"ケーシングと、前記ケーシングの中心に配設された内筒と、吸気口側に形成された第1の筒部と、前記第1の筒部から前記ケーシングの内周面に向けて形成されたロータ翼と、前記第1の筒部の下端に形成され、前記第1の筒部よりも外径が大きい第2の筒部と、前記第1の筒部の下端と前記第2の筒部の上端を接合する段部と、を有し、前記内筒に軸支されたロータと、前記ケーシングに対して固定され、前記ロータ翼に対応して形成されたステータ翼と、前記第2の筒部の外側と前記ケーシングの内側の間に形成された第1のネジ溝部と、前記第2の筒部の内側と前記内筒の間に形成された第2のネジ溝部と、を具備し、前記第1の筒部と前記段部の接合部に、前記第1の筒部と前記段部の両方に開口する開口部を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。前記開口部は、前記第1の筒部と前記段部の接合部の全周に等間隔に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプ。前記開口部の角部はR形状となっており、前記第1の筒部におけるR形状の半径は、前記段部におけるR形状の半径よりも小さいことを特徴とする請求項1、又は請求項2に記載のターボ分子ポンプ。前記ロータの内側の前記第2のネジ溝部よりも吸気口側の部分に、質量付加用の凹部が形成されていることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3に記載のターボ分子ポンプ。ところで、ロータ104は高速で回転するため、必然的に過大な応力が発生する。開口151が設けられている半径方向に張り出した部分は、一般に幅が狭く、十分な大きさの開口を設けることが設計上困難であった。そのため、開口151は、どうしても小さくなってしまい、同時に応力を緩和する形状、例えば、大きなRを設けることも難しかった。その結果、応力を緩和しつつ、内側のステータネジ溝115bに排気対象となる気体を導くのが困難であるという問題があった。そこで、本発明の目的は、排気性能を向上させたターボ分子ポンプを提供することである。請求項1に記載の発明では、ケーシングと、前記ケーシングの中心に配設された内筒と、吸気口側に形成された第1の筒部と、前記第1の筒部から前記ケーシングの内周面に向けて形成されたロータ翼と、前記第1の筒部の下端に形成され、前記第1の筒部よりも外径が大きい第2の筒部と、前記第1の筒部の下端と前記第2の筒部の上端を接合する段部と、を有し、前記内筒に軸支されたロータと、前記ケーシングに対して固定され、前記ロータ翼に対応して形成されたステータ翼と、前記第2の筒部の外側と前記ケーシングの内側の間に形成された第1のネジ溝部と、前記第2の筒部の内側と前記内筒の間に形成された第2のネジ溝部と、を具備し、前記第1の筒部と前記段部の接合部に、前記第1の筒部と前記段部の両方に開口する開口部を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプを提供する。請求項2に記載の発明では、前記開口部は、前記第1の筒部と前記段部の接合部の全周に等間隔に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプを提供する。請求項3に記載の発明では、前記開口部の角部はR形状となっており、前記第1の筒部におけるR形状の半径は、前記段部におけるR形状の半径よりも小さいことを特徴とする請求項1、又は請求項2に記載のターボ分子ポンプを提供する。請求項4に記載の発明では、前記ロータの内側の前記第2のネジ溝部よりも吸気口側の部分に、質量付加用の凹部が形成されていることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3に記載のターボ分子ポンプを提供する。本発明によれば、ターボ分子ポンプの排気系統を改善することにより、ターボ分子ポンプの能力を高めることができる。1実施形態の概要ターボ分子ポンプ図1は、翼部とネジ溝部を組み合わせた複合型真空ポンプである。