"振動手段の振動に応じて変位し、吐出液を貯留する吐出液貯留室の容積を変化させる液滴吐出ヘッド用振動板であって、樹脂材料で構成された振動フィルムと、前記振動フィルムの一方の面上の一部に設けられ、前記振動手段の振動を前記振動フィルムに伝達する支持部と、を有し、前記支持部は、光硬化性樹脂で構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド用振動板。前記支持部は、未硬化の光硬化性樹脂を前記振動フィルムの一方の面上に塗布して塗布膜を得た後、前記塗布膜の一部を露光し、硬化させて得られたものである請求項1に記載の液滴吐出ヘッド用振動板。前記光硬化性樹脂は、ポリイミド樹脂を主成分とするものである請求項1または2に記載の液滴吐出ヘッド用振動板。前記支持部は、平面視における縁部以外の領域に、その表面が凹没してなる凹部を有している請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド用振動板。前記凹部は、平面視において真円、楕円または長円のいずれかをなしている請求項4に記載の液滴吐出ヘッド用振動板。前記振動フィルムを構成する樹脂材料は、ポリフェニレンサルファイドである請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド用振動板。振動手段の振動に応じて変位し、吐出液を貯留する吐出液貯留室の容積を変化させる液滴吐出ヘッド用振動板を製造する方法であって、樹脂材料で構成された振動フィルムの一方の面上に、未硬化の光硬化性樹脂を塗布して塗布膜を得る工程と、前記塗布膜の一部を露光し、硬化させ、前記振動手段の振動を前記振動フィルムに伝達する支持部を得る工程と、前記露光により硬化しなかった部分の前記塗布膜を除去する工程と、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法。前記塗布膜の一部に露光する工程は、前記塗布膜上にマスクを載せて露光することにより行われる請求項7に記載の液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法。吐出液を貯留する吐出液貯留室が形成された基板と、前記吐出液貯留室を覆うように前記基板の一方の面に設けられ、前記吐出液を液滴として吐出するノズル孔を備えるノズルプレートと、前記吐出液貯留室を覆うように前記基板の他方の面に設けられた振動板と、前記振動板の前記基板とは反対側に設けられた振動手段と、を有する液滴吐出ヘッドであって、前記振動板は、振動フィルムと、前記振動フィルムと前記振動手段との間に前記振動手段に当接するよう、前記振動フィルムの一方の面の一部に設けられた支持部と、を有するものであり、前記支持部は、光硬化性樹脂で構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。請求項9に記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする液滴吐出装置。本発明の目的は、振動特性に優れた液滴吐出ヘッド用振動板、かかる液滴吐出ヘッド用振動板を効率よく製造可能な液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法、インクの吐出特性に優れた液滴吐出ヘッド、および信頼性の高い液滴吐出装置を提供することにある。上記目的は、下記の本発明により達成される。本発明の液滴吐出ヘッド用振動板は、振動手段の振動に応じて変位し、吐出液を貯留する吐出液貯留室の容積を変化させる液滴吐出ヘッド用振動板であって、樹脂材料で構成された振動フィルムと、前記振動フィルムの一方の面上の一部に設けられ、前記振動手段の振動を前記振動フィルムに伝達する支持部と、を有し、前記支持部は、光硬化性樹脂で構成されていることを特徴とする。これにより、振動特性に優れた液滴吐出ヘッド用振動板が得られる。本発明の液滴吐出ヘッド用振動板では、前記支持部は、未硬化の光硬化性樹脂を前記振動フィルムの一方の面上に塗布して塗布膜を得た後、前記塗布膜の一部を露光し、硬化させて得られたものであることが好ましい。これにより、より柔軟性に富んだ液滴吐出ヘッド用振動板が得られる。また、支持部の外縁からの接着剤のはみ出し等の懸念がなくなるため、設計通りの振動特性を確実に再現し得る液滴吐出ヘッド用振動板が得られる。本発明の液滴吐出ヘッド用振動板では、前記光硬化性樹脂は、ポリイミド樹脂を主成分とするものであることが好ましい。これにより、振動を良好に伝達可能な支持部を備えた液滴吐出ヘッド用振動板が得られる。本発明の液滴吐出ヘッド用振動板では、前記支持部は、平面視における縁部以外の領域に、その表面が凹没してなる凹部を有していることが好ましい。これにより、凹部は、接着剤を確実に溜めることのできる形状となるため、支持部と圧電素子との間を接着する接着剤が多過ぎる場合でも、その余剰分を支持部の外側にはみ出させるのではなく、凹部内に押し込んで充填することができるようになり、振動板の振動特性が設計値からずれてしまうのを防止することができる。本発明の液滴吐出ヘッド用振動板では、前記凹部は、平面視において真円、楕円または長円のいずれかをなしていることが好ましい。これにより、接着剤と支持部との界面において応力集中を緩和し易くなり、応力集中に伴う接着剤の剥離や接着力の低下等の不具合が発生するのを確実に防止することができる。本発明の液滴吐出ヘッド用振動板では、前記振動フィルムを構成する樹脂材料は、ポリフェニレンサルファイドであることが好ましい。これにより、耐薬品性に優れ、長期にわたってインクに曝されたとしても変質劣化し難い液滴吐出ヘッド用振動板が得られる。本発明の液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法は、振動手段の振動に応じて変位し、吐出液を貯留する吐出液貯留室の容積を変化させる液滴吐出ヘッド用振動板を製造する方法であって、樹脂材料で構成された振動フィルムの一方の面上に、未硬化の光硬化性樹脂を塗布して塗布膜を得る工程と、前記塗布膜の一部を露光し、硬化させ、前記振動手段の振動を前記振動フィルムに伝達する支持部を得る工程と、前記露光により硬化しなかった部分の前記塗布膜を除去する工程と、を有することを特徴とする。これにより、振動特性に優れた液滴吐出ヘッド用振動板を効率よく製造することができる。本発明の液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法では、前記塗布膜の一部に露光する工程は、前記塗布膜上にマスクを載せて露光することにより行われることが好ましい。これにより、マスクによって露光領域を容易に選択することができるので、支持部の平面視形状も容易かつ高精度に調整することができる。本発明の液滴吐出ヘッドは、吐出液を貯留する吐出液貯留室が形成された基板と、前記吐出液貯留室を覆うように前記基板の一方の面に設けられ、前記吐出液を液滴として吐出するノズル孔を備えるノズルプレートと、前記吐出液貯留室を覆うように前記基板の他方の面に設けられた振動板と、前記振動板の前記基板とは反対側に設けられた振動手段と、を有する液滴吐出ヘッドであって、前記振動板は、振動フィルムと、前記振動フィルムと前記振動手段との間に前記振動手段に当接するよう、前記振動フィルムの一方の面の一部に設けられた支持部と、を有するものであり、前記支持部は、光硬化性樹脂で構成されていることを特徴とする。これにより、インクの吐出特性に優れた液滴吐出ヘッドが得られる。