"一方の面にパターンが形成され、当該一方の面が露出するように保持体に保持されたパターン形成体を振動させる工程と、前記保持体に保持された前記パターン形成体を振動させた後、当該保持体に保持された当該パターン形成体の一方の面に対し、磁気情報を記録する磁気記録媒体における記録面を接触させる工程と、前記保持体に保持された前記パターン形成体に接触させた前記磁気記録媒体に、当該パターン形成体に形成された前記パターンを磁気的に転写する工程とを含む磁気記録媒体の製造方法。前記振動させる工程では、前記パターン形成体を超音波にて振動させることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法。前記パターン形成体の前記一方の面には、前記パターンとして凹凸が形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の磁気記録媒体の製造方法。前記振動させる工程では、前記保持体を介して前記パターン形成体を振動させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の磁気記録媒体の製造方法。前記磁気的に転写する工程によって磁気転写がなされた前記磁気記録媒体と前記パターン形成体との接触を解除した後、当該パターン形成体に次の磁気記録媒体を接触させるまでの間に、前記パターン形成体を振動させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の磁気記録媒体の製造方法。第1保持体に保持され且つ外部に露出する第1形成面に第1パターンが形成された第1パターン形成体を振動させる工程と、第2保持体に保持され且つ外部に露出する第2形成面に第2パターンが形成された第2パターン形成体を振動させる工程と、前記第1保持体に保持された前記第1パターン形成体および前記第2保持体に保持された前記第2パターン形成体をそれぞれ振動させた後、当該第1保持体および当該第2保持体を相対的に移動させることで、当該第1保持体に保持された当該第1パターン形成体における前記第1形成面と当該第2保持体に保持された当該第2パターン形成体における前記第2形成面との間に、磁気情報を記録する磁気記録媒体を挟み込み、挟み込まれた当該磁気記録媒体に対し、前記第1パターンおよび前記第2パターンを磁気的に転写する工程とを含む磁気記録媒体の製造方法。前記第1パターン形成体を振動させる工程では、前記第1保持体を介して当該第1パターン形成体を超音波にて振動させ、前記第2パターン形成体を振動させる工程では、前記第2保持体を介して当該第2パターン形成体を超音波にて振動させることを特徴とする請求項6記載の磁気記録媒体の製造方法。前記磁気的に転写する工程によって磁気転写がなされた前記磁気記録媒体と前記第1パターン形成体および前記第2パターン形成体との接触を解除した後、当該第1パターン形成体または当該第2パターン形成体に次の磁気記録媒体を接触させるまでの間に、当該第1パターン形成体および当該第2パターン形成体をそれぞれ振動させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項6または7記載の磁気記録媒体の製造方法。一方の面にパターンが形成されたパターン形成体を、当該一方の面を露出させるように保持する保持体と、前記保持体に保持された前記パターン形成体を振動させる振動子と、前記保持体に保持された前記パターン形成体における前記一方の面に、磁気情報を記録するための磁気記録媒体における記録面を接触させ、当該パターン形成体と接触する当該磁気記録媒体に対し、前記パターンを磁気転写する磁気転写手段と、前記保持体に保持された前記パターン形成体との対向位置に磁気転写前の磁気記録媒体を搬入し、当該対向位置から磁気転写後の磁気記録媒体を搬出する搬入搬出手段と、前記搬入搬出手段によって前記磁気転写後の磁気記録媒体が搬出された後から当該搬入搬出手段によって前記磁気転写前の磁気記録媒体が搬入される前までの間に、前記振動子を振動させ且つ振動を停止させる制御手段とを含む磁気記録媒体の製造装置。前記振動子が、超音波の周波数領域の振動を発生する超音波振動子からなることを特徴とする請求項9記載の磁気記録媒体の製造装置。前記振動子が前記保持体に接触して取り付けられていることを特徴とする請求項9または10記載の磁気記録媒体の製造装置。磁気転写方式を用いた磁気記録媒体の製造において、パターン形成体におけるパターンの形成面に異物が付着していると、磁気転写を行う際にパターン形成体と磁気記録媒体との間に異物が挟み込まれてしまい、磁気転写後のパターン形成体および磁気記録媒体のそれぞれに、異物に起因する欠陥が生じ得る。本発明は、磁気転写においてパターン形成体に付着した異物を、磁気転写における生産性の低下を抑制しながら除去することを目的とする。本発明によれば、下記[1]~[11]に係る発明が提供される。[1]一方の面にパターンが形成され、一方の面が露出するように保持体に保持されたパターン形成体を振動させる工程と、保持体に保持されたパターン形成体を振動させた後、保持体に保持されたパターン形成体の一方の面に対し、磁気情報を記録する磁気記録媒体における記録面を接触させる工程と、保持体に保持されたパターン形成体に接触させた磁気記録媒体に、パターン形成体に形成されたパターンを磁気的に転写する工程とを含む磁気記録媒体の製造方法。[2]振動させる工程では、パターン形成体を超音波にて振動させることを特徴とする[1]記載の磁気記録媒体の製造方法。[3]パターン形成体の一方の面には、パターンとして凹凸が形成されていることを特徴とする[1]または[2]記載の磁気記録媒体の製造方法。[4]振動させる工程では、保持体を介してパターン形成体を振動させることを特徴とする[1]乃至[3]のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。[5]磁気的に転写する工程によって磁気転写がなされた磁気記録媒体とパターン形成体との接触を解除した後、パターン形成体に次の磁気記録媒体を接触させるまでの間に、パターン形成体を振動させる工程をさらに含むことを特徴とする[1]乃至[4]のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。[6]第1保持体に保持され且つ外部に露出する第1形成面に第1パターンが形成された第1パターン形成体を振動させる工程と、第2保持体に保持され且つ外部に露出する第2形成面に第2パターンが形成された第2パターン形成体を振動させる工程と、第1保持体に保持された第1パターン形成体および第2保持体に保持された第2パターン形成体をそれぞれ振動させた後、第1保持体および第2保持体を相対的に移動させることで、第1保持体に保持された第1パターン形成体における第1形成面と第2保持体に保持された第2パターン形成体における第2形成面との間に、磁気情報を記録する磁気記録媒体を挟み込み、挟み込まれた磁気記録媒体に対し、第1パターンおよび第2パターンを磁気的に転写する工程とを含む磁気記録媒体の製造方法。[7]第1パターン形成体を振動させる工程では、第1保持体を介して第1パターン形成体を超音波にて振動させ、第2パターン形成体を振動させる工程では、第2保持体を介して第2パターン形成体を超音波にて振動させることを特徴とする[6]記載の磁気記録媒体の製造方法。[8]磁気的に転写する工程によって磁気転写がなされた磁気記録媒体と第1パターン形成体および第2パターン形成体との接触を解除した後、第1パターン形成体または第2パターン形成体に次の磁気記録媒体を接触させるまでの間に、第1パターン形成体および第2パターン形成体をそれぞれ振動させる工程をさらに含むことを特徴とする[6]または[7]記載の磁気記録媒体の製造方法。[9]一方の面にパターンが形成されたパターン形成体を、一方の面を露出させるように保持する保持体と、保持体に保持されたパターン形成体を振動させる振動子と、保持体に保持されたパターン形成体における一方の面に、磁気情報を記録するための磁気記録媒体における記録面を接触させ、パターン形成体と接触する磁気記録媒体に対し、パターンを磁気転写する磁気転写手段と、保持体に保持されたパターン形成体との対向位置に磁気転写前の磁気記録媒体を搬入し、対向位置から磁気転写後の磁気記録媒体を搬出する搬入搬出手段と、搬入搬出手段によって磁気転写後の磁気記録媒体が搬出された後から搬入搬出手段によって磁気転写前の磁気記録媒体が搬入される前までの間に、振動子を振動させ且つ振動を停止させる制御手段とを含む磁気記録媒体の製造装置。[10]振動子が、超音波の周波数領域の振動を発生する超音波振動子からなることを特徴とする[9]記載の磁気記録媒体の製造装置。[11]振動子が保持体に接触して取り付けられていることを特徴とする[9]または[10]記載の磁気記録媒体の製造装置。本発明によれば、磁気転写においてパターン形成体に付着した異物を、磁気転写における生産性の低下を抑制しながら除去することができる。以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は、本実施の形態が適用される磁気記録媒体1を備えた磁気記録再生装置の構成の一例を示した図である。