コリオリ質量流量センサにおいて、フローチューブと、光学検出プリント回路板上に配置された光源であって、前記フローチューブの第1の側に近接して配置された光源と、前記光学検出プリント回路板上に配置された光検出器であって、前記フローチューブの第2の側に近接して配置された光検出器と、前記フローチューブが前記光源及び前記光検出器間に画定された経路を通って動くように、前記フローチューブを振動させるために前記フローチューブに対して作動的に配置された駆動装置とを備えることを特徴とする、コリオリ質量流量センサ。前記光源が、赤外線LEDを備え、前記光検出器が、赤外線フォトダイオードを備えることを特徴とする、請求項1に記載のコリオリ質量流量センサ。前記光検出器が、フローチューブの直径より大きい活性表面を有するフォトダイオードを備えることを特徴とする、請求項1に記載のコリオリ質量流量センサ。前記光源が、振動する前記フローチューブの変位が最大になる位置において、前記フローチューブに対して配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のコリオリ質量流量センサ。前記フローチューブが静止しているときに、前記フローチューブが、前記光源と前記光検出器間で画定された経路内に部分的に配置されるように、前記光源が、前記フローチューブに対して配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のコリオリ質量流量センサ。本発明は、先行技術に関連する欠点を解決する。本発明は上記の事情に鑑みて成されたものであり、その目的は、質量流量計測の感度が向上するようにチューブ変位の測定方法を改善したコリオリ質量流量計測装置を提供することにある。上記課題を解決するための本発明に係る一の実施例であるコリオリ質量流量センサは、フローチューブと、光学検出プリント回路板上に配置された光源であって、前記フローチューブの第1の側に近接して配置された光源と、前記光学検出プリント回路板上に配置された光検出器であって、前記フローチューブの第2の側に近接して配置された光検出器と、前記フローチューブが前記光源及び前記光検出器間に画定された経路を通って動くように、前記フローチューブを振動させるために前記フローチューブに対して作動的に配置された駆動装置とを備えることを特徴とする。好ましくは、前記光源が、赤外線LEDを備え、前記光検出器が、赤外線フォトダイオードを備える。また好ましくは、前記光検出器が、フローチューブの直径より大きい活性表面を有するフォトダイオードを備える。また好ましくは、前記光源が、振動する前記フローチューブの変位が最大になる位置において、前記フローチューブに対して配置されている。また好ましくは、前記フローチューブが静止しているときに、前記フローチューブが、前記光源と前記光検出器間で画定された経路内に部分的に配置されるように、前記光源が、前記フローチューブに対して配置されている。上記課題を解決するための本発明に係る他の実施例であるコリオリ質量流量センサは、フローチューブと、前記フローチューブの第1の側に近接して設置された光源と、前記フローチューブの第2の側に近接して設置されるとともに前記フローチューブの直径より大きい活性表面を画定する光検出器とを有し、前記第2の側が前記第1の側と概ね反対側に位置しており、前記光源と前記光検出器が互いに固定され、前記フローチューブが前記光源及び前記光検出器に対して相対的に変位可能にされ、更に、前記フローチューブが前記光源及び前記光検出器間に画定された経路を通って変位するように、前記フローチューブを振動させるために、前記フローチューブに対して設置された駆動装置を含むことを特徴とする。好ましくは、前記光源が、赤外線を放射することを特徴とする。また好ましくは、前記光源が、赤外線LEDからなることを特徴とする。また好ましくは、前記検出器が、フォトダイオードからなることを特徴とする。また好ましくは、前記光源が、前記フローチューブの振動変位が最大になる点に設置されていることを特徴とする。また好ましくは、前記フローチューブが中立位置にあるときに、前記フローチューブが、前記光源と前記光検出器間で画定された経路内に部分的に配置されるように、前記光源が、前記フローチューブに対して設置されていることを特徴とする。また好ましくは、前記フローチューブが取り付けられたフレームを更に含み、前記駆動装置が、前記フレームを振動させるために前記フレームに対して設置されていることを特徴とする。また好ましくは、前記フレームがチューブを含み、該チューブ内に前記フローチューブが設置されていることを特徴とする。また好ましくは、前記フローチューブ及び前記フレームが、互いに異なる材料から製造されていることを特徴とする。また好ましくは、前記フローチューブが、ステンレス鋼から製造されていることを特徴とする。また好ましくは、前記フローチューブが、プラスチックから製造されていることを特徴とする。また好ましくは、前記フレームが、シリコンから製造されていることを特徴とする。本発明の或る側面において、コリオリ質量流量センサは、フローチューブと、フローチューブの第1の側面に隣接して配置された光源と、フローチューブの第2の側面に隣接して配置された光検出器と、フローチューブを振動させるための、フローチューブに関連して運転可能に配置された駆動装置を有し、フローチューブが光源と光検出器の間で画定された経路を通って運動するようにしている。或る実施例では光源は赤外線を放射し、例えば赤外線フォトダイオードと共に用いられる赤外線LEDを放射する。本発明の別の側面においては、フレキシブルチューブコリオリ質量流量センサは、第1及び第2の端部を有するフレキシブルチューブを有する。フローチューブは通常線形のフロー経路を画定し、駆動装置はフローチューブを始動させるように配置されている。第1及び第2のピックオフセンサは、フレキシブルチューブの第1及び第2の端部に各々配置されている。第1及び第2のピックオフセンサは各々、フローチューブの運動に応じて信号を出力する。フローチューブ内では、フローチューブ内を流れる物質のフローによって確立されるコリオリの力が、第1と第2のピックオフセンサから出力される信号間の位相ずれを引き起こす。本発明の別の側面においては、コリオリ質量流量センサは、フローチューブと、フローチューブを取り付けるフレームと、フレームを振動させるための、フローチューブに関連して運転可能に配置された駆動装置と、コリオリの力に起因するフローチューブ内のねじれを測定するためにフローチューブに関連して配置された少なくとも1個のピックオフセンサとを有する。フレームは例えばシリコンフレームからなり、ステンレス鋼フローセンサチューブが取り付けられている。本発明のコリオリ質量流量計測装置においては、チューブの運動による位相差を検出して質量流量を決定することから、位相ずれによる精度負荷を減らすとともに質量流量計測の感度が向上する。更に、フラットばね等を用いて変位を調整し得ることから、フロー制御も可能となる。本発明の実施例について図面を参照して以下に説明する。明快に説明する観点から、ここでは実際に実施した全ての機能を説明することはしない。実際の実施例の開発において、開発者が目標を達成するためにシステム関連及び事業関連の制約に応じて等、実施毎に異なる無数の決定をしなければならなかったことは、当然賞賛に値する。更に、そのような開発努力が複雑且つ時間のかかるものであろうことも理解されようが、しかしそれも本発明を開示することで利益を受ける分野における通常の知識を有する者のために決まりきった手順を踏んでいるにすぎない。図1aは、本発明の実施例に基づくコリオリベースの質量流量センサ及びコントローラを示している。事実上2つの別個の作動システム即ちコリオリセンサピックアップ駆動システムAとアプリケーション制御システムBから構成されている。コリオリセンサピックアップ駆動システムは、コリオリセンサ1とインターフェースをとっている。アプリケーション制御システムBは、ユーザ5に対するインターフェースを与え、バルブ6等のフロー制御装置へ制御信号を与える。センサピックアップ駆動システムAの目的は、相対質量流量をコリオリ力の関数として決定し、相対密度を共振振動数の関数として決定する目的のためにコリオリセンサ1の運動を制御及び検出することである。例に挙げるセンサピックアップ駆動システムAは、以下の3つのデータ値をアプリケーション制御システムBへ与える。1.ΔT-相対質量流量を示すセンサチューブの一方の側面から他方への位相ラグに関連する時間差。2.振動数-測定される物質の相対密度に関連するセンサチューブの共振振動数。3.温度-センサチューブの温度を決定するためのRTDが測定される。アプリケーション制御システムBでは、較正定数と併せてΔTが用いられ、ユーザ5への所望の質量流量が示される。