"マイクロチャネルが設けられた構造体と、前記マイクロチャネル内に配置された近接場光の面内発光が可能な近接場光2次元アレイと、を有する近接場光マイクロチャネル構造体であって、前記近接場光2次元アレイが、前記マイクロチャネルの内壁面に形成された導電層と、前記導電層の一面に化学結合により固定化された固定化層と、前記固定化層の一面に化学結合により固定化された金属ナノ粒子配列とからなり、前記金属ナノ粒子配列は、等間隔となるように配列され、その表面に備えられた修飾部により互いに接合された複数の金属ナノ粒子からなることを特徴とする近接場光マイクロチャネル構造体。前記構造体が、第1の部材と、前記第1の部材の一面側に積層された第2の部材と、を有しており、前記第1の部材と前記第2の部材との間に前記マイクロチャネルが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記金属ナノ粒子の間隔が1~10nmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記金属ナノ粒子の粒径が1~100nmであることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記金属ナノ粒子が金からなることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記修飾部がチオール基を有する有機分子であり、前記チオール基が前記金属ナノ粒子に接合されていることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記修飾部の有機分子が6以上20以下の炭素を備えたアルキル鎖を有していることを特徴とする請求項6に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記固定化層が少なくとも2つのチオール基を有する有機分子からなり、前記固定化層の一面側と他面側にそれぞれ少なくとも1つのチオール基が配置されており、前記他面側のチオール基が前記導電層に接合されていることを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記固定化層の有機分子が6以上20以下の炭素を備えたアルキル鎖を有していることを特徴とする請求項8に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記マイクロチャネルが屈曲部もしくは屈折部またはこれら両方を有して形成されていることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記マイクロチャネルが複数設けられていることを特徴とする請求項1~10のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。表面に、前記マイクロチャネルに連通された第1の孔部が設けられていることを特徴とする請求項1~11のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。表面に、前記マイクロチャネルに連通された第2の孔部が設けられていることを特徴とする請求項1~12のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記第1の部材に前記マイクロチャネルに連通する第3の孔部が設けられていることを特徴とする請求項1~13のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記第3の孔部が、前記第1の部材の他面に積層された第3の部材と前記第1の部材との間に設けられた別のマイクロチャネルに連通されていることを特徴とする請求項1~14のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。表面に、前記別のマイクロチャネルに連通する第4の孔部が設けられていることを特徴とする請求項15に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。表面に、2以上の第1の孔部が設けられており、前記第1の孔部のいずれか一つと前記第2の孔部とを直線状に結ぶ第1のマイクロチャネルと、前記第1のマイクロチャネルから連結部で分岐され、残りの前記第1の孔部にそれぞれ連通された分岐マイクロチャネルとが設けられていることを特徴とする請求項1~16のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記分岐マイクロチャネルが2以上形成されており、前記第1のマイクロチャネルで、いずれの連結部よりも前記第2の孔部側に近接場光2次元アレイが配置されていることを特徴とする請求項17に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。前記分岐マイクロチャネルが2以上形成されており、前記第1のマイクロチャネルで、隣接する分岐マイクロチャネルの連結部間に近接場光2次元アレイが配置されていることを特徴とする請求項17に記載の近接場光マイクロチャネル構造体。請求項1~19のいずれか1項に記載の近接場光マイクロチャネル構造体と、前記マイクロチャネルに反応溶液を供給可能な反応溶液供給部と、前記マイクロチャネルに反応溶液を吸引可能なポンプ部と、前記マイクロチャネル内の近接場光2次元アレイに光照射可能な光源と、を有することを特徴とする近接場光マイクロリアクター。前記反応溶液供給部が、前記第1の孔部に接続されていることを特徴とする請求項20に記載の近接場光マイクロリアクター。前記ポンプ部が、前記第2の孔部又は前記第4の孔部に接続されていることを特徴とする請求項20又は請求項21に記載の近接場光マイクロリアクター。マイクロチャネル内の壁面に金属ナノ粒子が強固に接合されてなる近接場光2次元アレイを備えた近接場光マイクロチャネル構造体及び近接場光マイクロリアクターを提供することを課題とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、マイクロチャネルが設けられた構造体と、前記マイクロチャネル内に配置された近接場光の面内発光が可能な近接場光2次元アレイと、を有する近接場光マイクロチャネル構造体であって、前記近接場光2次元アレイが、前記マイクロチャネルの内壁面に形成された導電層と、前記導電層の一面に化学結合により固定化された固定化層と、前記固定化層の一面に化学結合により固定化された金属ナノ粒子配列とからなり、前記金属ナノ粒子配列は、等間隔となるように配列され、その表面に備えられた修飾部により互いに接合された複数の金属ナノ粒子からなることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記構造体が、第1の部材と、前記第1の部材の一面側に積層された第2の部材と、を有しており、前記第1の部材と前記第2の部材との間に前記マイクロチャネルが設けられていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記金属ナノ粒子の間隔が1~10nmであることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記金属ナノ粒子の粒径が1~100nmであることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記金属ナノ粒子が金からなることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記修飾部がチオール基を有する有機分子であり、前記チオール基が前記金属ナノ粒子に接合されていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記修飾部の有機分子が6以上20以下の炭素を備えたアルキル鎖を有していることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記固定化層が少なくとも2つのチオール基を有する有機分子からなり、前記固定化層の一面側と他面側にそれぞれ少なくとも1つのチオール基が配置されており、前記他面側のチオール基が前記導電層に接合されていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記固定化層の有機分子が6以上20以下の炭素を備えたアルキル鎖を有していることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記マイクロチャネルが屈曲部もしくは屈折部またはこれら両方を有して形成されていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記マイクロチャネルが複数設けられていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、表面に、前記マイクロチャネルに連通された第1の孔部が設けられていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、表面に、前記マイクロチャネルに連通された第2の孔部が設けられていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記第1の部材に前記マイクロチャネルに連通する第3の孔部が設けられていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記第3の孔部が、前記第1の部材の他面に積層された第3の部材と前記第1の部材との間に設けられた別のマイクロチャネルに連通されていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、表面に、前記別のマイクロチャネルに連通する第4の孔部が設けられていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、表面に、2以上の第1の孔部が設けられており、前記第1の孔部のいずれか一つと前記第2の孔部とを結ぶ第1のマイクロチャネルと、前記第1のマイクロチャネルから連結部で分岐され、前記第1の孔部の残りにそれぞれ連通された分岐マイクロチャネルが設けられていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記分岐マイクロチャネルが2以上形成されており、前記分岐マイクロチャネルのいずれの連結部よりも前記第2の孔部側に近接場光2次元アレイが配置されていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、前記分岐マイクロチャネルが2以上形成されており、隣接する前記分岐マイクロチャネルの連結部の間に近接場光2次元アレイが配置されていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロリアクターは、先に記載の近接場光マイクロチャネル構造体と、前記マイクロチャネル反応溶液を供給可能な反応溶液供給部と、前記マイクロチャネル反応溶液を吸引可能なポンプ部と、前記マイクロチャネル内の近接場光2次元アレイに光照射可能な光源と、を有することを特徴とする。本発明の近接場光マイクロリアクターは、前記反応溶液供給部が、前記第1の孔部に接続されていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロリアクターは、前記ポンプ部が、前記第2の孔部又は第4の孔部に接続されていることを特徴とする。本発明の近接場光マイクロチャネル構造体は、マイクロチャネルが設けられた構造体と、前記マイクロチャネル内に配置された近接場光の面内発光が可能な近接場光2次元アレイと、を有する近接場光マイクロチャネル構造体であって、前記近接場光2次元アレイが、前記マイクロチャネルの内壁面に形成された導電層と、前記導電層の一面に化学結合により固定化された固定化層と、前記固定化層の一面に化学結合により固定化された金属ナノ粒子配列とからなり、前記金属ナノ粒子配列は、等間隔となるように配列され、その表面に備えられた修飾部により互いに接合された複数の金属ナノ粒子からなる構成なので、マイクロチャネル内の壁面に金属ナノ粒子が強固に接合されてなる近接場光2次元アレイを備えた近接場光マイクロチャネル構造体及び近接場光マイクロリアクターを提供することができる。前記の構造により、大容量反応装置と比較して、近接場光マイクロチャンネル内部では近接場光2次元アレイ近傍に反応基質が存在する確率が高いため、種々の光化学反応を著しく効率よく進行させることができる。本発明の近接場光マイクロリアクターは、先に記載の近接場光マイクロチャネル構造体と、前記第1の孔部に接続された反応溶液供給部と、前記第2の孔部に接続されたポンプ部と、前記マイクロチャネル内の近接場光2次元アレイに光照射可能な光源と、を有する構成なので、マイクロチャネル内の壁面に金属ナノ粒子が強固に接合されてなる近接場光2次元アレイを備えた近接場光マイクロチャネル構造体及び近接場光マイクロリアクターを提供することができる。前記の構造により、近接場光マイクロリアクターでは、ポンプを用いた反応溶液の継続的な流入排出によって、大容量の反応生成物を得ることができる。また、マイクロリアクター内部に複数の反応基質溶液を導入することで、複数の化学反応または光化学反応を連続的に行い、多段回合成生成物をワンステップで得ることができる。本発明の第1の実施形態以下、添付図面を参照しながら、本発明の第1の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体を説明する。図1は、本発明の第1の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61の一例を示す図であって、図1aは斜視図であり、図1bは縦断面図である。図1に示すように、本発明の第1の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、マイクロチャネル41cが設けられた構造体95と、マイクロチャネル41c内に配置された近接場光の面内発光が可能な近接場光2次元アレイ50と、を有して構成されている。構造体95は、第1の部材51と、第1の部材51の一面51a側に積層された第2の部材41とから形成されている。マイクロチャネル41cは、第1の部材51と第2の部材41との間に設けられている。図2は、第2の部材41を示す図であって、図2aは斜視図であり、図2bは縦断面図である。一面41iには第1の孔部41aと第2の孔部41bが設けられている。