"帯状に形成され相互に平行に配置された複数行の第一電極と、帯状に形成され相互に平行に配置されると共に、複数行の前記第一電極との対向位置がマトリックス状となるように前記第一電極に対向して設けられた複数列の第二電極と、各行の前記第一電極と各列の前記第二電極との間に設けられた誘電層と、各行の前記第一電極に選択的に電圧を印加可能な電圧印加手段と、各列の前記第二電極に選択的に電気的接続され、マトリックス状の静電容量計測対象うち、電圧を印加された前記第一電極と電気的接続された前記第二電極との間の静電容量を計測する静電容量計測手段と、を備える静電容量型センサ装置において、前記電圧印加手段と前記静電容量計測手段との間の電気抵抗および静電容量により形成される直列回路における前記電気抵抗を設定範囲内となるように、前記電圧印加手段と前記静電容量計測手段との間に設けられた調整抵抗を備える静電容量型センサ装置。請求項1において、前記調整抵抗は、前記電圧印加手段と各前記第一電極とのそれぞれの間に設けられ、それぞれ異なる電気抵抗となる複数の第一調整抵抗と、各前記第二電極と前記静電容量計測手段とのそれぞれの間に設けられ、それぞれ異なる電気抵抗となる複数の第二調整抵抗と、を備える静電容量型センサ装置。請求項1または2において、前記第一電極および前記第二電極は、エラストマーまたは樹脂に導電性フィラーを配合させて成形された電極である静電容量型センサ装置。請求項3において、前記調整抵抗は、エラストマーまたは樹脂に導電性フィラーを配合させて成形され、前記第一電極または前記第二電極と一体的に成形される静電容量型センサ装置。請求項1~4の何れか一項において、前記静電容量型センサ装置は、各前記第一電極および各前記第二電極の全長抵抗を計測する全長抵抗計測手段を備え、前記静電容量計測手段は、前記電圧印加手段により前記第一電極に電圧が印加された場合に、電気的接続された前記第二電極から出力される電気信号を取得する出力信号取得手段と、前記全長抵抗に基づいて、前記出力信号取得手段により取得された前記電気信号を補正して、前記静電容量を計測する補正手段と、を備える静電容量型センサ装置。ここで、特許文献1のように電極間の静電容量を計測する場合において、第一電極に電圧を印加する電源回路と、第二電極から出力される電気信号を取得する回路との間において、電気抵抗Rと静電容量CとのいわゆるRC回路が形成される。そして、出力側の回路において、当該RC回路に流れる電流を計測して、当該電流を用いて静電容量Cを計測することができる。RC回路において、電気抵抗Rが変化すると、RC回路に流れる電流が変化する。そうすると、出力側の回路において、計測する電流が変化するため、計測される静電容量Cの値が、電気抵抗Rの変化の影響を受けてしまう。当該RC回路において、電気抵抗Rには、電極の配線抵抗が含まれる。特許文献1のようなマトリックス状の静電容量計測対象によるそれぞれのRC回路において、電極の長さが異なる。電極の配線抵抗は、電極の長さに応じて異なる。つまり、静電容量の計測位置によって、RC回路の出力側の回路によって計測される電流が変化する。そのため、高精度に静電容量を計測することができない。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、マトリックス状の静電容量計測対象において、高精度に静電容量を計測することができる静電容量型センサ装置を提供することを目的とする。本発明に係る静電容量型センサ装置は、帯状に形成され相互に平行に配置された複数行の第一電極と、帯状に形成され相互に平行に配置されると共に、複数行の前記第一電極との対向位置がマトリックス状となるように前記第一電極に対向して設けられた複数列の第二電極と、各行の前記第一電極と各列の前記第二電極との間に設けられた誘電層と、各行の前記第一電極に選択的に電圧を印加可能な電圧印加手段と、各列の前記第二電極に選択的に電気的接続され、マトリックス状の静電容量計測対象うち、電圧を印加された前記第一電極と電気的接続された前記第二電極との間の静電容量を計測する静電容量計測手段と、を備える静電容量型センサ装置において、前記電圧印加手段と前記静電容量計測手段との間の電気抵抗および静電容量により形成される直列回路における前記電気抵抗を設定範囲内となるように、前記電圧印加手段と前記静電容量計測手段との間に設けられた調整抵抗を備える。