光学要素を支持する光学要素の支持構造であって、複数の光学要素と、該複数の光学要素を個々に支持する複数の第1の支持部材と、該複数の第1の支持部材を前記光学要素の径方向に弾性変形可能な弾性部材を介して個々に支持する複数の第2の支持部材とを備えることを特徴とする光学要素の支持構造。前記複数の第1の支持部材はお互いに非接触であることを特徴とする請求項1記載の光学要素の支持構造。前記複数の第1の支持部材と前記複数の第2の支持部材とは、前記光学要素の光軸方向においてお互いに非接触であることを特徴とする請求項1又は2記載の光学要素の支持構造。前記複数の第2の支持部材同士は、相対的に移動可能な状態であることを特徴とする請求項1乃至3いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記第1の支持部材の熱膨張係数が、前記光学要素の熱膨張係数と前記第2の支持部材の熱膨張係数との間にあることを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素の熱膨張係数と、前記第1の支持部材の熱膨張係数と、前記第2の支持部材の熱膨張係数とが実質的に同じであることを特徴とする請求項1乃至5いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素の熱膨張係数と前記第1の支持部材の熱膨張係数との差が、前記光学要素の熱膨張係数と前記第2の支持部材の熱膨張係数との差よりも小さいことを特徴とする請求項1乃至6いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素と前記第1の支持部材との径方向の間には、前記光学要素の全周にわたり接着剤が充填されていることを特徴とする請求項1乃至7いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素と前記第1の支持部材との径方向の間には、前記光学要素の周上の複数箇所には、接着剤が不連続に充填されていることを特徴とする請求項5乃至7いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素が石英であり、前記第1の支持部材がニッケルを含む合金であることを特徴とする請求項1乃至9いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素が石英であり、前記第1の支持部材が酸化マグネシウムと酸化シリコンなどからなるコージライト系のセラミックス材料、あるいはアルミナ、窒化シリコンなどのセラミックス材料、あるいは、低熱膨張ガラスであるゼロジュール登録商標等であることを特徴とする請求項1乃至9いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素が螢石であり、前記第1の支持部材が銅を含む合金であることを特徴とする請求項1乃至9いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素が螢石であり、前記第1の支持部材が18-8ステンレスなどの鉄、クロム、ニッケルによる合金、あるいはアルミニウムを主成分とした合金であることを特徴とする請求項1乃至9いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記弾性部材は、両端が前記第1の支持部材に結合され、中央部が前記第2の支持部材に結合されている板状のバネ部材で構成され、該板状のバネ部材が前記第1の支持部材周辺部分に略等間隔に複数設けられていることを特徴とする請求項1乃至13いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記弾性部材が、前記支持部材1と同じ材質で形成されていることを特徴とする請求項1乃至14いずれか1項記載の光学要素の支持構造。前記光学要素が、レンズ、またはミラー、または回折を応用した光学素子のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至15いずれか1項記載の光学要素の支持構造。