"透明のフィルム基材の一面に配向膜が塗布されたフィルムが前記配向膜を外側にして巻き架けられ、前記フィルムをその周面で支持しつつ前記フィルムをその周面に沿って移動させるバックロールと、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの移動方向に平行の複数個の第1のスリットが形成された第1のスリットマスクと、前記第1のスリットマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第1の露光光源と、前記フィルムの移動方向における前記第1のスリットマスクの下流側において、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの移動方向に平行の複数個の第2のスリットが形成された第2のスリットマスクと、前記第2のスリットマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第2の露光光源と、を有し、前記第2のスリットマスクの前記第2のスリットは、前記第1のスリットマスクの前記第1のスリットの配列ピッチと同一のピッチで配置されており、前記第1のスリットと前記第2のスリットは、前記フィルムの幅方向について、前記第1及び第2のスリットの配列ピッチの1/2のピッチだけ、前記フィルムの幅方向に偏倚するように、前記第1のスリットマスクと前記第2のスリットマスクとが配置されていることを特徴とするフィルム露光装置。透明のフィルム基材の一面に配向膜が塗布されたフィルムが前記配向膜を外側にして巻き架けられ、前記フィルムをその周面で支持しつつ前記フィルムをその周面に沿って移動させるバックロールと、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの移動方向に平行の複数個の第1のスリットが形成された第1のスリットマスクと、前記第1のスリットマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第1の露光光源と、前記フィルムの移動方向における前記第1のスリットマスクの下流側において、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの幅方向に延びる開口が形成された第3のマスクと、前記第3のマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第3の露光光源と、を有することを特徴とするフィルム露光装置。透明のフィルム基材の一面に配向膜が塗布されたフィルムが前記配向膜を外側にして巻き架けられ、前記フィルムをその周面で支持しつつ前記フィルムをその周面に沿って移動させるバックロールと、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの移動方向に平行の複数個の第1のスリットが形成された第1のスリットマスクと、前記第1のスリットマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第1の露光光源と、前記フィルムの移動方向における前記第1のスリットマスクの上流側において、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの幅方向に延びる開口が形成された第4のマスクと、前記第4のマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第4の露光光源と、を有することを特徴とするフィルム露光装置。前記露光光源は、一方がCW円偏光の露光光を前記フィルムに照射するものであり、他方がCCW円偏光の露光光を前記フィルムに照射するものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のフィルム露光装置。前記露光光源は、一方がフィルムに対してフィルム移動方向に40°傾斜するように入射する露光光を前記フィルムに照射するものであり、他方がフィルムに対してフィルム移動方向に-40°傾斜するように入射する露光光を前記フィルムに照射するものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のフィルム露光装置。しかしながら、上述の従来技術においては、ロール102,103間にフィルム10を張った状態で、フィルム10上の配向材料膜を露光するので、フィルム10の搬送時のフィルム10の上下振動によりスリットマスク106,107とフィルム10との間の間隔が変動し、高精度で偏光部1a、1bを形成することが困難であった。また、ロール102,103間に張架されたフィルム10には、シワが発生しやすく、これによっても、偏光部1a、1bを高精度で形成することが困難であった。