"本体フレームに対してスライド自在な超音波振動ユニットに取り付けた工具ホーンをワークに押圧して超音波溶着を行う超音波溶着装置において、前記工具ホーンの移動量を測定する第一のリニアスケールと、前記超音波振動ユニットを押圧する圧縮バネと、前記圧縮バネを圧縮する駆動手段と、前記圧縮バネの圧縮量を測定する第二のリニアスケールと、前記圧縮バネによる押圧力を測定するロードセルと、を設け、前記駆動手段を駆動して前記圧縮バネを圧縮したときに、前記ロードセルで測定した前記圧縮バネによる押圧力Pと、前記第一のリニアスケールで測定した前記工具ホーンの移動量h1と、前記第二のリニアスケールで測定した圧縮バネの圧縮量h2と、を前記駆動手段にフィードバック制御して、前記ワークに任意の押圧力を付与した状態で超音波溶着を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする超音波溶着装置。前記制御手段は、前記駆動手段で圧縮バネを圧縮して所定の押圧力Pbに達したことを前記ロードセルが検出したときに、前記工具ホーンの移動量h1の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量h2の変化Δh2を算出し、前記工具ホーンの移動量の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を等しく保って、前記圧縮バネ自体の圧縮量δを変えず、前記圧縮バネの押圧力Pを一定に保つよう構成したことを特徴とする請求項1に記載の超音波溶着装置。前記制御手段は、前記駆動手段で圧縮バネを圧縮して所定の押圧力Pbに達したことを前記ロードセルが検出したときに、前記工具ホーンの移動量h1の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量h2の変化Δh2を算出し、前記工具ホーンの移動量の変化Δh1に対する前記圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を増大あるいは減少することにより、前記圧縮バネの圧縮量を変えて前記圧縮バネの押圧力Pを変化させて前記所定の押圧力Pbを変化させるよう構成したことを特徴とする請求項1に記載の超音波溶着装置。前記制御手段には記憶手段を設け、前記圧縮バネの特性値を前記記憶手段に予め記憶しておくことにより、前記工具ホーンを超音波溶着作業の始点から終点まで変位させて被溶着物を押圧する際に、前記記憶手段から圧縮バネの特性値を読み出して、前記駆動手段による圧縮バネの圧縮量を逐次算出して駆動制御するようにしたことを特徴とした請求項1に記載の超音波溶着装置。さらに、押圧方向と平行な軸周りに回転自在な回転体を有し、前記圧縮バネは、前記回転体の軸周りに複数設けられており、当該回転体を回転させることで押圧に用いる圧縮バネを選択可能であることを特徴とする請求項1に記載の超音波溶着装置。前記圧縮バネを交換可能に設けた請求項1に記載の超音波溶着装置。本体フレームに対してスライド自在な超音波振動ユニットに取り付けた工具ホーンをワークに押圧して超音波接合を行う超音波接合装置において、前記工具ホーンの移動量を測定する第一のリニアスケールと、前記超音波振動ユニットを押圧する圧縮バネと、前記圧縮バネを圧縮する駆動手段と、前記圧縮バネの圧縮量を測定する第二のリニアスケールと、前記圧縮バネによる押圧力を測定するロードセルと、を設け、前記駆動手段を駆動して前記圧縮バネを圧縮したときに、前記ロードセルで測定した前記圧縮バネによる押圧力Pと、前記第一のリニアスケールで測定した前記工具ホーンの移動量h1と、前記第二のリニアスケールで測定した圧縮バネの圧縮量h2と、を前記駆動手段にフィードバック制御して、前記ワークに任意の押圧力を付与した状態で超音波接合を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする超音波接合装置。前記制御手段は、前記駆動手段で圧縮バネを圧縮して所定の押圧力Pbに達したことを前記ロードセルが検出したときに、前記工具ホーンの移動量h1の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量h2の変化Δh2を算出し、前記工具ホーンの移動量の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を等しく保って、前記圧縮バネ自体の圧縮量δを変えず、前記圧縮バネの押圧力Pを一定に保つよう構成したことを特徴とする請求項7に記載の超音波接合装置。前記制御手段は、前記駆動手段で圧縮バネを圧縮して所定の押圧力Pbに達したことを前記ロードセルが検出したときに、前記工具ホーンの移動量h1の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量h2の変化Δh2を算出し、前記工具ホーンの移動量の変化Δh1に対する前記圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を増大あるいは減少することにより、前記圧縮バネの圧縮量を変えて前記圧縮バネの押圧力Pを変化させて前記所定の押圧力Pbを変化させるよう構成したことを特徴とする請求項7に記載の超音波接合装置。