この磁気記録再生装置は、データを磁気情報として磁気的に記録する磁気記録媒体1と、磁気記録媒体1を回転駆動させる回転駆動部2と、磁気記録媒体1にデータを書き込むとともに磁気記録媒体1に記録されたデータを読み取る磁気ヘッド3と、磁気ヘッド3を搭載するキャリッジ4と、キャリッジ4を介して磁気記録媒体1に対して磁気ヘッド3を相対移動させるヘッド駆動部5と、外部から入力された情報を処理して得られた記録信号を磁気ヘッド3に出力し、磁気ヘッド3からの再生信号を処理して得られた情報を外部に出力する信号処理部6とを備えている。ここで、本実施の形態では、磁気記録媒体1が円盤状の形状を有しており、後述するように、その両面にそれぞれデータを記録するための記録層が形成されている。そして、図1に示す例では、1台の磁気記録再生装置に複数ここでは3枚の磁気記録媒体1が取り付けられている。図2は、図1に示す磁気記録媒体1の断面構成の一例を示す図である。なお、磁気記録媒体1に対するデータの記録方式には面内記録方式と垂直記録方式とが存在するが、本実施の形態では、垂直記録方式において使用される磁気記録媒体1について説明を行う。この磁気記録媒体1は、基板100と、基板100の上に形成された密着層110と、密着層110の上に形成された軟磁性下地層120と、軟磁性下地層120の上に形成された配向制御層130と、配向制御層130の上に形成された非磁性下地層140と、非磁性下地層140の上に形成された垂直記録層150と、垂直記録層150の上に形成された保護層160と、保護層160の上に形成された潤滑層170とを備えている。そして、本実施の形態では、基板100の両面のそれぞれに、密着層110、軟磁性下地層120、配向制御層130、非磁性下地層140、垂直記録層150、保護層160、および潤滑層170が形成されるようになっている。なお、以下の説明においては、必要に応じて、基板100の両面に密着層110から保護層160までを積層したもの、換言すれば、基板100に潤滑層170以外を形成したものを、積層基板180と称することがある。本実施の形態では、基板100として非磁性体が使用されており、例えばアルミニウムやアルミニウム合金などの金属材料からなる金属基板を用いてもよく、例えばガラスや、セラミック、シリコン、シリコンカーバイド、カーボンなどの非金属材料からなる非金属基板を用いてもよい。また、これら金属基板や非金属基板の表面に、例えばメッキ法やスパッタ法などを用いて、NiP層又はNiP合金層が形成されたものを用いることもできる。これらのうち、ガラス基板としては、例えば、通常のガラスや結晶化ガラスなどを用いることができ、通常のガラスとしては、例えば、汎用のソーダライムガラスや、アルミノシリケートガラスなどを用いることができる。また、結晶化ガラスとしては、例えば、リチウム系結晶化ガラスなどを用いることができる。また、セラミック基板としては、例えば、汎用の酸化アルミニウムや、窒化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体、又はこれらの繊維強化物などを用いることができる。また、基板100は、後述するようにCo又はFeが主成分となる軟磁性下地層120と接することで、表面の吸着ガスや、水分の影響、基板成分の拡散などにより、腐食が進行する可能性がある。このため、基板100と軟磁性下地層120との間に密着層110を設けることが好ましい。なお、密着層110の材料としては、例えば、Cr、Cr合金、Ti、Ti合金など適宜選択することが可能である。また、密着層110の厚みは2nm20Å以上であることが好ましい。軟磁性下地層120は、垂直記録方式を採用した場合において、記録再生時のノイズの低減を図るために設けられる。本実施の形態において、軟磁性下地層120は、密着層110の上に形成される第1軟磁性層121と、第1軟磁性層121の上に形成されるスペーサ層122と、スペーサ層122の上に形成される第2軟磁性層123とを備えている。すなわち、軟磁性下地層120は、第1軟磁性層121と第2軟磁性層123とによってスペーサ層122を挟み込んだ構成を有している。これらのうち、第1軟磁性層121および第2軟磁性層123は、Fe:Coを40:60~70:30原子比の範囲で含む材料を用いるのが好ましく、またその透磁率や耐食性を高めるためTa、Nb、Zr、Crからなる群から選ばれる何れか1種を1原子~8原子の範囲で含有させるのが好ましい。また、スペーサ層122としては、Ru、Re、Cu等を用いることができるが、この中では特にRuを用いるのが好ましい。配向制御層130は、非磁性下地層140を介してこの上に積層される垂直記録層150の結晶粒を微細化して、記録再生特性を改善するために設けられる。配向制御層130を構成する材料については、特に限定されるものではないが、hcp構造、fcc構造、アモルファス構造を有するものが好ましい。特に、Ru系合金、Ni系合金、Co系合金、Pt系合金、Cu系合金が好ましく、またこれらの合金を多層化したものを用いてもよい。例えば、基板100側からNi系合金とRu系合金との多層構造、Co系合金とRu系合金との多層構造、Pt系合金とRu系合金との多層構造を採用することが好ましい。非磁性下地層140は、この上に積層される垂直記録層150の初期積層部における結晶成長の乱れを抑制し、記録再生時のノイズの発生を抑制するために設けられる。ただし、非磁性下地層140については、必ずしも設ける必要はない。本実施の形態において、非磁性下地層140は、Coを主成分とする金属に、さらに酸化物を含んだ材料からなることが好ましい。非磁性下地層140におけるCrの含有量は、25原子~50原子とすることが好ましい。非磁性下地層140における酸化物としては、例えばCr、Si、Ta、Al、Ti、Mg、Coなどの酸化物を用いることが好ましく、その中でも特に、TiO2、Cr2O3、SiO2などを好適に用いることができる。非磁性下地層140における酸化物の含有量としては、磁性粒子を構成する、例えばCo、Cr、Pt等の合金を1つの化合物として算出したmol総量に対して、3mol以上18mol以下であることが好ましい。本実施の形態における垂直記録層150は、非磁性下地層140の上に形成される第1磁性層151と、第1磁性層151の上に形成される第1非磁性層152と、第1非磁性層152の上に形成される第2磁性層153と、第2磁性層153の上に形成される第2非磁性層154と、第2非磁性層154の上に形成される第3磁性層155とを備えている。すなわち、垂直記録層150では、第1磁性層151と第2磁性層153とによって第1非磁性層152を挟み込み、第2磁性層153と第3磁性層155とによって第2非磁性層154を挟み込んだ構成を有している。これらのうち、第1磁性層151、第2磁性層153および第3磁性層155は、磁気ヘッド3から供給される磁気エネルギーによって垂直記録層150の厚さ方向に磁化の向きを反転させ、その状態を維持することでデータを記憶するために設けられる。これら第1磁性層151、第2磁性層153および第3磁性層155は、Coを主成分とする金属からなる磁性粒子と非磁性の酸化物とを含み、磁性粒子を酸化物で囲んだグラニュラ型構造を有するものを用いることが好ましい。ここで、第1磁性層151、第2磁性層153および第3磁性層155を構成する酸化物としては、例えばCr、Si、Ta、Al、Ti、Mg、Coなどの酸化物を用いることが好ましい。その中でも特に、TiO2、Cr2O3、SiO2などを好適に用いることができる。また、垂直記録層150の中で最下層となる第1磁性層151については、2種類以上の酸化物からなる複合酸化物を含んでいることが好ましい。その中でも特に、Cr2O3-SiO2、Cr2O3-TiO2、Cr2O3-SiO2-TiO2などを好適に用いることができる。また、第1磁性層151、第2磁性層153および第3磁性層155を構成する磁性粒子に適した材料としては、例えば、90Co14Cr18Pt-10SiO2{Cr含有量14原子、Pt含有量18原子、残部Coからなる磁性粒子を1つの化合物として算出したモル濃度が90mol、SiO2からなる酸化物組成が10mol}、92Co10Cr16Pt-8SiO2、94Co8Cr14Pt4Nb-6Cr2O3の他、CoCrPt-Ta2O5、CoCrPt-Cr2O3-TiO2、CoCrPt-Cr2O3-SiO2、CoCrPt-Cr2O3-SiO2-TiO2、CoCrPtMo-TiO、CoCrPtW-TiO2、CoCrPtB-Al2O3、CoCrPtTaNd-MgO、CoCrPtBCu-Y2O3、CoCrPtRu-SiO2などの構成元素を挙げることができる。また、第1非磁性層152および第2非磁性層154は、垂直記録層150を構成する第1磁性層151、第2磁性層153および第3磁性層155の個々での磁化反転を容易とし、磁性粒子全体での磁化反転の分散を小さくすることで、ノイズを低減するために設けられる。本実施の形態において、第1非磁性層152および第2非磁性層154は、例えばRuおよびCoを含んでいることが好ましい。なお、この例では、垂直記録層150を構成する磁性層を3層第1磁性層151、第2磁性層153および第3磁性層155としていたが、これに限られるものではなく、4層以上の磁性層を備えた構成とすることも可能である。