物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群と、を有し、広角端状態から望遠端状態に変倍する際に前記レンズ群の群間隔がそれぞれ変化し、前記レンズ群のうち、少なくとも1つのレンズ群の少なくとも一部は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動するように構成され、前記第2レンズ群の焦点距離をf2とし、前記第3レンズ群の焦点距離をf3としたとき、次式0.10<f3/-f2<1.34の条件を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成されることを特徴とする変倍光学系。前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスで形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項1に記載の変倍光学系。前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、ndは1.30以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状の面であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の変倍光学系。前記凹形状の面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載の変倍光学系。前記凹形状の面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、前記第2レンズ群の少なくとも1面であり、当該光学面は、物体から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の変倍光学系。前記凹形状の面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズにおける物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。前記第4レンズ群の焦点距離をf4としたとき、次式0.50<f3/-f4<1.80の条件を満足することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の変倍光学系。前記第4レンズ群の焦点距離をf4としたとき、次式0.40<f2/f4<1.00の条件を満足することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の変倍光学系。前記第1レンズ群の焦点距離をf1としたとき、次式3.00<f1/f3<6.00の条件を満足することを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の変倍光学系。無限遠物点から近距離物点への合焦に際し、前記第2レンズ群の少なくとも一部が光軸上を移動することを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の変倍光学系。前記第2レンズ群の最も像側のレンズ面は非球面形状であることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の変倍光学系。前記第4レンズ群は、少なくとも1枚の接合レンズを有することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の変倍光学系。広角端状態から望遠端状態に変倍する際に、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔が増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔が減少し、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群との間隔が増大し、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群との間隔が減少するように、各レンズ群が移動することを特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載の変倍光学系。前記第4レンズ群の少なくとも一部は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動することを特徴とする請求項1から15のいずれか一項に記載の変倍光学系。前記第2レンズ群の最も物体側のレンズ面は非球面形状であることを特徴とする請求項1から16のいずれか一項に記載の変倍光学系。請求項1から17のいずれか一項に記載の変倍光学系を備えたことを特徴とする光学機器。物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群と、を有し、広角端状態から望遠端状態に変倍する際に前記レンズ群の群間隔がそれぞれ変化する変倍光学系の製造方法であって、前記レンズ群のうち、少なくとも1つのレンズ群の少なくとも一部は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動するように配置し、前記第2レンズ群の焦点距離をf2とし、前記第3レンズ群の焦点距離をf3としたとき、次式0.10<f3/-f2<1.34の条件を満足するように配置し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成されることを特徴とする変倍光学系の製造方法。しかしながら、従来の変倍光学系は、良好な光学性能を達成できていないという課題があった。それと同時に、このような変倍光学系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、諸収差を良好に補正し、ゴーストやフレアをより低減させ、高性能な変倍光学系、この変倍光学系を備える光学機器、及び、変倍光学系の製造方法を提供することを目的とする。前記課題を解決するために、本発明にかかる変倍光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群と、を有し、広角端状態から望遠端状態に変倍する際にこれらレンズ群の群間隔がそれぞれ変化し、これらのレンズ群のうち、少なくとも1つのレンズ群の少なくとも一部は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動するように構成され、第2レンズ群の焦点距離をf2とし、第3レンズ群の焦点距離をf3としたとき、次式0.10<f3/-f2<1.34の条件を満足し、前記第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成されていることを特徴とする変倍光学系を提供する。また、本発明にかかる変倍光学系の製造方法は物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群と、を有する変倍光学系の製造方法であって、広角端状態から望遠端状態に変倍する際にこれらのレンズ群の群間隔がそれぞれ変化し、これらのレンズ群のうち、少なくとも1つのレンズ群の少なくとも一部は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動するように配置し、第2レンズ群の焦点距離をf2とし、第3レンズ群の焦点距離をf3としたとき、次式0.10<f3/-f2<1.34の条件を満足し、前記第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成されていることを特徴とする変倍光学系の製造方法を提供する。本発明によれば、諸収差を良好に補正し、ゴーストやフレアをより低減させ、高性能な変倍光学系、この変倍光学系を備える光学機器、及び、変倍光学系の製造方法を提供することができる。以下、本願の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、本実施形態の変倍光学系ZLは、図1に示すように、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成され、広角端状態から望遠端状態に変倍する際にこれらレンズ群の群間隔がそれぞれ変化する。このような構成により、鏡筒を小型化できズーミングの収差変動を良好に補正することができる。また、これら第1~第5のレンズ群のうち、少なくとも1つのレンズ群の少なくとも一部は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動する。この構成により、手ぶれ補正時の像面湾曲の変動と、偏芯コマ収差の変動を同時に補正することができる。また、本実施形態の変倍光学系ZLは、第2レンズ群G2の焦点距離をf2とし、第3レンズ群G3の焦点距離をf3としたとき、以下の条件式1を満足する。10.10<f3/-f2<1.34条件式1は、第2レンズ群G2の焦点距離f2と第3レンズ群G3の焦点距離f3との比を規定するものである。本実施形態の変倍光学系ZLは、この条件式1を満足することで良好な光学性能と所定の変倍比とを実現することができる。条件式1の上限値を上回ると、第2レンズ群G2の屈折力が強くなり、広角端におけるコマ収差と像面湾曲との補正が困難になるため好ましくない。なお、条件式1の上限値を1.33にすることにより、広角端におけるコマ収差と像面湾曲とをより良好に補正して本実施形態の効果をより確実にすることができる。また、条件式1の上限値を1.32にすることにより、広角端におけるコマ収差と像面湾曲とを更に良好に補正して本実施形態の効果を更に確実にすることができる。条件式1の下限値を下回ると、第3レンズ群G3の屈折力が強くなり、望遠端における球面収差とコマ収差との補正が困難になるため好ましくない。なお、条件式1の下限値を0.50にすることにより、望遠端における球面収差とコマ収差とをより良好に補正して本実施形態の効果をより確実にすることができる。また、条件式1の下限値を1.00にすることにより、望遠端における球面収差とコマ収差とを更に良好に補正して本実施形態の効果を更に確実にすることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第1レンズ群G1および第2レンズ群G2における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んでいる。このように構成することで、本実施形態にかかる変倍光学系は、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアをさらに低減することができ、高い結像性能を達成することができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスで形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、屈折率ndが1.30以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLでは、前記第1レンズ群及び第2レンズ群における光学面のうち反射防止膜が設けられた光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このようにすれば、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLでは、前記第1レンズ群及び第2レンズ群において反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLでは、前記第1レンズ群及び第2レンズ群において反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLでは、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、前記第2レンズ群の少なくとも1面であり、当該光学面は、物体から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群における光学面のうち物体から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このようにすれば、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLでは、前記第2レンズ群における前記凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。