"貯留部に貯留された過酸化水素に超音波振動を与えて霧化させる霧化部と、前記霧化部の上方に設けられ、前記霧化部で霧化された過酸化水素を加熱してガス化するヒータと、前記ヒータが内側空間に配置され、前記霧化部で霧化されてキャリアガスとともに流れる過酸化水素を上方へ導く金属製の内筒部と、前記内筒部が内側空間に配置されて二重管を構成し、前記貯留部へ向かって下降する前記キャリアガス用のガス流路を、前記内筒部との間に形成する外筒部とを備え、前記ヒータで加熱された前記内筒部に、前記ガス流路を流れるキャリアガスを接触させ、加熱された前記キャリアガスを前記貯留部へ導入するように構成したことを特徴とする過酸化水素ガス生成装置。前記貯留部は、逆円錐台状に窪んだ凹部を備え、前記内筒部は、下端部が筒の長手方向に対して斜めに切断された円筒状部材によって構成されるとともに、前記下端部の頂部を通る前記キャリアガスの流速が前記下端部の他の部分を通る前記キャリアガスの流速よりも高くなるように、前記下端部の頂部が前記凹部の傾斜面に近接する高さに配置されていることを特徴とする請求項1に記載の過酸化水素ガス生成装置。前記内筒部の内壁面と前記ヒータとの間に、霧化された前記過酸化水素の流れ方向を規制するとともに伝熱性を有する金属板製の内側フィンを取り付けたことを特徴とする請求項1又は2に記載の過酸化水素ガス生成装置。前記内筒部の外壁面と前記外筒部の内壁面との間に、前記キャリアガスの流れ方向を規制するとともに伝熱性を有する金属板製の外側フィンを取り付けたことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の過酸化水素ガス生成装置。前記外筒管は、前記内筒管よりも熱伝導率の低い金属製材料によって作製されていることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の過酸化水素ガス生成装置。前記ガス流路に前記キャリアガスを導入するガス導入管の途中に、前記キャリアガスを予熱するための予熱ヒータを設けたことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の過酸化水素ガス生成装置。過酸化水素水を貯留する貯留部、及び前記貯留部に貯留された前記過酸化水素水に超音波振動を与えて、前記過酸化水素水を霧化させる超音波振動子、を含む霧化部と、前記霧化部によって霧化された前記過酸化水素水を加熱して気化させ、供給されるキャリアガスとともに出力する気化部と、前記貯留部に前記過酸化水素水を供給するための第1供給部と、前記貯留部に希釈液を供給するための第2供給部と、前記過酸化水素水が前記第1供給部から前記貯留部へ供給されたときの供給量に基づいて、前記貯留部に貯留された前記過酸化水素水が霧化されてから、前記貯留部に残留する前記過酸化水素水の量が第1の所定量になったか否かを判定する判定部と、前記霧化部を制御して前記貯留部に貯留された前記過酸化水素水を霧化させ、前記判定部が前記貯留部に残留する前記過酸化水素水の量が前記第1の所定量になったと判定すると、前記貯留部に前記希釈液が供給されるよう前記第2供給部を制御する制御部と、を備えることを特徴とする滅菌物質発生装置。請求項7に記載の滅菌物質発生装置であって、前記制御部は、前記第1の所定量よりも多い量の前記希釈液が前記貯留部に供給されるよう前記第2供給部を制御すること、を備えることを特徴とする滅菌物質発生装置。請求項7または請求項8に記載の滅菌物質発生装置であって、前記制御部は、前記貯留部に前記希釈液が供給された後の希釈された過酸化水素水を霧化させるよう前記霧化部を制御すること、を特徴とする滅菌物質発生装置。請求項9に記載の滅菌物質発生装置であって、前記判定部は、前記貯留部に前記希釈液が供給された際の前記希釈された過酸化水素水の量に基づいて、前記貯留部に貯留された前記希釈された過酸化水素水が霧化されてから、前記貯留部に残留する前記希釈された過酸化水素水の量が第2の所定量になったか否かを判定し、前記制御部は、前記判定部が前記貯留部に残留する前記希釈された過酸化水素水の量が前記第2の所定量になったと判定すると、前記貯留部に前記希釈液が供給されるよう前記第2供給部を制御すること、を特徴とする滅菌物質発生装置。請求項10に記載の滅菌物質発生装置であって、前記判定部は、前記過酸化水素水が前記第1供給部より供給されると計時を開始する第1タイマーと、前記希釈液が前記第2供給部より供給されると計時を開始する第2タイマーと、前記第1タイマーが第1の時間を計時すると、前記過酸化水素水が前記第1の所定量になったこと判別し、前記第2タイマーが第2の時間を計時すると、前記希釈された過酸化水素水が前記第2の所定量になったことを判別する判別部と、を含むこと、を特徴とする滅菌物質発生装置。請求項11に記載の滅菌物質発生装置であって、前記第1の時間は、前記供給量及び前記第1の所定量に応じた時間であり、前記第2の時間は、前記貯留部に前記希釈液が供給された際の前記希釈された過酸化水素水の量及び前記第2の所定量に応じた時間であること、を特徴とする滅菌物質発生装置。伝播水を貯留する第1貯留部と、振動板が取り付けられた底面が前記伝播水に浸るように設けられ、液体を貯留する第2貯留部と、前記伝播水を介して前記振動板に超音波振動を与えて前記液体を霧化させ、超音波を発生する面が水平方向から所定の角度となるように前記第1貯留部の底面に設置される超音波振動子と、前記超音波振動子に超音波を発生させるべく前記超音波振動子を駆動する駆動部と、前記駆動部に供給される電源から前記駆動部に供給される電流を測定する測定部と、前記測定部の測定結果に基づいて、前記第2貯留部に前記液体が残留しているか、または前記伝播水が前記振動板を介して前記第2貯留部に浸入しているかを判定する判定部と、を備えることを特徴とする霧化装置。請求項13に記載の霧化装置であって、前記振動板は、前記超音波振動子の前記超音波を発生する面と略平行になるように前記第2貯留部に取り付けられていること、を特徴とする霧化装置。請求項13または請求項14に記載の霧化装置であって、前記測定部の測定結果に基づいて、前記電流の変動の大きさを算出する算出部をさらに備え、前記判定部は、前記算出部で算出される前記電流の変動の大きさに基づいて、前記第2貯留部に前記液体が残留しているか、または前記伝播水が前記振動板を介して前記第2貯留部に浸入しているかを判定すること、を特徴とする霧化装置。請求項15に記載の霧化装置であって、前記判定部は、前記駆動部が前記超音波振動子の駆動を開始してから所定時間後における前記電流の変動の大きさに基づいて、前記第2貯留部に前記液体が残留しているか、または前記伝播水が前記振動板を介して前記第2貯留部に浸入しているかを判定すること、を特徴とする霧化装置。請求項15または請求項16に記載の霧化装置であって、前記判定部は、前記電流の変動の大きさに基づく値が所定値を超える場合、前記第2貯留部に前記液体が残留しているか、または前記伝播水が前記振動板を介して前記第2貯留部に浸入していると判定すること、を特徴とする霧化装置。伝播水を貯留する第1貯留部と、振動板が取り付けられた底面が前記伝播水に浸るように設けられ、過酸化水素水を貯留する第2貯留部と、前記伝播水を介して前記振動板に超音波振動を与えて前記過酸化水素水を霧化させ、超音波を発生する面が水平方向から所定の角度となるように前記第1貯留部の底面に設置される超音波振動子と、霧化された前記過酸化水素水を加熱して気化させ、供給されるキャリアガスとともに出力する気化部と、前記超音波振動子に超音波を発生させるべく前記超音波振動子を駆動する駆動部と、前記駆動部に供給される電源から前記駆動部に供給される電流を測定する測定部と、前記測定部の測定結果に基づいて、前記第2貯留部に前記過酸化水素水が残留しているか、または前記伝播水が前記振動板を介して前記第2貯留部に浸入しているかを判定する判定部と、を備えることを特徴とする滅菌物質発生装置。過酸化水素は、強い殺菌力及び腐食力を有しており、高濃度の溶液が人間の皮膚に付着すると強い刺激を受けてしまう。このため、過酸化水素の溶液をガス化するに際しては、残留溶液を極力少なくすることが求められる。また、滅菌ガス発生装置が過酸化水素水を霧化させると、貯留部の過酸化水素水の量は減少し、過酸化水素水の濃度は高くなる。濃度が高い過酸化水素水はガス化しにくいため、貯留部には濃度の高い過酸化水素水が残留するおそれがある。また、過酸化水素水を霧化するために貯留部に設けられる振動板は、伝播水を介して伝わる超音波を受けて振動する。一般に、このような振動板は非常に薄いため、振動板に亀裂等が生じて貯留部に伝播水が浸入してしまうことがある。したがって、滅菌ガス発生装置では、例えば過酸化水素水が供給される前であっても、何らかの液体が貯留部に存在していることがある。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、過酸化水素ガスを生成する際の残留溶液を極力少なくすることにある。また、貯留部に高濃度の過酸化水素水が残留しにくい滅菌物質発生装置を提供することを目的とする。更に、また、貯留部に液体が存在しているか否かを検出することができる霧化装置を提供することを目的とする。前記課題を解決するため、本発明の本発明の一つの側面に係る過酸化水素ガス生成装置は、貯留部に貯留された過酸化水素に超音波振動を与えて霧化させる霧化部と、前記霧化部の上方に設けられ、前記霧化部で霧化された過酸化水素を加熱してガス化するヒータと、前記ヒータが内側空間に配置され、前記霧化部で霧化されてキャリアガスとともに流れる過酸化水素を上方へ導く金属製の内筒部と、前記内筒部が内側空間に配置されて二重管を構成し、前記貯留部へ向かって下降する前記キャリアガス用のガス流路を、前記内筒部との間に形成する外筒部とを備え、前記ヒータで加熱された前記内筒部に前記ガス流路を流れるキャリアガスを接触させ、加熱された前記キャリアガスを前記貯留部へ導入するように構成したことを特徴とする。