また、この例では、垂直記録層150を構成する各磁性層第1磁性層151、第2磁性層153および第3磁性層155の間に非磁性層第1非磁性層152および第2非磁性層154を設けていたが、これに限られるものではなく、例えば異なる組成を有する2つの磁性層を、重ねて配置するようにしてもかまわない。保護層160は、垂直記録層150の腐食を抑制するとともに、磁気ヘッド3が磁気記録媒体1に接触したときに、磁気記録媒体1の表面の損傷を防いで保護するために設けられる。保護層160としては、従来公知の材料を使用することができ、例えばC、SiO2、ZrO2を含むものを使用することが可能である。保護層160の厚みは、1~10nmとすることが、図1に示す磁気記録再生装置において磁気ヘッド3と磁気記録媒体1との距離を小さくできるので、高記録密度の点から好ましい。潤滑層170は、磁気ヘッド3が磁気記録媒体1に接触したときに磁気ヘッド3および磁気記録媒体1の表面の摩耗を抑制するために設けられる。潤滑層170としては、従来公知の材料を使用することができ、例えばパーフルオロポリエーテル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などの潤滑剤を用いることが好ましい。潤滑層170の厚さは、1~2nmとすることが、図1に示す磁気記録再生装置において磁気ヘッド3と磁気記録媒体1との距離を小さくできるので、高記録密度の点から好ましい。図3は、図1に示す磁気記録媒体1の上面図である。また、図3には、磁気記録媒体1の表面に設けられる複数のデータ領域を模式的に示している。本実施の形態における磁気記録媒体1は、上述したように円盤状の形状を有しており、その中央部には磁気記録媒体1の表裏を貫通する円形状の孔が形成されている。以下の説明では、磁気記録媒体1における円形状の孔の縁を内端1aと称し、磁気記録媒体1における外周の縁を外端1bと称する。図3に示す磁気記録媒体1の表面には、磁気ヘッド3図1参照を用いたデータの読み書きを行うための読み書きデータ記憶領域A1と、磁気ヘッド3を用いたデータの読み書きにおいて磁気ヘッド3の位置決めに用いられるデータ位置決めデータというを記憶する位置決めデータ記憶領域A2とが設けられている。この例において、位置決めデータ記憶領域A2は、磁気記録媒体1の表面に、放射状に複数設けられている。また、磁気記録媒体1の表面には、同心円状に、複数のトラックTが設けられる。なお、図示はしていないが、図3に示す磁気記録媒体1の裏面にも、同様にして、読み書きデータ記憶領域A1と位置決めデータ記憶領域A2とが設けられている。ただし、磁気記録媒体1の表裏面のそれぞれに設けられた位置決めデータ記憶領域A2は、表裏で位置を合わせなくてもかまわない。磁気記録媒体1の位置決めデータ記憶領域A2には、位置決めデータとして、例えば、磁気ヘッド3による読み取り時において検出信号の利得調整に用いられるAGCAutoGainControlパターン、サーボ信号の検出に用いられる検出パターン、サーボトラックのシリンダ情報あるいはセクタ情報の検出に用いられるアドレスパターン、そして目的とするトラックTに磁気ヘッド3を移動させた後にそのトラックT上に磁気ヘッド3を追従させるのに用いられるバーストパターンいずれも図示せず等を含むサーボパターンが記憶されている。なお、サーボパターンは、磁気記録媒体1に設けられた垂直記録層150の厚み方向の磁化の向きを、位置決めデータに合わせて適宜反転させることで構成されている。図4は、本実施の形態における磁気記録媒体1の製造方法の一例を示すフローチャートである。本実施の形態では、磁気記録媒体1の製造過程において、上述した位置決めデータ記憶領域A2にサーボパターンの書き込みを行っていること、より具体的には、後述するマスタ情報記録体200図8参照を用いて、磁気記録媒体1にサーボパターンを磁気転写していることに特徴がある。磁気記録媒体1の製造に先立ち、予め円盤状に形成されるとともに中央部に表裏を貫通する円形状の孔が形成された基板100を準備し、予備洗浄を行った後、この基板100に対する研磨を行うステップ101。ステップ101における基板100の研磨は、例えばダイヤモンドスラリーを用いたメカニカルポリッシュで行うことが望ましい。そして、研磨後の基板100は、その平均表面粗さRaが1nm10Å以下、好ましくは0.5nm以下であるとことが、磁気ヘッド3図1参照を低浮上させた高記録密度記録に適している点から好ましい。また、研磨後の基板100の表面の微小うねりWaが0.3nm以下より好ましくは0.25nm以下。であることが、磁気ヘッド3を低浮上させた高記録密度記録に適している点から好ましい。また、研磨後の基板100の端面のチャンファー部の面取り部と、側面部との少なくとも一方の表面平均粗さRaが10nm以下より好ましくは9.5nm以下。のものを用いることが、磁気ヘッド3の飛行安定性にとって好ましい。なお、微少うねりWaは、例えば、表面荒粗さ測定装置P-12KLM-Tencor社製を用い、測定範囲80μmでの表面平均粗さとして測定することができる。次に、研磨が施された基板100に対し、前洗浄を行うステップ102。ステップ102における基板100の前洗浄は、研磨が施された基板100を、純水あるいは超純水に浸漬して超音波振動を加えながら行うことが好ましい。そして、前洗浄がなされた基板100は、速やかにスピン法等で乾燥させることが好ましい。続いて、前洗浄が施された基板100に対し、密着層110、軟磁性下地層120、配向制御層130、非磁性下地層140、垂直記録層150および保護層160を順次積層する成膜工程を行うステップ103。ここで、生産性を向上させるという観点からすれば、ステップ103における各層の形成を、例えばそれぞれが成膜機能を備えた複数のチャンバを直列に接続したインライン式成膜装置で行うことが好ましい。また、生産性を向上させるという観点からすれば、成膜工程で形成される各層をスパッタリング法で形成することが望ましい。ただし、保護層160の強度を確保しつつ薄膜化するという観点からすれば、密着層110から垂直記録層150についてはスパッタリング法で形成する一方、保護層160についてはCVD法で形成することが好ましい。このように、前洗浄が施された基板100に対し成膜工程を行うことで、積層基板180図2参照が得られる。そして、成膜工程によって得られた積層基板180に対し、後洗浄を行うステップ104。ステップ104における積層基板180の後洗浄は、水素水を用いて行うことができる。ここで、水素水とは、純水もしくは超純水に、高純度の水素ガスを溶解した水であり、水のクラスターを小さくして洗浄能力を高めたものである。本実施の形態の後洗浄工程は、後述するワイピング工程ステップ107、バーニッシュ工程ステップ108では除去しきれない積層基板180表面の汚染物を除去する目的で行われる。これらの汚染物は、後述する潤滑剤塗布工程ステップ105や上記ワイピング工程およびバーニッシュ工程の後では水素水による洗浄除去が困難となる場合がある。その理由は、推測ではあるが、汚染物が潤滑層170に覆われるとその撥水性により除去が困難となること、ワイピング工程およびバーニッシュ工程の後では汚染物が積層基板180の表面に塗り込められ、除去しにくくなってしまうことが考えられる。なお、水素水を用いた後洗浄工程によっても、スパッタダスト等の粉状物をある程度は除去することが可能ではあるが、ワイピング工程およびバーニッシュ工程のように積層基板180の表面をスクラブし、ワイプし、または削る効果が低いため、積層基板180の表面に強固に付着した粉状物を除去することは困難である。よって、この水素水を用いた後洗浄工程は、ワイピング工程やバーニッシュ工程と併用するのが好ましい。後洗浄工程では、保護層160までを形成した積層基板180を、水素水を含む洗浄槽へ浸漬して行うのが好ましい。特に磁気記録媒体1の製造においては、後洗浄工程を設けることで、ワイピング工程やバーニッシュ工程では除去できず、後述する磁気転写工程ステップ111においてマスタ情報記録体に転写、蓄積される汚染物を効果的に除去し、かつ後洗浄工程の実行時に積層基板180を腐食させにくくする効果を有する。ここで、本実施の形態における後洗浄工程について、具体的な例を挙げて説明する。投入する積層基板180の枚数にもよるが、例えば100枚程度の外径2.5インチの積層基板180をバッチ式で処理する場合は、容積30リットル程度の樹脂製またはステンレス合金製の浸漬層に、純水中の溶存水素濃度を0.1ppm~5ppmの範囲内とした水素水を入れ、この水素水の酸化還元電位を-200mV~-800mVの範囲内とし、KOHまたはNH4OHの量を0.05ppm~5ppmの範囲内、必要に応じて弱アルカリ性の界面活性剤を微量添加し、浸漬層に1kW程度の超音波振動を印加し、この浸漬層に積層基板180を10秒~10分の範囲内で浸漬洗浄する。そして後洗浄工程では、好ましくは複数回の洗浄を行うようにし、初期においては上述した条件で洗浄を行い、最後の洗浄では、KOH、NH4OH、あるいは界面活性剤を添加しない、純水および溶存水素のみを含む水素水を用いて超音波振動を加えながら洗浄を行うとよい。そして、後洗浄が終了した積層基板180は、速やかにスピン法等で乾燥させることが好ましい。次に、後洗浄が施された積層基板180に対し、潤滑剤を塗布しステップ105、積層基板180に潤滑層170を形成する。