対象物に、固有の投光傾斜角と色相をそれぞれ割付けた複数の光束を同時投光し、2台のカラーラインセンサカメラでスキャン撮像する色相光投光撮像装置において、色相光を投光する複数光源は、いずれも直線形状の光源の長軸がスキャン方向と直交する姿勢に設置した光源であって、第1色相光源は、第1のカラーラインセンサカメラの撮像方向と同じ方位角方向から計測基準面に対して一定の傾斜角で第1色相光束を測定対象に投光する光源であり、第2色相光源は、第2のカラーラインセンサカメラの撮像方向と同じ方位角方向から計測基準面に対して一定の傾斜角で第2色相光束を測定対象に投光する光源であり、さらに第3色相光源は、計測基準面に対して垂直方向から第3色相光束を測定対象に投光する光源であり、2台のカラーラインセンサカメラは、共にテレセントリックレンズを備え、スキャン軸に沿って対向方向から計測基準面上の同一領域を一定の角度に傾斜した視軸ビューイングアクシスで見下ろして撮像する姿勢に設置され、まず、前記色相光投光撮像装置で球状モデルを撮像し、2台のカラーラインセンサカメラが獲得した画像の各画素の3色相光強度基準化比率を算出し、3色相光強度基準化比率を、それぞれの画素が対応する球状モデル表面パッチ微小領域の傾斜角に対応させて、対応表を作成し、次に測定対象を計測する場合、前記色相光投光撮像装置で測定対象を撮像し、前記対応表を参照して、獲得した画像の各画素の3色相光強度基準化比率から測定対象表面パッチ微小領域の傾斜角データを割り出し、得られた表面パッチの傾斜角から、表面パッチの高さを算出し、表面パッチの高さをイメージセンサの1ピクセルに対応するスキャン方向に沿って順次加算することによって、測定対象の縦断面高さデータを算出し、同様にして、測定対象の横幅に亘る全ピクセルのスキャン方向に沿う縦断面高さデータを算出することにより、測定対象全体の高さデータを算出する3次元計測方法。解決しようとする問題点は、平面性が保証されない基板上に生成された直径数十ミクロン程度のサイズのバンプの3次元計測を行う適切な3次元計測法が存在しなかった点である。本発明の3次元計測方法は、対象物に、固有の投光傾斜角と色相をそれぞれ割付けた複数の光束を同時投光し、2台のカラーラインセンサカメラでスキャン撮像する色相光投光撮像装置において、色相光を投光する複数光源は、いずれも直線形状の光源の長軸がスキャン方向と直交する姿勢に設置した光源であって、第1色相光源は、第1のカラーラインセンサカメラの撮像方向と同じ方位角方向から計測基準面に対して一定の傾斜角で第1色相光束を測定対象に投光する光源であり、第2色相光源は、第2のカラーラインセンサカメラの撮像方向と同じ方位角方向から計測基準面に対して一定の傾斜角で第2色相光束を測定対象に投光する光源であり、さらに第3色相光源は、計測基準面に対して垂直方向から第3色相光束を測定対象に投光する光源であり、2台のカラーラインセンサカメラは、共にテレセントリックレンズを備え、スキャン軸に沿って対向方向から計測基準面上の同一領域を傾斜した視軸ビューイングアクシスで見下ろして撮像する姿勢に設置され、まず、前記色相光投光撮像装置で球状モデルを撮像し、2台のカラーラインセンサカメラが獲得した画像の各画素の3色相光強度基準化比率を算出し、3色相光強度基準化比率を、それぞれの画素が対応する球状モデル表面パッチ微小領域の傾斜角に対応させて、対応表を作成し、次に測定対象を計測する場合、前記色相光投光撮像装置で測定対象を撮像し、前記対応表を参照して、獲得した画像の各画素の3色相光強度基準化比率から測定対象表面パッチ微小領域の傾斜角データを割り出し、得られた表面パッチの傾斜角から、表面パッチの高さを算出し、表面パッチの高さをイメージセンサの1ピクセルに対応するスキャン方向に沿って順次加算することによって、測定対象の縦断面高さデータを算出し、同様にして、測定対象の横幅に亘る全ピクセルのスキャン方向に沿う縦断面高さデータを算出することにより、測定対象全体の高さデータを算出することを主たる特徴とする。