リチウムターゲットのリチウムを自動で再生することができるリチウムターゲット自動再生装置であって、前記リチウムターゲット自動再生装置は、前記リチウムターゲットに前記リチウムを蒸着させるリチウム蒸着ユニットを備え、前記リチウム蒸着ユニットは、前記リチウムターゲット側に移動して前記リチウムターゲットに前記リチウムを蒸着させることが可能であることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置。請求項1記載のリチウムターゲット自動再生装置において、前記リチウムターゲット自動再生装置は、前記リチウムの膜厚を測定するためのリチウム膜厚測定ユニットを更に備えることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置。請求項2記載のリチウムターゲット自動再生装置において、前記リチウムターゲット自動再生装置は、前記リチウム蒸着ユニットと前記リチウム膜厚測定ユニットとの位置を切り替えることができるようになっていることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置。請求項2記載のリチウムターゲット自動再生装置において、前記リチウムターゲット自動再生装置は、照射ポートを更に備え、前記リチウム蒸着ユニットと前記リチウム膜厚測定ユニットと前記照射ポートの位置を切り替えることができるようになっていることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置。請求項1乃至4のうちのいずれか一つに記載のリチウムターゲット自動再生装置において、前記リチウムターゲット自動再生装置は、前記リチウムの除去を行うためのリチウムリムーブユニットを更に備えることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置。請求項5記載のリチウムターゲット自動再生装置において、前記リチウムリムーブユニットは、前記リチウムターゲット自動再生装置に隣接して設けられていることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置。請求項5又は6に記載のリチウムターゲット自動再生装置において、前記リチウム蒸着ユニットと、前記リチウム膜厚測定ユニットと、前記リチウムリムーブユニットは、それぞれ、遠隔制御可能な制御ユニットを備えていることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置。請求項1乃至7のうちのいずれか一つに記載のリチウムターゲット自動再生装置において、前記リチウムターゲット自動再生装置は、陽子を加速するための加速器を用いた中性子源に使用されることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置。請求項1乃至8のうちのいずれか一つに記載のリチウムターゲット自動再生装置を用いてリチウムターゲットのリチウムを自動で再生するリチウムターゲット自動再生方法。リチウムターゲットのリチウムを自動で再生することができるリチウムターゲット自動再生方法であって、前記リチウムターゲットに前記リチウムを蒸着させるリチウム蒸着源を前記リチウムターゲット側に移動させて蒸着する蒸着工程を備えることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項10記載のリチウムターゲット自動再生方法は、リチウムターゲットを部分的に再生する方法であることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項11記載のリチウムターゲット自動再生方法において、前記リチウムの膜厚を測定する測定工程を更に備えることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項12記載のリチウムターゲット自動再生方法において、前記測定工程は、前記蒸着工程の前に行われることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項12又は13に記載のリチウムターゲット自動再生方法において、前記測定工程は、前記蒸着工程の後に行われることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項10記載のリチウムターゲット自動再生方法は、リチウムターゲットを全体的に再生する方法であることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