"超音波を送信する複数の送信用振動素子を配列した送信振動子列、及び超音波を受信する複数の受信用振動素子を配列した受信振動子列の双方を有し、前記送信振動子列と前記受信振動子列の中央が検査対象物の欠陥表面開口部上に設置された送受信アレーセンサと、超音波送信角と超音波受信角との和の半分が30度以内となる集束位置に各々の前記送信用の振動素子から発信された各超音波を集束させる制御装置と、前記受信用振動素子が受信した前記検査対象物内で回折して来た超音波に基づいて探傷情報を生成する生成手段と、前記生成手段によって生成された探傷情報を表示する表示手段とを有する超音波探傷装置。超音波を送信する複数の送信用振動素子を配列した送信振動子列、及び超音波を受信する複数の受信用振動素子を配列した受信振動子列の双方を有した送受信アレーセンサを前記送信振動子列と前記受信振動子列の中央が検査対象物の欠陥表面開口部上に設置し、超音波送信角と超音波受信角との和の半分が30度以内となる集束位置に各々の前記送信用の振動素子から発信された各超音波を集束させ、前記受信用振動素子が受信した前記検査対象物内で回折して来た超音波に基づいて探傷情報を生成し、前記生成手段によって生成された探傷情報を表示することを有する超音波探傷方法。これら従来例では、超音波送信探触子と受信探触子の2個の探触子を一定間隔で固定したTOFDTimeofFlightDiffraction、飛行時間回折法法で超音波探傷を行っており、さらに、超音波の入射角は45度~55度、受信角も45度~55度で設定されていた。この角度を45度~55度と規定する理由は、従来は、欠陥先端に超音波ビームを照射して得られる回折波は45度~55度方向が強いと考えられて一般的に用いられてきたからだ。しかし、超音波の入射角を約45度~55度、受信用も約45度~55度で設定したTOFD法では、超音波送信探触子と受信探触子を約45度~55度の送受信角度を保つためにそれに応じた広い一定間隔で超音波送信探触子と受信探触子の間隔を固定して配置し、超音波送信探触子と受信探触子を合せた外寸が大きくなることから各送受探触子の接触する面積が小さい検査箇所や狭隘部の超音波探傷検査には適用ができないとともに超音波の送信から受信までの超音波の経路長さが長くなって超音波受信強度が弱くなる課題があった。従って、本発明の目的は、検査対象物の浅い位置から深い位置にわたって確実に欠陥を検出することであり、更に好ましくは、超音波の減衰が大きい検査対象物にも超音波探傷が確実に実施できるようにすることである。上記目的を達成するために、超音波を送信する複数の送信用振動素子を配列した送信振動子列、及び超音波を受信する複数の受信用振動素子を配列した受信振動子列の双方を有し、前記送信振動子列と前記受信振動子列の中央が検査対象物の欠陥表面開口部上に設置された送受信アレーセンサと、超音波送信角と超音波受信角との和の半分が30度以内となる集束位置に各々の前記送信用の振動素子から発信された各超音波を集束させる制御装置と、前記受信用振動素子が受信した前記検査対象物内で回折して来た超音波に基づいて探傷情報を生成する生成手段と、前記生成手段によって生成された探傷情報を表示する表示手段とを有する超音波探傷装置を提案する。本発明によれば、超音波回折強度が微弱となるような条件下でも確実に超音波探傷できるようになる。本発明の実施例では、超音波探傷装置の超音波の送受信アレーセンサの送信用振動素子に供給する信号又は前記受信用振動素子から出力される信号の少なくとも一方の信号の増幅度を前記超音波の集束の位置に応じて変化させることを提案する。本発明の実施例においては、超音波の検査対象材料への送受信の入射角が30度以下の領域を用いることで、送信および受信の集束点の交差領域を広くすることで、送信超音波の集束点と受信超音波の集束点の僅かな位置ずれによる欠陥検出感度の変動を大幅に低減することの例示も含まれている。発明者等は複数の超音波の振動素子を配列した送信振動子列を備えているアレー型送信超音波振動子送信用アレーセンサともいう。と複数の超音波の振動素子を配列した受信振動子列を備えているアレー型送信受信超音波振動子受信用アレーセンサともいう。