"対向する第1光学面と第2光学面とを有する光学素子の偏心量測定方法であって、光源からの照明光を前記第1光学面に入射させ、前記第1光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、前記照明光を前記第2光学面に入射させ、前記第2光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の第2の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、前記第1の位置と前記第2の位置とに基づいて、前記第1光学面と前記第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えたことを特徴とする偏心量測定方法。対向する第1光学面と第2光学面とを有する光学素子の偏心量測定方法であって、前記第1光学面に設けられたセンターマークの位置を測定するセンターマーク位置測定工程と、光源からの照明光を前記第2光学面に入射させ、前記第2光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、前記センターマークの位置と、前記光源の像の位置とに基づいて、前記第1光学面と前記第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えたことを特徴とする偏心量測定方法。対向する第1光学面と第2光学面とを有する光学素子が、光軸に垂直な方向に複数個連結されて構成された光学素子アレイの偏心量測定方法であって、前記光学素子アレイに設けられたアライメントマークの位置を測定するアライメントマーク位置測定工程と、前記光学素子アレイを構成する光学素子毎に、光源からの照明光を前記光学素子の前記第1光学面に入射させ、前記第1光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、前記照明光を前記第2光学面に入射させ、前記第2光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の第2の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、前記第1の位置と前記第2の位置とに基づいて、前記光学素子毎の前記第1光学面と前記第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程と、前記アライメントマークの位置と、前記偏心量に基づいて、前記光学素子毎に、前記アライメントマークと各光学素子の中心とのズレ量を算出するズレ量算出工程とを備えたことを特徴とする偏心量測定方法。少なくとも第1光学面を有する光学素子の偏心量測定方法であって、前記光学素子を光軸に垂直な方向に走査して、前記光学素子の外形の中心の位置を測定する外形中心測定工程と、光源からの照明光を前記第1光学面に入射させ、前記第1光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、前記外形の中心の位置と前記第1の位置とに基づいて、前記第1光学面の前記外形に対する偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えたことを特徴とする偏心量測定方法。前記光学素子は、少なくとも第1フランジ面を有する第1フランジ部を備え、前記第1フランジ面が前記照明光の光軸に垂直となるように調整する第1フランジ面調整工程を備えたことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の偏心量測定方法。前記光学素子は、前記第1フランジ面に対向する第2フランジ面を有する第2フランジ部を備え、前記第2フランジ面の前記照明光の光軸からの傾きを測定する第2フランジ面傾き測定工程をさらに備え、前記偏心量算出工程は、前記第2フランジ面傾き測定工程で求められた前記第2フランジ面の前記照明光の光軸からの傾きとに基づいて、前記光学素子の平行偏心量と傾き偏心量とを求める工程であることを特徴とする請求項5に記載の偏心量測定方法。前記照明光として、顕微鏡のケーラー照明を用いることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の偏心量測定方法。以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。なお、図中、同一あるいは同等の部分には同一の番号を付与し、重複する説明は省略することがある。最初に、本発明の一実施形態における偏心量の測定に用いる偏心測定装置の例について、図1を用いて説明する。図1は、偏心量の測定に用いる偏心測定装置の例を示す断面模式図である。図1において、偏心測定装置100は、照明光学系200、測定光学系300および測定用センサ400等を備えて構成される。照明光学系200は、光学素子1に照明光213を照射するものであり、例えば、光源210、集光レンズ220、ミラー230および対物レンズ240等を備えて構成され、光源210の発光部211からの照明光213が集光レンズ220で集光され、ミラー230で反射されて、一旦、対物レンズ240の瞳241に結像される。