"絶縁性の材料からなり、第一の貯留部20及び前記第一の貯留部と連通し、二つの内壁のそれぞれに電極210,211が備えられた第二の貯留部21を含む基板2並びに、絶縁性の材料からなり、突起30を含み、前記突起が前記第一の貯留部を満たす液体4から離隔された位置と前記液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を移動できるように基板に固定された柔軟なメンブレン3を含み、それによって少なくとも部分的に前記第一の貯留部から前記第二の貯留部へ二つの前記電極と機械的に接触するように前記液体を排出し、前記液体の二つの前記電極との前記機械的な接触が二つの前記電極の間の抵抗または静電容量を形成するようにされた、圧力センサを形成するデバイス1。前記絶縁性の基板が、柔軟であるような厚さを有する、請求項1に記載の圧力センサ。前記絶縁性の基板が、プラスチック材料からなる、請求項1または2に記載の圧力センサ。前記絶縁性の基板が、ポリエチレン類、好適にはポリエチレンナフタレートPENから選択される、請求項3に記載の圧力センサ。前記液体が、ポリエチレンジオキシチオフェンPDOTポリマー、ポリアニリンまたは電解質のような導電性である、請求項1から4のいずれか一項に記載の圧力センサ。前記液体が、ポリスチレンスルフォナートナトリウムPSSポリマーのような半導体性である、請求項1から4のいずれか一項に記載の圧力センサ。前記液体が、絶縁性である、請求項1から4のいずれか一項に記載の圧力センサ。前記柔軟なメンブレンが、プラスチック材料からなる、請求項1から7のいずれか一項に記載の圧力センサ。前記柔軟なメンブレンが、ポリエチレンPEからなる、請求項8に記載の圧力センサ。前記メンブレンが、絶縁性フィルムで覆われた金属シートである、請求項1から7のいずれか一項に記載の圧力センサ。前記第一の貯留部が、隣接する側面の突起とほぼ補完的な形状を有し、圧力が前記突起に印加されると、前記側面によって、前記液体が前記第一の貯留部から前記第二の貯留部へ排出されることができる、請求項1から10のいずれか一項に記載の圧力センサ。前記突起が、平行六面体形状を有する、請求項11に記載の圧力センサ。前記第一の貯留部及び前記第二の貯留部が結合され、前記第二の貯留部が前記第一の貯留部の上に位置する、請求項1から12のいずれか一項に記載の圧力センサ。a絶縁性の材料からなる、第一の貯留部20及び前記第一の貯留部と連通する第二の貯留部の一部21’を含む基板2を製造する段階、b前記第二の貯留部の底部をメタライズして第一の電極211及び前記第一の電極に接続された電気的接続線L2の一部を形成する段階、c絶縁性材料からなる、突起30を含む柔軟なメンブレン3を製造する段階、d前記メンブレンの表面31または絶縁性材料からなり前記突起の側で前記メンブレンと固定された層6をメタライズして第二の電極210及び前記第二の電極と接続される第二の電気的接続線の一部を形成する段階、e前記第一の貯留部の一部を液体4によって満たす段階、並びにf前記柔軟なメンブレンを前記基板に固定して、前記突起を前記第一の貯留部に対向させ、前記液体から離れた位置と前記液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を前記突起が移動できるようにする段階、の各段階を含み、それによって少なくとも部分的に、前記第一の貯留部から前記二つの電極によって規定された前記第二の貯留部へ前記液体を排出してそれらを機械的に接触させ、前記液体の前記二つの電極との前記機械的接触が前記二つの電極の間の抵抗または静電容量の変化をもたらす圧力センサ1を形成するデバイスを製造するための方法。前記段階aが、絶縁性基板をエンボス加工またはエッチングすることによって実施される、請求項14に記載の方法。前記段階cが、モールド加工、エンボス加工またはエッチングによって実施される、請求項14または15に記載の方法。前記段階eの後、前記液体で満たされていない前記第一の貯留部の部分及び前記第二の貯留部に真空が形成される、請求項14から16のいずれか一項に記載の方法。前記段階fが、前記メンブレンを前記基板上に位置合わせして接合することにより実施される、請求項14から17のいずれか一項に記載の方法。単一の基板2及び単一のメンブレン3を有する、請求項1から18のいずれか一項に記載の複数の圧力センサ1を含み、前記センサが、所定の間隔に従って表面全体に渡って均一に配置され、それぞれの前記センサの二つの前記電極のうち一方が、規定線Liによってその他全ての複数の前記センサの二つの前記電極のうち一方と接続され、それぞれの前記センサの二つの前記電極のうちもう一方が、規定列Colによってその他全ての複数の前記センサの二つの前記電極のうちもう一方と接続され、前記線が、ある電位と接続され、前記列が、前記線の電位と異なる電位と接続される、タッチスクリーン。