"被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段とを備え、該切削手段は、該切削ブレードを前端に装着したスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの前端部に固定され、該切削ブレードを挟んで両側に配設され該切削ブレードに対し両側から切削液を供給するノズルアセンブリと、を備える切削装置において、該ノズルアセンブリは、パイプノズル挿入孔を備え該スピンドルハウジングに装着されたブロックと、該パイプノズル挿入孔を貫通した上端の一部が突出した状態で該ブロックに固定手段で固定され、下端が該切削ブレードの刃先周辺部まで延在し且つ側面に複数の噴射スリットを有するパイプノズルと、該パイプノズルの突出した上端を切削液供給源に繋がる切削液供給管に接続するための管継手と、を有し、該管継手は、リリースブッシュの操作にて内部の係止爪を該パイプノズルの係止部に対して係脱させることで、該管継手に対するパイプノズルの着脱がなされるワンタッチ継手にて構成される、ことを特徴とする切削装置。前記パイプノズルの前記係止部は、該パイプノズルの周面を窪ませてなる環状溝にて構成され、前記管継手には、該パイプノズルが接続された状態で、該環状溝よりも奥側に配置されるパッキンを備え、該パッキンにより、該管継手の内周面と該パイプノズルの外周面の間の隙間が密閉される、ことを特徴とする請求項1に記載の切削装置。ブレードクーラーノズルを固定するためのろう付と呼ばれる固定方法は、溶融させたろうを接合部分に行き渡らせて固定するため、水漏れが発生しにくく、細かな部品の結合方法として採用できるという利点があるが、ろう付作業実施者の技量により接合強度にムラが発生しやすいという欠点もある。このため、ブレードクーラーノズルが経年の使用によりブロックから下側へ脱落する不具合が発生することが懸念される。このような不具合が発生すると、加工中の半導体ウェーハに深刻な傷を形成してしまうことになる。特に、半導体製造プロセスにおいて製品完成間近の工程となるダイシング工程にて発生する不具合は、以前の工程が無駄になるなど、損失して甚大となるため、不具合発生を確実に防止するための技術が望まれていた。加えて、ろう付け作業は時間を要するものであり、ろう付け作業を行うための専用の設備を準備することや、ろう付けの技能を有するものによらなければ作業ができないため、技能の教育や人員の配置などを考慮する必要があった。そこで、本発明は、ろう付けによらずに切削液を噴射するノズルの固定を行う構成とした切削装置を提供することを目的とする。請求項1に記載の発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段とを備え、切削手段は、切削ブレードを前端に装着したスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、スピンドルハウジングの前端部に固定され、切削ブレードを挟んで両側に配設され切削ブレードに対し両側から切削液を供給するノズルアセンブリと、を備える切削装置において、ノズルアセンブリは、パイプノズル挿入孔を備えスピンドルハウジングに装着されたブロックと、パイプノズル挿入孔を貫通した上端の一部が突出した状態でブロックに固定手段で固定され、下端が切削ブレードの刃先周辺部まで延在し且つ側面に複数の噴射スリットを有するパイプノズルと、パイプノズルの突出した上端を切削液供給源に繋がる切削液供給管に接続するための管継手と、を有し、管継手は、リリースブッシュの操作にて内部の係止爪をパイプノズルの係止部に対して係脱させることで、管継手に対するパイプノズルの着脱がなされるワンタッチ継手にて構成される、ことを特徴とする切削装置が提供される。好ましくは、パイプノズルの係止部は、パイプノズルの周面を窪ませてなる環状溝にて構成され、管継手には、パイプノズルが接続された状態で、環状溝よりも奥側に配置されるパッキンを備え、パッキンにより、管継手の内周面とパイプノズルの外周面の間の隙間が密閉される。本発明によると、管継手がワンタッチ継手にて構成されるため、パイプノズルの取り付けに際し、ろう付け作業が不要となり、短時間で作業が行えるなど、ろう付け作業そのものに伴う課題を解決することができる。加えて、ワンタッチ継手の構成により、パイプノズルの係止部を確実に保持することが可能となり、パイプノズルの脱落を防止できる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は半導体ウェーハをダイシングして個々のチップデバイスに分割することのできる本発明の一実施形態に係る切削装置2の外観を示している。切削装置2の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル4が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像ユニットによって撮像された画像が表示されるCRT等の表示モニタ6が設けられている。