前記制御手段には記憶手段を設け、前記圧縮バネの特性値を前記記憶手段に予め記憶しておくことにより、前記工具ホーンを超音波接合作業の始点から終点まで変位させて被接合物を押圧する際に、前記記憶手段から圧縮バネの特性値を読み出して、前記駆動手段による圧縮バネの圧縮量を逐次算出して駆動制御するようにしたことを特徴とした請求項7に記載の超音波接合装置。さらに、押圧方向と平行な軸周りに回転自在な回転体を有し、前記圧縮バネは、前記回転体の軸周りに複数設けられており、当該回転体を回転させることで押圧に用いる圧縮バネを選択可能であることを特徴とする請求項7に記載の超音波接合装置。前記圧縮バネを交換可能に設けた請求項7に記載の超音波接合装置。本体フレームに対してスライド自在な超音波振動ユニットに取り付けたホーンをワークに押圧して超音波接合を行う布線装置において、前記ホーンの移動量を測定する第一のリニアスケールと、前記超音波振動ユニットを押圧する圧縮バネと、前記圧縮バネを圧縮する駆動手段と、前記圧縮バネの圧縮量を測定する第二のリニアスケールと、前記圧縮バネによる押圧力を測定するロードセルと、を設け、前記駆動手段を駆動して前記圧縮バネを圧縮したときに、前記ロードセルで測定した前記圧縮バネによる押圧力Pと、前記第一のリニアスケールで測定した前記ホーンの移動量h1と、前記第二のリニアスケールで測定した圧縮バネの圧縮量h2と、を前記駆動手段にフィードバック制御して、前記ワークに任意の押圧力を付与した状態で超音波接合を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする布線装置。前記制御手段は、前記駆動手段で圧縮バネを圧縮して所定の押圧力Pbに達したことを前記ロードセルが検出したときに、前記ホーンの移動量h1の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量h2の変化Δh2を算出し、前記ホーンの移動量の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を等しく保って、前記圧縮バネ自体の圧縮量δを変えず、前記圧縮バネの押圧力Pを一定に保つよう構成したことを特徴とする請求項13に記載の布線装置。前記制御手段は、前記駆動手段で圧縮バネを圧縮して所定の押圧力Pbに達したことを前記ロードセルが検出したときに、前記ホーンの移動量h1の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量h2の変化Δh2を算出し、前記ホーンの移動量の変化Δh1に対する前記圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を増大あるいは減少することにより、前記圧縮バネの圧縮量を変えて前記圧縮バネの押圧力Pを変化させて前記所定の押圧力Pbを変化させるよう構成したことを特徴とする請求項13に記載の布線装置。前記制御手段には記憶手段を設け、前記圧縮バネの特性値を前記記憶手段に予め記憶しておくことにより、前記ホーンを超音波接合作業の始点から終点まで変位させて被溶着物を押圧する際に、前記記憶手段から圧縮バネの特性値を読み出して、前記駆動手段による圧縮バネの圧縮量を逐次算出して駆動制御するようにしたことを特徴とした請求項13に記載の布線装置。さらに、押圧方向と平行な軸周りに回転自在な回転体を有し、前記圧縮バネは、前記回転体の軸周りに複数設けられており、当該回転体を回転させることで押圧に用いる圧縮バネを選択可能であることを特徴とする請求項13に記載の布線装置。前記圧縮バネを交換可能に設けた請求項13に記載の布線装置。本発明は、伸縮自在な圧縮バネからなる荷重印加手段を用いた超音波溶着装置、超音波接合装置あるいは布線装置において、工具ホーンの位置h1と圧縮バネの圧縮量h2と圧縮バネによる押圧力Pをフィードバック制御することにより超音波溶着条件あるいは超音波接合条件を精密に管理し、小さい押圧力あるいは所定の押圧力での押圧を正確に行って良好な溶着結果、接合結果、あるいは布線結果を得ることを目的としている。本発明は、本体フレームに対してスライド自在な超音波振動ユニットに取り付けた工具ホーンをワークに押圧して超音波溶着、超音波接合、または布線を行う超音波溶着装置、超音波接合装置、または布線装置において、工具ホーンの移動量h1を測定する第一のリニアスケールと、超音波振動ユニットを押圧する圧縮バネと、圧縮バネを圧縮する駆動手段と、圧縮バネの圧縮量h2を測定する第二のリニアスケールと、圧縮バネによる押圧力Pを測定するロードセルとを設け、駆動手段を駆動して圧縮バネを圧縮したときに、ロードセルで測定した圧縮バネによる押圧力Pと、第一のリニアスケールで測定した工具ホーンの移動量h1と、第二のリニアスケールで測定した圧縮バネの圧縮量h2を駆動手段にフィードバック制御して、ワークに任意の押圧力を付与した状態で超音波溶着または超音波接合を行う制御手段と、を備えるようにしている。そして本発明では、制御手段は、駆動手段で圧縮バネを圧縮して所定の押圧力Pbに達したことをロードセルが検出したときに、前記工具ホーンの移動量h1の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量h2の変化Δh2を算出し、工具ホーンの移動量の変化Δh1と圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を等しく保つことにより圧縮バネ自体の圧縮量δを変えず、圧縮バネの押圧力を一定値に保っている。