項15記載のリチウムターゲット自動再生方法において、前記リチウムの除去を行う除去工程を更に備えることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項16記載のリチウムターゲット自動再生方法において、前記リチウムの除去を行う除去工程は、洗浄液を前記ターゲットのリチウムに噴射する噴射工程と、前記噴射工程の後に前記ターゲットを乾燥させる乾燥工程と、を含むことを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項16又は17に記載のリチウムターゲット自動再生方法において、前記除去工程は、前記蒸着工程の前に行われることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項15乃至18のうちのいずれか一つに記載のリチウムターゲット自動再生方法において、前記リチウムの膜厚を測定する測定工程を更に備えることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項19記載のリチウムターゲット自動再生方法において、前記測定工程は、前記蒸着工程の後に行われることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。請求項10乃至20のうちのいずれか一つに記載のリチウムターゲット自動再生方法は、加速器で加速された陽子をリチウムターゲットのリチウムと反応させて中性子を生成する方法に適用されることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法。上述のように、加速器を用いた中性子源は、加速器によって加速された陽子を、ターゲットユニット内に配置されたリチウムターゲットに衝突させ、p、n反応によって中性子を生成している。リチウムターゲットは、銅などの支持体基板に蒸着によって金属リチウムの薄膜を形成して構成されている。安全でかつ確実な治療を行うためには、加速器を用いた中性子源によって高品質の中性子を長時間安定に提供することが必要であり、高品質の中性子を得るためには、低エネルギーの陽子を大電流で純粋な金属リチウムに照射する必要がある。リチウムは、融点が180度と金属としては低いために、照射の際の数十キロワットの発熱量によって消耗溶けて蒸発してしまう。リチウムが消耗してしまう、すなわち、支持体基板に蒸着によって形成されたリチウムの厚さが薄くなってしまうと、リチウムの陽子線との核反応による中性子の生成量が減少してしまい、高品質な中性子を提供することができない。金属リチウムは、リチウムの物理的特性からその取扱いが困難である。従来においては、リチウムターゲットのリチウムの消耗に応じてその都度リチウムターゲットを交換する必要があった。しかし、リチウムに陽子線を照射して中性子を生成する場合、副生成物として放射性ベリリウム7が生成しリチウム中に混在するため、リチウムターゲットを交換するときの作業者の被曝が大きく、リチウムターゲットの交換は容易ではないことが従来の課題であった。すなわち、従来、理論的には最適な方法であるが、実用化するには多くの課題を含有していた。そこで、消耗されたリチウムターゲットの再生を行う方法をわれわれは発案し、リチウムターゲットを絶えず基準を満たす状態に保つ自動再生ターゲットという基本概念を構築した。概略は、リチウムの消耗状況を検知する手段を用い、リチウム源からリチウムターゲットに必要に応じて蒸着する方法を用いる。以下にその具体例を掲げる。本発明は、上述のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、リチウムターゲットのリチウムの膜厚の測定機能リチウムターゲットのリチウムの消耗状況を判断する手段を備えると共に、蒸着源をリチウムターゲットに移動させて消耗されたリチウムターゲットの再生を自動で行うことができるリチウムターゲット自動再生装置及びリチウムターゲット自動再生方法を提供することを目的とする。本発明は、リチウムターゲットのリチウムを自動で再生することができるリチウムターゲット自動再生装置であって、前記リチウムターゲット自動再生装置は、前記リチウムターゲットに前記リチウムを蒸着させるリチウム蒸着ユニットを備え真空下あるいはその他の不活性気体媒体によるものを含む、前記リチウム蒸着ユニットは、前記リチウムターゲット側に移動して前記リチウムターゲットに前記リチウムを蒸着させることが可能であることを特徴とするリチウムターゲット自動再生装置を提供する。