第1ターミナル7aがインサート成形された第1ケース1と、測定媒体を導入する圧力導入孔23が形成された第2ケース20とが一体に組みつけられて構成されるケーシング100内に、前記第1ターミナル7aと電気的に接続されるセンサ部4が搭載されてなる圧力センサにおいて、前記センサ部4は、前記測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンシング部30と、前記第1ターミナル7aを介して外部回路110から前記センシング部30を駆動させる所定の電圧が印加される入出力端子50と、前記センサ信号が入力されて前記センサ信号に応じたパルス信号を出力する周波数生成回路43と、前記パルス信号によってオン、オフが制御されるスイッチング素子44と、前記スイッチング素子44に接続される抵抗45と、を有し、前記パルス信号に応じて前記スイッチング素子44がオンしたときに前記抵抗45に電流が流れることにより、前記入出力端子50の電圧が前記パルス信号に応じて変動し、前記第1ターミナル7aは、前記外部回路110から前記入出力端子50に前記所定の電圧を印加する入力ターミナルとされていると共に前記入出力端子50の電圧変動を前記外部回路110に出力する出力ターミナルとされていることを特徴とする圧力センサ。前記スイッチング素子44または前記抵抗45は、前記センシング部30と前記入出力端子50とを結ぶ接続ライン52に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。前記センシング部30と、前記接続ライン52における前記スイッチング素子44または前記抵抗45との接続点との間に一定の電圧を生成して出力する定電圧回路46を備え、前記定電圧回路46は、前記センシング部30に前記一定の電圧を印加することを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。前記抵抗45は、前記センシング部30を駆動させるのに必要な最低電圧を最低駆動電圧としたとき、前記スイッチング素子44がオンしたときの前記入出力端子50の電圧が前記最低駆動電圧より高くなる抵抗値とされており、前記定電圧回路46は前記最低駆動電圧より高い前記一定の電圧を前記センシング部30に印加することを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。前記定電圧回路46は、コンデンサを有していることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。前記周波数生成回路43は、前記センサ信号に応じたデューティ比を有するパルス信号を生成することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力センサ。前記周波数生成回路43は、前記センサ信号に応じた周期を有するパルス信号を生成することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力センサ。前記第2ケース20は金属製とされており、前記第1ケース1は、前記第1ターミナル7aに加えて前記第2ケース20と電気的に接続される第2ターミナル7bを備えており、前記センサ部4は、前記第2ターミナル7bと電気的に接続されるグランド端子51を有していることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の圧力センサ。しかしながら、上記圧力センサは、例えば、車両のエンジンルームに搭載されて用いられるが、近年ではエンジンルームの小型化が進められていることに伴って小型化が望まれている。特に、コネクタケースは、ハウジングのネジ部が被取付部材に固定されたときに突出した状態となるため、小型化が望まれている。本発明は上記点に鑑みて、小型化することができる圧力センサを提供することを目的とする。上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、第1ターミナル7aがインサート成形された第1ケース1と、測定媒体を導入する圧力導入孔23が形成された第2ケース20とが一体に組みつけられて構成されるケーシング100内に、第1ターミナル7aと電気的に接続されるセンサ部4が搭載されてなる圧力センサにおいて、以下の点を特徴としている。