平板状のヒートパイプの表面に、相互に平行な複数の第1フィンと、第1フィンの列と横並びに配置されており、第1フィンと平行であるがピッチをずらして配置されている第2フィンと、を形成する工程と、第1フィンと第2フィンが交互に重なるように、第1フィンが立設している第1平坦部に対して第2フィンが立設している第2平坦部を折り曲げる工程と、を備えることを特徴とする冷却器の製造方法。相互にピッチがずれている第1フィンと第2フィンを形成する工程は、平板状のヒートパイプの上面に相互に平行な共通フィンを形成する工程と、全ての共通フィンの一部をその並び方向に切除し、一列の共通フィンを第1フィンと第2フィンの2列に分断する工程と、第1フィンと第2フィンのピッチがずれるように、第1平坦部と第2平坦部とに相互に逆向きの面内方向の荷重を加え、ヒートパイプをその平面内で塑性変形させる工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。ヒートパイプの外郭とフィンを押し出し成形によって同時に形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の製造方法。第1フィンと第2フィンの少なくとも一方のフィンは、その2辺で第1平坦部と第2平坦部の双方に接していることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の製造方法。第2平坦部を屈曲させるのに先立って、第1フィンと第2フィンの少なくとも一方のフィンの側端部を折り曲げる工程をさらに備えており、第2平坦部を折り曲げる工程では、フィン側端部の折り曲げた面が相対する平坦部に当接するまで第2平坦部を折り曲げることを特徴とする請求項4に記載の製造方法。略L字状に屈曲したヒートパイプと、相互に平行な複数のフィンであって前記ヒートパイプのL字の水平面を構成する第1平坦部から立設する第1フィンと、相互に平行な複数のフィンであってヒートパイプのL字の垂直面を構成する第2平坦部から立設しており、第1フィンと交互に重なっている第2フィンと、を備えていることを特徴とする冷却器。第1フィンの側端は第2平坦部に接しており、第2フィンの側端は第1平坦部に接触していることを特徴とする請求項6に記載の冷却器。第1フィンは、第1平坦部と一体に成形されおり、第2平坦部と対向する側の側端部が折れ曲がっており、折れ曲がった部分の表面が第2平坦部と面接触している、ことを特徴とする請求項6に記載の冷却器。第2フィンは、第2平坦部と一体に成形されおり、第1平坦部と対向する側の側端部が折れ曲がっており、折れ曲がった部分の表面が第1平坦部と面接触している、ことを特徴とする請求項6又は8に記載の冷却器。通常はヒートパイプの表面に複数のフィンが平行に取り付けられる。フィンを付けるにはその分の容積が必要となる。フィン付きヒートパイプを使った冷却器の単位体積当たりの冷却能力放熱効率を高める一つの方法は、フィンのピッチ隣接するフィンの間の距離を小さくすることである。ヒートパイプを製造した後にフィンを取り付けるのであれば、フィンピッチを小さくすることはできるがコストが嵩む。ヒートパイプそのものは、押出成形、鋳造典型的にはアルミダイカスト、鍛造などの製造方法で安価に製造することができる。そのため、フィンも安価に付加できることが望ましい。押出成形、鋳造、鍛造などによってヒートパイプの本体とフィンを同時に成形することは可能ではあるが、金型の強度などの制約によりフィンピッチを小さくするには限界がある。本明細書は、押出成形、鋳造、鍛造などの方法によってヒートパイプ本体とフィンを同時に成形する技法を採用しながら、フィンピッチを小さくする技術冷却器の製造方法と、その製造方法に適した冷却器そのものを提供する。そこで、本明細書が開示する技術は、フィンが一体化した平板状のヒートパイプを製造した後にヒートパイプ本体自体を変形させてフィンピッチを小さくする。