"内部に発光物質が封入された発光管と、発光管内にプラズマを発生させる予備プラズマ発生手段と、発光管内に連続波レーザ光を照射する連続波レーザ発振部を備え、発光管内に発生したプラズマに連続波レーザ光が照射され、プラズマより放射される光を利用する光源装置において、レーザ光は、発光物質に固有の誘導吸収波長を含むことを特徴とする光源装置。前記レーザ光は、発振波長の発光強度の1/e2以上の発光強度を有する範囲の波長が、前記発光物質に固有の誘導吸収波長を含むことを特徴とする請求項1に記載の光源装置。前記連続波レーザ発振部は、レーザダイオードを備え、レーザダイオードの温度調節機構を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の光源装置。前記発光物質は希ガスであること特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の光源装置。前記希ガスはXeキセノン、Arアルゴン、Krクリプトンのいずれかを含むこと特徴とする請求項4に記載の光源装置。前記発光物質は、第一の発光物質と第二の発光物質から構成されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の光源装置。前記第一の発光物質は希ガスであり、前記第二の発光物質は金属であることを特徴とする請求項6に記載の光源装置前記金属はHg水銀であることを特徴とする請求項7に記載の光源装置。請求項5に記載の光源装置を備え、前記発光物質はXeキセノンであることを特徴とするプロジェクタ。請求項8に記載の光源装置を備えることを特徴とする露光装置。請求項8に記載の光源装置を備えることを特徴とするプロジェクタ。前記予備プラズマ発生手段は、発光管内に配置された2以上の電極と、電極間に電圧を印加する電源であることを特徴とする請求項1ないし8記載の光源装置。前記予備プラズマ発生手段は、発光管内にパルスレーザを照射するパルスレーザ発振部であることを特徴とする請求項1ないし8に記載の光源装置。しかしながら、この種の光源装置では、プラズマより得られる放射光を増やすために必要なレーザのエネルギーが大きく、そのような出力の大きいレーザ源は、装置が大型化、高価になるという問題があった。そこで、本発明は、安価で出力が小さいレーザ光であっても、プラズマより得られる光量を増やすことができる、発光効率の高い光源装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、内部に発光物質が封入された発光管と、発光管内にプラズマを発生させる予備プラズマ発生手段と、発光管内に連続波レーザ光を照射する連続波レーザ発振部を備え、発光管内に発生したプラズマに連続波レーザ光が照射され、プラズマより放射される光を利用する光源装置において、レーザ光は、発光物質に固有の誘導吸収波長を含むことを特徴とする。また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記レーザ光は、発振波長の発光強度の1/e2以上の発光強度を有する範囲の波長が、前記発光物質に固有の誘導吸収波長を含むことを特徴とする。また、請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の発明において、前記レーザ照射手段は、レーザダイオードを備え、レーザダイオードの温度調節機構を備えることを特徴とする。また、請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれか1つに記載の発明において、前記発光物質は希ガスであること特徴とする。また、請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の発明において、前記希ガスはXeキセノン、Arアルゴン、Krクリプトンのいずれかを含むこと特徴とする。また、請求項6に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれか1つに記載の発明において、前記発光物質は、第一の発光物質と第二の発光物質から構成されることを特徴とする。また、請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の発明において、前記第一の発光物質は希ガスであり、前記第二の発光物質は金属であることを特徴とする。