"基板と、前記基板の表面における基準点の周囲に配置された複数の圧力センサーと、弾性材料で形成されて前記複数の圧力センサーを覆う弾性層と、前記弾性層よりも剛性が高い材料で形成されて平面視で前記基準点に重なるように前記弾性層に内包された硬質体とを具備する検出装置。前記硬質体は、前記複数の圧力センサーから離れた位置に配置される請求項1の検出装置。前記硬質体の表面は、曲面で構成される請求項1または請求項2の検出装置。前記硬質体は、球体である請求項3の検出装置。前記弾性層に外力が作用しない状態では、前記硬質体の重心と前記基準点とが平面視で合致する請求項1から請求項4の何れかの検出装置。前記複数の圧力センサーは、前記基準点に対して点対称に配置される請求項1から請求項5の何れかの検出装置。前記複数の圧力センサーと前記硬質体との複数組が前記基板の面上に配置される請求項1から請求項6の何れかの検出装置。請求項1から請求項7の何れかの検出装置を具備する電子機器。請求項1から請求項7の何れかの検出装置を具備するロボット。しかし、特許文献1から特許文献3の何れの技術においても装置の耐久性が低いという問題がある。例えば特許文献1の構成では、感圧層に底面のみで接合された各接触子に外力が直接に作用するから、外力の作用時に各接触子が脱落する可能性がある。特許文献2の技術では、弾性体が固定されていないから、例えば衝撃が作用した場合に弾性体が所期の位置からずれる可能性がある。また、特許文献3の技術では、弾性層およびカバー層の各々と柱状体との接合部分に応力が集中して破損する可能性がある。以上の事情を考慮して、本発明は、検出装置の耐久性を高めることを目的とする。本発明の検出装置は、基板例えば支持基板20と、基板の表面における基準点の周囲に配置された複数の圧力センサーと、弾性材料で形成されて複数の圧力センサーを覆う弾性層と、弾性層よりも剛性が高い材料で形成されて平面視で基準点に重なるように弾性層に内包された硬質体例えば硬質体50Aまたは硬質体50Bとを具備する。以上の構成では、外力の作用による弾性層の弾性変形に連動して硬質体が基板の表面に対して変位し、硬質体から各圧力センサーに圧力が伝播する。硬質体は弾性層に内包されるすなわち、硬質体の表面が弾性層の表面から外部に露出しないように弾性層に包囲埋設されるから、硬質体の脱落や基準点に対する位置ずれを防止して検出装置の耐久性を高めることが可能である。本発明の好適な態様において、硬質体は、複数の圧力センサーから離れた位置に配置される。以上の態様によれば、硬質体が各圧力センサーに接触しないから、外力に応じた圧力を各圧力センサーにより適切に検出することが可能である。弾性層に外力が作用しない状態で硬質体が複数の圧力センサーに接触しない構成のほか、弾性層に外力が作用した状態でも硬質体が複数の圧力センサーに接触しない構成も好適である。硬質体の形状は任意であるが、例えば硬質体が角部を含む構成では、弾性層のうち硬質体の角部の近傍に応力が集中して弾性層が破損する可能性がある。そこで、本発明の第1態様では、硬質体の表面が曲面で構成される。以上の態様では、弾性層における応力の集中が抑制されるから、弾性層の破損を防止することが可能である。以上の効果は、硬質体を球体とした構成で格別に顕著となる。第1態様の好適例において、弾性層に外力が作用しない状態では、硬質体の重心と基準点とが平面視で合致する。以上の態様では、弾性層の外力が作用しない状態で硬質体の重心と基準点とが平面視で合致するから、弾性層の弾性変形に連動した硬質体の変位を高精度に検出できるという利点がある。本発明の第2態様において、硬質体例えば硬質体50Bは、基板に対向する表面が凹状である。以上の態様では、硬質体のうち基板との対向面が凹状であるから、例えば硬質体を球体とした構成と比較して、弾性層の弾性変形時に硬質体から基板側に伝播する圧力を局所的な領域に集中させることが可能である。