半導体基板上に形成された絶縁層に形成され測定対象の電解液を保持する反応領域と、対向電圧を前記電解液に与える対向電極と、前記電解液の電圧をモニタする参照電極と、前記電解液に接触するように形成された作用電極と、前記参照電極によりモニタされた参照電圧が外部から与えられる駆動電圧と一致するように前記対向電圧の電圧値を制御する制御回路と、前記作用電極と、低電位側電源配線との間に接続され、前記作用電極を介して流出する電荷を蓄積するコンデンサと、前記コンデンサに生じる作用電圧を増幅して測定電圧を出力する増幅部と、前記作用電圧の変動を前記制御回路にフィードバックするフィードバック手段と、を有し、前記制御回路は、前記フィードバック手段により得た前記作用電圧の変動量に基づき前記対向電圧を制御して、前記参照電圧と前記作用電圧との電圧差を一定に維持する電気化学測定装置。前記制御回路は、反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子とを有し、前記出力端子から前記対向電圧を出力する差動アンプと、前記参照電圧を伝達するバッファ回路と、前記バッファ回路の出力と、前記差動アンプの前記反転入力端子との間に接続される第1の抵抗と、前記駆動電圧が与えられる外部入力端子と前記差動アンプの前記反転入力端子との間に接続される第2の抵抗と、を有し、前記差動アンプの前記非反転入力端子には前記作用電圧が入力される請求項1に記載の電気化学測定装置。前記制御回路は、反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子とを有し、前記非反転入力端子には定電圧が与えられ、前記出力端子から前記対向電圧を出力する差動アンプと、前記参照電圧を伝達するバッファ回路と、前記バッファ回路の出力と、前記差動アンプの前記反転入力端子との間に接続される第1の抵抗と、前記駆動電圧が与えられる外部入力端子と前記差動アンプの前記反転入力端子との間に接続される第2の抵抗と、を有し、前記駆動電圧は、前記測定電圧の変動に応じて電圧値が制御される請求項1に記載の電気化学測定装置。前記コンデンサと並列して設けられるリセットスイッチを有し、前記リセットスイッチは、半導体基板上に形成され、機械的な動作により導通状態が切り換えられる請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の電気化学測定装置。前記リセットスイッチは、バイメタル材料で形成され、熱反応により接点の導通状態が切り換えられる請求項4に記載の電気化学測定装置。前記リセットスイッチは、静電界による引力及び反発力により接点の導通状態が切り換えられる請求項4に記載の電気化学測定装置。前記電気化学測定装置は、一の半導体基板上に形成される請求項1~請求項6のいずれか1項に記載の電気化学測定装置。カレントミラー型の電流増幅回路では、トランジスタが動作する電流値以上でないと増幅できないが、その値はnAオーダーである。したがって、これ以下の電流値、例えばpAオーダー、あるいはそれ以下のfAオーダーの電流値は測定が困難である。したがって、カレントミラー型の増幅回路を使った方法では、測定する電気化学反応のサンプルの大きさが電流値により規制されてしまい、ある大きさ以下に小さくすることが難しいという問題がある。そこで、本発明では、半導体基板上に形成された絶縁層に形成され測定対象の電解液を保持する反応領域100と、対向電圧を前記電解液に与える対向電極2と、前記電解液の電圧をモニタする参照電極3と、前記電解液に接触するように形成された作用電極4と、前記参照電極によりモニタされた参照電圧が外部から与えられる駆動電圧と一致するように前記対向電圧の電圧値を制御する制御回路101と、前記作用電極と、低電位側電源配線との間に接続され、前記作用電極を介して流出する電荷を蓄積するコンデンサ8と、前記コンデンサに生じる作用電圧を増幅して測定電圧を出力する増幅部110と、前記作用電圧の変動を前記制御回路にフィードバックするフィードバック手段103と、を有し、前記制御回路は、前記フィードバック手段により得た前記作用電圧の変動量に基づき前記対向電圧を制御して、前記参照電圧と前記作用電圧との電圧差を一定に維持する電気化学測定装置を提供する。上記電気化学測定装置において、前記制御回路110は、反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子とを有し、前記出力端子から前記対向電圧を出力する差動アンプ102と、前記参照電圧を伝達するバッファ回路104と、前記バッファ回路の出力と、前記差動アンプの前記反転入力端子との間に接続される第1の抵抗105と、前記駆動電圧が与えられる外部入力端子と前記差動アンプの前記反転入力端子との間に接続される第2の抵抗106と、を有し、前記差動アンプの前記非反転入力端子には前記作用電圧が入力される電気化学測定装置を提供する。