"曲面状かつ剛性を有する吸着面と、前記吸着面の各部に開設された吸着部と、前記吸着部に負圧を付与する負圧付与手段と、を具備し、湾曲成形された板状ワークを前記吸着面に真空吸着させて該板状ワークの湾曲内面側に減肉加工を可能にすることを特徴とする真空吸着式サポート治具。前記吸着面に形成された複数の出没孔から出没する複数の吸引管をさらに具備し、これらの吸引管は、その先端位置を独立的にNC制御可能であるとともに、負圧が付与され、前記吸着面に真空吸着される前の前記板状ワークを吸着した後、前記出没孔の中に引っ込むことにより、吸着した前記板状ワークを前記吸着面側に引き寄せて、前記板状ワークを前記吸着部の負圧により前記吸着面に真空吸着させることを特徴とする請求項1に記載の真空吸着式サポート治具。前記出没孔は前記吸着部であることを特徴とする請求項2に記載の真空吸着式サポート治具。請求項1に記載の真空吸着式サポート治具を用いた板状ワークの加工方法であって、前記吸着面に前記板状ワークを真空吸着させ、この板状ワークを減肉加工装置に位置決めする位置決め工程と、前記減肉加工装置により前記板状ワークに減肉加工を施す減肉加工工程と、を有することを特徴とする板状ワークの加工方法。請求項2に記載の真空吸着式サポート治具を用いた板状ワークの加工方法であって、前記吸着面に前記板状ワークを真空吸着させ、この板状ワークを減肉加工装置に位置決めする位置決め工程と、前記減肉加工装置により前記板状ワークに減肉加工を施す減肉加工工程と、を有し、前記位置決め工程においては、前記吸引管に前記板状ワークを吸着させた後、前記吸引管を前記出没孔の中に没入させることにより、吸着した前記板状ワークを前記吸着面側に引き寄せて、前記板状ワーク全体を前記吸着面に密着させることを特徴とする板状ワークの加工方法。前記板状ワークが長尺状である場合は、前記位置決め工程において、前記板状ワークを前記吸着面に密着させる領域の順番を、長手方向に沿う中心線付近の領域→短手方向に沿う中心線付近の領域→その他の領域、の順番としたことを特徴とする請求項5に記載の板状ワークの加工方法。前記真空吸着式サポート治具の前記吸着面の湾曲率に近似する湾曲率を有し、前記吸着面に吸着させた時の変形量が各板状ワーク固有の弾性変形範囲を超えない範囲の板状ワークであれば、前記位置決め工程において、湾曲形状の異なる複数種類の板状ワークを共通の真空吸着式サポート治具に真空吸着させることを特徴とする請求項4から6のいずれかに記載の板状ワークの加工方法。請求項4から7のいずれかに記載の板状ワークの加工方法によって加工されたことを特徴とする加工体。しかしながら、特許文献1に開示されているポケット部加工方法では、機械切削工具と保持部材とを巨大な板状ワークの形状に沿って三次元的に移動させなければならないため、ポケット部加工装置が非常に大型かつ複雑で高価なものとなり、しかも機械切削工具としてはピンポイント状に切削加工するボールエンドミルを用いなければならないため、加工効率が低い加工時間が長いものであり、実用的ではなかった。また、特許文献2に開示されている吸引管を多数用いて複合曲面状に湾曲成形された板状ワークを保持しても、各吸引管の間の部分においては板状ワークが支持されていないことになるため、この部分に機械切削工具を当てた際に板状ワークが共振するという問題を根本的に解決することができなかった。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、簡素で安価な構成により、湾曲成形された薄肉な板状ワークの湾曲内面側にポケット部形成等の減肉加工を容易に施工可能にし、生産性を向上させて加工体のコストダウンを図ることのできる真空吸着式サポート治具、これを用いた板状ワークの加工方法および加工体を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。即ち、本発明に係る真空吸着式サポート治具の第1の態様は、曲面状かつ剛性を有する吸着面と、前記吸着面の各部に開設された吸着部と、前記吸着部に負圧を付与する負圧付与手段とを具備し、湾曲成形された板状ワークを前記吸着面に真空吸着させて該板状ワークの湾曲内面側に減肉加工を可能にすることを特徴とする。