平板状の試料の表裏面のうち、少なくとも一面に光を照射して、前記試料の少なくとも一面の測定対象領域の形状を測定する表面検査装置であって、試料を保持する試料保持部と、試料表面に光を照射する第1照射部と、前記第1照射部が光を照射する方向と異なる方向に光を照射する第2照射部と、前記第1照射部からの照射される光と前記第2照射部から照射される光とを交互に切り替える照射光切替手段と、前記第1照射部及び前記第2照射部から照射され、前記試料の一面で反射した光及び前記光学部材で反射した光を結像する光結像部と、前記光結像部により結像された光学像を撮像して画素ごとの第1輝度データを生成する第1撮像部と、前記第1撮像部により生成された第1輝度データに基づいて試料表面の形状を算出する画像処理手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。平板状の試料の表裏面のうち、少なくとも一面に光を照射して、前記試料の少なくとも一面の測定対象領域の形状を測定する表面検査装置であって、試料を保持する試料保持部と、前記試料保持部の一面側に取付け固定され、所定の第1波長の光を透過し、且つ、前記第1波長と異なる第2波長の光を反射する光学部材と、前記第1波長の光と前記第2波長の光を同時に照射する第1照射部と、前記第1照射部が光を照射する方向と異なる方向に前記第1波長の光と前記第2波長の光を同時に照射する第2照射部と、前記第1照射部からの照射される光及び前記第2照射部からの照射される光を交互に切り替える照射光切替手段と、前記第1照射部及び前記第2照射部から照射され、前記試料の一面で反射した光及び前記光学部材で反射した光を結像する光結像部と、前記光結像部により結像された前記第1波長の光学像を撮像して画素ごとの第1輝度データを生成する第1撮像部と、前記光結像部により結像された前記第2波長の光学像を撮像して画素ごとの第2輝度データを生成する第2撮像部と、前記第1撮像部により生成された第1輝度データ及び前記第2撮像部により生成された第2輝度データに基づいて試料表面の形状を算出する画像処理手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。前記画像処理手段は、前記第1撮像部により生成された第1輝度データを前記第2撮像部により生成された第2輝度データに基づいて補正する補正手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の表面検査装置。前記第1照射部及び前記第2照射部は、前記第1波長の光を照射する第1照射部と、前記第2波長の光を照射する第2照射部と、を備え、前記第1照射部からの前記第1波長の光の照射と前記第2照射部からの前記第2波長の光の照射とを同時に行うことができることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の表面検査装置。前記光学部材、前記第1照射部、前記第2照射部、前記光結像部、前記第1撮像部、前記第2撮像部は、前記試料の表裏面の各々の測定対象領域の形状の測定用に別個に設けられていることを特徴とする請求項1~4記載の表面検査装置。平板状の試料の表裏面のうち、少なくとも一面に光を照射して、前記試料の少なくとも一面の測定対象領域の形状を測定する表面検査方法であって、試料保持部により試料保持する工程と、第1照射部により試料表面に光を照射する工程と、前記第1照射部を消灯もしくは遮光するとともに、前記第1照射部が光を照射する方向と異なる方向に光を照射する第2照射部により試料表面に光を照射する工程と、前記第1照射部及び前記第2照射部から照射され、前記試料の一面で反射した光を光結像部により結像する工程と、前記光結像部により結像された光学像を第1撮像部により撮像して画素ごとの第1輝度データを生成する工程と、前記光結像部により結像された前記第2波長の光学像を第2撮像部により撮像して画素ごとの第2輝度データを生成する工程と、画像処理手段により前記第1輝度データ及び前記第2輝度データに基づいて試料表面の形状を算出する工程と、からなることを特徴とする表面検査方法である。平板状の試料の表裏面のうち、少なくとも一面に光を照射して、前記試料の少なくとも一面の測定対象領域の形状を測定する表面検査方法であって、試料保持部により試料保持する工程と、第1照射部により試料表面に第1波長の光と前記第2波長の光を同時に照射する工程と、前記第1照射部を消灯もしくは遮光するとともに、第2照射部により前記第1照射部が光を照射する方向と異なる方向に前記第1波長の光と前記第2波長の光を試料表面に同時に照射する工程と、光学部材により所定の第1波長の光を透過し、且つ、前記第1波長と異なる第2波長の光を反射する工程と、前記試料の一面で反射した光を光結像部により結像する工程と、前記光結像部により結像された光学像を第1撮像部により撮像して画素ごとの第1輝度データを生成する工程と、前記光結像部により結像された前記第2波長の光学像を第2撮像部により撮像して画素ごとの第2輝度データを生成する工程と、画像処理手段により前記第1輝度データ及び前記第2輝度データに基づいて試料表面の形状を算出する工程と、からなることを特徴とする表面検査方法である。解決しようとする課題は、面積が広くなり高密度化された試料の表面形状の測定に際して、高速化及び高精度化である。特許文献1に記載の従来装置では、試料表面から反射した光の入射角度に応じた輝度で結像された像を撮像して、画素ごと測定対象領域の各点の輝度データを収集して、この輝度データを処理し、当該輝度データの分布の1次微分結果に基づいて、試料表面の傾斜分布を求めるとともに、輝度データの前記傾斜方向についての積分データから得られる回帰曲線と前記積分データとの差に基づいて測定対象領域内での凹凸部の有無と凹凸部の形状とを求めることができる。特に、試料表面の傾斜分布を求めるために、試料表面上の測定対象領域に対して照射角度の異なる2方向から照射部により光を照射して、試料表面から反射された光を基に輝度データをそれぞれ収集することを要する。従来装置では、試料が保持されている保持部を動作させて光の照射角度を変えていた。