本発明の液滴吐出装置は、本発明の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする。これにより、信頼性の高い液滴吐出装置が得られる。以下、本発明の液滴吐出ヘッド用振動板、かかる液滴吐出ヘッド用振動板を効率よく製造可能な液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法、インクの吐出特性に優れた液滴吐出ヘッド、および信頼性の高い液滴吐出装置を、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。<インクジェット式記録ヘッド>第1実施形態まず、本発明の液滴吐出ヘッドの第1実施形態について説明する。なお、以下では、本発明の液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した場合を一例に説明する。図1は、本発明の液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した実施形態を示す縦断面図、図2は、図1に示すインクジェット式記録ヘッドを備えるインクジェットプリンターの実施形態を示す概略図である。なお、以下の説明では、図1中の上側を上、下側を下と言う。図1に示すインクジェット式記録ヘッド1以下、単にヘッド1と言うこともある。は、図2に示すようなインクジェットプリンター本発明の液滴吐出装置9に搭載されている。図2に示すインクジェットプリンター9は、装置本体92を備えており、上部後方に記録用紙Pを設置するトレイ921と、下部前方に記録用紙Pを排出する排紙口922と、上部面に操作パネル97とが設けられている。操作パネル97は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、LEDランプ等で構成され、エラーメッセージ等を表示する表示部図示せずと、各種スイッチ等で構成される操作部図示せずとを備えている。また、装置本体92の内部には、主に、往復動するヘッドユニット93を備える印刷装置印刷手段94と、記録用紙Pを1枚ずつ印刷装置94に送り込む給紙装置給紙手段95と、印刷装置94および給紙装置95を制御する制御部制御手段96とを有している。制御部96の制御により、給紙装置95は、記録用紙Pを一枚ずつ間欠送りする。この記録用紙Pは、ヘッドユニット93の下部近傍を通過する。このとき、ヘッドユニット93が記録用紙Pの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Pへの印刷が行なわれる。すなわち、ヘッドユニット93の往復動と記録用紙Pの間欠送りとが、印刷における主走査および副走査となって、インクジェット方式の印刷が行なわれる。印刷装置94は、ヘッドユニット93と、ヘッドユニット93の駆動源となるキャリッジモーター941と、キャリッジモーター941の回転を受けて、ヘッドユニット93を往復動させる往復動機構942とを備えている。ヘッドユニット93は、その下部に、多数のノズル孔11を備えるヘッド1と、ヘッド1にインクを供給するインクカートリッジ931と、ヘッド1およびインクカートリッジ931を搭載したキャリッジ932とを有している。なお、インクカートリッジ931として、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラック黒の4色のインクを充填したものを用いることにより、フルカラー印刷が可能となる。往復動機構942は、その両端をフレーム図示せずに支持されたキャリッジガイド軸943と、キャリッジガイド軸943と平行に延在するタイミングベルト944とを有している。キャリッジ932は、キャリッジガイド軸943に往復動自在に支持されるとともに、タイミングベルト944の一部に固定されている。キャリッジモーター941の作動により、プーリーを介してタイミングベルト944を正逆走行させると、キャリッジガイド軸943に案内されて、ヘッドユニット93が往復動する。そして、この往復動の際に、ヘッド1から適宜インクが吐出され、記録用紙Pへの印刷が行われる。給紙装置95は、その駆動源となる給紙モーター951と、給紙モーター951の作動により回転する給紙ローラー952とを有している。給紙ローラー952は、記録用紙Pの送り経路記録用紙Pを挟んで上下に対向する従動ローラー952aと駆動ローラー952bとで構成され、駆動ローラー952bは給紙モーター951に連結されている。これにより、給紙ローラー952は、トレイ921に設置した多数枚の記録用紙Pを、印刷装置94に向かって1枚ずつ送り込めるようになっている。なお、トレイ921に代えて、記録用紙Pを収容する給紙カセットを着脱自在に装着し得るような構成であってもよい。制御部96は、例えばパーソナルコンピューターやディジタルカメラ等のホストコンピューターから入力された印刷データに基づいて、印刷装置94や給紙装置95等を制御することにより印刷を行うものである。制御部96は、いずれも図示しないが、主に、各部を制御する制御プログラム等を記憶するメモリー、印刷装置94キャリッジモーター941を駆動する駆動回路、給紙装置95給紙モーター951を駆動する駆動回路、および、ホストコンピューターからの印刷データを入手する通信回路と、これらに電気的に接続され、各部での各種制御を行うCPUとを備えている。また、CPUには、例えば、インクカートリッジ931のインク残量、ヘッドユニット93の位置等を検出可能な各種センサー等が、それぞれ電気的に接続されている。制御部96は、通信回路を介して、印刷データを入手してメモリーに格納する。CPUは、この印刷データを処理して、この処理データおよび各種センサーからの入力データに基づいて、各駆動回路に駆動信号を出力する。この駆動信号により印刷装置94および給紙装置95は、それぞれ作動する。これにより、記録用紙Pに印刷が行われる。以下、ヘッド1について、図1を参照しつつ詳述する。図1に示すように、ヘッド1は、ノズルプレート10と、ノズルプレート10上に設けられた吐出液貯留室形成基板基板20と、吐出液貯留室形成基板20上に設けられた振動フィルム30と、振動フィルム30上に設けられた支持部40と、支持部40上に設けられた圧電素子振動手段50およびケースヘッド60とを有している。なお、本実施形態では、このヘッド1は、ピエゾジェット式ヘッドを構成する。吐出液貯留室形成基板20以下、省略して基板20と言う。には、インクを貯留する複数の吐出液貯留室圧力室21が形成され、さらに、各吐出液貯留室21に連通し、各吐出液貯留室21にインクを供給する共通の吐出液供給室22が形成されている。図1に示すように、各吐出液貯留室21および吐出液供給室22は、それぞれ、平面視においてほぼ長方形状をなし、各吐出液貯留室21の幅短辺は、吐出液供給室22の幅短辺より細幅となっている。また、各吐出液貯留室21は、吐出液供給室22に対して、ほぼ垂直をなすように配置されており、各吐出液貯留室21および吐出液供給室22は、平面視において全体で櫛状をなしている。基板20を構成する材料としては、特に限定されないが、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコンのようなシリコン材料、ステンレス鋼のような金属材料、石英ガラスのようなガラス材料、アルミナのようなセラミックス材料、グラファイトのような炭素材料、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、アクリロニトリル-スチレン共重合体AS樹脂、シリコーン樹脂のような樹脂材料等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、上記のような材料に、酸化処理酸化膜形成、めっき処理、不働態化処理、窒化処理等の各処理を施した材料でもよい。