"電機子巻線と、前記電機子巻線を囲むように設けられ内部空間に冷媒が供給される冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子であって、前記冷却ジャケットは、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に有した構造であることを特徴とするリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットの流路を、板厚方向に内側冷媒流路および外側冷媒流路の二層に分けた構成にしたことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットの流路断面形状を、台形にしたことを特徴とする請求項1または2記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットは、リニアモータの進行方向となる両端部分に冷媒を流すようにした冷媒入口または冷媒出口を備えた構造を有することを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する4面のうち1面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースを配設したことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ電機子。前記ベースと前記冷却ジャケットの接続部位にフランジを設けたことを特徴とする請求項5記載のリニアモータ電機子。前記ベースと前記冷却ジャケットの接続部位をネジで固定したことを特徴とする請求項5または6記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットと前記フランジを炭素繊維により一体化したことを特徴とする請求項6記載のリニアモータ電機子。前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路は、各々における前記冷媒の流れ方向が同じとなるように並列に接続されており、前記冷却ジャケットは、前記外側冷媒流路の出口側である第1出口側流路と前記内側冷媒流路の出口側である第2出口側流路が、当該冷却ジャケットの内部において合流しないように構成されていることを特徴とする請求項2記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する4面のうち1面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、前記第1出口側流路と前記第2出口側流路は、前記ベース内において合流することを特徴とする請求項9記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する4面のうち1面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、前記ベースは、前記冷媒が流出する2つの冷媒出口を有しており、前記第1出口側流路と前記第2出口側流路は、前記2つの冷媒出口に個別に連通していることを特徴とする請求項9記載のリニアモータ電機子。前記外側冷媒流路と前記内側冷媒流路は、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向一端側で流路を折返すことにより、各々における前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続されており、前記外側冷媒流路が上流側、前記内側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴とする請求項2記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する4面のうち1面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、前記ベースは、前記冷媒が流入する冷媒入口及び前記冷媒が流出する冷媒出口を、リニアモータの進行方向他端側に有しており、前記冷媒出口は、前記冷媒入口よりも前記冷却ジャケットの板厚方向において内側に配置されていることを特徴とする請求項12記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットは、リニアモータの進行方向一端側に、前記内側冷媒流路の入口である内側入口流路及び出口である内側出口流路を有すると共に、前記リニアモータの進行方向他端側に、前記外側冷媒流路の入口である外側入口流路及び出口である外側出口流路を有し、前記内側冷媒流路及び前記外側冷媒流路は、前記電機子巻線の周囲を一周するようにそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項2記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットは、前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路の各々における前記冷媒の流れ方向が同じとなるように構成されていることを特徴とする請求項14記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットは、前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路の各々における前記冷媒の流れ方向が反対となるように構成されていることを特徴とする請求項14記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットは、前記内側入口流路、前記内側出口流路、及び、前記外側冷媒流路の一部を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第1筒部材を、前記リニアモータの進行方向一端側に有すると共に、前記外側入口流路、前記外側出口流路、及び、前記内側冷媒流路の一部を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第2筒部材を、前記リニアモータの進行方向他端側に有することを特徴とする請求項14乃至16のいずれか1項に記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットは、前記電機子巻線の軸方向一方側に配置され、リニアモータの進行方向一端側で流路を折返すことにより、前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続された第1外側冷媒流路及び第1内側冷媒流路と、前記電機子巻線の軸方向他方側に配置され、前記リニアモータの進行方向他端側で流路を折返すことにより、前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続された第2外側冷媒流路及び第2内側冷媒流路と、を有することを特徴とする請求項2記載のリニアモータ電機子。前記第1外側冷媒流路及び前記第2外側冷媒流路が上流側、前記第1内側冷媒流路及び前記第2内側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴とする請求項18記載のリニアモータ電機子。前記第1内側冷媒流路及び前記第2内側冷媒流路が上流側、前記第1外側冷媒流路及び前記第2外側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴とする請求項18記載のリニアモータ電機子。前記冷却ジャケットは、前記第1外側冷媒流路または前記第1内側冷媒流路の入口である第1入口流路、前記第1外側冷媒流路または前記第1内側冷媒流路の出口である第1出口流路、及び、前記第2外側冷媒流路と前記第2内側冷媒流路との間の第2折返し流路を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第3筒部材を、前記リニアモータの進行方向他端側に有すると共に、前記第2外側冷媒流路または前記第2内側冷媒流路の入口である第2入口流路、前記第2外側冷媒流路または前記第2内側冷媒流路の出口である第2出口流路、及び、前記第1外側冷媒流路と前記第1内側冷媒流路との間の第1折返し流路を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第4筒部材を、前記リニアモータの進行方向一端側に有することを特徴とする請求項18乃至20のいずれか1項に記載のリニアモータ電機子。請求項1~21のいずれか1項記載のリニアモータ電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置すると共に強磁性体からなるヨーク上に複数の永久磁石を並べて取り付けられた界磁と、を備えたことを特徴とするリニアモータ。