また、上記電気化学測定装置において、前記制御回路110は、反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子とを有し、前記非反転入力端子には定電圧が与えられ、前記出力端子から前記対向電圧を出力する差動アンプと、前記参照電圧を伝達するバッファ回路104と、前記バッファ回路の出力と、前記差動アンプの前記反転入力端子との間に接続される第1の抵抗105と、前記駆動電圧が与えられる外部入力端子と前記差動アンプの前記反転入力端子との間に接続される第2の抵抗106と、を有し、前記駆動電圧は、前記測定電圧の変動に応じて電圧値が制御される電気化学測定装置を提供する。また、上記電気化学測定装置において、前記コンデンサと並列して設けられるリセットスイッチ115を有し、前記リセットスイッチは、半導体基板上に形成され、機械的な動作により導通状態が切り換えられる電気化学測定装置を提供する。また、上記電気化学測定装置において、前記リセットスイッチは、バイメタル材料で形成され、熱反応により接点の導通状態が切り換えられる電気化学測定装置を提供する。また、上記電気化学測定装置において、前記リセットスイッチは、静電界による引力及び反発力により接点の導通状態が切り換えられる電気化学測定装置を提供する。また、上記電気化学測定装置において、前記電気化学測定装置は、一の半導体基板上に形成される電気化学測定装置を提供する。本発明にかかる電気化学測定装置によれば、少量の試料に対する測定の精度を向上させることができる。実施の形態1以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。実施の形態1にかかる電気化学測定装置は、1つの半導体基板上に測定試料例えば、電解液を入れる反応領域と電解液の電気化学反応を測定する測定回路とが形成される。そこで、実施の形態1にかかる電気化学測定装置が形成される半導体装置の断面図を図1に示す。図1に示すように、実施の形態1にかかる電気化学測定装置は、半導体基板23の表面に回路素子が形成される。半導体基板23は、例えばシリコンで形成される。また、図1に示す断面図では、回路素子としてMOSFETMetalOxideSemiconductorFieldEffectTransistor20~22を示した。しかし、実施の形態1にかかる電気化学測定装置は、図1に示したMOSFET20~22以外のトランジスタ等の回路素子を有する。半導体基板23の上層には、絶縁層13が形成される。そして、絶縁層13には、配線層10~12が形成される。配線層10~12に形成される配線は、ビア配線9を介して回路素子又は他の配線層の配線と接続される。また、図1に示す例では、配線と絶縁層13とによりコンデンサ8が形成される。絶縁層13の上層には、別の絶縁層6が形成される。絶縁層6には窪みが形成される。この窪みは、反応領域100となる。反応領域100には、電解液1が入れられる。反応領域100の底部には、対向電極2、参照電極3、及び、作用電極4が形成される。そして、対向電極2、参照電極3、及び、作用電極4は、ビア配線7を介して絶縁層13に形成された配線に接続される。なお、対向電極2、参照電極3、及び、作用電極4は、それぞれ、表面が白金、カーボン等の電気化学測定に適した材料で形成される。対向電極2は、電解液1に電圧を与える電極であるため、MOSFET20のドレインと接続される。参照電極3は、電解液1の電圧を測定するものであるためMOSFET21のゲートに接続される。作用電極4は、電解液1からの電流を流す電極であるためMOSFET22のゲートに接続される。このように、実施の形態1にかかる電気化学測定装置は、1つの半導体基板上に反応領域と測定回路とが一体に形成される。このように、反応領域と測定回路とを一体に形成することで、少量の試料に対する測定を精度よく行い、かつ、装置を小型化することができる。続いて、実施の形態1にかかる電気化学測定装置の構成について詳細に説明する。そこで、実施の形態1にかかる電気化学測定装置201のブロック図を図2に示す。図2に示すように、電気化学測定装置201は、反応領域100、制御回路101、コンデンサ8、及び、増幅部110を有する。また、電気化学測定装置201は、外部入力端子120、及び、外部出力端子121を有する。さらに、図2に示すように、電気化学測定装置201は、外部に設けられる駆動信号制御回路130から駆動電圧が入力される。この駆動電圧は、外部入力端子120を介して電気化学測定装置201に与えられる。反応領域100は、図1に示した反応領域100であり、対向電極2、参照電極3、及び、作用電極4が設けられる。対向電極2は、電解液1に対向電圧を与える電極である。参照電極3は、電解液1の電圧をモニタする電極である。