また、本発明のもう一つの側面に係る滅菌物質発生装置は、過酸化水素水を貯留する貯留部、及び前記貯留部に貯留された前記過酸化水素水に超音波振動を与えて、前記過酸化水素水を霧化させる超音波振動子、を含む霧化部と、前記霧化部によって霧化された前記過酸化水素水を加熱して気化させ、供給されるキャリアガスとともに出力する気化部と、前記貯留部に前記過酸化水素水を供給するための第1供給部と、前記貯留部に希釈液を供給するための第2供給部と、前記過酸化水素水が前記第1供給部から前記貯留部へ供給されたときの供給量に基づいて、前記貯留部に貯留された前記過酸化水素水が霧化されてから、前記貯留部に残留する前記過酸化水素水の量が第1の所定量になったか否かを判定する判定部と、前記霧化部を制御して前記貯留部に貯留された前記過酸化水素水を霧化させ、前記判定部が前記貯留部に残留する前記過酸化水素水の量が前記第1の所定量になったと判定すると、前記貯留部に前記希釈液が供給されるよう前記第2供給部を制御する制御部と、を備えることを特徴とする。更に、また、本発明のもう一つの側面に係る霧化装置は、伝播水を貯留する第1貯留部と、振動板が取り付けられた底面が前記伝播水に浸るように設けられ、液体を貯留する第2貯留部と、前記伝播水を介して前記振動板に超音波振動を与えて前記液体を霧化させ、超音波を発生する面が水平方向から所定の角度となるように前記第1貯留部の底面に設置される超音波振動子と、前記超音波振動子に超音波を発生させるべく前記超音波振動子を駆動する駆動部と、前記駆動部に供給される電源から前記駆動部に供給される電流を測定する測定部と、前記測定部の測定結果に基づいて、前記第2貯留部に前記液体が残留しているか、または前記伝播水が前記振動板を介して前記第2貯留部に浸入しているか、を判定する判定部と、を備えることを特徴とする。本発明の過酸化水素ガス生成装置によれば、内筒部によって加熱されたキャリアガスを貯留部に導入しているので、貯留部の過酸化水素溶液は、キャリアガスとの間の熱交換によっても蒸発される。このため、貯留部に残留する過酸化水素溶液の量を極力少なくすることができる。また、本発明のもう一つの側面に係る滅菌物質発生装置によれば、貯留部に高濃度の過酸化水素水が残留しにくい滅菌物質発生装置を提供することができる。更に、また、本発明のもう一つの側面に係る霧化装置によれば、貯留部に液体が存在しているか否かを検出することができる霧化装置を提供することができる。以下、本発明の実施例1について説明する。なお、本発明に係る過酸化水素ガス生成装置は、本実施形態における滅菌ガス生成装置として、アイソレータに組み込まれている。このため、アイソレータを例に挙げて説明する。<第1実施形態について><アイソレータの全体構成>図1に示すように、アイソレータは、作業室1、気体供給部2、気体排出部3、滅菌ガス供給装置4、及び制御部5を有している。作業室1は、無菌環境下での作業を行うための作業空間を区画する部分であり、前面に前面扉6を有する箱状部材によって構成されている。前面扉6は、外部から開閉可能に構成されている。この前面扉6には、作業用グローブ7が設けられている。この作業用グローブ7は、作業空間8で作業を行う際に作業者の腕が挿入される。作業室1における一方の側面には気体供給口9が設けられている。この気体供給口9を通じて気体供給部2からの気体例えば滅菌用の過酸化水素ガスが供給される。ここで、気体供給口9にはHEPAフィルタ10が設けられている。このため、気体供給部2からの気体に含まれる埃等はHEPAフィルタ10で捉えられ、気体のみが作業空間8に供給される。作業室1における他方の側面には気体排出口11が設けられている。この気体排出口11にもHEPAフィルタ10が設けられている。このため、気体排出口11を通じて埃等が作業空間8に入り込むことが防止される。そして、気体排出口11からは作業空間8内の気体が排出される。排出された気体は、気体排出部3へと送られる。気体供給部2は、作業室1へ気体を供給する部分である。この気体供給部2には、吸気口12、第1三方弁13、及びファン14が設けられている。吸気口12は、外部から空気を取り込む部分である。ファン14は、外部から取り込んだ空気を、第1三方弁13へと送出する。第1三方弁13は、滅菌ガス供給装置4、ファン14、及び作業室1のそれぞれと連通されている。そして、制御部5からの制御情報に応じて流路を切り替える。従って、第1三方弁13によって滅菌ガス供給装置4と作業室1とが連通されているとき、過酸化水素ガスが作業室1へと供給される。一方、第1三方弁13によってファン14と作業室1とが連通されているとき、ファン14の動作によって空気が作業室1へと供給される。なお、ファン14は、制御部5からの制御信号によって動作状態と停止状態とが切り替えられる。また、気体の送出量も調整することができる。気体排出部3は、作業室1の気体を排出する部分である。この気体排出部3には、第2三方弁15、滅菌物質低減処理部16、排気口17、及びファン21が設けられている。第2三方弁15は、作業室1の気体排出口11、ファン21、及び滅菌物質低減処理部16のそれぞれと連通されている。そして、制御部5からの制御情報に応じて流路を切り替える。例えば、気体排出口11と滅菌物質低減処理部16とを連通したり、気体排出口11とファン21とを連通したりする。ファン21は、気体排出口11からの気体を、いわゆるキャリアガスとして滅菌ガス生成装置20に供給する。このため、気体排出口11とファン21とを連通され、滅菌ガス生成装置20と作業室1とが連通されている際には、気体排出口11からの気体は、アイソレータ内を循環することになる。滅菌物質低減処理部16は、第2三方弁15と排気口17との間に設けられており、第2三方弁15を通じて送られてきた気体中の過酸化水素滅菌物質について、その濃度を低減する処理を行う部分である。この滅菌物質低減処理部16は、例えば白金などの金属触媒や活性炭によって構成される。なお、滅菌物質低減処理部16に関し、過酸化水素の濃度を低減できれば、金属触媒や活性炭に限定されるものではない。排気口17は、滅菌物質低減処理部16で処理された後の気体を大気に排出する部分である。滅菌ガス供給装置4は、過酸化水素をガス化して供給する部分であり、過酸化水素供給装置に相当する。この滅菌ガス供給装置4は、滅菌物質カートリッジ18、ポンプ19、及び滅菌ガス生成装置20を有する。滅菌物質カートリッジ18は、過酸化水素水を貯蔵する。ポンプ19は、滅菌物質カートリッジ18に貯蔵された過酸化水素水を汲み上げ、滅菌ガス生成装置20に送出する。このポンプ19は、例えばペリスタポンプによって構成される。滅菌ガス生成装置20は、供給された過酸化水素水から過酸化水素ガスを発生させる。発生した過酸化水素ガスは、例えば第1三方弁13に供給される。なお、滅菌ガス生成装置20については後で詳しく説明する。制御部5は、これらの各部を電気的に制御する部分である。この制御部5は、気体供給部2が有する第1三方弁13やファン14、気体排出部3が有する第2三方弁15、及び滅菌ガス供給装置4が有する滅菌ガス生成装置20等を制御する。例えば、滅菌ガス生成装置20で生成された過酸化水素ガスを、第1三方弁13を通じて作業室1へ供給することができる。また、作業室1に供給された過酸化水素ガスを、第2三方弁15を通じて第1三方弁13の側へ送り、系内を循環させることもできる。そして、系内で過酸化水素ガスを循環させると、この系内を無菌環境にすることができる。ここで、無菌環境とは、作業室1で行われる作業に必要な物質以外の物質の混入を防いだ限りなく無塵、無菌に近い環境をいう。<滅菌ガス生成装置20について>次に、滅菌ガス生成装置20について説明する。この滅菌ガス生成装置20は、過酸化水素ガス生成装置に相当する。図2に示すように、滅菌ガス生成装置20は、霧化部30とガス化部50とを有している。霧化部30は、ポンプ19から供給された過酸化水素水を霧化する部分であり、ガス化部50は、霧化された過酸化水素をガス化する部分である。まず、霧化部30について説明する。霧化部30は、収容部31、超音波振動子32、貯留部33、及び振動板34等を含んで構成されている。収容部31は、超音波振動子32や超音波伝播液35を収容する部分であり、上面に開口を有する中空円筒状の容器となっている。この収容部31は、ステンレス鋼等の金属や樹脂によって作製されている。収容部31の内側空間には、この内部空間を液密の状態で上下に仕切る円形板状の仕切板36が設けられている。超音波振動子32は、超音波振動を発生する素子であり、収容体37の内部に収容された状態で仕切板36に取り付けられている。貯留部33は、過酸化水素水を貯留する容器であり、図3に示すように、逆円錐台状に窪んだ凹部38を備えている。この凹部38には、ポンプ19から供給された過酸化水素水が貯留される。凹部38の底面は、振動板34によって区画されている。この振動板34は、厚さが0.02mm程度のステンレス薄板や厚さが0.2mm程度の樹脂薄板によって構成されている。この振動板34は、Oリング39を挟んだ状態で、貯留部33の底面に下側から固定ネジ40で固定されている。また、貯留部33の上端部41はフランジ状に形成され、外筒部53の下端部54と気密状態で接続できるようになっている。収容部31における仕切板36よりも上側の空間には、超音波伝播液35が貯留される。本実施形態では、超音波伝播液35として水を用いている。この超音波伝播液35を介して、超音波振動子32による超音波振動が振動板34に伝播される。なお、超音波伝播液35は水に限られず、超音波振動を振動板34に伝播できる液体であればよい。そして、貯留部33に過酸化水素水が貯留された状態で超音波振動子32を動作させると、超音波伝播液35を介して超音波振動が振動板34に伝播され、振動板34を超音波振動が透過する。この超音波振動によって貯留部33の過酸化水素水が霧化される。次に、ガス化部50について説明する。図2に示すように、ガス化部50は、内筒部51、ヒータ52、及び外筒部53等を含んで構成され、霧化部30の上方に設けられている。