"主載置台と、前記主載置台に連結される副載置台と、前記主載置台と前記副載置台の間を移動する移動部材と、を具備し、運搬時に前記主載置台と副載置台は分離可能であり、前記移動部材が前記主載置台上にあるときに処理対象物が処理されるステージ装置。前記主載置台は、主ベース板を有し、前記副載置台は、副ベース板を有し、前記主載置台と前記副載置台が連結された時、前記主ベース板と前記副ベース板は同じ高さで水平になるように配置され、前記副ベース板は前記主ベース板の半分以下の大きさである請求項1記載のステージ装置。前記副載置台は台車を有する、請求項2記載のステージ装置。前記副載置台を前記主載置台に固定した後、前記副ベース板と前記台車は分離可能である、請求項3記載のステージ装置。前記主載置台は、主レールを有し、前記副載置台は、副レールを有し、前記主載置台と前記副載置台が連結された時、前記主レールと前記副レールにより連続するレールが形成される請求項1乃至4のいずれか1項記載のステージ装置。前記移動部材はガントリを有する請求項1乃至5のいずれか1項記載のステージ装置。前記移動部材は前記ガントリに設置された吐出装置を有する請求項6記載のステージ装置。前記移動部材は処理対象物を載置する台を有する請求項1乃至5のいずれか1項記載のステージ装置。前記主載置台と前記副載置台の相対位置を調整する粗調整機構と、前記粗調整機構より調整精度の精密な微調整機構を有する請求項1乃至8のいずれか1項記載のステージ装置。前記主載置台と前記副載置台の相対位置を調整する微調整機構と、前記微調整機構より調整量の大きな粗調整機構を有する請求項1乃至8のいずれか1項記載のステージ装置。前記主載置台と前記副載置台の仮組み立ての状態に合わせて移動する位置決め部材を有し、前記位置決め部材を前記主載置台もしくは前記副載置台に固定した状態で、前記主載置台と前記副載置台を分離および結合が可能な請求項1乃至10のいずれか1項記載のステージ装置。主載置台に設けられた主ベース板と、副載置台に設けられ、前記主ベース板よりも小さな副ベース板とが着脱可能に水平に接続されたステージ装置であって、前記副載置台には、前記副ベース板が乗せられた台車と、前記台車と前記副ベース板の相対位置を変更する調整機構とが設けられたステージ装置。前記主載置台には主位置決め部材が設けられ、前記副載置台には前記主位置決め部材と接触可能な副位置決め部材が設けられ、前記主位置決め部材と前記主ベース板との間の位置関係と、前記副位置決め部材と前記副ベース板との間の位置関係のうち、少なくとも一方の位置関係は変更可能且つ固定可能に構成された請求項12記載のステージ装置。前記主位置決め部材と前記副位置決め部材が嵌合して前記主載置台に対する前記副載置台の位置が決まる請求項13記載のステージ装置。前記副位置決め部材が前記台車に設けられた請求項13記載のステージ装置。前記主載置台の前記主ベース板には主レールが設けられ、前記副載置台の前記副ベース板上には、前記主レールと連結される副レールが設けられた請求項12記載のステージ装置。しかしながら、一旦分割したベース板を設置場所で組み立てる場合、位置合わせに多大な手間を要したり、組み立て精度が悪化したりし、解決が望まれている。上記課題を解決するため、本発明は、主載置台と、前記主載置台に連結される副載置台と、前記主載置台と前記副載置台の間を移動する移動部材と、を具備し、運搬時に前記主載置台と副載置台は分離可能であり、前記移動部材が前記主載置台上にあるときに処理対象物が処理されるステージ装置である。また、本発明は、前記主載置台は、主ベース板を有し、前記副載置台は、副ベース板を有し、前記主載置台と前記副載置台が連結された時、前記主ベース板と前記副ベース板は同じ高さで水平になるように配置され、前記副ベース板は前記主ベース板の半分以下の大きさであるステージ装置である。また、本発明は、前記副載置台は台車を有するステージ装置である。また、本発明は、前記副載置台を前記主載置台に固定した後、前記副ベース板と前記台車は分離可能であるステージ装置である。また、本発明は、前記主載置台は、主レールを有し、前記副載置台は、副レールを有し、前記主載置台と前記副載置台が連結された時、前記主レールと前記副レールにより連続するレールが形成されるステージ装置である。また、本発明は、前記移動部材はガントリを有するステージ装置である。