電磁シールド性を有する金属よりなり、被取り付け部材10に螺合されるハウジング12と、前記ハウジング12の一端側に配置され、信号処理用の電子部品160を樹脂にて封止したモールドIC16と、前記モールドIC16における反ハウジング側に配置され、複数の中継ターミナル200、201をモールド樹脂により一体化した中継ターミナル部材20と、前記中継ターミナル部材20における反ハウジング側に配置され、複数の出力側ターミナル221をモールド樹脂により一体化した出力側ターミナル部材22とを備え、前記複数の出力側ターミナル221は、短冊状で平行に配置され、前記複数の中継ターミナル200は、端部にて前記モールドIC16と電気的に接続されると共に、同心円状に配置された円弧状の接続部にて前記出力側ターミナル221と電気的に接続され、物理量に応じた電気信号を出力するセンサ装置であって、電磁シールド性を有する金属にて円筒状に形成され、一端開口部側が前記ハウジング12に結合されて、前記モールドIC16および中継ターミナル部材20の側面を覆う第1シールド部材50と、電磁シールド性を有する金属にて有底円筒状に形成され、前記第1シールド部材50における他端開口部を塞ぐようにして組み付けられて、前記出力側ターミナル部材22における側面および反ハウジング側端面を覆う第2シールド部材52とを備え、前記第1シールド部材50に対して前記第2シールド部材52が前記第1シールド部材50の周方向の任意の位置で固定可能に構成されていることを特徴とするセンサ装置。前記第1シールド部材50と前記第2シールド部材52は、折り曲げ部502、521が係合されて一体化されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。前記第1シールド部材50と前記第2シールド部材52は、溶接にて一体化されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。前記被取り付け部材10は、内燃機関に燃料を噴射するインジェクタのボデーであり、前記物理量は、前記ボデー10内を流通する燃料の圧力であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載のセンサ装置。ところで、センサ装置においては、モールドIC91等を電気ノイズから保護するために、金属板よりなるシールド部材により、モールドIC91、中継ターミナル部材92、および出力側ターミナル部材を同時に覆うのが望ましい。その際、小型化の観点から、モールドIC91等を電気ノイズから保護するための構造をなるべく小さい体格で実現することが求められる。しかしながら、センサ装置を螺子締結する構造では、モールドIC91および中継ターミナル部材92と出力側ターミナル部材との回転方向の相対位置が不定であるため、それらを同時に覆うシールド部材の小型化が容易ではない。本発明は上記点に鑑みて、モールドIC等を電気ノイズから保護するための構造を小さい体格で実現することを目的とする。上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、電磁シールド性を有する金属よりなり、被取り付け部材10に螺合されるハウジング12と、ハウジング12の一端側に配置され、信号処理用の電子部品160を樹脂にて封止したモールドIC16と、モールドIC16における反ハウジング側に配置され、複数の中継ターミナル200、201をモールド樹脂により一体化した中継ターミナル部材20と、中継ターミナル部材20における反ハウジング側に配置され、複数の出力側ターミナル221をモールド樹脂により一体化した出力側ターミナル部材22とを備え、複数の出力側ターミナル221は、短冊状で平行に配置され、複数の中継ターミナル200は、端部にてモールドIC16と電気的に接続されると共に、同心円状に配置された円弧状の接続部にて出力側ターミナル221と電気的に接続され、物理量に応じた電気信号を出力するセンサ装置であって、電磁シールド性を有する金属にて円筒状に形成され、一端開口部側がハウジング12に結合されて、モールドIC16および中継ターミナル部材20の側面を覆う第1シールド部材50と、電磁シールド性を有する金属にて有底円筒状に形成され、第1シールド部材50における他端開口部を塞ぐようにして組み付けられて、出力側ターミナル部材22における側面および反ハウジング側端面を覆う第2シールド部材52とを備え、第1シールド部材50に対して第2シールド部材52が第1シールド部材50の周方向の任意の位置で固定可能に構成されていることを特徴とする。これによると、第1シールド部材50の形状は、モールドIC16および中継ターミナル部材20の外形に合わせた形状にすることができ、一方、第2シールド部材52の形状は、出力側ターミナル部材22の外形に合わせた形状にすることができるため、第1シールド部材50および第2シールド部材52をコンパクトにすることができ、ひいては、モールドIC等を電気ノイズから保護するための構造を小さい体格で実現することができる。なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。