検査対象物にX線を照射するX線源と、前記X線源を覆うように設けられ、X線を遮蔽する遮蔽壁と、前記遮蔽壁に覆われた領域を通り、前記検査対象物を搬送する搬送路と、前記遮蔽壁の外側に設けられ、前記搬送路を覆うとともに前記遮蔽壁を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバーとを備える、X線検査装置。前記遮蔽壁と前記外装カバーとの間に配置され、前記外装カバーを取り付けるためのカバー取付部材をさらに備える、請求項1に記載のX線検査装置。前記外装カバーは、天面カバー部材と、側面カバー部材とを含み、前記カバー取付部材は、前記天面カバー部材を取り付けるための天面カバー取付部と、前記側面カバー部材を取り付けるための側面カバー取付部とを含み、前記天面カバー部材および前記側面カバー部材は、それぞれ、前記天面カバー取付部および前記側面カバー取付部に対して個別に着脱可能に構成されている、請求項2に記載のX線検査装置。前記カバー取付部材は、前記天面カバー取付部を有する第1部材と、前記側面カバー取付部を有し、前記第1部材に取り付けられた第2部材とを含む、請求項3に記載のX線検査装置前記外装カバーは、前記遮蔽壁に対して離間した状態で、前記カバー取付部材に取り付けられている、請求項2~4のいずれか1項に記載のX線検査装置。前記遮蔽壁を支持する支持フレームをさらに備える、請求項2~5のいずれか1項に記載のX線検査装置。前記カバー取付部材は、前記遮蔽壁を介して前記支持フレームに取り付けられている、請求項6に記載のX線検査装置。前記遮蔽壁は、複数の板状の壁部材を含み、前記壁部材は、板部材と、前記板部材に貼付されたX線遮蔽材とを有し、前記X線遮蔽材は、前記板部材に対して前記外装カバー側に配置されている、請求項1~7のいずれか1項に記載のX線検査装置。前記複数の壁部材は、隣接する前記壁部材との境界で互いに重なるように配置されている、請求項8に記載のX線検査装置。前記遮蔽壁は、箱状形状を有し、前記外装カバーは、前記箱状の遮蔽壁を内部に収容可能な箱状形状を有する、請求項1~9のいずれか1項に記載のX線検査装置。前記検査対象物は、回路基板である、請求項1~10のいずれか1項に記載のX線検査装置。しかしながら、上記特許文献1では、外装カバーパネルにX線遮蔽部材が一体的に設けられているため、たとえば、外部に露出している前面の外装カバー前面パネルに傷がついた場合には、X線遮蔽部材および金属板ごと外装カバー全体前面パネル全体を交換しなければならない。この場合、交換する外装カバー前面パネルと一体的に設けられたX線遮蔽部材が無駄になるという問題点がある。また、近年では、装置の外観のデザイン性が重要視される傾向にある一方、上記特許文献1のX線検査装置では、外装カバーにX線遮蔽部材を一体的に嵌め込みX線の漏洩を防止する必要があるため、外装カバーのデザインが平坦形状など単純な形状に制限されてしまう。このため、上記特許文献1に記載の技術には、外観デザインの自由度が低いという問題点もある。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、外装カバーの交換時にX線遮蔽部材が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能なX線検査装置を提供することである。上記目的を達成するために、この発明の一の局面におけるX線検査装置は、検査対象物にX線を照射するX線源と、X線源を覆うように設けられ、X線を遮蔽する遮蔽壁と、遮蔽壁に覆われた領域を通り、検査対象物を搬送する搬送路と、遮蔽壁の外側に設けられ、搬送路を覆うとともに遮蔽壁を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバーとを備える。この発明の一の局面によるX線検査装置では、上記のように、X線源を覆うように設けられ、X線を遮蔽する遮蔽壁と、遮蔽壁の外側に設けられ、搬送路を覆うとともに遮蔽壁を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバーとを設けることによって、外装カバーは、遮蔽壁に対して取り外し可能なように遮蔽壁とは一体化されずに別個に設けられるので、搬送路を覆う外装カバーの形状が制限されることがない。これにより、外観デザインの自由度を向上させることができる。また、外装カバーの交換時にも、遮蔽壁を取り付けたままで新たな外装カバーだけを交換することができるので、外装カバーの交換時にX線遮蔽部材が無駄になるのを防止することができる。