"液体が充填された圧力発生室と、圧電材料層に挟まれて相対向している第1の内部電極と第2の内部電極との間に印加される駆動電圧により前記内部電極の長手方向に伸縮されて前記圧力発生室内に圧力変化を生起させる圧電素子と、該圧電素子の駆動により発生された前記圧力変化により前記圧力発生室内の液体を吐出させるノズル開口とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧電素子を形成する工程が、圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、第1の内部電極または第2の内部電極のいずれか一方を形成して第1のウエハーおよび第2のウエハーからなる2種類のウエハーを形成する工程と、前記圧電材料で前記第1の内部電極および前記第2の内部電極を挟むように前記第1のウエハーと前記第2のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する工程と、前記第1の内部電極および前記第2の内部電極を挟んだ状態で前記圧電材料が前記焼成により一体化された圧電材料層を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける工程と、切り分けられた前記圧電材料層の表面に前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と前記第2の内部電極に接続される第2の外部電極とを形成する工程とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。請求項1に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、前記第1のウエハーと前記第2のウエハーとを積層する前記工程が、後の工程で形成する第1の外部電極の極性と前記第2の内部電極の極性とが異なるものとなるように前記積層を行うものであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。液体が充填された圧力発生室と、該圧力発生室内に圧力変化を生起させる圧電素子と、該圧電素子の駆動により発生された前記圧力変化により前記圧力発生室内の液体を吐出させるノズル開口とを有する液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子は、圧電材料層に挟まれた第1の内部電極および第2の内部電極が相互に平行な面を介して相対向するように前記圧電体層の内部に交互に積層されるとともに、前記内部電極と平行な前記圧電材料層の外周面と該外周面に隣接する前記内部電極との間隔と、前記第1の内部電極および第2の内部電極のそれぞれの間隔とが同一になるように構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項3に記載する液体噴射ヘッドにおいて、前記圧電材料層の前記外周面の一方に形成される外部電極と、該外部電極に隣接して相対向させた前記内部電極とが異なる極性であることを特徴とする液体噴射ヘッド。圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、第1の内部電極または第2の内部電極のいずれか一方を形成して第1のウエハーおよび第2のウエハーからなる2種類のウエハーを形成する工程と、前記圧電材料で前記第1の内部電極および前記第2の内部電極を挟むように前記第1のウエハーと前記第2のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する工程と、前記第1の内部電極および前記第2の内部電極を挟んだ状態で前記圧電材料が前記焼成により一体化された圧電材料層を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける工程と、切り分けられた前記圧電材料層の表面に前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と前記第2の内部電極に接続される第2の外部電極とを形成する工程とを含むことを特徴とする圧電素子の製造方法。請求項5に記載する圧電素子の製造方法において、前記第1のウエハーと前記第2のウエハーとを積層する前記工程が、後の工程で形成する第1の外部電極の極性と前記第2の内部電極の極性とが異なるものとなるように前記積層を行うものであることを特徴とする圧電素子の製造方法。圧電材料層に挟まれた第1の内部電極および第2の内部電極が相互に平行な面を介して相対向するように前記圧電体層の内部に交互に積層されるとともに、前記内部電極と平行な前記圧電材料層の外周面と該外周面に隣接する前記内部電極との間隔と、前記第1の内部電極および第2の内部電極のそれぞれの間隔とが同一になるように構成されていることを特徴とする圧電素子。請求項7に記載する液体噴射ヘッドにおいて、前記圧電材料層の前記外周面の一方に形成される外部電極と、該外部電極に隣接して相対向させた前記内部電極とが異なる極性であることを特徴とする圧電素子。