"内部に細管状の流路が形成される管状部と、前記管状部の一端部が接続され、内部に細管状の流路が形成される本体部とを有する被洗浄物を洗浄する洗浄処理装置において、洗浄液が供給される洗浄容器であって、前記管状部が挿通可能な貫通孔と、前記洗浄容器内に供給された洗浄液を流出させて、前記洗浄容器内の洗浄液を予め定める圧力に調整するための流出孔とが設けられる洗浄容器と、前記洗浄容器に洗浄液を加圧して供給する洗浄液供給手段とを含み、前記洗浄容器に前記被洗浄物の本体部を収容して、洗浄液を前記本体部内の流路から前記管状部内の流路を通過させることを特徴とする洗浄処理装置。前記流出孔は、前記貫通孔と、この貫通孔に挿通された管状部との間に形成されることを特徴とする請求項1に記載の洗浄処理装置。前記洗浄容器の前記貫通孔に着脱自在に装着されて、前記貫通孔を液密に塞ぐ栓体を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の洗浄処理装置。前記洗浄容器を収容し、前記洗浄容器および/または被洗浄物の洗浄に用いた洗浄後の洗浄液を回収して排水する排水手段を含むことを特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の洗浄処理装置。前記洗浄容器内へ気体を供給する気体供給手段を含むことを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載の洗浄処理装置。管状部と、前記管状部の一端部が接続される本体部とを有し、前記管状部および前記本体部の内部に細管状の流路が形成される被洗浄物の少なくとも前記本体部を洗浄容器内に収容し、かつ前記管状部を前記洗浄容器から外部へ突出させた状態で、前記洗浄容器内の洗浄液を前記本体部内の流路から前記管状部内の流路を通過させて、前記被洗浄物を洗浄する洗浄処理方法であって、前記洗浄容器内に加圧して供給される洗浄液を、前記洗浄容器に設けられる流出孔から流出させて、前記洗浄容器内の洗浄液を予め定める圧力に調整することを特徴とする洗浄処理方法。前記予め定める圧力は、前記洗浄容器内へ供給される洗浄液の供給圧力付近に設定されることを特徴とする請求項6に記載の洗浄処理方法。前記貫通孔は、前記洗浄容器に複数設けられ、前記複数の貫通孔を、被洗浄器具の有無に応じて栓体によって選択的に開閉して、洗浄洗浄液の流量を調整することを特徴とする請求項5または6に記載の洗浄処理方法。洗浄後の被洗浄物に気体を供給して、前記被洗浄物を乾燥させることを特徴とする請求項5~8のいずれか1つに記載の洗浄処理方法。このような従来技術の洗浄処理装置において、内視鏡を洗浄するに際しては、外部の加圧手段によって、内視鏡の管状部とこれに繋がる本体部とで形成した密閉空間へ、当該密閉空間外に洗浄液が漏れ出さないように前記本体部に設けられ、密閉空間外とチャンネル口との間を連通状態として、洗浄液および消毒液を密閉空間内に供給し、洗浄処理が行われる。この場合、密閉空間の密閉性が損なわれると、この場所から洗浄液、消毒液および濯ぎ液などの洗浄液が密閉空間外へ漏れ出し、この場所よりも洗浄液流過方向下流側、たとえば本体部で漏れ出すと、これにつながる管状部へ流れる洗浄液の流量が減少し、洗浄消毒濯ぎの効率が低下してしまうという問題がある。また、密閉空間が保たれている場合においても、密閉空間内へポンプなどの加圧手段による加圧によって洗浄液を供給するため、内部圧力が上昇し、加圧手段がもつ加圧能力の限界近傍となると、加圧手段が空回りし、洗浄消毒のための充分な流量が得られなくなるという問題がある。