"ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライド、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニル、及びイソフタル酸クロライドからなる、下記式より算出される分岐モノマーモル分率が5~30molであるモノマー群を重合することにより分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体とし、かかる分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体をオキサゾール化することによって得られる分岐ポリベンゾオキサゾール系材料。前記モノマー群がテレフタル酸クロライドを含む請求項1に記載の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料。前記分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体と、かかる分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体の末端官能基と反応し得る官能基を二つ以上有する芳香族化合物との混合物を、オキサゾール化することによって得られる請求項1又は請求項2に記載の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料。前記芳香族化合物が有する官能基がアミノ基、ヒドロキシル基又はカルボキシル基である請求項3に記載の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料。前記分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体と無機フィラーとの混合物をオキサゾール化することによって得られる請求項1~請求項4の何れか1項に記載の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料。請求項1~請求項5の何れか1項に記載の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料からなる太陽電池基板用フィルム。請求項1~請求項5の何れか1項に記載の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の製造方法にして、前記モノマー群の重合を、-20~0°Cの温度条件の下、オキシラン化合物を含む有機溶媒内にて実施する工程を含むことを特徴とする分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の製造方法。請求項1~請求項5の何れか1項に記載の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の製造方法にして、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルをシリル化剤によってシリル化し、それにより得られるシリル化物と、前記モノマー群を構成する4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニル以外のモノマーとを重合することを特徴とする分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の製造方法。ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為されたものであって、その解決すべき課題とするところは、機械的特性、耐熱性及び製膜性薄膜成形性に優れると共に、線熱膨張係数が低く、寸法安定性に優れる多分岐-直鎖ポリベンゾオキサゾール系材料を提供することにある。そして、本発明は、そのような課題を解決するために、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライド、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニル、及びイソフタル酸クロライドからなる、下記式より算出される分岐モノマーモル分率が5~30molであるモノマー群を重合することにより分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体とし、かかる分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体をオキサゾール化することによって得られる分岐ポリベンゾオキサゾール系材料を、その要旨とするものである。なお、本発明に従う分岐ポリベンゾオキサゾール系材料にあっては、前記モノマー群がテレフタル酸クロライドを含むものを、第一の好ましい態様とする。また、本発明の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料は、第二の好ましい態様において、前記分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体と、かかる分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体の末端官能基と反応し得る官能基を二つ以上有する芳香族化合物との混合物を、オキサゾール化することによって得られるものである。ここで、前記芳香族化合物が有する官能基は、アミノ基、ヒドロキシル基又はカルボキシル基であることが好ましい。さらに、本発明の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料は、第三の好ましい態様において、前記ポリベンゾオキサゾール前駆体と無機フィラーとの混合物をオキサゾール化することによって得られるものである。加えて、本発明は、上記した各態様の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料からなる太陽電池基板用フィルムも、その要旨とするものである。また、本発明は、上記した各態様の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の製造方法にして、前記モノマー群の重合を、-20~0°Cの温度条件の下、オキシラン化合物を含む有機溶媒内にて実施する工程を含むことを特徴とする分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の製造方法も、その要旨とするものである。さらに、本発明は、上記した各態様の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の製造方法にして、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルをシリル化剤によってシリル化し、それにより得られるシリル化物と、前記モノマー群を構成する4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニル以外のモノマーとを重合することを特徴とする分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の製造方法をも、その要旨とするものである。このように、本発明に従う分岐ポリベンゾオキサゾール系材料にあっては、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライド、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニル、及びイソフタル酸クロライドからなるモノマー群であって、最終的に得られるポリベンゾオキサゾールにおける分岐構造の含有割合の指標となる分岐モノマーモル分率が所定の範囲内とされたものを、重合して分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体とし、かかる分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体をオキサゾール化することによって得られるものである。即ち、本発明の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料は、分子内に、所定の割合にて分岐構造を有する分岐ポリベンゾオキサゾールからなるのであり、かかる分子内の分岐構造に起因して、短い分子鎖が三次元的に架橋した構造を呈しており、分子鎖の運動性が効果的に抑制されるところから、本発明の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料は、ポリベンゾオキサゾールが本来的に有する優れた機械的特性及び耐熱性と共に、線熱膨張係数が低いものとなっているのである。また、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体は直鎖構造の中に無秩序に分岐構造を有していることから、直鎖構造と比べて分子鎖の秩序性が適度に失われ、分子鎖の間に適度な隙間が生まれることから、溶媒に対する溶解性が向上し、以て、製膜性薄膜成形性にも優れている。上述した効果は、本発明に係る製造方法に従って製造された分岐ポリベンゾオキサゾール系材料及び太陽電池用基板フィルムにおいて、特に有利に享受することが出来る。