"チタン若しくはチタン合金、またはステンレス鋼からなる基材表面が改質された表面処理金属材であって、最表面から10nm深さまでにおいて、P濃度が1.0原子以上であると共に、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属元素濃度が合計で1.0原子以上であることを特徴とするスケール付着抑制性に優れた表面処理金属材。前記基材は、チタン若しくはチタン合金からなるものである請求項1に記載の表面処理金属材。最表面から200nm深さまでにおいて、P濃度が1.0原子以上であると共に、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属元素濃度が合計で1.0原子以上である請求項1または2に記載の表面処理金属材。請求項1~3のいずれかに記載の表面処理金属材を製造するに当り、Pを含有する化合物と、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属イオンを含有する溶液に、基材を浸漬することを特徴とするスケール付着抑制性に優れた表面処理金属材の製造方法。前記溶液は、更にフッ酸および硝酸を含有するものである請求項4に記載の表面処理金属材の製造方法。請求項1~3のいずれかに記載の表面処理金属材を、水または海水を媒体として流通させる伝熱部に、前記改質された表面が、水または海水に接触するように配置して構成されたものであることを特徴とする金属製熱交換器または海水蒸発器。本発明は上記の様な状況の下でなされたものであって、その目的は、炭酸カルシウムを主体とするスケールの付着抑制性に優れた表面処理金属材、およびそのような表面処理金属材を製造するための有用な方法、並びに上記のような表面処理金属材を配置して構成される熱交換器または海水蒸発器等を提供することにある。上記課題を解決することのできた本発明の表面処理金属材とは、チタン若しくはチタン合金、またはステンレス鋼からなる特に、チタン若しくはチタン合金からなる基材表面が改質された表面処理金属材であって、最表面から10nm深さまでにおいて、P濃度が1.0原子以上であると共に、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属元素濃度が合計で1.0原子以上である点に要旨を有する。本発明の上記課題は、チタンまたはチタン合金からなる基材表面が改質された表面処理金属材であって、最表面から200nm深さまでにおいて、P濃度が1.0原子以上であると共に、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属元素濃度が合計で1.0原子以上とする構成を採用することによっても解決できる。上記のような各種表面処理金属材を製造するに当たっては、Pを含有する化合物と、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属イオンとを含有する溶液に、基材を浸漬するようにすれば良い。この製造方法においては、前記溶液は、更にフッ酸および硝酸を含有するものであることが好ましい。上記のような各種表面処理金属材を、水または海水を媒体として流通させる伝熱部に、前記改質された表面が、水または海水に接触するように配置して構成することによって、表面処理金属材への炭酸カルシウムを主体とするスケールの付着が抑制されたものとなり、メンテナンス頻度を低減できる金属製熱交換器または海水蒸発器が実現できる。本発明の表面処理金属材では、最表面から10nm深さまで、または最表面から200nm深さまでにおいて、P濃度が1.0原子以上であると共に、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属元素濃度が合計で1.0原子以上とすることによって、炭酸カルシウムを主体とするスケールの付着が抑制されたものとなり、メンテナンス頻度を低減できる金属製熱交換器や海水蒸発器の素材として極めて有用である。本発明者は、炭酸カルシウムを主体とするスケールの付着を抑制した表面処理金属材を実現するべく、様々な角度から検討した。