本明細書が開示する冷却器フィン付きヒートパイプの製造方法の一例を説明する。まず、平板状のヒートパイプの表面に、相互に平行な複数の第1フィンと、第1フィンの列と横並びに配置されており、第1フィンと平行であるがピッチがずれている第2フィンと、を形成する。なお第2フィンは、第1フィンの列と横並びに配置されており、第1フィンと平行であるがピッチがずれているということは、詳しく説明すると以下の通りである。複数の第1フィンは、隣接するフィンの面と面が対向するように1列に並んで配置される。複数の第2フィンも同様である。第2フィンは、第1フィンの列の横に配置される。第1フィンと第2フィンも相互に平行となる。第1フィンのピッチ隣接するフィン間の距離と第2フィンのピッチはほぼ同じである。フィンの長手方向にみたとき、隣接する第1フィンの間に第2フィンが位置する。次いで、第1フィンと第2フィンが交互に入れ違いに重なるように、第1フィンが立設しているヒートパイプの第1平坦部に対して第2フィンが立設しているヒートパイプの第2平坦部を折り曲げる。その結果、フィンピッチは、製造時の半分になり、単位体積当たりの冷却能力を向上させた冷却器が完成する。なお、第2平坦部を折り曲げるとは、第1平坦部に対して第2平坦部を折り曲げることを意味し、第2平坦部を固定し、第1平坦部を折り曲げることを含む。上記の冷却器フィン付きヒートパイプの適用例を簡単に説明する。上記の冷却器では、例えば第1平坦部のフィン設置面とは反対の面が、発熱体取付面となる。発熱体は、例えば半導体パッケージである。発熱体の熱は、ヒートパイプ内の作動液によって、第1平坦部から第2平坦部へと輸送される。なお、作動液の流路は、第1平坦部と第2平坦部に亘って形成されている。別言すれば、フィンの長手方向は、ヒートパイプ内の作動液の流路の長手方向に略一致する。第1平坦部には第1フィンが設けられており、第2平坦部には第2フィンが設けられている。発熱体の熱は、第1平坦部から第2平坦部へと移動し、そして第1フィンと第2フィンの双方から大気へと放出される。第1フィンと第2フィンは、交互に入れ違いに重なっているので、それらが占める空間の体積は、第1フィンだけが占める空間の体積とほぼかわらない。即ち、単位体積当たりの冷却能力が向上する。鍛造や鋳造であれば、ピッチがずれている第1フィンと第2フィンを成形することもできるが、押出成形では、そのような形態を実現することは難しい。他方、押出成形によるヒートパイプ製造は、鍛造や鋳造よりもはるかに安価である。そこで、本明細書が開示する技術は、押出成形に適した製造方法も提供する。相互にピッチがずれている第1フィンと第2フィンは、次の工程で製造することができる。1平板状のヒートパイプの上面に、相互に平行な一列の共通フィンを形成する工程。なお、相互に平行な一列の共通フィンを有するヒートパイプは、押出成形によって製造することが可能である。2全ての共通フィンの一部をその並び方向に切除し、一列の共通フィンを第1フィンと第2フィンの2列に分断する工程。3第1フィンと第2フィンのピッチがずれるように、第1平面部と第2平面部とに相互に逆向きの面内方向の荷重を加え、ヒートパイプをその平面内で塑性変形させる工程。本明細書は、上記の技術をさらに改良し、ヒートパイプからフィンへの伝熱性能を向上させる技術も提供する。即ち、第1フィンと第2フィンの少なくとも一方のフィンは、その2辺で第1平坦部と第2平坦部の双方に接していることが好ましい。ここで、2辺とは、ヒートパイプと一体となっているフィンの底辺と、相手の平坦部と対向するフィン側端の辺である。上記の構造によれば、フィンは、その2辺を通じてヒートパイプの第1平坦部と第2平坦部の双方から熱を奪うので、熱放出効率が向上する。なお、第1フィンと第2フィンの双方がその2辺で第1平坦図と第2平坦部に接していることがより好ましい。