"対象物の変位と連動して所定の軌道上を変位する検出体に対向して配置されるとともに、誘電体から成る基板の表面に形成された検出コイルと、前記検出体の変位に応じて変化する前記検出コイルのインピーダンスに基づいて前記対象物の変位を検出する検出部とを備え、前記検出コイルは、前記検出体の変位方向に沿った所定の長さ寸法の空隙を囲むように巻き回される複数の第1のターンと、前記空隙を横切るように折り返して巻き回される少なくとも1つ以上の第2のターンとから成ることを特徴とするポジションセンサ。前記基板は多層基板から成り、その各層に前記検出コイルがそれぞれ形成され、前記各層のうち少なくとも2つの層の各検出コイルの第2のターンは、それぞれ前記基板の厚み方向において互いに重なり合わないように配設されることを特徴とする請求項1記載のポジションセンサ。前記検出体を備えることを特徴とする請求項1又は2記載のポジションセンサ。ところで、上記のようなポジションセンサでは、対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスインピーダンスの変化率が一定である、即ち、対象物の変位に対して検出コイルのインピーダンスが線形に変化することが好ましい。しかしながら、上記後者の従来例では、各検出体102aを流れる渦電流の経路が各検出体102aの変位に伴って変化し、その電流密度も場所によって異なることから、検出コイルのインピーダンスが各検出体102aの変位に対して非線形に変化する。このため、対象物の変位に対しても検出コイルのインピーダンスが非線形に変化するため、十分な直線性を得ることができないという問題があった。本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、対象物の変位に対する検出コイルのインピーダンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供することを目的とする。本発明のポジションセンサは、対象物の変位と連動して所定の軌道上を変位する検出体に対向して配置されるとともに、誘電体から成る基板の表面に形成された検出コイルと、前記検出体の変位に応じて変化する前記検出コイルのインピーダンスに基づいて前記対象物の変位を検出する検出部とを備え、前記検出コイルは、前記検出体の変位方向に沿った所定の長さ寸法の空隙を囲むように巻き回される複数の第1のターンと、前記空隙を横切るように折り返して巻き回される少なくとも1つ以上の第2のターンとから成ることを特徴とする。このポジションセンサにおいて、前記基板は多層基板から成り、その各層に前記検出コイルがそれぞれ形成され、前記各層のうち少なくとも2つの層の各検出コイルの第2のターンは、それぞれ前記基板の厚み方向において互いに重なり合わないように配設されることが好ましい。このポジションセンサにおいて、前記検出体を備えることが好ましい。本発明は、検出コイルの第2のターンの折り返しの部位において磁束密度をステップ状に変化させることで、検出体の変位に対する検出コイルのインピーダンスの変化を線形に近付けることができる。したがって、検出体の変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルのインピーダンスの変化の直線性を向上させることができる。以下、本発明に係るポジションセンサの実施形態について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図1aにおいて上下左右及び前後の向きを定義する。また、以下の説明では、検出コイルCoと呼ぶ場合には、後述する第1の誘電体基板1の各検出コイル10a,10b、及び第2の誘電体基板2の各検出コイルの全てを指すものとする。本実施形態は、図1aに示すように、上面に1対の検出コイル10a,10bが印刷形成された第1の誘電体基板1と、下面に1対の検出コイル図示せずが印刷形成された第2の誘電体基板2とを備える。また、非磁性材料例えばアルミ板から扇形に形成された1対の検出体30a,30bと、各検出体30a,30bを保持する保持体31とを有するロータブロック3を備える。これら第1及び第2の誘電体基板1,2とロータブロック3とは、上面を開口した箱体のボディ4の開口面をカバー5で閉塞して成るケース6の内部に収納される。第1の誘電体基板1は円盤状に形成され、その中央部には厚み方向に貫通する円形状の貫通孔11が設けられている。そして、1対の検出コイル10a,10bは、第1の誘電体基板1の上面において貫通孔11を挟んで対向する位置に印刷形成されている。