一方の面に流路用溝及び当該流路用溝により連通された反応室用凹部が設けられた基板と、当該基板の前記一方の面に熱接合されたカバー部材と、を備え、前記基板には、前記反応室用凹部の一部分のみを含む範囲に亘って他の部分よりも肉厚の薄い薄肉部が設けられていることを特徴とするマイクロチップ。前記薄肉部は、前記反応室用凹部の範囲内に形成可能な最大面積の底円を有する円柱形状であることを特徴とする請求項1記載のマイクロチップ。前記薄肉部は、前記基板の他方の面に凹部を設けることによって形成されることを特徴とする請求項1又は2記載のマイクロチップ。前記薄肉部は、前記流路用溝を含まない範囲に設けられることを特徴とする請求項1又は3記載のマイクロチップ。前記薄肉部は、前記基板の複数箇所に各々が前記反応室用凹部の一部分のみを含むように形成されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロチップ。前記薄肉部は、前記反応室用凹部の範囲内に設けられていることを特徴とする請求項1記載のマイクロチップ。前記薄肉部は、円柱形状であることを特徴とする請求項1又は5記載のマイクロチップ。前記薄肉部の肉厚は一定であることを特徴とする請求項1記載のマイクロチップ。しかしながら、熱応答性を高める目的で反応室全体や、それ以上の範囲に亘って他の部位よりも基板を薄く形成すると、熱接合を行う際に反応室の周縁部で十分なプレスがかからなくなってしまう。その結果、基板とカバー部材との接合が確実に行われなかったり、接合の強度が不足したりすることで、試料が漏出して分析に悪影響を及ぼすという課題が生じる。また、基板を用いずに薄いフィルムのみを用いて熱接合を行うと、熱接合時のプレスの強度が上げられなかったり、フィルムによって反応室や流路が閉塞したりするという課題が生じる。本発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、反応室における熱応答性の向上と、カバー部材及び基板の接合強度の確保とを両立することのできるマイクロチップを提供することを目的とするものである。上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、一方の面に流路用溝及び当該流路用溝により連通された反応室用凹部が設けられた基板と、当該基板の前記一方の面に熱接合されたカバー部材と、を備え、前記基板には、前記反応室用凹部の一部分のみを含む範囲に亘って他の部分よりも肉厚の薄い薄肉部が設けられていることを特徴とするマイクロチップである。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のマイクロチップにおいて、前記薄肉部は、前記反応室用凹部の範囲内に形成可能な最大面積の底円を有する円柱形状であることを特徴としている。請求項3に記載の発明は、請求項1又は2記載のマイクロチップにおいて、前記薄肉部は、前記基板の他方の面に凹部を設けることによって形成されることを特徴としている。請求項4に記載の発明は、請求項1又は3記載のマイクロチップにおいて、前記薄肉部は、前記流路用溝を含まない範囲に設けられることを特徴としている。請求項5に記載の発明は、請求項1に記載のマイクロチップにおいて、前記薄肉部は、前記基板の複数箇所に各々が前記反応室用凹部の一部分のみを含むように形成されていることを特徴としている。請求項6に記載の発明は、請求項1に記載のマイクロチップにおいて、前記薄肉部は、前記反応室用凹部の範囲内に設けられていることを特徴としている。請求項7に記載の発明は、請求項1又は5記載のマイクロチップにおいて、前記薄肉部は、円柱形状であることを特徴としている。請求項8に記載の発明は、請求項1に記載のマイクロチップにおいて、前記薄肉部の肉厚は一定であることを特徴としている。本発明によれば、マイクロチップにおいて、反応室における熱応答性の向上と、フィルム及び基板の接合強度の確保とを両立することができるという効果がある。以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。[第1実施形態]1.検査装置最初に、本発明の実施形態における検査装置について、図1および図2を用いて説明する。