蛍光発光性色素を含有する試料30を顕微鏡20を用いて検査する方法において、前記試料30内の色素粒子40、42を第一照射光ビーム24を用いて蛍光発光状態に励起し、前記試料30から発する蛍光を光学装置34を介してエリアセンサ36へ向け、前記光学装置34は、前記蛍光の複数の部分ビームが自身と干渉するように前記蛍光に作用して、前記干渉の結果として作り出された干渉パターンがエリアセンサ36の高感度表面上に投影されて検出され、及び、試料30内の色素粒子40、42の位置が、前記干渉パターンに基づいて突き止められる、方法。選択された色素粒子40、42だけが蛍光発光状態に励起され、前記選択は互いに区別可能な干渉パターンに基づいてなされる、請求項1に記載の方法。色素粒子40、42が前もって活性化された場合にのみ蛍光発光状態に励起可能であって、当該色素粒子40、42の一つの部分集合だけが活性化されて、次に当該活性化された色素粒子40、42が第一照射光ビーム24を用いて蛍光発光状態に励起されることによって、前記予め選択された色素粒子40、42を励起する、請求項2に記載の方法。色素粒子40、42が前もって不活性化された場合には、前記色素粒子40、42をもはや励起することは不可能であって、当該色素粒子40、42の一つの部分集合だけが不活性化されて、次に残りの活性化された色素粒子40、42が第一照射光ビーム24を用いて蛍光発光状態に励起されることによって、前記予め選択された色素粒子40、42を励起する、請求項2に記載の方法。試料の一つの部分領域内にある色素粒子40、42だけが蛍光発光状態に励起されることによって、前記予め選択された色素粒子40、42を励起する、請求項2~4のいずれか一項に記載の方法。試料30内の一つの面が一部分領域として照射される、請求項5に記載の方法。第一照射光ビーム24が前記面と垂直に延びる、請求項6に記載の方法。第一照射光ビーム24が前記面と平行である、請求項6に記載の方法。第一照射光ビーム24が、前記面でゼロから90度の既定の角度を囲む、請求項6に記載の方法。色素粒子40、42を活性化又は不活性化するために、活性化光ビームが発生されて、試料30上に向けられる、請求項3~9のいずれか一項に記載の方法。前記面内の色素粒子40、42が、多光子励起を用いて蛍光発光状態に励起される、請求項6~11のいずれか一項に記載の方法。干渉パターンの変化が検出されて評価され、試料30内の蛍光発光性の色素粒子40、42の動きが、干渉パターンにおける変化に基づいて突き止められる、請求項1~11のいずれか一項に記載の方法。試料30の部分領域が脱色され、脱色していない色素粒子40、42が部分領域の外側から当該部分領域内へ移動するなかで、当該部分領域の再生成が、その結果として生じる干渉パターンの変化に基づいて観察される、請求項12に記載の方法。二つ以上の異なる色素の色素粒子40、42が同時に蛍光発光状態に励起されて観察される、請求項1~13のいずれか一項に記載の方法。色素粒子40、42の蛍光発光挙動の減衰過程が観察され、個々の色素粒子40、42の蛍光発光継続時間が当該減衰過程に基づいて把握されて、当該色素粒子40、42の環境特性が当該蛍光発光継続時間に基づいて突き止められる、請求項1~14のいずれか一項に記載の方法。本発明の課題は、蛍光発光性色素を含有する試料を顕微鏡で検査する方法を創出することであり、当該方法は、試料内の三次元構造を簡単に解析することを可能にする。この課題は、独立請求項1の特徴構成によって解決される。有利な実施形態を従属請求項中に示す。本発明は、蛍光の複数の部分ビームが自身と干渉するように光学装置が蛍光に作用するので、当該干渉の結果作り出された干渉パターンがエリアセンサの高感度表面に投影されて検出される、という点で注目に値する。試料内の色素粒子の位置は、干渉パターンに基づいてとの相関関係で把握され突き止められる。