"工業級過酸化水素水を、0.1~0.15MPaの圧力下、キレート化吸着剤を備えたSBA-15分子篩でろ過してから、限外ろ過膜でろ過して超高純度過酸化水素水を得る手順を含んで行い、前記キレート化吸着剤は、分子内に水酸基又はカルボキシル基を有することを特徴とする超高純度過酸化水素水の生産方法。前記限外ろ過膜の孔径が、0.5μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の超高純度過酸化水素水の生産方法。前記キレート化吸着剤が、8-ヒドロキシキノリン、シクロペンタンカルボン酸、1,1-ジメチルプロピオ酸のうちの一種又は二種以上の混合であることを特徴とする請求項1に記載の超高純度過酸化水素水の生産方法。前記キレート化吸着剤と前記SBA-15分子篩との比が2:1であることを特徴とする請求項1に記載の超高純度過酸化水素水の生産方法。SBA-15分子篩をキレート化吸着剤の溶液に浸してからろ過し、次に超高純度水に浸して洗浄し、それから100°Cの下で24時間乾燥することを特徴とする請求項1に記載のキレート化吸着剤を備えた分子篩の製作方法。前記キレート化吸着剤の溶液が、前記キレート化吸着剤のアルコール溶液であることを特徴とする請求項5に記載の分子篩の製作方法。前記アルコール溶液の濃度が、10~50であることを特徴とする請求項6に記載の分子篩の製作方法。前記SBA-15分子篩が、24~48時間、前記アルコール溶液中に浸されることを特徴とする請求項7に記載の分子篩の製作方法。以上に説明したように、従来の超高純度過酸化水素水の生産技術には、低い純度、複雑な操作及び高いエネルギー消費量という問題がある。本発明は、前記状況に鑑みてなされたものであり、これらの問題を解決することのできる超高純度過酸化水素水の生産方法およびこれに用いる分子篩の製作方法を提供することを課題とする。本発明は、キレート化吸着剤を搭載するSBA-15分子篩で工業級過酸化水素水をろ過してから、限外ろ過膜でろ過して超高純度過酸化水素水を生産する。本発明の超高純度過酸化水素水の生産方法の手順は次のとおりである。工業級過酸化水素水を、0.1~0.15MPaの圧力下、キレート化吸着剤を備えたSBA-15分子篩でろ過してから、限外ろ過膜でろ過して超高純度過酸化水素水を得る。好ましくは、前記限外ろ過膜の孔径は0.5μm以下である。好ましくは、前記キレート化吸着剤は、分子中に水酸基又はカルボキシル基を有し、例えば、8-ヒドロキシキノリン、シクロペンタンカルボン酸、1,1-ジメチルプロピオ酸の一種又は多種の混合である。更に好ましくは、前記キレート化吸着剤とSBA-15分子篩との質量比が2:1である。本発明のキレート化吸着剤を備えた分子篩の製作方法は次のとおりである。SBA-15分子篩を前記キレート化吸着剤の溶液に浸してからろ過し、次に超高純度水に浸して洗浄し、それから100°Cの下で24時間乾燥する。この中で、前記キレート化吸着剤が8-ヒドロキシキノリン、シクロペンタンカルボン酸、1,1-ジメチルプロピオ酸の一種又は多種の混合である。好ましくは、前記キレート化吸着剤の溶液がアルコール溶液である。更に好ましくは、前記キレート化吸着剤のアルコール溶液の質量濃度が10~50である。好ましくは、前記SBA-15分子篩の前記キレート化吸着剤のアルコール溶液での浸し時間が24~48時間である。従来の技術と比べて、本発明は下記の優位性を有している。1本発明はSBA-15分子篩を担体として、キレート化吸着剤を備えた分子篩を製作することによって、ろ過プロセスでの過酸化水素の分解を効果的にコントロールできる。これと同時に、SBA-15分子篩は有機不純物を効果的に吸着でき、さらに吸着剤を搭載しているSBA-15分子篩は原料での金属イオンに対して強い吸着能力を有している。2本発明は、第一段階の吸着が大量の不純物を除去でき、これで後段の膜ろ過での膜耐用年数が大きく増えるため、生産コストを削減できる。以上述べたところを総合すれば、本発明は、二段階吸着ろ過方法を採用し、原料での不純物を有効に除去することによって、製品純度が高く、品質が安定的且つコントロール可能になった。それに、吸着法は操作が簡単であり、エネルギー消費量が低いので、大規模な過酸化水素水の生産に適する。本発明に係る超高純度過酸化水素水の生産方法は、まず過酸化水素水をキレート化吸着剤に通して原料中の有機不純物及び金属不純物を除去してから、ろ過膜を通して固体顆粒及び一部の無機不純物を除去して、最後に取得する製品がSEMIC8標準の要求に適合し、これと同時に多孔質シリカであるSBA-15分子篩が過酸化水素と反応せず、繰り返し使用することができる。当該生産方法は、従来の生産方法での高い不純物、複雑な操作と高いエネルギー消費量の難題を克服した。