"処理部と、前記処理部を第1のリニアガイドに沿って昇降する第1の可動部と第1の固定部とを備える第1のリニアモータ部と、前記処理部を前記昇降する方向とは垂直な水平方向に移動させる第2の可動部と第2の固定部とを備える第2のリニアモータ部とを備えた2軸駆動軸と、前記2軸駆動軸に電源を供給する主電源と、前記主電源の電源喪失時に、前記ダイの可動部の落下を防止する昇降軸落下防止手段と、を有することを特徴とする2軸駆動機構。前記2軸駆動軸は、前記第1の可動部を前記第1のリニアガイドを介して連結し、前記第2の可動部を直接的又は間接的に連結する連結部と、前記第1の可動部、前記第2の可動部及び前記連結部を一体となって前記水平方向に移動させる第2のリニアガイドと、前記第1の固定部と前記第2の固定部を前記水平方向に所定の長さで互いに平行に固定する支持体とを、有することを特徴とする請求項1に記載の2軸駆動機構。前記2軸駆動軸は、前記第2の可動部に前記第1のリニアモータ部を固定し、前記第1のリニアモータ部の前記水平方向の移動をガイドする第3のリニアガイドを有することを特徴とする請求項1に記載の2軸駆動機構。前記昇降軸落下防止手段は、前記第1の可動部と共に移動する第1の可動体部に設けたストッパと、前記電源喪失時に前記ストッパを所定の位置で支持する支持駆動部と、有することを特徴とする請求項2又3に記載の2軸駆動機構。前記支持駆動部を前記第1の固定部に設けたことを特徴とする請求項4に記載の2軸駆動機構。前記支持駆動部を前記第2の固定部の両端側又はその付近の固定部材に設けたことを特徴とする請求項4に記載の2軸駆動機構。前記支持駆動部は、電源の有無によって突出するバーを備えたソレノイド、又はシリンダロットを備えたエアシリンダであることを特徴とする請求項5又は6に記載の2軸駆動機構。前記支持駆動部は、前記処理部が有する又は前記処理部に設けた突起部を囲むように設けられた弾性体と、前記弾性体を収縮させる手段とを有することを特徴とする請求項5に記載の2軸駆動機構。前記所定の位置で支持する支持動作は、前記主電源とは別に設けられた別電源で行われることを特徴とする請求項7に記載の2軸駆動機構。前記支持駆動部は、前記無電源時に突出可能とするバーを備えたソレノイドと、バネと、前記バーと前記バネとを連結し、支点を中心にシーソのように回転し、前記電源喪失時に前記バーを前記バネによって突出させる作動部とを有することを特徴とする請求項5又は6に記載の2軸駆動機構。前記支持駆動部は、前記主電源とは別に設けられた別電源によって突出可能なバーを備えたソレノイドと、電磁石と、前記電磁石に前記主電源の供給によって吸着され前記バーに接続された動作部とを有することを特徴とする請求項5又は6に記載の2軸駆動機構。前記電源喪失時に前記主電源とは別に設けられた別電源で第1の可動部を上昇させる又はその状態で維持する制御手段を有することを特徴とする請求項2又3に記載の2軸駆動機構。請求項1乃至12のいずれかに記載の2軸駆動機構を備え、前記処理部によって基板に処理することを特徴とするダイボンダ。前記処理部はダイをウェハからピックアップし前記基板にボンディングするボンディングヘッドであることを特徴とする請求項13に記載のダイボンダ。前記処理部は、前記基板にダイ接着剤を塗布するニードルであることを特徴とする請求項13に記載のダイボンダ。主電源を有し、前記主電源の供給によってボンディングヘッドをリニアモータによって昇降させてダイを吸着し、基板に前記ダイを装着するステップと、前記主電源の喪失時に、前記ボンディングヘッドの落下を防ぐ落下防止ステップと、を有することを特徴とするダイボンダの運転方法。しかしながら、ボールネジをサーボモータで駆動する方法では高速化の限界がある。