電気-機械エネルギ変換素子への電気信号の印加により振動波による駆動力を生成する振動波モータを複数備え、前記複数の振動波モータによる前記駆動力を合成して被駆動部材を駆動する振動波モータの駆動制御装置であって、前記振動波モータの駆動周波数を制限する駆動周波数制限手段を備え、前記駆動周波数制限手段によって、前記複数の振動波モータの中でモータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点を持つ振動波モータの共振周波数点を超えないように前記駆動周波数を制限することを特徴とする振動波モータの駆動制御装置。前記駆動周波数制限手段は、前記複数の振動波モータのそれぞれに設けられた振動検出部を備え、前記振動検出部から検出される出力信号によって、前記複数の振動波モータの中でモータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点を検出することを特徴とする請求項1に記載の振動波モータの駆動制御装置。前記振動検出部は、前記振動波モータにおける前記電気-機械エネルギ変換素子によって構成され、該振動検出部により出力電圧の変動量を検出することを特徴とする請求項2に記載の振動波モータの駆動制御装置。前記振動波モータの駆動周波数を制限するための制限値を設定する制御手段を有し、前記制御手段によって、前記振動検出部で検出された前記複数の振動波モータの中でモータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点に基づいて、前記最も高い共振周波数点の側に駆動周波数を所定の量変化させ、前記駆動周波数の制限値を設定することを特徴とする請求項2または請求項3に記載の振動波モータの駆動制御装置。しかしながら、連成駆動を行う上記複数個振動波モータのf-N特性のグラフを凡そにおいて一致させても、通常は個々の振動波モータによって共振周波数点が異なる。そのため、共振周波数点が低周波側図5に示す駆動領域501に存在する振動波モータでは正常に駆動できる駆動周波数であっても、共振周波数点が該駆動周波数よりも高い図5に示す駆動領域502振動波モータが存在するとその振動波モータは崖落ち状態になり回転しなくなってしまうこととなる。ここで崖落ち状態とは、振動と周波数特性との関係から、駆動周波数が特定の周波数帯域内の周波数になった場合に、急激に振動波モータの回転が低下停止することを意味する。図6に、連成駆動装置内振動波モータモータDとモータEの印加駆動周波数に対する駆動パターンによる連成駆動装置の駆動モードの差異を示す。まず、印加駆動周波数に対する回転速度が連成駆動装置内全振動波モータにおいて一定であるのが理想である。つまり、図6aにおいて、モータDのステータ605とモータEのステータ607に同様の振動が励起される。これにより、ロータとステータの接触点603に同様の質点運動が生まれ、モータDのロータ604とモータEのロータ606それぞれが同速度で駆動することができる。その結果、連成駆動する際の出力ギヤ602を介してモータDとモータEの合計トルク特性を、該連成駆動における出力軸601から得ることができる。ただし、上記振動波モータの特性は不定であることから連成駆動装置内の全振動波モータに全く同等の振動を励起させることは不可能であり、図6bに示すように、該振動波モータ各々の回転速度には多少ばらつきが生じる。しかし、滑りが無い質点運動では回転速度に見合った振幅になるため連成駆動は可能である。しかしながら、図6cに示すように、共振周波数点が駆動周波数よりも高周波側にあり崖落ちによる叩き振動を生じる振動波モータが一台でも存在した場合、上記連成駆動装置の出力ギヤを介して他の正常に駆動している振動波モータの回転を妨げてしまう。その結果、振動波モータのピニオンギヤと出力ギヤとの間で歯とびや歯かけの発生や、ロータとステータとの間で滑りが発生し叩き振動が発生することでロータとステータの接触面の精度が落ちてしまう危険性が生じる。そして、正常な動作が不可能となり振動波モータの故障の原因ともなり得る。また、振動波モータの鳴きなど不快な音を発することとなる。本発明は、上記課題に鑑み、複数の振動波モータによる駆動力を合成して駆動するに当たり、これらの複数の振動波モータの中で最も高い共振周波数点を有する振動波モータの共振周波数点を超えないように制限することができ、安定した駆動が可能となる振動波モータの駆動制御装置の提供を目的とする。本発明の振動波モータの駆動制御装置は、複数の振動波モータによる駆動力を合成して被駆動部材を駆動する振動波モータの駆動制御装置であって、前記振動波モータの駆動周波数を制限する駆動周波数制限手段を備え、前記駆動周波数制限手段によって、前記複数の振動波モータの中でモータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点を持つ振動波モータの共振周波数点を超えないように前記駆動周波数を制限することを特徴とする。