内筒部51は、金属製の円筒部材によって構成されている。なお、本実施形態の内筒部51は、ステンレス部材により作製されたステン部51Aと、ステン部51の下側に接続され、ステン部51Aよりも薄いアルミ部材により作製されたアルミ部51Bとを含む。内筒部51の直径は、貯留部33が有する凹部38の開口径よりも小さく定められている。そして、内筒部51は、鉛直方向に向いた状態に取り付けられている。取り付け状態において、内筒部51は、その下端部55が貯留部33における凹部38の直上となる高さとなり、その軸心が凹部38と同心となるように位置決めされる。ヒータ52は、通電によって加熱される部材であり、円柱状の発熱体56と、発熱体56の周囲に取り付けられた伝熱性のフィン57とを有している。すなわち、発熱体56からの熱をフィン57によって拡散させている。このヒータ52は、内筒部51の内側空間に配置されている。例えば、上端側から内筒部51の長さの3/4程度の範囲に配置されている。ヒータ52の発熱体56と内筒部51の内壁面との間には、流路規制板58内側フィンが取り付けられている。流路規制板58は、発熱体56との当接部分が半円形状に切り欠かれた略半円状の金属板によって構成される。この流路規制板58は、内筒部51の内側空間における片半部分を覆う状態で略水平方向に取り付けられている。また、流路規制板58は、上下方向に所定間隔をあけた状態で複数枚が互い違いに配置される。例えば、流路規制板58は、一定間隔で配置されたり、上側が密であって下側が粗になるように配置されたりする。また、ヒータ52の部分が密であってそれよりも下側で粗になるように配置されていてもよい。これらの流路規制板58によって、ヒータ52は、内筒部51の内側空間に位置決めされる。さらに、流路規制板58によって、内筒部51の内側空間には気体が通る蛇行流路が区画され、かつ、発熱体56で生じた熱が流路規制板58を通じて内筒部51に伝達される。内筒部51の上部側面には配管59が取り付けられている。この配管59を通じて、過酸化水素ガスが排出される。なお、温度センサ不図示によって配管59を流れるガスの温度が検出され、検出信号が制御部5へ出力される。また、内筒部51の上端部60は、フランジ状に形成されており、内側蓋部材61が取り付けられることで気密状態に封止されている。外筒部53は、内筒部51よりも一回り大きな直径の金属製の円筒部材によって構成されている。本実施形態の外筒部53は、その内径が凹部38の内径と略等しい太さのステンレス鋼管によって構成されている。外筒部53の内側空間には、内筒部51が配置されている。すなわち、外筒部53と内筒部51によって二重管が構成されている。外筒部53の下端部54は、前述したように貯留部33の上端部と気密状態で接続される。この外筒部53によって、内筒部51は、下端からその長さの約4/5程度の範囲が覆われている。外筒部53の上部側面には配管62が取り付けられている。この配管62はキャリアガスを導入するためのものである。すなわち、この配管62を通じてキャリアガスが外筒部53と内筒部51の間の空間キャリアガス用のガス流路63に流入する。なお、本実施形態では、キャリアガスとして清浄な空気を用いており、空気供給ファンキャリアガス供給ファンの回転によって空気が配管62に導入される。また、外筒部53の上端部65はフランジ状に形成されており、リング状の外側蓋部材66が取り付けられることで気密状態に封止されている。さらに、外筒部53の下部側面には、過酸化水素水を流すドレンチューブを通すためのチューブ用開口64が設けられている。なお、ドレンチューブとチューブ用開口64との隙間は、ブッシングによって塞がれる。このため、チューブ用開口64は気密状態で封止される。<滅菌ガスの生成について>次に、滅菌ガス生成装置20による滅菌ガスの生成について説明する。前述したように、滅菌ガス生成装置20は、制御部5からの制御信号によって動作が制御される。まず、ヒータ52発熱体56への通電と空気供給ファンの回転が開始される。これらにより、発熱体56の発熱、及び、キャリアガス空気の供給が開始される。また、ポンプ19が駆動されて滅菌物質カートリッジ18の過酸化水素水が、貯留部33に規定量供給される。配管62を流れるキャリアガスは、外筒部53の上部からガス流路63に流入し、このガス流路63を下方向に流れる。すなわち、内筒部51の外周面に沿って流れる。発熱体56からの熱は、流路規制板58やフィン57及び空気を通じて内筒部51に伝達されるので、内筒部51が加熱される。内筒部51が加熱されることで、内筒部51の外周面に沿って流れるキャリアガスとの間で熱交換が生じ、キャリアガスの温度が上昇する。キャリアガスは、貯留部33の位置で流れの方向を変える。すなわち、内筒部51の下端部55で回り込み、内筒部51の内側空間に流入する。そして、この内側空間を上昇する。発熱体56からの熱は、ヒータ52のフィン57を通じて内筒部51の内側空間に放出されるので、この内側空間を上昇するキャリアガスの温度をさらに上昇させる。加えて、内筒部51の内側空間には、複数の流路規制板58による蛇行流路が形成されているため、キャリアガスの移動距離を長くすることができ、キャリアガスの温度を確実に上昇させることができる。内筒部51から排出されるキャリアガスの温度が過酸化水素の気化温度に達すると、超音波振動子32の駆動が開始される。前述したように、超音波振動子32による超音波振動は、超音波伝播液35を介して振動板34に伝播される。そして、振動板34の超音波振動によって貯留部33の過酸化水素が霧化される。霧化された過酸化水素はキャリアガスの流れに乗って内筒部51の内側空間を上昇する。このとき、キャリアガスがガス流路63を流れている最中に加熱されていること、及び、内側空間が蛇行流路を形成していることから、霧化された過酸化水素を十分に加熱でき、確実にガス化することができる。また、キャリアガスが予め加熱されているので、霧化された過酸化水素が内筒部51の下端部55に付着して液化されることを防止できる。さらに、本実施形態では、内筒部51が伝熱性の良好なアルミニウムによって構成されているため、この点でもキャリアガスを効率良く加熱することができ、過酸化水素を確実にガス化できる。加えて、キャリアガスが予め加熱されていることから、貯留部33に貯留された過酸化水素水とキャリアガスとの間でも熱交換が生じ、過酸化水素水の蒸発が促進される。以上のことは、図4に示す温度の経時変化からも理解できる。この図は、ヒータ中心温度、ヒータ表面温度、装置出口温度、作業室供給温度、及びヒータ筒下温度の経時変化を説明する図である。ここで、ヒータ中心温度は発熱体56の中心温度であり、ヒータ表面温度は発熱体56の表面温度である。装置出口温度は内筒部51出口の気体温度であり、作業室供給温度は作業室1へ供給される気体の温度である。ヒータ筒下温度は内筒部51の下端部55付近における気体温度である。この例では、ヒータ52への通電開始から10分後に超音波振動子32による過酸化水素の霧化を開始している。そして、20分間で所定量の過酸化水素水のガス化が完了している。この例において、ヒータ中心温度は、425°C程度まで上昇された後、340°C程度まで降下される。ヒータ表面温度は、過酸化水素の霧化開始時点で225°C程度とされ、その後この温度が維持されている。装置出口温度は、過酸化水素の霧化開始時点で200°C程度とされ、その後この温度が維持されている。作業室供給温度は、過酸化水素の霧化開始時点で140°C程度とされ、その後の20分で10°C程度上昇している。ヒータ筒下温度は、霧化開始時点では70°C程度であるが、過酸化水素の霧化によって50°C弱まで下がり、その後この温度が維持されている。ここで、参考例の滅菌ガス生成装置20 ́について説明する。図5に示す参考例の滅菌ガス生成装置20 ́において、図2,図3で説明した滅菌ガス生成装置20と対応する部分については同じ符号を付して説明を省略する。参考例の滅菌ガス生成装置20 ́と図2の滅菌ガス生成装置20との違いは、まず外筒部53の長さにある。すなわち、参考例において、外筒部53の長さは、内筒部51の下端側から内筒部51の長さの約1/4程度を覆っている。言い換えれば、内筒部51におけるヒータ52で加熱されていない部分を覆っている。また、内筒部51がステンレス鋼であることも、図2の滅菌ガス生成装置20と異なっている。参考例では、図6に示すように、装置出口温度が本実施形態と同じ200°Cになるようにヒータ52を制御している。図4との比較で判るように、霧化の開始時においてヒータ52が再度加熱されており、制御が不安定になっていることが判る。この差は、ヒータ筒下温度の違いによるものが大きいと考えられる。すなわち、参考例におけるヒータ筒下温度は25°C程度でほぼ一定であり、本実施形態よりも20°C程度低い。このヒータ筒下温度の違いによって、参考例ではガス化に長時間を要したものと考えられる。<まとめ>本実施形態の滅菌ガス生成装置20では、貯留部33に貯留された過酸化水素に超音波振動を与えて霧化させる霧化部30と、この霧化部30の上方に設けられ、霧化部30で霧化された過酸化水素をガス化すべく加熱するヒータ52と、このヒータ52が内側空間に配置され、霧化部30で霧化されてキャリアガスとともに流れる過酸化水素を上方へ導く金属製の内筒部51と、内筒部51が内側空間に配置されて二重管を構成し、貯留部33へ向かって下降するキャリアガス用のガス流路63を内筒部51との間に形成する外筒部53とを備えている。そして、ヒータ52で加熱された内筒部51に、ガス流路63を流れるキャリアガスを接触させ、加熱されたキャリアガスを貯留部33へ導入するように構成している。これにより、貯留部33の過酸化水素水は、キャリアガスとの間の熱交換によっても蒸発されため、貯留部33に残留する過酸化水素溶液の量を極力少なくすることができる。また、内筒部51の内壁面とヒータ52との間に、霧化された過酸化水素の流れ方向を規制するとともに伝熱性を有する金属板製の流路規制板58を取り付けているので、霧化された過酸化水素を十分に加熱することができ、ガス化を確実に行うことができる。