駆動電極および検出電極を設けた音叉型の振動子と、この振動子における検出電極から出力される出力信号を処理するICと、前記振動子およびICを内側に収納するとともに、段差部に前記振動子における駆動電極および検出電極と電気的に接続された端子電極を設け、かつ外底面に電源電極、GND電極および出力電極を設け、さらに前記端子電極と電源電極、GND電極および出力電極とを電気的に接続する配線パターンとを設けたケースとを備え、前記ケースにおける相手側実装基板との取付面にスペーサを設けた角速度センサ。前記スペーサの線膨張係数を半田の線膨張係数より小さくした請求項1記載の角速度センサ。しかしながら、上記従来の構成においては、角速度センサの周囲の温度が、常温25°Cから125°Cに変化すると、収納部43の外底面の4隅の近くに位置して電源電極47を設けているため、収納部43と相手側基板図示せずとの熱膨張係数の差異により、特に、外側に位置する電源電極47の半田付け部にクラックが生じ、電源電極47に印加される電圧が不安定になることとなり、これにより、角速度センサからの出力信号が不安定になってしまうという課題を有していた。本発明は上記従来の課題を解決するもので、出力信号が不安定になってしまうということのない、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、駆動電極および検出電極を設けた音叉型の振動子と、この振動子における検出電極から出力される出力信号を処理するICと、前記振動子およびICを内側に収納するとともに、段差部に前記振動子における駆動電極および検出電極と電気的に接続された端子電極を設け、かつ外底面に電源電極、GND電極および出力電極を設け、さらに前記端子電極と電源電極、GND電極および出力電極とを電気的に接続する配線パターンとを設けたケースとを備え、前記ケースにおける相手側実装基板との取付面にスペーサを設けたもので、この構成によれば、ケースにおける相手側実装基板との取付面にスペーサを設けたため、実装時に半田の膜厚が確保され、角速度センサの周囲の温度が、常温25°Cから125°Cに変化しても、ケースと相手側基板との熱膨張係数の差異により発生するせん断応力を半田厚みで緩和することとなり、これにより、ケースにおける電源電極における半田付部に加わるせん断応力値が減少するから、電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止することとなり、その結果、角速度センサからの出力信号が安定するという作用効果を有するものである。本発明の請求項2に記載の発明は、特にスペーサの線膨張係数を半田の線膨張係数より小さくしたもので、この構成によれば、熱による膨張時に半田付部に加わる剥がれ力が減少するから、電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止することとなり、その結果、さらに、角速度センサからの出力信号が安定するという作用効果を有するものである。本発明の角速度センサは、駆動電極および検出電極を設けた音叉型の振動子と、この振動子における検出電極から出力される出力信号を処理するICと、前記振動子およびICを内側に収納するとともに、段差部に前記振動子における駆動電極および検出電極と電気的に接続された端子電極を設け、かつ外底面に電源電極、GND電極および出力電極を設け、さらに前記端子電極と電源電極、GND電極および出力電極とを電気的に接続する配線パターンとを設けたケースとを備え、前記ケースにおける外底面の4隅の近傍に、振動子における駆動電極、検出電極およびICのいずれにも電気的に導通しないスペーサを設けたもので、この構成によれば、ケースにおける外底面の4隅の近傍に、振動子における駆動電極、検出電極およびICのいずれにも電気的に導通しないスペーサを設けたため、実装時に半田の膜厚が確保され角速度センサの周囲の温度が、常温25°Cから125°Cに変化しても、ケースと相手側基板との熱膨張係数の差異により発生するせん断応力を半田厚みで緩和することとなり、これにより、ケースにおける電源電極における半田付部に加わるせん断応力値が減少するから、電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止することとなり、その結果、出力信号の安定した角速度センサを提供することができるという効果を有するものである。以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施の形態1における角速度センサの分解斜視図、図2は同角速度センサの上蓋を外した状態を示す上面図、図3は同角速度センサの下面図、図4は同角速度センサにおけるスペーサの斜視図、図5は同角速度センサにおける振動子の斜視図、図6は同角速度センサにおける振動子の側断面図、図7は同角速度センサにおける載置部材に振動子および端子を固定した状態を示す斜視図である。