ところが、従来技術においては前記工程1において、後のラッピング工程におけるポリッシング代を考慮して最外層のウエハーは、内層のウエハーよりも厚いものを使用しているので、ラッピング処理を施した場合でも内層の最外層の厚さが厚くなってしまうことが多く、圧電素子の変位効率の低下を招来している。ここで、ラッピング処理は、ダイサーによる切り出し工程に、エアー吸着によりウエハーを搬送するべく、圧電体層の焼成時の焼き縮みによる反りを矯正するために必要な工程である。一方、ラッピング処理により最外層の厚さがばらつくので、外部電極に隣接してこの外部電極と異極の内部電極を相対向させた場合には両電極間でのマイグレーションの発生が懸念される。そこで、前記工程2における第1および第2のウエハーの積層に際しては、後の工程で形成する第1の外部電極の極性と同じ極性の第1の内部電極が相対向されるように積層している。したがって、この場合の外部電極と内部電極との間の最外層は常に不活性領域となる。このように、従来技術においては、一般に、内層に対し最外層の厚さが厚いので、圧電素子の変位効率が低下するばかりでなく、ラッピング処理を必要とするので、製造コストも高価なものとなってしまうという解決すべき課題が存在していた。本発明は、上記従来技術に鑑み、圧電素子の変位効率の向上を図るとともに、製造コストの低減も図り得る液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、圧電素子の製造方法および圧電素子を提供することを目的とする。上記課題を解決する本発明の態様は、液体が充填された圧力発生室と、圧電材料層に挟まれて相対向している第1の内部電極と第2の内部電極との間に印加される駆動電圧により前記内部電極の長手方向に伸縮されて前記圧力発生室内に圧力変化を生起させる圧電素子と、該圧電素子の駆動により発生された前記圧力変化により前記圧力発生室内の液体を吐出させるノズル開口とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧電素子を形成する工程が、圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、第1の内部電極または第2の内部電極のいずれか一方を形成して第1のウエハーおよび第2のウエハーからなる2種類のウエハーを形成する工程と、前記圧電材料で前記第1の内部電極および前記第2の内部電極を挟むように前記第1のウエハーと前記第2のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する工程と、前記第1の内部電極および前記第2の内部電極を挟んだ状態で前記圧電材料が前記焼成により一体化された圧電材料層を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける工程と、切り分けられた前記圧電材料層の表面に前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と前記第2の内部電極に接続される第2の外部電極とを形成する工程とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。本態様によれば、ウエハーは同一厚さのものを一種類用意すれば良いので、製造コスト低減を図ることができる。ちなみに、従来では厚さが異なる最外層用のウエハーと内層用のウエハーとの2種類を用意する必要があった。また、最外層と内層の厚さが均一であるため焼成による焼き縮みも少なく、焼成後のウエハーにラッピング処理が必要となるような反りを発生しないので、焼成後直接ダイシングテープに貼着して次の切り分け工程に移行することができる。このようにラッピング工程を省略することができるので、この点でも製造コストの低減を図ることができる。ここで、前記第1のウエハーと前記第2のウエハーとを積層する前記工程が、後の工程で形成する第1の外部電極の極性と前記第2の内部電極の極性とが異なるものとなるように前記積層を行うのが望ましい。この場合、後の工程で圧電材料層の外周面の一方に形成される第1の外部電極には、この第1の外部電極と異なる極性の第2の内部電極が隣接して相対向されるので、第1の外部電極とこれに隣接する第2の内部電極との間も活性領域となり、不活性領域は圧電材料層の第1の外部電極が形成された面とは反対側の面と、この面に隣接されて相対向された第1の内部電極との間の領域のみとなり、不活性領域を可及的に薄くすることができるからである。なお、この場合には最外層と内層との厚さを均一にし、最外層の厚さの均一性が保証されているので、第1の外部電極に対して異極となる第2の内部電極を対向させてもマイグレーションを生起する虞はない。本発明の他の態様は、液体が充填された圧力発生室と、該圧力発生室内に圧力変化を生起させる圧電素子と、該圧電素子の駆動により発生された前記圧力変化により前記圧力発生室内の液体を吐出させるノズル開口とを有する液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子は、圧電材料層に挟まれた第1の内部電極および第2の内部電極が相互に平行な面を介して相対向するように前記圧電体層の内部に交互に積層されるとともに、前記内部電極と平行な前記圧電材料層の外周面と該外周面に隣接する前記内部電極との間隔と、前記第1の内部電極および第2の内部電極のそれぞれの間隔とが同一になるように構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。