色素粒子によって生じた干渉パターンの評価は、顕微鏡の機械要素移動の必要なく、試料内の三次元体積における色素粒子の精密な位置を決定することを可能にする。このことは、三次元分解能が高いにも関わらず顕微鏡が単純な構成で作られ、且つ、保守期間を延長可能にするということをもたらす。十分に良好な分解能と、したがって個々の色素粒子の十分良好な区別が、既定の領域内における色素粒子の一部分集合だけが蛍光発光状態に励起されることによって達成されることが好ましい。前記部分集合、特に当該部分集合内の色素粒子の数が、相互に区別可能な干渉パターンに基づいて決定される。言い換えると、蛍光発光状態に励起された部分集合とは、最大で、干渉パターンが互いに区別可能であり且つエリアセンサによって評価できる、既定体積内における色素粒子の数のことである。こういうわけで、例えば初期には一部分集合のみが活性化されて次に蛍光発光状態に励起される、又は、初期に全ての色素粒子が活性化されて次に当該色素粒子の一部が不活性化され、残りの活性化色素粒子の部分集合が蛍光発光状態に励起される、という活性化可能な色素粒子を用いることができる。その代わりに又はそれに加えて、色素粒子の前記部分集合は、試料の部分領域内の色素粒子だけが蛍光発光状態に励起されるということにより決定可能である。試料内の一つの面が、例えば部分領域として選択可能である。それに垂直に延びる顕微鏡の照射光ビームが前記面と平行に進行するか、又は、当該面で0から90°の予め既定された角度を囲むようにして、前記面を配置することができる。その代わりに、照射光ビームを試料の個々の部分にのみ向けることも可能であるので、当該試料の部分領域のみが照射され、当該部分領域において色素粒子が蛍光発光状態へ励起される。前記面内で色素粒子を励起するための別の可能性は、多光子励起によって実現できる。干渉パターンは、既定された期間にわたって検出することが可能であるので、干渉パターンにおける変化が観察可能である。当該変化にしたがい、次に試料内の色素粒子の移動についての結論を導き出すことが可能となる。それに基づいて、試料中の移動過程についての結論を導き出すことが可能となる。蛍光発光状態に励起された色素粒子は、原則蛍光寿命を有している。前記蛍光寿命は、当該励起された色素粒子が、光子を放出することによる基底状態への遷移をするまでに、平均でどれくらいの期間励起状態でいられるかということを表している。試料中の励起した色素粒子は、周囲の構造へエネルギーを移すことができる。当該色素粒子の蛍光寿命はこれによって減る。試料内における色素粒子の蛍光寿命の観察は、したがって色素粒子を取り囲む構造について結論を導き出すのに役立つ。一色素の色素粒子の観察に加え、二つ以上の色素の色素粒子も観察可能である。概念図を参照しながら本発明の実施形態を以下にさらに説明する。同一の設計又は機能の構成要素には、全ての図にわたり同一の参照符号がふられている。図1は顕微鏡20を表している。顕微鏡20は共焦点走査型顕微鏡である。顕微鏡20は特に蛍光顕微鏡である。顕微鏡20は第一照射光源22を含んでいる。第一照射光源22は、カラーフィルタ26を介してビームスプリッタ28へ向けられる第一照射光ビーム24を生じる。ビームスプリッタ28は、第一照射光ビーム24を試料30の方へ反射する。試料30は、蛍光発光状態へ励起される多数の色素粒子を含んでいる。試料30から出る蛍光以後検出光と呼ぶは、当該検出光を第一照射光ビーム24から分離するビームスプリッタ28を通り抜け、そこから結果として生じる検出光ビーム32は、光学装置34を介してエリアセンサ36上へ向けられる。前記光学装置は回折光学要素34を含んでいる。回折光学要素34は空間光変調器SLMを含んでいる。その代わりに、光学要素34は、例えばマイクロディスプレイ又はLCOS位相変調器、特にフレネルゾーンプレート又はフレネルレンズを含んでいる。エリアセンサ36は光検知型CMOSモジュールを含んでいる。代わりに又は更に、エリアセンサ36はCCDモジュールを含むことも可能である。