このことにより、小さい押圧力あるいは所定の押圧力での押圧を正確に行うことを精密に管理し、良好な溶着結果を得るようにしている。また本発明の前記制御手段は、駆動手段で圧縮バネを圧縮して所定の押圧力Pbに達したことをロードセルが検出したときに、前記工具ホーンの移動量h1の変化Δh1と前記圧縮バネの圧縮量h2の変化Δh2を算出し、工具ホーンの移動量の変化Δh1に対する圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を増大あるいは減少することにより、圧縮バネの圧縮量を変えて圧縮バネの押圧力Pを変化させて所定の押圧力Pbを変化させるようにしている。また本発明の前記制御手段は、圧縮バネのバネ定数等の特性値を記憶手段に予め記憶しておくことにより、工具ホーンを超音波溶着作業等の始点から終点まで変位させて被溶着物あるいは被接合物を押圧する際に、記憶手段から圧縮バネのバネ定数等の特性値を読み出して駆動手段による圧縮バネの圧縮量を逐次算出して駆動制御するようにしている。このことにより、圧縮バネのバネ定数がその作業に対して大きい、あるいは小さい場合であっても、駆動手段による圧縮バネの圧縮量を逐次算出して加減することにより、小さい押圧力あるいは所定の押圧力での押圧を正確に行うことを精密に管理し、良好な溶着結果を得ることができるようにしている。また本発明は、押圧方向と平行な軸周りに回転自在な回転体を有し、圧縮バネは、回転体の軸周りに複数設けられており、回転体を回転させることで押圧に用いる圧縮バネを選択可能としたり、圧縮バネを交換可能に設けたりしている。そのため、溶着作業、あるいは接合作業、あるいは布線作業の条件が変わっても、複数の圧縮バネの中から条件を満たす圧縮バネを選定して溶着作業、接合作業、あるいは布線作業に迅速に対応できるようにしている。本発明によれば、駆動手段で圧縮バネを圧縮したときに、ロードセルが検出した圧縮バネの押圧力Pと工具ホーンの移動量h1と圧縮バネの圧縮量h2をフィードバックし、工具ホーンの移動量の変化Δh1と圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を算出して駆動制御することにより、小さい押圧力あるいは所定の押圧力での押圧を正確に行うことを精密に管理し、良好な溶着結果あるいは接合結果を得ることができる。また、圧縮バネのバネ定数がその超音波溶着作業、超音波接合作業あるいは布線作業に対して大きい、あるいは小さい場合であっても、駆動手段による圧縮バネの圧縮量を細かく制御することにより、小さい押圧力あるいは所定の押圧力での押圧を正確に行うことを精密に管理し、良好な溶着結果あるいは接合結果を得ることができる。更に、超音波溶着作業、超音波接合作業、あるいは布線作業の条件が変わっても、予め準備した複数の圧縮バネの中から条件を満たす圧縮バネを選定して各種の溶着作業、超音波接合作業、あるいは布線作業に迅速に対応することができる。そして、圧縮バネを交換可能にしたことにより、作業条件が変わっても迅速に対応することができる。第一の実施の形態本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置を説明する。図1に本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置100の右側面図を、図2に超音波溶着装置100の正面図を、図3に超音波溶着装置100の斜視図を示す。超音波溶着装置100は、側面から見てL字型をした本体フレーム10の底部10bの上にアンビル11を設け、アンビル11の上に被溶着物であるプラスチック板のワークW1、W2を重ねた状態で載置できるようにしている。本体フレーム10は、アンビル11から所定距離だけ離した位置に支柱部分10aを設け、支柱部分10aに対して超音波振動ユニット40を垂直方向に上下動自在に支持している。支柱部分10aの上部には、滑車支持部材21を設け、滑車回転軸22の周りに滑車23を回転自在に支持している。滑車23は、一端にバランスウェイト25を他端に超音波振動ユニット40を結びつけたワイヤ24を移動自在に支持している。超音波振動ユニット40は、ワイヤ固定部41を持つユニットフレーム42に超音波振動手段43を固定し、超音波振動手段43の先端には工具ホーン44を取り付けている。バランスウェイト25の重量は、超音波振動ユニット40の重量より、いくらか重くしてある。そのため、滑車23でワイヤ24を支持しただけの状態では、重量のアンバランスにより、バランスウェイト25が下降し、超音波振動ユニット40が上昇する。支柱部分10aの上部には、超音波振動ユニット40を押し下げるための駆動手段28を、回転軸を下に向けた状態で固定し、駆動手段28の回転軸に送りネジ29を取り付けている。送りネジ29の先端には押圧部材30を取り付けている。駆動手段28はサーボモータであり所定角度だけ回転することができ、回転した角度に応じた量だけ押圧部材30が上下動する。駆動手段28の直下には、支柱部分10aから上下一対の水平壁26a、26bが水平方向に張り出している。