従来技術は、冷媒冷却により表面温度上昇をある程度抑制できるものの、同等のリニアモータの体格で推力向上を狙った場合、推力向上のために電機子に通電する際、コイルの発熱に伴った電機子表面の温度上昇を犠牲にせざるを得ず、冷却効率向上に問題があった。本発明は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、同等体格で推力向上を狙った場合、電機子の表面温度上昇を抑制すると共に冷却効率を向上することができるリニアモータ電機子およびリニアモータを提供することを目的とする。上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。請求項1の発明は、電機子巻線と、前記電機子巻線を囲むように設けられ内部空間に冷媒が供給される冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子であって、前記冷却ジャケットは、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に有した構造であることを特徴としている。また、請求項2の発明は、請求項1記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットの流路を、板厚方向に内側冷媒流路および外側冷媒流路の二層に分けた構成にしたことを特徴としている。また、請求項3の発明は、請求項1または2記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットの流路断面形状を、台形にしたことを特徴としている。また、請求項4の発明は、請求項1または2記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、リニアモータの進行方向となる両端部分に冷媒を流すようにした冷媒入口または冷媒出口を備えた構造を有することを特徴としている。また、請求項5の発明は、請求項1または2記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する4面のうち1面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースを配設したことを特徴としている。また、請求項6の発明は、請求項5記載のリニアモータ電機子において、前記ベースと前記冷却ジャケットの接続部位にフランジを設けたことを特徴としている。また、請求項7の発明は、請求項5または6記載のリニアモータ電機子において、前記ベースと前記冷却ジャケットの接続部位をネジで固定したことを特徴としている。また、請求項8の発明は、請求項6記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットと前記フランジを炭素繊維により一体化したことを特徴としている。また、請求項9の発明は、請求項2記載のリニアモータ電機子において、前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路は、各々における前記冷媒の流れ方向が同じとなるように並列に接続されており、前記冷却ジャケットは、前記外側冷媒流路の出口側である第1出口側流路と前記内側冷媒流路の出口側である第2出口側流路が、当該冷却ジャケットの内部において合流しないように構成されていることを特徴としている。また、請求項10の発明は、請求項9記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する4面のうち1面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、前記第1出口側流路と前記第2出口側流路は、前記ベース内において合流することを特徴としている。また、請求項11の発明は、請求項9記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する4面のうち1面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、前記ベースは、前記冷媒が流出する2つの冷媒出口を有しており、前記第1出口側流路と前記第2出口側流路は、前記2つの冷媒出口に個別に連通していることを特徴としている。また、請求項12の発明は、請求項2記載のリニアモータ電機子において、前記外側冷媒流路と前記内側冷媒流路は、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向一端側で流路を折返すことにより、各々における前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続されており、前記外側冷媒流路が上流側、前記内側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴としている。また、請求項13の発明は、請求項12記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットにおけるリニアモータの進行方向と平行する4面のうち1面に、前記冷却ジャケットに替えて平板状のベースが配設されており、前記ベースは、前記冷媒が流入する冷媒入口及び前記冷媒が流出する冷媒出口を、リニアモータの進行方向他端側に有しており、前記冷媒出口は、前記冷媒入口よりも前記冷却ジャケットの板厚方向において内側に配置されていることを特徴としている。また、請求項14の発明は、請求項2記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、リニアモータの進行方向一端側に、前記内側冷媒流路の入口である内側入口流路及び出口である内側出口流路を有すると共に、前記リニアモータの進行方向他端側に、前記外側冷媒流路の入口である外側入口流路及び出口である外側出口流路を有し、前記内側冷媒流路及び前記外側冷媒流路は、前記電機子巻線の周囲を一周するようにそれぞれ設けられていることを特徴としている。また、請求項15の発明は、請求項14記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路の各々における前記冷媒の流れ方向が同じとなるように構成されていることを特徴としている。また、請求項16の発明は、請求項14記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記内側冷媒流路と前記外側冷媒流路の各々における前記冷媒の流れ方向が反対となるように構成されていることを特徴としている。また、請求項17の発明は、請求項14乃至16のいずれか1項に記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記内側入口流路、前記内側出口流路、及び、前記外側冷媒流路の一部を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第1筒部材を、前記リニアモータの進行方向一端側に有すると共に、前記外側入口流路、前記外側出口流路、及び、前記内側冷媒流路の一部を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第2筒部材を、前記リニアモータの進行方向他端側に有することを特徴としている。また、請求項18の発明は、請求項2記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記電機子巻線の軸方向一方側に配置され、リニアモータの進行方向一端側で流路を折返すことにより、前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続された第1外側冷媒流路及び第1内側冷媒流路と、前記電機子巻線の軸方向他方側に配置され、前記リニアモータの進行方向他端側で流路を折返すことにより、前記冷媒の流れ方向が反対となるように直列に接続された第2外側冷媒流路及び第2内側冷媒流路と、を有することを特徴としている。また、請求項19の発明は、請求項18記載のリニアモータ電機子において、前記第1外側冷媒流路及び前記第2外側冷媒流路が上流側、前記第1内側冷媒流路及び前記第2内側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴としている。また、請求項20の発明は、請求項18記載のリニアモータ電機子において、前記第1内側冷媒流路及び前記第2内側冷媒流路が上流側、前記第1外側冷媒流路及び前記第2外側冷媒流路が下流側に配置されていることを特徴としている。また、請求項21の発明は、請求項18乃至20のいずれか1項に記載のリニアモータ電機子において、前記冷却ジャケットは、前記第1外側冷媒流路または前記第1内側冷媒流路の入口である第1入口流路、前記第1外側冷媒流路または前記第1内側冷媒流路の出口である第1出口流路、及び、前記第2外側冷媒流路と前記第2内側冷媒流路との間の第2折返し流路を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第3筒部材を、前記リニアモータの進行方向他端側に有すると共に、前記第2外側冷媒流路または前記第2内側冷媒流路の入口である第2入口流路、前記第2外側冷媒流路または前記第2内側冷媒流路の出口である第2出口流路、及び、前記第1外側冷媒流路と前記第1内側冷媒流路との間の第1折返し流路を内包すると共に、各流路を仕切る流路仕切り板を有する第4筒部材を、前記リニアモータの進行方向一端側に有することを特徴としている。