"一対の電極を電解質層を介して対向させた電気化学キャパシタにおいて、前記電極の少なくとも一方が、半導体性カーボンナノチューブからなる電極であることを特徴とする電気化学キャパシタ。前記電極が、半導体性カーボンナノチューブを抄紙成型したシートを、集電体を構成し表面に凹凸部のある基材と、その凹凸部により一体化されたものであることを特徴とする請求項1に記載の電気化学キャパシタ。一対の電極を電解質層を介して対向させた電気化学キャパシタにおいて、前記電極の少なくとも一方が、金属性カーボンナノチューブからなる電極であることを特徴とする電気化学キャパシタ。前記電極が、金属性カーボンナノチューブを抄紙成型したシートを、集電体を構成し表面に凹凸部のある基材と、その凹凸部により一体化されたものであることを特徴とする請求項3に記載の電気化学キャパシタ。しかしながら、近年、上述したような従来の電気化学キャパシタよりもさらに容量特性及びキャパシタ特性に優れた電気化学キャパシタが求められている。なお、この出願の明細書では、電気二重層キャパシタを含め、酸化還元反応を付加したレドックスキャパシタなど様々な蓄電機構を持つキャパシタを総称して電気化学キャパシタと記す。本発明は、上述したような従来技術の課題を解決するために提案されたものであって、その目的は、容量特性及びキャパシタ特性により優れた電気化学キャパシタを提供することにある。本出願の発明者等は、上記課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、通常のカーボンナノチューブを金属性導電性のものと半導体性のものに分離し、分離した金属性カーボンナノチューブと半導体性カーボンナノチューブを電極材料として用いると、通常のカーボンナノチューブを用いた場合より容量が増大することを見出し、本発明を完成するに至ったものである。すなわち、本発明の電気化学キャパシタは、一対の電極を電解質層を介して対向させた電気化学キャパシタにおいて、前記電極の少なくとも一方が、半導体性カーボンナノチューブからなる電極であることを特徴とするものである。また、前記電極が、半導体性カーボンナノチューブを抄紙成型したシートを、集電体を構成し表面に凹凸部のある基材と、その凹凸部により一体化されたものであることを特徴とする電気化学キャパシタも、本発明の一態様である。また、本発明の電気化学キャパシタは、一対の電極を電解質層を介して対向させた電気化学キャパシタにおいて、前記電極の少なくとも一方が、金属性カーボンナノチューブからなる電極であることを特徴とするものである。また、前記電極が、金属性カーボンナノチューブを抄紙成型したシートを、集電体を構成し表面に凹凸部のある基材と、その凹凸部により一体化されたものであることを特徴とする電気化学キャパシタも、本発明の一態様である。本発明によれば、容量特性及びキャパシタ特性により優れた電気化学キャパシタを提供することができる。本発明を実施するための形態について、以下に説明する。なお、本発明に係る電気化学キャパシタの特徴は、電極に用いるカーボンとして、通常のカーボンナノチューブ以下、CNTと記すを後述する方法によって金属性カーボンナノチューブ以下、金属性CNTと記すと半導体性カーボンナノチューブ以下、半導体性CNTと記すに分離させたものを用いる点にある。1カーボンナノチューブの分離単層カーボンナノチューブはHiPco法で作製したものをUnidym社で購入したSP0344。直径は0.8-1.2nmで、長さは100-1000nm、金属不純物は5wtのものを用いた。分離方法はアガロースゲルを用いた分離方法非特許文献1参照に基づいて行った。まず、単層カーボンナノチューブを2wtのドデシル硫酸ナトリウム水溶液と混ぜ、5時間超音波照射を行った。得られた溶液を超遠心分離機415,000xgで15分処理し、上澄みの80を採取した。その溶液にアガロース水溶液を混ぜ、単層カーボンナノチューブ含有アガロースゲルとした。アガロース水溶液は、100mMのヒドロキシルアミノメタン、97mMのホウ酸、0.6wtのアガロースを溶解して作製したpH=8.2。得られた単層カーボンナノチューブ含有アガロースゲルを、6時間遠心処理15,000xgを行うことで、上澄み溶液に金属性CNTを選択的に分離させた。また、熱処理することでゲルを除去し、半導体性CNTを分離した。1-1サイクリックボルタモグラム上記のようにして分離した半導体性CNT、金属性CNT及び分離前のカーボンナノチューブのCV曲線を図1A~Cに示した。金属性CNTのCV曲線は、一般的な活性炭または二層カーボンナノチューブの場合と同様の長方形状を示したのに対して、半導体性CNTは蝶形状を有していた。