被試験デバイスに信号を出力する複数のドライバを備える半導体試験装置であって、前記ドライバのタイミングを校正するための基準コンパレータに前記ドライバからの信号を入力したときの波形が変化する間の第1の時間と前記ドライバの出力端での信号の波形が変化する間の第2の時間とに基づいて前記ドライバのタイミングを校正する校正値を補正する補正部を備えたことを特徴とする半導体試験装置。前記第1の時間をT1、前記第2の時間をT2、前記補正部が行う補正値をTamdとしたときに、Tamd=-2×T12-T221/2―T2T1-T2×1/2としたことを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。前記補正部は、前記第1の時間および前記第2の時間を前記基準コンパレータが入力した信号の波形が変化を開始してから変化を終了するまでの間の一部の時間として検出したときに、この一部の割合に応じた定数を前記補正値Tamdに乗じたことを特徴とする請求項2記載の半導体試験装置。被試験デバイスに信号を印加するドライバのタイミングを校正する半導体試験装置のタイミング校正方法であって、前記ドライバのタイミングを校正するための基準コンパレータと前記ドライバとの間の電気長を測定する電気長測定工程と、前記基準コンパレータに対する前記ドライバのタイミングのずれ量をスキュー値として検出するスキュー値検出工程と、前記ドライバから出力された信号が前記基準コンパレータに入力されたときの波形が変化する間の時間を第1の時間として検出する変化時間検出工程と、前記ドライバの出力端での信号の波形が変化する間の時間を第2の時間として、前記第1の時間と前記第2の時間とに基づいて前記ドライバのタイミングの校正値を補正する補正値を演算する補正値演算工程と、前記校正値に前記補正値の分を補正する校正値補正工程と、を有することを特徴とする半導体試験装置のタイミング校正方法。特許文献1の技術では、各ドライバのタイミングを校正するために複数のドライバのうち1つとサブ基準コンパレータとを接続している。このために、経路選択部を設けている。そして、経路選択部の内部で接続を変更することにより、順次基準コンパレータと1つのドライバとを接続する経路を確立している。この経路を確立するために、経路選択部にはスイッチを設ける必要がある。そして、ドライバと基準コンパレータとを接続する各経路に少なくとも1つのスイッチを設ける必要がある。スイッチとしては半導体スイッチを使用する。半導体スイッチは小型且つ長寿命であり、また高速にオンとオフとを切り替えることができるため、この半導体スイッチを使用する。半導体スイッチには、オン抵抗信号が通過するときに生じる抵抗やオフ容量信号の経路に接続される他のオフになっているスイッチの容量、経路インピーダンス、周波数特性等がある。これらのオン抵抗やオフ容量、経路インピーダンス、周波数特性等は伝送損失として基準コンパレータに入力される信号に波形なまりを生じさせる。つまり、伝送される信号の品質が劣化する。そして、各半導体スイッチはそれぞれ固有の特性を有しており、伝送損失も経路の半導体スイッチによって異なる。基準コンパレータを基準として各ドライバのタイミング校正を行うが、このタイミング校正の校正値はそれぞれの経路の伝送損失を反映した値になっている。そして、各経路によって伝送損失が異なるため、信号に対して与える波形なまりの影響も経路によってバラツキを生じる。よって、タイミング校正を行ったとしても、伝送損失のバラツキによってドライバのタイミングに誤差を生じさせる。実際にDUTの試験を行うときには、この誤差を生じた状態のタイミングでドライバを駆動するため、DUTに同じタイミングで信号を入力することができなくなる。特許文献1では、波形なまりを補正するためにスルーレート値を用いているが、単に画一的なドライバの出力端でのスルーレートを用いているだけである。信号に生じる波形なまりは信号が通る経路特に、半導体スイッチによってバラツキを生じている。よって、画一的なスルーレートを用いて補正をするだけでは、各ドライバのタイミングに生じる誤差のバラツキを補正することができない。このために、ドライバのタイミング校正の精度が低下する。そこで、本発明は、複数のドライバのタイミングを校正するときに、高い精度のタイミング校正を行うことを目的とする。