請求項22の発明は、請求項1~21のいずれか1項記載のリニアモータ電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置すると共に強磁性体からなるヨーク上に複数の永久磁石を並べて取り付けられた界磁と、を備えたリニアモータを特徴としている。本発明によれば、リニアモータの電機子の表面温度上昇を抑制すると共に冷却効率を向上することができる。第1実施形態以下、第1実施形態を図に基づいて説明する。図1は第1実施形態に用いるリニアモータの全体斜視図である。図1において、1は冷媒冷却を施した構成のリニアモータ、2は界磁、3はヨーク、4は界磁用永久磁石、5は電機子、6はベースである。図1に示すリニアモータ1は、強磁性体で構成されるヨーク3上に長手方向に沿って複数の界磁用永久磁石4を並べて設けた界磁2を固定子とし、界磁2と磁気的空隙を介して配置した電機子5を可動子として、固定子に対して、可動子を相対移動する構成となっている。図2は第1実施形態に係るリニアモータ電機子の分解斜視図である。図2において、7は電機子巻線、8は冷却ジャケット、8aは第1冷却ジャケット、8bは第2冷却ジャケット、8cは第3冷却ジャケット、8eは第4冷却ジャケット、8fは第5冷却ジャケット、9aは冷媒入口、9bは冷媒出口、10は基板である。図2に示すように、電機子5は、内部空間に冷媒が供給される冷却ジャケット8と、この冷却ジャケット8における電機子5の進行方向と平行する方向の4面のうちの上面に配設された平板状のベース6とを有しており、所謂T形のリニアモータ電機子を構成したものとなっている。具体的には、リニアモータ1の電機子5は、基板10に固定された電機子巻線7と、電機子巻線7の周囲を囲むように装入されると共に、電機子5の進行方向と平行する方向の3面冷却ジャケット8a,8b,8cと電機子5の進行方向と直交する方向の2面冷却ジャケット8e,8fを対向させて箱状に連結するように構成した箱状の冷却ジャケット8と、1枚の平板状のベース6で構成されている。図3は、第1実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図である。図3において、11はフランジ、12はネジ、13aは内側冷媒流路、13bは外側冷媒流路である。第1実施形態は、図3に示すように電機子巻線7と、流路を内蔵する冷却ジャケット8と、ベース6とで構成された電機子5は、電機子巻線7が冷却ジャケット8の内側に密着するように樹脂モールド14で固着されるか、もしくは図示しない接着剤により接着されて一体化するようになっている。また、図3に示すように、電機子5の進行方向と直交する方向の2面紙面の手前と奥に位置する2面。冷却ジャケット8e,8fと、電機子5の進行方向と平行な方向の3面冷却ジャケット8a,8b,8cとで箱状に連結するように構成した箱状の冷却ジャケット8において、冷却ジャケット8の端部表面を90°曲げて成形してなるフランジ11をCFRP炭素繊維で一体に成形し、冷却ジャケット8のフランジ11をベース6に対してネジ12により固定してある。上記の冷却ジャケット8のCFRP炭素繊維による一体成形は、強度を増すことが可能である。具体的には、電機子5の姿勢を横向きにしても電機子5の質量を十分保持できるように、角部には推力方向と直交する方向に炭素繊維の方向を一致するように配置して剛性を強化している。このように構成することで、ベース6は電機子巻線7が発生する推力を外部に伝達することができる。また、箱状の冷却ジャケット8と、1枚の平板状のベース6とを接続する接続構成として、上記フランジ11を別部材により接着により固定し、冷却ジャケット8を当該フランジ11を介してベース6に対してネジ12により固定してもよい。あるいはまた、冷却ジャケット8とベース6とを接続する接続部位として、フランジを用いずに、単に冷却ジャケット8をベース6に対して接着した後、ネジ12で固定する構成にしても良く、何れの場合も同様にベース6は電機子巻線7が発生する推力を外部に伝達することができる。また、第1実施形態は、冷却ジャケット8が薄板状で、且つ、冷却ジャケット8の冷媒が供給される流路を板厚方向表面への熱伝達方向に多重に分けた構成となっており、特に、図3に示す如く内側冷媒流路13a、外側冷媒流路13bの二層に分けた構成にしたことを特徴としている。図3に示す内側冷媒流路13aおよび外側冷媒流路13bを有する冷却ジャケット8には、図2で示した冷媒の導入、排出を行うための冷媒入口9aおよび冷媒出口9bを有するベース6が設けられると共に、冷媒入口9aおよび冷媒出口9bは各々、内側冷媒流路13aおよび外側冷媒流路13bに連通している。その動作については、冷媒入口9aから流入した冷媒は、内側冷媒流路13a、外側冷媒流路13bに分岐して流れ、冷媒出口9bから外部に排出されることになる。詳細に説明すると、電機子巻線7に近い内側冷媒流路13aを流れる冷媒は、従来どおり電機子巻線7の発熱を回収する目的に使用される。リニアモータ表面に近い外側冷媒流路13bを流れる冷媒は、内側冷媒流路13aを流れる冷媒で回収できなかった僅かな熱量を回収すると同時に、リニアモータ表面温度を、導入した冷媒の温度に保つシールド効果、いわゆる表面温度抑制効果を奏することができる。以上説明したように、第1実施形態に係る電機子5は、流路内蔵ジャケット8の流路を板厚方向に二層多層にすることで、熱回収を行うための冷媒が流れる熱回収流路と表面温度抑制を行うための冷媒が流れる表面温度抑制流路に分担することができ、リニアモータ1の表面温度上昇を格段に抑制することができる。その結果、同等体格で推力向上を狙った場合でも、電機子5の表面温度上昇を抑制することができることから、冷却効率を向上することができ、冷媒圧力による変形を防止することができる。また、これにより、製作が容易で安価なリニアモータ電機子が得られる。また、内部に二重の流路を内蔵した流路内蔵ジャケット構造のため、二重の流路間は各々仕切られているため内圧の影響を受けにくく、流量アップによる高圧力仕様にも耐えることが可能である。次に、第1実施形態の変形例について説明する。図4は、第1実施形態の変形例に係るリニアモータ電機子の正断面図である。本変形例のリニアモータ電機子の構成は基本的に第1実施形態の図2、図3と同等であるが、流路を内蔵した冷却ジャケット8の流路を板厚方向に二重にせず、流路の断面形状を従来の長方形から台形にした点で異なっている。内側冷媒流路13aは、電機子巻線7に近い辺の長さが長く、リニアモータ表面側の辺の長さが短い。従って、内側冷媒流路13aを流れる冷媒は、電機子巻線7の熱回収効果は大きく、リニアモータ表面への熱伝達は小さくなる。一方、外側冷媒流路13bは、電機子巻線7に近い辺の長さが短く、リニアモータ表面側の辺の長さが長い。従って、外側冷媒流路13bを流れる冷媒は、電機子巻線7からの熱影響が小さく、表面温度上昇の抑制効果が大きい。従って、流路を内蔵した冷却ジャケット8の流路を板厚方向に二層にすることと同等の効果を奏することができる。以上説明したように、本変形例に係る電機子5は、流路の断面形状を従来の長方形から台形にすることによりリニアモータ1の表面温度上昇を格段に抑制することができる。第2実施形態次に、第2実施形態を図に基づいて説明する。図5aは第2実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図、図5bは図5a中VB-VB断面による側断面図、図5cは図5b中VC-VC断面による水平断面図である。本実施形態のリニアモータ100図示せずは、以下に説明する電機子105以外の構成については、第1実施形態のリニアモータ1と同様である。図5において、111はフランジ、112はネジ、113aは内側冷媒流路、113bは外側冷媒流路である。電機子105は、第1実施形態の電機子5と同様に、電機子巻線107と、流路を内蔵する冷却ジャケット108と、ベース106とを有している。電機子巻線107は、冷却ジャケット108の内側に密着するように樹脂モールド114で固着されるか、もしくは図示しない接着剤により接着されて一体化されている。また、冷却ジャケット108は、電機子105の進行方向と直交する方向の2面冷却ジャケット108e,108fと、電機子105の進行方向と平行な方向の3面冷却ジャケット108a,108b,108cとで、箱状に構成されている。また、図5aに示すように、冷却ジャケット108の側面を構成する冷却ジャケット108a,108c,108e,108fの上端部表面を90°曲げて成形されたフランジ111をCFRP炭素繊維で一体に成形し、当該フランジ111がベース106に対してネジ112により固定されている。