"複数の異なる方向に移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする駆動装置。請求項1に記載の駆動装置であって、前記駆動回路を複数備えることを特徴とする駆動装置。請求項1又は2に記載の駆動装置であって、前記複数の圧電モーターの共振周波数の相互差は、各共振周波数の10以上であることを特徴とする駆動装置。電子部品を所定の位置に移動させる電子部品搬送装置であって、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする電子部品搬送装置。請求項4に記載の電子部品搬送装置であって、前記可動部を第1の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第1の方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記可動部を前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2の圧電モーターと、を含み、前記第1の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第2の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることを特徴とする電子部品搬送装置。電子部品を所定の位置に移動配置させて、前記電子部品の電気的検査を行う電子部品検査装置であって、前記電子部品を検査する検査部と、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする電子部品検査装置。請求項6に記載の電子部品検査装置であって、前記可動部を第1の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第1の方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記可動部を前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2の圧電モーターと、を含み、前記第1の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第2の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることを特徴とする電子部品検査装置。可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とするロボットハンド。可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とするロボット。しかしながら、特許文献1に記載の駆動装置では、各圧電モーターを個別の駆動回路で駆動するため、駆動回路、及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線が圧電モーターと同じ数だけ必要となる。このため、駆動装置をより小型化、軽量化、低コスト化することが困難であるという課題があった。また、圧電モーターは部品等を保持して移動する可動部に設けられるが、駆動回路は可動部から離れた位置に設けられるため、圧電モーターと駆動回路とを接続する配線が多いほど、配線の重量や配線の束による抑制力が可動部を移動させる際の負荷となって、精密な位置決めが行いにくい場合があるという課題があった。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例に係る駆動装置は、複数の異なる方向に移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して、共振周波数の中から選択された周波数の駆動信号が供給されるので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。さらに、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、駆動装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーターの切り替えを速く短時間で行うことができる。これにより、複数の圧電モーターを切り替えて可動部を複数の異なる方向に移動させて所定の位置に配置する等の作業において、サイクルタイムを短縮することができる。[適用例2]上記適用例に係る駆動装置であって、前記駆動回路を複数備えることが好ましい。この構成によれば、複数の駆動回路のそれぞれで複数の圧電モーターの切り替えを速く短時間で行うことができるので、複数の駆動回路間で駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、駆動する圧電モーターの切り替えを同期させて行うことができる。これにより、複数の可動部を所定の位置に移動配置する等の作業を同期させて行うことができる。[適用例3]上記適用例に係る駆動装置であって、前記複数の圧電モーターの共振周波数の相互差は、各共振周波数の10以上であることが好ましい。この構成によれば、圧電モーターは、共振周波数において高効率かつ安定した状態で動作するが、共振周波数から10程度ずれた周波数では動作しない。したがって、複数の圧電モーターの共振周波数の相互差を各共振周波数の10以上とすることにより、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターを確実に選択して駆動することができる。[適用例4]本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を所定の位置に移動させる電子部品搬送装置であって、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して駆動回路が共振周波数の中から選択した周波数の駆動信号を供給するので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数に対応する共振周波数を有する圧電モーターのみを選択的に動作させることができる。そのため、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、電子部品搬送装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。[適用例5]上記適用例に係る電子部品搬送装置であって、前記可動部を第1の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第1の方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記可動部を前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2の圧電モーターと、を含み、前記第1の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第2の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることが好ましい。この構成によれば、直動機構により可動部が往復動する第1の方向に可動部を移動させる第1の圧電モーターは、可動部を第2の方向に移動させる第2の圧電モーターよりも可動部側に配置されている。圧電モーターが非駆動状態において、直動機構により可動部が第1の方向に往復動すると、移動方向が同じである第1の圧電モーターの方が移動方向が異なる第2の圧電モーターよりも往復動の慣性力で動いてずれてしまう可能性が高い。可動部が直動機構よりも鉛直方向下方に配置されている場合、第2の圧電モーターが第1の圧電モーターよりも可動部側、すなわち鉛直方向下方に配置されていると、第1の圧電モーターに第2の圧電モーターの重力がかかるため、第1の圧電モーターに作用する慣性力が大きくなってしまう。これに対して、第1の圧電モーターを第2の圧電モーターよりも鉛直方向下方に配置することで、第2の圧電モーターの重力分第1の圧電モーターに作用する慣性力を低減できる。これにより、第1の圧電モーターが動いてずれが生じることを抑止することができる。[適用例6]本適用例に係る電子部品検査装置は、電子部品を所定の位置に移動配置させて、前記電子部品の電気的検査を行う電子部品検査装置であって、前記電子部品を検査する検査部と、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して駆動回路が共振周波数の中から選択した周波数の駆動信号を供給するので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数に対応する共振周波数を有する圧電モーターのみを選択的に動作させることができる。