洗浄対象である搬送中の板状部材の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段を備え、前記板状部材に洗浄液を供給しつつ前記洗浄手段を回転させて搬送中の前記板状部材を洗浄する洗浄装置であって、前記複数の洗浄手段は、前記搬送経路の一方側に配置された1つの洗浄手段と、該洗浄手段と同軸上で相対向するよう前記搬送経路の他方側に配置された1つの洗浄手段とからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する前記洗浄手段は、前記洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする洗浄装置。前記洗浄手段は、搬送中の前記板状部材の表裏面に垂直な軸周りに回転する回転ヘッドと、中心に第1貫通孔が設けられ、前記回転ヘッドに着脱可能に取り付けられた円形ディスクと、中心に前記第1貫通孔と連通する第2貫通孔が設けられた前記洗浄面を有し、前記円形ディスクに取り付けられた洗浄パッドと、前記第1貫通孔および前記第2貫通孔を介して前記板状部材に前記洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、前記洗浄パッドを前記板状部材の表面または裏面に対して昇降させる昇降機構とからなり、前記洗浄手段毎に前記昇降機構を個別制御する制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。前記洗浄面は、前記凸部の高さが100μm以上、1000μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の洗浄装置。洗浄対象である板状部材を搬送経路に沿って搬送する搬送工程と、前記搬送工程中に、前記板状部材に洗浄液を供給しつつ、前記板状部材の表裏面を挟むように前記搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段を回転させて前記板状部材を洗浄する洗浄工程とを含む洗浄方法であって、前記洗浄工程において、複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配列された洗浄面を有する前記複数の洗浄手段のうち、前記搬送経路の一方側に配置された1つの洗浄手段と、該洗浄手段と同軸上で相対向するよう前記搬送経路の他方側に配置された1つの洗浄手段とからなる洗浄手段の前記洗浄面を逆方向に回転させることを特徴とする洗浄方法。前記搬送工程中に前記板状部材が所定の位置まで搬送されると、前記洗浄手段が前記板状部材に対して昇降し、所定の圧力で前記板状部材を加圧することを特徴とする請求項4に記載の洗浄方法。前記洗浄手段の昇降を前記洗浄手段毎に個別に制御することを特徴とする請求項5に記載の洗浄方法。しかしながら、従来の洗浄装置21では、一組の洗浄手段23a、23bが同方向に回転しているので、この回転方向の力が合成されて液晶パネル22に加わり、洗浄中に液晶パネル22が位置ズレを起こしてしまうおそれがある。このため、従来の洗浄装置21を用いて液晶パネル22を洗浄する場合、液晶パネル22の側面を挟み込んで位置ズレを防止するための位置ズレ防止手段31が必要となり、この位置ズレ防止手段31が設備コストの増大を招いていた。さらに、従来の洗浄装置21では、一組の洗浄手段23a、23bが相対向した状態で搬送方向と直交する方向に往復移動するので、液晶パネル22の表裏面全体を隈なく洗浄するため、洗浄手段23a、23bを移動させる度に、液晶パネル22を所定ピッチで間欠的に搬送する必要がある。このため、従来の洗浄装置21では、タクトタイムのさらなる短縮が困難であった。また、従来の洗浄装置21は、洗浄シート30として研磨材がコーティングされた不織布が使用されており、洗浄面30a、30bが実質的に平坦であるため、液晶パネル22の表裏面に固着したカレット等の異物を十分に除去することができず、また、除去できたとしても除去された異物が洗浄シート30と液晶パネル22との間に挟まり、洗浄中に液晶パネル22を傷つけてしまうおそれがあった。さらに、従来の洗浄装置21は、洗浄シート30の送出および巻取を行うための送出ローラ26および巻取ローラ27を有しているので、装置が大型化、複雑化してしまうという問題や、洗浄シート30の交換に時間がかかってしまうという問題が生じていた。