また、外装カバーを取り付ける前の遮蔽壁のみの状態でX線源などの機能テストを行うことができる。上記一の局面によるX線検査装置において、好ましくは、遮蔽壁と外装カバーとの間に配置され、外装カバーを取り付けるためのカバー取付部材をさらに備える。このように構成すれば、カバー取付部材によって外装カバーを容易に取り付けることができるとともに、遮蔽壁を取り付けた状態で取付部材から外装カバーを容易に取り外して交換することができる。この場合、好ましくは、外装カバーは、天面カバー部材と、側面カバー部材とを含み、カバー取付部材は、天面カバー部材を取り付けるための天面カバー取付部と、側面カバー部材を取り付けるための側面カバー取付部とを含み、天面カバー部材および側面カバー部材は、それぞれ、天面カバー取付部および側面カバー取付部に対して個別に着脱可能に構成されている。このように構成すれば、天面カバー部材と、側面カバー部材とを個別に取り付けることができるので、外装カバーの組付作業を容易にすることができる。また、外装カバーに傷などがついて交換する必要が生じた場合にも、その傷ついた部材たとえば、側面カバー部材のみを交換することができる。上記外装カバーが天面カバー部材と側面カバー部材とを含む構成において、好ましくは、カバー取付部材は、天面カバー取付部を有する第1部材と、側面カバー取付部を有し、第1部材に取り付けられた第2部材とを含む。このように構成すれば、特に装置が大型の場合などに、第1部材と第2部材とを個別に設けることができるので、天面カバー部材および側面カバー部材を取り付け可能なカバー取付部材を容易に形成することができる。上記カバー取付部材を備える構成において、好ましくは、外装カバーは、遮蔽壁に対して離間した状態で、カバー取付部材に取り付けられている。ここで、X線遮蔽材には、遮蔽性能の高さから鉛材料が一般的に用いられている一方、鉛の人体への蓄積性の観点から、作業者の鉛材料への接触をなるべく低減することが望まれている。本発明によれば、外装カバーが遮蔽壁から離間するため、遮蔽壁を鉛材料により形成した場合にも、外装カバーに鉛が付着しないとともに、外装カバーの交換作業時に作業者が鉛に接触するのを抑制することができる。上記カバー取付部材を備える構成において、好ましくは、遮蔽壁を支持する支持フレームをさらに備える。このように構成すれば、支持フレームによって遮蔽壁を容易に取り付けることができる。この場合、好ましくは、カバー取付部材は、遮蔽壁を介して支持フレームに取り付けられている。このように構成すれば、カバー取付部材を固定するための構造を別途設ける必要がないので、装置の構造を簡素化することができる。また、遮蔽壁が支持フレームに取り付けられていない場合には、カバー取付部材の取り付け位置がずれることになるため、作業者は遮蔽壁が組み付けられていないことに気付きやすく、その結果、支持フレームへの遮蔽壁の組付忘れを防止することができる。上記一の局面によるX線検査装置において、好ましくは、遮蔽壁は、複数の板状の壁部材を含み、壁部材は、板部材と、板部材に貼付されたX線遮蔽材とを有し、X線遮蔽材は、板部材に対して外装カバー側に配置されている。このように構成すれば、外装カバーを取り外した状態でX線遮蔽材が露出するので、板部材へのX線遮蔽材の未貼付を防止することができる。また、装置内部遮蔽壁の内部のメンテナンスを行う場合などに、X線遮蔽材が外側外装カバー側に配置されるため、X線遮蔽材を鉛材料により形成した場合に作業者が内側から鉛に接触するのを抑制することができる。この場合、好ましくは、複数の壁部材は、隣接する壁部材との境界で互いに重なるように配置されている。このように構成すれば、遮蔽壁を複数の壁部材で構成した場合にも、壁部材の境界継ぎ目で壁部材X線遮蔽材が重複するため、X線の漏洩をより確実に抑制することができる。上記一の局面によるX線検査装置において、好ましくは、遮蔽壁は、箱状形状を有し、外装カバーは、箱状の遮蔽壁を内部に収容可能な箱状形状を有する。このように構成すれば、箱状の遮蔽壁を外部に露出させることなく箱状の外装カバーの内部に収容することができる。これにより、内側の箱状の遮蔽壁と外側の箱状の外装カバーとの二重構造にすることができるので、内側の遮蔽壁では外観デザインを考慮せずに済み、確実なX線の遮蔽を図ることができるとともに、外側の外装カバーでは外観のデザイン性に特化した設計を行うことができる。上記一の局面によるX線検査装置において、好ましくは、検査対象物は、回路基板である。