本発明によれば、複数の振動波モータによる駆動力を合成して駆動するに当たり、これらの複数の振動波モータの中で最も高い共振周波数点を有する振動波モータの共振周波数点を超えないように制限することができ、安定した駆動が可能となる振動波モータの駆動制御装置及び駆動制御方法を実現することができる。本発明の実施形態においては、電気-機械エネルギ変換素子への電気信号の印加により振動波による駆動力を生成する振動波モータを複数備え、該複数の振動波モータによる上記駆動力を合成して被駆動部材を駆動する振動波モータの駆動制御装置を、つぎのように構成することで、振動波モータの崖落ちによる叩き振動を回避することができる。すなわち、振動波モータの駆動周波数を制限する駆動周波数制限手段として、上記複数の振動波モータの中でモータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点を持つ振動波モータの共振周波数点を超えないように前記駆動周波数を制限する手段を構成する。これにより、連成駆動における複数の振動波モータの個々が持つ共振周波数点よりも低周波側の周波数を駆動周波数として印加することが無くなり、該振動波モータの崖落ちによる叩き振動を回避できる。また、崖落ちにより回転が停止してしまうことで、連成しようとする他の振動波モータに出力ギヤを介して駆動の障害となることを回避できる。その結果、前記各振動波モータに印加した駆動周波数とは異なる駆動モードを外部から強制され、摩擦力で駆動する該振動波モータのロータ―ステータ間における異常摩耗の発生による故障を回避することができ、連成駆動における故障の抑制が可能となる。また、本発明の実施形態においては、上記駆動周波数制限手段として、上記複数の振動波モータのそれぞれに振動検出部を設けるようにした構成を採ることができる。そして、振動検出部から検出される出力信号によって、前記複数の振動波モータの中でモータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点を検知することが可能に構成する。これにより、振動波モータが駆動するたびに該駆動モードの振動を出力信号として自動的に更新して、管理を容易にすることができる。また、前期振動波モータの発熱やロータ-ステータ間の磨耗による共振周波数点の変化にも対応でき、自動機への活用も可能となる。また、本発明の実施形態においては、前記振動検出部を、上記振動波モータにおける電気-機械エネルギ変換素子によって構成し、該振動検出部により出力電圧の変動量を検出する構成を採ることができる。これにより、振動検出部が前記振動波モータを構成する部品の一部に内蔵されるようにすることができ、新たに振動検出用の部品を足す必要が無く、振動波モータ及び連成駆動を構成するための装置の小型化が可能となる。また省スペース化だけではなく低コスト化も可能となる。また、本発明の実施形態においては、上記振動波モータの駆動周波数を制限するための制限値を設定する制御手段を有する構成を採ることができる。そして、この制御手段によって、前記振動検出部で検出された前記複数の振動波モータの中でモータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点に基づいて、前記最も高い共振周波数点の側に駆動周波数を所定の量だけ変化させ、前記駆動周波数の制限値を設定するように構成する。これにより、連成駆動を構成するための装置内の振動波モータの中で最も高い共振周波数点を持つ振動波モータの共振周波数より高周波側に余裕を持たせることができ、崖落ち寸前の駆動周波数での駆動を回避することが可能となる。本発明の実施例として、以下に複数の振動波モータによる駆動力を合成して被駆動部材を駆動する振動波モータの駆動制御装置の構成例について説明する。図1は本実施例の振動波モータの駆動制御装置の構成例を説明する図である。図1において、センサ相振動検出部101は1枚以上の電気-機械エネルギ変換素子からなるPZT102の中に、振動を検出する検出相として含まれている。PZT102は、振動波モータを構成するユニットの一部であるロータ-ステータ組103に含まれ、PZT102に駆動周波数を印加することで一体となっている振動体ステータ105に振動進行波を励起する。そして、振動体105とこれに接触する接触体ロータ106とを相対駆動し、接触体ロータ106と一体となったモータ軸104へと駆動トルクが出力される。ロータ-ステータ組103を含む振動波モータ107を連成駆動装置外筒111に複数個取付け、振動波モータ107のモータ軸104に接着したピニオンギヤ108が複数個の振動波モータ各々で、連成駆動装置113の出力ギヤ109と噛み合うようにされている。連成駆動装置外筒111と一体となった軸受け112を支えとし、出力ギヤ109と一体となった連成駆動装置出力軸110に複数個の振動波モータ107の各々が持つ出力トルクの合計を出力する構成となっている。振動波モータ107を構成する部品の一つである電気-機械エネルギ変換素子は2枚以上の層構造となっており、その中に振動状態を検出する手段として、電気-機械エネルギ変換素子1枚をセンサ相振動検出部として設けている。