を1つのケーシング内に納めて一体成型した送受信一体型小型アレーセンサ以下、単に送受信アレーセンサ又はセンサと略称する。を製作した。発明者等は、このセンサを用いて超音波の送信および受信の両者に集束をかけて、尚且つ、従来では回折波の検出が困難と考えられていた超音波の送信/受信角をそれぞれ0度~30度に設定して検査対象物内の欠陥に超音波を照射し、欠陥探傷および欠陥サイジング試験を実施した。その結果、欠陥探傷および欠陥サイジングが良好に実施可能であることを、はじめて発明者等が明らかにした。即ち、超音波の送信/受信角が、従来は45度から55度であるのを30度以下という浅い角度でも、欠陥探傷および欠陥サイジングが良好に可能であることを発見した。即ち、超音波の送信/受信角が45度から55度である従来TOFD法とは異なる新しい超音波探傷方法を確立することができた。この新しい超音波探傷方法は送受信の入射角が30度以下の領域を用いることで、送信および受信の集束点の交差領域を広くすることが可能であり、送信超音波の集束点と受信超音波の集束点の僅かな位置ずれによる欠陥検出感度の変動を大幅に低減することができ、欠陥検出および欠陥サイジングが安定に実施可能である特徴を持つという、いわゆる欠陥検出感度のロバスト性を実現できるに至った。この新しい超音波探傷方法を用いることで、従来法である端部エコー法やTOFD法では欠陥検出および欠陥サイジングが不可能であった、1欠陥幅が狭く、超音波回折強度が微弱な欠陥、2超音波の減衰が大きい材料や超音波が屈曲する異方性材料中の欠陥、3探触子の接触可能面積が小さい検査箇所や狭隘部の欠陥、4溶接金属中の欠陥の欠陥検出および欠陥サイジングが実現できた。この新しい超音波探傷方法を実現する具体的な実施例を以下に説明する。図1は本発明の超音波探傷装置の全体を表すものである。本発明の実施例による超音波探傷装置は大きく分けて、超音波探傷装置本体122と、その超音波探傷装置本体122と各信号線で電気的に接続された送受信アレーセンサ14以下、単にセンサ14という。から構成される。その各信号線は一束にされて信号ケーブル123とされる。センサ14は、送信用アレーセンサを構成する送信振動子列15の各振動素子A,B,C,Dから検査対象物である検査対象材料21内に超音波16を送信し、その超音波16に基づいて検査対象材料21内で超音波16が欠陥22の下端で回折して発生した回折波を受信用アレーセンサを構成する受信振動子列19の各振動素子O,P,Q,Rで受信し、受信振動子列19の各振動素子から回折波を受信したことによって各振動素子に発生した電気的信号を超音波探傷装置本体122へ出力するものである。この送信振動子列15の各振動素子A,B,C,Dは送信用に用いられるので送信用振動素子であり、受信振動子列19の各振動素子O,P,Q,Rは受信用に用いられるので受信用振動素子と定義できる。この送信振動子列15と受信振動子列19を一体にして備えたセンサ14は、検査対象材料21の表面に、欠陥22の真上にセンサ14の中央部が位置するようにして置かれる。超音波探傷装置本体122は、その受信振動子列19の各振動素子から電気的信号を受けて超音波探傷結果として検査結果を創出するものである。超音波探傷装置本体122としては、入力装置1とメモリ2と超音波制御装置3と情報処理装置4とI/O5と表示装置6と送信側アンプ制御装置9と受信側アンプ制御装置10と送信超音波振動子制御装置7と受信信号処理装置8と送信側アンプ11と受信側アンプ12とを有する。以下でこれら各装置の詳細な説明およびその装置の役割を記載する。図1は本発明の実施例による超音波探傷装置の全体図を表すものである。図2は本発明の実施例における動作ステップのフローを記載したものである。先ず、入力装置1を用いて、超音波の送受信パターンを決定するための入力条件を入力するステップa。入力条件とは、欠陥を高感度に検出する為の、超音波送受信パターンを決定する為の条件であり、1送信振動子列図2では励起素子列と記している。とする振動素子A,B,C,D、2受信振動子列図2では受信素子列と記している。の振動素子O,P,Q,R、におけるゲインはGである。例えば、アンプAT1の集束点F11のゲインはGA1、集束点F14のゲインはGD1である。