"直線状に配列した複数の光出射部を有する第1光学部品、および直線状に配列した複数の光入射部を有する第2光学部品について、光出射部から出射した光が光入射部に入射する際の受光強度を計測することによって、直交するX軸、Y軸からなるXY平面に対して直交する複数の平行な光軸を共有するように調芯を行うための光軸調芯方法であって、複数の光軸から第1および第2光軸を選定するステップと、第1光軸についてXY方向の調芯を行うステップと、第2光軸についてXY方向の調芯を行うステップと、第1光軸のXY調芯座標および第2光軸のXY調芯座標に基づいて、第1および第2光学部品の間の傾斜角を取得するステップと、取得した傾斜角だけ第1及び/又は第2光学部品を相対回転させて、回転方向の調芯を行うステップと、第1及び/又は第2光学部品を、第1光軸周りに所定のステップ角度だけ相対回転させた後、第2光軸についてXY光軸調芯を行い、受光強度の変化を計測して回転方向の出力分布を取得するステップと、回転方向の出力分布が所定の閾値以上になる回転角を取得するステップと、取得した回転角だけ第1及び/又は第2光学部品を相対回転させて、回転方向の調芯を再度行うステップと、第1光軸および第2光軸についてXY方向の調芯を再度行うステップと、を含むことを特徴とする光軸調芯方法。XY方向の調芯を再度行うステップは、第1光軸のXY調芯座標および第2光軸のXY調芯座標の平均値になるようにXY方向の調芯を行うことを特徴とする請求項1記載の光軸調芯方法。XY方向の調芯を再度行うステップは、第1光軸の受光強度と第2光軸の受光強度との差が所定の閾値以下になるようにXY方向の調芯を行うことを特徴とする請求項1記載の光軸調芯方法。第1および第2光軸を選定するステップは、複数の光軸のうち両端に位置する2つの光軸を選定することを特徴とする請求項1記載の光軸調芯方法。第1光学部品と第2光学部品との調芯は、光ファイバアレイと受光素子アレイとの調芯、発光素子アレイと光ファイバアレイとの調芯、または発光素子アレイと受光素子アレイとの調芯であることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の光軸調芯方法。特許文献1の方法は、光軸芯間距離の製造誤差が考慮されていないため、上記のようにして得られたXY座標より算出されるθは正確な値にならない。そのため光軸芯に対して光学部品をθ方向に高精度に調整することが困難である。本発明の目的は、多芯を有する光学部品同士の光軸調芯においてθ方向に高精度な光軸調芯が可能である、光学部品の光軸調芯方法を提供することである。上記目的を達成するために、本発明は、直線状に配列した複数の光出射部を有する第1光学部品、および直線状に配列した複数の光入射部を有する第2光学部品について、光出射部から出射した光が光入射部に入射する際の受光強度を計測することによって、直交するX軸、Y軸からなるXY平面に対して直交する複数の平行な光軸を共有するように調芯を行うための光軸調芯方法であって、複数の光軸から第1および第2光軸を選定するステップと、第1光軸についてXY方向の調芯を行うステップと、第2光軸についてXY方向の調芯を行うステップと、第1光軸のXY調芯座標および第2光軸のXY調芯座標に基づいて、第1および第2光学部品の間の傾斜角を取得するステップと、取得した傾斜角だけ第1及び/又は第2光学部品を相対回転させて、回転方向の調芯を行うステップと、第1及び/又は第2光学部品を、第1光軸周りに所定のステップ角度だけ相対回転させた後、第2光軸についてXY光軸調芯を行い、受光強度の変化を計測して回転方向の出力分布を取得するステップと、回転方向の出力分布が所定の閾値以上になる回転角を取得するステップと、取得した回転角だけ第1及び/又は第2光学部品を相対回転させて、回転方向の調芯を再度行うステップと、第1光軸および第2光軸についてXY方向の調芯を再度行うステップと、を含むことを特徴とする。本発明によれば、多芯を有する光学部品同士の光軸調芯においてθ方向に高精度な光軸調芯を達成できる。実施の形態1.図1は、本発明に係る光軸調芯方法において使用される調芯装置の一例を示す構成図である。ここでは、X方向に直線状に配列した複数の光出射部を有する第1の光学部品8および、X方向に直線状に配列した複数の光入射部を有する第2の光学部品9について、直交するX軸、Y軸からなるXY平面に対して直交するZ方向に沿った複数の平行な光軸を共有するように調芯する方法について説明する。本実施形態では、光学部品8は光を出射する部品として、光学部品9は光が入射する部品として説明しており、本発明は、例えば、光ファイバアレイと受光素子アレイとの調芯、発光素子アレイと光ファイバアレイとの調芯、または発光素子アレイと受光素子アレイとの調芯などに適用できる。