アプリケーション制御システムBではまた、較正定数と併せて振動数が用いられ、ユーザ5への所望の密度、体積或いはその両方が示される。温度は、質量流量計算及び密度計算の両方を補正するために用いられる。アプリケーション制御システムBは、ユーザの設定値入力に照らして質量流量または体積流量の単位出力を用い、フローを所望の設定値に調整するようなバルブ6を制御する。図1bは、本発明の或る側面に基づきコリオリ質量流量センサを概略的に示すブロック線図である。コリオリ質量流量センサ1は、フローセンサチューブ2を有し、駆動装置3がチューブ2を振動させるためにフローセンサチューブ2に関係して配置されている。変位ゲージ4は、コリオリの力に起因するチューブ2内のねじれを測定するべくチューブ2に関係して配置されている。センサチューブ2に用いられる典型的な材料は、316Lステンレス鋼である。316Lステンレス鋼を用いる理由は、316Lステンレス鋼が多数の物質からの化学的攻撃に強く、通常のプロセス圧力による破壊に強く、通常は非汚染であり、コリオリセンサチューブの望ましい形状に容易に加工できるからである。しかしながら、316Lステンレス鋼が全ての用途に対して好適であるわけではない。従って、316Lステンレス鋼の不適用途をカバーするような他のチューブ材料が入手可能であることが必要である。公知の装置では、316Lステンレス鋼に代わる材料としてシリコンが用いられている。316Lステンレス鋼に対するシリコンの特長は、316Lステンレス鋼で作るセンサチューブよりも小さな形状のセンサチューブを作ることが可能なことである。センサチューブ2の材料を選択する際には、応力誘導腐食又は強腐食enhancedcorrosionに対する耐性も考慮すべきである。応力は、チューブが取り付けられている曲げアームの底部に発生する。多結晶物質では、微結晶粒状領域の間の結晶粒界において応力が物質中の不純物を拡散及び集中させる。多くの場合、このことは微結晶間の結合を弱め、物質を化学的攻撃に対してより脆弱なものとする。シリコン又はサファイアのような単一結晶物質は、多結晶物質と比較するとこのように影響を受けることは少ない。316Lステンレス鋼のような金属は通常多結晶体であるので、程度の差こそあれこのようなタイプの化学的攻撃にはより脆弱である。石英ガラスのようなアモルファス物質及び数種のプラスチックも、応力誘導された化学的攻撃に対してより大きな耐性を有するが、それは多結晶物質と異なりこれらの物質は結晶粒構造を有していないからである。基礎をなす材料の使用がその他の点で魅力的であるならば、化学的攻撃に対して脆弱なチューブ材料は、チューブ材料の表面改質をするか、表面に対する腐食または化学的攻撃を最小限にするようにコーティングするとよい。表面改質は、イオン注入、熱拡散、化学反応又は電気化学反応によって行うことができる。表面改質は、化学的耐性を有する層を表面に残すような電子又は分子の化学種の除去、再分配、或いは導入を行うことを意図したものである。表面コーティングは、高温で表面に衝突する蒸気、液体又は粉末からの熱活性めっきthermallyactivateddepositionによって行う。化学反応性の化学種が例えばレーザからの強烈な光子フラックスやプラズマによっても励起或いはイオン化される場合には、表面改質はより低温で行う。化学的攻撃に耐性がある他の物質は、熱ビーム蒸着、電子ビーム蒸着またはイオンスパッタリングによる非反応性の物理蒸着法によってめっきしてもよい。高エネルギーのイオンビームを用いてスパッタリングを行い、スパッタリングされた化学種が化学的に励起或いはイオン化するようにする場合には、表面との化学反応も行われる。これは或る種のめっき物質にとっては望ましいことであろう。また、化学種を加速し、運動エネルギーを用いた化学反応の活性化或いは強化を可能にすることにより、表面における化学反応を行わせることもできる。本発明の或る実施例において、コリオリフローセンサチューブ2に用いられるチューブ材料は、オーステナイトステンレス鋼、マルテンサイトステンレス鋼、高ニッケル合金、チタニウム、ジルコニウム、チタニウムとジルコニウムの合金、特にチタニウム-バナジウム-アルミニウム合金及びジルカロイこれらは降伏強さが大きくヤング率が低いため、シリコン、サファイア、炭化珪素、石英ガラス及びプラスチックである。本発明に基づいて用いられるチューブコーティング材料は、炭化珪素、ニッケル、クロム、ダイヤモンド、耐火カーバイド、耐火窒化金属及び耐火酸化金属等である。別の実施例においては、検出チューブは異なる材料組成のハイブリッド構造から構成され、構造各部分の最高の材料特性を利用するために機械的に取り付けられているようなものがある。センサ構造は、例えばウェット部分と非ウェット部分に分けられる。ウェット部分はチューブを流れる流体に適合した材料のチューブとすることができ、金属チューブ、セラミックチューブ、シリカチューブ等がこれに含まれる。このようなチューブはフレーム等の振動構造に取り付けられ、振動構造はコリオリの力を誘導する固有振動モードでチューブを運ぶ。振動構造は、振動構造自体をウェットチューブが中に嵌め込まれるようなチューブとするか、チューブが取り付けられるフレームとすることができる。振動構造は、ウェットチューブを支持するための形状の梁に形成することができるような材料から製造し得る。一例としては、ウェットチューブを支持する形状をなすようにウェーハからエッチングされたシリコンが挙げられよう。ウェットチューブは、フローを運ぶチューブを形状し得るステンレス鋼、塑性材料その他の材料から構成し得る。図2は、本発明の或る実施例に基づくコリオリ質量流量センサ1を示す。コリオリ質量流量センサ1は、実施例においては正弦波信号源からなるような信号源図示せずによって駆動される電磁石12を有する電磁駆動装置10を用いている。電磁石12は、センサチューブ16に取り付けられた小さな永久磁石14の近傍に配置した。センサチューブ16は、1つの孔19からフローチューブ16を介して別の孔19へ流れる流路を画定するように、第1及び第2の孔19を有する基礎18に結合した。ここに開示されている実施例に示されるセンサチューブ16は、通常U字型である。尤も他の形状、例えばΔ型、長方形、コイル状またはストレートチューブを用いてもよい。代替チューブについて以下に説明する。更に別の実施例も考えられ、そこでは複数の並列検出チューブが用いられ、冗長性、制御範囲選択されたチューブがこの範囲内でバルブにより調節される、より高度な精度等が与えられる。図3に示す実施例は図2に示すものと同様であるが、静電駆動装置を用いている。静電駆動装置20は、センサチューブ16に取り付けられた小さな絶縁板24の近傍に配置された帯電板22を有する。チューブ16が誘電体から製造されている場合は、帯電板22をチューブ16の近傍に配置し、絶縁板24を取り除いてもよい。ここでもまた、正弦波信号源等の信号源図示せずが帯電板を駆動する。帯電板22に印加される電圧は、帯電板22と絶縁板24との間に電界を発生させる。電界は絶縁板24上に表面電荷を発生させる。電圧極性は帯電板22上で急速に変化するので、帯電板22と絶縁板24の間の抵抗電界はフローチューブ16を振動させるような引力及び斥力を交互に発生させる。図4は、新しい音響駆動装置30を用いたコリオリ質量流量センサの別の実施例を示す。音響駆動装置30は、チューブ16の近傍に配置された小さなスピーカ32を有する。スピーカ32から発生する圧力波が、チューブ16を振動させる。図5は、コリオリ質量流量センサ1の更に別の実施例を示す。図5のコリオリ質量流量センサ1には圧電駆動装置40が用いられている。フローチューブの各脚16には向かい合うように2本の圧電スタック42が配置され、結果的に図5に示されるように各脚16上に2個のバイモルフが生成されている。チューブ16の撓みを生じさせ或いは検出するべく圧電効果及び逆圧電効果を用いることができる。質量流量の測定は、センサチューブ16を通過する流体が発生させるコリオリの力に起因するセンサチューブ16内のねじれを画定することにより行われる。例えば、よく知られたコリオリ質量流量センサにおいては、ピックオフセンサは、コリオリの力が誘導する変位が最大になると予測されるフローチューブ16上の位置に置かれた磁石とコイルのペアからなる。コイル及び磁石は対向する構造体に取り付けられている。例えば、磁石がチューブ16に取り付けられ、コイルが固定パッケージ壁に取り付けられている。コイルは磁界に出入りし、コイル内に電流を誘導する。この電流は、コイルに関連する磁石の速度に比例する。これは速度の測定であるので、速度と、従って信号は、フローチューブ16が静止点を交差する零交差時に最大になる。