ハウジングの開口面に対して平行にテーブルが移動するテーブル装置において、前記開口面を有する箱型のハウジングと、該ハウジングの開口面に対向する面に取り付けられる案内レールおよび該案内レールに複数の転動体を介して往復移動可能に跨設されるスライダを有する軌道部と、前記開口面を前記往復移動の範囲で干渉しない領域で覆うシール板を介して前記スライダに連結されるテーブルと、該テーブルを前記案内レールの軸方向に沿って往復駆動および位置決めする駆動部と、前記シール板が移動したときにあっても前記開口面からハウジング内部が露出しないようにハウジングの開口面を覆う上部カバーと、該上部カバーの裏面に装着され、前記シール板の上面に僅かに離隔して対向配置され且つ前記テーブルの可動範囲の外周を囲繞する多孔質体を有する圧縮空気噴出部とを備えることを特徴とするテーブル装置。前記圧縮空気噴出部は、前記シール板側の縁部裏面に沿って矩形枠状に配置された前記多孔質体と、該多孔質体上面に貼り付けられ且つ前記上部カバーの縁部裏面に固定されるとともに、当該多孔質体に圧縮空気を送れるように多孔質体の多数の孔に連通形成された連通孔を有する連結部とを備え、更に、前記連通孔は、前記連結部の上部に配置された前記上部カバーに対向形成された第二の連通孔から清浄な圧縮空気を供給可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のテーブル装置。しかしながら、特許文献1に記載の技術は、開口面に対して平行にテーブルが移動するテーブル装置を対象としたものではなく、開口面とは直交する方向に往復移動するピストン状の移動体を想定した技術である。そのため、クリーンルーム内の搬送手段として使用する場合に、隙間レベルを超える大きな開口部が生じるテーブル装置に適用する上では、未だ検討の余地が残されている。そこで、本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、ハウジングの開口面に対して平行にテーブルが移動するテーブル装置において、低コストで発塵量を少なくしたテーブル装置を提供することを目的としている。上記課題を解決するために、本発明の一態様に係るテーブル装置は、ハウジングの開口面に対して平行にテーブルが移動するテーブル装置において、前記開口面を有する箱型のハウジングと、該ハウジングの開口面に対向する面に取り付けられる案内レールおよび該案内レールに複数の転動体を介して往復移動可能に跨設されるスライダを有する軌道部と、前記開口面を前記往復移動の範囲で干渉しない領域で覆うシール板を介して前記スライダに連結されるテーブルと、該テーブルを前記案内レールの軸方向に沿って往復駆動および位置決めする駆動部と、前記シール板が移動したときにあっても前記開口面からハウジング内部が露出しないようにハウジングの開口面を覆う上部カバーと、該上部カバーの裏面に装着され、前記シール板上面に僅かに離隔して対向配置され且つ前記テーブルの可動範囲の外周を囲繞する多孔質体を有する圧縮空気噴出部とを備えることを特徴とする。ここで、本発明の一態様に係るテーブル装置において、前記圧縮空気噴出部が、前記シール板側の縁部裏面に沿って矩形枠状に配置された前記多孔質体と、該多孔質体上面に貼り付けられ且つ前記上部カバーの縁部裏面に固定されるとともに、当該多孔質体に圧縮空気を送れるように多孔質体の多数の孔に連通形成された連通孔を有する連結部とを備え、更に、前記連通孔が、前記連結部の上部に配置された前記上部カバーに対向形成された第二の連通孔から清浄な圧縮空気を供給可能に設けられていることは好ましい。本発明のテーブル装置によれば、ハウジングの開口面に対して平行にテーブルが移動するテーブル装置において、スライダにシール板を介して連結されるテーブルと、このテーブルを案内レールの軸方向に沿って往復駆動および位置決めする駆動部と、シール板が移動したときにあっても開口面からハウジング内部が露出しないようにハウジングの開口面を覆う上部カバーと、シール板上面に僅かに離隔して対向配置されるとともにテーブルの可動範囲の外周を囲繞する多孔質体を有する圧縮空気噴出部とを備える構成なので、開口面のほとんどの部分をシール板と上部カバーとによって覆うことができる。そして、シール板と上部カバーの隙間となるようなテーブルの可動範囲の外周については、この可動範囲の外周を囲繞する多孔質体を有する圧縮空気噴出部を上部カバーの裏面に備えているので、簡単な構成によってハウジング内部からの塵埃がハウジング外に散出してしまうことを効果的に防止または抑制することができる。したがって、低コストで発塵量を少なくすることができる。以下、本発明の一態様に係るテーブル装置の一実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。図1および図2に示すように、このテーブル装置20は、上部に開口面Kを有する箱型のハウジング1を有する。図2に示すように、このハウジング1は、平面視が長方形状をなすベース板1bと、このベース板1bの長辺それぞれに立設される側面板1bと、ベース板1bの短辺に立設される側面板1r、および1fから箱型に構成され、側面板1fの外側面に駆動部6のモータ18が固定されている。なお、ベース板1bに対して、左右の側面板1b側面板1r、1fも同様不図示は、図1および図3に示すように、複数のボルト1nによって固定されている。そして、図4に示すように、このハウジング1の開口面Kに対向するベース板1bの上面1m図3参照に、軌道部として二組の直動案内装置5が装着されている。各直動案内装置5は、ベース板1bの各長辺に沿って多数のボルトによる固定で案内レール2が配設されている。各案内レール2には、2つのスライダ3が案内レール2の軸方向に沿ってスライド移動可能に跨設されている。