したがって、弾性層に作用した外力の方向を高精度に検出できるという利点がある。第2態様の好適例において、基板に垂直な断面における硬質体の断面形状は中心線に対して線対称であり、弾性層に外力が作用しない状態では、硬質体の中心線が基準点を通過する。以上の態様では、弾性層に外力が作用しない状態で硬質体の中心線が基準点を通過するから、弾性体の弾性変形に連動した硬質体の変位を高精度に検出できるという利点がある。硬質体のうち基板に対向する表面を円弧面とした場合、弾性層に外力が作用しない状態で円弧面の曲率中心が基準点に合致するように硬質体を配置した構成が好適である。また、硬質体のうち基板に対向する表面を放物面回転放物面とした場合、弾性層に外力が作用しない状態で放物面の焦点が基準点に合致するように硬質体を配置した構成が好適である。以上の各形態によれば、硬質体から基板側に伝播する圧力が局所的な領域に集中するという作用は格別に顕著となる。したがって、弾性層に作用した外力の方向を高精度に検出できるという利点がある。第1態様または第2態様の検出装置において、複数の圧力センサーを基準点に対して点対称に配置した構成によれば、基準点との位置関係距離が複数の圧力センサーで共通化されるから、検出結果の解析が容易であるという利点がある。また、第1態様または第2態様の検出装置において、複数の圧力センサーと硬質体との複数組を基板の面上に配置した構成によれば、平面内の圧力分布を把握することが可能である。以上の各態様の検出装置は、各種の電子機器に利用される。電子機器の典型例は、利用者による操作を検出する入力機器として前述の各態様の検出装置を利用した機器例えば携帯電話機や携帯情報端末である。また、以上の各態様の検出装置は、各種のロボットにも利用される。例えば対象物を保持および搬送する産業用ロボットでは、対象物との接触状態の検出に以上の各態様の検出装置が利用される。<A:第1実施形態>図1は、本発明の第1実施形態に係る検出装置100の模式図である。検出装置100は、検出面10の任意の位置に作用する外力の大きさと方向とを検出する平板型の力覚センサー触覚センサーであり、図1に示すように、検出面10に作用する外力に応じた検出信号を生成および出力する圧力検出体12と、圧力検出体12が生成する検出信号に応じて外力の大きさと方向とを算定する演算回路14とを具備する。図2は、圧力検出体12の分解斜視図である。図2に示すように、圧力検出体12は、支持基板20と複数のセンサー群30と受圧層40とを含んで構成される。支持基板20は、例えばガラスやプラスチック等の材料で形成された矩形状例えば縦56mm×横56mm程度の正方形状の板材である。支持基板20の表面22に平行なXY平面にZ軸が直交するXYZ直交座標系を以下の説明では想定する。支持基板20の表面22には複数の単位領域Uが画定される。複数の単位領域Uは、X方向およびY方向に沿って行列状に配列する。各単位領域Uは、例えば28mm×2.8mm程度の正方形状の領域である。各単位領域U内には1個の基準点Rが設定される。基準点Rは、例えば単位領域Uの中心重心である。したがって、支持基板20の表面22にはX方向およびY方向に沿って複数の基準点R格子点が行列状に配列する。図3は、圧力検出体12のうち1個の単位領域Uに着目した平面図であり、図4は、図3におけるIV-IV線の断面図である。図2から図4に示すように、複数のセンサー群30の各々は、支持基板20の表面22にて相異なる単位領域U内に形成される。各単位領域Uに対応するセンサー群30は、表面22のうちその単位領域Uの基準点Rの周囲に配置された4個の圧力センサーS1~S4を含んで構成される。各圧力センサーSkk=1~4は、自身に作用する圧力に応じた検出信号を生成する検出素子である。例えばダイアフラムゲージ等の感圧素子が圧力センサーSkとして好適に採用される。各圧力センサーSkの形状や寸法は共通する。