フィン側端の辺は、相手の平面部に固定されずに単純に接しているだけでもよいし、固定されていてもよい。固定の方法としては、金属接合溶接、摩擦撹拌接合、接着、溶着、圧着、ロウ付け、など、いかなる方法であってもよい。フィンの側端の辺での伝熱を向上するために、フィンと平坦部が線接触でなく面接触していることが好ましい。そこで、第2平坦部を屈曲させるのに先立って、第1フィンと第2フィンの少なくとも一方のフィンの側端部を折り曲げる工程をさらに備え、第2平坦部を折り曲げる工程では、フィン側端部の折り曲げた面が相対する平坦部に当接するまで第2平坦部を折り曲げることが好ましい。本明細書が開示する技術の他の側面は、上記した製造方法に適した冷却器フィン付きヒートパイプを提供する。その冷却器は、略L字状に屈曲したヒートパイプと、相互に平行な複数の第1フィンと、相互に平行な複数の第2フィンを備える。第1フィンは、ヒートパイプのL字の水平面を構成する第1平坦部から立設する。第2フィンは、ヒートパイプのL字の垂直面を構成する第2平坦部から立設しており、第1フィンと交互に入れ違いになっている。なお、水平面、垂直面とは、L字状のヒートパイプの2面を区別するための便宜上の用語であることに留意されたい。第1フィンと第2フィンは、ヒートパイプと一体成形される。ここで、第1フィンと第2フィンの少なくとも一方のフィンは、その2辺で第1平坦部と第2平坦部の双方に接していることが好ましい。さらには、第1フィンは、第1平坦部と一体に成形されおり、第2平坦部と対向する側の側端部が折れ曲がっており、折れ曲がった部分の表面が第2平坦部と面接触していることが好ましい。あるいは、第2フィンが、第2平坦部と一体に成形されおり、第1平坦部と対向する側の側端部が折れ曲がっており、折れ曲がった部分の表面が第1平坦部と面接触しているのでもよい。第1フィンと第2フィンの双方が、その側端部が折れ曲がっており相対する平坦部と接していることが最も好ましい。本明細書が開示する技術の詳細およびさらなる改良は発明を実施するための形態の欄において詳細に説明する。第1実施例図1に、第1実施例の冷却器100の斜視図を示す。冷却器100は、略L字に屈曲したヒートパイプ2に複数のフィン第1フィン5と第2フィン6が取り付けられた構造を有している。第1フィン5は平行に並んだ複数のフィンを意味し、第2フィン6も、平行に並んだ複数のフィンを意味する。第1フィン5と第2フィン6は交互に入れ違いに重なるように間隔をもって並んでいる。なお、図1では、第2フィン6のうち、最も手前の一枚のフィンのみ、見えない部分を隠れ線で描いている。ヒートパイプ2のうち、L字の水平部分を第1平坦部2aと称し、垂直に立った部分を第2平坦部2bと称する。なお、ここでの水平、垂直は、単にL字を形成する2つの平坦部を区別するための便宜上の表現であり、水平、垂直という言葉そのものに技術的な意味はないことに留意されたい。ヒートパイプ2は、内部に多数の細長孔後述する細長孔130が設けられた多穴管をベースとしており、細長孔の内部に少量の液体作動液が封入されている。細長孔は、作動液が入れられたのちに両端が閉じられ、流路3を構成する。流路3は、ヒートパイプ2のL字形状に沿って屈曲しており、ヒートパイプ2の端から端まで長手方向に伸びている。なお、図では、流路3を視認できるように、ヒートパイプ2の両端に孔を描いているが、実際には孔の両端は閉じられており、流路3の内部空間は密閉されていることに留意されたい。良く知られているように、ヒートパイプは、発熱体を取り付けた部分吸熱部で内部の作動液が熱気化熱を奪って蒸発し、移動する。移動先放熱部で作動液は熱凝縮熱を放出して液化する。ヒートパイプは、こうして熱を輸送する。ヒートパイプにフィンが付いている場合、作動液の凝縮熱はフィンを通じて外部に放出される。冷却器フィン付きヒートパイプは、こうして対象物を冷却する。ヒートパイプ自体は良く知られているので詳しい説明は省略する。