被検材である厚板の表面に存在する欠陥を、被検材の搬送中に渦流式センサを用いて検出する方法であって、前記渦流式センサは、E型形状の強磁性体の3本の脚部にコイルを巻き、中央の脚部を励磁コイルとし、外側の2つの脚部を検出コイルとしたE型センサから構成し、そのE型センサを複数個、前記被検材の搬送方向に沿って互いに離間して配置すると共に、隣接するE型センサどうしを前記被検材の搬送方向から見て隙間がないように配置し、さらに、各E型センサの各コイルを構成する磁極面と厚板との距離を20~30mmに調整して、前記渦流式センサの励磁コイルに交流電圧を印加して前記被検材に渦電流を発生させ、この渦電流によって、前記被検材の搬送方向に直角な方向に並べた2つの検出コイルに生じる誘起電圧を検出し、それらの検出信号の差分信号に基づいて欠陥の検出を行うことを特徴とする厚板の表面欠陥検出方法。前記差分信号の波形に対して、1信号差、2信号変化の急峻度、および3信号変化部分の面積、をそれぞれ求め、それらを評価指標として欠陥を特定することを特徴とする請求項1に記載の厚板の表面欠陥検出方法。そこで、本発明は、従来技術では未解決であった上記不感帯にかかる本質的な問題を解決して、被検材の先尾端付近に存在するヘゲ等の密着性未開口の欠陥を正確に検出し、特定することができる厚板の表面欠陥検出方法を提案することを目的とする。本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、以下のような内容を要旨構成とする発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、被検材である厚板の表面に存在する欠陥を、被検材の搬送中に渦流式センサを用いて検出する方法であって、前記渦流式センサは、E型形状の強磁性体の3本の脚部にコイルを巻き、中央の脚部を励磁コイルとし、外側の2つの脚部を検出コイルとしたE型センサから構成し、そのE型センサを複数個、前記被検材の搬送方向に沿って互いに離間して配置すると共に、隣接するE型センサどうしを前記被検材の搬送方向から見て隙間がないように配置し、さらに、各E型センサの各コイルを構成する磁極面と厚板との距離を20~30mmに調整して、前記渦流式センサの励磁コイルに交流電圧を印加して前記被検材に渦電流を発生させ、この渦電流によって、前記被検材の搬送方向に直角な方向に並べた2つの検出コイルに生じる誘起電圧を検出し、それらの検出信号の差分信号に基づいて欠陥の検出を行うことを特徴とする厚板の表面欠陥検出方法である。なお、本発明においては、前記差分信号の波形に対して、1信号差、2信号変化の急峻度、および3信号変化部分の面積、をそれぞれ求め、それらを評価指標として欠陥を特定すること特定することができる。本発明によれば、渦流式センサの2つの検出コイルを被検材の幅方向に並置することで、被検材の先尾端付近で生じる不感帯を最小化できるので、先尾端付近に存在するヘゲ等の密着性未開口欠陥を正確に検出することができる。また、本発明によれば、2つの検出コイルの検出信号の差分信号の波形から、ヘゲの始点から終点までのヘゲ部分の特定がしやすくなる。従って、差分信号の波形から、1信号差レベル、2信号変化の急峻度傾きおよび3信号変化部分の面積、を求め、それらを評価指標とする総合的判断によって、通常のしきい値判断に比べて、より高度なヘゲの検出、特定ヘゲの位置、長さ等が可能になると共に、ヘゲの誤検出を防止することができるという効果がある。本発明は、渦流探傷法で広く用いられている自己比較方式において、通常、被検材の搬送方向長手方向に配置する渦流式センサの2つの検出コイルを、被検材の幅方向に並置することによって、被検材の先尾端付近で生じる不感帯を最小化して、先尾端付近に存在するヘゲの検出、特定を正確に行うことを特徴とする。具体的には、従来技術のような自己比較方式では、2つの検出コイルの検出信号の差分信号に基づいて欠陥検出を行うものであるが、2つの検出コイルを被検材の搬送方向長手方向に配置した場合、図7に示すように、被検材の先尾端において、一方の検出コイルは被検材の上、他方の検出コイルは被検材の外となってコイル出力のアンバランスが大きく、欠陥でないにもかかわらず差分信号が大きく変動するため、原理的に欠陥の検出が出来ない領域不感帯が長くなってしまう。