"本明細書に記載の発明。本発明の実施形態は、従来技術による流量制御システムおよび方法の欠点をなくす、あるいは少なくとも欠点を実質的に減らす流量制御のシステムおよび方法を提供する。本発明の1つの実施形態は、プロセッサと、コンピュータ読み取り可能メモリと、このコンピュータ読み取り可能メモリ上に保存されたコンピュータ命令のセットとを備える制御装置を含むことができる。コンピュータ命令は、閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づき流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生させ、閉止範囲の第2セグメントに対する第2閉止速度パラメータに基づき流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生させるようプロセッサにより実行可能である。本発明の他の実施形態は、コンピュータ読み取り可能メモリ上に保存されたコンピュータ命令のセットを備えるコンピュータプログラム製品を含むことができる。コンピュータ命令のセットは、閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づき流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生させる流量制御信号を発生させ、閉止範囲の第2セグメントに対する第2閉止速度パラメータに基づき流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生させる実行可能な命令を含むことができる。本発明のさらに他の実施形態は、閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づき流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生させるステップと、第2閉止速度パラメータが適用されるかを判定するステップと、閉止範囲の第2セグメントに対する第2閉止速度パラメータに基づく流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生させるステップとを含む分注プロセスを終了する方法を含むことができる。本発明のさらに他の実施形態は、プロセッサと、コンピュータ読み取り可能メモリと、このコンピュータ読み取り可能メモリ上に保存されたコンピュータ命令のセットとをさらに備える制御装置を含むことができる。コンピュータ命令は、流量制御弁が閉止されたかを判定し、サックバック弁によって、流体をノズルの端部に押し込ませるよう構成されたサックバック制御信号を発生させるようプロセッサにより実行可能な命令を含むことができる。本発明のさらに他の実施形態は、コンピュータ読み取り可能メモリ上に保存され、コンピュータプロセッサにより実行可能なコンピュータ命令のセットを含むコンピュータプログラム製品を備えることができ、ここで、コンピュータ命令のセットが、流量制御弁が閉止されたかを判定し、サックバック弁によって、流体をノズルの端部に押し込ませるよう構成されたサックバック制御信号を発生させる実行可能な命令を含む。本発明のさらに他の実施形態は、流量制御弁が閉止されたかを判定するステップと、サックバック弁によって流体をノズルの端部に押し込ませるよう構成されたサックバック制御信号を発生させるステップとを含む分注工程に対する方法を含むことができる。本発明の実施形態により、分注工程の終了時で減じた後に過剰流体液滴がウェーハにぶつかるといった方式で流量制御弁を閉止することで、分注工程を終了する従来技術のシステムおよび方法よりも優れた利点を提供する。本発明の実施形態により、分注工程終了後に分注ノズルにおける流体液滴の結晶化を減らすことでさらに他の利点を提供する。本発明の実施形態により、異なる流量、分注システム構成、分注流体を含む任意数の応用例に対する閉止制御上の課題を解決するため、同一組のコンピュータ命令を用いて任意数の技術をユーザが利用できるようにすることで他の利点を提供する。添付図面に関連付けて以下の説明を参照することで、本発明およびその利点に関して、さらによく理解が得られるようになる。なお、図面中同じ番号は同様の特性をもつものを表す。本発明の好ましい実施形態が図で示されているが、さまざまな図面の同様の対応部品を指すために同じ番号が用いられている。本発明は、例えば、以下の項目を提供する。項目1流量を調節するためのシステムであって、該システムは、制御装置を備え、該制御装置はさらに、プロセッサと、コンピュータ読み取り可能メモリと、該コンピュータ読み取り可能メモリ上に保存されたコンピュータ命令のセットとを備え、該コンピュータ命令は、閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づき、流量制御弁を閉止するための流量制御信号を発生し、該閉止範囲の第2セグメントに対する第2閉止速度パラメータに基づき、流量制御弁を閉止するための流量制御信号を発生するようなプロセッサによって実行可能な命令を含む、システム。項目2項目1のシステムであって、前記コンピュータ命令がさらに、区切り点に基づいて、前記第1閉止速度パラメータによる流量制御信号の発生から、前記第2閉止速度パラメータに基づく流量制御信号の発生に切り替えを行うように実行可能な命令を含む、システム。項目3項目2のシステムであって、前記第1閉止速度パラメータが第1閉止速度に対応し、前記第2閉止速度パラメータが第2閉止速度に対応する、システム。項目4項目2のシステムであって、前記第1閉止速度パラメータが閉止速度の第1変化率に対応し、前記第2閉止速度パラメータが閉止速度の第2変化率に対応する、システム。項目5項目2のシステムであって、前記第1閉止速度パラメータが、閉止速度の加速度の第1変化率に対応する第1加速係数であり、前記第2閉止速度パラメータが、閉止速度の加速度の第2変化率に対応する、システム。項目6項目2のシステムであって、前記コンピュータ命令がさらに、弁位置が区切り点より低いかを判定するように実行可能な命令を含む、システム。項目7項目2のシステムであって、前記第1閉止速度パラメータが、可能な限りの迅速な流量制御弁の閉鎖に対応する、システム。項目8項目2のシステムであって、前記第2閉止速度パラメータが、可能な限りの迅速な流量制御弁の閉鎖に対応する、システム。