上記構成によれば、吸着面の各部に開設された吸着部に負圧付与手段から負圧を付与されることにより、板状ワークが吸着面に吸着されて完全に密着する。板状ワークは、その湾曲外面側が吸着面に密着して浮き上がることがないため、湾曲内面側に機械切削加工によりポケット部加工等の減肉加工を施す際に、切削工具の回転振動に板状ワークが共振することがなく、高速で滑らかに、効率良く減肉加工を施すことができる。ショットブラスト加工による場合も同様に、板状ワークの動きが無いことから容易に加工することができる。また、本発明に係る真空吸着式サポート治具の第2の態様は、前記第1の態様に係る真空吸着式サポート治具において、前記吸着面に形成された複数の出没孔から出没する複数の吸引管をさらに具備し、これらの吸引管は、その先端位置を独立的にNC制御可能であるとともに、負圧が付与され、前記吸着面に真空吸着される前の前記板状ワークを吸着した後、前記出没孔の中に引っ込むことにより、吸着した前記板状ワークを前記吸着面側に引き寄せて、前記板状ワークを前記吸着部の負圧により前記吸着面に真空吸着させることを特徴とする。上記構成によれば、複数の吸引管の先端部の位置を、湾曲成形された板状ワークの形状に合わせてNC制御し、この状態で板状ワークに吸着させることにより、吸着面に真空吸着される前の板状ワークを変形させることなく安定的に吸着保持することができる。そして、このように板状ワークを安定的に保持したまま、複数の吸引管が出没孔の中に引っ込むと、同時に板状ワークが吸着面側に引き寄せられて吸着面に真空吸着される。これにより、板状ワークの変形を防止するだけでなく、その形状のバラつきに拘わらず、素早く真空吸着式サポート治具の吸着面に真空吸着させることができ、生産性を向上させることができる。また、本発明に係る真空吸着式サポート治具の第3の態様は、前記第2の態様に係る真空吸着式サポート治具において、前記出没孔は前記吸着部であることを特徴とする。上記構成によれば、複数の吸引管を出没させる出没孔が、吸引管の没入後はそのまま吸着部として機能するため、真空吸着式サポート治具の構成を簡素で安価なものにすることができる。また、本発明に係る板状ワークの加工方法の第1の態様は、前記第1から第3のいずれかの態様の真空吸着式サポート治具を用いて、前記吸着面に前記板状ワークを真空吸着させ、この板状ワークを減肉加工装置に位置決めする位置決め工程と、前記減肉加工装置により前記板状ワークに減肉加工を施す減肉加工工程とを有することを特徴とする。上記加工方法によれば、位置決め工程において板状ワークの湾曲外面側が真空吸着式サポート治具の吸着面に完全に密着するため、板状ワークを確実に位置決めするとともに、板状ワークの浮き上がりを防止できるため、減肉加工工程において板状ワークの湾曲内面側にポケット部加工等の減肉加工を施す際に、板状ワークを振動せることなく、正確且つ滑らかな加工を行うことができる。また、本発明に係る板状ワークの加工方法の第2の態様は、前記第2の態様の真空吸着式サポート治具を用いて、前記吸着面に前記板状ワークを真空吸着させ、この板状ワークを減肉加工装置に位置決めする位置決め工程と、前記減肉加工装置により前記板状ワークに減肉加工を施す減肉加工工程とを有し、前記位置決め工程においては、前記吸引管に前記板状ワークを吸着させた後、前記吸引管を前記出没孔の中に没入させることにより、吸着した前記板状ワークを前記吸着面側に引き寄せて、前記板状ワーク全体を前記吸着面に密着させることを特徴とする。上記加工方法によれば、複数の吸引管の先端部の位置を、湾曲成形された板状ワークの形状に合わせてNC制御し、この状態で板状ワークに吸着させることにより、吸着面に真空吸着される前の板状ワークを変形させることなく安定的に吸着保持しながら、真空吸着式サポート治具の吸着面に密着させることができる。これにより、板状ワークの変形を防止するとともに、板状ワークの形状のバラつきに拘わらず、素早く真空吸着式サポート治具の吸着面に真空吸着させることができ、生産性を向上させることができる。