そのため、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、電子部品検査装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。[適用例7]上記適用例に係る電子部品検査装置であって、前記可動部を第1の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第1の方向に移動させる第1の圧電モーターと、前記可動部を前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2の圧電モーターと、を含み、前記第1の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第2の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることが好ましい。この構成によれば、直動機構により可動部が往復動する第1の方向に可動部を移動させる第1の圧電モーターは、可動部を第2の方向に移動させる第2の圧電モーターよりも可動部側に配置されている。圧電モーターが非駆動状態において、直動機構により可動部が第1の方向に往復動すると、移動方向が同じである第1の圧電モーターの方が移動方向が異なる第2の圧電モーターよりも往復動の慣性力で動いてずれてしまう可能性が高い。可動部が直動機構よりも鉛直方向下方に配置されている場合、第2の圧電モーターが第1の圧電モーターよりも可動部側、すなわち鉛直方向下方に配置されていると、第1の圧電モーターに第2の圧電モーターの重力がかかるため、第1の圧電モーターに作用する慣性力が大きくなってしまう。これに対して、第1の圧電モーターを第2の圧電モーターよりも鉛直方向下方に配置することで、第2の圧電モーターの重力分第1の圧電モーターに作用する慣性力を低減できる。これにより、第1の圧電モーターが動いてずれが生じることを抑止することができる。[適用例8]本適用例に係るロボットハンドは、可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して、共振周波数の中から選択された周波数の駆動信号が供給されるので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。さらに、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットハンドの小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーターの切り替えを速く短時間で行うことができる。これにより、複数の圧電モーターを切り替えて可動部を所定の位置に移動配置する等の作業において、サイクルタイムを短縮することができる。[適用例9]本適用例に係るロボットは、可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して、共振周波数の中から選択された周波数の駆動信号が供給されるので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。さらに、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットの小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーターの切り替えを速く短時間で行うことができる。これにより、複数の圧電モーターを切り替えて可動部を所定の位置に移動配置する等の作業において、サイクルタイムを短縮することができる。以下に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、参照する各図面において、構成をわかり易く示すため、各構成要素の寸法の比率、角度等が異なる場合がある。第1の実施形態<駆動装置>まず、第1の実施形態に係る駆動装置の概略構成を説明する。図1は、第1の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図である。図1に示すように、第1の実施形態に係る駆動装置100は、3つの駆動ユニット101a,101b,101cで構成される。駆動ユニット101101a,101b,101cは、可動部5050a,50b,50cと、駆動回路3030a,30b,30cと、圧電モーター1111a,11b,11c,1212a,12b,12c,1313a,13b,13c,1414a,14b,14cと、を備えている。駆動ユニット101a,101b,101cのそれぞれは同じ構成を有しており、符号の末尾に付したa,b,cにより、各駆動ユニット101と、各駆動ユニット101が備える可動部50、駆動回路30、圧電モーター11,12,13,14とを対応させている。以下では、符号の末尾に付したa,b,cを省略して説明する。可動部50は、複数の異なる方向、例えば、互いに直交するX方向、Y方向、Z方向の3方向、及びZ方向を回転軸として回転するθ方向に移動可能である。各駆動ユニット101において、可動部50には、4個の圧電モーター11,12,13,14が設けられている。圧電モーター11,12,13,14は、互いに異なる共振周波数F1,F2,F3,F4を有しており、駆動回路30に接続されている。共振周波数F1,F2,F3,F4については、後述する。圧電モーター11,12,13,14には、駆動回路30から駆動信号が供給される。駆動信号の周波数は、圧電モーターの共振周波数F1,F2,F3,F4の中から選択され、順次切り替えられる。圧電モーター11,12,13,14のうち、駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。また、圧電モーター11,12,13,14のうち動作している圧電モーターから、エンコーダー信号が駆動回路30にフィードバックされる。駆動装置100は、3つの駆動ユニット101a,101b,101cのそれぞれにおいて、駆動信号の周波数を切り替えることで、4つ4軸の圧電モーター11,12,13,14を時分割で切り替えて駆動することにより、3つの可動部50のそれぞれを所望の位置に移動させる12軸の多軸駆動装置である。駆動装置100の駆動制御方法については後述する。<圧電モーター>次に、圧電モーター11,12,13,14の構成を説明する。図2は、第1の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図3は、第1の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。圧電モーター11,12,13,14は、同じ構成を有している。図2に示すように、圧電モーター11,12,13,14のそれぞれは、振動体1と、被駆動体5と、保持部材8と、付勢バネ6と、基台7と、を備えている。振動体1、被駆動体5、保持部材8、及び付勢バネ6は、基台7に設置されている。なお、ここでは、被駆動体5が回転駆動されるローターである場合を例にとり説明する。図2に示す平面視で、振動体1は、短辺1aと長辺1bとを有する略矩形形状である。以下の説明では、短辺1aに沿った方向を短手方向と呼び、長辺1bに沿った方向を長手方向と呼ぶ。振動体1は、例えば、板状に形成された圧電素子で構成されるが、圧電素子と振動板とが積層された積層体であってもよい。圧電素子は、電気機械変換作用を示す圧電材料からなり、例えば、一般式ABO3で示されるペロブスカイト構造を有する金属酸化物を材料として形成されている。このような金属酸化物としては、チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,TiO3:PZT、ニオブ酸リチウムLiNbO3等があげられる。振動体1の表面には、Ni,Au,Ag等の導電性金属からなる電極3が設けられている。電極3は、振動体1の短手方向の中央部、及び長手方向の中央部に形成された溝部によって、略4等分されている。これにより、電極3は、個別電極として互いに電気的に隔離された電極部3a,3b,3c,3dの4つの電極部に分割されている。また、振動体1の反対側の表面には、共通電極9図3参照が設けられている。電極3の4つの電極部のうち、互いに対角となるように配置され対を成す電極部3a,3dは、第1屈曲振動用電極として機能する。また、電極部3a,3dと交差する対角となるように配置され対を成す電極部3c,3bは、第2屈曲振動用電極として機能する。電極部3a,3dが配置された領域、及び電極部3c,3bが配置された領域が、それぞれ振動体1の短手方向に屈曲振動を励起する屈曲振動励起領域となる。振動体1は、被駆動体5側に突出するように延設され、被駆動体5の側面円周面に当接する摺動部4を有している。