所定周波数の搬送波を出力する搬送波発生手段と、オン状態とオフ状態とを切換可能であり、オン状態に切換えているときに前記搬送波発生手段から入力した搬送波をパルス変調してパルス変調信号を生成し、パルス変調信号を所定周波数の送信信号として出力する第1の切換手段と、所定遅延時間が設定され、所定周波数の送信信号を受信して入力すると、送信信号を入力した時点から所定遅延時間が経過した後に所定周波数の受信信号を出力して送信する表面弾性波センサと、入力状態と出力状態とを切換可能であり、入力状態に切換えているときに前記第1の切換手段がオン状態に切換えていることに伴って当該第1の切換手段から入力した送信信号を前記表面弾性波センサに送信し、出力状態に切換えているときに前記表面弾性波センサから受信信号を受信して出力する第2の切換手段と、入力電極と、前記入力電極から出力された表面弾性波を入力する出力電極とを有し、前記表面弾性波センサに設定されている所定遅延時間と同じ遅延時間が設定され、前記第1の切換手段がオン状態に切換えていることに伴って当該第1の切換手段から送信信号を前記入力電極に入力すると、送信信号を入力した時点から所定遅延時間が経過した後に所定周波数のローカル信号を前記出力電極から出力する表面弾性波遅延手段と、前記第2の切換手段から入力した受信信号と前記表面弾性波遅延手段から入力したローカル信号とをミキシングして同期検波信号を生成して出力するミキシング手段と、を備え、前記第2の切換手段と前記ミキシング手段とが半導電性基板の1チップ上に実装され、前記第2の切換手段が入力状態に切換えているときに前記第1の切換手段がオフ状態からオン状態に切換わり更にオン状態からオフ状態に切換わった時点から所定遅延時間が経過する前に前記第2の切換手段が入力状態から出力状態に切換わることを特徴とする表面弾性波センサを用いた無線遠隔センシングシステム。請求項1に記載した表面弾性波センサを用いた無線遠隔センシングシステムにおいて、前記表面弾性波センサは、複数の所定遅延時間が設定され、所定周波数の送信信号を受信して入力すると、送信信号を入力した時点から前記複数の所定遅延時間のうち一の所定遅延時間が経過した後に一の受信信号を出力して送信し、送信信号を入力した時点から前記複数の所定遅延時間のうち他の所定遅延時間が経過した後に他の受信信号を出力して送信し、前記表面弾性波遅延手段は、入力電極と、前記入力電極から出力された表面弾性波を入力する一の出力電極及び他の出力電極とを有し、前記表面弾性波センサに設定されている前記複数の所定遅延時間と同じ複数の遅延時間が設定され、前記第1の切換手段がオン状態に切換えていることに伴って当該第1の切換手段から送信信号を前記入力電極に入力すると、送信信号を入力した時点から前記複数の所定遅延時間のうち一の所定遅延時間が経過した後に一のローカル信号を前記一の出力電極から出力し、送信信号を入力した時点から前記複数の所定遅延時間のうち他の所定遅延時間が経過した後に他のローカル信号を前記他の出力電極から出力し、前記ミキシング手段は、前記第2の切換手段から入力した一の受信信号と前記表面弾性波遅延手段から入力した一のローカル信号とをミキシングして一の同期検波信号を生成して出力し、前記第2の切換手段から入力した他の受信信号と前記表面弾性波遅延手段から入力した他のローカル信号とをミキシングして他の同期検波信号を生成して出力することを特徴とする表面弾性波センサを用いた無線遠隔センシングシステム。請求項1に記載した表面弾性波センサを用いた無線遠隔センシングシステムにおいて、前記表面弾性波センサは、複数の所定周波数の送信信号を受信して入力し、複数の所定周波数のうち一の所定周波数の送信信号を受信して入力すると、送信信号を入力した時点から所定遅延時間が経過した後に一の所定周波数の受信信号を出力して送信し、複数の所定周波数のうち他の所定周波数の送信信号を受信して入力すると、送信信号を入力した時点から所定遅延時間が経過した後に他の所定周波数の受信信号を出力して送信し、前記表面弾性波遅延手段は、前記第1の切換手段がオン状態に切換えていることに伴って当該第1の切換手段から一の所定周波数の送信信号を前記入力電極に入力すると、送信信号を入力した時点から所定遅延時間が経過した後に一の所定周波数のローカル信号を前記出力電極から出力し、前記第1の切換手段がオン状態に切換えていることに伴って当該第1の切換手段から他の所定周波数の送信信号を前記入力電極に入力すると、送信信号を入力した時点から所定遅延時間が経過した後に他の所定周波数のローカル信号を前記出力電極から出力し、前記ミキシング手段は、前記第2の切換手段から入力した一の所定周波数の受信信号と前記表面弾性波遅延手段から入力した一の所定周波数のローカル信号とをミキシングして一の同期検波信号を生成して出力し、前記第2の切換手段から入力した他の所定周波数の受信信号と前記表面弾性波遅延手段から入力した他の所定周波数のローカル信号とをミキシングして他の同期検波信号を生成して出力することを特徴とする表面弾性波センサを用いた無線遠隔センシングシステム。請求項1乃至3の何れかに記載した表面弾性波センサを用いた無線遠隔センシングシステムにおいて、前記表面弾性波遅延手段は、前記入力電極として第1の入力電極と第2の入力電極とを有し、前記出力電極として前記第1の入力電極から出力された表面弾性波を入力する第1の出力電極と前記第2の入力電極から出力された表面弾性波を入力する第2の出力電極とを有し、前記第1の入力電極から前記第1の出力電極までの距離と、前記第2の入力電極から前記第2の出力電極までの距離との間に、送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を有するように構成されていることを特徴とする表面弾性波センサを用いた無線遠隔センシングシステム。