少なくとも1層以上の吸着剤材料を中に含む複数の容器と;前記複数の容器に接続される供給ガス管路と;前記複数の容器に接続される生成物回収管路と;前記複数の容器に接続されるパージガス管路と;前記複数の容器に接続される廃棄ガス管路と;前記複数の容器に接続される等化管路と;少なくとも2個の弁を有するマニホールドによって、前記複数の容器に並列流動で接続される生成物回収管路と;少なくとも2個の弁を順番に開く制御システムと;を含む、圧力スウィング吸着PSAシステム。少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記パージガス管路;少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記廃棄ガス管路;少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記等化ガス管路;のうち少なくとも1つの管路を有しており、前記マニホールドが存在する場合における、前記制御システムは:前記パージガス管路と接続される前記マニホールドの、前記少なくとも2個の弁が順番に開き;前記廃棄ガス管路と接続される前記マニホールドの弁の、前記少なくとも2個の弁が順番に開き;前記等化管路と接続される前記マニホールドの弁の、前記少なくとも2個の弁が順番に開くように、構成される請求項1に記載のシステム。前記マニホールドは、それぞれオン/オフ弁である、請求項1または2に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが同じである、請求項3に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが異なる、請求項3に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記生成物回収管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記生成物回収管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサ、のいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記生成物回収管路の圧力センサ、及び前記生成物回収管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において前記生成物回収管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項1から5のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記パージガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記パージガス管路に流動的に接続され、緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記パージガス管路の圧力センサ、及び前記パージガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記パージガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項2から6のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記廃棄ガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記廃棄ガス管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、廃棄ガス管路の圧力センサ、及び前記廃棄ガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記廃棄ガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項2から7のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記等化管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記等化管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、等化管路の圧力センサ、及び前記等化管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記等化管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項2から8のいずれか一項に記載のシステム。前記1個以上のマニホールドは少なくとも3個の弁を有しており、前記制御システムは少なくとも3個の弁を順番に開く、請求項1から9のいずれか一項に記載のシステム。少なくとも1層以上の吸着剤材料を中に含む複数の容器と;前記複数の容器に接続される供給ガス管路と;前記複数の容器に接続される生成物回収管路と;前記複数の容器に接続されるパージガス管路と;前記複数の容器に接続される廃棄ガス管路と;前記複数の容器に接続される等化管路と;少なくとも2個の弁を有するマニホールドによって、前記複数の容器に並列流動で接続されるパージガス管路と;少なくとも2個の弁を順番に開く制御システムと、を有するPSA圧力スウィング吸着システム。少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記生成物回収管路;少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記廃棄ガス管路;少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記等化ガス管路;のうち少なくとも1つ管路を有しており、前記マニホールドが存在する場合における、前記制御システムは:前記生成物回収管路と接続される前記マニホールドの弁の、前記少なくとも2個の弁が順番に開き;前記廃棄ガス管路と接続される前記マニホールドの弁のうち、前記少なくとも2個の弁が順番に開き;前記等化管路と順番に接続される前記マニホールドの弁のうち、前記少なくとも2個の弁が順番に開くように、構成される請求項11に記載のシステム。