"分子内に少なくとも1つの複素環式芳香族基を有するメタロセン化合物、並びにイオン交換性層状ケイ酸塩及び/又は当該メタロセン化合物と反応してイオン対を形成するホウ素化合物を主成分とする触媒を用い、エチレンとα-オレフィンとを単一の反応器で重合させ、且つ重合して得られるエチレン-α-オレフィン共重合体は、クロス分別クロマトグラフィーCFCにより測定される溶出ピークが双峰性であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。前記メタロセン化合物は、下記一般式I~VIで表される少なくとも1種の化合物であることを特徴とする請求項1に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。C5H5-aR1aC5H5-bR2bMX1X2IQ1C5H4-cR1cC5H4-dR2dMX1X2IIQ2C5H4-eR3eZMX1X2IIIC5H5-fR3fZMX1X2IVC5H5-fR3fMX1X2WVQ3C5H5-gR4gC5H5-hR5hMX1X2VI[式中、Q1は、二つの共役五員環配位子を架橋する結合性基を、Q2は、共役五員環配位子とZ基を架橋する結合性基を、Q3は、R4とR5を架橋する結合性基を示し、Mは、Ti、ZrまたはHfであり、X1、X2及びWは、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20の炭化水素基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基または炭素数1~20の珪素含有炭化水素基を示し、Zは、酸素、窒素または硫黄を含む配位子、炭素数1~40の珪素含有炭化水素基、炭素数1~40の窒素含有炭化水素基または炭素数1~40のリン含有炭化水素基を示す。R1、R2、R3、R4及びR5は、それぞれ独立して、炭素数1~20の炭化水素基、ハロゲン基、炭素数1~20のハロゲン含有炭化水素基、炭素数1~20のアルコキシ基、炭素数1~20のアリールオキシ基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の珪素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基または炭素数1~20のホウ素含有炭化水素基を示すが、少なくとも1つは、複素環式芳香族基である。また、隣接する2個のR1、2個のR2、2個のR3、2個のR4、又は2個のR5が、それぞれ結合して炭素数4~10個の環を形成していてもよい。a、b、c、d、e、f、g及びhは、それぞれ0≦a≦5、0≦b≦5、0≦c≦4、0≦d≦4、0≦e≦4、0≦f≦5、0≦g≦5、0≦h≦5、を満足する整数である。]前記メタロセン化合物は、下記一般式VII又は一般式VIIIで表される化合物であることを特徴とする請求項1又は2に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。[式中、Q4は、二つの共役五員環配位子を架橋する結合性基を、Q5は、共役五員環配位子とZ基を架橋する結合性基を示し、Mは、Ti、ZrまたはHfであり、Zは、酸素、窒素または硫黄を含む配位子、炭素数1~40の珪素含有炭化水素基、炭素数1~40の窒素含有炭化水素基または炭素数1~40のリン含有炭化水素基を示す。X3とX4は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20の炭化水素基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基または炭素数1~20の珪素含有炭化水素基である。nは、1又は2の整数であり、nが2の場合は、2つのQ4又はQ5は共に炭素である。R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及びR18以下、R11~R18と記載は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、アルキル基が炭素数1~6のトリアルキルシリル基を有する炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6の炭化水素基を有するシリル基、芳香族基または複素環式芳香族基であるが、少なくとも1つは、複素環式芳香族基である。R11~R18は、同一でも異なっていてもよく、また、隣接するR11~R18で6~7員環を構成してもよく、6~7員環が不飽和結合を含んでいてもよい。構成された6~7員環には、R11~R18と同様な置換基を有していても良いが、分子内に少なくとも1つの複素環式芳香族基を有する。また、R19とR20は、互いに同じでも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、炭素数6~18のアリール基または炭素数6~18のハロゲン含有アリール基であり、R19とR20で4~7員環を構成していてもよい。]前記複素環式芳香族基は、酸素、窒素または硫黄を含むこと特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。前記複素環式芳香族基は、下記一般式IXで表される構造であることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。[式中、R21とR22は、互いに同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~10のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、炭素数6~18のアリール基、炭素数6~18のハロゲン含有アリール基、アルキル基が炭素数1~6のトリアルキルシリル基を有する炭素数1~6のアルキル基、又は炭素数1~6の炭化水素基を有するシリル基であり、また、R21及びR22双方で6~7員環を構成してもよく、6~7員環が不飽和結合を含んでいてもよい。Yは、酸素、窒素-NH-または硫黄である。]一般式VIIおよび一般式VIIIのR11が複素環式芳香族基であることを特徴とする請求項3に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。前記メタロセン化合物と、イオン交換性層状ケイ酸塩を主成分とする触媒を用いることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。エチレン-α-オレフィン共重合体は、密度が0.910~0.960g/cm3、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCにより測定される重量平均分子量Mwが1×104~5×106であることを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。エチレン-α-オレフィン共重合体は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCにより測定される重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnの比が4.0~20であることを特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。エチレン-α-オレフィン共重合体は、クロス分画クロマトグラフィーCFCにより測定される双峰性の溶出ピークのうち、低温側で溶出するポリマー成分の重量平均分子量Mwが1×105以上であることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法。請求項1~10のいずれか1項に記載の方法により製造されたエチレン-α-オレフィン共重合体。本発明の目的は、上記した従来技術の問題点に鑑み、高い重合活性で、簡便な重合方法により、材料物性の優れる特定の組成を有するエチレン-α-オレフィン共重合体を製造可能にするための製造方法、およびエチレン-α-オレフィン共重合体を提供することにある。即ち、反応器が1段の重合により、重合体の製造範囲が広く、更に得られる重合体の分子量分布が広く、加工性が良好であり、しかもコモノマー分岐がより高分子量側に選択的に導入して、機械的特性に優れたポリオレフィン重合体、特にポリエチレン系重合体を効率良く得る方法を提供することにある。本発明者等は、上記課題を解決するために、鋭意検討を重ねた結果、特定の構造を有するメタロセン化合物、すなわち複素環式芳香族基を有するメタロセン化合物を用いることにより、良好な材料物性を示す組成分布を有するポリマーを、反応器が1段の重合で、高活性に得ることができることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の第1の発明によれば、分子内に少なくとも1つの複素環式芳香族基を有するメタロセン化合物、並びにイオン交換性層状ケイ酸塩及び/又は当該メタロセン化合物と反応してイオン対を形成するホウ素化合物を主成分とする触媒を用い、エチレンとα-オレフィンとを単一の反応器で重合させ、且つ重合して得られるエチレン-α-オレフィン共重合体は、クロス分別クロマトグラフィーCFCにより測定される溶出ピークが双峰性であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。また、本発明の第2の発明によれば、第1の発明において、前記メタロセン化合物は、下記一般式I~VIで表される少なくとも1種の化合物であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。C5H5-aR1aC5H5-bR2bMX1X2IQ1C5H4-cR1cC5H4-dR2dMX1X2IIQ2C5H4-eR3eZMX1X2IIIC5H5-fR3fZMX1X2IVC5H5-fR3fMX1X2WVQ3C5H5-gR4gC5H5-hR5hMX1X2VI[式中、Q1は、二つの共役五員環配位子を架橋する結合性基を、Q2は、共役五員環配位子とZ基を架橋する結合性基を、Q3は、R4とR5を架橋する結合性基を示し、Mは、Ti、ZrまたはHfであり、X1、X2及びWは、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20の炭化水素基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基または炭素数1~20の珪素含有炭化水素基を示し、Zは、酸素、窒素または硫黄を含む配位子、炭素数1~40の珪素含有炭化水素基、炭素数1~40の窒素含有炭化水素基または炭素数1~40のリン含有炭化水素基を示す。R1、R2、R3、R4及びR5は、それぞれ独立して、炭素数1~20の炭化水素基、ハロゲン基、炭素数1~20のハロゲン含有炭化水素基、炭素数1~20のアルコキシ基、炭素数1~20のアリールオキシ基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の珪素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基または炭素数1~20のホウ素含有炭化水素基を示すが、少なくとも1つは、複素環式芳香族基である。また、隣接する2個のR1、2個のR2、2個のR3、2個のR4、又は2個のR5が、それぞれ結合して炭素数4~10個の環を形成していてもよい。a、b、c、d、e、f、g及びhは、それぞれ0≦a≦5、0≦b≦5、0≦c≦4、0≦d≦4、0≦e≦4、0≦f≦5、0≦g≦5、0≦h≦5、を満足する整数である。]