"基板表面16o上に配置された構造14,15,20のイメージを検出する少なくとも1つの検出装置2と、前記検出装置に、前記構造14,15,20を結像するための少なくとも2つの異なる光路10,11,12,13,26,27を備えた少なくとも2つの光学装置4,7,21から成る光学系と、を備えた、前記基板表面16oに対して平行な基板16の形状変化を測定する装置であって、該装置によって、前記構造14,15,20の前記イメージ14 ́,15 ́,20 ́間の距離dx1,dy1,dx2,dy2,dxn,dyn及び/又は前記距離dx1,dy1,dx2,dy2,dxn,dynの変化が測定可能であることを特徴とする、基板の形状変化を測定する装置。前記基板表面16o又は、前記基板16を保持する基板チャックに対して前記光学系をキャリブレーションするキャリブレーション手段を有している、請求項1記載の装置。前記光路10,11,12,13,26,27の少なくとも1つが調節可能に形成されている、請求項1又は2記載の装置。前記光路10,11,12,13,26,27が互いに相対的に位置固定可能に形成されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。前記光学装置4,7,21を支持し、かつ特に、前記基板16に対して相対的に一緒に動かす、特に振動減衰性のかつ/又は断熱性の支持装置3が設けられている、請求項1から4までのいずれか1項記載の装置。前記検出装置2は、単一のカメラ、特にデジタルカメラを有しており、該カメラにより、前記構造14,15,20のイメージ14 ́,15 ́,20 ́を特に一緒に、好適には同時に、検出可能である、請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。前記光路10,11,12,13,26,27は、特に前記光学装置4,7,21の変向手段5,8,22によって、前記検出装置2において前記構造14,15,20を結像するために1つにまとめるように方向付けられることができる、請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。前記基板表面16oに沿って分配された、前記構造14,15,20の複数の検出対18の複数の距離を検出することができ、これらの距離を各検出対18に対応させて記憶することができる、請求項1から7までのいずれか1項記載の装置。前記光学装置4,7,21は、前記基板表面16oに面する少なくとも1つの端面4s,7s,21sで互いに、特に前記基板表面16oに対して平行に整列して配置されている又は配置可能である、請求項1から8までのいずれか1項記載の装置。少なくとも2つの光学装置4,7,21から成る、少なくとも2つの異なる光路10,11,12,13,26,27を有する光学系を、検出装置2に構造14,15,20を結像するために位置調整し、前記構造14,15,20のイメージ14 ́,15 ́,20 ́を前記検出装置2によって検出し、前記基板16を処理し、前記構造14,15,20のイメージ14 ́,15 ́,20 ́を前記検出装置2によって検出し、前記イメージ14 ́,15 ́,20 ́間の距離dx1,dy1,dx2,dy2,dxn,dyn及び/又は前記距離dx1,dy1,dx2,dy2,dxn,dynの変化を、前記基板の前記処理の前及び前記処理の後に測定する、ステップ、特に経過を有することを特徴とする、基板表面16oに対して平行な基板16の形状変化を測定する方法。"