"上下動可能なヘッドに保持された部品をその側方から撮像する部品撮像装置であって、特定方向に一列に並ぶ複数の前記ヘッドをそれぞれ含み、かつ前記特定方向と直交する方向に並ぶ第1ヘッド列及び第2ヘッド列を有するヘッドユニットと、前記各ヘッド列のヘッドに保持される部品に側方から照明光を照射する照明手段と、前記ヘッドに保持される部品を撮像するイメージセンサ及び部品の画像である前記部品からの光を前記イメージセンサに導光する光学系を備える撮像ユニットと、前記ヘッドユニットと前記撮像ユニットとを相対的に前記特定方向に移動させる移動手段と、前記撮像ユニットによる部品の撮像動作に関する制御を行う撮像制御手段と、を備え、前記光学系は、第1撮像高さ位置に配置された前記第1ヘッド列のヘッドに保持される部品の画像であって当該部品にピントが合った画像である合焦画像が得られるように光路長が設定された第1導光部、及び第2撮像高さ位置に配置された前記第2ヘッド列のヘッドに保持される部品の前記合焦画像が得られるように光路長が設定された第2導光部を含み、前記撮像制御手段は、前記移動手段を制御し、前記撮像ユニットと前記ヘッドユニットとを相対的に前記特定方向に移動させながら前記撮像ユニットにより各ヘッドに保持された部品を撮像させるとともに、この撮像の際に、前記両導光部のうち撮像対象部品が保持されたヘッドが含まれるヘッド列に対応する導光部によって当該撮像対象部品からの光が前記イメージセンサに導光されるように前記ヘッドの高さ及び前記イメージセンサの露光タイミングを制御することを特徴とする部品撮像装置。請求項1に記載の部品撮像装置において、所定の側面視方向からの側面視で前記第1ヘッド列の各ヘッドと前記第2ヘッド列の各ヘッドとが前記側面視方向と直交する方向に互いにずれるように配列されており、前記照明手段は、前記側面視方向と平行な方向に照明光を照射するものであり、前記撮像制御手段は、前記第1撮像高さ位置及び第2撮像高さ位置として前記各ヘッド列のヘッドを同じ撮像高さ位置に配置した状態で前記ヘッドユニット対して前記撮像ユニットを相対的に前記特定方向に移動させることにより、前記各ヘッド列のヘッドに保持された部品を当該撮像ユニットに撮像させることを特徴とする部品撮像装置。請求項2に記載の部品撮像装置において、前記側面視方向は、前記特定方向と直交する方向であることを特徴とする部品撮像装置。請求項1に記載の部品撮像装置において、前記第1ヘッド列の各ヘッドと前記第2ヘッド列の各ヘッドとが前記特定方向の同じ位置に位置するように配列されており、前記撮像ユニットは、前記各ヘッドに保持される部品からの光のうち前記特定方向と直交する方向の光を前記光学系により前記イメージセンサに導光することにより前記第1ヘッド列の側から部品を撮像するものであって、かつ、前記第2撮像高さ位置よりも前記第1撮像高さ位置が高くなるように前記光学系の各導光部が構成されており、前記撮像制御手段は、前記第1ヘッド列の各ヘッドに保持される部品が前記第1撮像高さ位置に配置され、かつ前記第2ヘッド列の各ヘッドに保持される部品が第2撮像高さ位置に保持されるように各ヘッドを配置した状態で、前記ヘッドユニット対して前記撮像ユニットを相対的に前記特定方向に移動させることにより、前記各ヘッド列のヘッドに保持された部品を前記撮像ユニットに撮像させることを特徴とする部品撮像装置。請求項1乃至4の何れか一項に記載の部品撮像装置において、前記第1導光部及び前記第2導光部は、第1ヘッド列と第2ヘッド列との間で互いに隣接する一対のヘッドに保持された部品からの光を前記イメージセンサの互いに異なる受光領域に同時に導光することを特徴とする部品撮像装置。請求項1乃至5の何れか一項に記載の部品撮像装置において、前記第1ヘッド列のヘッドに保持される部品を第1部品、前記第2ヘッド列のヘッドに保持される部品を第2部品としたときに、前記照明手段は、互いに隣接する第1部品及び第2部品を一対としてこれら部品に対して照明光を照射するものであり、前記イメージセンサに入射する前記第1部品からの光と前記イメージセンサに入射する前記第2部品の光とが互いに異なる波長成分を含むように前記照明手段から前記イメージセンサに至る光路内に特定波長成分の光をフィルタリングするフィルタ手段をさらに備えることを特徴とする部品撮像装置。請求項6に記載の部品撮像装置において、前記照明手段は、前記第1部品に第1波長の照明光を照射する第1光源、及び第2部品に前記第1波長とは異なる第2波長の照明光を照射する第2光源を含み、前記フィルタ手段は、前記イメージセンサに入射する前記第1部品からの光が第2波長の光成分を含まないように当該2波長成分の光を除去する第1フィルタ、及び前記イメージセンサに入射する前記第2部品からの光が第1波長の光成分を含まないように当該1波長成分の光を除去する第2フィルタのうち少なくとも一方を備えることを特徴とする部品撮像装置。請求項7に記載の部品撮像装置において、前記第1フィルタは、前記第1光源から前記第1部品に照射される第1波長の照明光から第2波長の光成分を除去する第1上流側フィルタ及び前記第1部品からの光のうち前記第2波長の光成分を除去する第1下流側フィルタのうち少なくとも一方を備えるものであり、前記第2フィルタは、前記第2光源から前記第2部品に照射される第2波長の照明光から第1波長の光成分を除去する第2上流側フィルタ及び前記第2部品からの光のうち前記第1波長の光成分を除去する第2下流側フィルタのうち少なくとも一方を備えるものであることを特徴とする部品撮像装置。部品供給部から部品を取り出して基板上に実装する部品実装装置であって、請求項1乃至8の何れか一項に記載の部品撮像装置と、前記移動手段を制御することにより、前記ヘッドユニットの各ヘッドに保持された部品を基板上に実装する実装制御手段と、を含むことを特徴とする部品実装装置。近年、実装動作の効率化を図るために、ヘッドユニットに多数のヘッドが搭載される傾向がある。この場合、ヘッドユニットの大型化を抑える観点から、複数のヘッドが複数列に配列、例えば前後2列に配列された状態でヘッドユニットに搭載されることが考えられる。ところが、このように複数のヘッドが前後2列に配列される構成では、前後に並んだヘッドに保持される持部品同士が重なるため、部品の投影画像を撮像することが困難となる。本発明は、このような事情に鑑みて成されたものであり、部品実装用の複数のヘッドが2列に配列された状態でヘッドユニットに搭載される場合に、各ヘッドに保持される部品をそれらの側方から優劣なく良好に撮像するための技術を提供することを目的とする。上記課題を解決するための手段として、出願人は、各列のヘッドを相互にずらすことで2列に配列された各ヘッドの保持部品を側方から撮像することが可能となる点に着目した。しかし、単に各列のヘッドをずらして共通のカメライメージセンサで保持部品を撮像する場合には、ヘッドとカメラとの距離について列間で遠近差が生じるため、ヘッドに保持された全ての部品を同等の画像品質で撮像することが困難となる。