"入射されるレーザ光を集光するレンズと、上記レンズにより集光されたレーザ光の偏光方向と上記レーザ光の入射角度に依存しているフレネル反射率にしたがって上記レーザ光の一部を反射する光分離器と、上記光分離器により反射されたレーザ光の強度を測定する光検出器とを備え、上記光分離器は、上記レンズにより集光されたレーザ光の光軸回りに所定の角度だけ回転され、かつ、上記レーザ光の光軸及び上記レーザ光の入射面に垂直な直線回りに所定の角度だけ回転されている位置に配置されていることを特徴とするレーザ出力測定装置。複数のレーザ発振器により発振されたレーザ光がレンズに入射されることを特徴とする請求項1記載のレーザ出力測定装置。レンズにより集光されたレーザ光の光軸回りに光分離器を所定の角度だけ回転させる第1の角度調整機構と、上記レーザ光の光軸及び上記レーザ光の入射面に垂直な直線回りに上記光分離器を所定の角度だけ回転させる第2の角度調整機構とを設けたことを特徴とする請求項1記載のレーザ出力測定装置。光分離器及び光検出器が一体に構成されており、第1及び第2の角度調整機構によって上記光分離器が回転する際、上記光分離器と一体となって上記光検出器が回転することを特徴とする請求項3記載のレーザ出力測定装置。レンズに入射されるレーザ光は略直線偏光であることを特徴とする請求項1記載のレーザ出力測定装置。光分離器と光検出器の間に配置され、上記光分離器により反射されたレーザ光を拡散し、上記レーザ光の拡散光を上記光検出器に入射させる拡散板を設けたことを特徴とする請求項1記載のレーザ出力測定装置。従来のレーザ出力測定装置は以上のように構成されているので、光分離器102の反射面に施されている部分反射コーティングの誘電体膜に劣化が生じて、反射率が僅かに変動するだけで、反射されたレーザ光の大きな出力変化が発生する。このため、レーザ光の強度の正確な測定が困難である課題があった。また、低い反射率での誘電体膜は制御が難しく、大きなばらつきを発生させるとともに、成膜コストがかかるため、レーザ出力測定装置が高価なものになる課題があった。さらに、集光位置における出力を測定したいとき、光分離器の前段に集光用のレンズを配置すると、集光されたレーザ光が光分離器に入射する入射角度が入射位置によって異なるために、入射位置に応じてレーザ光の反射率が変動する。このため、集光用のレンズの劣化による出力変動などを含めて、集光位置における出力の観測を行うことは困難である課題があった。そこで、入射角度による反射率の変動が大きい誘電体多層膜の代わりに、金属膜コーティングを光分離器102の反射面に施す方法が考えられるが、この場合も、成膜コストがかかるため、レーザ出力測定装置が高価なものになる課題があった。この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、高価な光分離器を用いることなく、集光されたレーザ光の強度を正確に測定することができるレーザ出力測定装置を得ることを目的とする。この発明に係るレーザ出力測定装置は、入射されるレーザ光を集光するレンズと、そのレンズにより集光されたレーザ光の偏光方向と上記レーザ光の入射角度に依存しているフレネル反射率にしたがって上記レーザ光の一部を反射する光分離器と、その光分離器により反射されたレーザ光の強度を測定する光検出器とを備え、上記光分離器が、上記レンズにより集光されたレーザ光の光軸回りに所定の角度だけ回転され、かつ、上記レーザ光の光軸及び上記レーザ光の入射面に垂直な直線回りに所定の角度だけ回転されている位置に配置されているものである。この発明によれば、入射されるレーザ光を集光するレンズと、そのレンズにより集光されたレーザ光の偏光方向と上記レーザ光の入射角度に依存しているフレネル反射率にしたがって上記レーザ光の一部を反射する光分離器と、その光分離器により反射されたレーザ光の強度を測定する光検出器とを備え、上記光分離器が、上記レンズにより集光されたレーザ光の光軸回りに所定の角度だけ回転され、かつ、上記レーザ光の光軸及び上記レーザ光の入射面に垂直な直線回りに所定の角度だけ回転されている位置に配置されているように構成したので、高価な光分離器を用いることなく、集光されたレーザ光の強度を正確に測定することができる効果がある。