前記マニホールドに接続される弁は、それぞれオン/オフ弁である、請求項11または12に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが同じである、請求項13に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが異なる、請求項13に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記パージガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記パージガス管路に流動的に接続され、緩衝容器の圧力を測定する圧力センサ、のいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記パージガス管路の圧力センサ、及び前記パージガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記パージガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項11から15のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記生成物回収管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記生成物回収管路に流動的に接続され、緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記パージガス管路の圧力センサ、及び前記生成物回収管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において前記生成物回収管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項12から16のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記廃棄ガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記廃棄ガス管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、廃棄ガス管路の圧力センサ、及び前記廃棄ガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記廃棄ガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項12から17のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記等化管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記等化管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記等化管路の圧力センサ、及び前記等化管路にマニホールドで接続される前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記等化管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項12から18のいずれか一項に記載のシステム。前記1個以上のマニホールドは少なくとも3個の弁を有しており、前記制御システムは少なくとも3個の弁を順番に開く、請求項11から19のいずれか一項に記載のシステム。少なくとも1層以上の吸着剤材料を中に含む複数の容器と;前記複数の容器に接続される供給ガス管路と;前記複数の容器に接続される生成物回収管路と;前記複数の容器に接続されるパージガス管路と;前記複数の容器に接続される廃棄ガス管路と;前記複数の容器に接続される等化管路と;少なくとも2個の弁を有するマニホールドによって、前記複数の容器に並列流動で接続される廃棄ガス管路と;少なくとも2個の弁を順番に開く制御システムと、を有する、PSA圧力スウィング吸着システム。少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記生成物回収管路;少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記パージガス管路;少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記等化ガス管路;のうち少なくとも1つの管路を有しており、前記マニホールドが存在する場合における、前記制御システムは:前記生成物回収管路と接続される前記マニホールドの弁の、前記少なくとも2個の弁が順番に開き;前記パージガス管路と接続される前記マニホールドの弁の、前記少なくとも2個の弁が順番に開き;前記等化管路と接続される前記マニホールドの、前記少なくとも2個の弁が順番に開くように、構成される請求項21に記載のシステム。前記マニホールドに接続される弁は、それぞれオン/オフ弁である、請求項21または22に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが同じである、請求項23に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが異なる、請求項23に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記廃棄ガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記廃棄ガス管路に流動的に接続され、緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記廃棄ガス管路の圧力センサ、及び前記廃棄ガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記廃棄ガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項21から25のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記パージガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記パージガス管路に流動的に接続され、緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記パージガス管路の圧力センサ、及び前記パージガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記パージガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項22から26のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記生成物回収管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記生成物回収管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記生成物回収管路の圧力センサ、及び前記生成物回収管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記生成物回収管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項22から27のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記等化管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記等化管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記等化管路の圧力センサ、及び前記等化管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記等化管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項22から28のいずれか一項に記載のシステム。前記1個以上のマニホールドは少なくとも3個の弁を有しており、前記制御システムは少なくとも3個の弁を順番に開く、請求項21から29のいずれか一項に記載のシステム。少なくとも1層以上の吸着剤材料を中に含む複数の容器と;前記複数の容器に接続される供給ガス管路と;前記複数の容器に接続される生成物回収管路と;前記複数の容器に接続されるパージガス管路と;前記複数の容器に接続される廃棄ガス管路と;前記複数の容器に接続される等化管路と;少なくとも2個の弁を有するマニホールドによって、前記複数の容器に並列流動で接続される等化管路と;少なくとも2個の弁を順番に開く制御システムと、を有するPSA圧力スウィング吸着システム。少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記生成物回収管路;少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記パージガス管路;少なくとも2個の弁を有する前記マニホールドによって、前記並列流動で配置された前記複数の容器に接続される、前記廃棄ガス管路;のうち少なくとも1つの管路を有しており、前記マニホールドが存在する場合における、前記制御システムは:前記生成物回収管路と接続される前記マニホールド弁の、前記少なくとも2個の弁が順番に開き;前記パージガス管路と接続される前記マニホールドの弁の、前記少なくとも2個の弁が順番に開き;前記廃棄ガス管路と接続される前記マニホールドの弁の、前記少なくとも2個の弁が順番に開くように、構成される請求項31に記載のシステム。前記マニホールドに接続される弁は、それぞれオン/オフ弁である、請求項31または32に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが同じである、請求項33に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが異なる、請求項33に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記等化ガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記等化ガス管路に流動的に接続され、緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記等化ガス管路の圧力センサ、及び前記等化ガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記等化ガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項31から35のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記パージガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記パージガス管路に流動的に接続され、緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、前記パージガス管路の圧力センサ、及び前記パージガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記パージガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項32から36のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記廃棄ガス管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記廃棄ガス管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、廃棄ガス管路の圧力センサ、及び前記廃棄ガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記廃棄ガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項32から37のいずれか一項に記載のシステム。前記複数の容器の圧力をそれぞれ測定する圧力センサ;前記生成物回収管路の圧力を測定する圧力センサ;または前記生成物回収管路に流動的に接続される緩衝容器の圧力を測定する圧力センサのいずれか一つのセンサを有しており;前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記各容器の圧力センサ、生成物回収管路の圧力センサ、及び前記生成物回収管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において、前記生成物回収管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうちのいずれか1つのセンサにおいて測定された圧力によって、弁の故障を特定する、請求項32から38のいずれか一項に記載のシステム。