"接触摺動部を有する可動部の変位を検出する変位検出手段と、前記変位より第1の状態量を算出する第1の状態量算出手段と、前記変位より第2の状態量を算出する第2の状態量算出手段と、前記第1の状態量と前記第2の状態量との比を変位による第1のスティックスリップ指標として算出する第1のスティックスリップ指標算出手段と、前記可動部の変位を制御する制御指令値を受信する制御指令受信手段と、前記制御指令値より第3の状態量を算出する第3の状態量算出手段と、前記制御指令値より第4の状態量を算出する第4の状態量算出手段と、前記第3の状態量と前記第4の状態量との比を制御指令値による第2のスティックスリップ指標として算出する第2のスティックスリップ指標算出手段と、前記第1のスティックスリップ指標をSSpv、前記第2のスティックスリップ指標をSSsp、閾値をTh、第1の定数をα、第2の定数をβとした時、下記1式で示される条件式を満足した場合に、前記可動部の異常と判断する異常判断手段とを備えることを特徴とするスティックスリップ検出装置。SSpv>ThANDSSpv>αSSspβ1但し、1式において、α=1,β=0の場合は除く。請求項1に記載されたスティックスリップ検出装置において、前記第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態での関係を学習するスティックスリップ指標学習手段と、前記学習された第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態での関係に基づいて定められた前記第1の定数αおよび前記第2の定数βを前記1式に対して設定する定数設定手段とを備えることを特徴とするスティックスリップ検出装置。請求項1に記載されたスティックスリップ検出装置において、前記第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態と異常状態での関係を学習するスティックスリップ指標学習手段と、前記学習された第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態と異常状態での関係に基づいて、誤検出抑制を重視するか異常見逃し抑制を重視するかを判断基準として定められた前記第1の定数αおよび前記第2の定数βを前記1式に対して設定する定数設定手段とを備えることを特徴とするスティックスリップ検出装置。接触摺動部を有する可動部の変位を検出するステップと、前記変位より第1の状態量を算出するステップと、前記変位より第2の状態量を算出するステップと、前記第1の状態量と前記第2の状態量との比を変位による第1のスティックスリップ指標として算出するステップと、前記可動部の変位を制御する制御指令値を受信するステップと、前記制御指令値より第3の状態量を算出するステップと、前記制御指令値より第4の状態量を算出するステップと、前記第3の状態量と前記第4の状態量との比を制御指令値による第2のスティックスリップ指標として算出するステップと、前記第1のスティックスリップ指標をSSpv、前記第2のスティックスリップ指標をSSsp、閾値をTh、第1の定数をα、第2の定数をβとした時、下記2式で示される条件式を満足した場合に、前記可動部の異常と判断するステップとを備えることを特徴とするスティックスリップ検出方法。SSpv>ThANDSSpv>αSSspβ2但し、2式において、α=1,β=0の場合は除く。請求項4に記載されたスティックスリップ検出方法において、前記第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態での関係を学習するステップと、前記学習された第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態での関係に基づいて定められた前記第1の定数αおよび前記第2の定数βを前記2式に対して設定するステップとを備えることを特徴とするスティックスリップ検出方法。請求項4に記載されたスティックスリップ検出方法において、前記第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態と異常状態での関係を学習するステップと、前記学習された第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態と異常状態での関係に基づいて、誤検出抑制を重視するか異常見逃し抑制を重視するかを判断基準として定められた前記第1の定数αおよび前記第2の定数βを前記2式に対して設定するステップとを備えることを特徴とするスティックスリップ検出方法。しかしながら、特許文献2に示された技術は完全なものとは言えず、スティックスリップの誤検出を高精度で抑制することができるとは言い難かった。図12a,bにスティックスリップの誤検出を抑制できた場合の制御指令値の変化と抑制できなかった場合の制御指令値の変化を対比して示す。図12a,bともに、実際にスティックスリップは起きていない状態であり、図12aはスティックスリップの誤検出を抑制できた例、図12bはスティックスリップの誤検出を抑制できなかった例である。この例において、変位から算出した第1のスティックスリップ指標をSSpv、制御指令値から算出した第2のスティックスリップ指標をSSsp、第1のスティックスリップ指標SSpvの正常/異常を判断するための閾値をThとする。