本態様によれば、圧電素子の圧電材料層が最外層と内層との厚さが同一であるので、従来よりも不活性領域を薄くすることができ、その分圧電素子の変位効率を向上させることができる。ここで、前記圧電材料層の前記外周面の一方に形成される外部電極と、該外部電極に隣接して相対向させた前記内部電極とが異なる極性であることが望ましい。この場合、圧電材料層の外周面の一方に形成される第1の外部電極には、この第1の外部電極と異なる極性の第2の内部電極が隣接して相対向させてあるので、第1の外部電極とこれに隣接する第2の内部電極との間も活性領域となり、不活性領域は圧電材料層の第1の外部電極が形成された面とは反対側の面と、この面に隣接されて相対向された第1の内部電極との間の領域のみとなり、不活性領域を可及的に薄くすることができるからである。なお、この場合には最外層と内層との厚さを均一にし、最外層の厚さの均一性が保証されているので、第1の外部電極に対して異極となる第2の内部電極を対向させてもマイグレーションを生起する虞はない。本発明の他の態様は、圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、第1の内部電極または第2の内部電極のいずれか一方を形成して第1のウエハーおよび第2のウエハーからなる2種類のウエハーを形成する工程と、前記圧電材料で前記第1の内部電極および前記第2の内部電極を挟むように前記第1のウエハーと前記第2のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する工程と、前記第1の内部電極および前記第2の内部電極を挟んだ状態で前記圧電材料が前記焼成により一体化された圧電材料層を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける工程と、切り分けられた前記圧電材料層の表面に前記第1の内部電極に接続される第1の外部電極と前記第2の内部電極に接続される第2の外部電極とを形成する工程とを含むことを特徴とする圧電素子の製造方法にある。本態様によれば、ウエハーは同一厚さのものを一種類用意すれば良いので、製造コスト低減を図ることができる。ちなみに、従来では厚さが異なる最外層用のウエハーと内層用のウエハーとの2種類を用意する必要があった。また、最外層と内層の厚さが均一であるため焼成による焼き縮みも少なく、焼成後のウエハーにラッピング処理が必要となるような反りを発生しないので、焼成後直接ダイシングテープに貼着して次の切り分け工程に移行することができる。このようにラッピング工程を省略することができるので、この点でも製造コストの低減を図ることができる。ここで、前記第1のウエハーと前記第2のウエハーとを積層する前記工程が、後の工程で形成する第1の外部電極の極性と前記第2の内部電極の極性とが異なるものとなるように前記積層を行うのが望ましい。この場合、後の工程で圧電材料層の外周面の一方に形成される第1の外部電極には、この第1の外部電極と異なる極性の第2の内部電極が隣接して相対向されるので、第1の外部電極とこれに隣接する第2の内部電極との間も活性領域となり、不活性領域は圧電材料層の第1の外部電極が形成された面とは反対側の面と、この面に隣接されて相対向された第1の内部電極との間の領域のみとなり、不活性領域を可及的に薄くすることができる。なお、この場合には最外層と内層との厚さを均一にし、最外層の厚さの均一性が保証されているので、第1の外部電極に対して異極となる第2の内部電極を対向させてもマイグレーションを生起する虞はない。本発明の他の態様は、圧電材料層に挟まれた第1の内部電極および第2の内部電極が相互に平行な面を介して相対向するように前記圧電体層の内部に交互に積層されるとともに、前記内部電極と平行な前記圧電材料層の外周面と該外周面に隣接する前記内部電極との間隔と、前記第1の内部電極および第2の内部電極のそれぞれの間隔とが同一になるように構成されていることを特徴とする圧電素子にある。本態様によれば、圧電素子の圧電材料層が最外層と内層との厚さが同一であるので、従来よりも不活性領域を薄くすることができ、その分圧電素子の変位効率を向上させることができる。ここで、前記圧電材料層の前記外周面の一方に形成される外部電極と、該外部電極に隣接して相対向させた前記内部電極とが異なる極性であることが望ましい。この場合、圧電材料層の外周面の一方に形成される第1の外部電極には、この第1の外部電極と異なる極性の第2の内部電極が隣接して相対向させてあるので、第1の外部電極とこれに隣接する第2の内部電極との間も活性領域となり、不活性領域は圧電材料層の第1の外部電極が形成された面とは反対側の面と、この面に隣接されて相対向された第1の内部電極との間の領域のみとなり、不活性領域を可及的に薄くすることができるからである。