顕微鏡であって、照明光の光源と、対物レンズの瞳と、試料を照明するためのビームスプリッタであって、該ビームスプリッタは前記対物レンズの瞳に配置されており、少なくとも1つの反射する第1の部分と少なくとも1つの通過させる第2の部分とを含み、前記第1及び第2の部分のうちの一方は照明光を結合し、前記第1及び第2の部分のうちの他方は検出する方向へ検出光を通過させる、前記ビームスプリッタと、少なくとも一つのスキャンミラーを有し、前記照明光をビームスプリッタの方に走査する第1スキャン装置であって、前記スキャンミラーは鏡面である裏面を有する、前記第1スキャン装置と、前記ビームスプリッタを介して結合された少なくとも一つの追加のスキャン装置と、試料光の一部を、前記スキャンミラーの鏡面である裏面へ向かわせて、前記検出する方向へ戻すリターン手段とを備える顕微鏡。本発明は、1台の走査型顕微鏡において、特性の異なった複数のスキャナを使用可能とすることを課題とする。本発明によれば、顕微鏡は、照明光の光源と、対物レンズの瞳Pと、試料PRを照明するためのビームスプリッタSTと、照明光をビームスプリッタの方に走査する第1スキャン装置と、ビームスプリッタを介して結合された少なくとも一つの追加のスキャン装置と、リターン手段とを備え、ビームスプリッタは対物レンズの瞳に配置されており、少なくとも1つの反射する第1の部分と少なくとも1つの通過させる第2の部分とを含み、第1及び第2の部分のうちの一方は照明光を結合し、第1及び第2の部分のうちの他方は検出する方向へ検出光を通過させ、第1スキャン装置は少なくとも一つのスキャンミラーを有し、スキャンミラーは鏡面である裏面を有し、リターン手段は、試料光の一部を、検出する方向へ戻すためにスキャンミラーの、鏡面である裏面へ向かわせる。図1では、広視野の光源LQの光は線状の照明の発生に適した光学系、たとえば円柱レンズZLを用いて、顕微鏡対物レンズOの瞳Pに共役な平面上に線状に合焦する。公開されているDE10257237A1に記載されているように、これには細い線状の伝送領域を有するビームスプリッタSTが組み込まれており、それを通って線が伝送光学系L1、L2、スキャン光学系SO、鏡筒レンズTL、対物レンズOを経由して試料PRに結像する。瞳PにはスキャナSCが配置されており、このスキャナは線を試料上で線の延びる方向とは垂直のスキャン方向に迅速に動かす。試料から来る光破線で示すは、細い伝送領域に至るまで検出方向に反射するビームスプリッタにより、交換可能なフィルタFならびに検出光学系POを通って検出器DE1の方向に偏向される。検出器にはスリットダイヤフラムを配置しておくこともできる。図2では、例として図1に示した要素に追加して結合ポート光源LQ1およびLQ2が表示されている。これらの光源はまた分岐してそれぞれに波長と強度を適切に設定した個別の光源として使うこともできる。DEに記載のように色収差のないビームスプリッタを用いることにより、LQ1およびLQ2の両方の光源に同じ波長を使うことができ、割当てによって1個の同じ光源を形成することができる、という利点がある。中間像ZBとZB1は互いに共役な平面である。さらに顕微鏡装置の瞳面Pは互いに共役な平面である。各共役平面はそれぞれの間にある光学系中継光学系として働く、光路は単純化して描かれているの作用によって作られる。LQ2は、たとえばポイントスキャナである。ポイントスキャナの照明光は目的とする操作たとえばアンケージングのために試料の特定の場所に当てることができる利点がある。LQ2の照明光は別のスキャン光学系SO2およびスキャナSC1X/Yスキャナが好適であるを通ったあと、通常の2色性のカラースプリッタFT1を経由してラインスキャナの検出光路に挿入され、スプリッタSTの反射領域を通って試料PRの方向に向かう。ビームスプリッタSTの反射領域をもうひとつのスキャン光路の構成に使える利点がある。試料から来る光は一方では検出器DE1に、また他方ではカラースプリッタFT1の設計によってもうひとつのカラースプリッタFT2を通って第2の検出器DE2の方向に向かう。