光の照射角度を変える動作を1回往路と復路をたして行ったときの所要時間は、たとえば8秒~10秒であった。近年、試料表面積は、従来に比べて大面積化されていて、測定領域測定可能な面積は試料表面積に対して小さいため、試料表面を複数の測定対象領域に分割して複数回の測定を要する。このため、分割した数だけ測定箇所が増加するので、前述の光の照射角度を変える動作時間も分割した数だけ倍増することになる。つまり、試料表面全体の輝度データを収集する時間が長くなるという問題があった。また、特許文献2に記載の表面検査装置においては、試料表面に照射する光の角度を変えるために試料に対する照射部の位置を相対的に移動させることで光の照射角度を変えている。これにより、特許文献1に記載の表面検査装置と同様の効果を得ている。いずれの従来装置においても、試料表面の傾斜分布を求めるに際して、試料を傾斜移動動作後に停止させたとき、もしくは照射部を相対移動動作後に停止させたとき、機械的なガタや駆動機構の振動により停止位置に微少のずれが生じる。この光の照射角度のずれに起因して測定誤差を生じさせることから、表面形状の測定を高精度に行うことができないという問題があった。本願発明の平板状の試料の表裏面のうち、少なくとも一面に光を照射して、前記試料の少なくとも一面の測定対象領域の形状を測定する表面検査装置であって、試料を保持する試料保持部と、試料表面に光を照射する第1照射部と、前記第1照射部が光を照射する方向と異なる方向に光を照射する第2照射部と、前記第1照射部からの照射される光と前記第2照射部から照射される光とを交互に切り替える照射光切替手段と、前記第1照射部及び前記第2照射部から照射され、前記試料の一面で反射した光及び前記光学部材で反射した光を結像する光結像部と、前記光結像部により結像された光学像を撮像して画素ごとの第1輝度データを生成する第1撮像部と、前記第1撮像部により生成された第1輝度データに基づいて試料表面の形状を算出する画像処理手段と、を備えることを特徴とする。本発明の表面検査装置の態様によれば、第1照射部による照射方向第1照射方向からの照射光を照射から遮光へ切り替えるとともに、第2照射部による照射方向第2照射方向からの照射光を遮光から照射へ切り替えることで、試料表面に照射される光の角度を変えることができる。このため、従来装置のように照射部を移動させる駆動機構が動作して停止するまでにかかる時間にくらべて照射部を切り替える方が短くなるという効果がある。なお、第1照射部と第2照射部とが照射する光とは、角度をなしており、たとえば一方が試料表面に対して鉛直方向であり、他方が鉛直方向から1~3°程度傾斜した角度から光を照射する位置で表面検査装置内部に設置される。また、従来装置のように照射部に傾斜または位置移動の駆動機構を設けた場合には、駆動機構自身が発生する熱や振動により、他の部材へ影響をおよぼすことになり、表面検査装置の測定誤差を生じさせる一因となっていた。これに対して、本発明の表面検査装置によれば照射部を駆動する駆動機構がないので機械的振動も駆動機構が発する熱熱膨張により光の照射角度のずれが引き起こす測定誤差が生じる要因がない。つまり、熱膨張や振動といった測定精度を悪くする要因が装置全体として少なく、高精度な測定結果を得ることができる。本発明の表面検査装置の別の態様によれば、平板状の試料の表裏面のうち、少なくとも一面に光を照射して、前記試料の少なくとも一面の測定対象領域の形状を測定する表面検査装置であって、試料を保持する試料保持部と、前記試料保持部の一面側に取付け固定され、所定の第1波長の光を透過し、且つ、前記第1波長と異なる第2波長の光を反射する光学部材と、前記第1波長の光と前記第2波長の光を同時に照射する第1照射部と、前記第1照射部が光を照射する方向と異なる方向に前記第1波長の光と前記第2波長の光を同時に照射する第2照射部と、前記第1照射部からの照射される光及び前記第2照射部からの照射される光を交互に切り替える照射光切替手段と、前記第1照射部及び前記第2照射部から照射され、前記試料の一面で反射した光及び前記光学部材で反射した光を結像する光結像部と、前記光結像部により結像された前記第1波長の光学像を撮像して画素ごとの第1輝度データを生成する第1撮像部と、前記光結像部により結像された前記第2波長の光学像を撮像して画素ごとの第2輝度データを生成する第2撮像部と、前記第1撮像部により生成された第1輝度データ及び前記第2撮像部により生成された第2輝度データに基づいて試料表面の形状を算出する画像処理手段と、を備えることを特徴とする。本発明の態様によれば、第1照射部及び第2照射部は、それぞれ第1波長及び第2波長を同時に照射でき、照射光切替手段により第1照射部及び第2照射部から照射される光を交互に切り替えることができることで、第1輝度データ及び第2輝度データを待ち時間なく連続的に収集することができる。ここで、交互に切り替えるとは、第1照射部が試料表面に光を照射している状態から照射停止状態もしくは照射遮光状態に切り替えるとともに、第2照射部が照射停止状態もしくは照射遮光状態から照射状態に切り替えることをいう。切り替えるタイミングは、第1照射部の照射状態と第2照射部の照射状態が一部時間的に重複して第1照射部と第2照射部とがともに光を照射状態又はともに照射停止状態もしくはともに遮光状態であってもよい。つまり、第1照射部と第2照射部とが時間的間隔なく瞬時に照射状態と照射停止状態などを切り替える場合にのみならず、照射状態などが一部重複してもよく、切り替える回数も1回に限らず、複数回であってもよい。これにより、第1照射部と第2照射部とは、第1波長の光と前記第2波長の光を同時に照射できるように照射部を表面検査装置内の所定場所所定の照射角度となるように固定して備えることから、照射部などに駆動機構を備える従来装置にくらべて照射位置の調整が容易になる。当然、第1波長の光と第2波長の光をそれぞれ照射する照射部もまた表面検査装置内の所定位置に固定して備えるのであるから間で不慮第1波長の光と第2波長の光路差等が生じないように簡単に調整でき、これにより光路差が生じるのを予防している。さらに不慮の光路差等に起因する輝度データ生成時の数値誤差等の発生を未然に防止することができる。