そこで、高速化に適しているリニアモータによる駆動を検討に入った。単に、リニアモータ駆動を採用すると、昇降軸は電源喪失時に簡単に手動で動作でき、図4bに示すように、場合によってはリードフレームなどの基板処理対象に処理部であるボンディングヘッドが落下し、ボンディングヘッドが破損すると共に、基板、即ち製品も破損してしまう虞がある。従って、本発明の目的は、電源喪失時にリニアモータの昇降軸の落下を防ぎ、信頼性高い昇降軸を含む2軸駆動機構並びにそれを用いた信頼性の高いダイボンダ及びダイボンダの運転方法を提供することにある。本発明は、上記の目的を達成するために、少なくとも以下の特徴を有する。本発明は、処理部と、前記処理部を第1のリニアガイドに沿って昇降する第1の可動部と第1の固定部とを備える第1のリニアモータ部と、前記処理部を前記昇降する方向とは垂直な水平方向に移動させる第2の可動部と第2の固定部とを備える第2のリニアモータ部とを備えた2軸駆動軸と、前記2軸駆動軸に電源を供給する主電源と、前記主電源の電源喪失時に、前記ダイの可動部の落下を防止する昇降軸落下防止手段と、を有することを第1の特徴とする。また、本発明は、前記2軸駆動軸は、前記第1の可動部を前記第1のリニアガイドを介して連結し、前記第2の可動部を直接的又は間接的に連結する連結部と、前記第1の可動部、前記第2の可動部及び前記連結部を一体となって前記水平方向に移動させる第2のリニアガイドと、前記第1の固定部と前記第2の固定部を前記水平方向に所定の長さで互いに平行に固定する支持体とを、有することを第2の特徴とする。さらに、本発明は、前記2軸駆動軸は、前記第2の可動部に前記第1のリニアモータ部を固定し、前記第1のリニアモータ部の前記水平方向の移動をガイドする第3のリニアガイドを有することを第3の特徴とする。また、本発明は、前記昇降軸落下防止手段は、前記第1の可動部と共に移動する第1の可動体部に設けたストッパと、前記電源喪失時に前記ストッパを所定の位置で支持する支持駆動部と、有することを第4の特徴とする。さらに、本発明は、前記支持駆動部を前記第1の固定部或いは前記第2の固定部の両端側又はその付近の固定部材に設けたことを第5の特徴とする。また、本発明は、前記支持駆動部は、電源の有無によって突出するバーを備えたソレノイド、又はシリンダロットを備えたエアシリンダであることを第6の特徴とする。さらに、本発明は、前記所定の位置で支持する支持動作は、前記主電源とは別に設けられた別電源で行われることを第7の特徴とする。また、本発明は、前記電源喪失時に前記主電源とは別に設けられた別電源で第1の可動部を上昇させる又はその状態で維持する制御手段を有することを第8の特徴とする。さらに、本発明は、第1乃至第8の特徴に記載の2軸駆動機構を備え、前記処理部によって基板に処理することを第9の特徴とする。また、本発明は、前記処理部はダイをウェハからピックアップし基板にボンディングするボンディングヘッド又は前記基板にダイ接着剤を塗布するニードルであることを第10の特徴とする。さらに、本発明は、主電源を有し、前記主電源の供給によってボンディングヘッドをリニアモータによって昇降させてダイを吸着し、基板に前記ダイを装着するステップと、前記主電源の喪失時に、前記ボンディングヘッドの落下を防ぐ落下防止ステップと、を有することを第11の特徴とする。本発明によれば、電源喪失時にリニアモータの昇降軸の落下を防ぎ、信頼性高い昇降軸を含む2軸駆動機構並びにそれを用いた信頼性の高いダイボンダ及びダイボンダの運転方法を提供できる。以下、図面に基づき、本発明の実施形態を説明する。図1は、本発明の第1の実施形態であるダイボンダ10を上から見た概念図である。ダイボンダは大別してウェハ供給部1と、ワーク供給搬送部2と、ダイボンディング部3と、電源部9と、これ等を制御する制御部7とを有する。