基体、弾性層及び表面層を有している帯電部材であって、該表面層は、Si-O-Hf結合を有し、かつ、式1で示される構成単位、及び式2で示される構成単位を有している高分子化合物を含有していることを特徴とする帯電部材:[式1中、R1、R2は各々独立して式3~6のいずれかを示す。式3~6中、R3~R7、R10~R14、R19、R20、R25、およびR26は各々独立して水素、炭素数1~4のアルキル基、水酸基、カルボキシル基、またはアミノ基を示す。R8、R9、R15~R18、R23、R24、R29~R32は各々独立して水素、または炭素数1~4のアルキル基を示す。R21、R22、R27、およびR28は各々独立して水素、炭素数1~4のアルコキシ基、または炭素数1~4のアルキル基を示す。n、m、l、q、sおよびtは各々独立して1~8の整数、pおよびrは各々独立して4~12の整数、xおよびyは各々独立して0又は1を示す。記号は式1中のケイ素原子との結合位置を示し、記号は式1中の酸素原子との結合位置を示す。]前記高分子化合物において、前記式1のR1、R2が独立して式7~10のいずれかで示される請求項1に記載の帯電部材:[ここでN、M、L、Q、S、Tは各々独立して1~8の整数、x’およびy’は各々独立して0又は1を示す。記号は式1中のケイ素原子との結合位置を示し、記号は式1中の酸素原子との結合位置を示す。]前記高分子化合物における、ハフニウムとケイ素との原子数比Hf/Siが0.1以上、5.0以下である請求項1または2に記載の帯電部材。前記高分子化合物が、式11で示される加水分解性シラン化合物と、式12で示される加水分解性ハフニウム化合物との架橋物である請求項1から3のいずれか1項に記載の帯電部材:[式11中、R33は式13~16のいずれかを示し、R34~R36は各々独立して炭素数1~4のアルキル基を示す。式12中、R37~R40は各々独立して炭素数1~4のアルキル基を示す。式13~16中、R41~R43、R46~R48、R53、R54、R59、およびR60は各々独立して水素、炭素数1~4のアルキル基、カルボニル基、水酸基、カルボキシル基、またはアミノ基を示す。R44、R45、R49~R52、R57、R58、およびR63~R66は各々独立して水素、炭素数1~4のアルキル基を示す。R55、R56、R61、およびR62は各々独立して水素、アルコキシ基、又は炭素数1~4のアルキル基を示す。n’、m’、l’、q’、s’、およびt’は各々独立して1~8の整数、p’およびr’は各々独立して4~12の整数を示す。記号はケイ素原子との結合位置を示す。]前記高分子化合物が、前記式11で示される加水分解性シラン化合物と、前記式12で示される加水分解性ハフニウム化合物と、式17で示される加水分解性シラン化合物との架橋物である請求項4に記載の帯電部材:[式17中、R67は炭素数1~21のアルキル基、又はフェニル基を示し、R68~R70は各々独立して炭素数1~6のアルキル基を示す。]電子写真感光体と、該電子写真感光体に接触して配置されている請求項1から5の何れか1項に記載の帯電部材とを有することを特徴とする電子写真装置。電子写真感光体と、該電子写真感光体に接触して配置されている請求項1から5の何れか1項に記載の帯電部材とを有し、電子写真装置の本体に着脱可能に構成されていることを特徴とするプロセスカートリッジ。しかしながら、本発明者らの検討によれば、特許文献1に係る方法は、感光体と帯電部材が接触しないことから、双方の磨耗は抑制できるものの、空隙を保持することが難しい場合もあった。特許文献2に係る方法は、帯電部材の表面を常に磨耗させ、感光体を一定且つ均一に帯電することが困難になる場合もあった。特許文献3に係る被膜は、耐摩耗性において未だ改善の余地を有していた。そこで、本発明の目的は、感光体との接触によっても摩耗しにくく、また、感光体との適度なニップの形成に資する適度な弾性を備えた表面層を具備する帯電部材の提供にある。また、本発明の他の目的は、良好な画像を長期に亘って形成できるプロセスカートリッジ及び電子写真装置を提供することにある。本発明によれば、基体、弾性層及び表面層を有している帯電部材であって、該表面層は、Si-O-Hf結合を有し、かつ、式1で示される構成単位、及び式2で示される構成単位を有している高分子化合物を含有している帯電部材が提供される。[式1中、R1、R2は各々独立して式3~6のいずれかを示す。式3~6中、R3~R7、R10~R14、R19、R20、R25、およびR26は各々独立して水素、炭素数1~4のアルキル基、水酸基、カルボキシル基、またはアミノ基を示す。R8、R9、R15~R18、R23、R24、R29~R32は各々独立して水素、または炭素数1~4のアルキル基を示す。