"複数の貫通孔を有するグリーンハニカム成形体の乾燥装置であって、容器と、前記容器内にマイクロ波を供給するマイクロ波源と、前記容器内に蒸気を供給する蒸気供給口と、前記容器内に配置され、前記グリーンハニカム成形体の前記複数の貫通孔の開口が設けられた端面に接触する気体分散板と、前記気体分散板を介して前記グリーンハニカム成形体の前記複数の貫通孔に気体を供給する気体源と、を備える乾燥装置。前記気体分散板は、多孔板又は多孔質板である、請求項1に記載の乾燥装置。複数の貫通孔を有するグリーンハニカム成形体の乾燥方法であって、前記グリーンハニカム成形体における前記複数の貫通孔の開口が設けられた端面に対して気体分散板を接触させる工程と、前記グリーンハニカム成形体の周りに蒸気が存在する雰囲気下で、前記接触した気体分散板を介して前記グリーンハニカム成形体の前記複数の貫通孔に気体を供給すると共に前記グリーンハニカム成形体にマイクロ波を照射する工程と、を備える乾燥方法。前記グリーンハニカム成形体の周りに蒸気が存在する雰囲気下となるように、前記グリーンハニカム成形体の周りに水蒸気を連続的に供給する工程を更に備える、請求項3に記載の乾燥方法。前記マイクロ波を照射する工程において、前記グリーンハニカム成形体の乾燥時間の進行に応じて、前記照射するマイクロ波の出力を下げる、請求項3又は4に記載の乾燥方法。前記マイクロ波を照射する工程において、所定の乾燥時間が経過した後、前記マイクロ波の照射を停止すると共に前記複数の貫通孔への気体の供給を継続する、請求項3~5の何れか一項に記載の乾燥方法。前記気体分散板は、多孔板又は多孔質板である、請求項3~6の何れか一項に記載の乾燥方法。複数の貫通孔を有するグリーンハニカム成形体を乾燥させてセラミクスハニカム構造体を製造する製造方法であって、セラミクス原料である無機化合物、有機バインダ及び溶媒を少なくとも混合して原料混合物を用意する工程と、前記原料混合物を隔壁の断面形状に対応する出口開口を有する押出機から押し出すと共に所定の長さに切断して前記グリーンハニカム成形体を取得する工程と、前記グリーンハニカム成形体における前記複数の貫通孔の開口が設けられた端面に対して気体分散板を接触させる工程と、前記グリーンハニカム成形体の周りに蒸気が存在する雰囲気下で、前記接触した気体分散板を介して前記グリーンハニカム成形体の前記複数の貫通孔に気体を供給すると共に前記グリーンハニカム成形体にマイクロ波を照射する工程と、を備える、セラミクスハニカム構造体の製造方法。前記グリーンハニカム成形体の周りに蒸気が存在する雰囲気下となるように、前記グリーンハニカム成形体の周りに水蒸気を連続的に供給する工程を更に備えた、請求項8に記載のセラミクスハニカム構造体の製造方法。前記マイクロ波を照射する工程において、前記グリーンハニカム成形体の乾燥時間の進行に応じて、前記照射するマイクロ波の出力を下げる、請求項8又は9に記載のセラミクスハニカム構造体の製造方法。前記マイクロ波を照射する工程において、所定の乾燥時間が経過した後、前記マイクロ波の照射を停止し、前記複数の貫通孔への気体の供給を継続する、請求項8~10の何れか一項に記載のセラミクスハニカム構造体の製造方法。前記マイクロ波を照射する工程で乾燥が行われた前記グリーンハニカム成形体の端部を封口する工程を更に備える、請求項8~11の何れか一項に記載のセラミクスハニカム構造体の製造方法。前記気体分散板は、多孔板又は多孔質板である、請求項8~12の何れか一項に記載のセラミクスハニカム構造体の製造方法。しかしながら、従来の乾燥方法では、乾燥時にグリーンハニカム成形体が変形したり割れたりすることがあった。本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、乾燥時のグリーンハニカム成形体の変形や割れを抑制できるグリーンハニカム成形体の乾燥装置及び乾燥方法、並びにセラミクスハニカム構造体の製造方法を提供することを目的とする。本発明にかかる乾燥装置は、複数の貫通孔を有するグリーンハニカム成形体の乾燥装置である。この乾燥装置は、容器と、容器内にマイクロ波を供給するマイクロ波源と、容器内に蒸気を供給する蒸気供給口と、容器内に配置され、グリーンハニカム成形体の複数の貫通孔の開口が設けられた端面に接触する気体分散板と、気体分散板を介してグリーンハニカム成形体の複数の貫通孔に気体を供給する気体源と、を備える。