なお、この場合には最外層と内層との厚さを均一にし、最外層の厚さの均一性が保証されているので、第1の外部電極に対して異極となる第2の内部電極を対向させてもマイグレーションを生起する虞はない。以下に本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図1aは、本発明の実施の形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の短手方向の断面図であり、図1bは、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の長手方向断面図である。両図に示すように、流路形成基板50はシリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁51によって画成された圧力発生室52がその幅方向短手方向に並設されている。また、各圧力発生室52の長手方向一端部側には、各圧力発生室52に液体の一種であるインクを供給するためのマニホールド53が液体供給路の一種であるインク供給路54を介して連通されている。また、流路形成基板50の圧力発生室52の開口面側は振動板55で封止され、他方面側にはノズル開口56が穿設されたノズルプレート57が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。振動板55上には、図示しない複数のインクカートリッジに接続されるインク供給路を有するヘッドケース58が固定されており、且つこのヘッドケース58には、圧電素子ユニット10が高精度に位置決めされて固定されている。すなわち、ヘッドケース58は、貫通した収容部58aが設けられており、この収容部58aの一方の内面に圧電素子ユニット10が、各圧電素子11の先端が振動板55上の各圧力発生室52に対応する領域に設けられた各アイランド部59に当接させて固定されている。ここで、圧電素子ユニット10について、図2および図3を追加してさらに詳細に説明する。図2は圧電素子ユニットを抽出して示す斜視図、図3は、図2の平面図およびそのA-A線断面図である。図2および図3に示すように、当該圧電素子ユニット10は、複数の圧電素子11がその幅方向に並設された列12を有する圧電素子形成部材13と、圧電素子形成部材13の先端部一端部側が自由端となるようにその基端部他端部側が接合される固定基板14とを有する。ここで、圧電素子形成部材13は、圧電材料層15と、圧電素子11の2つの極を構成する内部電極、すなわち隣接する圧電素子11と電気的に独立する個別電極を構成する第1の内部電極である複数の個別内部電極16と、隣接する圧電素子11と電気的に共通する共通電極を構成する第2の内部電極である複数の共通内部電極17とを交互に挟んで積層することにより形成されている。また、圧電素子形成部材13には、例えばワイヤソー等によって複数のスリット18が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電素子11の列12が形成されている。なお、圧電素子11の列12の両外側には、各圧電素子11よりも広い幅を有する位置決め部19が設けられている。この位置決め部19は、圧電素子ユニット10をインクジェット式記録ヘッドに組み込む際に、圧電素子ユニット10を高精度に位置決めするためのものである。ここで、各圧電素子11の個別内部電極16は、基本的には圧電素子形成部材13のほぼ全面に亘って設けられているが、固定基板14の端面近傍に対向する領域で先端部側と基端部側とに分離してある。一方、共通内部電極17も基本的に圧電素子形成部材13の略全面に亘って設けられているが、個別内部電極16と同様に、圧電素子11の先端部近傍で分離してある。すなわち、圧電素子11の固定基板14に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電素子11を構成する個別内部電極16および共通内部電極17間に駆動電圧を印加すると、固定基板14に接合されていない先端部側の領域のみが個別内部電極16および共通内部電極17の面と平行に伸縮されて振動される。圧電素子形成部材13の外表面には、個別内部電極16および共通内部電極17と接続される外部電極20が形成されている。また、圧電素子形成部材13の少なくとも圧電素子11の列12に対応する領域の基端部側には、外部電極20が存在しない電極非形成部21が存在する。複数のスリット18は、電極非形成部21に対向する領域に達する長さで形成され、外部電極20が、このスリット18および電極非形成部21によって分離され、隣接する圧電素子11と電気的に独立している第1の外部電極である個別外部電極22と、隣接する圧電素子11と電気的に共通している第2の外部電極である共通外部電極23とが構成されている。具体的には、外部電極20は、各圧電素子11に対向する部分と位置決め部19に対向する部分とに分離され、各圧電素子11に対向する領域の外部電極20が、圧電素子形成部材13の先端部で圧電素子11の個別電極を構成する個別内部電極16と電気的に接続される個別外部電極22を構成している。