減圧雰囲気に配置されたバッテリ容器内に電解液を供給する装置であって、シリンダ内の空間をピストンが動いて電解液を計量する計量ユニットと、前記計量ユニットから供給された電解液を前記バッテリ容器に対し上方から注入するディスペンサと、当該装置を制御する制御ユニットとを有し、前記ディスペンサは、前記バッテリ容器内または前記バッテリ容器の上端近傍に配置される吐出ノズルと、前記吐出ノズルの内側に配置され、前記吐出ノズルを開閉するニードル弁と、前記ニードル弁を上下に駆動するアクチュエータとを含み、前記制御ユニットは、前記計量ユニットの前記ピストンの動きを制御し、前記ピストンを前記シリンダ内の空間を広げる方向に動かして電解液を計量し、前記ピストンを前記空間を狭める方向に動かして電解液を前記ディスペンサに供給する第1の機能と、前記アクチュエータにより前記ニードル弁を開閉させる第2の機能とを含み、前記第2の機能は、前記第1の機能が前記ピストンを前記狭める方向に動かして停止させるのに連動して前記ニードル弁を閉じる信号を出力する信号出力機能を含む、装置。請求項1において、前記信号出力機能は、前記第1の機能が前記ピストンを前記狭める方向に動かして停止させる前に、前記ニードル弁を閉じる信号を出力する、装置。請求項2において、前記計量ユニットは、前記ピストンを駆動するサーボモータを含み、前記ニードル弁を駆動する前記アクチュエータは、ソレノイドバルブを介して供給される作動流体で駆動され、前記第1の機能は、前記サーボモータを駆動する信号を出力する機能を含み、前記信号出力機能は、前記ソレノイドバルブを駆動する信号を出力する、装置。請求項2または3において、前記ピストンの位置を検出する検出器をさらに有し、前記信号出力機能は、前記狭める方向に移動中の前記ピストンの位置が停止位置の手前の第1の位置となったことを前記検出器が検出したときに、前記閉じる信号を出力する、装置。請求項3において、前記サーボモータは、ステッピングモータであり、前記第1の機能は、前記サーボモータに供給するパルス数によりピストンの位置を判断して前記ピストンを前記広げる方向と前記狭める方向とに動かし、前記信号出力機能は、前記ピストンが前記狭める方向に移動中に前記サーボモータに供給されたパルス数が所定の値になったときに、前記閉じる信号を出力する、装置。請求項1において、前記計量ユニットの上流側を開閉する入口弁をさらに有し、前記制御ユニットは、前記入口弁を開閉する第3の機能を含み、前記第1の機能は、前記第3の機能が前記入口弁を開にする信号を出力した後、前記ピストンを前記広げる方向に駆動する機能を含み、前記第3の機能は、前記第1の機能が前記ピストンを前記広げる方向に動かして停止した後、前記入口弁を閉じる機能を含み、前記第1の機能は、前記第2の機能が前記ニードル弁を開にする信号を出力した後、前記ピストンを前記狭める方向に駆動する機能を含む、装置。減圧雰囲気に配置されたバッテリ容器内に、供給装置により電解液を供給することを含む方法であって、前記供給装置は、シリンダ内の空間をピストンが動き、電解液を計量する計量ユニットと、前記計量ユニットから供給された電解液を前記バッテリ容器に対し上方から注入するディスペンサとを有し、前記ディスペンサは、前記バッテリ容器内または前記バッテリ容器の上端近傍に配置される吐出ノズルと、前記吐出ノズルの内側に配置され、前記吐出ノズルを開閉するニードル弁と、前記ニードル弁を上下に駆動するアクチュエータとを含み、前記電解液を供給することは、制御ユニットが、前記計量ユニットの前記ピストンを前記シリンダ内の空間を広げる方向に動かして電解液を計量した後、前記ピストンを前記空間を狭める方向に動かして電解液を前記ディスペンサに供給することと、前記ピストンが前記狭める方向に動いて停止するのに連動して前記アクチュエータに前記ニードル弁を閉じる信号を出力することとを含む、方法。請求項7において、前記ニードル弁を閉じる信号を出力することは、前記ピストンを前記狭める方向に動かして停止させる前に、前記ニードル弁を閉じる信号を出力することを含む、方法。請求項8において、前記装置は、前記ピストンの位置を検出する検出器をさらに有し、前記ニードル弁を閉じる信号を出力することは、前記狭める方向に移動中の前記ピストンの位置が停止位置の手前の第1の位置となったことを前記検出器が検出したときに、前記閉じる信号を出力することを含む、方法。