"研磨装置の回転定盤に装着されて、研磨パッドを該回転定盤に対して着脱可能に取り付ける研磨パッド用補助板において、前記回転定盤の上面に重ね合わされて配される下側補助板と、該下側補助板を該回転定盤に固着する第一の固着手段と、前記研磨パッドが重ね合わされて固着されるパッド支持面を備えており、該下側補助板の上面に重ね合わされて配される上側補助板と、該上側補助板を該下側補助板に固着する第二の固着手段と、該下側補助板と該上側補助板とを相互に位置決めして中心軸を合わせる位置決め手段とを、有しており、前記研磨装置の前記回転定盤に対して前記下側補助板が前記第一の固着手段による固着状態に保持されて、該回転定盤に固着された該下側補助板から前記上側補助板を取り外すことにより、該上側補助板の前記パッド支持面に固着されたままの状態で前記研磨パッドを該回転定盤から取り外すことが可能とされていると共に、取り外した該上側補助板を該下側補助板に対して前記位置決め手段による位置合わせ状態で再び固着せしめて取り付けることが可能とされていることを特徴とする研磨パッド用補助板。前記第二の固着手段による前記下側補助板と前記上側補助板との固着力が、前記第一の固着手段による前記回転定盤と該下側補助板との固着力よりも小さくされている請求項1に記載の研磨パッド用補助板。前記位置決め手段が、前記下側補助板および前記上側補助板の外周面よりも内周側に位置して設けられている請求項1又は2に記載の研磨パッド用補助板。前記位置決め手段が、前記下側補助板と前記上側補助板との一方に設けられて他方に向かって突出する係合凸部と、該下側補助板と前記上側補助板との他方に設けられて該係合凸部が係合せしめられる係合凹部とによって構成されている請求項3に記載の研磨パッド用補助板。前記係合凸部および前記係合凹部が、前記下側補助板および前記上側補助板の外周部分に位置する係合部をもって形成されている請求項4に記載の研磨パッド用補助板。前記係合凸部および前記係合凹部における前記係合部が、前記下側補助板および前記上側補助板の周方向に連続して延びて相互に嵌め合わされる環状の係合外周面および係合内周面によって構成されている請求項5に記載の研磨パッド用補助板。前記下側補助板および前記上側補助板の外周部分における周上の複数箇所において、前記下側補助板と前記上側補助板との相互の重ね合わせ面の一方において他方に向かって開口する前記係合凹部と、該下側補助板と前記上側補助板との相互の重ね合わせ面の他方において一方に向かって突出する前記係合凸部とが、互いに対応する位置に形成されており、該係合凹部に対する該係合凸部の嵌まり込みによって前記係合部が構成されている請求項5に記載の研磨パッド用補助板。前記下側補助板と前記上側補助板との一方の外周部分における周上の複数箇所から他方に向かって突出する前記係合凸部が弾性材によって形成されており、該下側補助板と前記上側補助板との他方における外周面に開口して設けられた前記係合凹部に対して該係合凸部の先端が係合されることにより前記係合部が構成されている請求項5に記載の研磨パッド用補助板。前記係合凸部および前記係合凹部が、前記下側補助板および前記上側補助板の中心軸上に設けられている請求項4に記載の研磨パッド用補助板。前記係合凸部の外周面と前記係合凹部の内周面とにおいて互いに螺合するねじ溝が形成されており、前記位置決め手段を構成する該係合凸部と該係合凹部との螺合により前記第二の固着手段が構成されている請求項9に記載の研磨パッド用補助板。前記下側補助板と前記上側補助板との一方に設けられた前記係合凸部が、該下側補助板と該上側補助板との一方と同じ材質で形成されている請求項4,5,6,7,9,10の何れか1項に記載の研磨パッド用補助板。請求項1~11の何れか1項に記載の研磨パッド用補助板が回転定盤の上面に装着されると共に、該回転定盤の外周側に隙間を隔てて保護部材が配設されており、該回転定盤および該研磨パッド用補助板の外周端面よりも内周側に位置して、前記位置決め手段が設けられていることを特徴とする請求項1~11の何れか1項に記載の研磨パッド用補助板を備えた研磨装置。本発明は上述の如き事情を背景として為されたものであり、回転定盤に対する研磨パッドの固着力を充分に確保しつつ、回転定盤に対する研磨パッドの着脱を容易に行うことを可能と為し、特に回転定盤から研磨パッドを取り外すに際しての研磨パッドの損傷を防止することが出来て、例えば研磨パッドの再利用の実現にも有利とされ得る、新規な構造の研磨パッド用補助板を提供することにある。それに加えて、本発明は、研磨パッドを回転定盤に装着する際の中心合わせの作業を容易に且つ精度良く行うことが出来て、労力負担も軽減され得ると共に、従来の各種仕様の研磨装置における回転定盤にも特別な改造を必要とすることなく容易に且つ有利に適用され得る、改良された構造の研磨パッド用補助板を提供することも、目的とする。さらに、本発明は、かかる新規な構造とされた研磨パッド用補助板を備えた研磨装置を提供することも、目的とする。かかる課題を解決するために、研磨パッド用補助板に関する本発明の第一の態様は、A研磨装置の回転定盤に装着されて、研磨パッドを該回転定盤に対して着脱可能に取り付ける研磨パッド用補助板において、B前記回転定盤の上面に重ね合わされて配される下側補助板と、C該下側補助板を該回転定盤に固着する第一の固着手段と、D前記研磨パッドが重ね合わされて固着されるパッド支持面を備えており、該下側補助板の上面に重ね合わされて配される上側補助板と、E該上側補助板を該下側補助板に固着する第二の固着手段と、F該下側補助板と該上側補助板とを相互に位置決めして中心軸を合わせる位置決め手段とを、有しており、前記研磨装置の前記回転定盤に対して前記下側補助板が前記第一の固着手段による固着状態に保持されて、該回転定盤に固着された該下側補助板から前記上側補助板を取り外すことにより、該上側補助板の前記パッド支持面に固着されたままの状態で前記研磨パッドを該回転定盤から取り外すことが可能とされていると共に、取り外した該上側補助板を該下側補助板に対して前記位置決め手段による位置合わせ状態で再び固着せしめて取り付けることが可能とされている研磨パッド用補助板を特徴とする。