R21、R22、R27、およびR28は各々独立して水素、炭素数1~4のアルコキシ基、または炭素数1~4のアルキル基を示す。n、m、l、q、sおよびtは各々独立して1~8の整数、pおよびrは各々独立して4~12の整数、xおよびyは各々独立して0又は1を示す。記号は式1中のケイ素原子との結合位置を示し、記号は式1中酸素原子との結合位置を示す。]また、本発明によれば、電子写真感光体と、該電子写真感光体に接触して配置されている上記帯電部材とを有する電子写真装置や、電子写真感光体と、該電子写真感光体に接触して配置されている上記帯電部材とを有し、電子写真装置の本体に着脱可能に構成されているプロセスカートリッジが提供される。本発明によれば、感光体との接触によっても摩耗しにくく、かつ、感光体との間で安定したニップの形成に資する弾性を有する表面層を備えた帯電部材が得られる。また、本発明によれば、高品位な電子写真画像を安定して提供できるプロセスカートリッジおよび電位写真装置が得られる。本発明の帯電部材は、基体、弾性層及び表面層を有している。その一例として、図1に示す帯電ローラーは、基体101、導電性の弾性層102及び表面層103がこの順で積層された構成を有する。[基体]基体の材質としては、鉄、銅、ステンレス、アルミニウム、又はニッケルの金属や、これらの合金等を用いることができる。[弾性層]弾性層は、帯電部材に、感光体とニップ部を形成することができる弾性と、導電性を付与するものである。弾性層は、ゴムや熱可塑性エラストマー等で形成することができ、これらの1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。かかるゴムとしては、例えば、以下のものが挙げられる。ウレタンゴム、シリコーンゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、スチレン-ブタジエンゴム、エチレン-プロピレンゴム、ポリノルボルネンゴム。スチレン-ブタジエン-スチレンゴム、アクリロニトリルゴム、エピクロルヒドリンゴム、アルキルエーテルゴム等。また、熱可塑性エラストマーとしては、例えば、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー等が挙げられる。スチレン系エラストマーの市販品としては、例えば、三菱化学株製の商品名ラバロン、クラレ株製の商品名セプトンコンパウンド等が挙げられる。オレフィン系エラストマーの市販品としては、例えば、以下のものが挙げられる。三菱化学株製の商品名サーモラン、三井石油化学工業株製の商品名ミラストマー、住友化学工業株製の商品名住友TPE、アドバンストエラストマーシステムズ社製の商品名サントプレーン等。これらは、1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。弾性層に導電性を付与するために用いる導電剤としては、例えば、陽イオン性界面活性剤、陰イオン性界面活性剤、両性イオン界面活性剤、帯電防止剤、電解質等が挙げられる。陽イオン性界面活性剤としては、具体的には、以下のものの第四級アンモニウム塩が挙げられる。ラウリルトリメチルアンモニウム、ステアリルトリメチルアンモニウム、オクタドデシルトリメチルアンモニウム、ドデシルトリメチルアンモニウム、ヘキサデシルトリメチルアンモニウム、変性脂肪酸ジメチルエチルアンモニウム等。第四級アンモニウム塩としては、過塩素酸塩、塩素酸塩、ホウフッ化水素酸塩、エトサルフェート塩、ハロゲン化ベンジル塩臭化ベンジル塩や塩化ベンジル塩等が挙げられる。陰イオン性界面活性剤としては、脂肪族スルホン酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、高級アルコールエチレンオキサイド付加硫酸エステル塩、高級アルコール燐酸エステル塩、高級アルコールエチレンオキサイド付加燐酸エステル塩が挙げられる。帯電防止剤としては高級アルコールエチレンオキサイドなど、電解質としては、周期律表第1族の金属Li、Na、K等の塩第四級アンモニウム塩等が挙げられる。また、弾性層用の導電剤として、周期表第2族の金属Ca、Ba等の塩CaClO42等やこれから誘導される帯電防止剤を用いることもできる。更に、弾性層用の導電剤として、以下のものを用いることができる。カーボンブラック、天然グラファイト、人造グラファイト等のグラファイト、酸化スズ、酸化チタン、酸化亜鉛等の金属酸化物や、ニッケル、銅、銀、ゲルマニウム等の金属、ポリアニリン、ポリピロール、ポリアセチレン等の導電性ポリマー。これらの導電剤は1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これら導電剤の弾性層中の含有量としては、帯電部材に所望の導電性を付与できれば、特に限定されるものではない。