請求項8において、前記計量ユニットは、前記ピストンを駆動するステッピングモータ型のサーボモータを含み、前記ニードル弁を駆動する前記アクチュエータは、ソレノイドバルブを介して供給される作動流体で駆動され、前記ピストンの動きを制御することは、前記サーボモータに供給するパルス数によりピストンの位置を判断して前記ピストンを前記広げる方向と前記狭める方向とに駆動することを含み、前記ニードル弁を閉じる信号を出力することは、前記ピストンが前記狭める方向に移動中に前記サーボモータに供給されたパルス数が所定の値になったときに、前記ソレノイドバルブを駆動する信号を出力することを含む、方法。請求項7ないし10のいずれかにおいて、前記装置は、前記計量ユニットの上流側を開閉する入口弁をさらに有し、前記ピストンの動きを制御することは、前記入口弁を開にする信号を出力した後、前記ピストンを前記広げる方向に駆動することと、前記ピストンを前記広げる方向に動かして停止した後、前記入口弁を閉じ、前記ニードル弁を開にする信号を出力した後、前記ピストンを前記狭める方向に駆動することとを含む、方法。図1に示す装置1は、減圧室100の内側の減圧雰囲気102に配置されたバッテリ容器200の内部に電解液19を供給注液する装置電解液供給装置、注液装置である。減圧室100の内部は、真空ポンプ110により所定の圧力負圧になるように減圧される。供給装置1は、減圧室100の上壁天板101の上に配置される計量ユニット10と、計量ユニット10の上流に配置されたリザーバーリザーバータンク2と、計量ユニット10の下流に配置されたディスペンサ20と、計量ユニット10およびディスペンサ20の動作を制御して電解液19を注入する制御ユニット30とを備えている。典型的な制御ユニット30は、CPUおよびメモリを含むハードウェア資源を備え、プログラムプログラム製品を実行することにより供給装置1を制御し、バッテリを製造する過程においてバッテリ容器200に電解液19を供給するものである。図1において、太線は電解液19の流路管路、太い破線は制御用空気の流路管路、斜線付きの細線は制御用の電気信号を伝達する配線をそれぞれ示す。電解液19は可燃性の有機溶媒を含むものがあり、減圧室100の周囲、すなわち、ディスペンサ20が設置される領域は、一般的に防爆領域H一点鎖線で囲まれた領域に含まれる。この例では、供給装置1の計量ユニット10が設置される領域も防爆領域Hに含まれており、計量ユニット10のピストン12を駆動するサーボモータ13には防爆仕様のものが用いられている。計量ユニット10の上流のリザーバー2は、電解液供給手段のヘッダー3に接続され、計量ユニット10が数回分注するだけの液量を一時的に確保する。リザーバー2が設けられているため、計量ユニット10は高速に動作できる。また、リザーバー2は、気液分離機構を兼ねており、ベント弁4を介してリザーバー2の上部に溜まった気体を排出できる。ベント弁4は、防爆を考慮し、空気作動弁エアー駆動弁が用いられ、防爆領域H外に設けられた電磁弁ソレノイドバルブ34および制御ユニット30により制御用空気作動流体を介して制御される。なお、制御用空気は、コンプレッサーに繋がった制御用空気ヘッダー39を介して供給される。計量ユニット10は、シリンダ11とピストン12とを有する。シリンダ11は上下に延びており、シリンダ11内をピストン12が上下方向鉛直方向に沿って動く。細い破線で示すように、シリンダ11の内部のピストン12が出入りする領域が計量空間Sとなっており、ピストン12の出入りする量ストロークを制御することにより計量空間Sで計量される電解液19の量を自在に制御調整できる。計量ユニット10は、さらに、ピストン12を上下に駆動するサーボモータ13を含む。サーボモータ13の回転量、回転速度および回転方向を制御ユニット30によって制御することにより、ピストン12のストロークを変えたり、ピストン12の移動速度を変えたりしながらピストン12を上下に移動できる。すなわち、サーボモータ13によりピストン12をシリンダ11内の空間Sを広げる方向に動かして電解液19を計量し、空間Sを狭める方向に動かして電解液19をディスペンサ20に供給することができる。