受光素子アレイとして、PD素子アレイを含んだPDモジュールが例示できる。発光素子アレイとして、LD素子アレイを含んだLDモジュールが例示できる。調芯装置は、ベース41と、スタンド42とを備える。スタンド42の側面には、Z方向の位置制御が可能なZステージ1が設けられ、その可動部の上にクランプ機構2が設けられる。光学部品8は、このクランプ機構2に固定される。一方、ベース41の上面には、Y方向の位置制御が可能なYステージ5が設けられ、その可動部の上にX方向の位置制御が可能なXステージ4が設けられ、その可動部の上にZ軸周りのθ回転方向の位置制御が可能なθステージ3が設けられる。これらのXステージ4、Yステージ5、Zステージ1およびθステージ3の位置制御により、光学部品8と光学部品9の間の3次元位置およびθ回転の位置決めが可能になる。なお、θステージ3、Xステージ4、Yステージ5の設置順序は入れ替わってもよい。また、これらのステージ1,3,4,5は、ベース41およびスタンド42のいずれかに設置されていれば足り、例えば、4つステージを全てベース41に設置してもよく、あるいはXステージ4とYステージ5をベース41に設置し、Zステージ1とθステージ3をスタンド42に設置してもよい。発光制御部6は、光学部品8の複数の光出射部から放射される光の強度を個別に制御する機能を有し、例えば、光学部品8が光ファイバアレイである場合は、各光ファイバに対応した光源の発光強度を個別に制御し、光学部品8が発光素子アレイである場合は、各発光素子の発光強度を個別に制御する。受光計測部7は、光学部品9の複数の光入射部に入射する光の強度を個別に計測する機能を有し、例えば、光学部品9が受光素子アレイである場合は、各受光素子の受光強度を個別に計測し、光学部品9が光ファイバアレイである場合は、各光ファイバに対応した受光器での受光強度を個別に計測する。信号処理部51は、例えば、パーソナルコンピュータなどで構成され、所定のプログラムに従って、発光制御部6および受光計測部7の各動作を制御するとともに、Xステージ4、Yステージ5、Zステージ1およびθステージ3の位置制御を実行する。図2は、光学部品8と光学部品9の組合せの一例を示す説明図である。光学部品9として、X方向に直線状に配列した複数の受光素子を有する受光素子アレイ10を使用している。光学部品8として、X方向に直線状に配列した複数の光ファイバ軸芯を有する光ファイバアレイを使用している。光軸調芯に使用する受光素子および軸芯は、図2に示すように、XYθ方向の最適位置で調芯した際に対になる光軸同士を選ばなければならない。本実施形態は、固定された光学部品8例えば多芯ファイバに対して、光学部品9に実装された受光素子アレイのうちの2組の光学素子の光軸をθ方向に高精度に調芯する方法を提供するものである。ここで、光学部品同士を調芯させる自由度は、θ回転の他にX軸回りの回転およびY軸回りの回転も考えられるが、ここでは光学部品同士の平行度が出ていることを前提としているため、θ回転以外の回転軸に関する調整については説明を割愛する。まず、光学部品9に実装された受光素子アレイのうち、光軸調芯に使用する受光素子の組を選定する。光軸調芯に使用する受光素子および軸芯は、できる限り長い間隔を確保することが好ましく、それぞれ直線上に並んだ受光素子および軸芯の両端に位置するもの同士を選定することが好ましい。例えば、図2に示すように、複数の受光素子のうち両端に位置する2つの受光素子11,12をそれぞれ素子A、素子Bとする。さらに素子A,Bに対応する2つの光ファイバ軸芯13,14をそれぞれ軸芯A、軸芯Bとする。図3は、光軸調芯方法におけるXY方向の調芯手順を示す説明図である。最初に、軸芯A軸芯13からの出射光を素子A受光素子11に入射させ受光強度を計測しながら、軸芯Aに対する素子Aの最適位置をXY方向に沿って調芯する。1芯同士のXY方向の光軸調芯方法については、特許文献1にも説明されているように、例えば、ジグザグ法、最急傾斜法、単純最大点法などの公知技術が使用できる。ここで、素子Aの調芯完了後のXY座標をx1,y1とする。次に、軸芯B軸芯14からの出射光を素子B受光素子12に入射させ受光強度を計測しながら、軸芯Bと素子Bについても同様にXY方向に沿って光軸調芯を行い、調芯完了後のXY座標をx2,y2とする。従って、素子Aの調芯完了座標x1,y1から素子Bの調芯完了座標x2,y2までのXY方向の移動距離は、それぞれ|x2-x1|と|y2-y1|となる。これより、軸芯A,Bに対して素子A,Bをθ方向に一致させるために必要な回転角度θ1は、下記の式1を用いて計算することができる。