"試料を観察するときにフォーカス条件および非点補正条件の調整を必要とする荷電粒子線装置において、前記試料上に荷電粒子線を集束させる対物レンズと、X方向の非点を調整するX方向非点補正器と、Y方向の非点を調整するY方向非点補正器と、前記対物レンズのフォーカス条件と前記X方向非点補正器のX方向非点補正条件と前記Y方向非点補正器のY方向非点補正条件とを制御する制御部と、予め定められたフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の組ごとに対応した練習用画像を記憶する記憶部と、ユーザの操作に応じて前記フォーカス条件と前記X方向非点補正条件と前記Y方向非点補正条件を設定する操作部と、前記操作部で設定された前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件の組に対応して前記記憶部から読み出された練習用画像を表示する表示部と、を備えることを特徴とした荷電粒子線装置。請求項1に記載の荷電粒子線装置において、前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件について調整の順番が指定されていることを特徴とする荷電粒子線装置。請求項2に記載の荷電粒子線装置において、前記フォーカス条件を、前記X方向非点補正条件および前記Y方向非点補正条件より先に調整するように調整の順番が指定されていることを特徴とする荷電粒子線装置。請求項1に記載の荷電粒子線装置において、さらに、前記記憶部より高速に画像を読み出すことができるメモリーを有し、前記メモリーは複数の前記練習用画像を前記記憶部から読み出し、前記表示部は前記メモリーを介して読み出された前記練習用画像を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。請求項1に記載の荷電粒子線装置において、ユーザの操作によって設定されたフォーカス条件、またはX方向非点補正条件、またはY方向非点補正条件、またはこれらの組み合わせを、予め定められた最適値と比較して最適値からのずれを評価する評価部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。請求項1に記載の荷電粒子線装置において、ユーザの調整前に前記表示部に表示する初期状態の練習用画像は、前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件の調整の難易度に応じて選択されることを特徴とする荷電粒子線装置。請求項1に記載の荷電粒子線装置において、ユーザが調整終了と判断したときに表示されている前記練習用画像と、予め定められたフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の最適値での画像とを比較表示することを特徴とする荷電粒子線装置。予め定められたフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の組ごとに対応した練習用画像を記憶する記憶部と、ユーザの操作に応じて前記フォーカス条件と前記X方向非点補正条件と前記Y方向非点補正条件を設定する操作部と、前記練習用画像を表示する表示部とを備えたコンピュータにおいて実行されるプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記操作部で設定された前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件の組に対応した練習用画像を前記記憶部から読み出し、前記記憶部から読み出した練習用画像を表示することを特徴とするプログラムが記憶された記憶媒体。従来、走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置は高価で、専門家のみが使用するものであった。しかし近年は、走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置が限られた人だけが使用する特別な装置でなくなってきたことで、ユーザの裾野が広がっている。そのユーザの誰もが手動調整技術を習得することが求められているが、観察のためのパラメータ全てを適切な値に調整することは非常に困難な状況である。それにもかかわらず従来、パラメータ調整技術は装置の操作経験を積むことで習得するしかなく、初心者にとっては装置の性能を十分に発揮させることが難しかった。特にフォーカス条件、非点補正条件は観察に必須であるにもかかわらず、上述したように同時に調整しなければいけないパラメータが3つもあるため、熟練者以外のユーザにとっては調整が困難であった。さらに、フォーカス、非点補正以外のパラメータであれば、あらかじめ熟練者が設定しておくことで対応可能であるが、フォーカス条件と非点補正条件は常に調整する必要がある。