図14及び図15は、従来の無線遠隔センシングシステムの検出原理を示している。無線遠隔センシングシステム1は、SAWセンサ2と、センシング装置3とを備えている。SAWセンサ2は、圧電体基板4上に駆動電極5と反射電極6とが形成されているSAW反射素子7を備えている。センシング装置3は、発振器8と、第1のスイッチ9と、第1の増幅器10と、第2のスイッチ11と、第2の増幅器12と、ミキサ13と、ローパスフィルタ14とを備えている。上記した構成では、センシング装置3からSAWセンサ2に送信信号が送信される送信時には、図14に示すように、第1のスイッチ9の可動接点9aと送信側接点9bとが接続されて第1のスイッチ9が送信状態に切換えられると共に、第2のスイッチ11の可動接点11aと入力側接点11bとが接続されて第2のスイッチ11が入力状態に切換えられる。このとき、発振器8から出力された所定周波数の搬送波は、第1のスイッチ9にてパルス変調されて送信信号として第1の増幅器10にて増幅され、第2のスイッチ11を経由してSAWセンサ2に送信される。SAWセンサ2に送信された送信信号は、駆動電極5にて表面弾性波に変換された後に当該駆動電極5から圧電体基板4上を通過して反射電極6に伝搬する。そして、反射電極6に伝搬した表面弾性波は、反射電極6にて反射して当該反射電極6から圧電体基板4上を通過して駆動電極5に伝搬し、駆動電極5にて受信信号に変換される。SAWセンサ2からセンシング装置3へ受信信号が送信される受信時には、図15に示すように、第1のスイッチ9の可動接点9aと受信側接点9cとが接続されて第1のスイッチ9が受信状態に切換えられると共に、第2のスイッチ11の可動接点11aと出力側接点11cとが接続されて第2のスイッチ11が出力状態に切換えられる。このとき、SAWセンサ2から送信された受信信号は、第2のスイッチ11を経由して第2の増幅器12にて増幅されてミキサ13に入力される。又、発振器8から出力された搬送波は、ローカル信号としてミキサ13に入力される。そして、受信信号とローカル信号とがミキサ13にてミキシングされて同期検波信号が生成され、同期検波信号は、ローパスフィルタ14にて高周波成分が除去されて直流信号として出力端子15から外部に出力される。ところで、センシング装置3を高度に集積化しようとすると、第2のスイッチ11やミキサ13等を半導電性基板であるシリコン基板16の1チップ上に実装する構成が考えられる。しかしながら、上記した構成では、SAWセンサ2からセンシング装置3へ受信信号が送信される受信時には、SAWセンサ2から送信される受信信号の受信中に、発振器8から出力される搬送波がシリコン基板16上を伝達して第2のスイッチ11にも漏れ信号として入力される回り込む虞がある。その結果、漏れ信号が第2のスイッチ11に入力されてしまうと、SAWセンサ2から送信される受信信号を適切に受信することが困難となり、センシング精度が低下するという問題がある。本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、センシング装置を高度に集積化しつつ、表面弾性波センサから送信される受信信号を適切に受信することができ、センシング精度を高めることができる表面弾性波センサを用いた無線遠隔センシングシステムを提供することにある。請求項1に記載した発明によれば、第1の切換手段がオン状態に切換えており、第2の切換手段が入力状態に切換えており、搬送波発生手段から出力された所定周波数の搬送波が第1の切換手段にてパルス変調されてパルス変調信号が生成されると、パルス変調信号が所定周波数の送信信号として表面弾性波センサに送信される。所定周波数の送信信号が表面弾性波センサに受信されて入力されると、送信信号が入力された時点から所定遅延時間が経過した後に所定周波数の受信信号が出力されて送信される。第2の切換手段が入力状態から出力状態に切換わると、表面弾性波センサから送信された受信信号が第2の切換手段に受信されてミキシング手段に出力される。又、第1の切換手段がオン状態に切換えており、送信信号が表面弾性波遅延手段に入力されると、送信信号が入力電極に入力された時点から所定遅延時間が経過した後にローカル信号が出力電極からミキシング手段に出力される。そして、第2の切換手段から出力された受信信号と表面弾性波遅延手段から出力されたローカル信号とがミキシング手段にてミキシングされて同期検波信号が生成されて出力される。又、第2の切換手段とミキシング手段とは半導電性基板の1チップ上に実装されている。これにより、第2の切換手段とミキシング手段とを半導電性基板の1チップ上に実装することで、センシング装置を高度に集積化することができる。又、このように第2の切換手段とミキシング手段とを半導電性基板の1チップ上に実装する構成でありながらも、第2の切換手段が入力状態に切換えているときに第1の切換手段がオフ状態からオン状態に切換わり更にオン状態からオフ状態に切換わった時点から所定遅延時間が経過する前に第2の切換手段が入力状態から出力状態に切換わることで、表面弾性波センサから送信される受信信号の受信中に、搬送波発生手段から出力される搬送波が漏れ信号として第2の切換手段に入力される回り込むことを回避することができる。その結果、表面弾性波センサから送信される受信信号を適切に受信することができ、センシング精度を高めることができる。