"試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計であって、フィラメントと、このフィラメントを囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッドと、イオンコレクタとを備え、このフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出するものにおいて、前記イオンコレクタが板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されることを特徴とする熱陰極電離真空計。前記フィラメントと、グリッドと、イオンコレクタとが金属製の真空隔壁内に収納されることを特徴とする請求項1記載の熱陰極電離真空計。前記フィラメントは、タングステンとレニウムとの合金で構成されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の熱陰極電離真空計。本発明は、以上の点に鑑み、従来例の三極管形の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有すると共に、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできるようにした熱陰極電離真空計を提供することをその課題とするものである。上記課題を解決するために、本発明は、試験体に装着されてその内部の圧力を検出する電離真空計であって、フィラメントと、このフィラメントを囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッドと、イオンコレクタとを備え、このフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出するものにおいて、前記イオンコレクタが板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を塞ぐように配置されることを特徴とする。本発明によれば、イオンコレクタをグリッドの少なくとも一方の開口を塞ぐ面積の板状部材で構成したため、BA真空計と比較してイオンコレクタの表面積が大きくなって、正イオンを捕集する確率が低くなることが抑制される一方で、炭化水素系の気体やシロキサンなどの気体雰囲気が形成される試験体に使用される場合でも感度の低下を防止でき、従来例の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有する。また、従来例の電離真空計に用いられる筒状のイオンコレクタと比較して、その表面積が小さいため、軟エックス線による疑似イオン電流を小さくでき、結果として、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできる。なお、本発明において、所定間隔は、機械的な精度及びグリッド内で生成されたイオンの飛行距離を考慮して設定され、例えば、1~5mmの範囲で設定される。この間隔が1mmより小さいと、グリッドとイオンコレクタが接触するという機械的な不具合がある一方で、5mmを超えると、イオンの飛行距離が長くなることで、圧力が高くなると、イオン-分子間衝突の確率が増え、圧力が高くなると出力信号対圧力の直線性が失われるという不具合が生じる。ところで、上記従来例のように、フィラメントと、グリッドと、イオンコレクタとがガラス製の真空隔壁内に収納されていると、このガラス表面に熱電子がチャージアップし、この真空隔壁で囲繞された空間内の電位分布が変化し、イオン化率が低下する等の不具合が生じる。そこで、前記フィラメントと、グリッドと、イオンコレクタとが金属製の真空隔壁内に収納される構成を採用すれば、熱電子のチャージアップを防止して、真空隔壁で囲繞された空間内の電位分布を常時一定に保持されるため、長時間に亘って一定の感度で圧力を測定することができる。また、本発明においては、前記フィラメントは、タングステンとレニウムとの合金で構成されることが好ましい、これによれば、熱変形や自重による変形を抑制でき、熱電子放出領域の変動を抑制できてよい。以下、図面を参照して、本発明の実施形態を三極管型の熱陰極電離真空計を例に説明する。以下においては、図示省略の試験体に対する後述のセンサ部の装着方向を上方として説明する。図1及び図2を参照して、熱陰極電離真空計IGは、センサ部Sと制御部Cとから構成される。センサ部Sは、有底筒状の金属製の容器エンベロープたるセンサ本体1を備え、その縮径させた上部先端に形成したフランジ11及びOリングを介して図外の真空チャンバ等の試験体に着脱自在に取り付けられる。センサ本体1としては、ステンレス、ニッケル、ニッケルと鉄との合金、アルミ合金、銅、銅合金、チタン、チタン合金、タングステン、モリブデン、タンタルまたはこれらから選択された少なくとも二種の合金で構成され、真空隔壁を構成する。この場合、金属製のセンサ本体1は、アース接地していることが好ましい。センサ本体1は、その内部に、フィラメント2と、フィラメント2の周囲を囲うように同心に配置される、筒状の輪郭を有するグリッド3と、グリッド3の母線方向図1中、上下方向の延長上に所定間隔を存してグリッドの上下の開口31a、31bに平行にかつ当該開口31a、31bを覆うように夫々配置される円板状の板状部材たるイオンコレクタ41、42とを備える。