"複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層すると共に、面平行につなぎ合わせて、継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイを製造する装置において、前記マイクロレンズの配置パターンに応じて基準マークが形成された基準マスクと、前記基準マスクに照明光を照射する照明光光源と、前記基準マスクを透過した照明光を画像として検出する検出器と、前記照明光光源と前記検出器との間の照明光の光軸に介在するようにして、貼り合わせ済みの第1単位マイクロレンズアレイとその横に貼り合わせようとする第2単位マイクロレンズアレイとの間隙を位置させて、前記第1及び第2単位マイクロレンズアレイを配置する駆動部材と、前記検出器が直接前記基準マスクの前記基準マークを検出した第1画像と、前記第1及び第2の単位マイクロレンズアレイの各マイクロレンズを介して検出した前記基準マークの第2画像とを比較し、前記第2単位マイクロレンズアレイの前記第1画像と前記第2画像とにおける前記基準マークの位置がずれている場合に、前記駆動部材に前記第2単位マイクロレンズアレイの位置を修正するための駆動信号を出力する制御部と、を有することを特徴とするマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置。前記第1及び第2単位マイクロレンズアレイは、平面視で、前記マイクロレンズが第1方向に複数個配列されて複数列のマイクロレンズ列が構成され、この第1方向に直交する第2方向に前記マイクロレンズ列が複数列配置されて構成されており、m、nを整数として、隣接する列の単位マイクロレンズアレイ列同士は、その各マイクロレンズが前記第1方向にその配列ピッチの1/mだけずれて配置されており、前記第1単位マイクロレンズアレイと前記第2単位マイクロレンズアレイとのマイクロレンズ間の間隔は、第1方向における前記マイクロレンズの配列ピッチのn倍であることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置。しかしながら、露光すべき領域が大きい場合、1個のマイクロレンズアレイでは、全ての露光領域を露光できない場合が生じる。この場合は、複数個のマイクロレンズアレイをその面に水平の方向単位マイクロレンズアレイの横方向であって、スキャン方向Sに垂直の方向に配置し、各マイクロレンズアレイの単位マイクロレンズアレイを相互につなぎ合わせて1個の大きな継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイとする。この継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイの継ぎ部で、マイクロレンズの配列ピッチが所定値からずれてしまうという問題点がある。即ち、単位マイクロレンズアレイを継ぎ合わせる場合にも、単位マイクロレンズの配列は、図9に示すように、一定のピッチで配列されていることが必要であるが、単位マイクロレンズアレイの継ぎ部で、このマイクロレンズの配列ピッチが乱れてしまい、その結果、露光パターンにもピッチずれが発生し、露光ムラが生じてしまう。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、大きな露光領域を露光するために複数個の単位マイクロレンズアレイを継ぎ合わせつつ積層して貼り合わせることにより大きな継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイを製造する際に、継ぎ部のマイクロレンズの配列ピッチを高精度で制御することができ、露光ムラを防止することができるマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置を提供することを目的とする。