そして、ロータ翼5を保持するロータ翼保持部31とロータ筒部17を保持する段部72の接合部には、両者に渡る開口51が形成されている。翼部を排気された気体のうち一部はロータ筒部17とステータネジ溝15aからなるネジ溝部外側のホルベック部で排出され、残りは開口51を介してロータ筒部17の内側に導かれ、ロータ筒部17とステータネジ溝15bからなるネジ溝部内側のホルベック部で排出される。開口51は、ロータ翼保持部31と段部72の接合部に形成された場合、ロータ4の回転による応力に耐えうることができる。また、バランサ用の重りを設置する溝61をステータネジ溝15bより吸気口側のクリアランス部分に設置することにより、ステータネジ溝15bの長さを短縮する必要がなくなる。このように、本実施の形態によるターボ分子ポンプは、外内のホルベック部を用いる上、ステータネジ溝15bの長さを最大限長くすることができるため、ターボ分子ポンプのサイズを拡大することなく、圧縮性能を高めることができる。2実施形態の詳細図1は、本実施の形態のターボ分子ポンプを説明するための図である。ケーシング1は全体が略円筒状となっており、このケーシング1の上方には真空チャンバとしての作業室の開口部図示せずと接続する吸込口部2吸気口が形成され、ケーシング1の下側のベース13には排出口部3排気口が形成されている。ケーシング1内の軸線方向にはロータ4が収装されている。ロータ4の吸込口部2側には、筒状のロータ翼保持部31と、ロータ翼保持部31からケーシング1の内壁面に向かって伸びる複数のロータ翼5が形成されており、このロータ翼5はロータ4の軸線方向に多段に複数形成されている。ケーシング1の内壁面には、ロータ翼5と同じように複数形成されたステータ翼6がロータ4の半径内方に向かって伸び、ロータ翼5と交互に重なるように配設されている。ロータ翼5の下側は、半径方向に張り出し、当該張り出した部分の外周から下側に円筒状のロータ筒部17が形成されている。このため、ロータ翼保持部31の外径よりもロータ筒部17の外径が大きく設定されている。ロータ筒部17が張り出した段部72には、円周方向に所定間隔をおいて開口51が複数形成されている。この開口51については後に詳細に説明する。また、ロータ筒部17の内側上端部分には、樹脂製のバランサを設置するための質量付加溝として溝61が円周方向に形成されている。溝61は、ステータネジ溝15bとロータ筒部17の内側上端面との間に設けられたクリアランス部分に形成されているため、溝61によってステータネジ溝15bによる排気路が短くなることはない。このように、従来に比べて重心に近いところにバランサを設けることができるようになったのは、ロータ4の制御系の技術が向上したためである。なお、更に上のロータ翼5が形成された筒部の内側に溝62を形成してもよい。また、溝61を凹部形状に形成してもよい。ここで、凹部が円周に渡って形成された形状が溝形状であり、凹部形状は、溝形状を含む概念である。ロータ筒部17の外側には、ステータ側のステータネジ溝15aが形成され、内側には、ステータネジ溝15bが形成されており、ホルベック部を形成している。ロータ翼5とステータ翼6によって圧縮され、ロータ筒部17に達した気体のうち、一部は、ロータ筒部17とステータネジ溝15aの間の流路外側のホルベック部を経由して排出口部3に排気され、残りは、開口51を通ってロータ筒部17とステータネジ溝15bの間の流路内側のホルベック部を経由して排出口部3に排出される。即ち、2経路によって効率的に排気されることとなる。ターボ分子ポンプでは、排気路の長さをできるだけ長く設定することが重要であるが、本実施の形態では、ロータ筒部17の外側と内側で排気経路を設定することができるため、その分、ターボ分子ポンプを小型化することができる。なお、本実施の形態では、ロータ側を円筒とし、ステータ側にネジ溝を形成したが、逆に、ロータ側にネジ溝を形成し、ステータ側を円筒としてもよい。