"電子部品が収容されたキャビティを所定間隔毎に形成すると共に、前記キャビティの上面を被覆するためのトップテープを剥離可能に接着して形成されるキャリアテープと、前記トップテープを剥離する所定の剥離位置より前記キャリアテープの搬送方向に位置する所定の吸着位置において、前記キャリアテープの前記キャビティに収容されている前記電子部品を吸着する吸着ノズルと、前記吸着ノズルを支持すると共に、前記キャリアテープの搬送に同期して移動するヘッドと、前記吸着位置より前記キャリアテープの反搬送方向に位置し、かつ、前記剥離位置より前記キャリアテープの搬送方向に位置する所定の撮像位置において、当該撮像位置に移動してきた前記キャビティ内の前記電子部品を撮像するカメラと、前記キャリアテープの搬送と前記ヘッドの移動を同期させると共に、前記カメラにより撮像した前記キャビティ内の前記電子部品の位置に基づいて前記吸着ノズルを移動させながら、前記吸着ノズルにより前記吸着位置にて前記電子部品を吸着させる制御手段と、を備える電子部品装着機。請求項1において、前記電子部品装着機は、前記ヘッドに対して前記吸着ノズルを微小移動させる微小移動アクチュエータをさらに備え、前記制御手段は、前記微小移動アクチュエータを駆動することにより、前記カメラにより撮像した前記キャビティ内の前記電子部品の位置に基づいて前記吸着ノズルを微小移動させる電子部品装着機。請求項2において、前記ヘッドは、前記カメラにより撮像した画像を処理し、前記微小移動アクチュエータにより吸着ノズルを微小移動させるための制御信号を生成する画像処理手段を備え、前記微小移動アクチュエータは、前記画像処理手段から取得する前記制御信号に基づいて前記吸着ノズルを微小移動させる電子部品装着機。請求項1~3の何れか一項において、前記制御手段は、前記キャリアテープの搬送速度を等速としながら、前記吸着ノズルにより前記吸着位置にて前記電子部品を吸着させる電子部品装着機。請求項1~4の何れか一項において、前記カメラは、前記ヘッドに固定される電子部品装着機。請求項2または3において、前記ヘッドは、複数の前記吸着ノズルを支持し、前記微小移動アクチュエータは、複数であり、それぞれの前記微小移動アクチュエータは、それぞれの前記吸着ノズルを前記ヘッドに対してそれぞれ微小移動させる電子部品装着機。請求項2または3において、前記ヘッドは、複数の前記吸着ノズルを支持し、前記微小移動アクチュエータは、複数の前記吸着ノズルを前記ヘッドに対して同時に一体的に微小移動させる電子部品装着機。請求項1~7の何れか一項において、前記ヘッドは、ヘッドフレームに所定軸回りに回転可能に支持され、前記所定軸を中心とした周方向に複数の前記吸着ノズルを支持するリボルバヘッドである電子部品装着機。しかし、特許文献2は、キャビティが吸着ノズルによる吸着位置に到達した時点において、カメラにより電子部品の位置を撮像している。つまり、キャリアテープの搬送を停止した後に、カメラにより撮像している。このようにキャリアテープの搬送を停止していては、高速化を図ることができない。また、特許文献2のように、カメラを吸着ノズルによる吸着位置の下方からキャビティ内の電子部品を撮像する方法では、特許文献1のように、キャリアテープを搬送しながら吸着ノズルにより電子部品を吸着する方法には適用できない。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、キャリアテープを搬送しながら吸着ノズルにより電子部品を吸着する方法を適用した場合に、キャビティ内の電子部品の位置に合わせて吸着ノズルを移動させることにより、異常吸着や吸着ミスを回避できる電子部品装着機を提供することを目的とする。請求項1に係る電子部品装着機の発明は、電子部品が収容されたキャビティを所定間隔毎に形成すると共に、前記キャビティの上面を被覆するためのトップテープを剥離可能に接着して形成されるキャリアテープと、前記トップテープを剥離する所定の剥離位置より前記キャリアテープの搬送方向に位置する所定の吸着位置において、前記キャリアテープの前記キャビティに収容されている前記電子部品を吸着する吸着ノズルと、前記吸着ノズルを支持すると共に、前記キャリアテープの搬送に同期して移動するヘッドと、前記吸着位置より前記キャリアテープの反搬送方向に位置し、かつ、前記剥離位置より前記キャリアテープの搬送方向に位置する所定の撮像位置において、当該撮像位置に移動してきた前記キャビティ内の前記電子部品を撮像するカメラと、前記キャリアテープの搬送と前記ヘッドの移動を同期させると共に、前記カメラにより撮像した前記キャビティ内の前記電子部品の位置に基づいて前記吸着ノズルを移動させながら、前記吸着ノズルにより前記吸着位置にて前記電子部品を吸着させる制御手段とを備える。請求項2に係る発明は、前記電子部品装着機が、前記ヘッドに対して前記吸着ノズルを微小移動させる微小移動アクチュエータをさらに備え、前記制御手段は、前記微小移動アクチュエータを駆動することにより、前記カメラにより撮像した前記キャビティ内の前記電子部品の位置に基づいて前記吸着ノズルを微小移動させることである。