"光学素子群と、該光学素子群を収容しハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングと、該ハウジングに連結され前記ハウジング内部部分にパージ媒体を供給するパージユニットとを具備する光学素子ユニットにおいて、前記光学素子群が極限光学素子を有し、該極限光学素子が前記ハウジングの前記出口端部に配置され、前記ハウジング内部部分を前記ハウジングの外部の環境から分離し、前記極限光学素子及び前記ハウジングが、シーリングギャップを調整可能に形成し、前記パージユニットが、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止するため前記シーリングギャップに前記媒体を供給する光学素子ユニット。前記シーリングギャップが狭いギャップである請求項1に記載の光学素子ユニット。前記シーリングギャップが前記極限光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分とこのハウジング外部の前記環境との間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項1に記載の光学素子ユニット。前記シーリングギャップ幅が5μm~20μmの範囲にある請求項3に記載の光学素子ユニット。前記シーリングギャップ長が3mm~6mmの範囲にある請求項3に記載の光学素子ユニット。前記極限光学素子が前記シーリングギャップを画定する第1の壁を有し、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を有し、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが、前記極限光学素子が中に液浸される液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項1に記載の光学素子ユニット。前記撥液性コーティングが疎水性コーティングである請求項6に記載の光学素子ユニット。前記撥液性コーティングがポリ四フッ化エチレンPTFEを含んで成る請求項6に記載の光学素子ユニット。前記極限光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有する請求項1に記載の光学素子ユニット。前記極限光学素子が前記シーリングギャップを画定する第1の壁断面を形成し、該第1の壁断面の少なくとも一部分が前記第1の対称軸に対して平行に延びており、及び/又は、前記極限光学素子が前記シーリングギャップを画定する第2の壁断面を形成し、該第2の壁断面の少なくとも一部分が前記第1の対称軸に対して傾斜している請求項9に記載の光学素子ユニット。前記第1の壁の少なくとも一部分が前記第1の対称軸に対して略垂直である請求項10に記載の光学素子ユニット。前記極限光学素子及び前記ハウジングがさらなるシーリングギャップを調整可能に形成する請求項1に記載の光学素子ユニット。前記パージユニットが前記シーリングギャップ内部に前記パージ媒体のパージ媒体障壁を維持して前記ハウジング内部部分への汚染物質の侵入を防いでいる請求項1に記載の光学素子ユニット。前記パージユニットが前記シーリングギャップを通して前記ハウジングの外部の前記環境に向かう前記パージ媒体の流れを生成している請求項1に記載の光学素子ユニット。前記パージユニットが前記シーリングギャップに向かう前記パージ媒体を誘導する少なくとも1つのパージ媒体流路を具備する請求項1に記載の光学素子ユニット。前記パージ媒体流路が少なくとも部分的に前記ハウジング内部に形成されている請求項15に記載の光学素子ユニット。前記パージ媒体が液体である請求項1に記載の光学素子ユニット。前記パージ媒体が気体である請求項1に記載の光学素子ユニット。前記パージユニットが、前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入した汚染物質を取り除く第1の排出ユニットを具備する請求項1に記載の光学素子ユニット。前記第1の排気ユニットが入口部分を有する少なくとも1つの排出流路を具備し、該排出流路の前記入口部分が前記シーリングギャップに結合している請求項19に記載の光学素子ユニット。前記ハウジングが、前記極限光学素子を保持する少なくとも1つの第1の保持要素を具備する請求項1に記載の光学素子ユニット。前記第1の保持要素が前記極限光学素子を締め付けている請求項21に記載の光学素子ユニット。前記極限光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記第1の保持要素が前記極限光学素子上に第1の締め付け力を及ぼし、該第1の締め付け力が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項22に記載の光学素子ユニット。前記極限光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記第1の保持要素が前記第1の方向に沿って弾力性を有するように配置されており、前記第1の方向が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項21に記載の光学素子ユニット。前記第1の保持要素が第2の方向に高い剛性を示すように配置されており、前記第2の方向が第1の対称軸に対して略平行である請求項24に記載の光学素子ユニット。前記第1の保持要素が前記ハウジングに対する前記極限光学素子の位置を調整するための位置決め装置を具備する請求項21に記載の光学素子ユニット。位置決め装置を備え、該位置決め装置が前記シーリングギャップのシーリングギャップ幅を調整し、該シーリングギャップ幅が前記極限光学素子と前記ハウジングの一部分との間の距離によって形成される請求項1に記載の光学素子ユニット。マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された請求項1に記載の光学素子ユニットと、液浸媒体が充填されると共に前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された液浸ゾーンとを具備する露光器具において、前記極限光学素子が前記ハウジング内部部分を前記液浸ゾーンから分離し、前記パージユニットが、前記シーリングギャップを通して前記ハウジング内部部分内に前記液浸媒体が侵入するのを防ぐために前記シーリングギャップに前記パージ媒体を供給している露光器具。前記極限光学素子が前記シーリングギャップを画定する第1の壁を有し、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を有し、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが前記液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項28に記載の露光器具。前記パージユニットが前記シーリングギャップ内部に前記パージ媒体のパージ媒体障壁を維持して前記ハウジング内部部分への液浸媒体の侵入を防いでいる請求項28に記載の露光器具。前記パージユニットが前記シーリングギャップを通して前記液浸ゾーンに向かう前記パージ媒体の流れを生成している請求項28に記載の露光器具。前記パージユニットが、前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入する少量の前記液浸媒体又はその反応生成物を取り除く第1の排出ユニットを具備する請求項28に記載の露光器具。光学素子と、ハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングとを具備する光学素子ユニットであって、前記ハウジングが、その外部の環境から前記内部ハウジングを分離するべく前記出口端部に前記光学素子を保持し、前記光学素子及び前記ハウジングが、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止するシール用流体障壁を収容するように構成されたシーリングギャップを調整可能に形成する光学素子ユニット。前記シーリングギャップが前記光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分とこのハウジングの外部の前記環境との間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項33に記載の光学素子ユニット。前記シーリングギャップ幅が5μm~20μmの範囲にある請求項34に記載の光学素子ユニット。前記シーリングギャップ長が3mm~6mmの範囲にある請求項34に記載の光学素子ユニット。前記光学素子が、前記シーリングギャップを画定する第1の壁を有し、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を有し、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが、前記光学素子が中に液浸される液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項33に記載の光学素子ユニット。前記光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有する請求項33に記載の光学素子ユニット。シール用障壁ユニットを備え、該シール用障壁ユニットが前記シーリングギャップ内部に前記シール用流体障壁を維持している請求項33に記載の光学素子ユニット。前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップを通して前記ハウジングの外部の前記環境に向かうシール用流体の流れを生成しており、前記シール用流体が前記シール用流体障壁を形成する請求項39に記載の光学素子ユニット。前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップに向かうシール用流体を誘導する少なくとも1つのシール用流体流路を具備し、前記シール用流体が前記シール用流体障壁を形成する請求項39に記載の光学素子ユニット。前記シール用流体流路が前記ハウジング内部に少なくとも部分的に形成されている請求項41に記載の光学素子ユニット。液体又は気体が前記シール用流体障壁を形成するシール用流体として供給される請求項33に記載の光学素子ユニット。前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入した汚染物質を取り除く第1の排出ユニットを具備する請求項39に記載の光学素子ユニット。前記ハウジングが、前記光学素子を保持する少なくとも1つの第1の保持要素を具備する請求項33に記載の光学素子ユニット。前記第1の保持要素が前記光学素子を締め付けている請求項45に記載の光学素子ユニット。位置決め装置を備え、該位置決め装置が前記ハウジングの一部分に対する前記光学素子の位置を調整することによって前記シーリングギャップを調整する請求項45に記載の光学素子ユニット。マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された請求項33に記載の光学素子ユニットと、液浸媒体が充填されると共に前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された液浸ゾーンとを具備する露光器具において、前記光学素子が前記ハウジング内部部分を前記液浸ゾーンから分離し、前記液浸媒体が前記シーリングギャップを通して前記ハウジング内部部分内に侵入するのを防ぐために前記シール用流体障壁が前記シーリングギャップ内に維持されている露光器具。前記光学素子が、前記シーリングギャップを画定する第1の壁を有し、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を有し、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが前記液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項48に記載の露光器具。