ウェハ供給部1は、ウェハカセットリフタ11とピックアップ装置12とを有する。ウェハカセットリフタ11はウェハリングが充填されたウェハカセット図示せずを有し,順次ウェハリングをピックアップ装置12に供給する。ピックアップ装置12は、所望するダイをウェハリングからピックアップできるように、ウェハリングを移動する。ワーク供給搬送部2はスタックローダ21と、フレームフィーダ22と、アンローダ23とを有し、ワークリードフレーム等の基板を矢印方向に搬送する。スタックローダ21は、ダイを接着するワークをフレームフィーダ22に供給する。フレームフィーダ22は、ワークをフレームフィーダ22上の2箇所の処理位置を介してアンローダ23に搬送する。アンローダ23は、搬送されたワークを保管する。ダイボンディング部3はプリフォーム部ダイペースト塗布装置31とボンディングヘッド部32とを有する。プリフォーム部31はフレームフィーダ22により搬送されてきたワーク、例えばリードフレームにニードルでダイ接着剤を塗布する。ボンディングヘッド部32は、ピックアップ装置12からダイをピックアップして上昇し、ダイをフレームフィーダ22上のボンディングポイントまで水平移動させる。そして、ボンディングヘッド部32はボンディングポイントでダイを下降させ、ダイ接着剤が塗布されたワーク上にダイをボンディングする。ボンディングヘッド部32は、ボンディングヘッド35図2参照をZ高さ方向に昇降させ、Y方向に水平移動させるZY駆動軸60と、ボンディングヘッドをX方向に水平移動させX駆動軸70とを有する。ZY駆動軸60は、Y方向、即ちボンディングヘッドをウェハリングホルダ12内のピックアップ位置とボンディングポイントとの間を往復させるY駆動軸40と、ダイをウェハからピックアップする又は基板にボンディングするために昇降させるZ駆動軸50とを有する。X駆動軸70は、ZY駆動軸60全体をワークを搬送する方向であるX方向に移動させる。X駆動軸70は、ボールネジをサーボモータで駆動する構成でもよいし、ZY駆動軸60の構成で説明するリニアモータで駆動する構成でもよい。電源部9は、通常の実装処理に使用する主電源91と、場合によっては、後に詳述する昇降軸落下防止に必要な主電源とは異なる別電源、例えばバッテリー92を有する。図2、図3は第1の実施例であるZY駆動軸60の基本構成と、昇降軸落下防止手段の第1の実施例を示す図である。図2は、ZY駆動軸60の先にボンディングヘッド35が存在する図1に示す位置おけるA-A断面図である。図3は、図2に示すZY駆動軸60をBの方向から見た矢視図である。まず、図を用いて本発明の特徴である昇降軸を含むZY駆動軸60の第1の実施例を説明する第1の実施例であるZY駆動軸60は、Y駆動軸40と、Z駆動軸50と、Y駆動軸40のY軸可動部41とZ駆動軸50のZ軸可動部51を連結する連結部61と、処理部であるボンディングヘッド35と、電源喪失時にボンディングヘッド35の落下を防止する昇降軸落下防止手段80と、これら全体を支える横L字状の支持体62とを有する。なお、以下の説明を分かり易くするために、支持体62に固定されている部分は斜線で、Y軸可動部41、X軸可動部51及び連結部61と一体になって移動する部分を白抜きで示している。また、支持体62は上部支持体62aと、側部支持体62bと、下部支持体62cとを有する。Y駆動軸40は、N極とS極の電磁石が交互にY方向に多数配列された上下の固定電磁石部47u、47d以後、全体又は位置を指定しないときは単に47とするを有する逆コの字状のY軸固定部42と、前記配列方向に少なくとも1組のN極とS極の電磁石を有し、逆コの字状の凹部に挿入され凹部内を移動するY軸可動部41と、Y軸可動部41を支持する連結部61と、連結部61に固定され、下部の支持体62cとの間に設けられたY軸リニアガイド43を備えるY軸ガイド部44とを有する。