a内燃機関から排出された排気ガスが流れるガス流路を形成するハウジング、このハウジングの内部に回転自在に収容されて、前記ガス流路を開閉するバルブ、およびこのバルブを回転駆動して前記バルブの開度を変更するアクチュエータを有する排気制御弁と、b前記内燃機関の運転状況に基づいて、前記アクチュエータに供給する電力を調整して前記バルブの開度を可変制御する制御装置とを備えた内燃機関の排気装置において、前記制御装置は、前記排気制御弁の全閉時に、前記バルブの全閉位置近傍または前後に設けられる保持位置で、前記バルブを保持可能な電力を前記アクチュエータに供給する保持制御を実施すると共に、前記保持制御の実施状況に基づいて、前記保持位置を現在位置または今までと異なる他の位置に変更する変更制御を実施することを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1に記載の内燃機関の排気装置において、前記制御装置は、前記変更制御で変更された後の保持位置で、前記バルブを保持可能な電力を前記アクチュエータに供給する保持制御を実施することを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1または請求項2に記載の内燃機関の排気装置において、前記制御装置は、前記保持制御の実施状況に基づいて排気ガスの洩れ量を推定し、前記洩れ量の推定値が所定値を超えた段階で、前記保持位置を現在位置または今までと異なる他の位置に変更することを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1ないし請求項3のうちのいずれか1つに記載の内燃機関の排気装置において、前記排気制御弁は、前記バルブが開弁しない不感帯を有し、前記保持位置は、前記不感帯の範囲内に設定されることを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項4に記載の内燃機関の排気装置において、前記制御装置は、初期位置から現在位置までの全ての保持位置および前記不感帯の範囲を記憶する記憶部と、前記不感帯の範囲と前記全ての保持位置とが一致しているか否かを判断する判断部とを有し、前記不感帯の範囲と前記全ての保持位置とが一致していると判断した場合、前記保持位置を現在位置から前記初期位置に戻し、前記初期位置から再び前記変更制御を実施することを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項4または請求項5に記載の内燃機関の排気装置において、前記制御装置は、前記保持制御の実施状況に基づいて排気ガスの洩れ量を推定する推定部を有し、前記洩れ量の推定値が所定値を超えた段階で、前記不感帯の全ての範囲を前記保持位置として使用していると判断した場合、前記保持位置を現在位置から初期位置に戻すことを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1ないし請求項6のうちのいずれか1つに記載の内燃機関の排気装置において、前記排気制御弁は、前記ハウジングと前記バルブとの間に形成される環状隙間をシールする環状のシールリングを有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1ないし請求項7のうちのいずれか1つに記載の内燃機関の排気装置において、前記内燃機関の吸気通路へ排気ガスの一部をEGRガスとして還流させる排気ガス循環装置を備えたことを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1ないし請求項8のうちのいずれか1つに記載の内燃機関の排気装置において、前記排気制御弁とは、前記内燃機関に供給する吸入空気の全流量に対するEGRガス流量の比率であるEGR率を制御するEGR制御弁のことであることを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1ないし請求項9のうちのいずれか1つに記載の内燃機関の排気装置において、前記制御装置は、前記内燃機関が低負荷で、且つ低速回転の領域の場合、あるいは高負荷または高速回転の領域の場合、前記保持制御を実施することを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1ないし請求項10のうちのいずれか1つに記載の内燃機関の排気装置において、前記内燃機関の排気通路を流れる排気ガス中に含まれる粒子状物質を捕集するフィルタを備え、前記制御装置は、前記フィルタの再生処理時に、前記保持制御を実施することを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項1ないし請求項11のうちのいずれか1つに記載の内燃機関の排気装置において、前記アクチュエータは、電力の供給を受けると前記バルブを回転駆動する動力を発生するモータを有し、前記制御装置は、前記内燃機関の運転状況に基づいて前記モータへの供給電力を調整して前記バルブの開度を可変制御するバルブ開度制御手段を有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。請求項12に記載の内燃機関の排気装置において、前記アクチュエータは、前記モータの動力を前記バルブに伝達する複数のギヤを有し、前記複数のギヤは、前記バルブに一体回転可能に連結したギヤを有していることを特徴とする内燃機関の排気装置。本発明の目的は、排気制御弁の全閉制御時における排気ガスの洩れ量を減少させることのできる内燃機関の排気装置を提供することにある。また、内燃機関の出力低下やエミッション悪化等の問題を解消することのできる内燃機関の排気装置を提供することにある。また、排気微粒子を捕集するフィルタの目詰まり、失火やエンジンストールを回避することのできる内燃機関の排気装置を提供することにある。請求項1に記載の発明内燃機関の排気装置は、内燃機関から排出された排気ガスが流れるガス流路を形成するハウジング、このハウジング内に形成されるガス流路を開閉するバルブ、およびこのバルブを回転駆動するアクチュエータを有する排気制御弁と、内燃機関の運転状況に基づいて、アクチュエータに供給する電力を調整アクチュエータを通電制御してバルブの開度を可変制御する制御装置とを備えている。バルブは、ハウジングの内部に回転自在に収容されている。制御装置は、排気制御弁の全閉制御時に、バルブの全閉位置近傍または前後に設けられる保持位置で、バルブを保持可能な電力をアクチュエータに供給する保持制御を実施するように構成されている。制御装置は、保持制御の実施状況例えば排気制御弁の作動状況、時間経過に基づいて、保持位置を現在位置または今までと異なる他の位置例えば過去一度も使用したことのない保持位置に変更する変更制御を実施するように構成されている。請求項1に記載の発明によれば、保持制御の実施状況に基づいて、保持位置を現在位置または今までと異なる他の位置に変更する変更制御を実施することにより、ハウジングにおいてバルブとの接触により摩耗が発生していない領域位置に保持位置を移すことが可能となる。これによって、現在位置または今まで使用していた保持位置の摩耗が促進されることはなく、排気制御弁の全閉制御時における排気ガスの洩れ量の増加を防止することができる。また、排気制御弁の全閉制御時における排気ガスの洩れ量を初期状態に戻すことができる。したがって、内燃機関の出力低下やエミッション悪化等の問題を解消することができる。また、排気微粒子を捕集するフィルタの目詰まり、失火やエンジンストールを回避することができる。請求項2に記載の発明によれば、変更制御で変更された後の保持位置で、バルブを保持可能な電力をアクチュエータに供給する保持制御を実施する制御装置を備えたことにより、変更される前の保持位置の摩耗が促進されることはなく、排気制御弁の全閉制御時における排気ガスの洩れ量の増加を防止することができる。また、排気制御弁の全閉制御時における洩れ量を初期状態に戻すことができる。したがって、内燃機関の出力低下やエミッション悪化等の問題を解消することができる。また、排気微粒子を捕集するフィルタの目詰まり、失火やエンジンストールを回避することができる。請求項3に記載の発明によれば、保持制御の実施状況に基づいて排気ガスの洩れ量を推定し、この洩れ量の推定値が所定値を超えた段階で、保持位置を現在位置または今までと異なる他の位置に変更する制御装置を備えたことにより、変更される前の保持位置の摩耗が促進されることはなく、排気制御弁の全閉制御時における排気ガスの洩れ量の増加を防止することができる。また、排気制御弁の全閉制御時における洩れ量を初期状態に戻すことができる。したがって、内燃機関の出力低下やエミッション悪化等の問題を解消することができる。また、排気微粒子を捕集するフィルタの目詰まり、失火やエンジンストールを回避することができる。