よって、表面検査装置として高精度の測定を可能としている。本発明の表面検査装置の別の態様によれば、前記画像処理手段は、前記第1撮像部により生成された第1輝度データを前記第2撮像部により生成された第2輝度データに基づいて補正する補正手段を備えることを特徴とする。本発明の態様によれば、第1照射部と第2照射部との照射を瞬時もしくは時差をもって切り替えているが、第1照射部により光を照射しているときと第2照射部により光を照射しているときとは微少であるが時差があるので、全く同じ輝度データを収集環境下雰囲気中の温度や周辺機器類の振動状況ではない。このため、第1照射部により光を照射しているときの環境条件と、第2照射部により光を照射しているときの環境条件に起因する測定誤差を補正する必要がある。本発明の表面検査装置では、前記第2撮像部により生成された第2輝度データに基づいて前記第1撮像部により生成された第1輝度データを補正することができる。これにより、本発明の表面検査装置は、より高精度な測定結果を得ることができる。本発明の表面検査装置の別の態様によれば、前記第1照射部及び前記第2照射部は、前記第1波長の光を照射する第1照射部と、前記第2波長の光を照射する第2照射部と、を備え、前記第1照射部からの前記第1波長の光の照射と前記第2照射部からの前記第2波長の光の照射とを同時に行うことができる。本発明の表面検査装置の別の態様によれば、前記光学部材、前記第1照射部、前記第2照射部、前記光結像部、前記第1撮像部、前記第2撮像部は、前記試料の表裏面の各々の測定対象領域の形状の測定用に別個に設けられている。本発明の表面検査方法の態様によれば、平板状の試料の表裏面のうち、少なくとも一面に光を照射して、前記試料の少なくとも一面の測定対象領域の形状を測定する表面検査方法であって、試料保持部により試料保持する工程と、第1照射部により試料表面に光を照射する工程と、前記第1照射部を消灯もしくは遮光するとともに、前記第1照射部が光を照射する方向と異なる方向に光を照射する第2照射部により試料表面に光を照射する工程と、前記第1照射部及び前記第2照射部から照射され、前記試料の一面で反射した光を光結像部により結像する工程と、前記光結像部により結像された光学像を第1撮像部により撮像して画素ごとの第1輝度データを生成する工程と、前記光結像部により結像された前記第2波長の光学像を第2撮像部により撮像して画素ごとの第2輝度データを生成する工程と、画像処理手段により前記第1輝度データ及び前記第2輝度データに基づいて試料表面の形状を算出する工程と、からなる表面検査方法である。本発明の表面検査方法の別の態様によれば、平板状の試料の表裏面のうち、少なくとも一面に光を照射して、前記試料の少なくとも一面の測定対象領域の形状を測定する表面検査方法であって、試料保持部により試料保持する工程と、第1照射部により試料表面に第1波長の光と前記第2波長の光を同時に照射する工程と、前記第1照射部を消灯もしくは遮光するとともに、第2照射部により前記第1照射部が光を照射する方向と異なる方向に前記第1波長の光と前記第2波長の光を試料表面に同時に照射する工程と、光学部材により所定の第1波長の光を透過し、且つ、前記第1波長と異なる第2波長の光を反射する工程と、前記試料の一面で反射した光を光結像部により結像する工程と、前記光結像部により結像された光学像を第1撮像部により撮像して画素ごとの第1輝度データを生成する工程と、前記光結像部により結像された前記第2波長の光学像を第2撮像部により撮像して画素ごとの第2輝度データを生成する工程と、画像処理手段により前記第1輝度データ及び前記第2輝度データに基づいて試料表面の形状を算出する工程と、からなる表面検査方法である。本発明によれば、第1照射部から照射される第1の照射方向からの照射光と、第2照射部から照射される第2の照射方向からの照射光とを照射方向を切り替えて、それぞれの照射部から照射された第1波長の光を試料の一面で反射させる一方で、それぞれの照射部から照射された第2波長の光を試料保持部の一面側に取付け固定された光学部材で反射させ、双方から反射された光に基づいて生成された第1輝度データ及び第2輝度データを用いて試料表面の形状を算出することができる。即ち、光学部材に駆動機構がないので、測定精度に影響を及ぼす駆動機構の動作による熱膨張や機械的振動を最小限にすることができるため、試料の表面形状の測定の際に、当該表面検査装置自体の振動、試料保持部の振動、照射部や結像部のレンズの温度変化等による測定精度のへの影響を最小限にして、試料表面の形状を算出することができる。したがって、変動が少ない設置環境によって試料の表面形状の測定を行うことでより高精度に測定結果を得ることができる。以下に、本発明について、図面を用いて具体的な態様を説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。図1は、本発明の基本となる表面検査装置の構成図であり、図2は、表面検査装置の制御部、表側撮像部及び裏側撮像部の構成を示すブロック図である。また、図1における表面検査装置の左右をX軸方向、上下をY軸方向とする。表面検査装置1は、ウェーハ等の平板状の試料Wの表裏面の形状を測定するものであり、表面の形状を測定する表面測定部1Aと、裏面の形状を測定する裏面測定部1Bとを備えている。具体的には、表面検査装置1は、図1及び図2に示すように、試料Wを保持する保持部材2と、表側第1光源部第1照射部10と、表側第2光源部第2照射部13と、裏側第1光源部第1照射部110と、裏面第2光源部第2照射部113と、第1ミラー20A、20B、120A、120Bと、第2ミラー30、130と、コリメータレンズ40、140と、第3ミラー50、150と、光学部材60、160と、ハーフミラー70、170と、ダイクロイックミラー80、180と、表側撮像部90と、裏側撮像部190と、表側照射光切替手段照射光切替手段95と、制御部200等を備えて構成されている。