シール用障壁ユニットを備え、該シール用障壁ユニットが前記シーリングギャップ内部に前記シール用流体障壁を維持し前記ハウジング部分内への前記液浸媒体の侵入を防止している請求項48に記載の露光器具。前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップを通して前記液浸ゾーンに向かうシール用流体の流れを生成しており、前記シール用流体が前記シール用流体障壁を形成する請求項50に記載の露光器具。前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入する少量の前記液浸媒体又はその反応生成物を取り除く第1の排出ユニットを具備する請求項48に記載の露光器具。光学素子と、ハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングとを具備する光学素子ユニットにおいて、前記ハウジングが、前記出口端部が中に液浸される液浸媒体が充填された液浸ゾーンから前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部に前記光学素子を保持し、前記光学素子及び前記ハウジングが狭いシーリングギャップを調整可能に形成し、該シーリングギャップが前記液浸ゾーン及び前記ハウジング内部部分に向かって開いている光学素子ユニット。前記シーリングギャップが前記光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分と前記液浸ゾーンとの間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項53に記載の光学素子ユニット。前記シーリングギャップ幅が5μm~20μmの範囲にある請求項54に記載の光学素子ユニット。前記シーリングギャップ長が3mm~6mmの範囲にある請求項54に記載の光学素子ユニット。前記ハウジングが前記光学素子を保持する少なくとも1つの第1の保持要素を具備する請求項53に記載の光学素子ユニット。前記第1の保持要素が前記光学素子を締め付けている請求項57に記載の光学素子ユニット。前記光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記第1の保持要素が前記光学素子上に第1の締め付け力を及ぼし、該第1の締め付け力が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項58に記載の光学素子ユニット。前記光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記第1の保持要素が前記第1の方向に沿って弾力性を有するように配置されており、前記第1の方向が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項57に記載の光学素子ユニット。前記第1の保持要素が、第2の方向に高い剛性を示すように配置されており、前記第2の方向が第1の対称軸に対して略平行である請求項60に記載の光学素子ユニット。位置決め装置を備え、該位置決め装置が、前記ハウジングの一部分に対する前記光学素子の位置を調整することによって前記シーリングギャップを調整する請求項53に記載の光学素子ユニット。前記ハウジング内部部分内に前記シーリングギャップを介して汚染物質が侵入するのを防止するべく前記シーリングギャップ内部にシール用障壁を備えている請求項53に記載の光学素子ユニット。マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された請求項53に記載の光学素子ユニットと、液浸媒体が充填され、前記光路内部で前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間に配置されている液浸ゾーンとを具備する露光器具において、前記光学素子が前記液浸ゾーンの前記液浸媒体の内部に液浸させられている露光器具。光学素子ユニット内への汚染物質の侵入を防止する方法において、ハウジング内部部分及び出口端部を備えるハウジングを有する光学素子ユニットを提供する段階と、前記ハウジングの外部の環境から前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部に光学素子を提供する段階であって、前記光学素子及び前記ハウジングが、シーリングギャップを調整可能に形成する段階と、前記シーリングギャップ内部にシール用流体障壁を提供し、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止する段階とを具備する方法。前記シーリングギャップが前記光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分とこのハウジングの外部の前記環境との間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項65に記載の方法。前記シーリングギャップ幅が5μm~20μmの範囲にある請求項66に記載の方法。前記シーリングギャップ長が3mm~6mmの範囲にある請求項66に記載の方法。前記光学素子が前記シーリングギャップを画定する第1の壁を備え、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を備え、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが、前記光学素子が中に液浸される液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項65に記載の方法。前記シール用流体障壁を提供する前記段階が、前記シーリングギャップを通して前記ハウジングの外部の前記環境に向かうシール用流体の流れを生成する段階を具備する請求項65に記載の方法。シール用流体が前記シール用流体障壁を形成するように、液体又は気体が前記シーリングギャップに供給される請求項65に記載の方法。前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入する汚染物質が前記シーリングギャップに隣接する場所から除去される請求項65に記載の方法。光学素子ユニットの極限光学素子を、前記光学素子が少なくとも部分的に中に液浸される液浸媒体が充填された液浸ゾーンから前記光学素子ユニットの内部部分を分離するべく保持する方法において、ハウジング内部部分及び出口端部を備えるハウジングを有する前記光学素子ユニットを提供する段階と、前記液浸媒体から前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部で前記光学素子を保持する段階とを具備し、前記光学素子及び前記ハウジングが狭いシーリングギャップを調整可能に形成するように前記光学素子が保持され、前記シーリングギャップが前記液浸ゾーン及び前記ハウジング内部部分に向かって開いている方法。前記シーリングギャップが前記光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分と前記液浸ゾーンとの間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項73に記載の方法。前記シーリングギャップ幅が5μm~20μmの範囲にある請求項74に記載の方法。前記シーリングギャップ長が3mm~6mmの範囲にある請求項74に記載の方法。前記極限光学素子を保持する段階が前記極限光学素子を締め付ける段階を具備する請求項73に記載の方法。前記極限光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記極限光学素子を締め付ける段階が前記光学素子上に第1の締め付け力を及ぼす段階を具備し、該第1の締め付け力が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項77に記載の方法。前記光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記極限光学素子を締め付ける段階が前記第1の方向に沿って弾力的に前記極限光学素子を保持する段階を具備し、前記第1の方向が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項73に記載の方法。前記極限光学素子を保持する段階が第2の方向に高い剛性で前記極限光学素子を保持する段階を具備し、前記第2の方向が第1の対称軸に対して略平行である請求項79に記載の方法。前記ハウジングに対する前記極限光学素子の位置が調整される請求項73に記載の方法。前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止するべく前記シーリングギャップ内部にシール用障壁を備えている請求項73に記載の方法。かくして、本発明の目的は、少なくとも或る程度は、上述の欠点を克服し、光学系、特に液浸露光プロセスに用いられる光学系の優れた長期にわたる信頼性の高い画像形成特性を提供することにある。本発明のさらなる目的は、光学素子ユニット、特に液浸露光プロセス内で使用される光学素子ユニットの内部で光学系のメンテナンスをすることなく耐用年数を最大限にするべく光学素子の内部部分の中に汚染物質が侵入するのを容易かつ高い信頼性で防止することにある。本発明のさらなる目的は、光学系、特に液浸露光プロセスにおいて使用される光学系の優れた高い信頼性の画像形成特性を提供するため、単純でかつ変形を最小限におさえるように外部環境から光学素子ユニットの内部部分を分離する光学素子を保持することにある。これらの目的は、開いたシーリングギャップが光学素子とハウジングとの間で調整可能な状態で形成されるように極限光学素子が光学素子ユニットのハウジングによって直接保持される場合に、優れた長期間にわたる信頼性の高い画像形成特性を達成することができるという教示に基づく本発明によって達成される。この構成は、一方では、熱膨張補償機構の単純な実施を可能にする。かかる熱膨張補償機構は、光学素子とハウジングの熱膨張の差異の補償を提供する。このような補償は、それ自体、光学素子の変形を減少させ、その結果、画像形成特性を改善する。特にこのような補償機構を用いると、光学素子とハウジングの熱膨張係数を整合させようとする高価な解決法は全く必要ない。かかる熱膨張補償機構は、光学素子とハウジングとの間の接合部分又はその近くにおける任意の適切な場所に配置可能である。この構成は、他方では、液浸させるべき光学素子ユニットのハウジング内への汚染物質の侵入を防止するシール機構の単純な実施をも可能にする。本発明によるこのシール機構は、前記調整可能なシーリングギャップ内にシール用流体障壁を備える。シール用流体障壁を備えるこのような調整可能な構成は、それ自体安定した完全に機能的な状態のまま光学素子とハウジングとの間の基本的に制約の無い相対的運動を可能にするという利点を有する。この相対的運動は基本的に、光学素子上の何らかの応力を及ぼすこと無く起こり得、光学素子の変形の低減ひいては画像形成特性を改善する結果をもたらす。その上、シール用流体はそれ自体、画像形成品質の劣化を引き起こす何らかの汚染物質の供給源には全くならないように、容易に選択可能である。かくして、本発明の第1の態様によると、光学素子群と、前記光学素子群を収容しハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングと、該ハウジングに連結され前記ハウジング内部部分にパージ媒体を供給するパージユニットとを具備する光学素子ユニットが提供される。前記光学素子群は極限光学素子を有する。前記極限光学素子は前記ハウジングの前記出口端部に配置され、前記ハウジング内部部分を前記ハウジングの外部の環境から分離している。前記極限光学素子及び前記ハウジングは、シーリングギャップを調整可能に形成する。前記パージユニットは、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止するため前記シーリングギャップに前記媒体を提供する。本発明の第2の態様によると、マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された本発明の第1の態様による光学素子ユニットと、液浸媒体が充填されると共に前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された液浸ゾーンとを具備する露光器具が提供される。