しかもこれらのパラメータは取得画像の画質に大きな影響を及ぼす。本発明は誰もが容易に手動調整技術を習得するためのパラメータ調整練習手段を備えた荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。上記課題を解決するため、フォーカス調整および非点調整の練習機能を荷電粒子線装置に備え付ける。ユーザの操作に応じて対物レンズのフォーカス条件とX方向非点補正器とY方向非点補正器の制御条件を設定し、設定されたフォーカス条件とX方向非点補正条件とY方向非点補正条件の組に応じて、当該制御条件に対応した練習用画像を記憶装置から読み出し、画面に表示することを特徴とする。本発明により調整の手順と方針を容易に理解できるようになるため、容易に手動調整技術を習得できるようになる。よって初心者であっても装置性能を十分に発揮させることが可能になる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下に説明する実施例では、フォーカス調整および非点補正条件の調整を必要とする荷電粒子線装置の一態様として、走査電子顕微鏡ScanningElectronMicroscope:SEMを例にとって説明するが、これに限られることはなく、例えば、液体金属イオン源や気体イオン源から放出されるイオンビームを試料に照射する集束イオンビームFocusedIonBeam装置に適用することも可能である。以下の実施例は荷電粒子線装置に観察条件の調整を練習するための練習機能が備えられている例を示すが、これらの機能はプログラムによって動作し、練習専用機などの荷電粒子線装置とは別に設けられたコンピュータによって実現されてもよい。プログラムによって実現される場合には既存の荷電粒子線装置をアップグレードし、本発明の練習機能を備えるようにすることも可能である。図1は本発明による走査電子顕微鏡の一例を示す概略構成図である。電子銃1から放射した一次電子ビーム2は、収束レンズ3及び対物レンズ8によって収束され、上段偏向器6と下段偏向器7によって試料9上で走査される。試料9から発生した信号電子は検出器10で検出され、走査位置に対応して記録された信号が画像表示装置18に表示される。試料9上に一次電子ビーム2を点状に集束するため、X方向非点補正器4、Y方向非点補正器5が設けられ、これらの制御条件を調整することで非点収差補正ができる。また収束レンズ3または対物レンズ8の励磁強度を調整することで試料上にフォーカスを合わせることができる。以上の電子光学系は走査電子顕微鏡カラム100に収められている。また、これらは高電圧制御回路11、集束レンズ制御回路12、X方向非点補正器制御回路13、Y方向非点補正器制御回路14、偏向器制御回路15、対物レンズ制御回路16、検出信号制御回路17を通して、コンピュータ19から制御されている。各制御回路は別々に設けられていても、一つの基板に設けられていてもよく、またコンピュータ19に含まれていてもよい。コンピュータ19には画像表示装置18、手動操作盤20、記憶装置21、メモリー22が接続されている。手動操作盤20を通して、装置のユーザは対物レンズ8のフォーカス条件、X方向非点補正器4、Y方向非点補正器5の非点補正条件を調整する。本実施例における練習用画像は記憶装置21に予め保存されている。またコンピュータ19がネットワークに接続されていれば、当該ネットワークに接続された別の記憶装置に練習用画像が記憶されていてもよい。ここで、練習用画像とは以下で説明する練習機能においてユーザの操作に応じて表示される画像をいい、各練習用画像はフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の3つからなるパラメータの組と対応付けられて予め記憶されたものである。すなわち、練習用画像とは、当該練習用画像に対応付けられたパラメータの組で荷電粒子線装置を制御して荷電粒子線照射によって画像取得した場合に得られることが予想される画像ということもできる。練習用画像はそれぞれのパラメータの組からなる条件下で実際に荷電粒子線を照射することで予め取得されたものであってもよいし、シミュレーションにより予め求められたものであってもよい。最適なフォーカス条件、非点補正条件は試料ごとに異なっており、ユーザは試料を交換するたびにこれらを最適値に調整することが必要となる。また同一試料であっても観察視野が異なると最適なフォーカス条件、非点補正条件は異なる。ユーザは画像表示装置18に表示された画像を見ながら、手動操作盤20を操作してフォーカス調整と非点補正条件調整を実施する。図2に手動操作盤20の一例を示した。フォーカス調整つまみ31は一般的に対物レンズ8に接続されているが、収束レンズ3に接続されていてもフォーカス調整可能である。