"リニアイメージセンサ又は高アスペクト比領域イメージセンサの細長い視野を照明する方法であって、複数の離散光源により、細長い領域形状の照明を供給する工程と、撮像される対象物に前記照明を投射する工程と、を有し、前記対象物に投射された前記照明は、当該対象物上の前記細長い領域形状に沿った強度及び角分布について、実質的に空間不変であることを特徴とする方法。前記対象物を撮像する撮像ユニットの結像レンズ入射瞳に、投射された前記照明を結像する工程を更に有し、前記入射瞳の径は、前記対象物及び前記結像レンズ間の距離と比較して、少なくとも一桁小さいことを特徴とする請求項1に記載の方法。前記イメージセンサの前記視野のアスペクト比は、40:1以上であることを特徴とする請求項2に記載の方法。前記照明は、前記細長い視野において口径食を生じないことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の方法。前記照明は、前記細長い視野の非テレセントリック撮像に適用されることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の方法。前記照明は、空間光変調器SLMから出力されることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の方法。前記照明は、環状角分布を有する暗視野照明であることを特徴とする請求項6に記載の方法。細長い領域形状を有する前記照明は、レンズアレイを介して投射される光源アレイにより得られ、前記レンズアレイに含まれるレンズは、互いに隙間なく隣接することを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の方法。各光源及び対応するレンズは、前記光源の形状に実質的に類似した形状を有する前記細長い視野に向けて、別個の部分の照明を投射し、前記別個の部分の照明は、実質的に隙間なく連続し、前記細長い視野に照明を供給することを特徴とする請求項8に記載の方法。光源アレイの各光源から、レンズアレイの対応するレンズを介して投射された照明は、ケーラーライク照明であることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の方法。前記レンズアレイの全てのレンズを介して投射された照明を、イメージセンサの結像レンズ開口に向ける工程を更に有することを特徴とする請求項8乃至10の何れか1項に記載の方法。前記照明は、視野レンズにより前記結像レンズ開口に向けられることを特徴とする請求項11に記載の方法。前記視野レンズは、平凸レンズであることを特徴とする請求項12に記載の方法。前記視野レンズは、フレネルレンズであることを特徴とする請求項12に記載の方法。前記アレイの前記光源は、それぞれ、25~30°の角度範囲に射出する狭角光源であることを特徴とする請求項8乃至14の何れか1項に記載の方法。前記レンズアレイのアスペクト比は、10:1以下であることを特徴とする請求項8乃至15の何れか1項に記載の方法。前記光源アレイはLEDランプアレイであることを特徴とする請求項8乃至16の何れか1項に記載の方法。前記光源アレイは、光ファイバ束アレイから投射されることを特徴とする請求項8乃至16の何れか1項に記載の方法。単一の中心光源から全ての前記光ファイバ束を送り出す工程を更に有することを特徴とする請求項18に記載の方法。前記中心光源は、当該中心光源によって射出される光の形状を定義するSLMを含むことを特徴とする請求項19に記載の方法。前記光源アレイは、集積放射型光エンジンに基づくSLMにより形成されることを特徴とする請求項8乃至10の何れか1項に記載の方法。前記SLMは、明視野照明及び暗視野照明の何れかを供給することを特徴とする請求項20又は請求項21に記載の方法。前記SLMは、当該SLMにより形成された環状照明により暗視野照明を供給することを特徴とする請求項22に記載の方法。前記環状照明の内径は、前記細長い視野を結像する結像レンズの入射瞳以上となるべく定義されることを特徴とする請求項23に記載の方法。前記SLMは、当該SLMにより形成された円形照明により明視野照明を供給し、前記円形照明の径は、前記細長い視野を結像する結像レンズの入射瞳以下となることを特徴とする請求項20乃至24の何れか1項に記載の方法。リニアイメージセンサ又は高アスペクト比領域イメージセンサの細長い視野を照明する照明システムであって、レンズが互いに隙間なく隣接するレンズアレイと、各光源が形状を有し、前記レンズアレイの対応するレンズを介して光を投射すべく配置される光源アレイと、を備え、各光源及び対応するレンズは、前記光源の前記形状に実質的に類似した形状を有する細長い視野に向けて、別個の部分の照明を投射し、前記別個の部分の照明は、実質的に隙間なく連続し、前記細長い視野に照明を供給することを特徴とする照明システム。前記光源アレイの各光源及び前記レンズアレイの対応するレンズは、ケーラーライク照明を供給することを特徴とする請求項26に記載の照明システム。前記アレイの前記光源は、それぞれ、25~30°の角度範囲に射出する狭角光源であることを特徴とする請求項26又は請求項27に記載の照明システム。前記細長い視野のアスペクト比は、40:1以上であることを特徴とする請求項26乃至28の何れか1項に記載の照明システム。前記レンズアレイのアスペクト比は、10:1以下であることを特徴とする請求項29に記載の照明システム。前記光源アレイからの前記照明は、対象物を撮像する撮像ユニットの結像レンズ入射瞳に結像し、前記入射瞳の径は、前記対象物及び前記結像レンズ間の距離と比較して、少なくとも一桁小さいことを特徴とする請求項26乃至30の何れか1項に記載の照明システム。前記レンズアレイの全てのレンズを介して投射された照明を、イメージセンサの結像レンズ開口に向けるべく適用される視野レンズを更に含むことを特徴とする請求項26乃至31の何れか1項に記載の照明システム。前記視野レンズは、平凸レンズであることを特徴とする請求項32に記載の照明システム。前記視野レンズは、フレネルレンズであることを特徴とする請求項32に記載の照明システム。前記光源アレイは、照明をイメージセンサの結像レンズ開口に向けるべく三日月形状に曲げられることを特徴とする請求項26乃至28の何れか1項に記載の照明システム。前記レンズアレイは、照明をイメージセンサの結像レンズ開口に向けるべく三日月形状に曲げられることを特徴とする請求項35に記載の照明システム。