"観察対象物の所定領域に向けて観察光を照射する光源部と、前記観察対象物の所定領域を撮像する撮像部と、前記光源部及び前記撮像部に接続されて、前記光源部に対して発光信号並びに前記撮像部に対して撮像トリガ信号を出力する観察信号出力部とを備えた観察装置であって、前記光源部は、複数の発光ダイオードを配列して構成され、前記発光信号に基づいて前記複数の発光ダイオードを点灯又は消灯させるように構成されており、前記撮像部は、撮像トリガ信号を入力する撮像トリガ信号入力部と、前記撮像トリガ信号を入力して設定時間経過後に撮像を開始させるディレイタイマ部と、当該撮像部が撮像中か撮像終了したかを検知して撮像状態を通知する撮像状態モニタ信号出力部を備え、前記観察信号出力部は、観察開始のトリガ信号を入力する観察トリガ信号入力部と、前記撮像部から通知された撮像状態のモニタ信号を入力する撮像状態モニタ信号入力部とを備え、前記観察開始のトリガ信号がオン状態となれば前記複数の発光ダイオードを点灯させ、前記撮像状態のモニタ信号がオフ状態となれば前記複数の発光ダイオードを消灯させることを特徴とする、観察装置。前記観察信号出力部及び前記撮像部に接続された制御部をさらに備え、前記制御部は、前記観察信号出力部に対して前記観察開始のトリガ信号を出力する観察トリガ信号出力部と、前記撮像部で撮像された画像情報を入力する画像情報入力部とを備え、前記撮像部で撮像された画像情報に基づいて前記光源部から照射された観察光の明るさを判定する観察光量判定部とを備えたことを特徴とする、請求項1に記載の観察装置。前記制御部は、前記撮像部に対して前記ディレイタイマ部の前記設定時間を送信するディレイタイマ設定時間送信部を備え、前記ディレイタイマ部へ送信する前記設定時間を逐次変更させて送信し、その都度前記観察開始のトリガ信号を出力して、前記観察光量判定部で判定された前記観察光の明るさが予め規定した基準値に達する前記設定時間を計測して、前記計測結果に基づいて前記観察のための前記ディレイタイマ部の前記設定時間を決定するキャリブレーション機能を備えていることを特徴とする、請求項1又は請求項2のいずれかに記載の観察装置。前記観察対象物の主面上に形成された皮膜の膜厚むら検出装置であって、請求項1~3のいずれか1つに記載の観察装置を備えており、前記光源部は、前記観察対象物の所定領域に向けて特定の照射パターンの光を照射するように構成されており、前記特定の照射パターンと前記撮像部で撮像された受光パターンとを比較することにより、前記観察対象物の主面上に形成された皮膜の形成状態の良否判断をする検査部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。基板を載置するテーブル部と、前記基板の主面上に塗布液を塗布する塗布ノズルと、前記テーブル部と前記塗布ノズルとを相対移動させる相対移動部とを備えた塗布装置であって、請求項4に記載の膜厚むら検出装置をさらに含み、前記観察対象物が、前記塗布装置により塗布液が塗布された前記基板であり、前記基板の塗布液が塗布された所定領域内を前記撮像部で撮像して、所定領域内に膜厚むらが検出されたか否かを通知する機能を備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置付塗布装置。前記複数の発光ダイオードが発光指令後に全点灯状態になるまでの応答時間を計測する全点灯応答時間計測部をさらに備え、前記応答時間の計測を塗布前又は塗布中に行う機能を備えたことを特徴とする、請求項5に記載の膜厚むら検出装置付塗布装置。しかし、点灯オン/オフの応答時間が短いLEDといえども、図8Aや図8Bに示したように、多数配列して構成されている場合は、配線抵抗のばらつきや、スイッチング素子の内部抵抗のばらつきの影響により、全てのLED群を同時に全点灯状態にさせることが難しかった。図9は、従来の観察装置におけるタイムチャートであり、発光信号がオン状態になった後、光源部の各LED群から発せられた光の強さが経時的に変化している様子を表している。このとき、LED群34-L1は所定の時間TdL1後に、LED群34-L2は所定の時間TdL2後に、LED群34-L3は所定の時間TdL3後に、LED群34-Lnは所定の時間TdLn後に、全点灯状態となっている。そして、発光信号がオン状態になった後、インターバルT1経過後に、撮像カメラによりシャッター時間Tcsの撮像を行われるが、前記所定の時間TdLnが、インターバルT1よりも長いと、観察した視野内に濃淡差が生じてしまう。