この場合は、ロータ筒部17の内側、及び外側にネジ溝を形成し、ステータネジ溝15aに該当する部分を円筒の内周面とし、ステータネジ溝15bに該当する部分を円筒の外周面とする。ロータ4の軸線部分にはロータ軸8がロータ4と一体的に回転するように配設されている。ロータ4の内側には、ロータ軸8を約20,000~90,000r.p.m.の高速で回転駆動して、ロータ翼5、ロータ筒部17をステータ翼6、ステータネジ溝15a、15bに対して相対回転させるモータ9と、ロータ軸8を半径方向に磁気浮上させて無接触で回転支持する半径方向電磁石10と、ロータ軸8をアマーチャディスク12を介して軸線方向に磁気浮上させて無接触で回転支持する軸方向電磁石11とが設けられている。また、ロータ4の上下端部のそれぞれには、高速回転するロータ軸8が電磁石10、11によって正常に回転支持されず倒れた場合に、内筒7等に直接触れるのを防止して、ロータ軸8を回転自在に支持して保護する第1、第2保護軸受21、22が設けられている。次に、本実施の形態に係るターボ分子ポンプの作用を説明する。ターボ分子ポンプによって作業室真空チャンバを真空にする場合は、まずモータ9を起動させてロータ4を回転駆動させ、ロータ翼5、ロータ筒部17を静止しているステータ翼6、ステータネジ溝15a、15bに対して相対的に高速回転させる。このように、ロータ翼5、ロータ筒部17がステータ翼6、ステータネジ溝15a、15bに対して相対回転すると、作業室内のガスや水分等の分子が吸込口部2に飛び込んだ場合、これらの分子はロータ翼、ステータ翼群5、6を通り、次にガスや水分等の分子はロータ筒部17とステータネジ溝15aとの間を通ると同時に、一部の分子は開口51からロータ筒部17の内側に流れ込んでロータ筒部17とステータネジ溝15bとの間を通る。それから更に、分子は排気通路27を通って排出口部3から排出される。このときガスや水分等の分子は、ステータネジ溝15aによって圧縮される他、ステータネジ溝15bによっても圧縮されるため、その流量が大きくなる。このため、ポンプを大型化することなくガスや水分等の分子の流量を大きくして、ポンプ性能を向上させることができる。更に、従来のネジ溝部と比べてガスの通過可能な開口面積が増大することにより、効率のよいガス排出を行うことができる。図2aは、開口51を説明するための図である。開口51は、ロータ翼5図示せずを保持する筒状のロータ翼保持部31と、ロータ翼保持部31から半径方向に張り出し、外周部分でロータ筒部17を保持する段部72にかけて、ロータ4の回転方向に細長く形成されている。また、ロータ翼保持部31での角部に形成されたR1と、段部72での角部に形成されたR2では、R1<R2となっている。このような形状の開口51は、ロータ4の内側から、R1、R2のエンドミルで切削加工することにより形成される。このように、開口51をロータ翼保持部31と段部72の接合部に形成すると、ロータ4の回転による応力に耐えられることがわかった。当初、開口を外側から開けることも試みたが、外側から形成するとロータ筒部17に開口51形状が被り、その分有効となるステータネジ溝15aが短くなる為に、性能を十分発揮する事が困難であったが、内側から開けることにより、応力に適し、十分な開口面積を有する開口51が形成できた。また、応力に耐えるためには、開口51の角をR形状にすることが重要であり、特にR1<R2とすると、応力に対抗する効果が増すことがわかった。更に、図2bに示したように、開口51の開口面積Sは、ロータ翼保持部31側の開口面積S1と段部72側の開口面積S2の和となるため、開口面積Sを大きく設定することができる。図3aは、開口51を上方から見たところを示している。この例では、開口51が45°おきに8個形成されている。開口51の内側の間隔は、ターボ分子ポンプの大きさにもよるが、小型のターボ分子ポンプの場合、2~4[mm]程度である。図3bは、ステータネジ溝15bの左半分を示した図である。気体は、ロータ筒部17が回転すると、ステータネジ溝15bのネジ溝に沿って排気される。