冷却ジャケット108は、第1実施形態の電機子5と同様に、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に分けた構成、すなわち、図5a及び図5cに示すように、内側冷媒流路113a及び外側冷媒流路113bの二層に分けた構成となっている。これら内側冷媒流路113aと外側冷媒流路113bは、各々における冷媒の流れ方向図5中矢印Fで示すが同じとなるように並列に接続されている。具体的には、図5b及び図5cに示すように、複数図5に示す例では7つの外側冷媒流路113bが入口側において第1入口側流路115に連通すると共に、出口側において第1出口側流路116に連通している。同様に、複数図5に示す例では8つの内側冷媒流路113aが入口側において第2入口側流路117に連通すると共に、出口側において第2出口側流路118に連通している。第1入口側流路115と第2入口側流路117は、ベース106内において接続され、ベース106の上面に設けられた冷媒入口109aに連通している。同様に、第1出口側流路116と第2出口側流路118は、ベース106内において接続され、ベース106の上面に設けられた冷媒出口109bに連通している。上記構成により、冷却ジャケット108は、外側冷媒流路113bの出口側である第1出口側流路116と内側冷媒流路113aの出口側である第2出口側流路118が、当該冷却ジャケット108の内部において合流しないようになっている。なお、図5に示す例では、外側冷媒流路113bの入口側である第1入口側流路115と内側冷媒流路113aの入口側である第2入口側流路117についても、ベース106内において接続される構成としたが、これら入口側の第1入口側流路115と第2入口側流路117については、冷却ジャケット108の内部において接続される構成としてもよい。以上説明した第2実施形態の効果について説明する。電機子105においては、第1実施形態の電機子5と同様に、冷却ジャケット108の流路が内側冷媒流路113a及び外側冷媒流路113bからなっており、板厚方向に二層に分けた構成となっている。電機子巻線107に近い内側冷媒流路113aを流れる冷媒は、電機子巻線107の発熱を回収する。一方、リニアモータ100の表面に近い外側冷媒流路113bを流れる冷媒は、内側冷媒流路113aを流れる冷媒で回収できなかった微量の熱量を回収すると共に、リニアモータ100の表面温度を導入した冷媒の温度に保ち、表面温度の上昇を抑制する。このとき、内側冷媒流路113aの出口側である第2出口側流路118を流れる冷媒は、外側冷媒流路113bの出口側である第1出口側流路116を流れる冷媒よりも吸収熱量が多いため、温度が高くなっている。このため、冷却ジャケット108の内部において第1出口側流路116と第2出口側流路118が合流する構成とした場合、リニアモータ100の表面温度を抑制するための外側冷媒流路113b第1出口側流路116の冷媒の温度が合流により上昇する。その結果、冷媒出口付近におけるリニアモータ100の表面温度が他の部分に比べて上昇する可能性がある。このような表面温度の上昇が生じると、リニアモータ100の周囲機器への影響が懸念される。そこで第2実施形態では、上述のように第1出口側流路116と第2出口側流路118が冷却ジャケット108の内部において合流しないような構成とすることにより、冷媒出口付近におけるリニアモータ100の表面温度の上昇を抑制することが可能となり、リニアモータ100の信頼性を向上することができる。また、本実施形態では特に、第1出口側流路116と第2出口側流路118をベース106内で合流させることにより、冷却ジャケット108の内部において合流しない構成を確実に実現できると共に、ベース106に設ける冷媒出口109bが1箇所で済み、構成を簡素化できる。次に、第2実施形態の変形例について説明する。図6は、本変形例に係るリニアモータ電機子の図5a中VB-VB断面相当による側断面図であり、冷媒出口側のみを部分的に示している。図6に示すように、本変形例の電機子105においては、ベース106に、冷媒が流出する2つの冷媒出口109b,109bが設けられている。そして、外側冷媒流路113bの出口側である第1出口側流路116と、内側冷媒流路113aの出口側である第2出口側流路118とが、2つの冷媒出口109b,109bに個別に連通している。すなわち、本変形例では、第1出口側流路116と第2出口側流路118が、冷却ジャケット108の内部のみでなく、ベース106内においても合流しない構成となっている。上記構成である本変形例によれば、第1出口側流路116と第2出口側流路118が、冷却ジャケット108に加えてさらにベース106の内部においても合流しない構成を実現できるので、冷媒出口付近におけるリニアモータ100の表面温度の上昇をさらに抑制することが可能となり、リニアモータ100の信頼性をより向上することができる。第3実施形態次に、第3実施形態を図に基づいて説明する。図7aは第3実施形態に係るリニアモータ電機子の正断面図、図7bは図7a中VIIB-VIIB断面による側断面図、図7cは図7b中VIIC-VIIC断面による水平断面図である。本実施形態のリニアモータ200図示せずは、以下に説明する電機子205以外の構成については、第1実施形態のリニアモータ1と同様である。また、本実施形態の電機子205は、冷媒流路の構成において前述の第2実施形態の電機子105と異なっているが、冷媒流路以外の構成については電機子105と同様であるので、説明を省略する。冷却ジャケット208は、第2実施形態の電機子105と同様に、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に分けた構成、すなわち、図7a及び図7cに示すように、内側冷媒流路213a及び外側冷媒流路213bの二層に分けた構成となっている。これら内側冷媒流路213a及び外側冷媒流路213bは、冷却ジャケット208におけるリニアモータ200の進行方向一端側図7b及び図7c中左端側で流路を折返すことにより、各々における冷媒の流れ方向図7中矢印Fで示すが反対となるように直列に接続されている。また、外側冷媒流路213bが上流側、内側冷媒流路213aが下流側に配置されている。具体的には、図7b及び図7cに示すように、複数図7に示す例では7つの外側冷媒流路213bのそれぞれには、進行方向他端側図7b及び図7c中右端側に連通孔220が設けられており、各連通孔220は入口側流路215に連通している。この入口側流路215は、ベース206の上面に設けられた冷媒入口209aに連通している。一方、外側冷媒流路213bのそれぞれには、進行方向一端側に連通孔221が設けられており、各連通孔221は接続流路222に連通している。この接続流路222は、外側冷媒流路213bと内側冷媒流路213aとを接続するための流路である。同様に、複数図7に示す例では8つの内側冷媒流路213aのそれぞれには、進行方向一端側に連通孔223が設けられており、各連通孔223は上記接続流路222に連通している。一方、内側冷媒流路213aのそれぞれには、進行方向他端側に連通孔224が設けられており、各連通孔224は出口側流路218に連通している。この出口側流路218は、ベース206の上面に設けられた冷媒出口209bに連通している。なお、外側冷媒流路213bと内側冷媒流路213aは、高さ方向図7a中上下方向において互い違いに配置されている。このため、接続流路222は、例えば1つの外側冷媒流路213bより流入した冷媒をその高さ方向両側に位置する2つの内側冷媒流路213aのそれぞれに分配するように、外側冷媒流路213bと内側冷媒流路213aとを接続している。また、図7bに示すように、冷媒入口209a及び冷媒出口209bは、ベース206におけるリニアモータ200の進行方向他端側図7b及び図7c中右端側に設けられており、冷媒出口209bは冷媒入口209aよりも冷却ジャケット208eの板厚方向において内側に配置されている。上記構成である電機子205においては、ベース206に設けられた冷媒入口209aを介して冷却ジャケット208に導入された冷媒は、入口側流路215及び連通孔220を介して上流側の外側冷媒流路213bを流れ、次に連通孔221、接続流路222及び連通孔223を介して下流側の内側冷媒流路213aを通り、その後、連通孔224及び出口側流路218を経て、ベースに設けられた冷媒出口209bを介して外部に流出する。以上説明した第3実施形態の効果について説明する。本実施形態の電機子205においては、冷却ジャケット208の流路をリニアモータ200の進行方向一端側で折返すことにより、外側冷媒流路213bと内側冷媒流路213aとが直列に接続された構成となっている。そして、外側冷媒流路213bが上流側、内側冷媒流路213aが下流側に配置されている。このような構成により、冷媒はまず上流側の外側冷媒流路213bを流れ、リニアモータ200の表面温度を冷媒の温度に保ちつつ、次に下流側の内側冷媒流路213aを流れ、電機子巻線207の発熱を回収する。