移動体の位置を検出するエンコーダであって、前記移動体の移動方向へ、周期的に配列される反射部から構成される第1パターンが形成される第1スケールと、前記移動体の前記移動方向へ、PN符号系列に基づいて配列される反射部から構成される第2パターンが形成される第2スケールと、前記第1スケール及び前記第2スケールに対して、前記移動方向へ相対移動し、前記第1スケール及び前記第2スケールに第1照明光を照射する第1光学系と、前記第1光学系から前記移動方向へ離間して配置され、前記第2スケールに第2照明光を照射する第2光学系と、前記第1光学系及び前記第2光学系のうちのいずれか一方を点灯する点灯手段と、前記第1スケールからの反射光を受光して、前記反射光の強度に応じた信号を出力する第1検出手段と、前記第2スケールへ入射した前記第1照明光の反射光を受光して、前記反射光の強度に応じた第1信号を出力し、前記第2スケールへ入射した前記第2照明光の反射光を受光して、前記反射光の強度に応じた第2信号を出力する第2検出手段と、前記第1信号に基づいて、前記第1光学系を基準とする前記移動体の第1位置を検出し、前記第2信号に基づいて前記第2光学系を基準とする前記移動体の第2位置を検出する第3検出手段と、を少なくとも有するエンコーダ。前記第1検出手段から出力される信号に基づいて前記移動体の移動量を算出する移動量算出手段と、前記第3検出手段の検出結果に、前記移動量を加算して、前記移動体の位置を算出する位置算出手段と、を備える請求項1に記載のエンコーダ。前記第1光学系と前記第2光学系との距離と、前記第1位置と前記第2位置との距離との差が、閾値以上の場合にエラーと判定する判定手段、を備える請求項1又は2に記載のエンコーダ。前記第2パターンは、前記移動体の移動範囲よりも長い長さに対応する系列長のPN符号系列に基づいて配列されるパターンを有する反射部から構成され、前記第3検出手段によって検出される前記第1位置及び前記第2位置の少なくとも一方が、前記移動範囲にない場合にエラーと判定する判定手段、を備える請求項1又は2に記載のエンコーダ。前記第3検出手段は、前記第1光学系と前記第2光学系との距離を基準として前記第1位置から所定の範囲内で出力される前記第2信号を予測し、該予測の結果を用いて前記第2位置を求める、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のエンコーダ。前記第1光学系と前記第2光学系との距離は、前記PN符号系列の次数のビット数に相当する距離と同じ又は該距離よりも長い、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のエンコーダ。前記第2検出手段に用いられる光学検出器は、CMOSリニアアレイである、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のエンコーダ。前記移動体は、回転体上で円周方向に移動し、前記位置は、前記回転体上の前記円周方向の位置である、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のエンコーダ。請求項1乃至8のいずれか一項に記載のエンコーダを備えるアクチュエータ。特許文献3に記載のエンコーダは、計測対象物の絶対位置を、例えば100μsec程度の短い周期で繰り返し算出する。したがって、処理速度が高い演算装置が必要となり、装置が高価になる。また、特許文献4に記載のエンコーダは、計測対象物の絶対位置を、起動時及びリセット時にのみ、スライダが停止した状態で、演算する。このため、絶対位置の算出に低速の演算装置を用いることができ、低コスト化を図ることができる。しかしながら、特許文献3に記載のエンコーダと異なり、絶対位置の算出時にのみ、スケールの限られた領域を読み出してエラーを検出するため、エンコーダのエラー検出の信頼性が低かった。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、エンコーダの低コスト化を図りつつ、エンコーダの信頼性を向上することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明の第1の観点に係るエンコーダは、移動体の位置を検出するエンコーダであって、前記移動体の移動方向へ、周期的に配列される反射部から構成される第1パターンが形成される第1スケールと、前記移動体の前記移動方向へ、PN符号系列に基づいて配列される反射部から構成される第2パターンが形成される第2スケールと、前記第1スケール及び前記第2スケールに対して、前記移動方向へ相対移動し、前記第1スケール及び前記第2スケールに第1照明光を照射する第1光学系と、前記第1光学系から前記移動方向へ離間して配置され、前記第2スケールに第2照明光を照射する第2光学系と、前記第1光学系及び前記第2光学系のうちのいずれか一方を点灯する点灯手段と、前記第1スケールからの反射光を受光して、前記反射光の強度に応じた信号を出力する第1検出手段と、前記第2スケールへ入射した前記第1照明光の反射光を受光して、前記反射光の強度に応じた第1信号を出力し、前記第2スケールへ入射した前記第2照明光の反射光を受光して、前記反射光の強度に応じた第2信号を出力する第2検出手段と、前記第1信号に基づいて、前記第1光学系を基準とする前記移動体の第1位置を検出し、前記第2信号に基づいて前記第2光学系を基準とする前記移動体の第2位置を検出する第3検出手段と、を少なくとも有する。