このような問題を解決するために、加圧手段の洗浄液の供給能力を大きなものに変更することや、洗浄時間を延ばす解決策も考えられるが、そのようにすると、装置が高価となり、処理能力が低下してしまう。さらに、本体部および管状部の密閉空間外である外側の表面を洗浄するには、別途に前記本体部および管状部の外側の表面を洗浄するための手段が必要となり、装置の構成が複雑化し、製造コストが高価になってしまうという問題がある。本発明の目的は、低コストで洗浄処理能力を低下させずに被洗浄部の内部および外部を洗浄することができる洗浄処理装置および洗浄処理方法を提供することである。本発明の洗浄処理装置は、管状部と、前記管状部の一端部が接続される本体部とを有し、前記管状部および前記本体部の内部に細管状の流路が形成される被洗浄物の前記本体部を洗浄容器内に収容し、かつ前記管状部を前記洗浄容器から外部へ突出させた状態で、前記洗浄容器内の洗浄液を前記本体部内の流路から前記管状部内の流路を通過させて、前記被洗浄物を洗浄する洗浄処理装置であって、前記洗浄容器に洗浄液を加圧して供給する洗浄液供給手段と、前記洗浄容器に設けられ、前記管状部が挿通可能な貫通孔を有する貫通孔部と、前記洗浄容器に設けられ、前記洗浄容器内に供給された洗浄液を流出させて、前記洗浄容器内の洗浄液を予め定める圧力に調整するための流出孔を有する流出孔部とを含むことを特徴とする洗浄処理装置内部に細管状の流路が形成される管状部と、前記管状部の一端部が接続され、内部に細管状の流路が形成される本体部とを有する被洗浄物を洗浄する洗浄処理装置において、洗浄液が供給される洗浄容器であって、前記管状部が挿通可能な貫通孔と、前記洗浄容器内に供給された洗浄液を流出させて、前記洗浄容器内の洗浄液を予め定める圧力に調整するための流出孔とが設けられる洗浄容器と、前記洗浄容器に洗浄液を加圧して供給する洗浄液供給手段とを含み、前記洗浄容器に前記被洗浄物の本体部を収容して、洗浄液を前記本体部内の流路から前記管状部内の流路を通過させることを特徴とする洗浄処理装置である。また本発明は、前記流出孔部は、前記貫通孔部と、この貫通孔部に挿通された管状部との間に形成されることを特徴とする。さらに本発明は、前記洗浄容器の前記貫通孔部に着脱自在に装着されて、前記貫通孔部を液密に塞ぐ栓体を含むことを特徴とする。さらに本発明は、前記洗浄容器を収容し、前記洗浄容器および/または被洗浄物の洗浄に用いた洗浄後の洗浄液を回収して排水する排水手段を含むことを特徴とする。さらに本発明は、前記洗浄容器内へ気体を供給する気体供給手段を含むことを特徴とする。本発明の洗浄処理方法は、管状部と、前記管状部の一端部が接続される本体部とを有し、前記管状部および前記本体部の内部に細管状の流路が形成される被洗浄物の少なくとも前記本体部を洗浄容器内に収容し、かつ前記管状部を前記洗浄容器から外部へ突出させた状態で、前記洗浄容器内の洗浄液を前記本体部内の流路から前記管状部内の流路を通過させて、前記被洗浄物を洗浄する洗浄処理方法であって、前記洗浄容器内に加圧して供給される洗浄液を、前記洗浄容器に設けられる流出孔部から流出させて、前記洗浄容器内の洗浄液を予め定める圧力に調整することを特徴とする洗浄処理方法である。また本発明は、前記予め定める圧力は、前記洗浄容器内へ供給される洗浄液の供給圧力付近に設定されることを特徴とする。さらに本発明は、前記貫通孔部は、前記洗浄容器に複数設けられ、前記複数の貫通孔部を、被洗浄器具の有無に応じて栓体によって選択的に開閉して、洗浄洗浄液の流量を調整することを特徴とする。さらに本発明は、洗浄後の被洗浄物に気体を供給して、前記被洗浄物を乾燥させることを特徴とする。