レーザビームを加工ヘッドから被加工物に照射してレーザ加工を行うレーザ加工機の光路構造であって、細長な箱状で長手面の一つに開口を有する筐体と、前記筐体内を該筐体の長手方向に進行するレーザビームを前記開口側へ偏向するベンドミラーを備え、前記筐体の長手方向へ移動可能に該筐体内に設置されたベンドブロックと、該ベンドブロックから前記開口側へ突出して設けられ、前記ベンドミラーによって前記開口側へ偏向された前記レーザビームの光路を覆う光路管とを含み、該光路管を通過した前記レーザビームを前記加工ヘッドへ導く導光ユニットと、弾性体で構成され前記開口の縁部に設置されたシール部材と、前記筐体外において前記シール部材に当接して前記開口を塞ぐ帯状であり、前記シール部材に対して摺動することにより前記開口を塞いだ状態で長手方向に移動可能で、前記導光ユニットに固定された移動部材と、前記移動部材及び前記導光ユニットを一体的に前記移動部材の長手方向へ移動させる駆動手段とを有することを特徴とするレーザ加工機の光路構造。前記筐体は、前記移動部材の幅方向及び厚さ方向の移動を規制する案内手段を備えることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の光路構造。前記筐体の長手方向の両端それぞれの近傍に、前記移動部材の巻き出し及び巻き取りを行う巻出巻取装置を有することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の光路構造。前記移動部材は両端部を接合したエンドレス状であって前記筐体を囲うように配置されており、前記筐体の周囲に設置された支持ローラによって移動が案内されることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の光路構造。前記支持ローラは、前記移動部材の移動方向へ移動可能に弾性的に設置されていることを特徴とする請求項4記載のレーザ加工機の光路構造。前記移動部材の張力を一定に保つテンションローラを有することを特徴とする請求項4記載のレーザ加工機の光路構造。前記支持ローラは太鼓状であることを特徴とする請求項4記載のレーザ加工機の光路構造。前記移動部材の前記シール部材と当接する側の面と当接するスクレーパを有することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の光路構造。前記シール部材は、ウレタンゴム製で、前記移動部材と当接する部分がリップ形状となっており、前記移動部材は、ステンレス鋼帯であることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の光路構造。前記シール部材は、前記開口の縁部に取り付けられたスポンジ状弾性体と、該スポンジ状弾性体に貼り付けられた樹脂製テープとで構成されており、前記移動部材を挟んで前記シール部材と対向するように、スポンジ状弾性体に樹脂テープを貼り付けて構成された押付部材が設置されたことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項記載のレーザ加工機の光路構造。前記スポンジ状弾性体は、クロロプレンゴムが被覆されたラテックススポンジであり、前記樹脂製テープは、超高分子量ポリエチレン樹脂を材料として構成されていることを特徴とする請求項10記載のレーザ加工機の光路構造。ジャバラやテレスコの光路構造への採用に関しては、ジャバラの方が一般的であり、テレスコは炭酸ガスレーザの場合は清浄な環境下で使用される低出力の医療機器レーザメスなどで実用化されている程度である。一般に、ジャバラは、合成繊維やプラスチックで製造されているが、樹脂自体に発塵性があり、密閉度が低い。密閉度を高めるために何層かを接合接着し、気密性の高い繊維を使用するなどの改良もなされているが、伸縮しろが増大する不都合が生じたり、伸縮による呼吸で特に高速動作の場合などは外部の粉塵を吸い込んだり、破損したりするなどの不具合が発生するため、カウンタージャバラを設けるか、あるいはバッファタンクを設けたりして容積変動の影響を抑える必要がある。