"被吸着部材を吸着してコンベアに垂直状態で受け渡し、被吸着部材をコンベアの把持部に把持させる被吸着部材の供給方法において、被吸着部材の吸着に静電チャック部材を用い、この静電チャック部材に電圧を印加することより静電チャック部材で被吸着部材を吸着して上記コンベアの把持部へと送り、被吸着部材が上記コンベアの把持部で把持された直後に電圧の印加を解除して被吸着部材を解放させるようにしたことを特徴とする被吸着部材の供給方法。請求項1記載の被吸着部材の供給方法において、静電チャック部材の吸着面の面積を被吸着部材の面積の2/3以上としたことを特徴とする被吸着部材の供給方法。被吸着部材を吸着可能な静電チャック部材が取り付けられたピックアップヘッドと、被吸着部材を把持し得る把持部を有したコンベアの近傍で上記ピックアップヘッドを上記コンベアの走行方向に対する垂直面内で回動させる回動手段と、上記ピックアップヘッドをその前後方向に往復移動させる前後往復移動手段と、上記ピックアップヘッドを上記コンベアと同期して平行移動させる平行往復移動手段とを具備し、上記ピックアップヘッドが上記回動手段による回動と上記前後往復移動手段による往復移動とをする際に、上記静電チャック部材に電圧が印加されて静電チャック部材により被吸着部材が吸着されつつ垂直状態になって上記コンベアへ向けられ、上記ピックアップヘッドが上記前後往復移動手段によって上記垂直状態の被吸着部材を上記コンベアの把持部に接近させ、上記把持部が被吸着部材を把持すると、上記静電チャック部材に対する電圧の印加が解除されて被吸着部材が静電チャック部材による吸着から解放され、少なくとも上記垂直状態の被吸着部材を上記コンベアの把持部が把持する際に、上記ピックアップヘッドが、上記平行往復移動手段によってコンベアに同期して移動させられるようにしたことを特徴とする被吸着部材の供給装置。ところが、粘着ラバー方式のピックアップヘッド1によれば、図10のごとく非磁性金属板aである被吸着部材をコンベアベルト2のクリップ6に受け渡した後、エアシリンダ3の縮動作によって基盤4が元の位置に戻る際、粘着ラバー5が非磁性金属板aの一部に付着したまま非磁性金属板aをクリップ6から引き戻そうとするので、非磁性金属板aが変形したり、コンベアベルト2上で位置ずれを生じたりするおそれがある。粘着ラバー5の面積を小さくすればそのような問題は解消するが、その場合は非磁性金属板aをクリップ6に受け渡す際に非磁性金属板aが振動しやすくなり、クリップ6による非磁性金属板aの把持が不確実になったり、位置ずれを生じたりするという問題がある。また、非磁性金属板aに形状、大きさ等の変更があった場合は、粘着ラバー5の付け替え作業を必要とするという問題もある。また、上記粘着ラバー5を用いることなくスポンジ状の通気性部材により非磁性金属板aを吸着してクリップ6に受け渡すようにした場合は、非磁性金属板aが各所に孔が開いているリードフレームのような板であるときは、吸引力が低下し非磁性金属板aが通気性部材から落下したり、通気性部材上で位置ずれを生じ易くなったりするという問題がある。したがって、本発明は上記問題点を解決することができる被吸着部材の供給方法及び装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明は次のような構成を採用する。なお、本発明の理解を容易にするため括弧付きの符号を付すが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、請求項1に係る発明は、被吸着部材aを吸着してコンベア2に垂直状態で受け渡し、被吸着部材aをコンベア2の把持部6に把持させる被吸着部材の供給方法において、被吸着部材aの吸着に静電チャック部材9を用い、この静電チャック部材9に電圧を印加することより静電チャック部材9で被吸着部材aを吸着して上記コンベア2の把持部へと送り、被吸着部材aが上記コンベア2の把持部で把持された直後に電圧の印加を解除して被吸着部材aを解放させるようにした被吸着部材の供給方法を採用する。請求項2に記載されるように、請求項1記載の被吸着部材の供給方法において、静電チャック部材9の吸着面の面積を被吸着部材aの面積の2/3以上とすることができる。