"調節弁の開度を制御するポジショナ内の所定のモジュールを対象モジュールとし、この対象モジュールの異常診断を行うポジショナの異常診断方法において、前記対象モジュールへの入力信号および前記対象モジュールからの出力信号を定期的にサンプリングするステップと、前記サンプリングされた入力信号の変化速度を求めるステップと、前記サンプリングされた出力信号の変化速度を求めるステップと、予め定められている重み関数に基づいて前記入力信号の変化速度と前記出力信号の変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるステップと、前記サンプリングされた入力信号と出力信号と前記求められた重みとに基づいて前記対象モジュールの異常診断を行うステップとを備えることを特徴とするポジショナの異常診断方法。請求項1に記載されたポジショナの異常診断方法において、前記異常診断を行うステップは、前記サンプリングされた入力信号と出力信号と前記求められた重みと前記対象モジュールの正常時の静的な入出力関係とから前記対象モジュールの異常診断に際して使用する異常診断指標値を求めることを特徴とするポジショナの異常診断方法請求項1又は2に記載されたポジショナの異常診断方法において、前記重み関数は、前記入力信号の変化速度および前記出力信号の変化速度が小さい場合に重みを大とする関数であることを特徴とするポジショナの異常診断方法。請求項1又は2に記載されたポジショナの異常診断方法において、前記重み関数は、前記入力信号の変化速度および前記出力信号の変化速度の絶対値が閾値以下の範囲の重みを大とする関数であることを特徴とするポジショナの異常診断方法。請求項1~4の何れか1項に記載されたポジショナの異常診断方法において、前記対象モジュールは、電空変換器であり、前記入力信号は、デューティ信号であり、前記出力信号は、ノズル背圧であることを特徴とするポジショナの異常診断方法。請求項1~4の何れか1項に記載されたポジショナの異常診断方法において、前記対象モジュールは、パイロットリレーであり、前記入力信号は、ノズル背圧であり、前記出力信号は、操作器圧力であることを特徴とするポジショナの異常診断方法。調節弁の開度を制御するポジショナ内の所定のモジュールを対象モジュールとし、この対象モジュールの異常診断を行うポジショナの異常診断装置において、前記対象モジュールへの入力信号および前記対象モジュールからの出力信号を定期的にサンプリングする手段と、前記サンプリングされた入力信号の変化速度を求める手段と、前記サンプリングされた出力信号の変化速度を求める手段と、予め定められている重み関数に基づいて前記入力信号の変化速度と前記出力信号の変化速度との組み合わせに応じた重みを求める手段と、前記サンプリングされた入力信号と出力信号と前記求められた重みとに基づいて前記対象モジュールの異常診断を行う手段とを備えることを特徴とするポジショナの異常診断装置。請求項7に記載されたポジショナの異常診断装置において、前記異常診断を行う手段は、前記サンプリングされた入力信号と出力信号と前記求められた重みと前記対象モジュールの正常時の静的な入出力関係とから前記対象モジュールの異常診断に際して使用する異常診断指標値を求めることを特徴とするポジショナの異常診断装置請求項7又は8に記載されたポジショナの異常診断装置において、前記重み関数は、前記入力信号の変化速度および前記出力信号の変化速度が小さい場合に重みを大とする関数であることを特徴とするポジショナの異常診断装置。請求項7又は8に記載されたポジショナの異常診断装置において、前記重み関数は、前記入力信号の変化速度および前記出力信号の変化速度の絶対値が閾値以下の範囲の重みを大とする関数であることを特徴とするポジショナの異常診断装置。請求項7~10の何れか1項に記載されたポジショナの異常診断装置において、前記対象モジュールは、電空変換器であり、前記入力信号は、デューティ信号であり、前記出力信号は、ノズル背圧であることを特徴とするポジショナの異常診断装置。請求項7~10の何れか1項に記載されたポジショナの異常診断装置において、前記対象モジュールは、パイロットリレーであり、前記入力信号は、ノズル背圧であり、前記出力信号は、操作器圧力であることを特徴とするポジショナの異常診断装置。しかしながら、上述したようなポジショナの異常診断方法では、プロセス運転中、そのプロセス運転中のデータを利用してポジショナ内のEPMやパイロットリレーなどのモジュールの異常診断を行おうとした場合、そのモジュールの異常をうまく診断することができない場合がある。例えば、図43に示したEPMの異常の場合を考える。この場合、プロセス運転中、EPMを速く動かすと、遅れのせいで、その入出力関係が正常時の静的な入出力関係を示す特性静的モデルIから大きく外れてしまう図45参照。このため、EPMの異常と誤診断してしまうことがある。また、図44に示したパイロットリレーの異常の場合を考える。この場合、プロセス運転中、パイロットリレーを速く動かすと、遅れのせいで、その入出力関係が正常時の静的な入出力関係を示す特性静的モデルIIから大きく外れてしまう図46参照。このため、パイロットリレーの異常と誤診断してしまうことがある。なお、EPMやパイロットリレーの遅れを含んだ動的なモデルを作成し、この作成した動的なモデルに基づいて異常診断を行うことが考えられる。しかし、この方法では、運動方程式を作成するなど例えば、特許文献3参照、精度の高い動的なモデルの作成に過大な労力を要し、運用時の計算量も多くなって、簡易に異常診断を行うことができない。本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、プロセス運転中、簡易にかつ正確に、ポジショナ内のEPMやパイロットリレーなどのモジュールの異常診断を行うことが可能なポジショナの異常診断方法および装置を提供することにある。このような目的を達成するために本発明は、調節弁の開度を制御するポジショナ内の所定のモジュールを対象モジュールとし、この対象モジュールの異常診断を行うポジショナの異常診断方法において、対象モジュールへの入力信号および対象モジュールからの出力信号を定期的にサンプリングするステップと、サンプリングされた入力信号の変化速度を求めるステップと、サンプリングされた出力信号の変化速度を求めるステップと、予め定められている重み関数に基づいて入力信号の変化速度と出力信号の変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるステップと、サンプリングされた入力信号と出力信号と求められた重みとに基づいて対象モジュールの異常診断を行うステップとを備えることを特徴とする。例えば、本発明において、対象モジュールを電空変換器EPMとした場合、電空変換器への入力信号としてデューティ信号EPM駆動信号が定期的にサンプリングされ、電空変換器からの出力信号としてノズル背圧が定期的にサンプリングされ、サンプリングされたEPM駆動信号の変化速度と、サンプリングされたノズル背圧の変化速度とが求められる。そして、予め定められている重み関数に基づいて、EPM駆動信号の変化速度とノズル背圧の変化速度との組み合わせに応じた重みが求められ、サンプリングされたEPM駆動信号とノズル背圧と求められた重みとに基づいて電空変換器の異常診断が行われる。例えば、本発明において、EPM駆動信号の変化速度とノズル背圧の変化速度のどちらも小さい場合にのみ重みを1とし、他は重みを0とすると、変化速度の小さいEPM駆動信号とノズル背圧とを用いて電空変換器の異常診断が行われるものとなる。このようにすると、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性から大きく外れるデータを除去して、電空変換器の異常診断を行うようにすることが可能となる。本発明において、対象モジュールをパイロットリレーとした場合には、パイロットリレーへの入力信号としてノズル背圧が定期的にサンプリングされ、パイロットリレーからの出力信号として操作器圧力が定期的にサンプリングされる。