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題とするところは、洗浄中に液晶パネルの位置ズレを発生させることなく、液晶パネルの表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明に係る洗浄装置は、洗浄対象である搬送中の板状部材の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段を備え、板状部材に洗浄液を供給しつつ洗浄手段を回転させて搬送中の板状部材を洗浄する洗浄装置であって、複数の洗浄手段は、搬送経路の一方側に配置された1つの洗浄手段と、該洗浄手段と同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された1つの洗浄手段とからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段は、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。この構成によれば、同軸上で相対向する洗浄手段が洗浄面を逆方向に回転させているので、搬送経路の一方側に配置された洗浄手段から板状部材例えば、液晶パネルの一方側の面表面に加わる回転方向の力と、他方側に配置された洗浄手段から板状部材の他方側の面裏面に加わる回転方向の力とが相殺される。このため、搬送経路に位置ズレ防止手段を設けることなく、板状部材の位置ズレを防ぐことができる。さらに、この構成によれば、複数の洗浄手段が千鳥状に配置されており、板状部材を停止させることなく一定の搬送速度で搬送させながら洗浄することができるので、タクトタイムをさらに短縮することができる。また、この構成によれば、所定の間隔をおいて連続して配置された複数の凸部により、カレットを確実に除去することができる。さらに、この構成によれば、除去されたカレットが凸部間の隙間に収まるので、洗浄面と板状部材との間に除去されたカレットが挟まり板状部材が傷ついてしまうのを防ぐことができる。また、上記洗浄手段は、搬送中の板状部材の表裏面に垂直な軸周りに回転する回転ヘッドと、中心に第1貫通孔が設けられ、回転ヘッドに着脱可能に取り付けられた円形ディスクと、中心に第1貫通孔と連通する第2貫通孔が設けられた洗浄面を有し、円形ディスクに取り付けられた洗浄パッドと、第1貫通孔および第2貫通孔を介して板状部材に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、洗浄パッドを板状部材の表面または裏面に対して昇降させる昇降機構とからなる構成とすることができる。さらに、本発明に係る洗浄装置は、洗浄手段毎に昇降機構を個別制御する制御手段をさらに備えた構成とすることができる。この構成によれば、円形ディスクが着脱可能に取り付けられているので、円形ディスクを取り外して容易に洗浄パッドを交換することができる。さらに、この構成によれば、洗浄手段毎に昇降機構を個別制御する制御手段を備えているので、大きさや厚さの異なる板状部材であっても1台の洗浄装置で洗浄することができる。また、本発明に係る洗浄装置は、上記凸部の高さを100μm以上、1000μm以下にすることが好ましい。この構成によれば、凸部の高さを100μm以上、1000μm以下にすることで、凸部自身の強度を保ったまま、凸部の高さが一般的に想定されるカレットの最大の高さよりも高くなるので、洗浄中にあらゆる高さのカレットに衝撃を与えることができ、カレットをより確実に除去することができる。また上記課題を解決するために、本発明に係る洗浄方法は、洗浄対象である板状部材を搬送経路に沿って搬送する搬送工程と、搬送工程中に、板状部材に洗浄液を供給しつつ、板状部材の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段を回転させて板状部材を洗浄する洗浄工程とを含む洗浄方法であって、洗浄工程において、複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配列された洗浄面を有する複数の洗浄手段のうち、搬送経路の一方側に配置された1つの洗浄手段と、該洗浄手段と同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された1つの洗浄手段とからなる組を構成する洗浄手段の洗浄面を逆方向に回転させることを特徴とする。