第1基板2と第2基板2’とを接合するための装置において、-1つまたは複数の支持基板1を収容するための収容部と、-当該収容部とは反対側を向いた、前記支持基板1の基板面1s上に複数の第1基板2を配置するための配置装置と、-前記各第1基板2の少なくとも1つの固定部分2aにおいて、当該各第1基板2を前記基板面1s上に固定するための固定装置とを有する、ことを特徴とする装置。請求項1に記載の装置において、前記固定装置は、各第1基板2を一時的に固定するために構成されている、ことを特徴とする装置。請求項1または2に記載の装置において、前記配置装置は、配向マーク3に前記第1基板2を配向および配置するために構成されている、ことを特徴とする装置。請求項1ないし3のうちの1つまたは複数の請求項に記載の装置において、前記配置装置は、前記第1基板2上に第2基板2’を配置するため、殊に前記第1基板2の配向マーク5において配向して配置するために設けられている、ことを特徴とする装置。請求項4に記載の装置において、前記固定装置は、第1基板2上に配置される各第2基板2’を固定するため、殊に一時的に固定するために設けられている、ことを特徴とする装置。請求項4または5に記載の装置において、殊に独立した接合モジュールとして設けられる接合チャンバは、同時に、殊に永続的に複数の前記第1基板2と複数の前記第2基板2’とを接合するために設けられている、ことを特徴とする装置。第1基板2と第2基板2’とを接合する方法において、以下のステップを、殊に以下の順序で含む、すなわち、-収容部に収容される支持基板1上の基板面1s上に複数の第1基板2を配置するステップと、-各第1基板2の少なくとも1つの固定部分2aにおいて、当該各第1基板2を前記基板面1s上に固定するステップと、を含む、ことを特徴とする方法。請求項7に記載の方法において、前記第1基板2を前記基板面1sに一時的に固定する、ことを特徴とする方法。請求項7または8に記載の方法において、前記第1基板2を、前記配置の前に配向マーク3において配向する、ことを特徴とする方法。請求項7から9までの1つまたは複数に記載の方法において、前記第2基板2’を、殊に前記第1基板2の配向マーク5に配向した後、前記第1基板2に配置および/または一時的に固定する、ことを特徴とする方法。請求項10に記載の方法において、複数の前記第2基板2’をそれぞれ同時に複数の前記第1基板2に、殊に独立した接合モジュールとして構成される接合チャンバにおいて殊に永続的に接合する、ことを特徴とする方法。