"互いに直交する第1の方向および第2の方向に変位可能な振動体を有し、前記振動体を第1の方向に振動させた状態で前記振動体の第2の方向への変位を角速度として検出する角速度検出装置において、前記振動体を第1の方向に振動させる駆動信号の周波数変化に応じて、第2の方向の変位量から角速度を検出するためのサーボ信号の周波数を変化させることを特徴とする角速度検出装置。請求項1に記載の角速度検出装置において、前記サーボ信号の周波数を、前記第1の方向に振動させる手段の周波数と同じにしたことを特徴とする角速度検出装置。請求項1に記載の角速度検出装置において、前記サーボ信号の周波数を、前記第1の方向の共振周波数と同じにしたことを特徴とする角速度検出装置。請求項1に記載の角速度検出装置において、前記サーボ信号を発生する手段の動作周波数を前記第1の方向の振動周波数の整数倍としたことを特徴とする角速度検出装置。請求項1に記載の前記角速度検出装置をエンジンコントロールユニットが設けられている基板と同一の基板上に設置したことを特徴とする横滑り防止装置。動作保障する温度範囲が-40°Cから125°Cであることを特徴とする請求項1に記載の角速度検出装置。互いに直交する第1の方向および第2の方向に変位可能な振動体と、前記振動体を第1の方向に振動させた状態において、角速度の発生により前記振動体が第2の方向に変位したときの変位量を静電容量の変化として検出する手段と、前記静電容量の変化をデジタル情報に変換する手段と、前記デジタル情報から前記振動体を第1の方向に振動させる駆動信号の周波数を調整する手段と、前記第1の方向に振動させる駆動信号の振幅を調整する手段と、前記振動体の第2の方向への変位を抑制するように作用するサーボ信号を出力する手段と、前記周波数を調整する手段の出力に応じて前記サーボ信号の周波数を変更する手段と、を有することを特徴とする角速度検出装置。請求項7に記載の前記角速度検出装置をエンジンコントロールユニットが設けられている基板と同一の基板上に設置したこと特徴とする横滑り防止装置。動作保障する温度範囲が-40°Cから125°Cであることを特徴とする請求項7に記載の角速度検出装置。自動車での走行時の安全を確保するための横滑り防止装置においては、圧雪路や凍結路での横滑りや旋回等で生じる角速度を検出するセンサの精度を高く保つ必要がある。このような課題に対して、特許文献1では、サーボ制御により角速度を検出する例が示されている。また、特許文献2では、周波数調整制御により振動体を共振周波数で駆動する例が示されている。さらに、特許文献3では、複数周期分のセンサデータをサンプリングし、デジタル制御する例が示されている。しかしながら、エンジンルーム等の温度変化範囲が広く、振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に角速度センサを設置して動作させる場合には、上記の技術に加え、更に、センサの精度を保つ技術が必要となる。本発明の目的は、振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に角速度検出センサを設置した場合でも高精度な角速度検出を実現することにある。互いに直交する第1の方向および第2の方向に変位可能な振動体を有し、前記振動体を第1の方向に振動させた状態で前記振動体の第2の方向への変位を角速度として検出する角速度検出装置において、前記振動体を第1の方向に振動させる駆動信号の周波数変化に応じて、第2の方向の変位量から角速度を検出するためのサーボ信号の周波数を変化させる。本発明によれば、振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に角速度検出センサを設置した場合でも高精度な角速度検出を実現できる。以下、本発明の実施例を図1~図7により説明する。まず、第1の実施例について図1乃至図5を用いて説明する。