他面側には、マイクロチャネル用の凹部41gが設けられている。図3は、第1の部材51を示す図であって、図3aは斜視図であり、図3bは縦断面図である。第1の部材51の一面51a上に導電層6、固定化層2、金属ナノ粒子4が配列されてなる金属ナノ粒子配列3が積層されている。導電層6、固定化層2と金属ナノ粒子配列3から近接場光2次元アレイ50が形成されている。近接場光2次元アレイ50は、第1の部材51の一面51aの中央部に形成されており、周辺部には形成されていない。近接場光2次元アレイ50を凹部41gに入れ、周辺部を上部部品に接合することにより、第1の部材51の一面51aを、第2の部材41の他面側に接合することによって、凹部41gは、マイクロチャネル41cとされ、近接場光マイクロチャネル構造体61が形成される。図1及び図2に示すように、第2の部材41の一面41iには、マイクロチャネル41cに連通された第1の孔部41aと第2の孔部41bが設けられている。例えば、矢印Zの方向流路方向に、反応溶液を流通させることができる構成とされている。マイクロチャネル41cは1本であり、直線状に形成されている。しかし、これに限られるものではなく、マイクロチャネル41cは、屈曲部もしくは屈折部またはこれら両方を有して形成されていてもよい。また、マイクロチャネル41cは複数備えられていてもよい。また、マイクロチャネル41cは枝分かれ構造としてもよい。更に、図1aに示すように、マイクロチャネル41cの流路方向Zに垂直な断面は、略矩形状とされている。しかし、これに限られるものではなく、例えば略円形状としてもよい。マイクロチャネル41cの形状は、マイクロリアクターで行う化学反応の種類を考慮して決定する。マイクロチャネル41cの幅は、近接場光部分の面積および反応溶液を流通させるために必要となるポンプ圧を決定するパラメータとなる。また、マイクロチャネル41cの高さは、近接場光部分からと、近接場光部分への化学反応原料及び生成物の拡散距離が、相対的に大きくなるか小さくなるかを決めるパラメータとなる。マイクロリアクター中のマイクロチャンネル内の流体は、層状部と通常流体部に分かれ、この値はチャンネル材料、チャンネル材料表面処理、流体によって異なる。層状部対通常流体部の比は、流路幅が大きくなるほど小さくなる。近接場光部分への化学反応原料及び生成物の拡散距離は、層状部と通常流体部の間の拡散、層状部中での拡散の両者を考慮することになるが、前者はマイクロチャンネル41cの長さを十分取ることにより充分生じるとして無視できる。後者の値も通常の溶液中での反応を参照することが可能であり、拡散が充分に生じるようにマイクロチャンネル41cの長さを設定することが可能である。更に、マイクロチャネル41cの長さは、光照射時間により化学反応がどれだけ起せるかを決めるパラメータの一つとなる。また、第2の部材41の材料は、樹脂や石英などが好ましい。インプリント法などにより、限定された面積内に任意の形状のマイクロチャネル41cを形成できるためである。なお、光化学反応に利用する溶媒によって、耐薬品性を考慮して、第2の部材41の材料を決定する。図1に示すように、第2の部材41の一面41iには、マイクロチャネル41cに連通された第1の孔部41a、第2の孔部41bが形成されている。しかし、第1の孔部41aの数は1つに限られるものではない。また、第1の孔部41a、第2の孔部41bは一面41iに形成されているが、これに限られるものではなく、別の面に形成してもよい。マイクロチャネル41c内には、近接場光2次元アレイ50が配置されている。近接場光2次元アレイ50は、マイクロチャネル41cの内壁面であって、第1の部材51の一面51aに形成された導電層6と、導電層6の一面6aに化学結合により固定化された固定化層2と、固定化層2の一面2aに化学結合により固定化された金属ナノ粒子配列3とから構成されている。図1及び図3に示すように、第1の部材51の一面51a上に導電層6、固定化層2、金属ナノ粒子4が配列されてなる金属ナノ粒子配列3が積層されている。金属ナノ粒子配列3は、等間隔となるように配列された金属ナノ粒子4から構成されている。金属ナノ粒子4は、その表面に備えられた修飾部5により互いに接合されている。規則的に配列された金属ナノ粒子配列3は、近接場光2次元アレイ50としての効果を発現する。第1の部材51の材料は、サファイア基板や石英基板、ガラス基板などが好ましい。これらの材料は、その表面上に近接場光2次元アレイを高被覆率かつ高密度に作製できるとともに、第2の部材41と接着性高く接合できるためである。図4は、金属ナノ粒子配列3の一例を示す拡大平面図である。金属ナノ粒子4からの近接場光NFも概念的に示している。図4に示すように、金属ナノ粒子配列3は、固定化層2全面で統一された配列とされている。また、近接場光NFは、各金属ナノ粒子4の周りに規則的に形成されるので、近接場光を面内で均一に発生できる。より具体的には、適切な波長分布を持つ光を1~100nmの大きさの金属ナノ粒子からなる金属ナノ粒子配列に照射することにより、金属ナノ粒子を散乱体として、その表面に近接場光NFが発生する。近接場光NFの大きさは金属ナノ粒子の直径程度であることが知られている。なお、金属ナノ粒子配列3は、このように理想的な配列に限られるものではない。図5は、金属ナノ粒子配列3の別の一例を示す拡大図である。このように、統一された金属ナノ粒子配列3からなる領域であるドメイン部8が、複数存在する形態としてもよい。このような形態としても、金属ナノ粒子4は固定化層2に強固に接合されているとともに、金属ナノ粒子4により被覆されていない領域を小さくして、被覆率は高くすることができる。図6は、金属ナノ粒子配列3をより拡大した図であって、図6aは図4のE部の拡大図であって、図6bは図4のF-F’線における断面図である。図6に示すように、粒径Fmの金属ナノ粒子4が修飾部5を介して、分子間相互作用により、互いに接続されている。これにより、金属ナノ粒子4の間の距離Gm及び隣接する金属ナノ粒子4の中心Oの距離Lmがほぼ一定とされるとともに、金属ナノ粒子4同士を強固に接合することができる。なお、固定化層の厚さGs及び金属ナノ粒子4の中心Oから導電層6の一面6aまでの距離Lsもほぼ一定とされている。図6に示すように、金属ナノ粒子4から発生する近接場光は、金属ナノ粒子4の周りに等方的に発生し、近接場光NFを形成する。金属ナノ粒子4は等間隔で近接して配列されているので、隣接する金属ナノ粒子4の間には、近接場光が約2倍に強められた領域NFO2が形成される。また、3つの隣接する金属ナノ粒子4で囲まれる領域には、近接場光が約3倍に強められた領域NFO3が形成される。より具体的には、金属ナノ粒子4には局在表面プラズモンが発生し、外部光源の光電場と共鳴して局在表面プラズモン共鳴状態の近接場光源を発生する。金属ナノ粒子配列3中の金属ナノ粒子4間の電磁的な相互作用により、局在表面プラズモン共鳴周波数がレッドシフトし、金属ナノ粒子4の大きさと金属ナノ粒子4間間隙距離の大きさを変えることにより局在表面プラズモン共鳴周波数を制御できる。なお、この事は隣接する金属ナノ粒子4間で、強い電場増強場が発生することも意味している。図7は、図6に示した金属ナノ粒子配列3をより具体的に示した拡大図である。金属ナノ粒子4としてAuを用い、修飾部5としてアルカンチオールを用い、固定化層2として1,6-ヘキサンジチオールを用いている。