前記エンコーダは、前記第1検出手段から出力される信号に基づいて前記移動体の移動量を算出する移動量算出手段と、前記第3検出手段の検出結果に、前記移動量を加算して、前記移動体の位置を算出する位置算出手段と、を備えてもよい。前記エンコーダは、前記第1光学系と前記第2光学系との距離と、前記第1位置と前記第2位置との距離との差が、閾値以上の場合にエラーと判定する判定手段、を備えてもよい。前記第2パターンは、前記移動体の移動範囲よりも長い長さに対応する系列長のPN符号系列に基づいて配列されるパターンを有する反射部から構成され、前記エンコーダは、前記第3検出手段によって検出される前記第1位置及び前記第2位置の少なくとも一方が、前記移動範囲にない場合にエラーと判定する判定手段、を備えてもよい。前記第3検出手段は、前記第1光学系と前記第2光学系との距離を基準として前記第1位置から所定の範囲内で出力される前記第2信号を予測し、該予測の結果を用いて前記第2位置を求めてもよい。前記第1光学系と前記第2光学系との距離は、前記PN符号系列の次数のビット数に相当する距離と同じ又は該距離よりも長くてもよい。前記第2検出手段に用いられる光学検出器は、CMOSリニアアレイであってもよい。前記移動体は、回転体上で円周方向に移動し、前記位置は、前記回転体上の前記円周方向の位置であってもよい。上記目的を達成するために、本発明の第2の観点にかかるアクチュエータは、本発明の第1の観点に係るエンコーダを備える。本発明によれば、エンコーダは、起動時等に移動体が停止した状態で、移動体の第1光学系を基準とする第1位置及び第2光学系を基準とする第2位置を検出する。これらの位置の差が所定範囲内に収まっているかどうかに基づいてエラー判定を行うことで、エンコーダの低コスト化を図りつつ、エンコーダの信頼性を向上させることが可能となる。以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、理解を容易にするため、X軸をリニアアクチュエータのスライダが移動する方向、Y軸を鉛直方向、ならびに、Z軸をX軸及びY軸に対し直交する方向とするXYZ座標軸を設定し、適宜参照する。図1は、実施形態1に係るアクチュエータシステム10の構成例を示す。図1に示されるように、アクチュエータシステム10は、リニアアクチュエータ20、コントローラ30、モータケーブル41、及びエンコーダケーブル42を備える。リニアアクチュエータ20は、ハウジング21、モータユニット22、ボールねじ23、スライダ24、ガイド25、26、及びエンコーダ27から構成される。ハウジング21は、内部を保護する中空の部材である。ハウジング21の内部には、ボールねじ23、スライダ24、ガイド25、26、及びエンコーダ27が収容されている。モータユニット22は、信号を送受信するための回路基板及びサーボモータ等から構成される。このサーボモータの回転軸は、ボールねじ23に連結されている。モータユニット22は、コントローラ30からモータケーブル41を介して受信した信号に応じてサーボモータを動作させ、ボールねじ23を回転させる。これにより、スライダ24が、X軸方向に延設されたガイド25及び26に沿って、2mのストロークの範囲内で移動する。エンコーダ27は、スケール50及び検出ヘッド60から構成され、スライダ24のX軸上における位置以下、絶対位置というを検出する。また、エンコーダ27は、絶対位置等の情報を含む信号を、エンコーダケーブル42を介してコントローラ30へ送信する。スケール50は、X軸方向の長さがスライダ24のストロークとほぼ等しいスケールである。このスケール50は、ガイド26に沿って配置される。スケール50は、図2に示されるように、インクリメンタルスケール51及びアブソリュートスケール52から構成される。インクリメンタルスケール51には、1ピッチを80μmとして反復されるパターンが形成される。具体的には、図2に示されるように、インクリメンタルスケール51には、X軸方向の幅が40μmの高反射率領域51p及び低反射率領域51nが、X軸方向に交互に配置される。アブソリュートスケール52には、所定のPNPseudoRandomNoise符号系列に基づくパターンが形成される。PN符号系列は、スペクトラム拡散通信、白色雑音生成、暗号化及びエラー訂正等に用いられる疑似ランダム系列であって、0又は1のビット値の系列である。また、PN符号系列の周期は、次数をnとすると、2n-1ビットとなる。次数をnとするPN符号系列は、系列中の任意の連続するnビットのパターンがこのPN符号系列の1周期2n-1ビット長内に2個以上存在しないという性質を有し、絶対位置決め用のスケールパターンとして用いられる。アブソリュートスケール52には、次数を18とするPN符号系列に基づいて、80μm1ビット長さ毎に、PN符号系列の1に対応する高反射率領域52p、及び、PN符号系列の0に対応する低反射率領域52nのいずれかが配置される。