"セラミックからなり、且つ平面視が矩形の表面および裏面を有する複数の配線基板部を縦横に隣接して併有する製品領域と、上記と同じセラミックからなり、上記製品領域の周囲に位置する平面視が矩形枠状の表面および裏面を有する耳部と、隣接する上記配線基板部同士の境界、および上記製品領域と耳部との境界に沿って、表面および裏面の少なくとも一方に平面視が格子状に形成された分割溝と、を備えた多数個取り配線基板の製造方法であって、グリーンシートにおける上記耳部の表面上および裏面上の少なくとも一方にレーザ光を遮蔽する遮蔽板を配置する工程と、上記グリーンシートの製品領域および遮蔽板にレーザ光を照射しつつ走査することで、上記製品領域に分割溝を形成する工程と、を含む、ことを特徴とする多数個取り配線基板の製造方法。前記遮蔽板を配置する工程において、かかる遮蔽板における前記製品領域側の端部と、該製品領域および耳部の境界に形成される分割溝との距離が、0.5mm以下となるように上記遮蔽板が配置される、ことを特徴とする請求項1に記載の多数個取り配線基板の製造方法。前記遮蔽板は、金属あるいはセラミックからなる、ことを特徴とする請求項1または2に記載の多数個取り配線基板の製造方法。前記遮蔽板は、格子枠状である、ことを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の多数個取り配線基板の製造方法。本発明は、背景技術において説明した問題点を解決し、複数の配線基板部を併設した製品領域に対して格子状に形成する分割溝により破損したり、割れなどの不具合が生じにくい多数個取り配線基板の製造方法を提供する、ことを課題とする。以下において、本発明を実施するための形態について説明する。図1は、本発明の対象となるグリーンシート積層体gsを示す平面図である。予め、アルミナ粉末に樹脂バインダおよび溶剤などを適量ずつ配合してセラミックスラリとし、該セラミックスラリをドクターブレード法によってシート化して、複数のグリーンシート図示せずを製作した。次に、上記複数のグリーンシートごとの所定の位置を打ち抜き、得られた貫通孔にWまたはMo粉末を含む導電性ペーストを充填して未焼成のビア導体図示せずを形成すると共に、上記複数のグリーンシートごとの表面および裏面の少なくとも一方における所定の位置に上記同様の導電性ペーストを印刷により配設して、未焼成の内部配線層あるいは表面配線層何れも図示せずを形成した。次いで、上記ビア導体および配線層を有する複数のグリーンシートを、積層し且つ厚み方向に沿って圧着した。その結果、図1に示すように、平面視が正方形矩形の表面2および裏面3図示せずを有する複数の配線基板部1を縦横に隣接して併有する製品領域4と、該製品領域4の周囲に位置する平面視が矩形枠状の表面2および裏面3図示せずを有する耳部5と、上記配線基板部1,1間の境界および製品領域4と耳部5との境界となり平面視が格子状の分割予定面位置6と、を備えており、厚みが0.6mmのグリーンシート積層体gsが得られた。尚、図1中で破線で示す分割予定面6は、グリーンシート積層体gsの厚み方向に沿って配置した仮想線である。また、各分割予定面6の両端には、製品領域4と耳部5との境界に沿った分割予定面6と直交し且つ耳部5の領域内に長さ0.5mm以下で進入する分割予定面6の端部7が延在している。更に、表面2および裏面3は、前記グリーンシート積層体gsの配線基板部1、製品領域4、および耳部5について、共通して用いるものとする。更に、図2に示すように、グリーンシート積層体gsにおける耳部5の表面2上に、平面視が矩形枠状の遮蔽板10を配置した。該遮蔽板10は、板厚が約2mmのアルミニウム合金板あるいはニッケル合金板からなり、平面視が正方形の枠本体11と、その内側に開設された平面視が正方形の開口部13とを備えている。かかる開口部13は、グリーンシート積層体gsの製品領域4を包囲する四つの辺12を有し、製品領域4と耳部5との境界に位置する分割予定面6と、各辺12との間には、0.5mm以下の距離sの隙間幅が位置するように設定されている。即ち、上記開口部13の各辺12は、当該遮蔽板10における製品領域4側の端部である。尚、遮蔽板10の枠本体11における外側の各辺は、図3の垂直断面図で示すように、グリーンシート積層体gsの各側面8と一致するようにしたが、かかる側面8よりも外側に位置するようにしても良い。