前記極限光学素子は前記ハウジング内部部分を前記液浸ゾーンから分離する。前記パージユニットは、前記シーリングギャップを通して前記ハウジング内部部分内に前記液浸媒体が侵入するのを防ぐために前記シーリングギャップに前記パージ媒体を供給している。本発明の第3の態様によると、光学素子と、ハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングとを具備する光学素子ユニットが提供される。前記ハウジングは、その外部の環境から前記内部ハウジングを分離するべく前記出口端部に前記光学素子を保持する。前記光学素子及び前記ハウジングは、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止するシール用流体障壁を収容するように構成されたシーリングギャップを有している。本発明の第4の態様によると、マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された本発明の第3の態様に従った光学素子ユニットと、液浸媒体が充填されると共に前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された液浸ゾーンとを具備する露光器具が提供される。前記光学素子は前記ハウジング内部部分を前記液浸ゾーンから分離する。前記液浸媒体が前記シーリングギャップを通して前記ハウジング内部部分内に侵入するのを防ぐために前記シール用流体障壁が前記シーリングギャップ内に維持されている。本発明の第5の態様によると、光学素子と、ハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングとを具備する光学素子ユニットが提供される。前記ハウジングは、前記出口端部が中に液浸される液浸媒体が充填された液浸ゾーンから前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部に前記光学素子を保持する。前記光学素子及び前記ハウジングは、狭いシーリングギャップを調整可能に形成し、該シーリングギャップが前記液浸ゾーン及び前記ハウジング内部部分に向かって開いている。本発明の第6の態様によると、マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された本発明の第5の態様に従った光学素子ユニットと、液浸媒体が充填され、前記光路内部で前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間に配置されている液浸ゾーンとを具備する露光器具が提供される。前記光学素子は前記液浸ゾーンの前記液浸媒体の内部に液浸されている。本発明の第7の態様によると、光学素子ユニット内への汚染物質の侵入を防止する方法において、ハウジング内部部分及び出口端部を備えるハウジングを有する光学素子ユニットを提供する段階と、前記ハウジングの外部の環境から前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部に光学素子を提供する段階であって、前記光学素子及び前記ハウジングが、シーリングギャップを調整可能に形成する段階と、前記シーリングギャップ内部にシール用流体障壁を提供し、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止する段階とを具備する方法が提供される。本発明の第8の態様によると、光学素子ユニットの極限光学素子を、前記光学素子が少なくとも部分的に中に液浸される液浸媒体が充填された液浸ゾーンから前記光学素子ユニットの内部部分を分離するべく保持する方法において、ハウジング内部部分及び出口端部を備えるハウジングを有する前記光学素子ユニットを提供する段階と、前記液浸媒体から前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部で前記光学素子を保持する段階とを具備する方法が提供される。前記光学素子及び前記ハウジングが狭いシーリングギャップを調整可能に形成するように前記光学素子が保持され、前記シーリングギャップが前記液浸ゾーン及び前記ハウジング内部部分に向かって開いている。本発明のさらなる実施形態は、従属クレーム及び添付図を参照した好適な実施形態についての以下の記述から明らかになることだろう。開示された特長の全ての組合せは、クレーム中に明示的に述べられているか否かに関わらず、本発明の範囲内に入る。第1の実施形態以下に、本発明による光学素子ユニット3を備えた光学投射系2を有する本発明による露光器具1の第1の好適な実施形態を、図1~3を参照しながら説明する。露光器具1はマスク4上に形成されたパターンの画像を基板5上に転写するように構成されている。このために、露光器具1は、前記マスク4及び光学素子ユニット3を照射する照射系6を有している。光学素子ユニット3は、マスク4上に形成されたパターンの画像を、例えば水などの基板5上に投射する。このために、光学素子ユニット3は光学素子群7を保持する。この光学素子群7は、光学素子ユニット3のハウジング3.1内に保持される。該光学素子群7は、レンズ、鏡などといった一定数の光学素子8及び基板5に隣接するハウジング3.1の出口端部3.2に配置された最終光学素子9の形の極限光学素子を有する。ハウジング3.1は、光学素子ユニット3を形成するように積重ねられ、密に連結された複数のハウジングモジュール3.3で構成されている。各々のハウジングモジュール3.3は光学素子8及び9のうちの単数又は複数のものを保持する。ハウジングモジュール3.3の機械的接合部分は、防止しなければ光学素子8、9を汚染させこれに影響を及ぼし光学素子群7の画像形成特性の劣化を引き起こすハウジング3.1の内部部分3.4内への汚染物質の侵入を防止する目的でシールされる。光学投射系2は、マスク4と基板5との間に光路の一部分を収容する。その光学素子8及び9は共働して、マスク4上に形成されたパターンの画像を、光路の端部に配置された基板5上に転写する。光学投射系2の開口数NAを増大させるために、光学投射系2はさらに、高精製度の水といったような液浸媒体11が充填された液浸ゾーン10を有する。液浸ゾーン10が主として基板5、基板5の上に配置された液浸フレーム10.1及び最終光学素子9によって形成されるので、ハウジング3.1の出口端部3.2の一部分が液浸媒体11中に液浸される。かくして最終光学素子9は、ハウジング3.1の内部部分3.4を前記ハウジング3.1の外部の環境から分離させる。特に、最終光学素子9は、液浸ゾーン11内部に存在する液浸媒体11からハウジング3.1の内部部分3.4を分離する。最終光学素子9は、狭い周方向シーリングギャップ12が最終光学素子9とハウジング3.1との間で調整可能に形成されるようにハウジング3.1によって保持される。このシーリングギャップ12は、最終光学素子9の円周に沿って周方向に延びている。図2及び3の平面と一致する平面内である前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、シーリングギャップ12は、ハウジング3.1の内部部分3.4とハウジング3.1の外部の環境との間に1本の通路を形成する。シーリングギャップ12は、前記通路に対して横方向すなわち第1の方向13.1でシーリングギャップ幅Wを、そして前記通路に沿ってすなわち第2の方向13.2でシーリングギャップ長Lを有する。シーリングギャップ幅は、シーリングギャップ12内の最終光学素子9とハウジング3.1との間の距離によって形成される。シーリングギャップ長Lは、狭いシーリングギャップ12が形成されるようにシーリングギャップ幅Wよりも著しく大きい。シーリングギャップ幅Wが最高でもおよそ数十マイクロメートルである一方で、シーリングギャップ長Lはおよそ数ミリメートルである。好ましくは、シーリングギャップ長Lは3mm~6mmの範囲内であり、一方シーリングギャップ幅は5μm~20μmの範囲内にである。このような寸法で、シーリングギャップ12は、最終光学素子9とハウジング3.1との間の相対的動作が可能となるように最終光学素子9とハウジング3.1との間に充分なすきまを提供する。最終光学素子9は回転対称レンズによって形成される。これは主として第1の平面内で延び、前記第1の平面に対して垂直な第1の対称軸9.1を有する。図2及び3に示されている実施形態においては、第1の平面は図面の平面に対して垂直であり、第1の対称軸9.1は光学素子群7の光学軸3.5と一致している。最終光学素子9は、第1の保持ユニット14を介してハウジング3.1によって保持される。この第1の保持ユニット14は、最終光学素子9の周方向表面9.3内の周方向溝9.2と係合する突出部14.1を有する締め付けユニットによって形成されている。締め付けユニット14は、第1の方向13.1に平行、すなわち前記第1の平面に対して平行で、かつ第1の対称軸9.1を向いている放射方向締め付け力を最終光学素子9上に及ぼす。換言すると、放射方向締め付け力は第1の対称軸9.1に対して略垂直である。かくして、締め付けユニットは、周方向での摩擦連結と、前記第1の平面内での形状固定と、第1の対称軸9.1の方向での形状固定及び摩擦連結の組合せとを組合わせる支持機構を提供する。締め付けユニット14は、それが解放デバイスを形成するような形で、第1の方向13.1に沿って弾力性を有するように配置されている。この目的で、その突出部14.1は、リーフスプリング要素14.3を介してその基礎部分14.2に連結されている。基礎部分14.2は、ハウジング3.1に対して剛性連結されている。リーフスプリング要素14.3は第1の方向13.1に沿って可撓性があり、かくして、屈曲部を形成する。この構成では、露光器具1の作動中に最終光学素子9とハウジング3.1の異なる熱膨張を補償する単純な熱膨張補償機構が得られる。第1の方向13.1でのこの解放によって作動中の最終光学素子9の変形が減少し、その結果露光器具1の画像形成特性が改善されかつ安定する。他方では、リーフスプリング要素14.3は、最終光学素子9の第1の対称軸9.1に対して平行である第2の方向13.2に沿って高い剛性を示す。かくして、締め付けユニット14は同様に、第2の方向13.2に沿って剛性を示し、最終光学素子9の支持機構の優れた高信頼性の動力学的特性がもたらされる。締め付けユニット14によって提供される熱膨張補償機構は、最終光学素子9とハウジング3.1のために使用すべき材料に関して設計上で大きな自由を与える。この支持機構はまさに基本的に、設計者の選択に関していかなる制約も課すことがない。その他の設計基準に従って適切なあらゆる材料が最終光学素子9並びにハウジング3.1のために選択可能である。締め付け要素14は同様に、適切な任意の材料で作ることができる。特に、それはハウジング3.1と同じ材料で作ることができる。ハウジング3.1と締め付け要素14の両方について、高い弾性係数をもつ材料が好まれる。本実施形態においては、最終光学素子9のためにはCaF2を選択し、一方ハウジング3.1と締め付け要素14については鋼を選択する。いずれにせよ、本発明のその他の実施形態で、最終光学素子についてはSiO2、ハウジング及び締め付け要素についてはその他の適切な金属、合金、セラミックなどといったその他の材料を選択できるということが分かるだろう。CaF2は通常、水といったような液浸媒体による劣化に対する感応性が高いことから、液浸媒体と接触する最終光学素子9の部分には、対応する保護コーティングなどが施される。締め付け要素は、最終光学素子の容易な組立て及び分解を可能にする。いずれにせよ、本発明のその他の実施形態では、第1の保護要素は必ずしも締め付け要素である必要はないということがわかるだろう。形状固定、摩擦連結、材料固定ボンディング、接着剤、はんだづけ、など及びその組合せといったその他のあらゆる連結技術を最終光学素子及びハウジングのために使用することができる。好ましくは、このような実施形態は、同様に、対応する熱膨張補償機構をも提供する。いずれにせよ、最終光学素子とハウジングの熱膨張係数との間に著しい差異がない本発明のその他の実施形態では、熱膨張補償機構も省略できることがわかるだろう。