また、本発明に係る板状ワークの加工方法の第3の態様は、前記板状ワークが長尺状である場合は、前記位置決め工程において、前記板状ワークを前記吸着面に密着させる領域の順番を、長手方向に沿う中心線付近の領域→短手方向に沿う中心線付近の領域→その他の領域、の順番としたことを特徴とする。上記加工方法によれば、長尺状の板状ワークが、その中央部から外周部に向かって放射状に伸ばされるように吸着面に密着するため、板状ワークの変形や部分的な浮き上がりが防止されて吸着面への密着性が向上するとともに、吸着面へのセット作業が容易になる。しかも、過大な吸引動力が不要となるため、真空吸着式サポート治具の構成を簡素で安価なものにすることができる。また、本発明に係る板状ワークの加工方法の第4の態様は、前記第1から第3の態様の加工方法において、前記真空吸着式サポート治具の前記吸着面の湾曲率に近似する湾曲率を有し、前記吸着面に吸着させた時の変形量が各板状ワーク固有の弾性変形範囲を超えない範囲の板状ワークであれば、前記位置決め工程において、湾曲形状の異なる複数種類の板状ワークを共通の真空吸着式サポート治具に真空吸着させることを特徴とする。上記加工方法によれば、板状ワークの湾曲形状が必ずしも真空吸着式サポート治具の吸着面の湾曲率湾曲形状に一致していなくても、吸着面の湾曲率に近似する湾曲率を有し、吸着面に吸着させた時の変形量が板状ワーク固有の弾性変形範囲を超えない範囲であれば、この板状ワークを吸着面に吸着させて減肉加工を施すことができる。このため、1つの真空吸着式サポート治具を、形状の近似した複数の板状ワークに共用して、真空吸着式サポート治具の種類を減らし、設備投資費用を低減させて加工体のコストダウンに貢献することができる。また、本発明に係る加工体は、前記第1から第4の態様に係る板状ワークの加工方法によって加工されたことを特徴とする。これにより、加工体のコストダウンを図ることができる。以上のように、本発明に係る真空吸着式サポート治具、これを用いた板状ワークの加工方法および加工体によれば、簡素で安価な構成により、湾曲成形された薄肉な板状ワークの湾曲内面側にポケット部形成等の減肉加工を容易に効率良く施すことができる。以下に、本発明の実施形態について、図1~図9を参照しながら説明する。[真空吸着式サポート治具の第1実施形態]図1は、本発明の第1実施形態に係る真空吸着式サポート治具1が機械切削装置2減肉加工装置に設置された状態を示す斜視図である。機械切削装置2は、例えばガントリー型門型の大型フライス盤であり、平坦なベッド3の両側にレール4が配置され、このレール4に沿って移動可能に、左右一対のコラム5に支えられたクロスヘッド6が設置され、クロスヘッド6に設けられたミーリングヘッド7がクロスヘッド6の長手方向に移動可能である。ミーリングヘッド7は5軸方向のNC制御加工が行えるものであり、その先端に回転する切削工具8が取り付けられている。真空吸着式サポート治具1は、治具本体11と、真空ポンプ12負圧付与手段を備えている。治具本体11は平面視で長方形であり、その長手方向が機械切削装置2のレール4に平行する方向でベッド3上に載置され、図示しない固定具によりベッド3に固定される。真空ポンプ12はベッド3から離れた場所に設置され、負圧ホース13によって治具本体11に接続されている。治具本体11の上面は、剛性を有する曲面状に形成された吸着面15となっており、この吸着面15に板状ワークWが吸着固定される。図2に示すように、吸着面15は、例えばその長手方向Lおよび短手方向Sの両方向に湾曲する凹面状の複合曲面である。また、吸着面15の全域に亘って出没孔16が均等な間隔で開設されている。これらの出没孔16は、例えば吸着面15の長手方向Lに沿って3列、短手方向Sに沿って8段、計24箇所に形成されている。これらの出没孔16は、後述するように真空ポンプ12から負圧が付与されることにより、別工程で湾曲加工されてきた板状ワークWを吸着面15に真空吸着させて保持させる吸着部として機能するものである。吸着面15に真空吸着された板状ワークWには、機械切削装置2の切削工具8により、その湾曲内面側にポケット部非図示の切削加工といった減肉加工が施される。図3に示すように、治具本体11の内部には負圧空間18が形成され、ここに真空ポンプ12から延びる負圧ホース13が接続されている。