計測対象にスリット光を照射して生成した光切断線を撮影して得た光切断線像の重心位置を算出し、上記計測対象の変位を求める変位測定方法において、上記光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から上記光切断線像の重心位置を算出して上記計測対象の変位を求めることを特徴とする変位測定方法。計測対象にスリット光を照射して生成した光切断線を撮影して得た光切断線像の重心位置を算出し、上記計測対象の変位を求める変位測定方法において、上記光切断線像の重心位置演算方向の任意の輝度分布とその近隣の輝度分布を比較して、極端に輝度値の異なる画素があれば、その画素を除外して最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させ、上記任意の輝度分布の期待値から上記光切断線像の重心位置を算出して上記計測対象の変位を求めることを特徴とする変位測定方法。上記スリット光の焦点を調節することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の変位測定方法。計測対象にスリット光を照射するスリット光照射装置と、上記スリット光を上記計測対象に照射することによって生成される光切断線を撮影する撮影装置と、上記撮影装置により得られた光切断線像から上記計測対象の変位を求める画像処理装置と、を備え、上記画像処理装置は、上記撮影装置により得られた光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から上記光切断線像の重心位置を算出して上記計測対象の変位を求めることを特徴とする変位測定装置。計測対象にスリット光を照射するスリット光照射装置と、上記スリット光を上記計測対象に照射することによって生成される光切断線を撮影する撮影装置と、上記撮影装置により得られた光切断線像から上記計測対象の変位を求める画像処理装置と、を備え、上記画像処理装置は、上記撮影装置により得られた光切断線像の重心位置演算方向の任意の輝度分布とその近隣の輝度分布を比較して、極端に輝度値の異なる画素があれば、その画素を除外して最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させ、上記任意の輝度分布の期待値から上記光切断線像の重心位置を算出して上記計測対象の変位を求めることを特徴とする変位測定装置。上記スリット光の焦点を調節する焦点調節装置を備えたことを特徴とする請求項4または請求項5に記載の変位測定装置。光切断線像には、計測対象表面で拡散反射した光同士の干渉などによって、特異な輝度を持つ画素がランダムに現れる場合がある。上記特許文献1に開示された光切断線像の重心位置演算方法では、どの画素に対しても周囲の画素を用いて平均化処理を行うため、重心位置演算結果は、特異な輝度の影響を受けることになる。例えば、異常に高い輝度を持つ画素が含まれていれば、平均化処理をすることによってその周囲の画素の輝度が高くなり、重心位置演算結果は輝度の高い画素位置に片寄る。このため、計測対象の表面形状を測定する場合、特異な輝度を持つ画素が存在すれば、重心位置演算に誤差が生じ、計測した表面形状にノイズが含まれるという課題がある。また、時間経過によって特異な輝度を持つ画素位置が変動すれば、重心位置も変動し、変位測定の繰り返し再現性が低くなるという課題がある。また、上記特許文献2に開示された光切断線の重心位置算出方法においても、特異な輝度を持つ画素を含んだまま重心位置を算出するため、計測対象の表面形状を測定する場合、特異な輝度を持つ画素が存在すれば、重心位置演算に誤差が生じ、計測した表面形状にノイズが含まれるという課題がある。この発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、特異な輝度を持つ画素に影響されない重心位置算出を行い、変位測定の精度を向上する変位測定方法および変位測定装置を得ることを目的とするものである。この発明に係る変位測定方法は、計測対象にスリット光を照射して生成した光切断線を撮影して得た光切断線像の重心位置を算出し、上記計測対象の変位を求める変位測定方法において、上記光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から上記光切断線像の重心位置を算出して上記計測対象の変位を求めるものである。また、この発明に係る変位測定装置は、計測対象にスリット光を照射するスリット光照射装置と、上記スリット光を上記計測対象に照射することによって生成される光切断線を撮影する撮影装置と、上記撮影装置により得られた光切断線像から上記計測対象の変位を求める画像処理装置と、を備え、上記画像処理装置は、上記撮影装置により得られた光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から上記光切断線像の重心位置を算出して上記計測対象の変位を求めるものである。