項目9項目1のシステムであって、前記コンピュータ命令がさらに、サックバック弁によって流体をノズルに押し込ませるサックバック制御信号を生成するように実行可能な命令を含む、システム。項目10項目1のシステムであって、該システムがさらに、流量制御弁を備える前記制御装置に結合された流量制御装置と、該流量制御装置と流体連通する該制御装置と結合されたサックバック弁とを備え、該流量制御装置が、該流量制御弁を閉止するための流量制御信号に応答する、システム。項目11項目7のシステムであって、前記流量制御装置が前記流量制御弁と比例空気圧制御弁とを備える、システム。項目12項目7のシステムであって、前記比例空気圧制御弁が、前記流量制御弁に空気圧をかけることによって、該流量制御弁を閉止する流量制御信号に応答する、システム。項目13項目7のシステムであって、前記サックバック弁がサックバック制御信号に応答し、前記コンピュータ命令がさらに、該サックバック弁によってノズルの端部に流体を押しこませるよう構成された該サックバック制御信号を生じるように実行可能な命令を含む、システム。項目14項目1のシステムであって、前記コンピュータ命令がさらに、閉止範囲の少なくとも1つの追加セグメントに対する少なくとも1つの追加閉止速度パラメータに基づき、前記流量制御信号を生じるように実行可能な命令を備える、システム。項目15コンピュータプログラム製品であって、該コンピュータプログラム製品は、コンピュータ読み取り可能メモリ上に保存されたコンピュータ命令のセットを備え、コンピュータプロセッサにより実行可能であり、該コンピュータ命令のセットが、閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づき、流量制御弁を閉止するための流量制御信号を発生し、該閉止範囲の第2セグメントに対する第2閉止速度パラメータに基づき、流量制御弁を閉止するための流量制御信号を発生するように実行可能な命令を含む、コンピュータプログラム製品。項目16項目15のコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ命令のセットがさらに、区切り点に基づいて、前記第1閉止速度パラメータによる流量制御信号の発生から、前記第2閉止速度パラメータに基づく流量制御信号の発生に切り替えを行うように実行可能な命令を含む、コンピュータプログラム製品。項目17項目16のコンピュータプログラム製品であって、前記第1閉止速度パラメータが第1閉止速度に対応し、前記第2閉止速度パラメータが第2閉止速度に対応する、コンピュータプログラム製品。項目18項目16のコンピュータプログラム製品であって、前記第1閉止速度パラメータが閉止速度の第1変化率に対応し、前記第2閉止速度パラメータが閉止速度の第2変化率に対応する、コンピュータプログラム製品。項目19項目16のコンピュータプログラム製品であって、前記第1閉止速度パラメータが、閉止速度の加速度の第1変化率に対応する第1加速係数であり、前記第2閉止速度パラメータが、閉止速度の加速度の第2変化率に対応する、コンピュータプログラム製品。項目20項目16のコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ命令のセットがさらに、弁位置が区切り点より低いかを判定するように実行可能な命令を含む、コンピュータプログラム製品。項目21項目16のコンピュータプログラム製品であって、前記第1閉止速度パラメータが、可能な限りの迅速な流量制御弁の閉鎖に対応する、コンピュータプログラム製品。項目22項目16のコンピュータプログラム製品であって、前記第2閉止速度パラメータが、可能な限りの迅速な流量制御弁の閉鎖に対応する、コンピュータプログラム製品。項目23項目15のコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ命令のセットがさらに、サックバック弁によってノズルの端部に流体を押しこませるよう構成されたサックバック制御信号を生じるように実行可能な命令を含む、コンピュータプログラム製品。項目24項目23のコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ命令のセットがさらに、流体がノズル端部に達すると、前記サックバック弁によって流体を前記ノズルに引き込むために前記サックバック制御信号を生じるように実行可能な命令を含む、コンピュータプログラム製品。項目25項目15のシステムであって、前記コンピュータ命令がさらに、前記閉止範囲の少なくとも1つの追加セグメントに対する少なくとも1つの追加閉止速度パラメータに基づき、前記流量制御信号を生じるように実行可能な命令を備える、システム。項目26分注工程を終了する方法であって、閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づき、流量制御弁を閉止するため、流量制御信号を発生するステップと、第2閉止速度パラメータが適用すべきか判定するステップと、該閉止範囲の第2セグメントに対する該第2閉止速度パラメータに基づき、該流量制御弁を閉止するための流量制御信号を発生するステップとを包含する、方法。項目27項目26の方法であって、区切り点に基づいて、前記第1閉止速度パラメータによる流量制御信号の発生から前記第2閉止速度パラメータに基づく流量制御信号の発生に切り替えるステップをさらに包含する、方法。項目28項目27の方法であって、弁位値が区切り点より低いかを判定するステップをさらに包含する、方法。項目29項目27の方法であって、前記第1閉止速度パラメータが、可能な限りの迅速な前記流量制御弁の閉鎖に対応する、方法。項目30項目27の方法であって、前記第2閉止速度パラメータが、可能な限りの迅速な前記流量制御弁の閉鎖に対応する、方法。項目31項目27の方法であって、前記第1閉止速度パラメータが第1閉止速度に対応し、前記第2閉止速度パラメータが第2閉止速度に対応する、方法。項目32項目27の方法であって、前記第1閉止速度パラメータが閉止速度の第1変化率に対応し、前記第2閉止速度パラメータが閉止速度の第2変化率に対応する、方法。項目33項目27の方法であって、前記第1閉止速度パラメータが、閉止速度の加速度の第1変化率に対応する第1加速係数であり、前記第2閉止速度パラメータが、閉止速度の加速度の第2変化率に対応する、方法。項目34項目26の方法であって、サックバック弁によって流体をノズルの端部に押し込ませるよう構成されたサックバック制御信号を発生させるステップをさらに包含する、方法。