"少なくとも1つの無機系化合物と、少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物と、少なくとも1つのpH調整剤とを含んでなる、吸収性スピンオンガラス組成物。前記吸収性化合物が、375nm未満の波長において少なくとも約5nmの幅の波長域にわたって光を強く吸収する、請求項1に記載の組成物。前記吸収性化合物が、375nm未満の波長において少なくとも約10nmの幅の波長域にわたって光を強く吸収する、請求項1に記載の組成物。前記波長域が約260nm未満の波長である、請求項2に記載の組成物。前記吸収性化合物が、少なくとも1つのベンゼン環と、水酸基、アミン基、カルボン酸基、および置換シリル基を含んでなる群より選択される反応性基とを含んでなる、請求項1に記載の組成物。前記吸収性化合物が2以上のベンゼン環を含んでなる、請求項5に記載の組成物。前記2以上のベンゼン環が縮合している、請求項6に記載の組成物。前記吸収性有機化合物が、アントラフラビン酸、9アントラセンカルボン酸、9アントラセンメタノール、アリザリン、キニザリン、プリムリンジフェニルケトン、ロゾール酸、トリエトキシシリルプロピル-1,8-ナフタリイミド、9-アントラセンカルボキシアルキルトリエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、10-フェナントレンカルボキシ-メチルトリエトキシシラン、4-フェニルアゾフェノール、4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、4-メトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、およびこれらの混合物を含む吸収性化合物を含んでなる、請求項5に記載の組成物。前記無機系化合物がシリコン系化合物を含んでなる、請求項1に記載の組成物。前記シリコン系化合物がポリマーを含んでなる、請求項9に記載の組成物。前記ポリマーが、メチルシロキサン、メチルシルセスキオキサン、フェニルシロキサン、フェニルシルセスキオキサン、メチルフェニルシロキサン、メチルフェニルシルセスキオキサン、シリケートポリマー、シラザンポリマー、およびこれらの混合物を含んでなる、請求項10に記載の組成物。前記ポリマーが、ハイドロジェンシロキサン、ハイドロジェンシルセスキオキサン、有機ヒドリドシロキサン、および有機ヒドリドシルセスキオキサンポリマー、ハイドロジェンシルセスキオキサンとアルコキシヒドリドシロキサンあるいはヒドロキシヒドリドシロキサンとのコポリマー、およびこれらの混合物を含んでなる、請求項10に記載の組成物。前記ポリマーが、H0~1.0SiO1.5~2.0x式中、xは約4より大きいおよびH0~1.0SiO1.5~2.0nR0~1.0SiO1.5~2.0m式中、mは0より大きく、nとmの合計が約4~約5000であり、RがC1~C20のアルキル基またはC6~C12のアリール基であるを含んでなる一般式である、請求項10に記載の組成物。前記pH調整剤が水を含んでなる、請求項1に記載の組成物。前記pH調整剤が塩基を含んでなる、請求項1に記載の組成物。前記塩基がアミンを含んでなる、請求項15に記載の組成物。前記アミンがアミン系オリゴマーを含んでなる、請求項16に記載の組成物。前記pH調整剤が酸を含んでなる、請求項1に記載の組成物。請求項1に記載のスピンオン組成物と、溶媒あるいは溶媒混合物とを含んでなる、コーティング用溶液。前記溶液が、約0.5重量~約20重量のスピンオン組成物である、請求項19に記載のコーティング用溶液。少なくとも1つのシラン反応物、少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物、少なくとも1つのpH調整剤、酸/水混合物、および1以上の溶媒を混合して反応混合物を形成させ;さらに、この反応混合物を加熱してスピンオン組成物を生成させること;を含む、スピンオン組成物の製造方法。少なくとも1つのシラン反応物、少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物、少なくとも1つのpH調整剤、および1以上の溶媒を混合して反応混合物を形成させ、ここで、該pH調整剤は少なくとも1つの酸と水とを含んでなり;さらに、この反応混合物を加熱してスピンオン組成物を生成させること;を含む、スピンオン組成物の製造方法。前記少なくとも1つの吸収性有機化合物が、少なくとも1つのベンゼン環と、水酸基、アミン基、カルボン酸基、および、アルコキシ基およびハロゲン原子を含んでなる少なくとも1つの置換基とケイ素で結合されている置換シリル基を含んでなる反応性基とを含んでなる、請求項21または22に記載の方法。前記少なくとも1つの吸収性有機化合物が、アントラフラビン酸、9アントラセンカルボン酸、9アントラセンメタノール、アリザリン、キニザリン、プリムリン、2-ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、トリエトキシシリルプロピル-1,8-ナフタリイミド、9-アントラセンカルボキシアルキルトリエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、10-フェナントレンカルボキシ-メチルトリエトキシシラン、4-フェニルアゾフェノール、4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、4-メトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、およびこれらの混合物からなる群より選択される吸収性化合物を含んでなる、請求項21または22に記載の方法。前記少なくとも1つのシラン反応物が、トリエトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、テトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、トリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、およびジフェニルジメトキシシラン、トリクロロシラン、メチルトリクロロシラン、エチルトリクロロシラン、フェニルトリクロロシラン、テトラクロロシラン、クロロトリエトキシシラン、クロロトリメトキシシラン、クロロメチルトリエトキシシラン、クロロエチルトリエトキシシラン、クロロフェニルトリエトキシシラン、クロロメチルトリメトキシシラン、クロロエチルトリメトキシシラン、およびクロロフェニルトリメトキシシランを含んでなる、請求項21または22に記載の方法。前記pH調整剤が水を含んでなる、請求項21に記載の方法。前記pH調整剤が塩基を含んでなる、請求項21に記載の方法。前記pH調整剤がアミンを含んでなる、請求項27に記載の方法。前記pH調整剤が酸を含んでなる、請求項21に記載の方法。前記酸/水混合物が、硝酸、乳酸、または酢酸を含んでなる、請求項21に記載の方法。少なくとも1つのアルコキシシランあるいはハロシラン;少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物;少なくとも1つのpH調整剤;酸/水混合物;および1以上の溶媒を混合して、反応混合物を形成させ;さらに、この反応混合物を加熱してスピンオンポリマーを生成させること;を含む、スピンオン材料を含むコーティング用溶液の製造方法。少なくとも1つのアルコキシシランあるいはハロシラン;少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物;少なくとも1つのpH調整剤;および1以上の溶媒を混合して反応混合物を形成させ、ここで、該pH調整剤は少なくとも1つの酸および水を含んでなり;さらに、この反応混合物を加熱してスピンオンポリマーを生成させること;を含む、スピンオン材料を含むコーティング用溶液の製造方法。1以上の希釈溶媒を前記スピンオン組成物に加えてコーティング用溶液を調製すること、をさらに含む請求項31または32に記載の方法。レジスト材料と組み合わされた請求項1のスピンオン組成物を含んでなる、層状材料。レジスト材料と組み合わされた請求項19のコーティング用溶液を含んでなる、層状材料。前記レジスト材料が、スピンオン組成物について少なくとも85°の角度にある現像ラインを含んでなる、請求項34に記載の層状材料。前記レジスト材料が、コーティング用溶液について少なくとも85°の角度にある現像ラインを含んでなる、請求項35に記載の層状材料。請求項1のスピンオン組成物を含んでなる半導体。請求項19のコーティング用溶液を含んでなる半導体。前記スピンオン組成物が少なくとも部分的に除去されるように設計されている、請求項1に記載の組成物。前記pH調整剤が、レジスト材料とスピンオン組成物との適合性を改善するために選択された化合物を含んでなる、請求項1に記載の組成物。前記レジスト材料が、157nm、193nm、248nm、および365nmを含む波長域にわたって光を吸収する、請求項41に記載の組成物。よって、a紫外光域において強力かつ均一に吸光し、bレジスト材料を崩れさせたり、意図したレジストラインよりはみ出ることのない、cフォトレジスト現像剤および上記のSOG反射防止膜の製造工程に対して感応することのない、吸収性スピンオンガラス反射防止膜およびリソグラフィー材料が、層状材料、電子部品、および半導体部品の製造を発展させるために望まれる。発明の概要紫外線フォトリソグラフィー用反射防止膜材料は、無機スピンオン材料中またはスピンオンガラス材料中に導入される、少なくとも1つの吸収性有機化合物と少なくとも1つのpH調整剤とを含んでなる。このスピンオン材料は、無機系化合物例えば、シリコン系化合物、ガリウム系化合物、ヒ素系化合物、ホウ素系化合物、またはこれらの無機元素および材料の組み合わせを含んでなる。考えられるスピンオンガラス材料のいくつかは、メチルシロキサン、メチルシルセスキオキサン、フェニルシロキサン、フェニルシルセスキオキサン、メチルフェニルシロキサン、メチルフェニルシルセスキオキサン、シリケートポリマー、およびこれらの混合物を含んでもよい。本明細書において用いられるように、スピンオンガラス材料として知られるグループには、シロキサンポリマー、一般式xのハイドロジェンシロキサンポリマーおよび式xを有するハイドロジェンシルセスキオキサンポリマー式中、xは約4より大きいが含まれてもよい。また、ハイドロジェンシルセスキオキサンとアルコキシヒドリドシロキサンあるいはヒドロキシヒドリドシロキサンとのコポリマーが含まれてもよい。スピンオンガラス材料は、付加的に、一般式nmの有機ヒドリドシロキサンポリマーおよび一般式nmの有機ヒドリドシルセスキオキサンポリマー式中、mは0より大きく、nとmの合成は約4より大きく、Rはアルキルまたはアリールであるを含む。このスピンオンガラス材料に導入するのに適した吸収性化合物は、375nm未満、または約260nm未満の波長において、強い吸光性を有する。具体的には、適した吸光性化合物は、フォトリソグラフィーにおいて用いられ得る、248nm、193mn、157nmといった波長周辺、または他の紫外域の波長例えば、365nmにて吸収性を有する。適した化合物の発色団は、典型的には、少なくとも1つのベンゼン環を有しており、2以上のベンゼン環を有している場合には、これらの環は縮合していても、縮合していなくてもよい。導入することが可能な吸収性化合物は、発色団に連結された、接触可能な反応性基を有しており、この反応性基は、ヒドロキシル基、アミン基、カルボン酸基、および1、2、または3つのアルコキシ基に結合したケイ素またはハロゲン原子置換基で置換されたシリル基を含んでもよい。