"X線検出器から発せられプリアンプを経た信号が入力され、前記X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号を出力するX線検出信号処理装置であって、前記プリアンプからの信号を高速AD変換する高速ADコンバーターと、その高速ADコンバーターからの信号を処理するデジタル信号処理部とを備え、そのデジタル信号処理部が、前記高速ADコンバーターからの信号を高速整形用のフィルター関数を用いて所定の整形時間にわたって平滑化し、その平滑化した信号が所定の域値を超えて最大値となるタイミングをイベント情報として検出するとともに、そのイベント情報を前記高速ADコンバーターからの信号に付加するイベント検出部と、そのイベント検出部からの信号を順次記憶するメモリー部と、イベント処理部とを有し、そのイベント処理部が、前記イベント検出部からイベント情報が付加された信号を受け取ると、イベント到達によるイベント処理を開始し、前記イベント検出部からの信号および前記メモリー部から順次遡って読み出される信号を、それら両信号の収束値、前記イベント検出部からの信号が前記プリアンプでの微分時定数により減衰する量を打ち消すための減衰波形補正係数、および前記メモリー部から順次遡って読み出される信号が前記プリアンプでの微分時定数により増加する量を打ち消すための増加波形補正係数に基づいて前記所定の整形時間にわたって平滑化し、平滑化した前記イベント検出部からの信号から平滑化した前記メモリー部から順次遡って読み出される信号を差し引いた信号をイベントに対する信号として求めて、前記イベント到達によるイベント処理を終了し、前記イベント到達によるイベント処理を終了すると、前記イベント検出部から次のイベント情報が付加された信号を受け取るまで、前記イベント到達によるイベント処理と同様の処理を続け、隣り合う平滑化した前記イベント検出部からの信号およびその差から得られる勾配に基づいて、前記両信号の収束値を求めるとともに、平滑化した前記イベント検出部からの信号から平滑化した前記メモリー部から順次遡って読み出される信号を差し引いた信号に基づいて、前記X線検出器にX線が入射しない場合の出力値であるエネルギーゼロ値を求め、そのエネルギーゼロ値を前記イベントに対する信号から差し引いた信号を、前記X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号として出力するX線検出信号処理装置。請求項1に記載のX線検出信号処理装置において、前記プリアンプからの信号のレベルを前記高速ADコンバーターの入力範囲に収まるように調整する入力調整部を備えたX線検出信号処理装置。請求項1または2に記載のX線検出信号処理装置を用いて、X線検出器から発せられプリアンプを経た信号を処理して、前記X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号を出力するX線検出信号処理方法。しかし、上述のアナログ信号処理装置は、数百点の部品を要する複雑な構成になり、また複雑な調整をも要する。一方、上述のデジタル信号処理装置では、構成は簡単になるものの、微分時定数そのものの変動による最終的なベースラインの変動を十分に除去できない。本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、簡単な構成、調整で、SN比の高い、X線検出器に入射したX線のエネルギーに正確に応じた波高の信号を出力できるX線検出信号処理装置および方法を提供することを目的とする。前記目的を達成するために、本発明の第1構成のX線検出信号処理装置は、X線検出器から発せられプリアンプを経た信号が入力され、前記X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号を出力する装置であって、前記プリアンプからの信号を高速AD変換する高速ADコンバーターと、その高速ADコンバーターからの信号を処理するデジタル信号処理部とを備えている。そして、そのデジタル信号処理部が、前記高速ADコンバーターからの信号を高速整形用のフィルター関数を用いて所定の整形時間にわたって平滑化し、その平滑化した信号が所定の域値を超えて最大値となるタイミングをイベント情報として検出するとともに、そのイベント情報を前記高速ADコンバーターからの信号に付加するイベント検出部と、そのイベント検出部からの信号を順次記憶するメモリー部と、イベント処理部とを有している。このイベント処理部は、前記イベント検出部からイベント情報が付加された信号を受け取ると、イベント到達によるイベント処理を開始し、前記イベント検出部からの信号および前記メモリー部から順次遡って読み出される信号を、それら両信号の収束値、前記イベント検出部からの信号が前記プリアンプでの微分時定数により減衰する量を打ち消すための減衰波形補正係数、および前記メモリー部から順次遡って読み出される信号が前記プリアンプでの微分時定数により増加する量を打ち消すための増加波形補正係数に基づいて前記所定の整形時間にわたって平滑化し、平滑化した前記イベント検出部からの信号から平滑化した前記メモリー部から順次遡って読み出される信号を差し引いた信号をイベントに対する信号として求めて、前記イベント到達によるイベント処理を終了する。