項目35項目26の方法であって、前記閉止範囲の少なくとも1つの追加セグメントに対する少なくとも1つの追加閉止速度パラメータにより前記流量制御信号を発生させるステップをさらに包含する、方法。項目36流量を調節するためのシステムであって、該システムは、制御装置を備え、該制御装置はさらに、プロセッサと、コンピュータ読み取り可能メモリと、該コンピュータ読み取り可能メモリ上に保存されたコンピュータ命令のセットとを備え、該コンピュータ命令は、流量制御弁が閉止されているかを判定し、サックバック弁によって流体をノズルの端部に押しこませるよう構成されたサックバック制御信号を発生させるようなプロセッサによて実効可能な命令を含む、システム。項目37項目36のシステムであって、該システムはさらに、前記制御装置に結合されたサックバック弁を備え、該サックバック弁が、流体をノズルの端部に押し出すサックバック信号に応答する、システム。項目38項目37のシステムであって、前記コンピュータ命令がさらに、流体が前記ノズルの端部に達した後に前記サックバック弁によって流体を該ノズルに引き込ませるよう構成された前記サックバック制御信号を発生させるように実行可能な命令を含む、システム。項目39コンピュータプログラム製品であって、該コンピュータプログラム製品は、コンピュータ読み取り可能メモリ上に保存されたコンピュータ命令のセットを備え、コンピュータプロセッサにより実行可能であり、該コンピュータ命令のセットが、流量制御弁が閉止されているかを判定し、サックバック弁によって流体をノズルの端部に押しこませるよう構成されたサックバック制御信号を発生させるように実行可能な命令を含む、コンピュータプログラム製品。項目40項目39のコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ命令のセットがさらに、流体が前記ノズルの端部に達した後に前記サックバック弁によって流体を該ノズルに引き込ませるよう構成された前記サックバック制御信号を発生させるように実行可能な命令を含む、コンピュータプログラム製品。項目41分注工程のための方法であって、流量制御弁が閉止されているかを判定するステップと、サックバック弁によって流体をノズルの端部に押しこませるよう構成されたサックバック制御信号を発生させるステップとを包含する、方法。項目42項目41の方法であって、流体が前記ノズルの端部に達した後に前記サックバック弁によって流体を該ノズルに引き込ませるよう構成された前記サックバック制御信号を発生させるステップを包含する、方法。本発明の実施形態は、分注工程の終了時に流体を確実にきちんと止め、分注ノズルにおける流体の結晶化を減らすよう流体分注を制御するシステムおよび方法を提供する。本発明の1つの実施形態は、閉止範囲の第1セグメントに対して制御弁を閉止させる流量制御信号を第1閉止速度パラメータにより発生させ、閉止範囲の第2セグメントに対して制御弁を閉止させる流量制御信号を第2閉止速度パラメータにより発生させることのできる制御装置を含むことができる。閉止速度パラメータにより、制御された速度での弁の閉止、速度の変化、あるいは変化率の変化が生じる。閉止速度パラメータを調節することで、分注工程終了時の大きな振動を減らすか、あるいはそれを防ぐことができる。さらに、制御装置は、サックバック弁によって流体をノズルの端部に押し込ませ、流体をノズルに引き上げるか、あるいは分留の遮断を、さらに滑らかに、あるいは速やかに行う手助けをするサックバック制御信号を発生させることができる。流体がノズルの端部に押しこまれることから、流体はノズルに残留している液滴を吸いよせることができる。図1は、流体分注システム10の1つの実施形態を概略図で示したものである。流体分注システム10は、流量制御装置12と、制御装置12と流体連通した流量モニタ14と、流量モニタ14と流体連通するサックバック装置16と、サックバック弁16と流体連通するノズル18とを含むことができる。流体をウェーハあるいは他の対象物に分注するため、サックバック弁16の出口をノズル18につなげることができる。制御装置20は、1つ以上の信号線により、流量モニタ14、流量制御装置12、サックバック装置16に結合できる。本発明の1つの実施形態によれば、流量制御装置12は、任意の比例制御弁を含むことができる。言い換えると、流量制御装置12は、加えられた流量制御信号の変化量に基づいて閉止速度が変化できる任意の流量制御弁を含むことができる。比例流量制御装置の1つの実施形態は、流量制御装置および精密分注装置およびシステムという名称で2002年7月19日に出願された仮出願第60/397,053号の優先権を主張し、2000年1月20日に出願された流量制御装置という名称の米国特許第6,348,098号および2002年7月19日に出願された流量測定および比例流量制御装置という名称の仮出願第60/397,162号に関連する、2003年7月18日に出願された流量制御装置および精密分注装置およびシステム流量制御装置の応用という名称のPCT出願PCT/US03/22579で説明されているが、これらはそれぞれ全てここでは引用によって組み込まれている。流量制御装置適用の実施形態では、流量制御装置は、図3と関連して説明されるが、流量を調節する流量制御弁と、流量制御弁の開閉をどれほど急速にするか、あるいはどれほどの大きさにするかを調節する比例空気圧制御弁とを含むことができる。分注工程中、塗布ガラス流体、脱イオン水、フォトレジスト、ポリアミド、現像液、化学的機械的研磨CMPスラリーといった流体、あるいは他の流体が分注システム10を通して流れることができる。流量モニタ14は、流量例えば、絞りでの差圧、特定センサにおける圧力、あるいは他のパラメータを示す流体流量パラメータを測定し、測定値を制御装置20に伝えることができる。制御装置20は、本発明の1つの実施形態によれば、流体の流量を計算し、流体の流量に基づき、分注される流体の所定量に対して必要な時間量とを計算することができる。分注工程の終了時、制御装置20により決められたとおり、制御装置20が、流量制御装置12を閉止させる流量制御信号を発生させることができる。さらに、制御装置20は、サックバック装置16によって流体をノズル18に押し込ませるか、あるいは流体をノズル18まで引き上げるサックバック制御信号を発生することができる。制御装置は、サックバック弁が流体をノズルの端部に押し込み、その後、流体をゆっくりとノズルに引き戻すことができるよう、サックバック制御を発生する構成にすることができる。