"記録媒体上のトナー像を加熱して当該記録媒体に定着させるプロセスに用いられる定着部材であって、3ないし4つの酸素原子と結合した珪素原子を有するポリオルガノシロキサンを含有する表層を設けたことを特徴とする定着部材。前記ポリオルガノシロキサン層が、深さ方向に酸素濃度の極大値を持つことを特徴とする請求項1に記載の定着部材。前記ポリオルガノシロキサン層が、深さ方向に炭素濃度の極小値を持つことを特徴とする請求項1又は2に記載の定着部材。前記ポリオルガノシロキサン層において、酸素濃度極大値を示す深さ位置と炭素濃度極小値を示す深さ位置とが一致することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の定着部材。前記ポリオルガノシロキサン層の表面に、酸素を介した結合によりパーフルオロアルキルエーテル基が形成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の定着部材。前記基材と前記ポリオルガノシロキサン層との間に弾性層が設けられていることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の定着部材。前記弾性層がシロキサン結合を主鎖とする弾性ゴムであることを特徴とする請求項6に記載の定着部材。前記弾性ゴムがフロオロシリコーンゴムであることを特徴とする請求項7に記載の定着部材。ユニバーサル硬度5μm押込み時が0.5N/mm2以下であることを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の定着部材。請求項1~9のいずれかに記載の定着部材を有する定着装置。定着部材が定着ローラ及び、概定着ローラに対抗配置されている加圧ローラの少なくとも一方として用いられていることを特徴とする請求項10に記載の定着装置。定着部材が、定着ベルト及び該定着ベルトに対向配置されている加圧ベルトの少なくとも一方として用いられていることを特徴とする請求項10に記載の定着装置。請求項10~12のいずれかに記載の定着装置を用いたことを特徴とする電子写真式の画像形成装置。本発明は上記課題を解決するためのものであり、カラー化に対応した高画像を得るのに十分な弾性を維持したまま、最表面の耐久性と離型性を大幅に向上させた定着部材を実現する。結果として高画質化と高信頼を両立し、長時間安定した定着を実現できる定着装置、および電子写真式の画像形成装置を提供する。本発明は以下に記載する通りの定着部材、定着装置及び画像形成装置である。1記録媒体上のトナー像を加熱して当該記録媒体に定着させるプロセスに用いられる定着部材であって、3ないし4つの酸素原子と結合した珪素原子を有するポリオルガノシロキサンを含有する表層を設けたことを特徴とする定着部材。2前記ポリオルガノシロキサン層が、深さ方向に酸素濃度の極大値を持つことを特徴とする1に記載の定着部材。3前記ポリオルガノシロキサン層が、深さ方向に炭素濃度の極小値を持つことを特徴とする1又は2に記載の定着部材。4前記ポリオルガノシロキサン層において、酸素濃度極大値を示す深さ位置と炭素濃度極小値を示す深さ位置とが一致することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の定着部材。ことを特徴とする1~3のいずれかに記載の定着部材。5前記ポリオルガノシロキサン層の表面に、酸素を介した結合によりパーフルオロアルキルエーテル基が形成されていることを特徴とする1~4のいずれかに記載の定着部材。6前記基材と前記ポリオルガノシロキサン層との間に弾性層が設けられていることを特徴とする1~5のいずれかに記載の定着部材。7前記弾性層がシロキサン結合を主鎖とする弾性ゴムであることを特徴とする6に記載の定着部材。8前記弾性ゴムがフロオロシリコーンゴムであることを特徴とする7に記載の定着部材。9ユニバーサル硬度5μm押込み時が0.5N/mm2以下であることを特徴とする1~8のいずれかに記載の定着部材。101~9のいずれかに記載の定着部材を有する定着装置。11定着部材が定着ローラ及び、概定着ローラに対抗配置されている加圧ローラの少なくとも一方として用いられていることを特徴とする10に記載の定着装置。12定着部材が、定着ベルト及び概定着ベルトに対向配置されている加圧ベルトの少なくとも一方として用いられていることを特徴とする10に定着装置。1310~12のいずれかに記載の定着装置を用いたことを特徴とする電子写真式の画像形成装置。上記1~4の発明に対応する作用効果耐摩耗性を向上させることによる高耐久性を実現する定着部材を提供できる。上記5~9の発明に対応する作用効果上記1~4の発明の効果に加えて、最表面の離型性を向上させ、溶融トナーの付着力低減や転写紙の巻きつきに起因するジャムを低減し、長期にわたり安定した定着を実現できる。