尚、これら1対の検出コイル10a,10bは、その外形が扇形となるようにパターニングされている。また、第1の誘電体基板1の外周縁には、相対的に幅が狭い複数図示では4つの切り欠き12と、相対的に幅が太い複数図示では3つの切り欠き13とがそれぞれ等間隔且つ互い違いに設けられている。更に、第1の誘電体基板1の後端部には、4つのスルーホール14が周方向に沿って並設されている。これらスルーホール14の開口端には、第1の誘電体基板1の下面において、各検出コイル10a,10bのコイル端末と電気的に接続されたランド図示せずが印刷形成されている。第2の誘電体基板2は、円盤状に形成され且つ中央部に厚み方向に貫通する円形状の貫通孔21が設けられた主片20と、主片21後側の外周縁から突出する矩形状の端子片22とが一体に形成されて成る。そして、第2の誘電体基板2の下面には、貫通孔21を挟んで対向する位置に1対の検出コイルが印刷形成されている。尚、図示は省略しているが、これら1対の検出コイルは第1の誘電体基板1の検出コイル10a,10bと同形状及び同寸法に形成されている。また、第2の誘電体基板2の外周縁には、幅細の複数図示では3つの切り欠き23が等間隔に設けられている。更に、主片20の後端部端子片22との連結部分には、4つのスルーホール24が周方向に沿って並設され、端子片22にも4つのスルーホール25が左右方向に沿って並設されている。第2の誘電体基板2の上面においては、下面の各検出コイルのコイル端末と電気的に接続されたランド図示せずが各スルーホール24の開口端に印刷形成されている。そして、図示しない導電パターンによって当該4つのランドと各々電気的に接続された4つのランド図示せずが端子片22の各スルーホール25の開口端に印刷形成されている。ここで、第1の誘電体基板1に形成されている一方の検出コイル10aと第2の誘電体基板2に形成されている一方上下方向において検出コイル10aと対向する方の検出コイルとは、端子ブロック7を介して電気的に接続されている。同様に、第1の誘電体基板1に形成されている他方の検出コイル10bと第2の誘電体基板2に形成されている他方上下方向において検出コイル10bと対向する方の検出コイルとは、端子ブロック7を介して電気的に接続されている。端子ブロック7は、4本の端子ピン70と、各端子ピン70を中央部分で保持する絶縁体71とから成る。そして、第1の誘電体基板1の4つのスルーホール14にそれぞれ端子ピン70の下端部分が挿入されて第1の誘電体基板1の下面のランドに半田付けされている。また、第2の誘電体基板2の4つのスルーホール24にそれぞれ端子ピン70の上端部分が挿入されて第2の誘電体基板2の上面のランドに半田付けされている。つまり、4本の端子ピン70を介して第1の誘電体基板1側の検出コイル10a,10bのコイル端末と、第2の誘電体基板2側の検出コイルのコイル端末とが電気的に接続されている。また、第2の誘電体基板2には、各検出体30a,30bの変位に応じて変化する検出コイルCoのインダクタンスインピーダンスに基づいて対象物図示せずの変位を検出する検出部図示せずを構成する各回路が設けられている。検出部は、検出コイルCoのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を出力する発振回路と、発振回路から出力された発振信号の周期に対応する信号を出力する発振周期計測回路とから構成される。また、検出部は、発振周期計測回路から出力される信号の二乗値を演算出力する二乗回路と、二乗回路で演算される二乗値の温度変動を補償する温度補償回路と、温度補償回路からの出力信号を基に各検出体30a,30bの変位を検出する信号処理回路とを備える。これらの回路は、特許文献1に開示されているように従来周知であるので、ここでは詳細な説明を省略する。ここで、検出コイルCoのインピーダンスには、実際にはインダクタンスの他に容量成分や巻線抵抗による抵抗成分も含まれるが、インダクタンスが支配的である。したがって、本実施形態では、上記のように検出コイルCoのインダクタンスに基づいて対象物の変位を検出することで、実質的に検出コイルCoのインピーダンスに基づいて対象物の変位を検出することができる。ロータブロック3の保持体31は、合成樹脂材料によって上面が開口する有底円筒形状に形成されており、1対の検出体30a,30bを同時成形によって周面から左右方向に突出するように保持している。また、保持部31の内側には、金属材料により円筒形状に形成されて保持体31と一体に回動する中間体32が圧入又は同時成形などの適宜の方法で固定されている。