次に、図3中の左側に示すように、遮蔽板10と該遮蔽板10の開口部13内に露出するグリーンシート積層体gsの製品領域4の表面2に対して、これらの厚み方向に沿ってレーザ光Lを照射しつつ連続して、右側に向かって走査した。上記レーザ光Lは、UV-YAG、YVO4、あるいは半導体などの発光源から照射され、集光レンズ9によって焦点Fをグリーンシート積層体gsの表面2付近に保ちつつ、一定の条件で照射された。例えば、YAGレーザ光Lを用いた場合、一定の送り速度約100mm/秒とし、形成すべき分割溝14の深さが約200μmで且つ開口部の幅が約50μmの場合、上記レーザ光Lの照射条件は、周波数:約30~100Hz、繰り返し回数:2~5回とした。尚、図3中やこれ以降の図中における白抜きの矢印は、上記レーザ光Lの走査方向を示す。図3に続く図4の部分拡大断面図で示すように、遮蔽板10の枠本体11を幅方向に沿って横切ったレーザ光Lは、該遮蔽板10の開口部13を形成する一つの辺12を通過した直後から、グリーンシート積層体gsの表面2に対して照射された。その結果、該レーザ光Lの放射エネルギによって、遮蔽板10の上記辺12に隣接するグリーンシート積層体gsの表面2には、球状面16を含む凹部17が、上記辺12に最接近する平行な分割予定面6と直交状にして形成された。上記球状面16は、遮蔽板10に遮られていたレーザ光Lが、グリーンシート積層体gsの表面2に対する放射エネルギを急激に増加したことにより形成されたものと推測される。引き続いて、前記条件でレーザ光Lをグリーンシート積層体gsの製品領域4における中央側に向かって照射しつつ走査した。その結果、図4に続く図5の部分拡大平面図で示すように、遮蔽板10の開口部13における前記辺12と直角な方向に沿って、断面がV字形状で且つ直線状の底部15と、上記辺12に隣接する始端に球状面16とを有する分割溝14が形成された。更に、図6に示すように、前記条件でレーザ光Lをグリーンシート積層体gsの製品領域4を横切らせ、且つ遮蔽板10における反対側の枠本体11に照射しつつ走査した。その結果、遮蔽板10の開口部13において対向する一対の辺端部12,12間には、図6中で左右に4個が隣接する配線基板部1の表面2側を貫通する断面がV字形状で且つ直線状の底部15と、その両端にほぼ対称に位置する左右一対の球状面16とからなる分割溝14が形成された。図6中の右側部分を拡大した図7の部分拡大断面と図8の部分拡大平面図とで示すように、製品領域4内で隣接する4個の配線基板部1の表面2に沿って、断面V字形状の分割溝14を形成したレーザ光Lは、遮蔽板10における右側の枠本体11に遮られると同時に、その放射エネルギが急激に減少した結果、開口部13における右側の辺端部12に隣接する位置にも球状面16が形成された。前記分割溝14の始端および終端に位置する球状面16は、遮蔽板10の各辺端部12から0.5mm以下の距離s内に位置していた。換言すると、グリーンシート積層体gsの製品領域4に形成された分割溝14は、底部15が一定の深さである断面V字状の部分のみからなるものであった。尚、前記図3乃至図8で示したように、グリーンシート積層体gsの左右方向に沿った全ての分割予定面6に沿って、前記同様にレーザ光Lを照射しつつ走査することによって、各分割予定面6に沿って前記同様の分割溝14を形成した。次に、図9に示すように、図示の前後方向に沿った各分割予定面6に沿って、前記と同様にしてレーザ光Lを順次または同時平行的に照射しつつ走査した。その後、上記遮蔽板10をグリーンシート積層体gsから除去した。その結果、図10の垂直断面図および図11の平面図に示すように、グリーンシート積層体gsの表面2において、製品領域4を構成する複数の配線基板部1ごとの四辺と、該製品領域4と耳部5との境界とに沿って、全体の平面視が格子状を呈し、耳部5の領域内には両端の球状面16のみが長さ0.5mm以下で進入しており、且つ縦横に直交する複数の分割溝14が格子状に形成された。尚、図9,10において、遮蔽板10における製品領域4側の辺端部12と、製品領域4と耳部5との境界に沿って形成された分割溝14における外側の縁との間における距離sは、約0.50mmであった。更に、分割溝14が表面2に形成された前記グリーンシート積層体gsは、アルミナの焼成温度で焼成する工程と、得られたセラミック積層体における配線基板部1ごとの導体部分図示せずにNiおよびAuなどの金属メッキを施す工程と、を順次施された。その結果、セラミックからなり、複数の配線基板部1を縦横に隣接して併有する多数個取り配線基板を得ることができた。