また、請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の発明において、前記金属はHg水銀であることを特徴とする。また、請求項9に記載の発明は、請求項5に記載の光源装置を備え、前記発光物質はXeキセノンであるプロジェクタであることを特徴とする。また、請求項10に記載の発明は、請求項8に記載の光源装置を備える露光装置であることを特徴とする。また、請求項11に記載の発明は、請求項8に記載の光源装置を備えるプロジェクタであることを特徴とする。また、請求項12記載の発明は、請求項1ないし8記載の発明において、前記予備プラズマ発生手段は、発光管内に配置された2以上の電極と、電極間に電圧を印加する電源とからなることを特徴とする。また、請求項13記載の発明は、請求項1ないし8記載の発明において、前記予備プラズマ発生手段は、発光管内にパルスレーザを照射するパルスレーザ発振部であることを特徴とする。請求項1記載の発明によれば、発光管内に形成されたプラズマに、そのプラズマを形成する発光物質の固有の誘導吸収波長を含む発振波長のレーザ光が照射され、プラズマからの発光が増加されるので、レーザ光の出力を変えずに発光を増やすことができる。さらに、レーザ光の発振波長と異なる波長のプラズマ発光も増加することができるので、発光効率を高めることができる。また、請求項2記載の発明によれば、レーザ光は発振波長の発光強度の1/e2以上の発光強度を有する範囲の波長とすることにより、より強い誘導吸収が生じて、より発光が増加する。また、請求項3記載の発明によれば、レーザダイオードを備え、レーザダイオードの温度調節機構を備えることにより、発振波長と誘導吸収波長の不一致をある程度解消して、好適な波長のレーザビームを発光管に照射することができる。また、請求項4記載の発明によれば、発光物質は希ガスであることにより、化学的に不活性で、発光管材料と反応して着色することがなく、封入する材料により様々な波長の光を発光させることができる。また、請求項5記載の発明によれば、発光物質はキセノン、アルゴン、クリプトンのいずれかを含むことにより、プラズマ発光を増加する効果が良好となり、かつ、これらの発光物質に対応するレーザ発振波長の選択が容易である。また、請求項6記載の発明によれば、発光物質を第一の発光物質と、それとは異なる第二の発光物質とから構成することにより、複数の発光を利用することができ、また、いずれか一方の発光物質に固有の誘導吸収波長を含むレーザ光が照射されることにより、他方の発光物質の発光も増加させることができる。また、請求項7記載の発明によれば、第一の発光物質を希ガス、第二の発光物質を金属とすることにより、金属封入物により特徴ある放射が得られる既存のランプと同様の用途に用いることができる。また、請求項8記載の発明によれば、金属を水銀とすることにより、紫外線や可視光を利用することができる。また、請求項9または11記載の発明によれば、本発明の光源装置を用いて発光効率に優れたプロジェクタを実現することができる。また、請求項10記載の発明によれば、本発明の光源装置を用いて発光効率に優れた露光装置を実現することができる。また、請求項12記載の発明によれば、予備プラズマ発生手段を発光管内に配置された2以上の電極と、電極間に電圧を印加する電源とすることができるので、ランプ型の発光管を利用することができる。また、請求項13記載の発明によれば、予備プラズマ発生手段を発光管内にパルスレーザを照射するパルスレーザ発振部とすることができるので、レーザ発振装置のみで光源装置を構成することができるまた、発光管内に電極を設置する必要が無いので、プラズマの高温により電極材料が蒸発して発光管の管壁に付着することがない。以下に図面を参照しながら説明する。図1には、本発明に係る光源装置の全体構成図を示す。光源装置1は、レーザ光が入射される発光管2、発光管2内にプラズマを発生させる予備プラズマ発生手段10、連続波レーザ光を発振する連続波レーザ発振部3、レーザ発振部に給電する給電装置5、給電装置5を制御する制御部4を備えている。発光管2は、内部に発光物質が封入された透光性材料からなる密閉容器である。