"Fe基アモルファス合金薄帯を粉砕した粉砕粉を成形し、熱処理してなる圧粉磁心において、前記熱処理によりbccFe相を析出させ、2θ45°付近の前記bccFe結晶のピークの強度をIcとし、アモルファス相のメインのハローピークの強度をIaとした時、強度比IcIaが11≦IcIa≦36であることを特徴とする圧粉磁心。前記粉砕粉は、平均厚み30μm~60μmの薄板状であることを特徴とする請求項1に記載の圧粉磁心。前記粉砕粉は、シリカ皮膜を形成したものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧粉磁心。前記粉砕粉から作製された成形体は、結晶化温度Tx-70°C~結晶化温度Tx-110°Cで熱処理がなされたものであることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の圧粉磁心。前記Fe基アモルファス合金薄帯は、前記結晶化温度Txが420°C~600°Cにある組成であることを特徴とする請求項1~4の何れかに記載の圧粉磁心。しかし、特許文献3や特許文献4による熱処理では熱処理温度が低いこともあり、成形時に残留している応力が十分に緩和されない。このため、鉄損は減少するもののその値は不十分であった。鉄損が十分に減少しなかった要因は応力緩和を兼ねた適切な熱処理にあると考えられるが、ただ単に熱処理温度を高くしたのではアモルファスの結晶化が始まるために鉄損は著しく増加する傾向にある。このようなことから応力緩和と鉄損減少について更なる改善が望まれていた。本発明はFe基アモルファス合金薄帯を粉砕した粉砕粉を用いて、より低損失で優れた直流重畳特性を有する圧粉磁心を提供することを目的とする。本発明は、応力緩和熱処理と結晶化との相関において鉄損が最小化する条件があることを見出し本発明に至った。即ち、本発明は、Fe基アモルファス合金薄帯を粉砕した粉砕粉を成形し、熱処理してなる圧粉磁心において、前記熱処理によりbccFe相を析出させ、2θ45°付近の前記bccFe結晶のピークの強度をIcとし、アモルファス相のメインのハローピークの強度をIaとした時、強度比IcIaが11≦IcIa≦36を満足する圧粉磁心である。前記粉砕粉は、平均厚み30μm~60μmの薄板状であることが好ましい。より好ましくは平均厚み30μm~40μmである。また、この粉砕粉の平均粒径は60μm~80μm、より好ましくは65μm~75μmである。また、前記粉砕粉は、シリカ皮膜を形成したものであることが好ましい。前記粉砕粉からなる成形体は、結晶化温度Tx-70°C~結晶化温度Tx-110°Cで熱処理がなされたものであることが好ましい。なお、この結晶化温度は昇温速度が10°Cminで昇温した時の結晶化開始温度を指すものとする。前記Fe基アモルファス合金薄帯は、結晶化温度Txが420°C~600°Cにある組成であることが適している。本発明によれば、低鉄損で優れた直流重畳特性を有する圧粉磁心を提供できる。本発明の圧粉磁心は、成形体を熱処理することによって残留応力を緩和するのであるが、このときbccFe結晶相を僅かに析出させても残留応力の低減効果の方が上回り、結果的に鉄損が低減できることが分かった。この効果が得られる領域は、成形体をX線回析PANalytical製X’PertPROを使用、CuKα線で2θ20~120°で測定。したとき、2θ45°付近に現れるbccFe結晶のピークとアモルファス相のメインのハローピークとの比を用いて示すことが出来る。即ち、bccFe結晶相のピーク強度Icと、アモルファス相のピーク強度Iaとの強度比IcIaが11≦IcIa≦36の範囲にあることが好適である。図1にピーク強度比IcIaと鉄損との関係を示す。このピーク強度比IcIaが11未満では鉄損が上がる傾向にある。これはまだ応力緩和による鉄損減少の余地を残しているものと考えられる。一方、ピーク強度比IcIaが36超えだと鉄損は急上昇する。