表1に示すとおり、各アンプのゲインは集束点深さに応じてゲインを最適化し、集束点深さが深くになるに従いゲインを大きく設定するGA<GB<GC<GDことを特徴とする。上記では集束点17の深さにより送信アンプのゲインを変化させる実施例の一例を示したが、この効果は、集束点17の深さにより受信側アンプ12のゲインを変化させることでも実現可能であり、その一例を以下に説明する。検査対象材料21の表層付近F11では深い点F14に比べて超音波の伝播距離が短く、検査対象材料21中の超音波の減衰が少ないため、表層付近F11では超音波の強度が高い。これに対し、集束点の深い点F14では超音波の伝播距離が長く、検査対象材料21中の超音波の減衰が大きく、表層付近F11に比べ超音波の強度が低くなる。集束点の深い点F14に合わせて受信側アンプ12のゲインを設定してしまうと、表層付近F11ではゲインが高すぎて、検査対象材料21の表層付近F11の欠陥を正確に検出することができない。このため、受信側アンプ12のゲインを検査対象材料21の表層付近F11では集束点の深い点F14に比べ低く設定する。即ち、本発明の特徴は集束点深さに最適な超音波検出感度を与える為、超音波制御装置3で集束点深さに最適な超音波検出感度を計算および受信側アンプ12のゲインを設定し、I/O5を通して受信側アンプ制御装置10を制御し、受信側アンプ12のゲインを集束点深さに応じて変化させるところにある。したがって、超音波制御装置3と受信側アンプ制御装置10が第2増幅度制御装置としても機能する。これにより、検査対象材料21の表層付近F11から集束点の深い点F14までの欠陥検出が可能となる。表2に代表的な受信側アンプ12のゲイン設定を示す。AR1~AR4は受信振動子列の各振動素子一個につき一台の受信側アンプ12を接続した、その受信アンプ12の各アンプ名称であり、F11~F14は集束点17を示し、集束点17の浅い方から順にF11~F14である。各アンプAR1~AR4のある集束点F11~F14におけるゲインはGである。例えば、アンプAR1の集束点F11のゲインはGO1、集束点F14のゲインはGR1である。表2に示すとおり、各アンプのゲインは集束点深さに応じてゲインを最適化し、集束点深さが深くになるに従いゲインを大きく設定するGO<GP<GQ<GR。上記では集束点の深さにより送信側アンプまたは受信側アンプのゲインを変化させる一例を示したが、この効果は、集束点深さにより送信側アンプと受信側アンプの両者のゲインを変化させることでも実現可能である。即ち、送信側アンプと受信側アンプの両者の各アンプのゲインは集束点17の深さに応じてゲインを最適化し、集束点17の深さが深くになるに従いゲインを大きく設定することを特徴とする。図15は、本発明の実施例による超音波探傷装置を欠陥検出および欠陥サイジングに適用した別の例を示すものである。上で述べたように図14の例ではセンサ14の真下方向に欠陥22が進展している場合の欠陥検出および欠陥サイジング方法について記載した。図14のように欠陥22は真下方向に進展しているケースが多いと考えられるが、稀なケースとしては欠陥が真下方向ではなく、斜め方向に進展している欠陥や欠陥先端が枝分かれしているケースなども考える必要がある。図15は欠陥の進展形状が分からない状態で、超音波探傷試験を実施する例について記載したものであり、以下で詳細に説明する。欠陥探傷およびサイジングの手順を以下に記載する。検査対象材料21の中に発生した斜め方向に進展している欠陥や欠陥先端が枝分かれしている欠陥24の表面開口部の真上にセンサ14を押し当てる。表面開口側からの目視では欠陥の進展方向や欠陥形状は分からないため、先ず送信超音波16の集束点=超音波の集束受信点をセンサ14の真下方向に連続的にあるいは離散的に走査させ超音波データを収録した後、次に、集束点=超音波の集束受信点をセンサ14の送信振動子列15の振動素子配列方向図15中のX方向に超音波集束幅数ミリ程度の1/2または1/4程度の距離を移動させた後に真下方向図15中のY方向に連続的にあるいは離散的に走査させ超音波データを収録する。この後、更に集束点=超音波の集束受信点をセンサ14の送信振動子列15の振動素子配列方向図15中のX方向に超音波集束幅数ミリ程度の1/2または1/4程度の距離を移動させた後に真下方向図15中のY方向に連続的にあるいは離散的に走査させ超音波データを収録する手順を繰り返すことで、センサ14の下部の2次元的な走査が実現できる。