以上の課題を解決するため、本発明の第1の半導体試験装置は、被試験デバイスに信号を出力する複数のドライバを備える半導体試験装置であって、前記ドライバのタイミングを校正するための基準コンパレータに前記ドライバからの信号を入力したときの波形が変化する間の第1の時間と前記ドライバの出力端での信号の波形が変化する間の第2の時間とに基づいて前記ドライバのタイミングを校正する校正値を補正する補正部を備えたことを特徴とする。この半導体試験装置によれば、ドライバのタイミングを校正する校正値を補正している。第1の時間と第2の時間とに基づく補正値を補正することで、伝送損失による波形なまりの影響を除去できる。これにより、校正値を補正することができ、ドライバのタイミング校正を高い精度で行うことができる。本発明の半導体試験装置は、第1の半導体試験装置であって、前記第1の時間をT1、前記第2の時間をT2、前記補正部が行う補正値をTamdとしたときに、Tamd=-2×T12-T221/2―T2T1-T2×1/2としたことを特徴とする。この半導体試験装置によれば、Tamdを前記のようにして得ることで、校正値に対して正確な補正を行うことができる。これにより、ドライバのタイミング校正を高い精度で行うことができる。本発明の第3の半導体試験装置は、第2の半導体試験装置であって前記補正部は、前記第1の時間および前記第2の時間を前記基準コンパレータが入力した信号の波形が変化を開始してから変化を終了するまでの間の一部の時間として検出したときに、この一部の割合に応じた定数を前記補正値Tamdに乗じたことを特徴とする。この半導体試験装置によれば、波形の変化開始から変化終了までを一部の時間としたときに、定数Kaを乗じて補正値Tamdを得ている。これにより、多重反射によって波形に影響が与えられない範囲で第1の時間および第2の時間を得ることができ、より正確な補正を行うことができる。本発明の第4の半導体試験装置のタイミング校正方法は、被試験デバイスに信号を印加するドライバのタイミングを校正する半導体試験装置のタイミング校正方法であって、前記ドライバのタイミングを校正するための基準コンパレータと前記ドライバとの間の電気長を測定する電気長測定工程と、前記基準コンパレータに対する前記ドライバのタイミングのずれ量をスキュー値として検出するスキュー値検出工程と、前記ドライバから出力された信号が前記基準コンパレータに入力されたときの波形が変化する間の時間を第1の時間として検出する変化時間検出工程と、前記ドライバの出力端での信号の波形が変化する間の時間を第2の時間として、前記第1の時間と前記第2の時間とに基づいて前記ドライバのタイミングの校正値を補正する補正値を演算する補正値演算工程と、前記校正値に前記補正値の分を補正する校正値補正工程と、を有することを特徴とする。本発明は、ドライバのタイミングを校正するときの校正値を補正している。これにより、ドライバと基準コンパレータとの間の経路の伝送損失による波形なまりの影響を除去することができ、校正値を補正することができる。この補正を行うことで、高い精度のタイミング校正を実現することができる。以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1はDUTDeviceUnderTest1の試験を行う半導体試験装置2の概略を示している。DUT1は半導体試験装置2の試験対象となる被試験デバイスである。図中ではDUT1の個数は1つになっているが、複数を設けるようにしてもよい。半導体試験装置2はピンエレクトロニクスカード図中ではPEカード3を有して構成している。ピンエレクトロニクスカード3は1枚を装着してもよいし、複数枚を装着してもよい。ピンエレクトロニクスカード3はnnは2以上の整数個の駆動部4-1~4-n総称して駆動部4と経路選択部5と基準コンパレータ6とタイミング制御部7とを備えて構成している。また、各駆動部4とDUT1との間の経路には半導体スイッチ8-1~8―n総称して半導体スイッチ8が設けられている。駆動部4はドライバ10とコンパレータ11と抵抗12と電気長検出部13とタイミング校正部14とを備えて構成している。ドライバ10はDUT1に対して信号を出力している。ドライバ10が出力した信号はDUT1に入力されて、DUT1はこの信号に基づいて応答信号を出力する。この応答信号をコンパレータ11が入力する。