前記分割溝14は、耳部5内において殆ど形成されていなかったので、以上の分割溝14の形成工程後における後工程ごとにおいて、焼成前のグリーンシート積層体gsが、破損や崩壊したりせず、焼成工程やその後におけるセラミック製の多数個取り配線基板が割れたりする不具合は、全く生じなかった。以上のような多数個取り配線基板の製造方法によれば、前記遮蔽板10が配置された耳部5を除く、製品領域4内の配線基板部1,1間の境界、および該製品領域4と耳部5との境界に沿って、平面視が格子状の分割溝14が確実に形成できると共に、上記遮蔽板10によりレーザ光Lから遮られた耳部5には、分割溝14が形成されなかった。従って、耳部5に分割溝14の端部16のみが極く短い長さで形成されるに留まったので、グリーンシート積層体gsの搬送時における不用意な破損や、焼成時やその後における割れなどの不具合を確実に防止することができた。尚、前記分割溝14は、グリーンシート積層体gsの裏面3側にも形成しても良い。図12は、平面視が長方形を呈するグリーンシート積層体gsの図示しない耳部5における表面2上に配置した異なる形態の遮蔽板10aを示す平面図である。該遮蔽板10aも、前記同様のアルミニウム合金板などからなり、図12に示すように、左右一対の枠本体11と、各枠本体11の内側に位置する開口部13とを有し、隣接する開口部13,13間には、上記一対の枠本体11に共通する中桟11aが架設されており、平面視で全体が日の字格子枠形状を呈する。各開口部13は、上記グリーンシート積層体gsの各製品領域4を包囲する四つ辺12を有し、該製品領域4と耳部5との境界に位置する分割予定面6と、各辺12との間には、0.5mm以下の距離sが位置している。該距離sの耳部5には、各分割予定面6の両側の端部7が、0.5mm以下の長さで進入している。以上のような遮蔽板10aによれば、前記遮蔽板10による効果に加えて、図12における左右方向に沿った各分割予定面6に沿って前記レーザ光Lを照射しつつ走査するに際し、左右一対の開口部13内の各分割予定面6に沿って連続して、上記前記レーザ光Lの走査を行うことができる。従って、溝加工の位置合わせ回数を低減して、二つの製品領域4を併有する比較的広めの面積の表面2および裏面3を有するグリーンシート積層体gsに対する前記分割溝14を形成する工程に用いるには、最適である。図13は、平面視が正方形を呈するグリーンシート積層体gsの図示しない耳部5における表面2上に配置した更に異なる形態の遮蔽板10bを示す平面図である。該遮蔽板10bも、前記同様のアルミニウム合金板などからなり、図13に示すように、左右および上下一対で且つ合計四つの枠本体11と、各枠本体11の内側に位置する前記同様の開口部13とを有し、隣接する開口部13,13間には、上記四つの枠本体11に共通する十字形の中桟11bが架設されており、平面視で全体が田の字格子枠形状を呈している。以上のような遮蔽板10bによれば、前記遮蔽板10による効果に加え、図13の左右と上下方向に沿った各分割予定面6に沿って前記レーザ光Lを照射しつつ走査するに際し、左右一対と上下一対の開口部13内に露出する各分割予定面6に沿って連続して、上記前記レーザ光Lの走査を行える。従って、溝加工の位置合わせ回数を低減して、四つの製品領域4を併有する比較的大面積の表裏面2,3を有するグリーンシート積層体gsに対する前記分割溝14を形成する工程に最適である。本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。例えば、本発明の対象には、前記同様の製品領域4および耳部5を表面2および裏面3に有する単層のグリーンシートも含まれる。また、上記グリーンシートや前記グリーンシート積層体gsには、追って焼成した際に、ムライトや窒化アルミニウムなどの高温焼成セラミックや、低温焼成セラミックの一種であるガラス-セラミックとなる材料からなるものでも良い。更に、前記配線基板部1は、平面視が長方形を呈する形態でも良く、これに伴って、製品領域4全体が平面視で長方形を呈する形態としても良い。あるいは、平面視が正方形である複数の前記配線基板部1を併有する製品領域4が平面視で長方形を呈する形態としても良い。また、前記分割溝14は、グリーンシート積層体gsの裏面3側に対しても、表面2側の分割溝14と対称となるように形成しても良い。加えて、前記配線基板部1は、その表面2に電子部品を実装するためのキャビティを有する形態であっても良い。"