続いて、潤滑層170が塗布された積層基板180を100°C程度で数分間加熱するベークを行うステップ106。これにより、潤滑層170に含まれる水分が揮発し、且つ、積層基板180の最表面側に設けられた保護層160と保護層160に接する潤滑層170との密着性が高まる。以上により、磁気記録媒体1が得られる。次いで、ベークが施された磁気記録媒体1の表面をワイピングするステップ107。ワイピング工程は、磁気記録媒体1の表面に付着したスパッタダスト等を拭き取るために行われる。これは、上述したように、ステップ104の後洗浄工程は水素水への浸漬によるものであり、これだけでは、磁気記録媒体1の表面に強固に付着した粉状物を除去することが困難であるからである。ワイピング工程は、例えば布製のワイピングテープ等を用いて行なわれ、このワイピングテープを磁気記録媒体1の表面に対して相対走行させつつ、ゴム製のコンタクトロールまたはパッドによってワイピングテープ表面を磁気記録媒体1の表面に押し当てることにより、磁気記録媒体1の表面を軽く拭くことによって行われる。このような処理を行うことにより、磁気記録媒体1の表面に付着していたスパッタダスト等が除去されることになる。その結果、得られた磁気記録媒体1を図1に示す磁気記録再生装置に組み込んだ場合に、磁気記録媒体1に対する磁気ヘッド3の浮上量をより小さくすることが可能となる。ここで、ワイピング工程に用いられるワイピングテープとしては、超極細繊維よりなる布帛を帯状にスリットしたワイピングテープや、超極細繊維マルチフィラメント糸の織編物等が用いられる。また、このようなワイピングテープを用いる磁気記録媒体1のワイピング方法は、具体的には、磁気記録媒体1を回転させつつ、この磁気記録媒体1の磁性層側の面に、ワイピングテープの表面拭き面を押し当てることにより行われる。これにより、磁気記録媒体1の表面のスパッタダスト等が拭き取られ、表面が清浄化する。ここで、ワイピングテープは、供給リールと巻取りリールとの間に掛け渡されており、供給リールから順次供給され、巻取りリールに巻き取られる。そして、この供給リール側から巻取りリール側に走行する途中で、ワイピングテープは、拭き面と反対側の面裏面がゴム等のバッキングロールまたはフェルト等により押圧され、その拭き面が磁気記録媒体1の表面に押し当てられる。そして、ワイピングが施された磁気記録媒体1の表面に対しバーニッシュを行うステップ108。バーニッシュ工程は、磁気記録媒体1の表面に形成または付着した突起物を除去するため、その表面を、研磨テープを用いて研磨する工程である。このような処理を行うことにより、得られた磁気記録媒体1を図1に示す磁気記録再生装置に組み込んだ場合に、磁気記録媒体1に対する磁気ヘッド3の浮上量をより小さくすることができる。また、後述する磁気転写工程において、磁気記録媒体1とマスタ情報記録体200との間に隙間が生じて転写パターンが不鮮明となり、マスタ情報記録体200が損傷を受けるのを防ぐことができる。バーニッシュ工程は、アルミナ砥粒を塗布した研磨テープ等を用いて行なわれ、この研磨テープをゴム製のコンタクトロールによって磁気記録媒体1の表面に押し当てることにより、磁気記録媒体1の表面を軽く研磨することにより行われる。このような処理を行うことにより、磁気記録媒体1の表面の異常突起等が除去される。バーニッシュ工程に用いられる研磨テープバーニッシュテープとしては、通常ポリエステル製のベースフィルム上に研磨材層を形成してなるテープを使用する。そして、この研磨材層が磁気記録媒体1の磁性層側の面と接触して摺動することによって、磁気記録媒体1の表面に付着した微小な塵埃が除去されると共に、その表面に存在する異常突起等が研磨除去されて、その表面が平滑化される。研磨材としては、平均粒子径が0.05μm~50μm程度の、酸化クロム、α-アルミナ、炭化珪素、非磁性酸化鉄、ダイヤモンド、γ-アルミナ、α,γ-アルミナ、熔融アルミナ、コランダム、人造ダイヤモンド等が用いられる。また、このような研磨テープを用いる磁気記録媒体1のバーニッシュ加工は、具体的には、磁気記録媒体1を回転させつつ、この磁気記録媒体1の磁性層側の面に、研磨テープの砥粒面を押し当てることにより行われる。これにより、磁気記録媒体1の表面の突起が研磨除去され平滑化される。ここで、研磨テープは、供給リールと巻取りリールとの間に掛け渡されており、供給リールから順次供給され、巻取りリールに巻き取られる。そして、この供給リール側から巻取りリール側に走行する途中で、研磨テープは、砥粒面と反対側の面裏面がゴム等のバッキングロールまたはフェルト等により押圧され、研磨テープの研磨面が磁気記録媒体1の表面に押し当てられる。次に、バーニッシュが施された磁気記録媒体1に対し、初期磁化を行うステップ109。この例では、垂直記録方式で用いられる磁気記録媒体1を対象としているため、初期磁化工程は、磁気記録媒体1の表面に垂直方向に一方向の初期直流磁界を印加することによって行われる。その際に印加する初期直流磁界は永久磁石、電磁石によって発生させることが可能であり、好ましくは、より安定で磁力の強いNdFeB系の焼結磁石を用いて発生させるのが好ましい。また、初期磁化工程は磁気記録媒体1と磁石とを非接触状態で行うことが、磁気記録媒体1の表面の清浄性を維持する上で好ましい。ここで、本実施の形態の磁気記録媒体1における垂直記録層150第1磁性層151、第2磁性層153、第3磁性層155の保磁力Hcは、通常、320kA/m約4000Oe以上になっている。よって、初期磁化工程では、垂直記録層150の各磁性層を直流磁化することが可能な磁石を用いるとよい。その後、初期磁化が施された磁気記録媒体1に対し、表面検査を行うステップ110。表面検査工程では、初期磁化後の磁気記録媒体1の表面への塵埃の付着や異常突起の有無を検査する。そして、表面検査が完了した磁気記録媒体1に対し磁気転写を行いステップ111、磁気記録媒体1にサーボパターンを記憶させた位置決めデータ記憶領域A2図3参照を設ける。なお、ステップ110の表面検査工程およびステップ111の磁気転写工程は、一連の動作として実行されるが、この詳細については後述する。続いて、磁気転写が施された磁気記録媒体1に対しグライド検査を行うステップ112。グライド検査工程では、磁気転写済の磁気記録媒体1の表面に突起物が無いかどうか、実際にヘッドを浮上走行させて検査する。磁気ヘッド3を用いて磁気記録媒体1をデータの書き込み記録および読み出し再生を実行する際に、磁気記録媒体1の表面に浮上量磁気記録媒体1と磁気ヘッド3の間隔以上の高さの突起があると、磁気ヘッド3が突起にぶつかって磁気ヘッド3が損傷したり、磁気記録媒体1に欠陥が発生したりする原因となる。このため、グライド検査では、そのような高い突起の有無を検査する。次いで、グライド検査に合格した磁気記録媒体1に対し、サーティファイ検査を行うステップ113。サーティファイ検査工程では、通常の磁気記録再生装置と同様に、磁気記録媒体1に対して磁気ヘッド3で予め決められた信号を記録した後、記録した信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体1の記録不良を検出し、磁気記録媒体1の電気特性や欠陥の有無など磁気記録媒体1の品質を確かめる。上述した方法で製造した磁気記録媒体1には、既にサーボパターンが書き込まれているため、サーボ情報を用いない従来の方式でのサーティファイ検査を実施することが困難となっている。このため、本実施の形態では、磁気記録媒体1に磁気転写されたサーボパターン位置決めデータを利用して磁気ヘッド3を特定箇所に位置づけし、データの読み書きを行う形式の検査を行う。そして、サーティファイ検査に合格した磁気記録媒体1が、製品として出荷されることになる。では、上述したステップ110における表面検査工程およびステップ111における磁気転写工程について、より詳細に説明する。図5は、表面検査および磁気転写を行うための表面検査磁気転写装置10の上面図である。また、図6は、図5に示す矢印VI方向からみた表面検査磁気転写装置10の斜視図である。なお、以下では、図5において、図中左側から右側に向かう方向をX方向、図中下側から上側に向かう方向をY方向、そして図中奥側から手前側に向かう方向をZ方向として説明を行う。表面検査磁気転写装置10は、Y方向に対してX方向が長辺側となる矩形状の基台11と、ステップ109に示す初期磁化が施された磁気記録媒体1を収容する転写前媒体収容部12と、転写前媒体収容部12から取り出された磁気記録媒体1に対しステップ110に示す表面検査を行う表面検査部13と、表面検査がなされた磁気記録媒体1にサーボパターンを磁気転写する磁気転写部14と、サーボパターンの磁気転写がなされた磁気記録媒体1を収容する転写済媒体収容部15と、表面検査部13による表面検査の結果が不合格となった磁気記録媒体1を収容する不具合品収容部16とを備える。また、表面検査磁気転写装置10は、表面検査がなされた磁気記録媒体1を磁気転写部14へと供給するとともに磁気転写がなされた磁気記録媒体1を磁気転写部14から回収するために磁気記録媒体1を移載する移載部17と、転写前媒体収容部12、表面検査部13、転写済媒体収容部15、不具合品収容部16および移載部17の間で磁気記録媒体1の授受を行うスカラSCARA:SelectiveComplianceAssemblyRobotArmロボット18とをさらに備える。