請求項3に係る発明は、前記ヘッドが、前記カメラにより撮像した画像を処理し、前記微小移動アクチュエータにより吸着ノズルを微小移動させるための制御信号を生成する画像処理手段を備え、前記微小移動アクチュエータは、前記画像処理手段から取得する前記制御信号に基づいて前記吸着ノズルを微小移動させることである。請求項4に係る発明は、前記制御手段が、前記キャリアテープの搬送速度を等速としながら、前記吸着ノズルにより前記吸着位置にて前記電子部品を吸着させることである。請求項5に係る発明は、前記カメラが、前記ヘッドに固定されることである。請求項6に係る発明は、前記ヘッドが、複数の前記吸着ノズルを支持し、前記微小移動アクチュエータは、複数であり、それぞれの前記微小移動アクチュエータは、それぞれの前記吸着ノズルを前記ヘッドに対してそれぞれ微小移動させることである。請求項7に係る発明は、前記ヘッドが、複数の前記吸着ノズルを支持し、前記微小移動アクチュエータは、複数の前記吸着ノズルを前記ヘッドに対して同時に一体的に微小移動させることである。請求項8に係る発明は、前記ヘッドが、ヘッドフレームに所定軸回りに回転可能に支持され、前記所定軸を中心とした周方向に複数の前記吸着ノズルを支持するリボルバヘッドであることである。請求項1本発明者は、キャビティ内で電子部品が移動する原因について検討し、以下の点に原因があることを見出した。第一として、キャリアテープの搬送開始の瞬間および搬送の停止の瞬間に、電子部品がキャビティ内で移動することがある。第二として、キャリアテープのトップテープの剥離の際に、電子部品がキャビティ内で移動することがある。そして、第一の原因に対しては、本発明のように、キャリアテープを搬送しながら吸着ノズルにより電子部品を吸着することにより回避することができる。つまり、吸着ノズルにより電子部品を吸着する直前に、キャリアテープを搬送開始および停止するという動作を行わないため、キャリアテープの搬送開始および停止の瞬間における電子部品のキャビティ内の移動を抑制することができる。さらに、キャリアテープを搬送しながら吸着ノズルにより電子部品を吸着することにより、高速化を図ることもできる。そして、第二の原因に対しては、カメラにより撮像したキャビティ内の電子部品の位置に基づいて吸着ノズルを移動させることにより解決している。ただし、キャリアテープを搬送しながら吸着ノズルにより電子部品を吸着するため、カメラによる撮像位置は、吸着ノズルによる吸着位置よりもキャリアテープの反搬送方向に位置するようにしている。さらに、カメラによる撮像位置は、トップテープの剥離位置よりもキャリアテープの搬送方向に位置する。そのため、カメラによる撮像位置においては、トップテープの剥離の際に電子部品がキャビティ内で移動した後の状態となる。従って、トップテープの剥離後にカメラによりキャビティ内の電子部品を撮像し、当該キャビティが撮像位置から吸着位置へ移動する間に、カメラにより撮像した電子部品の位置に応じて吸着ノズルを移動させることで、吸着ノズルにより電子部品を確実に吸着できるようになる。請求項2カメラにより電子部品の位置を撮像した後に当該電子部品の位置に応じて吸着ノズルを移動するためには、吸着ノズルを高速で移動する必要がある。本発明によれば、微小移動アクチュエータにより、ヘッドに対して吸着ノズルを微小移動させることができる。ここで、吸着ノズルおよびヘッドを含む移動体全体に比べて、吸着ノズルは軽量であり且つ小型である。従って、吸着ノズルの位置調整は、ヘッドを移動させるのではなく、ヘッドに対して吸着ノズルを微小移動させることにより行うため、高速化を実現できる。つまり、吸着ノズルの高速化を実現できることにより、カメラにより撮像した電子部品の位置に応じて吸着ノズルを確実に移動させることができる。請求項3本発明により、カメラから微小移動アクチュエータまでの信号伝送をヘッド内で完結することができる。従って、カメラから微小移動アクチュエータまでの信号伝送距離を短くすることができ、カメラにより撮像した後に微小移動アクチュエータにより吸着ノズルを移動するまでに要する時間のより短時間化を図ることができる。請求項4キャリアテープの搬送が加減速するときに、電子部品がキャビティ内で移動することがある。そこで、キャリアテープの搬送速度を等速とすることで、キャリアテープの加減速による電子部品の移動を確実に防止できる。つまり、所定の電子部品が撮像位置から吸着位置まで移動する際に、電子部品がキャビティ内で移動することを防止できる。従って、カメラにより撮像した電子部品の位置に応じて吸着ノズルを移動させることで、吸着ノズルにより電子部品を確実に吸着できるようになる。請求項5本発明によれば、カメラと吸着ノズルとの相対的な位置を固定することができる。これにより、撮像位置と吸着位置とを相対的に固定することができる。その結果、吸着位置において電子部品がどの位置にあるかをより高精度に把握できる。請求項6本発明によれば、微小移動させる対象物が小さいため、より高速化が可能となる。請求項7本発明によれば、微小移動アクチュエータの数を低減できるため、低コスト化を図ることができる。請求項8本発明によれば、複数の吸着ノズルを順次移動させながら電子部品を吸着している間、カメラは固定した状態にできる。