図1は検査装置1の外観構成の一例を示す斜視図であり、図2は検査装置1の内部構成の一例を示す模式図である。図1に示すように、検査装置1は、予め検体や試薬等が注入されたマイクロチップ2を載置するためのトレイ10と、図示しないローディング機構によってトレイ10上からマイクロチップ2が搬入される搬送口11と、検査内容や検査対象のデータ等を入力するための操作部12と、検査結果を表示するための表示部13等とを備えている。また、この検査装置1は、図2に示すように、送液部14と、加熱部15と、電圧印加部18と、検出部16と、駆動制御部17等とを備えている。1-1.送液部送液部14は、マイクロチップ2内の送液を行うためのユニットであり、搬送口11から検査装置1内に搬入されるマイクロチップ2と接続されるようになっている。この送液部14は、マイクロポンプ140、チップ接続部141、駆動液タンク142および駆動液供給部143等を有している。このうち、マイクロポンプ140は、送液部14に1つ以上具備されており、マイクロチップ2内に駆動液146を注入したり、マイクロチップ2内から分析試料などの流体を吸引したりすることで、マイクロチップ2内の送液を行う。なお、マイクロポンプ140が複数具備される場合は、各々のマイクロポンプ140は独立に、或いは連動して駆動可能である。なお、マイクロチップに予め媒質や検体、試薬などを注入してある場合には、駆動液を使った送液は不要であり、マイクロポンプのみを動作させて媒質の移動を補助しても良い。或いは、試薬や検体の投入のみにマイクロポンプを使用しても良い。チップ接続部141は、マイクロポンプ140とマイクロチップ2とを接続して連通させる。駆動液タンク142は、駆動液146を貯留しつつ、駆動液供給部143に供給する。この駆動液タンク142は、駆動液146の補充のために駆動液供給部143から取り外して交換可能である。駆動液供給部143は、駆動液タンク142からマイクロポンプ140に駆動液146を供給する。以上の送液部14においては、チップ接続部141によってマイクロチップ2とマイクロポンプ140とが接続されて連通される。そして、マイクロポンプ140が駆動されると、チップ接続部141を介して駆動液146がマイクロチップ2に注入されるか、或いはマイクロチップ2から吸引される。このとき、マイクロチップ2内の複数の収容部に収容されている検体や試薬等は、駆動液146によってマイクロチップ2内で送液される。これにより、マイクロチップ2内の検体と試薬とが混合されて反応する結果、目的物質の検出や病気の判定等の検査が行われる。1-2.加熱部加熱部15は、マイクロチップ2内の試料を予め定められた複数の温度例えば、約95°Cの熱変性温度、約55°Cのアニーリング温度、約70°Cの重合温度の3つの温度に順次加熱/冷却する。この加熱部15は、ヒータやペルチエ素子などへの通電によって温度を上昇させる加熱素子や、通水によって温度を低下させる水冷素子などにより構成される。加熱素子や水冷素子は、後述する基板3の薄肉部202に接するように配置され、後述する基板3の反応室201内部の液体試料を加熱することで、PCR法による遺伝子増幅を行う。加熱部15の設定温度は、薄肉部202の厚さに依存するが、試料を95°Cに加熱する際には、例えば、設定温度を110°Cまで上昇させる。また、加熱素子や水冷素子をフィルム4の上側にも設けることで、反応室201を挟む形で両側から試料を加熱することとしても良い。1-3.電圧印加部電圧印加部18は、複数の電極を有している。これらの電極は、マイクロチップ2内の液体試料に挿入されて当該液体試料に直接電圧を印加するか、或いは、後述の通電部40に接触して当該通電部40を介して液体試料に電圧を印加することにより、マイクロチップ2内の液体試料に電気泳動を行わせるようになっている。1-4.検出部検出部16は、発光ダイオードLEDやレーザ等の光源と、フォトダイオードPD等の受光部等とで構成され、マイクロチップ2内の反応によって得られる生成液に含まれる標的物質を、マイクロチップ2上の所定位置後述の検出領域200で光学的に検出する。光源と受光部との配置には透過型と反射型とがあり、必要に応じて決定されればよい。1-5.