このように構成すれば、外装カバーの交換時にX線遮蔽部材が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能な基板検査装置を得ることができる。本発明によれば、上記のように、外装カバーの交換時にX線遮蔽部材が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能なX線検査装置を提供することができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1~図11を参照して、本発明の一実施形態によるX線検査装置100の構造について説明する。本発明の一実施形態によるX線検査装置100は、電子部品が実装された回路基板基板P図3参照を検査対象物とし、基板P上の電子部品の半田接合状態検査などの各種検査を行う基板検査装置である。なお、基板Pは、本発明の検査対象物の一例である。以下、本発明の一実施形態によるX線検査装置100の構造について詳細に説明する。図1および図2に示すように、X線検査装置100は、基台1と、基板搬送部2図2参照と、X線源3図2参照と、撮像部4図2参照と、X線源3を覆う遮蔽壁5図2参照と、遮蔽壁5の外側に設けられた外装カバー6とを主として備えている。なお、基板搬送部2は、本発明の搬送路の一例である。図2に示すように、基台1上には、基板搬送部2と、X線源3と、撮像部4と、遮蔽壁5とが設置されている。また、基台1の内部には、X線源3、撮像部4および基板搬送部2を含むX線検査装置100全体の制御を行う制御部12および電源供給を行う電源部13などが配置されている。基台1上には、X方向の両端に配置され、基台1のY方向の略全長に渡って延びる一対の支持台11が配置されている。この一対の支持台11上には、後述するように、X線源3を支持する支持梁31と、遮蔽壁5を取り付けるための支持フレーム52とが設置されている。図2および図3に示すように、基板搬送部2は、X方向に沿って延びる一対のコンベア21を含んでいる。一対のコンベア21は、Y方向の両側から基板Pを支持してX方向に搬送することが可能であるとともに、基板検査時には、図示しないクランプ機構によって、基板Pを基台1の上方Z1方向の所定位置で保持固定することが可能なように構成されている。一対のコンベア21は、X方向に延びる一対のガイドレール22と、Y方向に延びる一対のガイドレール23とを介して基台1上に設置されている。一対のコンベア21は、図示しないX軸モータおよびX軸ボールねじによってガイドレール22に沿ってX方向に移動可能であり、図示しないY軸モータおよびY軸ボールねじによってガイドレール23に沿ってY方向に移動可能である。これにより、基板搬送部2一対のコンベア21は、基台1上を水平方向X方向およびY方向に移動可能に構成されている。基板搬送部2は、基板Pの搬入時には、コンベア21のX1方向側の端部21aを搬入口Aまで移動させて、外部に設けられた上流側の搬送ライン101図11参照から基板Pを受け継ぎ、搬出時には、コンベア21のX2方向側の端部21bを搬出口Bまで移動させて、下流側の搬送ライン101図11参照へ基板Pを受け渡すことが可能なように構成されている。このように、基板搬送部2は、遮蔽壁5によって覆われた内部領域を通り、検査対象物である基板Pを搬送するように構成されている。また、一対のコンベア21は、図示しないモータおよびボールねじと、ガイドレールとによって、基板Pの大きさに合わせてY方向の間隔が可変となっている。図2に示すように、X線源3は、基板搬送部2の上方の位置に配置され、下方Z2方向に配置された基板Pに対してX線を照射するように構成されている。X線源3は、支持梁31によって支持されており、支持梁31は、X方向に延びるとともに両端が一対の支持台11上に固定されている。撮像部4は、X線源3および基板搬送部2の下方の位置に配置され、基板Pを透過したX線を検出してX線像を撮像する機能を有する。撮像部4は、移動機構41によって、基板搬送部2の下側を水平方向図3のX方向およびY方向に移動可能に構成されている。これにより、基板搬送部2および撮像部4を水平移動させてX線源3と基板Pと撮像部4との相対位置関係を調節することにより、基板Pを真上以外にも斜め方向から撮像することが可能である。ここで、図4に示すように、本実施形態では、遮蔽壁5は、X線源3を含む基台1上の領域図2参照を覆う略矩形状の箱状形状を有する。遮蔽壁5は、X線源3から照射されたX線の外部への漏洩を防止するため、後述する遮蔽材50bでX線源3の周囲を覆ってX線を遮蔽するように構成されている。