この発明によれば、上記構成により、ノイズの少ない変位測定および表面形状の測定ができると共に、時間経過による測定ばらつきを抑えた変位測定および表面形状の測定ができる。以下、この発明に係る変位測定方法および変位測定装置の好適な実施の形態について図面を参照して説明する。なお、これらの実施の形態により発明が限定されるものではなく、その発明の範囲内において、各実施の形態を組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変更、省略することが可能である。実施の形態1.図1は、この発明の実施の形態1に係る変位測定装置の構成を示す模式図である。図1において、x、y、zで示される矢印は次に説明する方向を示すものである。即ち、xはスリット光の長軸に対して平行な方向を示し、yはスリット光の長軸と垂直な方向を示し、Z軸はx軸とy軸から成る面に対して垂直な方向、即ち高さ方向を示している。計測対象1は、この実施の形態で高さあるいは表面形状を測定する対象物である。スリット光照射装置2は、光の強度分布がガウス分布であるスリット光3を計測対象1に照射し、スリット光3が計測対象1の表面に照射された箇所は光切断線4となる。撮影装置、例えばカメラ5は、x軸方向に対して平行に設置され、かつ光軸がyz平面に平行となるように設置されており、光切断線4を撮影する。カメラ5による撮影画像は、図2に示すような光切断線像6となる。光切断線像6はデジタル画像である。図3にx’、y’で示す矢印は、それぞれ図1の矢印xとyに対応しており、矢印x’は光切断線像6の線の長さ方向を示している。また、矢印y’は、光切断線像6の線の幅方向を示している。画像処理装置7は、カメラ5で撮影して得られた光切断線像6を取り込み、図3の矢印y’方向に輝度の重心位置を算出し、三角測量の原理を用いて重心位置を図1における矢印z方向高さ方向の位置に変換する。焦点調節装置8は、計測対象1に対してスリット光照射装置2から照射したスリット光3の焦点を調節している。スリット光照射装置2の光源は、シングル横モードのレーザーを用いた点光源であり、その強度分布はガウス分布である。この点光源をレンズで均一に一方向に広げることによってスリット光3に変換し、y軸方向の強度分布がガウス分布であるスリット光3を計測対象1に照射する。強度分布がガウス分布となる点光源としては、LED照明やハロゲン照明を使用し、光の強度分布をガウス分布に変換するようなレンズ、フィルタ、あるいは光導波路などを透過させても良く、また、ガルバノミラーやポリゴンミラーを用いて走査することで、点光源をスリット光3に変換しても良い。更に、LED照明光やハロゲン照明光をレンズでスリット状にしてから、光の強度分布をガウス分布に変換するレンズ、フィルタ、あるいは光導波路などを透過させても良く、LED照明光やハロゲン照明光をレンズで点光源に変換し、レンズやガルバノミラー、ポリゴンミラーでスリット状にしてから、光の強度分をガウス分布に変換するレンズ、フィルタ、あるいは光導波路などを透過させても良い。焦点調節装置8は、スリット光照射装置2から出力されたスリット光3の焦点をズームレンズやバリフォーカルレンズ焦点可変レンズで調節する。なお、焦点調節装置8に替えてスリット光照射装置2の内部で、スリット光3に変換される前の点光源をズームレンズやバリフォーカルレンズ焦点可変レンズを用いて焦点調節しても良く、スリット光照射装置2と計測対象1の距離を変化させて、スリット光3の焦点を調節しても良い。実施の形態1に係る変位測定装置は上記のように構成されており、同装置を用いて計測対象1の高さを測定方法について説明する。スリット光照射装置2から光の強度分布がガウス分布であるスリット光3を計測対象1に照射する。焦点調節装置8で計測対象1に対してスリット光3の焦点がデフォーカスするように調節し、光切断線4がぼやけるよう設定する。この光切断線4をカメラ5で撮影し、光切断線像6として画像処理装置7に取り込む。光切断線4はぼやけており強度分布が広がっているため、光切断線像6のうち光切断線4に該当する部分の輝度分布も広がり光切断線4に該当する画素数が増える。このような光切断線像6を画像処理装置7に取り込み、図3に示すようなy’軸方向の画素列9について輝度重心を算出する。まず、最小二乗法を用いて画素列9の輝度分布に近似した1式のようなガウス分布Giを求める。ただし、iはy’軸方向の画素位置、Giは画素位置iにおいて画素列9をガウス分布で近似した輝度を示す。また、N、m、σは、それぞれ輝度分布全体の大きさ、輝度分布の期待値重心位置、輝度分布の広がりを示すパラメータであり、最小二乗法で求められるのはこれら三つのパラメータである。次に、画素列9の輝度分布と近似したガウス分布の差分を求め、次式のように各画素の重みを決定する。ただし、fiは画素列9における画素位置iの輝度、diはfiとGiの差分、wiは画素位置iの画素の重み、Wは重み決定のための閾値を示す。この式では差分diの絶対値が大きいほど重みが小さくなり、更に、差分diの絶対値が予め設定した閾値Wよりも大きければ重みを0とする。