本発明の3次元計測方法は、固有の投光傾斜角と色相をそれぞれ割付けた複数の光束を同時投光した対象物を、視軸を一定傾斜角としたカラーラインセンサカメラで撮像し、獲得した画像画素の3色相光強度基準化比率から対象物表面角度を算出して、対象物表面パッチの高さを算出し、これを加算して対象物全体の3次元データを獲得するため、得られた3次元データには測定原理上対象物基面の凹凸に由来する誤差が含まれないので、容易かつ低コストで微小対象物の高分解能3次元計測ができるという利点がある。平面度が保証されない基板上の微小対象物の3次元計測を容易かつ低コストで行うという目的を、固有の投光傾斜角と色相をそれぞれ割付けた複数の光束を同時投光した対象物を、一定の角度に傾斜した視軸のカラーラインセンサカメラで撮像することにより、対象物表面角度を検出し、表面角度から高さを算出することによって実現した。図1は、本発明の1実施例の3次元計測方法を実行する装置の全体構成図である。計測基準面1上にセットされた測定対象物2の上方には、2台のカラーラインセンサカメラ3-1および3-2と、色相光投光装置図示せずの第1色相直線状光源4-1と、同じく第2色相直線状光源4-2と、同じく第3色相直線状光源4-3とが配置されている。カラーラインセンサカメラ3-1と3-2の視軸と測定対象2の重心は同一平面上にあり、この平面は計測基準面1に直交している。また、両カメラ3-1と3-2は対向し、計測基準面1に対して同じ固定傾斜角で傾斜している。両カメラは、計測基準面1上の同一領域をその視野とするように配置されている。第1色相光源4-1は第1カメラ3-1よりも低い位置で第1カメラと同じ方位角方向から測定対象2に第1色相光を投光し、第2色相光源4-2は第2カメラ3-2よりも低い位置で第2カメラと同じ方位角方向から測定対象2に第2色相光を投光し、第3色相光源4-3は測定対象2に直上方向から第3色相光を投光している。これらの投光撮像系は、制御装置5に接続され、制御装置5は、カラーラインセンサ撮像ユニット6、3色相光強度基準化比率算出ユニット7、表面角度対応ユニット8、高さ算出ユニット9、両センサデータ統合ユニット10、および統合システム制御ユニット11を有し、各ユニット6乃至11は、バス16を通じてデータの交換を行う。また、制御装置5には、教示データ等の入力を行う入力ユニット12と、検査結果等を印字する出力ユニット13と、外部装置との間でデータ送受を行う通信ユニット14と、画像や検査結果等を表示する表示ユニット15が接続されている。図2は、この実施例の投光撮像系の幾何光学配置を説明する図である。この実施例では、第1色相光を青色光、第2色相光を緑色光、第3色相光を赤色光としているが、これらは技術的便利のためであって、相互に色相が異なれば同じ効果が得られるので、ブルー光イエロー光マゼンタ光の組合せや、そのいずれかを白色光にするなどしても差支えない。この発明では、計測基準面1に対する両ラインセンサカメラの視軸を一定の固定角度で傾斜させて、測定対象2を斜めに見下ろして撮像するようにしているが、この撮像方式は、光切断法における既知パタンの傾斜投影と同じ光学的役割を有するものであり、発明者はこの撮像法を視軸切断法と名づけている図3。またこの発明では、両ラインセンサカメラの前方にテレセントリックレンズを装着して図示せず、画角を90°とし、ラインセンサの全ピクセルに入射する光束を平行光としている図3。以上の投光撮像系によって、光拡散表面Lambertiansurfaceを有する立体である測定対象2を照明すると、対象表面は表面傾斜角に応じた混色に染められるので、これを撮像すると、傾斜角に応じて表面が色づいた対象画像が得られる。この発明は、以上の投光撮像系によって混色に染められた表面色相から、対象の表面角度を算出し、さらに表面角度から対象の高さデータを算出する方法を提供するものである。次に、本発明にかかわる計測の原理について説明する。それは、次の2段階で構成されている。第1段階:球状モデルを用いて、表面混色色相と表面角度の対応表を作成する。第2段階:未知の測定対象の表面混色色相から、対応表を参照して、測定対象の高さデータを作成する。ここで、球状モデルを使用する理由について説明する。球状モデルの表面は、立体のすべての表面角度を有するため、理想的な表面角度モデルとして取り扱われている。