検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子へ向けて光を出射する発光部と、前記光学素子を透過された光を収束光として出射する光制御素子と、前記光制御素子から出射された収束光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、前記光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて前記複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、前記配列データに基づいて前記検出素子に対する前記光学素子の光軸の位置を検出し、検出された前記光軸を参照して前記光学素子の収差の測定を行う収差測定装置。前記光軸の位置が検出されるときに前記光制御素子が前記光学素子と前記光束分割素子の間の光路上に配置され、前記光学素子の収差が測定されるときに前記光制御素子が前記光学素子と前記光束分割素子の間の光路上から退避されるようにした請求項1に記載の収差測定装置。前記光制御素子として、印加される駆動電圧に応じて屈折力が変化される液体レンズを用いた請求項1に記載の収差測定装置。検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された光学素子へ向けて光を出射する発光部と、前記光学素子を透過された光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、前記光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて前記複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、前記発光部と前記光学素子の間の相対的な位置が変化されて前記光学素子を透過された光が収束光として前記光束分割素子に入射され、前記配列データに基づいて前記検出素子に対する前記光学素子の光軸の位置を検出し、検出された前記光軸を参照して前記光学素子の収差の測定を行う収差測定装置。前記光学素子が前記光軸方向へ移動されることによって前記発光部と前記光学素子の間の相対的な位置が変化されるようにした請求項4に記載の収差測定装置。上記した特許文献1に記載された収差測定装置においては、光軸の位置の検出が、上記したように、全受光点の輝度値に基づいた重心計算法によって検出され、全受光点の輝度値が均一であれば光軸の位置の検出が高い精度で行われる。ところが、光学素子の光学的歪みや、光学素子及びマイクロレンズアレイに付着した汚れや異物等によって、各受光点間の輝度値が不均一となる場合がある。受光点間の輝度値の均一性は受光点の数が増加するほど低下する。従って、検出素子における受光点の数が多い場合には、重心計算法の算出結果の誤差が大きくなって光軸の位置の検出精度が低下し、光学素子の収差の測定精度も低下してしまう。そこで、収差測定装置は、上記した問題点を克服し、高い精度で光学素子の光軸の位置を検出して光学素子の収差の測定精度の向上を図ることを課題とする。収差測定装置は、検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子へ向けて光を出射する発光部と、前記光学素子を透過された光を収束光として出射する光制御素子と、前記光制御素子から出射された収束光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、前記光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて前記複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、前記配列データに基づいて前記検出素子に対する前記光学素子の光軸の位置を検出し、検出された前記光軸を参照して前記光学素子の収差の測定を行うようにしたものである。従って、収差測定装置にあっては、光束分割素子に収束光を入射させて検出素子の一部に受光点を形成し、受光点の配列情報を表す配列データに基づいて検出素子に対する光学素子の光軸の位置が検出されている。上記した収差測定装置にあっては、前記光軸の位置が検出されるときに前記光学素子と前記光束分割素子の間の光路上に配置され、前記光学素子の収差が測定されるときに前記光制御素子が前記光学素子と前記光束分割素子の間の光路上から退避されるようにすることが望ましい。光軸の位置が検出されるときに光学素子と光束分割素子の間の光路上に配置され、光学素子の収差が測定されるときに光制御素子が光学素子と光束分割素子の間の光路上から退避されるようにすることにより、光学素子の光軸の位置が検出されるときに光制御素子によって収束光が光束分割素子に入射され、光学素子の収差が測定されるときに光学素子によって平行光が光束分割素子に入射される。上記した収差測定装置にあっては、前記光制御素子として印加される駆動電圧に応じて屈折力が変化される液体レンズを用いることが望ましい。