"基板に少なくとも1つのマッハツェンダー型導波路が形成され、該マッハツェンダー型導波路の出射側の合波部には、2本の分岐導波路が導入されると共に、出力主導波路と該出力主導波路を挟む2本の出力副導波路とが導出されるように構成された光導波路素子において、該分岐導波路はシングルモード導波路で構成され、該合波部の導波路はマルチモード導波路で構成され、該マルチモード導波路の幅は、該シングルモード導波路の幅よりも広く、かつ、該シングルモード導波路の幅の2倍の幅よりも狭く構成されていることを特徴とする光導波路素子。請求項1に記載の光導波路素子において、該分岐導波路、該出力主導波路、該出力副導波路の少なくとも一つの導波路の幅は、該合波部に向かって狭くなるよう構成されていることを特徴とする光導波路素子。請求項1又は2に記載の光導波路素子において、該出力主導波路は、シングルモード導波路で構成され、該合波部に接続される該出力副導波路の幅は、該合波部に接続された該出力主導波路の幅よりも狭くなるよう構成されていることを特徴とする光導波路素子。請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路素子において、該基板の厚さは20μm以下であることを特徴とする光導波路素子。本発明は、上述した問題を解消し、MZ型導波路の合波部から放出される主出力光とモニタ光放射モード光との光強度変化が相補的関係となるように設定することが可能な光導波路素子を提供することである。上記課題を解決するため、請求項1に係る発明は、基板に少なくとも1つのマッハツェンダー型導波路が形成され、該マッハツェンダー型導波路の出射側の合波部には、2本の分岐導波路が導入されると共に、出力主導波路と該出力主導波路を挟む2本の出力副導波路とが導出されるように構成された光導波路素子において、該分岐導波路はシングルモード導波路で構成され、該合波部の導波路はマルチモード導波路で構成され、該マルチモード導波路の幅は、該シングルモード導波路の幅よりも広く、かつ、該シングルモード導波路の幅の2倍の幅よりも狭く構成されていることを特徴とする。請求項2に係る発明は、請求項1に記載の光導波路素子において、該分岐導波路、該出力主導波路、該出力副導波路の少なくとも一つの導波路の幅は、該合波部に向かって狭くなるよう構成されていることを特徴とする。請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載の光導波路素子において、該出力主導波路は、シングルモード導波路で構成され、該合波部に接続される該出力副導波路の幅は、該合波部に接続された該出力主導波路の幅よりも狭くなるよう構成されていることを特徴とする。請求項4に係る発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路素子において、該基板の厚さは20μm以下であることを特徴とする。請求項1に係る発明により、基板に少なくとも1つのマッハツェンダー型導波路が形成され、該マッハツェンダー型導波路の出射側の合波部には、2本の分岐導波路が導入されると共に、出力主導波路と該出力主導波路を挟む2本の出力副導波路とが導出されるように構成された光導波路素子において、該分岐導波路はシングルモード導波路で構成され、該合波部の導波路はマルチモード導波路で構成され、該マルチモード導波路の幅は、該シングルモード導波路の幅よりも広く、かつ、該シングルモード導波路の幅の2倍の幅よりも狭く構成されているため、合波部において、3次モード光の発生が抑制され、放射モード光の光強度変化が、主出力光のものと相補的関係からズレることが防止される。請求項2に係る発明により、分岐導波路、出力主導波路、出力副導波路の少なくとも一つの導波路の幅は、該合波部に向かって狭くなるよう構成されているため、例えば、分岐導波路を伝搬するシングルモード光を、モード変化を抑制しながら効率良く合波部に導入することが可能となる。また、合波部から必要な光波を円滑に導出することも可能となる。請求項3に係る発明により、出力主導波路は、シングルモード導波路で構成され、合波部に接続される出力副導波路の幅は、該合波部に接続された該出力主導波路の幅よりも狭くなるよう構成されているため、主出力光と放射モード光とを効率良く分離することが可能となる。請求項4に係る発明により、基板の厚さは20μm以下であるため、基板自体がスラブ導波路化し易い場合であっても、上述した本発明を用いることで、主出力光と放射モード光とを分離することが可能となる。本発明の光導波路素子について、以下に詳細に説明する。図6に示すように、本発明の光導波路素子は、基板に少なくとも1つのマッハツェンダー型導波路が形成され、該マッハツェンダー型導波路の出射側の合波部20には、2本の分岐導波路22,23が導入されると共に、出力主導波路24と該出力主導波路を挟む2本の出力副導波路25,26とが導出されるように構成された光導波路素子において、該分岐導波路22,23はシングルモード導波路で構成され、該合波部20の導波路はマルチモード導波路で構成され、該マルチモード導波路の幅W2は、該シングルモード導波路の幅W1,W3よりも広く、かつ、該シングルモード導波路の幅の2倍の幅よりも狭く構成されていることを特徴とする。合波部20はマルチモード導波路を構成するが、1次モード光及び2次モード光のみを伝搬し、3次モード光がカットオフ波長領域となるように合波部20の幅W2を設定している。これにより、合波部において、3次モード光の発生が抑制され、さらに、出力主導波路と2本の出力副導波路への3次モードの結合が抑制され、主出力光とモニタ光放射モード光との光強度変化の相補的関係からズレること変調曲線がシフトすることが防止できる。