また、焼損事故を防止するためにジャバラ内部に金属製の反射板を設けたり、難燃性材料を使用したり、焼損検知のセンサを内蔵するなどの対策が試みられているが、複雑な構造となり高価になるという問題がある。ジャバラやテレスコを使用せずに光路を移動させる光路構造に関しても、特許文献4はシール構造に関して何の開示もしていない。したがって、特許文献4に開示される発明は、光路内部の気密を保持できる実用的な装置とは言えない。特許文献5に開示される発明は、ベルトの外縁部をシールするが、ベルトの外側には粉塵が付着しやすい。ベルトの外側に付着した粉塵は、シールを摩耗劣化させるため、特許文献5に開示される発明は、密閉性や気密性、寿命という観点から問題がある。さらに、その外側に防塵カバーを設けることも困難であり、ベルトを支持案内するローラでベルトを駆動する構成では高速の繰り返し動作を可能とする構造とはなっていない。特許文献6、7に開示される発明は、特に開口部と移動ユニットによって持ち上げられるベルトの短手方向両端の気密を保持する方法が困難であり、ベルトを吸着するマグネットは鉄などの強磁性体の粉塵も吸引するため実用性は乏しい。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、光路の移動を高速で繰り返し行うことができ、伸縮しろがほとんど無く、高い気密性を備え、呼吸を行わず、外部粉塵の光路内への侵入や焼損の発生を防止したレーザ加工機の光路構造を得ることを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、レーザビームを加工ヘッドから被加工物に照射してレーザ加工を行うレーザ加工機の光路構造であって、細長な箱状で長手面の一つに開口を有する筐体と、筐体内を筐体の長手方向に進行するレーザビームを開口側へ偏向するベンドミラーを備え、筐体の長手方向へ移動可能に筐体内に設置されたベンドブロックと、ベンドブロックから開口側へ突出して設けられ、ベンドミラーによって開口側へ偏向されたレーザビームの光路を覆う光路管とを含み、光路管を通過したレーザビームを加工ヘッドへ導く導光ユニットと、弾性体で構成され開口の縁部に設置されたシール部材と、筐体外においてシール部材に当接して開口を塞ぐ帯状であり、シール部材に対して摺動することにより開口を塞いだ状態で長手方向に移動可能で、導光ユニットに固定された移動部材と、移動部材及び導光ユニットを一体的に移動部材の長手方向へ移動させる駆動手段とを有することを特徴とする。本発明によれば、光路の移動を高速で繰り返し行うことができ、伸縮しろが無く、高い気密性を備え、呼吸を行わず、外部粉塵の光路内への侵入や焼損の発生を防止できるという効果を奏する。以下に、本発明にかかるレーザ加工機の光路構造の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。実施の形態1.図1は、本発明にかかるレーザ加工機の光路構造の実施の形態1の構成を示す図である。図2は、レーザ加工機の光路構造の平面図であり、図1での矢印IIを視線方向としている。筐体1は、光路全体を覆うように金属板などで構成されて密閉される。開口2は、筐体1の底面に光路の移動部分に沿って設けられている。シール部材3は、弾性を有するゴム材料などで形成されており、開口2の周囲内側縁部に設けられている。移動部材4は、金属材料などで帯状に形成されており、開口2を塞ぐようにシール部材3に当接し、摺動して移動する。ベンドブロック5aは、レーザビームLを偏向するベンドミラーを備えており、筐体1の内部に設けられる。光路管6aは、ベンドブロック5aに取り付けられており、ベンドミラーによって開口側へ偏向されたレーザビームLの光路を覆い、移動部材4を貫通して筐体1の外へ突き出ている。光路管6aには、移動部材4が固定結合されている。本実施の形態においては、ベンドブロック5a及び光路管6aは、レーザビームLを加工ヘッド12へ導く導光ユニット30をなしている。