本実施例の角速度検出素子101は所定の質量を持ち所定の振動周波数共振周波数fdで振動軸方向に振動する振動子102と、振動子102の振動方向の振動振幅および振動周波数を調整するために静電気力を働かせる固定電極外力印加手段103と、振動子102の振動振幅および振動周波数を静電容量の変化で検出する固定電極変位検出手段104および105と、角速度の印加で生じるコリオリ力により振動軸と直角の方向に振動子102に生じる変位を静電容量の変化で検出する固定電極106および107変位検出手段と、振動子102に働くコリオリ力を打ち消すように振動子102に静電気力を働かせる固定電極108および109サーボ信号印加手段により構成される。また、角速度検出素子101と固定電極104の間の静電容量および角速度検出素子101と固定電極105の間の静電容量の差分を検出することにより角速度検出素子101に働く振動方向の変位を検出する容量検出器110と、容量検出器110の出力をデジタル信号に変換するAD変換器145と、検波信号Φ1で同期検波を行う乗算器113から成る同期検波部131と、同期検波部131の出力を一定周期ごとに加算する積分器118から成る駆動周波数調整部151を有す。また、同期検波部131の出力と、予め設定した振幅基準値レジスタ125の値との差分を取る減算器117と、減算器117の出力を一定周期ごとに加算する積分器119から成る駆動振幅調整部152を有す。また、振動子102と固定電極106の間の静電容量および振動子102と固定電極107の間の静電容量の差分を検出することで、振動子102に働くコリオリ力による変位を検出し、デジタル信号に変換する容量検出器112と、容量検出器112の出力をデジタル信号に変換するAD変換器146と、位相調整器116でΦ1の位相を90°遅らせた検波信号Φ2で同期検波を行うための乗算器115と、乗算器115の出力を一定周期ごとに加算する積分器120から成る角速度検出部153を有す。また、積分器120の出力と検波信号Φ1を乗算する乗算器121から成るサーボ信号生成部154を有す。また、積分器118の出力に応じた周波数の基本クロックを出力するVCOボルテージコントロールオシレータ122と、VCO122の出力を分周して駆動信号および検波信号Φ1を出力するクロック生成部123を有す。また、温度センサ137の出力に応じて、角速度センサの出力を補正する特性補正部139と、センサ内の各機能に対し、自己診断を行う診断部142と、センサ出力を外部装置に出力する通信部143で構成する。つぎに動作について説明する。図2に角速度検出素子101の振動軸方向と検出軸方向の周波数特性を示す。図2より、振動軸方向の振動振幅は共振周波数を頂点に急峻な減衰特性を示しており、共振周波数以外の周波数で駆動すると振幅は極端に小さくなり、同時に検出軸方向の振動振幅も減衰することがわかる。角速度の発生により生じる検出軸方向の変位振動の周波数は、振動軸方向の振動周波数と一致する。したがって、検出軸方向の振動振幅を大きくするためには、常に振動軸方向を共振周波数で駆動することが必要である。以上の理由から、駆動周波数調整部151では、振動子102の駆動方向の振動が共振状態となるように駆動信号の周波数を調整する。駆動信号による角速度検出素子101の変位を固定電極104,105により検出し容量検出器110に入力する。容量検出器110とAD変換器145を介して得られる振動子の変位信号に対し、同期検波部131で同期検波を行い、振動軸方向の振動変位を検出する。つぎに、積分器118において、同期検波部131で得られた信号を積分する。図3に駆動周波数調整部151のタイムチャートを示す。駆動信号と変位信号は、共振状態すなわちfv駆動信号の周波数=fd振動軸方向の共振周波数のとき、位相が90°異なるという特性がある。したがって、変位信号に対し検波信号Φ1で同期検波を行ったとき、同期検波の出力が差し引きゼロになれば共振状態ということである。そのとき積分器118の出力は一定値に収束する。そして、積分器118で得られた信号をVCO122に出力する。さらにクロック生成部123で駆動信号を作成する。また、図3のタイムチャートに示すように、VCOが出力する基本クロックは、周波数が常に駆動信号に対し一定の整数倍になるように制御する。