"参照波路を伝播する参照波と、前記参照波路と同一の基点を持つ測定波路を伝播する測定波とを受け取り、前記測定波のスペクトルを求めるスペクトル測定装置において、前記スペクトルが、被測定物体の表面または内部で折り返し、または前記被測定物体を貫通した前記測定波のスペクトルであり、前記参照波のスペクトルと、前記参照波と前記測定波の合成波の二乗に比例する信号とに基づき、前記測定波のスペクトルを求めることを特徴とするスペクトル測定装置。前記測定波のスペクトルがパワースペクトルであり、当該パワースペクトルが、[参照波と測定波の合成波の二乗に比例する信号をフーリエ変換することにより得られるスペクトル]2/[参照波のスペクトル]で表されることを特徴とする請求項1に記載のスペクトル測定装置。属性特定装置を備えた物体測定装置において、前記属性特定装置が、請求項1に記載のスペクトル測定装置の機能を持ち、前記参照波路および前記測定波路は、同一の発生源を基点とし、前記測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記測定波のスペクトルに基づき、前記被測定物体の属性情報を求めることを特徴とする物体測定装置。前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持ち、または、伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つ、ことを特徴とする請求項3に記載の物体測定装置。参照波路を伝播する参照波と、前記参照波路と同一の基点を持つ測定波路を伝播する測定波とを受け取り、前記測定波のスペクトルを求めるスペクトル測定装置において、前記参照波のスペクトルを求めるとともに、前記参照波と前記測定波との相互相関のフーリエ変換を求め、前記参照波のスペクトルと前記相互相関の前記フーリエ変換に基づき、前記スペクトルを求める、ことを特徴とするスペクトル測定装置。属性特定装置を備えた物体測定装置において、前記属性特定装置が、請求項5に記載のスペクトル測定装置の機能を持ち、前記参照波路および前記測定波路は、同一の発生源を基点とし、前記測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記測定波の前記スペクトルに基づき、前記被測定物体の、属性情報を求める、ことを特徴とする物体測定装置。前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持ち、または、伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つ、ことを特徴とする請求項6に記載の物体測定装置。参照波路を伝播する参照波と、参照波路と同一の基点を持つ、第1,第2,,第N測定波路を伝播する第1,第2,,第N測定波とを受け取り、前記第1,第2,,第N測定波の各スペクトルを求めるスペクトル測定装置において、前記スペクトルが、被測定物体の表面または内部で折り返し、または前記被測定物体を貫通した前記第1,第2,,第N測定波のスペクトルであり、前記参照波のスペクトルと、前記参照波と前記第1,第2,,第N測定波の各合成波の二乗に比例する各信号とに基づき、前記第1,第2,,第N測定波の各スペクトルを求めることを特徴とするスペクトル測定装置。前記第1,第2,,第N測定波の各スペクトルがパワースペクトルであり、当該第k測定波kは、1,2,,Nの何れかのパワースペクトルが、[参照波と第k測定波の合成波の二乗に比例する信号をフーリエ変換することにより得られるスペクトル]2/[参照波のスペクトル]で表されることを特徴とする請求項8に記載のスペクトル測定装置。属性特定装置を備えた物体測定装置において、前記属性特定装置が、請求項9に記載のスペクトル測定装置の機能を持ち、前記参照波路および前記第1,第2,,第N測定波路は、同一の発生源を基点とし、前記第1,第2,,第N測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記第1,第2,,第N測定波の各スペクトルに基づき、前記被測定物体の属性情報を求める、ことを特徴とする物体測定装置。前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持ち、または、前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿った成分の遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つ、ことを特徴とする請求項10に記載の物体測定装置。参照波路を伝播する参照波と、参照波路と同一の基点を持つ、第1,第2,,第N測定波路を伝播する第1,第2,,第N測定波を受け取り、前記第1,第2,,第N測定波の電界スペクトルを求めるスペクトル測定装置において、前記参照波のスペクトルを求めるとともに、前記参照波と前記第1,第2,,第N測定波との各相互相関のフーリエ変換をそれぞれ求め、前記参照波のスペクトルと前記各相互相関の前記各フーリエ変換に基づき、前記スペクトルを求める、ことを特徴とするスペクトル測定装置。属性特定装置を備えた物体測定装置において、前記属性特定装置が、請求項12に記載のスペクトル測定装置の機能を持ち、前記参照波路および前記第1,第2,,第N測定波は、同一の発生源を基点とし、前記第1,第2,,第N測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記第1,第2,,第N測定波の電界スペクトルに基づき、前記被測定物体の属性情報を求める、ことを特徴とする物体測定装置。前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持ち、または、伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つ、ことを特徴とする請求項13に記載の物体測定装置。しかし、特許文献1,特許文献2の技術では、分光情報を空間分解することができない。本発明の目的は、参照波のスペクトルと、参照波と測定波の合成波の二乗に比例する信号とに基づき測定波の種々のスペクトルを取得するまたは、参照波の自己相関および参照波と測定波の相互相関に基づき測定波の種々のスペクトルを取得することができるスペクトル測定装置を提供することである。本発明の他の目的は、前記スペクトル測定装置を用いて被測定物体の空間情報,エネルギー構造情報,屈折率,透過率,反射率の少なくとも1つを取得することができる物体測定装置を提供することである。