同一の設計の締め付け要素図示せずの形をした2つのさらなる要素が、締め付け要素14と同様の要領で最終光学素子9と共働するように提供される。締め付け要素14及びさらなる締め付け要素は、最終光学素子9に対して安定した静的に形成された支持を提供するべく、最終光学素子9の円囲に等角分布されている。本発明のその他の実施形態では、異なる設計の保持要素を組合わせることができるということがわかるだろう。特に、これらの保持要素のうちの1つだけが最終光学素子の平面内の熱膨張補償を提供する熱膨張補償機構を備えているだけで充分である。さらに最終光学素子を支持するために、これ以外の数の保持要素を有することも可能である。締め付け要素14すなわち第1の保持要素は、ハウジング3.1との関係における最終光学素子9の位置を調整するための位置決め装置を有する。この位置決め装置は図2中で、調整がそれに沿って提供される軸14.4及び14.5によっておおまかに表わされている。それぞれの調整機構は、任意の適切な設計のものであり得る。それは、単純なスペーサ、ネジ機構など又はそれらの組合せといったような受動的機構であってよい。それは同様に、油圧アクチュエータ、電気アクチュエータ又はその組合せといったような能動的機構であってもよい。位置決め装置14.4、14.5は、最終光学素子9の光学軸に沿った位置及びそれとの関係における傾き及び偏心を調整することによって画像形成誤差の補正を可能にする。その上、位置決め装置14.4、14.5は、シーリングギャップ12のシーリングギャップ幅Wの調整を可能にする。ハウジングの内部部分3.4にパージ媒体を供給するべく、パージユニット15が光学素子ユニット3に連結されている。該パージ媒体は、ハウジングの内部部分3.4の内部に適切な雰囲気を提供し、光学系の優れた信頼性の高い画像形成特性を可能にする。上述の目的でのかかるパージ媒体の使用は、当該技術分野において周知であり、ここで詳しく説明はしない。パージ媒体は適切な任意の媒体であってよい。通常、それは不活性ガスである。パージユニット15は、ハウジングの内部部分3.4の内部の異なる場所にパージ媒体源15.1によって供給されたパージ媒体を分配する光学素子ユニット3のパージ媒体分配系図示せずに連結されたパージ媒体源15.1を有する。このパージ媒体分配系の一部として、ハウジング3.1内部に提供されるパージ媒体流路15.2がパージ媒体源15.1に連結される。このパージ媒体流路15.2は、シーリングギャップ12に向かってパージ媒体を誘導する。パージ媒体流路15.2と同様のさらなるパージ媒体流路が最終光学素子9の円周に等分布されている。該パージ媒体は、パージ媒体の連続流16がハウジング3.1の内部部分3.4からシーリングギャップ12を通ってハウジング3.1の外部の環境に向かって最終光学素子9の円周全体にわたり確立されるような量及び圧力で、パージ媒体源15.1によって供給される。この連続流16は、それぞれ、シーリングギャップ12を介してハウジング3.1の内部部分3.4に汚染物質が侵入するのを防止するパージ媒体障壁又はシール用流体障壁である。特に、連続流16は、防止しなければ光学素子群7の光学素子8を汚染する可能性がある少量の液浸媒体11がハウジング3.1の内部部分3.4の中に侵入するのを防止する。連続流16は、ハウジング3.1の内部部分3.4の中に液体又は塊状の物質が侵入するのを防止するだけではない。それは同様に、シーリングギャップ12から離れるように気体を引き込むことによってハウジング3.1の内部部分3.4の中に気体物質が侵入することをも防止する。シーリングギャップ12から退出した連続流16は、液浸媒体がハウジング3.1と液浸フレーム10.1との間の第2のギャップ17を介して液浸ゾーン10から退出しないように、液浸媒体11の流体表面11.1を押し戻す。かくして、連続流16は同様に、液浸ゾーン10からの液浸媒体11の退出を防止するシール用障壁でもある。その代り、連続流16は、第2のギャップ17を通って退出し、パージユニット15の清浄デバイスを介してパージ媒体をパージ媒体源15.1まで戻すため適切な収集手段図示せずによって収集される。比較的大きいシーリングギャップ長L及び小さいシーリングギャップ幅Wによって、シーリングギャップ12は同様に、連続流16の比較的低い流速を導くレストリクタ要素をも形成する。換言すると、シール機能は、シーリングギャップ12から退出するパージ媒体の流量が比較的低い場合に達成される。これは、かくして、通常比較的高価であるパージ媒体の損失を少なく保つことができるため、有利である。狭いシーリングギャップ12内への液浸媒体11の侵入をさらに阻止するため、シーリングギャップ12を画定する最終光学素子9の第1の壁要素9.3とシーリングギャップ12を画定するハウジング3.1の第2の壁要素3.6は、撥液性コーティングで被覆されている。この撥液性コーティングは、液浸媒体11に対する撥液作用をもつ。当該例においては、撥液性コーティングはポリ四フッ化エチレンPTFEといったような疎水性コーティングである。当然のことながら、その他のあらゆる適切な撥液性コーティングも使用可能である。特に、撥液性コーティングはそれぞれの液浸媒体に応じて選択可能である。第1の実施形態においては、円筒形の第1の壁要素9.3は最終光学素子9の第1の対称軸に略平行に延びる。いずれにせよ、本発明のその他の実施形態では、シーリングギャップを画定する最終光学素子の第1の壁要素を同様に最終光学素子の第1の対称軸との関係において傾斜させることもできるということがわかるだろう。特に、第1の壁要素は、最終光学素子の第1の対称軸に対して垂直であり得る。さらに、シーリングギャップを最終光学素子の第1の対称軸との関係において異なる傾斜をもつ複数の壁要素によって画定することもできる。第1の実施形態では、光学投射系2は、単一の光学軸3.4をもつ1つの光学素子ユニット3しか含んでいない。いずれにせよ、本発明のその他の実施形態では、光学投射系が複数の別々の下位群の中の光学素子群の光学素子を保持する単数又は複数のさらなる光学素子ユニットを有してもよいということがわかるだろう。その上、これらの光学素子ユニットが単位の光学軸に沿って位置合せされなくてもよいということもわかるだろう。第2の実施形態以下に、本発明による光学素子ユニット103を伴う光学投射系102を含む本発明による露光器具101の第2の好適な実施形態を、図4及び5を参照しながら説明する。露光器具101はマスク104上に形成されたパターンの画像を基板105上に転写するように構成されている。このために、露光器具101は、前記マスク104及び光学素子ユニット103を照射する照射系106を有している。光学素子ユニット103は、マスク104上に形成されたパターンの画像を、例えば水などの基板105上に投射する。このために、光学素子ユニット103は光学素子群107を保持する。この光学素子群107は、光学素子ユニット103のハウジング103.1内に保持される。該光学素子群107は、レンズ、鏡などといった一定数の光学素子108及び基板105に隣接するハウジング103.1の出口端部103.2に配置された最終光学素子109を有する。ハウジング103.1は、光学素子ユニット103を形成するように積重ねられ、密に連結された複数のハウジングモジュール103.3で構成されている。各々のハウジングモジュール103.3は光学素子108及び109のうちの単数又は複数のものを保持する。ハウジングモジュール103.3の機械的接合部分は、防止しなければ光学素子108、109を汚染させこれに影響を及ぼし光学素子群107の画像形成特性の劣化を引き起こすハウジング103.1の内部部分103.4内への汚染物質の侵入を防止するべくシールされる。光学投射系102は、マスク104と基板105との間に光路の一部分を収容する。その光学素子108及び109は共働して、マスク104上に形成されたパターンの画像を、光路の端部に配置された基板105上に転写する。光学投射系102の開口数NAを増大させるために、光学投射系102は再び、高精製度の水といったような液浸媒体111が充填された液浸ゾーン110を有する。液浸ゾーン110が主として基板105、基板105の上に配置された液浸フレーム110.1及び最終光学素子109によって形成されるので、ハウジング103.1の出口端部103.2の一部分が液浸媒体111中に液浸される。かくして最終光学素子109は、ハウジング103.1の内部部分103.4を前記ハウジング103.1の外部の環境から分離させる。特に、最終光学素子109は、液浸ゾーン111内部に存在する液浸媒体111からハウジング103.1の内部部分103.4を分離する。最終光学素子109は、狭い周方向シーリングギャップ112が最終光学素子109とハウジング103.1との間で調整可能に形成されるようにハウジング103.1によって保持される。このシーリングギャップ112は、最終光学素子109の円周に沿って周方向に延びている。前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内、すなわち図4及び5の平面と一致する平面内で、シーリングギャップ112は、ハウジング103.1の内部部分103.4とハウジング103.1の外部の環境との間に1本の通路を形成する。シーリングギャップ112は、前記通路に対して横方向すなわち第1の方向113.1でシーリングギャップ幅Wを、そして前記通路に沿ってすなわち第2の方向113.2でシーリングギャップ長Lを有する。シーリングギャップ幅は、シーリングギャップ112内の最終光学素子109とハウジング103.1との間の距離によって形成される。シーリングギャップ長Lは、狭いシーリングギャップ112が形成されるようにシーリングギャップ幅Wよりも著しく大きい。シーリングギャップ幅Wが最高でもおよそ数十マイクロメートルである一方で、シーリングギャップ長Lはおよそ数ミリメートルである。好ましくは、シーリングギャップ長Lは3mm~6mmの範囲内であり、一方シーリングギャップ幅は5μm~20μmの範囲内にある。このような寸法で、シーリングギャップ112は、最終光学素子109とハウジング103.1との間の相対的動作が可能となるように最終光学素子109とハウジング103.1との間に充分なすきまを提供する。最終光学素子109は回転対称レンズによって形成される。これは主として第1の平面内で延び、前記第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有する。図4及び5に示されている実施形態においては、第1の平面は図面の平面に対して垂直であり、第1の対称軸は光学素子群107の光学軸103.5と一致している。最終光学素子109は、第1の保持ユニット114を介してハウジング103.1によって保持される。この第1の保持ユニット114は、最終光学素子109の周方向表面109.3内の周方向溝109.2と係合する突出部114.1を有する締め付けユニットによって形成されている。締め付けユニット114は、第1の方向113.1に平行、すなわち前記第1の平面に対して平行で、かつ第1の対称軸109.1を向いている放射方向締め付け力を最終光学素子109上に及ぼす。換言すると、放射方向締め付け力は第1の対称軸109.1に対して略垂直である。かくして、締め付けユニットは、周方向での摩擦連結と、前記第1の平面内での形状固定と、第1の対称軸109.1の方向での形状固定及び摩擦連結の組合せとを組合わせる支持機構を提供する。締め付けユニット114は、それが解放デバイスを形成するような形で、第1の方向113.1に沿って弾力性を有するように配置されている。この目的で、その突出部114.1は、屈曲部図示せずを介してその基礎部分114.2に連結されている。このような屈曲部は当該技術分野において周知であり、従ってここではさらに詳細に記述しない。基礎部分114.2は、それ自体ハウジング103.1の支持リング103.7に剛性連結されている。屈曲部は第1の方向に113.1に沿って可撓性を有する。その上、屈曲部は最終光学素子109の第1の対称軸に対して平行である第2の方向113.2に沿って高い剛性を示す。この構成では、ここでも第1の実施形態に関連して上述した利点をもたらす優れた動力学的特性を提供しながら、露光器具101の作動の中に最終光学素子109とハウジング103.1の異なる熱膨張を補償する単純な熱膨張補償機構が得られる。