Y軸固定部42は、Y軸可動部41が所定の範囲移動できるように、図1の破線で示すY駆動軸40の略全域に亘って設けられている。また、Y軸リニアガイド43は、Y方向に伸びる2つのリニアレール43aとリニアレール上を移動するリニアスライダ43bを有する。Z駆動軸50は、Y駆動軸40と同様に、N極とS極の電磁石が交互にZ方向に多数配列された左右の固定電磁石部57h、57m図4参照、以後、全体又は位置を指定しないときは単に57とするを有する逆Uの字状のZ軸固定部52と、Z軸固定部52の配列方向に少なくとも1組のN極とS極の電磁石を上部に有し、逆Uの字状の凹部に挿入され凹部内を移動するZ軸可動部51と、Z軸可動部51と連結部61との間にY軸リニアガイド43と同様な構造を有するZ軸リニアガイド53とを有する。Z軸リニアガイド53は、連結部61に固定されZ方向に伸びる2つのリニアレール53aとZ軸可動部51に固定されリニアレール上を移動するリニアスライダ53bを有する。Z軸可動部51は連結部61を介してY軸可動部41と繋がっており、Y軸可動部41がY方向に水平移動するとZ軸可動部51も共にY方向に水平移動する。そして少なくとも移動先の所定の位置、例えばボンディング領域及びピックアップ領域にN極とS極の電磁石を設け、Z軸可動部51ボンディングヘッド35が昇降できるようにする必要がある。なお、Z軸可動部51と一体なって昇降する部分をZ軸可動体部という。次に、本実施形態の特徴の一つである昇降軸落下防止手段80の第1の実施例を図2、図3及び図4を用いて説明する。図4は電源喪失時のボンディングヘッド35の状態を示し、図4aは昇降軸落下防止手段80を設けた場合の、図4bは昇降軸落下防止手段80を設けていない場合のそれぞれの状態を示す。第1の実施例の昇降軸落下防止手段80は、ボンディングヘッド35を昇降させるリニアスライダ53bに固定されたストッパ81と、図3に示すように連結部61に固定され、電源喪失時にプッシュバー82aの突出部が長くなりストッパ81を支持する支持駆動部であるプッシャソレノイド82と、図1に示す別電源92とを有する。このような構成を有する昇降軸落下防止手段80において、電源喪失時に制御部7は、主電源91の喪失を検知し、コンアデンサ等で電源を維持している間に、プッシャソレノイド82に別電源91を接続し、電源を供給する。その結果、図4aに示すように、プッシャソレノイド82が作動し、プッシュバー82aが突出し、ストッパ81を支持し、ボンディングヘッド35の基板Pヘの落下を防ぐことができる。以上説明した本実施形態の昇降軸落下防止手段80の第1の実施例によれば、主電源の91の電源喪失時において、別電源でプッシャソレノイドを作動させ、リニアモータの昇降軸を有するボンディングヘッドの落下を防ぐことができる。この結果、ボンディングヘッドや基板の破損を防ぐことができる。また、以上説明した本実施形態のZY駆動軸60の第1の実施例によれば、Z軸固定部52は略全域に設けられているが、重量体であるZ軸固定部52自体は移動しないので、Y方向の移動に対する負荷が大幅に低減され、水平駆動軸のトルクを大きくせず、昇降軸の高速化を実現できる。次に、図5に示す、本発明の第2の実施形態であるダイボンダ10Aを上から見た概念図である。第2の実施形態のダイボンダ10Aの第1の実施形態のダイボンダ10と異なる点は、ZY駆動軸と昇降軸落下防止手段が異なる。その他の点は基本的に第1の実施形態と同じである。第2の実施形態において、基本的には第1の実施形態と同じ構成又は機能を有するものは同一符号を付している。