反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を吹き付けて堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記バーナの近傍に前記反応容器内へクリーンエアが導入されるクリーンエア導入口を設けるとともに、前記クリーンエア導入口と反対側に前記反応容器内のガスが排気される排気口を設け、前記ターゲットへの前記ガラス微粒子の堆積時に、前記クリーンエア導入口から、温度10°C以上40°C以下、湿度30以上70以下、0.3μm以上のダスト量100個/CF以下のクリーンエアを前記反応容器内へ供給することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。請求項1に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記クリーンエアを整流することにより、前記クリーンエア導入口における前記クリーンエアの流速をその変動幅が10以内になるように均一化して前記反応容器内へ供給することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。上記のように、クリーンエアを装置内へ導入すれば、装置内のクリーン度を高めてガラス微粒子堆積体への異物の付着や混入を抑えることができる。しかし、単に装置内にクリーンエアを導入しただけでは、ガラス微粒子の堆積時にガラス微粒子堆積体を局所的に冷却してしまい、ガラス微粒子堆積体にクラックが生じるおそれがある。また、外気が混入してしまい、ガラス微粒子堆積体を焼結した透明ガラス母材に異物や気泡が残留するおそれがある。そして、異物や気泡が残留した透明ガラス母材では、光ファイバを線引きした際に、線引きの張力により光ファイバが断線するおそれがある。本発明の目的は、ガラス微粒子堆積体にクラックを生じさせず、また、異物や気泡の残留なく、高品質な透明ガラス母材を低コスト且つ生産性を向上させて得ることができるガラス微粒子堆積体の製造方法を提供することにある。上記課題を解決することのできる本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法は、反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を吹き付けて堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記バーナの近傍に前記反応容器内へクリーンエアが導入されるクリーンエア導入口を設けるとともに、前記クリーンエア導入口と反対側に前記反応容器内のガスが排気される排気口を設け、前記ターゲットへの前記ガラス微粒子の堆積時に、前記クリーンエア導入口から、温度10°C以上40°C以下、湿度30以上70以下、0.3μm以上のダスト量100個/CF以下のクリーンエアを前記反応容器内へ供給することを特徴とする。本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記クリーンエアを整流することにより、前記クリーンエア導入口における前記クリーンエアの流速をその変動幅が10以内になるように均一化して前記反応容器内へ供給することが好ましい。本発明によれば、クリーンエアの供給条件を、温度10°C以上40°C以下、湿度30以上70以下、0.3μm以上のダスト量100個/CF以下とすることにより、ガラス微粒子堆積体におけるクラックの発生を防止することができる。また、ガラス微粒子堆積体を焼結した透明ガラス母材における異物や気泡の残留を防止することができる。これにより、製造したガラス微粒子堆積体を焼結して得られた透明ガラス母材から光ファイバを線引きする際の断線を極力なくすことができる。そして、低コスト且つ生産性を向上させて光ファイバの母材を製造することが可能となる。以下、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。図1に示すように、ガラス微粒子堆積体の製造装置10Aは、上部支持装置11の支持棒12及び下部支持装置13の支持棒14に連結されて軸回りに回転するターゲット15を収容する反応容器16を備えている。上部支持装置11は上部煙突17に覆われ、下部支持装置13は下部煙突18に覆われている。反応容器16には、ガラス原料ガスと可燃性ガス及び助燃性ガスとから火炎加水分解反応により生成するガラス微粒子をターゲット15に向けて吹き付ける複数本の酸水素火炎バーナ21を備えている。これらのバーナ21は、ターゲット15に対して自動後退等を行う移動機構図示省略に支持されている。この製造装置10Aでは、ターゲット15を軸回りに回転自転させながらその軸方向に沿って上下に往復移動させることにより、ターゲット15の表面に、バーナ21で生成されたガラス微粒子を周方向及び長手方向に均一に堆積させてガラス微粒子堆積体22を製造する。すなわち、製造装置10Aは、ターゲット15に対して複数のバーナ21が短く相対的に往復してガラス微粒子を堆積させるMMD多バーナ多層付け法によりガラス微粒子堆積体22を製造する構成となっている。反応容器16は、ニッケル等の耐食性金属材料から形成されたものであり、バーナ21の配置側の一側面が、クリーンエア導入口25とされており、このクリーンエア導入口25からクリーンエアCAが送り込まれる。