"光源からの照明光を制限する第1遮光部材と、前記第1遮光部材で制限された照明光を走査する走査ミラーと、前記走査ミラーで走査された照明光を試料に集光する対物レンズと、前記試料からの観察光を制限する第2遮光部材と、前記第2遮光部材で制限された観察光を検出する検出器とを有しており、前記第1遮光部材は、複数のスリットが並んで形成された遮光部材であり、前記第2遮光部材は、前記第1遮光部材の複数のスリットに対応する複数のスリットが並んで形成された遮光部材であり、画像の明るさムラに応じて、前記検出器の検出面を構成する複数の画素のうち、前記観察光の前記検出面上の走査方向と直交する方向に並んだ画素群毎に露出時間を設定する制御部を有することを特徴とする共焦点顕微鏡。前記走査ミラーの駆動周波数及び振幅に応じて異なる画像の明るさムラの情報を記憶した記憶部を有し、前記制御部は、前記走査ミラーの駆動周波数及び振幅に対応する前記情報を前記記憶部から取得し、前記情報に基づいて前記画素群毎の露出時間を設定することを特徴とする請求項1に記載の共焦点顕微鏡。前記制御部は、前記走査ミラーの駆動周波数及び振幅に基づいて、前記画素群毎の露出開始時間を設定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の共焦点顕微鏡。前記制御部が、前記画素群毎の露出時間を一定として前記検出器で取得された画像に基づいて画像の明るさムラの情報を算出し、算出した前記情報に基づいて前記画素群毎の露出時間を設定することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡。前記検出器としてCMOSカメラを有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡。しかしながら、上述のような従来の補正方法では、画素毎に個別の補正データが必要となるため、データ量が膨大で、データ処理の高速化を図ることができないという問題があった。そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、画像の明るさムラの補正を高速に行うことが可能な共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。上記課題を解決するために本発明は、光源からの照明光を制限する第1遮光部材と、前記第1遮光部材で制限された照明光を走査する走査ミラーと、前記走査ミラーで走査された照明光を試料に集光する対物レンズと、前記試料からの観察光を制限する第2遮光部材と、前記第2遮光部材で制限された観察光を検出する検出器とを有しており、前記第1遮光部材は、複数のスリットが並んで形成された遮光部材であり、前記第2遮光部材は、前記第1遮光部材の複数のスリットに対応する複数のスリットが並んで形成された遮光部材であり、画像の明るさムラに応じて、前記検出器の検出面を構成する複数の画素のうち、前記観察光の前記検出面上の走査方向と直交する方向に並んだ画素群毎に露出時間を設定する制御部を有することを特徴とする共焦点顕微鏡を提供する。本発明によれば、画像の明るさムラの補正を高速に行うことが可能な共焦点顕微鏡を提供することができる。以下、本発明の実施形態に係る共焦点顕微鏡を添付図面に基づいて説明する。はじめに、本実施形態に係る共焦点顕微鏡の全体的な構成を説明する。図1に示すように共焦点顕微鏡1は、試料2を載置するステージ3、対物レンズ4、及び顕微鏡本体5を有している。顕微鏡本体5の側面には、照明光を供給する光源6が備えられており、共焦点顕微鏡1の各部を制御するコンピュータPC7が接続されている。図2aに示すように顕微鏡本体5内の光路100上には、光源6側から順に励起フィルタホイール8、照明側スリット部9、及び第1ダイクロイックミラー11が備えられている。第1ダイクロイックミラー11の反射光路101上には走査ミラー12が備えられており、さらに走査ミラー12の表側反射面の反射光路102上にはレンズ13、反射ミラー14、及び対物レンズ4が順に備えられている。また、走査ミラー12から見て第1ダイクロイックミラー11の透過光路103上には、レンズ16、反射ミラー17、観察側スリット部19、反射ミラー21、レンズ22、及び反射ミラー23が順に備えられている。反射ミラー23から見て走査ミラー12の裏側反射面の反射光路104上には、蛍光フィルタホイール24、レンズ25、及び第2ダイクロイックミラー26が順に備えられている。そして、第2ダイクロイックミラー26の透過光路105上には集光レンズ27aと検出器28aが順に備えられており、反射光路106上には集光レンズ27bと検出器28bが順に備えられている。