請求項2に記載した発明によれば、所定周波数の送信信号が表面弾性波センサに受信されて入力されると、送信信号が入力された時点から一の所定遅延時間が経過した後に一の受信信号が出力されて送信され、送信信号が入力された時点から他の所定遅延時間が経過した後に他の受信信号が出力されて送信される。第2の切換手段が入力状態から出力状態に切換わると、表面弾性波センサから送信された一の受信信号が第2の切換手段に受信されてミキシング手段に出力され、表面弾性波センサから送信された他の受信信号が第2の切換手段に受信されてミキシング手段に出力される。又、第1の切換手段がオン状態に切換えており、送信信号が表面弾性波遅延手段に入力されると、送信信号が入力電極に入力された時点から一の所定遅延時間が経過した後に一のローカル信号が一の出力電極からミキシング手段に出力され、送信信号が入力された時点から他の所定遅延時間が経過した後に他のローカル信号が他の出力電極からミキシング手段に出力される。そして、第2の切換手段から出力された一の受信信号と表面弾性波遅延手段から出力された一のローカル信号とがミキシング手段にてミキシングされて一の同期検波信号が生成されて出力され、第2の切換手段から出力された他の受信信号と表面弾性波遅延手段から出力された他のローカル信号とがミキシング手段にてミキシングされて他の同期検波信号が生成されて出力される。これにより、表面弾性波センサは温度変化により遅延時間が変化する特性を有するが、遅延時間が異なる複数の受信信号が出力され、遅延時間が異なる複数のローカル信号が出力され、それら複数の受信信号と複数のローカル信号とがミキシングされて複数の同期検波信号が出力されることで、表面弾性波センサの温度変化による遅延時間の変化を補正することができ、センシング精度の低下を回避することができる。請求項3に記載した発明によれば、複数の所定周波数のうち一の所定周波数の送信信号が表面弾性波センサに受信されて入力されると、送信信号が入力された時点から所定遅延時間が経過した後に一の所定周波数の受信信号が出力されて送信され、複数の所定周波数のうち他の所定周波数の送信信号が表面弾性波センサに受信されて入力されると、送信信号が入力された時点から所定遅延時間が経過した後に他の所定周波数の受信信号が出力されて送信される。第2の切換手段が入力状態から出力状態に切換わると、表面弾性波センサから送信された一の所定周波数の受信信号が第2の切換手段に受信されてミキシング手段に出力され、表面弾性波センサから送信された他の所定周波数の受信信号が第2の切換手段に受信されてミキシング手段に出力される。又、第1の切換手段がオン状態に切換えており、一の所定周波数の送信信号が表面弾性波遅延手段に入力されると、送信信号が入力電極に入力された時点から所定遅延時間が経過した後に一の所定周波数のローカル信号が出力電極からミキシング手段に出力され、他の所定周波数の送信信号が表面弾性波遅延手段に入力されると、送信信号が入力電極に入力された時点から所定遅延時間が経過した後に他の所定周波数のローカル信号が出力電極からミキシング手段に出力される。そして、第2の切換手段から出力された一の所定周波数の受信信号と表面弾性波遅延手段から出力された一の所定周波数のローカル信号とがミキシング手段にてミキシングされて一の同期検波信号が生成されて出力され、第2の切換手段から出力された他の所定周波数の受信信号と表面弾性波遅延手段から出力された他の所定周波数のローカル信号とがミキシング手段にてミキシングされて他の同期検波信号が生成されて出力される。これにより、表面弾性波センサは温度変化により遅延時間が変化する特性を有するが、周波数が異なる複数の受信信号が出力され、周波数が異なる複数のローカル信号が出力され、それら複数の受信信号と複数のローカル信号とがミキシングされて複数の同期検波信号が出力されることで、上記した請求項2に記載したものと同様に、表面弾性波センサの温度変化による遅延時間の変化を補正することができ、センシング精度の低下を回避することができる。請求項4に記載した発明によれば、表面弾性波遅延手段は、入力電極として第1の入力電極と第2の入力電極とを有し、出力電極として第1の入力電極から出力された表面弾性波を入力する第1の出力電極と第2の入力電極から出力された表面弾性波を入力する第2の出力電極とを有し、第1の入力電極から第1の出力電極までの距離と、第2の入力電極から第2の出力電極までの距離との間に、送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を有する。これにより、直交検波を行う構成とする際に、表面弾性波遅延手段とは別に移相器を設けて表面弾性波遅延手段に入力される送信信号や表面弾性波遅延手段から出力されるローカル信号を移相器にて移相するのではなく、表面弾性波を表面弾性波遅延手段にて移相することで、送信信号やローカル信号を移相するための移相器を半導体素子で実現する必要がなくなり、回路面積を低減することができ、又、位相遅延量の精度を高めることができる。第1の実施形態以下、本発明の第1の実施形態について、図1乃至図3を参照して説明する。図1は、表面弾性波センサ以下、SAWSurfaceAcousticWaveセンサと称するを用いた無線遠隔センシングシステムの構成を示している。無線遠隔センシングシステム21は、SAWセンサ22と、センシング装置23とを備えている。SAWセンサ22は、圧電体基板24上に駆動電極25と反射電極26とが形成されているSAW反射素子27を備えている。駆動電極25にはアンテナ28が接続されている。駆動電極25及び反射電極26は、それぞれ極性が異なる導体パターンが交互に一定の間隔で並べられた櫛形電極であり、その導体パターンの間隔は共振周波数の波長に相当する。