この場合、PN符号系列の1ビットが80μmに相当するので、アブソリュートスケール52に形成されたパターンの1周期長さは、ストロークの長さの2mよりも長い約21m=80μm×218-1となる。検出ヘッド60は、図1に示されるように、スケール50に対向するようにスライダ24に固定される。検出ヘッド60は、図3に示されるように、第1光学検出器61、第2光学検出器62、LEDLightEmittingDiode63a、LED63b、位相演算器64、絶対位置演算器65、補正演算器66、分割器67、マルチプレクサ68、及びラインドライバ69から構成される。検出ヘッド60が備える複数の演算器は、例えば、FPGAFieldProgrammableGateArrayの一部として構成される。検出ヘッド60は、スケール50へ光を照射し、また、反射光を検出する。また、検出ヘッド60は、検出した反射光に基づいてスライダ24の絶対位置を演算し、この絶対位置の情報を含む信号を、エンコーダケーブル42を介してコントローラ30へ送信する。LED63a及びLED63bは、点光源状のLEDであり、それぞれのLEDの直下に位置するスケール50の領域を最も明るく照らす。また、LED63a及びLED63bから射出される照明光は、それぞれのLEDから離れるほど弱くなる。すなわち、LED63a及びLED63bのそれぞれは、スケール50の所定の範囲内に、後述するパターンの検出に有効な光量の照明光を射出する。LED63a及びLED63bは、図4に示されるように、検出に有効なそれぞれの照明領域が重複しないように、例えば、X軸方向へ1.44mm離間して配置される。LED63aと63bの距離は、PN符号系列の次数である18ビットに相当する距離1.44mm=80μm×18に等しい。LED63a及びLED63bから射出された照明光それぞれは、図5に示されるように、インクリメンタルスケール51とアブソリュートスケール52とにほぼ等しい割合で入射する。インクリメンタルスケール51の高反射率領域51pに入射した照明光は、高反射率領域51pで反射されて第1光学検出器61へ入射する。また、アブソリュートスケール52の高反射率領域52pに入射した照明光は、高反射率領域52pで反射されて第2光学検出器62へ入射する。一方、インクリメンタルスケール51及びアブソリュートスケール52の低反射率領域51n及び52nに入射した照明光は、散乱、或いは吸収され、又は低反射率で反射して第1光学検出器61及び第2光学検出器62に入射する。LED63a及びLED63bが同時に点灯される場合、それぞれの照明光は相互に干渉する。すなわち、第1光学検出器61及び第2光学検出器62に入射する反射光が強め合ったり弱め合ったりする。LED63a及びLED63bは、照明光が干渉しないように、図示されない切替スイッチにより制御されて、一方が点灯されるときは必ず他方が消灯される。第1光学検出器61は、図4に示されるように、長手方向をX軸方向とし、LED63a及びLED63bの-Z側に配置される。この第1光学検出器61は、X軸に沿って略40μm間隔で配置された複数のフォトダイオードを有している。そして、第1光学検出器61は、LED63a又は63bを点灯し、インクリメンタルスケール51で反射された照明光の強度に応じたA相及びB相の信号を出力する。第1光学検出器61による反射光の検出について具体的に説明する。図6に示されるように、インクリメンタルスケール51から反射された反射光のX軸上の強度分布は、波長を略160μmとする正弦波状になる。なお、図6では、分かりやすくするために、インクリメンタルスケール51の1ピッチ1ビット長と第1光学検出器61が受光する反射光の正弦波状分布の1波長1ビット長とが1:1に対応し、同じ長さに描かれているが、LED光源から出る光は放射状に拡がるので、スケールの1ピッチ80μmは第1光学検出器61上では略160μm1波長に対応する。第1光学検出器61は、1ピッチあたりに4個のフォトダイオードを有するので、正弦波状に分布する反射光を90°の位相毎に検出できる。ここで、1ピッチは、正弦波の波長に相当する。これらのフォトダイオードは、検出した反射光の強度に応じた電圧信号を出力する。1ピッチ中の4個のフォトダイオードが出力する電圧信号を-X側からX側へ順にA、B、A-、及びB-とすると、第1光学検出器61は、図7に示されるようにこれらの信号を差動増幅して、位相が90°異なるA相及びB相の電圧信号を出力する。さらに、第1光学検出器61は、A相及びB相の信号の複数ピッチに渡る信号をたし合わせて、安定した信号を出力する。第1光学検出器は、以上のようにして、反射光の強度に応じてA相及びB相の信号を出力する。したがって、第1光学検出器61は、スライダ24が停止している場合は、一定の電圧信号を出力する。一方、第1光学検出器61は、スライダ24が等速移動する場合は、A相及びB相の信号として、位相が90°異なる正弦波信号を出力する。第2光学検出器62は、図4に示されるように、長手方向をX軸方向とし、LED63a及びLED63bのZ側に配置される。