請求項4に記載の発明によれば、排気制御弁は、例えばバルブの開度が変化してもバルブが開弁しない不感帯を有している。なお、不感帯として、例えばバルブの開度変化に対して、排気ガスの洩れ量が全くあまり変化しない領域を採用しても良い。そして、保持位置は、不感帯の範囲内に設定される。これにより、不感帯の範囲内のいずれの場所位置に保持位置が変更された場合であっても、排気制御弁の全閉制御時においてガス洩れの発生を抑えることができる。請求項5に記載の発明によれば、初期位置から現在位置までの全ての保持位置および不感帯の範囲を記憶する記憶部と、不感帯の範囲と全ての保持位置とが一致しているか否かを判断する判断部とを有する制御装置を備えている。制御装置は、不感帯の範囲と全ての保持位置とが一致していると判断した場合、保持位置を現在位置から初期位置に戻し、初期位置から再び変更制御を実施することにより、変更される前の保持位置の摩耗が促進されることはなく、排気制御弁の全閉制御時における排気ガスの洩れ量の増加を防止することができる。したがって、排気制御弁の耐久寿命を延ばすことができる。請求項6に記載の発明によれば、保持制御の実施状況に基づいて排気ガスの洩れ量を推定する推定部を有する制御装置を備えている。制御装置は、洩れ量の推定値が所定値を超えた段階で、不感帯の全ての範囲を保持位置として使用していると判断した場合、保持位置を現在位置から初期位置に戻すことにより、変更される前の保持位置の摩耗が促進されることはなく、排気制御弁の全閉制御時における洩れ量の増加を防止することができる。したがって、排気制御弁の耐久寿命を延ばすことができる。請求項7に記載の発明によれば、少なくとも排気制御弁の全閉制御時に、ハウジングとバルブとの間に形成される環状隙間を気密シールする環状のシールリングを有する排気制御弁を備えている。なお、シールリングは、バルブに一体回転可能に装着されている。また、排気制御弁は、ガス流路を流れる排気ガスの流量を制御調整する排気ガス流量制御弁を構成している。請求項8に記載の発明によれば、内燃機関の排気通路から吸気通路へ排気ガスの一部をEGRガスとして還流再循環させる排気ガス循環装置EGRシステムを備えている。請求項9に記載の発明によれば、排気制御弁として、内燃機関に供給する吸入空気新規吸気の全流量に対するEGRガス流量の比率であるEGR率を制御するEGR制御弁を採用している。なお、EGR制御弁は、EGRガス流路を流れるEGRガスの流量を制御調整するEGRガス流量制御弁を構成している。請求項10に記載の発明によれば、内燃機関が低負荷で、且つ低速回転の領域の場合、あるいは高負荷または高速回転の領域の場合、保持制御を実施する制御装置を備えている。これにより、内燃機関が低負荷で、且つ低速回転の領域の場合、あるいは高負荷または高速回転の領域の場合、バルブの全閉位置近傍または前後に設けられる保持位置で、バルブを停止させ、且つバルブの開度を保持位置で保持する保持制御が実施される。したがって、ガス流路を排気ガスが流れない。請求項11に記載の発明によれば、内燃機関の排気通路を流れる排気ガス中に含まれる粒子状物質を捕集するフィルタ例えばディーゼルパティキュレートフィルタ:DPFを備えている。制御装置は、フィルタDPFの再生処理時DPF再生時に、バルブの全閉位置近傍または前後に設けられる保持位置で、バルブを停止させ、且つバルブの開度を保持位置で保持する保持制御が実施される。ここで、排気制御弁を排気ガス循環装置のEGR制御弁として使用した場合、DPF再生時における排気ガスの洩れ量の増加を防止することができるので、DPFの再生処理を効率良く実施できる。したがって、排気微粒子を捕集するフィルタの目詰まり、失火やストールを回避することができる。請求項12に記載の発明によれば、電力の供給を受けるとバルブを回転駆動する動力を発生するモータを有するアクチュエータを備えている。制御装置は、内燃機関の運転状況に基づいてモータへの供給電力を調整してバルブの開度を可変制御するバルブ開度制御手段を有している。請求項13に記載の発明によれば、モータの動力をバルブに伝達する複数のギヤを有するアクチュエータを備えている。複数のギヤは、バルブに一体回転可能に連結したバルブギヤ、出力ギヤ等の減速ギヤを有している。以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。本発明は、バルブを保持する保持位置におけるガス洩れの発生を抑制するという目的、また、内燃機関の出力低下やエミッション悪化等の問題を解消するという目的、また、排気微粒子を捕集するフィルタの目詰まり、失火やエンジンストールを回避するという目的を、全閉保持制御の実施状況例えば排気制御弁の作動状況、時間経過に基づいて、全閉保持位置を現在位置または今までと異なる他の位置に変更する位置変更制御を実施することで実現した。[実施例1の構成]図1ないし図10は本発明の実施例1を示したもので、図1はエンジン制御システムを示した図で、図2はEGR制御弁を示した図で、図3はEGRバルブの周辺構造を示した図である。本実施例の内燃機関の制御装置以下エンジン制御システムと言うは、例えばディーゼルエンジン等の内燃機関エンジンEの排気ガスの圧力を利用して吸入空気吸気を過給圧縮するターボチャージャと、エンジンEの排気管から吸気管へ還流するEGRガスの流量を制御するEGRガス流量制御弁EGR制御弁1、2を備えたEGRシステム内燃機関の排気ガス循環装置と、EGRシステムを電子スロットル装置や燃料噴射装置等の各システムと関連して制御するエンジン制御ユニット電子制御装置:ECU3とを備え、エンジンEから排出された排気ガスを浄化する排気ガス浄化装置内燃機関の排気ガス浄化装置として使用されるものである。本実施例のエンジンEは、複数の気筒シリンダを有する多気筒ディーゼルエンジン直列4気筒エンジンが採用されている。但し、多気筒ディーゼルエンジンに限定されず、多気筒ガソリンエンジンを適用しても構わない。このエンジンEは、自動車等の車両のエンジンルーム内にターボチャージャおよびEGRシステムと共に設置されている。エンジンEには、吸気バルブによって開閉される吸気ポート、および排気バルブによって開閉される排気ポートが形成されている。エンジンEの各気筒の内部には、複数の燃焼室シリンダボアがそれぞれ形成されている。各シリンダボア内には、連接棒を介して、クランクシャフトに連結されたピストンがその往復移動方向に摺動自在にそれぞれ支持されている。エンジンEは、各気筒毎の燃焼室に吸い込まれる吸気が流れる吸気通路4を形成する吸気管吸気ダクトと、各気筒毎の燃焼室から排出される排気ガスを外部に排出する排気通路5を形成する排気管排気ダクトとを備えている。吸気管には、エアクリーナ6、ターボチャージャのコンプレッサ、インタークーラ7、吸気絞り弁8、サージタンクおよびインテークマニホールド等が設置されている。なお、インテークマニホールドは、エンジンEの各気筒毎の吸気ポートに接続されている。排気管には、エキゾーストマニホールド、ターボチャージャのタービン、ディーゼルパティキュレートフィルタDPF9、排気絞り弁10およびマフラ等が設置されている。なお、エキゾーストマニホールドは、エンジンEの各気筒毎の排気ポートに接続されている。ここで、ターボチャージャのタービンよりも上流側の排気管と、ターボチャージャのコンプレッサよりも下流側の吸気管とは、EGRガスを排気通路5から吸気通路4へ再循環還流させるための排気ガス還流路EGRガス流路11を形成する排気ガス還流管第1EGRガスパイプにより接続されている。第1EGRガスパイプは、上流端部が排気管のEGRガス分岐部に接続され、また、下流端部が吸気管のEGRガス合流部に接続されている。また、ターボチャージャのタービンまたはDPF9よりも下流側の排気管と、ターボチャージャのコンプレッサよりも上流側の吸気管とは、EGRガスを排気通路5から吸気通路4へ再循環還流させるための排気ガス還流路EGRガス流路12を形成する排気ガス還流管第2EGRガスパイプにより接続されている。第2EGRガスパイプは、上流端部が排気管のEGRガス分岐部に接続され、また、下流端部が吸気管のEGRガス合流部に接続されている。第1EGRガスパイプには、EGRガス流路11を流れるEGRガスの流量を開閉動作により制御するEGR制御弁1、およびEGRガスを冷却水と熱交換させて冷却するEGRクーラ13が設置されている。EGR制御弁1には、EGRクーラ13を通過したEGRガスが導入される。以上のように、排気通路5からのEGRガスの取り出し口が、ターボチャージャのタービンよりも上流側にあるEGRシステムを、高圧ループHPLEGRシステムと呼ぶ。なお、EGR制御弁1の詳細は後述する。また、EGRクーラ13を設けなくても良い。第2EGRガスパイプには、EGRガス流路12を流れるEGRガスの流量を開閉動作により制御するEGR制御弁2、およびEGRガスを冷却水と熱交換させて冷却するEGRクーラ14が設置されている。