また、請求項3に係る発明は、被吸着部材aを吸着可能な静電チャック部材9が取り付けられたピックアップヘッド10と、被吸着部材aを把持し得る把持部を有したコンベア2の近傍で上記ピックアップヘッド10を上記コンベア2の走行方向に対する垂直面内で回動させる回動手段14等と、上記ピックアップヘッド10をその前後方向に往復移動させる前後往復移動手段11と、上記ピックアップヘッド10を上記コンベア2と同期して平行移動させる平行往復移動手段18とを具備し、上記ピックアップヘッド10が上記回動手段14等による回動と上記前後往復移動手段11による往復移動とをする際に、上記静電チャック部材9に電圧が印加されて静電チャック部材9により被吸着部材aが吸着されつつ垂直状態になって上記コンベア2へ向けられ、上記ピックアップヘッド10が上記前後往復移動手段11によって上記垂直状態の被吸着部材aを上記コンベア2の把持部6に接近させ、上記把持部6が被吸着部材aを把持すると、上記静電チャック部材9に対する電圧の印加が解除されて被吸着部材aが静電チャック部材9による吸着から解放され、少なくとも上記垂直状態の被吸着部材aを上記コンベア2の把持部6が把持する際に、上記ピックアップヘッド10が、上記平行往復移動手段18によってコンベア2に同期して移動させられるようにした被吸着部材の供給装置を採用する。本発明によれば、ピックアップヘッド10が被吸着部材aをコンベア2の把持部6に受け渡した後、前後往復移動手段によってコンベア2から離反する際、静電チャック部材9に対する電圧印加は解除されているので、把持部6に把持された被吸着部材aは静電チャック部材9によって引き戻されることがない。従って、被吸着部材aのコンベア2への受け渡し時に被吸着部材aが変形したり、コンベア2上で位置ずれを生じたりすることがなくなり、被吸着部材aに対するその後の各種加工が正確になされることとなる。また、被吸着部材aが各所に孔が開いたリードフレームのような板であっても、ピックアップヘッド10による吸引力が低下するようなことはなく、従って被吸着部材aのピックアップヘッド10からの落下や、ピックアップヘッド10上での位置ずれを生じることなく、正確にコンベア2に受け渡される。以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。本発明に係る供給装置は、例えば図1に示すようなリードフレーム製造装置内に組み込まれて使用される。このリードフレーム製造装置は、図3に例示するような被吸着部材である非磁性金属板aの所定箇所に対して金等のメッキを施すためのものである。図3に示す非磁性金属板aは、リードフレーム素材板であり、この非磁性金属板aにはリードフレームの大体の輪郭がすでに形成され、不要部が除去されることにより多数の孔が開けられている。この非磁性金属板aは、一般に薄い金属板であり、この場合銅で作られているが、アルミニウム等他の金属で作られる場合もある。このリードフレーム製造装置によれば、非磁性金属板aにおける例えばリードフレームの脚の一部に銀メッキ、金メッキ等を施すことが可能である。図1中、符号2は鋼材等の導電材で形成されたコンベアの無端コンベアベルトを示す。この無端コンベアベルト2が少なくとも一対のプーリ7a,7bによって水平面内に張設され、一方のプーリ7aの駆動によって矢印方向に一定速度で走行可能である。無端コンベアベルト2には、上記非磁性金属板aの把持部を形成する箇所に図2に示すような四角形の孔2aがこのベルト2の長さ方向に一定ピッチで多数設けられる。図2に示すように、各孔2aにはクリップ6が挿入され、各クリップ6の上端が無端コンベアベルト2の外面に固定され、下端が無端コンベアベルト2の外面に対して付勢される。このクリップ6の下端と無端コンベアベルト2の外面との間に非磁性金属板aの上端が挟持され、これにより非磁性金属板aは無端コンベアベルト2から垂直下方に垂れ下がる。図1に示すように、無端コンベアベルト2の往路部に多数の上記非磁性金属板aが一定間隔で把持部であるクリップ6に挟まれた状態で吊り下げられつつ、無端コンベアベルト2によって矢印方向に一定速度で搬送される。無端コンベアベルト2の往路部の上流端と下流端には、上記非磁性金属板aの供給装置と除去装置が各々設けられる。図1に示すように、無端コンベアベルト2の往路部はチャンバ8で覆われ、このチャンバ8内に図示しないが感光膜形成装置、パターン焼付装置、現像装置、メッキ装置等が、無端コンベアベルト2の往路部の走行方向に沿って順に配置される。感光膜形成装置乃至メッキ装置は公知であるから、それらの詳細な説明は省略する。