また、第2光学検出器62は、X軸に沿って配置された例えば512個のCMOSComplementaryMetalOxideSemiconductorイメージセンサ素子以下、センサ素子というを有している。そして、第2光学検出器62は、LED63a及びLED63bを切替えて点灯し、アブソリュートスケール52で反射された照明光の強度に応じた信号を出力する。第2光学検出器62による反射光の検出について具体的に説明する。第2光学検出器62は、LED63aのみを点灯するとともにLED63bを消灯し、又は、LED63aを消灯するとともにLED63bを点灯することで、アブソリュートスケール52の異なる領域から反射された照明光を切替えて受光できる。また、第2光学検出器62は、図8Aに示されるように、512個のセンサ素子から、1ビット毎に3個のセンサ素子62a、62b及び62cを、各センサ素子同士の距離が1/3ビットに相当する距離になるように選択する。なお、センサ素子幅が十分に狭い場合は、第2光学検出器62は、1/3ビット毎に1個のセンサ素子を選択する必要はなく、出力の安定化を図るため隣接する素子出力を合算するなどしても良い。この選択されたセンサ素子は、図9に示されるように、LED63aからの光が入射する18ビット及びLED63bからの光が入射する18ビットの合計36ビットに渡って、反射光を受光する。また、この選択されたセンサ素子は、反射光の強度に応じた電流を、チャージアンプを用いて増幅し、電圧信号を出力する。以上のように第2光学検出器62は、アブソリュートスケール52からの反射光を受光し、反射光の強度に応じた電圧信号を出力することにより、アブソリュートスケール52とあわせてアブソリュートエンコーダとして機能する。なお、図8及び図9では、図6と同様に、分かりやすくするために、アブソリュートスケール52の1ビット長と第2光学検出器62の1ビット長とが1:1に対応し、同じ長さに描かれているが、LED光源から出る光は放射状に拡がるので、アブソリュートスケール52の1ビット80μmは、第2光学検出器62上では略160μmに対応する。図3に戻り、位相演算器64は、アクチュエータシステム10の起動時やリセット時等の、スライダ24が停止している状態で、第1光学検出器61からA相及びB相の信号を取得する。位相演算器64は、取得したA相及びB相の信号から、1ビット内の位相θを演算し、1ビットよりさらに細かい位置検出を可能にする。具体的には、アブソリュートスケール52の1ビット及びインクリメンタルスケール51の1ピッチが一対一に対応し、第1光学検出器61及び第2光学検出器62も対応するように配置されている。また、インクリメンタルスケール51の1ピッチは、アブソリュートスケール52の1ビットと同じ長さであり、位相も同じである。以上により、位相演算器64は、インクリメンタルスケール51を用いて位相θを検出し、アブソリュートスケール52の1ビット内のさらに細かい位置を知ることができる。位相演算器64は、第1光学検出器61のA相出力とB相出力を用いて、位相θを、θ=arctanVa/Vbの式に基づいて演算する。ここで、VaはA相信号の電圧値を、VbはB相信号の電圧値を、それぞれ表す。例えば、VaとVbとが等しい場合、位相θは45°であって、10μm=80μm×45/360に相当する。位相演算器64は、演算したθの情報を含む信号を、絶対位置演算器65及び補正演算器66へ送信する。絶対位置演算器65は、PN符号系列を生成するシフトレジスタ65s図10を参照を有している。絶対位置演算器65は、まず、LED63aの点灯時に検出されるPN符号系列のビットパターン以下、検出パターンaという及びLED63bの点灯時に検出されるPN符号系列のビットパターン以下、検出パターンbというを得る。次に、絶対位置演算器65は、検出パターンaの絶対位置Z1及び検出パターンbの絶対位置Z2を演算する。なお、アブソリュートスケール52に形成されるパターンが80μmを単位とするため、絶対位置Z1及び絶対位置Z2も80μmを単位とする。以下、この絶対位置Z1及び絶対位置Z2の演算について、具体的に説明する。絶対位置演算器65は、LED63aが点灯されたときに、第2光学検出器62を構成するセンサ素子から出力される信号のうちから、安定した信号を選択する。具体的には、絶対位置演算器65は、位相演算器64から取得した位相θに基づいて、高反射率領域52pと低反射率領域52nとの境界の近傍から反射された不安定な反射光を受光したセンサ素子以外のセンサ素子から出力される信号を選択する。絶対位置演算器65が選択する信号について、図8A及び図8Bを用いて具体的に説明する。例えば、図8Aにおいて、センサ素子62aは、高反射率領域52pと低反射率領域52nとの境界の近傍から反射された不安定な反射光を受光する。一方、センサ素子62b及び62cは、高反射率領域51pの中央の近傍から反射された安定な反射光を受光する。この場合、絶対位置演算器65は、位相θに基づいて、不安定な反射光を受光するセンサ素子62a以外のセンサ素子、すなわちセンサ素子62b又は62cから出力される信号を選択する。例えば、絶対位置演算器65は、センサ素子62aの位相θを位相演算器64から取得すれば、1/3ビット間隔位相差120°にあるセンサ素子62b及びセンサ素子62cの位相も算出できる。