これらの中でも、基板20の構成材料は、シリコン材料またはステンレス鋼であるのが好ましい。このような材料は、耐薬品性に優れることから、長時間にわたってインクに曝されたとしても、基板20が変質劣化するのを確実に防止することができる。また、これらの材料は、加工性に優れるため、寸法精度の高い基板20が得られる。このため、吐出液貯留室21や吐出液供給室22の容積の精度が高くなり、高品位の印字が可能なヘッド1が得られる。また、吐出液供給室22は、後述するケースヘッド60に設けられた吐出液供給路61と連通して複数の吐出液貯留室21にインクを供給する共通のインク室として機能するリザーバー70の一部を構成する。基板20の下面振動フィルム30と反対側の面には、接着層15を介して、吐出液貯留室21および吐出液供給室22を覆うようにノズルプレート10が接着されている。ノズルプレート10には、各吐出液貯留室21に対応するように、それぞれノズル孔11が形成穿設されている。このノズル孔11から、吐出液貯留室21に貯留されたインク吐出液を押し出すことにより、インクが液滴として吐出されることとなる。また、ノズルプレート10は、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22の内壁面の下面を構成している。すなわち、ノズルプレート10、基板20および振動フィルム30により、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22が画成されている。このようなノズルプレート10を構成する材料としては、例えば、前述したようなシリコン材料、金属材料、ガラス材料、セラミックス材料、炭素材料、樹脂材料、またはこれらの各材料の1種または2種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられる。これらの中でも、ノズルプレート10の構成材料は、シリコン材料またはステンレス鋼であるのが好ましい。このような材料は、耐薬品性に優れることから、長時間にわたってインクに曝されたとしても、ノズルプレート10が変質劣化するのを確実に防止することができる。また、これらの材料は、加工性に優れるため、寸法精度の高いノズルプレート10が得られる。このため、信頼性の高いヘッド1が得られる。なお、ノズルプレート10の構成材料は、300°C以下で線膨張係数が2.5×106/°C以上4.5×106/°C以下程度であるものが好ましい。また、ノズルプレート10の厚さは、特に限定されないが、0.01mm以上1mm以下程度であるのが好ましい。また、ノズルプレート10の下面には、必要に応じて、撥液処理を施すのが好ましい。これにより、ノズル孔から吐出されるインク滴が意図しない方向に吐出されるのを防止することができる。基板20の上面他方の面には、接着層25を介して、吐出液貯留室21および吐出液供給室22を覆うように振動フィルム30が接着されている。また、振動フィルム30は、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22の内壁面の上面を構成している。すなわち、振動フィルム30と、基板20およびノズルプレート10により、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22が画成されている。そして、振動フィルム30が基板20と確実に接合されていることにより、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22の液密性を確保している。さらに、振動フィルム30は、弾性変形する機能を有するものである。したがって、圧電素子50で発生した歪みにより、支持部40を介して振動フィルム30を変位振動させることで、吐出液貯留室21の容積を変化させることができ、その結果、インクが吐出される。振動フィルム30を構成する材料としては、例えば、前述したようなシリコン材料、金属材料、ガラス材料、セラミックス材料、炭素材料、樹脂材料、またはこれらの各材料の1種または2種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられる。これらの中でも、振動フィルム30の構成材料は、ポリフェニレンサルファイドPPS、アラミド樹脂のような樹脂材料、シリコン材料またはステンレス鋼であるのが好ましく、ポリフェニレンサルファイドであるのがより好ましい。このような材料は、耐薬品性に優れることから、長時間にわたってインクに曝されたとしても、振動フィルム30が変質劣化するのを確実に防止することができる。このため、吐出液貯留室21内および吐出液供給室22内に、長期間にわたってインクを貯留することができる。さらに、これらは、高速で弾性変形することが可能な材料であるため、吐出液貯留室21の容積を高速に変化させることができ、その結果、インクを高精度に吐出することができる。振動フィルム30の上面には、振動フィルム30の一部に対応するように支持部40が形成されている。支持部40は、圧電素子50で発生した歪みを、このものを介して、振動フィルム30に伝播する機能を有するものである。これにより、圧電素子50に歪みを発生させることで、振動フィルム30に変位が生じ、その結果、各吐出液貯留室21における容積変化を確実に生じさせることができる。本発明では、この支持部40が光硬化性樹脂で構成されている。光硬化性樹脂は、露光領域の選択によって容易にパターニングを行うことができる材料である。このため、光硬化性樹脂を用いることにより、寸法精度の高い支持部40が得られる。したがって、光硬化性樹脂で構成された支持部40を有する振動板本発明の液滴吐出ヘッド用振動板35は、設計通りの振動特性を有するものとなり、インクを高精度に吐出可能なヘッド1の実現に寄与する。また、光硬化性樹脂は、光硬化反応または光架橋反応によって網目状の三次元構造を構築する。光硬化性樹脂は、樹脂材料の中でも機械的特性の等方性が高いものであるため、したがって光硬化性樹脂を用いることにより、振動を伝達するという支持部40の機能をより確実に果たすことのできる支持部40が得られる。また、支持部40の構成材料として樹脂材料を用いることにより、支持部40と振動フィルム30との間の線膨張率差を抑制することができる。その結果、製造時や使用時において支持部40と振動フィルム30との界面に、線膨張率差に基づいて発生する応力の大きさを抑制し、応力発生に伴う振動特性の低下を抑えることができる。なお、支持部40は、光硬化性樹脂の硬化物で構成された断片を振動フィルム30の上面に対して貼り付けることにより形成されたものでもよいが、好ましくは、未硬化の光硬化性樹脂を振動フィルム30の上面一方の面に塗布して塗布膜を得た後、この塗布膜の一部を露光し、硬化させることで得られたものとされる。このようにして形成された支持部40は、接着剤を用いることなく振動フィルム30の上面に接着された付着したものとなる。このため、接着剤が一部にしか付着しない分、振動板35はより柔軟性に富んだものとなる。また、支持部40の外縁からの接着剤のはみ出し等の懸念がなくなるため、振動板35は、設計通りの振動特性を確実に再現し得るものとなる。