式Iで表される化合物。[式I中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。L1は、1-CO-X1-A1-2、1-CO-X2-A2-CO-X3-A3-2又はフェニレン基を表す。X1、X2及びX3は、それぞれ独立に、-O-、又は-NR3-を表し、R3は、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基を表す。A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、炭素数1~4のアルキレン基、炭素数6~12の2価の飽和環状炭化水素基又はフェニレン基を表す。1は-CR1=CH2との結合手を表し、2は-CO-との結合手を表す。]請求項1記載の化合物及び式IIで表される化合物を反応させて式IIIで表される化合物を得る式IIIで表される化合物の製造方法。[式II中、X4は、-O-又は-NR4-を表し、R4は、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基を表す。R2は、有機基を表す。][式III中、R1、L1、X4及びR2は、上記と同じ意味を表す。]請求項1記載の化合物を製造する製造方法であって、式IVで表される化合物とカルボニルジイミダゾールとを反応させる製造方法。[式IV中、L1及びR1は、上記と同じ意味を表す。]従来の重合性基を有する酸ハロゲン化物を中間体として用いたモノマーの製造方法では、得られるモノマーの収率が必ずしも満足することができない場合があった。本発明は、以下の発明を含む。1式Iで表される化合物。[式I中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。L1は、1-CO-X1-A1-2、1-CO-X2-A2-CO-X3-A3-2又はフェニレン基を表す。X1、X2及びX3は、それぞれ独立に、-O-、又は-NR3-を表し、R3は、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基を表す。A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、炭素数1~4のアルキレン基、炭素数6~12の飽和環状炭化水素基又はフェニレン基を表す。1は-CR1=CH2との結合手を表し、2は-CO-との結合手を表す。]21記載の化合物及び式IIで表される化合物を反応させて式IIIで表される化合物を得る式IIIで表される化合物の製造方法。[式II中、X4は、-O-又は-NR4-を表し、R4は、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基を表す。R2は、有機基を表す。][式III中、R1、L1、X4及びR2は、上記と同じ意味を表す。]31記載の化合物を製造する製造方法であって、式IVで表される化合物とカルボニルジイミダゾールとを反応させる製造方法。[式IV中、L1及びR1は、上記と同じ意味を表す。]本発明の化合物によれば、該化合物を中間体として用いることにより高い収率でモノマーを製造することができる。本発明は、式Iで表される化合物である。X1、X2及びX3として、-O-、-NH-、-NCH3-、-NC2H5-、-NC3H7-、-NC4H9-、-NC5H11--、-NC6H13-等が挙げられ、-O-が好ましい。炭素数1~4のアルキレン基としては、-CH2-、-C2H4-、-C3H6-、-C4H8-、が挙げられ、-CH2-が好ましい。炭素数6~12の2価の飽和環状炭化水素基としては、シクロヘキサンジイル基、ノルボルナンジイル基、アダマンタンジイル基が挙げられ、アダマンタンジイル基が好ましい。式Iで表される化合物としては、例えば以下の化合物が挙げられる。式Iで表される化合物は、例えば式IVで表される化合物とカルボニルジイミダゾールとを脱水剤存在下、溶剤中で反応させることにより製造することができる。脱水剤としては、ジシクロヘキシルカルボジイミド等が挙げられる。溶媒としては、クロロホルム、塩化メチレン、アセトニトリル等が挙げられる。反応温度は、-30~90°Cであり、-10~50°Cであり、-5~40°Cがより好ましい。式Iで表される化合物を用いることにより、高い収率で、式IIIで表される化合物を製造することができる。本発明の製造方法は、式Iで表される化合物及び式IIで表される化合物を反応させて式IIIで表される化合物を得る製造方法である。[式II中、X4は、-O-又は-NR4-を表し、R4は、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基を表す。R2は、有機基を表す。][式III中、R1、L1、X4及びR2は、上記と同じ意味を表す。]X4として、-O-、-NH-、-NCH3-、-NC2H5-、-NC3H7-、-NC4H9-、-NC5H11--、-NC6H13-等が挙げられ、-O-が好ましい。R2は、有機基を表す。有機基としては、置換基を有していてもよい炭素数1~18の脂肪族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素数3~18の飽和環状炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数6~18の芳香族炭化水素基が挙げられ、前記脂肪族炭化水素基及び前記飽和環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-SO2-又は-CO-で置き換わっていてもよい。脂肪族炭化水素基としては、なかでも、炭素数1~6のアルキル基が好ましい。