液体を収容するための加圧室と、前記加圧室に連通するノズル部と、を備える液滴吐出ヘッド本体を含む液滴吐出ヘッドの製造方法であって、セラミック粉末と、前記セラミック粉末の溶剤と、有機材料と、を含むスラリーを準備するスラリー準備工程と、少なくとも一つの面が平面である基部と、前記基部の前記平面から立設するとともに前記加圧室及び前記ノズル部を含む液体室と同一形状の凸部を含む凸状部と、を有し、前記基部の平面のうち前記凸状部が存在していない部分と前記凸状部の表面とが成形面を構成する型を準備する型準備工程と、少なくとも一つの面が平面であり且つ気体が通過可能な多孔質板を準備する多孔質板準備工程と、前記スラリーを前記多孔質板の平面と前記型の成形面との間に存在させた状態において前記多孔質板と前記型とを対向配置し、前記スラリーに含まれる前記溶剤を前記多孔質板の細孔内に浸み込ませて同スラリーを乾燥させることにより、焼成前の液滴吐出ヘッド本体を作成する焼成前ヘッド本体作成工程と、前記焼成前の液滴吐出ヘッド本体を焼成することにより焼成後の液滴吐出ヘッド本体を作成する焼成工程と、を含む製造方法。請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記焼成前ヘッド本体作成工程は、前記型内において乾燥させられた前記スラリーにより構成される乾燥後成形体を同型内に保持した状態において同乾燥後成形体の露呈面を研磨することにより、同乾燥後成形体の残膜を除去して前記ノズル部に相当する部分を完成する離型前研磨工程と、前記残膜が除去された前記乾燥後成形体から前記型を離脱させる離型工程と、を含む製造方法。請求項2に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記離型前研磨工程は、前記乾燥後成形体を保持した状態にある前記型を前記成形面と反対側にて研磨用保持具により保持し、同研磨用保持具を前記基部の前記平面と平行な方向に移動させながら前記乾燥後成形体の露呈面を研磨板に押し付けることにより同露呈面の研磨を行う工程である、製造方法。請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記焼成工程の後に、弾性を有する母材に同母材より小さい複数の砥粒を固定させた研磨材を前記焼成後の液滴吐出ヘッド本体に対して投射することにより、前記焼成後の液滴吐出ヘッド本体の残膜を除去して前記ノズル部に相当する部分を完成する弾性体使用特殊ブラスト工程、を含む製造方法。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。なお、以下に述べる工程の実施順序は、矛盾が生じない範囲において入れ替えることができる。<構造>先ず、本発明の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法により製造される液滴吐出ヘッド10の概略構造について説明する。図1のA及びBに示したように、液滴吐出ヘッド10は、液滴吐出ヘッド本体ヘッド本体20、振動板30、液体貯留室蓋体40、及び、複数図1に示した例において9個の圧電素子50、を備えている。なお、図1のAは、振動板30、液体貯留室蓋体40、及び、複数の圧電素子50を取り外した状態にある液滴吐出ヘッド10即ち、ヘッド本体20の平面図である。図1のBは、図1のAの1-1線に沿った平面にて液滴吐出ヘッド10を切断した断面図である。ヘッド本体20はセラミックからなる。ヘッド本体20は、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸のそれぞれに平行な辺を有する直方体形状を備える。即ち、図1のAに示したように、ヘッド本体20の平面視Z軸正方向からZ軸に沿ってヘッド本体20を見た場合における形状は長方形である。この長方形の長辺及び短辺は、X軸及びY軸にそれぞれ平行である。ヘッド本体20の厚み高さ方向はZ軸に平行である。なお、以下において、説明の便宜上、Z軸正方向を上方向と定義し、Z軸負方向を下方向と定義する。ヘッド本体20の上部には、複数の加圧室21を構成する複数図1に示した例において9個の溝部21aが形成されている。複数の溝部21aは互いに同一形状を有している。各溝部21aは略直方体形状を有する。