このような課題は、次のような本発明により解決される。すなわち、本発明の一の局面にかかる部品撮像装置は、上下動可能なヘッドに保持された部品をその側方から撮像する部品撮像装置であって、特定方向に一列に並ぶ複数の前記ヘッドをそれぞれ含み、かつ前記特定方向と直交する方向に並ぶ第1ヘッド列及び第2ヘッド列を有するヘッドユニットと、前記各ヘッド列のヘッドに保持される部品に側方から照明光を照射する照明手段と、前記ヘッドに保持される部品を撮像するイメージセンサ及び部品の画像である前記部品からの光を前記イメージセンサに導光する光学系を備える撮像ユニットと、前記ヘッドユニットと前記撮像ユニットとを相対的に前記特定方向に移動させる移動手段と、前記撮像ユニットによる部品の撮像動作に関する制御を行う撮像制御手段と、を備え、前記光学系は、第1撮像高さ位置に配置された前記第1ヘッド列のヘッドに保持される部品の画像であって当該部品にピントが合った画像である合焦画像が得られるように光路長が設定された第1導光部、及び第2撮像高さ位置に配置された前記第2ヘッド列のヘッドに保持される部品の前記合焦画像が得られるように光路長が設定された第2導光部を含み、前記撮像制御手段は、前記移動手段を制御し、前記撮像ユニットと前記ヘッドユニットとを相対的に前記特定方向に移動させながら前記撮像ユニットにより各ヘッドに保持された部品を撮像させるとともに、この撮像の際に、前記両導光部のうち撮像対象部品が保持されたヘッドが含まれるヘッド列に対応する導光部によって当該撮像対象部品からの光が前記イメージセンサに導光されるように前記ヘッドの高さ及び前記イメージセンサの露光タイミングを制御するものである。この部品撮像装置によれば、第1ヘッド列の各ヘッドに保持された部品については、当該部品からの光が光学系の第1導光部によりイメージセンサに導光されることで、第1ヘッド列の各ヘッドに保持された部品ついてそれぞれ焦点の合った画像が取得される。他方、第2ヘッド列の各ヘッドに保持された部品についても、当該部品からの光が光学系の第2導光部によりイメージセンサに導光されることで、当該第2ヘッド列の各ヘッドに保持された部品ついてそれぞれ焦点の合った画像が取得される。そのため、何れのヘッド列の保持部品についても遜色のない合焦画像を取得することが可能となる。なお、請求項1の記載において、部品からの光とは、部品の投影画像としての光および反射画像としての光の双方を意味するものである。上記部品撮像装置は、より具体的に、所定の側面視方向からの側面視で前記第1ヘッド列の各ヘッドと前記第2ヘッド列の各ヘッドとが前記側面視方向と直交する方向に互いにずれるように配列されており、前記照明手段は、前記側面視方向と平行な方向に照明光を照射するものであり、前記撮像制御手段は、前記第1撮像高さ位置及び第2撮像高さ位置として前記各ヘッド列のヘッドを同じ撮像高さ位置に配置した状態で前記ヘッドユニット対して前記撮像ユニットを相対的に前記特定方向に移動させることにより、前記各ヘッド列のヘッドに保持された部品を当該撮像ユニットに撮像させるものである。この場合、前記側面視方向は、前記特定方向と直交する方向であってもよいし、この特定方向に対して傾斜した方向であってもよい。このような部品撮像装置によれば、全てのヘッドを同じ撮像高さ位置に配置した状態でヘッドユニットと撮像ユニットとを相対的に前記特定方向に移動させることで、全てのヘッドの保持部品についてそれぞれ焦点の合った側方からの画像を取得することが可能となる。また、別の具体的な構成として、前記第1ヘッド列の各ヘッドと前記第2ヘッド列の各ヘッドとが前記特定方向の同じ位置に位置するように配列されており、前記撮像ユニットは、前記各ヘッドに保持される部品からの光のうち前記特定方向と直交する方向の光を前記光学系により前記イメージセンサに導光することにより前記第1ヘッド列の側から部品を撮像するものであって、かつ、前記第2撮像高さ位置よりも前記第1撮像高さ位置が高くなるように前記光学系の各導光部が構成されており、前記撮像制御手段は、前記第1ヘッド列の各ヘッドに保持される部品が前記第1撮像高さ位置に配置され、かつ前記第2ヘッド列の各ヘッドに保持される部品が第2撮像高さ位置に保持されるように各ヘッドを配置した状態で、前記ヘッドユニット対して前記撮像ユニットを相対的に前記特定方向に移動させることにより、前記各ヘッド列のヘッドに保持された部品を前記撮像ユニットに撮像させるものであってもよい。この部品撮像装置では、第1ヘッド列の各ヘッドと第2ヘッド列の各ヘッドとが互いに異なる撮像高さ位置に配置された状態でヘッドユニットと撮像ユニットとが相対的に前記特定方向に移動することで、各ヘッドの保持部品についてそれらの側方からの画像が取得される。この構成によれば、各ヘッド列のヘッドが整列配置された従来のヘッドユニットと同等の構造でありながら、全てのヘッドの保持部品についてそれぞれ焦点の合った側方からの画像を取得することが可能となる。なお、上記部品撮像装置において、前記第1導光部及び前記第2導光部は、第1ヘッド列と第2ヘッド列との間で互いに隣接する一対のヘッドに保持された部品からの光を前記イメージセンサの互いに異なる受光領域に同時に導光するものであるのが好適である。この構成によれば、第1ヘッド列と第2ヘッド列との間で互いに隣接する一対のヘッドに保持された部品を同時に、しかも焦点の合った状態で撮像することが可能となるため、各ヘッド列のヘッドに保持された部品を効率良く撮像することが可能となる。また、上記部品撮像装置においては、前記第1ヘッド列のヘッドに保持される部品を第1部品、前記第2ヘッド列のヘッドに保持される部品を第2部品としたときに、前記照明手段は、互いに隣接する第1部品及び第2部品を一対としてこれら部品に対して照明光を照射するものであり、前記イメージセンサに入射する前記第1部品からの光と前記イメージセンサに入射する前記第2部品の光とが互いに異なる波長成分を含むように前記照明手段から前記イメージセンサに至る光路内に特定波長成分の光をフィルタリングするフィルタ手段をさらに備えるのが好適である。この部品撮像装置によれば、互いに隣接する第1、第2部品からの光が互いに影響し合って各部品画像のコントラストが低下するといった不都合を抑制することが可能となる。より具体的には、前記照明手段は、前記第1部品に第1波長の照明光を照射する第1光源、及び第2部品に前記第1波長とは異なる第2波長の照明光を照射する第2光源を含み、前記フィルタ手段は、前記イメージセンサに入射する前記第1部品からの光が第2波長の光成分を含まないように当該2波長成分の光を除去する第1フィルタ、及び前記イメージセンサに入射する前記第2部品からの光が第1波長の光成分を含まないように当該1波長成分の光を除去する第2フィルタのうち少なくとも一方を備える。