中間体32は、対象物と連動する軸体図示せずに固定されるものであり、その外周面には固定用のDカット加工が施されている。ここで、中間体32の上端面には、その径方向に沿って目印32aが刻印されている。この目印32aと、後述するカバー5の主部50上面に形成されている目印50aとによって円周軌道上における各検出体30a,30bの位置がカバー5の外から視認できるようになっている。ボディ4は、合成樹脂成形品から成り、上面が開口する扁平な有底円筒形状に形成された収納部40と、収納部40周面の後端側より後方に突設された矩形筒状のコネクタハウジング部41とを備える。また、収納部40周面の前端側には、前方に突設された三角形状のフランジ部42が設けられている。尚、収納部40にはアルミ板等の非磁性材料から扁平な有底筒形状に形成された磁気シールド体43が同時成形されており、収納部40の内側に磁気シールド体43が露出している。収納部40の内周面には、内底面からの高さ寸法が互いに異なる2種類のリブ40a,40bが突設されており、これら2種類のリブ40a,40bの上面にはそれぞれリブ40a,40bよりも小型のリブ40c,40dが上向きに突設されている。高さ寸法の低いリブ40a上面に突設されているリブ40cは、第1の誘電体基板1の幅細の切り欠き12に嵌め合わされる。一方、高さ寸法の高いリブ40bは、同じく第1の誘電体基板1の幅広の切り欠き13に嵌め合わされる。また、高さ寸法の高いリブ40b上面に突設されているリブ40dは、第2の誘電体基板2の幅細の切り欠き23に嵌め合わされる。而して、高さ寸法の低いリブ40aの上面に第1の誘電体基板1が固定され、高さ寸法の高いリブ40bの上面に第2の誘電体基板2が固定される。コネクタハウジング部41は、有底角筒形状に形成されており、その内底部に4本のコンタクト46が左右方向に沿って等間隔に並ぶように同時成形されている。また、コネクタハウジング部41の前端部収納部40との連結部分は上面が開口しており、当該前端部内に第2の誘電体基板2の端子片22が収納される。各コンタクト46は、棒状の金属材料を鈎形に折り曲げて成り、その上端部が第2の誘電体基板2の端子片22に設けられている各スルーホール25に挿入され、各スルーホール25の開口端に印刷形成されたランドに半田付けされる。カバー5は、円盤形状の主部50と、主部50の後端縁より後方に突出する矩形板状の端子カバー部51とが合成樹脂成形品として一体に形成されて成る。カバー5は、ボディ4の収納部40上面を主部50で閉塞するとともに、コネクタハウジング41の前端部上面を端子カバー部51で閉塞するようにボディ4上面に取り付けられる。尚、主部50には、アルミ板等の非磁性材料から円環状に形成された磁気シールド体図示せずが同時成形されており、主部50の下面側に磁気シールド体が露出している。ボディ4及びカバー5には、ロータブロック3のスラスト荷重を受けるためのスラスト軸受部44,52と、ロータブロック3のラジアル荷重を受けるためのラジアル軸受部45,53とがそれぞれ設けられている。ボディ1側のスラスト軸受部44は、収納部40の底面中央から上向きに突出する円筒形状に形成され、その上端面においてロータブロック3の保持部31下面を支持することでスラスト荷重を受けている。また、ボディ1側のラジアル軸受部45は、ボディ1下面中央に開口する円形状の貫通孔の周縁部から成り、スラスト軸受部44の内側に挿入される中間体32の下端部外周面を支持することでラジアル荷重を受けている。カバー5側のスラスト軸受部52は、カバー5の下面中央から下向きに突出する円筒形状に形成され、その下端面においてロータブロック3の保持体31上面を支持することでスラスト荷重を受けている。また、カバー5上面中央に開口する円形状の貫通孔の周縁部から成り、スラスト軸受部52の内側に挿入される中間体32の上端部外周面を支持することでラジアル加重を受けている。而して、対象物と連動する軸体を中間体32に挿入して両者を固定すれば、軸体と一体に中間体32、即ち、ロータブロック3が回動するため、各検出体30a,30bが円周軌道上を回動することになる。以下、本実施形態の動作について簡単に説明する。対象物の変位に伴って、対象物と連動するロータブロック3の中間体32が回動すると、中間体32と連動して各検出体30a,30bが互いに180度ずれて円周軌道上を変位する。