発光管2に対して、連続波レーザ発振部3からのレーザ光を入射して、内部に封入された発光物質からの出射光励起光を、発光管2外に出射させるものである。そのため入射光が波長980nm、出射光が波長365nmのように互いが異なる波長である場合でも、両方を良好に透過する部材、例えば、石英ガラスで構成される。発光管2の内部には、その用途により利用したい波長の光に応じて、様々な発光物質が適宜選択され封入される。これについては後述する。光学部材7は、レーザ光の集光のために、連続波レーザ発振部3と発光管2との間のレーザ光の光路上に配置される。この光学部材7は、例えば集光レンズや回折光学格子などの集光機能を有するもので、発光管の内部で焦点を結ぶように構成される。図1にはビームを透過するものを図示したが、集光機能があればよく集光ミラーや回折格子等であっても構わない。予備プラズマ発生手段10は、発光管内に配置された放電用内電極に電圧を印加しアーク放電を形成するものと、パルスレーザ発振部によるパルスレーザを照射するものとがあり、本発明においては、いずれも予備プラズマ発生手段10として用いることができる。図1に示された予備プラズマ発生手段10は、発光管2内に配置された放電電極11間に電圧を印加し、アーク放電させることにより、発光管内にプラズマを連続的に発生させることができる。図2には、本発明の他の例として、予備プラズマ発生手段10をパルスレーザ発振部12、光学部材13、制御部14を用いて構成した光源装置1の全体構成を示す。なお、この図においては、予備プラズマ発生手段10としてパルスレーザ発振部12等を用いたこと以外は図1と同様であるので、その他の構成の説明を省略する。この図に示すように、発光管2外から発光管2内部へパルスレーザを集光して照射することで、発光管内に断続的にするプラズマを発生させることができる。そして、連続波レーザを予め発光管内に照射させておくか、パルスレーザの照射のタイミングに合わせて連続波レーザを照射することにより、プラズマが連続的に形成される。再び図1に戻り、連続波レーザ発振部について説明する。連続波レーザ発振部3は、レーザ源として例えば、レーザダイオードLDを用いた装置であり、レーザ光を連続的に発振する。連続波レーザ発振部3は、この連続波レーザ発振部3に給電する給電装置5と、レーザダイオードの温度を調節する温度調節機構6と、これらの制御をする制御部4を備えている。制御部4は、レーザダイオードの温度及び電流値を変化させてこれらを制御することができる。レーザダイオードの温度調節機構6は、水冷冷却板上に配置された、例えばペルチェ素子など加熱冷却素子によるものである。制御部4は、給電装置5から温度調節機構6に流す電流等を調節することにより、レーザダイオードの温度を調節する。レーザダイオードは、温度によって発振波長がシフトするという温度特性を有するため、レーザダイオードの温度を調節することにより、発振波長を調節することができる。一般的にレーザダイオードには0.30~0.25nm/°Cの波長-温度特性がある。そのため、発振波長を1nmシフトさせるには、レーザダイオードの温度を4°C程度変化させればよい。これにより、既存の入手しやすいレーザダイオードを用いて、ある程度の範囲で所望の発振波長を有するレーザ光源を得ることができる。なお、温度調節によらずとも、ボリュームブラッググレーティングVBG、ボリュームホログラフィックグレーティングVHG等の波長安定化素子などにより、元のレーザ光の波長を変換して所望の波長とし利用することもできる。上記の図1の光源装置を用いて以下の実験を行った。<実験1>実験は、発光物質を封入した発光管内に予備プラズマを発生させ、そのプラズマに対してレーザ発振部よりレーザ光を照射して、発光強度分布を測定するというものである。発光管内には、XeとArとを1:9の比率で封入した。連続波レーザは、発振波長810nm、出力50Wのものを用いた。次に、発光管内の電極間に電圧を印加し、アーク放電によるプラズマを形成した。印加する電圧は50Wとした以下、電極間に印加する電圧は全て50Wである。そして、温度調節機構によりレーザダイオードの温度を調節し、レーザの発振波長を806.1nmとした。波長を調節したレーザ光をプラズマに入射して、発光空間内のガスの発光強度分布を測定した。図3aは、発振波長806.1nmのときの発光管内のガスの発光強度分布を示す図である。