より具体的に述べると、溝部21aは、平面視においてX軸に沿って伸びる長辺、及び、Y軸に沿って伸びる短辺を備える。溝部21aのX軸に沿って伸びる長辺の一端は、ヘッド本体20のX軸負方向端部近傍に位置する。溝部21aのX軸に沿って伸びる長辺の他端は、ヘッド本体20のX軸方向の略中央部に位置する。溝部21aの底面は、平面をなし、ヘッド本体20の厚み方向の略中央部に存在している。即ち、溝部21aの深さ高さは、ヘッド本体20の厚み高さの半分程度である。ヘッド本体20にはノズル部21bが形成されている。ノズル部21bは、溝部21aの底面のX軸負方向端部近傍に設けられている。ノズル部21bは逆円錐台形状又は円柱状である。ノズル部21bは、溝部21aの底面とヘッド本体20の下面20aとを連通している。従って、ノズル部21bは液体吐出孔を形成している。ヘッド本体20の上部には、液体貯留室インクタンク室22を構成する凹部22aが形成されている。凹部22aは略直方体形状を有する。より具体的に述べると、凹部22aは、平面視においてX軸に沿って伸びる長辺、及び、Y軸に沿って伸びる短辺を備える。凹部22aのX軸に沿って伸びる長辺の一端は、ヘッド本体20のX軸正方向端部近傍に位置する。凹部22aのX軸に沿って伸びる長辺の他端は、ヘッド本体20のX軸方向の略中央部に位置し、溝部21aのX軸に沿って伸びる長辺の他端と所定距離だけ離れている。凹部22aのY軸に沿って伸びる短辺の一端は、複数の溝部21aのうちのY軸正方向端部に位置する溝部21aの短辺のY軸正方向端部よりも、Y軸正方向側の部分に位置している。凹部22aのY軸に沿って伸びる短辺の他端は、複数の溝部21aのうちのY軸負方向端部に位置する溝部21aの短辺のY軸負方向端部よりも、Y軸負方向側の部分に位置している。凹部22aの底面は、平面をなし、ヘッド本体20の厚み方向の略中央部に存在している。凹部22aの深さ高さは溝部21aの深さ高さと同じである。ヘッド本体20の上部には、複数の液体流通孔23を構成する複数図1に示した例において9個の溝部23aが形成されている。一つの溝部23aは一つの溝部21aに対応するように設けられている。複数の溝部23aは互いに同一形状を有している。各溝部23aは略直方体形状を有する。より具体的に述べると、溝部23aは、平面視においてX軸に沿って伸びる長辺、及び、Y軸に沿って伸びる短辺を備える。一つの溝部23aのX軸に沿って伸びる長辺の一端は、一つの溝部21aのX軸正方向端部に位置するY軸に沿って伸びる短辺にまで伸びている。各溝部23aのX軸に沿って伸びる長辺の他端は、凹部22aのX軸負方向端部に位置するY軸に沿って伸びる短辺にまで伸びている。溝部23aのY軸に沿って伸びる短辺の長さは、溝部21aのY軸に沿って伸びる短辺の長さよりも小さい。一つの溝部23aは、一つの溝部21aと凹部22aとを連通している。溝部23aの底面は、平面をなし、ヘッド本体20の厚み方向の略中央部に存在している。即ち、溝部23aの深さ高さは溝部21aの深さ高さと同じである。振動板30は、Z軸方向に小さな厚み高さを有するセラミックの薄板である。振動板30は容易に変形可能である。振動板30の平面視における形状は長方形である。振動板30のX軸正方向端部の位置は溝部21aのX軸正方向端部の位置と略一致している。振動板30のX軸負方向端部の位置はヘッド本体20のX軸負方向端部の位置と略一致している。振動板30のY軸正方向の端部及びY軸負方向の端部は、ヘッド本体20のY軸正方向の端部及びY軸負方向の端部とそれぞれ略一致している。振動板30は、ヘッド本体20の上面と接するように配設されている。従って、振動板30は、総ての溝部21aの上部を覆っている。この結果、溝部21aの底面及び側面と、振動板30の下面と、により加圧室21が形成されている。液体貯留室蓋体40はZ軸方向に厚み高さを有するセラミックの板である。液体貯留室蓋体40の平面視における形状は長方形である。液体貯留室蓋体40のX軸正方向端部の位置はヘッド本体20のX軸正方向端部の位置と略一致している。液体貯留室蓋体40のX軸負方向端部の位置は振動板30のX軸正方向端部の位置と一致している。即ち、液体貯留室蓋体40のX軸負方向端部は、振動板30のX軸正方向端部と接している。液体貯留室蓋体40のY軸正方向の端部及びY軸負方向の端部は、ヘッド本体20のY軸正方向の端部及びY軸負方向の端部とそれぞれ略一している。