反応性基は直接、発色団と結合していてもよいし、炭化水素の架橋や酸素結合を介して発色団と結合していてもよい。また、発色団は、スピンオンガラス材料を作製するために用いられるのと同様の、シリコン系化合物またはポリマーを含んでいてもよい。pH調整剤は、スピンオン材料の混合物および吸収性有機化合物の一部に添加して、最終的なスピンオン組成物のpHを、最終的なスピンオン組成物が組み合わされるレジスト層や他の組み合わされる層と適合性が良くなるようなpHに調整または調節する化合物、材料、または溶液である。しかし、pH調整剤が、最終的なスピンオン組成物のpHを調節するだけでなく、層状材料、電気部品、または半導体部品の一部といった最終的なスピンオン組成物の化学的な性能、機械的な性能、および構造的な構成にまで影響を及ぼし、スピンオン組成物と組み合わされるレジスト材料との適合性をより良くさせることが好ましい。より具体的には、pH調整剤は、ポリマーの性質、構造的な構成、および空間的な方向性に強く作用し、反射防止膜の表面特性を最適なレジスト性能が得られるように向上させる。つまり、単にスピンオン材料のpHを調節するだけで、スピンオン組成物や組み合わされるレジスト材料の機械的特性および構造的構成に作用しないpH調整剤は、本明細書において意図するものではない。本発明の他の観点からは、吸収性スピンオン組成物を合成するための方法が提供される。スピンオン材料は、通常、シランと、シリコン系反応剤例えば、トリエトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、テトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、トリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、およびジフェニルジメトキシシランなどとから合成される。しかし、ガリウム、ヒ素、ゲルマニウム、ホウ素、ならびに類似の元素および材料も、ケイ素原子と組み合わせて、またはそれのみで、使用し、スピンオン材料を製造することができる。ハロシラン類特に、クロロシラン類もシラン反応剤として使用することができる。吸収性スピンオン組成物を製造する方法は、少なくとも1つの無機系組成物、少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物、少なくとも1つのpH調整剤、酸/水混合物例えば、硝酸/水混合物、および少なくとも1つの溶媒を混合して反応混合物を生成させ;反応混合物を還流して吸収性スピンオン組成物を生成させることを含む。生成したスピンオン組成物は、次いで、少なくとも1つの溶媒で希釈し、種々の厚さのフィルムを製造するためのコーティング用溶液が製造される。また、pH調整剤を、還流工程の間あるいは還流工程の後に添加することもできる。吸収性スピンオン組成物の他の製造方法においては、少なくとも1つの無機系組成物、少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物、少なくとも1つのpH調整剤、および少なくとも1つの溶媒を混合して、反応混合物を生成させることができる。次いで、この反応混合物を還流して、吸収性スピンオン組成物を生成させる。生成したスピンオン組成物を少なくとも1つの溶媒で希釈して、種々の厚さのフィルムを製造するためのコーティング用溶液を調製する。この方法においてpH調整剤は、従来の様々な酸/水混合物異なる酸を添加してもよく、少ない量の酸を添加してもよく、より多くの水を添加したものでもよいであってよい。しかしながら、選択されたpH調整剤に関わらず、pH調整剤はpHのみに影響を及ぼすのでなく、ARCの化学的、機械的、および物理的特性にも影響を及ぼし、レジストとARCとの組み合わせの適合性もより良くするという基本原則はそのままである。本発明のさらに他の観点からは、吸収性スピンオン組成物は、少なくとも1つのシリコン系化合物、少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物これは、約375nm未満の波長の光を吸収する、およびpH調整剤を含むように製造される。さらに、少なくとも1つのシリコン系化合物または導入することが可能な吸収性有機化合物が少なくとも1つのアルキル基、アルコキシ基、ケトン基、またはアゾ基を含んでなる、吸収性スピンオン組成物が提供される。本発明のさらに他の観点からは、9アントラセンカルボキシアルキルトリアルコキシシランを含んでなる化合物群の吸収性化合物を含んでなるスピンオン組成物が提供される。9アントラセンカルボキシアルキルトリアルコキシシラン類のいずれかを合成する方法には、9アントラセンカルボン酸、クロロアルキルトリアルコキシシラン、トリエチルアミン、および溶媒を混合して反応混合物を形成させ;この反応混合物を還流し;この還流した反応混合物を冷却して、沈殿物と残った溶液とを形成させ;さらに、残った溶液をろ過し、液体の9アントラセンカルボキシアルキルトリアルコキシシランを製造することが含まれる。詳細な説明紫外線フォトリソグラフィー用反射防止膜材料は、無機スピンオン材料またはスピンオンガラス材料に導入することが可能な、少なくとも1つの吸収性有機化合物と少なくとも1つのpH調整剤とを含む。この吸収性スピンオン組成物は適当な溶媒に溶解され、コーティング用溶液を形成し、層状材料、電子デバイス、および半導体デバイスの製造において、種々の材料の層に塗布される。吸収性スピンオン反射防止膜は、現行の層状材料、電子部品、または半導体製造工程に容易に組み込むことができるように設計される。この組み込みを容易にする特性のいくつかは、a現像剤に対する耐久性、b標準的なフォトレジスト工程における熱的安定性、およびc下地層に対する選択的除去である。スピンオン材料考えられるスピンオン材料には、無機系化合物例えば、シリコン系化合物、ガリウム系化合物、ゲルマニウム系化合物、ヒ素系化合物、ホウ素系化合物、またはこれらの組み合わせがある。本明細書で用いられるように、スピンオン材料、有機スピンオン材料、スピンオン組成物、および無機スピンオン組成物という用語は、交換することが可能である場合があり、基材や表面上にスピンオンさせることのできるその溶液やその組成物を指す場合もある。また、スピンオンガラス材料という用語は無機スピンオン材料の一部を示し、スピンオンガラス材料は、シリコン系化合物および/またはポリマーを全部または一部に含むスピンオン材料を示すと考えられる。シリコン系化合物としては、例えば、シロキサン化合物例えば、メチルシロキサン、メチルシルセスキオキサン、フェニルシロキサン、フェニルシルセスキオキサン、メチルフェニルシロキサン、メチルフェニルシルセスキオキサン、シラザンポリマー、シリケートポリマー、およびこれらの混合物などが挙げられる。考えられるシラザンポリマーは、発色団を結合させることができる透明なポリマー骨格を有する、パーヒドロシラザンである。本明細書において用いられるスピンオンガラス材料という用語も、シロキサンポリマーおよびブロックポリマー、一般式xのハイドロジェンシロキサンポリマー、および、式x式中、xは約4より大きいを有するハイドロジェンシルセスキオキサンポリマーを含む。また、ハイドロジェンシルセスキオキサンとアルコキシヒドリドシロキサンあるいはヒドロキシヒドリドシロキサンとのコポリマーも含まれる。スピンオンガラス材料は、付加的に、一般式nmの有機ヒドリドシロキサンポリマーおよび一般式nmの有機ヒドリドシルセスキオキサンポリマー式中、mは0より大きく、nとmの合計が約4より大きく、Rはアルキルまたはアリールであるを含む。有用な有機ヒドリドシロキサンポリマーのいくつかは、RがC1~C20のアルキル基またはC6~C12のアリール基で、nとmの合計が約4~約5000である。この有機ヒドリドシロキサンと有機ヒドリドシルセスキオキサンポリマーは、互いに示されるスピンオンポリマーである。具体例の中には、アルキルヒドリドシロキサン、9アントラセンカルボン酸、9アントラセンメタノール、9アントラセンエタノール、9アントラセンプロパノール、9アントラセンブタノール、アリザリン、キニザリン、プリムリン、2-ヒドロキシ4ジフェニルケトン、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、トリエトキシシリルプロピル-1,8-ナフタリイミド、トリメトキシシリルプロピル18ナフタルイミド、トリプロポキシシリルプロピル18ナフタルイミド、9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、9アントラセンカルボキシブチルトリエトキシシラン、9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、9アントラセンカルボキシメチルトリメトキシシラン、9アントラセンカルボキシエチルトリブトキシシラン、9アントラセンカルボキシメチルトリプロポキシシラン、9アントラセンカルボキシプロピルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリプロポキシシラン、10-フェナントレンカルボキシ-メチルトリエトキシシラン、10フェナントレンカルボキシエチルトリエトキシシラン、10フェナントレンカルボキシメチルトリメトキシシラン、10フェナントレンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、4-フェニルアゾフェノール、4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、4メトキシフェニルアゾベンゼン4カルボキシエチルトリエトキシシラン、4エトキシフェニルアゾベンゼン4カルボキシプロピルトリエトキシシラン、4ブトキシフェニルアゾベンゼン4カルボキシプロピルトリエトキシシラン、4-メトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、4メトキシフェニルアゾベンゼン4カルボキシエチルトリエトキシシラン、4メトキシフェニルアゾベンゼン4カルボキシプロピルトリエトキシシラン、およびこれらの組み合わせが挙げられる。吸収性化合物1~41の化学式を図1a~図1fに示す。有利な結果が、例えば、9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、9アントラセンメタノールと2-ヒドロキシ4ジフェニルケトンとロゾール酸との組み合わせ、およびフェニルトリエトキシシランの場合に得られた。しかし、上記の具体的な化合物のリストはすべてを示すリストではなく、考えられる化合物および好ましい化合物は、上記の具体的な化合物を含む化学的な化合物群から選択し得ることに留意すべきである。吸収性化合物1~25および29~41は、例えば、アルドリッチケミカル社AldrichChemicalCompanyより市販されている。9アントラセンカルボキシアルキルトリアルコキシシランは、実施例に記載されているように、エステル化法により合成される。吸収性化合物26~28は、ゲレスト社GelestIncより市販されている。吸収性化合物の他のフェニル系吸収性化合物これらの多くも、ゲレスト社GelestIncから市販されているとしては、例えば、フェニル環または置換フェニル例えば、メチルフェニル、クロロフェニル、およびクロロメチルフェニルが導入されているシリコン系反応性基を有する構造が挙げられる。具体的なフェニル系吸収性化合物として、ほんの2、3の例を挙げれば、フェニルトリメトキシシラン、ベンジルトリクロロシラン、クロロメチルフェニルトリメトキシシラン、フェニルトリフルオロシランである。