コンパレータ11は所定の閾値と入力した信号との電圧の比較を行い、DUT1の良否判定を行う。コンパレータ11はドライバ10の出力側と接続された関係になる。抵抗12はドライバ10の出力側に接続した抵抗である。電気長検出部13はドライバ10と基準コンパレータ6との間の電気長を検出する。検出した電気長はタイミング制御部7に出力される。タイミング校正部14はドライバ10のタイミングを校正する可変遅延素子である。タイミング校正部14がドライバ10のタイミングを遅延させ、且つ遅延量を可変にすることで、ドライバ10の信号出力タイミングを変化させている。このタイミングを変化させることで、ドライバ10のタイミングを校正している。タイミング校正部14の遅延量の制御はタイミング制御部7が行っている。各駆動部4の出力側の経路は分岐して、一方がDUT1に入力され、他方が経路選択部5に入力される。経路選択部5に入力される側の経路はドライバ10のタイミングを校正する側の経路になる。経路選択部5を図2に示している。なお、同図において、ドライバ10は10-1~10-nとして各駆動部4-1~4-nに対応させている。経路選択部5はトーナメント方式により各ドライバ10と基準コンパレータ6との間の経路を確立するために複数の半導体スイッチ15を設けている。各ドライバ10のうち何れか1つのドライバ10と基準コンパレータ6との間の校正経路Lに設けた半導体スイッチ10のみをオンにし、他の半導体スイッチ10をオフにする。基準コンパレータ6はn個の駆動部4に対して1つを設けており、ピンエレクトロニクスカード3に1つを設けている。この基準コンパレータ6は経路選択部5を介して各駆動部4に接続される。基準コンパレータ6は所定の閾値と駆動部4のドライバ10が出力した信号との間で電圧の比較を行っている。比較結果はタイミング制御部7に出力される。図3に示すように、タイミング制御部7はスキュー調整部21と校正値生成部22と変化時間検出部23とドライバ時間記憶部24と補正部25と校正値設定部26とを備えて構成している。タイミング制御部7を用いてタイミング校正の補正を行う。同図に示すように、駆動部4と基準コンパレータ6との間は校正経路Lにより接続されている。校正経路Lは駆動部4のドライバ10と基準コンパレータ6との間の経路であり、この校正経路Lに信号を出力するときには、半導体スイッチ8は全てオフになっている。逆に、DUT1の試験を行うときには、経路選択部5に信号が入力されないように半導体スイッチ15のオフ制御を行う。校正経路Lは半導体スイッチ15を境界にして駆動部4の側の経路L1と基準コンパレータ6の側の経路L2とに分かれている。経路L2は抵抗31に接続され、この抵抗31はグランド32により接地される。そして、この経路L2に基準コンパレータ6が接続される。駆動部4の構成は図1と同じである。なお、図中にコンパレータ11および基準コンパレータ6が比較する基準となる閾値を示している。タイミング制御部7のスキュー調整部21はタイミング校正部14のタイミングを変化させる可変遅延素子になる。この可変遅延素子を用いることで、ドライバ10の信号出力タイミングが変化する。校正値生成部22は校正値Tadjを生成する。校正値Tadjは電気長Tpdとスキュー値Tskewとの2つの時間を加算することにより得られる。変化時間検出部23は基準コンパレータ6が入力する信号の電圧が2つの閾値VL1、VH1の間を遷移変化する第1の時間T1を検出している。検出した第1の時間T1は補正部25に出力される。ドライバ時間記憶部24はドライバ10の出力端における信号の電圧が2つの閾値VL2、VH2の間を遷移する第2の時間T2をドライバ時間として記憶している。ドライバ時間記憶部24はドライバ10-1~10-nのそれぞれについて第2の時間T2を記憶している。第2の時間T2はドライバ10の固有の値であり、既知の値となっている。つまり、ドライバ10の出力端での電圧が2つの閾値を遷移変化する時間であり、予め測定器オシロスコープ等を用いて測定しておくことで得られる値である。なお、ドライバ10の設計や仕様等から認識することもできる。この既知の第2の時間T2をドライバ10ごとにドライバ時間記憶部24が記憶する。補正部25は校正値生成部22が生成した校正値Tadjに対して補正を行う。この補正を行うために、変化時間検出部23から第1の時間を取得し、ドライバ時間記憶部24から第2の時間T2を取得する。