所定の基準部を有する板状部材を部分的に支持する支持手段と、前記板状部材の基準部の位置を検出する検出手段と、前記板状部材を非接触で浮上させる浮上手段と、前記板状部材と支持手段とを相対変位可能な変位手段と、前記支持手段に載置された板状部材の外方に位置するとともに、当該板状部材の面方向の移動を規制可能なガイド手段と、前記各手段を制御可能な制御手段とを備え、前記制御手段は、前記基準部の位置が検出できなかった場合、前記板状部材を浮上させ、前記板状部材が浮上している間に当該板状部材と支持手段とを相対変位可能に設けられていることを特徴とするアライメント装置。前記変位手段は、前記板状部材に気体を噴出して当該板状部材と支持手段とを相対変位可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のアライメント装置。前記ガイド手段は、前記浮上方向に向かうに従って平面視で板状部材の中心から離れる方向に延びる傾斜部を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のアライメント装置。前記ガイド手段は、回転可能なローラを備えていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のアライメント装置。所定の基準部を有する板状部材を部分的に支持する支持手段で支持する支持工程と、前記板状部材の基準部の位置を検出する検出工程とを行うアライメント方法において、前記検出工程で前記基準部の位置が検出できなかった場合、前記板状部材を浮上させる浮上工程と、前記板状部材が浮上している間に当該板状部材と支持手段とを相対変位させる変位工程とを行った後に、前記支持工程及び検出工程を再度行うことを特徴とするアライメント方法。しかしながら、特許文献1にあっては、2つのステージを回転させたり、各ステージ間でウエハを受け渡したりするため、装置が大型化するばかりでなく、その制御も複雑化するという不都合を招来する。[発明の目的]本発明の目的は、装置が大型化することを防止し、制御の簡略化等を図ることができるアライメント装置及びアライメント方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、所定の基準部を有する板状部材を部分的に支持する支持手段と、前記板状部材の基準部の位置を検出する検出手段と、前記板状部材を非接触で浮上させる浮上手段と、前記板状部材と支持手段とを相対変位可能な変位手段と、前記各手段を制御可能な制御手段とを備え、前記制御手段は、前記基準部の位置が検出できなかった場合、前記板状部材を浮上させ、前記板状部材が浮上している間に当該板状部材と支持手段とを相対変位可能に設けられる、という構成を採っている。本発明において、前記変位手段は、前記板状部材に気体を噴出して当該板状部材と支持手段とを相対変位可能に設けられる、という構成を採ってもよい。また、前記支持手段は、当該支持手段上における前記板状部材の外方に位置するとともに、板状部材の面方向の移動を規制可能なガイド手段を備える、という構成も好ましくは採用される。前記ガイド手段は、前記浮上方向に向かうに従って平面視で板状部材の中心から離れる方向に延びる傾斜部を備える、という構成を採ってもよい。更に、前記ガイド手段は、回転可能なローラを備える、という構成を採用することができる。更に、本発明のアライメント方法は、所定の基準部を有する板状部材を部分的に支持する支持手段で支持する支持工程と、前記板状部材の基準部の位置を検出する検出工程とを行うアライメント方法において、前記検出工程で前記基準部の位置が検出できなかった場合、前記板状部材を浮上させる浮上工程と、前記板状部材が浮上している間に当該板状部材と支持手段とを相対変位させる変位工程とを行った後に、前記支持工程及び検出工程を再度行う、という方法を採っている。本発明によれば、板状部材を非接触で浮上させ、浮上している間に板状部材と支持手段とを相対変位可能に設けたため、前述した従来の固定ステージ等を省略することができ、装置が大型化することを防止し、制御の簡略化等を図ることができる。また、板状部材に気体を噴出して当該板状部材と支持手段とを相対変位可能に設ければ、簡単な構成で板状部材を非接触で浮上させることができる。また、ガイド手段が傾斜部を有するので、ガイド手段の上方では傾斜部と板状部材外縁との隙間を大きく設定でき、板状部材と支持手段との相対変位を確実に行うことができる。しかも、ガイド手段の下方では傾斜部と板状部材外縁との隙間を小さくしたり殆どなくしたりすることができ、浮上を解除した後の板状部材の支持位置を精度良く維持することが可能となる。