計量ユニット10としては、ストロークを可変制御可能なプランジャーポンプを用いることができる。ステッピングモータタイプのサーボモータ13を用いると、パルス制御することにより高分解能な容量可変制御を行うことができる。ステッピングモータの代わりにエンコーダ18を備えた直流サーボモータを採用することができる。以下では、エンコーダ18を備えたタイプを説明する。エンコーダ18はピストン12の位置を検出する手段検出器であり、制御ユニット30と電気的に接続され、検出したピストン12の位置を制御ユニット30に出力伝達する。供給装置1は、さらに、計量ユニット10の上流側を開閉する計量空間Sへの電解液19の流入をオンオフする入口弁5を含む。入口弁5と計量空間Sの下端部S1に設けられた入口ポートP1とは管路第2の管路42により接続されている。入口弁5を入口ポートP1の近傍に配置することにより、第2の管路42をできるだけ短くし、計量空間Sにおける計量精度の低下を抑制している。入口弁5とリザーバー2とは管路43により接続されている。入口弁5も、防爆領域H内であることを考慮し、空気作動弁が用いられ、防爆領域H外に設けられた電磁弁33および制御ユニット30により制御用空気を介して制御される。計量ユニット10から供給された電解液19をバッテリ容器200に対し上方から注入するディスペンサ20は、バッテリ容器200内またはバッテリ容器200の上端近傍に配置される吐出ノズル21と、この吐出ノズル21が下端に装着された単管円筒またはシリンジ、以降においてはシリンジ22と、吐出ノズル21の内側に配置されてこの吐出ノズル21の先端を開閉するニードル弁カット弁23と、シリンジ22の内部を上下に貫通するように設けられた弁制御棒25と、弁制御棒25を介してニードル弁23を上下に駆動し、ニードル弁23を開閉制御する空気駆動型のアクチュエータ24とを含む。ニードル弁23はノーマルオフノーマルクローズであり、ディスペンサ20は、弁制御棒25を介してニードル弁23を吐出ノズル21の先端に付勢する手段例えば、コイルばね26を含む。シリンジ22は、減圧室100の上壁101を貫通して上下に延びており、先端は減圧室100の内部102に配置されたバッテリ容器200に到達している。したがって、シリンジ22の先端下端、吐出ノズル21の周りは、減圧雰囲気となっている。シリンジ22の先端下端、吐出ノズル21は、上壁101の上に配置された計量ユニット10の計量空間Sの下端部S1よりも下側まで延びている。このディスペンサ20においては、シリンジ22の内部を弁制御棒25が貫通しており、シリンジ22の弁制御棒25に沿った部分が、電解液19が流れる空間となっている。したがって、シリンジ22の内径に対し、適当な外径の弁制御棒25を選択することにより、計量ユニット10からシリンジ22の先端の吐出ノズル21に至る管路の面積を調整できる。このため、適切な内径のシリンジ22と適切な外径の弁制御棒25を選択することにより、電解液19の粘度、減圧室100の内圧負圧、流量などの注入条件に合わせて吐出ノズル21までの圧力損失を制御できる。したがって、この構成を用いて、バッテリ容器200にスムーズに電解液19を注入できる条件を設定できる。弁制御棒25は、吐出ノズル21の内側を開閉するニードル弁カット弁23をアクチュエータ24により上下に動かすためのものである。弁制御棒25の先端下端にニードル弁23が接続され、他端上端がアクチュエータ24と接続されている。ニードル弁23は、コイルばね26によりノーマルオフノーマルクローズに設定されている。アクチュエータ24は、電磁弁ソレノイドバルブ32を介して供給される動作流体、例えば、空気で作動駆動する。ニードル弁23は、電磁弁ソレノイドバルブ32を介してアクチュエータ24に制御空気を送ることによりオン開され、制御空気を排出することによりオフ閉される。シリンジ22の内部に設けられたニードル弁23によって吐出ノズル21の直上を閉じることにより、吐出ノズル21が減圧雰囲気に面している場合においても、吐出ノズル21からの電解液19の液漏れを抑制でき、液切れを改善できる。ディスペンサ20は、計量ユニット10の計量空間Sの上端部S2に設けられた出口ポートP2と管路第1の管路41により接続されている。