前記光源アレイは、LEDアレイであることを特徴とする請求項26乃至35の何れか1項に記載の照明システム。前記光源アレイは、光ファイバ束アレイから出力されることを特徴とする請求項26乃至36の何れか1項に記載の照明システム。前記アレイに含まれる全ての光ファイバ束は、中心光源から送り出された照明を投射することを特徴とする請求項38に記載の照明システム。前記中心光源はSLMを含み、射出された光は前記SLMにより定義される形状を有することを特徴とする請求項39に記載の照明システム。前記光源アレイは、SLMアレイから出力されることを特徴とする請求項26乃至36の何れか1項に記載の照明システム。前記光源アレイは、集積放射型光エンジンに基づくSLMにより形成されることを特徴とする請求項26乃至36の何れか1項に記載の照明システム。前記SLMは、明視野照明及び暗視野照明の何れかを供給することを特徴とする請求項40乃至42の何れか1項に記載の照明システム。前記SLMは、当該SLMにより形成された環状照明により暗視野照明を供給することを特徴とする請求項43に記載の照明システム。前記環状照明の内径は、前記細長い視野を結像する結像レンズの入射瞳以上となるべく定義されることを特徴とする請求項44に記載の照明システム。前記SLMは、当該SLMにより形成された円形照明により明視野照明を供給し、前記円形照明の径は、前記細長い視野を結像する結像レンズの入射瞳以下となることを特徴とする請求項43乃至45の何れか1項に記載の照明システム。前記アレイに含まれる全ての前記光源は同一であることを特徴とする請求項26乃至46の何れか1項に記載の照明システム。前記アレイに含まれる全ての前記レンズは同一であることを特徴とする請求項26乃至47の何れか1項に記載の照明システム。前記アレイに含まれる前記レンズは、球面レンズであることを特徴とする請求項26乃至48の何れか1項に記載の照明システム。前記細長い視野の非テレセントリック撮像に適用されることを特徴とする請求項26乃至49の何れか1項に記載の照明システム。自動光学検査システムにおける基板を走査する方法であって、基板を供給する工程と、前記基板を請求項1乃至25の何れか1項に記載の方法に基づき照明する工程と、前記基板を撮像する工程と、前記撮像工程からの出力を解析し、前記基板の欠陥を同定する工程と、前記欠陥を報告する工程と、を有することを特徴とする方法。複数の照明配置で前記基板を照明する工程を更に有することを特徴とする請求項51記載の方法。前記複数の照明配置は、暗視野照明及び明視野照明の中少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項52に記載の方法。少なくとも一つのカメラと、請求項26乃至50の何れか1項に基づく少なくとも一つの照明ユニットとを有する撮像ユニットと、検査される基板及び前記撮像ユニット間の翻訳を供給する走査ユニットと、前記走査ユニットの翻訳、前記少なくとも一つの照明ユニットの照明及び前記少なくとも一つのカメラの画像取り込みを調整するコントローラと、を備えることを特徴とする自動光学検査システム。前記少なくとも一つの照明ユニットは、複数の照明配置を供給すべく適用されることを特徴とする請求項54に記載のシステム。前記複数の照明配置は、暗視野照明及び明視野照明の中少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項55に記載のシステム。本発明の実施の形態は、リニアカメラ又はTDI型カメラの視野のように細長い視野に、擬似ランバート放射する照明システムを提供することを目的とする。本発明の実施の形態によれば、ケーラーライク照明のアレイにより、細長い視野への投射が行われる。ケーラーライク照明とは、ここで定義するように、どの方向においてもクリティカルでない照明を指す。本発明の実施の形態に係る照明は、物理的な光射出面、例えば有効光源必ずしもそれ自身が物理的光源である必要はないが対象物の表面に結像されるのと対照的に、結像レンズに結像されるという意味で、ケーラーライクである。本実施の形態では、有効光源は、結像レンズの入射瞳に結像される。すなわち、有効光源の結像は無限遠に位置しない。結果として、有効光源からの光線は、対象物に入射する際に厳密には平行ではなく、平行にもされず、むしろ結像レンズの入射瞳に集光される。通常、ターゲットと結像レンズの入射瞳との間の距離は、入射瞳の径よりも実質的に大きく、例えば一桁大きいので、ケーラーライク照明は実質的に平行であると考えられる。本発明の実施の形態によれば、ケーラーライク照明は、細長い領域にわたり均一であり、且つ口径食を生じない。細長い領域は、ここで定義されるように、10:1又はそれ以上のアスペクト比、例えば6:1以上のアスペクト比を有する領域である。通常、ターゲットは、カメラの視野にまたがり且つ機械的及びシステム的な公差のための安全マージンを超える領域にわたり照明される。通常、この超える領域の大部分は、より狭い範囲に沿っている。安全マージンは、この狭い範囲よりも例えば2倍から100倍或いはそれ以上大きくしても良い。例えばリニアセンサの場合、視野は10μmの狭い範囲である一方、対象物上の照明領域における狭い範囲は1mmの長さである。別の例では、TDIセンサ又は例えば100ラインのセンサの場合、視野は約1mmの狭い範囲である一方、対象物上の照明領域における狭い範囲は、約2~3mmの長さである。また、例えば離散光源アレイにおける離散光源の数を増やすことにより、より大きなアスペクト比で、上記した超える部分を少なくすることもできる。本実施の形態では、ケーラーライク照明のアレイは、離散光源アレイにレンズアレイを組み合わせて構成される。通常、アレイに含まれるレンズは、細長い視野にわたり実質的に空間不変な照明を得るべく、互いに隙間なく並べて配置される。ここで用いられるように、空間不変な照明とは、照明領域内のどの点から観測したときも、当該照明領域内の全ての点が同じとなる角度領域を有する照明或いは照明の空を意味する。本発明の実施の形態によれば、アレイに含まれる各ケーラーライク照明は、ターゲットに、光源の形状と同じ形状を有する別個の部分の照明の空を投射する。それぞれの離散光源が同じ形状及び強度で射出する場合、結果は連続的になり、例えば、照明領域上の各点で同じ照明を受けるターゲットから観測したときも、空間不変な角度領域となる。本実施の形態では、離散光源アレイは空間光変調器SLMのアレイと置き換えられ及び/又は組み合わせられる。SLMは、異なるアプリケーションでの必要に応じて、光源の特性を任意に変更する。