発光強度は数値の大きさを濃淡によって示しており、濃くなるほど発光強度が高い。この図において、紙面の左端側、右端側にそれぞれ先端が中心を向いた一対の電極が対向配置されている。これらの電極間にアーク放電が形成されており、そのプラズマによる発光が中央部に観測される。発振波長806.1nmのレーザ光は、左端側の電極のやや右下位置を、手前から奥に向かって入射されているが、これによる発光は生じていないことがわかる。したがって、観測されるのはアーク放電のみにより形成されたプラズマの発光であり、レーザを照射したことによる発光は観測されなかった。次に、レーザ光の出力50W一定のまま温度調節のみを行い、発振波長を810.8nmまで変化させ、発光空間内のガスの発光強度分布を測定した。図3bは、波長810.0nm一致のときの発光管内のガスの発光強度分布を示す図である。上記と同様に、左端の電極からやや右下位置にレーザを照射した。すると、電極間に形成されたアーク放電によるプラズマとは別の発光が観測された。この2つの例は、同じレーザ出力、レーザ照射位置であるが、発振波長を変化させたことで、図3aでは発光しなかったのに対し、図3bでは発光が生じた、という異なる結果が得られた。また、この図3bにおいては図示されていないが、レーザ光は発光管を透過している。発光管を透過したレーザ光の受光器において、受光するレーザ光の出力は減少した。これらの現象について、詳細は明らかではないが、以下の理由によるものであると考えられる。まず、発光管を貫通したレーザ光の出力が減少していることから、レーザ光のエネルギーがプラズマ発光の増加に寄与していると考えられる。そして、図3aとbとは、レーザ光の発振波長にのみ相違があり、aでは発光が観測されず、bでのみ発光が観測されたことから、プラズマ発光の増加は、レーザ光の発振波長の変化により生じていると考えられる。ここで図4に、これらの現象について説明する鍵として発光物質ごとに固有の誘導吸収波長を表により示す。この表において、Arの誘導吸収波長を参照すると、810.3693nmに誘導吸収波長が存在することがわかる。図3aに示した実験結果では、レーザ光の発振波長は、806.1nmであり、810.3693nmとは一致しない。これに対し、図3bでは、レーザ光の発振波長は810.0nmでありほぼ一致する。このことから、図3bではレーザ光の誘導吸収が生じたものと推測される。ここで誘導吸収とは、単に吸収、若しくは吸光ともいい、物質が光を吸収する現象のことをいう。つまり、発光管2内に封入される発光物質の原子には、図4に示すように固有の誘導吸収波長が多数存在するので、それらの波長のいずれかとレーザ光の波長が合致することにより、誘導吸収が生じたものと考えられる。そして、誘導吸収が生じたことにより、プラズマ温度が上昇し、プラズマからの放射が増加したものと考えられる。以上の実験結果から、従来のようにレーザの出力を増加させずとも、誘導吸収が生じるようにレーザの発振波長のみを調整することにより、プラズマから得られる放射光を増加させることができた。そして、小さい出力のレーザによっても発光が増加するので、発光効率を高められることがわかった。なお、図4に係る表は、NISTのデータベースNISTBibliographicDatebasesに基づいて、上記発光物質の固有の誘導吸収波長のうち、比較的相対強度が大きい波長を選別したものである。Xeについては、Xe1としてNISTのデータベースに基づくもののほか、Xe2としてTableofspectrallinesZaidel’,A.N.IFI-Plenum,1970による文献値も示した。誘導吸収波長は、測定方法、条件により測定値が異なる場合があり、報告されている値も文献により異なるためである。<実験2>次に、レーザ光を照射して誘導吸収が生じていることを検証する実験を行った。上記の誘導吸収波長を発振するレーザ光を基本に波長を変化させながら照射して、発光物質に生じる誘導吸収の吸収率を測定した。発光物質にはXeを用い、レーザの発振波長は、中心をいずれもXeの誘導吸収波長である980nm、880nmとし、温度変化により変化させた。吸収率は、図1に示した装置を用い、発光管を挟んでレーザ発振部の反対側、すなわち発光管を貫通したレーザ光を受ける位置にレーザパワー受光器を設置し、レーザパワーモニターにより測定した結果を用いて算出した。