"基板を保持する基板保持テーブルと、基板の側縁部のテープ貼り付け位置に、テープ部材に積層された異方性導電テープを貼り付ける複数の貼り付けユニットと、基板保持テーブルに保持された基板に対して、複数の貼り付けユニットを相対的に移動させる貼り付けユニット移動装置と、を備え、基板保持テーブルに対して水平面内に移動可能に設けられ、基板保持テーブルに保持された基板の側縁部のテープ貼り付け位置の下面を支持する複数の下受け部と、それぞれの下受け部に設けられ、基板保持テーブルに保持された基板の下方から基板が有する基板位置決め用の基板マークの撮像を行う複数のカメラと、それぞれのカメラの撮像により得られた基板マークの画像に基づいて基板の位置認識を行う位置認識手段と、位置認識手段による基板の位置認識結果に基づいて基板保持テーブルを動作させ、基板の作業位置への位置決めを行う位置決め手段と、をさらに備え、貼り付けユニット移動装置は、それぞれの下受け部とは独立して、それぞれの貼り付けユニットを水平面内方向に移動可能であり、それぞれの作業位置に位置決めされかつそれぞれの下受け部によりテープ貼り付け位置の下面が支持された状態の基板に対して、それぞれの作業位置に位置決めされた状態のそれぞれの貼り付けユニットが、テープ貼り付け位置の上方から異方性導電テープを押し付けて貼り付ける、テープ貼り付け装置。それぞれの貼り付けユニットに設けられ、異方性導電テープの基板への貼り付け状態の検査を行う貼り付け状態検査手段をさらに備える、請求項1に記載のテープ貼り付け装置。貼り付けユニットは、異方性導電テープにセパレータが積層されたテープ部材を供給する供給リールと、供給リールより供給されるテープ部材を基板保持テーブルに保持された基板の側縁部のテープ貼り付け位置に異方性導電テープを押し付けて貼り付ける圧着ヘッドと、圧着ヘッドにより異方性導電テープが基板に貼り付けられた後のテープ部材を巻き取る巻き取りリールと、を備え、貼り付けユニットにおいて、供給リールと巻き取りリールとが同軸上に取り付けられている、請求項1または2に記載のテープ貼り付け装置。それぞれの貼り付けユニットは、圧着ヘッドが取り付けられるとともに、基板保持テーブルに保持された基板に対して相対移動可能に貼り付けユニット移動装置に取り付けられたホルダと、供給リールと巻き取りリールとが同軸上に取り付けられるとともに、ホルダに着脱可能に取り付けられたベースと、を備える、請求項3に記載のテープ貼り付け装置。基板の側縁部の複数のテープ貼り付け位置に、テープ部材に積層された異方性導電テープを貼り付ける貼り付けユニットを基板に対して相対的に移動させることで、基板のそれぞれのテープ貼り付け位置と異方性導電テープとの位置決めを行って、異方性導電テープをテープ貼り付け位置に貼り付けるテープ貼り付け方法であって、基板の側縁部のテープ貼り付け位置の下面を支持可能でありかつカメラが設けられた複数の下受け部を基板に対して移動させて、それぞれのカメラにより基板の下方から基板が有する基板位置決め用の基板マークの撮像を行い、得られた基板マークの画像に基づいて基板の位置認識を行う工程と、基板の位置認識結果に基づいて基板の作業位置への位置決めを行う工程と、基板の位置認識を行う工程を行っている間にそれぞれの貼り付けユニットの基板に対する相対的な移動を開始させて、それぞれの貼り付けユニットと基板のそれぞれのテープ貼り付け位置との位置決めを行う工程と、基板のそれぞれのテープ貼り付け位置の下面を下受け部により支持した状態にて、それぞれの貼り付けユニットにより基板のそれぞれのテープ貼り付け位置に異方性導電テープを貼り付ける工程と、を備える、テープ貼り付け方法。しかしながら、テープ部材のテープ長を増大させると、供給及び巻き取り両リールの径が大きくなるため装置全体が大型化してコストアップを招くだけでなく、リールの交換そのものが行いにくくなって作業の中断時間が長くなり、その分、生産性が低下するおそれがあるという問題点があった。このような問題点は、圧着ヘッドを1台のみ備えているものにおいても生じ得るが、上記のように圧着ヘッドを複数備えているものにおいて顕著であり、複数の導電テープを同時に貼り付けることができるメリットを活かしきれない場合があった。そこで本発明は、装置全体を大型化させることなくテープ長を増大させて作業効率の向上を図ることができるようにしたテープ貼り付け装置およびテープ貼り付け方法を提供することを目的とする。また、本発明の別の目的についても説明する。従来では、下受け部は貼り付けユニットと一体に移動するように構成されていたため、基板の下面に設けられた基板マークをカメラに撮像させようとすると、下受け部だけでなく重量のある貼り付けユニットも移動させることになる。そのため、カメラを迅速に移動させることができず、基板の位置決めに要する時間が長くなって作業効率が低下するおそれがあるという問題点があった。そこで本発明の別の目的は、基板の位置決めに要する時間を短縮化して作業効率の向上を図ることができるようにしたテープ貼り付け装置及びテープ貼り付け方法を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。本発明の第1態様によれば、基板を保持する基板保持テーブルと、基板の側縁部のテープ貼り付け位置に、テープ部材に積層された異方性導電テープを貼り付ける複数の貼り付けユニットと、基板保持テーブルに保持された基板に対して、複数の貼り付けユニットを相対的に移動させる貼り付けユニット移動装置と、を備え、基板保持テーブルに対して水平面内に移動可能に設けられ、基板保持テーブルに保持された基板の側縁部のテープ貼り付け位置の下面を支持する複数の下受け部と、それぞれの下受け部に設けられ、基板保持テーブルに保持された基板の下方から基板が有する基板位置決め用の基板マークの撮像を行う複数のカメラと、それぞれのカメラの撮像により得られた基板マークの画像に基づいて基板の位置認識を行う位置認識手段と、位置認識手段による基板の位置認識結果に基づいて基板保持テーブルを動作させ、基板の作業位置への位置決めを行う位置決め手段と、をさらに備え、貼り付けユニット移動装置は、それぞれの下受け部とは独立して、それぞれの貼り付けユニットを水平面内方向に移動可能であり、それぞれの作業位置に位置決めされかつそれぞれの下受け部によりテープ貼り付け位置の下面が支持された状態の基板に対して、それぞれの作業位置に位置決めされた状態のそれぞれの貼り付けユニットが、テープ貼り付け位置の上方から異方性導電テープを押し付けて貼り付ける、テープ貼り付け装置を提供する。本発明の第2態様によれば、それぞれの貼り付けユニットに設けられ、異方性導電テープの基板への貼り付け状態の検査を行う貼り付け状態検査手段をさらに備える、第1態様に記載のテープ貼り付け装置を提供する。本発明の第3態様によれば、貼り付けユニットは、異方性導電テープにセパレータが積層されたテープ部材を供給する供給リールと、供給リールより供給されるテープ部材を基板保持テーブルに保持された基板の側縁部のテープ貼り付け位置に異方性導電テープを押し付けて貼り付ける圧着ヘッドと、圧着ヘッドにより異方性導電テープが基板に貼り付けられた後のテープ部材を巻き取る巻き取りリールと、を備え、貼り付けユニットにおいて、供給リールと巻き取りリールとが同軸上に取り付けられている、第1態様または第2態様に記載のテープ貼り付け装置を提供する。本発明の第4態様によれば、それぞれの貼り付けユニットは、圧着ヘッドが取り付けられるとともに、基板保持テーブルに保持された基板に対して相対移動可能に貼り付けユニット移動装置に取り付けられたホルダと、供給リールと巻き取りリールとが同軸上に取り付けられるとともに、ホルダに着脱可能に取り付けられたベースと、を備える、第3態様に記載のテープ貼り付け装置を提供する。本発明の第5態様によれば、基板の側縁部の複数のテープ貼り付け位置に、テープ部材に積層された異方性導電テープを貼り付ける貼り付けユニットを基板に対して相対的に移動させることで、基板のそれぞれのテープ貼り付け位置と異方性導電テープとの位置決めを行って、異方性導電テープをテープ貼り付け位置に貼り付けるテープ貼り付け方法であって、基板の側縁部のテープ貼り付け位置の下面を支持可能でありかつカメラが設けられた複数の下受け部を基板に対して移動させて、それぞれのカメラにより基板の下方から基板が有する基板位置決め用の基板マークの撮像を行い、得られた基板マークの画像に基づいて基板の位置認識を行う工程と、基板の位置認識結果に基づいて基板の作業位置への位置決めを行う工程と、基板の位置認識を行う工程を行っている間にそれぞれの貼り付けユニットの基板に対する相対的な移動を開始させて、それぞれの貼り付けユニットと基板のそれぞれのテープ貼り付け位置との位置決めを行う工程と、基板のそれぞれのテープ貼り付け位置の下面を下受け部により支持した状態にて、それぞれの貼り付けユニットにより基板のそれぞれのテープ貼り付け位置に異方性導電テープを貼り付ける工程と、を備える、テープ貼り付け方法を提供する。