例えば、弾性層の電気抵抗が102Ω以上、108Ω以下、より好しくは103Ω以上、106Ω以下となる量を選択することができる。弾性層の電気抵抗値は、導電性の芯金に弾性層を形成したローラーを円柱状の金属ドラムに接触させ、回転させながら芯金と金属ドラムの間に直流100Vの電圧を印加したときの電流の測定値から算出することができる。更に、弾性層には、無機又は有機の充填剤や架橋剤が含まれていてもよい。上記弾性層の硬度は、帯電部材と感光体とを当接させた際の帯電部材の変形を抑制する点から、アスカーCが60度以上、85度以下であることが好ましく、より好ましくは70度以上、80度以下である。アスカーCは弾性層表面のアスカーC型硬度計高分子計器株製の押針を当接し、1000g加重条件で測定することにより評価することができる。このような弾性層は、未加硫のゴム組成物を押出成形、射出成形等の成形方法により成形後、加熱、加硫して形成することができる。その後、必要に応じて、切削し、例えば、中央部の層厚が端部の層厚よりも厚い、いわゆるクラウン形状にすることが好ましい。弾性層がクラウン形状を有することにより、帯電部材を長手方向全長に亘って感光体に一定圧で当接させることが容易になる。[表面層]上記表面層は、Si-O-Hf結合を分子内に有し、かつ、下記式1で示される構成単位と、下記式2で示される構成単位とを有する高分子化合物を含有している。式1中、R1、R2は各々独立して、式3~6を示す。式3~6中、R3~R7、R10~R14、R19、R20、R25、およびR26は各々独立して水素、炭素数1~4のアルキル基、水酸基、カルボキシル基、またはアミノ基を示す。R8、R9、R15~R18、R23、R24、R29~R32は各々独立して水素、または炭素数1~4のアルキル基を示す。R21、R22、R27、およびR28は各々独立して水素、炭素数1~4のアルコキシ基、または炭素数1~4のアルキル基を示す。n、m、l、q、sおよびtは各々独立して1~8の整数、pおよびrは各々独立して4~12の整数、xおよびyは各々独立して0又は1を示す。記号は式1中のケイ素原子との結合位置を示し、記号は式1中の酸素原子との結合位置を示す。上記高分子化合物の具体例として、式1中のR1が式3で示される構造であり、R2が式4で示される構造であるものの一部を以下に示す。上記高分子化合物の具体例として、式1中のR1が式3で示される構造であり、R2が式4で示される構造であるものの一部を図6aに示す。また、上記高分子化合物の他の具体例として、式1中のR1が式3で示される構造であり、R2が式6で示される構造であるものの一部を図6bに示す。上記式1のR1およびR2を表す上記式3~6のより具体的な構成として、R3~R32が水素である下記式7~10で示されるものを挙げることができる。式7~式10中、N、M、L、Q、S、Tは各々独立して1以上8以下の整数、x’、y’は各々独立して0又は1を示す。記号は式1中のケイ素原子との結合位置を示し、記号は式1中の酸素原子との結合位置を示す。上記高分子化合物は、後述するように、加水分解性ハフニウム化合物を加水分解性シラン化合物と共に加水分解して得られる加水分解縮合物を、ケイ素原子に結合したカチオン重合可能な基を架橋させることによって形成することができる。そのため、該高分子化合物は非常に高い架橋密度を有することとなる。特に、加水分解性ハフニウム化合物は、加水分解縮合時の反応速度が、加水分解性シラン化合物と比較して速いため、加水分解縮合物自体の縮合率が高く、極めて緻密な分子構造を有する。そして、このような高分子化合物を含む表面層は、当該高分子化合物の緻密な分子構造に起因して高い硬度と高い弾性率とを有する。表面層の弾性率は、高分子化合物におけるハフニウムとケイ素の含有比、加水分解性シラン化合物に結合している有機鎖の種類や量等によって弾性率を調整することが可能である。ところで、上記高分子化合物に含有される、ハフニウムとケイ素の原子数比Hf/Siが0.1以上、5.0以下であることが好ましい。Hf/Siを上記範囲とすることにより、感光体との当接によっても摩耗しにくく、かつ、感光体との適切なニップ部の形成に資する適度な弾性をより高いレベルで兼ね備えた表面層の形成に資する高分子化合物となる。[表面層の形成]このような高分子化合物は、式11で示される加水分解性シラン化合物と、式12で示される加水分解性ハフニウム化合物とを反応させて、加水分解縮合物とした後、架橋を形成して得ることができる。または式11で示される加水分解性シラン化合物と、式12で示される加水分解性ハフニウム化合物と、式17で示される加水分解性シラン化合物との加水分解縮合物の架橋物として得ることができる。加水分解縮合反応は、これらの加水分解性化合物を混合し、適宜加熱して行うことができる。