そして、表面検査磁気転写装置10は、移載部17に保持された磁気記録媒体1の磁気転写部14に対する位置決めに用いられる位置検出部19と、磁気転写部14に対する位置決めがなされた磁気記録媒体1の振動検出に用いられる振動検出部20とをさらに備える。表面検査磁気転写装置10において、転写前媒体収容部12、表面検査部13、磁気転写部14、転写済媒体収容部15、不具合品収容部16、移載部17、スカラロボット18、位置検出部19および振動検出部20は、基台11の上部側に配置されている。これに対し、表面検査部13、磁気転写部14、移載部17、スカラロボット18、位置検出部19および振動検出部20の駆動系は、基台11よりも下部側に配置されている。また、本実施の形態の表面検査磁気転写装置10は、ダウンフロー方式を採用したクリーンルーム内に配置されており、表面検査磁気転写装置10には、上方から下方図5において-Z方向に空気が流れるようになっている。なお、以下の説明においては、転写前媒体収容部12から表面検査部13を介して、磁気転写部14あるいは不具合品収容部16に供給される、磁気転写工程実行前の磁気記録媒体1を転写前媒体と称する。また、以下の説明では、磁気転写部14から転写済媒体収容部15に供給される、磁気転写工程実行後の磁気記録媒体1を転写済媒体と称する。転写前媒体収容部12は複数の転写前媒体を立てた状態で収容可能な収容容器12aを、転写済媒体収容部15は複数の転写済媒体を立てた状態で収容可能な収容容器15aを、そして、不具合品収容部16は複数の転写前媒体不具合品を立てた状態で収容可能な収容容器16aを、それぞれ備えている。ここで、これら収容容器12a、15a、16aには、共通の構造を有するものを用いている。そして、転写前媒体収容部12においては転写前媒体が空になったときに、転写済媒体収容部15においては転写済媒体がいっぱいになったときに、そして不具合品収容部16においては転写前媒体不具合品がいっぱいになったときに、それぞれ新たなものと交換されるようになっている。表面検査部13は、スカラロボット18によって転写前媒体収容部12から運ばれてきた転写前媒体の両面について表面検査を行う。表面検査部13における表面検査の手法としては、例えば図示しないレーザ光源を用いて転写前媒体の両面を走査し、その反射光に基づいて表面における異常突起等の有無を検出するものが挙げられる。搬入搬出手段の一例としての移載部17は、基台11に搭載されるとともにX方向に伸びる直動案内部17aと、直動案内部17aの上部に搭載されて直動案内部17aに沿ってX方向および-X方向に移動する直動部17bとを備える。また、直動部17bは、-X方向に伸びる腕木部17cと、腕木部17cの自由端側から-Y方向に伸び、磁気転写部14に供給する転写前媒体を保持するための供給チャック部17dと、供給チャック部17dよりも直動部17bに近い側において腕木部17cから-Y方向に伸び、磁気転写部14から回収した転写後媒体を保持するための回収チャック部17eとを備える。スカラロボット18は、基台11に搭載された基部18aと、基部18aの上部に取り付けられ水平方向X方向およびY方向への移動が許容されたアーム部18bとを備えている。そして、アーム部18bの自由端には、上下方向Z方向および-Z方向に移動するスライド軸図示せずが設けられており、このスライド軸には、磁気記録媒体1転写前媒体および転写済媒体の両者を保持するためのチャック部図示せずが取り付けられている。位置検出部19は、例えばレーザ等からなる光源とCCDChargeCoupledDeviceイメージセンサ等からなる受光部とを備えている。そして、位置検出部19は、磁気転写部14の近傍において移載部17の供給チャック部17dに保持された転写前媒体の位置を検出するようになっている。なお、本実施の形態では、移載部17と位置検出部19とによって位置決め部が構成されている。検出部の一例としての振動検出部20は、例えばレーザ等からなる光源とCCDイメージセンサ等からなる受光部とを備えている。そして、振動検出部20は、磁気転写部14の近傍において移載部17の供給チャック部17dに保持された転写前媒体の振動を検出するようになっている。次に、磁気転写部14について説明する。磁気転写手段の一例としての磁気転写部14は、基台11に固定された状態で搭載され、サーボパターンが予め記録されたマスタ情報記録体200を固定した状態で保持する固定ホルダ30と、固定ホルダ30に対向して配置されるとともに、基台11に対しY方向および-Y方向に移動できるように配置され、サーボパターンが予め磁気的に記録されたマスタ情報記録体200を固定した状態で保持する可動ホルダ40とを備える。なお、保持体の一例としての固定ホルダ30に取り付けられたマスタ情報記録体200および可動ホルダ40に取り付けられたマスタ情報記録体200は、互いに対向した状態で配置されている。また、パターン形成体あるいは第1パターン形成体の一例としてのマスタ情報記録体200を保持した固定ホルダ30の背面側には、第1磁石51を備えた第1磁石部材50が配置されている。第1磁石部材50は、固定ホルダ30に対向配置される第1磁石51と、第1磁石51を保持する第1磁石保持部52と、第1磁石保持部52の背面側からY方向に沿って伸びる第1磁石支持部53とを備えている。第1磁石支持部53は、基台11に対しY方向には固定された状態で支持され、且つ、図中矢印方向には回転可能に支持されている。これにより、第1磁石支持部53の回転に伴って第1磁石保持部52に保持された第1磁石51が回転するようになっている。一方、マスタ情報記録体200を保持した可動ホルダ40の背面側には、第2磁石61を備えた第2磁石部材60が配置されている。第2磁石部材60は、可動ホルダ40に対向配置される第2磁石61と、第2磁石61を保持する第2磁石保持部62と、第2磁石保持部62の背面側からY方向に沿って伸びる第2磁石支持部63とを備えている。第2磁石支持部63は、基台11に対しY方向および-Y方向に進退可能に支持され、且つ、図中矢印方向に回転可能に支持されている。これにより、第2磁石支持部63の進退に伴って第2磁石保持部62に保持された第2磁石61が進退するとともに、第2磁石支持部63の回転に伴って第2磁石保持部62に保持された第2磁石61が回転するようになっている。図7は、磁気転写部14における第1磁石部材50、第2磁石部材60の構成および両者の相互的な位置関係の一例を示す図である。第1磁石部材50において、第1磁石51は、第1磁石保持部52に対し、第1磁石支持部53の回転中心から偏倚した位置に放射方向に取り付けられている。また、第1磁石51は、固定ホルダ30と対向する側が一方の極性の磁極例えばN極となるように第1磁石保持部52に保持されている。一方、第2磁石部材60において、第2磁石61は、第2磁石保持部62に対し、第2磁石支持部63の回転中心から偏倚した位置に放射方向に取り付けられている。また、第2磁石61は、可動ホルダ40と対向する側が他方の極性の磁極例えばS極となるように第2磁石保持部62に保持されている。そして、本実施の形態では、第1磁石51と第2磁石61とが、固定ホルダ30および可動ホルダ40を挟んで対向するように配置される。また、第1磁石部材50および第2磁石部材60は、第1磁石51と第2磁石61とを対向させた状態を維持しながら、ともに回転するように構成されている。なお、本実施の形態では、これら第1磁石部材50と第2磁石部材60とによって、一対の磁石部材が構成されている。図8は、磁気転写部14で用いられるマスタ情報記録体200の構成の一例を示す図である。ここで、図8aはマスタ情報記録体200の上面図を、また、図8bは図8aにおけるVIIIB-VIIIB断面図を、それぞれ示している。パターン形成体の一例としてのマスタ情報記録体200は、磁気記録媒体1よりも直径が大きい円盤状の形状を有している。また、マスタ情報記録体200の一方の面第1形成面あるいは第2形成面に対応には、サーボパターンに対応する微細な凹凸が形成されたサーボパターン形成領域SPが設けられている。この例において、サーボパターン形成領域SPは、マスタ情報記録体200の一方の面に、中央部と外縁部とを除いて、放射状に複数設けられている。なお、図5等に示す固定ホルダ30あるいは可動ホルダ40にマスタ情報記録体200を取り付けた際には、サーボパターン形成領域SPを設けた面が、互いに露出した状態で対向し、それぞれが第1形成面あるいは第2形成面となる。また、固定ホルダ30に取り付けられる方のマスタ情報記録体200の中央部には、表裏を貫通する第1貫通孔200aおよび第2貫通孔200bが設けられている。これら第1貫通孔200aおよび第2貫通孔200bは、マスタ情報記録体200においてサーボパターン形成領域SPよりも内側中心側に設けられている。なお、可動ホルダ40に取り付けられる方のマスタ情報記録体200には、これら第1貫通孔200aおよび第2貫通孔200bは不要である。この理由については後述する。次に、マスタ情報記録体200の構造について説明すると、マスタ情報記録体200は、円盤状の基体201と、この基体201の一方の面に形成されたマスタ磁性層202と、マスタ磁性層202の上に形成されたマスタ保護層203とを備えている。