この場合にも、上述した電空変換器の場合と同様にして、例えば、ノズル背圧の変化速度と操作器圧力の変化速度のどちらも小さい場合にのみ重みを1とし、他は重みを0とすると、変化速度の小さいノズル背圧と操作器圧力とを用いてパイロットリレーの異常診断が行われるものとなり、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性から大きく外れるデータを除去して、パイロットリレーの異常診断を行うようにすることが可能となる。本発明では、予め定められている重み関数に基づいて入力信号の変化速度と出力信号の変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるが、この重みは入力信号の変化速度に応じた重み成分と出力信号の変化速度に応じた重み成分とに分けた重み関数としてもよいし、入力信号の変化速度に応じた重み成分と出力信号の変化速度に応じた重み成分とを合成した重み関数としてもよい。また、その重みは必ずしも0,1の2値でなくてもよく、変化速度が小さくなるほど大きくなるような重みであっても構わない。このようにすると、変化速度が小さいゆっくり動いているときの入出力信号を優先的に利用して、EPMやパイロットリレーなどのモジュールの異常診断が行われるものとなる。本発明によれば、対象モジュールへの入力信号および対象モジュールからの出力信号を定期的にサンプリングし、サンプリングされた入力信号の変化速度と、サンプリングされた出力信号の変化速度とを求め、予め定められている重み関数に基づいて入力信号の変化速度と出力信号の変化速度との組み合わせに応じた重みを求め、サンプリングされた入力信号と出力信号と求められた重みとに基づいて対象モジュールの異常診断を行うようにしたので、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性から大きく外れる入出力信号を除去するようにして、簡易にかつ正確に、ポジショナ内のEPMやパイロットリレーなどのモジュールの異常診断を行うことが可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。ここでは、先ず、実施の形態1として、対象モジュールをポジショナ内のEPMとし、このEPMの異常診断を行う例を説明し、次に、実施の形態2として、対象モジュールをポジショナ内のパイロットリレーとし、このパイロットリレーの異常診断を行う例を説明する。そして、最後に、調節弁の異常診断を行う例を参考例として説明する。実施の形態1:EMP対象モジュール図1にEPM2の異常診断を行う異常診断装置300の要部の構成を示す。この異常診断装置300は、CPU4と、ROMやRAMなどの記憶部5と、インタフェース6および7とを備えている。なお、この異常診断装置300は、ポジショナ100内に設けてもよいし、ポジショナ100の外部に設けるようにしてもよい。図1はポジショナ100の外部に設けた例を示している。CPU4には、インタフェース6を介してEPM2への入力信号であるEPM駆動信号Dutyが分岐して入力され、インタフェース7を介してEPM2からの出力信号であるノズル背圧Pnが分岐して入力される。また、CPU4は、記憶部5に格納されているプログラムPGに従って動作する。記憶部5には、上述したプログラムPGの他、EPM2の正常時の静的な入出力関係EPM駆動信号Dutyとノズル背圧Pnとの関係を示す線形近似式F1、EPM駆動信号Dutyの変化速度とノズル背圧Pnの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G11,G12などが格納されている。線形近似式F1この実施の形態1において、EPM2の正常時の静的な入出力関係を示す線形近似式F1は、EPM2の設計仕様により求められている。この例では、線形近似式F1がPn=a1×Dutyb1として定められa1,b1は定数、記憶部5に格納されている。なお、EPM2の設計仕様がない場合等には、詰まりのない状態で、例えば開度設定信号Iinを25、50、75の状態で一定時間静止させて、EPM駆動信号Dutyとノズル背圧Pnの平均値をとり図2参照、3点から最小二乗法で求めるなどすればよい。この場合、静止させるのは3点でなくともよい。また、線形近似ではなく、非線形近似多項式近似やサポートベクターマシンなどの非線形回帰式であってもよい。重み関数G11,G12この実施の形態1において、EPM駆動信号Dutyの変化速度とノズル背圧Pnの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G11,G12は、EPM駆動信号Dutyの変化速度から第1の重み成分wDutyを得るための重み関数としてG11が、ノズル背圧Pnの変化速度から第2の重み成分wPnを得るための重み関数としてG12が定められている。この重み関数G11,G12より得られる重み成分wDuty,wPnから、後述するように、w1=wDuty×wPnとして、EPM駆動信号Dutyの変化速度とノズル背圧Pnの変化速度との組み合わせに応じた重みw1を求める。図3aに重み関数G11の一例を示す。この実施の形態1では、図3aに示されるように、EPM駆動信号Dutyの変化速度をvDuty/secとし、この変化速度vDutyの絶対値が閾値Dth以下の範囲のwDutyを1とし、それ以外は0とする。図3bに重み関数G12の一例を示す。この実施の形態1では、図3bに示されるように、ノズル背圧PnkPaの変化速度をvPnkPa/secとし、この変化速度vPnの絶対値が閾値Pnth以下の範囲のwPnを1とし、それ以外は0とする。ここで、閾値Dth,Pnthは、EPM駆動信号Dutyの変化速度vDutyの許容値をDthとし、EPM駆動信号DutyをDthまで上昇させた時の遅れて生じるノズル背圧Pnの変化速度vPnをPnthとして定めている。なお、EPM駆動信号Dutyの変化速度vDutyの許容値Dthは、遅れによってEPMの異常と誤判断されてしまう虞のない変化速度vDutyの許容値を示している。この許容値Dthは実験を繰り返すことによって求められている。プロセス運転中の異常診断プロセス運転中、CPU4は、定期的に、EPM2へのEPM駆動信号DutyおよびEPM2からのノズル背圧Pnを取り込んで、EPM2の異常診断を行う。図4にCPU4が行う異常診断処理のフローチャートを示す。CPU4は、今回のサンプリング周期k番目のサンプリング周期で、EPM駆動信号Dutykおよびノズル背圧Pnkを取り込むとステップS101,S102、今回のEPM駆動信号Dutykと前回のEPM駆動信号Dutyk-1とからEPM駆動信号Dutykの変化速度をvDutykとして求めるステップS103。また、今回のノズル背圧Pnkと前回のノズル背圧Pnk-1とからノズル背圧Pnkの変化速度をvPnkとして求めるステップS104。この場合、サンプリング周期をTsecとすると、vDutyk/secは下記1式によって計算でき、vPnkkPa/secは下記2式によって計算できる。vDutyk=Dutyk-Dutyk-1/TvPnk=Pnk-Pnk-1/T次に、CPU4は、EPM駆動信号Dutykの変化速度vDutykから、記憶部5に格納されている重み関数G11図3aに従って、その変化速度vDutykに応じた重み成分wDutykを求めるステップS105。この場合、変化速度vDutykの絶対値が閾値Dth以下であれば、wDutyk=1とし、変化速度vDutykの絶対値が閾値Dthを超えていれば、wDutyk=0とする。また、CPU4は、ノズル背圧Pnkの変化速度vPnkから、記憶部5に格納されている重み関数G12図3bに従って、その変化速度vPnkに応じた重み成分wPnkを求めるステップS106。この場合、変化速度vPnkの絶対値がPnth以下であれば、wPnk=1とし、変化速度vPnkの絶対値がPnthを超えていれば、wPnk=0とする。