第1実施形態本発明の第1実施形態について説明する。図1は第1実施形態に係るセンサ装置を備えるインジェクタの要部を示す正面断面図、図2は図1のセンサ装置を示す正面断面図、図3aは図2の第1シールド部材を示す正面図、図3bは図3aの下面図、図4aは図2の第2シールド部材を示す正面図、図4bは図4aの平面図である。図1、図2に示すように、インジェクタは、コモンレール図示せずから供給される高圧燃料をディーゼル内燃機関の気筒内に噴射するものであり、被取り付け部材としての金属製のインジェクタボデー10には、高圧燃料が流通する高圧通路100、および高圧通路100から分岐した分岐通路101が形成されている。インジェクタボデー10の上端には、電磁シールド性を有する金属よりなり、円筒状のステム部12Aと円盤状の鍔部12Bとが溶接されて一体化されたハウジング12が螺合されている。ステム部12Aは、インジェクタボデー10に螺合するための雄ねじ部120、および分岐通路101を介して導かれる燃料の圧力に応じて変形する薄肉部121を備えている。この薄肉部121には、薄肉部121の変形に応じて換言すると、高圧通路100の燃料圧力に応じて抵抗値が変化するセンサ部14が貼付されている。また、鍔部12Bの外周部近傍には、後述する第1シールド部材50の係合片501が挿入される鍔部孔122が、鍔部12Bの周方向に沿って等間隔に4つ形成されている。ハウジング12におけるハウジング回転軸X方向の一端側には、薄肉部121およびセンサ部14を囲むようにしてモールドIC16が配置されている。このモールドIC16は、センサ部14の抵抗値変化に基づいて圧力に応じた電気信号を出力する電子部品としての信号処理回路用IC160、信号処理回路用IC160と電気的に接続されたリードフレーム161等を備えている。そして、信号処理回路用IC160およびリードフレーム161は、電気絶縁性に富む樹脂よりなるモールド樹脂層162にて封止されている。また、リードフレーム161の一部であるセンサターミナル163が、モールド樹脂層162の外周側面から突出している。なお、ハウジング12とモールドIC16は接着剤にて接合される。モールドIC16における反ハウジング側には、円弧状の部分を有する3つの円弧状中継ターミナル200および円弧状の部分を有しない1つの中心部中継ターミナル201を同心円状に配置した中継ターミナル部材20が配置されている図7に示す中継ターミナル部材92参照。この中継ターミナル部材20は、モールド樹脂よりなるモールド樹脂層202を備え、導電性金属よりなる4つの中継ターミナル200、201をモールド成形して一体化したものであり、板状になっている。4つの中継ターミナル200、201は、一端部がモールド樹脂層202の外周側面から突出しており、それらの一端部がモールドIC16のセンサターミナル163と溶接されている。なお、モールドIC16と中継ターミナル部材20は接着剤にて接合される。中継ターミナル部材20における反ハウジング側には、4つの第1ターミナルを有する出力側第1ターミナル部材22が配置されている。この出力側第1ターミナル部材22は、モールド樹脂よりなるモールド樹脂層220を備え、導電性金属よりなる4つの出力側第1ターミナル221をモールド成形して一体化したものである。モールド樹脂層220は、板状であり、中央部には矩形状の開口部222が形成されている。4つの出力側第1ターミナル221は、細長い薄板をプレス成形した短冊状で、平行に配置されている図7に示す出力側ターミナル94参照。出力側第1ターミナル221における長手方向の中間部が開口部222内に位置しており、その中間部には、円弧状中継ターミナル200における円弧状接続部や中心部中継ターミナル201における中心接続部に向けて突出した凸部223が成形されている。そして、この凸部223が、円弧状中継ターミナル200における円弧状接続部や中心部中継ターミナル201における中心接続部と溶接されている。また、各出力側第1ターミナル221における長手方向の端部はモールド樹脂層220から突出している。この長手方向に突出した側の端部224を、以下、突出端部224という。なお、中継ターミナル部材20と出力側第1ターミナル部材22は接着剤にて接合される。モールドIC16と中継ターミナル部材20の側面が第1シールド部材50詳細後述にて覆われ、出力側第1ターミナル部材22における側面および反ハウジング側端面が第2シールド部材52詳細後述にて覆われている。ハウジング12の側方には、複数の第2ターミナルを有する出力側第2ターミナル部材24が配置されている。この出力側第2ターミナル部材24は、モールド樹脂よりなるモールド樹脂層240を備え、導電性金属よりなる4つの出力側第2ターミナル241および2つのアクチュエータ駆動用ターミナル242をモールド成形して一体化したものである。出力側第2ターミナル241は、両端部がモールド樹脂層240から突出している。そして、出力側第2ターミナル241の一端側は、出力側第1ターミナル221の突出端部224と溶接されている。