光源からの光でレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルからの光をウエハ上に導く投影光学系とを備える露光装置であって、前記照明光学系及び/又は前記投影光学系が請求項1乃至16いずれか1項記載の光学要素の支持構造を有していることを特徴とする露光装置。請求項17記載の露光装置による露光工程を含むことを特徴とする半導体デバイス等の製造方法。光学要素を支持する光学要素の支持構造であって、前記光学要素を支持する第1の支持部材、前記第1の支持部材の外径側に位置し、前記第1の支持部材を支持する第2の支持部材を有し、該第2の支持部材は、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材の径方向の間に位置し、内径側が前記第1の支持部材と結合し、外径側が前記第2の支持部材と結合し、径方向に弾性変形可能な弾性部材を備え、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材とが軸方向において非接触であり、前記第1の支持部材には、前記光学要素を重力方向に支持する3箇所の突起が設けられることを特徴とする光学要素の支持構造。しかしながら、上記した従来のような鏡筒構造では、環境温度などの変化があると、レンズや鏡筒部品がそれぞれ温度によって形状変化するために、収差が変化することがある。特に、短波長の光源を用いる露光装置では、レンズに石英や螢石のガラスを用いるが、これらのレンズの材質及びそれを保持する鏡筒部品等は、それぞれ熱膨張係数が異なるため、それぞれが他から影響を受けることなく、自由に単純膨張、あるいは単純収縮することができず、結果的に環境温度等によってレンズの面形状が大きく変化することとなり、このような温度に起因する変形が、レンズの収差に大きな影響を与える原因となっていた。また、支持部材105は通常複数個を軸方向に重ねて配置されるが、重ねて結合する際や、他の要因で外力を受けると、レンズを支持する金枠が押されネジ環などから外力を受け、これがレンズ面形状を変化させ、光学系の性能を落とす要因ともなっていた。また前記の従来例では、金枠内周部に設置されたレンズは、自重により変形するが、こうした変形の方向および変形量はレンズ接置部の形状に依存し、レンズ接置部の平面精度はレンズの面精度以上に高精度に加工することが難しいこと、レンズ接置部の形状は加工品毎に異なり、そこに当接するレンズがどのように変形するかを事前に推定することができないことなどの理由により、微小変形が問題となる光学系では組立後に光学性能を評価した上で、所定のレンズの姿勢もしくは位置調整によって面変形による諸収差を補正する必要があり、組立調整工数を増大させていた。こうした問題を解決するために、レンズを複数点で支持し、それにより生ずる各光学素子ごとの変形の結果として発生する光学系全体の収差を小さくするように、光学素子の回転角を調整するという構成が、特開2000-66075に開示されているが、前述の構成では環境温度が変化したとき、レンズと金枠との熱膨張率の差によりレンズ面が変形してしまい例えばレンズを3点支持した場合は、3θの変形が温度に対して敏感に変化する所望の光学性能が得られないことが判明している。そこで、本発明は、上記従来のものにおける課題を解決し、温度環境の変化や、組み付けの際に発生する歪みに起因するレンズ面の変形を軽減することができ、安定で、収差が小さく、高い解像力を得ることが可能となる光学要素の支持構造、および該支持構造を用いて構成された露光装置等の光学装置と、該装置による半導体デバイス等の製造方法を提供することを目的とするものである。光学要素の支持構造は、光学要素を支持する光学要素の支持構造であって、複数の光学要素と、該複数の光学要素を個々に支持する複数の第1の支持部材と、該複数の第1の支持部材を前記光学要素の径方向に弾性変形可能な弾性部材を介して個々に支持する複数の第2の支持部材とを備えることを特徴としている。以上の実施例においては、半導体露光装置の投影レンズシステムを例として説明したが、光学要素としてはレンズ以外にミラーに適用しても良い。また、回折を応用した光学素子など、変形を問題とする光学素子に適用することが可能である。