"光源からの照明光の波面を変調する空間光変調素子と、非平行な2つの軸線回りにそれぞれ揺動する2枚のミラーを有し、前記空間光変調素子により波面が変調された照明光を2次元的に走査するスキャナと、該スキャナにより進行方向を変えられた照明光を対物光学系に導くリレー光学系と、前記ミラーの揺動に応じて、前記空間光変調素子上の像を形成する前記波面の変調領域を移動させる変調領域調節部とを備え、該変調領域調節部が、前記空間光変調素子上の像を固定して前記ミラーを揺動させたと仮定した場合における前記対物光学系の瞳位置にリレーされる像の移動方向とは逆方向に、前記ミラーを停止させた状態を仮定した場合における前記対物光学系の瞳位置の像が移動するように前記変調領域を移動させる顕微鏡装置。前記変調領域調節部が、前記空間光変調素子内において前記変調領域を移動させる請求項1に記載の顕微鏡装置。前記変調領域調節部が、前記空間光変調素子を移動させる請求項1に記載の顕微鏡装置。前記スキャナの一方のミラーの揺動軸線に直交する平面内に他方のミラーの揺動軸線が配置され、前記対物光学系の瞳位置と、いずれかの前記ミラーの揺動軸線上の位置とが光学的に共役関係である請求項1に記載の顕微鏡装置。前記対物光学系の瞳位置と、2枚の前記ミラーの内、より高速に揺動させられるミラーの揺動軸線上の位置とが光学的に共役関係である請求項4に記載の顕微鏡装置。前記対物光学系の瞳位置と、2枚の前記ミラーの間の位置とが光学的に共役関係である請求項1に記載の顕微鏡装置。前記リレー光学系が第2のリレー光学系であり、前記空間光変調素子上の像を前記第2のリレー光学系による対物光学系の瞳位置と光学的に共役関係にある位置へリレーする第1のリレー光学系を備える請求項1から請求項6のいずれかに記載の顕微鏡装置。しかしながら、特許文献1に開示されている走査型共焦点顕微鏡装置では、レンズと結像レンズとにより対物レンズの瞳面へリレーされる変調波面が、ガルバノミラーの揺動によって瞳面上において光軸と直交する方向にシフトされてしまう。このようなシフトが発生すると、偏心と同様のコマ収差が増大するという不都合がある。このようなシフトは撮像領域の中央では少ないが周辺になるに従って増大し、光学性能が著しく低下してしまうことになる。本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、光源から導かれてきた照明光の標本への集光性能を変化させることなく、標本上において照明光を2次元的に走査することができる顕微鏡装置を提供することを目的としている。上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。本発明は、光源からの照明光の波面を変調する空間光変調素子と、非平行な2つの軸線回りにそれぞれ揺動する2枚のミラーを有し、前記空間光変調素子により波面が変調された照明光を2次元的に走査するスキャナと、該スキャナにより進行方向を変えられた照明光を対物光学系に導くリレー光学系と、前記ミラーの揺動に応じて、前記空間光変調素子上の像を形成する前記波面の変調領域を移動させる変調領域調節部とを備え、該変調領域調節部が、前記空間光変調素子上の像を固定して前記ミラーを揺動させたと仮定した場合における前記対物光学系の瞳位置にリレーされる像の移動方向とは逆方向に、前記ミラーを停止させた状態を仮定した場合における前記対物光学系の瞳位置の像が移動するように前記変調領域を移動させる顕微鏡装置を提供する。本発明によれば、空間光変調素子によって波面が変調された照明光がスキャナによって進行方向を変更され、リレー光学系を介して対物光学系に導かれ、対物光学系によって標本上に集光される。このとき、空間光変調素子上に形成された波面像は、スキャナにより偏向され、リレー光学系によって対物光学系の瞳位置にリレーされる。スキャナを構成する2枚のミラーは、平行でない2つの軸線回りにそれぞれ揺動させられるので、照明光は標本上において2次元的に走査される。この場合において、空間光変調素子上の像が固定されていると、スキャナを構成する2枚のミラーの内、対物光学系の瞳位置と光学的に共役な位置に配置されていないミラーが揺動させられることにより、対物光学系の瞳位置にリレーされる像が光軸に交差する方向に移動させられる。本発明によれば、変調領域調節部が、ミラーの揺動に応じて空間光変調素子上の像を形成する波面の変調領域を移動させることにより、対物光学系の瞳位置にリレーされる像の移動を打ち消して、停止させることができる。この場合に、撮像領域の中心だけではなく、撮像領域の周辺においても偏心と同様のコマ収差の影響が発生せず、光学性能を維持することができる。上記発明においては、前記変調領域調節部が、前記空間光変調素子内において前記変調領域を移動させてもよい。