過硫酸アンモニウム水溶液を紫外線領域300~350nmの吸光度により濃度測定する方法。本方法を用いてフローセルを利用しインラインで濃度測定を行う方法。この方法には次の欠点があった。すなわち水溶液を作成した直後には問題はないが時間が経過し自己分解が進んだ状態での過硫酸アンモニウム水溶液では分解した生成物により吸光度が変化し正確に濃度が測定できなかった。時間の経過による滴定法と吸光度による定量の誤差を図1に示す。紫外線領域における300~350nmの吸光度により濃度測定を行うことで自己分解が進んだ状態での過硫酸アンモニウムの濃度を正確に測定できる。320nmにより1、5、10、20、30、40wtの検量線を作成し分解劣化させた過硫酸アンモニウム水溶液を定量分析した結果は滴定の濃度と一致していることを確認した。各濃度の水溶液を320nmおよび1146nmの吸光度により濃度測定を行った結果を図2および図3に示す。過硫酸アンモニウムは半導体製造過程におけるCMP処理で酸化剤として使用されるが分解が早いために従来の方法では正確な濃度が測定できずに一定時間後に廃棄していた。本発明の方法によれば分解過程での濃度を正確に測定できるため廃棄する時間を遅らせることが出来るため溶液の有効利用、廃液処理の減少によりコストの削減が行える。過硫酸アンモニウム水溶液をポンプ等で循環供給するラインに300~350nmの吸光度により濃度測定を可能とする分光式濃度計を具備しインラインで濃度測定を行う方法。