式11で示される加水分解性シラン化合物において、R34~R36は各々独立して炭化水素基を示す。炭化水素基としては、鎖状、分岐状、環状であってもよく、不飽和結合を有していてもよい。R33は、エポキシ基を有する、式13~16のいずれかを示す。式13~16中、R41~R43、R46~R48、R53、R54、R59、およびR60は各々独立して水素、炭素数1~4のアルキル基、カルボニル基、水酸基、カルボキシル基、またはアミノ基を示す。R44、R45、R49~R52、R57、R58、R63~R66は各々独立して水素、炭素数1~4のアルキル基を示す。R55、R56、R61、及びR62は各々独立して水素、炭素数1~4のアルコキシ基、又は炭素数1~4のアルキル基を示す。n’、m’、l’、q’、s’、およびt’は各々独立して1~8の整数、p’およびr’は各々独立して4~12の整数を示す。また、記号はケイ素原子との結合位置を示す。式12で示される加水分解性ハフニウム化合物において、HfOR38OR39OR4012R37~R40は各々独立して、炭素数1~4のアルキル基を示す。式17で示される加水分解性シラン化合物において、R67-SiOR68OR69OR7017R67は炭素数1~21のアルキル基、又はフェニル基を示し、R68~R70は各々独立して炭素数1~6のアルキル基を示す。上記高分子化合物は、このような加水分解性縮合物を含有する表面層用塗料を調製し、これを塗工して塗膜を形成した後、架橋反応を行い架橋物として得ることができる。表面層用塗料は、以下の工程によって調製することができる。1工程モノマーとしての式11で示される加水分解性シラン化合物Aと、式17で示される加水分解性シラン化合物Bと、式12で示される加水分解性ハフニウム化合物Cとを準備する。2工程加水分解性シラン化合物Aと加水分解性シラン化合物Bを混合し、水D、アルコールEを添加して、加熱還流により加水分解縮合を行い、加水分解性シラン化合物の縮合物を得る。3工程得られた液に、加水分解性ハフニウム化合物Cを添加し、混合し、加水分解縮合を行い、加水分解性シラン化合物と加水分解性ハフニウム化合物の縮合物シランハフニウム縮合物ともいう。を生成させ、縮合物含有液を得る。4工程縮合物含有液に光重合開始剤Fを添加、混合する。上記2工程において、加水分解性シラン化合物Bは必要に応じて用いればよく、また、加水分解性ハフニウム化合物Cを、加水分解性化合物A等と同時に添加することにより、3工程を省略することもできる。以下、各工程について詳述する。1工程加水分解性シラン化合物Aとしては、具体的には、以下のものを用いることができ、これらは1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。412エポキシブチルトリメトキシシラン、56エポキシヘキシルトリエトキシシラン、8オキシラン2イルオクチルトリメトキシシラン、8オキシラン2イルオクチルトリエトキシシラン、3グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、134エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、134エポキシシクロヘキシルエチルトリエトキシシラン、334エポキシシクロヘキシルメチルオキシプロピルトリメトキシシラン、334エポキシシクロヘキシルメチルオキシプロピルトリエトキシシラン。加水分解性シラン化合物Bとしては、具体的には、以下のものを用いることができ、これらは1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、ヘキシルトリプロポキシシラン、デシルトリメトキシシラン、デシルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリプロポキシシラン。加水分解性ハフニウム化合物Cとしては、具体的には、以下のものを用いることができ、これらは1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。テトラエトキシハフニウム、テトラi-プロポキシハフニウム、テトラn-ブトキシハフニウム、テトラt-ブトキシハフニウム、2-エチルヘキソキシハフニウム、2-メトキシメチル-2-プロポキシハフニウム。これらの加水分解性シラン化合物A、加水分解性シラン化合物B、加水分解性ハフニウム化合物Cの使用割合は、モル比において、式20を満たすことが好ましい。0.1≦C/AB≦5.020式中、Aは、式11で示される加水分解性シラン化合物A加水分解性シラン化合物Aともいう。のモル数を示す。Bは、式17で示される加水分解性シラン化合物B加水分解性シラン化合物Bともいう。のモル数を示す。