本発明にかかる乾燥方法は、複数の貫通孔を有するグリーンハニカム成形体の乾燥方法である。この乾燥方法は、グリーンハニカム成形体における複数の貫通孔の開口が設けられた端面に対して気体分散板を接触させる工程と、グリーンハニカム成形体の周りに蒸気が存在する雰囲気下で、接触した気体分散板を介してグリーンハニカム成形体の複数の貫通孔に気体を供給すると共にグリーンハニカム成形体にマイクロ波を照射する工程と、を備える。本発明に係るセラミクスハニカム構造体の製造方法は、複数の貫通孔を有するグリーンハニカム成形体を乾燥させてセラミクスハニカム構造体を製造する製造方法である。この製造方法は、セラミクス原料である無機化合物、有機バインダ及び溶媒を少なくとも混合して原料混合物を用意する工程と、原料混合物を隔壁の断面形状に対応する出口開口を有する押出機から押し出すと共に所定の長さに切断してグリーンハニカム成形体を取得する工程と、グリーンハニカム成形体における複数の貫通孔の開口が設けられた端面に対して気体分散板を接触させる工程と、グリーンハニカム成形体の周りに蒸気が存在する雰囲気下で、接触した気体分散板を介してグリーンハニカム成形体の複数の貫通孔に気体を供給すると共にグリーンハニカム成形体にマイクロ波を照射する工程と、を備える。本発明によれば、グリーンハニカム成形体の端面と接触する気体分散板を介して複数の貫通孔に加熱気体などの気体が供給される。これにより、各貫通孔に流れる気体の量の不均一性を抑制できる。また、加熱気体の供給及びマイクロ波の照射中にグリーンハニカム成形体の周りが水蒸気などの蒸気雰囲気とされることにより、グリーンハニカム成形体の外面が中央部よりも先に過度に乾燥することが抑制される。したがって、乾燥速度のムラを低減でき、乾燥に伴うグリーンハニカム成形体の変形や、外周壁の割れを抑制し、歩留まりを向上できる。ここで、気体分散板は、多孔板であることが好ましい。また、気体分散板は、多孔質板であってもよい。上記の乾燥方法又は製造方法では、グリーンハニカム成形体の周りに蒸気が存在する雰囲気下となるように、グリーンハニカム成形体の周りに水蒸気を連続的に供給する工程を更に備えるようにしてもよい。上記の乾燥方法又は製造方法では、マイクロ波を照射する工程において、グリーンハニカム成形体の乾燥時間の進行に応じて、照射するマイクロ波の出力を下げるようにしてもよい。上記の乾燥方法又は製造方法では、マイクロ波を照射する工程において、所定の乾燥時間が経過した後、マイクロ波の照射を停止すると共に複数の貫通孔への気体の供給を継続するようにしてもよい。上記の製造方法では、マイクロ波を照射する工程で乾燥が行われたグリーンハニカム成形体の端部を封口する工程を更に備えるようにしてもよい。本発明によれば、乾燥時のグリーンハニカム成形体の変形や割れを抑制できるグリーンハニカム成形体の乾燥装置及び乾燥方法並びにセラミクスハニカム構造体の製造方法が提供される。グリーンハニカム成形体の乾燥装置及びその乾燥方法、並びにセラミクスハニカム構造体の製造方法の好適な実施形態について、図1を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。グリーンハニカム成形体まず、乾燥対象となるグリーンハニカム成形体70について説明する。本実施形態に係るグリーンハニカム成形体70は、図1に示すように、それぞれ、Z軸方向に延びる多数の貫通孔70aを有する柱体である。グリーンハニカム成形体70の外形形状は特に限定されないが、例えば、円柱、楕円柱、角柱例えば、正三角柱、正方形柱、正六角柱、正八角柱等の正多角柱や、正多角柱以外の、3角柱、4角柱、6角柱、8角柱等等である。また、各貫通孔70aの断面形状も特に限定されず、例えば、円形、楕円形、正方形、長方形、三角形、六角形等の多角形等が挙げられる。貫通孔70aには、径の異なるもの、断面形状の異なるものが混在してもよい。グリーンハニカム成形体70のZ軸方向の端面から見た場合の、貫通孔70aの配置の形態も特に限定されず、たとえば、貫通孔70aの中心軸が正方形の頂点にそれぞれ位置するように配置されている正方形配置、貫通孔70aの中心軸が正三角形の頂点に配置される正三角形配置等が挙げられる。