共振周波数と波長との積は、その圧電体基板24上の音速に対応し、材質と結晶方位により固有の値を有する。又、櫛形電極の数や形状により共振周波数の分布、透過効率減衰等の基本的な特性が決定される。本実施形態では、SAW反射素子27の反射周波数faは例えば200[MHz]に設定されている。又、SAW反射素子27は無給電である。SAWセンサ22においては、センシング装置23から送信された送信信号がアンテナ28により受信されて駆動電極25に入力されると、その高周波信号である送信信号が駆動電極25にて圧電現象により表面弾性波に変換され、その表面弾性波が当該駆動電極25から圧電体基板24上を通過して反射電極26に伝搬する。そして、反射電極26に伝搬した表面弾性波が反射電極26にて反射して当該反射電極26から圧電体基板24上を通過して駆動電極25に伝搬し、駆動電極25にて圧電現象により高周波信号である受信信号に変換され、受信信号としてアンテナ28からセンシング装置23に送信される。センシング装置23から送信信号を受信した時点から受信信号をセンシング装置23に送信するまでの時間が、SAW反射素子27の遅延時間として設定されている。センシング装置23は、発振器29搬送波発生手段に相当と、第1のスイッチ30第1の切換手段に相当と、第1の増幅器31と、第2のスイッチ32第2の切換手段に相当と、アンテナ33と、第2の増幅器34と、第3の増幅器35と、第1のミキサ36ミキシング手段に相当と、第2のミキサ37ミキシング手段に相当と、第1のローパスフィルタ38と、第2のローパスフィルタ39と、移相器40とを備えている。第1の増幅器31と、第2のスイッチ32と、アンテナ33と、第2の増幅器34と、第3の増幅器35と、第1のミキサ36と、第2のミキサ37と、第1のローパスフィルタ38と、第2のローパスフィルタ39と、移相器40とは、シリコン基板41半導電性基板に相当の1チップ上に実装されている。又、センシング装置23は、シリコン基板41とは別に、SAW遅延素子42表面弾性波遅延手段に相当を備えている。発振器29は、搬送波を第1のスイッチ30に出力する。第1のスイッチ30は、可動接点30aと固定接点30bとを接続しないオフ状態図1中実線にて示す状態と、可動接点30aと固定接点30bとを接続するオン状態図1中破線にて示す状態とを切換可能であり、オン状態に切換えているときに発振器29から搬送波を入力すると、その入力した搬送波をパルス変調してパルス変調信号を生成して送信信号として第1の増幅器31に出力する。第1の増幅器31は、第1のスイッチ30から送信信号を入力すると、その入力した送信信号を増幅して第2のスイッチ32に出力する。第2のスイッチ32は、可動接点32aと入力側接点32bとを接続する入力状態図1中実線矢印にて示す状態と、可動接点32aと出力側接点32cとを接続する出力状態図1中破線矢印にて示す状態とを切換可能であり、入力状態に切換えているときに第1の増幅器31から送信信号を入力すると、その入力した送信信号をアンテナ33からSAWセンサ22に送信する。又、第2のスイッチ32は、出力状態に切換えているときにSAWセンサ22から送信された受信信号をアンテナ33により受信すると、その受信した受信信号を第2の増幅器34及び第3の増幅器35に出力する。第2の増幅器34は、第2のスイッチ32から受信信号を入力すると、その入力した受信信号を増幅して第1のミキサ36に出力し、第3の増幅器35は、第2のスイッチ32から受信信号を入力すると、その入力した受信信号を増幅して第2のミキサ37に出力する。第1のミキサ36は、第2の増幅器34から受信信号を入力すると共に、上記したSAW遅延素子42からローカル信号を入力すると、それら入力した受信信号とローカル信号とをミキシングする。又、第2のミキサ37は、第3の増幅器35から受信信号を入力すると共に、上記したSAW遅延素子42からローカル信号を入力すると、それら入力した受信信号とローカル信号とをミキシングする。上記したSAW遅延素子42は、圧電体基板43上に第1の入力電極44と、第1の出力電極45と、第2の入力電極46と、第2の出力電極47とが形成されている。第1の入力電極44、第1の出力電極45、第2の入力電極46及び第2の出力電極47は、上記したSAWセンサ22における駆動電極25及び反射電極26と同様に、それぞれ極性が異なる導体パターンが交互に一定の間隔で並べられた櫛形電極であり、その導体パターンの間隔は共振周波数の波長に相当する。SAW遅延素子42は、SAWセンサ22におけるSAW反射素子27の反射周波数と同じ周波数の表面弾性波が通過するように設計されている。又、SAW遅延素子42は、第1のスイッチ30から送信信号を入力した時点からローカル信号を第1のミキシング手段36及び第2のミキシング手段37に出力するまでの時間が遅延時間として設定されており、SAW反射素子27に設定されている遅延時間と同じ遅延時間を有するように設計されている。SAW遅延素子42においては、第1のスイッチ30がオン状態に切換えていることに応じて当該第1のスイッチ30から出力された送信信号が第1の入力電極44に入力されると、その高周波信号である送信信号が第1の入力電極44にて圧電現象により表面弾性波に変換され、その表面弾性波が当該第1の入力電極44から圧電体基板43上を通過して第1の出力電極45に伝搬する。そして、第1の出力電極45に伝搬した表面弾性波が当該第1の出力電極45にて圧電現象により高周波信号であるローカル信号に変換されて第1のミキサ36に出力される。