各単位領域U内の4個の圧力センサーS1~S4は、相互に間隔例えば01mm程度の間隔をあけて形成され、X方向およびY方向に沿って2行×2列の行列状に配列する。具体的には、圧力センサーS1は基準点Rに対して-X方向およびY方向に位置し、圧力センサーS2は基準点Rに対してX方向およびY方向に位置し、圧力センサーS3は基準点Rに対して-X方向および-Y方向に位置し、圧力センサーS4は基準点Rに対してX方向および-Y方向に位置する。すなわち、4個の圧力センサーS1~S4は、単位領域U内で基準点Rに対して点対称に配置され、基準点Rから相等しい距離に位置する。図2の受圧層40は、検出面10に作用する外力Fを各センサー群30に伝播する。図2に示すように、受圧層40は、弾性層42と複数の硬質体50Aとを含んで構成される。弾性層42は、支持基板20の表面22に設置されて複数のセンサー群30を被覆する平板状の要素であり、全面にわたって略均等な厚さに形成される。弾性層42のうち支持基板20とは反対側の表面が検出面10に相当する。弾性層42は、例えばシリコンゴム等の弾性材料で形成され、検出面10に作用する外力Fに応じて弾性変形する。図2および図4に示すように、複数の硬質体50Aは弾性層42に内包埋設される。すなわち、各硬質体50Aは、表面が外部に露出しないように弾性層42で包囲されるすなわち、表面の全部が弾性層42に密着する。図4に示すように、各硬質体50Aは、弾性層42の検出面10および圧力センサーS1~S4の表面の双方から離れた位置に配置される。各硬質体50Aは、検出面10に作用する外力Fに応じて弾性層42の内部にて変位することで外力Fの方向および大きさに応じた圧力を各圧力センサーSkに作用させる各圧力センサーSkに圧力を集中させる要素であり、弾性層42よりも剛性が高い材料弾性層42よりも硬質な材料で形成される。例えば鉄等の金属や各種の合金が硬質体50Aの材料として好適である。また、プラスチック等の材料で硬質体50Aを形成することも可能である。第1実施形態の硬質体50Aは、表面の全域が曲面で構成される。具体的には、硬質体50Aは球体である。図2に示すように、複数の硬質体50Aは、各単位領域U基準点Rに対応するように平面視ですなわちZ方向からみてX方向およびY方向に沿って行列状に配列する。弾性層42検出面10に外力Fが作用しない状態以下非加圧状態というでは、各硬質体50Aとこれに対応する基準点Rとが平面視で重なり合う。具体的には、図3および図4に示すように、硬質体50Aの重心中心Pgと基準点Rとが平面視で合致する。他方、検出面10に外力Fが作用して弾性層42が変形すると、弾性層42の変形に連動して各硬質体50Aが支持基板20の表面22各基準点Rに対して変位し、各圧力センサーSkに作用する圧力の分布が硬質体50Aの位置に応じて変化する。したがって、各圧力センサーSkが生成する検出信号を解析することで、検出面10に作用する外力Fの大きさと方向とを特定することが可能である。図5は、受圧層40の製造工程図である。図5に示すように、硬質体50Aの外形に対応する複数の凹部72が表面に行列状に形成された金型70が用意される。工程T1では、各凹部72に嵌合するように硬質体50Aを金型70の表面に配置し、工程T2では、各硬質体50Aを覆う第1層421を金型70の表面に弾性材料で形成する。工程T2の実行後に第1層421を金型70から取出し、第1層421のうち各硬質体50Aが露出する表面すなわち工程T2で金型70に対向していた表面を覆う第2層422を第1層421と同様の弾性材料で形成する工程T3。以上の工程により、第1層421と第2層422とで構成される弾性層42の内部に複数の硬質体50Aを内包したすなわち複数の硬質体50Aを第1層421と第2層422とで挟持した受圧層40を形成することが可能である。図1の演算回路14は、例えばCPUと記憶回路ROMやRAMとを含んで構成され、圧力検出体12の各圧力センサーSkが生成する検出信号を処理して外力Fの大きさおよび方向を算定する。