この場合、前記第1フィルタは、前記第1光源から前記第1部品に照射される第1波長の照明光から第2波長の光成分を除去する第1上流側フィルタ及び前記第1部品からの光のうち前記第2波長の光成分を除去する第1下流側フィルタのうち少なくとも一方を備えるものであり、前記第2フィルタは、前記第2光源から前記第2部品に照射される第2波長の照明光から第1波長の光成分を除去する第2上流側フィルタ及び前記第2部品からの光のうち前記第1波長の光成分を除去する第2下流側フィルタのうち少なくとも一方を備えるものである。これらの構成によれば、互いに隣接する第1、第2部品からの光が互いに異なる波長成分のみを含む光となるので、各部品画像のコントラストが良好なものとなり、第1部品及び第2部品の部品画像としてより高品質の部品画像を取得することが可能となる。一方、本発明の一の局面にかかる部品実装装置は、部品供給部から部品を取り出して基板上に実装する部品実装装置であって、上記した何れかの部品撮像装置と、前記移動手段を制御することにより、前記ヘッドユニットの各ヘッドに保持された部品を基板上に実装する実装制御手段と、を含むものである。この部品実装装置によれば、ヘッドユニットの大型化を抑制しつつより多数のヘッドを当該ヘッドユニットに搭載して部品実装の効率化を図る一方で、各ヘッド列のヘッドに保持された部品をそれらの側方から優劣なく良好に撮像、認識することが可能となる。以上説明したように、本発明の部品撮像装置および部品実装装置によれば、2列に配列された複数のヘッドに保持された部品をそれらの側方から優劣なく良好に撮像することが可能となる。以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の一形態について詳述する。第1の実施形態図1及び図2は、本発明に係る部品実装装置本発明にかかる部品撮像装置が搭載された部品実装装置を概略的に示しており、図1は平面図で、図2は正面図で、それぞれ部品実装装置を概略的に示している。なお、図1、図2及び後に説明する図面には、方向関係を明確にするためにXYZ直角座標軸が示されている。部品実装装置は、基台1と、この基台1上に配置されてプリント配線板PWB;Printedwiringboard等の基板3をX方向に搬送する基板搬送機構2と、部品供給部4、5と、部品実装用のヘッドユニット6と、このヘッドユニット6を駆動するヘッドユニット駆動機構と、ヘッドユニット6による保持部品の認識のための部品撮像ユニット等とを備える。前記基板搬送機構2は、基台1上において基板3を搬送する一対のコンベア2a、2aを含む。これらコンベア2a、2aは、同図の右側-X方向側から基板3を受け入れて所定の実装作業位置同図に示す位置に搬送し、図略の保持装置により当該基板3を保持する。そして、実装作業後、当該基板3の保持を解除し、この基板3を同図の左側X方向側に搬出する。前記部品供給部4、5は、前記基板搬送機構2の両側Y方向の両側に配置されている。これら部品供給部4、5のうち装置後側-Y方向側の部品供給部4には、基板搬送機構2に沿ってX方向に並ぶ複数のテープフィーダ4aが配置されている。これらテープフィーダ4aは、IC、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ部品を収納、保持したテープが巻回されたリールを備え、このリールから間欠的にテープを繰り出しながら基板搬送機構2近傍の所定の部品供給位置に部品を供給する。一方、装置前側Y方向側の部品供給部5には、X方向に所定の間隔を隔ててトレイ5a、5bがセットされている。各トレイ5a、5bには、後述するヘッドユニット6による取出しが可能となるように、各々、QFPやBGA等のパッケージ型の部品が整列して載置されている。前記ヘッドユニット6は、部品供給部4、5から部品を取り出して基板3上に実装するものであり、基板搬送機構2および部品供給部4,5等の上方に配置されている。前記ヘッドユニット6は、前記ヘッドユニット駆動機構により一定の領域内でX方向およびY方向に移動可能とされている。このヘッドユニット駆動機構は、基台1上に設けられる一対の高架フレーム1a、1aにそれぞれ固定され、Y方向に互いに平行に延びる一対の固定レール9、9と、これら固定レール9、9に支持されてX方向に延びるユニット支持部材12と、このユニット支持部材12に螺合挿入されてY軸サーボモータ11により駆動されるボールねじ軸10とを含む。また、ユニット支持部材12に固定され、ヘッドユニット6をX方向に移動可能に支持する固定レール13と、ヘッドユニット6に螺合挿入されてX軸サーボモータ15を駆動源として駆動されるボールねじ軸14とを含む。つまり、ヘッドユニット駆動機構は、X軸サーボモータ15の駆動によりボールねじ軸14を介してヘッドユニット6をX方向に移動させる共に、Y軸サーボモータ11の駆動によりボールねじ軸10を介してユニット支持部材12をY方向に移動させ、その結果、ヘッドユニット6を一定の領域内でX方向およびY方向に移動させる。前記ヘッドユニット6は、先端にそれぞれ部品吸着用のノズルを備える複数本の実装ヘッド16と、これら実装ヘッド16をヘッドユニット6に対して昇降Z方向の移動およびノズル中心軸回りに回転図2中のR方向の回転させるための図外のサーボモータを駆動源とするヘッド駆動機構等とを備える。前記実装ヘッド16は合計12個であり、6個ずつ前後2列に振り分けられ、列毎にX方向本発明の特定方向に相当するに一定のピッチPで一列に配列されている。以下の説明では、装置前側の実装ヘッド16の列を前列本発明の第1ヘッド列に相当する、装置後側の実装ヘッド16の列を後列本発明の第2ヘッド列に相当すると呼び、また、必要に応じて、適宜、前列の実装ヘッド16を前列ヘッド16A、後列の実装ヘッド16を後列ヘッド16Bと呼ぶことにする。なお、各前列ヘッド16Aはそれぞれ各後列ヘッド16Bに対してY方向に見て重なる位置からX方向に半ピッチ1/2P分だけオフセットされており、これにより12個の実装ヘッド16が全体として千鳥状の配列となっている。詳しくは、前列ヘッド16Aと後列ヘッド16Bとが同じ高さ位置に配置されたときに、Y方向本発明の側面視方向に相当するからの側面視で、各実装ヘッド16に保持されている部品が互いに重なることがないように12個の実装ヘッド16が全体として千鳥状に配列されている。各実装ヘッド16のノズルは、それぞれ電動切替弁を介して負圧発生装置、正圧発生装置および大気の何れかに連通可能とされている。つまり、前記ノズルに負圧が供給されることで当該ノズルによる部品の吸着保持が可能となり、その後、正圧が供給されることで当該部品の吸着保持が解除される。前記部品撮像ユニットは、前記実装ヘッド16によって部品供給部4、5から取り出された部品の保持状態を認識するために、当該部品を撮像するためのものであり、前記基台1上であって前記トレイ5a、5bの間の位置に配置されている。当例では、部品撮像ユニットとして、図1及び図3に示すように、第1、第2の2つの部品撮像ユニット7、8が配置されており、第2部品撮像ユニット8が本発明の部品撮像ユニットに相当する。