固体高分子膜型燃料電池の固体高分子電解質膜に接する位置に酸化剤極触媒層を形成するために、多孔質基板の上に電解質と触媒の粉末との混合物を乾式塗布する燃料電池電極製造装置において、前記電解質と触媒の粉末とが第1の混合比で混合された第1の混合物を供給する第1の混合物供給部と、前記第1の混合物供給部から供給される前記第1の混合物を上部で受け入れる第1の混合物受け入れ部と、前記第1の混合物が下向きに排出される第1の混合物出口部とを備えた第1の塗布チャンバーと、前記電解質と触媒の粉末とが前記第1の混合比と異なる第2の混合比で混合された第2の混合物を供給する第2の混合物供給部と、前記第2の混合物供給部から供給される前記第2の混合物を上部で受け入れる第2の混合物受け入れ部と、前記第2の混合物が下向きに排出される第2の混合物出口部とを備えた第2の塗布チャンバーと、前記多孔質基板を載置可能な吸引部が形成され、前記第1の塗布チャンバーおよび第2の塗布チャンバーに対して相対的に移動可能な塗布テーブルであって、該塗布テーブルが前記第1の塗布チャンバーの下方位置にあるときに前記第1の混合物出口部の下方で該第1の混合物出口部に対向する位置に前記吸引部が配置され、該塗布テーブルが前記第2の塗布チャンバーの下方位置にあるときに前記第2の混合物出口部の下方で該第2の混合物出口部に対向する位置に前記吸引部が配置されるように構成された塗布テーブルと、前記吸引部から下向きに吸引された空気を排出するブロワーと、を有すること、を特徴とする燃料電池電極製造装置。前記塗布テーブルが前記第1の塗布チャンバーの下方にあるときに前記第1の混合物出口部と前記吸引部の間にある前記多孔質基板の第1の塗布領域と、前記塗布テーブルが前記第2の塗布チャンバーの下方にあるときに前記第2の混合物出口部と前記吸引部の間にある前記多孔質基板の第2の塗布領域とが異なること、を特徴とする請求項1記載の燃料電池電極製造装置。前記第1の混合物出口部の位置を調整するための第1のマスキングと、前記第2の混合物出口部の位置を調整するための第2のマスキングとを有すること、を特徴とする請求項1または請求項2に記載の燃料電池電極製造装置。前記吸引部の位置を調整するための吸引調整板を有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の燃料電池電極製造装置。前記第1および第2の塗布チャンバーを用いて前記多孔質基板の第1および第2の塗布領域に前記第1および第2の混合物が塗布された前記多孔質基板に前記第1および第2の混合物を圧着させる圧着ローラーをさらに有することを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか一項に記載の燃料電池電極製造装置。固体高分子膜型燃料電池の固体高分子電解質膜に接する位置に酸化剤極触媒層を形成するために、多孔質基板の上に電解質と触媒の粉末との混合物を乾式塗布する燃料電池電極製造方法において、塗布テーブルに設けられた吸引部の上に多孔質基板を載置して、その多孔質基板に対向する位置に第1の塗布チャンバーに設けられた第1の混合物出口部が配置されるように設定する第1塗布チャンバー設定ステップと、前記電解質と触媒の粉末とを第1の混合比で混合して第1の混合物を生成する第1混合ステップと、前記第1の混合物を第1の塗布チャンバー内に供給して、前記多孔質基板を通して前記吸引部から下方に空気を吸引することによって前記第1の混合物を前記多孔質基板の第1の塗布領域に塗布する第1塗布ステップと、前記第1塗布ステップの後に、前記多孔質基板を載置した状態の前記塗布テーブルを、前記第1および第2の塗布チャンバーに対して相対的に移動させて、前記多孔質基板に対向する位置に第2の塗布チャンバーに設けられた第2の混合物出口部が配置されるように設定する第2塗布チャンバー設定ステップと、前記電解質と触媒の粉末とを前記第1の混合比とは異なる第2の混合比で混合して第2の混合物を生成する第2混合ステップと、前記第2塗布チャンバー設定ステップの後に前記第2の混合物を第2の塗布チャンバー内に供給して、前記多孔質基板を通して前記吸引部から下方に空気を吸引することによって前記第2の混合物を前記多孔質基板の第2の塗布領域に塗布する第2塗布ステップと、を有することを特徴とする燃料電池電極製造方法。