X方向非点補正条件調整つまみ32とY方向非点補正条件調整つまみ33は、コンピュータおよびそれぞれの制御回路を通して、それぞれX方向非点補正器4とY方向非点補正器5に接続されている。なお、本実施例を含め以下の実施例では手動操作盤20によってフォーカス条件、または非点補正条件の調整をするようにしているが、これに限られず、例えばコンピュータ19に接続された汎用のマウスやキーボードを用いてもよい。走査電子顕微鏡に代表される荷電粒子線装置による良質な画像取得には、フォーカス調整と2種類の非点調整の、最低でも合計3パラメータの手動調整が必要となる。このため明確な方針を持たない調整で最適値に到達するのは困難であり、取得画像の像質に大きな個人差が存在する原因となっている。また、試料に電子線を長時間照射することで試料が破壊されることもあり、手早く最適な条件に調整する必要がある。しかし従来は走査電子顕微鏡を始めとする荷電粒子線装置は主に専門家が使用するものであって、画像取得のために最低限必要なこれらのパラメータに着目した練習機能は存在しなかった。前述の特許文献1は専門家でも技術習得が困難な収差補正の技術習得補助を目的としてシミュレーションを活用するものである。画像取得時に調整が必須となるこれら3つのパラメータに着目したものではない。また練習用画像が手動操作盤20の操作に応じて変化する速度が実際の操作と同一であることが望ましいが、特許文献1のようにパラメータごとにシミュレーションを繰り返していては応答速度の確保は困難である。以下、図3から図5を用いて本実施例のパラメータ練習機能を備えた荷電粒子線装置を説明する。コンピュータ19上でフォーカス非点調整の練習機能をオンにすると通常の観察モードから練習モードに切り替わる。本実施例では荷電粒子線装置自体が練習機能を備えているため当該切替手段を設けているが、プログラムにより練習専用機など他のコンピュータ等で実行する場合には切替手段は設けなくてもよい。フォーカス非点調整の練習機能が開始される図3のステップ31と、手動操作盤20と走査電子顕微鏡カラム100との接続は切断される。切断しないと調整練習のため荷電粒子線を実際に照射することになり、装置の故障や試料の破壊につながるからである。次に、初期状態の練習用画像が表示される図3のステップ32。初期状態の練習用画像は練習用画像取得部43が記憶装置21から読み出し、画像表示装置18に出力することで表示される。初期状態の練習用画像とはユーザによる調整が行われる前に表示される練習用画像のことをいう。つまり、このとき表示される練習用画像はフォーカス条件、または非点補正条件が最適値になっていないので、良質な画像ではない。初期状態は予めいくつかの画像に固定されていてもよいし、練習機能の開始に伴い無作為に選択されてもよい。ユーザがフォーカス調整つまみ31、X方向非点補正条件調整つまみ32、Y方向非点補正条件調整つまみ33を動かすと、手動操作盤20からコンピュータ19を通して各制御回路に対してユーザによって調整されたフォーカス条件、非点補正条件にするための制御信号が送られる図3のステップ33。制御信号読取部41はこの制御信号を読み取り、練習用画像取得部43、評価部44に送信する。通常の試料を観察するモードでは手動操作盤20から出力された制御信号は、制御信号読取部41、および制御信号送信部42を通して各制御回路へと出力されるが、練習機能をオンにしている状態では試料に荷電粒子線を照射する必要がないので、制御信号読取部41は制御信号送信部42および各制御回路図4の点線矢印部分に対して制御信号を出力する必要がない。記憶装置21には、予め定められた複数のフォーカス条件およびX/Yの非点補正条件の3つのパラメータの組に対して、それぞれ画像が保存されている。コンピュータ19に含まれる練習用画像取得部43は、ユーザによって調整されたフォーカス条件、X/Yの非点補正条件に対応した画像を記憶装置21から取得し、画像表示装置18にリアルタイムに表示する図3のステップ34。本実施例では各パラメータの組に対応した練習用画像を予め記憶しておくことで、ユーザの調整の都度シミュレーションする必要がなくなり、リアルタイムに表示することができ、荷電粒子線照射時の操作感に近い感覚で練習することが可能となる。ここで、図5を用いて、画像表示装置18に表示されるGUIGraphicalUserInterfaceについて説明する。コンピュータ19上でフォーカス非点調整の練習機能をオンにすると練習用GUI50が表示される。練習用画像表示部51には調整パラメータに対応した練習用画像が表示され、ユーザが調整したパラメータに対応した画像が表示される。このときユーザが最適値であると判断したフォーカス条件、非点補正条件が本当に最適値であるかわからないので、GUI画面上のボタン操作などによってユーザがフォーカス調整を終了した意思をコンピュータへ伝えたときに、予め定められた最適値における画像を表示するのがよい。