EGR制御弁2には、EGRクーラ14を通過したEGRガスが導入される。以上のように、排気通路5からのEGRガスの取り出し口が、ターボチャージャのタービンよりも下流側にあるEGRシステムを、低圧ループLPLEGRシステムと呼ぶ。なお、EGR制御弁2の詳細は後述する。また、EGRクーラ14を設けなくても良い。燃料噴射装置は、ディーゼルエンジン用の燃料噴射システムとして知られるコモンレール式燃料噴射システム蓄圧式燃料噴射装置によって構成されている。このコモンレール式燃料噴射システムは、燃料タンクから低圧燃料を汲み上げるフィードポンプを内蔵したサプライポンプ高圧供給ポンプ21と、このサプライポンプ21の吐出ポートから高圧燃料が導入されるコモンレール22と、このコモンレール22の各燃料出口から高圧燃料が分配供給される複数個の燃料噴射弁インジェクタ23とを備え、コモンレール22の内部に蓄圧された高圧燃料を各インジェクタ23を介してエンジンEの各気筒毎の燃焼室内に噴射供給するように構成されている。複数のインジェクタ23は、エンジンEの各気筒シリンダヘッド毎に対応して搭載されている。ここで、サプライポンプ21の燃料吐出量を制御する電磁式燃料調量弁、および複数個のインジェクタ23の開弁時期噴射タイミングと開弁期間燃料噴射量を制御する各電磁弁インジェクタ用電磁弁への供給電流量は、ECU3によって電子制御されるように構成されている。エアクリーナ6は、インレットダクト外気導入ダクトの上流端で開口した外気導入口より空気導入通路に導入される外気吸気を濾過するフィルタエレメント濾過エレメントを有している。インタークーラ7は、ターボチャージャのコンプレッサを通過した吸気を冷却する。このインタークーラ7は、ターボチャージャのコンプレッサで圧縮されて高温化された吸気を冷却媒体である冷却水と熱交換させて冷却する複数の偏平チューブを有している。吸気絞り弁8は、ターボチャージャのコンプレッサを通過した吸気の流量を調整する電子スロットル装置吸気流量調整装置である。吸気絞り弁8のバルブボディスロットルボディ内には、EGRガス合流部よりも上流側の吸気通路4からEGRガス合流部よりも下流側の吸気通路4へ流入する吸気の流量を制御可能な弁体バルブ本体であるスロットルバルブ24が収容されている。このスロットルバルブ24を回転駆動するアクチュエータとして、スロットルバルブ24の回転軸であるシャフトをモータ25の動力トルクを利用して回転駆動する電動モータ駆動式アクチュエータが採用されている。電動アクチュエータは、電力の供給を受けるとスロットルバルブ24を回転駆動する動力を発生するモータ25、このモータ25の回転を減速してスロットルバルブ24のシャフトに伝達する減速機構、およびスロットルバルブ24のシャフトの回転角度スロットル開度を検出する回転角度スロットル開度検出装置を備えている。なお、モータ25は、ECU3によって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。ここで、本実施例の排気ガス浄化装置は、後述するEGRシステムの他に、ターボチャージャのタービンを通過した排気ガス中に含まれる排気微粒子パティキュレートマター:PMを捕集するDPF9を備えている。このDPF9は、周知の構造のセラミックス製のフィルタであり、例えばコーディエライト等の耐熱性セラミックスをハニカム構造に成形して、排気ガス流路となる多数のセルを入口側または出口側が互い違いとなるように目封じしてなる。エンジンEから排出された排気ガスは、DPF9の多孔性の隔壁を通過しながら下流へ流れ、その間にPMが捕集されて次第に堆積する。なお、DPF9よりも上流側の排気管に、酸化触媒DOCが設置されていても良い。このDOCは、周知の構造で、コーディエライトハニカム構造体等よりなるセラミックス製担体の表面に酸化触媒を担持してなる。また、DOCは、排気通路5に供給される炭化水素HCを触媒反応により燃焼させて排気温度を上昇させ、DPF9を昇温する。DPF9は、金属製フィルタであっても良く、酸化触媒が担持されていても、担持されていなくても良い。あるいは酸化触媒が担持されたDPFを用い、その上流にDOCを設置しないシステム構成とすることもできる。また、DPF9よりも下流側の排気管に、DPF9を通過した排気ガス中に含まれる窒素酸化物NOxを浄化するNOx吸蔵還元型の触媒NOx触媒が設置されていても良い。NOx触媒は、例えばアルカリ土類系材料吸蔵材と白金とからなり、排気ガスの雰囲気が空燃比クリーン理論空燃比よりも燃料比率の高い空燃比の時には排気ガス中のNOxを吸蔵し、空燃比がリッチ理論空燃比よりも燃料比率の低い空燃比になった時には排気ガス中のHCやCOといった還元成分により吸蔵NOxを還元除去する特性を有している。また、DPF9よりも下流側の排気管に、DPF9を通過した排気ガス中に含まれるCO、HC、NOx等を浄化する三元触媒が設置されていても良い。排気絞り弁10のバルブボディ内には、EGRガス分岐部よりも上流側の排気通路5からEGRガス分岐部よりも下流側の排気通路5へ流入する排気ガスの流量を制御可能で、且つEGRガス分岐部よりも上流側の排気通路5からEGRガス分岐部よりも下流側のEGRガス流路12へ流入するEGRガスの流量を制御可能な弁体バルブ本体であるバルブ27が収容されている。このバルブ27を回転駆動するアクチュエータとして、バルブ27の回転軸であるシャフトをモータ28の動力トルクを利用して回転駆動する電動モータ駆動式アクチュエータが採用されている。電動アクチュエータは、電力の供給を受けるとバルブ27を回転駆動する動力を発生するモータ28、このモータ28の回転を減速してバルブ27のシャフトに伝達する減速機構、およびバルブ27のシャフトの回転角度を検出する回転角度エキゾーストバルブ開度検出装置を備えている。なお、モータ28は、ECU3によって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。ターボチャージャは、エンジンEの吸気管の途中に設けられたコンプレッサと、エンジンEの排気管の途中に設けられたタービンとを備え、吸気管を流れる吸気をコンプレッサで圧縮し、この圧縮された圧縮空気吸気をエンジンEの各気筒毎の燃焼室へ送り込むターボ過給機である。このターボチャージャは、タービンのホイールタービンホイール31が排気ガスにより回転駆動されると、タービンホイール31に連結したタービンシャフト32およびコンプレッサのインペラコンプレッサインペラ33も回転し、このコンプレッサインペラ33が吸気を圧縮する。タービンは、タービンホイール31およびタービンハウジングを備えている。このタービンホイール31は、円周方向に複数のタービンブレード翼を有し、エンジンEの排気圧力により回転駆動される。そして、タービンホイール31は、タービンシャフト32を介して、コンプレッサインペラ33と直接的に連結してコンプレッサインペラ33を回転駆動直結駆動する。コンプレッサは、コンプレッサインペラ33およびコンプレッサハウジングを備えている。このコンプレッサインペラ33は、円周方向に複数のコンプレッサブレード翼を有し、タービンシャフト32を介して、タービンホイール31に連結して回転駆動される。次に、本実施例のEGR制御弁1、2の詳細を図1ないし図5に基づいて簡単に説明する。EGR制御弁1、2は、エンジンEの各気筒毎の燃焼室に供給する吸入空気の全流量に対するEGRガス量の比率であるEGR率を制御するEGRガス還流量制御弁排気制御弁である。これらのEGR制御弁1、2は、第1、第2EGRガスパイプの途中に結合されるハウジングバルブボディ34と、このハウジング34をEGRガスの熱から保護するためのノズル35と、ハウジング34の外部に結合されるセンサカバー36とを備えている。ハウジング34には、軸受け部材ブッシング、オイルシールおよびボールベアリング等を介して、後述するEGRバルブのシャフトを回転方向に摺動自在に支持する円筒状の軸受ホルダーが一体的に形成されている。ハウジング34およびノズル35の内部には、エンジンEの各気筒毎の燃焼室に連通するEGRガス流路37がそれぞれ形成されている。このEGRガス流路37は、排気管のEGRガス分岐部から吸気管のEGRガス合流部へEGRガスを還流させる排気ガス流路である。ハウジング34には、ノズル35を嵌合保持する円筒状のノズルホルダー38が一体的に形成されている。また、ノズル35の内周面には、EGR制御弁1、2のシールリング44が摺接するバルブシート面39が設けられている。EGR制御弁1、2は、ハウジング34およびノズル35の内部に回転自在に収容されるEGRバルブ41と、このEGRバルブ41の外周端面42に形成されるシールリング溝環状溝43に嵌め込まれたシールリング44と、EGRバルブ41を支持固定するシャフト45と、このシャフト45の周囲を螺旋状に取り囲むように設置されたスプリングリターンスプリング46、オーバーターンスプリング47と、シャフト45を回転駆動してEGRバルブ41の開度を変更するアクチュエータとを備えている。