図2に示すように、ダイシング対象のウェーハWの表面においては、第1のストリートS1と第2ストリートS2とが直交して形成されており、第1のストリートS1と第2のストリートS2とによって区画されて多数のデバイスDがウェーハW上に形成されている。ウェーハWは粘着テープであるダイシングテープTに貼着され、ダイシングテープTの外周縁部は環状フレームFに貼着されている。これにより、ウェーハWはダイシングテープTを介してフレームFに支持された状態となり、図1に示したウェーハカセット8中にウェーハが複数枚例えば25枚収容される。ウェーハカセット8は上下動可能なカセットエレベータ9上に載置される。ウェーハカセット8の後方には、ウェーハカセット8から切削前のウェーハWを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット8に搬入する搬出入機構10が配設されている。ウェーハカセット8と搬出入機構10との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域12が設けられており、仮置き領域12には、ウェーハWを一定の位置に位置合わせする位置合わせ機構14が配設されている。仮置き領域12の近傍には、ウェーハWと一体となったフレームFを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送機構16が配設されており、仮置き領域12に搬出されたウェーハWは、搬送機構16により吸着されてチャックテーブル18上に搬送され、このチャックテーブル18に吸引されるとともに、複数の固定機構19によりフレームFが固定されることでチャックテーブル18上に保持される。チャックテーブル18は、回転可能且つX軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル18のX軸方向の移動経路の上方には、ウェーハWの切削すべきストリートを検出するアライメント機構20が配設されている。アライメント機構20は、ウェーハWの表面を撮像する撮像ユニット22を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像ユニット22によって取得された画像は、表示モニタ6に表示される。アライメント機構20の左側には、チャックテーブル18に保持されたウェーハWに対して切削加工を施す切削ユニット24が配設されている。切削ユニット24はアライメント機構20と一体的に構成されており、両者が連動してY軸方向及びZ軸方向に移動する。切削ユニット24は、回転可能なスピンドル26の先端に切削ブレード28が装着されて構成され、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード28は撮像ユニット22のX軸方向の延長線上に位置している。以上の構成とする切削装置2においては、被加工物としてのウェーハWを保持する保持手段として機能するチャックテーブル18と、保持手段に保持された被加工物を切削するための切削ブレード28を備えた切削手段としての切削ユニット24が具備された構成となっている。図3は、切削ユニット24の斜視図を示すものであり、切削ユニット24は、切削ブレード28を前端に装着したスピンドル26を回転自在に支持するスピンドルハウジング29と、スピンドルハウジング29の前端部に固定され、切削ブレード28を挟んで両側に配設され切削ブレード28に対し両側から切削液を供給するためのノズルアセンブリ41を有するホイールカバー40と、を含む。ホイールカバー40は、スピンドルハウジング29に対して固定されるとともに、下方に切削ブレード28を収容する空間を形成し、切削ブレード28を上側から覆うように構成されている。図3において右側となるホイールカバー40の一端側便宜上後端側とするには、図示せぬ切削液供給手段から切削液が供給される切削液供給用ブロック71が設けられている。この切削液供給用ブロック71の下部において、切削ブレード28と対向する部位には噴射ノズル72が設けられており、ジョイント73を介して供給される切削液が切削ブレード28に対して噴射されるように構成されている。切削液供給用ブロック71において、噴射ノズル72を挟んでパイプノズル43,44と反対側の部位には、ウェーハ洗浄用ノズル74,75が設けられており、ジョイント76を介して供給される切削液がウェーハに対して噴射されるように構成されている。図3において左側となるホイールカバー40の他端側便宜上前端側とするには、図示せぬ切削液供給手段から切削液が供給されるノズルアセンブリ41が設けられている。図4乃至図6に示されるように、ノズルアセンブリ41は、ホイールカバー40を介してスピンドルハウジング29に装着される直方体形状のブロック42と、一対のパイプノズル43,44を有している。