なお、レンズ25は、図1aに示されたように単一レンズではなく、複数のレンズから構成されたものでもよく、また複数のレンズの間隔を変えてズームレンズ群にしてもよい。励起フィルタホイール8は、波長透過特性の異なる複数の励起フィルタを回転切り替え可能に保持するものであり、これにより光源6から発せられた照明光のうち、所望の波長の照明光を試料2に対して選択的に照射することができる。蛍光フィルタホイール24は、励起フィルタホイール8と同様に波長透過特性の異なる複数の蛍光フィルタを回転切り替え可能に保持するものであり、これにより試料2で生じた蛍光のうち、所望の波長の蛍光を選択的に観察することができる。検出器28a,28bには、CMOSカメラが用いられている。また、検出器28a,28bには、図3に示すように検出器28a,28bを制御するための検出器制御部29a,29bがそれぞれ備えられている。なお、検出器制御部29a,29bには、走査ミラー12の動作に合わせて検出器28a,28bを制御するためのタイミング信号を検出器制御部29a,29bへ出力する信号発生回路30a,30bが備えられている。照明側スリット部9と観察側スリット部19は、いずれも対物レンズ4の物体側の所定の位置に対して光学的に共役な位置に配置されている。照明側スリット部9は、複数種類のマルチスリット10を切替可能に保持する回転切替部材である。各マルチスリット10は、図2bにその一例を示すように複数の細長い長方形状のスリットが並んで形成された遮光部材であって、本実施形態ではマルチスリット幅Lの異なる3つのマルチスリット10が照明側スリット部9に保持されている。ここで、マルチスリット幅Lとは、全てのスリット幅と全てのスリット間隔を合計した長さであって、スリット数、スリット幅、及びスリット間隔によって定められるものである。なお、本実施形態における3つのマルチスリット10は、いずれもスリット間隔がスリット幅の2.5倍以上に設計されている。これにより、各スリットを通過したスリット光どうしの干渉を防止することができる。具体的には、図2bに示したマルチスリットの一例は、黒塗り部分が各スリットを示しており、スリット数が10、スリット長が5mm、スリット幅が10μm、スリット間隔が90μm、マルチスリット幅Lが890μmである。斯かる構成の照明側スリット部9には、図3に示すようにPC7のCPU30からの指示に基づいて照明側スリット部9を回転させるための駆動部31が備えられており、これによって3つのマルチスリット10を切り替えて光路中に選択的に配置することができる。観察側スリット部19は、上記照明側スリット部9が保持する3つのマルチスリット20と同じ構成、即ち同じマルチスリット幅Lの3つのマルチスリット20を切替可能に保持する回転切替部材である。この観察側スリット部19には、図3に示すようにPC7のCPU30からの指示に基づいて観察側スリット部19を回転させるための駆動部32が備えられており、これによって3つのマルチスリット20を切り替えて光路中に選択的に配置することができる。なお、上記構成の照明側スリット部9が保持する3つのマルチスリット10と、観察側スリット部19が保持する3つのマルチスリット20は、観察に際して、同じマルチスリット幅Lのものどうしが光路中に配置して使用される。また、照明側スリット部9及び観察側スリット部19のいずれにもスリットが設けられていない開口部を有していてもよい。走査ミラー12には、ガルバノミラーが用いられており、図3に示すようにPC7のCPU30からの指示に基づいて走査ミラー12の動作を制御するためのミラー制御部33が備えられている。以上の構成の下、光源6から射出された照明光は、所定波長の光励起光のみが励起フィルタホイール8の励起フィルタを透過し、照明側スリット部9のマルチスリット10を通過することで複数のスリット光となる。この複数のスリット光は、第1ダイクロイックミラー11で反射され、さらに走査ミラー12の表側反射面で反射され、レンズ13、反射ミラー14、及び対物レンズ4を順に介してステージ3上の試料2に照射される。これにより励起された試料2から発せられた観察光蛍光は、再び対物レンズ4、反射ミラー14、及びレンズ13を順に介し、走査ミラー12の表側反射面で反射された後、第1ダイクロイックミラー11を透過する。そしてこの観察光は、レンズ16と反射ミラー17を介して、観察側スリット部19の位置に試料2に投影されたマルチスリット10の像が形成される。その像を形成する光線がマルチスリット20を通過することで試料2における観察側スリット部19と共役な位置からの光線のみが取り出されて、複数のスリット光となる。この複数のスリット光は、反射ミラー21、レンズ22、及び反射ミラー23を順に経て走査ミラー12の裏側反射面で反射され、さらに所定波長の光のみが蛍光フィルタホイール24の蛍光フィルタを透過した後、ズームレンズ25を介して第2ダイクロイックミラー26に入射する。