対物レンズ240の瞳241に結像された照明光213は、対物レンズ240で平行光とされて、光学素子1に入射し、光学素子1を均一に照明する。測定光学系300は、光学素子1で反射された照明光213を測定用センサ400へ導光するものであり、例えば、対物レンズ240および接眼レンズ310等を備えて構成される。測定光学系300では、光学素子1で反射された反射光245が対物レンズ240で集光され、接眼レンズ310によって、光学素子1の像が、接眼レンズ310の焦点に配置された測定用センサ400の撮像面410上に結像される。照明光学系200の光軸250と測定光学系300の光軸320とは、一致させてあり、光源210の発光部211、対物レンズ240の瞳241、対物レンズ240の焦点243および接眼レンズ310の焦点311は、共役な位置となっている。上述した照明光学系200は、ケーラー照明と呼ばれる、面を均一に照明するための光学系の一形式であり、顕微鏡の同軸落射照明等に用いられる光学系である。また、上述した測定光学系300は、一般的な顕微鏡の観察光学系である。つまり、偏心測定装置100の光学系として、ケーラー照明の同軸落射照明装置を備えた一般的な顕微鏡を用いることができる。これによって、偏心測定装置100として特別な装置を用いる必要がないので、測定装置のコストダウンを行うことができる。なお、上述した例では、照明光学系200としてケーラー照明を用いたが、照明光学系200は、ケーラー照明に限るものではなく、対物レンズ240の後側焦点位置に光源の像が結像される光学系であればよい。測定用センサ400は、例えばCCD型撮像素子やCMOS型撮像素子等のような2次元画像センサであり、接眼レンズ310によって撮像面410上に結像された像を撮像する。測定用センサ400の撮像出力は、図示しないモニタに出力されて目視によって偏心量の測定に用いられてもよいし、パーソナルコンピュータに入力されて、画像処理によって偏心量の測定に用いられてもよい。測定用センサ400も一般的な顕微鏡用カメラを用いることができ、特別な装置を用いる必要がないので、測定装置のコストダウンを行うことができる。次に、光学素子の第1の例を、図2を用いて説明する。図2は、光学素子の第1の例としてのレンズの形状を示す模式図であり、図2aは、レンズの外形を示し、図2bは、偏心がない場合のレンズの図2aのA-A’断面を示し、図2cは、偏心がある場合のレンズのA-A’断面を示す。ここで示したレンズの形状は、図16および図18で示したものと同じであるが、付与した番号の異なる部分がある。図2aにおいて、レンズ1は、光学面2の周囲を、環状のフランジ部3が囲む形状をしている。図2bにおいて、レンズ1の光学面2は、曲率半径r1の第1光学面2aと、第1光学面2aに対向した曲率半径r2の第2光学面2bとで構成され、レンズ1は、両凸のレンズである。フランジ部3は、第1光学面2aに繋がった、光軸に垂直な平面である第1フランジ面3aと、第2光学面2bに繋がった、光軸に垂直な平面である第2フランジ面3bと、光軸に平行なレンズ端面周面3cとを有している。第1光学面2aと第2光学面2bとは、偏心がなく、両面の光軸は、レンズ1の設計上の光軸1axに一致している。図2cは、図18に示したと同じ形状の両凸レンズで、第1光学面2aと第2光学面2bとが共に、平行偏心および傾き偏心している場合の例であり、第1光学面2aの光軸2axおよび第2光学面2bの光軸2bxは、共に、レンズ1の設計上の光軸1axからずれている。平行偏心とは、レンズの設計上の光軸に対して、その垂直な方向に光学面の光軸がずれている状態であり、平行偏心量とは、そのずれている距離を長さの単位例えばμm等で表したものである。傾き偏心とは、レンズの設計上の光軸に対して、光学面の光軸が傾いている状態であり、傾き偏心量とは、そのずれている傾きを角度の単位例えば分等で表したものである。次に、本発明の一実施形態における偏心量の測定原理について、図3を用いて説明する。図3は、偏心量の測定原理を示す模式図である。図3において、曲率半径r1の凸の光学面2aに入射した平行な照明光213は、光学面2aの頂点部から曲率中心Cに向かって約r1/2の位置Dに虚像として結像され、位置Dに照明光213の光源の像が結像される。光学面2aが凹面の場合は、光学面2aに対し、曲率中心Cとは反対側の約r1/2の位置Dに照明光213の光源の像が実像として結像される。従って、図1に示した測定光学系300の対物レンズ240の焦点243を位置Dに合わせることで、測定用センサ400の撮像面410上に照明光213の光源の像を結像させることができる。光学面2aに平行偏心があると、光源の像の位置Dが光軸に垂直な面内で、偏心量に応じて移動するので、光軸に垂直な面内での光源の像の位置Dを測定することで、平行偏心量を知ることができる。ここで、偏心量の測定に用いられる光源210について述べる。図3に示した原理で光源の像の位置Dを測定するためには、光源の大きさが小さい方がよい。例えばレーザダイオードのような小さな光源を用いると、位置Dにはレーザダイオードの小さな像が結像されるため、位置Dが測定しやすい。また、レーザダイオードは、発光波長が単波長のために色消しをする必要がなく、光源の像を収差なく結像させる光学系を作成しやすい。