第2レンズ群における光学面のうち物体から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系ZLでは、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が1.30以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第3レンズ群G3の焦点距離をf3とし、第4レンズ群G4の焦点距離をf4としたとき、以下の条件式2を満足することが望ましい。20.50<f3/-f4<1.80条件式2は、第4レンズ群G4の焦点距離f4と第3レンズ群G3の焦点距離f3との比を規定するものである。本実施形態の変倍光学系ZLは、この条件式2を満足することで鏡筒の小型化と手ぶれ補正時にも良好な光学性能とを実現することができる。条件式2の上限値を上回ると、第4レンズ群G4の屈折力が強くなり、広角端における球面収差とコマ収差との補正が困難になる。また、手ぶれ補正時の像面湾曲の変動と、偏芯コマ収差の変動とを同時に補正することが困難になるため好ましくない。なお、条件式2の上限値を1.30にすることにより、本実施形態の効果をより確実にすることができる。また、条件式2の上限値を1.00にすることにより、本実施形態の効果を更に確実にすることができる。条件式2の下限値を下回ると、第3レンズ群の屈折力が強くなり、望遠端における球面収差とコマ収差との補正が困難になるため好ましくない。なお、条件式2の下限値を0.60にすることにより、望遠端における球面収差とコマ収差とをより良好に補正して本実施形態の効果をより確実にすることができる。また、条件式2の下限値を0.70にすることにより、望遠端における球面収差とコマ収差とを更に良好に補正して本実施形態の効果を更に確実にすることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第2レンズ群G2の焦点距離をf2とし、第4レンズ群G4の焦点距離をf4としたとき、以下の条件式3を満足することが望ましい。30.40<f2/f4<1.00条件式3は、第4レンズ群G4の焦点距離f4と第2レンズ群G2の焦点距離f2との比を規定するものである。本実施形態の変倍光学系ZLは、この条件式3を満足することで手ぶれ補正時にも良好な光学性能を実現し、かつ、所定の変倍比を確保することができる。条件式3の上限値を上回ると、第4レンズ群G4の屈折力が強くなり、手ぶれ補正時の像面湾曲の変動と、偏芯コマ収差の変動とを同時に補正することが困難になるため好ましくない。なお、条件式3の上限値を0.70にすることにより、本実施形態の効果をより確実にすることができる。条件式3の下限値を下回ると、第2レンズ群G2の屈折力が強くなり、望遠端における球面収差とコマ収差との補正が困難になるため好ましくない。なお、条件式3の下限値を0.50にすることにより、望遠端における球面収差とコマ収差とをより良好に補正して本実施形態の効果をより確実にすることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第1レンズ群G1の焦点距離をf1とし、第3レンズ群G3の焦点距離をf3としたとき、以下の条件式4を満足することが望ましい。43.00<f1/f3<6.00条件式4は、第1レンズ群G1の焦点距離f1と第3レンズ群G3の焦点距離f3との比を規定するものである。本実施形態の変倍光学系ZLは、この条件式3を満足することで良好な光学性能と所定の変倍比とを実現することができる。条件式4の上限値を上回ると、第3レンズ群G3の屈折力が強くなり、望遠端における球面収差とコマ収差との補正が困難になるため好ましくない。なお、条件式4の上限値を5.00にすることにより、望遠端における球面収差とコマ収差とをより良好に補正して本実施形態の効果をより確実にすることができる。条件式4の下限値を下回ると、第1レンズ群G1の屈折力が強くなり、望遠端における球面収差の補正が困難となる。また、広角端における倍率色収差の劣化も顕著となるため好ましくない。なお、条件式4の下限値を4.00にすることにより、本実施形態の効果をより確実にすることができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、無限遠物点から近距離物点への合焦に際し、第2レンズ群G2の少なくとも一部が光軸上を移動することが望ましい。このような構成により、鏡筒を小型化でき合焦の収差変動を良好に補正することができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第2レンズ群G2の最も像側のレンズ面は非球面形状であることが望ましい。この構成により、望遠端の球面収差を良好に補正することができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLにおいて、第4レンズ群G4は、少なくとも1枚の接合レンズを有することが望ましい。この構成により、手ぶれ補正時の色収差の変動を良好に補正することができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、広角端状態から望遠端状態に変倍する際に、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔が増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔が減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との間隔が増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との間隔が減少するように、各レンズ群が移動することが望ましい。この構成により、ズーミングにおける球面収差と像面湾曲との変動を効果的に補正しつつ、所定の変倍比を確保することができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLにおいて、第4レンズ群G4の少なくとも一部は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動することが望ましい。この構成により、鏡筒を小型化しつつ、手ぶれ補正時の像面湾曲の変動と偏芯コマ収差の変動とを同時に補正することができる。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第2レンズ群G2の最も物体側のレンズ面は非球面形状であることが望ましい。この構成により、広角端の像面湾曲と歪曲収差とを良好に補正することができる。図30に、後述する実施例で示す変倍光学系ZLを備える光学機器として、デジタル一眼レフカメラ1以後、単にカメラと記すの略断面図を示す。このカメラ1において、不図示の物体被写体からの光は、変倍光学系2変倍光学系ZLで集光されて、クイックリターンミラー3を介して焦点板4に結像される。そして、焦点板4に結像された光は、ペンタプリズム5中で複数回反射されて接眼レンズ6へと導かれる。これにより、撮影者は、物体被写体像を接眼レンズ6を介して正立像として観察することができる。また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー3が光路外へ退避し、変倍光学系2で集光された不図示の物体被写体の光は撮像素子7上に被写体像を形成する。これにより、物体被写体からの光は、当該撮像素子7により撮像され、物体被写体画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラ1による物体被写体の撮影を行うことができる。なお、図30に記載のカメラ1は、変倍光学系ZLを着脱可能に保持するものでも良く、変倍光学系ZLと一体に成形されるものでも良い。また、カメラ1は、いわゆる一眼レフカメラでも良く、クイックリターンミラー等を有さないコンパクトカメラでも良い。以下、本実施形態にかかる変倍光学系ZLの製造方法の概略を、図31を参照して説明する。まず、各レンズを配置して第1~第5の各レンズ群をそれぞれ準備するステップS100。具体的に、本実施形態では、例えば後述する第1実施例の場合、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12との接合によりなる接合正レンズCL1と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とを配置して構成する。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向け、物体側レンズ面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL21と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像面側レンズ面に非球面を有する両凹形状の非球面負レンズL24とを配置して構成する。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL31と両凸形状の正レンズL32との接合によりなる接合正レンズCL2と、両凸形状の正レンズL33とを配置して構成する。また、第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と両凹形状の負レンズL42との接合によりなる接合負レンズCL3と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とを配置して構成する。また、第5レンズ群G5は、物体側から順に、物体側レンズ面に非球面を有する正メニスカスレンズL51と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL52と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL53との接合によりなる接合正レンズCL4とを配置して構成する。このようにして準備した各レンズ群を鏡筒に配置して変倍光学系ZLを製造する。このとき、上記レンズ群のうち、少なくとも1つのレンズ群の少なくとも一部は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動するように配置するステップS200。また、第2レンズ群G2の焦点距離をf2とし、第3レンズ群G3の焦点距離をf3としたとき、前述の条件式1を満足するように配置するステップS300。以上により、本実施形態にかかる変倍光学系の製造が完了する。実施例以下、本実施形態にかかる各実施例を、添付図面に基づいて説明する。図1、図6、図10、図14、図18、図22及び図26に、変倍光学系ZL1~ZL7のレンズ構成を示す。第1実施例第1実施例にかかる変倍光学系ZL1は、図1に示すように、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成されている。そして、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との空気間隔が増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との空気間隔が減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との空気間隔が増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との空気間隔が減少するように各レンズ群の間隔が変化する。