第一照射光源22はレーザーを含んでいる。前記レーザーは、好ましくは広帯域レーザー、特に白色光レーザーである。その代わりに、第一照射光源22は、水銀光源、キセノン光源、又は、LEDを含む。図2は顕微鏡20の機能原理の図である。試料30内に含有された第一色素粒子40と第二色素粒子42は、光学装置34の方へ蛍光を発する。光学装置34は、複数の蛍光ビームが自身と干渉するようにして当該蛍光ビームに作用する。色素粒子40、42から見えるように、干渉パターンが光学装置34の後方で発生して、エリアセンサ36上に投影される。特に、第一色素粒子40は第一リングパターン44を、且つ、第二色素粒子42は第二リングパターン46をエリアセンサ36の高感度表面上にもたらす。図2に図示した仮想空間は説明を目的としており本当に存在するわけではなく、第一色素粒子40の画像50と第二色素粒子42の画像52の可視化を目的として用いられているに過ぎない。仮想空間38内の画像50、52の位置、したがって試料30内の二つの色素粒子40、42の実際の三次元位置は、顕微鏡20の演算ユニットによって突き止められる。図3は顕微鏡20の別の実施形態を表している。顕微鏡20のこの実施形態は、カラーフィルタ26が省略され、第一照射光源22に加えて第二照射光源53が加えられたことだけを除き、顕微鏡20の第一実施例と殆んど同じである。第二照射光源53は第二照射光ビーム54を生じる。第二照射光ビーム54は、側方から、かつ、特に第一照射光ビーム24に対して90°の角度でもって試料30を照射する。第二照射光源53は、特に試料30内の面を照射するのに適しており、それによって当該面内の色素粒子を活性化及び/又は励起する。図3に記載の顕微鏡20は様々な手法で操作可能である。例えば、試料30を照射するために専ら第二照射光ビーム54が使用可能であり、次に第一照射光源22を省略することが可能である。その代わりに、試料30内の活性化可能な色素粒子を二つの照射光ビーム24、54のうち一つで活性化し、且つ、当該二つの照射光ビーム24、54のうちのもう一方で励起することも可能である。図4は顕微鏡20の照射マトリクス照射行列56を表している。照射マトリクス56は、第一照射光ビーム24によって選択的に照射することが可能な個々のセルを備えている。例えば、試料30は黒色に着色した領域内を専ら照射可能である。このことは、第一照射光ビーム24を試料30にわたって走査することにより、且つ、黒色に着色したセルの外側で第一照射光ビーム24を遮断することにより、走査型顕微鏡を用いて実現される。図5は、顕微鏡20を用いて蛍光発光性色素を含有する試料30を検査するためのプログラムのフローチャートを表している。前記プログラムは、試料30内の個々の色素粒子40、42の三次元位置を、特に顕微鏡の機械構成要素の移動をすることなく識別するために用いられる。前記プログラムは、変数が適用可能となるように初期化されるところのステップS1で開始する。ステップS2は、試料30の既定された領域内に存在する色素粒子の数が、それらの干渉パターンがもはや区別可能でなくなった場合に実行される。ステップS2は、既定した範囲内に存在する色素粒子の一部分集合を単に励起するために用いられる。ステップS2において、活性化可能な色素粒子40、42が用いられる場合には、当該活性化可能な色素粒子の一部分集合が活性化されるか、又は、複数の活性色素粒子を不活性化できることにより、残りの活性色素粒子の部分集合を引き続いて励起できる。ステップS3において、活性色素粒子40、42、従って励起可能な色素粒子40、42が蛍光発光状態に励起される。代わりに又は加えて、色素粒子の部分集合は、試料30内における一つの面内の色素粒子だけを活性化及び/又は励起することによって励起可能である。例えば多光子励起が、第一照射光源22によって実行可能であり、それによって前記面内だけに、適切な励起を達成するのに十分高い励起確率が存在する。