また、外筒部53は、アルミニウム製の内筒部51よりも熱伝導率の低いステンレス鋼で作製されているので、熱が外へ逃げることを抑制してガス流路63を流れるキャリアガスを十分に加熱することができる。以上、第1実施形態について説明したが、以上の説明は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。例えば、以下の各実施形態のように構成されていてもよい。<第2実施形態について>本発明の第2実施形態では、内筒部51の下端部55の形状が第1実施形態と異なっている。例えば、図7,図8に示すように、第2実施形態の内筒部51は、その下端部55が筒の長手方向に対して斜めに切断された円筒状部材によって構成されている。そして、内筒部51は、水平方向においてその軸心が凹部38と同心となるように位置決めされる。また、内筒部51は、その下端部55の頂部55aが、凹部38の傾斜面38aに近接する高さに位置決めされている。ここで、凹部38の傾斜面38aに近接する高さとは、この傾斜面38aとの間に狭い隙間を形成する程度の高さ、すなわち、この隙間を通るキャリアガスについて他の部分を通るキャリアガスよりも流速を高める程度の高さを意味する。このように、第2実施形態では、内筒部51の下端部55を筒の長手方向に対して斜めに切断し、この下端部55の頂部55aを凹部38の傾斜面38aに近接する高さに配置している。このため、内筒部51の下端部55において、頂部55a側と反対側とでキャリアガスの流速に差をつけることができる。すなわち、頂部55a側を流れるキャリアガスの流速を、反対側を流れるキャリアガスの流速よりも高めることができる。これにより、流速が高められたキャリアガスを、凹部38に貯留された過酸化水素水に吹き付けることができ、霧化された過酸化水素の移動を助け、過酸化水素を確実にガス化できる。また、本実施形態では、凹部38の底面38b振動板34を、下端部55の頂部55a側に向けて下り傾斜させた状態で設けている。このため、凹部38に貯留された過酸化水素水の量が少なくなると、この下り傾斜によって過酸化水素水が下端部の頂部側に集められる。これによっても、霧化された過酸化水素の移動が助けられるため、過酸化水素を確実にガス化できる。<第3実施形態について>本発明の第3実施形態では、図9に示すように、第2実施形態の構成に加えて、内筒部51の外壁面と外筒部53の内壁面との間に、キャリアガスの流れ方向を規制するとともに伝熱性を有する金属板製の外流路規制板70外側フィンを取り付けている点に特徴を有する。この外流路規制板70は、半円形状に湾曲した帯状金属板によって構成されている。具体的には、内筒部51と外筒部53の間隔に応じた幅のリング状ステンレス板を、リングの中心を通る線で半分に分割した形状の板材によって構成されている。外流路規制板70は、内筒部51の外壁面と外筒部53の内壁面との間に、内筒部51と外筒部53との片半部分を覆う状態で略水平方向に取り付けられている。また、外流路規制板70は、上下方向に所定間隔をあけた状態で複数枚が互い違いに配置される。すなわち、流路規制板58と同様に、一定間隔で配置されたり、上側が密であって下側が粗になるように配置されたり、ヒータ52の部分が密であってそれよりも下側で粗になるように配置されたりする。これらの外流路規制板70によって、キャリアガス用のガス流路63が蛇行するように区画される。そして、図9に一点鎖線の矢印で示すように、キャリアガスは、このガス流路63を蛇行しながら下方に流れる。従って、本実施形態では、内筒部51に対するキャリアガスの接触時間を前述の実施形態よりも長くすることができる。これにより、十分に加熱されたキャリアガスを貯留部33に流すことができる。その結果、霧化された過酸化水素の移動が助けられ、過酸化水素を確実にガス化できる。<第4実施形態について>本発明の第4実施形態では、図10に示すように、第2実施形態の構成に加えて、キャリアガスを導入する配管62ガス導入管の途中に、キャリアガスを予熱するための予熱ヒータ71,72を設けた点に特徴を有している。予熱ヒータは、図10aに示すように、円柱状の発熱体73と発熱体73の周囲に取り付けられた伝熱性のフィン74とを有する予熱ヒータ71であってもよく、図10bに示すように、配管62の外周面を囲繞する状態に取り付けられる円筒状の予熱ヒータ72であってもよい。図10aの予熱ヒータ71に関し、流路規制板75を介して配管62に取り付けられている。この流路規制板75は、第1実施形態の流路規制板58と同様に構成されている。すなわち、流路規制板75は、発熱体73との当接部分が半円形状に切り欠かれた略半円状の金属板によって構成される。この流路規制板75もまた、円筒状配管62の内側空間における片半部分を覆う状態で、複数枚が互い違いに配置される。これらの流路規制板75によって配管62の内側空間には気体が通る蛇行流路が区画され、予熱ヒータ71からの熱を十分にキャリアガスへ伝えることができる。本実施形態では、予熱ヒータ71,72によって予熱されたキャリアガスがガス流路63で内筒部51と接触して加熱される。このため、キャリアガスの温度を十分に高めることができ、霧化された過酸化水素のガス化を一層確実に行うことができる。次に、本発明の実施例2について説明する。図11は、本発明の一実施形態であるアイソレータ1010の構成を示す図である。アイソレータ1010は、滅菌された環境で細胞の作業等を行う装置であり、滅菌ガス発生ユニット1020、供給装置1021、作業室1022、排出装置1023、操作部1024、及び制御装置1025を含んで構成される。滅菌ガス発生ユニット1020は、滅菌ガスを発生させる装置ユニットであり、タンク1030,1031、電磁バルブ1032、ポンプ1033、パイプ1034、及び滅菌ガス発生装置1035を含んで構成される。なお、電磁バルブ1032、ポンプ1033、滅菌ガス発生装置1035の動作は、制御装置1025により制御される。タンク1030は、過酸化水素水過酸化水素H2O2が溶解した水溶液を貯蔵し、タンク1031は、純水を貯蔵する。電磁バルブ1032は、制御装置1025からの制御に基づいて、タンク1030またはタンク1031をポンプ1033に接続するための電磁弁である。ポンプ1033は、電磁バルブ1032がタンク1030を選択している際には、タンク1030から過酸化水素水を汲み上げ、パイプ1034を介して滅菌ガス発生装置1035に供給する。一方、電磁バルブ1032がタンク1031を選択している際には、ポンプ1033は、タンク1031から純水を汲み上げ、パイプ1034を介して滅菌ガス発生装置1035に供給する。滅菌ガス発生装置1035は、ポンプ1033から供給される過酸化水素水に基づいて、滅菌ガスである過酸化水素ガスを発生し、キャリアガスである空気とともに供給装置1021へと供給する。なお、滅菌ガス発生装置1035の詳細については後述する。供給装置1021は、供給される過酸化水素ガス、またはアイソレータ1010の外部の空気を作業室1022へと供給する装置であり、電磁バルブ1040、及びファン1041を含んで構成される。電磁バルブ1040は、制御装置1025の制御に基づいて、過酸化水素ガス、または外部の空気をファン1041に供給する。ファン1041は、電磁バルブ1040から供給される過酸化水素ガス、または空気を作業室1022へと供給する。作業室1022は、細胞の作業を行う空間であり、作業室1022には、エアフィルタ1050,1051、扉1052、及び作業用グローブ1053が設けられている。エアフィルタ1050は、ファン1041から供給される過酸化水素ガス、または空気に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。エアフィルタ1051は、作業室1022から排出されるガス等に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。なお、エアフィルタ1050,1051には、例えば、HEPAHighEfficiencyParticulateAirフィルタが用いられる。扉1052は、細胞等を作業室1022に搬入するために作業室1022の前面に開閉可能に設けられている。作業用グローブ1053は、扉1052が閉じられた状態で作業者が作業室1022内の細胞等を作業できるよう、扉1052に設けられた開口部不図示に取付けられている。なお、扉1052が閉じられた状態では、作業室1022は密閉される。排出装置1023は、作業室1022から過酸化水素ガスや空気等のガスを排出するための装置であり、電磁バルブ1060、及び滅菌処理装置1061を含んで構成される。電磁バルブ1060は、制御装置1025からの制御に基づいて、エアフィルタ1051から出力されるガスを、滅菌処理装置1061、または滅菌ガス発生装置1035の何れかに供給する。なお、電磁バルブ1060からの出力が滅菌ガス発生装置1035へと供給される場合、作業室1022のガスは循環されることになる。滅菌処理装置1061は触媒を備え、電磁バルブ1060から出力されるガスを無害化および滅菌処理をしてアイソレータ1010の外部へと出力する。操作部1024は、利用者がアイソレータ1010の動作を設定するための操作パネル等である。操作部1024の操作結果は制御装置1025へと送信され、制御装置1025は、操作結果に基づいて、アイソレータ1010の各ブロックを制御する。制御装置1025は、アイソレータ1010を統括制御する装置であり、記憶装置1070、及びマイコン1071を含んで構成される。記憶装置1070は、マイコン1071が実行するプログラムデータや、各種データを記憶する。マイコン1071は、記憶装置1070に記憶されたプログラムデータを実行することにより、各種機能を実現する。例えば、操作部1024から、滅菌ガスを発生させるため指示が出力されると、マイコン1071は、滅菌ガスを発生させるための所定のプログラムを実行し、ポンプ1033等を制御する。