このうち、保持部材2と、表側第1光源部10と、表面第2光源部13と、第1ミラー20A、20Bと、第2ミラー30と、コリメータレンズ40と、第3ミラー50と、光学部材60と、ハーフミラー70と、ダイクロイックミラー80と、表側撮像部90と、制御部200によって、表面測定部1Aが構成され、また、保持部材2と、裏側第1光源部110と、裏側第2光源部113と、第1ミラー20B、120Bと、第2ミラー130と、コリメータレンズ140と、第3ミラー150と、光学部材160と、ハーフミラー170と、ダイクロイックミラー180と、裏側撮像部190と、裏側照射光切替手段照射光切替手段195と、制御部200によって、裏面測定部1Bが構成されている。保持部材2は、試料Wの端部を把持する把持部2aを備えるとともに、光学部材60、160をそれぞれY軸方向両端部で取り付け固定している。把持部2aは、試料Wの表裏面のY軸方向両端部を挟み込んで把持する部材であり、試料Wを保持する試料保持部として機能している。表側第1光源部第1照射部10、表側第2光源部第2照射部13、裏側第1光源部第1照射部及び表側第2光源部第2照射部は、所定の第1波長の光を照射する表側第1波長光源第1波長照射部11A、11B、第1波長と異なる第2波長の光を照射する表側第2波長光源第2波長照射部12A、12Bとを備えて構成され、波長の異なる上記2つの光を同時に第1ミラー20A、20Bに向けてそれぞれ照射する。表側第1光源部第1照射部10と表側第2光源部第2照射部13とは、後述の画像処理プログラム203実行により表側照射光切替手段照射光切替手段95が作動して表側第1光源部第1照射部10と表側第2光源部第2照射部13と交互に試料表面に第1波長及び第2波長の光を照射する。裏側第1光源部第1照射部110及び裏側第2光源部第2照射部113は、表側第1光源部10及び表側第2光源部13と略同様の構成をなしている。即ち、裏側第1光源部110及び裏側第2光源部第2照射部113は、所定の第1波長の光を照射する裏側第1波長光源第1波長照射部111A、111Bと、第1波長と異なる第2波長の光を照射する裏側第2波長光源第2波長照射部112A、112Bとを備えて構成され、波長の異なる上記2つの光を同時に第1ミラー120A、120Bに向けてそれぞれ照射する。裏側第1光源部第1照射部110と裏側第2光源部第2照射部113とは、後述の画像処理プログラム203実行により裏側照射光切替手段照射光切替手段195が作動して裏側第1光源部第1照射部110と裏側第2光源部第2照射部113と交互に試料裏面に第1波長及び第2波長の光を照射する。表側第1波長光源11A、11B及び裏側第1波長光源111A、111Bは、例えば、第1波長の光としての赤色光波長域は、600~760、望ましくは628~653nm程度を照射するLEDを含んで構成される。表側第2波長光源12A、12B及び裏側第2波長光源112A、Bは、例えば、第2波長の光としての青色光波長域は、400~490、望ましくは460~490nm程度を照射するLEDを含んで構成される。なお、表側第1光源部10、表側第2光源部13、裏側第1光源部110及び裏側第2光源部113は、例えば、それぞれ光ファイバ図示省略を備えており、表側第1波長光源11A、11B及び裏側第2波長光源111A、111Bより照射された第1波長の光と、表側第2光源12A、12B及び裏側第2光源112A、112Bより照射された第2波長の光を、それぞれの光ファイバに導いて集光した後に、第1ミラー20A、20B、120A、120Bに向けて照射する。これにより、第1ミラー20A、20B、120A、120Bに対する、表側第1光源部10、表側第2光源部13、裏側第1光源部110、裏側第2光源部113の照射位置の調整が容易になるとともに、第1波長の光と第2波長の光の間で不慮の光路差等が生じ、後述の画像処理プログラム203実行時に、数値誤差等を発生させるのを未然に防止することができる。第1ミラー20A、20Bは、表側第1光源部10及び表側第2光源部13の表側第1波長光源11A、11B及び表側第2波長光源12A、12BよりY軸方向上側に同時に照射された第1波長の光及び第2波長の光を第2ミラー30に向けてX軸方向左側に反射させる。第1ミラー120A、120Bは、裏側第1光源部110及び裏側第2光源部113の裏側第1波長光源111A、111B及び裏側第2波長光源112A、112BよりY軸方向上側に同時に照射された第1波長の光及び第2波長の光を第2ミラー130に向けてX軸方向右側に反射させる。第2ミラー30、130と、コリメータレンズ40、140と、第3ミラー50、150と、ハーフミラー70、170と、ダイクロイックミラー80、180は、それぞれ試料Wにて反射する第1波長の光、及び、光学部材60、160にて反射する第2波長の光を結像する光結像部の一部として機能している。なお、光結像部の構成は、一例であってこれに限定されるものではない。第2ミラー30は、第1ミラー20により反射された第1波長の光及び第2波長の光をコリメータレンズ40に向けてY軸方向下側に反射させる。また、第2ミラー30は、試料Wの表面にて反射してコリメータレンズ40を透過した第1波長の光及び光学部材60にて反射してコリメータレンズ40を透過した第2波長の光をハーフミラー70に向けてX軸方向右側に反射させる。第2ミラー130は、第1ミラー120により反射された第1波長の光及び第2波長の光をコリメータレンズ140に向けてY軸方向下側に反射させる。また、第2ミラー130は、試料Wの裏面にて反射してコリメータレンズ140を透過した第1波長の光及び光学部材160にて反射してコリメータレンズ140を透過した第2波長の光をハーフミラー170に向けてX軸方向左側に反射させる。コリメータレンズ40は、第2ミラー30により反射された第1波長の光及び第2波長の光を透過させて平行光にするとともに、試料Wの表面にて反射した後、第3ミラー50により反射された第1波長の光及び光学部材60にて反射した後、第3ミラー50により反射された第2波長の光を透過させて所定位置に集光させる。コリメータレンズ140は、第2ミラー130により反射された第1波長の光及び第2波長の光を透過させて平行光にするとともに、試料Wの裏面にて反射した後、第3ミラー150により反射された第1波長の光及び光学部材160にて反射した後、第3ミラー150により反射された第2波長の光を透過させて所定位置に集光させる。