開口絞りSは、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間に位置し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第3レンズ群G3とともに移動する。無限遠物点から近距離物点への合焦は、第2レンズ群G2を物体方向に移動させて行う。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12との接合によりなる接合正レンズCL1と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向け、物体側のレンズ面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL21と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像側のレンズ面に非球面を有する両凹形状の非球面負レンズL23から構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL31と両凸形状の正レンズL32との接合によりなる接合正レンズCL2と、両凸形状の正レンズL33から構成されている。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と両凹形状の負レンズL42との接合によりなる接合負レンズCL3と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第5レンズ群G5は、物体側から順に、物体側レンズ面に非球面を有する非球面正メニスカスレンズL51と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL52と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL53との接合によりなる接合負レンズCL4とから構成されている。本第1実施例にかかる変倍光学系ZL1は、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面面番号8と、両凸形状の正レンズL23における物体側のレンズ面面番号11に後述する反射防止膜が形成されている。第1実施例において、手ぶれ補正防振は、第4レンズ群G4の接合負レンズCL3を光軸と直交方向に移動させることにより行う。なお、全系の焦点距離がfで、防振補正係数ぶれ補正での防振レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の防振レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。なお、この説明は、他の実施例においても同様であり、以降の説明を省略する。この第1実施例の広角端状態においては、防振係数は0.92であり、焦点距離は24.70mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL3の移動量は0.09mmである。第1実施例の望遠端状態においては、防振係数は1.21であり、焦点距離は68.00mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL3の移動量は0.20mmである。以下の表1に、第1実施例にかかる変倍光学系ZL1の諸元の値を掲げる。この表1の各種データにおいて、fは全系の焦点距離を、FNOはFナンバーを、ωは半画角単位は°を、Bfはバックフォーカスをそれぞれ表している。レンズ面データにおいて、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序、rはレンズ面の曲率半径、dは各光学面から次の光学面までの光軸上の間隔を、νdはd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数、ndはd線波長λ=587.6nmに対する屈折率をそれぞれ示している。また、物面は物体面、絞りSは開口絞りS、像面は像面Iをそれぞれ示している。なお、曲率半径r=∞は平面を示し、空気の屈折率nd=100000の記載は省略している。また、レンズ面が非球面である場合には面番号に印を付して曲率半径rの欄には近軸曲率半径を示している。非球面データには、レンズ面データに示した非球面について、その形状を次式で表した場合の近軸曲率半径、円錐定数、及び非球面係数を示す。Sy=y2/r/{11-κ×y2/r212}A4×y4A6×y6A8×y8A10×y10ここで、yを光軸に垂直な方向の高さ、Syを高さyにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離サグ量、rを基準球面の曲率半径近軸曲率半径、κを円錐定数、Anをn次の非球面係数とする。なお、各実施例において、2次の非球面係数A2は0である。なお、以降の実施例において、E-nは×10nを示す。可変間隔データには、広角端状態、中間焦点距離状態、望遠端状態における可変間隔を示す。また、d1は第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との軸上空気間隔、d2は第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔、d3は第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との軸上空気間隔、d4は第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との軸上空気間隔をそれぞれ表し、d1、d2、d3及びd4は変倍に際して変化する。条件式対応値において、f1は第1レンズ群G1の焦点距離を、f2は第2レンズ群G2の焦点距離を、f3は第3レンズ群G3の焦点距離を、f4は第4レンズ群G4の焦点距離を、それぞれ表している。以降の実施例においても、特にことわりのない場合は、この符号の説明は同様である。なお、以下の全ての諸元値において掲載されている焦点距離、曲率半径、面間隔、その他長さの単位は一般にmmが使われるが、光学系は、比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。なお、これらの符号の説明及び諸元表の説明は以降の実施例においても同様であり、以降の実施例における説明を省略する。表1第1実施例各種データ広角端望遠端f2470~6800FNO351~451ω4263~1687像高216~216全長112599~138896Bf38818~54481レンズ面データ面番号rdνdnd物面∞11196327200002378184666251599259473546617291531676477010004530631481634662181600515303426170936101000380915538971065297135004738178800812162954444970143110000452917949910129676190010001144734735960237818466612350279027501328600112000401018513414513769715絞りS∞0500016191753150003127190366171181144593767901593191846216401000193633951992867901593192010996266213419382196725452000692214441010000409418061023134837222858241929201000045291794992529557826255040902200380915538927680972428764658180400281812880300029366209737695704114874930216919100002378184666311674750像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群19437965第2レンズ群61700020第3レンズ群162063769第4レンズ群212763787第5レンズ群263661953非球面データκA4A6A8A10第6面1000014021OE05518660E08400920E11150390E14第14面10000164370E0513331OE08150790E09680220E12第26面10000503290E05153080E08233370E10000000E00可変間隔データ広角端中間焦点距離望遠端d129078820866082679652d21481058473190155737d3138046350970428626d4400583187660110000条件式対応値1f3/-f2=1212f3/-f4=0753f2/f4=0624f1/f3=457この第1実施例にかかる変倍光学系ZL1の広角端状態での無限遠合焦状態の収差図を図2aに、中間焦点距離状態での無限遠合焦状態の収差図を図3に、望遠端状態での無限遠合焦状態の収差図を図4aに示す。また、第1実施例の広角端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図2bに示し、第1実施例の望遠端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図4bに示す。各収差図において、非点収差図中の実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像面を示し、FNOはFナンバーを、Yは像高を、ωは半画角を表す。また、各収差図中でd、gはそれぞれd線λ=587.6nm、g線λ=435.8nmにおける収差を表す。なお、これら記号の説明は、他の実施例でも同様であり以降の説明を省略する。これらの各収差図から明らかなように、第1実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。図5は、上記第1実施例の変倍光学系ZL1において、物体側から入射した光線BMによりゴーストが発生する状態を示している。図5において、物体側からの光線BMが図示のように変倍光学系ZL1に入射すると、両凸形状の正レンズL23における物体側のレンズ面第1番目のゴースト発生面でありその面番号は11で反射し、その反射光は負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面第2番目のゴースト発生面でありその面番号は8で再度反射して像面Iに到達し、ゴーストを発生させてしまう。なお、第1番目のゴースト発生面面番号11、第2番目のゴースト発生面面番号8は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストを効果的に低減することができる。第2実施例図6は、第2実施例にかかる変倍光学系ZL2の構成を示す図である。図6に示すように、第2実施例にかかる変倍光学系ZL2は、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成されている。そして、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との空気間隔が増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との空気間隔が減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との空気間隔が増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との空気間隔が減少するように各レンズ群の間隔が変化する。開口絞りSは、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間に位置し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第3レンズ群G3とともに移動する。