駆動制御部駆動制御部17は、図示しないマイクロコンピュータやメモリ等で構成され、検査装置1内の各部の駆動、制御、検出等を行う。2.マイクロチップ続いて、本実施の形態におけるマイクロチップ2について、図3A~図3Cを用いて説明する。図3Aは、マイクロチップ2を示す平面図である。図3B、図3Cは、マイクロチップ2を側方から見た内部形状を示す透視図である。図3A、図3Bに示すように、マイクロチップ2は、互いに貼り合わされた基板3とフィルム4とを備えている。基板3は、フィルム4に対する接合面以下、内側面3Aとするに流路用溝30と反応室用凹部301とを有している。この流路用溝30は、基板3とフィルム4とが貼り合わされた場合に、フィルム4と協働して微細流路20を形成し、また、反応室用凹部301は、基板3とフィルム4とが貼り合わされた場合に、フィルム4と協働して反応室201を形成する。反応室201は、微細流路20により連通されている。この微細流路20には、検査装置1の検出部16による標的物質の検出対象領域として、検出領域200が設けられている。反応室201は、検査装置1の加熱部15による加熱を行うことでPCRを行わせる領域である。なお、微細流路20流路用溝30の形状は、分析試料、試薬の使用量を少なくできること、成形金型の作製精度、転写性、離型性などを考慮して、幅、深さともに、10μm~200μmの範囲内の値であることが好ましいが、特に限定されるものではない。また、微細流路20の幅と深さは、マイクロチップの用途によって決めれば良い。微細流路20の断面の形状は矩形状でも良いし、曲面状でも良いが、微細流路20の両脇部や反応室201の周縁部では、熱接合を行う際のプレスの容易性を考慮してフィルム4に対して明確に境界を設けることが好ましい。反応室201の形状は、特には限定されないが、本実施形態のマイクロチップ2では、楕円形である。また、反応室201反応室用凹部301の深さは、微細流路20の深さと同一範囲内の値であることが好ましいが、微細流路20の深さとは異なる深さにすることが可能である。本実施形態のマイクロチップ2では、反応室201の深さは、微細流路20の深さよりも深く形成されている。また、基板3は、厚さ方向に貫通する貫通孔31を複数有している。これらの貫通孔31は、流路用溝30の端部や中途部に形成されており、基板3とフィルム4とが貼り合わされた場合に、微細流路20とマイクロチップ2の外部とを接続する開口部21を形成する。この開口部21は、検査装置1の送液部14に設けられたチップ接続部141たとえば、チューブやノズルと接続されて、ゲルや液体試料、緩衝液などを微細流路20に導入したり、微細流路20から排出したりする。また、この開口部21には、検査装置1における電圧印加部18の電極図示せずが挿入可能となっている。なお、開口部21貫通孔31の形状は、円形状や矩形状の他、様々な形状であっても良い。また、例えば図3Cに示すように、基板3における内側面3Aとは反対側の面以下、外側面3Bとするにおいて貫通孔31の周囲を筒状に突出させ、チップ接続部141を接続しやすくしても良い。この反応室201の裏側には、空隙部203を設けることにより基板3の他の部位に比して肉厚を薄くした薄肉部202が形成されている。この薄肉部202及び空隙部203は、本実施形態のマイクロチップ2では、円柱状に形成されている。また、薄肉部202の大きさは、反応室201の大きさよりも小さい。フィルム4は、本発明におけるカバー部材である。カバー部材にも流路用溝や孔を設けても良いが、基板との接合を確実に行うため、カバー部材は、厚くなり過ぎないことが好ましい。検体や試薬、或いは、検査の種類によって必要なときには、電圧印加部18の電極を開口部21貫通孔31に挿入して電圧を印加することにより、微細流路20内の試料に電気泳動を行わせる。なお、開口部21の位置や形状は、例えば図4A及び図4B、又は、図5A及び図5Bに示すように、他の態様としても良い。ここで、図4B、図5Bは、図4A、図5Aにおいて太線で囲まれた部分を側方から見た内部形状を示す透視図である。図4A、図4Bのマイクロチップ2では、導電性の通電部40がフィルム4における基板3との対向面のうち、貫通孔31との対向位置からフィルム4の縁部までに亘って設けられている。