"下式式中、Rは独立して各単位ごとにHまたはCS-2Xから選択され、Rの合計単位の5から70未満はCS-2Xであり、Xはアルカリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムであり、nはこの化合物が3000から100,000の範囲の合計分子量を有するような繰り返し単位の数であるのジチオカルバミン酸塩化合物。Rの合計単位の20から70がCS-2Xである請求項1に記載の化合物。Rの合計単位の35から50がCS-2Xである請求項1に記載の化合物。さらに、アクリレート、アクリルアミドまたはビニル含有モノマーのうち少なくとも1つを含む請求項1に記載の化合物。研磨固体を含有する半導体廃水から重金属イオンを沈殿させ、同時にマイクロフィルターの運転を向上させる方法であって、a請求項1に記載の、有効量のジチオカルバミン酸塩化合物を、少なくとも200ppmの量で研磨固体を含有する半導体廃水に添加する工程であって、前記重金属イオンが、銅、ニッケル、亜鉛、鉛、水銀、カドミウム、銀、鉄、マンガンおよびこれらの混合物からなる群から選ばれ、前記研磨固体が、アルミナ、シリカ、セリア、ゲルマニア、チタニア、ジルコニアおよびこれらの混合物からなる群から選ばれ、前記マイクロフィルターが0.1から5ミクロンの範囲の分画分子サイズを有しており、請求項1に記載の式中のRの合計単位の35から50がCS2であるところの工程と、b前記重金属イオンを沈殿させ、そして、前記廃水をマイクロフィルターを通過させて、研磨固体および沈殿した重金属イオンを除去し、マイクロフィルターの運転を向上し、前記運転によって、1日に、1フィート平方当り少なくとも48ガロンGFD1平方メートル当たり少なくとも2.2637×10-5m3の増加量をもって、平均流束の量を増加させる工程とを含む方法。前記ジチオカルバミン酸塩化合物を廃水に添加するのに先立ち、半導体廃水のpHを4と12の間で調節する工程をさらに含む請求項5に記載の方法。前記半導体廃水がさらに酸化剤を含む請求項5に記載の方法。前記酸化剤がヨウ素酸カリウム、フェリシアン化カリウム、過酸化水素、硝酸酸化鉄、硝酸銀、硝酸、硫酸、次亜塩素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、アンモニウムペルオキシ二硫酸塩、過酢酸、過ヨウ素酸、ペルオキシモノ硫酸、カリウムペルオキシモノ硫酸、ペルオキシモノ硫酸、マロンアミド、尿素-過酸化水素、重クロム酸カリウム、臭素酸カリウム、三酸化バナジウム、酸素飽和水、オゾン化水およびこれらの混合物からなる群から選ばれる請求項7に記載の方法。本発明は、DTC官能基を含有する新しい水溶性ポリマーおよび研磨固体を含む半導体廃水から金属イオンを沈殿させると同時にマイクロフィルター運転を向上させる方法にこのようなポリマーを使用することを指向する。DTC官能基を含有するこの新しい水溶性ポリマーは、半導体廃水を効率的に処理し、低レベルの製品不純物を含み、比較的容易に製造され、そして改善された固体/液体分離性能を示す。DTC官能基を含有する有効量のこのポリマーまたは類似のポリマーを半導体廃水に添加する場合、廃水から可溶性重金属イオンを沈殿させるのと同時にマイクロフィルター運転を向上させることが達成される。本発明は、研磨固体を含む半導体廃水からの金属イオンを沈殿させ、同時にマイクロフィルター運転を向上させる組成物と方法を指向する。本発明の組成物は、DTC官能基を含有する水溶性ポリマーであり、下式式中、RはHまたはCS2Xであり、Xはアルカリ金属ナトリウムまたはカリウム等の、アルカリ土類金属またはアンモニウムであり、nはこのポリマーが約3000から約100,000の範囲の合計分子量となるような繰り返し単位の数を持つを有する。新しい組成物は、ジアリルアミンを重合し、次に引き続いてそれをCS2と反応させて、ポリマー骨格上にDTC官能基を形成することにより製造される。ジアリルアミンは、また、好適なモノマーと共重合されてもよい。例えば、この好適なモノマーは、アニオン、カチオンあるいは中性電荷を有してよく、アクリレート、アクリルアミドまたはビニル含有モノマーを含んでよい。この合成は下記に示される。ポリマー上のDTC官能基すなわち、CS-2XとしてのRのパーセントの量は制御可能であり、少なくとも約5、好ましくは約20から約70であるべきである。DTC官能基を含有する生成水溶性ポリマーは、ポリエチレンイミン型骨格を用いる他の既知のDTCポリマーよりもさらに線状である、すなわち分岐が少なく、環状アミンを含む。