そして、CPU4は、ステップS105で求めた重み成分wDutykとステップS106で求めた重み成分wPnkとから、w1k=wDutyk×wPnkとして、EPM駆動信号Dutykの変化速度vDutykとノズル背圧Pnkの変化速度vPnkとの組み合わせに応じた重みw1kを求めるステップS107。この場合、w1kをw1k=wDutyk×wPnkとして求めることから、下記の条件式を満たす場合にのみ、重みw1kが1となり、それ以外では重みw1kが0となる。If|vDutyk|≦DthAND|vPnk|≦Pnth3すなわち、EPM駆動信号Dutykの変化速度vDutykの絶対値がDth以下で、かつノズル背圧Pnkの変化速度vPnkの絶対値がPnth以下である場合にのみ、重みw1kが1となり、それ以外では重みw1kが0となる。そして、CPU4は、ステップS101で取得したEPM駆動信号DutykとステップS102で取得したノズル背圧PnkとステップS107で求めた重みw1kとを下記4式に代入して、今回のサンプリング周期でのEPM2の異常診断指標値e1kを求めるステップS108。e1k={Dutyk-Pnk-b1/a1}×w1k4上記4式において、Dutyk-Pnk-b1/a1は、記憶部5に格納されている線形近似式F1で示されるEPM2の正常時の静的な入出力関係と、今回取得された入出力関係を示すデータとの間のDuty軸での差異を示している。すなわち、図5において、線形近似式F1で示されるEPM2の正常時の静的な入出力関係を特性I、今回取得された入出力関係を示すデータをDDutyk,Pnkとした場合、特性Iにおけるノズル背圧がPnkである場合のEPM駆動信号Duty=Pnk-b1/a1と今回取得されたEPM駆動信号Dutykとの差異ΔDutykを示している。そして、上記4式において、Dutyk-Pnk-b1/a1にw1kを乗じることによって、すなわちDuty軸での差異ΔDutykにw1kを乗じることによって、EPM駆動信号Dutykの変化速度vDutykの絶対値がDth以下で、かつノズル背圧Pnkの変化速度vPnkの絶対値がPnth以下である場合にのみ、ΔDutykにw1k=1が乗じられる。それ以外の場合には、ΔDutykにw1k=0が乗じられるので、異常診断指標値e1kは0となる。これにより、例えば、図5に示した濃い丸印でプロットされたデータについては、EPM駆動信号Dutyあるいはノズル背圧Pnの変化速度が速いので、異常診断指標値e1kが0となり、異常診断の対象から除外されることになる。CPU4は、このようにして異常診断指標値e1kを求めた後、この求めた異常診断指標値e1kと予め定められている第1の異常診断閾値e1th1と比較するステップS109。ここで、異常診断指標値e1kが第1の異常診断閾値e1th1以下であればステップS109のNO、第2の異常診断閾値-e1th2と比較するステップS110。図6に第1の異常診断閾値e1th1と第2の異常診断閾値-e1th2との関係を示す。第1の異常診断閾値e1th1は正方向への閾値として定められ、第2の異常診断閾値-e1th2は負方向への閾値として定められている。CPU4は、異常診断指標値e1kが第1の異常診断閾値e1th1を上回っていればステップS109のYES、固定絞りに詰まりが発生したと判断しステップS111、その旨の異常報知を行うステップS113。異常診断指標値e1kが第2の異常診断閾値-e1th2を下回っていればステップS110のYES、ノズルフラッパ間に詰まりが発生したと判断しステップS112、その旨の異常報知を行うステップS113。以下同様にして、CPU4は、EPM駆動信号Dutyおよびノズル背圧Pnをサンプリングする毎に、異常診断指標値e1kを求め、異常診断指標値e1kが異常診断閾値e1th1あるいは-e1th2から外れていれば異常報知を行ってステップS101へ戻り、異常診断指標値e1kが異常診断閾値e1th1,-e1th2の範囲内にあれば直ちにステップS101へ戻るという処理動作を繰り返す。このようにして、この実施の形態1では、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性Iから大きく外れるデータを除外するようにして、簡易な静的モデルを用いて、正確に、EPM2の異常診断が行われるものとなる。なお、この実施の形態1では、異常診断指標値e1が1回でも異常診断閾値e1th1や異常診断閾値-e1th2から外れると異常と判断するようにしたが、例えば連続して所定回数外れた場合に異常と判断するようにしたり、異常診断指標値e1が異常診断閾値e1th1や異常診断閾値-e1th2の範囲内に戻ったら異常報知を中断するようにしてもよい。また、必ずしも異常診断閾値e1th1や異常診断閾値-e1th2を用いなくてもよく、異常診断指標値e1の変化スピードなどからEPM2の異常を判断するようにしてもよい。また、この実施の形態1では、EPM駆動信号Dutyの変化速度とノズル背圧Pnの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G11,G12として、図3a,bに示すような矩形状の重み関数を用いたが、図7a,bに示すような三角形状の重み関数を用いるようにしてもよい。図7aに示した重み関数G11’では、vDutyが0の場合のwDutyを1とし、vDutyの絶対値が閾値Dth以下の範囲のwDutyをvDuty=0に向かって徐々に大きくし、それ以外のwDutyを0としている。図7bに示した重み関数G12’では、vPnが0の場合のwPnを1とし、vPnの絶対値が閾値Pnth以下の範囲のwPnをvPn=0に向かって徐々に大きくし、それ以外のwPnを0としている。また、例えば、図7aに示した重み関数G11’において、vDutyの正方向および負方向のさらに離れた位置から徐々にvDuty=0に向かってwDutyを大きくしたり、図7bに示した重み関数G12’において、vPnの正方向および負方向のさらに離れた位置から徐々にvPn=0に向かってwPnを大きくしたりするようにしてもよい。このような重み関数G11’,G12’を用いることにより、変化速度が小さいゆっくり動いているときのEPM駆動信号Dutyおよびノズル背圧Pnを優先的に利用して、EPM2の異常診断が行われるものとなる。また、EPM駆動信号Dutyの変化速度とノズル背圧Pnの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数は、必ずしも重み関数G11とG12とに分けなくてもよく、G11とG12とを合成した1つの重み関数3次元の関数としてもよい。三角形状の重み関数G11’とG12’についても同様であり、G11’とG12’とを合成した1つの重み関数3次元の関数としてもよい。また、この実施の形態1では、EPM駆動信号Dutyおよびノズル背圧Pnをサンプリングする毎に異常診断指標値e1を求め、その求めた異常診断指標値e1に基づいて毎回異常の判断を行うようにしたが、所定期間内の異常診断指標値e1を集め、その集めた異常診断指標値e1から総合的に異常の判断を行うようにしてもよい。この実施の形態1の異常診断装置300において、EPM2の異常診断はプログラムPGに従うCPU4の処理動作として行われるが、このCPU4での処理動作を行う機能をブロック化して表した場合、CPU4は、EPM2へのEPM駆動信号Dutyを定期的にサンプリングするEPM駆動信号サンプリング部411と、EPM2からのノズル背圧Pnを定期的にサンプリングするノズル背圧サンプリング部421と、EPM駆動信号サンプリング部411によってサンプリングされた今回のEPM駆動信号Dutykと前回のEPM駆動信号Dutyk-1とからEPM駆動信号Dutykの変化速度vDutykを求めるEPM駆動信号変化速度算出部431と、ノズル背圧サンプリング部421によってサンプリングされた今回のノズル背圧Pnkと前回のノズル背圧Pnk-1とからノズル背圧Pnkの変化速度vPnkを求めるノズル背圧変化速度算出部441と、記憶部5に格納されている重み関数G11,G12に基づいてEPM駆動信号Dutykの変化速度vDutykとノズル背圧Pnkの変化速度vPnkとの組み合わせに応じた重みw1kを求める重み算出部451と、EPM駆動信号サンプリング部411によってサンプリングされたEPM駆動信号Dutykとノズル背圧サンプリング部421によってサンプリングされたノズル背圧Pnkと重み算出部451で求められた重みw1kと記憶部5に格納されている線形近似式F1とからEPM2の異常診断指標e1kを求める異常診断指標値算出部461とで表される。