同一の設計をもつものの屈曲部の無い締め付け要素図示せずの形をした2つのさらなる要素が、締め付け要素114と同様の要領で最終光学素子109と共働するように提供される。締め付け要素114及びさらなる締め付け要素は、最終光学素子109に対して安定した静的に形成された支持を提供するべく、最終光学素子109の円周に等角分布されている。締め付け要素114すなわち第1の保持要素は、ハウジング103.1との関係における最終光学素子109の位置を調整するための位置決め装置を有する。この位置決め装置は、ハウジング103.1の支持リング103.7と締め付け要素114との間に取付けられた第1の調整ユニット114.4によって提供される。この第1の調整ユニット114.4は、光学軸103.5の方向及び第1の方向113.1に平行に位置的調整を提供する。かくして、第1の調整ユニット114.4は、最終光学素子109の光学軸103.5に沿った位置そしてそれとの関係における傾き及び偏心を調整することによって画像形成誤差の補正を可能にする。第2の調整ユニット103.8は、ハウジング103.1の支持リング103.7とハウジング103.1のシール用リング103.9との間に取付けられる。シール用リング103.9は、シーリングギャップ112を構成する第2の壁要素103.6を形成する。第2の調整ユニット103.8は、光学軸103.5の方向でかつ第1の方向113.1に平行に閉鎖用リング103.9の位置的調整を提供する。かくして、それは、シーリングギャップ幅Wの調整そして或る程度はシーリングギャップ長Lの調整を可能にする。この調整は、最終光学素子109の位置的調整とは独立しており、専らシーリングギャップ112に対する必要条件に従って、選択可能である。それぞれの調整ユニット114.4及び103.8の調整機構は、任意の適切な設計のものであってよい。それは単純なスペーサ、ネジ機構など又はその組合せといった受動的機構であってよい。同様にそれは、油圧式アクチュエータ、電動式アクチュエータ又はその組合せといったような能動的機構であってもよい。ハウジングの内部部分103.4にパージ媒体を供給するべく、パージユニット115が光学素子ユニット103に連結されている。該パージ媒体は、第1の実施形態に関連して上述されてきたように、ハウジングの内部部分103.4の内部に適切な雰囲気を提供する。パージ媒体は液体又は気体といったような任意の適切な流体である。通常、それは不活性ガスである。パージユニット115は、ハウジングの内部部分103.4内部の異なる場所にパージ媒体源115.1によって供給されたパージ媒体を分配する光学素子ユニット103のパージ媒体分配系図示せずに連結されたパージ媒体源115.1を有する。このパージ媒体分配系は同様に、ハウジングの出口端部103.2に向かってひいてはシーリングギャップ112に向かって最終光学素子109の円周に等分布された形でパージ媒体を誘導する。該パージ媒体は、パージ媒体の連続流116がハウジング103.1の内部部分103.4からシーリングギャップ112を通ってハウジング103.1の外部の環境に向かって最終光学素子109の円周全体にわたり確立されるような量及び圧力で、パージ媒体源115.1によって供給される。この状況では、締め付けユニット114の基礎部分114.2と突出部114.1との間のギャップ114.6は、締め付けユニット114の突出部部分114.1の下にあるシーリングギャップ112の区分に向かってパージ媒体の改善された供給を提供するパージ媒体流路を形成する。パージ媒体の連続流16は、それぞれ、シーリングギャップ112を介してハウジング103.1の内部部分103.4に汚染物質が侵入するのを防止して、第1の実施形態に関連して上述した利点をもたらす、パージ媒体障壁又はシール用流体障壁である。特に、連続流116は、防止しなければ光学素子群107の光学素子108を汚染する可能性がある少量の液浸媒体111がハウジング103.1の内部部分103.4の中に侵入するのを防止する。シーリングギャップ112から退出した連続流116は、液浸媒体がハウジング103.1の閉鎖用リング103.9と液浸フレーム110.1との間の第2のギャップ117を介して液浸ゾーン110から退出しないように、液浸媒体111の流体表面111.1を押し戻す。かくして、連続流116は同様に、液浸ゾーン110からの液浸媒体111の退出を防止するシール用障壁でもある。その代り、連続流116は、第2のギャップ117を通って退出し、パージユニット115の清浄デバイスを介してパージ媒体をパージ媒体源115.1まで戻すため適切な収集手段図示せずによって収集される。ここでも又、比較的大きいシーリングギャップ長L及び小さいシーリングギャップ幅Wによって、シーリングギャップ12は同様に、連続流16の比較的低い流速を導くレストリクタ要素をも形成し、第1の実施形態に関連して以上で既に記述した利点をもたらす。狭いシーリングギャップ112内への液浸媒体111の侵入をさらに阻止するため、シーリングギャップ112を画定する最終光学素子109の第1の壁要素109.3とシーリングギャップ112を画定するハウジング103.1の第2の壁要素103.6は、撥液性コーティングで被覆されている。この撥液性コーティングは、液浸媒体111に対する撥液作用をもつ。当該例においては、撥液性コーティングはポリ四フッ化エチレンPTFEといったような疎水性コーティングである。当然のことながら、その他のあらゆる適切な撥液性コーティングも使用可能である。特に、撥液性コーティングはそれぞれの液浸媒体に応じて選択可能である。第3の実施形態以下に、本発明による光学素子ユニット201を伴う光学投射系202を含む本発明による露光器具201の第2の好適な実施形態を、図6及び7を参照しながら説明する。露光器具201はマスク204上に形成されたパターンの画像を基板205上に転写するように構成されている。このために、露光器具201は、前記マスク204及び光学素子ユニット203を照射する照射系206を有している。光学素子ユニット203は、マスク204上に形成されたパターンの画像を、例えば水などの基板205上に投射する。このために、光学素子ユニット203は光学素子群207を保持する。この光学素子群207は、光学素子ユニット203のハウジング203.1内に保持される。該光学素子群207は、レンズ、鏡などといった一定数の光学素子208及び基板205に隣接するハウジング203.1の出口端部203.2に配置された最終光学素子209を有する。ハウジング203.1は、光学素子ユニット203を形成するように積重ねられ、密に連結された複数のハウジングモジュール203.3で構成されている。各々のハウジングモジュール203.3は光学素子208及び209のうちの単数又は複数のものを保持する。ハウジングモジュール203.3の機械的接合部分は、防止しなければ光学素子208、209を汚染させそれに影響を及ぼし光学素子群207の画像形成特性の劣化を引き起こすハウジング203.1の内部部分203.4内への汚染物質の侵入を防止するべくシールされる。光学投射系202は、マスク204と基板205との間に光路の一部分を収容する。その光学素子208及び209は共働して、マスク204上に形成されたパターンの画像を、光路の端部に配置された基板205上に転写する。光学投射系202の開口数NAを増大させるために、光学投射系202は再び、高精製度の水といったような液浸媒体211が充填された液浸ゾーン210を有する。液浸ゾーン210が主として基板205、基板205の上に配置された液浸フレーム210.1及び最終光学素子209によって形成されるので、ハウジング203.1の出口端部203.2の一部分が液浸媒体211中に液浸される。かくして最終光学素子209は、ハウジング203.1の内部部分203.4を前記ハウジング203.1の外部の環境から分離させる。特に、最終光学素子209は、液浸ゾーン211内部に存在する液浸媒体211からハウジング203.1の内部部分203.4を分離する。最終光学素子209は、狭い周方向シーリングギャップ212が最終光学素子209とハウジング203.1との間で調整可能に形成されるようにハウジング203.1によって保持される。このシーリングギャップ212は、最終光学素子209の円周に沿って周方向に延びている。前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内、すなわち図4及び5の平面と一致する平面内で、シーリングギャップ212は、ハウジング203.1の内部部分203.4とハウジング203.1の外部の環境との間に1本の通路を形成する。シーリングギャップ212は、前記通路に対して横方向すなわち第2の方向213.2でシーリングギャップ幅Wを、そして前記通路に沿ってすなわち第1の方向213.1でシーリングギャップ長Lを有する。シーリングギャップ幅Wは、シーリングギャップ212内の最終光学素子209とハウジング203.1との間の距離によって形成される。シーリングギャップ長Lは、狭いシーリングギャップ212が形成されるようにシーリングギャップ幅Wよりも著しく大きい。シーリングギャップ幅Wが最高でもおよそ数十マイクロメートルである一方で、シーリングギャップ長Lはおよそ数ミリメートルである。好ましくは、シーリングギャップ長Lは3mm~6mmの範囲内であり、一方シーリングギャップ幅は5μm~20μmの範囲内にある。このような寸法で、シーリングギャップ212は、最終光学素子209とハウジング203.1との間の相対的動作が可能となるように最終光学素子209とハウジング203.1との間に充分なすきまを提供する。最終光学素子209は回転対称平面平行板によって形成される。これは主として第1の平面内で延び、前記第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有する。図6及び7に示されている第3の実施形態においては、第1の平面は図面の平面に対して垂直であり、第1の対称軸は光学素子群207の光学軸203.5と一致している。第1及び第2の実施形態の場合以外、シーリングギャップ212は第1の平面に対して平行である、すなわち最終光学素子209の第1の対称軸に対して垂直にひいては光学素子群207の光学軸203.5に対して垂直である最終光学素子209の第1の壁要素209.4によって画定されている。最終光学素子209は、第1の保持ユニット214を介してハウジング203.1によって保持される。この第1の保持ユニット214は、最終光学素子209の周方向表面209.3内の周方向溝209.2と係合する突出部214.1を有する締め付けユニットによって形成されている。締め付けユニット214は、第1の方向213.1に平行、すなわち前記第1の平面に対して平行で、かつ第1の対称軸209.1を向いている放射方向締め付け力を最終光学素子209上に及ぼす。換言すると、放射方向締め付け力は第1の対称軸209.1に対して略垂直である。かくして、締め付けユニットは、周方向での摩擦連結と、前記第1の平面内での形状固定と、第1の対称軸209.1の方向での形状固定及び摩擦連結の組合せとを組合わせる支持機構を提供する。締め付けユニット214は、それが解放デバイスを形成するような形で、第1の方向213.1に沿って弾力性を有するように配置されている。この目的で、その突出部214.1は、屈曲部図示せずを介してその基礎部分214.2に連結されている。このような屈曲部は当該技術分野において周知であり、従ってここではさらに詳細に記述しない。基礎部分214.2は、それ自体ハウジング203.1の支持リング203.7に剛性連結されている。屈曲部は第1の方向に213.1に沿って可撓性を有する。その上、屈曲部は最終光学素子209の第1の対称軸に対して平行である第2の方向213.2に沿って高い剛性を示す。この構成では、ここでも第1の実施形態に関連して上述した利点をもたらす優れた動力学的特性を提供しながら、露光器具201の作動の中に最終光学素子209とハウジング203.1の異なる熱膨張を補償する単純な熱膨張補償機構が得られる。同一の設計をもつものの屈曲部の無い締め付け要素図示せずの形をした2つのさらなる要素が、締め付け要素214と同様の要領で最終光学素子209と共働するように提供される。締め付け要素214及びさらなる締め付け要素は、最終光学素子209に対して安定した静的に画定された支持を提供するべく、最終光学素子209の円周に等角分布されている。