フィラメント2としては、このフィラメント2に通電することで点灯赤熱させたときの2000~2500°Cの温度範囲において高い機械的強度を有するように、レニウムの重量比が3~26重量であるタングステンとレニウムの合金製で、φ0.1~0.2mmの線材をヘアピン状に成形してなるものが用いられる。そして、フィラメント2の両自由端が、センサ本体1の底部を図示省略の絶縁体を介して貫通させてセンサ本体1内に突設した支持ピン21a、21bによりセンサ本体1内の所定位置に位置決め支持される。この場合、支持ピン21a、21bは接続端子電極の役割も果たす。フィラメント2は、グリッド3内の下側の開口31b側に、フィラメント2の挿入方向前端のヘアピン状に折り返す頂部22側から挿入され、当該頂部22が、グリッド3の母線方向における中点Mpの近傍たる中央領域に位置するように配置されている。なお、中央領域とは、グリッドの母線方向の長さ高さをlとし、その中点Mpを含むグリッド3の高さ方向における一定の領域をいい、具体的には、グリッド3の高さの2/5~3/5の範囲に頂部22が位置すればよい。3/5を超えると、電子を引き出すための電場が、電子が放出されやすいフィラメント2の頂部22に集中しないので、電子の放出効率が低下する、つまり、フィラメント2にかかる電力が増大すると共に、イオン化するための電子が飛行する領域が狭くなって感度が悪くなり、しかも、フィラメントが長くなることによる変形が起こりやすくなって感度変化が大きくなる、という不具合が生じる。他方で、2/5より小さいと、電子の飛行距離が長くなると共に、生成されたイオンの飛行距離も長くなるので、高い圧力における荷電粒子ここでは電子及びイオン対中性粒子気体分子の衝突頻度が多くなることによる感度の低下が起きる、という不具合が生じる。グリッド3としては、タングステン、モリブデン、表面を白金で被覆したモリブデン、タンタル、白金、イリジウム、白金とイリジウムの合金、ニッケル、ニッケルと鉄との合金、ステンレスまたはこれらから選択された少なくとも二種の合金製のものが用いられる。そして、φ0.1~0.5mmの線材を円筒形状の輪郭を有するようにコイル状に巻回して構成される。この場合、グリッドの孔軸Ha上にフィラメント2の頂部22が位置するようになる。なお、グリッド3の形態はこれに限定されるものではなく、上記線材を格子状に組み付けて筒状に成形したものやパンチングメタルまたはフォトエッチングシートを筒状に成形したものであってもよい。グリッド3もまた、センサ本体1の底部を図示省略の絶縁体を介して貫通させてセンサ本体1内に突設した支持ピン31c、31dによりセンサ本体1内の所定位置に位置決め支持される。この場合、支持ピン31cは、接続端子の役割も果たす。イオンコレクタ41、42は、モリブデン、表面を白金で被覆したモリブデン、タンタル、白金、イリジウム、白金とイリジウムの合金、ニッケル、ニッケルと鉄との合金またはこれらから選択された少なくとも二種の合金製の円板状の板材で構成される。この場合、その厚さ50~300μmの範囲に設定される。また、イオンコレクタ41、42のグリッド3との対向面の表面積は、グリッド3の上下方向の開口面積巻き径から算出される面積と同等以上に設定されてグリッド3の開口を覆うようになっている。なお、イオンコレクタ41、42の表面積は、グリッド3の開口面積の1.5倍以下であることが好ましい。1.5倍を超えると、軟エックス線による疑似イオン電流が大きくなり、測定下限値を低くできない。また、所定間隔は、機械的な精度やグリッド3内で生成されたイオンの飛行距離を考慮して設定され、例えば、1~5mmの範囲で設定される。この間隔が1mmより小さいと、グリッド3とイオンコレクタ4が接触するという機械的な不具合がある一方で、5mmを超えると、イオンの飛行距離が長くなることで、圧力が高くなると、イオンー分子間衝突の確率が増え、圧力が高くなると出力信号対圧力の直線性が失われるという不具合が生じる。イオンコレクタ41、42もまた、センサ本体1の底部を図示省略の絶縁体を介して貫通させてセンサ本体1内に突設した支持ピン41a~41dによりセンサ本体1内の所定位置に位置決め支持される。この場合、支持ピン41a、41cは、接続端子の役割も果たす。なお、イオンコレクタ41、42の形態は上記に限定されるものではなく、矩形の板材で構成することもでき、また、グリッド3の上下の開口31a、31bのうち少なくとも一方に配置することもできる。他方、制御部Cは筐体F図1中、一点鎖線で示すを備え、筐体F内にはコンピュータ、メモリやシーケンサ等を備えた制御手段C1が内蔵されている。制御手段C1は、後述の各電源の作動や後述の電流計Aにて測定されたイオン電流値を処理して例えば図示省略のディスプレイに圧力を表示する等の各種制御を統括して行う。また、筐体F内には、フィラメント2に直流電流を通電してフィラメント2を赤熱点灯するフィラメント点灯用の電源E1と、グリッド3に対してフィラメント2より高い電位を与えるグリッド用の電源E2と、フィラメント2の電位をイオンコレクタ41、42の電位よりも高くする電源E3と、イオンコレクタ41、42を夫々流れるイオン電流を測定する電流計Aとが内蔵されている。