一方、圧電素子11の列12の両側に設けられた位置決め部19上の外部電極20が、圧電素子形成部材13の基端部側の端面で各圧電素子11の共通電極を構成する共通内部電極17と接続される共通外部電極23を構成している。すなわち、圧電素子ユニット10では、圧電素子形成部材13の固定基板14に接合された部分の反対側の面に、個別外部電極22が並設されるとともに、個別外部電極22の並設方向両側で位置決め部19に対向する領域に共通外部電極23が設けられている。これにより、圧電素子ユニット10と後述する配線基板とを比較的容易に接続することができ、且つ圧電素子ユニット10の小型化を図ることができる。このような圧電素子ユニット10は、図1に示すように、固定基板14が、圧電素子形成部材13が固定された面とは反対側の面がヘッドケース58の収容部58aに固定される。そして圧電素子ユニット10には、各圧電素子11を駆動するための信号を供給するフィルム状の配線基板30が接続されている。配線基板30は、圧電素子11の個別外部電極22と共通外部電極23とに接続される接続配線33を有している。各圧電素子11を駆動する駆動信号を供給する駆動IC31は、配線基板30上に実装されている。配線基板30としては、例えばTABテープなどのテープキャリアパッケージTCPなどを好適に適用し得る。すなわち、配線基板30は、ポリイミド等のベースフィルム32の表面に銅箔等で所定パターンの導電層を形成し、導電層をメッキすることで接続配線33を形成した後、接続配線33の圧電素子11および後述する端子部と接続される領域および駆動IC31の端子が接続される領域以外をレジスト等の絶縁膜34で覆ったものとして構成することができる。ここで、駆動IC31は、配線基板30に実装された後、接続配線33を覆う絶縁膜34で覆われている。かかる配線基板30は、駆動IC31が固定基板14に相対向する面側となり、且つ駆動IC31が配線基板30の幅方向の中央領域となるように配置されている。そして、接続配線33の一端部と、圧電素子11の固定基板14が固定された端部側の個別外部電極22および共通外部電極23とは、例えば接続配線33の表面、個別外部電極22および共通外部電極23の表面にスズSn-ビスマスBi合金等の金属を形成後、両者を当接させた状態で加熱することで形成された金属層35を介して電気的に接続されている。また、配線基板30の接続配線33の圧電素子11と接続された一端部とは反対側の他端部は、ヘッドケース58の振動板55とは反対側の面に設けられた入力配線基板60の入力配線61の端子部61aに屈曲されて接続されている。ここで、ヘッドケース58に設けられた入力配線基板60は、外部から駆動IC31および圧電素子11に駆動電圧および印刷信号等を供給するためのものである。そして、このような入力配線基板60は、ヘッドケース58の振動板55とは反対側の面に設けられているため、収容部58aに固定された圧電素子11に接続された配線基板30は、入力配線基板60の入力配線61の端子部61aと接続される部分が約90度に屈曲されて、接続配線33の端部が端子部61aと接続されている。そして、接続配線33と端子部61aとは、例えば、入力配線61の端子部61aの表面にスズ-リン銅合金等の金属を形成後、両者を当接させた状態で加熱することで形成された金属層36を介して電気的に接続されている。また、配線基板30は、固定基板14に紫外線硬化型接着剤UV接着剤40,41,42を介して接着されている。図4は図3bの一部を抽出拡大した拡大図である。同図に示すように、本形態に係る圧電素子11は、圧電材料層15に挟まれた個別内部電極16および共通内部電極17が相互に平行な面を介して相対向するように圧電材料層15の内部に交互に積層されるとともに、個別内部電極16と平行な圧電材料層15の両外周面と各外周面に隣接する個別内部電極16または共通内部電極17との間隔と、個別内部電極16および共通内部電極17のそれぞれの間隔とが同一になるように構成されている。また、圧電材料層15の前記外周面の一方に形成される個別外部電極22には、この個別外部電極22と異なる極性の共通内部電極17が隣接して相対向するように構成されている。かかる圧電素子11の圧電材料層15は最外層と内層との厚さが同一である。すなわち内層に比べ最外層が厚くはなっていないので、従来よりも不活性領域を薄くすることができ、その分圧電素子11の変位効率を向上させることができる。特に本形態においては、圧電材料層15の外周面の一方に形成される個別外部電極22には、この個別外部電極22と異なる極性の共通内部電極17が隣接して相対向させてあるので、個別外部電極22とこれに隣接する共通内部電極17との間も活性領域となり、不活性領域は圧電材料層15の個別外部電極22が形成された面とは反対側の面と、この面に隣接されて相対向された個別内部電極16との間の領域のみとなる。この結果、不活性領域を可及的に薄く形成して圧電素子11としての変位効率を向上させることができる。なお、本形態においては最外層と内層との厚さを均一にし、最外層の厚さの均一性が保証されているので、個別外部電極22に対して異極となる共通内部電極17を対向させてもマイグレーションを生起する虞はない。