また、出没孔16は吸着面15から垂下して負圧空間18に連通している。このため、真空ポンプ12が起動すると、負圧空間18の内部の空気が吸引され、各出没孔16に均等な負圧が付与される。なお、上記のように吸着面15の全域に亘って多数の出没孔16を設ける代わりに、吸着面15の中央部に出没孔16を1つだけ設けるか、あるいは24箇所よりも少数の出没孔16を設け、この単一もしくは少数の出没孔16から延びる吸着溝を吸着面15の表面に沿って刻設してもよい。これにより、出没孔16を単一もしくは少数のみ形成しても、出没孔16に付与される負圧が上記吸着溝によって広く伝達され、吸着面15の全面で板状ワークWを吸着することができる。治具本体11の内部負圧空間18には、出没孔16の位置に整合し、出没孔16から出没する24基の吸引管21が設置されている。これらの吸引管21は、負圧空間18の床面に垂設されて上部が出没孔16に下方から挿入されたシリンダ22に差し込まれており、吸引管21の先端に吸盤状の真空カップ23が設けられ、シリンダ22に供給される空気圧、液圧、電磁力等の動力により上方に延びたり、縮んだりすることができる。吸引管21は吸着面15よりも上方に大きく突出した突出位置21aまで伸びることができる。また、これらの吸引管21は、図示しないNC制御装置により、その先端位置真空カップ23の位置を独立的にNC制御可能である。各吸引管21には、真空ポンプ12から延びて空気シリンダ22に繋がる負圧ホース25が接続されて負圧が付与される。負圧ホース25は、負圧空間18に負圧を付与する負圧ホース13とは独立して真空ポンプ12から延びている。真空ポンプ12は、負圧ホース13と負圧ホース25のどちらか一方にのみ選択的に負圧を付与することも、両方の負圧ホース13,25に同時に負圧を付与することもできる。負圧の大きさは、例えば-0.085MPa程度とされる。なお、真空カップ23の外径は出没孔16の内径よりも充分に小さく設定されており、真空カップ23が出没孔16の中に没入していても出没孔16が閉塞されないようになっている。図4に示すように、吸着面15に真空吸着される前の板状ワークWは、板状ワークWの形状に合わせて高さをNC制御され、出没孔16から一斉に突出する吸引管21によって図5に示すように吸着保持され、次に図6に示すように吸引管21が一斉に出没孔16の中に没入することにより吸着面15側に引き寄せられて、図7に示すように出没孔16の負圧を受けて吸着面15に真空吸着される。次に、この真空吸着式サポート治具1を用いて板状ワークWにポケット部の切削加工減肉加工を行う加工方法手順について説明する。本発明に係る加工方法は、板状ワークWを真空吸着式サポート治具1の吸着面15に真空吸着させ、この板状ワークWを機械切削装置2に位置決めする位置決め工程Aと、機械切削装置2により板状ワークWにポケット部加工等の減肉加工を施す減肉加工工程Bとを有する。を有する[位置決め工程A]図4~図7参照位置決め工程Aでは、まず、図4に示すように、真空吸着式サポート治具1の吸着面15に開設された出没孔16から複数の吸引管21を突出させ、これら各吸引管21の先端部、即ち真空カップ23の位置を、吸着させる板状ワークWの湾曲形状に沿うようにNC制御する。NC制御のプログラムは、板状ワークWの湾曲形状に合わせて予め設定される。そして、板状ワークWを、図示しない搬送装置、もしくは人力等により真空吸着式サポート治具1の上方に配置する。次に、図5に示すように、吸引管21に真空ポンプ12から負圧を付与し、吸引管21の上端の真空カップ23に板状ワークWを吸着させる。この時にはまだ負圧空間18には負圧を付与しなくてもよい。各吸引管21の真空カップ23は、薄い板状ワークWを変形させない程度の均等な吸着力で板状ワークWの湾曲外面側に吸着する。次に、図6に示すように、真空ポンプ12により負圧空間18にも負圧を付与するとともに、吸引管21をシリンダ22内に収縮させて出没孔16の中に没入させ、これにより吸着した板状ワークWを吸着面15側に引き寄せて板状ワークW全体を吸着面15に密着させる。吸着面15に密着した板状ワークWにより各出没孔16が閉塞されるため、負圧空間18に加わる負圧によって板状ワークWが吸着面15に真空吸着される。