従って、本発明の目的は、プラスチック技術を用いて形成されることができ、その感度を向上することができる新しい型の圧力センサを提案することである。本発明のもう一つの目的は、タッチスクリーンのための基礎として用いられる圧力センサを提案することである。このことを行うために、本発明は、圧力センサを形成するデバイスに関し、デバイスは、第一の貯留部及び前記第一の貯留部と連通しその二つの内壁にそれぞれ電極が備えられた第二の貯留部を含む絶縁性の材料からなる基板並びに、絶縁性の材料からなり、突起を含み、前記基板に固定され、前記突起が前記第一の貯留部を満たす液体から離隔された位置と、前記液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を移動することができるように前記基板に固定された柔軟なメンブレンを含み、それによって少なくとも部分的に前記第一の貯留部から前記第二の貯留部へ二つの前記電極と機械的に接触するように前記液体を排出し、前記液体の二つの前記電極との前記機械的接触が二つの前記電極の間の抵抗または静電容量を形成する。本発明によれば、高い感度があるポリエチレンナフタレートPENのようなプラスチック材料からなる柔軟な基板上に圧力センサを形成することが可能である。そのような圧力センサの反応時間、つまり柔軟なメンブレン上に、典型的には使用者の指によって圧力が印加される瞬間と二つの電極間の短絡回路が制御回路によってソフトウェア処理ユニットで検出される瞬間との間に経過する時間は、非常に短い。液体が絶縁性である場合には、高い電気誘電率を有する材料を選択することができ、このことによって二つの電極間で短絡回路である間、センサの高い静電容量を得ることが可能となる。タッチスクリーンの使用において、また圧力が使用者の指によって印加されると考えられる場合において、第一および第二の貯留部の体積が液体に関して約5mm3であること、二つの電極の間の距離が約1mmであること、及び二つの電極間に印加される電圧が約0.5ボルトであることが提示される。本発明に従う圧力センサの精度のさらなる向上のために、第一および第二の貯留部の体積を10mm3に減少させることを考えることが可能である。本発明に従う圧力センサは、高い検出再現性を有し、特に、移送される排出される液体の体積は、基板内で決定される初期体積によって固定された大きさであり、この初期体積は校正され、センサの耐用期限を通じて一定を保つ。有利な実施形態に従えば、絶縁性基板は、柔軟であるような厚さを有する。絶縁性基板は、好適にはプラスチック材料からなり、有利にはポリエチレン類から選択され、好適にはポリエチレンナフタレートPENである。また、カプトン登録商標のようなポリイミド、ポリプロピレン類及びポリカーボネート類からも選択することが可能である。また、セラミックまたはシリカで絶縁性基板を製造することも考えることが可能である。液体に関して三つの代替例を考えることができる。液体はポリエチレンジオキシチオフェンPDOTポリマーまたはポリアニリンあるいは電解質のような導電性であることができ、この場合二つの電極間に形成される短絡回路は、結果的に様々な抵抗となる。液体は、絶縁性であることもでき、この場合二つの電極間に形成される短絡回路は、結果的に様々な静電容量となる。液体は、ポリスチレンスルフォナートナトリウムポリマーのような半導体性であることもできる。この場合、二つの電極間に形成される短絡回路は、液体の導電性に従って、結果的に様々な抵抗または様々な静電容量のどちらかとなる。換言すれば、液体の導電性を選択するだけで、静電容量型センサまたは抵抗型センサのどちらかを製造することが可能である。代替的な実施形態に従えば、柔軟なメンブレンはプラスチック材料からなり、有利にはポリエチレンPEである。他の一実施形態に従えば、メンブレンは絶縁性フィルムで覆われた金属シートである。圧力下における液体の排出を最適化するために、第一の貯留部は好適には短い距離を除いて突起とほぼ補完的である形状を有し、圧力が突起に印加されたときに、前記短い距離によって第一の貯留部から第二の貯留部に向けて液体が排出されることが可能である。後者はそのため平行六面体形状を有することができる。製造を簡略化するために、第一の貯留部及び第二の貯留部は結合され、第二の貯留部は第一の貯留部の上部にある。