基板と、前記基板の下方に配置された加熱容器とが設けられた有機薄膜形成装置において有機材料の蒸着を行う方法であって、前記加熱容器が、内部に有機材料が収容される空間部が形成されて密閉された上部に1つ以上の吐出孔が形成される本体と、前記本体の外周面に設けられるヒータとを含み、前記加熱容器の前記吐出孔の大きさが本体の容積、有機材料の量及び有機材料によって設定されることを特徴とする有機材料の蒸着方法。前記本体の容積が20cc以上200cc以下の場合には、上部に形成された吐出孔が直径5mm以上25mm以下であることを特徴とする請求項1に記載の有機材料の蒸着方法。前記基板と蒸発源との距離が300mm以上1000mm以下であり、且つ蒸着レートが1Å/sec以上である場合には上部に形成された吐出孔が直径5mm以上25mm以下であることを特徴とする請求項1に記載の有機材料の蒸着方法。本発明は、上記のような点を勘案してなされたものであって、有機材料が変性しないように加熱容器の容積、有機材料の量及び有機材料によって吐出孔の大きさが調節された有機薄膜形成装置の加熱容器を提供するのに目的がある。上記目的を達成するための本発明の有機薄膜形成装置の加熱容器は、内部に有機材料が収容される空間部が形成されて密閉された上部に少なくとも一つ以上の吐出孔が形成される本体と、上記本体の外周面に設けられるヒータを含む有機薄膜形成装置の加熱容器において、上記吐出孔の大きさが本体の容積、有機材料の量及び有機材料によって設定されることを特徴とする。また、上記本体の容積が20cc以上200cc以下の場合には、上部に形成された吐出孔が直径5mm以上25mm以下であることを特徴とする。また、基板-蒸発源距離が300mm以上1000mm以下であり、且つ蒸着レートが1Å/sec以上である場合には上部に形成された吐出孔が直径5mm以上25mm以下であることを特徴とする。発明の効果上記のように、本発明による有機薄膜形成装置の加熱容器は吐出孔の大きさを調節することによって加熱容器内部の高温を防止して有機材料の分解、変性を防止できる。また、吐出孔の大きさを調節することによって加熱容器内部の真空度の急上昇による圧力の上昇を防止することによって有機材料の分解、変性を防止できる。また、有機材料が分解、変性されて基板に蒸着された場合に生じる色度異常を防止できる。33本体34ヒータ36カバー37吐出孔以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施形態による有機薄膜形成装置の加熱容器を詳細に説明する。有機薄膜形成装置において、図2に示したように真空チャンバ21の内部に有機薄膜を真空蒸着しようとする基板22が設けられて、この基板22と対応する真空チャンバ21の下面には有機材料を昇華させるための加熱容器30が設けられて、上記基板22と加熱容器との間の基板22と近接する側には上記基板22に有機薄膜を蒸着しようとするパターンと同じパターンの開口を有するマスク23が設けられる。上記マスク23はマスクフレーム24により支持される。上記基板22の上部には上記マスクフレーム24に支持されたマスク23を基板22に密着させるためのマグネットユニット25を駆動させて上記マスク23が基板22に密着するようにする。図3及び図4を参照すれば、本発明の一実施形態による有機薄膜形成装置の加熱容器30は、有機材料が収容される本体33と、上記本体33と結合されるカバー36と、上記本体33の外周面に接触して設けられて上記本体33を加熱させるヒータ34とを含む。上記本体33は、上記基板22と対応する側に開口部31が形成され、その下部に有機材料2が収容される空間部32を有する。上記本体33の側面には上記空間部32に収容された有機材料2を加熱して昇華させるためのヒータ34が設けられ、上記本体33の下面には有機材料2の温度を測定するための温度測定手段図示せずが設けられる。図4に示したように、上記カバー36は上記加熱容器の本体33の上部に結合されて上記開口部31を密閉する。上記カバー36の中央部には少なくとも1つ以上の吐出孔37が形成される。上記吐出孔37を通じて加熱された有機材料2が吐出される。図5には吐出孔37が多数形成されたカバー36を示している。また、図6Aまたは図6Bに示したように、別のカバー36が形成されず、本体33の上部33aは密閉されてその中央部に少なくとも1つ以上の吐出孔37が形成されることもある。上記吐出孔37は有機材料2の量及び本体33の容積によって調節される。そして、上記吐出孔37が小さい場合には蒸着レートが低くなるため、所定の蒸着レートを得るために上記ヒータ34により加熱され材料の分解温度に達し、ガスが発生した場合真空度が急に上昇してしまう。したがって、上記本体33の内部に存在する有機材料2が容易に変形して変性物が生じる。このような変性物が基板上に蒸着される場合には電流-電圧特性や発光色度の異常が生じる。このような本体内部の高温、高圧を防止するために吐出孔37の大きさを本体33の容積及び蒸着レートの量に比例するように形成する。すなわち、図7または図8に示したように、本体33の容積が大きくなるほど、また、蒸着レートの量が多くなるほど吐出孔37を大きくすることによって有機材料2が容易に高温、高圧になることを防止する。