本発明のスペクトル測定装置の第1態様は1および2を要旨とする。1参照波路を伝播する参照波と、前記参照波路と同一の基点を持つ測定波路を伝播する測定波とを受け取り、前記測定波のスペクトルを求めるスペクトル測定装置において、前記スペクトルが、被測定物体の表面または内部で折り返し、または前記被測定物体を貫通した前記測定波のスペクトルであり、前記参照波のスペクトルと、前記参照波と前記測定波の合成波の二乗に比例する信号とに基づき、前記測定波のスペクトルを求めることを特徴とするスペクトル測定装置。2前記測定波のスペクトルがパワースペクトルであり、当該パワースペクトルが、[参照波と測定波の合成波の二乗に比例する信号をフーリエ変換することにより得られるスペクトル]2/[参照波のスペクトル]で表されることを特徴とする1に記載のスペクトル測定装置。たとえば、スペクトル測定装置は、参照波路を伝播する参照波Srと、前記参照波路と同一の基点を持つ測定波路を伝播する測定波Ssとを受け取り、前記測定波Ssの電界スペクトルEsω、パワースペクトル|Esω|2、振幅スペクトルAs、位相スペクトルφsの少なくとも1つを求めることができる。この場合に、前記参照波Srの自己相関Irrをフーリエ変換フーリエ変換Frrして前記参照波Srのパワースペクトル|Er|2を求めるとともに、前記参照波Srと前記測定波Ssとの相互相関Irsのフーリエ変換フーリエ変換Frsの二乗を求め、前記参照波Srのパワースペクトル|Er|2と前記相互相関Irsの前記フーリエ変換Frsに基づき、前記スペクトルの少なくとも1つを求めることができる。ここで、パワースペクトル|Es|2は、|Es|2=相互相関Irsの前記フーリエ変換Frs2/参照波Srの自己相関Irrのフーリエ変換Frrで表される。本発明の物体測定装置の第1態様は3および4を要旨とする。3属性特定装置を備えた物体測定装置において、前記属性特定装置が、1に記載のスペクトル測定装置の機能を持ち、前記参照波路および前記測定波路は、同一の発生源を基点とし、前記測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記測定波のスペクトルに基づき、前記被測定物体の属性情報たとえば、前記空間情報、前記エネルギー構造情報、屈折率、透過率、反射率の少なくとも一つを求めることを特徴とする物体測定装置。4前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持ち、または、伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つ、ことを特徴とする3に記載の物体測定装置。たとえば、物体測定装置は、スペクトル測定装置の機能を持つ属性特定装置を備える。物体測定装置において、参照波路および測定波路は、同一の光源を基点とし、前記測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記測定波Ssの、パワースペクトル|Es|2、振幅スペクトルAs、位相スペクトルφsの少なくとも1つに基づき、前記被測定物体の属性情報たとえば、前記空間情報、前記エネルギー構造情報、屈折率、透過率、反射率の少なくとも一つを求めることができる。この物体測定装置では、被測定物体の位置に全反射ミラーをセットし、参照波路がこの全反射ミラーで折り返すように構成できる。本発明のスペクトル測定装置の第2態様は5を要旨とする。5参照波路を伝播する参照波と、前記参照波路と同一の基点を持つ測定波路を伝播する測定波とを受け取り、前記測定波のスペクトルを求めるスペクトル測定装置において、前記参照波のスペクトルを求めるとともに、前記参照波と前記測定波との相互相関のフーリエ変換を求め、前記参照波のスペクトルと前記相互相関の前記フーリエ変換に基づき、前記スペクトルを求める、ことを特徴とするスペクトル測定装置。具体的には、電界スペクトルEsωは、測定波Ssの電界スペクトルEsωの複素共役Es=相互相関Irsの前記フーリエ変換Frs/参照波Srの電界スペクトルEsはEsの複素共役で表される。本発明の物体測定装置の第2態様は6および7を要旨とする。6属性特定装置を備えた物体測定装置において、前記属性特定装置が、5に記載のスペクトル測定装置の機能を持ち、前記参照波路および前記測定波路は、同一の発生源を基点とし、前記測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記測定波の前記スペクトルに基づき、前記被測定物体の、属性情報たとえば、前記空間情報、前記エネルギー構造情報、屈折率、透過率、反射率の少なくとも一つを求める、ことを特徴とする物体測定装置。7前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持ち、または、伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つ、ことを特徴とする6に記載の物体測定装置。本発明のスペクトル測定装置の第3態様は8および9を要旨とする。8参照波路を伝播する参照波と、参照波路と同一の基点を持つ、第1,第2,,第N測定波路を伝播する第1,第2,,第N測定波とを受け取り、前記第1,第2,,第N測定波の各スペクトルを求めるスペクトル測定装置において、前記スペクトルが、被測定物体の表面または内部で折り返し、または前記被測定物体を貫通した前記第1,第2,,第N測定波のスペクトルであり、前記参照波のスペクトルと、前記参照波と前記第1,第2,,第N測定波の各合成波の二乗に比例する各信号とに基づき、前記第1,第2,,第N測定波の各スペクトルを求めることを特徴とするスペクトル測定装置。9前記第1,第2,,第N測定波の各スペクトルがパワースペクトルであり、当該第k測定波kは、1,2,,Nの何れかのパワースペクトルが、[参照波と第k測定波の合成波の二乗に比例する信号をフーリエ変換することにより得られるスペクトル]2/[参照波のスペクトル]で表されることを特徴とする8に記載のスペクトル測定装置。たとえば、スペクトル測定装置は、参照波路を伝播する参照波Srと、参照波路と同一の基点を持つ、第1,第2,,第N測定波路を伝播する第1,第2,,第N測定波Ss1,Ss2,,SsNとを受け取り、前記第1,第2,,第N測定波Ss1,Ss2,,SsNの電界スペクトルEsωを求めることができる。