強誘電体膜からなるエレクトレットを備えた、静電誘導型機械電気変換素子であって、前記エレクトレットは、厚さ方向に沿った分極方向が第一の方向である第一の領域と、前記厚さ方向に沿った前記分極方向が前記第一の方向と反対の第二の方向である第二の領域と、が、前記厚さ方向と直交する表面である主面と平行な方向である主面方向に沿って、互いに隣接するように構成されたことを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項1に記載の、静電誘導型機械電気変換素子であって、前記分極方向と前記厚さ方向とのなす角度が、-45~45度であることを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項1又は請求項2に記載の、静電誘導型機械電気変換素子であって、前記主面方向に沿って、前記分極方向が周期的に反転するように、複数の前記第一の領域及び複数の前記第二の領域が設けられていることを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項3に記載の、静電誘導型機械電気変換素子であって、前記分極方向の反転構造が、3~200μm周期のストライプ状であることを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項1~請求項4のうちのいずれか1項に記載の、静電誘導型機械電気変換素子において、前記エレクトレットにおける前記主面と対向するように配置されていて、前記エレクトレットと相対移動可能に設けられた、対向基板と、前記対向基板における前記主面と対向する面にて、前記第一の領域に対応して設けられた導電性膜である、第一領域対向電極と、をさらに備えたことを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項5に記載の、静電誘導型機械電気変換素子であって、前記対向基板は、前記エレクトレットに対して、前記主面方向に沿って相対移動可能に設けられたことを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項5又は請求項6に記載の、静電誘導型機械電気変換素子において、前記第一領域対向電極と対向する側の、前記エレクトレットにおける前記主面と密着するように、当該主面上に形成された高分子膜である、コーティング層をさらに備えたことを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項7に記載の、静電誘導型機械電気変換素子であって、前記コーティング層は、前記エレクトレットにおける前記主面側に設けられた、第一コーティング層と、前記第一コーティング層と密着するように当該第一コーティング層上に形成されていて、前記第一領域対向電極側に設けられた、前記第一コーティング層よりも弾性変形しやすい第二コーティング層と、を備えたことを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項8に記載の、静電誘導型機械電気変換素子であって、前記第一コーティング層は、緻密な構造を有し、前記第二コーティング層は、空隙を有することを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項8又は請求項9に記載の、静電誘導型機械電気変換素子であって、前記第二コーティング層は、ヤング率が0.01~5GPaであることを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。請求項5又は請求項6に記載の、静電誘導型機械電気変換素子において、第一領域対向電極を覆うように、前記対向基板側に設けられた高分子膜である、コーティング層をさらに備えたことを特徴とする、静電誘導型機械電気変換素子。<作用効果>上述のように、特開2007-298297号公報に開示されている強誘電体エレクトレットにおいては、分極処理が単純に一様に行われており、一対の前記主面における同一側に、同極性の電荷が集中する。このため、かかる構成においては、電荷同士の反発によって分極構造が不安定になり、脱分極が発生する。これに対し、本発明の静電誘導型機械電気変換素子における前記エレクトレットにおいては、隣り合う領域毎に正負の電荷が互い違いになるため、分極状態を長期間安定的に保持することが可能になる。