また、前記リチウムターゲット自動再生装置は、前記リチウムの膜厚を測定するためのリチウム膜厚測定ユニットを更に備えることができる。この場合、前記リチウムターゲット自動再生装置は、前記リチウム蒸着ユニットと前記リチウム膜厚測定ユニットとの位置を切り替えることができるようになっている。また、前記リチウムターゲット自動再生装置は、照射ポートを更に備え、この場合、前記リチウム蒸着ユニットと前記リチウム膜厚測定ユニットと前記照射ポートの位置を切り替えることができるようになっている。また、前記リチウムターゲット自動再生装置は、前記リチウムの除去を行うためのリチウムリムーブユニットを更に備えることができる。前記リチウムリムーブユニットは、前記リチウムターゲット自動再生装置に隣接して設けることができる。また、前記前記リチウム蒸着ユニットと、前記リチウム膜厚測定ユニットと、前記リチウムリムーブユニットは、それぞれ、遠隔制御可能な制御ユニットを備えることができる。また、前記リチウムターゲット自動再生装置は、例えば、陽子を加速するための加速器を用いた中性子源に使用されることができる。また、本発明は、請求項1乃至8のうちのいずれか一つに記載のリチウムターゲット自動再生装置を用いてリチウムターゲットのリチウムを自動で再生するリチウムターゲット自動再生方法を提供する。また、本発明は、リチウムターゲットのリチウムを自動で再生することができるリチウムターゲット自動再生方法であって、前記リチウムターゲットに前記リチウムを蒸着させるリチウム蒸着源を前記リチウムターゲット側に移動させて蒸着する蒸着工程を備えることを特徴とするリチウムターゲット自動再生方法を提供する。また、リチウムターゲット自動再生方法は、リチウムターゲットを部分的に再生する方法であり部分的再生機能、この場合、リチウムの膜厚を測定する測定工程を更に備えることができ、前記測定工程は、前記蒸着工程の前に行われることができるし、前記蒸着工程の後に行われることができる。一方、リチウムターゲット自動再生方法は、リチウムターゲットを全体的に再生する方法であり全体的再生機能、この場合、リチウムの除去を行う除去工程を更に備えることができ、前記リチウムの除去を行う除去工程は、洗浄液を前記ターゲットのリチウムに噴射する噴射工程と、前記噴射工程の後に前記ターゲットを乾燥させる乾燥工程と、を含むことができる。そして、前記除去工程は、前記蒸着工程の前に行われるようになっている。さらに、リチウムの膜厚を測定する測定工程を更に備えることができ、測定工程は、前記蒸着工程の後に行われるようになっている。なお、本発明は、発展形として、上述のような切り替え機構を有しない方式、すなわち、各プロセスが部分的あるいは全体的に統合された統合型チェンバー方式Integratedchambersystemにも対応可能である。この場合も、リチウムターゲットの部分的再生機能ならびに全体的再生機能を有する。さらに、リチウムターゲット自動再生方法は、例えば、加速器で加速された陽子をリチウムターゲットのリチウムと反応させて中性子を生成する方法に適用されることができる。本発明によれば、蒸着源をリチウムターゲットに移動させて消耗されたリチウムターゲットのリチウムの再生を自動で行うことができる。従って、リチウムターゲットのリチウムの消耗に応じてその都度リチウムターゲットを交換する必要がない。また、リチウムターゲットのリチウムの膜厚の測定機能を備えた場合には、リチウムターゲットのリチウムの膜厚の分布測定が可能となり、リチウムターゲットのリチウムの消耗状況を判断することができる。さらには、局所的部分的再生機能又は全体的なリチウムターゲットのリチウムの再生全体的再生機能を自動で行うことができる。以下、本発明にかかる一例として、リチウムターゲットのリチウムの消耗した薄膜を自動で再生することが可能なリチウムターゲット自動再生装置を実施するための最良の形態について図面を参照しながら述べる。図1には、本発明にかかるリチウムターゲット自動再生装置を適用することが可能な、加速器を用いた中性子源の一例の概略図を示している。図1において符号100は、加速器を示している。加速器100は、陽子を加速するための装置であり、上流側から下流側に向けて順番にイオン源101、入射器LEBT102、高周波四重極型RFQライナック103、RF収束インターデジタルRFFocusedInterdigital;RFIライナック104がそれぞれ配置されて構成されている。イオン源101は、陽子をプラスイオンにする装置である。LEBT102は、イオン源101と加速器とのインターフェースである。