上記10~12の発明に対応する作用効果上記1~9の発明の効果に加えて、この定着部材を用いることで、耐久性信頼性を向上させた定着装置を提供できる上記13の発明に対応する作用効果この定着装置を有することで、高耐久、高信頼を有する電子写真方式の複写機、ファクシミリ、レーザービームプリンターが利用可能であり、環境負荷低減や顧客満足の向上に寄与できる。以下本発明についてその詳細を説明する。まず、本発明の定着部材が使用される画像形成装置の概要について説明する。図1は複写装置の感光体とその作像系及び定着装置の構成を概念的に示したものである。この電子写真方式の画像形成装置における画像作成プロセスは、回転する感光体ドラム101の感光層を帯電ローラ102を用いて一様に帯電させた後、図示しないレーザ走査ユニットからのレーザービーム103によって露光し、それによって感光体ドラム101上の静電潜像をトナーによって現像してトナー像とし、そのトナー像を記録シート107上に転写し、さらにその記録シート107を定着装置に通してトナー像を加熱、加圧して記録シートに定着させるように構成する。なお図中104は現像ローラ、105はパワーパック電源、106は転写ローラ、108はクリーニング装置、109は表面電位計である。定着装置は、基材とこの基材上に設けた弾性層とからなる加熱定着ローラ110を使用する。このような加熱定着ローラ110は、芯金の中空部に回転中心線に沿ってハロゲンランプ等のヒータを配置し、その輻射熱によって加熱定着ローラ110を内側から加熱するようにする。また加熱定着ローラ110と平行に、これに圧接する加圧ローラ111を設け、加圧ローラ111と加熱定着ローラ110との間に記録シートを通過させることにより、記録シート上に付着しているトナーを加熱定着ローラ110の熱により軟化させつつ、加圧ローラ111と加熱定着ローラ110との間に挟むことによって加圧することにより、記録シート上にトナー像を定着させる。本発明においては定着装置をベルト方式の定着装置としても良い。図2にベルト方式の定着装置を示す。図中113は定着ベルト、114は定着ローラ、115は加圧ローラ、116は加熱ローラである。ここで、フルカラーの複写機やレーザプリンタでは、マゼンタ、シアン、イエロー、ブラックの4色のカラートナーが用いられるが、カラー画像の定着時には、これらのカラートナーを溶融状態で混合する必要があり、トナーを低融点化して溶融しやすくするとともに、定着ベルト113の表面で、複数種のカラートナーを包み込むようにして溶融状態で、均一に混合させることが必要になる。以降文中では定着ローラ、定着ベルトを総称して定着部材と表記することがある。以下、本発明に用いた定着ベルト部材について詳述する。図2に示すように、発熱部材としての定着ベルトは定着ローラ114と加熱ローラ116とに張架支持されている。また、図3は定着部材の構成を示す概略図であり、定着部材は基材201と弾性層202から構成されている。基材201は、耐熱材料からなり、例えば、ポリイミド、ポリアミドイミド、PEEK、PES、PPS、フッ素樹脂等の樹脂材料を用いることができる。樹脂材料に、磁性導電性粒子を分散したものを用いることもできる。その場合、樹脂材料に対して磁性導電性粒子を20~90重量の範囲内で添加する。具体的には、ワニス状態の樹脂材料中に、ロールミル、サンドミル、遠心脱泡装置等の分散装置を用いて磁性導電性粒子を分散する。これを溶剤により適当な粘度に調整して、金型により所望の層厚に成形する。また、金属でも形成可能であり、具体的には、ニッケル、鉄、クロムの合金であって、それ自体が発熱しても良い。基材の層厚は、熱容量及び強度の点から、30~500μmに形成されている。金属材料の場合はベルトの撓みを考慮して、100μm以下の膜厚であることが望ましい。金属材料の場合は、各材料の添加量と加工条件とを調整することで所望のキューリー点を得ることができ、キューリー点が定着ベルトの定着温度近傍となる磁性導電性材料にて発熱層を形成することで、発熱層は電磁誘導によって過昇温されることなく加熱できる。また、弾性体でも形成でき、例えば、天然ゴム、SBR、ブチルゴム、クロロプレンゴム、二トリルゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フロロシリコーンゴム、ふっ素ゴム、液状フッ素エラストマーなどが上げられるが、特に耐熱性の点からシリコーンゴム、フロロシリコーンゴム、ふっ素ゴム、フルオロカーボンシロキサンゴム、液状フッ素エラストマーなどが好ましい。