よって、本発明によれば、エレクトレットを用いた静電誘導型機械電気変換素子において、より優れた耐久性を備えたものを提供することが可能になる。本発明の静電誘導型機械電気変換素子の一実施形態の概略構成を示す断面図である。本発明の静電誘導型機械電気変換素子の他の実施形態変形例における要部拡大図である。本発明の静電誘導型機械電気変換素子のさらに他の実施形態変形例の概略構成を示す断面図である。本発明の静電誘導型機械電気変換素子のさらに他の実施形態変形例の概略構成を示す断面図である。本発明の静電誘導型機械電気変換素子のさらに他の実施形態変形例の概略構成を示す断面図である。以下、本発明の好適な実施形態を、実施例及び比較例を用いつつ説明する。なお、以下の実施形態に関する記載は、法令で要求されている明細書の記載要件記述要件実施可能要件を満たすために、本発明の具体化の単なる一例を、可能な範囲で具体的に記述しているものにすぎない。よって、後述するように、本発明が、以下に説明する実施形態や実施例の具体的構成に何ら限定されるものではないことは、全く当然である。本実施形態や実施例に対して施され得る各種の変更の例示変形例:modificationは、当該実施形態の説明中に挿入されると、一貫した実施形態の説明の理解が妨げられるので、主として末尾にまとめて記載されている。<構成>図1は、本発明の静電誘導型機械電気変換素子の一実施形態の概略構成を示す断面図である。図1を参照すると、本実施形態の静電誘導型機械電気変換素子1は、エレクトレット支持基板2と、背面電極3と、エレクトレット4と、コーティング層5と、対向基板6と、第一領域対向電極7と、を備えている。背面電極3は、一様な導電性膜であって、エレクトレット支持基板2の一表面図中上側の表面上に形成されている。エレクトレット4は、強誘電体例えばチタン酸ジルコン酸鉛やニオブ酸リチウム膜であって、背面電極3と接合されている。すなわち、エレクトレット支持基板2と背面電極3とエレクトレット4とは、エレクトレット4の主面MSと直交する厚さ方向図中z軸方向にこの順に積層されているとともに、互いに密着するように設けられている。そして、エレクトレット4は、背面電極3を介して、エレクトレット支持基板2の上述の一表面上に支持されている。エレクトレット4は、第一の領域41と、第二の領域42と、を有している。第一の領域41と第二の領域42とは、分極方向の厚さ方向における成分が、互いに逆となるように分極されている。具体的には、本実施形態においては、第一の領域41は、厚さ方向と平行な一方向図中z軸正方向に分極されている。一方、第二の領域42は、厚さ方向と平行な他の一方向図中z軸負方向に分極されている。すなわち、第一の領域41及び第二の領域42は、分極方向が所定の周期具体的には3~200μmで周期的に反転するように設けられている。本実施形態においては、第一の領域41及び第二の領域42は、主面MSと平行な一方向図中x軸方向:以下これを主面方向と称する。に互い違いに配列されている。また、第一の領域41及び第二の領域42は、それぞれ、主面MSと平行であって上述の主面方向と直交する方向図中y軸方向:以下これを副主面方向と称する。に長手方向を有するように設けられている。コーティング層5は、高分子膜であって、エレクトレット4の主面MSに密着するように、当該主面MS上に形成されている。本実施形態においては、コーティング層5は、ヤング率が0.01~5GPaとなるように形成されている。対向基板6は、コーティング層5を挟んでエレクトレット4の主面MSと対向するように配置されている。本実施形態においては、この対向基板6は、エレクトレット支持基板2と背面電極3とエレクトレット4とコーティング層5とを厚さ方向にこの順に積層したもの以下、単にエレクトレット積層体と称する。に対して、上述の主面方向図中x軸正方向及び負方向に相対移動可能に設けられている。第一領域対向電極7は、複数の線状電極の長手方向における一端を互いに結合した平面形状を有する、櫛状の電極パターンであって、対向基板6における上述のエレクトレット積層体と対向する表面BS上に形成されている。これら複数の線状電極のそれぞれは、上述の副主面方向に長手方向を有していて、第一の領域41に対応する位置コーティング層5を挟んで第一の領域41と対向する位置にのみ設けられている。すなわち、複数の第一領域対向電極7は、エレクトレット4の主面方向図中x軸方向に沿った分極反転の周期、すなわち、当該主面方向に沿った第一の領域41及び第二の領域42の配列周期と一致した周期で、当該主面方向に沿って配列されている。上述のように、本実施形態における静電誘導型機械電気変換素子1は、エレクトレット4と対向基板6との主面方向の相対移動に伴って第一領域対向電極7に誘起される電荷の変動によって、当該相対移動の機械的エネルギーを電気エネルギーに変換するように構成されている。<製造方法の具体例>以下、本実施形態の静電誘導型機械電気変換素子1の製造方法の具体例について、詳細に説明する。Y2O3で安定化されたZrO2からなる平板状のエレクトレット支持基板上に一様なプラチナ電極膜をスクリーン印刷法により形成し、1300°C2時間の熱処理によりエレクトレット支持基板とプラチナ電極膜とを一体化させた。次に、上述のプラチナ電極膜の上に、チタン酸ジルコン酸鉛粉末、分散媒、可塑剤、及び分散剤を混合してペースト状としたものを、スクリーン印刷法により、乾燥後の膜厚が75μmとなるように製膜した。このようにして、エレクトレット支持基板上にチタン酸ジルコン酸鉛粉末ペーストを製膜スクリーン印刷したものを、1250°C、5時間熱処理焼成することで、厚さ50μmの焼結膜とした。この熱処理に際しては、雰囲気中にチタン酸ジルコン酸鉛粉末を共存させた。上述の熱処理によってエレクトレット支持基板上に固着されたチタン酸ジルコン酸鉛膜上に、タンタルからなる分極処理用一様電極膜厚さ1000オングストロームを形成した。電極形成後の基板を絶縁オイル150°Cに浸漬し、約3kV/mm抗電界の電界強度で分極処理を行った。分極処理後の一様電極を酸処理によって除去した後、櫛形電極膜厚さ1000オングストローム、電極周期14μm主面方向の幅7μm、主面方向の電極間隔7μmをパターニングした。パターニング後のものを絶縁オイル150°Cに浸漬し、約3kV/mm抗電界の電界強度で、約1msec幅の矩形パルスの電圧を印加することで、分極処理を行った。パルスの印加回数は、櫛形電極パターンの面積に依存するが、例えば20mm2のとき、20000パルスが好適であった。分極処理後、分極処理用櫛形電極を酸処理によって除去した。その後、ヤング率0.05Gpa、厚さ50μmのポリイミドフィルムを、チタン酸ジルコン酸鉛膜分極処理用櫛形電極を酸処理によって除去した面上に積層することで、上述の積層体を得た。得られた積層体を400°Cまで加熱することで、表面電荷を取り除く除電処理を行った。ポリイミドフィルムからなる対向基板上に、櫛形対向電極主面方向の幅6μm、主面方向の電極間隔8μmを、スパッタリング法にて形成した。得られた対向電極付き対向基板を、電極部分がチタン酸ジルコン酸鉛膜におけるz軸正方向図1参照に分極した領域と重なるように、上述の積層体と組み合わせることで、静電誘導型機械電気変換素子を得た。以下、本発明の好適な実施形態を、実施例及び比較例を用いつつ説明する。なお、以下の実施形態に関する記載は、法令で要求されている明細書の記載要件記述要件実施可能要件を満たすために、本発明の具体化の単なる一例を、可能な範囲で具体的に記述しているものにすぎない。よって、後述するように、本発明が、以下に説明する実施形態や実施例の具体的構成に何ら限定されるものではないことは、全く当然である。本実施形態や実施例に対して施され得る各種の変更の例示変形例:modificationは、当該実施形態の説明中に挿入されると、一貫した実施形態の説明の理解が妨げられるので、主として末尾にまとめて記載されている。<構成>図1は、本発明の静電誘導型機械電気変換素子の一実施形態の概略構成を示す断面図である。図1を参照すると、本実施形態の静電誘導型機械電気変換素子1は、エレクトレット支持基板2と、背面電極3と、エレクトレット4と、コーティング層5と、対向基板6と、第一領域対向電極7と、を備えている。背面電極3は、一様な導電性膜であって、エレクトレット支持基板2の一表面図中上側の表面上に形成されている。エレクトレット4は、強誘電体例えばチタン酸ジルコン酸鉛やニオブ酸リチウム膜であって、背面電極3と接合されている。すなわち、エレクトレット支持基板2と背面電極3とエレクトレット4とは、エレクトレット4の主面MSと直交する厚さ方向図中z軸方向にこの順に積層されているとともに、互いに密着するように設けられている。そして、エレクトレット4は、背面電極3を介して、エレクトレット支持基板2の上述の一表面上に支持されている。エレクトレット4は、第一の領域41と、第二の領域42と、を有している。第一の領域41と第二の領域42とは、分極方向の厚さ方向における成分が、互いに逆となるように分極されている。