また、RFQライナック103は、陽子を加速する初段加速器を構成し、RFIライナック104は、陽子を加速する後段加速器である。なお加速器の種類、各要素のラインアップはその都度、最適な方式を選ぶことができる。また、加速器100の下流側には、ベンディング磁石105が配置されている。このベンディング磁石105は、加速器100によって加速された陽子の方向を90度曲げるためのものである。ベンディング磁石を設けずに加速器中性子源を構成することも可能である。ベンディング磁石105の下流側には、本発明にかかるリチウムターゲット自動再生装置106が配置されている。リチウムターゲット自動再生装置106は、陽子との反応によって消耗したリチウムターゲットのリチウム膜を修復再生するためのものである。リチウムターゲット自動再生装置106の具体的な説明は後述する。このリチウムターゲット自動再生装置106の下流側には、リチウムターゲットが収容されたターゲットユニット107が配置されている。ターゲットユニット107は、陽子とリチウムの反応により中性子を発生させる装置である。リチウムターゲットは、銅などの支持体基板に蒸着によって金属リチウムの薄膜を形成して構成されている。この実施の形態で示されるリチウムターゲットは、内壁面内表面にリチウムの薄膜が施されたコーン状のターゲットであるが、この形状に限定されない。例えば、表面にリチウムの薄膜が施されたプレート状のターゲットなど、あらゆる形状のターゲットでも良いことは言うまでもない。このように、リチウムターゲット自動再生装置106は、加速器100とターゲットユニット107との間に配置されている。なお、符号108は、加速器100で加速された陽子をターゲットユニット107まで導くためのビームダクトとしてのビームトランスポートを示している。次に、本発明の特徴部分であるリチウムターゲット自動再生装置106について具体的に述べる。図2に示すように、リチウムターゲット自動再生装置106は、リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、リチウムリムーブ除去ユニット3図5参照と、照射ポート4とから主に構成されている。リチウムターゲット自動再生装置106は、加速器100側上流側のビームダクト108図2において点線で示す上側のビームダクトと、ターゲットユニット107側のビームダクト108図2において実線で示す下側のビームダクトの間に配置された、外側ケースが円筒状の本体部5を有しており、この本体部5内に、リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、照射ポート4とが円周方向に回転駆動可能に設けられている。リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、照射ポート4は、それぞれの外側ケースが円筒状に形成されており、また、それぞれを上流側と下流側のビームダクトの間に配置することができるように、本体部5内で円周方向に回転駆動移動されて位置を切り替えられるようになっている。リチウムターゲット自動再生装置106の本体部5内全体が真空状態に維持されるようになっているため、上記切り替えは、真空環境の下で行われている。図2に示す状態は、照射ポート4が上流側と下流側のビームダクト108の間に、その軸線が陽子線の軌道中心上にあるように配置された状態を示しており、この状態がイニシャルポジションとなっている。なお、この照射ポート4は、ターゲットユニット107のリチウムターゲットと陽子線との核反応によって生成された中性子の遮蔽の役割を果たしている。図3には、リチウムターゲットにリチウムを蒸着させるリチウム蒸着ユニット蒸着源1の概略図を示している。図3に示すように、リチウム蒸着ユニット1は、本体部5内に設けられた真空状態のユニットであり、該リチウム蒸着ユニット1を遠隔制御可能で適宜の場所に配置されることができる蒸着制御ユニット6を更に備えている。リチウム蒸着ユニット1は、フィラメント7、蒸発源8、温度モニタ9等が備えられている。一方、蒸着制御ユニット6は、蒸着制御部10、駆動制御部11等で構成されている。蒸着制御部10は、蒸発源8を制御するようになっていると共に温度モニタ9により検出される蒸発源8の温度を用いて該蒸発源8をフィードバック制御できるようになっている。また、駆動制御部11は、蒸着ユニット1を上下駆動及び前後駆動してユニットの格納位置と蒸着位置との間で蒸着ユニット1の位置などを調整するようになっている。すなわち、駆動制御部11によって、リチウム蒸着ユニット1は、リチウムターゲット側に移動してリチウムターゲットにリチウムを蒸着させることが可能である。