本実施例の走査方法および欠陥検出により検査対象材料21の中に発生した斜め方向に進展している欠陥や欠陥先端が枝分かれしている欠陥24をも欠陥検出および欠陥サイジングが可能となる。図16は既述のいずれかの実施例による超音波探傷装置を原子炉炉内のシュラウドサポート部の超音波探傷作業に適用した例を示したものである。原子炉内のシュラウドサポート25とシュラウドサポートリング27とは原子炉圧力容器内に装備されていて、互いにインコネル溶接金属部29で溶接されている。シュラウドサポート25とシュラウドサポートリング27とを接合するインコネル溶接金属部29を溶接で得る際には温度上昇が生じ、インコネル溶接金属部29の近傍にシュラウドサポートリングの熱影響部28が発生する。同様にインコネル溶接金属部29の近傍にシュラウドサポートの熱影響部26が発生する。一般的にインコネル溶接金属部29,シュラウドサポートリングの熱影響部28およびシュラウドサポートの熱影響部26は応力腐食割れの感受性が高いと考えられており、これらの部位の欠陥検出および欠陥サイジングは非常に重要な課題となっている。表面開口欠陥22の検出は従来型の斜角探触子を用いた超音波探傷方法では欠陥検出および欠陥サイジングは非常に困難である。また、従来TOFD法を用いた溶接部の検査では、溶接線を跨いだ体系、での検査となるため、超音波ビームの伝播経路が送信探触子→母材→溶接金属部→母材→受信探触子となり、超音波ビームが母材から溶接金属部へ入射するに、超音波ビームが曲がること、および溶接金属内部では超音波ビームが拡散/減衰することが知られている。また、従来型のTOFD法を用いた超音波探傷方法は、超音波送信探触子と受信探触子を一定間隔で固定し、走査することが必要であり外寸が大きくなることから、図17に示すような幅が狭く段差があるインコネル溶接金属部29,シュラウドサポートリングの熱影響部28およびシュラウドサポートの熱影響部26には適用が困難である。図17は表面開口欠陥22の欠陥検出および欠陥サイジングに適したセンサ14を用いた超音波探傷装置を原子炉炉内のシュラウドサポート部のインコネル溶接金属部29,シュラウドサポートリングの熱影響部28およびシュラウドサポートの熱影響部26に適用した例を示したものである。図16中のケース1は表面開口欠陥22の欠陥検出および欠陥サイジングに適したセンサ14を用いた超音波探傷装置をシュラウドサポートリングの熱影響部28に適用した例を示したものであるが、図からも分かる通り、表面開口欠陥22の頂上欠陥22の開口部にセンサ14を設置させることが可能であり、シュラウドサポートリングの熱影響部28に適用可能である欠陥検出および欠陥サイジングが可能となる。図16中のケース3は本発明である表面開口欠陥22の欠陥検出および欠陥サイジングに適したセンサ14を用いた超音波探傷装置をシュラウドサポートの熱影響部26に適用した例を示したものであるが、図からも分かる通り、表面開口欠陥22の頂上にセンサ14を設置させることが可能であり、シュラウドサポートの熱影響部26に適用可能である欠陥検出および欠陥サイジングが可能となる。同様に、図16中のケース2は表面開口欠陥22の欠陥検出および欠陥サイジングに適したセンサ14を用いた超音波探傷装置をインコネル溶接金属部29に適用した例を示したものであるが、図からも分かる通り、表面開口欠陥22の頂上にセンサ14を設置させることが可能であり、インコネル溶接金属部29に適用可能であり欠陥検出および欠陥サイジングが可能となる。特にインコネル溶接金属部29は超音波の減衰が大きいこと、超音波が屈曲することおよびノイズエコーが発生することから、インコネル溶接金属部29での超音波伝播距離が長くなる従来型の斜角探触子を用いた超音波探傷方法や従来型TOFD法を用いた超音波探傷方法では欠陥検出および欠陥サイジングは非常に困難である。これに対し、本発明である送受信一体型小型アレーセンサ14を用いた超音波探傷方法では、送受信一体型小型アレーセンサ14をインコネル溶接金属部29へ設置して欠陥検出および欠陥サイジングを実施するため、以下の利点がある。