ここで、上記無端コンベアベルト2の把持部であるクリップ6に非磁性金属板aを供給するための供給装置について説明する。この供給装置は、非磁性金属板aを吸着してコンベアベルト2に垂直状態で受け渡し、非磁性金属板aの上端をコンベアベルト2の把持部であるクリップ6に把持させるについて、非磁性金属板aの吸着に板状の静電チャック部材9を用い、この静電チャック部材9に電圧を印加することより静電チャック部材9で非磁性金属板aを吸着して上記コンベアベルト2のクリップ6へと送り、非磁性金属板aが上記コンベアベルト2のクリップ6で把持された直後に電圧の印加を解除して非磁性金属板aを静電チャック部材9から解放させるようにしたものであって、図4乃至図6に示すように、非磁性金属板aを吸着可能な静電チャック部材9が前部に取り付けられたピックアップヘッド10と、非磁性金属板aを把持し得る把持部であるクリップ6を有したコンベアベルト2の近傍で上記ピックアップヘッド10を上記コンベアベルト2の走行方向に対する垂直面内で回動させる回動手段と、上記ピックアップヘッド10をその前後方向に往復移動させる前後往復移動手段と、上記ピックアップヘッド10を上記コンベアベルト2と同期して平行移動させる平行往復移動手段とを具備する。ピックアップヘッド10は、図5及び図6に示すように、前後往復移動手段であるエアシリンダ11のピストンロッド図示せずの先端に固定された可動板12と、非磁性金属板aよりやや小さい面積を持つ基盤13と、基盤13よりやや小さい面積を持つ静電チャック部材9とを有する。可動板12はピストンロッドに対し垂直に固定され、基盤13は可動板12の前面に重ねられた状態で固定され、静電チャック部材9は基盤13の前面に重ねられた状態で固定される。ピックアップヘッド10は、前後往復移動手段であるエアシリンダ11の伸縮動作により、伸縮方向に垂直状態で往復移動可能である。なお、図5及び図6中、符号11aはピックアップヘッド10のピストンロッド回りでの回転を阻止するためのガイド棒を示す。静電チャック部材9は、図7ABに示すように、等間隔で配置された多数の電極9aを絶縁体9bで覆って、チャック表面を誘電層とし、チャック表面と非磁性金属板aとの間に正負の電圧を印加し、両者間に発生した力によって非磁性金属板aを吸着しようというものである。なお、図7B中、符号9cは直流電源を示し、符号9dはON/OFFスイッチを示す。絶縁体9bの材料をポリイミドとした場合は、誘電体をポリイミドとするクーロン力型の静電チャック部材となり、絶縁体9bの材料をアルミナなどのセラミックとした場合は、誘電体をセラミックとするジョンソンラベック力型の静電チャック部材となる。ピックアップヘッド10によって非磁性金属板aを吸着する際は、ON/OFFスイッチをONにして静電チャック部材9の上記電極9aに電圧を印加すればよく、これにより図7Aに示すごとく非磁性金属板aが静電チャック部材9の前面に速やかに吸着される。また、ピックアップヘッド10から非磁性金属板aを解放する際は、ON/OFFスイッチをOFFにして静電チャック部材9の上記電極9aに対する電圧印加を解除すればよく、これにより非磁性金属板aが静電チャック部材9の前面から速やかに分離する。静電チャック部材9の前面である吸着面の面積は、非磁性金属板aの面積の2/3以上とするのが望ましい。回動手段は、図4に示すように、その駆動源としてエアシリンダ14を備える。エアシリンダ14は、この供給装置の基台15に水平軸16及び軸受を介して上下に首振り可能に支持される。また、上記前後往復移動手段であるエアシリンダ11には、このシリンダの長さ方向に直交する方向に伸びる水平軸11bが取り付けられ、この水平軸11bが基台15に軸受15aを介して支持される。この水平軸11bはリンク17を介して回動手段の駆動源であるエアシリンダ14のピストンロッド14aの側面にピン結合される。回動手段のエアシリンダ14においてピストンロッド14aが伸縮動作すると、この直線運動がリンク17及び水平軸11bを介して前後往復移動手段のエアシリンダ11に回動運動となって伝達される。これにより、ピックアップヘッド10がエアシリンダ14と一体で上下方向に回動運動を行う。平行往復移動手段は、上記基台15を上記無端コンベアベルト2の往路部に平行に往復移動させるエアシリンダ18と、基台15のガイドレール19とを具備する。