実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1によるレーザ出力測定装置を示す側面図である。図1において、レーザ発振器1はレーザ光を発振する発振器である。ただし、レーザ発振器1から発振されて光分離器3に入射されるレーザ光は、P波とS波が時間的に変動することなく一定の割合で入射される必要があるため、この実施の形態1では、レーザ発振器1により発振されるレーザ光は、略直線偏光のレーザ光であるものとする。なお、レーザ光は完全な無偏光光でない限り、光分離器3にはP波とS波が一定比率で入射されるため、本発明に適用可能である。レンズ2はレーザ発振器1により発振されたレーザ光を集光する光学部品である。光分離器3はレンズ2により集光されたレーザ光の偏光方向と当該レーザ光の入射角度に依存しているフレネル反射率にしたがって、そのレーザ光の一部を反射する光学部品である。この光分離器3の反射面には、部分反射コーティングが施されていない。その代わりに、光分離器3は、レンズ2により集光されたレーザ光の光軸回り矢印A方向に所定の角度θ1だけ回転され、かつ、そのレーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面光分離器3の反射面に垂直な直線回り矢印B方向に所定の角度θ2だけ回転されている位置に配置される。拡散板4は光分離器3により反射されたレーザ光の進路上に配置されており、そのレーザ光を拡散して、そのレーザ光の拡散光を光検出器5に入射させる光学部品である。光検出器5は拡散板4の後段に配置されており、拡散板4により拡散されたレーザ光の強度を測定する検出器である。なお、光分離器3、拡散板4及び光検出器5は一体に構成されており、後述する角度調整機構7,8によって光分離器3が回転する際、光分離器3と一体となって拡散板4及び光検出器5が回転する。第1の角度調整機構である角度調整機構7はレンズ2により集光されたレーザ光の光軸回り矢印A方向に光分離器3を所定の角度θ1だけ回転させるアクチュエーターである。第2の角度調整機構である角度調整機構8はレンズ2により集光されたレーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面光分離器3の反射面に垂直な直線回り矢印B方向に所定の角度θ2だけ回転させるアクチュエーターである。次に動作について説明する。レンズ2は、レーザ発振器1がレーザ光を発振すると、そのレーザ光を集光する。光分離器3は、レンズ2により集光されたレーザ光の一部を拡散板4側に反射し、その他のレーザ光を透過させる。ここで、光分離器3によるレーザ光の反射は、そのレーザ光の偏光方向と、そのレーザ光の入射角度に依存しているフレネル反射率に基づいて行われる。このフレネル反射率は、角度調整機構7,8が光分離器3を回転することで調整される。以下、角度調整機構7,8による光分離器3の反射率の調整について説明する。図2は角度調整機構7によるレーザ光の光軸回りの回転を示す側面図であり、図3は角度調整機構7によるレーザ光の光軸回りの回転を示す斜視図である。また、図3は角度調整機構7によるレーザ光の垂直偏波P波と平行偏波S波の比率調整を示す説明図である。角度調整機構7は、レンズ2により集光されたレーザ光の光軸回り矢印A方向に光分離器3を所定の角度θ1だけ回転0°から90°の範囲で回転させることで、光分離器3のフレネル反射率を調整する。ここで、図4に示すように、θ1=0°の場合、光分離器3に入射されるレーザ光がp偏光成分のみであるとする。このとき、角度調整機構7が光分離器3を矢印A方向に回転させると、s偏光成分が生じ、p偏光成分が減少する。その後、θ1=90°になると、図4に示すように、p偏光成分がなくなり、s偏光成分のみとなる。したがって、角度調整機構7が光分離器3を矢印A方向に回転させることで、レーザ光の垂直偏波P波と平行偏波S波の比率を調整することができる。