したがって、絶対位置演算器65は、位相180°にどのセンサ素子が一番近いかに基づいて、どのセンサ素子のセンサ出力が安定であるかを判定することにより、センサ素子を選択できる。なお、位相θが容易に検出演算されている本実施形態では、上記の位相θによる判定が最も好適と思われるが、絶対位置演算器65が行う選択はこれに限られない。例えば、絶対位置演算器65は、センサ素子62a、62b及び62cそれぞれが安定出力を出していると仮定し、それぞれのケースで後述の処理を実行して、その結果がエラーでないセンサ素子を選択してもよい。このエラー判定については、本明細書にて後記する。また、図8Bにおいて、センサ素子62a及び62bは、高反射率領域52pの中央の近傍から反射された安定な反射光を受光する。一方、センサ素子62cは、高反射率領域52pと低反射率領域52nとの境界の近傍から反射された不安定な反射光を受光する。この場合、絶対位置演算器65は、位相θに基づいて、不安定な反射光を受光するセンサ素子62c以外のセンサ素子、すなわちセンサ素子62a又は62bから出力される信号を選択する。以上により、絶対位置演算器65は、安定な反射光を受光するセンサ素子から出力される信号を選択して取得することができる。上記の選択にて、絶対位置演算器65は、各ビットについて、強い反射光を受光したセンサ素子に対応するビットは1であり、弱い反射光を受光したセンサ素子に対応するビットは0であると判断して、18ビットの検出パターンaを得ることができる。さらに、絶対位置演算器65は、シフトレジスタ65sを用いて、検出パターンaの絶対位置Z1を演算する。シフトレジスタ65sは、図10に示されるように、XORゲート65xを用いて帰還をかけられた構成であって、LFSRlinearfeedbackshiftregisterとも呼ばれる。また、シフトレジスタ65sはアブソリュートスケール52に形成されたパターンと同一のPN符号系列を生成することができる。そのため、絶対位置演算器65は、シフトレジスタ65sの各レジスタに初期値を設定してからシフトさせて、各レジスタによって示されるパターンが検出パターンaに合致するまでシフトさせた回数に基づいて、絶対位置Z1を求めることができる。例えば、絶対位置演算器65は、各レジスタの初期値を設定した後に5000回シフトさせた場合に、各レジスタによって示されるパターンと検出パターンaとが合致したとき、絶対位置Z1を40cm=80μm×5000と演算する。ここで、絶対位置の原点は、アブソリュートスケール52の-X側の端とする。つまり、絶対位置演算器65は、絶対位置Z1が原点から40cmの位置であると演算する。また、絶対位置演算器65は、ストロークの2mに相当する回数だけシフトさせた場合であっても各レジスタによって示されるパターンと検出パターンaとが合致しないときは、絶対位置Z1がストロークの範囲内に存在しないので、エラーと判定する。また、絶対位置演算器65は、LED63bが点灯されたときに、第2光学検出器62を構成するセンサ素子から出力される信号のうちから、LED63aが点灯された場合と同様に、安定した信号を選択する。そして、絶対位置演算器65は、センサ素子から取得した信号に応じて、18ビットの検出パターンbを得る。さらに、絶対位置演算器65は、検出パターンaに基づいて検出パターンbの絶対位置Z2を演算する。絶対位置Z1の検出についてエラーが無ければ、絶対位置演算器65は、本実施形態では検出パターンaの18ビット先に検出パターンbが位置することが分かっているから、検出パターンaと同様に絶対位置を求めずとも、より短時間に検出パターンbの絶対位置を求めることができる。具体的には、絶対位置演算器65は、シフトレジスタ65sの各レジスタに検出パターンaを設定してからシフトさせて、各レジスタによって示されるパターンが検出パターンbに合致するまでシフトさせた回数に基づいて、絶対位置Z2を求めることができる。例えば、絶対位置演算器65は、各レジスタに検出パターンaを設定した後に18回シフトさせた場合に、各レジスタによって示されるパターンと検出パターンbとが合致したとき、絶対位置Z2を40.144cm=40cm80μm×18と演算する。また、絶対位置演算器65は、絶対位置Z1と絶対位置Z2の距離と、LED63aと63bの距離がほぼ等しいかどうかを判定する機能を持つ。具体的には、絶対位置演算器65は、これらの距離の差が所定の閾値以上であるかどうかを判定する。これら2つの距離の差が閾値より小さいと判定された場合、絶対位置演算器65は、エラーでは無いと判定し、絶対位置Z1の情報を含む信号を補正演算器66へ送信する。一方、これら2つの距離の差が閾値以上であると判定された場合、絶対位置演算器65は、エラーと判定して、エラーの情報を含む信号を補正演算器66へ送信する。なお、絶対位置演算器65は、距離の比較によりエラー判定を行ったが、これには限られない。例えば、絶対位置演算器65は、上記の検出パターンbの絶対位置の算出と同様にエラー判定を行ってもよい。具体的には、絶対位置演算器65は、閾値を±1ビットとした場合、シフトレジスタ65sに検出パターンaを設定してから17~19回シフトした場合に検出パターンbと合致すればエラーなしと判定し、17回未満シフトしたときに合致した場合又は19回までに合致しない場合はエラーであると判定してもよい。