周知の通り、リチウム蒸着ユニット1による蒸着は、真空蒸着であり、リチウム蒸着ユニット1は、蒸発源8に電流を流して蒸発源8を加熱することにより高真空中でリチウムを溶解してリチウムターゲットに蒸着させる。図4には、リチウムの膜厚を測定するためのリチウム膜厚測定ユニット2の概略図を示している。図4に示すように、リチウム膜厚測定ユニット2は、本体部5内に設けられた真空状態のユニットであり、リチウム膜厚測定ユニット2を遠隔制御可能で適宜の場所に配置されることができるリチウム膜厚制御ユニット12を更に備えている。リチウム膜厚測定ユニット2は、測定センサー13と、センサー13を高精度に軸方向前後方向駆動及び/又は回転駆動させるためのセンサー精密駆動ユニット14とを主に備えている。一方、リチウム膜厚制御ユニット12は、計測制御部15と、センサー駆動制御部16と、ユニット駆動制御部17と、計測制御部15とセンサー駆動制御部16とユニット駆動制御部17とに接続されユニット12の全体的な制御を行うホストコンピュータ18等で構成されている。計測制御部15は、センサー13を計測制御するためのものであり、センサー駆動制御部16は、センサー精密駆動ユニット14を駆動制御するためのものである。また、ユニット制御部17は、リチウム膜厚測定ユニット2を上下駆動及び前後駆動してユニットの格納位置と測定位置との間における位置などを調整するようになっている。リチウム膜厚測定ユニット2によるリチウム膜厚測定は、レーザー変位測定法及びα線測定法により行うことができる。図5には、ターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜の除去を行うためのリチウムリムーブユニット3の概略図を示している。図5に示すように、リチウムリムーブユニット3は、本体部5に隣接して設けられたユニットであり、遠隔制御可能で適宜の場所に配置されることができるリムーブ制御ユニット19を主として備えている。リムーブ制御ユニット19は、真空ポンプ20を制御すると共に、ビームダクト108に設けられた真空バルブ21を有する廃液槽22の排水を制御するようになっている。また、リムーブ制御ユニット19は、洗浄液ライン23の洗浄液水/アルコールを制御すると共に、乾燥ライン24を制御するようになっている。洗浄液ライン23と乾燥ライン24は、真空バルブ25によってノズルライン26に接続されている。なお、洗浄液は本例で示された、水/アルコール混液のみならず、純水や他の溶液を適宜に選ぶことができる。次に、上記実施形態によるリチウムターゲット自動再生装置の再生方法について述べる。図6に示すように、この再生方法は、部分再生と全体再生の二つの再生方法がある。部分再生方法は、まず、ターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜を測定する。この測定は、リチウム膜厚測定ユニット2により行われる。図7aには、照射ポート4が上流側と下流側のビームダクト108の間に照射ポート4の軸線がビームダクトの陽子線の軌道上に配置された状態、すなわち、イニシャルポジションにあるリチウムターゲット自動再生装置106を示している。このイニシャルポジションの状態から、リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、照射ポート4とを本体部5内で円周方向に120度回転駆動させて、図7bに示すように、リチウム膜厚測定ユニット2が上流側及び下流側のビームダクト108間にその軸線が陽子線の軌道に整合配置された状態格納位置での状態にする。次に、図7cに示すように、ユニット制御部17図4参照によってリチウム膜厚測定ユニット2をビームダクト108内でリチウムターゲット側に移動させて測定位置で停止させる。次に、図8に示すように、センサー精密駆動ユニット14は、リチウム膜厚測定ユニット2内で回転可能に適宜の手段によって配置された筒状部材を備えている。この筒状部材には、リチウム膜厚測定ユニット2内でユニット2側に固定された回転駆動用スッテッピングモーター図8において上方に配置されたモーターの駆動力が一対のギヤを介して伝達されるようになっており、この回転駆動用モーターの駆動力によって筒状部材は回転駆動される。回転駆動用モーターは、360度回転に必要なパルス信号が与えることによって決められたステップ単位で回転する。また、筒状部材内部には、筒状部材の軸線方向に対して傾斜するようにねじ付きシャフトが回転可能に設けられている。