また、本発明は、前記移動部材は前記ガントリに設置された吐出装置を有するステージ装置である。また、本発明は、前記移動部材は処理対象物を載置する台を有するステージ装置である。また、本発明は、前記主載置台と前記副載置台の相対位置を調整する粗調整機構と、前記粗調整機構より調整精度の精密な微調整機構を有するステージ装置である。また、本発明は、前記主載置台と前記副載置台の相対位置を調整する微調整機構と、前記微調整機構より調整量の大きな粗調整機構を有するステージ装置である。また、本発明は、前記主載置台と前記副載置台の仮組み立ての状態に合わせて移動する位置決め部材を有し、前記位置決め部材を前記主載置台もしくは前記副載置台に固定した状態で、前記主載置台と前記副載置台を分離および結合が可能なステージ装置である。また、本発明は、主載置台に設けられた主ベース板と、副載置台に設けられ、前記主ベース板よりも小さな副ベース板とが着脱可能に水平に接続されたステージ装置であって、前記副載置台には、前記副ベース板が乗せられた台車と、前記台車と前記副ベース板の相対位置を変更する調整機構とが設けられたステージ装置である。また、本発明は、前記主載置台には主位置決め部材が設けられ、前記副載置台には前記主位置決め部材と接触可能な副位置決め部材が設けられ、前記主位置決め部材と前記主ベース板との間の位置関係と、前記副位置決め部材と前記副ベース板との間の位置関係のうち、少なくとも一方の位置関係は変更可能且つ固定可能に構成されたステージ装置である。また、本発明は、前記主位置決め部材と前記副位置決め部材が嵌合して前記主載置台に対する前記副載置台の位置が決まるステージ装置である。また、本発明は、前記副位置決め部材が前記台車に設けられたステージ装置である。また、本発明は、前記主載置台の前記主ベース板には主レールが設けられ、前記副載置台の前記副ベース板上には、前記主レールと連結される副レールが設けられたステージ装置である。本設置場所での主ベース板と副ベース板の位置合わせ精度が向上する。本設置場所での作業が簡単になる。図5、の符号5は、本発明のステージ装置を示している。同図は平面図、同図は側面図である。このステージ装置5は、主載置台10と、複数の副載置台20a~20dを有している。主載置台10と副載置台20a~20dは、表面が平坦な主ベース板11と副ベース板21をそれぞれ有している。主ベース板11と副ベース板21の表面は、それぞれ同じ高さで水平になるように配置されている。主ベース板11の平面形状は矩形であり、その四辺のうち、互いに平行な二辺に沿って主レール17a,17bが敷設されている。副ベース板21上には、副レール18が配置されている。主レール17a,17bの両端部は、副レール18の端部に接続されており、二本の副レール18と、その間に挟まれた主レール17a又は17bによって、連続する一本のレール19a又は19bが形成される。レール19a,19b上には移動可能な移動部材ここではガントリが設置され、ガントリに吐出装置13が乗せられている。この吐出装置13の底面部分には、印刷ヘッドが設けられている。吐出装置13には吐出液が配置されたタンク29が接続されており、タンク29から吐出液を供給しながら、印刷ヘッドを動作させると、印刷ヘッドから吐出液が吐出されるように構成されている。主ベース板11の主レール17a,17bの間に位置する部分の上には、基板7が配置されている。吐出装置13はレール19a,19b上を走行できるように構成されており、図6、に示すように、吐出装置13が基板7上に位置する状態で、印刷ヘッドから吐出液が吐出されると、吐出液は基板7表面に着弾する。吐出装置13を移動させると、基板7表面の所望位置に吐出液を着弾させることができる。このステージ装置5は、基板7への吐出作業が行なわれる本設置場所に配置されるが、主ベース板11が大きいため、図5、6に示したように、副載置台20a~20dを主載置台10に連結し、主ベース板11と副ベース板21を組み立てた状態では、ステージ装置5を製造する際に組み立てた仮設置場所から本設置場所に搬送することができない。本発明のステージ装置5は、主載置台10に対して副載置台20a~20dが着脱可能に構成されており、下記のように、仮設置場所で位置合わせをした後分離させ、仮設置場所から本設置場所に搬送し、本設置場所にて位置合わせをした状態を復元し、主ベース板11と副ベース板21とを接続する。