本発明に利用される基板としては、誘電体基板や電気光学効果を有する材料を用いた基板が利用でき、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、PLZTジルコン酸チタン酸鉛ランタン、及び石英系の材料、並びにこれらの材料を組み合わせた基板が利用可能である。特に、電気光学効果の高いニオブ酸リチウムLN結晶が好適に利用される。基板に光導波路を形成する方法としては、Tiなどを熱拡散法やプロトン交換法などで基板表面に拡散させることにより形成することができる。また、光導波路以外の基板をエッチングしたり、光導波路の両側に溝を形成するなど、基板に光導波路に対応する部分を凸状としたリッジ形状の導波路を利用することも可能である。光変調器などの光導波路素子では、基板上に信号電極や接地電極などの変調電極が形成される。このような電極は、TiAuの電極パターンの形成及び金メッキ方法などにより形成することが可能である。さらに、必要に応じて光導波路形成後の基板表面に誘電体SiO2等のバッファ層を設け、バッファ層の上に変調電極を形成することも可能である。基板を薄板化した場合には素子全体の機械的強度が低下するため、基板に補強板が接合される。補強板に使用される材料としては、種々のものが利用可能であり、例えば、薄板と同様の材料を使用する他に、石英、ガラス、アルミナなどのように薄板より低誘電率の材料を使用したり、薄板と異なる結晶方位を有する材料を使用することも可能である。ただし、線膨張係数が薄板と同等である材料を選定することが、温度変化に対する光変調器の変調特性を安定させる上で好ましい。仮に、同等の材料の選定が困難である場合には、薄板と補強板とを接合する接着剤に、薄板と同等な線膨張係数を有する材料を選定する。薄板と補強板との接合には、接着剤として、エポキシ系接着剤、熱硬化型接着剤、紫外線硬化性接着剤、半田ガラス、熱硬化性、光硬化性あるいは光増粘性の樹脂接着剤シートなど、種々の接着材料を使用することが可能である。また、直接接合法により、接着剤を使用せず、薄板と補強板とを直接貼り合わせることも可能である。本発明に利用される基板の厚さは、導波路を伝搬する光波の波長の15倍以下例えば、1.55μmの波長を有する光波を利用する場合には、基板の厚みは約20μm以下となる。に設定することで、基板がスラブ導波路として機能し易くなる。このような条件では、基板内に放出された光波が基板内を伝搬し、光導波路と再結合し易くなる。このような基板を利用した光導波路素子でも、本発明の構成を採用することで、光導波路から基板内への光波、特に、高次モード光の放出を抑制すると共に、出力特性が安定した光導波路素子を提供することが可能となる。本発明の光導波路素子に係る実施例について、さらに詳細に説明する。上述したように合波部20を構成するマルチモード導波路の幅W2は、シングルモード導波路よりも広く、シングルモード導波路の幅の2倍の幅よりも狭く構成されている。シングルモード導波路の幅よりも狭くなると、1次モード光及び2次モード光を基板内に放出する原因となる。このため、主出力光など光波を、光導波路を用いて効率的に伝搬することが困難となる。また、マルチモード導波路の幅W2がシングルモード導波路の2倍の幅を超えると、3次モード光が発生し易くなり、主出力光とモニタ光との間で変調曲線のシフト現象が発生する。好適には、マルチモード導波路の幅W2はシングルモード導波路の1.2~1.6倍程度とすることが、より好ましい。さらに、分岐導波路22,23の幅は、合波部20に向かって狭くなるよう構成されている。図6において、シングルモード導波路の幅であるW1が、合波部20に接続するために幅W10と狭くなっている。これにより、分岐導波路22,23を伝搬するシングルモード光を、モード変化を抑制しながら効率良く合波部に導入することが可能となる。また、分岐導波路と同様に、出力主導波路又は出力副導波路についても、合波部に向かって狭く構成することも可能である。このように導波路の幅は連続的かつ滑らかに変化させる方が、光波の伝搬損失や他のモード状態に変化することを抑制することが可能となる。出力主導波路24は、シングルモード導波路で構成され、合波部20に接続される出力副導波路25,26の幅W40は、該合波部20に接続された該出力主導波路の幅W30よりも狭くなるよう構成されている。これにより、主出力光1次モード光と放射モード光2次モード光とを効率良く分離することが可能となる。さらに、合波部20への出力主導波路24や出力副導波路25,26の接続に際しては、導波路の幅をテーパ状に狭く構成して接続することができる。なお、合波部への各種導波路を接続する際には、図6のような直線状のテーパ形状にするだけでなく、正弦関数などの滑らかな曲線を用いたテーパ形状とする方が、光導波路の形状変化の不連続性を低減することが可能となる。また、合波部20の形状は、常に一定の幅W2で固定するのではなく、必要に応じて、光伝播方向に対して増加又は減少するよう構成し、分岐導波路や出力副導波路などと滑らかに接続するよう構成することも可能である。図7は、複数のマッハツェンダー型導波路200,201,202を集積した構造を有する光導波路素子の平面図である。このような光導波路素子においても、点線枠Z1~Z3において、図6に示すような構造の合波部を構成することで、各マッハツェンダー型導波路の出力主導波路から出力される主出力光と、モニタ光P1~P3との光強度変化を常に相補的な関係に維持することが可能となる。"