前記1個以上のマニホールドは少なくとも3個の弁を有しており、前記制御システムは少なくとも3個の弁を順番に開く、請求項31から39のいずれか一項に記載のシステム。少なくとも1層以上の吸着剤材料を中に含む複数の容器と;前記複数の容器に接続される供給ガス管路と;前記複数の容器に接続される生成物回収管路と;前記複数の容器に接続されるパージガス管路と;前記複数の容器に接続される廃棄ガス管路と;前記複数の容器に接続される等化管路と;少なくとも2個の弁を有するマニホールドに並列流動で配置されている、前記複数の容器に接続された前記生成物回収管路と;少なくとも2個の弁を有するマニホールドに並列流動で配置されている、前記複数の容器に接続された前記パージガス管路と;少なくとも2個の弁を有するマニホールドに並列流動で配置されている、前記複数の容器に接続された前記廃棄ガス管路と;少なくとも2個の弁を有するマニホールドに並列流動で配置されている前記複数の容器に接続された前記等化管路と、を有し;制御システムはさらに:前記生成物回収管路と連結された前記マニホールドのうち、前記少なくとも2個の弁を順番に開き;前記パージガス管路と連結された前記マニホールドのうち、前記少なくとも2個の弁を順番に開き;前記廃棄ガス管路と連結された前記マニホールドのうち、前記少なくとも2個の弁を順番に開き;前記等化管路と連結されたマニホールドのうち、前記少なくとも2個の弁を順番に開くように、構成される圧力スウィング吸着システム。前記マニホールドは、それぞれオン/オフ弁である、請求項41に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが同じである、請求項42に記載のシステム。前記マニホールドのオン/オフ弁の直径の大きさが異なる、請求項42に記載のシステム。前記複数の容器の圧力を測定する圧力センサと;前記生成物回収管路の圧力を測定する圧力センサ;及び前記生成物回収管路に流動的に接続された緩衝容器において圧力を測定する圧力センサと;前記パージガス管路の圧力を測定する圧力センサ;及び前記パージガス管路に流動的に接続された緩衝容器において圧力を測定する圧力センサと;前記廃棄ガス管路の圧力を測定する圧力センサ;及び前記廃棄ガス管路に流動的に接続された緩衝容器において圧力を測定する圧力センサと;前記等化管路の圧力を測定する圧力センサ;及び前記等化管路に流動的に接続された緩衝容器において圧力を測定する圧力センサと;を有し、前記制御システムは、前記圧力センサが存在する場合において、前記複数の容器の圧力センサ、前記生成物回収管路の圧力センサ、及び前記生成物回収管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において前記生成物回収管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうち、いずれか1つにおいて測定された圧力;前記圧力センサが存在する場合において、前記複数の容器の圧力センサ、前記パージガス管路の圧力センサ、及び前記パージガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において前記パージガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうち、いずれか1つにおいて測定された圧力;前記圧力センサが存在する場合において、前記複数の容器の圧力センサ、前記廃棄ガス管路の圧力センサ、及び前記廃棄ガス管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において前記廃棄ガス管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうち、いずれか1つにおいて測定された圧力;前記圧力センサが存在する場合において、前記複数の容器の圧力センサ、前記等化管路の圧力センサ、及び前記等化管路にマニホールドで接続され前記少なくとも2個の弁が順番に開く構成において前記等化管路と流動的に接続される前記緩衝容器の圧力センサのうち、いずれか1つにおいて測定された圧力;のうちいずれか1つの方法によって、弁の故障を特定する、請求項41から44のいずれか一項に記載のシステム。前記マニホールドは少なくとも3個の弁を有し、前記制御システムは、少なくとも3個の弁を順番に開く、請求項41から45のいずれか一項に記載のシステム。前記並列流動で配置されている前記少なくとも2個の弁の大きさは、前記吸着剤材料を液化するための流速を維持できる大きさである、請求項1から46のいずれか一項に記載のシステム。前記制御システムは、圧力、圧力差、圧力変化のレート、または圧力変化のレートに関するレートの変化によって、前記弁を順番に開くように構成される、請求項47に記載のシステム。少なくとも2個の弁を有するマニホールドが並列流動で配置されている前記複数の容器に接続された前記供給ガス管路と;少なくとも2個の供給弁を順番に開くよう構成される制御システムと、を有する、請求項1から48のいずれか一項に記載のシステム。複数の容器と、前記容器に接続される供給ガス管路と、前記複数の容器に接続される生成物回収管路と、前記複数の容器に接続されるパージガス管路と、及び前記複数の容器に接続される廃棄ガス管路と、を有する、圧力スウィング吸着システムを稼働する方法において、該方法は;前記複数の容器と生成物回収管路とを接続し、並列流動で配置されている2個以上の弁を順番に開き;前記複数の容器と廃棄ガス管路とを接続し、並列流動で配置されている2個以上の弁を順番に開き;前記複数の容器と等化管路とを接続し、並列流動で配置されている、個以上の弁を順番に開き;または前記複数の容器とパージガス管路とを接続し、並列流動で配置されている2個以上の弁を順番に開く;のいずれか1つの方法を有する、圧力スウィング吸着システムを稼働する方法。さらに、弁の故障に対応する、重複する弁が並列流動で配置される、請求項50に記載の方法。本発明の実施形態の1つは、吸着ベッドに流入したり流出したりするガスの流れを制御する方法及び装置に関する。さらに詳しくは、本願において開示されている実施例は、2個以上の弁の使用し、吸着ベッドに流入したり流出したりするガスの流れを制御する方法であって、2個の弁は順番に開く方法を開示している。