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、薄いフィルムの上下振動による偏光部の形成精度の低下を防止し、また、シワの発生を防止することができ、偏光部が高精度で形成された偏光フィルムを得ることができるフィルム露光装置を提供することを目的とする。本発明に係るフィルム露光装置は、透明のフィルム基材の一面に配向膜が塗布されたフィルムが前記配向膜を外側にして巻き架けられ、前記フィルムをその周面で支持しつつ前記フィルムをその周面に沿って移動させるバックロールと、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの移動方向に平行の複数個の第1のスリットが形成された第1のスリットマスクと、前記第1のスリットマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第1の露光光源と、前記フィルムの移動方向における前記第1のスリットマスクの下流側において、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの移動方向に平行の複数個の第2のスリットが形成された第2のスリットマスクと、前記第2のスリットマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第2の露光光源と、を有し、前記第2のスリットマスクの前記第2のスリットは、前記第1のスリットマスクの前記第1のスリットの配列ピッチと同一のピッチで配置されており、前記第1のスリットと前記第2のスリットは、前記フィルムの幅方向について、前記第1及び第2のスリットの配列ピッチの1/2のピッチだけ、前記フィルムの幅方向に偏倚するように、前記第1のスリットマスクと前記第2のスリットマスクとが配置されていることを特徴とする。本発明に係る他のフィルム露光装置は、透明のフィルム基材の一面に配向膜が塗布されたフィルムが前記配向膜を外側にして巻き架けられ、前記フィルムをその周面で支持しつつ前記フィルムをその周面に沿って移動させるバックロールと、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの移動方向に平行の複数個の第1のスリットが形成された第1のスリットマスクと、前記第1のスリットマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第1の露光光源と、前記フィルムの移動方向における前記第1のスリットマスクの下流側において、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの幅方向に延びる開口が形成された第3のマスクと、前記第3のマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第3の露光光源と、を有することを特徴とする。本発明に係る更に他のフィルム露光装置は、透明のフィルム基材の一面に配向膜が塗布されたフィルムが前記配向膜を外側にして巻き架けられ、前記フィルムをその周面で支持しつつ前記フィルムをその周面に沿って移動させるバックロールと、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの移動方向に平行の複数個の第1のスリットが形成された第1のスリットマスクと、前記第1のスリットマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第1の露光光源と、前記フィルムの移動方向における前記第1のスリットマスクの上流側において、前記バックロールに巻き架けられた前記フィルムに対向するように配置され、前記フィルムの幅方向に延びる開口が形成された第4のマスクと、前記第4のマスクを介して前記フィルムの前記配向膜を露光する第4の露光光源と、を有することを特徴とする。本発明によれば、表面に配向材料膜が形成されたフィルムは、バックロールに巻き架けられ、その裏面をバックロールに支持された状態で、第1及び第2の露光光源から露光光が、第1及び第2のスリットマスクを介して、前記配向材料膜に照射される。従って、フィルムは、バックロールに支持されて、搬送中のシワが伸ばされ、第1及び第2のスリットマスクとフィルムとの間の距離が高精度で設定された状態で、露光が行われるので、偏光部の形成の精度が極めて高くなる。よって、本発明によれば、高精度で帯状の偏光部を形成することができる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の実施形態に係るフィルム露光装置を示す模式図、図2はバックロール近傍のフィルム10を展開して示す図である。