第1実施形態の演算回路14は、検出面10に作用する外力FのうちX方向の成分値FxとY方向の成分値FyとZ方向の成分値Fzとを複数の単位領域Uの各々について算定するとともにXY平面内での外力Fの方向以下外力方向というθを算定する。図6は、演算回路14が実行する処理のフローチャートである。図6の処理は、例えば割込信号の発生を契機として所定の周期で順次に実行される。演算回路14は、複数の単位領域Uの各々について圧力値P1~P4を算定する処理Q1。圧力値Pkは、単位領域U内の4個の圧力センサーS1~S4のうち圧力センサーSkに作用する圧力に応じた数値であり、圧力センサーSkが生成した検出信号から演算回路14が算定する。図7は、検出面10に作用する外力Fと硬質体50Aの変位との関係を示す模式図である。図7の平面図では、硬質体50Aから各圧力センサーSkに作用する圧力の高低が網掛の粗密高圧力ほど密で表現されている。検出面10に外力Fが作用しない図7の部分の非加圧状態では圧力値Pkがゼロとなり、圧力センサーSkに作用する圧力が増加するほど圧力値Pkが増加する場合を以下では想定する。図7の部分に示すように検出面10に対して外力FがZ方向に平行に作用した場合、硬質体50Aが-Z方向に変位して4個の圧力センサーS1~S4に接近するから、圧力値P1~P4は非加圧状態と比較して増加する。ただし、硬質体50Aの重心Pgと基準点Rとは平面視で合致した状態に維持されるから、圧力値P1~P4は相等しい数値となる。他方、図7の部分に示すように検出面10に斜め方向すなわちZ方向に対して傾斜する方向の外力Fが作用した場合、硬質体50Aは外力Fの方向に変位する。具体的には、硬質体50Aは、-Z方向に移動するとともに、XY平面内での外力Fの方向外力方向θに変位する。すなわち、硬質体50Aの重心Pgは、平面視で基準点Rに対して外力方向θに移動する。したがって、各圧力値Pkが非加圧状態ゼロと比較して増加し、かつ、基準点Rに対して外力方向θの前方に位置する圧力センサーSkの圧力値Pkが外力方向θの後方に位置する圧力センサーSkの圧力値Pkを上回る。例えば図7の部分に示すように、硬質体50Aの重心PgがX方向に変位するように検出面10に斜め方向の外力Fが作用した場合、基準点Rに対して平面視で外力方向θの前方に位置する各圧力センサーSkS2,S4の圧力値P2および圧力値P4は、基準点Rに対して外力方向θの後方に位置する各圧力センサーSkS1,S3の圧力値P1および圧力値P3を上回る。図6に示すように、演算回路14は、処理Q1で単位領域U毎に算定した圧力値P1~P4を利用した演算で、外力FのX方向の成分値FxとY方向の成分値FyとZ方向の成分値Fzとを複数の単位領域Uの各々について算定する処理Q2。具体的には、演算回路14は、以下の数式の演算で成分値Fxを算定し、数式の演算で成分値Fyを算定し、数式の演算で成分値Fzを算定する。数式に示すように、基準点Rに対してX方向の領域圧力センサーS2および圧力センサーS4で検出された圧力値P2P4と、基準点Rに対して-X方向の領域圧力センサーS1および圧力センサーS3で検出された圧力値P1P3との差分に応じて外力FのX方向の成分値Fxが算定される。したがって、例えば図7の部分の例示のように圧力値P2および圧力値P4が圧力値P1および圧力値P3と比較して大きいほどすなわち基準点Rに対する硬質体50AのX方向の変位が大きいほど、数式で算定される成分値Fxは大きい数値となる。数式に示すように、基準点Rに対してY方向の領域圧力センサーS1および圧力センサーS2で検出された圧力値P1P2と、基準点Rに対して-Y方向の領域圧力センサーS3および圧力センサーS4で検出された圧力値P3P4との差分に応じて外力FのY方向の成分値Fyが算定される。したがって、圧力値P1および圧力値P2が圧力値P3および圧力値P4と比較して大きいほどすなわち基準点Rに対する硬質体50AのY方向の変位が大きいほど、数式で算定される成分値Fyは大きい数値となる。