本発明によれば、計測位置によって、第一電極および第二電極による配線抵抗にばらつきがある場合であっても、調整抵抗により、電圧印加手段と静電容量計測手段との間の電気抵抗を設定範囲内にすることができる。従って、どの計測位置であっても、静電容量を高精度に計測することができる。また、前記調整抵抗は、前記電圧印加手段と各前記第一電極とのそれぞれの間に設けられ、それぞれ異なる電気抵抗となる複数の第一調整抵抗と、各前記第二電極と前記静電容量計測手段とのそれぞれの間に設けられ、それぞれ異なる電気抵抗となる複数の第二調整抵抗とを備えるようにしてもよい。これにより、第一調整抵抗および第二調整抵抗の形成が非常に容易となる。その結果、確実に、それぞれのRC回路における電気抵抗のばらつきを低減できる。また、前記第一電極および前記第二電極は、エラストマーまたは樹脂に導電性フィラーを配合させて成形された電極としてもよい。このような電極は、例えば、柔軟性可撓性を求められる場合に適用されることがある。つまり、電極と誘電層とにより形成される静電容量型センサが変形を許容する場合に、このような電極が適用されることがある。そして、この電極の配線抵抗は、銅配線や銀配線に比べると非常に高い。そのため、計測位置が異なることで、電極の配線抵抗が大きく異なる。しかし、このような電極を適用したとしても、本発明によれば、電圧印加手段と静電容量計測手段との間の電気抵抗を確実に設定範囲内にすることができるため、高精度に静電容量を計測することができる。また、前記調整抵抗は、エラストマーまたは樹脂に導電性フィラーを配合させて成形され、前記第一電極または前記第二電極と一体的に成形されるようにしてもよい。これにより、製造コストを低減することができ、かつ、部品点数を削減できる。また、前記静電容量型センサ装置は、各前記第一電極および各前記第二電極の全長抵抗を計測する全長抵抗計測手段を備え、前記静電容量計測手段は、前記電圧印加手段により前記第一電極に電圧が印加された場合に、電気的接続された前記第二電極から出力される電気信号を取得する出力信号取得手段と、前記全長抵抗に基づいて、前記出力信号取得手段により取得された前記電気信号を補正して、前記静電容量を計測する補正手段とを備えるようにしてもよい。ここで、電極の経年によって、配線抵抗が経年変化することがある。そうすると、初期状態において、どの計測位置においても電圧印加手段と静電容量計測手段との間の電気抵抗を設定範囲内にしたとしても、配線抵抗の経年変化によって当該電気抵抗が設定範囲外になるおそれがある。そこで、本発明によれば、全長抵抗計測手段により、現在における各第一電極および各第二電極の全長抵抗を計測することができる。そして、新しい全長抵抗に基づいて出力信号取得手段により取得された電気信号を補正している。従って、電極の配線抵抗が経年変化したとしても、高精度に静電容量を計測することができる。<第一実施形態>1静電容量型センサ装置の構成の概要本実施形態の静電容量型センサ装置の構成の概要について図1を参照して説明する。静電容量型センサ装置は、シート状面状に形成された静電容量型センサ10を備えており、当該静電容量型センサ10における電極間の静電容量を計測する。ここで、静電容量型センサ10は、外力が付与された位置および大きさを検出する感圧センサに適用することもでき、例えば人間の指などの導電体が接触または接近した位置を検出するタッチパネルに適用することもできる。図1には、前者の静電容量型センサ10について図示している。つまり、静電容量型センサ10の表面に押し付ける外力Fが付与された場合に、静電容量型センサ10の変形に伴って静電容量が変化する。そして、静電容量の位置および大きさを検出することで、外力Fが付与された位置および大きさを検出できる。また、タッチパネルとして適用する場合には、静電容量型センサ10は変形の可否は問わない。図1に示すように、静電容量型センサ装置は、静電容量型センサ10と、交流電源パルス電圧発生回路20と、入力側切換回路31と、出力側切換回路41と、静電容量計測部50とを備える。静電容量型センサ10は、シート状に形成されており、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する。この静電容量型センサ10は、平面形状のみならず、曲面形状とすることもできる。ただし、以下において、図1を参照して、平面形状の静電容量型センサ10を例に挙げて説明する。なお、上述したように、静電容量型センサ10をタッチパネルとして適用する場合には、可撓性および伸縮性は必ずしも必要ではない。