この第1の管路41は、少なくとも計量空間Sの下端部S1の近傍に相当する位置まで鉛直方向に延びる第1の部分41aと、第1の部分41aの下端からディスペンサ20の上端に向かって水平方向に延びる第2の部分41bとを有する。すなわち、第1の管路41は、全体としてL字型に形成されており、水平に延びた部分の一方の端第2の部分41bの端がシリンジ22の側方に接続され、垂直鉛直に延びた部分の他方の端第1の部分41aの端が計量空間Sの上端部S2の出口ポートP2に接続されている。第1の管路41の途中であって、第1の管路41の計量空間Sの下端部の近傍に相当する位置に、背圧弁50が配置されている。本例では、背圧弁50は、第1の管路41の第1の部分41aと第2の部分41bとのコーナー部分の、上下に延びた第1の部分41aの側に配置されている。背圧弁50は、ボール51と、このボール51を上方に付勢し、この背圧弁50を閉に維持するコイルばね52とを含む。コイルばね52は、計量ユニット10のピストン12がストロークこの場合は下側に移動しない限り、背圧弁50を介して電解液19が流れない程度の圧力をボール51に与えるように設定されている。例えば、減圧室内102の最大負圧真空度と大気圧との差圧が背圧として加わっても電解液19が流れない設定になっている。この背圧弁50は、減圧室内102の負圧がブレークして大気圧となったり、あるいは逆に加圧されることによる、シリンジ22の内圧が計量空間Sの内圧よりも高くなる異常事態では逆止弁としても作用する。サーボモータ13、ソレノイドバルブ32~34を制御する制御ユニット30の典型的なものは、上述したようにマイクロコンピュータを含むプログラマブルな制御装置である。制御ユニット30はワイヤードロジックタイプであってもよく、シーケンサであってもよい。制御ユニット30は、計量ユニット10のサーボモータ13を制御する機能第1の機能、第1の機能ユニット、サーボモータ制御ユニット30aと、電磁弁34を介してベント弁4を制御する機能第4の機能、第4の機能ユニット、ベント弁制御ユニット30dと、電磁弁33を介して入口弁5を制御する機能第3の機能、第3の機能ユニット、入口弁制御ユニット30cと、電磁弁32を介してディスペンサ20のアクチュエータ24を制御する機能第2の機能、第2の機能ユニット、ニードル弁制御ユニット30bとを含む。第1の機能30aは、サーボモータ13を駆動する信号を出力する機能サーボモータ制御信号出力ユニット30yを含み、計量ユニット10のピストン12をシリンダ11内の空間Sを広げる方向と空間Sを狭める方向とに動かす。第1の機能30aは、エンコーダ18によりピストン位置を検出し、ピストン12の位置を確認しながらサーボモータ13によりピストン12を上側に動かして空間Sを広げることにより、所定の量の電解液19を計量する。その後、第1の機能30aは、ピストン12の位置を確認しながらサーボモータ13によりピストン12を下側に動かして空間Sを狭めることにより、計量された電解液19をディスペンサ20に供給する。そして、第1の機能30aは、計量された電解液19をディスペンサ20に供給し終わる位置にピストン12が到達するとサーボモータ13を停止し、ピストン12の動きを停止させる。なお、サーボモータ13としてステッピングモータを用いることにより、エンコーダ18を用いなくとも、サーボモータ13に供給するパルス数によりピストン位置を精度よく制御できる。この場合、第1の機能30aは、サーボモータ13に供給するパルス数によりピストン12の位置を精度よく制御し、ピストン12を上方および下方に動かして空間Sを広げたり狭めたり拡大したり縮小したりして、電解液19を計量および供給することができる。第2の機能30bは、ソレノイドバルブ32を駆動する信号を出力する機能信号出力機能、信号出力機能ユニット、ニードル弁アクチュエータ制御信号出力ユニット30xを含み、制御用空気によりアクチュエータ24を駆動し、ニードル弁23を開閉させる。信号出力機能32xは、第1の機能30aが空間Sを狭める方向縮小する方向にピストン12を動かして停止させる前に、ニードル弁23を閉じる信号を出力する。