ねじ付きシャフトは、筒状部材内部に固定された軸方向駆動用スッテッピングモーター図8において下方に配置されたモーターの駆動力が一対のギヤを介して伝達されるようになっており、この軸方向駆動用モーターの駆動力によってねじ付きシャフトは回転駆動される。ねじ付きシャフトには、シャフト形状の支持部材がねじ付きシャフトに沿って移動可能に取り付けられている。支持部材は上端部にねじ付きシャフトのねじ部に螺合するねじ部を有しており、下端部にセンサー13が取り付けられている。軸方向駆動用モーターは、イニシャルポジションでは常にゼロ点補正が行われるようになっており、ターゲット中心までの移動に必要なパルス信号が与えることによって決められたステップ単位で回転する。まず、センサー精密駆動ユニット14の軸方向駆動用モーターによってセンサー13を、ねじ付きシャフトを回転させることにより軸方向駆動させてターゲットユニット107のリチウムターゲットの中心部まで移動させる。そして、センサー精密駆動ユニット14の回転駆動用スッテッピングモーターによってセンサー13をターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜の内壁面に沿わせながら360度回転駆動させ、リチウム膜厚制御ユニット12でリチウムターゲットのリチウム薄膜の測定データを収集する。360度の回転駆動によって測定データを収集したら、センサー精密駆動ユニット14の軸方向駆動用モーターによってセンサー13を所定量だけ軸方向上方に駆動させ、センサー13をターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜の内壁面に沿わせながら360度回転駆動させてリチウム膜厚制御ユニット12でリチウムターゲットのリチウム薄膜の測定データを収集する。この動作を繰り返し行ってリチウムターゲットのリチウム薄膜全体の測定データを収集する。測定作業が終了したら、ユニット駆動制御部17図4参照によってリチウム膜厚測定ユニット2をリチウムターゲット自動再生装置106内のビームダクト108間に配置された状態格納位置での状態に戻し、リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、照射ポート4とを本体部5内で円周方向に-120度回転駆動させて、図7aに示すイニシャルポジションの状態に戻す。リチウムターゲットのリチウム薄膜全体の測定データは、リチウム膜厚制御ユニット12で収集され、ホストコンピュータ18がこの測定データを解析して再生部位及び/又は再生厚を検討し、この検討したデータに基づいてリチウム蒸着ユニット1によってリチウムターゲットのリチウム再生蒸着を行う。図9aには、図7aと同じ状態である照射ポート4が上流側と下流側のビームダクト108間に配置された状態、すなわち、イニシャルポジションにあるリチウムターゲット自動再生装置106を示している。このイニシャルポジションの状態から、リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、照射ポート4とを本体部5内で円周方向に240度回転駆動させて、図9bに示すように、リチウム蒸着ユニット1がビームダクト108の間に配置された状態格納位置での状態にする。次に、図9cに示すように、駆動制御部11図3参照によってリチウム蒸着ユニット1をビームダクト108内でリチウムターゲット側に移動させて蒸着作業位置蒸着イニシャルポジションで固定させる。次に、図10に示すように、駆動制御部11によってフィラメント7等をリチウム薄膜全体の測定データに基づいて再生位置まで移動させ、蒸着条件に従って駆動制御部11によってリチウム蒸着ユニット1を上方へ駆動しながら蒸着を行う。図示のように、フィラメント7には、フィラメント7の前方周囲を取り囲むように前方に延出した外筒が設けられており、フィラメント7は、この外筒と共にガイドバーによって移動するようになっている。再生蒸着作業が終了したら、駆動制御部11図3参照によってリチウム蒸着ユニット1をビームダクト108間に配置された図9bの状態格納位置での状態に戻し、リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、照射ポート4とを本体部5内で円周方向に-240度回転駆動させて、図9aに示すイニシャルポジションの状態に戻す。次に、リチウム膜厚測定ユニット2によってターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜の膜厚を上述の測定方法で測定し、再生蒸着の確認作業を行う。