図10は、撮像部のカメラで撮像された視野内の明るさをイメージ化したものであり、インターバルT1後のシャッター時間Tcsで、撮像カメラで観察された時の、視野212z内の明るさの分布を表している。視野212z内のエリアFV1では主にLED群34-L1から発せられた光が撮像され、同様に、エリアFV2では主にLED群34-L2から発せられた光が、エリアFV3では主にLED群34-L3から発せられた光が、エリアFVnでは主にLED群34-Lnから発せられた光が、撮像されている。そのため、インターバルT1後のシャッター時間Tcsで、全点灯状態となっているLED群34-L1,L3に対応するエリアFV1,FV3では最も明るく、全点灯状態になる前に撮像が始まったLED群34-L2,Lnに対応するエリアFV2,FVnは、暗い画像となってしまう。このような状態では、発光信号がオン状態となった後すぐに撮像を開始させても、全てのLEDが全点灯状態になっていないため、観察対象物を観察する際に見づらかったり、撮像した画像には必然的に明るさのむらが含まれてしまうことに起因して膜厚むらの誤検出をしたり、或いは精度の高い検査が出来なくなるという課題があった。この課題を解消するために、従来の技術では、図11に示すようにインターバルT2を十分に長くしておき、各LEDを点灯させ始めた後、全てのLEDが全点灯状態になってからしばらくの間経過した後で撮像を開始しなければならなず、消費電力や発熱量の削減の余地が残されていた。そこで本発明は、LEDを多数配列した面照明を使用する際に、配線抵抗のばらつきやスイッチング素子の内部抵抗のばらつきがあっても、最後に全点灯状態となるLEDのタイムラグを管理し、LEDの点灯時間を最短にして検査が行える観察装置、膜厚むら検出装置並びに、当該膜厚むら検出装置付塗布装置を提供する。以上の課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、観察対象物の所定領域に向けて観察光を照射する光源部と、前記観察対象物の所定領域を撮像する撮像部と、前記光源部及び前記撮像部に接続されて、前記光源部に対して発光信号並びに前記撮像部に対して撮像トリガ信号を出力する観察信号出力部とを備えた観察装置であって、前記光源部は、複数の発光ダイオードを配列して構成され、前記発光信号に基づいて前記複数の発光ダイオードを点灯又は消灯させるように構成されており、前記撮像部は、撮像トリガ信号を入力する撮像トリガ信号入力部と、前記撮像トリガ信号を入力して設定時間経過後に撮像を開始させるディレイタイマ部と、当該撮像部が撮像中か撮像終了したかを検知して撮像状態を通知する撮像状態モニタ信号出力部を備え、前記観察信号出力部は、観察開始のトリガ信号を入力する観察トリガ信号入力部と、前記撮像部から通知された撮像状態のモニタ信号を入力する撮像状態モニタ信号入力部とを備え、前記観察開始のトリガ信号がオン状態となれば前記複数の発光ダイオードを点灯させ、前記撮像状態のモニタ信号がオフ状態となれば前記複数の発光ダイオードを消灯させることを特徴とする、観察装置である。上記観察装置を用いるので、LEDを多数配列した面照明を使用する際に、配線抵抗のばらつきやスイッチング素子の内部抵抗のばらつきがあっても、最後に全点灯状態となるLEDのタイムラグを管理することができる。請求項2に記載の発明は、前記観察信号出力部及び前記撮像部に接続された制御部をさらに備え、前記制御部は、前記観察信号出力部に対して前記観察開始のトリガ信号を出力する観察トリガ信号出力部と、前記撮像部で撮像された画像情報を入力する画像情報入力部とを備え、前記撮像部で撮像された画像情報に基づいて前記光源部から照射された観察光の明るさを判定する観察光量判定部とを備えたことを特徴とする、請求項1に記載の観察装置である。上記観察装置を用いれば、別途観察光の明るさを測定するための装置を準備配置する必要がなく、前記観察装置に含まれる前記撮像部を用いて、前記観察光の明るさを判定することができる。請求項3に記載の発明は、前記制御部は、前記撮像部に対して前記ディレイタイマ部の前記設定時間を送信するディレイタイマ設定時間送信部を備え、前記ディレイタイマ部へ送信する前記設定時間を逐次変更させて送信し、その都度前記観察開始のトリガ信号を出力して、前記観察光量判定部で判定された前記観察光の明るさが予め規定した基準値に達する前記設定時間を計測して、前記計測結果に基づいて前記観察のための前記ディレイタイマ部の前記設定時間を決定するキャリブレーション機能を備えていることを特徴とする、請求項1又は請求項2のいずれかに記載の観察装置である。