次に、駆動振幅調整部152では、振動子102の駆動方向の振動の振幅が振幅基準値レジスタ125の値に一致するように駆動信号の振幅を調整する。AD変換器145を介して得られる振動子の変位信号に対し、同期検波部131で同期検波を行い、振動軸方向の振動変位を検出する。つぎに、減算器117で目標値との差分を求め、積分器119において積分する。同期検波部131の出力が振幅基準値レジスタ125と一致するとき、差分は0となる。その結果、積分器119の出力は一定値に収束する。そして、積分器119で得られた信号を乗算器124に出力する。乗算器124では、クロック生成部123の出力と駆動振幅調整部152の出力を乗算し駆動信号を生成する。図4にサーボ制御のタイムチャートを示す。角速度検出部153では、コリオリ力による振動子102の検出軸方向振動軸と垂直方向の変位を固定電極106,107と容量検出器112により検出する。容量検出器112とAD変換器146を介して得られる振動子の検出変位信号に対し、同期検波部132で同期検波を行い、振動軸と直角方向の振動変位を検出する。つぎに、積分器120において、同期検波部132で得られた信号を積分する。そして、サーボ信号生成部154から固定電極108,109に電圧を印加することで電極と振動子の間に発生する静電気力により振動子102に働くコリオリ力による変位を打ち消す動作を行う。すなわち、振動軸と垂直方向に生じるコリオリ力による振動子102の変位をゼロにするような信号をセンサに帰還するようサーボ制御を行う。具体的には積分器120で得られた信号を振動子102に帰還させるため、Φ1を乗算器121で乗算し、検出サーボ信号を生成する。そして、振動子102の固定電極108へ、また、極性反転126で反転した信号を固定電極109に印加することで検出変位振動を打ち消す。この変位振動が打ち消されている状態での積分器120の出力を角速度検出信号として出力する。図5にサーボ信号生成部154のタイムチャートを示す。検出サーボ信号は、駆動信号と同じく、クロック生成部123から出力されるΦ1から生成される。したがって、振動子102の共振周波数がfdの場合、駆動周波数調整部151により、クロック生成部123の出力Φ1の周波数はfdになり、駆動信号の周波数はfdとなる。この状態で、角速度による変位が生じると、検出軸方向の変位振動の周波数はfdであるため、周波数fdの検出サーボ信号を帰還することにより検出変位を抑制することができる。一方、製造ばらつきにより、共振周波数がf1の振動子の場合や、常温時の共振周波数がfdであるが周囲温度上昇によりf1に変動した場合には、駆動信号の周波数は駆動周波数調整部151により、クロック生成部123の出力Φ1の周波数はf1になり駆動信号の周波数はf1になる。この状態で、角速度による変位が生じると、検出軸方向の変位振動の周波数はf1であるため、周波数f1の検出サーボ信号を帰還することにより検出変位を抑制することができる。特性補正部139は、温度センサ137の検出値により、角速度出力および2方向の加速度出力に対し、温度補正演算と、ローパスフィルタによる高周波ノイズ成分の除去を行う。診断部142では、角速度検出については、駆動機能,角速度検出機能の診断を行う。通信部143では、特性補正部139で特性補正が行われた3つのセンサ出力と診断部142で行った診断結果を外部に送信する。以上のように、サーボ信号の周波数を常に振動子102の共振周波数に一致するように制御することで振動子の検出軸方向の変位振動を高精度に抑制でき、振動や電磁ノイズの影響を受けたとしても常に正確な角速度の検出ができる。さらには、検出素子の共振周波数の個別ばらつきを出荷時に人手で調整する必要がなく自動的に調整できるという効果も奏する。次に、第2の実施例について図6を用いて説明する。本実施例のセンサ制御は、2つのDSPデジタルシグナルプロセッサ、すなわち、DSP-A204およびDSP-B205と2つのROMリードオンリーメモリ、すなわち、ROM-A202およびROM-B203に格納した制御プログラムで実現する。