また、本発明によれば、温度環境の変化や、組み付けの際に発生する歪みや、レンズ自体の熱に起因するレンズ面の不要な変形を軽減することができるので高精度な光学要素の支持構造を実現することができる。また、これを半導体露光装置などの投影光学系に適用することによって、安定で、収差の小さい露光が実現でき、解像力の高い転写の達成によって、微細な半導体や表示素子を製造することが可能になる。本実施の形態で開示する光学要素の支持構造、および該支持構造を用いて構成された露光装置等の光学装置と、該装置による半導体デバイス等の製造方法は、上記した構成により温度環境の変化や、組み付けの際に発生する歪みに起因するレンズ面の不要な変形を軽減することができ、安定で、収差が小さく、高い解像力を実現することができる。例えば、上記構成を用いることによって、光学装置が置かれる環境の温度変化や、光学要素の光エネルギの吸収による温度上昇などによる熱歪みで、光学要素に発生する変形等が軽減される。また、上記構成を用いることによって、実質的に熱膨張係数差を小さくすることができ、光学要素の熱変形を小さくすることができる。また、上記構成を用いることによって、第1の支持部材と、第2の支持部材との熱変形の違いを弾性部が吸収する際に、応力の発生を少なくすることができ、変形を吸収する能率を向上させることができる。また、上記構成を用いることによって、光学要素の偏芯を防いだり、微少ながら光学要素に及ぶ不要な熱変形を軸対称としたりすることができるので、光学的性能に及ぼす悪影響をより有効に軽減することができる。また、上記構成を用いることによって、安定で、収差が小さく、高い解像力の光学装置または半導体等の製造装置を実現することができる。以下に、本発明の実施例について説明する。実施例1本発明の実施例1は、上記構成を用いてレンズの支持部材を構成したものであり、図1は本実施例における光学部材の中心から半分を示したものである。同図において、1は石英のレンズ、11は1のレンズを支持する支持部材であり、石英とほぼ等しい熱膨張係数を有するニッケル合金であるインバーを用いている。なお、レンズ1は支持部材11に接着により固定されている。3はこれらのレンズを同軸上に支持するための支持部材であり、鉄材を用いている。上記支持部材11の周辺部分は、複数箇所切り欠かれ、この部分に板状のばねを構成する弾性部材12が設けられている。この弾性部材12は、板の両端にて支持部材11に結合され、中央部にて支持部材3に結合されている。このような支持構造によって、弾性部材12は光学要素に対し、半径方向に低い弾性を有するような構造になっている。また、2は螢石のレンズ、21はレンズ2を支持する支持部材であり、螢石とほぼ等しい熱膨張係数を有する銅亜鉛合金である真鍮である。レンズ2も支持部材21に接着されている。22は12と同様の弾性部材である。図2は、図3に示すレンズの支持部材の一部であり、1つのレンズユニットで、弾性部材の取り付く位置を示している。この図に示されるように、弾性部材12はほぼ等しい角度ピッチで支持部材11の周囲に複数個設けられており、その内径側の両側12aにて支持部材11とはネジ結合される。又、弾性部材12はその外径側の中央位置12bにて支持部材3とネジ結合されている。支持部材11は支持部材3とは軸方向において非接触であり、支持部材11の自重は弾性部材12が受けることになる。この弾性部材の材質は、支持部材11と同一のものが望ましいが、ステンレスなどのばね用金属部材やジルコニウムなどの非金属類など、他の材質を用いても良い。これは、支持部材11の剛性が、弾性部材12に十分勝る場合は、両者の熱膨張率の違いによる熱歪みが全体に与える影響が少ないからである。同様に、弾性部材22も支持部材21と同一のものが望ましいが、他の材質を用いても良い。図2では、3つの弾性部材を配置する場合について説明しているが、この数は望ましくは3つであるが、必ずしも3つには限られず、少なくとも2つ以上であれば良い。いずれにしても。支持部材11、21の周囲に弾性部材12、22を等間隔に配置することによって熱歪みによる支持部材11、21の偏芯を起こさないようにすることができる。