すなわち、センサ部4は、測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンシング部30と、第1ターミナル7aを介して外部回路110からセンシング部30を駆動させる所定の電圧が印加される入出力端子50と、センサ信号が入力されてセンサ信号に応じたパルス信号を出力する周波数生成回路43と、パルス信号によってオン、オフが制御されるスイッチング素子44と、スイッチング素子44に接続される抵抗45と、を有し、パルス信号に応じてスイッチング素子44がオンしたときに抵抗45に電流が流れることにより、入出力端子50の電圧がパルス信号に応じて変動し、第1ターミナル7aは、外部回路110から入出力端子50に所定の電圧を印加する入力ターミナルとされていると共に入出力端子50の電圧変動を外部回路110に出力する出力ターミナルとされていることを特徴としている。このような圧力センサでは、入出力端子50は外部回路110からセンサチップ4を駆動させる電圧が印加される従来の圧力センサにおける入力端子として機能すると共に、測定媒体の圧力に応じて電圧が変動するために従来の圧力センサにおける出力端子として機能する。すなわち、入出力端子50は、従来の圧力センサにおける入力端子と出力端子としての機能を備えている。このため、第1ターミナル7aは、外部回路110から駆動電圧を入出力端子50に印加する入力ターミナルになると共に入出力端子50の電圧変動を外部回路110に出力する出力ターミナルとなる。したがって、従来の圧力センサと比較して、ターミナルの本数を減らすことができる。このため、ターミナル7aを備えた第1ケース1を小型化することができ、これに伴って圧力センサを小型化することができる。また、第1ターミナル7aを入力および出力ターミナルとすることにより、ターミナルと接続される被取付部材側の端子数を減らすこともできる。この場合、請求項2に記載の発明のように、スイッチング素子44または抵抗45は、センシング部30と入出力端子50とを結ぶ接続ライン52に接続されているものとすることができる。また、請求項3に記載の発明のように、センシング部30と、接続ライン52におけるスイッチング素子44または抵抗45との接続点との間に一定の電圧を生成して出力する定電圧回路46を備え、定電圧回路46からセンシング部30に一定の電圧が印加されるようにすることができる。これによれば、入出力端子50の電圧がスイッチング素子44のオン、オフによって変動したとしても、センシング部30には定電圧回路46から一定の電圧が印加される。このため、センシング部30が誤作動することを抑制することができる。そして、請求項4に記載の発明のように、抵抗45を、センシング部30を駆動させるのに必要な最低電圧を最低駆動電圧としたとき、スイッチング素子44がオンしたときの入出力端子50の電圧が最低駆動電圧より高くなる抵抗値とし、定電圧回路46を最低駆動電圧より高い一定の電圧をセンシング部30に印加するものとすることができる。これによれば、センシング部30には最低駆動電圧より高い一定の電圧が印加されるため、センシング部30が作動しないことを抑制することができる。また、請求項5に記載の発明のように、定電圧回路46をコンデンサを有するものとすることができる。さらに、請求項6に記載の発明のように、周波数生成回路43をセンサ信号に応じたデューティ比を有するパルス信号を生成するものとすることができる。また、請求項7に記載の発明のように、周波数生成回路43をセンサ信号に応じた周期を有するパルス信号を生成するものとすることができる。そして、請求項8に記載の発明のように、第2ケース20を金属製とし、第1ケース1を第1ターミナル7aに加えて第2ケース20と電気的に接続される第2ターミナル7bを備えたものとし、センサ部4を第2ターミナル7bと電気的に接続されるグランド端子51を有するものとすることができる。このように、グランド端子51を有するセンサ部4とする場合には、当該グランド端子51と電気的に接続される第2ターミナル7bを金属製の第2ケース20と電気的に接続させてボデーアースすることにより、第2ターミナル7bを被取付部材側の外部回路110と電気的に接続させなくてもよくなる。このため、被取付部材側の端指数をさらに削減することができる。なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。第1実施形態本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。