"金属板、繊維強化プラスチック板、プラスチック板の何れかの板状材料からなる基層または熱硬化性樹脂を含浸させた複数枚のガラス長繊維基材からなる基層とその両面に積層したフィルム層とからなる被研磨物保持材であって、前記フィルム層が厚さ25~150μmの液晶ポリマーフィルムからなることを特徴とする被研磨物保持材。前記板状材料からなる基層とその両面に積層したフィルム層とからなる被研磨物保持材であって、基層とフィルム層が熱硬化性接着剤で接合されてなることを特徴とする請求項1記載の被研磨物保持材。前記熱硬化性樹脂を含浸させた複数枚のガラス長繊維基材からなる基層とその両面に積層したフィルム層とからなることを特徴とする請求項1記載の被研磨物保持材。太陽ギアと、外周に前記太陽ギアと噛み合うギアと被研磨物が嵌め込まれる貫通孔とを有する被研磨物保持材であって、自転しつつ前記太陽ギアの周りを公転する遊星運動が可能な被研磨物保持材と、前記被研磨物保持材の前記ギアと噛み合うインターナルギアと、前記貫通孔に嵌め込まれ、前記被研磨物保持材の遊星運動により回転する被研磨物を研磨する研磨器と、を備えた研磨装置であって、前記被研磨物保持材は請求項1から3のいずれかに記載の被研磨物保持材で形成されている、研磨装置。請求項4に記載の研磨装置を用いた被研磨物の研磨方法であって、前記被研磨物を前記貫通孔に嵌め込み、かつ、前記被研磨物保持材を遊星運動させた状態において、被研磨物を前記研磨器で研磨する、被研磨物の研磨方法。本発明は上記事情に鑑みなされたもので、被研磨物保持材のドレッシング時間短縮、スクラッチ発生抑制、反り精度、板厚精度及び使用寿命の向上等機械的特性向上を含めた経済的に有利な被研磨物保持材、それを用いた研磨装置及び製造方法を提供することを目的とするものである。本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、厚さが25~150μmの液晶ポリマーフィルム層を、板状材料または熱硬化性樹脂を含浸させた複数枚のガラス長繊維基材からなる基層の両面に積層してなる被研磨物保持材により、前記目的が達成されることを見出した。本発明はかかる知見に基づいて完成したものである。すなわち、本発明は、以下の被研磨保持材、それら被研磨物保持材を用いた研磨装置及び研磨物の製造方法を提供するものである。1金属板、繊維強化プラスチック板、プラスチック板の何れかの板状材料からなる基層または熱硬化性樹脂を含浸させた複数枚のガラス長繊維からなる基層とその両面に積層したフィルム層とからなる被研磨物保持材であって、前記フィルム層の厚さが25~150μmの液晶ポリマーフィルムからなることを特徴とする被研磨物保持材。2前記板状材料からなる基層とその両面に積層したフィルム層とからなる被研磨物保持材であって、基層とフィルム層が熱硬化性接着剤で接合されてなることを特徴とする上記1記載の被研磨物保持材。3前記熱硬化性樹脂を含浸させた複数枚のガラス長繊維からなる基層とその両面に積層したフィルム層とからなることを特徴とする上記1記載の被研磨物保持材。4太陽ギアと、外周に前記太陽ギアと噛合複数ギアと被研磨物が嵌め込まれる貫通孔とを有する被研磨物保持材であって、自転しつつ前記太陽ギアの周りを公転する遊星運動が可能な被研磨物保持材と、前記被研磨物保持材の前記噛合複数ギアと噛み合うインターナルギアと、前記貫通孔に嵌め込まれ、前記被研磨物保持材の遊星運動により回転する被研磨物を研磨する研磨器と、を備えた研磨装置であって、前記被研磨物保持材は1から3のいずれかに記載の被研磨物保持材で形成されている、研磨装置。5上記4に記載の研磨装置を用いた被研磨物の研磨方法であって、前記被研磨物を前記貫通孔に嵌め込み、かつ、前記被研磨物保持材を遊星運動させた状態において、被研磨物を前記研磨器で研磨する、被研磨物の研磨方法。本発明によれば、被研磨物保持材の基層の両面に液晶ポリマーからなるフィルム層を積層しているため、反りが低減され、板厚精度が良好で、かつドレッシング時間の短縮が可能となる。また、研磨物の製造に際して本発明の被研磨物保持材を用いると、繊維基材等が表面に露出していないため被研磨物におけるスクラッチ発生が抑制され、研磨物の製造歩留まりが向上し、かつ使用寿命が長くなることから、トータルでの研磨物のコストが低く抑えられる等経済的に有利な被研磨物保持材を提供することができる。本発明の被研磨物保持材は、金属板、繊維強化プラスチック板、プラスチック板の何れかの板状材料からなる基層または熱硬化性樹脂を含浸させた複数枚のガラス長繊維基材からなる基層とその両面に積層したフィルム層とからなる被研磨物保持材であって、前記フィルム層が厚さ25~150μmの液晶ポリマーフィルムからなる。液晶ポリマーは、熱溶融時に液晶性を示し、分子構造により全芳香族系と半芳香族系にわけることができる。