具体的には、本実施形態においては、第一の領域41は、厚さ方向と平行な一方向図中z軸正方向に分極されている。一方、第二の領域42は、厚さ方向と平行な他の一方向図中z軸負方向に分極されている。すなわち、第一の領域41及び第二の領域42は、分極方向が所定の周期具体的には3~200μmで周期的に反転するように設けられている。本実施形態においては、第一の領域41及び第二の領域42は、主面MSと平行な一方向図中x軸方向:以下これを主面方向と称する。に互い違いに配列されている。また、第一の領域41及び第二の領域42は、それぞれ、主面MSと平行であって上述の主面方向と直交する方向図中y軸方向:以下これを副主面方向と称する。に長手方向を有するように設けられている。コーティング層5は、高分子膜であって、エレクトレット4の主面MSに密着するように、当該主面MS上に形成されている。本実施形態においては、コーティング層5は、ヤング率が0.01~5GPaとなるように形成されている。対向基板6は、コーティング層5を挟んでエレクトレット4の主面MSと対向するように配置されている。本実施形態においては、この対向基板6は、エレクトレット支持基板2と背面電極3とエレクトレット4とコーティング層5とを厚さ方向にこの順に積層したもの以下、単にエレクトレット積層体と称する。に対して、上述の主面方向図中x軸正方向及び負方向に相対移動可能に設けられている。第一領域対向電極7は、複数の線状電極の長手方向における一端を互いに結合した平面形状を有する、櫛状の電極パターンであって、対向基板6における上述のエレクトレット積層体と対向する表面BS上に形成されている。これら複数の線状電極のそれぞれは、上述の副主面方向に長手方向を有していて、第一の領域41に対応する位置コーティング層5を挟んで第一の領域41と対向する位置にのみ設けられている。すなわち、複数の第一領域対向電極7は、エレクトレット4の主面方向図中x軸方向に沿った分極反転の周期、すなわち、当該主面方向に沿った第一の領域41及び第二の領域42の配列周期と一致した周期で、当該主面方向に沿って配列されている。上述のように、本実施形態における静電誘導型機械電気変換素子1は、エレクトレット4と対向基板6との主面方向の相対移動に伴って第一領域対向電極7に誘起される電荷の変動によって、当該相対移動の機械的エネルギーを電気エネルギーに変換するように構成されている。<製造方法の具体例>以下、本実施形態の静電誘導型機械電気変換素子1の製造方法の具体例について、詳細に説明する。Y2O3で安定化されたZrO2からなる平板状のエレクトレット支持基板上に一様なプラチナ電極膜をスクリーン印刷法により形成し、1300°C2時間の熱処理によりエレクトレット支持基板とプラチナ電極膜とを一体化させた。次に、上述のプラチナ電極膜の上に、チタン酸ジルコン酸鉛粉末、分散媒、可塑剤、及び分散剤を混合してペースト状としたものを、スクリーン印刷法により、乾燥後の膜厚が75μmとなるように製膜した。このようにして、エレクトレット支持基板上にチタン酸ジルコン酸鉛粉末ペーストを製膜スクリーン印刷したものを、1250°C、5時間熱処理焼成することで、厚さ50μmの焼結膜とした。この熱処理に際しては、雰囲気中にチタン酸ジルコン酸鉛粉末を共存させた。上述の熱処理によってエレクトレット支持基板上に固着されたチタン酸ジルコン酸鉛膜上に、タンタルからなる分極処理用一様電極膜厚さ1000オングストロームを形成した。電極形成後の基板を絶縁オイル150°Cに浸漬し、約3kV/mm抗電界の電界強度で分極処理を行った。分極処理後の一様電極を酸処理によって除去した後、櫛形電極膜厚さ1000オングストローム、電極周期14μm主面方向の幅7μm、主面方向の電極間隔7μmをパターニングした。パターニング後のものを絶縁オイル150°Cに浸漬し、約3kV/mm抗電界の電界強度で、約1msec幅の矩形パルスの電圧を印加することで、分極処理を行った。パルスの印加回数は、櫛形電極パターンの面積に依存するが、例えば20mm2のとき、20000パルスが好適であった。分極処理後、分極処理用櫛形電極を酸処理によって除去した。その後、ヤング率0.05Gpa、厚さ50μmのポリイミドフィルムを、チタン酸ジルコン酸鉛膜分極処理用櫛形電極を酸処理によって除去した面上に積層することで、上述の積層体を得た。得られた積層体を400°Cまで加熱することで、表面電荷を取り除く除電処理を行った。ポリイミドフィルムからなる対向基板上に、櫛形対向電極主面方向の幅6μm、主面方向の電極間隔8μmを、スパッタリング法にて形成した。