この構成によれば、搬送経路の一方側に配置された洗浄手段から板状部材の表面に加わる回転方向の力と、他方側に配置された洗浄手段から板状部材の裏面に加わる回転方向の力とが相殺されるため、搬送経路に位置ズレ防止手段を設けることなく、板状部材の位置ズレを防ぐことができる。さらに、この構成によれば、板状部材を停止させることなく一定の搬送速度で搬送させながら洗浄することができるので、洗浄工程におけるタクトタイムをさらに短縮することができる。また、この構成によれば、所定の間隔をおいて連続して配置された複数の凸部により、カレットを確実に除去することができる。さらに、この構成によれば、除去されたカレットが凸部間の隙間に収まるので、洗浄面と板状部材との間にカレットが挟まり板状部材が傷ついてしまうのを防ぐことができる。また、本発明に係る洗浄方法は、搬送工程中に板状部材が所定の位置まで搬送されると、洗浄手段が板状部材に対して昇降し、所定の圧力で板状部材を加圧するようにしてもよい。さらに、本発明に係る洗浄方法は、洗浄手段の昇降を洗浄手段毎に個別に制御するようにしてもよい。この構成によれば、大きさや厚さの異なる板状部材であっても1台の洗浄装置で洗浄することができる。本発明によれば、洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供することができる。以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施形態について説明する。[洗浄装置]図1に、本実施形態に係る洗浄装置1を示す。同図に示すように、本実施形態に係る洗浄装置1は、複数のゴム製のリング4aを有する搬送ローラ4および補助ローラ5が併設された搬送経路間に設けられ、搬送経路に沿って搬送されてきた液晶パネル2本発明の板状部材に相当の表裏面を洗浄するものである。なお、搬送されてくる液晶パネル2は、表裏面に偏光フィルムが貼り付けられる前の状態のものであり、2枚のガラス基板の間に液晶が封止されている。洗浄装置1は、搬送されてくる液晶パネル2の表裏面を挟むように搬送経路の両側上下に配置された複数の洗浄手段3a、3bを備えている。複数の洗浄手段3a、3bは、各側で千鳥状に配置されており、前列Fに配置された洗浄手段3a、3bで洗浄しきれなかった部分を、後列Bに配置された洗浄手段3a、3bで洗浄するよう意図されている図1A参照。また、複数の洗浄手段3a、3bは、搬送経路の一方側搬送されてくる液晶パネル2の表面側に配置された1つの洗浄手段3aと、該洗浄手段3aと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側搬送されてくる液晶パネル2の裏面側に配置された1つの洗浄手段3bとからなる組を複数本実施形態では5組含んでいる。図2は、本実施形態における洗浄手段3a、3bの回転方向なお、回転方向については、洗浄装置の上方から見た場合の回転方向とする。以下、同じ。を説明するための図である。同図に示す洗浄手段3a-1、3a-2、3a-3は、搬送経路の一方側の前列Fに配置されたものであり、洗浄手段3b-1、3b-2、3b-3は、搬送経路の他方側の前列Fに配置されたものである。洗浄手段3a-1と洗浄手段3b-1、洗浄手段3a-2と洗浄手段3b-2、および洗浄手段3a-3と洗浄手段3b-3は、それぞれ同一組を構成している。そして、これらの同一組を構成する洗浄手段例えば、3a-3と3b-3は、洗浄面10a、10bの回転方向が逆になるように回転する。具体的には、搬送経路の一方側に配置された洗浄手段3aの洗浄面10aはすべて時計回りに回転し、搬送経路の他方側に配置された洗浄手段3bの洗浄面10bはすべて反時計回りに回転する。各洗浄手段3a、3bは、搬送されてくる液晶パネル2の表裏面に垂直な軸周りに所定の速度で回転する回転ヘッド6と、回転ヘッド6に着脱可能に取り付けられた円形ディスク7と、円形ディスク7に取り付けられた洗浄パッド10と、洗浄パッド10の洗浄面10a、10bを液晶パネル2の表面または裏面に対して昇降させる昇降機構8a、8bと、回転ヘッド6内に設けられ液晶パネル2に水等の洗浄液を供給する洗浄液供給機構9とから構成されている。