光制御素子として印加される駆動電圧に応じて屈折力が変化される液体レンズを用いることにより、光制御素子に対する駆動電圧の印加状態に応じて光制御素子から収束光または平行光が出射される。別の収差測定装置は、検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された光学素子へ向けて光を出射する発光部と、前記光学素子を透過された光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、前記光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて前記複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、前記発光部と前記光学素子の間の相対的な位置が変化されて前記光学素子を透過された光が収束光として前記光束分割素子に入射され、前記配列データに基づいて前記検出素子に対する前記光学素子の光軸の位置を検出し、検出された前記光軸を参照して前記光学素子の収差の測定を行う。従って、別の収差測定装置にあっては、光束分割素子に収束光を入射させて検出素子の一部に受光点を形成し、受光点の配列情報を表す配列データに基づいて検出素子に対する光学素子の光軸の位置が検出される。上記した別の収差測定装置にあっては、前記光学素子が前記光軸方向へ移動されることによって前記発光部と前記光学素子の間の相対的な位置が変化されることが望ましい。光学素子が光軸方向へ移動されることによって発光部と光学素子の間の相対的な位置が変化されることにより、発光部と光学素子の間の相対的な位置の変化に応じて光制御素子から収束光または平行光が出射される。本技術収差測定装置は、検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子へ向けて光を出射する発光部と、前記光学素子を透過された光を収束光として出射する光制御素子と、前記光制御素子から出射された収束光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、前記光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて前記複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、前記配列データに基づいて前記検出素子に対する前記光学素子の光軸の位置を検出し、検出された前記光軸を参照して前記光学素子の収差の測定を行う。従って、少ない受光点によって光学素子の光軸の位置が検出されるため、受光点間の輝度値の均一性の低下が抑制され、高い精度で光学素子の光軸の位置を検出して光学素子の収差の測定精度の向上を図ることが出来る。請求項2に記載した技術にあっては、前記光軸の位置が検出されるときに前記光学素子と前記光束分割素子の間の光路上に配置され、前記光学素子の収差が測定されるときに前記光制御素子が前記光学素子と前記光束分割素子の間の光路上から退避される。従って、光学素子の収差が測定されるときに光学素子を透過された光が光制御素子を通過することなく平行光として光束分割素子に入射され、検出素子の全体に受光点が形成されるため、収差の測定精度の向上を図ることが出来る。請求項3に記載した技術にあっては、前記光制御素子として印加される駆動電圧に応じて屈折力が変化される液体レンズが用いられる。従って、光制御素子を移動させる駆動機構及び光路から光制御素子を退避させる空間を設けることなく収束光と平行光を選択して光束分割素子に入射させることが出来るので、収差測定装置の小型化を図ることが出来る。別の本技術収差測定装置は、検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された光学素子へ向けて光を出射する発光部と、前記光学素子を透過された光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、前記光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて前記複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、前記発光部と前記光学素子の間の相対的な位置が変化されて前記光学素子を透過された光が収束光として前記光束分割素子に入射され、前記配列データに基づいて前記検出素子に対する前記光学素子の光軸の位置を検出し、検出された前記光軸を参照して前記光学素子の収差の測定を行う。従って、少ない受光点によって光学素子の光軸の位置が検出されるため、受光点間の輝度値の均一性の低下が抑制され、高い精度で光学素子の光軸の位置を検出して光学素子の収差の測定精度の向上を図ることが出来る。請求項5に記載した技術にあっては、前記光学素子が前記光軸方向へ移動されることによって前記発光部と前記光学素子の間の相対的な位置が変化される。従って、発光部から光束分割素子までの距離が変化しないため、光学素子の収差の測定において高い測定精度を確保することができる。