図2に、ヒートパイプ2を略L字に折り曲げる前の状態平坦ヒートパイプ101を示す。平坦ヒートパイプ101は平板状であり、第1平坦部2aと第2平坦部2bからなる。図2によく表れているように、第1フィン5は、面同士が相対するように一列に平行に並んだ複数のフィンであり、第1平坦部2aと一体で成形されている。同様に、第2フィン6は、面同士が相対するように一列に平行に並んだ複数のフィンであり、第2平坦部2bと一体で成形されている。当然、第1フィンと第2フィンも相互に平行となる。第1フィン5の側端5a第2平坦部2bに相対する側端は、平坦ヒートパイプ101をL字に折り曲げた際に、第2平坦部2bの表面に接する。同様に、第2フィン6の側端6a第1平坦部2aに相対する側端は、平坦ヒートパイプ101をL字に折り曲げた際に、第1平坦部2aの表面に接する。即ち、フィン5、6は、2辺でヒートパイプ2に接する。なお、図1、図2では、符号5a、6aの引き出し線は、一枚のフィンの側端しか指していないが、全てのフィンの側端を意味することに留意されたい。冷却器100は、フィン5、6の2辺2つの側端がヒートパイプ2に接している。それゆえ、冷却対象の発熱体がいずれの平坦部に取り付けられても、その熱は2辺からフィンに伝達される。フィンがその一辺でのみヒートパイプに接している冷却器では、フィンの先端まで熱が伝わり難い。それに比べて冷却器100は、フィンの2辺がヒートパイプと接しているため、フィン全体に熱が伝わり易いという利点を有する。また、第1平坦部2aと一体に成形されたフィン5と、第2平坦部2bと一体に成形されたフィン6が交互に重なり合っているので、フィンの密度が高まるという利点も有する。次に、冷却器100の製造方法について説明する。フィンが一体成形された平坦なヒートパイプ101は、押出成形法によって製造される。図3に、成形型10の斜視図を示し、図4に、フィン一体型の多穴管を押出成形している様子を示す。成形型10は、成形する目的の形状にくり抜かれた射出孔12を有する。ヒートパイプの細長孔3図1参照を形成するための独立部分13は、成形型10の内側で支持されている。成形型に溶融したアルミニウムを充填し、後方から加圧すると、アルミニウムが目的の多穴管の形状に成形されて射出孔12から出てくる図4参照。これを適当な長さでカットすると、図5に示す、フィン付き多穴管102が得られる。多穴管102には、相互に平行な多数の貫通孔130が形成されている。多穴管102が、ヒートパイプの外郭外形状に相当する。また、この段階では、相互に平行な一連の共通フィン104が形成されている。次に、多穴管102の貫通孔130に少量の作動液を入れて両端を閉じ、密閉された細長孔を形成する。密閉された細長孔3が流路に相当する。なお、流路3はその両端が閉じられているが、図1、図2、及び図6以降では、流路を視認し易くするために、流路3は、貫通孔のままで描かれていることに留意されたい。次に、一列の共通フィン104を2列に分断する図6参照。全ての共通フィン104のほぼ中央を削除し切れ込み107を形成し、共通フィン104を第1フィン5と第2フィン6に分割する。平坦なヒートパイプ101において、第1フィン5が立設している部分が第1平坦部2aに相当し、第2フィン6が立設している部分が第2平坦部2bに相当する。図7に図6のフィン付き平坦ヒートパイプ101の平面図を示す。このときは、第1フィン5と第2フィン6は同じピッチで並んでいる。次に、ヒートパイプ101の第1平坦部2aと第2平坦部2bに、フィンの長手方向に直交する方向で相互に逆向きの荷重Fを加える。荷重Fを加え、第2平坦部2aと第2平坦部2bがその境界で塑性変形を生じた様子を図8に示す。第1フィン5と第2フィン6が相互に1/2ピッチ1/2Ptだけずれるまで、荷重Fを加える。ここで、ピッチPtは、第1フィン5のフィンピッチ隣接するフィンの間の距離を表す。