これによってオペレータはどのように見える画像が最適画像なのかを認識しやすくなる。この際、ユーザが調整終了と判断したときに表示されている画像と最適パラメータセットにおける画像以下、理想画像というとを対比して表示されるようにするとよい。または、本当に最適値に調整できているかの評価を行うのがよい。本実施例では、評価部44がコンピュータ19に設けられている。評価部44は調整終了と判断された時点におけるパラメータの組と予め最適値として定められているパラメータの組最適パラメータセットとを比較する。評価部44はユーザが調整終了と判断したときに設定されているパラメータの組を制御信号読取部41から読み取り、読み取ったパラメータの組と最適パラメータセットとが合致するかを判断し、結果を画像表示装置18に出力する。最適パラメータセットはいわゆる正解値として用いられ、1つの初期状態の練習用画像に対して1組に決まるものである。予め最適値として定められているパラメータの組は記憶装置21から読み出してもよいし、評価部44内部のメモリー図示省略に記憶されていてもよい。出力としてはこれらのずれを表示してもよいし、これらのずれを点数化して結果を表示してもよい。または○×などを表示することにより合否判定してもよい。ユーザが最適値に調整できたと判断し、採点ボタン52を押すと、採点用GUI53が表示される。ユーザが最適値に調整できたと判断した調整終了画像が調整終了画像表示部55に、実際の最適値である理想画像が理想画像表示部56に比較表示され、合否表示部54に点数もしくは○×などを表示する。評価部44による評価により調整未完了と判断された場合には再度調整するようにユーザに促す画面を表示してもよい。戻るボタン57を押せば練習用GUI50に戻り再び調整練習を実行することができる。終了ボタン58を押すと練習機能は終了する図3のステップ36。調整経路を視覚的に示すために、フォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の3つのパラメータを軸としたグラフを図6に示した。以後このグラフで表される空間を調整パラメータ空間と呼ぶこととする。図6の空間上の各座標は3つのパラメータの組を表す。初期パラメータセット61からフォーカス調整経路62、X方向非点調整経路63、Y方向非点調整経路64を経由して最適パラメータセット65へ到達することで調整終了となる。ここに示した調整経路は最短のものであって、ユーザは通常試行錯誤しながらフォーカス条件、X/Y方向非点補正条件を調整するので、この経路上の画像を準備しているだけでは調整練習はできない。理想的には図6に示す3次元空間の各座標において、その座標値に対応するパラメータの組で荷電粒子線を照射した場合に取得されることが予想される練習用画像を、予め記憶装置に用意しておくのがよい。以上、本実施例に説明した、フォーカス条件、XおよびY方向の非点補正条件の調整練習手段を備えた荷電粒子線装置を用いることにより、初心者のユーザであっても調整の手順と方針を容易に理解でき、容易に手動調整技術を習得できるようになる。また、誰でも一定の方針でフォーカス条件、XおよびY方向の非点補正条件を調整できるようになるので、取得画像の質に個人差がなくなり、初心者であっても装置性能を十分に発揮させることが可能になる。実施例1では調整パラメータ空間に含まれる各点、すなわち全てのパラメータの組に対して練習用画像を予め記憶する構成とした。しかし、記憶装置21の容量には制限があり、選択できるパラメータ全ての組み合わせに対して練習用画像を準備しておくのは現実的でない。また、1回の練習に前述の調整パラメータ空間のすべての座標点に対応して容易された練習用画像を用いるわけではなく、練習用画像の利用効率の点からも現実的ではない。そこで、本実施例ではフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の調整手順を限定する。これによって練習機能において用いられる練習用画像が限定されるため、全てのパラメータの組に対して練習用画像を用意する必要はなく記憶容量は少なくてすむ。さらに調整手順を定めないと3つのパラメータを同時に変化させることになり初心者にとっては特に調整が困難になる。調整手順を定めることで初心者であっても明確な方針に基づいて調整をすることができるので、取得画像の画質に個人差がなくなり、誰でも一定の画質の画像を取得することができる。以下、実施例1と同様の部分は説明を省略する。図7ではフォーカス調整、X方向非点調整、Y方向非点調整の順としたが、X方向非点調整とY方向非点調整の順は逆でもよい。