第3ミラー50は、コリメータレンズ40により平行光にされた第1波長の光及び第2波長の光を光学部材60に向けてX軸方向左側に反射させる。また、第3ミラー50は、試料Wの表面にて反射された第1波長の光及び光学部材60にて反射された第2波長の光をコリメータレンズ40に向けてY軸方向上側に反射させる。第3ミラー150は、コリメータレンズ140により平行光にされた第1波長の光及び第2波長の光を光学部材160に向けてX軸方向右側に反射させる。また、第3ミラー150は、試料Wの裏面にて反射された第1波長の光及び光学部材160にて反射された第2波長の光をコリメータレンズ140に向けてY軸方向上側に反射させる。光学部材60、160は、例えば、所定の波長域からなる光を透過させる一方で、異なる波長域からなる光を反射させる光学フィルタを含んで構成される。具体的には、光学部材60は、表側光源部10から照射された光のうち、第1波長の光例えば、赤色光を透過させる一方で、第1波長の光と波長の異なる第2波長の光例えば、青色光を当該光学部材60にて反射させて、反射光に照射時と逆向きの光路を辿らせる。光学部材160は、裏側光源部110から照射された光のうち、第1波長の光例えば、赤色光を透過させる一方で、第1波長の光と波長の異なる第2波長の光例えば、青色光を当該光学部材160にて反射させて、反射光に照射時と逆向きの光路を辿らせる。また、光学部材60、160は、保持部材2の把持部2aの表裏面側にそれぞれ取り付け固定されており、試料Wが設置環境等の変動により所定の振動等を行っている場合には試料Wと一体となって振動する。ハーフミラー70は、第1ミラー20により反射された第1波長の光及び第2波長の光を透過させる。また、ハーフミラー70は、試料Wの表面にて反射した後、第2ミラー30により反射された第1波長の光及び光学部材60にて反射した後、第2ミラー30により反射された第2波長の光をダイクロイックミラー80に向けてY軸方向下側に反射させる。ハーフミラー170は、第1ミラー120により反射された第1波長の光及び第2波長の光を透過させる。また、ハーフミラー170は、試料Wの裏面にて反射した後、第2ミラー130により反射された第1波長の光及び光学部材160にて反射した後、第2ミラー130により反射された第2波長の光をダイクロイックミラー180に向けてY軸方向下側に反射させる。ダイクロイックミラー80、180は、可視光において、任意の波長域の光のみを選択的に反射/透過させ、その他の波長の光は透過/反射させる性質を有するミラーである。具体的には、ダイクロイックミラー80は、例えば、ハーフミラー70により反射された光のうち、第1波長の光を透過させるとともに、第1波長と異なる第2波長の光をX軸方向左側に反射させる。ダイクロイックミラー180は、例えば、ハーフミラー170により反射された光のうち、第1波長の光を透過させるとともに、第1波長と異なる第2波長の光をX軸方向右側に反射させる。表側撮像部90は、ダイクロイックミラー80を透過した第1波長の光が入射される表側第1撮像部91と、ダイクロイックミラー80にて反射された第2波長の光が入射される表側第2撮像部92とを備えて構成される。裏側撮像部190は、表側撮像部90と略同様の構成をなしている。即ち、裏側撮像部190は、ダイクロイックミラー180を透過した第1波長の光が入射される裏側第1撮像部191と、ダイクロイックミラー180にて反射された第2波長の光が入射される裏側第2撮像部192とを備えて構成される。表側第1撮像部91及び裏側第1撮像部191は、例えば、CCDカメラ等で構成され、光結像部により結像された第1波長の光学像を撮像して、画素ごとの第1輝度データを生成し、後述のRAM202に対して出力する。表側第2撮像部92及び裏側第2撮像部192は、例えば、CCDカメラ等で構成され、光結像部により結像された第2波長の光学像を撮像して画素ごとの第2輝度データを生成し、後述のRAM202に対して出力する。制御部200は、表側撮像部90及び裏側撮像部190にて生成された輝度データに基づいて画像処理形状測定を行うものである。具体的には、制御部200は、図2に示すように、CPU201、RAM202、記憶部203等を備えて構成され、記憶部203に記憶された所定のプログラムが実行されることにより、表面検査装置1の動作制御を行っている。CPU201は、記憶部203に格納された処理プログラム等を読み出して、RAM202に展開して実行することにより、表面検査装置1全体の制御を行う。RAM202は、CPU201により実行された処理プログラム等を、RAM202内のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等をデータ格納領域に格納する。記憶部203は、例えば、プログラムやデータ等が予め記憶されている記録媒体図示省略を有しており、この記録媒体は、半導体メモリ等で構成されている。また、記憶部203は、CPU201が表面検査装置1全体を制御する機能を実現させるための各種データ、画像処理プログラム203a等の各種処理プログラム及びこれらプログラムの実行により処理されたデータ等を記憶している。画像処理プログラム203aは、CPU201に、表側第1撮像部91、裏側第1撮像部191により生成される第1輝度データと、表側第1撮像部92、裏側第2撮像部192により生成される第2輝度データとに基づいて試料表裏面の各々の形状を算出する機能を実現させるためのプログラムである。具体的には、CPU201が画像処理プログラム203aを実行すると、試料Wの表裏面の各々の形状を表す輝度データであって、試料Wの設置環境等の変動を考慮せずに検出される第1波長の光に基づく第1輝度データから、試料Wと一体となって振動等する光学部材60により反射される第2波長の光に基づく第2輝度データを減算し、輝度データの補正を行う。そして、その減算補正した結果を測定対象領域の各点における輝度データとすることにより、試料Wの設置環境等の変動の影響を低減させることができる。