本発明に従う構造とされた研磨パッド用補助板では、研磨パッドを、上側補助板および下側補助板を介して、回転定盤に固着して装着することとなる。これにより、下側補助板を回転定盤に固着したまま、下側補助板から上側補助板を取り外すことが出来、研磨パッドを上側補助板に固着されたままの状態で回転定盤から取り外すことが可能となる。それ故、研磨パッドが上側補助板で補強および保護された状態で、研磨パッドの損傷を防止しつつ、研磨パッドを回転定盤から取り外すことが出来、薄肉の研磨パッドの取り扱いも容易となる。そして、例えば研磨対象物や研磨条件の変更等に際して研磨パッドの着脱を繰り返す際や、磨耗した研磨パッドを取り外して再生処理後に再装着する際などにおいて、回転定盤への研磨パッドの着脱や研磨パッドに対する再生処理等の作業を容易に行うことも可能となる。しかも、回転定盤に固着されたままの下側補助板と、研磨パッドと共に取り外される上側補助板とが、位置決め手段により相互に中心軸合わせされることから、回転定盤への位置合わせが必要となる研磨パッドの着脱作業を一層容易に行うことができる。特に、かかる位置決め手段が、下側補助板と上側補助板との間に設けられていることから、回転定盤に対して特別な加工等を施す必要がない。また、かかる位置決め手段が、回転定盤よりも外周側に大きく突出することが回避され得、例えば回転定盤の外周側に保護カバー等が設けられている研磨装置などにも、特別な改造を施すことなく適用可能とされる。本発明の第二の態様は、前記第一の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記第二の固着手段による前記下側補助板と前記上側補助板との固着力が、前記第一の固着手段による前記回転定盤と該下側補助板との固着力よりも小さくされているものである。本態様に従えば、請求項2記載の発明では、第一及び第二の固着手段における固着力を相互に調整して設定したことにより、研磨パッドが固着されたままの上側補助板を、回転定盤に固着されたままの下側補助板から取り外す作業が一層容易となる。要するに、下側補助板を回転定盤に対して固着状態に保つための特別な操作等を必要とすることなく、下側補助板を回転定盤への固着状態に残しつつ研磨パッドを上側補助板に固着されたままの状態で回転定盤から容易に取り外すことが可能になる。本発明の第三の態様は、前記第一又は第二の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記位置決め手段が、前記下側補助板および前記上側補助板の外周面よりも内周側に位置して設けられているものである。本態様の研磨パッド用補助板では位置決め手段における上下補助板の外周側への突出が完全に回避される。それ故、例えば上下補助板の外径寸法を回転定盤の外径寸法と同じか僅かに小さく設定して装着する場合でも、研磨パッドの支持面を十分に大きく確保しつつ、回転定盤から外周側に位置決め手段が突出することを回避することが出来、回転定盤の外周側に保護カバー等が設置されていても、本発明に係る研磨パッド用補助板の適用に際して障害となることが回避される。本発明の第四の態様は、前記第三の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記位置決め手段が、前記下側補助板と前記上側補助板との一方に設けられて他方に向かって突出する係合凸部と、該下側補助板と前記上側補助板との他方に設けられて該係合凸部が係合せしめられる係合凹部とによって構成されているものである。本態様の研磨パッド用補助板では、係合凸部と係合凹部との相互係合作用に基づいて、機械的に大きな位置決め力を容易に得ることが可能となる。また、係合凸部や係合凹部の形状や大きさ、数などを調節することにより、位置決め作用の方向や作用力を大きな自由度で容易に設定することも可能となる。本発明の第五の態様は、前記第四の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記係合凸部および前記係合凹部が、前記下側補助板および前記上側補助板の外周部分に位置する係合部をもって形成されているものである。本態様の研磨パッド用補助板では、研磨パッド用補助板の中央から離れた外周部分に位置して、相互に凹凸嵌合せしめられる係合凸部の係合外周面と係合凹部の係合内周面とを形成することにより、上下補助板の相対的な位置決め精度、特に径方向の位置決め精度の向上が図られ得る。なお、後述の第六及び第七の態様にも示されているように、係合凸部の係合外周面および係合凹部の係合内周面は、研磨パッド用補助板の中心周りで研磨パッド用補助板の外周縁部に沿って周方向に延びる形態であっても良いし、研磨パッド用補助板の外周部分に形成された係合凸部と係合凹部のように周上で部分的に位置する形態であっても良い。本発明の第六の態様は、前記第五の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記係合凸部および前記係合凹部における前記係合部が、前記下側補助板および前記上側補助板の周方向に連続して延びて相互に嵌め合わされる環状の係合外周面および係合内周面によって構成されているものである。本態様の研磨パッド用補助板において、より好適には、研磨パッド用補助板の中心軸回りに広がる環状の係合内外周面をもって係合凹部と係合凸部が形成されることとなり、それによって、上側補助板の下側補助板への装着時に周方向での相互の位置合わせが必要なくなり、容易且つ速やかに作業することが可能となる。本発明の第七の態様は、前記第五の態様に係る研磨パッド用補助板であって、前記下側補助板および前記上側補助板の外周部分における周上の複数箇所において、前記下側補助板と前記上側補助板との相互の重ね合わせ面の一方において他方に向かって開口する前記係合凹部と、該下側補助板と前記上側補助板との相互の重ね合わせ面の他方において一方に向かって突出する前記係合凸部とが、互いに対応する位置に形成されており、該係合凹部に対する該係合凸部の嵌まり込みによって前記係合部が構成されているものである。