なお、この例において、閾値ThはTh=10として定められているものとする。図12a,bともに弁の動きがスティックスリップのように静止と急激な開度変化とを繰り返しており、図12aでは、SSpv=16.00、SSsp=16.97として算出され、図12bでは、SSpv=10.32、SSsp=10.26として算出されている。図12aにおいて、SSpvは16.00であり、閾値Th=10を超えているのでSSpv>Th、特許文献1に示された技術ではスティックスリップの発生として検出される。しかし、SSspは16.97で、SSpv=16.00以上であるSSsp≧SSpv。このため、特許文献2に示された技術によって、スティックスリップの検出対象から外される。したがって、図12aに示された例では、スティックスリップの誤検出が抑制されることになる。図12bにおいて、SSpvは10.32であり、閾値Th=10を超えているのでSSpv>Th、特許文献1に示された技術ではスティックスリップの発生として検出される。この場合、SSspは10.26で、SSpv=10.32よりも小さいSSsp<SSpv。このため、特許文献2に示された技術によって、スティックスリップの検出対象から外されることはない。したがって、図12bに示された例では、スティックスリップの誤検出が生じる。このように、特許文献2に示された技術では、スティックスリップの誤検出が生じることがあり、スティックスリップの誤検出を高精度で抑制することができるとは言えなかった。本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、スティックスリップの誤検出を高精度で抑制することが可能なスティックスリップ検出装置および検出方法を提供することにある。このような目的を達成するために本発明は、接触摺動部を有する可動部の変位を検出する変位検出手段と、変位より第1の状態量を算出する第1の状態量算出手段と、変位より第2の状態量を算出する第2の状態量算出手段と、第1の状態量と第2の状態量との比を変位による第1のスティックスリップ指標として算出する第1のスティックスリップ指標算出手段と、可動部の変位を制御する制御指令値を受信する制御指令受信手段と、制御指令値より第3の状態量を算出する第3の状態量算出手段と、制御指令値より第4の状態量を算出する第4の状態量算出手段と、第3の状態量と第4の状態量との比を制御指令値による第2のスティックスリップ指標として算出する第2のスティックスリップ指標算出手段と、第1のスティックスリップ指標をSSpv、第2のスティックスリップ指標をSSsp、閾値をTh、第1の定数をα、第2の定数をβとした時、下記3式で示される条件式を満足した場合に、可動部の異常と判断する異常判断手段とを備えることを特徴とする。SSpv>ThANDSSpv>αSSspβ3但し、3式において、α=1,β=0の場合は除く。この発明によれば、上記3式を満たした時にのみ、スティックスリップの発生として検出される。この3式において、α,βを調整すれば、スティックスリップの検出範囲が調整される。これにより、α,βを調整パラメータとして、スティックスリップの検出範囲を実績に基づいて高精度でチューニングし、スティックスリップの誤検出を高精度で抑制させるようにすることが可能となる。本発明では、α,βを調整パラメータとして導入する。この場合、例えば、1つの方式として、第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態での関係を学習するようにし、この学習した第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態での関係に基づいて第1の定数αおよび第2の定数βを定め、この定めた第1の定数αおよび第2の定数βを上記3式に対して設定するようにすることが考えられる。また、別の方式として、第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態と異常状態での関係を学習するようにし、この学習した第1および第2のスティックスリップ指標の正常状態と異常状態での関係に基づいて、誤検出抑制を重視するか異常見逃し抑制を重視するかを判断基準として第1の定数αおよび第2の定数βを定め、この定めた第1の定数αおよび第2の定数βを上記3式に対して設定するようにすることが考えられる。なお、本発明は、スティックスリップ検出装置としてではなく、スティックスリップ検出方法としても実現することが可能である。請求項4~6に係る発明は、請求項1~3のスティックスリップ検出装置に係る発明を方法としたものである。本発明によれば、第1のスティックスリップ指標をSSpv、第2のスティックスリップ指標をSSsp、閾値をTh、第1の定数をα、第2の定数をβとした時、上記3式で示される条件式を満足した場合に、可動部の異常と判断させるようにしたので、α,βを調整パラメータとし、スティックスリップの検出範囲を実績に基づいて高精度でチューニングし、スティックスリップの誤検出を高精度で抑制させるようにすることが可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1はこの発明に係るスティックスリップ検出装置の一実施の形態の要部を示す図である。