次の工程:-交互に連続する複数のグリーンシート4′、5′及び貫通する内部電極層6、7からの完全活性グリーンスタック1′を準備する工程、この場合、内部電極層6、7は、グリーンスタック1′から製造すべきピエゾスタック1の外側に配置すべき外部電極2、32つのうち1つごとと交互に、電気的に接続し、そして、そのつど他方の外部電極2、3とは電気的絶縁性であることが予定されている、-内部電極層6、7が相応する外部電極2、3とは電気的絶縁性であるべき領域において、完全活性グリーンスタック1′の外側に溝8、9を設ける工程、その結果、溝8、9が、この領域において内部電極層6、7を、グリーンスタック1′の外側から内側へと短くさせる、-溝8、9を、電気的絶縁性スラリー10、11で充填する工程、-溝8、9がスラリー10、11で充填されているグリーンスタック1′を後加工して、グリーンシート4′、5′からピエゾ電気層4、5を、そして、グリーンスタック1′からピエゾスタック1を形成する工程、-両外部電極2、3をピエゾスタック1の外側に設け、両外部電極2、3を交互に、内部電極層6、7と電気的に接続させる工程、を有する、1つのピエゾスタック1及びピエゾスタック1の外側に配置された2つの外部電極2、3を備えるピエゾアクチュエーター100の製造方法において、-スクリーン印刷、浸漬、吹付け又は真空浸潤の方法の1によって、溝8、9をスラリー10、11で充填することを特徴とする方法。スラリー10、11での溝8、9の充填に加えて、スラリー10、11を有するパッシベーション層12、13の形成のために、ピエゾスタック1の表面をスラリー10、11で覆うことを特徴とする請求項1記載の方法。スラリー10、11を用いた溝8、9の充填及びピエゾスタック1の表面へのパッシベーション層12、13の設置を、共通の加工工程において行うことを特徴とする請求項2記載の方法。ホットエンボスによって、完全活性グリーンスタック1′の外側に溝8、9を設けることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の方法。作成すべき溝8、9の数及び配置に相応する数及び配置の突出部を有するスタンプを使用することを特徴とする請求項4記載の方法。スラリー10、11中のセラミック粒子の圧縮挙動を、ピエゾスタック1の圧縮挙動に適合させることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載の方法。熱処理の際に、スラリー10、11に、その収縮挙動に影響を及ぼす剤を混入することを特徴とする請求項6記載の方法。スラリーの収縮挙動に影響を及ぼす剤として、Ag、AgO又はPbOを使用することを特徴とする請求項7記載の方法。スラリーの収縮挙動に影響を及ぼす剤が、スラリーの0.05~1.00質量を占めることを特徴とする請求項7又は8記載の方法。スラリー10、11中のセラミック粒子の焼結活性が、粒度又は一次粒子径の減少によって高められることを特徴とする請求項6から9のいずれか1項記載の方法。溝8、9中に配置されたスラリー10、11をプレス処理するために、溝8、9がスラリー10、11で充填されているグリーンスタック1′を液体浴中で加圧することを特徴とする請求項6から10のいずれか1項記載の方法。スラリー10、11での溝8、9の充填が、複数の工程において行われることを特徴とする請求項1から11のいずれか1項記載の方法。請求項1から12のいずれか1項記載の方法により製造された、1つのピエゾスタック1及びピエゾスタック1の外側に配置された2つの外部電極2、3を備えるピエゾアクチュエーター。