また、例えば図7の部分の例示のように圧力値P1~P4が相等しい場合には、成分値Fxおよび成分値Fyの双方がゼロとなる。数式に示すように、圧力値P1~P4の加算値が外力FのZ方向の成分値Fzとして算定される。なお、数式ないし数式から理解されるように成分値Fzは成分値Fxまたは成分値Fyと数値範囲が相違するが、成分値Fzと成分値Fxや成分値Fyとで数値範囲が同等となるように各数値を補正することも可能である。図6に示すように、演算回路14は、処理Q2で単位領域U毎に算定した成分値Fxおよび成分値Fyを利用した演算で外力方向θを算定する処理Q3。具体的には、演算回路14は、複数の単位領域Uの各々の成分値Fxに応じた成分値σxと、複数の単位領域Uの各々の成分値Fyに応じた成分値σyとを算定し、成分値σxと成分値σyとから外力方向θを算定する。成分値σxは、例えば各単位領域Uに対応する複数の成分値Fxの代表値例えば平均値や最大値であり、成分値σyは、例えば各単位領域Uに対応する複数の成分値Fyの代表値例えば平均値や最大値である。なお、成分値Fxと成分値Fyとの組毎に方向θを算定し、複数の方向θの代表値例えば平均値を外力方向θとして確定することも可能である。以上に説明したように、第1実施形態では各硬質体50Aが弾性層42に内包されるから、硬質体50Aの脱落や基準点Rに対する位置ずれを防止して検出装置100の耐久性を高めることが可能である。また、第1実施形態では、非加圧状態で硬質体50Aの重心Pgと基準点Rとが平面視で合致するように硬質体50Aが設置されるから、例えば非加圧状態で硬質体50Aの重心Pgが基準点Rから偏心する構成と比較して、基準点Rに対する硬質体50Aの変位の方向を容易かつ高精度に検出できるという利点もある。しかも、4個の圧力センサーS1~S4が基準点Rに対して点対称に配置されるすなわち、基準点Rに対する位置関係が4個の圧力センサーS1~S4について共通化されるから、XY平面内での硬質体50Aの変位量と圧力センサーSkの圧力値Pkとの関係が4個の圧力センサーS1~S4について共通化される。したがって、基準点Rとの位置関係例えば距離が圧力センサーSk毎に相違する構成と比較して、外力Fの各成分値Fx,Fy,Fzや外力方向θの演算が簡素化されるという利点もある。なお、硬質体50Aの形状は任意である。ただし、硬質体50Aを多面体複数の平面で構成される立体とした場合、弾性層42の変形時に、弾性層42のうち硬質体50Aの角部の付近に局所的に応力が集中する。したがって、例えば過大な外力Fを作用させた場合や反復的に外力Fを作用させた場合に弾性層42が破損する可能性がある。他方、硬質体50Aを曲面球面で構成した第1実施形態によれば、弾性層42に対する応力の集中が緩和されるから、応力集中に起因した弾性層42の破損を防止できるという効果が実現される。以上の効果は、第1実施形態の例示の通り硬質体50Aを球体とした場合に格別に顕著となる。<B:第2実施形態>本発明の第2実施形態を以下に説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第1実施形態と同等である要素については、以上の説明で参照した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。図8は、第2実施形態における圧力検出体12のうち1個の単位領域Uに着目した断面図図4に対応する断面図である。図8に示すように、第2実施形態の圧力検出体12は、第1実施形態の硬質体50Aを硬質体50Bに置換した構成である。硬質体50Bは、第1実施形態と同様に、弾性層42よりも剛性が高い材料で形成されて弾性層42に内包され、各単位領域U基準点Rに対応するようにX方向およびY方向に行列状に配列する。