上記本体の容積が20cc以上200cc以下の場合には上部に形成された吐出孔の大きさが直径5mm以上25mm以下であることが望ましい。以下、本発明を下記実施形態をあげて詳細に説明する。<実施形態1>特開平10-88121号に開示された有機材料を5g程度使用した場合に本体の容積を50cc、吐出孔の直径を15mm、加熱容器と基板との距離を350mm、蒸着率が2Å/sになるように加熱する時、上記有機材料の最高温度は240°Cになって、有機材料がなくなるまで、すなわち、12時間以上2±0.1Å/sの良好な蒸着率の安定性を有して蒸着される。また、本体内部の真空度は1×10-4以上に増加して悪化しない。したがって、このような条件下で形成された有機電界発光素子の特性が良好である。<比較形態1>吐出孔の直径を2mmで形成することを除いては実施形態1と同じ条件下で有機材料を基板上に蒸着させた。この場合、上記有機材料の最高温度は300°C以上となり、5時間程度2±0.5Å/sの蒸着率の安定性を有して蒸着されるので有機材料が変形、変質するか、不均一に薄膜が形成される恐れがある。また、本体内部の真空度は1×10-4から1×10-2に急激に増加する。有機材料の変性物が基板に蒸着されることによって有機電界発光素子に色度異常が生じる。<実施形態2>特開平10-72579号に開示された有機材料を5g程度使用した場合に本体の容積を50cc、吐出孔の直径を15mm、加熱容器と基板との距離を350mm、蒸着率が2Å/sになるように加熱する時、上記有機材料の最高温度は360°Cとなり、有機材料がなくなるまで、すなわち、12時間以上2±0.1Å/sの良好な蒸着率の安定性を有する。また、本体内部の真空度は1×10-4以上に増加して悪化しない。したがって、有機電界発光素子の特性が良好である。<比較形態2>吐出孔の直径を2mmで形成することを除いては実施形態2と同じ条件下で有機材料を基板上に蒸着させた。この場合、上記有機材料の最高温度は400°C以上になって有機材料が変形、変質する恐れがある。しかし、上記有機材料がなくなるまで、すなわち、12時間程度2±0.1Å/sの良好な蒸着率の安定性を有して蒸着される。そして、本体内部の真空度は1×10-4以上に増加しない。したがって、変形された有機材料が基板に蒸着されることによって有機電界発光素子に色度異常が生じる。<実施形態3>特開平8-333569号に開示された有機材料を5g程度使用した場合に本体の容積を50cc、吐出孔の直径を15mm、加熱容器と基板との距離を350mm、蒸着率が2Å/sになるように加熱する時、上記有機材料の最高温度は320°Cとなり、有機材料がなくなるまで、すなわち、12時間以上2±0.1Å/sの良好な蒸着率の安定性を有して蒸着される。また、本体内部の真空度は1×10-4以上に増加して悪化しない。したがって、有機電界発光素子の特性が良好である。<比較形態3>吐出孔の直径を2mmで形成することを除いては実施形態3と同じ条件下で有機材料を基板上に蒸着させた。この場合、上記有機材料の最高温度は400°C以上になって有機材料が変形、変質して変性物が生じることがある。8時間程度2±0.1Å/sの良好な蒸着率の安定性を有して蒸着され、残り物は変形、変質により蒸着されない。しかし、本体内部の真空度は1×10-4以上に増加しない。したがって、変形された有機材料が基板に蒸着されることによって有機電界発光素子に色度異常が生じる。残り物が多く生じる有機材料は有効に使用できない。上記の実施形態と比較形態とを比較してみる時、有機材料の種類と量、有機材料が収容される本体の容積による吐出孔の大きさによって有機薄膜の特性が決定されることが分かる。上述したように構成された本発明による有機薄膜形成装置の加熱容器の作用を説明すれば次の通りである。まず、有機薄膜形成装置を利用して基板に有機薄膜を形成するためには加熱容器内部の空間部に電子輸送層、発光層または正孔輸送層を形成するための有機材料を注入する。そして本体の円周面に設けられたヒータにより上記有機材料が加熱されて昇華される。昇華された有機材料は上記加熱容器のカバーの吐出孔を通じて上記基板に蒸着されて有機薄膜を形成する。有機材料の種類、本体の容積、蒸着レートによって上記吐出孔の直径を大きくすることによって上記有機材料が容易に高温、高圧の状態で分解、変性することを防止できる。上述したように分解、変性せずに昇華された有機材料はカバーの吐出孔を通じて吐出された後基板には材料と同じ組成で蒸着される。本発明は添付した図面に示された一実施形態を参考に説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者であればこれより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できる。したがって本発明の真の保護範囲は特許請求の範囲により決まらねばならない。発明の効果上記のように、本発明による有機薄膜形成装置の加熱容器は吐出孔の大きさを調節することによって加熱容器内部の高温を防止して有機材料の分解、変性を防止できる。また、吐出孔の大きさを調節することによって加熱容器内部の真空度の急上昇による圧力の上昇を防止することによって有機材料の分解、変性を防止できる。また、有機材料が分解、変性されて基板に蒸着された場合に生じる色度異常を防止できる。