したがって、信号処理回路用IC160は、中継ターミナル部材20、および出力側第1ターミナル部材22を介して、出力側第2ターミナル部材24に電気的に接続されている。出力側第2ターミナル241の他端側は、コネクタオスターミナル形状をしている。アクチュエータ駆動用ターミナル242は、両端部がモールド樹脂層240から突出している。そして、アクチュエータ駆動用ターミナル242の一端側は、アクチュエータ駆動線25と溶接されている。このアクチュエータ駆動線25は、ノズル図示せずを開閉作動させる機構の一部をなすピエゾスタックまたは電磁弁図示せずに接続されている。アクチュエータ駆動用ターミナル242の他端側は、コネクタオスターミナル形状をしている。出力側第2ターミナル241およびアクチュエータ駆動用ターミナル242のコネクタオスターミナルを端子とするコネクタハウジング26が、樹脂成型により形成されている。このコネクタハウジング26は、ハウジング12やモールドIC16等を覆った状態で、インジェクタボデー10に一体化されている。コネクタハウジング26は、図示しない外部コネクタと接続される。そして、外部コネクタに組み付けられた図示しないリード線は、信号処理回路用IC160の電源用、接地用、センサ信号をエンジン制御用ECUに出力するセンサ信号出力用、ピエゾスタックまたは電磁弁の電源用、接地用等に利用される。図2、図3に示すように、第1シールド部材50は、電磁シールド性を有する薄板の金属例えばステンレスにて形成され、円筒状に形成された第1シールド部材円筒部500、第1シールド部材円筒部500におけるハウジング12側の端部に形成された第1シールド部材係合片501、および第1シールド部材円筒部500における反ハウジング側の端部に形成された第1シールド部材折り曲げ部502とを備えている。第1シールド部材係合片501は、第1シールド部材円筒部500の周方向に沿って等間隔に複数本例では4個設けられている。また、第1シールド部材係合片501は、ハウジング回転軸X方向に延びる本体板部5010と、本体板部5010の先端を外側に折り曲げた先端板部5011とを備えている。第1シールド部材折り曲げ部502は、第1シールド部材円筒部500の端部を外側に折り曲げたものであり、第1シールド部材円筒部500の周方向全域に亘って連続して設けられている。図2、図4に示すように、第2シールド部材52は、電磁シールド性を有する薄板の金属例えばステンレスにて有底円筒状に形成され、円筒状に形成された第2シールド部材円筒部520、第2シールド部材円筒部520におけるハウジング12側の端部に形成された第2シールド部材折り曲げ部521、第2シールド部材円筒部520における反ハウジング側の端部に形成された底部522とを備えている。第2シールド部材折り曲げ部521は、第2シールド部材円筒部520の端部を内側に折り曲げたものであり、第2シールド部材円筒部520の周方向に沿って等間隔に複数本例では4個設けられている。底部522には、出力側第1ターミナル221の突出端部224を通すための貫通孔523が形成されている。そして、ハウジング12、センサ部14、モールドIC16、中継ターミナル部材20、および出力側第1ターミナル部材22を一体化した後に、第1シールド部材50および第2シールド部材52が組み付けられる。具体的には、まず第1シールド部材50の第1シールド部材係合片501をハウジング12の鍔部孔122に挿入し、第1シールド部材係合片501の先端板部5011をハウジング12に係合させることにより、第1シールド部材50をハウジング12に結合する。続いて、第2シールド部材52の貫通孔523に出力側第1ターミナル221の突出端部224を通した後に、第1シールド部材折り曲げ部502と第2シールド部材折り曲げ部521を係合させることにより、第1シールド部材50における反ハウジング側の開口部を第2シールド部材52にて塞ぐようにして、第1シールド部材50と第2シールド部材52を結合する。この状態では、第1シールド部材円筒部500にてモールドIC16および中継ターミナル部材20が覆われ、第2シールド部材52にて出力側第1ターミナル部材22が覆われている。したがって、ハウジング12、第1シールド部材50、および第2シールド部材52により、センサ部14、モールドIC16、中継ターミナル部材20、および出力側第1ターミナル部材22を電気ノイズから保護することができる。ここで、本実施形態の第1シールド部材折り曲げ部502と第2シールド部材折り曲げ部521との係合構造によると、第1シールド部材50に対して第2シールド部材52を第1シールド部材50の周方向の任意の位置で固定可能である。したがって、モールドIC16および中継ターミナル部材20と出力側第1ターミナル部材22との回転方向の相対位置が不定であっても、第2シールド部材52の形状を出力側ターミナル部材22の外形に合わせたコンパクトな形状にすることができ、モールドIC16等を電気ノイズから保護するための構造を小さい体格で実現することができる。