例:時間差で少なくとも2回に分けて開く。図1は、従来のPSAシステムの単純化された図である。PSAシステム5は、第1容器10と、第2容器12と、第3容器14と、第4容器16とを有する。各容器10、容器12、容器14、容器16は、少なくとも1個以上の吸着剤材料のベッドを備えている。各容器10、容器12、容器14、容器16は、供給ガス混合物を供給するソースマニホールド18と、吸着されない生成物廃棄ガスの出口を提供する生成物マニホールド20との間に、並列流動関係で接続されている。また、各容器10、容器12、容器14、容器16は、吸着されたコンポーネントの出口となる廃棄マニホールド22に接続されている。更に、各容器10、容器12、容器14、容器16は等化マニホールド24に接続されており、これによって2個以上の容器との圧力を等化し、システムの稼働中に圧力エネルギーを保持する。上記は、例えば米国特許第6858065に開示されている、従来技術の4個のマニホールドである。また、米国特許第7674319には、パージガスのマニホールド26に接続する、接続容器10、12、14、16が開示されている。各容器10、容器12、容器14、容器16は、容器へ流入及び流出されるガスの流れを制御するために、弁を有するマニホールドにそれぞれ接続される。図1のシステムによると、吸着ベッドに流入及び流出されるガスの流れは、例えば図1Aの制御システムを利用して制御してもよい。例えば、容器10は、ターゲットとする圧力の差及び/または圧減衰のレートを達成するために、容器10の圧力を監視する制御システム34と、少なくとも2個の圧力センサ36、38と同時に使用される、位置制御及びレポート装置ポジショナー32を有する流動制御弁30に接続される。流動制御弁30からの流動レートは継続的に異なるため、弁の性能をチューニングするためには複雑な制御アルゴリズムが必要とされる。加えて、ポジショナー固有の信頼性も欠けている。従って、このようなシステムには、マニュアルオーバーライドモードの操作が備えられる。さらに、圧力センサ36、38のいずれかが故障した場合、このようなシステムは操作不能となる。この故障により、複数のセンサを提供し、または故障があるコンポーネントを修理するために故障した吸着容器を隔離する手段を提供することが必要とされる。制御弁30の誤操作によって、容器10から著しく早い流出が発生する場合があり、これによって当該容器に含まれる1個以上の吸着ベッドの各粒子が空気力学的に流体化する可能性があり、これによって当該粒子が容器の外に流出したり、容器や他の粒子との衝撃によって破壊されたり、または単一ではない形態に再アレンジされる可能性があり、結果として当該粒子が次々と流体化される性質を悪化させる可能性がある。制御弁30の流れが不適切である場合、PSAサイクルのステップを完了させるまでの時間が長くなる。PSAサイクルを固定された頻度のサイクルで稼働した場合、廃棄物として排出される生成物ガスの比率が高くなり、結果として生成物の回収率および吸着体の生成率が低くなる。流量率の低下を安定させるためにPSAサイクルの頻度を減らした場合、吸着体の生成率が減少する。供給中、圧力等化中、生成物への圧力付加中、逆流によるブローダウン中、及び/またはパージ中に流れるガスのレートを制御するためには、2個以上のオン/オフ弁を並列して使用することによって、PSAシステムが改良されることが分かった。並列でオン/オフ弁を使用する方法は、本質的に信頼ができないセンサ及び供給バック制御ループへの依存を減少しつつ、PSAシステムを稼働させることを可能とする。例えば、望まれる状態、すなわち吸収率が低い軽い生成物の回収率を増やすには、各サイクルの終了後に吸着ベッドの吸着種重いを、効率よく取り除くことが要望される。これは、逆流によるブローダウンステップ中に、吸着ベッド全体の圧力の変化レートを制御し、さらにその後のパージステップにおいて、同じ容器から同じ廃棄ガスヘッダーへの流量率を制御しないことによって達成が可能である。図2には本実施例におけるPSAシステムが開示されており、2個以上のオン/オフ弁を使用して吸着ベッドから廃棄ガス管路へと流れるガスの流れを制御している。PSAシステム40は、第1容器42と、第2容器44と、第3容器46と、第4容器48とを有する。各容器42、44、46、48は、典型的に1個またはそれ以上の吸着剤ベッド不図示を有している。各容器42、容器44、容器46、容器48は、供給ガス混合物を供給する供給ガス管路50と、吸着されない生成物廃棄ガスの出口を提供する生成物回収管路52との間において並列流動関係で接続される。各容器42、容器44、容器46、容器48はさらに、吸着コンポーネントの出口である、廃棄ガス管路54に接続されている。加えて、容器42、44、46、48は、2個以上の容器との圧力の等化を行ってシステムの稼働中に圧力エネルギーを保存する等化管路56と、PSAシステムにパージガスを供給するパージガス管路57とに接続される。圧力低下ステップにおいて吸着ベッドからの吸着種の削減を改善するために、各容器42、44、46、48は、並列オン/オフ弁58、60を通じて廃棄ガス管路にそれぞれ接続される。図面には2個の弁しか図示されていないが、3個以上の弁が使用されてもよい。オン/オフ弁58、60には、同じまたは異なる有効直径を有する開口があってもよく、開口の有効直径は圧力低下サイクルにおいて変化する圧力の率に調整してもよい。図2及び図7を参照すると、圧力低下サイクルは、制御システム64を使用して制御及び監視することもでき、または弁58を最初に開いて第1圧力低下流路を作った後で、選択した間隔の後に弁60を開いて継続的な圧力低下中に流路のサイズを大きくすることが可能である。大きさがそれぞれ異なるn個のオン/オフ弁を使用することにより、2nの異なる流れの抵抗を提供することは、当業者にとって自明である。それぞれの開口の大きさを選択することによって、圧力低下サイクル中における特定された分離プロセス及び要望された圧力変化に応じて調整でき、吸着種の除去の最適化が可能となる。本発明における一つの実施例として、パージステップ中において使用される弁の組み合わせによる最終的な流動容量は、弁から発生した圧力のロスは2psiよりも少ないため、十分であると言える。本発明における別の実施例として、最初に容器42の逆流によるブローダウンを始めるために弁58を開き、逆流によるブローダウンのステップよりも短い所定の時間の経過後に弁60を開くことにより、その後のパージステップを開始する前に逆流によるブローダウンが終了するように、弁58、60が選択される。