その代わりに、例えば第二光源53が小さな部分集合内、特に試料30内における面内の色素粒子だけを励起するのに用いられうる。その代わりに、試料30の全領域を高エネルギー放射光で脱色することが可能であり、それによって前記領域内の全ての蛍光発光色素粒子が不活性化されるか、又は、破壊される。試料30内の移送運動の結果、活性化又は活性化された色素粒子が当該脱色された領域内に移送されて、その中で励起可能である。これら移送過程は、より長い期間に渡って干渉パターンを観察することによって観察可能である。代わりに又は加えて、試料30は選択的に照射可能である、例えば照射マトリクス56の個々のセルを専ら照射することが可能である。選択的照射は、例えばスキャナ、個々に切換可能なLED、又は、切換可能な光学装置、例えば切換可能なSLMを用いることによって実行可能である。これについて次に、照射された領域に由来するデータだけを読み出すことが可能であり、したがって読み出し速度を増加する。様々に照射された領域からのデータは、共に評価することが可能であるFCS。ステップS4において、試料30から放出された蛍光が、個々の蛍光ビーム32が自身と干渉するようにして、自身に重ね合わせられる。ステップS5において、エリアセンサ36の高感度表面上に投影された干渉パターンが検出される。ステップS6において、演算ユニットを用いることにより、エリアセンサ36の信号が読み出されて、リングパターン46、44によって表された強度分布に基づいて評価される。特に、第一の部分ステップサブステップにおいて、リングパターンの中心中心点とも呼ばれるが突き止められる。試料30内の色素粒子の三次元位置が次に、リングパターンの半径と、前記中心とに基づいて突き止められる。面からの信号は、これらリングパターンが一致することによって検出可能である。試料30内の面は、これを考慮して規定可能であり、且つ、データが専らその面から得られうる。加えて、特徴検出又は対象物検出機能によってデータの可視化が促進されうる。ステップS7において、干渉パターンがより長い期間に渡って観察されうる。より長い期間に渡る観察は、試料30内の移動する色素粒子40、42を追跡することを可能にさせ、したがって、試料30内の移動過程を可視化することを可能にさせる。代わりに又は加えて、蛍光発光性色素粒子40、42の蛍光寿命が、観察した色素粒子を取り巻く構造についての情報をもたらす、干渉パターンのうち一つの強度変化に基づいて突き止めることが可能である。特にこれに関して、試料30が短パルス幅を有するパルスレーザーによって照射される。観察可能な減衰過程は、個々の色素粒子の特性であり、色素粒子が付着している構造に関連して変化する。次にこの減衰過程に基づいて個々のマーカーの近隣についての結論を導き出すことが可能である。ステップS8図5に示さずにおいて、プログラムは終了する。しかしながら、前記プログラムが顕微鏡20の操作中に常時実行されることが好ましい。既定の期間に渡って全三空間方向での色素粒子の観察が、対象物追跡、したがって、自動焦点オートフォーカス機能を使って試料30内の色素粒子を追跡するために用いられる。それに加えて、自動焦点機能を単独で実行可能である。3Dデータメモリを読み出すことも可能である。本発明は記載の例示的な実施形態に制限されない。本発明は、試料30内における個々の色素粒子の精確な位置について干渉の評価が可能なようにして、エリアセンサ36の高感度表面上の結果として生じる干渉パターンが依然として区別可能であるくらいに十分小さい、選択した蛍光発光性色素粒子を励起可能である、いかなる顕微鏡にも適している。加えて、光学要素34は、前記蛍光を二つの部分ビームへ分割する一つのビームスプリッタによって実行可能であり、次に前記二つの部分ビーム間の路差が、別のビーム誘導装置または別の光学要素によって実現される。前記部分ビームは続いて再度組み合わせられて、自身と干渉する。そのうえ、様々な色の色素粒子も同時に観察可能である。