その結果、金属基材表面に、Pリンと共に、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属元素を共存させた層以下、便宜的に改質層と呼ぶことがあるを形成してやれば、スケールの付着抑制性に優れたものとなることを見出し、本発明を完成した。また、チタン若しくはチタン合金材以下、チタン材で代表することがある、またはステンレス鋼からなる基材表面に、Pリンと共に、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属元素を共存させた層を形成するに際して、フッ酸でチタンを溶解しながら硝酸で不働態皮膜を再生するときには、上記各元素が取り込まれて比較的厚い改質層表面改質層となることも分かった。そして、こうした表面改質層を形成した場合であっても、スケールの付着抑制性に優れたものとなる。上記のような各種改質層を金属材表面に形成することによって、スケールの付着抑制性が優れたものとなる理由については、その全てを解明し得た訳ではないが、おそらく次のように考えることができた。即ち、Pと共に、特定の金属元素を所定量含むような改質層では、水水および海水と接触したときに、改質層中の金属成分が水中に徐々に溶出し、炭酸カルシウムの結晶成長面に吸着し、その結果炭酸カルシウムの結晶成長を阻害[前記1式の反応の進行を抑制]することになるので、スケールの付着が抑制されることになると考えられる。金属基材表面に形成される改質層は、母材金属材との界面境界は明確には区別できない状態となるが、最表面改質層表面から10nm深さまで、または200nm深さまでのP濃度や金属元素濃度が上記の範囲となっていることによって、改質層の厚さは10nm以上または200nm以上となっていると判断でき、この厚さが10nm以上または200nm以上となることによって本発明の効果が発揮されることになる。即ち、最も深いところ最表面から10nm、または200nmでの濃度が最も小さいから、これらの深い位置での濃度を調べることによって、改質層内での濃度を知ることができる。スケールの付着を抑制するためには、最表面改質層表面から10nm深さ、または200nm深さでのP濃度が1.0原子以上であると共に、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属元素濃度が合計で1.0原子以上とする必要がある。それよりも浅いところでは、P濃度がより高くなっている。これらの濃度のいずれかが、1.0原子未満になると、元素の溶出量が不十分となり、炭酸カルシウムの成長を十分に抑制できないことになる。これらの濃度P濃度、または金属元素濃度の夫々は、好ましくは2原子以上より好ましくは3原子以上とするのがよいが、現実的に作製可能な観点からして50原子以下例えば、30原子以下、特に10原子以下であることが好ましい。尚、各成分の濃度測定位置の基準を改質層表面から10nm深さまでの位置または改質層表面から200nm深さまでの位置としたのは、形成される各改質層の厚さを考慮し、夫々の厚さにおいて、実環境で使用中に上記各元素が溶出する深さが10nmまたは200nmであるという観点からである。上記改質層を構成する元素は、Pリンおよび上記の金属元素Sn,Co,Ni,Fe,Zn,Mgが所定の割合で含まれることになるが、その他残部は、金属基材がチタンまたはチタン合金の場合は、基本的に酸素OとチタンTiである。また金属基材がステンレス鋼の場合にも、改質層を構成する元素は、Pリンおよび上記の金属元素Sn,Co,Ni,Fe,Zn,Mgが所定の割合で含まれることになるが、その他残部は、基本的に酸素Oと、鉄FeおよびクロムCrである。上記改質層は、金属材の表面酸化の皮膜中に、Pリンおよび上記の金属元素が、酸素と結合した形態で存在していると考えられる。上記のような改質層を形成した表面処理金属材とすることによって、炭酸カルシウムを主体とするスケールが生成しやすい高温条件で、水や海水を流通させる熱交換器や海水蒸発器の伝熱部に適用することで、伝熱効率の低下が少なく、メンテナンス頻度を少なくすることができるものとなる。