得られた対向電極付き対向基板を、電極部分がチタン酸ジルコン酸鉛膜におけるz軸正方向図1参照に分極した領域と重なるように、上述の積層体と組み合わせることで、静電誘導型機械電気変換素子を得た。<実施形態の構成による作用効果>かかる構成を有する、本実施形態の静電誘導型機械電気変換素子1においては、エレクトレット4と対向基板6との主面方向図中x軸正方向及び負方向の相対移動往復移動に伴って第一領域対向電極7に誘起される電荷の変動によって、当該相対移動の機械的エネルギーが電気エネルギーに変換される特開2010-136598号公報等参照。この点、本実施形態の静電誘導型機械電気変換素子1においては、分極方向が反転した第一の領域41及び第二の領域42が、主面方向に沿って互い違いに配列されている。このため、主面MSにおいて、隣り合う領域毎に正負の電荷が互い違いになる。これにより、エレクトレット4の分極状態を長期間安定的に保持することが可能になる。したがって、本実施形態の構成によれば、より優れた耐久性を実現することが可能になる。かかる観点からすれば、第一の領域41及び第二の領域42の配列周期が大きすぎると、第一の領域41又は第二の領域42の主面方向図中x軸方向におけるサイズが大きくなりすぎるため、分極構造の安定化の効果が小さくなる。一方、第一の領域41及び第二の領域42の配列周期が小さすぎる構成は、安定的に工業的に作成することが困難である。よって、分極方向の反転周期、すなわち、第一の領域41及び第二の領域42の配列周期は、3~200μmであることが好適である。また、本実施形態の静電誘導型機械電気変換素子1においては、エレクトレット4の主面MSと第一領域対向電極7との間には、除電されたコーティング層5が設けられている。これにより、主面MS上への異物の付着が、可及的に抑制される。また、このコーティング層5のヤング率が比較的低いため、コーティング層5と第一領域対向電極7とを密着させた場合であっても、エレクトレット4と対向基板6との主面方向図中x軸正方向及び負方向の相対移動が良好に行われる。よって、コーティング層5と第一領域対向電極7とを密着させることで、エレクトレット4の主面MSと第一領域対向電極7との間のギャップの管理が、良好に行われる。したがって、かかる構成によれば、安定した発電動作機械電気変換動作が行われ得る。かかる観点からすれば、コーティング層5のヤング率が高すぎると、コーティング層5と第一領域対向電極7とを密着させた場合に、コーティング層5のせん断変形が生じにくくなるため、エレクトレット4と対向基板6との主面方向図中x軸正方向及び負方向の相対移動が妨げられる。一方、コーティング層5のヤング率が低すぎると、コーティング層5が柔らかすぎて、エレクトレット4の主面MSと第一領域対向電極7との間のギャップの管理が良好に行われなくなる。よって、コーティング層5のヤング率は、0.01~5GPaであることが好適である。<変形例の例示列挙>なお、上述の実施形態や具体例は、上述した通り、出願人が取り敢えず本願の出願時点において最良であると考えた本発明の具現化の一例を単に示したものにすぎないのであって、本発明はもとより上述の実施形態や具体例によって何ら限定されるべきものではない。よって、上述の実施形態や具体例に対して、本発明の本質的部分を変更しない範囲内において、種々の変形が施され得ることは、当然である。以下、変形例について幾つか例示する。以下の変形例の説明において、上述の実施形態における各構成要素と同様の構成機能を有する構成要素については、本変形例においても同一の名称及び同一の符号が付されているものとする。そして、当該構成要素の説明については、上述の実施形態における説明が、矛盾しない範囲で適宜援用され得るものとする。もっとも、変形例とて、下記のものに限定されるものではないことは、いうまでもない。本発明を、上述の実施形態や下記変形例の記載に基づいて限定解釈することは、特に先願主義の下で出願を急ぐ出願人の利益を不当に害する反面、模倣者を不当に利するものであって、許されない。また、上述の実施形態の構成、及び下記の各変形例に記載された構成の全部又は一部が、技術的に矛盾しない範囲において、適宜複合して適用され得ることも、いうまでもない。本発明は、上述の具体的な構成や材質に何ら限定されない。すなわち、例えば、本発明は、上述の実施形態のような発電素子環境振動で発電する機械電気変換素子に限定されず、マイクロフォンや各種センサ等にも用いられ得るこの場合、電極等の形状や配置等が適宜変更される。。