この通電部40は、フィルム4に対して、印刷などによりパターンニングすると良い。このようなマイクロチップ2によれば、貫通孔31開口部21に電極を挿入することなく、フィルム4の縁部から通電部40を介して微細流路20内の流体に電圧を印加することができるため図4B中、右側の矢印記号を参照、複数のマイクロチップ2を順に使用する場合であっても、電極に液体試料が付着して次回のマイクロチップ2に混入してしまうのを防止することができる。また、図5A、図5Bのマイクロチップ2では、貫通孔31が流路用溝30の各端部と、当該端部の隣接位置とに並んで設けられるとともに、通電部40が、隣接する2つの貫通孔31の対向位置に亘って設けられている。このようなマイクロチップ2によれば、流路用溝30の端部の貫通孔31開口部21を用いて液体試料などの供給排出を行い図5B中、左側の矢印記号を参照、隣接する貫通孔31開口部21から通電部40を介して微細流路20内の流体に電圧を印加することができるため図5B中、右側の矢印記号参照、複数のマイクロチップ2を順に使用する場合であっても、電極に液体試料が付着して次回のマイクロチップ2に混入してしまうのを防止することができる。これらの場合であっても、図4C、図5Cに示すように、基板3の外側面3Bにおいては、貫通孔31の周囲を筒状に突出させ、チップ接続部141を接続しやすくしても良い。また、基板3及びフィルム4の外形形状は、ハンドリング、分析しやすい形状であれば良く、平面視において正方形や長方形などの形状が好ましい。1例として、10mm角~200mm角の大きさであれば良い。また、10mm角~100mm角の大きさであっても良い。また、流路用溝30を有する基板3の板厚は、成形性を考慮して、0.2mm~5mmが好ましく、0.5mm~2mmがより好ましい。流路用溝を覆うための蓋カバーとして機能するフィルム4の厚さは、30μm~300μmであることが好ましく、50μm~150μmであることがより好ましい。また、基板3の薄肉部の肉厚は、0.1mm~1mmであることが好ましく、即ち、フィルム4に比して厚く設定されることが好ましい。また、基板3及びフィルム4は、樹脂によって形成される。基板3及びフィルム4に用いられる樹脂に関しては、成形性転写性、離型性が良いこと、透明性が高いこと、紫外線や可視光に対する自己蛍光性が低いことなどが条件として挙げられる。また、基板3に用いられる樹脂は、PCR時の加熱温度に対して耐熱性があることが求められる。例えば、フィルム4には、熱可塑性樹脂が用いられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチルPMMA、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン6、ナイロン66、ポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリイソプレン、ポリエチレン、ポリジメチルシロキサン、環状ポリオレフィンなどを用いることが好ましい。特に好ましいのは、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、環状ポリオレフィンを用いることである。基板3には、例えば、ポリカーボネートが用いられる。基板3及びフィルム4には、同じ材料を用いてもよいし、異なる材料を用いても良い。基板3とフィルム4とを同じ種類の材料にした場合には、互いに相溶性があるために、溶融した後に結合し易い。また、基板3及びフィルム4は、熱融着によって接合される熱接合。例えば、熱板、熱風、熱ロール、超音波、振動、又はレーザなどを用いて、基板3とフィルム4とを加熱することで接合する。好ましくは、熱プレス機を用いて、加熱された熱板によって基板3とフィルム4とを挟み、熱板によって圧力を加えて所定時間保持することで、基板3とフィルム4とを接合する。これにより、フィルム4が流路用溝30の蓋カバー部材として機能し、流路用溝30とフィルム4とによって微細流路20が形成されて、マイクロチップ2が製造される。なお、基板3とフィルム4とを熱融着するためには、基板3とフィルム4との界面さえ加熱できれば良く、超音波、振動、レーザを用いれば界面のみを加熱できる可能性がある。