そして、校正値Tadjを補正する補正値Tamdを、第1の時間T1および第2の時間T2に基づいて演算する。この演算した補正値Tamdを用いて校正値Tadjを補正するつまり、校正値Tadj=TadjTamdになる。補正後の校正値Tadjは校正値設定部26に出力される。校正値設定部26はタイミング校正部14の可変遅延素子の遅延量を設定する。この遅延量は補正後の校正値Tadjになる。DUT1の試験を行うときには、タイミング校正部14の可変遅延素子の遅延量を補正後の校正値Tadjに設定する。これにより、ドライバ10の信号出力タイミングは補正後の校正値Tadjにより校正されたタイミングとなる。以上が構成である。次に、図4のフローチャートを用いて、本実施形態のタイミング校正方法について説明する。図1に示したように、ピンエレクトロニクスカード3には複数のドライバ10が設けられている。各ドライバ10は1つずつ順次タイミング校正を行う。このために、1つのドライバ10と基準コンパレータ6とが接続されるように経路選択部5は半導体スイッチ15を制御するステップS1。最初に、ドライバ10-1と基準コンパレータ6とが接続するように半導体スイッチ15のオンオフ制御を行う。これにより、ドライバ10-1と基準コンパレータ6との間の校正経路Lが確立される。校正経路Lを確立した後に、ドライバ10と基準コンパレータ6との間の電気長Tpdを測定するステップS2。電気長Tpdを測定するために、抵抗31をハイインピーダンスに設定する。このために、抵抗31とグランド32との間にスイッチ31Sを設けて、このスイッチ31Sをオフにすることにより、抵抗31をハイインピーダンスに設定する。この状態でドライバ10から信号を出力すると、この信号は基準コンパレータ6で全反射をして、駆動部4のコンパレータ11に入力される。つまり、校正経路Lを信号が往復する。ドライバ10が出力した信号が伝送される校正経路Lにはコンパレータ11が接続される。このため、ドライバ10が出力した信号が分圧されてコンパレータ11にも入力される。これにより、コンパレータ11の電圧はドライバ10が出力した分圧された電圧半分の電圧にまで波形変化する立ち上がる。これが1段目の波形変化になる。そして、校正経路Lを往復した信号はコンパレータ11に入力される。これにより、コンパレータ11の電圧はさらに波形変化をして立ち上がり、ドライバ10が出力する信号の電圧にまで立ち上がる。これが2段目の波形変化になる。つまり、コンパレータ11が入力する信号の波形は2段階に立ち上がる。コンパレータ11は2つの閾値Vcmp1、Vcmp2>Vcmp1で入力する信号を比較している。閾値Vcmp1は1段目に立ち上がった信号の電圧に対する所定の割合ここでは、50:ドライバ10が出力する電圧の25、閾値Vcmp2は1段目から2段目に立ち上がった信号に対する所定の割合ここでは、50:ドライバ10が出力する電圧の75になる。閾値Vcmp1からVcmp2に電圧が遷移する時間は基準コンパレータ6で全反射をした信号が校正経路Lを往復する時間になる。電気長Tpdは片道分の校正経路Lを伝送される時間であり、校正経路Lを往復する時間は電気長Tpdの2倍になる。よって、閾値Vcmp1からVcmp2に電圧が遷移する時間を測定し、測定した時間を半分にすることで、電気長Tpdを得ることができる。電気長検出部13はコンパレータ11に接続しており、この電気長Tpdを検出している。電気長検出部13は、検出した電気長Tpdを校正値生成部22に出力する。次に、スキュー値Tskewの測定を行うステップS3。スキュー値Tskewは基準コンパレータ6を基準としたときに、基準コンパレータ6のタイミングに対するドライバ10のタイミングのずれ量の時間になる。このスキュー値Tskewを測定する。このために、ドライバ10から信号を出力させて、校正経路Lから信号を基準コンパレータ6に入力させる。なお、基準コンパレータ6はハイインピーダンスに設定しておらず、ドライバ10からの信号が基準コンパレータ6に入力される。図6はスキュー値Tskewの測定を示している。同図aはドライバ10から基準コンパレータ6に至るまでの経路を示しており、同図bはドライバ10の出力端の信号の電圧を示し、同図cは基準コンパレータ6に入力する信号の電圧を示している。