本発明の表面処理金属材を製造するに当たっては、aPリンを含有する化合物例えば、リン酸、亜リン酸、ポリリン酸等のリン酸類、およびその塩と、b上記金属元素Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の元素の塩類例えば、硫酸塩、塩化物、酢酸塩等、の両方を溶解した水溶液金属元素はイオンの状態となるに、チタン若しくはチタン合金、またはステンレス鋼からなる基材を浸漬することで達成される。また、比較的厚い表面改質層を形成するには、Sn,Co,Ni,Fe,ZnおよびMgよりなる群から選ばれる1種以上の金属イオンと、フッ酸および硝酸を含有する溶液に、チタン若しくはチタン合金、またはステンレス鋼からなる基材を浸漬するようにすれば良い。尚、このようにして形成される改質層の厚さは、浸漬時間複数回浸漬するときは合計時間を変えることによって調整することができる。また、上記溶液中のフッ酸および硝酸の含有量は0.05~1.0程度であることが好ましい。本発明で基材として用いるチタン材としては、例えば工業用純チタン1種から4種JISH4600等が挙げられ、チタン合金材としては例えばTi-0.15質量Pd合金が挙げられる。また、本発明で基材として用いるステンレス鋼としては、SUS304JISG4304が代表的なものとして挙げられるが、これに限定されず、例えばSUS403、SUS430等のステンレス鋼も用いることができる。また、これらの基材は、表面処理される前に、アセトンや酸溶液等によって洗浄される。本発明の表面処理金属材の形態については、板状や管状のいずれも採用できる。例えば、プレート型熱交換器では、板状の金属材の表面に多数の波状突起を形成した状態プレートで熱交換部材として使用されることになる。また、海水蒸発器では、管状に形成した金属材を伝熱管として使用されることになる。以下、実施例を挙げて本発明の構成および作用効果をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例によって制限を受けるものではなく、前後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更して実施することも可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。[実施例1]供試材の作製基材となるチタンとして、工業用純チタン2種JISH4600からなる板厚さ:0.5mmを使用し、これを10mm×50mmに切り出して、アセトン洗浄後、室温にて風乾した。このチタン板を、フッ酸と硝酸からなる混酸水溶液2HF-10HNO3に室温にて15秒浸漬した後、イオン交換水で洗浄し、後記表1に示すポリ燐酸塩ポリ燐酸ナトリウム:Nan2PnO3n1と、金属塩塩化物との混合水溶液表面処理液に3分または3~12時間浸漬した後、再びイオン交換水にて洗浄し、室温にて風乾した。表面元素濃度の測定改質層内の各元素の濃度は、グロー放電発光分析法GD-OES法により行なった。供試材は、約10mm角の切断し、インジウムInに包埋して測定に供した。分析は、堀場製作所製GD-PROFILER2型GD-OES装置を用いて、パルススパッタ分析モードにて、アノード径分析面積:4mmφ、放電電力:35W、アルゴンArガス圧:600Paの条件で行なった。供試材の最表面改質層の表面を深さゼロとし、材料の深さ方向の元素分布を調査し、最表面から10nm深さの位置での元素濃度を改質層の評価指標とした。尚、元素濃度を、最表面から10nm深さ位置で測定したのは、上記元素の濃度は最表面から深くなるにつれて少なくなり、上記位置での濃度はその範囲での最低濃度となるので、この位置での濃度によって最表面から10nm深さまでの濃度がどの程度以上になっているかが判断できるからである。スケール付着性評価スケール付着液として、炭酸水素ナトリウムNaHCO3:1.5g/Lリットル、塩化カルシウムCaCl22H2O:1.3g/Lの混合水溶液Ca濃度:354ppmを20°Cで調製した[炭酸水素ナトリウム、塩化カルシウム:和光純薬工業株製の特級試薬]。細長ビーカに上記水溶液30mLを入れて、予め質量を測定した供試材を浸漬した。