本発明に従う分岐ポリベンゾオキサゾール系材料を製造するに際しては、先ず、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライド以下、BTCともいう、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニル以下、HABともいう、及びイソフタル酸クロライド以下、IPCともいうからなる、下記式より算出される分岐モノマーモル分率が5~30molであるモノマー群が調製される。ここで、上記式より算出される分岐モノマーモル分率が5mol未満の場合、分岐構造による分子鎖の運動性の抑制が効果的に得られず、最終的に得られる分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の線熱膨張係数CTEが大きくなり、その一方、上記式より算出される分岐モノマーモル分率が30molを超えると、熱分解開始点となる分子末端が増加し、更に直鎖構造の分子鎖セグメントが短くなるため、分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の耐熱性及び機械的特性特に強度が悪化する恐れがある。このため、本発明においては、上記式より算出される分岐モノマーモル分率が5~30mol、好ましくは5~20mol、より好ましくは5~15molであるモノマー群が、用いられる。本発明に係る材料の線熱膨張係数CTEとは、100~200°Cにおける平均線熱膨張係数一般には平均線膨張係数とも言われるを意味するものである。具体的には、以下の手法に従って測定し、算出される。先ず、引張荷重が50mN、昇温速度が5°C/分、窒素雰囲気下、窒素流入量が100mL/分との条件に従い、室温例えば25°C~500°Cの温度範囲において熱機械分析を行なう。200°Cの時の試験片の長さから100°Cの時の試験片の長さを差し引いて、試験片の寸法変化を求め、この試験片の寸法変化の値を、室温における試験片の長さと、測定温度の温度差100°Cで除することにより、算出されるものであるJIS-K-0129:2005、及びJIS-K-7197:1991を参照。また、本発明において用いられるモノマーとしては、BTC、HAB及びIPCに加えて、テレフタル酸クロライド以下、TPCともいうを用いることが好ましい。メタ置換体のIPCと共にパラ置換体のTPCを用いることによって、合成される高分子鎖の剛直性直線性が高くなるため、最終的に得られる分岐ポリベンゾオキサゾール系材料の線熱膨張係数をより低くすることが可能である。BTC、HAB、IPC及びTPCは、市販品を用い得ることは勿論のこと、従来より公知の手法に従って実施者自らが合成したものであっても、使用可能である。なお、本発明において用いられるモノマー群としては、上記したBTC等以外のものであっても、本発明の目的を阻害しない限り、本発明の範囲内において使用することが可能である。上述したモノマー群を重合することにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体が合成される。かかる合成の方法としては、従来より公知の各種方法を採用することが可能であるが、本発明においては、高分子量体の重合が容易なA低温溶液重合法、又はBInsituシリル化法と称される方法が、特に有利に用いられる。以下、各方法について詳述する。尚、低温溶液重合法及びInsituシリル化法の何れにおいても、有機溶媒内にて反応を進行させることが好ましい。そのような有機溶媒としては、N-メチルピロリドンNMP、N,N-ジメチルアセトアミドDMAc、ジメチルスルホキシドDMSO等を例示することが出来る。A低温溶液重合法この方法は、モノマー群を、-20~0°Cの低温下において、オキシラン化合物を含む有機溶媒内にて重合する点を、特徴とする。即ち、BTC、HAB、IPC及びTPCの反応の際に生じる塩化水素を、オキシラン化合物と反応させて反応系内より除去することにより、BTC、HAB、IPC及びTPCの反応重合を効果的に進行させることが可能である。ここで、上述の低温溶液重合法におけるオキシラン化合物としては、塩化水素と反応性を有するオキシラン化合物であれば、如何なるものをも用いることが可能である。具体的には、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、エピクロルヒドリン、ブチレンオキサイド等を、例示することが出来る。具体的には、以下のような手順に従って、モノマー群を重合させる。先ず、有機溶媒に所定量のHABを添加し、HABを溶解させて反応溶液とする。次いで、この反応溶液中に、プロピレンオキサイドを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却する。そして、BTC及びIPC更にTPCを予め有機溶媒に溶解させてなる混合溶液を、反応溶液に滴下し、-20°Cで所定時間、反応させた後、更に室温25°Cで所定時間、反応させることにより、目的とする分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体が合成され、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体溶液が得られる。尚、かかる合成の後に、必要に応じて、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体溶液の精製が行なわれる。モノマー群の第一段階の重合低温下での重合を、-20°C未満の温度で実施すると、使用する溶媒例えばDMAcの融点を下回る可能性があり、有機溶媒が凝固し、均質な前駆体溶液の合成に問題が生じる場合がある。その一方で、0°Cを超える温度で実施すると、副反応が進行して余分な重合反応が起こるため、重合物がゲル化する。BInsituシリル化法この方法は、BTCをシリル化剤によってシリル化し、そのシリル化物と他のモノマーとを重合する点を、特徴とする。具体的には、以下のような手順に従って、モノマー群を重合させる。先ず、有機溶媒に所定量のHABを添加し、HABを溶解させて反応溶液とする。次いで、この反応溶液中に、シリル化剤を添加し、室温で撹拌することにより、HABのシリル化を行なう。その後、反応溶液を-5°Cに冷却する。そして、BTC及びIPC更にTPCを予め有機溶媒に溶解させてなる混合溶液を、反応溶液に滴下し、-5°Cで所定時間、反応させた後、更に室温25°Cで所定時間、反応させることにより、目的とする分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体が合成され、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体溶液が得られる。かかる合成の後に、シリル化剤及び塩の除去前駆体の精製が行なわれる。HABのシリル化に際して用いられるシリル化剤としては、ヘキサメチルジシラザン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、N-トリメチルシリルアセトアミド、N,O-ビストリメチルシリルアセトアミド、N-メチル-N-トリメチルシリルアセトアミド、N-メチル-N-トリメチルシリルトリフルオロアセトアミド、N-トリメチルシリルジメチルアミン、N-トリメチルシリルジエチルアミン、N,O-ビストリメチルシリルトリフルオロアセトアミド、N-トリメチリシリルイミダゾール、テトラメチルジシラザン、tert-ブチルジメチルクロロシラン、N-メチル-N-tert-ブチルジメチルシリルトリフルオロアセトアミド、ジクロロメチルテトラメチルジシラザン、クロロメチルジメチルクロロシラン、ブロモメチルジメチルクロロシラン、フロフェメシルアミン、フロフェメシルクロライド、フロフェメシルジエチルアミン等を、例示することが出来る。以上の如くして得られた多分岐-直鎖ポリベンゾオキサゾール前駆体をオキサゾール化する一般には熱処理を施すことによって、本発明に従う多分岐-直鎖ポリベンゾオキサゾール系材料が得られるのである。本発明の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料は、例えば、以下に述べる手法に従うことにより、フィルム状材料として製造することが出来る。具体的には、上述の如くして得られた分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体溶液をそのまま、或いは、所定の精製操作を施して固体状の分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体とし、この固体状の前駆体を有機溶媒に添加してなる溶液を、フィルム上にキャストし、還元雰囲気下、真空下、又はマイクロ波照射下等の公知の条件下において加熱処理を行ない、溶媒の乾燥及び前駆体のオキサゾール化を実施することにより、分岐ポリベンゾオキサゾール系材料からなるフィルムが得られる。このようにして得られた分岐ポリベンゾオキサゾール系材料からなるフィルムは、ポリベンゾオキサゾールが本来的に有する優れた機械的特性及び耐熱性を有しつつ、分岐構造により分子鎖の運動性が効果的に抑制されることで、線熱膨張係数が低いものとなる。