そして、第2ダイクロイックミラー26を透過した光は、集光レンズ27aを介して検出器28aで検出され、第2ダイクロイックミラー26で反射された光は、集光レンズ27bを介して検出器28bで検出される。ここで、試料2に照射される複数のスリット光は、走査ミラー12によって試料面上を一次元的に走査されるため、各検出器28a,28bでは試料2の観察領域全体にわたって観察光が検出されることとなる。これによりPC7は、各検出器28a,28bから観察光の検出信号を取得し、これに基づいて試料2の二次元画像を生成してPC7のモニタ7aに表示させる。これにより使用者は、試料2の共焦点画像を観察することが可能となる。以上のように本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、試料面に対して複数のスリット光を照射して走査する構成であるため、同じ領域を複数のスリット光が照明するので、スリット光が試料面に照射されている時間を上述のような従来の共焦点顕微鏡よりも長く確保することができ、強度の弱い光で照明していても、試料2からの光量の増加を図ることができる。このため、低い強度の照明光によって試料2の明るい共焦点画像を撮影することができる。したがって、従来の共焦点顕微鏡のように高い強度の照明光が試料に悪影響を及ぼしてしまうという光毒性の問題を解消することができる。また、従来の共焦点顕微鏡では走査ミラーを高い駆動周波数で動作させた際に暗くて観察できなかった試料の共焦点画像でも、本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、照明光の光量の増加によって観察することが可能になり、即ち試料2の高速な現象を捉えることが可能になる。次に、本実施形態に係る共焦点顕微鏡1で撮影される試料2の共焦点画像の補正について説明する。ここで、走査ミラーの駆動方法には、正弦波駆動、三角波駆動、ノコギリ波駆動等の複数の駆動方法が知られている。これらの駆動方法によって走査ミラーを動作させる場合、検出器の検出面上に形成される観察像には、駆動方法に応じて走査ミラーの動作速度の変化に起因する明るさムラが発生してしまう。なお、均一に蛍光を発する物体を試料として観察し、走査ミラーが一定速度で動作する場合には、明るさムラが発生しないものとする。また、特に正弦波駆動によれば走査ミラーの高速な動作が可能であることが知られている。このような場合、図4aに示すように検出器の検出面上には、スリット光の走査方向において中心部分が暗く周辺部分が明るい輝度パターン明るさムラのパターンが発生する。なお、この明るさムラのパターンは、スリット光の走査方向と直交する方向においては輝度が一様である。このような明るさムラのパターンは、走査ミラーの駆動周波数とその振幅に依存する。そこで、本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、検出器28a,28bの検出面のライン毎の露出時間を調整する、即ち検出面上を走査する複数のスリット光が露出時間中に各ラインに入射する数を調整することで、上記明るさムラのパターンの補正を行う。なお、ラインとは、図4cに示すように検出器28a,28bの検出面を構成する複数の画素のうち、スリット光の走査方向と直交する方向に並んだ画素の集合画素群をいう。また、露出時間とは、検出器28a,28bの各画素において、検出器28a,28bの各画素におけるフォトダイオードで電荷を貯め込む時間に相当するものである。また、ラインとは、検出器28a,28bの画素がスリット像の長手方向と同じ方向に配列している並び方向を示す。露出開始時間は、検出器28a,28bの各画素におけるフォトダイオードの電荷を貯め始めるタイミングに相当するものである。本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、具体的には、検出器28a,28bの各ラインの露出時間を設定するための図5に示す露出時間設定ルーチンを実行可能に構成されている。ここで、本実施形態において、図3に示すPC7の記憶部35には、走査ミラー12を正弦波駆動する際の駆動周波数とその振幅によって異なる明るさムラのパターンの情報ライン毎の輝度情報が予め記憶されている。図5に示す露出時間設定ルーチンは、使用者が本ルーチンの開始の指示をPC7へ入力することで開始される。ステップS1:PC7のCPU30が、使用者によって走査ミラー12の所望の駆動周波数と振幅、及び所望の露出時間がPC7へ入力されているか否かを判定する。これらがPC7へ入力されている場合はステップS2へ進み、そうでない場合は本ステップS1を再度実行する。