さらに、ほんの2、3の例を挙げれば、1または2の脱離基を含むジフェニルシラン例えば、ジフェニルメチルエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、およびジフェニルジクロロシランも、適した導入することが可能な吸収性化合物である。メトキシ安息香酸を始めとするアルコキシ安息香酸も、吸収性化合物として使用することができる。9アントラセンカルボキシアルキルトリアルコキシシラン化合物の一般的な合成方法は、9アントラセンカルボン酸およびクロロメチルトリアルコキシシラン化合物を反応剤として使用することを含んでなる。特に、9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランの合成法では、9アントラセンカルボン酸とクロロメチルトリエトキシシランとを反応剤として用いる。この反応剤は、前もって4Åのモレキュラーシーブ上で乾燥されたトリエチルアミンとメチルイソブチルケトンと混合され、反応混合物が形成され、この反応混合物は加熱して還流され、約6~10時間還流される。還流後、反応混合物を一晩冷却して、大量の固体沈殿物を得る。残った溶液は、ロータリーエバポレートし、シリカゲルカラムでろ過し、2度目のロータリーエバポレートをし、9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランを暗いコハク色の油状液体これを精製してもよいとして得る。この方法は、9アントラセンカルボキシアルキルトリアルコキシシラン例えば、9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、9アントラセンカルボキシプロピルトリメトキシシラン、および9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランを含むといった群のいかなる化合物を製造するために使用するのに適しているため、重要である。pH調整剤pH調整剤は、スピンオン材料と吸収性有機化合物との混合物に添加する化合物、材料、または溶液であって、最終的なスピンオン組成物のpHを調節または調整して、選択されたいかなるレジスト材料吸収ピークが365nm、248nm、193nm、および157nmの周辺であるものを含むとも適合可能またはより適合可能にする。しかし、このpH調整剤は、最終的なスピンオン組成物のpHを調整するだけでなく、層状材料、電子部品、または半導体部品の一部である最終的なスピンオン組成物の化学的な性能や特性、機械的な性能、および構造的な構成に影響を与え、スピンオン組成物が、組み合わされるレジスト材料とより適合性を良くすることにも留意すべきである。より具体的には、pH調整剤は、ポリマー特性、構造的な構成、および空間的な方向性に強い影響を及ぼし、反射防止膜の表面特性を最適なレジスト性能が得られるように向上させる。つまり、単にスピンオン材料のpHを調整するだけで、スピンオン組成物や組み合わせられるレジスト材料の機械的性能や構造的構成に影響を与えないpH調整剤は、本明細書においては意図されない。考えられるpH調整剤は、2つの別個の、および、ある時は関連する機能を有する:a添加された組成物のpHに影響を与え;かつ、bスピンオン組成物の機械的性能および/または構造的な構成に影響を与えこれは、ポリマー特性、構造的な構成、および空間的な方向性に強く影響し、反射防止膜の表面特性を最適なレジスト性能となるように向上させるということもできる。考えられるpH調整剤は、pH調整剤を添加する組成物のpHに影響を及ぼすように部分的に設計される。潜在的なpH調整剤の化合物群には、aすべての適した酸性または塩基性の溶液、化合物、および/または成分、および/またはbすべての適した強度および濃度の酸性または塩基性の溶液、化合物、および/または成分が含まれる。適切なpH影響剤の集合は、最終的なpH調整剤が選択される最大の化合物の集合である。というのも、pH影響剤は、最終的なスピンオン組成物の機械的性能および/または構造的構成に影響を与え、最終的なスピンオン組成物を適合可能かより適合可能にすることができなければならないからである。これは、例えば、選択されたpH調整剤は、スピンオン材料および吸収性有機化合物の混合物の溶解性パラメータ、分子量、融点、またはいくつかほかの物理的な特性に適合するようにも設計されることを意味している。つまり、pH調整剤およびスピンオン材料と吸収性有機化合物との混合物は、pH調整剤が、混合物のpHに影響を与えるという第1の機能を発揮する場合であっても、好ましい物理的性質に応じて、物理的に適合性のないものであってはならない。好ましい態様においては、好ましい物理的性質とは、溶解性のパラメータまたは分子量である。さらに好ましい態様においては、好ましい物理的な性質は、溶解性パラメータである。また、調整剤は、レジスト材料とARCとの組み合わせの機能や性質に機械的および構造的に影響を与えることも考えられる。例えば、pH調整されたスピンオン組成物を基材または層状材料に塗布し、次いで、レジスト材料をスピンオン組成物に塗布する。レジスト材料が露光されると、その後、スピンオン組成物に対して85~90°の角度で現像される現像ライン。つまり、レジスト材料が、スピンオン組成物上に崩れることがなく、有用な現像ラインを有している。スピンオン組成物がpH調整されていない場合、レジスト材料がエッチング後にスピンオン組成物に崩れることがあり、これにより、問題のあるレジスト材料および/または問題のある層状材料が明らかに生じてしまう。この例においては、pH調整されたスピンオン組成物が、最終的なスピンオン組成物の機械的および構造的な強さ、およびレジスト材料とARCとの組み合わせの適合性に影響を与える。本明細書で用いられるように、組み合わせられたまたは組み合わせという用語は、2つの材料または組成物が互いの上に配置され、2つの材料が物理的、機械的および/または化学的に互いに結合していることを意味する。いくつかの適したpH調整剤としては、例えば、種々のモル濃度のアミン類例えば、γアミノアルキルトリアルコキシシラン類、特に、γアミノプロピルトリエトキシシラン類;水;オキサイドおよびアルコキシド例えば、ナトリウムアルコキシド、カリウムアルコキシド、水酸化カリウムなど;ハロゲン化水素例えば、臭化水素、塩酸;酢酸;硫酸、乳酸、硝酸;TMAH;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート;アミン系オリゴマーケイ素などの無機原子を含むオリゴマーを含む、およびこれらの組み合わせが挙げられる。考えられるpH調整剤のモル濃度としては、ピュアバルク、10モラー、10モラー、01モラー、および001モラーの濃度が挙げられるが、これはレジスト材料に応じて選択されるpH剤に依存する。考えられるレジスト材料としては、すべてのフォトリソグラフィーのレジスト材料が含まれ、157nm、193nm、248nm、および365nm周辺の波長域を有するものが含まれる。レジスト材料の範囲が広い理由は、pH調整剤によって、どんなフォトリソグラフィーのレジスト材料も反射防止膜に組み合わせることができ、それらを互いに適合させることが可能だからである。考えられるフォトリソグラフィーのレジスト材料のなかには、アクリレート系レジスト材料、エポキシ系の化学的に増幅されたレジスト、フルオロポリマーレジストこれらは、157nmの吸収波長を考えたときに、特に有効である、ポリ、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、テトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、トリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、およびジフェニルジメトキシシランが含まれるから合成される。しかし、ガリウム、ヒ素、ゲルマニウム、ホウ素、および類似の原子、ならびに材料も、ケイ素原子と合わせて、または単独の原子材料として使用し、スピンオン材料を製造することができる。また、クロロシラン類例えば、トリクロロシラン、メチルトリクロロシラン、エチルトリクロロシラン、フェニルトリクロロシラン、テトラクロロシラン、ジクロロシラン、メチルジクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、クロロトリエトキシシラン、クロロトリメトキシシラン、クロロメチルトリエトキシシラン、クロロエチルトリエトキシシラン、クロロフェニルトリエトキシシラン、クロロメチルトリメトキシシラン、クロロエチルトリメトキシシラン、およびクロロフェニルトリメトキシシランを始めとするハロシラン類を、シラン反応物として用いることができる。一般に、吸収性スピンオン組成物を製造するには、吸収性化合物例えば、吸収性化合物1~41またはこれらの組み合わせを、SOG材料の合成中にシラン反応物質と混合する。pH調整剤を、SOG材料の合成中または合成終了後に、シラン反応物と混合してもよい。吸収性スピンオン組成物の製造方法として考えられる1つは、少なくとも1つの無機系組成物、少なくとも1つの導入することが可能なな吸収性有機化合物、少なくとも1つのpH調整剤、酸/水混合物例えば、硝酸/水混合物、および少なくとも1つの溶媒を混合して反応混合物を生成させること;および、この反応混合物を還流して、吸収性スピンオン組成物を生成させること、が含まれる。生成したスピンオン組成物は、次いで、少なくとも1つの溶媒で希釈され、種々の厚さのフィルムを製造するコーティング用溶液が提供される。また、pH調整剤は、付加的に、還流工程中または還流工程後に添加することができる。吸収性スピンオン組成物の他に考えられる製造方法においては、少なくとも1つの無機系組成物、少なくとも1つの導入することが可能な吸収性有機化合物、少なくとも1つのpH調整剤、および少なくとも1つの溶媒が混合されて、反応混合物が生成される。次いで、この反応混合物を還流し、吸収性スピンオン組成物が生成される。生成したスピンオン組成物を少なくとも1つの溶媒で希釈して、種々の厚さのフィルムを製造するコーティング用溶液が提供される。この方法におけるpH調整剤としては、種々の従来用いられる酸/水混合物があり、異なった酸を添加してもよく、酸を少なくして添加してもよく、また多めの水を添加してもよい。しかし、どのpH調整剤が選択されたとしても、pH調整剤によってpHだけが影響を受けるのではなく、ARCの化学的、機械的、および物理的な性質も影響を受け、レジストとARCの組み合わせの適合性がより良好になるという、基本原則は維持される。より具体的には、シラン反応物例えば、HTEOS、またはTEOSおよびMTEOS、TMOSおよびMTMOS;または、択一的に、テトラクロロシランおよびメチルトリクロロシラン、少なくとも1つの吸収性化合物例えば、吸収性化合物1~41;少なくとも1つのpH調整剤例えば、APTF;溶媒または溶媒の組み合わせ;および酸/水混合物を含んでなる反応混合物を、反応容器中で形成させる。適当な溶媒としては、アセトン、2プロパノール、および他のシンプルなアルコール、ケトン、およびエステル例えば、1プロパノール、MIBK、プロポキシプロパノール、およびプロピルアセテートがある。酸/水混合物は、例えば、硝酸と水である。他のプロトン酸または酸無水物例えば、酢酸、ギ酸、塩酸、または無水酢酸が、代わりに、酸混合物中に用いられる。生じた混合物は、約1~24時間還流され、吸収性スピンオン溶液が生成される。先に述べたように、pH調整剤は、選択されたレジスト材料に応じて、還流工程中または還流工程後に添加することができる。