スキュー値Tskewを測定するために、ドライバ10の信号出力タイミングを変化させている。一方、基準となる基準コンパレータ6のタイミングは時間TB1に固定している。ドライバ10が出力した信号は、校正経路Lを通って基準コンパレータ6に入力される。よって、同図cに示すように、基準コンパレータ6の入力電圧は立ち上がる。基準コンパレータ6は固定された時間TB1において所定の閾値VBと比較を行っている。この閾値VBはドライバ10が出力する信号の電圧に対する所定の割合例えば、50に設定することができる。スキュー調整部21はタイミング校正部14の可変遅延素子の遅延量を変化させる。これにより、同図bに示すように、ドライバ10が出力する信号の波形は時間軸方向に変化する。これがスキュー調整になる。よって、ドライバ10の信号出力タイミングをスキュー調整することで、時間TB1において閾値VBに到達したときの変化点を得ることができる。このときのスキュー調整した時間がスキュー値Tskewとしてスキュー調整部21から校正値生成部22に出力される。スキュー値Tskewは基準コンパレータ6に対してドライバ10のタイミングを校正する値である。ただし、ドライバ10と基準コンパレータ6との間には電気長Tpdの分だけ遅延が生じる。よって、校正値生成部22は電気長Tpdとスキュー値Tskewとを合算した値を校正値Tadjとして生成する。つまり、校正値生成部22は校正値TadjがTadj=TpdTskewとして生成している。ところで、前述したように、校正経路Lの主に半導体スイッチ15によりオン抵抗やオフ容量、経路インピーダンス、周波数特性等が伝送損失として、校正経路Lを通る信号に影響を与える。この伝送損失の影響により、信号に波形なまりを生じさせる。校正値Tadjはこの波形なまりを含んだ状態の値になる。信号に波形なまりを生じることで、波形の立ち上がり時間および立ち下り時間が遅延する。この遅延によりDUT1に入力される信号にタイミング誤差を生じる。そして、伝送損失は校正経路Lの主に半導体スイッチ15により異なる。このため、どの程度の波形なまりを生じるかも各校正経路Lによってばらつくようになる。よって、信号の波形が校正経路Lによってばらつく。このバラツキのために、DUT1に対して各ドライバ10から入力される信号のタイミングにずれを生じる。つまり、校正値Tadjの分を校正したとしても、なおタイミング誤差を生じる。そこで、当該タイミング誤差を補正するようにしている。伝送損失による波形なまりの度合いは波形の傾きになって表れる。図5の2段目の波形のように、伝送損失がなければ本来なら一点鎖線で示すような波形の傾きになるが、伝送損失により波形なまりを生じる波形の傾きが緩やかになる。つまり、波形の傾きが波形なまりの度合いを示す。校正値Tadjは電気長Tpdとスキュー値Tskewとの合算値になる。このうち、電気長Tpdを得るための信号の波形についての伝送損失によって生じる誤差は第1の時間T1と第2の時間T2とに基づいて得られる。また、スキュー値Tskewについての伝送損失によって生じる誤差は第3の時間T3と第1の時間T1とに基づいて得られる。第1の時間T1は、ドライバ10の信号出力タイミングをスキュー調整したときに、基準コンパレータ6に入力される信号が閾値VL1からVH1に遷移するまでの時間になる。この第1の時間T1を変化時間検出部23が検出するステップS4。スキュー調整部21はタイミング校正部14の可変遅延素子を変化させて、ドライバ10の信号出力タイミングを変化させる。一方、基準コンパレータ6のタイミングTB2は固定している。基準コンパレータ6は2つの閾値VL1、VH1で入力する信号の比較を行っている。閾値VL1、VH1>VL1はドライバ10が出力する信号の電圧の所定の割合である。閾値VL1、VH1は任意に設定することができるが、ここでは閾値VL1はドライバ10が出力する電圧の0とし、VH1は100としている。ドライバ10の信号出力タイミングを変化させており、基準コンパレータ6はタイミングを時間TB2に固定しているため、基準コンパレータ6が入力する信号の電圧は閾値VL1からVH1にまで遷移する。このときに、閾値VL1からVH1に遷移するまでの間の時間ドライバ10の信号出力タイミングを変化させた時間が第1の時間T1になる。この第1の時間T1は、実際に校正経路Lに信号を伝送させて測定した時間になり、校正経路Lの伝送損失による波形なまりを反映した時間になる。