また、ガイド手段がローラを有するので、板状部材と支持手段との相対変位時にガイド手段に接して相対変位が阻害されることを防止することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書において、特に明示しない限り、上、下は、図2を基準として用いる。図1及び図2において、アライメント装置10は、基準部としてのVノッチNを外縁に備えた板状部材としてのウエハWを部分的に支持する支持面11を有する支持手段12と、ウエハWの外縁領域を撮像可能な検出手段13と、支持面11からウエハWを浮上させる浮上手段14と、この浮上手段14によって浮上したウエハWを当該ウエハWの周方向に回転することで、ウエハWと支持手段12とを相対変位させる変位手段15と、支持手段12に支持されたウエハWの外方位置に設けられるガイド手段16と、アライメント装置10の全体的な動作を制御する制御手段17とを備えて構成されている。前記支持手段12は、下面中央に駆動手段としての回動モータMの出力軸が連結されたフレーム20と、このフレーム20の3本のアーム部21の上面先端側にそれぞれ設けられるとともに、上面に支持面11を形成する支持面形成体22とを備えている。各アーム部21及び支持面形成体22は、平面視でウエハWの周方向約120°間隔に設けられている。各支持面形成体22の支持面11には、第1及び第2孔26、27がそれぞれ形成され、これらの第1及び第2孔26、27には、図示しない加圧ポンプ等の加圧手段と減圧ポンプ等の減圧手段が図示しない切替弁を介して接続されている。第1孔26は、鉛直方向上向きに気体を噴出可能に設けられ、支持面11からウエハWを非接触で浮上可能に設けられている。第2孔27は、図3中斜め左上方向であって平面視ではウエハW外縁の接線方向に気体を噴出可能に設けられ、支持面11から浮上したウエハWに回転力を付与し、ウエハWと支持手段12とを相対変位可能に設けられている。ここにおいて、第1孔26と加圧手段とで浮上手段14が構成され、第2孔27と加圧手段とで変位手段15が構成される。前記検出手段13は、VノッチNの位置を検出可能なカメラからなる。検出手段13は、VノッチNの位置データを制御手段17に出力可能に設けられている。前記各ガイド手段16は、支持面形成体22に連なってアーム部21上にそれぞれ立設され、支持面11上のウエハWの外方にそれぞれ位置するように設けられている。各ガイド手段16は、ウエハWの浮上方向すなわち上方に向かうに従って平面視でウエハWの中心から離れる方向に傾斜した傾斜部29をそれぞれ備えている。各ガイド手段16の傾斜部29下端では、支持面11上に載置されたウエハWの外縁3箇所位置に接して当該ウエハWの面方向の移動が規制される。一方、各ガイド手段16の傾斜部29上端側では、ウエハW外縁との間に隙間を設けることができ、ウエハWと支持手段12との相対変位時に、ウエハWがガイド手段16に当接してその変位が阻害されることを極力防止する。傾斜部29は、平面視で、支持面11上のウエハW中心方向に円弧状に膨出する凸状部30を備えた形状に設けられ、これにより、ウエハWがガイド手段16に接触する面積を少なくし、相対変位中のウエハWがガイド手段16に当接した場合の抵抗を小さくすることができる。前記制御手段17は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等が例示でき、検出手段13から入力された位置データを処理することで、ウエハWのVノッチNの位置を特定し、更に、回動モータMを駆動制御することで、ウエハWのVノッチNの位置を所定の位置に位置決め可能となっている。なお、制御手段17は、前記各手段に電気的に接続されている。次に、本実施形態におけるウエハWのアライメント方法について説明する。図示しない搬送手段によりウエハWを保持して搬送し、各支持面11上に載置すると、制御手段17が図示しない切替弁を介して減圧手段でウエハWを吸着保持させる。次いで、回動モータMを作動して支持手段12及びウエハWを回転させる。この回転中、検出手段13によりウエハWのVノッチNの位置が認識され、その位置データが制御手段17に出力される。制御手段17は、入力された位置データに基づいてVノッチNの位置を特定し、回動モータMを作動してVノッチNが所定の位置に配置されるようにウエハWを位置決めするアライメントを行う。ここで、アライメント対象のウエハWにおけるVノッチNが支持面11やアーム部21上に位置した場合、検出手段13は、VノッチNを検出できない場合がある。この点、支持面11やアーム部21を透明な部材で構成するとある程度の改善は見込まれるものの、この透明な部材で光が屈折することで誤った位置をVノッチNの位置と認識し、位置決め不良を引き起こす場合がある。