無限遠物点から近距離物点への合焦は、第2レンズ群G2を物体方向に移動させて行う。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合によりなる接合正レンズCL1と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向け、物体側面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像側面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL24とから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL31と両凸形状の正レンズL32との接合によりなる接合負レンズCL2と、両凸形状の正レンズL33とから構成されている。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と両凹形状の負レンズL42との接合によりなる接合負レンズCL3と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第5レンズ群G5は、物体側から順に、像面側に凸面を向け物体側レンズ面に非球面を有する非球面正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL53との接合によりなる接合負レンズCL4とから構成されている。本第2実施例にかかる変倍光学系ZL2は、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面面番号8と、負メニスカスレンズL24における物体側のレンズ面面番号13に後述する反射防止膜が形成されている。第2実施例において、手ぶれ補正防振は、第4レンズ群G4の接合負レンズCL3を光軸と直交方向に移動させることにより行う。なお、この第2実施例の広角端状態においては、防振係数は0.80であり、焦点距離は24.70mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL3の移動量は0.11mmである。第2実施例の望遠端状態においては、防振係数は1.12であり、焦点距離は82.50mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL3の移動量は0.26mmである。以下の表2に、第2実施例の諸元の値を掲げる。表2第2実施例各種データ広角端望遠端f2470~8250FNO360~460ω4262~1404像高216~216全長121098~158098Bf38818~58586レンズ面データ面番号rdνdnd物面∞149370282000023781846662918270650005466172916339745110100045006424261549611772505927163658193101400380915538977303051350042721834818125058597109507335100004961177250101190154010001167984638696237818466612286111015371326763910000409418061014150137015∞050001621948014780312719036617143469514378256149782183809290100019267398274107045148749203628585214270512610632351850262215228110000502417199923109553522966242238711000055521696802546473926303931602000380915538927808569448864658180400282012300700029162262851828704514874930256127100002378184666318437978像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群110318796第2レンズ群61751593第3レンズ群162289002第4レンズ群212872503第5レンズ群263652696非球面データκA4A6A8A10第6面10000422970E06333950E08799730E11241860E13第14面10000185220E05778240E08201280E10135490E12第26面10000345120E05600890E09640440E110OOOOOE00可変間隔データ広角端中間焦点距離望遠端d129822920325923545766d21629014635565105000d3275730542675696720d4536317269552115000条件式対応値1f3/-f2=1312f3/-f4=0803f2/f4=0614f1/f3=451この第2実施例の広角端状態での無限遠合焦状態の収差図を図7aに、中間焦点距離状態での無限遠合焦状態の収差図を図8に、望遠端状態での無限遠合焦状態の収差図を図9aに示す。また、第2実施例の広角端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図7bに示し、第2実施例の望遠端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図9bに示す。これらの各収差図から明らかなように、第2実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第3実施例図10は、第3実施例にかかる変倍光学系ZL3の構成を示す図である。第3実施例にかかる変倍光学系ZL3は、図10に示すように、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成されている。そして、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との空気間隔が増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との空気間隔が減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との空気間隔が増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との空気間隔が減少するように各レンズ群の間隔が変化する。開口絞りSは、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間に位置し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第3レンズ群G3とともに移動する。無限遠物点から近距離物点への合焦は、第2レンズ群G2を物体方向に移動させて行う。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12との接合によりなる接合正レンズCL1と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向け、物体側面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像側レンズ面に非球面を有する両凹形状の非球面負レンズL24とから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL31と両凸形状の正レンズL32との接合によりなる接合正レンズCL2と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL33とから構成されている。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と両凹形状の負レンズL42との接合によりなる接合負レンズCL3と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第5レンズ群G5は、物体側から順に、像面側に凸面を向け物体側レンズ面に非球面を有する非球面正メニスカスレンズL51と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL52と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL53との接合によりなる接合負レンズCL4とから構成されている。本第3実施例にかかる変倍光学系ZL3は、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面面番号8と、両凸形状の正レンズL23における物体側のレンズ面面番号11に後述する反射防止膜が形成されている。第3実施例において、手ぶれ補正防振は、第4レンズ群G4の接合負レンズCL3を光軸と直交方向に移動させることにより行う。なお、この第3実施例の広角端状態においては、防振係数は0.59であり、焦点距離は28.80mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL3の移動量は0.17mmである。第3実施例の望遠端状態においては、防振係数は0.76であり、焦点距離は102.00mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL3の移動量は0.47mmである。以下の表3に、この第3実施例の諸元の値を掲げる。表3第3実施例各種データ広角端望遠端f2880~10200FNO363~462ω3828~985像高216~216全長123531~157844Bf38818~54339レンズ面データ面番号rdνdnd物面∞13734938200002378184666277675767304496117725031234338501000448219445930522917550051017218647114501593380915538975083351350042721834818126630556559523028100004663181600102272789010001132819739598237818466612426430031931331883312000427218348114116809515∞05000162329001000029371950001715239850245825614978218279655010001931137023000654716030020553065621694703205283235185026222151871000054661729162312811853000024230906100004961177250256553082677337102200380915538927924298500004658180400281843382000029142594745000704114874930274884100002378184666311899631像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群19571637第2レンズ群61743082第3レンズ群162190000第4レンズ群212869220第5レンズ群264126939非球面データκA4A6A8A10第6面10000440512E06371332E08147511E11131683E14第14面10000132774E05536912E08155477E10934102E13第26面10000417159E05245154E09201155E100OOOOOE00可変間隔データ広角端中間焦点距離望遠端d131867517248563712206d21664276880625150000d3347378609325800899d4563522301569110000条件式対応値1f3/-f2=1262f3/-f4=0763f2/f4=0604f1/f3=437この第3実施例の広角端状態での無限遠合焦状態の収差図を図11aに、中間焦点距離状態での無限遠合焦状態の収差図を図12に、望遠端状態での無限遠合焦状態の収差図を図13aに示す。