なお、この実施の形態1では、今回のEPM駆動信号Dutykと前回のEPM駆動信号Dutyk-1とからEPM駆動信号Dutykの変化速度vDutykを求めるようにし、今回のノズル背圧Pnkと前回のノズル背圧Pnk-1とからノズル背圧Pnkの変化速度vPnkを求めるようにしたが、過去の一定時間の信号を用いて最小二乗法で線形近似計算を行い、近似式の傾きを変化速度とすることも可能である。実施の形態2:パイロットリレー対象モジュール図8にパイロットリレー3の異常診断を行う異常診断装置400の要部の構成を示す。この異常診断装置400も、実施の形態1と同様、CPU4と、ROMやRAMなどの記憶部5と、インタフェース6および7とを備えている。なお、この異常診断装置400についても、ポジショナ100内に設けてもよいし、ポジショナ100の外部に設けるようにしてもよい。図8はポジショナ100の外部に設けた例を示している。CPU4には、インタフェース6を介してパイロットリレー3への入力信号であるノズル背圧Pnが分岐して入力され、インタフェース7を介してパイロットリレー3からの出力信号である操作器圧Poが分岐して入力される。また、CPU4は、記憶部5に格納されているプログラムPGに従って動作する。記憶部5には、上述したプログラムPGの他、パイロットリレー3の正常時の静的な入出力関係ノズル背圧Pnと操作器圧Poとの関係を示す線形近似式F2、ノズル背圧Pnの変化速度と操作器圧Poの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G21,G22などが格納されている。線形近似式F2この実施の形態2において、パイロットリレー3の正常時の静的な入出力関係を示す線形近似式F2は、パイロットリレー3の設計仕様により求められている。この例では、線形近似式F2がPo=a2×Pnb2として定められa2,b2は定数、記憶部5に格納されている。なお、パイロットリレー3の設計仕様がない場合等には、漏れのない状態で、例えば開度設定信号Iinを25、50、75の状態で一定時間静止させて、ノズル背圧Pnと操作器圧Poの平均値をとり図9参照、3点から最小二乗法で求めるなどすればよい。この場合、静止させるのは3点でなくともよい。また、線形近似ではなく、非線形近似多項式近似やサポートベクターマシンなどの非線形回帰式であってもよい。重み関数G21,G22この実施の形態2において、ノズル背圧Pnの変化速度と操作器圧Poの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G21,G22は、ノズル背圧Pnの変化速度から第1の重み成分wPnを得るための重み関数としてG21が、操作器圧Poの変化速度から第2の重み成分wPoを得るための重み関数としてG22が定められている。この重み関数G21,G22より得られる重み成分wPn,wPoから、後述するように、w2=wPn×wPoとして、ノズル背圧Pnの変化速度と操作器圧Poの変化速度との組み合わせに応じた重みw2を求める。図10aに重み関数G21の一例を示す。この実施の形態2では、図10aに示されるように、ノズル背圧PnkPaの変化速度をvPnkPa/secとし、この変化速度vPnの絶対値が閾値Pnth以下の範囲のwPnを1とし、それ以外は0とする。図10bに重み関数G22の一例を示す。この実施の形態2では、図10bに示されるように、操作器圧PokPaの変化速度をvPokPa/secとし、この変化速度vPoの絶対値が閾値Poth以下の範囲のwPoを1とし、それ以外は0とする。ここで、閾値Pnth,Pothは、ノズル背圧Pnの変化速度vPnの許容値をPnthとし、ノズル背圧PnをPnthまで上昇させた時の遅れて生じる操作器圧Poの変化速度vPoをPothとして定めている。なお、ノズル背圧Pnの変化速度vPnの許容値Pnthは、遅れによってパイロットリレーの異常と誤判断されてしまう虞のない変化速度vPnの許容値を示している。この許容値Pnthは実験を繰り返すことによって求められている。プロセス運転中の異常診断プロセス運転中、CPU4は、定期的に、パイロットリレー3へのノズル背圧Pnおよびパイロットリレー3からの操作器圧Poを取り込んで、パイロットリレー3の異常診断を行う。図11にCPU4が行う異常診断処理のフローチャートを示す。CPU4は、今回のサンプリング周期k番目のサンプリング周期で、ノズル背圧Pnkおよび操作器圧Pokを取り込むとステップS201,S202、今回のノズル背圧Pnkと前回のノズル背圧Pnk-1とからノズル背圧Pnkの変化速度をvPnkとして求めるステップS203。また、今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度をvPokとして求めるステップS204。この場合、サンプリング周期をTsecとすると、vPnkkPa/secは下記5式によって計算でき、vPokkPa/secは下記6式によって計算できる。vPnk=Pnk-Pnk-1/TvPok=Pok-Pok-1/T次に、CPU4は、ノズル背圧Pnkの変化速度vPnkから、記憶部5に格納されている重み関数G21図10aに従って、その変化速度vPnkに応じた重み成分wPnkを求めるステップS205。この場合、変化速度vPnkの絶対値が閾値Pnth以下であれば、wPnk=1とし、変化速度vPnkの絶対値が閾値Pnthを超えていれば、wPnk=0とする。また、CPU4は、操作器圧Pokの変化速度vPokから、記憶部5に格納されている重み関数G22図10bに従って、その変化速度vPokに応じた重み成分wPokを求めるステップS206。この場合、変化速度vPokの絶対値がPoth以下であれば、wPok=1とし、変化速度vPokの絶対値がPothを超えていれば、wPok=0とする。そして、CPU4は、ステップS205で求めた重み成分wPnkとステップS206で求めた重み成分wPokとから、w2k=wPnk×wPokとして、ノズル背圧Pnkの変化速度vPnkと操作器圧Pokの変化速度vPokとの組み合わせに応じた重みw2kを求めるステップS207。この場合、w2kをw2k=wPnk×wPokとして求めることから、下記の条件式を満たす場合にのみ、重みw2kが1となり、それ以外では重みw2kが0となる。If|vPnk|≦PnthAND|vPok|≦Poth7すなわち、ノズル背圧Pnkの変化速度vPnkの絶対値がPnth以下で、かつ操作器圧Pokの変化速度vPokの絶対値がPoth以下である場合にのみ、重みw2kが1となり、それ以外では重みw2kが0となる。そして、CPU4は、ステップS201で取得したノズル背圧PnkとステップS202で取得した操作器圧PokとステップS207で求めた重みw2kとを下記8式に代入して、今回のサンプリング周期でのパイロットリレー3の異常診断指標値e2kを求めるステップS208。e2k={Pnk-Pok-b2/a2}×w2k8上記8式において、Pnk-Pok-b2/a2は、記憶部5に格納されている線形近似式F2で示されるパイロットリレー3の正常時の静的な入出力関係と、今回取得された入出力関係を示すデータとの間のPn軸での差異を示している。