なお、本実施形態においては、第1シールド部材折り曲げ部502を、第1シールド部材円筒部500の周方向全域に亘って連続して設けるとともに、第2シールド部材折り曲げ部521を、第2シールド部材円筒部520の周方向に沿って等間隔に複数設けたが、第1シールド部材折り曲げ部502を、第1シールド部材円筒部500の周方向に沿って等間隔に複数設けるとともに、第2シールド部材折り曲げ部521を、第2シールド部材円筒部520の周方向全域に亘って連続して設けてもよい。また、本実施形態においては、第1シールド部材係合片501の先端板部5011をハウジング12に係合させることにより、第1シールド部材50をハウジング12に結合したが、第1シールド部材50をハウジング12と一体に形成してもよい。第2実施形態本発明の第2実施形態について説明する。図5は第2実施形態に係るセンサ装置を示す断面図である。本実施形態は、第1シールド部材50とハウジング12の結合方法、および第1シールド部材50と第2シールド部材52の結合方法を変更したものである。その他に関しては第1実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。図5に示すように、第1シールド部材50は、第1シールド部材係合片501および第1シールド部材折り曲げ部502が廃止されている。そして、第1シールド部材円筒部500におけるハウジング12側の端部に第1固定片503が形成されている。この第1固定片503は、ハウジング回転軸X方向に延びており、第1シールド部材円筒部500の周方向に沿って等間隔に複数例えば4個設けられている。また、第1シールド部材円筒部500における反ハウジング側の端部に第2固定片504が形成されている。この第2固定片504は、ハウジング回転軸X方向に延びており、第1シールド部材円筒部500の周方向に沿って等間隔に複数例えば4個設けられている。第2シールド部材52は、第2シールド部材折り曲げ部521が廃止されている。また、ハウジング12は鍔部孔122が廃止されている。そして、第1固定片503とハウジング12のステム部12Aとを溶接して第1シールド部材50をハウジング12に結合している。また、第2固定片504と第2シールド部材円筒部520とを溶接して第1シールド部材50と第2シールド部材52を結合している。本実施形態においても、第1シールド部材50に対して第2シールド部材52を第1シールド部材50の周方向の任意の位置で固定可能であるため、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、本実施形態においては、第1固定片503とハウジング12のステム部12Aとを溶接して第1シールド部材50をハウジング12に結合したが、第1固定片503にハウジング12のステム部12Aを圧入して第1シールド部材50をハウジング12に結合してもよい。第3実施形態本発明の第3実施形態について説明する。図6は第3実施形態に係るセンサ装置を備えるインジェクタの要部を示す断面図である。以下、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図6に示すように、本実施形態は、コネクタハウジング26を廃止している。そして、第2シールド部材52における反ハウジング側に出力側第2ターミナル部材24が配置され、さらに、出力側第2ターミナル部材24における反ハウジング側には、電気絶縁性に富む樹脂よりなる略円筒状の絶縁部材27が配置されている。また、絶縁部材27の貫通孔270内を複数のリード線28が貫通している。さらに、貫通孔270とリード線28との間は、ゴムにて円筒状に形成された防水部材29にてシールされている。インジェクタボデー10の一端には、円筒状のカバー30が螺合されており、カバー30の開口端部に円板状のキャップ32が圧入固定されている。そして、インジェクタボデー10、カバー30およびキャップ32にて囲まれた空間に、ハウジング12やモールドIC16等が収容されている。出力側第2ターミナル部材24は、モールド樹脂よりなるモールド樹脂層240を備え、導電性金属よりなる4つの出力側第2ターミナル241をモールド成形して一体化したものである。出力側第2ターミナル241は、L字状になっており、両端部がモールド樹脂層240から突出している。そして、出力側第2ターミナル241の一端側は、出力側第1ターミナル221の突出端部224と溶接され、出力側第2ターミナル241の他端側は、リード線28と電気的に接続されている。これらのリード線28は、信号処理回路用IC160の電源用、接地用、センサ信号をエンジン制御用ECUに出力するセンサ信号出力用等に利用される。本実施形態においても、第1シールド部材50に対して第2シールド部材52を第1シールド部材50の周方向の任意の位置で固定可能であるため、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。他の実施形態上記実施形態では、本発明をインジェクタに適用したが、本発明はインジェクタ以外にも適用することができる。また、上記実施形態では、圧力を検出するセンサ装置を示したが、本発明は圧力以外の物理量を検出するセンサ装置にも適用することができる。