本発明はまた、圧力センサを形成するデバイスを製造する方法に関し、デバイスを製造する方法は、a絶縁性材料からなる、第一の貯留部及び前記第一の貯留部と連通した第二の貯留部の一部を含む基板を製造する段階、b前記第二の貯留部の底部をメタライズして第一の電極及び前記第一の電極に接続される電気的接続線の一部を形成する段階、c絶縁性材料からなる、突起を含む柔軟なメンブレンを製造する段階、d前記メンブレンの表面または絶縁性材料からなり前記突起の側で前記メンブレンに固定された層をメタライズして第二の電極及び前記第二の電極に接続された第二の電気的接続線の一部を形成する段階、e前記第一の貯留部の一部を液体で満たす段階、並びにf前記柔軟なメンブレンを前記基板に固定して、前記突起を前記第一の貯留部に対向させ、前記液体から離れた位置と前記液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を前記突起が移動できるようにする段階、の各段階を含み、それによって少なくとも部分的に、前記第一の貯留部から二つの前記電極によって規定された前記第二の貯留部へ前記液体を排出してそれらを機械的に接触させ、前記液体の二つの前記電極との前記機械的接触によって二つの前記電極間の抵抗または静電容量の変化をもたらす。前記段階aを実施するために、絶縁性基板をエンボス加工またはエッチングすることが可能である。前記段階cは、好適にはモールド加工、エンボス加工またはエッチングによって実施される。有利には、前記段階eの後に、前記液体によって満たされていない前記第一の貯留部の部分及び前記第二の貯留部の部分に真空を形成する。液体で満たされていない貯留部の部分を真空にすることは、利点として、電極の酸化を防ぐことが可能になり、そのため本発明に従うセンサの耐用期限を増大させることが可能になる。この真空化段階は、柔軟なメンブレンと基板とを固定する段階fの間に行うことができる。前記段階fは、前記メンブレンを前記基板上に位置合わせして接合することにより実施することができる。シーリングまたは溶着のようなその他どのような技術を考えることも可能である。説明された方法は、メンブレンに固定された二つの電極の一方を形成することを可能にする。従って、圧力がメンブレンに印加されると、第二の貯留部の形状特性もまた変化する。従って、二つの電極の間の抵抗または静電容量の変化の測定によって、メンブレンに印加された圧力の値を正確に決定することが可能になる。二つの電極が基板に固定される場合には、第二の貯留部の形状特性は変化せず、そのため抵抗または静電容量の二値的な変化、つまり液体と電極の間の機械的接触が形成されるか否かに依存して全てか無かという結果が得られる。最後に、本発明は、タッチスクリーンに関し、タッチスクリーンは、単一の基板及び単一のメンブレンを有する上述した複数の圧力センサを含み、前記センサは所定の間隔に従って表面全体に渡って均一に配置され、それぞれの前記センサの二つの前記電極のうち一方は、規定線Liによってその他全ての複数の前記センサの二つの前記電極の一方と接続され、それぞれの前記センサの二つの前記電極のうちもう一方は、規定列Colによってその他全ての複数の前記センサの二つの前記電極のうちもう一方と接続され、前記線はある電位L2と接続され、前記列は前記線の電位と異なる電位L1と接続される。その他の利点及び特徴は、以下の図を参照しながら以下の詳細な説明を読むことにより、より明確になるであろう。下方及び上方という語句は、重力を基準に用いられることを明記する。従って、下方電極は底部電極であり、上方電極は頂部電極である。図1Aは、圧力が印加されていないP=0位置にある本発明に従う圧力センサ1を形成するデバイスを示す。圧力センサ1は、絶縁性材料2からなる、柔軟なメンブレン3が固定された基板を含む。基板2は、好適にはポリエチレンナフタレートPENのような、柔軟になる厚さ例えばeが約125μmを有するプラスチックフィルムから形成される。基板1は、液体4で部分的に満たされた第一の貯留部20を含む。第二の貯留部21は第一の貯留部20の上方に配置されて第一の貯留部20と接続される。この第二の貯留部21は、その下方内壁及び上方内壁に、二つの電極210及び211を含む。柔軟なメンブレン3は、図1Aに示されるように平行六面体形状の突起30を含み、この形状は、短い距離を除いて第一の貯留部20の形状とほぼ補完的である。メンブレンは、記載された例においては、ポリエチレンPEからなる。柔軟なメンブレン3と基板2との固定は、圧力がないときには突起が第一の貯留部20に対して対向し、合致するようにされ、液体4からは離れている図1A。圧力がメンブレン3に印加された場合P>0、突起30が液体を押す位置となり、液体を少なくとも部分的に第一の貯留部20から第二の貯留部21へ排出することにより、二つの電極210と211との間に機械的接触を形成する。この液体4の二つの電極210及び210への機械的な接触は、それらの間に短絡回路を形成する。電極210、211のそれぞれは、異なる電位を有する電気的な接続線L1及びL2に接続される図1C。液体4は、記載された例においては、ポリエチレンジオキシチオフェンPDOTまたはポリアニリンのような導電性ポリマーである。二つの電極210と211との間の短絡回路は電気抵抗を形成するので、1に示された圧力センサは抵抗型圧力センサである。本発明に従う圧力センサを製造する各段階が、図3から11及び対応する上面図である図3Aから11Aに示されている。