次いで、その各点における補正された輝度データから隣接画素の輝度データとの差を演算し、傾斜方向に沿う1つのラインデータ処理における走査ラインについて、輝度データの分布の1次微分を得る。この1次微分によって求められたデータは測定対象領域の傾斜量を反映しているので、上記1次微分の結果から走査ラインに沿った傾斜分布が求まる。さらに、走査ライン方向について、輝度データの初期位置の画素通常は端の画素から各画素までの輝度データを積算し、各位置の積分データを求め、この積分データから得られる回帰曲線と積分データとの差に基づいて測定対象領域の凹凸を求めることができる。ここで、試料Wの裏面形状の算出補正にあっては、試料Wの裏面形状の測定用に備えられた光学部材160等により、裏側第2撮像部192によって生成される裏面側の第2輝度データを用いることができるので、例えば、裏面側の第1輝度データに対する上記補正にあたって、裏面側の第2輝度データの代わりに表面側の第2輝度データを使用した際の、第1/第2輝度データ間の位置角度時間的な突合せや調整を図る必要が無いため、迅速かつ高精度な画像処理が可能となる。したがって、CPU201は、かかる画像処理プログラム203aを実行することで、画像処理手段及び補正手段として機能する。なお、記憶部203は、試料の表裏面形状の測定の際に、表側第1光源部10を照射から消灯照射停止もしくは遮光するとともに表側第2光源部13を消灯もしくは遮光から照射に切り替えて、また、裏側第1光源部110を照射から消灯もしくは遮光するとともに裏側第2光源部113を消灯もしくは遮光から照射に切り替えることで試料表面への照射方向を左右方向X軸方向や前後方向XY軸に直交する方向に所定量例えば、10cm程度異なる位置から光が照射させる光照射方向の切り替え機能を有するオンオフスイッチやリレーを備えたような照射切替手段95、195に切替動作を実行させるものとしてCPU201を実現させるプログラムを備えても良い。本発明の表面検査装置において、例えば、試料Wの測定対象領域が平坦部である場合、表側光源部10、裏側光源部110より照射され、試料Wの表裏面で反射する第1波長の光は、照射方向と同じ方向に反射し、表側第1撮像部91、裏側第1撮像部191によって全て受光されるので、その輝度第1輝度データの輝度は100となる。しかし、測定対象領域に任意の傾き角を備える凸部が存在する場合、その凸部に照射された第1波長の光は、凸部の傾き角に応じて照射方向と異なる方向表側第1撮像部91、裏側第1撮像部191によって受光されない方向に反射し、輝度が0となる場合がある。そこで、上記のような場合、例えば図3に示されるように、表側第1光源部10を照射から消灯もしくは遮光にするとともに表側第2光源部13を消灯もしくは遮光から照射に切り替えると、また、裏側第1光源部110を照射から遮光にするとともに裏側第2光源部113を遮光から照射に切り替えると、図3Bに示されるように、表側第1光源部10、裏側第1光源部110を図中白抜き矢印の方向に移動させ、つまりは、第1波長の光の照射位置を所定量図3B中の破線位置から実線位置にずらしたときと同じような効果を得られる。ここで、図3A及びB中に記載の10 ́110 ́及び13 ́113 ́は第1ミラー20A120A及び第1ミラー20B120Bを備えていないときの状態を破線で示している。このような光源部の照射と遮光との切り替え制御をCPU201に実行させることにより、凸部に照射された第1波長の光が、表側第1撮像部91、裏側第1撮像部191によって全て受光されるようにすることが可能となる。つまり、上記プログラムの実行により、試料Wの表裏面にある、任意の傾斜角を備えた凸凹や傷、パーティクルを検知することが従来装置より迅速に可能となる。次に、表面検査装置1の動作について説明する。試料Wの表裏面の形状を同時に計測する場合、表面測定部1A及び裏面測定部1Bにより同時計測を行う。具体的には、表面測定部1Aにおいて、表側第1光源部10の表側第1波長光源11Aが第1波長の光を、表側第2波長光源12Aが第2波長の光を同時に照射し、双方の光は第1ミラー20Aにより第2ミラー30に向けて反射される。そして、双方の光は第2ミラー30によりコリメータレンズ40に向けて反射され、コリメータレンズ40を透過して平行光となり、第3ミラー50により光学部材60に向けて反射される。さらに、光学部材60に向けて反射された双方の光のうち、第1波長の光は光学部材60を透過して試料Wの表面で反射する一方で、第2波長の光は光学部材60にて反射する。次いで、試料Wの表面で反射した第1波長の光及び光学部材60にて反射した第2波長の光は、ハーフミラー70まで上記入射時と逆の光路を辿る。つまり、双方の反射光は、第3ミラー50によりコリメータレンズ40に向けて反射され、コリメータレンズ40を透過し、第2ミラー30によりハーフミラー70に向けて反射される。そして、双方の反射光は、ハーフミラー70によりダイクロイックミラー80に向けて反射し、第1波長の光はダイクロイックミラー80を透過して表側第1撮像部91に入射されて撮像され、第2波長の光はダイクロイックミラー80により反射して表側第2撮像部92に入射されて撮像される。そして、表側第1撮像部91は、第1波長の光に基づいて第1輝度データを生成してRAM202に出力し、一方、表側第2撮像部92は、第2波長の光に基づいて第1輝度データを生成してRAM202に出力する。その後、表側第1光源部10を照射から消灯もしくは遮光に切り替えるとともに、表側第2光源部13を消灯もしくは遮光から照射に切り替えて、表側第2光源部13の表側第1波長光源11Bが第1波長の光を、表側第2波長光源12Bが第2波長の光を同時に照射し、双方の光は第1ミラー20Bにより第2ミラー30に向けて反射される。そして、双方の光は第2ミラー30によりコリメータレンズ40に向けて反射され、コリメータレンズ40を透過して平行光となり、第3ミラー50により光学部材60に向けて反射される。さらに、光学部材60に向けて反射された双方の光のうち、第1波長の光は光学部材60を透過して試料Wの表面で反射する一方で、第2波長の光は光学部材60にて反射する。