上記観察装置を用いれば、別途観察光の明るさを測定するための装置を準備配置する必要がなく、前記観察装置に含まれる前記撮像部及び前記制御部を用いて、前記ディレイタイマ部の設定時間を少しずつ変えながら、その都度観察光の明るさを判定し、前記ディレイタイマ部の設定時間を最適値にキャリブレーションすることができる。そのため、迅速に前記ディレイタイマ部の設定時間を最適値に設定することができる。請求項4に記載の発明は、前記観察対象物の主面上に形成された皮膜の膜厚むら検出装置であって、請求項1~3のいずれか1つに記載の観察装置を備えており、前記光源部は、前記観察対象物の所定領域に向けて特定の照射パターンの光を照射するように構成されており、前記特定の照射パターンと前記撮像部で撮像された受光パターンとを比較することにより、前記観察対象物の主面上に形成された皮膜の形成状態の良否判断をする検査部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置である。上記膜厚むら検出装置を用いれば、前記撮像部で受光パターンを撮像する際に、各LEDの全点灯状態となるまでの時間がばらつくことに起因した観察光の明るさのむらの発生を防ぐことができるので、膜厚むらの誤検出を防ぐことができる。請求項5に記載の発明は、基板を載置するテーブル部と、前記基板の主面上に塗布液を塗布する塗布ノズルと、前記テーブル部と前記塗布ノズルとを相対移動させる相対移動部とを備えた塗布装置であって、請求項4に記載の膜厚むら検出装置をさらに含み、前記観察対象物が、前記塗布装置により塗布液が塗布された前記基板であり、前記基板の塗布液が塗布された所定領域内を前記撮像部で撮像して、所定領域内に膜厚むらが検出されたか否かを通知する機能を備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置付塗布装置である。上記膜厚むら検出装置付塗布装置を用いれば、塗布液を塗布した直後に、当該基板に膜厚むらがあるか無いかを判断し、膜厚むらのある基板を選択して抜き出すことができる。このとき、前記撮像部で受光パターンを撮像する際に、各LEDの全点灯状態となるまでの時間がばらつくことに起因した観察光の明るさのむらの発生、つまりは膜厚むらの誤検出を防ぐことができるので、誤検出による抜き出し作業が減り、生産性を高めることができる。請求項6に記載の発明は、前記複数の発光ダイオードが発光指令後に全点灯状態になるまでの応答時間を計測する全点灯応答時間計測部をさらに備え、前記応答時間の計測を塗布前又は塗布中に行う機能を備えたことを特徴とする、請求項5に記載の膜厚むら検出装置付塗布装置である。上記膜厚むら検出装置付塗布装置を用いれば、塗布動作をしていないときや、塗布動作の合間に、いわゆるキャリブレーション動作を行うことができる。そうすることで、LEDの全点灯状態になるまでの応答時間が経時変化する場合であっても、装置の稼働を停止させることなく、適宜キャリブレーション動作をさせることができるので、メンテナンスに要する時間を減らすことができる。LEDを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、LEDの点灯時間を最短にして検査検査を行うことができる。照明部の消費電力や発熱量をより一層削減することができる。本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。以下の説明においては、本発明を具現化する例として、4系統のLED群で構成された形態を示しながら説明を行う。図1は、本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図である。観察装置1は、光源部3と、撮像部4と、観察信号出力部5を含んで構成されている。光源部3は、従来の照明ユニット31を用いることができ、ここでは説明を簡単にするために、発光部32が4系統のLED群34-L1,34-L2,34-L3,34-L4で構成され、各LED群にはそれぞれ個別に電源部35-L1,35-L2,35-L3,35-L4と接続されている状態を示している。電源部35-L1~35-L4は、各LED群34-L1~34-L4に電力を供給するか否かを切り替えるスイッチ部37aと接続されており、観察信号出力部5からの発光信号SG1に基づいて、各LED群に対して電圧を印可させて、電流供給できるように構成されている。