第2の実施例となるZY駆動軸60Aは、第1の実施例のZY駆動軸60とはZ駆動軸50Aが基本的に異なる。第1の実施例のZY駆動軸60では、昇降軸であるZ駆動軸50のZ軸固定部52はY軸固定部42と同様に、移動範囲の全領域に設けられ、Z軸可動部51はY軸可動部41と一体になって移動する。一方、第2の実施例であるZ駆動軸50Aは、図5の矢印Cの示す方向に、Z軸固定部52AとZ軸可動部51Aが一体になって、Y軸可動部41Aと移動する。第2の実施例となるY駆動軸40Aを形成するY軸固定部42AやY軸可動部41Aの形状、Y駆動軸40Aに対するZ駆動軸50Aの接続方向などが第1の実施例とは異なるが、基本的な構成機能は同じである。図6は、ZY駆動軸の第2の実施例の基本構成と、昇降軸落下防止手段の第2の実施例とを示す図である。図6aは、図5においてボンディングヘッド35が存在する位置でZY駆動軸60Aを矢印Dの方から見た矢視図である。図6bは、図6aに示すZY駆動軸60Aを上部の方向から見た矢視図である。なお、図6bにおいて、図6aに示す支持体62とY軸リニアガイド43を省略している。また、図6において図2、図3における固定電磁石部47、57は省略している。第2の実施例であるZY駆動軸60Aは、Y駆動軸40Aと、Z駆動軸50Aと、処理部であるボンディングヘッド35と、電源喪失時にボンディングヘッド35の落下を防止する昇降軸落下防止手段80Aと、これら全体を支える支持体62とを有する。Y駆動軸40Aは、第1の実施例同様に、支持体62に固定され紙面手前に開口部42aを有するコの字状のY軸固定部42と、開口部42aからY軸固定部42の凹部に挿入され凹部内を移動するY軸可動部41とを有する。Y軸固定部42は、Y軸可動部41が所定の範囲を移動できるように図5の破線で示すY駆動軸40A略全域に亘って設けられている。Z駆動軸50Aは、Y駆動軸40Aと同様に、逆コの字状のZ軸固定部52と、逆コの字状の凹部に挿入され凹部内を移動するZ軸可動部51と、Z軸可動部51とボンディングヘッド35を接続する接続部54と、Z軸可動部51Aの昇降に合わせてボンディングヘッド35の昇降をガイドするZ軸リニアガイド53と、これら全体を固定し保持する保持体55と、Y軸可動部41のY方向の水平移動に合わせて保持体55、即ちZ駆動軸50A全体の水平移動をガイドするY軸リニアガイド43とを有する。Z軸リニアガイド53は、保持体55に固定されたリニアレール53aと、接続部54に固定されリニアレール53a上を昇降するリニアスライダ53bとを有する。また、Y軸リニアガイド43は、支持体62に固定されたリニアレール43aと、リニアレール43a上を水平移動するリニアスライダ43bとを有する。なお、ZY駆動軸の第1の実施例60と同様に、Z軸可動部51と一体なって移動する部分をZ軸可動体部という。次に、本実施形態の特徴の一つである昇降軸落下防止手段の第2の実施例80Aについて説明する。昇降軸落下防止手段80Aは、接続部54に固定されたストッパ81と、保持体55の底部に固定され主電源から電源を供給され常にプルバー84aを引張っているプルソレノイド84と、保持体55の低部55aに固定されたバネ85と、一端をプルバー84aに、他端をバネ85に連結された作動バー86とを有する。本実施例では、支持駆動部は、プルソレノイド84と、バネ85と、作動バー86とを有する。なお、プルソレノイド84は保持体55の低部55aに、作動バー86の支点86aはY軸可動部52にそれぞれ固定されている。このような構成を有する昇降軸落下防止手段80Aにおいて、図7に示すように、電源喪失すると、プルソレノイド84のプルバー84aが自由になり、バネ85によりプルバー84aが突出し、ストッパ81を支持し、ボンディングヘッド35の基板ヘの落下を防ぐことができる。