フィルム基材の表面上に、適宜の塗布装置において配向材料が塗布され、この配向材料膜が塗布されたフィルムは、そのまま、バックロール5の配設位置に送給され、又は、図10に示すように一旦ロール100として巻回された後、このロール100から巻き解かれて、バックロール5まで送給される。バックロール5においては、その周面の略半分下半分だけフィルム10が巻き架けられ、フィルム10の裏面がバックロール5に接触すると共に、フィルム10の表面、即ち、配向材料膜が外方を向く。このバックロール5を間に挟んで対向するようにして、マスク7、17が配向材料膜に面してフィルム10から若干の距離200μm程度をおいて設置されており、更に、このスリットマスク7、17の背後には、露光光源6、16が設置されている。これにより、表面に配向膜が塗布されたフィルム10は、バックロール5の周面に接触し、フィルム10の搬送時の若干の張力によりシワが伸ばされた状態で、バックロール5により支持される。そして、フィルム10を白抜き矢印方向に連続的に搬送し、露光光源6、16から露光光を連続的に照射することにより、この露光光はマスク7、17の開口7a及びスリット17bを透過してフィルム10に照射される。これにより、偏光部が形成された偏光フィルムは、巻取ローラ101図10参照等に巻き取られる。バックロール5は内部を水冷された水冷ロールであり、その中心軸の周りに回転可能になっている。そして、このバックロール5は、自由に回転することができ、フィルム10の移動とともに、その周速度がフィルム10の移動速度と同一になるように回転する。これにより、フィルム10はバックロール5の周面に相対的速度差が存在しない状態で支持される。従って、適宜の張力を印加されて搬送されるフィルム10は、バックロール5の周面上で、シワが発生することが防止される。バックロール5の周面におけるフィルム10が巻き架けられた部分の始端部の近傍には、このバックロール5に対向するようにして、マスク7が配置されており、このマスク7の背後には、マスク7を介してフィルム10を露光する露光光の光源6が配置されている。また、バックロール5の周面におけるフィルム10が巻き架けられた部分の後端部の近傍には、このバックロール5に対向するようにして、スリットマスク17が配置されており、このスリットマスク17の背後には、スリットマスク17を介してフィルム10を露光する露光光の光源16が配置されている。マスク7は、フィルム10の幅方向に延びてこのフィルム10の幅方向のほぼ全域で開口する開口7aを有し、スリットマスク17には、フィルム10の移動方向に若干長い矩形の複数個のスリット17aが、フィルム10の幅方向に配列されている。このスリット17aの配列ピッチは、FPR方式の3D液晶表示装置に対応して、走査線2ライン分に相当する。そして、例えば、露光光源6からの露光光は、時計方向に偏光する円偏光CW円偏光の光であり、露光光源16からの露光光は、反時計方向に偏光する円偏光CCW円偏光の光である。白抜き矢印にて示すように、一方向に移動するフィルム10に対して、マスク7の開口7aから露光光源6の露光光をフィルム10に照射することにより、フィルム10にはその両側部の部分を除いて、一面に露光光が照射される。また、スリットマスク17のスリット17aから露光光源16の露光光をフィルム10に照射することにより、このスリット17aに対応するフィルム上の部分が、露光光源16からの露光光により、上書き露光される。フィルム10の表面上に、露光光の照射により硬化量が変化する露光材料からなる配向材料膜が形成されており、先ず、マスク7の開口7aを介するCW円偏光の露光光により、フィルム10の表面の配向材料膜の全域が所定の第1の硬化量例えば、50になるまで露光される。次いで、スリットマスク17のスリット17aからのCCW円偏光の露光光により、スリット17aに対応する帯状の領域を第1の硬化量より大きな第2の硬化量例えば、100になるまで露光する。そうすると、スリット17aに対応する帯状の露光部分CCW円偏光は、配向方向が固定され、偏光部1bとなる。一方、スリット17a間の部分に対応する帯状の部分CW円偏光は、硬化量が50で配向方向が固定されていないが、この部分はその後のポストベーク乾燥温度より高い温度での熱硬化により硬化量を100にすれば、配向方向を固定することができる。次に、上述のごとく構成された本実施形態のフィルム露光装置の動作について説明する。フィルム10は、その表面に配向材料が塗布され、例えば、幅が1500mm、厚さが100μm、1個のロール100のフィルム長は例えば2kmであり、通常、2~10m分の速度で搬送される。