また、振動体1は、短手方向両外側に向かって延設された一対の腕部1cを有している。腕部1cには厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられており、貫通孔を挿通させたネジを介して、腕部1cが保持部材8に固定されている。これにより、振動体1は、保持部材8に対して、腕部1cを基点として屈曲振動が可能な状態で保持される。被駆動体5は、円盤形状を有しており、振動体1の摺動部4が設けられた側に配置されている。被駆動体5は、基台7に立設された棒状の軸5aを回転中心として、回転自在に保持されている。圧電モーター11,12,13,14のそれぞれにおいて、被駆動体5に近い位置には、エンコーダー51,52,53,54図3参照が設けられている。エンコーダー51,52,53,54は、被駆動体5の位置や回転速度に基づくエンコーダー信号E1,E2,E3,E4を駆動回路30図1参照にフィードバックする。基台7は、振動体1の短手方向の両外側に、長手方向に沿って延在して配置された一対のスライド部7aを有している。保持部材8は、基台7に対して、スライド部7aに沿ってスライド移動可能に支持されている。保持部材8の被駆動体5とは反対側と基台7との間には、付勢バネ6が設置されている。付勢バネ6は、保持部材8を介して振動体1を被駆動体5に向けて付勢し、この付勢力により、摺動部4が被駆動体5に所定の力で当接する。付勢バネ6の付勢力は、被駆動体5と摺動部4との間で適切な摩擦力が発生するように適宜設定されている。これにより、振動体1の振動が、摺動部4を介して被駆動体5に効率よく伝達される。駆動回路30から、共通電極9に対して共通信号図3に示すCOMが供給され、第1屈曲振動用電極である電極部3a,3dに対して駆動信号図3に示すDrvAが供給されると、振動体1に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部4は、時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体5が、図2に矢印で示すように、反時計回りに回転する。一方、共通電極9に対して共通信号COMが供給され、第2屈曲振動用電極である電極部3c,3bに対して駆動信号図3に示すDrvBが供給されると、振動体1に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部4は、反時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体5が、図2に示す矢印とは反対の、時計回りに回転する。このように、圧電モーター11,12,13,14は、駆動回路30から共通電極9と電極部3a,3b,3c,3dとの間に駆動信号を供給する際に、第1屈曲振動用電極電極部3a,3dを選択する場合と、第2屈曲振動用電極電極部3c,3bを選択する場合とを切り替えることにより、被駆動体5を反時計回り及び時計回りの双方向に回転させることが可能である。これにより、可動部50図1参照を移動させる方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。なお、被駆動体5は、上述の回転駆動されるローターに限定されるものではない。被駆動体5は直線駆動されるリニア被駆動体であってもよく、被駆動体5の駆動方向は任意に構成できる。被駆動体5がリニア被駆動体である場合、第1屈曲振動用電極電極部3a,3dと第2屈曲振動用電極電極部3c,3bとを切り替えることにより、被駆動体5の直動方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。ところで、図3に示すように、圧電モーター11,12,13,14のそれぞれの振動体1は、互いに異なる共振周波数F1,F2,F3,F4を有している。それぞれの共振周波数において、振動体1のインピーダンスは極小となり、屈曲振動の振幅は極大となる。そのため、圧電モーター11,12,13,14は、それぞれの共振周波数と同じ周波数の駆動信号が供給されると高効率かつ安定した状態で動作する。一方、圧電モーター11,12,13,14は、駆動信号の周波数がそれぞれの共振周波数から外れると安定した状態で動作できなくなり、駆動信号の周波数と共振周波数とのずれが共振周波数の10程度ある場合は動作しない。したがって、圧電モーター11,12,13,14の共振周波数F1,F2,F3,F4の相互差は、各共振周波数の10以上であることが望ましい。相互差が各共振周波数の10以上となるように共振周波数F1,F2,F3,F4を設定すれば、圧電モーター11,12,13,14のうち、駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみを選択的に動作させることができる。なお、圧電モーター11,12,13,14は、デジタルアンプ34から出力される矩形波信号の容量成分を打ち消すためのLC回路21,22,23,24を介して駆動回路30図1参照に接続されている。LC回路21,22,23,24は、それぞれ接続された圧電モーター11,12,13,14の共振周波数F1,F2,F3,F4にマッチングされており、共振周波数F1,F2,F3,F4と同じ周波数の駆動信号を選択的に通過させるバンドパスフィルターとしても機能する。このように、圧電モーター11,12,13,14のうち、駆動信号の周波数と共振周波数が同じ圧電モーターのみが選択的に駆動され、他の圧電モーターは非駆動状態となる。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数F1,F2,F3,F4から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路30で4個の圧電モーター11,12,13,14を時分割で切り替えて駆動することができる。これにより、駆動回路30の数及び配線の数を少なくすることができる。また、非駆動状態において、被駆動体5は、摺動部4との間に働く摩擦力により、回転を停止した際の位置で保持される。したがって、圧電モーター11,12,13,14では、電磁モーターやパルスモーターのように非駆動状態において回転子が回転しないようにモーター毎に設けられるブレーキ機構を必要としない。このため、圧電モーター11,12,13,14を用いることで、駆動装置100の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。なお、圧電モーター11,12,13,14は、被駆動体5の回転を増速又は減速して伝達する増減速機構をさらに備えていてもよい。増減速機構を備えていると、被駆動体5の回転速度を増速又は減速して所望の回転速度を容易に得ることができる。<駆動回路>次に、第1の実施形態に係る駆動回路の概略構成を説明する。図4は、第1の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。図4に示すように、駆動回路3030a,30b,30cは、主制御部40と、副制御部41と、発振器31と、ゲインアンプ32と、PWM部33と、デジタルアンプ34と、リレー37,38と、を備えている。主制御部40は、CPUCentralProcessingUnitで構成される。主制御部40は、駆動装置100を含むシステム全体を制御する制御装置図示省略と、CANControllerAreaNetworkを介して接続されている。主制御部40は、制御装置の指示に基づいて、圧電モーター11,12,13,14を切り替えて時分割で駆動する等の、駆動装置100の動作の制御を行う。副制御部41は、ロジックICやFPGAFieldProgrammableGateArray等で構成される。副制御部41は、主制御部40とSPISerialPeripheralInterfaceを介して接続されている。副制御部41は、主制御部40の指示に基づいて、発振器31で生成する信号の周波数、ゲインアンプ32の増幅率、リレー37,38の切り替え等の制御を行う。また、副制御部41は、エンコーダー51,52,53,54からフィードバックされたエンコーダー信号図3に示すE1,E2,E3,E4に基づいて、圧電モーター11,12,13,14の被駆動体5の位置や回転速度を検出する。発振器31は、DDSDirectDigitalSynthesizer等で構成される。発振器31は、圧電モーター11,12,13,14の振動体1に供給する駆動信号のもととなる信号を生成する。発振器31で生成された信号は、DAコンバーターによりアナログ信号に変換される。また、発振器31は、副制御部41の指示に基づいて、駆動信号の周波数を共振周波数F1,F2,F3,F4の中から選択された周波数に順次切り替える。ゲインアンプ32は、例えば、デジタルポテンショメーターとオペアンプとで構成される。