このようにすることで、空間光変調素子自体を機械的に移動させないので、変調領域の高速移動が可能となり、その際に振動を伴わずに済む。また、上記発明においては、前記変調領域調節部が、前記空間光変調素子を移動させてもよい。このようにすることで、変調領域を空間光変調素子のほぼ全体にわたって設けることができ、空間光変調素子の空間分解能を最大限に利用して、よりきめ細かい波面の変調を行うことができる。また、上記発明においては、前記スキャナの一方のミラーの揺動軸線に直交する平面内に他方のミラーの揺動軸線が配置され、前記対物光学系の瞳位置といずれかの前記ミラーの揺動軸線上の位置とが光学的に共役関係であってもよい。このようにすることで、空間光変調素子上の像を形成する波面の変調領域を一方向に直線状に移動させるだけで、対物光学系の瞳位置に形成される像を静止させることができる。また、上記発明においては、前記対物光学系の瞳位置と、2枚の前記ミラーの内、より高速に揺動させられるミラーの揺動軸線上の位置とが光学的に共役であってもよい。このようにすることで、空間光変調素子における変調領域の移動を低速側のミラーの揺動速度に合わせて行うことができ、より容易に、対物光学系の瞳位置に形成される像を静止させることができる。また、上記発明においては、前記対物光学系の瞳位置と、2枚の前記ミラーの間の位置とが光学的に共役関係であってもよい。このようにすることで、2枚のミラーのそれぞれの揺動による対物光学系の入射瞳位置にリレーされる像の一方向の移動量は小さくなる。したがって、そのリレーされる像の移動量に応じて空間光変調素子において設定される照射領域の面積を小さくすることができ、空間光変調素子の各部における光量密度を高めて、照明効率を向上することができる。また、上記発明においては、前記リレー光学系が第2のリレー光学系であり、前記空間光変調素子上の波面像を、前記第2のリレー光学系による前記対物光学系の瞳位置と共役関係にある位置へリレーする第1のリレー光学系を備えていてもよい。このようにすることで、第2のリレー光学系による対物光学系の瞳位置と光学的に共役関係にある位置と、空間光変調素子上の位置との間で発生する波面の変形を、第1のリレー光学系によってリレーすることにより防止でき、より正確に対物光学系の瞳位置での波面補正を行うことができる。本発明によれば、光源から導かれてきた照明光の標本への集光性能を変化させることなく、標本上において照明光を2次元的に走査することができるという効果を奏する。本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置1について、図面を参照して以下に説明する。本実施形態に係る顕微鏡装置1は、図1に示されるように、レーザ光照明光を発生する光源2と、光源2から発せられたレーザ光の波面を略平面波に変換するコリメータレンズ3と、略平面波に変換されたレーザ光の波面を変調する波面変調部4と、該波面変調部4によって波面が変調されたレーザ光をリレーする第1のリレー光学系5と、該第1のリレー光学系5によってリレーされたレーザ光を2次元的に走査するスキャナ6と、該スキャナ6により走査されたレーザ光をリレーする第2のリレー光学系リレー光学系7と、該第2のリレー光学系7によってリレーされたレーザ光を集光する対物光学系8と、スキャナ6および波面変調部4を制御する制御部9と、対物光学系8により集光された標本Aからの蛍光を検出する光検出器10とを備えている。図中、符号11は、スライドガラス上に載置された標本Aを搭載するステージである。波面変調部4は、コリメータレンズ3によって略平面波に変換されたレーザ光を反射するプリズム12と、該プリズム12により反射されたレーザ光を反射し、その際に、その表面形状に従う形態にレーザ光の波面を変調してプリズム12に戻す反射型の空間光変調素子13とを備えている。プリズム12により反射されたレーザ光は空間光変調素子13によって同じプリズム12に戻るように光路が折り返され、プリズム12によって光源2からのレーザ光と同軸の光路に戻されるようになっている。空間光変調素子13は、制御部9からの形状指令信号によって、その表面形状を任意に変化させることができるセグメントタイプのMEMSによって構成されている。空間光変調素子13と対物光学系8の入射瞳位置とは光学的に共役な位置関係に配置されている。コリメータレンズ3によって空間光変調素子13に入射されるレーザ光は、図3に鎖線で示されるように、実際に波面の変調を付与する領域以下、変調領域という。Bを含み、それよりも大きな領域以下、照射領域という。Cに照射されるようになっている。スキャナ6は、図2に示されるように、捻れの位置に配置される2つの揺動軸線S1,S2回りにそれぞれ揺動可能に設けられた2つのミラー6a,6bを備えている。