"二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽の第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を後段の生物処理槽に通水して生物処理し、最後段の生物処理槽の生物処理水を汚泥と処理水とに固液分離する有機性排水の生物処理方法において、該後段の生物処理槽に微小動物を保持する流動床担体を設けると共に、該流動床担体を設けた生物処理槽の曝気量を50m3-air/m2-槽底面積/h以下とすることを特徴とする有機性排水の生物処理方法。請求項1において、前記後段の生物処理槽が、二段以上の多段に設けられた生物処理槽よりなり、該多段に設けられた生物処理槽の少なくとも一槽に前記流動床担体を設けると共に、該流動床担体を設けた生物処理槽の曝気量を50m3-air/m2-槽底面積/h以下とすることを特徴とする有機性排水の生物処理方法。請求項1又は2において、前記固液分離を膜分離により行うことを特徴とする有機性排水の生物処理方法。二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽と、最後段の生物処理槽の生物処理水を汚泥と処理水とに固液分離する固液分離手段とを備え、第一生物処理槽は、有機性排水を細菌により生物処理する槽であり、後段の生物処理槽は、第一生物処理槽から導入される分散状態の細菌を含む第一生物処理水を生物処理する槽であり、該後段の生物処理槽に微小動物を保持する流動床担体が設けられていると共に、該流動床担体が設けられた生物処理槽の曝気量が50m3-air/m2-槽底面積/h以下であることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。請求項4において、前記後段の生物処理槽は、二段以上の多段に設けられた生物処理槽よりなり、該多段に設けられた生物処理槽の少なくとも一槽に前記流動床担体が設けられていると共に、該流動床担体が設けられた生物処理槽の曝気量が50m3-air/m2-槽底面積/h以下であることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。請求項4又は5において、前記固液分離手段が膜分離手段であることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。このような微小動物の捕食作用を利用した多段活性汚泥法は、実際に有機性廃水処理に用いられており、対象とする排水によっては、処理効率の向上、50程度の発生汚泥量の減量化が可能となっている。この微小動物の捕食作用を利用した多段活性汚泥法における汚泥減量に寄与する微小動物には、濾過捕食型のものと凝集体捕食型のものがある。このうち、凝集体捕食型の微小動物は、フロック化した汚泥をかじりながら捕食することも可能であるため、こちらが優占化した場合、処理水質は悪化してしまう。このため、処理水質の維持のためには、凝集体捕食型の微小動物よりも濾過捕食型の微小動物を優占化させることが望ましいが、現時点では、両者の微小動物のうちの一方を確実に優占化させる制御方法は提案されていない。このため、運転条件によっては、凝集体捕食型微小動物が優占化することにより、予期しない処理水質悪化の問題が発生することがあった。また、生物処理水を膜分離処理する膜式活性汚泥法であれば、沈殿池での汚泥管理が不要で、良質な処理水質が得られるが、膜式活性汚泥法では、膜の閉塞が課題となっており、低負荷運転であっても、汚泥の解体で微細なSSが発生して膜を閉塞させる問題があった。また、水温、負荷、SRTにより、活性汚泥内でフロックを捕食する凝集体捕食型の微小動物が急増すると、汚泥の微細化が促進されて処理水質の悪化につながり、膜式活性汚泥法の運転管理が困難となる問題もあった。本発明は上記従来の問題点を解決し、微小動物の捕食作用を利用した多段活性汚泥法において、凝集体捕食型の微小動物の増殖を抑制し、濾過捕食型の微小動物を優占化させて、汚泥を減量すると共に良好な処理水質を得る有機性排水の生物処理方法および装置を提供することを課題とする。本発明者らは、上記課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、後段の生物処理槽に分散菌を捕食する固着性の濾過捕食型微小動物を優占化させるべく、微小動物を保持する担体を設けること、この際、固着型の濾過捕食型微小動物が分散菌を効率的に捕食することができるように担体を流動床担体とすること、そして曝気量を制御することにより流動床担体からの微小動物の脱落を抑制すること、により、濾過捕食型の微小動物を優占化させることができることを見出した。