また、例えば、このフィルム10の材質は、COPシクロオレフィンポリマー又はTACトリアセチルセルロースフィルムである。このフィルム10は、バックロール5の配設位置まで送給され、バックロール5に巻き架けられて支持される。そして、フィルム10の配向材料膜は、露光光源6から、マスク7の開口7aを介して、CW円偏光の露光光をフィルム10のほぼ全域に照射され、その後、露光光源16から、スリットマスク17のスリット17aを介して、CCW円偏光の露光光を帯状に照射され、このスリット17aに対応するフィルム10の部分が、CW円偏光の露光部から、CCW円偏光の露光部に上書き露光される。このとき、フィルム10の配向材料膜は、可逆性の配向材料であり、CW円偏光の露光光のほぼフィルム全面の照射により、フィルム10のほぼ全面が例えば50硬化し、更に、CCW円偏光の露光光の帯状の照射により、このフィルム10における帯状の部分が例えば100に硬化する。これにより、フィルム10のスリット17aに対応する部分は、CCW円偏光として配向方向が固定され、偏光部1b図9参照が形成される。一方、この偏光部1b間の帯状の部分は配向方向が固定されていないが、後工程にて、ポストベークすることにより、100硬化し、配向方向がCW円偏光として固定され、偏光部1aが形成される。このようにして、偏光部1a、1bが交互に形成され、偏光部1a、1bが走査線1ラインに対応して形成されたFPR方式の偏光フィルムを製造することができる。この場合に、薄いフィルム10は、バックロール5に支持され、またシワが伸ばされた状態で、スリットマスク17のスリット17aを介して露光がなされるので、フィルムのシワ及び振動が防止されて、高精度で、偏光部1a、1bを形成することができる。また、マスク7を介しての露光は、フィルム幅方向の全域に対してなされるので、マスク7と、スリットマスク17との間の位置合わせが不要であり、位置合わせの不良が存在せず、この点でも、偏光部1a、1bを高精度で形成することができる。そして、本発明においては、1個のバックロール5に対して、2回の露光を行うので、各露光毎に高価なバックロールを使用する必要がなく、FPR偏光フィルムの製造コストを低減できる。次に、図3及び図4を参照して、本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、フィルム10が先ずスリット17aを有するスリットマスク17を介して、露光光源6からCW円偏光の露光光の照射を受け、次いで、開口7aを有するマスク7を介して、露光光源16からCCW円偏光の露光光の照射を受ける点が、第1実施形態と異なり、その他の構成は、第1実施形態と同様であるので、同一構成物には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。図4に示すように、露光光源6からのCW円偏光の露光光を、スリット17aを介してフィルム10上の配向材料膜に露光することにより、帯状の偏光部1aを形成する。このとき、フィルム10上の配向材料膜は、非可逆性の材料であり、このCW円偏光の露光光の照射により、照射を受けた帯状の部分が100硬化し、この部分の配向材料膜の配向方向が固定される。次いで、露光光源16からのCCW円偏光の露光光を、開口7aを介してフィルム10上の配向材料膜に露光することにより、フィルム10のほぼ全面にCCW円偏光の露光光を照射する。このとき、偏光部1aはCW円偏光で偏光方向が固定されているので、CCW円偏光の露光光の照射を受けても、偏光方向は変化しない。そして、偏光部1a間の露光光源6の未露光部が、露光光源16からのCCW円偏光の露光光の照射を受けて、この部分がCCW円偏光に対応する偏光部1bとなる。これにより、図9に示すように、偏光部1aと偏光部1bとが走査線の1ラインに対応して交互に位置する偏光フィルム1を製造することができる。このようにして、本実施形態は、CW円偏光により帯状の偏光部1aを形成した後、CCW円偏光の露光光の全面露光により、偏光部1a間に偏光部1bを形成するので、第1実施形態と同様に、マスク7とスリットマスク17との位置合わせは不要である。また、本実施形態も第1実施形態と同様に、フィルムの振動及びシワが防止され、高精度で偏光部1a、1bを形成することができる。これにより、走査線1ラインに高精度で整合した偏光部1a、1bを有するFPR偏光フィルム1を製造することができる。次に、図5及び図6a、bを参照して本発明の第3実施形態について説明する。前述の第1及び第2実施形態は、FPR偏光フィルムの形成に関するものであるが、本実施形態は、光配向膜の形成に関するものである。