透明な樹脂で形成された容器の内部において増減する液体を検出する液体検出器であって、該容器の側壁の外側に配設され、該容器の側壁に向けて光を投光する投光部と、該投光部の外周に配設される複数の受光部と、該投光部の投光方向において該投光部と該容器の側壁との間に配設される凸レンズと、該受光部の受光量によって液体の有無を判断する判断部と、を少なくとも備え、該投光部から投光される光は、該凸レンズによって集光され光が最も集中する点が該容器の側壁の内面より容器内部側に位置する液体検出器。前記容器には、該容器の材質と屈折率が略等しい透明な液体が収容される請求項1記載の液体検出器。しかしながら、センサーが容器内に配設されている機構の液体検出器では、センサーが動作不良になった場合において別のセンサーに交換する際に、液体の種類によっては注意深く作業をする必要がある。一方で、センサーが容器の外側に配設されている機構の液体検出器においては、容器内の液面が変動した後、一定時間経過後にパイプ内に既に溜まっている液体の量が変動するといったタイムラグが発生して、センサーにより効率よく液体を検出することが困難となっていた。本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、センサーの交換を容易にするとともに、容器内に収容される液体をリアルタイムに検出することができるようにすることに解決すべき課題がある。本発明は、透明な樹脂で形成された容器の内部において増減する液体を検出する液体検出器であって、容器の側壁の外側に配設され、容器の側壁に向けて光を投光する投光部と、投光部の外周に配設される複数の受光部と、投光部の投光方向において投光部と容器の側壁との間に配設される凸レンズと、受光部の受光量によって液体の有無を判断する判断部と、を少なくとも備え、投光部から投光される光は、凸レンズによって集光され光が最も集中する点が容器の側壁の内面より容器内部側に位置する。上記容器には、容器の材質と屈折率が略等しい透明な液体が収容されることが望ましい。本発明では、投光部から投光された光が凸レンズにおいて屈折し、屈折した光が容器の側壁の内面よりも容器内部側に集光されるため、容器の内部に液体がない場合は、容器の側壁の屈折率と空気の屈折率との違いによって側壁の内面において光が反射し、受光部においてその反射光をとらえることができる。一方、容器の内部に液体がある場合は、光が容器内部を透過し受光部において反射光をとらえることができない。したがって、受光部が反射光をとらえることができたか否かによって、容器中における光が投光された部分に液体が存在するか否かを容易かつリアルタイムに判断することができる。また、本液体検出器は、容器の外側に配設されるため、液体検出器に動作不良が生じたとしても、容易に別の液体検出器に交換することができる。上記容器には、容器の材質と屈折率が略等しい透明な液体が収容されるため、投光部から投光された光が凸レンズで集光された位置に液体が存在する場合は、容器の側壁および容器内の液体を通過し、容器内に液体があることを確実に検出することができる。図1に示す液体検出器1は、透明な樹脂で形成されている容器2の内部において増減する液体の有無を検出する液体検出器の一例である。容器2は、液体9を収容する容器であって、透明な樹脂板である側壁20と、複数の側壁20の下端部とつながる底部23と、底部23に連結され液体を外部へ供給する供給部24とを備え、複数の液体検出器1が容器2の側壁20に固定されて配設されている、複数の液体検出器1は、互いが異なる高さ位置に位置している。容器2の上部には、液体9を容器2に流入させる液体流入部8が配設されている。容器2の内部には、液体9が流入する際等に液体9に発生する泡等を取り除くための網10が配設されている。図2に示すように、液体検出器1は、検出光を投光する投光部3と、投光部3の外周に配設される複数の受光部4と、投光部3の投光方向Aにおいて投光部3と容器2の側壁20との間に配設される凸レンズ5と、受光部4の受光量によって容器2内の液体の有無を判断する判断部7と、を少なくとも備えている。図1及び図2に示すように、複数の液体検出器1は、投光方向Aが側壁20に向いており、図示の例では投光方向Aが外面22に対して垂直となるように配設されている。また、図1に示す液体検出器1は複数図示の例では3つ配設されているため、容器2内の液体の水位に応じてそれぞれの液体検出器1における液体の有無の検出結果が異なり、複数の検出結果の組み合わせにより、液体の水位を概ね把握することが可能となる。投光部3は、容器2の所定の高さ位置における液体9の有無を調べるために、投光方向Aと平行に複数の検出光を投光することができる。受光部4は、投光部3から投光され側壁20の内面21において反射して戻ってくる反射光を受光することができる。図2に示すように、凸レンズ5は、投光部3の投光方向Aにおいて投光部3と容器2の側壁20との間に配設されることにより、投光部3から投光される複数の検出光を屈折させて容器2の内面21の内側、すなわち容器2の内部側に集光させることができる。液体検出器1の一端には、アンプ6を介して判断部7が接続されている。アンプ6では、受光部4が受光する受光量のレベルや受光の有無の判断の基準となるしきい値を設定することができる。判断部7は、受光部4が受光した受光量に基づいて、容器2内の投光位置に液体9があるかないかを判断することができる。具体的には、投光部3から投光される検出光の反射光を受光部4が受光したとき、反射光の受光量がしきい値以上となっているときには、判断部7により容器2の内部の投光位置に液体9がないと判断される。一方で、受光部4が受光した受光量がしきい値以下となっているときには、判断部7により容器2の内部の投光位置に液体9があると判断される。以下に、液体検出器1による液体9の液面検出の動作例を説明する。なお、アンプ6において、受光量のしきい値を予めに設定しておく。図2に示すように、容器2には、容器2を構成する側壁20と屈折率が略等しい樹脂からなる液体9が貯留されており、液体検出器1の投光部3が、投光方向Aと平行な複数の検出光を投光する。