上記のように、本発明の実施形態のマイクロチップ2によれば、流路用溝30及び流路用溝30により連通された反応室用凹部301が設けられた基板3と、この基板3の流路用溝30及び反応室用凹部301が設けられた表面に接合されたフィルム4とを備えることでマイクロチップ2が形成され、基板3には、反応室用凹部301反応室201の一部分のみを含む範囲に亘って基板3の他の部分よりも肉厚の薄い薄肉部202が設けられているので、反応室201内の液体試料を加熱してPCRを行わせる際に、液体試料に効率よく熱を伝えることができる。また、同時に、この反応室用凹部301の周縁部の少なくとも一部は、基板3の通常の厚みで形成されているので、基板3とフィルム4とを熱接合する際に、必要なプレスをかけることができ、従って、基板3とフィルム4との間に十分な接合強度を得ることができる。また、薄肉部202及び空隙部203は、反応室用凹部301の範囲内に形成可能な最大面積の底円を有する円柱形状とすることで、基板3とフィルム4との間の十分な接合強度を保ち、且つ、容易に加工可能な形状を備えるとともに、反応室用凹部301の範囲内に設けられていることで、反応室201へ効率よくヒータの熱を伝えることができる。また、薄肉部202は、基板3の流路用溝30及び反応室用凹部301が設けられていない表面に空隙部302凹部を設けることによって形成することで、容易に形成することができる。また、薄肉部202は、流路用溝30を含まない範囲に設けられることで、反応室201とともに微細流路20の接合強度も十分に確保することができる。[変形例1]次に、上記実施形態のマイクロチップの変形例を説明する。図6A~図6Cは、変形例1のマイクロチップ2において、反応室201aを含む範囲の平面図と断面図とを示したものである。図6Aの平面図に示すように、この変形例1のマイクロチップ2には、2箇所の開口部21の間に、これらの開口部21と繋がった反応室201aが設けられている。変形例1のマイクロチップ2における反応室201aの底面の形状は、長方形となっている。また、反応室201aの裏側には、薄肉部202aが設けられている。この薄肉部202aは、その直径が反応室201aの底面の長辺よりも短く、短辺よりも長い。また、微細流路20の一部が切断線C10上で反応室201aの範囲内に含まれている。他の構成は第1実施形態のマイクロチップ2と同一であり、同一の符号を付して名前を省略する。また、マイクロチップ2の下半分の構成は、実施形態のマイクロチップ2と同一であり、記載を省略する。図6Bは、図6Aの切断線C10における変形例1のマイクロチップ2の断面図である。また、図6Cは、図6Aの切断線C11における変形例1のマイクロチップ2の断面図である。図6Bに示すように、切断線C10上では、左の開口部21貫通孔31と反応室201a反応室用凹部301aとが微細流路20流路用溝30により連通されている。また、反応室201aの上部に薄肉部202a及び空隙部203aが設けられている。この薄肉部202aの幅は、反応室201aの幅よりも長い。一方、図6Cに示すように、切断線C11上では、反応室201aの短辺が微細流路20に繋がっている。また、反応室201aの上部の薄肉部202aの幅は、反応室201aの幅よりも短い。このように、薄肉部202aが部分的に反応室用凹部301aよりも広い幅を持つ場合でも、反応室用凹部301a全体ではなく、反応室用凹部301aの一部分のみを含む範囲に亘って他の部分よりも肉厚の薄い薄肉部202aが設けられているので、薄肉部202aの幅が反応室用凹部301aの幅よりも狭い他の反応室201aの周縁部を利用して熱接合の際に十分なプレスをかけることができる。従って、基板3とフィルム4との熱接合を確実に行うことができるとともに、基板3とフィルム4との間の接合強度を確保することができる。また、薄肉部202aの範囲に含まれる微細流路20を高々極一部とすることによって、反応室201aの周縁部における接合強度と同時に、微細流路20の接合強度も十分に確保することができる。[変形例2~4]図7A~図7Cは、薄肉部の形状の変形例を図6Aの切断線C10における断面図により示した図である。