静電容量型センサ10は、面法線方向図1の上下方向に距離を隔てて対向して設けられた第一電極11および第二電極12と、電極11,12間に設けられた弾性変形可能な誘電層13と、第二電極12側の表面および第一電極11側の裏面を被覆するように設けられた絶縁層14,15と、第一電極11に一体的に形成された第一調整抵抗81と、第二電極12に一体的に形成された第二調整抵抗82とを備える。ただし、静電容量型センサ10は、図2に示すように、帯状に形成され相互に平行に配置された複数行の第一電極11と、帯状に形成され相互に平行に配置された複数列の第二電極12とを備えている。そして、複数行の第一電極11と複数列の第二電極12との対向位置がマトリックス状となるように配置されている。ここで、各行の第一電極11と各列の第二電極12は、同一材質により形成されている。具体的には、第一,第二電極11,12は、エラストマーまたは樹脂中に導電性フィラーを配合させることにより成形している。そして、第一,第二電極11,12は、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有するようにしている。第一,第二電極11,12を構成するエラストマーには、例えば、シリコーンゴム、エチレン-プロピレン共重合ゴム、天然ゴム、スチレン-ブタジエン共重合ゴム、アクリロニトリル-ブタジエン共重合ゴム、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ウレタンゴムなどが適用できる。また、第一,第二電極11,12に配合される導電性フィラーは、導電性を有する粒子であればよく、例えば、炭素材料や金属等の微粒子を適用できる。また、第一,第二電極11,12を構成する樹脂には、例えば、ポリエステル樹脂、変性ポリエステル樹脂、ポリエーテルウレタン樹脂、ポリカーボネートウレタン樹脂、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ニトロセルロース、変性セルロース類などが適用できる。誘電層13は、エラストマーまたは樹脂により成形され、第一,第二電極11,12と同様に、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する。この誘電層13を構成するエラストマーには、例えば、シリコーンゴム、アクリロニトリル-ブタジエン共重合ゴム、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ウレタンゴムなどが適用できる。また、誘電層13を構成する樹脂には、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂架橋発泡ポリスチレン樹脂を含む、ポリ塩化ビニル-ポリ塩化ビニリデン共重合体、エチレン-酢酸共重合体などが適用できる。この誘電層13は、設定された厚みを有し、第一,第二電極11,12の外形状と同程度または大きく形成されている。絶縁層14,15は、第一,第二電極11,12と同様に、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する。この絶縁層14,15を構成するエラストマーまたは樹脂は、例えば、誘電層13を構成するエラストマーまたは樹脂として記載した材料が適用される。また、第一,第二調整抵抗81,82は、第一,第二電極11,12と同一材質により一体的に形成されている。従って、第一電極11と第一調整抵抗81、および、第二電極12と第二調整抵抗82は、容易に成形できる。そして、静電容量型センサ10が静電容量型センサ10の面法線方向に圧縮する外力Fを受けた場合には、誘電層13が当該面法線方向に圧縮変形することにより、外力Fが付与された部位に位置する第一,第二電極11,12間の離間距離が短くなる。この場合、当該第一,第二電極11,12間の静電容量は大きくなる。交流電源20は、交流電圧、ここではパルス電圧を発生し、静電容量型センサ10の第一電極11に対して印加する。入力側切換回路31は、複数のスイッチにより構成され、一端は交流電源20に接続され、他端は各第一電極11の端部に形成されている第一調整抵抗81に接続されている。そして、入力側切換回路31は、交流電源20に電気的接続させる第一電極11を選択的に切り替える。出力側切換回路41は、複数のスイッチにより構成され、一端は各第二電極12の端部に形成されている第二調整抵抗82に接続され、他端は静電容量計測部50に接続されている。