また、振動相対移動方向も、厚さ方向であってもよい。さらに、本発明のエレクトレットは、チタン酸ジルコン酸鉛PZTに限定されず、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、タングステン酸ビスマス、ビスマスランタンチタン酸化物、等のキュリー温度を有する強誘電体であればよい。図1を参照すると、第一の領域41及び第二の領域42は、主面方向図中x軸方向における幅が同じであってもよいし、異なっていてもよい。また、第一の領域41及び第二の領域42は、上述の実施形態のような、平面視にていわゆるストライプ状でなくてもよい。具体的には、例えば、平面視にていわゆる市松模様であってもよい。具体的には、平面視にて略矩形状典型的には略正方形状の第一の領域41及び第二の領域42が、互い違いに二次元的に配置されていてもよい。分極方向も、厚さ方向と平行でなくてもよい。すなわち、第一の領域41における分極方向とz軸正方向とのなす角度α[°]が-45≦α≦45であって、第二の領域42における分極方向とz軸負方向とのなす角度βが[°]が-45≦β≦45であればよいこのときαの絶対値とβの絶対値とは同じであってもよいし異なっていてもよい。コーティング層5としては、ポリイミドの他に、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン、ポリアセタール、ポリフェニレンオキシド、ポリエーテルエーテルケトン、PTFE、CYTOP登録商標、テフロン登録商標、等の有機材料を用いることが可能である。また、低誘電率なガラス、酸化アルミ、酸化ジルコニウム、酸化チタン、シリカアルミナ等の無機材料を用いることも可能である。本発明は、上述の具体的な製造方法に何ら限定されない。すなわち、例えば、エレクトレット4として、上述の実施形態のような、シート成型体を焼成したものセラミックス膜に代えて、単結晶ウエハ、AD法で製膜した膜、を用いることが可能である。この場合、具体的には、チタン酸ジルコン酸鉛単結晶からなる、厚さ500μmの001カット基板を用意し、その001面にタンタルからなる櫛形電極膜厚さ1000オングストローム、電極周期7μm主面方向の幅3.5μm、主面方向の電極間隔3.5μmをパターニングする一方、001面反対面にはタンタルからなる一様電極膜厚さ1000オングストロームを形成する。その後、上述の具体例と同様に分極処理等を行う。なお、この場合、図1におけるエレクトレット支持基板2は、省略され得る。AD法で製膜した膜を用いる場合、具体的には、粒径1μm程度のチタン酸ジルコン酸鉛を高速で基板に噴射して成形される、厚さ20μmのAD膜を用意し、上述の具体例と同様に分極処理等を行う。AD膜は、結晶性を向上する目的で、熱処理を行ったものでも良い。AD法で製膜した膜はスクリーン印刷で製膜した膜などに比べ、緻密かつ一次粒子径が小さいため、絶縁性を高くすることができ、耐久性を高めることが可能である。分極処理用櫛型電極も、例えばスクリーン印刷などによりパターン形成したリン片状黒鉛粉末を用いることが可能である。リン片形状の黒鉛を強誘電体膜上に、寝た状態で形成することで、接触抵抗を低くしつつも、付着強度を低くできるため、分極処理の後に吹き飛ばすなどにより簡単に除去することができる。コーティング層5の形成方法も、上述の実施形態のようなフィルム接着の他、スクリーン印刷法、バーコート法、スピンコート法、ゾルゲル法、スパッタリング法、CVD法、溶射法、ディンピング法、エアガン塗装等を用いることが可能である。上述の具体例では、除電処理を、キュリー点付近の脱分極温度まで熱処理することで行っているが、分極状態を完全に無くす脱分極させるよりは、ある程度分極が残った状態で留めておく方が、降温後の分極状態の回復が大きくなる点で好ましい。上述の具体例では、除電処理を、キュリー点付近の脱分極温度まで熱処理することで行っているが、本発明はこれに限定されない。具体的には、例えば、除電処理は、酸によるエッチング処理等によって行われてもよい。また、イオンシャワーの照射等によって行われてもよい。図2は、本発明の静電誘導型機械電気変換素子の他の実施形態変形例における要部拡大図である。図2を参照すると、本実施形態においては、コーティング層5は、第一コーティング層51と第二コーティング層52とを有している。第一コーティング層51は、主面MS側に設けられている。