また、また前記基材上に形成される弾性層202は耐熱性のある弾性体、好ましくは耐熱性ゴムが用いられ、例えば、天然ゴム、SBR、ブチルゴム、クロロプレンゴム、二トリルゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フロロシリコーンゴム、ふっ素ゴム、液状フッ素エラストマーなどが上げられるが、特に耐熱性の点からシリコーンゴム、フロロシリコーンゴム、ふっ素ゴム、フルオロカーボンシロキサンゴム、液状フッ素エラストマーなどが好ましい。特に耐熱性離型剤濡れ性の点から、シリコーンゴム、フロロシリコーンゴムが好ましい。本発明の一つの実施態様としては、これらの弾性体に表面改質処理を行う。表面改質処理としてはプラズマ処理や電子線架橋、UVオゾン処理などが可能である。プラズマ処理の場合、プラズマ発生装置としては平行平板型、容量結合型、誘導結合型のほか、コロナ放電処理や大気圧プラズマ装置でも可能である。耐久性の観点から減圧プラズマ処理が好ましい。反応圧力は0.05~100Paとし、望ましくは1~20Paである。反応ガスとしては不活性ガス、希ガス、酸素などのガスが有効であるが、効果の持続性においてアルゴンが好ましい。照射電力量は出力×照射時間により規定されるが、5~200Whで設定され、10~50Whが好ましい。従来技術として、プラズマやUV処理などにより励起酸化させることで活性基を形成し、層間接着力を高めることが提案されているが、層間への適用に限定され、最表面への適用はむしろ離型性を低下させるため好ましくないことがわかっている。また、反応を酸素存在下で行い、効果的に反応活性基水酸基を導入しており、本発明と本質が異なる。本発明は酸素が少なく減圧された反応環境によるプラズマ処理のため、表面の再架橋結合を促し、結合エネルギーの高いSi-O結合の増加に起因して耐久性が向上し、さらに架橋密度向上による緻密による緻密化に起因して離型性が向上すると思われる。なお、本発明においても一部活性基は形成されてしまうが、後述するカップリング剤にて処理することにより、活性基を失活させ、離型を向上させている。以上の方法で作成した定着部材をXPSにて最表層から内部に向かって深さ分析を実施した。XPSとは、光電子効果により飛び出す電子を捕捉することにより、測定物原子の存在濃度比や結合状態を知ることができる装置である。本発明で弾性層として用いることができるシリコーンゴムはシロキサン結合のため主成分をSi、O、Cとして、ワイドスキャンスペクトルを測定し、各元素の相対ピーク強度比から表層から内部に存在する各原子の深さ方向の存在濃度比atomicを求めた。結果を図4aに示す。横軸は表面から内部方向への分析深さであり、縦軸は存在濃度比である。さらに、シリコーンゴムの場合、Siの2p軌道の電子が飛び出すエネルギーを測定することにより、珪素に結合している元素及び結合状態を知ることができる。図4bにSiの結合状態を示すSi2p軌道におけるナロースキャンスペクトルからピーク分離を行い、化学結合状態を求めた。横軸は結合エネルギーで縦軸は強度比である。また、下から上に向かっては深さ方向での測定スペクトルを示している。測定条件を表1に示す。一般にピークシフトの量は結合状態に依存することが知られており、本件に関するシリコーンゴムの場合、Si2p軌道において高エネルギー側にピークがシフトするということが、Siに結合している酸素の数が増えていることを示す。これによれば、上記表面処理をおこなうと、最表層から内部に向かって酸素が多くなり極大値を持ち、また炭素が減少し極小値をもつ。さらに深さ方向に分析をすすめると酸素が減少して炭素が増加し、ほぼ未処理のシリコーンゴムと同等の原子存在濃度となる。さらに図4aのαで検出された酸素の極大値は、Si2p結合エネルギーシフトが高エネルギー側にシフトすることと一致図4bのαしており、酸素増加がSiに結合した酸素の数に起因することが示されている。また、未処理のシリコーンゴムについて同様の分析をした結果を図5a、bに示す。図5aには、図4にみられたような酸素の極大値、炭素の極小値は見られない。さらにSi2p結合エネルギーシフトが高エネルギー側にシフトする様子もみられないことから、Siに結合した酸素の数も変化していないことが確認された。本発明では以上のように、最表面に形成された弾性層の表面に3ないし4つの酸素原子と結合した珪素原子を有するポリオルガノシロキサンを含有する層を設けることを特徴とする。層の厚みは0.01以上5μm以下であり、5μmを超えると、硬度が高くなることにより紙やトナーの凹凸に追従できなくなる。また、0.01μm未満では耐久向上効果が得られない。好ましくは0.01以上1.0μm以下である。さらに、本発明の構成を備えた弾性層の最表面は各種材料にて適宜修飾可能であり、たとえばカップリング剤や各種モノマー、光感応型官能基、疎水性親水性官能基の形成などができる。たとえば、フッ素系高分子を構成することが可能であり、たとえば水酸基、シラノール基、カルボキシル基及び加水分解可能な基から選ばれる少なくとも1つの官能基を有する非晶質樹脂で構成され、そして、該最表層の非晶質樹脂と弾性層の耐熱性ゴムとが酸素を介した結合を有する。