ゲインアンプ32は、発振器31からのアナログ信号をデジタル制御により増幅する。また、ゲインアンプ32は、副制御部41の指示に基づいて、駆動信号の電圧値を調整する。PWM部33は、PWMPulseWidthModulation回路で構成される。PWM部33は、ゲインアンプ32からの入力信号におけるパルスのデューティー比を変えることにより、等価的なアナログ制御を行なう。デジタルアンプ34は、MOSトランジスターのHブリッジ回路で構成され、PWM部33との併用により、デジタルアンプとして機能する。デジタルアンプ34は、PWM部33からの信号の電力を増幅してスイッチングを行う。なお、主制御部40からのSleep指示があると、電力を増幅してスイッチングを行う機能がOFF状態となる。デジタルアンプ34は、リレー37を介して圧電モーター11,12,13,14の第1屈曲振動用電極図2に示す電極部3a,3dに駆動信号DrvAを出力し、リレー38を介して第2屈曲振動用電極図2に示す電極部3c,3bに駆動信号DrvBを出力する。また、デジタルアンプ34は、圧電モーター11,12,13,14の共通電極9図3参照に共通信号COMを出力する。リレー37,38は、フォトモスリレーで構成されている。リレー37,38は、副制御部41の指示に基づいて動作し、第1屈曲振動用電極電極部3a,3d、第2屈曲振動用電極電極部3c,3bとデジタルアンプ34とが電気的に接続した状態及び電気的に切断した状態を切り替える。リレー37,38を切り替えて、第1屈曲振動用電極電極部3a,3d又は第2屈曲振動用電極電極部3c,3bを選択することにより、圧電モーター11,12,13,14の被駆動体5は反時計回り又は時計回りに回転する。<駆動制御方法>次に、第1の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する。図5は、第1の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図である。先に図1を参照して説明したように、駆動ユニット101a,101b,101cのそれぞれにおいて、駆動回路30から圧電モーター11,12,13,14に駆動信号が供給される。駆動信号の周波数は、圧電モーターの共振周波数F1,F2,F3,F4の中から選択され、時分割で順次切り替えられる。図5aは、駆動回路30から圧電モーター11,12,13,14に供給される駆動信号の例を模式的に示している。図5aに示すように、駆動信号の周波数は、動作開始等の基準時点から時間T1経過後に、圧電モーター11の共振周波数F1となる。そうすると、駆動信号の周波数と同じ共振周波数F1を有する圧電モーター11のみが動作し、圧電モーター12,13,14は動作しない。時間T1から時間T2経過後に駆動信号の周波数が圧電モーター12の共振周波数F2に切り替わると、圧電モーター12のみが動作する。さらに時間T3経過後に駆動信号の周波数が圧電モーター13の共振周波数F3に切り替わると圧電モーター13のみが動作し、時間T4経過後に圧電モーター14の共振周波数F4に切り替わると圧電モーター14のみが動作する。このようにして、駆動装置100では、一つの駆動回路30により、4個の圧電モーター11,12,13,14を切り替えて駆動することができる。そのため、駆動回路30と4個の圧電モーター11,12,13,14とを、共通の配線で接続することができる。これにより、圧電モーター11,12,13,14の数に対して、駆動回路30の数及び配線の数を少なくすることができる。また、駆動装置100では、駆動信号の周波数を切り替えるだけで駆動する圧電モーターを切り替えられるので、圧電モーターを切り替えるための機構や部材を別途必要とせず、圧電モーターの切り替えを速く短時間で行うことができる。そのため、3つの駆動ユニット101a,101b,101cにおいて、駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、それぞれの圧電モーター11,12,13,14の切り替えを速くかつ同期させて行うことができる。これにより、例えば、可動部50a,50b,50c図1参照を移動させる作業を同期させて行うことができる。図5bは、周波数を切り替えつつ連続して駆動信号を供給する場合の例を模式的に示している。図5bに示すように、周波数を切り替えながら駆動信号を連続して供給すれば、圧電モーター11,12,13,14を時分割で順次連続して駆動することができる。これにより、例えば、可動部50a,50b,50cを移動させる作業のサイクルタイムを短縮することができる。ここで、4個の圧電モーター11,12,13,14により可動部5050a,50b,50cを移動させる方向は、同一であってもよいし、それぞれ異なっていてもよい。例えば、圧電モーター11,12,13,14のそれぞれによる移動方向を、互いに直交するX方向、Y方向、Z方向の3方向、及びZ方向を回転軸として回転するθ方向とすれば、圧電モーター11,12,13,14を順次切り替えて動作させることで、可動部50をX方向、Y方向、Z方向、θ方向に順次移動させて所望の位置に移動配置することができる。あるいは、増減速機構により、圧電モーター11,12,13,14の順に可動部50を移動させる速度を遅く移動させる距離を小さくすれば、圧電モーター11,12,13,14を順次切り替えて駆動させることで、可動部50の位置合わせを段階的に微細に行うことができる。なお、駆動装置100が備える駆動ユニットの数や、一つの駆動回路30に接続する圧電モーターの数は、上述の数に限定されるものではない。以上述べたように、第1の実施形態に係る駆動装置100の構成によれば、以下の効果が得られる。1互いに異なる共振周波数F1,F2,F3,F4を有する圧電モーター11,12,13,14に対して、共振周波数の中から選択された周波数の駆動信号が供給されるので、圧電モーター11,12,13,14のうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数F1,F2,F3,F4の中から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路30で圧電モーター11,12,13,14を切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路30の数及び圧電モーターと駆動回路30とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。さらに、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、駆動装置100の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーター11,12,13,14の切り替えを速く短時間で行うことができる。これにより、圧電モーター11,12,13,14を切り替えて可動部50を所定の位置に移動配置する等の作業において、サイクルタイムを短縮することができる。2複数の駆動回路30のそれぞれで複数の圧電モーター11,12,13,14の切り替えを速く短時間で行うことができるので、複数の駆動回路30間で駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、駆動する圧電モーターの切り替えを同期させて行うことができる。これにより、複数の可動部50を所定の位置に移動配置する等の作業を同期させて行うことができる。3圧電モーターは、共振周波数において高効率かつ安定した状態で動作するが、共振周波数から10程度ずれた周波数では動作しない。したがって、圧電モーター11,12,13,14の共振周波数F1,F2,F3,F4の相互差を各共振周波数の10以上とすることにより、圧電モーター11,12,13,14のうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターを確実に選択して駆動することができる。第2の実施形態<駆動装置>次に、第2の実施形態に係る駆動装置を説明する。第2の実施形態に係る駆動装置は、第1の実施形態に対して、圧電モーターの振動体に屈曲振動だけでなく縦振動が励起される点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。第1の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。図6は、第2の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図7は、第2の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。