センサ相101に銀銅金などの材料をシルク印刷などでパターニングしたモニタ電極から得られる振動信号と駆動信号との位相差が一定となるように駆動信号の周波数を制御する方式は、従来において知られている。そして、時間的位相が90度異なる駆動用入力信号A相信号とB相信号とが、それぞれ位置的位相が波長の1/4の位相差で配置されていることで、振動の質点が円運動をする。図2に示すように、モニタ電極から発生するセンサ電圧をモニタリングすることができる。ロータ-ステータ間で滑りが発生すると駆動周波数とは異なる振動叩き振動が発生する為、進行波により発生する正弦波と異なった信号が重畳されて出てくる。このとき、滑りによりロータが跳ねる為に部分的に変化量の大きな電圧が発生し、この信号が任意の出力値より大きくなった場合を叩き振動と判断することができる。図4は、本実施例における振動波モータを駆動制御する駆動制御装置の回路構成を説明する図である。401は前記振動波モータを制御するためのIC制御手段である。402はD/Aコンバータであり前記振動波モータ制御IC401のデジタル出力信号をアナログ出力電圧に変換し、連成駆動に用いる複数個の振動波モータ各々に対応したゲイン-オフセット調整部403へと出力する。403はゲイン-オフセット調整部であり、全てに共通した指令値電圧を個々の振動波モータに対応した電圧制御発振器以下、VCOという404へ分圧調整した電圧を送る構成としている。前記ゲイン-オフセット調整部を外部から調整することで各振動波モータのf-N特性をシフトさせ、おおよそ一致させることができる。404はVCOでありゲイン-オフセット調整部403によって分圧調整したD/Aコンバータ402からのアナログ出力電圧に応じた周波電圧を出力する。405は4相生成ブロックであり、VCO404からの周波電圧を分周して、π/2位相差の矩形波を出力する。406はドライブ段であり、4相生成ブロック405からの周波電圧を、前記振動波モータを駆動できる電圧と電流値に増幅する。さらにコイルを用いて、増幅させた矩形波の周波信号をなまらせることでサイン波に近い周波信号を振動波モータ407へと供給する。以上連成駆動に用いる複数個の振動波モータ各々に対応した周波信号を送信することで連成駆動を行う。図7は本実施例における印加駆動周波数による制御ステップを説明するフローチャートである。ステップ701では、連成駆動装置内の全振動波モータに印加する任意の駆動周波数f0を設定する。ステップ702では、駆動周波数を高周波側fhiから低周波側flowへとシフトさせていき、ステップ701で設定した任意の駆動周波数f0まで印加することで前記複数個の振動波モータの回転速度を上げていく。ステップ703では、連成駆動装置に用いる全振動波モータ内の振動検出部において振動の検出を行う。ステップ704では、ステップ703で検出した振動の変化量を判断して崖落ちによる異常振動がないかを判断しその時の印加駆動周波数f1を検出する。ステップ704において異常振動ありと判断された場合、ステップ705において異常振動時の駆動周波数f1を高周波側に任意の量シフトさせた周波数f1Δfを低周波側の制限値として設定し、ステップ702へと戻る。ステップ704において異常振動なしと判断された場合、その時の印加駆動周波数f1が連成駆動装置内の全振動波モータの中で、モータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点の側にある振動波モータの共振周波数となる。そして、ステップ706において連成駆動装置内の全振動波モータが崖落ちしない周波数領域の中で最高回転速度を示す印加駆動周波数‘f0を制限値として設定する。ステップ707では、ステップ706で設定した駆動周波数‘f0を制限値として連成駆動装置内の全振動波モータに駆動周波数を印加する。ステップ708では、連成駆動装置に用いる全振動波モータ内で最も共振周波数点が高周波側にある振動波モータの振動検出部において振動の検出を行う。ステップ709では、ステップ708で検出した振動の変化量を判断して連成駆動装置に用いる全振動波モータ内で最も共振周波数点が高周波側にある振動波モータにおいて崖落ちによる異常振動がないかを判断しその時の印加駆動周波数‘f1を検出する。ステップ709において異常振動ありと判断された場合、ステップ710において異常振動時の駆動周波数f1を高周波側に任意の量シフトさせた周波数f1Δfを低周波側の制限値として設定し、ステップ707へと戻る。ステップ709において異常振動なしと判断された場合、ステップ706へと戻り、常時崖落ちによる異常振動の検出をループして行う。以上に説明したように、連成駆動装置内の全振動波モータの中で最も共振周波数が高い振動波モータとその共振周波数を検出し、該共振周波数を高周波側に任意の量変化させた制限値を設ける。これにより、該連成駆動装置内の全振動波モータにおいて崖落ちによる異常振動を防止し、安定した駆動が可能となる振動波モータの駆動制御装置及び駆動制御方法を実現することができる。