また、本発明の第3の発明によれば、第1又は2の発明において、前記メタロセン化合物は、下記一般式VII又は一般式VIIIで表される化合物であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。[式中、Q4は、二つの共役五員環配位子を架橋する結合性基を、Q5は、共役五員環配位子とZ基を架橋する結合性基を示し、Mは、Ti、ZrまたはHfであり、Zは、酸素、窒素または硫黄を含む配位子、炭素数1~40の珪素含有炭化水素基、炭素数1~40の窒素含有炭化水素基または炭素数1~40のリン含有炭化水素基を示す。X3とX4は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20の炭化水素基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基または炭素数1~20の珪素含有炭化水素基である。nは、1又は2の整数であり、nが2の場合は、2つのQ4又はQ5は共に炭素である。R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及びR18以下、R11~R18と記載は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、アルキル基が炭素数1~6のトリアルキルシリル基を有する炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6の炭化水素基を有するシリル基、芳香族基または複素環式芳香族基であるが、少なくとも1つは、複素環式芳香族基である。R11~R18は、同一でも異なっていてもよく、また、隣接するR11~R18で6~7員環を構成してもよく、6~7員環が不飽和結合を含んでいてもよい。構成された6~7員環には、R11~R18と同様な置換基を有していても良いが、分子内に少なくとも1つの複素環式芳香族基を有する。また、R19とR20は、互いに同じでも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、炭素数6~18のアリール基または炭素数6~18のハロゲン含有アリール基であり、R19とR20で4~7員環を構成していてもよい。]また、本発明の第4の発明によれば、第1~3のいずれかの発明において、前記複素環式芳香族基は、酸素、窒素または硫黄を含むこと特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。さらに、本発明の第5の発明によれば、第1~4のいずれかの発明において、前記複素環式芳香族基は、下記一般式IXで表される構造であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。[式中、R21とR22は、互いに同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~10のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、炭素数6~18のアリール基、炭素数6~18のハロゲン含有アリール基、アルキル基が炭素数1~6のトリアルキルシリル基を有する炭素数1~6のアルキル基、又は炭素数1~6の炭化水素基を有するシリル基であり、また、R21及びR22双方で6~7員環を構成してもよく、6~7員環が不飽和結合を含んでいてもよい。Yは、酸素、窒素-NH-または硫黄である。]また、本発明の第6の発明によれば、第3の発明において、一般式VIIおよび一般式VIIIのR11が複素環式芳香族基であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。さらに、本発明の第7の発明によれば、第1~6のいずれかの発明において、前記メタロセン化合物と、イオン交換性層状ケイ酸塩を主成分とする触媒を用いることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。本発明の第8の発明によれば、第1~7のいずれかの発明において、エチレン-α-オレフィン共重合体は、密度が0.910~0.960g/cm3、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCにより測定される重量平均分子量Mwが1×104~5×106であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。また、本発明の第9の発明によれば、第1~8のいずれかの発明において、エチレン-α-オレフィン共重合体は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCにより測定される重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnの比が4.0~20であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。さらに、本発明の第10の発明によれば、第1~9のいずれかの発明において、エチレン-α-オレフィン共重合体は、クロス分画クロマトグラフィーCFCにより測定される双峰性の溶出ピークのうち、低温側で溶出するポリマー成分の重量平均分子量Mwが1×105以上であることを特徴とするエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法が提供される。また、本発明の第11の発明によれば、第1~10のいずれかの発明に係る方法により製造されたエチレン-α-オレフィン共重合体が提供される。本発明のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法により、従来の製造方法に比べ、工業的に有利なプロセスで、高活性に特定の組成分布を有するエチレン-α-オレフィン共重合体を製造できる。これにより、耐衝撃性と耐久性のバランスに優れたエチレン系共重合体を効率的に製造することができ、本発明の製造方法は、工業的な観点から、非常に有用である。以下、本発明のエチレン-α-オレフィン共重合体の製造方法について、説明する。1.メタロセン化合物メタロセン錯体本発明で用いられるメタロセン錯体は、分子内に少なくとも1つの複素環式芳香族基を有するメタロセン化合物であって、具体的には、下記一般式I~VIで表される少なくとも1種の化合物が使用される。C5H5-aR1aC5H5-bR2bMX1X2IQ1C5H4-cR1cC5H4-dR2dMX1X2IIQ2C5H4-eR3eZMX1X2IIIC5H5-fR3fZMX1X2IVC5H5-fR3fMX1X2WVQ3C5H5-gR4gC5H5-hR5hMX1X2VI式中、Q1は、二つの共役五員環配位子を架橋する結合性基を、Q2は、共役五員環配位子とZ基を架橋する結合性基を、Q3は、R4とR5を架橋する結合性基を示し、Mは、Ti、ZrまたはHfであり、X1、X2及びWは、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20の炭化水素基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基または炭素数1~20の珪素含有炭化水素基を示し、Zは、酸素、窒素または硫黄を含む配位子、炭素数1~40の珪素含有炭化水素基、炭素数1~40の窒素含有炭化水素基または炭素数1~40のリン含有炭化水素基を示す。R1、R2、R3、R4及びR5以下、R1~R5と記載は、それぞれ独立して、炭素数1~20の炭化水素基、ハロゲン基、炭素数1~20のハロゲン含有炭化水素基、炭素数1~20のアルコキシ基、炭素数1~20のアリールオキシ基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の珪素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基または炭素数1~20のホウ素含有炭化水素基を示すが、少なくとも1つは、複素環式芳香族基である。また、隣接する2個のR1、2個のR2、2個のR3、2個のR4、又は2個のR5が、それぞれ結合して炭素数4~10個の環を形成していてもよい。a、b、c、d、e、f、g及びhは、それぞれ0≦a≦5、0≦b≦5、0≦c≦4、0≦d≦4、0≦e≦4、0≦f≦5、0≦g≦5、0≦h≦5、を満足する整数である。2個の共役五員環配位子の間を架橋する結合性基Q1、共役五員環配位子とZ基とを架橋する結合性基Q2、及び、R4とR5を架橋するQ3は、具体的には下記のようなものが挙げられる。すなわち、メチレン基、エチレン基のようなアルキレン基、エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基、フェニルメチリデン基、ジフェニルメチリデン基のようなアルキリデン基、ジメチルシリレン基、ジエチルシリレン基、ジプロピルシリレン基、ジフェニルシリレン基、メチルエチルシリレン基、メチルフェニルシリレン基、メチル-t-ブチルシリレン基、ジシリレン基、テトラメチルジシリレン基のような珪素含有架橋基、ゲルマニウム含有架橋基、アルキルフォスフィン、アミン等である。これらのうち、アルキレン基、アルキリデン基、珪素含有架橋基、及びゲルマニウム含有架橋基が特に好ましく用いられる。上記の一般式II、IIIで表されるメタロセン化合物は、さらに、以下の一般式VII、VIIIで表されるものであることが好ましい。式中、Q4は、二つの共役五員環配位子を架橋する結合性基を、Q5は、共役五員環配位子とZ基を架橋する結合性基を示し、Mは、Ti、ZrまたはHfであり、Zは、酸素、窒素または硫黄を含む配位子、炭素数1~40の珪素含有炭化水素基、炭素数1~40の窒素含有炭化水素基または炭素数1~40のリン含有炭化水素基を示す。X3とX4は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20の炭化水素基、炭素数1~20の酸素含有炭化水素基、炭素数1~20の窒素含有炭化水素基、炭素数1~20のリン含有炭化水素基または炭素数1~20の珪素含有炭化水素基である。nは、1又は2の整数であり、nが2の場合は、2つのQ4又はQ5は共に炭素である。R11~R18は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~20のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、アルキル基が炭素数1~6のトリアルキルシリル基を有する炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6の炭化水素基を有するシリル基、芳香族基または複素環式芳香族基であるが、少なくとも1つは、複素環式芳香族基である。R11~R18は、同一でも異なっていてもよく、また、隣接するR11~R18で6~7員環を構成してもよく、6~7員環が不飽和結合を含んでいてもよい。構成された6~7員環には、R11~R18と同様な置換基を有していても良いが、分子内に少なくとも1つの複素環式芳香族基を有する。また、R19とR20は、互いに同じでも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、炭素数6~18のアリール基または炭素数6~18のハロゲン含有アリール基であり、R19とR20で4~7員環を構成していてもよい。