水平壁26a、26bの間には、回転式拳銃のレンコン状の回転式弾倉のような形をした圧縮バネ収容部31回転体を入れ、押圧方向と平行な軸27を通した状態で、軸27を中心に圧縮バネ収容部31を回転自在に支持している。本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置100の圧縮バネ収容部31には、3つの貫通孔が開いており、バネ定数の異なる3種類の圧縮バネA32b、B33b、C34bを収納している。圧縮バネA32b、B33b、C34bの下方には、バネ座32c、33c、34cを、上方には、バネ用蓋32a、33a、34aを当てている。なお、バネ座、圧縮バネそしてバネ用蓋を重ねたときの自然長高さを圧縮バネ収容部31の貫通孔の長さより短くしている。このことにより、圧縮バネ収容部31を軸27を中心に回転したときに、上部のバネ用蓋が水平壁26aに引っかからないようにしている。駆動手段28の直下の水平壁26a、26bには貫通孔を開けており、上方の水平壁26aには押圧部材30を出入り自在にしている。また、下方の水平壁26bには、フランジ付きストッパ46を出入り自在にしている。なお、既に説明した超音波振動ユニット40には、ロードセル45を載せ、ロードセル45の上にフランジ付きストッパ46を載せている。超音波振動ユニット40は外力が加わらなければ、バランスウェイト25の自重により上方に移動する。そのため、フランジ付きストッパ46を水平壁26bの貫通孔に貫入させると、駆動手段28から工具ホーン44までの各部分28、29、30、32a、32b、32c、46、45、42、43、44は一体的に動く。そのため、駆動手段28が回転すると、圧縮バネ32bを圧縮してその弾性力で工具ホーン44の下面をワークW1、W2に押し付けることができる。また図3に示したように、本体フレームの支柱部分10aには、工具ホーン44の移動量h1を測定する第一のリニアスケール50が設けられている。工具ホーン44の移動量h1は、本体フレーム10に対しての上下方向の移動量である。さらに、上方の水平壁26aの上面には、圧縮バネの圧縮量h2を測定する第二のリニアスケール51が設けられている。圧縮バネの圧縮量h2は、上方の水平壁26aの上面からの押圧部材30の相対位置から測定される。図4に、本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置100の制御ブロックの構成を示す。主制御部60に駆動制御部61を接続し、駆動制御部61で駆動手段28の回転方向および回転角度を制御している。同様に、超音波振動手段43には超音波振動駆動部62を、第一のリニアスケール50には工具ホーンの位置読取部63を、ロードセル45には荷重読取部64を、圧縮バネ収容部31には荷重設定部65を、第二のリニアスケール51には圧縮バネの圧縮量読取部66をそれぞれ接続して主制御部60で一括制御している。更に主制御部60には、記憶部67と操作部68を接続している。記憶部67には、複数種類ある圧縮バネのバネ定数や溶着作業の終点の位置、超音波溶着時のタイミング等の制御プログラムを記憶させており、操作部68からは、操作者が溶着作業条件の詳細データの入力や、電源入の指示、溶着開始指示、電源断の指示等の操作情報を入力できるようにしている。主制御部60は逐次、記憶部67から情報を読み出して超音波溶着装置100を制御する。本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置100で圧縮バネを交換する作業手順を図5ab、図6abの部分断面図を用いて説明する。図5aでは、サーボモータである駆動手段28を駆動して押圧部材30を上方に持ち上げた状態を示している。図5aのように、押圧部材30を上方に持ち上げると、超音波振動ユニット40は、バランスウェイト25の自重により上昇して、フランジ付きストッパ46のフランジが水平壁26bの下面に当たった位置で停止する。押圧部材の凸部30aは圧縮バネの蓋32aから所定寸法だけ完全に離れる。この時点で、3種類の圧縮バネを入れた圧縮バネ収納部31を、軸27を中心に回転する。すると、図5bのように、圧縮バネ収納部31が回転して押圧部材の凸部30aの下に元々あった圧縮バネA32bの代わりに異なるバネ定数の圧縮バネB33bを位置させることができる。圧縮バネ収納部31には、バネ定数が大、中、小という3種類の圧縮バネを入れているので、行おうとしている超音波溶着作業等に適する圧縮バネを選択することができる。ちなみに、図6aでは、押圧部材の凸部30aの下に他の圧縮バネC34bを位置させた状態を示した。このように、超音波溶着作業等に応じた圧縮バネを選定して図6bのように、駆動手段28を反転駆動して押圧部材30を下方に移動する。そして駆動手段28で圧縮バネ34bを押圧して超音波溶着作業を開始することができる。なお、圧縮バネ収納部31を回転して位置決めし、駆動手段28を反転駆動すると、図4で示した荷重設定部65は、どの圧縮バネが選定されたかを検出して主制御部60に伝える。図7aには各圧縮バネごとの圧縮バネ自体の圧縮量δと力Fとの関係を示しており、図7bには各圧縮バネを用いて超音波溶着するときの被溶着物に与える工具ホーンの押圧力P、つまり圧縮バネの力Fを工具ホーンの押圧面積Apで除した値P=F/Apの変化を時系列的に示している。