なお、滅菌ガス発生ユニット1020及び制御装置1025が滅菌物質発生装置に相当する。また、タンク1030、電磁バルブ1032、ポンプ1033、及びパイプ1034は第1供給部に相当し、タンク1031、電磁バルブ1032、ポンプ1033、及びパイプ1034は第2供給部に相当する。==滅菌ガス発生装置1035の詳細==図12は、滅菌ガス発生装置1035の側面図である。なお、図12において、一部のブロックは断面図で描かれている。滅菌ガス発生装置1035は、過酸化水素水を貯留するカップ1100、カップ1100を保持する保持台1110を備えている。カップ1100には、上側Z方向と下側-Z方向に開口部が設けられている。カップ1100の下側の開口部200には、開口部200をふさぐように振動板1101が、開口部201を有するリング状の取付け板102及びボルト1103で固着されている。このため、振動板1101は超音波が供給されると振動し、カップ1100に貯留された過酸化水素水を霧化させる。なお、カップ1100、振動板1101、取り付け板1102、及びボルト1103は貯留部に相当する。カップ1100を保持する保持台1110の内側には、カップ1100の振動板1101を振動させるための伝播水を貯蔵すべく、仕切り板1120が取り付けられている。また、仕切り板1120には、振動板1101を超音波で振動させるための超音波振動子1121が設けられている。なお、保持台1110の内側に貯蔵された伝播水は、保持台1110の側面に設けられたポート不図示を介して入れ替え可能である。なお、カップ1100、振動板1101、取り付け板1102、ボルト1103、及び超音波振動子1121は霧化部に相当する。保持台1110の上側には、過酸化水素ガスを外部へ供給するための供給管1140と、供給管1140を支持する支持部材150が設けられている。支持部材150は、保持台1110の上面に設置された筒状部材1151と、筒状部材1151の上面に設けられたフランジ1152を含む。筒状部材1151の径は、円筒状の供給管1140の径よりも大きく、筒状部材1151の-X側の側面には、キャリアガスここでは、空気が供給されるポート1153が設けられている。フランジ1152は、筒状部材1151の上面の開口部を閉じつつ、中心は供給管1140が貫通されている。また、フランジ1152の上面には、過酸化水素水、純水が供給されるパイプ1034を通すためのポート1154が設けられている。なお、パイプ1034は、ポート1154と、供給管1140の側面に設けられた開口部を介して、カップ1100に過酸化水素水等が供給できるよう、供給管1140の側面に固定されている。また、カップ1100の上側には、霧化された過酸化水素水を加熱し、気化するためのヒーター1130が設けられている。ヒーター1130で加熱され、ガス化した過酸化水素ガスは、供給されるキャリアガスとともに供給管1140に設けられたポート1141から出力される。ポート1141は、前述の供給装置1021の電磁バルブ1040にパイプを介して接続される。このように、カップ1100で霧化された過酸化水素水は、過酸化水素ガスとしてポート1141から供給装置1021へと供給される。なお、ヒーター1130、供給管1140は気化部に相当する。==マイコン1071の詳細について==滅菌ガス発生ユニット1020に過酸化水素ガスを発生させる際に、マイコン1071により実現される機能ブロックについて説明する。なお、利用者は、予め操作部1024を操作し、滅菌ガス発生装置1035に供給される初期の過酸化水素水の量を設定していることとする。また、マイコン1071は、操作部1024の操作結果に基づいて、初期に供給される過酸化水素水の量以下、所定量A1とするに関する情報を記憶装置1070に記憶させる。なお、記憶装置1070に記憶された所定量A1の情報は、マイコン1071が適宜読み出して使用する。マイコン1071は、操作部1024から、過酸化水素ガスを発生させるための指示が入力すると、所定のプログラムを実行し、図13に示すような、バルブ制御部300、ポンプ制御部301、振動子制御部302、タイマー303,305、判別部304,307、及びカウント部306の機能を実現する。なお、バルブ制御部300、ポンプ制御部301、振動子制御部302は制御部に相当する。また、判別部304,307は、判別部に相当し、タイマー303,305、及び判別部304,307は判定部に相当する。バルブ制御部300は、操作部1024からの処理を開始させる指示に基づいて、電磁バルブ1032をタンク1030側に切り換える。また、バルブ制御部300は、後述する給水指示に基づいて、電磁バルブ1032をタンク1031側に切り替える。ポンプ制御部301は、バルブ制御部300が電磁バルブ1032をタンク1030側に切り替えると、ポンプ1033を動作させる。そして、ポンプ制御部301は、所定量A1の過酸化水素水が滅菌ガス発生装置1035に供給されるようポンプ1033を制御する。また、ポンプ制御部301は、給水指示に基づいてポンプ1033を動作させる。この際、ポンプ制御部301は、所定量B1の純水が滅菌ガス発生装置1035に供給されるようポンプ35を制御する。なお、所定量B1に関する情報は、例えば記憶装置1070に予め記憶されていることとする。振動子制御部302は、所定量A1の過酸化水素水の供給が完了したか否かを判定し、過酸化水素水の供給が完了すると、過酸化水素水を霧化させるべく超音波振動子1121を動作させる。タイマー303第1タイマーは、滅菌ガス発生装置1035に所定量A1の過酸化水素水の供給が完了されると計時を開始する。判別部304は、タイマー303が所定の時間TA第1の時間を計時すると、過酸化水素水の量が所定量A2<A1になったと判別する。ところで、過酸化水素水を霧化し続けると、カップ1100に貯留する過酸化水素水の量は徐々に減少するとともに、残留する過酸化水素水の濃度は徐々に高くなる。また、濃度が高い過酸化水素水はガス化し難いため、カップ1100には濃度の高い過酸化水素水が残留することがある。本実施形態では、例えば、霧化し続けた際に最終的に残留する過酸化水素水の量を、所定量A2第1の所定量としている。また、判別部304は、過酸化水素水の量が所定量A2になったと判別すると、給水指示をバルブ制御部300、ポンプ制御部301に出力する。つまり、判別部304は、過酸化水素水が霧化されて、過酸化水素水の量が所定量A2まで減少したと判定すると、残留した過酸化水素水を希釈するための給水指示を出力する。なお、給水指示に基づいて滅菌ガス発生装置1035に供給される純水の量所定量B1は、所定量A2よりも多くなるように設定されている。また、前述の時間TAは、例えば判別部304が、過酸化水素水が霧化される際に実験的に得られる単位時間あたりの過酸化水素水の減少量、所定量A1,A2を用いて算出する。なお、単位時間あたりの減少量や、所定量A2は、記憶装置1070に予め記憶されていることとする。タイマー305第2タイマーは、滅菌ガス発生装置1035に所定量B1の純水の供給が完了されると計時を開始する。カウント部306は、滅菌ガス発生装置1035に純水が供給される回数をカウントする。具体的には、カウント部306は、純水が供給される度に、カウント値を1だけインクリメントする。判別部307は、カウント部306のカウント値が所定の値より小さい場合、タイマー305が所定の時間TB第2の時間を計時すると、希釈された過酸化水素水の量が所定量B2第2の所定量になったと判定する。また、判別部307は、希釈された過酸化水素水の量が所定量B2になったと判別すると、給水指示を出力する。また、判別部307は、カウント部306のカウント値が所定のカウント値となると、所定時間後に霧化が停止されるよう、振動子制御部302を制御する。なお、時間TBは、例えば判別部307が、過酸化水素水が霧化される際に実験的に得られる単位時間あたりの過酸化水素水の減少量、所定量B1,B2を用いて算出する。また、所定量B2は、記憶装置1070に予め記憶されていることとする。==マイコン1071の処理の一例について==滅菌ガス発生ユニット1020に過酸化水素ガスを発生させる場合において、マイコン1071が実施する処理の一例を、図14、図15を参照しつつ説明する。まず、バルブ制御部300は、電磁バルブ1032をタンク1030側に切り替えるS100。そして、ポンプ制御部301はポンプ1033を動作させるため、滅菌ガス発生装置1035へ所定量A1の過酸化水素水の供給が開始されるS101。なお、所定量A1の過酸化水素水は、前述したように、パイプ1034を介して滅菌ガス発生装置1035のカップ1100へと供給される。振動子制御部302は、所定量A1の過酸化水素水の供給が完了したか否かを判定するS102。そして、過酸化水素水の供給が完了するとS102:YES振動子制御部302は、滅菌ガス発生装置1035の超音波振動子1121を動作させ、霧化を開始させるS103。なお、滅菌ガス発生装置1035に過酸化水素水が供給されると、タイマー303の計時が開始される。また、判別部304は、タイマー303が所定の時間TAを計時したか否かを判定するS104。そして、判別部304は、タイマー303が所定の時間TAを計時するとS104:YES、過酸化水素水の量が所定量A2まで減少したものと判別し、給水指示を電磁バルブ1032、ポンプ1033に出力する。バルブ制御部300は、給水指示に基づいて、電磁バルブ1032をタンク1031側に切り替えるS105。また、ポンプ制御部301は、給水指示に基づいてポンプ1033を動作させるため、滅菌ガス発生装置1035に純水の供給が開始されるS106。また、処理S106が実行され、純水が供給されると、カウント部306は、カウント値を1だけインクリメントするS107。なお、タイマー305は、純水が供給されると、すなわち所定量B1の純水の供給が完了されると計時を開始する。