脂肪族炭化水素基、飽和環状炭化水素基及び芳香族炭化水素基の置換基としては、例えば、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~12の脂肪族炭化水素基、ヒドロキシ基含有炭素数1~12の脂肪族炭化水素基、炭素数3~16の飽和環状炭化水素基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基、炭素数2~4のアシル基又は-CH2j2-O-CO-Rb1基式中、Rb1は、炭素数1~16の脂肪族炭化水素基、炭素数3~16の飽和環状炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基を表す。j2は、0~4の整数を表す。などが挙げられる。Yの置換基である脂肪族炭化水素基、飽和環状炭化水素基及び芳香族炭化水素基等は、さらに置換基を有していてもよい。ここでの置換基は、例えば、アルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基等が挙げられる。ヒドロキシ基含有脂肪族炭化水素基としては、例えば、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基などが挙げられる。脂肪族炭化水素基及び飽和環状炭化水素基における-CH2-が-O-、-SO2-又は-CO-で置き換わった基としては、例えば、環状エーテル-CH2-が-O-で置き換わった基、オキソ基を有する飽和環状炭化水素基-CH2-が-CO-で置き換わった基、スルトン環隣り合う2つの-CH2-が、それぞれ、-O-又は-SO2-で置き換わった基又はラクトン環隣り合う2つの-CH2-が、それぞれ、-O-又は-CO-で置き換わった基等が挙げられる。特に、R2の飽和環状炭化水素基としては、式Y1~式Y26で表される基が挙げられる。なかでも、好ましくは式Y1~式Y19のいずれかで表される基であり、より好ましくは式Y11、式Y14、式Y15、式Y19又は式Y26で表される基であり、さらに好ましくは式Y11で表される基である。式IIIで表される化合物としては、下記の化合物が挙げられる。式IIIで表される化合物に由来する構造単位を有する樹脂は、レジスト組成物用の樹脂として有用である。以下、本発明を実施例によって詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。実施例及び比較例中、含有量ないし使用量を表す及び部は、特記ないかぎり質量基準である。化合物の構造は、質量分析LCはAgilent製1100型、MASSはAgilent製LC/MSD型又はLC/MSDTOF型で確認した。実施例1[式I-1で表される化合物の合成]式I-1-aで表される化合物商品名:4-ビニル安息香酸東京化成製20.00部、ジシクロヘキシルカルボジイミド13.82部及び塩化メチレン40.00部を仕込み、得られた混合マスに、0°Cで、式I-1-bで表される化合物商品名:カルボニルジイミダゾール東京化成製10.94部を仕込み、0°Cで1時間攪拌した。23°Cまで昇温し、更に、30分間攪拌した後、ろ過した。得られた濾液を濃縮して、式I-1で表される化合物25.65部を得た。MASS:198.1実施例2[式I-2で表される化合物の合成]式I-2-aで表される化合物商品名:メタクリル酸東京化成製18.06部及びジメチルホルムアミド200部を仕込み、23°Cで30分間攪拌した後、炭酸カリウム27.64部及びヨウ化カリウム8.30部を仕込み、40°Cで30分間攪拌した。得られた混合物に、式I-2-bで表される化合物商品名:ブロモ酢酸東京化成製27.80部を1時間かけて添加した後、40°Cで6時間攪拌した。得られた反応物を23°Cに冷却し、クロロホルム300部及び5シュウ酸水溶液100部を添加した。23°Cで30分間攪拌した後、分液し、回収された有機層にイオン交換水200部を仕込み、23°Cで30分間攪拌した後、分液した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式I-2-cで表される化合物12.19部を得た。式I-2-cで表される化合物10.00部、ジシクロヘキシルカルボジイミド7.12部及び塩化メチレン40.00部を仕込み、得られた混合マスに、0°Cで、式I-2-dで表される化合物商品名:カルボニルジイミダゾール東京化成製5.63部を仕込み、0°Cで1時間攪拌した。23°Cまで昇温し、更に、30分間攪拌した後、ろ過した。得られた濾液を濃縮して、式I-2で表される化合物12.40部を得た。MASS:194.1実施例3[式I-3で表される化合物の合成]式I-3-aで表される化合物35.68部、ジシクロヘキシルカルボジイミド13.82部及び塩化メチレン60.00部を仕込み、得られた混合マスに、0°Cで、式I-3-bで表される化合物商品名:カルボニルジイミダゾール東京化成製10.94部を仕込み、0°Cで1時間攪拌した。23°Cまで昇温し、更に、30分間攪拌した後、ろ過した。得られた濾液を濃縮して、式I-3で表される化合物40.84部を得た。MASS:314.2実施例4[式III-1で表される化合物の合成]式I-1で表される化合物19.82部、式II-1で表される化合物18.23部及びアセトニトリル200部を仕込み、23°Cで5時間攪拌した。得られた混合物を濃縮し、クロロホルム300部及びイオン交換水150部を加えた後、分液操作により、有機層を回収した。回収された有機層をイオン交換水150部で洗浄した後、得られた有機層を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式III-1で表される化合物28.12部式I-1-aで表される化合物に対する収率86、式I-1で表される化合物に対する収率90を得た。