図1は、本実施形態における圧力センサの断面構成を示す図、図2は図1に示す圧力センサの正面図、図3は図1に示す圧力センサの上面図である。なお、図2および図3では、図1に示す圧力センサを縮小して示してある。図1~図3に示されるように、圧力センサは、本発明の第1ケースに相当するコネクタケース1を備えており、このコネクタケース1は、例えば、断熱樹脂材料であるPPSポリフェニレンサルファイド等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では略円柱状をなしている。そして、コネクタケース1のうち一端部図1中、下方側の端部の一面には凹部2が形成されており、他端部図1中、上方側の端部には開口部3が形成されている。コネクタケース1に形成された凹部2には本発明のセンサ部に相当するセンサチップ4が搭載されている。本実施形態のセンサチップ4は、表面に受圧面としてのダイヤフラム5を備え、このダイヤフラム5の表面に形成されたゲージ抵抗によってダイヤフラム5が受けた圧力を電気信号であるセンサ信号に変換して出力するセンシング部と、センシング部から出力されたセンサ信号に対して各種処理を行う信号処理部とを有する構成とされている。そして、このセンサチップ4は、ガラス等で構成される台座6と陽極接合等によって一体化されており、台座6を凹部2の底面に接着することでコネクタケース1に搭載されている。また、コネクタケース1には、センサチップ4と外部の回路等とを電気的に接続するための金属製棒状のターミナル7aと、センサチップ4と後述のハウジング20とを電気的に接続するための金属棒状のターミナル7bとが備えられている。これらターミナル7a、7bはインサートモールドによりコネクタケース1と一体に成形されることによってコネクタケース1内に保持されている。なお、本実施形態では、ターミナル7aが本発明の第1ターミナルに相当し、ターミナル7bが本発明の第2ターミナルに相当している。ターミナル7aは、コネクタケース1を貫通しており、一端側図1中、下方側の端部がコネクタケース1から凹部2内に突出し、他端側図1中、上方側の端部がコネクタケース1から開口部3内に突出している。また、ターミナル7bは、一端側図1中、下方側の端部がコネクタケース1から凹部2内に突出し、他端側図1中左方側の端部がコネクタケース1の側面から突出していると共に先端部がコネクタケース1の開口部3側に曲げられて板ばね形状とされている。そして、凹部2内に突出しているターミナル7a、7bの端部は、ボンディングワイヤ8を介してセンサチップ4と電気的に接続されている。また、開口部3内に突出しているターミナル7aの端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して外部回路と電気的に接続される。さらに、コネクタケース1の側面から突出しているターミナル7bの端部は、後述のハウジング20と接触している。すなわち、本実施形態では、コネクタケース1には2本のターミナル7a、7bが備えられている。そして、開口部3からはターミナル7aの他端側の端部のみが突出しており、この端部のみが外部回路と電気的な接続を行うことができる状態とされている。また、凹部2のうちターミナル7a、7bが突出している部分には、例えば、シリコーン系樹脂から成るシール材9が配置されている。このシール材9は凹部2とターミナル7aとの隙間を封止するためのものである。さらに、コネクタケース1には、例えば、圧力センサが車両等の被取付部材に搭載される際に、誤った方向に実装されることを抑制するポカよけ用の突起部10が形成されている。そして、コネクタケース1には本発明の第2ケースに相当するハウジング20が組みつけられてケーシング100が構成されている。これにより、センサチップ4がケーシング100内に搭載された状態になっている。具体的には、ハウジング20には収容凹部21が備えられており、この収容凹部21内にコネクタケース1のうち凹部2が形成された一端部側が挿入され、ハウジング20における収容凹部21の開口端22がコネクタケース1にかしめられることでコネクタケース1とハウジング20とが一体に組みつけられている。ハウジング20は、例えば、SUS等の金属材料より構成されており、コネクタケース1の側面から突出しているターミナル7bの他端部と接触することにより、当該ターミナル7bと電気的に接続されている。すなわち、ターミナル7bは、ボデーアースされている。