このように、冷却ジャケット208内に導入した冷媒をまず最初に外側冷媒流路213bに流すことができるので、リニアモータ200の表面温度の上昇を抑制できる。また、外側冷媒流路213bと内側冷媒流路213aとが直列に接続されているので、内側冷媒流路213aを流れて温度が上昇した冷媒が冷却ジャケット208内において外側冷媒流路213bに合流することがない。したがって、リニアモータ200の表面温度の上昇を確実に抑制することができ、リニアモータ200の信頼性を向上することができる。また、本実施形態では特に、ベース206の進行方向他端側において、冷媒出口209bは冷媒入口209aよりも冷却ジャケット208eの板厚方向において内側に配置されている。これにより、図7cに示すように、冷媒出口209bに連通する出口側流路218を冷媒入口209aに連通する入口側流路215よりも内側に配置することができる。その結果、内側冷媒流路213aを流れて温度が上昇した冷媒がリニアモータ200の表面近くを流れることがないので、リニアモータ200の表面温度の上昇を確実に抑制することができる。第4実施形態次に、第4実施形態を図に基づいて説明する。図8は第4実施形態に係るリニアモータ電機子の斜視図である。図9aは図8中IXA-IXA断面による正断面図、図9bは図8及び図9a中IXB-IXB断面による水平断面図である。図10は第4実施形態に係るリニアモータ電機子のうち、その冷却ジャケットにおけるリニアモータ電機子の進行方向一端側に設けられた第1筒部材の一部破断斜視図である。本実施形態のリニアモータ300図示せずは、以下に説明する電機子305以外の構成については、第1実施形態のリニアモータ1と同様である。図8、図9、及び図10において、本実施形態の電機子305は、第1実施形態の電機子5と同様、電機子巻線図示せずと、この電機子巻線の周囲を囲むように装入されると共に、流路を内蔵する冷却ジャケット308と、ベース306とを有している。電機子巻線は、その軸方向がリニアモータ300の進行方向、すなわち電機子305の進行方向と直交する第1方向図8、図9a、及び図9b中上下方向となるように図示しない基板に固定されており、冷却ジャケット308の内側に密着するように図示しない樹脂モールドで固着されるか、もしくは図示しない接着剤により接着されて一体化されている。ベース306は、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向と平行する方向の4面のうち、当該進行方向と直交する第2方向図8中左上-右下の斜め方向、図9a中左右方向の一方側図8中右下側、図9a中右側の面に配設されている。冷却ジャケット308は、上記第2方向の2面冷却ジャケット308e,308fと、電機子305の進行方向と平行する方向の3面冷却ジャケット308a,308b,308cとで、箱状に構成されている。また、図9aに示すように、冷却ジャケット308の側面を構成する冷却ジャケット308a,308c,308e,308fの上記第2方向一方側表面を90°曲げて成形されたフランジ311をCFRP炭素繊維で一体に成形し、当該フランジ311がベース306に対してネジ312により固定されている。また、冷却ジャケット308は、第1実施形態の電機子5と同様、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に分けた構成、すなわち、図9a及び図9bに示すように、内側冷媒流路313a及び外側冷媒流路313bの二層に分けた構成となっている。これら内側冷媒流路313a及び外側冷媒流路313bは、上記電機子巻線の周囲を一周するようにそれぞれ設けられている。またこれと共に、複数図9aに示す例では9つの内側冷媒流路313aの入口である内側入口流路330a及び出口である内側出口流路331aと、複数図9aに示す例では8つの外側冷媒流路313bの入口である外側入口流路330b及び出口である外側出口流路331bとが、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向両端側に振り分けて配置されている。また、冷却ジャケット308は、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bとの各々における冷媒の流れ方向図9b中矢印Fで示すが同じとなるように構成されている。具体的には、図8、図9a、及び図9bに示すように、冷却ジャケット308は、電機子305の進行方向一端側図8中左下側、図9b中左側に、上記内側入口流路330a及び内側出口流路331aと、第1筒部材332aとを有すると共に、電機子305の進行方向他端側図8中右上側、図9b中右側に、上記外側入口流路330b及び外側出口流路331bと、第2筒部材332bとを有している。内側入口流路330a及び内側出口流路331aは、それぞれ、ベース306における電機子305の進行方向一端側に設けられた、冷媒の導入を行うための内側冷媒入口333a、及び、冷媒の排出を行うための内側冷媒出口334aに連通している。第1筒部材332aは、図10に示すように、内側入口流路330a、内側出口流路331a、及び、外側冷媒流路313bの一部を内包しており、これら各流路を仕切る流路仕切り板335aを有している。本実施形態では、流路仕切り板335aは、第1筒部材332a内の電機子305の進行方向他端側言い換えれば、冷却ジャケット308の内側における電機子巻線の軸方向すなわち、上記第1方向一方側図9b中下側に内側入口流路330aが配置され、第1筒部材332a内の電機子305の進行方向他端側における電機子巻線の軸方向他方側図9b中上側に内側出口流路331aが配置され、第1筒部材332a内の電機子305の進行方向一端側言い換えれば、冷却ジャケット308の外側に外側冷媒流路313bの一部が配置されるように、これら各流路を仕切っている。外側入口流路330b及び外側出口流路331bは、それぞれ、ベース306における電機子305の進行方向他端側に設けられた、冷媒の導入を行うための外側冷媒入口333b、及び、冷媒の排出を行うための外側冷媒出口334bに連通している。第2筒部材332bは、上記第1筒部材332aと同様の構造であり、外側入口流路330b、外側出口流路331b、及び、内側冷媒流路313aの一部を内包しており、これら各流路を仕切る流路仕切り板335bを有している。本実施形態では、流路仕切り板335bは、第2筒部材332b内の電機子305の進行方向他端側言い換えれば、冷却ジャケット308の外側における電機子巻線の軸方向他方側に外側入口流路330bが配置され、第2筒部材332b内の電機子305の進行方向他端側における電機子巻線の軸方向一方側に外側出口流路331bが配置され、第2筒部材332b内の電機子305の進行方向他端側言い換えれば、冷却ジャケット308の内側に内側冷媒流路313aの一部が配置されるように、これら各流路を仕切っている。上記構成により、内側冷媒流路313a及び外側冷媒流路313bは、電機子巻線の周囲をそれぞれ一周するようになっている。また、冷却ジャケット308においては、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bとの各々における冷媒の流れ方向Fが同じとなっている。すなわち、内側冷媒入口333aを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向一端側において第1筒部材332aに内包された内側入口流路330aに流入する。そして、内側入口流路330aを介して電機子巻線の軸方向一方側に配置された上流側の内側冷媒流路313aを流れ、第2筒部材332bの内部を通り、電機子巻線の軸方向他方側に配置された下流側の内側冷媒流路313aを流れて、電機子巻線の周囲を一周する。その後、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向一端側において第1筒部材332aに内包された内側出口流路331aから流出し、内側冷媒出口334aを介して外部に排出される。一方、外側冷媒入口333bを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向他端側において第2筒部材332bに内包された外側入口流路330bに流入する。そして、外側入口流路330bを介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の外側冷媒流路313bを流れ、第1筒部材332aの内部を通り、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の外側冷媒流路313bを流れて、電機子巻線の周囲を一周する。その後、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向他端側において第2筒部材332bに内包された外側出口流路331bから流出し、外側冷媒出口334bを介して外部に排出される。以上説明した第4実施形態の効果について説明する。