1溶接金属部の超音波伝播距離が比較的短くでき、回折波の検出効率が高くなる。2超音波の屈曲の影響が多少あったとしても、送受信一体型小型アレーセンサ14から出射される超音波と欠陥先端からの回折波はほぼ同じ経路を伝播するため、送受信一体型小型アレーセンサ14は小型であり、送信超音波振動子群と受信超音波振動子群が近接しているため、回折波を効率的に検出できる。更に後で別の実施例で記載する送信超音波振動子と受信超音波振動子を交互に配置した送受信一体型小型アレーセンサでは、超音波の送信領域と受信領域をほぼ同じ領域にすることができるため、超音波の屈曲の影響による回折波の検出効率の低下を防止でき、回折波を効率的に検出し欠陥検出効率を飛躍的に改善できる。3直接接触であるため、水浸法で問題となるような検査対象部位から反射されるような形状エコーの影響が無く、回折波のSN比が高くなる。即ち、従来法に比べて本発明は欠陥検出および欠陥サイジング性が大幅に改善される。図16を用いて、欠陥サイジング方法について説明する。図16のシュラウドサポート25のように板厚tが既知の部位を利用し、センサ14で出射した超音波が反対面である底面に反射して戻ってきて、検出された時間より材料の音速を評価することが可能であり、この音速と回折波の現れた時間との関係より欠陥サイジングが可能となる。また、図16のインコネル溶接金属部29も同様に、板厚tが既知の部位を利用し、センサ14で出射した超音波が反対面である底面に反射して戻ってきて、検出された時間より材料の音速を評価することが可能であり、この音速と回折波の現れた時間との関係より欠陥サイジングが可能となる。センサ14の大きさが検査対象部位あるいは検査対象部位である溶接金属部の幅より小さい、または同等である。即ち、図16中のWwelは検査対象部位あるいは検査対象部位である溶接金属部の幅、Wはセンサ14の大きさ幅である。図16からも分かるとおり、センサ14の大きさ幅Wは検査対象部位あるいは検査対象部位である溶接金属部の幅Wwelより小さい、または同等であるから、例えば、検査対象部位である溶接金属部でセンサ14から発信された超音波で欠陥22を探傷する際には他の溶接金属外の金属組織内を通過しなくて良い。図16は溶接部の両端に段差がある場合を示したが、段差が無い表面における溶接のX開先,V開先,レ開先でも同様であり、センサ14の大きさ幅Wは検査対象部位あるいは検査対象部位である溶接金属部の幅Wwelより小さい、または同等であることが好ましい。図17は既述のいずれかの実施例による超音波探傷装置を原子炉炉内炉底部のCRDハウジングスタブチューブ31および原子力圧力容器32の近傍の探傷に適用した例を示したものである。記述のいずれかの実施例による超音波探傷装置のセンサ14,多関節マニピュレータ33を収納可能な検査装置34はCRDハウジング35で支持、および炉心支持板36で拘束する。センサ14の信号ケーブルや多関節マニピュレータ33の信号ケーブル,動力ケーブルおよび高圧水ホース等は検査装置34の上部より一括してケーブルおよびホース37として束ねられ、上部の運転/制御場所であるオペレーションフロアまで引き伸ばされ、それぞれの制御装置に接続される。マニピュレータ基部38はマニピュレータ基部上下および回転機構39に固定されておりマニピュレータ基部は上下運動および回転運動が可能な構造である。マニピュレータ33は3個の屈曲関節40と2個の回転関節41から構成されている。マニピュレータ33の先端にはハンド42があり、小型アレーセンサ14に取り付けられた把持部43をハンド42で把持する。小型アレーセンサ14と把持部43の間には、小型アレーセンサ14がCRDハウジングスタブチューブ31と原子力圧力容器32およびCRDハウジングスタブチューブ31と原子力圧力容器32の溶接部等の曲面に追従可能な構造を持つコンプライアンス機構44が設置されている。このコンプライアンス機構44はX軸,Y軸,Z軸の3軸とも変移可能なものである。このコンプライアンス機構44により小型アレーセンサ14をスムーズにCRDハウジングスタブチューブ31と原子力圧力容器32およびCRDハウジングスタブチューブ31と原子力圧力容器32の溶接部等の曲面に追従させることが可能となる。