第1レーザ光を出力するように構成された少なくとも1つのオシレータと、前記第1レーザ光が入射する少なくとも1つの第1波長フィルタであって、当該第1波長フィルタは、当該第1波長フィルタへ入射する光の波長及び偏光方向の両方に応じた光透過特性を備えるフィルタ装置、及び波長分散素子を含むフィルタ装置のいずれか一方のフィルタ装置であり、前記第1波長フィルタから出射される第2レーザ光を増幅し、第3レーザ光を出力するように構成された少なくとも1つの第1増幅器と、を含むレーザ装置。前記第1波長フィルタは、前記第1レーザ光が入射する第1偏光ミラーと、前記第1偏光ミラーを透過したレーザ光、及び反射したレーザ光のいずれか一方のレーザ光が入射する第2偏光ミラーであって、前記第1偏光ミラーの光が入射する面の法線と、前記第2偏光ミラー光が入射する面の法線は互いにほぼ直交するように配置された前記フィルタ装置と、を含む請求項1記載のレーザ装置。前記第2レーザ光の光路上に設置された少なくとも1つの偏光フィルタを更に含む請求項2記載のレーザ装置。前記波長分散素子は、エタロンおよびグレーティングのいずれか一方である請求項1記載のレーザ装置。第1レーザ光を出力するように構成された少なくとも1つのオシレータと、前記第1レーザ光を増幅するように構成され、第1レーザ光の光路に沿って直列に設置されたk個kは2以上の自然数の増幅器であって、第k-1増幅器は第kレーザ光を出力するように構成され、少なくとも前記k-1番目の増幅器と、前記第kレーザ光を増幅するように設置された前記k番目の増幅器との間に設置された少なくともひとつの波長フィルタであって、当該波長フィルタは、当該波長フィルタへ入射する光の波長及び偏光方向の両方に応じた光透過特性を備えるフィルタ装置、及び波長分散素子を含むフィルタ装置のいずれか一方のフィルタ装置である、を含むレーザ装置。前記波長フィルタは、前記第kレーザ光が入射する第k1偏光ミラーと、前記第k1偏光ミラーを透過したレーザ光、及び反射したレーザ光のいずれか一方のレーザ光が入射する第k2偏光ミラーであって、前記第k1偏光ミラーの光が入射する面の法線と、前記第k2偏光ミラー光が入射する面の法線は互いにほぼ直交するように配置された前記フィルタ装置と、を含む請求項5記載のレーザ装置。前記第4レーザ光の光路上に設置された少なくとも1つの偏光フィルタを更に含む請求項6記載のレーザ装置。前記波長分散素子は、エタロンおよびグレーティングのいずれか一方である請求項5記載のレーザ装置。