光硬化性樹脂としては、例えば、メタアクリル系樹脂、メラミン系樹脂、エポキシ系樹脂、オキセタン系樹脂、フェノール系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を混合したものが用いられる。このうち、光硬化性のメタアクリル系樹脂としては、例えば、分子内に1個のメタアクリロイル基を有する単官能メタアクリレート化合物、分子内に2個または3個のメタアクリロイル基を有する多官能メタアクリレート化合物、スチレン系化合物、アクリル酸誘導体、分子内に4個以上8個以下のメタアクリロイル基を有するアクリレート化合物、エポキシメタアクリレート化合物、ウレタン結合を有するメタアクリレート化合物等が挙げられる。分子内に1個のメタアクリロイル基を有する単官能メタアクリレート化合物としては、例えば、メチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、フェニルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、イソボニルメタアクリレート、ステアリルメタアクリレート、イソステアリルメタアクリレート、メタアクリロイルモルフォリン、ラウリルメタアクリレート等が挙げられる。また、光硬化性のメラミン系樹脂としては、例えば、メラミンとホルムアルデヒドの重合反応物が挙げられる。また、光硬化性のエポキシ系樹脂としては、例えば、少なくとも1個のエポキシ基を有する化合物が挙げられる。具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂のようなビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のようなノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタントリグリシジルエーテルのような芳香族エポキシ樹脂、およびこれらの水添化物や臭素化物等が挙げられる。また、光硬化性のオキセタン系樹脂としては、例えば、少なくとも1個のオキセタン環を有する化合物が挙げられる。具体的には、3-エチル-3-ヒドロキシメチルオキセタン、3-エチル-3-フェノキシメチルオキセタン、3-エチル-3-2-エチルヘキシロキシメチルオキセタン、3-エチル{[-3-トリエトキシリルプロポキシ]メチル}オキセタン、3-エチル-3-メタクリロキシメチルオキセタン、ジ[1-エチル3-オキセタニル]メチルエーテル、1,4-ビス{[3-エチル-3-オキセタニルメトキシ]メチル}ベンゼン、4,4’-ビス[3-エチル-3-オキセタニルメトキシメチル]ビフェニル等が挙げられる。また、光硬化性のフェノール系樹脂としては、例えば、フェノール、クレゾールのようなフェノール類とホルムアルデヒド等とを反応させてなるノボラック等が挙げられる。また、光硬化性のウレタン系樹脂としては、例えば、グリコール等のジオール類とジイソシアネートとを反応させてなる重合反応物等が挙げられる。また、上述した光硬化性樹脂の中でも特にポリイミド系樹脂が好ましく用いられる。ポリイミド系樹脂は、耐候性に優れ、かつ機械的強度が高いことから、振動の伝達を担う支持部40の構成材料として特に有用である。光硬化性のポリイミド系樹脂としては、例えば、ポリイミド前駆体に感光性基を導入した化合物が挙げられる。ポリイミド前駆体としては、公知のものが用いられ、例えば、ジアミン化合物とテトラカルボン酸二無水物とを反応させて得られるポリアミド酸、またはこのポリアミド酸を部分的にイミド化したポリマー等が挙げられる。このうち、ジアミン化合物としては、例えば、1,4-フェニレンジアミン、1,2-フェニレンジアミン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジメチルジフェニルメタン、1,3-ジメチル-2,4-ジアミノベンゼン、2,3-ジメチル-1,4-ジアミノナフタレン、2,6-ジメチル-1,5-ジアミノナフタレン、3,3’,5,5’-テトラメチル-4,4’-ジアミノジフェニルメタン及び3,3’,5,5’-テトラエチル-4,4’-ジアミノジフェニルメタンのような炭素数6~20の芳香族ジアミン、1,2-エチレンジアミン、1,6-ヘキサンジアミン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジメチルジシクロヘキシルメタン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジメチルジシクロヘキシル、ジアミノシクロヘキサン、イソホロンジアミンのような炭素数2~14の脂肪族ジアミン等が挙げられる。一方、テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、芳香族カルボン酸二無水物および脂肪族カルボン酸二無水物等が挙げられる。このうち、芳香族カルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、1.4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物及び1,2,4,5-ベンゼンテトラカルボン酸二無水物のような炭素数10~14の芳香族カルボン酸二無水物等が挙げられる。一方、脂肪族カルボン酸二無水物としては、例えば、シクロブタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ブタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物のような炭素数8~11の脂肪族カルボン酸二無水物等が挙げられる。また、ポリアミド酸を部分的にイミド化するには、例えば、ポリアミド酸の溶液を加熱する方法、脱水剤を添加する方法等が用いられる。そして、光硬化性のポリイミド系樹脂は、このようなポリイミド前駆体に感光性基を導入することにより得られる。具体的には、ポリイミド前駆体に3級アミンとメタアクリロイル基を有する化合物とを混合して得られるポリイミド系樹脂、ポリイミド前駆体のカルボキシル基にエステル結合を介してメタアクリロイル基を導入して得られるポリイミド系樹脂、ポリイミド前駆体のカルボキシル基にメタアクリロイル基を有するイソシアネート化合物を導入して得られるポリイミド系樹脂、ポリイミド前駆体とメタアクリル化合物とを混合して得られるポリイミド系樹脂、ポリイミド前駆体と光酸発生剤とを混合して得られるポリイミド系樹脂、ポリイミド前駆体と光塩基発生剤とを混合して得られるポリイミド系樹脂、ポリイミド前駆体とジアゾナフトキノン誘導体とを混合して得られるポリイミド系樹脂、ベンゾフェノン骨格を有するポリイミド前駆体で構成されたポリイミド系樹脂、ポリイミド前駆体とメチロール系架橋剤と光酸発生剤とを混合してなるポリイミド系樹脂、フェノール性の水酸基を有するポリイミド前駆体とジアゾナフトキノン誘導体とを混合して得られるポリイミド系樹脂等が挙げられる。このような光硬化性樹脂は、いずれも未硬化のものであり、これらを硬化させることで支持部40が形成される。すなわち、支持部40は、上述したような光硬化性樹脂の硬化物で構成される。なお、上記光硬化性感光性ポリイミド系樹脂には、市販のものも用いられる。例えば、東レ株製フォトニース、旭化成株製パイメル、日立化成デュポンマイクロシステムズ株HDシリーズ、日産化学株RNシリーズ、日東電工株JRシリーズ、アーチケミカル製Probimideプローブイミドシリーズ、Durimideデュリミドシリーズ等が挙げられる。