すなわち、図12において、線形近似式F2で示されるパイロットリレー3の正常時の静的な入出力関係を特性II、今回取得された入出力関係を示すデータをDPnk,Pokとした場合、特性IIにおけるノズル背圧がPokである場合のノズル背圧Pn=Pok-b2/a2と今回取得されたノズル背圧Pnkとの差異ΔPnkを示している。そして、上記8式において、Pnk-Pok-b2/a2にw2kを乗じることによって、すなわちPn軸での差異ΔPnkにw2kを乗じることによって、ノズル背圧Pnkの変化速度vPnkの絶対値がPnth以下で、かつ操作器圧Pokの変化速度vPokの絶対値がPoth以下である場合にのみ、ΔPnkにw2k=1が乗じられる。それ以外の場合には、ΔPnkにw2k=0が乗じられるので、異常診断指標値e2kは0となる。これにより、例えば、図12に示した濃い丸印でプロットされたデータについては、ノズル背圧Pnあるいは操作器圧Poの変化速度が速いので、異常診断指標値e2kが0となり、異常診断の対象から除外されることになる。CPU4は、このようにして異常診断指標値e2kを求めた後、この求めた異常診断指標値e2kと予め定められている第1の異常診断閾値e2th1と比較するステップS209。ここで、異常診断指標値e2kが第1の異常診断閾値e2th1以下であればステップS209のNO、第2の異常診断閾値-e2th2と比較するステップS210。図13に第1の異常診断閾値e2th1と第2の異常診断閾値-e2th2との関係を示す。第1の異常診断閾値e2th1は正方向への閾値として定められ、第2の異常診断閾値-e2th2は負方向への閾値として定められている。CPU4は、異常診断指標値e2kが第1の異常診断閾値e2th1を上回っていればステップS209のYES、出力エア漏れが発生したと判断しステップS211、その旨の異常報知を行うステップS213。異常診断指標値e2kが第2の異常診断閾値-e2th2を下回っていればステップS210のYES、出力エア排気異常出力エアが抜けないが発生したと判断しステップS212、その旨の異常報知を行うステップS213。以下同様にして、CPU4は、ノズル背圧Pnおよび操作器圧Poをサンプリングする毎に、異常診断指標値e2kを求め、異常診断指標値e2kが異常診断閾値e2th1あるいは-e2th2から外れていれば異常報知を行ってステップS201へ戻り、異常診断指標値e2kが異常診断閾値e2th1,-e2th2の範囲内にあれば直ちにステップS201へ戻るという処理動作を繰り返す。このようにして、この実施の形態2では、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性IIから大きく外れるデータを除外するようにして、簡易な静的モデルを用いて、正確に、パイロットリレー3の異常診断が行われるものとなる。なお、この実施の形態2では、異常診断指標値e2が1回でも異常診断閾値e2th1や異常診断閾値-e2th2から外れると異常と判断するようにしたが、例えば連続して所定回数外れた場合に異常と判断するようにしたり、異常診断指標値e2が異常診断閾値e2th1や異常診断閾値-e2th2の範囲内に戻ったら異常報知を中断するようにしてもよい。また、必ずしも異常診断閾値e2th1や異常診断閾値-e2th2を用いなくてもよく、異常診断指標値e2の変化スピードなどからパイロットリレー3の異常を判断するようにしてもよい。また、この実施の形態2では、ノズル背圧Pnの変化速度と操作器圧Poの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G21,G22として、図10a,bに示すような矩形状の重み関数を用いたが、図14a,bに示すような三角形状の重み関数を用いるようにしてもよい。図14aに示した重み関数G21’では、vPnが0の場合のwPnを1とし、vPnの絶対値が閾値Pnth以下の範囲のwPnをvPn=0に向かって徐々に大きくし、それ以外のwPnを0としている。図14bに示した重み関数G22’では、vPoが0の場合のwPoを1とし、vPoの絶対値が閾値Poth以下の範囲のwPoをvPo=0に向かって徐々に大きくし、それ以外のwPoを0としている。また、例えば、図14aに示した重み関数G21’において、vPnの正方向および負方向のさらに離れた位置から徐々にvPn=0に向かってwPnを大きくしたり、図14bに示した重み関数G22’において、vPoの正方向および負方向のさらに離れた位置から徐々にvPo=0に向かってwPoを大きくしたりするようにしてもよい。このような重み関数G21’,G22’を用いることにより、変化速度が小さいゆっくり動いているときのノズル背圧Pnおよび操作器圧Poを優先的に利用して、パイロットリレー3の異常診断が行われるものとなる。また、ノズル背圧Pnの変化速度と操作器圧Poの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数は、必ずしも重み関数G21とG22とに分けなくてもよく、G21とG22とを合成した1つの重み関数3次元の関数としてもよい。三角形状の重み関数G21’とG22’についても同様であり、G21’とG22’とを合成した1つの重み関数3次元の関数としてもよい。また、この実施の形態2では、ノズル背圧Pnおよび操作器圧Poをサンプリングする毎に異常診断指標値e2を求め、その求めた異常診断指標値e2に基づいて毎回異常の判断を行うようにしたが、所定期間内の異常診断指標値e2を集め、その集めた異常診断指標値e2から総合的に異常の判断を行うようにしてもよい。この実施の形態2の異常診断装置400において、パイロットリレー3の異常診断はプログラムPGに従うCPU4の処理動作として行われるが、このCPU4での処理動作を行う機能をブロック化して表した場合、CPU4は、パイロットリレー3へのノズル背圧Pnを定期的にサンプリングするノズル背圧サンプリング部412と、パイロットリレー3からの操作器圧Poを定期的にサンプリングする操作器圧サンプリング部422と、ノズル背圧サンプリング部412によってサンプリングされた今回のノズル背圧Pnkと前回のノズル背圧Pnk-1とからノズル背圧Pnkの変化速度vPnkを求めるノズル背圧変化速度算出部432と、操作器圧サンプリング部422によってサンプリングされた今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度vPokを求める操作器圧変化速度算出部442と、記憶部5に格納されている重み関数G21,G22に基づいてノズル背圧Pnkの変化速度vPnkと操作器圧Pokの変化速度vPokとの組み合わせに応じた重みw2kを求める重み算出部452と、ノズル背圧サンプリング部412によってサンプリングされたノズル背圧Pnkと操作器圧サンプリング部422によってサンプリングされた操作器圧Pokと重み算出部452で求められた重みw2kと記憶部5に格納されている線形近似式F2とからパイロットリレー3の異常診断指標e2kを求める異常診断指標値算出部462とで表される。なお、この実施の形態2では、今回のノズル背圧Pnkと前回のノズル背圧Pnk-1とからノズル背圧Pnkの変化速度vPnkを求め、今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度vPokを求めるようにしたが、過去の一定時間の信号を用いて最小二乗法で線形近似計算を行い、近似式の傾きを変化速度とすることも可能である。参考例次に、参考例1として、調節弁の入出力信号操作器圧力Po,開度Xから流体反力を異常診断指標値として求めて異常診断を行う例を説明し、参考例2として、調節弁の入出力信号操作器圧力Po,開度Xからヒステリシスの幅を異常診断指標値として求めて異常診断を行う例を説明する。調節弁の異常診断調節弁200では、操作器圧力Poと開度Xとの関係から、弁軸にかかる流体反力プロセス流体による力を検知することができる。図15に流体反力発生時の調節弁200の入出力関係の変化を示す。