また、先に述べたように、酸/水混合物中の酸濃度および/または強度、および水の濃度は、具体的な層状材料、電子部品、または半導体部品の用途に対して選択されたレジスト材料に応じてpH調整剤となるように、様々であってよい。吸収性スピンオン材料を適切な溶媒で希釈して、種々の厚さのフィルムを製造するコーティング用溶液を得ることができる。適切な希釈溶媒としては、アセトン、2プロパノール、エタノール、ブタノール、メタノール、プロピルアセテート、エチルラクテート、プロピレングリコールプロピルエーテル工業的にはプロパノールPと言われるがある。高沸点の希釈溶媒例えば、エチルラクテート、およびプロピレングリコールプロピルエーテルが有利であることが見出された。高沸点の溶媒によると、フィルムの泡欠陥が生成する可能性が減少する。反対に、低沸点の溶媒は、架橋したフィルムのトップ層表面層にトラップされ、続く焼成工程で移動した場合にボイド空隙となってしまうことがある。本発明において有用な付加的な溶媒としては、エチレングリコールジメチルエーテル他にグリムとも言われる、アニソール、ジブチルエーテル、ジプロピルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ペンタノールがある。付加的に、界面活性剤例えば、3Mにより提供されている製品であるFC430、またはDICにより提供されている製品であるMegafaceR08もコーティング用溶液に添加することができる。コーティング用溶液は、典型的には、約05~20重量のポリマーである。使用前に、コーティング用溶液を標準ろ過法によってろ過する。吸収性スピンオン材料を生成させる第2の方法によれば、少なくとも1つのシラン反応物質、少なくとも1つの吸収性化合物例えば、吸収性化合物1~41、少なくとも1つのpH調整剤、および溶媒あるいは溶媒の混合物を含んでなる反応混合物を、反応容器中で形成させる。この反応混合物を、約1~24時間、加熱還流または還流する。シラン反応物と溶媒は、上述の第1の方法において記載したものである。上記の酸/水混合物を、反応混合物に撹拌しながら添加する。生じた混合物を、約1~24時間、加熱還流および還流して、吸収性でpH調整されたスピンオン材料を生成させる。この吸収性スピンオン材料を、上記のように、希釈およびろ過して、コーティング用溶液を生成させる。また、先に述べたように、pH調整剤を最初の還流工程の間または還流工程の後に添加してもよい。吸収性有機ヒドリドシロキサン材料を生成させる方法は、無極性溶媒と極性溶媒とを含む2相の溶媒と、相間移動触媒との混合物を生成させ;少なくとも1つの有機トリハロシラン、ヒドリドトリハロシランを加え;少なくとも1つのpH調整剤を加え;さらに、少なくとも1つの吸収性化合物例えば、吸収性化合物1~41、2相の反応混合物を生成させ;さらに、2相の反応混合物を約1~24時間反応させ、吸収性有機ヒドリドシロキサンポリマーを生成させることを含む。この相間移動触媒としては、テトラブチルアンモニウムクロライドおよびベンジルトリメチルアンモニウムクロライドが挙げられるが、これに限定されるものではない。無極性溶媒としては、例えば、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、ハロゲン化溶媒例えば、四塩化炭素、およびこれらの混合物が挙げられるが、これに限定されるものではない。有用な極性溶媒としては、水、アルコール、およびアルコールと水との混合物がある。吸光性ポリマー溶液は、上述のように希釈およびろ過されて、コーティング用溶液が生成される。塗布吸収性でpH調整されたスピンオンコーティング用溶液は種々の基材に塗布されて、層状材料、半導体の製造において用いられる膜、または電子部品中で用いられる膜が、具体的な製造方法典型的には、従来のスピンオン蒸着法に応じて、形成される。これらの方法としては、吸収性SOG反射防止膜を製造するための、ディスペンススピンdispensespin、シックネススピンthicknessspin、および熱ベーキング工程が挙げられる。典型的な方法は、1000~4000rpmの約20秒間のシックネススピンthicknessspin、およびそれぞれ約1分間の2または3の80°C~300°Cの温度でのべーク工程を含む。本発明の吸収性でpH調整されたスピンオン反射防止膜は、約13~約20の屈折率を有し、約007より大きい吸光係数を有する。本明細書において考えられる基材としては、好ましい実質的に固体の材料が含まれる。特に好ましい基材層としては、フィルム、ガラス、セラミック、プラスチック、金属あるいは被覆された金属、または複合材料がある。好ましい態様においては、基材としては、シリコンあるいはゲルマニウムヒ素ダイまたはウエハ表面、パッケージ表面packagingsurface例えば、銅、銀、ニッケル、あるいは金めっきされたリードフレームにおいて見い出される、銅表面例えば、回路板において見られる、またはパッケージ内部接続線packageinterconnecttrace、ビアウォールviawallあるいはスティフナー界面stiffenerinterface、通常のポジティブフォトレジストであるフォトレジスト層26で被覆され、図2cに示される積層体が製造される。図2cの積層体は、図2dに示されるように、マスク30を通して紫外光線32で露光される。露光中は、この吸収性でpH調整されたスピンオンARC層24は、フォトレジストを透過したUV光32を吸収する。誘電体層22は一般的におよび通常、UV波長域において透明であるので、吸収性スピンオンARC層24が存在しない場合、UV光32はシリコン層20で反射し、限界寸法例えば、露光されたフォトレジストの限界寸法27を小さくしてしまう。この例においては、直接的な像の転写をするポジティブフォトレジストが想定されている。しかし、有機誘電体の中には光学的に透明でないものがあることに留意すべきである。露光された積層体は現像され、図2eの積層体が製造される。吸収性でpH調整されたスピンオンARC層24は従来のフォトレジスト現像液例えば、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの25溶液に対して耐性を有する。一方、ARC層フォトレジスト材料の化学的性質のうちいくつかを有するはフォトレジスト現像材に対してより感応性である。さらに、吸収性でpH調整されたスピンオンARCは、フォトレジストの除去プロセスに対して耐性があり、有機ARCは耐性がないと考えられる。したがって、吸収性でpH調整されたスピンオン層によって、ARC層を再塗布する必要なく、フォトレジストの再加工が容易なりうる。次に、吸収性で調整されたスピンオンARC層24に、フォトレジスト層26の開口部を介して、パターンをエッチングし、図2fのエッチングされた積層体を製造する。フォトレジストに対し高い選択性を有するフルオロカーボンによるエッチングを用いて、吸収性スピンオンARC層24をエッチングする。吸収性スピンオン層のフルオロカーボンエッチングに対する反応によって、有機ARC層上の、吸収性でpH調整されたスピンオン層の付加的な利点が得られるこれには、酸素プラズマエッチングが必要である。酸素プラズマエッチングは、酸素プラズマが有機系フォトレジストもエッチングしてしまうため、現像したフォトレジストの限界寸法を低くすることがある。フルオロカーボンプラズマは、酸素プラズマよりもフォトレジストをより消費しない。より短いUV波長域においては、焦点深度の要求から、図2dに示す露光工程におけるフォトレジスト層の膜厚が制限される。例えば、193nmにおいては、フォトレジスト層の膜厚は約300nmであるべきだと見積られる。よって、こういった短波長が用いられる場合、フォトレジストに対し選択的にエッチングされるARC層を設けることが重要である。フルオロカーボンエッチングを誘電体層22を通して継続し、図2gの積層体を得る。フォトレジスト層26は、この継続されたエッチングプロセスにおいて、部分的に消費される。最後に、フォトレジスト層26を、酸素プラズマあるいは水素除去薬品を用いてまたはウェットな薬品によって除去し、スピンオンARC層24を、緩衝化した酸素エッチング例えば、標準フッ化水素酸/水混合物、非水性フッ化物、部分的に水性フッ化物、あるいは完全な水性フッ化物または水性あるいは非水性の有機アミンを用いて除去する。好ましくは、このスピンオンARC層は、下層の誘電体層に対して優れた選択性を示す溶液によって除去することができる。すなわち、図2a~2hに示す一般的なフォトリソグラフィー法は、反射防止膜層および犠牲的な反射防止膜層としての、吸収性スピンオン材料の工程的な利点を示している。実施例組み合わせるため、および、レジスト材料の適合性を改善するためのpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成方法について、以下の実施例で説明する。以下の実施例において調製される溶液と膜は、いくつかのフォトレジスト材料157nm、193nm、248nm、および375nmのあたりで吸収するものを含むと適合性があるように調製される。193nmでのレジスト材料の例は、アクリレートレジスト材料である。[実施例1]9アントラセンカルボキシ-メチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成22リットルのフラスコにて、633120グラムの2プロパノール、316666グラムのアセトン、263378グラムのTEOS、163978グラムのMTEOS、95897グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、11924グラムの01Mの硝酸、および142558グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に対して、93280グラムのブタノールと206500gのエチルラクテートを加えた。この溶液を、pH調整実験で使用できるようにろ過した。pH調整剤、01Mの硝酸を、約1.5の開始pHを有するスピンオン材料650gの2つに分けた溶液に添加した。硝酸を以下の量加えて、以下のpHにした:a2794gb0293g。APTEOSを、同じスピンオン材料650gの別の2つの分けられた溶液に、以下のpHとなるように以下の量を添加した:a0053gb0151g。次いで、この溶液を分注し、3000rpm膜厚の回転を20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性はNKTechnologyModel1200分析機により測定した。膜厚は140217Åだった。248nmにおいて、屈折率reflactiveindexは147であり、吸光係数は0429だった。以下のすべての実施例において、同じスピン工程および焼成工程ならびに測定法を用いた。9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む他の吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。膜厚は1635Åだった。248nmでは、屈折率は1373であり、吸光係数は0268だった。しかし、この実施例および以下の計画された実施例における屈折率と吸光係数のデータは、始めの反応物と開始化合物に依存して変化することを考慮すべきである。以下のすべての実施例において、同じスピン工程と焼成工程および測定法を用いた。9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの001Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。膜厚は1635Åだった。