前記第1部品撮像ユニット7は、実装ヘッド16に保持された部品を主にその下方から撮像するものであり、図3に示すように、前記ヘッドユニット6実装ヘッド16が第1部品撮像ユニット7の上方を移動する間に各実装ヘッド16の保持部品Cを撮像する。この第1部品撮像ユニット7は、CCDエリアセンサ及びレンズ等を備えるカメラ20と、部品Cに対して撮像用の照明光を与えるLED等の光源を有する照明部22とを含み、部品Cに対して主に下方から照明光を照射し、その反射画像を前記カメラ20により撮像してその画像データを後記制御装置40に出力する。前記第2部品撮像ユニット8は、実装ヘッド16に保持された部品Cをその側方から撮像するものであり、前記ヘッドユニット6実装ヘッド16が前記第1部品撮像ユニット7の上方を移動する間に各実装ヘッド16の保持部品Cを撮像する。この第2部品撮像ユニット8は、CCDエリアセンサイメージセンサ及びレンズ等を備えるカメラ30と、部品Cに対して側方からのバックライト照明を与える照明部32と、部品C外周からの通過光すなわち部品の投影画像を前記カメラ30に導光する光学系34とを含む。なお、当例では第2部品撮像ユニット8が照明部32本発明の照明手段に相当するを含む構成となっているが、照明部32は第2部品撮像ユニット8とは別であってもよい。第2部品撮像ユニット8のうち、カメラ30及び光学系34は前記第1部品撮像ユニット7の前側Y方向側に配置され、照明部32は第1部品撮像ユニット7の後側-Y方向側に配置されている。照明部32は、上向きに照明光を照射するLED等の光源33aと、この照明光を略直角に屈折させることにより装置前側に向かって導光する照明用ミラー33bとを含む。この構成により、第2部品撮像ユニット8は、照明部32により装置後側から前側に向かって部品Cに対して照明光を照射し、その投影画像を前記光学系34によりカメラ30に導光することで撮像するとともに、その画像データをカメラ30から後記制御装置40に出力する。なお、前記照明部32は、前列ヘッド16A及び後列ヘッド16BのうちX方向に互いに隣接する一対のヘッド16A、16Bの各保持部品Cに照明光を照射可能な照明幅を有しており、前記光学系34は、これらヘッド16A、16Bの各保持部品Cの投影画像をカメラ30の互いに異なる領域に同時に導光する。これにより、第2部品撮像ユニット8は、X方向に互いに隣接する一対のヘッド16A、16Bの各保持部品Cを同時に撮像可能となっている。前記光学系34について詳細に説明すると、図3及び図4に示すように、光学系34は、互いに隣接する前記ヘッド16A、16Bに保持された部品Cの投影画像をそれぞれカメラ30に導光するための第1、第2の2つの導光部34A、34Bを有している。これら導光部34A、34Bは、X方向に並んでおり、第1導光部34Aは-X方向側に、第2導光部34BはX方向側にそれぞれ位置する。前記第1導光部34A及び前記第2導光部34Bは、これらに共通のミラーであってヘッド16A、16Bの各保持部品Cの投影画像をそれぞれ下向き-Z方向に反射させる第1ミラー35aを有する。この第1ミラー35aは、X方向に細長の形状を有しており、長手方向の互いに異なる領域で前記ヘッド16A、16Bの各保持部品Cの投影画像をそれぞれ反射させる。第1導光部34Aは、さらに第1ミラー35aの長手方向の片側半分-X方向側半分に対応する位置に、第1ミラー35aの反射画像を複数回当例では4回反射させて下向きに導光する第2~第5のミラー35b~35e第2ミラー35b~第5ミラー35eを有する。つまり、第1導光部34Aは、部品Cの投影画像を第1ミラー35a~第5ミラー35eにより複数回反射させながらカメラ30に導光し、他方、第2導光部34Bは、部品Cの投影画像を第1ミラー35aでのみ反射させてカメラ30に導光する。そして、図4に示すように、第1導光部34Aは、部品Cの投影画像が当該第1導光部34Aにより導光される位置に前列ヘッド16Aが配置されたときに、当該部品Cに正しく焦点ピントが合った当該部品Cの画像、すなわち合焦画像が得られるように前列ヘッド16Aの保持部品Cからカメラ30までの光路長が設定され、他方、第2導光部34Bは、部品Cの投影画像が当該第2導光部34Bにより導光される位置に後列ヘッド16Bが配置されたときに、当該部品Cの合焦画像が得られるように後列ヘッド16Bの保持部品Cからカメラ30までの光路長が設定されている。つまり、前列ヘッド16Aの保持部品Cからカメラ30に至る第1導光部34Aの光路長と、後列ヘッド16Bの保持部品Cからカメラ30に至る第2導光部34Bの光路長が等しくなるように両導光部34A、34Bが構成されている。この構成により、第2部品撮像ユニット8では、前列ヘッド16A及び後列ヘッド16Bの何れの保持部品Cの投影画像についても、それぞれ優劣なく同品質の合焦画像が得られる構成となっている。なお、図3では、実線で前列ヘッド16Aに保持された部品Cの投影画像の光路第1導光部34Aによる光路を示し、破線で後列ヘッド16Bに保持された部品Cの投影画像の光路第2導光部34Bによる光路を示している。図3中では、実際には、第2導光部34Bによる光路の一部第1ミラー35aからカメラ30までの光路は第1導光部34Aの光路第1ミラー35aから第2ミラー35bまでの光路、及び第5ミラー35eからカメラ30までの光路と重なるべきであるが、同図では、便宜上、意図的に第2導光部34Bによる光路をずらして描いており、従って、同図では各導光部34A、34Bの光路長は必ずしも同じ距離にはなっていない。なお、このように各導光部34A、34Bの光路をずらして描いている点や各導光部34A、34Bの光路長が必ずしも同じ距離で示されていない点は、後述する実施形態についても同様である。この部品実装装置は、その動作を統括的に制御するための、図5に示すような制御装置40をさらに備えている。この制御手段40は、論理演算を実行するCPU、そのCPUを制御する種々のプログラムなどを記憶するROM、種々のデータを一時的に記憶するRAMおよびHDD等から構成されている。この制御装置40は、その機能構成として、主制御部41、記憶部42、カメラ制御部43、画像処理部44及び駆動制御部45を含み、これらがバスを介して互いに信号のやり取りができるように接続された構成を有する。主制御部41は、記憶部42に記憶されている実装プログラムに従い、駆動制御部45を介してヘッドユニット駆動機構やヘッド駆動機構等の駆動機構を統括的に制御することにより部品実装動作を実行する。特に、実装ヘッド16のZ方向の下降による部品供給部4、5からの部品の取り出し後は、前記部品撮像ユニット7、8により部品の撮像を行うべく、主制御部41は、駆動制御部45を介して前列ヘッド16A及び後列ヘッド16Bの高さ位置制御とヘッドユニット6の駆動制御とを行うとともに、カメラ制御部43を介して各部品撮像ユニット7、8におけるカメラ20、30の露光タイミング等の制御を行う。前記画像処理部44は、前記カメラ20、30からの画像データに所定の画像処理を施すものであり、前記主制御部41は、この処理画像に基づき各実装ヘッド16による部品の保持状態を認識する。