ペースト状の活物質材料を線状に吐出するノズルを集電体に対して相対移動させて、前記集電体上に線状の活物質パターンを形成する塗布工程と、前記活物質パターンを第1の乾燥温度で乾燥させる第1乾燥工程と、前記第1乾燥工程後の前記活物質パターンを、前記第1の乾燥温度より高い第2の乾燥温度で乾燥させる第2乾燥工程と、を含むこと、を特徴とする電池用電極の製造方法。前記塗布工程において、前記活物質材料が、少なくとも活物質粉末及び溶剤を含む混合物であって、前記混合物が、前記混合物の湿潤点における固形分割合よりも小さな固形分割合を有し、前記第1乾燥工程において、前記活物質パターンの固形分割合が、前記混合物の湿潤点における固形分割合と略等しくなるまで、前記活物質パターン内の溶剤を気化させて前記活物質パターン外に排出すること、を特徴とする請求項1に記載の電池用電極の製造方法。ペースト状の活物質材料を線状に吐出するノズルと、集電体上に線状の活物質パターンを形成するために前記ノズルを前記集電体に対して相対移動させる走査手段と、前記集電体上に形成された前記活物質パターンを乾燥させる乾燥手段と、前記活物質パターンを第1の乾燥温度で乾燥させ、ついで前記第1の乾燥温度より高い第2の乾燥温度で乾燥させるように前記乾燥手段を制御する制御手段と、を含むこと、を特徴とする電池用電極製造装置。前記活物質材料が、少なくとも活物質粉末及び溶剤を含む混合物であって、前記混合物は、前記混合物の湿潤点における固形分割合よりも小さな固形分割合を有し、前記制御手段が、前記活物質パターンの固形分割合が、前記混合物の湿潤点における固形分割合と略等しくなるまで、前記活物質パターンを第1の乾燥温度で乾燥させ、前記活物質パターン内の溶剤を気化させて前記活物質パターン外に排出する構成を有すること、を特徴とする請求項3に記載の電池用電極製造装置。しかしながら、上記特許文献1において提案されている技術では、塗布後の電極材料即ち活物質のパターンを、加熱150~250°C程度の温度、または溶剤メタノール、アセトン、アセト二トリル等の極性溶媒を供給することで溶融し、蒸発、固化させる。ものである特許文献1、段落番号[0023]。このような方法では、熱による衝撃や溶剤添加による状態変化によって塗布後のパターンの形状が損なわれてしまい、高アスペクト比で高さのある活物質層を形成しにくく、最終的に得られる電池の性能に劣る。また、後者の溶剤を供給する方法は、蒸発、固化に時間もかかり、経済性生産性にも劣る。更に、上記特許文献1で用いられている電子写真方式は、転写版を用いる転写プロセスであり、当該転写版を帯電させることが必要もあるため、工程及び装置構成が煩雑になるという問題もある。以上の問題点に鑑み、本発明の目的は、従来に比べて簡易な工程及び装置構成で、高アスペクト比で厚膜の活物質層を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための電池用電極を得るための技術を提供することを目的とする。上記課題を解決すべく、本発明者らは、ペースト状の活物質材料を線状に吐出するノズルを集電体に対して相対移動させて、前記集電体上に線状の活物質パターンを形成する塗布工程と、前記活物質パターンを第1の乾燥温度で乾燥させる第1乾燥工程と、前記第1乾燥工程後の前記活物質パターンを、前記第1の乾燥温度より高い第2の乾燥温度で乾燥させる第2乾燥工程と、を含むこと、を特徴とする電池用電極の製造方法を提供する。このような構成を本発明の電池用電極の製造方法によれば、塗布工程によって形成した活物質パターンを二段階で乾燥させるため、活物質パターンの形状や寸法を損なうことなく高アスペクト比で厚膜の活物質層を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための電池用電極が得られる。上記本発明の電池用電極の製造方法においては、前記塗布工程において、前記活物質材料が、少なくとも活物質粉末及び溶剤を含む混合物であって、前記混合物は、前記混合物の湿潤点における固形分割合よりも小さな固形分割合を有し、前記第1乾燥工程において、前記活物質パターンの固形分割合が、前記混合物の湿潤点における固形分割合と略等しくなるまで、前記活物質パターン内の溶剤を気化させて前記活物質パターン外に排出すること、が好ましい。このような構成によれば、塗布工程によって形成した活物質パターンを二段階で乾燥させる際に、より確実に活物質パターンの形状や寸法を損なうことなく高アスペクト比で厚膜の活物質層を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための電池用電極が得られる。ここで、湿潤点とは、溶剤を除く活物質材料の成分の混合物に、混練しながら徐々に溶剤を添加した場合に、全体が濡れる点のことをいう。この湿潤点の測定では、溶剤を除く活物質材料の成分の混合物粉末状に、溶剤をビュレットで少量ずつ滴下し、スパチュラで混練する。このように溶剤を滴下して添加しながら混練していくと、前記粉末状の混合物をお団子のようにひと塊にできる滴下量に達する。このように、ひと塊を得るために要する溶剤の最少量を湿潤点という。湿潤点における固形分割合は、活物質材料の組成によって異なるが、その範囲は概ね50~80質量である。また、本発明は、ペースト状の活物質材料を線状に吐出するノズルと、集電体上に線状の活物質パターンを形成するために前記ノズルを前記集電体に対して相対移動させる走査手段と、前記集電体上に形成された前記活物質パターンを乾燥させる乾燥手段と、前記活物質パターンを第1の乾燥温度で乾燥させ、ついで前記第1の乾燥温度より高い第2の乾燥温度で乾燥させるように前記乾燥手段を制御する制御手段と、を含むこと、を特徴とする電池用電極製造装置を提供する。