"少なくとも内軸と外軸とを同軸上に備えた複軸駆動部と、前記内軸及び前記外軸のそれぞれに第1の端部を固定した第1及び第2のアームと、前記第1及び第2のアームのそれぞれに平行に配置された第3及び第4のアームと、で構成される第1の平行リンクと、前記第3及び第4のアームの何れか一方を共通アームとして共用する第2の平行リンクであって、前記共通アームに平行な第5のアームと、前記共通アーム及び前記第5のアームのそれぞれの第1の端部に両端を枢支された第6のアームと、前記共通アーム及び前記第5のアームのそれぞれの第2の端部に両端を枢支された第7のアームと、で構成される第2の平行リンクと、前記共通アームに平行にして前記第5のアームに固定されてウエハが載置されるハンドリングアームと、前記第6のアーム又は前記第7のアームのうち前記共通アームの第1の端部に前記第1のアーム又は前記第2のアームとともに枢支された従動アームと前記共通アームとの間の角度が前記第1のアームと前記第2のアームとの間の角度と一致するように、前記第1のアーム又は前記第2のアームの動作を前記従動アームに伝達する複数の伝達アームであって、互いに回動自在に連結された複数のアームと、を備えたウエハ搬送ロボット。前記ハンドリングアームは、前記第5のアームと一体に形成された請求項1に記載のウエハ搬送ロボット。前記第1のアーム又は前記第2のアームのうち前記共通アームの第1の端部に前記従動アームとともに枢支された駆動アームが、前記共通アームの第1の端部から前記第1の平行リンクの外側に延出した延出部を備え、前記複数の伝達アームは、第1~第3の伝達アームで構成され、前記第1の伝達アームは、第1の端部が前記延出部の開放端に枢支され、第2の端部が前記第2の伝達アームの第1の端部に枢支され、前記第2の伝達アームは、第2の端部が前記共通アームの中間部に枢支され、前記第3の伝達アームは、第1の端部が前記第1の伝達アームの中間部に枢支され、第2の端部が前記従動アームの中間部に枢支されており、前記第1の伝達アーム及び前記第3の伝達アームの長さが、前記共通アームにおける前記第1の端部から前記第2の伝達アームの枢支位置までの長さに等しく、前記第2の伝達アームの長さが、前記延出部の長さに等しい請求項1又は2に記載のウエハ搬送ロボット。前記複軸駆動部は、さらに中軸を前記内軸及び前記外軸と同軸上に備え、前記第1の平行リンク、前記第2の平行リンク、前記ハンドリングアーム及び前記複数の伝達アームを2組ずつ備えた請求項1乃至3の何れかに記載のウエハ搬送ロボット。しかし、第1の平行リンクから第2の平行リンクへの動作の伝達を駆動アームの端部に固定された歯車と従動アームの端部に固定された歯車との噛合によって行うと、歯車のバックラッシュによって第2の平行リンクに蛇行や横揺れを生じる。ベルトを用いた場合でも、ベルトとプーリとの間の滑りによって第2の平行リンクに蛇行や横揺れを生じる。このため、従来の水平多関節型のウエハ搬送ロボットでは、カセットやステージに対する搬入出時にウエハの位置ずれや側面の干渉を生じる問題がある。この発明の目的は、回転自在に支持された複数のアームを介して第1の平行リンクの動作を第2の平行リンクへ伝達することにより、第2の平行リンクに蛇行や横揺れを生じることがなく、ウエハを円滑に搬送できるウエハ搬送ロボットを提供することにある。この発明のウエハ搬送ロボットは、複軸駆動部、第1の平行リンク、第2の平行リンク、ハンドリングアーム、複数の伝達アームを備えている。複軸駆動部は、少なくとも内軸と外軸とを同軸上に備えている。第1の平行リンクは、内軸及び外軸のそれぞれに第1の端部を固定した第1及び第2のアームと、第1及び第2のアームのそれぞれに平行に配置された第3及び第4のアームと、で構成される。第2の平行リンクは、第3及び第4のアームの何れか一方を共通アームとして共用し、共通アームに平行な第5のアームと、共通アーム及び第5のアームのそれぞれの第1の端部に両端を枢支された第6のアームと、共通アーム及び第5のアームのそれぞれの第2の端部に両端を枢支された第7のアームと、で構成される。ハンドリングアームは、共通アームに平行にして第5のアームに固定される。複数の伝達アームは、互いに回転自在に連結されている。複数の伝達アームは、第6のアーム又は第7のアームのうち共通アームの第1の端部に第1のアーム又は第2のアームとともに枢支された従動アームと共通アームとの間の角度が第1のアームと第2のアームとの間の角度と一致するように、第1のアーム又は第2のアームの動作を従動アームに伝達する。この構成によれば、複数の伝達アームが互いに回転することで、第1の平行リンクの動作が、第2の平行リンクに伝達される。第1の平行リンクから第2の平行リンクに動作が伝達される間に、バックラッシュや滑りを生じることがない。この構成において、ハンドリングアームは、第5のアームと一体に形成することが好ましい。