図1は、本設置場所ではなく、仮設置場所に置かれた状態の主載置台10の平面図を示しており、同図はその主載置台10の側面図を示している。主ベース板11の裏面の四隅付近には脚部12a~12dが配置されている。同図、図4では、主ベース板11と主レール17a,17bを二点鎖線で示し、脚部12a~12dを実線で示している。脚部12a~12dは主ベース板11の裏面に固定されている。次に、図2は副載置台20a~20dの平面図、同図はその側面図である。副載置台20a~20dはそれぞれ台車22を有しており、副ベース板21は台車22上に乗せられている。台車22には複数の搬送車輪23が設けられている。ここでは、台車22は台座27を有しており、搬送車輪23は、台座27の底面の四カ所に設けられている。主ベース板11と副ベース板21は、長方形又は正方形形状である。副ベース板21は主ベース板11の半分以下の大きさにされており、副ベース板21は、主ベース板11の両脇に、片側二個ずつ接続できる。搬送車輪23は、副ベース板21が主ベース板11に接続される部分を先頭にして少なくとも前進と後進ができる向きに設けられており、搬送車輪23を床に接地し、前進方向、又は後進方向に向けて力を加えると、搬送車輪23が回転して副載置台20a~20dは力を加えた方向に床上を走行する。台座27上には、ローラと回転軸から成る副位置決め部材241,242が一乃至複数個設けられている。ここでは副位置決め部材241,242は二個設けられており、台座27上の、副載置台20a~20dの前進方向先頭には、進行する向きの両側位置に互いに離間して配置されている。脚部12a~12dは、床面に接触し、主ベース板11を支持する支持部15と、支持部15の外周側面に設けられた板状の主位置決め部材16とを有している。主位置決め部材16は床面から一定距離だけ上方に配置されており、主位置決め部材16と床面との間には隙間が形成されている。副位置決め部材は241,242は、台座27に対して移動と固定が可能に構成されており、予め、副位置決め部材241,242間の距離を大きくしておき、図3の副載置台20dのように、主レール17a又は17bと副レール18が一直線になるように、副載置台20bの先頭の部分を脚部12bに向け、前進させると、同図の副載置台20cのように、台座27は主位置決め部材16と床面との間に挿入される。主位置決め部材16は、脚部12a~12dの側面のうち、主レール17a,17bと平行な側面に配置されている。主位置決め部材16は、副位置決め部材241,242と同じ高さに配置されているが、副位置決め部材241,242の間隔は、予め、主位置決め部材16の間の幅よりも広くされており、台座27は、副位置決め部材241,242と主位置決め部材16が接触せずに、主位置決め部材16の下に挿入され、同図の副載置台20bのように、副ベース板21と主ベース板11とが接触される。この状態では、主ベース板11と副ベース板21の間の理想的な位置関係からの誤差は大きい。副載置台20a~20dには、副ベース板21の高さと、傾きと、水平方向の位置と向きを変更できる調整機構30が設けられている。この調整機構30は、副ベース板21の高さ、傾き、水平面内の位置、及び向きを、概略変更できる粗調整機構31と、粗調整機構31よりも精密に変更できる微調整機構32を有している。粗調整機構31は、微調整機構32よりも、副ベース板21の高さと、傾きと、水平方向の位置を大きく変更できるように構成されており、先ず、副載置台20a~20d毎に、粗調整機構31によって主ベース板11に対する副ベース板21の概略の位置合わせを行なう。仮設置場所の床面は水平であり、主ベース板11は、主載置台10に設けられた主調整機構によって予め表面が水平にされているものとすると、粗調整機構31により、副ベース板21は、主ベース板11の表面と略同じ高さで水平にされると共に、主ベース板11との相対的な位置と向きが粗調整され、概略の位置合わせがされる。次に、粗調整機構31を固定し、粗調整がされた副ベース板21と主ベース板11の相対位置が変化しないようにしながら、副位置決め部材241,242を移動させ、主位置決め部材16に接触させた状態で、台座27に固定すると、副位置決め部材241,242によって、主位置決め部材16は挟まれる副載置台20a。