この中で、使用されたキレート化吸着剤を備えた分子篩の成分は、SBA-15分子篩及び分子内に水酸基又はカルボキシル基を有するキレート化吸着剤を含む。本発明で用いるキレート化吸着剤を備えた分子篩の製作方法は次のとおりである。前記キレート化吸着剤は、溶媒で溶解して浸漬液とし、SBA-15分子篩を前記キレート化吸着剤の浸漬液に浸してからろ過し、次に超高純度水に浸して洗浄し、それから100°Cの下で24時間乾燥することによってキレート化吸着剤を備えた分子篩を得る。本発明の超高純度過酸化水素水の生産方法は次のとおりである。前記キレート化吸着剤を搭載する分子篩で工業級過酸化水素水をろ過してから、限外ろ過膜でろ過して、電子製品の生産に使用できる超高純度過酸化水素水を生産する。次に、本発明をより良く理解するために、キレート化吸着剤の例として8-ヒドロキシキノリン、シクロペンタンカルボン酸、1,1-ジメチルプロピオ酸を用い、また、前記キレート化吸着剤のアルコール浸漬液を例として、具体的な実施例を通じて本発明の超高純度過酸化水素水の生産方法及びキレート化吸着剤を備えた分子篩の製作方法を詳細に記載する。但し、下記の具体的な実施例は本発明の範囲を制限しない。この中で、前記8-ヒドロキシキノリン、シクロペンタンカルボン酸、1,1-ジメチルプロピオ酸及びSBA-15分子篩は市販されているものを用いることができる。500gの8-ヒドロキシキノリンを3000gのアルコールエタノールに溶解し、浸漬液を製作した。250gのSBA-15分子篩を室温下で前記浸漬液に24h浸すことによって、キレート化吸着剤を備えた分子篩を製作した。将来の使用に備え、このキレート化吸着剤を備えた分子篩をカラムに装入してろ過カラムを製作した。100gの30質量工業級過酸化水素水を0.1MPaの圧力下で、前記製作したろ過カラムに通してろ過した後、孔径0.5μmの限外ろ過膜でろ過した。最後にろ液を収集して、超高純度過酸化水素水を得た。得られた製品の純度検定結果を後記する表1に示す。実施例1を参照する。500gのシクロペンタンカルボン酸を4000gのアルコールに溶解し、浸漬液を製作した。250gのSBA-15分子篩を室温の下で前記浸漬液に48h浸漬し、ろ過後のSBA-15分子篩を超高純度水に浸漬して洗浄した後、100°Cの下で24h乾燥することによって、キレート吸着剤を備えたSBA-15分子篩を製作した。将来の使用に備え、このキレート化吸着剤を備えた分子篩をカラムに装入してろ過カラムを製作した。100gの30質量工業級過酸化水素水を0.12MPaの圧力下で、前記製作したろ過カラムに通してろ過した後、孔径0.2μmの限外ろ過膜でろ過した。ろ液を収集して、超高純度過酸化水素水を得た。得られた製品の純度検定結果を後記する表1に示す。実施例1を参照する。1,1-ジメチルプロピオ酸をキレート吸着剤とする場合、本発明の超高純度過酸化水素水の生産方法により、同じようにSEMIC8標準に適合する製品を生産することができる。500gの1,1-ジメチルプロピオ酸を5000gのアルコールに溶解し、浸漬液を製作した。250gのSBA-15分子篩を室温の下で前記浸漬液に48h浸漬し、ろ過後のSBA-15分子篩を超高純度水に浸漬して洗浄した後、100°Cの下で24h乾燥することによって、キレート吸着剤を備えたSBA-15分子篩を製作した。将来の使用に備え、このキレート化吸着剤を備えた分子篩をカラムに装入してろ過カラムを製作した。100gの30質量工業級過酸化水素水を0.15MPaの圧力下で、前記製作したろ過カラムに通してろ過した後、孔径0.2μmの限外ろ過膜でろ過した。ろ液を収集して、超高純度過酸化水素水を得た。得られた製品の純度検定結果を下記表1に示す。ここで、過酸化水素の含有量は、化学分析法で測定し、有機炭素をTOC分析機械TOC-VCPHで分析し、陽イオンをICP-MSで分析し、陰イオンをイオン交換クロマトグラフィーICで分析し、0.5μm以上の粉塵粒子をレーザー粒子計数器RION40KAFで分析した。表1に示すように、本発明の生産方法で生産された超高純度過酸化水素水の製品としての品質は安定で、純度はSEMIC8標準に適合していることがわかる。また、簡単な操作でこれを得ることができ、高いエネルギー消費量を必要としなかった。以上、本発明の具体的な実施例に対して詳細に述べたが、これらは、範例に過ぎず、本発明は以上で述べられた具体的な実施例に限定されない。本発明の属する技術分野の当業者に対して、本発明に対する如何なる同等な修正又は代替も本発明の範囲内にある。従って、本発明の趣旨と範囲から外れない前提の下での均等な変換と修正は、全て本発明の範囲内に含まれる。"