部品点数を削減して構成を簡略化できる。また、第1のアーム又は第2のアームのうち共通アームの第1の端部に従動アームとともに枢支された駆動アームに、共通アームの第1の端部から第1の平行リンクの外側に延出した延出部を設け、複数の伝達アームを第1~第3の伝達アームで構成することが好ましい。第1の伝達アームは、第1の端部を延出部の開放端に枢支し、第2の端部を第2の伝達アームの第1の端部に枢支する。第2の伝達アームは、第2の端部を共通アームの中間部に枢支する。第3の伝達アームは、第1の端部を第1の伝達アームの中間部に枢支され、第2の端部を従動アームの中間部に枢支する。第1の伝達アーム及び第3の伝達アームの長さを、共通アームにおける第1の端部から第2の伝達アームの枢支位置までの長さに等しくし、第2の伝達アームの長さを、延出部の長さに等しくする。3本の伝達アームによって、第1の平行リンクの動作を第2の平行リンクに円滑に伝達することができる。さらに、複軸駆動部が、中軸を内軸及び外軸と同軸上に備えたものとし、第1の平行リンク、第2の平行リンク、ハンドリングアーム及び複数の伝達アームを2組ずつ備えることもできる。この発明によれば、第1の平行リンクの動作を第2の平行リンクへ伝達する際に、第2の平行リンクに蛇行や横揺れを生じることがなく、ウエハを円滑に搬送できる。以下に、この発明の実施形態にウエハ搬送ロボットを、図を参照しつつ説明する。図1に示すように、この発明の第1の実施形態に係るウエハ搬送ロボット10は、ウエハ100をハンドリングアーム1上に載置して矢印X方向に搬送する。このため、ウエハ搬送ロボット10は、内軸2、外軸3、第1の平行リンク4、第2の平行リンク5、伝達アーム部6備えている。内軸2及び外軸3は、同軸上に配置されたこの発明の複軸駆動部を構成しており、図示しないモータによって個別に回転駆動される。第1の平行リンク4は、第1~第4アーム41~44を互いの端部で枢支して構成されている。第1アーム41の一端は内軸2に固定され、第2アーム42の一端は外軸3に固定されている。第3アーム43は、軸間長さが第1アーム41と同じで第1アーム41に平行に配置される。第4アーム44は、軸間長さが第2アーム42と同じで第2アーム42と平行に配置される。第2の平行リンク5は、第5~第7アーム51~53及び第4アーム44を互いの端部で枢支して構成されている。第4アーム44は、第1の平行リンク4と第2の平行リンク5とに共用される共通アームである。第5アーム51は、軸間長さが第4アーム44と同じで第4アーム44と平行に配置される。第6アーム52及び第7アーム53は、互いに同じ軸間長さで互いに平行に配置される。第1アーム41、第3アーム43、第6アーム52及び第7アーム53は、軸間長さが互いに等しくされている。第2アーム42、第4アーム44及び第7アーム53は、軸間長さが互いに等しくされている。第2アーム42及び第7アーム53は、内軸2及び外軸3の中心を通る直線上に位置する。これによって、第1の平行リンク4と第2の平行リンク5とでダブルリンク構造の水平多関節型のウエハ搬送ロボットが構成されている。なお、第5アーム51は、ハンドリングアーム1の一部であり、ハンドリングアーム1と一体的に構成されている。これによって、部品点数が減少し、構成が簡略化できる。ハンドリングアーム1は、第5アーム51と別体に構成し、第5アーム51に取り付けることもできる。ハンドリングアーム1に載置したウエハ100を、内軸2及び外軸3の中心を通る直線X上で移動させるためには、第2の平行リンク5を第1の平行リンク4と連係して動作させる必要がある。このため、ウエハ搬送ロボット10は、伝達アーム部6を備えている。伝達アーム部6は、第1の平行リンク4の動作を第2の平行リンク5に伝達する。伝達アーム部6は、この発明の複数の伝達アームであり、第1~第3伝達アーム61~63で構成されている。第1伝達アーム61は、第1の端部が第1アーム41から延出した延出部411に枢支されている。第1伝達アーム61の第2の端部には、第2伝達アーム62の第1の端部が枢支されている。第2伝達アーム62の第2の端部は、第4アーム44の中間部に枢支されている。第3伝達アーム63は、両端を第2伝達アーム62の中間部と第6アーム52の中間部とに枢支されている。図2に示すように、第1アーム41を辺CD、第2アーム42を辺CJ、第3アーム43を辺JK、第4アーム44を辺DK、第5アーム51を辺ML、第6アーム52を辺DL、第7アーム53を辺KMとし、点Cを内軸2及び外軸3の中心とする。また、第1駆動アーム61を辺EF、第2駆動アーム62を辺FH、第3駆動アーム63を辺GIとする。内軸2を回転することで第1の平行リンク4における∠JCDが変化する。第2の平行リンク5における∠LMKが∠JCDに常に等しくなるように連係することで、ハンドリングアーム1を、線X上で移動させることができる。