なお、当実施形態では、ヘッドユニット駆動機構が本発明の移動手段に相当し、主制御部41、カメラ制御部43及び駆動制御部45が本発明の撮像制御手段及び実装制御手段に相当する。この部品実装装置では、制御装置40の制御に基づき、次のようにして部品の実装動作が行われる。まず、ヘッドユニット6が部品供給部4、5上に移動し、各実装ヘッド16により部品が吸着保持される。部品吸着後、ヘッドユニット6が第1部品撮像ユニット7上をX方向図4中の白抜き矢印方向に通過することで、その通過の間に、前後各列の実装ヘッド16にそれぞれ保持されている部品が各撮像ユニット7、8により撮像される。詳しくは、図3に示すように、各実装ヘッド16の保持部品Cが第1部品撮像ユニット7の上方であって第2部品撮像ユニット8の照明部32と光学系34との間照明用ミラー33bと第1ミラー35aとの間の光路の中を通過するように予め設定された所定の部品撮像高さ位置に前列ヘッド16A及び後列ヘッド16Bが配置された上で、ヘッドユニット6がX方向に一定速度で移動する。そして、このヘッドユニット6実装ヘッド16の移動中、各部品Cがカメラ20上に到達するタイミングで第1部品撮像ユニット7の照明部22が点灯するように当該照明部22の点灯タイミングが制御されることで、第1部品撮像ユニット7により各部品Cがその下側から撮像される。また、図4に示すように、前記光学系34のうち第1導光部34Aに対応する位置に前列ヘッド16Aの保持部品Cが到達するとともに、第2導光部34Bに対応する位置に後列ヘッド16Bの保持部品Cが到達するタイミングで照明部32が点灯するように当該照明部32の点灯タイミングが制御されるすなわち、露光タイミングが制御されることで、隣接する2つのヘッド16A、16bに保持された部品Cの側方Y方向側からの投影画像が第2部品撮像ユニット8により撮像されることとなる。この際、上述の通り、第1導光部34Aは、前列ヘッド16Aの保持部品Cについて合焦画像が得られるように光路長が設定されており、他方、第2導光部34Bは、後列ヘッド16Bの保持部品Cについて合焦画像が得られるように光路長が設定されているため、何れのヘッド16A、16Bについても、良好な合焦画像が得られることとなる。部品撮像ユニット7、8による部品Cの撮像が終了すると、第1部品撮像ユニット7により撮像された各部品Cの下面画像と、第2部品撮像ユニット8により撮像された各部品Cの側方からの投影画像とに基づき各実装ヘッド16に保持された部品Cの吸着状態実装ヘッド16に対する部品のX方向、Y方向及びR方向の各位置ずれや傾き等や部品Cの欠陥等が認識される。そして、各実装ヘッド16に保持された部品Cのなかに不良部品Cや補正不可能な吸着状態のものがある場合には、当該部品Cが廃棄対象として登録された上で、ヘッドユニット6が基板3上に移動し、前記廃棄対象以外の部品Cが順次基板3上に実装される。このとき、上記部品認識結果に応じて部品Cの吸着位置ずれを補正するようにヘッドユニット6の位置および実装ヘッド16の回転角度等が制御されることで、基板3上の各搭載点に部品Cが適切に実装される。こうして基板3上に部品Cが実装されると、ヘッドユニット6が図外の部品廃棄ボックス上へ移動し、上記廃棄対象の部品Cを廃棄する。これにより実装動作の一サイクルが終了し、必要に応じてこの動作が繰り返されることで所要部品が基板3上に実装される。以上のような部品実装装置によれば、多数の実装ヘッド16をヘッドユニット6に搭載して効率良く部品Cの実装作業を進める一方で、ヘッドユニット6をX方向にコンパクトに構成することができる。しかも、上述したように、前後2列に配列された各実装ヘッド16の保持部品Cの投影画像をそれらの側方から優劣なく良好に取得することができるため、当該投影画像に基づく部品認識を従来のこの種の装置、すなわち実装ヘッドが一列だけのものと同様に、第1部品撮像ユニット7に対してヘッドユニット6を一方向に一度移動させるだけで効率良く行うことができる。なお、この部品実装装置では、第2部品撮像ユニット8は、部品Cの投影画像を撮像するように構成されているが、部品Cの反射画像を撮像するものであってもよい。図6は、その実施形態の一例である。同図に示す第2部品撮像ユニット8は、第1ミラー35aとしてハーフミラーが適用されている。そして、照明部32は、第1ミラー35aと同じ高さ位置で当該第1ミラー35aの前側に配置された光源33aから直接第1ミラー35aを介して、同じ撮像高さ位置に位置決めされた各ヘッド16A、16Bの保持部品Cに照明光を照射するように構成されている。この構成では、前列ヘッド16Aの保持部品Cで反射した照明光、すなわち反射画像が第1ミラー35a~第5ミラー35eで反射されてカメラ30に導光され、後列ヘッド16Bの保持部品Cで反射した照明光反射画像が第1ミラー35aで反射されてカメラ30に導光される。これにより各ヘッド16A、16Bに保持された部品Cの反射画像がそれぞれカメラ30により撮像されることとなる。第2の実施形態図7及び図8は、第2実施形態に係る部品実装装置のうち部品撮像ユニットを概略的に示している。この部品実装装置は、第2部品撮像ユニット8の構成が以下の点で第1実施形態のものと相違する以外、基本的には第1実施形態の部品実装装置と構成が共通する。従って、以下の説明では、第1実施形態と共通する部分については同一符号を付して説明を省略し、主に第1実施形態との相違点について詳細に説明することにする。第2実施形態にかかる第2部品撮像ユニット8は、照明部32が第1波長の照明光を照射する第1光源333aと、前記第1波長とは異なる第2波長の照明光を照射する第2光源333bとを備えている。第1光源333aは、照明部32のX方向の中間位置を境にして-X方向側に備えられ、第2光源333bはX方向側に備えられている。また、照明部32は、拡散板37及び光源側光学フィルタ38を備えており、これらは光源333a、333bと照明用ミラー33bとの間に介在するように配置されている。前記光源側光学フィルタ38は、図8に示すように、X方向の中間位置を境にしてその-X方向側に位置し、照明光のうち第2波長の光成分を除去する第1光源側フィルタ部38aと、-X方向側に位置し、照明光のうち第1波長の光成分を除去する第2光源側フィルタ部38bとを含む。この構成により、照明部32は、X方向の中間位置を境にして、X方向側では第1波長の照明光を部品Cに照射する一方で、X方向側では第2波長の照明光を部品Cに照射する構成となっている。また、光学系34はカメラ側光学フィルタ39を含んでいる。このカメラ側光学フィルタ39は、実装ヘッド16の保持部品Cと第1ミラー35aとの間の位置に介在するように配置されている。このカメラ側光学フィルタ39は、前記光源側光学フィルタ38と同様に、X方向の中間位置を境にして-X方向側に位置し、第2波長の光成分を除去しつつ前記第1波長の光成分を透過させる第1カメラ側フィルタ部39aと、X方向側に位置し、第1波長の光成分を除去しつつ前記第2波長の光成分を透過する第2カメラ側フィルタ部39bとを含んでいる。