード,SPRおよびSPFSの最適角度を調製するための角度可変部サーボモータで全反射減衰ATR条件を求めるためにフォトダイオードと光源とを同期して、45~85°の角度変更を可能とする。分解能は0.01°以上が好ましい。,SPFS検出部に入力された情報を処理するためのコンピュータなども含んでもよい。光源,光学フィルタ,カットフィルタ,集光レンズおよびSPFS検出部の好ましい態様は上述したものと同様である。送液ポンプとしては、例えば、送液が微量な場合に好適なマイクロポンプ,送り精度が高く脈動が少ないが循環することができないシリンジポンプ,簡易で取り扱い性に優れるが微量送液が困難な場合があるチューブポンプなどが挙げられる。<アッセイ用キット>本発明のアッセイ用キットは、透明支持体と;該支持体の一方の表面に形成された金属薄膜と;該薄膜の、該支持体とは接していないもう一方の表面に形成された自己組織化単分子膜SAMと;該SAMの、該薄膜とは接していないもう一方の表面に形成された、3次元構造を有する固相化層とからなり、上述のSPFS用センサチップに用いられるセンサチップ用基板を、少なくとも含むことを特徴とし、上述のアッセイ法を実施するにあたり、抗原などのアナライト,検体および2次抗体以外に必要とされるすべてのものを含むことが好ましい。また、本発明のアッセイ用キットは、該SPFS用センサチップ用基板の該固相化層に1次抗体が予め固定化されていてもよい。本発明のアッセイ用キットと、検体として、例えば、血液,血漿または血清と、特定の腫瘍マーカーに対する抗体とを用いることによって、特定の腫瘍マーカーの含有量を、高感度かつ高精度で検出することができる。この結果から、触診などによって検出することができない前臨床期の非浸潤癌上皮内癌の存在も高精度で予測することができる。このようなアッセイ用キットとしては、SPFS用センサチップ用基板以外に、例えば、抗体を固相化層に固定化するために用いる水溶性カルボジイミドWSC例えば、1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩EDCなどおよびN-ヒドロキシコハク酸イミドNHS;蛍光色素;検体を溶解または希釈するための溶解液または希釈液;SPFS用センサチップと検体とを反応させるための各種反応試薬および洗浄試薬などが挙げられ、本発明のアッセイ法を実施するために必要とされる各種器材または資材や上記アッセイ用装置を含めることもできる。さらに、キット要素として、検量線作成用の標準物質、説明書、多数検体の同時処理ができるマイクロタイタープレートなどの必要な器材一式などを含んでもよい。次に、本発明について実施例を示してさらに詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。[作製例1]AlexaFluor登録商標647標識2次抗体の作製2次抗体として、抗αフェトプロテインAFPモノクローナル抗体1D5;2.5mg/mL,株日本医学臨床検査研究所製を、市販のビオチン化キット株同仁化学研究所製を用いてビオチン化した。手順は、該キットに添付のプロトコールに従った。次に、得られたビオチン化抗AFPモノクローナル抗体の溶液とストレプトアビジン標識AlexaFluor登録商標647MolecularProbes社製溶液とを混合し、4°Cで60分間、攪拌混合することで反応させた。最後に、未反応抗体および未反応酵素を、分子量カットフィルタ日本ミリポア株製を用いて精製することで、AlexaFluor登録商標647標識抗AFPモノクローナル抗体溶液を得た。得られた抗体溶液はタンパク定量後、4°Cで保存した。[作製例2]基板の作製屈折率nd1.72,厚さ1mmのガラス製の透明支持体株オハラ製のS-LAL10をプラズマ洗浄し、該支持体の片面にクロム薄膜をスパッタリング法により形成した後、その表面にさらに金薄膜をスパッタリング法により形成した。クロム薄膜の厚さは1~3nm、金薄膜の厚さは42~47nmであった。以下、この基板を用いて測定した半値幅を半値幅βとし、その値は7.6°であった。[実施例1]SPFS用センサチップCの製造作製例2で得られた基板を、1mMに調製した10-アミノ-1-デカンチオールのエタノール溶液10mLに24時間浸漬し、金薄膜の片面にSAMを形成した。このセンサ基板を、該エタノール溶液から取り出し、エタノールおよびイソプロパノールでそれぞれ洗浄した後、エアガンを用いて乾燥させた。続いて、分子量50万のカルボキシメチルデキストランCMDを1mg/mLと、N-ヒドロキシコハク酸イミドNHSを0.5mMと、水溶性カルボジイミドWSCを1mMとを含むpH7.4のMES緩衝生理食塩水MESイオン強度:10mMにSAMを形成したセンサ基板を1時間浸漬し、SAMにCMDを固定化し、1NのNaOH水溶液に30分間浸漬することで未反応のコハク酸エステルを加水分解させた。続いて、NHSを50mMと、WSCを100mMとを含むMESに1時間浸漬させた後に、抗AFPモノクローナル抗体1D5;2.5μg/mL,株日本医学臨床検査研究所製溶液に30分間浸漬することで、CMDに1次抗体を固相化した。さらに、1重量の牛血清アルブミンBSAおよび1Mのアミノエタノールを含むPBSにて30分間循環送液することで、非特異的吸着防止処理を行った。半値幅αは、8.6°であった。