第二コーティング層52は、第一コーティング層51と密着するように当該第一コーティング層51上に形成されている。第一コーティング層51は、エレクトレット4の主面MSを保護するために、緻密な構造を有している。一方、第二コーティング層52は、空隙率が10~90となるように多数の空隙Vを有することで、ヤング率が0.01~5GPaとなるように形成されている。第一コーティング層51及び第二コーティング層52の形成方法も、上述の実施形態のようなフィルム接着の他、スクリーン印刷法、バーコート法、スピンコート法、ゾルゲル法、スパッタリング法、CVD法、溶射法、ディンピング法、エアガン塗装等を用いることが可能である。なお、第二コーティング層52の空隙率が低すぎると、コーティング層5のヤング率が高くなりすぎるため、コーティング層5と第一領域対向電極7とを密着させた場合に、コーティング層5のせん断変形が生じにくくなり、エレクトレット4と対向基板6との主面方向の相対移動が妨げられる。一方、コーティング層5の空隙率が高すぎると、コーティング層5が低ヤング率となりすぎる柔らかくなりすぎるため、エレクトレット4の主面MSと第一領域対向電極7との間のギャップの管理が良好に行われなくなる。よって、第二コーティング層52の空隙率は、10~90であることが好適である。図3は、本発明の静電誘導型機械電気変換素子のさらに他の実施形態変形例の概略構成を示す断面図である。図3を参照すると、対向基板6には、第一の領域41と対向する第一領域対向電極7の他に、第二の領域42と対向する第二領域対向電極8が設けられていてもよい。かかる構成によれば、第一の領域41のみならず第二の領域42も機械電気エネルギー変換に寄与することになるため、エネルギー変換効率をよりいっそう向上させることが可能になる。図4は、本発明の静電誘導型機械電気変換素子のさらに他の実施形態変形例の概略構成を示す断面図である。図4を参照すると、コーティング層5は、対向基板6側に設けられていてもよい。具体的には、コーティング層5は、対向基板6の表面BS上にて、対向電極第一領域対向電極7及び第二領域対向電極8を覆うように設けられていてもよい。この場合、コーティング層5は、図4に示されているように、対向電極を覆うとともに隣り合う対向電極間の隙間を埋めるように対向基板6の表面BS上に形成された第一コーティング層51と、この第一コーティング層51上に設けられた第二コーティング層52と、を備えた積層構造を有していてもよいし、図1に示されているような一層構造を有していてもよい。また、この場合、対向電極は、第一領域対向電極7のみであってもよい。図5は、本発明の静電誘導型機械電気変換素子のさらに他の実施形態変形例の概略構成を示す断面図である。図5を参照すると、コーティング層5は、エレクトレット4側と対向基板6側との双方に設けられていてもよい。すなわち、この場合のコーティング層5は、エレクトレット側コーティング層5aと、対向電極側コーティング層5bと、を備えている。エレクトレット側コーティング層5aは、エレクトレット4の主面MSに密着するように、当該主面MS上に形成されている。対向電極側コーティング層5bは、対向基板6の表面BS上にて、対向電極第一領域対向電極7及び第二領域対向電極8を覆うように設けられている。但し、この場合、エレクトレット側コーティング層5aと、対向電極側コーティング層5bとは、同一の材質からなることが好ましい。あるいは、エレクトレット側コーティング層5aを構成する材質と、対向電極側コーティング層5bを構成する材質とは、摩擦帯電列上にて近接するように選択され得る。なお、この場合も同様に、エレクトレット側コーティング層5a及び/又は対向電極側コーティング層5bは、上述のような積層構造エレクトレット4あるいは対向基板6に密着するように設けられた第一コーティング層51とその上に形成された第二コーティング層52とを備えた構造を有していてもよい。また、対向電極は、第一領域対向電極7のみであってもよい。その他、特段に言及されていない変形例についても、本発明の本質的部分を変更しない範囲内において、本発明の技術的範囲に含まれることは当然である。また、本発明の課題を解決するための手段を構成する各要素における、作用機能的に表現されている要素は、上述の実施形態や変形例にて開示されている具体的構造の他、当該作用機能を実現可能ないかなる構造をも含む。さらに、本明細書にて引用した先行出願や各公報の内容明細書及び図面を含むは、本明細書の一部を構成するものとして適宜援用され得る。