本実施形態においては、第1実施形態と同様に、フィルム10がバックロール5に接触してバックロール5の従動回転とともに移動するフィルム10の移動域の始端部、即ち、バックロール5の周面におけるフィルム10が巻き架けられた部分の始端部の近傍に、開口7aを有するマスク7が配置され、前記移動域の後端部にスリット17aを有するマスク17が配置されている。本実施形態が第1実施形態と異なる点は、露光光源6からの露光光が、マスク7に対して、例えば、40°の傾斜角度で入射し、露光光源16からの露光光が、スリットマスク17に対して、例えば、-40°の傾斜角度で入射することである。本実施形態においては、可逆性の配向材料膜が形成されたフィルム10に対して、フィルム10の搬送方向に40°傾斜する露光光をフィルム10のほぼ全域に照射し、その後、フィルム10の搬送方向に-40°傾斜する露光光をスリット17aに対応する帯状の領域配向部1dに照射して、この領域については、-40°傾斜露光光により上書き露光する。本実施形態においても、最初の露光においては、配向材料膜は例えば50硬化し、次順の露光により、帯状の照射領域は配向材料膜が例えば100硬化する。このため、2回の露光により、配向部1dにおいては、2回目の露光による-40°傾斜入射の露光光により配向方向が決まり、配向部1cにおいては、1回目の露光による40°傾斜入射の露光光により配向方向が揃えられた後、その後のポストベークによりその配向方向が固定されたものとなる。これにより、光配向方向が交互に異なる配向部1c、1dを有する光配向膜を得ることができ、液晶表示装置の光配向膜として、視野角を拡大するために使用することができる。また、本実施形態においても、フィルムの振動及びシワがなく、高精度で配向部1c、1dを形成することができる。しかも、マスク7とスリットマスク17との間の位置合わせが不要である。次に、図7及び図8を参照して、本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第3実施形態と同様に、光配向膜の形成に関するものであるが、第3実施形態と異なる点は、フィルム10上の配向材料膜は非可逆の配向材料であり、フィルム10に対する最初の露光は、スリット17aを有するスリットマスク17を使用して、露光光源6から40°傾斜の入射角度を有する露光光によりフィルム10を照射し、次順の露光は、開口7aを有するマスク7を使用して、露光光源16から-40°傾斜の入射角度を有する露光光によりフィルム10を照射することである。本実施形態においては、先ず、スリット17aを介して、フィルム10の進行方向に対して40°で傾斜する露光光をフィルム10に入射させ、フィルム10に対して、帯状の配向部1cを形成する。この40°傾斜入射の露光光は、帯状の配向部1cを100硬化させ、従って、この配向部1cは配向方向が40°傾斜に固定される。次に、開口7aを介して、フィルム10の進行方向に対して-40°で傾斜する露光光をフィルム10に入射させ、全面を-40°傾斜入射の露光光で照射する。このとき、配向部1cは配向方向が既に固定されているので、-40°傾斜露光光の照射を受けても、その配向方向は変化せず、露光光源6からの露光光の未露光部が、-40°傾斜露光光の照射を受けて、この方向に配向方向が揃う。これにより、40°傾斜の配向部1cと-40°傾斜の配向部1dとが交互に形成された光配向膜を得ることができる。本実施形態においても、フィルムの振動及びシワがなく、高精度で配向部1c、1dを形成することができる。しかも、マスク7とスリットマスク17との間の位置合わせが不要である。なお、本発明は、上記各実施形態に限らず、種々の変形が可能である。例えば、上記各実施形態においては、スリット17aを有するスリットマスク17と、開口7aを有するマスク7とを使用して、マスク7とスリットマスク17との位置合わせを不要としたが、図11に示すように、レーザマーカ110を使用して、フィルム10にマーク111を形成し、マスク7とスリットマスク17との配設位置で、このマーク111をカメラ等により観察してその位置を検出し、このマーク111を指標として、マスク7とスリットマスク17とを位置合わせすれば、図11に示すように、双方とも、スリットを有するスリットマスクを使用することができる。即ち、偏光部1a、1b又は配向部1c、1dを夫々2個のスリットマスクにより形成することができる。この場合に、一方のスリットマスクのスリットは、他方のスリットマスクのスリットの配列ピッチと同一のピッチで形成され、一方のスリットマスクは、他方のスリットマスクに対して、スリットの配列ピッチの1/2のピッチだけ、フィルム10の幅方向に偏倚して配置される。また、上記第3実施形態及び第4実施形態において、露光光の入射傾斜角度が40°及び-40°であったが、この露光光の入射傾斜角度はこれに限らず、種々の角度を採用することができる。"