半値幅の変動率は、13であった。この変動率は、作製例2で得られた基板の半値幅を半値幅βとして算出したものである。アッセイ法の実施上述のように製造したSPFS用センサチップCを用いて、以下のアッセイ法を実施した。まず、抗体を固相化したSPFS用センサチップ上に、流路高さ0.5mmを有し、かつ適当な形状および大きさを有する穴のあいたポリジメチルシロキサンPDMS製シートを設け、さらに、このPDMS製シートの周囲にシリコーンゴム製スペーサを配置したこのシリコーンゴム製スペーサは送液に触れない状態にある。このPDMS製シートおよび該シリコーンゴム製スペーサの上に、送液導入用の穴および送液排出用の穴を予めそれぞれ形成してあるPMMA基板を、PDMS製シートで囲まれた領域の内側にこれらの穴が位置するように配置したこのとき、抗体を固相化した表面が流路の内側となるように、PMMA基板が配置されている。これらを流路の外側から圧着し、ビスでPMMA基板と流路シートすなわち、前記PDMS製シートとSPFS用センサチップCとを固定した。工程aとして、上述のようにして得られたSPFS用センサチップCに標的抗原としてAFPを0.1ng/mL、0.1mLPBS溶液を25分間循環させた。工程bとして、Tween20を005重量含むトリス緩衝生理食塩水TBSを送液として10分間循環させることによって洗浄した後、作製例1で得られたAlexaFluor登録商標647標識2次抗体2μg/mLとなるように調製したPBS溶液を0.1mLを5分間循環させた。工程cとして、まず、Tween20を005重量含むTBSを送液として10分間循環させることによって洗浄した。プラズモン励起センサに、ガラス製の透明支持体の、金薄膜を形成していないもう一方の表面から、プリズムシグマ光機株製を経由してレーザ光640nm,40μWを照射し、励起された蛍光色素から発光された蛍光量を光電子増倍管PMTで検出した光量シグナル値を計測しアッセイシグナルとした。得られた結果を表2に示す。なお、工程dとしては、工程cで得られた蛍光量の測定結果から、検体中に含有されるアナライト量の算出を行った。[実施例2]実施例1において、分子量50万のCMDの代わりに分子量15万のCMDを用いた以外は実施例1と同様にしてSPFS用センサチップDを製造した。このSPFS用センサチップDは半値幅αが7.9°であったことから、半値幅の変動率は4であった。SPFS用センサチップDを用いて、実施例1と同様にしてアッセイ法を実施し、得られた結果を表2に示す。[実施例3]実施例1において、分子量50万のCMDの濃度1mg/mLを10mg/mLに変更し、NHSの濃度0.5mMを100mMに変更し、WSCの濃度1mMを100mMに変更し、MESイオン強度:10mMのpH7.4をpH6.0イオン強度:10mMに変更した以外は実施例1と同様にしてSPFS用センサチップEを製造した。このSPFS用センサチップEは半値幅αが8.8°であったことから、半値幅の変動率は29であった。SPFS用センサチップEを用いて、実施例1と同様にしてアッセイ法を実施し、得られた結果を表2に示す。[比較例1]SPFS用センサチップAの製造実施例1において、SAMを形成する際、10-アミノ-1-デカンチオールの代わりに10-カルボキシ-1-デカンチオールを用い、かつCMDによる固相化層を形成せずにSAMに直接抗体を固定化した以外は実施例1と同様にしてSPFS用センサチップAを製造した。半値幅は7.7°であったことから、半値幅の変動率は、1.3であった。なお、このように製造したSPSF用センサチップを用いて得られた半値幅は、厳密には半値幅αとは言えないものであるが、表2中では、該半値幅を便宜的に半値幅αとした。アッセイ法の実施実施例1において、実施例1で製造したSPFS用センサチップCの代わりに、上述のように製造したSPFS用センサチップAを用いて、実施例1と同様にしてアッセイ法を実施した。得られた結果を表2に示す。[比較例2]SPFS用センサチップBの製造実施例1において、1mg/mLのCMDを100mg/mLに、0.5mMのNHSを100mMに、1mMのWSCを100mMに、pH7.4のMESイオン強度:10mMをpH6.0イオン強度:150mMに変更した以外は実施例1と同様にしてSPFS用センサチップBを製造した。半値幅αが13.6°であったことから、半値幅の変動率は、79であった。アッセイ法の実施実施例1において、実施例1で製造したSPFS用センサチップCの代わりに、上述のように製造したSPFS用センサチップBを用いて、実施例1と同様にしてアッセイ法を実施した。得られた結果を表2に示す。[考察]表2から、実施例1変動率:13、実施例2変動率:4および実施例3変動率:29で得られたアッセイシグナルは、比較例1変動率:1.3および比較例2変動率:79で得られたものより有意に大きく、さらに実施例1~3の変動係数CV、すなわちバラツキは、比較例2のCVより有意に低く、比較例1のCVとほぼ同等であることがわかった。すなわち、実施例1~3のSPFS用センサチップは、比較例2と同様にデキストラン層を用いているにも関わらず、アッセイシグナルのムラが出ずすなわち、安定化し、かつ顕著に増加している。よって、本発明のSPFS用センサチップは、検出の安定性向上および高感度化が達成できる。"