コリオリの力が誘導するねじれは、2個の速度センサの零交差時間の差を測定することにより検出されるような速度信号において位相ずれを引き起こす。実際問題として、位相ずれは時間計測回路に大きな精度負荷を与える。このことはコリオリ技術を用いた質量流量計測の最大感度を制限し得る。米国特許第5555190号は本出願の譲受人に譲渡されたものであり、本明細書中で開示しているコリオリ質量流量装置と関連して開示されたチューブのような振動センサチューブの振動数と位相の関係を決定するためのデジタル信号処理方法及び装置について開示している。米国特許第5555190号全体の引用を以って本明細書の一部となす。本発明の或る側面は、典型的な時間ベースの信号調整技術と比べてフロー能力が低く、より直接的で、且つ回路においてそれほどの精度が要求されないようなフロー測定技術を与えている。図2から4に示されている実施例を参照すると、振動するセンサチューブの変位は容量型ピックオフセンサを用いて測定される。センサチューブ16を通過する流体が発生させるコリオリの力に起因するセンサチューブ16内のねじれを測定するべく、2個の静電容量変位ゲージ50がチューブ16の形状に対称をなすようにチューブ16の近傍に配置されている。本発明の或る実施例において、静電容量変位ゲージ50は小型化してセンサパッケージ壁又はフローセンサチューブのループ内に挿入されたセンサブロックに表面取付した。コリオリの力に起因するセンサチューブ16内のねじれは、静電容量変位ゲージ50からの2つの信号間で位相ずれを引き起こす。これは変位の測定であるので、信号は変位に正比例する。チューブの各側の相対変位は、位相ずれとして測定される。ゲージドライバ及び信号調整の電気部品は、チューブ16の相対変位を高レベル信号に変換する。高レベル信号は位相ずれの機能であり、フローがチューブ16の中を流れる際にコリオリ効果を測定するために用いることができる。第1の信号処理技術は、一方の変位ゲージ50から参照信号を受信し、他方の変位ゲージ50から入力信号を受信するようなロックイン増幅器を用いる。参照信号または入力信号を発信するのはいずれのゲージ50でもよい。ロックイン増幅器からの位相出力は、フローに比例する。図6はロックイン増幅器52の機能回路図であり、ロックイン増幅器52を用いて本発明に基づくコリオリの力に起因する位相ずれを測定するための方法を実施することが可能である。信号は、図6に示すように左から右に伝わる。左入力100及び右入力102の信号は、各々左及び右変位ゲージ50から伝わる。例えば、左入力100は参照信号として用いることができる。正弦出力103は、左入力100の信号にフェーズロックされた駆動信号である。これは、フローセンサチューブ16を共振させる。右入力102は、2個の位相検出器PSD106内において、左/参照入力100の信号及びその90°位相ずれ信号104と混合される。機能的には、PSD106は2つの信号を掛け合わせて高周波成分及び直流成分を生成する。低域フィルタ108は、X出力110及びY出力112において直流電圧を発生させるような高周波成分を除去する。X出力110は参照信号に関係する信号の同相分と呼ばれ、Y出力112は直角分と呼ばれる。同相分及び直角分は位相を感知するが、次の関係式によってベクトルの大きさ及び位相成分を分離することが可能である。ロックイン増幅器52からの出力信号と変位ゲージ50からの入力信号との関係は、次のように導かれる。任意の振幅、任意の位相差を有する正弦波として2つの信号を考える。各信号は次式で表すことができる。PSD106の下部では、次のようになる。この信号は、2倍の振動数で1つの直流電圧成分及び1つの交流成分を有する。低域フィルタLPF108は、残りの交流成分を除去して次式の如くする。PSD106の上部では、次のようになる。ここで、cosωt=sinより、余弦乗数が得られる。ここで再び直流成分及び交流成分を有する信号が得られたわけであるが、LPF108を通過した後では次式のようになる。式1及び式2より、大きさR及び位相角θは次のように計算される。以上の計算は、好適なデジタルまたはアナログの処理装置120で実行できる。ベクトル位相は質量流量に比例する。本発明の実施例に基づく別の方法では、一方の変位ゲージ50から参照信号及び1つの入力信号を受信し、他方の変位ゲージ50から第2の入力信号を受信するような2チャンネルロックイン増幅器が必要である。ロックイン増幅器は、ハードウエア、ソフトウエア、または両者の組合せによって実現される。2つの入力信号の差は、参照信号に対照して測定される。ロックイン増幅器からの合成位相出力は、フローに比例する。図7は、2チャンネルロックイン増幅器54の機能回路図である。信号は図6に示されている回路におけるものと同様の方法で伝わり、同様の明瞭度を有する。左入力100は、ここでも参照信号として用いられる。図6と同様に、正弦出力103は、左入力100の信号にフェーズロックされた駆動信号である。図7の例では、右入力102の信号から左入力100の信号を減算し、2個の位相検出器PSD106内において左/参照入力100の信号及びその90°位相ずれ信号104と混合する。内部機能は、図6のロックイン増幅器52と同様である。ロックイン増幅器54からの出力信号と変位ゲージ52からの入力信号との関係は、次に示す式を用いて導くことができる。計算は、好適なデジタルまたはアナログの処理装置120で実行できる。任意の振幅、任意の位相差を有する正弦波として2つの信号を考える。各信号は次式で表すことができる。ここで、低雑音差動増幅器114からの出力は、Vref-Vrightである。PSD106の下部では、次のようになる。この信号は、2倍の振動数で1つの直流電圧成分及び1つの交流成分を有する。低域フィルタLPF108が残りの交流成分を除去し、次式が得られる。PSD106の上部では、次のようになる。ここで、cosωt=sinより、余弦乗数が得られる。ここで再び直流成分及び交流成分を有する信号が得られたわけであるが、LFP108を通過した後では次式のようになる。式1及び式2より、大きさR及び位相角θは次のように計算される。θはもはや位相角ではないが、左入力信号及び右入力信号の位相角度及び振幅の関数のアークタンジェントである。この式を分析すると、θはφの強力な関数であることが分かる。実際、入力信号の相対振幅によってこの関数の強度を制御することができる。これは図8のグラフで説明することができ、図8のA及びBは、各々左信号及び右信号の振幅である。2つの振幅が近づくにつれて、ロックイン増幅器の出力θに対する感度が高くなる。たとえその差が2以内であるような振幅に対しても、φに対するθの感度は標準ロックイン増幅器の感度と比べて約100倍である。図9は、本発明に基づきコリオリの力が誘導する位相ずれを測定するための別の方法に用いられるデュアルロックイン増幅器56の機能的回路図である。信号が動く方法及び定義は、既に開示したものと同様である。左入力100もまた参照信号として用いられる。既に開示したものと同様に、正弦信号103は駆動信号であり、左入力100の信号にフェーズロックされている。この場合、左入力100の信号は、上部ロックイン増幅器58における2個の位相検出器PSD106において左入力100の信号及びその90°位相ずれした信号と混合される。底部ロックイン増幅器60では、右入力102の信号は、2個の位相検出器PSD106において左入力100の信号及びその90°位相ずれした信号と混合される。位相ずれしていないPSD106及び位相ずれしたPSD106からの対をなす出力は、低雑音差動増幅器114において微分される。信号の直流成分は、低域フィルタ108を通過して通常のロックイン増幅器出力を与える。好適なデジタルまたはアナログの処理装置120によって実行される計算は、図7に関連して概説した方法と同様であるが、作動順序は異なる。図7の2チャンネルロックイン技術において、僅かな差がある2個の高レベル信号が減算される。次に低レベル信号が高レベル信号と乗算されるが、この乗算がアナログ回路における雑音或いはデジタル回路における丸め誤差を生じさせ得る。図9のデュアルロックイン技術において、まずハイレベル信号が乗算されて、次に振幅の近似している乗算結果の信号が減算されて低騒音出力が生じる。極めて大きな振幅の雑音に埋もれた低レベル信号の測定には、ロックイン増幅器を使用することが最も有名である。ロックイン増幅器は、極めて狭い帯域フィルタとして作用し、このような測定をなし遂げている。信号及び騒音は、参照正弦波及び余弦波が乗算され、次に低域フィルタを通過して参照振動数が除去される。乗算及びフィルタ動作の結果、複素数ベクトルxiyで表される直流信号が得られる。参照振動数と対象信号signalofinterestとの位相差は、atanyxによって決定することができる。