カソード基材と、前記カソード基材に形成された金属中間層と、前記金属中間層に形成されたウラン酸化物コーティング層を備えることを特徴とする中性子検出器のカソード。前記金属中間層の材質が鉄、ニッケル、シリコンのいずれかの金属又はそれらの合金からなることを特徴とする請求項1記載の中性子検出器のカソード。前記中金属間層は2層からなることを特徴とする請求項1記載の中性子検出器のカソード。前記2層の金属中間層のカソード基材側の材質がニッケルであり、ウラン酸化物コーティング層側の材質が鉄又はシリコンであることを特徴とする請求項3記載の中性子検出器のカソード。請求項1乃至4いずれかに記載の中性子検出器のカソードの製造方法において、前記金属中間層をメッキ、真空蒸着法又はスパッタリング法で形成することを特徴とする中性子検出器のカソードの製造方法。カソード基材と、前記カソード基材に形成された金属分散層と、前記金属分散層に形成されたウラン酸化物コーティング層を備えることを特徴とする中性子検出器のカソード。前記金属分散層の材質が鉄、ニッケル、シリコンのいずれかの金属又はそれらの合金からなることを特徴とする請求項6記載の中性子検出器のカソード。請求項6又は7に記載の中性子検出器のカソードの製造方法において、前記金属分散層の材質からなるノズルから酸化物微粒子を噴射することにより前記金属分散層を形成することを特徴とする中性子検出器のカソードの製造方法。請求項1乃至8いずれかに記載の中性子検出器のカソードの製造方法において、前記金属中間層又は金属分散層の形成後及びウラン酸化物コーティング層の形成後に熱処理を行うこと特徴とする中性子検出器のカソードの製造方法。しかしながら、ブラスト処理を用いた従来のカソードでは、ブラスト粒子がカソード基材の表面に不均一に残留しており、使用中にカソード基材の表面から脱離したブラスト粒子により、本来であれば絶縁状態にあるアノードとカソード間が短絡する不具合が生じる可能性がある。また、中性子検出器は使用中、高温になることからカソード基材とウラン酸化物コーティング層の熱膨張差に起因する応力により、ウラン酸化物コーティング層がカソード基材表面から剥離し、その結果、中性子検出器の寿命が低下する恐れがある。本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、中性子検出器のカソード基材とウラン酸化物コーティング層との密着性を向上させた中性子検出器のカソードおよびその製造方法を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明に係る中性子検出器のカソードは、カソード基材と、前記カソード基材に形成された金属中間層と、前記金属中間層に形成されたウラン酸化物コーティング層を備えることを特徴とする。また、本発明に係る中性子検出器のカソードは、カソード基材と、前記カソード基材に形成された金属分散層と、前記金属分散層に形成されたウラン酸化物コーティング層を備えることを特徴とする。また、本発明に係る中性子検出器のカソードの製造方法は、前記金属中間層又は金属分散層の形成後及びウラン酸化物コーティング層の形成後に熱処理を行うことを特徴とする。本発明によれば、中性子検出器のカソード基材とウラン酸化物コーティング層との密着性を向上させることにより、ウラン酸化物の剥離や脱落が抑制され、これにより中性子検出器を長期にわたって安定的に使用することができる。本発明は、上記課題を解決するために、カソード基材とウラン酸化物コーティング層との間に中間層を設け、コーティング後の熱処理により、カソード基材及びウラン酸化物コーティング層と中間層との間の相互拡散により拡散層を形成させ、ウラン酸化物コーティング層を化学的に密着させることにより、各層相互の密着性を向上させたことを特徴としている。中間層はカソード基材であるNi基合金及びウラン酸化物コーティング層とそれぞれ化合物を形成する材質とする。また、中間層はカソード基材表面全体を覆うような均質な薄膜状であっても、微粒子を均一にカソード表面に分散させた分散層であってもよい。以下、本発明に係る中性子検出器のカソードおよびその製造方法について説明する。第1の実施形態第1の実施形態に係る中性子検出器のカソードを図1により説明する。本実施形態のカソードは、例えばNi基合金からなるカソード基材1、金属中間層2及びウラン酸化物コーティング層3から構成される。金属中間層2の材質として、鉄、ニッケル又はシリコンのいずれかの金属又はそれらの合金が用いられる。カソード基材1に金属中間層2を形成した後、その表面にウラン酸化物をコーティングしウラン酸化物コーティング層3を形成する。