そして、特許文献1に記載されている従来例と同様に、各検出体30a,30bと2組の検出コイルとの相対位置に応じて変化する検出コイルCoのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力する。この発振信号に基づいて各検出体30a,30bの変位を検出することで、各検出体30a,30bと検出コイルCoとの相対位置情報、即ち、中間体32と連動する対象物の回転量回転角度を検出することができる。尚、具体的な検出方法については特許文献1に開示されているように従来周知であるので、ここでは詳細な説明は省略する。ここで、各誘電体基板1,2の各検出コイルは、図1bに示すように、各検出体30a,30bの変位方向円周軌道に沿った所定の長さ寸法の空隙gを囲むように巻き回される複数の第1のターンa0,b0から成る。そして、各誘電体基板1,2の各検出コイルは、空隙gを横切るように折り返して巻き回される2つの第2のターンa1,a2,b1,b2を更に備える同図では、第1の誘電体基板1のみを図示。仮に、各誘電体基板1,2の各検出コイルが第1のターンa0,b0のみから成る場合、図2の破線アに示すように、対象物の回転角度に対する検出コイルCoのインダクタンスの変化が非線形となる。尚、同図では、対象物の回転角度が0°の状態各検出体30a,30bと検出コイルCoとが上下方向において重なり合っていない状態の検出コイルCoのインダクタンスを100としている。一方、本実施形態のように各誘電体基板1,2の各検出コイルが第2のターンa1,a2,b1,b2を有する場合、第2のターンa1,a2,b1,b2の折り返しの部位で検出コイルCoの磁束密度が変化する。この検出コイルCoの磁束密度の変化を利用することによって、対象物の回転角度に対する検出コイルCoのインダクタンスの変化を図2に示す破線アと比較して線形に近付けることができる図2の実線イ参照。上述のように、本実施形態の各誘電体基板1,2の各検出コイルは、空隙gを囲むように巻き回される複数の第1のターンa0,b0と、空隙gを横切るように折り返して巻き回される第2のターンa1,a2,b1,b2とから成る。このため、各検出コイルの第2のターンa1,a2,b1,b2の折り返しの部位において検出コイルCoの磁束密度を変化させることで、各検出体30a,30bの変位に対する検出コイルCoのインダクタンスの変化を線形に近付けることができる。したがって、各検出体30a,30bの変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルCoのインダクタンスインピーダンスの変化の直線性を向上させることができる。また、本実施形態では、各誘電体基板1,2の各検出コイルは、その径方向の幅寸法が一定であり、上記の第2のターンa1,a2,b1,b2を設ける際に径方向の幅寸法を変更する必要が無い。このため、各検出コイルの径方向の幅寸法を大きくすることによる検出コイルCoの大幅なインダクタンスの減少が生じない。また、各検出コイルの径方向の幅寸法を大きくする必要が無いことから、各誘電体基板1,2の大型化を回避することができる。尚、本実施形態では、各検出体30a,30bを非磁性材料で形成しているが、高い透磁率を有する磁性材料で形成してもよい。この場合には、対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性は、各検出体30a,30bを非磁性材料で形成した場合の逆の特性を示す。即ち、対象物の回転角度が大きくなるにつれて検出コイルCoのインダクタンスが増大する特性を示す。この場合でも、上記と同様に対象物の回転角度に対するインダクタンスインピーダンスの変化の特性の直線性を向上させることができる。ところで、本実施形態では、各誘電体基板1,2は1層基板で構成されているが、何れも多層基板例えば、4層基板で構成してもよい。この場合、各誘電体基板1,2の各層にそれぞれ1対の検出コイルを印刷形成することができる。ここで、各層の検出コイルにそれぞれ第2のターンを設け、図3aに示すように、各層の検出コイルの第2のターンa1~a7,b1~b7がそれぞれ各誘電体基板1,2の厚み方向において互いに重なり合わないように配設することが好ましい。このように構成することで、第2のターンa1~a7,b1~b7の折り返しの部位において検出コイルCoの磁束密度を変化させることができる。而して、図3bに示すように、各誘電体基板1,2の各検出コイルに各々2つの第2のターンa1,a1,b1,b2を設ける場合と比較して、各検出体30a,30bの変位に対する検出コイルCoのインダクタンスインピーダンスの変化を更に線形に近付けることができる。