上記のように、複数の吸引管21に吸着させた板状ワークWを吸着面15側に引き寄せる時において、板状ワークWが図2に示すような長尺状である場合は、板状ワークWを吸着面15に密着させる領域の順番を、図2に示す長手方向Lに沿う中心線付近の領域→短手方向Sに沿う中心線付近の領域→その他の領域、の順番とするのが好ましい。具体的には、板状ワークWの長手方向Lに沿う中心線付近に設けられた吸引管21を、他の吸引管21よりも少し早いタイミングで吸着面15下に没入させ、次に板状ワークWの短手方向Sに沿う中心線付近に設けられた吸引管21を吸着面15下に没入させ、最後にその他の部分に設けられた吸引管21を吸着面15下に没入させる。次に、図7に示すように、各吸引管21への負圧供給を停止し、各吸引管21を板状ワークWから切り離して最も縮んだ状態にする。こうしても、板状ワークWは負圧空間18の負圧によって吸着面15に真空吸着され続ける。なお、各吸引管21への負圧供給を停止させず、各吸引管21を板状ワークWに吸着させたままにしておいてもよい。[減肉加工工程B]図8参照次に、減肉加工工程Bにおいて、機械切削装置2により板状ワークWにポケット部加工等の減肉加工が施される。この時には、機械切削装置2のミーリングヘッド7に設けられた切削工具8が回転しながら板状ワークWに押し付けられ、板状ワークWの湾曲内面側を切削する。切削のパターンは予めNC制御装置にインプットされている。減肉加工が完了すると、板状ワークWは加工体として完成する。板状ワークWが航空機の胴体部に適用される外板である場合は、減肉加工が施される前の状態であっても、その厚さは非常に薄く、この薄い板状ワークWにさらに減肉加工が施されるため、極めて高精度な加工が必須条件となる。このため、従来では機械切削よりもケミカルミーリングが多用されてきた。本実施形態に係る真空吸着式サポート治具1およびこれを用いた加工方法により板状ワークWに減肉加工を行えば、板状ワークWの湾曲外面側が真空吸着式サポート治具1の吸着面15に真空吸着されて全面的に完全密着し、切削加工中に板状ワークWが吸着面15から浮きあがることがない。このため、板状ワークWが切削工具8の回転振動等に共振することがなく、高速で滑らかに、効率良く減肉加工を施すことができ、加工体の生産性を高めることができる。なお、切削加工に限らず、ショットブラスト加工等によって減肉加工を施すような場合も同様に、板状ワークWの動きが無いことから効率良く加工することができる。このため、環境規制により適用が困難でコストの嵩むケミカルミーリングに頼らずに減肉加工を行うことができる。さらに、板状ワークWが長尺状である場合、位置決め工程Aにおいて、板状ワークAを吸着面15に密着させる領域の順番を、長手方向に沿う中心線付近の領域→短手方向に沿う中心線付近の領域→その他の領域、の順番としたため、長尺状の板状ワークWが、その中央部から外周部に向かって放射状に伸ばされるように吸着面15に密着する。このため、板状ワークWの変形や部分的な浮き上がりが防止されて吸着面15への密着性が向上するとともに、吸着面15へのセット作業が容易になる。しかも、過大な吸引動力が不要となるため、真空ポンプ12を小型化して真空吸着式サポート治具1の構成を簡素で安価なものにすることができる。また、この真空吸着式サポート治具1では、吸着面15に形成された複数の出没孔16から出没する複数の吸引管21が板状ワークWを吸着したままの状態で出没孔16の中に引っ込むことにより、吸引管21に吸着された板状ワークWが吸着面15側に引き寄せられて吸着面15に真空吸着される。このため、吸着面15に真空吸着される前の板状ワークWを変形させることなく安定的に吸着保持して吸着面15上に位置決めすることができる。これにより、薄肉な板状ワークWの変形を防止できるだけでなく、板状ワークWの形状のバラつきに拘わらず、素早く吸着面15に真空吸着させることができ、加工体としての生産性を向上させることができる。複数の吸引管21の先端部真空カップ23の位置は、湾曲成形された板状ワークWの形状に合わせてNC制御することができるため、吸着面15に真空吸着される前の板状ワークWを変形させることなく安定的に保持することができる。