図8は、第2の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。第2の実施形態に係る駆動装置102は、第1の実施形態に係る駆動装置100と同様に、3つの駆動ユニット図示省略を備え、それぞれの駆動ユニットに、駆動回路30と、圧電モーター61,62,63,64と、を備えている。図6に示すように、圧電モーター61,62,63,64のそれぞれは、振動体2と、被駆動体5と、保持部材8と、付勢バネ6と、基台7と、を備えている。振動体2の電極3の表面は5分割されており、電極部3a,3b,3c,3dに加えて、電極部3eが設けられている。電極部3eは、電極部3a,3bと電極部3c,3dとの間の短手方向中央部に配置されており、電極部3a,3bを合わせた面積電極部3c,3dを合わせた面積とほぼ同じ面積を有している。電極部3eは、縦振動用電極として機能する。縦振動とは、振動体2に長手方向に沿って伸縮する振動のことを指す。図7に示すように、圧電モーター61,62,63,64のそれぞれの振動体2は、互いに異なる共振周波数F1,F2,F3,F4を有している。圧電モーター61,62,63,64は、LC回路21,22,23,24を介して駆動回路30図1参照に接続されている。駆動回路30から圧電モーター61,62,63,64に供給される駆動信号の周波数は、図5a又はbと同様に、圧電モーターの共振周波数F1,F2,F3,F4の中から選択され、時分割で順次切り替えられる。振動体2の電極部3a,3dに第1屈曲振動用の駆動信号DrvAが供給され、電極部3eに縦振動用の駆動信号Drvが供給されると、振動体2の短手方向に沿って屈曲する屈曲振動とともに長手方向に沿って伸縮する縦振動が励振される。このような屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体2が励振されることにより、摺動部4は時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体5は反時計回りに回転する。一方、振動体2の電極部3c,3bに第2屈曲振動用の駆動信号DrvBが供給され、電極部3eに縦振動用の駆動信号Drvが供給されると、屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体2が励振されることにより、摺動部4は反時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体5は時計回りに回転する。図8に示すように、第2の実施形態に係る駆動装置102の駆動回路30は、縦振動用の駆動信号Drvが出力される点以外は、第1の実施形態と同じ構成を有している。縦振動用の駆動信号Drvは、リレー37,38の動作に関わらず、デジタルアンプ34から出力される。このように、第2の実施形態に係る駆動装置102は、第1の実施形態に対して、圧電モーター61,62,63,64の振動体2の電極が5分割され屈曲振動用の電極部3a,3b,3c,3dに加えて縦振動用の電極部3eを有する点が異なる。しかしながら、第1の実施形態と同様に、圧電モーター61,62,63,64のそれぞれは互いに異なる共振周波数F1,F2,F3,F4を有しており、駆動回路30から各圧電モーターに対して共振周波数と同じ周波数の駆動信号が順次供給される。これにより、第2の実施形態に係る駆動装置102においても、第1の実施形態に係る駆動装置100と同様の効果が得られる。第3の実施形態<電子部品搬送装置及び電子部品検査装置>次に、第3の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を説明する。第3の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置は、第1の実施形態に係る駆動装置の基本構成と同様の構成を有する位置決め機構を備えている。第1の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。まず、第3の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置で搬送又は検査する電子部品の一例を説明する。図9は、第3の実施形態に係る電子部品の一例を示す図である。詳しくは、図9aは電子部品の構造を示す模式側面図であり、図9b及び図9cは電子部品の構造を示す概略斜視図である。図9bは半導体素子が形成された面を示し、図9cは電極のみが形成された面を示している。図9a,b,cに示すように、電子部品70は四角形の基板71を備えている。基板71の一方の面を第1面70aとし、他方の面を第2面70bとする。図9bに示すように、第1面70aには四角形の半導体チップ72が設置され、その周囲に2列に配列された第1電極73aが配置されている。図9cに示すように、第2面70bには第2電極73bが格子状に配置されている。基板71内には配線層と絶縁層とが積層して形成され、半導体チップ72は配線層の配線を介して第1電極73a及び第2電極73bで構成される電極73に接続されている。次に、第3の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の概略構成を説明する。図10は、第3の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の概略構成を示すブロック図である。図11及び図12は、第3の実施形態に係る電子部品検査装置の要部の構成を説明する図である。詳しくは、図11aは電子部品検査装置200を正面から見た図であり、図11bは電子部品検査装置200を上方から見た図である。また、図12a,b,cは電子部品検査装置200の断面図である。なお、図11及び図12では、電子部品70の図示を省略している。図10に示すように、第3の実施形態に係る電子部品検査装置200は、制御装置210と、直動機構としての直動駆動装置220と、検査装置230と、給材装置240と、除材装置250と、第1撮像部260と、第2撮像部270と、位置決め機構110と、を備えている。直動駆動装置220と、検査装置230と、給材装置240と、除材装置250と、第1撮像部260と、第2撮像部270と、位置決め機構110とは、入出力インターフェイスを介して制御装置210に接続されている。なお、第3の実施形態に係る電子部品搬送装置205は、検査装置230を備えていない点以外は電子部品検査装置200と共通の構成を有している。以下では、電子部品検査装置200について説明するが、検査装置230に関する説明以外は電子部品搬送装置205の説明を兼ねるものとする。制御装置210は、電子部品検査装置200全体の動作を制御する。制御装置210は、プロセッサーとして各種の演算処理を行うCPUや、各種情報を記憶するメモリーを備えている。メモリーには、電子部品検査装置200の動作の制御手順が記述されたプログラムを記憶する記憶領域、電子部品70の形状や電極の座標データ等を記憶するための記憶領域、検査装置230のプローブ位置の座標データを記憶するための記憶領域等が設定される。CPUは、メモリー内に記憶されたプログラムに従って電子部品検査装置200の各部を動作させて電子部品70の電気特性を検査するための制御を行うものである。直動駆動装置220は、リニアモーター等によりそれぞれX方向、Y方向、Z方向に直動往復するX移動部221、Y移動部222、Z移動部223を備え、これらを駆動する。図11a,bにおいて、水平方向正面側を第2の方向としてのX方向とし、水平面においてX方向と直交する方向正面から見て右方を第1の方向としてのY方向とし、X方向及びY方向と直交する方向垂直方向上方をZ方向とする。図11aに示すように、電子部品検査装置200は、基台201と支持部202とを備えている。基台201は、略直方体状である。支持部202は、基台201に設けられた直動駆動装置220図10参照に支持されており、直動駆動装置220がX移動部221、Y移動部222、Z移動部223図10参照を駆動することにより、基台201に対してX方向、Y方向、Z方向に移動する。なお、制御装置210は、基台201のY方向における端部等の、支持部202から離れた位置に配置されている。支持部202には、電子部品70を保持して移動可能な可動部81と、可動部81を移動可能に保持するヘッド80と、可動部81を所定の方向に移動させる位置決め機構110と、が設けられている。ヘッド80は、支持部202の基台201側-Z方向に設けられており、4つのヘッド80a,80b,80c,80dで構成される。直動駆動装置220により支持部202がY方向に移動往復することで、ヘッド80a,80bが位置決め場所P1と検査場所P3とを移動往復し、ヘッド80c,80dが位置決め場所P2と検査場所P3とを移動往復する。