一方、例えば光源として一般に顕微鏡用の照明に用いられる電球を用いると、フィラメントの大きな像が位置Dに結像されるので、光源の像の中心位置を検出することは、難しく、光源の像の位置Dの測定には不向きである。そこで、電球とインテグレータとを用いて複数の2次光源を形成して、均一な面光源として見えるようにする方法がある。インテグレータ光学系には、蝿の目レンズ方式やロッドレンズ方式等を用いることができる。インテグレータを用いることで、光源の輪郭がはっきりして、中心位置が検出しやすくなる。あるいは、レーザダイオードと電球等の一般の顕微鏡用の照明とを併用することもできる。次に、本発明の一実施形態における偏心量の測定方法の第1の実施の形態について、図4ないし図7を用いて説明する。図4は、偏心量の測定方法の第1の実施の形態を示す工程図である。図5および図6は、図4の各工程を示す模式図である。図7は、偏心量の測定時の測定用センサ上の像を示す模式図である。図4において、偏心量の測定方法の第1の実施の形態は、以下の5つの工程で構成される。S1第1フランジ面調整工程この第1フランジ面調整工程は、レンズ1の傾きによる姿勢誤差に起因する偏心を補正するために、第1フランジ面3aを偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整する工程である。図5aに示すように、レンズ1は、保持部500によって、例えばフランジ部3の第2フランジ面3bとレンズ端面3cとを基準として、光軸320の周りに回動可能に保持されるとともに、光軸320に平行に移動可能に保持されている。図4のステップS11で、レンズ1に、平行光の照明光213が入射される。ステップS12で、対物レンズ240として、干渉対物レンズと呼ばれる干渉縞によって面の傾きを知ることのできるレンズが用いられ、対物レンズ240の焦点243が、レンズ1の第1フランジ面3aに合わせられる。この状態で、測定用センサ400で撮像される画像を用いて、第1フランジ面3aの干渉縞が光軸320の周りに対称となるように、保持部500が、光軸320の周りに回動される。これによって、第1フランジ面3aが、偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整される。第1フランジ面3aは、第1光学面2aと同時に金型で成形されているので、この調整によって、光軸320に対する第1光学面2aの傾き偏心が補正されたことになる。この状態を、図5aに示す。S2第1光源像位置測定工程この第1光源像位置測定工程は、第1光学面2aで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。図4のステップS21で、図5bに示すように、平行光の照明光213の一部が曲率半径r1の凸の第1光学面2aで反射され、第1光学面2aの頂点部から曲率中心に向かって約r1/2の位置D1に光源210の像として結像されるため、対物レンズ240とレンズ1との間隔を変えることにより、対物レンズ240の焦点243は、位置D1に合焦する。これによって、測定光学系300を介して、測定用センサ400の撮像面410上に、第1光学面2aで反射された光源210の発光部211の像が結像する。図4のステップS22で、図7に示すように、測定用センサ400の撮像面410上に結像された、第1光学面2aで反射された光源210の像の第1の位置Iaが測定され、記憶される。なお、図7の点Izは、光軸320の位置である。S3第2光源像位置測定工程この第2光源像位置測定工程は、第2光学面2bで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。図4のステップS31で、図6aに示すように、平行光の照明光213の一部が曲率半径r2の凸の第2光学面2bで反射され、第2光学面2bの頂点部から曲率中心に向かって約r2/2の位置D2に光源210の像として結像されるため、対物レンズ240とレンズ1との間隔を変えることによって、対物レンズ240の焦点243が位置D1に合焦させられる。これによって、測定光学系300を介して、測定用センサ400の撮像面410上に、第2光学面2bで反射された光源210の発光部211の像が結像することができる。図4のステップS32で、図7に示すように、測定用センサ400の撮像面410上に結像された、第2光学面2bで反射された光源210の像の第2の位置Ibが測定され、記憶される。S4第2フランジ面傾き測定工程この第2フランジ面傾き測定工程は、第2フランジ面3bの傾きを測定する工程である。図4のステップS41で、対物レンズ240として干渉対物レンズが用いられ、対物レンズ240の焦点243がレンズ1の第2フランジ面3bに合わせられる。この状態で、測定用センサ400で撮像される画像の第2フランジ面3bの干渉縞から、第2フランジ面3bの傾きが測定され、記憶される。この状態が、図6bに示されている。第2フランジ面3bは、第2光学面2bと同時に金型で成形されている。また、上述したS1第1フランジ面調整工程で、光軸320に対する第1光学面2aの傾き偏心は、補正されている。