"マスクを保持するマスクステージと、被露光材としてのフラットパネルディスプレイ用基板をそれぞれ保持する第1及び第2のワークチャックを備える基板ステージと、前記第1及び第2のワークチャックに保持された前記基板が前記マスクステージに保持された前記マスクと対向するように、前記第1及び第2のワークチャックを同期して移動可能なステージ移動機構と、前記マスクを介して前記基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置と、前記基板を保持し、且つ、前記第1のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な第1の搬送装置と、前記基板を保持し、且つ、前記第2のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な第2の搬送装置と、前記第1及び第2の搬送装置による前記基板の搬入及び搬出動作が同期して行われるように前記第1及び第2の搬送装置を制御する制御部と、を備えることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用露光ユニット。前記露光装置は、一括露光方式であることを特徴とする請求項1に記載のフラットパネルディスプレイ用露光ユニット。マスクを保持するマスクステージと、被露光材としての基板をそれぞれ保持する第1及び第2のワークチャックを備える基板ステージと、及び前記第1及び第2のワークチャックに保持された前記基板が前記マスクステージに保持された前記マスクと対向するように、前記第1及び第2のワークチャックを同期して移動可能なステージ移動機構と、前記マスクを介して前記基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置と、前記基板を保持し、且つ、前記第1のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な第1の搬送装置と、前記基板を保持し、且つ、前記第2のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な第2の搬送装置と、を備えることを特徴とする露光ユニットを用いたフラットパネルディスプレイ用露光方法であって、前記第1及び第2の搬送装置によって前記第1及び第2のワークチャックへ前記基板の搬入動作を同期して行う工程と、前記第1及び第2のワークチャックに載置された前記基板のいずれか一方を露光する工程と、前記ステージ移動機構によって前記第1及び第2のワークチャックに載置された他方の基板が前記マスクと対向するように前記第1及び第2のワークチャックを移動する工程と、前記第1及び第2のワークチャックに載置された前記他方の基板を露光する工程と、前記第1及び第2の搬送装置によって前記第1及び第2のワークチャックから前記基板の搬出動作を同期して行う工程と、を備えることを特徴とする露光ユニットを用いたフラットパネルディスプレイ用露光方法。ところで、フラットパネルディスプレイパネルの露光装置においては、タクトタイムの短縮が要求されている。特許文献1に記載の露光装置では、一方のワークステージ上のワークを露光中、ワーク搬入搬出によって発生する振動、衝撃が露光中のワークに影響を与え、露光精度に影響を与えるという課題があった。このような課題は、特に、一括露光方式において顕著となる。また、特許文献2に記載の露光装置は、半導体用のものであり、基板が小さいことからステーションを移動せず同時露光を行っている。さらに、特許文献3に記載の露光装置も、半導体用のものであり、1台のハンドリングユニットによって基板の搬送を行っていることから、タクトタイムが長くなるという課題があった。本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、良好な露光精度が得られると共にタクトタイムの短縮が可能なフラットパネルディスプレイパネル用露光装置を提供することにある。本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。1マスクを保持するマスクステージと、被露光材としてのフラットパネルディスプレイ用基板をそれぞれ保持する第1及び第2のワークチャックを備える基板ステージと、前記第1及び第2のワークチャックに保持された前記基板が前記マスクステージに保持された前記マスクと対向するように、前記第1及び第2のワークチャックを同期して移動可能なステージ移動機構と、前記マスクを介して前記基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置と、前記基板を保持し、且つ、前記第1のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な第1の搬送装置と、前記基板を保持し、且つ、前記第2のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な第2の搬送装置と、前記第1及び第2の搬送装置による前記基板の搬入及び搬出動作が同期して行われるように前記第1及び第2の搬送装置を制御する制御部と、を備えることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用露光ユニット。