2個の共役五員環配位子の間を架橋する結合性基Q4、共役五員環配位子とZ基とを架橋する結合性基Q5は、具体的には下記のようなものが挙げられる。すなわち、メチレン基、エチレン基のようなアルキレン基、エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基、フェニルメチリデン基、ジフェニルメチリデン基のようなアルキリデン基、ジメチルシリレン基、ジエチルシリレン基、ジプロピルシリレン基、ジフェニルシリレン基、メチルエチルシリレン基、メチルフェニルシリレン基、メチル-t-ブチルシリレン基、ジシリレン基、テトラメチルジシリレン基のような珪素含有架橋基、ゲルマニウム含有架橋基、アルキルフォスフィン、アミン等である。これらのうち、アルキレン基、アルキリデン基、珪素含有架橋基、及びゲルマニウム含有架橋基が特に好ましく用いられる。上記一般式VII、VIIIにおいて、R11の位置に複素環式芳香族基を有していることが好ましい。メタロセン化合物に少なくとも1つ含まれる複素環式芳香族基は、好ましくは下記一般式IXで表される基である。式中、R21とR22は、互いに同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1~10のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数1~6のハロゲン含有アルキル基、炭素数6~18のアリール基、炭素数6~18のハロゲン含有アリール基、アルキル基が炭素数1~6のトリアルキルシリル基を有する炭素数1~6のアルキル基、又は炭素数1~6の炭化水素基を有するシリル基であり、また、R21及びR22双方で6~7員環を構成してもよく、6~7員環が不飽和結合を含んでいてもよい。Yは、酸素、窒素-NH-または硫黄であるが、好ましくは、酸素または硫黄である。上記の一般式I、II、III、IV、V、VI、VII及びVIIIで表される具体的なZr錯体を、下記に例示するが、ZrをHf又はTiに置き換えた化合物も、同様に使用可能である。また、複素環式芳香族基は、一般式IXにおいて、Yが酸素であるフリル基について例示するが、フリル基を置換フリル基および他の複素環式芳香族基に置き換えた化合物も、同様に使用可能である。他の複素環式芳香族基としては、一般式IXにおいて、Yが硫黄であるチエニル基、置換チエニル基、Yが窒素-NH-であるピロリル基、置換ピロリル基、或いは、6員環であるピリジル基、置換ピリジル基などが挙げられる。さらに、一般式I、II、III、IV、V、VI、VII及びVIIIで示されるメタロセン化合物は、同一の一般式で示される化合物、又は異なる一般式で示される化合物の二種以上の混合物として、用いることができる。一般式Iの化合物:ビス2-フリルシクロペンタジエニルジルコニウムジクロリド、ビス2-2-フリルインデニルジルコニウムジクロリド、ビス2-2-フリル-4,5ベンゾインデニルジルコニウムジクロリド、ビス2-2-フリル-フルオレニルジルコニウムジクロリド、ビス2-2-フリル-4H-アズレニルジルコニウムジクロリド、ビス2-2-フリル-4H-アズレニルシクロペンタジエニルジルコニウムジクロリド、ビス2-2-フリル-4-フェニル-4H-アズレニルジルコニウムジクロリド、ビス2-2-フリル-4-4-クロロフェニル-4H-アズレニルジルコニウムジクロリド。一般式IIの化合物:ジメチルシリレンビス1,1’-2-フリルシクロペンタジエニルジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス[1,1’-2-2-フリルインデニル]ジルコニウムジクロリド、エチレンビス[1,1’-2-2-フリル-4,5ベンゾインデニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス[1,1’-2-2-フリル-4-ヒドロアズレニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス[1,1’-2-2-フリル-4-フェニル-4-ヒドロアズレニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-[2-2-フリル-4-4-クロロフェニル-4-ヒドロアズレニル]}ジルコニウムジクロリド、エチレンビス[1,1’-2-2-フリル-4-ヒドロアズレニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-[2-2-フリル-4,5-ジメチル-シクロペンタジエニル]}ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-{2-[2-5-トリメチルシリルフリル]-4,5-ジメチル-シクロペンタジエニル}}ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-[2-2-フリルインデニル]}ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-[2-2-フリル-4-フェニル-インデニル]}ジルコニウムジクロリド、イソプロピリデン2-フリルシクロペンタジエニル9-フルオレニルジルコニウムジクロリド、イソプロピリデンシクロペンタジエニル9-2-2-フリルフルオレニルジルコニウムジクロリド、イソプロピリデン2-フリルシクロペンタジエニル9-2-2-フリルフルオレニルジルコニウムジクロリド、イソプロピリデン2-フリルシクロペンタジエニル[9-2,7-t-ブチルフルオレニル]ジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレン2-フリルシクロペンタジエニル9-フルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレンシクロペンタジエニル9-2-2-フリルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレン2-フリルシクロペンタジエニル9-2-2-フリルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレン2-フリルシクロペンタジエニル[9-2,7-t-ブチルフルオレニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレン2-フリルシクロペンタジエニル9-フルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルシリレン2-フリルシクロペンタジエニル[9-2,7-t-ブチルフルオレニル]ジルコニウムジクロリド、メチレンビス2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニル-インデニルジルコニウムジクロライド、ジメチルシリレン2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニルインデニル4-4-t-ブチルフェニルインデニルジルコニウムジクロライド。一般式IIIの化合物:第3級ブチルアミド2-2-フリルシクロペンタジエニル-1,2-エタンジイルジルコニウムジクロライド、メチルアミド-2-2-フリルシクロペンタジエニル-1,2-エタンジイル-ジルコニウムジクロライド、エチルアミド2-2-フリルシクロペンタジエニル-メチレンジルコニウムジクロライド、第3級ブチルアミドジメチル-2-2-フリルシクロペンタジエニルシランジルコニウムジクロライド、第3級ブチルアミドジメチル2-2-フリルシクロペンタジエニルシランジルコニウムジベンジル、ベンジルアミドジメチル2-2-フリルシクロペンタジエニルシランジルコニウムジクロライド、フエニルホスフイドジメチル2-2-フリルシクロペンタジエニルシランジルコニウムジベンジル。一般式IVの化合物:2-フリルシクロペンタジエニルフェノキシジルコニウムジクロリド、1-2-フリル-3-メチルシクロペンタジエニルフェノキシジルコニウムジクロリド、2-フリルシクロペンタジエニル2,6-ジ-t-ブチルフェノキシジルコニウムジクロリド、2-フリルシクロペンタジエニル2,6-ジ-i-プロピルフェノキシジルコニウムジクロリド。一般式Vの化合物:2-フリルシクロペンタジエニルジルコニウムトリクロリド、1-2-フリル-3-メチルシクロペンタジエニルジルコニウムトリクロリド、2-フリルシクロペンタジエニルジルコニウムトリイソプロポキシド。一般式VIの化合物:エチレンビス7,7’-2-2-フリルインデニルジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{7,7’-1-メチル-3-2-フリルインデニル}ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{7,7’-[1-メチル-4-2-フリルインデニル]}ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス[7,7’-1-エチル-3-2-フリルインデニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{7,7’-[1-イソプロピル-3-2-フリルインデニル]}ジルコニウムジクロリド。一般式VIIの化合物:ジメチルシリレンビス1,1’-2-フリルシクロペンタジエニルジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス[1,1’-2-2-フリルインデニル]ジルコニウムジクロリド、エチレンビス[1,1’-2-2-フリル-4,5ベンゾインデニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス[1,1’-2-2-フリル-4-ヒドロアズレニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス[1,1’-2-2-フリル-4-フェニル-4-ヒドロアズレニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-[2-2-フリル-4-4-クロロフェニル-4-ヒドロアズレニル]}ジルコニウムジクロリド、エチレンビス[1,1’-2-2-フリル-4-ヒドロアズレニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-[2-2-フリル-4,5-ジメチル-シクロペンタジエニル]}ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-{2-[2-5-トリメチルシリルフリル]-4,5-ジメチル-シクロペンタジエニル}}ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-[2-2-フリルインデニル]}ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレンビス{1,1’-[2-2-フリル-4-フェニル-インデニル]}ジルコニウムジクロリド、イソプロピリデン2-フリルシクロペンタジエニル9-フルオレニルジルコニウムジクロリド、イソプロピリデンシクロペンタジエニル9-2-2-フリルフルオレニルジルコニウムジクロリド、イソプロピリデン2-フリルシクロペンタジエニル9-2-2-フリルフルオレニルジルコニウムジクロリド、イソプロピリデン2-フリルシクロペンタジエニル[9-2,7-t-ブチルフルオレニル]ジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレン2-フリルシクロペンタジエニル9-フルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレンシクロペンタジエニル9-2-2-フリルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレン2-フリルシクロペンタジエニル9-2-2-フリルフルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルメチレン2-フリルシクロペンタジエニル[9-2,7-t-ブチルフルオレニル]ジルコニウムジクロリド、ジメチルシリレン2-フリルシクロペンタジエニル9-フルオレニルジルコニウムジクロリド、ジフェニルシリレン2-フリルシクロペンタジエニル[9-2,7-t-ブチルフルオレニル]ジルコニウムジクロリド、メチレンビス2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニル-インデニルジルコニウムジクロライド、ジメチルシリレン2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニルインデニル4-4-t-ブチルフェニルインデニルジルコニウムジクロライド。