また、導電層6の他面側には絶縁性基板が配置されている。絶縁性基板は、第1の部材51として用いてもよく、第1の部材51と導電層6との間の部材としてもよい。アルカンチオール及び1,6-ヘキサンジチオールのアルキル鎖の長さを制御することにより、金属ナノ粒子4の間の距離Gm及び導電層6の一面からの距離Lsなどを制御できる構成とされている。なお、図7に示すように、導電層6の下に絶縁性基板からなる第1の部材51を配置してもよい。絶縁性基板として、平坦基板を用いることにより、金属ナノ粒子配列を制御よく形成できる。また、平坦基板を用いることにより、マイクロチャネル構造体の取り扱いが容易となる。平坦基板としては、平坦性の良いサファイア基板や石英基板などを幅広く選択できる。次に、金属ナノ粒子配列3の製造方法を説明する。金属ナノ粒子配列の製造方法は、金属ナノ粒子4を溶媒に分散して反応液を調整した後、前記反応液を液槽に満たしてから、2つの電極部を前記反応液に完全に浸漬させるように前記液槽の内部に対向配置させる第1工程と、2つの電極部に配線を介して接続した電源部から、前記2つの電極部に電圧を印加することにより、前記金属ナノ粒子を電界移動させて、前記2つの電極部のうちの一の電極部の一面に有機ナノ粒子配列を形成する第2工程と、を有する。図8は、金属ナノ粒子配列3の製造方法の一例を示す工程図である。図8aは、第1工程の終了時点の工程断面図であって、金属ナノ粒子4を溶媒21に分散して反応液22を調整した後、反応液22を液槽23に満たしてから、2つの電極部25、26を反応液22に完全に浸漬させるように液槽23の内部に対向配置させた時点を示す図である。溶媒21としては揮発性溶媒を用いる。また、金属ナノ粒子4は予め有機分子からなる修飾部5により覆った状態としている。一の電極部25には、固定化層2を形成した基板1を用いている。基板1としては導電性基板を用い、固定化層2を他方の電極部26に向けて配置している。2つの電極部25、26を反応液22に完全に浸漬させるような位置に、反応液22の液面22aが設定されている。揮発性溶媒21は、水、アルコール類、ケトン類、エステル類、ハロゲン系溶媒、脂肪族炭化水素類、または芳香族炭化水素類、あるいはそれらの混合物のいずれかであることが好ましい。金属ナノ粒子4の組織構造形成における速度論的および熱力学的パラメータを制御することが可能となり、金属ナノ粒子4の移動を促進あるいは抑制することが可能となる。また揮発性溶媒21の蒸発速度を制御することと、固定化層2への親水性や疎水性の制御も可能となる。揮発性溶媒21が、無機塩、有機塩、あるいはその両方を含むことが好ましい。金属ナノ粒子の電気泳動における電界から受ける力を制御することができる。第2工程は、電源28から2つの電極部25、26に電圧を印加して反応液22に直流を流しながら、反応液22の溶媒21を揮発させる工程である。反応液22に直流を流すと、反応液22中の金属ナノ粒子4は帯電しているので、電界移動を始め、いずれか一方の電極部に集まり始める。例えば、マイナスに帯電した金属ナノ粒子4を用いた場合には、その逆のプラスの電位であるアノード電極に集まる。そのため、アノード電極として一の電極部25を用いれば、一の電極部25上に金属ナノ粒子4が集まる。このように、金属ナノ粒子配列を形成させる基板導電性基板1をアノード電極とするか、カソード電極にするかは、金属ナノ粒子4の帯電電位により決定する。金属ナノ粒子4は、電界×移動距離×帯電価数からなるイオンエネルギーを持つ。このイオンエネルギーにより、金属ナノ粒子4は、エネルギー障壁を超えて基板導電性基板1に化学吸着する。このイオンエネルギーが無ければ、エネルギー障壁を超えて化学吸着をすることができず、物理吸着に留まる。図8bは、第2工程の途中時点の工程断面図である。電圧を印加している途中、液面22aより蓋部24側の空間は、蓋部24の孔部24cを通して外部と繋がっているので、孔部24cを介して揮発性溶媒が蒸発する。これにより、反応液22の液面22aが若干降下して、基板導電性基板1の蓋部24側を液面22aから露出させる。液面22aの低下とともに、反応液22の液面22aが接している基板導電性基板1上の固定化層2の表面部分気液界面部29の位置も低下する。気液界面部29近傍では、金属ナノ粒子4の濃度が飽和に達し、過飽和状態での金属ナノ粒子4の2次元配列の核形成が生じる。金属ナノ粒子4の2次元配列の核形成速度が、反応液22の揮発性溶媒21の蒸発速度より早いと、金属ナノ粒子配列3の被覆率を100に近い状態にすることができる。これにより、露出された基板導電性基板1上の固定化層2上に、金属ナノ粒子配列3を被覆率高く形成することができる。揮発性溶媒の揮発速度は、孔部24cの開口径dと長さ及び揮発性溶媒の蒸気の粘性で決まる流体力学的な抵抗粘性×長さ/開口径を調整することにより制御することができる。これにより、液面22aの下降速度を制御できる。固定化層2への金属ナノ粒子4の化学吸着は、金属ナノ粒子4の2次元配列の核形成と同時に生じることになる。前記イオンエネルギーが大き過ぎなければ、化学吸着を起こす前に、核形成に必要なエネルギー的に安定な物理位置に出会うだけの時間が十分にあることになり、化学吸着と2次元配列化は両立することができる。図8cは、第2工程の終了時点の工程断面図である。基板導電性基板1は完全に液面22aの上に出て、基板導電性基板1上の固定化層2上に有機ナノ粒子配列3が形成されている。被覆率が高く、金属ナノ粒子4が固定化層2に強固に接合した有機ナノ粒子配列3が形成される。更に、第2工程が終了した後に、基板導電性基板1上の固定化層2上のナノ粒子配列3を55°C程度でアニールしてもよい。これにより、金属ナノ粒子4と固定化層2との化学結合をより強固にすることができる。その後、基板導電性基板1の表面を流水洗浄や適当な溶媒中で超音波洗浄することにより、基板導電性基板1と化学結合していない金属ナノ粒子4を除去することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、マイクロチャネル41cが設けられた構造体95と、マイクロチャネル41c内に配置された近接場光の面内発光が可能な近接場光2次元アレイ50と、を有する近接場光マイクロチャネル構造体であって、近接場光2次元アレイ50が、マイクロチャネル41cの内壁面に形成された導電層6と、導電層6の一面6aに化学結合により固定化された固定化層2と、固定化層2の一面2aに化学結合により固定化された金属ナノ粒子配列3とからなり、金属ナノ粒子配列3は、等間隔となるように配列され、その表面に備えられた修飾部5により互いに接合された複数の金属ナノ粒子4からなる構成なので、導電層6、固定化層2により、マイクロチャネル41c内の壁面に金属ナノ粒子4が強固に接合されてなる近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、構造体95が、第1の部材51と、第1の部材51の一面51a側に積層された第2の部材41と、を有しており、第1の部材51と前記第2の部材41との間にマイクロチャネル41cが設けられている構成なので、導電層6、固定化層2により、マイクロチャネル41c内の壁面に金属ナノ粒子4が強固に接合されてなる近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