アクチュエータは、電力の供給を受けるとEGRバルブ41を回転駆動する動力トルクを発生するモータ51と、このモータ51の回転を2段減速してEGRバルブ41のシャフト45に伝達する減速機構動力伝達機構と、EGRバルブ41のシャフト45の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。減速機構は、モータ51のモータシャフトモータ出力軸に連動して回転する3つの第1~第3減速ギヤを備えている。また、3つの第1~第3減速ギヤは、ピニオンギヤモータギヤ52、中間ギヤ53および出力ギヤバルブギヤ、最終ギヤ54等によって構成されている。なお、出力ギヤ54は、EGRバルブ41のシャフト45に一体回転可能に連結した減速ギヤを構成している。この出力ギヤ54は、シャフト45の回転軸方向の他端部第2突出部に回り止めされた状態で固定されている。EGRバルブ41は、シャフト45の回転軸方向の一端部後述するに溶接固定されている。このEGRバルブ41の外周端面42には、円環状のシールリング溝43が円周方向に連続して形成されている。このシールリング溝43の内部には、シールリング44が嵌め込まれている。シャフト45の回転軸方向の一端部には、ハウジング34の軸受保持部の開口端面からEGRガス流路37の内部に向かって突出する第1突出部が設けられている。なお、第1突出部には、EGRバルブ41が溶接固定されている。また、シャフト45の回転軸方向の他端部には、ハウジング34の軸受保持部の開口端面から減速ギヤ収納空間の内部に向かって突出する第2突出部が設けられている。ハウジング34のスプリング座部55と出力ギヤ54のスプリング座部56の間には、EGRバルブ41を閉弁作動方向および開弁作動方向に付勢するスプリングが介装されている。このスプリングは、EGRバルブ41を閉弁作動方向に付勢するリターンスプリング第1付勢手段46と、EGRバルブ41を開弁作動方向に付勢するオーバーターンスプリング第2付勢手段47と、リターンスプリング46とオーバーターンスプリング47との結合部を逆U字状に折り曲げることで形成されるU字フック部図示せずとを備えている。スプリングは、ハウジング34のスプリング座部55と出力ギヤ54のスプリング座部56の間に渦巻き状に巻装された2つの第1、第2コイルを有している。第1コイルは、出力ギヤ54に対して、EGRバルブ41を、全開位置から中立位置である全閉位置Oまで戻す方向閉弁作動方向に付勢するリターンスプリング46である。第2コイルは、出力ギヤ54に対して、EGRバルブ41を、全閉位置Oを通り越した位置から中立位置である全閉位置Oまで戻す方向開弁作動方向に付勢するオーバーターンスプリング47である。EGRバルブ41は、例えばステンレス鋼や耐熱鋼等の耐熱性金属により円板形状に形成されており、ハウジング34およびノズル35のEGRガス流路37内に開閉自在回転自在に収容されている。EGRバルブ41は、リターンスプリング46の付勢力とオーバーターンスプリング47の付勢力とが釣り合う中立位置である全閉位置Oまたは制御上の全閉ポイントである全閉保持位置Aから全開位置に至るまでのバルブ制御範囲で回転動作されることで、EGRガス流路37の開口面積を変更してEGR率を調整する。EGRバルブ41の外周端面42には、円環状のシールリング溝43が円周方向に連続して形成されている。すなわち、シールリング溝43は、EGRバルブ41の外周端面42の全体全周に周設されている。このシールリング溝43には、シールリング44が嵌め込まれている。シールリング44は、図3に示したように、例えばステンレス鋼や耐熱鋼等の耐熱性金属によりC字形状に形成されている。このシールリング44は、EGRバルブ41のシールリング溝43に対する組付性を考慮して、あるいはノズル35とシールリング44との熱膨張差に伴うシールリング44の膨張、収縮に備えて、周方向の両端面間合口に所定の切欠隙間合口隙間Gを有している。なお、シールリング44の合口形状は、パッドジョイント形状、テーパジョイント形状、ラップジョイント形状のいずれでも構わない。また、シールリング44の半径方向の外側の端面には、ノズル35の内径面バルブシート面39に密着可能な外周面摺動部が設けられている。このシールリング44の摺動部の軸線方向の両側のエッジに、EGRバルブ41の開閉動作がし易いようにテーパ形状またはR形状の面取りを施しても良い。そして、シールリング44は、その外周側部が、EGRバルブ41の外周端面42より径方向の外側に突出し、且つ内周側部が、シールリング溝43内を径方向、軸線方向および円周方向に移動できるようにシールリング溝43の内部に嵌め込まれて保持されている。したがって、本実施例のEGR制御弁1、2は、エンジン停止時またはEGRガスを導入しない時EGRカット時に、EGRバルブ41のシールリング溝43に嵌め込まれたシールリング44の軸線方向に対して直交する径方向拡径方向の張力を利用して、ノズル35の内径面バルブシート面39とEGRバルブ41の外周端面42との間に形成される環状隙間を密閉気密シールするように構成されている。ここで、本実施例のEGR制御弁1、2は、EGRバルブ41を全閉作動させる際に、EGRガス流路37を気密的に閉鎖可能な流路全閉範囲を有している。また、EGR制御弁1、2は、EGRバルブ41の開閉作動時に、EGRバルブ41の開度変化に対してEGRガス洩れ量があまり全く変化しない流量不感帯を有している。なお、後述する全閉保持位置A~Dは、流量不感帯の領域内に設定されている。ここで、本実施例のEGR制御弁1、2は、シャフト45を回転駆動することで、EGRバルブ41を開閉動作させるアクチュエータを備えている。このアクチュエータの動力源であるモータ51は、ECU3によって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。モータ駆動回路は、ECU3のマイクロコンピュータより与えられる出力信号例えばPWM信号のデューティ比に対してモータ51への供給電力モータ駆動電流またはモータ印加電圧を可変制御する。ここで、アクチュエータ、特にモータ51は、ECU3によって通電制御されるように構成されている。ECU3には、制御処理や演算処理を行うCPU、制御プログラムまたは制御ロジックや各種制御データマップ等を保存する記憶装置ROMやRAM等のメモリ、入力回路入力部、出力回路出力部、電源回路、タイマー回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。ECU3は、イグニッションスイッチがオンIGONされると、マイクロコンピュータのメモリに格納された制御プログラムまたは制御ロジックに基づいて、EGR制御弁1、2のアクチュエータモータ51、吸気絞り弁8のアクチュエータモータ25、排気絞り弁10のアクチュエータモータ28を通電制御するように構成されている。これにより、エンジン運転中に、EGR制御弁1、2の開度、吸気絞り弁8の開度スロットル開度および排気絞り弁10の開度スロットル開度等が各々制御指令値制御目標値となるように制御される。ECU3は、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、コモンレール圧力センサ、EGRバルブ開度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ空燃比センサ、酸素濃度センサ等の各種センサからのセンサ出力信号が、A/D変換回路によってA/D変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。なお、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、コモンレール圧力センサ、EGRバルブ開度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ空燃比センサ、酸素濃度センサは、エンジンの運転状態運転状況を検出する運転状態検出手段を構成している。マイクロコンピュータは、エアフロメータより出力されるセンサ出力信号AFM信号またはスロットル開度センサより出力されるセンサ出力信号スロットル開度信号に基づいて、エンジンEの吸気管を流れる新気量を計測算出し、この算出した新気量を各種エンジン制御例えばEGRバルブ41の開度制御:EGR開度制御に使用する。また、マイクロコンピュータは、EGRバルブ開度センサより出力されるセンサ出力信号EGRバルブ開度信号に基づいて、エンジンEの吸気管に還流するEGRガス量を計測算出し、この算出したEGRガス量を各種エンジン制御例えばスロットルバルブ24の開度制御:スロットル開度制御に使用する。