このクリーンエア導入口25には、メッシュ状壁部26が設けられて、反応容器16内へ送り込まれるクリーンエアCAが、メッシュ状壁部26によって整流されることが好ましい。このメッシュ状壁部26は、ニッケル等の耐食性金属材料から形成された3~6枚程度のメッシュ板を積層させたものであり、各メッシュ板には、例えば、1インチ四方にメッシュが約2500個50列×50行形成されている。なお、メッシュ状壁部26からのクリーンエアCAによる整流効果は、ターゲット15に近いほど良い。また、反応容器16には、メッシュ状壁部26を有するクリーンエア導入口25と反対側に、排気ライン図示省略に接続された排気口27が設けられている。排気ラインは反応容器16の内面へのガラス微粒子の付着を防ぐために、排気口27から余剰のガラス微粒子を含んだ反応容器16内のガスを吸引ファンで効率良く排気するよう構成されている。次に、ガラス微粒子堆積体の製造方法について説明する。ガラス微粒子堆積体22の製造では、ガラス原料の酸水素火炎をバーナ21から噴出させ、反応容器16の内部で火炎加水分解して生成されるガラス微粒子を、軸回りに回転するターゲット15に吹き付けて堆積させてガラス微粒子堆積体22を製造する。また、バーナ21は、堆積によるガラス微粒子堆積体22の拡径に伴って後退させる。上記のように、ターゲット15へのガラス微粒子の堆積時に、反応容器16のクリーンエア導入口25から反応容器16内へ、クリーンエアCAを送り込み、また、排気口27から反応容器16内のクリーンエアCAを排気させる。これにより、反応容器16内がクリーンエアCAで満たされる。好ましくは、クリーンエア導入口25から反応容器16内へ、メッシュ状壁部26で整流させて流速を均一化したクリーンエアCAを送り込む。クリーンエアCAをメッシュ状壁部26で整流させて流速を均一化させると、反応容器16内へ供給されるクリーンエアCAを分散させることができる。これにより、ターゲット15のガラス微粒子堆積体22がクリーンエアCAによって局所的に冷却されてガラス微粒子の堆積が不安定となるような不具合を防止することができる。反応容器16へ供給するクリーンエアCAの条件によっては、ガラス微粒子堆積体22にクラックが生じたり、ガラス微粒子堆積体を焼結した透明ガラス母材に異物や気泡が残留するおそれがある。そして、異物や気泡が残留した透明ガラス母材では、光ファイバを線引きした際に、光ファイバが断線するおそれがある。このため、本実施形態では、クリーンエア導入口25から反応容器16へ供給するクリーンエアCAの条件を、温度10°C以上40°C以下、湿度30以上70以下とする。このような条件でクリーンエアCAを反応容器16へ供給すると、ガラス微粒子堆積体22のクラックの発生が防止され、また、透明ガラス母材における異物や気泡の残留が防止される。クリーンエアCAの温度が低くすぎて10°Cに満たないと、ガラス微粒子堆積体22の表面が急冷され、これにより、ガラス微粒子堆積体22にクラックが生じてしまう。これとは逆に、クリーンエアCAの温度が高すぎて40°Cを超えると、ガラス微粒子が高温側から低温側へ向かって移動するサーモフォレシス効果が得られにくくなり、ガラス微粒子の堆積速度が低下してしまう。また、クリーンエアCAの湿度が低すぎて30に満たないと、乾燥によってガラス微粒子堆積体22の表面の濡れ性が変化し、クラックが生じてしまう。これとは逆に、クリーンエアCAの湿度が高すぎて70を超えると、余剰なガラス微粒子が反応容器16の内面に付着してしまい、反応容器16の清掃頻度の増加を招いたり、反応容器16にさびが生じたりして、反応容器16の劣化が早まったりしてしまう。これに対して、上記実施形態に係るガラス微粒子堆積体の製造方法では、前述のように、クリーンエアCAの供給条件を、温度10°C以上40°C以下、湿度30以上70以下とすることにより、ガラス微粒子堆積体22におけるクラックの発生を防ぐとともに、ガラス微粒子堆積体22を焼結して得られる透明ガラス母材における異物、気泡の残留を抑制することができる。したがって、製造したガラス微粒子堆積体22を焼結して得られる透明ガラス母材から光ファイバを線引きする際の断線を極力なくすことができる。また、クリーンエアCAのダスト量が100個/CFを超えると、ガラス微粒子堆積体22における異物の混入及び気泡の残留頻度が多くなる。そこで、上記実施形態のクリーンエアCAの供給条件に加えて、クリーンエアCAの1立方フィートあたりにおける粒径0.3μm以上の大きさのダストの量を100個100個/CF以下とすると、クラックの発生防止、異物や気泡の残留防止の効果がより増大する。特に、クリーンエアCAのダスト量は少ないほど、ガラス微粒子堆積体22の異物混入及び気泡の残留頻度を抑えることができる。このことから、クリーンエアCAは、ダスト量を10個/CF以下とすることがより好ましい。なお、上記の実施形態では、ターゲット15に対して複数のバーナ21が短く相対的に往復してガラス微粒子を堆積させるMMD多バーナ多層付け法によりガラス微粒子堆積体22を製造する方法を例示して説明したが、本発明は他の方式によってガラス微粒子堆積体22を製造する場合にも適用可能である。以下、他の方式でガラス微粒子堆積体を製造する場合について説明する。図2に示すように、製造装置10Bは、OVDOutsideVaporPhaseDeposition法によってガラス微粒子堆積体22を製造するものである。