次いで、試料Wの表面で反射した第1波長の光及び光学部材60にて反射した第2波長の光は、ハーフミラー70まで上記入射時と逆の光路を辿る。つまり、双方の反射光は、第3ミラー50によりコリメータレンズ40に向けて反射され、コリメータレンズ40を透過し、第2ミラー30によりハーフミラー70に向けて反射される。そして、双方の反射光は、ハーフミラー70によりダイクロイックミラー80に向けて反射し、第1波長の光はダイクロイックミラー80を透過して表側第1撮像部91に入射されて撮像され、第2波長の光はダイクロイックミラー80により反射して表側第2撮像部92に入射されて撮像される。そして、表側第1撮像部91は、第1波長の光に基づいて第1輝度データを生成してRAM202に出力し、一方、表側第2撮像部92は、第2波長の光に基づいて第1輝度データを生成してRAM202に出力する。一方、裏面測定部1Bにおいても、表面測定部1Aと略同様の動作が同時になされる。具体的には、裏側第1光源部110の裏側第1波長光源111Aが第1波長の光を、裏側第2波長光源112Aが第2波長の光を同時に照射し、双方の光は第1ミラー120Aにより第2ミラー130に向けて反射される。そして、双方の光は第2ミラー130によりコリメータレンズ140に向けて反射され、コリメータレンズ140を透過して平行光となり、第3ミラー150により光学部材160に向けて反射される。さらに、光学部材160に向けて反射された双方の光のうち、第1波長の光は光学部材160を透過して試料Wの裏面で反射する一方で、第2波長の光は光学部材160にて反射する。次いで、試料Wの裏面で反射した第1波長の光及び光学部材160にて反射した第2波長の光は、ハーフミラー170まで上記入射時と逆の光路を辿る。つまり、双方の反射光は、第3ミラー150によりコリメータレンズ140に向けて反射され、コリメータレンズ140を透過し、第2ミラー130によりハーフミラー170に向けて反射される。そして、双方の反射光は、ハーフミラー170によりダイクロイックミラー180に向けて反射し、第1波長の光はダイクロイックミラー180を透過して裏側第1撮像部191に入射されて撮像され、第2波長の光はダイクロイックミラー180により反射して裏側第2撮像部192に入射されて撮像される。そして、裏側第1撮像部191は、第1波長の光に基づいて第1輝度データを生成してRAM202に出力し、一方、裏側第2撮像部192は、第2波長の光に基づいて第1輝度データを生成してRAM202に出力する。その後、裏側第1光源部110を照射から消灯もしくは遮光に切り替えるとともに、裏側第2光源部113を消灯もしくは遮光から照射に切り替えて、裏側第2光源部113の裏側第1波長光源111Bが第1波長の光を、裏側第2波長光源112Bが第2波長の光を同時に照射し、双方の光は第1ミラー120Bにより第2ミラー30に向けて反射される。そして、双方の光は第2ミラー130によりコリメータレンズ140に向けて反射され、コリメータレンズ140を透過して平行光となり、第3ミラー150により光学部材160に向けて反射される。さらに、光学部材160に向けて反射された双方の光のうち、第1波長の光は光学部材160を透過して試料Wの裏面で反射する一方で、第2波長の光は光学部材160にて反射する。次いで、試料Wの裏面で反射した第1波長の光及び光学部材160にて反射した第2波長の光は、ハーフミラー170まで上記入射時と逆の光路を辿る。つまり、双方の反射光は、第3ミラー150によりコリメータレンズ140に向けて反射され、コリメータレンズ140を透過し、第2ミラー130によりハーフミラー170に向けて反射される。そして、双方の反射光は、ハーフミラー170によりダイクロイックミラー180に向けて反射し、第1波長の光はダイクロイックミラー180を透過して裏側第1撮像部191に入射されて撮像され、第2波長の光はダイクロイックミラー180により反射して裏側第2撮像部192に入射されて撮像される。そして、裏側第1撮像部191は、第1波長の光に基づいて第1輝度データを生成してRAM202に出力し、一方、裏側第2撮像部192は、第2波長の光に基づいて第1輝度データを生成してRAM202に出力する。その後、CPU201が画像処理プログラム203aを実行して、表側第1撮像部91より出力された第1輝度データから表側第1撮像部92より出力された第2輝度データを減算することで第1輝度データを補正して、当該補正後の第1輝度データに基づいて、試料Wの表面の形状を算出する。同様に、試料Wの裏面についても、CPU201が画像処理プログラム203aを実行して、裏側第1撮像部191より出力された第1輝度データから裏側第1撮像部192より出力された第2輝度データを減算することで第1輝度データを補正して、当該補正後の第1輝度データに基づいて、試料Wの裏面の形状を算出する。なお、試料Wの表裏面の形状を同じタイミングで測定する場合について説明したが、試料Wの表面と裏面とを異なるタイミングで測定するようにしても良い。以上のように、本発明にかかる表面検査装置1によれば、表側第1光源部10又は表側第1光源部110より同時に照射される第1波長の光及び第2波長の光のうち、第1波長の光を試料Wの表面で反射させる一方で、第2波長の光を把持部2aの一面側に取付け固定された光学部材60で反射させ、CPU201が画像処理プログラム203を実行することにより、双方から反射された光に基づく輝度データを用いて試料Wの表面の形状を算出することができる。即ち、把持部2aに光学部材60が取付け固定されているので、例えば、当該表面検査装置1の設置環境等の変動により試料Wが所定の振動等を行っている場合に、光学部材60と試料Wが一体となって振動することから、試料Wの設置環境等の変動を考慮せずに検出される第1波長の光に基づく第1輝度データを光学部材60で反射された第2波長の光に基づく第2輝度データに基づいて補正することができる。従って、試料Wの表面形状の測定の際に、当該表面検査装置1自体の振動、把持部2aの振動、表側光源部10や結像部のレンズ例えば、コリメータレンズ40等の温度変化等が生じた場合であっても、これらの影響を排除して試料Wの表面の形状を適正に算出することができる。