また、第3実施例の広角端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図11bに示し、第3実施例の望遠端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図13bに示す。これらの各収差図から明らかなように、第3実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第4実施例図14は、第4実施例にかかる変倍光学系ZL4の構成を示す図である。第4実施例にかかる変倍光学系ZL4は、図14に示すように、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成されている。そして、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との空気間隔が増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との空気間隔が減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との空気間隔が増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との空気間隔が減少するように各レンズ群の間隔が変化する。開口絞りSは、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間に位置し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第3レンズ群G3とともに移動する。無限遠物点から近距離物点への合焦は、第2レンズ群G2を物体方向に移動させて行う。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合によりなる接合正レンズCL1と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向け、物体側レンズ面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像側レンズ面に非球面を有する両凹形状の非球面負レンズL24とから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL31と両凸形状の正レンズL32との接合によりなる接合正レンズCL2と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL33とから構成されている。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と両凹形状の負レンズL42との接合によりなる接合負レンズCL3と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第5レンズ群G5は、物体側から順に、像面側に凸面を向け物体側レンズ面に非球面を有する非球面正メニスカスレンズL51と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL52と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL53との接合によりなる接合負レンズCL4とから構成されている。本第4実施例にかかる変倍光学系ZL4は、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面面番号8と、両凹形状の負レンズL24における物体側のレンズ面面番号13に後述する反射防止膜が形成されている。第4実施例において、手ぶれ補正防振は、第4レンズ群G4全体を光軸と直交方向に移動させることにより行う。なお、この第4実施例の広角端状態においては、防振係数は1.54であり、焦点距離は28.80mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための第4レンズ群G4の移動量は0.03mmである。第4実施例の望遠端状態においては、防振係数は2.39であり、焦点距離は102.00mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための第4レンズ群G4の移動量は0.07mmである。以下の表4に、この第4実施例の諸元の値を掲げる。表4第4実施例各種データ広角端望遠端f2880~10200FNO363~462ω3828~985像高216~216全長123531~157844Bf38818~54339レンズ面データ面番号rdνdnd物面∞13734938200002378184666277675767304496117725031234338501000448219445930522917550051017218647114501593380915538975083351350042721834818126630556559523028100004663181600102272789010001132819739598237818466612426430031931331883312000427218348114116809515∞05000162329001000029371950001715239850245825614978218279655010001931137023000654716030020553065621694703205283235185026222151871000054661729162312811853000024230906100004961177250256553082677337102200380915538927924298500004658180400281843382000029142594745000704114874930274884100002378184666311899631像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群19571637第2レンズ群61743082第3レンズ群162190000第4レンズ群212869220第5レンズ群264126939非球面データκA4A6A8A10第6面10000440512E06371332E08147511E11131683E14第14面10000132774E05536912E08155477E10934102E13第26面10000417159E05245154E09201155E100OOOOOE00可変間隔データ広角端中間焦点距離望遠端d131867517248563712206d21664276880625150000d3347378609325800899d4563522301569110000条件式対応値1f3/-f2=1262f3/-f4=0763f2/f4=0604f1/f3=437この第4実施例の広角端状態での無限遠合焦状態の収差図を図15aに、中間焦点距離状態での無限遠合焦状態の収差図を図16に、望遠端状態での無限遠合焦状態の収差図を図17aに示す。また、第4実施例の広角端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図15bに示し、第4実施例の望遠端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図17bに示す。これらの各収差図から明らかなように、第4実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第5実施例図18は、第5実施例にかかる変倍光学系ZL5の構成を示す図である。第5実施例にかかる変倍光学系ZL5は、図18に示すように、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成されている。そして、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との空気間隔が増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との空気間隔が減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との空気間隔が増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との空気間隔が減少するように各レンズ群の間隔が変化する。開口絞りSは、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間に位置し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第3レンズ群G3とともに移動する。無限遠物点から近距離物点への合焦は、第2レンズ群G2を物体方向に移動させて行う。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合によりなる接合正レンズCL1と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向け、物体側レンズ面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、像側レンズ面に非球面を有する両凹形状の非球面負レンズL24とから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL31と両凸形状の正レンズL32との接合によりなる接合正レンズCL2と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL33とから構成されている。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と両凹形状の負レンズL42との接合によりなる接合負レンズCL3と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第5レンズ群G5は、物体側から順に、像面側に凸面を向け物体側レンズ面に非球面を有する非球面正メニスカスレンズL51と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL52と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL53との接合によりなる接合負レンズCL4とから構成されている。本第5実施例にかかる変倍光学系ZL5は、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面面番号8と、両凸形状の正レンズL23の物体側のレンズ面面番号11に後述する反射防止膜が形成されている。第5実施例において、手ぶれ補正防振は、第3レンズ群G3の接合正レンズCL2を光軸と直交方向に移動させることにより行う。なお、この第5実施例の広角端状態においては、防振係数は1.60であり、焦点距離は28.80mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合正レンズCL2の移動量は0.06mmである。第5実施例の望遠端状態においては、防振係数は2.20であり、焦点距離は102.00mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合正レンズCL2の移動量は0.16mmである。以下の表5に、この第5実施例の諸元の値を掲げる。