被加工物を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記被加工物を撮像し画像を生成する複数の画素からなる撮像部を備えた撮像手段と、前記撮像手段による撮像領域を照明する照明手段と、前記撮像手段によって撮像された撮像画像に基づき加工すべき領域を加工する加工手段と、を少なくとも含む加工装置であって、前記撮像手段は、撮像部で測定したノイズ画像を記憶するノイズ画像記憶部と、前記撮像部で撮像した画像から前記ノイズ画像を差し引き修正画像を算出する修正画像算出部と、前記修正画像を前記撮像画像として記録する撮像画像記憶部と、を含み、所定のタイミングで前記ノイズ画像を測定し前記ノイズ画像記憶部に記憶すること、を特徴とする加工装置。前記所定のタイミングとは、前記加工装置での加工動作中もしくは加工準備中の複数の時点であること、を特徴とする請求項1記載の加工装置。前記ノイズ画像は、暗闇状態で取得した画像であること、を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の加工装置。前記ノイズ画像は、前記撮像部の焦点を合わせないで撮影し取得した画像であること、を特徴とする、請求項1から請求項3のいずれかに記載の加工装置。前記ノイズ画像は、模様のない対象物を撮影し取得した画像であること、を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の加工装置。上述のように、撮像手段周辺の雰囲気の温度が一定であれば、固定パターンノイズは一定になるので、撮像画像から固定パターンノイズを除去できる。しかし、切削工程においては、高速回転する切削ブレードに切削水を供給しながら切削する必要があり、撮像手段周辺の雰囲気の温度が大きく変動していた。撮像手段周辺の雰囲気の温度が変動すると、撮像画像における固定パターンノイズも変動する。この場合、単に撮像画像の輝度値から固定の輝度値を差し引くだけでは、変動する固定パターンノイズを適切に除去できず、コントラストの低い画像などを適切に認識できなくなる。そうすると、例えば、加工位置を自動で検出するオートアライメントや、切削溝の状態を確認して補正するカーフチェックなどの工程において、画像を適切に認識できないという問題が生じてしまう。本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、撮像される画像から固定パターンノイズを適切に除去可能な加工装置を提供することを目的とする。本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記被加工物を撮像し画像を生成する複数の画素からなる撮像部を備えた撮像手段と、前記撮像手段による撮像領域を照明する照明手段と、前記撮像手段によって撮像された撮像画像に基づき加工すべき領域を加工する加工手段と、を少なくとも含む加工装置であって、前記撮像手段は、撮像部で測定したノイズ画像を記憶するノイズ画像記憶部と、前記撮像部で撮像した画像から前記ノイズ画像を差し引き修正画像を算出する修正画像算出部と、前記修正画像を前記撮像画像として記録する撮像画像記憶部と、を含み、所定のタイミングで前記ノイズ画像を測定し前記ノイズ画像記憶部に記憶すること、を特徴とする。この構成によれば、ノイズ画像を所定のタイミングで測定できるため、例えば、加工動作中や加工準備中などの任意の時点においてノイズ画像を取得できる。これにより、撮像手段周辺の雰囲気の温度変化に対応するノイズ画像を取得することができ、撮像される画像から固定パターンノイズを適切に除去できる。本発明の加工装置において、前記所定のタイミングとは、前記加工装置での加工動作中もしくは加工準備中の複数の時点であることが好ましい。この構成によれば、撮像手段周辺の雰囲気の温度変化が大きい加工動作中又は加工準備中の複数の時点でノイズ画像を測定するため、撮像手段周辺の雰囲気の温度変化に対応する適切なノイズ画像を取得できる。これにより、撮像される画像から固定パターンノイズを適切に除去できる。本発明の加工装置において、前記ノイズ画像は、暗闇状態で取得した画像であることが好ましい。又は、前記ノイズ画像は、前記撮像部の焦点を合わせないで撮影し取得した画像であることが好ましい。又は、前記ノイズ画像は、模様のない対象物を撮影し取得した画像であることが好ましい。これらの構成によれば、固定パターンノイズのみを示す適切なノイズ画像を取得できるので、このノイズ画像を用いて撮像される画像から固定パターンノイズを適切に除去できる。