本実施形態の電機子305においては、内側冷媒流路313aの入口である内側入口流路330a及び出口である内側出口流路331aを電機子305の進行方向一端側に設けると共に、外側冷媒流路313bの入口である外側入口流路330b及び出口である外側出口流路331bを電機子305の進行方向他端側に設け、これら内側冷媒流路313a及び外側冷媒流路313bを電機子巻線の周囲を一周するようにそれぞれ設ける構成となっている。このような構成により、内側冷媒流路313aを流れる冷媒は、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向一端側において内側入口流路330aに流入し、電機子巻線の周囲を一周するように流れて、進行方向一端側の内側出口流路331aから流出する。一方、外側冷媒流路313bを流れる冷媒は、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向他端側において外側入口流路330bに流入し、電機子巻線の周囲を一周するように流れて、進行方向他端側の外側出口流路331bから流出する。このように、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bとをそれぞれ電機子巻線の周囲を一周するように設けると共に、内側冷媒流路313の入口流路330a及び出口流路331aと、外側冷媒流路313bの入口流路330b及び出口流路331bとを、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向両端側に振り分けて配置することにより、冷却ジャケット308による冷却効率を進行方向に沿って略均一にすることができる。その結果、電機子305及びリニアモータ300の表面温度を進行方向に沿って略均一にすることができる。また、本実施形態では特に、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向両端側に第1筒部材332a及び第2筒部材332bを設けている。これにより、簡単な構成によって、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bとをそれぞれ電機子巻線の周囲を一周するように設けると共に、内側冷媒流路313aの入口流路330a及び出口流路331aと、外側冷媒流路313bの入口流路330b及び出口流路331bとを、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向両端側に振り分けて配置した構成を実現できる。また、本実施形態では特に、冷却ジャケット308は、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bとの各々における冷媒の流れ方向Fが同じとなるように構成されている。そして、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bとの各々における冷媒の流れ方向Fを同じとすることで、内側冷媒流路313aの上流側と外側冷媒流路313bの上流側とを、それぞれ電機子巻線の軸方向一方側図9b中下側と他方側図9b中上側とに振り分けて配置している。これにより、電機子巻線の軸方向一方側及び他方側における冷却効率を略均一にすることができ、表面温度を電機子巻線の軸方向両側において略均一にすることができる。なお、内側冷媒流路313a及び外側冷媒流路313bにおける冷媒の流れ方向Fを共に上記とは逆向きとすることで、内側冷媒流路313aの上流側と外側冷媒流路313bの上流側とを、それぞれ電機子巻線の軸方向他方側図9b中上側と一方側図9b中下側とに振り分けて配置してもよい。この場合も同様の効果を得ることができる。次に、第4実施形態の変形例について説明する。図11は図8及び図9a中IXB-IXB断面相当による水平断面図である。図11において、本変形例の電機子305においては、冷却ジャケット308は、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bとの各々における冷媒の流れ方向図11中矢印Fで示すが反対となるように構成されている。具体的には、本変形例においては、内側入口流路330a′及び内側出口流路331a′は、それぞれ、前述のベース306図8参照における電機子305の進行方向一端側図11中左側に設けられた前述の内側冷媒出口334a及び内側冷媒入口333a図8参照に連通している。なお、本変形例においては、内側冷媒入口333a及び内側冷媒出口334aの対向関係が反対となっている。すなわち、内側冷媒出口334aより冷媒の導入が行われ、内側冷媒入口333aより冷媒の排出が行われるようになっている。また、本変形例においては、前述の第1筒部材332aの流路仕切り板335aは、第1筒部材332a内の電機子305の進行方向他端側図11中右側における前述の電機子巻線の軸方向他方側図11中上側に内側入口流路330a′が配置され、第1筒部材332a内の電機子305の進行方向他端側における電機子巻線の軸方向一方側図11中下側に内側出口流路331a′が配置され、第1筒部材332a内の電機子305の進行方向一端側に前述の外側冷媒流路313bの一部が配置されるように、これら各流路を仕切っている。上記以外の本変形例の電機子305の構成は、上記第4実施形態の電機子305と同様である。上記構成により、内側冷媒流路313a及び外側冷媒流路313bは、電機子巻線の周囲をそれぞれ一周するようになっており、冷却ジャケット308においては、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bとの各々における冷媒の流れ方向Fが反対となっている。この例では、内側冷媒流路313aにおける冷媒の流れ方向Fが、上記第4実施形態においての内側冷媒流路313aにおける冷媒の流れ方向Fと反対となっている。すなわち、内側冷媒出口334aを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向一端側において第1筒部材332aに内包された内側入口流路330a′に流入する。そして、内側入口流路330a′を介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の内側冷媒流路313aを流れ、前述の第2筒部材332bの内部を通り、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の内側冷媒流路313aを流れて、電機子巻線の周囲を一周する。その後、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向一端側において第1筒部材332aに内包された内側出口流路331a′から流出し、内側冷媒入口334aを介して外部に排出される。一方、前述の外側冷媒入口333b図8参照を介して導入された冷媒は、上記第4実施形態と同様、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向他端側において第2筒部材332bに内包された前述の外側入口流路330bに流入する。そして、外側入口流路330bを介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の外側冷媒流路313bを流れ、第1筒部材332aの内部を通り、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の外側冷媒流路313bを流れて、電機子巻線の周囲を一周する。その後、冷却ジャケット308における電機子305の進行方向他端側において第2筒部材332bに内包された前述の外側出口流路331bから流出し、前述の外側冷媒出口334b図8参照を介して外部に排出される。本変形例によれば、上記第4実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例においては、冷却ジャケット308は、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bの各々における冷媒の流れ方向Fが反対となるように構成されている。そして、内側冷媒流路313aと外側冷媒流路313bの各々における冷媒の流れ方向Fを反対とすることで、内側冷媒流路313aの上流側と外側冷媒流路313bの上流側とを、電機子巻線の軸方向他方側図9b中上側に集中して配置している。これにより、電機子巻線の軸方向他方側の冷却効率を一方側に比べて大きくすることが可能となり、電機子巻線の他方側の表面温度を一方側よりも下げたいような場合に有効である。なお、内側冷媒流路313a及び外側冷媒流路313bにおける冷媒の流れ方向Fを共に上記とは逆向きとすることで、内側冷媒流路313aの上流側と外側冷媒流路313bの上流側とを、電機子巻線の軸方向一方側図9b中下側に集中して配置してもよい。この場合には、電機子巻線の軸方向一方側の冷却効率を他方側に比べて大きくすることが可能となり、電機子巻線の一方側の表面温度を他方側よりも下げたいような場合に有効である。