このスティックスリップ検出装置は、接触摺動部を有する可動部の変位をもとに異常を診断する診断部10と、可動部の変位を制御する制御指令値をもとに診断部10の動作を停止する診断動作制御部20とを備えている。なお、この実施の形態において、接触摺動部を有する可動部の変位はポジショナによって弁開度が制御される調節弁の弁軸変位とし、可動部の変位を制御する制御指令値はポジショナへの弁軸変位の制御指令値とする。診断部10は、変位検出部11,第1の状態量算出部12,第2の状態量算出部13,第1のスティックスリップ指標算出部14,閾値記憶部15および異常診断部16を備えている。変位検出部11は、弁軸変位を検出し、例えば、デジタル信号の変位信号を出力する。第1の状態量算出部12は、変位検出部11からの変位信号より第1の状態量として1階差分値の絶対値の平均を算出する。第2の状態量算出部13は、変位検出部11からの変位信号より第2の状態量として1階差分値の2乗平均の平方根を算出する。第1のスティックスリップ指標算出部14は、第1の状態量算出部12によって算出された第1の状態量と第2の状態量算出部13によって算出された第2の状態量との比を変位による第1のスティックスリップ指標SSpvとして算出する。閾値記憶部14には、第1のスティックスリップ指標SSpvの正常/異常を判断するための閾値Thが格納されている。異常診断部16は、第1のスティックスリップ指標算出部14によって算出された第1のスティックスリップ指標SSpvと閾値記憶部14に格納されている閾値Thとを比較し、SSpv>Thであった場合に、スティックスリップが発生したものと判断する。一方、診断動作制御部20は、制御指令受信部21,第3の状態量算出部22,第4の状態量算出部23,第2のスティックスリップ指標算出部24および動作制御部25を備えている。制御指令受信部21は、ポジショナへの弁軸変位の制御指令値を受信する。第3の状態量算出部22は、指令値受信部21が受信した制御指令値より、第3の状態量として1階差分値の絶対値の平均を算出する。これは、検出された変位信号より第1の状態量として1階差分値の絶対値の平均を算出する第1の状態量算出部12と同様の動作である。第4の状態量算出部23は、制御指令受信部21が受信した制御指令値より、第4の状態量として1階差分値の2乗平均の平方根を算出する。これは、検出された変位信号より第2の状態量として1階差分値の2乗平均の平方根を算出する第2の状態量算出部13と同様の動作である。第2のスティックスリップ指標算出部24は、第3の状態量算出部22によって算出された第3の状態量と第4の状態量算出部23によって算出された第4の状態量との比を制御指令値による第2のスティックスリップ指標SSspとして算出する。動作制御部25は、診断部10における第1のスティックスリップ指標算出部24からの第1のスティックスリップSSpvと第2のスティックスリップ指標算出部24からの第2のスティックスリップ指標SSspを入力とし、SSpv≦αSSspβである場合に、診断部10における異常診断部16の判断動作を停止させる。なお、αは第1の定数、βは第2の定数であり、後述する学習処理によって定められている。この実施の形態では、診断部10における異常診断部16と診断動作制御部20における動作制御部25とによって本発明でいう異常判断手段に対応する異常判断部30が構成されている。この異常判断部30は、異常診断部16と動作制御部25との動作の組み合わせによって、SSpv>ThANDSSpv>αSSspβなる条件式を満足した場合に、スティックスリップが発生したものと判断する。このスティックスリップ検出装置において、図2に点線Iで示すような変位の制御指令値が与えられる場合について考える。このような制御指令値に対して弁軸が正常に動作すれば、変位検出部11で検出されて出力される変位信号も、同様の状態となり、異常診断部16では、スティックスリップが発生したものとは判断されない。また、このような制御指令値をもとに第3の状態量および第4の状態量を算出すれば、このような場合、第1の状態量と第2の状態量との比を示す第1のスティックスリップ指標SSpvは、第3の状態量と第4の状態量との比を示す第2のスティックスリップ指標SSspよりも大きいものとなるSSpv>SSsp。一方、スティックスリップが発生している場合、変位検出部11で検出されて出力される変位信号は、図2に実線IIで示されるような階段状のものとなる。このような変位信号が検出されると、異常診断部16では、スティックスリップが発生しているものと判断する。この場合も、第1の状態量と第2の状態量との比を示す第1のスティックスリップ指標SSpvは、第3の状態量と第4の状態量との比を示す第2のスティックスリップ指標SSspよりも大きいものとなるSSpv>SSsp。以上の場合に対し、図3に点線IIIで示されるような変位の制御指令値が与えられる場合について考える。このような制御指令値が与えられると、弁軸が正常に動作しても、変位検出部11で検出される変位信号は、図3に実線IVで示されるものとなる。このような状態では、異常診断部16では、スティックスリップが発生しているものと判断してしまう。ここで、制御指令値をもとに第3の状態量および第4の状態量を算出すれば、第3の状態量と第4の状態量との比を示す第2のスティックスリップ指標SSspは、第1の状態量と第2の状態量との比を示す第1のスティックスリップ指標SSpv以上となるSSsp≧SSpv。