このような構成を本発明の電池用電極製造装置によれば、線状の活物質パターンを形成することができ、当該活物質パターンを二段階で乾燥させることができるため、活物質パターンの形状や寸法を損なうことなく高アスペクト比で厚膜の活物質層を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための電池用電極が得られる。また、本発明の電池用電極製造装置においては、前記活物質材料が、少なくとも活物質粉末及び溶剤を含む混合物であって、前記混合物は、前記混合物の湿潤点における固形分割合よりも小さな固形分割合を有し、前記制御手段が、前記活物質パターンの固形分割合が、前記混合物の湿潤点における固形分割合と略等しくなるまで、前記活物質パターンを第1の乾燥温度で乾燥させ、前記活物質パターン内の溶剤を気化させて前記活物質パターン外に排出する構成を有すること、が好ましい。このような構成によれば、活物質パターンを二段階で乾燥させる際に、活物質パターン内の固形分割合を制御することができ、より確実に活物質パターンの形状や寸法を損なうことなく高アスペクト比で厚膜の活物質層を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための電池用電極が得られる。本発明によれば、従来に比べて簡易な工程及び装置構成で、高アスペクト比で高さのある活物質層を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための電池用電極を得るための技術を提供することができる。以下、図面を参照しながら本発明の電池用電極の製造方法及び電池用電極製造装置の実施形態について説明するが、本発明はこれらのみに限定されるものではない。なお、以下の説明では、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略することもある。また、図面は、本発明を概念的に説明するためのものであるから、理解容易のために、必要に応じて寸法、比又は数を誇張又は簡略化して表している場合もある。≪実施形態1≫1リチウムイオン二次電池の構造本実施形態では、図1に示す構造のリチウムイオン二次電池を製造する場合について本発明を説明する。図1は、本実施形態において製造されるリチウムイオン二次電池1の概略縦断面図である。また、図2は、負極集電体10の表面上に負極活物質層12を形成した時点で得られる構造体即ち、負極集電体10と、負極集電体10の表面に形成された負極活物質層12と、を含む負極20を示す斜視図である。本実施形態のリチウムイオン二次電池1は、負極集電体10の上に負極活物質層12、固体電解質層14、正極活物質層16及び正極集電体18をこの順番に積層した構造を有している。負極集電体10と負極活物質層12とが負極を構成し、正極活物質層16と正極集電体18とが正極を構成する。本明細書においては、X、Y及びZ座標方向を図1及び図2に示すように定義する。負極集電体10としては、本発明の属する技術分野において公知の材料を用いることができるが、例えばアルミニウム箔や銅箔等の金属膜であればよい。また、図示しないが、この負極集電体10は、絶縁性の基材の表面に形成されていてもよい。かかる基材としては絶縁性材料で形成された平板状部材を用いればよく、かかる絶縁性材料としては、例えば樹脂、ガラス又はセラミックス等が挙げられる。また、基材は可撓性を有するフレキシブル基板であってもよい。図1に示すように、負極活物質層12は断面形状が略半円状であり、図2に示すように、負極集電体10上には、Y方向に沿って延びる負極活物質層12がX方向に一定間隔をあけて多数並んだストライプ状ラインアンドスペース構造の負極活物質層パターン12Aが形成されている。この負極活物質層12はアスペクト比が高く、高さも有している。負極活物質層12に含まれる負極活物質としては、本願発明の技術分野で常用されるものを使用でき、例えば、金属、金属繊維、炭素材料、酸化物、窒化物、珪素、珪素化合物、錫、錫化合物、各種合金材料等が挙げられる。これらのなかでも、容量密度の大きさ等を考慮すると、酸化物、炭素材料、珪素、珪素化合物、錫、錫化合物等が好ましい。酸化物としては、例えば、式:Li4/3Ti5/3-xFexO4で表されるチタン酸リチウム等が挙げられる。炭素材料としては、例えば、各種天然黒鉛グラファイト、コークス、黒鉛化途上炭素、炭素繊維、球状炭素、各種人造黒鉛、非晶質炭素等が挙げられる。珪素化合物としては、例えば、珪素含有合金、珪素含有無機化合物、珪素含有有機化合物、固溶体等が挙げられる。珪素化合物の具体例としては、例えば、SiOa0.05<a<1.95で表される酸化珪素、珪素とFe、Co、Sb、Bi、Pb、Ni、Cu、Zn、Ge、In、Sn及びTiから選ばれる少なくとも1種の元素とを含む合金、珪素、酸化珪素又は合金に含まれる珪素の一部がB、Mg、Ni、Ti、Mo、Co、Ca、Cr、Cu、Fe、Mn、Nb、Ta、V、W、Zn、C、N及びSnから選ばれる少なくとも1種の元素で置換された珪素化合物又は珪素含有合金、これらの固溶体等が挙げられる。錫化合物としては、例えば、SnOb0<b<2、SnO2、SnSiO3、Ni2Sn4、Mg2Sn等が挙げられる。負極活物質は1種を単独で用いてもよく、必要に応じて2種以上を組み合わせて用いてもよい。