図3に示すように、円形ディスク7の中心には第1貫通孔12が設けられており、洗浄パッド10の中心には第1貫通孔12と連通する第2貫通孔13が設けられている。洗浄液供給機構9は、第1貫通孔12および第2貫通孔13を介して液晶パネル2に洗浄液を供給する。回転ヘッド6の先端には、円形ディスク7を取り付けるための磁石11が設けられている。円形ディスク7は、少なくとも一方側回転ヘッド6側の面が磁石11と引き合う磁性体で形成されており、回転ヘッド6に対して着脱可能になっている。円形ディスク7の他方側の面には、耐水性の接着剤を介して洗浄パッド10が取り付けられている。洗浄パッド10を交換する場合、円形ディスク7ごと取り外すことで、洗浄パッド10の交換を簡易かつ正確に行うことができる。昇降機構8a、8bは、制御手段不図示の制御下で、回転ヘッド6、円形ディスク7および洗浄パッド10を昇降させる。具体的には、洗浄手段3aに設けられた昇降機構8aは、圧力センサ等の圧力検出部を有しており、この圧力検出部で検出された圧力が制御手段により指示された所定の圧力に維持されるよう、シリンダーにより洗浄パッド10洗浄面10a等を下降させて液晶パネル2の表面を加圧する。一方、洗浄手段3bに設けられた昇降機構8bは、洗浄面10bの高さ昇降距離が制御手段により指示された値通常、搬送面よりわずかに高い位置になるまで、サーボモーターとボールネジにより洗浄パッド10洗浄面10b等を上昇させる。制御手段は各昇降機構8a、8bを個別に制御することができるため、本実施形態に係る洗浄装置1では、液晶パネル2の大きさや厚さに応じて洗浄手段3a、3bを個別に昇降させることができる。例えば、図1では、洗浄装置1の洗浄手段3cを使用しなくても液晶パネル2の全面を洗浄することができるので、制御手段は、洗浄に使用する洗浄手段3a、3bだけを昇降させる。また、制御手段には、洗浄パッド10の摩耗量に応じて洗浄手段3b洗浄面10bの高さを微調整するために、予測される摩耗量を液晶パネル2の洗浄枚数に換算したデータがあらかじめ格納されている。制御手段は、このデータと実際の洗浄枚数とを比較することにより洗浄面10bの高さを決定し、この高さを指示するための制御信号を昇降機構8bに送信する。昇降機構8bは、受信した制御信号に基づいて、サーボモーターとボールネジにより洗浄面10bを精密に昇降させる。これにより、摩耗により減った分だけ洗浄面10bを上昇させることができるので、洗浄面10bを搬送面よりわずかに高い位置に維持することができる。なお、摩耗量は、洗浄パッド10の回転数や圧力等から予測することができる。図4は、洗浄パッド10の洗浄面10a10bを示す平面図および部分拡大平面図である。図4Aに示すように、洗浄パッド10には、凸部14が所定の間隔をおいて第1方向xおよび該第1方向xと直交する第2方向yの両方向に連続して配置されている。そして、図4Bに示すように、洗浄パッド10の洗浄面10a10bは、截頭錐体状に形成された凸部14の截頭面10-1と、該凸部14の側面10-2と、該凸部14間の平面10-3とによって構成されている。なお、洗浄パッド10は、研磨材不図示を混合した樹脂を成型したものである。図5は、洗浄中における洗浄パッド10の洗浄面10a、10bと液晶パネル2の表裏面との関係を示す図である。同図に示すように、洗浄パッド10の洗浄面10a、10bのうち凸部14の截頭面10-1と液晶パネル2の表裏面とが接触した状態で、液晶パネル2に洗浄液を供給しつつ洗浄パッド10を回転させることで、液晶パネル2に固着しているカレットCや塵埃等の異物が除去される。具体的には、凸部14の截頭面10-1に現れている研磨材により液晶パネル2の表裏面が研磨されることで、液晶パネル2に付着している塵埃や有機物等が除去される一方、洗浄パッド10の回転に伴って凸部14の側面10-2があらゆる方向からカレットCの側面にぶつかることで、液晶パネル2に固着しているカレットCがはじき飛ばされて除去される。除去されたカレットCや塵埃等の異物は、凸部14間の隙間に収まり図5参照、その後洗浄液とともに凸部14間の隙間を通って洗浄パッド10の外に流れ出ていくので、凸部14の截頭面10-1と液晶パネル2との間にカレットCが挟まり液晶パネル2が傷つくことはない。[洗浄方法]次に、図6を参照して、本実施形態に係る洗浄装置1を用いた洗浄方法について説明する。本実施形態における洗浄方法は、液晶パネル2を搬送する搬送工程図6A~Dと、該搬送工程中に、液晶パネル2に洗浄液を供給しつつ洗浄手段3a、3bを逆方向に回転させて液晶パネル2の表裏面を洗浄する洗浄工程図6Cとを含んでいる。