ここで、図8bは、サーボパターン形成領域SPにおけるマスタ情報記録体200の断面構成を示しており、この部位には、サーボパターンに対応した凸部204および凹部205が存在している。なお、マスタ情報記録体200の一方の面のうち、サーボパターン形成領域SP以外の領域は、マスタ情報記録体200と磁気記録媒体1との吸着を防ぐため、サーボパターン形成領域SPにおける凹部205と同じ高さとなっている。マスタ情報記録体200は公知の方法によって製造できるが、例えば次の製造方法を掲げることができる。先ず、シリコンウェハの表面に電子線レジストをスピンコート法により塗布する。塗布後、このレジストに対し、電子線露光装置を用いて、サーボパターンに対応させて変調した電子ビームを照射し、レジストを露光する。その後、レジストを現像し、未露光部分を除去して、シリコンウェハ上にレジストのパターンを形成する。次いで、このレジストパターンをマスクとして用い、シリコンウェハに対して反応性エッチング処理を行い、レジストでマスクされていない箇所を掘り下げる。このエッチング処理後、シリコンウェハ上に残存するレジストを溶剤で洗浄除去する。その後、シリコンウェハを乾燥させてマスタ情報記録体200を作製するための原盤を得る。この原盤上に、Niからなる導電層をスパッタリング法により10nm程度形成する。その後、この導電層を形成した原盤を母型として用い、電鋳法により、この原盤上に数μm厚のNi層を形成する。その後、Ni層を原盤から外し、このNi層を洗浄等して、表面に凸部を配設した基体201を得る。次いで、この基体201の表面にマスタ磁性層202を形成する。このマスタ磁性層202については磁気記録媒体1に用いられる磁性層第1磁性層151等と同じものが使用できる。またマスタ磁性層202の上には磁気記録媒体1と同様にマスタ保護層203を形成する。このマスタ保護層203は、マスタ情報記録体200の耐摩耗性すなわちマスタ情報記録体200の転写耐久性を高めるものであり、数nm程度の厚さの硬質炭素膜等を用いることができる。以上の製造工程によってマスタ情報記録体200を得ることができる。なお、このようにして得られたマスタ情報記録体200は、例えば10万枚以上の磁気記録媒体の製造磁気転写に繰り返し使用される。図9は、磁気転写部14における固定ホルダ30および可動ホルダ40の断面構成の一例を示す図である。なお、図9では、固定ホルダ30に磁気記録媒体1を取り付けた状態を例示している。これらのうち、保持体あるいは第2保持体の一例としての固定ホルダ30は、マスタ情報記録体200の保持面と第1磁石部材50との対向面とを貫通し、マスタ情報記録体200の保持面においてマスタ情報記録体200の取り付け位置中央部に開口が設けられた2つの第1吸引路31と、マスタ情報記録体200の保持面と第1磁石部材50との対向面とを貫通し、マスタ情報記録体200の保持面においてマスタ情報記録体200の取り付け位置の外側に開口が設けられた2つの第2吸引路32とを備える。また、固定ホルダ30は、マスタ情報記録体200の保持面において第2吸引路32の開口よりも外側に周方向に沿って取り付けられたOリング33を備えている。なお、固定ホルダ30のマスタ情報記録体200の保持面での第1吸引路31の2つの開口には、固定ホルダ30にマスタ情報記録体200を取り付けた際に、マスタ情報記録体200側の第1貫通孔200aおよび第2貫通孔200bが重ね合わされるようになっている。これに対し、保持体あるいは第2保持体の一例としての可動ホルダ40は、固定ホルダ30と対向する側の面にマスタ情報記録体200を保持するとともに、その背面側には第2磁石部材60が設けられた記録体保持部40aと、記録体保持部40aの周縁を覆うように設けられた筒状体40bとを備えている。また、可動ホルダ40は、筒状体40bの内周面に周方向に沿って取り付けられ、周方向にわたって記録体保持部40aの外周面に接触するOリング41とを備えている。ここで、可動ホルダ40を構成する記録体保持部40aおよび筒状体40bは、互いに独立して固定ホルダ30に対し進退可能に取り付けられている。また、筒状体40bの固定ホルダ30と対向する側の端部は、固定ホルダ30に設けられたOリング33に対し一周にわたって対向し且つ接触するようになっている。なお、可動ホルダ40の記録体保持部40aには、固定ホルダ30のような吸引路は設けられていない。このため、記録体保持部40aに取り付けられるマスタ情報記録体200には、第1貫通孔200aおよび第2貫通孔200bを設けておく必要がない。また、固定ホルダ30には、超音波の周波数領域で振動する第1超音波振動子81が取り付けられている。振動子の一例としての第1超音波振動子81は、固定ホルダ30においてマスタ情報記録体200を保持する面とは異なる部位に固定されている。一方、可動ホルダ40における記録体保持部40aには、超音波の周波数領域で振動する第2超音波振動子82が取り付けられている。振動子の一例としての第2超音波振動子82は、記録体保持部40aにおいてマスタ情報記録体200を保持する面とは異なる部位に固定されている。したがって、第2超音波振動子82は、記録体保持部40aの進退に伴って進退するようになっている。これら第1超音波振動子81および第2超音波振動子に用いられる超音波振動子としては、発振周波数1kHz~300kHz程度の範囲内のものが使用可能であり、発振出力は振動子の取り付け部分の大きさにもよるが、50W~3kWの範囲内のものが好ましい。図10は、図5に示す表面検査磁気転写装置10における制御ブロックの一例を示す図である。表面検査磁気転写装置10は、装置全体の動作を制御するためのコントローラ70を備えている。制御手段の一例としてのコントローラ70には、表面検査部13による転写前媒体の表面検査結果、位置検出部19による転写前媒体の位置検知結果、そして振動検出部20による転写前媒体の振動検知結果が入力されるようになっている。また、コントローラ70は、表面検査部13、位置検出部19、振動検出部20、スカラロボット18を駆動するロボット駆動部71、移載部17に設けられた直動部17bを駆動する直動駆動部72、移載部17に設けられた供給チャック部17dを駆動する供給チャック駆動部73、移載部17に設けられた回収チャック部17eを駆動する回収チャック駆動部74、磁気転写部14に設けられた可動ホルダ40記録体保持部40a、筒状体40bを駆動する可動ホルダ駆動部75、固定ホルダ30の第1吸引路31および第2吸引路32に接続された吸引機構図示せずを駆動する吸引駆動部76、第1磁石部材50を駆動する第1磁石駆動部77、第2磁石部材60を駆動する第2磁石駆動部78、固定ホルダ30に取り付けられた第1超音波振動子81、可動ホルダ40の記録体保持部40aに取り付けられた第2超音波振動子82に、それぞれ制御信号を出力するようになっている。では、図5乃至図10を用いて、表面検査磁気転写装置10による表面検査工程および磁気転写工程について説明を行う。なお、以下に説明する動作は、コントローラ70によって制御される。また、初期状態において、表面検査磁気転写装置10を構成する各部は、図5に示した位置に配置されているものとする。そして、初期状態では、第1超音波振動子81および第2超音波振動子82に対する給電は行われておらず、これらは静止しているものとする。したがって、第1超音波振動子81が取り付けられた固定ホルダ30並びに固定ホルダ30に取り付けられたマスタ情報記録体200、および、第2超音波振動子82が取り付けられた可動ホルダ40並びに可動ホルダ40に取り付けられたマスタ情報記録体200は、それぞれ静止した状態におかれている。さらに、以下の説明では、図5に示した直動部17b直動部17bに設けられた腕木部17c、さらに腕木部17cに設けられた供給チャック部17dおよび回収チャック部17eを含むの位置を、待機位置と呼ぶ。動作の開始に伴い、スカラロボット18のアーム部18bが、転写前媒体収容部12に収容される転写前媒体を1枚チャックして取り出し、チャックした転写前媒体を表面検査部13に向けて移送する。続いて、移送されてきた転写前媒体を表面検査部13に設けられたチャック機構図示せずが保持すると、アーム部18bが転写前媒体のチャックを解除し、表面検査部13から待避する。次いで、表面検査部13は、保持した転写前媒体の両面についてそれぞれ表面検査を行う。表面検査部13による検査が完了すると、スカラロボット18のアーム部18bが表面検査部13側に移動し、アーム部18bが表面検査部13に保持された転写前媒体をチャックした後、表面検査部13がこの転写前媒体のチャックを解除する。ここで、表面検査の結果について、コントローラ70が少なくともいずれか一方の面が不合格であると判断した場合は、アーム部18bが、チャックした転写前媒体を不具合品収容部16に向けて移送し、チャックを解除して不具合品収容部16に収容させた後、不具合品収容部16から待避する。一方、表面検査の結果について、コントローラ70が両面とも合格であると判断した場合は、アーム部18bが、チャックした転写前媒体を待機位置におかれた直動部17bの供給チャック部17dと対向する位置に向けて搬送する。そして供給チャック部17dがアーム部18bに保持された転写前媒体をチャックした後、アーム部18bがこの転写前媒体のチャックを解除し、供給チャック部17dと対向する位置から待避する。