前記第1の塗布領域は前記酸化剤極触媒層のうちの酸化剤極ガス供給下流側に対応し、前記第2の塗布領域は前記酸化剤極触媒層のうちの酸化剤極ガス供給上流側に対応しており、前記第1の混合比は前記第2の混合比に比べて電解質の比率が低いこと、を特徴とする請求項6に記載の燃料電池電極製造方法。前記第2塗布ステップの後に、前記第1の塗布領域に塗布された前記第1の混合物と第2の塗布領域に塗布された前記第2の混合物とを前記多孔質基板に圧着させる圧着ステップをさらに有すること、を特徴とする請求項6または請求項7に記載の燃料電池電極製造方法。上述の方法は優れた属性を持つ反面、それでも幾つかの課題を抱えている。インクにより塗布を繰り返す場合、乾燥工程が必要となる。またインクジェット塗布に向いた溶液の粘度調整が必要である。本発明が解決しようとする課題は、面内に分布を有する燃料電池電極を容易に製造できる燃料電池電極製造装置および燃料電池電極製造方法を提供することである。上記課題を解決するために、実施形態の燃料電池電極製造装置は、固体高分子膜型燃料電池の固体高分子電解質膜に接する位置に酸化剤極触媒層を形成するために、多孔質基板の上に電解質と触媒の粉末との混合物を乾式塗布する燃料電池電極製造装置において、前記電解質と触媒の粉末とが第1の混合比で混合された第1の混合物を供給する第1の混合物供給部と、前記第1の混合物供給部から供給される前記第1の混合物を上部で受け入れる第1の混合物受け入れ部と、前記第1の混合物が下向きに排出される第1の混合物出口部とを備えた第1の塗布チャンバーと、前記電解質と触媒の粉末とが前記第1の混合比と異なる第2の混合比で混合された第2の混合物を供給する第2の混合物供給部と、前記第2の混合物供給部から供給される前記第2の混合物を上部で受け入れる第2の混合物受け入れ部と、前記第2の混合物が下向きに排出される第2の混合物出口部とを備えた第2の塗布チャンバーと、前記多孔質基板を載置可能な吸引部が形成され、前記第1の塗布チャンバーおよび第2の塗布チャンバーに対して相対的に移動可能な塗布テーブルであって、該塗布テーブルが前記第1の塗布チャンバーの下方位置にあるときに前記第1の混合物出口部の下方で該第1の混合物出口部に対向する位置に前記吸引部が配置され、該塗布テーブルが前記第2の塗布チャンバーの下方位置にあるときに前記第2の混合物出口部の下方で該第2の混合物出口部に対向する位置に前記吸引部が配置されるように構成された塗布テーブルと、前記吸引部から下向きに吸引された空気を排出するブロワーと、を有すること、を特徴とする。また、実施形態の燃料電池電極製造方法は、固体高分子膜型燃料電池の固体高分子電解質膜に接する位置に酸化剤極触媒層を形成するために、多孔質基板の上に電解質と触媒の粉末との混合物を乾式塗布する燃料電池電極製造方法において、塗布テーブルに設けられた吸引部の上に多孔質基板を載置して、その多孔質基板に対向する位置に第1の塗布チャンバーに設けられた第1の混合物出口部が配置されるように設定する第1塗布チャンバー設定ステップと、前記電解質と触媒の粉末とを第1の混合比で混合して第1の混合物を生成する第1混合ステップと、前記第1の混合物を第1の塗布チャンバー内に供給して、前記多孔質基板を通して前記吸引部から下方に空気を吸引することによって前記第1の混合物を前記多孔質基板の第1の塗布領域に塗布する第1塗布ステップと、前記第1塗布ステップの後に、前記多孔質基板を載置した状態の前記塗布テーブルを、前記第1および第2の塗布チャンバーに対して相対的に移動させて、前記多孔質基板に対向する位置に第2の塗布チャンバーに設けられた第2の混合物出口部が配置されるように設定する第2塗布チャンバー設定ステップと、前記電解質と触媒の粉末とを前記第1の混合比とは異なる第2の混合比で混合して第2の混合物を生成する第2混合ステップと、前記第2塗布チャンバー設定ステップの後に前記第2の混合物を第2の塗布チャンバー内に供給して、前記多孔質基板を通して前記吸引部から下方に空気を吸引することによって前記第2の混合物を前記多孔質基板の第2の塗布領域に塗布する第2塗布ステップと、を有することを特徴とする。本発明の実施形態によれば、面内に分布を有する燃料電池電極を容易に製造することができる。図7は、燃料電池電極製造装置によって製造される電極を用いた単位電池の一実施形態を示す模式的立断面図である。燃料電池は複数の単位電池10を積層してなる。各単位電池10は固体高分子電解質膜11を有する。固体高分子電解質膜11の一方の面には燃料極触媒層12が接し、他方の面には酸化剤極触媒層14が接して配置されている。