図5は、算出した吸収率について示す図である。横軸は、レーザ光の波長nm、縦軸は吸収率である。吸収率は、発振したレーザ光の出力と、受光したレーザ光のエネルギーとの差から損失を算出して、その損失を誘導吸収に寄与したものとして吸収量とし、吸収量/出力として求めた。この図において、1は、波長980nmのレーザ光を照射したときのXeの吸収率である。誘導吸収波長である980nmが最も吸収率が高く、この波長を頂点として山型に広がる分布が確認された。すなわち、レーザ発振波長は、誘導吸収波長に合致させた場合が最も吸収率が高く、そこから変位することにより吸収率は減少した。これは、レーザ光が実際には単一波長ではなく、一定の波長幅を有することによると考えられる。2は、波長880nmのレーザ光を照射したときにXeの吸収率である。と同様に誘導吸収波長である881nmが最も吸収率が高く、そこから変位することにより吸収率は減少した。すなわち、この傾向は誘導吸収波長が異なる場合でも同様であることがわかる、これらのことから、レーザ光を効率よく吸収させるには、発振波長を誘導吸収波長により合致させることが好ましいことがわかる。また、誘導吸収波長を多少外れても、誘導吸収という現象自体は生じているのであるから、ある一定の波長範囲であればレーザ光の発振波長として許容できる範囲があることがわかる。以上のことから検討された、誘導吸収波長の好適な範囲について以下に説明する。図6に、レーザ光の発振波長と、誘導吸収波長との関係を表す模式図を示す。この図は、横軸を波長nm、縦軸を発光強度任意強度としてそのレーザ光の波長分布を表し、その分布したレーザ光と、ある物質に固有の誘導吸収波長との関係について示している。上記の<実験1>、<実験2>の結果から、ある波長範囲を有するレーザ光が、誘導吸収波長を含んでいれば、誘導吸収が生じることになる。すなわち、レーザ光の分布の範囲内に、発光物質に固有の誘導吸収波長が含まれればよい。分布したレーザ光の一部が誘導吸収波長を含むことにより、誘導吸収が生じ、レーザ光のエネルギーがプラズマ温度を上昇させ、プラズマからの発光が増えるという効果が生じるからである。それについて、図に示すレーザ光の波長範囲1および2と、誘導吸収波長1、2、および3を用いて説明する。図に示す波長範囲1と誘導吸収波長1、2のように互いに交わっていれば、レーザ光に吸収が生じる成分があり、誘導吸収波長が含まれるといえる。すなわち、誘導吸収波長1、2に対して、波長範囲1を有するレーザ光は、本願発明のレーザ光として好適に用いることができる。逆に、波長範囲1と誘導吸収波長3のような関係にあるときは、誘導吸収は生じないので、波長範囲1を有するレーザ光は、本願発明のレーザ光として適当ではない。さらに、この図においてより好ましい波長範囲として、ピーク波長を中心に、そのピーク発光強度の1/e2以上である発光強度を有する波長範囲2を示している。この1/e2という数値は、例えばレーザ光の断面強度分布で、この強度以上の出力がある範囲がビーム径とされているように、十分なレーザ出力の基準として技術的意義のある数値である。ここで、この波長範囲2には、誘導吸収波長1が含まれているから、本願発明としては波長範囲1よりも好ましい関係にあるといえる。波長範囲2に誘導吸収波長が含まれていれば、波長範囲1よりも強い誘導吸収が生じ、より発光が増強されるからである。上記の波長範囲1、2のようなレーザ光と誘導吸収波長との関係は、例えば、実際にレーザ光の分布を測定し、具体的な発光物質ごとの固有の誘導吸収波長と照らし合わせることにより確認できるし、そのレーザの仕様として明らかにされている発振波長および波長幅と、具体的な誘導吸収波長とを照らし合わせることにより確認できる。発光物質に固有の誘導吸収波長については、例えば図4に示した波長が用いられる。原則、誘導吸収波長であればよいが、相対強度が小さい波長は生じる吸収も弱く、あまり実用的では無い。この表では相対的に強度の強い誘導吸収波長が選別されて掲載されており、これらは強い誘導吸収が生じる波長であるので好適である。なお、発光物質については例示であり、本願発明の適用はこれらの発光物質に限定されるものではない。以上に示した本発明について用いられる、発光物質の代表例について説明する。