図5は角度調整機構8によるレーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線回りの回転を示す上面図であり、図6は角度調整機構8によるレーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線回りの回転を示す斜視図である。角度調整機構8は、レンズ2により集光されたレーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面光分離器3の反射面に垂直な直線9の回り矢印B方向に所定の角度θ2だけ回転0°から90°の範囲で回転させることで、光分離器3のp偏光成分の反射率とs偏光成分の反射率を調整する。即ち、角度調整機構8によって光分離器3の角度θ2が調整されることで、光分離器3の反射面に入射されるレーザ光の入射角度が調整される。p偏光成分の反射率とs偏光成分の反射率は、光分離器3に対するレーザ光の入射角度によって決まるため、角度調整機構8が光分離器3を直線9の回り矢印B方向に回転させることで、p偏光成分の反射率とs偏光成分の反射率を調整することができる。ここで、光分離器3の反射面には、部分反射コーティングが施されていないため、反射面でフレネル反射が生じる。光分離器3では、入射されたレーザ光の垂直偏波P波及び平行偏波S波のそれぞれについて、反射面の材料の屈折率に依存している反射率RP,RSを有している。光分離器3の反射面の材料の屈折率をnとし、光分離器3に対するレーザ光の入射角度をθ0とすると、空気と光分離器3の境界における光の反射率RP,RSは下記の式1,2で表される。P波の反射率RPS波の反射率RS式1,2より、光分離器3での反射率RP,RSは、反射面の材料の屈折率nと、光分離器3に対するレーザ光の入射角度θ0で決まることが分かる。そして、光分離器3の全体の反射率は、入射されたレーザ光の垂直偏波P波と平行偏波S波の比率に応じて決まる。光分離器3の全体の反射率は、反射面での反射と、光分離器3の材料内を通過したレーザ光の片側端面での反射光とを考慮して、下記の式3で表される。光分離器3の全体の反射率=P波成分の割合×P波の反射率RPS波成分の割合×S波の反射率RSP波成分の割合×P波の透過率TP×P波の反射率RPS波成分の割合×S波の透過率TS×S波の反射率RS3式3では、第一項と第二項が、反射面でP波とS波が反射した光を表し、第三項と第四項が、光分離器3の内部を通過して、片側の端面で反射した光を表している。また、P波の透過率TPは、P波の反射率RPに対して、TP=1-RPの関係を有するものであり、S波についても同様に、TS=1-RSの関係を有するものである。図7はレンズ2により集光されたレーザ光が光分離器3に入射される際、入射位置によって入射角度が変わる旨を示す説明図である。レンズ2により集光されたレーザ光は、図7に示すように、光分離器3に入射される際、入射位置によって入射角度が変化する。例えば、光分離器3の中心位置Oの光線ベクトルVOと、点Pに入射されるレーザ光の光線ベクトルVPとを比較すると、光分離器3に対する入射角度が入射位置によって異なることが分かる。このように、光分離器3に対する入射角度が入射位置によって異なることは、レーザ光の反射率が、光分離器3の位置によって異なるという問題を生み、安定なレーザ出力測定の妨げとなる。光分離器3の中心位置Oにおけるレーザ光は、光軸6z軸に沿った光線ベクトルVOを有するが、光分離器3の点Pにおけるレーザ光は、光軸6からΔθだけずれた角度の光線ベクトルVPを有する。ここでは、点Pに入射されるレーザ光の偏光ベクトルをε、光分離器3の法線ベクトルをNとする。ただし、光線ベクトルVO,VP及び偏光ベクトルεは、直線9y軸の方向に成分を持たないものとする。図8に示すように、光線ベクトルVPと法線ベクトルNのなす角をθ3とすると、この角度θ3は、光線ベクトルVPと法線ベクトルNの内積又は外積を計算することで求められる。また、光分離器3に対するレーザ光の入射角度θ0と、光線ベクトルVPと法線ベクトルNのなす角θ3とは、下記の関係があるため、レーザ光の入射角度θ0が得られる。θ0=θ3-180°また、光線ベクトルVPと法線ベクトルNの外積VP×Nは、入射面に対して垂直な方向であるため、光分離器3に入射されるレーザ光のS偏向方向に相当する。