式1において、Lは、軸芯Aと軸芯B間の距離設計値を示し、nは、軸芯と受光素子間に配置されたレンズの倍率である。レンズが存在しない場合は、n=1として計算すればよい。こうして得られた角度θ1だけ素子Bの調芯完了座標x2,y2の周りに光学部品8及び/又は光学部品9を相対回転させることによって、θ方向の調芯を達成できる。ここで、上記の回転角度計算に用いられる軸芯A-B間の距離Lは設計値である。実際には、設計値通りの寸法であるとは限らないため、上記方法で算出される回転角度θ1は正確な値ではない。例えば、L=125μm、|x2-x1|=21.7μm、|y2-y1|=1.9μm、n=1の場合、θ1=arctan{21.7/125-1.9}=9.997°≒10.0°となる。ここで、軸芯間距離の製造誤差を3μmとして式1を用いて計算すると、θ1=arctan{21.7/128-1.9}=9.764°≒9.8°となり、最適な回転角度との差は約0.2°となる。次に、軸芯間距離Lの製造誤差による影響を受けずに、より高精度に軸芯A,Bと素子A,Bをθ方向の最適位置に調整する手法について説明する。図4と図5は、光軸調芯方法におけるXY方向の補正手順を示す説明図である。最初に、軸芯A軸芯13からの出射光を素子A受光素子11に入射させ受光強度を計測しながら、素子Bの調芯完了座標x2,y2を回転中心19として、あるステップ角度Δθ図4中の符号22だけ光学部品9を回転させ、素子Aの受光強度の変化を取得する。そして、素子Aの受光強度が最大となるように、光学部品9のXY方向の変位を補正する。次に、上記と同様に、回転中心19の周りに、さらにステップ角度Δθだけ光学部品9を回転させ、素子Aの受光強度の変化を取得する。そして、素子Aの受光強度が最大となるように、光学部品9のXY方向の変位を補正する。こうしてステップ角度Δθの回転動作と光学部品9のXY変位の補正動作を繰り返し行い、素子Aの出力Pを連続して取得することにより、θ方向の出力分布が得られる。図6は、θ方向の出力分布を示すグラフである。得られた出力分布のうち、最大出力となるθ図6中の符号31に光学部品9の角度を調整する。最後に、素子A,BそれぞれについてXY方向の光軸調整を行う。例えば、こうした得られた2つの調芯完了座標の平均値になるようにXY座標を調整したり、あるいは、代表する光学素子の組素子A,Bの出力差が所定の閾値以下になるようにXY座標を調整する。その結果、軸芯間距離Lの製造誤差による影響を極力排除しながら、2つの光学部品8,9間でθ方向に高精度な光軸調芯を達成できる。こうした補正手法の数学的根拠について説明する。ここで、上記のようにΔθの回転により生じるXY方向への変位補正量Δx,Δyを求めるために、素子Aと軸芯Aのみに着目する。図4に示すように、素子AをΔθだけ回転させたとき、素子AのXY方向の変位量Δx,Δyは、下記の式2となる。式2において、素子A受光素子11と回転中心19までの距離をr図4中の符号20、XY平面上のX軸と素子Aのなす角をθ図4中の符号21とする。ここで、Δθ=θ1とすると、素子Aをθ1だけ回転させた後、素子AはXY方向の変位を伴うため、上記と同様の方法で、再度、素子AについてXY方向の光軸調芯を行う。このときの素子Aの調芯完了座標をx3,y3とする。よって、Δx=|x3-x1|、Δy=|y3-y1|となるので、rに関して下記の式3が成り立つ。さらに、Δθ,Δx,Δyを式2に代入すると、式4となる。この式4をcosθ,sinθについて解くと、式5と式6が得られる。上記の方法で求めた回転中心座標19、現在の素子Aの座標、回転量Δθを用いてΔθだけ回転させた時のXY方向の変位量Δx,Δyを式2を用いて計算し、Δθの回転に伴いΔx,Δyだけ素子Aの位置を移動させることで、Δθの回転によるXY方向の変位を補正できる。上記の方法によって得られるθ方向の受光素子の出力分布は、図6に示すように、XY方向の場合と同様に、出力最大値がある範囲で一定となる。上記の方法を用いて軸芯に対する光学素子の最適角度を求めた場合、図6に示すように、受光素子の出力がある閾値図6中の符号28以上となる2点を求め、その中点を最適角度とするため、θ方向の調整精度はステップ角度Δθの1/2となる。図6では、取得した受光素子の出力値で閾値以上となる点を黒丸●図6中の符号29、閾値未満となる点を白丸○図6中の符号30で示している。例えば、ステップ角度Δθが0.1°の場合、上記方法を用いた時のθ方向の調整精度は、その半分の0.05°である。従って、上記の例では、式1を用いた場合の調整精度0.2°と比べて、4倍の精度でθ方向の調整が可能になることが判る。"