液体貯留室蓋体40は、ヘッド本体20の上面と接するように配設されている。従って、液体貯留室蓋体40は、凹部22aの上部を覆っている。この結果、凹部22aの底面及び側面と、液体貯留室蓋体40の下面と、により液体貯留室22が形成されている。更に、液体貯留室蓋体40は、溝部23aの上部を覆っている。この結果、溝部23aの底面及び側面と、液体貯留室蓋体40の下面と、により液体流通孔23が形成されている。一つの液体流通孔23は、一つの加圧室21と液体貯留室22とを液体が通流可能となるように連通している。液体貯留室蓋体40には、液体供給連通穴40aが形成されている。液体供給連通穴40aは、平面視において液体貯留室蓋体40の略中央部に設けられている。液体供給連通穴40aは、液滴吐出ヘッド本体20の外部と液体貯留室22とを液体が通流可能となるように連通している。なお、液体貯留室蓋体40に代えて、振動板30が、総ての溝部21aの上部のみならず、凹部22aの上部及び総ての溝部23aの上部をも、覆うように構成されてもよい。複数の圧電素子50のそれぞれは、平面視においてX軸に沿って伸びる長辺、及び、Y軸に沿って伸びる短辺を備える。圧電素子50の平面視における形状は、加圧室21従って、溝部21aの平面視における形状と略一致している。複数の圧電素子50のそれぞれは、振動板30を挟んで、複数の加圧室21のそれぞれと対向するように形成されている。このように構成された液滴吐出ヘッド10において、液体例えば、インクは液体供給連通穴40aを通して液滴吐出ヘッド10の外部から液体貯留室22へと供給される。液体貯留室22の液体は、液体流通孔23を通して加圧室21に供給される。圧電素子50が、図示しない駆動源からの電力により変形させられると、振動板30が変形する。この結果、加圧室21内の液体は加圧され、加圧された液体は加圧室21を外部へと連通するノズル部21bを通して液滴吐出ヘッド10の下面20aから液滴として吐出される。即ち、液体は、下面20aに形成されたノズル部21bの下端である液体吐出用の開口から吐出される。<製造方法>次に、製造方法について工程別に説明する。スラリー準備工程先ず、スラリーSLを準備する。スラリーSLは、主原料の粒子としてのセラミック粉末、セラミック粉末の溶剤、有機材料及び可塑剤からなっている。これらの重量比率は、例えば、セラミック粉末:溶剤:有機材料:可塑剤=100:50~100:5~10:2~5である。本例において、セラミック粉末はアルミナ及びジルコニア等からなり、溶剤はトルエン及びイソプロピルアルコール等からなる。有機材料はポリビニルブチラールからなる。可塑剤はフタル酸系ブチルである。各材料及び重量比率は、これらに限定されるものではない。更に、このスラリーの粘性は、例えば、0.1~100Pasecであることが望ましい。型準備工程図2のA乃至Cに示した型押し型スタンパ100を準備する。図2のAは型100を長手方向X軸方向に沿う平面X-Z平面にて切断した型100の断面図である。図2のBは型100を型100のX軸中央部よりもX軸負方向側の所定位置において短手方向Y軸方向に沿う平面Y-Z平面により切断した型100の断面図である。図2のCは型100の部分斜視図である。型100は、基部101、加圧室形成用凸部102、ノズル部形成用凸部103、及び、枠部104、を備えている。基部101は平板状である。従って、基部101は少なくとも一つの平面101uを備えている。加圧室形成用凸部102は平面101uから立設している。加圧室形成用凸部102は、前述した複数の溝部21a、凹部22a及び複数の溝部23aと実質的に同一の形状を有している。即ち、加圧室形成用凸部102は、複数の加圧室21、液体貯留室22及び複数の液体流通孔23と実質的に同一の形状を有している。よって、加圧室形成用凸部102は、互いに平行に配列される複数の加圧室21と実質的に同一形状の凸部を含む凸状部である。ノズル部形成用凸部103は、加圧室形成用凸部102の頂面102aから立設している。ノズル部形成用凸部103は、図1に示したノズル部21bと実質的に同一の形状を有している。即ち、ノズル部形成用凸部103は円錐台形状を有している。