これは熱処理による応力緩和の鉄損減少の効果よりも結晶化による鉄損増加が大きくなり始めるためと考えられる。より望ましくは11≦IcIa≦3、さらに望ましくは14≦IcIa≦21の範囲に制御することである。従い、上記ピーク強度比IcIaの範囲を満足することを指針に熱処理を行えば良い。ただ、実用上は粉砕粉の形態と熱処理温度が関連してくるので以下の点に留意する。通常、Fe基アモルファス合金薄帯は急冷単ロール法により製造され、その厚みはおよそ10μm~100μm程度である。本実施形態で用いたFe基アモルファス合金薄帯の平均厚みは23μm~52μmであり、粉砕した扁平粉末の平均粒径は60μm~80μmであった。尚、扁平粉末の平均粒径は目開き106μmの篩を通過した粉砕粉を、更に目開きがより小さい篩目開き90、75、63、53、45、32μmを用いて分級し、篩に残った粒径を通過した目開きと通過せずに篩に残った目開きの平均値98、825、69、58、49、385、16μmとして重量比から計算した値である。このような薄板状の粉砕粉を主体とすることで配向性の良い成形体を得ることができる。また、熱処理温度はFe基アモルファス合金の結晶化温度Txを基に定めるが、結晶化温度Tx-70°C~結晶化温度Tx-110°Cの範囲とすることで上記ピーク強度比IcIaを満足することができる。より望ましくは結晶化温度Tx-70°C~結晶化温度Tx-90°Cである。但し、粉砕粉の厚みと粒径によって最適な温度を選定することがより望ましい。例えば、急冷単ロール法により製造されたFe基アモルファス合金薄帯は冷却速度が速く、厚みが薄いものほど結晶化は起こっていない。しかし、逆に粉砕後の熱処理では薄いほど結晶化は進行し易い。このことから、より薄い薄帯の粉砕粉からなる成形体は、熱処理温度を低めに設定しbccFe結晶相の析出を抑制してIcIaを所定範囲に収めるのが良い。一方、厚さ30μm以上の薄帯の粉砕粉からなる成形体では、同じ組成であれば比較的高い熱処理温度まで許容範囲があるので制御し易い。また、本発明に使用可能なFe基アモルファス合金としては、FeB系、FeSiB系、FeSiBC系、FeSiBP系、FeSiBCP系、FePB系、FeSiBCMMはCr、Mo、Zr、Hfの1種以上の元素系等が挙げられるが、Fe,Si及びBを主成分とする系が好ましく、例えば、組成式がFeaSibBcCdMe但し、MはCr、Mo、Zr、Hfの1種以上の元素であり、原子で50≦a≦90、2≦b≦20、2≦c≦20、0≦d≦3、0≦e≦10、abcde=100で表される組成が好ましい。結晶化温度Txは組成により変動するが、結晶化温度Txが420°C~600°Cにある組成が適している。好ましくは450°C~580°C、さらに好ましくは470°C~570°Cである。本発明の圧粉磁心は、上述のFe基アモルファス合金薄帯を粉砕した粉砕粉を単体で用いても良いが、異なる厚みの粉砕粉との混合粉や異なる合金の粉砕粉との混合粉を用いても良い。また、別途用意したアトマイズ粉を適宜混合した混合粉を用いて実施することも出来る。さらに、イソプロピルアルコールIPAやエタノールなどのアルコール溶液に粉砕粉を加え、そこにテトラエトキシシラン、水、アルカリを加えて加水分解反応を起こすことによりシリカ被膜を形成した粉砕粉を用いることはより好ましい。シリカ被覆を形成することで粉末の結晶化を抑制させることができるので有効である。実施例1急冷単ロール法により作製したFe75Si8B17原子のFe基アモルファス合金薄帯幅5mm、平均厚さ23μm、結晶化温度Tx560°Cを窒素雰囲気中で300°Cにおいて3時間保持する脆化熱処理を行った。これにより薄帯を脆化させて粉砕し易くする。脆化熱処理温度は280°C~340°Cが好ましい。この薄帯をパワーミル、インパクトミルにより粉砕し、目開き106μmの篩に通して分級し、Fe基アモルファス合金薄帯の粉砕粉を得た。粉砕粉の平均粒径は62μmであった。