適切な速度でノズル内に流体を引き戻すことで、ノズル内の残留流体液滴を防ぐことができる。さらに、制御装置20は、分注工程の終了を助けるサックバック制御信号を発生させることができる。本発明のこの実施形態では、流体制御装置が十分迅速に閉止できなくてもサックバック装置が嵌合して流体をノズルに引き上げ始めることができるため、これはウェーハへの流体流れを停止させるのに役立つ。制御装置20は、本発明の1つの実施形態によれば、汎用プロセッサ例えば、カリフォルニア州サンタクララのインテル社製8051プロセッサ、RISCプロセッサ例えば、アリゾナ州チャンドラーのマイクロチップテクノロジー社製PIC18c452プロセッサ、あるいは他のプロセッサ、プロセッサによりアクセス可能なコンピュータ読み取り可能メモリ24例えば、RAM、ROM、磁気記憶装置、光学式記憶装置、フラッシュメモリ、プロセッサ22により実行可能なメモリ24上で保存されたコンピュータ命令を備える。本発明の1つの実施形態によれば、制御装置20は、制御装置12に流量制御装置の弁閉止範囲の第1セグメントの第1閉止変化速度により閉止を実施するように第1閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させ、流量制御装置に弁閉止範囲の第2セグメントで閉止を実施させるように第2閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させるコンピュータ実行可能命令25を実行することができる。制御装置は、区切り点において、第1閉止速度パラメータに基づく流量制御信号の発生から、第2閉止速度パラメータに基づく流量制御信号の発生へ切り替えることができる。さらに、制御装置20は、サックバック弁によって流体をノズル18に押し込むか、あるいは流体をノズル18まで引き上げるサックバック制御信号を発生させるコンピュータ実行可能命令25を実行することができる。図2A-2Fは、本発明の実施形態による、流量制御信号およびサックバック制御信号を発生させるための制御装置に対するさまざまな操作様式を示すフロー図である。図2Gは、本発明の1つの実施形態による弁閉止例に対する弁プロファイルグラフである。図2A-2Fの工程は、コンピュータ読み取り可能メモリ上に保存されたコンピュータ実行可能命令として実施できる。例えば、2A-2Fの工程は、大きな制御プログラムのサブルーチン、同一プログラムの一部、あるプログラムのモジュールとして、あるいは通常の当業者により理解される適切なプログラムアーキテクチャにより実施できる。本発明の1つの実施形態によれば、制御プログラムを実行する制御装置が分注工程の終了を判定すると、制御装置は割り込みをアサートし、分注終了工程を入力できる。分注工程中、制御装置は、複数の閉止速度パラメータにより流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生させ、流体をノズルに押し込むか、あるいはそこから引き上げさせるサックバック制御信号を発生させることができる。図2Aは、分注終了工程の最初のルーチンの1つの実施形態を示す。ステップ32において、制御装置は、流体制御弁に対する現在の弁位置を判定することができる。当業者により理解されるとおり、現在の弁位置は、分注工程中の制御弁の弁位置に対応し、分注工程の調節を行うための制御装置によってアサートあるいは保存された設定点例えば、流量の設定点に基づくことができる。ステップ35において、制御装置はさらに、弁閉止区切り点を計算することができる。以下で論じられるとおり、区切り位置は、制御装置が、第1閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させるステップと、第2閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させるステップとを切り替える弁位置に対応させることができる。弁区切り点は弁閉止範囲ステップ32で決まる現在の弁位置から閉止あるいはアイドル弁位置を引いたものおよび所定の区切り点パラメータに基づくことができる。本発明の1つの実施形態により、区切り点パラメータは弁閉止範囲のパーセンテージとすることができる。例として、現在の弁位置が100単位である場合、終了点は10単位であり、区切り点パラメータは20であり、区切り点範囲の値は弁終了点に対して18単位.2090になる。弁閉止に対する終了点は10単位であるため、区切り点は28単位の区切り点位置の値をもつことができる。本発明の他の実施形態において、区切り点は所定値とすることができる。制御装置は、ステップ36において、First_Segmentフラグを真に設定し、様式選択ルーチンを開始する主制御プログラムに戻ることができる。First_Segmentフラグは、流量制御弁がその閉止範囲の第1セグメント内にあることを示す。言い換えると、First_Segmentフラグは、流量制御弁が区切り点に達するため十分閉止されているかどうかを示す。制御装置が分注終了工程に対して複数の操作様式をもつ場合、制御装置は、図2Bで示されているように、様式選択ルーチンを入力できる。図2Bの例において、制御装置は5つの操作様式をもつ。特定の分注工程に対する操作様式は前もって定めることができ、制御装置に通じている管理システムによりアサートできるか、あるいは任意の方法で確立できる。本発明の1つの実施形態において、流量制御弁が閉止されるか、あるいは分注終了割り込みがアサートされなくなるまで、制御装置は特定の操作様式に対する工程を繰り返すことができる。図2Cは、第1操作様式例えば、図2Bの様式1の下での制御装置の操作について1つの実施形態を示す。図2C-2Fについては、閉止速度パラメータは閉止速度加速の変化率に対応する加速度パラメータである。図2Cの実施形態において、制御装置は、ステップ37において、弁に対する残りの閉止範囲を求めることができる。値が当初100単位であり、終了点が10単位である前例の続きとすると、様式1の初回に対する新しい範囲は90単位になる。次回以降の繰り返しでは、以下で論じられるとおり、残りの範囲は前回のステップ40あるいはステップ42で計算された価の変化量に等しいものとするか、あるいは新しい弁位置および終了点に基づいて計算できる。ステップで38において、制御装置は、First_Segmentフラグが真であるかどうかを判定し、これが真である場合、第1加速係数に基づいて流量制御信号を発生させることができる。