"パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させてペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、上流側から第1方向に搬入された基板を1対のクランプ部材によって前記第1方向と直交する第2方向から挟み込んでクランプした状態で相対的に水平方向および上下方向に移動させることにより、前記基板を所定位置に位置決めする基板位置決め部と、ペーストが供給され前記基板が下面から当接した前記スクリーンマスク上でスキージを前記第2方向に摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、前記1対のクランプ部材の前記第1方向における両端部に前記第2方向に配設されてこれらのクランプ部材とともに矩形枠を形成し、前記基板をスクリーンマスクの下面に当接させた状態においてこのスクリーンマスクを下面側から支持するマスク支持部材とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させてペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、上流側から第1方向に搬入された基板を1対のクランプ部材によって前記第1方向と直交する第2方向から挟み込んでクランプした状態で相対的に水平方向および上下方向に移動させることにより所定位置に位置決めする基板位置決め工程と、ペーストが供給され前記基板が下面から当接した前記スクリーンマスク上でスキージを前記第2方向に摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷工程とを含み、前記印刷工程において、前記1対のクランプ部材の前記第1方向における両端部に前記第2方向に配設されてこれらのクランプ部材とともに矩形枠を形成するマスク支持部材によってこのスクリーンマスクを下面側から支持することを特徴とするスクリーン印刷方法。しかしながら上述の特許文献に示す先行技術においては、はみ出し防止用の堰き止め機構に起因して、以下のような不都合があった。すなわちペーストのはみ出しを有効にせき止めるためには、スクリーンマスクとの間でのペーストの漏れをシールできるだけの十分な押し付け力でスクリーンマスクに対して押圧する必要がある。ところが堰き止め部材が押し付けられた部分においてスクリーンマスクの下面はフリーであるため、堰き止め部材を十分な押し付け力で押圧するとスクリーンマスクに撓みが生じ、この撓みによってスクリーンマスクと基板との密着性が損なわれて、正常な印刷品質を阻害する結果となっていた。そしてこのようなスクリーンマスク上のペーストの堆積に起因する不具合を防止しようとすれば、堆積を極力少なくするためにスキージや堰き止め部材を分解して、手作業により付着したペーストを清掃除去する保守作業を余儀なくされており、手間と労力の低減が望まれていた。そこで本発明は、スクリーンマスク上のペーストの堆積を防止して、保守の手間と労力を減少させることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させてペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、上流側から第1方向に搬入された基板を1対のクランプ部材によって前記第1方向と直交する第2方向から挟み込んでクランプした状態で相対的に水平方向および上下方向に移動させることにより、前記基板を所定位置に位置決めする基板位置決め部と、ペーストが供給され前記基板が下面から当接した前記スクリーンマスク上でスキージを前記第2方向に摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、前記1対のクランプ部材の前記第1方向における両端部に前記第2方向に配設されてこれらのクランプ部材とともに矩形枠を形成し、前記基板をスクリーンマスクの下面に当接させた状態においてこのスクリーンマスクを下面側から支持するマスク支持部材とを備えた。本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させてペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、上流側から第1方向に搬入された基板を1対のクランプ部材によって前記第1方向と直交する第2方向から挟み込んでクランプした状態で相対的に水平方向および上下方向に移動させることにより所定位置に位置決めする基板位置決め工程と、ペーストが供給され前記基板が下面から当接した前記スクリーンマスク上でスキージを前記第2方向に摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷する印刷工程とを含み、前記印刷工程において、前記1対のクランプ部材の前記第1方向における両端部に前記第2方向に配設されてこれらのクランプ部材とともに矩形枠を形成するマスク支持部材によってこのスクリーンマスクを下面側から支持する。本発明によれば、基板を挟み込んでクランプする1対のクランプ部材の両端部に、これらのクランプ部材とともに矩形枠を形成するマスク支持部材を配設し、基板をスクリーンマスクの下面に当接させた状態においてこのマスク支持部材によってスクリーンマスクを下面側から支持することにより、スクリーンマスクの下方への撓みを防止することができ、撓みに起因して生じるスクリーンマスク上のペーストの堆積を防止して保守の手間と労力を減少させることができる。