図7は第1の時間T1の測定を示しており、同図aはドライバ10から基準コンパレータ6に至るまでの経路、同図bはドライバ10の出力端の信号の電圧、同図cは基準コンパレータ6が入力する信号の電圧を示している。ドライバ10が出力する信号は時間軸方向に波形が変化しており、基準コンパレータ6が入力する信号も時間軸方向に変化している。変化時間検出部23基準コンパレータ6が入力する信号が閾値VL1からVH1まで遷移変化する時間を第1の時間T1として検出している。そして、検出した第1の時間T1を補正部25に出力している。第2の時間T2はドライバ10の出力端において、電圧が閾値VL2からVH2に遷移する間の時間差である。第2の時間T2はドライバ10の固有の特性を反映した波形の傾きを示しており、予め既知の値としてドライバ時間記憶部24に記憶されている。閾値VL1およびVH2は任意に設定できるが、ここではドライバ10が出力する電圧の0および100に設定しているものとする。第3の時間T3は、ドライバ10が出力した信号がコンパレータ11に入力されたときに電圧が閾値VL3からVH3に遷移するまでの時間である。このために、基準コンパレータ6をハイインピーダンスに設定して信号を全反射させる。閾値VL3およびVH3はドライバ10が出力する電圧に対して任意の割合に設定することができるが、第3の時間T3は検出を行わないため、ここではその割合については言及しない。第1の時間T1、第2の時間T2、第3の時間T3は信号が所定の閾値の間を遷移するために要する時間である。よって、それぞれ信号の波形の傾きを示していることになる。校正経路Lの伝送損失による遅延時間をTeqとすると、第1の時間T1と第2の時間T2との間ではT1=T22Teq21/2が成立する。また、第1の時間T1と第3の時間T3との間ではT3=T12Teq21/2が成立する。校正経路Lの伝送損失によりスキュー値Tskewに与える誤差は第1の時間T1と第2のT2との差分の半分になる。よって、スキュー値Tskewを補正する補正値ΔTskewはΔTskew=T1-T2×1/2になる。補正部25は変化時間検出部23から第1の時間T1を取得し、ドライバ時間記憶部24から第2の時間T2を取得することで、補正値ΔTskewの演算を行う。校正経路Lの伝送損失により電気長Tpdに与える誤差は第2の時間T2と第3の時間T3との間の時間差の半分になる。よって、電気長Tpdを補正する補正値ΔTpdはΔTpd=T3-T2×1/2になる。T1=T22Teq21/2であり、T3=T12Teq21/2であることから、これらの式からTeqを削除すると、T3=2×T12-T221/2が得られる。よって、電気長の補正値ΔTpdはΔTpd=2×T12-T221/2―T2×1/2になる。第1の時間T1はステップS4の検出測定を行うことにより得られる値にある。また、第2の時間T2は既知の値として得られている。よって、電気長の補正値ΔTpdを演算により得ることができる。補正部25はこの演算を行って、電気長の補正値ΔTpdを得る。なお、補正値ΔTskewおよびΔTpdを得るために、時間差を半分にしている。これは、スキュー値Tskewを求めるために設定した前述の閾値VBをドライバ10が出力した電圧の50に設定しているためである。また、閾値Vcmp1、Vcmp2を1段目および2段目の立ち上がるまたは立ち下がる電圧の50に設定しているためである。従って、電圧の設定の仕方によっては、時間の半分ではなく、任意の値を乗じることになる。よって、タイミング校正をするための校正値Tadjを補正するための補正値TamdはTamd=ΔTskew-ΔTpdになる。なお、スキュー値Tskewと電気長Tpdとでは誤差が負方向と正方向で逆方向になっているため、補正値ΔTskewは加算、ΔTpdは減算を行っている。補正値TamdはTamd=ΔTskew-ΔTpdである。また、電気長の補正値ΔTpdはΔTpd=2×T12-T221/2―T2×1/2であり、スキュー値の補正値ΔTskewはΔTskew=T1-T2×1/2である。よって、Tamd=-2×T12-T221/2―T2T1-T2×1/2になる。以上の演算により、補正値Tamdが得られるステップS5。そして、校正値生成部22が記憶している校正値Tadjに対して補正値Tamdを加算する補正を行うステップS6。