つまり、複数の吸着ノズルに対して、1個のカメラで、撮像位置の電子部品を撮像できる。特に、リボルバヘッドの構成とすることで、1個の微小アクチュエータにより複数の吸着ノズルを微小移動させる構成を採用することが容易にできる。以下、本発明の電子部品装着機を具体化した実施形態について図面を参照しつつ説明する。<第一実施形態>1.電子部品装着機の構成第一実施形態の電子部品装着機の構成について、図1を参照して説明する。電子部品装着機1は、電子部品Qをプリント基板上に装着する装置である。この電子部品装着機1は、装着機本体10と、部品供給装置20と、基板搬送装置30と、部品移載装置40とを備える。部品供給装置20は、装着機本体10上に複数のフィーダ21をX軸方向に並設して構成したもので、各フィーダ21は装着機本体10に取替え可能にセットされる。フィーダ21は、装着機本体10に設けた接続部図示せずに接続可能な本体フレーム22と、本体フレーム22の後部に着脱可能に取付けられる供給リール23と、供給リール23に巻回保持されたキャリアテープ25図3参照と、電子部品装着ヘッド45に搭載されたインテリジェントカメラ170により電子部品Qを撮像するためのバックライトしての光源装置26図7に示すを備えている。また、キャリアテープ25には、後述するように、複数の電子部品Qを収容している。ここで、本実施形態においては、部品移載装置40の吸着ノズル48による電子部品Qの吸着は、キャリアテープ25を搬送させながら行われる。このキャリアテープ25の詳細構成について後述する。基板搬送装置30は、プリント基板をX軸方向に搬送するもので、第一搬送装置31および第二搬送装置32を二列並設したいわゆるダブルコンベアタイプのものである。第一搬送装置31および第二搬送装置32は、基台33上にそれぞれ一対のガイドレール34a,34b,35a,35bを互いに平行に対向させてそれぞれ水平に並設し、これらガイドレール34a,34b,35a,35bによりそれぞれ案内されるプリント基板を支持して搬送する一対のコンベアベルト図示省略を互いに対向させて並設して構成されたものである。また、基板搬送装置30には設定された位置まで搬送されたプリント基板を持ち上げてクランプするクランプ装置図示省略が設けられ、このクランプ装置によってプリント基板が装着位置の所定位置に位置決めクランプされる。部品移載装置40は、部品供給装置20のキャリアテープ25に収容されている電子部品Qを基板搬送装置30にて搬送されるプリント基板上に移動させ、プリント基板上に当該電子部品Qを実装する装置である。この部品移載装置40は、XYロボットタイプのものであり、装着機本体10上に装架されて基板搬送装置30および部品供給装置20の上方に配設され、ガイドレール41aに沿ってY軸方向に移動可能なY軸スライド41を備えている。Y軸スライド41は、Y軸サーボモータ42の出力軸に連結されたボールねじ41bを有するボールねじ機構によってY軸方向に移動される。Y軸スライド41には、X軸スライド43がY軸方向と直交するX軸方向に移動可能に案内されている。Y軸スライド41にはX軸サーボモータ44図5に示すが設置され、このX軸サーボモータの出力軸に連結されたボールねじ機構によってX軸スライド43がX軸方向に移動される。X軸スライド43上には、電子部品Qを吸着してプリント基板に装着する電子部品装着ヘッド45と、フィーダ21に付与された基準マーク図示せずを撮像する基準マークカメラ46が取付けられている。電子部品装着ヘッド45は、リボルバヘッドを構成する回転可能なノズルホルダ47を備えている。ノズルホルダ47には、複数の吸着ノズル48を上下方向Z軸方向に往復動可能に保持されている。電子部品装着ヘッド45の詳細は、後述する。2.電子部品装着ヘッドの機械構成次に、電子部品装着ヘッド45の詳細な機械構成について図2を参照して説明する。電子部品装着ヘッド45は、ヘッドフレーム110と、リボルバヘッドを構成するノズルホルダ47と、複数の吸着ノズル48と、Z軸移動体120と、Z軸駆動手段130と、回転軸駆動手段R軸駆動手段140と、θフック駆動手段150と、微小駆動手段160と、インテリジェントカメラ170とを備える。ノズルホルダ47は、リボルバヘッドを構成し、R軸回りに回転可能に設けられている。このノズルホルダ47は、複数の吸着ノズル48を周方向に等間隔に配置し、かつ、それぞれの吸着ノズル48を独立してZ軸方向に移動可能に支持している。複数の吸着ノズル48は、それぞれ吸着対象となる電子部品Qに応じた形状の先端部を有する。さらに、ノズルホルダ47は、対応する吸着ノズル48を上下移動させることができるZ軸レバー47aを備える。このZ軸レバー47aがZ軸上方向に移動すると、吸着ノズル48がZ軸下方向へ移動する。ここで、図2においては、ノズルホルダ47の内部構成は、模式的に記載しており、詳細な構成を図示していない。また、Z軸レバー47aは、ノズルホルダ47の外周面から径方向外側へ突出している。そして、Z軸レバー47aは、後述するθフック駆動手段150のフック153bによりZ軸方向へ移動する。