この場合に、スペクトル測定装置は、参照波路を伝播する参照波Srと、前記参照波路と同一の基点を持つ第1,第2,,第N測定波路を伝播する第1,第2,,第N測定波Ss1,Ss2,,SsNとを受け取り、前記第1,第2,,第N測定波Ss1,Ss2,,SsNの電界スペクトルEs1ω,Es2ω,,EsNω、パワースペクトル|Es1ω|2,|Es2ω|2,,|EsNω|2、振幅スペクトルAs1ω,As2ω,,AsNω、位相スペクトルφs1ω,φs2ω,,φsNωの少なくとも1つを求めることができる。スペクトル測定装置は、前記参照波Srの自己相関Irrをフーリエ変換してフーリエ変換Frr前記参照波Srのパワースペクトル|Er|2を求めるとともに、前記参照波Srと前記第1,第2,,第N測定波Ss1,Ss2,,SsNとの相互相関Irs1,Irs2,,IrsNのフーリエ変換Frs1,Frs2,,FrsNの二乗をそれぞれ求め、前記参照波Srのパワースペクトル|Er|2と前記相互相関Irs1,Irs2,,IrsNの前記フーリエ変換Frs1,Frs2,,FrsNの二乗に基づき、前記スペクトルの少なくとも1つを求めることができる。本発明の物体測定装置の第3態様は10および11を要旨とする。10属性特定装置を備えた物体測定装置において、前記属性特定装置が、9に記載のスペクトル測定装置の機能を持ち、前記参照波路および前記第1,第2,,第N測定波路は、同一の発生源を基点とし、前記第1,第2,,第N測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記第1,第2,,第N測定波の各スペクトルに基づき、前記被測定物体の属性情報を求める、ことを特徴とする物体測定装置。11前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持ち、または、前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿った成分の遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つ、ことを特徴とする10に記載の物体測定装置。たとえば、物体測定装置は、スペクトル測定装置の機能を持つ属性特定装置を備える。物体測定装置において、参照波路および前記第1,第2,,第N測定波路は、同一の光源を基点とし、前記第1,第2,,第N測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記第1,第2,,第N測定波Ss1,Ss2,,SsNの電界スペクトルEs1ω,Es2ω,,EsNωに基づき、前記被測定物体の属性情報たとえば、前記空間情報、前記エネルギー構造情報、屈折率、透過率、反射率の少なくとも一つを求めることができる。本発明のスペクトル測定装置の第4態様は12を要旨とする。12参照波路を伝播する参照波と、参照波路と同一の基点を持つ、第1,第2,,第N測定波路を伝播する第1,第2,,第N測定波を受け取り、前記第1,第2,,第N測定波の電界スペクトルを求めるスペクトル測定装置において、前記参照波のスペクトルを求めるとともに、前記参照波と前記第1,第2,,第N測定波との各相互相関のフーリエ変換をそれぞれ求め、前記参照波のスペクトルと前記各相互相関の前記各フーリエ変換に基づき、前記スペクトルを求める、ことを特徴とするスペクトル測定装置。本発明の物体測定装置の第4態様は13および14を要旨とする。13属性特定装置を備えた物体測定装置において、前記属性特定装置が、請求項12に記載のスペクトル測定装置の機能を持ち、前記参照波路および前記第1,第2,,第N測定波は、同一の発生源を基点とし、前記第1,第2,,第N測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体を貫通するように形成され、前記属性特定装置は、測定した前記第1,第2,,第N測定波の電界スペクトルに基づき、前記被測定物体の属性情報を求める、ことを特徴とする物体測定装置。14前記参照波が、伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持ち、または、伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つ、ことを特徴とする13に記載の物体測定装置。物体測定装置は、スペクトル測定装置の機能を持つ属性特定装置を備えている。第1,第2,,第N測定波路は、同一の発生源光源を基点とし、第1,第2,,第N測定波路は被測定物体の表面または内部で折り返しまたは被測定物体Oを貫通するように形成される。属性特定装置は、測定した第1,第2,,第N測定波Ss1,Ss2,,SsNの電界スペクトルEs1ω,Es2ω,,EsNωに基づき、被測定物体の属性情報たとえば、前記空間情報、前記エネルギー構造情報、屈折率、透過率、反射率の少なくとも一つを求めることができる。《第1基本態様》第1基本態様は、1,2のスペクトル測定装置および3の物体測定装置に対応する。本発明の第1基本態様を、参照波Sr,測定波Ssが光である場合を例に、図1および図2により説明する。なお、本発明は、光のほか、X線、テラヘルツ波、ラジオ波、ミリ波等にも適用できる。図1および図2に示すように、物体測定装置100は、発生源光源11と、干渉計12と、属性特定装置13とを備えている。光源11から出射される光は、典型的には白色光源のような広帯域光である。干渉計12は、本態様ではビームスプリッタ121と参照ミラー122と参照ミラー駆動部123を備えている。参照波路PTHrは、光源11を基点として、ビームスプリッタ121を介して参照ミラー122に到達し、参照ミラー122を折り返して、さらにビームスプリッタ121を介し属性特定装置13に到達する。図2に参照されるように、測定波路PTHsは、光源11を基点として、ビームスプリッタ121を介して被測定物体Oに到達し、被測定物体Oにて折り返して、さらにビームスプリッタ121を介し属性特定装置13に到達する。属性特定装置13は、スペクトル測定装置としての機能を備えており、光検出器131と演算処理部132とを有している。演算処理部132は、参照波Srの自己相関Irrを求めてこれをフーリエ変換、さらに参照波Srと測定波Ssとの相互相関Irsを求めこれをフーリエ変換する。そして、これらのフーリエ変換Frr,Frsとから、測定波Ssの電界スペクトルEsω、パワースペクトル|Esω|2、振幅スペクトルAsω、位相スペクトルφsωの少なくとも1つを求めることができる。自己相関Irrを求めるときは、たとえば、図1に示すように被測定物体Oの位置に全反射ミラー124を設けておく。