コリオリの力の測定に関して、同一振動数の2個の信号間の位相差は重要である。これはデュアルロックイン増幅器を用いて行うことができ、各増幅器は図10に示すように同一の参照振動数で駆動される。図10に示す機能回路図において、左入力信号100及び右入力信号102は、参照振動数発生装置114が与える参照正弦波及び余弦波と乗算される。入力信号100、102は、PSD106において正弦信号及び余弦信号と混合され、次に図6、図7及び図9に関連して説明したように5次ベッセルIIR低域フィルタ148を通過する。上記の乗算及びフィルタプロセスは、左入力信号100および右入力信号102において実行され、参照振動数に対する各信号の位相差出力X、Yを生じさせる。2個の出力信号XとYの差は、2個の入力信号100と102の位相差を表す。コリオリ質量流量の場合は、この位相差は質量流量152の表示を表す。ロックイン増幅器を用いてコリオリ質量流量に関連する極端に小さな位相差を測定する場合には、参照振動数を対象信号に合うように調整する必要がある。参照信号が対象信号にそれほど近似していなければ、極低振動数の交流信号が低域フィルタ148の出力に現れるであろう。コリオリセンサの振動数は、質量流量、温度、密度及び圧力と共に変化し、測定プロセスを更に複雑にしている。入力信号100、102の1つからの出力ベクトルを処理することによって、参照振動数を正確に調整することができる。まず、出力ベクトルの導関数を計算する。出力ベクトルの導関数は、2つの連続する出力ベクトル間の複素差分を計算することにより算出できる。次に元の出力ベクトルを90°回転させ、このベクトルのドット積及び導関数を計算すると、参照振動数発生装置144に与えられるエラー信号150が求められる。参照振動数を下げるか、上げるか、変化させない必要がある場合には、エラー信号150は各々負、正、或いはゼロである。参照振動数の調整量は位相測定の精度によるが、一般に調整が緻密であればあるほど精度は高くなる。精度は、多数の出力サンプルに対する標準偏差を計算して決定される。しかしながら、信号振動数においてステップの変化がある場合には、参照振動数のより緻密な調整小さなステップの変化は好ましくない。参照振動数発生装置144が目的の振動数を発生させるまでに長時間を要するためである。信号振動数が頻繁にステップを変える場合には、PIDまたは適応アルゴリズムを用いて、より応答の良い方法で参照振動数を調整することができる。別の実施例においては、静電容量変位プローブ50を圧電アクチュエータに取り付けることができる。圧電アクチュエータは、まず静電容量変位プローブ50を3次元に配列する。更に、本明細書に開示されている2チャンネルロックイン増幅器又はデュアルロックイン増幅器の方法を用いる場合は、圧電アクチュエータがフローセンサの感度を動的に調整することができ、従ってセンサの範囲を拡張させることができる。このような動的位置決めdynamicpositioning、特に静電容量変位プローブに関連するフローセンサの位置決めによって、製作のばらつきを埋め合わせることができる。動的位置決めはまた、様々な成分の相対熱膨張に起因する寸法のずれを埋め合わせる。2チャンネルロックイン増幅器又はデュアルロックイン増幅器と組み合わせて用いることにより、動的位置決めは2個の変位信号を非常に近づけてフローに対する可変感度を与えることができる。高いフロー条件に対しては低い感度が用いられ、拡張された低いフロー条件に対しては高い感度が用いられ、従って、フロー測定のダイナミックレンジを広げる。本発明の実施例は、更に静電容量測定技術を向上させ、特に静電容量変位プローブの新たな幾何学的配列を向上させる。通常或る物体の変位は静電容量変位プローブへの垂直線の寸法として測定される。変位はまた、静電容量変位プローブに対する接線方向の寸法としても測定される。図11を参照すると、2枚の板130を近接して並べ、板130の間に一定のギャップ132を設け、図11に示すような運動矢印136で示すに対して接線方向の平面に、センサチューブ134の近傍に配置することによって変位を特定することができる。或る実施例では、板130を同じ位置に設置し、センサチューブ134を大地電位に設置するものもある。ギャップに対して垂直線方向への運動136が予測されるようにして板130の間のギャップ132を直接覆うようにセンサチューブ134を配置すれば、センサチューブ134のサイクル運動によってチューブ134が2枚の板130のいずれか一方に接近するであろう。相対静電容量は、各板130とセンサチューブ134の間で測定される。センサチューブ134が2枚の板130の何れか一方またはもう一方に向かって運動するにつれて静電容量に寄与する総面積が変化するので、相対静電容量が測定される。図12に示されるように、ギャップ132がセンサチューブ134の間を斜めに貫く形状のものもある。このような形状では、板130の平面に対してセンサチューブ134を配置する精度が低下する。センサチューブ134のアライメントの不備は、ギャップ132が平行である場合と比較すると信号においてより小さな不整合を生じさせる。或いはギャップ132は、図13に示すように鋸歯形模様である場合もある。鋸歯形は斜めのギャップ132に対して改良されたものとなっている。ギャップ132が平行であれ斜めであれ、ギャップ132に関係するセンサチューブ134が角度アライメントの不備により2枚の板130の間に静電容量の変化率に差異を生じさせ、このことが2つの信号間の位相において好ましくない変化を生み出すであろう。鋸歯形模様は、センサチューブ134のあらゆる角度アライメントの不備を平均させ、より対称的な信号を与える。図14、図15及び図16は、本発明の1実施例に基づく例として容量ピックオフセンサを備えた低フローコリオリ質量流量コントローラ200を示している。コリオリ質量流量コントローラ200は、フローセンサ部分202及びフロー制御部分204を有する。質量流量コントローラ200に対する内部または外部の処理装置は、設定値または所望の質量流量の表示を受け取る。設定値をフローセンサ部分202が示す実際の質量流量と比較し、偏差を求める。フロー制御部分204はバルブを有し、バルブを操作することで流量を調整し、偏差を最小にする。特定の制御機構を実行することは、本発明の開示の利益を受ける当業者が行う日常的な作業であるので、ここでは実施の詳細について詳述しない。フローセンサ部分202は、ケーシング205により囲まれ、ループ状に曲げられたセンサチューブ206、駆動装置208、及び2個のピックオフセンサ210を有する。ピックオフセンサ210は、センサチューブ206の逆側に配置され、センサチューブ206の側面の変位を測定する。既存のコリオリ装置のセンサは通常、溶接された金属のハウジング内に設置されていた。ハウジング内のセンサチューブには、変位センサまたは速度センサが取り付けられ、これらのセンサはフィードスルーを介してハウジング外部の電気部品に接続された電線を用いてセンサチューブに取り付けられていた。このような装置におけるセンサチューブは、比較的大型であり、約100Hzの共振振動数を有する。本発明の実施例のようにより小さなセンサチューブに対する共振振動数は幾分高くなり、200Hz以上のオーダーになる。振動数が増大するにつれて、センサケーシングの内部大気条件に起因する粘性減衰効果が大きくなる。ケーシングを排気し、真空に適合する材質を利用することによって、粘性減衰を減少させ或いはゼロにすることが可能である。従って、図で示したような実施例において、センサチューブ206が真空センサケーシング207内に設置されている。センサチューブ206は、チューブのループの脚を結ぶ線に直交する方向の弾性曲げを可能にするように設計された。ループは、ループの中心線付近で弾性ねじれを生じさせるのに十分な幅を有する。低フローにおけるコリオリの力を測定するため、センサチューブ206の質量を最小にする必要がある。チューブを小さくし、しかも拡張圧力において流体を保持できるようにする必要があるので、チューブサイズの決定は重大である。チューブ206との接触またはチューブ206への質量負荷によってコリオリの力が抑制できるので、ピックオフセンサ210を非接触とすることが望ましい。ピックオフセンサ技術には、容量型、磁気的、圧電性、及び光学的技術がある。圧電ひずみゲージ変位センサは、チューブに接触するが、変位が最小でひずみが最大となるようなループの下部と接触する。こうすることでチューブの振動への影響を最小にするであろう。光学技術には、レーザまたは白光干渉変位技術、三角測量技術、多重内部反射及びビーム掩蔽技術が含まれる。磁気変位技術には、ホール効果、渦電流、可変磁気抵抗及び磁気抵抗技術が含まれる。