集積回路を冷却する冷却装置であって、集積回路の信号線に電流が流れる際に生じる磁束線がコイル面を貫くように配置されるコイルと、前記コイルに誘起される起電力を動力源とするモータと、前記モータにより回転されるファンとを備えることを特徴とする冷却装置。前記モータは、前記起電力により生じる電流の周波数に応じて回転速度を決定することを特徴とする請求項1に記載の冷却装置。前記信号線は、前記集積回路内において映像信号、スイッチング信号、またはクロック信号を伝送する信号線であることを特徴とする請求項1に記載の冷却装置。前記コイル、前記モータ、および前記ファンは、MEMSMicroElectroMechanicalSystems技術により形成されていることを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載の冷却装置。前記コイル、前記モータ、および前記ファンは、三次元集積回路内に実装されていることを特徴とする請求項4に記載の冷却装置。請求項1~5の何れか一項に記載の冷却装置を備えた集積回路。上記の特許文献1に開示される技術では、ファンの回転数を制御するために、温度センサ等の集積回路の動作を監視する手段が必要となる。このため、冷却装置の構成が複雑となり、システム全体のコストが上昇してしまう。また、温度センサ等の集積回路の動作を監視する手段に対して電力を供給する必要がある。さらに、ソフトウェア制御によりファンの回転数を制御するため、集積回路の本来のシステム動作へ負荷が発生する。本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、低消費電力かつ簡単な構成で、集積回路の動作状況に応じた集積回路の冷却を行うことのできる冷却装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明にかかる冷却装置は、集積回路の信号線に電流が流れる際に生じる磁束線がコイル面を貫くように配置されるコイルと、コイルに誘起される起電力を動力源とするモータと、モータにより回転されるファンとを備えることを特徴とする。本発明にかかる冷却装置は、集積回路の信号線に流れる電流の極性変化に応じてファンが回転する。電流の極性変化の頻度が増加し、発熱量が大きくなった場合、ファンの回転数も増加する。一方、電流の極性変化の頻度が減少し、発熱量が小さくなった場合、ファンの回転数も減少する。このため、ファンの回転数を制御する制御手段を必要とせず、集積回路の動作状況に応じた冷却を行うことができる。ファンの回転数を制御する制御手段を必要としないので、集積回路の本来のシステム動作に負荷をかけず、集積回路の冷却を行うことができる。また、集積回路の信号線に電流が流れることで発生する磁束変化によりコイルに生じる誘導起電力を動力源とするので、集積回路の冷却において電力供給を必要としない。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。<実施の形態1>図1は実施の形態1にかかる集積回路の冷却装置を示す斜視図であり、図2はその斜視透過図であり、図3はその断面図である。本図に示されるように、冷却装置はコイル部1、モータ部2、及び電源線5から構成される。またモータ部2は、モータ3、及びファン4から構成される。コイル部1は、図1、図2に示されるように、導体が巻回されてなる環状のコイル導体7の外部を、モールド樹脂を用いて固めたものである。図2、図3を参照するに、コイル部1は、集積回路6の内部信号線8の真上に、コイル導体7のコイル面と内部信号線8が平行となる向きに、集積回路6と樹脂接着剤により接着固定されている。モータ部2は、モータ3、及びファン4から構成される。モータ3は、単相誘導モータである。内部構成の詳細については後述する。図1を参照するに、モータ3は、コイル部1と電源線5を介して接続され、集積回路6とは、樹脂接着剤で接着固定されている。ファン4は、図1に示されるように、複数枚の羽根から構成される。ファン4は、モータ3の回転子の回転に従い風を発生させ、集積回路6を冷却する。続いて、モータ3の内部構成について、図4を用いて説明する。図4は、モータ3の内部構成を示す図である。