本発明で使用する液晶ポリマーフィルム成形品としては、全芳香族ポリエステルフィルムが好ましく、基本的に剛性、強度、耐熱性、成形性にすぐれ、しかも金属並みに低い線膨張係数であり、ポリイミドの20分の1以下という低吸水性を特徴としている。上記に該当する全芳香族液晶ポリエステルフィルムとして、ベクスター商品名、クラレ株式会社製、バイアック商品名、ジャパンゴアテックス株式会社製等の市販品が挙げられる。これらを使用することにより、研磨レートが均一で、反り精度、板厚精度及び使用寿命が向上した被研磨物保持材が得られる。前記液晶ポリマーフィルムの厚みは、これを使用する被研磨物の種類や研磨条件に応じて適宜選択され、通常25~150μm、好ましくは35~120μm、特に好ましくは50~100μmである。当該厚みが25μm以上であると、被研磨物保持材の反りが抑制されかつ使用寿命がより長くなる。当該厚みが150μm以下であると、フィルム材料にかかるコストをより低く抑えることができ好ましい。また、総板厚に対する前記液晶ポリマーフィルムの占める厚みを50以下に抑えると、保持材全体としての機械的強度をより強く維持できるため好ましい。前記液晶ポリマーフィルムには、板状材料、または熱硬化性樹脂を含浸させたガラス長繊維との密着性を向上させるため表面処理を施してもよい。かかる表面処理方法は特に限定されないが、例えば、コロナ処理、プラズマ処理、紫外線処理、フレーム処理、化学処理、プライマー処理などを挙げることができる。本発明の研磨物保持材は、図1Aに示すように、金属板、繊維強化プラスチック板、プラスチック板などの板状材料4からなる基層の両面に、好ましくは熱硬化性接着剤3を介し、前記液晶ポリマーフィルム1を積層して一体に加熱加圧成形して得られる。熱硬化性接着剤は接着シートとしても良いし、また前記液晶ポリマーフィルムの接着面側に公知の方法により塗布し、乾燥させることにより得られる。前記液晶ポリマーフィルム上への熱硬化性接着剤の塗布は、具体的には、バーコート法、ナイフコー卜法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等の公知の塗布方法により行うことができ、塗布後、乾燥処理し、半硬化状態とすることにより接着層が得られる。本発明に使用する熱硬化性接着剤としては、特に限定されないが、Aエポキシ樹脂、Bエポキシ樹脂硬化剤、C硬化促進剤、Dエラストマ-及びE無機充填剤からなるものが好ましい。A成分のエポキシ樹脂としては、1分子中に2以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂が使用できる。具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、またはビフェニル骨格を含有する多官能エポキシ樹脂の何れか、もしくは、これらエポキシ樹脂を2種以上混合したものを使用できる。B成分の硬化剤としては、ジシアンジアミド、芳香族ジアミンなどのアミン系硬化剤及びフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、トリアジン変性フェノールノボラック樹脂、ビフェニル骨格含有フェノールノボラック樹脂等のフェノール系硬化剤等を使用できる。C成分の硬化促進剤としては、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物及び三フッ化ホウ素アミン錯体、トリフェニルホスフィン等を使用できる。D成分のエラストマーとしては、アクリルゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエンゴム等の各種合成ゴム、ゴム変性の高分子量化合物、高分子量エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、変性ポリイミド、変性ポリアミドイミド、ポリビニルアセタール等の何れか、もしくは、これらを2種以上混合したものを使用できる。E成分の無機充填剤としては、公知のものを特に制限なく使用できる。具体的には、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、酸化ケイ素及びアルミナ等が使用できる。本発明の板状材料としては、金属板、繊維強化プラスチック板、プラスチック板などが用いられ、具体的には金属板としてチタンやステンレス鋼の板、繊維強化プラスチック板としてガラスエポキシ板などのFRP板、プラスチック板としてエンジニアリングプラスチックやスーパーエンジニアリングプラスチックの板などが挙げられる。前記板状材料の厚さはシリコンウエハ、ハードディスクなど被研磨物の種類や研磨条件により適宜調整される。本発明の研磨物保持材は、図1Aに示すように、板状材料4からなる基層に、熱硬化性接着剤3が付いた液晶ポリマーからなるフィルム層1を両面に配置し、2枚の鏡面板で挟み込み、熱プレスにより、温度が150~200°C、好ましくは150~170°C、圧力が5~50MPa、好ましくは15~35MPa、またプレス保持時間が90~150分間、加熱加圧して一体に成形して得られる。