従って、第2フランジ面3bの傾きは、即ち、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な傾き偏心量を示している。S5偏心量算出工程この偏心量算出工程は、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対偏心量を算出する工程である。図4のステップS51で、上述したS2第1光源像位置測定工程で測定された、第1光学面2aで反射された光源210の像の第1の位置Iaと、S3第2光源像位置測定工程で測定された、第2光学面2bで反射された光源210の像の第2の位置Ibとから、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量が算出される。より具体的には、測定用センサ上における、位置Iaと位置Ibとの距離より相対的な偏心量が算出される。図4のステップS52で、S4第2フランジ面傾き測定工程で測定された第2フランジ面3bの傾き、即ち、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な傾き偏心量を用いて、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量から第2光学面2bの傾き偏心量が分離され、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な平行偏心量が算出される。より具体的には、測定用センサ上の位置Ibは、傾き偏心量と平行偏心量とが合成された位置であるため、第2フランジ面3bの傾き角度をαとし、光学面の曲率半径をrとした場合、傾き偏心量がrsinαにより平行偏心量へ換算され、平行偏心量に換算された傾き偏心の成分と、元々の平行偏心との成分とに分離される。なお、レンズ1の傾きが小さい場合や、傾き偏心量と平行偏心量とを分離する必要がない場合は、S1第1フランジ面調整工程、およびS4第2フランジ面傾き測定工程は、必須ではない。上述したように、第1の実施の形態によれば、この偏心量測定方法は、光学素子の第1フランジ面を偏心測定装置の光軸に垂直に調整する第1フランジ面調整工程と、光源からの照明光を第1光学面に入射させ、第1光学面での照明光の反射によって結像される照明光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、該照明光を第2光学面に入射させ、第2光学面での照明光の反射によって結像される照明光源の像の第2の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、第2フランジ面の傾きを測定する第2フランジ面傾き測定工程と、第1の位置と第2の位置と第2フランジ面の傾きとに基づいて、第1光学面と第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えたことで、本偏心量測定方法は、光学素子の光学面の曲率半径に関わりなく、同一の測定光学系で偏心量を測定することができる。次に、光学素子の第2の例を、図8を用いて説明する。図8は、光学素子の第2の例としてのレンズの形状を示す模式図であり、図8aは、レンズの外形を示し、図8bは、レンズの図8aのA-A’断面を示す。図8aにおいて、レンズ1は、光学面2の周囲を、環状のフランジ部3が囲む形状をしている。光学面2の一方の面の中心には、センターマーク2cが設けられている。センターマークとは、レンズの光学面の中心に設けられたマークである。たとえば、レンズの光学性能に影響しない程度の小さな凸あるいは凹のマークである。センターマークを設ける方法として、例えば、成形金型の中心に凸部あるいは凹部を設け、それをレンズに転写する方法が容易かつ正確にマークを形成できるので好ましい。図16に示したような成形方法では、下型の面形状の方が転写性がよいため、多くは下型にセンターマークが設けられているが、これに限るものではなく、上型に設けられてもよいし、上型と下型の両方に設けられてもよい。図8の例では、第1光学面2aにセンターマーク2cが設けられているとする。図8bにおいて、レンズ1の光学面2は、曲率半径r1の第1光学面2aと、第1光学面2aに対向した曲率半径r2の第2光学面2bとで構成され、レンズ1は、両凹のレンズである。上述したように、第1光学面2aの中心にセンターマーク2cが設けられている。フランジ部3は、第1光学面2aに繋がった、光軸1axに垂直な平面である第1フランジ面3aと、第2光学面2bに繋がった、光軸1axに垂直な平面である第2フランジ面3bと、光軸1axに平行なレンズ端面3cとを有している。次に、本発明の一実施形態における偏心量の測定方法の第2の実施の形態について、図9から図11を用いて説明する。図9は、偏心量の測定方法の第2の実施の形態を示す工程図である。図10は、図9の各工程を示す模式図である。図11は、偏心量の測定時の測定用センサ上の像を示す模式図である。図9において、偏心量の測定方法の第2の実施の形態は、以下の5つの工程で構成される。S1第1フランジ面調整工程この第1フランジ面調整工程は、第1フランジ面3aを偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整する工程である。