エンコーダ18を備えている供給装置1の場合は、信号出力機能30xは、空間Sを狭める方向、すなわち、下方に移動中のピストン12の位置が停止位置の手前の所定の第1の位置となったときに、ニードル弁23を閉じる信号を出力する。サーボモータ13がステッピングモータであれば、信号出力機能30xは、ピストン12を下方に移動させるためにサーボモータ13に供給されたパルス数が所定の値になったときに、ニードル弁23を閉じる信号を出力する。制御ユニット30はこれらの機能30a~30dにより供給装置1を制御し、電解液19の注液量を精度よく制御する。図2に、供給装置1によりバッテリ容器200に電解液19を複数回に分けて注入分注するときの動作の一部を示している。まず、第4の機能30dにより、バッテリ容器200に分注を開始する時刻t0にベント弁4を開閉し、リザーバー2をベントする。ベント弁4は空気作動弁エアー駆動弁なので、時刻t0に第4の機能30dがソレノイドバルブ34に駆動信号を出力した後、若干の時間差があってからベント弁4が開く。時刻t1に、第3の機能30cにより入口弁5を開き、ニードル弁カット弁23が閉じた状態で、リザーバー2と計量ユニット10の計量空間Sとを連通させる。入口弁5は空気作動弁エアー駆動弁なので、時刻t1に第3の機能30cがソレノイドバルブ33に駆動信号を出力した後の時刻t2に入口弁5が開く。第1の機能30aは、第3の機能30cが入口弁5を開にする信号を出力した後の時刻t3にピストン12を上方に駆動する信号をサーボモータ13に出力して、空間Sを広げる方向拡大する方向にピストン12を動かすストロークさせる。時刻t4にピストン12のストロークを停止することにより、所定の量の電解液19を計量空間S内に流入させる。この供給装置1においては、サーボモータ13を電圧制御またはパルス制御することによりピストン12の移動速度は可変である。このため、図2において電解液19の引き込み速度を示す角度θ1を任意に変えることができる。したがって、電解液19の特性や引き込み条件などにより引き込み速度θ1を上昇できる環境であれば、引き込み速度θ1を早くして注液時間を短縮できる。第3の機能30cは、第1の機能30aがピストン12を時刻t4に停止した後、または同時に、入口弁5を閉じる信号をソレノイドバルブ33に対して出力する。空気作動による遅延を経た時刻t5に入口弁5は閉じる。第2の機能30bは、第3の機能30cが入口弁5を閉じる信号を出力した後、入口弁5が動作する遅延時間を考慮し、入口弁5が閉じた後の時刻t6にディスペンサ20のニードル弁カット弁23を開ける信号をソレノイドバルブ32に対して出力する。空気作動による遅延を経た時刻t7にアクチュエータ24が動作し、ニードル弁23が開く。第1の機能30aは、第2の機能30bがニードル弁23を開にする信号を出力した後、ニードル弁23が動作する遅延時間を考慮し、ニードル弁23が開いた後の時刻t8にサーボモータ13に対しピストン12を下方に駆動する信号を出力する。時刻t5において入口弁5を閉じたため、それ以降においては、計量空間Sは入口弁5の上流の系から遮断され、リザーバー2を含む上流の系の静圧は計量空間Sに加わらない。したがって、時刻t7にニードル弁23が開になったときに、入口弁5より上流のシステムの静圧がディスペンサ20に印加されるのを防止できる。また、シリンダ11およびピストン12により構成される計量空間Sの断面積は、配管の断面積の1桁以上、通常は2桁~3桁以上大きい。したがって、分注する電解液19を断面積の大きな計量空間Sにいったん蓄積することにより分注する電解液19の静圧液柱による圧力がニードル弁23に印加されるのを最小限に抑えることができる。さらに、この供給装置1においては、背圧弁50によりニードル弁23に加わる圧力をさらに抑制している。したがって、ニードル弁23を開いたときに電解液19が吐出ノズル21から飛散することを抑制できる。このようにニードル弁23は、入口弁5が閉じた後に開くことが望ましい。本例では、ニードル弁23を開く信号を入口弁5が閉じた後に出力しているが、信号の出力から入口弁5およびニードル弁23が作動する遅れを考慮し、ニードル弁23を開く信号を入口弁5が閉じる前に出力し、弁切り替えに要する時間を短縮するようにしてもよい。