前記非晶質樹脂は、例えば、主鎖にパーフルオロポリエーテルを有する樹脂である。前記加水分解可能な基は、例えば、メトキシ基、エトキシ基等のアルコキシ基、及び、メトキシシラン基、エトキシシラン基等のアルコキシシラン基などを持つカップリング剤である。カップリング剤としては金属アルコキシド又は金属アルコキシドを含む溶液が用いられ、金属アルコキシドとして一般式1で示されるシリコーンアルコキシド系モノマーや、重合度2~10程度のそれらの部分加水分解重縮合物またはそれらの混合物及び/又はそれと有機溶媒を含む溶液が用いられる。化学式R14-nSiOR2n一般式1R1およびR2は、炭素数1~10の直鎖状または分枝状のアルキル基、アルキルポリエーテル鎖、またはアリール基およびその誘導体、nは2~4の整数上記化学式によって表現される化合物の具体例としては、例えば、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン等がある。耐久性の面から特に好ましいのはテトラエトキシシランである。また、R1としてフルオロアルキル基でも形成可能であり、さらに酸素を介して結合したフルオロアルキルアクリレートやエーテルパーフルオロポリエーテルでも形成可能である。柔軟性、耐久性の点で特に好ましいのはパーフルオロポリエーテル基である。さらに、ビニルトリスβメトキシエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン等のビニルシラン類、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリルシラン類、β-3,4エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等のエポキシシラン類、N-βアミノエチルγ-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-βアミノエチルγ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-フェニル-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン類等が挙げられる。また、金属原子として、Si以外に、Ti、Sn、Al、Zrであるものを単独または2種以上を混合して用いることも可能である。上記のカップリング剤等の表面処理剤による処理は、弾性体にプラズマ処理や電子線架橋、UVオゾン処理など表面改質処理を行った後に、弾性体の表面に表面処理剤の液を塗布またはディッピング等により含浸させることによって行うことができ、これにより酸素極大値をもつ改質層を形成できる。カップリング剤等の表面処理剤を弾性体の表面に塗布またはディッピングして浸透させることにより、表面処理剤が基材にしみ込んでいき、ポリオルガノシロキサンが濃度分布をもって存在するようになり、この分布はポリオルガノシロキサンに含まれる酸素原子が深さ方向に極大値を有するような分布となる。本発明の構成を採用することにより、最表面は柔軟性があって垂直方向に可動であり、トナーの段差や転写紙の凹凸に追従し、カラー化に対応した高画像を得るのに十分な弾性を維持できる。そして界面に対して平行方向で、表面にせん断応力のかかりうる状態摩耗負荷に対しては、硬度に起因する十分な強度の発現により、最表面の耐久性を大幅に向上させた定着部材を実現できる。結果として高画質化と高信頼性を両立し、長時間安定した定着を実現できる定着装置、および電子写真式の画像形成装置を提供することができる。以下、実施例に基づいて本発明を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。[実施例1]円筒状の長さ320mm厚み50μmの基材ポリイミド上にシリコーン用プライマー層を下地として乾燥後、その上にフロロシリコーンゴム信越化学工業:X36-420Uを200μmの厚みで形成し、150°Cで10min加熱した。その上に以下の条件でプラズマ処理をおこなった。装置:ヤマト科学製:PR-500出力:100W処理時間:4分反応ガス:アルゴン99.999反応圧力:10Paさらにこの上にフッ素系炭素化合物であるオプツールDSXダイキン工業株式会社製パーフルオロヘキサンで希釈した0.1溶液を引き上げ速度10mm/minのディッピング工法にて塗布し、その後、湿度90温度60°Cの環境で30分以上保持後、150°C10分の乾燥を実施し乾燥したものを定着部材として用いた。以上の様にして製作した定着部材を株リコー製複写機:imagioMPC3000の定着装置に装着させ、トナーベタ画像30k枚の通紙試験を行った。