締め付け要素214すなわち第1の保持要素は、ハウジング203.1との関係における最終光学素子209の位置を調整するための位置決め装置を有する。この位置決め装置は、ハウジング203.1の支持リング203.7と締め付け要素214との間に取付けられた第1の調整ユニット214.4によって提供される。この第1の調整ユニット214.4は、光学軸203.5の方向で位置的調整を提供する。かくして、第1の調整ユニット214.4は、最終光学素子209の光学軸203.5に沿った位置そして光学軸203.5との関係における最終光学素子209傾きを調整することによって画像形成誤差の補正を可能にする。第2の調整ユニット203.8は、ハウジング203.1の支持リング203.7とハウジング203.1のシール用リング203.9との間に取付けられる。シール用リング203.9は、シーリングギャップ212を構成する第2の壁要素203.6を形成する。第2の調整ユニット203.8は、光学軸203.5の方向でかつ第1の方向213.1に平行に閉鎖用リング203.9の位置的調整を提供する。かくして、それは、シーリングギャップ幅Wの調整を可能にする。この調整は、最終光学素子209の位置的調整とは独立しており、専らシーリングギャップ212に対する必要条件に従って、選択可能である。それぞれの調整ユニット214.4及び203.8の調整機構は、任意の適切な設計のものであってよい。それは単純なスペーサ、ネジ機構など又はその組合せといった受動的機構であってよい。同様にそれは、油圧式アクチュエータ、電動式アクチュエータ又はその組合せといったような能動的機構であってもよい。ハウジングの内部部分203.4にシール用流体を供給するべく、シールユニット215が光学素子ユニット203に連結されている。該シール用流体は、第1及び第2の実施形態に関連して上述されてきたように、パージ媒体であってよい。シール用流体は液体又は気体といったような任意の適切な流体であり得、好ましくは不活性ガスである。シール用ユニット215は、ハウジング203.1の内部部分203.4内部の最終光学素子209の円周にある異なる場所にシール用流体215.1によって供給されたシール用流体を分配する光学素子ユニット203のシール用流体分配系図示せずに連結されたシール用流体源215.1を有する。このシール用流体分配系の一部として、ハウジング203.1の閉鎖用リング203.9内部に設けられたシール用流体流路215.2が、シール用流体源215.1に連結されている。このシール用流体流路215.2は、シーリングギャップ212に向かってシール用流体を導く。シール用流体流路215.2と同様のさらなるシール用流体流路が、最終光学素子209の円周において等分布されている。シール用流体は、シーリングギャップ212内部で安定したシール用流体障壁を構築するような量及び圧力でシール用流体源215.1によって供給される。このシール用流体障壁は、シーリングギャップ212を介してハウジング203.1の内部部分203.4内に液体及び塊状の汚染物質が侵入するのを防止し、かくして第1の実施形態の状況下で上述した利点をもたらす。シーリングギャップ212内部のシール用流体障壁は、液浸媒体がシーリングギャップ212を介してハウジング203.1の内部部分203.4の中に侵入することがないように液浸媒体211の液体表面211.1を押し戻す。狭いシーリングギャップ212内への液浸媒体211の侵入をさらに阻止するため、シーリングギャップ212を画定する最終光学素子209の第1の壁要素209.3とシーリングギャップ212を画定するハウジング203.1の第2の壁要素203.6は、撥液性コーティングで被覆されている。この撥液性コーティングは、液浸媒体211に対する撥液作用をもつ。当該例においては、撥液性コーティングはポリ四フッ化エチレンPTFEといったような疎水性コーティングである。当然のことながら、その他のあらゆる適切な撥液性コーティングも使用可能である。特に、撥液性コーティングはそれぞれの液浸媒体に応じて選択可能である。ハウジング203.1の内部部分203.4の中に気体物質が侵入するのを防止するため、シール用ユニット215は、ハウジング203.1の閉鎖用リング203.9内部に設けられた排出流路215.4に連結された排出ユニット215.3を有する。該排出流路215.4は、シーリングギャップ212に接続された入口215.5を有する。排出流路215.4と同様のさらなる排出流路が最終光学素子209の円周に等分布されている。これらの排出流路215.4を介して、排出ユニット215.3は、ハウジング203.1の内部部分203.4から気体物質を除去する。シール用流体源215.1によって提供されるべきシール用流体の量及び排出ユニット215.3によって提供されるべき流速を低減させるため、閉鎖用リング203.9と最終光学素子209との間には、狭い第3のギャップ203,10が設けられている。この第3のギャップ203.10は、シール用流体流路215.2と排出流路215.4との間に配置されている。第3のギャップ203.10は、第3のギャップ203.10を介してハウジング203.1の内部部分203.4内に入る物質の流速を低減させるレストリクタ要素を形成する。排出ユニット215.3は、シール用流体源215.1が作動していない場合に、シーリングギャップ212及び第3のギャップ203.10を介してハウジング203.1の内部部分203.4の中に入るあらゆる液浸媒体又はその他の物質を除去することができるように寸法決定される。いずれにせよ、本発明のその他の実施形態では、かかる目的のために、個別の排出ユニットを具備することができるということがわかるだろう。その上、本発明のその他の実施形態では、第3の実施形態に関連して記述された排出ユニットを上述の第1及び第2の実施形態と共に実施することもできるということがわかるだろう。第4の実施形態以下に、本発明による光学素子ユニット303の第4の好適な実施形態を、図8を参照しながら説明する。光学素子ユニット303は、図6の露光器具201の内部の光学素子ユニット203に置き換えることができる。第3の実施形態と類似して、最終光学素子309はハウジング303.1によって保持される。最終光学素子309は、第3の実施形態に関連して上述したものに類似した締め付けユニットの形をした第1の保持ユニットを介して、ハウジング303.1によって保持される。最終光学素子309は、狭い周方向の第1のシーリングギャップ312.1及び狭い周方向の第2のシーリングギャップ312.2が、図7のものに類似した構成で最終光学素子309及びハウジング303.1の閉鎖用リング303.9の間で形成されるように、ハウジング303.1によって保持される。シーリングギャップ312.1及び312.2は、それらの間に配置されたシール用流体チャンバ312.3を介して連通している。シーリングギャップ312.1及び312.2及びシール用流体チャンバ312.3は各々、最終光学素子309の円周に沿って周方向に延びている。前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内すなわち図8の平面と一致する平面内で、第1のシーリングギャップ312.1、シール用流体チャンバ312.3及び第2のシーリングギャップ312.2は、ハウジング303.1の内部部分303.4とハウジング303.1の外部の環境との間に1本の通路を形成する。第1のシーリングギャップ312.1は、前記通路に対して横方向すなわち第2の方向313.2に第1のシーリングギャップ幅W1を、そして、前記通路に沿ってすなわち第1の方向313.1で第1のシーリングギャップ長L1を有する。第1のシーリングギャップ幅W1は、第1のシーリングギャップ312.1の領域内のハウジング303.1と最終光学素子309との間の距離によって形成される。第2のシーリングギャップ312.2は、前記通路に対して横方向すなわち第1の方向313.1に第2のシーリングギャップ幅W2を、そして、前記通路に沿ってすなわち第2の方向313.2で第2のシーリングギャップ長L2を有する。第2のシーリングギャップ幅W2は、第2のシーリングギャップ312.2の領域内のハウジング303.1と最終光学素子309との間の距離によって形成される。それぞれのシーリングギャップ長L1及びL2は、それぞれに狭いシーリングギャップ312.1及び312.2が形成されるように、それぞれのシーリングギャップ幅W1及びW2よりも著しく大きい。それぞれのシーリングギャップ長L1及びL2はおよそ数ミリメートルであり、一方それぞれのシーリングギャップ幅W1及びW2は、最高でもおよそ数十マイクロメートルである。好ましくは、それぞれのシーリングギャップ長L1及びL2は3mm~6mmの範囲内にあり、一方それぞれのシーリングギャップ幅W1及びW2は5μm~30μmの範囲内にある。かかる寸法で、それぞれのシーリングギャップ312.1及び312.2は、最終光学素子309とハウジング303.1との間の相対的動作が可能となるように、最終光学素子309とハウジング303.1との間に充分なすきまを提供する。最終光学素子309はここでも回転対称平面平行板によって形成される。これは主として第1の平面内で延び、前記第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有する。図8に示されている第4の実施形態においては、第1の平面は図面の平面に対して垂直であり、第1の対称軸は図6の露光器具201内で使用される場合光学素子群207の光学軸203.5と一致している。第3の実施形態に関連して、特に図7に関連して上述したものに類似した調整ユニット図示せずが、第1のシーリングギャップ幅W1及び第2のシーリングギャップ幅W2の調整をそれぞれ提供する。この調整は、最終光学素子309の位置的調整とは独立しており、専らそれぞれのシーリングギャップ312.1及び312.2についての必要条件に従って選択可能である。それぞれの調整ユニットの調整機構は、任意の適切な設計のものである。それは、単純なスペーサ、ネジ機構など又はその組合せといった受動的機構であってよい。それは同様に、油圧式アクチュエータ、電動式アクチュエータ又はその組合せでもよい。ハウジングの内部部分303.4にシール用流体を供給するため、光学素子ユニット303に図6のシール用ユニット215といったようなシール用ユニットが連結される。該シール用流体は、第1、第2及び第3の実施形態との関連で以上に記述してきたようなパージ媒体である。シール用流体は液体又は気体といった適切なあらゆる流体であってよく、好ましくは不活性ガスである。シール用ユニットは、ハウジング303.1の内部部分303.4内の最終光学素子309の円周にある、様々な場所にシール用流体源によって供給されたシール用流体を分配する、光学素子ユニット303のシール用流体分配系図示せずに連結された図6のシール用流体源215といったようなシール用流体源を有する。このシール用流体分配系の一部として、ハウジング303.1の303.9内部に提供されたシール用流体流路315.2がシール用流体源に連結される。このシール用流体流路315.2はシール用流体又はパージ媒体を、シール用流体チャンバ312.3に向かって、ひいては第1のシーリングギャップ312.1及び第2のシーリングギャップ312.2まで誘導する。シール用流体流路315.2と同様のさらなるシール用流体流路が最終光学素子309の周囲で等分布されている。パージ媒体は、ハウジング303.1の内部部分303.4から第1のシーリングギャップ312.1を通りハウジング303.1の外部の環境に向かって最終光学素子309の円周全体にわたりパージ媒体の第1の連続流316.1が確立されるような量及び圧力で、パージ媒体源によって供給される。この第1の連続流316.1は、それぞれ、第1のシーリングギャップ312.1を介してハウジング303.1の内部部分303.4に汚染物質が侵入するのを防止するパージ媒体障壁又はシール用流体障壁である。特に、第1の連続流316.1は、防止しなければ光学素子群の光学素子を汚染する可能性がある少量の液浸媒体11がハウジング303.1の内部部分303.4の中に侵入するのを防止する。第1の連続流316.1は、ハウジング303.1の内部部分303.4の中に液体又は塊状の物質が侵入するのを防止するだけではない。