PENのような、例えば約125μmの厚さeの柔軟な材料からなる基板2から開始し図2及び2A、この基板2のエンボス加工またはエッチング段階をまず行って、互いに接続された第一の貯留部20及び第二の貯留部21’の一部図3及び3Aを得る。高精度なセンサに関しては、リソグラフィックエッチングによって製造される場合、図3に示されるe1からe4の寸法を、次の範囲にすることが可能である。e1は、1μmから3μmである。e2は1μmから3μmである。e3は、100nmから1μmである。e4は、100nmから1μmである。同様に、高精度なセンサに関しては、エンボス加工によって製造される場合、e1からe4の寸法を、次の範囲にすることが可能である。e1は、10μmから500μmである。e2は1μmから500μmである。e3は、100nmから10μmである。e4は、1μmから100μmである。本明細書においては、寸法e1及びe4は、第一の貯留部20のそれぞれ幅及び高さを表し、e2及びe3は第二の貯留部21のそれぞれ幅及び高さを表す。有利には、形状22が、どのような鋭角も避けるように、第一の貯留部の入り口において基板の実施形態に与えられる。図1A及び1Bに示すように、この形状22は、円錐台形状である。従って、センサのメンブレン3は、圧力Pが印加されているときは鋭角に支えられてはいない。このことは、より大きな柔軟性及び大きさを提供する。加えて、このことは早期にメンブレンを損傷することがないようにできる。換言すれば、そのために耐用期限が増加される。本発明のセンサの所望の精度及びそれゆえ所望の寸法に依存して、一つまたはその他の技術エンボス加工またはリソグラフィックエッチングが好適となるであろう。次いで、貯留部21’の底部のメタライゼーション段階が、電極211及び電気的接続線L2を得るように実施される図4及び4A。次いで、絶縁性の層が、電気的接続線を第二の貯留部21’の部分から絶縁するように成膜される図5及び5A。次いで、第一の貯留部20は、所定量だけ液体4で満たされる図6及び6A。液体は、記載された例においてはポリエチレンジオキシチオフェンPDOTまたはポリアニリンのような導電性ポリマーである。上述した柔軟なPEN基板2を製造するこれらの段階と同時に、柔軟なメンブレンが製造される。そのため、初めに、好適にはモールド加工、エンボス加工またはエッチングによって、柔軟なPEメンブレン3が、第一の貯留部20の形状とほぼ補完する形状を有する突起30を有するように製造される図7及び7A。次いで、突起の表面31の側に、絶縁性の層6が、後に、メタライズされた電極210を絶縁するように成膜される図8。次いで、絶縁性の層6の上において、実際のメタライゼーション段階が、第二の電極210及び電気的接続線L1を得るように実施される図9A。次いで、他の絶縁性の層7が、電気的接続線L1を電気的に絶縁するように成膜される図10及び10A。柔軟な基板が製造され、第一の貯留部が液体4で部分的に満たされ図6及び6A、柔軟なメンブレンが製造される図10及び10Aと、メンブレン3を基板2上に、突起30が第一の貯留部20に対向して合致し、二つの電極210及び211が互いに対向するように位置合わせして固定する段階が実施される図11。図示された例において、第一の貯留部20を満たす液量は、約5mm3である。選択されるe1からe4の精度及び寸法に依存して、液量を100pLから10mm3の間で決定することが可能である。メンブレンと基板とを固定する組み立て段階の間、第一の貯留部20及び第二の貯留部21の一部は、真空下に置かれる。そのため、電極210及び211の酸化が防止され、そのため本発明に従うセンサの耐用期限が増加される。タッチスクリーンを製造するために、複数の圧力センサが、単一の基板2及び単一のメンブレン3から製造され、センサは図12に示されるように所定のピッチに従って表面全体に渡って均一に配置される。そのため、各センサ1の二つの電極のうち一方の電極210は、規定する幾何学的線Liによって電気的接続線L2で、その他全ての複数のセンサの二つの電極のうち一方の電極210と接続される。各センサの二つの電極のうちもう一方の電極211は、規定する幾何学的列Colによって電気的接続線L1で、その他全ての複数のセンサの二つの電極のうちもう一方の電極211と接続される。線L2は、ある電位と接続され、列L1は、線と異なる電位に接続される。換言すれば、規定の間隔でスクリーンの表面全体に渡って本発明に従う圧力センサ1の構造を繰り返すことにより、この表面全体に渡って覆い、従って画素化することが可能になる。そのため、タッチスクリーン上に圧力が印加されたか否か及び印加された正確な領域を精度よく知ることが可能になる。その他の改善や応用は、本発明の範囲を逸脱しないで実施することが可能である。そのため、上述した圧力センサ1がタッチスクリーンの実施形態を参照して説明されたが、その他の応用にも用いることが可能である。"