248nmにおいて、屈折率は1373であり、吸光係数は0268だった。9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。膜厚は1635Åだった。9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの01Mの硝酸、および100グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。膜厚は1635Åだった。9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの01Mの硝酸、および130グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。膜厚は1635Åだった。9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含んだ吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの01Mの硝酸、および77グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。1gのAPTEOSをこの溶液に、還流しながら添加した。還流後、この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。膜厚は1635Åだった。248nmにおいて、屈折率は1373であり、吸光係数は0268だった。9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの01Mの硝酸、および77グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。1gのAPTEOSを、還流後、この溶液に添加した。また、還流後、この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。膜厚は1635Åだった。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムのピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムの10Mの酢酸、および100グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムの10Mの酢酸、および130グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムのピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10gの水酸化カリウムを還流前に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10gの水酸化カリウムを、還流しながら加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。10gの水酸化カリウムを、還流前に加えた。また、この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムのピュアバルクな乳酸、および40グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。厚さは14871オングストローム;k04315;n14986だった。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムの10M乳酸、および40グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムのピュアバルクな乳酸、および40グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムの10M乳酸、および70グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムの10M乳酸、および90グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムの10M乳酸、および40グラムの脱イオン水を混合した。15gのTMAHを、還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムの10M乳酸、および40グラムの脱イオン水を混合した。15gのTMAHを、還流しながらこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムの10M乳酸、および40グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。15gのTMAHを、還流後この溶液に加えた。また、還流後、この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、178グラムの2プロパノール、89グラムのアセトン、52グラムのTEOS、59グラムのMTEOS、29グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、33グラムの10M乳酸、および40グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、26グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。この溶液をろ過した。この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。厚さは14871オングストローム;k04315;n14986だった。[実施例2]9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、25グラムの9アントラセンメタノール、10グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、111グラムのブタノール、459グラムの2プロパノール、230グラムのアセトン、309グラムのエタノール、50グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ1436オングストローム、n1479、k01255だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、25グラムの9アントラセンメタノール、10グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、06グラムの001Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、111グラムのブタノール、459グラムの2プロパノール、230グラムのアセトン、309グラムのエタノール、50グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、25グラムの9アントラセンメタノール、10グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、06グラムの10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、111グラムのブタノール、459グラムの2プロパノール、230グラムのアセトン、309グラムのエタノール、50グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、25グラムの9アントラセンメタノール、10グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、06グラムの01Mの硝酸、および95グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、111グラムのブタノール、459グラムの2プロパノール、230グラムのアセトン、309グラムのエタノール、50グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、25グラムの9アントラセンメタノール、10グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、06グラムの01Mの硝酸、および110グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、111グラムのブタノール、459グラムの2プロパノール、230グラムのアセトン、309グラムのエタノール、50グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、25グラムの9アントラセンメタノール、10グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。12gのAPTEOSを、還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、111グラムのブタノール、459グラムの2プロパノール、230グラムのアセトン、309グラムのエタノール、50グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、25グラムの9アントラセンメタノール、10グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。12gのAPTEOSを、還流しながらこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、111グラムのブタノール、459グラムの2プロパノール、230グラムのアセトン、309グラムのエタノール、50グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、25グラムの9アントラセンメタノール、10グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。12gのAPTEOSを、還流後この溶液に加えた。また、還流後、この溶液に、111グラムのブタノール、459グラムの2プロパノール、230グラムのアセトン、309グラムのエタノール、50グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。[実施例3]9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、93グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの10Mの酢酸、および7190グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、93グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの10Mの酢酸、および7190グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、93グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムのピュアバルクな酢酸、および7190グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、93グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの10Mの酢酸、および95グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、93グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの10Mの酢酸、および120グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、93グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの10Mの酢酸、および7190グラムの脱イオン水を混合した。