ところで、処理S106が実行され、所定量B1の純水が滅菌ガス発生装置1035に供給されると、滅菌ガス発生装置1035に残留している過酸化水素水は希釈される。また、この際に、滅菌ガス発生装置1035に貯留される理論上の過酸化水素水の残量は、所定量A2と所定量B1との和となる。前述したように、純水の量である所定量B1は、過酸化水素水の残量である所定量A2よりも多くなるように設定されている。このため、所定量A2の過酸化水素水は、少なくとも2倍以上の倍率で希釈されることになる。そして、判別部307は、カウント部306のカウント値が所定値となったか否かを判定するS108。カウント部306のカウント値が所定値でないとS108:NO、判別部307は、タイマー305が所定の時間TBを計時するか否かを判定するS109。そして、判別部307は、タイマー305が所定の時間TBを計時するとS109:YES、希釈された過酸化水素水の量が所定量B2まで減少したものと判別し、給水指示を電磁バルブ1032、ポンプ1033に出力し、純水の供給を開始させるS106。一方、カウント部306のカウント値が所定値となるとS108:YES、判別部307は、所定時間後に霧化が停止されるよう、振動子制御部302を制御するS110。このように、滅菌ガス発生装置1035は、残留した高濃度の過酸化水素を純水で希釈させつつ、過酸化水素ガスを発生させることができる。==滅菌ガス発生ユニット1020の動作の一例==図16を参照しつつ、過酸化水素ガスを発生させる際の滅菌ガス発生ユニット1020及び制御装置1025の動作の一例を説明する。なお、ここでは、利用者が操作部1024を操作し、操作部1024からは、過酸化水素ガスを発生させるための指示がマイコン1071へと出力されていることとする。さらに、マイコン1071は、入力される指示に基づいて前述した図14、図15に示すような処理を実行することとする。また、ここでは、例えば所定量A1を25g、所定量A2を1g、所定量B1を2g、所定量B2を1gとする。さらに、本実施形態の滅菌ガス発生装置1035は、1分あたり1gの過酸化水素水を霧化することとする。このため、例えば、判別部304は、25g所定量A1の過酸化水素水が1g所定量A2まで減少するまでの時間TAを24分と算出する。また、判別部307は、3g所定量A1所定量B1の希釈された過酸化水素水が1g所定量B2まで減少するまでの時間TBを2分と算出する。また、カウント部306における所定値は、例えば4であることとする。このため、本実施形態では、4回だけ純水が供給されることになる。また、カップ1100に貯留される残量はゼロであることとし、滅菌ガス発生装置1035のヒーター1130は加熱され、滅菌ガス発生装置1035にはキャリアガスが供給されていることとする。まず、時刻t0において、操作部1024が操作され、利用者が過酸化水素ガスの発生を指示すると、電磁バルブ1032はタンク1030側を選択する例えば、S100。そして、ポンプ1033は、タンク1030から過酸化水素水を25g所定量A1だけ汲み上げて滅菌ガス発生装置1035に供給する例えば、S101。この結果、過酸化水素水の供給が完了した時刻t1には、滅菌ガス発生装置1035のカップ1100の残液量は25gとなる。また、過酸化水素水の供給が完了した時刻t1には、超音波振動子1121が動作されるため例えば、S103、カップ1100の過酸化水素水の霧化が開始される。この結果、霧化された過酸化水素水はヒーター1130で加熱され、過酸化水素ガスとして滅菌ガス発生装置1035から供給装置1021へと供給される。したがって、時刻t1を過ぎると、カップ1100に貯留された過酸化水素水の残液量は徐々に少なくなる。そして、時刻t1から24分時間TAだけ経過した時刻t2となると、電磁バルブ1032は、タンク1031側を選択し、ポンプ1033は、タンク1031から純水を2g所定量B1だけ汲み上げてカップ1100に供給する例えば、S105,S106。なお、時刻t2は、前述したように、残液量が1g所定量A2となったと判定される時刻である例えば、S104。このため、2gの純水の供給が完了される時刻t3には残液量は約3gとなる。なお、時刻t2で実施される給水は、1回目の給水となる。時刻t3においても過酸化水素水の霧化は継続されているため、時刻t3からカップ1100の残液量は徐々に減少する。そして、時刻t3から2分時間TBだけ経過した時刻t4になると、前述した様に、残液量が1g所定量A2となったと判定される例えば、S109。このため、ポンプ1033は、タンク1031から純水を2g所定量B1だけ汲み上げてカップ1100に供給する例えば、S106。なお、時刻t4における給水は2回目の給水となる。本実施形態では、時刻t2~時刻t4までの動作と同様の動作が、時刻t4から、4回目の給水の時刻t8まで繰り返される。そして、4回目の給水が時刻t8で開始されて時刻t9で完了すると、時刻t9から所定時間後の時刻t10において超音波振動子1121の動作を終了して霧化が停止される。以上、本実施形態のアイソレータ1010について説明した。滅菌ガス発生装置1035は、例えば、所定量A1の過酸化水素水を霧化、加熱することにより、過酸化水素ガスを発生させる。また、所定量A1の過酸化水素水が霧化されると、残留する過酸化水素水の濃度は高くなる。本実施形態では、判別部304が、所定量A1の過酸化水素水が霧化してから所定量A2になったことを判定すると、バルブ制御部300及びポンプ制御部301は、純水をカップ1100に供給する。この結果、残留した所定量A2の過酸化水素水は希釈されるため、カップ1100に残留する過酸化水素水の濃度を低下させることができる。この結果、カップ1100に残留する過酸化水素水の霧化が促進される。また、バルブ制御部300及びポンプ制御部301は、所定量A2よりも多い所定量B1の純水で残留する過酸化水素水を希釈する。このため、所定量A2の過酸化水素水は、少なくとも2倍以上の倍率で希釈されることになる。したがって、確実に過酸化水素水の濃度を低下させることができる。一般に、希釈された過酸化水素水は、希釈される前の過酸化水素水と比べ霧化され易い。本実施形態の振動子制御部302は、例えば、図16の時刻t3~t4に示すように、希釈された過酸化水素水を霧化させるべく、超音波振動子1121を制御し、動作させ続けている。このため、滅菌ガス発生装置1035に残留する過酸化水素水を減らすことができるため、滅菌ガス発生装置1035の劣化を防ぐことができる。また、例えば、図16の時刻t4のタイミングのように、判別部307が、希釈された過酸化水素水が霧化してから所定量B2になったことを判定すると、バルブ制御部300及びポンプ制御部301は、純水をカップ1100に供給する。このため、本実施形態では、時刻t2で希釈された過酸化水素水が再度希釈されることになる。この結果、本実施形態では、滅菌ガス発生装置1035を劣化させる過酸化水素水の濃度をより低下させることができる。尚、本実施形態では純水を供給する繰返しの所定値を4として説明したがこれに限るものではなく、1以上の任意の回数を設定してよい。所定値を1としても本願発明の効果が得られるものである。一般に、例えば、所定量A1の過酸化水素水が霧化されて、所定量A2まで減少するまでの時間は、実験的、または理論的に予測することが可能である。そこで、判別部304は、タイマー303が所定の時間TAを計時すると、過酸化水素水の量が所定量A2になったことを判別し、判別部307は、タイマー305が所定の時間TBを計時すると、希釈された過酸化水素水の量が所定量B2になったことを判別している。このように、本実施形態では、滅菌ガス発生装置1035のカップ1100に残留する量を計測することなく、所望のタイミングで過酸化水素水を希釈することができる。また、例えば、初期の過酸化水素水の所定量A1が増加し、希釈する際の過酸化水素の所定量A2が減少すると、時間TAは長くなる。一方、例えば、初期の過酸化水素水の所定量A1が減少し、希釈する際の過酸化水素の所定量A2が増加すると、時間TAは短くなる。時間TBも時間TAと同様であるが、このように、時間TAを、所定量A1,A2に応じて変化させることにより、希釈するタイミングの精度を向上させることができる。なお、上記実施例は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物も含まれる。判別部304は、時間TAを算出したがこれに限られない。例えば、所定量A1から所定量A2まで減少する時間を実際に測定し、測定結果を示す情報をデータとして記憶装置1070に記憶させても良い。そして、判定部304は、利用者の操作部1024の操作結果から得られる所定量A1,A2に関する情報に基づいて、記憶装置1070に記憶されたデータを参照し、時間TAを定めても良い。次に、本発明の実施例3について説明する。図17は、本発明の一実施形態であるアイソレータ2010の構成を示す図である。アイソレータ2010は、作業者が滅菌された環境で細胞の作業等を行うための装置であり、滅菌ガス発生ユニット202020、供給装置2021、作業室2022、排出装置2023、及び制御装置2024を含んで構成される。滅菌ガス発生ユニット2020は、商用電源を電源として滅菌ガスを発生させる装置ユニットであり、タンク2030、ポンプ2031、パイプ2032、変圧器2033、駆動装置2034、滅菌ガス発生装置2035、及び変流器2036を含んで構成される。なお、ポンプ2031、駆動装置2034の動作は、制御装置2024により制御される。タンク2030は、過酸化水素水過酸化水素H2O2が溶解した水溶液を貯蔵する。ポンプ2031は、タンク2030から過酸化水素水を汲み上げ、パイプ2032を介して滅菌ガス発生装置2035に供給する。変圧器2033は、商用電源を変圧し、駆動装置2034を動作させるための電源電圧を生成する。駆動装置2034駆動部は、変圧器2033で変圧された電源電圧が供給されると起動し、制御装置2024からの指示に基づいて、滅菌ガス発生装置2035を駆動する。