一般式VIIIの化合物:第3級ブチルアミド2-2-フリルシクロペンタジエニル-1,2-エタンジイルジルコニウムジクロライド、メチルアミド-2-2-フリルシクロペンタジエニル-1,2-エタンジイル-ジルコニウムジクロライド、エチルアミド2-2-フリルシクロペンタジエニル-メチレンジルコニウムジクロライド、第3級ブチルアミドジメチル-2-2-フリルシクロペンタジエニルシランジルコニウムジクロライド、第3級ブチルアミドジメチル2-2-フリルシクロペンタジエニルシランジルコニウムジベンジル、ベンジルアミドジメチル2-2-フリルシクロペンタジエニルシランジルコニウムジクロライド、フエニルホスフイドジメチル2-2-フリルシクロペンタジエニルシランジルコニウムジベンジル。なお、これらの具体例の化合物のシリレン基をゲルミレン基に置き換えた化合物も、好適な化合物として、例示される。メタロセン化合物の特殊な例として、特開平7-188335号公報やJounalofAmericanChemicalSociety,1996、Vol.118,2291に開示されている5員環あるいは6員環に、炭素以外の元素を一つ以上含む配位子を有する遷移金属化合物も、使用可能である。また、複素環式炭化水素基を置換基として有するメタロセン化合物の例としては、特許第3674509号公報に開示されている。また、周期律表第4族Ti,Zr,Hfのビスアミド化合物の好適な例としては、Macromolecules,Vol.29,52411996やJounalofAmericanChemicalSociety,Vol.119,No.16,38301997、JounalofAmericanChemicalSociety,Vol.121,No.24,57981999に開示されている窒素原子に嵩高い置換基を有した架橋型遷移金属化合物を挙げることができる。また、周期律表第4族のビスアルコキシド化合物の好適な例としては、WO87/02370号明細書で開示されている周期律表第4族の遷移金属化合物で、好ましくは二つのアリーロキシ配位子が架橋基により結合し、さらに好ましくは、その架橋基が遷移金属に配位し得る架橋型遷移金属化合物を挙げることができる。2.成分B:メタロセン化合物と反応してイオン対を形成するホウ素化合物とイオン交換性層状ケイ酸塩本発明では、上記の分子内に少なくとも1つの複素環式芳香族基を有するメタロセン化合物と、成分Bとして、メタロセン化合物と反応してイオン対を形成するホウ素化合物及び/又はイオン交換性層状珪酸塩とが、触媒の主成分として用いられるが、成分Bは、イオン交換性層状珪酸塩が好ましい。これらの成分は、単独でも良いし、二種以上を用いても良い。上記ホウ素化合物の具体例として、ボラン化合物やボレート化合物が挙げられる。上記ボラン化合物をより具体的に表すと、トリフェニルボラン、トリo-トリルボラン、トリp-トリルボラン、トリm-トリルボラン、トリo-フルオロフェニルボラン、トリスp-フルオロフェニルボラン、トリスm-フルオロフェニルボラン、トリス2,5-ジフルオロフェニルボラン、トリス3,5-ジフルオロフェニルボラン、トリス4-トリフルオロメチルフェニルボラン、トリス3,5―ジトリフルオロメチルフェニルボラン、トリス2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボラン、トリスペンタフルオロフェニルボラン、トリスパーフルオロナフチルボラン、トリスパーフルオロビフェニル、トリスパーフルオロアントリルボラン、トリスパーフルオロビナフチルボランなどが挙げられる。これらの中でも、トリス3,5―ジトリフルオロメチルフェニルボラン、トリス2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボラン、トリスペンタフルオロフェニルボラン、トリスパーフルオロナフチルボラン、トリスパーフルオロビフェニルボラン、トリスパーフルオロアントリルボラン、トリスパーフルオロビナフチルボランがより好ましく、さらに好ましくはトリス2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボラン、トリスペンタフルオロフェニルボラン、トリスパーフルオロナフチルボラン、トリスパーフルオロビフェニルボランが好ましい化合物として例示される。また、ボレート化合物を具体的に表すと、第1の例は、次の一般式1で示される化合物である。[L1-H][BR6R7X4X5]-式1式1中、L1は、中性ルイス塩基であり、Hは、水素原子であり、[L1-H]は、アンモニウム、アニリニウム、ホスフォニウム等のブレンステッド酸である。アンモニウムとしては、トリメチルアンモニウム、トリエチルアンモニウム、トリプロピルアンモニウム、トリブチルアンモニウム、トリn-ブチルアンモニウムなどのトリアルキル置換アンモニウム、ジn-プロピルアンモニウム、ジシクロヘキシルアンモニウムなどのジアルキルアンモニウムを例示できる。また、アニリニウムとしては、N,N-ジメチルアニリニウム、N,N-ジエチルアニリニウム、N,N-2,4,6-ペンタメチルアニリニウムなどのN,N-ジアルキルアニリニウムが例示できる。さらに、ホスフォニウムとしては、トリフェニルホスフォニウム、トリブチルホスホニウム、トリメチルフェニルホスフォニウム、トリジメチルフェニルホスフォニウムなどのトリアリールホスフォニウム、トリアルキルホスフォニウムが挙げられる。また、式1中、R6およびR7は、6~20、好ましくは6~16の炭素原子を含む、同じか又は異なる芳香族又は置換芳香族炭化水素基で、架橋基によって互いに連結されていてもよく、置換芳香族炭化水素基の置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基等に代表されるアルキル基やフッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲンが好ましい。さらに、X4及びX5は、ハイドライド基、ハライド基、1~20の炭素原子を含む炭化水素基、1個以上の水素原子がハロゲン原子によって置換された1~20の炭素原子を含む置換炭化水素基である。上記一般式1で表される化合物の具体例としては、トリブチルアンモニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、トリブチルアンモニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリブチルアンモニウムテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリブチルアンモニウムテトラ2,6-ジフルオロフェニルボレート、トリブチルアンモニウムテトラパーフルオロナフチルボレート、ジメチルアニリニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、ジメチルアニリニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、ジメチルアニリニウムテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、ジメチルアニリニウムテトラ2,6-ジフルオロフェニルボレート、ジメチルアニリニウムテトラパーフルオロナフチルボレート、トリフェニルホスホニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、トリフェニルホスホニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリフェニルホスホニウムテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリフェニルホスホニウムテトラ2,6-ジフルオロフェニルボレート、トリフェニルホスホニウムテトラパーフルオロナフチルボレート、トリメチルアンモニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリエチルアンモニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、トリエチルアンモニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリエチルアンモニウムテトラパーフルオロナフチルボレート、トリプロピルアンモニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、トリプロピルアンモニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリプロピルアンモニウムテトラパーフルオロナフチルボレート、ジ1-プロピルアンモニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、ジシクロヘキシルアンモニウムテトラフェニルボレートなどを例示することができる。これらの中でも、トリブチルアンモニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、トリブチルアンモニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリブチルアンモニウムテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリブチルアンモニウムテトラパーフルオロナフチルボレート、ジメチルアニリニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、ジメチルアニリニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、ジメチルアニリニウムテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、ジメチルアニリニウムテトラパーフルオロナフチルボレートが好ましい。また、ボレート化合物の第2の例は、次の一般式2で表される。