本発明によれば、撮像される画像から固定パターンノイズを適切に除去可能な加工装置を提供できる。以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下においては、切削ブレードによって被加工物を切削する切削装置について説明するが、本発明の加工装置は切削装置に限定されるものではない。本発明の加工装置は、レーザ発振器からのレーザ光を集光して被加工物を加工するレーザ加工装置であっても良い。実施の形態1図1は、本実施の形態に係る切削装置の模式図である。図2は、撮像ユニットの構成例を示す模式図である。切削装置加工装置1は、撮像ユニット8を含む撮像手段により撮像された画像撮像画像に基づいて、チャックテーブル保持手段51上のウェーハ被加工物W1に対して、切削ユニット加工手段7を位置合わせするように構成されている。切削装置1の加工対象となるウェーハW1は、略円板状の外形形状を有している。ウェーハW1の裏面側は、ダイシングテープを介して円環状のフレームに貼着されている。ウェーハW1の表面は、格子状に配列されたストリート加工予定ラインによって複数の領域に区画されている。ウェーハW1において、ストリートで区画された各領域にはデバイスデバイスパターンが形成されている。ウェーハW1は、各ストリートに沿って切削され、個々のデバイスに分割される。なお、切削装置1の被加工物は半導体ウェーハに限定されるものではない。切削装置1は、上面形状が略平坦な基台2を有している。基台2は、略直方体状の基部21と、その一部の角部において前方に突設された突設部22とを備える。突設部22には内部空間が形成されており、この内部空間には、カセットエレベータ3が上下動可能に設けられている。カセットエレベータ3の上面にはウェーハW1を収納するカセット31が載置されている。カセット31は、高さ方向Z軸方向において、ウェーハW1をそれぞれ1枚ずつ収納する複数の収納部32を備えている。基部21の上面には、カセットエレベータ3と隣接する位置に仮置き機構4が設けられている。仮置き機構4は、引出部41と一対のレール42とを備えている。引出部41は第1方向Y軸方向に移動可能に構成されており、カセットエレベータ3の上下動により引出部41と同じ高さに位置付けられたウェーハW1をレール42側に引き出す。レール42は略L字型の断面形状を有しており、第1方向に垂直な第2方向X軸方向で相互に離間接近可能に構成されている。ウェーハW1は、引出部41によってレール42上の所定位置まで引き出され、一対のレール42の相互の接近によって第2方向において挟み込まれる。これにより、ウェーハW1は、X軸方向及びY軸方向において位置合わせされる。基部21の仮置き機構4に隣接する位置には、X軸方向に延在する開口が形成されている。開口は、テーブル移動基台5及び防水カバー55により覆われている。防水カバー55の下方には、テーブル移動基台5をX軸方向に移動可能なX軸移動機構不図示が設けられている。X軸移動機構は、X軸方向に平行な一対のガイドレール、ガイドレール間のX軸ボールねじ、及びX軸ボールねじを回転駆動するX軸パルスモータいずれも不図示を備える。テーブル移動基台5は、ナット部不図示を介してX軸ボールネジと連結され、X軸ボールネジの回転によりガイドレールに沿って移動される。テーブル移動基台5上には、チャックテーブル51が設けられている。チャックテーブル51は小径の円板状に形成されており、その上面中央部分にはポーラスセラミック材による吸着面52が設けられている。吸着面52においてウェーハW1を裏面側から吸着することで、ウェーハW1はチャックテーブル51上の所定位置に保持される。チャックテーブル51は、回転機構不図示によりテーブル移動基台5上でZ軸周りに回転可能に支持されている。チャックテーブル51には、仮置き機構4でX軸方向及びY軸方向に位置合わせされたウェーハW1が不図示の搬送機構によって搬送される。Y軸方向においてテーブル移動基台5と隣接する位置には、テーブル基台6が配置されている。テーブル基台6には、Y軸移動機構61が設けられている。Y軸移動機構61は、Y軸方向に平行な一対のガイドレール62、ガイドレール62間のY軸ボールねじ不図示、及びY軸ボールねじを回転駆動するY軸パルスモータ63を備える。テーブル基台6の上面には、Y軸テーブル64が支持されている。Y軸テーブル64は、テーブル基台6に接する基部64aと、基部64aに対して立設された壁部64bとを備えている。