ベンドブロック5bは、筐体1の内部に設置された固定のベンドブロックであり、光路管6bと接続されている。Z軸ユニット22は、加工ヘッド12を備えており、光路管6aと接続される。Z軸ユニット22は、被加工物であるワーク13に対して焦点を合わせるべく図示のZ軸方向に加工ヘッド12を動作させる機能を有している。また、Z軸ユニット22は、ベンドブロック5a、光路管6a、加工ヘッド12とともに駆動手段7によって図示のX軸方向に駆動されて移動するように構成されている。ここでは、駆動手段7がZ軸ユニット22に固定されたベルト状である構成を示したが、Z軸ユニット22、光路管6a、加工ヘッド12及びベンドブロック5aを一体的に平行移動可能であれば、公知の任意の構成を適用可能である。例えば、Z軸ユニット22にピニオンとこれを駆動するモータとを設け、ラックに沿って移動させるようにすることも可能である。また、Z軸ユニット22にリニアモータを設けて移動させる構成とすることも可能である。筐体1には、パージガス入口14、パージガス出口15及び逆止弁16が設けられている。レーザ加工機の光路構造の動作について説明する。不図示のレーザ発振器から出射されたレーザビームLは光路管6bを経由して筐体1内へ導入され、ベンドブロック5bでX軸方向へ偏向されてベンドブロック5aに導かれる。ベンドブロック5aでは、レーザビームLはZ軸方向へ偏向され光路管6a、Z軸ユニット22を経由して加工ヘッド12へ伝送され、加工ヘッド12内に設けられた加工レンズによって集光レーザビームとされてワーク13へ照射される。Z軸ユニット22が駆動手段7によって駆動されて移動すると、それに伴い加工ヘッド12、光路管6a、ベンドブロック5aもX軸方向へ移動し、光路管6aに固定結合されている移動部材4も同様にX軸方向へ移動する。その際、移動部材4は、シール部材3に当接したまま摺動するため、加工ヘッド12を移動させながらのレーザ加工時にもレーザビームLの光路を保護する筐体1内の気密は保持される。筐体1内には、パージガス入口14から清浄乾燥空気や窒素などがパージガスPとして導入される。筐体1内に導入されたパージガスPは、筐体1内を循環した後にパージガス出口15から逆止弁16を経由して大気へ放出される。移動部材4とシール部材3との当接摺動部は、停止又は動作中にすなわち常時パージガスPの若干の漏れが生じるため、筐体1内の気圧を大気圧よりも若干0.5kPa程度高く保持できるように、パージガスPの流量と圧力とを調整する。ジャバラを使った装置と同様に、パージガスPの入口圧力は0.1~0.3MPa、流量は50~100NL/min程度とすることで、筐体1内の気圧を大気圧よりも若干高く保持できる。また、動作中、移動部材4の筐体1側でシール部材3の外側外気に触れる部分には粉塵が付きやすく、ここに付着した粉塵はシール部材3を経由して筐体1内部へ侵入する可能性がある。これを防止するため筐体1の両端部に防塵カバーを設けるようにしても良い。図3は、開口2の長手方向の縁部の断面図であり、図2におけるIII-III断面を示している。レール17a、17bは、筐体1の開口2の縁部近傍に移動部材4を挟むように設けられている。図示は省略するが、移動部材4の短手方向の反対側にもレール17a、17b及びガイドローラ18が設けられており、これらが移動部材4の案内手段8を構成している。図4は、ガイドローラ18と移動部材4との当接状態を示す図である。図4に示すように、ガイドローラ18は、移動部材4の短手方向端面に当接して設けられている。図3に示すネジ19は、移動部材4が当接摺動するシール部材3を筐体1の開口2の縁部に固定している。レール17a、17bの移動部材4を案内する部分には、ウレタンやポリテトラフルオロエチレンフッ素ゴム製テープ、又は超高分子量ポリエチレンなどの自己潤滑性を有する材料を用いて製造したテープなどを貼って移動部材4の案内を円滑にすることが好ましい。ガイドローラ18には、ステンレス製のベアリングが用いられており、移動部材4の移動する方向に複数設けられている。