絞り部を有するベンチュリ管と、前記ベンチュリ管内を旋回して流れる液体の旋回方向に合わせて前記絞り部内に気体を流入させる気体流入部と、を備えることを特徴とする気液混合器。前記気体流入部は、前記絞り部が環内を通過する環状の気体流路と、前記環状の気体流路と前記絞り部とを個別に接続する複数の直線状の気体流路と、を有していることを特徴とする請求項1記載の気液混合器。前記複数の気体流路は、前記絞り部の周方向に並んでいることを特徴とする請求項2記載の気液混合器。前記複数の気体流路は、前記絞り部の延伸方向に並んでいることを特徴とする請求項2又は3記載の気液混合器。前記ベンチュリ管内に液体を旋回させて流入させる液体流入部を備えることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一に記載の気液混合器。絞り部を有するベンチュリ管内に液体を旋回させて流入させる工程と、前記ベンチュリ管内を旋回して流れる液体の旋回方向に合わせて前記絞り部内に気体を流入させる工程と、を有することを特徴とする気液混合方法。前記絞り部に対して複数の箇所から前記気体を流入させることを特徴とする請求項6記載の気液混合方法。しかしながら、前述のように、液体に気体を単に混合、すなわち溶解させただけでは、液体に対する気体の溶解量が少なく、この液体を処理液として用いた場合に、微小気泡の発生量が所望量とならず、処理性能が不十分となってしまう。例えば、基板処理装置においては、洗浄やレジスト除去などの処理性能が不十分となり、また、加工装置においても、潤滑や洗浄などの処理性能が不十分となる。さらに、浄化装置においても、フロック除去や油分除去などの処理性能が不十分となる。このため、液体に対する気体の溶解効率の向上が望まれている。本発明が解決しようとする課題は、液体に対する気体の溶解効率を向上させることができる気液混合器及び気液混合方法を提供することである。本発明の実施形態に係る気液混合器は、絞り部を有するベンチュリ管と、ベンチュリ管内を旋回して流れる液体の旋回方向に合わせて絞り部内に気体を流入させる気体流入部とを備える。本発明の実施形態に係る気液混合方法は、絞り部を有するベンチュリ管内に液体を旋回させて流入させる工程と、ベンチュリ管内を旋回して流れる液体の旋回方向に合わせて絞り部内に気体を流入させる工程とを有する。本発明によれば、液体に対する気体の溶解効率を向上させることができる。本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。図1に示すように、本実施形態に係る処理装置1は、半導体ウエハやガラス基板などの処理対象物を処理する処理部2と、その処理部2に供給する気液混合液を貯留する貯留部3と、その貯留部3に気液混合液を生成して供給する気液混合器4と、その気液混合器4に液体を供給する液体供給部5と、気液混合器4に気体を供給する気体供給部6とを備えている。処理部2は、ステージ上の処理対象物の中心を回転中心として処理対象物を平面内で回転させながら、その回転状態の処理対象物に対して処理液を供給し、処理対象物の表面を処理する装置である。この処理部2としては、例えば、処理液により処理対象物の表面を洗浄する洗浄装置や処理液により処理対象物の表面からレジスト膜を除去するレジスト除去装置などが挙げられる。この処理部2は、処理液中に微小気泡を発生させる貫通孔を有するオリフィス部材などの微小気泡発生部材を有しており、その貫通孔を通過する液体中の溶存気体を減圧して開放し、その液体中に多量の微小気泡を発生させる。この多量の微小気泡を含む液体が処理液として処理対象物の表面に供給されることになる。なお、微小気泡発生部材としては、オリフィス部材に限るものではなく、液体中に微小気泡を発生させることが可能な構造の部材を用いれば良く、その構造は特に限定されるものではない。ここで、微小気泡は、マイクロバブルMBやマイクロナノバブルMNB、ナノバブルNBなどの概念を含む気泡である。例えば、マイクロバブルは10μm~数十μmの直径を有する気泡であり、マイクロナノバブルは数百nm~10μmの直径を有する気泡であり、ナノバブルは数百nm以下の直径を有する気泡である。