本実施形態において、超音波溶着装置は、図7aのようにバネ定数が相対的に大k1、中k2、小k3と異なる強さの圧縮バネ32b、33b、34bを任意に選択可能である。そして、本発明では、各圧縮バネを限界まで圧縮せず、ある程度圧縮できる余裕を残したときの圧縮バネ自体の圧縮量δ1での力Fb=kδ1を使用することにしている。つまり、図7bのように、Aゾーンという範囲内の大きい押圧力が必要なときには、バネ定数が大k1の圧縮バネA32bを用い、Bゾーンという範囲内の中間的な押圧力が必要なときには、バネ定数が中k2の圧縮バネB33bを用い、Cゾーンという範囲内の小さい押圧力が必要なときには、バネ定数が小k3の圧縮バネC34bを用いて対応することができる。図7bでは、圧縮バネB33b自体をδ1だけ圧縮したときの力Fb=k2δ1で超音波溶着することを太線カーブで示している。図7aに示すように、圧縮バネBを選択しバネ自体の圧縮量δをδ1とした場合、圧縮バネには、Fb=k2δ1だけの力が付与される。図7bで、駆動手段28を駆動して圧縮バネBをバネ自体の圧縮量δ1まで圧縮していくと、工具ホーンのワークW1、W2に対する押圧力PはPbまで圧力上昇する。超音波溶着をするとワークW1、W2が溶融して工具ホーンの位置h1が下がるので、駆動手段28を駆動して工具ホーンの位置の変化量Δh1と同じ量だけ圧縮バネを逐次圧縮すればΔh2=Δh1、圧縮バネ32bの圧縮量が変わらず一定圧でワークW1、W2を押圧し続ける、いわゆる保圧動作をすることができる。保圧動作が始まってから超音波振動を開始し、工具ホーン44の位置が終点に達するまでワークW1、W2に超音波エネルギーを与えることで、両者を超音波溶着することができる。図8に、本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置での溶着作業の動作手順をフローチャートとして示す。また、理解のために、図9に本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置での圧縮バネの圧縮量δ、押圧力P、その他のパラメータh1、h2の位置関係を示した。以下、図8のフローチャートに沿って、溶着作業の動作手順を説明する。必要により、図9を参照してほしい。まず、操作部68から超音波溶着装置の電源入が指示されると、超音波溶着装置の主制御部60が起動するステップST1、操作部68から所定の押圧力Pbを始めとする溶着条件が入力されると、主制御部60は記憶部67に記憶し溶着条件を設定するステップST2。ここでは、実施しようとする超音波溶着作業に適した任意の圧縮バネが自動または作業者の操作により選定され、選定されセットされた圧縮バネに対応した動作条件を記憶部67から主制御部60が読み出して、溶着開始の指示を待つ。より具体的には、操作部68から入力された工具ホーンの押圧面積Apと、超音波溶着作業に用いたい所定の押圧力Pbから、必要な圧縮バネの圧縮力Fb=PbApを求め、バネ定数k2で除して、所定の押圧力Pbを得るために必要な圧縮量δ1=Fb/k2=PbAp/k2を計算する。操作部68より溶着開始の指示が入力されるとステップST3のYes、主制御部60より駆動制御部61を介してサーボモータである駆動手段28を駆動する。駆動手段28を駆動して送りネジ29を押し下げると、押圧部30は下降してバネ用蓋32aと圧縮バネ32bを圧縮する。本発明の構成では、圧縮バネ32bが圧縮バネ収容部31内にあって圧縮量を直接測定できないため、バネ用蓋32aと圧縮バネ32bを押し下げる押圧部30の位置h2を第二のリニアスケール51により測定している。バネ座32cの位置を動かさないで押圧部30を下方に移動した距離と圧縮バネ32b自体の圧縮量δの値が等しいことは容易に理解されよう。なお、第一のリニアスケール50は、工具ホーン44の位置h1を読み取る。また、ロードセル45は、圧縮バネ32bによる押圧力Pを読み取る。主制御部60は、これらの値を駆動制御部61にフィードバックするようにしている。駆動手段28を駆動して押圧部30を下降すると圧縮バネ32bは圧縮量に応じた力を生じる。圧縮バネ32bは、フランジ付きストッパ46とロードセル45を押し下げ、下方の超音波振動ユニット40を押し下げる。超音波振動ユニット40の先端に取り付けた工具ホーン44は、ワークW1,2を押圧する。圧縮バネ32b自体を所定量δ1圧縮したとき、圧縮バネ32bは力F=k2δ1を生じて、所定の押圧力Pb=F/Apに達するステップST4。ロードセル45の測定値Pが予定している押圧力Pbであることを確認してステップST5。ロードセル45の測定値Pが予定している押圧力PbであればステップST5のYes、超音波振動を開始し、ワークW1、W2を溶融するステップST6。ステップST5でロードセル45の測定値Pが予定している押圧力PbでなければステップST5のNo、圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を必要量αだけ増減してステップST9、ロードセル45の測定値Pを予定している押圧力Pbにする。なお、必要量αは、主制御部60が記憶部67に記憶したバネ定数その他のデータから求める。ワークW1、W2が溶融を始めると工具ホーン44が下降する。