容量型ピックオフセンサ技術は、チューブ変位を測定するために必要な感度を有し、非接触で、磁気駆動装置に影響されないので、図14~16に示したような実施例に用いられている。容量型ピックオフセンサ210は、各々少なくとも1枚の導電板300を有し、導電板は与えられた電位に接続され、導電板間のギャップを画定するべくフローセンサチューブ206の近傍に配置されている。導電板300とフローセンサチューブ206との間の静電容量は、フローセンサチューブ206が振動する際の導電板300及びフローセンサチューブ206の相対運動によって変化する。図14~16に示したような実施例において、図11~13に関連して説明したように、導電板は第1及び第2の板からなる。或る実施例においては、図13に示すような鋸歯形の板が用いられている。容量型ピックオフセンサ210は、組み込まれたセンサブロック301にアセンブルされている。センサブロック301は、プレスピン302によりケーシング207の後壁を寸法的に参照して、ケーシング207に合わせてサイズを決定した。容量型ピックオフセンサ210の導電板300は、寄生静電容量を最小にする保護層と、センサブロック301にはんだ付けするための裏板とを供給するような多層プリント回路板上で作製される。容量型ピックオフセンサ210は、真空で作動することが要求されるので、図で示したような実施例では低ガス放出材料が用いられている。標準繊維ガラス材料は、真空には適合しない。望ましい材料特性は、真空に適合し、はんだ付けが可能で、低ガス放出結合で多層に接着でき、単一保護層デザインに対して一定の低誘電率を有することである。或る実施例では、市販のDRUOIDが用いられている。容量型ピックオフセンサ208を有するセンサブロック301は、センサチューブ206との間隔を最適化するように調整することが可能である。調整は、放電加工したヒンジ板を用いて行う。テーパ止めネジは、容量型ピックオフセンサの線運動及び角運動を起こすべくギャップを拡げる。更に、容量型ピックオフセンサの導電板300は接触パッドを有し、接触パッドによって電線をはんだ付けしたり、センサブロックの正面にプリント回路板303を電線接続したりすることが可能になる。センサブロックは、センサケーシング207外部の容量型変位電気部品と連動する気密封止電気コネクタを用いて、容量型ピックオフセンサ210と相互に連結されている。駆動装置208は、チューブ206を曲げモード振動に駆動し、振動を生じさせる。図に示したような実施例において、駆動装置208は、センサチューブ206にはんだ付けされた小さな磁石304と、磁石304に交互に出入りする小さな電磁コイル306を有する。図16に示す実施例においては、非希土類磁石、特にニッケルめっきされたサマリウムコバルト磁石が用いられている。サマリウムコバルト磁石は、重量比に対して強い磁力を有する。実施例では、磁石の重量は約20mgである。磁極がチューブの好適な変位方向に平行をなすように、磁石304はセンサチューブ206の上中心部に配置する。コイル306は、センサケーシング207の外部に配置され、回路板209に結合される。センサケーシング207は非磁性であるので、磁界へ透過する。コイル306は、環状デザインとは全く異なり、開路型である。本実施例におけるコイル306は、少なくとも1mHのインダクタンスを有する市販のパワーインダクタである。コイル306の中心軸は、磁石304の表面に垂直になるように調整する。フェーズロックループPLL機能を介するコイル駆動回路へのフィードバックとしての、容量型ピックオフセンサの1つからの信号を用いて、センサチューブ206を共振させる。PLL機能は、電気回路として或いはソフトウエアにおいて実行される。基礎部分212は、フロー入口214及びフロー出口216を画定する。センサチューブ206を基礎部分212上に取り付け、フローが入口からセンサチューブ206、フロー制御部204を介してセンサフロー出口216へという流路で流れるようにする。フロー制御部204は、バルブコイル228及びコイルカバー230を内部に配置したメータ本体222を含む。バルブ軸stem232及びプランジャ234はバルブコイル228内に配置し、バルブ本体236はメータ本体222にシール238で結合する。弁座240、ばね242及びオリフィス244は、バルブ本体236内に配置する。端受224、225は、フロー制御部204のいずれかの端部に配置する。メータ本体222と端受224との間、及びバルブ本体236と端受225との間は、シール226で結合する。或る実施例において、シール226は電鋳ニッケルシールからなる。例として示すような実施例において、コリオリ質量流量コントローラ200は、次のようにアセンブルした。メータ本体222及びセンサケーシング207は、ベースプレート310、中柱312及びセンサチューブ206と同様、センサチューブ206をセンサケーシング207の壁に寸法的に参照するような取付具によって所定位置にアセンブルし、保持した。残りの部分は、プレスピン330により割り出した。これらの部分は、単一のユニットとしてロウ付けした。磁石304は、センサチューブ206にはんだ付けした。センサブロック301をアセンブルし、プレスピン302を用いてセンサケーシング207内に取り付けた。プレスピン302は、センサケーシング207の背面から約0.5mm延在させた。気密封止コネクタ320は、センサケーシング207の裏面の開口322に押し込んだ。センサブロックプレスピン302及び気密封止コネクタ320は、レーザまたは電子ビーム溶接してリーク密封を与えた。カバー324は、真空環境でセンサケーシング207の正面を覆うように配置し、所定位置にレーザまたは電子ビーム溶接し、真空密封環境を与えた。次に、残りのバルブ部品及び端受ブロック224、225をメータ本体222にアセンブルした。電鋳ニッケルシール226を用いても、エストラマーOリングを較正に用いた後でニッケルシールに交換してもよい。完全なアセンブリ上で電気部品をアセンブルし、取り付けた。Oリング332はベースプレート310上に取り付け、ケーシング205をOリングシール332に下向きに押し付けた。ベースプレート310上のカム錠を回転させ、ケーシング205を下にロックした。Oリング334は、電気部品カバーキャップ336に取り付けた。電気部品キャップ336は、ユーザインターフェースコネクタ338に被せた。電気部品キャップ336は、ケーシング205上からOリングシールに影響を与えるような位置に嵌めた。次にアセンブルした質量流量コントローラ200を試験し、較正した。例として示すようなコリオリ質量流量コントローラ200は、幾つかの利点を供与するモジュラー設計を有する。上記のように、フロー本体ケーシング205の下端とベースプレート310との間及びユーザインターフェースキャップケーシング205の上端と電気部品キャップ336との間においてOリングシールに影響を与えるように電気部品パッケージを設計した。電気部品キャップ336は、電気部品を検出し、制御するべく、コリオリ質量流量コントローラ200及びその内部のユーザインターフェースボード340と相互に接続されている。電気部品キャップ336及びユーザインターフェースボード340は共にユーザの電気部品に接続するためのインターフェースを画定する。このことは、ユーザ装置毎に異なる検出、制御の電気部品及びケーシングを設計する必要がなく、ユーザの要求通りのインターフェースを柔軟に形成する。例えば種々のインターフェースキャップは、装置即ちIP65NEMA4Xコンプライアントを与えるべくシール及び電線管を有し得る。そのような装置400の例を図18に示す。対照的に、図14~16に示す実施例は、ユーザインターフェースボード340に接続されたコネクタ342を有する。図18に示すように、電気部品キャップ337を拡張し、特定の用途のために要求される追加部品のための空間を与えている。Oリングシールケーシング205の別の機能は、第3の流体を保持することである。センサチューブ206が第1の流体を保持し、センサケーシング207が第2の流体を保持する。制御される気泡が流体内に存在する場合、既存のバルブでは、プランジャ周辺の環状開口がバルブ出口への気泡の通路を制限していた。気泡は、液体のフローが制限されてフロー制御が失われるような場所への環状開口の入口に集まる。環状開口を拡げると、バルブコイルからのプランジャの空間が増加し、それによって磁気回路の磁界強さが弱められ、また流体が生じさせる水力に対してバルブを開閉するために必要な慣性力が弱められる。従って、図示されるコリオリ質量流量コントローラ200では、プランジャ234を通すような丸孔246が設けられる。丸孔246は、気泡の形状及びサイズに適合するものとし、気泡がより滑らかにバルブを通過するようにする。