図6Aに示すように、液晶パネル2は、併設された搬送ローラ4上に水平に寝かされ、搬送ローラ4および補助ローラ5の回転速度に応じた搬送速度で洗浄装置1に向かって搬送される。このとき、洗浄装置1の洗浄手段3a、3bは、回転することなく搬送経路から離れた位置で待機している。図6Bに示すように、液晶パネル2が洗浄装置1の近くまで搬送され、洗浄装置1に設けられたセンサ15により液晶パネル2の存在が確認されると、洗浄手段3aが時計回りに回転しながら液晶パネル2の表面に向かって下降し、洗浄手段3bが反時計回りに回転しながら液晶パネル2の裏面に向かって上昇する。洗浄手段3bは、洗浄面10bの高さが制御手段により指示された高さ搬送面よりわずかに高い位置になるまで上昇する。図6Cに示すように、洗浄工程において、洗浄手段3a、3bは、洗浄面10a、10bのうち凸部14の截頭面10-1が液晶パネル2の表裏面に接触した状態で回転する。洗浄手段3aは、凸部14の截頭面10-1が液晶パネル2の表面に接触すると、液晶パネル2にかかる圧力が制御手段により指示された所定の圧力になるまでさらに下降し、その後、圧力一定になるように高さが微調整される。なお、凸部14の截頭面10-1が液晶パネル2の表面に接触してから所定の圧力になるまでの時間は非常に短く、洗浄手段3aは、凸部14の截頭面10-1が液晶パネル2の表面に接触するのとほぼ同時に所定の圧力で加圧することができる。この洗浄工程では、液晶パネル2が洗浄装置1内に搬入された後の搬送速度が、液晶パネル2が洗浄装置1内に搬入される前の搬送速度よりも遅くならないように、搬送ローラ4および補助ローラ5は、洗浄中も回転速度を変化させることなく、一定の回転速度で回転している。また、この洗浄工程では、液晶パネル2が洗浄中に位置ズレを起こさないように、洗浄面10aの回転方向と洗浄面10bの回転方向とを逆にして、洗浄面10aから液晶パネル2の表面に加わる回転方向の力と、洗浄面10bから液晶パネル2の裏面に加わる回転方向の力とを相殺させている。このため、搬送経路には、従来の洗浄装置21を用いた場合に必要となる位置ズレ防止手段31が設けられていない。図6Dに示すように、洗浄工程が終了すると、洗浄装置1の洗浄手段3a、3bは昇降し、待機状態に戻る。液晶パネル2は、次の工程に向けて搬送される。[比較実験1]続いて、本実施形態における洗浄パッド10を用いて洗浄した場合の液晶パネル2の表面状態と、図10に示す従来の洗浄シート30を用いて洗浄した場合の液晶パネル22の表面状態とを比較した比較実験1について説明する。本実験では、洗浄装置121を使用するかわりに、液晶パネル222の表面側カラーフィルタ側に0.075MPaの面圧で洗浄パッド10および洗浄シート30を接触させ、洗浄パッド10および洗浄シート30を液晶パネル222の長手方向に10往復させることにより洗浄を行なった。図7は、液晶パネル2の表面状態を示す図であって、A、Cは洗浄前の液晶パネル22、2、Bは従来の洗浄シート30で洗浄した後のAの液晶パネル22、Dは本発明における洗浄パッド10で洗浄した後のCの液晶パネル2である。同図に示すように、従来の洗浄シート30を用いて洗浄した場合は液晶パネル22の表面に多数の傷が付いているのに対して、本実施形態における洗浄パッド10を用いて洗浄した場合は、液晶パネル2の表面にほとんど傷が付いていない。これは、本実施形態における洗浄パッド10を用いた場合、洗浄により除去されたカレットが、洗浄パッド10に形成された凸部14の截頭面10-1と液晶パネル2の表面との間に挟まることなく、凸部14間の隙間に収まるためである図5参照。[比較実験2]続いて、本実施形態に係る洗浄装置1と従来の洗浄装置21とのカレット除去率を比較した比較実験2について説明する。本実験では、表面側に人為的にカレットを20個固着させた液晶パネル222を6枚用意し、このうち3枚の液晶パネル2を本実施形態に係る洗浄装置1で洗浄し、残りの3枚の液晶パネル22を従来の洗浄装置21で洗浄した。表1にその結果を示す。表1に示すように、従来の洗浄装置21を用いて洗浄した場合、カレット除去率が75から90にとどまっているのに対して、本実施形態に係る洗浄装置1を用いた場合は、3枚ともカレット除去率が100になった。