貯留部3は、液体を貯留する容器であり、気液混合液が流れる液体貯留流路となるパイプなどの配管3aにより気液混合器4に接続されており、気液混合器4から配管3aを介して供給された気液混合液を貯留する。また、貯留部3は、貯留した気液混合液が流れる液体供給流路となるパイプなどの配管3bにより処理部2に接続されており、貯留した気液混合液を配管3bを介して処理部2に供給する。気液混合器4は、ベンチュリ管4aと、そのベンチュリ管4a内に液体を流入させる液体流入部4bと、ベンチュリ管4a内に気体を流入させる気体流入部4cと、ベンチュリ管4aを通過した気液混合液を流出させる気液流出部4dとを備えている。この気液混合器4は、液体流入部4bによりベンチュリ管4a内に流入した液体に、気体流入部4cによりベンチュリ管4a内に流入した気体を混合して気液混合液を生成し、気液流出部4dから貯留部3に供給する詳しくは、後述する。液体供給部5は、液体が流れる液体供給流路となるパイプなどの配管5aによりベンチュリ管4aの液体流入部4bに接続されている。この液体供給部5は、純水DIWなどの液体を貯留しており、その貯留した液体をポンプなどの送液力により気液混合器4に配管5aを介して供給する。なお、液体供給部5は、ポンプに加え、開閉弁や圧力レギュレータなどを有しており、所定の圧力及び流量で液体を供給可能に形成されている。気体供給部6は、気体ガスが流れる気体供給流路となる配管6aにより気液混合器4の気体流入部4cに接続されている。この気体供給部6は、気体を貯留しており、その貯留した気体を気液混合器4に配管6aを介して気体を供給する。なお、気体供給部6は、開閉弁や圧力レギュレータなどを有しており、所定の圧力及び流量で気体を供給可能に形成されている。圧力や流量は、所望量の気体が液体中に混合するようにあらかじめ設定されている。また、気体としては、例えば、空気、あるいは、窒素N2などの不活性ガス、酸素O2などの酸化性ガスなど、各種のガスを用いることが可能である。次に、気液混合器4について詳しく説明する。図2に示すように、ベンチュリ管4aは、部分的に細くなる絞り部11を有している。すなわち、ベンチュリ管4a内の流路は、液体流入側から管内部に向かって徐々に細くなっていき、最も細い絞り部11となり、その後、絞り部11から液体流出側に向けて徐々に広がっていく。このベンチュリ管4aは、その内部の流路を通過する液体中に、絞り部11による減圧効果ベンチュリー効果により気体を混合して気液混合液を生成する。液体流入部4bは、図2及び図3に示すように、液体が流入する液体流入路21と、その液体流入路21とベンチュリ管4a内の流路とをつなぐ通液流路22とを有している。この液体流入部4bは、液体流入路21から流入した液体を通液流路22内で旋回させてベンチュリ管4a内の流路に流入させる。なお、液体流入路21の一端の開口が気液混合器4の液体流入口H1として機能し、この液体流入口H1に配管5aが接続されている図1参照。液体流入路21は、通液流路22内を流れる液体がその通液流路22の内壁面に沿う方向に旋回しながら通液流路22の延伸方向に進行するように通液流路22に接続されている。図3においては、液体の旋回方向を時計回りとするため、通液流路22の右端側の上部にその通液流路22に直交させて液体流入路21を接続しているが、これに限るものではなく、例えば、液体の旋回方向を反時計周りにする場合には、通液流路22の左端側の上部にその通液流路22に直交させて液体流入路21を接続しても良い。ただし、必ずしも液体流入路21を通液流路22に直交させる必要は無く、液体流入路21は通液流路22に対して斜めになっていても良い。気体流入部4cは、図2及び図4に示すように、気体が流入する気体流入路31と、絞り部11が環内を通過する環状の気体流路32と、その環状の気体流路32と絞り部11とを個別に接続する複数本図2及び図4中では、二本の直線状の気体流路33とを有している。この気体流入部4cは、気体流入路31から流入した気体を各気体流路32、33により、絞り部11内を旋回して流れる液体の旋回方向に合わせてその絞り部11内に流入させる。なお、気体流入路31の一端の開口が気液混合器4の気体流入口H2として機能し、この気体流入口H2に配管6aが接続されている図1参照。環状の気体流路32は、絞り部11が環内を通過するように、例えば、絞り部11が環内の中心を通過するように設けられている。