値の変化量すなわち、終了点と繰り返し終了点における弁位置との間の差は、第1加速係数で分割されたステップ37における範囲になるステップ40。前例を用いて、第1加速係数を10と仮定すると、初回に対する値変化量は9すなわち、90/10である。他方、First_Segmentフラグが偽である場合、制御装置は第2加速係数に基づいて流量制御信号を発生させることができる。この場合、終了点と弁位置との間の値変化量は、第2加速係数で分割されたステップ37において決められた範囲になるステップ42。制御装置は、繰り返しに対する値の変化量すなわち、ステップ40あるいはステップ42で決められる値および弁終了点あるいはアイドル位置に基づいて新しい弁位置を決めることができるステップ44。再び、アイドル位置が10単位であり、値変化量が9の前の例を続けると、新しい弁位置が初回の終了時には19単位である。ステップ46において、制御装置は、新しい弁位置が区切り点位置より低いかどうかを判定できる。新しい弁位置が区切り点位置より低い場合、制御装置は、ステップ48において、First_Segmentフラグを偽に設定できる。その他の場合、制御装置はFirst_Segmentフラグを真のままにしておくことができる。前例を用いると、新しい弁位置は19単位であり、区切り点位置は28ユニット図2Aからであるため、First_Segmentフラグは偽に変えることができる。制御装置はその後、図2Cのルーチンを出ることができる。分注終了フラグが特定回目の繰り返し後にまだ設定されていれば、制御装置は再び図2Cのルーチンに入ることができる。制御装置は、分注終了フラグを設定しながら、図2Cの工程を繰り返し継続できる。次の繰り返し回になると、ステップ37で計算される範囲は、前回のステップ44で計算された新しい弁位置から終了点を引いたものになる例えば、前例において、19-10、すなわち9。この場合、新しい範囲は前回のステップ40あるいはステップ42で決められた値の変化量に等しい。なお、制御装置が図2Cの実施形態により様式1の工程を通して繰り返すと、弁位置が終了点に接近することに気をつけなければならない。十分な回数繰り返すよう構成されている場合、弁位置と終了点との間の差が小さくなるため、制御装置の分解能内で検出することができなくなる。このため、制御装置は、ステップ44で計算される新しい弁位置と終了点との間の差が特定値未満になるまで様式1の工程を通して継続して繰り返しを行い、この差が所定値未満になると、弁が確実に閉止されるよう十分な大きさの流量制御信号を発生させることができる。図2Dは、第2操作様式例えば、図2Bの様式2の下での制御装置の操作について1つの実施形態を示すフロー図である。様式2の制御装置は様式1の制御装置と同様の様式で作動するが、様式2では、区切り点に達するまで流量制御信号が流量制御弁をできるだけ迅速に閉止させるよう第1加速係数が設定される点が異なる。区切り点に達した後、制御装置は、流量制御弁がゆっくりと閉止するよう、第2加速係数によって流量制御信号を発生させることができる。図2Dの実施形態において、制御装置は、ステップ50において、残りの閉止範囲を求めることができる。これが初回である場合、残りの範囲は、図2Aのステップ32で決まる弁位置から弁の終了位置を引いたものになる。さらに、制御装置は、ステップ52において、First_Segmentフラグが真であるかどうかを判定できる。First_Segmentフラグが真と設定されている場合、制御装置は、流量制御弁できるだけ迅速に閉止されるよう、流量制御信号を発生させることができる。したがって、制御装置は、ステップ54において、できるだけ迅速に閉止する制御弁に基づき、特定回目の繰り返しに対する値変化量すなわち、繰り返しの終了時の弁位置と終了点との間の差を求めることができる。逆に、First_Segmentフラグが偽である場合、制御装置は第2加速係数に基づいて流量制御信号を発生させることができる。この場合、値の変化量は、第2加速係数で除された残りの閉止範囲になるステップ56。制御装置は、ステップ58において、ステップ54あるいはステップ56で決まる値の変化量を弁終了点位置に加えたものに等しい値の新たな位置を求めることができる。ステップ60において、制御装置は、弁の新しい位置が区切り点より低いかどうかを判定し、これが低い場合、First_Segmentフラグを偽に設定できるステップ62。その他の場合、制御装置はFirst_Segmentフラグを真のままにしておくことができる。制御装置はその後、図2Dのルーチンを出ることができる。分注終了フラグが特定回目の繰り返し後にまだ設定されていれば、制御装置は再び図2Dのルーチンに入ることができる。制御装置は、ステップ58で決められる新たな弁位置と終了位置との間の差が特定値未満になるまで分注終了フラグを設定しながら、図2Dの工程を繰り返し継続することができる。図2Eは、第3操作様式例えば、図2Bの様式3の下での制御装置の操作について1つの実施形態を示すフロー図である。様式3において、制御装置は、閉止範囲の第1セグメントに対する第1加速係数により流量制御弁を閉止する流量制御信号を制御装置が発生させ、閉止範囲の第2セグメントでできるだけ迅速に弁を閉止する流量制御信号を発生させることを除き、制御装置が様式2にある場合と同様に作動する。図2Eの実施形態において、制御装置は、ステップ64において、残りの閉止範囲を求めることができる。これが初回である場合、残りの範囲は、図2Aのステップ32で決まる弁位置から弁の終了位置を引いたものになる。さらに、制御装置は、ステップ66において、First_Segmentフラグが真であるかどうかを判定できる。First_Segmentフラグが真に設定されると、制御装置は、第1加速係数に従って流量制御信号を発生させることができる。この場合、値の変化量は、第1加速係数で除されたステップ64からの残りの閉止範囲になるステップ68。しかしながら、First_Segmentフラグが偽である場合、制御装置は、流量制御弁をできるだけ迅速に閉止させる第2加速係数に基づき流量制御信号を発生させることができる。したがって制御装置は、ステップ70において、できるだけ迅速に閉止する制御弁に基づき、First_Segmentフラグが偽であるときの特定回目の繰り返しに対する値変化量すなわち、繰り返しの終了時の弁位置と終了点との間の差を求めることができる。制御装置は、ステップ72において、ステップ68あるいはステップ70で決まる値の変化量を弁終了点位置に加えたものに等しい値の新たな位置を求めることができる。