本発明によれば、洗浄容器には貫通孔部と流出孔部とが設けられる。洗浄容器内には本体部とこの本体部に一端部が接続される管状部の一部とが収容される。洗浄容器内に洗浄液が供給され、洗浄液が洗浄容器内に充たされると、洗浄容器内の洗浄液は、本体部内の流路を経て管状部内の流路へ導かれ、管状部の先端から外部へ排出されて、本体部内および管状部内で細管を形成する流路内が洗浄され、消毒され、濯がれる。また洗浄容器には流出孔部が設けられるので、洗浄容器内の洗浄液は流出孔部から流出し、洗浄容器内の洗浄液の圧力が予め定める圧力に調整させれる。このような予め定める圧力は、洗浄液供給手段の供給圧力またはその付近に設定されることによって、洗浄液供給手段に過剰な負荷がかからず、洗浄液を本体部内の流路と管状部内の流路とを通過させて、これらの洗浄液をによって本体部内の流路と管状部内の流路とを洗浄し、消毒し、濯ぐとともに、洗浄容器内の洗浄液によって、洗浄容器内の前記本体部の外側の表面および洗浄容器内の管状部の一部の外側の表面を同時に洗浄処理することができる。これによって、低コストで洗浄処理能力を低下させずに被洗浄部物の内部および外部を洗浄することができる。また本発明によれば、洗浄液を本体部内の流路と管状部内の流路とを洗浄し、消毒し、濯ぐとともに、洗浄容器に設けられた開口部または管状部の貫通孔部または管の隙間もしくはこの両方流出孔から洗浄容器外へ流れ出た液体で前記管状部の外側の表面を同時に洗浄処理することができる。さらに本発明によれば、貫通孔部に着脱自在に装着可能な栓体を有するので、被洗浄物の管状部が装着されずに開放している貫通孔部を栓体によって塞ぐことができ、洗浄容器に設置可能な被洗浄物の数に対して設置する被洗浄物の数が少ない場合においても、貫通孔部の開口面積を低減し、洗浄容器から洗浄容器外へ漏れ出る液量を低減することができる。さらに本発明によれば、排水手段によって、洗浄容器を収容し、前記洗浄容器および/または被洗浄物の洗浄に用いた洗浄後の洗浄液を回収して排水することができる。さらに本発明は、気体供給手段によって洗浄容器内へ気体を供給することができるので、洗浄後の洗浄容器および被洗浄物の乾燥を促進することができる。図1は本発明の一実施形態の洗浄処理装置1を模式的に示す上方から見た断面図であり、図2は複数の被洗浄物Wを洗浄容器5内に収容した状態を示す斜視図である。本実施形態の洗浄処理装置1は、本発明に係る洗浄処理方法を実施するために用いられる。この洗浄処理装置1は、管状部2と、前記管状部2の一端部が接続される本体部3とを有し、前記管状部2および前記本体部3の内部に細管状の流路が形成される被洗浄物Wを、前記本体部3を洗浄容器5内に収容し、かつ前記管状部2を前記洗浄容器5から外部へ突出させた状態で、前記洗浄容器5内の洗浄液を前記本体部3内の流路から前記管状部2内の流路を通過させて、前記被洗浄物Wを洗浄することができる。前記管状部2は、一例として述べると、外径約8.4mm、内径約6.8mm、長さ約450mmの樹脂製の外套体管内に、患部の洗浄などに用いる薬液などの流体を先端へ導く外径約2.2mm、内径約1.6mm、長さ約430mmのポリテトラフルオロエチレン製のチューブが挿通された構造であり、前記チューブ内の通路および前記チューブと他の挿入機材との間の隙間などによって細管が形成される。