"一般式ABZrO3で表され、ペロブスカイト型結晶構造を有する複合酸化物粒子の集合である複合酸化物粉末を製造する方法であって、前記Zrの原料粉末を準備する工程と、前記Aを構成する元素の原料粉末と、前記Bを構成する元素の原料粉末と、を準備する工程と、前記Zrの原料粉末と、前記Aを構成する元素の原料粉末と、前記Bを構成する元素の原料粉末と、を800~1000°Cで熱処理する工程と、を有し、前記Zrの原料粉末が、単斜晶構造を有するZrの酸化物を含み、X線回折により観測される単斜晶の111ピークの半値幅が0.40°以上であることを特徴とする複合酸化物粉末の製造方法。前記Zrの原料粉末が、正方晶構造を有するZrの酸化物をさらに含み、前記Zrの原料粉末全体に対し、正方晶構造を有するZrの酸化物の割合が10~60である請求項1に記載の複合酸化物粉末の製造方法。前記Zrの原料粉末のBET法による比表面積が30m2/g以上である請求項1または2に記載の複合酸化物粉末の製造方法。前記Aを構成する元素の原料粉末のBET法による比表面積が20m2/g以上である請求項1~3のいずれかに記載の複合酸化物粉末の製造方法。前記Bを構成する元素の原料粉末のBET法による比表面積が30m2/g以上である請求項1~4のいずれかに記載の複合酸化物粉末の製造方法。前記Aが、Ba単独、または、BaとCa、SrおよびMgから選ばれる少なくとも1つとである請求項1~5のいずれかに記載の複合酸化物粉末の製造方法。前記Bが、Ti単独、または、TiとHfおよびSnから選ばれる少なくとも1つとである請求項1~6のいずれかに記載の複合酸化物粉末の製造方法。一般式ABZrO3で表され、ペロブスカイト型結晶構造を有する複合酸化物粒子の集合である複合酸化物粉末であって、前記複合酸化物粒子内には空孔が存在しておらず、前記複合酸化物粉末の平均粒子径が0.30μm以下であり、前記複合酸化物粉末中に含まれる異相量が1.0以下である複合酸化物粉末。本発明は、このような実状に鑑みてなされ、微細で不純物の少ない複合酸化物粉末およびその製造方法を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明に係る複合酸化物粉末の製造方法は、一般式ABZrO3で表され、ペロブスカイト型結晶構造を有する複合酸化物粉末を製造する方法であって、前記Zrの原料粉末を準備する工程と、前記Aを構成する元素の原料粉末と、前記Bを構成する元素の原料粉末と、を準備する工程と、前記Zrの原料粉末と、前記Aを構成する元素の原料粉末と、前記Bを構成する元素の原料粉末と、を800~1000°Cで熱処理する工程と、を有し、前記Zrの原料粉末が、単斜晶構造を有するZrの酸化物を含み、X線回折により観測される単斜晶の111ピークの半値幅が0.40°以上である。本発明では、Zrの原料粉末として、単斜晶構造を有するZrの酸化物を含み、その半値幅が上記の範囲にある原料を用いている。このような原料を用いることで、熱処理温度を低くしても、ABZrO3を合成する固相反応を十分に進行させることができる。その結果、反応後の粉末において、異相たとえば、未反応のZr原料がほとんど含まれず、かつ結晶性の高いABZrO3粉末が得られる。しかも、熱処理温度が低いため、ABZrO3粒子の粒成長が抑制され、平均粒子径の小さい粉末が得られる。好ましくは、前記Zrの原料粉末が、正方晶構造を有するZrの酸化物をさらに含み、前記Zrの原料粉末全体に対し、正方晶構造を有するZrの酸化物の割合が10~60である。このようにすることで、本発明の効果を高めることができる。好ましくは、前記Zrの原料粉末のBET法による比表面積が30m2/g以上である。好ましくは、前記Aを構成する元素の原料粉末のBET法による比表面積が20m2/g以上である。好ましくは、前記Bを構成する元素の原料粉末のBET法による比表面積が30m2/g以上である。原料粉末の比表面積を上記の範囲とすることで、本発明の効果を高めることができる。好ましくは、前記Aが、Ba単独、または、BaとCa、SrおよびMgから選ばれる少なくとも1つとである。好ましくは、前記Bが、Ti単独、または、TiとHfおよびSnから選ばれる少なくとも1つとである。AおよびBを構成する元素を上記の元素とすることで、電気特性に優れた複合酸化物粉末を得ることができる。