ステップ74において、制御装置は、弁の新しい位置が区切り点より低いかどうかを判定し、これが低い場合、First_Segmentフラグを偽に設定できるステップ76。その他の場合、制御装置はFirst_Segmentフラグを真のままにしておくことができる。制御装置はその後、図2Dのルーチンを出ることができる。分注終了フラグが特定回目の繰り返し後にまだ設定されていれば、制御装置は再び図2Dのルーチンに入ることができる。制御装置は、ステップ58で決められる新たな弁位置と終了位置との間の差が特定値未満になるまで分注終了フラグを設定しながら、図2Dの工程を繰り返し継続することができる。第4の操作様式例えば、図2Cの様式4において、制御装置は、流量制御弁をできるだけ迅速に、あるいは特定の加速係数に従って流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生させることができる。これにより、流量制御弁は勢いよく閉まるか、あるいは特定加速係数に従って閉止することができる。図2Fは、第5操作様式例えば、図2Bの様式5の下での制御装置の操作について、1つの実施形態を示すフロー図である。様式5において、制御装置は、本発明の1つの実施形態によれば、流量制御弁をできるだけ迅速に閉止させる流量制御信号を発生させることができるステップ78。流量制御弁が閉止されると、ステップ78に従ってできるだけ迅速に行われるかに関わらず、あるいは複数の加速係数に従って行われるかに関わらず、制御装置は、サックバック弁によって流体を分注ノズルに押し込ませるサックバック制御信号を発生させることができるステップ82。制御装置は、流体をノズルから分注させることなく、サックバックによって流体をノズルの端部に押し込ませるようにサックバック制御信号を発生させるために、特定のシステム構成や流体に対して経験的に較正することができる。制御装置は、従来技術で既知の任意のサックバック制御スキームにより、サックバック弁によって流体をノズルに戻すサックバック制御信号を発生させることができるステップ84。制御装置は、ノズルで残留液滴が形成されないよう十分ゆっくりと流体をノズルに引き戻すよう経験的に較正することができる。この較正は、例えば、分注工程設定、ノズル構成、分注される流体に基づくことができる。図2A-2Fでは別個のソフトウェアルーチンに関して論じられたものの、図2A-2Fの工程は、同一プログラムの一部、プログラムのモジュール、オブジェクトとして、あるいは適当なプログラム言語およびアーキテクチャにより実施できることを指摘する必要がある。さらに、制御装置は、図2A-2Fに関して論じられた様式のおのおの、様式のすべて、あるいは様式の任意の組合せに従って作動するよう構成することができる。さらに、図2A-2Fは例を通して与えられているが、制御装置が複数の加速係数に従って流量制御信号を発生させることのできる様式を制限することを意図するものではない。図2C-2Dの例における閉止速度パラメータが、閉止範囲の第1セグメントおよび第2セグメントにおける異なる速度で閉止変化率すなわち、閉止速度加速を変化させる加速係数である一方、本発明の実施形態はまた、閉止速度パラメータが特定の閉止速度に対応するよう構成できる。この場合、流量制御弁は、閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度に従って閉止し、閉止速度の第2セグメントに対する第2閉止速度で閉止することができる。さらに、閉止速度パラメータは、弁が、閉止範囲の第1セグメントに対して第1閉止速度化速度で閉止し、閉止速度の第2セグメントに対して第2閉止速度加速で閉止するよう、特定の閉止速度変化量すなわち、閉止速度の加速度に対応できる。図2Gは、本発明の1つの実施形態による弁閉止例に対する弁閉止プロファイルを示す。x軸は時間を示し、y軸は1つ以上の圧力センサで検出される圧力差電圧で測定を表す。流体の流量が圧力差に比例するため、この圧力差は流量制御弁が閉止された量を示す。図2Gの例において、制御装置は、ポイント85で、分注工程の終了を判定できる。弁閉止範囲の第1セグメントについて、例えば、区切り点86まで、制御装置は、第1閉止速度パラメータにより流量制御弁を閉止する流量制御信号を発生し、ポイント85と86との間のグラフで示される流量の低下をもたらすことができる。閉止範囲の第2セグメントについて例えば、弁が区切り点86まで、あるいはそれを超えて閉止された後、制御装置は第2閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させることができる。弁が閉止された場合ポイント87で表される、制御装置は、流量制御弁を閉じたままにしておくことを要求する流量制御信号を発生させることができる。これにより、本発明の実施形態は、図1の流量制御装置12のような流量制御弁を起動するさまざまな閉止速度パラメータにより流量制御信号を発生させることができる。制御装置は、流体制御弁を、第1閉止速度、閉止速度の加速度、あるいは閉止速度の加速度の変化量で閉止させる閉止範囲例えば、流体制御弁の第1閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させ、さらに、流体制御弁を、第2閉止速度、閉止速度化速度、あるいは変化閉止速度化速度で閉止させる閉止範囲の第2セグメントに対する第2閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させることができる。制御装置は、流量制御信号を、区切り点における第1閉止速度パラメータに基づくステップと、第2閉止速度パラメータに基づくステップとの間で切り替えることができる。第1閉止速度パラメータ、第2閉止速度パラメータ、区切り点が特定の分注工程およびシステムに対して定義されることを指摘する必要がある。これらのパラメータは、分注される流体の流体特性、特に表面張力および粘性、分注システム構成、流体が分注される速度、分注工程が用いられる応用例により変化しうる。特定の分注工程に対してウェーハ上で過剰な流体が析出する可能性を減らす第1閉止速度パラメータ、第2閉止速度パラメータ、区切り点を求めるため、経験的試験および較正を用いることができる。さらに、本発明の実施形態が追加の閉止速度パラメータを用いることができることを指摘すべきである。