さらに、イベント処理部は、前記イベント到達によるイベント処理を終了すると、前記イベント検出部から次のイベント情報が付加された信号を受け取るまで、前記イベント到達によるイベント処理と同様の処理を続け、隣り合う平滑化した前記イベント検出部からの信号およびその差から得られる勾配に基づいて、前記両信号の収束値を求めるとともに、平滑化した前記イベント検出部からの信号から平滑化した前記メモリー部から順次遡って読み出される信号を差し引いた信号に基づいて、前記X線検出器にX線が入射しない場合の出力値であるエネルギーゼロ値を求め、そのエネルギーゼロ値を前記イベントに対する信号から差し引いた信号を、前記X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号として出力する。第1構成のX線検出信号処理装置では、プリアンプからの信号を高速ADコンバーターで高速AD変換してから、デジタル信号処理部において、デジタルベースで、微分時定数で減衰する成分による影響を除去するための処理を行う。デジタル信号処理部は、FPGAFieldProgrammableGateArrayとファームウェアまたはDSPDigitalSignalProcessorとプログラムによって構成できるので、第1構成のX線検出信号処理装置によれば、簡単な構成、調整で、SN比の高い、X線検出器に入射したX線のエネルギーに正確に応じた波高の信号を出力できる。第1構成のX線検出信号処理装置においては、プリアンプからの信号のレベルを高速ADコンバーターの入力範囲に収まるように調整する入力調整部を備えることが好ましい。本発明の第2構成のX線検出信号処理方法は、第1構成のX線検出信号処理装置を用いて、X線検出器から発せられプリアンプを経た信号を処理して、前記X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号を出力するX線検出信号処理方法である。第2構成のX線検出信号処理方法によっても、第1構成のX線検出信号処理装置と同様の作用効果が得られる。以下、本発明の一実施形態のX線検出信号処理装置について、図にしたがって説明する。図1に示すように、この装置は、X線検出器から発せられプリアンプを経た信号が入力され、X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号を出力する装置であって、プリアンプからの信号を高速AD変換する高速ADコンバーター1と、その高速ADコンバーター1からの信号を処理するデジタル信号処理部2とを備えている。ここで、この装置においては、プリアンプからの信号のレベルを、高速ADコンバーター1の入力範囲に収まるように調整する入力調整部6を高速ADコンバーター1の前に備えているので、プリアンプからの信号は、入力調整部6を経由して高速ADコンバーター1に入力される。入力調整部6でのレベル調整は、高速ADコンバーター1への入力電圧を検出しフィードバックして行ってもよいし、AD変換後の値を検出しフィードバックして行ってもよい。また、高速ADコンバーター1は、後述するイベント到達によるステップ変化を検出できる一定のスピード、例えば40MHz程度で繰り返しAD変換を行ってデータを送出する。デジタル信号処理部2は、イベント検出部3と、メモリー部4と、イベント処理部5とを有している。イベント検出部3は、高速ADコンバーター1からの信号を高速整形用のフィルター関数を用いて所定の整形時間にわたって平滑化し、その平滑化した信号が所定の域値を超えて最大値となるタイミングをイベント情報として検出するとともに、そのイベント情報を高速ADコンバーター1からの信号に付加する。メモリー部4は、イベント検出部3からの信号を順次記憶する。イベント処理部5は、イベント検出部3からイベント情報が付加された信号を受け取ると、イベント到達によるイベント処理を開始し、イベント検出部3からの信号およびメモリー部4から順次遡って読み出される信号を、それら両信号の収束値、イベント検出部3からの信号がプリアンプでの微分時定数により減衰する量を打ち消すための減衰波形補正係数、およびメモリー部4から順次遡って読み出される信号がプリアンプでの微分時定数により増加する量を打ち消すための増加波形補正係数に基づいて前記所定の整形時間にわたって平滑化し、平滑化したイベント検出部3からの信号から平滑化したメモリー部4から順次遡って読み出される信号を差し引いた信号をイベントに対する信号として求めて、前記イベント到達によるイベント処理を終了する。さらに、イベント処理部5は、前記イベント到達によるイベント処理を終了すると、イベント検出部3から次のイベント情報が付加された信号を受け取るまで、前記イベント到達によるイベント処理と同様の処理を続け、隣り合う平滑化したイベント検出部3からの信号およびその差から得られる勾配に基づいて、前記両信号の収束値を求めるとともに、平滑化したイベント検出部3からの信号から平滑化したメモリー部4から順次遡って読み出される信号を差し引いた信号に基づいて、X線検出器にX線が入射しない場合の出力値であるエネルギーゼロ値を求め、そのエネルギーゼロ値を前記イベントに対する信号から差し引いた信号を、X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号として出力する。