このような構造の鏡筒において、環境温度が変化すると、支持部材3と、支持部材11とは熱膨張係数が異なるので、異なる膨張あるいは収縮を起こすことになるが、弾性部材12の板状のばね部分が曲げ変形を起こすことによって、これらの熱膨張差を吸収し、支持部材11がほぼ自由に単純膨張、あるいは単純収縮となる変形を起こすことができる。また、石英のレンズ1及び螢石のレンズ2と、その周囲の支持部材11、21とは、それぞれほぼ同じ熱膨張率であるから、レンズが単純膨張あるいは単純収縮に近い形状変化となり、光学性能に有害な面形状の歪みの発生を抑えることができる。レンズとその周囲の支持部材との熱膨張係数の差に関する許容値は、光学システムが置かれる温度環境の精度や、光学システムに要求される光学的性能によって異なる。また、支持部材の材質は、これらの条件を勘案して、最適な部材を選択することができる。例えば、それらの条件が許容できれば、石英レンズの支持部材11の材質として、石英の熱膨張係数に若干の差があるとしても、アルミナセラミックや、鉄系の材質などを選択することができる。いずれにしても、支持部材3の熱膨張係数よりも、よりレンズの熱膨張係数に近い材質の部材をレンズの支持部材11、21に用いることで、レンズの温度変化に起因するレンズ面形状の有害な変化を軽減することができ、光学システムの温度安定性を向上させることができる。又、支持部材11、21は支持部材3とは軸方向及び径方向において直接的には非接触であり、両者共、弾性部材12、22を介して支持される。このことは、支持部材3の外力や自重による変形を直接的に支持部材11、21へは伝えず、支持部材11、21の変形による各レンズ1、2の面形状の歪みを抑える効果を生み出している。実施例2図3に、本発明の実施例2におけるレンズの支持部材の構成を示す。同図において、31は石英のレンズ、32はインバー部材のレンズ支持部材、33はゴム系の接着部材で、弾性を有している。さらに34はレンズ支持部材32を支持する部材であり、鉄材を用いる。本実施例においても、実施例1と同様、支持部材32の熱膨張係数をレンズ31の熱膨張係数に近いものとすることで、支持部材34と支持部材32との熱膨張係数の違いによる不要な熱変形を接着剤33の弾性によって緩和させることができ、レンズの面形状の有害な歪みを軽減することが可能となる。実施例3本発明の実施例を以下、図5~7を用いて説明する。図5は本発明の実施例となる光学装置の中心から半分を示したものである。重力方向は光軸と一致し、図中の-Z方向である。図5において、5は石英のレンズ、51はレンズ5を支持する支持部材であり、レンズ周辺部を重力方向に支える3個所の突起を120度ピッチで有している。本実施例においては支持部材51の材質は真鍮である。また、レンズ5周辺部と支持部材51の径方向の隙間には、全周にわたって接着剤が充填され、レンズ5は支持部材51に固定されている。53はこれらのレンズを同軸上に支持するための支持部材であり、鉄材を用いている。支持部材51の周辺部分を複数箇所切り欠き、この部分に板状のばねを構成する弾性部材52を設けている。弾性部材52は板の両端にて支持部材51に結合され、中央部にて支持部材53に結合されている。このような支持構造によって、弾性部材52は光学要素に対し、半径方向に低い弾性率を有するような構造になっている。54はスペーサであり、前記レンズ5、支持部材51、支持部材53、弾性部材52それぞれ一つずつから構成される鏡筒ユニット同士の光軸方向の間隔を所定の間隔に調整するため部材である。図7に示すように支持部材53及びスペーサ54は外周部に60度ピッチでボルト締結用の穴およびタップが設けてあり、各鏡筒ユニットは相対的に、60度ピッチで任意の角度で回転させて組合せて固定することができるとともに、ボルト穴とボルトとの隙間分だけ、光軸と垂直方向に移動して固定し、所望の光学特性に調整することが可能である。もちろんこのボルト締結用の穴は60度ピッチに限らず、30度ピッチや45度ピッチもしくはその他のピッチでも構わない。また、ボルト締結用の穴とボルトの隙間分だけ移動可能な本実施例の構造とは異なる構造を用いて、光軸と垂直方向に移動可能な構成としても構わない。各レンズ5は支持部材51により3点で支持されているため、重力方向に3θの自重変形が起こるが、鏡筒ユニットを光軸中心に所定の角度だけ回転させてとりつけることにより、自重変形により生じる各レンズの収差を、光学系トータルでキャンセルして、所望の光学性能に調整している。