1-2容量密度また、上記のようにして分離した金属性CNT実施例1と半導体性CNT実施例2について容量密度を調べたところ、表1に示すような結果が得られた。なお、容量密度は分極電位1.0V、1.25V、1.6VごとにCVから測定した。また、従来例として分離前のカーボンナノチューブ、比較例として未分離のSGCNTについても併せて容量密度を調べた。なお、SGCNTとは、比表面積が600~2600m2/gであるカーボンナノチューブをいう。表1から明らかなように、分離前のカーボンナノチューブと比較して、分離後の金属性CNT、半導体性CNT共に、容量密度は増大した。また、分離後の半導体性CNTは、分極電位が大きくなるほど容量密度が増大した。一方、未分離のSGCNTでも分極電位が大きくなるほど容量密度が増大するが、単位面積当たりで比較すると、分離後の金属性CNT、半導体性CNTの方が容量密度は良好であった。2キャパシタ特性次に、上記のようにして得られたカーボンナノチューブ紛体に水を混ぜ、バインダーとしてカルボキシメチルセルロースナトリウムを加えた。それをPt基板にキャスト、乾燥することで簡易キャパシタ電極を作製した。この電極を作用極とし、対極に活性炭電極、参照電極にはAg/Ag電極を用いた。電解液には1Mテトラエチルアンモニウムテトラフルオロボレートを溶解したプロピレンカーボネートを用い、サイクリックボルタモグラムを測定して電気化学的挙動およびキャパシタ特性を評価したところ、表2に示すような結果が得られた。なお、電位走査範囲は-1.5Vから1Vまで、電位走査速度は1mV/sとした。また、エネルギー密度は、電圧を2.5V又は3.2Vとし、サイクリックボルタモグラムの容量密度から算出した。表2から明らかなように、負極/正極に分離後の金属CNT又は半導体性CNTを用いた実施例3~実施例5においては、分離前CNTを用いた従来例2と比較して、エネルギー密度は大幅に増大した。また、負極/正極の少なくともいずれかに分離後の半導体性CNTを用いた実施例4と実施例5においては、分極電位が大きくなるほどエネルギー密度は大幅に増大した。特に、両極に分離後の半導体性CNTを用いた実施例4においては、電圧が3.2Vの場合のエネルギー密度は、2.5Vの場合の約2.3倍に増大した。また、負極/正極の一方にだけ分離後の金属CNT又は半導体性CNTを用いた実施例6及び実施例7においても、両極に分離前CNTを用いた従来例2と比較して、エネルギー密度は大幅に増大した。さらに、両極に未分離のSGCNTを用いた比較例2においては、電圧が3.2Vの場合のエネルギー密度は、2.5Vの場合の約2.4倍に増大したものの、実施例3~実施例7に比べてエネルギー密度は低かった。以上の結果から、電気化学キャパシタの電極に用いるカーボンとして、分離後の金属性CNT及び/又は半導体性CNTを用いることが望ましく、一対の電極を電解質層を介して対向させた電気化学キャパシタにおいて、電極の少なくとも一方が半導体性CNT又は金属性CNTであることが望ましいことが分かった。続いて、上記のようにして調製した半導体性CNTを用い、上記特許文献1に記載した方法により電気二重層キャパシタ用電極を作製して、エネルギー密度を調べたところ、以下のような結果が得られた。実施例8半導体性CNTを約50mg計り取り、50mlのメタノールと混合させ、汎用のミキサーで約30秒間撹拌させ、半導体性CNT/メタノール分散液を作製した。この分散液をPTFE濾紙直径:35mm、平均細孔0.2μmを用いて減圧ろ過し、抄紙成型した半導体性CNTシートを得た。これを集電体と同じサイズに切り取り、集電体となるエッチング処理したアルミ箔の上に載せ、それをアルミ箔で挟み、箔の上下方向から10t/cm2の圧力で1分間プレスした。この電極を両極に用い、セルロース系セパレータを介して電気二重層キャパシタ素子を作製した電極面積:2.1cm2。そして、1M=1mol/dm3の四フッ化ホウ酸テトラエチルアンモニウムを含むプロピレンカーボネート溶液を電解液として素子に含浸させた後、ラミネートフィルムを用いて熱封止し、評価用セルを作製した。比較例3上記実施例8の半導体性CNTにかえて未分離のCNTを用いて、実施例8と同様にして、評価用セルを作製した。試験結果これらの評価セルを用いて、3.2Vでのエネルギー密度を調べたところ、表3に示すような結果が得られた。表3から明らかなように、負極/正極に分離後の半導体性CNTを用いた実施例8においては、分離前CNTを用いた比較例3と比べてエネルギー密度は大幅に増大した。"