次にIPA100mlを攪拌しながら前記粉砕粉200gを投入し、テトラエトキシシラン20gと水20ml、28アンモニア水2mlと混合し、3時間攪拌してシリカ被覆を形成した。この後、IPAで洗浄後に60°Cにて2時間乾燥させた。他方でFe74B11Si11C2Cr2原子のアトマイズ粉による平均粒径11μmの球状粉を用意する。なお、このアトマイズ粉は510°C以下で熱処理を行っても結晶化しない。前記粉砕粉24gに対して、前記アトマイズ粉を6g加えた合計30gに対して、無機バインダーを024g、アクリル系有機バインダーを075gとステアリン酸亜鉛012gを混合し、目開き150μmの篩を通して造粒粉を得た。この造粒粉をプレス機を用いて外形寸法が135mm、内径75mmのトロイダル形状の金型に入れて、圧力21トン、保持時間5秒でプレス成形した。得られた成形体を管状炉にて、アルゴン雰囲気中、450°Cで1時間の熱処理を行った。以上により作製したトロイダルコアを磁束密度50mT、周波数50kHzと100mT、100kHzの条件で鉄損と直流重畳特性を下記の測定手段により測定した。その結果、磁束密度50mT、周波数50kHzでは59kWm3であり、100mT、100kHzでは787kWm3であった。また、直流重畳特性比透磁率は、H0Amで62、H10000Amでは32であり、変化率は-048であった。なおここでの変化率はH0Amでの比透磁率-H10000Amでの比透磁率H0Amでの比透磁率の値とし、減少の割合なのでマイナスとした。また、このトロイダルコアをX線回折測定し、下記の測定手段によりピーク強度比IcIaを求めた。その結果、IcIa16となっていた。以上の結果を表1に示す。測定手段鉄損は上記トロイダルコアをコアケースに入れて、直径025mmの絶縁被覆銅線を2本で20回巻き線を行い、BHアナライザー岩通計測株式会社製:SY8232により、磁束密度50mT、周波数50kHzと100mT、100kHzの条件で測定を行った。また、直流重畳特性も同様のコアケースに入れて直径05mmの絶縁被覆銅線を40回巻き、4284ALCRメーターを使用し、100kHz、1Vの条件で磁場H0、10000Amでの比透磁率μの測定を行った。なお、直流重畳特性はμの値が大きく、且つH=0Amに対して、10000Amでの変化率が小さいほど良好な直流重畳特性である。X線回折測定はX線回折装置を使用し、X線チャート図の2θ45°付近に現れるbccFe結晶の110ピークの強度Icの高さと、アモルファス相のメインのハローピークの強度Iaの高さを夫々測定し、IcIaの比を求めた図5参照。即ち、このピークはbccFe相の回折ピークとアモルファス相のピークが重なっており、図2~4のようなピークが確認されるが、これらを分離して夫々のピークを求めている。尚、結晶化しておらずbccFeのピークが0である場合や結晶化していてもIcIa≦1の場合は、Icの高さが判別不能のためIcIa1とする。実施例2~4実施例1と同じ条件と工程であるが、Fe基アモルファス合金薄帯の平均厚さが31μm、40μm、52μmの薄帯を用い、これを粉砕した。その後、実施例1と同様の条件でトロイダルコアを作製した。これらについて実施例1と同様に鉄損と直流重畳特性およびピーク強度比IcIaを測定した。その結果、鉄損は磁束密度50mT、周波数50kHzではそれぞれ51kWm3、51kWm3、66kWm3であり、100mT、100kHzではそれぞれ693kWm3、688kWm3、861kWm3であった。また、直流重畳特性はH0Amでそれぞれ58、60、56であり、H10000Amではそれぞれ34、34、35であった。そして、ピーク強度比IcIaは何れも11となっていた。以上の結果を表1に示す。実施例5~8上記実施例1~4と同じ条件と工程であるが、粉砕粉に対しテトラエトキシシランによるシリカ被覆を行わなかった。その後、実施例1と同様の条件でトロイダルコアを作製した。これらについて実施例1と同様に鉄損と直流重畳特性およびピーク強度比IcIaを測定した。