透光性セラミックからなる発光管の両端部に金属ロウ材を用いて金属キャップが溶着され、該発光管内に希ガス及びフッ素が封入され、該発光管の外面には一対の外部電極が配設されてなるエキシマランプにおいて、前記金属キャップおよび前記金属ロウ材の表面に酸化物層が形成されとともに、該酸化物層の表面にフッ化物層が形成されてなることを特徴とするエキシマランプ。前記金属キャップがニッケルからなり、前記金属ロウ材が金-ニッケル合金であることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、透光性セラミックからなる発光管の両端部に金属ロウ材を用いて金属キャップが溶着され、該発光管内に希ガス及びフッ素が封入され、該発光管の外面には一対の外部電極が配設されてなるエキシマランプにおいて、発光管内に封入したフッ素が吸着されて減少することを防止して、長時間にわたって安定した照度が保てるようにした構造を提供せんとするものである。上記課題を解決するために、この発明に係るエキシマランプは、前記金属キャップおよび前記金属ロウ材の表面に酸化物層が形成されとともに、該酸化物層の表面にフッ化物層が形成されてなることを特徴とする。また、前記金属キャップがニッケルからなり、前記金属ロウ材が金―ニッケル合金であることを特徴とする。本発明によれば、金属キャップおよび金属ロウ材の表面に酸化物層を形成し、その表面にフッ化層を形成するようにしたので、特に、ロウ材の表面にフッ化物層を密に被覆することができて、ロウ材が発光管内のフッ素と反応することがなく、その吸着がないので、長時間にわたって安定した照度を得ることができるものである。図1は、本発明の部分拡大図であり、従来技術を示す図5のA部の更にB部部分拡大図を示す、図7に相当する図であり、金属キャップ4上の金属ロウ材5の表面にロウ材酸化物層11が形成され、更に、その表面にロウ材フッ化物層10が形成されているものである。具体的な一例として、金属キャップ4はニッケルNiで構成され、金属ロウ材5は、金ニッケル合金Au-Ni合金で構成される。図2は、上記金属キャップ4における積層構造とその形成プロセスを、本発明と従来技術との対比で示す説明図である。初めに、従来技術においては、金属キャップNi4上のロウ材Au-Ni5の表面上に、表面フッ化処理によってロウ材フッ化物層AuF3-NiF210が形成される。これに対して、本発明では、金属キャップNi4上のロウ材Au-Ni5の表面上に、表面酸化処理によってロウ材酸化物層Au-NiO11を形成し、その上に表面フッ化処理によってロウ材フッ化物層AuF3-NiF210が形成されている。図3にランプの作成工程が示されている。<ロウ材の表面酸化処理A>発光管11内に大気が封入されている状態で、排気管6を封じる。この発光管2を電気炉に入れ、大気中で50分間、温度580°Cで加熱する。発光管内の酸素とロウ材とが反応してロウ材が酸化し、ロウ材の表面に金属酸化物具体的には酸化ニッケルNiO層が形成される。<大気酸素排気B>次いで、排気管6を開放して発光管内を排気する。<フッ化処理C>排気管6を排気設備に接続して発光管内を真空にした後、5のフッ素F2と、95のヘリウムHe混合ガスを30kPa封入し、排気管2を封止する。これを再び電気炉に入れて、大気中で50分間、温度580°Cで加熱する。この時、発光管内の金属酸化物層の表面に、金属フッ化物層が形成される。<ガス排気D>排気管6を開放して発光管2内のガスを排気する。<発光ガス封入E>排気管6を排気設備に接続して発光管2内を真空にした後、発光ガスとして希ガスおよびフッ素を封入し、排気管を封止する。図4に本発明の効果を実証するための実験を行った結果を示す。本発明は、フッ化処理の前に酸化処理を施したものであり、従来例は酸化処理を施さずに、単にフッ化処理したものである。点灯寿命は、ArFエキシマランプを連続点灯し、一定時間経過ごとに波長193nmの照度を測定することによる照度維持率の変化にて評価した。照度維持率は、点灯開始時の照度を1として百分率にて表した数値である。酸化物層なし従来例では、65時間経過した時点で照度維持率が60と著しく低下し、90時間経過時には26まで落ち込んだ。これに対して、酸化物層あり本発明では、65時間経過した時点でも照度維持率は、87と高く、90時間経過時でも81と維持率が高かった。そのまま試験を続行し、250時間経過しても30と、酸化物層なしのランプよりも照度が高かった。以上の実験結果より、詳細は必ずしも明らかではないが、以下のように現象と思われる。従来例にかかるランプで照度が著しく低下したことから、ロウ材の表面に酸化物層を形成せずに直接フッ化物層を形成すると、フッ化物層が表面全面に均一に形成できず、島状の空孔が発生した状態でランプが製造されたものと考えられる。これは、先に記述したように、その表面の走査電子顕微鏡SEMによる観察の結果と一致する。これにより、点灯によってその空孔部分で露出したロウ材と内部に封入したフッ素ガスとが反応して、フッ素が減少することにより、発光量が減少し、照度低下につながったものと考えられる。一方、本発明では、ロウ材の表面を酸化物層が覆うことにより、フッ化物層が酸化物層を下地として均一にその表面に形成されることにより、島状の空孔を生じなかったと考えられる。これにより、点灯時にもロウ材とフッ素が反応しにくく、フッ素の量が減少しなかったので、照度低下が抑制されたである。以上のように、本発明のエキシマランプでは、発光管端部を封止する金属キャップおよび金属ロウ材の表面に酸化物層を形成するとともに、該酸化物層の表面にフッ化物層を形成したことにより、フッ化物層がその表面上に万遍なく形成されて、金属キャップや金属ロウ材などの下地が直接発光空間に露出することがなく、発光ガスとしてのフッ素が反応して減少することが防止され、長時間にわたって発光強度が低下することがないものである。