Y軸テーブル64は、基部64aに設けたナット部不図示を介してY軸ボールネジと連結され、Y軸ボールネジの回転によりガイドレール62に沿って移動される。Y軸テーブル64の壁部64bには、Z軸移動機構65が設けられている。Z軸移動機構65は、壁部64bの前面に配置されZ軸方向に平行な一対のガイドレール66と、ガイドレール66間のZ軸ボールねじ67と、Z軸ボールねじ67と連結されるZ軸パルスモータ68とを備える。壁部64bの前面には、Z軸テーブル69が支持されている。Z軸テーブル69は、壁部64bに接する基部69aと、基部69aの端部において前方Y軸方向に突設された壁部69bとを備えている。Z軸テーブル69は、基部69aに設けたナット部を介してZ軸ボールネジ67と連結され、Z軸ボールネジ67の回転によりガイドレール66に沿って移動される。Z軸テーブル69の壁部69bには、チャックテーブル51の上方の位置において切削ユニット7が支持されている。切削ユニット7は、円筒状のスピンドル71と、スピンドル71の一端部に着脱可能に装着される切削ブレード73とを備える。スピンドル71の他端部側にはモータ72が連結されており、スピンドル71に装着された切削ブレード73を回転できるようになっている。この切削ブレード73を回転させてウェーハW1に切り込ませることで、ウェーハW1は切削される。切削ユニット7には、切削ブレード73に隣接して撮像ユニット8が設けられている。図2に示すように、撮像ユニット8は、撮像領域を照明する照明装置照明手段81と、撮像領域を所定倍率に拡大して投影する顕微鏡82と、拡大された撮像領域を撮像するカメラ撮像部83とを備える。図2では、説明の便宜上、照明装置81は断面構造を示している。照明装置81は、筒状のハウジング81cの下部開口に円環状の照明支持部81dを設けて構成されている。照明支持部81dには、中央の開口部O1を囲むように複数のLED光源81aが支持されている。LED光源81aの下方には、照明支持部81dの底面を構成する透明又は半透明なカバー81bが設けられている。LED光源81aからの光は、カバー81bを透過して撮像領域に照射される。撮像領域において反射された光は、開口部O1を介して顕微鏡82の対物レンズ82aに入射される。また、顕微鏡82によって所定倍率で結像された撮像領域の像は、カメラ83に投影される。カメラ83は、CCDやCMOSなどの撮像素子不図示を備えている。撮像素子は、複数の画素で構成されており、各画素の受ける光量に応じた電気信号が得られるようになっている。この撮像ユニット8において、例えば、画素数が640×480の撮像素子を適用し、拡大の倍率を10倍に設定して各画素が1μm×1μmの領域を撮像するように構成した場合、640μm×480μmの領域が撮像される。カメラ83は、切削装置1の各部を統括制御する制御部内に設けられた画像処理部9に接続されており、カメラ83で撮像された撮像領域の画像は画像処理部9に送られる。画像処理部9は、撮像された画像を記憶するメモリ記憶部91を備えている。メモリ91はノイズ画像を記憶する第1記憶部ノイズ画像記憶部92と撮像画像を記憶する第2記憶部撮像画像記憶部93とを含む。また、画像処理部9は、撮像された画像を第1記憶部92に記憶されたノイズ画像に基づいて補正修正し、第2記憶部93に記憶させる演算部修正画像算出部94を備える。上述の撮像ユニット8と画像処理部9とによって切削装置1の撮像手段が構成されている。切削装置1の制御部は、この撮像手段で撮像された撮像画像に基づいて、X軸移動機構及びY軸移動機構61を制御して、切削ユニット7の切削ブレード73をウェーハW1のストリートに位置合わせする。切削ブレード73と位置合わせされたウェーハW1は、切削水を噴き付けられながら、高速回転した切削ブレード73によって切り込まれる。切削されたウェーハW1は、搬送機構によってピックアップされて、基部21の上面に設けられた洗浄乾燥機構10に移動される。洗浄乾燥機構10は、基台2に形成された円筒状の空間においてウェーハW1を保持するスピンナテーブル101を備えている。また、洗浄乾燥機構10は、洗浄液噴射機構及び気体噴射機構いずれも不図示を備えている。スピンナテーブル101の下方には、回転機構不図示が設けられている。回転機構は、スピンナテーブル101に対して回転力を付与するスピンナテーブルモータ不図示を有しており、スピンナテーブル101を所定の速度で回転できるようになっている。