この第2実施形態にかかる第2部品撮像ユニット8では、図8に示すように、第1導光部34Aに対応する位置に配置された前列ヘッド16Aの保持部品C本発明の第1部品に相当するに対して第1波長の照明光が照射される。そして、その投影画像から第2波長の光成分がカメラ側光学フィルタ39第1カメラ側フィルタ部39aで除去されながら当該投影画像がカメラ30に導光される。その一方で、第2導光部34Bに対応する位置に配置された後列ヘッド16Bの保持部品C本発明の第2部品に相当するに対して第2波長の照明光が照射される。そして、その投影画像から第1波長の光成分がカメラ側光学フィルタ39第2カメラ側フィルタ部39bで除去されながら当該投影画像がカメラ30に導光される。このような第2実施形態にかかる第2部品撮像ユニット8によれば、隣接するヘッド16A、16Bに保持された部品Cの投影画像をより鮮明なものとして撮像することが可能となる。すなわち、例えば隣接するヘッド16A、16Bに保持された部品同士が非常に接近しているような場合、照明部32から同一波長の光成分を含む照明光が照射されると、当該照明光が各ヘッド16A、16Bの保持部品Cに当たって散乱し、その散乱光が部品Cの投影画像に混ざることで各投影画像のコントラストが低下することが考えられる。しかし、第2実施形態にかかる第2部品撮像ユニット8によれば、後列ヘッド16Bの保持部品Cに当たって散乱する第2波長の散乱光が前列ヘッド16Aの保持部品Cの投影画像に混ざったとしても当該第2波長の光成分はカメラ側光学フィルタ39第1カメラ側フィルタ部39aにより除去される。後列ヘッド16Bの保持部品Cの投影画像についても同様に第1波長の光成分がカメラ側光学フィルタ39第2カメラ側フィルタ部39bにより除去される。従って、この第2実施形態にかかる第2部品撮像ユニット8によれば、各ヘッド16A、16Bの保持部品Cの何れの投影画像についても、上記のような散乱光の影響が排除され、その結果、何れの保持部品Cについてもコントラストが良好な、鮮明な投影画像を取得することが可能となる。この実施形態では、前記光源側光学フィルタ38およびカメラ側光学フィルタ39が本発明のフィルタ手段に相当し、第1光源側フィルタ部38a及び第1カメラ側フィルタ部39aが本発明の第1フィルタ第1上流側フィルタ及び第1下流側フィルタに相当し、第2光源側フィルタ部38b及び第2カメラ側フィルタ部39bが本発明の第2フィルタ第2上流側フィルタ及び第2下流側フィルタに相当する。なお、この実施形態では、第2部品撮像ユニット8は、光源側光学フィルタ38及びカメラ側光学フィルタ39の双方を備えているが、何れか一方を備える構成であってもよい。また、第1フィルタ第1光源側フィルタ部38a及び第1カメラ側フィルタ部39a及び第2フィルタ第2光源側フィルタ部38b及び第2カメラ側フィルタ部39bの何れか一方を備える構成であってもよい。要するに、フィルタ手段は、特定の光成分を除去することにより散乱光の影響を抑止し、隣接するヘッド16A,16Bに保持された部品Cの投影画像としてコントラストが良好な投影画像を取得できるように適宜設けられていればよい。また、この実施形態のように、互いに波長の異なる光成分の照明光を照射する光源333a、333bを備えた照明部32を用いる代わりに、光源として一般的な白色光源を用い、隣接するヘッド16A,16Bに保持された部品Cの投影画像として異なる光成分を含む光がCCDエリアセンサに入射するように光源からCCDエリアセンサに至る光路内にフィルタ手段を介在させるようにしてもよい。例えば、白色光源からの照明光のうち第1波長の照明光が前列ヘッド16Aの保持部品Cへ照射されるように、図8における-X側に配置される第1光源側フィルタ部38aにより第1波長の照明光を通過させるとともに、それ以外の波長の照明光を除去し、第2波長の照明光が後列ヘッド16Bの保持部品Cへ照射されるように、X側に配置される第2光源側フィルタ部38bにより第2波長の照明光を通過させるとともに、それ以外の波長の照明光を除去するようにする。また、前列ヘッド16Aの保持部品Cからの光すなわち投影画像のうち第1波長の光成分の投影画像がカメラ30に導光されるように、図8における-X側に配置される第1カメラ側フィルタ部39aにより第1波長の光成分の投影画像を通過させるとともに、それ以外の波長の投影画像を除去し、後列ヘッド16Bの保持部品Cからの投影画像のうち第2波長の光成分の投影画像がカメラ30に導光されるように、-X側に配置される第2カメラ側フィルタ部39bにより第2波長の光成分の投影画像を通過させるとともに、それ以外の波長の投影画像を除去するようにしてもよい。このような構成によっても散乱光の影響を抑止し、隣接するヘッド16A,16Bに保持された部品Cの投影画像としてコントラストが良好な画像を取得することが可能となる。第3の実施形態図9及び図10は、第3実施形態に係る部品実装装置のうち部品撮像ユニットを概略的に示している。この部品実装装置の構成は、第2部品撮像ユニット8の構成が以下の点で第1実施形態のものと相違する以外、基本的には第1実施形態の部品実装装置と構成が共通する。従って、以下の説明では、第1実施形態と共通する部分については同一符号を付して説明を省略し、主に第1実施形態との相違点について詳細に説明することにする。この第3実施形態にかかる第2部品撮像ユニット8は、カメラ30として、CCDリニアセンサラインセンサ31というを備えたカメラ30が適用されている。このカメラ30は、撮像素子がY方向に並ぶように配置されており、ヘッドユニット6のX方向の移動に伴い各実装ヘッド16に保持された部品Cの一ライン分の投影画像を順次取り込みながらその画像データを前記制御装置40に出力する。また、前記光学系34について、前記第1ミラー35aが実装ヘッド16のうち前列ヘッド16Aの保持部品Cの投影画像を導光するための専用のミラーとされ当実施形態において前列用第1ミラー35aという、この前列用第1ミラー35aとは別に、後列ヘッド16Bの保持部品Cの投影画像を導光するための、ハーフミラーからなる第1ミラー35a ́当実施形態において後列用第1ミラー35a ́というが設けられ、この後列用第1ミラー35a ́が前列用第1ミラー35aと実装ヘッド16の保持部品Cとの間に位置するように備えられている。この構成により、第1導光部34Aは、前列ヘッド16Aに保持された部品Cの投影画像のうち後列用第1ミラー35a ́を透過する画像を前列用第1ミラー35aと第2ミラー35b~第5ミラー35eとにより複数回反射させながらラインセンサ31の装置前側Y方向側の領域に導光する。一方、第2導光部34Bは、後列ヘッド16Bに保持された部品Cの投影画像を後列用第1ミラー35a ́により反射させてラインセンサ31の装置後側-Y方向側の領域に導光する。