演算処理部132は、演算器1321と、前述したメモリ1322とを備えている。演算器1321は、自己相関Irrを求め、フーリエ変換し、フーリエ変換Frrはメモリ1322に記憶される。一方、被測定物体Oの測定に際しては、図2に示すように光検出器131は、参照波Srおよび被測定物体Oにて反射された測定波Ss干渉波ビームスプリッタ121を介して受光する。演算器1321は、光検出器131が検出した干渉波を電気信号として受け取り、参照波Srと測定波Ssとから相互相関Irsを求め、フーリエ変換するフーリエ変換Frsとする。そして、演算器1321は、メモリ1322に記憶された自己相関Irrのフーリエ変換Frrと、相互相関Irsのフーリエ変換Frsとから測定波Ssのパワースペクトル|Es|2を、|Es|2=相互相関Irsのフーリエ変換Frs2/参照波Srの自己相関Irrのフーリエ変換Frrとして求めることができる。また、演算処理部132は、測定した測定波Ssのパワースペクトル|Es|2に基づき、被測定物体Oの、空間情報、エネルギー構造情報、屈折率、透過率、反射率の少なくとも一つを求めることができる。《第2基本態様》第2基本態様は、5のスペクトル測定装置および6の物体測定装置に対応する。本発明の第2基本態様を、参照波Sr,測定波Ssが光である場合を例に、図3および図4により説明する。図3および図4に示すように、物体測定装置200は、発生源光源21と、干渉計22と、属性特定装置23とを備えている。光源21から出射される光は、典型的には白色光源のような広帯域光である。干渉計22は、本態様ではビームスプリッタ221と参照ミラー222と参照ミラー駆動部223を備えている。参照波路PTHrは、光源21を基点として、ビームスプリッタ221を介して参照ミラー222に到達し、参照ミラー222を折り返して、さらにビームスプリッタ221を介し属性特定装置23に到達する。図4に参照されるように、測定波路PTHsは、光源21を基点として、ビームスプリッタ221を介して被測定物体Oに到達し、被測定物体Oにて折り返して、さらにビームスプリッタ221を介し属性特定装置23に到達する。属性特定装置23は、スペクトル測定装置としての機能を備えており、光検出器231と演算処理部232と電界スペクトル測定部233とビームスプリッタ234とを有している。参照波Srの電界スペクトルErωは電界スペクトル測定部233により求めることができる。電界スペクトル測定部233は、補助信号生成部2331と、相対位相検出部2332と、振幅検出部2333と、周波数選択部2334を有している。電界スペクトルErωを測定するときは、たとえば、図3に示すように被測定物体Oの位置に光吸収板224を設けておく等により、光検出器231が参照波Srのみを検出するようにすなわち、被測定物体Oからの反射波が光検出器231に到達しないようにする。補助信号生成部2331は、たとえば2波長モードロック広帯域レーザであり、周波数中間値が参照波成分srm,srn周波数間隔Δωの周波数の間に設定され、周波数間隔が2つの参照波成分srm,srnの周波数間隔と同一の2つの補助信号uam,uanを生成する。相対位相検出部2332は、2つの参照波成分srm,srnと2つの補助信号uam,uanとから、周波数が低い参照波成分srmと補助信号uamとのビート信号BTm図示せず、および周波数が高い参照波成分srnと補助信号uamとのビート信号BTn図示せずを生成し、これら2つのビート信号の乗算信号を生成する。この乗算信号の直流成分から、検出系により定まる定数を取り除けば、参照波成分srmとsrnとの相対位相φrn-φrmを検出することができる。また、振幅検出部2333は、補助信号uamと参照波成分srmのビート信号BTm図示せずから参照波成分srmの振幅Armを測定することができるし、補助信号uamを参照波成分srnのビート信号BTn図示せずから参照波成分srnの振幅Arnを測定することができるし検出することができる。電界スペクトル測定部233は、上記の処理を、周波数が異なる多数の参照波成分srnの対について行うことで、参照波Srの電界スペクトルErωを得ることができる。この電界スペクトルErωは、演算処理部232のメモリ2322に記憶される。一方、被測定物体Oの測定に際しては、図4に示すように光検出器231は、参照波Srおよび被測定物体Oにて反射された測定波Ss干渉波ビームスプリッタ221を介して受光する。演算処理部232は、演算器2321と、前述したメモリ2322とを備えている。演算器2321は、相互相関の演算を演算する機能を備えている、光検出器231が検出した干渉波を電気信号として受け取り、参照波Srと測定波Ssとから相互相関Irsを求め、これをフーリエ変換するフーリエ変換Frsとする。そして、演算器2321は、メモリ2322に記憶された電界スペクトルErωと、フーリエ変換Frsとから測定波Ssの電界スペクトルEsを、測定波Ssの電界スペクトルEsωの複素共役Es=相互相関Irsのフーリエ変換Frs/参照波Srの電界スペクトルとして求めることができる。演算処理部232は、測定した測定波Ssの電界スペクトルEsωに基づき、被測定物体Oの、空間情報、エネルギー構造情報、屈折率、透過率、反射率の少なくとも一つを求めることができる。なお、サンプリングに際しては、サンプリング定理に従って、λ/2cの時間よりも短い時間でサンプリングする必要がある。《第3基本態様》第3基本態様は、4,7の物体測定装置に対応する。本発明では、参照波Srが伝播方向に垂直な仮想線に沿って遅延時間または進み時間が漸次変化する特性を持つようにできる。図5A,Bは、時間遅れのイメージ図であり、図5Aは時間遅れが生じる前の参照波Srであり、図5Bは時間遅れが生じた後の参照波Srである。図5Bでは、Sr参照波は伝播方向に垂直な仮想線gに沿って遅延時間Δtが漸次変化する特性を示している。この場合には、被測定物体Oの点の深さ方向の属性が得られる。すなわち、光検出器131,231は、画素が一次元配列されセンサを使用することができ、センサの各画素は、被測定物体OのcΔtの深さに対応する情報を持つ光を検出する。また、本発明では、参照波Srの伝播方向に垂直な仮想XY平面のX方向に沿った成分の遅延時間進み時間が漸次変化するようにできる。図6A,Bは、時間遅れのイメージ図であり、図6Aは時間遅れが生じる前の参照波Srであり、図6Bは時間遅れが生じた後の参照波Srである。