なお、重みwiは差分diの絶対値または二乗した値が大きいほど小さくなれば良く、差分diの絶対値または二乗した値が閾値Wよりも大きければ、重みを0としても良い。または、上記2つの方法の混合でも良い。そのため、3式の代わりに、差分diの絶対値または二乗した値の逆数を重みwiとしても良い。また、差分diの絶対値または二乗した値が閾値Wよりも大きければ重みを0とし、閾値Wよりも小さければ重みを1としても良い。各画素の重みwiが決定すれば、重み付き最小二乗法を用いて各画素列の輝度分布に近似したガウス分布を再度求める。ここで得られたパラメータmが画素列9の重心位置となる。例えば、画素列9の輝度分布が図4に示すようなものであるとする。ここでは計算を容易にするため、諧調数は変えずに輝度範囲を0~1で正規化を行い、輝度値の対数をとった。最小二乗法によって、この輝度値の対数の分布に近似したガウス分布は図4に示す点線のようになる。更に、重み付き最小二乗法によって近似したガウス分布は図4に示す実線のようになる。ただし、閾値W=1.0である。こうして得られたパラメータは、それぞれN≒0.0658、m≒-0.0510、σ≒1.1180となり、図4の場合、輝度分布の重心位置は、パラメータmを輝度位置に変換した72.7010画素となる。最後に、上記の方法で得られた重心位置から三角測量を用いて、計測対象1の高さまたは表面形状を測定することができる。従って、計測対象1の表面で拡散反射した光同士の干渉などによって光切断線像6に特異な輝度を持つ画素10図2参照が含まれた場合、特異な輝度を持つ画素10を除外または重み付けを用いて影響度を小さくして重心位置を算出するため、重心位置が特異な輝度を持った画素に片寄らない。そのため、特異な輝度を持つ画素10がランダムに発生した場合に、高さ測定結果または表面形状の測定結果に現れる微細なノイズを低減することができる。また、時間経過によって特異な輝度を持つ画素10の位置が変動した場合に、高さ測定結果または表面形状の測定結果の時間経過によるばらつきを低減することができる。特許文献1の開示技術のように、光切断線像6に対して平均化処理を行えば、光切断線像6に含まれる微小な輝度のムラやノイズを低減することができ、特異な輝度を持つ画素が含まれている場合は特異な画素の輝度値は減少するが、その周囲の画素の輝度値が高くなり、重心位置は特異な輝度を持つ画素に片寄る。従って、高さ測定結果や表面形状の測定結果のノイズや時間的なばらつきを抑えるためには、特異な輝度を持つ画素を除去または影響度を小さくして重心位置を算出する方法が有効である。実施の形態2.次に、実施の形態2に係る変位測定方法および変位測定装置について説明する。実施の形態2では、実施の形態1に対して、光切断線像6の重心位置算出方法が異なる。まず、画像処理装置7に取り込んだ光切断線像6に対して、図5に示すy’軸方向の画素列9の輝度分布と、その両隣の画素列11および12の輝度分布を抽出する。重心位置を求めるのは画素列9である。画素列11の輝度分布と画素列12の輝度分布の平均を求め、次式のように画素列9について各画素の重みを決定する。ただし、aiはy’軸方向の画素位置iにおける画素列11と画素列12の輝度の平均値、fiは画素列9における画素位置iの輝度、diは各画素の輝度fiとaiの差分、wiは画素位置iの重み、Wは重み決定のための閾値である。この式は、差分diの絶対値が予め設定した閾値W以内であれば重みを1とし、閾値Wより大きければ重みを0にする。なお、重みは画素列9が近隣の画素列と比較して、差分diが大きければ重みを0とすれば良い。そのため、画素列9と比較する画素列は、画素列11のみでも良く、画素列12のみでも良い。また、画素列は複数でも良い。また、比較する画素列が複数であった場合、差分diは複数の画素列の輝度分布の平均値との差分でも良く、複数の画素列の最大値との差分でも良い。また、複数の画素列の最小値との差分でも良い。更に、閾値Wとの比較は、差分diの絶対値の代わりに差分diを二乗した値を使用しても良い。各画素の重みが決定すれば、重み付き最小二乗法を用いて各画素列の輝度分布に近似した1式のガウス分布を求める。ここで得られたパラメータmが画素列9の重心位置となる。例えば、画素列9の輝度分布が図6に示すようなものであるとする。画素列9の両隣である画素列11と画素列12の平均値を求め、画素列9の輝度分布との差分を採ると、図6の点線で示す画素が重み0となる。ただし、閾値W=20である。ここで、計算を容易にするため、諧調数は変えずに輝度範囲を0~1で正規化を行い、輝度値の対数を採った。重み付き最小二乗法によって、この輝度値の対数の分布に近似したガウス分布は図6に示す実線のようになる。こうして得られたパラメータは、それぞれN≒0.0701、m≒-0.0441、σ≒1.1054となり、図6の場合、輝度分布の重心位置はmを輝度位置に変換した72.7294画素となる。従って、実施の形態2による重心位置算出方法も実施の形態1と同じ効果を得る。