22gの水酸化カリウムを、還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、93グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの10Mの酢酸、および7190グラムの脱イオン水を混合した。22gの水酸化カリウムを、還流しながらこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、93グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの1075Mの酢酸、および7190グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。22gの水酸化カリウムを、還流後この溶液に加えた。また、還流後、この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。[実施例4]9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、108グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ4275Å、n1529、k0124だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、108グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの001Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ4275Å、n1529、k0124だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、108グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ4275Å、n1529、k0124だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、108グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの01Mの硝酸、および95グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ4275Å、n1529、k0124だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、108グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの01Mの硝酸、および125グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ4275Å、n1529、k0124だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、108グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。3gのAPTEOSを、還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ4275Å、n1529、k0124だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、108グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。3gのAPTEOSを、還流しながらこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ4275Å、n1529、k0124だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性SOGの合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、108グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、5グラムのロゾール酸、05599グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。3gのAPTEOSを、還流後この溶液に加えた。また、還流後、この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ4275Å、n1529、k0124だった。[実施例5]2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ3592Å、n1563、k0067だった。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの001Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの01Mの硝酸、および90グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの01Mの硝酸、および125グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。026gのAPTEOSを、還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。026gのAPTEOSを、還流工程の間にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの01Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。026gのAPTEOSを、還流後この溶液に加えた。また、還流後、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430をこの溶液に加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、75グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10M乳酸、および115グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。006gのAPTEOSを、還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。006gのAPTEOSを還流しながらこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。2ヒドロキシ4ジフェニルケトンとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、51グラムのMTEOS、60グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。006gのAPTEOSを還流後この溶液に加えた。還流後、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430もこの溶液に加えた。[実施例6]9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、06グラムの01M塩酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、06グラムの001M塩酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、06グラムの10M塩酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、06グラムの01M塩酸、および100グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、06グラムの01M塩酸、および130グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、06グラムの01M塩酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。12gの水酸化カリウムを、還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、06グラムの01M塩酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。12gの水酸化カリウムを、還流しながらこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、10グラムの9アントラセンメタノール、06グラムの01M塩酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。12gの水酸化カリウムを、還流後この溶液に加えた。また、還流後、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430をこの溶液に加えた。[実施例7]9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ3503Å、n1475、k0193だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムのピュアなMバルクの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10Mの酢酸、および98グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10Mの酢酸、および120グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。15gのTMAHを、還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。15gのTMAHを、還流しながらこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10Mの酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。15gのTMAHを、この溶液に還流後、加えた。また、還流後、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430をこの溶液に加えた。[実施例8]9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。厚さ3119Å、n1454、k0175だった。