図5に示すように、ブロック42には、上面42aから下面42bに向けて上下方向に貫通する二つの縦孔部42c,42dが形成されている。縦孔部42c,42dには、下方からパイプノズル43,44の縦管部43d,44dがそれぞれ挿入され、パイプノズル43,44の上端部43a,44aがブロック42の上面42aから上方に突出されるように構成される。ブロック42の縦孔部42c,42dは離間して配置されており、縦孔部42c,42dに挿入されたパイプノズル43,44は、互いに対向するように離間して配置される。これにより、パイプノズル43,44の横管部43e,44eは互いに対向して配置され、横管部43e,44eの間に切削ブレード28が配置されるレイアウトが実現される図3参照。ブロック42には、左側面42e、右側面42fからそれぞれ縦孔部42c,42dに通じる雌ネジ孔部42g,42hが形成されている。この雌ネジ孔部42g,42hに対し、パイプノズル固定用ネジ47g,47hが螺挿されると、パイプノズル固定用ネジ47g,47hの先端がパイプノズル43,44の縦管部43d,44dの周面に当接する。ブロック42には、後側面42jから前側面42kに向けて前後方向に貫通する二つの横孔部42m,42nが形成されている。横孔部42m,42nには、それぞれ後方からブロック固定用ネジ46m,46nが挿入され、ブロック固定用ネジ46m,46nがホイールカバー40側に螺結されることで、ブロック42がホイールカバー40を介してスピンドルハウジング29に固定される。パイプノズル43,44は、内部に切削液供給路が形成される金属からなる管部材であり、上下方向に伸びるように配置される縦管部43d,44dと、縦管部43d,44dよりも下方に位置する横管部43e,44eと、縦管部43d,44dと横管部43e,44eとを連結する部位となる屈曲管部43f,44fとを有しており、略L字状をなすように構成される。パイプノズル43,44の横管部43e,44eにおいて、切削ブレード28に対向する側には、それぞれ複数の噴射スリット45sが間隔をあけて配置されており、管継手60を介して切削液供給管65からパイプノズル43,44内に供給された切削液は、噴射スリット45sから切削ブレード28に向けて放出され、切削ブレード28が冷却される。パイプノズル43,44の縦管部43d,44dはブロック42の縦孔部42c,42dに挿入され、パイプノズル43,44の上端部43a,44aがブロック42の上面42aから上方に突出される。図5に明示されるように、上端部43a,44aには、それぞれ、周面を窪ませてなる環状溝43m,44mが形成されており、この環状溝43m,44mが係止部として機能するようになっている。なお、係止部については、環状溝の形態のほか、複数の窪み、或いは、凸部を配置する構成であってもよく、係止爪60bとの間で係合/係合解除されるものであれば、特に具体的な構成については限定されるものではない。パイプノズル43,44の上端部43a,44aは、管継手60に対して挿入される。具体的には、管継手60は、切削液を流入させるための流入側ポート61と、流入側ポート61から流入した切削液を二つに分岐して流出させるための流出側ポート62,63を有して構成される。流入側ポート61には切削液供給管65が接続され、流出側ポート62にはパイプノズル43の上端部43aが接続され、流出側ポート63にはパイプノズル44の上端部44aが接続される。ここで、図7Aは、管継手60の流出側ポート62の部位の断面を示すものであり、管継手60は外筒60a内に係止爪60bとパッキン60cを備えるとともに、外筒60aの開放端からリリースブッシュ60dが挿入される構成としている。他の流入側ポートポート61,流出側ポート63においても同様の構成である。係止爪60bは、外筒60aの内周に突設して設けられ挿入されるパイプノズル43に係止してパイプノズル43の離脱を防止するためのものであり、弾性を発揮する発条部材にて構成される。リリースブッシュ60dは筒状部材に構成され、その一端の小径部60eが外筒60aに挿入される一方、他端の大径部60fが外筒60aの外側に配置される。大径部60fの部位を利用してリリースブッシュ60dを押し込むと、小径部60eにより係止爪60bが押し広げられる。パイプノズル43を管継手60の流出側ポート62に取り付ける際には、図7Bに示すように、リリースブッシュ60dを押し込んで係止爪60bが押し広げた状態とし、環状溝43mの位置が係止爪60bに係止される位置となるまでパイプノズル43を挿し込む。その後、押し込んでいたリリースブッシュ60dを開放すると、図7Aに示すように、係止爪60bが環状溝43mに入り込むように弾性復帰して環状溝43mに対して係合する。このようにして、流出側ポート62に対しパイプノズル43が接続される。一方で、パイプノズル43を管継手60の流出側ポート62から取り外す際には、図7Bに示すように、リリースブッシュ60dを押し込んで係止爪60bが押し広げることで、環状溝43mから係止爪60bを外すとともに、パイプノズル43を下方に抜き出すことで、流出側ポート62からパイプノズル43を離脱させることができる。