図6Bでは、Sr参照波は伝播方向に垂直な仮想面Gに沿って遅延時間Δtが漸次変化する特性を示している。この場合には、被測定物体Oの切断線の深さ方向の属性が得られる。すなわち、光検出器131,231は、画素が二次元配列されセンサを使用することができ、センサのX方向の画素群は、Y座標に対応する点における被測定物体OのcΔtの深さに対応する情報を持つ光を検出する。《応用態様》本発明では、上記の基本態様を拡張し、N層の被測定物体Oについても、電界スペクトルEsω、パワースペクトル|Esω|2、振幅スペクトルAsω、位相スペクトルφsωの少なくとも1つを求めることができる。この応用態様は、8,9,12のスペクトル測定装置および10,11,13,14の物体測定装置に対応する。その説明は、後述する。汎用のスペクトル計測装置で不均一な内部構造を有する被測定物体を計測する場合、複雑な分光スペクトル情報が積算された入り混じったスペクトル情報が観測される。これに対して、本発明の手法を用いると、被測定物体の深さごと解像度は数ミクロンの属性情報、たとえば、空間情報のほか、エネルギー構造情報、屈折率、透過率、反射率等を同時に測定することができる。特に、本発明では、2次元断層像をイメージセンサのフレームレートで計測するのでリアルタイムな断層画像計測と分光スペクトル情報の取得が可能である。医療用途では、たとえば、光コヒーレンストモグラフィーがすでに実用化され、光による非侵襲非接触な内部組織の構造を計測する需要が高まっている。眼科の眼底検査や皮膚癌、内科の胃癌など消化器系の疾患を診断するための断層画像計測を行える検査機器がすでに実用化されている。しかし、形態から癌などの疾患を判断するには熟練した経験や知識が必要となる。本発明により、組織毎のスペクトル情報を得ることもできるので、客観的に癌組織の判別を行うことが可能となる。なお、本発明は、参照側に多重反射を利用すれば、長距離たとえば、数十メートル離れた被測定物体の測定も可能である。以下、本発明の実施形態を説明する。なお、本実施形態においては、波として光を使用しているので、本発明における、発生源を光源に置き換えて説明する。≪第1実施形態≫図7から図9により、本発明の物体測定装置100の第1実施形態を説明する。本実施形態では、参照波Srの自己相関と、参照波Srと測定波Ssとの相互相関ととから、測定波のパワースペクトル,位相等を求め、被測定物体の空間情報,エネルギー構造情報,屈折率,透過率,反射率等を取得する例を説明する。まず、1被測定物体位置に全反射ミラーをセットし自己相関を取得しこれをフーリエ変換して、測定光のパワースペクトルを求める。次に、2被測定物体位置に被測定物体Oをセットして、相互相関を取得しこれをフーリエ変換する。そして、3自己相関のフーリエ変換と、相互相関のフーリエ変換に基づき、被測定物体のパワースペクトル,位相等を求める。1自己相関の取得、そのフーリエ変換および参照光のパワースペクトルの取得図7に示すように、被測定物体位置に全反射ミラー124を設置し、干渉光自己相関Irrtを測定し、そのフーリエ変換から参照波Srのパワースペクトルを求める。A参照光の自己相関のフーリエ変換が電界スペクトルであることの証明干渉計において、自己相関のフーリエ変換が、光源11のパワースペクトルとなることを検証する。光源11のパワースペクトルが|Aω|2以下、Aω2と記すこともあるであるとすると、干渉計12から出力される参照波Srの電界Ert,τは、1式で表される。Ert,τ=Aω/212expj{ωt-n0ωLr/c}1n0:参照波路PTHr,測定波路PTHsにおける屈折率c:光速Lr:参照波Srの光路長参照波路PTHrの路長τ:参照ミラーが距離変位したときの時間変位一方、干渉計12から出力される、全反射ミラー124からの反射光測定波Ssの電界Emirrtは、2式で表される。Emirrt=Aω/212expj{ωt-n0ωLs/c}2Ls:測定波Ssの光路長測定波路PTHsの光路長参照波Srの電界Ert,τと、測定波Smirrの電界Emirrtとの干渉出力Irrtは3式のように表される。Irrt=Aω2Aω2expj{-n0ω/cLr-Ls}=Aω2Aω2expjωτ3Irrtは、正弦波であり、この変動成分のフーリエ変換は、4式で表される。AωAω=Aω24Aω:Aωの複素共役これにより、Aωはウィーナーキンチンの定理を満たす。すなわち、干渉光tは自己相関Irrを与え、5式に示すように、そのフーリエ変換F[Irrt]から電界スペクトルErrωが得られることが証明される。Errω=F[Irrt]5B本実施形態では、まず、干渉光自己相関Irrtを測定しそのフーリエ変換を求める。Aで証明したように、このフーリエ変換は参照波Srのパワースペクトルである。2相互相関の取得、そのフーリエ変換および測定光の電界スペクトルの取得つぎに、図8に示すように、図7の全反射ミラー124の位置に、表面境界面B0が置き換わるように被測定物体Oをセットする。図8に示すように干渉計12の参照ミラー122を走査して遅延時間:τ、参照波Srと被測定物体Oからの測定光反射光の干渉を計測する。被測定物体Oは、ΔLs1/2の間隔で隣接する2つの境界面B0,B1を持ち、境界面B0からの測定波Ss1の光路長境界面B0で折り返す第1測定波路PTHs1の光路長はL0、境界面B1の反射光測定波Ss2の光路長境界面B1で折り返す第2測定波路PTHs2の路長はLs1=L0ΔLs1である。一方、参照波Srの光路長は、前述したように、Lr=L0c/n0τである。また、境界面B0,B1の間には、屈折率複素数がn1ωである物質で満たされているとする。被測定物体O以外の空間は、空気のようにほぼ波長に依存しない一定の屈折率n0であるとする。また、境界面B0,B1での振幅反射率を、それぞれとして、rs0,rs0,rs1,で表し、境界面B0,B1での振幅透過率を、ts0,ts0,ts1,で表す。ここで、は入射向きを、-は反射向き表す。ただし、|rs0|≦1,|rs0|≦1,0≦ts0≦1,0≦ts0≦1|rs1|≦1,0≦ts1≦1である。この場合の参照波Srの電界波形は6式1式と同じで表される。Ert,τ=Aω/212expj{ωt-n0ωLr/c}=Aω/212expj{ωt-n0ωL0/cωτ}6一方、被測定物体Oからの2つの反射光測定波Ss1,Ss2の電界Es0t,Es1tはそれぞれ、7式および8式で表される。Es0t=rs0Aω/212expj{ωt-n0ωL0/c}7Es1t=ts0ts0rs0Aω/212expj{ωt-n0ωL0/c-n1ωωΔLs1/c}8低コヒーレンス光源を用いる場合、ΔLs1がコヒーレンス長より長ければ、Es0tとEs1tは干渉しない。