燃料極触媒層12の固体高分子電解質膜11の反対側には燃料極ガス拡散層13が配置され、酸化剤極触媒層14の固体高分子電解質膜11の反対側には酸化剤極ガス拡散層15が配置されている。燃料極ガス拡散層13および酸化剤極ガス拡散層15の外側には図示しないセパレータが配置され、セパレータに形成された溝を、燃料ガスおよび酸化剤ガスが流通するように構成されている。酸化剤極触媒層14は、酸化剤極ガス供給下流側酸化剤極触媒層14aと酸化剤極ガス供給上流側酸化剤極触媒層14bの二つの領域に分かれている。酸化剤極ガス拡散層15は、多孔質基板からなり、酸化剤極触媒層14は、電解質と触媒粉末とを混合した混合物を多孔質基板の表面に塗布して圧着することにより形成される。この混合物における触媒粉末と電解質との重量比は、たとえば、酸化剤極ガス供給下流側酸化剤極触媒層14aでは1:0.4であり、酸化剤極ガス供給上流側酸化剤極触媒層14bでは1:0.66である。酸化剤極ガス供給下流側酸化剤極触媒層14aの方が酸化剤極ガス供給上流側酸化剤極触媒層14bに比べて電解質の比率が低い。このような構成をとることにより、燃料電池運転時に酸化剤極で生成される水が特に酸化剤極供給下流側で酸化剤極触媒層で多くなりすぎてガス拡散性が低下する現象を抑制することができる。つぎに、上記構成の燃料電池の酸化剤極を製造するための装置および方法の実施形態について説明する。図1は、燃料電池電極製造装置の一実施形態の全体を示す模式的構成図であって、第1の塗布チャンバーによる第1の塗布工程における状況を示す図である。図2は、図1の燃料電池電極製造装置の全体を示す模式的構成図であって、第2の塗布チャンバーによる第2の塗布工程における状況を示す図である。図3は、図1の燃料電池電極製造装置の圧着工程における圧着ローラー付近の状況を示す模式的構成図である。図4は、図1の燃料電池電極製造装置のマスキングの平面図であって、図4aは第1のマスキングの平面図であり、図4bは第2のマスキングの平面図である。図5は、図1の燃料電池電極製造装置の塗布テーブルの平面図であって、図5aは第1の塗布工程における塗布テーブルの状況を示す平面図であり、図5bは第2の塗布工程における塗布テーブルの状況を示す平面図である。図6は、燃料電池電極製造方法の一実施形態を示すフロー図である。この燃料電池電極製造装置は、四角錐状または円錐状の第1の塗布チャンバー20および第2の塗布チャンバー21を有し、第1の塗布チャンバー20および第2の塗布チャンバー21は、同じ高さ位置で互いに水平方向に並んで配置されている。第1の塗布チャンバー20および第2の塗布チャンバー21のそれぞれの頂部には、それぞれに、第1の混合物受け入れ部70および第2の混合物受け入れ部71が形成され、それぞれが、ガスを供給する第1のガス供給部22および第2のガス供給部23が接続されている。第1のガス供給部22および第2のガス供給部23には、それぞれのガス流量を調整する第1のガス調整部24および第2のガス調整部25と、それぞれの塗布チャンバーに混合物を供給する第1の混合物供給部26および第2の混合物供給部27とが設けられている。第1の塗布チャンバー20および第2の塗布チャンバー21のそれぞれの下部には第1の混合物出口部28および第2の混合物出口部29が形成され、第1の混合物出口部28および第2の混合物出口部29にはそれぞれ、第1のマスキング30および第2のマスキング31が取り付けられている。第1のマスキング30および第2のマスキング31には、互いに異なる位置に第1のマスキング開口32、第2のマスキング開口33が形成されている。塗布テーブル36は、その上面に、多数の貫通孔43が形成された吸引部37が設けられ、吸引部37の上に、酸化剤極ガス拡散層15を形成する多孔質基板16を載置した状態で水平方向に移動可能である。塗布テーブル36の吸引部37の下方には吸引室38が形成され、吸引室38の底部には排気配管39が接続され、排気配管39には排気ブロワー40が接続され、排気ブロワー40の下流側には圧力調整弁41が配置されている。吸引部37には、吸引部37に対して相対的に水平方向に移動可能な吸引部調整板42が配置されている。吸引部調整板42は吸引のガス流れを部分的に阻止する平板である。この燃料電池電極製造装置はさらに、第1の塗布チャンバー20および第2の塗布チャンバー21で塗布された混合物を多孔質基板16に圧着させるための圧着ローラー50を有している。つぎに、燃料電池電極製造方法の手順について説明する。