Z軸移動体120は、ノズルホルダ47をヘッドフレーム110に対してZ軸方向に移動するための構成である。Z軸移動体120は、スプラインシャフト121と、ボールねじナット122とを備える。スプラインシャフト121は、中空に形成され、微小駆動手段160を介して、下端にノズルホルダ47を保持する。このスプラインシャフト121は、外周面にスプラインが形成されている。ボールねじナット122は、スプラインシャフト121をZ軸方向には規制すると共に、R軸回りに回転可能となるように支持する。つまり、スプラインシャフト121は、ボールねじナット122と一体的にZ軸方向に移動するとともに、ボールねじナット122に対して相対的にR軸回りに回転可能となる。Z軸駆動手段130は、Z軸移動体120をZ軸方向に移動するための構成である。Z軸駆動手段130は、ヘッドフレーム110に支持されたZ軸サーボモータ131と、ヘッドフレーム110に対して上下方向の軸回りに回転可能に支持されたZ軸ボールねじ132とを備える。また、Z軸ボールねじ132には、Z軸移動体120のボールねじナット122が噛合している。つまり、Z軸サーボモータ131が回転駆動することで、Z軸移動体120がZ軸方向に移動し、それに伴ってノズルホルダ47がZ軸方向に移動する。回転軸駆動手段140は、スプラインシャフト121をR軸回りに回転駆動する。回転軸駆動手段140は、R軸サーボモータ141と、R軸用入力側外歯歯車142と、内周スプライン筒部材143とを備える。R軸用入力側外歯歯車142は、R軸サーボモータ141の出力軸に同軸的に固定されている。内周スプライン筒部材143は、スプラインシャフト121と同軸的に設けられ、かつ、スプラインシャフト121の外周スプライン部に噛合する。さらに、内周スプライン筒部材143のフランジ部143aは、外歯が形成されている。つまり、当該フランジ部143aは、外歯歯車を構成する。この内周スプライン筒部材143のフランジ部143aは、R軸用入力側外歯歯車142に噛合する。従って、R軸サーボモータ141が回転駆動すると、R軸用入力側外歯歯車142を介して、内周スプライン筒部材143をR軸回りに回転させる。そして、内周スプライン筒部材143とスプラインシャフト121とのスプライン噛合により、内周スプライン筒部材143が回転することで、スプラインシャフト121、ひいてはノズルホルダ47がR軸回りに回転する。θフック駆動手段150は、ノズルホルダ47に対してZ軸方向に移動させる吸着ノズル48を選択する手段である。θフック駆動手段150は、θ軸サーボモータ151と、θ軸用入力側外歯歯車152と、フック付き外歯歯車153とを備える。θ軸用入力側外歯歯車152は、θ軸サーボモータ151の出力軸に同軸的に固定されている。フック付き外歯歯車153は、外歯部153aとフック153bとを備える。外歯部153aは、環状に形成されかつ外歯を備え、R軸に同軸的に回転可能に設けられている。フック153bは、複数のZ軸レバー47aの選択された一つに対して引っかけることができる。つまり、θ軸サーボモータ151が回転駆動すると、θ軸用入力側外歯歯車152を介して、フック付き外歯歯車153をR軸回りに回転させる。このようにして、フック153bを所望のZ軸レバー47aが位置する位相に移動することができる。微小駆動手段160は、スプラインシャフト121に対して、ノズルホルダ47をR軸の径方向に相対的に微小移動させる。この微小駆動手段160は、シャフト161と、複数の微小移動アクチュエータ162とを備える。シャフト161の下端が、ノズルホルダ47に一体的に連結される。このシャフト161は、スプラインシャフト121の中空部に挿入されている。複数の微小移動アクチュエータ162は、例えば、ピエゾ素子により形成されている。これらの微小移動アクチュエータ162は、シャフト161の外周面とスプラインシャフト121の内周面との間に挟まれて配置されている。具体的には、微小移動アクチュエータ162は、周方向に3箇所以上配置されている。このピエゾ素子としての微小移動アクチュエータ162は、印加電圧に応じて、R軸の径方向厚みを変化させるように作用する。つまり、ピエゾ素子としての微小移動アクチュエータ162への印加電圧を制御することで、電子部品装着ヘッド45のヘッドフレーム110に対して、吸着ノズル48をR軸の径方向に相対的に微小移動させることができる。この微小駆動手段160については、詳細は後述する。インテリジェントカメラ170は、部品カメラ171図5に示すと、部品カメラ171からの撮像信号に基づいて画像処理を行う画像処理コンピュータ172図5に示すとを備える。つまり、インテリジェントカメラ170は、それ自体で、画像処理機能を有するカメラである。インテリジェントカメラ170は、ヘッドフレーム110に固定されている。例えば、インテリジェントカメラ170は、ヘッドフレーム110のうちフック付き外歯歯車153のフック153bの径方向外側に固定する。このインテリジェントカメラ170は、吸着ノズル48による電子部品Qの吸着位置よりもキャリアテープ25の反搬送方向に位置する撮像位置において、当該撮像位置に移動してきたキャリアテープ25のキャビティ内の電子部品Qを撮像する。