を容易に形成することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、金属ナノ粒子4の間隔が1~10nmである構成なので、近接場光による光化学反応の効率を向上させた近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、金属ナノ粒子4の粒径が1~100nmである構成なので、近接場光による光化学反応の効率を向上させた近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、金属ナノ粒子4が金からなる構成なので、近接場光による光化学反応の効率を向上させた近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、修飾部5がチオール基を有する有機分子であり、前記チオール基が前記金属ナノ粒子に接合されている構成なので、金属ナノ粒子4間の結合強度を向上させた近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、修飾部5の有機分子が6以上20以下の炭素を備えたアルキル鎖を有している構成なので、金属ナノ粒子4間の結合強度を向上させた近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、固定化層2が少なくとも2つのチオール基を有する有機分子からなり、固定化層2の一面2a側と他面側にそれぞれ少なくとも1つのチオール基が配置されており、他面側のチオール基が導電層6に接合されている構成なので、金属ナノ粒子4と導電層6との間の結合強度を向上させた近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、固定化層2の有機分子が6以上20以下の炭素を備えたアルキル鎖を有している構成なので、金属ナノ粒子4と導電層6との間の結合強度を向上させた近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、表面に、マイクロチャネル41cに連通された第1の孔部41aが設けられている構成なので、第1の孔部41aを注入孔として用いることにより、マイクロチャネル41c内に効率よく反応溶液を注入させることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、表面に、マイクロチャネル41cに連通された第2の孔部41bが設けられている構成なので、第2の孔部41bを排出孔として用いることにより、マイクロチャネル41c内から効率よく反応溶液を排出させることができる。本発明の第2の実施形態次に、本発明の第2の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体を説明する。図9は、本発明の第2の実施形態である近接場光マイクロリアクター71の一例を示す図であって、図9aは斜視図であり、図9bは縦断面図である。図9a及び図9bに示すように、本発明の第2の実施形態である近接場光マイクロリアクター71は、本発明の第1の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61と、反応溶液供給部81と、ポンプ部83と、光源82とから概略構成されている。第2の部材41の一面41iには、マイクロチャネル41cに連通された第1の孔部41aと第2の孔部41bが設けられている。第1の孔部41aは、連結管84を介して反応溶液供給部81に接続されている。反応溶液供給部81としては反応溶液を満たした薬剤瓶等を用いる。また、第2の孔部41bは、連結管85を介してポンプ部83に接続されている。ポンプ部83としては、シリンジポンプ等を用いる。ポンプ部83を操作して、矢印Zの方向流路方向に、反応溶液を流通させることができる構成とされている。第2の部材41の一面41i側には、光源82が配置されている。矢印LSRの方向照射方向に光源82の光が放射され、近接場光2次元アレイ50に所定の光を照射できる構成とされている。所定の光としては、近接場光2次元アレイ50に局在プラズモン吸収帯に相当する波長分布を持つ光を用いる。照射方向LSRは、固定化層2の一面2aと略垂直方向とされている。これにより、金属ナノ粒子配列3に均一に光を照射できる。しかし、照射方向LSRはこれに限られるものではなく、金属ナノ粒子配列3に光照射できればよく、例えば、斜め方向から照射してもよい。また、近接場光2次元アレイ50の導電層6が、ITO基板等の透明電極材料で構成されている場合には、裏面から照射しても良い。本発明の実施形態である近接場光マイクロリアクター71は、近接場光マイクロチャネル構造体61と、マイクロチャネル41cに反応溶液を供給可能な反応溶液供給部81と、マイクロチャネル41cから反応溶液を吸引可能なポンプ部83と、マイクロチャネル41c内の近接場光2次元アレイ50に光照射可能な光源82と、を有する構成なので、導電層6、固定化層2により、マイクロチャネル41c内の壁面に金属ナノ粒子4が強固に接合されてなる近接場光2次元アレイ50を備えた近接場光マイクロチャネル構造体を有する近接場光マイクロリアクター71を提供することができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロリアクター71は、反応溶液供給部81が、第1の孔部41aに接続されている構成なので、マイクロチャネル41c内に反応溶液を効率よく供給できる。本発明の実施形態である近接場光マイクロリアクター71は、ポンプ部83が、第2の孔部41bに接続されている構成なので、マイクロチャネル41c内から反応溶液を効率よく吸引できる。本発明の第3の実施形態次に、本発明の第3の実施形態である近接場光マイクロチャネルを説明する。図10は、本発明の第3の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体を説明する図であって、第2の部材の別の一例を示す平面図である。本発明の第3の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体は、図10に示す第2の部材を用いた他は本発明の第1の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体と同様の構成とされている。図10に示すように、本発明の第3の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体の第2の部材42は、開口径nの第1の孔部42aと、開口径nの第2の孔部42bとの間に、マイクロチャネル42c1~42c9までの9つのマイクロチャネルを有している。マイクロチャネル42c1~42c9は複数の屈曲部42jを有している。これにより、縦l×横mの一定面積内のマイクロチャネル長を長くすることができ、光化学反応の効率を高めることができる。