また、上述した光硬化性樹脂には、ポジ型のものもネガ型のものも用いられる。この場合、互いに露光領域が異なることとなる。支持部40の上面の一部図1では、支持部40の上面の中央部付近には、圧電素子振動手段50が接着されている。圧電素子50は、圧電材料で構成された圧電体層51と、この圧電体層51に電圧を印加する電極膜52との積層体で構成されている。このような圧電素子50では、電極膜52を介して圧電体層51に電圧を印加することにより、圧電体層51に電圧に応じた歪みが発生する逆圧電効果。この歪みが支持部40を介して振動フィルム30に撓み振動をもたらし、吐出液貯留室21の容積を変化させる。かかる構成の圧電素子50が支持部40と確実に接合されていることにより、圧電素子50に発生した歪みを、支持部40を介して振動フィルム30の変位へと確実に変換することができ、その結果、各吐出液貯留室21が確実に容積変化することとなる。また、圧電体層51と電極膜52との積層方向は、特に限定されず、支持部40の上面に対して平行な方向であっても、直交する方向であってもよい。なお、圧電体層51と電極膜52との積層方向が、図1に示すように、支持部40の上面に対して直交する方向である場合、このように配置された圧電素子50を特にMLPMultiLayerPiezoと言う。圧電素子50がMLPであれば、支持部40の変位量を大きくとることができるので、インクの吐出量の調整幅が大きいという利点がある。圧電素子50のうち、支持部40に隣接する接触する面は、圧電素子50の配置方法によって異なるが、圧電体層が露出した面、電極膜が露出した面、または圧電体層と電極膜の双方が露出した面のいずれかである。圧電素子50のうち、圧電体層51を構成する材料としては、例えば、チタン酸バリウム、ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶等が挙げられる。一方、電極膜52を構成する材料としては、例えば、Fe、Ni、Co、Zn、Pt、Au、Ag、Cu、Pd、Al、W、Ti、Mo、またはこれらを含む合金等の各種金属材料が挙げられる。ここで、前述した支持部40は、圧電素子50に対応する位置に設けられた島状をなしている。すなわち、支持部40は、振動フィルム30上の一部に設けられており、環状の凹部53を隔てて島状に孤立している。このような島状をなす部分に圧電素子50を接合する構成とすることで、圧電素子50で発生した歪みをより確実に、振動フィルム30に伝播することができるため、振動フィルム30における撓みがより確実に生じることとなる。また、圧電素子50の電極膜52は、図示しない駆動ICと電気的に接続されている。これにより、圧電素子50の動作を駆動ICによって制御することができる。また、振動フィルム30の上面の一部には、支持部40の他に、支持部40に対し、凹部53を隔てて支持部41が設けられている。この支持部41も支持部40と同様に形成することができる。この支持部41には、ケースヘッド60が接合されている。このように、ケースヘッド60と支持部41とが接合されることで、ノズルプレート10、基板20、振動フィルム30および支持部41の積層体で構成された、いわゆるキャビティー部分を補強し、キャビティー部分のよじれや反り等を確実に抑制することができる。ケースヘッド60を構成する材料としては、例えば、前述したようなシリコン材料、金属材料、ガラス材料、セラミックス材料、炭素材料、樹脂材料、またはこれらの各材料の1種または2種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられる。これらの中でも、ケースヘッド60の構成材料は、ポリフェニレンサルファイドPPS、ザイロンのような変性ポリフェニレンエーテル樹脂ザイロンは登録商標またはステンレス鋼であるのが好ましい。これらの材料は、十分な剛性を備えていることから、ヘッド1を支持するケースヘッド60の構成材料として好適である。また、振動フィルム30および支持部41は、吐出液供給室22に対応する位置に貫通孔23を有する。この貫通孔23により、ケースヘッド60に設けられた吐出液供給路61と吐出液供給室22とが連通している。なお、吐出液供給路61と吐出液供給室22とにより、複数の吐出液貯留室21にインクを供給する共通のインク室として機能するリザーバー70の一部を構成する。このようなヘッド1では、図示しない外部吐出液供給手段からインクを取り込み、リザーバー70からノズル孔11に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ICからの記録信号により、各吐出液貯留室21に対応するそれぞれの圧電素子50を動作させる。これにより、圧電素子50の逆圧電効果によって支持部40を介して振動フィルム30に撓み振動が生じる。その結果、例えば、各吐出液貯留室21内の容積が収縮すると、各吐出液貯留室21内の圧力が瞬間的に高まり、ノズル孔11からインクが液滴として押し出される吐出される。このようにして、ヘッド1において、印刷したい位置の圧電素子50に駆動ICを介して電圧を印加すること、すなわち、吐出信号を順次入力することにより、任意の文字が図形等を印刷することができる。なお、ヘッド1は、前述したような構成のものに限らず、例えば、振動手段としての圧電素子50に代えて、静電アクチュエータを備えるものであってもよい。ただし、本実施形態のように、振動手段が圧電素子で構成されていることにより、振動フィルム30に発生する撓みの程度を容易に制御することができる。これにより、インク滴の大きさを容易に制御することができる。<インクジェット式記録ヘッドの製造方法>次に、本発明の液滴吐出ヘッド用振動板の製造方法を含む液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。なお、以下では、液滴吐出ヘッドの製造方法をインクジェット式記録ヘッドの製造方法に適用した場合を一例に説明する。図3ないし図6は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を説明するための図縦断面図である。なお、以下の説明では、図3ないし図6中の上側を上、下側を下と言う。本実施形態にかかるヘッド1の製造方法は、[1]振動フィルム30の一方の面に未硬化の光硬化性樹脂を塗布する工程と、[2]塗布膜の一部を露光し、硬化させる工程と、[3]塗布膜の未硬化部分を除去し、振動板35を得る工程と、[4]振動板35と基板20とを接着する工程と、[5]基板20に対してノズルプレート10を接着する工程と、を有する。以下、各工程について順次説明する。[1]まず、振動フィルム30の一方の面に未硬化の光硬化性樹脂を含む液体原料を塗布する。これにより、図3aに示すように、振動フィルム30の一方の面上に塗布膜45を得る。液体原料は、例えば未硬化の光硬化性樹脂が液状である場合には、そのままそれを原料として用いるか、あるいは溶媒で希釈して用いられ、未硬化の光硬化性樹脂が半硬化状Bステージ粉末である場合にはそれを分散媒中に分散させたものが原料として用いられる。未硬化物を希釈する場合、または、未硬化状粉末を分散媒中に分散させる場合、液体原料における固形分濃度は、5質量以上50質量以下であるのが好ましく、10質量以上40質量以下であるのがより好ましい。