2前記露光装置は、一括露光方式であることを特徴とする1に記載のフラットパネルディスプレイ用露光ユニット。3マスクを保持するマスクステージと、被露光材としてのフラットパネルディスプレイ用基板をそれぞれ保持する第1及び第2のワークチャックを備える基板ステージと、前記第1及び第2のワークチャックに保持された前記基板が前記マスクステージに保持された前記マスクと対向するように、前記第1及び第2のワークチャックを同期して移動可能なステージ移動機構と、前記マスクを介して前記基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置と、前記基板を保持し、且つ、前記第1のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な第1の搬送装置と、前記基板を保持し、且つ、前記第2のワークチャックに対して前記基板を搬入及び搬出可能な第2の搬送装置と、を備えることを特徴とする露光ユニットを用いたフラットパネルディスプレイ用露光方法であって、前記第1及び第2の搬送装置によって前記第1及び第2のワークチャックへ前記基板の搬入動作を同期して行う工程と、前記第1及び第2のワークチャックに載置された前記基板のいずれか一方を露光する工程と、前記ステージ移動機構によって前記第1及び第2のワークチャックに載置された他方の基板が前記マスクと対向するように前記第1及び第2のワークチャックを移動する工程と、前記第1及び第2のワークチャックに載置された前記他方の基板を露光する工程と、前記第1及び第2の搬送装置によって前記第1及び第2のワークチャックから前記基板の搬出動作を同期して行う工程と、を備えることを特徴とする露光ユニットを用いたフラットパネルディスプレイ用露光方法。本発明のフラットパネルディスプレイ用露光ユニット及び露光方法によれば、露光装置は、基板をそれぞれ保持する第1及び第2のワークチャックと、第1及び第2のワークチャックを同期して移動可能なステージ移動機構を備え、さらに、第1及び第2のワークチャックに対してそれぞれ基板を搬入及び搬出可能な第1及び第2の搬送装置と、第1及び第2の搬送装置による基板の搬入及び搬出動作が同期して行われるように第1及び第2の搬送装置を制御する制御部と、を備える。従って、第1及び第2の搬送装置によって第1及び第2のワークチャックへ基板の搬入動作、及び第1及び第2のワークチャックから基板の搬出動作を同期して行うことができ、タクトタイムの短縮が可能となる。また、基板の搬入搬出動作と異なるタイミングで、ステージ移動機構によって第1及び第2のワークチャックに保持された基板をマスクに対向させて順次露光が行われるので、良好な露光精度が得られ、また、マスクステージ及び照明光学系を複数設ける必要がなく、装置コストを抑えることができる。以下、本発明の第1実施形態に係る露光ユニットを図面に基づいて詳細に説明する。図1に示す一実施形態のフラットパネルディスプレイ用露光ユニット10は、近接露光装置11と、第1及び第2の搬送装置12,13と、第1及び第2のプリアライメント装置14,15と、第1及び第2の搬入コンベア16,17と、第1及び第2の搬出コンベア18,19と、これら装置を制御する制御部20と、を備える。近接露光装置11は、マスクMを保持するマスクステージ21と、被露光材としてのフラットパネルディスプレイ用基板W1、W2をそれぞれ保持する第1及び第2のワークチャック22,23を備える基板ステージ24と、第1及び第2のワークチャック22,23に保持された基板W1、W2がマスクステージ21に保持されたマスクMと対向するように、第1及び第2のワークチャック22,23を同期して移動可能なステージ移動機構25と、マスクMを介して基板W1,W2に露光光を照射する照明光学系図示せずと、を備える。本実施形態の近接露光装置11は、一括露光方式であり、マスクMと基板W1,W2をそれぞれ1:1で焼き付けていく方式であり、各基板W1,W2の露光時間は非常に短い。なお、マスクステージ21、ステージ移動機構25、照明光学系等の各構成自体は公知のものが適用可能である。また、基板ステージ24は、第1及び第2のワークチャック22,23が同期移動可能なものであれば、本実施形態のように一体であってもよいし、第1及び第2のワークチャック22,23ごとに別体であってもよい。第1の搬送装置12は、基板W1を保持し、且つ、基板ステージ24の第1のワークチャック22に対して基板W1を搬入及び搬出すると共に、第1のプリアライメント装置14、第1の搬入コンベア16、及び第1の搬出コンベア18へアクセス可能に配置されている。また、第2の搬送装置13も、基板W2を保持し、且つ、基板ステージ24の第2のワークチャック23に対して基板W2を搬入及び搬出すると共に、第2のプリアライメント装置15、第2の搬入コンベア17、及び第2の搬出コンベア19へアクセス可能に配置されている。本実施形態においては、第1及び第2の搬送装置12,13は、それぞれ異なる方向から近接露光装置11の各ワークチャック22,23にアクセス可能なように配置されている。なお、本実施形態では、第1及び第2の搬送装置12,13として、基板W1,W2を保持するロボットアーム12a,13aを有し、水平方向及び上下方向に駆動するスカラー型のロボットが適用されているが、直動式のロボットやベルトコンベアであってもよい。また、各搬送装置12,13は、それぞれ複数のロボットアーム12a,13aを有するように構成されてもよい。