"気体を通し液体を通さない気体透過性材料からなる脱気チューブを内部に有する真空チャンバ、前記真空チャンバに一端が接続された真空流路及び前記真空流路を介して前記真空チャンバに接続された真空ポンプを備え、前記真空ポンプにより前記真空チャンバ内を減圧することで前記脱気チューブを流れる移動相に含まれる気体を取り出して排出するように構成された脱気装置において、前記真空流路上に水分を捕捉して貯留するための容器からなる水分トラップが配置されていることを特徴とする脱気装置。前記水分トラップはその内部を冷却機構により冷却して前記真空チャンバからのガスに含まれる水蒸気を凝縮させるものである請求項1に記載の脱気装置。前記水分トラップの底部に開閉バルブにより開閉され、貯留した水分を排出する排出口が設けられている請求項1又は2に記載の脱気装置。図2のような脱気装置において、移動相として水を含んだ溶液を使用した場合、水蒸気が脱気チューブ4を透過し、その水蒸気が真空チャンバ2内や真空ポンプ14内で凝縮して結露を生じることがあった。脱気装置では、真空ポンプ14として一般的にダイアフラム型真空ポンプが用いられているが、このような真空ポンプ14に真空チャンバ2で結露した水が流れ込んだり真空ポンプ14内で結露が発生したりすると、真空ポンプ14のチェック弁の動作不良等が発生して真空ポンプの減圧性能が低下し、結果として脱気装置の脱気性能が低下する。上記の問題を解決するために、真空ポンプよりも上段部分に外気取込み口を設け、取り込んだ空気によって水蒸気の濃度を薄めて結露の発生を抑制したり、結露した水を真空ポンプの排気側からパージしたりすることが提案されている例えば、特許文献1参照。。この方法では、結露を防止したり結露した少量の水を排出したりすることは可能であるものの、真空チャンバや真空流路中に多量の水がある場合には、多量の水が真空ポンプに流れ込んでしまい、真空ポンプの減圧性能が低下してしまう。例えば、脱気装置を長期間使用していると、脱気チューブが破損したり真空チャンバの脱気チューブ固定部が緩んだりして移動相が真空チャンバ内に漏れ出すことがあるが、上記の外気を取り込む方法では、漏れ出た移動相が真空ポンプに流れ込むことを防止することはできない。そこで、本発明は、真空ポンプに液が流れ込むことを防止することを目的とするものである。本発明は、気体を通し液体を通さない気体透過性材料からなる脱気チューブを内部に有する真空チャンバ、真空チャンバに一端が接続された真空流路及び真空流路を介して真空チャンバに接続された真空ポンプを備え、真空ポンプにより真空チャンバ内を減圧することで脱気チューブを流れる移動相に含まれる気体を取り出して排出するように構成された脱気装置であって、真空流路上に水分を捕捉して底部に貯留するための容器からなる水分トラップが配置されていることを特徴とするものである。水分トラップはその内部を冷却機構により冷却して真空チャンバからのガスに含まれる水蒸気を凝縮させるものであることが好ましい。そうすれば、水分トラップにおいて真空チャンバからのガスに含まれる水蒸気を取り除くことができ、真空ポンプ内での結露の発生を防止できる。さらに、水分トラップの底部には、開閉バルブにより開閉され、貯留した水分を排出する排出口が設けられていることが好ましい。そうすれば、水分トラップに捕捉された液を排出することができ、水分トラップで液が溢れることを防止できる。本発明の脱気装置では、真空チャンバと真空ポンプとを接続する真空流路上に水分を捕捉して底部に貯留するための容器からなる水分トラップが配置されているので、真空チャンバや真空流路内で結露した水や真空チャンバから漏れた移動相などが真空ポンプへ流れ込まないようになり、真空ポンプの減圧性能の低下を防止することができる。脱気装置の一実施例を図1を用いて説明する。この脱気装置は、真空チャンバ2を備えている。真空チャンバ2は内部に液体を通さないが気体を通す気体透過性材料からなる脱気チューブ4を有している。