図7Aに示すように、変形例2のマイクロチップ2では、円錐台状の空隙部203bにより、反応室201aの略中心付近では、基板3の薄肉部202bにおける肉厚が薄く、薄肉部202bの周縁部では、反応室201aの略中心からの距離が増加するに従って基板3の肉厚が徐々に厚くなる形状となっている。或いは、空隙部203bの形状は、角錐台であってもよい。また、図7Bに示すように、変形例3のマイクロチップ2では、半球型の空隙部203cにより、反応室201aの略中心で最も基板3の肉厚が薄く、薄肉部202cの周辺部に向かって基板3の肉厚が徐々に厚くなる形状となっている。或いは、空隙部203cの形状は、放物面、双曲面や楕円面等であってもよい。これらのように、薄肉部202cの形状を種々の形状に変更することで、ヒータの形状に適合させたり、反応室201a内の試料をバランスよく加熱したりすることができる。また、図7Cに示すように、変形例4のマイクロチップ2では、薄肉部202dの上面に複数の凹凸を設けている。この凹凸の形状は、任意に設定可能である。このような凹凸を設けることで、薄肉部202d上面の表面積を増大させ、より効率的に反応室201a内の試料の加熱を行うことを可能とする。[変形例5]図8A~図8Cは、変形例5のマイクロチップにおける基板の反応室周辺に設けられた薄肉部を示す平面図と断面図である。図8Aは、変形例5のマイクロチップ2の平面図である。この変形例5のマイクロチップ2では、基板3に8個の薄肉部202e~202lが設けられている。これらの薄肉部202e~202lは、何れもその面積が反応室201aよりも小さく、且つ、何れもその薄肉部202e~202lの一部または全体が反応室201aの上面に位置している。その他の構成は、実施形態のマイクロチップ2と同一であり、同一符号を付して説明を省略する。また、マイクロチップ2の下半分の構成は、実施形態のマイクロチップ2と同一であり、記載を省略する。図8Bは、図8Aで示された切断線C12におけるマイクロチップ2の断面図である。また、図8Cは、図8Aで示された切断線C13におけるマイクロチップ2の断面図である。図8Bに示したように、切断線C12における断面には、2箇所の薄肉部202h、202iが含まれている。この断面では、この2箇所の薄肉部202h、202iは、反応室201aの周縁部長辺を跨いで設けられている。一方、図8Cに示したように、切断線C13における断面には、薄肉部202jが含まれている。この薄肉部202jは、全体が反応室201aの範囲内に位置している。従って、この薄肉部202jの図8Aにおける左右及び上である反応室201aの周縁部では、熱接合の際に十分なプレス圧を与えることができる。このように、薄肉部202e~202lが、基板3の複数箇所に各々が反応室用凹部301aの一部分のみを含むように形成されることによって、薄肉部の全体面積を反応室用凹部301aの面積に比して大きくしすぎることなく薄肉部を形成して、反応室201a内の試料をバランス良く加熱することができる。また、特に、薄肉部202e~202lを何れも円柱形状とすることによって、反応室201aの底面の形状が円形から大きく外れる場合であっても、簡易な加工により薄肉部を容易にバランス良く配置することができる。なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、本実施形態では微細流路に繋がった反応室を設けたが、微細流路の一部を反応部として利用する場合でも、当該反応部に対して適用可能である。また、反応室が複数ある場合には、各々の反応室に対して薄肉部を形成することもできる。また、上記実施の形態では、反応室の裏側に凹部を設けることにより空隙部を形成したが、例えば、折れ曲がった孔を設けることで中空の空隙部を形成することも可能である。また、上記実施の形態では、PCR法を用いる際の加熱について説明を行ったが、PCR法以外の用途であっても加熱が必要なものに対しては適用可能である。その他、マイクロチップ上の微細流路や反応室などの配置や開口部の形状など、本発明の実施形態に示した細部は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。本発明は、PCRに利用可能なマイクロチップに利用することが出来る。