これにより、粗調整がされた状態での主載置台10と副載置台20a~20dとの間の位置関係が決定される。支持部15は、主ベース板11の外周よりも内側に位置しており、主位置決め部材16は、主ベース板11の外周から遠い部分が幅広で、主ベース板11の外周に近い方が幅狭に形成されており、副位置決め部材241,242で主位置決め部材16を挟んだ状態では、副載置台20a~20dは、主ベース板11の外側方向に移動できるが、脚部12a~12dに対して前進も左右方向にも移動できなくなる。このため、粗調整機構31の固定や、副位置決め部材241、242の台座27に対する固定を解除しなければ、副載置台20a~20dを主載置台10から分離しても、副位置決め部材241、242によって主位置決め部材16が分離前と同様に挟まれるので、副載置台20a~20dを移動させると粗調整された状態を容易に再現することができる。台座27と副ベース板21の間には、架台25が配置されている。副ベース板21は、架台25に固定されている。この架台25には連結部材33が設けられており、この連結部材33によって架台25を脚部12a~12dに固定すると、主ベース板11と副ベース板21とは、粗調整がされた状態で、架台25と脚部12a~12dを介して、相対的な位置が固定される。次いで、微調整機構32によって、副ベース板21の高さ、傾き、水平方向の位置と向きを調整し、副ベース板21の主ベース板11に対する位置を、副載置台20a~20d毎に微調整する。以上の手順により、副ベース板21と主ベース板11とは位置合わせがされた状態になり、主レール17a,17bの両端に、副レール18が真っ直ぐに接続され、直線状のレール19a,19bが得られる。このような仮組立を仮設置場所で行なった後、連結部材33を取り外し、主載置台10と副載置台20a~20dの間の連結を解除し、副載置台20a~20dを後退させ、主載置台10と副載置台20a~20dを分離すると、別々に搬送できる状態になる。このとき、副位置決め部材241,242の台座27への固定は解除せず、副位置決め部材241,242間の距離は変更しない。また、粗調整機構31や微調整機構32の粗動ネジや微動ネジも固定し、粗調整と微調整がされた状態が変化しないようにしておく。主載置台10と副載置台20a~20dはそれぞれ車両等に搭載し、陸路や海路等によって本設置場所まで搬送し、先ず、主載置台10を本設置場所の所定位置に配置する。次いで、副載置台20a~20dを脚部12a~12dに向けて配置し、図7に示すように、各副載置台20a~20dを、仮設置場所で組み立てられた状態が復元できるようにして副載置台20a~20dを脚部12a~12dに向けてそれぞれ前進させる。主位置決め部材16の幅は、副載置台20a~20dの進行方向の奥方向に向かって拡がっているから、各副載置台20a~20dの台座27が主位置決め部材16の下に入ると、副位置決め部材241,242の間に主位置決め部材16が挿入され、副位置決め部材241,242と主位置決め部材16とが接触すると、副載置台20a~20dの前進が停止する。この状態は、図4に示した状態と同じであり、副載置台20a~20dの架台25と主載置台10の脚部12a~12dとの間を連結部材33で連結固定し、脚部12a~12dに対して台座27を固定する。仮設置場所と本設置場所の床面が水平であり、副位置決め部材241,242と主位置決め部材16とが、仮設置場所で接触していた位置と同じ位置で接触している場合には、副載置台20a~20dと主載置台10との仮組立場所での位置関係が復元される。即ち、副ベース板21と主ベース板11は、粗調整と微調整がされた状態と同じになる。しかし、副載置台20a~20dと主載置台10との間の連結を一旦解除し、副載置台20a~20dと主載置台10を分離して搬送したため、搬送時の振動や温度変化等により、小さな位置合わせ誤差が発生している場合がある。また、設置場所に誤差がある場合があるし、本設置場所で主ベース板11表面を水平に設定し直した場合も、位置合わせ誤差が発生する。この位置合わせ誤差は、微調整誤差と同程度の大きさであり、粗調整がされた状態は維持されている。この為、再度調整する場合でも調整量が少なく迅速に調整できる。