本発明によれば、基板保持テーブルに保持された基板の側縁部のテープ貼り付け位置の下面を支持する複数の下受け部にカメラがそれぞれ設けられ、カメラおよび下受け部が基板保持テーブルに対して水平面内に移動可能とされているため、基板の下面に設けられた基板マークをカメラにより撮像する際に、カメラおよび下受け部を、重量のある貼り付けユニットとは別個に移動させることができる。したがって、カメラを迅速に移動させることができ、基板の位置決めに要する時間を短縮化して作業効率の向上を図ることができる。以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1~図4において、テープ貼り付け装置1は、基台2の上面に門型のフレーム3を有しており、フレーム3はオペレータOPから見て基台2の横方向に延びた水平部3aとこの水平部3aの両端を支持する一対の垂直部3bを備えている。以下の説明では便宜上、フレーム3の水平部3aの延びる水平面内の方向基台2の横方向をX軸方向とし、X軸方向と直交する水平面内の方向基台2の前後方向をY軸方向とする。また、その水平面に対する垂直方向をZ軸方向とし、Z軸回りの回転方向をθ方向とする。更に、このテープ貼り付け装置1において、Y軸方向のオペレータの主な立ち位置側であるオペレータOP側を前面側以下、前面側と称すとし、Y軸方向のオペレータOP側との反対側を後方側背面側以下、後方側或いは背面側と称すとする。図1~図4において、基台2の上面のフレーム3のY軸方向の後方側の領域には基板PBの保持及び移動作業位置への位置決めを行うための基板保持移動テーブル4が設けられている。図3及び図4において、基板保持移動テーブル4は、基板PBを保持した基板保持部4dをX軸方向に移動させる基台2上をX軸方向に延びたXテーブル軸4aと、Xテーブル軸4a上に配置され基板保持部4dをY軸方向に移動させるYテーブル軸4bと、Yテーブル軸4b上に配置され、基板保持部4dをZ軸方向に上下移動及びθ方向に回転させるθテーブル軸4cとを備えている。基板保持移動テーブル4は、基板保持部4dの上面に載置された図示しない基板吸着機構により吸着保持された基板PBを水平面内方向X軸方向、Y軸方向、Z軸方向及びθ方向に移動させて基板PBの作業位置への位置決めを行う。基板保持移動テーブル4による基板PBの作業位置への位置決め制御は、このテープ貼り付け装置1が備えるコントローラ8図2が行う。図4において、基板PBは例えば長方形形状をした液晶パネルの基板であり、その基板PBの側縁部の長辺と短辺のそれぞれに、図示しない部品が導電テープACFを介して接合される複数の電極DTが設けられている。なお、それぞれの電極DTは、導電テープACFが貼り付けられるべき位置であるテープ貼り付け位置となっている。図1及び図2において、フレーム3の前面側オペレータOPの側には供給リール32から供給されるテープ部材Tの導電テープACFを基板PBの側縁部に貼り付ける圧着ヘッド21をそれぞれ備えた2つの貼り付けユニット5がフレーム3の水平部3aに沿ってX軸方向に移動自在に設けられている。これら2つの貼り付けユニット5は、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBに対して基板PBの側縁部に沿う方向であるX軸方向にそれぞれ独立して移動可能に構成されている。なお、フレーム3の水平部3aには、2つの貼り付けユニット5をX軸方向にそれぞれ独立して移動させる移動装置図示せずが備えられている。本実施の形態では、この移動装置が貼り付けユニット移動装置の一例となっており、例えば、ボールネジ機構やリニア駆動機構を用いて構成することができる。また、貼り付けユニット移動装置は、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBに対して、相対的に2つの貼り付けユニット5をX軸方向にそれぞれ独立して移動させる機能を有していれば良く、必ずしも貼り付けユニット5自体が移動される場合のみに限定されるものではない。図5、図6及び図7において、各貼り付けユニット5は、駆動ユニット部6と、駆動ユニット部6に着脱可能に装備されたテープ供給ユニット部7とを備えている。駆動ユニット部6は、導電テープACFを基板PBの側縁部に貼り付ける圧着ヘッド21が取り付けられるとともに、フレーム3の水平部3a上をX軸方向に移動可能なホルダ11を備えている。テープ供給ユニット部7は、導電テープACFにセパレータSPと呼ばれる保護テープが積層されて成るテープ部材T図5中の部分拡大図を供給する供給リール32と、供給リール32から供給されるテープ部材Tの導電テープACFが圧着ヘッド21により基板PBに押し付けられて貼り付けられた後のテープ部材セパレータSP単体Tを巻き取る巻き取りリール33とをそれぞれベース31に同軸上に取り付けて備えている。テープ供給ユニット部7は、テープ部材Tを収容しており、さらにテープ供給ユニット部7のベース31は、駆動ユニット部6のホルダ11に着脱可能に取り付けられている。図6、図7及び図8において、駆動ユニット部6は、フレーム3の水平部3a上をX軸方向である横方向に移動自在にしたがって、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBに対して移動自在に設けられた板状の部材から成るホルダ11に、供給リール駆動モータ12、巻き取りリール駆動モータ13、駆動歯車14、従動歯車15、中空シャフト16、第1原点センサ17、第2原点センサ18、テープ送りローラ駆動モータ19、テープカッター20、圧着ヘッド21、剥離ローラユニット22及びテープ撮像カメラ23が取り付けられて成る。図1において、各ホルダ11ここでは2つを、フレーム3の水平部3a内に設けられた図示しないボール螺子機構をコントローラ8が作動制御することによって、フレーム3の水平部3a上を個々に独立して基板PBの側縁部に沿う方向であるX軸方向に移動させることができる図1中に示す矢印A1。図6及び図7において、テープ供給ユニット部7は、駆動ユニット部6のホルダ11に着脱可能に取り付けられる板状の部材から成るベース31の前面に、供給リール32、巻き取りリール33に加え、供給リール32から供給されるテープ部材Tの導電テープACFが圧着ヘッド21により基板PBに押し付けられて貼り付けられた後のテープ部材セパレータSP単体Tを巻き取る巻き取りリール33へテープ部材Tを案内するためのテープ送りローラ34、第1段差ローラ35、第2段差ローラ36、クリーニングローラ37及び複数の案内ローラ第1~第7案内ローラ41,42,,47等のテープ送り経路手段が取り付けられて成る。また、テープ供給ユニット部7を構成するベース31の中央にはZ軸方向の下方から上方に延びた切り欠き部31aが設けられており、切り欠き部31aの上方の領域には供給リール32と巻き取りリール33がともにY軸方向のY1軸回りにかつ同軸上に取り付けられている。巻き取りリール33は供給リール32よりも小径であり、供給リール32よりもオペレータOPにとって手前側前面側になるように設けられている。すなわち、図6に示すように、供給リール32が巻き取りリール33よりもホルダ11の近くに配置されるように、供給リール32および巻き取りリール33がベース31に同軸上に取り付けられている。図6及び図8a,bにおいて、供給リール駆動モータ12と巻き取りリール駆動モータ13はオペレータOP側Y軸方向の前面側から見て、ホルダ11の背面に並んで設けられている。供給リール駆動モータ12の駆動軸12aはホルダ11をY軸方向に貫通してホルダ11の前面側に延び、外歯歯車である駆動歯車14と連結している。中空シャフト16中空状の第2シャフトの一例はホルダ11の前面側にY1軸回り回転自在に設けられており、外歯歯車で駆動歯車14と噛合した従動歯車15は中空シャフト16の外周面に固定されている。巻き取りリール駆動モータ13の駆動軸13a第1シャフトの一例はホルダ11をY軸方向に貫通してホルダ11の前面側に突出し、更に中空シャフト16の内部をY軸方向に貫通して延びている。すなわち、中空シャフト16と駆動軸13aとは同軸上に配置されている。図8a,bにおいて、テープ供給ユニット部7のベース31が駆動ユニット部6のホルダ11の前面側に取り付けられると、中空シャフト16がベース31に設けられた貫通穴31bをY軸方向に貫通し、供給リール32の背面に設けられたシャフト取り付け穴32aに嵌合して中空シャフト16と供給リール32が連結される。また、巻き取りリール駆動モータ13の駆動軸13aが巻き取りリール33の背面に設けられた駆動軸取り付け穴33aに嵌合して巻き取りリール駆動モータ13の駆動軸13aと巻き取りリール33が連結される構成となっている。