なお、検査場所P3に対して、位置決め場所P1は図の右側Y方向に配置され、位置決め場所P2は図の左側-Y方向に配置されている。図12a,b,cに示すように、可動部81は、各ヘッド80の基台201側-Z方向に4つずつ配置されており、合計で16個設けられている。可動部81の略中央には吸着部図示省略が設置され、吸着部の内部に設けられた流路内の空気を真空ポンプ等で吸引することにより、電子部品70を基台201側に保持することが可能になっている。なお、図12a,b,cは、基台201をヘッド80aの位置においてX方向に切断した時の断面を模式的に示している。図11aに示すように、位置決め機構110は、4つの駆動ユニット111a,111b,111c,111dで構成される。駆動ユニット111a,111b,111c,111dは、ヘッド80a,80b,80c,80dに、符号の末尾に付したa,b,c,dに対応して配置されている。位置決め機構110は、第1の実施形態に係る駆動装置100の基本構成を適用した位置決め機構である。位置決め機構110により可動部81を移動させて、電子部品70を所定の位置に移動配置することができる。位置決め機構110の構成については後述する。検査装置230は、電子部品70の電気特性を検査する装置である。図11a,bに示すように、検査装置230は、基台201の上面の検査場所P3に配置されており、検査台231を備えている。検査台231には、8個の検査ソケット232が設けられている。検査ソケット232には、検査を行うための電気信号を送受信するための多数のプローブ図示省略が設けられており、可動部81に保持された電子部品70が挿入されると、これらのプローブと電子部品70の電極とが接触して電気的に接続されるようになっている。図11bに示す給材装置240は、検査するための電子部品70を給材する装置である。給材装置240は、検査するための電子部品70を載置する供給トレイ241,242と、リニアモーター等により供給トレイ241,242を直動させる直動機構図示省略と、を備えている。供給トレイ241,242は、Y方向に並んで配置されている。図12bには供給トレイ241側のみを示すが、供給トレイ241,242は、直動機構によりX方向に移動し、可動部81に電子部品70を供給する位置位置決め場所P1,P2と、供給トレイ上に電子部品70を載置する位置位置決め場所P1,P2のX側との間を往復する。図11bに示す除材装置250は、検査が終了した電子部品70を除材する装置である。除材装置250は、検査が終了した電子部品70を載置する回収トレイ251,252と、リニアモーター等により回収トレイ251,252を直動させる直動機構図示省略と、を備えている。回収トレイ251,252は、Y方向に並んで配置されている。図12cには回収トレイ251側のみを示すが、回収トレイ251,252は、直動機構によりX方向に移動し、可動部81から電子部品70を回収する位置位置決め場所P1,P2と、回収トレイから電子部品70を除材する位置位置決め場所P1,P2の-X側との間を往復する。図11a,bに示す第1撮像部260は、位置決め場所P1に配置されており、2つの撮像装置261,262を備えている。位置決め場所P1には、基台201の上面から窪んで設けられ、X方向に延在する溝部が形成されている。撮像装置261,262は、Y方向に並ぶように溝部内に配置されている。撮像装置261,262は、受光する光を電気信号に変換するCCDChargeCoupledDevices素子等で構成される。図12aには撮像装置261側のみを示すが、撮像装置261,262は、直動機構図示省略により溝部内をX方向に移動往復し、可動部81に保持され対向配置された電子部品70の画像を出力する。撮像装置261,262により、位置決め場所P1において、一度に2個の電子部品70の配置位置を光学的に認識することができる。また、撮像装置261,262がX方向に移動することで、合計8個の電子部品70の配置位置を光学的に認識することができる。図11a,bに示す第2撮像部270は、位置決め場所P2に配置されており、2つの撮像装置271,272を備えている。位置決め場所P2には、基台201の上面から窪んで設けられ、X方向に延在する溝部が形成されている。撮像装置271,272は、Y方向に並ぶように溝部内に配置されている。撮像装置271,272は、撮像装置261,262と同様の素子で構成されており、撮像装置261,262と同様に溝部内をX方向に移動往復して電子部品70の画像を出力する。これにより、位置決め場所P2においても一度に2個、合計8個の電子部品70の配置位置を光学的に認識することができる。<位置決め機構>次に、図13を参照して、位置決め機構110の構成を説明する。図13は、第3の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の概略構成を示すブロック図である。図13に示すように、位置決め機構110は、4つの駆動ユニット111a,111b,111c,111dのそれぞれに12個の圧電モーター11,12,13,14を備え、4つの駆動回路90a,90b,90c,90dで合計48個48軸の圧電モーターを駆動する多軸位置決め機構である。駆動ユニット111a,111b,111c,111dのそれぞれは同じ構成を有しており、符号の末尾に付したa,b,c,dにより、各駆動ユニット111と、圧電モーター11,12,13,14とを対応させている。以下では、符号の末尾に付したa,b,c,dを省略して説明する。各駆動ユニット111は、駆動回路90と、12個の圧電モーター11X,11Y,11θ,12X,12Y,12θ,13X,13Y,13θ,14X,14Y,14θと、を備えている。12個の圧電モーターは同様の構成を有しているが、各圧電モーターの符号の末尾に付したX,Y,θ,により、各圧電モーターが可動部81図11参照をそれぞれX方向、Y方向、θ方向に移動させることを示している。ここで、θ方向は、Z方向を回転軸として、X方向とY方向とで構成される面内で回転する方向である。以下では、可動部81をX方向に移動させる圧電モーター11,12,13,14を総称して、第2の圧電モーターとしてのX方向用圧電モーターという。また、可動部81をY方向に移動させる圧電モーター11,12,13,14を総称して、第1の圧電モーターとしてのY方向用圧電モーターという。また、可動部81をθ方向に移動させる圧電モーター11,12,13,14を総称して、θ方向用圧電モーターという。駆動回路90は、第1の実施形態における駆動回路30と同様の構成を有しているが、X方向用圧電モーター、Y方向用圧電モーター、θ方向用圧電モーターの3個の圧電モーターを駆動するため、発振器31、ゲインアンプ32、PWM部33、デジタルアンプ34、及びリレー37,38をそれぞれ3個ずつ備えている。圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θは、互いに異なる共振周波数F1,F2,F3,F4を有しており、LC回路図示省略を介して駆動回路90図13参照に接続されている。駆動回路90から圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θに駆動信号が出力され、エンコーダーからのエンコーダー信号が駆動回路90にフィードバックされる。駆動回路90から圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θに供給される駆動信号の周波数は、図5a又はbと同様に、圧電モーターの共振周波数F1,F2,F3,F4の中から選択され、時分割で順次切り替えられる。したがって、共通の駆動回路90により、12個の圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θを切り替えて駆動することができる。図12aに示すように、圧電モーターはヘッド80に設けられているが、例えば、Z方向から圧電モーター11X,11Y,11θの順で配置されている。すなわち、可動部81をX方向に移動させるX方向用圧電モーターは、可動部81をY方向に移動させるY方向用圧電モーターよりも上方に配置されている。一方、駆動回路90は、制御装置210図示しないとともに基台201のY方向における端部等の圧電モーターから離れた位置に配置されている。なお、LC回路21,22,23,24は、圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θに近い位置、例えば、支持部202に設けられている。このように、位置決め機構110は、共通の駆動回路90で12個の圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θを駆動するので、圧電モーターの数に対して駆動回路90の数及び配線の数を少なくすることができる。