また、ハウジング20は、測定媒体を導入するための圧力導入孔23と、圧力センサを被取付部材に固定するためのネジ部24とを備えている。特に限定されるものではないが、圧力導入孔23におけるセンサチップ4側の端部は、断面テーパ形状ラッパ形状に広げられている。さらに、ハウジング20のうち凹部2が形成されているコネクタケース1の一面と対抗する一面には、例えば、SUS等からなる円形のメタルダイヤフラム25とメタルダイヤフラム25の外縁部分に配置されている環状のリングウェルド26とが備えられている。そして、ハウジング20にはレーザ溶接等によりメタルダイヤフラム25の外縁部分およびリングウェルド26をハウジング20に対して溶接することで、ハウジング20、メタルダイヤフラム25およびリングウェルド26が溶け合った溶接部27が形成されている。なお、メタルダイヤフラム25のうち外縁部分はリングウェルド26と共にハウジング20に対して固定される部分であり、メタルダイヤフラム25のうち凹部2を閉塞する部分は測定媒体の圧力に応じて変位するダイヤフラム部として機能する部分である。このように構成されたコネクタケース1とハウジング20とにおいて、凹部2とメタルダイヤフラム25との間で圧力検出室28が構成されている。この圧力検出室28内には、メタルダイヤフラム25に印加された圧力をセンサチップ4に伝達するシリコーンオイル等の圧力伝達媒体29が充填されている。このような圧力検出室28を構成することにより、圧力導入孔23から導入された圧力は、メタルダイヤフラム25、圧力伝達媒体29を介してセンサチップ4のダイヤフラム5に印加される。また、コネクタケース1のうち凹部2が形成された一面には、凹部2を囲むように環状の溝11が形成されており、この環状の溝11には、例えば、シリコーンゴム等で構成されるOリング12が備えられている。このOリング12は、コネクタケース1とハウジング20とのかしめによるかしめ圧で押しつぶされることで圧力検出室28を封止するものである。次に上記圧力センサの回路構成について説明する。図4は、本実施形態における圧力センサの回路構成を示す図であり、ターミナル7aを外部回路と接続した状態のものである。図4および上記のように、本実施形態では、センサチップ4には、センシング部30と信号処理部40とが形成されており、さらに入出力端子50とグランド端子51とが形成されている。入出力端子50およびグランド端子51は、センサチップ4に形成されるパッド等である。そして、入出力端子50はターミナル7aを介して外部回路110と電気的に接続され、グランド端子51はターミナル7bを介してハウジング20と電気的に接続される。外部回路110は、圧力センサが被取付部材に取り付けられたときの被取付部材側の回路のことで、例えば、車両ECU等であり、本実施形態では、電源111、抵抗112、検出部113を有している。そして、電源111から抵抗112を介して入出力端子50にセンシング部30を駆動する所定の電圧を印加すると共に検出部113にて入出力端子50の電圧を測定して測定媒体の圧力を検出する。センシング部30は、入出力端子50と接続ライン52を介して接続されている。そして、ブリッジ回路を構成するようにダイヤフラム5上に形成された4つのゲージ抵抗31~34を備え、ダイヤフラム5に印加された圧力に応じたセンサ信号を出力する。信号処理部40は、増幅部41、補正演算部42、周波数生成回路43、スイッチング素子としてのオープンコレクタ44、オープンコレクタ44のコレクタと接続される抵抗45、定電圧回路46、センシング部30に流れる電流を調整する電流調整部47とを備えている。増幅部41は、オペアンプ等を有して構成されており、センシング部30におけるゲージ抵抗31、32の中点、ゲージ抵抗33、34の中点に接続されている。そして、この中点の電位差を差動増幅して補正演算部42に出力する。補正演算部42は、オペアンプやメモリ等を有して構成されており、増幅部41から入力された信号に対して温特補正やオフセット補正等を行って周波数生成回路43に出力する。周波数生成回路43は、本実施形態では、CPUやセンサ信号とデューティ比との関係が格納されたROM等を有して構成されており、増幅部41および補正演算部42を介してセンサ信号が入力されると、当該センサ信号に応じたデューティ比を有するパルス信号を生成して出力する。特に限定されるものではないが、周波数生成回路43は、例えば、センサ信号が大きくなるにつれてデューティ比が大きくなるパルス信号を生成するものとすることができる。