例えば、制御装置は、流量制御弁閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づく流量制御信号を発生させ、流量制御弁の閉止範囲の第2セグメントに対する第2閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させ、流量制御範囲の第3セグメントに対する第3閉止速度パラメータに基づき流量制御信号を発生させようコンピュータ命令を実行できる。制御装置は、1つ以上の所定区切り点におけるさまざまな閉止速度パラメータに流量制御信号を発生させるステップ間を自動的に切り替えることができる。これにより、制御装置は、流量制御弁に対して任意の複雑な閉止プロファイルを発生させることができる。さらに、制御装置は、分注工程の終了時に流量高さを求めるよう、サックバック弁を分注工程の終了時に助けることができる。制御装置は、サックバック弁によって分注中の所定のある時点例えば、分注終了時の前の0から50までの分注時間、あるいは他の時間に流体を動かし始めさせるよう構成できる。移動流体は、制御装置構成で決められるとおり、流体をノズルの端部に押し込める、あるいはノズル内に引き上げることができる。図3は、本発明の実施形態を実施できる流体制御システムの1つの実施形態を概略図で示したものである。流体制御装置90は、図示されていないウェーハになりうる基板といった使用ポイントまで液体を最終的に分注するための液体入口ライン92と液体出口ライン93とをもつものとして示される。流量制御装置90は、流量制御応用で説明したような流量制御弁94と、流量制御弁94に空気接続された空気比例制御弁96とを含むことができる。流体制御装置90を出る液体のすべてが摩擦流れ要素97に入るようよう、液体出口ライン93が摩擦流れ要素97と流体連通する。圧力変換器といった第1圧力センサ98は流体制御装置90ハウジングと一体化できるものであり、第1圧力を検知するため、摩擦流れ要素97の入口に、あるいはその近く流体制御弁94の出口に、あるいはその近くにに配置され、圧力変換器といった第2圧力センサ100は、第2圧力を検知するため、摩擦流れ要素97の出口に、あるいはその近くに配置される。その他の場合、一つの圧力差検知装置が用いられることがある。流体と接する圧力センサ部分は、好ましくは、サファイヤのような適用例で用いられる流体に関して不活発な材料からできている、あるいは、ペルフルオロポリマーといった、接する流体と共存できる材料でコーティングされる。センサは流体経路で圧力および温度を検知し、制御装置に対して、検知された圧力および温度を示す信号を送る。各圧力センサ98,100あるいは、一つの圧力差検知装置が、比例一体型派生的PIDフィードバック構成要素をもつ制御装置といった制御装置102と連通する。各センサ98および100は、そのそれぞれの流体ラインで圧力および温度を採取すると、採取されたデータを制御装置102に送る。制御装置102は値を比較し、摩擦流れ要素97での圧力降下を計算することができる。圧力降下に基づく制御装置102からの信号は空気比例制御弁96に送られるが、これは、好ましくは、温度、および/または粘性、および/または密度について補償した後に流量制御弁94を調節する。さらに詳細には、このシステムは、好ましくは、脱イオン水、あるいはイソプロピルアルコールといった適当な流体を流体標準として用いて、分注されている流体に対して較正される。例えば、システムが標準に対して、好ましくは実験的に較正されると、分注される流体の粘性や密度といった特性は、分注される流体が標準と比較されて関係が確立できるよう、入力される、あるいは自動的に求められる。この関係に基づき、摩擦流れ要素でのオプションとして、温度、粘性等について修正された測定圧力降下は、流量に対して関連付けされ、望みの、あるいは目標の流量と比較され、流量制御弁94が空気比例制御弁96で調節される。好ましくはプログラム可能な比例弁104を含むサックバック装置は、空気比例弁96と同じ、あるいはそれと異なることがありうる比例制御弁と連通し、制御装置によりあるいは異なる制御装置により制御される。流体分注が停止される、あるいは遷移中の場合に起動され、流体を分注ノズルに押し込み、これにより、流体分注操作が中断された際にウェーハに落ちる可能性のある望ましくない液滴の形成を減らす、あるいはそれをなくし、流体が大気に触れることを最小限にする、あるいはそれを防ぐため、流体を分注ノズルから引き戻る。サックバック弁104の速度および範囲はこれにより制御される。好ましくは、サックバック弁104は流量制御弁94の下流側に設けられる。例えば、空気比例制御弁96を制御することで流量制御弁94に対する圧力を制御することで、さまざまな流体分注パラメータが制御できる。例えば、分注される液体が低粘性液体である場合、流量制御弁94は、液体の均一な分注を確実に行うよう、圧力を用いて注意深く調節できる。さらに、流量制御弁94が閉止する速度が調節できる。流量制御弁94の閉止速度を変化させることで、分注工程の終了時における過度の流体落下が減らされるか、あるいはそれを防ぐことができる。用いられている特定の流体制御弁94の圧力体積関係が特徴づけられると、無制限の柔軟性を得ることができる。図3で示される実施形態は、本発明の実施形態が実施できる分注システムの単に1つの実施形態である。図3の流量制御装置例えば、流量制御弁94および比例空気制御弁96は、流体流れ経路を閉止する流量制御信号に応答できる。図2A-2Eに関連して論じたとおり、流量制御信号は1つ以上の閉止速度パラメータに基づくことができる。さらに、サックバック制御装置は、図2Fに関連して論じられたとおり、流体を分注ノズルに押し込む、あるいは流体をノズルから引き出すサックバック制御信号に対して応答できる。図4は、空気比例制御弁例えば、図3の空気制御制御弁96を締める/開くための流体制御信号を発生できる制御装置102の1つの実施形態を示すブロック図であるが、この空気比例制御弁が次に、流体制御弁例えば、図3の流体制御弁94を開かせる、あるいは閉じさせる。制御装置102は、電源105、ハウスキーピングプロセッサ106、電圧回路108、補助機能回路110、制御弁ドライバ112、サックバック弁ドライバ114、コンポートインターフェイス116、入出力回路118、制御プロセッサ120を含むことができる。制御プロセッサ120は、電圧回路から受け取った電圧信号に基づき流量制御信号を発生させる実行可能なコンピュータ読み取り可能命令124の組を保存できるフラッシュメモリ122を含むことができる。