検出光は、凸レンズ5を通過するときに屈折するとともに側壁20の外面22を通過するときに屈折する。図2に示すように、側壁20の内面21に液体9が存在していると、側壁20の屈折率と液体9の屈折率とは略同様となっているため、複数の検出光は、側壁20の内面21と液体9との境界面B1及びB2を通過する際に屈折することなく、液体9内を矢印L1及びL2方向に進む。このとき、容器2の内部に満たされている液体9内を矢印L1及びL2方向に進む複数の検出光の交点、すなわち、凸レンズ5によって検出光が集光され最も集中する集光点Fが、側壁20の内面21よりも容器内部側に位置している。このように、投光部3からの検出光が側壁20の内面21でほとんど反射せず、透明の側壁20を透過することとなるため、液体検出器1の受光部4が検出光の反射光を受光せず、判断部7は、受光部4における受光量がしきい値以下であるとして、容器2の内部の投光位置に液体9が存在するものと判断する。図3に示すように、容器2の内部に収容される液体9が減少して内面21に液体9が僅かに付着している場合においては、図2に示した場合と異なり、容器2の内面21には、液体9が付着している部分と空気が接触している部分とがある。そのため、液体検出器1の投光部3が投光方向Aと平行な複数の検出光を投光し、図3の部分拡大図に示すように、容器2の内面21のうち空気と触れている部分である境界面B1に検出光が当たると、凸レンズ5による光の屈折と側壁20と空気との屈折率の差により、その検出光は矢印L3方向に反射し、受光部4が反射光を受光する。一方で、容器2の内面21のうち液体9が付着している部分である境界面B2に検出光が当たると、検出光は矢印L4方向に通過していく。このように、容器2の内部に収容される液体9が減少して内面21に液体が僅かに付着している場合では、側壁20の内面21で反射する検出光と透明の側壁20を透過する検出光とがあり、液体検出器1の受光部4が検出光の反射光を受光しているため、受光部4が受光した受光量がしきい値以上となっているときには、判断部7により容器2の内部の投光位置に液体9がないものと判断される。一方、受光部4が受光した受光量がしきい値以下となっているときには、判断部7により容器2の内部の投光位置に液体9があるものと判断される。なお、内面21と接触する空気に投光される検出光の反射率を100とすると、側壁20の内面21に液体9が付着している場合の検出光の反射率は、内面21に空気が接触している場合の50~70である。図4に示すように、容器2の内部に収容される液体9が減少して液体9の液面が下がっている場合においては、容器2の内面21のほとんどが空気と接触している。そのため、投光部3が投光方向Aと平行な複数の検出光を投光し、複数の検出光が容器2の内面21と空気とが触れている境界面B1及びB2に当たると、凸レンズ5における検出光の屈折及び容器2の内面21と空気との屈折率の差により、その検出光は矢印L5及びL6方向に反射して、受光部4が反射光を受光する。容器2の内部に収容される液体9が減少して液体9の液面が底部23に近くなっている場合は、液体検出器1の受光部4が検出光の反射光を受光しているため、判断部7によって、しきい値以上の受光量であるとして容器2の内部の投光位置に液体9がないものと判断される。以上のようにして、液体検出器1による液体9の液面検出が行なわれ、液体9が減少していることを判断部7において把握することができる。液体検出器1及び容器2は、例えば、ウエーハの加工装置に搭載され、液体は、ウエーハの表面等を被覆する樹脂として使用される。そして、液体樹脂が容器に常に入っている状態を維持できるように、複数の液体検出器1における検出結果の組み合わせにより、容器内の液体の量を検出する。図2~図4に示したように、投光された光がレンズ5により集光される集光点Fは、容器2の側壁20の内面21より容器内部側に位置するため、その位置に液体がなく側壁20と空気との境界において光が反射する場合は、反射前の検出光よりも内側に向けて反射光が反射する。したがって、受光部4において確実に反射光を検出することが可能となる。そして、反射光をとらえることができたか否かによって、容器中の光が投光された部分に液体が存在するか否かを判断することができるため、投光位置に液体があるかないかを容易に判断することができるとともに、容器内に収容される液体の液面をリアルタイムに検出することができる。また、液体検出器1は、容器2の側壁20の外側に配設されるため、液体検出器1に動作不良が生じたとしても、容易に別の液体検出器に交換することができる。本発明の実施例においては、容器2の材料として以下のものを使用した。ポリ塩化ビニールPVC屈折率1.52~1.55ポリビニールアルコ-ルPVA屈折率1.49~1.53また、容器2に収容される液体9としては、以下のものを使用した。ポリビニールアルコ-ル屈折率略1.5図2に示すように、容器2の内部に液体9が満たされている場合においては、側壁20の内面21に液体9が接触しており、側壁20の材料と液体との屈折率の差が小さくなる。容器2の材料としてポリ塩化ビニールPVCを使用した場合、屈折率は1.52~1.55となり、液体9の材料であるポリビニールアルコ-ルの屈折率との間には差がほとんどない。また、容器2の材料としてポリビニールアルコ-ルPVAを使用した場合、屈折率は1.49~1.53となり、液体9の主材料をポリビニールアルコ-ルとした場合、屈折率は略1.5となるため、両者の屈折率の差は小さい。このように、側壁20の材料の屈折率と液体の屈折率とがほぼ等しいため、受光部4において反射光を受光できないことが確認された。すなわち、液体検出器1の投光部3から投光される複数の検出光は、図2に示したように、側壁20の内面21と液体9との境界面B1及びB2を通過し、容器2内に収容されている液体9内を矢印L1及びL2方向に進み、液体9が容器2の内部に満たされているときには、反射光は受光部4において受光されず、判断部7は容器2内の投光位置に液体9があることを容易に判断することができた。