測定対象物を所定形状の部材に穿設した細孔とし、この細孔内を流れるガスの流量を測定する流量測定装置であって、大気圧より低い所定圧力で吸引する吸引手段と、この吸引手段に夫々接続される主吸気通路及び比較吸気通路とを備え、主吸気通路が細孔の一側に着脱自在に接続され、比較吸気通路が細孔に対応する第1の測定基準孔に連通し、この比較吸気通路に細孔に対応する第2の測定基準孔が介設されると共に主吸気通路に細孔に対応する第3の測定基準孔が介設され、吸引手段を稼働して細孔及び第1の測定基準孔を通してガスを夫々吸引し、細孔及び第3の測定基準孔の間、及び、第1及び第2の両測定基準孔の間における主吸気通路と比較吸気通路との圧力差を測定する第1の測定手段を設けたことを特徴とする流量測定装置。前記吸引手段の吸引口と大気圧との圧力差を測定する第2の測定手段を設け、この第2の測定手段で測定した圧力差に応じて吸引手段の吸引速度を制御するように構成したことを特徴とする請求項1記載の流量測定装置。前記主吸気通路の少なくとも先端部分が可撓性部材で構成され、可撓性部材の一端に吸着パッドを備えてなることを特徴とする請求項2記載の流量測定装置。請求項3記載の流量測定装置であって、前記部材に同一形態の細孔が複数形成されているものにおいて、前記細孔の複数を集合細孔とし、前記吸着パッドは、集合細孔の周囲を囲って各細孔を通してガスを同時に吸引するように構成されることを特徴とする流量測定装置。本発明は、上記点に鑑み、高アスペクト比の細孔に対しても効率よくかつ精度よく当該細孔内を流れるガスの流量を測定することができる作業性のよい流量測定装置を提供することをその課題とするものである。上記課題を解決するために、本発明は、測定対象物を所定形状の部材に穿設した細孔とし、この細孔内を流れるガスの流量を測定する流量測定装置であって、大気圧より低い所定圧力で吸引する吸引手段と、この吸引手段に夫々接続される主吸気通路及び比較吸気通路とを備え、主吸気通路が細孔の一側に着脱自在に接続され、比較吸気通路が細孔に対応する第1の測定基準孔に連通し、この比較吸気通路に細孔に対応する第2の測定基準孔が介設されると共に主吸気通路に細孔に対応する第3の測定基準孔が介設され、吸引手段を稼働して細孔及び第1の測定基準孔を通してガスを夫々吸引し、細孔及び第3の測定基準孔備の間、及び、第1及び第2の両測定基準孔の間における主吸気通路と比較吸気通路との圧力差を測定する第1の測定手段を設けたことを特徴とする。本発明によれば、主吸気通路の一端を細孔の一側に接続した後、吸引手段を稼働し、吸引手段により大気圧より低い所定圧力で主吸気通路と比較吸気通路とが夫々吸引されると、細孔の他側から当該細孔を通して主吸気通路に例えば、大気中のガスが吸引されると共に第1の測定基準孔を通して比較吸気通路に例えば、大気中のガスが吸引される。そして、主吸気通路及び比較吸気通路との所定位置例えば中間位置での圧力差を測定することで、第1~第3の各測定基準孔を、測定しようとする細孔に対応させてつまり、測定しようする細孔の形態に一致させて精密に機械加工しておけば、主吸気通路及び比較吸気通路の圧力差の絶対値を小さくすることができ、測定環境の影響を受けることなく、上記圧力差から細孔のコンダクタンス、ひいては、細孔を流れるガス流量を精密に相対測定することができる。本発明においては、前記吸引手段の吸引口と大気圧との圧力差を測定する第2の測定手段を設け、この第2の測定手段で測定した圧力差に応じて吸引手段の吸引速度を制御するように構成することが好ましい。これによれば、大気圧、主吸気通路及び比較吸気通路並びに吸引手段相互の圧力差を一定に保持して測定することで、大気圧の変動の影響を受けずにより一層精度よくガス流量を測定することができる。また、本発明においては、前記主吸気通路の少なくとも先端部分が可撓性部材で構成され、可撓性部材の一端に吸着パッドを備えてなることが好ましい。これによれば、測定対象物をCVD装置に利用されるシャワープレートの各細孔とし、これらの細孔を流れるガスの流量を測定するような場合に、吸着パッドを任意の位置に移動させ、吸着パッドを細孔の一側周縁部の周囲を囲って密着するように押圧して吸着させるだけで、主吸気通路と細孔とを連通させて流量測定のための準備ができ、その結果、作業を向上することができ、有利である。ところで、シャワープレートを備えたCVD装置にて所定面積の基板に対して所定の薄膜を成膜する場合、シャワープレートの各細孔からの噴射されるガス流量にばらつきがあると、基板面内のうち一定の範囲で膜厚のむらが生じる場合が多い。このような場合には、膜厚のむらが生じる部分に対応する位置に存する複数の細孔から噴射されるガスの総流量を管理した方が、膜厚分布の更なる均一性向上を図ることができる。