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムのピュアバルクな乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10M乳酸、および100グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10M乳酸、および130グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01gのAPTEOSを還流前にこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01gのAPTEOSを還流しながらこの溶液に加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、06グラムの10M乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。01gのAPTEOSを還流後この溶液に加えた。また、還流後、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430をこの溶液に加えた。[実施例9]9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、キニザリン、アリザリン、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、20グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、および5グラムのロゾール酸、2グラムのキニザリン、2グラムのアリザリン、06グラムの01Mの硝酸、10Mの硝酸、および001Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01Mの硝酸を含む他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。厚さ3554Å、n1489、k0193だった。他の3つの溶液中に、11gの水酸化カリウムを加えた。それぞれの溶液中に、水酸化カリウムを、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後、それぞれ加えた。[実施例10]9アントラセンメタノール、2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、ロゾール酸、アリザリン、およびpH調整剤を含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、515グラムのMTEOS、5グラムの2ヒドロキシ4ジフェニルケトン、25グラムの9アントラセンメタノール、5グラムのロゾール酸、および2グラムのアリザリン、05599グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸、および7190グラムの脱イオン水を混合した。10Mの酢酸を含む他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、5668グラムのブタノール、8799グラムの2プロパノール、4410グラムのアセトン、5931グラムのエタノール、955グラムの脱イオン水、および375グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液に、025gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液中に、APTEOSを、それぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後、添加した。[実施例11]9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS30グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの01M、001M、および10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01Mの硝酸を含む他の2つの溶液に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、025gのHClを添加した。それぞれの溶液には、HClをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、30グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10M乳酸を含む他の2つの溶液に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液に、12gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、30グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10M乳酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、02gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシペンチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、30グラムの9アントラセンカルボキシペンチルトリエトキシシラン、06グラムの01M、001M、および10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01Mの硝酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、10gの水酸化カリウムを加えた。それぞれの溶液には、水酸化カリウムをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシメチルトリメトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、30グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリメトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10Mの酢酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、24gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシエチルトリメトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、30グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリメトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10M乳酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、12gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシプロピルトリメトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS30グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリメトキシシラン、06グラムの01M、001M、および10M塩酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01M塩酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、14gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。[実施例12]9アントラセンメタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOSをよび10グラムの9アントラセンメタノールを混合した。この溶液を6時間還流した。06グラムの01M、001M、および10M塩酸と、72グラムの脱イオン水との混合物を混合した。01M塩酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、14gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンエタノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOSをよび10グラムの9アントラセンエタノールを混合した。この溶液を6時間還流した。06グラムの01M、001M、および10Mの硝酸と、72グラムの脱イオン水との混合物を混合した。01Mの硝酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、04gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンプロパノールとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOSをよび10グラムの9アントラセンプロパノールを混合した。この溶液を6時間還流した。06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸と72グラムの脱イオン水との混合物を混合した。10Mの酢酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水、および37グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、125gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。[実施例13]9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、90グラムのTMOS、59グラムのMTMOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリエトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10Mの酢酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を添加した。他の3つの溶液中に、125gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、90グラムのTMOS、59グラムのMTMOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリエトキシシラン、06グラムの01M、001M、および10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01Mの硝酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、025gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシメチルトリメトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、90グラムのTMOS、59グラムのMTMOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリメトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10M乳酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、15gの水酸化カリウムを加えた。