本態様の研磨パッド用補助板では、上下補助板の相互の位置合わせを軸直角方向だけでなく中心軸回りの周方向でも容易に実現することが可能となる。本発明の第八の態様は、前記第五の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記下側補助板と前記上側補助板との一方の外周部分における周上の複数箇所から他方に向かって突出する前記係合凸部が弾性材によって形成されており、該下側補助板と前記上側補助板との他方における外周面に開口して設けられた前記係合凹部に対して該係合凸部の先端が係合されることにより前記係合部が構成されているものである。本態様の研磨パッド用補助板では、上下補助板の外周面上に係合部を露出させて形成することが可能であり、それによって係合部の係合状態を目視等で容易に確認することが可能となる。また、本態様では、係合凸部の弾性を利用して係合部における係合状態が安定して保たれ得る。本発明の第九の態様は、前記第四の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記係合凸部および前記係合凹部が、前記下側補助板および前記上側補助板の中心軸上に設けられているものである。本態様の研磨パッド用補助板では、上下補助板の中心軸上に係合凸部および係合凹部を設けたことにより、一つの係合部によって上下補助板の中心軸合わせを行うことが可能になる。また、中心軸上に設けられた係合凸部と係合凹部の相互の位置合わせに際しては、上下補助板の周方向での相互の位置合わせが必要なく、それら係合凸部と係合凹部を容易に係合状態とすることも可能になる。本発明の第十の態様は、前記第九の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記係合凸部の外周面と前記係合凹部の内周面とにおいて互いに螺合するねじ溝が形成されており、前記位置決め手段を構成する該係合凸部と該係合凹部との螺合により前記第二の固着手段が構成されているものである。本態様の研磨パッド用補助板では、位置決め手段により、上側補助板と下側補助板との固着力を得ることができる。それ故、かかる位置決め手段のみによって第二の固着手段を構成したり、第二の固着手段による上下補助板間の固着力を位置決め手段で補助的に構成することも可能となる。本発明の第十一の態様は、前記第四,五,六,七,九,十の何れかの態様に係る研磨パッド用補助板において、前記下側補助板と前記上側補助板との一方に設けられた前記係合凸部が、該下側補助板と該上側補助板との一方と同じ材質で形成されているものである。本態様の研磨パッド用補助板では、上下で重ね合わされた補助板における研磨パッドの支持特性が、係合凸部の形成部分で局所的に大きく異なることを防止することが可能となる。それ故、パッド研磨加工に際して押圧力が研磨パッド表面に作用した際、かかる研磨パッドを支持している上下補助板における係合凸部や係合凹部の形成部位において、押圧反力や研磨パッド弾性などの特性が局部的に異なることに起因する研磨精度などの不具合を軽減乃至は回避することが可能になる。さらに、本発明は、前記第一~十一の何れかの態様に記載の本発明に係る研磨パッド用補助板が回転定盤の上面に装着されると共に、該回転定盤の外周側に隙間を隔てて保護部材が配設されており、該回転定盤および該研磨パッド用補助板の外周端面よりも内周側に位置して、前記位置決め手段が設けられている研磨装置も、特徴とする。本発明に従う構造とされた研磨パッド用補助板を採用し、または本発明に従う構造とされた研磨装置を用いることによって、研磨パッドの損傷を防止しつつ、研磨パッドを回転定盤から容易に取り外したり装着したりすることが可能となるのであり、研磨パッドの装着に際しての回転定盤への位置合わせも容易に且つ精度良く行うことが可能となる。以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。先ず、図1~2には、本発明の第一の実施形態としての研磨パッド用補助板10が示されている。この研磨パッド用補助板10は、研磨装置12の回転定盤14に装着されて用いられ、回転定盤14に対して研磨パッド16を着脱可能に取り付けるようになっている。研磨装置は、例えば特開2010-141155号公報等に記載されているように例えばCMP装置として用いられるものであって、基本構造は周知であるが要部を説明すると、先ず基礎ベース上に固定設置された装置本体によって鉛直方向に延びる回転軸が回転可能に支持されており、この回転軸の上端部に円盤形状の回転定盤14が固設されている。かかる回転定盤14は、水平方向に広がる平坦な上面18を有しており、この上面18が研磨パッド16の支持面とされている。また、回転軸には、電気モータの回転出力軸が連結されており、電気モータの駆動力が伝達されることで回転軸ひいては回転定盤14が中心軸回りに回転駆動されるようになっている。なお、研磨パッド16を支持する上面18の上方には、研磨用スラリを供給するノズルが配置されると共に、研磨対象被研磨物であるウェハ等を保持して回転させつつ研磨パッド16に押し付けることで研磨加工を施す研磨ヘッドが配設されている。このような研磨装置において、その回転定盤14に装着された研磨パッド用補助板10は、下側補助板20および上側補助板22を含んでいる。そして、回転定盤14の上面18に対して、下側補助板20が第一の固着手段24で固着されており、更に、下側補助板20の上面に対して、上側補助板22が第二の固着手段26で固着されている。即ち、下側補助板20と上側補助板22は、第二の固着手段26を介して相互に重ね合わされて固着されることにより、全体として二層構造とされた研磨パッド用補助板10を構成しており、第一の固着手段24により回転定盤14の上面18に取り付けられている。下側補助板20および上側補助板22は、何れも、薄肉の略円形平板形状とされており、平坦な表面上面と裏面下面を有している。これらの上下補助板22,20は、装着される研磨パッド16よりも硬質材料であるものや、研磨パッド16よりも部材剛性が大きいものが望ましい。