または、SLMを用いて、撮像中の明視野照明及び/又は暗視野照明を得ても良い。本発明の実施の形態によれば、照明システムは、レンズアレイを介して射出された照明を曲げて撮像システムの結像瞳に向ける視野レンズを含む。本発明の実施の形態は、リニアイメージセンサ又は高アスペクト比領域イメージセンサの細長い視野を照明する方法であって、複数の離散光源により、細長い領域形状の照明を供給する工程と、撮像される対象物に照明を投射する工程とを有し、対象物に投射された照明は、当該対象物上の細長い領域形状に沿った強度及び角分布について、実質的に空間不変である方法を提供することを目的とする。上記した方法に、対象物を撮像する撮像ユニットの結像レンズ入射瞳に、投射された照明を結像する工程を更に設け、入射瞳の径を、対象物及び結像レンズ間の距離と比較して、少なくとも一桁小さくしても良い。イメージセンサの視野のアスペクト比を、40:1以上としても良い。照明を、細長い視野において口径食を生じないようにしても良い。また、照明を、細長い視野の非テレセントリック撮像に適用しても良い。更に、照明を、SLMから出力しても良い。照明は、環状角分布を有する暗視野照明でも良い。細長い領域形状を有する照明は、レンズアレイを介して投射される光源アレイにより得られ、レンズアレイに含まれるレンズは、互いに隙間なく隣接させても良い。各光源及び対応するレンズは、光源の形状に実質的に類似した形状を有する細長い視野に向けて、別個の部分の照明を投射し、別個の部分の照明は、実質的に隙間なく連続し、細長い視野に照明を供給しても良い。光源アレイの各光源から、レンズアレイの対応するレンズを介して投射された照明は、ケーラーライク照明でも良い。上記した方法に、レンズアレイの全てのレンズを介して投射された照明を、イメージセンサの結像レンズ開口に向ける工程を更に設けても良い。視野レンズにより照明を結像レンズ開口に向けても良い。視野レンズは、平凸レンズでも良い。視野レンズは、フレネルレンズでも良い。アレイの光源は、それぞれ、25~30°の角度範囲に射出する狭角光源でも良い。レンズアレイのアスペクト比を、10:1以下としても良い。光源アレイは、LEDランプアレイでも良い。光源アレイは、光ファイバ束アレイから投射されても良い。上記した方法に、単一の中心光源から全ての光ファイバ束を送り出す工程を更に設けても良い。中心光源は、当該中心光源によって射出される光の形状を定義するSLMを含んでも良い。光源アレイは、集積放射型光エンジンに基づくSLMにより形成されても良い。SLMは、明視野照明及び暗視野照明の何れかを供給しても良い。SLMは、SLMにより形成された環状照明により暗視野照明を供給しても良い。環状照明の内径を、細長い視野を結像する結像レンズの入射瞳以上となるべく定義しても良い。SLMは、当該SLMにより形成された円形照明により明視野照明を供給し、円形照明の径は、細長い視野を結像する結像レンズの入射瞳以下としても良い。本発明の実施の形態は、リニアイメージセンサ又は高アスペクト比領域イメージセンサの細長い視野を照明する照明システムであって、レンズが互いに隙間なく隣接するレンズアレイと、各光源が形状を有し、レンズアレイの対応するレンズを介して光を投射すべく配置される光源アレイとを備え、各光源及び対応するレンズは、光源の形状に実質的に類似した形状を有する細長い視野に向けて、別個の部分の照明を投射し、別個の部分の照明は、実質的に隙間なく連続し、細長い視野に照明を供給する照明システムを提供することを目的とする。光源アレイの各光源及びレンズアレイの対応するレンズは、ケーラーライク照明を供給しても良い。アレイの光源は、それぞれ、25~30°の角度範囲に射出する狭角光源でも良い。細長い視野のアスペクト比を、40:1以上としても良い。レンズアレイのアスペクト比を、10:1以下としても良い。光源アレイからの照明を、対象物を撮像する撮像ユニットの結像レンズ入射瞳に結像させ、入射瞳の径を、対象物及び結像レンズ間の距離と比較して、少なくとも一桁小さくしても良い。上記した照明システムに、レンズアレイの全てのレンズを介して投射された照明を、イメージセンサの結像レンズ開口に向けるべく適用される視野レンズを更に含んでも良い。視野レンズは、平凸レンズでも良い。視野レンズは、フレネルレンズでも良い。照明をイメージセンサの結像レンズ開口に向けるべく、光源アレイを三日月形状に曲げても良い。照明をイメージセンサの結像レンズ開口に向けるべく、レンズアレイを三日月形状に曲げても良い。光源アレイは、LEDアレイでも良い。光源アレイは、光ファイバ束アレイから出力されても良い。アレイに含まれる全ての光ファイバ束は、中心光源から送り出された照明を投射しても良い。中心光源はSLMを含み、射出された光はSLMにより定義される形状を有しても良い。光源アレイは、SLMアレイから出力されても良い。光源アレイは、集積放射型光エンジンに基づくSLMにより形成されても良い。SLMは、明視野照明及び暗視野照明の何れかを供給しても良い。SLMは、当該SLMにより形成された環状照明により暗視野照明を供給しても良い。環状照明の内径を、細長い視野を結像する結像レンズの入射瞳以上となるべく定義しても良い。SLMは、当該SLMにより形成された円形照明により明視野照明を供給し、円形照明の径は、細長い視野を結像する結像レンズの入射瞳以下としても良い。アレイに含まれる全ての光源を同一としても良い。アレイに含まれる全てのレンズを同一としても良い。アレイに含まれるレンズは、球面レンズでも良い。上記した照明システムを、細長い視野の非テレセントリック撮像に適用しても良い。本発明の実施の形態は、自動光学検査システムにおける基板を走査する方法であって、基板を供給する工程と、上記した方法に基づき基板を照明する工程と、基板を撮像する工程と、撮像工程からの出力を解析し、基板の欠陥を同定する工程と、欠陥を報告する工程とを含む方法を提供することを目的とする。上記した方法に、複数の照明配置で基板を照明する工程を更に設けても良い。複数の照明配置は、暗視野照明及び明視野照明の中少なくとも一つを含んでも良い。本発明の実施の形態は、少なくとも一つのカメラ及び上記した少なくとも一つの照明ユニットを有する撮像ユニットと、検査される基板及び撮像ユニット間の翻訳を供給する走査ユニットと、走査ユニットの本百、少なくとも一つの照明ユニットの照明及び少なくとも一つのカメラの画像取り込みを調整するコントローラとを備える自動光学検査システムを提供することを目的とする。