本発明は、このような知見に基いて達成されたものであり、以下を要旨とする。[1]二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽の第一生物処理槽に有機性排水を導入して細菌により生物処理し、第一生物処理槽からの分散状態の細菌を含む第一生物処理水を後段の生物処理槽に通水して生物処理し、最後段の生物処理槽の生物処理水を汚泥と処理水とに固液分離する有機性排水の生物処理方法において、該後段の生物処理槽に微小動物を保持する流動床担体を設けると共に、該流動床担体を設けた生物処理槽の曝気量を50m3-air/m2-槽底面積/h以下とすることを特徴とする有機性排水の生物処理方法。[2][1]において、前記後段の生物処理槽が、二段以上の多段に設けられた生物処理槽よりなり、該多段に設けられた生物処理槽の少なくとも一槽に前記流動床担体を設けると共に、該流動床担体を設けた生物処理槽の曝気量を50m3-air/m2-槽底面積/h以下とすることを特徴とする有機性排水の生物処理方法。[3][1]又は[2]において、前記固液分離を膜分離により行うことを特徴とする有機性排水の生物処理方法。[4]二段以上の多段に設けられた好気性生物処理槽と、最後段の生物処理槽の生物処理水を汚泥と処理水とに固液分離する固液分離手段とを備え、第一生物処理槽は、有機性排水を細菌により生物処理する槽であり、後段の生物処理槽は、第一生物処理槽から導入される分散状態の細菌を含む第一生物処理水を生物処理する槽であり、該後段の生物処理槽に微小動物を保持する流動床担体が設けられていると共に、該流動床担体が設けられた生物処理槽の曝気量が50m3-air/m2-槽底面積/h以下であることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。[5][4]において、前記後段の生物処理槽は、二段以上の多段に設けられた生物処理槽よりなり、該多段に設けられた生物処理槽の少なくとも一槽に前記流動床担体が設けられていると共に、該流動床担体が設けられた生物処理槽の曝気量が50m3-air/m2-槽底面積/h以下であることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。[6][4]又は[5]において、前記固液分離手段が膜分離手段であることを特徴とする有機性排水の生物処理装置。本発明では、微小動物の捕食作用を利用した多段活性汚泥法において、微小動物を保持する後段の生物処理槽に担体を設けることにより、固着型の濾過捕食型微小動物をこの担体上に安定に保持して増殖させることができる。即ち、濾過捕食型微小動物は固着型であるため、濾過捕食型微小動物を優占化させるためにはその足場が必要となる。濾過捕食型微小動物は、槽内の汚泥フロックに固着することも可能であるが、汚泥は一定の滞留時間で系外へ引き抜かれるため、濾過捕食型微小動物が固着するための足場としての担体を設ける。本発明において、この担体は流動床担体であるため、担体上の微小動物は、担体と共に流動して槽内に流入してきた分散菌を効率的に捕食することができる。しかし、担体が流動床担体であると、槽内の曝気による流動のための剪断力で、微小動物が担体から剥離、脱落し、担体上に微小動物を高濃度で安定に保持することができない。本発明では、流動床担体を設けた生物処理槽の曝気量を50m3-air/m2-槽底面積/h以下と小さくすることにより、担体の流動をある程度抑制し、流動床担体からの微小動物の脱落を防止して、生物処理槽内で濾過捕食型の微小動物を優占化させると共に、この優占化状態を安定に維持することができる請求項1,4。本発明においては、後段の生物処理槽として二槽以上の生物処理槽を多段に設けてもよく、その場合において、多段に設けた生物処理槽の少なくとも一槽に流動床担体を設けると共に、この流動床担体を設けた生物処理槽の曝気量を50m3-air/m2-槽底面積/h以下とすることが好ましい請求項2,5。また、最後段の生物処理水の固液分離を膜分離により行ってもよく、その場合には、膜の閉塞を引き起こす凝集体捕食型微小動物の増殖を抑制し、処理水質の向上に寄与する濾過捕食型微小動物を優先化させることにより、汚泥の微細化で微細なSSが発生することによる膜の閉塞を防止することができ、薬品洗浄頻度を低減して長期に亘り安定運転を維持することができる請求項3,6。このようなことから、本発明によれば、有機性排水の効率的な生物処理が可能になり、以下のような効果が奏される。