それに対して、本発明のように、2つの検出コイルを被検材の幅方向に配置した場合は、図1に示すように、被検材の先尾端が2つの検出コイルを結んだ領域内に同じタイミングで入ると共に、その領域から同じタイミングで脱するので、差分信号の変動を最小限に抑制することができる。その結果、先尾端付近の不感帯を最小化できるのである。例えば、被検材の幅方向を規定する左右の2つのコーナーに対応した位置に、少なくとも1つの渦流式センサを配置させることによって、コーナーヘゲと呼ばれる欠陥を正確に検出することができる。また、このような渦流式センサは、E型形状の強磁性体の3本の脚部にコイルを巻き、中央の脚部を励磁コイルとし、外側の2つの脚部を検出コイルとしたE型センサから構成すると共に、このようなE型センサを被検材の幅方向に複数個配列させることが望ましい。例えば、上記被検材の左右のコーナーに対応した位置に配置させた少なくとも1つの渦流式センサに加えて、被検材の幅方向に沿った中間位置に少なくとも1つの渦流式センサを配置させることによって、被検材のコーナー付近だけでなく、中間位置において発生したヘゲも検出することができる。また、本発明において、前記複数個のE型センサを、前記被検材の搬送方向に沿って互いに離間配置させると共に、隣接するE型センサどうしを前記被検材の搬送方向から見て隙間がないように配置させることがより望ましい。例えば、複数個のE型センサを、図2に示すような千鳥配列させることによって、各E型センサが被検材の幅方向に隙間なく配置されることになるので、ヘゲの大きさ被検材の搬送方向に沿った長さおよび幅をより正確に特定することができる。なお、渦流式センサを被検材の幅方向に沿って複数個配列する際に、同一の渦流式センサの検出コイルどうしの差分信号をとるだけでなく、隣接する渦流式センサの隣接する検出コイル間の差分信号をとることもできるし、1個以上離れた渦流式センサの検出コイル間の差分信号をとることもできる。また、隣接する渦流式センサの隣接しない検出コイル等を組にして差分をとることもできる。一般的には、差分をとる検出コイルの位置があまり離れると測定条件が同一でなくなるという問題があるので、なるべく近い検出コイル同士で横差分をとることが望ましい。本発明において、各検出コイルで得られた信号の差分信号からどのようにして、ヘゲを検出、確定するのかについて説明すると、まず、図1aに示すような差分信号波形において、1信号差レベル、2傾き、および3面積をそれぞれ求め、それらの値が夫々のしきい値をすべて超えた場合にヘゲと判断する。そして、ヘゲの始点および終点は、PLGPLG信号:1mm/パルスによるトラッキングで位置情報が求まるので、ヘゲの長さは、始点~終点間の距離として求まるのである。本発明にかかる表面欠陥検出方法は、例えば、図3に示すような渦流式探傷装置を用いて実施することができる。この渦流式探傷装置は、強磁性体であるE型コアの中央磁極を励磁コイル10とし両側の各磁極を検出コイル12、14とした渦流式センサ20を被検材の幅方向に複数配列した渦流式センサ群と、各渦流式センサ20に交流電流を供給する電源装置22と、各々の渦流式センサ毎の二つの検出コイル12、14からの出力を入力し、コイルのインピーダンス変化による微小な信号変化電圧変化を取り出すためのブリッジ回路24と、ブリッジ回路24から出力された信号の差分を演算して増幅する差動増幅器26と、この差動増幅器26の信号を位相検波する位相検波回路28と、位相検波された信号から、1信号差レベル、2信号変化の急峻度および3信号変化部分の面積を求め、それらの値を評価指数としてヘゲを特定するデータ処理装置30とから構成される。各々の渦流式センサ毎の二つの検出コイル12、14の出力は、ブリッジ回路24を介してそれぞれ差動増幅器26において差動増幅されて位相検波回路28に供給される。位相検波回路28は、励磁コイル10への励磁電流の位相と一定の位相差を持った波形を基準にして同期検波を行うことにより、欠陥に関する信号のみを取り出すもので、渦流探傷装置において通常使用されている公知のものである。