そして、この細長ビーカを90°Cのウオーターバスにいれて細長ビーカ内の試験液が室温20°Cから90°Cまでに昇温した時点で1サイクル終了とし、次サイクルとして細長ビーカ内を新たな試験液20°C、30mLに入れ替えて、同様に昇温を繰り返したスケール付着工程。尚、1サイクルにおける試験液の90°Cまでの昇温には、約6分を要した。スケール付着工程は、各供試材につき10サイクルで行なった。10サイクルでのスケール付着の後、混合水溶液から取り出したチタン材の質量を測定することで、スケール付着性を評価した。上記スケール付着工程の後、スケール生成液から取り出したチタン板を乾燥させて秤量し、チタン板の質量を測定した。そして、スケール付着工程に給する前のチタン材スケール付着前のチタン材の質量の差分から、面積当りのスケール付着量mg/mm2を算出した。これらの結果を、表面処理液の種類と共に、下記表1実験No.1~11に示す。この結果から、次のように考察できる。まず実験No.1のものは、ポリ燐酸塩も金属塩も含有しないイオン交換水に浸漬した例であり、最表面から10nm深さ位置最表面から10nm深さまでの位置にPも金属元素も0.01原子未満しか存在せず、スケール付着量は16.0×104mg/mm2であり、表面を炭酸カルシウムのスケールが覆っている状態となっていた。このときの、チタン材表面のスケール付着状態を図1図面代用SEM写真に示す。実験No.2のものは、ポリ燐酸塩は含有するが、金属塩は含有しない水溶液に浸漬した例であり、10nm深さ位置でのP濃度は4.5原子であるが、金属元素は0.01原子未満しか存在せず、スケール付着量は実験No.1と比べてほとんど低減しなかった。実験No.3のものは、ポリ燐酸塩も金属塩塩化スズも含有する水溶液に浸漬した例であるが、浸漬時間が3分と短く、10nm深さの位置にPも金属元素Snも1.0原子未満しか存在せず、スケール付着量は実験No.1と比べてほとんど低減しなかった。実験No.4のものは、金属塩塩化スズは含有するが、ポリ燐酸塩は含有しない水溶液に浸漬した例であり、10nm深さ位置でのSn濃度は3.5原子であるが、P濃度は0.01原子未満しか存在せず、スケール付着量は実験No.1と比べてほとんど低減しなかった。実験No.5のものは、ポリ燐酸塩も金属塩塩化スズも含有する水溶液に十分浸漬した例であり、10nm深さ位置でのP濃度が4.6原子、金属元素Sn濃度が3.5原子存在する改質層が形成されているため、スケール付着量は実験No.1の約13にまで低減していた。このときの、チタン材表面のスケール付着状態を図2図面代用SEM写真に示す。実験No.6のものは、ポリ燐酸塩も金属塩塩化スズも含有する水溶液に3時間浸漬した例であり、10nm深さ位置でのP濃度が1.3原子、金属元素Sn濃度が1.1原子存在する改質層が形成されているため、スケール付着量は実験No.1の約半分にまで低減していた。実験No.7~11では、ポリ燐酸塩も金属塩も含有する水溶液に十分浸漬したため、10nm深さ位置でのP濃度が2.8~5.0原子、金属元素濃度が2.2~4.7原子存在する改質層が形成されており、スケール付着量は実験No.1の1/3以下にまで低減していた。[実施例2]供試材の作製基材となるステンレス鋼として、SUS304JISG4304からなる板厚さ:0.5mmを使用し、これを10mm×50mmに切り出して、アセトン洗浄後、室温にて風乾した。このステンレス板を、イオン交換水で洗浄し、後記表2に示すポリ燐酸塩ポリ燐酸ナトリウム:Nan2PnO3n1と、金属塩塩化物との混合水溶液表面処理液に3分または3~12時間浸漬した後、再びイオン交換水にて洗浄し、室温にて風乾した。表面処理したステンレス鋼材において、表面元素濃度の測定、スケール付着性評価を、実施例1と同様に実施した。これらの結果を、表面処理液の種類と共に、下記表2実験No.12~22に示す。この結果から、次のように考察できる。まず実験No.12のものは、ポリ燐酸塩も金属塩も含有しないイオン交換水に浸漬した例であり、最表面から10nm深さ位置最表面から10nm深さまでの位置にPも金属元素も0.01原子未満しか存在せず、スケール付着量は20.1×104mg/mm2であり、表面を炭酸カルシウムのスケールが覆っている状態となっていた。