具体的には、発光信号SG1がオン状態となり、スイッチ部37aがオン状態となると電力の供給が開始され、各LED群34-L1~34-L4は点灯状態となる。一方、発光信号SG1がオフ状態となり、スイッチ部37aがオフ状態になると電力の供給が中断され、各LED群34-L1~34-L4は消灯状態となる。撮像部4は、撮像カメラ40とレンズやフィルタなどの光学素子を含んで構成されている。撮像カメラ40は、撮像トリガ信号入力部を含んで構成されており、観察信号出力部5から撮像トリガ信号SG2が入力されると、その後所定の時間Tsd経過後に、予め設定登録しておいた撮像時間Tcsだけ画像が取り込まれる。取り込まれた画像は、撮像終了後に外部の機器例えば、後述する画像処理ユニット96に出力される。本発明の撮像カメラ40は、ディレイタイマ部42を含んで構成されており、外部機器例えば、後述する制御用コンピュータ90からデータ通信などによって所定の時間Tsdに対応した数値データを転送し、設定できるように構成されている。また、撮像カメラ40は、撮像中か撮像が終了したかを検出し、その状態を撮像状態モニタ信号MGとして観察信号出力部5に通知する、撮像状態モニタ信号出力部が含まれて構成されている。例えば、撮像中のみビジー信号をオン状態にして出力するといった形態が挙げられる。観察信号出力部5は、さらに外部の機器例えば、後述する機器制御ユニット95と接続され、観察開始のトリガ信号TGを入力する観察トリガ信号入力部を含んで構成されている。さらに、撮像部4から通知された撮像状態モニタ信号MGを入力する、撮像状態モニタ信号入力部を含んで構成されている。そして、観察開始のトリガ信号TGがオン状態となれば前記複数の発光ダイオードを点灯させ、前記撮像状態のモニタ信号がオフ状態となれば前記複数の発光ダイオードを消灯させるように構成されている。図2は、本発明を具現化する形態における光源部の輝度変化の一例を示すタイムチャートである。観察開始のトリガ信号TGがオン状態になり、発光信号SG1がオン状態になった後、各LED群34-L1~34-L4は点灯し始め、それぞれの点灯遅れ特性に従って全点灯状態となる。一方、観察開始のトリガ信号TGがオン状態になり、撮像トリガ信号SG2がオン状態になった後、所定の時間Tsd経過後に、撮像が開始されるとともに、撮像状態のモニタ信号MGがオン状態となる。そして、予め設定登録しておいた撮像時間Tcsだけ画像が取り込まれた後、撮像状態のモニタ信号MGがオフ状態となる。撮像状態のモニタ信号MGがオフ状態となれば、発光信号SG1もオフ状態となり、各LED群34-L1~34-L4は消灯する。このとき、所定の時間Tsdは、各LED群34-L1~34-L4の全点灯状態になるまでの時間TdL1~TdL4を測定して、最も遅い時間本例ではTdL4と同じか少し長い時間を、所定の時間Tsdとしてディレイタイマ部に登録しておく。本発明を具現化する形態における観察装置1は、上記のような構成をしているので、全てのLED群34-L1~34-L4の全点灯状態になるまでの時間が揃っていなくても、同じ明るさで撮像することができる。つまり、各LED群が全点灯状態になる前に撮像が開始されてしまうことに起因して、観察画像に濃淡差が生じてしまうことを防ぐことができる。ディレイタイマ部に登録する所定の時間Tsdは、各LED群のうち全点灯状態となる時間が最も遅い時間本例ではTdL4と同じとすることが最も好ましい。或いは、当該時間を完全に一致させることは難しいため、光源部3の消費電力や発熱量が実質的に増えない程度に、少し長めにしておいても良い。そうすれば、各LED群34-L1~34-L4は、すべてが全点灯されたものと見なすことができる。図3は、本発明を具現化する形態において撮像された画像の一例を示すイメージ図であり、所定の時間Tsd経過後に撮像カメラ40で観察された視野212内の明るさをイメージ化したものである。視野212内のエリアFV1では主にLED群34-L1から発せられた光が撮像され、同様に、エリアFV2では主にLED群34-L2から発せられた光が、エリアFV3では主にLED群34-L3から発せられた光が、エリアFV4では主にLED群34-L4から発せられた光が、撮像されている。このとき、本発明を適用させて撮像しているので、それぞれのエリアFV1~FV4は、各LED群34-L1~L4のすべてが全点灯状態となった状態で撮像されている。