MASS:312.2比較例1[式III-1で表される化合物の合成]式II-1で表される化合物7.52部、トリエチルアミン7.14部及び4-メトキシフェノール0.04部をテトラヒドロフラン226部中で混合し、-3°Cを保ちながら、式III-1-aで表される化合物14.38部を添加した。更に、5.5時間撹拌した後、イオン交換水15部を加え、有機層/水層=1/1程度の体積になるまで濃縮した。得られた濃縮物に酢酸エチル75部及びイオン交換水15部を加えた後、分液操作により、有機層を回収した。得られた有機層を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式III-1で表される化合物3.82部式II-1で表される化合物に対する収率30を得た。実施例5[式III-2で表される化合物の合成]式I-2で表される化合物9.71部、式II-2で表される化合物9.12部及びアセトニトリル100部を仕込み、23°Cで3時間攪拌した。得られた混合物を濃縮し、クロロホルム150部及びイオン交換水75部を加えた後、分液操作により、有機層を回収した。回収された有機層をイオン交換水75部で洗浄した後、得られた有機層を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式III-2で表される化合物13.57部式I-2-cで表される化合物に対する収率81、式I-2で表される化合物に対する収率88を得た。MASS:308.2比較例2[式III-2で表される化合物の合成]式II-2で表される化合物10部及びテトラヒドロフラン80部を仕込み、得られた混合マスに、23°Cで、ピリジン5.21部を仕込み、40°Cで30分間攪拌した。得られた混合液に、式III-2-aで表される化合物9.29部及びテトラヒドロフラン19部を仕込み、40°Cで8時間攪拌した後、0°Cまで冷却し、イオン交換水40部を添加し攪拌後分液した。得られた水層に酢酸エチル25部を添加攪拌後、分液した。得られた有機層に10炭酸カリウム水溶液25部を添加攪拌後、分液した。得られた有機層に、イオン交換水25部を添加攪拌後、分液した。この水洗操作を3回行った。得られた有機層に活性炭1部を添加攪拌後、ろ過した。回収された濾液を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式III-2-bで表される化合物5.63部を得た。式III-2-cで表される化合物3.56部、トリエチルアミン7.14部及び4-メトキシフェノール0.04部をテトラヒドロフラン226部中で混合し、-3°Cを保ちながら、式III-2-bで表される化合物22.33部を添加した。更に、5.5時間撹拌した後、イオン交換水15部を加え、有機層/水層=1/1程度の体積になるまで濃縮した。得られた濃縮物に酢酸エチル75部及びイオン交換水15部を加えた後、分液操作により、有機層を回収した。得られた有機層を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式III-2で表される化合物2.19部式III-2-aで表される化合物に対する収率17を得た。実施例6[式III-3で表される化合物の合成]式I-2で表される化合物9.71部、式II-3で表される化合物8.37部及びアセトニトリル100部を仕込み、23°Cで3時間攪拌した。得られた混合物を濃縮し、クロロホルム150部及びイオン交換水75部を加えた後、分液操作により、有機層を回収した。回収された有機層をイオン交換水75部で洗浄した後、得られた有機層を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式III-2で表される化合物12.18部式I-2-cで表される化合物に対する収率76、式I-2で表される化合物に対する収率83を得た。MASS:293.2実施例7[式III-4で表される化合物の合成]式I-3で表される化合物15.72部、式II-2で表される化合物9.12部及びアセトニトリル120部を仕込み、23°Cで3時間攪拌した。得られた混合物を濃縮し、クロロホルム150部及びイオン交換水75部を加えた後、分液操作により、有機層を回収した。回収された有機層をイオン交換水75部で洗浄した後、得られた有機層を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式III-4で表される化合物20.02部式I-3-aで表される化合物に対する収率89、式I-3で表される化合物に対する収率93を得た。MASS:428.3[式X-1で表される化合物の合成]式X-1-aで表される化合物商品名:メタクリル酸東京化成製20.00部、ジシクロヘキシルカルボジイミド23.93部及び塩化メチレン40.00部を仕込み、得られた混合マスに、0°Cで、式X-1-bで表される化合物商品名:カルボニルジイミダゾール東京化成製18.83部を仕込み、0°Cで1時間攪拌した。23°Cまで昇温し、更に、30分間攪拌した後、ろ過した。得られた濾液を濃縮して、式X-1で表される化合物30.56部を得た。MASS:136.1[式XII-1で表される化合物の合成]式X-1で表される化合物13.62部、式XI-1で表される化合物18.23部及びアセトニトリル200部を仕込み、23°Cで5時間攪拌した。得られた混合物を濃縮し、クロロホルム300部及びイオン交換水150部を加えた後、分液操作により、有機層を回収した。回収された有機層をイオン交換水150部で洗浄した後、得られた有機層を濃縮し、カラムメルク製シリカゲル60-200メッシュ、展開溶媒:酢酸エチルにより分取して、式XII-1で表される化合物21.28部式X-1-aで表される化合物に対する収率82、式X-1で表される化合物に対する収率85を得た。