ここで、モノマー群を構成する各モノマーの使用量を調整して、末端官能基がアミノ基及びヒドロキシル基であり、それらアミノ基及びヒドロキシル基が、分子鎖を構成する末端のベンゼン環の隣接位オルト位に結合している分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体を合成した場合には、かかる分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体溶液に、2つ以上のカルボキシル基を有する芳香族カルボン酸を添加し、この混合溶液をキャストし、オキサゾール化加熱することが好ましい。具体的には、2つ以上のカルボキシル基を有する芳香族カルボン酸によって、上記の分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体分子が相互に架橋されることで、分解開始点となり得る分子末端が減少するために耐熱性が向上し、また、分子末端の架橋により更に分子鎖の運動性が抑制されるため、線熱膨張係数がより低い多分岐-直鎖ポリベンゾオキサゾール系材料が得られるからである。本発明において用いられ得る2つ以上のカルボキシル基を有する芳香族カルボン酸としては、フタル酸、テレフタル酸、イソフタル酸、5-メチルイソフタル酸、4,4’-ビフェニルジカルボン酸、2,2’-ビフェニルジカルボン酸、4,4’-ジカルボキシジフェニルエーテル、ベンゾフェノン-4,4’-ジカルボン酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、1,4-ナフタレンジカルボン酸、2,2-ビス4-カルボキシフェニルヘキサフルオロプロパン、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸、ベンゼン-1,2,4-トリカルボン酸、4,4’,4-ベンゼン-1,3,5-トリイル-トリス安息香酸、ピロメリット酸等を、例示することが出来る。なお、末端官能基がアミノ基及びヒドロキシル基であり、それらアミノ基及びヒドロキシル基が、分子鎖を構成する末端のベンゼン環の隣接位オルト位に結合している分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体を合成する際には、例えば、以下の式を満たすような量的割合において、BTC、HAB、IPC及びTPCが用いられる。[HABのモル数]=[BTCのモル数]×2[IPCのモル数][TPCのモル数]一方、モノマー群を構成する各モノマーの使用量を調整して、末端官能基がカルボキシル基である分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体を合成した場合には、かかる分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体溶液に、芳香族ジヒドロキシジアミンを添加し、この混合溶液をキャストし、オキサゾール化加熱することが好ましい。この場合においても、芳香族ジヒドロキシジアミンによって、上記の分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体分子が相互に架橋されることで、分解開始点となり得る分子末端が減少するために耐熱性が向上し、また、分子末端の架橋により更に分子鎖の運動性が抑制されるため、線熱膨張係数がより低い多分岐-直鎖ポリベンゾオキサゾール系材料が得られるからである。本発明において用いられる芳香族ジヒドロキシジアミンとしては、2,4-ジアミノ-1,5-ベンゼンジオール、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニル、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジヒドロキシビフェニル、2,2’-ビス3-アミノ-4-ヒドロキシフェニルケトン、2,2-ビス3-アミノ-4-ヒドロキシフェニルスルフィド、2,2-ビス3-アミノ-4-ヒドロキシフェニルエーテル等を、例示することが出来る。なお、末端官能基がカルボキシル基である分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体を合成する際には、例えば、以下の式を満たすような量的割合において、BTC、HAB及びIPCが用いられる。[HABのモル数]=[BTCのモル数][IPCのモル数][TPCのモル数]さらに、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体溶液に線熱膨張係数が低い無機フィラーを添加し、この混合溶液をキャストし、オキサゾール化加熱することも好ましい。無機フィラーを添加した混合溶液をオキサゾール化加熱することにより、線熱膨張係数がより低い多分岐-直鎖ポリベンゾオキサゾール系材料が得られるからである。本発明において用いられる無機フィラーとしては、酸化物、窒化物、炭化物等のセラミックス材料、金属、炭素材料等からなるものを例示することが出来る。具体的には、セラミックス材料としては、二酸化ケイ素SiO2、酸化マグネシウムMgO、酸化アルミニウムAl2O3、酸化チタンTiO2、酸化ジルコニウムZrO2、酸化スズSn2O3、酸化亜鉛ZnO、窒化ホウ素BN、窒化アルミニウムAlN、窒化ケイ素Si3N4、窒化チタンTiN、炭化ケイ素SiC等を、例示することが出来る。また、金属としては、ケイ素Si、銀Ag、パラジウムPd、白金Pt等を、例示することが出来る。加えて、炭素材料としては、黒鉛、炭素ファイバー、フラーレン、カーボンナノチューブ等を、例示することが出来る。そして、そのようにして得られた本発明の分岐ポリベンゾオキサゾール系材料からなるフィルムは、機械的特性及び耐熱性が優れていると共に、線熱膨張係数が低いものであることから、半導体用の層間絶縁膜、保護膜、プリント配線板用フレキシブル基板、太陽電池中でもCIGS太陽電池用フレキシブル基板等の用途に用いることが期待されるものである。以上、本発明について詳述してきたが、本発明のBTCに代えて、ベンゼン-1,2,4-トリカルボン酸クロライド、4,4’,4-ベンゼン-1,3,5-トリイル-トリスクロライド等の3価以上の芳香族カルボン酸の塩化物を用いる場合でも、本発明と同様の効果を享受することが出来ると思われる。以下に、本発明の実施例を幾つか示し、本発明を更に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、そのような実施例の記載によって、何等の制約をも受けるものでないことは、言うまでもないところである。また、本発明には、以下の実施例の他にも、更には上記した具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等が加え得るものであることが、理解されるべきである。以下の実施例及び比較例において得られたフィルムの物性等について、以下に示す手法によって測定及び評価した。-線熱膨張係数CTE-SEIKOinstrumentsInc製の熱機械分析装置商品名:TMASS6100を用いて、熱機械分析を行なった。具体的には、窒素雰囲気下、50mNの引張荷重、5°C/分の昇温速度、100mL/分の窒素流入量という条件にて、室温例えば25°C~500°Cの測定範囲で熱機械分析を行なった。先ず、5°C/分の昇温速度で室温例えば25°Cから500°Cまで一旦、昇温させ、室温例えば25°Cまで冷却した後に再度、5°C/分で昇温させた。次いで、試験片の、200°C時の試験片の長さから100°C時の試験片の長さを差し引いて、寸法変化を求め、この寸法変化を、室温例えば25°C時における引張前の試験片の長さと、測定温度の温度差100°Cで除して、線熱膨張係数CTEを求めた。試験片として、0.03mmの膜厚にて作製したフィルムを30mm×3mmの大きさに切り出したものを用いた。-0.2重量減少温度Td02、5重量減少温度Td5-SEIKOinstrumentsInc製の熱重量分析装置商品名:TGDTA6300を用いて、熱重量分析により、200mL/分の窒素気流下、10°C/分の昇温速度という条件下での測定結果から、0.2重量減少温度Td02と、5重量減少温度Td5を求め、耐熱性の指標とした。重量減少温度は物質の熱安定性の指標であり、この温度が高くなるほど高温に晒されても物質の変化が少ないと考えられる。0.2重量減少温度Td02及び5重量減少温度Td5は、200°Cにおける試料の重量を基準とし、0.2wt若しくは5wt重量が減少した時の温度である。-ヤング率、破断強度、破断伸び-JTトーシ社製の卓上型引張試験機商品名:リトルセンスターLSC0530を用いて、チャック間距離を5mm×20mm、引張速度を5mm/分として、室温例えば25°Cにて試験片の引張試験を行なった。この際、応力の計算には試験片の断面積が必要となるところ、試験前破断前の試験片の厚みを任意の6箇所で測定して、平均をとり、断面積を計算した。得られた応力-歪曲線の初期勾配からヤング率[EGPa]を算出し、試験片が破断した時の強度及び伸び率から、破断強度[σMPa]及び破断伸び[ε]を求めた。-製膜性-得られたフィルムの製膜性の評価を、屈曲性を評価することによって行なった。具体的には、膜厚:30μmに製膜したフィルムを、縦:3cm×横:1cmの大きさに切り出し、製膜性評価サンプルとした。その製膜性評価サンプルを直径:2mmの棒に巻きつけ、フィルムに割れやひびが生じるか否かを目視で確認した。