マイクロコンピュータは、エンジンEの運転状況例えばエアフロメータのAFM信号から測定された吸入空気量、クランク角度センサのNEパルス信号から測定されたエンジン回転速度、アクセル開度センサまたはスロットル開度センサのエンジン負荷信号に対応して目標EGR制御弁開度を決定し、EGRバルブ開度センサのEGR制御弁開度信号から測定された実EGRバルブ開度実開度と制御目標値目標EGRバルブ開度、目標開度との偏差がなくなるように、モータ51を駆動するモータ駆動回路に与えるPWM信号のデューティ比に対して、PID制御比例積分微分制御によりフィードバック制御を行うように構成されている。回転角度検出装置は、マグネットロータの回転角度を測定してEGRバルブ41のシャフト45の回転角度に相当するEGRバルブ開度を検出するEGRバルブ開度センサバルブ位置検出手段として使用される。マグネットロータは、EGRバルブ41に一体回転可能に連結されている。具体的には、EGRバルブ41のシャフト45に固定された出力ギヤ54の内周部にマグネットロータがインサート成形により固定されている。EGRバルブ開度センサは、センサカバー36のセンサ搭載部からハウジング34側へ突出するように設置されている。このEGRバルブ開度センサは、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応した電圧信号アナログ信号をECU3へ向けて出力するホールIC57を主体として構成されている。ホールIC57は、マグネット58等により構成されるマグネットロータの回転方向への移動に伴って変化する磁束を検出する非接触式の磁気検出素子である半導体ホール素子を有している。この半導体ホール素子には、マグネットロータ、特に一対のマグネット58の磁極面から印加される磁界の磁束密度磁束の量や磁界の強さを感磁する感磁面が設けられている。なお、ホールIC57の代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。ここで、ECU3は、EGRバルブ41を全閉した全閉開度の状態、すなわち、モータ51への電力の供給を停止した際にスプリングの付勢力によってEGRバルブ41が付勢されるバルブ停止位置を全閉位置Oとしてマイクロコンピュータのメモリに格納している。なお、本実施例では、リターンスプリング46の付勢力第1スプリングトルクとオーバーターンスプリング47の付勢力第2スプリングトルクとが釣り合った中立位置が、モータ51への電力の供給を停止した際にEGRバルブ41が付勢される全閉位置Oとなる。ここで、本実施例のEGR制御弁1、2は、EGRバルブ41のシールリング溝43内に、自身の拡径方向の張力を利用してノズル35のバルブシート面39に対するシール機能を持つC字状のシールリング44を組み合わ嵌め合わせたバルブ構造を採用している。このようなEGR制御弁1、2においては、シールリング自身の拡径方向の張力による伸びと、ノズル35のバルブシート面39とにより、全閉位置Oの近傍全閉位置の前後:例えば±2.5~5.5°、あるいは±3.0~5.0°、あるいは±3.5°程度に、EGRバルブ41の開度変化に対してEGRガス洩れ量があまり全く変化しない範囲流量不感帯がある。これは、ノズル35の内周面に、全領域に渡って、シールリング44の摺動部が接触可能なバルブシート面39が形成されており、EGRバルブ41のバルブ位置が全閉位置Oより外れても、ノズル35のバルブシート面39を通り抜けるまでは、ノズル35のバルブシート面39にシールリング44の摺動部が密着し続けることができるからである。全閉位置Oとは、モータ51への通電停止時に、リターンスプリング46の付勢力とオーバーターンスプリング47の付勢力とによって付勢保持されるEGRバルブ41のバルブ位置、つまりリターンスプリング46の付勢力第1スプリングトルクとオーバーターンスプリング47の付勢力第2スプリングトルクとが釣り合う中立位置のことである。また、EGRバルブ41の全開位置とは、ノズル35のバルブシート面39とEGRバルブ41の外周端面42との間の隙間が最大となる位置で、且つEGRガス流路37を流れるEGRガス量が最大となるバルブ開度のことである。ここで、ECU3は、エンジンEの運転状況に基づいてモータ51に供給する電力モータ51への供給電力を調整してEGRバルブ41の開度を、エンジンEの運転状況に対応して設定される制御目標値目標開度で保持されるようにEGRバルブ41の開度を可変制御するEGRバルブ制御手段を備えている。ECU3は、エンジンEの運転状況に対応して設定される制御目標値目標開度が全閉位置Oから僅かに開弁または閉弁した全閉保持位置Aの場合、全閉保持位置AでEGRバルブ41を停止させ、且つ全閉保持位置AでEGRバルブ41を保持可能な電力保持電流をモータ51に供給する全閉保持制御を実施する全閉保持制御手段を備えている。ECU3は、EGRバルブ41の全閉保持制御の実施状況エンジンEの運転状況、EGRバルブ41の作動状況、経過時間に基づいてEGRガス洩れ量またはノズル35のバルブシート面39の摩耗量を推定する推定部を有し、この推定部の推定結果に基づいて、例えばEGRガス洩れ量または摩耗量の推定値が所定値を超えた段階で、あるいは現在位置Aの使用を開始してから所定の経過時間が経過した場合に、全閉保持位置Aを現在位置Aまたは今までと異なる他の全閉保持位置B~Dに変更する保持位置変更制御を実施する位置変更制御手段を備えている。ECU3は、保持位置変更制御で変更された後の全閉保持位置B~DでEGRバルブ41を保持可能な電力保持電流をモータ51に供給する全閉保持制御を実施する全閉保持制御手段を備えている。ECU3は、全閉位置Oを含む全ての全閉保持位置A~Dを、流量不感帯の領域範囲内に設定している。ECU3は、初期位置Aから現在位置B~Dまでの全ての全閉保持位置および流量不感帯の範囲を記憶する記憶部メモリと、流量不感帯の全ての範囲全領域と全ての全閉保持位置A~Dとが一致しているか否かを判断する判断部を有し、流量不感帯の全ての範囲全領域と全ての全閉保持位置A~Dとが一致しているか否かを判断した場合、全閉保持位置を現在位置Dから初期位置Aに戻し、初期位置Aから再び保持位置変更制御を実施する位置変更制御手段を備えている。現在位置初期位置である全閉保持位置Aとは、図4および図5に示したように、全閉位置OからEGRバルブ41を開弁作動方向に僅かに開弁した流量不感帯の一方側の限界位置全閉位置を中心にして例えば2.5~5.5°、あるいは3.0~5.0°、あるいは3.5°程度の開度のことである。現在位置第1中間位置である全閉保持位置Bとは、図4および図5に示したように、全閉位置OからEGRバルブ41を閉弁作動方向に僅かに閉弁した流量不感帯の他方側の限界位置全閉位置を中心にして例えば-2.5~5.5°、あるいは-3.0~5.0°、あるいは-3.5°程度の開度のことである。また、全閉保持位置DからEGRバルブ41を閉弁作動方向に開度角度α分だけ僅かに閉弁した位置である。現在位置第2中間位置である全閉保持位置Cは、図5に示したように、全閉保持位置AからEGRバルブ41を閉弁作動方向に開度角度α分だけ僅かに閉弁した位置である。現在位置最終位置である全閉保持位置Dとは、図5に示したように、全閉保持位置CからEGRバルブ41を閉弁作動方向に開度角度α分だけ僅かに閉弁した位置である。[実施例1の制御方法]次に、本実施例の内燃機関のEGR制御装置の制御方法を図1ないし図10に基づいて簡単に説明する。ECU3は、イグニッションスイッチがオンIGONされると、先ず、エンジンEの運転状況状態または運転条件を算出するのに必要な各種センサ出力信号を入力する。具体的には、エンジン回転速度、アクセル開度、スロットル開度、指令噴射量、コモンレール圧力を取り込む。ここで、エンジン回転速度は、クランク角度センサから出力されたNEパルス信号の間隔時間を計測することによって検出測定される。また、指令噴射量は、エンジン回転速度とアクセル開度とに対応して設定された基本噴射量に、エンジン冷却水温等を考慮した補正量を加味して算出される。ECU3は、エンジンEの運転状況に対応してEGR率が最適値となるように、EGR制御弁1、2のバルブ開度を可変制御する。具体的には、EGRバルブ開度センサより出力されるセンサ出力信号が、エンジン運転状況特にエンジン回転速度、アクセル開度センサまたはスロットル開度センサのエンジン負荷信号等に対応して設定される制御目標値目標EGR率に相当する目標開度と一致するように、EGRバルブ41のシャフト45を回転駆動するモータ51への供給電力をフィードバック制御する。このように、エンジンEの運転状況に対応して、モータ51への供給電力駆動電流値または印加電圧値を可変制御することで、EGR制御弁1、2のバルブ開度を変化させることにより、エアクリーナ6を通過した清浄な吸気に対する、EGRガスの導入量混入量が調節される。