なお、本実施形態では、特に図示して説明しないが、筐体Fには上記各電源に導通した出力端子が設けられ、センサ部Sと制御ユニットCとはコネクタ付きケーブルにて接続される。また、センサ部Sと制御ユニットCとを同一の筐体に組み込んで構成することもできる。次に、上記熱陰極電離真空計の使用例を説明する。センサ部Sを、フランジ部11及び図示省略のOリングを介して図外の試験体のテストポートに装着した後、試験体内を真空ポンプにより真空引きし、所定真空圧に達すると、圧力測定を開始する。先ず、電源E1によりフィラメント2に直流電流を通電してフィラメント2を点灯させ、熱電子を放出させる。そして、電源E2によりグリッド3とフィラメント2との間の電位差に相当するイオン化電圧で熱電子をグリッド3側に引き込む。このとき、熱電子と衝突したグリッド3周辺の気体原子、分子から正イオンが生じる。そして、生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタ41、42で夫々捕集され、このとき、電流計Aで測定したイオン電流から試験体内の圧力が検出される。なお、熱陰極電離真空計の制御方法やイオン電流からの圧力の算出方法等については、公知のものを利用できるため、ここでは詳細な説明を省略する。以上、本発明の実施形態によれば、イオンコレクタ41、42をグリッド3の少なくとも一方の開口31a、31bを塞ぐ面積の板状部材で構成したため、BA真空計と比較してイオンコレクタ41、42の表面積が大きくなって、正イオンを捕集する確率が低くなることが抑制される一方で、炭化水素系の気体やシロキサンなどの気体雰囲気が形成される試験体に使用される場合でも感度の低下を防止でき、従来例の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有する。また、従来例の電離真空計に用いられる筒状のイオンコレクタと比較して、その表面積が小さいため、軟エックス線による疑似イオン電流を小さくでき、結果として、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできる。また、センサ部Sを金属製の真空隔壁1内に収納したため、熱電子のチャージアップを防止して、真空隔壁1で囲繞された空間内の電位分布を常時一定に保持されるため、長時間に亘って一定の感度で圧力を測定することができる。しかも、フィラメント2をタングステンとレニウムとの合金で構成したため、熱変形や自重による変形を一層抑制することができる。即ち、上記重量比のタングステンとレニウムとの合金は、フィラメント2を点灯させてときの2000~2500°Cの温度範囲における剛性、延性が高く、また、比較的化学的にも安定である。従って、上記温度領域となる熱陰極材料としてより適したものである。つまり、熱履歴による構造変化や振動、衝撃による形状変化が小さく、同時に酸化物被覆をする必要がない。このため、熱陰極電離真空計IGのフィラメント2材として使用した場合における感度変化が少ない。次に、本発明の効果を確認するために、上記熱陰極電離真空計IGを用いて次の実験を行った。この場合、グリッド3として、モリブデン製の網部材を直径φ10mm、高さ24mmに成形したものを用いた。また、フィラメント2としては、その材質がレニウムの重量比を3重量としたタングステン-レニウム合金製のものを用い、ヘアピン状に成形したフィラメント2の頂部22がグリッド3の中心に位置するようにグリッド3内に挿設した。イオンコレクタ41、42としては、その材質がSUS304とし、φ10mmの板材とした。接地電位に対する電源E1の電位を25V、電源E2の電位を150Vとし、電源E3の電位を0Vとし、イオン化のための電子電流を1mAに制御することとした。そして、熱陰極電離真空計IGの測定下限値を測定したものを図3に示す。なお、図3中、-□-線は、上記熱陰極電離真空計IG発明品のものである。また、図3には、従来例の熱陰極電離真空計のもの従来品:図3中、-○-で示すもの及びBA真空計比較品:図3中、-△-で示すものの測定下限値を測定したものも示している。これによれば、発明品のものは、BA真空計より圧力の測定下限値は高いが、従来品のものより、圧力の測定下限値が低くなっていることが確認された。次に、上記と同一の熱陰極電離真空計IGを用いて他の実験を行った。即ち、電離真空計の安定性を示すために、シロキサンに暴露しながら動作させ,その後に窒素に対して校正して感度の変化を測定した。図4には、その測定結果が示され、図4中、-□-線は、発明品、-○-が従来品、-△-が比較品のものである、これによれば、比較品では、約1.5時間のシロキサンへの暴露で約2ケタ感度が低下することが判る。それに対して、発明品では、感度変化が少なく、従来品と同等の安定性を有することが確認された。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。上記実施形態では、センサ本体1を備えたものを例に説明したが、センサ部を試験体にそのまま取り付けるような場合にも本発明は適用することができる。"