第1及び第2のプリアライメント装置14,15は、近接露光装置11の各ワークチャック22,23へ基板W1,W2を搬入する前に、基板W1,W2をプリアライメントするためのものである。また、第1及び第2の搬入コンベア16,17は、前工程からの基板W1,W2を搬送し、第1及び第2の搬出コンベア18,19は、後工程へ基板W1,W2を搬送する。なお、各プリアライメント装置14,15、各搬入コンベア16,17、各搬出コンベア18,19は、それぞれ公知のものが適用される。また、これらプリアライメント装置14,15は、省略してもよいし、あるいは、第1及び第2の搬送装置12,13を用いてプリアライメントを行ってもよい。制御部20は、近接露光装置11、搬送装置12,13、プリアライメント装置14,15、搬入コンベア16,17、及び、搬出コンベア18,19を制御するものである。また、制御部20は、第1及び第2の搬送装置12,13による近接露光装置11に対する基板W1,W2の搬入及び搬出動作が同期して行われるように第1及び第2の搬送装置12,13を制御する。以下、上記の露光ユニット10を用いた露光方法について説明する。まず、第1及び第2の搬入コンベア16,17により、基板W1,W2が第1及び第2のプリアライメント装置14,15の近傍まで搬送されると、第1及び第2の搬送装置12,13のロボットアーム12a,13aは、基板W1,W2をそれぞれ把持し、これらロボットアーム12a,13aを同期駆動して、第1及び第2のプリアライメント装置14,15まで運搬する。その後、第1及び第2の搬送装置12,13は、基板W1,W2を第1及び第2のプリアライメント装置14,15に載置する。第1及び第2のプリアライメント装置14,15が基板W1,W2をプリアライメントしてから、第1及び第2の搬送装置12,13のロボットアーム12a,13aは、基板W1,W2を把持し、これらロボットアーム12a,13aを同期駆動して、近接露光装置11へ基板W1,W2を運搬する。基板W1,W2は、近接露光装置11に到着後、ロボットアーム12a,13aは、基板W1,W2を第1及び第2のワークチャック22,23上に載置する。そして、第1のワークチャック22上の基板W1をマスクMに対してアライメントした後、基板W1が露光される。その後、ステージ移動機構25によって第1及び第2のワークチャック22,23を同期して移動させ、第2のワークチャック23上の基板W2をマスクMの下方に配置し、基板W2をマスクMに対してアライメントする。そして、基板W2が露光され、再度、ステージ移動機構25によって第1及び第2のワークチャック22,23を元の位置へ戻す。そして、露光された基板W1,W2は、第1及び第2の搬送装置12,13のロボットアーム12a,13aによって把持され、これらロボットアーム12a,13aを同期駆動して、第1及び第2の搬出コンベア18,19へ運搬される。このように、本実施形態の露光ユニット10及び露光方法によれば、近接露光装置11は、基板W1,W2をそれぞれ保持する第1及び第2のワークチャック22,23と、第1及び第2のワークチャック22,23を同期して移動可能なステージ移動機構25を備え、さらに、第1及び第2のワークチャック22,23に対してそれぞれ基板W1,W2を搬入及び搬出可能な第1及び第2の搬送装置12,13と、第1及び第2の搬送装置12,13による基板W1,W2の搬入及び搬出動作が同期して行われるように第1及び第2の搬送装置12,13を制御する制御部20と、を備える。従って、第1及び第2の搬送装置12,13によって第1及び第2のワークチャック22,23へ基板の搬入動作、及び第1及び第2のワークチャック22,23から基板W1,W2の搬出動作を同期して行うことができ、タクトタイムの短縮が可能となる。また、基板の搬入搬出動作と異なるタイミングで、ステージ移動機構25によって第1及び第2のワークチャック22,23に保持された基板W1,W2をマスクMに対向させて順次露光が行われるので、良好な露光精度が得られ、また、マスクステージ21及び照明光学系を複数設ける必要がなく、装置コストを抑えることができる。図2は、第1実施形態の露光ユニット10の変形例を示す。この変形例では、第1及び第2搬入、搬出コンベア30,31が、上下2段に配置されており、露光ユニット10をコンパクトに設計することができる。このため、第1及び第2の搬送装置12,13は、ロボットアーム12a,13aを上下に移動させることで、上下の各搬入、搬出コンベア30,31へアクセス可能となる。次に、本発明の第2実施形態に係る露光ユニットを図3を参照して説明する。なお、第1実施形態と同一または同等部分については同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。本実施形態の露光ユニット10aでは、第1及び第2の搬送装置12,13が近接露光装置11の基板ステージ24と平行に、互いに近接して並列配置されている。このため、第1及び第2のプリアライメント装置14,15もその外側にほぼ対称に配置され、また、搬入、搬出コンベア30、31も並列に配置されている。その他の構成については、第1実施形態と同様であり、第1実施形態と同様の効果を奏する。尚、本発明は、前述した実施形態及び変形例に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。"