流量制御信号は、従来技術で既知の、あるいは開発された弁制御信号を発生させるための任意のスキームにより発生できる。制御装置102のさまざまな構成要素がデータバス126を通して通信可能である。管理者ユニット128は制御装置102の種々の機能を監視することができる。コンピュータ読み取り可能命令124は1つのメモリでソフトウェアとして示されているものの、コンピュータ読み取り可能命令は、ソフトウェア、ファームウェア、ハードウェア命令として、あるいは従来技術で既知の適当なプログラム方法で実施できる。さらに、この命令は複数のメモリ間で分配でき、複数プロセッサで実行可能である。操作において、電源105は制御装置102のさまざまな構成要素に対して電源を供給できる。電圧回路108は上流側下流側圧力センサから圧力を読み取り、制御プロセッサ120に対して上流側下流側圧力信号を供給できる。制御装置プロセッサ120は、電圧回路108および制御弁ドライバ112から受け取った圧力信号に基づいて流量制御信号を計算でき、次に、流量制御信号に基づいてドライブ信号を発生できる。流量制御信号の発生は、流量制御適用で論じた方法により、あるいは従来技術で既知の制御信号発生スキームにより行うことができる。分注工程の終了時、制御装置は、図2A-2Eと関連して論じたとおり、種々の閉止速度パラメータに基づいて流量制御信号を発生させることができる。さらに、制御装置は、図2Fと関連して論じたとおり、サックバック制御信号を発生できる。流量制御信号およびサックバック信号を発生させるための方法は、制御プロセッサ120でアクセス可能なコンピュータ読み取り可能メモリ例えば、RAM、ROM、フラッシュ、磁気保存装置、あるいは技術的に知られた他のコンピュータ読み取り可能メモリ上で保存されたソフトウェア、あるいは他のコンピュータ読み取り可能命令例えば、命令124として実施可能である。制御装置102の他の構成要素に関して、ハウスキーピングプロセッサ106は、他の装置、あるいは技術的に知られている他のプログラム可能機能との通信命令を含むさまざまな機能を実行する汎用プロセッサが可能である。汎用プロセッサの1つの例は、インテル8051プロセッサである。補助機能回路110は他の装置とインターフェイスを取りうる。サックバック弁ドライバ114はサックバック弁例えば、図1のサックバック弁104を制御できる。コンポートインターフェイス116および入出力回路118は、制御装置102への/からのデータを伝送するためのさまざまな手段を提供する。追加構成要素は、技術的に知られた装置監視機能を実施できる管理者ユニット2720、さまざまなEEPROMあるいは他のメモリ、拡張ポート、あるいは技術的に知られた他のコンピュータ構成要素を含むことができる。図5は、比例制御弁を閉める/開くための弁ドライブ信号を発生できる制御装置102の制御論理回路の1つの実施形態を示すブロック図である。制御装置102のいくつかの構成要素が、制御プロセッサ120、コンポートインターフェイス116、管理者ユニット128を含め示されている。さらに、拡張ポート130が示されている。拡張ポート130は、制御装置102の機能性を拡大するため、ドータボードを追加するために用いることができる。図5の実施形態において、ハウスキーピングプロセッサ106の機能性は次の3つの部分に分割できる:処理部分132、メモリ装置部分134、二重ポートRAM部分136。メモリ装置部分134は、フラッシュメモリ、RAM、EEPROM、技術的に知られた他のコンピュータ読み取り可能メモリを含むさまざまなメモリを含むことができる。ハウスキーピングプロセッサ106にフラッシュメモリを用いる利点の1つは、例えば、コンポートインターフェイス116を通してファームウェア更新のダウンロードを容易に行うことができるということである。さらに、メモリ装置部分134は、チップ選択およびアドレスデコードに対する機能を含むことができる。メモリ装置部分134、二重ポートRAM部分136、処理部分132のおのおのは、1つのプロセッサで実施可能であることを指摘すべきである。制御プロセッサ120およびハウスキーピングプロセッサの処理部分132は、本発明の1つの実施形態において、二重ポートRAM部分136へのマルチアクセスを通してデータを共有できる。制御プロセッサ120およびハウスキーピングプロセッサの処理部分132は、1つのシステムクロック例えば、20MHzクロック、あるいは異なるシステムクロックで駆動できる。制御プロセッサ120は、流量制御装置適用で説明された制御スキームにより、電圧回路から受け取った電圧信号に基づき流量制御信号を発生させる実行可能なコンピュータ実行可能命令124の組を保存できるフラッシュメモリ122を含むことができる。さらに、制御プロセッサ120は、図3の流量制御弁94といった流量制御弁を閉止させるさまざまな閉止速度パラメータにより流量制御信号を発生させる命令124を実行できる。制御装置は、閉止範囲の第1セグメントに対する第1閉止速度パラメータに基づいて流量制御信号を発生することができ、流量制御弁を、閉止範囲の第2セグメントに対する第2閉止速度パラメータにより閉止させる流量制御信号を発生することができる。制御装置は、流量制御信号を、区切り点における第1閉止速度パラメータに基づくステップと、第2閉止速度パラメータに基づくステップとの間で切り替えることができる。特定の流体および分注システムに対する閉止速度パラメータを較正することで、本発明の実施形態は、分注工程終了後に流体の過剰な液滴がウェーハ上に落ちることを防ぐことができる。制御プロセッサ120はまた、サックバック弁が流体を分注ノズルの端部に押し込み、その後、流体をノズルに引き戻させるよう較正されたサックバック制御信号を発生させる命令124を実行できる。流体が分注ノズルの端部に押しこまれることから、流体はノズルに残留している液滴を吸いよせることができる。この流体はその後、ノズル周りの空気流により流体の結晶化を引き起こすことを防ぐため、ノズルに引き戻すことができる。流体は、過剰な流体がノズル内に残留することを防ぐ上で十分ゆっくりと引き戻すことができる。本発明は特定の実施形態を参照しながら説明されたものの、これらの実施形態は例示的なものであり、本発明の適用範囲はこれらの実施形態に限定されるものではない点を理解すべきである。上述の実施形態に対して多数の変形、改造、追加、改良が可能である。これらの変形、改造、追加、改良は、以下に詳細を示す請求項として本発明の適用範囲内に含まれることが意図される。"