なお、供給リール駆動モータ12、駆動軸12a、駆動歯車14、従動歯車15、および中空シャフト16により、供給リール駆動装置が構成されており、巻き取りリール駆動モータ13および駆動軸13aにより、巻き取りリール駆動装置が構成されている。この構成により、テープ供給ユニット部7が駆動ユニット部6に取り付けられた状態で供給リール駆動モータ12の駆動軸12aが駆動されると、その駆動力が駆動歯車14、従動歯車15、中空シャフト16から供給リール32に伝達されて供給リール32がY1軸回りに回転する。また、巻き取りリール駆動モータ13の駆動軸13aが駆動されると、その駆動力が巻き取りリール33に伝達されて、供給リール32と同軸上に配置されている巻き取りリール33がY1軸回りに回転する。なお、供給リール駆動モータ12の駆動軸12aの回転動作制御と巻き取りリール駆動モータ13の駆動軸13aの回転動作制御はコントローラ8が行う。また、本実施の形態では、供給リール駆動装置が歯車伝達機構を用いて構成される場合を例として説明したが、このような場合に代えて、供給リール駆動装置や巻き取りリール駆動装置の駆動機構として、例えばタイミングベルト伝達機構を用いて構成しても良い。図5及び図7において、第1案内ローラ41は前面側から見たベース31の切り欠き部31aの図示左方の領域に設けられており、第2案内ローラ42は第1案内ローラ41の下方に設けられている。第3案内ローラ43は第2案内ローラ42の図示右下方に設けられており、第1段差ローラ35は第3案内ローラ43の上方を上下方向に延びたLMガイドから成る第1段差ローラガイド35aに沿って上下方向に移動自在に設けられている。第1段差ローラ35は図示しないばね部材によって常時上方に付勢されており、下方への引き下げ荷重が作用していないときには第1段差ローラガイド35aに対する最上側の位置である原点位置に位置するようになっている。また、第1段差ローラガイド35aの図示右方にはベース31をY軸方向に貫通した貫通孔31cが設けられており、この貫通孔31cからは駆動ユニット部6のホルダ11の前面に設けられた第1原点センサ17の先端センサ部が突出している。第1原点センサ17は原点位置に位置している第1段差ローラ35に向かって水平方向に検査光を投光しており、第1段差ローラ35が原点位置に位置しているときには第1段差ローラ35によって反射される検査光を受光するので受光信号を出力し、第1段差ローラ35が原点位置に位置していないとき原点位置の下方に位置しているときには第1段差ローラ35によって反射される検査光を受光しないので受光信号を出力しない。コントローラ8はこのような第1原点センサ17からの受光信号の出力状態に基づいて、第1段差ローラ35が原点位置に位置しているか否かの検出を行う。図5及び図7において、剥離ローラユニット22は、ホルダ11の図示右下方の領域に横方向X軸方向に移動自在に設けられた移動ベース22aと、移動ベース22aの前面に設けられた一対のローラ第1剥離ローラ22b及び第2剥離ローラ22cとを備えて構成されている。第1剥離ローラ22bはホルダ11の切り欠き部31aをX軸方向に挟んで第3案内ローラ43の図示右側に位置し、第2剥離ローラ22cは第1剥離ローラ22bの図示右上方に位置している。第4案内ローラ44は、前面側から見て、テープ供給ユニット部7のベース31の切り欠き部31aの図示右方の領域の中央部下方に設けられており、第5案内ローラ45は第4案内ローラ44の上方に設けられている。第6案内ローラ46は第5案内ローラ45の図示左上方に設けられており、第7案内ローラ47は第6案内ローラ46の図示左方に設けられている。第2段差ローラ36は第6案内ローラ46と第7案内ローラ47の間の領域の下方を上下方向に延びたLMガイドから成る第2段差ローラガイド36a上を上下方向に移動自在に設けられている。第2段差ローラ36は図示しないばね部材によって常時下方に付勢されており、上方への引き上げ荷重が作用していないときには規定の原点位置第2段差ローラガイド36aのほぼ中間位置よりも下方に位置するようになっている。また、第2段差ローラガイド36aの図示左方にはベース31をY軸方向に貫通した貫通孔31dが設けられており、この貫通孔31dからは駆動ユニット部6のホルダ11の前面に設けられた第2原点センサ18の先端センサ部が突出している。第2原点センサ18は原点位置に位置している第2段差ローラ36に向かって水平方向に検査光を投光しており、第2段差ローラ36が原点位置に位置しているときには第2段差ローラ36によって反射される検査光を受光するので受光信号を出力し、第2段差ローラ36が原点位置に位置していないとき原点位置の下方に位置しているときには第2段差ローラ36によって反射される検査光を受光しないので受光信号を出力しない。コントローラ8はこのような第2原点センサ18からの受光信号の出力の有無に基づいて、第2段差ローラ36が原点位置に位置しているか否かの検出を行う。テープ送りローラ34は相対的に外周面を押し付け合うように設けられた駆動ローラ34a及びピンチローラ34bから成り、第5案内ローラ45の図示右方に取り付けられている。テープ送りローラ駆動モータ19はホルダ11の背面に設けられてその駆動軸19aはホルダ11をY軸方向に貫通している。テープ供給ユニット部7のベース31が駆動ユニット部6のホルダ11の前面に取り付けられると、テープ送りローラ駆動モータ19の駆動軸19aのホルダ11の前面側に延びた部分が、駆動ローラ34aの背面に設けられた図示しない駆動軸取り付け穴に嵌合してホルダ11に取り付けられたテープ送りローラ駆動モータ19の駆動軸19aとテープ供給ユニット部7のベース31に取り付けられた駆動ローラ34aが連結される。このため、テープ供給ユニット部7が駆動ユニット部6に取り付けられた状態でテープ送りローラ駆動モータ19の駆動軸19aが駆動されると、その駆動力が駆動ローラ34aに伝達されて駆動ローラ34aがY軸回りに回転し、ピンチローラ34bは駆動ローラ34aとは反対の方向に回転し、駆動ローラ34aとピンチローラ34bとによりテープ部材セパレータSP単体Tを挟みながら巻き取りリール33にて回収される方向にテープ部材セパレータSP単体Tを送る。なお、テープ送りローラ駆動モータ19の駆動軸19aの回転動作制御はコントローラ8が行う。図5及び図7において、クリーニングローラ37は相対的に外周面を押し付け合うように設けられた第1クリーニングローラ37a及び第2クリーニングローラ37bを備えている。駆動ローラ34aとピンチローラ34bとによりテープ部材セパレータSP単体を挟みながらテープ部材セパレータSP単体Tを送るテープ送りローラ34よりテープ部材セパレータSP単体Tの送り方向矢印Bの方向に対して手前にクリーニングローラ37は配置され、第4案内ローラ44と第5案内ローラ45の間の上下中間部に取り付けられている。第1クリーニングローラ37aはその外周面が粘着性のある弾性材料例えばウレタンにより形成されており、第2クリーニングローラ37bはその外周面が第1クリーニングローラ37aの側面よりも弱粘着性の材料例えばテフロン登録商標により形成されている。テープカッター20はホルダ11の前面の第3案内ローラ43の右側の領域に設けられている。このテープカッター20は上下方向に並んで設けられた上刃20aと下刃20bから成り、これら上下両刃20a,20bが相対的に近接及び離間する開閉動作切断動作を行うことによって上下両刃20a,20bの間を水平方向に通されたテープ部材Tの導電テープACFを切断する導電テープACFに対して切れ目を入れる。なお、このテープカッター20によるテープ部材Tの切断動作ではテープ部材TにおけるセパレータSPに積層された導電テープACFのみが切断され、セパレータSPは切断されない。圧着ヘッド21は、ベース31に設けられた切り欠き部31a内に位置してホルダ11上に設けられている。圧着ヘッド21は上下方向Z軸方向に延びてロッド21aを下方に突没させるシリンダ21bと、ロッド21aの下端に設けられた押圧体21cとを備えている。押圧体21cにはヒータ21dが備えられている。また、基板PB上の導電テープACFの貼り付け状態の検査のため、基板PBに貼り付けられた導電テープACFを基板PBの上方から撮像するテープ撮像カメラ23は、基板PBの側縁部に沿う方向のX軸方向に、基板保持移動テーブル4に対して移動可能すなわち基板保持移動テーブル4に保持された基板PBに対して移動可能、かつ電極DTが設けられた基板PBの側縁部の下面を支持するバックアップステージ51下受け部とは独立して移動可能な貼り付けユニット5のホルダ11に備えられ、テープ供給ユニット部7のベース31の前面の第4案内ローラ44の図示右方に設けられている図3及び図5参照。テープ撮像カメラ23は撮像視野を下方に向けており、基板PB上のテープ貼り付け位置導電テープACFを貼り付けるべき位置であり、電極DTが設けられている位置に貼り付けられた導電テープACFを上方側から撮像する。