なお、第2フィン6のフィンピッチも同じPtである。最後に、平坦なヒートパイプ101がL字型となるように、第2平坦部2bを折り曲げる図9参照。第1フィン5と第2フィン6は、相互に1/2ピッチずれているので、第2平坦部2bを折り曲げると、第1フィン5と第2フィン6は、交互に入れ違いに重なる。ここで、第1フィン5の側端が第2平坦部2bに接し、第2フィン6の側端が第1平坦部2aに接するまで、第2平坦部2bを折り曲げる。折り曲げたのち、第1フィン5の側端と第2平坦部2bを接合し、第2フィン6の側端部と第1平坦部2aを接合する。この接合には、例えばロウ付け、摩擦撹拌接合、超音波接合などが採用される。こうして、図1に示したL字型の冷却器100が完成する。第2実施例次に、第2実施例の冷却器200について説明する。第1実施例の冷却器100は、第1平坦部2aから立設する第1フィン5の側端が第2平坦部2bに接しており、第2平坦部2bから立設する第2フィン6の側端が第1平坦部2aに接していた。第2実施例の冷却器200では、フィンの側端部とこれに対応する平坦部を面接触させ、接触面積を増大させる。冷却器200の製造方法は、図6の状態までは、第1の冷却器100の製造方法と同じである。即ち、平坦なヒートパイプ101に、一列の共通フィンを形成し、これを2つに分断して第1フィンと第2フィンを形成する。図10に、次の工程を示す。第2実施例では、第1フィン205の側端205a第2平坦部2b側の側端をほぼ90度折り曲げる。同様に、第2フィン206の側端206a第1平坦部側の側端をほぼ90度折り曲げる。最後に、平坦なヒートパイプ101がL字型となるように、第1平坦部2aに対して第2平坦部2bを略90度折り曲げる。完成した冷却器200の斜視図を図11に示す。図12では、複数の第2フィン206の内、最も手前の一枚だけ、見えない部分を隠れ線で描いてある。第1フィン205の側端205aは折り曲げられているので、側端205aの外側面が第2平坦部2bと面接触する。同様に。第2フィン206の側端206aは折り曲げられているので、側端206aの外側面が第1平坦部2aと面接触する。冷却器200では、フィンの側端が折り曲げられ、対応する平坦部と面接触するので、熱の伝達効率が向上するという利点である。また、ヒートパイプを折り曲げる工程では、ヒートパイプを塑性変形させるので、成形精度が高くはないが、フィンの側端を折り曲げることで、高くない精度であっても十分にフィンの側端と平坦部を接触させることができる。実施例の冷却器に関する留意点を述べる。押出成形、鋳造、鍛造などの製造方法でフィンが一体化したヒートパイプを製造する際、金型の制約などによりフィンピッチを小さくするには限界がある。他方、押出成形、鋳造、鍛造などの製造方法で製造するヒートパイプは、アルミニウムや銅などの比較的柔らかい金属で肉厚の薄いパイプであることが多い。即ちヒートパイプは比較的に変形させ易い。そこで、実施例が開示する技術の一つは、フィンが一体化した平板状のヒートパイプを製造した後にヒートパイプ本体自体を変形させてフィンピッチを小さくするものである。実施例のヒートパイプ2は、L字の両端に亘って伸びる複数の平行な流路3を有していた。複数の流路の幾つかを連結し、ヒートパイプの両端の間を往復する流路を形成してもよい。そのような流路を採用すると、自励振動式のヒートパイプを構成することができる。ヒートパイプの技術で良く知られているように、流路の内部にウィックを入れることも好適である。第1フィンあるいは第2フィンは、全てが双方の平坦部に接触していることが好ましい。しかしながら、第1フィンと第2フィンの全てが双方の平坦部に接触していなくとも、第1フィンと第2フィンとが交互に入り組んでいることで、フィンの密度が高まるという利点は得られる。以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。