以下に、図面を参照して、本技術を実施するための最良の形態以下、単に実施の形態と称する。について詳細に説明する。<収差測定装置の第1の実施の形態>先ず、本技術に係る収差測定装置の第1の実施の形態について説明する。[収差測定装置の構成]収差測定装置1は、発光部2と保持部3と光制御素子4と波面センサー5を備えている図1及び図2参照。光制御素子4と波面センサー5は図示しない情報処理装置に接続されている。情報処理装置は外部記憶装置を有している。発光部2は測定光源2aとピンホール板2bを有している。測定光源2aとしては、例えば、指向性の高い半導体レーザーや発光ダイオード等が用いられ、測定光源2aは所定の単色光を出射する点光源とされている。測定光源2aから出射された光はピンホール板2bの開口部ピンホールにおいて集光され、ピンホールを通って拡散されて光制御素子4側へ向かう。保持部3は検査対象とされる光学素子6を保持する機能を有している。光学素子6は発光部2と光制御素子4の間において保持部3に保持された状態で配置されている。光学素子6は、例えば、レンズであり、光学素子6にはピンホールを通って拡散されて光制御素子4側へ向かう光が入射される。光学素子6に入射された光は光学素子6から平行光として光制御素子4へ向けて出射される。従って、光学素子6は測定光源2aから出射され光制御素子4へ向かう光が平行光となる位置に配置されている。上記した測定光源2aと光学素子6は、光制御素子4と波面センサー5とともに、それぞれの中心が直線、即ち、光路O上に並ぶように配置されている。光制御素子4は光学素子6から入射された平行光を収束光として出射する機能を有している。光制御素子4としては、例えば、平凸レンズが用いられる。光制御素子4は図示しないリニア駆動部によって光軸に直交する方向へ移動可能とされている。リニア駆動部はステッピングモーターなどによって構成されており、情報処理装置から出力される駆動信号に基づいて光制御素子4を移動させる。光制御素子4は、光学素子6の光軸の後述する検出時に移動されて光路O上に配置され図1参照、光学素子6の後述する収差測定時に移動されて光路Oから退避される図2参照。波面センサー5は光束分割素子7と検出素子8と筐体9を有する。光束分割素子7と検出素子8は筐体9に保持され、光束分割素子7が光制御素子4と検出素子8の間に位置されている。光束分割素子7としては、例えば、マイクロレンズアレイが用いられる。光束分割素子7は平板状のベース7aとベース7aの一方の面に形成された複数のマイクロレンズ7b、7b、とから成る図3参照。マイクロレンズ7b、7b、の焦点は検出素子8の検出面上に形成される。検出素子8としては、例えば、CCDChargeCoupledDevice等が用いられる。検出素子8には光を受光して電荷に変換する複数の画素8a、8a、が格子状に設けられており、画素8a、8a、によって検出素子8に入射された光の輝度値が検出される。図3は、波面センサー5に光制御素子4を透過された光が入射される状態を示す図である。光制御素子4から出射された光L1が光束分割素子7に入射されると、マイクロレンズ7b、7b、によって光L1が検出素子8の各画素8a、8a、の表面に集光され、各画素8a、8a、上に受光点P、P、が形成される。光L1が検出素子8の各画素8a、8a、の表面に集光されて受光点P、P、が形成されると、受光点P、P、のそれぞれの輝度値が各画素8a、8a、毎によって検出され、検出結果が受光点P、P、の配列状態を示す配列データとして取得される。取得された配列データは情報処理装置に出力される。なお、上記には、点光源とされた測定光源2aから入射された光が光学素子6を透過して平行光が出射される例を示したが、光学素子6と光制御素子4の間に平行光を生成する素子、例えば、コリメータレンズが配置され、光学素子6を透過した光がコリメータレンズによって平行光とされて光制御素子4へ向かって出射されるようにしてもよい。[収差測定装置の動作]以下に、収差測定装置1の動作を説明する図1乃至図5参照。先ず、光学素子6の光軸の検出時における動作について説明する。発光部2から所定の単色光が保持部3に保持された光学素子6へ向かって出射され、出射された光は光学素子6を透過して平行光とされ、光制御素子4へ向かって出射される。平行光が光制御素子4に入射されると、平行光が光制御素子4によって収束光とされて波面センサー5へ向かって出射される。収束光が波面センサー5に入射されると、収束光が光束分割素子7によって検出素子8の各画素8a、8a、の表面に集光され、各画素8a、8a、上に受光点P、P、が形成される。図4は、収束光が光束分割素子7によって検出素子8の各画素8a、8a、の表面に集光される状態を示す模式図である。図4において、光学素子6の外径とされる領域を破線で示している。収束光が光束分割素子7によって検出素子8の各画素8a、8a、の表面に集光されると、受光点P、P、が検出素子8の検出面の中心を基準とした中心側の一部に形成される。この受光点P、P、は、例えば、13個の画素8a、8a、上に形成される。