3.微小駆動手段の詳細構成次に、微小駆動手段160の詳細構成について、図3を参照して説明する。図3abに示すように、微小駆動手段160を構成する微小移動アクチュエータ162は、例えば、4個であり、シャフト161の外周面とスプラインシャフト121の内周面との間に挟まれて、かつ、周方向に等間隔に配置されている。例えば、4個の微小移動アクチュエータ162は、X軸方向に対向する2箇所と、Y軸方向に対向する2箇所とのそれぞれに配置される。そして、X軸方向に対向して配置されている一対のピエゾ素子としての微小移動アクチュエータ162のそれぞれに正電圧と負電圧を印加することで、スプラインシャフト121に対してシャフト161をX軸正方向に微小移動させることができる。また、Y軸方向に対向して配置されている一対のピエゾ素子としての微小移動アクチュエータ162のそれぞれに正電圧と負電圧を印加することで、スプラインシャフト121に対してシャフト161をY軸正方向に微小移動させることができる。このように、4個のピエゾ素子としての微小移動アクチュエータ162への印加電圧を制御することで、スプラインシャフト121に対してシャフト161を任意の径方向に微小移動させることができる。結果として、ピエゾ素子としての微小移動アクチュエータ162は、当該微小移動アクチュエータ162への印加電圧を制御することで、電子部品装着ヘッド45のヘッドフレーム110に対して、吸着ノズル48をR軸の径方向に相対的に微小移動させることができる。4.キャリアテープの構成キャリアテープ25の構成について図4を参照して説明する。キャリアテープ25は、供給リール23に巻回保持されており、電子部品Qを保持する。キャリアテープ25は、テープ本体210と、トップテープ220と、電子部品Qとを備える。テープ本体210は、一定の厚みを有するテープ状に形成されており、一定のピッチ間隔にキャビティ210aが形成されている。このキャビティ210aは、上面側に開口部を有する。それぞれのキャビティ210aには、1個の電子部品Qが収容されている。キャビティ210aの大きさは、電子部品Qを容易に且つ確実に収容できるように、電子部品Qの大きさよりも大きく形成されている。さらに、テープ本体210のうちキャビティ210aよりも縁側には、一定のピッチ間隔で上下方向に貫通する穴210bが形成されている。この貫通穴210bは、テープ送り用サーボモータ400図5に示すにより回転駆動するスプロケット図示せずに嵌め込まれる。つまり、スプロケットが貫通穴210bに嵌め込まれた状態で、スプロケットが回転することで、キャリアテープ25が搬送される。トップテープ220は、テープ本体210の上面側、すなわちキャビティ210aの開口部側に剥離可能に接着されている。つまり、トップテープ220は、キャビティ210aの上面開口部を被覆している。このトップテープ220は、キャリアテープ25が搬送方向への搬送に伴って、図示しない剥離部材により自動的にテープ本体210から剥離される。5.制御装置およびヘッドの機能ブロック構成次に、上述した電子部品装着機1の機械構成を制御する制御装置300、および、電子部品装着ヘッド45の機能ブロック構成について、図5を参照して説明する。制御装置300は、CPU311、ROM312、RAM313およびそれらを接続するバスを備えるコンピュータ310を主体として構成される。さらに、バスには、入出力インターフェース320が接続されており、入出力インターフェース320には、駆動回路330,340を介して、部品移載装置40のX軸サーボモータ44、Y軸サーボモータ42が接続されている。また、入出力インターフェース320には、駆動回路350~370を介して、電子部品装着ヘッド45のZ軸サーボモータ131、R軸サーボモータ141およびθ軸サーボモータ151が接続されている。また、入出力インターフェース320には、駆動回路380を介して、テープ送り用サーボモータ400が接続されている。さらに、入出力インターフェース320には、電子部品装着ヘッド45に搭載されているインテリジェントカメラ170の部品カメラ171が接続されている。また、入出力インターフェース320には、データの入力を行うキーボードやその他の入力手段を備える入力装置500が接続されている。つまり、制御装置300は、入力装置500から入力される各種入力情報に基づいて、CPU311にて演算処理を行い、サーボモータや部品カメラなどの外部の接続機器を制御する。ここで、制御装置300のコンピュータ310は、吸着ノズル48がキャリアテープ25に収容されている電子部品Qを吸着する際に、キャリアテープ25の搬送と吸着ノズル48の移動とを同期させる。つまり、コンピュータ310は、吸着位置においてキャリアテープ25の搬送方向と吸着ノズル48の移動方向が同一であり、両速度が同一となるように、R軸サーボモータ141を駆動する駆動回路360とテープ送り用サーボモータ400を駆動する駆動回路380を制御している。さらに、コンピュータ310は、Z軸サーボモータ131およびθ軸サーボモータ151を駆動する駆動回路350,370に対して、R軸サーボモータ141を駆動する駆動回路360と同期するように制御する。