このようにして、気泡がフローを制限する可能性を最小にする。プランジャ234の中心を通過するような孔246は、水力に対してバルブを開閉するための力が維持すべく、磁気回路に対するあらゆる影響を最小にする。典型的な既存のバルブでは、バルブプランジャは、オリフィスのランドに押し付けられた時にフローに対するシールを形成するような変形可能な材料から製造した固定座を有していた。常時閉のソレノイドバルブの場合、ばね釣り合いにより弁座に対して力を生じさせることで、ソレノイド作用によってオリフィスランドから弁座を揚げるようにすることが可能であった。常時開のソレノイドバルブの場合、ソレノイド作用により弁座に対して力を生じさせて均衡を取ることで、磁界が取り除かれた時、ばねによってオリフィスから弁座を揚げるようにすることが可能であった。弁座の材料は、弾性、可塑性、または延性の金属とすることができる。繰り返し使用可能とすべく、通常シールは塑性変形よりも弾性変形であることが好ましい。或いは、弁座及びランドに硬質材料を用いてもよいが、弁座とランドとの間で表面をぴたりと合わせることを含めて非常に厳格な許容差を以って製造する。この方法は非常に費用がかかる。プランジャにおける磁力は変位に対し線形でないため、弁座とランドの空間はバルブ操作に重大である。常時開のバルブの場合、弁座がランドと逆に動かされる時に最大の力を与え、また開口位置で最大のフローを与えるために、プランジャのノーマル位置と、従ってランドに関係する弁座のノーマル位置とを最適化する必要がある。常時閉のバルブの場合、ランドに対する弁座の力はばねによって与えられる。ばねの力は、水力に対してバルブを閉にするのに十分な力とする必要がある。更に、最大のフローを得るのに十分な距離までは磁力によって弁座をランドから揚げられるように、最小の力にもする必要がある。既存の装置では、ランドまたは弁座の下にシムを置いたり、オリフィス部品に調整ネジを用いたり等、種々の手段を用いて弁座とランドの間の空間が調整されてきた。しかしながら、図17aに示すように、通常オリフィスの調整ネジはオリフィス本体250とバルブ本体252との間をシールしておらず、ねじ山256の間に漏れ経路254を残す。このような調整ネジでは、流体が漏れないようにねじ山256をシールする必要がある。Oリングやガスケット等の分離シールによりねじ山256をシールする。本発明の或る側面に基づき、オリフィス244及びランドの少なくとも一方は、精密オリフィスのねじ部品に機械加工するのに適した、VESPEL登録商標等の塑性材料から製造する。図17bの実施例に示すように、オリフィス本体250とバルブ本体252との間に締りばめ258ができるようにねじ山256を大き目に機械加工し、このように分離シールOリングまたはガスケットを不要にする。これでオリフィスランドは、弁座240及びプランジャ234の設計及び製作図15及び16参照を単純化するような変形可能な部材となった。しかしながら、本発明は特定のプランジャ構造に限定する必要はない。或る実施例では、バルブに代えてポンプが用いられる。例えば、流体制御の目的で計量型ポンプを用いてもよい。特に、複数の圧電チューブ部分を有する圧電ポンプを用いることができる。異なるチューブ部分を圧縮または膨張させるような方法で圧電チューブ部分を制御するので、圧電チューブ部分は流体のフローを望ましいように制御することを可能にする。図19は、本発明の更に別の側面に基づき、例として示されるようなコリオリ質量流量検出装置を示している。図に示すコリオリ質量流量検出装置500は、チューブの変位を測定して、チューブを流れる質量流量に起因するコリオリの力を検出するための代替構造を有する。光源510は、変位が最大になると予測されるフローチューブ502上部または上部付近に配置した。そしてフォトダイオード或いは他の光検出器512は、チューブ502の逆側に光源510と向き合うように配置した。光検出器512は、光検出器512から受信した信号を処理するようなセンサ電子部品に接続されている。センサ電子部品はデジタル信号処理装置を備えることができ、そのようなデジタル信号処理装置としては例えば米国特許第5555190号に開示されている信号処理方法や図6~11に示した実施例に照らして本明細書中で開示されているロックイン増幅器が挙げられる。別の実施例も考えられ、例えば受信した信号を最小2乗法による位相決定を用いて対照と比較するような、モード検出または正弦波カーブフィッティングが用いられる。或る実施例において、光源510及び光検出器512は、光学検出プリント回路板PCB上に実現された光学検出回路の一部である。光源510及び光検出器512は、センサチューブ502の運動を検出するための赤外線LED及びフォトダイオードからなる。図19に示すように、2セットのLED510及びフォトダイオード512があり、1セットがセンサチューブ502の片側を検出する。図20は、図19に示す光学コリオリ質量流量検出装置500を備えたコリオリ質量流量コントローラの一部を概略的に示すブロック線図である。光学コリオリ質量流量検出装置500は、光学検出PCB520の一部を構成する。光学検出PCB520は、光学駆動PCBを介してマザーボードPCB526上のセンサピックオフ駆動回路524へ左出力信号521及び右出力信号522センサチューブ502の左及び右部分に対応するを与える。アプリケーション制御回路528もマザーボードPCB526上で実行される。デジタル信号処理DSPPCB530は、DSP処理装置532と、フラッシュEEPROM534と、高速SRAM536と、論理監視回路538とを有する。本発明の1実施例においては、50MHzで作動するテキサスインスツルメント社のTMS320C32処理装置がDSP処理装置532として機能している。RTD542は、センサチューブ温度を測定するために光学駆動PCBを介してセンサピックオフ駆動回路524へ出力を与える。センサピックオフ駆動回路524は、センサチューブ502の振動を制御するための駆動コイル513へも出力信号を与える。チューブ502の共振振動数で正弦波によって駆動されるコイル513を用いて、チューブを振動させる図19に示すように紙面に出し入れする。コイル513が作り出す磁力例えば図14~16に関連して既述した実施例に用いられているような1mHインダクタは、センサチューブ502に取り付けられた磁石514上でプッシュプルを行い、運動させる。チューブ502が振動する際、LED510からフォトダイオード512に達する赤外線の光の量は、センサチューブ502が光路を往復運動するにつれて増減する。光学検出回路が光の振動をチューブの位置を表す電圧に変換する。チューブ502が振動するにつれて、センサチューブ502の左側及び右側の運動を表す2つの正弦波として光学検出回路の出力が現れる。センサチューブ502を流れる質量流量がない場合、センサチューブ502の左側及び右側は同位相であるので、2つの正弦波はゼロフローを示す同位相である。センサチューブ502を流れる質量流量が増加するにつれて、センサチューブ502の左側と右側の運動間の位相差は質量流量に線形に増加する。センサピックオフ駆動回路524は、光学検出PCB出力521、522からセンサ駆動信号を生成する。従って、センサチューブ502、光学ピックオフ510、512及び駆動コイル/磁石システム513、514は、センサチューブ502の機械特性によって決定される振動数で振動するような閉じた系を構成する。この概念は、機械的物体センサチューブ502の代わりにクリスタルを用いた高周波発生器に類似している。センサピックオフ駆動回路524のDSPPCB430及び関連する電子部品は、左及び右センサチューブ出力521、522を、センサチューブ502の左側と右側間の実際の位相差を表す数値に変換する。この位相差は質量流量を表す。図21に示すように、センサピックオフ駆動回路524は、ステレオA/D変換器550を有する。センサチューブ502の左側と右側間の実際の位相差を測定し、センサチューブ502の振動数を測定し、固有センサチューブ502の駆動レベルを決定するために、ステレオAD変換器550を用いて光学検出PCB520から左出力521及び右出力522のサンプルを取る。RTDA/D変換器552は、RTD542からの出力を受信し、RTDによってセンサチューブ502の温度を測定する。乗算D/A変換器を用いてセンサチューブの駆動レベルを調整する。ステレオAD変換器550、RTDA/D変換器552及び乗算D/A変換器は、DSPPCB430によって制御される。再び図20を参照されたい。光学駆動PCB540は、光学検出PCB520の左出力521及び右出力522を減衰し、AC結合させると同時に、駆動信号出力の位相を90°ずらすように機能する。