また、マルチチャネルとしているので、同様に光化学反応の効率を高めることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、マイクロチャネル41cが屈曲部42jを有して形成されている構成なので、一定面積内のマイクロチャネル長を長くすることができ、光化学反応の効率を高めることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体61は、複数のマイクロチャネル42c1~42c9が設けられている構成なので、一定面積内のマイクロチャネル長を長くすることができ、光化学反応の効率を高めることができる。本発明の第4の実施形態次に、本発明の第4の実施形態である近接場光マイクロリアクターを説明する。図11は、本発明の第4の実施形態である近接場光マイクロリアクターを説明する図であって、図11aは部分断面斜視図であり、図11bはその近接場光マイクロリアクターに用いられる近接場光マイクロチャネル構造体の縦断面図である。図11に示すように、本発明の第4の実施形態である近接場光マイクロチャネル63は、第1の部材53にマイクロチャネル43cに連通する第3の孔部53c、53dが設けられていること、第3の孔部53c、53dが、第1の部材53の他面53bに積層された第3の部材93と第1の部材53との間に設けられた別のマイクロチャネル93cに連通されていること、及び別のマイクロチャネル93cに連通された孔部53e、43bが第1の部材53、第2の部材43に設けられている他は第1の実施液体の近接場光マイクロチャネルと同様な構成とされている。第1の基板53に2つの第3の孔部53c、53dを設けることにより、マイクロチャネル43c内を流通する反応溶液の流れを早くすることができるとともに、流れの向きを近接場光2次元アレイ50への接触面積を向上させ、光反応効率を向上させることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体63は、第1の部材53に前記マイクロチャネル43cに連通する第3の孔部53c、53dが設けられている構成なので、マイクロチャネル43c内を流通する反応溶液の流れを早くすることができるとともに、流れの向きを近接場光2次元アレイ50への接触面積を向上させ、光反応効率を向上させることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体63は、表面に、別のマイクロチャネル93cに連通する第4の孔部43bが設けられている構成なので、マイクロチャネル43c内を流通する反応溶液の流れを早くすることができるとともに、流れの向きを近接場光2次元アレイ50への接触面積を向上させ、光反応効率を向上させることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体63は、第3の孔部53c、53dが、第1の部材53の他面53bに積層された第3の部材93と第1の部材53との間に設けられた別のマイクロチャネル93cに連通されている構成なので、マイクロチャネル43c内を流通する反応溶液を別のマイクロチャネル93cに連通させて、反応溶液の流れを早くして、光反応効率を向上させることができる。本発明の第5の実施形態次に、本発明の第5の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体を説明する。図12は、本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体の別の一例を示す図であって、図12aは斜視図であり、図12bは平面図であり、図12cは縦断面図である。図12に示すように、本発明の第5の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体64は、第2の部材44の一面44iに第1の孔部44a1、44a2、44a3及び第2の孔部44bが設けられており、第1の孔部44a1と第2の孔部44bとを直線状に結ぶ第1のマイクロチャネル44c1と、第1のマイクロチャネル44c1から分岐された分岐マイクロチャネル44c2、44c3とから構成されている他は本発明の第1の実施形態の近接場光マイクロチャネル構造体と同様の構成とされている。図12に示すように、分岐マイクロチャネル44c2、44c3はそれぞれ、第1の連結部44d1、第2の連結部44d2で第1のマイクロチャネル44c1に連結されている。また、近接場光2次元アレイ50は、第2の孔部44bと、第2の連結部44d2との間に配置されている。上記構成とすることにより、第1の孔部44a1、44a2、44a3を溶液注入部として用い、第2の孔部44bを溶液排出部として用いて、光照射では無い化学反応と、光化学反応を組み合わせたマイクロリアクターに応用することができる。例えば、第1の孔部44a1、44a2から化学反応の始物質2種類を適切な溶媒に溶かして注入して、第1の連結部44d1で光照射では無い化学反応をさせて第1の反応溶液を形成する。次に、第1の孔部44a3から別の種類の化学反応の始物質を適切な溶媒に溶かした第2の反応溶液を注入する。これにより、第1の反応溶液と第2の反応溶液を、近接場光2次元アレイ50上に通過させることができる。次に、近接場光2次元アレイ50に光照射して、近接場光2次元アレイから近接場光を発光させる。これにより、第1の反応溶液と第2の反応溶液の光化学反応をさせることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体64は、近接場光マイクロチャネル構造体54の表面に、第1の孔部44a1、44a2、44a3が設けられており、前記マイクロチャネル44cが、第1の孔部44a1と第2の孔部44bとを直線状に結ぶ第1のマイクロチャネル44c1と、第1のマイクロチャネル44c1から分岐された分岐マイクロチャネル44c2、44c3とからなる構成なので、異なる2段階の化学反応をさせることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体64は、分岐マイクロチャネル44c2、44c3が形成されており、第1のマイクロチャネル44c1で、連結部44d1、44d2よりも第2の孔部44b側に近接場光2次元アレイ50が配置されている構成なので、まず、2つの反応溶液を混合して、光照射では無い化学反応させた後、別の反応溶液との近接場光による光化学反応をさせることができる。本発明の第6の実施形態次に、本発明の第6の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体を説明する。図13は、本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体の別の一例を示す図であって、図13aは斜視図であり、図13bは平面図であり、図13cは縦断面図である。図13に示すように、本発明の第6の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体65は、近接場光2次元アレイ50が、第1の連結部44d1と、第2の連結部44d2との間に配置されている他は本発明の第5の実施形態の近接場光マイクロチャネル構造体と同様の構成とされている。上記構成とすることにより、本発明の第5の実施形態で示した化学反応と逆の化学反応、つまり、最初に、光化学反応を行い、次に光照射では無い化学反応を行うマイクロリアクターとして応用することができる。例えば、第1の孔部44a1、44a2から化学反応の始物質2種類を適切な溶媒に溶かして注入して、第1の連結部44d1で混合して第3の反応溶液を形成する。