よって、型100は、複数の加圧室21及びノズル部21bを含む液体室並びに、液体貯留室22及び複数の液体流通孔23と実質的に同一形状の凸部を含む凸状部を備える、と言うことができる。枠部104は、基部101の外周部の全体に渡り平面101uから立設している。枠部104の内側面のなす形状は、図1に示したヘッド本体20の外周面のなす形状と同一である。枠部104の頂面104a及びノズル部形成用凸部103の頂面103aは、平面101uと平行な一つの平面PL内に存在している。型100の成形面は、基部101の平面101uのうち加圧室形成用凸部102及び枠部104が存在していない部分表面と、加圧室形成用凸部102の表面のうちノズル部形成用凸部103が存在していない部分表面と、ノズル部形成用凸部103の表面と、枠部104の内側の側面と、により構成されている。型100の成形面は離型剤により被覆されていることが好ましい。この場合、型100と離型剤との密着力を向上させるために、離型剤を型100型100の成形面、即ち、離型面に塗布する前に型100の洗浄を行っておくことが望ましい。この洗浄は、超音波洗浄、酸洗浄、及び、紫外線オゾン洗浄等により行うことができる。この洗浄により、離型剤が塗布される予定の成形面洗浄表面が原子レベルにまで清浄されることが好ましい。離型剤の一例は、ダイキン工業株式会社製のオプツールDSX等のフッ素系離型剤である。離型剤は、シリコン系又はワックス系の離型剤であってもよい。離型剤は、ディッピング、スプレー塗布、及び、刷毛塗り等により塗布された後、乾燥及び洗浄の各工程を通して型100の表面成形面に膜状に形成される。型100の表面を、DLCダイヤモンドライクカーボンコーティングによる無機膜処理によって被覆してもよい。更に、型100の表面を、DLCコーティングによる無機膜処理と、離型剤による処理と、を組み合わせることにより被覆してもよい。多孔質板準備工程気体が通過可能な多孔質板120を準備する図3を参照。。多孔質板120の少なくとも一つの面120u実際には両面は平面である。このような多孔質板120の代表例は、樹脂からなる多孔質フィルムである。多孔質板120の細孔径平均細孔径、目開きは、スラリーSLのセラミック粉末の粒径平均粒子径よりも小さく、溶剤の分子径よりも大きい。より具体的には、多孔質板120は、その細孔径が1μm以下更に、望ましくは0.5μm以下のポリプロピレン及びポリオレフィン等からなる多孔質フィルムである。なお、多孔質板120は、多孔質セラミック基板、及び、多孔質金属例えば、焼結金属基板、等であってもよい。成形体作成工程図3に示したように、型100の枠部104の内部にスラリーSLを充填する。スラリーSLの充填は塗布により行われる。この工程はスラリー充填塗布工程とも称呼される。スラリーSLは、塗布以外の適当な方法例えば、ディッピング、スキージ、刷毛塗り、及び、ディスペンサーによる充填等により充填されてもよい。更に、スラリー充填率を向上させために、スラリーSLを枠部104の内部に充填させる際、型100に超音波振動を加えても良く、或いは、真空脱気して型100内に残存している気泡を除去してもよい。また、スラリーSLを型100と別途準備される平板との間に存在させた状態において型100を平板に押しつけることにより、スラリーSLを型100内に充填させてもよい。その平板には、スラリーSLが転写しないように即ち、型100を平板から離す際、型100内に充填されたスラリーSLが平板に残存することがないように、離型処理されたPETフィルム等を用いることができる。このスラリー充填工程において、スラリーSLは、型100に対して多めに充填される。これは、スラリーSLを充填する際のスラリーSLの圧力充填圧を高めることにより、スラリーSLの充填率を上げるためである。また、スラリーSLが乾燥する際、スラリーSLが収縮することを考慮する必要があるからである。この結果、図3に示したように、スラリーSLは、そのスラリーSLの表面が型100の枠部104の頂面104a及びノズル部形成用凸部103の頂面103a即ち、平面PLよりも距離tだけ外側に存在するように、型100に充填される。この平面PLよりも型100の外側に存在しているスラリーSLの全部が後に残膜となる。一方、図3に示したように、多孔質板120を多孔質の焼結金属130の上面焼結金属130の両方の面のうちの一方の面の上に載置する。焼結金属130は枠体140内に収容されている。