製膜性評価サンプルに割れやひびが生じない場合を○と、割れやひびが生じる場合を△と、それぞれ評価した。以下に、各実施例及び比較例における合成条件、並びに得られたフィルムの特性等を詳述する。-実施例1-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの2.16g10ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの50mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの3mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの1.62g8ミリモルを27mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に、20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、加えて25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行った。得られた沈殿物をろ過により回収し、イオン交換水で十分に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥し、固体状のPBO前駆体とした。この固体状のPBO前駆体をNMPに再溶解させ、PETシートポリエチレンテレフタレートシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が5.3molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。得られたPBOフィルムは、ヤング率Eが4.4GPa、破断強度σが137MPa、破断伸びεが10.2と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が532°C、5重量減少温度Td5が600°C以上と極めて優れた耐熱性を有すると共に、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが18.4ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例2-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.73g8ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの40mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの2.5mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの1.22g6ミリモルを25mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に、20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、加えて25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液中に、重合により生成する塩酸塩を中和するため炭酸ナトリウムNa2CO3を塩酸と等モル量、添加し、減圧下で5時間、撹拌した。ろ過により生成した塩を取り除いた後、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することにより、PBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBOフィルムを得た。得られたフィルムの各物性値を下記表1に示す。このPBOフィルムは、ヤング率Eが4.4GPa、破断強度σが125MPa、破断伸びεが7.2と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が518°C、5重量減少温度Td5が595°Cと極めて優れた耐熱性を有すると共に、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが14.3ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例3-実施例2と同様の手順により調製した、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBO前駆体溶液に、イソフタル酸IPAcの0.10g0.5ミリモルを添加し、均一な溶液となるまで撹拌することにより、IPAcとPBO前駆体との混合溶液を調製した。次いで、この混合溶液をPETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBOIPAc前駆体フィルムを得た。更に、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、500°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBOIPAcフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。得られたPBOIPAcフィルムは、ヤング率Eが4.4GPa、破断強度σが109MPa、破断伸びεが6.2と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が532°C、5重量減少温度Td5が600°Cと極めて優れた耐熱性を有すると共に、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが10.7ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。この結果から、オキサゾール化時の加熱処理によりイソフタル酸を介してPBO分子間を架橋することで、初期分解温度であるTd02が向上し、耐熱性を維持したまま更なる低CTE化が可能であることが確認できた。-実施例4-実施例2と同様の手順により調製した、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBO前駆体溶液に、樹脂重量に対して20wtとなるように窒化ホウ素BNフィラーを添加し、均一な溶液となるまで撹拌することにより、BNフィラーとPBO前駆体との混合溶液を調製した。次いで、この混合溶液をPETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBOBN20前駆体フィルムを得た。更に、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、500°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBOBN20フィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。得られたPBOBN20フィルムは、ヤング率Eが4.6GPa、破断強度σが73MPa、破断伸びεが3.5と優れた力学的強度を示した。また、力学特性に優れ、0.2重量減少温度Td02が519°C、5重量減少温度Td5が605°Cと極めて優れた耐熱性を有すると共に、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが10.2ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。この結果から、セラミック無機フィラーである窒化ホウ素フィラーとの複合化により、PBOの耐熱性向上および寸法安定性向上が確認できた。-実施例5-実施例2と同様の手順により調製した、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBOIPAcBN20前駆体フィルムを得た。更に、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、500°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBOIPAcBN20フィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。このフィルムは、ヤング率Eが4.6GPa、破断強度σが80MPa、破断伸びεが3.7と優れた力学的強度を示した。また、力学特性に優れ、0.2重量減少温度Td02が530°C、5重量減少温度Td5が604°Cと極めて優れた耐熱性を有すると共に、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが8.9ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。この結果から、分子鎖末端間の架橋及びセラミックである窒化ホウ素フィラーとの複合化により、PBOの耐熱性向上および寸法安定性向上が確認できた。