"真空チャンバを排気する真空ポンプ輸送システムであって、前記真空ポンプ輸送システムは、真空ポンプと、ガスを前記真空ポンプに運ぶ複数本のフォアラインとを有し、第1の低真空チャンバ排気段では、ガスを前記真空ポンプに運ぶために第1のフォアライン装置を連結するのが良く、第2の高真空チャンバ排気段では、ガスを前記真空ポンプに運ぶために前記フォアラインのうちの1本又は2本以上を有する第2のフォアライン装置を連結するのが良く、前記第2のフォアライン装置は、前記第1のフォアライン装置の全流体運搬断面積よりも大きな全流体運搬断面積を有する、真空ポンプ輸送システム。前記第2のフォアライン装置の前記フォアラインのうちの少なくとも1本は、前記比較的低い真空チャンバ排気段の間、前記第1のフォアライン装置から隔離される、請求項1記載の真空ポンプ輸送システム。前記第2のフォアライン装置は、前記第1のフォアライン装置の前記フォアラインのうちの1本又は2本以上を有する、請求項1又は2記載の真空ポンプ輸送システム。前記第2のフォアライン装置は、前記複数本のフォアラインを有する、請求項3記載の真空ポンプ輸送システム。前記第1のフォアライン装置は、第1のフォアラインを有し、前記第2のフォアライン装置は、前記第1のフォアライン及び第2のフォアラインを有する、請求項1~4のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。前記第1のフォアラインは、前記第2のフォアラインの断面積よりも小さい第1の断面積を有する、請求項5記載の真空ポンプ輸送システム。前記第1のフォアラインは、104~105mm2の断面積を有し、前記第2のフォアラインは、105~106mm2の断面積を有する、請求項6記載の真空ポンプ輸送システム。前記第1の比較的低い真空チャンバ排気段の間、ガスを前記真空ポンプに運ぶ前記第1のフォアライン装置を選択し、圧力が所定の圧力未満に減少すると又はチャンバ排気開始から所定の時点でガスを前記真空ポンプに運ぶ前記第2のフォアライン装置を選択するよう構成された制御ユニットを有する、請求項1~7のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。前記所定の圧力は、0.1mbar~10mbarである、請求項8記載の真空ポンプ輸送システム。前記制御ユニットは、前記制御ユニットから受け取った制御信号に従って前記第1のフォアライン装置又は前記第2のフォアライン装置を通るガスの流量を制御するために少なくとも1つの弁に動作可能に接続されている、請求項8又は9記載の真空ポンプ輸送システム。前記第2のフォアラインを前記真空ポンプ輸送システムから隔離するために前記第1のフォアラインの上流側に設けられた第1の弁及び前記第2のフォアラインの下流側に設けられた第2の弁を有する、請求項10記載の真空ポンプ輸送システム。前記制御ユニットは、前記真空ポンプ輸送システム内の圧力を検出するための圧力センサから圧力信号を受け取るよう動作可能に接続され、前記制御ユニット、前記圧力信号が所定量を下回る前記真空ポンプ輸送システム内の圧力の減少を指示している場合、制御信号を出力するよう構成されている、請求項8~11のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。前記第1のフォアライン装置は、前記真空チャンバの容積よりも少なくとも一桁少ない容積を有し、前記第2のフォアライン装置は、前記真空チャンバの容積と同一桁数の又はこれよりも多い容積を有する、請求項1~12のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。前記第2のフォアライン装置の前記全断面積は、排気速度が前記真空ポンプのポンプ輸送速度によって制限されるが、前記第2のフォアライン装置のコンダクタンスによっては制限されないよう寸法決めされている、請求項1~13のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。前記真空ポンプは、一方又は両方のフォアライン装置によって第2の真空ポンプに連結され、前記第2の真空ポンプは、前記真空チャンバに連結されている、請求項1~14のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。