また、本発明の研磨物保持材は、図1Bに示すように、熱硬化性樹脂を含浸させたガラス長繊維基材プリプレグ2を複数枚重ね合わせて、さらに前記フィルム層1を両面に配置し、鏡面板に挟み込み、プレス熱盤間で加熱加圧成形しても良い。ガラス長繊維に含浸する熱硬化性樹脂については特に限定されないが、前記接着剤組成物と同様にAエポキシ樹脂、Bエポキシ樹脂硬化剤、C硬化促進剤、およびDエラストマーからなるものが好ましい。前記被研磨物保持材の成形は通常、熱プレスにより、温度が170~200°C、圧力が5~50MPa、プレス保持時間が90~150分間、加熱加圧して行われる。熱硬化性樹脂を含浸させたガラス長繊維の使用枚数はシリコンウエハ、ハードディスクなど被研磨物の種類や研磨条件により適宜調整される。本発明の被研磨物保持材の厚みは、これを使用する被研磨物の種類や研磨条件に応じて適宜選択され、通常0.3~2.0mm程度、好ましくは0.4~1.0mmである。本発明の被研磨物保持材は、シリコンウエハやハードディスクなどを研磨する工程において好適に使用される。被研磨物保持材の形態としては、キャリアディスクなどが挙げられるが、加工可能であれば、特に制限されるものではない。本発明の研磨装置は、図3に例示するように、太陽ギア11と、外周に前記太陽ギア11と噛合複数ギア8と被研磨物10が嵌め込まれる貫通孔9とを有する被研磨物保持材であって、前記被研磨物保持材が自転しつつ前記太陽ギア11の周りを公転する遊星運動が可能な被研磨物保持材と、前記被研磨物保持材の前記噛合複数ギア8と噛み合うインターナルギア12と、前記貫通孔9に嵌め込まれ、前記被研磨物保持材の遊星運動により回転する被研磨物10を研磨する研磨器と、を備えた研磨装置であって、前記被研磨物保持材は前記1から3のいずれかに記載の被研磨物保持材で形成されている、研磨装置である。さらに、該研磨装置の構成主要部である、図4に例示する研磨器にあっては、上下に対向する回転盤14、15を配置し、それら回転盤14、15の対向するそれぞれの面に研磨布16、17が貼られており、この研磨布16、17には図示しないが、研磨剤が供給される構成となっている。太陽ギア11は、回転盤15の上部中心に配置され、インターナルギア12は回転盤14、15の外周側全周にわたり設けられ、固定用リング枠13で固定されている。被研磨物10の研磨にあっては、まず、回転盤14と回転盤15との距離を十分にとり、キャリアディスク7の貫通孔9に被研磨物10を嵌め込み、キャリアディスクを研磨器に装着する。次に、回転盤14を垂直に下降させ、研磨布16、17の面を被研磨物10の表面に近接、接触させる。つづいて、研磨布16、17に研磨剤を含むスラリー状物質等を外部から供給しながら、太陽ギア11を回転させることにより遊星運動を開始させ、同時に回転盤14、15を互いに逆方向に回転させて、所定の研磨を行う。本発明はさらに、上記に記載の研磨装置を用いた被研磨物の研磨方法であって、前記被研磨物10を前記貫通孔9に嵌め込み、かつ、前記被研磨物保持材を遊星運動させた状態において、被研磨物10を前記研磨器で研磨する、被研磨物の研磨方法をも提供する。本発明の被研磨物保持材は、ドレスアップして使用に供される。図2は矢印の左側にドレスアップ前、右側にドレスアップ後の断面被研磨物保持材の片側表面層ならびに接着層、基層の一部を模式的に表したものである。本発明の被研磨物保持材は図21基層がプリプレグ及び2基層が板状材料に示すように、表面から研磨によりドレッシング1の右側及び2の右側されるが、液晶ポリマーフィルム層で被覆されているため平滑で均一な表面が得られており、ドレッシングは短時間少量でよい。これに対して、図23及び4に示すように、表面にフィルム層の積層はなくプリプレグのみからなる従来品は、表面樹脂層を除去して繊維基材を露出3の右側させる必要がある。ところが、表面樹脂層の厚さが異なると、繊維基材が表面に露出するまでの時間に差が出てしまう。例えば、図23のように樹脂表面層と繊維基材までの距離が図24に比べ短い場合、図23の被研磨物保持材に合わせて短時間少量でドレスアップ条件を設定すると、図24のように距離が長い場合、繊維基材が表面に露出してないため、研磨レートが早くなったり、被研磨物保持材が薄くなってしまうおそれがある。次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。実施例1、2及び比較例1、2に係る積層板を作製するにあたり、プリプレグ用熱硬化性樹脂組成物1及びフィルム層接着用熱硬化性樹脂組成物2の調製を行った。