管継手60の外筒60aの内周には、外筒60aの内周面と、パイプノズル43の外周面の間の隙間を密閉するためのゴムなどの弾性部材からなる円環状のパッキン60cが設けられる。このパッキン60cは、外筒60a内において係止爪60bよりも奥側に設けられる。これにより、外筒60a内に流入する切削液はパイプノズル43の切削液供給路43c内に流入され、また、パッキン60cにより外部への切削液の流出が確実に防止される。管継手60に対するパイプノズル43,44の接続を行った後に、図4及び図5に示されるように、パイプノズル固定用ネジ47g,47hをねじ込み、その先端をパイプノズル43,44の縦管部43d,44dの周面に当接させることで、縦管部43d,44dの回転を規制する。この際、横管部43e,44eが互いに平行となるようにパイプノズル43,44の角度調整が行われる。このようにして、パイプノズル43,44が管継手60に接続されるとともに、パイプノズル固定用ネジ47g,47hによってブロック42に対するパイプノズル43,44の角度固定位置決めが行われる。他方、管継手60の流入側ポート61については、切削液供給管65が接続される。この切削液供給管65は図示せぬ切削液供給手段に繋がれており、切削液供給管65を介して管継手60の外筒60a内へと切削液が供給される。切削液供給管65については、図6に示すように、外周に特段の加工が施されていないフレキシブルチューブなどとして知られる可撓性を有する管部材にて構成することができる。この場合、切削液供給管65の外周面が係止爪60bにて押圧されることで、切削液供給管65と係止爪60bを係合させることができるため、切削液供給管65については特段の加工が必要とされることなく、市販のフレキシブルチューブを使用することができる。このほか、切削液供給管65については、パイプノズル43と同様に環状溝43mを有する管状の部材を用いることとしてもよい。なお、図6では流入側ポート61の断面を説明の便宜上、流出側ポート62の断面と同一面に表しているが、実際には、流入側ポート61と流出側ポート62の断面は同一面上には配置されない図4参照。以上の構成において、管継手60に対するパイプノズル43,44、切削液供給管65の接続、及び、ブロック42に対するパイプノズル43,44の角度固定を行うことにより、ノズルアセンブリ41が完成される。そして、このノズルアセンブリ41をブロック固定用ネジ46m,46nを用いてホイールカバー40に固定することで、ノズルアセンブリ41の組み付け作業を完了できる。以上のように、本実施形態では、ノズルアセンブリ41は、パイプノズル挿入孔となる縦孔部42c,42dを備えスピンドルハウジング29に装着されたブロック42と、パイプノズル挿入孔を貫通した上端の一部が突出した状態でブロック42に固定手段であるパイプノズル固定用ネジ47g,47hで固定され、下端が切削ブレード28の刃先周辺部まで延在し且つ側面に複数の噴射スリット45sを有するパイプノズル43,44と、パイプノズル43,44の突出した上端を切削液供給源に繋がる切削液供給管65に接続するための管継手60を有し、管継手60は、リリースブッシュ60dの操作にて内部の係止爪60bをパイプノズル43,44の係止部である環状溝43m,44mに対して係脱させることで、管継手60に対するパイプノズル43,44の着脱がなされるワンタッチ継手にて構成される、ようになっている。そして、本実施形態によれば、管継手60がワンタッチ継手にて構成されるため、パイプノズル43,44の取り付けに際しろう付け作業が不要となり、短時間で作業が行えるなど、ろう付け作業そのものに伴う課題を解決することができる。加えて、ワンタッチ継手の構成により、パイプノズル43,44の係止部環状溝43m,44mを確実に保持することが可能となり、パイプノズル43,44の脱落を防止できる。本実施形態では、パイプノズル43,44は、パイプノズル固定用ネジ47g,47hによってブロック42に対して固定されることになるため、このことによってもパイプノズル43,44の脱落を確実に防止できる。本実施形態では、パイプノズル43,44の係止部は、パイプノズル43,44の周面を窪ませてなる環状溝43m,44mにて構成されるため、管継手60については、市販のフレキシブルチューブの接続を目的とした市販のワンタッチ継手を使用することが可能となる。以上の実施形態のほか、図8及び図9に示すように、ブロック48において、パイプノズル43,44が挿入される縦孔部48c,48dからそれぞれ前側面48kに連通する縦割りスリット48a48bを形成し、縦割りスリット48a48bの開放幅をブロック48に横方向に形設した雌ネジ孔部48g,48hに螺挿するパイプノズル固定用ネジ49g,49hにて調整することで、ブロック48に対するパイプノズル43,44の角度固定位置決めを行う構成としてもよい。"