そこで、A参照波Srの電界Ert,τと反射光測定波Ss1の電界Es0tとの干渉、B参照波Srの電界Ert,τと反射光測定波Ss2の電界Es1tとの干渉を検討する。A参照波Srと測定波Ss1の干渉の検討光検出器131で検出される参照波Srと、境界面B0からの反射波測定波Ss0干渉出力Irτは9式で表される。Irτ=Aω2/2rs02Aω2/2rs0Aω2cos{-n0ωL0-Lr/c}Lr=L0cτ/n0なので、I0τ=Aω2/2rs02Aω2/2rs0Aω2cosωτ99式は正弦波であり、9式の変動成分のフーリエ変換で得られる振幅は、10式で表される。{|rs0|2Aω2}δω=|rs0|Aω210したがって、10式と、4式とから11式が成り立つ。F[I0τ]2/F[Irrτ]={rs02Aω4}/Aω2=rs02Aω21111式は、反射係数分の損失が加わった境界面B0の反射光測定波Ss1のパワースペクトルである。B参照波Srと反射光測定波Ss2との干渉の検討一方、本例では、試料に吸収がある場合を想定している。屈折率ns1reωと、吸収係数c/ω{ns1imω}を用いて複素屈折率ns1ωは、12式で表される。ns1ω=ns1reωjc/ω{ns1imω}1212式を用いて、参照波Srと境界面B1からの反射光測定波Ss2との干渉出力Isは、13式のように表される。Irτ=Aω2/2ts0ts0rs12Aω2/2ts0ts0rs12Aω2cos{ωt-n0ωL0/c-n1ωωΔLs1/c-n0ωLr/c}Lr=L0cτ/n0の関係式、および10式を用いると、Irτ=Aω2/2ts0ts0rs12Aω2/2ts0ts0rs12Aω2ts0ts0rs1Aω2exp{-ns1imωΔLs1}cosωτcos-ns1reωΔLs1/c1313式の変動成分をフーリエ変換すると、振幅Asが14式により、位相φsが15式により求められる。Asω=ts0ts0rs1Aω2exp{-ns1imωΔL1}14φsω=-ns1reωΔLs1/c15反射光E2のパワースペクトルは、式16として求められる。F[Isτ]2/F[Irrτ]=ts0ts0rs12Aω2exp{-2ns1imωΔLs1}16すなわち、16式は、吸収係数の波長依存性と、厚さにしたがって元のスペクトルが減衰することを意味する。さらに、14式の振幅A1ωを元の光源のパワースペクトルで割って対数を計算すれば、その実部17式により、距離に比例した強度で吸収スペクトルが得られ、またその虚部18式により、屈折率も得られる。ns1reω=-φsωc/ωΔLs117ns1imω=1/ΔLs1logeA1ω/{ts0ts0rs1Aω2}18さらに、ns1reωが波長に依存しないns1reに近似できる場合には、群遅延を得ることができる。すなわち、13式の位相φ1ωをωで微分し、位相スペクトルの傾きを計算すれば、式17式の群遅延が得られる。dφ1ω/dω=-ns1reΔLs119これは、境界面B1の反射で得られる相関波形の横軸τが、境界面B0から得られる波形からずれていることを示し、試料に吸収がない場合でも相互相関波形を計測していることを示す。次に、図9に示すように、境界面を3つ以上B0,B1,,BNを持つ被測定物体Oについての測定について説明する。この測定においては、図10Aに示すような、干渉波が測定されたものとする。まず、この場合には、図10Bに示すように、境界面B0の反射により得られる干渉波形時間軸τ上の位置τ0参照を決定するとともにB-1参照、境界面B1の反射により得られる干渉波形も決定するB-2参照。次に、図10Cに示すように、これらの干渉波形から、境界面B0,B1間で生じる多重反射によるゴーストすなわち、複数の干渉波形を、見つもること取得すること、すなわちアサインすることができる。次に、図10Dに示すように、検出した干渉波形から、境界面B0およびB1からの反射波と、前述した境界面B0,B1間で生じた多重反射によるゴーストを演算により除去する。この除去結果の中から、τ0に最も近い干渉波形を3番目の境界面B3による、一度だけ反射された干渉波形として見つもること取得すること、すなわちアサインすることができる。以下同様に、4番目,5番目,,N番目の境界面B3,B4,B5,,BNによる干渉波形を見積もることができる。≪第2実施形態≫図10から図16により、本発明の物体測定装置200の第2実施形態を説明する。第1実施形態では、参照波Srの電界スペクトルを、被測定物体Oの位置に全反射ミラー124をセットし、参照波Srを測定し干渉光自己相関Irrωをフーリエ変換して電解スペクトルErωを求めたが、全反射ミラー124を使用せずに、参照波Srの電界スペクトルErωを直接求めることができる。すなわち、本実施形態では、参照波Srの電界スペクトルを求め、これと参照波Srと測定波Ssとの相互相関とから測定波Ssの電界スペクトルを求め、被測定物体の空間情報,エネルギー構造情報,屈折率,透過率,反射率等を取得する。第1構成例図10において物体測定装置200は、図3および図4で説明した物体測定装置200を具体化したもので、属性特定装置23は、光検出器231と、演算処理部232と、電界スペクトル測定部233と、ビームスプリッタ234とからなる。図10において、属性特定装置23は、参照波Srに含まれる参照波成分sr1,sr2,,srq周波数の低い順に並べてある中の2つの参照波成分srm,srn典型的には、n=m1ついて、相対位相および振幅を検出する処理を、参照波成分の組み合わせを変えて直列的に行うシリアル処理する。図3および図4で説明したように、本構成例では電界スペクトル測定部233は、補助信号生成部2331と、相対位相検出部2332と、振幅検出部2333と、周波数選択部2334とを備えている。また、演算処理部232は、演算器2321とメモリ2322とを備えている。本構成例では、電界スペクトル測定部233により、参照波Srの電界スペクトルErωを測定する場合には、被測定物体Oの位置に光吸収板224をセットしておき、光検出器231が参照波Srのみを検出できるようにしておく。そして、電界スペクトル測定部233はビームスプリッタ234を介して参照波Srを取り込む。周波数選択部2334は、参照波Srに周波数成分として含まれる周波数が異なる複数の参照波成分sr1,sr2,,srqの中から2つを選択する。この選択した参照波成分をsrm,srnとする。なお、sr1,sr2,,srqは、離散的な値として任意に決定することができ、srm,srnは周波数が隣接した2つの参照波成分である。