第5実施形態次に、第5実施形態を図に基づいて説明する。図12は第5実施形態に係るリニアモータ電機子の斜視図である。図13は図12中XIII-XIII断面による水平断面図である。図14は第5実施形態に係るリニアモータ電機子のうち、その冷却ジャケットにおけるリニアモータ電機子の進行方向一端側に設けられた第4筒部材の一部破断斜視図である。本実施形態のリニアモータ400図示せずは、以下に説明する電機子405以外の構成については、第1実施形態のリニアモータ1と同様である。図12、図13、及び図14において、本実施形態の電機子405は、第1実施形態の電機子5と同様、電機子巻線図示せずと、この電機子巻線の周囲を囲むように装入されると共に、流路を内蔵する冷却ジャケット408と、ベース406とを有している。電機子巻線は、その軸方向がリニアモータ400の進行方向、すなわち電機子405の進行方向と直交する第1方向図12及び図13中上下方向となるように図示しない基板に固定されており、冷却ジャケット408の内側に密着するように図示しない樹脂モールドで固着されるか、もしくは図示しない接着剤により接着されて一体化されている。ベース406は、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向と平行する方向の4面のうち、当該進行方向と直交する第2方向図12中左上-右下の斜め方向の一方側図12中右下側の面に配設されている。冷却ジャケット408は、上記第2方向の2面冷却ジャケット408e,408fと、電機子405の進行方向と平行する方向の3面冷却ジャケット408a,408b,408cとで、箱状に構成されている。また、図12aに示すように、冷却ジャケット408の側面を構成する冷却ジャケット408a,408c,408e,408fの上記第2方向一方側表面を90°曲げて成形されたフランジ411をCFRP炭素繊維で一体に成形し、当該フランジ411がベース406に対して図示しないネジにより固定されている。また、冷却ジャケット408は、第1実施形態の電機子5と同様、薄板状で、且つ、冷媒が供給される流路を板厚方向に多重に分けた構成、すなわち、図13に示すように、第1内側冷媒流路413aAと第2内側冷媒流路413aBとからなる内側冷媒流路、及び、第1外側冷媒流路413bAと第2外側冷媒流路413bBとからなる外側冷媒流路の二層に分けた構成となっている。これら内側冷媒流路及び外側冷媒流路のうち、第1外側冷媒流路413bA及び第1内側冷媒流路413aAは、電機子巻線の軸方向すなわち、上記第1方向一方側図13中下側に配置されており、電機子405の進行方向一端側図13中左側で流路を折返すことにより、各々における冷媒の流れ方向図13中矢印Fで示すが反対となるように直列に接続されている。また、第2外側冷媒流路413bB及び第2内側冷媒流路413aBは、電機子巻線の軸方向他方側図13中上側に配置されており、電機子405の進行方向他端側図13中右側で流路を折返すことにより、各々における冷媒の流れ方向Fが反対となるように直列に接続されている。また、第1外側冷媒流路413bA及び第2外側冷媒流路413bBが上流側、第1内側冷媒流路413aA及び第2内側冷媒流路413aBが下流側に配置されている。具体的には、図12及び図13に示すように、冷却ジャケット408は、電機子巻線の軸方向一方側に、電機子405の進行方向一端側で流路を折返した上記第1外側冷媒流路413bA及び第1内側冷媒流路413aAを有すると共に、電機子巻線の軸方向他方側に、電機子405の進行方向他端側で流路を折返した上記第2外側冷媒流路413bB及び第2内側冷媒流路413aBを有している。またこれと共に、冷却ジャケット408は、電機子405の進行方向他端側に、複数の第1外側冷媒流路413bAの入口である第1入口流路440A、及び、複数の第1内側冷媒流路413aAの出口である第1出口流路441Aと、第3筒部材442Aとを有すると共に、電機子405の進行方向一端側に、複数の第2外側冷媒流路413bBの入口である第2入口流路440B、及び、複数の第2内側冷媒流路413aBの出口である第2出口流路441Bと、第4筒部材442Bとを有している。第1入口流路440A及び第1出口流路441Aは、それぞれ、ベース406における電機子405の進行方向他端側に設けられた、冷媒の導入を行うための第1冷媒入口443A、及び、冷媒の排出を行うための第1冷媒出口444Aに連通している。第3筒部材442Aは、第4筒部材442Bと同様の構造であり、後述の図14に示す第4筒部材442Bを図14中上下逆さまにした状態で設置されている。この第3筒部材442Aは、第1入口流路440A、第1出口流路441A、及び、第2外側冷媒流路413bBと第2内側冷媒流路413aBとの間の第2折返し流路445Bを内包しており、これら各流路を仕切る流路仕切り板446Aを有している。本実施形態では、流路仕切り板446Aは、第3筒部材442A内の電機子巻線の軸方向一方側における電機子405の進行方向他端側言い換えれば、冷却ジャケット408の外側に第1入口流路440Aが配置され、第3筒部材442A内の電機子巻線の軸方向一方側における電機子405の進行方向一端側言い換えれば、冷却ジャケット408の内側に第1出口流路441Aが配置され、第3筒部材442A内の電機子巻線の軸方向他方側に第2折返し流路445Bが配置されるように、これら各流路を仕切っている。第2入口流路440B及び第2出口流路441Bは、それぞれ、ベース406における電機子405の進行方向一端側に設けられた、冷媒の導入を行うための第2冷媒入口443B、及び、冷媒の排出を行うための第2冷媒出口444Bに連通している。第4筒部材442Bは、図14に示すように、第2入口流路440B、第2出口流路441B、及び、第1外側冷媒流路413bAと第1内側冷媒流路413aAとの間の第1折返し流路445Aを内包しており、これら各流路を仕切る流路仕切り板446Bを有している。本実施形態では、流路仕切り板446Bは、第4筒部材442B内の電機子巻線の軸方向他方側における電機子405の進行方向一端側言い換えれば、冷却ジャケット408の外側に第2入口流路440Bが配置され、第4筒部材442B内の電機子巻線の軸方向他方側における電機子405の進行方向他端側言い換えれば、冷却ジャケット408の内側に第2出口流路441Bが配置され、第4筒部材442B内の電機子巻線の軸方向一方側に第1折返し流路445Aが配置されるように、これら各流路を仕切っている。上記構成により、第1外側冷媒流路413bA及び第1内側冷媒流路413aAは、電機子405の進行方向一端側で流路を折返すことにより、冷媒の流れ方向Fが反対となるように直列に接続され、第2外側冷媒流路413bB及び第2内側冷媒流路413aBは、電機子405の進行方向他端側で流路を折返すことにより、冷媒の流れ方向Fが反対となるように直列に接続されるようになっている。また、第1外側冷媒流路413bA及び第2外側冷媒流路413bBが上流側、第1内側冷媒流路413aA及び第2内側冷媒流路413aBが下流側に配置されているようになっている。すなわち、第1冷媒入口443Aを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向他端側において第3筒部材442Aに内包された第1入口流路440Aに流入する。そして、第1入口流路440Aを介して電機子巻線の軸方向一方側に配置された上流側の第1外側冷媒流路413bAを流れ、電機子405の進行方向一端側において第4筒部材442Bに内包された第1折返し流路445Aで折返すことにより流れ方向Fが反対となって、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の第1内側冷媒流路413aAを流れる。その後、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向他端側において第3筒部材442Aに内包された第1出口流路441Aから流出し、第1冷媒出口444Aを介して外部に排出される。一方、第2冷媒入口443Bを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向一端側において第4筒部材442Bに内包された第2入口流路440Bに流入する。そして、第2入口流路440Bを介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の第2外側冷媒流路413bBを流れ、電機子405の進行方向他端側において第3筒部材442Aに内包された第2折返し流路445Bで折返すことにより流れ方向Fが反対となって、電機子巻線の軸方向他方側に配置された下流側の第2内側冷媒流路413aBを流れる。その後、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向一端側において第4筒部材442Bに内包された第2出口流路441Bから流出し、第2冷媒出口444Bを介して外部に排出される。