すなわち、EGRバルブ41は、制御目標値に相当するバルブ開度に開弁制御される。つまりEGRガス流路37が開放される。これにより、エンジンEの各気筒毎の燃焼室より流出した排気ガスの一部であるEGRガスが、排気管内に形成される排気通路5EGRガス分岐部から、排気管側の第1、第2EGRガスパイプの内部EGRガス流路→EGRクーラ13、14→中間の第1、第2EGRガスパイプの内部EGRガス流路→EGR制御弁1、2のハウジング34の内部流路EGRガス導入ポート→EGRガス流路37→EGRガス導出ポート→吸気管側の第1、第2EGRガスパイプの内部EGRガス流路を経由して、吸気管内に形成される吸気通路4EGRガス合流部に再循環される。したがって、EGRガスがエンジンEの各気筒毎の吸気ポートおよび燃焼室に供給される吸気に混入される。これによって、排気ガス中に含まれる有害物質例えばNOx等が低減される。ここで、図6はECU3による全閉保持制御方法を示したフローチャートで、図7はECU3による位置変更制御方法を示したフローチャートである。この図6および図7の制御ルーチンは、EGR開閉制御、特にEGRバルブ41を全閉作動させる全閉制御時EGR制御弁1、2の全閉制御時に、所定の制御周期毎に繰り返される。ECU3は、図6の制御ルーチンに進入すると、先ず、イグニッションスイッチがオフIGOFFされたか否かを判定するステップS1。この判定結果がYESの場合には、モータ51への通電をオフOFFするステップS2。その後に、図6の制御ルーチンを抜ける。このように、EGRバルブ41を駆動するモータ51への電力供給が成されていない場合には、図4aに示したように、第1スプリングトルクと第2スプリングトルクとによってEGRバルブ41が、全閉位置Oで停止するように付勢される。ここで、全閉位置Oは、流路全閉範囲内および流量不感帯の範囲内に設定されている。本実施例では、全閉位置Oが、バルブシート面39の一方側開弁側の限界点Aとバルブシート面39の他方側閉弁側の限界点Bとの中間点に設定されている。したがって、EGRバルブ41のシールリング溝43に嵌め込まれたシールリング44の摺動部が、ハウジング34に保持されるノズル35のバルブシート面39に密着することで、EGRガス流路37が閉鎖される。これにより、EGRガスが、エアクリーナ6を通過した清浄な吸気に混入しないEGRカット。また、ステップS1の判定結果がNOの場合には、エンジン負荷が低負荷で、且つエンジン回転速度が低速回転の領域、つまりアイドル運転時であるか否かを判定する。あるいは全閉保持制御禁止フラグがFLAG=Oにセットされているか否かを判定するステップS3。この判定結果がYESの場合には、エンジンEの燃焼を安定させるために、EGRガスの導入を止める。つまりモータ51への通電をオフOFFするステップS4。その後に、ステップS1を繰り返す。アイドル運転時も、図4aに示したように、第1スプリングトルクと第2スプリングトルクとによってEGRバルブ41が、全閉位置Oで停止するように付勢される。また、全閉保持制御禁止フラグがFLAG=Oにセットされている場合には、全閉保持制御を禁止する。また、ステップS3の判定結果がNOの場合には、ドライバーがアクセルペダルを踏み込んで、エンジンEが所定の運転領域例えば高負荷または高速回転の領域に入っているか否かを判定するステップS5。この判定結果がNOの場合には、ステップS1を繰り返す。また、ステップS5の判定結果がYESの場合には、EGRバルブ41の目標開度である制御目標値を、全閉位置Oよりも開弁作動方向に回転変位したバルブ位置に設定された全閉保持位置に設定する。つまりマイクロコンピュータのメモリに格納されている全閉保持位置を取り込むステップS6。このステップS6では、メモリに格納されているフラグFLAG=A、FLAG=B、FLAG=C、FLAG=Dを取り込む。ここで、エンジンEの運転領域が高負荷または高速回転の領域に入ると、制御目標値、つまりEGRバルブ41が全閉保持位置に制御される理由は、ドライバーがアクセルペダルを踏み込んでエンジンEの出力を最大限に引き出したい時に、EGRガスエンジンEの燃焼に寄与しないガスが各気筒毎の燃焼室内に導入されることを要因とする、エンジンEの出力低下を回避するためである。次に、メモリから取り込んだFLAGがAにセットされている場合は、全閉保持位置Aで、EGRバルブ41を保持可能な電力をモータ51に供給する全閉保持制御を実施する。また、メモリから取り込んだFLAGがBにセットされている場合は、全閉保持位置Bで、EGRバルブ41を保持可能な電力をモータ51に供給する全閉保持制御を実施する。また、メモリから取り込んだFLAGがCにセットされている場合は、全閉保持位置Cで、EGRバルブ41を保持可能な電力をモータ51に供給する全閉保持制御を実施する。また、メモリから取り込んだFLAGがDにセットされている場合は、全閉保持位置Dで、EGRバルブ41を保持可能な電力をモータ51に供給する全閉保持制御を実施する全閉保持制御手段:ステップS7。このステップS7では、EGRバルブ開度センサより出力されるセンサ出力信号EGRバルブ開度信号、EGR制御弁実開度が、全閉保持位置A~Dに到達した時点で、モータ51への供給電力を所定値に維持する。例えばモータ51に全閉保持電流を供給する。これにより、EGRバルブ41にモータトルクと第1スプリングトルクとが作用するため、EGRバルブ41が全閉保持位置AまたはCにて保持される。あるいはEGRバルブ41にモータトルクと第2スプリングトルクとが作用するため、EGRバルブ41が全閉保持位置BまたはDにて保持される。ここで、エンジンEの運転期間内において、EGRバルブ41を全閉保持位置Aで一時的に保持すると、エンジン振動や車両振動、モータ通電によるEGRバルブ41の保持時の微作動で、図4aに示したように、シールリング44の摺動部とノズル35のバルブシート面39との接触部が摩耗する。そして、全閉保持位置AでEGRバルブ41を保持する全閉保持制御を繰り返す毎に、つまり時間経過に伴って、例えばノズル35のバルブシート面39の摩耗量が増加していき、シールリング44が自身の拡径方向の張力によって半径方向の外側へ移動したとしても、シールリング44の外周端面とノズル35のバルブシート面39に形成される凹部窪み40の溝底面との間に隙間が形成されてしまう。したがって、全閉保持制御を繰り返す毎に、つまり時間経過に伴って、ノズル35のバルブシート面39の摩耗量が増加していく。すると、凹部窪み40が深くなるので、シールリング44の摺動部とノズル35のバルブシート面39との間に隙間が更に増大する。これにより、EGR制御弁1、2の全閉制御時に、EGRガスの洩れが発生し、EGRバルブ41の全閉保持位置におけるEGRガス洩れ量が増加するので、エンジン出力の低下やエミッションの悪化等の不具合が発生する。また、エンジンEの各気筒毎の燃焼室に供給する吸気エアクリーナ6を通過した新規吸入空気の全流量に対するEGRガス流量の比率であるEGR率が過度に高くなると、吸気中の酸素濃度が低下する。これにより、エンジンEの各気筒毎の燃焼室において失火が発生し、エンジンストールを招く可能性がある。ここで、EGRシステムとDPF9とを装備したエンジンEにおいて、DPF9の再生処理時に、EGRバルブ41を全閉してEGRカットを行う場合が考えられるが、EGR制御弁1、2の全閉制御時に、EGRガスの洩れが発生すると、燃焼温度、排気温度が低下して、DPF9をPMが燃焼可能な温度まで昇温させることができなくなる可能性がある。なお、DPF9の再生処理が効率良く実施できないと、DPF9にPMが過剰に堆積して目詰まりし、エンジンEの性能を低下させるだけでなく、PMがDPF9の再生処理時に急激に燃焼し、DPF9が破損する可能性がある。そこで、ECU3は、図7の制御ルーチンに進入し、以下の位置変更制御を実施する。ECU3のマイクロコンピュータ推定部は、図7の制御ルーチンに進入すると、先ず、全閉保持制御の実施状況、例えば特定の全閉保持位置初期位置または現在位置における全閉保持制御の継続時間積算時間、トータル時間、あるいはEGR制御弁1、2の運転時間、あるいはエンジンEの運転継続時間等の経過時間をカウント積算する。あるいは自動車等の車両の走行距離を積算するステップS11。例えば特定の全閉保持位置における全閉保持制御の継続時間は、特定の全閉保持位置における全閉保持制御を開始した時点でタイマーカウントを開始し、その制御周期毎またはEGR制御弁1、2の実開度を取得するサンプリング周期毎に特定の全閉保持位置における全閉保持制御を継続していればカウントアップし、また、全閉保持制御を外れていればカウント値をメモリに格納記憶保持しておき、再度全閉保持制御を実施したら前回のカウント値からカウントアップしていく。なお、メモリに記憶保持された特定の全閉保持位置におけるカウント値経過時間は、イグニッションスイッチがオフIGOFFされた場合でも、メモリに記憶保持される。