また、負極活物質層12は、導電助剤を含んでいてもよい。導電助剤としては、本発明の技術分野で常用されるものを使用でき、例えば、天然黒鉛、人造黒鉛等のグラファイト類、アセチレンブラック、ケッチェンブラック、チャンネルブラック、ファーネスブラック、ランプブラック、サーマルブラック等のカーボンブラック類、炭素繊維、金属繊維等の導電性繊維類、フッ化カーボン、アルミニウム等の金属粉末類、酸化亜鉛等の導電性ウィスカー類、酸化チタン等の導電性金属酸化物、フェニレン誘導体等の有機導電性材料等が挙げられる。導電剤は1種を単独で使用でき又は必要に応じて2種以上を組み合わせて使用できる。負極活物質層12の上側には、図1に示すように、固体電解質によって形成された略一定の厚さを有する薄膜状の固体電解質層13が設けられている。固体電解質層13は、負極集電体10と負極活物質層12とで形成される負極20表面の凹凸に追従するように、当該負極20上面の略全体を一様に覆っており、かつ、固体電解質層13の表面も凹凸形状を有している。固体電解質層13に含まれる固体電解質としては、例えば、ポリエチレンオキシド及び/又はポリスチレン等の樹脂等の高分子電解質材料が挙げられ、支持塩としては、例えば、六フッ化リン酸リチウムLiPF6、過塩素酸リチウムLiClO4及びリチウムビストリフルオロメタンスルホニルイミドLiTFSI等が挙げられる。ホウ酸エステルポリマー電解質を用いてもよい。もちろん、本発明の効果を損なわない範囲で、種々の添加剤を混合してもよい。固体電解質層14の上側には、図1に示すように、正極活物質層16が設けられている。正極活物質層16の下面側は固体電解質層14上面の凹凸に沿った凹凸形状を有するが、その上面側は略平坦形状を有する。この正極活物質層16も、上記のように負極活物質層12が高アスペクト比及び高さを有しているため、同様に、高アスペクト比及び高さを有している。正極活物質層16が含む正極活物質粉末としては、例えば、リチウム含有複合金属酸化物、カルコゲン化合物、二酸化マンガン等が挙げられる。リチウム含有複合金属酸化物は、リチウムと遷移金属とを含む金属酸化物又は該金属酸化物中の遷移金属の一部が異種元素によって置換された金属酸化物である。ここで、異種元素としては、例えば、Na、Mg、Sc、Y、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Al、Cr、Pb、Sb、B等が挙げられ、Mn、Al、Co、Ni、Mg等が好ましい。異種元素は1種でも又は2種以上でもよい。これらのなかでも、リチウム含有複合金属酸化物を好ましく使用できる。リチウム含有複合金属酸化物としては、例えば、LixCoO2、LixNiO2、LixMnO2、LixCoyNi1-yO2、LixCoyM1-yOz、LixNi1-yMyOz、LixMn2O4、LixMn2-yMyO4、LiMPO4、Li2MPO4F前記各式中、例えば、MはNa、Mg、Sc、Y、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Al、Cr、Pb、Sb、V及びBよりなる群から選ばれる少なくとも1種。0<x≦1.2、0<y≦0.9、2.0≦z≦2.3、LiMeO2式中、Me=MxMyMzMe及びMは遷移金属、xyz=1等が挙げられる。リチウム含有複合金属酸化物の具体例としては、例えば、LiNi1/3Mn1/3Co1/3O2、LiNi0.8Co0.15Al0.05O2等が挙げられる。ここで、上記各式中リチウムのモル比を示すx値は、充放電により増減する。また、カルコゲン化合物としては、例えば二硫化チタン、二硫化モリブデン等が挙げられる。正極活物質は1種を単独で使用でき2種以上を併用してもよい。正極活物質層16には、負極活物質層12に関して上記に記載した導電助剤を含めてもよい。このように略平坦形状を有する正極活物質層16の上面側には、正極集電体18が積層されており、これによってリチウムイオン二次電池1が形成されている。正極集電体18としては、本発明の属する技術分野において公知の材料を用いることができるが、例えば銅箔やアルミニウム箔等の金属膜であればよい。また、図示しないが、この正極集電体18は、絶縁性の基材の表面に形成されていてもよい。かかる基材としては絶縁性材料で形成された平板状部材を用いればよく、かかる絶縁性材料としては、例えば樹脂、ガラス又はセラミックス等が挙げられる。また、基材は可撓性を有するフレキシブル基板であってもよい。なお、このリチウムイオン電池二次電池1には、図示しないが、適宜タブ電極が設けられていてもよく、また、複数のリチウムイオン電池二次電池1を直列及び/又は並列に接続してリチウムイオン二次電池装置としてもよい。このような構造を有する本実施形態のリチウムイオン二次電池は、薄型で折り曲げ容易である。また、負極活物質層12及び正極活物質層16を図示したような凹凸を有する立体的構造として、その体積に対する表面積を大きくしているので、薄い固体電解質層14を介した正極活物質層16と対向する接触面積を大きく確保でき、高効率高出力が得られる。このように、本実施形態のリチウムイオン二次電池1は小型で高性能である。2本実施形態の電極及びリチウムイオン二次電池の製造方法及び製造装置次に、上記した本実施形態における電極及びリチウムイオン二次電池1を製造する方法について説明する。