ここで、本形態における圧電素子11の製造方法を説明しておく。なお、本形態における圧電素子11は上述の如く圧電素子形成部材13においてスリット18により分離され、独立して圧力発生室52内のインクに圧力を発生させる部分をいうが、その製造方法は圧電素子形成部材13の製造方法と等価である。1圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、個別内部電極16または共通内部電極17のいずれか一方を形成して第1のウエハーおよび第2のウエハーからなる2種類のウエハーを形成する。ここで、個別内部電極16および共通内部電極17は、ウエハーに対して電極パターンを印刷することにより好適に形成することができる。2前記圧電材料で個別内部電極16および共通内部電極17を挟むように第1のウエハーと第2のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する。ここで、前記積層は、後の工程で形成する個別外部電極22の極性と異なる共通内部電極17が個別外部電極22に隣接して相対向されるように行う。3個別内部電極16および共通内部電極17を挟んだ状態で前記圧電材料が焼成により一体化された圧電材料層15を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける。4切り分けられた圧電材料層15の表面に個別内部電極16に接続される個別外部電極22と、共通内部電極17に接続される共通外部電極23とを形成する。ここで、個別外部電極22および共通外部電極23はスパッター法を適用することにより好適に形成することができる。5大判のウエハーから切り分けられて個別外部電極22および共通外部電極23が形成されたチップにワイヤソーでスリット18を入れて複数個の圧電素子11が形成された圧電素子形成部材13を製造する。かかる製造方法においては、前記工程1におけるウエハーは同一厚さのものを一種類用意すれば良い。この点で製造コスト低減を図ることができる。ちなみに、従来では厚さが異なる最外層用のウエハーと内層用のウエハーとの2種類を用意する必要があった。また、最外層と内層の厚さが均一であるため焼成による焼き縮みも少なく、焼成後のウエハーにラッピング処理が必要となるような反りを発生しないので、前記工程3の如く直接ダイシングテープに貼着して次の切り分け工程に移行することができる。このようにラッピング工程を省略することができるので、この点でも製造コストの低減を図ることができる。本形態に係るインクジェット式記録ヘッドでは、個別内部電極16および共通内部電極17に対する駆動電圧の印加に伴い圧電材料層15が個別内部電極16および共通内部電極17の長手方向に変位し、この変位により、振動板55を介して圧力発生室52に圧力変動を生起させ、この圧力変動により圧力発生室52内に充填されているインクをノズル開口56から吐出させる。さらに詳言すると、インクカートリッジに連通されるインク供給路54を介してマニホールド53にインクが供給され、インク供給路54を介して各圧力発生室52に分配される。このとき圧電素子11に電圧を印加することにより圧電素子11を収縮させると、振動板55が圧電素子11と共に引き上げられて圧力発生室52の容積が広げられ、圧力発生室52内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口56に至るまで内部をインクで満たした後、駆動IC31からの記録信号に従い、圧電素子11に印加していた電圧を解除すると、圧電素子11が伸張されて元の状態に戻る。これにより、振動板55も変位して元の状態に戻るため圧力発生室52が収縮され、内部圧力が高まりノズル開口56からインク滴が吐出される。なお、上記実施の形態においては、圧電材料層15の外周面の一方に形成される個別外部電極22には、この個別外部電極22と異なる極性の共通内部電極17を隣接させて相対向させたが、これに限るものではない。最外層と内層の厚さが均一になっていれば良いので、図3bの一部に相当する他の例を抽出拡大した拡大図である図5に示すように、個別外部電極22に、この個別外部電極22と同極の個別内部電極16を隣接させて相対向させても構わない。ただ、この場合には個別外部電極22と個別内部電極16との間が不活性領域となるので、その分上記実施の形態に較べて変位効率が低下する。また、本発明に係る圧電素子はその変位により液体を吐出させる液体噴射ヘッドを対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えばプリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED電界放出ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用できる。また、本発明の圧電素子はセンサー等に適用しても有用なものとなる。変位効率が良好であるため、センシング効率も良好なものとなっているからである。"