そして、計4つのスライダ3上には、矩形板状のテーブル4がシール板7を介して連結されている。このシール板7は、テーブル4の高さよりも一段低い位置に設けられており、テーブル4の移動方向に沿って前後にそれぞれ張り出して開口面Kを可動範囲での干渉しない範囲で覆っている。また、箱型のハウジング1の前後テーブルの移動方向の前後両側それぞれには、上部カバー前後13が装着されている。この上部カバー前後13は、シール板7の移動方向で重なり合う位置になるようにシール板7の高さよりも一段高い位置に設けられ、シール板7が覆いきれない範囲を塞ぐように、テーブル4の移動方向に沿ってハウジング1開口面Kの前後両端部分を覆っている。そのため、シール板7に対してテーブル4の移動方向で互い違いの位置に重なり合うことができ、シール板7がテーブル4の移動方向に移動したときにあっても開口面Kからハウジング1内部が露出しないようになっている。また、箱型のハウジング1の左右テーブルの移動方向の左右両側それぞれには、上部カバー左右14が装着されている。この上部カバー左右14も、シール板7の移動方向で重なり合う位置になるようにシール板7の上面7uよりも高い位置に配設されており、シール板7がテーブル4の移動方向に移動したときにあっても開口面Kからハウジング1内部が露出しないようにハウジング1の開口面Kの左右を覆っている。そして、図3に示すように、上記シール板7の裏面7rには、駆動部6の備えるボールねじ15のナット16が連結されており、この駆動部6のモータ18を駆動すると、図5に示すように、モータ18の出力軸18sに連結されたカップリング19を介してサポートベアリング8に支持されたボールねじ15のねじ軸17が回転するようになっている。そして、図3に示すように、このねじ軸17上のナット16が、ねじ軸17に沿って直線駆動されることで、図5に示す移動範囲で、テーブル4を案内レール2の軸方向に沿って往復駆動および位置決めするという、一軸のテーブル装置を構成している。ここで、このテーブル装置20は、上記上部カバー前後13と上部カバー左右14のシール板7側の縁部裏面に、シール板7の上面7uに対して僅かに離隔して対向配置されるとともに、テーブル4の可動範囲の外周を囲繞する多孔質体11を有する圧縮空気噴出部10を備えることで、エアシール部を構成している。詳しくは、このエアシール部を構成する圧縮空気噴出部10は、図4に平面図を示すように、上部カバー前後13および上部カバー左右14のシール板7側の縁部裏面に沿って、矩形枠状に配置されている。そして、図3に示すように、圧縮空気噴出部10は、シール板7の上面7uに対して僅かに離隔して対向配置される多孔質体11と、この多孔質体11上面に貼り付けられて、多孔質体11に圧縮空気を送るための連通孔12tを有する連結部12とを有している。そして、上記の連結部12には、上部カバー前後13と、上部カバー左右14の縁部に形成された取り付け孔に対向する位置に雌ねじが形成されており、連結ねじ22によって、上部カバー前後13、および上部カバー左右14それぞれの縁部裏面に固定される。この例では、連通孔12tは、左右の連結部12の一方に形成され、上部に配置された上部カバー14に対向形成された連通孔14tに連通して設けられている図1および図3参照。そして、この連通孔14tに連通する連通孔12tは、更に多孔質体11の多数の孔に連通形成されており、連通孔12tの端部から多孔質体11に清浄な圧縮空気CDA:CleanDryAirを供給可能になっている。なお、供給後の圧縮空気CDAは、ハウジング1の側面に、不図示の排気孔が設けられており、この排気孔にチューブを接続するなどして、遠方に集中排気するようにしている。次に、上記圧縮空気噴出部10を備えるテーブル装置20の作用効果について説明する。上述のように、このテーブル装置20は、開口面Kを有する箱型のハウジング1に側面方向から固定されるモータ18の出力軸18sにねじ軸17が連結されたボールねじ15を備え、さらに、このボールねじ15のナット16がテーブル4の裏面に一体に配設されたシール板7に固定された駆動部6を構成しており、この駆動部6のモータ18を駆動したときに、出力軸18sに連結されたボールねじ15のねじ軸17が回転し、ねじ軸17上のナット16がねじ軸17に沿って直線駆動されることでテーブル4を案内レール2の軸方向に沿ってスライド移動するので、ハウジング1の開口面Kに対して平行にテーブル4を移動させることができる。ここで、従来は、開口面に対して平行にテーブルが移動するテーブル装置では、ハウジングとテーブルの間に開口隙間が存在するため、ハウジング内部が外部に対して常時開放状態となってしまい、クリーンルーム環境で使用する場合、ハウジング内の駆動部や軌道部などが発生する塵埃がクリーンルーム内へ散出してしまうという課題があった。しかし、このテーブル装置20によれば、シール板7と、このシール板7が移動したときにあっても開口面Kからハウジング1内部が露出しないようにハウジング1の開口面Kを覆う上部カバー上部カバー前後13、および上部カバー左右14を備えるので、開口面Kのほとんどの部分をシール板7と上部カバー13、14とによって覆うことができる。そして、シール板7と上部カバー13、14の隙間となるようなテーブル4の可動範囲の外周については、この可動範囲の外周を囲繞する多孔質体11を有する圧縮空気噴出部10を備えているので、簡単な構成によってハウジング1内部からの塵埃がハウジング外に散出してしまうことを効果的に防止または抑制することができる。したがって、低コストで発塵量を少なくすることができる。なお、本発明に係るテーブル装置は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能であることは勿論である。