本実施形態のリチウムイオン二次電池1を製造する際には、図1に示す負極集電体10に負極活物質層12を形成して負極を製造し、負極のうちの負極活物質層12の上面に固体電解質14を形成し、ついで、固体電解質14の上面に、正極活物質層16及び正極集電体18正極を形成する。2-1負極まず、本実施形態における負極の製造方法について説明する。本実施形態の負極は、以下の工程ア~ウを有する本発明の電池用電極の製造方法により製造する。アペースト状の負極活物質材料を線状に吐出するノズルを長尺状の負極集電体に対して相対移動させて、前記負極集電体上に線状の負極活物質層からなる負極活物質パターンを形成する塗布工程、イ前記負極活物質パターンを第1の乾燥温度で乾燥させる第1乾燥工程、及びウ前記第1乾燥工程後の前記負極活物質パターンを、前記第1の乾燥温度より高い第2の乾燥温度で乾燥させる第2乾燥工程。ここで、図3に、本実施形態の負極の製造方法を実施するための製造装置を概念的に示す。図3に示すように、本実施形態の負極製造装置100は、上記塗布工程ア及び上記第1乾燥工程イを実施するための前段部分と、上記第2乾燥工程ウを実施するための後段部分と、で構成されている。本実施形態の負極製造装置100の前段部分は、まず、巻出しローラ30からの負極集電体10が、搬送ローラ32及び搬送ローラ34によって矢印Y1の方向に搬送され、巻取りローラ36によって巻き取られる構成を有している。即ち、これら搬送ローラ32及び搬送ローラ34が、ノズル40を負極集電体10に対して相対移動させる走査手段といえる。このように、巻出しローラ30から出て巻取りローラ36によって巻き取られるまでの間に、図2に示すように、負極集電体10の表面上に負極活物質層12からなる活物質層パターン12Aが形成される。ア塗布工程搬送される負極集電体10の表面には、ノズル40から、ペースト状の負極活物質材料が線状に吐出される。本実施形態においては、ノズル40は固定され、負極集電体10が搬送されることにより、ノズル40が負極集電体10に対して相対移動される。ペースト状の負極活物質材料は、上記負極活物質と、上記導電助剤と、結着材と、溶剤等と、を常法により攪拌混合混練して得られる混合物で構成され、ノズル40から吐出できるように種々の粘度を有することができるが、本実施形態においては、例えば、せん断速度1s-1で、下限10Pas、上限10000Pas程度であるのが好ましい。なお、各成分は溶剤に溶解していても分散していてもよい一部が溶解して残部が分散している場合も含む。。また、塗布工程に用いる負極活物質材料の固形分割合は、負極活物質材料がノズル40から吐出できるように種々の固形分割合を有することができるが、前記混合物の湿潤点における固形分割合よりも小さな固形分割合を有しているのが好ましい。これらの粘度及び固形分割合は、負極活物質、導電助剤、結着材及び溶剤等の成分の種類や配合量、寸法又は形状等によっても異なるが、上記負極活物質と、上記導電助剤と、結着材と、溶剤等と、を常法により攪拌混合混練する際の混練時間の長さによって、調整することができる。結着剤としては、本発明の技術分野で常用されるものを使用でき、例えば、ポリフッ化ビニリデンPVDF、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、ポリエチレン、ポリプロピレン、アラミド樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアクリルニトリル、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸メチルエステル、ポリアクリル酸エチルエステル、ポリアクリル酸ヘキシルエステル、ポリメタクリル酸、ポリメタクリル酸メチルエステル、ポリメタクリル酸エチルエステル、ポリメタクリル酸ヘキシルエステル、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルピロリドン、ポリエーテル、ポリエーテルサルホン、ポリヘキサフルオロプロピレン、スチレン-ブタジエンゴム、エチレン-プロピレンジエン共重合体、カルボキシメチルセルロース等が挙げられる。また、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル、フッ化ビニリデン、クロロトリフルオロエチレン、エチレン、プロピレン、ペンタフルオロプロピレン、フルオロメチルビニルエーテル、アクリル酸、ヘキサジエン等から選ばれるモノマー化合物の共重合体を結着剤として用いてもよい。結着剤は1種を単独で使用でき又は必要に応じて2種以上を組み合わせて使用できる。溶剤としては、固体電解質層14を構成する六フッ化リン酸リチウムLiPF6等を分解しないように、水を除く有機溶剤を用いるのが好ましい。かかる有機溶剤としては、本発明の技術分野で常用されるものを使用でき、例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、メチルホルムアミド、N-メチル-2-ピロリドンNMP、ジメチルアミン、アセトン、シクロヘキサノン等が挙げられる。有機溶剤は1種を単独で使用でき又は2種以上を混合して使用できる。ここで、図4のaは、図3に示す本実施形態の負極活物質製造装置100において、負極活物質層12からなる負極活物質層パターン12Aが形成される様子を模式的に示す側面図即ち、搬送される負極集電体10の主面に対して略平行な方向からみた場合にみえる図であり、図4のbは、負極活物質層12からなる負極活物質層パターン12Aが形成される様子を模式的に示す斜視図である。