"移動する被検査体から反射された光を受光する一次元撮像素子と、前記一次元撮像素子から一定周期で出力される撮像信号を一時記憶するバッファと、前記被検査体の移動距離を検出する位置検出器と、前記位置検出器によって検出された前記被検査体の移動距離が所定間隔に達した時点で、前記バッファに一時記憶されている最新の撮像信号を読み出す制御を行う画像取り込み制御部と、前記バッファから読み出された撮像信号から前記被検査体の表面の疵候補点を検出する疵検出部と、を備えることを特徴とする表面検査装置。前記所定間隔は、前記一定周期の間に前記被検査体が移動する距離よりも小さい値に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。前記バッファへの撮像信号の書き込みを制御するカメラ制御部を更に備え、前記カメラ制御部と前記画像取り込み制御部とは、それぞれ独立したタイミングで制御を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の表面検査装置。前記バッファは、デュアルポートメモリであり、一方のポートから前記一定周期で撮像信号が書き込まれ、他方のポートから前記画像取り込み制御部に従うタイミングで撮像信号が読み出されることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の表面検査装置。前記疵検出部は、疵候補点を抽出するための閾値を前記被検査体の移動速度に応じて演算する閾値演算手段と、前記バッファから読み出された撮像信号から得られる被検査体の輝度と、前記閾値演算手段により演算された閾値とを比較して疵候補点を抽出する二値化手段とを備えることを特徴とする請求項1~4の何れかに記載の表面検査装置。前記撮像信号から前記被検査体の表面の疵候補点を検出する第2の疵検出部を更に備え、前記第2の疵検出部が疵候補点を抽出するための閾値は、前記被検査体の移動速度によらず一定であることを特徴とする請求項1~5の何れかに記載の表面検査装置。前記第2の疵検出部は、前記バッファから読み出された撮像信号の輝度情報を加算平均化する加算平均化手段を有し、前記加算平均化された撮像信号から疵候補点を抽出することを特徴とする請求項6に記載の表面検査装置。前記疵検出部により抽出された疵候補点の疵特徴量を算出する特徴量算出部と、前記特徴量算出部が算出した疵特徴量を用いて疵候補点が周期疵か否かを判定する周期疵判定部と、を更に備えることを特徴とする請求項1~7の何れかに記載の表面検査装置。前記第2の疵検出部により抽出された疵候補点の疵特徴量を算出する第2の特徴量算出部と、前記第2の特徴量算出部が算出した疵特徴量を用いて疵の有無を判定する通常疵判定部を更に備えることを特徴とする請求項1~8の何れかに記載の表面検査装置。前記疵検出部により抽出された疵候補点の疵特徴量および前記第2の疵検出部により抽出された疵候補点の疵特徴量を算出する特徴量算出部と、前記特徴量算出部により算出された疵特徴量を用いて、前記疵検出部により抽出された疵候補点が周期疵か否か、および前記第2の疵検出部により抽出された疵候補点が疵か否かを判定する疵総合判定部と、を更に備えることを特徴とする請求項1~7の何れかに記載の表面検査装置。しかしながら、特許文献1記載の表面検査装置では、被検査体の速度が増減すると、画像のブレにより画像の分解能が変化し、検出能が一定にならないという問題があった。また、表面検査は、ヘゲ疵、穴、異物付着などの大きさが数mm程度以上の疵いわゆる通常疵を検出することが最重要ではあるが、一方で、検出レベルを上げて微小欠陥を多数検出させるようにすると、有害無害を問わず、多数の疵候補を検出してしまう。その結果、信号処理の時間が追いつかなくなり、通常の検査に影響が出てしまうという問題があった。また、特許文献2記載の被検査体が所定距離進む毎に撮像信号を加算して平均値を算出する表面検査装置では、被検査体が高速で移動する場合に処理速度が間に合わなくなる、あるいは処理速度を高速化するために装置が高価になるという問題があった。