又、SAW遅延素子42においては、第1のスイッチ30がオン状態に切換えていることに応じて当該第1のスイッチ30から出力された送信信号が移相器40にて90度移相された後に第2の入力電極46に入力されると、その高周波信号である送信信号が第2の入力電極46にて圧電現象により表面弾性波に変換され、その表面弾性波が当該第2の入力電極46から圧電体基板43上を通過して第2の出力電極47に伝搬する。そして、第2の出力電極47に伝搬した表面弾性波が当該第2の出力電極47にて圧電現象により高周波信号であるローカル信号に変換されて第2のミキサ37に出力される。このような構成により、図2に示すように、第1のスイッチ30が送信信号を出力した時点から第2の増幅器34及び第3の増幅器35が受信信号を出力する第1のミキサ36及び第2のミキサ37に受信信号が入力されるまでの時間差である遅延時間図2中T1参照と、第1のスイッチ30が送信信号を出力した時点からSAW遅延素子42がローカル信号を出力する第1のミキサ36及び第2のミキサ37にローカル信号が入力されるまでの時間差である遅延時間図2中T2参照とが同じとなり、受信信号とローカル信号とが同じタイミングで第1のミキサ36及び第2のミキサ37に入力される。その結果、受信信号とローカル信号とが第1のミキサ36及び第2のミキサ37にてミキシングされて同期検波信号が出力され、各々の同期検波信号は、第1のローパスフィルタ38及び第2のローパスフィルタ39にて高周波成分が除去されて出力端子48及び出力端子49から直流信号として外部に出力される。尚、本実施形態では、移相器40がSAW遅延素子42の前段側入力側に設けられることで、送信信号が90度移相される構成を説明したが、移相器40がSAW遅延素子42の後段側出力側に設けられることで、ローカル信号が90度移相される構成でも良い。又、上記した構成では、第1のスイッチ30及び第2のスイッチ32の動作タイミングを図3に示すように制御する。即ち、SAW反射素子27の反射周波数と同じ周波数の送信信号所定周波数の送信信号を送信する際の動作として、第2のスイッチ32を入力状態に切換えている状態で、第1のスイッチ30をオフ状態からオン状態に切換え図3中t1参照、更に第2のスイッチ32をオン状態からオフ状態に切換えた後に図3中t2参照、第2のスイッチ32を入力状態から出力状態に切換える図3中t3参照。この場合、第2のスイッチ32をオン状態からオフ状態に切換えた時点から第2のスイッチ32を入力状態から出力状態に切換えるまでの時間差図3中Ta参照は、上記したSAWセンサ22に設定されている遅延時間及びSAW遅延素子42に設定されている遅延時間よりも短く設定されている。このように第1のスイッチ30及び第2のスイッチ32の動作タイミングを制御することで、SAWセンサ22から送信される受信信号の受信中に、発振器29から出力される搬送波のシリコン基板41への経路が遮断され、搬送波がシリコン基板41上を伝達することはなく、搬送波が漏れ信号として第2のスイッチ32に入力される回り込むことが回避される。以上に説明したように第1の実施形態によれば、センシング装置23にて第2のスイッチ32や第1のミキサ36や第2のミキサ37等をシリコン基板41の1チップ上に実装するように構成したので、センシング装置23を高度に集積化することができる。又、SAWセンサ22と同じ遅延時間を有するSAW遅延素子42を設け、第2のスイッチ32が入力状態に切換えているときに第1のスイッチ30がオフ状態からオン状態に切換わり更にオン状態からオフ状態に切換わった時点から遅延時間が経過する前に第2のスイッチ32を入力状態から出力状態に切換えるように構成したので、センシング装置23を高度に集積化する構成としながらも、SAWセンサ22から送信される受信信号の受信中に、発振器29から出力される搬送波が漏れ信号として第2のスイッチ32に入力されることを回避することができ、SAWセンサ22から送信される受信信号を適切に受信することができ、センシング精度を高めることができる。第2の実施形態次に、本発明の第2の実施形態について、図4及び図5を参照して説明する。尚、上記した第1の実施形態と同一部分については説明を省略し、異なる部分について説明する。第2の実施形態は、第1の実施形態に対してSAWセンサ及びSAW遅延素子の構成が異なる。無線遠隔センシングシステム51は、SAWセンサ52と、センシング装置53とを備えている。SAWセンサ52は、第1の実施形態で説明したSAWセンサ22とは特性が異なり、第1の圧電体基板54上に第1の駆動電極55と、第1の反射電極56とが形成されている第1のSAW反射素子57と、第2の圧電体基板58上に第2の駆動電極59と、第2の反射電極60とが形成されている第2のSAW反射素子61とを備えている。第1の駆動電極55と第2の駆動電極59にはアンテナ62が接続されている。SAWセンサ52においては、第1のSAW反射素子57の反射周波数と第2のSAW反射素子61の反射周波数が共に例えば200[MHz]に設定されており、第1の駆動電極55から第1の反射電極56までの距離と第2の駆動電極59から第2の反射電極60までの距離とが異なることで、第1のSAW反射素子57の遅延時間と第2のSAW反射素子61の遅延時間とが異なって設定されている一の所定遅延時間と他の所定遅延時間とが設定されている。センシング装置53は、第1の実施形態で説明した発振器29と、第1のスイッチ30と、第1の増幅器31と、第2のスイッチ32と、アンテナ33と、第2の増幅器34と、第3の増幅器35と、第1のミキサ36と、第2のミキサ37と、第1のローパスフィルタ38と、第2のローパスフィルタ39と、移相器40等とを備えていると共に、第1の実施形態で説明したSAW遅延素子42とは特性が異なるSAW遅延素子63を備えている。