また、本発明のポリマーは、ポリマー骨格中に2級アミン基のみを含み、不安定なナトリウムジチオカルバミン酸塩の形成と引き続いての硫化ナトリウムへの分解が除外される。本発明の方法によれば、DTC官能基を含有する新しい水溶性ポリマーまたは既知の水溶性ポリマーが使用されて、研磨固体を含む半導体廃水からの金属イオンを沈殿させ、同時にマイクロフィルター運転を向上させる。水溶性ポリマーはDTC官能基を含有し、式R’2N-Rを有する。式中、R’はアルキル基、アリール基またはこれらの置換誘導体であり、RはHまたはCS2Xあり、Xはアルカリ金属ナトリウムまたはカリウム等の、アルカリ土類金属またはアンモニウムである。当業者ならば、R’2N-Rはポリマー中の繰り返し単位であることを認識するであろう。本発明の実施で使用され得る水溶性ポリマーは、参照としてここに組み込まれている、好ましくは場合によっては米国特許第5,387,365号のポリジアリルアミン、ポリエチレンイミンとエピクロロヒドリンおよび多官能基のアミン縮合ポリマーのジチオカルバミン酸塩誘導体を含む。ここで使用されるように、ポリエチレンイミンは、二塩化エチレンとアンモニアから製造される縮合ポリマーを含む意味である。変性されて、ジチオカルバミン酸塩官能基を形成することができる、第一級あるいは第二級アミン基を含むいかなる好適なポリマーも本発明の実施で使用されてよい。半導体廃水から沈殿され得る可溶性重金属イオンは、銅、ニッケル、亜鉛、鉛、水銀、カドミウム、銀、鉄、マンガンおよびこれらの混合物を含む。半導体廃水中に存在し得る研磨固体は、アルミナ、シリカ、セリア、ゲルマニア、チタニア、ジルコニアおよびこれらの混合物を含む。酸化剤も半導体廃水中に存在してもよい。これらの酸化剤は、ヨウ素酸カリウム、フェリシアン化カリウム、過酸化水素、硝酸酸化鉄、硝酸銀、硝酸、硫酸、次亜塩素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、アンモニウムペルオキシ二硫酸塩、過酢酸、過ヨウ素酸、ペルオキシモノ硫酸、カリウムペルオキシモノ硫酸、ペルオキシモノ硫酸、マロンアミド、尿素-過酸化水素、重クロム酸カリウム、臭素酸カリウム、三酸化バナジウム、酸素飽和水、オゾン化水およびこれらの混合物を含む。本発明の必須要件ではないが、この酸化剤は、場合によっては廃水から除去されてよい。これらの酸化剤を除去する方法は、当業者には概ね知られている例えば、米国特許第5,464,605号を参照。しかしながら、この酸化剤が廃水から除去されない場合、あるいはいかなる酸化剤も残存する場合には、これらは、本発明の方法により還元されてよい。DTC官能基を含有する水溶性ポリマーは、研磨固体を含む半導体廃水からの金属イオンを効率的に沈殿させ、マイクロフィルター運転を同時に向上させる量で添加される。DTCポリマーは、少なくとも廃水から重金属イオンを沈殿するのに有効な量で廃水に添加されることが好ましい。このような有効量の添加は、マイクロフィルター運転を同時に向上させる。マイクロフィルターを通る透過液の流束をさらに増加させることが望ましい場合には、金属を沈殿させる量よりも多い量を廃水に添加することができる。添加量の調節は、マイクロフィルター運転の業者により手動で、あるいはポリマー-特異的センサーの使用により自動で行われ得る。DTCポリマーは、好ましくはマイクロフィルターの前にいかなる慣用の方法によっても、半導体廃水に添加され得る。また、DTCポリマーの半導体廃水への添加に先立ち、廃水のpHは、好ましくは4と12の間に調節されてよい。さらに好ましくは、pHは、6と10の間に調節されてよく、7と9の間が最も好ましい。本発明の実施での使用に好適なマイクロフィルターの形は、当業者には概ね知られている。このようなマイクロフィルターは、それぞれ、U.S.FilterMembralox登録商標およびU.S.FilterMemtekユニット等のセラミック膜および合成膜ユニットを含む。このマイクロフィルターは約0.1から約5ミクロンの範囲、さらに好ましくは、約0.1から約1ミクロンの範囲の分画分子サイズを有することが好ましい。本発明者らは、DTC官能基を含有する新しい水溶性ポリマーは、半導体廃水を効率的に処理し、低レベルの製品不純物を含み、比較的容易に製造され、改善された固体/液体分離特性を示すことを見出した。さらには、DTC官能基を含有する有効量の本発明のポリマーまたは類似のポリマーを半導体廃水に添加する場合、廃水からの可溶性重金属イオンの沈殿とマイクロフィルター運転の向上が同時に達成されることが見出された。