図4に示されるように、モータ3は、単相誘導モータであり、補助巻線11、主巻線12、コンデンサ13、回転子14、固定子15から構成される。固定子15には、主巻線12および補助巻線11が巻回されている。主巻線12は、コイル部1と電源線5を介して直接接続されている。主巻線12には、コイル部1に発生する誘導起電力により誘導起電流が流れる。一方、補助巻線11と、コイル部1との間には、コンデンサ13が挿入されている。これにより、補助巻線11には、コイル部1に発生する誘導電流に対して90°の位相差を有する電流が流れる。このように、補助巻線11に流れる電流は、主巻線12に流れる電流に対して90°進み位相となるので、主巻線12と補助巻線11により作られる磁界は回転磁界となり、回転子14は回転する。回転磁界の回転する速度Nrpmは、入力電流の周波数に依存する。すなわち、入力電流の周波数f、およびモータの極数Pを用いて、N=120×f/Pと表される。実際のモータの回転速度は、この回転磁界の回転する速度に滑りを考慮したものとなる。以上が、本実施の形態にかかる冷却装置の構成についての説明である。続いて、上記構成を備える冷却装置の動作について説明する。図2を参照するに、集積回路6が動作し、内部信号線8に電流Isigが流れることにより、内部信号線8の周りに環状の磁界Hが生じる。発生する磁界Hの大きさ向きは、アンペールの法則に従い、内部信号線8に流れる電流の大きさの変化、極性の変化に応じて変化する。内部信号線8を無限に長い直線電流と仮定した場合、内部信号線8に流れる電流Isig、および電流との距離rを用いて、H=Isig/2πrと表される。本実施の形態では、図3に示されるように、コイル部1を内部信号線8の真上に、コイル導体7のコイル面と内部信号線8が平行となる向きに配置するので、内部信号線8に電流が流れることにより内部信号線8の周りに生じる環状の磁界が、コイル部1のコイル導体7のコイル面を貫く。導体によって囲われた面を通過する磁界が変化した時、導体には電流が流れることが知られているファラデーの電磁誘導の法則。本実施の形態にかかる冷却装置において、コイル部1のコイル導体7のコイル面を貫く磁界の大きさ向きは、内部信号線8に流れる電流の大きさ向きの変化により変化する。従って、コイル部1のコイル導体7には、集積回路6が動作し、内部信号線8に電流が流れることにより生じる磁界の変化に基づく誘導起電力が発生する。誘導起電力Vは、ファラデーの電磁誘導の法則より、コイルの巻数N、および微小時間Δtでのコイルを貫く磁束の変化ΔΦ/Δtを用いて、V=-N×ΔΦ/Δtと表される。そしてコイル部1のコイル導体7には、誘導起電力Vにより誘導電流Icoilが流れる。図5は、内部信号線8に流れる電流Isigと、コイルに発生する誘導電流Icoilの関係を示す図である。横軸は時間、縦軸は電流の大きさを示す。内部信号線8に電流Isigが流れることにより発生する環状の磁界の単位時間当たりの変化に基づき誘導起電力Vが発生するので、図5に示すように、電流Isigの値が変動したタイミングで、誘導電流Icoilが発生する。従って、コイルに流れる誘導電流Icoilは周期的に変化する電流となる。また、誘導電流Icoilの周波数は、内部信号線6に流れる電流Isigの周波数に比例する。内部信号線8に流れる信号は、例えば、映像信号、ストローブ信号、クロック信号、スイッチング信号等である。これ等の内部信号の周波数が高くなると、損失が増加し、集積回路の発熱量が増加する。本実施の形態にかかる冷却装置においては、冷却対象の集積回路の内部信号の周波数が高く、発熱量が増加した場合、コイルに流れる誘導電流Icoilの周波数が増加する。一方、冷却対象の集積回路の内部信号の周波数が低く、発熱量が低下した場合、コイルに流れる誘導電流Icoilの周波数が低下する。このように、コイル部1に流れる誘導電流Icoilの周波数は、集積回路の動作に応じて変化する。なお、図2、図3に示す例では、より大きな誘導起電力を得るため、コイル部1を、集積回路6の内部信号線8の真上に、コイル導体7のコイル面と内部信号線8が平行となる向きに配置し、コイル面を磁束線が垂直に貫くようにしたが、本発明は必ずしもこの場合に限定されない。