さらに、計量ユニット10の計量空間Sの上端部S2とディスペンサ20とをつなぐ第1の管路41に背圧弁50を設けている。このため、ディスペンサ20の吐出ノズル21のニードル弁23を単に開いても、この時点では電解液19は吐出されない。時刻t8にピストン12が下方に動いて計量空間Sが狭められ背圧弁50に所定の背圧が加わることにより、ピストン12の動きに対応する量の電解液19が吐出ノズル21の先端から精度良く吐出される。特に、この供給装置1においては、背圧弁50が設けられた第1の管路41は、計量空間Sの上端部S2の出口ポートP2に接続されており、背圧弁50に加わる静圧液柱による圧力はほぼ一定しているので、ピストン12の位置上下の位置が変化しても変動しない。したがって、背圧弁50をピストン12の動きに瞬時に反応して開閉するように設定できる。時刻t8にピストン12を下方に動かした後、第2の機能30bの信号出力機能30xは、時刻t9に、第1の機能30aがピストン12を停止させる位置Posより若干前の第1の位置Po1にピストン12が到達したと判断すると、ニードル弁23を閉じる信号をソレノイドバルブ32に出力する。この信号により、時刻t9より空気作動による動作遅延時間Tdelが経過した時刻t10にアクチュエータ24が駆動され、ニードル弁23が閉じる。また、ほぼ同じ時刻t10に、ピストン12が停止位置Posに達するので、第1の機能30aはサーボモータ13の動きを停止させ、ピストン12を停止する。計量ユニット10において計量した分だけの電解液19をピストン12でディスペンサ20に供給し終わると同時にニードル弁23を閉じることにより、極めて精度よく注液量を制御できる。注液精度を向上させるためには、ピストン12のストロークが停止することと、ニードル弁23が実際に閉じることとをほぼ同時に行うことが望ましい。そのために、停止させる位置Posと信号出力機能30xが閉信号を出力する第1の位置Po1との差dsは、供給装置1が設置された環境に合わせて決定される。制御ユニット30がニードル弁23を閉じる信号を出力させるタイミングと、ピストン12の第1の位置Po1との関係を設置環境に合わせて調整することが望ましい。また、制御ユニット30がニードル弁23を閉じる信号を出力してからニードル弁23が実際に閉じるまでの時間Tdelを測定して制御ユニット30のメモリに設定しておくことも可能である。信号出力機能30xは、第1の機能30aがピストン12を下方に動かす速度と停止位置Posとの関係から、自動的にニードル弁23を閉じる信号を出力するタイミングをピストン12の第1の位置Po1として求め、ニードル弁23を閉じる信号を出力することができる。この供給装置1においては、引き上げ上方ストロークと同様に、サーボモータ13によりピストン12の移動速度を変更できる。このため、図2において電解液19の吐出速度を示す角度θ2を任意に、引き込み速度θ1とは独立して変えることができる。したがって、電解液19の特性、引き込み条件などにより引き込み速度θ1に対して吐出速度θ2を遅くすることも可能であり、また、吐出速度θ2を引き込み速度θ1に対して早くすることも可能である。吐出速度θ2が変わった場合でも、制御ユニット30に遅延時間Tdelを予め設定し、ピストン12の第1の位置Po1を自動的に求められるようにしておくことにより、信号出力機能30xは適切なタイミングでニードル弁23を閉じる信号を出力できる。信号出力機能30xは、ニードル弁閉の信号を出力するタイミングを、ピストン12の停止時刻を予想し、その予想時刻に対して設定してもよい。ピストン12のストロークの量は電解液19を計量する段階で決まっているので、ピストン12の位置に基づきピストン12が停止するタイミングを判断し、それに対して適当なタイミングでニードル弁閉の信号を出力する方法は、信頼性が高く、制御ロジックの構成も容易な方法の1つである。信号出力機能30xは、ニードル弁閉の信号を出すためのタイミングをピストン12の位置第1の位置Po1から決定してもよい。この供給装置1では検出器であるエンコーダ18によりピストン12の位置を得ることができる。また、ステッピングモータがサーボモータ13として採用されていれば、駆動パルスをカウントすることによりピストン12の位置を得ることができる。