テープ撮像カメラ23の撮像動作はコントローラ8によって制御され、テープ撮像カメラ23によって撮像された画像情報はコントローラ8に入力される。そしてコントローラ8は、テープ撮像カメラ23の撮像により得られた導電テープACFの画像に基づいて、導電テープACFの基板PBへの貼り付け状態基板PB上における導電テープACFの有無及び貼り付け状態の良否の判断を行う。なお、この検査では、基板PB上の導電テープACFの貼り付け状態を検査できればよく、撮像カメラの代わりに光学式のセンサ等を用いてもよい。図1~図4において、基台2の上面に配置されたフレーム3のY軸方向の前方の領域であり、2つの貼り付けユニット5の下方領域にはバックアップステージガイド50が基台2の横方向X軸方向に延びて設けられており、このバックアップステージガイド50の上面には2つのバックアップステージ51が互いに、かつ、2つの貼り付けユニット5に対してしたがって2つの圧着ヘッド21に対して独立して基板PBの側縁部に沿う方向であるX軸方向に移動自在に設けられている。各バックアップステージ51はバックアップステージガイド50内に設けられた図示しないボールネジ機構あるいはリニアモータ機構等をコントローラ8が作動制御することによってバックアップステージガイド50に沿ってX軸方向である横方向に移動させることができる図1中に示す矢印A2。各バックアップステージ51は上面が平坦面52図3及び図4参照となった柱状の部材であり、各バックアップステージ51の平坦面52のX軸方向への移動軌道は、両貼り付けユニット5が備える圧着ヘッド21の押圧体21cのX軸方向の移動軌道L図4参照と上下に対向している。このため各バックアップステージ51は、フレーム3の水平部3aに沿った任意の位置に位置させた圧着ヘッド21と上下に対向する位置に相対的にX軸方向の移動をすることができる。Y軸方向のオペレータOP側との反対側の各バックアップステージ51の背面には後方側に突出したカメラ支持部53が設けられており、このカメラ支持部53には撮像視野を上方に向けた基板マーク撮像カメラ54が設けられている。すなわち、このテープ貼り付け装置1が備える2つの基板マーク撮像カメラ54は、互いにかつ2つの貼り付けユニット5に対してX軸方向に独立して移動させることができる。これら2つの基板マーク撮像カメラ54はガラス等の透明な材質の基板PBの側縁部の両端側に設けられた基板PBの位置決め用の2つの基板マークM図4参照を側縁部の下面側よりそれぞれ撮像するものであり、その撮像動作はコントローラ8によって制御がなされ、これら2つの基板マーク撮像カメラ54によって撮像された基板マークMの画像情報はコントローラ8に入力される。そしてコントローラ8は、基板マーク撮像カメラ54の撮像により得られた基板マークMの画像に基づいて基板PBの位置認識を行い、基板保持移動テーブル4により基板PBを移動させて基板PBの作業位置への位置決めを行う。すなわち本実施の形態では、コントローラ8は、制御コントローラの機能として、基板マーク撮像カメラ54の撮像により得られた基板マークMの画像に基づいて基板PBの位置認識を行う位置認識手段としての機能と、位置認識手段による基板PBの位置認識結果に基づいて基板保持移動テーブル4を作動させ、基板PBの作業位置への位置決めを行う基板位置決め手段としての機能を有している。図5において、供給リール32から引き出されたテープ部材Tは、テープ送り経路手段である第1案内ローラ41、第2案内ローラ42、第1段差ローラ35、第3案内ローラ43、剥離ローラユニット22を構成する第1剥離ローラ22b及び第2剥離ローラ22c、第4案内ローラ44、クリーニングローラ37、第5案内ローラ45、テープ送りローラ34、第6案内ローラ46、第2段差ローラ36及び第7案内ローラ47の順に掛け渡されて巻き取りリール33に連結されている。なお、テープ送り経路手段にクリーニングローラ37を含むとしたが、テープ部材Tによってテープ送り方向矢印B図5参照下流に位置するテープ送りローラ34のためのテープ部材Tのクリーニングを必要としない場合は、テープ送り経路手段に必ずしもクリーニングローラ37を含まなくてもよい。ここで、図9に示すように、第1案内ローラ41及び第2案内ローラ42は供給リール32のテープ部材Tの巻回面を含む垂直面S1内でテープ部材Tを送り、図5及び図6に示すように、第1段差ローラ35、第3案内ローラ43、剥離ローラユニット22第1剥離ローラ22b及び第2剥離ローラ22c、第4案内ローラ44、クリーニングローラ37、第5案内ローラ45、テープ送りローラ34、第6案内ローラ46、第2段差ローラ36及び第7案内ローラ47は巻き取りリール33のテープ部材Tの巻回面を含む垂直面S2内でテープ部材Tを送るようになっている。したがってテープ部材Tは、第2案内ローラ42から第1段差ローラ35に至る間に供給リール32のテープ部材Tの巻回面を含む垂直面S1と巻き取りリール33のテープ部材Tの巻回面を含む垂直面S2とのY軸方向の差段差Δ分だけY軸方向の前面側にずれることになるが、これによりY軸方向の同軸上に配置され、かつその段差Δ分だけY軸方向にずれた供給リール32と巻き取りリール33の間でテープ部材Tの供給及び巻き取りを行うことができるようになっている。なお、テープ部材Tは、第2案内ローラ42から第1段差ローラ35に至る間に供給リール32のテープ部材Tの巻回面を含む垂直面S1と巻き取りリール33のテープ部材Tの巻回面を含む垂直面S2とのY軸方向の差段差Δ分だけY軸方向の前面側にずれることとしたが、第6案内ローラ46から第2段差ローラ36に至る間に供給リール32のテープ部材Tの巻回面と巻き取りリール33のテープ部材Tの巻回面とのY軸方向の差段差Δ分だけY軸方向の前面側にずれてY軸方向の同軸上に配置され、かつその段差Δ分だけY軸方向にずれた供給リール32と巻き取りリール33の間でテープ部材Tの供給及び巻き取りを行ってもよい。しかしながら、後述する供給リール32から引き出されたテープ部材Tの導電テープACFの面が基板PBに対して圧着ヘッド21により貼り付けられる前に、テープ送り経路手段のローラ41,42,35,43の面に接触することがないような構成にするためには、テープ部材Tは、第2案内ローラ42から第1段差ローラ35に至る間に供給リール32のテープ部材Tの巻回面を含む垂直面S1と巻き取りリール33のテープ部材Tの巻回面を含む垂直面S2とのY軸方向の差段差Δ分だけY軸方向の前面側にずれてY軸方向の同軸上に配置され、かつその段差Δ分だけY軸方向にずれた供給リール32と巻き取りリール33の間でテープ部材Tの供給及び巻き取りを行う構成にするのが望ましい。図2及び図5において、テープ部材Tは第3案内ローラ43と第1剥離ローラ22bの間で水平方向に送られる。これは、この間第3案内ローラ43と第1剥離ローラ22bの間のテープ部材Tが基板保持移動テーブル4に保持された基板PBの側縁部に設けられ、テープ部材Tの導電テープACFが貼り付けられる電極DTの表面と平行になるようにするためである。なお、図6に示すように、このテープ貼り付け装置1の貼り付けユニット5では、テープ部材Tは導電テープACFが設けられている側が供給リール32の軸芯方向の内側になるように供給リール32に巻回されており、供給リール32から引き出された後のセパレータSPに導電テープACFが積層されているテープ部材Tは、導電テープACFが設けられている側とは反対側のセパレータSPが第1案内ローラ41、第2案内ローラ42、第1段差ローラ35及び第3案内ローラ43の外周面に接触するようになっており、第3案内ローラ43と第4案内ローラ44の間のテープ部材Tが水平方向に送られる領域においては、導電テープACFがテープ部材Tの下面になるようになっている。このことにより、供給リール32から引き出されたテープ部材Tの導電テープACFの面が基板PBの側縁部の電極DTに対して圧着ヘッド21により貼り付けられる前にテープ送り経路手段のローラ41,42,35,43の面に接触することがないためテープ送り経路手段のローラ41,42,35,43の面の汚れ等による導電テープACFの品質の低下や粘着性の導電テープACFがテープ送り経路手段のローラ41,42,35,43の面に付着することによるテープ部材Tの送りトラブルを防止できる。図5において、テープ部材Tはクリーニングローラ37を、第1クリーニングローラ37aと第2クリーニングローラ37bによって挟まれた状態で通過する。また、テープ部材Tは、テープ送りローラ34を、駆動ローラ34aとピンチローラ34bによって挟まれた状態で通過する。