つまり、各導光部34A、34Bは、互いにY方向に並んでおり、各ヘッド16A、16Bに保持される部品Cの投影画像をヘッドユニット6の移動に伴いX方向の同じ位置でカメラ30に導光する。この第3実施形態の部品実装装置では、照明部32から照明光が照射された状態で、ヘッドユニット6の移動に伴い各ヘッド16A、16Bに保持された部品Cが光学系34と照明部32との間の位置をX方向に移動することにより、この移動に伴い、各ヘッド16A、16Bに保持された部品Cの投影画像が交互にカメラ30によって撮像される。これらの各ヘッド16A、16Bに保持された部品Cの投影画像は、いずれも前列用第1ミラー35aで反射され、第1導光部34Aを経てラインセンサ31上に結像するとともに、後列用第1ミラー35a ́で反射され、第2導光部34Bを経てラインセンサ31上に結像する。しかしながら、前列用第1ミラー35aと後列用第1ミラー35a ́とが互いにY方向に離間しているため、第1導光部34Aを経てラインセンサ31上に結像する投影画像はラインセンサ31の前側領域に位置し、第2導光部34Bを経てラインセンサ31上に結像する投影画像はラインセンサ31の後側領域に位置する。一方、第1導光部34Aは、前列ヘッド16Aの保持部品Cについて合焦画像が得られるようにその光路長が設定され、第2導光部34Bは、後列ヘッド16Bの保持部品Cについて合焦画像が得られるようにその光路長が設定されている。そのため、前列ヘッド16Aの保持部品Cの投影画像が第2導光部34Bによりカメラ30に導光されたとしても前列ヘッド16Aの保持部品Cの投影画像は焦点がずれた不鮮明なものとなる。他方、後列ヘッド16Bの保持部品Cの投影画像についても、上記と同様の理由により、第1導光部34Aによりカメラ30に導光されたとしてもこの投影画像は焦点がずれた不鮮明な画像となる。以上より、前記画像処理部44は、前列ヘッド16Aの保持部品Cの投影画像についてはラインセンサ31の前側領域の画像のみを抽出する処理を実施し、逆に、後列ヘッド16Bに保持された部品Cの投影画像についてはラインセンサ31の後側領域の画像を抽出する処理を実施する。これにより、各ヘッド16A、16Bに保持された部品Cの投影画像として、それぞれ良好な合焦画像が得られるようになっている。なお、この部品実装装置において、上記第2部品撮像ユニット8は、部品Cの投影画像を撮像する構成に限られるものではなく、部品Cの反射画像を撮像するものであってもよい。図11は、その実施形態の一例である。同図に示す第2部品撮像ユニット8では、前列用第1ミラー35aとしてハーフミラーが適用されている。そして、照明部32は、前列用第1ミラー35aの前側に配置された光源33aから第1ミラー35aおよび後列用第1ミラー35a′を介して各ヘッド16A、16Bの保持部品Cに照明光を照射するようになっている。この構成では、前列ヘッド16Aの保持部品Cで反射した照明光、すなわち反射画像が後列用第1ミラー35a′を透過し、前列用第1ミラー35a及び第2ミラー35b~第5ミラー35eで反射されてカメラ30のラインセンサ31の前側領域に導光され、後列ヘッド16Bの保持部品Cの反射画像が後列用第1ミラー35a′で反射されてカメラ30のラインセンサ31の後側領域に導光される。これにより各ヘッド16A、16Bに保持された部品Cの反射画像がカメラ30により撮像されることとなる。第4の実施形態図12及び図13は、第4実施形態に係る部品実装装置を概略的に示しており、図12は、部品実装装置を正面図で示しており、図13は、そのヘッドユニット6を側面図で概略的に示している。この部品実装装置は、ヘッドユニット6に第2部品撮像ユニット8が搭載されているものであり、それ以外の構成は、基本的には第1実施形態の部品実装装置と共通する。従って、以下の説明では、第1実施形態と共通する部分については同一符号を付して説明を省略し、主に第1実施形態との相違点について詳細に説明することにする。図12及び図13に示すように、この部品実装装置では、第2部品撮像ユニット8はカメラ30、光学系34及これらが収容される筐体8aからなり、前記照明部32は、第2部品撮像ユニット8とは別に設けられている。第2部品撮像ユニット8は、ヘッド16A、16Bの後側の位置に配置され、X方向に延びる一対の固定レール52を介してヘッドユニット6の下面に移動可能に支持されている。そして、図外のサーボモータの駆動により回転駆動されるボールねじ軸53が前記筐体8aに螺合挿入され、前記サーボモータが前記駆動制御部45を介して主制御部41により制御されることにより第2部品撮像ユニット8がX方向に移動する。なお、当例では、前記サーボモータやボールねじ軸53等が本発明の移動手段に相当する。前記照明部32は、照明用ミラー33bを備えておらず、各ヘッド16A、16Bに保持された部品Cに対して後向きに直接照明光を照射するようにヘッドユニット6の前端部から垂下する取付部材に複数の光源33aが固定された構成を有する。各光源33aは、各ヘッド16A、16Bの前方にそれぞれ配置されている。他方、第2部品撮像ユニット8の前記カメラ30は装置前側を向くように前記筐体8aに備えらえており、この構成により、ヘッドユニット6に対して第2部品撮像ユニット8がX方向に移動するとともに、各光源33aがX方向に順次点灯することにより、各ヘッド16A、16Bに保持された部品Cの投影画像がカメラ30により撮像されるようになっている。そして、前列ヘッド16Aに保持された部品Cの投影画像が直接カメラ30に入射するように第1導光部34Aが構成される一方で、後列ヘッド16Bに保持された部品Cの投影画像が複数個のミラーにより反射されてカメラ30に導光されるように第2導光部34Bが構成されるとともに、各部品Cの投影画像としてそれぞれ合焦画像が得られるように各導光部34A、34Bの光路長が設定されている。このような第4実施形態の部品実装装置では、各実装ヘッド16による部品供給部4、5からの部品の取り出し後、図13に示すように、各実装ヘッド16が所定の部品撮像高さ位置に配置された状態で、図12の矢印に示すように、各光源33aの点灯を伴いつつ、第2部品撮像ユニット8がヘッドユニット6に対して移動することで、この移動中に各ヘッド16A、16Bにより保持された部品Cの投影画像がそれぞれカメラ30により撮像される。なお、図12及び図13の例は、第2部品撮像ユニット8がヘッドユニット6に対して移動可能に支持される構成であるが、図14に示すように、第2部品撮像ユニット8をユニット支持部材12の適所、例えばX方向の中間位置等に固定的に配置するようにしてもよい。この構成では、各実装ヘッド16が所定の部品撮像高さ位置に配置された状態で、ヘッドユニット6がX方向に移動することで、この移動中に各ヘッド16A、16Bにより保持された部品Cの投影画像がそれぞれカメラ30により撮像されることとなる。この構成によれば、第2部品撮像ユニット8を移動させるための専用の駆動機構が不要であり、構成の簡略化及び低廉化の上で図12及び図13に示した例に比べて有利となる。