少なくとも一つの照明ユニットを、複数の照明配置を供給すべく適用しても良い。複数の照明配置は、暗視野照明及び明視野照明の中少なくとも一つを含んでも良い。他に定義されていない限り、ここで使用される技術的及び/又は科学的用語は全て、当業者により通常理解されるのと同じ意味を有する。以下では、例示的な方法及び/又は材用について記載するが、ここで記載された方法及び材料と均等或いは同一のものを、発明の実施の形態を実施或いはテストする際に使用できる。矛盾する場合、定義を含む特許明細書を参照する。加えて、材料、方法及び例は、例証的に過ぎず、必ずしも限定を意図するものではない。以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。本発明は、電子回路の自動光学検査AOI用照明に関し、特に、AOIに通常使用されるリニアセンサ又はTDI型センサに適用される照明に関するが、これに限定されない。照明に関して、エネルギー効率が良く、プログラム可能なことは、AOIの重要な態様である。エネルギー効率について言えば、AOIの実施中、検査対象基板の画像は、リニアセンサ又はTDI型センサにより、ライン毎に連続的に取り込まれる。検査対象基板は、通常、0.5m×0.5m~3m×3mの間であるのに対して、これらのセンサの瞬間的な視野は、通常、幅40mm~100mm×長さ0.005μm~1000μmの間であり、更に長い又は小さい基板に対しても、本発明を適用可能である。したがって、照明される細長い領域は、一般的に、40:1~150:1のアスペクト比を有する。照明領域の形状がカメラの視野の細長い形状に合わない場合、照明に使用されるエネルギーの多くが無駄になり、照明システムのエネルギー効率は著しく低下することとなる。例えば、照明領域が細長い領域を覆う単一の円形領域の場合、照明に使用されるエネルギーのほとんどが無駄になってしまう。AOI用照明の重要な態様の一つに、光の均一性がある。光の均一性は、通常、パネルの適切な検査を妨げる影、反射及び不適切なコントラストを回避するうえで重要である。ケーラー照明は、顕微鏡検査において使用され、例えば顕微鏡写真を撮る際に、平行光線を作って標本を通過させることにより、上記した問題を解消する。通常、顕微鏡検査において照明に必要とされる視野は、円形の視野及び/又はアスペクト比が約1の視野である。AOI用照明のもう一つの重要な態様は、汎用性である。通常、アプリケーションのタイプに応じて、必要とされる照明のタイプが異なる。例えば、明視野照明を必要とするアプリケーションもあれば、暗視野照明を必要とするアプリケーションもある。更に、アプリケーションに応じて、異なる波長及び照明強度の組み合わせが使用される。顕微鏡照明の開口面において、概して透過型LCDタイプである空間光変調器SLMを組み込むことにより、検査対象の基板に投影される光の角度範囲を、プログラムにより選択可能となる。本発明の実施の形態の目的は、二次元の細長い領域にわたり実質的に空間不変な細長い領域形状を有する照明を得ることにある。本発明の実施の形態によれば、この細長い領域形状は、関連する撮像素子の視野の形状及びサイズに実質的に合う。通常、細長い領域形状は、関連する撮像素子の視野よりも広い領域をカバーする。本発明の実施の形態によれば、細長い照明領域の各点において、実質的に同一の角度範囲の照明が得られる。この照明は、照明領域において実質的に均一であることが望ましい。この細長い形状の照明は、ケーラーライク照明のアレイとして実現される。本実施の形態では、各ケーラーライク照明は、レンズに離散光源を組み合わせて構成される。これらの実施の形態に基づき形成された照明は、各離散光源が結像レンズの入射瞳に結像される点で、ケーラーライクである。通常、約20mmの入射瞳が、対象物から約250mm離れた距離に位置する。この距離は、通常、瞳と比較して一桁大きいため、照明は実質的に平行であると考えられる。発明者は、更に照明に口径食が比較的生じ難い実施の形態では、実質的にシフト不変であり、例えば明視野モードと暗視野モードとの間で明瞭な切替があることを見出した。本発明の実施の形態によれば、ケーラーライク照明のアレイに含まれるレンズは、各レンズ間に隙間のないユニタリアレイに配列され、離散光源により、細長い視野において実質的に空間不変な照明を実現する。ここで、レンズアレイとして、射出成型により製造された一組のレンズアレイを用いても良い。本発明者は、ケーラーライク照明のアレイにより、細長い照明領域において良好な光効率が得られることを見出した。本発明の実施の形態によれば、離散光源は、発光ダイオードLED及び/又はLEDランプである。光源として、狭角光源、例えば25~30°の角度範囲に射出するランプ/リフレクタを組み合わせた光ファイバ照明ガイドを用いても良い。本発明者は、狭角光源を用いることにより、照明の角度範囲の制御性が改善されることを見出した。本発明の実施の形態によれば、照明システムは、照明システムに関連する照明光学系を変更することなく、照明のパラメータ、例えば光の色、形状及び強度を容易に変更可能とする。本発明の実施の形態によれば、照明システムにおいて、光源から受ける照明の角度範囲は、実質的に一定に維持される。本発明の実施の形態によれば、離散光源のアレイはSLMのアレイに置換及び/又は結合される。SLMを、デジタルマイクロミラーデバイスDMD、シリコン上液晶LCoS型及び/又はLCDの一つとしても良い。本発明の実施の形態によれば、SLMは、要求に応じて異なる角度範囲、例えば暗視野照明及び/又は明視野照明を投射するために用いられる。本発明者は、ここで記述されるように、SLMのアレイと特別に設計された光アーキテクチャとを組み合わせた照明により、細長い領域内部の各点において、完全にプログラム可能な、例えばソフトウェアによりプログラム可能な角度範囲及び/又は光範囲が得られることを見出した。ソフトウェアによりプログラム可能な光は、機械的に動く構成及び/又は異なる光学アッセンブリを必要としないため、概して良好なフィールド信頼性を得ることができる。本実施の形態では、各離散光源は、集積放射型光エンジンに基づくSLMからなる。集積放射型光エンジンに基づくSLMを用いる実施の形態では、リレーレンズを用いて、レンズアレイに含まれる各レンズに対応する位置に、実像又は虚像の何れかを形成しても良い。本発明の実施の形態によれば、照明システムは、更に、レンズアレイからの多数の照明セグメントを結像レンズの開口に集光させるための視野レンズを含み、非テレセントリック結像レンズを使用する際も、細長い領域にわたりケーラーライク照明効果が得られる。