なお、基台1の上面上にも図示しない遮蔽材が設けられており、基台1と遮蔽壁5とによって囲まれた内部空間が遮蔽されている。遮蔽壁5は、一対の支持台11上に設置された支持フレーム52図3参照に取り付けられた複数の板状の壁部材51壁部材51a~51cによって構成されている。図5に示すように、壁部材51は、金属板50aと、両面接着テープなどで金属板50aに貼付された鉛製のシート状の遮蔽材50bとにより構成されている。本実施形態では、遮蔽材50bは、金属板50aに対して外側外装カバー6側に配置されている。なお、金属板50aおよび遮蔽材50bは、それぞれ、本発明の板部材およびX線遮蔽材の一例である。図3に示すように、支持フレーム52は、角型の中空パイプを組み合わせて構成されており、一対の支持台11上に上方Z1方向に延びるように設けられた一対の側部支持フレーム53と、一対の側部支持フレーム53上を掛け渡すように設置された上部支持フレーム54とを含んでいる。一対の側部支持フレーム53は、それぞれ、支持台11の両端から上方に延びる2本の柱部53aと、上側梁部53bおよび下側梁部53cとを有している。合計4本の柱部53aは、平面的に見て、基台1の四隅の位置に配置されている。側部支持フレーム53の上側梁部53bは、Y方向に延びるとともに、2本の柱部53aの上端を橋渡すように設けられている。また、下側梁部53cは、上側梁部53bと略平行にY方向に延びるとともに、2本の柱部53aの中央部同士を接続している。これにより、一対の側部支持フレーム53は、それぞれ、Z方向およびY方向に延びる壁状に形成されている。また、支持フレーム52の上部支持フレーム54は、側部支持フレーム53上側梁部53bの上面上に設けられたX方向に延びる複数の横部材54aと、各横部材54a同士を接続するY方向に延びる縦部材54bとによって、水平方向X方向およびY方向に拡がる屋根状に構成されている。支持フレーム52は、一対の側部支持フレーム53および上部支持フレーム54によって、X線源3や撮像部4を跨いで覆うように形成されている。図4および図5に示すように、遮蔽壁5の横側面部5aを構成する壁部材51aは、上端が取付金具55aを介して支持フレーム52上側梁部53bに取り付けられ、下端が取付金具55b図6参照を介して支持台11に取り付けられている。なお、この取付金具55aおよび55bによって壁部材51の取付位置の微調整を行うことが可能である。たとえば、取付金具55aは、L字状で各面にねじ止め用の長穴551が形成されている。このため、取付金具55aすなわち、壁部材51aの上下方向Z方向の取付位置と、壁部材51の横方向の取付位置とを微調整することができる。なお、壁部材51の取付位置の微調整のための構造は、他の取付金具55bなどについても同様である。なお、図3および図4に示すように、遮蔽壁5の前後側面部5bを構成する壁部材51bは、上端および下端が、それぞれ、図示しない取付金具を介して支持フレーム52横部材54aおよび基台1にねじで取り付けられている。また、図4および図5に示すように、遮蔽壁5の上面部5cを構成する壁部材51cは、支持フレーム52の上部支持フレーム54横部材54aおよび縦部材54bにねじで取り付けられている。なお、上記の壁部材5151a~51cの取り付けには、たとえばヘックスローブねじねじ頭が6角星形のねじなどの異形ねじを用いることにより他の部材の固定用ねじと区別され、誤って壁部材51のねじが弛められることがないように構成されている。また、本実施形態では、これらの壁部材5151a~51cは、隣接する壁部材51との境界継ぎ目で互いに重なるように構成されている。たとえば横側面部5aの壁部材51aと、上面部5cの壁部材51cとの境界図5参照では、壁部材51cの端部E1が下方Z2方向に向けて折り曲げられており、壁部材51aの端部E2とオーバーラップするように構成されている。また、横側面部5aの壁部材51a同士や、上面部5cの壁部材51c同士の境界などでは、図7に示すように、一方の端部E3が折れ曲がって内側に入り込み、他方の端部E4がその外側に配置されてオーバーラップするように構成されている。また、図4および図8に示すように、遮蔽壁5の上面部5cには、通気口5d図4参照が形成され、通気口5dを覆うように換気用のファン56図8参照が内部側に取り付けられている。ファン56は、開口57aの形成された外側ケース57と、周壁58aを有する内側ケース58との内部に収納されている。外側ケース57の内面には、鉛製の遮蔽部材57bが貼付されている。