"a直列接続される第1の圧縮機と第2の圧縮機と、b該第1の圧縮機と第2の圧縮機にそれぞれ並列に接続される第1のバッファタンクと第2のバッファタンクと、c前記第1の圧縮機と第2の圧縮機との間に直列に接続される第1の電磁バルブと第2の電磁バルブと、d前記第1の圧縮機と第2の圧縮機との間に直列に接続される第3の電磁バルブと第4の電磁バルブと、e前記第1の電磁バルブと第2の電磁バルブとの間と前記第3の電磁バルブと第4の電磁バルブとの間にブリッジ状に接続されるパルス管と、f該パルス管と前記第1のバッファタンクと第2のバッファタンクとの間に接続される第5の電磁バルブと、g前記電磁バルブをそれぞれ制御するスイッチング回路と、h該スイッチング回路をそれぞれ制御するPWMパルス幅変調信号を出力し、そのPWM信号の分配を行う上位電子式コントローラとを具備することを特徴とするPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置。請求項1記載のPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置において、前記第5の電磁バルブを前記パルス管の後端部と前記第1のバッファタンクと第2のバッファタンクとの間に接続することを特徴とするPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置。請求項1記載のPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置において、前記第5の電磁バルブを前記パルス管の前端部と前記第1のバッファタンクと第2のバッファタンクとの間に接続することを特徴とするPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置。しかしながら、従来のパルス管冷凍機においては、パルス管内のガスの圧力変化は、図8に示すような略台形状の変化であり滑らかではない。このパルス管内のガスの圧力変化を滑らかにするためにアクティブバッファやオリフィスを配置しているが、これらは機器点数を増加させることになり、信頼性の低下を招くといった問題があった。そこで、本発明者らは、パルス管内のガスの圧力を滑らかに変化させるパルス管冷凍機のバルブ制御装置上記特許文献1参照を提案している。図9はかかる従来例を示すPWM制御3レベルパルス管冷凍機の模式図、図10はその冷凍機のバルブを制御する3レベルスイッチング回路図である。これらの図において、111,112は圧縮機、113はパルス管、114は第1の電磁バルブ、114Aは第1の電磁バルブ114を制御する第1のスイッチング回路、115は第2の電磁バルブ、115Aは第2の電磁バルブ115を制御する第2のスイッチング回路、116は第3の電磁バルブ、116Aは第3の電磁バルブ116を制御する第3のスイッチング回路、117は第4の電磁バルブ、117Aは第4の電磁バルブ117を制御する第4のスイッチング回路、118は第5の電磁バルブ、118Aは第5の電磁バルブ118を制御する第5のスイッチング回路、119は第6の電磁バルブ、119Aは第6の電磁バルブ119を制御する第6のスイッチング回路、120は第7の電磁バルブ、120Aは第7の電磁バルブ120を制御する第7のスイッチング回路、121は第8の電磁バルブ、121Aは第8の電磁バルブ121を制御する第8のスイッチング回路、122はスイッチング回路114A,115A,116A,117A,118A,119A,120A,121Aをそれぞれ制御する上位電子式コントローラ、123は第1のバッファタンク、124は第2のバッファタンク、125は第1の一方向バルブ、126は第2の一方向バルブ、127は第3の一方向バルブ、128は第4の一方向バルブである。これらの第1の電磁バルブ114~第8の電磁バルブ121は、それぞれ図10に示すような3レベルスイッチング回路方式で駆動する。特に、パルス管113内のガスの圧力変化を滑らかにするために、上位電子式コントローラ122との協働によりPWM制御を行うようにすることができる。しかしながら、かかるPWM制御3レベルパルス管冷凍機では、バルブを8個必要とし、また、逆止弁も配置する必要があり、回路が複雑になるといった問題があった。本発明は、上記状況に鑑みて、機器点数を減らして構成を簡素化すると共に、パルス管内のガスの圧力変化を滑らかにすることができる、PWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置を提供することを目的とする。