また、後述する位置変更制御で全閉保持位置が変更された場合には、カウント値がリセットタイマーカウント値=0される。次に、特定の全閉保持位置例えばAまたはBまたはCまたはDでの全閉保持制御を開始してから全閉保持制御を継続している期間が経過した経過時間に基づいて、例えばノズル35のバルブシート面39における摩耗量を推定算出する摩耗量推定手段:ステップS12。次に、例えばノズル35のバルブシート面39における摩耗量の推定値Yに基づいて、EGRガス洩れ量を推定算出するガス洩れ量推定手段:ステップS13。次に、図9または図10の制御ルーチンに進入し、EGRガス洩れ量の推定値Xまたは摩耗量の推定値Yが予め設定された所定値規定量の1/2または1/3に達しているか否かを判定する洩れ量または摩耗量判定手段:ステップS14。この判定結果がNOの場合には、ステップS1を繰り返す。なお、ステップS14の判定で、例えば特定の全閉保持位置初期位置または現在位置における全閉保持制御の継続時間が、予め設定された所定時間Tを経過しているか否かを判定しても良い。これは、EGRガス洩れ量または摩耗量と、特定の全閉保持位置における全閉保持制御を開始してから規定量を越えるまでに必要な経過時間との関係を予め実験等で測定したマップ図8参照を用いて、現在のEGRガス洩れ量または摩耗量に対応した所定時間Tを求めるようにしても良い。例えば特定の全閉保持位置現在位置における全閉保持制御を開始してから特定の全閉保持位置における全閉保持制御の実施期間を全て積算していき、全閉保持制御の全積算時間が、規定量の1/2または1/3に対応する所定時間Tに達した時点で、EGRガス洩れ量の推定値Xまたは摩耗量の推定値Yが予め設定された所定値に到達したと判断して、図9の制御ルーチンに進入する。ここで、図9および図10はECU3による摩耗量全閉保持位置切替判定制御方法を示したフローチャートである。この図9および図10の制御ルーチンは、EGR開閉制御、特にEGRバルブ41を全閉作動させる全閉制御時EGR制御弁1、2の全閉制御時に、所定の制御周期毎に繰り返される。図9の制御ルーチンに進入すると、先ず、全閉保持位置AにEGRバルブ41を保持する全閉保持制御を開始してから所定時間Tが経過して全閉保持位置Aでの全閉保持制御を終了するタイミング時期であるか否かを判定するステップS21。この判定結果がNOの場合には、FLAGをAにセットし、マイクロコンピュータのメモリに記憶保持格納するステップS22。その後に、ステップS1を繰り返す。また、ステップS21の判定結果がYESの場合には、全閉保持位置BにEGRバルブ41を保持する全閉保持制御を開始してから所定時間Tが経過して全閉保持位置Bでの全閉保持制御を終了するタイミング時期であるか否かを判定するステップS23。この判定結果がNOの場合には、FLAGをBにセットし、マイクロコンピュータのメモリに記憶保持格納するステップS24。その後に、ステップS1を繰り返す。また、ステップS23の判定結果がYESの場合には、全閉保持位置CにEGRバルブ41を保持する全閉保持制御を開始してから所定時間Tが経過して全閉保持位置Cでの全閉保持制御を終了するタイミング時期であるか否かを判定するステップS25。この判定結果がNOの場合には、FLAGをCにセットし、マイクロコンピュータのメモリに記憶保持格納するステップS26。その後に、ステップS1を繰り返す。また、ステップS25の判定結果がYESの場合には、全閉保持位置DにEGRバルブ41を保持する全閉保持制御を開始してから所定時間Tが経過して全閉保持位置Dでの全閉保持制御を終了するタイミング時期であるか否かを判定するステップS27。この判定結果がNOの場合には、FLAGをDにセットし、マイクロコンピュータのメモリに記憶保持格納するステップS28。その後に、ステップS1を繰り返す。また、ステップS27の判定結果がYESの場合には、位置制御禁止フラグを立てる。つまりFLAGをOにセットし、マイクロコンピュータのメモリに記憶保持格納するステップS29。その後に、ステップS1を繰り返す。この位置変更制御では、今までの全閉保持位置現在位置を、図7のステップS11~S14および図9の位置変更制御で変更された後の全閉保持位置B~Dに置き換え、置き換えた全閉保持位置を現在位置としてメモリに記憶保持格納、更新する。具体的には、全閉保持位置初期位置または現在位置がAの場合には、全閉保持位置現在位置をBに更新する。また、全閉保持位置現在位置がBの場合には、全閉保持位置現在位置をCに更新する。また、全閉保持位置現在位置がCの場合には、全閉保持位置現在位置をDに更新する。これによって、次回のステップS7全閉保持制御手段では、図7のステップS11~S14および図9の位置変更制御で変更された後の全閉保持位置B~Dで、EGRバルブ41を保持可能な電力をモータ51に供給する全閉保持制御が実施されることになる。なお、メモリに記憶保持された全閉保持位置初期位置や現在位置は、イグニッションスイッチがオフIGOFFされた場合でも、メモリに記憶保持される。ここで、マイクロコンピュータのメモリ記憶部には、初期位置から現在位置までの全ての全閉保持位置A~Dと、流量不感帯の範囲領域が格納記憶されている。なお、位置変更制御では、図5aに示したように、A→B→C→Dのように全閉保持位置が順次変更される。また、位置変更制御では、今までと異なる他の全閉保持位置例えば過去一度も使用したことのない保持位置に変更しても良い。このように全閉保持位置を位置変更制御毎にA~Dまで変化させると、流量不感帯の範囲内の全ての領域を使い切ってしまうことが考えられる。その場合、ECU3のマイクロコンピュータ判断部は、図10の制御ルーチンに進入し、以下の位置変更制御を実施する。なお、図9の制御ルーチンと同一符号は、同一の制御処理のため、説明を省略する。ステップS27の判定結果がYESの場合には、全閉保持位置DにEGRバルブ41を保持する全閉保持制御をN回例えば2回または3回実施しているか否かを判定する。つまり流量不感帯の範囲領域と全ての全閉保持位置A~Dとが一致しているか否かを判定するステップS31。この判定結果がNOの場合、つまり全閉保持位置の現在位置FLAGがDで、EGRバルブ41を保持可能な電力をモータ51に供給する全閉保持制御を実施している時に、EGRガス洩れ量の推定値または摩耗量の推定値が、予め設定された所定値規定量の半分または1/3に達している場合には、流量不感帯の範囲領域と全ての全閉保持位置A~Dとが一致していると判断する。この場合、FLAGをAにセットし、マイクロコンピュータのメモリに記憶保持格納する。つまり全閉保持位置を現在位置Dから初期位置Aに戻すステップS32。その後に、ステップS1を繰り返す。この位置変更制御では、全閉保持位置現在位置を、Aに置き換え、置き換えた全閉保持位置Aを2回目の現在位置としてメモリに記憶保持格納、更新する。つまり全閉保持位置をA~Dまで変化させ、流量不感帯の範囲内の全ての領域を使い切った場合には、初期位置Aに戻し、初期位置Aから再び位置変更制御図7の制御ルーチンが実施される。よって、初期位置Aに戻った場合でも、EGRガス洩れ量や摩耗量は、規定量の半分または1/3に規制することができる。また、ステップS31の判定結果がYESの場合には、位置制御禁止フラグを立てる。つまりFLAGをOにセットし、マイクロコンピュータのメモリに記憶保持格納するステップS33。その後に、ステップS1を繰り返す。なお、位置制御禁止フラグFLAG=Oを立てる場合、EGRガス洩れ量または摩耗量が規定量に達していると判断できるので、ドライバー等に知らせるため、音声表示や視覚表示インジケータランプをONしても良い。[実施例1の効果]以上のように、本実施例の内燃機関のEGR制御装置においては、全閉保持制御の実施状況例えばEGR制御弁1、2の作動状況、全閉保持制御の実施状況、初期位置または現在位置における全閉保持制御の継続時間、あるいはEGR制御弁の運転時間、あるいはエンジンEの運転継続時間等の経過時間に基づいて、全閉保持位置を現在位置または今までと異なる他の全閉保持位置に変更する位置変更制御を実施することにより、ハウジング34に保持されたノズル35のバルブシート面39においてEGRバルブ41のシールリング溝43に嵌め込まれたシールリング44の摺動部との接触により摩耗が未だ発生していない領域位置に全閉保持位置をA→B、B→C、C→Dのように移すことが可能となる。また、全閉保持制御の実施状況に基づいてEGRガス洩れ量または摩耗量を推定し、このEGRガス洩れ量の推定値または摩耗量の推定値が所定値EGRガス洩れ量または摩耗量の規定量の1/2または1/3等を超えた段階で、保持位置を現在位置または今までと異なる他の全閉保持位置に変更する位置変更制御を実施し、この位置変更制御で変更された後の全閉保持位置で、EGRバルブ41を保持可能な電力をモータ51に供給する位置保持制御を実施するEGR制御装置ECU3を備えたことにより、変更される前の全閉保持位置の摩耗が促進されることはなく、すなわち、現在位置または今まで使用していた全閉保持位置の摩耗が促進されることはなく、EGR制御弁1、2の全閉制御時におけるEGRガス洩れ量の増加を防止することができる。