次に、この装置のデジタル信号処理部2の動作について、数式にしたがって説明する。高速ADコンバーター1からの信号は、デジタル信号処理部2のイベント検出部3における多段のシフトレジスターを経て最終段から信号Uiとして出力される。一方、シフトレジスターの各段からの信号Aiについては、次式1により、平滑化処理を行って、イベント到達すなわちX線検出信号の到来を検出する。ここで、Fは、入力信号Aiを所定の整形時間数10nsec程度で高速に整形することにより平滑化した信号で、Cnは、高速整形用のフィルター関数である。イベント検出部3は、平滑化した信号Fが所定の域値dを超えて最大値となるタイミングをイベント情報として検出するとともに、そのイベント情報を高速ADコンバーター1からの信号に付加して、つまり前記信号Uiに付加して出力する。イベント検出部3からの信号Uiは、メモリー部4に順次記憶され、書き込みアドレスは、mからm1へ1ずつ増えていく。このとき、信号Uiにイベント情報が付加されている場合、つまり信号Uiの中のイベント情報がTrueである場合には、イベント処理部5において後述するイベント到達によるイベント処理が起動される。そのイベント到達によるイベント処理が終了すると、次のイベント情報が付加された信号Uiが到来するまで、同様のイベント処理が連続して起動されることにより、後述するGetZeroの処理が行われる。イベント処理部5は、イベント検出部3からイベント情報が付加された信号Uiを受け取ると、イベント到達によるイベント処理を開始し、次式2、3により、イベント検出部3からの信号Uiおよびメモリー部4から順次遡って読み出される信号Vi読み出すアドレスは、m-1,m-2,m-3...と変化するを、それら両信号の収束値PZero、イベント検出部3からの信号Uiがプリアンプでの微分時定数により減衰する量を打ち消すための減衰波形補正係数Fi、およびメモリー部4から順次遡って読み出される信号Viがプリアンプでの微分時定数により増加する量を打ち消すための増加波形補正係数Giに基づいて前記所定の整形時間にわたって平滑化する。ここで、減衰波形補正係数Fiおよび増加波形補正係数Giは、プリアンプでの微分時定数Ttoとイベント処理部5に送り込まれるデータの間隔前記所定の整形時間に依存するの関数であるが、いずれも指数関数で、減衰波形補正係数Fiは増加関数、増加波形補正係数Giは減少関数になり、これらはあらかじめ計算しておくことが可能である。さらに、これらの指数関数に、一般的に平滑化に用いられる関数例えば、台形波形、Gaussian波形を掛け合わせることにより、よりSN比に優れた補正係数を作成できる。そして、次式4により、平滑化したイベント検出部3からの信号SAから平滑化したメモリー部4から順次遡って読み出される信号SBを差し引いた信号SEをイベントに対する信号SEとして求めて、前記イベント到達によるイベント処理を終了する。なお、イベント処理部5は、最終的に、次式5により、後述するエネルギーゼロ値BZeroをイベントに対する信号SEから差し引いた信号SEoを、X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号SEoとして出力する。イベント処理部5は、前記イベント到達によるイベント処理を終了すると、イベント検出部3から次のイベント情報が付加された信号を受け取るまで、前記イベント到達によるイベント処理と同様の処理を続けることにより、GetZeroの処理を行う。詳細には、隣り合う平滑化したイベント検出部3からの信号SAb,SAaおよびその差から得られる勾配に基づいて、次式6により微分時定数Tto経過後の値Zpを得て、平滑化例えば指数平滑化処理を行なうことにより、前記両信号の収束値PZeroを求める。また、次式7により、平滑化したイベント検出部3からの信号SAから平滑化したメモリー部4から順次遡って読み出される信号SBを差し引いた信号Zbを得て、平滑化例えば指数平滑化処理を行なうことにより、X線検出器にX線が入射しない場合の出力値であるエネルギーゼロ値BZeroを求める。以上のように、本実施形態のX線検出信号処理装置では、プリアンプからの信号を高速ADコンバーター1で高速AD変換してから、デジタル信号処理部2において、デジタルベースで、微分時定数で減衰する成分による影響を除去するための処理を行う。デジタル信号処理部2は、FPGAとファームウェアまたはDSPとプログラムによって構成できるので、本実施形態のX線検出信号処理装置によれば、簡単な構成、調整で、SN比の高い、X線検出器に入射したX線のエネルギーに正確に応じた波高の信号を出力できる。また、デジタル信号処理部2を構成するFPGAに、多重波高分析器を組み込むことも可能である。なお、本実施形態のX線検出信号処理装置を上述したように動作させることにより、X線検出器から発せられプリアンプを経た信号を処理して、X線検出器に入射したX線のエネルギーに応じた波高の信号を出力するX線検出信号処理方法も本発明に含まれる。このX線検出信号処理方法によっても、上述したのと同様の作用効果が得られる。"