それは同様に、第1のシーリングギャップ312.1から離れるように気体を引き込むことによってハウジング303.1の内部部分303.4の中に気体物質が侵入するのをも防止する。比較的大きい第1のシーリングギャップ長L1及び小さい第1のシーリングギャップ幅W1によって、第1のシーリングギャップ312.1は同様に、第1の連続流316.1の比較的低い流速を導くレストリクタ要素をも形成する。換言すると、シール機能は、第1のシーリングギャップ312から退出するパージ媒体の流量が比較的低い場合に達成される。これは、かくして、通常比較的高価であるパージ媒体の損失を少なく保つことができるため、有利である。さらに、パージ媒体の第2の連続流316.2が、第2のシーリングギャップ312.2を通ってハウジング303.1の内部部分303.4に向かって最終光学素子309の円周全体にわたって確立される。第2のシーリングギャップ長L2及び第2のシーリングギャップ幅W2は、第2のシーリングギャップ312.2が、第1の連続流316.1の流速よりも小さい第2の連続流316.2の流速を導くレストリクタ要素を形成するように選択される。この目的で、特に、第2のシーリングギャップ幅W2は第1のシーリングギャップ幅W1よりも小さくてよい。それぞれの第1及び第2のシーリングギャップ寸法を適切に選択することによって、第1の連続流316.1の流速及び第2の連続流316.2の流速を任意の所望の値に適合させることができる。より制限的な第2のシーリングギャップ312.2の利点は、それが侵入気体などに対する高い抵抗を形成するという事実にある。かくして、それは、防止しなければ最終光学素子309の望ましくない変形をひき起こしかねない、シール用流体チャンバ312.3に対するシール用流体の供給によるハウジング303.1の内部部分303.4内の圧力の上昇を主として防止する。極限光学素子に対するかかる不利な圧力変化の影響を防止するためには、原則として、適切な手段によってそれぞれのシーリングギャップの領域に生成され、主として制限されている圧力勾配を介してのみそれぞれのシーリングギャップを通して連続流をもたらすことが望ましいことは明らかであろう。より制限的な第2のシーリングギャップ312.2のさらなる利点は、シール用流体流路315.2を介したパージ媒体の供給に失敗した場合の汚染物質の侵入に対するさらなる抵抗をそれが形成しているという事実にある。この場合、シール用流体流路315.2は、シール用流体チャンバ312.3内に第1のシーリングギャップ312.1を介して侵入したもののなおも第2のシーリングギャップ312.2によりハウジング303.1の内部部分303.4の中にさらに侵入しないように防止されている物質を回収するために使用することができる。狭いシーリングギャップ312.1及び312.2内への液浸媒体の侵入をさらに阻止するため、それぞれのシーリングギャップ312.1及び312.2を画定する壁要素を撥液性コーティングで被覆する。この撥液性コーティングは、液浸媒体に対する撥液作用をもつ。当該例では、該撥液性コーティングはポリ四フッ化エチレンPTFEといったような疎水性コーティングである。当然のことながら、その他の適切なあらゆる撥液性コーティングを使用することが可能である。特に撥液性コーティングは、それぞれの液浸媒体に応じて選択できる。図8を見ればわかるように、第1のシーリングギャップ312.1は、第1の平面に対して平行な、すなわち最終光学素子309の第1の対称軸に対して垂直な最終光学素子309の第1の壁要素309.4によって画定されている。第2のシーリングギャップ312.2は、最終光学素子309の第1の対称軸に対して平行なすなわち第1の平面に対して垂直な最終光学素子309の第2の壁要素309.3によって画定されている。その結果として、第1の壁要素309.4は第2の壁要素309.3に対して垂直である。いずれにせよ、本発明のその他の実施形態では、最終光学素子の第1の対称軸との関係において並びに互いとの関係において、それぞれの第1及び第2のシーリングギャップを画定する最終光学素子の第1及び第2の壁要素のその他のあらゆる適切な方向性を選択することが可能であることがわかるだろう。特に、第1及び第2の壁要素は、互いとの関係において並びに最終光学素子の第1の対称軸との関係において、その他のあらゆる傾斜を有することができる。その上、ここでも又、それぞれのシーリングギャップは、最終光学素子の第1の対称軸との関係において異なる傾斜を有する複数の壁要素によっても画定されてもよい。第5の実施形態以下に、本発明による光学素子ユニット403の第5の好適な実施形態を、図9を参照しながら説明する。光学素子ユニット403はその機能性及び設計において、図8の光学素子ユニット303に主として対応している。特に、最終光学素子409は、図8の最終光学素子309のものと同一の設計のものである。かくして、ここでは主に差異について言及する。主たる差異は、第1のシーリングギャップ412.1が、最終光学素子409の第1の対称軸に対して平行なすなわち最終光学素子409が主に内部で延びている第1の平面に対して垂直な最終光学素子409の第1の壁要素409.4によって画定されているという事実にある。第2のシーリングギャップ412.2は、同じく最終光学素子409の第1の対称軸に平行すなわち第1の平面に垂直である最終光学素子409の第2の壁要素409.3によって画定されている。さらに、第1の壁要素409.4及び第2の壁要素409.3は一致する、すなわち両方共最終光学素子409の円筒形外壁によって形成される。ここでも又、シーリングギャップ412.1及び412.2は、それらの間に配置されたシール用流体チャンバ412.3を介して連通している。第1のシーリングギャップ412.1、シール用流体チャンバ412.3及び第2のシーリングギャップ412.2は、ハウジング403.1の内部部分403.4とハウジング403.1の外部の環境との間で通路を形成する。第1のシーリングギャップ412.1は、第1のシーリングギャップ幅W1及び第1のシーリングギャップ長L1を有する。第2のシーリングギャップ412.2は第2のシーリングギャップ幅W2及び第2のシーリングギャップ長L2を有する。それぞれのシーリングギャップ長L1及びL2は、狭いシーリングギャップ412.1及び412.2がそれぞれに形成されるように、それぞれのシーリングギャップ幅W1及びW2より著しく大きい。ここでも又、それぞれのシーリングギャップ長L1及びL2は、それぞれに狭いシーリングギャップ412.1及び412.2が形成されるように、それぞれのシーリングギャップ幅W1及びW2よりも著しく大きい。それぞれのシーリングギャップ長L1及びL2はおよそ数ミリメートルであり、一方それぞれのシーリングギャップ幅W1及びW2は、最高でもおよそ数十マイクロメートルである。好ましくは、それぞれのシーリングギャップ長L1及びL2は3mm~6mmの範囲内にあり、一方それぞれのシーリングギャップ幅W1及びW2は5μm~30μmの範囲内にある。かかる寸法で、それぞれのシーリングギャップ412.1及び412.2は、最終光学素子409とハウジング403.1との間の相対的動作が可能となるように、最終光学素子409とハウジング403.1との間に充分なすきまを提供する。第4の実施形態の場合と同様に、シール用ユニットがハウジング403.1の閉鎖用リング403.9内に設けられたシール用流体流路415.2に対しシール用流体又はパージ媒体を供給する。このシール用流体流路415.2は、シール用流体を、シール用流体チャンバ412.3に向かって、ひいては第1のシーリングギャップ412.1及び第2のシーリングギャップ412.2まで誘導する。シール用流体流路415.2と同様のさらなるシール用流体流路が最終光学素子409の周囲で等分布されている。シール用流体は、シール用流体チャンバ412.3から第1のシーリングギャップ412.1を通りハウジング403.1の外部の環境に向かって最終光学素子409の円周全体にわたりシール用流体障壁を形成するシール用流体の第1の連続流416.1が確立されるような量及び圧力で供給される。その上、第4の実施形態にあるように、パージ媒体の第2の連続流416.2が、第2のシーリングギャップ412.2を通ってハウジング403.1の内部部分403.4に向かって最終光学素子409の円周全体にわたって確立される。第2のシーリングギャップ長L2及び第2のシーリングギャップ幅W2は、ここでも又第2のシーリングギャップ412.2が、第1の連続流416.1の流速よりも小さい第2の連続流416.2の流速を導くレストリクタ要素を形成するように選択される。狭いシーリングギャップ412.1及び412.2内への液浸媒体の侵入をさらに阻止するため、それぞれのシーリングギャップ412.1及び412.2を画定する壁要素を撥液性コーティングで被覆する。本発明のその他の実施形態では、それぞれの第1及び第2のシーリングギャップを画定する最終光学素子の第1及び第2の壁のその他の適切なあらゆる方向性を選択することが可能である。特に第1及び第2の壁要素は、最終光学素子の下部表面によって形成され、図9中破線輪郭418によって示されている通りの構成を提供することができる。第6の実施形態以下に、本発明による光学素子ユニットの第6の実施形態を、図10を参照しながら説明する。該光学素子ユニットは図8の光学素子ユニット303と同一であり、従って同一の参照番号が使用され、それらに関連して上述の説明が参照指示されるようになっている。第4の実施形態と比べた唯一の差異は、シール用流体チャンバ312.3に対し、ひいては第1のシーリングギャップ312.1及び第2のシーリングギャップ312.2に対してシール用流体を供給する代りに、適切な排出ユニットを介し流体流路315.2に負の圧力が提供されるという事実にある。これは、シール用流体チャンバ312.3の中に入るあらゆる媒体又は物質が流体流路315.2を介して除去されるまで行なわれる。換言すると、このとき流体流路は排出流路として作用する。結果として、一方では、ハウジング303.1の少量の外部の雰囲気の第1の連続流516.1が、第1のシーリングギャップ312.1を通ってシール用流体チャンバ312.3の中へと確立される。その上、パージ媒体の第2の連続流516.2が、第2のシーリングギャップ312.2を通してハウジング303.1の内部部分303.4からシール用流体チャンバ312.3内まで確立される。この第2の連続流516.2はそれぞれに、第2のシーリングギャップ312.1を介してハウジング303.1の内部部分303.4内に汚染物質が侵入するのを防止するパージ媒体障壁又はシール用流体障壁である。かくして、塊状、液体又は気体の物質特に汚染物質は、第2のシーリングギャップ312.2を介してハウジング303.1の内部部分303.4内に侵入するのを妨げられているばかりでなく、流体流路315.2を介して能動的に除去される。第1のシーリングギャップ312.1を通してシール用流体チャンバ312.3内に能動的に物質を引き込むというこのような解決法によって、例えば適切な障壁手段によって液浸液体が第1のシーリングギャップ312.1内に入るのを防止するか又は除去機構が液体の除去に適したものとなることができるということがわかるだろう。第7の実施形態以下に、本発明による光学素子ユニットの第7の実施形態を、図11を参照しながら説明する。該光学素子ユニットは図9の光学素子ユニット403と同一であり、従って同一の参照番号が使用され、それらに関連して上述の説明が参照指示されるようになっている。第5の実施形態と比べた唯一の差異は、シール用流体チャンバ412.3に対し、ひいては第1のシーリングギャップ412.1及び第2のシーリングギャップ412.2に対してシール用流体を供給する代りに、適切な排出ユニットを介し流体流路415.2に負の圧力が提供されるという事実にある。これは、シール用流体チャンバ412.3の中に入るあらゆる媒体又は物質が流体流路415.2を介して除去されるまで行なわれる。換言すると、ここでも又このとき流体流路415.2は排出流路として作用する。結果として、一方では、ハウジング403.1の少量の外部の雰囲気の第1の連続流616.1が、第1のシーリングギャップ412.1を通ってシール用流体チャンバ412.3の中へと確立される。その上、パージ媒体の第2の連続流616.2が、第2のシーリングギャップ412.2を通してハウジング403.1の内部部分403.4からシール用流体チャンバ412.3内まで確立される。