この結果上で述べた欠陥検出および欠陥サイジングの方法を用いて欠陥22の欠陥検出および欠陥サイジングが実現できる。図18は既述のいずれかの実施例による超音波探傷装置のセンサ14を吊り下げ式検査装置45、即ち、水中検査装置に搭載した例を示すものである。吊り下げ式検査装置45はセンサ14,2個の水中CCDカメラ46,照明47,スラスタ48およびクラッド除去および回収装置49を搭載している。吊り下げ式検査装置45は一般産業用タンクおよびプールや原子炉炉内の炉内構造物に発生した欠陥の有無を目視試験および非破壊試験である超音波試験で欠陥検出および欠陥サイジングの実施を目的とするものである。本吊り下げ式検査装置45は吊り下げワイヤ50で吊り下げられているため、上部の気中より人間が吊り下げワイヤ50を操作することおよびスラスタ48の推進力を利用して、吊り下げ式検査装置45を検査対象部へ誘導およびセンサ14を検査対象部へ密着させることが可能であり、センサ14を用いることで欠陥検出および欠陥サイジングが可能となる。2個の水中CCDカメラ46は目視試験用であり、2個の水中CCDカメラ46を用いてステレオ画像を再生し、検査員が検査部位の凹凸を的確に認識することが可能となり、検査部位の凹凸あるいは欠陥表面開口欠陥であるかを容易に判断することができ、視認性が高く、また、効率的に目視検査を実施可能となる。照明47は検査部位が暗いときに、水中CCDカメラ46用の光源として用いるものであり、電球はハロゲンランプ、メタルはライドランプおよび発光ダイオード等から構成され、水中CCDカメラ46の視認性を向上させるため調光機能が装備されている。スラスタ48は本吊り下げ式検査装置45の姿勢を制御する推進装置である。このスラスタ48の回転方向および回転数を制御し、吊り下げ式検査装置45の姿勢を変化させることが可能である。クラッド除去および回収装置49は検査部位に付着したクラッド等の付着物を除去および吸引する装置である。クラッド除去および回収装置49は付着物を除去するための回転ブラシと剥がされた付着物を回収する為の装置から構成される。クラッド除去および回収装置49を用いてクラッド等の付着物を除去することで、クラッド等の付着物の下にある欠陥表面開口欠陥を見出すことが可能となる。また、除去されクラッド等の付着物は、クラッド回収用ホース110と吸引装置を用いて吸引し、フィルターでクラッド等の付着物を回収する構造とする。このため水の濁りが発生しないため、効率的に目視検査を実施することが可能となる。本吊り下げ式検査装置45を一般産業用タンクおよびプールや原子炉炉内の炉内構造物に発生した欠陥の目視試験および非破壊試験である超音波試験に適用することにより欠陥検出および欠陥サイジングが実現できる。さらに、本吊り下げ式検査装置45を自走遊泳可能な遠隔操縦とすることによりその機動性は高くなり、検査範囲も拡大される。即ち、センサ14および2個の水中CCDカメラ46,照明47,スラスタ48およびクラッド除去および回収装置49を搭載した水中検査装置を自走遊泳可能とした上で遠隔操縦も可能とすることであっても良い。その場合に水中検査装置の構造は図20の構造が基本的な構造として採用できる。以下では記述の各実施例の超音波探傷装置では、センサ14の検査対象に対面する超音波送受信面超音波の入出射面ともいう。が平坦であるが、検査対象の表面の形状によっては、以下に説明するように平坦でなくとも良い。即ち、超音波送受信面を平坦以外の形状にした例を以下に記載する。図19では検査対象部位53が凹面形状の場合のセンサ14の超音波送受信面の形状例を示したものである。検査対象部位53が凹面形状である場合、センサ14の検査対象部位53への接触面が平板であると、センサ14の接触面と検査対象部位53の表面との間に隙間ができ、検査対象部位53への超音波入射効率が低下する場合がある。このような超音波入射効率の低下を防止する為、センサ14の超音波入出射面にシリンドリカル形状または球形状の一部分の面形状を成しているアクリルやポリエチレン等の緩衝材52を装着する。この緩衝材52を検査対象部位53の形状に合わせることで、超音波入射効率の低下を防止できる。