そして、出力側切換回路41は、静電容量計測部50に電気的接続させる第二電極12を選択的に切り替える。静電容量計測部50は、マトリックス状の静電容量計測対象のうち、電圧を印加された第一電極11と静電容量計測部50に電気的接続された第二電極12との間の静電容量を計測する。本実施形態においては、静電容量計測部50は、第二電極12に電気的接続されており、第二電極12から出力される電気信号を取得し、当該電気信号に基づいて静電容量を計測する。特に、静電容量計測部50は、計測対象の電極11,12間の充電電流に計測して、当該充電電流を変換することで当該電極11,12間の静電容量を計測する。2静電容量型センサ装置の詳細構成次に、静電容量型センサ装置の詳細構成について、図2を参照して説明する。図2において、静電容量型センサ10は、平面図として示す。つまり、図2に示すように、静電容量型センサ10において、複数行の第一電極11a~11hは、帯状に形成されており、図2の左右方向に延びるように、かつ相互に平行に配置されている。ここで、第一電極11a~11hは、第一行から第八行の順として、以下説明する。また、複数列の第二電極12a~12hは、第一電極11と同形状の帯状に形成されており、図2の上下方向に延びるように、かつ相互に平行に配置されている。つまり、複数列の第二電極12a~12hは、第一電極11の延びる方向に対して直交な方向に延びるように配置されている。ここで、第二電極12a~12hは、第一列から第八列の順として、以下説明する。従って、複数行の第一電極11a~11hと複数列の第二電極12a~12hとが図2の紙面垂直方向に対向する位置は、マトリックス状に位置している。ここでは、8×8のマトリックス状の静電容量計測対象となる。また、各行の第一電極11a~11hと各列の第二電極12a~12hとの間には、誘電層13が設けられている。第一調整抵抗81a~81hが、複数行の第一電極11a~11hの一端図2の左端に連設している。さらに、各第一調整抵抗81a~81hは、各行の第一電極11a~11hの一端に一体的に形成されている。ここで、第一調整抵抗81a~81hは、それぞれ幅が異なる。第八行の第一調整抵抗81hの幅は、第一電極11と同幅であって、第一行の第一調整抵抗81aに向かって順に幅狭になっている。つまり、第一行の第一調整抵抗81aの幅が最も狭く、第八行の第一調整抵抗81hの幅が最も広い。第一行の第一調整抵抗81aの電気抵抗が最も大きく、第八行の第一調整抵抗81hの電気抵抗が最も小さい。また、第二調整抵抗82a~82hが、複数列の第二電極12a~12hの一端図2の上端に連設している。さらに、各第二調整抵抗82a~82hは、各列の第二電極12a~12hの一端に一体的に形成されている。ここで、第二調整抵抗82a~82hは、それぞれ幅が異なる。第八列の第二調整抵抗82hの幅は、第二電極12と同幅であって、第一列の第二調整抵抗82aに向かって順に幅狭になっている。つまり、第一列の第二調整抵抗82aの幅が最も狭く、第八列の第二調整抵抗82hの幅が最も広い。第一列の第二調整抵抗82aの電気抵抗が最も大きく、第八列の第二調整抵抗82hの電気抵抗が最も小さい。ここで、第一調整抵抗81a~81hおよび第二調整抵抗82a~82hは、幅を異ならせることにより、異なる電気抵抗にしている。この他に、それぞれの長さを異ならせることにより、異なる電気抵抗にすることもできる。また、導電性フィラーの配合割合を変化させることによっても、異なる電気抵抗にすることもできる。そして、入力側切換回路31の一端が交流電源20に接続され、他端が各行の第一調整抵抗81a~81hの一端図2の左端に接続されている。つまり、交流電源20と各行の第一電極11a~11hとのそれぞれの間に、各行の第一調整抵抗81a~81hが設けられている。そして、入力側切換回路31は、各スイッチ31a~31hを備えており、第一電極11a~11hのうち選択された1つに閉成ONし、残りは開成OFFする。図2においては、第一行の第一電極11aに接続されているスイッチ31aが閉成し、残りは開成している。つまり、交流電源20は、各行の第一電極11a~11hのうち選択されたどれかの一端に接続される。従って、交流電源20は、選択された第一電極11の一端に交流電圧を印加する。出力側切換回路41の一端が静電容量計測部50に接続され、他端が各列の第二調整抵抗82a~82hの一端図2の上端に接続されている。