作用電極4は、電解液1に接触するように形成され、電解液1からの電流を測定回路に抽出するための電極である。制御回路101は、参照電極3によりモニタされた参照電圧が、外部から与えられる駆動電圧と一致するように対向電極2の電圧値を制御する。より具体的には、制御回路101は、差動アンプ102、フィードバック配線103、バッファ回路104、第1の抵抗105、及び、第2の抵抗106を有する。差動アンプ102は、反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子とを有し、出力端子から対向電圧を出力する。差動アンプ102の非反転入力端子には、フィードバック配線103が接続される。フィードバック配線103は、コンデンサ8に蓄積された電荷により生じる電圧を差動アンプ102の非反転入力端子に与える。つまり、フィードバック配線103が実施の形態1におけるフィードバック手段となる。バッファ回路104の非反転入力端子には、参照電極3から参照電圧が与えられる。また、バッファ回路104の反転入力端子は、バッファ回路104の出力端子と接続される。そして、バッファ回路104は、参照電極3が測定した参照電圧を第1の抵抗105に出力する。差動アンプ102の反転入力端子は、第2の抵抗106を介して外部入力端子120に接続され、第1の抵抗105を介してバッファ回路104の出力端子に接続される。つまり、差動アンプ102の反転入力端子には、参照電圧と駆動電圧との電圧差を第1の抵抗105及び第2の抵抗106により分圧した電圧が与えられる。なお、第1の抵抗105と第2の抵抗106は、同一の抵抗値に設定される。コンデンサ8は、作用電極4と低電位側電源配線例えば、接地配線との間に接続される。そして、コンデンサ8は、作用電極4から与えられる電荷を蓄積して作用電圧を生成する。増幅部110は、コンデンサ8に生じた作用電圧を増幅して測定電圧を生成し、外部出力端子121を介して測定電圧を出力する。この測定電圧を外部の測定器で測定することで電解液1の反応を測定することができる。増幅部110は、MOSFET22、抵抗111、及び、増幅器112を有する。MOSFET22は、例えば、NMOSトランジスタである。MOSFET22のドレインには、定電圧Vconst1が供給される。MOSFET22のソースは、抵抗111を介して定電圧Vconst2が供給される。定電圧Vconst1は、例えば、電源電圧であり、定電圧Vconst2は、例えば、接地電圧である。MOSFET22は、ソースフォロワアンプとして機能する。増幅器112は、MOSFET22のソースに生じた電圧を増幅して出力する。続いて、実施の形態1にかかる電気化学測定装置201の動作について説明する。電気化学測定装置201では、コンデンサ8に電荷が蓄積されていない場合、作用電圧として0Vが生成される。このとき、駆動電圧をaVとすると、制御回路101は、参照電圧がaVとなるように対向電圧を制御する。このように、制御回路101が対向電極2を駆動することで、電解液1に電圧が印加される。これにより、作用電極4から電流e-が流れる。電流e-は、コンデンサ8に蓄積され、コンデンサ8には作用電圧が発生する。このとき、作用電圧がbVである場合、制御回路101は、参照電圧がabVとなるように対向電圧を制御する。つまり、制御回路101により、電解液1には常にaVが印加されるように制御される。このように、作用電圧の変動によらず、電解液1に印加される電圧を一定に維持することで、電解液1の酸化還元反応を安定して継続させることができる。また、実施の形態1にかかる電気化学測定装置201は、コンデンサ8に生じた作用電圧を増幅部110により増幅して測定電圧外部出力端子121の電圧を出力する。電気化学測定装置201において、増幅部110の増幅率ソースフォロワアンプと増幅器112の合計増幅率をAとすると、作用電極4に流れる電流e-の電流値は、測定電圧の微分値ΔV/Δtの1/A倍に等しくなる。つまり、電気化学測定装置201では、作用電圧を増幅することで微少な電流変化の観測を容易にし、計測された測定電圧から電流値を計算することで、微少な電流の測定を実現する。上記説明より、実施の形態1にかかる電気化学測定装置201では、作用電極4からの微少な電流によりコンデンサ8に生じる作用電圧を増幅部110で増幅して出力する。このようなコンデンサに電荷を蓄積する方式では、トランジスタによるリーク電流の問題を生じることなく、電流値に応じた電圧を生成することができる。また、作用電圧を増幅して測定電圧を生成することで、微少な電圧変化を的確に測定することができる。これにより、実施の形態1にかかる電気化学測定装置201は、カレントミラー型の電流増幅回路を採用した従来の方式ではトランジスタのリーク電流等の影響により測定の困難な微量な電流を測定可能になる。