Cは、式12で示される加水分解性ハフニウム化合物C加水分解性ハフニウム化合物Cともいう。のモル数を示す。C/ABの値が0.1以上であれば、弾性が向上した表面層を得ることができ、5.0以下であれば、表面層用塗料に白濁や沈殿が生じるのを抑制し、保存性を向上させることができる。更に、式21を満たすことが好ましい。0.5≦C/AB≦3.0212工程工程2において添加する水Dの添加量は、加水分解性シラン化合物A及びBの合計のモル数ABに対する水のモル数Dの比、RorD/ABが、0.3以上、6.0以下であることが好ましい。Rorは1.2以上3.0以下であることがより好ましい。Rorが0.3以上であれば、縮合反応が充分に行われ、未反応のモノマーが残存するのを抑制し、架橋密度の高い膜が得られる。Rorが6.0以下であれば、縮合反応の速度が速く、表面層用塗料に白濁や沈殿が生成するのを抑制することができ、また、極性が高くなって縮合物との相溶性が低下するのを抑制することができる。アルコールEは、シランハフニウム縮合物を相溶させるために用いられる。アルコールEとしては、第1級アルコール、第2級アルコール、第3級アルコール、第1級アルコールと第2級アルコールの混合系、第1級アルコールと第3級アルコールの混合系を用いることが好ましい。アルコールとして、特に、エタノール、メタノールと2-ブタノールの混合溶液、エタノールと2-ブタノールの混合溶液が該縮合物との相溶性や、塗工性の点から好ましい。4工程光重合開始剤Gは、シランハフニウム縮合物を架橋させるために用いる。光重合開始剤Gとしては、ルイス酸あるいはブレンステッド酸のオニウム塩、カチオン重合触媒を用いることもできる。特に好ましいカチオン重合触媒として、ビス4-tert-ブチルフェニルヨードニウム塩や、式18で示される化合物商品名:アデカオプトマ-SP150、旭電化工業株製を挙げることができる。また、式19で示される化合物商品名:イルガキュア261、チバスペシャルティーケミカルズ社製も好適に用いることができる。光重合開始剤Gは、表面層用塗料への相溶性を向上させるため、予めアルコールやケトン等の溶媒、例えば、メタノールやメチルイソブチルケトンに溶解して用いることが好ましい。更に、表面層用塗料は塗布性を向上させるため、塗工に適した濃度に調整する。用いる溶剤としては、エタノール、メタノールと2-ブタノールの混合液、エタノールと2-ブタノールの混合液が好ましい。表面層用塗料の塗布方法としては、ロールコーターを用いた塗布、浸漬塗布、リング塗布等の方法を使用することができる。上記方法により弾性層上に表面層用塗料を塗布して形成した塗膜中で、シランハフニウム縮合物を架橋させる。架橋は、活性エネルギー線を照射し、光重合開始剤Gによってシランハフニウム縮合物中のエポキシ基を開裂、重合させて形成することができる。使用する活性エネルギー線としては、紫外線が好ましい。低温で光重合開始剤Gのラジカルを発生させ、架橋反応を進行させることができるからである。すなわち、低温で架橋反応を進行させることにより、塗膜から溶剤が急速に揮発するのを抑制し、塗膜に相分離、シワが発生するのを抑制し、弾性層との密着強度が高い表面層を形成することができる。弾性層との密着強力が高い表面層は、帯電部材が温湿度の変化が急激な環境下で使用され、温湿度の変化による弾性層の体積が変動しても、シワやクラックの発生を抑制することができる。その上、架橋反応の進行時に弾性層の熱劣化を抑制することができるため、製造工程における弾性層の電気的特性の低下を抑制することもできる。紫外線の供給源としては、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、低圧水銀ランプ、エキシマUVランプ等を用いることができ、これらのうち、150nm以上480nm以下の波長の紫外線を供給するものが好ましい。紫外線は、照射時間、ランプ出力、ランプと表面層間の距離によって、供給量を調整して照射することができ、また、照射時間内で紫外線の照射量に勾配をつけることもできる。上記表面層の形成過程において進行する高分子化合物における架橋反応について図5を参照して説明する。例えば、前記加水分解性シラン化合物Aとしての3-グリシドキシプロピルトリメトキシシランと、加水分解性ハフニウム化合物Cとを加水分解させて得られる縮合物は、カチオン重合触媒図5中、RXと記載の存在下で、エポキシ基が開環し、連鎖的に重合が進む。その結果、HfO4/2を含むポリシロキサン鎖同士が架橋することにより硬化し、上記高分子化合物が形成される。図5中、nは1以上の整数を示す。このように形成される表面層の厚さの目安としては、10nm以上100nm以下である。また、表面層の弾性率は07GPa以上500GPa以下であることが好ましく、より好ましくは、2.0GPa以上35.0GPa以下である。