なお、前記所望の露出時間は、各ラインの露出時間を設定する上で基準となるものである。ステップS2:CPU30が、ステップS1で得られた走査ミラー12の所望の駆動周波数と振幅に対応する明るさムラのパターンの情報を記憶部35から読み出す。ステップS3:CPU30が、ステップS1で得られた所望の露出時間とステップS2で得られた明るさムラのパターンの情報に基づいて、当該明るさムラのパターンを解消するための各ラインの露出時間を算出する。またCPU30が、ステップS1で得られた走査ミラー12の所望の駆動周波数と振幅に基づいて、検出器28a,28bの検出面上を走査する複数のスリット光のうち、先頭のスリット光の各ラインへの到達時間先頭のスリット光が走査し始めてから各ラインへ到達するまでの時間を算出する。ステップS4:CPU30が、ステップS3で得られた先頭のスリット光の各ラインへの到達時間を各ラインの露出開始時間として、各ラインの露出開始時間と露出時間からなる制御テーブルを作成する。ステップS5:CPU30が、ステップS4で作成した制御テーブルの情報を検出器制御部29a,29bへ出力し、本ルーチンが終了する。本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、上記露出時間設定ルーチンを実行することで、走査ミラー12の所望の駆動周波数と振幅及び所望の露出時間に合わせて、明るさムラのパターンを解消するための各ラインの露出開始時間と露出時間の制御テーブルを作成し、これを検出器制御部29a,29bへ出力することができる。これにより、本実施形態に係る共焦点顕微鏡1において、検出器28a,28bが試料2からの観察光を検出する、即ち露出を行う際には、上記制御テーブルに基づいて信号発生回路30a,30bがタイミング信号を出力する。そして、このタイミング信号にしたがって検出器制御部29a,29bが検出器28a,28bの各ラインの露出動作を制御することで、各ラインの露出開始時間と露出時間を適切に制御することができる図6を参照。。即ち、検出器28a,28bの検出面上を走査する複数のスリット光が各ラインの露出時間中にそれぞれのラインに入射する数を制御し、これによって明るさムラのパターンを解消することができる。このようにして検出器28a,28bは、明るさムラのパターンを解消しながら観察光を検出することができ、その結果、明るさムラのない試料2の共焦点画像を取得することができる。以上、本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、前述のように検出器28a,28bの露出時間をライン毎に設定する構成である、言い換えればラインを構成する各画素の露出時間を共通にしている。このため、検出器で取得された画像データを画素毎に補正する上記従来の明るさムラの補正方法に比べて、取り扱うデータ量が少なく、高速なデータ処理を実現することができる。また、本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、明るさムラを解消した画像データが検出器28a,28bで取得されるため、従来の補正方法のように検出器で取得された画像データを補正する必要がなく、画像データを補正するための画像補正回路も不要となる。なお、本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、走査ミラー12を正弦波駆動する際の明るさムラを補正する例を示しているが、これに限られるものではない。例えば、走査ミラー12を三角波駆動する場合の明るさムラのパターンの情報をPC7の記憶部35に予め記憶しておけば、走査ミラー12を三角波駆動する際の明るさムラを補正することが可能となる。また例えば、記憶部35に走査ミラー12を正弦波駆動する場合、三角波駆動する場合、及びノコギリ波駆動する場合の、それぞれの明るさムラのパターンの情報を予め記憶しておき、上記露出時間設定ルーチンのステップS1で使用者が所望の駆動方法をさらに入力する構成とすれば、前記所望の駆動方法に合わせて明るさムラを補正することが可能となる。また、本実施形態に係る共焦点顕微鏡1は、走査ミラー12を三角波駆動する場合の明るさムラのパターンの情報をPC7の記憶部35が予め記憶しているが、これに限られるものではない。例えば、走査ミラー12を所望の駆動方法で動作させて明るさムラのある状態の画像を撮影し、この画像に基づいてCPU30が明るさムラのパターンを算出して記憶部35に保存する構成としてもよい。これにより、前記所望の駆動方法に合わせて、より正確な明るさムラのパターンの情報を用いることができ、より正確に明るさムラを補正することが可能となる。"