第5の実施形態図15は、第5実施形態に係る部品実装装置を示しており、主にヘッドユニット6と第2部品撮像ユニット8とを概略的に平面図で示している。この部品実装装置は、ヘッドユニット6及び第2部品撮像ユニット8の構成が以下の点で第1実施形態のものと相違する以外、基本的には第1実施形態の部品実装装置と構成が共通する。従って、以下の説明では、第1実施形態と共通する部分については同一符号を付して説明を省略し、主に第1実施形態との相違点について詳細に説明することにする。この第5実施形態に係る部品実装装置では、同図に示すように、ヘッドユニット6の前列ヘッド16Aと後列ヘッド16Bとが整列した状態、すなわち各前列ヘッド16Aと各後列ヘッド16BとがX方向の同じ位置に並ぶように配列されている。また、Y方向に対して所定角度θだけ傾斜する傾斜方向本発明の側面視方向に相当する;同図中の指標に示す破線矢印方向からの側面視で全体として実装ヘッド16同士が互いに前記傾斜方向と直交する方向にずれるように各実装ヘッド16の間隔が設定されている。そして、同図に示すように、前記傾斜方向と平行な方向に照明光を照射しながら各ヘッド16A、16Bの保持部品Cの投影画像を撮像するように第2部品撮像ユニット8が構成されている。なお、同図では第1部品撮像ユニット7は便宜上省略している。この第5実施形態に係る部品実装装置は、第1実施形態において、実装ヘッド16を整列配置とする代わりに第2部品撮像ユニット8をY方向に対して傾斜させることで、ヘッド16A、16Bに保持された部品Cの投影画像を撮像するようにしたものである。このような構成によれば、ヘッドユニット6については、前後のヘッド16A、16Bが整列配置された構造でありながら、第1実施形態と同様に、全ての実装ヘッド16の保持部品Cについてそれぞれ焦点の合った側面画像を取得することができる。第6の実施形態図16は、第6実施形態に係る部品実装装置のうち部品撮像ユニットを概略的に示している。この部品実装装置は、第2部品撮像ユニット8の構成が以下の点で第3実施形態図9及び図10のものと相違する以外、基本的には第3実施形態の部品実装装置と構成が共通する。従って、以下の説明では、第3実施形態と共通する部分については同一符号を付して説明を省略し、主に第1実施形態との相違点について詳細に説明する。この第6実施形態に係る部品実装装置は、第5実施形態と同様に、前列ヘッド16Aと後列ヘッド16Bとが整列した状態、すなわち各前列ヘッド16Aと各後列ヘッド16BとがX方向の同じ位置に並ぶように配列された情態でヘッドユニット6に搭載されている。また、第2部品撮像ユニット8において、第2導光部34Bの後列用第1ミラー35a ́が第1導光部34Aの前列用第1ミラー35aよりも低い位置に配置されている。この部品実装装置では、部品Cの撮像の際には、同図に示すように、前列ヘッド16Aの保持部品Cの投影画像が前列用第1ミラー35aで反射する一方、後列ヘッド16Bの保持部品Cの投影画像が後列用第1ミラー35a ́で反射するように、主制御部41により、前列ヘッド16Aの保持部品Cの高さ位置が前列用第1ミラー35aの高さ位置と同じになり、後列ヘッド16Bの保持部品Cの高さ位置が後列用第1ミラー35a ́の高さ位置と同じとなるように、前後のヘッド16A、16Bが互いに異なる撮像高さ位置に制御される。そして、この状態で第2部品撮像ユニット8に対してヘッドユニット6がX方向に移動するように制御されることで、この移動に伴い、前後方向Y方向に互いに隣接するヘッド16A、16Bの保持部品Cの一ライン毎の投影画像が同時にラインセンサ31により撮像される。このような第6実施形態の構成によれば、前後のヘッド16A、16Bが整列配置されたヘッドユニット6の構造でありながら、全ての実装ヘッド16の保持部品Cについてそれぞれ焦点の合った側面画像を取得することができる。なお、以上説明した各実施形態の部品実装装置は、本発明にかかる部品実装装置本発明にかかる部品撮像装置が適用された部品実装装置の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成等は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、第1~第6実施形態の各構成を互いに組み合わせた構成を採用するようにしてもよい。具体的には、第3~第6実施形態について、第2実施形態のようなフィルタ手段を備えることにより、互いに隣接するヘッド16A、16Bに保持された部品Cの画像としてコントラストの良好な画像を取得し得るように構成してもよい。また、上記各実施形態では、第2部品撮像ユニット8の光学系34は、実装ヘッド16の保持部品Cの画像を主にミラーで反射させてカメラ30に導光する構成であるが、勿論、プリズムを用いてもよいし、ミラーとプリズムを組み合わせてもよい。また、図1~図11、図15および図16により示す上記各実施形態では、第1、第2の2つの部品撮像ユニット7、8は、前記基台1上であって前記トレイ5a、5bの間の位置に配置されているが、例えば、部品供給部4をX方向に隙間を隔てて並ぶ2つの部品供給部から構成し、前記基台1上であってこの2つの部品供給部の間の位置に上記部品撮像ユニット7、8と同一構成の別の部品撮像ユニットを配置するようにしてもよい。この別の部品撮像ユニットは、上記部品撮像ユニット7、8に対して配置方向がR方向に180度変更される。このような構成によれば、部品実装のためにヘッドユニット6が基板3上に移動する直前に吸着される最後の部品がチップ部品である場合、つまり前列ヘッド16Aあるいは後列ヘッド16Bによる当該最後の部品の取り出し先が部品供給部4である場合であっても、部品供給部4側に配置されている上記別の部品撮像ユニットにヘッドユニット6を移動させて各ヘッド16A、16Bによる部品の保持状態を認識させることができる。そのために、ヘッドユニット6の移動距離を短くして、実装のタクトタイムを短縮できる。なお、上記各実施形態では、ヘッドユニット6は複数の実装ヘッド16が前後2列に配列された構成であるが、実装ヘッド16が3列以上の場合であっても本発明は適用可能である。この場合には、互いに隣接する列同士が上述した前列及び後列の関係になるため、上記第1~第6実施形態の構成を適用することでこれら実施形態の部品実装装置部品撮像ユニットと同等の作用効果を享受することができる。なお、上記各実施形態では、全ての実装ヘッド16の保持部品Cについてそれぞれ焦点の合った側面画像を取得するようにしているが、側面画像を取得する必要のない保持部品Cについては、画像の取得を省略するようにしてもよい。この場合、具体的には、部品の取り出し後、画像取得を省略する部品が保持された実装ヘッド16を上記撮像高さ位置よりも高く制御し、照明部32から第1ミラー35a、35a ́に至る光学系34の光路から当該保持部品Cを上方に外すようにすればよい。"