具体的には、駆動装置2034は、制御装置2024から滅菌ガスの発生させるための指示が入力されると、滅菌ガス発生装置2035の後述する超音波振動子を振動させる。滅菌ガス発生装置2035は、供給される過酸化水素水から滅菌ガスである過酸化水素ガスを発生し、キャリアガスである空気とともに供給装置2021へと供給する。なお、滅菌ガス発生装置2035の詳細については後述する。変流器2036測定部は、駆動装置2034の電源である変圧器2033から駆動装置2034に供給される電流IAを測定するためのカレントトランスである。供給装置2021は、供給される過酸化水素ガス、またはアイソレータ2010の外部の空気を作業室2022へと供給する装置であり、電磁バルブ2040、及びファン2041を含んで構成される。電磁バルブ2040は、制御装置2024の制御に基づいて、過酸化水素ガス、または外部の空気をファン2041に供給する。ファン2041は、電磁バルブ2040から供給される過酸化水素ガス、または空気を作業室2022へと供給する。作業室2022は、細胞の作業を行う空間であり、作業室2022には、エアフィルタ2050,2051、扉2052、及び作業用グローブ2053が設けられている。エアフィルタ2050は、ファン2041から供給される過酸化水素ガス、または空気に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。エアフィルタ2051は、作業室2022から排出されるガス等に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。なお、エアフィルタ2050,2051には、例えば、HEPAHighEfficiencyParticulateAirフィルタが用いられる。扉2052は、細胞等を作業室2022に搬入するために作業室2022の前面に開閉可能に設けられている。作業用グローブ2053は、扉2052が閉じられた状態で作業者が作業室2022内の細胞等を作業できるよう、扉2052に設けられた開口部不図示に取り付けられている。なお、扉2052が閉じられた状態では、作業室2022は密閉される。排出装置2023は、作業室2022から過酸化水素ガスや空気等のガスを排出するための装置であり、電磁バルブ2060、及び滅菌処理装置2061を含んで構成される。電磁バルブ2060は、制御装置2024からの制御に基づいて、エアフィルタ2051から出力されるガスを、滅菌処理装置2061、または滅菌ガス発生装置2035の何れかに供給する。なお、電磁バルブ2060からの出力が滅菌ガス発生装置2035へと供給される場合、作業室2022のガスは循環されることになる。滅菌処理装置2061は触媒を備え、電磁バルブ2060から出力されるガスを無害化および滅菌処理をしてアイソレータ2010の外部へと出力する。制御装置2024は、アイソレータ2010の各ブロックを制御する装置であり、操作部2070、表示部2071、ADコンバータ2072、記憶装置2073、及びマイコン2074を含んで構成される。操作部2070は、利用者がアイソレータ2010の動作を設定するための操作パネル等である。なお、操作部2070の操作結果はマイコン2074へと送信される。表示部2071は、操作部2070の操作結果や、アイソレータ2010の各ブロックの状態等を表示する表示パネルである。ADコンバータADC2072は、変流器2036で測定された電流IAをデジタルデータに変換する。記憶装置2073は、マイコン2074が実行するプログラムデータや、各種データを記憶する。マイコン2074は、記憶装置2073に記憶されたプログラムデータを実行することにより、各種機能を実現する。例えば、操作部2070から、滅菌ガスを発生させるため指示が出力されると、マイコン2074は、滅菌ガスを発生させるための所定のプログラムを実行し、ポンプ2031等を制御する。また、マイコン2074には、ADコンバータ2072でデジタル化された電流IAが入力される。なお、滅菌ガス発生ユニット2020及び制御装置2024が滅菌物質発生装置に相当する。==滅菌ガス発生装置2035の詳細==図18は、滅菌ガス発生装置2035の側面図である。なお、図18において、一部のブロックは断面図で描かれている。滅菌ガス発生装置2035は、過酸化水素水を貯留するカップ2100、カップ2100を保持する保持台2110を備えている。カップ2100には、上側Z方向と下側-Z方向に開口部が設けられている。カップ2100の下側の開口部2200には、開口部2200をふさぐように振動板2101が、開口部2201を有するリング状の取り付け板2102及びボルト2103で固着されている。また、カップ2100、振動板2101、取り付け板2102、及びボルト2103は第2貯留部に相当する。カップ2100を保持する保持台2110の内側には、カップ2100の振動板2101を振動させるための伝播水を貯留すべく、仕切り板2120が取り付けられている。また、仕切り板2120には、振動板2101を超音波で振動させるための超音波振動子2121が、水平方向から所定の角度となるように設けられている。つまり、超音波振動子2121は、超音波振動子2121が超音波を発生する面がX軸方向から所定の角度となるよう、仕切り板1210に取り付けられている。また、カップ2100の底面の振動板2101は振動板2101が伝播水に浸り、超音波振動子2121が超音波を発生する面と、振動板2101の-Z方向の面とが平行になるように取り付けられている。つまり、振動板2101は、振動板2101の-Z方向の面がX軸方向から所定の角度となるようにカップ2100に取り付けられている。超音波振動子2121は、駆動装置2034により駆動されて超音波を発生する。このため、伝播水を介して超音波が振動板2101に供給されると振動板2101は振動する。そして、カップ2100に貯留された過酸化水素水液体は霧化される。なお、保持台2110の内側に貯蔵された伝播水は、保持台2110の側面に設けられたポート不図示を介して入れ替え可能である。また、保持台2110、及び仕切り板2120は第1貯留部に相当する。保持台2110の上側には、過酸化水素ガスを外部へ供給するための供給管2140と、供給管2140を支持する支持部材2150が設けられている。支持部材2150は、保持台2110の上面に設置された筒状部材2151と、筒状部材2151の上面に設けられたフランジ2152を含む。筒状部材2151の径は、円筒状の供給管2140の径よりも大きく、筒状部材2151の-X側の側面には、キャリアガス作業室2022を循環する空気が供給されるポート2153が設けられている。フランジ2152は、筒状部材2151の上面の開口部を閉じつつ、中心は供給管2140が貫通されている。また、フランジ2152の上面には、過酸化水素水が供給されるパイプ2032を通すためのポート2154が設けられている。なお、パイプ2032は、ポート2154と、供給管2140の側面に設けられた開口部を介して、カップ2100に過酸化水素水等が供給できるよう、供給管2140の側面に固定されている。また、カップ2100の上側には、霧化された過酸化水素水を加熱し、気化するためのヒーター2130が設けられている。ヒーター2130で加熱され、ガス化した過酸化水素ガスは、供給されるキャリアガスとともに供給管2140に設けられたポート2141から出力される。ポート2141は、前述の供給装置2021の電磁バルブ2040にパイプを介して接続される。このように、カップ2100で霧化された過酸化水素水は、過酸化水素ガスとしてポート2141から供給装置2021へと供給される。なお、制御装置2024、駆動装置2034、変流器2036、カップ2100、振動板2101、取り付け板2102、ボルト2103、保持台2110、仕切り板2120、及び超音波振動子2121は霧化装置に相当し、ヒーター2130、供給管2140は気化部に相当する。==電流IAの測定波形について==ここで、図19を参照しつつ、カップ2100に例えば純水以下、単に水をするを予め投入してカップ2100に水が有る場合と、水が無い場合の夫々について、超音波振動子2121を動作させた際の電流IAの電流値の測定波形を説明する。なお、ここでは、カップ2100の底面に取り付けられた振動板2101には亀裂等はなく、カップ2100の内部への伝播水の浸入は無いこととする。また、図19では、カップ2100へ水を1単位量、2単位量、3単位量の夫々を投入した場合と、水が無い場合0gの測定結果を示している。図19から明らかなように、超音波振動子2121の動作を開始させると、カップ2100に水が有る場合1~3単位量は、無い場合0gと比べ、電流IAのバラツキ、すなわち電流IAの変動が大きくなる。なお、図19は、カップ2100に水を投入した場合の実験結果であるが、例えば、水の代わりに過酸化水素水を投入しても同様の波形となる。また、カップ2100と振動板2101との間に隙間があり、カップ2100に水が浸入している場合等も同様である。このように、超音波振動子2121を動作させている間の電流IAの測定波形は水の有無により大きく異なる。したがって、電流IAの測定結果を用いることにより、カップ2100に水等の液体があるか無いかを判別することが可能となる。ここで、図20を参照しつつ、電流IAの測定波形を用いてカップ2100に液体が有るか無いかの判別方法の一例を説明する。図20は、カップ2100の水が0~3単位量の際に測定された電流IAの変動の絶対値を順次加算した結果である。なお、電流IAの変動は、例えば、電流IAをADコンバータ2072でサンプリングしてデジタル化した際に、現在の電流値と、1サンプル前の電流値との差で算出される。このように算出される電流IAの変動を加算すると、カップ2100に水がある場合の加算結果は、水が無い場合の加算結果と比べ大きくなる。