また、溶媒および分散媒には、例えば、水、アルコール類の他、p-クロロフェノール、m-クレゾールのようなフェノール系溶媒、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルホルムアミドのようなアミド系溶媒、γ-ブチロラクトン、γ-バレロラクトン、δ-バレロラクトン、γ-カプロラクトン、ε-カプロラクトン、α-メチル-γ-プチロラクトンのような環状エステル溶媒等が用いられる。振動フィルム30の一方の面に対する液体原料の塗布は、いかなる方法で行われてもよく、その方法としては、例えば、スクリーン印刷、グラビア印刷、マイクログラビア、ディップコート印刷、バーコーターコーティング、ロールコーターコーティング、リップコーターコーティング、スプレーコーターコーティング等の各種方法が挙げられる。また、振動フィルム30の塗布面には、必要に応じて表面処理を施すようにしてもよい。表面処理としては、例えば、コロナ放電処理、プラズマ放電処理、紫外線照射処理、オゾン処理、超音波洗浄等が挙げられる。また、液体原料の塗布後、必要に応じて乾燥を行う。乾燥温度は、40°C以上200°C以下であるのが好ましく、50°C以上170°C以下であるのがより好ましい。また、乾燥時間は、10秒以上3600秒以下であるのが好ましく、20秒以上1800秒以下であるのがより好ましい。なお、液体原料中には、必要に応じて、光重合開始剤、増感剤、光架橋剤、チキソトロピー付与剤、消泡剤、硬化剤等を添加するようにしてもよい。光重合開始剤および増感剤としては、例えば、ミヒラーケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、2-t-ブチルアントラキノン、1,2-ベンゾ-9,10-アントラキノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、アセトフェノン、チオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、[4-メチルフェニルチオフェニル]フェニルメタン、p-ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、p-ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、1,5-アセナフテン、1-ヒドロキシ-シクロヘキシルフェニルケトン、2-ベンジル-1,2-ジメチルアミノ-1-4-モルホリノフェニルブタン-1,1-ヒドロキシ-シクロヘキシルフェニルケトン等が挙げられる。なお、液体原料における光重合開始剤および増感剤の含有量は、光重合開始剤および増感剤の合計で、光硬化性ポリイミド系樹脂100質量部に対して1質量部以上30質量部以下程度であるのが好ましく、2質量部以上15質量部以下程度であるのがより好ましい。また、光架橋剤としては、例えば、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、リン酸メタアクリレート等が挙げられる。なお、液体原料における光架橋剤の含有量は、光硬化性ポリイミド系樹脂100質量部に対して30質量部以下程度であるのが好ましく、15質量部以下程度であるのがより好ましい。また、チキソトロピー付与剤としては、例えば、アエロジル、マイカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト等が挙げられ、その添加量は、光硬化性ポリイミド系樹脂100質量部に対して1質量部以上10質量部以下程度であるのが好ましい。さらに、硬化剤としては、例えば、O-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂のような各種エポキシ樹脂等が挙げられ、その添加量は、光硬化性ポリイミド系樹脂100質量部に対して3質量部以上20質量部以下程度であるのが好ましい。[2]次に、図3bに示すように、得られた塗布膜45の一部に露光する。これにより露光領域を硬化させる図3c参照。なお、以下の説明では、光硬化性ポリイミド系樹脂としてネガ型のものを用いた場合について説明するが、ポジ型の場合も露光領域が異なる以外、ネガ型の場合と同様である。露光には、紫外線を照射可能な光源であればいかなるものも用いられ、例えば、UVランプ、UV-LED、UVレーザー等が用いられる。また、露光装置として、各種ステッパー、各種スキャナー、各種アライナー等を用いることもできる。また、露光の際には、塗布膜45の一部をマスク46で覆う。マスク46を用いることで露光領域を容易に選択することができるので、支持部40の平面視形状も容易かつ高精度に調整することができる。なお、この場合、各種フォトマスクが用いられる。なお、光源の指向性が高い場合には、マスク46を省略することもできる。紫外線の波長は、特に限定されないが、150nm以上450nm以下程度であるのが好ましい。また、単位面積当たりの積算光量は、50mJ/cm2以上500mJ/cm2以下程度であるのが好ましく、70mJ/cm2以上300mJ/cm2以下程度であるのがより好ましい。このような露光により、塗布膜の露光領域のみが硬化に至る。[3]次に、塗布膜45の未硬化部分を除去する現像。これにより、図3dに示す支持部40および支持部41を有する振動板35が得られる。未硬化部分の除去には、一般的な現像液が用いられる。現像液としては、例えば、N-メチルピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、スルホラン、N,N-ジエチルホルムアミドのような双極性非プロトン性溶媒と、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコールのような低級アルコールとの混合液、双極性非プロトン性溶媒と水との混合液、双極性非プロトン性溶媒と芳香族炭化水素と水との混合液、双極性非プロトン性溶媒とエステル化合物炭酸プロピレン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等と水との混合液の他、シクロヘキサノン、シクロペンタノン等が挙げられる。また、現像後、現像液を除去するため、リンス液が用いられる。リンス液としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコールのような低級アルコールが用いられる。現像液やリンス液の適用は、例えば、被処理物を処理液中に浸漬する処理、浸漬しつつ超音波を照射する処理、処理液を噴霧する処理等の処理方法により行うことができる。また、現像後、必要に応じて加熱処理を施すようにしてもよい。この際の加熱温度は、200°C以上500°C以下程度であるのが好ましく、300°C以上400°C以下程度であるのがより好ましい。また加熱時間は、10秒以上600秒以下程度であるのが好ましく、20秒以上180秒以下程度であるのがより好ましい。以上のように、露光、現像を経て形成された支持部40は、寸法精度が極めて高くなる。このため、設計通りの寸法を忠実に再現することができ、設計通りの振動特性を有する振動板35の実現に寄与する。そして、このような振動板35は、その振動特性が設計値に極めて近くなるため、インクを正確に吐出可能なヘッド1の実現に寄与する。また、振動板35は、その寸法や振動特性における個体差が極めて小さくなるため、ヘッド1におけるインクの吐出性能についても個体差を抑えることができる。一例として、支持部40の投影形状は、圧電素子50の下面の形状と一致していることが好ましいが、本発明によればこのような形状の一致を確実に実現することができる。