また、内側ケース58の周壁58aの外面には、鉛製の遮蔽部材58bが貼付されており、外側ケース57の遮蔽部材57bと内側ケース58の遮蔽部材58bとがオーバーラップするように配置されている。このため、通気口5dに向けて入射するX線は、外側ケース57の遮蔽部材57bにより遮蔽され、外側ケース57の開口57aから入射したX線は、内側ケース58の遮蔽部材58bによって遮蔽される。一方、外側ケース57の開口57aから流入した空気は、外側ケース57と内側ケース58との間を通ってファン56に到達し、通気口5dから外部に排気されるように構成されている。図1および図2に示すように、外装カバー6は、箱状の遮蔽壁5を内部に収容可能なように遮蔽壁5よりも一回り大きい箱状形状を有する。なお、外装カバー6には、X線を遮蔽するための遮蔽材50bおよび金属板50aは設けられていない。また、外装カバー6は、遮蔽壁5とは別体で設けられ、図4に示すように、遮蔽壁5が取り付けられた状態で取り外し可能に構成されている。外装カバー6は、カバー取付部材62および63に取り付けられた複数の板状のカバー部材側面カバー部材61a、61bおよび天面カバー部材61c図1参照により構成されている。カバー取付部材62および63は、遮蔽壁5と外装カバー6との間に配置されており、複数のカバー部材側面カバー部材61a、61bおよび天面カバー部材61cは、それぞれカバー取付部材62または63に対して個別に着脱可能に取り付けられている。また、図2に示すように、外装カバー6は、遮蔽壁5遮蔽材50bに対して離間した状態で、カバー取付部材62および63に取り付けられている。なお、カバー取付部材62および63は、それぞれ、本発明の第1部材および第2部材の一例である。詳細には、カバー取付部材62は、X方向に延びるように形成され、遮蔽壁5の上面部5c上にねじで固定されている。図4および図5に示すように、カバー取付部材62は、平坦な第1取付部62aおよび第2取付部62bと、第1取付部62aと第2取付部62bとを接続する接続部62cとを含んでいる。カバー取付部材62の第1取付部62aは、遮蔽壁5上面部5cの壁部材51cを介して支持フレーム52上部支持フレーム54にねじ止めされている。つまり、壁部材51cとカバー取付部材62とがボルト65によって支持フレーム52に共締めされることにより、それぞれ支持フレーム52に支持されている。また、第2取付部62bには、外装カバー6の天面6cを構成する天面カバー部材61cがねじにより着脱可能に取り付けられている。これにより、外装カバー6の天面6c天面カバー部材61cが、カバー取付部材62を介して支持フレーム52に固定されている。なお、第2取付部62bは、本発明の天面カバー取付部の一例である。カバー取付部材63は、Y方向図4参照に延びる断面L字形の部材Lアングルであり、カバー取付部材62のX方向の両端に取り付けられている。具体的には、カバー取付部材62の端部E5が遮蔽壁5上面部5cよりもX方向の両側に突出するように形成されており、この突出部分で、カバー取付部材63の第1部分63aが第1取付部62aに下面側から取り付けられている。そして、第1部分63aから下方に延びる第2部分63bに、外装カバー6の横側面X方向の両側面6aを構成する側面カバー部材61aがボルト66で着脱可能にねじ止めされている。これにより、外装カバー6の横側面6a側面カバー部材61aが、カバー取付部材63およびカバー取付部材62を介して支持フレーム52に固定されている。また、側面カバー部材61aの下端部は、基台1に取り付けられた取付金具64図6参照に着脱可能にねじ止めされている。なお、第2部分63bは、本発明の側面カバー取付部の一例である。また、図1および図9に示すように、X線検査装置100の前面100aおよび後面100bには、スライド式の開閉扉7および8がそれぞれ設けられており、装置内部を開放および閉鎖することが可能である。これらの開閉扉7および8は、それぞれ、外表面の外装部材7a8aと、内面側に配置されたX線を遮蔽する遮蔽部材図示せずとを含み、外装部材7a8aが開閉扉78にねじ固定されている。このため、これらの開閉扉7および8は、X線を遮蔽する遮蔽壁5の一部として機能するとともに、外装カバー6の一部として機能するように構成されている。また、開閉扉7および8は、それぞれ、開放される際に外装カバー6と遮蔽壁5との間隣接する側面カバー部材61bと壁部材51bとの間の隙間に入り込むように構成されている。また、開閉扉7には、2つの開閉検知スイッチ71および72図4参照が設けられ、開閉扉8には、2つの開閉検知スイッチ81および82図9参照が設けられている。