-実施例6-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.73g8ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの40mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの3mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル、テレフタル酸クロライドTPCの0.24g1.2ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの0.97g4.8ミリモルを25mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、加えて25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られたPBO前駆体固体をろ過により回収し、イオン交換水で十分に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。このPBO前駆体固体をNMPに再溶解させ、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することにより、PBO前駆体フィルムを得た。得られたフィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、多分岐モル分率が7.1であるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。PBOフィルムは、ヤング率Eが4.7GPa、破断強度σが127MPa、破断伸びεが6.4と優れた力学的強度を示した。また、力学特性に優れ、0.2重量減少温度Td02が513°C、5重量減少温度Td5が577°Cと極めて優れた耐熱性を有すると共に、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが7.9ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例7-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの0.87g4ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの20mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの3mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの0.41g2ミリモルを15mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、加えて25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られたPBO前駆体固体をろ過により回収し、イオン交換水で十分に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。このPBO前駆体固体をNMPに再溶解させ、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が14.3molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。このフィルムは、ヤング率Eが4.5GPa、破断強度σが61MPa、破断伸びεが2.3と優れた力学的強度を示した。また、力学特性に優れ、0.2重量減少温度Td02が510°C、5重量減少温度Td5が591°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが10.0ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例8-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの0.65g3ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの18mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの3mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの0.20g1ミリモルを7mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、加えて25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO]前駆体溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行った。得られた沈殿物をろ過により回収し、イオン交換水で十分に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。この固体状のPBO前駆体をNMPに再溶解させ、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が20molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。PBOフィルムは、ヤング率Eが4.4GPa、破断強度σが45MPa、破断伸びεが1.2と優れた力学的強度を示した。また、力学特性に優れ、0.2重量減少温度Td02が509°C、5重量減少温度Td5が590°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが13.0ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例9-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.08g5ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの30mLを加え、溶解させた。その後、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの3mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.53g2ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの0.20g1ミリモルを20mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、加えて25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られた固体状のPBO前駆体をろ過により回収し、イオン交換水で十分に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。このPBO前駆体固体をNMPに再溶解させ、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が25molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。このフィルムは、ヤング率Eが4.4GPa、破断強度σが43MPa、破断伸びεが1.3と優れた力学的強度を示した。また、力学特性に優れ、0.2重量減少温度Td02が506°C、5重量減少温度Td5が589°Cと極めて優れた耐熱性を有すると共に、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが14.5ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例10-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.51g7ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの70mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの3mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.80g3ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの0.20g1ミリモルを30mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、さらに25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行った。得られたPBO前駆体固体をろ過により回収し、イオン交換水で十分に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。このPBO前駆体固体をNMPに再溶解させ、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が30molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。得られたフィルムは、ヤング率Eが4.7GPa、破断強度σが24MPa、破断伸びεが0.6と優れた力学的強度を示した。