案内手段8は、移動部材4の運動方向で、X軸と直交するY軸方向幅方向は、レール17a、17bにより、Z軸方向厚さ方向はガイドローラ18により移動範囲を規制案内される。案内手段8は、移動部材4のシール部材3への当接摺動動作をより確実なものとする。また、ジャバラとは異なり、レーザビームLによって焼損を受ける可能性がある部分はごく限られているため、焼損の発生は皆無に等しいが、金属製のビーム遮蔽板21をシール部材3に沿って設けることで、より確実に焼損の発生を防止できる。シール部材3は、先端移動部材4と当接する部分がリップ形状となっている。シール部材3の先端をリップ形状とすることで、シール部材3の弾性を高めるとともに摺動抵抗を低減できる。また、シール部材3の先端をリップ形状とすることで、気密性保持性を高めることができる。シール部材3の材料としては、天然ゴム、クロロプレンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴムなど各種ゴムを適用可能である。ウレタンゴムは、安価かつ入手が容易であり、耐摩耗性が高い上に摺動抵抗が小さいなど機械的特性も優れ、所望の硬度に調整して成型できるため、シール部材3の材料として好適である。移動部材4は、厚さ0.05~0.35mmのバネ性を有するステンレス鋼帯で形成されている。気密性を高めるためには移動部材4にもバネ性があることが好ましい。移動部材4は、薄すぎると破損しやすくなり、厚すぎると屈曲性に乏しくなって気密性が低くなったり移動部材4をコンパクトに収容することが困難となったりするため、上記の範囲の厚さとすることが好ましい。なお、発明者らは、移動部材4として用いるステンレス鋼帯の厚さを変えて種々の試験を行った結果、厚さ0.1mm、0.2mm、0.3mmのバネ性を有するステンレス鋼帯を移動部材4として用いた場合に、気密性や耐久性、移動部材4の耐屈曲性などの各種性能に問題が無いことを確認した。厚さ0.4mmのステンレス鋼帯を用いた場合には、移動部材4の屈曲性が低く、移動部材4としては不適当であった。また、厚さ0.05mm未満のステンレス鋼帯は強度が不足して移動部材4として不適当である。厚さ0.05mm程度の薄い材料で形成された移動部材4は、レーザ出力が小さく、小型でストロークの小さい光路構造に適しており、厚さ0.35mmまでの厚い材料で形成された移動部材4は、大型でストロークの大きい光路構造に適している。移動部材4の材料としてステンレス鋼帯を用いることで、防錆性や耐屈曲性を高めることができる。また、表面が滑らかな移動部材4を実現できる。図1、図2に示すように、筐体1の移動部材4の移動方向両端部には、巻出巻取装置9a、9bが設けられている。移動部材4が図1、図2での右方向へ移動する場合は、巻出巻取装置9aは移動部材4を巻き取る動作を行い、巻出巻取装置9bは移動部材4を巻き出す動作を行う。移動部材4が図1、図2での左方向へ移動する場合は、巻出巻取装置9aは移動部材4を巻き出す動作を行い、巻出巻取装置9bは移動部材4を巻き取る動作を行う。巻出巻取装置9a、9bは、ぜんまいバネなどを用いて構成することが可能であるが、サーボモータを使用して巻き出し巻き取り時の張力を制御するようにしたり、移動部材4の駆動装置である駆動手段7と連動して同期動作できるようにしても良い。本実施の形態によれば、ジャバラなどの伸縮する部材を使用しないため、伸縮しろが不要である。したがって、本実施の形態にかかる光路構造を備えたレーザ加工機は、光路が短くなって安定したレーザ加工が可能となる。また、装置をコンパクトに設計することができる。さらに、光路が動作することに伴う光路内での呼吸現象が発生しない状態で高い気密性を保持できる。さらに、外部から筐体内部に粉塵が侵入することが無いため、筐体内を常に清浄な状態に保つことができる。さらに、レーザビームLに触れる部分は金属材料で構成されるため、焼損の発生を防止できる。すなわち、高性能で安全な光路構造を簡単で安価に提供できる。