一方、これらの時間本例ではTdL4とTsdの長短は厳密に制限されるものではなく、観察上問題とならない程度であれば、所定の時間Tsdが前記全点灯状態となる時間本例ではTdL4より若干短くなっても、本発明を適用することができる。そうすることで、ディレイタイマ部の所定の時間Tsdを短めにすることができ、繰り返して観察を行う場合には待ち時間が短縮されるので、好都合な場合もある。撮像部4のディレイタイマ部に対して所定の時間Tsdを登録する形態としては、データ通信や多値化信号の出力、可変抵抗やポテンショメータなどのボリウム調整により設定時間に対応する信号伝達手段などを用いても良い。なお、観察装置1において、光源部3は、各LED群から発せられた光が観察対象物に向けて照射されるように配置されていれば良い。つまり、観察対象物の表面に反射した光が撮像カメラで観察される形態いわゆる反射光や、観察対象物を通過した光が撮像カメラで観察される形態いわゆる透過光のいずれであっても、本発明を適用させることができる。[変形例]明るさの判定機能観察装置1は、光源部3と、撮像部4と、観察信号出力部5とを含み、さらに制御部9を含んで構成しても良い。具体例としては、図1を用いながら説明を加える。制御部9には、制御用コンピュータ90と、情報入力手段91と、情報出力手段92と、発報手段93と、情報記録手段94と、機器制御ユニット95が含まれて構成されている。制御用コンピュータ90には、情報入力手段91と、情報出力手段92と、発報手段93と、情報記録手段94と、機器制御ユニット95が接続されている。制御用コンピュータ90としては、マイコン、パソコン、ワークステーションなどの、数値演算ユニットが搭載されたものが例示される。情報入力手段91としては、キーボードやマウスやスイッチなどが例示される。情報出力手段92としては、画像表示ディスプレイやランプなどが例示される。発報手段93としては、ブザーやスピーカ、ランプなど、作業者に注意喚起をすることができるものが例示される。情報記録手段94としては、メモリーカードやデータディスクなどの、半導体記録媒体や磁気記録媒体や光磁気記録媒体などが例示される。機器制御ユニット95としては、プログラマブルコントローラやモーションコントローラと呼ばれる機器などが例示される。制御部9には、さらに画像処理ユニット96が含まれて構成されている。画像処理ユニット96は、制御用コンピュータ90に接続されており、画像処理ユニット96を介して、撮像部4から出力された映像信号が入力される。画像処理ユニット96は、一般にGPUグラフィックプロセッシングユニットと呼ばれ、制御用コンピュータ90の外部に設置される形態のもの、制御用コンピュータ90の筐体内に接続される形態のもの、制御用コンピュータ90の画像処理部を利用したものなどが例示される。この形態の場合、制御部9は、前記観察信号出力部5に対して前記観察開始のトリガ信号TGを出力する観察トリガ信号出力部と、前記撮像部4で撮像された画像情報を入力する画像情報入力部とを含んで構成されている。図1を用いた具体例では、機器制御ユニット95が本発明における観察トリガ信号出力部を構成し、画像処理ユニット96が本発明における画像情報入力部を構成している。さらに制御部9は、前記撮像部4で撮像された画像情報に基づいて前記光源部から照射された観察光の明るさを判定する観察光量判定部とを備えることが好ましい。この場合、本発明における観察光量判定部は、画像処理ユニット96を用いて構成し、各LED群から照射される光の量が支配的となる範囲毎に観察エリアを分割し、それぞれの分割エリア毎で明るさを判定できるように構成する。また、制御用コンピュータ90から撮像カメラ40に対してインターバルTsdを送信して設定おき、機器制御ユニット95を通じて、観察信号出力部5に撮像トリガ信号を通知する。そして、光源部3の各LED群34-L1~34-L4を発光させ、撮像カメラ40で画像を取得し、画像処理ユニット96で、分割エリア毎の明るさを判定する。そうすれば、別途専用の測定機器を導入設置することなく、明るさの測定や、最適時間の設定ができる。また、観察対象物に対する光源部3や撮像部4の位置や角度方向を維持した状態で実施でき、段取り替えなどの作業が不要で、計測のために要する時間を短縮することができる。図1を用いた具体例では、制御コンピュータ90が本発明におけるディレイタイマ設定時間送信部を構成している。