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、被検査体の移動速度が大幅に変化する場合でも、被検査体上の疵を安定して検出できる表面検査装置を提供することにある。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる表面検査装置は、移動する被検査体から反射された光を受光する一次元撮像素子と、前記一次元撮像素子から一定周期で出力される撮像信号を一時記憶するバッファと、被検査体の移動距離を検出する位置検出器と、位置検出器によって検出された前記被検査体の移動距離が所定間隔に達した時点で、前記バッファに一時記憶されている最新の撮像信号を読み出す制御を行う画像取り込み制御部と、前記バッファから読み出された撮像信号から前記被検査体の表面の疵候補点を検出する疵検出部とを備えることを特徴とする。本発明にかかる表面検査装置によれば、被検査体の移動速度が大幅に変化する場合でも、被検査体上の疵を安定して検出できるという効果を奏する。本発明の基本原理本発明の実施形態を説明する前に、本発明の基本原理について説明する。まず、図1および図2を用いて、本発明の実施形態に用いるラインセンサカメラ1と被検査体2と光源3との配置、および被検査体2におけるラインセンサカメラ1の撮像範囲について説明する。図1に示されるように、ラインセンサカメラ1と被検査体2と光源3とは、光源3から射出された光線が入射角θで被検査体2を照射し、被検査体2の表面で反射した光線をラインセンサカメラ1が受光角θで検出するように配置されている。そして、ラインセンサカメラ1のライン方向と垂直方向に被検査体2が速度Vで移動することにより、ラインセンサカメラ1は被検査体2の表面を走査する。以下、説明を容易にするために、被検査体2の表面におけるラインセンサカメラ1のライン方向被検査体2の幅方向をX方向とし、被検査体2の移動方向被検査体2の長手方向をY方向とする。図2は、図1の配置における被検査体上2の撮像範囲について説明する図である。被検査体2が停止している場合のラインセンサカメラ1の1画素に対応する被検査体上2の撮像範囲は、図2の実線の範囲で示すように、X方向がδx,Y方向がδy/cosθの矩形である。δxおよびδyは、ラインセンサカメラ1の撮像素子サイズ、レンズ焦点距離および撮像距離などから決まる量であり、撮像素子のサイズに光学倍率を掛けたものに相当する。また、一般に、ラインセンサカメラ1の1画素のサイズの縦横比は等しいのでδx=δyである。一方、被検査体2が速度Vで移動している状況で被検査体2を撮像する場合、δx×δyの撮像範囲がY方向にVδtだけブレて、図2における実線および破線の領域を重畳して露光していることになる。ここで、δtは、ラインセンサカメラ1の露光時間である。ここで、図3および図4を参照して、製造ライン上を搬送する鋼板を被検査体2の例として、ラインセンサカメラ1の1画素に対応する被検査体上2の撮像範囲がどのように検出しているかについて検討する。図3は、鋼鈑の製造ラインにおけるライン速度の例を示す図である。そして、図4は、ライン速度Vによって場合分けした、ラインセンサカメラ1の撮像範囲がどのような露光時間で被検査体2の表面を露光しているかを示す図である。図4に示されるグラフは、被検査体2の表面のY方向搬送方向の相対位置を横軸とし、各相対位置についての露光時間を縦軸に表したグラフである。図3に示されるように、製造ラインのライン速度Vは、定常時のライン速度増減図中のハッチング部分:V2からV3まで以外に、ルーパに溜まった被検査体2を払い出すための一時的な最高速度Vmax、被検査体2の継ぎ目をシャーカットするための低速度V1、および、被検査体2を目視検査するための完全停止速度V=0がある。まず、ライン速度Vが比較的低く、Vδt≦δy/cosθを満たす場合を考える。図4aは、この場合のラインセンサカメラ1の撮像範囲が、どのような露光時間で被検査体2の表面を露光しているかを示している。図4aに示すように、Y方向におけるVδtからδy/cosθまでの領域はδt秒間の露光時間であるが、その前後の領域では、δt秒間の露光とならずに部分的な露光となっていることが解る。