視野レンズを省き、代わりに光源及び/又はSLMを曲げて、結像レンズの開口に向けても良い。更に、レンズアレイに含まれるレンズの光学特性を調整し、結像レンズの開口に照明を向けるべく、アレイを湾曲させても良い。本実施の形態では、ビームスプリッタを用いてターゲット領域に照明が当てられる。ビームスプリッタに代えて、斜めの光軸を用いても良い。他の実施の形態では、有効光源が、検査対象に比べて十分遠くに結像される。したがって、光源の像は、定義上、結像レンズの後焦点面に形成される。なお、後焦点面は必ずしも射出瞳に一致しない。このような実施の形態では、光源の各点が、平行平面波の検査対象への入射を引き起こす。SLMとの組み合わせでは、各SLM画素が明瞭に定義された照射角を生成するので、角張った形状の入射照明を正確に制御するには、このようなアーキテクチャが有用である。このような照明モードには、例えば空間及び角度均一性の低下といった口径食から生じる限界がある。ここで、図1を参照する。図1は、本発明の実施の形態に係る細長い視野を照明する照明システムの光学部品の概略図である。本発明の実施の形態によれば、AOI用照明システムは、光ファイバ束アレイ20を介してレンズアレイ30に向けて光を射出する一つ又は複数の光源10を含む。光ファイバ束20からの出力は、物理的な光源10によって照明される場合、有効光源となる。本発明の実施の形態によれば、光ファイバ束アレイ20は、光ファイバ束2128を含み、レンズアレイ30は、対応するレンズ3138のアレイを含む。基板、例えばパネルを走査するために用いられるリニアセンサ等の細長い視野555を照明するために、4~12のアレイ、例えば8の有効光源及びレンズを使用しても良い。また、各光ファイバ束は、5~16の光ファイバ及び/又は光学光ガイド端、例えば8の光ファイバを含んでも良い。光ファイバ束は、1~3mmの直径、例えば1.4mmの直径を有しても良い。更に、有効光源は、ファイバ束端の前方のピンホールアレイにより規定され、当該ファイバ束端により照明されても良い。また、隣り合う光源/レンズの組間におけるクロストークや光の漏れを最小限にするために、光ファイバ束20ここでは離散有効光源とも呼ぶを、適切な光吸収バッフル不図示により離散させても良い。各束における光ファイバは、通常、円状の横断面を有するように配置される。また、光ファイバは、通常、光源10と同一の角分布を有する光を伝導する。本発明の実施の形態によれば、レンズアレイ30は、同様の球面レンズ3138を隙間なく並べたアレイからなる。レンズは、非球面や平球面でも良く、両面非球面まで良い。本実施の形態では、アレイに含まれるレンズは、線状に配置される。レンズアレイのアスペクト比は、通常約1:10であり、一般的なカメラの視野のアスペクト比よりも一桁小さい。レンズアレイが著しく小さなアスペクト比を有することは、機械的な組立上の要請が緩和されるという利点をもたらすと同時に、エネルギーの無駄は比較的小さい。本発明の実施の形態によれば、レンズアレイ30は、例えば射出成型により製造されたシングルユニットとすることができる。本発明の実施の形態によれば、各光ファイバ束有効光源、例えば対応するレンズを介して射出された光ファイバ束2128からの出力により、ケーラーライク照明が得られ、レンズアレイ30を介して射出される光ファイバ束アレイ20からの出力により、ケーラーライク照明のアレイが得られる。アレイに含まれる各ケーラーライク照明セグメントは、ターゲット50例えばパネル、基板の部分領域を照明する。照明セグメントは、その範囲に所在する観測者に対し、有効光源の照明形状と同一の形状を有する角度領域に投射する。本発明の実施の形態によれば、離散照明領域は、隙間なく連続した領域である。本発明の実施の形態によれば、例えばファイバ2128の出力端によって形成された全ての有効光源は、実質的に同一の形状を有する。このような実施の形態では、連続した対象領域に投射された全ての角度領域が継ぎ目なく繋がり、照明領域全体にわたる単一のシフト不変角度領域となる。以下、これについて詳しく説明する。本発明の実施の形態によれば、視野レンズ40はレンズアレイ30からの光を受け、これらの光を照明システムの結像レンズ110の入射瞳図2aへと向ける。本実施の形態では、視野レンズ40は、レンズアレイ30に含まれる全てのレンズからの光を導く単一の球面帯状レンズである。視野レンズ40は、通常、平凸レンズである。本実施の形態では、視野レンズ40は、フレネルレンズであり、コストの低減及び軽さが売りである一方、投影された光源像の品質の劣化を招く。視野レンズ40は、レンズアレイ30とターゲット50との間に位置すべく図示されるが、ターゲット50と撮像システムの入射瞳との間に配置しても良い。本発明の実施の形態によれば、光源が撮像システムの入射瞳の平面に結像されるように、レンズアレイ30と視野レンズ40との相対的な位置を調整することにより、照明範囲のサイズが調節される。次に、図2a及び図2bを参照する。図2a及び図2bは、本発明の実施の形態に係る照明及び撮像システムの二直交平面における光学設計の概略図である。図2a及び図2bにおいて、光路及び結像経路は、理解のため広げて示される。本発明の実施の形態によれば、球面レンズアレイ30と球面帯状視野レンズ40との組み合わせの効果により、有効光源20が結像レンズ110の開口に結像される。レンズ30は、非球面や他の形状、例えば平球面又は両面非球面でも良い。本発明の実施の形態によれば、ターゲット50から鏡面反射された照明光線150は、結像レンズ110の開口に集光され、リニアセンサ120に結像する。本実施の形態では、視野レンズ40が無くとも、全ての光源が互いに平行方向に、光軸222の両側において、結像レンズ110の開口平面に結像される。本実施の形態では、視野レンズ40は、全ての光源像を結像レンズ110の開口に集めるので、非テレセントリック結像レンズを使用した場合も、細長い領域において光源10及びレンズアレイ30によりケーラーライク照明効果を得ることが可能となる。本発明の実施の形態によれば、結像レンズは、走査されるターゲット50の一部をリニアセンサ120に結像する。パネルの結像される部分は、所望の角度範囲を有する細長い連続領域にわたり全体的に照明される。ターゲットの走査される部分からの光は、結像レンズ110の入射瞳を介してリニアセンサ120に向けられる。結像レンズ110上の光源像が結像レンズ110に関連する入射瞳に等しいかそれより小さい場合、明視野照明が得られる。