更に、光学駆動PCB540は、RTD542とマザーボードPCB526上のセンサピックオフ駆動回路524との電気接続を与える。信号フローについて考察することによって、光学駆動PCB540の目的が更に分類され、センサチューブ502が共振振動数でどのように駆動されるかが説明される。センサチューブ502の運動は、光学検出PCB520によって2つの正弦波左出力521及び右出力522を生成する。これらの信号は、光学駆動PCB540へ送られ、そこでDCオフセットを除去するためにAC結合され、マザーボードPCB526上のセンサピックオフ駆動回路524のステレオA/D変換器550の入力に適した振幅まで減衰されて振幅を減らされる。センサピックオフ駆動回路524はこれらの信号の緩衝増幅器として働き、ステレオA/D変換器550を用いてこれらの信号のサンプルを取り、更に駆動ゲインを調整するために乗算D/A変換器554によって左出力521も与える。乗算D/A変換器554を通過した後に信号は光学駆動PCB540へフィードバックされる。光学駆動PCB540では、センサ駆動コイル513へ信号が与えられる前に90°位相遅れが誘導される。機械的発振器は共振においてコイル513及び磁石514を経由してシステムへのエネルギーフィードバックがチューブ502の運動から位相が90°ずれていることを必要とするので、90°位相シフト回路が必要である。当業者に自明なように、減衰、AC結合及び90°位相ずれは光学検出PCB520またはマザーボードPCB526に組み込むことが可能である。しかしながら、別個のPCBにおいてこれらの機能を実行することによって、光学検出PCB520及び光学駆動PCB540はシステムから除去され、別の質量流量センサがマザーボードPCB526に直結され得る。マザーボードPCB526におけるピックオフ入力及び駆動出力は、実行される特定の質量流量センサの対応する入力及び駆動系と互換性がなければならず、或いは好適なインターフェースを与えなければならない。典型的な先行技術コリオリセンサピックオフは速度を検出する磁石及びコイルを用いていたピックオフ出力振幅は零交差において最大になるので、公知のコリオリ質量流量センサは駆動出力において90°位相ずれを必要としなかった。それに対して、本明細書中で開示している光学または容量ピックオフセンサは位置を検出するピックオフ出力振幅はピークにおいて最大になる。速度は位置から導かれるものであり、正弦関数からは余弦関数が導かれるものであり、正弦関数は90°位相ずれした余弦関数であるので、速度を検出するピックオフにおける90°位相ずれは当然発生する。センサチューブ502の振動を開始させるために、駆動ゲインは通常よりかなり多く増加される。通常存在する暗振動は、センサチューブ502を主として共振振動数において振動させる。この小さな運動は光学ピックオフ510、512によって検出され、センサチューブ502をより大きな振幅で高ゲイン駆動回路を経由して駆動するために用いられる。センサチューブ502の振動が所望の振幅に達したら、駆動回路は正常ゲインに切り換えられ、DSPPCB530は乗算DA変換器554を経由してセンサチューブの振幅制御を引き継ぐ。センサチューブ502は、センサチューブ駆動振幅の能動制御がない場合には、振動を止めるか制御不能で振動するかのいずれかであろう。DSPPCB530によって計算される位相差、センサチューブ振動数及びセンサチューブ温度は、図の例では4800ボーの直列リンクを経由してアプリケーション制御回路528へ伝送される。図22は、アプリケーション制御回路の側面を概略的に示す図である。マザーボードPCB526には、アプリケーション制御回路528のための回路構成が含まれている。ユーザインターフェースUIPCB560は、マザーボードPCB526へプラグ接続することができる。マザーボードPCB526は、マイクロコントローラ562と、フラッシュEEPROM564と、高速SRAM566と、論理監視回路568とを有する。或る実施例では、モトローラ68LC302マイクロコントローラを用いて、25MHzで実行している。マイクロコントローラ562は、1.アナログ設定値入力及びアナログバルブオーバーライド入力570を検出するために用いるA/D変換器と、2.アナログフロー信号572を出力するために用いるD/A変換器と、3.バルブ制御信号574を出力するために用いるD/A変換器とを制御する。図22に示すユーザインターフェースPCB560はマザーボードPCB526にオプションで追加されるものであり、マザーボードPCB526は様々な交信プロトコルを規定する。ここまでで説明した電子部品は全て交信に特異的なものではない。様々な交信プロトコルとの互換性を得るために、マザーボードPCB526へプラグ接続し得る共通ユーザインターフェースPCB形成要素を用いて、一意のユーザインターフェースPCB560が各所望のプロトコルに与えられる。例えば、共通交信プロトコルはHARTプロトコルである。アナログ/HARTユーザインターフェースPCBは、マザーボードPCB526上に既に存在する01~5V入力及び出力に加えて04~20mAの設定値入力及びフロー出力を与える。HART物理層もこのバージョンに存在し、13VDCから30VDC主電力入力の容量を有する独立供給電力が与えられる。図23は、HARTインターフェース580を示す図である。好適なキャリアを用いてフロー出力信号04~20mA582を変調し、HART交信プロトコルを出力信号上で伝送及び受信できるようにする。HARTプロトコルは、データを監視する目的のため、また装置を較正及び構成するためのコリオリ質量流量コントローラとのデジタルインターフェースを与える。フロー出力信号58204~20mAは、電流に加えて電圧のフローを監視するための01~5V信号584にも変換される。設定値入力は、電流586または電圧588の入力間で選択するためのジャンパ線を与える。設定値入力は、電圧に変換され電流入力が選択された場合、マザーボードPCB526へ送られ、マザーボードPCB設定値入力570へ直結される。マザーボードPCB526専用コンフィギュレーション上でフロー出力信号572のために用いられる信号は、HARTインターフェース580上で変換され、密度出力信号590として解読される。バルブオーバーライド入力570は、マザーボードPCB526のバルブオーバーライド入力へも直結される。マザーボードPCB526専用コンフィギュレーションは、供給電力の戻りと全ての信号の戻り間で共通接地を共有する。電力は、15VDC及び接地を用いて供給される。入力出及び力信号のためのマザーボードPCBコネクタ上に接地接続が別々に存在するが、これらは電気的には同じ点である。マザーボードPCB526への15VDC入力電圧576は、15VDCを必要とする全ての部品上で直接用いられる。15VDCは、2台のDCDC切換変換器を駆動するためにも用いられる。1台は15VDCを5VDCに変換するために、もう1台は15VDCを-9VDCに変換するために用いられる。例として挙げた本発明に基づくコリオリ質量流量コントローラにおいて、全ての電気電子回路バルブを含むは3つの電圧源15VDC、-9VDC、5VDCを用いて動力が供給される。シャシ接地と電力/信号接地間の唯一の接続は、並列の1M抵抗器及び0.01uFコンデンサである。HARTインターフェース580を追加することによって、供給電力入力576を分離する。HARTインターフェースの入力電圧範囲は13~30VDCであり、内部電圧源及び接地から完全に分離されている。13~30VDC図中の符号592を15VDCに変換するDCDC変換器は、絶縁を与える。絶縁は、ガルヴァーニ電気主電力移動または光学的フィードバック絶縁である。DCDC変換器の出力は、電気的に絶縁された15VDC及び接地である。図24a及びbは、光学ピックオフセンサを備えた本発明に基づくコリオリ質量流量コントローラのフローセンサ部分600である。図24a及びbに示すフローセンサ部分600は、図14~16に示したコントローラ200のような質量流量コントローラにおいて使用するのに適している。事実上図24a及びbのフローセンサ部分600は、図14~16のフローセンサ部分202の位置で実行され得る。フローセンサ部分600は、磁石604が取り付けられたフローセンサチューブ602を含む。赤外線LED606及びフォトダイオード608は、光学検出PCB610へ結合し、フローセンサチューブ602のいずれかの側面に配置した。フローセンサチューブ602、磁石604、LED606、フォトダイオード608及びPCB610は全てハウジング612内に配置し、ハウジング612にはカバー614を取り付けてある。1mHインダクタはコイル616として機能し、チューブを駆動する。