さらに、コンピュータ310は、部品カメラ171に対する撮像処理についても、Z軸サーボモータ131、R軸サーボモータ141およびθ軸サーボモータ151と同期するように制御する。なお、各駆動回路に対する制御タイミングについては後述する。また、電子部品装着ヘッド45は、図5に示すように、Z軸サーボモータ131、R軸サーボモータ141、θ軸サーボモータ151、インテリジェントカメラ170、駆動回路180および微小移動アクチュエータ162を備える。ここで、Z軸サーボモータ131、R軸サーボモータ141およびθ軸サーボモータ151は、図1および図2を参照して説明したとおりである。インテリジェントカメラ170は、上述したように、部品カメラ171および画像処理コンピュータ172画像処理手段を備える。部品カメラ171は、所定の撮像位置に移動してきたキャビティ210a内の電子部品Qを撮像する。そして、画像処理コンピュータ172は、部品カメラ171により撮像された撮像画像を受け取り、当該撮像画像を処理して、キャビティ210a内における電子部品Qの位置を算出する。続けて、画像処理コンピュータ172は、算出したキャビティ210a内の電子部品Qの位置に基づいて、微小移動アクチュエータ162により吸着ノズル48を移動させる駆動回路180を制御するための制御信号を生成する。つまり、駆動回路180は、画像処理コンピュータ172から制御信号が出力されると、ピエゾ素子としての微小移動アクチュエータ162に電圧を印加して、微小移動アクチュエータ162を駆動する。そして、吸着ノズル48が、キャビティ210a内の電子部品Qの位置に応じて、確実に電子部品Qを吸着できる位置に微小移動する。ここで、インテリジェントカメラ170、駆動回路180および微小移動アクチュエータ162が全て電子部品装着ヘッド45内に配置されている。つまり、部品カメラ171による画像の撮像から微小移動アクチュエータ162の駆動までの信号伝送を、電子部品装着ヘッド45内にて完結することができる。これにより、部品カメラ171から微小移動アクチュエータ162までの信号伝送距離を短くすることができ、部品カメラ171により撮像した後に微小移動アクチュエータ162により吸着ノズル48を移動する前に要する時間をより短時間化することができる。6.キャリアテープと吸着ノズルとの相対位置関係上述したように、吸着ノズル48によるキャビティ210a内の電子部品Qの吸着の際には、キャリアテープ25を搬送させながら行う。そこで、吸着ノズル48によるキャビティ210a内の電子部品Qの吸着付近における、キャリアテープ25と吸着ノズル48との相対的な位置関係について、図6を参照して説明する。図6は、キャリアテープ25と吸着ノズル48の移動をZ軸方向から見た関係図である。キャリアテープ25は、キャリアテープ25の長手方向に搬送される。そこで、図6において、キャリアテープ25に収容される電子部品Qの中心の移動経路をL1とする。また、吸着ノズル48は、リボルバヘッドとしてのノズルホルダ47により支持されている。従って、吸着ノズル48は、R軸を中心とした円弧状に移動する。そこで、図6において、吸着ノズル48の中心の移動経路をL2とする。そして、吸着ノズル48により電子部品Qを吸着する位置以下、吸着位置と称するは、移動経路L1とL2とが接する位置P3となる。また、吸着位置P3よりも、キャリアテープ25の反搬送方向の位置にて、キャリアテープ25のトップテープ220が剥離される。このトップテープ220の剥離位置をP1とする。また、部品カメラ171による電子部品Qの撮像位置P2は、剥離位置P1と吸着位置P3との間となる。つまり、撮像位置P2は、吸着位置P3よりもキャリアテープ25の反搬送方向に位置し、かつ、トップテープ220の剥離位置よりキャリアテープ25の搬送方向に位置する。つまり、電子部品Qを基準として見た場合には、トップテープ220が剥離された後に、部品カメラ171によりキャビティ210a内の電子部品Qが撮像され、その後に吸着ノズル48により当該電子部品Qが吸着される。7.制御装置およびヘッドの制御動作次に、制御装置300および電子部品装着ヘッド45の制御動作について、図7および図8を参照して説明する。図7における各図a~eは、図8におけるa~eと同じ時間を意味する。ここで、図8において、テープ送り速度は、キャリアテープ25の搬送速度を示し、ヘッドR速度は、R軸サーボモータ141の回転速度ノズルホルダ47の回転速度に相当を示し、ヘッドZ位置は、電子部品装着ヘッド45のZ軸サーボモータ131の回転角ノズルホルダ47のZ軸位置に相当を示し、カメラ撮像信号は、部品カメラ171による撮像および撮像画像の出力処理を行うための信号を示し、微小駆動信号は、微小移動アクチュエータ162の微小駆動信号を示し、フックθ位置は、θ軸サーボモータ151の回転角フック153bの位置に相当を示す。まず、図8のテープ送り速度欄およびヘッドR速度欄に示すように、停止している初期状態時間0から、テープ送り用サーボモータ400の回転およびR軸サーボモータ141の回転を開始する。