テープ供給ユニット部7を駆動ユニット部6に取り付ける前の初期状態では、上記のように駆動ユニット部6に着脱可能なテープ供給ユニット部7において、テープ部材Tの供給リール32と巻き取りリール33を同軸上に取り付けるとともに、複数の案内ローラ第1~第7案内ローラ41,42,,47や、テープ送りローラ34、第1段差ローラ35、第2段差ローラ36、剥離ローラユニット22及びクリーニングローラ37等の供給リール32から供給されるテープ部材Tの導電テープACFが圧着ヘッド21により基板PBに押し付けられて貼り付けられた後のテープ部材セパレータSP単体を巻き取る巻き取りリール33へテープ部材Tを案内するためのテープ送り経路手段にテープ部材Tが掛け渡され、第1段差ローラ35及び第2段差ローラ36がそれぞれの原点位置に位置調整可能な状態になるように供給リール32から巻き取りリール33までの間のテープ部材Tの長さが調節される。そして、この初期状態のテープ供給ユニット部7を駆動ユニット部6に取り付けてコントローラ8がテープ送りローラ駆動モータ19の駆動軸19aを駆動し、テープ送りローラ34の駆動ローラ34aを図5中に示す矢印R1の方向に回転させると、これに伴ってピンチローラ34bが矢印R2の方向に回転し、駆動ローラ34aとピンチローラ34bに挟まれたテープ部材Tは図5中に示す矢印Bの方向に進行する。なお、テープ部材Tは駆動ローラ34aとピンチローラ34bによって挟まれているため、初期状態すなわち駆動ユニット部6に未装着状態のテープ供給ユニット部7の駆動ローラ34aがテープ送りローラ駆動モータ19の駆動軸19aと分離した状態であっても、テープ部材Tの送り位置が大きくずれることはない。テープ部材Tが矢印Bの方向に進行すると、はじめ、供給リール32及び巻き取りリール33は停止状態であることから、供給リール32とテープ送りローラ34までの間のテープ部材Tの長さが短くなり、第1段差ローラ35は第1段差ローラガイド35aに取り付けられたばね図示せずの付勢力に抗して原点位置から下方に引き下げられる。コントローラ8は、第1段差ローラ35の原点位置からの下方への移動を原点位置に位置する第1原点センサ17からの出力に基づいて検出したら、供給リール駆動モータ12の駆動軸12aを駆動し、供給リール32を図5中に示す矢印R3の方向に回転させる。これにより供給リール32からテープ部材Tが供給される繰り出される。供給リール32からテープ部材Tが供給されると、供給リール32とテープ送りローラ34の間のテープ部材Tの長さは長くなってくるので、第1段差ローラ35は第1段差ローラガイド35aに取り付けられたばね図示せずの付勢力によって上昇する。コントローラ8は、第1段差ローラ35が原点位置に復帰したことを第1原点センサ17からの出力に基づいて検出したら、供給リール32の駆動を停止する。そして、この供給リール32の駆動を停止したことによって再度第1段差ローラ35が原点位置から下方に移動したことを検出したときには、コントローラ8は供給リール32の駆動を再開する。これにより供給リール32とテープ送りローラ34の間のテープ部材Tの長さはほぼ一定に保たれる。一方、テープ送りローラ34によってテープ部材Tが巻き取りリール33側へ送られると、テープ送りローラ34と巻き取りリール33の間のテープ部材Tは長くなってくるので、第2段差ローラ36は第2段差ローラガイド36aに取り付けられたばね図示せずの付勢力によって原点位置から下方に移動する。コントローラ8は、第2段差ローラ36が原点位置から下方に移動したことを原点位置に位置する第2原点センサ18からの出力に基づいて検出したら、巻き取りリール駆動モータ13を駆動し、巻き取りリール33を図5中に示す矢印R4の方向に回転させる。これによりテープ送りローラ34と巻き取りリール33の間のテープ部材Tが巻き取りリール33によって巻き取られる。巻き取りリール33によってテープ部材Tが巻き取られると、テープ送りローラ34と巻き取りリール33の間のテープ部材Tの長さは短くなってくるので、第2段差ローラ36は第2段差ローラガイド36aに取り付けられたばね図示せずの付勢力に抗して引き上げられて上昇する。コントローラ8は、第2段差ローラ36が原点位置に復帰したことを第2原点センサ18の出力に基づいて検出したら、巻き取りリール33の駆動を停止する。そして、この巻き取りリール33の駆動を停止したことによって再度第2段差ローラ36が原点位置から下方に移動したことを検出したときには、コントローラ8は巻き取りリール33の駆動を再開する。これによりテープ送りローラ34と巻き取りリール33の間のテープ部材Tの長さほぼ一定に保たれる。第3案内ローラ43と剥離ローラユニット22を構成する第1剥離ローラ22bの間のテープ部材Tが水平方向に送られる領域の中間部は、基板保持移動テーブル4に保持された基板PB上のテープ貼り付け位置に、駆動ユニット部6のホルダ11に設けられた圧着ヘッド21により導電テープACFを貼り付ける作業を行う貼り付け作業領域PRとなっている図5。ここで、テープ部材Tは貼り付け作業領域PRに至る前にテープカッター20の上刃20aと下刃20bの間を通過し、テープカッター20の切断動作によって導電テープACFが切断され切れ目が入れられ、必要な長さに裁断される。導電テープACFを下面側にして、セパレータSPに導電テープACFを積層したテープ部材Tが貼り付けユニット5の圧着ヘッド21の貼り付け作業領域PRに送られると、その貼り付けユニット5の圧着ヘッド21の直下したがって貼り付け作業領域PRの直下に位置させたバックアップステージ51の平坦面52によって、電極DTが設けられた基板PBの側縁部の下面を支持したうえで図10a、貼り付けユニット5の駆動ユニット部6のホルダ11に設けられた圧着ヘッド21のシリンダ21bを作動させてロッド21aを下方に突出させ、ロッド21aの下端に設けられ、ヒータ21dにより加熱された押圧体21cによって貼り付け作業領域PR内のテープ部材Tをバックアップステージ51に支持された基板PBの側縁部に設けられた電極DT上に押し付け、テープ部材Tに積層されている導電テープACFを基板PBの電極DT上に貼り付ける図10b。圧着ヘッド21によって導電テープACFが基板PB上に貼り付けられたら、シリンダ21bを作動させてロッド21aを上方に引き上げ、押圧体21cをテープ部材Tから離間させる図10c。次に、剥離ローラユニット22の移動ベース22aを貼り付け作業領域PR側へ移動させる図10c。図中に示す矢印A3X軸方向図示左側。これによりテープ部材TセパレータSP単体は上方に引き上げられ、基板PBに貼り付けられた導電テープACFからセパレータSPが強制的に分離される。なお、導電テープACFのセパレータSPとの間の接合力は、基板PBに貼り付けられた導電テープACFと基板PBとの間の接合力に比べて弱いので、押圧体21cを上方に引き上げた後のテープ部材Tの張力によってセパレータSPは自然と導電テープACFから部分的に分離するのであるが、上記のような剥離ローラユニット22を用いることによって、基板PBに貼り付けられた導電テープACFからのセパレータSPの分離を迅速かつ確実に行うことができる。圧着ヘッド21による導電テープACFの貼り付け後、セパレータSP単体となったテープ部材Tは、その後、図5及び図11に示すように、第4案内ローラ44、第5案内ローラ45を経てテープ送りローラ34を通過するが、そのセパレータSP単体の導電テープACFが設けられていた側の面には粘着剤のカスが付着した残った状態となっている。テープ送りローラ34の駆動ローラ34aはその外周面に複数の微小な突起34t図11参照を備えてテープ部材Tの送り量を正確にコントロールするものであるが、そのような駆動ローラ34aの表面に粘着剤のカスKが付着するセパレータSPから移ると、テープ部材Tの送り量のコントロールが不正確になるおそれがある。また、駆動ローラ34aの表面に付着しこびりついた粘着剤のカスKを取り除こうと駆動ローラ34aの表面を直接金属ブラシ等でクリーニングしようとした場合、駆動ローラ34aの外周面に備えられた複数の微小な突起34tはクリーニングにより磨耗が進み、テープ部材Tの送り量のコントロールが不正確になってしまう。また、粘着剤のカスKが駆動ローラ34aの表面にこびりつく前に、駆動ローラ34aの表面を直接クリーニングしたとしても駆動ローラ34aの表面にカスKの粘着成分が残り、駆動ローラ34aの表面が不安定にべとつきテープ部材Tの送り量のコントロールが不正確になってしまう。しかしながら、このテープ貼り付け装置1の貼り付けユニット5では、セパレータSP単体となったテープ部材Tは、駆動ローラ34aに達する前に、第1クリーニングローラ37aを一の方向図11中に示す矢印R5に回転させるとともに第2クリーニングローラ37bを反対の方向図11中に示す矢印R6に回転させてクリーニングローラ37を通過し、テープ部材Tの粘着剤のカスKが残っている側の面は粘着性のあるウレタン材料等の弾性材料から成る第1クリーニングローラ37aと接触して粘着剤のカスKが除去されるので、粘着剤のカスKによって駆動ローラ34aの送り量のコントロールが不正確になるおそれがない。なお、第1クリーニングローラ37a及び第2クリーニングローラ37bはテープ供給ユニット部7のベース31に対して着脱して交換若しくは清掃することができ、駆動ローラ34aの表面を常にきれいに粘着剤のカスがない状態にしておくことができるようになっていることが好ましい。