SAW遅延素子63は、圧電体基板64上に第1の入力電極65と、第1の前側出力電極66と、第1の後側出力電極67と、第2の入力電極68と、第2の前側出力電極69と、第2の後側出力電極70とが形成されている。SAW遅延素子63は、SAWセンサ52における第1のSAW反射素子57の反射周波数及び第2のSAW反射素子61の反射周波数と同じ周波数の表面弾性波が通過するように設計されている。又、SAW遅延素子63は、第1のスイッチ30から送信信号を入力した時点からローカル信号を第1のミキシング手段36及び第2のミキシング手段37に出力するまでの時間が遅延時間として設定されており、前側出力電極と後側出力電極とを有することで、SAW反射素子57に設定されている遅延時間及びSAW反射素子61に設定されている遅延時間の各々と同じ遅延時間を有するように設計されている。SAW遅延素子63においては、第1のスイッチ30がオン状態に切換えていることに応じて当該第1のスイッチ30から出力された送信信号が第1の入力電極65に入力されると、その高周波信号である送信信号が第1の入力電極65にて圧電現象により表面弾性波に変換され、その表面弾性波が当該第1の入力電極65から圧電体基板64上を通過して第1の前側出力電極66及び第1の後側出力電極67に伝搬する。そして、第1の前側出力電極66及び第1の後側出力電極67に伝搬した表面弾性波が当該第1の前側出力電極66及び第1の後側出力電極67にて圧電現象により高周波信号であるローカル信号に変換されて第1のミキサ36に出力される。又、SAW遅延素子63においては、第1のスイッチ30がオン状態に切換えていることに応じて当該第1のスイッチ30から出力された送信信号が移相器40にて90度移相された後に第2の入力電極68に入力されると、その高周波信号である送信信号が第2の入力電極68にて圧電現象により表面弾性波に変換され、その表面弾性波が当該第2の入力電極68から圧電体基板64上を通過して第2の前側出力電極69及び第2の後側出力電極70に伝搬する。そして、第2の前側出力電極69及び第2の後側出力電極70に伝搬した表面弾性波が当該第2の前側出力電極69及び第2の後側出力電極70にて圧電現象により高周波信号であるローカル信号に変換されて第2のミキサ37に出力される。このような構成により、図5に示すように、第1のスイッチ30が送信信号を出力した時点から第2の増幅器34及び第3の増幅器35が受信信号一の受信信号、他の受信信号を出力するまでの時間差である遅延時間図5中T1、T3参照と、第1のスイッチ30が送信信号を出力した時点からSAW遅延素子63がローカル信号一のローカル信号、他のローカル信号を出力するまでの時間差である遅延時間図5中T2、T4参照とが同じとなり、受信信号とローカル信号とが同じタイミングで第1のミキサ36及び第2のミキサ37に入力される。尚、この場合は、第1のスイッチ30及び第2のスイッチ32の動作タイミングを第1の実施形態と同じように制御する。以上に説明したように第2の実施形態によれば、遅延時間が異なる複数の受信信号がSAWセンサ52から送信され、遅延時間が異なる複数のローカル信号がSAW遅延素子63から出力され、それら複数の受信信号と複数のローカル信号とがミキシングされて複数の同期検波信号が出力されるように構成したので、SAWセンサ52の温度変化による遅延時間の変化を補正することができ、センシング精度の低下を回避することができる。第3の実施形態次に、本発明の第3の実施形態について、図6乃至図8を参照して説明する。尚、上記した第1の実施形態と同一部分については説明を省略し、異なる部分について説明する。第3の実施形態も、第1の実施形態に対してSAWセンサ及びSAW遅延素子の構成が異なる。無線遠隔センシングシステム71は、SAWセンサ72と、センシング装置73とを備えている。SAWセンサ72は、第1の実施形態で説明したSAWセンサ22とは特性が異なり、第1の圧電体基板74上に第1の駆動電極75と、第1の反射電極76とが形成されている第1のSAW反射素子77と、第2の圧電体基板78上に第2の駆動電極79と、第2の反射電極80とが形成されている第2のSAW反射素子81とを備えている。第1の駆動電極75と第2の駆動電極79にはアンテナ82が接続されている。SAWセンサ72においては、第1のSAW反射素子77の反射周波数と第2のSAW反射素子81の反射周波数とが異なって設定されている。本実施形態では、第1のSAW反射素子77の反射周波数faは例えば200[MHz]に設定されており、第2のSAW反射素子81の反射周波数fbは例えば210[MHz]に設定されている。センシング装置73は、第1の実施形態で説明した発振器29と、第1のスイッチ30と、第1の増幅器31と、第2のスイッチ32と、アンテナ33と、第2の増幅器34と、第3の増幅器35と、第1のミキサ36と、第2のミキサ37と、第1のローパスフィルタ38と、第2のローパスフィルタ39と、移相器40等とを備えていると共に、第1の実施形態で説明したSAW遅延素子42とは特性が異なるSAW遅延素子83を備えている。SAW遅延素子63は、圧電体基板84上に第1の入力電極85と、第1の出力電極86と、第2の入力電極87と、第2の出力電極88とが形成されている。SAW遅延素子83は、SAWセンサ72におけるSAW反射素子77の反射周波数と同じ周波数の表面弾性波及びSAW反射素子81の反射周波数と同じ周波数の表面弾性波の双方が通過するように設計されている。又、SAW遅延素子83は、SAW反射素子77に設定されている遅延時間及びSAW反射素子81に設定されている遅延時間と同じ遅延時間を有するように設計されている。