つまり、各列の第二電極12a~12hと静電容量計測部50とのそれぞれの間に、各列の第二調整抵抗82a~82hが設けられている。そして、出力側切換回路41は、各スイッチ41a~41hを備えており、第二電極12a~12hのうち選択された1つに閉成ONし、残りは開成OFFする。図2においては、第一列の第二電極12aに接続されているスイッチ41aが閉成し、残りは開成している。つまり、静電容量計測部50は、各列の第二電極12a~12hのうち選択されたどれかの一端に接続される。従って、交流電源20→入力側切換回路31→第一調整抵抗81a~81h→第一電極11a~11h→第二電極12a~12h→第二調整抵抗82a~82h→出力側切換回路41→静電容量計測部50の順に電流が流れる。ここで、静電容量計測部50は、充電電流取得部51と、静電容量変換部52とを備える。充電電流取得部51は、交流電源20により第一電極11a~11hのどれかに交流電圧を印加された場合に、第二電極12a~12hのどれかから出力される電気信号を取得する。この電気信号は、マトリックス状の静電容量計測対象のうち選択された計測位置の静電容量に充電される電流に対応している。静電容量変換部52は、充電電流取得部51により取得された充電電流を計測位置の静電容量に変換する。3静電容量型センサの等価回路次に、静電容量型センサ10は、図3に示す等価回路として表される。ここで、静電容量Cは、n行の第一電極11とm列の第二電極12とが対向する領域の静電容量を意味する。Raは、n行の第一電極11において、一端から計測位置までの配線抵抗を意味し、Rbは、m列の第二電極12において、一端から計測位置までの配線抵抗を意味する。また、Riは、n行の第一調整抵抗81の配線抵抗を意味し、Roは、m列の第二調整抵抗82の配線抵抗を意味する。つまり、交流電源20と静電容量計測部50との間は、RC回路を構成し、当該電気抵抗Rは、第一電極11のRa、第二電極12のRb、第一調整抵抗81のRi、および、第二調整抵抗82のRoの合計値となる。そして、本実施形態においては、どの計測位置であっても、配線抵抗の合計値がほぼ同一となるように、第一調整抵抗81および第二調整抵抗82を設定している。なお、配線抵抗の合計値がほぼ同一とは、目標値を含む設定範囲内となることに相当する。次に、全ての計測位置における配線抵抗の合計値がほぼ同一となるようにするための一例を図4および図5を参照して説明する。全ての第一電極11と第一調整抵抗81についての等価回路を図4に示し、全ての第二電極12と第二調整抵抗82についての等価回路を図5に示す。図4および図5において、静電容量Cは、Cnmと示している。図4に示すように、各行の第一電極11a~11hにおける各計測位置間の電気抵抗配線抵抗をRとする。また、図5に示すように、各列の第二電極12a~12hにおける各計測位置間の電気抵抗配線抵抗も同一のRとする。そして、第一調整抵抗81a~81hは、順に、8R、7R、6R、5R、4R,3R、2R、Rとする。例えば、8Rとは、Rの8倍の電気抵抗であることを意味する。また、第二調整抵抗82a~82hは、順に、8R、7R、6R、5R、4R,3R、2R、Rとする。そうすると、例えば、計測位置における配線抵抗の合計値は、8RRR8R=18Rとなる。また、計測位置における配線抵抗の合計値は、R×9R×9=18Rとなる。また、計測位置における配線抵抗の合計値は、4RR×6R×53R=18Rとなる。このように、どの計測位置であっても、配線抵抗の合計値は、18Rとなる。4充電電流取得部による計測充電電流取得部51により計測される充電電流は、配線抵抗の影響を受けた値となる。そのため、各電気回路における配線抵抗のばらつきによって、充電電流を用いて計測された静電容量Cは、誤差を生じてしまう。しかし、本実施形態においては、上述したように、どの計測位置であっても、配線抵抗の合計値は、ほぼ同一としているため、誤差を許容範囲に抑えることができる。そこで、以下に、配線抵抗と充電電流との関係について図6を参照して説明する。図6に示すように、模式的に、交流電源20と充電電流取得部51との間は、静電容量Cと電気抵抗RとによりRC回路を構成されるものとする。この電気回路において、静電容量Cの電荷qは、式1のように表される。このとき、静電容量Cに流れる充電電流iは、式2のように表される。