貫通孔70aの径も特に限定されず、例えば、断面が正方形の場合、一辺0.8~2.5mmとすることができる。貫通孔70a同士を隔てる隔壁の厚みは、例えば、0.15~0.76mmとすることができる。また、グリーンハニカム成形体70の貫通孔70aが延びる方向の長さZ方向の全長は特に限定されないが、例えば、40~350mmとすることができる。また、グリーンハニカム成形体70の外径も特に限定されないが、例えば、100~320mmとすることできる。グリーンハニカム成形体70は、後で焼成することによりセラミクスとなるグリーン未焼成体であり、特に、多孔性セラミクスとなるグリーンであることが好ましい。具体的には、グリーンハニカム成形体70は、セラミクス原料を含む。セラミクスは特に限定されないが、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、コーディエライト、ガラス、チタン酸アルミニウム等の酸化物、シリコンカーバイド、窒化珪素、金属等が挙げられる。なお、チタン酸アルミニウムは、さらに、マグネシウム及び/又はケイ素を含むことができる。グリーンハニカム成形体70は、好ましくは、セラミクス原料である無機化合物源粉末、及び、メチルセルロース等の有機バインダ、及び、必要に応じて添加される添加剤を含む。例えば、セラミクスがチタン酸アルミニウムの場合、無機化合物源粉末は、αアルミナ粉等のアルミニウム源粉末、及び、アナターゼ型やルチル型のチタニア粉末等のチタニウム源粉末、及び/又は、チタン酸アルミニウム粉末を含む。無機化合物源粉末は、必要に応じて、さらに、マグネシア粉末やマグネシアスピネル粉末等のマグネシウム源粉末、及び/又は、酸化ケイ素粉末やガラスフリット等のケイ素源粉末を含むことができる。有機バインダとしては、メチルセルロース、カルボキシルメチルセルロース、ヒドロキシアルキルメチルセルロース、ナトリウムカルボキシルメチルセルロースなどのセルロース類;ポリビニルアルコールなどのアルコール類;リグニンスルホン酸塩を例示できる。有機バインダの量は、無機化合物源粉末の100重量部に対して、20重量部以下であることが好ましく、より好ましくは15重量部以下、さらに好ましくは6重量部である。また、有機バインダの下限量は、0.1重量部であることが好ましく、より好ましくは3重量部である。添加物としては、例えば、造孔剤、潤滑剤および可塑剤、分散剤、溶媒が挙げられる。造孔剤としては、グラファイト等の炭素材;ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメタクリル酸メチル等の樹脂類;でんぷん、ナッツ殻、クルミ殻、コーンなどの植物材料;氷;およびドライアイス等などが挙げられる。造孔剤の添加量は、無機化合物源粉末の100重量部に対して、0~40重量部であることが好ましく、より好ましくは0~25重量部である。潤滑剤および可塑剤としては、グリセリンなどのアルコール類;カプリル酸、ラウリン酸、パルミチン酸、アラキジン酸、オレイン酸、ステアリン酸などの高級脂肪酸;ステアリン酸Alなどのステアリン酸金属塩、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルなどが挙げられる。潤滑剤及び可塑剤の添加量は、無機化合物源粉末の100重量部に対して、0~10重量部であることが好ましく、より好ましくは0.1~5重量部である。分散剤としては、たとえば、硝酸、塩酸、硫酸などの無機酸;シュウ酸、クエン酸、酢酸、リンゴ酸、乳酸などの有機酸;メタノール、エタノール、プロパノールなどのアルコール類;ポリカルボン酸アンモニウムなどの界面活性剤などが挙げられる。分散剤の添加量は、無機化合物源粉末の100重量部に対して、0~20重量部であることが好ましく、より好ましくは2~8重量部である。溶媒としては、たとえば、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノールなどのアルコール類;プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、エチレングリコールなどのグリコール類;および水などを用いることができる。なかでも、水が好ましく、不純物が少ない点で、より好ましくはイオン交換水が用いられる。