スピンナテーブル101にウェーハW1が保持されると、円筒状の空間内においてスピンナテーブル101は回転される。この状態において、洗浄液噴射機構から洗浄液が噴射されることでウェーハW1は洗浄される。洗浄後において、ウェーハW1は、気体噴射機構から噴射されるエアによって乾燥される。次に、この切削装置1を用いる切削工程について説明する。まず、ウェーハW1のストリートの位置情報を切削装置1に登録する工程ティーチ作業を行う。ティーチ作業においては、ウェーハW1に形成された特徴的なパターン形状キーパターンをキーパターン情報として切削装置1の制御部に登録する。併せて、キーパターンからストリートまでの距離情報を切削装置1の制御部に登録する。ティーチ作業により、キーパターンに対するストリートの位置関係が決定される。つまり、撮像手段によってウェーハW1のキーパターンを探し出すことで、切削装置1は、加工対象におけるストリートの位置を認識できるようになる。上述のティーチ作業が完了した状態において、ウェーハW1の切削工程が行われる。ウェーハW1の切削工程においては、まず、加工位置を自動で検出する工程オートアライメント作業が行われる。オートアライメント作業においては、チャックテーブル51に保持されるウェーハW1の表面を撮像ユニット8により撮像し、登録されているキーパターン情報に適合するキーパターンを撮像領域から探し出すパターンマッチング。具体的には、切削装置1の制御部は、ティーチ作業により登録されるキーパターン情報と類似度が高い領域を撮像画像中から抽出する。切削装置1の制御部は、検出された領域と、登録される距離情報とに基づいてストリートの位置座標を算出する。そして、算出された座標に切削ブレード73が位置付けられるように、切削ブレード73とチャックテーブル51との相対位置が調整される。このようなオートアライメント作業の後、切削ブレード73がストリートに沿って移動され、ウェーハW1は切削される。ウェーハW1の切削中においては、切削溝の状態を確認して切削ブレード73の位置を補正する工程カーフチェック作業が行われる。カーフチェック作業において、切削装置1は、撮像ユニット8により切削溝が形成されたウェーハW1の表面を撮像し、この撮像画像を用いてストリートに沿って切削溝が形成されているか否かを判定する。設定されたストリートの位置と実際の切削溝の位置とにずれが生じている場合、切削装置1の制御部は、適切な位置において切削されるように切削ブレード73の位置を補正して切削を行うようにする。上述のオートアライメント作業やカーフチェック作業において、撮像される画像に固定パターンノイズが含まれると、パターンマッチング精度や補正精度が低下してウェーハW1を適切に切削するのが困難になる。そこで、本実施の形態に係る切削装置1においては、撮像された画像から固定パターンノイズを差し引いて、補正された撮像画像を生成する。具体的には、撮像された画像における各画素の輝度値から、固定パターンノイズに相当するノイズ画像の各画素の輝度値を差し引いて補正された撮像画像を生成する。そして、補正された撮像画像を用いてオートアライメント作業やカーフチェック作業を行う。図3は、切削工程における撮像ユニット8の状態を示す模式図である。図3Aに示すように、切削装置1においては、照明装置81のLED光源81aから放射される光L1によってウェーハW1の撮像領域が照明されている。そして、撮像領域において反射された光L1は、顕微鏡82の対物レンズ82aを通じてカメラ83に入射される。カメラ83に入射された光は、撮像素子の各画素において光量に応じた強度の電気信号に変換される。このようにして、所定の輝度値を有する画素の集合である撮像画像が得られる。オートアライメント作業やカーフチェック作業に用いられる撮像画像を取得する前の所定のタイミングにおいて、切削装置1は、固定ノイズパターンに対応するノイズ画像を取得する。具体的には、図3Bに示すように、ノイズ画像を撮像するタイミングにおいて照明装置81のLED光源81aを消灯する。つまり、ウェーハW1の撮像領域が照明されないようにする。このようにすることで、カメラ83の撮像素子に光が入射しない暗闇状態を実現できる。この暗闇状態において、撮像ユニット8の撮像素子には、ウェーハW1に形成されるデバイスパターンは投影されない。このため、撮像素子の画素ごとのバラつきに起因する固定パターンノイズのみを示すノイズ画像を取得できる。このように取得されたノイズ画像を用いることで、撮像素子に固有の固定パターンノイズを除去できるようになる。