そこで、本発明においては、前記部材に同一形態の細孔が複数形成されているものの場合、前記細孔の複数を集合細孔とし、前記吸着パッドは、集合細孔の周囲を囲って各細孔を通してガスを同時に吸引するように構成することができる。これによれば、流量測定装置の構成を変更することなく、複数の細孔から噴射されるガスの総流量を管理することもでき、有利である。なお、吸着パッドを主吸気通路に着脱自在に設けておき、膜厚分布のむらが生じている範囲に応じて交換できるようにしておけば、使い勝手が向上する。以下、図面を参照して、CVD装置のガス導入部を構成する板状の部材に複数の細孔ガス噴射口Hを所定パターンで穿設したシャワープレートSPを用い、測定対象物をシャワープレートSPの各細孔径0.7mm、長さが20mmとし、この細孔Hを通して流れるガスの流量を測定する場合を例に本発明の実施形態の流量測定装置を説明する。図1を参照して、Mは、本実施形態の流量測定装置である。流量測定装置Mは、大気圧より低い所定圧力で吸引する吸引手段1を備える。吸引手段1はハウジング11を備え、ハウジング内にはシロッコファン12が内蔵されている。シロッコファン12は、ハウジング11に付設したサーボモータ13の出力軸13aに接続され、一定の回転速度で回転駆動されるようになっている。ハウジング11に形成した吸引口14にはT型継手14aが設けられ、主排気通路を構成する第1配管2と、比較排気通路を構成する第2配管3とが夫々接続されている。また、吸引口14には、当該吸引口14と大気圧との間の圧力差を測定する公知の構造の差圧計第2の測定手段15が設けられている。第1配管2及び第2配管3には、筒状部材41、42が、T型継手14aから等距離の位置に夫々介設されている。筒状部材41、42には、測定しようとする細孔Hの形態に対応させて、即ち、測定しようする細孔Hの内径d及び長さlを一致させて精密に機械加工した細孔が穿設され、第2配管3に設けた筒状部材42の細孔が第2の測定基準孔RH2を構成し、第1配管2に設けた筒状部材41の孔が第3の測定基準孔RH3を構成する。更に、第1配管2と第2配管3とには、T型継手14aから等距離の位置好ましくは、主吸気通路及び比較吸気通路の全長の中間位置で夫々分岐され、この分岐した分岐配管51、52が公知の構造の差圧計第1の測定手段6に夫々接続されている。そして、上記各部品が、持ち運び可能な筺体F図1中、一点鎖線で示すに収納されている。第1配管2及び第2配管3の端部には夫々継手所謂ワンタッチ継手71、72が設けられている。そして、一方の継手71には、筺体Fを貫通して外方にのびる、主排気通路を構成する第3配管2aが接続され、第3配管2aの端部に吸着パッド8が着脱自在に取り付けられている。吸着パッド8としては、樹脂製等の公知のものが利用でき、その基端が第3配管2aに外嵌され、基端からスカート状に下方にのびる吸着部を、細孔Hの一側周縁部の周囲を囲うようにシャワープレートの平坦面図1中、上面に押圧して吸着させることができるようになっている。これにより、第3配管2aと細孔Hとが互いに連通される。なお、第3配管2aへの吸着パッド8の取付方法は、気密保持されるように取付できるものであれば、上記限定されるものではない。また、他方の継手72には、筺体Fを貫通して外方にのびる、比較排気通路を構成する第4配管3aが接続されている。第3配管2a及び第4配管3aとしては、同一径かつ同一の長さの合成樹脂製のエアーチューブを用いられる。そして、第4配管3aの端部が、筺体Fに取り付けられた筒状部材43に接続されている。この場合、筒状部材43には、上記同様、測定しようする細孔Hの形態に一致させて精密に機械加工した孔が穿設され、第4配管3aに設けた筒状部材43の孔が第1の測定基準孔RH1を構成する。また、筐体Fにはコンピュータ、メモリやシーケンサ等を備えた制御ユニットCが内蔵され、吸引手段1の稼動や差圧計6の測定値から細孔Hを通して流れるガス流量等を算出すること等を統括して制御するようになっている。なお、サーボモータ13の回転速度は、差圧計15の測定値に基づき、吸気口14での吸気速度が大気圧より低い所定圧力例えば、大気圧-200Paに維持されるようにフィードバック制御される。以下に、本実施形態の流量測定装置を用いた細孔Hを通して流れるガスの流量測定について説明する。先ず、第3配管2aの吸着パッド8をシャワープレートSPに押圧し、細孔Hの一側周縁部の周囲を囲って密着するように吸着させた後図1参照、吸引手段1を稼働する。そして、吸引手段1により大気圧より低い所定圧力で主吸気通路2、2aと比較吸気通路3、3aが夫々吸引されると、細孔Hの他側から当該細孔Hを通して主吸気通路2、2aに大気中のガスが吸引されると共に第1の測定基準孔RH1を通して比較吸気通路3、3aに大気中のガスが吸引される。