表面角度は、表面の微小領域である表面パッチに垂直な法線ベクトルで表され、法線ベクトルは、傾斜角ベクトル成分と方位角ベクトル成分の2ベクトルから成る。本発明の投光撮像系は、図3で示された幾何光学的関係に基づいて、対象物表面の法線ベクトルのうちの傾斜角ベクトル成分のみをもっぱらセンシングするので、この系で球状モデルを撮像すると、表面パッチの傾斜角のみに対応した色相で色づけられた画像が得られる。この色相画像には、表面法線ベクトルのうちの方位角成分はまったく含まれない。表面混色色相と表面角度の対応表の作成においては、光拡散表面を有する球体を全表面角度モデルとして用い、これを本発明になる投光撮像系図1によって照明、撮像する。図4は、カメラ視軸の傾斜角θと、カメラで見える撮像できる球状モデルの範囲と、表面法線角度の算出範囲とを示している。図1に示した第1色相光青色と第3色相光赤色を球状モデルに投光し、第1カメラ3-1で撮像した画像のモデル直径に沿う画素値プロファイルを、図5に示す。図6は、この出力値をスムージングかつ基準化正規化して得られたグラフである。グラフの横軸は、球状モデルの直径に沿う画素の番号に対応し、それぞれの画素は、球状モデル表面パッチに位置対応しているので、各表面パッチの傾斜角は既知である。そこで、この球状モデルデータを元にして、画素値の青赤2色の基準化強度比率と表面パッチの傾斜角の対応表を作成する。図6のグラフは、球状モデルの表面によって拡散された光束の強度分布に対応するもので、理論的に強度の正規分布に対応する数1。数式において、σの2乗は拡散幅に対応する分散である。第2色相光緑色と第3色相光赤色の関係は、第1色相光青色と第3色相光赤色の関係とミラーイメージとして同様である。これらを球状モデルに投光して第2カメラ3-2によって撮像すると、図4において球状モデルの90°以上の表面傾斜角との対応データが得られる。すべてのデータを総合すると、各色相光の基準化強度比率と、0°~180°に亘る表面傾斜角の対応関係が得られる図7。次に、画像の各画素サイズは、対象物の表面パッチのサイズに対応しており、表面パッチの傾斜面を斜辺とする直角三角形において、底辺寸法は一定であるため、底辺と斜辺のなす角度に応じて、直角三角形の高さを求めることができる。このようにして得られた表面パッチの高さを、ラインセンサピクセルのスキャン方向に沿って加算すれば、そのピクセルに沿う、計測基準面からの対象縦断面高さが算出できる図8。未知の測定対象を計測する場合には、まず、その対象を図1に示した構成の装置によって撮像し、その画像を構成する各画素の色相強度基準化比率から対応表を参照して対象表面パッチの傾斜角を算出し、それらをスキャンラインに沿って加算して縦断面高さを算出し、縦断面高さを総合して、対象全体の高さデータを算出する。なお、これまでは、画素の色相強度基準化比率と対象表面パッチの傾斜角との対応表を作成した後、傾斜角から表面パッチの高さを求める順序を説明したが、傾斜角と高さとは一義的な関係にあるので、画素の色相強度基準化比率と表面パッチ高さの対応表を作成し、これを参照するようにしてもよいことは、言うまでもない。次に、図9のフロー図に従って、この実施例の計測手順を説明する。図9Aのフロー図は球状モデルを用いて対応表を作成するステップを、また図9Bのフロー図は未知の測定対象を計測するステップを、それぞれ示している。まず図9Aにおいて、球状モデルを計測基準面にセットしST1、図1の構成に設定された投光撮像系の2台のカメラでで同時に撮像するST2。次に、得られた画像から、色相光反射強度プロファイルをデータ化しST3、これを基準化しST4、基準化比率データと表面角度の対応表を作成するST5。次に図9Bにおいて、まず未知の測定対象を計測基準面にセットしST6、図1の構成に設定された投光撮像系の2台のカメラで同時に撮像するST7。得られた画像の画素値から、色相光反射強度基準化比率を算出しST8、対応表を参照して画素に対応する表面パッチの傾斜角を算出するST9。次に、表面パッチ高さを算出しST10、スキャン方向に沿って加算して、縦断面高さを算出するST11。そして最後に、測定対象の横幅に亘って縦断面高さを集積して、全体の3次元データを作成するST12。