ノズルとなる貫通孔を有する液体吐出ヘッド用ノズルプレートであって、前記貫通孔は、前記液体吐出ヘッド用ノズルプレートの一方主面から内部に向かって断面積が小さくなっていく、テーパー角度が15~45度の順テーパー部と、前記液体吐出ヘッド用ノズルプレートの他方主面から内部に向かって断面積が小さくなっていく、テーパー角度が60度以上の逆テーパー部とからなっていることを特徴とする液体吐出ヘッド用ノズルプレート。前記逆テーパー部の長さが20μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレート。請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの前記一方主面に、加圧室を有する流路基板が、前記加圧室と前記貫通孔とが繋がるように積層されている流路部材と、前記加圧室に圧力を加える加圧部とを備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。請求項3に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。しかしながら、特許文献1に記載されているような液体吐出ヘッドのノズルとして、引用文献2に記載されているノズルを用いると、液滴の吐出速度が遅くなるという問題があった。したがって、本発明の目的は、液滴の吐出速度を速くできる液体吐出ヘッド用ノズルプレート、およびそれを用いた液体吐出ヘッド、ならびに記録装置を提供することにある。本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートは、ノズルとなる貫通孔を有する液体吐出ヘッド用ノズルプレートであって、前記貫通孔は、前記液体吐出ヘッド用ノズルプレートの一方主面から内部に向かって断面積が小さくなっていくテーパー角度が15~45度の順テーパー部と、前記ノズルプレートの他方主面から内部に向かって断面積が小さくなっていくテーパー角度が60度以上の逆テーパー部とからなっていることを特徴とする。前記逆テーパー部の長さが20μm以上であることが好ましい。また、本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートの前記一方主面に、加圧室を有する流路基板が、前記加圧室と前記貫通孔とが繋がるように積層されている流路部材と、前記加圧室に圧力を加える加圧部とを備えていることを特徴とする。本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする。本発明の液体吐出ヘッド用ノズルプレートによれば、液体吐出ヘッドに用いた際に、順テーパー部側から送られ、逆テーパー部側から吐出される液体が、順テーパー部を通りすぎた後から吐出されるまでの間が逆テーパー状になっていることにより、逆テーパー部が液体を減速させる抵抗になり難いので、吐出される液滴の速度を速くすることができる。図1は、本発明の一実施形態である記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1以下、プリンタ1とするは、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端に液体吐出ヘッド本体13を有している。液体吐出ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の吐出孔8cが設けられている図3参照。1つの液体吐出ヘッド2に設けられた吐出孔8cからは、同じ色の液滴インクが吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2の吐出孔8cは一方方向印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタM、イエローY、シアンCおよびブラックKである。各液体吐出ヘッド2は、液体吐出ヘッド本体13の下面と搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成する液体吐出ヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a~122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体13について説明する。図2は、図1に示された液体吐出ヘッド本体13を示す上面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、液体吐出ヘッド本体13の一部である。図4は、図3と同じ位置の拡大透視図で、吐出孔8cの位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき加圧室10加圧室群9、しぼり12および吐出孔8cを実線で描いている。図5aは図3のV-V線に沿った縦断面図であり、図5bはノズル8の拡大断面図である。液体吐出ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、アクチュエータユニットである圧電アクチュエータユニット21とを有している。流路部材4は、ノズル8を有するノズルプレート31と、プレート22~30が積層された流路基板とが積層されて成っている。圧電アクチュエータユニット21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に平行になるように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータユニット21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータユニット21により吐出された液滴が混在して着弾することになる。流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線仮想線のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータユニット21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータユニット21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータユニット21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータユニット21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータユニット21に対向する領域に互いに隣接して液体吐出ヘッド本体13の長手方向に延在している。流路部材4は、複数の加圧室10がマトリクス状すなわち、2次元的かつ規則的に形成されている4つの加圧室群9を有している。加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータユニット21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの加圧室10によって形成された各加圧室群9は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータユニット21が接着されることで閉塞されている。本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1~E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。