暗視野照明は、対象物からの鏡面反射では入射瞳に到達しない照明である。本発明の実施の形態によれば、結像レンズ110の開口を含む平面で結像される環状の光源の内径が、結像レンズ110の入射瞳に等しいかそれより大きくなるように、光源の環から形成される一般的な環状照明により、暗視野照明がもたらされる。定義上は、結像レンズ110の入射瞳は、結像レンズによって光が集められる有効な窓又は開口である。異なる形状の照明については、以下により詳しく議論する。次に、図3、図4a及び図4bを参照する。図3は、本発明の実施の形態に係る照明システムの代替光学部品の概略図であり、図4a及び図4bは、2つの異なる平面における代替光学部品に基づく光学設計の概略図である。本発明の実施の形態によれば、照明は、ターゲット50の鏡面反射後、視野レンズを必要とすることなく、結像レンズ110及び/又は結像レンズ開口に向けられる。本発明の実施の形態によれば、各離散光源アレイ200と、対応するレンズアレイ300とは、結像レンズ110に向けて照明を集めるために、三日月形状に配置される。本実施の形態では、離散光源アレイ200に含まれる離散光源201208は、ハウジング177のレンズアレイ300に向けて内側にわずかに湾曲する表面に据え付けられる。なお、離散光源201208は、LEDランプ、光ファイバ又は他の均質化光ガイドの物理的出力端、物理的SLMの実平面、及び/又は、物理的SLMの実像又は虚像の一つにより形成される有効光源を表す。本実施の形態では、レンズアレイ300に含まれるレンズ301308は、同一でないレンズであり、個々の光学特性により、撮像光学系に向けて光が曲げられる。本実施の形態では、レンズアレイ300は、レンズが隙間なく並ぶ完全なアレイである。また、レンズアレイ300は、樹脂射出成型で製造された完全シングルユニットでも良い。本発明の実施の形態によれば、レンズアレイ300を介して射出された光線錐260は、結像レンズ110の入射瞳に向けて徐々に曲がる。次に、図5を参照する。図5は、本発明の実施の形態に係る照明システムのビームスプリッタを用いる場合の光学設計の概略図である。本発明の実施の形態によれば、照明システムの光軸はターゲット50に垂直であり、照明光源10からの照明をターゲット50に向けると共に、ターゲット50から反射された光をビームスプリッタ70を介して撮像ユニットに投射すべく、リフレクタ60及びビームスプリッタ70が配置される。次に、図6を参照する。図6は、本発明の実施の形態に係る照明システムのビーム分割が不要な場合の光学設計の簡略化された概略図である。本発明の実施の形態によれば、ビームスプリッタを不要とすべく、照明の光軸は、ターゲットに対して垂直よりむしろ斜めにされる。ビームスプリッタを取り除くことにより、光効率が実質的に改善される。本実施の形態では、ビームスプリッタを取り除くことにより、効率が約4倍改善される。本発明の実施の形態によれば、有効光源アレイ20は、レンズアレイ30を介して光を射出し、任意で視野レンズ40を介して、当該光を反射面65に向ける。そして、照明がそのまま入射せずターゲット50に向かうように、反射面65が、当初は方向145に伝播する光を方向165に沿って曲げる。反射面65は、45°よりも多少大きな角度166で配置しても良い。ターゲット50の範囲に反射されると、光線は、結像レンズ及び撮像センサの方向190に、斜めの角度で向けられる。本発明の実施の形態によれば、上記した斜めビームスプリッタ無しの検査アーキテクチャは、リニアアレイセンサとの組み合わせで特に有用であり、上記した垂直のアーキテクチャの有用な照明特性を全て含む。更に、上記した斜めビームスプリッタ無しの検査アーキテクチャは、或いは適当な自動フォーカス機構との組み合わせで、非常に平らな表面の撮像に特に適している。次に、図7A、図7B、図7C及び図7Dを参照する。図7Aは、本発明の実施の形態に係る照明システムの光ファイバユニットの概略図であり、図7B及び図7Cは、本発明の実施の形態に係る照明システムの機械構成の概略図である。また、図7Dは、本発明の実施の形態に係る光ファイバ束の概略断面図である。本発明の実施の形態によれば、走査中に一つ又は複数のカメラの視野を照明すべく、一つ又は複数の光ファイバ束アレイ20が設けられる。本発明の実施の形態によれば、各光ファイバ束アレイ20は、光ファイバ束2128を含む。各光ファイバ束、例えばファイバ束21は、1000~2000の光ファイバ及び/又は光学光ガイド端、例えば8の光ファイバ921928簡単のため、8の光ファイバのみを図示するを含んでも良い。また、束が実質的に円形の断面を有するように、束内の光ファイバを配置しても良い図7D。本発明の実施の形態によれば、光ファイバ束への入力として、所定の形状及び角度分布を有する単一の光源210が用いられる。本実施の形態では、光源210は撮像場所から遠く離れ、光ファイバ束29は当該撮像場所に向けて照明を伝導し、その端部20は上記したように本発明の様々な実施の形態で有効光源を構成する。本発明の実施の形態によれば、複数のカメラ、例えばカメラアレイが、ターゲットの走査中に用いられ、各光ファイバ束アレイ20が、ハウジング278に収容された光学系と共に、一つのカメラの視野を照明する。本発明の実施の形態によれば、ハウジング278は、光学システムと共に、各ファイバ束を受け入れてアレイ20に整列させるための複数の貫通孔221228を特徴とする光ファイバ束受入ユニット220を含む。ハウジング278は、通常、レンズアレイ30を受け入れて整列させるための溝と、視野レンズ40とを含む。本実施の形態では、ハウジング278は、図5に模式的に示すように、更に折り曲げ鏡60及びビームスプリッタ70を収容する。図5に示されるように、折り曲げ鏡、例えば通常の平面鏡は、光を元の水平伝播からずらして、ビームスプリッタの方向に投射する。光干渉を最小にするために、ビームスプリッタを光軸に関して最小の斜角で据え付けても良い。本実施の形態では、折り曲げ鏡は用いられず、その代わりに、ビームスプリッタによる反射又は伝導の何れかにより、パネルが直接照明される。次に、図8Aを参照する。図8Aは、本発明の実施の形態に係る細長い視野を照明するための照明システムに基づくSLMの光学部品の概略図である。本発明の実施の形態によれば、有効光源アレイは、SLMアレイ500の実平面から、或いはSLMの実像或いは虚像のアレイから得られる。