受光点P、P、が形成されると、受光点P、P、毎の輝度値が光を受光した画素8a、8a、毎によって検出され、検出された輝度値に基づいて受光点P、P、の配列状態が配列データとして取得される。取得された配列データは情報処理装置に出力される。情報処理装置に配列データが入力されると、入力された配列データに基づいて光学素子6の検出素子8に対する光軸の位置が検出される。光学素子6の光軸の位置の検出は配列データが有する受光点P、P、の配列情報に基づいて、例えば、重心計算法によって行われる。検出された光学素子6の検出素子8に対する光軸の位置は情報処理装置に出力される。次に、光学素子6の収差測定時における動作について説明する。一方、光制御素子14に電圧が印加されていない状態においては、入射された平行光を透過して平行光として出射する。光制御素子14の屈折力は情報処理装置から出力される駆動電圧に基づいて定められる。[収差測定装置の動作]以下に、収差測定装置1Aの動作を説明する図4乃至図7参照。先ず、光学素子6の光軸の検出時における動作について説明する。発光部2から所定の単色光が保持部3に保持された光学素子6へ向かって出射され、出射された光は光学素子6を透過して平行光とされ、光制御素子14へ向かって出射される。平行光が光制御素子14に入射されると、平行光が光制御素子14によって収束光とされて波面センサー5へ向かって出射される。収束光が波面センサー5に入射されると、収束光が光束分割素子7によって検出素子8の各画素8a、8a、の表面に集光され、各画素8a、8a、上に受光点P、P、が形成される。受光点P、P、は、例えば、13個の画素8a、8a、上に形成される。受光点P、P、が形成されると、収差測定装置1の場合と同様に、光学素子6の検出素子8に対する光軸の位置が検出され、検出された光軸の位置が情報処理装置に出力される。次に、光学素子6の収差測定時における動作について説明する。発光部2から所定の単色光が保持部3に保持された光学素子6へ向かって出射され、出射された光は光学素子6を透過して平行光とされ、光制御素子14へ向かって出射される。平行光が光制御素子14に入射されると、平行光が光制御素子14によって集光されることなく平行光として波面センサー5へ向かって出射される。平行光が波面センサー5に入射されると、平行光が光束分割素子7によって検出素子8の各画素8a、8a、の表面に集光され、各画素8a、8a、上に受光点P、P、が形成される。受光点P、P、は検出素子8の検出面の全体に形成される。受光点P、P、が形成されると、収差測定装置1の場合と同様に、光学素子6の収差が算出され、算出された収差が情報処理装置の外部記憶装置に出力される。収差測定装置1Aにあっては、光制御素子14として、印加される駆動電圧に応じて屈折力が変化される液体レンズが用いられている。従って、光制御素子14を移動させる駆動機構及び光路から光制御素子14を退避させる空間を設けることなく収束光と平行光を選択して波面センサー5に入射させることが出来るので、収差測定装置1Aの小型化を図ることが出来る。また、光制御素子14を移動させることなく光学素子6の光軸の検出と光学素子6の収差の測定を行うことが出来るため、光制御素子14の光学素子6及び波面センサー5に対する位置精度を高くすることができ、光学素子6の光軸の検出精度及び光学素子6の収差の測定精度の向上を図ることが出来る。さらに、光制御素子14を移動させることなく光学素子6の光軸の検出と光学素子6の収差の測定を行うことが出来るため、光学素子6の収差の測定時間の短縮化を図ることが出来る。<収差測定装置の第2の実施の形態>以下に、第2の実施の形態に係る収差測定装置1Bについて説明する図3乃至図5、図8及び図9参照。なお、以下に示す収差測定装置1Bは、上記した収差測定装置1と比較して、光学素子が移動可能とされていること及び光制御素子を有しないことのみが異なる。従って、第2の実施の形態に係る収差測定装置1Bについては、収差測定装置1と比較して異なる部分についてのみ詳細に説明をし、その他の部分については収差測定装置1における同様の部分に付した符号と同じ符号を付して収差測定装置1と重複する説明は省略する。[収差測定装置の構成]収差測定装置1Bは、発光部2と保持部3Aと波面センサー5を備えている。波面センサー5は図示しない情報処理装置に接続されている。保持部3Aは光学素子6を保持する機能を有している。保持部3Aは図示しない駆動機構によって光軸方向へ移動可能とされている。駆動機構はステッピングモーターなどから構成されており、保持部3Aに保持された光学素子6を第1測定位置S1と第2測定位置S2の何れかに停止するように移動させる。光学素子6が第1測定位置S1に移動された状態において測定光源2aから光が出射されると、保持部3Aによって保持された光学素子6を透過された光が収束光として波面センサー5へ向けて出射され、光学素子6が第2測定位置S2に移動された状態において測定光源2aから光が出射されると、光学素子6を透過された光が平行光として波面センサー5へ向けて出射される。