本実施例では、相対的に60度ずらして取り付けている。図6は、3つの弾性部材を配置する場合について説明しているが、この数は望ましくは3つであるが、3つとは限らなく、2つ以上であれば良い。いずれにしても、支持部材51の周囲に弾性部材52を等間隔に配置することによって熱歪みによる支持部材51の偏芯を起こさないようにすることができる。このような構造の鏡筒において、環境温度が変化すると、支持部材53と、支持部材51とは熱膨張係数が異なるので、異なる膨張あるいは収縮を起こすことになるが、弾性部材52の板状のばね部分が曲げ変形を起こすことによって、これらの熱膨張差を吸収し、支持部材51がほぼ自由に単純膨張、あるいは単純収縮となる変形を起こすことができる。また、石英のレンズ5と支持部材51においては、熱膨張差を吸収する弾性部材が介在しないため、環境温度が変化すると、異なる膨張あるいは収縮をおこし、レンズ形状が変化するが、レンズ全周にわたって均一に接着剤が充填されているため、その変化は軸対称な微小変形に限定され、3θ形状は変化しないことを、計算および実験によって確認した。このような構成を用いることで、レンズの温度変化に起因するレンズ面形状の有害な変化を軽減することができ、光学システムの温度安定性を向上させることができる。また、レンズの自重変形や、レンズ研磨工程で生じたレンズ面形状に応じて、各レンズを独立に、光軸中心に所望の角度に組合せること、さらに光軸と垂直方向に偏芯調整を行うことができ、光学システムの収差を所望の性能に追い込むことが可能である。実施例4実施例4を図8を用いて説明する。図8は本発明の実施例4にかかる投影光学系の構成を表す概略図である。図8において、実施例3と同一の符号は同一の部材を表す。重力方向は光軸と一致し、図中の-Z方向である。図8において、61はレンズ5を支持する支持部材であり、レンズ周辺部を重力方向に支える3個所の突起を120度ピッチで有しており、石英とほぼ等しい熱膨張係数を有するニッケル合金であるインバーを用いている。また、レンズ周辺部と支持部材61の径方向の隙間には、前記3個所の突起部近傍に接着剤が充填され、レンズは支持部材に固定されている。この接着剤の塗布面積は、所定の加速度が本光学システムに加わった時にレンズ5が位置変動をおこさないよう、レンズの重量によって決められる。各レンズ5は支持部材51により3点で支持されているため、重力方向に3θの自重変形が起こるが、鏡筒ユニットを光軸中心に所定の角度だけ回転させてとりつけることにより、自重変形により生じる各レンズの収差を、光学系トータルでキャンセルして、所望の光学性能に調整している。本実施例では、相対的に60度ずらして取り付けている。このような構造の鏡筒において、環境温度が変化した時に、弾性部材52の板状のばね部分が曲げ変形を起こすことによって、支持部材61と支持部材53との熱膨張差を吸収し、支持部材61がほぼ自由に単純膨張、あるいは単純収縮となる変形を起こすことができる点は、前記第一の実施例と同様である。本実施例においては、石英のレンズ5とその周囲の支持部材61とは、それぞれほぼ同じ熱膨張率であるから、レンズが単純膨張あるいは単純収縮に近い形状変化となり、光学性能に有害な面形状の歪みの発生を抑えることができる。また本実施例ではレンズ5と支持部材61との接合には接着剤を用いたが、本構成を用いればレンズの周辺部を機械的に押圧することによっても同様の効果を得ることができる。このように本実施例によれば、接着剤の使用を最小限に押さえることができるため、接着剤から発生し光学性能の劣化の原因となる有害なガスを、極小に押さえることが可能で、光学システムの温度安定性のみならず、長期安定性を向上させることができる。実施例5実施例5を図9を用いて説明する。図9は本発明の実施例にかかる投影光学系の構成を表す概略図である。図9において、実施例3と同一の符号は同一の部材を表す。重力方向は光軸と一致し、図中の-Z方向である。図9において、62は鏡筒ユニットを同軸上に支持するための支持部材であり、鏡筒ユニットは、レンズを光軸方向に位置調整するためのスペーサ54を挟んで、支持部材62内の所望の位置にボルト締結される。