[L2][BR6R7X4X5]-式2式2中、L2は、カルボカチオン、メチルカチオン、エチルカチオン、プロピルカチオン、イソプロピルカチオン、ブチルカチオン、イソブチルカチオン、tert-ブチルカチオン、ペンチルカチオン、トロピニウムカチオン、ベンジルカチオン、トリチルカチオン、ナトリウムカチオン、プロトン等が挙げられる。また、R6、R7、X4及びX5は、前記一般式1における定義と同じである。上記化合物の具体例としては、トリチルテトラフェニルボレート、トリチルテトラo-トリルボレート、トリチルテトラp-トリルボレート、トリチルテトラm-トリルボレート、トリチルテトラo-フルオロフェニルボレート、トリチルテトラp-フルオロフェニルボレート、トリチルテトラm-フルオロフェニルボレート、トリチルテトラ3,5-ジフルオロフェニルボレート、トリチルテトラペンタフルオロフェニルボレート、トリチルテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリチルテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリチルテトラパーフルオロナフチルボレート、トロピニウムテトラフェニルボレート、トロピニウムテトラo-トリルボレート、トロピニウムテトラp-トリルボレート、トロピニウムテトラm-トリルボレート、トロピニウムテトラo-フルオロフェニルボレート、トロピニウムテトラp-フルオロフェニルボレート、トロピニウムテトラm-フルオロフェニルボレート、トロピニウムテトラ3,5-ジフルオロフェニルボレート、トロピニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、トロピニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トロピニウムテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トロピニウムテトラパーフルオロナフチルボレート、NaBPh4、NaBo-CH3-Ph4、NaBp-CH3-Ph4、NaBm-CH3-Ph4、NaBo-F-Ph4、NaBp-F-Ph4、NaBm-F-Ph4、NaB3,5-F2-Ph4、NaBC6F54、NaB2,6-CF32-Ph4、NaB3,5-CF32-Ph4、NaBC10F74、HBPh42ジエチルエーテル、HB3,5-F2-Ph42ジエチルエーテル、HBC6F54-2ジエチルエーテル、HB2,6-CF32-Ph42ジエチルエーテル、HB3,5-CF32-Ph42ジエチルエーテル、HBC10H742ジエチルエーテルを例示することができる。これらの中でも、トリチルテトラペンタフルオロフェニルボレート、トリチルテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリチルテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トリチルテトラパーフルオロナフチルボレート、トロピニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、トロピニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トロピニウムテトラ3,5-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トロピニウムテトラパーフルオロナフチルボレート、NaBC6F54、NaB2,6-CF32-Ph4、NaB3,5-CF32-Ph4、NaBC10F74、HBC6F54-2ジエチルエーテル、HB2,6-CF32-Ph42ジエチルエーテル、HB3,5-CF32-Ph42ジエチルエーテル、HBC10H742ジエチルエーテルが好ましい。さらに好ましくは、これらの中でもトリチルテトラペンタフルオロフェニルボレート、トリチルテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、トロピニウムテトラペンタフルオロフェニルボレート、トロピニウムテトラ2,6-ジトリフルオロメチルフェニルボレート、NaBC6F54、NaB2,6-CF32-Ph4、HBC6F54-2ジエチルエーテル、HB2,6-CF32-Ph42ジエチルエーテル、HB3,5-CF32-Ph42ジエチルエーテル、HBC10H742ジエチルエーテルが挙げられる。ホウ素化合物を用いる場合、ホウ素化合物を、微粒子担体に担持し、オレフィン重合用触媒とすることができる。微粒子担体としては、無機物担体、粒子状ポリマー担体またはこれらの混合物が挙げられる。無機物担体は、金属、金属酸化物、金属塩化物、金属炭酸塩、炭素質物、またはこれらの混合物が使用可能である。無機物担体に用いることができる好適な金属としては、例えば、鉄、アルミニウム、ニッケルなどが挙げられる。また、金属酸化物としては、周期表1~14族の元素の単独酸化物または複合酸化物が挙げられ、例えば、SiO2、Al2O3、MgO、CaO、B2O3、TiO2、ZrO2、Fe2O3、Al2O3MgO、Al2O3CaO、Al2O3SiO2、Al2O3MgOCaO、Al2O3MgOSiO2、Al2O3CuO、Al2O3Fe2O3、Al2O3NiO、SiO2MgOなどの天然または合成の各種単独酸化物または複合酸化物を例示することができる。ここで、上記の式は、分子式ではなく、組成のみを表すものであって、本発明において用いられる複合酸化物の構造および成分比率は特に限定されるものではない。また、本発明において用いる金属酸化物は、少量の水分を吸収していても差し支えなく、少量の不純物を含有していても差し支えない。金属塩化物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属の塩化物が好ましく、具体的にはMgCl2、CaCl2などが特に好適である。金属炭酸塩としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属の炭酸塩が好ましく、具体的には、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸バリウムなどが挙げられる。炭素質物としては、例えば、カーボンブラック、活性炭などが挙げられる。以上の無機物担体は、いずれも本発明に好適に用いることができるが、特に金属酸化物、シリカ、アルミナなどの使用が好ましい。これら無機物担体は、通常、200~800°C、好ましくは400~600°Cで空気中または窒素、アルゴン等の不活性ガス中で焼成して、表面水酸基の量を0.5~1.5mmol/gに調節して用いるのが好ましい。これら無機物担体の性状としては、特に制限はないが、通常、平均粒径は5~200μm、好ましくは10~150μm、平均細孔径は20~1000Å、好ましくは50~500Å、比表面積は150~1000m2/g、好ましくは200~700m2/g、細孔容積は0.3~2.5cm3/g、好ましくは0.5~2.0cm3/g、見掛比重は0.20~0.50g/cm3、好ましくは0.25~0.45g/cm3を有する無機物担体を用いるのが好ましい。上記した無機物担体は、もちろんそのまま用いることもできるが、予備処理としてこれらの担体をトリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリヘキシルアルミニウム、トリプロピルアルミニウム、トリブチルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、トリデシルアルミニウム、ジイソブチルアルミニウムハイドライドなどの有機アルミニウム化合物に接触させた後、用いることができる。メタロセン化合物と反応してイオン対を形成する化合物としてホウ素化合物を用いる場合、メタロセン化合物とホウ素化合物、および微粒子担体からなるオレフィン重合用触媒を得る際の各成分の接触方法は、特に限定されず、例えば、以下の方法が任意に採用可能である。Iメタロセン化合物と、ホウ素化合物とを接触させた後、微粒子担体を接触させる。IIメタロセン化合物と、微粒子担体とを接触させた後、ホウ素化合物を接触させる。IIIホウ素化合物と微粒子担体とを接触させた後、メタロセン化合物を接触させる。これらの接触方法の中でIとIIIが好ましく、さらにIが最も好ましい。いずれの接触方法においても、通常は窒素またはアルゴンなどの不活性雰囲気中、一般にベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素通常炭素数は6~12、ヘプタン、ヘキサン、デカン、ドデカン、シクロヘキサンなどの脂肪族あるいは脂環族炭化水素通常炭素数5~12等の液状不活性炭化水素の存在下、撹拌下または非撹拌下に各成分を接触させる方法が採用される。この接触は、通常-100°C~200°C、好ましくは-50°C~100°C、さらに好ましくは0°C~80°Cの温度にて、5分~50時間、好ましくは30分~24時間、さらに好ましくは30分~12時間で行うことが望ましい。また、メタロセン化合物、ホウ素化合物と微粒子担体の接触に際しては、上記した通り、ある種の成分が可溶ないしは難溶な芳香族炭化水素溶媒と、ある種の成分が不溶ないしは難溶な脂肪族または脂環族炭化水素溶媒とがいずれも使用可能である。各成分同士の接触反応を段階的に行う場合にあっては、前段で用いた溶媒などを除去することなく、これをそのまま後段の接触反応の溶媒に用いてもよい。また、可溶性溶媒を使用した前段の接触反応後、ある種の成分が不溶もしくは難溶な液状不活性炭化水素例えば、ペンタン、ヘキサン、デカン、ドデカン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの脂肪族炭化水素、脂環族炭化水素あるいは芳香族炭化水素を添加して、所望生成物を固形物として回収した後に、あるいは一旦可溶性溶媒の一部または全部を、乾燥等の手段により除去して所望生成物を固形物として取り出した後に、この所望生成物の後段の接触反応を、上記した不活性炭化水素溶媒のいずれかを使用して実施することもできる。本発明では、各成分の接触反応を複数回行うことを妨げない。本発明において、メタロセン化合物と、ホウ素化合物と、微粒子担体の使用割合は、特に限定されないが、以下の範囲が好ましい。メタロセン化合物とホウ素化合物を用いる場合、メタロセン化合物中の遷移金属Mに対する、ホウ素の原子比B/Mは、通常、0.01~100、好ましくは0.1~50、さらに好ましくは0.2~10の範囲で選択することが望ましい。微粒子担体の使用量は、メタロセン化合物中の遷移金属0.0001~5ミリモル当たり、好ましくは0.001~0.5ミリモル当たり、さらに好ましくは0.01~0.1ミリモル当たり1gである。メタロセン化合物、ホウ素化合物、および微粒子担体を前記接触方法I~IIIのいずれかで相互に接触させ、しかる後、溶媒を除去することで、オレフィン重合用触媒を固体触媒として得ることができる。溶媒の除去は、常圧下または減圧下、0~200°C、好ましくは20~150°Cで1分~50時間、好ましくは10分~10時間で行うことが望ましい。なお、オレフィン重合用触媒は、以下の方法によっても得ることができる。IVメタロセン化合物と微粒子担体とを接触させて溶媒を除去し、これを固体触媒成分とし、重合条件下でホウ素化合物と接触させる。Vホウ素化合物と微粒子担体とを接触させて溶媒を除去し、これを固体触媒成分とし、重合条件下でメタロセン化合物と接触させる。上記IV、Vの接触方法の場合も、成分比、接触条件および溶媒除去条件は、前記と同様の条件が使用できる。イオン交換性層状珪酸塩以下、単に珪酸塩と略記する場合がある。