取得されたノイズ画像は、画像処理部9に送られて、メモリ91の第1記憶部92に記憶される。なお、ノイズ画像を撮像するための暗闇状態は、照明装置81が消灯された状態に限られるものではない。ノイズ画像の撮像後においては、図3Aに示すようにして得られた撮像画像が画像処理部9に送られて、演算部94において補正処理修正処理される。具体的には、演算部94は、撮像画像の各画素の輝度値から、ノイズ画像の対応する各画素の輝度値を減算する。このように生成された補正後の撮像画像は、第2記憶部93に記憶されてオートアライメント作業やカーフチェック作業などに用いられる。本実施の形態に係るウェーハW1の切削工程において、切削ブレード73は高速に回転されており、切削ブレード73には切削水が供給されている。このため、撮像ユニット8の周辺の雰囲気の温度は変動しやすくなっている。撮像ユニット8の周辺の雰囲気の温度が変動すると、撮像画像における固定パターンノイズも変動する。固定パターンノイズが変動し、あらかじめ取得されたノイズ画像と実際の固定パターンノイズとが異なってくると、撮像画像から固定パターンノイズを適切に除去できない。そこで、本実施の形態に係る切削装置1は、固定パターンノイズに対応するノイズ画像を所定のタイミングで複数回取得する。具体的には、切削装置1での切削動作中加工動作中又は切削準備中加工準備中の複数の時点において、ノイズ画像を取得する。これにより、撮像ユニット8の周辺の雰囲気の温度変化に対応する適切なノイズ画像を取得できるため、撮像される画像から固定パターンノイズを適切に除去できる。具体的なノイズ画像の取得方法は、図3Bに示す場合と同様である。固定パターンノイズの除去処理を適切に行うため、ノイズ画像としては、直近のタイミングにおいて撮像されて第1記憶部92に記憶されたものを用いるのが好ましい。図4は、撮像画像の補正処理修正処理について示す説明図である。図4Aは、補正前の撮像画像における各画素の輝度を模式的に示し、図4Bは、暗闇状態で撮像されたノイズ画像における各画素の輝度を模式的に示し、図4Cは、補正後の撮像画像における各画素の輝度を模式的に示している。各図の右側には、左側に示す模式図の領域Aにおける輝度値を併せて示す。図4の模式図においては、便宜的に画素数が16×12の撮像領域を示しているが、画素数はこれに限られるものではない。また、各画素の輝度値についても、図4において示す値に限定されるものではない。図4Aに示す補正処理前の撮像画像は、図3Aに示すように、撮像素子に光が入射する状態で撮像される。この撮像画像は、主に、輝度値が100の画素P10と輝度値が200の画素P20とで構成される横ストライプ状の画像である。この撮像画像の一部には、固定パターンノイズに起因して、画素P10より明るい画素P11輝度値は150と、画素P20より明るい画素P21輝度値は250とが生じている。これにより、補正前の撮像画像は、横ストライプ形状に縦方向の縞模様が付加されたようになっている。図4Bに示すノイズ画像は、図3Bに示すように、撮像素子に光が入射しない暗闇状態で撮像される。これにより、このノイズ画像には、固定パターンノイズに起因する縦方向の縞模様画素P31のみが写り込む。つまり、このノイズ画像は、図4Aの画素P10及びP20に対応する輝度値が0の画素P30と、図4Aの画素P11及びP21に対応する輝度値が50の画素P31とで構成されている。第1記憶部92には、このノイズ画像の各画素の輝度値が記憶さており、図4Aのような補正前の撮像画像を補正するために用いられる。図4Bに示すノイズ画像が第1記憶部92に記憶された状態において、図4Aに示す補正前の撮像画像が取得されると、演算部94は、撮像画像の補正処理修正処理を行う。具体的には、図4Aに示す撮像画像の各画素の輝度値から、図4Bに示すノイズ画像の各画素の輝度値を減算する。つまり、図4Aの画素P10の輝度値100から、図4Bの画素P30の輝度値0が減算され、図4Aの画素P11の輝度値150から、図4Bの画素P31の輝度値50が減算される。また、図4Aの画素P20の輝度値200から、図4Bの画素P30の輝度値0が減算され、図4Aの画素P21の輝度値250から、図4Bの画素P31の輝度値50が減算される。その結果、図4Cに示すように、輝度値が100の画素P40と輝度値が200の画素P50とで構成される横ストライプ状の画像が得られる。