1排水処理時に発生する汚泥の大幅な減量化2高負荷運転による処理効率の向上3安定した処理水質の維持以下に図面を参照して本発明の有機性排水の生物処理方法および装置の実施の形態を詳細に説明する。図1~3は本発明の有機性排水の生物処理方法および装置の実施の形態を示す系統図である。図1~3において、1は第一生物処理槽、2は第二生物処理槽、3は沈殿槽、4は第三生物処理槽、5は膜分離装置、2Aは流動床担体、1B,2B,4Bは散気管であり、同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。図1の態様では、原水有機性排水は第一生物処理槽1に導入され、分散性細菌により、有機成分の70以上、望ましくは80以上、さらに望ましくは90以上が酸化分解される。この第一生物処理槽1のpHは6以上、望ましくは8以下とする。ただし、原水中に油分を多く含む場合には、分解速度を上げるためにpHを8以上としても良い。また、第一生物処理槽1への原水の通水は一過式とし、BOD容積負荷は1kg/m3/d以上、例えば1~20kg/m3/d、HRT原水滞留時間は24h以下、特に8h以下、例えば0.5~8hとすることで、分散性細菌非凝集性細菌が優占化した処理水を得ることができ、また、HRTを短くすることでBOD濃度の低い排水を高負荷で処理することができ、好ましい。また、この第一生物処理槽1の溶存酸素DO濃度は1mg/L以下、特に0.5mg/L以下、例えば0.05~0.5mg/Lに制御することが好ましく、これにより、糸状性細菌の増殖が抑制される一方で、1~5μm程度の大きさの分散菌が優占化し、これらは第二生物処理槽2で速やかに捕食される。この第一生物処理槽には、後段生物処理槽からの汚泥の一部を返送したり、第一生物処理槽を二槽以上の多段構成としたり、第一生物処理槽に担体を添加してもよく、これによりBOD容積負荷5kg/m3/d以上の高負荷処理も可能となる。第一生物処理槽に担体を添加する場合、用いる担体の形状は、球状、ペレット状、中空筒状、糸状、板状等任意であり、大きさも0.1~10mm程度の径で良い。また、担体の材料は天然素材、無機素材、高分子素材等任意であり、ゲル状物質を用いても良い。また、第一生物処理槽における担体の充填率が高い場合、分散菌は生成せず、細菌は担体に付着するか、糸状性細菌が増殖するので、第一生物処理槽に担体を添加する場合、担体の充填率槽容積に対する担体の容積率は10以下、望ましくは5以下とすることが好ましく、このように担体の充填率を小さくすることにより、濃度変化に影響されず、捕食しやすい分散菌の生成が可能となる。なお、第一生物処理槽1のHRTが最適値に比べて長くなると、糸状性細菌の優占化やフロックの形成につながり、後段の第二生物処理槽2で捕食されにくい細菌が生成してしまう。そこで、第一生物処理槽1のHRTを一定に制御する必要がある。この最適HRTは原水の水質により異なるため、机上試験などから、有機成分の70~90を除去できるHRTを求める必要がある。HRTを最適値に維持する方法としては、原水量減少時に、処理水の一部を返送して、第一生物処理槽1に流入する水量を一定にし、第一生物処理槽1のHRTを安定させる方法や、原水量の変動に合わせて第一生物処理槽1の水位を変動させる方法がある。第一生物処理槽1のHRTを安定させる幅は、机上試験で求めた最適HRTの0.75~1.5倍の範囲内に納めることが望ましい。なお、第一生物処理槽1で溶解性有機物を完全に分解した場合、第二生物処理槽2ではフロックが形成されず、また、微小動物増殖のための栄養も不足し、圧密性の低い汚泥のみが優占化した生物処理槽となる。従って、第一生物処理槽1での有機成分の分解率は100ではなく、95以下となるようにすることが好ましい。第一生物処理槽1の処理水第一生物処理水は、後段の第二生物処理槽2に通水して、ここで、残存している有機成分の酸化分解、分散性細菌の自己分解および微小動物の捕食による余剰汚泥の減量化を行う。第二生物処理槽2では、細菌に比べ増殖速度の遅い微小動物の働きと細菌の自己分解を利用するため、微小動物と細菌が系内に留まるような運転条件および処理装置を用いる必要がある。本発明では、第二生物処理槽2は、槽内に担体2Aを添加して流動床を形成した曝気槽とすることにより、濾過捕食型の微小動物の槽内保持量を高める。第二生物処理槽2に添加する担体2Aの形状は、球状、ペレット状、中空筒状、糸状、板状等任意であり、大きさも0.1~10mm程度の径で良い。また、担体2Aの材料は天然素材、無機素材、高分子素材等任意であり、ゲル状物質を用いても良い。