主制御部60は、工具ホーン44の位置が予定している溶着作業の終点に達していなければステップST7のNo、工具ホーン44の位置の変化量Δh1と圧縮バネを圧縮する変化量Δh2を算出する。本発明の第一の実施の形態では、工具ホーン44の位置の変化量Δh1と圧縮バネを圧縮する変化量Δh2を等しくして、ワークW1とW2とが溶着して工具ホーン44が所定量下がったとしても、駆動手段28は同じ量だけ圧縮バネの蓋32aを押し下げて圧縮バネ32bの長さを一定に保ち、圧縮バネ32bの押圧力を所定の押圧力Pbを保ったまま、ワークW1,W2を溶着する。工具ホーン44の位置が溶着作業の終点に達するとステップST7のYes、超音波振動を停止し、駆動手段28を反転駆動して原点復帰するステップST10。操作部68に電源断の指示があればステップ11のYES、電源を切断するステップ12。なお、このフローチャートは実施の形態の一つを例示したものであり、必要により、超音波振動を開始するタイミングを、工具ホーンが任意の特定位置に到達した時点で超音波振動を開始するようにしてもよい。電源断の指示が無ければステップ11のNo、フローチャートのステップST3の直前に戻り、次の溶着開始指示が入力されるのを待機する。再び、操作部68に溶着開始の指示が入力されれば、同じ溶着条件設定のままステップST4からステップST10までの超音波溶着作業を行う。もし、ステップST3で、既に設定されている溶着条件で溶着を開始しないと入力されるとステップST3のNo、溶着条件設定のステップST2の直前に戻るので、新たな溶着条件を設定してステップST2、溶着開始の指示が入力されるのを待つステップST3。本発明では、圧縮バネ収容部31に予め3種類のバネ定数の圧縮バネA32b、B33b、C34bを入れておき、溶着作業に応じていずれかの圧縮バネを選択可能にしている。また、それぞれの圧縮バネを実際に圧縮した際の圧縮量に対する力Fの実測値をバネ特性として記憶部67に記憶している。先にも説明したように、溶着が始まり、工具ホーンの位置h1が下がったときに、駆動手段28を駆動し、工具ホーンの位置の変化Δh1と同じ量だけ圧縮バネを圧縮すればΔh2=Δh1、圧縮バネ32b自体の圧縮量δは変わらない。そのため、一定圧でワークW1、W2を押圧することができる。もしロードセル45の測定値Pが予定している押圧力Pbと異なる場合には、主制御部60はロードセル45の測定値Pを駆動手段28の駆動制御部61にフィードバックすることで、圧縮バネ自体の圧縮量δを変えるよう駆動手段28による圧縮量h2を増減し、予定している押圧力でワークW1、W2を押圧する。具体的には、主制御部60は、工具ホーンの位置の変化Δh1と圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を同じにしているにも関わらず、ロードセル45の測定値Pが予定している押圧力Pbより増えた場合には圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を工具ホーンの位置の変化Δh1より必要量α減らしΔh2=Δh1-α、押圧力Pが減った場合には圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を工具ホーンの位置の変化Δh1より必要量α増やすようにΔh2=Δh1α、駆動制御部61を介して駆動手段28を制御する。このように、圧縮バネ32bについて圧縮量を細かく制御することにより最小限の押圧力変化で所定の押圧力を与えることができる。超音波溶着の溶着作業はごく短い時間で行われる。本発明は、短い溶着作業の時間内でワークが溶け出したときに所定の押圧力を一定に保つことができる。なお、本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置100について、図10にB1として示したように、工具ホーン44の位置が超音波溶着作業の始点から終点に至る間に、第一の押圧力Pb1に達した後、第一の押圧力Pb1を保って押圧して、所定時間Δt経過した時点から、押圧力を変化させて、超音波溶着作業の終点までを第一の押圧力Pb1より低い第二の押圧力Pb2で押圧するというように、二段階に押圧する超音波溶着をすることもできる。図11に、本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置で押圧力を段階的に変化させたときの動作手順をフローチャートとして示す。図11では、図8のフローチャートと比べると、ステップST6とステップST7の間に、ステップST20からステップST24の手順を追加している。以下、図8のフローチャートと異なる部分を中心に説明し、重複した部分については同じ符号を付して説明を省略する。ステップST6で、所定押圧力Pb1でワークを押圧した状態で超音波振動を加えた後、所定時間Δtが経過するとステップST20、圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を第一の押圧力Pb1と第二の押圧力Pb2の差分-βだけ変化させるステップST21、その後直ぐに、押圧力Pが第二の所定押圧力Pb2になったことを確認するステップST22、押圧力Pが第二の所定押圧力Pb2になっていれば、工具ホーン44の位置が溶着作業の終点に達するまでワークを押圧するステップST7。