DTC官能基を含有するポリマーは処理pHで負に帯電し、カチオン性ポリマーは流束の増大の用途等で通常使用されるWaterTreatmentMembraneProcesses、AmericanWaterWorksAssociationResearchFoundation、LyonnaisedesdesEaux、WaterResearchCommissionofSouthAfrica、McGraw-Hill、1996、Chap.16、CoagulationandMembraneSeparationを参照ので、これは驚くべきことである。小分子沈殿剤のナトリウムジメチルジチオカルバミン酸塩DMDTCをカチオン性凝固剤と共に使用することは、金属イオンの沈殿およびマイクロフィルター装置を用いての廃水からの除去についての当業者には知られている。しかしながら、その場合には、分散性と金属含有量の変化するレベルにより凝固剤と沈殿剤について適切な添加量の個別の決定を行わなければならない。凝固剤製品は流束を改善するかもしれないが、性能の一貫性が劣り、すなわち、透過液流束と品質が低減するという事は起こる。DTC官能基を含有するポリマーを使用する利点は、透過液の流束と透過液の品質に対する膜ユニットの増大した性能、並びに変化する廃水組成物に対する性能の一貫性である。また、使用される薬品と最終的には、生成する薬品スラッジの量はDMDTCと凝固剤に比べてDTCポリマーにより大いに低減される。次の実施例は、本発明を例示し、当業者に本発明を使用する方法を教示することを意図している。これらの実施例は本発明を限定すること、またはいかなる方法であれその保護を意図したものではない。実施例1ポリジアリルアミンジチオカルバミン酸塩ポリDAADTCの製造24.25gの濃HCl水溶液を24.25gの冷却されたジアリルアミンに添加した。この混合物を0.6にpH調節し、l1.62gの水と0.25mLのギ酸を添加した。この溶液を撹拌し、窒素で掃気し、次に80°Cまで温めた。3.71gの過硫酸ナトリウムと5.7gの脱イオン水からなる開始剤溶液を調整し、注射器ポンプを用いて、1時間の時間にわたって連続して添加した。反応が開始して約5分間後、この溶液は発熱を開始し、還流106°Cさせられた。発熱は1/2時間後おさまり始めた。開始剤の添加の完了に続いて、反応物を80°Cでもう1時間温め、次に冷却した。10.3gの水とpHを7.5に調節するために、数滴のNaOHを冷却した混合物に添加した。最終のポリジアリルアミン製品は金色であり、80cpsの粘度を有していた。理論的なポリマー固体遊離アミンとしては30であった。ポリDAADTC化合物を製造するのに次の方法を使用した。すなわち、50のアミン基をCS2により官能基化し、上記で製造した25.0gのポリジアリルアミン製品を9.0gの25NaOH溶液と混合し、次に、12.0mLのメタノールを添加して、いかなる不溶性ポリマーも溶解させた。引き続き、追加の6.2gの25NaOH溶液を1滴のDowfax2A1界面活性剤と共にこの混合物に添加した。次に、この混合物を反応フラスコに入れ、35°Cまで温めた。次に、この反応物に2.94gのCS2を注射器により少量ずつ1時間の時間にわたって添加した。CS2添加の過程で、この溶液を均質に保つために、小量合計5.7gの25NaOHを添加した。CS2添加が完了した後、この溶液温度を45°Cまで上げ、撹拌しながら2時間保った。得られた透明な、金褐色の溶液は12.2のpHと、19の理論ポリマー固体値ナトリウム塩としてを有していた。実施例2NALCO登録商標603、高分子量の二塩化エチレン-アンモニア縮合ポリマーNALCO登録商標603はNalcoChemicalCompanyから市販されているを使用し、それがほぼ35のDTC官能基の量を包含するように変性することにより、以下のポリマー製品8702-1を製造した。得られた製品は、本質的にNALMET登録商標8702NALMET登録商標8702はNalcoChemicalCompanyから市販されているの高分子量バージョンであった。150mLのNALCO登録商標603ポリマーの試料を50のNaOHを用いて9.1にpH調節した。123.54gのpH調節したポリマーを還流コンデンサーと磁気撹拌棒を備えたフラスコに添加した。35mLの脱イオンD.I.水、36.5gの50NaOHおよび0.24gのDowfax2A1界面活性剤を次に添加した。この溶液を34°Cまで温め、20.72gの二硫化炭素を注射器により少量ずつ1時間の時間にわたって添加した。添加が完了した後、反応温度を45°Cまで上げ、混合物を撹拌し、追加で3時間加熱した。