本実施例の場合は、別電源は不要である。なお、図7においては、Y駆動軸40Aと支持体62を省略している。以上説明した昇降軸落下防止手段の第2の実施例によれば、主電源の91の電源喪失時において、別電源が無くても、プルソレノイドを作動させ、リニアモータの昇降軸を有するボンディングヘッドの落下を防ぐことができる。この結果、昇降軸落下防止手段の第2の実施例においてもボンディングヘッドや基板の破損を防ぐことができる。以上の説明した第1及び第2の実施例では、プッシャソレノイド82やプルソレノイド84をストッパ81の下に配置したが、図8に示すように、第2の実施例であるZ軸駆動部52や保持体55に横向きに固定配置してもよいし図8a、上向きに固定配置していてもよい図8b。図8において、破線が電源喪失のない実装処理中の通常の状態を示し、実線が電源喪失時を示す。図8aは電源喪失時にプッシャソレノイド82のプッシャバー82aが突出し、ストッパ81を支持する。図8bは電源喪失時にプルソレノイド84のプルバー84aを吸引し、ストッパ81を支持する。図8の場合は共に別電源が必要である。また、ストッパ81の位置も図2、図6の示す位置に限らず、ボンディングヘッド35と共に昇降する所であればどこでもよい。ストッパの位置に関しては他の実施例でも同様である。さらに、ソレノイドに限らず、必要な応答性を確保できればエアシリンダでもよい。次に、本実施形態の特徴の一つである昇降軸落下防止手段の第3の実施例80Bを図9を用いて説明する。図9aは第2の実施例のZY駆動軸60Aに設けられた昇降軸落下防止手段の第3の実施例80Bを示す。図9bは電源喪失のない、図9cは電源喪失時の昇降軸落下防止手段80Bのそれぞれ状態を示す図である。なお、図9aにおいてもY駆動軸40Aと支持体62を省略している。昇降軸落下防止手段80Bは、一端がZ軸固定部52に固定され、他端側に内側周囲が開口されたリング状の中空部を備える中空ケース181と、少なくともリング状の中空部に設けられた難燃性の弾性体例えばゴム182と、弾性体182の外周に設けられた形状記憶合金184と、ボンディンヘッド35の上側に設けられた突起部であるブレーキ棒185とを有する。なお、突起部としては、ブレーキ棒の代わりにボンディングヘッド35の先端に設けられた吸着ノズル35aを用いてもよい。形状記憶合金184は、主電源91が供給され形状記憶合金に電流が流れている時は、図9bに示すように弾性体182をブレーキ棒185から離間した状態に保つように記憶されている。一方、電源喪失し、電流が流れなくなると、図9cに示すように、形状記憶合金184はその径が縮むように記憶されている。その結果、電源喪失すると、形状記憶合金184が弾性体183を圧縮し、弾性体182がブレーキ棒185にブレーキをかけ、ボンディンヘッド35の落下を防止する。本実施例では別電源92は不要である。なお、形状記憶合金184に逆に記憶させた場合は、別電源92は必要である。以上説明した第3の実施例の昇降軸落下防止手段80Bにおいても、第1、第2の実施例と同様な効果を得ることができる。次に、本実施形態の特徴の一つである昇降軸落下防止手段の第4の実施例80Cを図10を用いて説明する。図10は、第2の実施例のZ駆動軸50Aと、Z駆動軸50Aに設けられた第3の実施例の昇降軸落下防止手段80Cとを示す図である。図10aは、図5においてボンディングヘッド35が存在する位置でZY駆動軸60Aを矢印Dの方から見た矢視図で、電源喪失のない通常の状態を示す図である。図10bは、図10aに示すZY駆動軸60Aを上部の方向から見た矢視図である。