たとえば試料から来る光はLQ1によって励起された蛍光により、そのようにFT1が設計されている場合は検出器DE1に到達し、一方でポイントスキャナLQ2の反射光は検出器DE2に到達する。さらにまたLQ1およびLQ2により励起された様々な波長の蛍光は別々の検出器DE1とDE2に到達できる。スキャナSC1により動かされた光がここでさらにスキャナ1により動かされるので、スキャナSC1を、スキャナSCの動きを補償するように、またさらに線照明のための相対位置を実現するように、操作する必要がある。これはスキャナSC1がスキャナSC2に比べてゆっくり動く場合は容易に実現できる。LQ2によって励起された蛍光はまたライン検出器DE1に導くことができる。スキャナ2の位置に従って蛍光スポットはライン検出器DE1の上に逸れて移動する。つまり光はその場合スキャナ2の前でDE1の方向に分離される。図3には、結合部KS1があり、これは切り離したモジュールでも良く、鏡筒レンズと対物レンズの付いた顕微鏡スタンドSと第1のスキャンユニットSC1と第2のスキャンユニットSC2との間にある。SC1はすでに述べたラインスキャナを含んでいても良く、またSC2はスポットスキャンおよび操作あるいはそのいずれかのためのポイントスキャナを含んでいても良い。SC1とSC2はインタフェースのところでKS1に結合できる。さらにKS1ではいくつかの互いに共役な中間像ZBが利用できる光学系L1、L2を経由して。それぞれの共役な平面はその間にある光学系の作用により形成される光路は単純化してある。ビームスプリッタSTと同様に構成されているDE...ビームスプリッタST1において、伝送領域を通って線が試料上に結像される。ここでビームスプリッタST1は顕微鏡装置の瞳面に配置されている。たとえば蛍光のようにSC1によって試料で励起された光はST1において下方に反射され、その光の一部分を通すように構成されているFT3を通って、また何度も偏向するリフレクタRFを経由してST1の他の側に到達する。この光はST1によりSTを通って検出器DE1の方向に偏向される。ラインスキャナにより励起され、ST1で側方に反射される蛍光が全幅で再びDE1の方向の光路に向けられる利点がある。FT3を通してもうひとつのスキャナSC2を利用することができ、その際にFT3、これは交換可能であってもよい、の設計に対応して様々な波長の蛍光がDE1および/またはDE2に到達できる。使用法は上記と同様である。図2とは違ってここではスキャナ1と2は互いに独立して動作することができる利点がある。図4では、光は図3のようにリフレクタRFによってビームスプリッタST1の裏側に偏向されるのではなく、スキャナSC33の裏側に偏向される。SC33はここでは表側および裏側に金属被膜を付けたミラーであり、その裏側で試料から来るラインスキャナLQ1はスキャナのミラーの表側に上から到達するで励起された試料光スキャンしたを検出器DE1に導く。ここではFT3は検出器DE1に向けられた光を通し、DE2に向けられた光だけを反射するように構成されている。これによってまたしてもラインスキャナとポイントスキャナにより励起された様々な蛍光を同時に検出できる利点がある。図5では、図4のようにラインスキャナで励起された光はスキャンされず、FT1を通って直接に平面型検出器CCDマトリックス、ゲーテッドカメラに到達する。つまり試料から来る線状の光分布はこれによって試料像を描く受像面の上をスキャン方向に移動する。いずれの配置においても原理的に縦続追加のカラースプリッタFTを共通の光路に配置するによって追加のスキャン装置を利用することができる。スキャン装置は像を造る任意の装置で良い。例では既に述べたポイントスキャナであるが、これは共振ポイントスキャナ、ニプコフスキャナ、ラインスキャナ、マルチポイントスキャナでも良い。さらにこれはまた広視野ベースの顕微鏡システムであってもよい。その場合の利点はインタフェースとして中間像平面を有することである。