表面層の削れに対する耐抗性がより一層増し、且つ感光体とニップ部を充分に形成することができる。[電子写真装置、プロセスカートリッジ]本発明に係る電子写真装置の一例を図2の構成図に示す。イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのトナーをそれぞれ内包する現像手段4a~4dにそれぞれ対向配設されたドラム状の電子写真感光体以下、感光体という。1a~1dが中間転写ベルト6の移動方向に並設されている。各感光体1a~1dは、導電性を有する支持体上に無機又は有機の感光材料を含有する感光層を有し、必要に応じて所望の極性、電位に帯電させるための電荷注入層等が設けられる。各感光体の周囲には、帯電部材である帯電ローラー2a~2d、露光手段3a~3d、クリーニング装置5a~5dが、配設されている。また、中間転写ベルト6を介して感光体1a~1dに対向して各転写ローラー7a~7dが設けられる。次に、画像形成動作について説明する。感光体1a~1dを、矢印方向に所望の一定速度プロセススピードで回転駆動させる。各帯電ローラー2a~2dを感光体に所定の押圧力で接触させ、感光体の回転に対して順方向に回転駆動させると共に、帯電バイアス印加電源から、所定の直流電圧、例えば-1050Vを印加する。これにより、感光体1a~1dの表面が所定の極性電位暗部電位-450Vに一様に帯電される。帯電された感光体1a~1d表面に、パーソナルコンピュータ等のホストからの画像データに応じて変調されたレーザビームが露光手段3a~3dより照射され、像露光がされると、露光部分の電位が減衰し、各色の静電潜像が形成される。現像手段4a~4dにより感光体の帯電極性と同極性に帯電されたトナーが各感光体に供給されると、トナーは静電潜像に選択的に付着し、静電潜像はトナー像として可視化される。各転写ローラー7a~7dは所定の押圧力で中間転写ベルト6を介して各感光体1a~1dに押圧され、感光体とほぼ同速度で回転すると共に、転写バイアス印加電源からトナーの帯電特性とは逆極性の転写電圧が印加される。これにより各感光体に形成されたトナー像が各転写位置で中間転写ベルト6に順次重ねて転写され、カラートナー像が形成される。中間転写ベルト上に形成されたカラートナー像は、不図示の給紙手段により所定のタイミングで給紙され、搬送手段により搬送されてくる転写材Pに一括して転写される。この転写材P上のカラートナー画像は不図示の定着装置によって加熱溶融され、転写媒体上に永久定着され所望のカラープリント画像が出力される。一方、トナー像転写後の各感光体上に残留するトナーは各クリーニングブレードによって回収され、次の画像形成の待機状態となる。ここで、上記電子写真装置は、4色のトナーを用いてフルカラートナー像を形成するフルカラーモードだけではなく、ブッラクトナー用の感光体のみを用いて白黒画像を形成するモノカラーモードを選択し、切り換え可能な構成を備える。また、感光体の周速と中間転写ベルトの周速に速度差を持たせ、感光体から中間転写ベルトへのトナー像の転写効率を向上させ、4色カラーモードでは中抜け現象を防止して色味変動のない良好な画像を得るようにしてもよい。ここで中抜け現象とは各感光体から中間転写ベルトに転写されたトナー像が中抜けしてしまう現象をいう。本発明のプロセスカートリッジは、感光体と上記帯電部材とを接触配置させ一体化し、電子写真装置に着脱可能としたものである。その一例として、感光体と帯電ローラーを、樹脂成形体などの支持部材によって一体的に支持し、この一体的な構成のまま電子写真装置本体に着脱自在に構成を有する装置不図示を挙げることができる。プロセスカートリッジは、感光体や帯電ローラーに加え、現像手段やクリーニング手段も併せて一体的に支持したものとしてもよい。以下に、具体的な実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。以下に記載する部は質量部を意味する。[実施例1][弾性層の調製]下記表1の成分を、6L加圧ニーダーTD6-15MDX:トーシン社製にて、充填率70vol、ブレード回転数30rpmで24分混合して、未加硫ゴム組成物を得た。この未加硫ゴム組成物174質量部に対して、加硫促進剤としてのテトラベンジルチウラムジスルフィド商品名:サンセラーTBzTD、三新化学工業株製4.5部、加硫剤としての硫黄1.2部を加えた。そして、ロール径12インチのオープンロールで、前ロール回転数8rpm、後ロール回転数10rpm、ロール間隙2mmで、左右の切り返しを合計20回実施した。その後、ロール間隙を0.5mmとして薄通しタイトミリング、tightmillingを10回を行って、弾性体層用の混練物Iを得た。