ここで、図2を参照して、細孔Hを通して主吸気通路2、2aを流れるガス流量をQ1、第1の測定基準孔RH1を通して比較吸気通路3、3aを流れるガス流量をQ2とし、また、第1の測定基準孔RH1のコンダクタンスをC1、第2の測定基準孔RH2のコンダクタンスをC2、第3の測定基準孔RH3のコンダクタンスをC3及び細孔HのコンダクタンスをC4とし、更に、細孔H及び第3の測定基準孔RH3の間における主吸気通路2、2aの圧力をP1、第1及び第2の両測定基準孔RH1、RH2の間における比較吸気通路3、3a内の圧力をP2つまり、差圧計15の圧力差とすると共に、吸引手段1のうち主吸気通路2、2a及び比較吸気通路3、3aに通じる吸引口14の圧力をP3、大気圧をP0とした場合、次の関係が成立する。即ち、Q2=C1P0-P2=C2P2-P3式1Q1=C3P1-P3=C4P0-P1式2上記式1及び式2から、C4/C3=P1-P2P0-P2×C1/C2/P0-P1式3以上より、第1~第3の各測定基準孔RH1、RH2、RH3を、測定しようとする細孔Hに対応させてつまり、測定しようする細孔の径d及び長さlを一致させて精密に機械加工しておけば、上記圧力差、即ち、差圧計15の測定値から細孔Hのコンダクタンス、ひいては、細孔Hを流れるガスの流量を精密に相対測定することができる。この場合、制御ユニットCに差圧計15で測定した圧力差が入力され、これを基にガス流量が指示されるようになっている。以上説明したように、本実施形態によれば、主吸気通路2、2a及び比較吸気通路3、3aとの所定位置例えば中間位置での圧力差を測定することで、第1~第3の各測定基準孔RH1~RH3を、測定しようとする細孔Hに対応させて精密に機械加工しておけば、主吸気通路2、2a及び比較吸気通路3、3aの圧力差の絶対値を小さくすることができ、測定環境の影響を受けることなく、上記圧力差P1-P2から細孔HのコンダクタンスC4、ひいては、細孔Hを流れるガス流量を精密に相対測定することができる。また、第2の測定手段15の測定値に応じてサーボモータ13の速度即ち、吸引速度を制御するため、大気圧、主吸気通路2、2a及び比較吸気通路3、3a並びに吸引手段1相互の圧力差の一定に保持して測定することで、大気圧の変動の影響を受けずにより精度よくガス流量を測定することができる。更に、第3配管2aを可撓性のエアーチューブで構成したため、吸着パッド8を任意の位置に移動させ、細孔Hの一側周縁部の周囲を囲って密着するように吸着パッド8を吸着させるだけで流量測定のための準備ができ、その結果、作業を向上することができ、有利である。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。上記実施形態では、サーボモータ13とシロッコファン12とを備えたものを例に吸引手段1を説明したが、脈動等することなく、一定の吸引速度で安定して吸引できるものであれば、特に制限はなく、例えば駆動源としてDCモータ等を利用することもできる。また、第1~第4の各配管として、エアーチューブを用いた場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、金属製のものを用いてもよい。この場合、少なくとも第3配管2aのみが可撓性を有していればよい。更に、上記実施形態では、シャワープレートSPの線状の細孔Hを測定対象物としたが、これに限定されるものではなく、湾曲させて形成したようなものであっても本発明の流量測定装置を用いてガス流量を測定することができる。また、上記実施形態では、吸着パッド8を1本の細孔Hの一側周縁部の周囲を囲って密着するように吸着させたものを例に説明したが、これに限定されるものではない。ここで、上記シャワープレートSPを備えたCVD装置にて基板に対して所定の薄膜を成膜する場合、シャワープレートの各細孔Hからの噴射されるガス流量にばらつきがあると、基板面内のうち一定の範囲で膜厚のむらが生じる場合が多く、膜厚のむらが生じる部分に対応する位置に存する複数の細孔Hから噴射されるガスの総流量を管理した方が、膜厚分布の更なる均一性向上を図ることができる。このため、図3に示すように、シャワープレートSPに穿設された細孔Hのうち一定の範囲つまり、膜厚のむらが生じる部分に対応する範囲内に存する各細孔Hを集合細孔Hsとし、吸着パッド80は、集合細孔Hsの周囲を囲って各細孔Hを通してガスを同時に吸引するように構成することができる。これによれば、流量測定装置の構成を変更することなく、複数の細孔から噴射されるガスの総流量を管理することもでき、有利である。