使用方法にもよるが、後述するように下側補助板20は回転定盤14への取り付け後に着脱を繰り返さない使用も可能である一方、上側補助板22は回転定盤14への取り付け後に着脱を繰り返すことが予定されることから、少なくとも上側補助板22は、研磨パッド16よりも部材剛性が大きいものを採用することが望ましい。尤も、上側補助板22は、研磨パッド16を支持せしめて、研磨装置12による研磨加工の他、研磨パッド表面へのドレッシング、清掃、再溝入などの各種の処理に際して要求される強度や剛性、形状安定性及び精度を満足するものであれば良く、その材質や厚さ寸法は限定されるものでない。特に、下側補助板20だけでなく上側補助板22も、それ単体で、研磨パッド16の支持強度や剛性等を負うものでなく、例えば研磨加工に際しては研磨装置12の回転定盤14の上に重ね合わされて使用されることで、回転定盤14で下面を支持されるものであることから、単体での強度や剛性がそれ程迄に要求されるものでない。それ故、ステンレス鋼等の金属の他、合成樹脂や繊維強化樹脂等も、下側補助板20や上側補助板22の形成材料として採用され得る。特に、合成樹脂材は金属材に比して軽量で加工や取扱いが容易であり、例えばポリカーボネート等は、厚さ寸法精度の安定性や温度変化に対する低歪み特性にも優れているといった利点がある。また、研磨パッド16の全体に亘って安定した支持力を得るためには、上側補助板22の外径寸法を研磨パッド16の外径寸法の値以上に設定することが望ましく、且つ下側補助板20の外径寸法を上側補助板22の外径寸法の値以上に設定することが望ましく、更に下側補助板20の外径寸法を回転定盤12の外径寸法の値以下に設定することが望ましい。特に、図1,2に示されているように、下側補助板20および上側補助板22の外径寸法を略同じにすると共に、装着される回転定盤14の外径寸法とも略同じとすることにより、研磨パッド16の支持面積を十分に大きく確保することが可能になる。これにより、回転定盤14と略同じ大きさの研磨パッド16を、その全体に亘って略同じ支持力をもって回転定盤14に装着することが可能となる。更にまた、第一の固着手段24および第二の固着手段26としては、研磨に際して及ぼされる外力に対抗して、回転定盤14の上面18へ下側補助板20および上側補助板22を固着状態に保持し得るものであればよく、特に限定されるものでない。具体的には、接着剤や粘着剤、または基材シートの両面に接着剤や粘着剤が付着等された両面テープなどが、第一及び第二の固着手段24,26として採用され得るが、その他、負圧エア等を利用した負圧吸引や、永久磁石又は電磁石を利用した磁力吸引なども採用可能である。また、これらの接着剤等からなる固着手段は、下側補助板20や上側補助板22において平坦な重ね合わせ面の略全面に亘って略均一に固着力を及ぼすことが望ましく、それによって、大きな固着力を得ることが出来ると共に、研磨パッド用補助板10の表面において研磨パッド16の支持特性が局所的に異なる不具合等を回避できる。例えば負圧吸引や電磁石では固着力をON/OFFできるが、接着剤等のように一定の固着力が及ぼされる場合には、第一の固着手段24による回転定盤14に対する下側補助板20の固着力に比して、第二の固着手段26により下側補助板20に対する上側補助板22の固着力が小さくなるように設定されることが望ましい。これにより、上側補助板22を下側補助板20から引き剥がして取り外す際、下側補助板20を回転定盤14上に固着せしめたまま残置させておくことが容易に実現可能となる。このような固着力の相違の具体的な実現は、接着剤や粘着剤の材質など固着手段そのものを相互に異ならせる他、固着面積や固着面の状態面粗さやプラズマ等の処理有無などを相互に異ならせること等によっても実現可能である。さらに、上側補助板22の表面上面は研磨パッド支持面となっており、研磨パッド16が重ね合わされて取り付けられている。かかる研磨パッド16は、従来から公知の各種の研磨パッドを採用することが出来る。そして、この研磨パッド16の裏面が、上側補助板22の表面に対して、研磨パッド貼付用として従来公知の粘着テープや適当な接着剤等を利用して固着されている。なお、研磨パッド16の上側補助板22への固着手段は前述の第二の固着手段26よりも、大きな固着力を設定することが望ましい。これにより、研磨パッド16が固着されたままの状態で上側補助板22を下側補助板20から取り外す際に、上側補助板22が湾曲等しても研磨パッド16が上側補助板22から予期せずに剥がれることが効果的に防止され得る。また、研磨パッド16の外径寸法は、一般に規格値とされるが、多くの場合、装着される回転定盤14の上面18の外径寸法と同じか小さく設定される。さらに、例えば回転定盤14の上面18と下側補助板20との間、下側補助板20と上側補助板22との間、上側補助板22と研磨パッド16との間の少なくとも一つにおいて、適当なクッション層を設けても良い。このようなクッション層を設けることにより、研磨パッド16による研磨加工に際して、被加工物に対する研磨効率の全面に亘る均一化を図ることが可能となる。かかるクッション層としては、例えば発泡によってある程度の圧縮性が付与された樹脂シートや、エラストマーシート、ゴムシート等が好適に採用され得る。また、第一の固着手段24や第二の固着手段26、研磨パッド16の上側補助板22への固着手段によって、クッション層を構成することも可能である。なお、クッション層は、研磨パッド16の支持面における局部的な歪を防止するために、研磨パッド16の支持領域の略全体に亘る大きさをもって一定厚さで存在するように、形成されることが望ましい。また、研磨パッド用補助板10を構成する下側補助板20と上側補助板22との間には、相互に位置決めして中心軸を合わせる位置決め手段28が設けられている。本実施形態では、下側補助板20の外周部分に、下側補助板20の中心軸回りで全周に亘って延びる円形の段差面30が形成されている。そして、この段差面30よりも外周側では下側補助板20の厚さ寸法が小さくされることで、下側補助板20の外周面に開放する切欠断面形状をもって周方向の全周に連続して延びる環状の係合凹部32が、下側補助板20に突出して一体形成されている。