各辺の長さをDH=EF=GI式1DE=FH式2HG=DI=DH2/FH式3とする。式3より、HG:DH=DH:FHとなるので、△HFD∽△HDGとなることから、∠HFD=∠HDG式4∠FDH=∠DGH式5となる。式1及び式2より、三辺が等しいので、△HFD≡△EDFとなり、∠HFD=∠EDF式6となる。式1及び式3より、三辺が等しいので△HDG≡△IGDとなり、∠IGD=∠HDG式7となる。式6及び式7より、∠EDF=∠IGD式8となる。ここで、∠HDE=∠FDH-∠EDF式9∠IGH=∠DGH-∠IGD式10であるので、式5、式8、式9及び式10より、∠HDE=∠IGH式11となる。また、式1及び式3より、ら三辺が等しいので△IHD≡△HIGとなり、∠IGH=∠HDI式12となる。式11、式12から、∠HDE=∠HDI式13となる。ここで、∠HDE=∠JCD式14∠HDI=∠LMK式15であるから、式13、式14、式15より、∠JCD=∠LMK式16となり、ハンドリングアーム1が、線X上を移動することになる。内軸2と外軸3とを同時に同じ方向、同じ角速度で回転させた場合、第1の平行リンク4及び第2の平行リンク5が一体的に旋回動作する。外軸3を停止させて内軸2を回転させた場合、第1の平行リンク4の∠JCDが変化し、同時に第2の平行リンク5の∠LMKも同様に変化し、ハンドリングアーム1が直線動作する。この旋回動作と直線動作との組み合わせによりハンドリングアーム1に載置したウエハ100を目標位置に搬送することができる。図3に示すように、この発明の第2の実施形態に係るウエハ搬送ロボット20は、ウエハ搬送ロボット10に、中軸8、ハンドリングアーム11、第3の平行リンク14、第4の平行リンク15及び伝達アーム部16を追加したものである。中軸8は、内軸2と外軸3との間にこれらと同軸上に配置されている。第3の平行リンク14は、第2アーム42及び第8~第10アーム141~143を互いの端部で枢支して構成されている。第8アーム141の一端は中軸8に固定されている。第9アーム142は、軸間長さが第8アーム141と同じで第8アーム141に平行に配置される。第10アーム143は、軸間長さが第2アーム42と同じで第2アーム42と平行に配置される。第2の平行リンク5は、第11~第13アーム151~153及び第10アーム143を互いの端部で枢支して構成されている。第10アーム143は、第3の平行リンク14と第4の平行リンク15とに共用される共通アームである。第11アーム151は、軸間長さが第10アーム143と同じで第10アーム143と平行に配置される。第12アーム152及び第13アーム153は、互いに同じ軸間長さで互いに平行に配置される。第8アーム141、第9アーム142、第12アーム152及び第13アーム153は、軸間長さが互いに等しくされている。第2アーム42、第10アーム143及び第11アーム151は、軸間長さが互いに等しくされている。第2アーム42及び第11アーム24は、内軸2、外軸3及び中軸8の中心を通る線X上に位置する。これによって、第3の平行リンク14と第4の平行リンク15とでもダブルリンク構造の水平多関節型のウエハ搬送ロボットが構成されている。なお、第11アーム151は、ハンドリングアーム11の一部であり、ハンドリングアーム11と一体的に構成されている。これによって、部品点数が減少し、構成が簡略化できる。ハンドリングアーム11は、第11アーム151と別体に構成し、第11アーム151に取り付けることもできる。伝達アーム部16は、第4~第6伝達アーム161~163で構成されている。第4伝達アーム161は、第1の端部が第8アーム141から延出した延出部1411に枢支されている。第4伝達アーム161の第2の端部には、第5伝達アーム162の第1の端部が枢支されている。第5伝達アーム162の第2の端部は、第10アーム143の中間部に枢支されている。第6伝達アーム163は、両端を第2伝達アーム162の中間部と第13アーム153の中間部とに枢支されている。内軸2、外軸3及び中軸8を同時に同じ方向に同じ角速度で回転させると、第1~第4平行リンク4,5,14,15が一体的に旋回動作する。外軸3と中軸8を停止させて内軸2を回転させると、第1平行リンク4及び第2平行リンク3が直線動作し、外軸3と内軸2を停止して中軸8を回転させると、第3平行リンク14及び第4平行リンク15が直線動作する。この旋回動作と直線動作との組み合わせにより、ハンドリングアーム1及びハンドリングアーム11のそれぞれに保持した2枚のウエハ100をそれぞれの目標位置に搬送することができる。ウエハ搬送ロボット20は、ハンドリングアーム1及びハンドリングアーム11のそれぞれに合計2枚のウエハ100を同時に保持するため、ウエハ搬送の処理効率が向上する。上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"