以上説明した第5実施形態の効果について説明する。本実施形態の電機子405においては、電機子405の進行方向一端側で流路を折返した第1外側冷媒流路413bA及び第1内側冷媒流路413aAと、電機子405の進行方向他端側で流路を折返した第2外側冷媒流路413bB及び第2内側冷媒流路413aBとを、電機子巻線の軸方向一方側及び他方側に配置する。これにより、第1外側冷媒流路413bAの入口流路440A、及び、第1内側冷媒流路413aAの出口流路441Aと、第2外側冷媒流路413bBの入口流路440B、及び、第2内側冷媒流路413aBの出口流路441Bとを、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向両端側に振り分けて配置することが可能となる。その結果、冷却ジャケット408による冷却効率を進行方向に沿って略均一にすることができ、電機子405及びリニアモータ400の表面温度を進行方向に沿って略均一にすることができる。また、本実施形態では特に、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向両端側に第3筒部材442A及び第4筒部材442Bを設けている。これにより、簡単な構成によって、電機子405の進行方向一端側で流路を折返した第1外側冷媒流路413bA及び第1内側冷媒流路413aAと、電機子405の進行方向他端側で流路を折返した第2外側冷媒流路413bB及び第2内側冷媒流路413aBとを、電機子巻線の軸方向一方側及び他方側に配置した構成を実現できる。また、本実施形態では特に、第1外側冷媒流路413bA及び第2外側冷媒流路413bBが上流側、第1内側冷媒流路413aA及び第2内側冷媒流路413aBが下流側に配置されている。外側冷媒流路413bA,413bBを上流側、内側冷媒流路413aA,413aBを下流側に配置することで、冷却ジャケット408に導入した冷媒をまず最初に外側冷媒流路413bA,413bBに流すことができるので、リニアモータ400の表面温度の上昇を抑制できる。次に、第5実施形態の変形例について説明する。図15は図12中XIII-XIII断面相当による水平断面図である。図15において、本変形例の電機子405においては、第1内側冷媒流路413aA及び第2内側冷媒流路413aBが上流側、第1外側冷媒流路413bA及び第2外側冷媒流路413bBが下流側に配置されている。具体的には、冷却ジャケット408は、電機子405の進行方向他端側図15中右側に、複数の第1内側冷媒流路413aAの入口である第1入口流路440A′、及び、複数の第1外側冷媒流路413bAの出口である第1出口流路441A′と、前述の第3筒部材442Aとを有すると共に、電機子405の進行方向一端側図15中左側に、複数の第2内側冷媒流路413aBの入口である第2入口流路440B′、及び、複数の第2外側冷媒流路413bBの出口である第2出口流路441B′と、前述の第4筒部材442Bとを有している。第1入口流路440A′及び第1出口流路441A′は、それぞれ、前述のベース406図12参照における電機子405の進行方向他端側に設けられた、前述の第1冷媒出口444A及び第1冷媒入口443A図12参照に連通している。なお、本変形例においては、第1冷媒入口443A及び第1冷媒出口444Aの対向関係が反対となっている。すなわち、第1冷媒出口444Aより冷媒の導入が行われ、第1冷媒入口443Aより冷媒の排出が行われるようになっている。また、本変形例においては、第3筒部材442Aの流路仕切り板446Aは、第3筒部材442A内の電機子巻線の軸方向一方側図15中下側における電機子405の進行方向一端側言い換えれば、冷却ジャケット408の内側に第1入口流路440A′が配置され、第3筒部材442A内の電機子巻線の軸方向一方側における電機子405の進行方向他端側言い換えれば、冷却ジャケット408の外側に第1出口流路441A′が配置され、第3筒部材442A内の電機子巻線の軸方向他方側図15中上側に前述の第2折返し流路445Bが配置されるように、これら各流路を仕切っている。第2入口流路440B′及び第2出口流路441B′は、それぞれ、ベース406における電機子405の進行方向一端側に設けられた、前述の第2冷媒出口444B及び第2冷媒入口443B図12参照に連通している。なお、本変形例においては、第2冷媒入口443B及び第2冷媒出口444Bの対向関係が反対となっている。すなわち、第2冷媒出口444Bより冷媒の導入が行われ、第2冷媒入口443Bより冷媒の排出が行われるようになっている。また、本変形例においては、第4筒部材442Bの流路仕切り板446Bは、第2筒部材442B内の電機子巻線の軸方向他方側における電機子405の進行方向他端側言い換えれば、冷却ジャケット408の内側に第2入口流路440B′が配置され、第4筒部材442B内の電機子巻線の軸方向他方側における電機子405の進行方向一端側言い換えれば、冷却ジャケット408の外側に第2出口流路441B′が配置され、第4筒部材442B内の電機子巻線の軸方向一方側に前述の第1折返し流路445Aが配置されるように、これら各流路を仕切っている。上記以外の本変形例の電機子405の構成は、上記第5実施形態の電機子405と同様である。上記構成により、第1外側冷媒流路413bA及び第1内側冷媒流路413aAは、電機子405の進行方向一端側で流路を折返すことにより、冷媒の流れ方向Fが反対となるように直列に接続され、第2外側冷媒流路413bB及び第2内側冷媒流路413aBは、電機子405の進行方向他端側で流路を折返すことにより、冷媒の流れ方向Fが反対となるように直列に接続されるようになっている。また、第1内側冷媒流路413aA及び第2内側冷媒流路413aBが上流側、第1外側冷媒流路413bA及び第2外側冷媒流路413bBが下流側に配置されているようになっている。すなわち、第1冷媒出口444Aを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向他端側において第3筒部材442Aに内包された第1入口流路440A′に流入する。そして、第1入口流路440A′を介して電機子巻線の軸方向一方側に配置された上流側の第1内側冷媒流路413aAを流れ、電機子405の進行方向一端側において第4筒部材442Bに内包された第1折返し流路445Aで折返すことにより流れ方向Fが反対となって、電機子巻線の軸方向一方側に配置された下流側の第1外側冷媒流路413bAを流れる。その後、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向他端側において第3筒部材442Aに内包された第1出口流路441A′から流出し、第1冷媒入口443Aを介して外部に排出される。一方、第2冷媒出口444Bを介して導入された冷媒は、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向一端側において第4筒部材442Bに内包された第2入口流路440B′に流入する。そして、第2入口流路440B′を介して電機子巻線の軸方向他方側に配置された上流側の第2内側冷媒流路413aBを流れ、電機子405の進行方向他端側において第3筒部材442Aに内包された第2折返し流路445Bで折返すことにより流れ方向Fが反対となって、電機子巻線の軸方向他方側に配置された下流側の第2外側冷媒流路413bBを流れる。その後、冷却ジャケット408における電機子405の進行方向一端側において第4筒部材442Bに内包された第2出口流路441B′から流出し、第2冷媒入口443Bを介して外部に排出される。本変形例によれば、上記第5実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例においては、第1内側冷媒流路413aA及び第2内側冷媒流路413aBが上流側、第1外側冷媒流路413bA及び第2外側冷媒流路413bBが下流側に配置されている。内側冷媒流路413aA,413aBを上流側、外側冷媒流路413bA,413bBを下流側に配置することで、冷却ジャケット408に導入した冷媒をまず最初に内側冷媒流路413aA,413aBに流すことができるので、電機子巻線の冷却を促進することができる。なお、実施の形態は、上記第1~第5実施形態及び各変形例に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。例えば、以上では、界磁2を固定子とし、電機子5等を可動子としたリニアモータ1等を一例として説明したが、反対に、電機子5等を固定子とし、界磁2を可動子とするリニアモータに対して適用してもよい。この場合も、同様の効果を得ることができる。また、以上既に述べた以外にも、上記各実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。その他、一々例示はしないが、上記各実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。"