フォーカス調整済の状態で非点調整すると最適条件で像がシャープになるので調整しやすいが、フォーカス未調整のまま非点調整すると最適条件では像がぼやけるため調整が難しい。したがってフォーカス調整は第一に実施する必要がある。以下、図7,図8を用いて本実施例について説明する。図7において初期状態の練習用画像を表示するまで図7のステップ31,32は実施例1と同様である。本実施例では次に調整するパラメータをフォーカス条件に限定している。ユーザが手動操作盤20のフォーカス調整つまみ31を操作する図7のステップ71と、実施例1と同様、ユーザが操作したフォーカス条件に対応する練習用画像が表示される図7のステップ72。表示された練習用画像をユーザは確認し、フォーカス条件調整が最適値に調整できたと判断するまで、繰り返しフォーカス調整を行う。なお、フォーカス調整中はX方向およびY方向の非点補正条件は初期状態のまま固定される。このステップにおいて練習用画像として用いる画像群は図8のフォーカス条件調整の練習用画像準備領域81に含まれる画像である。ユーザがフォーカス条件を最適値に調整できたと判断した場合には、ユーザがフォーカス調整を終了した意思をコンピュータ19へ伝える図7のステップ73。コンピュータ19の評価部44によってフォーカス条件が最適値になっていると判断されれば次のステップに進む。フォーカス条件が最適値になっていない場合には、評価部44は再度フォーカス条件を調整する必要がある旨を伝えるメッセージを画面に表示し、ユーザに再度の調整を促す。ここでも実施例1と同様、点数付けなどユーザの調整状態を評価する処理を行ってもよい。フォーカス条件調整が終了すると、次にX方向の非点補正条件を調整する図7のステップ74旨のメッセージを画像表示装置18に表示する。ユーザが手動操作盤20のX方向非点補正条件調整つまみ32を操作すると、実施例1と同様、ユーザが操作したX方向非点補正条件に対応する練習用画像が表示される図7のステップ75。表示された練習用画像をユーザは確認し、フォーカス条件調整が最適値に調整できたと判断するまで、繰り返しフォーカス調整を行う。なお、このステップでは既にフォーカス条件の調整は最適値に設定されていることが保証されているので、フォーカス条件は最適値に固定、かつY方向の非点補正条件は初期状態に固定して、X方向の非点補正条件のみを調整可能とする。このステップにおいて練習用画像として用いる画像群は図8のX方向非点補正条件の練習用画像準備領域82に含まれる画像である。なお、図8ではX方向非点補正条件の練習用画像準備領域82が直線で表されているが、フォーカス条件調整ステップにおける調整誤差も考慮して、ある程度の幅を持った領域であってもよい。ユーザがX方向の非点補正条件を最適値に調整できたと判断した場合には、ユーザがX方向の非点補正条件調整を終了した意思をコンピュータ19へ伝える図7のステップ76。コンピュータ19の評価部44によってX方向の非点補正条件が最適値になっていると判断されれば次のステップに進む。X方向の非点補正条件が最適値になっていない場合には、再度X方向の非点補正条件を調整する必要がある旨を伝えるメッセージを画面に表示し、ユーザに再度の調整を促す。ここでも実施例1と同様、点数付けなどユーザの調整状態を評価する処理を行ってもよい。X方向の非点補正条件の調整が終了すると、次にY方向の非点補正条件を調整する図7のステップ77旨のメッセージを画像表示装置18に表示する。ユーザが手動操作盤20のY方向非点補正条件調整つまみ33を操作すると、実施例1と同様、ユーザが操作したY方向非点補正条件に対応する練習用画像が表示される図7のステップ78。表示された練習用画像をユーザは確認し、Y方向非点補正条件が最適値に調整できたと判断するまで、繰り返しY方向非点補正条件を調整する。なお、このステップでは既にフォーカス条件及びX方向非点補正条件は最適値に設定されていることが保証されているので、フォーカス条件及びX方向非点補正条件は最適値に固定して、Y方向の非点補正条件のみを調整可能とする。このステップにおいて練習用画像として用いる画像群は図8のY方向非点補正条件の練習用画像準備領域83に含まれる画像である。なお、図8ではY方向非点補正条件の練習用画像準備領域83が直線で表されているが、フォーカス条件調整ステップおよびX方向非点補正条件調整ステップにおける調整誤差も考慮して、ある程度の幅を持った領域であってもよい。ユーザがY方向の非点補正条件を最適値に調整できたと判断した場合には、ユーザがY方向の非点補正条件調整を終了した意思をコンピュータ19へ伝える図7のステップ79。コンピュータ19の評価部44によってY方向の非点補正条件が最適値になっていると判断されればすべてのパラメータの調整が最適値となっているので、フォーカス条件非点補正条件練習モードを終了する図7のステップ36。