また、力学特性に優れ、0.2重量減少温度Td02が505°C、5重量減少温度Td5が588°Cと極めて優れた耐熱性を有すると共に、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが12.5ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例11-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.73g8ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンの40mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にN,O-ビストリメチルシリルアセトアミドBSAの6.52g32ミリモルを添加し、室温で1時間、撹拌することにより、HABのシリル化を行なった後、反応溶液を-5°Cに冷却した。別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの1.22g6ミリモルを25mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-5°Cで1時間、反応させ、加えて25°Cで24時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBOBTCIPCHAB前駆体溶液を水/メタノール=4/1の混合溶液中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られた固体状のPBO前駆体をろ過により回収し、水/メタノール=4/1の混合溶液で十分に洗浄した後、80°Cで12時間、真空乾燥を行なった。固体状のPBO前駆体をNMPに再溶解させ、PETシート状にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表1に示す。このフィルムは、ヤング率Eが4.6GPa、破断強度σが105MPa、破断伸びεが8.7と優れた力学的強度を示した。また、力学特性に優れ、0.2重量減少温度Td02が515°C、5重量減少温度Td5が573°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが16.1ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例12-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、ベンゼントリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの1.62g8ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの50mLを加え、完全に溶解させ、反応溶液を-20°Cに冷却した。次いで、予め25mLのNMPに4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.94g9ミリモルを完全に溶解させ、さらにプロピレンオキサイドPOの3mLを加えた混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、更に25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られた固体状のPBO前駆体をろ過により回収し、イオン交換水で徹底的に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。固体状のPBO前駆体をNMPに再溶解させ、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することにより、PBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することでオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が6.3molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表2に示す。PBOフィルムは、ヤング率Eが4.6GPa、破断強度σが118MPa、破断伸びεが8.7と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が503°C、5重量減少温度Td5が585°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが36.4ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例13-実施例12と同様の手順により調製したモノマーモル分率が6.3molであるPBO前駆体溶液中に、分子鎖末端数に相当する4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの0.11g0.5ミリモルを添加し、均一な溶液となるまで撹拌した。その後、この溶液をPETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBOHAB前駆体]フィルムを得た。次いで、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによりオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が6.3molであるPBOHABフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表2に示す。PBOHABフィルムは、ヤング率Eが4.6GPa、破断強度σが108MPa、破断伸びεが7.3と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が552°C、5重量減少温度Td5が597°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが33.1ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。この結果から、分子鎖末端間の架橋により、PBOの耐熱性向上が可能であることが確認できた。-実施例14-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、ベンゼントリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル及びイソフタル酸クロライドIPCの1.22g6ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの40mLを加えて完全に溶解させ、反応溶液を-20°Cに冷却した。次いで、予め20mLのNMPに4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.51g7ミリモルを完全に溶解させ、さらにプロピレンオキサイドPOの3mLを加えた混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間反応させ、さらに25°Cで20時間、反応させて、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られた固体状のPBO前駆体をろ過により回収し、イオン交換水で徹底的に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。固体状のPBO前駆体をNMPに再溶解させ、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することにより、PBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによりオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が7.1molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表2に示す。PBOフィルムは、ヤング率Eが4.6GPa、破断強度σが112MPa、破断伸びεが8.2と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が515°C、5重量減少温度Td5が581°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが30.5ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例15-実施例14と同様の手順により調製した分岐モノマーモル分率が7.1molのPBO前駆体溶液中に、分子鎖末端数に相当する4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの0.11g0.5ミリモルを添加し、均一な溶液となるまで撹拌した。その後、この溶液をPETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することで、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBOHAB前駆体]フィルムを得た。