各層を形成した後に熱処理を行い、カソード基材1及びウラン酸化物コーティング層3と金属中間層2との間でそれぞれ拡散層を形成する。これにより各層は化学的に密着し、カソード基材とウラン酸化物コーティング層の密着性が向上する。本実施形態によれば、中性子検出器のカソード基材とウラン酸化物コーティング層との間に金属中間層を介在させることで、カソード基材とウラン酸化物コーティング層との密着性を向上させることが可能となり、これにより、ウラン酸化物の剥離や脱落が抑制され、中性子検出器を長期にわたって安定的に使用することができる。第2の実施形態第2の実施形態に係る中性子検出器のカソードを図2により説明する。本実施形態のカソードは、カソード基材1、金属中間層2a、金属中間層2b、及びウラン酸化物コーティング層3から構成される。金属中間層2a、2bの材質として、カソード基材1側の金属中間層2aはニッケルが用いられ、ウラン酸化物コーティング層3側の金属中間層2bは鉄又はシリコンが用いられる。各層を形成した後に熱処理を行い、金属中間層2aはカソード基材1と、金属中間層2bはウラン酸化物コーティング層3とそれぞれ拡散層を形成する。これにより各層は化学的に密着し、カソード基材とウラン酸化物コーティング層の密着性が向上する。本実施形態によれば、中性子検出器のカソード基材とウラン酸化物コーティング層との間に2層の金属中間層を介在させることで、カソード基材とウラン酸化物コーティング層との密着性をより向上させることが可能となる。第3の実施形態第3の実施形態に係る中性子検出器のカソードを図3により説明する。本実施形態のカソードは、カソード基材1、金属分散層4、及びウラン酸化物コーティング層3から構成される。金属分散層4は、被膜状ではなく、粒径が10μm以下の微粒子がカソード基材1の表面に均一に分散した状態である。これは、ウラン酸化物コーティング層3は、約10μmの大きさの微粒子が約2μmの間隔で均一に分布しているため、10μm以上の粒径を有する金属分散層ではウラン酸化物コーティング層3の多数の微粒子を効果的に密着させることが困難となるためである。金属分散層4の材質は鉄、ニッケル、シリコンのいずれかの金属又はそれらの合金が用いられる。金属分散層4をカソード基材1に形成する場合は、当該金属分散層の材質で作製したノズルを用い、ノズルから酸化物微粒子をカソード内面に高速噴射することで、ノズル先端部から脱離した金属微粒子がカソード内面に均一に付着し、これにより金属分散層4が形成される。また、各層を形成した後に熱処理を行い、金属分散層3の微粒子はウラン酸化物コーティング層3及びカソード基材1との間に拡散層を形成する。これにより、表面形状によるアンカー効果と合わせてウラン酸化物コーティング層3とカソード基材1との密着性が向上する。本実施形態によれば、中性子検出器のカソード基材とウラン酸化物コーティング層との間に金属分散層を介在させることで、カソード基材とウラン酸化物コーティング層との密着性をより向上させることが可能となる。第4の実施形態第4の実施形態に係る中性子検出器のカソードの製造方法を図4により説明する。本実施形態では、金属中間層2、2a、2bをメッキ又は物理蒸着法によりカソード基材1に形成する。メッキは、電解メッキ又は無電解メッキが用いられる。物理蒸着法により、金属中間層を形成する場合は、図4に示すように、発熱体であるタングステンコイル7に蒸着源8として中間層材質からなる箔をのせ、これをカソード基材1の中心に設置し、真空中で通電過熱することでカソード基材1の内周面にのみ金属中間層2、2a、2bを形成する。また、変形例として、図5に示すように中間層材質からなる蒸着源8を付着又は被覆させたタングステンワイヤ9を用いてもよい。この場合、タングステンワイヤ9が発熱体兼蒸着源となる。さらに、他の変形例として、スパッタリング法により金属中間層2、2a、2bを形成してもよい。この場合、図6に示すように、絶縁セラミックス10によりカソード基材1を保持し、カソード基材1内に希ガスを封入して、カソード基材1の中心にスパッタリングターゲットとして中間層材質からなるワイヤ13を設置する。カソード基材1を正極、中間層物質のワイヤ13を陰極として電圧を印加し、希ガスをプラズマ化することでカソード基材1の内周面に金属中間層2、2a、2bを形成する。以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、組み合わせ、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。