その結果、鉄損は磁束密度50mT、周波数50kHzではそれぞれ71kWm3、65kWm3、70kWm3、82kWm3であり、100mT、100kHzではそれぞれ927kWm3、831kWm3、900kWm3、1026kWm3であった。また、直流重畳特性はH0Amでそれぞれ54、58、57、57であり、H10000Amではそれぞれ32、32、32、31であった。そして、ピーク強度比IcIaはそれぞれ22、14、13、13となっていた。以上の結果を表1に示す。以上よりピーク強度比IcIaは11~22の範囲にあり結晶化がわずかに進んでいても応力緩和の効果がでている。また、粉砕粉にシリカ被覆をすることで鉄損が2割以上減少することが分かる。鉄損をヒステリシス損と渦電流損に分離すると主にヒステリシス損が減少しており、これはIcIaが下がっていることからシリカ被覆により結晶化が抑制されているためと考えられる。実施例9~12実施例1~4と同じ条件と工程であるが、成形後における熱処理条件を470°Cで1時間に変更した。その後、実施例1と同様の条件でトロイダルコアを作製した。これらについて実施例1と同様に鉄損と直流重畳特性およびピーク強度比IcIaを測定した。その結果、鉄損は磁束密度50mT、周波数50kHzではそれぞれ45kWm3、40kWm3、39kWm3、46kWm3であり、100mT、100kHzでは615kWm3、542kWm3、528kWm3、617kWm3であった。また、直流重畳特性はH0Amでそれぞれ62、57、61、54であり、H10000Amではそれぞれ32、34、35、35であった。そして、ピーク強度比IcIaはそれぞれ21、14、14、14となっていた。以上の結果を表2に示す。実施例13実施例1と同じ条件と工程であるが、成形後における熱処理条件を490°Cで1時間に変更した。その後、実施例1と同様の条件でトロイダルコアを作製した。これらについて、実施例1と同様に鉄損と直流重畳特性およびピーク強度比IcIaを測定した。その結果、鉄損は磁束密度50mT、周波数50kHzでは68kWm3であり、100mT、100kHzでは925kWm3であった。また、直流重畳特性はH0Amで53であり、H10000Amでは32であった。そして、ピーク強度比IcIaは36となっていた。以上の結果を表2に示す。実施例14~16実施例2~4と同じ条件と工程であるが、成形後における熱処理条件を490°Cで1時間に変更した。その後、実施例1と同様の条件でトロイダルコアを作製した。これらについて実施例1と同様に鉄損と直流重畳特性およびピーク強度比IcIaを測定した。その結果、鉄損は磁束密度50mT、周波数50kHzではそれぞれ38kWm3、43kWm3、44kWm3であり、100mT、100kHzではそれぞれ539kWm3、612kWm3、676kWm3であった。また、直流重畳特性はH0Amでそれぞれ57、58、53であり、H10000Amではそれぞれ35、35、35であった。そして、ピーク強度比IcIaはそれぞれ18、21、18となっていた。以上の結果を表2に示す。比較例1~4実施例1~4と同じ条件と工程であるが、成形後における熱処理条件を510°Cで1時間に変更した。その後、実施例1と同様の条件でトロイダルコアを作製した。これらについて実施例1と同様に鉄損と直流重畳特性およびピーク強度比IcIaを測定した。その結果、鉄損は磁束密度50mT、周波数50kHzではそれぞれ230kWm3、118kWm3、254kWm3、115kWm3であり、100mT、100kHzではそれぞれ3126kWm3、1784kWm3、3402kWm3、1663kWm3であった。また、直流重畳特性はH0Amでそれぞれ30、34、26、38であり、H10000Amではそれぞれ25、30、23、32であった。そして、ピーク強度比IcIaはそれぞれ65、38、38、39となっていた。以上の結果を表2に示す。