枠体140は緻密で且つ熱伝導性のある材質からなる。即ち、焼結金属130は、その上面を除く周囲側面及び下面が緻密な枠体140により覆われている。枠体140の側部には吸引用連通管141が挿入されている。吸引用連通管141は図示しない真空ポンプに接続されている。枠体140は、ホットプレート加熱装置150の上に載置されている。ホットプレート150は通電されたときに発熱し、枠体140及び焼結金属130を介して多孔質板120の下面他方の面、即ち、多孔質板120の一部を加熱するようになっている。次に、図4に示したように、スラリーSLを多孔質板120の平面120uと型100の成形面との間に存在させた状態において、多孔質板120多孔質板120の露呈面である平面120uと型100型100の成形面とが対向するように、多孔質板120と型100とを配置する。このとき、型100を多孔質板120に対して適当な力で押圧してもよい。この結果、図4に矢印により示したように、型100の内部に保持されているスラリーSLに含まれる溶剤が、毛細管現象によって、多孔質板120の平面120uスラリーSLと多孔質板120との接触面近傍の細孔内に浸み込むとともに気化蒸発する。これにより、スラリーSLが乾燥して行く。更に、この工程において、前述した真空ポンプを駆動する。この真空ポンプの駆動により、多孔質板120内に存在するガスが排出される白抜きの矢印Aを参照。。従って、多孔質板120の内部の圧力は、大気圧よりも低圧例えば、大気圧よりも80kPa低い圧力になる。これによって、スラリーSLに含まれている溶剤が、多孔質板120の細孔特に、多孔質板120の表面近傍の細孔内に効率的に吸引される浸み込みながら気化して行く。この場合、真空度多孔質板120内部圧力は、0~-100kPaであることが好ましく、-80~-100kPaであることが好ましい。なお、真空ポンプの駆動により多孔質板120の細孔内を低圧化する場合、焼結金属130の露呈面、及び、多孔質板120の露呈面を、気密性の高いフィルムなどで覆うことにより、焼結金属130及び多孔質板120を密閉することがより好ましい。焼結金属130の露呈面とは、焼結金属130の表面のうち枠体140及び多孔質板120により覆われていない表面のことである。多孔質板120の露呈面とは、多孔質板120の側面と、多孔質板120の平面上面120uのうち型100実際にはスラリーSLによって覆われていない表面と、からなる部分のことである。焼結金属130の露呈面、及び、多孔質板120の露呈面を密閉しない場合、多孔質板120内の真空度が低下するので、溶剤の気化の効率が低下する。また、スラリーSLの溶剤が気化した部分に負圧が発生し、その部位に大気が流入する。その結果、特に、スラリーSLの多孔質板120の近傍部位に気孔が発生する場合がある。これに対し、上記のように焼結金属130の露呈面、及び、多孔質板120の露呈面を密閉すると、そのような気孔の発生を防止することができる。加えて、この工程において、ホットプレート150に通電する。従って、多孔質板120の温度が上昇するので、多孔質板120の細孔内に浸み込んだ溶剤は容易に蒸発拡散する。この結果、スラリーSLは乾燥され固化し、乾燥後の成形体110が型100と多孔質板120との間に作成される。なお、この工程において、ホットプレート150を最も上方に位置させ、そのホットプレート150の下方に枠体140、焼結金属130及び多孔質板120を保持し、その多孔質板120に向けてスラリーSLを充填した型100を押圧してもよい。即ち、図4に示した構成の上下を逆転してもよい。これにより、気化した溶剤は垂直上方へと蒸発拡散する。従って、比重の小さい気化した溶剤が蒸発拡散し易くなるので、スラリーSL内に気孔が発生し難い。また、真空ポンプの駆動による多孔質板120の細孔内の低圧化は任意である。従って、焼結金属130及び枠体140は、単なる基台に置換されてもよい。更に、ホットプレート150による多孔質板120の加熱も任意である。従って、ホットプレート150は省略されてもよい。更に、本例においては、型100を多孔質板120に対向配置する際には型100を多孔質板120に対して適当な力で押圧するが、その後の真空ポンプの駆動による多孔質板120の細孔内の低圧化中、及び、ホットプレート150による多孔質板120の加熱中には、型100には何らの押圧力を加えないか、或いは、多孔質板120の密度が局所的に変化することのない程度の適正な押圧力を加えてもよい。