一方の揺動軸線S1は、他方の揺動軸線S2に直交する平面内に配置されている。これにより、上記平面に沿う一方向から見ると、図1に示されるように、2つの揺動軸線S1,S2は相互に直交して配置されている。一方のミラー6aの揺動速度は、他方のミラー6bの揺動速度に対して十分に速く設定されている。高速側のミラー6aはレーザ光の標本A上における走査のために使用され、低速側のミラー6bはレーザ光の標本A上における走査位置を送るために使用される。図中、符号6c,6dは各ミラー6a,6bを揺動動作させるためのモータ、符号14はミラーである。高速側のミラー6aは、図2に示されるように、対物光学系8の入射瞳位置と光学的に共役な位置に配置されている。図2におけるハッチングは、高速側のミラー6aが対物光学系8の入射瞳位置と光学的に共役な位置に配置されていることを示している。第1のリレー光学系5および第2のリレー光学系7は、複数のレンズにより構成されている。第1のリレー光学系5は、空間光変調素子13の表面に形成された像を高速側のミラー6aの表面にリレーするように構成されている。第2のリレー光学系7は、高速側のミラー6aの表面に形成された像を対物光学系8の入射瞳位置にリレーするように構成されている。図1において、符号15はレーザ光を反射し蛍光を透過するダイクロイックミラー、符号16は集光レンズである。ダイクロイックミラー15を透過した蛍光は集光レンズ16によって集光され、光検出器10によって検出されるようになっている。光検出器10によって検出された蛍光の強度と、その検出時のスキャナ6によるレーザ光の走査位置情報とを対応づけて記憶しておくことにより、2次元的な蛍光画像を取得することができるようになっている。制御部9は、空間光変調素子13の変調領域Bにおける表面形状が予め設定された形状となるように、空間光変調素子13に対して形状指令信号を出力するようになっている。空間光変調素子13の変調領域Bの表面形状は、該変調領域Bに入射された平面波の波面を変調して、対物光学系8の焦点位置において1点に集光させることができるような表面形状であり、各種光学系の収差や標本Aにおける屈折率分布等を考慮して、予め算出あるいは測定しておくことができる。また、制御部9は、スキャナ6の各ミラー6a,6bを揺動させるモータ6c,6dに対して、揺動角度を指令する角度指令信号を出力する。そして、制御部9は、この角度指令信号に同期して、空間光変調素子13へのレーザ光の照射範囲C内において、上記のような表面形状を実現する変調領域Bを、図3に矢印Dに示されるように移動させる移動指令信号を出力するようになっている。具体的には、空間光変調素子13の変調領域Bを固定して低速側のミラー6bを揺動させたと仮定したときに対物光学系8の入射瞳位置におけるレーザ光の像の移動方向とは逆方向に、低速側のミラー6bを固定したと仮定した状態でレーザ光の像を移動させるように、ミラー6bの揺動に応じて空間光変調素子13における波面の変調領域Bを移動させるようになっている。このように構成された本実施形態に係る顕微鏡装置1の作用について、以下に説明する。本実施形態に係る顕微鏡装置1を用いて標本Aの蛍光観察を行うには、制御部9から空間光変調素子13に対して変調領域Bにおける表面形状を指令する形状指令信号を出力した状態で、光源2において発生させたレーザ光をコリメータレンズ3を介して略平面波として、波面変調部4に入射させる。波面変調部4に入射されたレーザ光は、プリズム12によって反射されて空間光変調素子13に入射される。空間光変調素子13には、変調領域Bを含みそれより大きな照射領域Cにレーザ光が照射され、変調領域Bに入射された部分のレーザ光のみが波面を変調されて反射され、プリズム12によって反射されて第1のリレー光学系5に入射される。第1のリレー光学系5は、空間光変調素子13の変調領域Bの像を、これと光学的に共役な位置に配置されたスキャナ6の高速側のミラー6a面上にリレーする。スキャナ6においては、高速側のミラー6aが揺動させられることにより、反射されたレーザ光が走査方向に揺動させられ、低速側のミラー6bが揺動させられることにより、反射されたレーザ光が送り方向に揺動させられる。これにより、レーザ光が2次元的に走査される。スキャナ6により走査されたレーザ光は、第2のリレー光学系7に入射される。第2のリレー光学系7は、高速側のミラー6a面上に形成されたレーザ光の像を、これと光学的に共役な位置に配置されている対物光学系8の入射瞳位置にリレーする。このようにすることで、空間光変調素子13の変調領域Bの像が、対物光学系8の入射瞳位置にリレーされる。