本実施の形態では、照明システムに基づくSLMの光学構造は、光ファイバ束アレイについて記述した光学設計と同様である。アレイ500のSLM501508からの出力がレンズアレイ30を介して射出されることにより、ケーラーライク照明のアレイが得られる。本発明の実施の形態によれば、更に又は代わりに、個別にアドレス指定可能なLEDアレイにより、有効光源が得られる。LEDアレイのこのような使用例は、2010年1月28日に刊行されたWO2010/010556号において、特に図16に示されており、ここではその全体を参照することとする。SLMアレイ500からの出力により、継ぎ目ない細長い照明領域を得られるように、レンズアレイ30に含まれるレンズは、隙間なく並べて配置される。図1を参照して説明したように、隣り合う光源/レンズの組間におけるクロストークや光の漏れを最小限にするために、SLM500からの光線を、適切な光吸収バッフル不図示により離散させても良い。また、ターゲット表面の反射後、ケーラーライク照明のアレイを光学結像レンズに向けて集光するために、視野レンズ40を用いても良い。本実施の形態では、SLMアレイ500は一列に、それぞれがレンズアレイ30の対応するレンズの前に据え付けられる。SLMは、コンピュータ制御による操作に必要な電源及び信号を供給するPCB上に、それぞれ据え付けても良い。また、全てのSLMを一つのPCB上に据え付けても良い。SLMは、DMD型SLM用斜入射照明や、偏光ビームスプリッタを用いるLCoS装置用通常入射偏光照明のように、周知技術である適切な照明を備える。次に、図8Bを参照する。図8Bは、本発明の実施の形態に係る照明システムの光ファイバ束に光を送り込むSLM光源の光学部品の概略図である。光源システム250は、SLM、例えばDMD501を含み、例えば、ここで参照する米国特許6,464,633号に記載されたSLMにより定義された形状の光を射出しても良い。本実施の形態では、光源システム250は、照明光を射出するランプ241と、ランプ241に電源を供給するランプ電源240と、赤外透過特性を有し、光源ランプ241から射出された照明光を平行光として出力するフィルムによりコートされた放物面鏡242と、放物面鏡242からの平行光を反射して、レンズ515を介して当該平行光を光ガイド28の入射端に集光するDMD501とを含む。DMD駆動回路245は、通常、DMD501の動作を制御する。次に、図8C及び図8Dを参照する。図8C及び図8Dは、本発明の実施の形態に係る暗視野照明及び明視野照明をそれぞれ得るために使用されるSLM画像を示す図である。本発明の実施の形態によれば、各SLMは、予め決められた形状の照明を実現すべくプログラム可能である。本発明の実施の形態によれば、各SLMが同じ画像を投影する場合、照明領域全体にわたる照明は、照射角領域が同じになるように、空間不変となる。本実施の形態では、SLMは、SLM画像580により環状照明を得るべくプログラムされ、環の暗い部分の内径が、結像レンズの入射瞳によって入った光錐と等しいかそれより大きくなる。本実施の形態では、要求に応じて、環状照明により暗視野照明を得ることができる。明視野照明は、結像レンズの入射瞳によって入った光錐の径と等しいかそれより小さい径を有する円形照明によって得ることができる。本実施の形態では、SLM画像570は、明視野照明を得るために用いられる。図8Aの直接的なSLM照明構成は、SLMへの書き込みが可能な任意の形状の角度領域への投影を許可する。対照的に、図8Bの構成と組み合わせられたファイバ光は、ファイバの円形化特性のため、円対称な形状の角度領域に限定される。次に、図9A及び図9Bを参照する。図9A及び図9Bは、本発明の実施の形態に係る照明システムの2つの隣り合うレンズ間で面するターゲット上の領域における照明システムに基づくSLMの光路及び出力の概略図である。図解のため、光源アレイが、2つの色を交互に有し、文字Fに似た特別な空間的形状1111R及び11Bに投射する様子を示す。Fの形状は、その非対称性ゆえ、光学システムの動作の図解にしばしば用いられる。図9Bに示されるFの形状は、隣り合う2つの光源から入射され、隣り合うレンズ34、35を介して投射される光線911B及び911Rによって、光源の形状が結像レンズ110の入射瞳の平面上にどのように結像されるかを示す。本発明の実施の形態によれば、照明システム1000の照明構成の正味の効果は、ターゲット50の細長い検査領域内の各点において、Fの形状の明視野角分布を形成することである。理解できるように、アレイ30のレンズの一つの中心部の右下に位置する基板点において、例えば光線束911R又は911Bの一つからの照明が、レンズの前方の据え付けられた一つの対応する光源11R又は11Bの何れかにより得られ、Fの形状の明視野角分布が、交互の色の一つにより形成される。本発明の実施の形態によれば、アレイ30のレンズの一つの中心部からずれた基板上のサブ領域51、例えばレンズ34の中心とレンズ35の中心との間の領域に、2つの隣り合う光源による照明が得られる。本発明の実施の形態によれば、二つの異なる光源から光を受けるが、照射角領域は同じであり、完全なFの形状の角度領域が得られる。異なる色は、各レンズからの異なる寄与を示し、継ぎ目なく繋がって単一の領域を形成する。図9Bに示されるように、領域51を通過する光線によって形成された光源11B及び11Rの個別のFの形状の像は、撮像ユニットの結像レンズ開口内に形成され、照明領域に沿って連続的な空間不変照明を与える。図9Bは、実際のシミュレーションの結果を示し、すなわち、シミュレーションに用いた光線の数が有限であることのみによる明らかなノイズを表す。本実施の形態では、結像レンズ開口にそれぞれ結像されるように光源を配置した結果、このように継ぎ目なく空間不変な角度領域が得られる。これにより、鏡表面の広い視野の撮像で通常起こり得る口径食が回避されるので、視野の全ての点を確実に均一に照らすことができる。この意味において、このシステムは擬似テレセントリックシステムとして動作する一方、厳密にテレセントリックなシステムでは、入射瞳が無限遠に配置される。このような均一性の特徴は、更に、隣り合うレンズ間に隙間のないレンズアレイの設計によるものである。SLMを用いることにより、検査対象基板上のどの点においても、任意のシフト不変な角度領域が投射され得る。また、光源の空間的形状を変えることにより、他の任意の角照明分布、例えば明視野、暗視野及びこれらの任意の組み合わせを得ることもできる。次に、図10を参照する。