はじめに、塗布テーブル36の吸引部37の上に多孔質基板16を載置し、塗布テーブル36を移動してステップS1、図1に示すように塗布テーブル36が第1の塗布チャンバー20の下方にあるようにする。この状態では、図1および図4aに示すように、第1のマスキング30の第1のマスキング開口32が図の左方にあり、第1のマスキング開口32の下方に多孔質基板16の第1の塗布領域16aが位置している。そのとき、吸引部調整板42は、図1および図5aに示すように、図の右方にあり、第1のマスキング開口32の下方から外れた位置にある。つぎに、第1の塗布チャンバー20による第1の塗布を行なうステップS2。このとき、第1のガス供給部22からガスを供給するとともに、第1の混合物供給部26から第1の混合物を供給する。第1の混合物は、供給されたガスとともに第1の混合物受け入れ部70から第1の塗布チャンバー20に流入し、第1のマスキング開口32を通り、多孔質基板16の第1の塗布領域16aに届けられる。供給されたガスは、第1の塗布領域16aを透過し、塗布テーブル36の吸引部37から吸引室38に吸引され、排気配管39を経て排気ブロワー40および圧力調整弁41を経て外部に排出される。このとき第1の塗布領域16aに第1の混合物60が塗布される。つぎに、塗布テーブル36の吸引部37の上に多孔質基板16を載置したままで、塗布テーブル36を移動してステップS3、図2に示すように塗布テーブル36が第2の塗布チャンバー21の下方にあるようにする。この状態では、図2および図4bに示すように、第2のマスキング31の第2のマスキング開口33が図の右方にあり、第2のマスキング開口33の下方に多孔質基板16の第2の塗布領域16bが位置している。吸引部調整板42は、図2および図5bに示すように、図の左方にあり、第2のマスキング開口33の下方から外れた位置にあるように移動させる。つぎに、第2の塗布チャンバー21による第2の塗布を行なうステップS4。このとき、第2のガス供給部23からガスを供給するとともに、第2の混合物供給部27から第2の混合物を供給する。第2の混合物は、供給されたガスとともに第2の混合物受け入れ部71から第2の塗布チャンバー21に流入し、第2のマスキング開口33を通り、多孔質基板16の第2の塗布領域16bに届けられる。供給されたガスは、第2の塗布領域16bを透過し、塗布テーブル36の吸引部37から吸引室38に吸引され、排気配管39を経て排気ブロワー40および圧力調整弁41を経て外部に排出される。このとき第2の塗布領域16bに第2の混合物61が塗布される。つぎに、第1の塗布工程S2および第2の塗布工程S4で多孔質基板16に塗布された混合物を、図3に示すように、圧着ローラー50を用いて多孔質基板16に圧着させるステップS5。このようにして、多孔質基板16の領域ごとに異なる混合物を塗布することができる。以下に、上記実施形態の燃料電池電極製造装置を用いて実際に燃料電池電極の製造を行なった具体的実施例について述べる。燃料極ガス拡散層13、酸化剤ガス拡散層15には厚み180μmのカーボンペーパー東レ社製を用いた。燃料極ガス拡散層13、酸化剤極ガス拡散層15の上部にアセチレンブラックDENKA工業社製とポリテトラフルオロエチレンDuPont社製からなる中間層を設けた。テトラフルオロエチレンの中間層における重量比は20とした。つぎに中間層を設けた燃料極ガス拡散層13の中間層の上に燃料極触媒層12を形成した。燃料極触媒層12の触媒粉末にはPt-Ru合金触媒TEC61E54、田中貴金属工業社製を用いた。まずPt-Ru合金触媒1g当たりに対してイオン交換水を5gを添加し攪拌したのちに、20wt電解質溶液であるNafion溶液DuPont社製を2.5g加え、超音波分散を30分行ない、燃料極触媒層形成用インクを得た。このインクを燃料極ガス拡散層13の中間層上にバーコーターにてPt-Ru量が0.5mg/cm2となるように塗布し、温度80°Cで30分乾燥し燃料極を得た。酸化剤極触媒層14の触媒粉末にはPt触媒TEC10E50E、田中貴金属工業社製を用いた。まずPt触媒1g当たりに対して10gのイオン交換水を添加し攪拌したのちに、20wt電解質溶液であるNafion溶液DuPont社製を2g加え、超音波分散を30分間行ない、バット上に広げ室温に減圧乾燥した。乾燥したインクを回収し粉砕して触媒粉末と電解質の重量比が1:0.4である第1の混合物を得た。同様の工程で触媒粉末と電解質の重量比が1:0.66である第2の混合物を得た。