は、イオン結合などによって構成される面が互いに結合力で平行に積み重なった結晶構造を有し、且つ、含有されるイオンが交換可能である珪酸塩化合物をいう。イオン交換性層状珪酸塩は、各種公知のものが知られており、具体的には、白水春雄著粘土鉱物学朝倉書店1995年に記載されている。本発明において、好ましく用いられるものは、スメクタイト族に属するもので、具体的にはモンモリロナイト、ザウコナイト、バイデライト、ノントロナイト、サポナイト、ヘクトライト、スチーブンサイトなどを挙げることができる。大部分のイオン交換性層状珪酸塩は、天然には主に粘土鉱物の主成分として産出されるため、イオン交換性層状珪酸塩以外の交雑物石英やクリストバライトなどが含まれることが多く、本発明で用いられるスメクタイト族のイオン交換性層状珪酸塩に交雑物が含まれていてもよい。イオン交換性層状珪酸塩の造粒:珪酸塩は、乾燥状態で用いてもよく、液体にスラリー化した状態で用いてもよい。また、イオン交換性層状珪酸塩の形状については、特に制限はなく、天然に産出する形状、人工的に合成した時点の形状でもよいし、また、粉砕、造粒、分級などの操作によって形状を加工したイオン交換性層状珪酸塩を用いてもよい。このうち造粒されたイオン交換性珪酸塩を用いると、良好なポリマー粒子性状を与えるため、特に好ましい。造粒、粉砕、分級などのイオン交換性層状珪酸塩の形状加工は、酸処理の前に行ってもよいし、酸処理を行った後に形状を加工してもよい。ここで用いられる造粒法としては、例えば、撹拌造粒法、噴霧造粒法、転動造粒法、ブリケッティング、コンパクティング、押出造粒法、流動層造粒法、乳化造粒法、液中造粒法、圧縮成型造粒法等が挙げられるが、特に限定されない。好ましくは撹拌造粒法、噴霧造粒法、転動造粒法、流動造粒法が挙げられ、特に好ましくは撹拌造粒法、噴霧造粒法が挙げられる。なお、噴霧造粒を行う場合、原料スラリーの分散媒として、水あるいはメタノール、エタノール、クロロホルム、塩化メチレン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、トルエン、キシレン等の有機溶媒を用いる。好ましくは水を分散媒として用いる。球状粒子が得られる噴霧造粒の原料スラリー液中におけるイオン性層状珪酸塩の濃度は、0.1~30重量、好ましくは0.5~20重量、特に好ましくは1~10重量である。球状粒子が得られる噴霧造粒の熱風の入口温度は、分散媒により異なるが、水を例にとると、80~260°C、好ましくは100~220°Cで行う。造粒において、粒子強度の高い担体を得るため、及び、オレフィン重合活性を向上させるためには、イオン交換性層状珪酸塩を必要に応じ微細化する。イオン交換性層状珪酸塩は、如何なる方法において微細化してもよい。微細化する方法としては、乾式粉砕、湿式粉砕いずれの方法でも可能である。好ましくは、水を分散媒として使用し、イオン交換性層状珪酸塩の膨潤性を利用した湿式粉砕であり、例えばポリトロン等を使用した強制撹拌による方法やダイノーミル、パールミル等による方法がある。造粒する前の平均粒径は、0.01~3μm、好ましくは0.05~1μmである。また、造粒の際に有機物、無機溶媒、無機塩、各種バインダーを用いてもよい。用いられるバインダーとしては、例えば、塩化マグネシウム、硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム、硫酸マグネシウム、アルコール類、グリコール等が挙げられる。上記のようにして得られた球状粒子は、重合工程での破砕や微粉発生を抑制するためには、0.2MPa以上の圧縮破壊強度を有することが好ましい。また、造粒されたイオン交換性層状珪酸塩の粒径は、0.1~1000μm、好ましくは1~500μmの範囲である。粉砕法についても特に制限はなく、乾式粉砕、湿式粉砕のいずれでもよい。酸処理:本発明で用いられるイオン交換性層状珪酸塩は、酸処理をして用いるが、その他の化学処理を組み合わせて、処理を行っても良い。その他の化学処理としては、アルカリ処理、塩類処理、有機物処理などが挙げられる。イオン交換性層状珪酸塩の酸処理により、固体の酸強度を変えることができる。また、酸処理は、イオン交換や表面の不純物を取り除く効果の他、結晶構造のAl、Fe、Mg、Liなどの陽イオンの一部を溶出させる効果もある。酸処理で用いられる酸としては、塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、酢酸、シュウ酸、安息香酸、ステアリン酸、プロピオン酸、アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸などが挙げられる。これらは、2種以上を同時に使用してもよい。中でも無機酸が好ましく、硫酸、塩酸、硝酸が好ましく、さらに好ましくは硫酸である。また、酸処理と塩類処理を組み合わせる方法が特に好ましく、塩類処理を行った後に酸処理を行う方法、酸処理を行った後に塩類処理を行う方法、塩類処理と酸処理を同時に行う方法、塩類処理を行った後に塩類処理と酸処理を同時に行う方法などがある。酸による処理条件は、通常、酸濃度は0.1~30重量、処理温度は室温から使用溶媒の沸点までの温度範囲、処理時間は5分から24時間の条件を選択し、被処理化合物の少なくとも一部を溶出する条件で行うことが好ましい。また、酸は、一般的には水溶液で使用される。たとえば、硫酸を用いた場合、処理温度は80°C~100°Cで、処理時間は0.5時間以上5時間未満にすることが好ましい。塩類処理を同時に行うことにより、イオン複合体、分子複合体、有機誘導体などを形成することにより、表面積や層間距離を変えることができる。例えば、イオン交換性を利用し、層間の交換性イオンを別の大きな嵩高いイオンと置換することにより、層間が拡大した状態の層状物質を得ることができる。上記の酸処理を行う場合、処理前、処理の間、処理後に粉砕や造粒などで形状制御を行ってもよい。また、アルカリ処理、有機化合物処理、有機金属処理などの他の化学処理を併用してもよい。イオン交換に使用する塩類は、1~14族原子から成る群より選ばれた少なくとも1種の原子を含む陽イオンを含有する化合物であり、好ましくは、1~14族原子から成る群より選ばれた少なくとも1種の原子を含む陽イオンと、ハロゲン原子、無機酸及び有機酸から成る群より選ばれた少なくとも1種の原子又は原子団より誘導される陰イオンとから成る化合物であり、更に好ましくは、2~14族原子から成る群より選ばれた少なくとも1種の原子を含む陽イオンと、Cl、Br、I、F、PO4、SO4、NO3、CO3、C2O4、ClO3、ClO4、OOCCH3、CH3COCHCOCH3、OCl2、ONO32、OClO42、OSO4、OH、O2Cl2、OCl3、OOCH、OOCCH2CH3、C2H4O4、C6H5O7から成る群より選ばれた少なくとも1種の陰イオンとから成る化合物である。また、これら塩類は、2種以上を同時に使用してもよい。このようにして得られるイオン交換性珪酸塩としては、水銀圧入法で測定した半径20Å以上の細孔容積が0.1cc/g以上、特に0.3~5cc/gであることが好ましい。かかる珪酸塩は、水溶液中で処理した場合には、吸着水及び層間水を含む。ここで、吸着水とは、イオン交換性珪酸塩の表面或いは結晶破面に吸着された水であり、層間水とは、結晶の層間に存在する水である。イオン交換性珪酸塩は、上記の様な吸着水及び層間水を除去してから、使用することが好ましい。脱水方法は、特に制限されないが、加熱脱水、気体流通下の加熱脱水、減圧下の加熱脱水及び有機溶媒との共沸脱水などの方法が使用される。加熱温度は、吸着水及び層間水が残存しない様な温度範囲とされ、通常100°C以上、好ましくは150°C以上とされるが、構造破壊を生じる様な高温条件は好ましくない。加熱時間は、0.5時間以上、好ましくは1時間以上である。その際、脱水乾燥した後のイオン交換性層状珪酸塩の重量減量は、温度200°C圧力1mmHgの条件下で2時間吸引した場合の値として、3重量以下であることが好ましい。本発明においては、重量減量が3重量以下に調整されたイオン交換性層状珪酸塩を使用する場合、メタロセン化合物及び有機アルミニウム化合物と接触する際にも、同様の重量減量の状態が保持される様に取り扱うことが好ましい。イオン交換性層状珪酸塩の酸処理後の組成:本発明に係る触媒成分である酸処理されたイオン交換性層状珪酸塩は、Al/Siの原子比として、0.01~0.29のものであり、好ましくは0.03~0.25、さらに好ましくは0.05~0.23の範囲のものが、重合触媒の活性の点で好ましい。Al/Si原子比は、粘土部分の酸処理強度の指標となり、Al/Si原子比を制御する方法としては、酸処理を行う酸種、酸濃度、酸処理時間、温度を調整することにより制御することができる。イオン交換性層状珪酸塩中のアルミニウム及びケイ素は、JIS法による化学分析による方法で検量線を作成し、蛍光X線で定量するという方法で測定される。上記したイオン交換性層状珪酸塩は、もちろんそのまま用いることもできるが、これらのイオン交換性層状珪酸塩をトリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリプロピルアルミニウム、トリブチルアルミニウム、トリヘキシルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、トリデシルアルミニウム、ジイソブチルアルミニウムハイドライドなどの有機アルミニウム化合物と組み合わせて用いることができる。また、本発明のメタロセン化合物を、イオン交換性層状珪酸塩に担持するには、メタロセン化合物とイオン交換性層状珪酸塩を相互に接触させる、あるいはメタロセン化合物、有機アルミニウム化合物、イオン交換性層状珪酸塩を相互に接触させてもよい。各成分の接触方法は、特に限定されず、例えば、以下の方法が任意に採用可能である。VIメタロセン化合物と有機アルミニウム化合物を接触させた後、イオン交換性層状珪酸塩担体と接触させる。VIIメタロセン化合物とイオン交換性層状珪酸塩担体を接触させた後、有機アルミニウム化合物と接触させる。VIII有機アルミニウム化合物とイオン交換性層状珪酸塩担体を接触させた後、メタロセン化合物と接触させる。これらの接触方法の中でVIとVIIIが好ましい。いずれの接触方法においても、通常は窒素またはアルゴンなどの不活性雰囲気中、一般にベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素通常炭素数は6~12、ヘプタン、ヘキサン、デカン、ドデカン、シクロヘキサンなどの脂肪族あるいは脂環族炭化水素通常炭素数5~12等の液状不活性炭化水素の存在下、撹拌下または非撹拌下に各成分を接触させる方法が採用される。メタロセン化合物と、有機アルミニウム化合物、イオン交換性層状珪酸塩担体の使用割合は、特に限定されないが、以下の範囲が好ましい。メタロセン化合物の担持量は、イオン交換性層状珪酸塩担体1gあたり、0.0001~5ミリモル、好ましくは0.001~0.5ミリモル、さらに好ましくは0.01~0.1ミリモルである。また、有機アルミニウム化合物を用いる場合のAl担持量は、0.01~100モル、好ましくは0.1~50モル、さらに好ましくは0.2~10モルの範囲であることが望ましい。さらに、用いる有機アルミニウム化合物の種類は特に限定されないが、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムなど挙げられる。担持および溶媒除去の方法は、前記の微粒子担体と同様の条件が使用できる。