緩衝材52の形状は検査対象部位53の凹面形状の半径より、緩衝材52の形状の半径が小さいこととする。これにより検査対象部位53への緩衝材52の追従性が向上し、超音波入射効率の低下を防止でき、信頼性が高く高精度な超音波検査が実現できる。図20も検査対象部位53が凹面形状の場合に採用するセンサ14の例を示したものである。図19との違いは、送信振動子列15と受信振動子列19の各振動素子の配置を、検査対象部位53の形状に沿うように配置してあるところである。これにより図19と同じように、超音波入射効率の低下を防止でき、信頼性が高く高精度な超音波検査が実現できる。図21は検査対象部位53が凸面径形状の場合に対応したセンサ14の例を示したものである。検査対象部位53が凸面径形状である場合、センサ14の検査対象部位53への接触面が平板であると、センサ14の接触面と検査対象部位53間に隙間ができ、検査対象部位53への超音波入射効率が低下する場合がある。このような超音波入射効率の低下を防止する為、センサ14の超音波入出射面にシリンドリカル形状または球形状の一部分の面の形状を成しているアクリルやポリエチレン等の緩衝材52を装着する。この緩衝材52を検査対象部位53の形状に合わせることで、超音波入射効率の低下を防止できる。緩衝材52の形状は検査対象部位53の凸面径形状の半径より、緩衝材52の形状の半径が大きいこととする。これにより検査対象部位53への緩衝材52の追従性が向上し、超音波入射効率の低下を防止でき、信頼性が高く高精度な超音波検査が実現できる。図22も検査対象部位53が凸面径形状の場合のセンサ14の例を示したものである。図21との違いは、送信振動子列15と受信振動子列19の振動素子配列を、検査対象部位53の形状に合わせて弓形の配置にしているところである。これにより図21と同じく超音波入射効率の低下を防止でき、信頼性が高く高精度な超音波検査が実現できる。図23は既述の実施例による超音波探傷装置のセンサ14にセンサ14の検査対象部位53への追従性向上機構を追加したものである。凹凸がある検査対象部位53をセンサ14で走査しながら検査すると、センサ14の端部が検査対象部位53と干渉し、センサ14のスムーズな走査や、検査対象部位53への的確な密着が得られないことがある。この現象を回避するため、センサ14の端部に摩擦低減手段としてローラーまたはボールベアリング等の滑り機構54を装着し、センサ14の端部が検査対象部位53と干渉や突っかかりを防止する。これにより、センサ14のスムーズな走査や検査対象部位53への的確な密着が得られ、信頼性が高く高精度な超音波検査が実現できる。図24は記述の実施例による超音波探傷装置のセンサ14の送信振動子列と受信振動子列との各振動素子の配列に工夫を凝らしてセンサ55とした例である。図24の例では装置構成および制御系は図1と同じである。その工夫点は以下のとおりである。即ち、図24ではセンサ55は送信振動子15の振動素子と受信振動子19の振動素子とを交互に配置して構成されている。センサ55の利点は、溶接金属部や不均一材料中を超音波が伝播する際の屈曲の影響が多少あったとしても、別の送受信一体型小型アレーセンサ55から出射される超音波と欠陥先端からの回折波18は同じ経路を伝播するため、超音波の送信領域と受信領域を全く同じ領域にすることができ、超音波の屈曲の影響による回折波の検出効率の低下を防止でき、回折波を効率的に検出し欠陥検出効率を飛躍的に改善できることである。記述の実施例による超音波探傷装置を用いた原子炉内の検査装置を図25に示す。即ち、棒状の操作ポール133の下方の先端に記述の実施例による超音波探傷装置のセンサ14又は55を装着し、原子炉内の欠陥深さサイジング実施する実施例を示したものである。以下、代表してセンサ14を採用した例を示す。センサ14は操作ポール133の下方側先端に取り付けられている。操作ポール133の下方はオペレーションフロア118上の作業台車115から原子炉の圧力容器内の炉水119中に降ろされる。センサ14の欠陥22への位置合わせは、センサ14付の操作ポール133とほぼ同時に原子炉の圧力容器内の炉水119中に投入された照明付カメラ135で監視しながら、原子炉の圧力容器内のシュラウド等の炉内構造物131の欠陥22の真上欠陥22の開口部にセンサ14を位置合わせする。