全体では、マニホールド5から繋がる加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔8cもこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の吐出孔8cを4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である以下の間隔で個別流路32が形成されているということである。圧電アクチュエータユニット21の上面における各加圧室10に対向する位置には後述する個別電極35がそれぞれ形成されている。個別電極35は加圧室10より一回り小さく、加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット21の上面における加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。流路部材4の下面には多数の吐出孔8cが形成されている。これらの吐出孔8cは、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの吐出孔8cは、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータユニット21と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔群は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット21の変位素子50を変位させることにより吐出孔8cから液滴が吐出できる。吐出孔8cの配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の吐出孔8cは、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。液体吐出ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャしぼりプレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。液体吐出ヘッド本体13は、図5に示されているように、加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、吐出孔8cは下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室10を介して副マニホールド5aと吐出孔8cとが繋がる構成を有している。別の言い方をすれば、流路部材4は、ノズル8が形成されているノズルプレート31に、プレート22~30からなり、加圧室10が形成された流路基板が積層されて構成されている。各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された加圧室10である。第2に、加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23詳細には加圧室10の入り口からサプライプレート25詳細には副マニホールド5aの出口までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。第3に、加圧室10の他端から吐出孔8cへと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ部分流路と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23詳細には加圧室10の出口からノズルプレート31詳細には吐出孔8cまでの各プレートに形成されている。ディセンダの吐出孔8c側は特に断面積が小さい、ノズルプレート31に形成されたノズル8となっている。ノズル8は、中間で断面積が最も小さくなっており、流路部材4側から断面積が減少していく順テーパー部8aと、その後断面積が増えていく逆テーパー部8bからなっている。ノズル8の形状については、後述する。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27~30に形成されている。このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口副マニホールド5aの出口から吐出孔8cに至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で吐出孔8cから吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室10の一端部に至る。さらに、加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔8cへと進む。圧電アクチュエータユニット21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット21の変異する部分変位素子50の厚さは40μm程度であり、100μm以下であることにより、変位量を大きくすることができる。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の加圧室10を跨ぐように延在している図3参照。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛PZT系のセラミックス材料からなる。圧電アクチュエータユニット21は、Ag-Pd系などの金属材料からなる共通電極34、Au系などの金属材料からなる個別電極35を有している。個別電極35は上述のように圧電アクチュエータユニット21の上面における加圧室10と対向する位置に配置されている。個別電極35の一端は、加圧室10と対向している個別電極本体35aと、加圧室10と対向している領域外に引き出されて引出電極35bからなっている。圧電セラミック層21a、bおよび共通電極34は、それぞれ略同じ形状であることにより、これらを同時焼成により作製する場合に、反りを小さくできる。100μm以下の圧電アクチュエータユニット21は焼成過程で反りが生じやすく、その量も大きくなる。また、反りが生じていると、流路部材4に積層した際に、その反りを変形させて接合することになり、その際の変形が変位素子50の特性変動に影響し、ひいては液体吐出特性のばらつきにつながるため、反りは、圧電アクチュエータユニット21の厚さと同程度以下に小さいことが望ましい。そして、内部電極のある場所とない場所の焼成収縮挙動の差による反りを少なくするために内部電極34は内部にパターンのないベタで形成される。なお、ここで略同じ形状であると、外周の寸法の差がその部分の幅の1以内であることを言う。圧電セラミック層21a、bの外周は、基本的に焼成前に重ねられた状態で切断して形成されるので、加工精度の範囲内で同じ位置になる。内部電極34も、ベタ印刷した後に、圧電セラミック層21a、bと同時に切断することで形成されると反りが生じ難いが、圧電セラミック層21a、bと相似形状で少し小さいパターンで印刷することにより、圧電アクチュエータ21の側面に内部電極34が露出しなくなるため、電気的信頼性が高くなる。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100から外部配線であるFPCFlexiblePrintedCircuitを通じて駆動信号駆動電圧が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータユニット21に対向する領域内の全ての加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なる表面電極不図示が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に外部配線と接続されている。