この工程は、図4および図5aに示した第1の実施の形態のS1第1フランジ面調整工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。S6センターマーク位置測定工程このセンターマーク位置測定工程は、第1光学面2aに設けられたセンターマーク2cの位置を測定する工程である。図9のステップS61で、図10aに示すように、対物レンズ240の焦点243が第1光学面2aに設けられたセンターマーク2cに合焦するように、対物レンズ240とレンズ1との間隔が変えられる。これによって、測定光学系300を介して、測定用センサ400の撮像面410上に、センターマーク2cの像が結像する。図4のステップS62で、図11に示すように、測定用センサ400の撮像面410上に結像されたセンターマーク2cの像の位置Icが測定され、記憶される。なお、図11の点Izは、光軸320の位置である。S3第2光源像位置測定工程この第2光源像位置測定工程は、第2光学面2bで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。この工程は、図4および図6aに示した第1の実施の形態のS3第2光源像位置測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。S4第2フランジ面傾き測定工程この第2フランジ面傾き測定工程は、第2フランジ面3bの傾きを測定する工程である。この工程も、図4および図6bに示した第1の実施の形態のS4第2フランジ面傾き測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。S5偏心量算出工程この偏心量算出工程は、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対偏心量を算出する工程である。図9のステップS53で、上述したS2センターマーク位置測定工程で測定された、第1光学面2aに設けられたセンターマーク2cの像の位置Icと、S3第2光源像位置測定工程で測定された、第2光学面2bで反射された光源210の像の第2の位置Ibとから、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量が算出される。偏心量の算出方法は、第1の実施の形態と同じである。図9のステップS52で、S4第2フランジ面傾き測定工程で測定された第2フランジ面3bの傾き、即ち、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な傾き偏心量を用いて、第1の実施の形態と同じ方法により、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量から第2光学面2bの傾き偏心量が分離され、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な平行偏心量が算出される。なお、第1の実施の形態と同様に、傾き偏心量と平行偏心量とを分離する必要がない場合は、S1第1フランジ面調整工程、およびS4第2フランジ面傾き測定工程は、必須ではない。上述したように、第2の実施の形態によれば、この偏心量測定方法は、光学素子の第1フランジ面を偏心測定装置の光軸に垂直に調整する第1フランジ面調整工程と、第1光学面に設けられたセンターマークの像の位置を測定するセンターマーク位置測定工程と、光源からの照明光を第2光学面に入射させ、第2光学面での照明光の反射によって結像される照明光源の像の第2の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、第2フランジ面の傾きを測定する第2フランジ面傾き測定工程と、センターマークの像の位置と第2の位置と第2フランジ面の傾きとに基づいて、第1光学面と第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えたことで、本偏心量測定方法は、光学素子の光学面の曲率半径に関わりなく、同一の測定光学系で偏心量を測定することができる。次に、光学素子アレイの例を、図12を用いて説明する。図12は、光学素子アレイの例としてのレンズアレイの形状を示す模式図であり、図12aは、レンズアレイの外形を示し、図12bは、レンズアレイの図12aのA-A’断面を示す。図12aにおいて、レンズアレイ10は、基板3の上に、光学面2を有するレンズ1が複数個形成されている。また、基板3上には、レンズアレイ10の製造時の位置あわせに用いられるアライメントマーク4が形成されている。ここで、図12aにおいて、その左右方向がx方向され、x方向に直交する方向がy方向とされる。レンズアレイ10は、WLOウェハレベルオプティクスと呼ばれる、半導体製造技術や設備を応用して基板上に数百から数千個にものぼるレンズ1を形成する技術で製造される。WLOは、金型を用いた注型成形だけでなく、例えばフォトマスクと感光材料とエッチング技術とを応用して、大量生産されることもある。図12bにおいて、レンズアレイ10の光学面2は、曲率半径r1の第1光学面2aと、第1光学面2aに対向した曲率半径r2の第2光学面2bとで構成されている。