また、移動部材の案内手段は、移動部材の正しい移動方向への移動を確実に保証するため、気密性や粉塵侵入の防止性が安定した信頼性の高い光路構造を実現できる。また、巻出巻取装置を用いることにより、移動部材の両端が確実に装置内に収容されることを保証し、光路構造をコンパクトにすることができる。実施の形態2.図5は、本発明にかかるレーザ加工機の光路構造の実施の形態2の構成を示す図である。本実施の形態では、移動部材4は両端部が接続結合されてエンドレス状になっており、支持ローラ10a~10dによって筐体1の外部で支持され、光路管6aとともに移動するように構成されている点で実施の形態1と相違する。筐体1やZ軸ユニット22などの構成は実施の形態1と同様である。支持ローラ10a~10dの各々の移動部材4の転動面は中央部が凸の曲面となっており、支持ローラ10a~10dは全体的には中膨れの太鼓状クラウン状となっている。支持ローラ10a~10dは、太鼓状となっていることにより、移動部材4が移動方向と直交する方向へ移動しないように矯正する。これにより、支持ローラ10a~10dは、移動部材4の支持及び移動方向への移動の案内を安定して行えるようになっている。また、移動部材4を塑性変形させないだけの十分に大きな曲率を備えている。支持ローラ10a~10dは、軽量であると、移動部材4の移動速度の変化に追従して回転速度が変化しやすいため、対スリップ性に優れる。また、移動部材4との間に動摩擦が発生しにくくなるため、耐摩耗性も向上する。また、支持ローラ10a~10dは、転動面に耐摩耗性被膜硬質クロムめっきなどが施され、研摩されていると、耐摩耗性に優れる。テンションローラ23a、23bを適当な位置に設けることで、移動部材4が高速移動を繰り返しても、移動部材4と支持ローラ10a~10dとがスリップしにくくなる。また、支持ローラ10a~10dの少なくとも一部について、移動部材4の移動方向X軸方向やこれと直交する方向Y軸方向に若干移動可能なように弾性的に支持する構成としても良い。なお、図示していないが、筐体1の開口2図5では不図示及びシール部材3の無い側で移動部材4がX軸方向へ移動する部分には、図3に示した案内手段8と同様の構成、または簡略化した構成を設けて、移動部材4を案内させてもよい。本実施の形態によれば、移動部材4を高速に繰り返し移動させやすく、光路の移動ストロークが長い例えば3m以上場合でも光路構造をコンパクトにすることができる。また、支持ローラ10a~10dを移動部材4の移動方向へ移動可能となるように弾性的に支持したり、適当な位置にテンションローラ23a、23bを設けることにより、移動部材4の加減速動作時に移動部材4が移動方向に撓んで動作不良を発生させることを防止し、支持ローラ10a~10dと移動部材4とがスリップを起こしてこれらが摩耗したり破損したりすることを防止できる。実施の形態3.図6は、本発明にかかるレーザ加工機の光路構造の実施の形態3の構成を示す図である。筐体1の移動部材4の移動方向の両端部にスクレーパ11と、ローラ20とが設けられている点で実施の形態1と相違する。スクレーパ11は、移動部材4のシール部材3と当接摺動する側内側に当接するように設けられている。ローラ20は、スクレーパ11の移動部材4へ当接する部分の反対側外側に設けられている。図7は、スクレーパ11及びローラ20の移動部材4との当接状態を示す図である。図7に示すように、スクレーパ11及びローラ20は、移動部材4の全幅に亘って当接する。スクレーパ11の断面は、自動車のワイパーのようにリップを備えた形状矢印形状となっており、移動部材4の移動に伴ってスクレーパ11のリップの部分が移動部材4に当接摺動する。これにより、移動部材4の内側に付着した粉塵は、スクレーパ11によって除去される。同様に、移動部材4の外側に付着した粉塵は、ローラ20によって除去される。なお、ここでは筐体1の両端にスクレーパ11及びローラ20を一対ずつ設けた構成を例として示したが、スクレーパ11及びローラ20の対を複数設けることも可能である。