本発明に係る複合酸化物粉末は、一般式ABZrO3で表され、ペロブスカイト型結晶構造を有する複合酸化物粒子の集合である複合酸化物粉末であって、前記複合酸化物粒子内には空孔が存在しておらず、前記複合酸化物粉末の平均粒子径が0.30μm以下であり、前記複合酸化物粉末中に含まれる異相量が1.0以下である。本発明に係る複合酸化物粉末の用途としては、特に限定されないが、電子部品を構成する材料として好適である。以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。<複合酸化物粉末>本実施形態に係る複合酸化物粉末は、一般式ABZrO3で表され、ペロブスカイト型結晶構造を有する粒子の集合である。上記式中のAを構成する元素は、ペロブスカイト型結晶構造において、Aサイトと呼ばれる特定の位置を占有しており、Bを構成する元素は、Bサイトと呼ばれる特定の位置を占有している。また、Zrは、Bを構成する元素を置換しBサイトに存在している。すなわち、Zrは、ABO3で表される複合酸化物のBサイトに固溶している。BサイトにおけるZrの置換割合固溶割合は、Bサイトを占有する原子の総数を100とすると、0より多く、20以下であることが好ましい。本実施形態では、Aを構成する元素としては、Ba単独、または、BaとCa、SrおよびMgから選ばれる少なくとも1つとであることが好ましい。また、Bを構成する元素としては、Ti単独、または、TiとHfおよびSnから選ばれる少なくとも1つとであることが好ましい。Aを構成する元素およびBを構成する元素として、上記の元素を選択することで、特に電子部品の誘電体層を製造するのに好適な複合酸化物粉末が得られる。本実施形態に係る複合酸化物粉末は、その平均粒子径が0.30μm以下、好ましくは0.20μm以下であり、複合酸化物粉末中に含まれる異相量が好ましくは1.0以下、より好ましくは0.5以下である。本実施形態において、異相量とは、一般式ABZrO3で表される化合物以外の相が含まれている割合を示す。異相量を測定する方法としては、本実施形態では、リートベルト解析により測定する。具体的には、製造された複合酸化物粉末に対し、X線回折を行い、得られた回折強度をリートベルト解析することにより、主成分ABZrO3および異相成分のピーク強度を精密化し、そのピーク強度比を求め異相量を算出する。なお、粒子径を測定する方法としては特に制限されないが、本実施形態では、SEMやTEMなどの電子顕微鏡を用いて粉末を観察し、粒子の輪郭から該粒子の面積を算出し、円相当径として直径を算出した値を該粒子の粒子径とする。そして、500個以上の原料粉末粒子についてその粒子径を測定し、累積個数が50となる粒子径を平均粒子径とすればよい。以上より、本実施形態に係る複合酸化物粉末は、微細かつ不純物が少ない粉末である。しかも、該複合酸化物粉末は後述する方法により製造されるため、粒子内に、製造方法に起因するナノメーターサイズ数ナノメートル~数10ナノメートルの欠陥空孔が生じない。そのため、該複合酸化物粉末を用いて製造される電子部品は高温負荷寿命等が良好である。なお、たとえば、水熱合成法を用いて複合酸化物粉末を製造した場合、原料種結晶中に含まれるOH基に由来するナノメータサイズ数10ナノメートル程度の欠陥が生じやすい。したがって、このような複合酸化物粉末は、電子部品を構成する材料の原料として好適に用いることができる。<複合酸化物粉末の製造方法>次に、本実施形態に係る複合酸化物粉末の製造方法を、以下に具体的に説明する。まず、Zrの原料粉末と、Aを構成する元素の原料粉末と、Bを構成する元素の原料粉末と、を準備する。Zrの原料粉末には、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等が含まれていてもよいが、本実施形態では、単斜晶構造を有するZrの酸化物m-ZrO2の粉末が少なくとも含まれている。本実施形態では、Zrの原料粉末において、単斜晶の111面のピークの半値幅が0.40°以上、好ましくは0.50°以上である。半値幅を上記の範囲とすることで、後述する熱処理工程において熱処理温度を1000°C以下にした場合であっても、十分に固相反応を進行させることが可能となる。その結果、未反応のZrO2が残留しにくくなるという利点を有する。半値幅は、一般的に結晶性の目安となり、半値幅が大きいほど、結晶性の悪い粉末であるが、本実施形態では、半値幅は上記の範囲が好ましい。なお、半値幅の上限は特に制限されない。