ここで、両サーボモータ400,141は、吸着ノズル48の周方向移動速度とキャリアテープ25の搬送速度が設定された速度に到達するまで加速する。ここで、キャビティ210a内の電子部品Qは、キャリアテープ25の搬送の加減速によって、キャビティ210a内において移動するおそれがある。そして、吸着ノズル48の周方向移動速度とキャリアテープ25の搬送速度が設定された速度に到達した後は、両サーボモータ400,141の回転速度は等速とする。続いて、吸着ノズル48の周方向移動速度とキャリアテープ25の搬送速度が設定された速度に到達して等速となると、図7aおよび図8のヘッドZ位置欄に示すように、ノズルホルダ47がR軸回りに回転しながらZ軸下方向へ移動する。この位置剥離位置P1にて、トップテープ220がテープ本体210から剥離される。ここで、トップテープ220の剥離動作によって、キャビティ210a内の電子部品Qは、キャビティ210a内において移動するおそれがある。続いて、さらにノズルホルダ47がR軸回りに等速回転しながらZ軸下方向へ移動し、かつ、キャリアテープ25を等速で搬送しながら、キャビティ210a内の電子部品Qが撮像位置P2に到達すると、図7bおよび図8のカメラ撮像信号欄に示すように、制御装置300のコンピュータ310が部品カメラ171に対する撮像信号を出力する。そうすると、部品供給装置20の本体フレーム22に固定された光源装置26にライト点灯指令が出力される。同時に、部品カメラ171が撮像を開始する。撮像画像は、部品カメラ171から画像処理コンピュータ172へ出力される。つまり、部品カメラ171は、トップテープ220が剥離された後に、キャリアテープ25を等速で搬送している最中に、キャビティ210a内の電子部品Qを撮像する。さらに、図8のフックθ位置欄に示すように、図7bの状態を基点として、θ軸サーボモータ151の駆動を開始して、フック153bの回転速度が、ノズルホルダ47の回転速度に一致する状態にさせる。フック153bの回転速度がノズルホルダ47の回転速度に到達すると、フック153bが当該電子部品Qを吸着させる吸着ノズル48に対応するZ軸レバー47aに当接する。そうすると、Z軸レバー47aはフック153bによりZ軸下側への移動が規制される。その結果、Z軸レバー47aは、ノズルホルダ47に対して相対的にZ軸上側へ移動する。従って、Z軸レバー47aの動作に伴って、対応する吸着ノズル48がノズルホルダ47に対してZ軸下側へ移動する。続いて、さらにノズルホルダ47がR軸回りに等速回転しながらZ軸下方向へ移動し、かつ、キャリアテープ25を等速で搬送する。そうすると、図7cおよび図8の微小駆動信号欄に示すように、駆動回路180がインテリジェントカメラ170の画像処理コンピュータ172により生成された制御信号に基づいて、4個のピエゾ素子としての微小移動アクチュエータ162に電圧を印加する。その結果、ノズルホルダ47全体が、R軸の径方向に微小移動する。微小移動する方向および量は、撮像されたキャビティ210a内における電子部品Qの位置に基づいて決定される。例えば、微小移動する方向および量は、キャビティ210aの中心位置と当該電子部品Qの中心位置とのずれ方向およびずれ量に一致させる。続いて、さらにノズルホルダ47がR軸回りに等速回転しながらZ軸下方向へ移動し、かつ、キャリアテープ25を等速で搬送する。キャビティ210a内の電子部品Qが吸着位置P3に到達すると、図7dおよび図8に示すように、電子部品Qを吸着ノズル48により吸着させる。このとき、吸着ノズル48の中心位置と電子部品Qの中心位置とは一致しているため、吸着ノズル48による異常吸着や吸着ミスを回避できる。吸着ノズル48により電子部品Qを吸着した後には、図7eおよび図8のヘッドZ位置欄に示すように、ノズルホルダ47はR軸回りに等速回転しながらZ軸上方向へ移動する。このとき、キャリアテープ25は、等速で搬送し続けている。さらに後、図8のフックθ位置欄に示すように、フック153bがZ軸レバー47aから離間すると、フック153bは逆方向に回転し始める。そして、次の吸着ノズル48に対応するZ軸レバー47aに引っかける位置まで移動する。そして、上記と同様の動作により、次のキャビティ210aに収容されている電子部品Qを次の吸着ノズル48により吸着させる。この動作を、ノズルホルダ47に支持されている吸着ノズル48の数に対応する回数分行う。全ての吸着ノズル48が電子部品Qを吸着した後には、キャリアテープ25の搬送を停止すると共に、X軸サーボモータ44およびY軸サーボモータ42を駆動することで、プリント基板に当該電子部品Qを実装する。上述したように、キャリアテープ25を搬送しながら吸着ノズル48により電子部品Qを吸着する。つまり、吸着ノズル48により電子部品Qを吸着する直前に、キャリアテープ25を搬送開始および停止するという動作を行わない。そのため、吸着ノズル48により電子部品Qを吸着するまでの一定期間において、キャリアテープ25の搬送開始および停止の瞬間における電子部品Qのキャビティ210a内の移動を抑制することができる。