続いて、待機位置にある直動部17bが、-X方向に沿って移動を開始する。そして、直動部17bは、供給チャック部17dに保持された転写前媒体が、磁気転写部14において固定ホルダ30および可動ホルダ40に挟まれた状態となるように移動していく。この間、位置検出部19は、供給チャック部17dに保持された転写前媒体が、磁気転写部14に設けられた2枚のマスタ情報記録体200と正対する位置に到達したか否かを検出している。この位置の検出結果に基づき、コントローラ70は、供給チャック部17dに保持された転写前媒体が、磁気転写部14に設けられた2枚のマスタ情報記録体200と正対する位置に到達した時点で直動部17bの駆動を停止させる。そして、以下の説明においては、供給チャック部17dに保持された転写前媒体が2枚のマスタ情報記録体200と正対する際の直動部17bの位置を、供給位置と呼ぶ。なお、マスタ情報記録体200の中心に対する転写前媒体の中心の位置決めの要求精度は、±7.5μm、より好ましくは±5.0μmの範囲内であれば十分である。なぜなら、転写前媒体に磁気転写されるサーボパターンが、仮に転写前媒体の中心に対して偏心していたとしても、磁気転写後のサーボパターンを用いて磁気ヘッド3がトラックTに追従することができるのであれば、磁気記録媒体1に対するデータの読み書きは可能となるからである。他方、動作が開始されてから転写前媒体が2枚のマスタ情報記録体200と対向する位置に到達するまでの間に、第1超音波振動子81および第2超音波振動子82のそれぞれに対する、給電の開始および停止が行われる。給電に伴って第1超音波振動子81が超音波振動すると、この振動は、固定ホルダ30を介して、固定ホルダ30に取り付けられたマスタ情報記録体200に伝達される。そして、この振動により、このマスタ情報記録体200のサーボパターン形成面に付着していた埃等の異物が、サーボパターン形成面から離れることで、異物の除去がなされる。また、給電に伴って第2超音波振動子82が超音波振動すると、この振動は、可動ホルダ40に設けられた記録体保持部40aを介して、記録体保持部40aに取り付けられたマスタ情報記録体200に伝達される。そして、この振動により、このマスタ情報記録体200のサーボパターン形成面に付着していた埃等の異物が、サーボパターン形成面から離れることで、異物の除去がなされる。これら第1超音波振動子81および第2超音波振動子82のそれぞれによる振動時間は、1秒~30秒の範囲内程度であるが、磁気転写工程の生産性の低下を抑制するという観点からすれば、数秒程度とするのが好ましい。なお、この期間が、振動させる工程、および、第1パターン形成体を振動させる工程並びに第2パターン形成体を振動させる工程に対応している。また、振動検出部20は、位置決めに伴って供給位置に停止した直動部17bの供給チャック部17dに取り付けられた転写前媒体の振動の大きさを検出している。そして、コントローラ70は、振動検出部20によって検出された振動の大きさが磁気記録媒体1のデータ面に対して平行の方向、すなわちX軸およびZ軸を含む面において±1.0μm以下となった後に、第1吸引路31を介した吸引を開始させることで固定ホルダ30側に転写前媒体をチャックさせ、固定ホルダ30に取り付けられたマスタ情報記録体200に転写前媒体の一方の面を接触させる。そして、固定ホルダ30側に転写前媒体をチャックしてから、供給チャック部17dはこの転写前媒体のチャックを解除する。そして、転写前媒体の保持を解除した直動部17bは、X方向に向かって移動した後、待機位置で停止する。なお、固定ホルダ30側のマスタ情報記録体200の微振動超音波によるものは、固定ホルダ30側のマスタ情報記録体200に転写前媒体を接触させるまでの間に、停止していることが望ましい。続いて、磁気転写部14において、可動ホルダ40記録体保持部40a、筒状体40bおよび第2磁石部材60が固定ホルダ30側に近づく方向へと移動を開始する。これに伴い、まず、筒状体40bの周部端面が固定ホルダ30に設けられたOリング33に突き当たった後に停止する。また、記録体保持部40aおよび第2磁石部材60は、筒状体40bが停止した後も固定ホルダ30側に近づく方向へと移動を続け、固定ホルダ30に設けられたマスタ情報記録体200と可動ホルダ40の記録体保持部40aに設けられたマスタ情報記録体200とによって転写前媒体を挟み込んだ後に停止する。なお、記録体保持部40aの停止位置は予め決められており、その結果、2枚のマスタ情報記録体200および1枚の転写前媒体には、予め設定された軽い荷重が加えられる。また、このとき、固定ホルダ30と記録体保持部40aと筒状体40bとの間には、固定ホルダ30に設けられたOリング33と筒状体40bに設けられたOリング41とを用いて、閉空間が形成される。続いて、第2吸引路32を介した吸引を開始させることで、閉空間内に存在する2枚のマスタ情報記録体200と1枚の転写前媒体との間に存在する隙間が真空引きされ、閉空間内外の差圧によって2枚のマスタ情報記録体200の各サーボパターン形成領域SPの形成面と1枚の転写前媒体の両面とがそれぞれ密着していく。なお、可動ホルダ40側のマスタ情報記録体200の微振動超音波によるものは、可動ホルダ40側のマスタ情報記録体200に転写前媒体を接触させるまでの間に、停止していることが望ましい。なお、この期間が、接触させる工程に対応している。次に、第1磁石部材50および第2磁石部材60は、第1磁石支持部53および第2磁石支持部63を軸とし、2枚のマスタ情報記録体200と1枚の転写前媒体とを挟んで、第1磁石51および第2磁石61を対向させた状態を維持しながら少なくとも1回転する。第1磁石51および第2磁石61が1回転する間、2枚のマスタ情報記録体200に挟まれた転写前媒体では、第1磁石51および第2磁石61により、初期磁化工程とは逆向きの直流磁界が周方向に順次印加される。すると、転写前媒体のうち、固定ホルダ30側のマスタ情報記録体200と接する側では、このマスタ情報記録体200の凹部205と対向する部位における磁性層の磁化の向きは初期磁化工程後の状態を維持するものの、凸部204と接する部位における磁性層の磁化の向きは反転した状態となる。また、この転写前媒体のうち、可動ホルダ40側のマスタ情報記録体200と接する側でも、このマスタ情報記録体200の凹部205と対向する部位における磁性層の磁化の向きは初期磁化工程後の状態を維持するものの、凸部204と接する部位における磁性層の磁化の向きは反転した状態となる。このようにして、転写前媒体の両面には、それぞれ、マスタ情報記録体200に設けられた凹凸の配列からなるサーボパターンが、磁化の向きの配列からなるサーボパターンとして転写される。その結果、転写前媒体は、位置決めデータ記憶領域A2にサーボパターンが記憶された転写済媒体となる。なお、この期間が、磁気転写する工程に対応している。このようにして磁気転写が完了すると、まず、第2吸引路32を介した吸引を停止して閉空間内を大気圧とし、次いで、可動ホルダ40記録体保持部40a、筒状体40bおよび第2磁石部材60が元の位置への後退を開始する。これにより、固定ホルダ30に保持された転写済媒体は、外部に露出した状態となる。ところで、直動部17bは、上述したように、供給チャック部17dに保持した転写前媒体を、供給位置において固定ホルダ30側に受け渡した後、待機位置に戻って停止している。そして、この表面検査磁気転写装置10では、磁気転写部14で前の転写前媒体に磁気転写を行うのと並行して、次の転写前媒体の準備を行っている。すなわち、前の転写前媒体への磁気転写と並行して、スカラロボット18を用いた転写前媒体収容部12からの次の転写前媒体の取り出し、表面検査部13による次の転写前媒体の検査、そして、待機位置にある直動部17bの供給チャック部17dによる次の転写前媒体のチャックが行われる。なお、供給チャック部17dによる次の転写前媒体のチャックは、前の転写前媒体への磁気転写が完了するまで転写前媒体が転写済媒体となるまでに終了していることが、生産性の観点から好ましい。そして、磁気転写部14において前の転写前媒体への磁気転写が完了し、且つ、次の転写前媒体の供給チャック部17dへのチャックが完了した状態で、待機位置にある直動部17bが、-X方向に沿って移動を開始する。そして、直動部17bは、何も保持していない回収チャック部17eが、磁気転写部14において固定ホルダ30および可動ホルダ40に挟まれた状態となるように移動していく。その後、直動部17bは、回収チャック部17eが、固定ホルダ30に真空チャックされた転写済媒体と正対する位置に到達して停止する。このとき、コントローラ70が、位置検出部19による位置検出結果に基づく直動部17bの停止位置の制御を行うようにしてもよい。なお、以下の説明においては、回収チャック部17eが固定ホルダ30に保持された転写済媒体と正対する際の直動部17bの位置を、回収位置と呼ぶ。次に、回収チャック部17eが転写済媒体をチャックし、その後固定ホルダ30による転写済媒体の真空チャックを解除する。続いて、回収位置におかれた直動部17bは、回収チャック部17eに転写済媒体を保持し、供給チャック部17dに次の転写前媒体を保持した状態で、X方向に移動を開始する。