このようにして固定パターンノイズが除去された補正後の画像は、オートアライメント作業やカーフチェック作業に用いられる撮像画像として第2記憶部93に記憶される。以上のように、本実施の形態に係る切削装置1は、ノイズ画像を所定のタイミングで測定できるため、例えば、切削動作中加工動作中や切削準備中加工準備中などの任意の時点においてノイズ画像を取得できる。これにより、撮像ユニット8を含む撮像手段の周辺の雰囲気の温度変化に対応するノイズ画像を取得することができ、撮像される画像から固定パターンノイズを適切に除去できる。なお、ノイズ画像を取得するタイミングは、固定パターンノイズを適切に除去できるタイミングであれば特に限られない。例えば、所定時間経過後のタイミング毎にノイズ画像を取得しても良いし、所定距離加工後のタイミング毎にノイズ画像を取得しても良い。また、ノイズ画像の取得は、暗闇状態で行わなくとも良い。例えば、ノイズ画像は、カメラ撮像部83の焦点を合わせない状態ピントがずれた状態で撮影することにより取得できる。また、ノイズ画像は、模様のない対象物を撮影することにより取得できる。もちろん、暗闇状態とした上で焦点を合わせないようにするなど、上述したノイズ画像の取得方法を組み合わせても良い。このような方法を用いることで、固定パターンノイズのみを示す適切なノイズ画像を取得できるので、固定パターンノイズを適切に除去できる。実施の形態2本実施の形態では、ノイズ画像を撮像する暗闇状態を、実施の形態1とは異なる態様で実現可能な構成について説明する。図5は、本実施の形態に係る撮像ユニット8の一部を拡大して示す模式図である。図5Aに示すように、本実施の形態に係る撮像ユニット8は、遮蔽部材84bによって対物レンズ82aへの光の入射を制御するシャッター遮蔽手段84を備えている。シャッター84は、対物レンズ82aの下部において遮蔽部材84bをガイドするガイド部材84aを有する。ガイド部材84aは、水平方向に延在する扁平な箱型であり、その内側には遮蔽部材84b挿通用の隙間が形成されている。遮蔽部材84bは、フィルム状の板材により形成され、略L字状に折り曲げられている。遮蔽部材84bの一端側の略半部は、屈曲部分から略水平方向に延在し、ガイド部材84aに挿通されてガイドされている。遮蔽部材84bの他端側の略半部は、屈曲部分から略上方に延在し、シャッター84の開閉を制御する制御部84cに連結されている。ガイド部材84aには、対物レンズ82aとの対向部分を上下方向に貫通する開口部O2が形成されている。また、ガイド部材84a内の遮蔽部材84bには、開口部O3が形成されている。制御部84cは、遮蔽部材84bの他端側を押し下げることで、開口部O2と開口部O3との位置が合う開位置に遮蔽部材84bを移動させる。また、制御部84cは、遮蔽部材84bの他端側を引き上げることで、開口部O2と開口部O3との位置がずれる閉位置に遮蔽部材84bを移動させる。つまり、図5Aに示すように、遮蔽部材84bを開位置に移動させてシャッター84を開いた状態にすれば、ウェーハW1から反射された光L2は対物レンズ82aに入射される。一方、図5Bに示すように、遮蔽部材84bを閉位置に移動させてシャッター84を閉じた状態にすれば、ウェーハW1から反射された光L3は遮蔽部材84bにより遮蔽される。このように、本実施の形態に係る撮像ユニット8は、シャッター84を閉じることにより撮像素子に光が入射しない暗闇状態を実現できる。このため、ノイズ画像を取得する際に照明装置81のLED光源81aを消灯する必要がなくなる。もちろん、照明装置81のLED光源81aを消灯した上でシャッターを閉じるようにしても良い。この場合、より暗い状態を実現できるため、補正処理に適したノイズ画像を取得できる。本実施の形態に係る構成は、実施の形態1に係る構成と適宜組み合わせて実施できる。なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態においては、ウェーハに対して照明光を斜めに照射させ、その反射光で画像を撮像する構成について示しているが、照明装置の構成はこれに限られるものではない。ハーフミラーと光源とを組み合わせ、ウェーハの直上から照明可能にした照明装置を適用しても良い。また、上記実施の形態においては、画像処理部を切削装置の制御部の一部としているが、画像処理部は、撮像ユニットに含まれていても良い。また、メモリ記憶部は、補正前の撮像画像を記憶する記憶部を含んでいても良い。その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。