本発明に係るマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置は、複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層すると共に、面平行につなぎ合わせて、継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイを製造する装置において、前記マイクロレンズの配置パターンに応じて基準マークが形成された基準マスクと、前記基準マスクに照明光を照射する照明光光源と、前記基準マスクを透過した照明光を画像として検出する検出器と、前記照明光光源と前記検出器との間の照明光の光軸に介在するようにして、貼り合わせ済みの第1単位マイクロレンズアレイとその横に貼り合わせようとする第2単位マイクロレンズアレイとの間隙を位置させて、前記第1及び第2単位マイクロレンズアレイを配置する駆動部材と、前記検出器が直接前記基準マスクの前記基準マークを検出した第1画像と、前記第1及び第2の単位マイクロレンズアレイの各マイクロレンズを介して検出した前記基準マークの第2画像とを比較し、前記第2単位マイクロレンズアレイの前記第1画像と前記第2画像とにおける前記基準マークの位置がずれている場合に、前記駆動部材に前記第2単位マイクロレンズアレイの位置を修正するための駆動信号を出力する制御部と、を有することを特徴とする。この貼り合わせ装置において、例えば、前記第1及び第2単位マイクロレンズアレイは、平面視で、前記マイクロレンズが第1方向に複数個配列されて複数列のマイクロレンズ列が構成され、この第1方向に直交する第2方向に前記マイクロレンズ列が複数列配置されて構成されており、m、nを整数として、隣接する列の単位マイクロレンズアレイ列同士は、その各マイクロレンズが前記第1方向にその配列ピッチの1/mだけずれて配置されており、前記第1単位マイクロレンズアレイと前記第2単位マイクロレンズアレイとのマイクロレンズ間の間隔は、第1方向における前記マイクロレンズの配列ピッチのn倍であることを特徴とする。本発明においては、マイクロレンズの配置パターンに応じて基準マークが形成された基準マスクを使用し、この基準マスクを検出器により直接検出したときの第1画像と、貼り合わせ時に、貼り合わせ済みの第1の単位マイクロレンズアレイとこれから貼り合わせようとする第2の単位マイクロレンズアレイとの継ぎ部近傍を第1及び第2の単位マイクロレンズアレイを介して検出器により検出した第2画像とを比較して、第1画像を基準にして、第2単位マイクロレンズアレイの位置を修正するので、この継ぎ部のマイクロレンズの配列ピッチを高精度で所定値に制御することができる。これにより、露光ピッチのずれ及び露光ムラを防止することができる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。本実施形態は、図5に示すマイクロレンズアレイ2の横に、同様の構造のマイクロレンズアレイ20を配置して、大面積の継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイを得るものである。図1は本発明の実施形態における2個の単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2間の継ぎ部を示し、ピッチずれがなく、露光ムラが生じないマイクロレンズの配置パターンを示す。図2は、このピッチずれが生じた場合のマイクロレンズの配置パターンを示す。図3は本実施形態の貼り合わせ装置を示す。継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイはマイクロレンズアレイ2,20を横方向に継ぎ合わせて構成されているが、各マイクロレンズアレイ2,20は、単位マイクロレンズアレイがその厚さ方向にも複数枚積層されて相互に貼り合わされて構成されている。図5はこのマイクロレンズアレイ2の厚さ方向の構造を示す図である。マイクロレンズアレイ2は、例えば,4枚の単位マイクロレンズアレイ2-1,2-2,2-3,2-4が積層されて構成されており、各単位マイクロレンズアレイ2-1,2-2,2-3,2-4はガラス板の上面及び下面に凸レンズとしてのマイクロレンズ2aが形成された構造を有している。そして、最上層の単位マイクロレンズアレイ2-1の上面には、マイクロレンズ2a以外の領域に、Cr膜等の遮光膜10aが形成されており、この遮光膜10aに設けられた円形の開口10内に凸レンズとしてのマイクロレンズ2aが配置されている。この遮光膜10aは、迷光を防止するために、マイクロレンズ2a以外の領域に照射された露光光を反射して、マイクロレンズ2a以外の領域に露光光が入射することを防止している。また、単位マイクロレンズアレイ2-2と、単位マイクロレンズアレイ2-3との間には、6角視野絞り12が配置され、単位マイクロレンズアレイ2-3と単位マイクロレンズアレイ2-4との間には、開口数を規定する円形絞り11が配置されている。6角視野絞り12は、図6aに示すように、レンズ形状を示す遮光膜10aの開口10内に、6角形状の開口として設けられており、円形絞り11は、図6bに示すように、開口10内に、円形の開口として設けられている。