このようにして得られる支持部40、41の平均厚さは、特に限定されないが、5μm以上300μm以下程度であるのが好ましく、10μm以上200μm以下程度であるのがより好ましい。[4]次に、振動板35と基板20とを接着する。[4-1]基板20は、図4aに示すような平板状の母材20’を用意し、これに加工を施して、図4bに示すような各吐出液貯留室21および吐出液供給室22を形成することにより得られる。吐出液貯留室21および吐出液供給室22の形成は、ドライエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウエットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いて行うことができる。次いで、接着層25を介して振動板35と基板20とを積層し、得られた積層体を厚さ方向に加圧する。これにより、図4cに示すように、接着層25を介して振動板35振動フィルム30と基板20とが接着される。加圧時の圧力は、特に限定されず、被接着部材の材質等に応じて適宜設定されるものの、0.01MPa以上10MPa以下であるのが好ましく、0.05MPa以上5MPa以下であるのがより好ましい。これにより、接着層25において必要かつ十分な接着力が得られる。また、加圧処理は必要に応じて加熱下で行われる。その際の加熱温度は、80°C以上300°C以下であるのが好ましく、100°C以上250°C以下であるのがより好ましい。また、加圧時間は、0.1秒以上20秒以下であるのが好ましく、0.5秒以上10秒以下であるのがより好ましい。これにより、被接着部材を変質させることなく、効率よく強固な接着を行うことができる。接着層25を構成する接着剤としては、例えば、アクリル系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤、エポキシ系接着剤、熱可塑性ポリイミド系接着剤の他、各種ホットメルト接着剤ポリエステル系、変性オレフィン系等が挙げられる。[4-2]続いて、図5aに示すように、振動フィルム30および支持部41のうち、基板20の吐出液供給室22に対応する位置に、すなわち、吐出液供給室22に連通するように貫通孔23を形成する。貫通孔23の形成は、例えば、レーザー加工、機械的加工、各種エッチング加工等により行うことができる。[4-3]次に、圧電素子50を用意し、支持部40に圧電素子50を接着することで、図5bに示すように、振動板35と圧電素子50とを接着する。この接着には、前述した各種接着剤を用いることができる。[4-4]次に、ケースヘッド60を用意し、振動板35の上面にケースヘッド60を接合することで、図6aに示すように、振動板とケースヘッド60とを接合する。この際、吐出液供給室22は、振動板35に設けられた貫通孔23、および、ケースヘッド60に設けられた吐出液供給路61と連通し、これにより、リザーバー70が形成される。なお、上記の説明では、予め母材20’に加工を施して各吐出液貯留室21および吐出液供給室22が形成された基板20に対して振動板35、圧電素子50およびケースヘッド60を接着する場合について説明したが、ヘッド1の製造方法はこれに限定されず、母材20’に対して振動板35を接着した後に、母材20’に加工を施し、各吐出液貯留室21および吐出液供給室22が形成して基板20を得るようにしてもよい。[5]次に、ノズルプレート10を用意し、図6bに示すように、接着層15を介して基板20とノズルプレート10とを接着する。これによりヘッド1が得られる。接着層15の構成は、前述した接着層25と同様とされる。第2実施形態次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第2実施形態について説明する。以下、第2実施形態について説明するが、第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。図7は、本発明の液滴吐出ヘッドの第2実施形態が備える振動板を示す斜視図である。図7に示す振動板35は、支持部40が平面視における中央部近傍に、その上面が凹没してなる凹部401を有している以外、第1実施形態と同様である。凹部401は、平面視において支持部40のほぼ中央部に位置している。このような凹部401を設けることにより、凹部401には圧電素子50との接着に用いる接着剤が入り込むことになる。このため、両者の接着には、支持部40の上面のみならず、凹部401の内壁面も接着に寄与することになるため、実質的に接着面積が大きくなる。その結果、接着領域の投影面積を大きくすることなく実質的な接着面積を拡張することができるので、振動特性を低下させることなくヘッド1の信頼性を高めることができる。また、凹部401を設けることにより、凹部401内に接着剤を溜めることが可能になる。これにより、支持部40と圧電素子50との間を接着する接着剤が多過ぎた場合でも、その余剰分を支持部40の外側にはみ出させるのではなく、凹部401内に押し込んで充填することができるようになる。その結果、接着剤のはみ出しが防止され、振動板35の振動特性が設計値からずれてしまうのを防止することができる。なお、支持部40と圧電素子50とを接着する場合、支持部40の上面に接着剤を載置し、その後、支持部40と圧電素子50との圧接によって接着剤を押し広げるようにしてもよいが、凹部401内に接着剤を載置することで、接着剤が支持部40の外側にはみ出てしまうのを確実に防止することができる。このような凹部401は、支持部40を形成する際に、塗布膜45の露光領域を選択することで容易に形成される。凹部401の平面視における形状は、特に限定されず、三角形、四角形、五角形のような多角形、星型等の形状であってもよいが、好ましくは真円、楕円、長円等の各種円形とされる。円形であれば、接着剤と支持部40との界面において応力集中を緩和し易い。このため、応力集中に伴う接着部の剥離や接着力の低下等の不具合を確実に防止することができる。また、凹部401の位置は、これに限定されるものではないが、好ましくは縁部以外の位置であるのが好ましい。これにより、凹部401は、接着剤を確実に溜めることのできる形状となり、上記効果を確実に享受することができる。以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。次に、本発明の具体的実施例について説明する。1.インクジェット記録ヘッドの製造実施例1<1>まず、ポリフェニレンサルファイドPPS製の振動フィルムを用意し、その一方の面に、マイクログラビア方式により接着層の液体原料を塗布した。これにより、塗布膜を得た。振動フィルムの塗布面には、あらかじめコロナ放電処理を施しておいた。液体原料には、東レ株製、感光性ポリイミドワニスフォトニースUR-3100EをN-メチル-2-ピロリドンで5質量倍に希釈したものを用いた。その後、得られた塗布膜を80°Cで12分間加熱して乾燥させた。<2>次に、マスクを介して塗布膜に紫外線を照射した。これにより露光領域を硬化させた。なお、紫外線の波長は365nm、積算光量は100mJ/cm2であった。<3>次に、露光後の硬化膜を現像した。現像液には、東レ株製、現像液DV-605を用いた。また、現像後の硬化膜をリンス液により洗浄した。リンス液には、イソプロピルアルコールを用いた。その後、硬化膜に加熱処理を施した。加熱温度は200°C、加熱時間は4分間とした。このようにして振動フィルムの一方の面に所定の形状をなす支持部を有する振動板が得られた。