第2実施形態の硬質体50Bは、支持基板20の表面22に対向する表面以下基板対向面という54が表面22に対して凹面状に形成された要素である。具体的には、硬質体50Bは、Z方向に平行な直線を中心線Aとする回転体状に形成される。すなわち、XY平面との直交面での硬質体50Bの断面形状は中心線Aに関して線対称な形状である。図8では、円弧面状所定厚の球殻を平面で切断した片側の部分の硬質体50Bが例示されている。硬質体50Bの基板対向面54は、曲率中心Pcが支持基板20側に位置する円弧面で構成される。以上の構成では、検出面10に対する外力Fの作用時に硬質体50Bから支持基板20側に伝播する圧力が曲率中心Pcの近傍に集中する。非加圧状態で硬質体50Bの中心線Aがその硬質体50Bに対応する基準点Rを通過するようにXY平面内での各硬質体50Bの位置が選定される。具体的には、図8に示すように、基板対向面54の曲率中心Pcが非加圧状態で基準点Rに合致する。以上に説明した第2実施形態の受圧層40は、図5の例示と同様の方法で製造され得る。図9は、検出面10に作用する外力Fと硬質体50Bの変位との関係を図7と同様の方法で示す模式図である。図9の部分は、検出面10に外力Fが作用しない非加圧状態である。図9の部分および部分に示すように検出面10に対して外力Fが作用した場合、硬質体50Bから支持基板20側に伝播する圧力は、中心線A曲率中心Pcの周囲の局所的な領域αに集中する。図9の部分に示すように検出面10に対して外力FがZ方向に平行に作用した場合、硬質体50Bが-Z方向に変位して4個の圧力センサーS1~S4に接近するから、圧力値P1~P4は非加圧状態と比較して増加する。ただし、硬質体50Bの中心線Aが基準点Rを通過する状態すなわち曲率中心Pcと基準点Rとが平面視で合致する状態は維持されるから、圧力値P1~P4は相等しい数値となる。他方、図9の部分に示すように検出面10に斜め方向の外力Fが作用した場合、硬質体50Bは外力Fの方向に変位する。具体的には、硬質体50Bは、-Z方向に変位するとともに、XY平面内での外力Fの方向外力方向θに変位する。したがって、硬質体50Bの中心線A曲率中心Pcは、平面視で基準点Rに対して外力方向θに移動する。すなわち、硬質体50Bからの圧力が集中する領域αが基準点Rからみて外力方向θに移動する。図9の部分の状態では、各圧力値Pkが非加圧状態ゼロと比較して増加し、かつ、基準点Rに対して外力方向θの前方に位置する圧力センサーSkの圧力値Pkが外力方向θの後方に位置する圧力センサーSkの圧力値Pkを上回る。例えば図9の部分に示すように、硬質体50Bの中心線A曲率中心PcがX方向に変位するように検出面10に斜め方向の外力Fが作用した場合、基準点Rに対して外力方向θの前方に位置する各圧力センサーSkS2,S4の圧力値P2および圧力値P4は、基準点Rに対して外力方向θの後方に位置する各圧力センサーSkS1,S3の圧力値P1および圧力値P3を上回る。以上に説明したように、検出面10に作用する外力Fの方向および大きさに応じた圧力値P1~P4が第1実施形態と同様に検出される。演算回路14は、第1実施形態と同様の処理図6を実行することで、外力FのうちX方向の成分値FxとY方向の成分値FyとZ方向の成分値Fzとを複数の単位領域Uの各々について算定するとともに外力方向θを算定する。第2実施形態においても第1実施形態と同様の効果が実現される。また、第2実施形態では、硬質体50Bの基板対向面54が凹面状に形成されるから、硬質体50Aを球体状とした第1実施形態と比較して、検出面10に対する外力Fの作用時に硬質体50Bから支持基板20側に伝播する圧力を局所的な領域αに集中させることが可能である。したがって、外力Fの方向に応じた圧力値P1~P4の変化が第1実施形態と比較して顕著となる。すなわち、第2実施形態によれば、外力方向θを高い感度で検出できるという利点がある。