ここで、式2の第一行に式1を代入して展開すると第二行のようになり、さらに、式2の第二行を整理すると第三行のようになる。ここで、本実施形態においては、第一,第二調整抵抗81a~81h,82a~82hにより、配線抵抗の合計値がほぼ同一であるため、充電電流iは、上記式2におけるRを18Rに置換した値となる。仮に、第一,第二調整抵抗81a~81h,82a~82hを設けていない場合について説明する。例えば、静電容量の計測位置とのそれぞれにおいて、充電電流iは、式34に表されるようになる。式34から明らかなように、第一,第二調整抵抗81a~81h,82a~82hを設けていない場合には、静電容量CとCが同一であったとしても、充電電流取得部51が取得する充電電流iとiは、異なる値となってしまう。充電電流iは、iより大きな値となる。このように、充電電流iは、配線抵抗Rの影響を大きく受けてしまう。特に、配線抵抗のばらつきが大きければ大きいほど、計測される充電電流iに与える影響が大きくなる。そして、本実施形態における第一電極11および第二電極12は、エラストマーまたは樹脂に導電性フィラーを配合することにより成形している。この種の電極の配線抵抗は、例えば、銅電極や銀電極などに比べると、はるかに大きい。そのため、本実施形態においては、充電電流iに与える影響が大きい。しかし、本実施形態によれば、第一,第二調整抵抗81a~81h,82a~82hを設けることで、上記のような問題は生じない。従って、充電電流取得部51により取得される充電電流iの変化は、静電容量Cの変化に相当する。これにより、高精度に静電容量を計測することができる。<第二実施形態>5静電容量型センサ装置の詳細構成次に、第二実施形態の静電容量型センサ装置の構成について、図7を参照して説明する。ここで、第二実施形態の静電容量型センサ装置において、第一実施形態の静電容量型センサ装置と同一構成については同一符号を付して説明を省略する。ここで、本実施形態の静電容量型センサ装置は、第一実施形態に対して、入力側切換回路36および出力側切換回路46が相違すると共に、新たに第一、第二直流電圧印加回路61,71および第一、第二全長抵抗計測回路62,72を追加する。さらに、静電容量計測部50において、静電容量変換部52を補正部53に置換する。ここで、第一実施形態において、配線抵抗の合計値がほぼ同一となるように、第一,第二調整抵抗81a~81h,82a~82hを設けることとした。これにより、第一,第二電極11,12の配線抵抗のばらつきによって静電容量に影響を与えることを抑制できることを記載した。ところで、第一,第二電極11,12は、外力の付与によって変形するため、経年によって、配線抵抗が変化するおそれがある。つまり、初期状態において各計測位置における配線抵抗の合計値がほぼ同一であったとしても、経年変化によって、各計測位置における配線抵抗の合計値が変化するおそれがある。この変化は、計測される静電容量に影響を与えるおそれがある。そこで、本実施形態においては、現在の第一,第二電極11,12の配線抵抗を実際に計測し、計測した配線抵抗を用いて補正することにより静電容量を計測することとした。以下、第一実施形態との相違点について説明する。入力側切換回路36は、各行の第一調整抵抗81a~81hの一端図7の左端と交流電源20とを接続する状態、各行の第一調整抵抗81a~81hの一端と第一直流電圧印加回路61とを接続する状態、および、各行の第一調整抵抗81a~81hの一端をどこにも接続していない状態に切り換えるスイッチ36a~36hを備える。第一直流電圧印加回路61は、接続されている第一電極11a~11hおよび第一調整抵抗81a~81hに直流電圧を印加する回路である。第一全長抵抗計測回路62は、第一直流電圧印加回路61により直流電圧が印加されている第一電極11の他端から出力される電流に基づいて、当該第一電極11a~11hと第一調整抵抗81a~81hとによる全長抵抗を計測する。出力側切換回路46は、各列の第二調整抵抗82a~82hの一端図7の上端と静電容量計測部50とを接続する状態、各列の第二調整抵抗82a~82hの一端と第二直流電圧印加回路71とを接続する状態、および、各列の第二調整抵抗82a~82hの一端をどこにも接続していない状態に切り換えるスイッチ46a~46hを備える。第二直流電圧印加回路71は、接続されている第二電極12a~12hおよび第二調整抵抗82a~82hに直流電圧を印加する回路である。