このノズルディスペンス法では、塗布液である負極活物質材料を吐出するための吐出口図示せず。を1つ又は複数穿設されたノズル40を、負極集電体10上方に配置し、その吐出口から一定量の負極活物質材料を吐出させながら、負極集電体10をノズル40に他対して相対的に矢印Y1の方向に一定速度で搬送させる。こうすることで、負極集電体10上には、Y方向に沿って複数の負極活物質層12が形成されてストライプ状に塗布される。本実施形態では、図1及び図2に示すように、負極活物質層12の断面形状が略半円状であるため、ノズル40の吐出口も略半円状を有している。ノズル40に複数の吐出口を設ければ複数の負極活物質層12が形成されてストライプ状とすることができ、負極集電体10の搬送を続けることにより、巻出しローラ30からの負極集電体10の全面にストライプ状に負極活物質層12を形成することができる。イ第1乾燥工程上記のように形成された複数の負極活物質層12からなるストライプ状の負極活物質層パターン12Aは、まだ溶剤等を含むいわば塗布膜の状態であるため、負極活物質層パターン12Aが設けられた負極集電体10は、乾燥手段である送風機42の下側領域を通り抜けるように搬送される。この下側領域において、複数の負極活物質層12からなる負極活物質層パターン12Aにドライエアー44によって第1乾燥工程が実施される。第1乾燥工程の乾燥温度は、本発明の効果を損なわない範囲であればよいが、例えば5°C~50°Cの範囲内、好ましくは常温23°C~50°Cの範囲内の温度であればよい。また、第1乾燥工程の乾燥時間は、負極集電体10の搬送速度によって制御することもでき、負極活物質層の組成や固形分割合によっても異なるが、概ね1~60分間でよい。ここで、この第1乾燥工程においては、塗布後の負極活物質材料即ち、負極活物質層12からなる負極活物質パターン12Aの固形分割合が、塗布前の負極活物質材料の湿潤点における固形分割合と略等しくなるまで、負極活物質層12からなる負極活物質パターン12A中の溶剤を気化させて外に排出すること、が好ましい。仮に、ノズル40から吐出させる際の負極活物質材料の固形分割合が60質量であった場合は、第1乾燥工程により、塗布後の負極活物質材料の固形分割合を例えば70質量以上とする。ウ第2乾燥工程つぎに、上記第1乾燥工程を経た負極活物質層12を有する負極集電体10からなる構造体負極20を、図3に示すように、巻取りローラ36で巻き取り、得られるロール状負極50を、第2乾燥工程に供する。この第2乾燥工程においては、ロール状負極50を、加熱乾燥炉52内に搬入し、加熱乾燥炉52内に設けられた支持体54に配置し、ここで、第1の乾燥温度を超える第2の乾燥温度で乾燥させる。加熱乾燥炉52としては、例えば熱風、遠赤外線又は真空乾燥を用いた乾燥炉等を用いることができる。第2乾燥工程の乾燥温度は、第1乾燥工程の乾燥温度よりも高く、上限は本発明の効果を損なわない範囲であればよいが、例えば70°C~150°Cの範囲内、例えば80°Cであればよい。また、第2乾燥工程の乾燥時間は、概ね10分間~24時間でよい。この第2乾燥工程においては、塗布後の負極活物質材料即ち、負極活物質層12からなる負極活物質パターン12Aの固形分割合が、略100質量になるまで、負極活物質層12からなる負極活物質パターン12A中の溶剤を気化させて外に排出する。なお、第2乾燥工程を複数回に分けて行ってもよい。図3に示す負極製造装置100には、図示しないが、このように負極活物質層12を第1の乾燥温度で乾燥させ、ついで第1の乾燥温度より高い第2の乾燥温度で乾燥させるように、搬送ローラ32、搬送ローラ34、送風機42及び加熱乾燥炉52を制御する制御手段が設けられている。このような二段階の乾燥工程を行うことにより、形状や寸法を損なうことなく高アスペクト比で厚膜の負極活物質層12を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための負極が得られる。この時点では、略平坦な負極集電体10の表面に対して負極活物質層12を盛り上げた状態となっており、単に負極活物質層12の上面が平坦となるように負極活物質材料を塗布する場合に比べて、負極活物質材料の使用量に対する表面積を大きくすることができ、後に形成する正極活物質層との対向面積を大きくして大容量化を実現することができる。2-2固体電解質層上記のように負極集電体10と負極活物質層12とからなる負極20の上面に、固体電解質層14を形成する方法については、従来公知の方法を採用することができ特に制限されるものではないが、本実施形態においては、例えばスピンコート法によって固体電解質材料を塗布して固体電解質層14を形成する。図5は、本実施形態において、スピンコート法による固体電解質材料の塗布の様子を模式的に示す図である。図5に示すように、負極集電体10と負極活物質層12とを積層してなる負極20は、鉛直方向Z方向の回転軸周りを所定の回転方向Drに回転自在の回転ステージ60に略水平に載置される。したがって、本実施形態においては、負極活物質層12が形成された負極集電体10からなる負極を、負極集電体10の長さ方向に略垂直な方向において、回転ステージ60に載置できる寸法に切断してから、固体電解質層14を形成する。回転ステージ60が所定の回転速度で回転し、回転ステージ60の回転軸上の上部位置に設けられたノズル62から、塗布液であるペースト状の固体電解質材料64が負極20に向かって吐出される。負極20の上面に滴下された固体電解質材料は、回転する回転ステージ60の遠心力によって周囲に次第に広がり、余分な固体電解質材料は負極20の端部から飛ばされる。