また、エンコーダ18の出力および駆動パルスカウントの両方を用いることも可能である。この供給装置1においては、ピストン12を停止するのと実質的に同時にニードル弁23を閉にできるので、注液量の精度を向上できるとともに素早く液切りでき、次の動作に移行できる。このため、注液量の精度を維持しながら注液時間をさらに短縮することが可能である。したがって、バッテリ容器200における電解液19の含浸時間を確保したり、バッテリ容器200に対するトータルの注液時間タクトタイムを短縮できる。なお、電解液19に可燃性の成分が含まれていない環境においては、ニードル弁のアクチュエータ24としてソレノイドタイプを直に用いることが可能である。その場合は、ニードル弁23を閉じる信号をピストン12が停止位置Posに達したのとほぼ同時に出力することが可能である。また、ソレノイドタイプのアクチュエータ自身に動作遅延の時間がある場合は、その時間を考慮して、適当な第1の位置Po1を設定し、事前にニードル弁23を閉じる信号をピストン12の位置に基づき出力することができる。バッテリを製造する過程で、バッテリ容器200に電解液19を注液する工程においては、一度に電解液19を全量注液するのではなく、電解液19が含浸するのを待って、所定の量の電解液19を注液分注するといった作業を繰り返すことがある。分注する電解液の量分注量は一定でもよく、分注量を変えてもよい。この供給装置1においては、図2に示すように、計量ユニット10のピストン12のストローク量をΔqだけ変えることにより精度よく注液する量を計量できる。さらに、ニードル弁23を閉じる信号を出力するタイミングを、吐出速度θ2に合わせて停止位置Posからdsだけ離れた第1の位置Po1に設定することができる。なお、吐出速度θ2が同じであれば、一旦設定した上記第1の位置Po1は変える必要はない。この供給装置1においては、ディスペンサ20と計量ユニット10とを連通する管路41に背圧弁50を設け、計量ユニット10の側の圧力変動により背圧弁50を瞬時に開閉させることにより注入される液量の制御性を向上している。さらに、この供給装置1においては、ピストン12がストロークを停止するとともに、ほぼ同時にニードル弁23を閉にする。この制御により、ディスペンサ20の注入先が減圧真空雰囲気であっても、背圧弁50から下流側の電解液19が減圧雰囲気により吸引されて吐出ノズル21から滴下する漏れ出すことを未然に防止できる。また、ピストン12の停止とともに、背圧弁50が動作して背圧弁50の上流の静圧を遮断できるので、ニードル弁23に加わる差圧も小さくなり、注入先が減圧雰囲気であっても、ニードル弁23で電解液19を遮断しやすく、液切れもよい。このため、注液精度を改善でき、さらに液だれが止まるのを待つ時間が基本的には不要なので、注液時間も短縮できる。さらに、この供給装置1においては、背圧弁50が設けられた第1の管路41に繋がる出口ポートP2を計量空間Sの上端部S2に設けている。このため、計量空間Sには気体が溜まりにくく、計量空間Sには気泡が生成されにくい。気泡が生成されると、気体は圧縮性なので、計量空間Sの計量精度に影響を与え、さらに、減圧により気体が膨張するとディスペンサ20の吐出ノズル21から電解液19が飛散する要因となる。この点でも、この供給装置1は、計量精度、すなわち注液精度を確保でき、さらに、電解液19が減圧室内102で飛散するような事態も未然に防止できる。減圧室内102に複数のバッテリ容器200がセットされている場合には、ディスペンサ20の下に次に注液するバッテリ容器200を移動することにより、供給装置1による分注が次々と行われる。この供給装置1においては、液切れがよく、液だれが停止する待ち時間が殆ど不要であり、さらに、吐出ノズル21からの飛散も殆どない。したがって、殆ど待ち時間なしに次の分注を開始できる。たとえば、時刻t10に前のバッテリ容器200への分注が終了すると、バッテリ容器200の移動時間をおいて、時刻t11に入口弁5を開ける信号を出力し、以降、上記のサイクルと同様に分注を繰り返すことができる。さらに、吐出ノズル21の先からの液漏れが基本的にないので、計量ユニット10で計量している間、すなわち、ピストン12が上方に動いて計量を終了する時刻t14あるいは入口弁5が閉じる時刻t15、さらにはディスペンサ20のニードル弁23が開く時刻t17までをバッテリ容器200の移動時間に使用することが可能である。