メタロセン化合物、イオン交換性層状ケイ酸塩及び/又は当該メタロセン化合物と反応してイオン対を形成するホウ素化合物を主成分とする触媒を、エチレン重合用本重合の触媒として使用する前に、必要に応じて、エチレン、プロピレン、1-ブテン、1-ヘキセン、1-オクテン、4-メチル-1-ペンテン、3-メチル-1-ブテン、ビニルシクロアルカン、スチレンなどのオレフィンを予備的に少量重合する予備重合処理を施してもよい。予備重合方法は、公知の方法が使用できる。実質的に1種類のメタロセン化合物からなる触媒を用いて、単段重合を行うことにより、CFCの溶出ピークが2山となる不均一なポリマーを生成するという点において、成分Bとしては、イオン交換性層状珪酸塩を用いることが好ましい。生成するポリマーが不均一になるためには、異なる活性種が存在することが必要と考えられる。イオン交換層状珪酸塩は、結晶性の無機酸化物であり、その表面状態は、MAOから形成される表面状態よりも不均一になっていると考えられる。この表面の不均一性が、活性点の不均一性に影響しているものと推定する。特に、メタロセン化合物に含まれる複素環式芳香族基とイオン交換性層状珪酸塩の表面との相互作用が、メタロセン化合物由来の活性種を不均一にしているものと推定される。3.エチレン系共重合体の重合方法1エチレン系共重合体の製造方法上記したエチレン系重合触媒は、エチレンとα-オレフィンとの共重合に、使用可能である。エチレン重合において、コモノマーであるα-オレフィン類には、炭素数3~30、好ましくは3~8のものが包含され、具体的には、プロピレン、1-ブテン、1-ヘキセン、1-オクテン、4-メチル-1-ペンテン等が例示される。α-オレフィン類は、2種類以上のα-オレフィンをエチレンと共重合させることも可能である。共重合は、ランダム共重合、ブロック共重合のいずれであっても差し支えない。エチレンと他のα-オレフィンとを共重合させる場合、当該他のα-オレフィンの量は、全モノマーの90モル以下の範囲で任意に選ぶことができるが、一般的には、40モル以下、好ましくは30モル以下、さらに好ましくは10モル以下の範囲で選ばれる。もちろん、エチレンやα―オレフィン以外のコモノマーを少量使用することも可能であり、この場合、スチレン、4-メチルスチレン、4-ジメチルアミノスチレン等のスチレン類、1,4-ブタジエン、1,5-ヘキサジエン、1,4-ヘキサジエン、1,7-オクタジエン等のジエン類、ノルボルネン、シクロペンテン等の環状化合物、ヘキセノール、ヘキセン酸、オクテン酸メチル等の含酸素化合物類、等の重合性二重結合を有する化合物を挙げることができる。本発明において、重合反応は、前記した触媒の存在下、スラリー重合、気相重合、又は溶液重合にて行うことができる。好ましくは前記した担持触媒によるスラリー重合、又は気相重合である。スラリー重合の場合、実質的に酸素、水等を断った状態で、イソブタン、ヘキサン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環族炭化水素等から選ばれる不活性炭化水素溶媒の存在下または不存在下で、エチレン等を重合させる。また、液状エチレンや液状プロピレン等の液体モノマーも溶媒として使用できることは言うまでもない。また、気相重合の場合、エチレンやコモノマーのガス流を導入、流通、または循環した反応器内においてエチレン等を重合させる。重合条件は、温度が0~250°C、好ましくは20~150°C、更に好ましくは60~110°Cであり、圧力が常圧~10MPa、好ましくは常圧~6MPa、更に好ましくは0.5~5MPaの範囲にあり、重合時間としては5分~10時間、好ましくは5分~5時間が採用されるのが普通である。また、重合系中に、水分除去を目的とした成分、いわゆるスカベンジャーを加えても何ら支障なく実施することができる。なお、かかるスカベンジャーとしては、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムなどの有機アルミニウム化合物、前記有機アルミニウムオキシ化合物、分岐アルキルを含有する変性有機アルミニウム化合物、ジエチル亜鉛、ジブチル亜鉛などの有機亜鉛化合物、ジエチルマグネシウム、ジブチルマグネシウム、エチルブチルマグネシウムなどの有機マグネシウム化合物、エチルマグネシウムクロリド、ブチルマグネシウムクロリドなどのグリニヤ化合物などが使用される。これらのなかでは、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、エチルブチルマグネシウムが好ましく、トリエチルアルミニウムが特に好ましい。水素濃度、モノマー量、重合圧力、重合温度等の重合条件が互いに異なる2段階以上の多段階重合方式にも、支障なく適用することができる。2エチレン-α-オレフィン共重合体本発明で得られる、エチレン-α-オレフィン共重合体は、クロス分別クロマトグラフィー以下、CFCと記載により測定される溶出ピークが双峰性となる。この双峰性は、CFCによる溶出ピークの温度差に由来して生じる。ここで、溶出ピークの温度差は、5°C以上あることが好ましく、さらには、10°C以上あることが好ましい。さらには、高温側で溶出するポリマーの分子量は、低温側で溶出するポリマーの分子量よりも低いことが好ましい。なお、本発明において用いられる双峰性とは、CFC測定において溶出温度と分子量との関係を示す溶出ピークを示すグラフにおいて、極大を示すピークが複数存在することをいい、本明細書の図1に示される溶出ピークは、その例である。また、極大を示すピークが1つの場合を単峰性といい、本明細書の図2に示される溶出ピークは、その例である。クロス分別クロマトグラフィーCFCは、結晶性分別を行う昇温溶出分別TREF部と分子量分別を行うゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPC部とからなる。このCFCを用いた分析は、次のようにして行われる。先ず、ポリマーサンプルを0.5mg/mLのBHTを含むオルトジクロロベンゼンODCBに140°Cで完全に溶解した後、この溶液を装置のサンプルループを経て140°Cに保持されたTREFカラム不活性ガラスビーズ担体が充填されたカラムに注入し、所定の第1溶出温度まで徐々に冷却しポリマーサンプルを結晶化させる。所定の温度で30分保持した後、ODCBをTREFカラムに通液することにより、溶出成分がGPC部に注入されて分子量分別が行われ、赤外検出器FOXBORO社製MIRAN1AIR検出器、測定波長3.42μmによりクロマトグラムが得られる。その間TREF部では、次の溶出温度に昇温され、第1溶出温度のクロマトグラムが得られた後、第2溶出温度での溶出成分がGPC部に注入される。以下同様の操作を繰り返すことにより、各溶出温度での溶出成分のクロマトグラムが得られる。また、コモノマー分岐数の分子量依存性を測定する方法は、重合体の溶媒抽出によって分子量分別したエレメントの分岐数をNMR解析する方法、LCトランスフォームLC-Transformを用いる方法なども利用できる注:前記特許文献6の[0065]~[0067]参照。。良好な物性を示す、エチレン-α-オレフィン共重合体の密度は、通常、0.910~0.960g/cm3であり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCにより測定される重量平均分子量Mwは、1×104~1×106であり、重合平均分子量Mwと数平均分子量Mnの比は4.0~20である。さらに、特に良好な物性を示すためには、低温側で溶出するポリマーの分子量が105以上であることが好ましい。重量平均分子量が1×104未満の場合、耐衝撃性耐環境応力亀裂などに代表される機械物性が低下し、一方、重量平均分子量が1×106超の場合は、樹脂の流動性が低下し、押出特性などの成形加工特性が損なわれる。生成重合体の分子量は、重合温度、触媒のモル比等の重合条件を変えることによってもある程度調節可能であるが、重合反応系に水素を添加することで、より効果的に分子量調節を行うことができる。以下に、本発明を、実施例を示して具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。なお、実施例において使用した評価方法は、以下のとおりであり、以下の触媒合成工程および重合工程は、すべて精製窒素雰囲気下で行い、また、使用した溶媒は、モレキュラーシーブ4Aで脱水精製したものを用いた。I各種評価測定方法1ハイロードメルトフローレートHLMFR:JISK-72102004年版の附属書A表1-条件Gに従い、試験温度190°C、公称荷重21.60kgにおける測定値をHLMFRとして示した。2密度:JISK-71122004年版に従い測定した。3分子量および分子量分布Mw/Mn:生成エチレン系重合体について、下記の条件でゲル透過クロマトグラフGPCを行ない、数平均分子量Mnおよび重量平均分子量Mwを求めて分子量分布Mw/Mnを算出した。[ゲル透過クロマトグラフ測定条件]装置:Waters150Cモデルカラム:Shodex-HT806M溶媒:1,2,4-トリクロロベンゼン温度:135°C単分散ポリスチレンフラクションを用いてユニバーサル評定。MwのMnに対する比率Mw/Mnで示される分子量分布Mw/Mnが大きいほど分子量分布が広いについては、サイズ排除クロマトグラフィー高分子の高速液体クロマトグラフィー森定雄著,共立出版,96頁に記載された分子量と検出器感度の式にn-アルカンおよびMw/Mn≦1.2の分別直鎖ポリエチレンのデータを当てはめて、次式で示される分子量Mの感度を求め、サンプル実測値の補正を行なった。分子量Mの感度=ab/Ma、bは定数で、a=1.032、b=189.24融点Tmの測定:DSCデュポン社製のTA2000型、又はセイコーインスツルメンツ社製のDSC6200型を使用し、エチレン系重合体は、10°C/分で20~170°Cまでの昇降温を1回行った後、10°C/分で2回目の昇温時の測定値により求めた。5クロス分別クロマトグラフィーCFC:以下の測定条件、データ解析により測定した。i測定条件:装置:ダイヤインスツルメンツ社製CFC-T102LGPCカラム:昭和電工社製AD-806MS3本を直列に接続溶媒:ODCBサンプル濃度:3mg/mL注入量:0.4mL結晶化速度:10°C/時溶媒流速:1mL/分GPC測定時間:34分GPC測定後安定時間:5分溶出温度:40,55,61,64,67,70,73,76,79,82,85,88,91,94,97,100,103,110,140°Ciiデータ解析測定によって得られた各溶出温度における溶出成分のクロマトグラムは、装置付属のデータ処理プログラムにより処理され、総和が100となるように規格化された溶出量クロマトグラムの面積に比例が求められる。さらに、溶出温度に対する積分溶出曲線が計算される。この積分溶出曲線を温度で微分して、微分溶出曲線が求められる。また、各クロマトグラムから、次の手順により分子量分布が求められる。保持容量から分子量への換算は、予め作成しておいた標準ポリスチレンによる検量線を用いて行う。使用する標準ポリスチレンは何れも東ソー株製の以下の銘柄である。F380、F288、F128、F80、F40、F20、F10、F4、F1、A5000、A2500、A1000。各々が0.5mg/mLとなるようにODCB0.5mg/mLのBHTを含むに溶解した溶液を0.4mL注入して較正曲線を作成する。較正曲線は、最小二乗法で近似して得られる三次式を用いる。分子量への換算は、森定雄著サイズ排除クロマトグラフィー共立出版を参考に、汎用較正曲線を用いる。その際、使用する粘度式[η]=K×Mαは、以下の数値を用いる。