このような構成により、図7に示すように、第1のスイッチ30が送信信号を出力した時点から第2の増幅器34及び第3の増幅器35が受信信号一の所定周波数の受信信号、他の所定周波数の受信信号を出力するまでの時間差である遅延時間図7中T1参照と、第1のスイッチ30が送信信号を出力した時点からSAW遅延素子83がローカル信号一の所定周波数のローカル信号、他の所定周波数のローカル信号を出力するまでの時間差である遅延時間図7中T2参照とが同じとなり、受信信号とローカル信号とが同じタイミングで第1のミキサ36及び第2のミキサ37に入力される。尚、上記した構成では、第1のスイッチ30及び第2のスイッチ32の動作タイミングを図8に示すように制御する。即ち、最初に、第1のSAW反射素子77の反射周波数と同じ周波数の送信信号を送信する際の動作として、第2のスイッチ32を入力状態に切換えている状態で、第1のスイッチ30をオフ状態からオン状態に切換え図8中t11参照、更に第2のスイッチ32をオン状態からオフ状態に切換えた後に図8中t12参照、第2のスイッチ32を入力状態から出力状態に切換える図8中t13参照。続いて、第2のSAW反射素子81の反射周波数と同じ周波数の送信信号を送信する際の動作として、第2のスイッチ32を入力状態に切換えている状態で、第1のスイッチ30をオフ状態からオン状態に切換え図8中t15参照、更に第2のスイッチ32をオン状態からオフ状態に切換えた後に図8中t16参照、第2のスイッチ32を入力状態から出力状態に切換える図8中t17参照。この場合も、第2のスイッチ32をオン状態からオフ状態に切換えた時点から第2のスイッチ32を入力状態から出力状態に切換えるまでの時間差図8中Ta参照は、SAW遅延素子77に設定されている遅延時間及びSAW遅延素子81に設定されている遅延時間よりも短く設定されている。以上に説明したように第3の実施形態によれば、周波数が異なる複数の受信信号がSAWセンサ72から送信され、周波数が異なる複数のローカル信号がSAW遅延素子83から出力され、それら複数の受信信号と複数のローカル信号とがミキシングされて複数の同期検波信号が出力されるように構成したので、SAWセンサ72の温度変化による遅延時間の変化を補正することができ、センシング精度の低下を回避することができる。第4の実施形態次に、本発明の第4の実施形態について、図9及び図10を参照して説明する。尚、上記した第1の実施形態と同一部分については説明を省略し、異なる部分について説明する。第4の実施形態は、第1の実施形態に対して移相器を省略すると共にSAW遅延素子の構成が異なる。無線遠隔センシングシステム91は、第1の実施形態で説明したSAWセンサ22と、センシング装置92とを備えている。センシング装置92は、第1の実施形態で説明したセンシング装置41から移相器40が省略されており、移相器40を除く他の素子がシリコン基板93の1チップ上に実装されている。SAW遅延素子94は、圧電体基板95上に第1の入力電極96と、第1の出力電極97と、第2の入力電極98と、第2の出力電極99とが形成されている。この場合、第1の実施形態とは異なり、図10に示すように、第1の出力電極97と第2の出力電極99とがずれて各々が表面弾性波を入力する入力側図10では左側端部がずれて形成されていることで、第1の入力電極96から第1の出力電極97までの距離図10中d1参照と、第2の入力電極98から第2の出力電極99までの距離図10中d2参照との間には送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差図10中da参照を有するに構成されている。即ち、第1の入力電極96から第1の出力電極97までの距離と、第2の入力電極98から第2の出力電極99までの距離との間に送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を持たせることで、第1の出力電極97から出力されるローカル信号と第2の出力電極99から出力されるローカル信号とが90度移相する。尚、その他の動作は第1の実施形態と同様である。以上に説明したように第4の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の作用効果を得ることができることに加え、第1の入力電極96から第1の出力電極97までの距離と、第2の入力電極98から第2の出力電極99までの距離との間に送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を持たせるように構成したので、直交検波を行う構成とする際に、SAW遅延素子94に入力される送信信号を移相器40にて移相するのではなく、表面弾性波をSAW遅延素子94にて移相することで、移相器40を半導体素子で実現する必要がなくなり、回路面積を低減することができ、又、位相遅延量の精度を高めることができる。第5の実施形態次に、本発明の第5の実施形態について、図11及び図12を参照して説明する。尚、上記した第2の実施形態と同一部分については説明を省略し、異なる部分について説明する。第5の実施形態は、第1の実施形態と第4の実施形態との関係と同様に、第2の実施形態に対して移相器を省略すると共にSAW遅延素子の構成が異なる。無線遠隔センシングシステム101は、第2の実施形態で説明したSAWセンサ52と、センシング装置102とを備えている。センシング装置102は、第1の実施形態で説明したセンシング装置41から移相器40が省略されており、移相器40を除く他の素子がシリコン基板93の1チップ上に実装されている。