次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1、図2、図3を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図1において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部1の上方にスクリーン印刷部11を配設して構成されている。基板位置決め部1は、Y軸テーブル2、X軸テーブル3およびθ軸テーブル4を段積みし、更にその上に第1のZ軸テーブル5、第2のZ軸テーブル6を組み合わせて構成されている。第1のZ軸テーブル5の構成を説明する。θ軸テーブル4の上面に設けられた水平なベースプレート4aの上面側には、同様に水平なベースプレート5aが昇降ガイド機構図示省略によって昇降自在に保持されている。ベースプレート5aは、複数の送りねじ5cをモータ5bによってベルト5dを介して回転駆動する構成のZ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート5aには垂直フレーム5eが立設されており、垂直フレーム5eの上端部には基板搬送機構8が保持されている。基板搬送機構8は基板搬送方向X方向第1方向--図1において紙面垂直方向に平行に配設された2条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板10の両端部を支持して搬送する。第1のZ軸テーブル5を駆動することにより、基板搬送機構8によって保持された状態の基板10を、基板搬送機構8とともに後述するスクリーン印刷部11に対して昇降させることができる。図2、図3に示すように、基板搬送機構8は上流側図2、図3において左側および下流側に延出し、上流側から搬入された基板10は基板搬送機構8によって搬送され、さらに基板位置決め部1によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷部11によって印刷が行われた後の基板10は、基板搬送機構8によって下流側に搬出される。第2のZ軸テーブル6の構成を説明する。基板搬送機構8とベースプレート5aの中間には、水平なベースプレート6aが昇降ガイド機構図示省略に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート6aは、複数の送りねじ6cをモータ6bによってベルト6dを介して回転駆動する構成のZ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート6aの上面には、上面に基板10を保持する下受け面が設けられた基板下受部7が配設されている。第2のZ軸テーブル6を駆動することにより、基板下受部7は基板搬送機構8に保持された状態の基板10に対して昇降する。そして基板下受部7の下受け面が基板10の下面に当接することにより、基板下受部7は基板10を下面側から支持する。基板搬送機構8の上面にはクランプ機構9が配設されている。クランプ機構9は、左右対向して配置された2つのクランプ部材9aを備えており、一方側のクランプ部材9aを駆動機構17によって進退させることにより、基板10をY方向第2方向の両側からクランプして固定する図3参照。すなわち、基板位置決め部1は、上流側から第1方向に搬入された基板10を、1対のクランプ部材9aによって第1方向と直交する第2方向から挟み込んでクランプした状態で相対的に水平方向および上下方向に移動させることにより、基板10をスクリーン印刷部11による印刷動作のための所定位置に位置決めする。図3に示すように、1対のクランプ部材9aのX方向における両端部には、それぞれ細長板形状のマスク支持部材9bが、基板搬送機構8のフレーム部に保持されて配設されている。これらのマスク支持部材9bは1対のクランプ部材9aとともに基板10の周囲に矩形枠を形成し、クランプ部材9aと上面とマスク支持部材9bの上面とが同じ高さレベルとなるように設定されている。基板10をスクリーンマスク12の下面に当接させた状態において、マスク支持部材9bはクランプ部材9aとともにスクリーンマスク12を下面側から支持する。これにより、スキージングにおけるスクリーンマスク12の下方への撓みが抑制され、後述するように、スクリーンマスク12の撓みに起因するスクリーンマスク12上面へのクリーム半田19の堆積などの不具合を防止することが可能となっている。この目的のため、マスク支持部材9bのX方向の配設位置は、以下に説明するスクリーン印刷部11におけるスキージ16の幅範囲を包含する位置に設定される。またマスク支持部材9bのY方向の寸法は、対象となる最大幅サイズの基板10をクランプ部材9aがクランプした状態において前述の矩形枠が形成されるような寸法に設定される。次に基板位置決め部1の上方に配設されたスクリーン印刷部11について説明する。図1,図2において、マスク枠12aにはスクリーンマスク12が展張されており、スクリーンマスク12には、基板10において印刷対象となる電極10aの形状位置図3参照に対応して、パターン孔12bが設けられている。スクリーンマスク12上にはスキージユニット13が配設されている。スキージユニット13は、水平なプレート14にスキージ16を昇降させるスキージ昇降機構15を配設した構成となっている。スキージ昇降機構15を駆動することによりスキージ16は昇降して、ペーストであるクリーム半田19が供給されたスクリーンマスク12の上面に当接する。図2に示すように、スキージ16のX方向の両端部には、それぞれ堰き止め部材18が装着されている。堰き止め部材18は以下に説明するスキージング動作においてクリーム半田19がスキージ16の幅範囲から外側にはみ出さないようにクリーム半田19を堰き止める機能を有するものである。堰き止め部材18のY方向の位置は,下方に位置するマスク支持部材9bのY方向の位置と略一致して設けられている。