コイル616はハウジング612の外部に配置した。或いは、センサチューブ、駆動装置及びピックオフセンサを全てエンクロージャ内に含めるか、コイルに加えて或いはコイルの代わりに選択された部品をエンクロージャの外部に配置してもよい。例えば或る実施例では、エンクロージャを画定する窓を有するエンクロージャを備えている。これによって、光源、フォトダイオード、またはその両方をエンクロージャの外部に配置することができる。また別の実施例では、例えば光ファイバーケーブルを用いてセンサ電子部品がエンクロージャから離隔した。これは例えばコリオリ質量流量検出器が危険環境下で用いられている場合に望ましいものとなり得る。上記に開示したように、赤外線フォトダイオードに適合した赤外線LED光源から光源及び検出器を構成しうる。フォトダイオード活性表面のサイズはチューブの直径に近似しているが、それより僅かに大きい。チューブが振動するにつれてLEDとフォトダイオード間の経路を通って動き、LEDから光を明滅する。チューブが静止している時にLEDと検出器間の光の径路が部分的に破壊されるようにチューブを配置することができる。チューブが振動しながら静止点付近を動くにつれて、検出器に届く光は検出器からの正弦波出力を最大または最小で与えることになる。コリオリ力に誘導されるフロー効果に起因する位相差のために、チューブの各側からの相対出力を測定することが可能である。本明細書において示したように、フロー検出チューブは様々な材料から製造することができる。更に、フロー検出チューブは材料のハイブリッドからなることもある。そのようなハイブリッド構造の一例を図25に示す。シリコンフレーム702及びステンレス鋼チューブ704を有するコリオリ質量流量センサ700の図で示してある。コリオリ質量流量センサ700は更にクランプ706及びセンサ708も有し、これらも全てシリコンで製造されている。補助的な材料を用いることもでき、例えばクランプ706を金属、ガラス、塑性材料、セラミック等から製造することができる。薄いシリコンアーム710がフレーム702から延びており、センサチューブ704の両側に取り付けられている。センサ708は圧電抵抗器であり、センサチューブ704の両側に取り付けられた各シリコンアーム710の底部にあるホイートストンブリッジに実装されている。センサ708は事実上歪みゲージであり、シリコンアーム710の曲げによって誘導される歪みを測定する。第1のホイートストンブリッジ720を図26aに示す。ホイートストンブリッジ720は、各アーム710の底部に実装されている。ホイートストンブリッジ720は通常シリコンでも実装されており、シリコンフレーム702に付着させたか或いは埋め込んだものである。ホイートストンブリッジ720は、4つのブリッジ抵抗器R1、R2、R3、R4を有し、このうちR1及びR4は可変圧電抵抗器である。ホイートストンブリッジ720は、励起供給接続Vsと、シングルリターンGNDと、センサ出力信号接続-Vout及びVoutを更に有する。図26bは第2のホイートストンブリッジ722を示す図であり、ホイートストンブリッジ722は2つのアーム710間に実装され、2つのアーム710間の差歪みを決定する。ホイートストンブリッジ722においては、抵抗器R1及びR2が可変圧電抵抗器である。フローは差歪みに正比例する。2個の分離信号から位相を抜き出す必要はない。本発明の別の側面は、ストレートセンサチューブを備えたコリオリフロー測定装置に関与し、フローチューブは通常線形のフロー経路を画定する。図27は、本発明に基づくストレートチューブフローセンサ450を概略的に示した図である。先ず、圧電駆動装置454をチューブ452の各端部に取り付けることによって、通常の垂直偏極モードでチューブ452を始動させることが可能である。或る実施例において、圧電駆動装置は圧電ユニモルフからなり、圧電層がチューブ452の片側に取り付けられている。別の実施例では、これ以外の圧電駆動装置、例えば圧電バイモルフを用いることも考えられる。逆側は、センサ456として作用する圧電抵抗層または圧電層のいずれかを取り付けることができる。同期に始動される1組のユニモルフ454は、共振モードにおいてチューブを駆動する。フローはチューブ452を通って確立されるので、コリオリの力は圧電センサ456上で相対歪みをシフトさせ、出力信号中に位相ずれを生成する。別のストレートチューブコリオリセンサ451を図28に概略的に示す。2人縄跳びと同様に円偏極モードでストレートチューブ452を始動させることが可能である。コリオリの力を誘導する質量流量ベクトルの成分は、チューブ452のラインに垂直である。チューブ452の各端部は、回転方向または回転の逆方向に向いたコリオリの力を受けることになる。これがチューブ452の逆の端部において位相ずれを引き起こすことになる。チューブは、例えばチューブ452の中心に磁石460を配置し、2個の直交する電磁石コイル462を用いて磁石460を円振動させることによって始動させ得る。各駆動信号は90°の位相差を有する。センサ456は、チューブ452のいずれかの端部に配置する。或いは、チューブ452の3分の1の位置における駆動コイル462及び磁石460と同様に、直交してセンサ456を配置することもできる。センサ456は、ある程度はチューブ材料によって、事実上光学センサ、容量型センサまたは電磁石センサとすることができる。磁石460及びコイル462で駆動する装置に代わるものとして、別の実施例ではチューブの各端部に取り付けられた傾斜型圧電アクチュエータがこのモードのための駆動装置として働く。公知の傾斜型圧電アクチュエータは通常、光学鏡の位置を動的に調整するために用いられる。チューブを円偏極で駆動するために圧電スタックは3つの正弦波信号によって駆動され、各々が隣接する正弦波信号から120°進めた位相を有する。これは3相モータ駆動に類似したものとなり得る。傾斜型圧電アクチュエータは任意の鏡と比較して通常高価で大きいので、本発明においては以下の代替装置を用いている。フラット圧電ユニモルフは、上記の3スタックアクチュエータよりかなり廉価である。フラット圧電ユニモルフは通常低い電位で等価変位に到達することができ、スタックアクチュエータよりもかなり小さい。例として傾斜型アクチュエータ470、471を図29a、bに概念的に示す。傾斜型アクチュエータ470は3アームのフラット渦巻ばね474を、傾斜型アクチュエータ471は4アームのフラット渦巻ばね475を備えている。圧電装置は、フラット渦巻ばね474、475の各アーム476上に構成した。図の例でばね474は、ばね474、475の外部環状構造478付近の各アーム476上に構成された圧電ユニモルフ472を有する。圧電または圧電抵抗センサは、ばね474の、圧電抵抗アクチュエータ472と逆側に取り付けた。センサは、チューブ各端部のセンサ間の相対位相を検出する。従って、ユニモルフ472に電圧を印加することによって各アーム476の変位が生じる。上記の3スタック傾斜型アクチュエータを用いて行うのと同様に3アームのばね474を用いてユニモルフ472を3相の正弦波によって駆動し、結果的に通常円駆動運動を生じさせる。4アームのばね475は構造がより複雑であるが、始動は更に簡単である。4アーム構造には、3相駆動装置に代えて2相駆動装置が必要とされる。各駆動信号は、2つの対向するアーム476に与えられる。運動は、信号をアナログオシロスコープへのx、y入力へ与えること及びリサジュー図形を観察することと相似である。2つの信号が同一振幅で、90°位相ずれしている場合には、結果的に円になる。フラット渦巻ばね474、475には、図27に関連して開示したシート型ユニモルフ454にはない利点がある。ばね474は、シート型ユニモルフ454において必要とされるような直径の変更を必要としないで垂直変位を調節し得るのである。チューブの遠心力の増加によって駆動されるようなセンサ信号振幅の増加によって更に密度を測定することが可能である。このモードの始動によって、より柔軟にチューブ材料が選択できる。チューブを共振構造とする必要はない。ちょうど2人縄跳びをする如く連続して振動させるようにすることが可能であるので、システムは共振である必要はない。以上に開示した特定の実施例は例証にすぎず、本発明は、本明細書の開示の利益を有する当業者に自明な同等の別の形態で、改変を加えて実施することが可能である。更に、本発明の請求項によって画定される以外の構成またはデザイン等の詳細に、何らかの制限を加えることは意図されていない。従って、本発明の範囲及び精神から逸脱することなく、本明細書に開示した特定の実施例の置換及び部分的な変更が可能であり、様々な改変が考えられることは容易に理解できよう。本発明が保護を求める範囲は、請求項に記載の通りである。