前記実施例3、4において、スペーサを介して鏡筒ユニット同士がボルト締結されていたが、本実施例においては、それぞれの鏡筒ユニットが高剛性を有する支持部材62に締結されているため、鏡筒ユニット同士が相互に組立て歪みを与えることなく、光学系を構成することが可能である。また、本実施例においては実施例3同様、支持部材51は真鍮を用い、レンズ5外周部全周にわたって接着剤を充填する構成をとったが、もちろん実施例4と同様に、レンズと支持部材の熱膨張係数をほぼ等しくし、接着剤を減らした構成にすることも可能である。実施例6図4は、図1あるいは図3に示すレンズの支持部材を、半導体露光装置に適用したものであり、露光装置を模式的に示す図である。この露光装置において、レチクルステージ41に搭載されたレチクル40の一部に照明光学系44から露光用の照明光が照射される。照明光源は波長193nmのエキシマレーザ光である。照射領域は、スリット状であり、レチクルのパターン領域の一部をカバーする。このスリット部分に相当するパターンは投影光学系42によって1/4に縮小されて、ウエハステージ43に搭載されたウエハ45上に投影される。投影光学系は、露光装置のフレーム46に搭載されている。投影光学系に対しレチクルとウエハとを走査することによりレチクルのパターン領域をウエハ上の感光剤に転写する。この走査露光がウエハ上の複数の転写領域ショットに対して繰り返し行なわれる。投影光学系42は、高い解像性能が必要であり、レンズの支持として精度の高い構造が要求される。レンズ材料としては、石英と蛍石が用いられる。これらのレンズを支持する支持構造は図1に示す構造となっており、図1において1を石英のレンズ、2を蛍石のレンズとすると、11はインバーなどの鉄とニッケルを主成分とする合金部材であり、21は黄銅などの銅と亜鉛とを主成分とする合金部材とするのが適切である。両者共、レンズの熱膨張係数とほぼ同じ熱膨張係数を有する材質を用いることが望ましい。石英レンズ1を支持する支持部材11としては、酸化マグネシウムと酸化シリコンなどからなるコージライト系のセラミックス材料、あるいはアルミナ、窒化シリコンなどのセラミックス材料、あるいは、商品名ゼロジュールと呼ばれる低熱膨張ガラスなどが適切な材料として選択できる。また、蛍石レンズを支持する部材21としては、いわゆる18-8ステンレスなどの鉄、クロム、ニッケルによる合金、あるいは銅、あるいはリン青銅とよばれる銅、錫、リンによる合金、あるいは銅、あるいは白銅とよばれるニッケル、鉄、マンガン、銅による合金、あるいはニッケル、クロムによる合金あるいはアルミニウムを主成分とした合金、例えばアルミニウム、シリコン、銅によるアルミニウムダイカスト用合金なども適切な材質として選択できる。特に露光装置に適用する場合は露光光のエネルギがレンズに吸収され熱を発生させるので、熱伝導率の高い銅系の合金はより望ましい。螢石の熱膨張率は約19ppmであるが、この値に対し±10程度以内の違いである材料を部材21に用いることで温度によるレンズへの悪影響を実質的に問題のない程度に抑えることができることを発明者はシミュレーションによって確認した。支持部材3の材質としては鉄をはじめとして、どのような熱膨張係数の材料を利用してもよい。弾性部材12、22によって異なる材質間の熱膨張係数の差に起因するレンズの不要な変形を軽減することができる。レンズ全体を露光装置本体のフレーム46に固定する際に、レンズ支持部材3には結合による歪みが発生する場合があるが、弾性部材12、22はこの歪みがレンズに及ぶのも軽減する作用がある。従って高精度なレンズ支持構造を得ることができるので、半導体製造に必要な解像力を得るためのレンズシステムを実現することが可能になる。露光装置に用いるレンズ支持構造において重要なことは、レンズ自体が露光によるレーザー光によって熱を持つことである。このレンズの熱による膨張の際に支持部材11、21がレンズとほぼ同じ熱膨張係数を持つことは支持部材への熱伝導による支持部材11、21の膨張がレンズと同じ程度となり、レンズの不正な歪みの発生を抑える点で大きな効果を生むことになる。この実施例6は実施例3、4、5の光学要素の支持構造にも当然適用できる。