[別の変形例]キャリブレーション機能観察装置1は、光源部3と、撮像部4と、観察信号出力部5と、制御部9を含んで構成し、さらに制御部は前記撮像部に対して前記ディレイタイマ部の前記設定時間を送信するディレイタイマ設定時間送信部を備え、前記ディレイタイマ部へ送信する前記設定時間を逐次変更させて送信し、その都度前記観察開始のトリガ信号を出力して、前記観察光量判定部で判定された前記観察光の明るさが予め規定した基準値に達する前記設定時間を計測して、前記計測結果に基づいて前記観察のための前記ディレイタイマ部の前記設定時間を決定するキャリブレーション機能を備えるように構成することが好ましい。図4は、本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図であり、上述のキャリブレーション手順を示している。具体的には、まず標準基板を所定の位置にセットするs100。ここでいう標準基板とは、全面が均一な粗さの平面基板で、光の反射率や透過率が同じものを用いる。続いて、撮像部4のディレイタイマ部に所定の時間Tsdをセットしs101、撮像トリガ信号を出力するs102。その後、観察光量判定部を構成する画像処理ユニット96にて分割視野の画像の明るさを判定し、各LED群の明るさが規定値の範囲内かどうかを判断するs104。前記規定値の範囲内であれば、ディレイタイマ部の所定の時間Tsdをやや短くして再セットしs111、撮像トリガ信号を出力するs112。そして再び、観察光量判定部を構成する画像処理ユニット96にて分割視野の画像の明るさを判定し、各LED群の明るさが規定値の範囲内かどうかを判断するs114。前記規定値の範囲内であれば、上記ステップs111~s114を繰り返し、前記規定値の範囲内から外れれば、1つ前のTsdの値を撮像カメラに再セットしてs130、一連の作業を終了させる。一方、前記ステップ104において、前記規定値の範囲内でないと判断されれば、ディレイタイマ部の所定の時間Tsdをやや長くして再セットしs121、撮像トリガ信号を出力するs122。そして再び、観察光量判定部を構成する画像処理ユニット96にて分割視野の画像の明るさを判定し、各LED群の明るさが規定値の範囲内かどうかを判断するs124。前記規定値の範囲内でなければ、上記ステップs121~s124を繰り返し、前記規定値の範囲内となれば、その時点でのTsdの値を維持したまま、一連の作業を終了させる。このようなフローに基づいてキャリブレーション処理を行えば、ディレイタイマ部の所定の時間Tsdが、迅速に最適化することができる。なお、このキャリブレーション処理は、必要に応じて容易に行うことができるため、各LED群の前記遅れ時間TdL1~TdL4の時間が変化した場合であっても、迅速にTcsを最適化することができる。[膜厚むら検査装置]本発明の観察装置1は、観察対象物の主面上に形成された皮膜を観察対象物とし、当該皮膜の膜厚むら検出装置101に組み込んで用いることができる。この場合、光源部3は、前記観察対象物の所定領域に向けて特定の照射パターンの光を照射するように構成するとともに、前記特定の照射パターンと前記撮像部で撮像された受光パターンとを比較することにより、前記観察対象物の主面上に形成された皮膜の形成状態の良否判断をする検査部とを備えるようにすることで具現化できる。前記特定の照射パターンには、特許文献2に開示されているような斜めのストライプパターンを用いることができる。従来の技術であれば、各LED群34-L1~L4が全点灯状態になるまでの時間TdL1~TdL4が経過する前に撮像が開始されてしまうことで、照射されるストライプパターンの明るさの違いに起因して、観察光に濃淡差が生じてしまい、膜厚のむらと判断してしまうケースが散見された。しかし、本発明を適用させることで、ディレイタイマ部の所定の時間Tsdを最適化させることができ、適正な膜厚むらの検出精度を維持しつつ、照明部の消費電力や発熱量をより一層削減することができる。本発明の検査部は、上述の制御用コンピュータ90、情報記録手段94並びに画像処理ユニット96を用いて構成することができる。つまり、撮像カメラ40から画像処理ユニット96に入力された画像情報と、情報記録手段94に登録しておいた良否判定用の基準データをとを照合し、制御用コンピュータ90にて膜厚むらの有無を判定し、その結果を情報出力手段92、発報手段93或いは機器制御ユニット95に出力する。そうすることで、膜厚むらの検出装置の検査部として機能させることができる。