もし、押圧力が第二の押圧力Pb2になっていないときは、図8のステップST9と同じように、圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を必要量αだけ増減するステップST24。工具ホーン44の位置が予定している溶着作業の終点に達していなければステップST7のNo、工具ホーン44の位置の変化量Δh1と圧縮バネを圧縮する変化量Δh2を算出する。そして、工具ホーン44の位置の変化量Δh1と圧縮バネを圧縮する変化量Δh2を等しくするステップST23。工具ホーン44が溶着作業の終点に達したらステップST7のYes、超音波振動を停止して工具ホーン44を原点復帰させるステップST10。電源断の指示が操作部68に入力されるとステップST11のYes、電源を切断するステップST12。このことにより、図10のように押圧力を二段階に変える超音波溶着ができる。なお、押圧力や超音波振動を付与するタイミング等の溶着条件については、フィードバックの内容を任意に設定して、所望の超音波溶着をすることができる。例えば、図12aは、圧縮バネB32bを用いて超音波接合作業を行う際に、一定の押圧力に達する過程を急峻に立ち上げる場合B2と、なだらかに立ち上げる場合B4と、それらの中間的に立ち上げる場合B3の荷重曲線を示す。一定の押圧力に達する過程を急峻に立ち上げるか、なだらかに立ち上げるかは、記憶部67に駆動制御の方法として、駆動手段28であるサーボモータを急速回転駆動する制御プログラム、あるいは低速回転駆動するプログラムを記憶させておき、所望により選択して読み出して使用すればよい。同様に、図12bのB5に示した曲線のように、一定の押圧力に達した後、工具ホーンの移動量の変化Δh1より圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を所定の割合で大きくしていけば、一定の押圧力に達した後、更に押圧力を高くすることができる。逆に、一定の押圧力に達した後、工具ホーンの移動量の変化Δh1より圧縮バネの圧縮量の変化Δh2を所定の割合で小さくしていけば、図12bのB6に示した曲線のように、一定の押圧力に達した後、押圧力を小さくすることができる。また、図12cのB7に示した曲線のように、一定の押圧力に達した後、工具ホーンの移動量の変化Δh1に対して圧縮バネの圧縮量の変化Δh2をより大きく、あるいはより小さく交番的に変化させることにより、押圧力の大きさが波を打つように変化させることもできる。なお、本発明を適用した超音波溶着装置を、汎用的な装置として使用する際には、複数のバネの一つを図13に示したような中実な剛体39としておき、必要により、バネを中実な剛体に置き換えられるようにしてもよい。なお、上記本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置100では、汎用装置として複数の圧縮バネを交換可能に収容して任意に選択する構造を示したが、かならずしも複数の圧縮バネを同時に収容しなくても、一つの圧縮バネだけを収容可能にして、必要により圧縮バネを取り替えるようにしてもよい。記憶部68に複数の圧縮バネのバネ定数等のバネ特性と超音波溶着条件を記憶させておけば、各種の超音波溶着条件に容易に設定可能だからである。また、本発明の第一の実施の形態にかかる超音波溶着装置100では、本体フレーム10に対して超音波振動ユニット40をスライド可能に支持した場合を説明したが、図13に本発明の第一の実施の形態にかかる他の超音波溶着装置101を示したように、本体フレーム10の支柱部分10aの一部を、支柱部分10aに対してスライド可能な別部品、すなわちスライド部材20として、このスライド部材20に対して超音波振動ユニット40をスライド可能に支持してもよい。図13では、スライド部材20の輪郭を他と識別し易くするため、太い実線で示した。本体フレーム10の底部10bにサーボモータ13を回転軸を上に向けた状態で固定し、サーボモータ13の回転軸に送りネジ14を取り付け、スライド部20には、送りネジ14と対をなすナットを埋め込んで、サーボモータ13を回転して回転角度に応じてスライド部20が上下動するようにすれば、工具ホーン44を原点復帰するときにスライド部20を一定量上昇させることにより、アンビル11と工具ホーン44の間を大きく開けて、ワークW1、2の出し入れを容易にすることができる。また、サーボモータ13の代わりに、エアーシリンダ等を用いて、空気圧によりスライド部20を支柱部分10aに沿って上下動するようにしてもよい。一般に、超音波溶着作業、超音波接合作業、あるいは布線作業に要する時間は1秒程度以下という短時間である。そのため、従来の方法では、短時間の作業途中に押圧力を細かく制御して一定に保つことができなかったのであるが、本発明によれば、小さい押圧力あるいは所定の押圧力での押圧を正確に行うことを精密に管理し、良好な溶着結果あるいは接合結果を得ることができる。なお上記では、超音波振動ユニット40をバランスウェイト25で上方に持ち上げる構成を説明したが、駆動手段28であるサーボモータに十分な回転保持力があるときは、バランスウェイト25を設けなくてもよい。また、圧縮バネの特性値を記憶部67に予め記憶する際に、バネ定数を記憶して利用しても良いし、変位に対するバネ力を実測した値を記憶して利用しても良い。