溶媒の使用量は、無機化合物源粉末の100重量部に対して、10重量部~100重量部であることが好ましく、より好ましくは20重量部~80重量部である。また、成形体全体の重量に対する溶媒の重量は特に限定されないが、10~30重量が好ましく、15~20重量がより好ましい。このようなグリーンハニカム成形体70は、例えば以下のようにして製造することができる。まず、無機化合物源粉末と、有機バインダと、溶媒と、必要に応じて添加される添加物を用意する。そして、これらを混練機等により混合して原料混合物を得、得られた原料混合物を隔壁の断面形状に対応する出口開口を有する押出機から押し出し、所望の長さに切ることにより、グリーンハニカム成形体70を得ることができる。乾燥装置次に、グリーンハニカム成形体70を乾燥させる乾燥装置100について説明する。本実施形態にかかるグリーンハニカム成形体の乾燥装置100は、グリーンハニカム成形体70を乾燥させるものであり、主として、容器10と、容器10内にマイクロ波を供給するマイクロ波源20と、容器10内に配置された載置台40と、載置台40の気体分散板42を介してグリーンハニカム成形体70の複数の貫通孔70aに加熱気体を供給する加熱気体源30と、を備える。容器容器10は、グリーンハニカム成形体70、載置台40、及び、管路36の出口36aを収容可能である。容器10は、マイクロ波を遮蔽する観点から、金属製が好ましい。容器10には、容器10内の気体を外部に排出する排出口10bが設けられている。また、容器10は、マイクロ波源20から供給されるマイクロ波を受け入れる導波管10aを有する。マイクロ波源マイクロ波源20は、グリーンハニカム成形体70中を加熱するためのマイクロ波を発生する。マイクロ波の波長は、グリーンハニカム成形体70を加熱できるものであれば特に限定されない。マイクロ波の好ましい波長は、895~940MHz、又は、2400~2500MHzである。マイクロ波源20は、マイクロ波の出力を、乾燥にしたがって低下させることができるものであることが好ましい。マイクロ波の出力は特に限定されないが、グリーンハニカム成形体1個あたり、例えば、1~10kWとすることができる。載置台載置台40は、容器10内に配置され、その上面にグリーンハニカム成形体70を載せ置く台である。載置台40は、気体分散板42と、気体分散板42の側面を取り囲む通気性のないリング部材44とを備える。グリーンハニカム成形体70は、その複数の貫通孔70aの開口が設けられた一端面下面70dが、気体分散板42の上面と接触するように気体分散板42上に載置される。気体分散板42の上面の大きさは、グリーンハニカム成形体70の端面70dの大きさと同等とされている。気体分散板42は、表裏に連通する複数の孔を有する板であり、下方から供給される気体を、上方に通過させる際に、面内方向における気体の流れを均一化する。気体分散板42としては、表裏を直線的に貫く孔が多数形成されたいわゆる多孔板例えばグリーンハニカム成形体と同様のハニカム格子形状がよいが、表裏を連通しかつ屈曲した細孔を多数有するいわゆる多孔質板でも実施可能である。気体分散板42の材質も特に限定されないが、アルミナ、コージェライト等のセラミクスが挙げられる。気体分散板42の厚みは、たとえば、10~100mmとすることができる。気体分散板42が多孔板の場合の孔の平面形状も限定されず、例えば、正方形、円形、六角形、八角形とすることができる。孔の径は、例えば、形状が正方形の場合、例えば、一辺の長さ0.7~10mmとすることができる。また、孔間の壁の厚みは、例えば、0.03~3.0mmとすることができる。一方、気体分散板42が多孔質板の場合の平均細孔径は特に限定されないが、0.1~100μmが好ましい。平均細孔径は、水銀圧入法により測定できる。また、気孔率は、10~90が好ましい。なお、多孔質板から構成された多孔板でもよい。リング部材44は、気体分散板42の側面を取り囲んでおり、側面からの気体の漏れを防いでいる。加熱気体源加熱気体源30は、容器10の外に配置されたブロア32と、ブロア32からの気体を気体分散板42の下面に導く管路36と、管路36に設けられて管路36を流れる気体を加熱するヒータ34とを備える。気体の加熱温度は特に限定されないが、50~200°Cが好ましく、70~120°Cがより好ましい。