本発明の一つの実施例として、容器42の内部が廃棄ヘッダ54よりも5psi少ない圧力である場合に、実体的な完了となるとみなされる。さらに、本願の発明者は、図1Aの様な従来のフロー制御弁と比較すると、オン/オフ弁によってPSAシステムの信頼性が高まることを確認している。上述の通り、図1、図1AのPSAシステムは、フロー弁制御のチューニングと、弁トリムの位置の調整が必要である。制御アルゴリズムは複雑であり、デジタル制御システムを使ってオペレータがランダムに変更することもあり、所望の制御を達成するまでにはスタートアップから著しい時間が要求される。さらに、弁の性能の変動性は、容器10の弁30にて使用される制御パラメータが、弁30の容器12、14、16には適していないことを意味する。これは、レスポンス時間の違い制御のタイムラグ、圧力調整弁の設定や性能の違い、など、トリム位置、トリム大きさ、その他の要素による。さらに、ポジショナーの変更、弁そのもの例:浸食、粒子の付着、等、または吸着ベッド沈殿、閉栓、及び時間に比例した多量または局部的な液化は、弁の性能と、容器の流量率を制御する供給バック制御のアルゴリズムに関連する性能とに影響を及ぼす。本発明において使用されるオン/オフ弁は、流れの抵抗を調整する制御アルゴリズムを必要としない。さらに、2個以上のオン/オフ弁を順次開くことによって、流れの抵抗を所望通りに変更できる。オン/オフ弁によって、流れ抵抗の変化が予測可能開いているか閉じているかとなる。また、サイクルを完了する時間が、1個の流れを抑制する弁よりも、2個以上のオン/オフ弁を使用する方法によって短縮されることが発見された。さらに、オン/オフ弁は典型的な流れを制御する弁よりも著しく頑丈であり、一般的に購入費用及び維持費用が安く、弁が故障するまでのサイクル数が長い。順番となっているオン/オフ弁の開口部は、上記の通り、圧力そのもの、圧力の変化率、または圧力の変化率における変化率のうちの1ステップ以上の変化を起こすために使用される。これによって、圧力低下中の吸着種の除去、圧力低下サイクル時間の縮小、圧力センサの数の減少、及びオン/オフ弁を使用したシステムの信頼性の上昇によるPSAシステムの停止時間の減少などのうち、1つ以上の点の改善に繋がる。上記の通り、オン/オフ弁は頑丈であるものの、故障が起こる場合がある。さらに図2を参照すると、弁の故障を特定するには、圧力センサを容器42、44、46、48、または廃棄ガス管路、または廃棄ガス管路に接続される緩衝タンクに配置してもよい。図2に図示されている通り、圧力センサ62は廃棄ガス管路に位置されている。これらの位置に配置されている単体の圧力センサは、圧力の変化、圧力の変化率、または変化率を測定することによって、弁の開口を非間接的に測定する可能性がある。変化、変化率、または圧力に派生する変化が予測通りに発生しない場合には、弁の故障を示すことにもなる。幾つかの実施例において、冗長な弁不図示は、容器から廃棄ガス管路に接続されてもよい。弁58、60が故障した場合、制御システム64は、例えば予測される圧力の変化を感知しないことを察知し、短い遅延で圧力の減少が行われるように、補完的なアルゴリズムが冗長な弁のうちの1つを開いてもよい。背景技術に記載されている先行技術の大半が弁の数を減らす方法を開示しているが、本発明においては従来の1個の大きな弁を使用する方法とは対照的に、様々な流れの抵抗を提供するために連続して配置される分離された制御弁を使用するが、本発明のPSAシステムでは少ない数のセンサと少しまたは全く無い供給バックを使用するため、全体的に信頼性が高いシステムに繋がる。このようなシステムでは、センサとアクチュエータとをシステム制御に提供する必要性が減少するため、結果的に同等または少ないコンポーネントを有することとなる。さらに、一般的に手動の中断が必要となる制御弁が少ない場合と比較すると、意図する作動からの逸脱を自動的に戻すことが容易となる。本実施例における少なくとも2個の弁を使用する方法は、比例弁の開閉レートがオン/オフ弁と比較して減少する点において、単体の比例流量制御弁に対して利点を有している。このレートの減少は、弁の閉鎖に対応するために、PSAサイクルに過度に延長されたステップ時間を追加する可能性、または流速を早くするために作動弁の追加が発生する可能性を引き起こす。この追加された弁は、故障を起こすかもしれないコンポーネントが追加される。比例弁に代わって、少なくとも2個のオン/オフ弁が使用されることにより、それぞれの弁は、早くて正当な作動が提供する。順番に開く2個以上の弁をPSAシステムで使用する更なる利点は、2個以上の弁のうちの最初の弁が開いている1回目と、1回目よりも多くの弁が開いている2回目との間で、容器と流動ガス源又は到達点との圧力の差が下がることが必然的である点である。殆どの種類の処理弁において、アクチュエータのトルク及び/またはフォースは、圧力差によって作動する。従って、第1弁は最大限の圧力差に対抗して十分に弁を開くアクチュエータと共に提供されるが、他の弁は小さいアクチュエータと共に提供されてもよい。この利点によって、アクチュエータの大きさと重量とを減少させるだけでなく、弁に発生する疲労を減少させ、さらなる利点として、稼働中の弁が疲労による故障を起こす可能性を低下させる。小さいアクチュエータに関連する利点として、圧力の差異が所望よりも高い場合に弁がうっかり稼働することを防ぐ。本発明の実施例の一つとして、比較的に小さい流動容量を持ち、かつ第1圧力差の状態で開くことが可能である第1圧力弁58が、図2の容器42、44、46、48と一緒に提供される。弁60は、第2の、比較すると大きい流動容積で提供され、予測された時間に対応する異なる圧力において弁が開く、比較的に弱いアクチュエータである。本実施例では、容器42の圧力が高い状態において、望ましくないタイミングで大きな弁60が開くのを防ぎ、結果的に廃棄ヘッダ54への流量率が予測よりも高くなる状態を防ぎ、結果として稼働中の誤作動を予防する。さらに、弁60を開く際の圧力差を慎重に選ぶことにより、この弁の開口が弁58の流量率の変動を自動的に補い、弁殆どの場合が空気式であるを開くようにデジタルシグナルが稼働した場合においても、弁は所望の圧力の差異が達成されるまで開かない。容器と廃棄ガス管路とを接続する2個以上のオン/オフ弁を使用する改良された性能は、サイクルの他のステップにおいて使用される2個以上のオン/オフ弁によって実現される。従って、供給ガス管路、パージガス管路、生成物ガス管路、または等化管路のうちの1個またそれ以上と容器とは、2個以上のオン/オフ弁を有するマニホールドによって、並列流動で接続する事が好ましい。