前記洗浄処理装置1は、前記洗浄容器5に洗浄液を加圧して供給する洗浄液供給手段6と、前記洗浄容器5に設けられ、前記管状部2が挿通可能な貫通孔を有する貫通孔部7と、前記洗浄容器5に設けられ、前記洗浄容器5内に供給された洗浄液を流出させて、前記洗浄容器5内の洗浄液を予め定める圧力に調整するための流出孔を有する流出孔部8と、前記洗浄容器5の前記流出孔部8に着脱自在に装着されて、前記流出孔部8を液密に塞ぐ栓体9と、前記洗浄容器5を収容し、前記洗浄容器5および/または被洗浄物Wの洗浄に用いた洗浄後の洗浄液を回収して排水する排水手段10後述の図4参照と、前記洗浄容器5内へ乾燥用気体を供給する気体供給手段11後述の図4参照とを含む。前記流出孔部8は、前記貫通孔部7と、この貫通孔部7に挿通された管状部2の外周面との間に形成される円筒状の空間によって実現される。被洗浄物Wは、本実施形態では医療用内視鏡であるが、本発明の他の実施形態では、手術用マニピュレータであってもよい。管状部2の構造を一例として述べると、医療用液体直円筒状のステンレス鋼製または合成樹脂製の外套体管16内に、先端部に設けられる切開用メス17を駆動する駆動ワイヤ18が挿通される案内管19、生理食塩水、薬液および医療用ガスなどの流体を先端部へ導く複数のチューブ20,21などが挿通されて構成される。これらの案内管19および複数のチューブ20,21は、外套管16の一端部である基端部から前記本体部3内にわたって配置され、管状部2および本体部3内には、前記細管状の流路が形成される。前記貫通孔部7は、各容器部分5a,5bの長辺側の他側壁部に正面から見て半径が管状部2の半径にほぼ等しい半円状にそれぞれ形成される一対の切欠きから成り、この貫通孔部7よりも半径方向外方に半径線方向に幅ΔLだけ拡径して、前記流出孔部8が形成される。この幅ΔLは、たとえば0.5mmに選ばれる。このような流出孔部8は、前記貫通孔部7を規定する複数本実施形態では4の突部22によって周方向に等分に分断され、各突部22間に流出孔を規定する流出孔部8が形成される。各突部22は、貫通孔部7に被洗浄物Wの管状部2を挿通させた状態で、その管状部2の外周面を支持して位置決めし、管状部2の外周面と流出孔部8との間に洗浄液を流出させる前記流出孔が形成される。このような流出孔は、オリフィスとして機能し、流出孔から流出する洗浄液は、噴出直後に実質的に円筒状の噴出流を形成して、管状部2の外表面に接触し、管状部2の外表面を洗浄することができるとともに、洗浄液供給手段6から洗浄容器5内へ供給される洗浄液の圧力を、予め定める圧力、たとえば150~200kPaとなるように、洗浄容器5内の液圧を圧力調整することができる。したがって、前記従来技術のように、洗浄液供給手段6に過剰な負荷がかからず、ポンプなどの空回りが防がれ、円滑に被洗浄物W内を洗浄することができる。また、洗浄液供給手段6によって洗浄容器5に洗浄液が供給されることによって、洗浄容器5内の前記管状部2および本体部3の内外と、管状部2の内側とを、洗浄、消毒および濯ぎにの少なくとも1つの処理を行ない、これとともに洗浄容器5に設けられた前記流出孔部8と管状部2の外周面との間に意図的に設けた隙間から洗浄容器5外へ流出した洗浄液によって、前記管状部2の管外側も同時に洗浄し、消毒し、または濯ぎを行うことができる。前記洗浄液供給手段6は、定圧ポンプによって実現されてもよい。前記洗浄容器5は、直方体を成す箱状の上容器部分5aと、直方体を成す箱状の下容器部分5bと、上容器部分5aの長辺側の一側壁部と、下容器部分5bの長辺側の一側壁部とを前記長辺方向に平行な軸線まわりに回動自在に連結する一対のヒンジ片5c,5dと、上容器部分5aの短辺側の両側壁部に前記長辺方向に平行な軸線まわりに回動自在に設けられる操作レバー114と、下容器部分5bの短辺側の両側壁部に突出してそれぞれ設けられるロックピン12a,12bとを有する。