図10は、本発明の実施の形態に係る集積放射型光エンジンを有する光システムに基づくSLMの概略図である。本発明の実施の形態によれば、各離散光源は、集積放射型光エンジン400に基づくSLMを用いて有効に形成される。利用可能な集積光エンジンは、YoungOpticsInc.ofChinaによる光エンジンに基づくDMDと、GreenlightOptics,LLCoftheUSによる光エンジンに基づくLCoSとを、適宜含む。放射型光エンジン400は、通常、LED又はダイオードレーザからなり、しばしば赤、緑、青の三原色の光を放射する光源アッセンブリを含む。光10は、通常、SLM装置501、例えばビーム分割プリズム505を有するDMDに突き当たるように入射する。放射光システムの既知のアプリケーションでは、映写レンズ520は、通常、プロジェクタ装置から0.5mから2mの範囲の距離の表示スクリーンに、SLM表面の画像を形成する。本発明の実施の形態によれば、光エンジンは、レンズアレイ30のレンズ31に対応する適当な位置に、リレーレンズ540を用いて実像又は虚像の何れかの画像を形成することにより、AOI用照明システムとして使用すべく構成される。本発明の実施の形態によれば、レンズ31は、一つで又は視野レンズ40との組み合わせで、上記したように、結像レンズの開口絞りの平面にSLMの画像を結像すべく動作する。本実施の形態では、暗視野照明を必要とするアプリケーションについては、開口内で結像される画素はOFFの位置に変えられ、開口外で結像される画素はONの位置に変えられる。なお、明確な理解のため、一つの光エンジン400及び一つのレンズ31のみが図示されるが、本発明に係る細長い照明領域は、上記したように、レンズアレイ30に放射する光エンジン400のアレイにより得られる。次に、図11を参照する。図11は、本発明の実施の形態に係る照明システムを含む自動光学検査AOI用走査システムのブロック図である。本発明の実施の形態によれば、AOIシステムは、画像収集サブシステム450と、ステージ不図示のようなハンドリングシステムとを含む。画像収集サブシステム450は、通常、走査中にターゲット50の画像を取り込むためのイメージセンサ120及び関連する撮像光学系112と、イメージセンサ120の視野を照明するための照明器19及び関連する照明光学系39とから構成される。照明器19は、異なるアプリケーションの必要に応じて、属性、例えばその光源の角度形状を変更するための一つ又は複数のSLM502を含んでも良い。画像収集サブシステム450は、通常、照明器19の照明周期及びイメージセンサ120による画像の取り込みのみならず、ターゲット50と画像収集サブシステム450との相対的な配置及び動作を調整するためのコントローラ460を含む。本発明の実施の形態によれば、動作中、ターゲット50、例えば検査対象のパネルは、AOIシステムに挿入され、画像収集サブシステム450により走査される。パネルが進んだ後、異なる照明構成を使用して画像を収集しても良い。本発明の実施の形態によれば、イメージセンサ120からの出力は解析され、例えば欠陥報告の形式で報告される。本発明の実施の形態によれば、照明器19は、一つ又は複数のLEDランプ例えばアレイ、光ファイバ束アレイ及び/又は集積放射型光エンジンのアレイを含む。本発明の実施の形態によれば、照明光学系39は、ケーラーライク照明のアレイを実現するレンズアレイを含む。照明光学系39は、更に、撮像光学系112の入射瞳に反射光を向けるための視野レンズを含んでも良い。通常、照明光学系は、更に、照明器19からの照明をターゲット50に向け、ターゲット50から反射された光をイメージセンサ120に投射する位置に、リフレクタ及び/又はビームスプリッタを含む。本発明の実施の形態によれば、イメージセンサ120は、望ましくは40:1又はそれ以上のアスペクト比を有する細長い視野の画像を取り込むリニアセンサ又はTDI型イメージセンサである。本発明の実施の形態によれば、照明器19及び照明光学系39は、イメージセンサ120の視野として、実質的には更に小さいアスペクト比を有する範囲に照明を与える。本発明の実施の形態によれば、与えられる照明は、照明された範囲内の全ての点に対して角度領域が同一であるという意味で、照明範囲にわたり空間不変である。次に、図12a及び図12bを参照する。図12a及び図12bは、本発明の実施の形態に係る照明システムを用いるシミュレーションにおいて入射瞳への放射照度を比較する図である。シミュレーションでは、結像レンズ、例えば結像レンズ110の入射瞳図2a及び図2bの平面における8の円形光源アレイ20の画像の重ね合わせを計算した。画像は、検査対象表面において、48mm×1mmの視野から集められた光線によって形成された。このような視野は、TDI型リニアカメラに特有である。レンズの開口は、検査対象表面から約250mmに位置する。解析は、光源の一部におけるランバート角分布放射例えばLED照明及びガウス角分布放射の両方について実行された。図が明瞭に示すように、両方の場合において、対象物に5°の角度で対向する完全な明視野照明に対応して、はっきりした円形の画像が形成された。ランバート放射源は、そのより平らな水平断面図及び鉛直断面図によって明示されるように、より均等に照明された瞳をもたらした。これは、発明に基づき構築された照明システムが、非テレセントリック結像レンズを用いて、細長い視野にわたり口径食のない擬似テレセントリックなケーラーライク照明を生み出す能力を有することを示す。用語comprises、comprising、includes、including、having及びこれらの同根語は、含むが限定されないを意味する。用語consistingofは、含み且つ限定されるを意味する。用語consistingessentiallyofは、構成、方法又は構造が付加的構成要素、工程及び/又は部品を含み得るが、付加的構成要素、工程及び/又は部品が、請求項の構成、方法又は構造の基本的且つ新規な特徴を実質的に変更しない場合に限られることを意味する。明確化のため、別個の実施の形態において記載された本発明の種々の特徴は、単一の実施の形態において組み合わせても得ることができると認められる。逆に言えば、簡略化のため、単一の実施の形態において記載された本発明の様々な特徴は、他の実施の形態においても、別個に、又は任意の適当な組み合わせで、得ることができる。様々な実施の形態において記載された種々の特徴は、実施の形態がそれなしでは実施不能でない限り、当該実施の形態の本質的な特徴であるとみなされることはない。"