この確認作業で所望のリチウム薄膜の再生蒸着が行われていない場合には、この確認したデータに基づいてリチウム蒸着ユニット1によってリチウムターゲットのリチウム再生蒸着を上述の蒸着方法で行い、その後、再生蒸着の確認作業を行う。この作業は、所望のリチウム薄膜の再生蒸着が行われるまで繰り返すことができるようになっている。次に、全体再生による再生方法について説明する。全体再生方法では、まず、リチウムリムーブユニット3図5参照によってターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜の除去を行い、ターゲット表面の乾燥を行う。図11に示すように、照射ポート4が上流側と下流側のビームダクト108の間に配置された状態、すなわち、イニシャルポジションにある状態で、リチウムリムーブユニット3によってターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜の除去作業が行われる。まず、リムーブ制御ユニット19図5参照によって洗浄液ライン23の洗浄液水/アルコールをターゲット表面にシャワー状に吹きかけるように一定量噴射する。この場合、真空下、あるいは常圧下条件を適宜選択することができる。この一定量の噴射によってターゲット内に洗浄液が溜まる。この後、図12に示すように、このターゲット内に溜まった洗浄液を、真空バルブ21図5参照を開いて廃液槽22に排出する。この排水処理の後、リムーブ制御ユニット19図5参照によって乾燥ライン24で送出された温風などでターゲットの表面を乾燥させる。ターゲットの表面が完全に乾燥した後に、リムーブ制御ユニット19によって真空ポンプ20を制御して真空引き作業を行う。上述のようにしてターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜の除去を行った後、リチウム蒸着ユニット1によってリチウムターゲットのリチウム全体再生蒸着を行う。図9aに示すイニシャルポジションの状態から、リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、照射ポート4とを本体部5内で円周方向に240度回転駆動させて、図9bに示すように、リチウム蒸着ユニット1がビームダクト108間に配置された状態格納位置での状態にする。次に、図9cに示すように、駆動制御部11図3参照によってリチウム蒸着ユニット1をビームダクト108内でリチウムターゲット側に移動させて蒸着作業位置蒸着イニシャルポジションで固定させる。次に、図10に示すように、駆動制御部11によってフィラメント7等を規定位置まで移動させ、蒸着条件に従って駆動制御部11によってリチウム蒸着ユニット1を駆動しながら蒸着を行う。全体再生蒸着作業が終了したら、駆動制御部11図2参照によってリチウム蒸着ユニット1をビームダクト108間に配置された状態格納位置での状態に戻し、リチウム蒸着ユニット1と、リチウム膜厚測定ユニット2と、照射ポート4とを本体部5内で円周方向に-240度回転駆動させて、図9aに示すイニシャルポジションの状態に戻す。次に、リチウム膜厚測定ユニット2によってターゲットユニット107のリチウムターゲットのリチウム薄膜を部分再生方法と同じ測定方法で測定し、再生蒸着の確認作業を行う。この確認作業で所望のリチウム薄膜全体の再生蒸着が行われていない場合には、この確認したデータに基づいてリチウム蒸着ユニット1によってリチウムターゲットのリチウム再生蒸着を行い、その後、再生蒸着の確認作業を行う。この作業は、所望のリチウム薄膜全体の再生蒸着が行われるまで繰り返すことができるようになっている。上記実施の形態においては、一例として切り替え機構を有する装置について説明しているが、段落0022で述べたように、本発明は、切り替え機構を有しない、各プロセスが部分的あるいは全体的に統合された統合型チェンバー方式にも対応可能である。この場合も、リチウムターゲットの部分的再生機能ならびに全体的再生機能を有する。また、中性子に変換するターゲットは陽子線やその他の粒子線の衝突により、リチウム金属以外でも絶えず劣化やメカニカルな損傷が起こる。従って恒常的な金属厚の測定や部分的並びに全体的再生機能は、安定した中性子を供給するために必須な機能体系である。従って、ターゲットは中性子捕捉療法のコア技術であり、本発明は、リチウムに限らず、ベリリウムなどの他の金属にも対応することができる。すなわち、本発明は、ターゲットの母体である銅などで形成された支持体基板に対して、リチウム金属以外の金属例えば、ベリリウムなどが施されたターゲットにも適用可能である。