次に、このような構成のテープ貼り付け装置1を用いて基板PB上のテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付ける手順を図12のフローチャート、図13~図15及び図3を用いて説明する。基板PB上のテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付けるには、はじめにコントローラ8が図示しない基板搬送装置を作動させて基板PBをテープ貼り付け装置1内に搬入し、その基板PBを基板保持移動テーブル4の基板保持部4d上に載置し、吸着保持する図12のステップST1。そして、基板保持移動テーブル4を作動させて、ガラス等の透明な材質の基板PBの側縁部の両端側に設けられた2つの基板マークMを、バックアップステージ51がバックアップステージガイド50上をX軸方向に移動することによって形成される基板マーク撮像カメラ54の移動軌道L1のほぼ直上に位置するようにし図13及び図3中に破線で示す基板PB参照、基板PBの仮位置決めを行うステップST2。コントローラ8は、基板PBの仮位置決めを行ったら、2つのバックアップステージ51をそれぞれX軸方向に移動させて、この2つのバックアップステージ51にそれぞれ備えられた基板マーク撮像カメラ54が、X軸方向の基板マークMの撮像位置であるそれぞれの基板PBの側縁部の両端側の基板マークMの直下に位置するようにしたうえで図13及び図14、これら2つの基板マーク撮像カメラ54によりそれぞれ基板マークMを撮像させるステップST3。なお、ここで、基板マーク撮像カメラ54によりそれぞれ基板マークMを撮像させるにあたり、基板PBの仮位置決めをした後、2つのバックアップステージ51をX軸方向の基板マークMの撮像位置に移動させるとしたが、基板マークMの撮像位置に対して、基板PBの仮位置決めとバックアップステージ51のX軸方向への移動を実質的に同時に行ってもよい。また、基板PBの仮位置決めより先に2つのバックアップステージ51をX軸方向に移動させて基板マークMの撮像位置に移動させてもよい。コントローラ8は、2つの基板マーク撮像カメラ54に基板PBの両端側の2つの基板マークMを撮像させたら、これら2つの基板マークMの撮像結果画像に基づいて画像認識を行い、基板PBの位置ずれ基板PBのθ方向の位置ずれを算出するための基板PBの位置認識を行うステップST4。コントローラ8は、基板PBの位置認識を行ったら、この位置認識結果に基づき基板保持移動テーブル4を作動させて、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBの側縁部の複数のテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付ける作業の位置である作業位置への位置決め位置決め及び位置補正を行うステップST5。この基板PBの作業位置への位置決めは、具体的には、基板保持移動テーブル4を作動させて、ステップST4で求めた位置認識結果に基づき、例えばθ方向に位置ずれが解消されるように基板PB全体をθ方向に回転させ、更に、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBのテープ貼り付け位置が、2つの貼り付けユニット5がそれぞれ備える圧着ヘッド21の押圧体21cのX軸方向の移動軌道Lの直下に位置するように、基板保持移動テーブル4に保持された基板PB全体をY軸方向の前方に移動させることによって行う。ここで、コントローラ8は、図14に示すように、上記基板PBの位置認識を行っている間に若しくは基板PBの位置認識を行う前に、2つの貼り付けユニット5をそれぞれ、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBのテープ貼り付け位置の上方に移動させるステップST6。そして、ステップST5の基板PBの作業位置への位置決めが終了したら、その作業位置に位置決めした基板PBの側縁部のテープ貼り付け位置を上下方向の間に挟むように、2つの貼り付けユニット5のそれぞれと上下に対向する位置に2つのバックアップステージ51を移動させ、2つのバックアップステージ51に対し、基板保持移動テーブル4の基板保持部4dに保持された基板PBをZ軸方向に相対移動させて、2つのバックアップステージ51により基板PBのテープ貼り付け位置の下面を支持させるステップST7。これにより、2つの貼り付けユニット5と2つのバックアップステージ51は、それぞれ上下に対向するもの同士が一組になって、基板PBのテープ貼り付け位置を上下に挟むように配置された状態となる。このとき、これから貼り付けようとするテープ部材Tの導電テープACFは各貼り付けユニット5の貼り付け作業領域PR内に位置した状態となっている図5参照。なお、上述の一組とする1つの貼り付けユニット5と1つのバックアップステージ51は互いに独立してX軸方向に移動可能な構成である。なお、2つのバックアップステージ51による、基板保持移動テーブル4の基板保持部4dに保持された基板PBのテープ貼り付け位置の下面の支持動作は、基板PBを保持した基板保持部4dをZ軸方向に下降させて行う。或いは、2つのバックアップステージ51を基板PBのテープ貼り付け位置の下面を支持するようにバックアップステージ51にボール螺子機構、リニアモータ駆動機構或いはエアシリンダ機構等の上下移動手段図示せずを設けて上昇させて行うものであってもよい。また、このテープ貼り付け装置1では、2つのバックアップステージ51と2つの貼り付けユニット5は互いにそれぞれ独立して基板PBの側縁部に沿う方向であるX軸方向に移動自在であるので、2つの基板マーク撮像カメラ54で基板位置決めマークMの撮像すなわち基板PBの位置認識を行っている間に図14参照、テープ部材Tの供給リール32や巻き取りリール33やテープ送り経路手段を有している2つの貼り付けユニット5を、それぞれ独立した動作で2つのバックアップステージ51のX軸方向の移動とは独立して、貼り付けユニット5の圧着ヘッド21により基板PBの側縁部の電極DTに導電テープACFを貼り付ける圧着ヘッド21のX軸方向の移動軌道L上のテープ貼り付け位置に、先に移動させておくことができる。これにより、バックアップステージ51に比べて、大きなサイズの2つの貼り付けユニット5の位置決め移動に伴う残留振動の影響を抑えて、X軸方向の移動軌道Lの位置に、基板PBの位置決め及び、2つのバックアップステージ51が基板PB上のテープ貼り付け位置を挟んで圧着ヘッド21と上下に対向する位置の位置決め完了後、すぐに圧着ヘッド21による導電テープACFの貼り付け動作を行うことが可能である図4参照。また、ここで図14に示すように、基板PBの位置決め補正を高精度に行うため、撮像する基板マークMはなるべく基板PBの両側に位置するものが望ましい。基板PBの両端側に位置した基板マークMをX軸方向に移動可能なバックアップステージ51に備えた基板マーク撮像カメラ54にて撮像し位置認識をした後、2つのバックアップステージ51が基板PB上のテープ貼り付け位置を挟んで2つの貼り付けユニット5のそれぞれの圧着ヘッド21と上下に対向する位置になるように、2つのバックアップステージ51を2つの貼り付けユニット5とはそれぞれ独立させて移動させる。この移動に際して、貼り付けユニット5は供給リール32と巻き取りリール33とをY軸方向の同軸上に並設して配置しているため、供給リール32或いは巻き取りリール33のいずれかの径が大きい方のリールの径以上の幅寸法を有している2つの貼り付けユニット5をX軸方向に並べた状態で、基板PBの隣接した2つのテープ貼り付け位置に導電テープACFを同時に貼り付けるのは困難である。このため、基板PBの両端側から基板PBの側縁部のX軸方向中央に向かって、2つの貼り付けユニット5が互いに近づく方向に移動して導電テープACFを順次、側縁部のテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付けていくのではなく、例えば、図示X軸方向左側の貼り付けユニット5を基板PBのX軸方向左側の端に位置するテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付けるように移動させ、図示X軸方向右側の貼り付けユニット5を基板PBの側縁部のX軸方向の中央側より右側に位置するテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付けるように移動させる。そして、2つの貼り付けユニット5が干渉しないように2つの貼り付けユニット5を順次、X軸方向右側に移動させて複数のテープ貼り付け位置に同時に導電テープACFを貼り付けていく貼り付け方法が望ましい。