これらの開閉検知スイッチ71、72、82および83には、たとえば磁気検出方式の非接触スイッチなどが用いられる。開閉検知スイッチ71および81は、開閉扉78の開放を検知した場合にX線源3からのX線の照射を停止禁止するためのスイッチであり、開閉検知スイッチ72および82は、開閉扉78の開放を検知した場合に基板搬送部2などの可動機構の作動を停止禁止するためのスイッチである。これにより、メンテナンス時に開閉扉78が開かれると、X線源3からのX線の照射および基板搬送部2などの作動が禁止されるように構成されている。また、図2に示すように、X線検査装置100の左右側面100cには、それぞれ、搬入口Aおよび搬出口Bを開閉するためのシャッター部9が設けられている。図4および図6に示すように、シャッター部9は、遮蔽壁5横側面部5aの下側部分を構成するコンベア遮蔽部59の開口59a図6参照を覆うようにして、コンベア遮蔽部59に取り付けられている。具体的には、コンベア遮蔽部59は、基台1上で横側面部5aと連続するように設置された遮蔽側板591と、遮蔽側板591に取り付けられた遮蔽側板592と、遮蔽側板592に取り付けられたコンベア遮蔽板593とを含んでいる。コンベア遮蔽部59は、遮蔽側板591と、遮蔽側板592と、コンベア遮蔽板593とによって、支持台11の側面に設けられた開口11a図6参照を取り囲んで覆うように設けられている。これらの遮蔽側板591592およびコンベア遮蔽板593は、外表面の外装部材59bと、外装部材59bの内側に貼付された鉛製の遮蔽部材59cとを有している。また、図10に示すように、開口59aは、一対のコンベア21に対応する大きさの矩形状に形成されており、コンベア遮蔽板593に設けられている。この開口59aを介して基板搬送部2一対のコンベア21による基板Pの搬入出が可能となっている。シャッター部9は、コンベア遮蔽板593に内側からねじ固定された枠状のベース部91と、ベース部91のY方向両端部に設けられた上下方向Z方向に延びる一対のガイド部9293と、開口59aを閉鎖するためのシャッター94と、エアシリンダからなる開閉機構95とを含んでいる。図6に示すように、シャッター94は、外表面の外装部材94aと、外装部材94aの内側に貼付された鉛製の遮蔽部材94bとを有している。また、図10に示すように、開閉機構95は取付部材95aを介してベース部91に固定されており、シャッター94を上下方向に昇降可能に構成されている。これにより、開閉機構95を駆動させてシャッター94を一対のガイド部9293に沿って上下に昇降させることによって、開口59aを開閉することが可能となっている。このため、外装カバー6にも開口6dが形成されており、シャッター94が開口6dを介して外部に露出している。また、シャッター部9には、シャッター94の開放を検出する開閉検知スイッチ96が設けられており、シャッター94の開放が検知されるとX線の照射が停止されるように構成されている。本実施形態によるX線検査装置100は、搬送ラインによって基板を搬送しながら電子部品の実装回路基板の製造を行う回路基板製造ラインを構成する装置群の一部として使用することが可能である。例えば、図11に示す回路基板製造ライン200では、電子部品実装前の基板Pを保持するローダー102から搬送ライン101に基板Pが送り出され、印刷機103による基板P上へのペースト半田印刷工程、表面実装機104による基板P上への部品実装工程、および、リフロー炉105により半田を溶融させて部品を基板P上の電極部に接合するリフロー工程が順次行われた後、X線検査装置100に実装済みの基板Pが搬送される。実装済みの基板Pが搬入口Aを介して搬送ライン101から基板搬送部2に受け渡されると、X線検査装置100では、X線を用いて実装済みの基板Pが撮像され、各部品の半田接合状態などが検査される。その後、搬出口Bを介して基板搬送部2から搬送ライン101に基板Pが受け渡され、光学検査装置106に搬入される。光学検査装置106では、可視光を用いた部品実装状態の外観検査が行われ、これらの検査工程の終了後、基板Pが搬送ライン101からアンローダー107に受け渡されて回路基板の製造が完了する。本実施形態では、上記のように、X線源3を覆うように設けられ、X線を遮蔽する遮蔽壁5と、遮蔽壁5の外側に設けられ、基板搬送部2を覆うとともに遮蔽壁5を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバー6とを設けることによって、外装カバー6は、遮蔽壁5に対して取り外し可能なように遮蔽壁5とは一体化されずに別個に設けられるので、基板搬送部2を覆う外装カバー6の形状が制限されることがない。