なお、コンデンサ8に生じる作用電圧はある範囲に収まっていなくてはならないため、作用電圧がその範囲を超えた場合にはリセット処理を行う必要がある。図2に示した電気化学測定装置201のブロック図では、リセットスイッチは入っていない。この場合は、電解液1を介して対向電極2からコンデンサ8の電荷を引き抜く。このリセット作業は、測定の前に行うほうがよい。コンデンサ8にリセット用の回路が入っていないのは、MOSFETを使ったスイッチにはリーク電流があり、雑音となって微量な電流を測れなくなるためである。また、実施の形態1にかかる電気化学測定装置201では、コンデンサ8に生じる作用電圧が上昇することに応じて作用電極4の電圧が上昇する。そのため、制御回路101の差動アンプ102の非反転入力端子に与えられる電圧が固定されていた場合、作用電極4の電圧が上昇するのに伴って、参照電極3の電圧と、作用電極4の電圧と、の電圧差が小さくなり、電解液1の酸化還元反応が不安定になる問題がある。しかし、実施の形態1にかかる電気化学測定装置201では、制御回路101の差動アンプ102の非反転入力端子に作用電極4の電圧例えば、作用電圧が与えられる。そのため、作用電圧が変動した場合であっても、制御回路101は作用電圧の変動に応じて、参照電極3と作用電極4との電圧差を一定に維持することができる。このような制御を行うことで、実施の形態1にかかる電気化学測定装置201では、作用電極4の電圧変動がなかったのと同様の酸化還元反応を維持することができる。実施の形態2実施の形態2にかかる電気化学測定装置202のブロック図を図3に示す。図3に示すように、実施の形態2にかかる電気化学測定装置202は、フィードバック配線103を削除して差動アンプ102の非反転入力端子に低電圧Vconst3を与える。加えて、実施の形態2にかかる電気化学測定装置202は、外部出力端子121から出力される測定電圧をフィードバック配線131を介して駆動信号制御回路130に与える。つまり、実施の形態2にかかる電気化学測定装置202は、作用電圧のフィードバックを外部に設けられる駆動信号制御回路130を介して行う。つまり、フィードバック配線131及び駆動信号制御回路130が実施の形態1におけるフィードバック手段となる。駆動信号制御回路130は、測定電圧から作用電極4の電圧を判断し、作用電圧の電圧値を加えた電圧を新たな駆動電圧として出力する。例えば、当初の駆動電圧がaVであった状態で作用電圧がbVとなった場合、新たな駆動電圧をabVとする。このように、駆動信号制御回路130を介して作用電圧をフィードバックするメリットは、駆動信号制御回路130が作用電圧の変化を監視することで、測定系が不安定になりそうか否かを判断できることである。例えば、作用電圧の変化が大きすぎるようなら、測定を中断するという判断を行うことができる。上記説明より、実施の形態2にかかる電気化学測定装置202で示したように、作用電圧のフィードバックは、外部の駆動信号制御回路130を介して行うこともできる。また、駆動信号制御回路130を介して作用電圧をフィードバックすることで、測定系の安定度を判断することもできる。実施の形態3実施の形態3にかかる電気化学測定装置203のブロック図を図4に示す。図4に示すように、実施の形態3にかかる電気化学測定装置203は、実施の形態2にかかる電気化学測定装置202にリセットスイッチ115を追加したものである。リセットスイッチ115は、コンデンサ8と並列に設けられる。リセットスイッチ115は、半導体基板上に形成される機械的な接点により導通状態を制御するものである。リセットスイッチ115は、導通した状態でコンデンサ8の電荷の引き抜きを行い、作用電圧を接地電圧にリセットする。リセットスイッチ115は、例えば、バイメタル材料、磁性材料等で形成することができる。リセットスイッチ115をバイメタル材料で形成した場合、熱反応により接点の導通状態が切り換えられる。また、リセットスイッチ115を磁性材料により形成した場合、静電界による引力及び反発力により接点の導通状態が切り換えられる。このように、半導体基板上に、機械的な動作により接点の導通状態を切り換えられるリセットスイッチ115を利用することで、リセットスイッチを介して流れるリーク電流の影響を防ぎながらコンデンサ8のリセットを行うことができる。また、リセットスイッチ115を設けることで、測定系が不安定になった場合にリセット動作を行い、測定を継続することができる。なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、第1および第2の抵抗の抵抗値は同じ値としたがが、参照電極の電圧の影響の程度を変えたい場合はそれに応じて第1および第2の抵抗の抵抗値の比率を変えてもよい。また第1および第2の抵抗にコンデンサなどを組み合わせ、ローパスフィルタなどの周波数特性を持つような構成にしてもよい。