第二生物処理槽2内の担体2Aの充填率槽容積に対する担体の容積率が少な過ぎると濾過捕食型微小動物を十分に保持することができないが、多過ぎると汚泥が解体することから、第二生物処理槽2内の担体2Aの充填率は50以下、特に5~50とすることが好ましい。また、この第二生物処理槽2は、前述の如く、担体の流動による剪断力で担体2Aに固着した濾過捕食型微小動物が剥離、脱落することを防止するために、曝気量を50m3-air/m2-槽底面積/h以下とする。この曝気量が50m3-air/m2-槽底面積/hを超えると、担体からの濾過捕食型微小動物の脱落、流出で、第二生物処理槽2内に濾過捕食型微小動物を優占化させることができなくなる。ただし、曝気量が過度に少ないと担体が流動し難くなり、担体上の濾過捕食型微小動物が槽内に流入した分散菌を捕食しにくくなるため、曝気量は1~40m3-air/m2-槽底面積/h、特に1~20m3-air/m2-槽底面積/hとすることが好ましい。また、後段の生物処理槽では、分散状態の菌体を捕食する濾過捕食型微小動物だけでなく、フロック化した汚泥を捕食できる凝集体捕食型微小動物も増殖する。後者は遊泳しながら、フロックを捕食するため、これが優占化した場合、汚泥は食い荒らされ、微細化したフロック片が散在する汚泥となる。このフロック片により、処理水質が悪化すると共に、膜式活性汚泥法では、膜の目詰まりが発生する。そこで、凝集体捕食型微小動物を間引くため、第二生物処理槽2のSRT汚泥滞留時間は60日以下、特に45日以下、とりわけ10日以上30日以下の範囲内で一定に制御することが望ましい。なお、このときのSRTは浮遊汚泥の滞留時間を示し、担体付着分は含めない。この第二生物処理槽2からの処理水は、次いで、沈殿槽3で汚泥と処理水とに固液分離され、分離汚泥の一部が返送汚泥として返送され、残部が余剰汚泥として系外へ排出される。図2に示す態様は、後段の生物処理槽を第二生物処理槽2と第三生物処理槽4の多段構成とし、第二生物処理槽2に担体2Aを添加して曝気量を前述の如く50m3-air/m2-槽底面積/h以下、好ましくは1~40m3-air/m2-槽底面積/h、特に好ましくは1~20m3-air/m2-槽底面積/hとした点が図1に示す態様とは異なり、その他は図1に示す態様と同様である。図2に示す態様において、第三生物処理槽4にも担体を添加してもよく、第二生物処理槽2に担体を添加せずに第三生物処理槽4のみに担体を添加してもよい。いずれの場合であっても担体を添加した生物処理槽の曝気量を上述の如く50m3-air/m2-槽底面積/h以下とする。また、後段の生物処理槽は三段以上の多段構成としてもよく、その場合においても担体を添加する生物処理槽は1槽であってもよく、2槽以上、或いはすべての槽であってもよく、その槽数も槽の位置も任意であるが、過少曝気により槽内が嫌気性とならないように担体を添加する生物処理槽の位置と槽数を調整する必要がある。図3に示す態様は、微小動物と細菌が系内に留まるように膜式活性汚泥方式とし、図1の態様において、沈殿槽3の代りに膜分離装置5を設け、膜分離装置5の透過水を処理水として抜き出し、濃縮水を第二生物処理槽2に返送して余剰汚泥を第二生物処理槽2から抜き出す点が異なり、その他は図1に示す態様と同様である。本発明においては、微小動物による捕食を促進させるために、第二生物処理槽2以降の後段の生物処理槽においてはpHを7以下、例えばpH5.5~6.5の条件にすることが好ましい。また、後段の生物処理槽2のDO濃度は1~4mg/L程度とすることが好ましい。また、運転条件を微小動物の増殖に適したものに設定しても、原水中に微小動物の増殖に必須な成分が含まれていなければ、微小動物は増殖せず、汚泥減量効果も向上しない。そこで、第二生物処理槽2以降の後段の生物処理槽、特に、第二生物処理槽2に栄養剤を添加して、微小動物を安定して維持させ、これにより汚泥減量の効果を安定させるようにしても良い。また、第三生物処理槽4に栄養剤を添加することで、減量効果を促進しても良い。この場合、栄養剤としてはリン脂質、遊離脂肪酸、リゾリン脂質、ステロールやこれらを含むレシチン、その他、液糖、米糠、ビールの絞り粕、植物性油の絞り粕、大豆抽出物、甜菜粕、貝殻粉、卵殻、野菜エキス、魚肉エキス、各種アミノ酸、各種ビタミン等の後生動物の増殖促進に効果のある栄養剤を用いることができる。これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を混合して用いても良い。これらの栄養剤を添加する場合、その添加量は原水中の有機物量の0.5~10程度とすることが好ましい。