樹脂組成物1プリプレグ用熱硬化性樹脂としてビスフェノールA型エポキシ樹脂のエピコー卜1001油化シェルエポキシ株式会社製、商品名70質量部及びクレゾールノボラックエポキシ樹脂のYDCN-704P東都化成株式会社製、商品名25質量部、硬化剤としてジシアンジアミド3質量部及び2E4MZ四国化成工業株式会社製、2-エチル-4-メチルイミダゾール0.07質量部、カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエンゴムとしてニポール1072日本ゼオン社製商品名、ニトリル含量275部からなる混合物に、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて固形分55質量の樹脂組成物1を調製した。樹脂組成物2フィルム層接着用カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエンゴムとしてニポール1072日本ゼオン社製商品名、ニトリル含量27200部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としてエピコート1001油化シェル社製商品名、エポキシ当量470320部、クレゾールノボラックエポキシ樹脂としてYDCN-703P東都化成社製商品名、エポキシ当量210147部、フェノールノボラック樹脂としてBRG558昭和高分子社製商品名、水酸基価106146部、フェノキシホスファゼンオリゴマーとしてSPB―100大塚化学社製商品名、燐含有率1365質量部、ポリリン酸メラミンとしてPHOSMEL200日産化学社製商品名、燐含有率12163部、劣化防止剤として2,6-ジ-tert-ブチル-4-メチルフェノール川口化学社製1部、水酸化アルミニウムとしてH-42I昭和電工社製商品名100部、及び硬化促進剤として2-エチル-4-メチルイミダゾール0.5部からなる混合物に、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルPGM及びメチルエチルケトン混合質量比30:70を加えて、固形分40の樹脂組成物2を調製した。実施例1前記樹脂組成物1を、汎用のEガラスの長繊維からなるA2116/AS450商品名、旭シェーベル社製、目付106g/m2、厚さ0.1mmの平織り織布に塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行い、質量比率43のプリプレグAを得た。前記プリプレグA6枚からなる基層に、該基層両面に厚さ100μmの芳香族液晶ポリエステルフィルムであるベクスター商品名、クラレ株式会社製を積層、2枚の鏡面板で挟持し、熱盤間に10セット仕込み、昇温速度2.0°C/分、硬化温度175°C、時間60分、圧力3.0MPaの条件下で加熱加圧成形を行い、積層板1を得た。実施例2厚さ100μmの芳香族液晶ポリエステルフィルムであるベクスター商品名、クラレ株式会社製の片側の面に、前記樹脂組成物2を乾燥後の厚さが10μmとなるようにロールコーターで塗布し、加熱乾燥し、接着剤付きフィルム層を形成した。板状材料である厚さ0.60mmのガラスエポキシ基板TLB-551商品名、京セラケミカル社製からなる基層の両面に前記接着剤付きフィルム層を積層し、2枚の鏡面板で挟持し、実施例1と同様にして積層板2を得た。比較例1ポリアリレート短繊維ベクトランHTタイプクラレ社製を用いた目付62g/m2の不織布に前記樹脂組成物1を塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行い、樹脂分が質量比率60のプリプレグBを得た。プリプレグA6枚からなる基層の両面にプリプレグBを1枚ずつ配置し、計8枚のプリブレグを、2枚の鏡面板で挟持し、実施例1と同様にして積層板3を得た。比較例2前記プリプレグAを8枚重ね合せ、2枚の鏡面板で挟持し、実施例1と同様にして積層板4を得た。実施例1、2及び比較例1、2で得られた積層板1~4をルーターマシンにて外形加工し、12BDPダイヤメトラルピッチ12、歯数134、外径287.86mmの外周形状と、50mmφの孔12個を形成することによって、被研磨物保持材キャリアディスクを作製した。なお、上記12Bとは、歯車用語であって12インチ区分のサイズの、B仕様区分を意味する。上記実施例及び比較例で得られた積層板1~4から作製したキャリアディスクの特性を、以下に示す方法により評価した。結果を表1に示す。1反りキャリアディスクを平盤に平置きしてその浮き上がり値を測定した。2板厚精度同一キャリアディスクの20点の板厚を測定し、最大値と最小値の差を算出した。3傷発生率研磨試験キャリアディスクで保持された厚さ0.8mmのアルミニウムウエハを10サイクル研磨した後、アルミニウムウエハの表面状態を観察し、傷発生率を算出した。4使用寿命キャリアディスクのギア部の摩耗の程度で評価した。すなわち、使用可能な摩耗程度における使用可能なバッチ数を調べ、比較例2における使用可能なバッチ数を100としたときの指数で表した。"