真空チャンバを排気する方法であって、前記方法は、流体を真空ポンプに運ぶ第1のフォアライン装置を連結して第1の比較的低い真空チャンバ排気段において前記第1のフォアライン装置を通ってガスを排気するステップと、ガスを前記真空ポンプに運ぶ第2のフォアライン装置を連結して第2の高い真空チャンバ排気段において前記第2のフォアライン装置を通ってガスを排気するステップとを有し、前記第2のフォアライン装置は、前記第1のフォアライン装置の全断面積よりも大きな全断面積を有する、方法。従来、真空チャンバを排気することができる速度を増大させるには、1つ又は複数の真空ポンプに大きなポンプ輸送速度又は圧縮度を与えていた。しかしながら、かかるポンプは、一般に、大型であり、電力を多く消費する。本発明の目的は、改良型真空ポンプ輸送システムを提供することにある。本発明は、真空チャンバを排気する真空ポンプ輸送システムであって、真空ポンプと、ガスを真空ポンプに運ぶ複数本のフォアラインとを有し、第1の低真空チャンバ排気段では、ガスを真空ポンプに運ぶために第1のフォアライン装置を連結するのが良く、第2の高真空チャンバ排気段では、ガスを真空ポンプに運ぶためにフォアラインのうちの1本又は2本以上を有する第2のフォアライン装置を連結するのが良く、第2のフォアライン装置は、第1のフォアライン装置の全流体運搬断面積よりも大きな全流体運搬断面積を有する、ことを特徴とする真空ポンプ輸送システムを提供する。本発明は又、真空チャンバを排気する方法であって、流体を真空ポンプに運ぶ第1のフォアライン装置を連結して第1の比較的低い真空チャンバ排気段において第1のフォアライン装置を通ってガスを排気するステップと、ガスを真空ポンプに運ぶ第2のフォアライン装置を連結して第2の高い真空チャンバ排気段において第2のフォアライン装置を通ってガスを排気するステップとを有し、第2のフォアライン装置は、第1のフォアライン装置の全断面積よりも大きな全断面積を有することを特徴とする方法を提供する。本発明は、第3の観点では、真空チャンバ排気装置であって、真空ポンプを真空チャンバにその排気のために連結する複数個のフォアライン装置を有し、フォアライン装置は、真空チャンバと真空ポンプとの間に第1及び第2のフォアライン装置を形成するよう構成された複数本の導管及び弁を有し、第2のフォアライン装置は、第1のフォアライン装置よりもコンダクタンスの高いものであり、真空チャンバ排気装置は、使用にあたり、真空チャンバ内の圧力がしきい圧力よりも低下すると、第1の装置から第2の装置に切り替えるよう構成されていることを特徴とする真空チャンバ排気装置を提供する。本発明を良好に理解するために、次に、例示として与えられているに過ぎない本発明の2つの実施形態について添付の図面を参照して説明する。図1を参照すると、真空チャンバ12を排気する真空ポンプ輸送システム10が示されている。真空ポンプ輸送システムは、真空チャンバ12を約1mbar~0.01mbarまで排気する真空ポンプ16、例えばルーツポンプ、クローポンプ又はスクロールポンプを有する。2つ又は3つ以上のかかるポンプを直列に又は並列に設けても良く、真空ポンプという用語は、それに応じて解されるべきである。複数本のフォアライン20又は導管が流体を真空チャンバ12から真空ポンプ16に運ぶために真空ポンプ16を真空チャンバ12に連結している。第1のフォアライン装置は、フォアラインのうちの1本又は2本以上を有し、この第1のフォアライン装置は、流体を運ぶための第1の全断面積を有する。第1のフォアライン装置は、低真空チャンバ排気段の間、ガスを真空ポンプに運ぶために連結されるのが良い。第2のフォアライン装置が1本又は2本以上のフォアラインを有し、第2のフォアライン装置は、第2の全断面積を有している。第2のフォアライン装置は、高い真空チャンバ排気段の間、ガスを真空ポンプに運ぶために連結されるのが良い。第1のフォアライン装置の全断面積は、流体を低真空状態で運ぶために適切に寸法決めされている。代表的には、低真空状態では、フォアラインコンダクタンスは、高く、従って、ポンプ輸送速度の制限を阻止するには小さな断面積が妥当である。さらに、第1のフォアライン装置の比較的小さい全断面積は、真空チャンバ及びフォアライン装置の全容積を減少させる。第2のフォアライン装置の全断面積は、流体を高い真空状態で運ぶために適切に寸法決めされている。