したがって、さらに注液時間を短縮することが可能となる。また、引き込み速度θ1を変更することは可能なので、バッテリ容器200の移動時間と同期させてピストン12の移動時間を設定することも可能である。したがって、この供給装置1は、様々なパターンの分注に対し極めてフレキシブルに対応でき、さらに、注液精度も高く、分注に要する時間も短縮できる。図3に、バッテリを製造する過程において、供給装置1がバッテリ容器200に電解液19を注入する操作をフローチャートにより示す。以下に示す操作は、供給装置1の制御ユニット30により実行されるプログラムプログラム製品として適当な記録媒体に記録して提供することが可能である。また、インターネットなどのコンピュータネットワークを介してプログラムを提供することも可能である。まず、ステップ301において分注が開始されると、制御ユニット30の第4の機能30dがステップ302においてベント弁4を一旦開いて閉じる。これにより、リザーバー2の上部に溜まった気体を排出できる。ステップ303において、制御ユニット30の第3の機能30cが入口弁開の信号を出力して入口弁5を開き、ステップ304において、第1の機能30aがサーボモータ13を駆動してピストン12を上方へストロークさせる。ステップ305において、ピストン12による計量が終了すると、制御ユニット30の第1の機能30aがサーボモータ13を停止し、ステップ306において、第3の機能30cが入口弁閉の信号を出して入口弁5を閉じる。それと前後して、ステップ307において、制御ユニット30の第2の機能30bがニードル弁開の信号を出してニードル弁23を開く。ステップ308において、第1の機能30aがサーボモータ13を駆動してピストン12を下方へストロークさせる。ステップ309において、第2の機能30bの信号出力機能30xが、ピストン12が停止前の所定位置第1の位置Po1に達したことをエンコーダ18から得ると、ステップ310において、ピストン12が停止する前にニードル弁閉の信号を出力する。ステップ311において、第1の機能30aが、ピストン12が計量した分の電解液19を供給したと判断すると、サーボモータ13を停止しピストン12を停止する。ステップ310において出力されているニードル弁閉の信号により、サーボモータ13の停止ピストン12の停止とほぼ同時にニードル弁23が閉になる。ステップ312において分注を続ける場合には、ステップ313でバッテリ容器200を移動して、ステップ303に戻り、次のバッテリ容器200に対し分注を続ける。この供給装置1およびその制御方法によれば、ピストン12の位置を指標として、ニードル弁23を閉じる信号を出力するタイミングを決定している。このため、電解液19のバッテリ容器200への供給が完了するタイミングピストン12が最下位置となるタイミングと、ニードル弁23が閉じるタイミングを一致させやすく、液漏れなどによる注液量の誤差が生じ難い。なお、上記の計量ユニット10は、シリンダ11が上下に延び、ピストン12が上下に移動するタイプであるが、シリンダ11が左右方向に沿って配置され、ピストン12を左右方向に沿って移動するタイプであってもよい。計量空間Sへの電解液19の流入および流出をスムーズに行えるように配管をアレンジする必要があるが、上下方向の寸法を小さくできるので、よりコンパクトな供給装置に適している。また、上記の計量ユニット10は、サーボモータ駆動であるが、駆動方式はサーボモータに限定されない。注液量をフレキシブルに可変させる要求がなければ、ピストンをソレノイドタイプのアクチュエータで駆動することも可能である。さらに、上記の入口弁、ベント弁およびニードル弁は、防爆領域であることを考慮し、空気作動のアクチュエータを採用しているが、防爆領域でなければ、電磁弁あるいはソレノイドタイプのアクチュエータを採用することも可能であり、アクチュエータには様々なタイプのものを使用できる。上記の装置システムにおいて、ボールタイプの背圧弁は簡易な構造で配管への組み込みが容易であり、動作も安定しているので好適であるが、背圧弁はダイアフラムタイプなどの他のタイプであってもよい。