第二全長抵抗計測回路72は、第二直流電圧印加回路71により直流電圧が印加されている第二電極12の他端から出力される電流に基づいて、当該第二電極12a~12hと第二調整抵抗82a~82hとによる全長抵抗を計測する。補正部53は、第一,第二全長抵抗計測回路62,72により計測されたそれぞれの第一電極11a~11h、第二電極12a~12hの全長抵抗を算出する。そして、補正部53は、充電電流取得部51により取得された充電電流に対して、各電極11,12の全長抵抗の変化分に応じて補正した上で、各計測位置における静電容量を算出する。ここで、第一行の第一電極11aおよび第一調整抵抗81aによる全長抵抗と、各計測位置における配線抵抗との関係について、図8を参照して説明する。図8に示すように、第一電極11aの電気抵抗は、各計測位置間に9個の電気抵抗が直列接続された回路となる。そして、第一直流電圧印加回路61が第一調整抵抗81aの一端に接続され、第一全長抵抗計測回路62が第一電極11aの他端に接続されている。第一直流電圧印加回路61により第一電極11aおよび第一調整抵抗81aに対して直流電圧を印加するときに、第一全長抵抗計測回路62により計測される電気抵抗は、第一電極11aと第一調整抵抗81aの全長の配線抵抗となる。つまり、第一電極11aの全長の配線抵抗は、第一全長抵抗計測回路62により計測される電気抵抗から、第一調整抵抗81aの配線抵抗を減算することにより求めることができる。6静電容量計測処理次に、本実施形態において、静電容量の計測処理について、図9を参照して説明する。図9に示すように、第一直流電圧印加回路61および第一全長抵抗計測回路62を用いて、各行の第一電極11a~11hおよび第一調整抵抗81a~81hの全長抵抗Rd1nを計測するS1。このとき、入力側切換回路36a~36hを、順次切り替えながら行う。続いて、第二直流電圧印加回路71および第二全長抵抗計測回路72を用いて、各列の第二電極12a~12hおよび第二調整抵抗82aから82hの全長抵抗Rd2nを計測するS2。このとき、出力側切換回路46a~46hを、順次切り替えながら行う。続いて、補正部53において、第一全長抵抗計測回路62により計測した全長抵抗Rd1nを用いて、各行の第一電極11a~11hの全長抵抗Ranを算出するS3。この算出は、式5に従って行われる。つまり、第一電極11a~11hの全長抵抗Ranは、第一全長抵抗計測回路62により計測された電気抵抗Rd1nから、第一調整抵抗81a~81hの配線抵抗を減算することにより求められる。続いて、補正部53において、第二全長抵抗計測回路72により計測した全長抵抗Rd2nを用いて、各列の第二電極12a~12hの全長抵抗Rbnを算出するS4。この算出は、式6に従って行われる。つまり、第二電極12a~12hの全長抵抗Rbnは、第二全長抵抗計測回路72により計測された電気抵抗Rd2nから、第二調整抵抗82a~82hの配線抵抗を減算することにより求められる。続いて、入力側切換回路36を交流電源20側に順次切り替え、かつ、出力側切換回路46を静電容量計測部50側に順次切り替えて、充電電流取得部51によって各計測位置における充電電流iを計測するS5。この充電電流iは、第一,第二電極11,12が経年変化していない場合には、第一,第二電極11,12の配線抵抗の影響は受けていない。しかし、第一,第二電極11,12が経年変化している場合には、充電電流iは、配線抵抗のばらつきの影響を受けている。そこで、続いて、補正部53にて、第一,第二電極11,12の経年変化の影響分を取り除くように補正するS6。まず、経年変化により第一,第二電極11,12の配線抵抗の変化分に対応する補正係数kan,kbmを、式78に従って算出する。そして、補正部53は、各補正係数kan,kbmを用いることで、充電電流iに対して配線抵抗の経年変化分を取り除くように補正する。さらに、補正部53にて、補正された充電電流iに基づいて、各計測位置における静電容量を算出する。以上より、第一,第二電極11,12の配線抵抗が経年変化したとしても、高精度に各計測位置における静電容量Cを計測することができる。なお、図9に示す静電容量計測処理においては、静電容量を計測する度毎に第一,第二電極11,12の全長抵抗を計測しているが、その回数を低減してもよい。例えば、ある一定期間が経過した場合に、第一,第二電極11,12の全長抵抗を計測するようにしてもよい。この場合、新たな全長抵抗が計測されるまでの間は、以前に計測した全長抵抗を用いて補正すればよい。"