本発明は、上記目的を達成するために、1PWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置において、直列接続される第1の圧縮機と第2の圧縮機と、これらの第1の圧縮機と第2の圧縮機にそれぞれ並列に接続される第1のバッファタンクと第2のバッファタンクと、前記第1の圧縮機と第2の圧縮機との間に直列に接続される第1の電磁バルブと第2の電磁バルブと、前記第1の圧縮機と第2の圧縮機との間に直列に接続される第3の電磁バルブと第4の電磁バルブと、前記第1の電磁バルブと第2の電磁バルブとの間と前記第3の電磁バルブと第4の電磁バルブとの間にブリッジ状に接続されるパルス管と、このパルス管と前記第1のバッファタンクと第2のバッファタンクとの間に接続される第5の電磁バルブと、前記電磁バルブをそれぞれ制御するスイッチング回路と、これらのスイッチング回路をそれぞれ制御するPWMパルス幅変調信号を出力し、そのPWM信号の分配を行う上位電子式コントローラとを具備することを特徴とする。2上記1記載のPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置において、前記第5の電磁バルブを前記パルス管の後端部と前記第1のバッファタンクと第2のバッファタンクとの間に接続することを特徴とする。3上記1記載のPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置において、前記第5の電磁バルブを前記パルス管の前端部と前記第1のバッファタンクと第2のバッファタンクとの間に接続することを特徴とする。本発明によれば、次のような効果を奏することができる。1機器点数を減らして構成を簡素化すると共に、パルス管内のガスの圧力変化を滑らかにすることができる。2電子制御式電磁バルブとしたことにより、バルブを高速に動作させることができる。本発明のPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ制御装置は、直列接続される第1の圧縮機と第2の圧縮機と、これらの第1の圧縮機と第2の圧縮機にそれぞれ並列に接続される第1のバッファタンクと第2のバッファタンクと、前記第1の圧縮機と第2の圧縮機との間に直列に接続される第1の電磁バルブと第2の電磁バルブと、前記第1の圧縮機と第2の圧縮機との間に直列に接続される第3の電磁バルブと第4の電磁バルブと、前記第1の電磁バルブと第2の電磁バルブとの間と前記第3の電磁バルブと第4の電磁バルブとの間にブリッジ状に接続されるパルス管と、このパルス管と前記第1のバッファタンクと第2のバッファタンクとの間に接続される第5の電磁バルブと、前記電磁バルブをそれぞれ制御するスイッチング回路と、これらのスイッチング回路をそれぞれ制御するPWMパルス幅変調信号を出力し、そのPWM信号の分配を行う上位電子式コントローラとを具備する。以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は本発明の第1実施例を示すPWM制御3レベルパルス管冷凍機の模式図、図2はそのPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ動作及びそれによって生成されるパルス管内の圧力波形を示す図であり、図2aはPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ動作を、図2bはそれによって生成されるパルス管内の圧力波形を示している。図1において、1は第1の圧縮機、2は第2の圧縮機、3はパルス管、V1は第1の電磁バルブ、4は第1の電磁バルブV1を制御する第1のスイッチング回路、V2は第2の電磁バルブ、5は第2の電磁バルブV2を制御する第2のスイッチング回路、V3は第3の電磁バルブ、6は第3の電磁バルブV3を制御する第3のスイッチング回路、V4は第4の電磁バルブ、7は第4の電磁バルブV4を制御する第4のスイッチング回路、V5は第5の電磁バルブ、8は第5の電磁バルブV5を制御する第5のスイッチング回路であり、この第5の電磁バルブV5はパルス管3の後端と第1の圧縮機1と第2の圧縮機2との間に接続される。9はスイッチング回路4~8をそれぞれ制御するPWMパルス幅変調信号を出力し、そのPWM信号の分配を行う上位電子式コントローラ、11は第1のバッファタンク、12は第2のバッファタンクである。なお、PWM信号の生成は、例えば、単相電圧形電流制御方式PWMインバータ上記非特許文献3参照等がある。また、スイッチング回路4~8については、図5において説明する。この第1実施例に示すPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ動作は図2に示す通りである。なお、図2において、白色の部分はオフ、黒色の部分はオンを示している。1まず、第1の圧縮機1を駆動している場合、第1の電磁バルブV1を制御する第1のスイッチング回路4と第5の電磁バルブV5を制御する第5のスイッチング回路8をPWM制御により高速にオンオフすることにより、パルス管3内の圧力をP01/2P1にすることができる。