次に、直径6mm、長さ252mmの円柱形の鋼製の支持体表面をニッケルメッキ加工したものを準備した。そして、この支持体の、円柱面軸方向中央を挟んで両側115.5mmまでの領域あわせて軸方向幅231mmの領域に、金属及びゴムを含む熱硬化性接着剤商品名:メタロックU-20、株東洋化学研究所製を塗布した。これを30分間温度80°Cで乾燥させた後、さらに1時間温度120°Cで乾燥させた。混練物Iを、クロスヘッドを用いた押出成形によって、上記接着層付き芯金を中心として、同軸状に外径8.75~890mmの円筒形に同時に押出し、端部を切断して、芯金の外周に未加硫の弾性層を積層した弾性ローラー1を作製した。押出機はシリンダー径70mmΦ70、L/D=20の押出機を使用し、押出時の温調はヘッドの温度を90°Cとし、シリンダーの温度を90°Cとし、スクリューの温度を90°Cとした。次に上記ローラー1を異なる温度設定にした2つのゾーンをもつ連続加熱炉を用いて加硫した。第1ゾーンを温度80°Cに設定し、30分で通過させ、第2ゾーンを温度160°Cに設定し、こちらも30分通過させ、加硫された弾性ローラー2を得た。次に、表面研磨前の弾性ローラー2の弾性層部分ゴム部分の両端を切断し、弾性層部分の軸方向幅を232mmとした。その後、弾性層部分の表面を回転砥石で研磨ワーク回転数333rpm、砥石回転数2080rpm、研磨時間12secした。こうすることで、端部直径8.26mm、中央部直径8.50mmのクラウン形状で、表面の十点平均粗さRzが55μmで、振れが18μm、硬度が73度アスカーCの弾性ローラー3表面研磨後の弾性ローラーを得た。十点平均粗さRzはJISB06011994に準拠して測定した。振れの測定は、ミツトヨ株製高精度レーザー測定機LSM-430vを用いて行った。詳しくは、該測定機を用いて外径を測定し、最大外径値と最小外径値の差を外径差振れとし、この測定を5点で行い、5点の外径差振れの平均値を被測定物の振れとした。アスカーC硬度の測定は、測定環境25°C×55RHで、測定対象の表面にアスカーC型硬度計高分子計器株製の押針を当接し、1000g加重の条件で行った。[表面層用塗料の調製]合成-1表2に示す成分を混合した後、室温で30分攪拌し、次いで、オイルバスを用いて120°Cで20時間加熱還流を行い、加水分解縮合したシラン化合物hydrolyzedandcondensedsilanecompoundを得た。得られた加水分解縮合したシラン化合物の理論固形分加水分解性シラン化合物が全て脱水縮合したと仮定したときのポリシロキサン重合物の、溶液全質量に対する質量比率は280質量である。またこのときのRORは18である。合成-2次に、室温に冷却した加水分解縮合したシラン化合物の6174gに対し、加水分解性ハフニウム化合物として、ハフニウムn-ブトキシド以降Hf-1と示すGelest株製を11506g0224molを添加した。室温で3時間攪拌して、加水分解縮合したシラン化合物と加水分解性ハフニウム化合物との縮合物以降、縮合物1-1と示すを得た。一連の攪拌は750rpmで行った。Hf/Si=20であった。次いで、縮合物1-1の25gに、光カチオン重合開始剤としての芳香族スルホニウム塩商品名:アデカオプトマーSP-150、旭電化工業株製のメタノール10質量液の07gを添加した。これを、縮合物1-2とする。[評価1]縮合物1-1について、合成直後から1ヶ月後の液外観を合成直後の外観と比較し、以下の基準により評価した。結果を表5に示す。A:1ヶ月放置しても白濁沈殿が無い状態。B:2週間程度から白濁気味になる状態。C:1週間程度から白濁気味になる状態。D:合成時に白濁沈殿を生じる状態。[評価2]縮合物1-2の硬化膜を形成しその弾性率を測定した。弾性層の影響を省くために、アルミシート上に以下のように塗膜を形成した。縮合物1-2を理論固形分が7.0wtになるようにエタノールと2-ブタノールの混合液エタノール:2-ブタノール=1:1で希釈した。この希釈液を、塗布装置は1H-D7ミカサ株を用い、ケトンやアルコールなどで脱脂した厚さ100μmのアルミシート上に滴下し、回転数300rpm、2秒間回転条件でスピンコートし、塗膜を形成した。塗膜を乾燥した後、低圧水銀ランプハリソン東芝ライティング株製を用い254nmの波長の紫外線を積算光量が9000mJ/cm2になるように照射し、縮合物1を架橋、硬化し、膜厚10μm以上の硬化膜を作製した。得られた硬化膜について表面皮膜物性試験機フィッシャースコープH100V:フィッシャーインストルメンツ社製を用いて、弾性率測定用の圧子を測定対象の表面から0.5μm/7sの速度で進入させたときの測定値を弾性率として得た。結果を、表5に示す。[評価3]評価2において作製した縮合物1-2の硬化膜の-SiO32の構成単位の有無を核磁気共鳴装置JMN-EX400:JEOL社製を用いて検出した。