図11は、電源喪失時の昇降軸落下防止手段80Cの状態を示す図である。第4の実施例の昇降軸落下防止手段80Cは、バネ186、と電磁石187と、一端側がバネ186に固定され、他端側に電磁石187に吸引される作動部である作動板188と、作動板188の昇降をZ軸固定部52と共にガイドするガイド棒189とを備える支持駆動部と、ストッパ81とを有する。電磁石187は、主電源91が供給され形状記憶合金に電流が流れている時は、図10aに示すように、作動板188が電磁石187に吸引され、圧縮バネ186を圧縮した状態に保つ。一方、電源喪失し、電流が流れなくなると、図11に示すように、作動板188は開放され、バネ186が伸びる。その結果、作動板188が接続部54を支持し、ボンディングヘッド35の落下を防ぐことができる。以上説明した第4の実施例の昇降軸落下防止手段80Bにおいても、第1乃至第3の実施例と同様な効果を得ることができる。次に、本実施形態の特徴の一つである昇降軸落下防止手段の第5の実施例80Dを図12を用いて説明する。図12は、図6に示す第2の実施例の昇降軸落下防止手段80Aの代わりに、ZY駆動軸60Aに第5の実施例の昇降軸落下防止手段80Dを設けた図である。図12aは電源喪失のない通常の状態を、図12bは電源喪失時の状態を示す図である。昇降軸落下防止手段80Dは、図5に示すE、Fの位置でY軸固定部又は支持体62或いはそれらの付近の固定部材に固定されている。昇降軸落下防止手段80Dは、昇降軸落下防止手段の第1の実施例80を示した電源喪失時にプッシュバー82aの突出部が長くなるE,Fに設けられた2台のプッシャソレノイド82と、2台のプッシュバー82aの先端に両端が固定された作動部である作動棒281と、接続部54と反対側のボンディングヘッド35の側部に固定されたストッパ81とを有する。本実施例では、支持駆動部は2台のプッシャソレノイド82と作動棒281を有する。昇降軸落下防止手段80Dは、図12bに示すように、昇降軸落下防止手段80と同様に、電源が喪失すると2本のプッシュバー82aが突出し、作動棒281を押し上げ、ストッパ61を支持し、ボンディングヘッド35の落下を防止する。以上説明したように第5の実施例の昇降軸落下防止手段80Dは、第1から第4の実施例と異なり、Z駆動部40、40Aに設けるのではなく、Y軸固定部又は支持体62或いはそれらの付近の固定部材に設けられている。また、作動棒281の作動方法は第2から第4の実施例で示した方法も適用できる。以上説明した第5の実施例の昇降軸落下防止手段80Dによれば、Z駆動部に40、40Aに昇降軸落下防止手段を設けていないので、Z駆動部をシンプルな構造にすることができる。また、以上説明した第5の実施例の昇降軸落下防止手段80Dによれば、今までの実施例同様に、ボンディングヘッド35の落下を防止できる。最後に、本実施形態の特徴の一つである昇降軸落下防止手段の第6の実施例80Eを説明する。第6の実施例の昇降軸落下防止手段80Eは、電源喪失時に、制御部9が別電源92によって、例えば図2に示す固定電磁石部57を制御し、ボンディングヘッド35Z軸可動部52を上昇させる又はその状態で維持し、ボンディングヘッド35を所定の位置に保持する。昇降軸落下防止手段の第6の実施例によれば、別電源92以外の新たな機構を設けず、ボンディングヘッド35の落下を防止できる。以上の説明では、処理する処理部としてボンディングヘッドの例で説明した。基本的には、昇降軸を有する2軸駆動機構と必要とする処理部に適用可能である。例えば、ダイボンダでは基板にダイ接着剤を塗布するニードルに適用可能である。以上のように本発明の実施形態について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。"