VCO122は、図1の実施例で示したように、角速度検出素子101の振動軸方向の共振周波数の整数倍の周波数のクロックを発生する手段である。アドレスカウンタ201は、VCO122から入力する基本クロックにより単純にカウントアップを行うカウンタである。DSP-A204は、図1で説明した同期検波部131,駆動周波数調整部151,駆動振幅調整部152,角速度検出部153およびサーボ信号生成部154での処理を実行する。DSP-B205は、角速度の特性補正部139および診断部142での処理を実行する。PROM206は、積分の係数や特性補正演算の係数を格納するメモリである。またRAM207はDSP-A204で演算した結果をDSP-B205に受け渡すための一次格納バッファである。次に動作について説明する。2つのDSP、すなわち、DSP-A204,DSP-B205はVCO122から出力される基本クロックで動作する。DSP-A204はROM-A202の0番地から最終番地例えば255番地に格納した、同期検波部131からサーボ信号生成部154までの処理を1周期として、例えば共振周波数の4倍の周波数で繰り返し実行する。また、DSP-B205はROM-B203の0番地から最終番地例えば4095番地に格納した角速度の特性補正部139と診断処理部142を1周期として、例えば共振周波数の1/4の周波数で繰り返し実行する。したがって、DSP-B205の1周期の処理の期間に、DSP-A204は1周期の処理を16周期分繰り返す。また、2つのROM、すなわち、ROM-A202,ROM-B203に格納された制御プログラムは、条件判断による分岐処理やサブルーチンの呼び出し等の実効番地の飛び越しはなく、メモリの0番地から最終番地までを単純に繰り返すような構成のため、図2のタイムチャートに示すように、共振周波数が変動した場合、VCO122の出力がそれに追従するため、DSP-A204,DSP-B205に入力される基本クロックも変化し、常にDSP-A204の処理の繰り返し周期は共振周波数の4倍、DSP-B205の処理の繰り返し周期は共振周波数の1/4倍を維持する。この結果、サーボ信号生成部154から出力されるサーボ信号は、常に振動子102の振動方向の共振周波数に一致するように制御できる。これにより、検出素子の共振周波数の変動に応じて振動軸方向の駆動信号と検出軸方向のサーボ信号の周波数が共振周波数に一致するように調整されるので、振動軸方向の振動と同じ周波数で生じる検出軸方向の変位振動を抑制でき、振動や電磁ノイズの影響を受けたとしても高精度な角速度検出が実現できる。図7は、本発明を搭載する横滑り防止装置のシステム構成例である。制御ユニット1は、走行中の自動車の横滑りや旋回などの兆しを複数のセンサで検出し、車のブレーキを制御して横滑りや旋回を抑制する機能である。角速度センサ11は、走行中の旋回時に生じる角速度を検出するセンサである。加速度センサ12は、走行中の横滑りに生じる加速度を検出するセンサである。車速センサ13は、走行中の自動車の速度を検出するセンサである。舵角センサ14は、自動車のハンドルの角度を検出するセンサである。ECU10は、上記複数のセンサ出力を基に、車両の姿勢を保持するように制御するエンジンコントロールユニット以下ECUと称すである。油圧ユニット2はECU10の制御により油圧を介して前後左右の4輪のブレーキ圧を制御する機能である。ブレーキ装置3は油圧により車輪4のブレーキディスク6とブレーキパッド5の摩擦によりブレーキ力をかける機能である。上記システムは自動車のエンジン近傍に配置される。そのため、動作環境は-40°Cから125°Cと高温度範囲であり、角速度センサ11をECU10と一緒に制御ユニット1に搭載した場合、広範囲な温度変化により角速度センサ11の検出素子の共振周波数が変動する。上記環境下において、本発明を適用すると駆動周波数と検出サーボ信号の周波数を変動後の共振周波数に一致させるよう制御することができ、正確な角速度出力を得ることができる。"