評価2において作製した縮合物1-2の硬化膜をアルミシートから剥離、粉砕したものを測定用試料として用いた。測定試料を29Si-NMRで測定し、-SiO32の構成単位の存在を確認した。得られた29Si-NMRのスペクトルを図3に示す。また13C-NMRで測定しエポキシ基が存在しないことを確認した。得られた13C-NMRのスペクトルを図4に示す。以上のことより、縮合物1-2の硬化膜において、原料のグリシドキシプロピルエトキシシラン化合物中のエポキシ基は総て開環、架橋し、且つ、式1中の-SiO32の構成単位を有していることを確認した。この評価3は、後述する実施例において、同様に確認できた。[表面層の作製]上記縮合物1-2を固形分が3.0質量になるようにエタノールと2-ブタノールの混合液エタノール:2-ブタノール=1:1で希釈し、表面層用塗料1を調製した。次いで、弾性ローラー3の弾性層上に表面層用塗料1を、リング塗布吐出量:0.120ml/s、リング部のスピード:85mm/s、総吐出量:0.130mlし、塗膜を作製した。この塗膜に、254nmの波長の紫外線を積算光量が9000mJ/cm2になるように照射し、塗膜を硬化させることによって表面層を形成し、帯電ローラー1を得た。紫外線の照射には低圧水銀ランプハリソン東芝ライティング株製を用いた。得られた帯電ローラー1について以下の評価を行った。[評価4]帯電ローラー1の表面の外観を目視にて観察し、以下の基準により、表面層用塗料1の塗工性を評価した。結果を表5に示す。A:帯電ローラーの表面に全く塗工不良がない。B:帯電ローラーの表面の一部に塗工不良が生じた。C:帯電ローラーの表面の全領域に塗工不良が生じた。[評価5]帯電ローラー1表面層のSi-O-Hf結合の有無をX線光電子分析装置ESCAQuantum2000:アルバックファイ社製を用いて検出した。ローラー表面にX線を照射し、表面層内の結合を検出した。検出されたO1sスペクトルからSi-O-Hf結合の存在を確認した。この評価5は、後述する実施例において、同様に確認できた。[評価6]帯電ローラー1をプロセスカートリッジに組み込み、A4紙縦出力用のレーザープリンター商品名:HPColorLaserJet4700Printer:HP社製用いて、10000枚の電子写真画像を形成し、引き続いて、ベタ画像を1枚出力した。出力した電子写真画像は、A4サイズの紙上に、サイズが4ポイントのアルファベットのEの文字を印字率1となるように印字したものとした。電子写真画像の形成は、常温常湿下温度25°C/湿度50RHで、164mm/sのプロセススピードで、いわゆる間欠モードで行った。間欠モードとは、電子写真画像を連続して2枚出力する度に、画像形成を行うことなく感光体を10秒間の回転をさせるモードである。間欠モードでの電子写真画像の形成は、連続的に電子写真画像を形成する場合に比べて、帯電ローラーと感光体との摺擦回数が多くなるため、帯電ローラー表面の摩耗の評価に対しては、より過酷な評価条件である。上記ベタ画像について、帯電ローラーの表面の摩耗に起因する帯電ムラによる白い縦スジ状のムラの有無、および、その程度を下記の基準により評価した。結果を表5に示す。A:ムラが確認できない。B:軽微なムラが画像一部に確認できる。C:ムラが画像一部に確認できる。D:明瞭なムラが画像の全面に確認できる。[評価7]評価6を行った後のプロセスカートリッジから帯電ローラーを取り出した。この帯電ローラーを水で洗浄し、洗浄後の表面について目視で観察し、以下の基準により摩耗の有無、および程度を評価した。結果を、表5に示す。A:摩耗が確認できない。B:ローラー端部にのみ軽微な摩耗が確認できる。C:ローラー端部にのみ摩耗が確認できる。D:ローラー全体に摩耗が確認できる。[実施例2~32]用いる原料を表3に記載のものに変更した他は実施例1と同様にして縮合物を調製し、評価した。また、各々の縮合物を用いて実施例1と同様にして帯電ローラーを作製し、評価を行った。Ror、Hf/Si値については表3に、評価の結果を表5に示す。表3に示す略号が標記する加水分解性シラン化合物、加水分解性ハフニウム化合物の具体的な構造および製造会社を表4に示す。[比較例1]用いる原料を表6に示す配合にし、加水分解性ハフニウム化合物を用いない他は実施例1と同様にして縮合物を調製し、評価した。また、当該縮合物を用いて実施例1と同様にして帯電ローラーを作製し、評価を行った。結果を表7に示す。[比較例2]加水分解性シラン化合物を用いず、加水分解性ハフニウム化合物、水、エタノールを表6に示す配合で混合し、室温で3時間攪拌して縮合物を調製し、評価した。また、この縮合物を用いて実施例1と同様にして帯電ローラーを作製し、評価を行った。結果を表7に示す。