制御システムが存在する場合は、この様な弁を順番に開くように構成されても良い。同じ構成要件には同じ番号となっている図3によると、本実施例に開示されているPSAシステムの一つが図示されており、パージガス管路を通ってガスの吸着ベッドへの流入及び流出を2個以上の弁を使用して制御する方法が開示されている。パージ管路は、パージのステップのみを実施するために構成されてもよく、または複数のステップを順番に行うために構成されてもよい。同様に、図3は4個の容器を有するPSAが開示されているが、本発明は2個以上の容器を有するPSAシステムに利用される。図3の実施例によると、パージガス管路57はそれぞれ、容器42、44、46、48に、少なくとも2個のオン/オフ弁66、68を有する弁マニホールドを通じて、並列流動で接続される。図2の実施例と同様、圧力センサ不図示は、容器42、44、46、48、パージガス管路57、またはパージガス管路に接続される緩衝タンクのいずれか1つに設置されてもよい。同じ構成要件には同じ番号となっている図4によると、本実施例に開示されているPSAシステムの一つが図示されており、吸着ベッドから生成物回収管路へ流入したり流出したりするガスの流れを2個以上の弁を使用して制御する方法が開示されている。本実施例において、生成物回収管路52はそれぞれ、容器42、44、46、48に、少なくとも2個のオン/オフ弁70、72を有する弁マニホールドを通じて、並列流動で接続される。図2の実施例と同様、圧力センサ74不図示は容器42、44、46、48、生成物回収管路52図示通り、または成物回収管路52に流動的に接続される緩衝タンク不図示のいずれか1つに設置されてもよい。図4に係る実施例の稼働は、前述の実施例とは異なり、容器42から生成物のヘッダ52への流入は制御されている。1またはそれ以上の圧力等化ステップの後の最終圧力ステップの開始時において、最終圧力は純化されたガス、純化されていない供給ガス、またはその両方によって達成される。最終圧力ステップの開始時に第1流動容量率を有する第1弁70を具備することにより、生成物ガスから容器42への第1流量率が達成される。本発明の実施形態において、弁70の流動の制限は選択可能であり、弁70からの流量率は、PSA40から流出される純流出量より、目的値よりも低い、おおよそ15の範囲での逸脱となる。第1間隔の後、部分的な生成物の再圧力化を引き起こすために供給弁80を開いてもよい。第2間隔の後、弁72を開いてもよい。代替として、供給弁80の位置に少なくとも2個の弁を、生成物回収弁70、72の位置の代わりに配置してもよく、またはそれぞれの位置に2個以上の弁を提供してもよい。1つの位置に2個の弁が配置されていて、且つ他の位置に1個の弁のみが配置されている実施例において、ヘッダ間には5個の明確な状態が存在する。フローはいずれの方向にも流れていない。5個の明確な状態とは、供給ヘッダ50からの流入、生成物ヘッダ52からの流入、及び容器と開いた弁に対する2つ以上の組み合わさった流動の抵抗である。これらの組み合わせは、ヘッダ同士の流量率の調整が可能となるため吸着ベッドの液化を発生させずに最終圧力化を実施することが可能となり、さらなる利点として、本来であれば最終圧力ステップを構成するステップにおいて純化された生成物をその後生成することが可能となる。これにより、吸着の分離が起こる間にPSAサイクルの一部が上昇し、吸着体の回収率が上昇する。次に同じ構成要件には同じ番号となっている図5を参照すると、本実施例に開示されているPSAシステムの一つが図示されており、2個以上の弁を使用して吸着ガスから等化管路に流出されるガスの流れを制限する実施例が開示されている。本実施例において、等化管路56は各容器42、44、46、48に、少なくとも2個のオン/オフ弁76、78を有する弁マニホールドによって、並列流動で接続されている。図2の実施例と同様、圧力センサ80は、容器42、44、46、48、等化管路56図示通り、または等化管路56に接続される緩衝タンク不図示のいずれか1つに設置されてもよい。前述通り、等化管路は等化にのみ使用される必要は無く、例えば第1及び第2等化ステップなど、同じ管路で少なくとも2の順次となるステップを行う発明の技術範囲であればよい。次に同じ構成要件には同じ番号となっている図6を参照すると、本実施例の一つに係るPSAシステムが開示されており、吸着ベッドから生成物回収管路、パージ管路、廃棄ガス管路及び等化管路にそれぞれ流入及び流出するガスの流れを制御するために、2個以上の弁を使用したPSAシステムが図示されている。上述の通り、循環吸着方法において所望の分離を実現するためには、吸着、等化、圧力低下、及びその他数ステップが必要となる。これらのステップは、容器とパイプの構成によって、上昇流または下降流において実施ができる。例えば、図5に示される通り、PSAシステム40には、容器42、44、46、48の上部に配置される等化管路56が含まれる。循環吸着方法は、1個の容器の初期圧力を高く設定し、もう1個の容器の初期圧力を低く設定して圧力を均等にし、最終的に中間の圧力に設定することによって、圧力エネルギーを回収する。上流方向に圧力等化を行う容器は、下流弁の液化とダストの除去、及び速度が安定して制御されていない場合にパイピングを行うポテンシャルを有している。従って、2個以上の弁76、78の流動制御は、幅を慎重に決める必要がある。圧力等化が開始された際の液化を制限するために、圧力差と流速とが最も高い場合には、流動面積が制御された第1弁76を最初に開くことにより、達成可能な最も早い流速を容器の上流を液化するために必要な流速のわずかに制限する。後の圧力等化のステップにおいて、第1弁76が開いている間に第2弁78を開けることによって、流動面積が増加するため、所望の時間において中間圧力の達成が保証される。例えば、容器同士の圧力の差が比較的小さい時に第2弁78が開くように間隔をプログラム化してもよく、結果として容器からの上昇流の速度によって吸着物の液化を防ぐ。速度をもっとコントロールし、容器からの上昇流において所望の速度を達成するために、圧力等化中に異なる間隔で開くようにプログラムされている複数3個またはそれ以上の弁に、このコンセプトを利用してもよい。図2-6には4個の容器しか記載されていないが、本発明のPSAシステムの容器の数は、2、3、4、5、6、7、8、9、またはそれ以上の数であってもよい。1個の容器を有するPSAも本発明の利点を有しているが、圧力等化管路は必要ではない。