PS:K=1.38×10-4、α=0.7PE:K=3.92×10-4、α=0.733PP:K=1.03×10-4、α=0.78なお、第1溶出温度でのクロマトグラムでは、溶媒に添加したBHTによるピークと溶出成分の低分子量側とが重なる場合があるが、その際は、図3のように、ベースラインを引き分子量分布を求める区間を定める。[実施例1]1メタロセン錯体1:ジメチルシリレンビス2-2-フリル-4,5-ジメチル-シクロペンタジエニルジルコニウムジクロライドの合成特許第3674509号公報の実施例3ジメチルシリレンビス[2-2-フリル-4,5-ジメチル-シクロペンタジエニル]ジルコニウムジクロリド化合物番号95の合成に従って、合成を行った。2スメクタイト族イオン交換性層状珪酸塩の化学処理酸処理および塩処理2-1酸処理:ゼパラブルフラスコに蒸留水1130gと96硫酸750gを加え、内温を90°Cに保ち、そこに造粒モンモリロナイトである水澤化学社製ベンクレイSL平均粒径19μm、300gを添加し2時間反応させた。懸濁液を1時間で室温まで冷却し、蒸留水でpH=4まで洗浄した。このときの洗浄倍率は1/10000以下であった。2-2塩処理:ゼパラブルフラスコで硫酸リチウム1水和物210gを蒸留水520gに溶かし、そこに、濾過した酸処理粘土を加え室温で120分撹拌した。このスラリーを濾過し、得られた固体に蒸留水3000mlを加え5分間室温で撹拌した。このスラリーを濾過した。得られた固体に蒸留水2500mlを加え5分撹拌後再び濾過した。この操作をさらに4回繰り返し、得られた固体を窒素気流下130°Cで2日間予備乾燥後、53μm以上の粗大粒子を除去し、さらに200°Cで2時間減圧乾燥することにより、化学処理モンモリロナイトを得た。この化学処理モンモリロナイトの組成は、Al:7.5wt、Si:37.6wt、Mg:1.22wt、Fe:1.60wt、Li:0.22wtであり、Al/Si=0.207[mol/mol]であった。3固体触媒の調製磁気誘導式攪拌機と攪拌羽根を具えたガラスフラスコに、スメクタイト族イオン交換性層状珪酸塩の化学処理で得られた化学処理モンモリロナイトを3gとり、トリエチルアルミニウムのヘキサン溶液1mol/Lの9mlを添加した。これを室温で1hr攪拌した後、静置させて上澄み液5mlを除いた。これに30mlのヘキサンを添加し、1分攪拌して静置させた後に上澄み液を除いた。このデカンテーションを合計3回繰り返し、余剰のトリエチルアルミニウムを取り除いた。洗浄後のスラリーを40°Cに加熱し、別途作製したメタロセン錯体148.3mg、90μmolのトルエン溶液36mlを添加した。これを40°Cで1hr攪拌した後、減圧下で溶媒を留去して粉体状の触媒を得た。4エチレン/1-ヘキセン共重合内容積1.5リッターの誘導攪拌式ステンレス製オートクレーブ内を精製窒素で置換し、精製イソブタン800mLをオートクレーブ内に導入した。トリエチルアルミニウムのヘプタン溶液0.1mmol/mlを4ml、1-ヘキセンを40ml添加した後、80°Cまで昇温した。エチレンで2.8MPaまで昇圧エチレン分圧1.5MPaした後、上記3で得られた担持触媒のヘプタンスラリー16.7ml167mg触媒を窒素で圧入し、全圧を3.1MPaとすることで重合を開始した。重合中は、エチレン分圧を1.5MPa維持するようにエチレンを供給した。また、重合開始後、水素および1-ヘキセンを連続的に添加して、重合を2時間継続した。水素は、15分間隔で気相部の水素濃度を確認し、添加量を調節した。その結果、2時間の平均水素濃度水素濃度/エチレン濃度は、654molppmであった。また、1-ヘキセンもエチレンの導入量に比例させて、連続的に導入した。その結果、重合中に導入された1-ヘキセンは、36mlであった。従って、1-ヘキセンの全体の添加量は、76mlとなった。2時間後、内容物をパージすることにより反応を停止し、ポリマーを回収した。重合結果および得られたポリマーの分析値を、表1、表2に示した。図1は、得られたポリマーのCFCデータであり、溶出ピークは2峰性を示している。[実施例2]1メタロセン錯体2:メチレンビス2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニル-インデニルジルコニウムジクロライドの合成300mlのガラス製反応容器に、ビス2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニル-インデニルメタン2.7g4.1mmol、ジエチルエーテル100mlを加え、ドライアイス-メタノール浴で-70°Cまで冷却した。ここに1.57mol/Lのn-ブチルリチウム-n-ヘキサン溶液5.2ml8.2mmolを滴下した。滴下後、室温に戻し2時間撹拌した。反応液の溶媒を減圧で留去し、トルエン100ml、ジエチルエーテル10mlを加え、ドライアイス-メタノール浴で-70°Cまで冷却した。そこに、四塩化ジルコニウム0.95g4.1mmolを加えた。その後、徐々に室温に戻しながら一夜撹拌した。このときの反応液の一部をとり、1H-NMRを測定した結果、ラセミ体/メソ体比は95/5であった。溶媒を減圧留去し、ジクロロメタン/ヘキサンで再結晶することによりメチレンビス2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニル-インデニルジルコニウムジクロライドのラセミ体を赤色結晶として1.9g収率56得た。1H-NMR値CDCl3ラセミ体:δ1.33s,18H,δ2.55s,6H,δ5.51s,2H,δ6.14d,2H,δ6.32d,2H,δ6.43d,2H,δ6.68dd,2H,6.76s,2H,δ7.18d,2H,δ7.44d,4H,δ7.54d,4H。2スメクタイト族イオン交換性層状珪酸塩の化学処理酸処理および塩処理実施例12と同じ化学処理モンモリロナイトを用いた。3固体触媒の調製実施例13において、メタロセン錯体1の代わりに、メタロセン錯体274.6mg、90μmolを用いる以外は、同様に行った。4エチレン/1-ヘキセン共重合内容積2リッターの誘導攪拌式ステンレス製オートクレーブ内を精製窒素で置換し、精製ヘキサン1000mLをオートクレーブ内に導入した。トリエチルアルミニウムのヘプタン溶液0.1mmol/mlを4ml、1-ヘキセンを5ml添加した後、80°Cまで昇温した。水素を分圧として0.0035MPaをなるようにエチレンで希釈して添加し、次いでエチレンで0.7MPaまで昇圧した後、実施例23で得られた担持触媒のヘプタンスラリー1.8ml18mg触媒を圧入することで重合を開始した。重合中は、内圧が0.7MPaとなるようにエチレンのみ供給した。1時間後、エタノールを圧入することで重合反応を停止し、ポリマーをろ過により回収した。重合結果および得られたポリマーの分析値を、表1、表2に示した。[実施例3]1メタロセン錯体3:ジメチルシリレン2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニルインデニル4-4-t-ブチルフェニルインデニルジルコニウムジクロライドの合成:ジメチル2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニルインデニル4-4-t-ブチルフェニルインデニルシラン10.8g、17mmol、ジエチルエーテル250mlを加え-70°Cまで冷却した。ここにn-ブチルリチウム-ヘキサン溶液22ml、35mmol、1.58mol/Lを滴下した。滴下後、徐々に室温に戻しながら2時間攪拌した。反応液の溶媒を減圧留去し、トルエン400ml,ジエチルエーテル20mlを加え、-70°Cまで冷却した。そこに、四塩化ジルコニウム4.0g、17mmolを加えた。その後、徐々に室温に戻しながら一晩攪拌した。溶媒を減圧留去し、ジクロロメタン/ヘキサンで再結晶を行い、ジメチルシリレン2-5-メチル-2-フリル-4-4-t-ブチルフェニルインデニル4-4-t-ブチルフェニルインデニルジルコニウムジクロライドの橙色結晶0.6g、収率4を得た。1H-NMR値CDCl3:δ1.12s,3H,1.21s,3H,1.33s,18H,2.43s,3H,6.06d,1H,6.10d,1H,6.28d,1H,6.81~7.60m,16H2スメクタイト族イオン交換性層状珪酸塩の化学処理酸処理および塩処理実施例12と同じ化学処理モンモリロナイトを用いた。3固体触媒の調製実施例13において、メタロセン錯体1の代わりに、メタロセン錯体371.4mg、90μmolを用いる以外は、同様に行った。4エチレン/1-ヘキセン共重合実施例14において、実施例13で得られた担持触媒を用いる代わりに、実施例33で得られた担持触媒のヘプタンスラリーを3.1ml31mg触媒用い、水素および1-ヘキセンを、表1に記載のように添加した以外は、同様に行った。重合結果および得られたポリマーの分析値を、表1、表2に示した。[実施例4]1エチレン/1-ヘキセン共重合水素および1-ヘキセンを、表1に記載のように添加した以外は、実施例34と同様に行った。重合結果および得られたポリマーの分析値を、表1、表2に示した。[比較例1]1担持触媒の調製十分に窒素で置換した、誘導撹拌機を装着したフラスコに、予め、400°Cで8時間、窒素雰囲気下で焼成したシリカGRACE社製、Sylopol948を5g充填し、オイルバスにより40°Cに加熱した。別のフラスコにメチルアルモキサンのトルエン溶液アルベマール社製、3.0molAl/Lを8.1ml分取した。メタロセン錯体167.1mg、125μmolのトルエン溶液50mlをメチルアルモキサンのトルエン溶液に室温で添加し、30分撹拌した。次いで、このトルエン溶液を、40°Cに加熱したシリカに撹拌しながら添加し1時間保持した。その後、40°C加熱した状態で、減圧により溶媒を留去した。減圧度が0.8mmHg以下となってから、さらに15分間減圧乾燥を継続し担持触媒を得た。得られた担持触媒の一部をn-ヘプタンにより希釈10mg-固体触媒/mlし、オレフィン重合評価に用いた。2エチレン/1-ヘキセン共重合実施例14において、実施例13で得られた担持触媒を用いる代わりに、比較例11で得られた担持触媒のヘプタンスラリーを10.6ml106mg触媒用い、水素および1-ヘキセンを、表1に記載のように添加し、重合時間を1時間とした以外は同様に行った。重合結果および得られたポリマーの分析値を、表1、表2に示した。図2は、得られたポリマーのCFCデータであり、溶出ピークは単峰性を示している。[比較例2]1担持触媒の調製比較例11において、錯体1の代わりに、メタロセン錯体399.1mg、125μmolを用いる以外は、同様に行った。2エチレン/1-ヘキセン共重合実施例14において、実施例13で得られた担持触媒を用いる代わりに、比較例21で得られた担持触媒のヘプタンスラリーを5.4ml54mg触媒用い、水素および1-ヘキセンを、表1に記載のように添加し、重合時間を1時間とした以外は同様に行った。重合結果および得られたポリマーの分析値を、表1、表2に示した。上記表1、2から明らかなように、本発明に係る分子内に少なくとも1つの複素環式芳香族基を有するメタロセン化合物と、イオン交換性層状ケイ酸塩とを主成分とする触媒を、エチレン重合用触媒として用いることにより、高活性に、クロス分別クロマトグラフィーCFCにより測定される溶出ピークが双峰性であるという特定の組成分布を有するエチレン-α-オレフィン共重合体を製造できることがわかる。一方、比較例1、2では、クロス分別クロマトグラフィーCFCにより測定される溶出ピークが双峰性を示さないことがわかる。"