それぞれの溶液には、水酸化カリウムをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、90グラムのTMOS、59グラムのMTMOS、60グラムの9アントラセンカルボキシプロピルトリエトキシシラン、06グラムの01M、001M、および10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01Mの硝酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、05gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシメチルトリプロポキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、90グラムのTMOS、59グラムのMTMOS、60グラムの9アントラセンカルボキシメチルトリプロポキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10Mの酢酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、075gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。9アントラセンカルボキシエチルトリブトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、90グラムのTMOS、59グラムのMTMOS、60グラムの9アントラセンカルボキシエチルトリブトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10Mの酢酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ加えた。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、115グラムのブタノール、488グラムの2プロパノール、245グラムのアセトン、329グラムのエタノール、53グラムの脱イオン水、および38グラムの10FC430を加えた。他の3つの溶液中に、100gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。[実施例14]フェニルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、104グラムのフェニルトリエトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10Mの酢酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水を加えた。厚さ1727Å、n1957、k0384だった。他の3つの溶液中に、100gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。フェニルトリメトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、104グラムのフェニルトリエトキシシラン、06グラムの01M、001M、および10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01Mの硝酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水を加えた。他の3つの溶液中に、100gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。フェニルトリプロポキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、104グラムのフェニルトリエトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10M乳酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水を加えた。他の3つの溶液中に、075gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。フェニルトリブトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、104グラムのフェニルトリエトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10Mの酢酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水を加えた。他の3つの溶液中に、050gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。[実施例15]4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシランとpH調整剤とを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、445グラムの4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな酢酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10Mの酢酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水を加えた。他の3つの溶液中に、050gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。4エトキシフェニルアゾベンゼン4カルボキシエチルトリエトキシシランを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、445グラムの4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、06グラムの10M、10M、およびピュアバルクな乳酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。10M乳酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水を加えた。他の3つの溶液中に、025gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。4メトキシフェニルアゾベンゼン4カルボキシプロピルトリエトキシシランとを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、445グラムの4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、06グラムの01M、001M、および10Mの硝酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01Mの硝酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水を加えた。他の3つの溶液中に、010gのAPTEOSを加えた。それぞれの溶液には、APTEOSをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。4メトキシフェニルアゾベンゼン4カルボキシプロピルトリメトキシシランとを含む吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148グラムのアセトン、123グラムのTEOS、77グラムのMTEOS、445グラムの4-エトキシフェニルアゾベンゼン-4-カルボキシ-メチルトリエトキシシラン、06グラムの01M、001M、および10M塩酸、および72グラムの脱イオン水を混合した。01Mの塩酸を含有する他の2つの溶液中に、90gと110gの脱イオン水をそれぞれ添加した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、57グラムのブタノール、88グラムの2プロパノール、44グラムのアセトン、59グラムのエタノール、95グラムの脱イオン水を加えた。n1499、k0162365nmにおいてだった。他の3つの溶液中に、050gのTMAHを加えた。それぞれの溶液には、TMAHをそれぞれ、還流工程の前、還流工程の間、還流工程の後に添加した。[実施例16]PGMEAとpH調整剤とを含有する吸収性スピンオン材料の合成1リットルのフラスコにおいて、504829gのPGMEA、1236グラムのTEOS、769グラムのMTEOS、5608グラムの01Mの硝酸、および66869グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、43777グラムのブタノールを加えた。この溶液を、pH調整実験で使用するため、ろ過した。他の1リットルフラスコにおいて、297グラムの2プロパノール、148560グラムのアセトン、139902グラムのTEOS、1910グラムのMTEOS、517gのPTEOS、5624グラムの01Mの硝酸、および66827グラムの脱イオン水を混合した。このフラスコを、1~12時間、還流および/または加熱した。この溶液に、4393グラムのブタノールを加えた。この溶液を、pH調整実験で使用するため、ろ過した。この2つの調製した溶液を混合し、pH調整剤、APTEOSを、約17の開始pHを有する混合されたスピンオン材料650gの6つの別個の溶液に添加した。APTEOSを以下の量添加し、以下のpHとなった:a149g;b026g;c01g;d006;e003g;f0グラム。次いで、この溶液を分注し、3000rpm膜厚のスピンを20秒間行い、80°Cと180°Cでそれぞれ1分間焼成した。光学的特性は、NKTechnologyModel1200分析機により測定した。上記のAF溶液の光学的特性は以下のようだった:a厚さ1686オングストロームk0297n1802エッチ比933b厚さ1332オングストロームk0295n1802エッチ比85c厚さ1298オングストロームk0294n1802エッチ比8316d厚さ1292オングストロームk0293n1802エッチ比817e厚さ13049オングストロームk0292n1802エッチ比801f厚さ12639オングストロームk0289n1802エッチ比783このように、吸収性化合物を含有する、さらにpH調整剤を含有する、スピンオン材料、無機スピンオン材料、およびスピンオンガラス材料を製造するための組成物の具体的な態様、応用、および方法が開示された。しかし、既に説明した他にも、本明細書における本発明のコンセプトから逸脱することなく、多くのさらなる修飾が可能であることは、当業者にとって明白である。したがって、本発明の主題は、添付した特許請求の範囲のみに限定されない。さらに、明細書および特許請求の範囲を解釈するにあたり、すべての用語は、文脈に沿う最も広義に解釈されるべきである。特に、含むとからなるという用語は、要素、成分、または工程を非限定的に示すものと解釈されるべきであって、示された要素、成分、または工程は、他の要素、成分、または工程と共に存在し、使用し、組み合わせることができることを示している。"