このような機構により、負極20の上面は固体電解質材料によって薄く均一に覆われ、これを乾燥硬化させることで、固体電解質層14を形成することができる。用いる固体電解質材料の組成、粘度及び固形分割合、並びに乾燥硬化の条件については、本発明の効果を損なわない範囲で、従来公知の方法に従って適宜選択すればよい。スピンコート法では、固体電解質材料の粘度及び回転ステージ60の回転速度によって、得られる個体電解質層14の膜厚を制御することができ、また、本実施形態における負極20のように表面に凹凸を有する被塗布物に対しても、当該凹凸に沿って膜厚の均一な薄膜状の固体電解質層14を形成することができる。固体電解質層14の厚さについては、任意ではあるが、負極活物質層12と正極活物質層16とが確実に分離され、また、内部抵抗が高くなり過ぎない厚さであることが必要である。なお、負極活物質層12に凹凸を設けて増大させた表面積の効果を損なわないためには、固体電解質層14の厚さt14図1における符号t14と、負極活物質層12の凹凸の高低差t12図1における符号t12とが、関係式:t14<t12を満たすことが望ましい。2-3正極上記のように形成された負極集電体10、負極活物質層12及び固体電解質層14を積層してなる積層体70の上面に、正極活物質層16を形成する方法については、従来公知の方法を採用することができ特に制限されるものではないが、本実施形態においては、例えばドクターブレード法によってペースト状の正極活物質材料を塗布して正極活物質層16を形成する。正極活物質材料としては、上記した正極活物質、導電助剤、結着剤及び溶剤等を攪拌混合混練して得られるものを用いることができるが、用いる正極活物質材料の組成、粘度及び固形分割合、並びに乾燥硬化の条件については、本発明の効果を損なわない範囲で、従来公知の方法に従って適宜選択すればよい。図6はドクターブレード法による正極活物質材料の塗布の様子を模式的に示す図である。より詳しくは、図6のaは、ドクターブレード法によって積層体70の上面に正極活物質材料が塗布されて正極活物質層16が形成される様子を模式的に示す側面図即ち、負極活物質層12を有する負極集電体10の主面に対して略平行な方向からみた場合にみえる図であり、図6のbは、正極活物質材料が塗布されて正極活物質層16が形成される様子を模式的に示す斜視図である。正極活物質材料を吐出するノズル72は、積層体70に対して相対的に矢印Y2で示される方向に走査移動される。ノズル72の移動方向Y2において、ノズル70の後方側にはドクターブレード74が取り付けられており、ドクターブレード74の下端は、積層体70の上面に形成された固体電解質層14よりも上方位置で、吐出された正極活物質材料の上面に接触するため、これにより上面が平坦な正極活物質層16を得ることができる。この工程で用いるノズル72としては、図4に示したノズル40のように多数の吐出口を有するノズルであってもよいし、移動方向Y2に直交する方向即ち矢印Xの方向に延びるスリット状の吐出口を有するノズルであってもよい。このようにして、正極活物質材料を積層体70に塗布することにより、下面が固体電解質層14の凹凸に沿った凹凸を有し、上面が略平坦な正極活物質層16を、積層体70の上面に形成することができる。上記のようにして形成された正極活物質層16の上面に、正極集電体18を積層することにより、図1に示す構造を有する本実施形態のリチウムイオン二次電池1を得ることができる。正極集電体18としては、従来公知の材料を用いることができ、例えば銅箔等の金属箔を用いることができる。このとき、上記正極活物質層16が硬化しないうちに正極集電体18を積層すると、正極活物質層16と正極集電体18とを互いに密着させて接合することができ、好ましい。また、正極活物質層16の上面は略平坦であるため、正極集電体18を隙間なく積層することができる。≪実施形態2≫本実施形態は、負極集電体に負極活物質層を形成した後に得られる構造体負極を、第1乾燥工程に供した後、切断してから第2乾燥工程に供すること以外は、上記実施形態1と同じである。ここでは、実施形態1との相違点を中心に説明する。図7に、本実施形態の負極の製造方法を実施するための製造装置を概念的に示す。図7に示すように、本実施形態の負極製造装置200は、塗布工程ア及び上記第1乾燥工程イを実施するための前段部分と、第2乾燥工程ウを実施するための後段部分と、で構成されている。本実施形態の負極製造装置200の前段部分は、まず、巻出しローラ30からの負極集電体10が及び搬送ローラ32によって矢印Y1の方向に搬送され、搬送ローラ34a及び34bに達するまでの間に、図2に示すように、負極集電体10の表面上に負極活物質層12からなる活物質層パターン12Aが形成されて、負極活物質層12を有する負極集電体10からなる構造体負極20が得られる。この負極活物質層12を有する負極集電体10からなる構造体負極20は、続いて搬送ローラ34a及び34bで上下から挟まれて位置決めされた後、切断機構36によってシート状に切断され、得られたシート状負極20Aは搬送ローラ36a及び36b並びに搬送ローラ38a及び38bで上下から挟まれながら、第2乾燥工程に供される。ア塗布工程塗布工程においては、上記実施形態1と同様に、搬送される負極集電体10の表面に、ノズル40からペースト状の負極活物質材料が線状に吐出され、複数の負極活物質層12からなるストライプ状の負極活物質層パターン12Aが形成される。