この場合において、仮に、空間光変調素子13における変調領域Bを固定したままの状態で、スキャナ6を作動させると、低速側のミラー6bの揺動に従って、対物光学系8の入射瞳位置にリレーされたレーザ光の像が光軸に交差する方向に直線的に移動する。この移動方向をP方向、移動量をΔPとする。逆に、スキャナ6の低速側のミラー6bを停止させた状態で空間光変調素子13における変調領域Bを照射領域Cの範囲内において矢印Dのように移動させることとしても、対物光学系8の入射瞳位置にリレーされるレーザ光の像が光軸に交差する方向に直線的に移動する。この移動方向をQ方向、移動量をΔQとする。本実施形態においては、制御部9が、P方向とQ方向とが逆方向となり、かつ、ΔP=ΔQとなるように、空間光変調素子13の変調領域Bを移動させるので、低速側のミラー6bの揺動に拘わらず、対物光学系8の入射瞳位置にリレーされるレーザ光の像を静止させた状態に維持することができる。入射瞳位置に入射するレーザ光が光軸に交差する方向に変動しないので、入射瞳全体にわたるようにレーザ光を入射させることができ、最大限に明るい照明を行うことができる。また、この場合において、スキャナ6のミラー6a,6bの揺動によっても、対物光学系8の入射瞳位置における像が移動しないようにするために、空間光変調素子13における変調領域Bをレーザ光の光軸に交差する方向に移動させるので、空間光変調素子13で変調した波面を対物光学系8の入射瞳位置に正確にリレーし、集光性能の低下を防止することができる。これにより、各種光学系の収差や、標本A内の屈折率分布等によって発生する収差が補償され、対物光学系8によって標本A内の所望の1点にレーザ光を精度良く集光させることができるという利点がある。光源2から発生されるレーザ光を極短パルスレーザ光とすれば、対物光学系8の焦点位置のみにおいて多光子励起効果によって蛍光を発生させ、鮮明な蛍光画像を取得することが可能となる。また、本実施形態においては、スキャナ6を構成する高速側のミラー6aの揺動軸線上を、空間光変調素子13の表面および対物光学系8の入射瞳位置と光学的に共役な位置に設定したので、高速側のミラー6aの揺動に応じた変調領域Bの移動を行わずに済む。したがって、空間光変調素子13は、高速側のミラー6aと比較して十分に速度の遅い低速側のミラー6bの揺動に応じて変調領域Bを移動させれば足り、応答性は低くてよい。すなわち、ミラー6a,6bの揺動による対物光学系8の入射瞳位置に入射されるレーザ光の像の変位をより確実に防止することができる。また、空間光変調素子13を移動させるのではなく、空間光変調素子13上の変調領域を移動させるので、振動を伴わずに高速に移動させることができる。なお、本実施形態においては、スキャナ6の高速側のミラー6aの揺動軸線S1上に対物光学系8の入射瞳位置と光学的に共役な位置を配置したが、これに限定されるものではない。例えば、図4に示されるように、対物光学系8の入射瞳位置と光学的に共役な位置を、2つのミラー6a,6bの中間位置に配置してもよい。図中、ハッチングは、共役な位置を示している。このようにすることで、対物光学系8の入射瞳位置にリレーされるレーザ光の像は、2つのミラー6a,6bのいずれの揺動によっても影響を受けるので、これを静止させておくためには、図5に示されるように、矢印D方向のみならず、これに直交する矢印E方向にも変調領域Bを移動させる必要がある。その一方で、対物光学系8の入射瞳位置と光学的に共役な位置を2つのミラー6a,6bの間に配置することで、ミラー6a,6bのそれぞれの揺動による対物光学系8の入射瞳位置にリレーされる像の一方向の移動量は小さくなる。したがって、上記実施形態と比較して、照射領域Cの面積を小さく設定することができ、空間光変調素子13の各部における光量密度を高めて、照明効率を向上することができるという利点がある。例えば、対物光学系8の入射瞳位置と光学的に共役な位置が、2つのミラー6a,6bのちょうど中間に配置された場合には、2つのミラー6a,6bの一方に配置された場合に比べて、対物光学系8の入射瞳位置にリレーされる像の一方向の移動量は半分となる。また、本実施形態においては、空間光変調素子13上において変調領域Bを移動させることとしたが、これに代えて、図6に示されるように、照明領域Cに対して空間光変調素子13自体を光軸に交差する方向に移動させることにしてもよい。このようにすることで、変調領域Bを空間光変調素子13のほぼ全体にわたって設けることができ、空間光変調素子13の空間分解能を最大限に利用して、よりきめ細かい波面の変調を行うことができる。また、本実施形態においては、空間光変調素子13として、その表面形状を変化させるセグメントタイプのMEMSミラーを例示したが、これに代えて、他の任意の空間光変調素子13、例えば、液晶素子、デフォーマブルミラー等でもよい。"