なお、上述の貼り付け方法で、2つの貼り付けユニット5のうち、図示X軸方向左側の貼り付けユニット5を基板PBのX軸方向左側の端に、図示X軸方向右側の貼り付けユニット5を基板PBの側縁部のX軸方向の中央側より右側に位置させ、順次、X軸方向右側に移動させて複数のテープ貼り付け位置に同時に導電テープACFを貼り付けていくとしたが、その逆の位置及び方向でもよい。複数のテープ貼り付け位置に導電テープACFを同時に貼り付ける際に、2つの貼り付けユニット5が干渉しないようにすればよい。コントローラ8は、2つのバックアップステージ51をそれぞれ基板PB上のテープ貼り付け位置に対応するX軸方向の移動軌道Lの位置に移動させたら、図15に示すように、基板保持移動テーブル4の基板PBを保持した基板保持部4dを降下させて、バックアップステージ51の平坦面52により電極DTが設けられた基板PBの側縁部の下面を支持するように作動させる。それとともに、コントローラ8は、各貼り付けユニット5の圧着ヘッド21を作動させ、ヒータ21dにより加熱されている圧着ヘッド21の押圧体21cを、バックアップステージ51により基板PBの側縁部の下面を支持された基板PBの側縁部の電極DTの上のテープ貼り付け位置にテープ部材Tを押し付けて導電テープACFを基板PBの電極DTに貼り付けるステップST8。コントローラ8は、貼り付けユニット5の圧着ヘッド21によりテープ部材Tの導電テープACFを基板PB上のテープ貼り付け位置に貼り付けた後、圧着ヘッド21の押圧体21cを上昇させて、テープ部材セパレータSP単体Tをテープ貼り付け位置に貼り付けられた導電テープACFから剥離し、貼り付けユニット5を基板PBから離間させる。その後、コントローラ8は、2つの貼り付けユニット5を電極DTが設けられた基板PBの側縁部の下面を支持するバックアップステージ51のX軸方向の移動とは独立してそれぞれ移動させることによって、各貼り付けユニット5に備えられたテープ撮像カメラ23を、その貼り付けユニット5の圧着ヘッド21によって基板PBの側縁部に貼り付けられた導電テープACFの直上に移動させる。そして、各テープ撮像カメラ23によって導電テープACFの撮像を行い、その導電テープACFの貼り付け状態の検査を行うステップST9。またコントローラ8は、このステップST8と並行して、次の導電テープACFの貼り付け準備のため、各貼り付けユニット5においてテープ部材Tを次のテープ貼り付け位置に位置するように圧着ヘッド21の貼り付け作業領域PRに所定量送る動作を行うステップST10。コントローラ8は、ステップST9において、各貼り付けユニット5により貼り付けた導電テープACFの貼り付け状態の検査を行ったら、次いで導電テープACFの貼り付け状態が良好であるかどうかの判断を行いステップST11、その結果、導電テープACFのめくれや破れ等が認められて導電テープACFの貼り付け状態が不良であると判断したときには、エラーをオペレータOPに通知したうえでステップST12、貼り付けユニット5の動作を停止させるステップST13。一方、ステップST11において、導電テープACFの貼り付け状態が不良であると判断したときは、現在導電テープACFの貼り付け作業を行っている基板PBにおける全てのテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付け終えたかどうかの判断を行うステップST14。ステップST14において、全てのテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付け終えていなかった場合にはステップST7に戻り、まだ導電テープACFの貼り付けを行っていないテープ貼り付け位置について導電テープACFの貼り付け作業を行うため、2つの貼り付けユニット5及び2つのバックアップステージ51をそれぞれ新たなテープ貼り付け位置に対応する位置に移動させる動作を行う。例えば、図4に示すように、テープ貼り付け位置である電極DTが基板PBの長辺において6箇所、短辺において4箇所あり、2つの貼り付けユニット5によって同時に1つずつ導電テープACFを貼り付ける動作を都合5回長辺について3回、短辺について2回繰り返すものであれば、ステップST14からステップST7に戻るループを計5回繰り返すことになる。なお、基板PBの長辺についての導電テープACFの貼り付け作業と、基板PBの短辺についての導電テープACFの貼り付け作業の切り替え時における基板PBの位置決めは、基板保持移動テーブル4の基板保持部4dを90度回転させることによって行う。一方、コントローラ8は、ステップST14において、その基板PBにおける全てのテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付け終えていた場合には、前述の基板搬送装置図示せずを作動させて、基板保持移動テーブル4上の基板PBをテープ貼り付け装置1の外部に搬出するステップST15。本実施の形態におけるテープ貼り付け装置1では、上記工程を繰り返すことによって複数の基板PBの複数のテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付けていくが、供給リール32からテープ部材Tを供給しきって供給リール32及び巻き取りリール33の交換を行う必要が生じたときには、オペレータOPは駆動ユニット部6のホルダ11から、このホルダ11に着脱可能に並列して取り付けられてユニット化されているテープ供給ユニット部7を取り外し、オフラインにてテープ供給ユニット部7に対して供給リール32と巻き取りリール33を交換した新しいテープ供給ユニット部7を駆動ユニット部6のホルダ11に取り付ける。以上説明したように、本実施の形態におけるテープ貼り付け装置1は、基板PBを保持する基板保持移動テーブル4と、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBに対して相対移動可能なホルダ11と、ホルダ11に着脱可能に取り付けられたベース31と、ベース31に取り付けられ、導電テープACFにセパレータSPが積層されて成るテープ部材Tを供給する供給リール32と、ホルダ11に取り付けられ、供給リール32より供給されるテープ部材Tを基板保持移動テーブル4に保持された基板PBに押し付けて導電テープACFを貼り付ける圧着ヘッド21と、ベース31に供給リール32と同軸上に取り付けられ、圧着ヘッド21により導電テープACFが基板PBに貼り付けられた後のテープ部材Tを巻き取る巻き取りリール33を備えたものとなっている。また、このテープ貼り付け装置1は、基板PBの側縁部のテープ貼り付け位置にテープ部材Tに積層された導電テープACFを貼り付ける貼り付けユニット5を備えたものであり、貼り付けユニット5は、導電テープACFにセパレータSPが積層されて成るテープ部材Tを供給する供給リール32と、基板PBの側縁部の下面を下受け部であるバックアップステージ51により支持された側縁部のテープ貼り付け位置に、供給リール32より供給されるテープ部材Tを押し付けて導電テープACFを基板PBに貼り付ける圧着ヘッド21と、圧着ヘッド21により導電テープACFが基板PBに貼り付けられた後のテープ部材Tを巻き取る巻き取りリール33とを備え、貼り付けユニット5に、テープ部材Tの供給リール32と巻き取りリール33が同軸上に取り付けられたものとなっている。本実施の形態におけるテープ貼り付け装置1では、テープ貼り付け装置1の貼り付けユニット5に、供給リール32と巻き取りリール33が同軸上に並列して取り付けられてコンパクトに配置されているので、テープ部材Tの巻回するテープ長を長くすることにより両リール32,33の径が大きくなっても、供給リール32と巻き取りリール33が実質的な平面上に並べて配置されるのに比べ、装置全体が大型化しない。これにより、テープ部材Tのテープ長を増大させてリール32,33の交換間隔を長くし、交換回数を少なくすることで、作業効率の向上を図ることができる。また、このため、本実施の形態のように、供給リール32と巻き取りリール33のセット貼り付けユニット5に相当を横方向X軸方向に複数並べるレイアウトを採用した場合でも、テープ貼り付け装置1全体のX軸方向のサイズアップを抑えることができる特に設備ライン長を抑制。更に、供給リール32と巻き取りリール33は駆動ユニット部6のホルダ11に着脱可能なベース31に設けられてユニット化されテープ供給ユニット部7としているため、テープ貼り付け装置1内オンラインの駆動ユニット部6のホルダ11より取り外したテープ供給ユニット部7の両リール32,33の交換を予めオフラインにて、或いは交換時にオフラインにて容易に行うことができる。また、交換されたテープ部材Tの供給リール32と巻き取りリール33がベース31に取り付けられたテープ供給ユニット部7を駆動ユニット部6のホルダ11に対して、着脱するだけで交換作業が簡単にでき、かつ交換のための生産中断時間を大幅に短縮することができ、更なる作業効率の向上を図ることができる。