各実施例によれば鉄損は低減し、且つ直流重畳特性の大きな悪化もなく良好な結果が得られた。なお、実施例13は、同じ熱処理条件であっても他の厚みの粉砕粉から作製したコアと比べて鉄損が増加している。これは比較的厚みが薄く粒径の小さい粉砕粉であることから490°CではbccFe結晶相の析出が他のものより促進され、その結果鉄損が増加したものと考える。同じ厚みでも470°Cでは良好であったことから、比較的薄い20μm代の合金薄帯の粉砕粉は30μm以上のものよりも熱処理温度は低めに設定すべきであることが分かる。また、比較例1~4によれば510°Cで熱処理したコアは他の熱処理温度と比べて鉄損が著しく高く、直流重畳特性も低下していた。これらのピーク強度比IcIaは比較例1よりも高く、IcIaが36を超えるとさらに結晶化が急激に進んでしまうものと推察される。このように510°Cでは応力緩和効果よりも結晶化による磁気特性悪化の影響が大きく、結晶化温度Tx-70°Cを超える熱処理条件は適していない。次に、実施例13~16490°C、1時間で熱処理のトロイダルコアをX線回折測定した結果を図2に示す。図2から分かるように実施例13平均厚さ23μmのコアのみ2θ45°付近のbccFe結晶ピークの高さIcがアモルファスハローピークの高さIaと比べて高くなっており、このピークの高さの比はIcIa36であった。従って、このコアは他の厚さの粉砕粉から作製したコアよりも結晶化が進んでおり、鉄損や直流重畳特性がやや低下している。実施例1、9平均厚さ23μmのコアも強度比IcIaの数値は比較的高く結晶化が進行している傾向がある。しかし、鉄損は比較的低く、直流重畳特性も安定しているのでピーク強度比IcIaは36以下であれば実用に共せると判定した。次に、実施例9~12470°C、1時間で熱処理のトロイダルコアをX線回折測定した結果を図3に、同じ条件で熱処理をしたアモルファス薄帯をX線回折測定した結果を図4に示す。図3~4のようにアモルファス薄帯ではコアや粉砕粉と異なり、厚さが厚い方が2θ45°付近のbccFe結晶ピークの高さIcが高く、結晶化が進んでいる。尚、これら実施例9~12の粉砕粉のみを用いて、同様の熱処理をした粉砕粉についてX線回折測定を行ったところ、ピーク強度比IcIaの値が若干増加しているが平均厚さ23μmの粉末のみ他の厚さに比べてIcIaが大きいという同様の傾向が確認できた。このためアトマイズ粉の影響によるものではないと言える。このことからアモルファス薄帯を粉砕することで厚さによる結晶化の傾向が粉砕前と異なっていることがわかる。単ロール法で作製したアモルファス薄帯は表面に薄い酸化被膜ができているが、粉砕を経ることで酸化被膜が破壊されているため、粉砕することでより結晶化しやすくなり、粉砕粉やトロイダルコアではアモルファス薄帯と結晶化の傾向が異なっていると推察される。以上より、粉砕するアモルファス薄帯の厚さにより最適な熱処理条件が異なることが分かる。一般的にアモルファス薄帯は厚さが薄く、急冷単ロール法での冷却速度が速い程、結晶化しづらい。ところが粉砕後では図3や図4の様に厚さが薄い方が結晶化しやすいため、その両方の影響の足し合わせにより結晶化の傾向が決まる。その結果、平均厚さ30~40μm前後の粉砕粉から作製したトロイダルコアはより高温でも結晶化の進行が遅く、鉄損が平均厚さ20、50μm付近の粉砕粉から作製したトロイダルコアに比べて低くなっていると推察される。結果的に厚さに依存せず最適な熱処理条件を判断する指標の一つとしてX線回折測定データから得られるbccFe結晶ピークの高さとアモルファスハローピークの強度比IcIaが挙げられる。シリカ被覆をした場合のトロイダルコアの磁束密度50mT、周波数50kHzでの鉄損とIcIaの関係を図1に示す。この図からおよそIcIa≦36であれば磁束密度50mT、周波数50kHzでの鉄損が70kWm3以下の、11≦IcIa≦3であれば40~60kWm3のトロイダルコアを得ることができることが読み取れる。"