ここでは、VP×Nの単位ベクトルをes入射されるレーザ光のS偏向方向の単位ベクトルとする。このとき、P偏向方向は、S偏向方向と入射方向に対して垂直になるため、光線ベクトルVPとS偏光方向の単位ベクトルesの外積VP×esにより表される。また、入射されるレーザ光のP偏向方向の単位ベクトルをep=VP×esとすると、入射されるレーザ光のP波成分とS波成分の割合は、偏向ベクトルεをP偏向方向の単位ベクトルep方向とP偏向方向の単位ベクトルes方向に分解することで求めることができる。図9は光分離器3に入射されるレーザ光の光軸6からのずれ角Δθと反射率の関係を示す説明図である。図9には、Δθ=-10.4°~10.4°の計算結果を示している。反射率は、各光軸からのずれΔθに対して、式3から計算される。ここで、レーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線9の回りの回転角度θ2が45°、光分離器3の光軸6回りの回転角度θ1が0°の場合、入射位置に応じた反射率は0~4.5であり、大きく異なっている。角度調整機構7によって光分離器3の光軸6回りの回転角度θ1を20°に調整すると、入射位置に応じた反射率は2.4~5.9になる。さらに、角度調整機構8によってレーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線9の回りの回転角度θ2を53°に調整すると、入射位置に応じた反射率は3.1~4.7になる。以上のように、光分離器3の光軸6回りの角度θ1と、レーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線9回りの角度θ2を調整することにより、光分離器3の反射率を、レーザ光の光軸6からのずれΔθに対して平均化することができる。拡散板4は、上記のようにして、角度θ1,θ2が調整されている光分離器3レーザ光の光軸6からのずれΔθに対して、反射率が平均化されている光分離器により反射されるレーザ光の進路上に配置されており、光分離器3により反射されたレーザ光を均一に拡散して、そのレーザ光の拡散光を光検出器5に入射させる。光検出器5は、拡散板4の後段に配置されており、拡散板4により拡散されたレーザ光の強度を測定する。この実施の形態1では、拡散板4の後段に光検出器5を配置しているので、光分離器3の角度調整時に反射光の光路が変化する場合や、レーザ光の空間的エネルギー分布が不均一な場合であっても、光検出器5の位置を変えることなく、正確に一定の割合の光を光検出器5に入射させることができる。よって、レーザ光の強度を正確に測定することが可能になる。ここで、レーザ光は拡散板3で拡散されているため、光検出器4の開口領域には制限がないが、正確にパワーを測定するには、光検出器4の開口領域が拡散されたレーザ光の拡散領域より小さいことが望ましい。これにより、レーザ光の光路の僅かな変動が起きても、その影響を受けずに、レーザ光の強度を正確に測定することが可能になる。この実施の形態1では、光分離器3、拡散板4及び光検出器5を一体に構成しているが、これは、光分離器3の角度調整に伴って、反射光の光路が変化した場合に、拡散板4及び光検出器5に反射光が入射されなくなることを防止するためである。即ち、光分離器3、拡散板4及び光検出器5が一体となって動くことにより、光分離器3の角度調整に伴う光路ずれが起きても、反射光を拡散板4及び光検出器5に入射させることができる。ここで、光分離器3が光軸6回りにθ1の角度だけ回転するとき、反射光も同様に光軸6回りにθ1の角度だけ回転するが、レーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線9回りに角度θ2だけ回転するとき、反射光は、直線9回りに2×θ2の角度で回転する。このため、レーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線9回りの回転に対しては、反射光が拡散板4から漏れ出さない範囲で、角度θ2を調整する必要がある。ただし、実用上、角度θ2を調整する際、拡散板4から漏れ出す範囲以上に変更することは考えられないことから、これは大きな問題とはならない。