そして、図5に示すように、マスク3を透過した露光光は、4枚の単位マイクロレンズアレイにより、先ず、単位マイクロレンズアレイ2-2と単位マイクロレンズアレイ2-3との間で倒立等倍像として一旦結像し、単位マイクロレンズアレイ2-3と単位マイクロレンズアレイ2-4との間で最大拡大した後、単位マイクロレンズアレイ2-4から出射して基板1上に正立等倍像として結像する。このとき、倒立等倍像として結像する位置には、6角視野絞り12が配置されているので、マスクパターンは、この6角形の形状に整形されて基板1に転写される。円形絞り11は、露光光の最大拡大部の形状を円形に整形するものであり、マイクロレンズのNA開口数を規定する。マイクロレンズアレイ20も同一の構造を有する。図3に示すように、図5に示す4枚構成のマイクロレンズアレイ2の横に、同様に4枚構成のマイクロレンズアレイ20を貼り合わせる。このマイクロレンズアレイ20はその積層方向の構造は、マイクロレンズアレイ2と同一であるが、図1に示すように、マイクロレンズアレイ2の継ぎ部の端縁と、マイクロレンズアレイ20の継ぎ部の端縁とは、マイクロレンズ2aの配列方向に沿って斜めに且つ相互に平行に延びている。即ち、このマイクロレンズアレイ20も、下層から順に、単位マイクロレンズアレイ20-4,20-3,20-2,20-1により構成されている。このようなマイクロレンズアレイ2とマイクロレンズアレイ20とは、図3に示すようにして組み立てられる。貼り合わせの基板となる薄い平板状のガラス基板29の下面に、単位マイクロレンズアレイ2-4及び単位マイクロレンズアレイ20-4が貼り合わされ、ガラス基板29の上面に、単位マイクロレンズアレイ2-3及び単位マイクロレンズアレイ20-3が貼り合わされている。これらの単位マイクロレンズアレイ2-4、2-3と単位マイクロレンズアレイ20-4、20-3との間の貼り合わせ部の下方には、透過照明用の光源31が照明光を垂直上方に向けて照射するように設置されており、単位マイクロレンズアレイ2-4,2-3,20-4,20-3の上方には、単位マイクロレンズアレイ2-4,2-3,20-4,20-3を透過してきた照明光を画像として検出するCCDカメラ検出器33が設置されている。そして、この照明光の光軸上であって、単位マイクロレンズアレイ2-4,2-3,20-4,20-3の若干下方の位置には、基準マークが形成された基準マスク32が配置されている。図3には、単位マイクロレンズアレイ2-3の上に、この単位マイクロレンズアレイ2-3に対するアライメントをとって単位マイクロレンズアレイ2-2が既に貼り合わされ、この3層の単位マイクロレンズアレイ2-4~2-2と2層の単位マイクロレンズアレイ20-4~20-3がガラス基板29を中心として既に積層されて張り合わされており、3層目の単位マイクロレンズアレイ20-2がこれから貼り合わされようとしている状態を示す。なお、後述するように、単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2等は、駆動部材により、吸着領域40,41図4参照を真空吸着されて、この貼り合わせ装置に搬送されてくると共に、図示しない制御部から制御信号が入力された駆動部材により、その位置が調節される。図1及び図2は、このマイクロレンズアレイ20の単位マイクロレンズアレイ20-2を、マイクロレンズアレイ2の単位マイクロレンズアレイ2-2の横に貼り合わせる工程を示す。第1単位マイクロレンズアレイ2-2は、複数個のマイクロレンズ10がスキャン方向Sに垂直の方向に並んでマイクロレンズ列を構成し、このマイクロレンズ列がスキャン方向Sに複数列配置されて構成されている。また、第2単位マイクロレンズアレイ20-2も、複数個のマイクロレンズ21がスキャン方向Sに垂直の方向に並んでマイクロレンズ列を構成し、このマイクロレンズ列がスキャン方向Sに複数列配置されて構成されている。そして、これらの第1及び第2単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2は、図9と同様に、3列のマイクロレンズ列が1群となって、スキャン方向に繰り返し形成されている。即ち、スキャン方向Sに垂直の方向に関し、ある特定のマイクロレンズ列のマイクロレンズの位置は、それよりスキャン方向Sに3列離れたマイクロレンズ列のマイクロレンズの位置と同一である。上記実施形態は3列で1群をなすように、複数群にわたって繰り返されるが、本発明は必ずしも3列に限らず、複数列で1群をなすようにすることもできる。