図1~図7において、61は音叉形状の振動子で、この振動子61は図5に示すように、第1の腕部61a、第2の腕部61bおよび第1の腕部61aと第2の腕部61bの一端を接続する支持部61cとにより構成されている。また、振動子61は図6に示すように、Siからなる基材62の上面の全面にわたってPtとTiの合金薄膜からなる共通GND電極63を設け、さらにこの共通GND電極63の上面にPZT薄膜からなる圧電層64を設けている。そしてまた、音叉形状の振動子61は、図5に示すように、上面の略中央の内側に位置して、圧電層64の上面に一対の第1の駆動電極65を設けるとともに、略中央の外側に位置して圧電層64の上面に一対の第2の駆動電極66を設けている。また、この振動子61は、上面の先端側に位置して、圧電層64の上面に一対の検出電極67を設けるとともに、第1の駆動電極65より根元側に位置して、圧電層64の上面にモニター電極68を設けている。そしてまた、振動子61における支持部61cの表面に位置して、圧電層64の表面にGND電極69を設けている。70はセラミックからなるケースで、このケース70は内底面および内側面から外底面にわたってセラミックと配線用導体の層構造からなり、配線パターン図示せずを有する多層回路基板72を設けている。また、前記ケース70の側壁73の内側面に設けた段差部74に端子電極75を設けるとともに、外底面に電源電極76、GND電極77および出力電極78を設けており、前記端子電極75と、電源電極76、GND電極77および出力電極78とを、配線パターン図示せずにより電気的に接続している。そしてまた、前記ケース70における外底面の4隅の近傍に、第1の駆動電極65、第2の駆動電極66および検出電極67とのいずれにも電気的に導通しない図4に示すような、スペーサ79を設けている。そして、また、ケース70における側壁73の上面にコバールからなる金属枠81を設けている。82は樹脂製の載置部材で、この載置部材82は前記振動子61における支持部61cを支持するとともに、前記ケース70における端子電極75と一端を電気的に接続された8つの端子83により周囲から支持されている。そして、前記端子83は、各々Y軸方向延出部84、Z軸方向延出部85およびX軸方向延出部86により構成されており、8つの端子83のうち、外側に配置された4つの端子83のX軸方向延出部86は表方向に延出され、一方、内側に配置された4つの端子83のX軸方向延出部86は裏方向に延出されている。すなわち、載置部材82の重心と8つの端子83をあわせた重心とが、互いに略一致するように構成されている。そしてまた、前記振動子61における第1の駆動電極65、第2の駆動電極66、検出電極67およびGND電極69は端子83とワイヤー線87により電気的に接続されている。88は樹脂製の補強部材で、この補強部材88は前記端子83とケース70における端子電極75との接続箇所を覆うように設けることにより、端子83をケース70に埋設している。89は加速度センサ素子で、この加速度センサ素子89は前記ケース70の内底面に設けられるとともに、端子電極75とワイヤー線87により電気的に接続されている。90はICで、このIC90は前記ケース70の内底面に加速度センサ素子89と並設されるとともに、振動子61からの出力信号および加速度センサ素子89からの出力信号を処理している。91はコバールからなる上蓋で、この上蓋91は前記ケース70の開口部を閉塞している。以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次に、その組立方法を説明する。まず、予め準備した図8aに示すSiからなる基材62の上面に図8bに示すように、PtとTiの合金薄膜からなる共通GND電極63を蒸着により形成し、その後、図8cに示すように、共通GND電極63の上面にPZT薄膜からなる圧電層64を蒸着により形成する。次に、図8dに示すように、圧電層64の上面にTiとAuの合金薄膜からなる形成途上電極65aを蒸着により形成し、その後、図8eに示すように、所定の形状になるように、共通GND電極63、圧電層64および形成途上電極65aの不要な箇所を除去し、圧電層64の上面に第1の駆動電極65、第2の駆動電極66、検出電極67、モニター電極68およびGND電極69を形成する。次に、共通GND電極63側に電圧を印加するとともに、第1の駆動電極65、第2の駆動電極66、検出電極67、モニター電極68およびGND電極69を接地することにより、圧電層64を分極する。次に、基材62における不要な箇所を除去することにより、図8fに示すように、個片の振動子61を形成する。次に、予め準備したセラミックからなる絶縁体図示せずと配線用導体図示せずからなる多層回路基板72の上面の外周にわたって、セラミックからなる側壁73および段差部74を形成した後、この段差部74の上面に、Auからなる端子電極75を形成し、さらに、側壁73の上面にコバールからなる金属枠81を固着する。