一方、本実施形態では、上側補助板22の外周部分には、上側補助板22の中心軸回りで全周に亘って延びる円形の段差面34が形成されている。そして、この段差面34よりも外周側では上側補助板22の厚さ寸法が大きくされることで、上側補助板22の外周端縁に沿って周方向の全周に連続して延びる環状の係合凸部36が、上側補助板22に突出して一体形成されている。なお、係合凸部36および係合凹部32は、上下補助板22,20のどちらに形成されていても良い。上述の下側補助板20の段差面30および係合凹部32は、上側補助板22の段差面34および係合凸部36に対して相互に位置合わせされており、本実施形態において係合外周面および係合内周面を構成している。そして、下側補助板20に上側補助板22が重ね合わされる際、係合凹部32に係合凸部36が嵌まり込み、段差面30に段差面34が径方向で重ね合わされ、係合部が形成される。これにより、係合凹部32と係合凸部36とによって位置決め手段28が構成されており、中心軸が相互に一致させられて径方向で位置合わせされた状態で、下側補助板20と上側補助板22が重ね合わされるようになっている。なお、位置決め手段28は、上下補助板22,20の外周面よりも内周側に位置して設けられ、それにより、上下補助板22,20、ひいては研磨装置12が大型化しないようにしている。このような構造とされた研磨パッド用補助板10を備えた研磨装置12にあっては、図1に示されているように、回転定盤14の上面18に上下の補助板22,20からなる研磨パッド用補助板10を固着せしめて装着すると共に、上側補助板22の上面に研磨パッド16を固着支持せしめた状態で、回転定盤14を回転駆動させて基板等の被加工物に対してCMP化学機械研磨を施すようにされる。そして、かかる研磨装置12は、特定構造の研磨パッド用補助板10を備えていることにより、以下の如き特別な技術的効果を発揮し得る。先ず、図2に示されているように、研磨パッド16を上側補助板22の上面に固着させたままで、上側補助板22を、第一の固着手段24により回転定盤14に固着された下側補助板20から取り外すことにより、研磨パッド16を回転定盤14から取り外すことが出来る。そして、回転定盤14から取り外して研磨パッド16の表面研磨面をクリーニングや再加工等する場合でも、研磨パッド16を上側補助板22の上面に固着させたままで行うことが出来る。これにより、回転定盤14に対する研磨パッド16の着脱の際や、研磨パッド16のクリーニングや再加工の際などは勿論、研磨パッド16の移送時や保存時等においても、上側補助板22による補強作用により研磨パッド16の曲がりや損傷を防止できて、研磨パッド16を良好な状態に保つことが出来る。また、研磨パッド16を上側補助板22と共に回転定盤14から取り外した際にも、回転定盤14の上面18には下側補助板20が残置される。そして、研磨パッド16を再び回転定盤14に装着する際、上側補助板22と下側補助板20との間に設けられた位置決め手段28により、上側補助板22ひいては研磨パッド16が下側補助板20ひいては回転定盤14に対して高精度に且つ容易に中心軸合わせされ得る。ここにおいて、かかる位置決め手段28を構成する係合凹部32と係合凸部36は、相互に嵌合された状態で殆ど隙間なく重ね合わされるようになっていることから、研磨パッド16の支持特性への悪影響が防止され得る。また、上下補助板22,20の外周部分のうち特に本実施形態では外周端縁部に係合部、言い換えると位置決め手段28が形成されており、研磨パッド16において研磨用の主たる領域となる径方向中間部分を外れていることから、係合凹部32と係合凸部36の嵌合部分に多少の隙間があっても、研磨特性に大きな問題が発生する程の研磨パッド16の支持特性への悪影響が回避され得る。しかも、位置決め手段28を構成する係合凹部32と係合凸部36は、上下補助板22,20の重ね合わせ面、換言すると、回転定盤14および研磨パッド用補助板10の外周端面よりも内周側に形成されており、上下補助板22,20の外周面上への突出が回避され得る。それ故、例えば図1,2に示されているように、研磨装置12において回転定盤14の外周側に近接して保護部材38が設置されている場合でも、そのような保護部材38への干渉を回避しつつ、位置決め手段28を備えた上下補助板22,20を備えた研磨装置12が実現可能とされる。さらに、上述のように研磨パッド16の損傷を防止しつつ、正確な位置合わせ精度で速やかに研磨パッド16を回転定盤14に対して着脱することが出来る結果、研磨パッド16の着脱等の作業のために高価な研磨設備の稼働時間が不必要に制限されることがなくなり、研磨設備の稼働効率の向上ひいては基板等の生産効率研磨作業効率の向上が達成され得る。また、研磨パッド16の回転定盤14に対する着脱が容易に実現されることから、特別な熟練や知識がなくとも研磨パッド16の再利用が実用レベルで実現可能となる。即ち、例えば、基板等の被研磨物の品種切り替え等に際して一旦回転定盤14から外した研磨パッド16を再利用したり、劣化対策として別の加工装置で表面溝入れ等の再加工するのに一旦回転定盤14から取り外した研磨パッド16を再加工後に再利用したりすることなども、実用化レベルで検討することが可能となるのである。以上、本発明の第一の実施形態について説明してきたが、本発明の具体的構造はかかる第一の実施形態によって限定的に解釈されるものでない。上下補助板22,20間において別構造の位置決め手段を備えた、本発明の別の実施形態の複数を以下に例示するが、これらの実施形態も本発明の構成を限定的に示すものでない。なお、以下の実施形態において、第一の実施形態と同様な構造とされた部材および部位については、それぞれ、第一の実施形態と同一の符号を各図中の対応する部位に記載することにより、それらの詳細な説明を省略する。図3~4には、本発明の第二の実施形態としての研磨パッド用補助板40を備えた研磨装置42が示されている。