また、供給リール32を駆動する供給リール駆動モータ12供給リール駆動手段と、巻き取りリール33を駆動する巻き取りリール駆動モータ13巻き取りリール駆動手段は駆動ユニット部6のホルダ11に設けられている。そのため、両リール32,33の交換のための両リール32,33を備えたテープ供給ユニット部7の交換では、その駆動手段供給リール駆動モータ12及び巻き取りモータ駆動モータ13を除いた部分だけを交換すればよいので、駆動ユニット部6に対して交換するカセット構造のテープ供給ユニットをより軽量化できる。また、本実施の形態におけるテープ貼り付け装置1では、圧着ヘッド21により導電テープACFが基板PBに貼り付けられてセパレータSPのみとなったテープ部材Tと接触してセパレータSPに残存する粘着剤のカスKを除去するローラ部材としての第1クリーニングローラ37aを備えているので、テープ部材Tの送り量を常に正確にコントロールすることができる。また、本実施の形態におけるテープ貼り付け装置1は、基板PBを保持して基板PBを水平面内に移動させる基板保持移動テーブル4と、基板保持移動テーブル4に対して水平面内に移動可能に設けられ、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBの側縁部のテープ貼り付け位置の下面を支持する下受け部としてのバックアップステージ51と、バックアプステージ51に設けられ、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBの下方から基板PBが備える基板位置決め用の基板マークMの撮像を行う基板マーク撮像カメラ54と、基板マーク撮像カメラ54の撮像により得られた基板マークMの画像に基づいて基板PBの位置認識を行う位置認識手段コントローラ8と、位置認識手段による基板PBの位置認識結果に基づいて基板保持移動テーブル4を作動させ、基板PBの作業位置への位置決めを行う基板位置決め手段コントローラ8と、バックアップステージ51とは独立して水平面内方向に移動可能に設けられ、作業位置に位置決めされ、かつバックアップステージ51によりテープ貼り付け位置の下面が支持された基板PBのテープ貼り付け位置の上方から異方性導電テープACFを基板PBに押し付けて貼り付ける貼り付けユニット5を備えたものとなっている。なお、本実施の形態では、基板マーク撮像カメラ54を備えたバックアップステージ51が複数2つ設けられたものとなっている。また、本実施の形態におけるテープ貼り付け方法は、基板PBを保持して基板PBを水平面内に移動させる基板保持移動テーブル4と、基板保持移動テーブル4に対して水平面内に移動可能に設けられ、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBの側縁部の複数のテープ貼り付け位置の下面を個別に支持する2つの下受け部としてのバックアップステージ51と、2つのバックアップステージ51それぞれに設けられ、基板保持移動テーブル4に保持された基板PBが備える基板位置決め用の2つの基板マークMの下方に位置した状態で基板PBの下方から2つの基板マークMの撮像を行う2つの基板マーク撮像カメラ54と、2つのバックアップステージ51とは独立して水平面内方向に移動可能に設けられ、2つの基板マーク撮像カメラ54の撮像により得られた2つの基板マークMの画像に基づく基板PBの位置認識結果に基づいて基板保持移動テーブル4に保持された基板PBの側縁部の複数のテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付ける作業の位置である作業位置に位置決めされ、かつ2つのバックアップステージ51によりそれぞれテープ貼り付け位置の下面が支持された基板PBのテープ貼り付け位置に導電テープACFを押し付けて貼り付ける2つの貼り付けユニット5を備えたテープ貼り付け装置1によるテープ貼り付け方法である。そして、このテープ貼り付け方法では、基板保持移動テーブル4に保持させた基板PBに対して2つのバックアップステージ51をそれぞれ移動させ、2つの基板マーク撮像カメラ54により基板PBに設けられた2つの基板マークMを基板PBの下方から撮像し、得られた画像に基づいて基板PBの位置認識を行う工程ステップST3及びステップST4と、基板PBの位置認識結果に基づいて基板保持移動テーブル4を作動させ、基板PBの作業位置への位置決めを行う工程ステップST5と、基板PBの位置認識を行っている間或いは基板PBの位置認識を行う前に、2つの貼り付けユニット5をそれぞれ、作業位置にて導電テープACFが貼り付けられる基板保持移動テーブル4に保持された基板PBのテープ貼り付け位置の上方に移動させる工程ステップST6と、作業位置に位置決めした基板PBの側縁部の2つのテープ貼り付け位置を2つの貼り付けユニット5と上下に挟む位置になるように2つのバックアップステージ51を移動させて2つのバックアップステージ51により基板PBのテープ貼り付け位置の下面を支持させる工程ステップST7と、2つのテープ貼り付けユニット5により、2つのバックアップステージ51によりテープ貼り付け位置の下面が支持された基板PBの2つのテープ貼り付け位置に導電テープACFを貼り付ける工程ステップST8を含むものとなっている。そして更に、本実施の形態では、ステップST8の後、2つの貼り付けユニット5のそれぞれが備えるテープ撮像カメラ23貼り付け状態検査手段により導電テープACFの基板PBへの貼り付け状態の検査を行う工程ステップST9を実行するようになっている。本実施の形態におけるテープ貼り付け装置1では、基板PBに設けられた基板マークMを撮像する基板マーク撮像カメラ54が、貼り付けユニット5とは相互に独立して移動可能に設けられたバックアップステージ51に取り付けられているので、基板マークMの撮像の際の基板マーク撮像カメラ54の移動は、下受け部であるバックアップステージ51に比べて大きなサイズの貼り付けユニット5の移動を伴わないバックアップステージ51のみの移動となる。貼り付けユニット5は、バックアップステージ51に比べて大きなサイズを有しているだけではなく、テープ部材Tを保持していることからも比較的高速で移動させることは好ましくない。このような点からも、バックアップステージ51および基板マーク撮像カメラ54は、貼り付けユニット5に比して高速で移動させることができる。このため、基板PBの位置認識を行う前若しくは基板PBの位置認識を行っている間に、2つの貼り付けユニット5をそれぞれ、作業位置にて導電テープACFが貼り付けられる基板保持移動テーブル4に保持された基板PBのテープ貼り付け位置の上方に移動させて、基板PBの位置認識後に、基板マークMを撮像する基板マーク撮像カメラ54の移動を迅速に行うことができ、基板PBの位置決めに要する時間を短縮化して作業効率の向上を図ることができる。特に、本実施の形態におけるテープ貼り付け装置1では、基板マーク撮像カメラ54を備えたバックアップステージ51が複数2つ設けられているので、基板PBの両端に設けられた2つの基板マークMを同時に撮像することができ、極めて短時間で基板PBの位置決めを行うことができる。これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、貼り付けユニット5は2つであったが、貼り付けユニット5は2つに限られず1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。また、貼り付けユニット5におけるテープ部材Tの掛け渡し方は一例に過ぎず、上述のものに限定されない。テープ貼り付け装置1が、例えば貼り付けユニット5を1つのみ備えるような装置構成である場合、このような構成のテープ貼り付け装置1を複数台隣接させて配置して、複数の基板に対する導電テープの貼り付け作業を同時的に行う場合が考えられる。このような装置構成においても、個々の装置を大型化させることなくテープ長を増大させて作業効率の向上を図ることが求められることには変わりがない。なお、上記様々な実施の形態のうちの任意の実施の形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施の形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。2009年7月3日に出願された日本国特許出願No.2009-158706号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容、および2009年7月3日に出願された日本国特許出願No.2009-158707号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容は、全体として参照されて本明細書の中に取り入れられるものである。"