そして、直動部17bは、供給チャック部17dに保持された転写前媒体が、磁気転写部14において固定ホルダ30および可動ホルダ40に挟まれた状態となるように、再び供給位置に向かって移動していく。この間、位置検出部19は、供給チャック部17dに保持された次の転写前媒体が、磁気転写部14に設けられた2枚のマスタ情報記録体200と正対する位置に到達したか否かを検出している。この位置の検出結果に基づき、コントローラ70は、供給チャック部17dに保持された次の転写前媒体が、磁気転写部14に設けられた2枚のマスタ情報記録体200と正対する位置に到達した時点すなわち供給位置に到達した時点で直動部17bの駆動を停止させる。他方、転写済媒体が回収チャック部17eに回収されてから次の転写前媒体が2枚のマスタ情報記録体200と対向する位置に到達するまでの間に、第1超音波振動子81および第2超音波振動子82のそれぞれに対する、給電の開始および停止が行われる。給電に伴って第1超音波振動子81が超音波振動すると、この振動は、固定ホルダ30を介して、固定ホルダ30に取り付けられたマスタ情報記録体200に伝達される。そして、この振動により、このマスタ情報記録体200のサーボパターン形成面に付着していた埃等の異物が、サーボパターン形成面から離れることで、異物の除去がなされる。また、給電に伴って第2超音波振動子82が超音波振動すると、この振動は、可動ホルダ40に設けられた記録体保持部40aを介して、記録体保持部40aに取り付けられたマスタ情報記録体200に伝達される。そして、この振動により、このマスタ情報記録体200のサーボパターン形成面に付着していた埃等の異物が、サーボパターン形成面から離れることで、異物の除去がなされる。なお、この期間が、2度目の振動させる工程、および、第1パターン形成体および第2パターン形成体をそれぞれ振動させる工程に対応している。また、振動検出部20は、位置決めに伴って供給位置に停止した直動部17bの供給チャック部17dに取り付けられた次の転写前媒体の振動の大きさを検出している。そして、コントローラ70は、振動検出部20によって検出された振動の大きさが磁気記録媒体1のデータ面に対して平行の方向で±1.0μm以下となった後に、第1吸引路31を介した吸引を開始させることで固定ホルダ30側に次の転写前媒体を真空チャックし、固定ホルダ30に取り付けられたマスタ情報記録体200に次の転写前媒体の一方の面を接触させる。なお、固定ホルダ30側に次の転写前媒体を真空チャックしてから、供給チャック部17dはこの次の転写前媒体のチャックを解除する。その後、この次の転写前媒体には、上述した手順を経てサーボパターンの磁気転写がなされる。これに対し、転写済媒体を保持する一方で次の転写前媒体の保持を解除した直動部17bは、X方向に向かって移動した後、待機位置で停止する。次いで、スカラロボット18のアーム部18bが、待機位置で停止した直動部17bの回収チャック部17eに保持された転写済媒体と対向する位置に移動する。続いて、アーム部18bが、回収チャック部17eに保持された転写済媒体をチャックした後、回収チャック部17eが転写済媒体のチャックを解除する。そして、アーム部18bが、チャックした転写済媒体を転写済媒体収容部15に向けて移送し、チャックを解除して転写済媒体収容部15に収容させた後、転写済媒体収容部15から待避し、さらに次の転写前媒体の取り出しを開始する。以降、上述した手順を繰り返すことにより、転写前媒体の取り出し、転写前媒体に対する表面検査、転写前媒体に対するサーボパターンの磁気転写、サーボパターンが転写された転写済媒体の回収が順次行われていく。上述した磁気転写工程では、2枚のマスタ情報記録体200によって1枚の転写前媒体を挟み込んでいるため、各マスタ情報記録体200のサーボパターン形成面に埃等の異物が付着していた場合に、サーボパターン形成面と転写前媒体との間において異物の噛み込みが生じてしまうおそれがある。そして、このような噛み込みが生じた場合、転写前媒体だけでなく、異物が付着していた側のマスタ情報記録体200にも傷が形成されることになってしまい、マスタ情報記録体200の交換を余儀なくされてしまう。本実施の形態において、表面検査磁気転写装置10は、例えばクリーンルーム内に配置されて磁気転写に供されるが、クリーンルーム内においても、埃等の異物が浮遊していることがある。したがって、複数枚の磁気記録媒体1に対し連続して順次磁気転写を行うような場合に、露出した各マスタ情報記録体200のサーボパターン形成面に、異物が付着することがあり得る。これに対し、本実施の形態では、転写前媒体への磁気転写が完了し、次の転写前媒体への磁気転写を開始するまでの間に、各マスタ情報記録体200に超音波振動を与えることで、各マスタ情報記録体200のサーボパターン形成面に付着した異物を除去するようにした。したがって、磁気転写において上述した噛み込みが生じにくくなり、マスタ情報記録体200の機械的な破損および低寿命化を抑制することができる。特に、本実施の形態では、磁気転写工程で使用する固定ホルダ30にマスタ情報記録体200を保持させたまま、固定ホルダ30側に保持されたマスタ情報記録体200に、固定ホルダ30を介して超音波振動を与え、また、磁気転写工程で使用する可動ホルダ40にマスタ情報記録体200を保持させたまま、可動ホルダ40側に保持されたマスタ情報記録体200に、可動ホルダ40を介して超音波振動を与えるようにした。これにより、異物除去のために各ホルダからマスタ情報記録体200を取り外す必要がなくなり、結果として磁気転写工程における生産性の低下を抑制することができる。また、上述した磁気転写工程では、大きく振動した状態のままの転写前媒体をマスタ情報記録体200に接触させた場合、転写前媒体によってマスタ情報記録体200の接触面が傷つけられてしまい、結果として、マスタ情報記録体200の寿命転写に使用しうる回数が短くなってしまうおそれがある。特に、本実施の形態では、マスタ情報記録体200に凹凸によるサーボパターンを形成しているため、転写前媒体との接触時に凹凸が欠けたり変形してしまったりした場合には、以降の磁気転写において転写不良が生じてしまうことになる。これに対し、本実施の形態では、供給されてくる転写前媒体を、磁気転写部14に設けられたマスタ情報記録体200に対して位置決めして停止させた後、転写前媒体の振動が減衰した状態で、マスタ情報記録体200に接触させるようにした。これにより、転写前媒体とマスタ情報記録体200との接触に起因するマスタ情報記録体200の機械的な破損および低寿命化を抑制することができる。一方、上述した磁気転写工程では、超音波によって振動した状態のままのマスタ情報記録体200に転写前媒体に接触させた場合に、転写前媒体によってマスタ情報記録体200の接触面が傷つけられてしまい、結果として、マスタ情報記録体200の寿命転写に使用しうる回数が短くなってしまうおそれがある。これに対し、本実施の形態では、超音波振動子の振動が停止された後、マスタ情報記録体200の微振動が停止する時刻を経過した後に、マスタ情報記録体200と転写前媒体との接触を開始するようにした。これにより、転写前媒体とマスタ情報記録体200との接触に起因するマスタ情報記録体200の機械的な破損および低寿命化を抑制することができる。なお、本実施の形態では、固定ホルダ30に保持されたマスタ情報記録体200と、可動側ホルダ40に保持されたマスタ情報記録体200との間に、磁気記録媒体1を挟み込むことで、磁気記録媒体1の両面にサーボパターンプレサーボパターンを含む等を磁気転写する例について説明を行った。ただし、これに限られるものではなく、例えば第1ホルダ30が保持するマスタ情報記録体200に磁気記録媒体1の片面を接触させ、この磁気記録媒体1の片面にのみサーボパターン等を磁気転写する構成としてもよい。この場合において、磁気記録媒体1は、例えば第2吸引路32等を介した吸着等によってマスタ情報記録体200に接触させるようにしてもかまわない。ただし、マスタ情報記録体200に対する磁気記録媒体1の密着性を高めるという観点からすれば、マスタ情報記録体200を保持する第2ホルダ40に代えて、第1ホルダ30に対して進退可能な平板状の押付部材を設け、第1ホルダ30に保持されたマスタ情報記録体200に対し、押付部材を用いて磁気記録媒体1を押し付けるようにすることが望ましい。なお、平板状の押付部材の構成としては、例えば、上述した可動ホルダ40をそのまま採用することができる。ただし、この場合において、可動ホルダ40側にはマスタ情報記録体200を設ける必要はない。ここで、例えば前者の押付部材を有しない構成を採用した場合には、可動ホルダ40は不要となるため、固定ホルダ30側に第1超音波振動子81を設け、固定ホルダ30側に磁気記録媒体1が存在しない条件下で、固定ホルダ30を介してマスタ情報記録体200に超音波振動を与えるようにすればよい。一方、例えば後者の押付部材を有する構成を採用した場合には、固定ホルダ30側に第1超音波振動子81を設けるとともに、押付部材可動ホルダ40側に第2超音波振動子82を設けることで、固定ホルダ30および押付部材の間に磁気記録媒体1が存在しない条件下で、固定ホルダ30を介してマスタ情報記録体200に超音波振動を与える一方、押付部材を介して押付部材における磁気記録媒体1の接触面に超音波振動を与えるようにすればよい。"