このとき、整数をmとして、隣接する単位マイクロレンズアレイ列同士が、その各マイクロレンズのスキャン方向Sに垂直の方向第1方向のピッチpの1/mだけずれて配置すればよい。この場合も、スキャン方向Sに関し、6角視野絞りの三角形部分が隣接する単位マイクロレンズアレイ列間で重なるようにする。そして、第1及び第2単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2は、そのスキャン方向Sに垂直方向の縁辺である対向辺が、マイクロレンズ10、21のスキャン方向Sについての配列方向に沿って延びており、この対向辺は相互に平行でいずれもスキャン方向Sに対して、傾斜している。そして、第1単位マイクロレンズアレイ2-2と第2単位マイクロレンズアレイ20-2との間は、マイクロレンズが存在しない領域23となっている。つまり、第1単位マイクロレンズアレイ2-2と第2単位マイクロレンズアレイ20-2とは、それらの縁部のマイクロレンズが内部のマイクロレンズと同一ピッチとなるように、相互に密着して配置することができないので、第1単位マイクロレンズアレイ2-2の縁部のマイクロレンズBと、第2単位マイクロレンズアレイ20-2の縁部のマイクロレンズDとの間に、ある程度の間隔をおいて、第1及び第2単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2を配置せざるを得ない。このため、第1及び第2単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2間にマイクロレンズが存在しない領域23が生じるものとなっている。そこで、本実施形態においては、第1単位マイクロレンズアレイ2-2の第1方向スキャン方向Sに垂直の方向に配列されたマイクロレンズマイクロレンズA、B等と、同じく第2単位マイクロレンズアレイ20-2の第1方向に配列されたマイクロレンズマイクロレンズD等とが、スキャン方向Sに関して同一位置に整列するように、第1及び第2単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2を配置する。しかも、このとき、第2単位マイクロレンズアレイ20-2のマイクロレンズDよりも3列前方に離れた位置のマイクロレンズEを、そのまま、スキャン方向Sの後方にスキャン方向Sに平行に移動させて、マイクロレンズBとマイクロレンズDとの間に位置させた場合、このマイクロレンズCを含めて、マイクロレンズA,B,C,Dが同一ピッチpで第1方向に並ぶように、第1及び第2単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2を配置する。そして、この状態で、これらの単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2を下層の単位マイクロレンズアレイに貼り合わせる。そうすると、この単位マイクロレンズアレイ2-2,20-2により構成されたマイクロレンズアレイを、スキャン方向Sに相対的に移動させて、基板上を露光光でスキャンした場合、マイクロレンズBとマイクロレンズDとの間にはマイクロレンズが配置されていないが、この部分は、マイクロレンズEにより露光される。従って、マイクロレンズA,B,E,Dが上述のように配置されるように、第1単位マイクロレンズアレイ2-2と第2単位マイクロレンズアレイ20-2とを貼り合わせることにより、図9に示すように、あたかも1個の大きなマイクロレンズアレイのマイクロレンズを均一に2次元的に配置した場合と、同一の状態になる。本実施形態においては、複数の単位マイクロレンズアレイを横方向面に平行の方向に図1に示すように配置することができる。なお、図1は、実体のマイクロレンズBとマイクロレンズDとの間に、1個の仮想のマイクロレンズC実体はマイクロレンズEが配置されるものであるが、この隙間領域23に仮想的に配置されるマイクロレンズの数は1個に限らず、2個以上でもよい。この場合は、隙間領域23の幅が大きくなり、第2単位マイクロレンズアレイ20-2が第1単位マイクロレンズアレイ2-2よりスキャン方向前方に突出する長さが長くなる。いずれにしても、この仮想的なマイクロレンズCを含めてマイクロレンズが同一ピッチpで配置されるようにすればよい。即ち、実体的なマイクロレンズBと実体的なマイクロレンズDとの間の間隔が、マイクロレンズのピッチpの整数倍n倍となるようにすればよい。