この製造装置10Bでは、軸回りに回転しながら軸方向へ往復移動するターゲット15に対して、側方に配置されたバーナ21からガラス微粒子が吹き付けられ、ターゲット15にガラス微粒子が堆積される。図3に示すように、製造装置10Cは、VADVaporPhaseAxialDeposition法によってガラス微粒子堆積体22を製造するものである。この製造装置10Cでは、軸回りに回転させながら徐々に引き上げられるターゲット15に対して、バーナ21からガラス微粒子が吹き付けられ、ターゲット15の軸方向にガラス微粒子が堆積される。そして、製造装置10BによるOVD法または製造装置10CによるVAD法でガラス微粒子堆積体22を製造する際にも、反応容器16のクリーンエア導入口25から反応容器16内へクリーンエアCAを送り込み、排気口27から反応容器16内のガスを排気させる。好ましくは、メッシュ状壁部26で整流させて流速を均一化したクリーンエアCAを反応容器16内へ送り込む。そして、このときのクリーンエアCAの供給条件を、温度10°C以上40°C以下、湿度30以上70以下とする。より好ましくは、クリーンエアCAに含まれる粒径0.3μm以上のダスト量を100個/CF以下とする。このような条件でクリーンエアCAを反応容器16へ供給すると、ガラス微粒子堆積体22におけるクラックの発生が防止され、また、ガラス微粒子堆積体22を焼結した透明ガラス母材における異物や気泡の残留が防止される。このように、上記の実施形態ではそれぞれ高品質なガラス微粒子堆積体22を製造することができ、製造したガラス微粒子堆積体22から得られる透明ガラス母材から光ファイバを線引きする際の断線を極力なくすことができる。上記の製造装置10Aを用い、ターゲット15に対して複数のバーナ21を短く相対的に往復させてガラス微粒子を堆積させるMMD多バーナ多層付け法によりガラス微粒子堆積体22を製造し、反応容器16内へ供給するクリーンエアCAの好適な供給条件を調べた。なお、反応容器16内へ導入するクリーンエアCAを含むガスの1秒あたりの流量の合計は反応容器16の容積の略1.3倍とし、クリーンエアCAは、メッシュ状壁部26で整流させて、メッシュ状壁部26における流速の変動幅が10以内になるよう流速を均一化して供給した。なお、製造装置10Aの反応容器16の容積は1.59m3のものを用い、ガスの流量は約2m3/secとした。調査結果を、図4及び図5に示す。図4に示すように、クリーンエアCAの温度が10°Cに満たないと、湿度が30以上であってもガラス微粒子堆積体22にクラックが生じた図4中領域Aの×印参照。これはガラス微粒子堆積体22の表面が急冷されたためと考えられる。これとは逆に、クリーンエアCAの温度が40°Cを超えると、ガラス微粒子の堆積速度の低下が生じた図4中領域Bの△印参照。これはガラス微粒子が高温側から低温側へ向かって移動するサーモフォレシス効果が減少したためと考えられる。また、クリーンエアCAの湿度が30に満たないと、温度が10°C以上であってもガラス微粒子堆積体22にクラックが生じた図4中領域Cの×印参照。これは乾燥によってガラス微粒子堆積体22の表面の濡れ性が変化したためと考えられる。これとは逆に、クリーンエアCAの湿度が70を超えると、反応容器16にさびが多く発生し、劣化が生じるようになった図4中領域Dの△印参照。そして、クリーンエアCAの供給条件を、温度10°C以上40°C以下、湿度30以上70以下とした場合では、クラックの発生なくガラス微粒子堆積体22を効率良く製造することができ、また、反応容器16の劣化も抑えることができた図4中領域Eの○印参照。なお、図4中の○△×は、各々の温度、湿度条件で製造したガラス微粒子堆積体の良否の状態を表したものであり、○はクラックの発生がなくその他の不具合も生じなかった場合、△はクラックは発生しなかったがその他の不具合堆積速度の低下、さびの発生などが生じた場合、×はクラックが発生し、当該堆積体の製造を続けられなかった場合を示している。このことから、反応容器16へ供給するクリーンエアCAの条件としては、温度10°C以上40°C以下、湿度30以上70以下が好適であることがわかった。特に、図4の○の条件であるクリーンエアCAの温度を20°C以上40°C以下とし、湿度を30以上60以下とすれば、クラックの発生をさらに抑えて効率良くガラス微粒子堆積体22を製造することができ、また、反応容器16の劣化もさらに抑えることができることがわかった。図5に示すように、クリーンエアCAのダスト量粒径0.3μm以上のダストが100個/CFを超えると、ガラス微粒子堆積体22を焼結した透明ガラス母材における気泡数が30個以上と多くなった図5中×印参照。これに対して、反応容器16へ供給するクリーンエアCAにおける粒径0.3μm以上のダスト量を100個/CF以下とした場合、ガラス微粒子堆積体22を焼結した透明ガラス母材における気泡残留数が5~10個に抑えられた図5中○印参照。なお、クリーンエアCAのダスト量が少ないほど、ガラス微粒子堆積体22を焼結した透明ガラス母材における異物混入及び気泡の残留頻度を抑えることができ、10個/CF以下とすれば、より気泡の残留を4個以下例えば、1~2個程度に抑えられ、さらに好適であることがわかった。なお、図2、図3に示した他の方式でガラス微粒子堆積体を製造した場合も、図4、図5とほぼ同等の結果が得られた。