図2に示すように、縦フレーム25上に配置されたブラケット26上にはガイドレール27がY方向に配設されており、ガイドレール27にスライド自在に嵌合したスライダ28は、プレート14の両端に結合されている。これにより、スキージユニット13はY方向にスライド自在となっている。プレート14は、ナット30、送りねじ29および送りねじ29を回転駆動するスキージ移動用モータ図示省略より成るスキージ移動手段によりY方向に水平移動し、これによりスキージ16をスクリーンマスク12に当接させた状態で水平移動させるスキージング動作が実行される。次に上述のスクリーン印刷装置においてスクリーン印刷部11によって実行されるスクリーン印刷方法について説明する。まず基板搬送機構8によって上流側からX方向に搬入された基板10を、1対のクランプ部材9aによってY方向から挟み込んでクランプする。そしてこの状態で基板位置決め部1を駆動して基板10をスクリーン印刷部11に対して相対的に水平方向および上下方向に移動させることにより、基板10をスクリーン印刷部11による所定の印刷作業位置に位置決めする基板位置決め工程。これにより、スキージユニット13によるスキージングにおいて、基板10の水平位置が固定される。そしてこの状態で、クリーム半田19が供給され基板10が下面から当接したスクリーンマスク12上でスキージ16をY方向第2方向に摺動させることにより、パターン孔12bを介して基板10にはクリーム半田19が印刷される印刷工程。次に、図4を参照して、上述の印刷工程における堰き止め部材18およびマスク支持部材9bの機能について説明する。図4aは、スキージユニット13においてスキージ昇降機構15を作動させてスキージ16を下降させ矢印a、スキージ16の下端部をスクリーンマスク12に当接させた状態を示している。このとき、スキージ16の両端に装着された堰き止め部材18はスクリーンマスク12を介してマスク支持部材9bの上面に位置する。スキージングにおいては、スキージ昇降機構15によってスキージ16を所定の印圧値でスクリーンマスク12に対して押圧しながら、スキージ16をY方向紙面垂直方向に往復移動させる。このスキージングにおいては、図4bに示すように、クリーム半田19はスキージ16が進行するスキージング方向のみならず、スキージ16の幅方向X方向へも徐々に移動する挙動を示す矢印b。このようにクリーム半田19の幅方向の移動が生じる場合にあっても、本実施の形態に示すようにクリーム半田19の流動は堰き止め部材18によって堰き止められ、スキージ16の幅以上に広がることが防止される。このときの堰き止め効果は、堰き止め部材18の下面18aがスクリーンマスク12の上面12cに対して押し付けられることによるシール力Fに依存する。本実施の形態においては堰き止め部材18の下方に位置するスクリーンマスク12は下面をマスク支持部材9bによって支持されているため、スキージ昇降機構15によって十分な押圧力をスキージ16に付与してもスクリーンマスク12の下方への撓みや基板10の変形を生じることがなく、必要十分なシール力Fを確保することが可能となっている。これにより、クリーム半田19は確実に堰き止め部材18によって堰き止められ、スクリーンマスク12において下面側を支持されてなく撓みを生じやすい領域まで広がることがない。したがって、スクリーンマスク12の撓みに起因するスクリーンマスク12の上面でのクリーム半田19の堆積に起因する不具合を防止することができる。なお上述実施例では、スキージ16の両端部に堰き止め部材18を装着した例を示したが、堰き止め部材18は必ずしも必須ではなく、図5に示すように、単にマスク支持部材9bを備えるのみでも、スクリーンマスク12の上面でのクリーム半田19の堆積に起因する不具合を減少させることができる。図5aは、図4aと同様に、スキージユニット13においてスキージ昇降機構15を作動させてスキージ16を下降させ矢印c、スキージ16の下端部をスクリーンマスク12に当接させた状態を示している。スキージングにおいては、スキージ昇降機構15によってスキージ16を所定の印圧値でスクリーンマスク12に対して押圧しながら、スキージ16をY方向紙面垂直方向に往復移動させる。このスキージングにおいてはスキージ16の印圧がスクリーンマスク12の上面に作用するが、本実施の形態においては、クランプ部材9aとともに矩形枠を形成する形状のマスク支持部材9bがスクリーンマスク12の下面を支持している。ここで、図5bに示すように、スクリーンマスク12の下面においてマスク支持部材9bと基板10との間には不支持領域Rが存在するが、スクリーンマスク12はマスク支持部材9bおよび基板10の上面に密着状態で支持されていることから、不支持領域Rにおいて生じる撓み量dはごくわずかである。したがって、スクリーンマスク12の撓みに起因するクリーム半田19の堆積を大幅に減少させることが可能となっている。上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法では、基板10を挟み込んでクランプする1対のクランプ部材9aの両端部に、これらのクランプ部材9aとともに矩形枠を形成するマスク支持部材9bを配設し、基板10をスクリーンマスク12の下面に当接させた状態においてこのマスク支持部材9bによってスクリーンマスク12を下面側から支持するようにしたものである。これにより、従来技術における不具合、例えばスキージにおける堰き止め部材の位置を基板サイズに応じてスライドさせる方式において必要とされていた保守作業、すなわち使用により乾燥して固着したペーストを清掃除去するための堰き止め部材の分解取り外しなど、煩瑣で手間と労力を要する作業を減少させることが可能となっている。"