表5第5実施例各種データ広角端望遠端f2880~10200FNO363~462ω3828~985像高216~216全長123531~157844Bf38818~54339レンズ面データ面番号rdνdnd物面∞13734938200002378184666277675767304496117725031234338501000448219445930522917550051017218647114501593380915538975083351350042721834818126630556559523028100004663181600102272789010001132819739598237818466612426430031931331883312000427218348114116809515∞05000162329001000029371950001715239850245825614978218279655010001931137023000654716030020553065621694703205283235185026222151871000054661729162312811853000024230906100004961177250256553082677337102200380915538927924298500004658180400281843382000029142594745000704114874930274884100002378184666311899631像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群19571637第2レンズ群61743082第3レンズ群162190000第4レンズ群212869220第5レンズ群264126939非球面データκA4A6A8A10第6面10000440512E06371332E08147511E11131683E14第14面10000132774E05536912E08155477E10934102E13第26面10000417159E05245154E09201155E100OOOOOE00可変間隔データ広角端中間焦点距離望遠端d131867517248563712206d21664276880625150000d3347378609325800899d4563522301569110000条件式対応値1f3/-f2=1262f3/-f4=0763f2/f4=0604f1/f3=437この第5実施例の広角端状態での無限遠合焦状態の収差図を図19aに、中間焦点距離状態での無限遠合焦状態の収差図を図20に、望遠端状態での無限遠合焦状態の収差図を図21aに示す。また、第5実施例の広角端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図19bに示し、第5実施例の望遠端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図21bに示す。これらの各収差図から明らかなように、第5実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第6実施例図22は、第6実施例にかかる変倍光学系ZL6の構成を示す図である。図22に示すように、第6実施例にかかる変倍光学系ZL6は、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成されている。そして、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との空気間隔が増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との空気間隔が減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との空気間隔が増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との空気間隔が減少するように各レンズ群の間隔が変化する。開口絞りSは、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間に位置し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第3レンズ群G3とともに移動する。無限遠物点から近距離物点への合焦は、第2レンズ群G2を物体方向に移動させて行う。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12との接合によりなる接合正レンズCL1と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向け、物体側レンズ面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL21と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22と、両凸形状の正レンズL23と物体側に凹面を向け、像側レンズ面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL24との接合によりなる接合正レンズCL2とから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL31と両凸形状の正レンズL32との接合によりなる接合正レンズCL3と、物体側に凸面を向けた両凸形状の正レンズL33とから構成されている。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と両凹形状の負レンズL42との接合によりなる接合負レンズCL4と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第5レンズ群G5は、物体側から順に、物体側レンズ面に非球面を有する両凸形状の非球面正レンズL51と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL52と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL53との接合によりなる接合負レンズCL5とから構成されている。本第6実施例にかかる変倍光学系ZL6は、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面面番号4と、正メニスカスレンズL13における像側のレンズ面面番号5に後述する反射防止膜が形成されている。第6実施例において、手ぶれ補正防振は、第4レンズ群G4の接合負レンズCL4を光軸と直交方向に移動させることにより行う。なお、この第6実施例の広角端状態においては、防振係数は0.91であり、焦点距離は24.70mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL4の移動量は0.10mmである。第6実施例の望遠端状態においては、防振係数は1.20であり、焦点距離は87.20mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL4の移動量は0.25mmである。以下の表6に、この第6実施例の諸元の値を掲げる。表6第6実施例各種データ広角端望遠端f2470~8720FNO360~580ω4264~1149像高216~216全長124699~156696Bf38819~56191レンズ面データ面番号rdνdnd物面∞1372627420000237818466627598546770649611772493148441810010004509400499484662181600511448896737591010004142153610770255113500427218348081295827066294512591000042721834801011577460100011130567039850227918080912250000120004271182079135015000114∞050001524398013049312719036616134702424376546160300175702780100018296013261778252149782197111252037416624500254520006921150220100004094180610221517344413142333792510000465818040024872793253881656022004142153610261453355460044094180610272049440300028224892843669704114874929218074100002378184666309000000像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群19608538第2レンズ群61689627第3レンズ群152134372第4レンズ群202860078第5レンズ群254338019非球面データκA4A6A8A10第6面10000330880E08384340E08747270E11103500E13第13面10000143270E05977370E08407760E10309250E12第25面10000396100E05406470E09963610E11000000E00可変間隔データ広角端中間焦点距離望遠端d131000019454993460972d21837739776715150000d3199464484201659326d4590657305904130000条件式対応値1f3/-f2=1262f3/-f4=0753f2/f4=0594f1/f3=450この第6実施例の広角端状態での無限遠合焦状態の収差図を図23aに、中間焦点距離状態での無限遠合焦状態の収差図を図24に、望遠端状態での無限遠合焦状態の収差図を図25aに示す。また、第6実施例の広角端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図23bに示し、第6実施例の望遠端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図25bに示す。これらの各収差図から明らかなように、第6実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第7実施例図26は、第7実施例にかかる変倍光学系ZL7の構成を示す図である。図26に示すように、第7実施例にかかる変倍光学系ZL7は、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成されている。そして、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との空気間隔が増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との空気間隔が減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との空気間隔が増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との空気間隔が減少するように各レンズ群の間隔が変化する。開口絞りSは、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間に位置し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して第3レンズ群G3とともに移動する。無限遠物点から近距離物点への合焦は、第2レンズ群G2を物体方向に移動させて行う。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12との接合によりなる接合正レンズCL1と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向け、物体側レンズ面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL21と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22と、両凸形状の正レンズL23と物体側に凹面を向け、像側レンズ面に非球面を有する非球面負メニスカスレンズL24との接合によりなる接合正レンズCL2とから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL31と両凸形状の正レンズL32との接合によりなる接合正レンズCL3と、両凸形状の正レンズL33とから構成されている。