発光物質は、特に限定されるものではないが、例えば、キセノンXe、アルゴンArクリプトンKr、ネオンNeなどの希ガスが封入される。希ガスを用いることで、化学的に不活性で、発光管材料と反応して着色することがなく、封入する材料により様々な波長の光を発光させる光源装置とすることができる。特に、キセノンは、主に可視光を利用する目的で封入され、プロジェクタ等の光源に利用される。発光物質として希ガスを封入した場合について、本発明の効果がどの波長域で生じているか確認するために、まずXeについて発光分光スペクトルを測定した。<実験3>実験には図1に記載の装置を用い、発光管2内には、Xeのみを10気圧封入した。放電によるプラズマを形成した後、発振波長881.0nm、出力44Wのレーザを照射した。図7は、発光管内のプラズマより得られる放射光の発光分光スペクトル測定結果であり、aは波長800~1000nm、bは、波長350~750nmの領域の測定結果である。グラフには、1レーザ光のみの測定結果、2アーク放電に加えて波長876.0nmのレーザ波長不一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果、3アーク放電に加えて波長881.0nmのレーザ波長一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果を示した。図7aにおいて、波長881.0nmに、それぞれ123の発光ピークが観測される。上記したようにこの点は誘導吸収波長であり、3のレーザの発振波長はこの波長に合わせて調整されている。2と3の発光ピーク強度を各々比較すると、レーザの発振波長である881.0nm以外の波長の発光ピークでも、3の波長が一致するレーザを照射した場合の方が、2の波長が一致しないレーザを照射する場合よりも発光強度が大きいことがわかる。さらに図7bにおいては、350nm~750nmの可視光域において連続スペクトルが観測されており、この範囲内での全ての波長について、2の発光強度と比較して3の発光強度が大きくなっている。以上のことから、誘導吸収波長のレーザ光を照射して、発光物質にレーザ光を吸収させると、レーザ発振波長のみならず、その他の波長についても放射光が増加することが確認された。<実験4>次に、Xeとは異なる発光物質でも同様の現象が生じるか確認するために、Krについて発光分光スペクトルを測定した。発光管内には、Krのみを10気圧封入し、放電によるプラズマを形成した後、発振波長810.0nm、出力50Wのレーザを照射した。Krは、810nm付近にいくつか強い誘導吸収があるためである図4表参照。図8は、発光管内のプラズマより得られる放射光の発光分光スペクトル測定結果である。なお、レーザのみの測定結果は図示していない。グラフには、4アーク放電に加えて波長806.1nmのレーザ波長不一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果、5アーク放電に加えて波長810.0nmのレーザ波長一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果を示した。図8において、最も発光強度が大きい波長810nmの発光ピーク強度を比較すると、4の波長不一致の場合の発光強度に比べて、5の波長一致の場合の発光強度が著しく大きいことがわかる。その他の発光ピークについても上記と同様に4より5の強度が大きいことがいえる。以上のことから、Krについても誘導吸収波長のレーザを照射して、発光物質にレーザ光を吸収させると、レーザ発振波長のみならず、その他の波長についても放射光が増加することが確認された。<実験5>2種以上の発光物質を封入した場合について調べるためにXeとArを混合して封入した発光管についても測定を行った。まず、発光管内にXeを9気圧、Arを1気圧、すなわち9:1の割合で封入した場合について、上記実験と同様に発光分光スペクトル測定を行った。レーザ光には、Xeの誘導吸収のある発振波長881.0nm、出力44Wを用いた。図9は、発光管内のプラズマより得られる放射光の発光分光スペクトル測定結果である。