酸化剤極の詳細な製造方法を以下に示す。中間層を設けた酸化剤極ガス拡散層15を塗布テーブル36に設置し、塗布テーブル36を第1の塗布チャンバー20の下方に移動して、第1の混合物を用いてPt量が0.5mgPt/cm2となるように第1の塗布領域16aを乾式塗布した。この際、第1の塗布チャンバー20の第1のマスキング開口32と合わせて塗布テーブル36の吸引部37の開口部を調整した。第1の塗布チャンバー20での触媒塗布終了後、塗布テーブル36を第2の塗布チャンバー21の下に移動して、第2の混合物を用いてPt量が0.5mgPt/cm2となるように触媒層の第2の塗布領域16bを乾式塗布し、第1の酸化剤極を得た。この際、塗布テーブル36の吸引部37の開口部は第2の塗布チャンバー21の第2のマスキング開口33に合わせて調整した。このように作成した第1の酸化剤極では、第1の塗布領域16aと第2の塗布領域16bの境界はマスキングの型からのにじみがなく、また塗布面の断面も厚みのギャップもなく製作できた。また、比較例として、塗布テーブル36の吸引部37の開口部を調整しないで、同様に第1の塗布領域16a、第2の塗布領域を有する第2の酸化剤極を製作した。第2の酸化剤極では第1の塗布領域16aを塗布した時点で触媒層がマスキングに対して1mm程度にじみ出し、また第1の塗布領域16aと第2の塗布領域16bの界面で触媒層厚みが1.5倍程度厚くなった。マスキングのみで吸引部37の開口部を調整しないと触媒層に厚い場所が生じ、電解質膜の変形の起因となる恐れがある。また、比較例として、第2の混合物のみで全面塗布した第3の酸化剤極を製作した。上記作成した燃料極と第1および第3の酸化剤極とで固体高分子電解質膜を挟持し、熱圧着にて第1および第2の燃料電池を得た。固体高分子電解質膜には、厚さ25マイクロメーターのNafion膜NR111を用いた。また熱圧着はホットプレスを用いて温度135°C、圧力20kgf/cm2、時間2分間で行ない製作した。製作した第1および第2の燃料電池を用いて、酸化剤ガス供給用セパレータ、燃料ガス供給用セパレータに組み込んで発電試験を行なった。なお、第1の燃料電池は、図7に示すように、酸化剤極の触媒粉末と電解質の重量比が1:0.4となる第1の塗布領域16aが酸化剤反応ガス供給下流側に配置されるようにガス供給用セパレータと組み合わせた。発電試験電池温度70°C、加湿は燃料極、酸化剤極ともに相対湿度100で連続運転を行なった。図9に、電流密度0.4A/cm2における運転開始時と1000時間後の電圧を示す。酸化剤極の触媒粉末と電解質の重量比が1:0.66である触媒塗布粉末を全面塗布した第2の燃料電池は運転開始時の電圧は高いが、連続運転時の電圧低下量が大きく、1000時間後の電圧が最も低い結果となった。第1の燃料電池は、運転開始時電圧、1000時間後電圧が良好である結果が得られた。第2の燃料電池では、触媒粉末に対する電解質比が高く、運転開始時では、良好な特性が得られるが、連続運転にしたがってガス供給下流部でのガス拡散不良を生じたものと考えられる。第1の燃料電池では上流に水分保持力の高い酸化剤極触媒層を有しており、運転開始時の特性が良好であるとともに、連続運転を行なっても、ガス拡散不良を生じるガス供給下流部での電解質の比率が比較的低いためにガス拡散不良が起こらず、安定した電圧が得られたと思われる。以上説明したように、複数の塗布チャンバーとマスキング開口のみ吸引させることにより、複数の領域を有する触媒層を界面のギャップのない良好な触媒層を得ることができる。このように製作した触媒層に複数の領域を有する酸化剤極を用いることによって酸化剤極下流でのガス拡散不良を抑制でき、安定した特性を得ることができる。上記実施形態では、2個の塗布チャンバーを用いて二つの塗布領域に別々に塗布するものとしたが、3個以上の塗布チャンバーを用いて三つ以上の塗布領域に別々に塗布してもよい。また、上記実施形態では、第1の塗布チャンバー20と第2の塗布チャンバー21は移動せず、塗布テーブル36が第1の塗布チャンバー20と第2の塗布チャンバー21の間を移動するものとした。これとは逆に、塗布テーブル36は移動せず、第1の塗布チャンバー20と第2の塗布チャンバー21が交互に塗布テーブル36の上方に位置するように移動する構成とすることもできる。以上、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。