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と両凹形状の負レンズL42との接合によりなる接合負レンズCL4と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成されている。第5レンズ群G5は、物体側から順に、物体側レンズ面に非球面を有する両凸形状の正レンズL51と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL52と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL53との接合によりなる接合負レンズCL5とから構成されている。本第7実施例にかかる変倍光学系ZL7は、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面面番号4と、正メニスカスレンズL13における像側のレンズ面面番号5に後述する反射防止膜が形成されている。第7実施例において、手ぶれ補正防振は、第4レンズ群G4の接合負レンズCL4を光軸と直交方向に移動させることにより行う。なお、この第7実施例の広角端状態においては、防振係数は0.80であり、焦点距離は22.60mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL4の移動量は0.11mmである。第7実施例の望遠端状態においては、防振係数は1.25であり、焦点距離は77.20mmであるので、0.2°の回転ぶれを補正するための接合負レンズCL4の移動量は0.229mmである。以下の表7に、この第7実施例の諸元の値を掲げる。表7第7実施例各種データ広角端望遠端f2255~7720FNO359~578ω4522~1508像高216~216全長126365~166395Bf38819~68503レンズ面データ面番号rdνdnd物面∞1300000002000023781846662100570450710496117724931103102701000461343049688466218160051996806657308901000414215361075490091350042721834818129643774639421100100004272183481101571970010001110069594263322791808091226696812000427118207913739732214∞05000152518761500031271903661613973249264654616030017745596010001828344729402825214978219731263203624702450025452000692115009610000409418061022312027636428234564981000042721834812477189202520327020220041421536102625522504650840941806102721843403000282672036243134704114874929227690100002378184666309000000像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群112186217第2レンズ群61782540第3レンズ群152249990第4レンズ群202788943第5レンズ群253972862非球面データκA4A6A8A10第6面10000862870E06315620E08340720E12185500E14第13面10000991640E06581720E08171080E12115620E12第25面10000349860E05858470E09110080E10000000E00可変間隔データ広角端中間焦点距離望遠端d127699320202133160535d21997523647914150000d3228121546623704383d4607697289189130000条件式対応値1f3/-f2=1262f3/-f4=0813f2/f4=0644f1/f3=542この第7実施例の広角端状態での無限遠合焦状態の収差図を図27aに、中間焦点距離状態での無限遠合焦状態の収差図を図28に、望遠端状態での無限遠合焦状態の収差図を図29aに示す。また、第7実施例の広角端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図27bに示し、第7実施例の望遠端状態での無限遠撮影状態において0.2°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図29bに示す。これらの各収差図から明らかなように、第7実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。次に、実施形態に係る変倍光学系ZL1~7以後、まとめてZLというに用いられる反射防止膜多層広帯域反射防止膜とも言うについて説明する。図32は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜101は7層からなり、レンズ等の光学部材102の光学面に形成される。第1層101aは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第1層101aの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第2層101bが形成される。さらに、この第2層101bの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第3層101cが形成され、この第3層101cの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第4層101dが形成される。またさらに、この第4層101dの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第5層101eが形成され、この第5層101eの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第6層101fが形成される。そして、このようにして形成された第6層101fの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第7層101gが形成されて本実施形態の反射防止膜101が形成される。第7層101gの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル-ゲル法を用いている。ゾル-ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル-ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。このように、この反射防止膜101の第1層101a~第6層101fまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第7層101gは、フッ酸/酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面上述の光学部材102の光学面に真空蒸着装置を用いて第1層101aとなる酸化アルミニウム層、第2層101bとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第3層101cとなる酸化アルミニウム層、第4層101dとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第5層101eとなる酸化アルミニウム層、第6層101fとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材102を取り出した後、フッ酸/酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第7層101gとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸/酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式bに示す。b2HFMgCH3COO2→MgF22CH3COOHこの成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで140°C、24時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材102は、第7層101gの成膜終了後、大気中で160°C、1時間加熱処理して完成される。このようなゾル-ゲル法を用いることにより、大きさが数nmから数十nmの粒子が空隙を残して堆積することにより第7層101gが形成される。このようにして形成された反射防止膜101を有する光学部材の光学的性能について図33に示す分光特性を用いて説明する。本実施形態にかかる反射防止膜を有する光学部材レンズは、以下の表8に示す条件で形成されている。ここで表8は、基準波長をλとし、基板の屈折率光学部材が1.62、1.74及び1.85について反射防止膜101の各層101a第1層~101g第7層の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表8では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2SiO2とそれぞれ表している。図33は、表8において基準波長λを550nmとして反射防止膜101の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。図33から、基準波長λを550nmで設計した反射防止膜101を有する光学部材は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率を0.2以下に抑えられることが判る。また、表8において基準波長λをd線波長587.6nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜101を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図33に示す基準波長λが550nmの場合とほぼ同等の分光特性を有することがわかっている。表8物質屈折率光学膜厚光学膜厚光学膜厚媒質空気1第7層MgF2SiO21260268λ0271λ0269λ第6層ZrO2TiO22120057λ0054λ0059λ第5層Al2O31650171λ0178λ0162λ第4層ZrO2TiO22120127λ013λ0158λ第3層Al2O31650122λ0107λ008λ第2層ZrO2TiO22120059λ0075λ0105λ第1層Al2O31650257λ003λ003λ基板の屈折率162174185次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は5層からなり、表8と同様、以下の表9で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第5層の形成に前述のゾル-ゲル法を用いている。図34は、表9において、基板の屈折率が1.52及び基準波長λを550nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図34から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率が0.2以下に抑えられることがわかる。なお、表9において基準波長λをd線波長587.6nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図34に示す分光特性とほぼ同等の特性を有する。