イ第1乾燥工程上記のように形成された複数の負極活物質層12は、まだ溶剤等を含むいわば塗布膜の状態であるため、負極活物質層12を有する負極集電体10からなる構造体負極20は、続いて、送風機42の下側領域を通り抜けるように搬送され、この下側領域において、ドライエアー44によって第1乾燥工程が実施される。ウ第2乾燥工程上記第1乾燥工程を経た後、負極活物質層12を有する負極集電体10からなる構造体負極20は、図7に示すように、搬送ローラ34a及び34bで上下負極集電体10のうちの負極活物質層12が設けられていない両端部から挟んで位置決めされて上下から切断機構46によって切断され、シート状の構造体負極20として、搬送ローラ36a及び36b並びに搬送ローラ38a及び38bで上下から挟まれながら、加熱乾燥炉52Aに搬送される。この加熱乾燥炉52Aは、複数の棚52Bを有するキャビネット構造を有しており、この棚52Bに、シート状の構造体負極20を置いて第2加熱工程を行うことができる。かかる加熱乾燥炉52Aとしては、例えば、真空乾燥炉等を用いることができる。このような二段階の乾燥工程を行うことにより、負極活物質パターン12Aの形状や寸法を損なうことなく高アスペクト比で厚膜の負極活物質層12を形成することができ、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池を実現するための負極が得られる。また、上記のようにして得たシート状の構造体負極20に、上記実施形態1で述べたのと同様にして、固体電解質層14、正極活物質層16及び正極集電体18を設けることにより、充放電容量に優れるリチウムイオン二次電池等の電池が得られる。≪変形態様≫以上、本発明の実施形態の一例について説明したが、本発明はこれらのみに限定されるものではない。例えば、上記実施形態においては、負極活物質層12を先に形成し、当該形成においてのみ、塗布工程、第1乾燥工程及び第2乾燥工程を用いた場合について説明したが、正極活物質層16を先に形成し、当該形成に塗布工程、第1乾燥工程及び第2乾燥工程を用いてもよい。正極活物質層を、本発明の電極製造方法にしたがって塗布工程、第1乾燥工程及び第2乾燥工程により形成する場合、負極活物質層の場合と同様の条件等を採用すればよいが、塗布工程において用いるペースト状の正極活物質材料の固形分割合が、仮に50質量程度とすれば、塗布後の正極活物質層の固形分割合は、第1乾燥工程によって例えば60質量以上とすればよい。また、上記実施形態においては、負極活物質層12の形成においてのみ、塗布工程、第1乾燥工程及び第2乾燥工程を用いた場合について説明したが、負極活物質層12及び正極活物質層16のいずれも塗布工程、第1乾燥工程及び第2乾燥工程を用いて形成しても構わない。また、上記実施形態においては、塗布工程によって負極活物質層12を形成した後、第1乾燥工程及び第2乾燥工程を連続して行った後に、固体電解質層14、正極活物質層16及び正極集電体18を設ける場合について説明したが、第1乾燥工程を行った後、固体電解質層14、正極活物質層16及び正極集電体18を設けてから、第2乾燥工程を行っても構わない。また、上記実施形態においては、本発明の負極製造方法において、塗布工程の後の第1乾燥工程を送風機により実施する場合について説明したが、送風機を用いずに自然乾燥させてもよく、また、真空乾燥を行ってもよい。なお、上記実施形態では、負極集電体10上への負極活物質層12の描画パターンを、一定間隔に並んだ複数のストライプからなるいわゆるラインアンドスペース構造としたが、描画パターンについてはこれに限定されるものではない。また、上記実施形態においては、負極活物質層12の断面形状を略半円状とした場合について説明したが、これに限定されるものではなく、正方形、長方形又は台形等の略矩形状であってもよい。凹凸パターンを形成する必要のある負極活物質層12の形成にはノズルディスペンス法による塗布を適用しているので、種々のパターンを短時間で形成することができる。また、微細パターンの作成にもノズルディスペンス法を好適に適用することが可能である。この製造方法では、微細パターンを作成する必要があるのは最初の塗布工程、つまり活物質塗布液の塗布工程のみであり、以後の塗布工程では一様に塗布を行うことができれば足り微細パターンの作製を要しない。なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、各工程において適用する塗布方法は上記に限定されるものではなく、当該工程の目的に適うものであれば他の塗布方法を適用してもよい。例えば、上記した実施形態では、固体電解質層14を形成するのにスピンコート法を適用しているが、塗布対象面の凹凸に追従した薄膜を形成することのできる方法であれば他の方法、例えばスプレーコート法によって固体電解質材料を塗布してもよい。また例えば、上記実施形態では、正極活物質層16を形成するのにドクターブレード法を適用しているが、塗布対象面と接する下面がその凹凸に追従し、かつ上面を略平坦に仕上げることが可能な塗布方法であれば他の方法であってもよい。このような目的を達成するには正極活物質材料の粘度があまり高くないことが望ましいが、言い換えれば、正極活物質材料の粘度が適切に選ばれていればドクターブレードを用いなくても下面を凹凸にかつ上面を略平坦に仕上げることは可能であり、例えばノズルディスペンス法やスリットコート法、バーコート法等で塗布してもよい。