グラフには、6アーク放電に加えて波長876.0nmのレーザ波長不一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果、7アーク放電に加えて波長881.0nmのレーザ波長一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果を示した。図9において、最も発光強度が大きい波長881.0nmの発光ピークを比較すると、6の波長不一致の場合の発光強度に比べて、7の波長一致の場合の発光強度が大きいことがわかる。封入ガスの割合は、Xeがほぼ占めるものなので、上記<実験2>のXeのみの結果との違いはほとんど見られない。<実験5>次に、発光管内にXeを1気圧、Arを9気圧、すなわち1:9の割合で封入した場合について、上記実験と同様に発光分光スペクトル測定を行った。レーザは、Xeの弱い誘導吸収とArの強い誘導吸収のある発振波長810.0nm、出力50Wを用いた。上記<実験4>と、レーザの波長を変えたのは、Arの誘導吸収の強い波長を選択し、発光の増加を顕著にすることにより、Arの発光を確認しやすくするためである。図10に、発光管内のプラズマより得られる放射光の発光分光スペクトル測定結果を示す。なお、レーザのみの測定結果は図示していない。グラフには、8アーク放電に加えて波長806.0nmのレーザ波長不一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果、9アーク放電に加えて波長810.0nmのレーザ波長一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果を示した。図10において、最も発光強度が大きい波長810nmの発光ピークを比較すると、8の波長不一致の場合の発光強度に比べて、9の波長一致の場合の発光強度が著しく大きいことがわかる。また、図10と図9を比較すると、図9では観測されなかった発光ピークが、750nm~850nmにおいて観測された。これは、Arに起因する発光であり、Arの封入割合がほとんど占めることによるものと考えられる。また、881.0nmはXeの誘導吸収もあり、図9でも観測されたXeによる881.0nm付近のピーク群と、その発光の増加が観測された。以上のことから、2種以上の発光物質が封入された場合でも、それぞれの物質に起因する発光について増加させる効果があることがわかった。<実験6>次に、2種類の発光物質を封入し、そのうち1種類の発光物質の誘導吸収波長のみにレーザの発振波長を合わせて照射した場合について実験を行った。発光管2内には、Xeを10気圧と、Hg水銀を10mg/mm3封入した。発光管2内に放電によるプラズマを形成した後、発振波長881.0nm、出力44Wのレーザを照射した。図11は、発光管内のプラズマより得られる放射光の発光分光スペクトル測定結果であり、aは波長800~1000nm、bは、波長250~500nmの領域の測定結果である。グラフには、10レーザ光のみの測定結果、11アーク放電に加えて波長876.0nmのレーザ波長不一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果、12アーク放電に加えて波長881.0nmのレーザ波長一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果を示した。図11aにおいて、発振波長である881.0nmに、それぞれ101112の発光ピークが観測される。この波長はXeの誘導吸収波長であり、この波長付近には水銀の強い誘導吸収波長はなく、発光ピークも観測されない。881.0nm11と12の発光ピーク強度を各々比較すると、<実験2>同様に、12の波長が一致するレーザを照射した場合の方が大きいことがわかる。そして、図11bにおいて、波長250nm~450nmの紫外線領域では、11の発光強度よりも12発光強度の方が大きいことがわかるが、これはXeの発光波長ではなく、Hgの発光波長である。これは、プラズマ中のXeがレーザ光を吸収した結果、プラズマ温度が上昇してHgの発光強度増強に寄与しているためと考えられる。すなわち、封入されている物質が入射されたレーザ光を誘導吸収する物質であれば、その物質によるプラズマ温度が上昇することにより、入射されたレーザ光の誘導吸収を持たない他の物質の発光増強にも寄与することができる。