同図において、IIIは正常時の静的な入出力関係を示す特性無負荷時の特性であり、流体反力発生によってその入出力関係が特性III’で示すように変化する。無負荷時は、操作器圧Poと開度Xの関係は、スプリング力、空気圧による力のバランスを表している。流体反力が発生することでそのバランスに差異が生じる。したがって、流体反力の発生していない状態無負荷時と比較することで、操作器圧Poの差異を検知することができる。この差異をモニタリングすることにより、使用範囲外の流体圧力の検知が可能となる。また、操作器圧Poと開度Xとの関係から、弁軸にかかる摩擦力の異常を検知することができる例えば、特許文献4、特許文献5参照。図16aに正常時の操作器圧Poと開度Xとの入出力関係のヒステリシス特性を示す。操作器圧Poを上昇方向へ変化させた場合と下降方向へ変化させた場合とで入出力関係が異なり、上昇方向の特性と下降方向の特性との間にヒステリシスの幅Wが生じる。このヒステリシスの幅Wが、図16bに示すように、摩擦力によって変化する。したがって、このヒステリシスの幅Wを正常時と比較することによって、異常と判断できる。なお、ヒステリシスの幅Wの1/2に操作器ダイアフラム面積を乗じれば静摩擦力となり、この静摩擦力を異常判断の指標値としてもよい。しかしながら、プロセス運転中、そのプロセス運転中のデータを利用して調節弁の異常診断を行おうとした場合、調節弁の異常をうまく診断することができない場合がある。例えば、図15に示した調節弁の異常流体反力大の場合を考える。この場合、プロセス運転中、調節弁を速く動かすと、遅れのせいで、その入出力関係が正常時の静的な入出力関係を示す特性III静的モデルから大きく外れてしまう図17参照。このため、調節弁の異常と誤診断してしまうことがある。また、図16の調節弁の異常摩擦力大を考える。この場合、特許文献4や特許文献5で示された技術では、開度Xと操作器圧Poのどちらか、あるいは両方が速く動いているときのデータも利用する。そのようなデータが増えると、実際には摩擦力は変化していなくても、算出されるヒステリシスの幅Wが大きくなってしまう図18参照。このため、調節弁の異常と誤診断してしまうことがある。なお、調節弁の遅れを含んだ動的なモデルを作成し、この作成した動的なモデルに基づいて異常診断を行うことが考えられる。しかし、この方法では、運動方程式を作成するなど例えば、特許文献3参照、精度の高い動的なモデルの作成に過大な労力を要し、運用時の計算量も多くなって、簡易に異常診断を行うことができない。以下に説明する参考例1,2では、上述した調節弁での異常診断に際しての問題を解決している。参考例1図19に流体反力を異常診断指標値として調節弁200の異常診断を行う異常診断装置500の要部の構成を示す。この異常診断装置500は、CPU4と、ROMやRAMなどの記憶部5と、インタフェース6および7とを備えている。CPU4には、インタフェース6を介して調節弁200への入力信号である操作器圧Poが分岐して入力され、インタフェース7を介して調節弁200からの出力である開度Xが分岐して入力される。また、CPU4は、記憶部5に格納されているプログラムPGに従って動作する。記憶部5には、上述したプログラムPGの他、調節弁200の正常時の静的な入出力関係操作器圧Poと開度Xとの関係無負荷時を示す線形近似式F3、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G31,G32が格納されている。線形近似式F3この参考例1において、調節弁200の正常時の静的な入出力関係を示す線形近似式F3は、調節弁200の設計仕様により求められている。この例では、スプリングレンジ80~240kPaで開度0~100とした場合の線形近似式F3をX=a3×Pob3として定めa3=0.625,b3=-50、記憶部5に格納している。なお、調節弁200の設計仕様がない場合等には、メンテナンス直後等の正常状態において、例えば開度設定信号Iinを25、50、75の状態で一定時間静止させて、操作器圧Poと開度Xの平均値をとり図20参照、3点から最小二乗法で求めるなどすればよい。この場合、静止させるのは3点でなくともよい。また、線形近似ではなく、非線形近似多項式近似やサポートベクターマシンなどの非線形回帰式であってもよい。重み関数G31,G32この参考例1において、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G31,G32は、操作器圧Poの変化速度から第1の重み成分wPoを得るための重み関数としてG31が、開度Xの変化速度から第2の重み成分wXを得るための重み関数としてG32が定められている。この重み関数G31,G32より得られる重み成分wPo,wXから、後述するように、w3=wPo×wXとして、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みw3を求める。図21aに重み関数G31の一例を示す。この参考例1では、図21aに示されるように、操作器圧PokPaの変化速度をvPokPa/secとし、この変化速度vPoの絶対値が閾値Poth以下の範囲のwPoを1とし、それ以外は0とする。図21bに重み関数G32の一例を示す。この参考例1では、図21bに示されるように、開度Xの変化速度をvX/secとし、この変化速度vXの絶対値が閾値Xth以下の範囲のwXを1とし、それ以外は0とする。ここで、閾値Poth,Xthは、操作器圧Poの変化速度vPoの許容値をPothとし、操作器圧PoをPothまで上昇させた時の遅れて生じる開度Xの変化速度vXをXthとして定めている。なお、操作器圧Poの変化速度vPoの許容値Pothは、遅れによって調節弁の異常と誤判断されてしまう虞のない変化速度vPoの許容値を示している。この許容値Pothは実験を繰り返すことによって求められている。プロセス運転中の異常診断プロセス運転中、CPU4は、調節弁200への操作器圧Poおよび調節弁200からの開度Xを定期的に取り込んで、調節弁200の異常診断を行う。図22にCPU4が行う異常診断処理のメインのフローチャートを示す。CPU4は、操作器圧Pokおよび開度Xkを取り込むと、その取り込んだ操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度とを求め、その求めた操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みw3kを求めるステップS301。図23にステップS301で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、今回のサンプリング周期k番目のサンプリング周期で、操作器圧Pokおよび開度Xkを取り込むとステップS401,S402、今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度をvPokとして求めるステップS403。また、今回の開度Xkと前回の開度Xk-1とから開度Xkの変化速度をvXkとして求めるステップS404。この場合、サンプリング周期をTsecとすると、vPokkPa/secは下記9式によって計算でき、vXk/secは下記10式によって計算できる。vPok=Pok-Pok-1/TvXk=Xk-Xk-1/T次に、CPU4は、操作器圧Pokの変化速度vPokから、記憶部5に格納されている重み関数G31図21aに従って、その変化速度vPokに応じた重み成分wPokを求めるステップS405。この場合、変化速度vPokの絶対値が閾値Poth以下であれば、wPok=1とし、変化速度vPokの絶対値が閾値Pothを超えていれば、wPok=0とする。また、開度Xkの変化速度vXkから、記憶部5に格納されている重み関数G32図21bに従って、その変化速度vXkに応じた重み成分wXkを求めるステップS406。