照明付カメラ135のカメラケーブル134は作業台車115上のモニターに接続され、作業台車115上でセンサ14の位置をモニターで監視できる。欠陥22の真上欠陥22の開口部にセンサ14を位置合わせした後、センサ14に信号ケーブル123で接続された超音波探傷装置本体122で欠陥22の検出及び深さサイジングが可能となる。センサ14を欠陥22の表面炉内構造物131に密着させる為、操作ポール133とセンサ14の間に馴染み機構136コンプライアンス機構,ジンバル機構を設置してある。さらに、操作ポール133と送受信一体型小型アレーセンサ14の間にX-Yスキャナーを設置することにより、欠陥の分布が測定可能となる。図26で既述の実施例による超音波探傷装置を用いた原子炉内の他の検査装置を以下に説明する。オペレーションフロア118上の作業台車115から原子炉の圧力容器内の炉水119中に、検査補修装置114以下、マスト114という。が作業台車115上の上下移動機構116からワイヤ117で吊って降ろされる。炉水119中に降ろされたマスト114は原子炉の圧力容器内の炉心支持板121に着座させ、原子炉の圧力容器内の上部格子板120で支持される。マスト114には伸縮自在なリンク機構であるパンタグラフ機構113が据付けられていて、そのパンタグラフ機構113の先端にセンサ14を含む点検ヘッド111が装着されている。したがって、パンタグラフ機構113を伸長させると、パンタグラフ機構113が縮んでマスト114内に納められていたセンサ14を含む点検ヘッド111が水平方向に突き出る。このようにパンタグラフ機構113の伸縮作用によってマスト114からセンサ14が進退移動できる。パンタグラフ機構113の伸長作用で原子炉内の炉内構造物131にセンサ14を押し当てて欠陥検出または欠陥深さサイジングを実施する。センサ14は点検ヘッド111の内部に格納されており、センサ14を検査対象であるシュラウド等の炉内構造物131に押し付けてシュラウド等の欠陥の検出およびサイジングを実施する。センサ14は点検ヘッド111の内部に設置されたジンバル機構で保持され、ジンバル機構は押し付け機構で保持され、押し付け機構はX-Yスキャナーで把持されている。即ち、点検ヘッド111の内部にはX-Yスキャナー,押し付け機構,ジンバル機構および送受信一体型小型アレーセンサ14が内蔵されている。パンタグラフ機構113はマスト114内部の直線移動機構で支持されており、その直線移動機構によってパンタグラフ機構113はマスト114内部を上下することが可能である。これにより、検査対象面であるシュラウド等の詳細探傷を実施する場合や測定点を僅かに移動させたいときは、X-Yスキャナーを用いてセンサ14を移動させる。また、粗探傷や検査場所を大きく変える場合は、マスト114内部の直線移動機構とパンタグラフ機構113で点検ヘッド111およびセンサ14を移動させることができる。次に、マスト114の原子炉の圧力容器内への投入および回収方法を説明する。マスト114は作業台車115に設置された上下移動機構116でワイヤ117を用いてオペレーションフロア118の高さから炉水119中に吊り下げ、降下させる。検査補修装置114は上部格子板120を通過させて、炉心支持板121へ着座させる。その後、上で述べたような手順で、パンタグラフ機構113の伸縮で点検ヘッド111を検査位置方向に展開し、センサ14を検査対象面であるシュラウド等に押し付けてシュラウド等の欠陥を検出およびサイジングする。検査終了後、点検ヘッド111の展開と逆手順で点検ヘッド111をますと114内に収納し、検査補修装置114は作業台車115に設置された上下移動機構116でオペレーションフロア118の高さまで吊り上げられて、天井クレーン等を用いてオペレーションフロア118の上に回収される。マスト114の回転,パンタグラフ機構113の上下移動および展開収納等の動作はオペレーションフロア118上の検査補修装置コントローラ124で制御し、制御信号は信号ケーブル123を用いて伝送される。点検ヘッド111に内蔵されたセンサ14は超音波探傷装置本体122で制御され、信号は信号ケーブル123を用いて相互に伝送される構成となっている。"