さらに、直線状の各気体流路33は、絞り部11に流入した気体が、絞り部11内を旋回して流れる液体と同じ方向に旋回するように絞り部11にそれぞれ接続されている。これらの気体流路33は絞り部11の周方向に並ぶように配置されている。図4においては、二本の気体流路33が存在しており、前述の液体の旋回方向に合わせて気体の旋回方向を時計回りとするため、絞り部11の右端側の上部にその絞り部11の延伸方向に直交させて第1の気体流路33を接続し、さらに、絞り部11の左端側の下部にその絞り部11の延伸方向に直交させて第2の気体流路33を接続している。ただし、これに限るものではなく、例えば、気体の旋回方向を反時計周りにする場合には、絞り部11の右端側の下部にその絞り部11の延伸方向に直交させて第1の気体流路33を接続し、さらに、絞り部11の左端側の上部にその絞り部11の延伸方向に直交させて第2の気体流路33を接続しても良い。なお、必ずしも気体流路33を絞り部11の延伸方向に直交させる必要は無く、気体流路33は絞り部11の延伸方向に対して斜めになっていても良い。特に、二本の気体流路33は、絞り部11との接続箇所である開口部分が絞り部11の中心を間にして互いに対向するように絞り部11に接続されており、絞り部11には二つの開口部分から同時に気体が供給される。このとき、二本の気体流路33には、環状の気体流路32から気体が流入する図4中の矢印参照。なお、本実施形態では、二本の気体流路33が設けられているが、その数は限定されるものではない。気液流出部4dは、図2及び図5に示すように、気液混合液が流出する気液流出路41と、その気液流出路41とベンチュリ管4a内の流路とをつなぐ通液流路42とを有している。この気液流出部4dは、通液流路42内を旋回して進む気液混合液を気液流出路41から気液混合器4外にスムーズに流出させる。なお、気液流出路41の一端の開口が気液流出口H3として機能し、この気液流出口H3に配管3aが接続されている図1参照。気液流出路41は、通液流路42内を旋回して流れる液体が通液流路42の内壁面に沿って流出するように通液流路42に接続されている。図5においては、液体の旋回方向が時計回りであるため、通液流路42の左端側の上部にその通液流路42に直交させて気液流出路41を接続しているが、これに限るものではなく、例えば、液体の旋回方向が反時計周りである場合には、通液流路42の右端側の上部にその通液流路42に直交させて気液流出路41を接続しても良い。ただし、必ずしも気液流出路41を通液流路42に直交させる必要は無く、気液流出路41は通液流路42に対して斜めになっていても良い。このような構成の処理装置1において、液体が液体供給部5により配管5aを介して気液混合器4に供給されると、その液体は気液混合器4の液体流入部4bに流れ込む。液体流入部4bに流れ込んだ液体は、その液体流入部4bの液体流入路21を通過し、その後、液体流入路21につながる通液流路22を旋回しながら流れ、ベンチュリ管4aに流れ込む。流れ込んだ液体はベンチュリ管4a内を旋回しながら流れ、絞り部11に到達する。また、気体が気体供給部6により配管6aを介して気液混合器4に供給されると、その気体は気液混合器4の気体流入部4cに流れ込む。気体流入部4cに流れ込んだ気体は、その気体流入部4cの気体流入路31を通過し、その気体流入路31につながる環状の気体流路32を流れ、さらに、その環状の気体流路32につながる直線状の各気体流路33を流れて絞り部11に到達する。絞り部11に到達した気体は、絞り部11内を旋回しながら流れる液体に供給され、その液体と同じ方向に旋回しつつ液体に混合される。このとき、気体は絞り部11による減圧効果により液中に混合され、さらに、液体中の混合気泡は旋回によるキャビテーションによって細かく分断されながら液体と共にベンチュリ管4a内を流れていく。この混合気泡を含む液体気体が溶存した液体が気液混合液として気液流出部4dに到達する。気液流出部4dに到達した気液混合液は、気液流出部4dの通液流路42を旋回しながら流れ、その通液流路42につながる気液流出路41を通過し、配管3aを介して貯留部3に流れ込む。流れ込んだ気液混合液は貯留部3により貯留される。