また、EGR制御弁1、2の全閉制御時におけるEGRガス洩れ量を初期状態に戻すことができる。したがって、EGR制御弁1、2の全閉制御時における、エンジン出力の低下やエミッションの悪化等の問題を解消することができる。また、DPF9の目詰まり、失火やエンジンストールを回避することができる。また、EGR制御装置ECU3は、流量不感帯の範囲と全ての全閉保持位置とが一致していると判断した場合、つまり全閉保持位置をA~Dまで変化させ、流量不感帯の範囲内の全ての領域を使い切った場合、全閉保持位置を現在位置から初期位置に戻し、初期位置から再び位置変更制御を実施することにより、変更される前の全閉保持位置の摩耗が促進されることはなく、EGR制御弁1、2の全閉制御時におけるEGRガス洩れ量の増加を防止することができる。したがって、EGR制御弁1、2の耐久寿命を延ばすことができる。また、EGR制御装置ECU3は、全閉保持位置Dで、EGRバルブ41を保持可能な電力をモータ51に供給する全閉保持制御の実施状況に基づいて、EGRガス洩れ量または摩耗量を推定する推定部を有している。そして、EGR制御装置ECU3は、EGRガス洩れ量の推定値または摩耗量の推定値が所定値EGRガス洩れ量または摩耗量の規定量の1/2または1/3等を超えた段階で、流量不感帯の全ての範囲を全閉保持位置として使用していると判断する。つまり流量不感帯の範囲内の全ての領域を使い切ったと判断した場合、全閉保持位置を現在位置Dから初期位置Aに戻すことにより、変更される前の全閉保持位置Dの摩耗が促進されることはなく、EGR制御弁1、2の全閉制御時におけるEGRガス洩れ量の増加を防止することができる。したがって、EGR制御弁1、2の耐久寿命を延ばすことができる。ここで、本実施例のEGR制御弁1、2においては、図4および図5に示したように、全閉保持位置A~Dが、流路全閉範囲および流量不感帯の範囲内に設けられている。このため、EGR制御弁1、2のバルブ開度が全閉保持位置A~Dに保持されると、EGRバルブ41の外周に装着されたシールリング44の摺動部が、シールリング自体の拡径方向の張力によってノズル35のバルブシート面39に張り付くため、シールリング44の摺動部がノズル35のバルブシート面39に密着する。このとき、EGRバルブ41の外周端面42とノズル35のバルブシート面39との間に形成される隙間が完全にシールされる。これにより、全閉保持位置A~DでEGRバルブ41が保持される時、すなわち、EGR制御弁1、2の全閉制御時に、EGRガスの洩れが確実に抑止されるため、EGRガスが吸入空気に混入しなくなるEGRカット。なお、全閉保持位置の変更回数、変更先や隣接する2つの全閉保持位置の間隔は、流量不感帯の範囲内であれば任意である。また、全閉保持位置として全閉位置Oを使用しても良い。ここで、全閉保持位置がAまたはCの場合には、モータ51のトルクとリターンスプリング46の付勢力第1スプリングトルクとが、3つの第1~第3減速ギヤに作用している。あるいは全閉保持位置がBまたはDの場合には、モータ51のトルクとオーバーターンスプリング47の付勢力第2スプリングトルクとが、3つの第1~第3減速ギヤに作用しているので、噛み合う2つの減速ギヤのうちの一方の減速ギヤの歯面が、他方の減速ギヤの歯面に押し付けられる。これにより、各減速ギヤに自由度がなくなり、噛み合う2つの減速ギヤの歯面間ピニオンギヤ52と中間ギヤ53との歯面間、および中間ギヤ53と出力ギヤ54との歯面間のバックラッシュが非常に小さくなる、あるいはゼロになる。[変形例]本実施例では、本発明の内燃機関の排気装置を、内燃機関エンジンの吸気通路へ排気ガスの一部をEGRガスとして還流させるEGRシステム内燃機関のEGR制御装置に適用しているが、本発明の内燃機関の排気装置を、内燃機関エンジンの燃焼室より排出される排気ガスを排気絞り弁の弁体であるバルブの開閉動作により制御する内燃機関の排気制御装置に適用しても良い。また、内燃機関エンジンの排気通路を流れる排気ガスを清浄化する内燃機関の排気浄化装置に適用しても良い。なお、高圧ループEGRシステムまたは低圧ループEGRシステムのいずれか一方を内燃機関エンジンに搭載しなくても良い。つまりEGR制御弁1またはEGR制御弁2のいずれか一方を内燃機関エンジンに搭載しなくても良い。また、EGR制御弁1、2の構造が異なるものでも良い。また、過給機として、ターボチャージャを用いたが、スーパーチャージャや、電動コンプレッサを用いても良い。また、内燃機関エンジンに過給機が設置されなくても良い。また、内燃機関エンジンとして、ガソリンエンジンを用いても良い。また、内燃機関エンジンとして、多気筒エンジンだけでなく、単気筒エンジンを用いても良い。本実施例では、本発明の排気制御弁を、EGR制御弁1、2に適用したが、本発明の排気制御弁を、EGRクーラの出口側に連通する低温排気ガス流路とEGRガスをEGRクーラより迂回させるバイパス流路高温排気ガス流路とを切り替える排気ガス流路切替弁や、内燃機関の排気管ターボギャージャのタービンハウジングに設置される排気ガス流量圧力制御弁等の他の排気制御弁に適用しても良い。なお、排気制御弁としては、ウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁等が考えられる。また、排気制御弁の弁体を構成するバルブとして、バタフライバルブ、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。本実施例では、シャフト45を回転駆動してEGRバルブ41を開閉動作させるアクチュエータとして、電力の供給を受けて動力トルクを発生するモータ51、およびこのモータ51の回転を減速する減速機構動力伝達機構を備えた電動アクチュエータを採用しているが、シャフト45を回転駆動してEGRバルブ41を開閉動作させるアクチュエータとして、負圧制御弁を介して電動バキュームポンプからの負圧により駆動される負圧作動式アクチュエータや、コイルを含む電磁石を備えたリニアソレノイド電磁アクチュエータを採用しても良い。本実施例では、ハウジング34のノズルホルダー38に円筒状のノズル35を嵌合保持し、更にノズル35の内部にEGRバルブ41を開閉自在回転自在に収容しているが、ハウジング34の内部に直接EGRバルブ41を開閉自在回転自在に収容しても良い。この場合には、ノズル35が不要となり、部品点数や組付工数を削減できる。なお、EGRバルブ41の外周端面42にシールリング溝環状溝43を設けなくても良い。また、EGRバルブ41の外周端面42にシールリング44を装着しなくても良い。この場合には、シールリング44が不要となり、部品点数や組付工数を削減できる。本実施例では、第1EGRガスパイプの途中にEGRクーラ13を設置しているが、第1EGRガスパイプの途中にEGRクーラ13を迂回バイパスするバイパス配管を接続しても良い。この場合、バイパス配管内に形成されるEGRガス流路を開閉する流路切替弁を設置しても良い。本実施例では、第2EGRガスパイプの途中にEGRクーラ14を設置しているが、第また、排気制御弁の弁体を構成するバルブとして、バタフライバルブ、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用してす流路を開閉する流路切替弁を設置しても良い。本実施例では、シャフト45を回転駆動してEGRバルブ41を開閉動作させるアクチュエータとして、電力の供給を受けて動力トルクを発生するモータ51、およびこのモータ51の回転を減速する減速機構動力伝達機構を備どい。本実施例では、EGR制御弁1、2の各EGRバルブ41を全閉作動させる全閉制御時に、EGRバルブ41を全閉保持位置で停止させ、且つ全閉保持位置でEGRバルブ41を保持可能な電力全閉保持電流または全閉保持電圧をアクチュエータモータ51へ供給する全閉保持制御を実施しているが、EGR制御弁1、2の全閉制御時に、リターンスプリング46またはオーバーターンスプリング47の付勢力によってEGRバルブ41が付勢される全閉位置Oの近傍または前後の所定範囲流量不感帯の範囲内の領域において、EGRバルブ41が全閉位置Oを通り越して開閉作動を繰り返すように電力をアクチュエータモータ51へ供給する開閉制御を実施した後に、全閉保持制御を実施するようにしても良い。この場合には、シールリング44の摺動部の先端エッジで、ノズル35のバルブシート面39に付着して堆積した排気微粒子等の異物をノズル35のバルブシート面39から掻き落とすことができる。これにより、EGRバルブ41の動作不良やバルブロックを防止できる。