また、試料Wの裏面についても、同様に、当該表面検査装置1の設置環境等の変動の影響を排除して試料Wの裏面の形状を適正に算出することができる。つまり、表面検査装置1の設置環境の変動の主たる原因として、各部材を保持するフレーム等の熱膨張や、試料Wと表側撮像部90及び裏側撮像部190とが同じ振動でない場合などが考えられる。よって、本発明は、設置環境に変動が生じても、試料Wの表面形状の測定をより高精度に行うことができる表面検査装置1であるといえる。また、表面検査装置1は、試料Wの裏面側の測定対象領域の形状の測定用として、裏面測定部1B、即ち、光学部材160と、裏側第1光源部110裏側第1波長光源111A及び裏側第2波長光源112Aと、裏側第2光源部113裏側第1波長光源111B及び裏側第2波長光源112Bと、第1ミラー120A、120Bと、第2ミラー130と、コリメータレンズ140と、第3ミラー150と、ハーフミラー170と、ダイクロイックミラー180と、裏側撮像部190裏側第1撮像部191及び裏側第1撮像部192と備えている。これによって、試料Wの表裏面の各々を測定対象とすることができることとなり、表裏面の何れか一方のみを測定対象とする場合に比べて、一層高精度な形状の測定が可能となるのはもちろんのこと、試料Wの裏面形状の算出補正にあって、輝度データ間の位置角度時間的な突合せや調整を図る必要が無いため、迅速かつより高精度な画像処理が可能となる。また、表面検査装置1は、第1波長の光を透過し、且つ、第2波長の光を反射するダイクロイックミラー80、180を備えている。これによって、波長の異なる第1波長の光及び第2波長の光のうち、第1波長の光を透過させて表側第1撮像部91、裏側第1撮像部191に入射させる一方で、第2波長の光を反射させて表側第2撮像部92、裏側第2撮像部192に入射させることができるので、より高精度に第1波長の光及び第2波長の光を分離し、確実にその分離した光を表側撮像部90及び裏側撮像部190に入射させることができる。なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。例えば、表面検査装置1として、試料の表裏面の測定対象領域の形状を測定するものを例示したが、これに限られるものではなく、試料Wの片面側の測定対象領域の形状の測定用の表面測定部1A及び裏面測定部1Bのうち、何れか一方を備えるものであっても良い。即ち、表面測定部1Aを構成する、光学部材60と、表側第1光源部10表側第1波長光源11A及び表側第2波長光源12Aと、表側第2光源部13表側第1波長光源11B及び表側第2波長光源12Bと、第1ミラー20Bと、第2ミラー30と、コリメータレンズ40と、第3ミラー50と、ハーフミラー70と、ダイクロイックミラー80と、表側撮像部90表側第1撮像部91及び表側第1撮像部92を備えたものであっても当然よい。また、上記実施形態にあっては、表側第1光源部10、表側第2光源部13及び裏側第1光源部110、裏側第2光源部113として、第1波長の光と第2波長の光を別々の光源から同時照射させるものを例示したが、表側光源部10及び裏側光源部110の構成はこれに限られるものではなく、第1波長の光と第2波長の光を同時に照射する構成のものであれば如何なるものであっても良い。即ち、表側第1光源部10、表側第2光源部13及び裏側第1光源部110、裏側第2光源部113は、必ずしも第1波長の光と第2波長の光を別々の光源から同時照射させる必要はなく、例えば、第1波長の光と第2波長の光が混在した光を照射する光源を備えていても良い。かかる場合であっても、光学部材60、160により、第1波長の光と第2波長の光を分離することができるので、上記構成と同様の効果を発揮することができる。さらに、例えば、表面検査装置1が表面測定部1Aのみからなる場合に、試料Wの裏面側にのみ光学部材を設け、第1照射部から第1波長の光を試料Wの表面側に向けて照射し、当該第1波長の光の照射と同期させて、第2照射部から第2波長の光を試料Wの裏面側に向けて光学部材により反射させるように照射する構成であっても良い。また、上記実施形態では、光学部材60160が保持部材2に取付け固定された構成、即ち、光学部材60160と試料Wを一体とした構成を例示したが、光学部材60160は、保持部材2の他に、当該表面検査装置1の表側第1光源部10裏側第1光源部110及び表側第2光源部13裏側第2光源部113以外の各部と一体となるように構成されても良い。つまり、光学部材60160と表側第1光源部10裏側第1光源部110及び表側第2光源部13裏側第2光源部113とが一体となって構成されると、表側第1光源部10裏側第1光源部110及び表側第2光源部13裏側第2光源部113から照射される第1波長の光や第2波長の光が振動の影響を受けてしまい、試料Wの表面形状の測定の際に、保持部材2の振動の影響を排除することができなくなってしまうためである。具体的には、例えば、光学部材60160は、光結像部の各種ミラーやレンズとも一体となって構成されても良いし、表側撮像部90裏側撮像部190とも一体となって構成されても良い。また、表面検査装置1は、例えば、表側光源部10裏側光源部110を別体として、それ以外の全てを一体として構成しても良い。また、表面検査装置1の構成は、上記実施形態に例示したものは一例であり、これに限られるものではない。さらに、上記実施形態では、画像処理手段、補正手段としての機能を、CPU201によって画像処理プログラム203aが実行されることにより実現される構成としたが、これに限られるものではなく、例えば、各種機能を実現するためのロジック回路等から構成しても良い。また、上記実施形態では、第1波長の光として赤色光を、第2波長の光として青色光を例示したが、第1波長の光及び第2波長の光はこれらに限られるものではなく、波長の異なる組合せであれば適宜任意に変更することができる。例えば、第1波長の光が赤色光で変更がない場合、第2波長の光として青色光に代えて緑色光波長域498~530nm程度を適用しても良い。加えて、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。