2第1の圧縮機1と第2の圧縮機2を駆動している場合、第1の電磁バルブV1を制御する第1のスイッチング回路4と第4の電磁バルブV4を制御する第4のスイッチング回路7をPWM制御により高速にオンオフすることにより、パルス管3内の圧力をP0P1にすることができる。3第2の圧縮機2を駆動している場合、第2の電磁バルブV2を制御する第2のスイッチング回路5と第5の電磁バルブV5を制御する第5のスイッチング回路8をPWM制御により高速にオンオフすることにより、パルス管3内の圧力をP0-1/2P1にすることができる。4第1の圧縮機1と第2の圧縮機2を駆動している場合、第2の電磁バルブV2を制御する第2のスイッチング回路5と第3の電磁バルブV3を制御する第3のスイッチング回路6をPWM制御により高速にオンオフにすることにより、パルス管3内の圧力をP0-P1にすることができる。このように動作することにより、図3bに示すように、パルス管3内の圧力波形を生成させることができる。図3は本発明の第2実施例を示すPWM制御3レベルパルス管冷凍機の模式図、図4はそのPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ動作及びそれによって生成されるパルス管内の圧力波形を示す図であり、図4aはPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ動作を、図4bはそれによって生成されるパルス管内の圧力波形を示している。図3において、21は第1の圧縮機、22は第2の圧縮機、23はパルス管、V6は第1の電磁バルブ、24は第1の電磁バルブV6を制御する第1のスイッチング回路、V7は第2の電磁バルブ、25は第2の電磁バルブV7を制御する第2のスイッチング回路、V8は第3の電磁バルブ、26は第3の電磁バルブV8を制御する第3のスイッチング回路、V9は第4の電磁バルブ、27は第4の電磁バルブV9を制御する第4のスイッチング回路、V10は第5の電磁バルブ、28は第5の電磁バルブV10を制御する第5のスイッチング回路であり、この第5の電磁バルブV10はパルス管23の前端と第1の圧縮機21と第2の圧縮機22との間に接続される。29はスイッチング回路24~28をそれぞれ制御するPWMパルス幅変調信号を出力し、そのPWM信号の分配を行う上位電子式コントローラ、31は第1のバッファタンク、32は第2のバッファタンクである。この第2実施例を示すPWM制御3レベルパルス管冷凍機のバルブ動作は図4に示す通りである。なお、図4において、白色の部分はオフ、黒色の部分はオンを示している。1まず、第1の圧縮機21を駆動している場合、第4の電磁バルブV9を制御する第4のスイッチング回路27と第5の電磁バルブV10を制御する第5のスイッチング回路28をPWM制御により高速にオンオフにすることにより、パルス管23内の圧力をP01/2P1にすることができる。2第1の圧縮機21と第2の圧縮機22を駆動している場合、第1の電磁バルブV6を制御する第1のスイッチング回路24と第4の電磁バルブV9を制御する第4のスイッチング回路27をPWM制御により高速にオンオフにすることにより、パルス管23内の圧力をP0P1にすることができる。3第2の圧縮機22を駆動している場合、第3の電磁バルブV8を制御する第4のスイッチング回路26と第5の電磁バルブV10を制御する第5のスイッチング回路28をPWM制御により高速にオンオフにすると、パルス管23内の圧力をP0-1/2P1にすることができる。4第1の圧縮機21と第2の圧縮機22を駆動している場合、第2の電磁バルブV7を制御する第2のスイッチング回路25と第3の電磁バルブV8を制御する第3のスイッチング回路26をPWM制御により高速にオンオフにすると、パルス管23内の圧力をP0-P1にすることができる。このように動作することにより、図4bに示すように、パルス管23内の圧力波形を生成させることができる。このように、バルブの数は5個に減らすことができる。また、逆止弁は不要である。つまり、2レベルにバルブを1個増やしただけであり、本発明の場合は、従来の図9と図10と比較すると大幅に簡便な回路構成とすることができる。図5は本発明の実施例を示すバルブのスイッチング回路図である。図5において、41は電源、42は上位電子式コントローラ9,29によって制御されるSCRスイッチ、43は電磁バルブを制御するコイルである。このように構成することにより、電磁バルブを制御するためのコイル43が、上記1~4に示すような動作を行わせることができる。また、上位電子式コントローラ9,29との協働により、PWM制御を行わせ、パルス管内の出力波形を得ることができる。本発明においては、バルブを電子制御式電磁バルブとしたことにより、バルブを高速に動作させることができる。なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。"