また、図19、図20に示すように、カップ2100に水が無い場合と有る場合との違いは、超音波振動子2121の振動が開始された直後において、最も顕著であり、振動開始直後のタイミングの所定の値I1を用いれば良い。但し、特に図示しないが、振動開始直後には水が無い場合であっても、例えばノイズ等により電流IAの変動が大きくなる場合もある。この場合、ノイズ等の影響を抑制すべく、超音波振動子2121の振動が開始された直後より時間的に遅いタイミングで、夫々の場合の加算結果を比較することでノイズの影響を抑制してもよい。図19、図20を使って説明すると、ノイズが抑制されるタイミングを超音波振動子2121の振動が開始されてから所定時間t1だけ経過したタイミングとし、超音波振動子2121の振動が開始されてから所定時間t1だけ経過したタイミングでの加算結果が、水が無い場合の加算結果の例えば1.2倍の所定の値I1を超えていたら、カップ2100には水等の液体が有ると判定できる。一方、所定時間t1における加算結果が、所定の値I1よりも小さい場合、カップ2100には液体が無いと判定できる。なお、所定の値I1は、振動開始から所定時間t1後における水が無い場合の加算結果にマージンを持たせている。したがって、ノイズの影響があらかじめ少ないことが分かっている場合には、上記の所定時間t1を振動開始直後に設定することで、判定時間を短縮することができる。==マイコン2074の詳細について==滅菌ガス発生ユニット2020に過酸化水素ガスを発生させる際に、マイコン2074により実現される機能ブロックについて説明する。マイコン2074は、操作部2070から、過酸化水素ガスを発生させるための指示が入力されると、所定のプログラムを実行し、図21に示すような、算出部2300、判定部2301、制御部2302の機能を実現する。算出部2300は、ADコンバータ2072から順次出力されるデジタル化された電流IAを取得し、電流IAの変動の大きさを算出する。具体的には、算出部2300は、現在の電流IAの電流値と、1サンプル前に取得したとの差を算出する。さらに算出部2300は、算出された差の絶対値を順次加算する。判定部2301は、超音波振動子2121の振動が開始されてから所定時間t1だけ経過したタイミング、すなわち、ノイズの影響が抑制されたタイミングの算出部2300の加算結果S1電流IAの変動の大きさに基づく値と、前述の所定の値I1とを比較する。そして、判定部2301は、加算結果S1が所定の値I1を超えている場合、カップ2100に液体は存在すると判定する。一方、判定部2301は、加算結果S1が所定の値I1を超えていない場合、カップ2100に液体は存在しないと判定する。なお、前述の所定の値I1は、例えば、記憶装置2073に予め記憶されている。制御部2302は、操作部2070からの処理を開始させる指示が入力されると、駆動装置2034を制御し超音波振動子2121を駆動させる。また、制御部2302は、判定部2301がカップ2100には液体が無いと判定すると、過酸化水素ガスを発生させるべく、ポンプ2031、ヒーター2130を制御する。一方、制御部2302は、判定部2301がカップ2100には液体が有ると判定すると、カップ2100に液体が有ることを表示部2071に表示させる。==マイコン2074の処理の一例について==滅菌ガス発生ユニット2020に過酸化水素ガスを発生させる場合において、マイコン2074が実施する処理の一例を、図22を参照しつつ説明する。まず、操作部2070が操作され、過酸化水素ガスを発生させるための指示が制御部2302に入力されると、制御部2302は、超音波振動子2121を動作させるS2100。そして、算出部2300は、ADコンバータ2072から順次出力されるデジタル化された電流IAを取得し、現在の電流IAの電流値と、1サンプル前の電流IAの電流値との差を算出するS2101。また、算出部2300は、算出した差の絶対値を順次加算するS2102。そして、判定部2301は、超音波振動子2121の振動が開始されてから所定時間t1だけ経過した際の加算結果S1と、所定の値I1とを比較するS2103。そして、判定部2301は、加算結果S1が所定の値I1を超えていない場合S2103:NO、カップ2100に液体は無いと判定するS2104。そして、カップ2100に液体は無いと判定されると、制御部2302は、過酸化水素水がカップ2100に供給されるようにポンプ2031を動作させた後、過酸化水素ガスが発生するようにヒーター2130を加熱するS2105。一方、判定部2301は、加算結果S1が所定の値I1を超えている場合S2103:YES、カップ2100に何らかの液体は有ると判定するS2106。そして、カップ2100に液体が有ると判定させると、制御部2302は、カップ2100に液体が有ることを表示部2071に表示させるS2107。このように、滅菌ガス発生装置2035は、カップ2100に液体が無いと判定された場合にのみ過酸化水素ガスを発生させる。一方、カップ2100に液体が有ると判定されると、表示部2071にその旨が表示される。このため、例えば利用者は、表示部2071の表示を確認した後に、振動板2101に亀裂等が無いか、またはカップ2100と振動板2101との間に隙間等が無いか等を確認できる。以上、本実施形態のアイソレータ2010について説明した。本実施形態では、電流IAの変動に基づいて、カップ2100に何らかの液体が有るかを判定したがこれに限られない。図19に示すように、カップ2100に液体がある場合とない場合とでは、電流IAの測定波形が異なる。このため、例えば、図19における水が0gの電流IAの波形を基準波形とし、超音波振動子2121を動作させてからの測定した電流IAの波形と、基準波形との差を算出してカップ2100の液体の有無を判定しも良い。具体的には、例えば、水が無い場合に測定される電流IAの測定波形と基準波形との差は、水がある場合に測定される電流IAの測定波形と基準波形との差よりも小さくなる。このような現象に基づいて、判定部2301にカップ2100に何らかの液体が有るかを判定させても良い。ところで、本実施形態においてカップ2100に液体がある場合とは、例えば、滅菌ガス発生装置2035を動作させた際の過酸化水素水が残留している場合や、振動板2101に亀裂等が生じ伝播水がカップ2100に振動板2101を介して浸入している場合が想定される。このため、判定部2301は、カップ2100に過酸化水素水が残留しているか、または伝播水が振動板2101を介して浸入しているかを判定できる。このように、本実施形態では、実際にカップ2100の状態を確認することなく、カップ2100に何らかの液体が存在しているか否かを検出することができる。また、カップ2100に水が無い場合の電流IAの変動の大きさは、超音波振動子2121が超音波を発生する面と振動板2101の底面とが平行に設置されていない場合より、平行に設置されている場合の方が小さくなることが実験的に明らかになった。さらに、カップ2100に水が有る場合の電流IAの変動の大きさは、超音波振動子2121が超音波を発生する面と振動板2101の底面とが平行に設置されていない場合と他の場合とでは大きく変動しないことが実験的に明らかになった。滅菌ガス発生装置2035では、超音波振動子2121が超音波を発生する面と、振動板2101の底面とが平行に設置されている。このため、カップ2100に水が無い場合と有る場合との電流IAの波形の差が顕著となる。このような構成とすることで、より精度良く、カップ2100に何らかの液体が存在しているか否かを検出可能となる。また、電流IAの変動の大きさは、図19に示すようにカップ2100に液体が存在しているか否かに応じて変化する。このため、本実施形態のような算出部2300、判定部2301を用いることにより、カップ2100に液体が存在しているか否かの判定が可能となる。また、図19、図20に示すように、超音波振動子2121の振動が開始された直後においても、カップ2100に水が無い場合と有る場合とを判定できる。但し、振動開始直後には、例えばノイズ等により電流IAの変動は大きくなる場合もある。しかしながら、本実施形態の判定部2301は、振動開始から所定時間t1後のタイミングを振動開始直後から時間的に遅いタイミング等に設定することで、ノイズ等の影響を抑制した状態で判定している。このため、本実施形態では、ノイズ等の影響を抑制することもでき、精度良くカップ2100の液体の有無を判定できる。また、例えば、算出部2300で算出される加算結果S1が所定の値I1を超えていたら、判定部2301はカップ2100には液体が有ると判定している。図19に示すように、カップ2100に液体が無い場合の電流IAの変動の大きさより、カップ2100に液体がある場合の電流IAの変動の大きさは大きくなる。このため、本実施形態のような算出部2300、判定部2301を用いることによりカップ2100の液体の有無を判定できる。なお、上記実施例は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物も含まれる。例えば、算出部2300は、電流IAの差を電流IAの変動の大きさとしているが、これに限られない。例えば、電流IAの標準偏差を電流IAの変動の大きさとしても良い。具体的には、カップ2100に液体が有る場合の電流IAの標準偏差は、カップ2100に液体が無い場合の電流IAの標準偏差と比べ大きくなる。電流IAの標準偏差の大小に応じて、判定部2301にカップ2100の液体の有無を判定させても良い。なお、このような場合、カップ2100に液体が無い場合の電流IAの標準偏差を記憶装置2073に記憶させ、判定部2301に参照させることにより、本実施形態と同様に液体の有無を判定可能である。また、例えば、算出部2300は電流IAの差を順次加算したが、例えば、電流IAの差の平均値を算出させても良い。カップ2100に液体がある場合の電流IAの差の平均値は、カップ2100に液体が無い場合の電流IAの差の平均値より大きくなる。このような算出結果に基づいて、判定部2301にカップ2100の液体の有無を判定させても良い。"