オープンコレクタ44は、コレクタがプルアップ抵抗としての抵抗45を介して接続ライン52に接続されることで入出力端子50と接続されている。また、エミッタがグランド端子51と接続され、ベースが周波数生成回路43と接続されている。そして、周波数生成回路43から出力されるパルス信号に応じてオン、オフが制御される。具体的には、周波数生成回路43から出力されるパルス信号がハイであるときにオンとなり、ローであるときにオフとなるようになっている。このため、オープンコレクタ44がオンであるときには、抵抗45に電流が流れて入出力端子50の電圧が変動する。すなわち、入出力端子50の電圧は、オープンコレクタ44のオン、オフがセンサ信号に応じたパルス信号によって制御されるため、センサ信号に応じて変動する。言い換えると、入出力端子50の電圧は、測定媒体の圧力に応じて変動する。したがって、上記のように、検出部113は、入出力端子50の電圧変動を測定して測定媒体の圧力を検出する。つまり、本実施形態の入出力端子50は、外部回路110からセンサチップ4の各構成要素を駆動させる電圧が印加される入力端子としての機能と共に測定媒体の圧力を示す検出結果を出力する出力端子としての機能を果すものである。そして、入出力端子50と接続されるターミナル7aは、外部回路110から駆動電圧を入出力端子50に印加する入力ターミナルとしての機能と共に入出力端子50の電圧変動を外部回路110に出力する出力ターミナルとしての機能を果すものである。定電圧回路46は、オペアンプやトランジスタ等を有して構成されており、抵抗45と接続ライン52との接続点とセンシング部30との間に備えられている。そして、入力される電圧を降圧して一定の電圧を生成し、電流調整部47を介してセンシング部30に所定の駆動電圧を印加すると共に、増幅部41および補正演算部42に所定の駆動電圧を印加する。すなわち、上記のように、本実施形態の圧力センサは、オープンコレクタ44のオン、オフによって入出力端子50の電圧が変動するため、入出力端子50からそのままセンシング部30、増幅部41、補正演算部42に入出力端子50の電圧を印加すると、これらセンシング部30、増幅部41、補正演算部42が誤作動したり、作動しなかったりすることがある。つまり、定電圧回路46は、入出力端子50が電圧変動したとしても、センシング部30、増幅部41、補正演算部42に一定の電圧を印加することによってこれらセンシング部30、増幅部41、補正演算部42が誤作動したり、作動しなかったりすることを抑制するものである。具体的には、定電圧回路46は、センシング部30、増幅部41、補正演算部42を正常に駆動させるのに必要な最低電圧を最低駆動電圧V0とすると、定電圧回路46は最低駆動電圧V0以上である一定の電圧V1を生成して出力する。この場合、定電圧回路46に入力される電圧、つまり入出力端子50の電圧は、オープンコレクタ44がオンされているときに最も低くなり、このときの入出力端子50の電圧をViL、電源111から供給される電圧をVcc、抵抗112の抵抗値をR1、抵抗45の抵抗値をR2とすると、ViL=Vcc×R2/R1R2で示される。したがって、抵抗112、45は、ViL>V1を満たす抵抗値R1、R2とされている。なお、定電圧回路46に入力される電圧、つまり入出力端子50の電圧は、オープンコレクタ44がオフされているときに最も高くなり、このときの入出力端子50の電圧をViH、抵抗112の抵抗値をR1、抵抗112に流れる電流をIccとすると、ViH=Vcc-Icc×R1で示される。さらに、このような圧力センサを実際に車両に搭載した場合には、グランド端子51はターミナル7bを介してハウジング20と接続されてボデーアースされる。このため、使用環境によってグランド端子51の電位変動グランド浮きが発生する可能性があり、本発明者らは圧力センサを車両に搭載した場合には0.2~0.3V程度のグランド端子51の電位変動を確認している。したがって、上記圧力センサを車両に搭載する場合には、オープンコレクタ44がオンしたときの入出力端子50の電圧をV1より所定電圧高くなるように抵抗112、45の抵抗値R1、R2を選択することが好ましい。例えば、センシング部30、増幅部41、補正演算部42の最低駆動電圧V0が3Vである場合には、ViLを3.5Vとなるように抵抗112、45の抵抗値R1、R2を選択することが好ましい。