図1~3の態様は本発明の実施の形態の一例を示すものであり、本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示の方法に限定されるものではない。例えば、後段の生物処理槽の生物処理水の固液分離手段としては、沈殿槽や膜分離装置の他、浮上分離槽等を用いても良い。また、生物処理槽と固液分離手段とを兼ねる膜浸漬型生物処理槽を用いて膜分離式好気処理を行ってもよい。また、本発明において、第二生物処理槽2に導入する第一生物処理水中に有機物が多量に残存した場合、その酸化分解は第二生物処理槽2で行われることになる。しかし、微小動物が多量に存在する第二生物処理槽2で細菌による有機物の酸化分解が起こると、微小動物の捕食から逃れるための対策として、細菌は捕食されにくい形態で増殖することが知られており、このように増殖した細菌群は微小動物により捕食されず、これらの分解は自己消化のみに頼ることとなり、汚泥発生量低減の効果が下がってしまう。そこで、前述の如く、第一生物処理槽1では原水中の有機成分の大部分、すなわち原水BODの70以上、望ましくは80以上、さらに望ましくは90以上を分解し、菌体へと安定して変換しておく必要がある。このため、後段の第二生物処理槽2は、溶解性BODによる汚泥負荷で表わすと0.025~0.05kg-BOD/kg-MLSS/dで運転することが望ましい。このような負荷に調整するために、原水の一部を原水を第一生物処理槽をバイパスして、後段の第二生物処理槽に直接導入してもよい。なお、このとき、MLSSは浮遊汚泥の汚泥濃度を示し、担体付着分は含めない。以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。[実施例1]図1に示す如く、容量が3.6Lの第一生物処理槽1と、容量が15Lの第二生物処理槽2と、容量が5Lの沈殿槽3とを連結させた実験装置を用いて、本発明による有機性排水の処理を行った。原水には、CODCr2000mg/L、BOD1280mg/Lの人工基質を用い、各生物処理槽の処理条件は次の通りとした。<第一生物処理槽>DO:0.01mg/L溶解性BOD容積負荷:7.7kg-BOD/m3/dHRT:4hpH:7<第二生物処理槽>DO:2~3mg/L担体:ポリウレタンフォームの立方体型流動床担体5mm×5mm×5mm担体充填率:10曝気量:10L/min20m3-air/m2-槽底面積/hHRT:17hSRT:25日溶解性BOD容積負荷:0.040kg-BOD/kg-MLSS/dpH:6.5装置全体でのBOD容積負荷は1.5kg-BOD/m3/dであり、装置全体でのHRTは21hであった。その結果、第二生物処理槽2の汚泥フロック、担体には固着性の濾過捕食型微小動物ツリガネムシ、ヒルガタワムシが優占化し、汚泥転換率は0.10kg-MLSS/kg-CODCrとなった。処理水質は、CODCr濃度<30mg/L、SS<10mg/Lと、試験期間中、常時良好な状態を維持していた。[実施例2]第二生物処理槽の曝気量を20L/min40m3-air/m2-槽底面積/hとしたこと以外は実施例1と同条件で原水の処理を行った。その結果、第二生物処理槽の汚泥フロック、担体には濾過捕食型微小動物が優占化し、汚泥転換率は0.10kg-MLSS/kg-CODCrとなった。処理水質は、CODCr濃度<50mg/L、SS<20mg/Lと、試験期間中、常時良好な状態を維持していた。[比較例1]容量が18.6Lの生物処理槽担体無しと5Lの沈殿池を連結させた実験装置を用いて比較実験を実施した。処理した原水、装置全体でのBOD容積負荷、HRTは実施例1と同一である。その結果、汚泥転換率は0.30kg-MLSS/kg-CODCrとなった。また、糸状性細菌が大量に発生し、沈殿池での固液分離が困難となった。[比較例2]第二生物処理槽に担体を添加しなかったこと以外は実施例1と同条件で原水の処理を行った。その結果、汚泥転換率は0.10kg-MLSS/kg-CODCrとなった。しかしながら、第二生物処理槽で凝集体捕食型微小動物が優占化したことで、処理水質は悪化し、試験期間を通じて、処理水のCODCr濃度は80mg/L以上、SS濃度は50mg/L以上と悪かった。[比較例3]第二生物処理槽の曝気量を30L/min60m3-air/m2-槽底面積/hとしたこと以外は実施例1と同条件で原水の処理を行った。その結果、汚泥転換率は0.10kg-MLSS/kg-CODCrとなった。しかしながら、第二生物処理槽で凝集体捕食型微小動物が優占化したことで処理水質は悪化し、試験期間を通じて、処理水のCODCr濃度は50mg/L以上、SS濃度は20mg/L以上と実施例1に比べ悪かった。"