なお、その他の階層の単位マイクロレンズアレイ2-1,2-3,2-4,20-1,20-3,20-4の配置も、同様にして決められる。図4は、上述の如くして組み立てられたマイクロレンズアレイを示す平面図である。マイクロレンズアレイ101,102,103,104がスキャン方向Sに垂直の方向に並べて配置されて、1個の大型のマイクロレンズアレイが構成されている。各マイクロレンズアレイ101,102,103,104の相互間は、図1に示すように、図1の右方の方の単位マイクロレンズアレイが、左方の単位マイクロレンズアレイよりスキャン方向の前方にすれている。図4において、各マイクロレンズアレイ101,102,103,104のスキャン方向Sの前方及び後方の端部には、スキャンの際のアライメントをとるためのアライメントマーク42,43が設けられている。また、このアライメントマーク42,43が配置された領域の更に外側には、マイクロレンズアレイ101,102,103,104を駆動部材が吸着チャックにより真空吸着して搬送するための吸着領域40,41が設けられている。次に、上述のごとく構成されたマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置の動作について説明する。図2は、単位マイクロレンズアレイ2-2,2-3,2-4,20-2,20-3,20-4に重ねて、カメラ33により検出された基準マスク32の基準マーク25の画像パターンを示す。基準マーク25は、基準マスク32に均一なピッチで形成されている。カメラ33は、先ず、基準マスク32の上方に、単位マイクロレンズアレイ2-2,2-3,2-4,20-2,20-3,20-4が存在しない状態で、基準マスク32のみを透過した透過照明光を直接検出し、得られた基準マーク25の第1画像を予め求めておく。図2にこの第1画像基準マーク25のパターンを、マイクロレンズに重ねて示すが、実際上、マイクロレンズは存在しない。そして、貼り合わせ工程においては、単位マイクロレンズアレイ20-2を、既に貼り合わせられている単位マイクロレンズアレイ2-2との間で位置合わせして配置し、下層の単位マイクロレンズアレイ20-2の上に接着剤により貼り合わせる。この貼り合わせ工程においては、これから貼り合わせようとする単位マイクロレンズアレイ20-2が駆動部材により予め設定された所定の貼り合わせ位置に搬送されてきた後、カメラ33により基準マスク32の基準マーク25のパターンを検出する。そうすると、カメラ33は、図2に示すように、単位マイクロレンズアレイ2-2の各マイクロレンズにおいては、基準マーク25を6角視野絞り21bの中心で観察するが、単位マイクロレンズアレイ20-2の位置が図1に示す所定位置からずれている場合、図2に示すように、単位マイクロレンズアレイ20-2のマイクロレンズを透過した基準マーク25の像26は、6角視野絞り22bの中心からずれた位置にてカメラ33に検出される。即ち、図2において、カメラ33が、単位マイクロレンズアレイ20-2が存在しない状態で検出した基準マーク25の位置を単位マイクロレンズアレイ20-2のマイクロレンズ22a内に示すが、この基準マーク25と、マイクロレンズを透過した像26との間には、x方向第1方向及びy方向スキャン方向Sに、夫々Δx及びΔyのずれがある。そこで、制御部は、このカメラ33が検出した基準マスク32のみの第1画像と、単位マイクロレンズアレイ2-2,2-3,2-4,20-2,20-3,20-4を介して撮像された第2画像とを比較し、ずれΔx及びΔyが0になるように、単位マイクロレンズアレイ20-2の位置を修正する。その後、単位マイクロレンズアレイ20-2とその下層の単位マイクロレンズアレイ20-3との間の各周縁部に接着剤を注入し、紫外光により接着剤を固化させて、単位マイクロレンズアレイ20-2を下層の単位マイクロレンズアレイ20-3上に貼り合わせる。これにより、単位マイクロレンズアレイ20-2は、単位マイクロレンズアレイ2-2に対して、図1に示すようにマイクロレンズが同一ピッチpで整列した状態で、張り合わされるので、各単位マイクロレンズアレイの位置が高精度で所定位置に制御される。よって、複数の単位マイクロレンズアレイを継ぎ合わせた場合にも、単独のマイクロレンズアレイのマイクロレンズと同様に均一なパターンでマイクロレンズを配置することができる。従って、このようにして製造された大型の継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイを使用して露光すると、露光パターンのピッチずれに起因して露光ムラが生じることを防止できる。"