前記操作レバー114の各遊端部には、各ロックピン12a,12bが挿脱自在に嵌り込む凹所13a,13bがそれぞれ形成され、各凹所13a,13bにロックピン12a,12bが嵌り込むことによって、各容器部分5a,5bが開放することが防がれる。また、各容器部分5a,5bを開放する場合には、操作レバー114を各凹所13a,13bからロックピン12a,12bが離脱する方向に角変位操作することによって、上容器部分5aの下容器部分5bに対するロック状態が解除され、各容器部分5a,5bを開放させて、1または複数の被洗浄物Wを容器5内へ収容し、また収容されている被洗浄物Wを洗浄容器5がから取り出すことができる。このような洗浄容器5は、耐薬品性、耐酸性の高いステンレス鋼製であってもよく、フッ素系樹脂から成ってもよい。図3は洗浄処理装置1を搭載した洗浄処理設備27を示す斜視図であり、図4は洗浄処理設備27の系統図である。洗浄処理設備27は、各複数の被処理物Wをそれぞれ収容した複数本実施形態では2の洗浄容器5が乗載される洗浄槽28、洗浄槽28の底部に設けられる一対の超音波振動パネル29a,29b、給水バルブV1、鉛直軸線まわりに回転しながら洗浄液を噴射する回転ノズルヘッド30、回転ノズルヘッドバルブV2、送液ポンプP、排水バルブV3、逆止弁V4、加熱装置31および送気手段であるブロア32を含む。各洗浄容器5には、貫通孔部7に各被洗浄物Wの管状部2が挿通し、本体部3は洗浄容器5内に収容される。複数の被洗浄物Wが洗浄容器5に収容された状態では、各管状部2が洗浄容器5から突出して互いに平行に配置され、各管状部2の先端部およびその近傍は、洗浄槽28の上部の開口から洗浄槽28内に挿入され、洗浄槽28に貯留された洗浄液に浸漬されている。洗浄槽28の底部と加熱装置31の乾燥用気体としての加熱空気の出口部とは、第1配管40によって接続される。この第1配管40には、前記逆止弁V4と送液ポンプPとが介在される。第1配管40の前記逆止弁V4と送液ポンプPとの間には、第2配管41の一端部が接続され、第2配管41の他端部は回転ノズルヘッド30の入力ポートに接続される。この第2配管41には、前記回転ノズルヘッドバルブV2が介在される。送液ポンプPには第3配管42が接続され、この第3配管42には排水バルブV3が介在される。第3配管42の排水バルブV3と送液ポンプPとの間には、第4配管43の一端部が接続され、第4配管43の他端部は洗浄槽28の底部に接続される。排水バルブV3を閉鎖しかつ回転ノズルヘッドバルブV2を開放させた状態で送液ポンプPが駆動されると、洗浄槽28内の洗浄液は、第1配管40および第2配管41を経て回転ノズルヘッド30へ供給され、洗浄槽28内をシャワー洗浄することができる。洗浄槽28の側壁の上部には、前記給水バルブV1が介在される第5配管44が接続され、給水バルブV1を開放することによって、滅菌濾過された清浄な洗浄水などの洗浄液を洗浄槽28内に供給することができる。本件発明者は、洗浄容器5の流出孔部8の有無による洗浄液の被洗浄物Wの流過状態を確認するため、洗浄処理設備27において送液ポンプPによって洗浄容器5に供給された洗浄液が被洗浄物Wの管状部2内の流路を通って外部へ流出したときの液量を測定した。この実験では、被洗浄物Wとして手術用マニピュレータを使用し、本体部3がマニピュレータの駆動部、管状部2が切開用メス17等の冶具部である。送液ポンプPとしては、渦巻型ステンレスポンプを使い、インバータの入力値により、洗浄容器5への洗浄液の供給量を調整した。表1にその実験結果を示す。