本実施の形態によれば、移動部材4の特に内側に付着した粉塵をスクレーパ11で除去できるため、移動部材4に付着した粉塵が筐体1内部へ巻き込まれることを防止し、筐体1内部の気密性、清浄性を確保し、シール部材3の長寿命化を実現できる。実施の形態4.図8は、本発明にかかるレーザ加工機の光路構造の実施の形態4での開口2の長手方向の縁部の断面図である。図8においては、左側が筐体1の内側、右側が筐体1の外側である。本実施の形態においては、シール部材3は、スポンジ状弾性体25aと、スポンジ状弾性体25aに貼り付けられた樹脂製テープ26aとで構成されている。なお、説明の簡略化のためにシール部材3の支持構造取付構造の図示は省略しているが、シール部材3は開口2の周囲内側縁部において筐体1に隙間無く取り付けられている。シール部材3は、スポンジ状弾性体25aが適度な縮みしろをもった状態で樹脂製テープ25aが移動部材4に当接するように設置されている。移動部材4を挟んでシール部材3の反対側には、スポンジ状弾性体25bと、スポンジ状弾性体25bに貼り付けられた樹脂製テープ26bとで構成された押付部材24が設置されている。押付部材24は、スポンジ状弾性体25bが適度な縮みしろをもった状態で樹脂製テープ25bが移動部材4に当接するように設置されている。レール17a、17bやガイドローラ18で構成される案内手段8については実施の形態1と同様である。シール部材3と押付部材24とは、移動部材4を一定の弾力を持って挟持する。移動部材4が移動する際には、開口2の周囲内側縁部に取り付けられたシール部材3は、筐体1内の気密性を保持する。押付部材24は、移動部材4がシール部材3の樹脂製テープ26aへ当接することを保証する。スポンジ状弾性体25a、25bとしては、ラテックススポンジ、クロロプレンゴム被覆のラテックススポンジ、クロロプレンスポンジ、シリコンスポンジなどを適用可能である。クロロプレンゴム被覆のラテックススポンジは、安価で弾力性に富むが耐久性が高くないラテックススポンジ上に耐久性の高いクロロプレンゴムが被覆されているため、スポンジ状弾性体25a、25bとして好適である。樹脂製テープ26a、26bの材料としては、超高分子量ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ウレタンなどを適用可能である。超高分子量ポリエチレンは、市販されていて入手が容易であることに加え、自己潤滑性が高いために摩擦係数が小さく、機械的強度や耐摩耗性も高いため、樹脂製テープ26a、26bの材料として好適である。一例を挙げると、ステンレス製ベルトを移動部材4として用い、移動速度100m/minで約1000時間繰り返し当接摺動させても劣化や摩耗がほとんど見受けられないという試験結果が得られている。本実施の形態においては、シール部材は、開口内側に設置されたスポンジ状弾性体を備えているため、移動部材への当接が保証される。また、樹脂製テープを備えているため、移動部材との摺動摩擦抵抗を軽減されかつ気密性が保持されている。外側に設置された押付部材は、スポンジ状弾性体及び樹脂製テープで構成されるため、移動部材との摺動摩擦抵抗を軽減しつつ移動部材の内側シール部材の樹脂製テープへの当接を保証することができる。スポンジ状弾性体をクロロプレンゴムを被覆したラテックススポンジで構成することにより、スポンジ状弾性体は劣化することなく弾性力を長期間保持するため、移動部材と樹脂製テープとの当接摺動を保証できる。また、超高分子量ポリエチレン樹脂を材料とする樹脂製テープは、摩擦係数が小さいため摺動抵抗が小さく、移動部材との当接摺動部の気密性密閉性を長期間保持できる。上記の各実施の形態においては、開口2が筐体1の底面に設けられた構成を例としたが、開口2は筐体1の側面や上面に設けられていてもよい。また、移動部材4が光路管6に固定されている構成を例としたが、ベンドブロック5を開口2から突出させたり、移動部材4が筐体1内に入り込むようにして移動部材4をベンドブロック5に固定することも可能である。