これにより、絶対位置演算器65は、より高速にエラーを判定することができる。図3に戻り、補正演算器66は、絶対位置演算器65から取得した80μm単位の絶対位置Z1と、位相演算器64から取得した位相θに相当する距離とを加算することによって、絶対位置Z1よりも高い分解能の絶対位置Z1を演算する。例えば、位相θが45°である場合、位相θに相当する距離は10μm=80μm×45/360であるので、補正演算器66は、絶対位置Z1にこの距離10μmを加算することにより、絶対位置Z1を演算する。そして、補正演算器66は、この絶対位置Z1の情報を含む信号をマルチプレクサ68へ送信する。なお、補正演算器66は、絶対位置演算器65からエラーの情報を含む信号を受信した場合は、この信号をマルチプレクサ68へ送信する。分割器67は、抵抗分割方式による分割器である。分割器67は、例えば、スライダ24が移動する場合に、第1光学検出器61から受信したA相及びB相の正弦波信号を位相分割する。これにより、分割器67は、A相及びB相の信号の分解能を80μmの16倍とし、5μmピッチで90°の位相差を有するA相及びB相の信号を、マルチプレクサ68へ送信する。マルチプレクサ68は、アクチュエータシステム10の起動時等には、補正演算器66から受信した絶対位置の信号を、ラインドライバ69へ送信する。また、マルチプレクサ68は、コントローラ30が絶対位置の信号を受信し、起動時の初期動作を終了した後には、分割器67から受信したA相及びB相の信号を、ラインドライバ69へ送信する。ラインドライバ69は、マルチプレクサ68から受信した信号を、パラレル信号として、エンコーダケーブル42を介してコントローラ30へ送信する。なお、ラインドライバ69は、この信号をシリアル信号として送信してもよい。コントローラ30は、図3に示されるように、制御部31、ラインレシーバ32、アップダウンカウンタや分割器等を備える回路基板、表示部、操作部、及び記憶部等から構成される。コントローラ30は、エンコーダケーブル42を介してリニアアクチュエータ20から信号を受信する。コントローラ30は、受信した信号に応じて、又は、操作部から受け付けた入力等に応じて、モータケーブル41を介して信号を送信することにより、リニアアクチュエータ20を制御する。操作部から受け付ける入力は、例えば使用者等によるアクチュエータシステム10の電源投入切断又はリセットの指示である。ラインレシーバ32は、ラインドライバ69からエンコーダケーブル42を介して受信した信号を、制御部31へ送信する。制御部31は、CPUCentralProcessingUnit、主記憶部、補助記憶部等から構成され、コントローラ30の各構成要素を制御する。制御部31は、アクチュエータシステム10の起動時等に、ラインレシーバから取得した絶対位置Z1を、アップダウンカウンタの初期値として設定する。そして、制御部31は、ラインレシーバ32から受信したA相及びB相の信号を、分割器を用いて、受信した分解能5μmの信号をさらに4分割し、1.25μmまで分解能を向上させる。また、制御部31は、カウント方向の判別も行う。制御部31は、この信号をアップダウンカウンタに入力することで、スライダ24の現在位置を検出することができる。以上説明した構成要素の協働により、アクチュエータシステム10の使用者は、エンコーダ27を用いてアクチュエータシステム10を動作させることができる。以下、アクチュエータシステム10の動作について、図11を用いて説明する。まず、アクチュエータシステム10が起動された後に、絶対位置演算器65が、LED63aの点灯により検出される反射光に基づいて、検出パターンaを取得し、絶対位置Z1を演算するステップS1。絶対位置演算器65は、絶対位置Z1がストロークの範囲内であるか否かを判定するステップS2。絶対位置Z1がストロークの範囲内に存在すると判定された場合ステップS2;Yes、絶対位置演算器65は、LED63bの点灯により検出される反射光に基づいて、検出パターンbを取得し、絶対位置Z2を演算するステップS3。絶対位置演算器65は、絶対位置Z1と絶対位置Z2の距離がLED63aと63bの距離にほぼ等しいかどうかを判定するステップS4。絶対位置Z1と絶対位置Z2の距離がLED63aと63bの距離にほぼ等しいと判定された場合ステップS4;Yes、補正演算器66は、絶対位置Z1と位相θに相当する距離とを加算して、より分解能が高い絶対位置Z1を演算するステップS5。制御部31は、絶対位置Z1の情報を含む信号を取得して、アップダウンカウンタにこの絶対位置Z1を初期値として設定するステップS6。以上のステップS1乃至S6において、エンコーダ27は、アブソリュートエンコーダとして機能する。また、アクチュエータシステム10は、以上の処理を、起動時又はリセット時の初期設定動作とする。その後、マルチプレクサ68が、分割器67から受信したA相及びB相の信号を、ラインドライバ69及びラインレシーバ32を介して制御部31へ送信する。A相及びB相の信号を受信した制御部31は、A相及びB相の信号をさらに4分割し分解能を上げる。