表1から明らかなように、洗浄容器5の加圧手段である洗浄液供給手段6を実現するポンプPの吐出圧力を上げていくと、洗浄容器5に流出孔部8がない場合は、管状部2の先端から吐出する液体の流量は変わらない。このとき、洗浄液供給手段6として用いたポンプは、空回りしながら送液していることが容易に推察できる。一方、洗浄容器5に流出孔部8を設けた場合は、ポンプPの圧力を上げるに応じて、管状部2の先端から吐出する液体の吐出流量が増加し、流出孔部8が無い場合に比べて、ポンプ加圧圧力が25Paのときには、吐出流量が約2倍となり、管状部2の根元からの液も管外部に流れる量も増している。このことより、前記管状部2の内側の流路と外側とが同時に洗浄され、かつ内側の流路は洗浄容器5に流出孔部8が無い場合より多い流量の洗浄液によって洗浄されているのが判る。前述の図2は、管状部2の外側の表面を洗浄するため、洗浄容器5の貫通孔部7と同心円状に、貫通孔部7よりも大径の流出孔部8を設けた洗浄容器5の例を示している。洗浄容器5にセットできる最大の被洗浄物Wの本数に比べて、洗浄対象とする被洗浄物Wが不足している場合は、栓体9を、被洗浄物Wのセットされない部分の貫通孔部7に装着することによって、貫通孔部7の開口面積に相当する流路断面積を低減し、洗浄容器5から洗浄容器5外へ漏れ出る洗浄液の液量を低減することができる。本発明の他の実施形態では、図2に示す洗浄容器5と同様な構成を具備した1つの被洗浄物Wだけを収容することができる洗浄容器とし、これを必要に応じ1個から複数個つなげる構成とすることも可能である。いずれの場合においても、洗浄容器5の一部に洗浄液を意図的に漏洩させるための流路として流出孔部8を設け、洗浄容器5に装着された被洗浄物Wの管状部2にの内外を同時に洗浄することが可能である。図5は、洗浄処理設備27による被洗浄物Wの洗浄処理手順を説明するためのフローチャートである。図1~図4をも参照して、超音波とシャワーの両方を用いた洗浄処理について説明する。洗浄処理設備27は、超音波振動パネル29a,29bから発せられる超音波による超音波洗浄モードと、洗浄槽28内で回転する回転ノズルヘッド30から噴出される洗浄液シャワーによって洗浄を行なうシャワー洗浄モードとを選択的に切換えて設定することができるように構成される。まず、ステップs0で、洗浄処理動作が開始され、ステップs1で、シャワー洗浄工程が開始される。このシャワー洗浄工程では、給水バルブV1を開き、洗浄槽28へ給水を行った後、給水バルブV1を閉じ、回転ノズルヘッドバルブV2を開き、ポンプPによって洗浄槽28内で天井部に設置された回転ノズルヘッド30に送液し、槽内全体をシャワー洗浄後、ポンプPを停止し、排水バルブV3を開き、排液を行う。次に、ステップs1からステップs2の流水洗浄工程に移る。この流水洗浄工程では、前述のステップs1と同様に、洗浄槽28内へ給水の後、給水バルブV1を閉じ、ポンプPを駆動し、洗浄容器5内の被洗浄物Wへ送液を行い、洗浄容器5内にセットされた細管を成す流路を有する被洗浄物Wを洗浄する。前述のシャワー洗浄工程または流水洗浄途工程では、必要に応じて給水バルブV1を開閉して洗浄槽28内に給水し、また必要に応じて洗浄槽28に設けられる図示しない洗浄剤投入口より槽内に洗浄剤または消毒剤を加えてもよい。次に、ステップs3の超音波洗浄工程に移ると、給水バルブV1を開閉して、洗浄槽28内の被洗浄物Wの汚染されている先端部が洗浄液に漬かるまで給水を行い、洗浄槽28の底部に設置された超音波振動パネル29a,29bを動作させて超音波洗浄を行った後、排水バルブV3を開き、洗浄槽28内の液体を排水する。