この研磨パッド用補助板40においては、下側補助板20の上面の外周部分を周方向に連続して延びる円環形状の溝によって係合凹部44が形成されている。一方、上側補助板22の下面の外周部分には、周方向に連続して延びる円環形状の突起によって係合凸部46が形成されている。この係合凸部46は、上側補助板22に一体形成されていても良いが、図示されているように、別体形成されていても良い。即ち、本実施形態では、上側補助板22の下面に開口して周方向に延びる円環形状の周溝48が形成されており、この周溝48に対して、別体形成された円環形状のブロックが軸方向一端側で嵌め込まれて固着されることにより係合凸部46が形成されている。下側補助板20の係合凹部44と、上側補助板22の係合凸部46は、何れも中心軸回りで対応する径方向位置に形成されており、上下補助板22,20が重ね合わされた際、係合凹部44に対して係合凸部46が嵌め入れられることにより、上下補助板22,20が相互に径方向で位置合わせされるようになっている。なお、本実施形態では、下側補助板20の係合凹部44における両側壁面と、上側補助板の係合凸部46における内外周面との、各対応する径方向の重ね合わせ面によって、二組の係合内周面および係合外周面が構成されている。図5~6には、本発明の第三の実施形態としての研磨パッド用補助板50を備えた研磨装置52が示されている。この研磨パッド用補助板50においては、下側補助板20の外周部分には、中心軸回りで全周に亘って延びる円形の係合内周面としての段差面54が形成されている。そして、この段差面54よりも外周側では下側補助板20の厚さ寸法が大きくされることで、下側補助板20の外周端縁に沿って周方向の全周に連続して延びる環状の係合凸部56が、下側補助板20に一体形成されている。一方、上側補助板22の外周部分には、中心軸回りで全周に亘って延びる円形の係合外周面としての段差面58が形成されている。そして、この段差面58よりも外周側では上側補助板22の厚さ寸法が小さくされることで、上側補助板22の外周面に開放する切欠断面形状をもって周方向の全周に連続して延びる環状の係合凹部60が、上側補助板22に一体形成されている。さらに、下側補助板20の段差面54には雌ねじが形成されている一方、上側補助板22の段差面58には雄ねじが形成されている。そして、下側補助板20の段差面54の雌ねじに対して上側補助板22の段差面58の雄ねじを螺合させて、下側補助板20の段差面54と上側補助板22の段差面58とを径方向に重ね合わせることにより、下側補助板20の上面に上側補助板22が重ね合わされるようになっている。また、かかる重ね合わせ状態下では、上下補助板22,20の段差面58,54の螺着構造により、上下補助板22,20を取り外し可能に固着する第二の固着手段62が構成されている。なお、このような螺着構造における雌雄ねじは、研磨装置12の回転定盤14に対して及ぼされる研磨時の回転反力を考慮して、ねじが緩まないようにねじ方向が設定されることが望ましい。図7~8には、本発明の第四の実施形態としての研磨パッド用補助板64を備えた研磨装置66が示されている。この研磨パッド用補助板64においては、下側補助板20の上面の中央部分で上方に向かって突出する円柱形状の係合凸部68が形成されている。この係合凸部68は、下側補助板20に一体形成されていても良いが、図示されているように、別体形成されていても良い。即ち、本実施形態では、下側補助板20の中心軸上に円形の嵌着凹所70が形成されており、この嵌着凹所70に対して、別体形成された円柱形状のブロックが軸方向一端側で嵌め込まれて固着されることにより係合凸部68が形成されている。一方、上側補助板22の下面の中央部分には、中心軸上で下面に開口する有底円形の係合凹部72が形成されている。なお、係合凸部68および係合凹部72は上下補助板22,20のどちらに形成されていても良い。そして、上下補助板22,20が重ね合わされた際、係合凹部72に対して係合凸部68が嵌め入れられることにより、上下補助板22,20が相互に径方向で位置合わせされるようになっている。なお、本実施形態では、下側補助板20の係合凸部68の外周面と上側補助板22の係合凹部72の内周面とによって、係合外周面と係合内周面とが構成されている。図9には、本発明の第五の実施形態としての研磨パッド用補助板74を備えた研磨装置76が示されている。この研磨パッド用補助板74においては、下側補助板20の上面の外周部分で上方に向かって突出する円柱形状の係合凸部78が形成されている。この係合凸部78は、下側補助板20に一体形成されていても良いし、前記第四の実施形態における係合凸部のように下側補助板20に嵌着凹所を形成して別体のピンなどを圧入等で固着しても良い。また、図10~11に示されているように、かかる係合凸部78は、下側補助板20の外周部分で周方向で所定距離を隔てて互いに独立して複数形成されている。特に好適には、周方向で等間隔に且つ中心軸上の同一円上に位置して、それら複数の係合凸部78が形成される。一方、上側補助板22の下面の外周部分には、下側補助板20における複数の係合凸部78の形成位置に対して各対応する位置に、それぞれ、有底円形の係合凹部80が下方に向かって開口して形成されている。なお、係合凸部78および係合凹部80は上下補助板22,20のどちらに形成されていても良い。そして、上下補助板22,20が重ね合わされた際、係合凹部80に対してそれぞれ係合凸部78が嵌め入れられることにより、上下補助板22,20が相互に径方向で位置合わせされるようになっている。なお、本実施形態では、下側補助板20の係合凸部78の外周面と上側補助板22の係合凹部80の内周面とによって、下側補助板20および上側補助板22の外周部分に位置する係合外周面と係合内周面とが構成されている。特に本実施形態のように、周方向で独立した複数の係合凸部78と係合凹部80とからなる位置決め手段を採用することにより、重ね合わされた上下補助板22,20を径方向だけでなく周方向においても相互に位置決めすることが可能となる。