また、上記実施形態においては、図1に示す構造の全固体型のリチウムイオン二次電池を作製する場合について説明したが、これに限らず、本発明は、例えば図8に示す構造のリチウムイオン二次電池を作製する場合にも適用することができる。図8は、本発明の変形例において製造されるリチウムイオン二次電池の概略縦断面図である。図8に示すリチウムイオン二次電池201においては、負極集電体110の一方の面図8における上側の面に、上記本発明の電極製造方法によって負極活物質層112が設けられて、負極が構成されている。また、正極集電体118の一方の面図8における下側の面に、上記本発明の電極製造方法によって正極活物質層116が設けられて、正極が構成されている。そして、負極負極活物質層112及び負極集電体110及び正極正極活物質層116及び正極集電体118が、例えば絶縁性材料からなるスペーサ202を介して対向して設置されており、電池缶に入れた後、負極集電体110、スペーサ202及び正極集電体118によって形成された内部空間に電解質液が注入し、電池缶を密閉すること等により、リチウムイオン二次電池201が構成されている。≪実施例1≫まず、コバルト酸リチウムLiCoO2、日本化学工業株製の正極活物質と、アセチレンブラック電気化学工業株製の導電助剤と、ポリ塩化ビニリデンキシダ化学株製のバインダーと、を8:1:1の質量比で混合し、得られた混合物とN-メチル-2-ピロリドンとを混合し、固形分割合が60質量の正極活物質材料を得た粘度:1000Pas。幅70μm及び高さ150μmのスリットを有するノズルを、アルミニウム箔の表面に対して相対移動させながら、前記スリットから上記正極活物質材料を、アルミニウム箔の表面上に塗布し、線状の正極活物質材料の塗膜を得た塗布工程。次に、上記塗布工程により得られた正極活物質材料の塗膜を、室温25°Cで0、10、20、30、40、50又は60分間自然乾燥した第1乾燥工程。続いて、第1乾燥工程を経た正極活物質材料の塗膜を、80°Cで1時間加熱乾燥し第2乾燥工程、これにより正極活物質層を得た。このときの正極活物質層の幅及び高さを、株キーエンス社製のレーザー顕微鏡で測定し、アスペクト比を算出して、これらを図9に示した。≪比較例1≫幅70μm及び高さ150μmのスリットを有するノズルを、アルミニウム箔の表面に対して相対移動させながら、前記スリットから上記正極活物質材料を、アルミニウム箔の表面上に塗布し、線状の正極活物質材料の塗膜を得た塗布工程。次に、上記塗布工程により得られた正極活物質材料の塗膜を、室温25°Cで0、3、5、9、13、18、21、26、32、36、42、49、54又は60分間自然乾燥し乾燥工程、これにより正極活物質層を得た。このときの正極活物質層の幅及び高さを、株キーエンス社製のレーザー顕微鏡で測定し、アスペクト比を算出して、これらを図10に示した。図9及び図10から、第1乾燥時間が10分以上であれば、第2乾燥工程を経てアスペクト比の高い正極活物質層が得られることがわかる。また、上記実施例1において、乾燥時間0.5分毎に、正極活物質材料の塗膜の固形分割合を、電子天秤にて質量の経時的変化を測定することにより求めた。その結果を図11に示した。図11のグラフにおいて、横軸は乾燥時間分を示し、縦軸は正極活物質材料の塗膜の固形分割合を示す。この正極負極活物質材料の湿潤点における固形分割合は、約70質量であることが確認された。≪実施例2≫まず、チタン酸リチウムLi4Ti5O12、石原産業株製の負極活物質と、アセチレンブラック電気化学工業株製の導電助剤と、ポリ塩化ビニリデンキシダ化学株製のバインダーと、を8:1:1の質量比で混合し、得られた混合物とN-メチル-2-ピロリドンとを混合し、固形分割合が50質量の負極活物質材料を得た粘度:600Pas。幅70μm及び高さ150μmのスリットを有するノズルを、アルミニウム箔の表面に対して相対移動させながら、前記スリットから上記負極活物質材料を、アルミニウム箔の表面上に塗布し、線状の負極活物質材料の塗膜を得た塗布工程。次に、上記塗布工程により得られた負極活物質材料の塗膜を、室温25°Cで0、10、20、30、40、50又は60分間自然乾燥した第1乾燥工程。続いて、第1乾燥工程を経た負極活物質材料の塗膜を、80°Cで1時間加熱乾燥し第2乾燥工程、これにより負極活物質層を得た。このときの負極活物質層の幅及び高さを、株キーエンス社製のレーザー顕微鏡で測定し、アスペクト比を算出して、これらを図12に示した。≪比較例2≫幅70μm及び高さ150μmのスリットを有するノズルを、アルミニウム箔の表面に対して相対移動させながら、前記スリットから上記負極活物質材料を、アルミニウム箔の表面上に塗布し、線状の負極活物質材料の塗膜を得た塗布工程。次に、上記塗布工程により得られた負極活物質材料の塗膜を、室温25°Cで0、3、5、9、13、18、21、26、32、36、42、49、54又は60分間自然乾燥し乾燥工程、これにより負極活物質層を得た。このときの負極活物質層の幅及び高さを、株キーエンス社製のレーザー顕微鏡で測定し、アスペクト比を算出して、これらを図13に示した。図12及び図13から、第1乾燥時間が45分以上であれば、第2乾燥工程を経てアスペクト比の高い負極活物質層が得られることがわかる。また、上記実施例2において、乾燥時間0.5分毎に、負極活物質材料の塗膜の固形分割合を、電子天秤にて質量の経時的変化を測定することにより求めた。その結果を図14に示した。図14のグラフにおいて、横軸は乾燥時間分を示し、縦軸は負極活物質材料の塗膜の固形分割合を示す。この負極活物質材料の湿潤点における固形分割合は、約60質量であることが確認された。