次に、近接場光2次元アレイ50に光照射して、近接場光2次元アレイから近接場光を発光させて、第3の反応溶液の光化学反応をさせる。次に、第1の孔部44a3から別の種類の化学反応の始物質を適切な溶媒に溶かした第2の反応溶液を注入する。これにより、第3の反応溶液と第2の反応溶液を混合して、光照射では無い化学反応をさせることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体65は、分岐マイクロチャネル44a2、44a3が形成されており、第1のマイクロチャネル44c1で、隣接する分岐マイクロチャネル44a2、44a3の連結部44d1、44d2の間に近接場光2次元アレイ50が配置されている構成なので、まず、2つの反応溶液を混合した反応溶液を、近接場光による光化学反応をさせた後、別の反応溶液と光照射では無い化学反応させることができる。本発明の実施形態である近接場光マイクロチャネル構造体及び近接場光マイクロリアクターは、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で、種々変更して実施することができる。本実施形態の具体例を以下の実施例で示す。しかし、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例1<反応液調整>まず、粒径約9nmの金ナノ粒子を予めヘキサンチオールによって修飾した。次に、ヘキサンチオールによって修飾した金ナノ粒子を濃度5.7×1013/mlでn-ヘキサンからなる揮発性溶媒中に分散させて、反応液を調整した。<基板作製>また、金薄膜を設けたガラス基板基板の大きさ15mm×15mmを用いて、金薄膜の一面を1,6-ヘキサンジチオールによって修飾して、固定化層を形成した。<金ナノ粒子2次元アレイを作製工程>まず、粒子固定化装置の液槽に前記反応液を満たした。次に、反応液中に炭素電極からなるアノード電極と、固定化層及び金薄膜導電層を形成したガラス基板からなるカソード電極を浸漬した。アノード電極とカソード電極は互いに電極面が対向するように配置し、電極面の間の距離は1.2mmとした。次に、液槽の上部の開口部を蓋部により封じた。次に、蓋部の孔部の開口径を調整することにより、反応液の液面の低下速度を、常温常圧1気圧、25°Cで4mm/時間とした。同時に、電源を制御して、アノード電極とカソード電極の間に1Vの電圧を印加した。電極を反応液から完全に露出させるまで反応液を揮発させた段階で、カソード電極を取り出した。カソード電極の固定化層上に金属ナノ粒子配列が形成されているのを目視確認した。次に、金薄膜表面を40-60°Cでアニールした。次に、金薄膜表面を流水洗浄し、更に、ヘキサン溶媒中で超音波洗浄24.8kHz、1分した。これにより、基板上に、固定化層及び金薄膜を介して、金属ナノ粒子配列が形成されてなる金属ナノ粒子配列構造体10Hexを形成した。実施例2ヘキサンチオール分子の代わりに、ドデカンチオールDODを用いた他は実施例1と同様にして、金属ナノ粒子配列構造体10Dodを形成した。実施例3ヘキサンチオール分子の代わりに、ヘキサデカンチオールHEXDを用いた他は実施例1と同様にして、金属ナノ粒子配列構造体10Hexdを形成した。実施例4粒径Fmが29~30nmの金属ナノ粒子を用いた他は実施例2と同様にして、金属ナノ粒子配列構造体30Dodを形成した。比較例1ガラス基板基板の大きさ15mm×15mm上に金からなる導電性薄膜以下、金薄膜を形成した後、金薄膜の表面を1,6ヘキサンジチオールによって修飾して、固定化層を形成した。次に、HEXで修飾した金ナノ粒子を用い、固定化層及び金薄膜を形成したガラス基板の固定化層上に、公知のラングミュア手法により、金属ナノ粒子配列構造体を形成した。<SEM観察>実施例1~3の金属ナノ粒子配列構造体についてSEM観察を行った。図14は、実施例1の金属ナノ粒子配列構造体のSEM像である。金ナノ粒子の粒径Fmは9nm、粒子間距離Lmは10.6nm、粒子間間隙距離Gmは1.6nmであった。図15は、実施例2の金属ナノ粒子配列構造体のSEM像である。金ナノ粒子の粒径Fmは9nm、粒子間距離Lmは11.4nm、粒子間間隙距離Gmは2.4nmであった。また、金ナノ粒子を用いた金属ナノ粒子配列の被覆率は、90以上になった。基板の大きさ15mm×15mmのほぼ全域に亘ってこの被覆率が達成された。図16は、実施例3の金属ナノ粒子配列構造体のSEM像である。金ナノ粒子の粒径Fmは9nm、粒子間距離Lmは11.9nm、粒子間間隙距離Gmは2.9nmであった。何れも最近接では六方最密充填構造をとっていた。<小角散乱スペクトルの測定>次に、小角散乱スペクトルの測定を行った。粒子間距離はSEM観察より小角散乱による測定の方の精度が良い。図17は、実施例1~3の金属ナノ粒子配列構造体の小角散乱スペクトルの測定結果である。図17に示した測定結果より、ヘキサンチオール分子、ドデカンチオール分子、ヘキサデカンチオール分子を用いた場合、粒子間距離はそれぞれ10.8nm、11.0nm、11.8nmとなった。この結果はアルカン分子の長さが長くなると、粒子間距離が長くなることを示した。これは、金ナノ粒子の粒子間距離Gmが、修飾分子の選択によって制御できることを意味し、特にアルカンチオール分子の炭素数と粒子間距離Gmが比例することを実証している。<消光スペクトルの測定>次に、実施例1~3の金属ナノ粒子配列構造体について消光スペクトルの測定を行った。図18は、実施例1~3の金属ナノ粒子配列の消光スペクトルであり、図19は、実施例2と実施例4の金属ナノ粒子配列の消光スペクトルである。ここで、消光スペクトルピークは、金ナノ粒子配列を構成する金ナノ粒子を散乱体とする局所プラズモン共鳴の周波数を示す。図18に示すように、金ナノ粒子の粒径Fmを10nmに固定した場合、修飾分子をヘキサンチオール分子、ドデカンチオール分子、ヘキサデカンチオール分子と変化させると、消光スペクトルピーク局所プラズモン共鳴の周波数は630nmから599nmへと変化した。これは、修飾分子の大きさを変えて、局所プラズモン共鳴の周波数を制御することができることを示した。また、図19に示すように、修飾分子をドデカンチオール分子に固定し、金ナノ粒子の粒径Fmを10nmから30nmと変化させると、消光スペクトルピーク局所プラズモン共鳴の周波数は599nmから880nmへ変化と変化した。以上の結果から、局所プラズモン共鳴の周波数は、金ナノ粒子の粒子間間隙距離Gmと、金ナノ粒子の粒径Fmによって決まることが分かった。これらの依存性は、非特許文献21でも示唆されており、本実施例によって簡単に実施できるようになった。<機械的強度化学結合強度の測定>また、導電性基板への化学結合による、金ナノ粒子と導電性基板ガラス基板上の金薄膜との間の機械的強度を、ヘキサン溶媒中の超音波洗浄24.8kHz、5分により確かめた。比較例1の金属ナノ粒子配列構造体は、18しか残留しなかった。一方、実施例1の金属ナノ粒子配列構造体は、71残留した。機械的強度の測定結果は、金属ナノ粒子配列が固定化層を介して導電性基板に化学的に結合していることを示し、ヘキサン溶媒中の超音波洗浄でも機械的強度を維持する耐性の効果を持つことを実証した。この機械的強度は、マイクロリアクター流路中に設ける金属ナノ粒子配列にとって技術的に重要な点である。