図35は、図34に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図34、図35には表9に示す基板の屈折率が1.46の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が1.52とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。表9物質屈折率光学膜厚光学膜厚媒質空気1第5層MgF2SiO21260275λ0269λ第4層ZrO2TiO22120045λ0043λ第3層Al2O31650212λ0217λ第2層ZrO2TiO22120077λ0066λ第1層Al2O31650288λ0290λ基板の屈折率146152また比較のため、図36に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図36は、表9と同じ基板の屈折率1.52に以下の表10で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図37は、図36に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。表10物質屈折率光学膜厚媒質空気1第7層MgF21390243λ第6層ZrO2TiO22120119λ第5層Al2O31650057λ第4層ZrO2TiO22120220λ第3層Al2O31650064λ第2層ZrO2TiO22120057λ第1層Al2O31650193λ基板の屈折率152図33~図35で示される本実施形態にかかる反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図36および図37で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。次に、前述の第1実施例から第7実施例に、上記表8に示す反射防止膜を適用した例について説明する。本第1実施例の変倍光学系ZL1において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表1に示すように、nd=1.78800であり、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の屈折率は、nd=1.84666であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面面番号8に、基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表8参照を用い、両凸形状の正レンズL23における物体側のレンズ面面番号11に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表8参照を用いることで、各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第2実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表2に示すように、nd=1.83481であり、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL24の屈折率は、nd=1.80610であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面面番号8に基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表8参照を用い、負メニスカスレンズL24における物体側のレンズ面面番号13に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表8参照を用いることで、各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第3実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表3に示すように、nd=1.83481であり、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の屈折率は、nd=1.84666であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面面番号8に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表8参照を用い、両凸形状の正レンズL23における物体側のレンズ面面番号11に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表8参照を用いることで、各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第4実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表4に示すように、nd=1.83481であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24の屈折率は、nd=1.83481であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面面番号8に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表8参照を用い、両凹形状の負レンズL24における物体側のレンズ面面番号13に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表8参照を用いることで、各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第5実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表5に示すように、nd=1.83481であり、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の屈折率は、nd=1.84666であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面面番号8に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表8参照を用い、両凸形状の正レンズL23における物体側のレンズ面面番号11に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表8参照を用いることで、各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第6実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表6に示すように、nd=1.81600であるため、正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面面番号4に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表8参照を用い、正メニスカスレンズL13における像面側のレンズ面面番号5に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表8参照を用いることで、各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第7実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表7に示すように、nd=1.81600であるため、正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面面番号4に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表8参照を用い、正メニスカスレンズL13における像面側のレンズ面面番号5に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表8参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。なお、上述の実施形態において、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。上述の説明及び実施例においては、5群構成を示したが、以上の構成条件等は、6群、7群等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、変倍時に変化する空気間隔で分離された、少なくとも1枚のレンズを有する部分を示す。また、単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸に沿って移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としても良い。この場合、合焦レンズ群はオートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の超音波モーター等のモーター駆動にも適している。特に、第2レンズ群G2の少なくとも一部を合焦レンズ群とするのが望ましい。レンズ群または部分レンズ群を光軸と直交方向の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動揺動させて、手ぶれによって生じる像ぶれを補正する防振レンズ群としても良い。特に、第4レンズ群G4の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。また、レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を妨げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。また、レンズ面が非球面の場合、この非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、レンズ面は回折面としてもよく、レンズを屈折率分布型レンズGRINレンズあるいはプラスチックレンズとしても良い。開口絞りSは、第3レンズ群G3近傍に配置されるのが好ましいが、開口絞りとしての部材を設けずに、レンズの枠でその役割を代用しても良い。本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、変倍比が3~5程度である。本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第1レンズ群G1が正のレンズ成分を2つ有するのが好ましい。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第2レンズ群G2が正のレンズ成分を1つと負のレンズ成分を3つ有するのが好ましい。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、負負正負の順番にレンズ成分を、空気間隔を介在させて配置するのが好ましい。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第3レンズ群G3が正のレンズ成分を2つ有するのが好ましい。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第4レンズ群G4が負のレンズ成分を2つ有するのが好ましい。また、本実施形態にかかる変倍光学系ZLは、第5レンズ群G5が正のレンズ成分を1つ有するのが好ましい。または、第5レンズ群G5が正のレンズ成分を2つ有するのが好ましい。なお、本願を分かり易く説明するために実施形態の構成要件を付して説明したが、本願がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。以上のように、本発明によれば、諸収差を良好に補正し、ゴーストやフレアをより低減させ、高性能な変倍光学系、この変倍光学系を備えた光学機器、及び、変倍光学系の製造方法を提供することができる。