この場合、変化速度vXkの絶対値が閾値Xth以下であれば、wXk=1とし、変化速度vXkの絶対値が閾値Xthを超えていれば、wXk=0とする。そして、CPU4は、ステップS405で求めた重み成分wPokとステップS406で求めた重み成分wXkとから、w3k=wPok×wXkとして、操作器圧Pokの変化速度vPokと開度Xkの変化速度vXkとの組み合わせに応じた重みw3kを求めるステップS407。この場合、w3kをw3k=wPok×wXkとして求めることから、下記の条件式を満たす場合にのみ、重みw3kが1となり、それ以外では重みw3kが0となる。If|vPok|≦PothAND|vXk|≦Xth11すなわち、操作器圧Pokの変化速度vPokの絶対値がPoth以下で、かつ開度Xkの変化速度vXkの絶対値がXth以下である場合にのみ、重みw3kが1となり、それ以外では重みw3kが0となる。w3k=0の場合次に、CPU4は、重みw3kが1であるか否かをチェックしステップS302図22、重みw3kが1でなければステップS302のNO、kをインクリメントしてステップS305、予め定められている算出単位期間異常診断判断期間にまだ到達していないことを確認のうえステップS306のNO、ステップS301に戻る。なお、この例では、ステップS306での異常診断判断期間を1日としている。w3k=1の場合重みw3kが1であればステップS302のYES、CPU4は、開度Xkが属するカテゴリiを定めるステップS303。図24にステップS303で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、先ず、開度XkがXk≧100であるか否かをチェックするステップS501。ここで、開度Xkが100以上であればステップS501のYES、カテゴリiをi=20とするステップS502。開度Xkが100以上でなければステップS501のNO、カテゴリiをi=Xk/51とするステップS503。但し、i=Xk/51の算出値において、小数点以下は切り捨てる。これにより、開度Xkが0~100の値を取ると仮定すると、0~100が5の開度幅で20のカテゴリに分けられる。次に、CPU4は、開度Xkが属するカテゴリiにおいて、操作器圧Poの最大値と最小値を更新するステップS304図22。図25にステップS304で行われる処理のサブルーチンを示す。なお、このサブルーチンにおいて、Maxpiはカテゴリi内の操作器圧Poの最大値、Minpiはカテゴリi内の操作器圧Poの最小値を示す。MaxpiおよびMinpiの初期値については後述する。CPU4は、先ず、操作器圧PokがPok>Maxpiか否かをチェックするステップS601。ここで、PokがMaxpiよりも大きければステップS601のYES、Pokを新たなMaxpiとするステップS603。PokがMaxpi以下であればステップS601のNO、Pok<Minpiか否かをチェックするステップS602。ここで、PokがMinpiよりも小さければステップS602のYES、Pokを新たなMinpiとするステップS604。PokがMaxpi以下でかつMinpi以上であればステップS602のNO、MaxpiおよびMinpiの更新は行わない。そして、CPU4は、このMaxpiおよびMinpiの更新処理後、kをインクリメントしてステップS305図22、異常診断判断期間にまだ到達していないことを確認のうえステップS306のNO、ステップS301に戻る。このステップS301~S306の繰り返しによって、重みw3kが0の時の操作器圧Pokおよび開度Xkが除外され、重みw3kが1の時の操作器圧Pokおよび開度Xkのみが抽出され図28参照、この抽出されたデータを有効なデータ抽出対象データとして、カテゴリi毎に、そのカテゴリi内の操作器圧Poの最大値Maxpiおよび最小値Minpiが求められるものとなる。異常診断判断期間に達した場合CPU4は、異常診断判断期間に達するとステップS306のYES、すなわちステップS305でのkのインクリメント値が異常診断判断期間に到達したことを示すと、カテゴリi毎に流体反力を異常診断指標値として求めるステップS307。図26にステップS307で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、先ず、i=1とするステップS701。そして、Fqiをi=1番目のカテゴリの流体反力とし、そのカテゴリiにおける操作器圧Poの最大値Maxpiおよび最小値Minpiを下記の12式に代入して、i=1番目のカテゴリの流体反力Fqiを算出するステップS702。但し、Xi=2.5i-1×5。Fqi=Xi-b3/a3-MaxpiMinpi/212上記12式は、記憶部5に格納されている線形近似式F3で示される調節弁200の正常時の静的な入出力関係と、カテゴリiにおける収集された入出力関係を示すデータ代表値との間のPo軸での差異を示している。すなわち、カテゴリiにおける操作器圧Poの最大値Maxpiと最小値Minpiとの間の中央値MaxpiMinpi/2をカテゴリi内の操作器圧Poの代表値とし、カテゴリiの開度範囲の中央値Xiをカテゴリi内の開度Xの代表値とし、この代表値と正常時のデータとの間のPo軸での差異を示している図29参照。この差異をカテゴリiの流体反力Fqiとして算出する。なお、Fqiは圧力kPaであるが、操作器ダイアフラム面積m2×103を乗ずることで、単位を圧力kPaから力Nに変換できる。CPU4は、i=1番目のカテゴリの流体反力Fqiを算出した後、i=20となるまでステップS703のYES、iをインクリメントしながらステップS704、ステップS701~S704の処理動作を繰り返す。これにより、全てのカテゴリiについて、そのカテゴリiの流体反力Fqiが算出される図30参照。そして、CPU4は、このカテゴリi毎の流体反力Fqiを算出した後、この求めたカテゴリi毎の流体反力Fqiを異常診断指標値とし、その流体反力Fqiと予め定められている閾値とを比較しステップS308図22、1つでもその流体反力Fqiが閾値を超えていればステップS308のYES、異常報知を行うステップS309。CPU4は、ステップS309での異常報知後、あるいはステップS308でのNOに応じて、全てのカテゴリiの操作器圧Poの最大値Maxpiと最小値Minpiを初期値にリセットしステップS310、ステップS301の処理へと戻り、同様の処理動作を繰り返す。図27にステップS310で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、先ず、i=1とするステップS801。そして、Maxpi=-INF、Minpi=INFとする。なお、INFは操作器圧Poが通常取り得る範囲を超える非常に大きな値正の値とする。これにより、Minpiは操作器圧Poが通常取り得る範囲を超える正の値初期値とされ、MaxpiはMinpiとは逆の負の値初期値とされる。CPU4は、i=1番目のカテゴリのMaxpiおよび最小値Minpiを初期値とした後、i=20となるまでステップS803のYES、iをインクリメントしながらステップS804、ステップS801~S804の処理動作を繰り返す。これにより、全てのカテゴリiについて、そのカテゴリiのMaxpiおよび最小値Minpiが初期値とされる。ステップS309において、全てのカテゴリiについて、そのカテゴリiのMaxpiを-INF負の値とし、最小値MinpiをINF正の値とすることによって、次のステップS304においてMaxpiおよび最小値Minpiの更新処理が行われる場合に、操作器圧Pokにどのような値が来たとしてもMaxpi,MinpiがPokに更新されるものとなる。なお、異常診断判断期間に達した時点で、i番目のカテゴリのMaxpi,Minpiが一度も更新されていなかった場合、すなわち初期化時の値が残っていた場合には、ステップS307での流体反力の計算は行わず、i番目のカテゴリの流体反力は算出不能とみなして閾値判定を行わないようにする。