基板3は、第1光学面2aに繋がった、光軸1axに垂直な平面である第1フランジ面3aと、第2光学面2bに繋がった、光軸1axに垂直な平面である第2フランジ面3bとを有している。上述したアライメントマーク4は、第1フランジ面3a上に形成されている。レンズアレイ10は、図12bに破線で示したように、ダイシング等で個々のレンズ1に切り離される。あるいは、レンズアレイ10は、切り離されずに、所謂ハエの目レンズとして用いられる場合もある。次に、本発明の一実施形態における偏心量の測定方法の第3の実施の形態について、図13を用いて説明する。図13は、偏心量の測定方法の第3の実施の形態を示す工程図である。図13において、偏心量の測定方法の第3の実施の形態は、以下の5つの工程で構成される。S1第1フランジ面調整工程この第1フランジ面調整工程は、第1フランジ面3aを偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整する工程である。この工程は、図4および図5aに示した第1の実施の形態のS1第1フランジ面調整工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。S7アライメントマーク位置測定工程このアライメントマーク位置測定工程は、第1フランジ面3a上に形成されたアライメントマーク4の位置を測定する工程である。図13のステップS71で、レンズアレイ10が、図12に示したx-y面内で走査されるとともに、対物レンズ240の焦点243が、アライメントマーク4に合焦される。ステップS72で、測定用センサ400の撮像面410上に結像されたアライメントマーク4の像の位置が測定され、記憶される。図13のステップS81で、レンズアレイ10が図12に示したx-y面内で所定量だけ移動される。所定量は、アライメントマーク4からの移動時では、アライメントマーク4から次に測定するレンズ1の設計上の中心位置までの移動量であり、レンズ1から次のレンズ1までの移動時では、レンズアレイ10の各レンズ1の間隔である。S2第1光源像位置測定工程この第1光源像位置測定工程は、第1光学面2aで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。この工程は、図4および図5bに示した第1の実施の形態のS2第1光源像位置測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。S3第2光源像位置測定工程この第2光源像位置測定工程は、第2光学面2bで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。この工程は、図4および図6aに示した第1の実施の形態のS3第2光源像位置測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。図13のステップS82で、レンズアレイ10の全てのレンズ1について、S2第1光源像位置測定工程とS3第2光源像位置測定工程との測定が完了したか否かが確認され、全てのレンズの測定が完了するまで、上述したステップS81からS3第2光源像位置測定工程の各工程が繰り返される。全てのレンズの測定が完了するとステップS82;Yes、S5偏心量算出工程が実行される。S5偏心量算出工程この偏心量算出工程は、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対偏心量、およびアライメントマーク4と各レンズ1の中心とのズレ量を算出する工程である。図13のステップS51で、各レンズ1毎に、上述したS2第1光源像位置測定工程で測定された、第1光学面2aで反射された光源210の像の第1の位置Iaと、S3第2光源像位置測定工程で測定された、第2光学面2bで反射された光源210の像の第2の位置Ibとから、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量が算出される。偏心量の算出方法は、第1の実施の形態と同じである。図13のステップS54で、S7アライメントマーク位置測定工程で測定されたアライメントマーク4の像の位置と、ステップS81でレンズアレイ10が移動された所定量と、ステップS51で算出された第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量とから、アライメントマーク4と各レンズ1の中心とのズレ量が算出される。あるいは、レンズアレイ10の各レンズ1の中心の相対的なズレ量が算出されてもよい。上述したように、第3の実施の形態によれば、この偏心量測定方法は、光学素子アレイの第1フランジ面を偏心測定装置の光軸に垂直に調整する第1フランジ面調整工程と、アライメントマークの像の位置を測定するアライメントマーク位置測定工程と、光学素子アレイの各光学素子毎に、光源からの照明光を第1光学面に入射させ、第1光学面での照明光の反射によって結像される照明光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、該照明光を第2光学面に入射させ、第2光学面での照明光の反射によって結像される照明光源の像の第2の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、第1の位置と第2の位置とに基づいて、第1光学面と第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程、およびアライメントマークと各光学素子の中心とのズレ量を算出するズレ量算出工程とを備えたことで、この偏心量測定方法は、光学素子の光学面の曲率半径に関わりなく、同一の測定光学系で偏心量を測定することができる。