実験No.13のものは、ポリ燐酸塩は含有するが、金属塩は含有しない水溶液に浸漬した例であり、10nm深さ位置でのP濃度は3.9原子であるが、金属元素は0.01原子未満しか存在せず、スケール付着量は実験No.12と比べてほとんど低減しなかった。実験No.14のものは、ポリ燐酸塩も金属塩塩化スズも含有する水溶液に浸漬した例であるが、浸漬時間が3分と短く、10nm深さの位置にPも金属元素Snも1.0原子未満しか存在せず、スケール付着量は実験No.12と比べてほとんど低減しなかった。実験No.15のものは、金属塩塩化スズは含有するが、ポリ燐酸塩は含有しない水溶液に浸漬した例であり、10nm深さ位置でのSn濃度は2.8原子であるが、P濃度は0.01原子未満しか存在せず、スケール付着量は実験No.12と比べてほとんど低減しなかった。実験No.16のものは、ポリ燐酸塩も金属塩塩化スズも含有する水溶液に十分浸漬した例であり、10nm深さ位置でのP濃度が5.5原子、金属元素Sn濃度が4.0原子存在する改質層が形成されているため、スケール付着量は実験No.12の約半分にまで低減していた。実験No.17のものは、ポリ燐酸塩も金属塩塩化スズも含有する水溶液に3時間浸漬した例であり、10nm深さ位置でのP濃度が1.6原子、金属元素Sn濃度が1.2原子存在する改質層が形成されているため、スケール付着量は実験No.12の約70にまで低減していた。実験No.18~22では、ポリ燐酸塩も金属塩も含有する水溶液に十分浸漬したため、10nm深さ位置でのP濃度が2.3~4.4原子、金属元素濃度が2.0~4.1原子存在する改質層が形成されており、スケール付着量は実験No.12の60以下にまで低減していた。[実施例3]供試材の作製基材となるチタンとして、工業用純チタン2種JISH4600からなる板厚さ:0.5mmを使用し、これを10mm×50mmに切り出して、アセトン洗浄後、室温にて風乾した。このチタン板を、フッ酸と硝酸からなる混酸水溶液2HF-10HNO3に室温にて15秒浸漬した後、イオン交換水で洗浄し、後記表3に示すポリ燐酸塩ポリ燐酸ナトリウム:Nan2PnO3n1と、金属塩塩化物を、水、またはフッ酸と硝酸0.1HF-0.5HNO3を溶媒とする表面処理液に、12時間浸漬した後、再びイオン交換水にて洗浄し、室温にて風乾した。表面処理したチタン材において、表面元素濃度の測定、スケール付着性評価を下記の方法で実施した。表面元素濃度の測定元素濃度を、最表面から200nm深さ位置で測定する以外は実施例1と同様にして表面元素濃度を測定した。尚、元素濃度を、最表面から200nm深さ位置で測定したのは、上記と同様に、上記元素の濃度は最表面から深くなるにつれて少なくなり、上記位置での濃度はその範囲での最低濃度となるので、この位置での濃度によって最表面から200nm深さまでの濃度がどの程度以上になっているかが判断できるからである。スケール付着性評価スケール付着工程を、各供試材につき20サイクルで行なう以外は、実施例1と同様にしてスケール付着性を評価した。これらの結果を、表面処理液の種類と共に、下記表3実験No.23~30に示す。この結果から、次のように考察できる。まず実験No.23のものは、ポリ燐酸塩も金属塩も含有しないイオン交換水に浸漬した例であり、最表面から200nm深さ位置最表面から200nm深さまでの位置にPも金属元素も0.01原子未満しか存在せず、スケール付着量は28.0×104mg/mm2であり、表面を炭酸カルシウムのスケールが覆っている状態となっていた。実験No.24のものは、ポリ燐酸塩も金属塩塩化スズも含有する水溶液に浸漬した例であるが、200nm深さの位置にPも金属元素Snも0.01原子未満しか存在せず、スケール付着量は実験No.23に比べては低減しているものの、表面を炭酸カルシウムのスケールが覆っている状態となっていた。尚、実験No.24であっても、表面改質層が薄く形成されているため表3参照、スケール付着量は実験No.23と比べて少なくなっている。実験No.25~30では、ポリ燐酸塩も金属塩も含有する水溶液に十分浸漬したため、200nm深さ位置でのP濃度が1.6~8.0原子、金属元素濃度が1.9~4.3原子存在する改質層が形成されており、スケール付着量は実験No.23の13以下にまで低減していた。"