SAW遅延素子103は、圧電体基板104上に第1の入力電極105と、第1の前側出力電極106と、第1の後側出力電極107と、第2の入力電極108と、第2の前側出力電極109と、第1の後側出力電極110とが形成されている。この場合も、第2の実施形態とは異なり、図12に示すように、第1の入力電極105から第1の前側出力電極106及び第1の後側出力電極107までの距離図12中d3参照と、第2の入力電極108から第2の前側出力電極109及び第2の後側出力電極110までの距離図12中d4参照との間には送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差図12中db参照を有するに構成されている。即ち、第1の入力電極105から第1の前側出力電極106及び第1の後側出力電極107までの距離と、第2の入力電極108から第2の前側出力電極109及び第2の後側出力電極110までの距離との間に送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を持たせることで、第1の前側出力電極106から出力されるローカル信号と第2の前側出力電極109から出力されるローカル信号とが90度移相し、第1の後側出力電極107から出力されるローカル信号と第2の後側出力電極111から出力されるローカル信号とが90度移相する。尚、その他の動作は第2の実施形態と同様である。以上に説明したように第5の実施形態によれば、第2の実施形態と同様の作用効果を得ることができることに加え、第1の入力電極105から第1の前側出力電極106及び第1の後側出力電極107までの距離と、第2の入力電極108から第2の前側出力電極109及び第2の後側出力電極110までの距離との間に送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を持たせるように構成したので、直交検波を行う構成とする際に、SAW遅延素子103に入力される送信信号を移相器40にて移相するのではなく、表面弾性波をSAW遅延素子103にて移相することで、移相器40を半導体素子で実現する必要がなくなり、回路面積を低減することができ、又、位相遅延量の精度を高めることができる。第6の実施形態次に、本発明の第6の実施形態について、図13を参照して説明する。尚、上記した第3の実施形態と同一部分については説明を省略し、異なる部分について説明する。第6の実施形態は、第1の実施形態と第4の実施形態との関係や、第2の実施形態と第5の実施形態との同様に、第3の実施形態に対して移相器を省略すると共にSAW遅延素子の構成が異なる。無線遠隔センシングシステム111は、第3の実施形態で説明したSAWセンサ72と、センシング装置112とを備えている。センシング装置112は、第3の実施形態で説明したセンシング装置41から移相器40が省略されており、移相器40を除く他の素子がシリコン基板93の1チップ上に実装されている。SAW遅延素子113は、圧電体基板114上に第1の入力電極115と、第1の出力電極116と、第2の入力電極117と、第2の出力電極118とが形成されている。この場合、第3の実施形態とは異なり、第1の入力電極115から第1の出力電極116までの距離と、第2の入力電極117から第2の出力電極118までの距離との間には送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を有するに構成されている。又、SAW遅延素子113は、SAWセンサ72におけるSAW反射素子77の反射周波数と同じ周波数の表面弾性波及びSAW反射素子81の反射周波数と同じ周波数の表面弾性波の双方が通過するように設計されている。尚、その他の動作は第3の実施形態と同様である。以上に説明したように第6の実施形態によれば、第3の実施形態と同様の作用効果を得ることができることに加え、第1の入力電極115から第1の出力電極116までの距離と、第2の入力電極117から第2の出力電極118までの距離との間に送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を持たせるように構成したので、直交検波を行う構成とする際に、SAW遅延素子113に入力される送信信号を移相器40にて移相するのではなく、表面弾性波をSAW遅延素子113にて移相することで、移相器40を半導体素子で実現する必要がなくなり、回路面積を低減することができ、又、位相遅延量の精度を高めることができる。その他の実施形態本発明は、上記した実施形態にのみ限定されるものではなく、以下のように変形又は拡張することができる。移相器を設けて直交検波を行う構成に限らず、移相器を省いて直交検波を行わない構成であっても良い。SAW反射素子の反射周波数は200[MHz]や210[MHz]に限らず、それ以外の周波数であっても良い。半導電性基板は、シリコン基板以外の基板であっても良い。第2の実施形態において、2個の異なる遅延時間を設定する構成に限らず、3個以上の異なる遅延時間を設定しても良い。第3の実施形態において、2個の異なる反射周波数を設定する構成に限らず、3個以上の異なる反射周波数を設定しても良い。第4乃至第6の実施形態において、第1の出力電極と第2の出力電極とがずれて形成される構成に限らず、第1の入力電極と第2の入力電極とがずれて各々が表面弾性波を出力する出力側端部がずれて形成されることで、第1の入力電極から第1の出力電極までの距離と、第2の入力電極から第2の出力電極までの距離との間に送信信号の90度の位相遅延に相当する距離差を持たせるようにしても良い。