したがって、位置決め機構110の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。さらに、離れた位置に配置された駆動回路90と圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θとの間の配線の数が少なくて済むため、支持部202や可動部81を移動させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、位置決めが行い易くなり、より精密な位置決めを行うことが可能となる。<位置決め機構の駆動制御方法>続いて、図14を参照して、位置決め機構110の駆動制御方法、及び位置決めに関わる電子部品検査装置200の動作を説明する。図14は、第3の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の駆動制御方法を説明する図である。なお、図14は、電子部品検査装置200を上方Z方向から見た図である。ヘッド80a,80bでの位置決め図14aにおいて、ヘッド80a,80bは位置決め場所P1に配置され、ヘッド80c,80dは検査場所P3に配置されている。ヘッド80a,80bでは、供給トレイ241図11b参照が位置決め場所P1に移動し、合計8つの可動部81のそれぞれに電子部品70図示しないが供給され保持される。供給トレイ241が位置決め場所P1からX方向に移動した後、位置決め場所P1において、ヘッド80a,80bの可動部81に保持された8個の電子部品70に対して、2個ずつ順に位置決めが行われる。ここでは、まず、撮像装置261,262が、-X方向側の可動部81と重なる位置に配置される。そして、それぞれの位置において可動部81に保持された2個の電子部品70について、撮像装置261,262で配置位置を光学的に認識しながら、圧電モーター11aX,Y,θ,11bX,Y,θを駆動し可動部81をX方向、Y方向、θ方向に移動させて所定の位置に位置決めを行う。このとき、駆動回路90から供給する駆動信号の周波数を圧電モーター11の共振周波数F1とすることにより、ヘッド80a,80bにおいて、圧電モーター11aX,Y,θ,11bX,Y,θのみが動作る。続いて、撮像装置261,262は、-X方向側から2番目の可動部81と重なる位置に移動する。そして、駆動信号の周波数を圧電モーター12の共振周波数F2とすることにより、圧電モーター12aX,Y,θ,12bX,Y,θのみが動作して、次の2個の電子部品70について位置決めを行う。このようにして、撮像装置261,262がX方向に移動するとともに、圧電モーターを順次切り替えて駆動することにより、ヘッド80a,80bにおける8個の電子部品70の位置決めを完了する。ヘッド80c,80dでの電気特性検査位置決め場所P1でヘッド80a,80bにおいて電子部品70の位置決めを行っている間に、検査場所P3では、ヘッド80c,80dにおいて8個の電子部品70が検査ソケット232図11b参照に挿入され、8個の電子部品70の電気特性検査が行われる。次に、位置決め場所P1における位置決めと検査場所P3における電気特性検査が終了したら、直動駆動装置220図10参照により支持部202図11a参照を-Y方向に移動させる。これにより、図14bに示すように、ヘッド80a,80bは検査場所P3に配置され、ヘッド80c,80dは位置決め場所P2に配置される。ヘッド80c,80dでの位置決めヘッド80c,80dでは、回収トレイ252図11b参照が位置決め場所P2に移動し、合計8つの可動部81から検査が終了した電子部品70を回収する。回収トレイ252が位置決め場所P2から-X方向に移動した後、供給トレイ242図11b参照が位置決め場所P2に移動して、ヘッド80c,80dの可動部81に検査前の8個の電子部品70が保持される。供給トレイ242が位置決め場所P2からX方向に移動した後、位置決め場所P2において、8個の電子部品70に対して2個ずつ順に位置決めが行われる。ここでは、撮像装置271,272が、-X方向側の可動部81と重なる位置に配置され、2個の電子部品70について配置位置を光学的に認識しながら、圧電モーター11cX,Y,θ,11dX,Y,θを駆動させて所定の位置に位置決めを行う。そして、撮像装置271,272を順次、X方向に移動させて、圧電モーターの駆動を切り替えて駆動することにより、ヘッド80c,80dにおける8個の電子部品70の位置決めを完了する。ヘッド80a,80bでの電気特性検査位置決め場所P2でヘッド80c,80dにおいて電子部品70の位置決めを行っている間に、検査場所P3では、ヘッド80a,80bにおいて8個の電子部品70が検査ソケット232に挿入され、8個の電子部品70の電気特性検査が行われる。次に、位置決め場所P2における位置決めと検査場所P3における電気特性検査が終了したら、直動駆動装置220により支持部202をY方向に移動させる。これにより、図14aに示すように、ヘッド80a,80bは位置決め場所P1に配置され、ヘッド80c,80dは検査場所P3に配置される。そして、ヘッド80a,80bでは、回収トレイ251図11b参照が位置決め場所P1に移動し、合計8つの可動部81から電子部品70を回収する。以降、同様にして、ヘッド80a,80bでの位置決め及び電気特性検査と、ヘッド80c,80dでの位置決め及び電気特性検査とを繰り返す。ところで、上述の位置決め及び電気特性検査を繰り返す度に、直動駆動装置220により支持部202がY方向に往復動を繰り返す。そうすると、ヘッド80a,80b、80c,80dに設けられた48個の圧電モーターも、非駆動状態で支持部202とともにY方向に往復動を繰り返すこととなる。この直動駆動装置220によるY方向の移動は、圧電モーターによるY方向の移動に比べて、移動速度及び移動距離がともに大きい。そのため、直動駆動装置220によるY方向の移動の度に、48個の圧電モーターにY方向の慣性力が作用する。圧電モーターは非駆動状態でも被駆動体5と摺動部4図2参照との間の摩擦力により動かないように保持されるが、慣性力が大きいと動いてしまって位置決め後停止した位置からずれてしまう場合がある。このような場合、直動駆動装置220による直動方向と同じ方向のY方向用圧電モーターは、X方向用圧電モーターやθ方向用圧電モーターに比べて動き易い。また、Y方向用圧電モーターにかかる重力が大きいほど、慣性力が大きくなるのでより動きやすくなる。そこで、位置決め機構110では、Y方向用圧電モーターをX方向用圧電モーターよりも-Z方向の可動部81側、すなわち下方鉛直方向に配置している。このため、Y方向用圧電モーターにはX方向用圧電モーターの重力がかからないので、Y方向用圧電モーターをX方向用圧電モーターよりも上に配置した場合に比べて、Y方向用圧電モーターに作用する慣性力を小さく抑えることができる。これにより、直動駆動装置220により支持部202がY方向に往復動を繰り返しても、慣性力でY方向用圧電モーターが動いてしまうことによる位置ずれを抑止できる。なお、位置決め機構110の圧電モーターは、第1の実施形態における振動体1に電極が4分割で形成された構成、及び第2の実施形態における振動体2に電極が5分割で形成された構成のいずれであってもよい。また、位置決め機構110が備える駆動ユニットの数や、一つの駆動回路90に接続する圧電モーターの数は、上述の数に限定されるものではない。以上述べたように、第3の実施形態に係る電子部品搬送装置205及び電子部品検査装置200が備える位置決め機構110の構成によれば、以下の効果が得られる。1共通の駆動回路90で12個の圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θを駆動するので、圧電モーターの数に対して駆動回路90の数及び配線の数を少なくすることができる。したがって、位置決め機構110の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。さらに、離れた位置に配置された駆動回路90と圧電モーター11X,Y,θ,12X,Y,θ,13X,Y,θ,14X,Y,θとの間の配線の数が少なくて済むため、支持部202や可動部81を移動させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、位置決めが行い易くなり、より精密な位置決めを行うことが可能となる。2Y方向用圧電モーターをX方向用圧電モーターよりも下方鉛直方向に配置している。このため、Y方向用圧電モーターをX方向用圧電モーターよりも上に配置した場合に比べて、X方向用圧電モーターの重力分だけY方向用圧電モーターに作用する慣性力を小さく抑えることができる。これにより、Y方向に往復動を繰り返しても、慣性力でY方向用圧電モーターが動いてしまうことによる位置ずれを抑止できる。