尚、各誘電体基板1,2の全ての層において各検出コイルの第2のターンがそれぞれ厚み方向において互いに重なり合わないように配設する必要はなく、少なくとも2つの層の各検出コイルの第2のターンが重なり合わなければ良い。例えば、各誘電体基板1,2が4層基板で構成される場合に、第1の誘電体基板1の1~4層、及び第2の誘電体基板2の1~3層の各検出コイルの第2のターンが厚み方向において互いに重なり合っているものとする。この場合、第2の誘電体基板2の4層の各検出コイルの第2のターンのみが他の第2のターンと互いに重なり合わなければ上記の条件を満たす。ところで、本実施形態では、各検出体30a,30bが円周軌道上を変位する回動型のポジションセンサについて説明しているが、検出体が直線軌道上を変位する直動型のポジションセンサであってもよい。以下、この直動型のポジションセンサの実施形態について図面を用いて説明する。この実施形態は、図4aに示すように、上面に矩形状の検出コイルBが印刷形成された矩形板状の誘電体基板Aと、非磁性材料例えばアルミ板から矩形状に形成された検出体Cとを備える。また、検出体Cは、自身を誘電体基板Aの長手方向に沿って変位可能に保持する可動体Dに設けられている。この可動体Dは、対象物に連動して変位するように対象物に設けられている。また、図示しないが、誘電体基板Aには検出体Cの変位に応じて変化する検出コイルBのインダクタンスインピーダンスに基づいて対象物の変位を検出する検出部を構成する各回路が設けられている。以下、この実施形態の動作について簡単に説明する。対象物の変位に伴って、対象物と連動する可動体Dが変位すると、可動体Dと連動して検出体Cが直線軌道上を変位する。そして、回動型のポジションセンサの実施形態と同様に、検出体Cと検出コイルBとの相対位置に応じて変化する検出コイルBのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力する。この発振信号に基づいて検出体Cの変位を検出することで、検出体Cと検出コイルBとの相対位置情報、即ち、可動体Dと連動する対象物の変位量を検出することができる。ここで、検出コイルBは、図4cに示すように、その長手方向に沿った所定の長さ寸法の空隙gを囲むように巻き回される複数の第1のターンB0と、空隙gを横切るように折り返して巻き回される第2のターンB1~B8とから成る。而して、図4bに示す第1のターンB0のみから成る検出コイルBを用いる場合と比較して、検出体Cの変位に対する検出コイルBのインダクタンスの変化を線形に近づけることができる。したがって、検出体Cの変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルBのインダクタンスインピーダンスの変化の直線性を向上させることができる。尚、上記の説明では、誘電体基板Aを1層基板で構成しているが、誘電体基板Aを多層基板で構成し、各層に検出コイルBを設けてもよい。更に、各層の検出コイルBにそれぞれ第2のターンを設け、各層の検出コイルの第2のターンB1~B8がそれぞれ誘電体基板Aの厚み方向において互いに重なり合わないように配設してもよい。この場合も、上記と同様の効果を奏することができる。勿論、誘電体基板Aの全ての層において各検出コイルの第2のターンがそれぞれ厚み方向において互いに重なり合わないように配設する必要はなく、少なくとも2つの層の各検出コイルの第2のターンが重なり合わなければ良い。例えば、誘電体基板Aが4層基板で構成される場合に、誘電体基板Aの1~3層の各検出コイルの第2のターンが厚み方向において互いに重なり合っているものとする。この場合、誘電体基板Aの4層の各検出コイルの第2のターンのみが他の第2のターンと互いに重なり合わなければ上記の条件を満たす。ところで、本実施形態では、検出コイルのインダクタンスの変化に基づいて対象物の変位を検出しているが、例えばコンダクタンス等の検出コイルの他のインピーダンスのパラメータの変化に基づいて対象物の変位を検出してもよい。また、本実施形態では、ポジションセンサに検出体が含まれる構成となっているが、検出体が対象物そのもの、又は対象物の一部である場合など、検出体がポジションセンサと別体に設けられていてもよい。この場合でも、検出コイルのインダクタンスインピーダンスの変化に基づいて対象物の変位を検出することができる。また、本実施形態では、誘電体基板上に印刷形成することで検出コイルを形成しているが、例えばエッチングやめっき、レーザによるパターニング等の他の手段を用いて検出コイルを形成してもよい。"