また、制御部31は、アップダウン方向を検出し、アップダウンカウンタを用いてアップダウンカウントする。そして、制御部31は、インクリメンタルエンコーダとして機能し、スライダ24の現在位置を検出するステップS7コントローラ30はこの現在位置を用いてモータユニット22を制御し、スライダ24の位置決めを行う。ステップS2にて絶対位置Z1がストロークの範囲内に存在しないと判定された場合ステップS2;No、又は、ステップS4にて絶対位置Z1と絶対位置Z2の距離がLED63aと63bの距離にほぼ等しいと判定されない場合ステップS4;No、絶対位置演算器65は、エラーの情報を含む信号を送信する。この信号を受信した制御部31は、コントローラ30の表示部にエラーが発生したことを表示するステップS8。エラーの表示を認識したアクチュエータシステム10の使用者等は、コントローラ30の操作部を用いてアクチュエータシステム10をリセットするステップS9。リセットされたアクチュエータシステム10は、ステップS1に戻り、絶対位置演算器65が再び絶対位置Z1を演算する。以上説明したように、本実施形態に係る絶対位置演算器65は、絶対位置Z1がストローク内に存在するかどうかを判定することにより、エラーを検出することができる。PN符号系列はランダム性の高い系列であるため、検出パターンaが誤検出されたビットを含む場合に、検出パターンaがストロークの範囲内に存在しない確率は、ストロークが2mであり、また、1ビット80μmにて次数を18ビットとするPN符号系列の長さが約21mなので、約90=1-2/21である。つまり、絶対位置演算器65は、この判定により約90のエラー検出率でエラーを検出する。さらに、絶対位置演算器65は、絶対位置Z1と絶対位置Z2の距離がLED63aと63bの距離にほぼ等しいかどうかも判定する。換言すると、絶対位置演算器65は、絶対位置Z1がエラー検出されなかった場合に、LED同士の距離に基づき絶対位置Z1から絶対位置Z2の予測値を求め、実際に検出された絶対位置Z2とを比較しエラー判定する。この予測精度を±1ビットとすると、次数を18ビットとするPN符号系列の長さ218-1のうち正しいのは2ビットだけであるので、エラー検出率は約99.999=1-2/218-1となる。したがって、以上の2個のエラー検出機構を備える絶対位置演算器65のエラー検出率は、それぞれ従属関係のない独立事象であるので、積の法則を用いることができ、約99.9999=1-2/21×{2/218-1}となる。絶対位置演算器65が以上のように高いエラー検出率でエラーを検出するため、アクチュエータシステム10は、高い信頼性を確保することができる。なお、上記のとおり、アクチュエータシステム10が高いエラー検出率を確保するには、積の法則が成り立つように、検出パターンaと検出パターンbとが従属関係のない独立の事象であることが望ましい。具体的には、検出パターンaと検出パターンbのビットが重ならないようにLED63aと63bとを離間しておく必要がある本実施例では18ビット以上離す必要がある。また、アクチュエータシステム10は、1トラックのアブソリュートスケールから2個のパターンを検出して比較的単純な演算をするだけである。このため、複雑な構造を必要とせず、ひいては簡単な構成とすることができる。したがって、低処理速度の安価な演算器等よりコンパクトを用いることができ、装置の低コスト及びコンパクト化を実現することができる。また、アクチュエータシステム10の起動時等のみに、すなわちスライダ24の停止状態で、エンコーダ27は、アブソリュートエンコーダとして機能する。したがって、このときのエンコーダ27の応答速度が遅くても不都合はない。これにより、第2光学検出器62は、低コストかつ低応答速度のCMOSイメージセンサ素子を受光素子として用いることができる。一方、アクチュエータシステム10は、絶対位置Z1を取得した後は、A相及びB相の信号を用いてアップダウンカウントするだけで複雑な演算処理は無く、検出ヘッド60が搭載されているスライダ24の高速動作を検出することができる。そのため、コントローラ30は、通常動作時には、高応答速度にてスライダ24の現在位置を取得し、モータユニット22を制御することができる。また、第2光学検出器62は、チャージアンプを用いてセンサ素子から出力される信号を増幅する。これにより、第2光学検出器62は、反射光の検出の信頼性を確保することができる。また、第2光学検出器62は、LED63a及びLED63bを独立に点灯し、それぞれの点灯による反射光を別個に検出する。これにより、2個のLEDから照射される反射光が干渉し、第2光学検出器が反射光を正しく検出できなくなることを排除することができる。また、検出パターンaと検出パターンbとが重複しないように、LED63aと63bの距離を18ビットに相当する距離とした。これにより、検出パターンaと検出パターンbとが重複する領域において共通に誤検出されたビットに起因するエラーの検出見逃しを排除することができる。例えば、ストローク範囲内でエラーが存在しながらもエラーが検出されず、絶対位置演算器65が、検出パターンa及び検出パターンbが示す位置の距離がLED63aと63bの距離にほぼ等しいと判定して、エラーを見逃すことを排除することができる。