これにより、外観デザインの自由度を向上させることができる。また、外装カバー6の交換時にも、遮蔽壁5を取り付けたままで新たな外装カバー6だけを交換することができるので、外装カバー6の交換時に遮蔽材50bX線遮蔽部材が無駄になるのを防止することができる。また、外装カバー6を取り付ける前の遮蔽壁5のみの状態でX線源などの機能テストを行うことができる。また、本実施形態では、外装カバー6を取り付けるためのカバー取付部材6263を遮蔽壁5と外装カバー6との間に設けることによって、カバー取付部材6263によって外装カバー6を容易に取り付けることができるとともに、遮蔽壁5を取り付けた状態でカバー取付部材6263から外装カバー6を容易に取り外して交換することができる。また、本実施形態では、カバー取付部材62に天面カバー部材61cを取り付けるための第2取付部62bを設けるとともに、カバー取付部材63に側面カバー部材61aを取り付けるための第2部分63bを設け、天面カバー部材61cおよび側面カバー部材61aを、それぞれ、第2取付部62bおよび第2部分63bに対して個別に着脱可能に構成することによって、天面カバー部材61cと、側面カバー部材61aとを個別に取り付けることができるので、外装カバー6の組付作業を容易にすることができる。また、外装カバー6に傷などがついて交換する必要が生じた場合にも、その傷ついた部材たとえば、側面カバー部材61aのみを交換することができる。また、本実施形態では、第2取付部62bを有するカバー取付部材62と、第2部分63bを有し、カバー取付部材62に取り付けられたカバー取付部材63とを設けることによって、特にX線検査装置100が大型の場合などに、カバー取付部材62とカバー取付部材63とを個別に設けることができるので、天面カバー部材61cおよび側面カバー部材61aを取り付け可能なカバー取付部材を容易に形成することができる。また、本実施形態では、外装カバー6を、遮蔽壁5に対して離間した状態でカバー取付部材6263に取り付けることによって、外装カバー6が遮蔽壁5から離間するため、遮蔽壁5の遮蔽材50bの鉛が外装カバー6に付着しないとともに、外装カバー6の交換作業時に作業者が鉛に接触するのを抑制することができる。また、本実施形態では、遮蔽壁5を支持する支持フレーム52を設けることによって、支持フレーム52により遮蔽壁5を容易に取り付けることができる。また、本実施形態では、カバー取付部材62を、遮蔽壁5上面部5cを介して支持フレーム52に取り付けることによって、カバー取付部材62を固定するための構造を別途設ける必要がないので、X線検査装置100の構造を簡素化することができる。また、図5に示すように、遮蔽壁5上面部5cが支持フレーム52に取り付けられていない場合には、カバー取付部材62の取り付け位置が上面部5cの厚み分だけ下方にずれることになる。したがって、遮蔽壁5上面部5cを取り付けておかないと、カバー取付部材62に固定されたカバー取付部材63のボルト66の取付孔の位置も上面部5cの厚み分だけ下方にずれることになり、側面カバー部材61aを適正位置に取り付けることができなくなる。このため、作業者は遮蔽壁5上面部5cが組み付けられていないことに気付きやすく、その結果、支持フレーム52への遮蔽壁5上面部5cの組付忘れを防止することができる。また、本実施形態では、遮蔽壁5の壁部材5151a~51cを、金属板50aと、金属板50aに貼付された遮蔽材50bとにより構成し、遮蔽材50bを、金属板50aに対して外装カバー6側に配置することによって、外装カバー6を取り外した状態で遮蔽材50bが露出するので、金属板50aへの遮蔽材50bの未貼付などのエラーを防止することができる。また、X線検査装置100の内部遮蔽壁5の内部のメンテナンスを行う場合などに、作業者が内側から遮蔽材50bの鉛に接触するのを抑制することができる。また、本実施形態では、複数の壁部材5151a~51cを、隣接する壁部材5151a~51cとの境界で互いに重なるように配置することによって、壁部材5151a~51cの境界継ぎ目で壁部材5151a~51c遮蔽材50bが重複するため、X線の漏洩をより確実に抑制することができる。また、本実施形態では、遮蔽壁5を箱状形状に形成するとともに、外装カバー6を、箱状の遮蔽壁5を内部に収容可能な箱状形状に形成することによって、箱状の遮蔽壁5を外部に露出させることなく箱状の外装カバー6の内部に収容することができる。