第2のフォアライン装置の全断面積は、真空チャンバからの排気速度が真空ポンプのポンプ輸送速度によって制限されるが、第2のフォアライン装置のコンダクタンスによっては制限されないよう寸法決めされている。したがって、チャンバ排気速度を増大させることができ、高い真空圧力を得ることができる。図1に示されている例では、2本のフォアライン22,24が設けられている。真空ポンプ輸送システムは、弁26,28,30を有している。主弁26は、真空チャンバ12を第1のフォアライン22又は第2のフォアライン24に沿って真空ポンプ輸送システム10に連結するために動作可能である。弁28,30は、それぞれ、第2のフォアライン24の上流側及び下流側に位置している。第1のフォアライン装置では、弁28,30は、第2のフォアライン24を第1のフォアライン弁22から隔離するよう閉じられ、従って、主弁26が開いているとき、流体は、フォアライン22に沿ってのみポンプに運ばれる。第2のフォアライン装置では、弁28,30は、流体が第1のフォアライン22と第2のフォアライン24の両方に沿って真空ポンプに運ばれるよう開かれる。図示のように、第1のフォアライン22は、第2のフォアライン24の断面積よりも小さい断面積を有する。第1のフォアラインは、104~105mm2の断面積を有するのが良く、第2のフォアラインは、105~106mm2の断面積を有するのが良い。例えば、フォアラインは、断面が円形であるのが良く、第1のフォアラインは、100mmの直径及び約8,000mm2の断面積を有するのが良く、第2のフォアラインは、320mmの直径及び約80,000mm2の断面積を有するのが良い。フォアライン22,24の長さは、ほぼ同じであり、従って、第1のフォアラインは、第2のフォアラインのコンダクタンス及び容積よりも小さいコンダクタンス及び容積を有する。したがって、第2のフォアライン装置では、第2のフォアラインだけがガスを真空ポンプに運ぶのに連結されるのが良い。しかしながら、フォアライン22は、第2のフォアライン装置の全断面積及びコンダクタンスを増大させるために両方のフォアラインを通ってガスを運ぶことができるようフォアライン24に加えて用いられることが好ましい。変形例として、同等なサイズの2本のフォアラインが第1のフォアライン装置において第1のフォアラインがガスを真空ポンプに運び、第2のフォアライン装置において、両方のフォアラインがガスを真空ポンプに運ぶよう採用されても良い。さらに、多くのフォアラインが設けられても良く、第1の複数本のフォアラインが第1のフォアライン装置においてガスを真空ポンプに運ぶために選択されるのが良く、第2の複数本のフォアラインが第2のフォアライン装置においてガスを真空ポンプに運ぶために選択されるのが良い。第2のフォアライン装置は、第1のフォアライン装置のフォアラインの1本又は2本以上を有するのが良い。多くの真空ポンプ輸送システムでは、真空ポンプは、例えば真空ポンプが地下に収納設置された状態で上のフロア上のクリーンルーム内に配置される真空チャンバに連結されるのが良い半導体製造プラントでは、真空チャンバから或る程度の距離離して配置されるのが良い。フォアラインの経路は、真空ポンプを真空チャンバに連結するために多くの回数曲がることが必要な場合がある。各曲がり及びフォアラインの曲がり角度は、コンダクタンスに影響を及ぼす。というのは、多数回の曲がりは、コンダクタンスを減少させるからである。したがって、距離及び曲がり回数は、第1及び第2のフォアライン装置のコンダクタンスを定める際に考慮に入れられる。次に、図2に示されているグラフ図を参照する。このグラフ図は、x軸上に秒単位でチャンバ排気開始からの経過時間に対してy軸上に単位mbarでチャンバ内圧力をプロットしている。このグラフ図は、160mmフォアライン、250mmフォアライン、320mmフォアライン及び320/100mmフォアラインに関する曲線を示しており、これらフォアラインのうちの最後のものは、図1に示されているシステムの例である。試験された真空チャンバは、1m3であり、フォアラインの各々は長さ15mであり、真空チャンバと真空ポンプとの間に5つの曲がり部を有している。単一の160mm直径フォアラインの場合、プロットは、当初比較的急であり、比較的低いコンダクタンス及び小さい容量の飽和ラインが低真空段の間、チャンバ排気速度の増大を可能にしていることを示している。