このエアシリンダ18の伸縮動作によって、基台15が無端コンベアベルト2の往路部に沿って二位置間を往復移動する。二位置のうち上記往路部の上流側の位置には、多数の非磁性金属板aを積み重ねた非磁性金属板aの山が配置される。二位置のうち上記往路部の下流側のものは、コンベアベルト2のクリップ6による非磁性金属板aの把持が完了した位置に該当する。次に、上記構成の供給装置の作用について説明する。1回動手段であるエアシリンダ14の縮動作によって、図8Aに示すように、ピックアップヘッド10が垂直下方を向く。このとき、平行往復移動手段であるエアシリンダ18の縮動作によって、ピックアップヘッド10が基台15ごと無端コンベアベルト2の往路部に沿って上流側の位置へと移動し停止している。そして、ピックアップヘッド10が非磁性金属板aの山における最上層の非磁性金属板aに正対している。2図8Bに示すように、前後往復移動手段であるエアシリンダ11の伸動作により、ピックアップヘッド10の静電チャック部材9が非磁性金属板aの山における最上層の非磁性金属板aに接触する。このとき、静電チャック部材9に電圧が印加されており、これにより上記最上層の非磁性金属板aが静電チャック部材9に吸着される。3図8Cに示すように、前後往復移動手段であるエアシリンダ11の縮動作により、ピックアップヘッド10が非磁性金属板aを吸着した静電チャック部材9ごと元の位置へと上昇する。4図8Dに示すように、回動手段であるエアシリンダ14の伸動作によって、前後往復移動手段であるエアシリンダ11が水平軸11bを支点に上方向に回動し、ピックアップヘッド10も非磁性金属板aを吸着した静電チャック部材9ごと上方向に回動する。5図8Eに示すように、回動手段であるエアシリンダ14の伸動作が完了すると、ピックアップヘッド10の静電チャック部材9により吸着された非磁性金属板aが垂直状態になってコンベアベルト2側を向く。このとき、平行往復移動手段であるエアシリンダ18が伸動作し、基台15がコンベアベルト2に同期して移動し始める。したがって、基台15上のピックアップヘッド10も垂直状態の非磁性金属板aをコンベアベルト2のクリップ6に対向させつつコンベアベルト2と同期的に移動し始める。6図8Fに示すように、前後往復移動手段であるエアシリンダ11の伸動作によって、ピックアップヘッド10が垂直状態の非磁性金属板aをコンベアベルト2のクリップ6に接近させる。クリップ6が図示しない操作部によって操作された結果、クリップ6が非磁性金属板aを把持すると、静電チャック部材9に対する電圧の印加が解除されて非磁性金属板aが静電チャック部材9による吸着から解放される。7図8Gに示すように、前後往復移動手段であるエアシリンダ11の縮動作によって、ピックアップヘッド10がコンベアベルト2から後退して離反する。その際、静電チャック部材9は非磁性金属板aを完全に解放しているので、非磁性金属板aはクリップ6に把持された垂直状態のままコンベアベルト2側に留まり、従って、静電チャック部材9に引っ張られて変形したり、コンベアベルト2上で位置ずれを起こしたりすることはない。8その後、平行往復移動手段であるエアシリンダ18が縮動作し、基台15がコンベアベルト2の往路部における上流側の原位置へとピックアップヘッド10を伴って復帰する。そして、上記1~7の動作が繰り返されることにより、非磁性金属板aが順次コンベアベルト2に供給される。9上述のごとくコンベアベルト2に供給装置によって供給され受け取られた非磁性金属板aは、コンベアベルト2によって各加工工程へと搬送され、各種加工に付された後、例えばリードフレームの製品とされる。なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。例えば、上記実施の形態では、非磁性金属板をリードフレームの素材板として説明したが、他の製品を作るための非磁性金属板についても本発明を適用可能である。また、上記実施の形態では、被吸着部材を非磁性金属板として説明したが、本発明によれば、非磁性金属板に限らず、プラスチック等の絶縁部材、鋼板等の磁性金属板等も供給可能である。また、コンベアとしてコンベアベルトを用いたが、コンベアロープ等他の種類のコンベアを用いることも可能である。また、上記実施の形態では、ピックアップヘッドを動作させる手段としてエアシリンダを用いたが、それ以外のピストンシリンダ装置や他の駆動手段を用いることも可能である。"