真空チャンバ2は内部の流路と外部の流路とを接続するための流路接続部2a,2bを備えている。脱気チューブ4は真空チャンバ2内に収容され、一端が流路接続部2aを介して移動相を収容した容器18に繋がる流路5aと接続され、他端が流路接続部2bを介して送液ポンプ図示略に繋がる流路5bと接続されている。真空チャンバ2はさらに内部空間と外部流路とを接続するための流路接続部2cを備えている。流路接続部2cには上流側真空流路7aの一端が接続されている。上流側真空流路7aには圧力センサ12も接続されており、圧力センサ12によって真空チャンバ2内の圧力がモニタされている。上流側真空流路7aの他端は水分トラップ6の流路接続部6aに接続されている。水分トラップ6は例えばガラスなどの透明材料で構成された容器であり、流路接続部6aはその低い位置に設けられている。流路接続部6aよりもさらに下の領域は捕捉した液の貯留部となっており、その底部に液排出口6cが設けられている。液排出口6cには排出流路9が接続され、開閉バルブ10によって開閉される。水分トラップ6の流路接続部6aよりも上の位置に流路接続部6bが設けられている。流路接続部6bには真空ポンプ14に繋がる下流側真空流路7bが接続されている。水分トラップ6の近傍に水分トラップ6を冷却するための冷却機構としてファン8が設けられている。ファン8及び真空ポンプ14は制御部16により制御されている。制御部16は圧力センサ12の計測値に基づいて真空チャンバ2内の圧力が所定の圧力まで減圧するように真空ポンプ14を制御するとともに、脱気チューブ4を流れる移動相が水を含んだものである場合には水分トラップ6を例えば4°C程度に冷却するようにファン8を駆動する。水分トラップ6の容量は例えば100mL程度である。この脱気装置では、流路5bに接続されている送液ポンプにより送液される移動相は脱気チューブ4を通過する。このとき、真空チャンバ2内は真空ポンプ14によって減圧されており、脱気チューブ4を通る移動相中に溶存している気体が脱気チューブ4を透過して真空ポンプ14側へ取り出され、真空ポンプ14の排気側の排気流路13から排気される。脱気チューブ4の破損や流路接続部2a又は2bにおける脱気チューブ4の固定の緩みによって移動相の漏れが発生することがあるが、漏れた移動相が真空ポンプ14側へ移動しても、脱気チャンバ2と真空ポンプ14との間に水分トラップ6が配置されているため、それらの移動相は水分トラップ6で捕捉されるので、液が真空ポンプ14内に流れ込むことはない。また、移動相が水を含んでいる場合には、水蒸気が脱気チューブ4を透過して真空ポンプ14側へ移動することがある。真空チャンバ2内や上流側真空流路7a内でその水蒸気が結露して発生した水は水分トラップ6によって捕捉されるため、真空ポンプ14に結露水が流れ込むことはない。そして、水分トラップ6は水蒸気を凝縮させる温度に冷却されているため、水分トラップ6に到達したガスに含まれる水蒸気は全て凝縮されて水分トラップ6に捕捉される。したがって、下流側真空流路7bを通って真空ポンプ14に入るガスには水蒸気が含まれず、真空ポンプ14内で結露が発生することもない。このようにして水分トラップ6内に捕捉された液は、開閉弁10を開放することによって排出することができる。この実施例では、水分トラップ6を冷却するための冷却機構としてファン8を使用しているが、ファン8に代えて、例えば電子冷却器を使用してもよい。また、室温の上昇などによって水分トラップ6の冷却が十分でなくなることもあり得るため、常時水分トラップ6の冷却が十分に行なわれるように、水分トラップ6に温度センサを設けて水分トラップ6の温度を計測し、制御部16がその温度センサの計測値に基づいてファン8などの冷却機構を制御するようにしてもよい。なお、この実施例では、水分トラップ6は捕捉された液量を目視で確認できるように透明材料で構成されているが、必ずしも透明材料で構成されている必要はなく、液面センサなどによって内部の貯留液量を検出できるようにしてもよい。"