また、本実施形態では、Zrの原料粉末が、さらに正方晶構造を有するZrの酸化物t-ZrO2の粉末を含むことが好ましい。Zrの原料粉末にm-ZrO2とt-ZrO2粉末とが含まれることで、上記の利点をさらに高めることができる。より好ましくは、Zrの原料粉末は、m-ZrO2粉末と、t-ZrO2粉末と、の混合粉末である。Zrの原料粉末におけるt-ZrO2の含有割合ZrO2の正方晶化率は、好ましくは10~60、より好ましくは30~60である。Zrの原料粉末にm-ZrO2の粉末のみが含まれている場合、熱処理温度を低くでき、固相反応が十分進むものの、BaZrO3などの異相を生じるなどの不具合が生じることがある。そこで、本実施形態では、Zrの原料粉末に、t-ZrO2粉末を含ませ、ZrO2の正方晶化率を上記の範囲としている。このようにすることで、上記の利点をさらに高めることができる。なお、ZrO2の正方晶化率が60を超えても、Bを構成する元素の原料粉末との反応性は高く、良好な特性が得られると考えられるが、本実施形態では、ZrO2の正方晶化率の上限は60とする。なお、ZrO2の正方晶化率は、X線回折により得られる、正方晶の101面のピーク強度It101と、単斜晶の111面のピーク強度Im111と、から、正方晶化率=100×It101/It101Im111の計算式を用いて算出することができる。Zrの原料粉末のBET法による比表面積は、好ましくは30m2/g以上、より好ましくは50m2/g以上である。比表面積を上記の範囲とすることで、原料粉末同士の反応性をより高めることができる。Aを構成する元素の原料粉末としては、酸化物であってもよいし、熱処理により酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。具体的には、AがBa、Ca、Sr等のアルカリ土類元素である場合には、酸化物BaOなどであってもよいし、炭酸塩BaCO3などであってもよい。Aを構成する元素の原料粉末のBET法による比表面積は、好ましくは20m2/g以上、より好ましくは30m2/g以上である。比表面積を上記の範囲とすることで、原料粉末同士の反応性をより高めることができる。Bを構成する元素の原料粉末としては、酸化物であってもよいし、熱処理により酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。具体的には、BがTiである場合には、酸化物TiO2などであってもよいし、塩化物TiCl4など、水酸化物TiOH4などであってもよい。Bを構成する元素の原料粉末のBET法による比表面積は、好ましくは30m2/g以上、より好ましくは50m2/g以上である。比表面積を上記の範囲とすることで、原料粉末同士の反応性をより高めることができる。次に、上記で準備した原料を、所定の組成比となるように秤量して混合、必要に応じて粉砕し、原料混合物を得る。混合粉砕する方法としては、たとえば、水等の溶媒とともに原料をボールミル等の公知の粉砕容器に投入し、混合粉砕する湿式法が挙げられる。また、乾式ミキサーなどを用いて行う乾式法により、混合粉砕してもよい。このとき、投入した原料の分散性を向上させるために、分散剤を添加するのが好ましい。分散剤としては公知のものを用いればよい。続いて、得られた原料混合物を、必要に応じて乾燥した後、熱処理を行う。熱処理における昇温速度は、好ましくは200~400°C/時間である。また、熱処理における保持温度は、800~1000°C、好ましくは900~1000°Cである。また、保持時間は、反応状態に応じて適宜決定すればよいが、好ましくは2~8時間である。熱処理における雰囲気は空気中または減圧雰囲気中が好ましい。なお、上記の保持温度および保持時間の範囲内であれば、一定温度である必要はなく、段階的に温度が変化してもよいし、温度が漸次高くなるあるいは低くなるように変化してもよい。本実施形態では、Zrの原料粉末として上述した粉末を用いるため、熱処理温度を上記の範囲とした場合であっても、ペロブスカイト型結晶構造のBサイトにZrが固溶する反応が十分に進行する。その結果、ABZrO3以外の相不純物、たとえば未反応のZrO2などがほとんど含まれない複合酸化物粉末を得ることができる。しかも、熱処理温度が低いため、生成するABZrO3粒子の粒成長が抑制され、粒子径の小さい微細な粉末が得られる。このようにして得られた複合酸化物粉末を用いて、たとえば、誘電体層および電極層を有する電子部品を製造することができる。