次に、光学素子の第3の例を、図14を用いて説明する。図14は、光学素子の第3の例としてのミラーの形状を示す模式図であり、図14aは、ミラーの外形を示し、図14bは、ミラーの図14aのA-A’断面を示す。図14aにおいて、ミラー1は、光学面2の周囲を、環状のフランジ部3が囲む形状をしている。この例では、ミラー1は、図16に示したような方法で成形された後に、光学面2に例えばAgやAl等が蒸着等されて形成される。ここで、図14aにおいて、その左右方向がx方向され、x方向に直交する方向がy方向とされる。図14bにおいて、ミラー1の光学面2は、曲率半径r1の第1光学面2aで構成されている。フランジ部3は、第1光学面2aに繋がった、光軸1axに垂直な平面である第1フランジ面3aと、光軸1axに平行な端面3cとを有している。次に、本発明の一実施形態における偏心量の測定方法の第4の実施の形態について、図15を用いて説明する。図15は、偏心量の測定方法の第4の実施の形態を示す工程図である。図15において、偏心量の測定方法の第4の実施の形態は、以下の4つの工程で構成される。S1第1フランジ面調整工程この第1フランジ面調整工程は、第1フランジ面3aを偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整する工程である。この工程は、図4および図5aに示した第1の実施の形態のS1第1フランジ面調整工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。S9外形中心測定工程この外形中心測定工程は、ミラー1を光軸320に垂直な方向に走査して、ミラー1の外形の中心の位置を測定する工程である。第4の実施の形態では、ミラー1は、保持部500によって、光軸320の周りに回動可能かつ光軸320に平行に移動可能に保持されているだけでなく、光軸320に垂直な少なくとも2方向に移動可能に保持されている。図15のステップS91で、対物レンズ240の焦点243を第1フランジ面3aに合焦させた状態で、ミラー1を図14aに示したx方向に走査して、測定用センサ300で撮像されたミラー1の外形の画像から、ミラー1のx方向の外形の中心Cxが測定される。同様にして、図15のステップS92で、ミラー1を図14aに示したy方向に走査して、測定用センサ300で撮像されたミラー1の外形の画像から、ミラー1のy方向の外形の中心Cyが測定される。そして、こうして得られたCxとCyとから、ミラー1の外形の中心Cx,yが決定され、記憶される。S2第1光源像位置測定工程この第1光源像位置測定工程は、第1光学面2aで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。この工程は、図4および図5bに示した第1の実施の形態のS2第1光源像位置測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。S5偏心量算出工程この偏心量算出工程は、ミラー1の外形の中心Cx,yと第1光学面2aとの偏心量を算出する工程である。上述したS7外形中心測定工程で測定されたミラー1の外形の中心Cx,yと、S3第1光源像位置測定工程で測定された第1光学面2aで反射された光源210の像の第1の位置Iaとから、ミラー1の外形の中心Cx,yと第1光学面2aとの偏心量が、測定用センサ上における中心Cの位置と位置Iaとの距離により算出される。なお、光学素子がミラーではなく、上述した光学素子の第1あるいは第2の例や光学素子アレイの例のような第1光学面と第2光学面とを有する場合には、上述したS2第1光源像位置測定工程とS5偏心量算出工程との間に、第1の実施の形態のS3第2光源像位置測定工程とS4第2フランジ面傾き測定工程とが行われる。上述したように、第4の実施の形態によれば、この偏心量測定方法は、光学素子の第1フランジ面を偏心測定装置の光軸に垂直に調整する第1フランジ面調整工程と、光学素子を光軸に垂直な方向に走査して、光学素子の外形の中心の位置を測定する外形中心測定工程と、光源からの照明光を平行光にして第1光学面に入射させ、第1光学面での照明光の反射によって結像される照明光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、外形の中心の位置と第1の位置とに基づいて、外形の中心と第1光学面との偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えたことで、本偏心量測定方法は、光学素子の光学面の曲率半径に関わりなく、同一の測定光学系で偏心量を測定することができる。