気体も特に限定されないが、経済的観点から、空気が好ましい。気体の供給量も特に限定されないが、気体分散板42直上での気体分散板の面積平均の気体の風速が0.1~10m/秒であることが好ましく、0.5~5m/秒であることがより好ましい。管路36の出口36aは、気体分散板42の下面の面積にあわせて径が広がっており、リング部材44の下面と接触している。水蒸気供給口容器10の壁には、水蒸気供給口10cが形成されている。水蒸気供給口10cには、水蒸気供給ラインL1を介して水蒸気供給源STMが接続されており、容器10内に水蒸気を供給し、グリーンハニカム成形体の周りを水蒸気が存在する雰囲気下に維持することができる。水蒸気の供給条件も特に限定されないが、例えば、温度は100~200°C、供給量は0.1~5.0kg/分とすることが好ましい。乾燥方法続いて、本実施形態にかかるグリーンハニカム成形体の乾燥方法について説明する。まず、容器10の気体分散板42の上面に、端面70dが接触するようにグリーンハニカム成形体70を載せる。続いて、ブロア32を起動するとともに、ヒータ34を起動する。さらに、マイクロ波源20からマイクロ波を容器10内に供給する。さらに、水蒸気供給口10cから容器10内に水蒸気を連続的に供給し、グリーンハニカム成形体70の周りを水蒸気が存在する雰囲気とする。これにより、グリーンハニカム成形体70の周りが水蒸気存在雰囲気とされた状態で、加熱された気体が、管路36を通って気体分散板42の下面に供給され、さらに、気体分散板42を通過して、グリーンハニカム成形体70の各貫通孔70aを通過してグリーンハニカム成形体70の上端面70uから排出される。その後、排出された気体は、容器10の排出口10bから排出される。また、この状態で、各グリーンハニカム成形体70にマイクロ波が照射される。このような加熱及び気体の供給により、グリーンハニカム成形体70の溶媒成分が除去され、乾燥が進む。ここで、乾燥が進むにつれて、マイクロ波源20から供給するマイクロ波の出力を下げることが好ましい。これにより、過乾燥による局所的な温度上昇による暴走発火を抑制するという効果がある。水蒸気雰囲気下での加熱気体及びマイクロ波の供給による乾燥により到達する、成形体の最終的な乾燥の程度は特に限定されないが、マイクロ波及び水蒸気の供給を止める時点で、成形体の乾燥率、すなわち、成形体の乾燥前の溶媒質量に対する乾燥により除去された溶媒質量の比を80以上とすることが好ましく、90以上とすることがより好ましく、95以上とすることがさらに好ましい。なお、マイクロ波及び水蒸気の供給を止めた後に、加熱気体のみを流すことによって、より乾燥をすすめることも好ましい。そして、本実施形態によれば、気体分散板42を介して加熱気体をグリーンハニカム成形体70の各貫通孔70aに供給しているので、各貫通孔70aに流れる気体の量の不均一性を抑制できる。また、加熱気体の供給及びマイクロ波の照射中にグリーンハニカム成形体70の周りが水蒸気雰囲気とされることにより、グリーンハニカム成形体70の外面近傍が中央部よりも先に過度に乾燥することが抑制される。これにより、乾燥速度のムラを低減でき、従って、乾燥に伴うグリーンハニカム成形体70の変形や外周壁の割れを抑制し、歩留まりを向上できる。なお、乾燥の抑制のために水蒸気を用いることが好ましい態様のひとつであるが、グリーンハニカム成形体70の乾燥を抑制できるのであれば、水蒸気に代えて、その他の蒸気を用いて、グリーンハニカム成形体70の周りをその蒸気雰囲気として、上述した乾燥を行ってもよい。また、乾燥に用いる気体は、加熱気体が好ましい態様のひとつではあるが、加熱気体に限定されるわけではなく、常温の気体をそのまま用いてもよい。このようにして乾燥したグリーンハニカム成形体70の貫通孔70aの端部を必要に応じて封口し、その後、焼成することにより、セラミクスハニカム構造体が得られる。このようなセラミクスハニカム構造体は、ディーゼルパティキュレートフィルタや、排ガス処理装置の触媒担体として利用可能である。本発明は上記実施形態に限定されず、様々な変形態様が可能である。たとえば、上記実施形態では、気体分散板42の表面が水平に配置されており、気体分散板42の上面にグリーンハニカム成形体70を載せることでグリーンハニカム成形体70が保持されるが、これには限定されない。