つまり、Tadj=TadjTamdになる。補正値Tamdは校正経路Lの伝送損失の波形なまりの影響を除去する補正を行った値になっており、補正値Tamdを加算することにより、補正後の校正値Tadjを伝送損失の波形なまりによる影響が生じていない値とすることができる。補正部25はこの補正後の校正値Tadjを校正値設定部26に出力し、校正値設定部26がタイミング校正部14に補正後の校正値Tadjを設定するステップS7。実際にDUT1の試験を行うときには、タイミング校正部14が補正後の校正値Tadjのタイミング分を調整してドライバ10から信号を出力させる。以上のステップS1からS7までの処理は1つのドライバ10-1に対しての処理である。これらの処理を残りのドライバ10-2~10-nに対しても行う。このために、全てのドライバ10のタイミング校正を行ったか否かを判定しステップS8、行っていなければ次のドライバ10についてステップS1からS7までの処理を行う。行っていれば、処理を終了する。以上説明したように、本実施形態では、ドライバの出力端における信号が変化する第1の時間T1とドライバから基準コンパレータに入力されたときの信号が変化する第2の時間T2とに基づいて、ドライバのタイミング校正の校正値を補正している。これにより、校正経路の伝送損失による波形なまりの誤差を補正することができる。よって、各ドライバの固有の波形なまりの影響を除去することができ、高い精度のタイミング校正をドライバに対して行うことができるようになる。次に、変形例について説明する。前述したように、第1の時間T1は、所定の閾値VL1およびVH1に信号の電圧が遷移する時間として得ていることは既に述べたとおりである。そして、VL1はドライバ10が出力する電圧の0として設定しており、VH1は100として設定している。校正経路Lはトーナメント方式を採用しており、ドライバ10と基準コンパレータ6との間には複数の半導体スイッチ15が介在する。各半導体スイッチ15では信号の一部が反射しており、半導体スイッチ15で反射した信号がさらに半導体スイッチ15で再び反射する。この多重反射した信号が基準コンパレータ6に入力される。このように、信号が多重反射して基準コンパレータ6に入力されることで、ドライバ10が出力した本来の信号に対して影響を与える。この影響は第1の時間の検出に誤差を与える要因となる。第1の時間T1に誤差が生じると、最終的に得られる校正値Tadjにも誤差を生じる。よって、この多重反射の影響が少ない範囲に閾値VL1、VH1を設定する。例えば、ドライバ10が出力する信号の電圧の20を閾値VL1として、50を閾値VH1として設定する。勿論、20、50ではなく、任意の値に設定してもよい。多重反射する信号はドライバ10が出力する信号よりも遅く基準コンパレータ6に到達する。このため、多重反射する信号が基準コンパレータ6に到達するよりも前の段階50の段階を閾値VL1、VH1として設定することで、多重反射による信号の影響を少なくすることができるようになる。ただし、閾値VL1、VH1をドライバ10が出力する信号の電圧の20、50に設定しているため、目的とする第1の時間T1に対する一部の時間を変化時間検出部23が検出する。よって、目的とする第1の時間T1を得るために、所定の定数Kaを乗じる。この定数Kaは、閾値VL1、VH1を本来の0、100としたときの第1の時間T1に対して、閾値VL1、VH1を20から50に設定したときの一部の時間とし、全体に対してこの一部の割合に応じた定数になる。この定数KaをΔTpdおよびΔTskewに乗じる。さらに、定数Kbを加算する。定数KbはDC直流成分等の除去できない信号を遅延させる要因であり、この要因を排除するために加算されている。前述したように、校正値TadjはTadj=TskewTamdであり、補正値TamdはTamd=ΔTskew-ΔTpdになる。これらΔTskewおよびΔTpdに定数Kaを乗じて、定数Kbを加算する。よって、補正値TamdはKa×ΔTskewKb-Ka×ΔTpdKbとなる。そして、補正後の校正値TadjはTadj=TskewTPDKa×ΔTskewKb-Ka×ΔTpdKbとなる。これにより、多重反射の影響を低減してタイミング校正の校正値Tadjを補正することが可能になり、より高い精度のタイミング校正が可能になる。