"一般式1式中、Mはジルコニウム元素、ハフニウム元素又はチタニウム元素を示し、Xはハロゲン原子を示す。なお、4つのXは同一でも互いに異なっていても良い。で示される金属ハロゲン化物と一般式3式中、Rは炭素原子数2~6の直鎖又は分枝状のアルキル基を示す。で示される1-アルキルイソブチルアルコールとを、一般式4式中、R1、R2及びR3は、同一又は異なっていても良く、水素原子又は炭素原子数1~6の直鎖又は分岐状のアルキル基を示す。なお、R1、R2及びR3は、互いに結合して環を形成していても良い。で示されるアミン化合物の存在下、炭化水素溶媒中で反応させることを特徴とする、一般式1式中、M及びRは前記と同義である。で示される金属テトラ1-アルキルイソブチルアルコキシドの製造方法。アミン化合物が、n-プロピルアミン、イソプロピルアミン、n-ブチルアミン、sec-ブチルアミン、t-ブチルアミンである請求項1記載の金属テトラ1-アルキルイソブチルアルコキシドの製造方法。炭化水素溶媒が、メチルシクロヘキサン又はトルエンである請求項1又は2に記載の金属テトラ1-アルキルイソブチルアルコキシドの製造方法。前記の製造方法のうち、金属アルコキシド化合物や金属アミド化合物を原料とした製造方法では、これらの化合物を一旦金属ハロゲン化物から製造する必要があり、工業生産する上では二段階の反応となり非効率的であるという問題を有していた。又、特殊な骨格を有する1-アルキルイソブチルアルコールを配位子として有する金属テトラ1-アルキルイソブチルアルコキシドを効率的に製造する方法の提案が望まれていた。本発明の課題は、即ち、金属ハロゲン化物を出発原料として、特殊な骨格を有する1-アルキルイソブチルアルコールを配位子として有する金属テトラ1-アルキルイソブチルアルコキシドを効率的に製造する方法を提供することを課題とする。本発明の課題は、一般式1式中、Mはジルコニウム、ハフニウム又はチタニウムを示し、Xはハロゲン原子を示す。なお、4つのXは同一でも互いに異なっていても良い。で示される金属ハロゲン化物と一般式3式中、Rは炭素原子数2~6の直鎖又は分枝状のアルキル基を示す。で示される1-アルキルイソブチルアルコールとを、一般式4式中、R1、R2及びR3は、同一又は異なっていても良く、水素原子又は炭素原子数1~6の直鎖又は分岐状のアルキル基を示す。なお、R1、R2及びR3は、互いに結合して環を形成していても良い。で示されるアミン化合物の存在下、炭化水素溶媒中で反応させることを特徴とする、一般式1式中、M及びRは前記と同義である。で示される金属テトラ1-アルキルイソブチルアルコキシドの製造方法によって解決される。本発明により、金属含有薄膜を形成させる際に有用な金属テトラ1-アルキルイソブチルアルコキシドの効率的な製造方法を提供することが出来る。本発明の反応で使用する金属ハロゲン化物は、前記の一般式2で示される。その一般式2において、Mはジルコニウム元素、ハフニウム元素又はチタニウム元素を示す。又、Xはフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子を示し、4つのXは同一でも互いに異なっていても良い。なお、金属ハロゲン化物は、同一の金属を有するものであれば、単独又は二種以上を混合して使用しても良い。本発明の反応で使用する1-アルキルイソブチルアルコールは、前記の一般式3で示される。その一般式3において、Rは炭素原子数2~6の直鎖又は分枝状のアルキル基を示すが、例えば、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基であり、好ましくはエチル基、n-プロピル基、イソプロピル基である。前記1-アルキルイソブチルアルコールの使用量は、金属ハロゲン化物1モルに対して、好ましくは3.0~8.0モル、更に好ましくは3.5~6.0モルモルである。本発明で使用するアミン化合物は、前記の一般式4で示される。その一般式4において、R1、R2及びR3は、同一又は異なっていても良く、水素原子又は炭素原子数1~6の直鎖又は分岐状のアルキル基を示すが、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基である。なお、R1、R2及びR3は、互いに結合して環を形成していても良い。使用されるアミン化合物の具体例としては、アンモニア;メチルアミン、エチルアミン、n-プロピルアミン、イソプロピルアミン、n-ブチルアミン、イソブチルアミン、s-ブチルアミン、t-ブチルアミン、ジメチルアミン、エチルメチルアミン、イソプロピルメチルアミン、n-プロピルメチルアミン、ジエチルアミン、エチルイソプロピルアミン、エチルn-プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジn-プロピルアミン、イソプロピルn-プロピルアミン、ジn-ブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、ピロリジン、ピペリジン、1-メチルピロリジンが挙げられるが、好ましくはn-プロピルアミン、イソプロピルアミン、n-ブチルアミン、s-ブチルアミン、t-ブチルアミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、エチルメチルアミンが使用される。なお、これらのアミン化合物は、単独又は二種以上を混合して使用しても良い。前記アミン化合物の使用量は、金属ハロゲン化物1モルに対して、好ましくは3.5~20.0モル、更に好ましくは4.0~15.0モルである。本発明の反応において使用される炭化水素溶媒は、ハロゲンで置換されている炭化水素類をも含み、反応を阻害しないものならば特に限定されないが、n-ペンタン、n-ヘキサン、n-ヘプタン、n-オクタン、イソオクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン等脂肪族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;クロロシクロヘキサン等のハロゲン化脂肪族炭化水素類;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素類が挙げられるが、好ましくはn-ヘキサン、n-ヘプタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、トルエン、キシレンが使用される。なお、これらの炭化水素溶媒は、単独又は二種以上を混合して使用しても良い。本発明の反応は、例えば、金属ハロゲン化物、1-アルキルイソブチルアルコール、アミン化合物及び炭化水素溶媒を混合して、攪拌しながら反応させる等の方法によって行われる。その際の反応温度は、使用される炭化水素溶媒とアミン化合物の組み合わせによって異なるが、好ましくは-70~100°C、更に好ましくは-50~80°Cであり、反応圧力は特に制限されない。本発明の反応によって得られた金属テトラ1-アルキルイソブチルアルコキシドは、反応終了後、中和、抽出、濾過、濃縮、蒸留、昇華、再結晶、カラムクロマトグラフィー等による一般的な方法によって単離精製される。次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。実施例1R=イソプロピル基;テトラキス2,4-ジメチル-3-ペントキシジルコニウムの合成攪拌装置及び温度計を備えた内容積100mlのフラスコに、アルゴン雰囲気にて、四塩化ジルコニウム4.02g17.25mmol及びメチルシクロヘキサン50mlを混合した後、水冷下でイソプロピルアミン12ml140.08mmolを加えた。次いで、反応混合液に2,4-ジメチル-3-ペンタノール12ml85.61mmolを加えた後、攪拌しながら22~32°Cで1時間反応させた。反応終了後、反応液を濾過した後に濾液を濃縮した。得られた濃縮物を減圧蒸留160°C、13Paし、低粘性の透明液体として、テトラキス2,4-ジメチル-3-ペントキシジルコニウム7.71gを得た単離収率;81.0。実施例2~8及び比較例1~3R=イソプロピル基;テトラキス2,4-ジメチル-3-ペントキシジルコニウムの合成実施例1において、各種反応条件を変えたこと以外は、実施例1と同様に反応を行った。その結果を表1に示す。"