次に同じ構成要件には同じ番号となっている図8、9A-9Dを参照すると、本発明のPSAシステムの弁の順序が示されている。図8、9A-9Dに示されるPSAシステムは、図8に示される弁の構成を有する8個の容器を有しており、PSAシステムは、それぞれの供給ガス管路50と、生成物回収管路52と、廃棄ガス管路54と、等化管路56と、パージガス管路57とに接続される2本の並列のオン/オフ弁が含まれる。図8には1個の容器のみが記載されているが、本システムの8個の容器は、図2から6に図示されている様に接続される。図9A-9Dに図示されている弁の順序は、PSAサイクルの3等化ステップを使用し、等化ステップに含まれる順序として:容器の圧力が高く、好ましくは濃縮された生成物ガスが製造されている状態である、吸着Adsorb;圧力等化ステージにおいて、容器がガスを供給している、PrvEQ1、PrvEQ2、PrvEQ3;システムが最も低い圧力に低下する、ブローダウンblowdown;圧力等化ステージにおいて、容器がガスを受け取るRevEQ1、RevEQ2、RevEQ3;生成物の再加圧ProdRepress;及びパージガスが容器から、または容器へ供給される、PrvPurge及びRevPurgeである。図9A-9Dにおいて、容器をそれぞれの管路に接続する2個の弁は、ステージの開始時に開く最初の弁をパイロットpilotとし、そのパイロット弁は上述の通り、最初のフローを制御するために、小さいサイズの開口を有している点で異なる。例えば、図8の弁58は、容器から廃棄ガス管路54に接続されるパイロット弁であり、また弁60は容器から廃棄ガス管路54に接続される第2弁である。順番に開く第2弁は、図9A-9Dにおいて遅延Delayと記載されており、パイロット弁の開くタイミングと第2弁の開くタイミングの遅延がPSAサイクルのステージにおいて適切な間隔となっている。図9A-9Dに図示されている弁の順番は、PSAサイクルにおいて3等化ステップを使用しており、ステップは;容器の圧力が高く、好ましくは濃縮された生成物ガスが製造されている状態である、吸着Adsorbと;容器が圧力等化ステージにおいてガスを供給しているPrvEQ1、PrvEQ2、PrvEQ3と;システムの最も低い圧力まで圧力を下げるブローダウンBlowdownと;圧力等化ステージにおいて容器へガスを供給するRevEQ1、RevEQ2、RevEQ3と;製品の再加圧ProdRepressと、パージガスが容器からまたは容器へと供給されるPrvパージとRevパージとが含まれる。次に同じ構成要件には同じ番号となっている図10、図11A-11Eを参照すると、本発明のPSAシステムの弁の順序が示されている。図10、図11A-11EのPSAシステムは、容器とそれぞれの供給ガス管路50とを接続する2個のオン/オフ弁と、生成物回収管路52と、廃棄ガス管路54と、第1等化管路561と、第2等化管路562と、パージガス管路57と、図10に図示されている構成の弁と、を有する9個の容器である。図10には1個の容器のみが図示されているが、本システムの9個の容器は図2-6に図示されているように接続されていることが好ましい。図11A-11Eに図示されている、弁の順序は、PSAサイクルの4等化ステップを使用し、等化ステップに含まれる事項として:容器の圧力が高く、好ましくは濃縮された生成物ガスが製造されている状態である、吸着Adsorb;圧力等化ステージにおいて、容器がガスを供給している、PrvEQ1、PrvEQ2、PrvEQ3;システムが最も低い圧力に低下する、ブローダウンblowdown;圧力等化ステージにおいて、容器がガスを受け取るRevEQ1、RevEQ2、RevEQ3;生成物の再加圧ProdRepress;及びパージガスが容器から、または容器へ供給される、PrvパージとRevパージである。図11A-11Eにおいて、容器をそれぞれの管路に接続される2個の弁は、ステージの開始時に開く最初の弁をパイロットPilotとし、そのパイロット弁は上述の通り、最初のフローを制御するために、小さいサイズの開口を有している点で異なる。例えば、図10の弁58は、容器から廃棄ガス管路54に接続されるパイロット弁であり、また弁60は容器から廃棄ガス管路54に接続される第2弁である。順番に開く第2弁は、図9A-9Dにおいてdelay遅延となっており、パイロット弁の開くタイミングと第2弁の開くタイミングの遅延がPSAサイクルにおいて適切な間隔となっている。図9A-9Dに図示されている弁の順番は、PSAサイクルにおいて3等化ステップを使用しており、ステップには;容器の圧力が高く、好ましくは濃縮された生成物ガスが製造されている状態である、吸着Adsorbと;容器が圧力等化ステージにおいてガスを供給するPrvEQ1、PrvEQ2、PrvEQ3と;システムの最も低い圧力まで圧力を下げるブローダウンBlowdownと;圧力等化ステージにおいて容器へガスを供給するRevEQ1、RevEQ2、RevEQ3と;製品の再加圧ProdRepressと、パージガスが容器からまたは容器へと供給されるPrvPurgeとRevPurgeとが含まれる。図11A-11Eには、本発明の異なる観点の実施例を記載しており、第4圧力等化を加えることによって図9A-9Dとは異なり、PrvEQ4、RevEQ4とをそれぞれ実施するために、2ステップが追加されている。上述の通り、本実施形態におけるPSAシステムは、2個以上のオン/オフ弁が並列流動となるように配置され、それぞれのサイクルにおいて吸着ベッドから、または吸着ベッドへの流動を制御している。それぞれのステップにおいて複数の弁を使用しているが、PSAシステムの部品数は、圧力センサの位置を適切に配置することによって減らすことが可能となる。更に、本発明の実施形態においては:プロセスの性能の向上生成されたガスの生成物の高い回収率;センサまたは供給バック制御ループへの依存の減少;少ないパーツ、簡素さ、及び1つの弁またはセンサの故障においてもPSAシステムを中断しない、セルフヒーリングモードの許容による同等か改善された技術的性能;の少なくとも1つまたはそれ以上を提供する。本発明の実施例の数は限定されているが、その技術的範囲または本質的な特徴から逸脱せずに他の特定の形態で実施されることができることが当業者により認識される。ここで開示された本発明の実施形態はそれ故、全て例示であり、限定ではないと考えられる。本発明の技術的範囲は前述の説明ではなく特許請求の範囲によって示されており、その意味及び範囲ならびに均等の範囲内に入る全ての変更は本発明の技術的範囲に含まれることを意図している。