第2実施形態では基板対向面54の中心線Aが非加圧状態で基準点Rを通過するしかも曲率中心Pcが基準点Rに合致するから、外力方向θを高い感度で検出できるという効果は格別に顕著である。なお、第2実施形態では基板対向面54が円弧面で構成された硬質体50Bを例示したが、硬質体50Bの形状は適宜に変更される。例えば、図10に示すように、中心線AがZ方向に平行な放物面回転放物面で基板対向面54を構成した硬質体50Bを採用することも可能である。図10の構成では、検出面10に対する外力Fの作用時に硬質体50Bから支持基板20側に伝播する圧力が基板対向面54の焦点Pfの近傍に集中する。第2実施形態と同様に外力方向θを高い感度で検出するという観点からすると、基板対向面54の中心線Aが基準点Rを通過する更には基板対向面54の焦点Pfが基準点Rに合致するようにXY平面内での硬質体50Bの位置を選定した構成が格別に好適である。<C:第3実施形態>図11は、第3実施形態における圧力検出体12のうち1個の単位領域Uに着目した平面図図3に対応する平面図である。図11に示すように、第3実施形態の各センサー群30は、単位領域U内に行列状に配列されたM個M>4の圧力センサーS1~SMを含んで構成される。各圧力センサーSmm=1~Mは、自身に作用する圧力圧力値Pmに応じた検出信号を生成する。図11では、縦10行×横10列の合計100個M=100の圧力センサーSmで1個のセンサー群30を構成した場合が例示されている。M個の圧力センサーS1~SMのうち基準点Rの近傍の各圧力センサーSmは平面視で硬質体50第1実施形態の硬質体50Aまたは第2実施形態の硬質体50Bと重なり合うが、基準点Rから離間した位置の各圧力センサーSmは硬質体50と重なり合わない。演算回路14は、複数の単位領域Uの各々について、M個の圧力センサーS1~SMが生成した検出信号に応じて圧力値P1~PMを算定する図6の処理Q1。そして、演算回路14は、検出面10に作用する外力FのX方向の成分値FxとY方向の成分値FyとZ方向の成分値Fzとを単位領域U毎に算定する処理Q2。成分値Fxの算定には以下の数式が利用され、成分値Fyの算定には以下の数式が利用され、成分値Fzの算定には以下の数式が利用される。図11に示すように、数式の変数xmは、圧力センサーSmの中心と基準点RとのX方向の距離を意味し、数式の変数ymは、圧力センサーSmの中心と基準点RとのY方向の距離を意味する。また、演算回路14は、第1実施形態と同様の方法で外力方向θを算定する処理Q3。第3実施形態においても第1実施形態と同様の効果が実現される。また、第3実施形態では、各単位領域Uに多数の圧力センサーS1~SMが配置されるから、4個の圧力センサーS1~S4を利用する第1実施形態と比較して外力Fの方向や大きさを高精度に特定できるという利点がある。<D:変形例>以上の各形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様を適宜に併合することも可能である。1変形例1第1実施形態の硬質体50Aの形状は適宜に変更される。例えば、図12の部分に示すように硬質体50Aを楕円体状回転楕円体状に形成することが可能である。なお、以上の例示では、弾性層42に対する応力集中を防止する観点から硬質体50Aの表面を曲面とした構成を例示したが、弾性層42の応力集中が問題とならない場合には、表面が平面を含む形状の硬質体50Aも採用され得る。例えば、多面体の硬質体50Aや、図12の部分に示すようにXY平面に平行な平板状の硬質体50Aや、図12の部分に示すように支持基板20に対向する底面が平面とされた半球状の硬質体50Aを採用することも可能である。第2実施形態の硬質体50Bの形状も適宜に変更される。例えば、図13の部分に示すように、基板対向面54が錐体面円錐や角錐の側面で構成された硬質体50Bも採用される。また、硬質体50Bの厚さが全体にわたって均等である構成は必須ではない。