内部信号線8に電流が流れる際に生じる磁束線がコイル面を貫くように、コイル部1を配置すればよい。例えば、SoCのチップ内部にコイル導体を配置してもよい。図6は、モータ部2に印加する入力電流の周波数と、モータ部2の回転数の一例を示す図である。回転磁界の回転する速度は入力電流の周波数に比例する。従って、本図に示されるように、モータ部2の回転速度は、入力電流の周波数に比例する。コイルに流れる誘導電流Icoilの周波数は、内部信号線8に流れる電流Isigの周波数に比例するので、モータ部2の回転速度は内部信号線8に流れる電流Isigの周波数に比例する。本実施の形態にかかる冷却装置においては、冷却対象の集積回路の内部信号の周波数が高く、発熱量が増加した場合、コイルに流れる誘導電流Icoilの周波数が増加し、モータ部2の回転速度が増加する。一方、冷却対象の集積回路の内部信号の周波数が低く、発熱量が低下した場合、コイルに流れる誘導電流Icoilの周波数が低下し、モータ部2の回転速度が低下する。このように、モータ部2の回転速度は、集積回路の動作に応じて変化する。以上のように本実施の形態にかかる冷却装置は、上記の構成をとることにより、ファンの回転数を制御する制御手段、及びモータを駆動するための外部電源を必要とせず、冷却対象の集積回路の動作状況に応じた冷却を行うことができる。<実施の形態2>図7は、実施の形態2にかかる集積回路の冷却装置を示す斜視図である。コイル部101、モータ部201、及び電源線501から構成される冷却装置は、集積回路600の内部信号線801の真上に、コイル面と内部信号線801が平行となる向きに配置している。またモータ部201は、モータ301、及びファン401から構成される。コイル部102、モータ部202、及び電源線502から構成される冷却装置は、集積回路600の内部信号線802の真上に、コイル面と内部信号線802が平行となる向きに配置している。またモータ部202は、モータ302、及びファン402から構成される。コイル部103、モータ部203、及び電源線503から構成される冷却装置は、集積回路600の内部信号線803の真上に、コイル面と内部信号線803が平行となる向きに配置している。またモータ部203は、モータ303、及びファン403から構成される。内部信号線802、及び内部信号線803は、内部信号線801からの分岐信号線である。従って、内部信号線801を流れる電流Isiga、内部信号線802を流れる電流Isigb、および内部信号線803を流れる電流Isigcの間には、Isiga=IsigbIsigcとの関係が成り立つ。なお、Isigb>Isigaとする。また、分岐信号は二つのみ記載してあるが、三つ以上であっても構わない。図8は、内部信号線801を流れる電流Isiga、内部信号線802を流れる電流Isigb、および内部信号線803を流れる電流Isigcと、コイル部101に発生する誘導電流Icoila、コイル部102に発生する誘導電流Icoilb、およびコイル部103に発生する誘導電流Icoilcとの関係を示す図である。横軸は時間、縦軸は電流の大きさを示す。冷却対象の集積回路の各内部信号線に電流が流れることにより発生する環状の磁界の単位時間当たりの変化に基づき誘導起電力が発生するので、図8に示すように、信号線に流れる電流Iの値が変動したタイミングで、誘導電流が発生する。誘導電流の大きさは微小時間におけるコイル面を貫く磁束変化の量に比例することから、コイル部に発生する誘導電流の大きさは、内部信号線801を流れる電流Isigaに起因する誘導電流Icoila、内部信号線802を流れる電流Isigbに起因する誘導電流Icoilb、内部信号線803を流れる電流Isigcに起因する誘導電流Icoilcの順となる。図9は、モータ部201、モータ部202、モータ部203のトルク回転力の一例を示す図である。誘導モータのトルクは、印加される電圧の二乗に比例することから、図9に示されるように、流れる電流の電流値が大きい内部信号線に対して配置された冷却装置のモータ部のトルクは大きくなり、流れる電流の電流値が小さい内部信号線に対して配置された冷却装置のモータ部のトルクは小さくなる。