なお、後述のように、個別電極35に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極35に対応する加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する吐出孔8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット21における各加圧室10に対向する部分は、各加圧室10および吐出孔8に対応する個別の変位素子50アクチュエータに相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図5に示されているような構造を単位構造とする変位素子50が加圧室10毎に、加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、個別電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット21には変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって吐出孔8から吐出される液体の量は5~7pLピコリットル程度である。圧電悪クエータユニット21を平面視したとき、個別電極本体35aは加圧室10と重なるように配置されており、加圧室10の中央に位置している部位の、個別電極35と共通電極34とに挟まれている圧電セラミック層21bは、圧電アクチュエータユニット21の積層方向に分極されている。分極の向きは上下どちらに向かっていてもよく、その方向に対応し駆動信号を与えることで駆動できる。図5に示されるように、共通電極34と個別電極35とは、最上層の圧電セラミック層21bのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層21bにおける個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット21においては、最上層の圧電セラミック層21bのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック21aは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット21はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極35を共通電極34より高い電位以下高電位と称すにしておき、吐出要求がある毎に個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位以下低電位と称すとし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、bが元の形状に戻り、加圧室10の容積が初期状態両電極の電位が異なる状態と比較して増加する。このとき、加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から加圧室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、bが加圧室10側へ凸となるように変形し、加圧室10の容積減少により加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極35に供給することになる。このパルス幅は、加圧室10内において圧力波がマニホールド5から吐出孔8cまで伝播する時間長さであるALAcousticLengthが理想的である。これによると、加圧室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。上述したように、ノズル4は、流路部材4の中から外の向かうに、断面積が減少していく順テーパー部8aと、断面積が増加していく逆テーパー部8bから成っている。ノズル8の断面形状は、円形であることが好ましいが、楕円形や多角形状など、回転対称性のある他の形状でもよい。ノズル8の開口の中心を通る縦断面における順テーパー部8aの傾斜角θ1が、15~45度であることにより、液滴の吐出速度を大きくできる。逆テーパー部8bの傾斜角θ2は、60度以上であり、逆テーパー部は逆テーパー形状をしているものであり、θ2は90度を含まないので、θ2は、60度以上90度未満である。断面形状が円形でない場合、傾斜角θ1、θ2は、縦断面のとり方により、異なる数値になるが、それらの数値範囲が上述の角度の範囲内に収まるものであれば良い。順テーパー部8aと逆テーパー部8bとの長さ厚さの比は、9:1~1:1とするのが好ましい。ノズル8の長さは、例えば、20~100μmである。ノズルを形成する方法としては、金属のプレートに、所定形状の金型ピンを押し付けてプレスし、反対側に飛び出した突起、あるいはバリを研磨して取り除いて貫通孔を形成する方法が知られている。この方法を用いて、漸次断面積が減っていくノズル、いうなれば順テーパー部だけからなるノズルを作製すると、金属プレートの厚みがばらついた場合に、プレス時の金属プレートへの金型の侵入状態が一定にならず、開口の面積がばらつくことになった。液体吐出ヘッドにした際に、外部に開口した状態になる、径が小さい側の開口の面積のばらつきは、吐出される液滴の速度をばらつかせることになるので、ばらつきを少なくする必要があった。これに対して、ノズルの断面形状を、順テーパー部と、径が一定のストレート部とからなる形状にすることで、金型の侵入状態がばらついても、ストレート部の径が一定になり、外部に開口した状態になる、径が小さい側の開口の面積を一定にすることが考えられる。このような形状は、開口径のばらつきを小さくする点では効果があるが、ストレート部では断面積が小さく、その中を進む液体に大きな抵抗となるため、液滴の吐出速度が遅くなってしまう。これらの解決策として、金属プレートに対して、まず、順テーパー部8aとなる貫通孔を形成し、金属プレートの逆側から逆テーパー部8bを形成する金型でプレスすることで、順テーパー部8aを延長した形状に開口している、ノズル8の狭い側の径を押し広げて逆テーパー部8bを形成する。逆テーパー部8bを形成する際も、金属プレートの厚みばらつきの影響を受けるが、逆テーパー部8bを形成する際に加工する部分の量が、順テーパー部8aを形成する際に加工する量に比べて少ないため、加工ばらつきを少なくでき、外部に開口した状態になる、逆テーパー部8bの径が大きい側の開口の面積のばらつきを少なくできる。さらに、逆テーパー部8bの角度が60度以上になっているので、ストレート部になっている場合と比較して、液体の抵抗が少なくなり、液滴の吐出速度を速くできる。上述のようなストレート部による吐出速度の低下は、断面の面積の最も狭い場所の面積が、直径22μmの円相当の面積以下になると大きくなり、直径18μmの円相当の面積以下になると顕著である。したがって、逆テーパ部8bを設けるのは、最も狭い断面の面積が上述の面積以下の場合に行なうことが特に好ましい。ここまで外部への開口面積のばらつきが液滴の吐出速度のばらつきに影響を与える説明したが、実際には開口から内側の部分の断面積も、ある程度、吐出速度のばらつきに影響を与える。その影響度合いは、内部にいくほど少なくなっていくので、逆テーパー部8bの長さを20μm以上にすることで、逆テーパー部8bと順テーパー部8aとの境界で径が最も小さくなる部分の径のばらつきが、吐出速度に与える影響を少なくできる。逆テーパー部8bと順テーパー部8aとの間にストレート部があると、そのストレート部で液体の減速が生じるので、逆テーパー部8bと順テーパー部8aとの間にストレート部が実質的にないことが好ましく、逆テーパー部8bと順テーパー部8aとの境界は、加工可能な範囲でできるだけ短くし、ノズル8の長さの1/10以下にするのが好ましい。