[膜厚むら検査装置付塗布装置]図5は、本発明を具現化する形態の別の一例を示す平面図であり、図6は、本発明を具現化する形態の別の一例を示す側面図である。塗布装置201は、基板210wを載置するテーブル部214と、基板の主面上に塗布液を塗布する塗布ノズル250と、テーブル部214と塗布ノズル250とを相対移動させる搬送部2と、本発明の観察装置1を含んだ膜厚むら検出装置101とを含んで構成されている。本発明の観察装置1を構成する照明ユニット31及び撮像カメラ40は、基板210wと対向した位置に配置されており、照明ユニット31から照射されて反射した光が、撮像カメラ40で観察されるように構成されている。照明ユニット31は基板210wの幅方向つまり、Y方向に所定の長さを有しており、基板210wに対して特定の照射パターンの光を照射することができる。撮像カメラ40は、基板210w上の所定の範囲を観察できるように、少なくとも1つ以上配置されている。さらに塗布装置201は、フレーム部212と、フレーム部212上に取り付けられてX方向に延びるレール220と、レール220上を所定の速度で移動して所定の位置で静止することができるスライダ部222とを含んで構成されている。フレーム部212上には、テーブル部214を挟んで、レース220及びスライダ部220が2組を一対として取り付けられている。さらに、1対のスライダ部220の上には、テーブル部214を跨ぐように、門型フレーム230が取り付けられている。門型フレーム230には、Z方向に移動可能な昇降用アクチュエータ240が取り付けられており、昇降用アクチュエータ240には、塗布ノズル250が取り付けられている。また、フレーム部212には、破線で示す門型フレーム130が基板210wを跨ぐように、門型フレーム230と並んで取り付けてあり、門型フレーム130には、取り付け金具など図示せずを介して照明ユニット31及び撮像カメラ40が取り付けられている。門型フレーム130及び照明ユニット31や撮像カメラ40は、スライダ部230がX方向に移動しても、門型フレーム230や塗布ノズル250とは干渉しない位置に配置されている。塗布装置201は、このような構成をしているため、スライダ部222をX方向に動かしながら基板210wに対する塗布ノズル250のZ方向の位置を設定し、塗布液を吐出させることで、所定の塗布動作を行うことができる。そして、スライダ部222がX方向に移動し続けて塗布動作が継続され、塗布が終わるまでの間に、門型フレーム230や塗布ノズル250が、照明ユニット31や撮像カメラ40から離れる。そして、観察に影響しない位置に遠ざかってから、基板210w上の塗布開始部分210sを観察装置1にて観察し、塗布開始部分210sに膜厚むらが検出されたかどうかの判定を行う。塗布装置201では、基板中央部と比べて、塗布開始部分210sに膜厚むらが生じやすいため、塗布開始部分210sに膜厚むらがあるかどうかを検出することが好ましい。そして、塗布動作中や、塗布動作完了時に、膜厚むらが検出されたかどうか結果を通知したり、下流側の装置に塗布済基板を受け渡す際に、当該基板に膜厚むらが含まれているか否かの情報を合わせて通知したりする。そうすれば、膜厚むらの無い塗布基板であれば、引き続き通常の処理塗布膜の乾燥処理などを行い、膜厚むらのある塗布基板であれば、通常の処理をせずに再検査や再生処理を行うことができる。なお、本発明を適用させて観察光の明るさの判定やキャリブレーション処理を行うとき、前記塗布基板は、上述の標準基板と置き換える。[膜厚むら検査装置付塗布装置]塗布装置201においては、予め登録しておいたプログラム処理に基づいて、塗布動作が行われていないときに、前述のキャリブレーション処理を行い、前記全点灯応答時間を計測するうようにしても良い。つまり、塗布動作がおこなわれた後で一定の時間塗布動作が無かったとき、塗布装置の清掃作業やメンテナンスが行われた後、上流工程から塗布対象となる基板が流れてくるまでの待機時間などの、いわゆる待ち時間が、上記塗布動作が行われていないときに相当する。このとき、本発明の観察装置1、膜厚むら検出装置101並びに膜厚むら検出装置付塗布装置201においては、テーブル部の一部又は、テーブル部と隣接する部材の一部を、標準基板と代替可能な状態つまり、標準基板と同程度の材質、粗さ、反射率や透過率とするに構成しておいても良い。なお上述では説明を簡単にするために、4系統のLED群枝番:-L1~L4を付加を例示しながら説明したが、2系統以上のLED群であれば本発明を適用することができる。"