試験紙としてはアスクル:マルチペーパースーパーホワイトを使用した。評価は表2に示す基準で判定した。[実施例2]実施例1におけるフロロシリコーンゴムの代わりにシリコーンゴムDY35-2083:東レ製を200μm塗装し、150°C、30minで加熱後、200°C4hで二次加硫したものを用いた以外は実施例1と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例3]実施例1におけるオプツールDSXの代わりにテトラエトキシシランオルトケイ酸テトラエチル和光純薬工業株製をディッピング塗布した以外は実施例1と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例4]実施例2におけるオプツールDSXの代わりにテトラエトキシシランオルトケイ酸テトラエチル和光純薬工業株製をディッピング塗布した以外は実施例2と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例5]実施例1におけるプラズマ反応ガスとしてアルゴンに代えて窒素を用いた以外は実施例1と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例6]実施例1におけるプラズマ反応ガスとしてアルゴンの代わりに酸素を用いた以外は実施例1と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例7]実施例1におけるプラズマ処理をおこなった直後のものを定着部材として用い、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例8]実施例1におけるオプツールDSXの代わりにオルトケイ酸テトラエチル和光純薬工業株製をディッピング塗布し、フロロシリコーンゴムの代わりにアクリルゴムNipolAR51:日本ゼオン製製を用いた以外は実施例1と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例9]実施例8におけるアクリルゴムの代わりにブチルゴムBR51:JSR株製を用いた以外は実施例8と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例10]実施例8におけるアクリルゴムの代わりにエチレンプロピレンゴムEP11:JSR株製を用いた以外は実施例8と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[実施例11]実施例1におけるオプツールDSXの代わりに、イソプロポキシドチタン高純度化学製50エタノール溶液をディッピング塗布した以外は実施例1と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[比較例1]円筒状の長さ320mm厚み50μmの基材ポリイミド上にシリコーン用プライマー層を下地として乾燥後、その上にフロロシリコーンゴム信越化学工業:X36-420Uを200μmの厚みで形成し、150°Cで10min加熱したものを定着部材として作成し、実施例1と同様にして評価をおこなった。[比較例2]比較例1におけるフロロシリコーンゴムの代わりにシリコーンゴムDY35-2083:東レ製を200μm塗装し、150°C、30minで加熱後、200°C4hで二次加硫したものを用いた以外は実施例1と同様にして定着部材を作製し、実施例1と同様にして評価をおこなった。以上より以下のことがわかる。比較例1では部材表面の摩耗が著しく進行し、その傷に起因する定着不良が発生し、離型性においては部材オフセットは発生しないものの異常画像相当の画像オフセットが発生し合格レベルに達しない。比較例2では部材表面の摩耗が著しく進行し、その傷に起因する定着不良が発生し、離型性においては部材オフセット、異常画像相当の画像オフセットともに発生し、合格レベルに達しない。それに対して、実施例1では耐摩耗性、離型性のすべてにおいて最高合格ランクレベルに達し、効果を確認できた実施例2,3、4、8,9,10,11では実施例1よりも離型効果が低いが合格レベルに達し、効果を確認できた実施例5,6,7では実施例1に対して耐摩耗性と離型性が低くなるが合格レベルに達し、効果を確認できた。以上より、本発明を用いた定着部材を搭載することで、耐摩耗性に優れ、摩耗に起因する画像不良を長期にわたり発生することのない定着部材を提供できる。また、同時に画像オフセットが発生しないために十分な離型性をもつ定着部材を提供できる。結果として耐久性信頼性を向上させた定着装置を提供でき、この定着装置を有することで、高耐久、高信頼を有する電子写真方式の複写機、ファクシミリ、レーザービームプリンターが利用可能であり、環境負荷低減や顧客満足の向上に寄与する。"