以上のことから、2種類の発光物質を封入し、そのうち1種類の発光物質の誘導吸収波長のみにレーザの発振波長を合わせて照射した場合についても、レーザの出力を増加させずに、誘導吸収が生じるように発振波長を調整することにより、プラズマから得られる放射光を増加させることができることがわかった。<実験7>最後にArとNaを封入した発光管についても、発光分光スペクトルの測定を行った。Naは、1074nmに誘導吸収波長が存在するので、レーザは、発振波長1074nmのものを用いた。図12は、発光管内のプラズマより得られる放射光の発光分光スペクトル測定結果である。なお、レーザのみの測定結果は図示していない。この図において、13波長1070nmのレーザ波長不一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果、14波長1074nmのレーザ波長一致を照射したときのプラズマ放射光測定結果を示した。最も発光強度が大きい発光ピーク同士を比較すると、13の波長不一致の場合に比べて、14の波長一致の場合の強度が著しく大きいことがわかる。その他の発光ピークについても上記と同様に13より14の強度が大きいことがいえる。以上のことから、Naについても、誘導吸収波長のレーザを照射して、発光物質にレーザ光を吸収させると、レーザ発振波長のみならず、その他の波長についても放射光が増加することが確認された。上記のごとく、発光物質は第一の発光物質と、第一の発光物質とは異なる第二の発光物質とから構成することができる。複数の発光物質を組み合わせることにより、複数の発光を利用することができ、また、いずれか一方の発光物質に固有の誘導吸収波長を含むレーザ光が照射されることにより、他方の発光物質の発光も増加させることができる。なお、三種以上の発光物質から構成してもよい。第一の発光物質と第二の発光物質がいずれも希ガスである場合は、例えば、キセノンとアルゴンArの混合ガスが封入される。この場合は、キセノンによる発光を可視光として利用するのが主である。そのほか、第一の発光物質には希ガスを、第二の発光物質には金属を採用することができる。この場合、金属封入物により特徴ある放射が得られる既存のランプと同様の用途に用いることができる。組み合わせの具体的な例としては、実験で示したキセノンと水銀Hg、アルゴンとナトリウムNaなどがある。水銀は、主に紫外光を利用する目的で封入される。より具体的には、フォトリソグラフィに用いられる露光装置等の光源に利用される。以下に、本発明の光源装置の具体的な用途の例について説明する。図13は、本発明に係る光源装置を用いた露光装置20の全体構成図である。本発明の光源装置を光源、特に水銀を含む場合には、この発光を利用する紫外線光源として、露光装置20に用いることができる。利用される紫外線は、例えば図11bに示される250~450nmの領域の紫外線である。レーザの光に水銀の誘導吸収波長が含まれていなくても、例えばXeやArなど、レーザ光の誘導吸収があるガスが、水銀とともに発光管22内に封入されていればよい。この露光装置20では、光源装置を覆うように集光鏡28が配置され、この集光鏡28は、回転楕円を短径で半分にした反射面を有する。集光鏡28は、開口部が紙面下側に向いており、このような開口部を有する集光鏡28によって、発光管22の周囲が覆われている。この集光鏡28は、連続波レーザ発振部23からのビームを入射する一方の貫通孔と、発光管22を通過したビームを出射する他方の貫通孔とを有する。この発光管22と集光鏡28はケーシング29に収納される。このような構成とすることにより、本発明の光源装置を露光装置に利用することができる。また、発光物質によっては、本発明の光源装置を可視光光源として、プロジェクタに用いることができる。装置の具体的構成などについては省略する。発光物質は、例えば881.0nmのレーザを用いる場合は、キセノンのみでもよいし、キセノンとともに水銀が封入されていても良い。また、水銀の誘導吸収波長を含むレーザ光を照射できるレーザがあれば、水銀のみでもよい。図7bに示されるように、350nm~750nmの可視光域では、ブロードな連続波長が観測されており、これを、超高圧水銀ランプのように家庭用、オフィス用に用いられるプロジェクタの光源とすることもできるし、キセノンランプのように、映画館で用いられるプロジェクタ用の光源とすることができる。"