一方、図4bは、ライン速度Vが比較的高く、Vδt>δy/cosθとなる場合のラインセンサカメラ1の撮像範囲が、どのような露光時間で被検査体2の表面を露光しているかを示している。図4bに示すように、Y方向におけるδy/cosθからVδtまでの領域は一定の露光時間であるが、δt秒よりも少ない露光時間δy/cosθVとなることが解る。以上まとめると、図4a、bに示されるいずれの場合も、ラインセンサカメラ1の撮像範囲がY方向についてはδy/cosθVδtまでの範囲を露光しており、この範囲は、ライン速度VがVminからVmaxまで可変する場合、δy/cosθVminδtからδy/cosθVmaxδtまで変化することが解る。上記の検討から、被検査体2の長手方向Y方向の画像取り込み間隔が一定となるように表面検査を行おうとした場合、被検査体2の速度が最大であるVmaxとなる場合を考慮すると、Y方向の画像取り込み間隔ΔがΔ≧Vmaxδt1を満たすように設定することが必要である。そして、できるだけ微小サイズの疵を検査しようとした場合、ラインセンサカメラ1の光学倍率など調節してδxおよびδyを小さくするように設計するので、Vδt>δy/cosθとなる条件が満たされることが多い。すなわち、ラインセンサカメラ1の1画素は、図4bで例示したような撮像範囲を露光することになる。上記1の条件を満たす状況において、被検査体2が画像取り込み間隔Δだけ移動したタイミングで次の撮像を行った場合、ラインセンサカメラ1の露光時間の状況を表したものが図5である。とくに、図5aは、被検査体2の速度Vが0もしくは略0である場合について、図5bは、被検査体2の速度Vが最大速度Vmaxである場合について、それぞれ被検査体2が画像取り込み間隔Δだけ移動したタイミングで、ラインセンサカメラ1が次の撮像をしたときの露光の状況を表している。図5bから読み取れるように、被検査体2の速度Vが最大速度Vmaxである場合、最初の撮像と2回目の撮像の境目横軸でΔ~δy/cosθVmaxδt付近の領域では、他の領域に比べ露光時間が短く、この位置に微小疵が存在した場合、ラインセンサカメラ1が疵を検出し難くなる。一方、図5aから読み取れるように、被検査体2の速度Vが0もしくは略0である場合、被検査体2が画像取り込み間隔Δだけ移動したタイミングで次の撮像をした場合、被検査体2の移動による画像のブレはないあるいは無視可能であるが、ラインセンサカメラ1は、δy/cosθからΔまでの範囲を露光しないことになる。つまり、この範囲に微小疵が存在する場合に検出できないことがわかる。従って、上記1式の条件を満たしていた場合、露光時間を一定に維持しながら、微小疵が存在する領域によらずに検出漏れが発生しない検出方法を実現することは困難であることが解る。そこで、本発明では1式の条件を緩和することを考えることにする。そのために、本発明では、被検査体2がΔだけ移動するタイミングで撮像するのではなく、一定の露光時間間隔で連続的に撮像している中で、Δだけ移動したタイミングで撮像信号を抜き出し、当該撮像信号を各画素の撮像信号として利用する方法を採用する。なお当該方法は、Vmaxδt>Δとなる状況において撮像信号が更新される前に被検査体2がΔだけ移動してしまう。その結果、同じ撮像信号を複数の画素で重複して利用してしまうことになる。しかしながら、当該方法に従うシステムは矛盾せずに動作するので問題とならない。図6は、上記方法に従い、被検査体2がΔだけ移動したタイミングで撮像信号を抜き出す方法で撮像をした場合のラインセンサカメラ1の露光時間の状況を表した図である。とくに、図6aは、被検査体2の速度Vが0もしくは略0である場合について、図6bは、被検査体2の速度Vが最大速度Vmaxである場合について、それぞれΔだけ移動したタイミングで撮像信号を抜き出す方法で撮像をした場合の露光の状況を表している。このとき、図6bに示されるように、最初の撮像領域と2回目の撮像領域の重複領域図中のVδt~δy/cosθVδtは、最初の撮像と2回目の撮像の露光時間を合わせると、重複領域ではない領域の露光時間δy/cosθVとなる。つまり、全範囲に亘り各点の露光時間が一定になる。