なお、吸着面15に開設された複数の出没孔16が、吸引管21を出没させるだけでなく、板状ワークWを吸着面15に真空吸着させるための吸着部として機能するため、真空吸着式サポート治具1の構成を簡素で安価なものにすることができる。ところで、真空吸着式サポート治具1の吸着面15に真空吸着できるのは必ずしも吸着面15の湾曲率に完全に合致する湾曲率を持った板状ワークWのみとは限らない。図9に示すように、吸着面15の湾曲率Rに合致する湾曲率を有する板状ワークWに対して、湾曲率Rに近似する湾曲率RaRa<Rを有する板状ワークWa、または湾曲率RbRb>Rを有する板状ワークWbであっても、その吸着面15に吸着させた時の変形量が各板状ワークWaまたはWbの固有の弾性変形範囲を超えない範囲であれば、これらの板状ワークWa,Wbを真空吸着式サポート治具1に真空吸着させてもよく、真空吸着式サポート治具1を各板状ワークW,Wa,Wbに共通に適用することができる。板状ワークWa,Wbの湾曲率Ra,Rbとして許容できるか否かを判定する方法としては、諸々の条件にもよるが、湾曲率Ra,Rbが吸着面15の湾曲率Rに変形矯正された時における板状ワークWa,Wbに加わる曲げ応力をσとし、板状ワークWa,Wbの座屈応力をσaとした場合に、曲げ応力σに対する座屈応力σaの割合σ/σaが20未満であれば許容可能、20以上90未満であれば要検討、90以上であれば不可というように設定することができる。上記加工方法によれば、板状ワークWa,Wbの湾曲形状が必ずしも真空吸着式サポート治具1の吸着面15の湾曲率R湾曲形状に一致していなくても、その弾性変形範囲を超えない範囲で吸着面15に真空吸着させることができれば、そのまま減肉加工を施すことができる。このため、1つの真空吸着式サポート治具1を、形状の近似した複数の板状ワークW,Wa,Wbに共用させて、真空吸着式サポート治具1の種類を減らし、設備投資費用を節減させて加工体のコストダウンに貢献することができる。[真空吸着式サポート治具の第2実施形態]図10は、本発明の第2実施形態に係る真空吸着式サポート治具31を示す縦断面図である。この真空吸着式サポート治具31において、第1実施形態に係る真空吸着式サポート治具1と同一構成の部分には同一符号を付して説明を省略する。この真空吸着式サポート治具31では、板状ワークWを吸着面15に真空吸着させるために、複数の吸引管21の吸引力のみを用いている。つまり、真空ポンプ12の負圧は負圧ホース25によって各吸引管21のみに付与されている。そして、各吸引管21は、前述の位置決め工程Aにおいて、吸着面15に真空吸着される前の板状ワークWに吸着し、その状態で出没孔16内に没入することによって板状ワークWを吸着面15に引き寄せる。そして、そのまま板状ワークWから離脱することなく、板状ワークWを吸着面15側に引き寄せ続け、位置決めしながら保持する。この状態で機械切削装置2のミーリングヘッド7に設けられた切削工具8により板状ワークWに減肉加工が施される。上記構成によれば、吸引管21により、板状ワークWを吸着面15上に引き寄せて位置決めするとともに、板状ワークWを吸着面15上に真空吸着して固定することができるため、真空吸着式サポート治具31の構成を簡素化するとともに、真空ポンプ12の動力を小さくして省エネルギ化することができる。なお、本発明の権利範囲は、上記第1実施形態および第2実施形態の構成のみに限定されることはなく、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で多様な変更を加えることができる。例えば、吸着面15および板状ワークWの湾曲形状は、必ずしも複合曲面でなくてもよく、単曲面であってもよい。また、吸着面15上における出没孔16や吸引管21の配置レイアウトおよび数量等は任意に設定することができる。さらに、上記実施形態では、真空吸着式サポート治具1の治具本体11が、機械切削装置2のベッド3上に水平に設置されているが、水平に限らず、縦置きや傾斜した姿勢で配置してもよい。こうすることにより、板状ワークWの切削加工時に発生する切り粉の回収を容易にすることができる。"