なお、上側補助板22に形成される独立した複数の係合凹部80に代えて、上側補助板22の中心軸回りで周方向に連続して円形に延びる周溝を採用したり、或いは図12における本発明の第六の実施形態に示されているように、上側補助板22の外周部分を中心軸回りで全周に亘って延びる円形の段差面82を形成し、この段差面82よりも外周側の厚さ寸法を小さくすることで、上側補助板22の外周面に開放する切欠断面形状をもって周方向の全周に連続して延びる環状の係合凹部83を形成することも可能である。このように上側補助板22において、下側補助板20の係合凸部78の係合面を全周に亘って連続して形成することにより、上下補助板20,22の重ね合わせに際して、上下補助板20,22を相互に周方向で位置合わせする必要がなくなって装着作業を容易に行うことが可能となる。図13には、本発明の第七の実施形態としての研磨パッド用補助板84が示されている。この研磨パッド用補助板84においては、下側補助板20の外周面の上側部分と、上側補助板22の外周面の下側部分とに、それぞれ小径部が設けられている。そして、これら上下補助板22,20が重ね合わされることにより、それぞれの小径部によって、上下補助板22,20間に跨がって所定幅で広がって周方向の全周に亘って延びる円環形状の収容凹所86が形成されている。また、下側補助板20の小径部下端には、溝状の係合凹部88が形成されている。この係合凹部88は、収容凹所86の底面において、下側補助板20の外周面に開口せしめられている。ここで、収容凹所86の底面とは、収容凹所86を構成する面のうち、上下補助板22,20に跨り、図13の上下方向に広がる環状の面を指す。一方、収容凹所86を構成する上側補助板22の小径部には、弾性材からなる板状の係合凸部90が、その基端部において固定ピン92で固定されて取り付けられるている。この係合凸部90は、上下補助板22,20の外周面に形成された収容凹所86に収容配置されており、上側補助板22から下側補助板20の外周面上に延び出している。そして、係合凸部90の先端部分に形成された係合爪部94が、下側補助板20の小径部に形成された係合凹部88に対して係止され、係合凸部90の弾性に基づいて係止状態に保持されるようになっている。更にまた、このような係合凸部90が、上下補助板22,20の外周面上で周方向に所定距離を隔てて複数設けられている。そして、上側補助板22の外周面に取り付けられた各係合凸部90が、下側補助板20の外周面に対して弾性的に押し付けられることで、上下補助板22,20が中心軸上で相互に位置決めする位置決め手段が構成されている。また、係合凸部90の係合爪部94が係合凹部88に係止されることにより、上下補助板22,20を重ね合わせ状態に保持せしめて固着力を及ぼす固着手段も構成されている。なお、上述の如き係合凹部88に係合する係合爪部94を備えた係合凸部90に代えて、例えば図14に示された本発明の第八の実施形態のように、上下補助板22,20間に跨がって延びて収容凹所86の底面に重ね合わされる連結板100を採用し、かかる連結板100の両端部分を上下補助板22,20の各一方の外周面に対して連結ピン102,102で固着することも可能である。なお、連結ピン102,102の少なくとも一方は下側補助板20又は上側補助板22に対して着脱可能とされることにより、上下補助板22,20の連結板100による連結が解除可能とされて、研磨パッド16が固着された上側補助板22の下側補助板20に対する着脱が許容されることとなる。また、第一~八の実施形態に示された両面テープ等からなる第一の固着手段24や第二の固着手段26は、上下補助板22,20や回転定盤14を取り外す際に、特定の部材側の固着面に保持されることが望ましい。これにより、取り外した状態での上下補助板22,20や第一及び第二の固着手段24,26の取り扱いが容易となるからである。なお、第一及び第二の固着手段24,26が何れの固着面に残るかは、第一の固着手段や第二の固着手段24,26自体における両面の固着力を相互に異ならせる他、固着される上下補助板22,20や回転定盤14の面粗度や材質等を相互に異ならせることなどによって設定することが可能である。特に、第一の固着手段24は、下側補助板20を取り外す際に下側補助板20側の固着面に保持されることが望ましく、それによって回転定盤14の上面18のメンテナンスが容易となる。一方、第二の固着手段26は、第一の実施形態における図2に示されているように、上側補助板22を取り外す際に上側補助板22側の固着面に保持されるようになっていても良いし、例えば図15に示す本発明の第九の実施形態のように、下側補助板20の上面に残るようにしても良い。なお、第二の固着手段26を上側補助板22側の固着面に保持させることにより、研磨パッド16の溝入れなどの再加工用装置の回転定盤に対して、取り外した上側補助板22を装着する際に、上側補助板22に保持された第二の固着手段26を利用して取り付けることも可能となる。一方、第二の固着手段26を下側補助板20側の固着面に保持させることにより、別の研磨パッド16を装着した別の上側補助板22を下側補助板20に装着する際に、下側補助板20に保持された第二の固着手段26を利用して取り付けることも可能となる。また、第一~七の実施形態に示された係合凹部32,44,60,72,80,83,88と係合凸部36,46,56,70,78,90は、下側補助板20側と上側補助板22側とにおいて相互に反対側に設けられていても良い。例えば本発明の第十の実施形態が図16に示されているように、第一の実施形態として図1~2に示された研磨パッド用補助板10に対して、その係合外周面を構成する段差面30と係合凹部32とを上側補助板22に形成する一方、係合内周面を構成する段差面34と係合凸部36とを下側補助板20に形成することも可能である。更にまた、第一~六の実施形態に示された係合凹部32,44,60,72,80,83と係合凸部36,46,56,70,78において、相互に重ね合わされて上下補助板22,20を位置決めする係合凸部の外周面と係合凹部の内周面とに対して傾斜角を付すことも可能である。