電子部品の製造には、公知の方法を適用することができ、たとえば、該複合酸化物粉末を含む誘電体層用ペースト等を調製し、これを用いてグリーン積層体を作製することができる。そして、グリーン積層体を焼成し、電子部品を得ることができる。以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。<実験例1>まず、Zrの原料粉末として、単斜晶構造を有するZrO2m-ZrO2と正方晶構造を有するZrO2t-ZrO2とを含むZrO2粉末を準備した。このZrO2粉末の比表面積は表1に示す値とし、正方晶化率および単斜晶の111面におけるピークの半値幅ΔH111は表1に示す値であった。なお、正方晶化率は、正方晶の101のピーク強度It101と、単斜晶の111のピーク強度Im111と、を用いて、算出した。また、正方晶化率および半値幅ΔH111におけるX線回折の測定条件は、後述する異相量の測定において行うX線回折と同じ測定条件とした。次に、Aを構成する元素の原料粉末として、BaCO3比表面積:20m2/gを準備し、Bを構成する元素の原料粉末として、TiO2比表面積:48.5m2/gを準備した。これらの原料を、一般式BaTi0.90Zr0.10O3を満足するように秤量して、水および分散剤とともにボールミルにて混合した。得られた混合粉を、以下の熱処理条件で処理し、複合酸化物粉末を作製した。熱処理条件は、昇温速度:400°C/時間、保持温度:表1に示す温度、温度保持時間:4時間、冷却速度:400°C/時間、雰囲気:空気中とした。得られた複合酸化物粉末BaTi0.90Zr0.10O3に対して、下記に示す方法により異相量および平均粒子径を測定した。<異相量>異相量を求めるため、まずX線回折を行った。X線源としてCu-Kα線を用い、その測定条件は、電圧45kV、電流40mAで、2θ=20°~120°の範囲を、走査速度2deg/minであった。測定により得られたX線回折強度よりリートベルト解析を行い、各ピーク強度を精密化して異相量を評価した。結果を表1に示す。<平均粒子径>得られた粉末を構成する一次粒子についてSEM観察を行い、500個の粒子について観察し、粒子の輪郭を判別して、粒子の面積を求め、その面積の円相当径を粒子径とした。そして、累積個数が50となる粒子径を平均粒子径とした。結果を表1に示す。表1より、Zrの原料粉末として、m-ZrO2が含まれ、かつその半値幅が0.40°以上である粉末を用いることで、熱処理温度を低くした場合であっても、平均粒子径が0.30μm以下で、不純物の少ない複合酸化物粉末が得られることが確認できた。また、実施例2および9、比較例11および16について、走査透過型電子顕微鏡STEMにより観察を行い、付属のエネルギー分散型X線分光装置EDSを用いて、測定を行い、得られたZrの特性X線を定量分析して、Zrについてのマッピング画像を得た。結果を図1A~Dに示す。図1Aは実施例2、図1Bは実施例9のマッピング画像である。また、図1Cは比較例11、図1Dは比較例16のマッピング画像である。図1A~Dより、明らかに図1AおよびBの方が、図1CおよびDよりも、Zrの分布が均一であることが確認できた。すなわち、図1CおよびDでは、Zrが少ない領域とZrが多い領域とが存在している。Zrが少ない領域は、ZrがBaTiO3粒子に固溶した状態となっており、Zrが多い領域は、未反応のZr原料に起因していると考えられる。これに対し、図1AおよびBでは、固相反応が十分に進行しているため、ZrがBaTiO3粒子に固溶し、BaTi0.90Zr0.10O3以外の不純物未反応のZr原料などがほとんど存在しないことが確認できた。また、粒子内には製造方法に起因するナノメーターサイズの欠陥空孔は観察されなかった。<実験例2>Zrの原料粉末として、m-ZrO2が含まれ、かつその半値幅が表2に示す値であるZrO2粉末を用い、Aを構成する元素の原料粉末として、BaCO3比表面積:20m2/gおよびCaCO3比表面積:30m2/gを用いた以外は、実験例1と同様にして、一般式Ba0.99Ca0.01Ti0.90Zr0.10O3を満足する複合酸化物粉末を作製し、実験例1と同様にして特性を評価した。結果を表2に示す。表2より、ABZrO3として、Ba,CaTi,ZrO3で表される複合酸化物粉末を作製した場合であっても、実験例1と同様の結果が得られた。以上より、本発明によれば、微細で不純物の少ない粉末が得られることが確認できた。"