以上に述べたように、本実施形態によれば、この偏心量測定方法は、対向する第1光学面と第2光学面とを有する光学素子の偏心量測定方法であって、光源からの照明光を平行光にして前記光学素子の前記第1光学面に入射させ、前記第1光学面での照明光の反射によって結像される照明光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、前記照明光を前記第2光学面に入射させ、前記第2光学面での照明光の反射によって結像される前記照明光源の像の第2の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、前記第1の位置と前記第2の位置とに基づいて、前記第1光学面と前記第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程とを備える。これによって、この偏心量測定方法は、光学素子の光学面の曲率半径に関わりなく、同一の測定光学系で偏心量を測定することができる。また、本実施形態の偏心量測定方法は、対向する第1光学面と第2光学面とを有する光学素子の偏心量測定方法であって、前記光学素子の前記第1光学面に設けられたセンターマークの位置を測定するセンターマーク位置測定工程と、光源からの照明光を平行光にして前記第2光学面に入射させ、前記第2光学面での照明光の反射によって結像される照明光源の像の位置を測定する光源像位置測定工程と、前記センターマークの位置と、前記光源の像の位置とに基づいて、前記第1光学面と前記第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程とを備える。これによって、この偏心量測定方法は、光学素子の光学面の曲率半径に関わりなく、同一の測定光学系で偏心量を測定することができる。また、本実施形態の偏心量測定方法は、対向する第1光学面と第2光学面とを有する光学素子が、光軸に垂直な方向に複数個連結されて構成された光学素子アレイの偏心量測定方法であって、前記光学素子アレイに設けられたアライメントマークの位置を測定するアライメントマーク位置測定工程と、前記光学素子アレイを構成する光学素子毎に、光源からの照明光を平行光にして前記光学素子の前記第1光学面に入射させ、前記第1光学面での照明光の反射によって結像される前記光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、前記照明光を前記第2光学面に入射させ、前記第2光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の第2の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、前記第1の位置と前記第2の位置に基づいて、前記光学素子毎の前記第1光学面と前記第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程と、前記アライメントマークの位置と、前記偏心量とに基づいて、前記光学素子毎に、前記アライメントマークと各光学素子の中心とのズレ量を算出するズレ量を算出するズレ量算出工程とを備える。これによって、この偏心量測定方法は、光学素子の光学面の曲率半径に関わりなく、同一の測定光学系で偏心量を測定することができる。さらに、本実施形態の偏心量測定方法は、少なくとも第1光学面を有する光学素子の偏心量測定方法であって、前記光学素子を光軸に垂直な方向に走査して、前記光学素子の外形の中心の位置を測定する外形中心測定工程と、光源からの照明光を平行光にして前記第1光学面に入射させ、前記第1光学面での前記照明光の反射によって結像される照明光源の像の位置を測定する光源像位置測定工程と、前記外形の中心の位置と光源の像の位置とに基づいて、第1光学面の外形に対する偏心量を算出する偏心量算出工程とを備える。これによって、この偏心量測定方法は、光学素子の光学面の曲率半径に関わりなく、同一の測定光学系で偏心量を測定することができる。また、これら上述のいずれかの実施形態における偏心量測定方法において、好ましくは、前記光学素子は、少なくとも第1フランジ面を有する第1フランジ部を備え、前記第1フランジ面が前記照明光の光軸に垂直となるように調整する第1フランジ面調整工程を備える。また、この上述の偏心量測定方法において、好ましくは、前記光学素子は、前記第1フランジ面に対向する第2フランジ面を有する第2フランジ部を備え、前記第2フランジ面の前記照明光の光軸からの傾きを測定する第2フランジ面傾き測定工程をさらに備え、前記偏心量算出工程は、前記第2フランジ面傾き測定工程で求められた前記第2フランジ面の前記照明光の光軸からの傾きとに基づいて、前記光学素子の平行偏心量と傾き偏心量とを求める工程である。また、これら上述のいずれかの実施形態における偏心量測定方法において、好ましくは、前記照明光として、顕微鏡のケーラー照明を用いる。この出願は、2010年4月13日に出願された日本国特許出願特願2010-92057を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および/または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。"