"気体放電チャンバ5内におけるアーク消去方法であって、前記気体放電チャンバ5へ電力が供給され、該気体放電チャンバ5内において、第1の方向に電流が流れたときと、逆の第2の方向に電流が流れたときとの双方において気体放電が生成され、アークを検出した場合、前記気体放電チャンバ5への電力の供給を遮断する、アークの消去方法において、アークを検出した場合、前記気体放電チャンバ5への給電線17,19および/または前記気体放電チャンバ5内に存在する残留エネルギーをエネルギー蓄積器30へ供給し、および/または、アークを検出した場合、少なくとも1つのスイッチS1,S2を開放することにより、前記気体放電チャンバ5への電力の供給を遮断し、該スイッチにおける電圧USを、エネルギー蓄積器30の電圧まで制限することを特徴とする、アーク消去方法。とりわけダイオードD3,D4である非線形の素子により、前記エネルギー蓄積器30からエネルギーが、前記気体放電チャンバ5への給電線17,19および/または前記気体放電チャンバ5内へ戻るのを低減または遮断する、請求項1記載のアーク消去方法。アークが無い動作時に、所定の蓄積状態まで前記エネルギー蓄積器30の事前充電を行う、請求項1または2記載のアーク消去方法。アークの消去を行った後、所定の蓄積状態まで前記エネルギー蓄積器30の放電を行う、請求項1から3までのいずれか1項記載のアーク消去方法。前記第1の方向に電流が流れることに起因する残留エネルギーと、前記第2の方向に電流が流れることに起因する残留エネルギーとの双方を、もっぱら1つの前記エネルギー蓄積器30にのみ供給する、請求項1から4までのいずれか1項記載のアーク消去方法。前記残留エネルギーを前記エネルギー蓄積器30内へ供給することにより、前記給電線17,19において電圧の反転を生じさせる、請求項1から5までのいずれか1項記載のアーク消去方法。電力供給部と気体放電チャンバ5の電極3,4との間の少なくとも一部区間に給電線17,19を含むアーク消去システム23.1,23.2,23.3であって、前記気体放電チャンバ5内において、第1の方向に電流が流れたときと、逆の第2の方向に電流が流れたときとの双方において、気体放電が生成されるように構成されており、前記アーク消去システム23.1,23.2,23.3はアーク消去装置18,18.1,18.2を有する、アーク消去システム23.1,23.2,23.3において、前記アーク消去装置は、前記気体放電チャンバへの給電線および/または前記気体放電チャンバ内に存在するエネルギーを吸収するためのエネルギー蓄積器を有することを特徴とする、アーク消去システム23.1,23.2,23.3。前記アーク消去装置18,18.1,18.2は、前記エネルギー蓄積器30から前記給電線17,19と前記気体放電チャンバ5とへ電力が流れるのを低減または阻止するように設けられた非線形の素子、とりわけダイオードD3,D4を有する、請求項7記載のアーク消去システム。前記アーク消去装置18,18.1,18.2は少なくとも1つのスイッチS1,S2を有し、前記スイッチS1,S2は、前記電力供給部から前記気体放電チャンバ5の前記電極3,4のうち1つへ繋がっている給電線17,19に直列接続で配されており、アークを検出した場合、前記スイッチS1,S2が駆動制御信号による駆動制御によって開放されるように構成されている、請求項7または8記載のアーク消去システム。前記エネルギー蓄積器30の事前充電を行うために、整流素子を介して、とりわけダイオードD7を介して、給電線の接続ノードVP1と前記エネルギー蓄積器30のキャパシタとが接続されている、請求項7から9までのいずれか1項記載のアーク消去システム。相互に直列に配置された2つのダイオードD3,D4と2つのスイッチ装置とが設けられ、両ダイオードD3,D4の接続点VP1と両スイッチ装置の接続点VP2との間にエネルギー蓄積器30が接続されて、前記アーク消去装置18,18.1,18.2が対称的に構成されている、請求項7から10までのいずれか1項記載のアーク消去システム。前記スイッチ装置はそれぞれ少なくとも1つのIGBTを有し、前記IGBTのコレクタとエミッタとの間に逆並列ダイオードD1,D2が並列接続されている、請求項7から11までのいずれか1項記載のアーク抑圧システム。前記スイッチS1,S2と前記ダイオードD3,D4とを有する複数のモジュール31,32が設けられている、請求項7から12までのいずれか1項記載のアーク抑圧消去システム。前記エネルギー蓄積器30の事前充電を行うために、接地電位と直流分離された直流電圧源34が設けられている、請求項7から13までのいずれか1項記載のアーク消去システム。前記アーク消去システム23.1,23.2,23.3は接地電位との直流接続部を有さない、請求項7から14までのいずれか1項記載のアーク消去システム。前記エネルギー蓄積器30の放電を行うための放電装置37が設けられている、請求項7から15までのいずれか1項記載のアーク消去システム。予め定められた電圧値を下回った場合、前記放電装置37が前記エネルギー蓄積器30の放電を行うことをデアクティベートする電圧監視部50が設けられている、請求項7から16までのいずれか1項記載のアーク消去システム。前記エネルギー蓄積器30から取り出されたエネルギーの少なくとも一部は、前記放電装置37に後置接続されたエネルギー変換装置25を介して前記電力供給部へ戻されるように構成されている、請求項7から17までのいずれか1項記載のアーク消去システム。"