次いで、フィルムを金枠に固定し、真空下にて200°Cで2時間、加熱した後、窒素雰囲気下にて480°Cで3時間、加熱処理することによりオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が7.1molのPBOHABフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表2に示す。PBOHABフィルムは、ヤング率Eが4.5GPa、破断強度σが174MPa、破断伸びε12.5と優れた力学強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が541°C、5重量減少温度Td5が595°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが16.8ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。この結果から、分子鎖末端間の架橋により、PBOの耐熱性向上が可能であることが確認できた。-実施例16-実施例14と同様の手順により調製した分岐モノマーモル分率が7.1molのPBO前駆体溶液中に、樹脂重量に対して20wtとなるように窒化ホウ素BNフィラーを添加し、均一な溶液となるまで撹拌した。その後、この溶液をPETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでポリベンゾオキサゾール前駆体[PBOBN20前駆体]フィルムを得た。次いで、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによりオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が7.1molであるPBOBN20フィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表2に示す。PBOBN20フィルムは、ヤング率Eが4.6GPa、破断強度σが88MPa、破断伸びεが4.1と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が517°C、5重量減少温度Td5が603°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが12.1ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。この結果から、セラミック無機微粒子である窒化ホウ素フィラーとの複合化により、PBOの耐熱性向上および寸法安定性向上が可能であることが確認できた。-実施例17-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mlのフラスコ内を窒素で置換した後、ベンゼントリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル、テレフタル酸クロライドTPC0.24g1.2ミリモル、及びイソフタル酸クロライドIPCの0.97g4.8ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンNMPの40mLを加えて完全に溶解させ、反応溶液を-20°Cに冷却した。次いで、予め20mLのNMPに4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.51g7ミリモルを完全に溶解させ、さらにプロピレンオキサイドPOの3mLを加えた混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた後、-20°Cで2時間、反応させ、さらに25°Cで20時間、反応させることにより、ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られた固体状のPBO前駆体をろ過により回収し、イオン交換水で徹底的に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。固体状のPBO前駆体をNMPに再溶解させ、PETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、真空下にて200°Cで2時間、加熱処理した後、窒素雰囲気下にて480°Cで3時間、加熱処理することによりオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が7.1molのPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表2に示す。PBOフィルムは、ヤング率Eが4.6GPa、破断強度σが118MPa、破断伸びεが6.6と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が509°C、5重量減少温度Td5が588°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが20.4ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例18-実施例17と同様の手順により調製した分岐モノマーモル分率が7.1molのPBO前駆体溶液中に、樹脂重量に対して20wtとなるように窒化ホウ素BNフィラーを添加し、均一な溶液となるまで撹拌した。その後、この溶液をPETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することで、PBOBN20前駆体フィルムを得た。次いで、フィルムを金枠に固定し、真空下にて200°Cで2時間、加熱処理した後、窒素雰囲気下にて480°Cで3時間、加熱処理することによりオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が7.1molであるPBOBN20フィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表2に示す。PBOBN20フィルムは、ヤング率Eが4.7GPa、破断強度σが104MPa、破断伸びεが5.8と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が511°C、5重量減少温度Td5が601°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが14.9ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。-実施例19-実施例17と同様の手順により調製した分岐モノマーモル分率が7.1molのPBO前駆体溶液中に、分子鎖末端数に相当する4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの0.11g0.5ミリモル、及び、含有割合が20wtとなるように窒化ホウ素BNフィラーを添加し、均一な溶液となるまで撹拌した。その後、この溶液をPETシート上にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することで分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBOHABBN20前駆体]フィルムを得た。次いで、フィルムを金枠に固定し、真空下にて200°Cで2時間、加熱処理した後、窒素雰囲気下にて480°Cで3時間、加熱処理することによりオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭な、分岐モノマーモル分率が7.1molであるPBOHABBN20フィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表2に示す。PBOHABBN20フィルムは、ヤング率Eが4.7GPa、破断強度σが109MPa、破断伸びεが9.2と優れた力学的強度を示した。また、0.2重量減少温度Td02が538°C、5重量減少温度Td5が605°Cと極めて優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが10.3ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。この結果から、分子鎖末端間の架橋およびセラミックである窒化ホウ素フィラーとの複合化により、PBOの耐熱性向上および寸法安定性向上が可能であることが確認できた。-比較例1-攪拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの2.59g12ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンの20mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にN,O-ビストリメチルシリルアセトアミドBSAの9.78g48ミリモルを添加し、室温で1時間、撹拌することにより、HABのシリル化を行なった。