前記同期検波された信号は、一定長さの周期例えば、長さ1mmでデータ処理装置30に取り込まれる。上記データ処理装置30は、例えば、パソコンで構成され、図4に示されるように、同期検波された信号の1信号差レベル、2信号変化の急峻度傾き、および3信号変化部分の面積、をそれぞれソフト演算処理で算出し、それらの演算結果を予め決められた夫々のしきい値と比較し、夫々のしきい値をすべて超える場合にヘゲと判断するロジック判定信号を総合的に処理して、ヘゲの位置、長さ等に関するデータを含んだヘゲ特定信号Sを出力する。このヘゲ特定信号Sによって、例えばアラーム表示をするように構成する。より具体的には、データ処理装置30に入力した差分信号図1aは、まずそこで微分されて信号波形の変曲点が求められ、始点~変曲点までの範囲で、1信号差レベル、2信号変化の急峻度傾き、3信号変化部分の面積、が計算され、夫々の演算結果が、予め決められた夫々のしきい値を超えた場合に、ヘゲであると判断される。信号波形の変曲点から始点終点が求まるので、それらの範囲がヘゲ部と判断される。以下、本発明にかかる表面欠陥検出方法を実施する具体例について、図1~図3を用いて説明する。この実施の形態は、被検材としての厚板40の裏面に存在するヘゲ42を検出する場合を例にしたものであり、3つのE型センサ20a~20cを格納するセンサボックス44を、例えば、図示を省略した厚板40を搬送する搬送テーブルのロール間に設置し、厚板40の搬送中にヘゲ42の検出を行なう。上記各E型センサ20a~20cは、励磁コイル10と、その励磁コイル10を挟んで厚板40の幅方向に並置された2つの検出コイル12、14を有し、かつ各磁極面が厚板40の裏面に垂直であるようにセンサボックス44内に固定されている。3つのE型センサは、図2に示されるように、厚板40の搬送方向に沿って互いに離間配置されていると共に、隣接するE型センサどうしが厚板40の搬送方向から見て隙間がないように千鳥配置されている。具体的には、センサーヘッド長が、60mm励磁コイル10と各検出コイル12、14との間の距離:27.5mmであるような渦流式センサ、例えば、NDR社製のE型センサを用いる。このような3つの千鳥配列されたE型センサは、搬送方向に沿った各E型センサ間の離間距離は、160mm~240mmの範囲であり、さらに、搬送方向に直角な方向への各E型センサのシフト距離は、15mm~45mmの範囲であるようにセンサボックス44内に固定され、各コイルを構成する磁極面と搬送テーブル上を移動する厚板40の裏面との間の距離が、20mm~30mmになるように調整されている。次に、厚板40の先尾端付近に存在するヘゲ42を検出する手順について説明する。1各E型センサ20a~20cの励磁コイル10で発生した磁束は、厚板40の裏面近傍を通って両側脚部の検出コイル12、14を通って励磁コイル10に戻る。その時、厚板40の裏面にヘゲ42等の欠陥が存在すると、検出コイル12側の磁気抵抗と検出コイル14側の磁気抵抗が異なるため、検出コイル12に誘起される電圧と検出コイル14に誘起される電圧に差が生じ、結果、それらの電圧を差動増幅器26に入力すると両者の差に対応した電圧となり、その後、位相検波器28で検波して出力される。2位相検波された出力信号を一定長さの周期例えば、長さ1mmでデータ処理装置30に取り込むと、ヘゲ42に応じた信号波形が得られる。3データ処理装置30においては、ヘゲ部42に応じて出力された差分信号の波形に対して、1信号差レベル、2信号変化の急峻度傾き、3信号変化部分の面積、がそれぞれ算出され、それらの演算結果が予め決められた夫々のしきい値と比較され、夫々のしきい値をすべて超える場合にヘゲと判断するロジック判定信号が出力される。これらのロジック判定信号は総合的に処理されて、ヘゲの位置、長さ、幅等に関するデータを含んだヘゲ特定信号Sを出力する。このヘゲ特定信号Sによって、オペレータに対してアナウンスを出すと共に、検出されたヘゲの位置、長さ、幅等をモニタ等に表示させることができる。