この第2の連続流616.2はそれぞれに、第2のシーリングギャップ412.1を介してハウジング403.1の内部部分403.4内に汚染物質が侵入するのを防止するパージ媒体障壁又はシール用流体障壁である。かくして、塊状、液体又は気体の物質特に汚染物質は、第2のシーリングギャップ412.2を介してハウジング403.1の内部部分403.4内に侵入するのを妨げられているばかりでなく、流体流路415.2を介して能動的に除去される。第8の実施形態以下に、本発明による光学素子ユニット703の第8の好適な実施形態を、図12を参照しながら説明する。光学素子ユニット703は、図6の露光器具201内部で光学素子ユニット203に置き換えることができる。第3の実施形態と同様に、最終光学素子709がハウジング703.1によって保持される。該最終光学素子709は、第3の実施形態に関連して上述のものに類似した締め付けユニットの形の第1の保持ユニット図示せずを介してハウジング703.1により保持される。特に、最終光学素子709のための締め付けユニットは、以上で記述された通りハウジング703.1との関係において最終光学素子709の位置を調整するための第1の調整ユニットとして位置決め装置を有する。かくしてこれに関連して、ここでは上述の説明に対する参照指示のみがなされる。最終光学素子709は、図7のものと類似の構成の中で狭い周方向シーリングギャップ712が調整可能に形成され最終光学素子709とハウジング703.1のシール用リング703.9との間に形成されるようにハウジング703.1によって保持される。該シーリングギャップ712は、最終光学素子709の円周に沿って周方向に延びている。シーリングギャップ712は、最終光学素子709の平坦な第1の壁要素709.3及び閉鎖用リング703.9の平坦な第2の壁要素703.6によって画定されている。前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内、すなわち図12の平面と一致する平面内で、シーリングギャップ712は、ハウジング703.1の内部部分703.4とハウジング703.1の外部の環境との間に1本の通路を形成する。シーリングギャップ712は、前記通路に対して横方向すなわち第2の方向713.2でシーリングギャップ幅Wを、そして前記通路に沿ってすなわち第1の方向713.1でシーリングギャップ長Lを有する。シーリングギャップ幅Wは、シーリングギャップ712の領域内の最終光学素子709とハウジング703.1との間の距離によって形成される。シーリングギャップ長Lは、狭いシーリングギャップ712が形成されるようにシーリングギャップ幅Wよりも著しく大きい。シーリングギャップ幅Wがおよそ数マイクロメートルから最高数十マイクロメートルである一方で、シーリングギャップ長Lはおよそ数ミリメートルである。好ましくは、シーリングギャップ長Lは約75mm~80mmという最終光学素子709の外径で3mm~6mmの範囲内であり、一方シーリングギャップ幅Wは5μm~20μmの範囲内にある。例えばシーリングギャップ幅はW=20μm±10μmであってもよい。このような寸法で、シーリングギャップ712は、最終光学素子709とハウジング703.1との間の相対的動作が可能となるように最終光学素子709とハウジング703.1との間に充分なすきまを提供する。最終光学素子709は回転対称平面凸レンズによって形成される。これは主として第1の平面内で延び、前記第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有する。図12に示されている第8の実施形態においては、第1の平面は図面の平面に対して垂直であり、図6の露光器具201の中で使用される場合、第1の対称軸は光学素子群207の光学軸203.5と一致している。調整ユニット703.8は、ハウジング703.1の支持リング703.7とハウジング703.1のシール用リング703.9との間に取付けられる。シール用リング703.9は、シーリングギャップ712を構成する第2の壁要素703.6を形成する。第2の調整ユニット703.8は、光学軸703.5の方向でかつ第1の方向713.1に平行に閉鎖用リング703.9の位置的調整を提供する。かくして、それは、シーリングギャップ幅Wの調整を可能にする。この調整は、最終光学素子709の位置的調整とは独立しており、専らシーリングギャップ712に対する必要条件に従って、選択可能である。調整ユニット703.8の調整機構は、任意の適切な設計のものであってよい。それは単純なスペーサ、ネジ機構など又はその組合せといった受動的機構であってよい。同様にそれは、油圧式アクチュエータ、電動式アクチュエータ又はその組合せといったような能動的機構であってもよい。ハウジングの内部部分703.4にシール用流体を供給するべく、図6のシール用ユニット215といったシールユニットが光学素子ユニット703に連結されている。該シール用流体は、第1及び第3の実施形態に関連して上述されてきたように、パージ媒体であってよい。シール用流体は液体又は気体といったような任意の適切な流体であり得、好ましくは不活性ガスである。シール用ユニットは、ハウジング703.1の内部部分703.4内部の最終光学素子709の円周にある異なる場所にシール用流体によって供給されたシール用流体を分配する光学素子ユニット703のシール用流体分配系図示せずに連結された図6のシール用流体源215といったようなシール用流体源を有する。このシール用流体分配系の一部として、シール用リング703.9の内部円周で閉鎖用リング712の領域内に放出するシール用流体流路図示せずが、ハウジング703.1内部に設けられたシール用流体源に連結されている。このシール用流体流路は、シーリングギャップ712に向かってシール用流体又はパージ媒体を導く。このシール用流体流路と同様のさらなるシール用流体流路が、最終光学素子709の円周において等分布されている。パージ媒体は、第1のシーリングギャップ712を通ってハウジング703.1の内部部分703.4から最終光学素子709の円周全体にわたりパージ媒体の連続硫716が確立されるような量及び圧力でパージ媒体源によって供給される。この第1の連続流7161は、それぞれ、シーリングギャップ712を介してハウジング703.1の内部部分703.4に汚染物質が侵入するのを防止するパージ媒体障壁又はシール用流体障壁である。特に、連続流716は、防止しなければ光学素子群の光学素子を汚染するか又はその他の何らかの形で光学特性を改変する可能性がある物質がハウジング703.1の内部部分703.4の中に侵入するのを防止する。連続流716は、ハウジング703.1の内部部分703.4の中に液体又は塊状の物質が侵入するのを防止するだけではない。それは同様に、シーリングギャップ712から離れるように気体を引き込むことによってハウジング703.1の内部部分703.4の中に気体物質が侵入するのをも防止する。比較的大きいシーリングギャップ長L及び小さいシーリングギャップ幅Wのため、シーリングギャップ712は同様に、連続流716の比較的低い流速を導くレストリクタ要素をも形成する。換言すると、シール機能は、シーリングギャップ712から退出するパージ媒体の流量が比較的低い場合に達成される。これは、かくして、通常比較的高価であるパージ媒体の損失を少なく保つことができるため、有利である。パージ媒体のこの連続流716が、例えば最終光学素子709の下部表面といったハウジングの外部で撹乱流状況を生み出すのを防止するため、排出ライン715.6を介し図6の排出ユニット215.3は、ハウジング703.1の閉鎖用リング703.9内部に設けられた排出流路715.4に連結されている。該排出流路715.4は、最終光学素子709の円周において等分布された複数の入口715.5を有する。該入口715.5は、シーリングギャップ712に結びつけられている。流路715.4は、下部の第1シェル703.10とその上に載った上部第2シェル703.11との間に形成される。第1シェル703.10及び第2シェル703.11は、閉鎖用リング703.9を形成する。第1シェル703.10及び第2シェル703.11は適切なプロセスによって容易に製造可能である。特に、シーリングギャップ712を画定する第2のシェル703.11の第2の壁要素703.6は、充分な精度及び表面品質で容易に製造可能である。例えば、それを、適切な高精度研削又は旋削プロセスによって製造することができる。排出ライン715.6と同様のさらなる排出ラインが閉鎖用リング703.9の外円周に等分布されている。流路715.4及び3本の排出ライン715.4を介して、排出ユニット215.3は気体物質ひいては連続流716を除去し、この連続流が上述の撹乱効果を発生させるのを防ぐ。この目的で、特に、連続流716よりも大きい流れが除去されるように排出ユニット215.3の寸法を決定することができる。図12を見ればわかるように、閉鎖用リング703.9と支持リング703.7との間には、ハウジング703.1の内部部分703.4の適切なシール及び閉鎖用リング703.9の位置的調整可能性を提供するために、可撓性シール用デバイス719が備わる。可撓性シール用デバイス719は、例えば膜などといったあらゆる適切なタイプのものであってよい。それは、例えば接着剤、ネジ、締め付け手段などといったあらゆる適切な手段により、閉鎖用リング703.9及び支持リング703.7に連結され得る。図12から同様にわかるように、前述した調整及びシール用機構全体を保護するために、支持リング703.7に保護キャップ720が連結される。ここでも又、本発明のその他の実施形態では、最終光学素子の第1の対称軸との関係において、シーリングギャップを画定する第1及び第2の壁要素のその他のあらゆる方向性を選択することができる。特に、第1及び第2の壁要素は、互いとの関係において並びに最終光学素子の第1の対称軸との関係においてその他のあらゆる傾斜を有することができる。さらに、ここでも又それぞれのシーリングギャップは最終光学素子の第1の対称軸との関係において異なる傾斜をもつ複数の壁要素によって画定されていてもよい。さらに、本発明のその他の実施形態では、3つ以上の連続するシーリングギャップを設けることができる。特に第1~第7の実施形態に関連して上述した通りのシーリングギャップ構成は任意に組合せることができる。以上では、本発明について、例えば最終光学素子の透過性部などの光学的に活性な部分とハウジングとの間に少なくとも1つのシーリングギャップが形成される利用分野のみに関連して記述されてきた。いずれにせよ、最終光学素子の光学的に不活性な部分例えば流体シール的に最終光学素子の透過性部分に連結され最終光学素子として合わせて保持された非透過性要素とハウジング要素との間にも、シーリングギャップを形成することができるということがわかるだろう。かかる光学的に不活性な要素は例えば本発明と略同じ熱膨張係数を有する環状要素でもよい。本発明は、液浸技術を用いたその他のあらゆる画像形成プロセスに関して使用可能である。さらに、以上では、本発明は、回転対称極限光学素子のみに関して記述してきた。いずれにせよ、極限光学素子のその他のいずれかの非回転対称形状に関しても本発明を使用できるということがわかるだろう。かくして、例えば極限光学素子は少なくとも部分的に任意に湾曲した及び/又は少なくとも多角形の形状をその主要膨張平面内に有してもよい。さらに、以上では、本発明は、最終光学素子のみに関して記述してきた。いずれにせよ、対応するハウジング内部に保持された光学系の入口端に配置された第1の光学素子に関しても使用可能であるということがわかるだろう。同様に、上述のハウジングが必ずしももう1つのハウジングから空間的に分離される必要はないということもわかるだろう。むしろ、本発明は、前記ハウジング又はハウジング部分の外部の第2の空間から第1のハウジング又はハウジング部分の内部の第1の空間を分離する任意のその他の光学素子に関しても使用可能である。この第2の空間自体はここでも又もう1つのハウジング又はハウジング部分の内部であってもよいということがわかるだろう。最後に、以上では本発明はマイクロリソグラフィの利用分野においてのみ記述されてきた。いずれにせよ、本発明は液浸技術を用いた又は用いないその他のあらゆる画像形成プロセスに関して使用可能であるということがわかるだろう。"