得られた透明な、金色の溶液は、12.3のpHと28の理論ポリマー固体値ナトリウム塩としてを有していた。実施例3NALCO登録商標634若干高分子量バージョンのNALCO登録商標603を使用し、それがほぼ35のDTC官能基NALCO登録商標634はNalcoChemicalCompanyから市販されているを包含するように変性することにより、以下のポリマー製品8702-2を製造した。得られた製品は、本質的にNALMET登録商標8702の高分子量バージョンであった。8702-2の分子量は8702-1の分子量よりも高かった。150mLのNALCO登録商標634ポリマーの試料を50のNaOHを用いて9.0にpH調節した。100.0gのpH調節したポリマーを還流コンデンサーと磁気撹拌棒を備えたフラスコに添加した。23.9mLのD.I.水、27.35gの50NaOHおよび0.18gのDowfax2A1界面活性剤を次に添加した。この溶液を34°Cまで温め、l5.54gの二硫化炭素を注射器により少量ずつ1時間の時間にわたって添加した。添加が完了した後、反応温度を45°Cまで上げ、混合物を撹拌し、追加で3時間加熱した。得られた透明な、金色の溶液は、12.3のpHと27の理論ポリマー固体値ナトリウム塩としてを有していた。一般的な実験条件以下のマイクロフィルター実験実施例4-9のすべてにおいて、ガロン/ft2/日GFDでの膜流束またはGFDBでの透過性を使用して、性能データを比較した。膜透過性は、バールBで表わした膜間圧力TMPで割った流束GFDでのとして定義される。標準温度で、透過性P0はと表わされる。種々の温度下での運転に対しては、適切な補正を行わなければならない。実験において可能な場合には、温度を一定あるいはほぼ一定に保って、温度による流束の変化を最小にした。きっちりとした制御が可能でない場合には、補正を行って、温度で誘起された流束変化を計算に入れた。セラミックマイクロフィルターの方法指定された間隔で短い逆パルスを印加する連続逆パルス装置が備えられたT1-70卓上型セラミック膜ミクロ濾過パイロットユニットU.S.Filter、ワレンダール、ペンシルベニア州を次の実施例のすべてにおいて使用した。逆パルスは、ほぼ2分間毎に動作するように設定され、2-3秒の継続時間を有していた。特記しない限り、連続再循環モードでマイクロフィルターを動作した。4リットルの供給液を毎日新しく調製し、処理に添加するのに先立ち、特記しない限りpHを7.0と7.5の間で調節した。次に、これを処理液と一緒に合わせ、へらにより静かに撹拌して、混合約30秒し、必要ならばpH調節し、マイクロフィルタータンク中に入れた。試験は通常4-8時間の間継続した。連続再循環モードにおいては、濃縮液と透過液の流れをマイクロフィルタータンク中で一緒に合わせ、一定組成の供給液を与えた。ウェハー加工で使用される通常のスラリー組成物は、50nmから300nmもの大きなサイズの範囲の研磨粒子を含むことがあり得る。この研究群において見られる種々の試料に基づいて、Nalco標準試験溶液は、1000ppmの75nm0.075μのコロイド状SiO2粒子NALCO登録商標2329、40シリカ混合物からなると決められた。この溶液にクエン酸銅アンモニウムを添加して、0から10ppmの最終Cu濃度を得た。以下の実施例においてある場合に見ることができるように、スラリー固体の濃度、スラリー固体の内容、Cuの濃度および標準混合物のpHを変えた。マイクロフィルターの運転条件を次のパラメータ内に保った。温度:24°Cから30°CP入口:10-25psigP出口:10-25psigTMP=0.6から1.7バール流量:2.5gpm実験的な圧力とTMPはいくつかの実験時に広く変わったために、セラミックマイクロフィルターのすべての実験結果流束を温度補正した透過性の形で示す。セラミック膜のクリーニング方法清浄な水の透過性が450-500GFDB範囲以下に低下した場合に、膜をクリーニングした。脱イオン水はセラミック膜の孔を汚染するのに充分な溶解物を含んでいるために、Milli-Q精製水を用いて、すべての清浄な水の流束を得た。Milli-Q水は、脱イオンされ、活性炭、UV光および粒子濾過により処理した水道水から製造された、18メガオームの高純度水である。クリーニング溶液は、2NaOHと1000ppmの漂白剤からなっていた。この溶液を約70°Cまで加熱し、膜を通してほぼ1時間再循環した。冷却後、ユニットを排水し、Milli-Q水によりリンスした。以下の表1に示したポリマーを次の実施例で使用した。