この点に関し、160mmフォアライン内の容積は少なく、従って、排気が必要なチャンバ及びフォアラインの全容積は減少する。しかしながら、これよりも高い真空段の間、プロットは、なだらかになる。というのは、160mmフォアラインの比較的低いコンダクタンスがチャンバから排気することができるガスの量を制限するからである。この例では、コンダクタンスの制限は、真空ポンプ輸送システムが真空チャンバを0.01mbarの標的圧力まで排気するのを阻止する。その代わり、プロットは、約0.03mbarでは横這いである。単一の250mm直径フォアラインの場合、プロットは、160mmフォアラインと比較して、最初は緩やかである。というのは、250mmフォアラインは、排気すべき容積が大きいからである。しかしながら、250mmフォアラインのコンダクタンスは、160mmフォアラインのコンダクタンスよりも大きいので、250mmフォアラインを有する真空ポンプ輸送システムは、60秒後、0.01mbarの標的圧力を得ることができる。単一の320mmフォアラインの場合、プロットは、この場合も又、250mmフォアラインと比較して緩やかである。というのは、320mmフォアラインは、排気すべき容積が大きいからである。しかしながら、320mmフォアラインのコンダクタンスは、250mmフォアラインのコンダクタンスよりも大きいので、320mmフォアラインを有する真空ポンプ輸送システムは、ほんの48秒後に0.01mbarの標的圧力を得ることができる。図1に示されている2段320/100mm直径フォアラインの場合、時刻0でのポンプダウンの開始時に、弁26は、ガスを100mmフォアライン22だけに沿って真空ポンプに運ぶよう動作する。弁28,30は、320mmフォアライン24を隔離するよう閉じられる。したがって、第1のフォアライン装置では、低真空チャンバ排気段の間、ガスは、比較的小さい断面積の100mmフォアライン22を通ってチャンバから比較的迅速に排気される。チャンバがこの例では1mbarである所定圧力に達すると又はこの場合24秒である所定の経過時間後に、システムは、第1のフォアライン装置から第2のフォアライン装置に切り替える。詳細に説明すると、弁28,30は、ガスをフォアライン24に沿って運ぶことができるよう開かれ、かくして、ガスは、チャンバ12からポンプ10まで100mmフォアライン22と320mmフォアライン24の両方に沿って運ばれる。したがって、第2のフォアライン装置では、高い真空、即ち低圧チャンバ排気段の間、ガスは依然として、高い全コンダクタンスのフォアライン22,24を通ってチャンバから比較的迅速に排気される。したがって、ほんの42秒後に0.01mbarの標的圧力に達する。或る場合において真空チャンバ内での処理が24時間という長い時間にわたって多くの全てではないとしてもサイクルにわたって起こると仮定すると、真空ポンプ輸送システム10は、相当な全体的時間の節約を可能にする。ポンプ排気が完了した後、処理が起こると、真空チャンバは、大気圧に戻ることができるようになり、その結果、処理された物品を取り出すことができる。真空チャンバが大気圧に戻ることができるようにする前に、弁28,30は、フォアライン24をシステムの残部から隔離するよう閉じられる。したがって、フォアライン24は、高い真空状態のままである。320mmフォアライン24は、チャンバポンプダウンの開始時に既に所望の低圧状態まで排気されていることが好ましい。320mmフォアラインがまだ排気されていない場合、初期ポンプダウンは、標準のポンプダウンよりも僅かに遅いが、次のポンプダウンは、速くなる。次の真空チャンバのポンプダウン中、システムが第1のフォアライン装置を第2のフォアライン装置に切り替えると、約1mbarの圧力状態にある真空チャンバと、約0.01mbarの圧力状態にあるあらかじめ排気されたフォアライン24との間には圧力勾配が生じる。圧力の均圧化により、図2で理解できるようにチャンバ内圧力の迅速な減少が生じ、図2では、プロットは、24秒の経過時間後、1mbarの圧力と0.35mbarの圧力との間でほぼ垂直である。再び図1を参照すると、制御ユニット32は、制御ライン破線で示されているによって主隔離弁26、上流側の補助弁28及び下流側の補助弁30に接続されている。制御ユニット32は、適当なプログラム式コンピュータ又は特注処理ユニットであるのが良い。