その後、処理部2は、貯留部3から配管3bを介して供給された気液混合液を微小気泡発生部材に通し、その液中に多量の微小気泡を発生させ、その多量の微小気泡を含む液体を用いて処理対象物の表面を処理する。このような処理動作では、液体が液体流入部4bにより旋回されてベンチュリ管4aに流入し、その旋回流がベンチュリ管4a内を通過する。このとき、絞り部11を通過する液体中の溶存気体は、その絞り部11により減圧され、その後の圧力開放により気化され、液体中に多量の気泡ガスバブルが生成される。その後、液中の気泡は旋回流によってより細かく分断される。特に、液体と気体とが同方向に旋回するため、旋回流が乱れず、その旋回によるキャビテーションが発生しやすくなり、気泡がより細分化される。したがって、前述のように、旋回する液体に同じ方向に旋回するように気体を供給して混合することによって、旋回によるキャビテーションを積極的に発生させ、混合気泡を細かく分断すること可能であり、分断効率を高くすることができる。以上説明したように、本実施形態によれば、気体流入部4cを用いて、ベンチュリ管4a内を旋回して流れる液体の旋回方向に合わせて絞り部11内に気体を流入させる。これにより、液体及び気体を同方向に旋回させて旋回流の乱れを抑止し、その旋回によるキャビテーションを積極的に発生させることによって、絞り部11の減圧効果により生じた気泡を細かく分断することが可能となるので、液体に対する気体の溶解効率を向上させることができる。その結果、液体に対する気体の溶解量を向上させて微小気泡の発生量を所望量とすることが可能となり、例えば洗浄処理やレジスト除去処理など、十分な処理性能を得ることができる。また、気体流入部4cは、絞り部11が環内を通過する環状の気体流路32と、その環状の気体流路32と絞り部11とを個別に接続する複数の直線状の気体流路33とを有している。これにより、液体の旋回方向に合わせて容易にかつ確実に絞り部11に気体を供給することができる。さらに、気体流入口H2だけに配管6aを接続すれば、接続作業が完了するため、取り付けやメンテナンスなどの作業性を向上させることができる。加えて、気体流路33を複数本設け、絞り部11に対して複数の箇所から気体を流入させることによって、その本数が一本である場合に比べ、単位時間当たりの気体供給量を増加させることが可能となり、液体に対する気体の溶解効率をより向上させることができる。なお、前述の実施の形態においては、各気体流路33を絞り部11の周方向に並ぶように配置しているが、これに限るものではなく、例えば、図6に示すように、絞り部11の周方向に加え、絞り部11の延伸方向に並ぶように配置しても良い。これにより、各気体流路33は、絞り部11内を流れる液体の進行方向にも並ぶことになる。この場合には、図2に示す気液混合器4に比べ、単位時間当たりの気体供給量を増加させることが可能となるので、液体に対する気体の溶解効率をさらに向上させることができる。ただし、ベンチュリ管4aの延伸長さによっては、絞り部11の延伸長さ図6中の横幅が短くなることもあり、この場合には、各気体流路33が絞り部11の周方向に並んでいる方がベンチュリ管4aの小型化に対応することが可能である。すなわち、各気体流路33を絞り部11の周方向に並べて配置することで、絞り部11の延伸長さを短く、すなわちベンチュリ管4aの延伸長さを短くすること可能となるので、各気体流路33を絞り部11の延伸方向に並べた場合に比べ、ベンチュリ管4aの小型化を実現することができる。また、前述の実施の形態においては、通液流路22内を流れる液体がその通液流路22の内壁面に沿う方向に旋回しながら通液流路22の延伸方向に進行するように通液流路22に液体流入路21を接続しているが、これに限るものではなく、液体は絞り部11に到達した時点で旋回していれば良いため、例えば、通液流路22内に、液体を旋回させるスクリューやプロペラなどの旋回部材を設けても良い。また、前述の実施の形態においては、処理部2として基板処理装置を例に説明しているが、これに限るものではなく、その基板処理装置にかえて加工装置や浄化装置例えば、背景技術に記載したような加工装置や浄化装置を用いても良い。以上、本発明の一実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。