これにより、グランド端子51の電位変動が発生したとしても定電圧回路46は最低駆動電圧V0より高い一定の電圧V1を生成して出力することができる。なお、抵抗112、45の抵抗値R1、R2をさらに正確に決定する場合には、定電圧回路46に流れる電流によって発生する電圧降下も考慮することが好ましい。続いて、上記圧力センサの作動について説明する。上記圧力センサは、例えば、車両のエンジンルームに搭載されて外部回路110としての車両ECUと接続され、エンジン内に吸入される空気の圧力を測定する吸気圧センサとして利用される。測定媒体が圧力導入孔23を通じてメタルダイヤフラム25に印加されると、圧力検出室28内に充填されている圧力伝達媒体29を介してセンサチップ4に形成されているダイヤフラム5に圧力が印加される。そして、ダイヤフラム5に圧力が印加されるとピエゾ抵抗効果によりゲージ抵抗32~35の抵抗値が変化するため、圧力に応じたセンサ信号が出力される。その後、このセンサ信号は、増幅部41で増幅されると共に補正演算部42で温特補正やオフセット補正がされた後、周波数生成回路43に入力される。周波数生成回路43では、センサ信号に応じたデューティ比を有するパルス信号を生成してオープンコレクタ44に出力する。オープンコレクタ44は、周波数生成回路43から出力されたパルス信号によってオン、オフが制御され、オープンコレクタ44がオンされると抵抗45に電流が流れて入出力端子50の電圧が変動する。言い換えると、入出力端子50の電圧は測定媒体の圧力に応じて変動する。したがって、外部回路110における検出部113にて入出力端子50の電圧変動を測定することにより、測定媒体の圧力が検出される。なお、オープンコレクタ44のオン、オフによって入出力端子50の電圧が変動するが、本実施形態では、定電圧回路46によってセンシング部30、増幅部41、補正演算部42には一定の電圧が印加されるため、これらセンシング部30、増幅部41、補正演算部42が誤作動したり、作動しなかったりすることは抑制される。次に上記圧力センサの製造方法について説明する。まず、ターミナル7a、7bがインサート成形されたコネクタケース1を用意する。具体的には、上記のように、ターミナル7bの他端部がコネクタケース1の側面から突出しており、他端部における先端部がコネクタケース1の開口部3側に折り曲げられて板ばねとして機能するようになっているものを用意する。そして、台座6とセンサチップ4とを接合したものを用意し、台座6をシリコーン系樹脂等による接着材を介して凹部2の底面に接着することによりセンサチップ4を凹部2に搭載する。次に、コネクタケース1のうち凹部2が形成された一面を上に向けた状態で凹部2内へシール材9を注入し、シール材9を凹部2の底面まで行き渡らせた後、硬化する。このとき、シール材9がセンサチップ4の表面に付着しないように、注入量を調整することが好ましい。その後、例えば、ワイヤボンディングを行い、センサチップ4とターミナル7a、7bのうち凹部2内に突出している一端部とをボンディングワイヤ8を介して電気的に接続する。次に、圧力伝達媒体29をディスペンサ等により凹部2内へ注入する。そして、この状態のものを真空室にいれて、凹部2内の余分な空気を除去する。その後、一面にメタルダイヤフラム25およびリングウェルド26が溶接されているハウジング20を用意し、真空室内でハウジング20を上から水平に保ったままハウジング20の収容凹部21にコネクタケース1が嵌合するように降ろす。続いて、コネクタケース1とリングウェルド26とが十分接するまで押さえる。これにより、凹部2、メタルダイヤフラム25およびリングウェルド26にて圧力検出室28が構成される。なお、ターミナル7bの他端部側の先端部は板ばねとして機能するように構成されているため、ハウジング20の収容凹部21にコネクタケース1を挿入したときにターミナル7bがハウジング20と接触してターミナル7bとハウジングとが電気的に接続される。その後、ハウジング20における収容凹部21の開口端22をコネクタケース1にかしめることにより、ハウジング20とコネクタケース1とを一体化する。このような製造方法により本実施形態の圧力センサが製造される。以上説明したように、本実施形態の圧力センサでは、入出力端子50は外部回路110からセンサチップ4を駆動させる電圧が印加される入力端子として機能すると共に、測定媒体の圧力に応じて電圧が変動する出力端子として機能する。そして、ターミナル7aは、外部回路110から駆動電圧を印加する入力ターミナルとされていると共に入出力端子50の電圧変動を外部回路110に出力する出力ターミナルとされている。