以上のように、本実施の形態のターボ分子ポンプは、応力に耐えうると共に、気体を内側のホルベック部に導くに十分な大きさの開口51を設けることができるため、外側内側の両ホルベック部による二系統の流路を確保することができる。そして、外側内側のホルベック部による二系統の平行流で排気することにより、ホルベック部の圧縮性能が向上し、気体を効率的に圧縮排出することができる。このため、大流量、高背圧での吸入、圧縮、排出の効率が上がり、ターボ分子ポンプの性能が向上する。また、外側内側の両ホルベック部を利用することにより、一方のホルベック部を利用するターボ分子ポンプと同じサイズのままで性能を向上させることができる。更に、ホルベック部の上側に溝61を形成することにより、ホルベック部を長く活用することができ、圧縮性能を高めることができる。以上に説明した実施の形態により、次の構成を得ることができる。ケーシング1と内筒7は、それぞれ、ケーシングと、前記ケーシングの中心に配設された内筒として機能している。また、ロータ翼保持部31は、吸気口側に形成された第1の筒部として機能し、ロータ翼5は、前記第1の筒部から前記ケーシングの内周面に向けて形成されたロータ翼として機能し、ロータ筒部17は、前記第1の筒部の下端に形成され、前記第1の筒部よりも外径が大きい第2の筒部として機能し、段部72は、前記第1の筒部の下端と前記第2の筒部の上端を接合する段部として機能している。そして、ロータ4は、これらを備え、内筒7に軸支されているため、前記内筒に軸支されたロータとして機能している。また、ステータ翼6は、前記ケーシングに対して固定され、前記ロータ翼に対応して形成されたステータ翼として機能している。そして、ロータ筒部17とステータネジ溝15aによって形成される流路、即ち、外側のホルベック部は、前記第2の筒部の外側と前記ケーシングの内側の間に形成された第1のネジ溝部として機能し、ロータ筒部17とステータネジ溝15bによって形成される流路、即ち、内側のホルベック部は、前記第2の筒部の内側と前記内筒の間に形成された第2のネジ溝部として機能している。そして、開口51は、ロータ翼保持部31と段部72の接合部分に形成され、ロータ翼保持部31においてS1の面積が開口し、段部72においてS2の面積が開口するため、前記第1の筒部と前記段部の接合部に、前記第1の筒部と前記段部の両方に開口する開口部が設けられている。図3aに示すように、開口51は、等間隔に複数設けてあるため、前記開口部は、前記第1の筒部と前記段部の接合部の全周に等間隔に設けられている。更に、図2aに示すように、R1<R2であるため、前記開口部の角部はR形状となっており、前記第1の筒部におけるR形状の半径は、前記段部におけるR形状の半径よりも小さくなっている。また、溝61は、ステータネジ溝15bよりも吸込口部2側の部分に形成されているため、前記ロータの内側の前記第2のネジ溝部より吸気口側の部分に、質量付加用の凹部が形成されている。また、溝61に着目し、ケーシングと、前記ケーシングの中心に配設された内筒と、吸気口側に形成された第1の筒部と、前記第1の筒部から前記ケーシングの内周面に向けて形成されたロータ翼と、前記第1の筒部の下端に形成され、前記第1の筒部よりも外径が大きい第2の筒部と、前記第1の筒部の下端と前記第2の筒部の上端を接合する段部と、を有し、前記内筒に軸支されたロータと、前記ケーシングに対して固定され、前記ロータ翼に対応して形成されたステータ翼と、前記第2の筒部の外側と前記ケーシングの内側の間に形成された第1のネジ溝部と、前記第2の筒部の内側と前記内筒の間に形成された第2のネジ溝部と、を具備し、前記ロータの前記第1のネジ溝部と前記第2のネジ溝部の吸気口側に、前記第1のネジ溝部と前記第2のネジ溝部を連通する開口が設けられており、前記ロータの内側の前記第2のネジ溝部よりも吸気口側の部分に、質量付加用の凹部が形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプを提供することもできる。"