制御ユニットは、真空チャンバ内の圧力又は経過時間に従って第1のフォアライン装置又は第2のフォアライン装置を選択するために弁を制御するよう構成されている。チャンバ内圧力が圧力信号を制御ユニットに出力することができる圧力計を有する場合、かかる圧力計を用いるのが良く、かかる圧力計は、真空ポンプ輸送システム10の一部をなさない。変形例として、真空ポンプ輸送システム10は、圧力を検出して圧力信号を制御ユニット32に出力する圧力計又はセンサ34を有しても良い。例えばフォアライン22内の圧力を測定するのが良い。圧力センサが存在しない場合、所定経過時間後に信号を処理ユニットに出力するためのクロック回路を設けるのが良く、その結果、処理ユニットは、第1のフォアライン装置と第2のフォアライン装置を切り替えることができるようになる。例えば、切り替え時間は、図2に示されているように20~30秒又は24秒であるのが良い。グラフ図に示されている例では、システムは第1のフォアライン装置から第2のフォアライン装置に替わる際の所定の圧力は、1mbarである。ただし、これは、0.1mbar~10mbarであっても良い。好ましくは、システムは、第1の低コンダクタンスフォアライン装置の圧力勾配が緩やかになり始めてチャンバ排気が遅くなった時点で切り替えを行う。第2の真空ポンプ輸送システム40が図3に示されており、この第2の真空ポンプ輸送システムは、真空チャンバを103~107mbarの範囲に排気するようになっている。第2の真空ポンプ輸送システムは、流体を真空チャンバからフォアライン装置のうちの少なくとも一方を通して図1を参照して上述した真空ポンプ16に運ぶよう連結された真空ポンプ14、例えばターボ分子ポンプを有する。この例では、真空ポンプ16は、ターボ分子ポンプ14のためのバッキングポンプとして役立つ。ターボ分子ポンプを低真空状態で作動させると、必ずポンプの損傷が生じ又はポンプが停動するので、真空ポンプ16は、まず、真空チャンバ及びターボ分子ポンプ内の圧力をターボ分子ポンプを安全に作動させることができる圧力まで低下させるよう作動される。適当な安全圧力は、1mbar~103mbarであるのが良い。適当な安全圧力までの圧力の減少を達成するため、真空ポンプ16は、図1を参照して上述したフォアラインとほぼ同じフォアラインにより真空ポンプ14に連結され、説明が煩雑になるのを避けるため、フォアラインに関する図1及び図2の構成の説明全体を繰り返すことはしない。しかしながら、かいつまんで言えば、図3では、真空ポンプ14は、主弁18を介して真空チャンバに連結され、主弁18は、真空ポンプ14を真空チャンバから隔離するよう閉鎖可能であり、又、ガスが真空ポンプ14まで流れることができるように開放可能である。ライン42が真空ポンプ14の排気部をフォアライン24に連結している。複数本のフォアライン20がチャンバ12から排気されたガスを真空ポンプ16まで運ぶために真空ポンプ16をチャンバ12に連結している。第1のフォアライン装置は、フォアラインのうちの1本又は2本以上を有し、かかる第1のフォアライン装置は、第1の全断面積を有する。第1のフォアライン装置は、低真空チャンバ排気段例えば、1mbarの圧力までの間、ガスを真空ポンプ16に運ぶために連結可能である。すなわち、チャンバ12は、当初、フォアライン22を介して排気される。第2のフォアライン装置は、1本又は2本以上のフォアラインを有し、この第2のフォアライン装置は、第1の断面積よりも大きな第2の全断面積を有する。第2のフォアライン装置は、高い真空チャンバ排気段例えば、1mbarの圧力未満の間、ガスを真空ポンプ16に運ぶために連結可能である。すなわち、チャンバ12は、第2の排気段の間、両方のフォアライン22,24を介して排気される。この例では、真空ポンプを1mbarを超える圧力で作動させることは安全ではなく、従って、真空ライン42は、フォアライン24にのみ連結される必要がある。というのは、真空ポンプ輸送システムは、ポンプ14の安全作動圧力を超えた圧力では第2のフォアライン装置への切り替えを行うからである。真空ポンプ14の安全作動圧力が切り替え圧力を超える例えば、1mbarを超える場合、真空ラインは、両方のフォアライン22,24に連結されるのが良い。図3の構成は、図1及び図2を参照して上述したように改造及び変形が可能である。"