したがって、従来の圧力センサと比較して、ターミナルの本数を減らすことができる。このため、コネクタケース1を小型化することができ、これに伴って圧力センサを小型化することができる。また、ターミナル7aを入力および出力ターミナルとすることにより、ターミナルと接続される被取付部材側の端子数を減らすこともできる。さらに、上記圧力センサでは、ターミナル7bがハウジング20にボデーアースされている。このため、ターミナル7bを開口部3内に突出させて被取付部材側の外部回路110と接続する場合と比較して、被取付部材側の端子数をさらに削減することができる。また、本実施形態では、センシング部30、増幅部41、補正演算部42に定電圧回路46から一定の電圧を供給するようにしている。このため、入出力端子50の電圧がオープンコレクタ44のオン、オフによって変動したとしても、これらセンシング部30、増幅部41、補正演算部42が誤作動したり、作動しなかったりすることを抑制することができる。他の実施形態上記第1実施形態では、センシング部30および信号処理部40が共通のセンサチップ4に形成されている例について説明したが、これらセンシング部30および信号処理部40はそれぞれ異なるチップに形成されていてもよい。また、上記第1実施形態では、周波数生成回路43はセンサ信号に応じたデューティ比を有するパルス信号を生成する例について説明したが、例えば、周波数生成回路43はセンサ信号に応じた周期を有するパルス信号を生成するようにしてもよい。そして、上記第1実施形態では、オープンコレクタ44と接続ライン52との間にプルアップ抵抗としての抵抗45を備えた例について説明したが、オープンコレクタ44とグランド端子51との間にプルダウン抵抗としての抵抗45を備えるようにしてもよい。さらに、上記第1実施形態において、定電圧回路46をコンデンサを有するものとすることができる。このようにコンデンサを備えた場合には、コンデンサに電荷が蓄積されるため、オープンコレクタ44がオンしたときの電圧の減少の仕方が緩やかになると共に、コンデンサを備えない場合より入出力端子50の最低電圧が高くなる。このため、例えば、コンデンサを備えない場合における入出力端子50の最低電圧ViLをV0より低くしても、コンデンサによって入出力端子50の最低電圧ViLをV0より高くすることができる。このため、検出部113の負荷を低減することができる。また、上記第1実施形態では、ViL>V0とした例について説明したが、ViL<V0とし、定電圧回路46から最低駆動電圧V0よりも低い電圧V2を生成して出力するようにすることもできる。この場合は、センシング部30、増幅部41、補正演算部42に最低駆動電圧V0以上の電圧が印加されるように、例えば、昇圧回路等を備えればよい。そして、上記第1実施形態では、周波数生成回路43として、センサ信号とデューティ比との関係が格納されたROM等を有するものを説明したが、次のような構成のものを採用することができる。すなわち、例えば、周波数生成回路43を発信回路および分周回路を有する構成とし、センサ信号を元に発信回路のコンデンサを充放電させてコンパレータで発信波形を生成すると共にこの発信波形を分周回路で分周することでパルス信号を生成するものであってもよい。さらに、上記第1実施形態では、定電圧回路46を備えてセンシング部30、増幅部41、補正演算部42に一定の電圧を印加するものについて説明したが、定電圧回路46を備えない構成とすることもできる。すなわち、定電圧回路46を備えない構成としても、入出力端子50の電圧はオープンコレクタ44のオン、オフによって制御されるため、本発明の効果を得ることができる。また、上記第1実施形態では、ターミナル7bの他端部はハウジング20と電気的に接続されてボデーアースされている例について説明したが、ターミナル7bの他端部は開口部3内に突出して外部回路110と電気的に接続されるようにしてもよい。このような圧力センサとしても、従来の圧力センサと比較して、ターミナルの本数を減らすことができる。このため、コネクタケース1を小型化することができ、これに伴って圧力センサを小型化することができる。そして、上記第1実施形態では、センサ信号は増幅部41にて増幅された後に補正演算部42で補正された後に周波数生成回路43に入力される例について説明したが、センサ信号がそのまま周波数生成回路43に入力される構成とすることもできる。