これは、本実施形態に係る洗浄装置1を用いた場合、洗浄パッド10に形成された複数の凸部14の側面10-2があらゆる方向からカレットの側面にぶつかり、カレットを除去するのに十分な衝撃力がカレットにかかるためである。[変形例1~4]図8A~Dに、本発明に係る洗浄装置の第1変形例~第4変形例を示す。図8Aに示す第1変形例に係る洗浄装置1Aは、上記実施形態に係る洗浄装置1のすべての洗浄手段洗浄手段3a、3bと洗浄手段3cを使用したものであり、上記実施形態における液晶パネル2よりも大型の液晶パネルを洗浄するのに適している。図8Bに示す第2変形例に係る洗浄装置1Bは、上記実施形態に係る洗浄装置1の5組の洗浄手段3a、3bのうち一部3組の洗浄手段3a、3bだけを使用したものであり、上記実施形態における液晶パネル2よりも小型の液晶パネルを洗浄するのに適している。なお、小型の液晶パネルだけを洗浄するのであれば、洗浄手段3cのない洗浄装置、すなわち3組の洗浄手段3a、3bだけを備えた小型の洗浄装置を用いてもよい。図8Cに示す第3変形例に係る洗浄装置1Cは、上記実施形態に係る洗浄装置1の洗浄手段3a、3bの数を増やし、洗浄手段3a、3bを3列に千鳥配置させたものである。第3変形例に係る洗浄装置1Cによれば、液晶パネル2に固着したカレット等の異物をより確実に除去することができる。図8Dに示す第4変形例に係る洗浄装置1Dは、上記実施形態に係る洗浄装置1の洗浄手段3a、3bのうち、各列で隣り合う洗浄手段3a3bの回転方向を逆にしたものである。なお、この場合も同一組を構成する洗浄手段3a、3bは、上記実施形態に係る洗浄装置1と同様に、洗浄面10a、10bの回転方向が逆になるように回転する。以上、本発明に係る洗浄装置の好ましい実施形態および第1変形例~第4変形例について説明したが、本発明は上記の構成に限定されるものではない。例えば、上記洗浄パッド10に替えて、図9に示す洗浄パット10’を用いてもよい。この洗浄パット10’は、第2貫通孔13を中心として放射状に第3貫通孔13’が設けられていること以外の点において、洗浄パッド10と共通している。第3貫通孔13’は液晶パネル2に洗浄液を供給するために設けられたものであり、この洗浄パット10’を用いることで、より多くの洗浄液を液晶パネル2に供給することができる。また、洗浄パッド10、10’の洗浄面10a、10bに形成されている凸部14の高さは、100μm以上、1000μm以下の範囲で任意に設定することができる。なお、凸部14の高さが100μmよりも低いと、液晶パネル2に固着するカレットの一般的に想定される最大の高さよりも低くなるので、高さが高いカレットにしか衝撃を与えることができなくなり、高さが低いカレットを除去することができなくなる。一方、凸部14の高さが1000μmよりも高いと、凸部14自身の強度が下がり変形しやすくなるので、カレットに与える衝撃力が弱まり、この場合もカレットを十分に除去することができなくなる。さらに、凸部14は、立体形状であれば任意の形状に変更可能であり、例えば、円柱状や角柱状に変更することができる。また、上記実施形態では、円形ディスク7を回転ヘッド6から着脱可能にするために、回転ヘッド6の先端に磁石11を設けているが、円形ディスク7の回転ヘッド6側に磁石11を設けてもよく、回転ヘッド6と円形ディスク7の両方に磁石11を設けてもよい。さらに、円形ディスク7を回転ヘッド6から着脱可能にすることができるのであれば、磁石11以外の取付手段を用いてもよい。また、上記実施形態では、図5に示すように、洗浄パッド10の洗浄面10a、10bのうち凸部14の截頭面10-1と液晶パネル2の表裏面とが接触した状態で、液晶パネル2の洗浄を行なっているが、比較的大きなカレットの除去を目的とする場合は、凸部14の截頭面10-1が液晶パネル2の表裏面からわずかに浮いた状態で液晶パネル2の洗浄を行なってもよい。これにより洗浄パッド10の寿命が長くなり、しかも洗浄パッド10に混合されている研磨材が不要になるので、コストの面で有利になる。なお、この場合、制御手段は、洗浄面10aの高さ昇降距離が指示した値になるように、洗浄手段3aの昇降機構8aを高さ制御する。また、上記実施形態では、洗浄対象として液晶パネル2を例に挙げて説明したが、少なくとも表裏面にガラス面を有する板状部材であれば、本発明に係る洗浄装置1、1A~1Dを適用して、ガラス面に固着しているカレット等の異物を確実に除去することができる。