その後、スラリーSLが乾燥して乾燥後成形体110が形成されると、型100、多孔質板120及び乾燥後成形体110は冷却される。次いで、図5に示したように、型100が多孔質板120及び乾燥後成形体110から除去される。すなわち、離型工程が実施される。この離型工程においても真空ポンプを駆動し、焼結金属130の内部の圧力を低圧化することが好ましい。これにより、型100を脱離させる際離型時、多孔質板120を焼結金属130によって安定して保持することができる。この結果、多孔質板120が浮き上がることが防止されるので、多孔質板120の変形及び乾燥後成形体110の変形パターンの破損が回避され得る。次いで、成形体110を多孔質板120から分離する。この結果、図6に示した乾燥後であって焼成前の成形体110が得られる。なお、上述した離型工程を実施する前に、多孔質板120を成形体110から剥離し、その後、成形体110の多孔質板120が剥離された面を熱感応接着フィルム及び吸引等により固定し、その状態で離型工程を実施して型100を成形体110から離脱させることにより、図6に示した成形体110を得てもよい。これによれば、多孔質板120を剥離する際、成形体110のパターンが型100により固定されているので、パターンの変形破損の可能性を低減することができる。このように形成された成形体110は、図6の破線の円内に示したように、残膜RFを有する。残膜RFは、型100のノズル部形成用凸部103の頂面103aと多孔質板120の平面120uとの間に残存したスラリーSLにより形成される膜である。このように、成形体作成工程は、スラリーSLを多孔質板120の平面120uと型100の成形面との間に存在させた状態において、多孔質板120と型100とを対向配置し、スラリーSLに含まれる溶剤を多孔質板120の細孔内に浸み込ませてスラリーSLを乾燥させることにより、乾燥後の成形体110を作成する工程である。焼成前ヘッド本体作成工程次に、残膜RFを、レーザー加工により除去する。即ち、図7に示したように、残膜RFに貫通孔Hを形成する。これにより、ノズル部21bが完成し、図7に示した焼成前ヘッド本体20Aが作成される。図8は、このように製造された焼成前ヘッド本体20Aの部分拡大写真である。焼成工程一方、振動板30となるセラミックグリーンシートと、液体貯留室蓋体40となるセラミックグリーンシートとを別途準備しておく。更に、液体貯留室蓋体40の所定位置に、液体供給連通穴40aとなる貫通孔を形成しておく。そして、焼成前ヘッド本体20Aの上に、振動板30となるセラミックグリーンシートと、液体貯留室蓋体40となるセラミックグリーンシートと、を平面方向の位置を合わせながら積層する。次いで、これらを熱圧着し、熱圧着された積層体を脱脂した後に焼成する。これにより、振動板30及び液体貯留室蓋体40を有するヘッド本体20焼成された積層体、焼成後の液滴吐出ヘッド本体が完成する。圧電素子形成工程その後、周知の手法に従って、所定の位置に圧電素子を形成する。例えば、前記ヘッド本体20と、焼成された圧電体膜を含む圧電素子と、を接合する。このとき、焼成された圧電体膜は振動板30の上面に配置される。次いで、圧電素子の上にマスクを形成し、微粒子砥粒を噴射投射してマスクが存在していない部分の圧電素子を除去する。即ち、所謂ブラスト加工により圧電素子50を形成する例えば、特許第3340043号を参照。。これにより、液滴吐出ヘッド10が完成する。なお、焼成前の圧電素子を振動板30の上部の所定位置に形成し、その後、圧電素子を焼成してもよい。この製造方法は、一つの型100を用い、一度の成形体作成工程において、スラリーSLを乾燥させることにより乾燥後成形体110を作成する。従って、例えば、二つの型を用いて二つの乾燥後成形体を作成し、その二つの乾燥後成形体を接合する必要がないので、工程を簡素化することができる。加えて、ノズル部21bと連通する貫通孔を有する金属板SUS等のノズルプレートである吐出孔先端部形成体等を液滴吐出ヘッド本体20の下面20aに接合する必要がない。従って、工程を更に簡素化することができる。