従って、制御指令値による第2のスティックスリップ指標SSspが変位による第1のスティックスリップ指標SSpv以上となったことを検出した場合SSsp≧SSpvに異常診断部16の判断動作を停止することで、換言すればSSpv>SSspである場合にのみ異常診断部16の判断動作を許可することにより、スティックスリップの誤判断が抑制できるようになる。しかし、SSpv>SSspとしただけでは、特許文献2に示された技術と同じであり、スティックスリップの誤検出を高精度で抑制することはできない。そこで、本実施の形態では、α,βを調整パラメータとして導入し、異常判断部30において、SSpv>αSSspβである場合にのみ、異常診断部16の判断動作を許可するようにする。これは、動作制御部25が、SSpv≦αSSspβである場合に、診断部10における異常診断部16の判断動作を停止させることによって実現される。この場合、異常判断部30において、下記4式で示されるなる条件式を満足した場合に、スティックスリップが発生したものと判断される。なお、この条件式において、α=1,β=0にすると、特許文献2と同じとなる。このため、本発明において、α=1,β=0の場合は除くものとした。SSpv>ThANDSSpv>αSSspβ4学習処理学習によるαとβの調整調整パラメータであるα,βを求めるためには、工場出荷時の検査運転中、あるいはプロセス制御中に、次のような学習処理を行うスティックスリップの起きていない正常な状態で、変位によるスティックスリップ指標SSpv、制御指令値によるスティックスリップ指標SSspを算出する。図4に示すスティックスリップ指標平面上に、1で算出した変位によるスティックスリップ指標SSpvと制御指令値によるスティックスリップ指標SSspとをプロットする。図4中、○印は、スティックスリップ指標のプロット点である。でプロットされた状態を誤検出しないように、アラーム発報の境界線とされる直線Xの傾きαと切片βを定める。このようにして定めたα,βを上記4式に設定する。ここで、直線Xの傾きαと切片βを定める方法としては、幾つかのバリエーションが考えられる。例えば、βを0に固定し、αのみを誤検出率が零になるまで大きくしてもよいし、逆にαを固定し、βを誤検出率が零になるまで大きくしてもよい。なお、実際にスティックスリップが起きているときのデータが入手できれば、誤検出率をなるべく低く抑えつつ、同時に検出率正解率を高めるような学習も可能となる。例えば、線形判別分析などによってαとβを定めればよい。また、サポートベクターマシンのような非線形判別の手法を適用してもよい。図5にその模式図を示す。図5では、制御指令値によるスティックスリップ指標SSspと変位によるスティックスリップ指標SSpvがともに閾値Thとなる点を支点に直線Xの傾きを変えて、スティックスリップの検出範囲アラーム発報領域を調整している。なお、図5において、○印は正常な状態でのスティックスリップ指標のプロット点であり、×印は異常な状態でのスティックスリップ指標のプロット点である。図6はある機種のコントロールバルブに対して、様々な条件でスティックスリップ指標を計算した結果をプロットしたものである。異常●印はスティックスリップが起こる力をバルブステムに加えた場合のデータである。正常○印ではバルブステムに力をかけておらず、スティックスリップは起こっていない。図6の例では、制御指令値が大きい場合に、正常と異常とが混在している。ここで、誤検出抑制を重視するならば、例えば図7に実線の直線X1で示すように、上記4式中のSSpv>αSSspβにおいて、αを1、βをSSpv-10と置けばよい。すなわち、SSpv>αSSspβを10>SSspとすればよい。なお、この場合、異常であるのに検出できないリスクは残る。また、異常見逃し抑制を重視するならば、図7中に点線の直線X2で示すように、傾きαを小さくし、閾値Thの直線に近づけるようにすればよい。なお、この場合、正常を異常と誤検出するリスクはある。なお、上述した実施の形態では、第1の状態量および第3の状態量として1階差分値の絶対値の平均を算出し、第2の状態量および第4の状態量として1階差分値の2乗平均の平方根を算出したが、これに限られるものではない。例えば、第1の状態量および第3の状態量として1階差分値の2乗平均を算出し、第2の状態量および第4の状態量として2階差分値の2乗平均を算出するようにしてもよい。また、上述したスティックスリップ検出は、検出された変位をコンピュータで処理することでスティックスリップを検出するようにしてもよい。例えば、コンピュータを構成するCPUがバスを介して接続されているメモリに展開されているプログラムにより動作することで、得られた変位信号を処理して診断結果を出力し、また、得られた制御指令値より診断結果を得る処理を停止してもよい。ここで、上記プログラムは、前述した各実施の形態で説明したスティックスリップ検出の処理を、CPUコンピュータに行わせるものである。また、メモリに展開されているプログラムは、バスを介して外部接続される外部記憶装置に格納されているものを取り込んで展開すればよい。外部記憶装置としては、例えば、磁気ディスク記憶装置などがある。実施の形態の拡張以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術的範囲内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。"