この溶液を液体窒素にて冷却し、イソフタル酸クロライドIPCの2.44g11.4ミリモルを加えた後、-5°Cで1時間、反応させ、加えて25°Cで24時間、反応させることにより、直鎖ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液を水/メタノール=4/1の混合溶液中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られた固体状のPBO前駆体をろ過により回収し、水/メタノール=4/1の混合溶液で十分に洗浄した後、85°Cで12時間、真空乾燥を行なった。固体状のPBO前駆体をNMPに再溶解させ、ポリエステルフィルム上にキャストし、85°Cで4時間、乾燥させ、PBO前駆体フィルムを得た。得られたPBO前駆体フィルムを金枠に固定した後、窒素雰囲気下にて、150°Cで1時間、500°Cで3時間、加熱処理することによりオキサゾール化を行ない、屈曲性を有し且つ強靭なPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表3に示す。このフィルムは、0.2重量減少温度Td02が531°C、5重量減少温度Td5が626°Cと優れた耐熱性を有することが確認できた。一方、100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEは21.5ppm/°Cであることが確認できた。直鎖構造のPBOフィルムでは延伸操作などにより分子鎖を強く配向させる必要があり、延伸操作がなければ用途が限定される。従って、延伸操作無しで20ppm/°C以下の優れた寸法安定性を有するフィルム化は困難であると考えられるため、近年の技術躍進に伴い、ポリマーフィルムに求められている更なる寸法安定性への対応は困難であると考えられる。-比較例2-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの0.43g2ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンの40mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの1.5mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモルを15mLのNMPに溶解させてなる溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた。その後、-20°Cで2時間、反応させ、さらに25°Cで20時間、反応させることにより、多分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。この多分岐PBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られた固体状の多分岐PBO前駆体をろ過により回収し、イオン交換水で十分に洗浄した後、80°Cで12時間、真空乾燥を行なった。固体状のの多分岐PBO前駆体をNMPに再溶解させ、ポリエステルフィルム上にキャストし、85°Cで4時間、乾燥させることで多分岐PBO前駆体フィルムの作成を試みたが、十分な高分子量体に成長していないため、また非常に剛直な分子組成となることから、フィルムの屈曲性が足りず、脆弱で小さなフィルム片しか作成できなかった。得られた多分岐PBO前駆体フィルム片を窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することでオキサゾール化を行なった。得られた多分岐PBOは、0.2重量減少温度Td02が509°C、5重量減少温度Td5が591°Cと優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが10.9ppm/°Cと高い寸法安定性を有することが確認できた。しかしながら、脆弱で屈曲性に欠けハンドリング性に劣るため、大型あるいは連続フィルムの作成は困難であると考えられる。-比較例3-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの1.73g8ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンの40mLを加え、溶解させた。その後、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの2.5mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。次いで、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.27g1ミリモル及びテレフタル酸クロライドTPCの1.22g6ミリモルを25mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた。その結果、重合の進行と共に生成する、分岐モノマーモル分率が6.7molであるPBO前駆体のNMPに対する溶解性が低下し、重合途中に前駆体が固体として析出した。また、析出した固体状のPBO前駆体は、NMPへの再溶解が不可能であり、キャスティング法によるフィルム化は出来なかった。尚、本比較例3及び比較例4においては、フィルム化が出来なかったため、線熱膨張係数CTE、0.2重量減少温度Td02、5重量減少温度Td5、ヤング率E、破断強度σ、及び破断伸びεの測定は行なっていない。-比較例4-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの0.54g2.5ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンの40mLを加え、溶解させた。次いで、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの1.5mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。更に、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.13g0.5ミリモル及びテレフタル酸クロライドTPCの0.30g1.5ミリモルを20mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた。その結果、重合の進行と共に生成する、分岐モノマーモル分率が11.1molであるPBO前駆体のNMPに対する溶解性が低下し、部分的に不溶性のゲルを生じた。これより、分岐モノマーモル分率が11.1molであるPBOにおいて、均一なフィルムを作成することは困難であった。-比較例5-撹拌機、窒素導入管及び塩化カルシウム管を備えた100mLのフラスコ内を窒素で置換した後、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニルHABの0.43g2ミリモルを量り取り、N-メチルピロリドンの50mLを加え、溶解させた。その後、反応溶液中にプロピレンオキサイドPOの1mLを添加し、反応溶液を-20°Cに冷却した。次いで、別途準備した、ベンゼン-1,3,5-トリカルボン酸クロライドBTCの0.13g0.5ミリモル及びテレフタル酸クロライドTPCの0.20g1ミリモルを20mLのNMPに溶解させてなる混合溶液を、反応溶液中に20分かけて徐々に加えた。その後、-20°Cで2時間、反応させ、加えて25°Cで20時間、反応させることにより、分岐ポリベンゾオキサゾール前駆体[PBO前駆体]溶液を得た。このPBO前駆体溶液をイオン交換水中に滴下し、再沈殿精製を行なった。得られた固体状のPBO前駆体をろ過により回収し、イオン交換水で十分に洗浄した後、40°Cで20時間、真空乾燥を行なった。固体状のPBO前駆体をNMPに再溶解させ、PETシート状にキャスティングし、85°Cで3時間、乾燥することでPBO前駆体フィルムを得た。その後、フィルムを金枠に固定し、窒素雰囲気下にて、200°Cで1時間、480°Cで3時間、加熱処理することによってオキサゾール化を行ない、分岐モノマーモル分率が14.3molであるPBOフィルムを得た。このフィルムの各物性値を下記表3に示す。このフィルムは、0.2重量減少温度Td02が523°C、5重量減少温度Td5が593°Cと優れた耐熱性を有し、さらに100-200°Cにおける線熱膨張係数CTEが9.9ppm/°Cと高い寸法安定を有することが確認できた。しかしながら、類似構造を有するPBO系実施例7に比べ、PBO前駆体は溶解性が低いことから、ゲル化を抑制するために前駆体合成時の固体分濃度を低くする必要があり、また、再沈殿精製後にNMPへ再溶解させる際も、固体分濃度を高めることができないという問題がある。更に、PBO前駆体フィルムは、PBO前駆体フィルムよりも剛直で脆く、ハンドリング性に劣るため、大型あるいは連続フィルムの作成は困難であると考えられる。上述した実施例及び比較例より明らかなように、本発明のポリベンゾオキサゾール系材料からなるフィルムにあっては、現存する有機高分子フィルムの中で最高レベルの極めて優れた耐熱性を有し、且つ、高い寸法安定性、機械的特性、屈曲性を示すものである。従って、本発明の材料からなるフィルムは、半導体用の層間絶縁膜、保護膜、プリント配線板用フレキシブル基板、太陽電池用フレキシブル基板等の用途に、好適に使用され得るものである。"