[収差測定装置の動作]以下に、収差測定装置1Bの動作を説明する図4及び図5、図8及び図9参照。先ず、光学素子6の光軸の検出時における動作について説明する。発光部2から所定の単色光が第1測定位置S1に配置された光学素子6へ向かって出射され、出射された光は光学素子6を透過して収束光とされ、波面センサー5へ向かって出射される。収束光が波面センサー5に入射されると、収束光が光束分割素子7によって検出素子8の各画素8a、8a、の表面に集光され、各画素8a、8a、上に受光点P、P、が形成される。受光点P、P、は、例えば、13個の画素8a、8a、上に形成される。受光点P、P、が形成されると、収差測定装置1の場合と同様に、光学素子6の検出素子8に対する光軸の位置が検出され、検出された光学素子6の光軸の位置が情報処理装置に出力される。次に、光学素子6の収差測定時における動作について説明する。受光点P、P、は検出素子8の検出面の全体に形成される。受光点P、P、が形成されると、収差測定装置1の場合と同様に、光学素子6の収差が算出され、算出された収差が情報処理装置の外部記憶装置に出力される。尚、上記には、光学素子6を光軸方向へ移動させて発光部2と光学素子6の間の相対的な位置を変化させることにより、光学素子6から波面センサー5へ向けて出射される光を収束光と平行光に切り替える例を示した。しかしながら、収差測定装置1Bにおいては、光学素子6を移動させず発光部2を光軸方向へ移動させて光学素子6から出射される光を収束光と平行光に切り替えるようにすることも可能である。但し、光学素子6の収差の測定において高い測定精度を確保するためには、発光部2から波面センサー5までの距離を変化させず両者の位置関係を変更しないことが望ましい。従って、光学素子6を光軸方向へ移動させて発光部2と光学素子6の間の相対的な位置を変化させて光学素子6から出射される光を収束光と平行光に切り替えることにより、発光部2から波面センサー5までの距離が変化しないため、光学素子6の収差の測定において高い測定精度を確保することができる。[まとめ]以上に記載した通り、収差測定装置1、収差測定装置1A及び収差測定装置1Bにあっては、光束分割素子7に収束光を入射させて検出素子8の一部に受光点P、P、を形成し、受光点の配列情報を表す配列データに基づいて検出素子8に対する光学素子6の光軸の位置を検出している。従って、少ない受光点P、P、によって光学素子6の光軸の位置が検出されるため、光学素子6の光学的歪みや光学素子6等への異物の付着等が生じている場合においても、受光点P、P、間の輝度値の均一性の低下が抑制され、高い精度で光学素子6の光軸の位置を検出して光学素子6の収差の測定精度の向上を図ることが出来る。[本技術]なお、本技術は以下のような構成とすることが出来る。1検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子へ向けて光を出射する発光部と、前記光学素子を透過された光を収束光として出射する光制御素子と、前記光制御素子から出射された収束光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、前記光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて前記複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、前記配列データに基づいて前記検出素子に対する前記光学素子の光軸の位置を検出し、検出された前記光軸を参照して前記光学素子の収差の測定を行う収差測定装置。2前記光軸の位置が検出されるときに前記光制御素子が前記光学素子と前記光束分割素子の間の光路上に配置され、前記光学素子の収差が測定されるときに前記光制御素子が前記光学素子と前記光束分割素子の間の光路上から退避されるようにした前記1に記載の収差測定装置。3前記光制御素子として、印加される駆動電圧に応じて屈折力が変化される液体レンズを用いた前記1に記載の収差測定装置。4検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された光学素子へ向けて光を出射する発光部と、前記光学素子を透過された光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、前記光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて前記複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、前記発光部と前記光学素子の間の相対的な位置が変化されて前記光学素子を透過された光が収束光として前記光束分割素子に入射され、前記配列データに基づいて前記検出素子に対する前記光学素子の光軸の位置を検出し、検出された前記光軸を参照して前記光学素子の収差の測定を行う収差測定装置。5前記光学素子が前記光軸方向へ移動されることによって前記発光部と前記光学素子の間の相対的な位置が変化されるようにした前記4に記載の収差測定装置。