たとえば、気体分散板42の表面を垂直に配置し、グリーンハニカム成形体70の端面70dがこの垂直表面に接触するように、他の保持部材によりグリーンハニカム成形体70を保持してもよい。また、気体分散板42上にトチと呼ばれる、グリーンハニカム成形体70と同一の組成および貫通孔構造を有する焼成台を設け、その上にグリーンハニカム成形体70を載せてもよい。この場合には、気体分散板42およびトチが、一体となって気体を整流する気体分散板として機能する。以下に実施例を示し、本発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。もちろん、本発明は以下の実施例に限定されるものではなく、細部については様々な態様が可能であることはいうまでもない。さらに、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。ハニカム成形体の製造方法無機化合物源粉末として以下のものを用いて、グリーンハニカム成形体を得た。無機化合物源粉末の仕込み組成は、アルミナAl2O3、チタニアTiO2、マグネシアMgOおよびシリカSiO2換算のモル百分率で、Al2O3/TiO2/MgO/SiO2=35.1/51.3/9.6/4.0であった。アルミニウム源粉末、チタニウム源粉末、マグネシウム源粉末およびケイ素源粉末の合計量中のケイ素源粉末の含有率は、4.0重量であった。1アルミニウム源粉末表1に示される平均粒子径を有するα-アルミナ粉末24.6重量部2チタニウム源粉末表1に示される平均粒子径を有するルチル型チタニア粉末42.0重量部3マグネシウム源粉末表1に示される平均粒子径を有するマグネシアスピネル粉末15.7重量部4ケイ素源粉末表1に示される平均粒子径を有するガラスフリットタカラスタンダード社製CK08323.4重量部アルミニウム源粉末、チタニウム源粉末、マグネシウム源粉末およびケイ素源粉末からなる混合物に、造孔剤として表1に示される平均粒子径を有するコーンスターチを14.3重量部、有機バインダとしてメチルセルロース商品名:メトローズ90SH-300005.5重量部、可塑剤としてポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブチルエーテル商品名:ユニルーブ50MB-72、20°Cにおける粘度が1020mPas4.6重量部、ならびに、潤滑剤としてグリセリン0.3重量部を加え、さらに、分散媒溶媒として水27重量部を加えた後、混練機を用いて25°Cで混練することにより、坏土成形用原料混合物を調製した。ついで、この坏土を押出成形することにより、グリーンハニカム成形体を4つ作製した。グリーンハニカム成形体70は円柱状であり、直径は163mm、長さは240mmとした。貫通孔70aの断面形状は一辺1.43mmの正方形であり、隔壁の厚みが0.32mmとなるようにマトリクス状に正方形配置した。これらのグリーンハニカム成形体を、上述の図1のような乾燥装置で乾燥させた。乾燥条件は以下のようにした。気体分散板42のスペック:材料:アルミナ、厚み:40mm、孔の平面形状は1辺5.2mmの正方形、壁の厚み1.1mmマイクロ波の周波数は、2.45GHz、マイクロ波の出力は、乾燥時間0~7.5分まで10kW、7.5~10.5分まで6kW、10.5~13.0分まで3kWとし、13分以降は0kWとした。なお、乾燥率は、重量基準の値である。供給気体は空気、供給気体の加熱温度は90°Cとした。気体の供給量は、気体分散板42直上での気体分散板の面積平均の気体の風速が1m/秒となるように設定した。水蒸気の温度は120°C、供給量は0.5kg/分とした。マイクロ波の照射時間は時刻0~13分まで、水蒸気の供給時間は時刻0~13分まで、加熱気体の供給は時刻0~25分まで行った。マイクロ波出力および乾燥率の時間変化をそれぞれ図2のA,Bに示す。図2における線Aは、マイクロ波の出力の時間変化を示し、線Bは、グリーンハニカム成形体の乾燥率の時間変化を示す。比較例気体分散板42を用いず、端面70dになにも接触しない状態で加熱気体を供給する以外は実施例と同様にした。実施例のグリーンハニカム成形体に変形や割れは見られなかったが、比較例のグリーンハニカム成形体には変形や割れが見られた。"