また、二つの乾燥後成形体を位置合わせしながら圧着する必要がないので、所望の形状の液滴吐出ヘッドを簡単に製造することができる。なお、この製造方法において、スラリー準備工程、型準備工程、及び、多孔質板準備工程は、成形体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。<第1変形例>上記製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程におけるレーザー加工による残膜RFの除去貫通孔Hの形成に代え、乾燥後成形体110を焼成した後、精密研磨によって残膜RFを除去してもよい。即ち、残膜RFは、成形体110の焼成後に研磨加工により除去してもよい。これによれば、ノズル部21bの先端部開口部、液滴吐出口の径を精密に調整できるので、別部材SUS等のノズルプレート吐出孔先端部形成体を用いる必要性をより低減することができる。<第2変形例>上記製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程におけるレーザー加工による残膜RFの除去貫通孔Hの形成に代え、スラリーSLが型100内において乾燥して固化し、乾燥後の成形体110が型100と多孔質板120との間に形成された後であって図4を参照。、型100が乾燥後成形体110から除去される前離型がなされる前に、図9に示したように、研磨を実行して残膜RFを除去してもよい。即ち、乾燥後成形体110を型100に保持した状態のまま研磨し、貫通孔Hを形成してもよい図10を参照。。より具体的に述べると、この研磨は、次のように行われる。先ず、図4に示したように、型100内において乾燥後成形体110が完成すると、多孔質板120から乾燥後成形体110を型100内に保持したまま離脱させる。次に、図9に示したように、乾燥後成形体110が型100内に保持されている状態において、その型100の背面側を研磨用保持具400により保持する。そして、研磨用保持具400を水平方向型100の基部101の平面101uと平行な方向に移動させながら、乾燥後成形体110の露呈面残膜RFを研磨板410に押し付けることにより、研磨を実施する。研磨が完了すると残膜RFが除去されると離型を実施する。この結果、図10に示した焼成前ヘッド本体20Aが作成される。このように、乾燥後成形体110の研磨を乾燥後成形体110が型100内に保持された状態にて行うこと即ち、離型前研磨加工を行うことの利点は次のとおりである。利点1焼成後の成形体に対して研磨を行うと、研磨屑及び/又は砥粒が加圧室等に入り込むので、その除去工程が必要となる。これに対し、上記方法によれば、乾燥後成形体110が型100に保持されている状態にて研磨されるので、研磨屑及び/又は砥粒が加圧室等に入り込まない。よって、そのような除去工程が不要であるから、製造工程全体を簡素化することができる。利点2型100の裏面成形面と反対側の面、背面を基準として研磨を行うことができるので、研磨される面乾燥後成形体110の露呈面の平坦性を容易に確保することができる。利点3焼成体に比べて焼成前成形体110は硬度が低いので、研磨加工の速度を大きくすることができる。即ち、短時間にて研磨を完了することができる。なお、このような離型前研磨加工を行う場合、型100には硬度の高い材質の材料を用いるか、又は、型100の表面をDLCダイヤモンドライクカーボン処理しておくことが望ましい。<第3変形例>上記製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程におけるレーザー加工による残膜RFの除去貫通孔Hの形成に代え、乾燥後の成形体110を焼成した後に弾性体使用特殊ブラスト加工後述により残膜RFを除去し貫通孔Hを形成し、それによりノズル部21bを完成してもよい。より具体的に述べると、この第3変形例においては、残膜RFを除去しない状態にて乾燥後成形体110に振動板30となるセラミックグリーンシート及び液体貯留室蓋体40となるセラミックグリーンシートを平面方向の位置を合わせながら積層する。次いで、これらを熱圧着し、熱圧着された積層体を脱脂した後に焼成する。この結果、図11のAに示した焼成後成形体20B焼成後液滴吐出ヘッド本体が作成される。次に、図11のBに示したように、焼成後成形体20Bを所定の治具に保持し、焼成後成形体20Bの残膜RFが形成されている表面に対して弾性体使用特殊ブラスト加工処理を行う。