補助信号生成部2331は、周波数中間値が参照波成分srm,srnの周波数の間に設定され、周波数間隔が2つの参照波成分srm,srnの周波数間隔と同一の2つの補助信号uam,uanを生成する。相対位相検出部2332は、参照波成分srm,srnと補助信号uam,uanから、参照波成分srm,srnの相対位相を検出する。振幅検出部2333は、参照波成分srm,srnと補助信号uamとから参照波成分srmの振幅Armを検出し、参照波成分srm,srnと補助信号uamとから参照波成分srnの振幅Arnを検出する。これら相対位相の検出および振幅の検出は、多数の参照波成分srm,srnの組について行われ、演算器2321は、これらの検出結果を順次取り込み、メモリ2322に記録し、これらの記録結果から参照波Srの電界スペクトルErωを演算することができる。そして、図4で説明したように、参照波Srと測定波Ssとの相互相関を測定して、これをフーリエ変換すること測定波Ssの電界スペクトルErωを求めることができるし、被測定物体Oの種々の属性を測定することができる。図11に、相対位相検出部2332と、振幅検出部2333の構成を示す。相対位相検出部2332は、合波器CPと、フォトダイオードPDと、バンドパスフィルタBPFと、デバイダDVと、ミキサMXと、相対位相演算部RPPとからなる。本構成例では、参照波成分srm,srnは33式,34式のように表されるものとする。srm=Armexp{jωrmt-φrm}33srn=Arnexp{jωrnt-φrn}34ここで、Arm,Arnはsrm,srnの振幅、ωrm,ωrnはsrm,srnの周波数、φrm,φrnはsrm,srnの位相である。φrn-φrmは未知である。なお、φrm,φrnの一方が既知であることもあるが、通常は、φrm,φrnの双方が未知である。補助信号生成部2331が生成する補助信号uam,uanは35式,36式のように表されるものとする。uam=Aamexp{jωamt-φam}35uam=Aanexp{jωant-φan}36ここで、Aam,Aanはuam,uanの振幅、ωam,ωanはuam,uanの周波数、φam,φanはsam,sanの位相である。補助信号uam,uanの周波数間隔ΩDは、図14に示すように参照波成分srm,srnの周波数間隔と同一であり、補助信号uamの周波数ωamと参照波成分srnの周波数ωrnの中間値ωan-ωam/2が2つの参照波成分srm,srnの周波数の間ωrmからωrnの間に設定されている。本構成例では、参照波成分srmと補助信号uamとの周波数差あるいは、参照波成分srnと補助信号uanとの周波数差をΔω、すなわち、Δω=ωrm-ωam=ωrn-ωanとすると、ΔωとΩDとの間には、37式の関係が成立している。|Δω|<|ΩD|/237補助信号uam,uanは38式,39式のように表される。uam=Aamexp{jωrm-Δωt-φam}38uan=Aanexp{jωrm-Δωt-φan}39相対位相検出部2332は、srm,srnを、光分岐器c1を介して取得し、これらの参照波成分srm,srnと補助信号uam,uanとから、周波数が低い参照波成分srmと周波数が低い補助信号uamとのビート信号BT1、および周波数が高い参照波成分srnと周波数が高い補助信号uamとのビート信号BT2を生成する。そして、これら2つのビート信号の乗算信号を生成する。合波器CPは、2つの参照波成分srm,srnと2つの補助信号uam,uanとを合波し、合波信号を生成する。そして、この合波信号をフォトダイオードPDにより光電変換する。フォトダイオードPDの出力には、参照波成分srmと補助信号uamとのビート信号BT1、および参照波成分srnと補助信号uamとのビート信号BT2が含まれる。バンドパスフィルタBPFは、これらのビート信号の中から、ビート信号BT1とBT2周波数Δωを抽出する。参照波成分srmと補助信号uamとにより生じる周波数Δωのビート信号をBT1、参照波成分srnと補助信号uamとにより生じる周波数Δωのビート信号をBT2でそれぞれ示すと、バンドパスフィルタBPFの出力には、40式で示す項が含まれる。2ArmAamcos{Δωtφrm-φamcnst1}]2ArnAancos{Δωtφrn-φancnst2}]40ここで、cnst1=2π/c×ωrmnrLr-ωamnaLacnst2=2π/c×ωrnnrLr-ωannaLac:光速nr:参照波路の屈折率na:補助信号路の屈折率Lr:参照波路長La:補助信号路長40式の第1項はビート信号BT1の要素であり、第1項はビート信号BT2の要素である。バンドパスフィルタBPFの出力、すなわちビート信号BT2は、デバイダDVにより2つのパスに分けられ、ミキサMXにより乗算される。ミキサMXの出力乗算信号MPLは41式のように表される。なお、簡単のためにφan=φamとしてある。MPL=Arm2Aam2Arn2Aan2/2ArmArnAamAancoscnst2-cnst1RΔωt4141のcnst2-cnst1は、42式で表される。cnst2-cnst1=2π/c×ωrnnr-ωrmnrLr-ωamna-ωannaLa4241式におけるRΔωtは、ビート周波数と時間との積に依存する関数である。相対位相演算部RPPは、以下に述べるように43式,44式参照、乗算信号MPLの直流成分を取り出し、この直流成分から検出系により定まる定数を取り除き、2つの参照波成分srm,srnの相対位相φrn-φrmを検出する。乗算信号MPLの直流成分DCは、41式から、次のように表される。DC=Arm2Aam2Arn2Aan2/2ArmArnAamAancosφrm-φrncnst2-cnst143この式からコサイン部分のみを取り出し正規化すると、正規化直流成分DCNMLは44式のように表される。なお、ArmArnAamAanは、予め測定された値である。DCNML=cosφrn-φrmcnst2-cnst144この正規化直流成分DCNMLから位相に依存しない要素検出系により定まる定数cnst2-cnst1を除去することで2つの参照波成分srm,srnの相対位相Φr=φrn-φrnが求められる。なお、44式では、オフセット分1/2を省略して示してある。図15に、正規化直流成分DCNMLと相対位相Φrとの関係を示す。図15に示すように、相対位相演算部RPPは、通常、あるDCNMLについて、みかけ上2つの相対位相Φr1,Φr2を検出する。