本願のアライメント装置10では、回動モータMを作動して検出手段13による検出が行われ、所定の時間が経過してもVノッチNが検出できない場合、制御手段17が図示しない切替弁を介して減圧手段でのウエハWの吸着保持を解除する。続いて、切替弁を介して浮上手段14でウエハWを浮上させるとともに、変位手段15でウエハWを周方向に回転する変位動作が行われる。この変位動作中、ガイド手段16によりウエハWの脱落を防止するために、ウエハWは、ガイド手段16よりも高く浮上させないように設定されている。予め設定した時間変位動作が行われると、制御手段17が図示しない切替弁を介して浮上手段14と変位手段15とでの変位動作を停止させる。すると、ウエハWは、自重によって落下するときにガイド手段16の傾斜部29によって支持面11上の所定の位置に位置決めされて着地する。このとき、図示しない電空レギュレータ等の緩衝手段を作動し浮上手段14によって吹き付ける気体の量を次第に少なくすることにより、ウエハWをゆっくりと下降させることができる。これにより、支持面11やアーム部21上からVノッチNが外れて位置する確率が高くなる。その後、前述と同様に回動モータMを作動し、ウエハWを再回転させながらVノッチNの位置を検出し、その位置データに基づいて回動モータMを駆動してウエハWのアライメントを行う。なお、変位動作を1回行った後、VノッチNの検出を行ってもまだVノッチNが検出できない場合は、更に変位動作を行ってからVノッチNの検出を行うようにすればよい。従って、このような実施形態によれば、VノッチNと支持面11等が重なっていても、簡単な構成でウエハWを支持面11から浮上させて変位させ、それらの重なりを解消してVノッチNの再検出を行うことが可能となる。これにより、回動モータMの他にウエハWを回転するための機構を省略して装置の大型化を回避できる上、その制御も簡略化することが可能となる。更に、ウエハWに気体を吹き付けるだけなので、ウエハWを素早く支持面11から浮上させて変位させることができるので、単位時間あたりのアライメント処理能力が向上する。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、前記検出手段13は、カメラ以外に、接触型、非接触型のセンサや、光反射型、投受光型のセンサや、ラインセンサ、超音波型のセンサ、ラインセンサ等の他の検出手段を採用してもよい。検出手段13での検出は、ウエハWを回転させることなく検出手段13を回転させてもよいし、検出手段13とウエハWとの両方を回転させてもよく、それらの両方を回転させることなく検出手段13でウエハWの全体を撮像してもよい。また、浮上手段14は、板状部材を支持手段12から浮上できるものであれば何ら限定されることはなく、気体としては大気の他に、窒素やネオン等のガス又は混合気を噴出するものが例示でき、その他、静電気や磁石等を採用してもよい。更に、変位手段15は、板状部材と支持手段12とを相対変位できればよく、浮上させた板状部材に接触し、例えば回動モータ等の駆動機器で相対変位を可能とするものや、静電気や磁石等で構成してもよい。板状部材と支持手段12との変位は、回転変位以外に、直線変位や曲線変位でもよいし、回転と直線と曲線とが混じりあった変位でもよい。また、ガイド手段16を例えば、図4に示されるように、傾斜部29をローラ40により形成してもよい。これによれば、ウエハWが回転中に当該ガイド手段16に接触した場合にでも、ウエハWの回転を阻害する抵抗を小さくすることができる。また、ローラ40を、駆動機器としての回動モータからなる駆動手段41により回転駆動可能に設け、当該回転により、ウエハWに回転力を付与する構成とした場合、ウエハWに効率よく回転力を付与することができる。この場合、第2孔27と加圧手段に加えて、又は、これらを省いて、ローラ40及び駆動手段41を含んで変位手段15を構成することができる。更に、第2孔27と加圧手段とを採用することなく、回動モータMを変位手段15としてもよい。この場合、浮上手段14でウエハWを浮上させている間に、回動モータMを所定角度又は所定時間回転するように制御すればよい。また、板状部材の基準部としては、VノッチN以外にオリエンテーションフラットや、板状部材の面内に設けられた貫通孔等であってもよい。要は、支持面11やアーム部21等によって一時的に基準部の検出が行えないものが本発明のアライメント対象となる。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。更に、本発明において、板状部材は、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。