このブラスト加工は、例えば特開2006-159402号公報等に開示されているように、比較的大径の弾性体である母材内にSiC等の小径の砥粒が固定された研磨材Kを加工対象物の表面焼成後成形体20Bの残膜RFが形成されている表面に対し、その加工対象物の表面の法線とは相違する方向から噴射又は投射する方法である。即ち、研磨材Kは、焼成後成形体20Bの残膜RFが形成されている表面に対し斜め方向から投射される。この場合、研磨材Kの母材の直径Dkは、ノズル部21bの直径Dノズル部21bの先端部により形成される開口部液滴吐出口の直径Dよりも大きい径であることが望ましい。弾性を有する研磨材Kが投射されると、図11のCに示したように、その研磨材Kは焼成後成形体20Bの表面にて押し潰れ、焼成後成形体20Bの表面を滑走した後に同表面から離れる。この間、焼成後成形体20Bの表面が摩耗し砥粒により削られ、その結果、図11のDに示したように、残膜RFが除去されノズル部21bが完成する。このブラスト方法弾性体使用特殊ブラスト加工処理によれば、焼成後成形体20Bに焼成による微小なうねり反り変形、ひずみが生じていた場合であっても、そのうねり反りに従って焼成後成形体20Bを一定量研磨することができる。従って、ノズル部21bの先端部即ち、ノズル部21bにより表面に形成される液滴吐出用の開口の径ノズル径を所望の範囲内の値に保つことができる。更に、この弾性体使用特殊ブラスト加工によれば、液滴吐出ヘッド本体20の下面表面であって、ノズル部21bの近傍液滴吐出用の開口の近傍の表面20a図1を参照。の表面粗さが小さくなる。また、その表面20aの微小領域毎の表面粗さのばらつき差が小さくなる。その結果、ノズル部21bの近傍の表面20aの吐出される液滴に対する濡れ性が安定化する濡れ性の領域間のばらつきが小さくなる。その結果、何れのノズル部21bにおいても液滴をより安定して吐出することができる。換言すると、複数のノズル部21b間の液滴吐出性能を均質化することができる。加えて、上記弾性体使用特殊ブラスト加工方法によれば、ノズル部21bのエッヂ液滴吐出用の開口の縁における微小なバリを除去することができるので、何れのノズル部21bにおいても液滴をより安定して吐出することができる。加えて、上記弾性体使用特殊ブラスト加工によれば、研磨材K母材の直径Dkが大きいので、ブラスト加工中に研磨材Kがノズル部21bとなる空隙に進入し難い。よって、それらを除去する工程を別途設ける必要がないか、或いは、それらを容易に除去することができる。なお、前述したように、この弾性体使用特殊ブラスト加工方法において、研磨材の噴射又は投射方向は90度でない方向加工対象の壁面の法線と相違する方向、加工対象の壁面に対して直交しない方向であることが望ましい。更に、この弾性体使用特殊ブラスト加工は、型100を成形体110から取り除く前離型前に行われてもよく、型100を成形体110から取り除いた後離型後に行われてもよい。以上、説明したように、本発明による液滴吐出ヘッドの製造方法の実施形態及び変形例によれば、ノズル部を従来の金型パンチ及びダイを用いた打ち抜き加工により作成しないので、破断面が荒れず、且つ、ノズル部にバリ等が発生し難い。その結果、液滴を安定して吐出することができる液滴吐出ヘッドが提供される。更に、上記製造方法によれば、加圧室21が、スラリーを型100によって成形することに基いて作成される。従って、加圧室21が微細化した場合及び隣接する加圧室21間の距離が短い場合等においても、高い形状精度を有する液滴吐出ヘッド10を製造することができる。更に、上記製造方法によれば、ノズル部21bも、スラリーを型100によって成形することに基いて作成される。従って、ノズル部21bを打ち抜き加工により形成した場合に比較して、ノズル部21bの表面が滑らかであり、且つ、ノズル部21bにバリ等が発生し難い。その結果、液滴を安定して吐出することができる液滴吐出ヘッド10が提供される。加えて、上記製造方法によれば、液滴吐出ヘッド本体20のノズル部21bに貫通孔を有する金属板等を接合する必要がない。従って、工程を簡素化することができる。なお、本発明は上記実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。