Φr1は0~πradの間にあり、Φr2はπ~2πradの間にある。通常、参照波成分srm,srnの相対位相が0~πradの間にあるのか、π~2πradの間にあるのかがわからない。この場合には、図示はしないが、参照波路上または補助信号路上の何れかの箇所に信号路長変調部を設けることができるし、補助信号生成部2331の内部に信号路長変調部を設けることもできる。図15に示した2つのみかけ上の相対位相Φr1,Φr2のうちの一方を、真の相対位相として特定することができる。たとえば、補助信号路長Laを微小距離長くしたとすると、42式のcnst2-cnst1の値が小さくなり、補助信号路長Laを微小距離短くすると、42式のcnst2-cnst1の値が大きくなる。また、参照波路長Lrを微小距離長くすると、42式のcnst2-cnst1の値が大きくなり、逆に参照波路長Lrを微小距離短くすると、42式のcnst2-cnst1の値が小さくなる。たとえば、DCNMLの値がγであり、みかけ上、ΦA1,ΦA2の2つの相対位相が検出されたとする図15参照。この場合に、補助信号路長LaをLaΔLΔL>0に変化させたとする。この場合、図16Aに示すように、信号路長特性はLa実線からLaΔL破線に変化する。このとき、DCNMLがγ1に減少したとすれば、Φr1が真の相対位相であると判定できるし、DCNMLがγ2に増加したとすれば、Φr2が真の相対位相であると判定できる。また、補助信号路長LaをLaΔLΔL<0に変化させたとする。この場合、図15Bに示すように、信号路長特性はLa実線からLaΔL破線に変化する。このとき、DCNMLがγ1に減少したとすれば、Φr2が真の相対位相であると判定できるし、DCNMLがγ2に増加したとすれば、Φr1が真の相対位相であると判定できる。第2構成例図12の物体測定装置200は、図3および図4で説明した物体測定装置200において周波数選択部を不要としたものである。属性特定装置23は、光検出器231と、演算処理部232と、電界スペクトル測定部233と、ビームスプリッタ234とからなる。図12において、属性特定装置23は、参照波Srから、周波数成分が異なる参照波成分sr1,sr2,,srN周波数の低い順に並べてあるを一括して抽出し、これらの中の2つの参照波成分srm,srn典型的には、n=m1の組について、相対位相および振幅を検出する処理を、参照波成分の組み合わせを変えて並列的に行うパラレル処理する。属性特定装置23は、光検出器231と、演算処理部232と、電界スペクトル測定部233とからなる。本構成例では電界スペクトル測定部233は、補助信号生成部2331と、相対位相検出部2332と、振幅検出部2333と、周波数分解部2335を備えている。また、本構成例では、演算処理部232は、演算器2321とメモリ2322とを備えている。本構成例では、第1構成例と同様、電界スペクトル測定部233により、参照波Srの電界スペクトルErωを測定する場合には、被測定物体Oの位置に光吸収板224をセットしておき、光検出器231が参照波Srのみを検出できるようにしておく。そして、電界スペクトル測定部233はビームスプリッタ234を介して参照波Srを取り込む。周波数分解部2335は、参照波Srに周波数成分として含まれる周波数が異なる複数の参照波成分sr1,sr2,,srqを生成する。補助信号生成部2331は、周波数中間値が隣接する2つの参照波成分の周波数の間に設定され、周波数間隔がこれら2つの参照波成分の周波数間隔と同一の2つの補助信号ua1,ua2,,uqを生成する。相対位相検出部2332は、隣接する2つの参照波成分srk,srと補助信号uak,uaとの合波から、参照波成分srk,srの相対位相を検出する。本構成例では、k=1,2,,q-1としたときの、q-1個の相対位相が同時に検出できる。振幅検出部2333は、相対位相検出部2332における処理信号から参照波成分srkの振幅Arkを検出する。本構成例では、k=1,2,,qとしたときのq個の振幅を同時に検出できる。演算器2321は、これら相対位相の検出結果および振幅の検出結果を取り込み、メモリ2322に記録し、これらの記録結果から参照波Srの電界スペクトルErω等を演算することができる。すなわち、図4で説明したように、参照波Srと測定波Ssとの相互相関を測定して、これをフーリエ変換すること測定波Ssの電界スペクトルErωを求めることができるし、被測定物体Oの種々の属性を測定することができる。図13に、相対位相検出部2332と、振幅検出部2333の構成を示す。相対位相検出部2332は、q出力のアレイ導波路回折格子AWGと、出力側に設けたフォトダイオードPDの群PDGと、PDGの出力信号からそれぞれ2つの信号を選択する信号選択回路SLCTと、SLCTの出力信号を乗算するq-1個のミキサの群MIXGと、MIXGの出力信号を入力して相対位相を検出する相対位相演算部RPPとを備えている。本実施形態では、信号選択回路SLCTには、sr1とua1とのビート信号BT1,sr2とua2とのビート信号BT2,,srqと補助信号uaqとのビート信号BT2が入力される。信号選択回路SLCTは、B1とB2,B2とB3,B3とB4,,BN1,BNのように、ビート信号を重複を許して選択することで、全てのビート信号は、位相を介して関連付けられる。ミキサ群MIXGを構成するN-1個のミキサは、2つのビート信号を乗算して、乗算信号k番目のビート信号とk1番目のビート信号との乗算信号を、相対位相演算部RPPの第1相対位相演算部,第2相対位相演算部,,第q-1相対位相演算部に送出する。第k相対位相演算部k=1,2,,q-1では、MIXGの各乗算信号の直流成分から、検出系により定まる定数を取り除き、2つのビート信号の生成の基礎となった2つの参照波成分srk,srの相対位相φr-φrkを検出することができる。振幅検出部2333は、第1振幅演算部,第2振幅演算部,,第q振幅演算部からなり、k番目のビート信号の振幅から参照波成分srkの振幅Arkを検出することができる。上記した相対位相φr-φrkおよび振幅Arkは、演算処理部232のメモリ2322に電界スペクトルErωとして記憶される。本例では、AWG321を用いてビート信号の生成、ビート信号の乗算、相対位相の検出処理および振幅検出をパラレルに行っているので高速の演算が可能である。本構成例でも物体測定装置200でも、構成例1と同様、相対位相の解が2つ生じることがある。この場合にも、構成例1で説明したと同様、信号路長変調部により信号路長光路長を変調することで真の相対位相を判定することが判定できる。"