さらに、キャリアテープ25を搬送しながら吸着ノズル48により電子部品Qを吸着することにより、高速化を図ることもできる。また、吸着ノズル48により電子部品Qを吸着するまでの一定期間において、キャリアテープ25の搬送速度を等速としている。キャリアテープ25の搬送が加減速するときに、電子部品Qがキャビティ210a内で移動することがある。当該一定期間、キャリアテープ25の搬送速度を等速とすることで、キャリアテープ25の加減速による電子部品Qの移動を確実に防止できる。つまり、電子部品Qが撮像位置P2から吸着位置P3まで移動する際に、電子部品Qがキャビティ210a内で移動することを防止できる。さらに、部品カメラ171により撮像したキャビティ210a内の電子部品Qの位置に基づいて吸着ノズル48を移動させている。ただし、キャリアテープ25を搬送しながら吸着ノズル48により電子部品Qを吸着するため、部品カメラ171による撮像位置P2は、吸着ノズル48による吸着位置P3よりもキャリアテープ25の反搬送方向に位置するようにしている。さらに、部品カメラ171による撮像位置P2は、トップテープ220の剥離位置P1よりもキャリアテープ25の搬送方向に位置する。そのため、部品カメラ171による撮像位置P2においては、トップテープ220の剥離の際に電子部品Qがキャビティ210a内で移動した後の状態となる。従って、トップテープ220の剥離後に部品カメラ171によりキャビティ210a内の電子部品Qを撮像し、当該キャビティ210aが撮像位置P2から吸着位置P3へ移動する間に、部品カメラ171により撮像した電子部品Qの位置に応じて吸着ノズル48を移動させることで、吸着ノズル48により電子部品Qを確実に吸着できるようになる。特に、微小移動アクチュエータ162を用いて、ノズルホルダ47を微小移動させている。ここで、部品カメラ171により電子部品Qの位置を撮像した後に当該電子部品Qの位置に応じて吸着ノズル48を移動するためには、吸着ノズル48を高速で移動する必要がある。微小移動アクチュエータ162を用いることで、電子部品装着ヘッド45のヘッドフレーム110に対して吸着ノズル48を微小移動させることができる。ここで、吸着ノズル48および電子部品装着ヘッド45を含む移動体全体に比べて、吸着ノズル48は軽量であり且つ小型である。従って、吸着ノズル48の位置調整は、電子部品装着ヘッド45を移動させるのではなく、電子部品装着ヘッド45に対して吸着ノズル48を微小移動させることにより行うため、高速化を実現できる。つまり、吸着ノズル48の高速化を実現できることにより、部品カメラ171により撮像した電子部品Qの位置に応じて吸着ノズル48を確実に移動させることができる。さらに、インテリジェントカメラ170を採用して、電子部品装着ヘッド45内にて、部品カメラ171から微小移動アクチュエータ162までの信号伝送を完結している。従って、部品カメラ171から微小移動アクチュエータ162までの信号伝送距離を短くすることができ、部品カメラ171により撮像した後に微小移動アクチュエータ162により吸着ノズル48を移動するまでに要する時間のより短時間化を図ることができる。さらに、インテリジェントカメラ170を電子部品装着ヘッド45に固定することで、部品カメラ171と吸着位置P3に位置する吸着ノズル48との相対的な位置を固定することができる。これにより、撮像位置P2と吸着位置P3とを相対的に固定することができる。その結果、吸着位置P3において電子部品Qがどの位置にあるかをより高精度に把握できる。特に、ノズルホルダ47としてリボルバヘッドを適用することで、複数の吸着ノズル48を順次移動させながら電子部品Qを吸着する間に、1個の部品カメラ171で、撮像位置P2の電子部品Qを撮像できる。つまり、複数の吸着ノズル48に対して、1個の部品カメラ171で、撮像位置P2の電子部品Qを撮像できる。また、微小移動アクチュエータ162は、ノズルホルダ47に対して1組設けている。つまり、1組の微小移動アクチュエータ162を駆動することで、ノズルホルダ47に支持されている全ての吸着ノズル48が電子部品装着ヘッド45のヘッドフレーム110に対して微小移動する。これにより、少ない微小移動アクチュエータ162により多くの吸着ノズル48を微小移動させることができるため、微小移動アクチュエータ162の数を低減でき、低コスト化を図ることができる。<第二実施形態>上記実施形態においては、微小移動アクチュエータ162をノズルホルダ47に一体的に連結されたシャフト161と、スプラインシャフト121との間に設けた。本実施形態においては、図9に示すように、ノズルホルダ47の内部において、ノズルホルダ47とそれぞれの吸着ノズル48との間に微小移動アクチュエータ162をそれぞれ配置するようにする。つまり、吸着ノズル48の数と同数組の微小移動アクチュエータ162が必要となる。微小移動アクチュエータ162の詳細な構成は、上記実施形態と同一である。このようにすることで、微小移動アクチュエータ162により移動させる対象物は、吸着ノズル48のみとなる。つまり、微小移動アクチュエータ162により微小移動させる対象物が小さいため、より高速化が可能となる。"