なお、得られた支持部の厚さは100μmであった。<4>次に、単結晶シリコン製の母材を用意し、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により、母材を加工して各吐出液貯留室および吐出液供給室を形成した。これにより、吐出液貯留室形成基板を得た。次いで、エポキシ系接着剤を介して振動板と吐出液貯留室形成基板を積層した。そして、厚さ方向に0.15MPaの圧力、200°Cの温度で、2秒間加圧することにより、振動板と吐出液貯留室形成基板とを接着した。また、振動板にレーザー加工を施し、吐出液供給室と連通する貫通孔を形成した。その後、圧電素子およびケースヘッドを用意し、これらについても上記接着層と同様の接着層を用いて接着した。<5>次に、ステンレス鋼製のノズルプレートを用意し、エポキシ系接着剤を介してノズルプレートと吐出液貯留室形成基板とを積層した。その後、厚さ方向に0.15MPaの圧力、200°Cの温度で、2秒間加圧することにより、吐出液貯留室形成基板とノズルプレートとを接着した。以上のようにしてインクジェット記録ヘッドを得た。実施例2~9振動板の支持部の構成を表1に示すように変更した以外、それぞれ実施例1と同様にしてインクジェット記録ヘッドを得た。比較例1振動板の製造に際して光硬化性樹脂を用いることなく、代わりにステンレス鋼箔を用いるようにした以外は、実施例1と同様にしてインクジェット記録ヘッドを得た。なお、この製造プロセスは以下の通りである。<1>まず、ポリフェニレンサルファイドPPS製の振動フィルムを用意し、その一方の面にエポキシ系接着剤を塗布した。振動フィルムの塗布面には、あらかじめコロナ放電処理を施しておいた。<2>次に、支持板形成用基板として平均厚さ100μmのステンレス鋼箔を用意した。そして、振動フィルムの一方の面に成膜された接着剤を介してステンレス鋼箔を積層した。その後、厚さ方向に0.15MPaの圧力、200°Cの温度で、2秒間加圧することにより、振動フィルムとステンレス鋼箔とを接着した。次いで、ステンレス鋼箔にレジスト膜を形成した後、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によりレジスト膜をパターニングした。そして、パターニングしたレジスト膜をマスクとしてステンレス鋼箔にエッチング処理を施し、所定の形状にパターニングした。併せて、エッチング処理により、リザーバー用の貫通孔を形成した。その後、レジスト膜を除去して振動板を得た。なお、得られた振動板では、振動フィルムと接着剤層との積層体で構成され、その上面の一部にエッチングされたステンレス鋼箔が載置された構成となる。<3>次に、単結晶シリコン製の母材を用意し、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により、母材を加工して各吐出液貯留室および吐出液供給室を形成した。これにより、吐出液貯留室形成基板を得た。次いで、振動フィルムの他方の面に成膜された接着層を介して吐出液貯留室形成基板を積層した。そして、厚さ方向に0.15MPaの圧力、200°Cの温度で、2秒間加圧することにより、振動フィルムと吐出液貯留室形成基板とを接着した。また、圧電素子およびケースヘッドを用意し、これらについても上記接着層と同様の接着層を用いて接着した。<4>次に、ステンレス鋼製のノズルプレートを用意し、その一方の面に上記と同様のポリオレフィン系樹脂で構成された平均厚さ5μmの接着層を成膜した。そして、成膜した接着層を介してノズルプレートと吐出液貯留室形成基板とを積層した。その後、厚さ方向に0.15MPaの圧力、200°Cの温度で、2秒間加圧することにより、吐出液貯留室形成基板とノズルプレートとを接着した。以上のようにしてインクジェット記録ヘッドを得た。比較例2エポキシ系接着剤に代えて、ウレタン系接着剤を用いるようにした以外は、実施例1と同様にしてインクジェット記録ヘッドを得た。比較例3ステンレス鋼箔をエッチングした後、露出した接着剤を除去する処理液を適用し、支持部の陰に隠れていない接着剤を除去するようにした以外は、比較例1と同様にしてインクジェット記録ヘッドを得た。比較例4ステンレス鋼箔をエッチングした後、露出した接着剤を除去する処理液を適用し、支持部の陰に隠れていない接着剤を除去するようにした以外は、比較例2と同様にしてインクジェット記録ヘッドを得た。2.インクジェット記録ヘッドの評価各実施例および各比較例で得られたインクジェット記録ヘッドを用い、N-メチル-2-ピロリドンからなるインクを基板上に1時間吐出し続ける吐出動作を行った。その後、吐出を一旦停止し、再度吐出したときのヘッドやインクの挙動について以下に示す評価1回目を行った。次いで、インクを再び999時間吐出し続ける吐出動作を行った。その後、吐出を一旦停止し、再度吐出したときのヘッドやインクの挙動について以下に示す評価2回目を行った。2-1.インクの吐出速度の変動の評価まず、インクジェット記録ヘッドから吐出されるインクの速度の平均値のバラツキを測定した。そして、その測定結果を以下に示す評価基準にしたがって評価した。<吐出速度の変動の評価基準>A:速度のバラツキが±2未満B:速度のバラツキが±2以上5未満C:速度のバラツキが±5以上10未満D:速度のバラツキが±10以上20未満E:速度のバラツキが±20以上、またはインクを射出しない射出口が発生2-2.インクの飛行曲がりの評価次に、インクジェット記録ヘッドから吐出されるインクの着弾位置のズレ量を測定した。そして、その測定結果を以下に示す評価基準にしたがって評価した。<飛行曲がりの評価基準>A:飛行曲がりが5μm未満B:飛行曲がりが5μm以上10μm未満C:飛行曲がりが10μm以上20μm未満D:飛行曲がりが20μm以上30μm未満E:飛行曲がりが30μm以上40μm未満2-3.振動数補正の評価次に、インクジェット記録ヘッドの振動板を振動させる圧電素子に印加する電圧について、インクの吐出動作を安定させるために振動板の振動を安定させるために必要な電圧の補正量を測定した。そして、その測定結果を以下に示す評価基準にしたがって評価した。<振動数補正の評価基準>A:電圧による振動数補正が2V未満B:電圧による振動数補正が2V以上5V未満C:電圧による振動数補正が5V以上、または電圧の波形を補正しても安定動作が困難である2-4.評価結果2-1~2-3から得られた評価結果について、表2に示す。表2から明らかなように、各実施例で得られたインクジェット記録ヘッドでは、初期状態でも、また長期にわたる連続駆動の後でも、インクの吐出速度のバラツキやインクの飛行曲がりが少なく、かつ、必要な電圧の補正量が少ないという結果が得られた。これは、各ヘッドでは、振動板中の支持部が、寸法精度が高くかつ機械的特性の等方性が高く、さらに接着剤が不要であって振動フィルムの柔軟性を阻害しないため、振動板の優れた振動特性が長期にわたって維持されるからであると推察される。一方、各比較例で得られたインクジェット記録ヘッドでは、初期状態でも、また長期にわたる連続駆動の後でも、インクの吐出速度のバラツキやインクの飛行曲がりが多かった。また、インクの吐出動作を安定させるために、より大きな電圧の補正が必要になった。また、各実施例で得られたインクジェット記録ヘッドでは、比較例1、2で得られたインクジェット記録ヘッドに比べて、同じ駆動電圧であっても吐出されるインク量が多いという結果になった。これは、振動板の振幅等、振動特性の差によるものと考えられる。"