例えば本発明の第十一の実施形態が図17に示されているように、下側補助板20の外周部分に突出形成した係合凸部36の係合内周面としての段差面34に対して、係合凸部36が突出方向で次第に先細となる傾斜方向のテーパを付す一方、上側補助板22の外周部分に形成した係合凹部32の係合外周面としての段差面30に対して、段差面34に対応する傾斜方向および傾斜角度のテーパを付すことができる。これにより、係合凸部36を係合凹部32に嵌め入れて上下補助板22,20を重ね合わせる作業を、両段差面34,30に付されたテーパを案内面として利用することで、一層容易に行うことが可能となる。因みに、図18に記載の本発明の第十二の実施形態や、図19に記載の本発明の第十三の実施形態に示されているように、下側補助板20の周方向で独立して複数形成される突起形状の係合凸部78と、上側補助板22の各対応する位置に形成される複数の穴形状の係合凹部80とを採用する場合でも、係合凸部78の突出先端部分の外周面に対して傾斜角を付して、先細形状のテーパ部104を形成することができる。なお、図19では、下側補助板20に形成された嵌着穴105に対して、別体形成された係止ピン106が圧入等で固着されて係合凸部78が構成されており、かかる係止ピン106の下端にも、上端と同様なテーパ部104が付されている。これにより、係止ピン106に方向性が無くなって取り扱いが容易となると共に、嵌着穴105への圧入作業も容易となる。また、図20に示された本発明の第十四の実施形態では、上下補助板22,20の重ね合わせ状態で中心軸を合わせる位置決め手段の一種として、それら上下補助板22,20間に跨がって外挿される位置決めスリーブ108が示されている。この位置決めスリーブ108は、互いに略同じ外径寸法の円板形状とされた上下補助板22,20の外径寸法と同じか僅かに大きな内径寸法を有しており、金属材や合成樹脂材によって形成されている。このような位置決めスリーブ108を、上下補助板22,20の重ね合わせに際して用いて、位置決めスリーブ108内で上下補助板22,20を重ね合わせるとにより、上下補助板22,20を中心軸合わせしつつ軸方向に重ね合わせて、第二の固着手段26で相互に固着することができる。それ故、上下補助板22,20を重ね合わせて相互に固着せしめた後で、位置決めスリーブ108を取り外すことが出来るのであり、それによって、上下補助板22,20を、外周面上に突出する位置決め手段を有しない状態で且つ正確な位置合わせ状態で相互に固着することが可能となる。更にまた、図21に示された本発明の第十五の実施形態では、上下補助板22,20の重ね合わせ状態で重ね合わせ方向に跨がって延びるスリット状の係合溝110が形成されている。この係合溝110は、上下補助板22,20の外周面に開口して径方向内方に所定深さを有しており、上下補助板22,20の周方向で互いに独立して複数設けられている。そして、かかる係合溝110に対して、外周面の開口部からプレート形状の係合板112が嵌め入れられることにより、かかる係合板112で上下補助板22,20が相互に位置決めされると共に、相互に連結状態とされている。なお、かかる係合板112は、上下補助板22,20と別体形成されているが、例えば上下補助板22,20の何れか一方において他方に向かって突出する形状をもって一体形成されていても良い。その場合には、係合溝110は、当該他方の補助板にだけ形成されることとなる。さらに、図22に示された本発明の第十六の実施形態では、上側補助板22の下面に開口する係合凹部としての嵌合凹部114が形成されている。特に本実施形態では、かかる嵌合凹部114が、上側補助板22の中心軸回りで周方向に連続して延びる環状溝として形成されている。一方、下側補助板20には、上側補助板22に重ね合わされる上面において上方に突出する係合凸部としての嵌合凸部116が形成されている。なお、本実施形態では、かかる嵌合凸部116が、嵌合凹部114に対応する環状凸部として形成されている。そして、上下補助板22,20の重ね合わせ状態で、嵌合凸部116が嵌合凹部114に入り込んで位置せしめられるようになっている。また、嵌合凸部116は中空構造とされており、嵌合凸部116の内部において外部空間に対して密閉された流体溜118が形成されている。更に、この流体溜118を画成する嵌合凸部116の壁部は、少なくとも内周壁と外周壁が径方向に向かって膨出変形可能にされている。具体的には、例えば嵌合凸部116をゴム弾性体などで形成することによって、径方向内方に膨出可能な内周壁と径方向外方に膨出可能な外周壁とが実現可能である。更にまた、下側補助板22には、流体溜118に連通して、径方向外方に延び出し外周面に開口する流体通路120が形成されていると共に、この流体通路120の外周端開口部に加圧ねじ122がねじ込まれている。また、加圧ねじ122で封止された流体通路120と流体溜118からなる密閉領域には、オイルなどの非圧縮性流体が充填されている。これにより、加圧ねじ122をねじ込むことにより、流体通路120を通じて流体溜118の内圧を上昇させて、流体溜118の内周壁および外周壁を外方に膨出させることが出来る。その結果、嵌合凸部116が拡張されて、嵌合凹部114の内面に押し付けられ、相互の摩擦力等によって上下補助板22,20を相互に位置決めすると共に固着力も及ぼし得るようになっている。なお、上側補助板22を下側補助板20から取り外すに際しては、加圧ねじ122を緩ませる方向に回転操作して下側補助板20の外周側に移動させることにより、流体溜118の圧力を低下させて嵌合凸部116の嵌合凹部114への押し付け力を解除することができる。その他、一々列挙はしないが、本発明は当業者の知識に基づいて種々なる変更,修正,改良などを加えて実施することが可能であり、例えば、係合凸部と係合凹部の係合部分にOリングやシール材を装着して上下補助板の重ね合わせ面等への異物の侵入を防止することも可能である。また、上述の二層構造の補助板20,22に加えて、更に補助板を積層状態で且つ固着手段で固着せしめて追加することも可能である。このように第三層の補助板を採用することで、弾性支持状態を実現したり、或いは中間層を使い捨てする等の態様も可能となる。"