また、逆に、LED63aと63bの距離が長い場合に、検出ヘッド60を不要に大きいサイズとして高コストになることも防ぐことができる。また、絶対位置演算器65は、位相θに基づいて、センサ素子から出力される信号のうちから、安定した信号を選択する。これにより、第2光学検出器62は、高反射率領域52pと低反射率領域52nとの境界の近傍から反射された不安定な反射光の受光による誤検出を防ぐことができる。また、絶対位置演算器65は、絶対位置Z1を演算した後に、シフトレジスタ65sの各レジスタに検出パターンaを設定してから、絶対位置Z2を演算する。これにより、絶対位置演算器65は、再度初期値を設定する必要がなく、またシフト回数も少なくて済み、絶対位置Z2を高速に演算することができる。以上、実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態において、PN符号系列の次数を18としたが、これより小さい次数のPN符号系列に基づくパターンを用いてアクチュエータシステムを構成してもよい。この場合、アクチュエータシステムをより簡素な構成として、低コスト化を図ることができる。また、18より大きい次数のPN符号系列に基づくパターンを用いてアクチュエータシステムを構成してもよい。この場合、アクチュエータシステムは、より長いストロークに対応できる、又は同一ストロークであればより高い信頼性を確保することができる。例えば、上述の実施形態において、絶対位置演算器65はシフトレジスタ65sを用いて絶対位置を演算したが、シフトレジスタに代えて記憶部を備え、この記憶部に格納されるPN符号系列のビットパターンと絶対位置とを対応づけたテーブル表から絶対位置を検索することによって、絶対位置を求めてもよい。この場合、絶対位置演算器65は、検出パターンaの絶対位置Z1の検索結果を利用して絶対位置Z1の近傍のみを検索し絶対位置Z2を検出することができるので、短時間に絶対位置Z2を求めることができる。例えば、上述の実施形態において、アクチュエータシステムは、ストロークの範囲内における絶対位置Z1の存否、絶対位置Z1と絶対位置Z2の距離及びLED同士の距離の比較に基づいてエラーを検出したが、これらに加えて、PN符号系列が満たす条件、すなわちXORによるフィードバックによりエラーを検出してもよい。つまり、図10に示されるシフトレジスタから生成されるPN符号系列について、任意の連続する19ビットの系列18番目のビットデータ追加必要のうち0番目と7番目と18番目とのビット値の論理和2を法とするが常に0となることを利用して、エラー検出を行ってもよい。例えば、上述の実施形態において、第2光学検出器62は、2個のLEDを用いて反射光を検出したが、3個以上の光源を切替えて反射光を検出してもよい。例えば、3個の光源を用いて、上述の距離の比較に基づくエラー判定を二度行う場合のエラー検出率は、3個のパターンの重なりが無く独立事象の場合は、約99.999999999=1-2/21×{2/218-1}×{2/218-1}となる。このため、アクチュエータシステムは、より高い信頼性を確保することができる。例えば、上述の実施形態では、LED63a、63bによって、スケール50に照明光を照射する光学系が構成されている。これに限らず、LED63a、63bからの照明光をレンズやミラーからなる光学素子を介して、スケール50に入射させてもよい。この場合にも、LED63aの光学系と、LED63bの光学系との距離に基づいて、エラー検出を行うことができる。例えば、上述の実施形態では、検出ヘッド60が2つのLED63a、63bを備えている場合について説明した。これに限らず、1つのLEDから射出される照明光を、光学素子を用いて分岐させ、スケール上の異なる2点に入射させてもよい。この場合は、スケール上の2点の距離を予め測定しておく必要がある。例えば、上述の実施形態において、ラインドライバ69及びラインレシーバ32は、パラレル信号を送受信したが、これに代えて、例えばRS485の規格に従うシリアル信号を送受信してもよい。また、コントローラ30及びリニアアクチュエータ20は、モータケーブル41とエンコーダケーブル42とを用いて信号を送受信したが、これらを省いて構成し、無線通信により信号を送受信してもよい。例えば、上述の実施形態において、エンコーダ27は、インクリメンタルスケール51及び第1光学検出器61から構成されるインクリメンタルエンコーダとして、光学式のエンコーダを構成したが、これに代えて、磁気式、静電式その他の方式のエンコーダを構成してもよい。例えば、上述の実施形態において、アクチュエータシステム10は、絶対位置演算器65を用いてエラーを検出したが、これに代えて、コントローラ30が備える回路によって、又は、制御部31が同様の機能を実行することによってエラーを検出してもよい。例えば、上記実施形態ではリニアエンコーダに適用した実施形態を挙げたが、これをロータリーエンコーダに適用しても同様の効果が得られることは言うまでもない。本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。