なお、条件によって、微小疵が1回の周期内で完全に撮像されたり、1回目と2回目の撮像に分離して撮像されたりする場合が起こるが、微小疵の情報を量子化した画素の信号として処理するのでやむを得ない。また、図6aに示されるように、被検査体2の速度Vが0もしくは略0である場合についても、各点の露光時間が一定δtとなる。更に、被検査体2の移動速度が最も低い速度これをVminとするの場合にも検出漏れが生じないようにするためには、画像取り込み間隔ΔがΔ≦δy/cosθVminδt2を満たしている必要がある。ここで、2式を緩和するためには被検査体2の移動速度の最小値Vminを制限することも考えられる。しかしながら、被検査体2の移動速度は他の要因から決定され、一般に変更することができないことが多い。そこで、検査対象とする移動速度の最小値V’minを決めて、その範囲内V’minからVmaxまでのみで検査をするようにしてもよい。これは例えば、最小値V’minをシャーカット速度図3中ではV1として、停止しているなどシャーカット速度以下での検出を除いたり、最小値V’minを定常時ライン速度範囲の下限値図3中ではV2とし、シャーカット速度での検出も除いたりするようなことである。通常の疵検査であれば、このような検査範囲を限定することは許されないが、対象の疵を連続して発生する周期疵とすれば、検査対象外とした速度で被検査体2が移動している場合には検出できないとしても、同一コイル内のいずれかの領域で周期疵を検出できればよいという方式も実用性がある。以下に、撮像信号から疵を抽出するための閾値について検討する。なお、対象とする最小の微小疵は、長手方向に一画素分の撮像範囲に相当する大きさである。このような大きさの疵の場合、図6bに示すように、Vδt>δy/cosθ3の場合、一画素に対する露光時間は、δy/倍して新たな閾値として採用する。これにより、長手方向の1画素程度の疵に対しては、検出能を一定に保つことが可能である。ただし、被検査体2の移動速度が大きくなり、一画素に対する露光時間が短くなっても、十分検出能が確保できる場合には、このような対策は不要であることは言うまでもない。なお、疵検出の閾値を変えると、状況によって疵以外の正常部分のいわゆる地肌ノイズを過検出することが懸念される。しかしながら、地肌ノイズ自体も大きさが一画素程度の変動であるので、移動速度が大きい場合には、同様に信号レベルも低下していることにより過検出の問題はない。また、長手方向に複数画素連続し、長手方向のサイズがVδt程度以上の通常の疵については、小さい露光時間でも長手方向複数画素の積算で効いてくるので、信号レベルの低下は発生しない。本発明は、上記のような点に着目してなされたものであり、以下に本発明の詳細を実施形態によって説明する。第1実施形態図7は、本発明の第1実施形態にかかる表面検査装置4の概略構成を示すブロック図である。第1実施形態にかかる表面検査装置4は、受光素子を直線上に配列した一次元撮像素子を有するラインセンサカメラ1と、ラインセンサカメラ1の出力撮像信号をデジタル化するA/D変換部5と、デジタル化された撮像信号を一時記憶する撮像信号用バッファ6と、撮像信号を読み出して被検査体2の表面の疵候補点を検出する疵検出部7と、カメラおよび画像取り込みを制御する制御部8と、被検査体2を搬送するロールに取り付けられたロータリエンコーダ9と、特徴量算出部10と、周期疵判定部11とを備える。なお、疵検出部7は、画像処理ユニット7aと二値化ユニット7bとを内部に備え、制御部8は、カメラ制御ユニット8aと画像取り込み制御ユニット8bとを内部に備える。画像処理ユニット7aは、撮像信号用バッファ6から撮像信号を読み出して所定の画像処理を行うユニットであり、二値化ユニット7bは、後述する閾値により疵候補点を抽出するユニットである。カメラ制御ユニット8aは、ラインセンサカメラ1、A/D変換部5、および撮像信号用バッファ6を制御し、画像取り込み制御ユニット8bは、ロータリエンコーダ9の出力に基づいて画像処理ユニット7aを制御するものである。ラインセンサカメラ1は、先に説明した図1に示されるように、光源3から射出された光線が入射角θで被検査体2を照射し、被検査体2の表面で反射した光線をラインセンサカメラ1が受光角θで受光するように配置されている。