さらに、ケース70の相手側実装基板との取付面にスペーサを固着する。次に、多層回路基板72の下面にAgからなる電源電極76、GND電極77および出力電極78を形成した後、多層回路基板72の下面にスペーサ79を接着剤で固着する。次に、IC90をケース70における多層回路基板72の上面に実装し、その後、このIC90と多層回路基板72とを電気的に接続する。次に、前記ケース70における多層回路基板72の上面に、IC90と並設するように、加速度センサ素子89を実装した後、加速度センサ素子89とケース70における端子電極75とをアルミニウムからなるワイヤー線87を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。次に、予め、8つの端子83を載置部材82にインサート成形した後、載置部材82に振動子61における支持部61cの下面を固着し、その後、振動子61の上面に形成された第1の駆動電極65、第2の駆動電極66、検出電極67、モニター電極68およびGND電極69と端子83とをアルミニウムからなるワイヤー線87を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。次に、8つの端子83をケース70における端子電極75に半田付けした後、樹脂製の補強部材88で覆うことにより、端子83をケース70に埋設する。次に、ケース70の開口部に、金属製の上蓋91をシーム溶接により窒素雰囲気中で固着する。以上のように構成された本発明の実施の形態1における角速度センサについて、次に、その動作を説明する。まず、角速度センサにおけるケース70の外底面に設けた電源電極76、GND電極77、出力電極78にクリーム半田図示せずを塗布した後、相手側基板図示せずに角速度センサを半田付けする。そして、音叉型の振動子61における第1の腕部61aおよび第1の腕部61aに設けた第1の駆動電極65に正電圧を印加するとともに、第2の駆動電極66に負電圧を印加すると、第1の駆動電極65の下側に位置する圧電層64が伸びるとともに、第2の駆動電極66の下側に位置する圧電層64が縮むため、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bが外側に向かって開かれる。次に、音叉型の振動子61における第1の腕部61aおよび第1の腕部61aに設けた第1の駆動電極65に負電圧を印加するとともに、第2の駆動電極66に正電圧を印加すると、第1の駆動電極65の下側に位置する圧電層64が縮むとともに、第2の駆動電極66の下側に位置する圧電層64が伸びるため、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bが内側に向かって閉じられる。すなわち、音叉型の振動子61における第1の駆動電極65および第2の駆動電極66に交流電圧を印加すると、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bは面内方向の固有振動数で速度Vの屈曲運動をする。そして、振動子61の屈曲運動はモニター電極68から発生する出力信号が一定になるように、第1の駆動電極65および第2の駆動電極66に印加する電圧を調整することにより、屈曲振動の振幅を制御している。そしてまた、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bが固有振動数で屈曲運動している状態において、振動子61が長手方向の中心軸検知軸周りに角速度ωで回転すると、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bのアームにF=2mV×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、検出電極67の下側に位置する圧電層64に発生する電荷からなる出力信号を検出電極67、ワイヤー線87、端子電極75、ケース70における配線パターン図示せずを介してIC90に入力し、波形処理をした後、ケース70における出力電極78から外部に角速度の出力信号として出力するものである。ここで、角速度センサの周囲の温度が常温25°Cから125°Cに変化する場合を考えると、本発明の一実施の形態における角速度センサにおいては、図3に示すように、ケース70における外底面の4隅の近傍に、振動子61における第1の駆動電極65、第2の駆動電極66、検出電極67およびスペーサ79を設けたため、実装時に半田の膜厚が確保され角速度センサの周囲の温度が、常温25°Cから125°Cに変化しても、ケース70と相手側基板図示せずとの熱膨張係数の差異により発生するせん断応力を半田厚みで緩和することとなり、これにより、ケース70における電源電極76における半田付部に加わるせん断応力値が減少するから、電源電極76における半田付部にクラックが発生することを防止することとなり、その結果、角速度センサからの出力信号が安定するという作用効果を有するものである。