また、レーザ光の一部を分離して強度を測定する場合、本来出力されるレーザ光の出力を出来る限り低減させないため、光分離器3の反射率は小さい方が望ましい。一方で、反射率が小さ過ぎると、光検出器5に十分なレーザ光が入射されず、迷光等の雑音によって測定誤差が発生する。したがって、光分離器3により分離されるレーザ光の割合は、光検出器5で測定誤差が発生しない程度である。また、光分離器3の反射率が出来るだけ小さいことが望ましく、装置毎に調整できることが望ましいが、角度調整機構7,8を用いて、光分離器3の回転角度を変更することによって、装置毎に、光分離器3により分離されるレーザ光の割合を容易に調整することが可能となる。以上で明らかなように、この実施の形態1によれば、光分離器3が、レンズ2により集光されたレーザ光の光軸6回りに所定の角度だけ回転され、かつ、レーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線9回りに所定の角度だけ回転されている位置に配置されているように構成したので、高価な光分離器を用いることなく、レーザ光の強度を正確に測定することができる効果を奏する。即ち、角度調整機構7,8によって、光分離器3の光軸6回りの角度θ1と、レーザ光の光軸6及びレーザ光の入射面に垂直な直線9回りの角度θ2を調整することで、光分離器3の反射面に入射されるレーザ光の偏光方向P波とS波の比率及びP波とS波の反射率自体を調整することが可能になる。これにより、入射位置によって入射角度が異なる集光されたレーザ光であっても、入射位置に応じた反射率の違いを回転機構により平均化することが可能になる。また、従来例のような部分反射コーティングに伴うレーザ出力測定の不安定性という問題を回避でき、正確なレーザ出力測定を低コストで実現することができる。なお、この実施の形態1では、角度調整機構7,8が、光分離器3の角度θ1,θ2を調整するものを示したが、レーザ光の光軸6からのずれΔθに対して、光分離器3の反射率が平均化されている位置が事前に分かっていれば、その位置に光分離器3を固定すればよいため、その場合には、光分離器3の角度θ1,θ2を調整する角度調整機構7,8は不要となる。角度調整機構7,8の搭載が不要であれば、部品点数が削減されるため、低コスト化が図れる。また、稼動部分を低減することができるので、レーザ出力測定装置の信頼性を高めることができる。実施の形態2.上記実施の形態1では、1個のレーザ発振器1から発振されるレーザ光がレンズ2に入射されるものを示したが、複数個のレーザ発振器から発振されるレーザ光がレンズ2に入射されるようにしてもよい。図10はこの発明の実施の形態2によるレーザ出力測定装置を示す側面図であり、図において、図1と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。図10のレーザ出力測定装置には、NNは2以上の整数個のレーザ発振器101,102,,10Nが搭載されている。図11はレーザ発振器10Nから発振されるレーザ光の光線ベクトルVNが、光軸6に対してΔθの角度ずれをもって入射される様子を示す側面図である。この実施の形態2では、N個のレーザ発振器101~10Nから発振されるレーザ光がレンズ2に入射される。このとき、例えば、レーザ発振器10Nから発振されるレーザ光の光線ベクトルVNは、図11に示すように、光軸6に対してΔθの角度ずれをもって入射される。光分離器3の反射率は、上記実施の形態1で説明したように、光軸6からの角度Δθに基づいて、上記の式1~3により計算される。この実施の形態2でも、上記実施の形態1と同様に、式3の計算結果を表す図9に基づいて、角度調整機構7,8が光分離器3の角度θ1,角度θ2を調整することで、N個のレーザ発振器101~10Nから発振されたレーザ光の光分離器3における反射率を平均化することができる。よって、N個のレーザ発振器101~10Nが実装されている場合でも、高価な光分離器を用いることなく、レーザ光の強度を正確に測定することができる効果を奏する。なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。"