<近接場光マイクロチャネル構造体の作製>実施例5次に、実施例2の金属ナノ粒子配列構造体を用いて、実施例5の近接場光マイクロチャネル構造体を作製した。まず、PDMSポリジメチルシロキサンからなる透明基板を用意した。次に、インプリント法により、前記透明基板の一面に幅1mm×高さ50μm×長さ5mmの大きさのマイクロチャネル用凹部を形成するとともに、前記透明基板の他面と前記マイクロチャネルとを連通させる2つの孔部を作製した。次に、金属ナノ粒子配列が前記マイクロチャネル用凹部内に配置されるように、実施例1の金属ナノ粒子構造体のガラス基板と前記透明基板と接合した後、これらを機械的に固定して、実施例5の近接場光マイクロチャネル構造体を作製した。<近接場光マイクロリアクターの作製>実施例6次に、実施例5の近接場光マイクロチャネル構造体を用いて、近接場光マイクロリアクターを作製した。まず、接着剤により、透明基板に設けられた2つの孔部にそれぞれシリコン製パイプを接続した。次に、一方のシリコン製パイプに薬品瓶を接続するとともに、他方のシリコン製パイプにシリンジポンプを接続した。次に、近接場光2次元アレイに光照射するように光源を配置した。以上により、実施例6の近接場光マイクロリアクターを作製した。<近接場光マイクロリアクター内の光化学反応の確認>次に、近接場光マイクロリアクターを用いて、光化学反応の確認を行った。材料としては、ヘキサフルオロジアリールエテンを用いた。図20は、ヘキサフルオロジアリールエテンの光化学反応を示す図である。図20に示すように、閉状態のヘキサフルオロジアリールエテン以下、close-HFDEは通常400-700nmの可視光が照射されると光化学反応して、開状態のヘキサフルオロジアリールエテン以下、open-HFDEへ変化する。また、open-HFDEは、通常400nm以下の紫外光が照射されると光化学反応して、close-HFDEへ変化する。まず、実施例6の近接場光マイクロリアクターの薬品瓶に、close-HFDEを溶媒に分散させた溶液を入れた。次に、近接場光2次元アレイに、光源より、図21の30Dod-SAMに示した波長分布の光を照射した。同時に、シリンジポンプで吸い込みを行った。流速は約0.06mL/minとした。次に、シリンジポンプの溶液の分析を行い、溶液に含まれる化学物質を特定した。図21はNMRスペクトルを示す図であり、図21aはopen-HFDEのNMRスペクトルであり、図21bは光照射前の溶液中の反応物close-HFDEのNMRスペクトルであり、図21cは光照射後の溶液中の生成物のNMRスペクトルである。close-HFDEの90.2がopen-HFDEへ転換していた。図22は、ヘキサフルオロジアリールエテンHFDEの吸収スペクトルであって、図22aは、close-HFDEの吸収スペクトルであり、図22bはopen―HFDEの吸収スペクトルであり、図22cは粒径30nmの金ナノ粒子を自己組織化したアレイ以下、30Dod-SAMの吸収スペクトル消光スペクトルであり、図22dは2光子励起が起きた際の近接場光のスペクトル以下、TPAwith30Dod-SAMである。ここで、30Dod-SAMに照射した光の波長域740~1050nmを1Lで示している。また、1Lの波長域の光照射によって2光子励起が起きた際の近接場光の波長域380~530nm2Lで示している。図22に示すように、2光子励起波長に基づく近接場光の照射領域とclose-HFDEの吸収波長が450nm~560nmの波長領域で重なることから、2光子反応は金ナノ粒子2次元配列で発生した強い近接場光により起きたと考えられる。これにより、実施例6の近接場光マイクロリアクター内で、近接場光による光化学反応が効率的に行われたことを実証した。実施例7次に、図10に示す近接場光マイクロチャネル構造体を作製した。透明基板としてはPDMSを用いた。インプリント法により、マイクロチャネル及び孔部の長さ及び大きさを変えて形成した。図23に、作製したマイクロチャネルの条件を示した。次に、実施例1と同様にして平坦なガラス基板上に近接場光2次元アレイを形成した。次に、近接場光2次元アレイを形成したガラス基板を、前記透明基板に接合して、近接場光マイクロチャネル構造体を形成し、これを用いて、実施例6と同様にして、近接場光マイクロリアクターを形成した。実施例8次に、図11に示す近接場光マイクロリアクターを作製した。まず、透明基板してはPDMSを用い、インプリント法により、マイクロチャネル及び孔部を形成した。次に、PDMS基板に、インプリント法により孔部を形成した後、一面に金薄膜を形成した後、固定化層を形成し、実施例1と同様にして、金属ナノ粒子配列を形成して、近接場光マイクロチャネル構造体を作製した。次に、透明基板としてはPDMSを用い、インプリント法により、マイクロチャネルを形成した。次に、マイクロチャネルと孔部が連通されるように、これらの基板を接合した。次に、孔部にパイプを接続し、薬品瓶及びシリンジポンプに接続するとともに、光源を設置して、近接場光マイクロリアクターを作製した。近接場光2次元アレイに光照射しながら、反応化学物質を溶かした溶媒を入れた薬剤瓶から反応溶液を流し、シリンジポンプからこれを回収した。光化学反応を確認した。実施例9図12に示す近接場光マイクロチャネル構造体を作製した。この近接場光マイクロチャネル構造体は、孔部を4か所設け、分岐型のマイクロチャネルを形成した他は実施例5と同様にして、作製した。次に、パイプ4個を接続し、薬品瓶及びシリンジポンプに接続するとともに、光源を設置して、実施例9の近接場光マイクロリアクターを作製した。<近接場光マイクロリアクター内の光化学反応の確認>近接場光2次元アレイに、外部光源によって光照射をした。以下、この状態で、次の一連の操作を行った。まず、溶液注入部からアルデヒド化合物を溶解させた溶液を注入させながら、別の溶液注入部からアミン化合物を溶解させた溶液を注入した。次に、更に別の溶液注入部から芳香族および脂肪族ハロゲン化物を注入した。反応溶液排出口からタンデム光反応生成物としてヒドロキシルアミン化合物が得られた。これにより、第1の連結部で、混合によって脱水縮合反応が進行し、イミン化合物が生成された後、第2の連結部でイミン化合物とハロゲン化合物が混合され、更に、近接場光2次元アレイ上で、ハロゲン化物の光励起ラジカル生成反応が誘起され、アルキルラジカルのイミン化合物との反応、次いで起こる系中の水とのラジカル停止反応が行われたと推察した。実施例10図13に示す近接場光マイクロチャネル構造体を作製した。この近接場光マイクロチャネル構造体は、連結部間に近接場光2次元アレイを配置し、光化学反応を起こす場所が異なる位置とした他は実施例9と同様にして、作製した。<近接場光マイクロリアクター内の光化学反応の確認>近接場光2次元アレイに、外部光源によって光照射をした。以下、この状態で、次の一連の操作を行った。まず、溶液注入部から芳香族および脂肪族ハロゲン化物を溶解させた溶液を注入させながら、別の溶液注入部からα、β‐不飽和カルボン酸化合物を溶解させた溶液を注入した。次に、更に別の溶液注入部からアミン化合物を溶解させた溶液を注入した。反応溶液排出口からタンデム光反応生成物としてアミド化合物が得られた。これにより、第1の連結部で混合された溶液が、第2の連結部でカルボン酸化合物へと変換された後、アミド化反応が進行したと推察した。"