内部を真空に保つことができる容器と、前記容器の壁部の一部をなす非金属で形成された窓と、前記容器内側の前記窓の領域内に配置された受電コイルと、前記容器外側の前記窓の領域内に配置され、前記受電コイルに向けて電力を非接触で給電できる送電コイルと、を備える真空チャンバ。前記容器は中心軸を回転軸として回転可能であり、前記窓は前記中心軸上にあることを特徴とする請求項1に記載の真空チャンバ。前記受電コイルが複数配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の真空チャンバ。前記受電コイル及び前記送電コイルが配置された領域と前記窓の領域の外周との間に所定の幅が存在していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の真空チャンバ。真空コネクタは、チャンバ内の真空を保つための構造を持ち高価である。また、有線でチャンバの内部と外部とを接続するため、例えばアース線からのノイズを考慮しなければならないという課題があった。そこで、上記課題を解決すべく、本発明は、真空コネクタを用いないでチャンバ内へ電力を供給できる真空チャンバを提供することを目的とする。上記課題の解決のため、本発明は、非接触給電手段でチャンバ内に電力を供給することとした。具体的には、本発明に係る真空チャンバは、内部を真空に保つことができる容器と、前記容器の壁部の一部をなす非金属で形成された窓と、前記容器内側の前記窓の領域内に配置された受電コイルと、前記容器外側の前記窓の領域内に配置され、前記受電コイルに向けて電力を非接触で給電できる送電コイルと、を備える。本真空チャンバは、容器の窓を挟み外側に送電コイル、内側に受電コイルを備えている。このため、容器の窓を介して送電コイルから受電コイルへ電磁誘導又は電磁界共鳴を利用して電力を伝送することができる。従って、本発明は、真空コネクタを用いないでチャンバ内へ電力を供給できる真空チャンバを提供することができる。特許文献2のように真空チャンバを回転させたい場合もある。そこで、本発明に係る真空チャンバの前記容器は中心軸を回転軸として回転可能であり、前記窓は前記中心軸上にあることを特徴とする。窓は回転軸上にあるため、真空チャンバが回転してもその位置は変わらない。このため、送電コイルの位置を固定したままチャンバ内へ電力を供給できる。本発明に係る真空チャンバの前記受電コイルが複数配置されていることを特徴とする。送電コイルのコイル面面積が受電コイルのコイル面面積より大きくしておき、送電コイルのコイル面に収まるように複数の受電コイルのコイル面を相対させることで送電コイルから各受電コイルへ電力を伝達できる。受電コイル毎に独立して電力を供給できる。また、前記受電コイル及び前記送電コイルが配置された領域と前記窓の領域の外周との間に所定の幅が存在していることが好ましい。窓以外の容器の部分が金属で形成されている場合でも電磁波の金属への吸収を小さくし、電力の伝送効率を高めることができる。本発明は、真空コネクタを用いないでチャンバ内へ電力を供給できる真空チャンバを提供することができる。添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下に説明する実施形態は本発明の実施例であり、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではない。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。図1は、本実施形態の真空チャンバ301を説明する概略図である。真空チャンバ301は、内部を真空に保つことができる容器10と、容器10の壁部の一部をなす非金属で形成された窓11と、容器10内側の窓11の領域内に配置された受電コイル図1において不図示と、容器10外側の窓11の領域内に配置され、受電コイルに向けて電力を非接触で給電できる送電コイル12と、を備える。送電コイル12は外部の電源14と接続している。例えば、容器10は金属で形成される。また、窓11はガラスで形成される。図2は、本実施形態の真空チャンバ302を説明する概略図である。真空チャンバ302は真空チャンバ301と異なり、容器10は中心軸19を回転軸として回転可能であり、窓11は中心軸19上にある。真空チャンバ302は図2に図示されない回転機構を有し、容器10を中心軸19を回転軸として回転させることができる。例えば、窓11は円形であり、中心軸19は窓11の中心を通っており、容器10が回転したとしても窓11の位置は変わらない。図3は、真空チャンバ301、302の窓11付近の断面を説明する図である。窓11の厚みは10cm程度とすることができる。窓11を挟み、容器10外側に送電コイル12、及び容器10内側に受電コイル13が配置される。受電コイル13は窓11と接触していてもよい。一方、真空チャンバ301では、送電コイル13は、窓11と接触してもよいが、真空チャンバ302では、送電コイル12は窓11と非接触であることが好ましい。真空チャンバ302のように容器10や窓11が回転しても送電コイル12は回転せず、外部電源14との接続が容易になるからである。なお、図3において窓11を一枚のガラス板で表現しているが、複数枚のガラスを重ねた多重ガラス板でもよい。また、多重ガラス板の場合、ガラス間が真空でもよいし、ガラス間に液体や気体が封入されていてもよい。また、ガラスでなくアクリルでもよい。図4は、真空チャンバ301の窓11付近をチャンバ10外側からみた図である。図5は、真空チャンバ302の窓11付近を中心軸方向からみた図である。本明細書において、窓の領域とは窓11を垂直方向中心軸方向からみたときに、窓11が存在する領域31を意味する。また、送電コイルが配置された領域とは窓11を容器10外側の垂直方向中心軸方向からみたときに、送電コイル12が窓11を覆う領域32を意味する。受電コイルが配置された領域とは窓11を容器10内側の垂直方向中心軸方向からみたときに、送電コイル13が窓11を覆う領域不図示を意味する。さらに、受電コイル13及び送電コイル12が配置された領域と窓11の領域の外周との間に所定の幅35が存在している。例えば、真空チャンバ302の場合、送電コイル12及び受電コイル13は窓11の直径の3/4以下の直径を持つ円の領域内に収まるように配置される。図6は、送電コイル12及び受電コイル13の構造を説明する図である。送電コイル12及び受電コイル13は、金属線を渦巻状に形成したコイルである。例えば、外部電源14から送電コイル12へ交流を供給すれば、電磁誘導により受電コイル13に起電力が発生する。また、送電コイル12と図示しないコンデンサと、受電コイル13と図示しないコンデンサと、の間の共振で外部電源14の電力を受電コイル13へ伝達することもできる。本方式は電磁界共鳴方式とも呼ばれる。電磁誘導方式、電磁界共鳴方式とも送電コイル14と受電コイル13の相対するコイル面の面積で伝達できる電力が決まる。図8は、送電コイルと受電コイルの他の配置例であって、窓11付近の断面を説明する図である。図8において、受電コイル13が複数配置されている。送電コイル12から受電コイル13A及び受電コイル13Bのそれぞれに直径比率に応じた電力を供給することができる。受電コイル13Aには装置Aを接続し、受電コイル13Bには装置Bを接続すれば、装置Aと装置Bにアース系を分離した独立の電力を供給でき、電力に基づく相互作用を排除することができる。本実施形態では、送電コイル12及び受電コイル13が円形の渦巻コイルで説明したが、コイルの形状はこれに限らない。例えば、方形の渦巻コイルでも良いし、楕円の渦巻コイルでも良い。また、送電コイル12及び受電コイル13はフェライトコアを持つコイルでもよい。図7は、フェライトコアの構造の一例であり、上面図と上面図のA-A’で切断したときの断面図を示している。図7のフェライト21の形状は、円筒状であり、一方の底面に円形の溝23が形成されている。図7の送電コイル13及び受電コイル12は、溝23の内側部分の周りに金属線22を巻き付けて形成したコイルである。