サセプター上に、シリコンカーバイト板を用いて、パーティクル吸着板を取り付け、パーティクル吸着板は、サセプター表面のクリーニング時等の必要時には、簡単に取り外しが出来る事を特徴とするパーティクルの少ないエピタキシャル層成長を実現するサセプター。以下、本発明の実施の形態を説明する。サセプター上にシリコンカーバイト板を用いてパーティクル吸着板を設置する。本発明は以上のような構成であるが、図に沿って具体的な実施形態を説明していく。従来は、図1に示すように、サセプター1上に単結晶シリコンカーバイトウエファー3をポケット2中にセットし、回転軸4を回転させガスの流れ6の中でエピタキシャル層5を製膜していた。本発明では、図2に示すように、パーティクル吸着板7をサセプター1上に設置することによって、図3に示すシリコンカーバイト析出物8を吸着する。その結果、従来、図3に示されるパーティクルの発生経路9の如く、析出物が剥離後にエピタキシャル層5に混入して形成されていたパーティクルを大幅に減少させる事が出来た。また、プロセス後のサセプター1表面は、パーティクル吸着板7を簡単に取り外して、容易にクリーニングする事が出来る。