Y方向の非点補正条件が最適値になっていない場合には、再度Y方向の非点補正条件を調整する必要がある旨を伝えるメッセージを画面に表示し、ユーザに再度の調整を促す。ここでも実施例1と同様、点数付けなどユーザの調整状態を評価する処理を行ってもよい。以上、本実施例のように調整手順を予め決定しておくことで、ユーザは調整に際してどのような順番で調整を行えばよいかが明確となり、誰でも一定の方針でフォーカス条件、XおよびY方向の非点補正条件を調整できるようになる。これによって、取得画像の質に個人差がなくなり、初心者であっても装置性能を十分に発揮させることが可能になる。さらに、練習機能において用いられる練習用画像が限定されるため、練習用画像を保存する記憶装置の記憶容量は少なくてすむ。実施例1,2ではユーザの操作に応じて記憶装置21から適切な練習用画像を読み出して表示していたが、通常記憶装置はハードディスク等の大容量装置が用いられることが多く、このような装置は読み出し速度が遅い。このため、操作つまみを回したときに画像表示装置18に表示される画像が遅れて表示される。したがってユーザの操作に対する追従性が悪くなり、実際の操作感と異なるため技術習得が遅れる。この点で、特許文献1のように操作ごとにシミュレーションを実施するとシミュレーションにある程度の時間を要するため適切でない。本実施例では、できるだけリアルタイム性を確保するために、練習用画像はすべて高速アクセス可能なメモリー22に記憶装置21から転送しておく。転送は練習モードの開始とともに行うのが好ましい。装置構成や、練習モードのフローは実施例1,2と同様のため説明を省略する。さらに本実施例を実施例2と組み合わせた場合には、フォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の順に調整を実施するので、練習用画像の全てを一度にメモリー22に転送する必要はなく、フォーカス条件調整の練習用画像準備領域81に含まれる画像群、X方向非点補正条件調整の練習用画像準備領域82に含まれる画像群、Y方向非点補正条件調整の練習用画像準備領域83に含まれる画像群の3つの画像群に分割して、それぞれ前のステップの調整が終了した段階で、転送可能である。以上、本実施例を実施例1,2と組み合わせることで、ユーザの操作に対する追従性が良くなり、実際に試料を観察するときのような操作感を得ることができ、練習効率が上がる。実施例1から3では初期状態の練習用画像は固定または、無作為に選択されている。しかし、図4,図8に示される初期パラメータセット61が最適パラメータセット65から離れているほど調整は難しくなる。上述したとおり、近年荷電粒子線装置のユーザの裾野は広がっており、幅広いレベルのユーザが存在する。よって全てのユーザに同じ難易度の練習モードを提供することは必ずしも適切とはいえない。そこで本実施例では、調整難易度を選択可能とし、調整難易度に応じて初期パラメータセット61を準備する。すなわち、調整難易度が高いモードが選択されたときは図4,図8の調整パラメータ空間において、最適パラメータセット65からの距離が遠い点を初期パラメータセット61として設定する。逆に、調整難易度が低いモードが選択されたときは最適パラメータセット65からの距離が近い点を初期パラメータセット61として設定する。このようにして設定された初期パラメータセット61ごとに図8に示されるような練習用画像準備領域が定まるので、これらの領域に含まれる練習用画像を準備する必要が生じる。ここで初期パラメータセット61を練習用画像準備領域81,82,83に含まれるパラメータの組から選択するようにすれば、初期パラメータセット61が変更されても同じ練習用画像群を使えるため、新たに練習用画像を準備する必要はない。また、練習用画像として、どのような対象物の画像に対して調整するかによっても印象が異なる。すなわち、ユーザは常に標準試料を観察したいわけではなく、標準試料とは異なる種類の試料を観察するので、標準試料の画像で最適値に調整することができるようになったとしても完全にパラメータ調整技術を習得したとはいえない。よって、複数種類の試料に対して取得した画像、あるいは複数種類の試料に対して予めシミュレーションで形成した画像を、練習用画像として準備しておくのが好ましい。練習用画像として準備した試料ごとにパラメータ調整空間が形成される。よって、それぞれの試料ごとに、実施例1から3で説明したようなフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の組に対応した練習用画像を複数準備しておく必要がある。前述した難易度設定のGUIにおいて、またはその他のGUIにおいて、どの対象物を練習モードで用いるか選択できるようにするとよい。以上、本実施例を実施例1から3と組み合わせることで、ユーザの技術レベルに応じた難易度の練習モードを提供することができる。"