力を一定に保つには実測値を利用したほうが良い場合があるからである。第二の実施の形態次に本発明の第二の実施の形態として、超音波接合装置を説明する。図14に示したように、本発明の超音波接合装置200は、基本的な構成は既に説明した本発明の第一の実施の形態の超音波溶着装置100と同じであるが、超音波振動ユニット40’において工具ホーン90の端面の軸心から偏心した位置に牙状突起91を設け、捩り振動をする超音波振動手段93を用いて、工具ホーンの牙状突起91が工具ホーン90の軸を中心に微小な円弧を描く捩り振動をさせている。このような牙状突起91を設けた工具ホーン90を用いて金属板などの被接合物W3、W4を固相結合することは、出願人が既に特願2010-32366で詳細に説明した。図15は、牙状突起91を設けた工具ホーン90の一例を斜視図で示したものである。同図に示すように、牙状突起91は工具ホーン90の端面において軸心V軸から所定の偏心量e偏心した位置を軸T軸として突出している。また、被接合物の一方あるいは両方の接合対象面に凹凸を設けて、被接合物を強固に固相結合することについても出願人が特願2011-137761で詳細に説明した。図16は、被接合物を強固に固相結合する際に用いた工具ホーン95の一例を斜視図で示したものである。同図に示す工具ホーン95には、突起96が工具ホーン95の端面において軸心V軸から偏心した位置を軸T軸として突出しており、突起96の先端は僅かに捩り振動方向に沿い、押圧方向に凸の円弧状をなしている。金属板などの被接合物W3、W4を固相結合するには、ある程度強い押圧力を付与した状態で超音波エネルギーを与えることが求められる。本発明の第二の実施の形態の超音波接合装置によれば、超音波接合条件を精密に管理し、所定の押圧を正確に行って良好な接合結果を実現することができる。本発明によれば、超音波接合装置であっても、押圧力を付与する条件を任意に制御できるという利点がある。例えば、第一の実施の形態で、超音波溶着装置を例として説明した図10や図12abcのように、押圧力や超音波振動を付与するタイミング等の諸条件については、フィードバックの内容を任意に設定することで押圧力の所定値を変えて、所望の超音波接合をすることができる。例えば、先に説明した図12bのようにすれば、圧縮バネB32bを用いて超音波接合作業を行う際に、一定の押圧力に達した後、押圧力を増加する場合B5、一定の押圧力を持続する場合B3、一定の押圧力に達した後、押圧力を減少する場合B6の荷重曲線のように超音波接合作業をすることができる。先に説明した図12cのようにすれば、圧縮バネB32bを用いて超音波接合作業を行う際に、一定の押圧力に達した後、押圧力の増減を繰り返す荷重曲線B7のように超音波接合作業をすることができる。本発明によれば、同じ超音波接合装置であっても、このように多様な荷重曲線を用いた超音波接合作業をすることができるという利点がある。超音波接合作業では、以上説明したように押圧力を付与する条件を任意に変化させることにより接合強度を増すことが期待される。第三の実施の形態本発明は、超音波溶着装置、超音波接合装置の他に、布線装置にも適用することができる。図17に第三の実施の形態として、本発明を適用した布線装置300の概略を斜視図として示す。布線装置300では、ホーン80に超音波振動を伝えるのであるが、本体フレームの支柱部分と底部を切り離して、支柱部分を本体フレーム10’とし、底部を移動テーブル12として紙面右方向白抜き矢印に移動できるようにしている。また、ホーン80の先端に牙状の突状押圧部81を設け、突状押圧部81の下面に絶縁被覆電線W6をガイドしながら押圧するガイド溝を設けている。そして、ホーン80の軸に対して傾斜して設けたワイヤーガイド82から突状押圧部81の下に、絶縁被覆電線ワイヤーW6を送り出すよう構成している。移動テーブル12に載置した接着剤付絶縁基板ワークW5の上に絶縁被覆電線W6を乗せ、その上をホーン80の突状押圧部81で押圧して超音波振動を加え、接着剤付絶縁基板ワークW5上の接着剤と絶縁被覆電線W6の表面に塗布された接着剤とを活性化して接着固定し、更に移動テーブル12を移動して、他の位置に絶縁被覆電線ワイヤーW6を布線していく。突状押圧部81はホーン80の端面において軸心V軸から所定の偏心量e偏心した位置を軸T軸として突出しており、捩り振動をする超音波振動手段93を用いて、ホーン80は、突起状押圧部81に図17の符号Sで示した捩り振動を与えている。牙状の突起状押圧部81が絶縁被覆電線ワイヤーW6を接着剤付絶縁基板ワークW5に押圧する押圧力は、既に第一、第二の実施の形態で説明したように、圧縮バネの圧縮量と、ホーン80の位置、ロードセル45による押圧力の各測定値をフィードバックして一定値を保つことができる。そのため、均一な押圧力のもと、牙状の突起状押圧部81から超音波捩り振動を与え、絶縁被覆電線ワイヤーW6の絶縁被覆を容易に溶かして、絶縁被覆電線ワイヤーW6を接着剤付絶縁基板ワークW5に接着固定することができる。図18に、本発明の第三の実施の形態にかかる布線装置の工具ホーン先端近傍の正面図を示した。詳しい説明は省略するが、図18によれば、布線機300のホーン80とワイヤW6と接合対象物W5の位置関係が理解されよう。"