また、必要に応じてシャワー洗浄、洗浄容器5からの流水洗浄を水のみで行い、洗浄剤、消毒剤の濯ぎ洗いを行なう。次に、ステップs4の熱風乾燥工程に移り、洗浄槽28内の排水後、加熱装置31とブロア32を動作させて温風を洗浄槽28および洗浄容器5内に送り込み、洗浄槽28内と被洗浄物Wを乾燥させ、ステップs5で洗浄処理動作が完了する。以上のような構成によれば、管状部2を持ち、この管状部2に接続する別の本体部3を持つ器具、例えば医療用内視鏡や手術用マニピュレータなどの被洗浄物Wを洗浄または消毒または濯ぎ、またはこれらを組合わせて、洗浄処理を行なうことができる。洗浄処理装置1は、密閉構造の洗浄容器5に洗浄、消毒、濯ぎに用いる洗浄液を供給し、管状部2が挿通される貫通孔部7とは別の開口部として流出孔部8を設け、この洗浄容器5内へ被洗浄物Wの本体部3を設置し、貫通孔部7に管状部2を設置し、洗浄容器5に洗浄液を供給することによって、洗浄容器5内の前記本体部3とこれに接続される管状部2の一部とを洗浄消毒し、これとともに洗浄容器5に設けられた流出孔部8から洗浄容器5外へ流れ出た洗浄液によって、管状部2の外側の表面を同時に洗浄消毒することができる。また、洗浄液として、微細気泡を含んだガス溶解洗浄液を用いることによって、物理的な液流動を発生させると共に、気泡の微細化による摩擦抵抗の減少で、被処理物W表面の微細な袋穴や溝等の狭小部にも、洗浄液が入り込み易くなり、洗浄力を向上させることができる。さらに、前述のように超音波洗浄を行うことによって、被洗浄物Wの狭小部に入り込んだ洗浄液中の微細気泡が超音波のキャビテーションにより破壊され、局所的に激しい液流動が発生し、より良好に洗浄することが可能になる。さらに、超音波振動パネル29a,29bから超音波を発信し、洗浄槽28内の洗浄液の微細気泡を破壊することができるので、洗浄液中の微細気泡が集まって大きな気泡になるのを防ぐことができ、連続的に高い洗浄力を維持することが可能となる。さらに、前述の超音波洗浄工程を減圧下で行うことによって、被洗浄物Wの袋穴等に残った気泡を取り除き、洗浄液を入り込ませることができると共に、洗浄液中の溶存気体が脱気され、キャビテーション発生時の音圧が大きくなり、大気圧状態よりも洗浄力が高まるため、より強力に洗浄を行うことができる。さらに、前述の微細気泡含有洗浄液による循環洗浄を所定時間行う工程と、超音波洗浄を所定時間行う工程とを、全洗浄時間内に1サイクルだけ行うよりも、1サイクルの時間を短くして複数サイクルを繰り返すことによって、洗浄液中の微細気泡が集まって大きな気泡になるのを防ぐことができるため、洗浄液の流動性、置換効率が良くなり、より高い洗浄力を得ることができる。さらに、被洗浄物Wがを複数本まとめて収容して密閉可能な洗浄容器5を用いるので、ガス溶解液、または微細気泡含有液で循環洗浄を行う場合、気泡の微細化により摩擦抵抗の減少した微細気泡を含有した洗浄液を、被洗浄物Wが複数本セットされた密閉状態の洗浄容器5に流入、循環させることによって、洗浄液が被洗浄物Wの内部に入り込み易く、物理的な液流動を発生することができるため、被洗浄物W内部を効果的に洗浄することができる。前述の実施形態では、流出孔部8は貫通孔部7を外囲する位置に形成されたが、本発明の他の実施形態では、貫通孔部7とは異なる位置に形成されてもよい。また流出孔部8は、圧力制御弁またはオリフィスなどを構成する部品を洗浄容器5に設けることによって実現されてもよい。本発明は、前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。"