このようにして、この参考例1では、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性IIIから大きく外れるデータを除外するようにして、簡易な静的モデルを用いて、正確に、調節弁200の異常診断が行われるものとなる。なお、この参考例1では、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G31,G32として、図21a,bに示すような矩形状の重み関数を用いたが、図31a,bに示すような三角形状の重み関数を用いるようにしてもよい。図31aに示した重み関数G31’では、vPoが0の場合のwPoを1とし、vPoの絶対値が閾値Poth以下の範囲のwPoをvPo=0に向かって徐々に大きくし、それ以外のwPoを0としている。図31bに示した重み関数G32’では、vXが0の場合のwXを1とし、vXの絶対値が閾値Xth以下の範囲のwXをvX=0に向かって徐々に大きくし、それ以外のwXを0としている。また、例えば、図31aに示した重み関数G31’において、vPoの正方向および負方向のさらに離れた位置から徐々にvPo=0に向かってwPoを大きくしたり、図31bに示した重み関数G32’において、vXの正方向および負方向のさらに離れた位置から徐々にvX=0に向かってwXを大きくしたりするようにしてもよい。また、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数は、必ずしも重み関数G31とG32とに分けなくてもよく、G31とG32とを合成した1つの重み関数3次元の関数としてもよい。三角形状の重み関数G31’とG32’についても同様であり、G31’とG32’とを合成した1つの重み関数3次元の関数としてもよい。参考例2図32にヒステリシスの幅を異常診断指標値として調節弁200の異常診断を行う異常診断装置600の要部の構成を示す。この異常診断装置600も、参考例1と同様、CPU4と、ROMやRAMなどの記憶部5と、インタフェース6および7とを備えている。CPU4には、インタフェース6を介して調節弁200への入力信号である操作器圧Poが分岐して入力され、インタフェース7を介して調節弁200からの出力である開度Xが分岐して入力される。また、CPU4は、記憶部5に格納されているプログラムPGに従って動作する。記憶部5には、上述したプログラムPGの他、調節弁200の正常時の入出力関係を示す特性操作器圧Poと開度Xとのヒステリシス特性におけるヒステリシスの幅W1、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G41,G42が格納されている。ヒステリシスの幅W1この参考例2において、調節弁200の正常時のヒステリシスの幅W1は、調節弁200の設計仕様により求められ、記憶部5に格納されている。なお、調節弁200の設計仕様がない場合には、メンテナンス直後等の正常状態において、図33aに示すように、ポジショナ100に全開度領域で低速ランプ入力を往復で与え、図33bに示すように、操作器圧Poと開度Xのデータを取得し、その結果から正常時のヒステリシスの幅W1を求めるようにしてもよい。重み関数G41,G42この実施の形態において、重み関数G41,G42は、図34a,bに示すように、参考例1で示した重み関数G31,G32図21a,bと同じものを使用するので、ここでの説明は省略する。プロセス運転中の異常診断プロセス運転中、CPU4は、調節弁200への操作器圧Poおよび調節弁200からの開度Xを定期的に取り込んで、調節弁200の異常診断を行う。図35にCPU4が行う異常診断処理のメインのフローチャートを示す。このフローチャートにおいて、ステップS311~S316の処理は、参考例1で説明したステップS301~S306図22の処理と同じなので、省略する。異常診断判断期間に達した場合CPU4は、異常診断判断期間に達するとステップS316のYES、カテゴリi毎にヒステリシスの幅を異常診断指標値として求めるステップS317。図36にステップS317で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、先ず、i=1とするステップS711。そして、Ftiをi=1番目のカテゴリのヒステリシスの幅とし、そのカテゴリiにおける操作器圧Poの最大値Maxpiおよび最小値Minpiを下記の13式に代入して、i=1番目のカテゴリのヒステリシスの幅Ftiを算出するステップS712、図37参照。Fti=Maxpi-Minpi13CPU4は、i=1番目のカテゴリのヒステリシスの幅Ftiを算出した後、i=20となるまでステップS713のYES、iをインクリメントしながらステップS714、ステップS711~S714の処理動作を繰り返す。これにより、全てのカテゴリiについて、そのカテゴリiのヒステリシスの幅Ftiが算出される図38参照。そして、CPU4は、このカテゴリi毎のヒステリシスの幅Ftiを算出した後、記憶部5に格納されている正常時のヒステリシスの幅W1を読み出し、このヒステリシスの幅W1に所定値αを加算した値を閾値とし、この閾値とカテゴリi毎のヒステリシスの幅Ftiとを比較しステップS318図35、1つでもそのヒステリシスの幅Ftiが閾値を超えていればステップS318のYES、異常報知を行うステップS319。CPU4は、ステップS319での異常報知後、あるいはステップS318でのNOに応じて、全てのカテゴリiの操作器圧Poの最大値Maxpiと最小値Minpiを初期値にリセットしステップS320、ステップS301の処理へと戻り、同様の処理動作を繰り返す。ステップS320での初期値へのリセットは、参考例1におけるステップS310図22図27での処理動作と同じであるので、ここでの説明は省略する。このようにして、この参考例2では、プロセス運転中、正常時のヒステリシスの幅から大きく外れるデータを除去するようにして、ヒステリシスの幅を用いて、正確に、調節弁200の異常診断が行われるものとなる。なお、参考例1に示した通り、運転中に、弁軸が流体反力を受けることで、操作器圧Poと開度Xとの関係は変化する。しかし、ヒステリシスの幅Wは摩擦力に依存しており、図40に示すように、流体反力によって大きく変わることはない。そのため、流体圧力の影響下でも、参考例2の有効性は失われない。また、この参考例2では、ステップS317において、Fti=Maxpi-Minpiとしてカテゴリi毎のヒステリシスの幅を求めるようにしたが、Fti=Maxpi-Minpi/2としてカテゴリi毎の摩擦力を求めるようにしてもよい図39参照。Ftiを摩擦力とする場合、ステップS318では、記憶部5に格納されている正常時のヒステリシスの幅W1を読み出し、このヒステリシスの幅W1の半値W1/2を求め、このヒステリシスの幅W1の半値W1/2に所定値βを加算した値を閾値とし、その閾値と摩擦力Ftiと比較するようにすればよい。或いは、記憶部5に正常時のヒステリシスの幅W1の半値W1/2を格納しておき、この正常時のヒステリシスの幅W1の半値W1/2に所定値βを加算した値を閾値とし、この閾値と摩擦力Ftiと比較するようにすればよい。この場合のFtiは圧力kPaであるが、操作器ダイアフラム面積m2×103を乗ずることで、単位を圧力kPaから力Nに変換できる。また、上述した参考例では、調節弁200の異常診断を行う場合について説明したが、ポジショナ100と調節弁200とを組み合わせたシステム全体を1つの調節弁とみなし、上述と同様にして異常診断を行うようにしてもよい。この場合、ポジショナ100への入力信号である開度設定信号Iinが調節弁への入力信号に相当するものとなり、この開度設定信号Iinと弁開度Xとを用いてシステム全体調節弁の異常診断を行うようにする。また、上述した実施の形態1,2においても、参考例2と同様にして、ヒステリシスの幅Wを求め、このヒステリシスの幅Wを異常診断指標値としてEPM2やパイロットリレー3の異常診断を行うようにしてもよい。"