つまり、被検査体2がラインセンサカメラ1のライン方向と垂直方向Y方向に速度Vで移動することにより、ラインセンサカメラ1は被検査体2の表面を走査する配置である。なお、本実施形態にかかるラインセンサカメラ1は、クロック周波数40MHz、画素数2048画素、かつ一画素の縦横比が1のものを用いている。また、入射角θ受光角θを10°となるように配置し、ラインセンサカメラ1の光学系は、X方向の視野範囲δxが0.1mmとなるように構成してある。従って、Y方向の視野範囲δyは、δyδy/cos10°≒0.1015mmである。また、被検査体2の最大速度Vmaxは10m/sであり、Vmaxδt≒10×2048/倍する。ここで、基準となる閾値とは、4式を満たす場合に適用される閾値である。二値化ユニット7bは、閾値演算ユニット7eによって演算された閾値と各画素の輝度を比較し、閾値を越える画素を疵候補と判定する。そして、以下第1実施形態と同様に、特徴量算出部10が特徴量の算出処理を行い、その後、周期疵判定部11が周期疵の判定を行う。図15Aは、本発明の第2実施形態に係る表面検査装置により検査を行った鋼板について、検出した疵候補位置をプロットしたコイルマップの例である。そして、図15Bは、上記検査における鋼板の移動速度を示したグラフである。図15Aに示されるように、本発明の第2実施形態に係る表面検査装置によれば、ライン速度によらずに周期疵を全長に亘り検出することができることが解る。一方、図14Aに示された第1実施形態に係る表面検査装置による検出の例では、ライン速度が最高速の600m/分10m/秒の時には、鋼板の移動による画像のブレのために実質的な分解能が下がっているため、疵候補をほとんど検出できていない。この違いは、第2実施形態に係る表面検査装置がライン速度に応じて閾値を変更していることによる。したがって、周期疵が全長に亘って発生している場合は、第1実施形態、第2実施形態のいずれでも差異はないが、途中で発生したりしなくなったり、一部分のみで発生するような周期疵が存在するような場合には、第2実施形態の方が望ましい。以上より、本発明の第2実施形態にかかる表面検査装置は、移動する被検査体2から反射された光を受光するラインセンサカメラ1と、ラインセンサカメラ1から一定周期で出力される撮像信号を一時記憶する撮像信号用バッファ6と、被検査体2の移動距離を検出するロータリエンコーダ9と、ロータリエンコーダ9によって検出された被検査体2の移動距離が所定間隔Δに達した時点で、撮像信号用バッファ6に一時記憶されている最新の撮像信号を読み出す制御を行う画像取り込み制御ユニット8bと、撮像信号用バッファ6から読み出された撮像信号から被検査体2の表面の疵を検出する疵検出部7とを備えるので、被検査体2の速度の大小に拘らず、検出漏れのない安定的な表面検査ができる。さらに、被検査体2の移動速度に応じて閾値を演算する閾値演算ユニット7eと、撮像信号用バッファ6から読み出された撮像信号から、閾値演算ユニット7eにより演算された閾値に基づいて疵候補点を抽出する二値化ユニット7bとを備えたので、過検出することなく安定して撮像信号中から疵候補点を検出することができる。また、特徴量算出部10が抽出された疵候補点から位置、形状、または濃度の特徴量を算出し、周期疵判定部11が、この特徴量を用いて周期疵か否かを判定するようにしたので、過検出することなく疵候補点の中から微小周期疵を安定して検出することができる。第3実施形態第3実施形態は、第2実施形態に加え、周期疵と通常疵を並行して検出するための機能を追加した実施形態である。したがって、本実施形態の説明では、第2実施形態と共通部分については、同符号を参照することによって、説明を省略する。図11は、本発明の第3実施形態にかかる表面検査装置4の概略構成を示すブロック図である。図11に示されるように、第3実施形態にかかる表面検査装置4は、第2実施形態と共通構成である、ラインセンサカメラ1と、A/D変換部5と、撮像信号用バッファ6と、疵検出部7と、制御部8と、ロータリエンコーダ9と、特徴量算出部10と、周期疵判定部11とを備える。