流れる電流値が大きい分岐元の信号線に対して設けられた冷却装置は、モータ部のトルクが大きいので、羽が大きなファンを用いる。一方、流れる電流値が小さい分岐先の信号線に対して設けられた冷却装置は、モータ部のトルクが小さいので、羽が小さなファンを用いる。以上のように本実施の形態にかかる冷却装置は、冷却装置において、内部信号線の分岐信号等を考慮し、発生するトルクに応じたモータファンを用いることで、各内部信号線に適した集積回路の冷却が可能となる。<実施の形態3>実施の形態3にかかる集積回路の冷却装置は、MEMSMicroElectroMechanicalSystems技術により、コイル部、モータ部、ファン、および電源線をTSVThroughSiliconVia構造の三次元集積回路内に形成することを特徴とする。図10は、実施の形態3にかかる集積回路の冷却装置を示す断面図である。本図に示されるように、冷却装置はコイル部104、モータ部204、及び電源線504から構成される。また、冷却対象となる集積回路601は、複数のチップが積層された三次元集積回路であり、各層のチップは、斜線部で示されるTSVによる接続されている。コイル部104は、集積回路601の内部配線704と同層のチップ内に形成されている。コイル部104の形成はMEMS技術により行う。MEMSデバイスの作製技術は、バルクマイクロマシニングと、サーフェイスマイクロマシニングの2つに大きく大別されるが、何れの手法を用いてもよい。サーフェイスマイクロマシニングは、基板上に複数の薄膜を形成し、犠牲層エッチング技術によりMEMS構造体を生成する手法である。一方、バルクマイクロマシニングは、結晶異方性エッチングやRIEReactiveIonEtchingなどの技術で、基板自体を深く掘り込むなどの加工を施しMEMS構造体を生成する手法である。これ等の手法は一般に、1薄膜の成膜工程、2感光性の物質を塗布した物質の表面をパターン状に露光することで、所望のパターンを生成するフォトリソグラフィ工程、3不必要な薄膜等を取り除くエッチング工程を、繰り返し行うことにより、所望のMEMS構造体を形成する。コイル部104を、集積回路601の内部配線704と同層のチップ内に、信号線に電流が流れる際に生じる磁束線がコイル面を貫くように形成することで、コイル部104には、コイル面を貫く磁界の変化による誘導起電力が発生する。モータ部204は、電源線504を介して、コイル部104と接続されている。モータ部204もコイル部104と同様に、MEMS技術により形成する。これにより、コイル部104に発生する誘導起電力を動力源とし、回転する。モータ部204が回転することにより、風を発生させ、集積回路501を冷却する。なお、空気の流れを確保するため、図10に示されるように、ファン3の上層にはチップを設けない。以上のように本実施の形態にかかる冷却装置は、上記の構成をとることにより、ファンの回転数を制御する制御手段、及びモータを駆動するための外部電源を必要とせず、二次元集積回路と比較して熱がこもりやすい三次元集積回路を、集積回路の動作状況に応じて冷却を行うことができる。<補足>なお、上記の実施の形態に基づいて説明してきたが、本発明は上記の実施の形態に限定されないことはもちろんである。以下のような場合も本発明に含まれる。a上記実施の形態では、モータ部が単相誘導モータである場合を説明したが、本発明は必ずしもこの場合に限定されない。モータ部は、印加する電流の周波数に応じてトルクを発生させるモータであればよく、その他の形式の誘導型のモータであってもよい。b上記実施の形態の図では、コイル導体が単層に導体を巻回されてなる円形コイルである場合を図示したが、本発明は必ずしもこの場合に限定されない。コイル部は、1巻以上巻かれた環状のコイルであればよく、例えば、層状に導体を巻回されてなる円形コイルであってもよい。c上記実施の形態にかかる冷却装置に、ヒートシンクを設けてもよい。モータ部、及びファンの下部にヒートシンクを設けることにより、冷却能力を高めることができる。d上記実施の形態1の図1では、集積回路に対して1つの冷却装置を設ける場合を説明したが、本発明は必ずしもこの場合に限定されない。集積回路内の複数の内部信号線に対して、冷却装置を設けてもよい。