所定繰返し周波数のパルスレーザ光を出力するよう構成されたマスタオシレータと、前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも1つの増幅器と、前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも1つの光シャッタと、前記光シャッタを開閉動作させるよう構成されたコントローラと、を備えるレーザ装置。前記少なくとも1つの増幅器は複数の増幅器を含み、前記複数の増幅器のうちの少なくとも1つは再生増幅器である、請求項1記載のレーザ装置。前記光シャッタは、電気光学素子と、前記電気光学素子の光入力端側に配置される第1の光フィルタと、前記電気光学素子の光出力端側に配置される第2の光フィルタと、前記電気光学素子に接続され、前記電気光学素子に電圧を印加するための電源と、を備える、請求項1記載のレーザ装置。前記電気光学素子は、ポッケルスセルである、請求項3記載のレーザ装置。前記第1および第2の光フィルタは、それぞれ少なくとも1つの偏光子を含む、請求項4記載のレーザ装置。前記光シャッタは、前記少なくとも1つの偏光子および前記電気光学素子の少なくともいずれか一方を冷却するための冷却装置を備える、請求項5記載のレーザ装置。前記光シャッタは、磁気光学素子と前記磁気光学素子の光入力端側に配置される第3の光フィルタと、前記磁気光学素子の光出力端側に配置される第4の光フィルタと、前記磁気光学素子に接続され、前記磁気光学素子内部に磁場を発生させるための磁場生成源と、を備える、請求項1記載のレーザ装置。前記磁気光学素子は、ファラデー回転子である、請求項7記載のレーザ装置。前記第3および第4の光フィルタは、それぞれ少なくとも1つの偏光子を含む、請求項8記載のレーザ装置。前記光シャッタは、前記少なくとも1つの偏光子および前記磁気光学素子の少なくともいずれか一方を冷却するための冷却装置を備える、請求項9記載のレーザ装置。前記光シャッタは、複数の電気光学素子と、前記複数の電気光学素子のうちの光路上流側の電気光学素子の光入力端側に配置される、第5の光フィルタと、前記複数の電気光学素子の間に配置される、第6の光フィルタと、前記複数の電気光学素子のうちの光路下流側の電気光学素子の光出力端側に配置される、第7の光フィルタと、前記複数の電気光学素子に接続され、前記複数の電気光学素子に電圧を印加するための少なくとも1つの電源と、を備える、請求項1記載のレーザ装置。前記複数の電気光学素子は、ポッケルスセルである、請求項11記載のレーザ装置。前記第5、第6および第7の光フィルタは、それぞれ少なくとも1つの偏光子を含む、請求項12記載のレーザ装置。前記光シャッタは、前記少なくとも1つの偏光子および前記複数の電気光学素子の少なくともいずれか一方を冷却するための冷却装置を備える、請求項13記載のレーザ装置。前記光シャッタは、光音響素子と、前記光音響素子に接続され、前記光音響素子に信号を入力するための信号生成器と、を備える、請求項1記載のレーザ装置。前記マスタオシレータは、前記所定繰返し周波数で連続してパルス発振することで前記パルスレーザ光を出力するよう構成され、前記コントローラは、前記マスタオシレータの前記連続パルス発振中に前記少なくとも1つの光シャッタを開閉動作させることで、前記パルスレーザ光をバースト出力させるよう構成される、請求項1記載のレーザ装置。前記コントローラは、外部から入力された信号を基準として、前記少なくとも1つの光シャッタを開閉動作させるよう構成される、請求項1記載のレーザ装置。外部から入力された前記信号は、前記パルスレーザ光の照射対象であるターゲット物質の検出信号である、請求項17記載のレーザ装置。所定繰返し周波数のパルスレーザ光を出力するよう構成されたマスタオシレータ、前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも1つの増幅器、前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも1つの光シャッタ、および前記光シャッタを開閉動作させるよう構成されたコントローラを含むレーザ装置と、チャンバと、前記チャンバに取り付けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するためのターゲット供給装置と、前記レーザ装置から出力されたパルスレーザ光を前記チャンバ内の前記所定の領域に集光するための集光光学素子と、を備える、極端紫外光生成システム。前記コントローラは、前記マスタオシレータへ前記所定繰返し周波数のトリガ信号を入力することで、該マスタオシレータを前記所定繰返し周波数で連続してパルス発振させるよう構成され、前記ターゲット供給装置は、前記トリガ信号の出力タイミングから算出されたタイミングで前記ターゲット物質を前記チャンバ内へ供給するよう構成される、請求項19記載の極端紫外光生成システム。前記ターゲット物質が前記チャンバ内の前記所定の位置を通過したタイミングを検出するためのターゲットセンサをさらに備える、請求項19記載の極端紫外光生成システム。前記ターゲット供給装置は、前記所定繰返し周波数で前記ターゲット物質を前記チャンバ内へ供給するよう構成され、前記コントローラは、前記ターゲットセンサによって前記ターゲット物質が検出されたタイミングを基準として、前記マスタオシレータへ前記トリガ信号を入力するとともに、前記少なくとも1つの光シャッタを開閉動作させるよう構成される、請求項21記載の極端紫外光生成システム。前記コントローラは、外部から入力された要求に基づいて前記マスタオシレータの発振中に前記少なくとも1つの光シャッタを開閉動作させることで、前記パルスレーザ光をバースト出力させるよう構成される、請求項19記載の極端紫外光生成システム。前記ターゲット供給装置は、前記レーザ装置から前記パルスレーザ光がバースト出力されている期間、前記ターゲット物質を前記チャンバ内の前記所定の領域に供給するよう構成される、請求項23記載の極端紫外光生成システム。前記コントローラは、前記パルスレーザ光が前記光シャッタを通過する期間、前記光シャッタを開状態にするための開閉パルス信号と、前記パルスレーザ光がバースト出力される期間、前記光シャッタを開状態にするためのゲートパルス信号と、の論理積に基づいて、前記光シャッタを開閉動作させるよう構成される、請求項19記載の極端紫外光生成システム。