例えば図13の部分に示すように、支持基板20側の基板対向面54が凹状面で構成されるとともに基板対向面54とは反対側の表面が平面で構成された形状の硬質体50Bも採用され得る。以上の例示から理解されるように、第2実施形態の硬質体50Bは、基板対向面54が凹状である要素として包括される。2変形例2単位領域U内に配置される圧力センサーSS1,S2,......の配置の態様個数,形状,配列は任意である。例えば図14の部分に示すように、基準点Rを中心とした半径方向および円周方向に複数の円弧状の圧力センサーSを配置した構成や、図14の部分に示すように、基準点Rを中心として複数の扇形の圧力センサーSを配置した構成も採用され得る。3変形例3以上の各形態では、センサー群30と硬質体5050A,50Bとの複数組を支持基板20の面上に行列状に配列したが、センサー群30と硬質体50との組数は任意である。例えば、センサー群30と硬質体50とを1組だけ配置した構成も採用され得る。4変形例4検出面10は平坦面に限定されない。例えば図15に示すように、検出面10を、多数の微細な凹凸が形成された粗面とした構成も採用され得る。図15の検出面10は、各硬質体50Aの高さを反映した凸部山部が形成された粗面である。以上の構成によれば、検出面10を平坦面とした構成と比較して、斜め方向の外力Fの作用時に弾性層42がXY平面内の方向に変形し易いから、外力方向θを高精度に検出できるという利点がある。<E:応用例>以上の各形態に係る検出装置100の応用例を以下に説明する。図16および図17は、利用者による操作を検出する入力機器として前述の各形態の検出装置100を利用した電子機器の例示である。図16の携帯電話機91は、利用者が操作する複数の操作子912と、前述の各形態の検出装置100圧力検出体12を利用した操作パッド914と、画像を表示する表示機器916とを具備する。操作パッド914の検出面10に対して利用者が指を接触させて移動することで検出面10に対する外力Fの方向や大きさが検出され、検出結果に応じた情報例えば電話帳等が表示機器916に表示される。図17の携帯情報端末PDA:PersonalDigitalAssistants92は、利用者が操作する複数の操作子922と、前述の各形態の検出装置100圧力検出体12を利用した操作パッド924と、画像を表示する表示機器926とを具備する。操作パッド924の検出面10に対して利用者が指を接触させて移動することで検出面10に対する外力Fの方向や大きさが検出され、検出結果に応じた情報例えば住所録や予定表等が表示機器926に表示されるとともに表示画像が検出結果に応じてスクロールされる。本発明の検出装置が適用される電子機器としては、図16の携帯電話機91や図17の携帯情報端末92のほか、デジタルスチルカメラ,テレビ,ビデオカメラ,カーナビゲーション装置,ページャ,電子手帳,電子ペーパー,電卓,ワードプロセッサ,ワークステーション,テレビ電話,POS端末,プリンタ,スキャナ,複写機,ビデオプレーヤ等が例示される。図18は、前述の各形態の検出装置100を利用したロボット産業用ロボットの斜視図である。図18のロボット93は、対象物95を把持して搬送する装置であり、相互に間隔をあけて本体部932から突出する一対のアーム部934を具備する。各アーム部934において相互に対向する表面対象物95との対向面に、前述の各形態の検出装置100を利用した接触部936が設置される。制御装置図示略から供給される駆動信号に応じて各アーム部934の間隔が変化することで対象物95が把持される。対象物95から各接触部936に作用する外力F鉛直方向の摩擦力の方向や大きさが検出され、検出結果に応じた駆動信号を供給することで各アーム部934から対象物95に作用させる圧力が制御される。以上の構成によれば、例えば対象物95の変形や落下が発生しないように対象物95の性質硬軟や摩擦係数に応じて対象物95を把持することが可能である。"