これにより、内側の箱状の遮蔽壁5と外側の箱状の外装カバ6ーとの二重構造にすることができるので、内側の遮蔽壁5では外観デザインを考慮せずに済み、確実なX線の遮蔽を図ることができるとともに、外側の外装カバー6では外観のデザイン性に特化した設計を行うことができる。また、本実施形態では、検査対象物を回路基板基板PであるX線検査装置100に本発明を適用することによって、外装カバー6の交換時に遮蔽材50bX線遮蔽部材が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能な基板検査装置を得ることができる。なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。たとえば、上記実施形態では、回路基板を検査するためのX線検査装置基板検査装置100に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回路基板以外の物品を検査対象物とするX線検査装置に本発明を適用してもよい。また、上記実施形態では、回路基板製造ライン200を構成するX線検査装置100に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回路基板製造ラインの外部に設けられ、単独で使用されるX線検査装置基板検査装置に本発明を適用してもよい。また、上記実施形態では、X線源のみを備えたX線検査装置を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可視光源および撮像部をさらに設け、X線検査と可視光による外観検査との両方を実行可能に構成してもよい。また、上記実施形態では、外装カバーを複数の板状のカバー部材側面カバー部材61a、61bおよび天面カバー部材61cにより構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、外装カバーを単一の部材によって構成してもよい。この他、外装カバーを半分に分割した前面カバーおよび背面カバーなどにより外装カバーを構成してもよい。また、上記実施形態では、遮蔽壁を複数の壁部材によって構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、遮蔽壁を単一の部材によって構成してもよい。また、上記実施形態では、壁部材51を構成する遮蔽材50bを、金属板50aに対して外側外装カバー6側に配置した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、遮蔽材を金属板に対して内側に配置してもよい。また、上記実施形態では、遮蔽壁の壁部材を、隣接する壁部材同士の境界継ぎ目で互いに重なるように配置した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、隣接する壁部材同士の境界継ぎ目を別途遮蔽材で覆う構成、または、隣接する壁部材同士で別途設けた遮蔽材を挟み込む構成としてもよい。また、隣接する壁部材同士が隙間なく密着するように構成してもよい。また、上記実施形態では、遮蔽壁を支持する支持フレームを設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば箱状に形成した遮蔽壁を、支持フレームを用いることなく基台上に設置してもよい。また、上記実施形態では、遮蔽壁と外装カバーとの間に、外装カバーを取り付けるためのカバー取付部材を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、箱状の外装カバーを、カバー取付部材を用いることなく基台上に設置してもよい。また、上記実施形態では、カバー取付部材62と、カバー取付部材62に取り付けられるカバー取付部材63とを設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、カバー取付部材62と63とを一体的に形成してもよい。また、上記実施形態では、カバー取付部材62が遮蔽壁5上面部5cを介して支持フレーム52に取り付けられるように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、カバー取付部材62と遮蔽壁5上面部5cとを個別に支持フレーム52に取り付けてもよい。また、上記実施形態では、外装カバーを遮蔽壁に対して離間するように設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、外装カバーと遮蔽壁とが接触していてもよい。