これに加え、第3実施形態にかかる表面検査装置4は、さらに、加算平均化ユニット12aおよび第2の二値化ユニット12bを内部に備える第2の疵検出部12と、第2の特徴量算出部13と、通常疵判定部14とを備える。加算平均化ユニット12aは、画像処理ユニット7aにより処理された信号を、複数ライン分加算して、平均化を行うことにより長手方向の画像処理上の分解能を変換するものである。ここで、本発明の第3実施形態では、A/D変換部5によってデジタル信号に変換された撮像信号を扱っているので、上記加算平均は撮像信号のデジタル値について演算を意味する。また、撮像信号のデジタル値は、検出した被検査体2の輝度に相当する情報であるので、複数ライン分の撮像信号のデジタル値を加算平均することにより、長手方向の画像処理上の分解能を変換することができる。したがって、上記加算平均処理後の長手方向の画像処理上の分解能をVmaxδt以上にすることにより、被検査体2の速度によらず、一定の露光時間および長手方向分解能が実現できる。第2の二値化ユニット12bおよび第2の特徴量算出部13は、それぞれ二値化ユニット7bおよび特徴量算出部10と同様の機能をもつものであり、加算平均化ユニット12aによって変換された撮像信号から、疵候補を抽出して特徴量を算出するためのものである。また、通常疵判定部14は、例えば上位計算機で実現されるものであり、第2の特徴量算出部13が算出した特徴量を用いて通常疵の判定を行うものである。以上より、本発明の第3実施形態にかかる表面検査装置は、移動する被検査体2から反射された光を受光するラインセンサカメラ1と、ラインセンサカメラ1から一定周期で出力される撮像信号を一時記憶する撮像信号用バッファ6と、被検査体2の移動距離または移動速度を検出するロータリエンコーダ9と、ロータリエンコーダ9によって検出された被検査体2の移動距離が所定間隔Δに達した時点で、撮像信号用バッファ6に一時記憶されている最新の撮像信号を読み出す制御を行う画像取り込み制御ユニット8bと、撮像信号用バッファ6から読み出された撮像信号から被検査体2の表面の疵を検出する疵検出部7とを備えるので、被検査体2の速度の大小に拘らず、検出漏れのない安定的な表面検査ができる。さらに、被検査体2の移動速度に応じて閾値を演算する閾値演算ユニット7eと、撮像信号用バッファ6から読み出された撮像信号から、閾値演算ユニット7eにより演算された閾値に基づいて疵候補点を抽出する二値化ユニット7bとを備えたので、過検出することなく安定して撮像信号中から疵候補点を検出することができる。また、特徴量算出部10が抽出された疵候補点から位置、形状、または濃度の特徴量を算出し、周期疵判定部11が、この特徴量を用いて周期疵か否かを判定するようにしたので、過検出することなく疵候補点の中から微小周期疵を安定して検出することができる。加えて、撮像信号用バッファ6から読み出された撮像信号を加算平均する加算平均化ユニット12aと、加算平均化された撮像信号から疵候補点を抽出する第2の二値化ユニット12bとを備えたので、通常疵の検出に全く影響を与えることなく、微小疵および微小周期疵を検出できる。なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。本実施形態では、ラインセンサカメラとしてCCDカメラを用いたが、CCDに限らず各種の固体撮像装置を用いることができる。さらに、撮像装置の画素サイズや画素数等は、仕様に応じて適宜変更可能である。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。例えば、図12は、図11に示された表面検査装置4において加算平均化ユニット12aを除いた構成の変形実施形態を示すブロック図である。さらに、図13は、周期疵用および通常疵用の特徴量算出部10を共通構成として、疵総合判定部15にて周期疵および通常疵の判定を行う構成の変形実施形態を示すブロック図である。これらの変形実施形態は、通常疵の発生数が多いときにはシステムの計算負荷増大に繋がるので、適用に際し注意が必要であるが、システムの簡素化および低廉化に資する構成である。"