NALMET登録商標8702とNALMET登録商標1689NalcoChemicalCompany、ナパヴィル、イリノイ州から市販およびポリマー8702-1と8702-2それぞれ実施例2および3で製造されたは、すべて二塩化エチレンとアンモニアから製造された縮合ポリマーからのポリエチレンイミンのDTC誘導体である。Betz1722-150BetzDearborn、トレボース、ペンシルベニア州から市販は、ポリエチレンイミンPEIのDTC誘導体である。ポリジアリルアミンのDTC誘導体ポリDAADTCを実施例1で製造した。実施例4一連の実験において、標準試験溶液を用いて、膜を通る流束をモニターした。ジメチルジチオカルバミン酸塩DMDTCにより、あるいはジチオカルバミン酸塩官能基を含有するように誘導化されたポリマーにより、この溶液を処理した。ベンチマークとしてDMDTCをこの試験に含めた。すべてのポリマー製品を200ppmの添加量で供給した。下記の表2は、種々の化学薬品に対する結果を要約する。このポリマー製品のすべてBetz1722-150を除くは、未処理溶液に対して、またDMDTCにより処理された溶液に対して増大した流束向上を示した。Beta1722-150とNALMET登録商標1689等の高パーセントでCS2包含する製品は、このマトリックス中で他よりも低性能であった。それにも拘らず、これらの製品は、金属濃度、固体濃度、pH、添加量などの最適化された条件下でマイクロフィルターを通しての流束を向上させると期待される。最終銅濃度は、すべての場合において1ppm未満であった。実施例5標準スラリー溶液1000ppmSiO2、10ppmCuを用いて、NALMET登録商標8702を試験した。この製品を200ppmの添加量で供給した。7と11の間のpH値で性能を試験した。以下の表3は、試験結果を要約する。流束の増大はpH7と9で良好であり、pH11で劣っていた未処理の溶液の値に近づく。Cuは、すべての試料の透過液において<0.5ppmであった。実施例62000ppmのSiO2と10ppmのCuを含む実験溶液を種々の添加量のNALMET登録商標702により処理した。これらの条件下でCu除去に必要とされる理論量のNALMET登録商標8702は、200ppmである20:1製品/Cu比。表4に示すように、Cuを1ppmCu未満まで除去するのに必要とされるよりも少ない添加量で流束の増大が認められた。添加量を増加した結果、約500ppmの製品まで流束の増大が得られた。この濃度以上では、更なる性能の向上は見られなかった。理論的最小値あるいはそれ以上で、Cuは1ppm未満まで除去された。実施例7実施例1で製造したポリDAADTC製品を標準条件下1000ppmのSiO2、10ppmのCu、pH7、種々の添加量で試験した。下記の表5に示すように、300から600ppmの範囲の添加量で、未処理の溶液に比べて流束の増大が見られた。最終銅濃度はすべての場合において0.1ppm未満であった。実施例8研磨固体を含む溶液における流束の増大とCu除去について、NALMET登録商標8702を試験した。試験した固体は、アルミナスラリーMSW1500-Rodel,Inc.、ニューアーク、デラウェア州から市販とヒュームドシリカスラリーSemi-Sperse12-CabotCorporation、ボストン、マサチューセッツ州から市販であった。試験を1000ppmの固体と10ppmのCuで行った。加えて、600-800ppmの重亜硫酸塩によりこのアルミナスラリーを前処理して、スラリー中に存在する過剰の酸化剤を除去した。すべての場合に、このポリマーを200ppmで添加した。以下の表6および7に示すように、未処理ブランク溶液に比べて、良好な流束の増大が見られた。この実験の間、透過液中のCu濃度は、1ppmアルミナスラリー未満であり、0.1ppmヒュームドシリカスラリー未満であった。実施例92000ppmのヒュームドシリカ固体と10ppmのCuを含む試験溶液をNALMET登録商標8702により200および400ppmの添加量で処理した。未処理のヒュームドシリカスラリーに比べて、200ppmの処理物の添加は、表8に示すように、流束の増大を生じた。さらに高添加量のNALMET登録商標8702は、流束をさらに向上させなかった。透過液試料中のCu濃度は検出限界以下であった。本発明は、好ましい実施形態または例示の実施形態と関連して上述されているが、これらの態様は、本発明を網羅するもの、あるいは限定するものとして意図されていない。むしろ、本発明は、添付の特許請求に規定されているような、精神と範囲に含まれているすべての代替、修正および同等物を含むとして意図されている。"