従って、主ベース板11の表面を水平にした後、微調整機構32によって、副載置台20a~20dの上下方向の高さ、傾きと、水平方向の位置と向きを微調整すると、副ベース板21の主ベース板11に対する位置が変更され、位置合わせ誤差E4が小さくなり、主ベース板11と副ベース板21の位置合わせ誤差を、搬送前の微調整誤差E3と同程度の大きさにすることができる。図5、は、以上の手順によって本設置場所に組み立てたステージ装置5の平面図と側面図であり、主ベース板11上の主レール17a,17bと副ベース板21上の副レール18とが直線状に接続され、レール19a,19bが真っ直ぐに敷設される。同図では、吐出装置13は主載置台10の外側位置の副載置台20b,20c上に位置しており、この位置では、印刷ヘッドのクリーニング等を行なうことができる。また吐出装置13が基板上にないので、主載置台10上の基板7を交換することができる。主ベース板11と副ベース板21との間の位置合わせの精度が高いため、図6、に示すように、吐出装置13を、副載置台20a~20d上と、主載置台10上の間で移動させても、振動が発生することはない。架台25は台車22から分離可能であり、架台25が連結部材33によって脚部12a~12dに固定されていると、同図に示すように、台車22を架台25の下から抜き去っても、副ベース板21は、主ベース板11に対して固定された状態である。以上説明したように、本発明によれば、本設置場所で副載置台20a~20dと主載置台10を組み立てる前に、予め、当該ステージ装置5を製造した工場内等の仮設置場所に於いて、副ベース板21と主ベース板11とを位置合わせをした後、その状態が復元できるように分離させ、搬送し、本設置場所で組み立てることができる。なお、組み立てに用いる連結部材33は、副載置台20a~20dに設けてもよいし、主載置台10に設けてもよい。また、副載置台20a~20dと主載置台10の両方から取り外せるようにしてもよい。上記実施例では、主位置決め部材16を板状の部材で構成し、副位置決め部材241,242を、その側面に接触するローラで構成したが、それに限定されるものではなく、副ベース板21と主ベース板11との相対的な位置関係を再現できる部材であればよい。主位置決め部材をロールで構成し、副位置決め部材を板状部材で構成することもできる。また、上記実施例では、主位置決め部材16は、脚部12a~12d内で固定されており、主位置決め部材16と主ベース板11の間の位置関係は固定されており、他方、副位置決め部材241,242が台座27に対して移動及び固定が可能に構成されていたが、それとは逆に、副位置決め部材241,242と副ベース板21の位置関係が固定され、主位置決め部材16と主ベース板11との間の相対位置を変更及び固定が可能にしてもよい。この場合、粗調整後、連結部材33で固定した後、主位置決め部材16を移動させて副位置決め部材241,242と接触させ、主位置決め部材16の主ベース板11に対する位置を固定してもよい。更にまた、上記実施例では、副ベース板21をそれぞれ有する4台の副載置台20a~20dを、4台の脚部12a~12dにそれぞれ1台ずつ連結したが、図8に示すように、二本の副レール181、182が設けられた幅広の副ベース板41を有する副載置台20e,20fと、当該副載置台20e,20fが二個の脚部12a~12dに対して連結される主載置台10とで組み立てられるステージ装置も本発明に含まれる。この場合も、予め仮設置場所で副載置台20e,20fの副ベース板41と主載置台10の主ベース板11とを調整機構30によって位置合わせしておき、その状態が維持されるようにして分離し、搬送した後、本設置場所で位置合わせを復元することができる。本設置場所で、調整機構30によって微調整してもよい。また、上記実施例では、本発明のステージ装置5の主及び副載置台10、20a~20d上には、吐出装置13が配置され、インクジェット装置として用いられていたが、本発明はそれに限定されるものではなく、本発明のステージ装置5にレーザ照射装置を配置し、加熱装置、検査装置、又は露光装置として用いることもできるし、基板位置合わせ装置を配置し、アライナーとして用いることもできる。要するに、本発明のステージ装置5は、インクジェット装置に限定されるものではない。また、レール19a,19b上には移動可能な移動部材はガントリに限定されず、例えば、基板等の処理対象物が載置される載置台であってもよい。"