レーザ装置と共に用いられるチャンバ装置であって、前記レーザ装置から出力されるレーザ光を内部に導入するための少なくとも1の入射口が設けられたチャンバと、前記レーザ装置から出力される前記レーザ光のビーム断面を拡大する拡大光学系と、ビーム断面が拡大された前記レーザ光を集光する集光光学系と、を備えるチャンバ装置。前記拡大光学系および前記集光光学系は、前記チャンバ内に配置される、請求項1記載のチャンバ装置。前記チャンバには、該チャンバと連通する筐体が併設され、前記拡大光学系および前記集光光学系は、前記筐体内に配置される、請求項1記載のチャンバ装置。前記拡大集光光学系および前記集光光学系は、1つのプレート上に配置される、請求項1記載のチャンバ装置。前記プレートを移動させる移動機構を含む、請求項4記載のチャンバ装置。前記拡大光学系は、軸外放物面の凸面ミラーで構成され、前記集光光学系は、楕円面の凹面ミラーで構成され、前記拡大光学系および前記集光光学系は、該凸面ミラーの焦点位置と該凹面ミラーの第1の焦点位置とが略一致するように配置される、請求項1記載のチャンバ装置。前記拡大光学系は、軸外放物面の凸面ミラーで構成され、前記集光光学系は、楕円面の凹面ミラーと平面ミラーとで構成され、前記拡大光学系および前記集光光学系は、該凸面ミラーの焦点位置と該凹面ミラーの第1の焦点位置とが略一致し、該平面ミラーが該凹面ミラーの反射面と該凹面ミラーの第2の焦点位置との間で該平面ミラーの反射面が該凹面ミラーの反射面に向くように配置される、請求項1記載のチャンバ装置。前記拡大光学系は、軸外放物面の凸面ミラーと少なくとも1つの平面ミラーとで構成され、前記集光光学系は、楕円面の凹面ミラーで構成され、前記拡大光学系および前記集光光学系は、該平面ミラーが該凹面ミラーの反射面と該凹面ミラーの第1の焦点位置との間で該平面ミラーの反射面が該凹面ミラーの反射面に向くように、かつ該凸面ミラーの焦点位置と該平面ミラーによって転写される該凹面ミラーの第1の焦点位置とが略一致するように配置される、請求項1記載のチャンバ装置。請求項1~8いずれか一項記載のチャンバ装置を備える極端紫外光生成装置。