3駆動回路90からの駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーター11,12,13,14の切り替えを速く短時間で行うことができる。これにより、位置決め作業のサイクルタイムを短縮することができる。4複数の駆動回路90間で駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、駆動する圧電モーターの切り替えを同期させて行うことができる。これにより、各ヘッド80における位置決め作業を同期させて行うことができる。第4の実施形態<ロボットハンド及びロボット>次に、第4の実施形態に係るロボットハンド及びロボットを説明する。第4の実施形態に係るロボットハンド及びロボットは、関節部の駆動装置として、第1の実施形態に係る駆動装置と同様の構成を有する駆動装置を備えている。第1の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。図15は、第4の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図である。図15aは、ロボットハンドの構造を示す模式図である。図15aに示すように、ロボットハンド300は、ハンド本体部301と、2つの指部302a,302bと、制御装置307と、を備えている。2つの指部302a,302bは、ハンド本体部301に設置されている。指部302aは、可動部としての3つの関節部304a,305a,306aと3つの指部材303aとが交互に接続されて構成されている。関節部304a,305a,306aには、それぞれ圧電モーター11a,12a,13aが設けられている。指部302bは、可動部としての3つの関節部304b,305b,306bと3つの指部材303bとが交互に接続されて構成されている。関節部304b,305b,306bには、それぞれ圧電モーター11b,12b,13bが設けられている。制御装置307には、駆動回路30a,30bが配置されている。駆動回路30aには、圧電モーター11a,12a,13aが接続されている。駆動回路30aから供給される駆動信号の周波数を共振周波数F1,F2,F3の中から選択して順次切り替えることにより、圧電モーター11a,12a,13aが時分割で駆動され、関節部304a,305a,306aが回動する。同様に、駆動回路30bには、圧電モーター11b,12b,13bが接続されており、駆動回路30bからから供給される駆動信号の周波数を共振周波数F1,F2,F3の中から選択して順次切り替えることにより、圧電モーター11b,12b,13bが時分割で駆動され、関節部304b,305b,306bが回動する。これにより、指部302a,302bを人間の指のように所望の形態に変形させることが可能になっている。図15bは、ロボットの構造を示す模式図である。図15bに示すように、ロボット310は、ロボット本体部311と、2つの腕部312a,312bと、制御装置317と、を備えている。2つの腕部312a,312bは、ロボット本体部311に設置されている。腕部312aは、可動部としての3つの関節部314a,315a,316aと2つの腕部材313aとが交互に接続されて構成されている。関節部314a,315a,316aには、それぞれ圧電モーター11e,12e,13eが設けられている。腕部312aの一端はロボット本体部311に設置され、他端にはロボットハンド300aが設置されている。ロボットハンド300aは、図15aと同様の構成を有する。腕部312bは、可動部としての3つの関節部314b,315b,316bと2つの腕部材313bとが交互に接続されて構成されている。関節部314b,315b,316bには、それぞれ圧電モーター11f,12f,13fが設けられている。腕部312bの一端はロボット本体部311に設置され、他端にはロボットハンド300bが設置されている。ロボットハンド300bは、図15aと同様の構成を有するが、駆動回路30c,30dのそれぞれに接続された3つの圧電モーター図示省略を関節部に備えている。制御装置317には、駆動回路30a,30b,30c,30d,30e,30fが配置されている。駆動回路30eには、圧電モーター11e,12e,13eが接続されている。駆動回路30eから供給される駆動信号の周波数を共振周波数F1,F2,F3の中から選択して順次切り替えることにより、圧電モーター11e,12e,13eが時分割で駆動され、関節部314a,315a,316aが回動する。同様に、駆動回路30fには、圧電モーター11f,12f,13fが接続されており、駆動回路30fから供給される駆動信号の周波数を共振周波数F1,F2,F3の中から選択して順次切り替えることにより、圧電モーター11f,12f,13fが時分割で駆動され、関節部314b,315b,316bが回動する。これにより、腕部312a,312bを人間の腕のように所望の形態に変形させることが可能になっている。以上述べたように、第4の実施形態に係るロボットハンド300及びロボット310の構成によれば、以下の効果が得られる。なお、符号の末尾に付したa,b,c,d等は省略する。1第1の実施形態に係る駆動装置100と同様の駆動装置を各関節部に備えているので、圧電モーター11,12,13の数に対して、駆動回路30の数及び配線の数を少なくすることができる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットハンド300及びロボット310の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。さらに、離れた位置に配置された駆動回路30と圧電モーター11,12,13との間の配線の数が少なくて済むため、指部302及び腕部312を変形させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、ロボットハンド300の指部302及びロボット310の腕部312において、より精密な動作を行うことが可能となる。2駆動回路30からの駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーター11,12,13の切り替えを速く短時間で行うことができる。これにより、ロボットハンド300の指部302及びロボット310の腕部312をスムーズに動作させるとともに、作業のサイクルタイムを短縮することができる。3複数の駆動回路30間で駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、駆動する圧電モーター11,12,13の切り替えを同期させて行うことができる。これにより、ロボットハンド300の2つの指部302の動作や、ロボット310の2つの腕部312の動作を同期させることができる。なお、上述した実施の形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形及び応用が可能である。変形例を以下に述べる。変形例1例えば、上述した第1の実施形態では、圧電モーター11,12,13,14のそれぞれに設けられたエンコーダー51,52,53,54から個別にエンコーダー信号が駆動回路30にフィードバックされる構成であったが、これに限定されるものではない。エンコーダー側に複数のリレーを設け、リレーでエンコーダー51,52,53,54を切り替える構成としてもよい。あるいは、エンコーダー51,52,53,54にて信号をシリアル化又は符号化して駆動回路30にフィードバックし、駆動回路30にてパラレル化又は復号化する構成としてもよい。このような構成にすれば、駆動回路30とエンコーダー51,52,53,54との間の配線の数を低減することができる。変形例2例えば、上述した第1の実施形態では、駆動回路30にデジタルアンプ34を用いていたが、これに限定されるものではなく、駆動回路30にアナログアンプを用いた構成としてもよい。駆動回路30にアナログアンプを用いる場合、PWM部33は削除される。変形例3また、上述した第3の実施形態では、位置決め機構110のヘッド80a,80bとヘッド80c,80dとで、位置決めと電気特性検査とを交互に実施する構成であったが、これに限定されるものではない。ヘッド80a,80bとヘッド80c,80dとで一緒に位置決めと電気特性検査とを行う構成としてもよい。また、その場合、位置決め場所P1,P2を同一の場所としてもよいし、供給トレイ241,242と回収トレイ251,252とがY方向に動く構成としてもよい。変形例4また、上述した第3の実施形態では、電子部品の一例として基板71に半導体チップ72が実装された電子部品70を説明したが、電子部品はこの構成に限定されるものではない。電子部品は、半導体チップ、LCD等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド等であってもよい。"