液体気化用熱交換器であって、内側と、外側表面とを有するハウジング;ハウジングの内側に配置されている管であって、管が、内側キャビティを有し、及びハウジングの外側表面からそれぞれ外側に離間している入口と出口とを有し、入口が、液体の流れを管に導入するために構成されている、管;管とハウジングとに熱伝達するように配置されており管を加熱するように構成されている加熱器;複数の非反応性部材と、管との間に複数のボイドを規定するような配列で管の内側キャビティ内に配置されている複数の非反応性部材であって、複数の非反応性部材の配列が、液体が複数のボイドを通過して管の入口から管の出口まで進むのを可能にする、複数の非反応性部材;を含み、及び液体を少なくとも部分的に気化させるように、複数の非反応性部材と、中空管とが、液体が複数のボイドを通過している時に熱を液体に伝達する、熱交換器。管が、ハウジングの内側において螺旋状配列で配置されている、請求項1に記載の熱交換器。複数の非反応性部材が、球状に形成されている、請求項1に記載の熱交換器。複数の非反応性部材が、金属を含む、請求項3に記載の熱交換器。複数の非反応性部材のそれぞれが、管の直径の半分よりも小さい直径を有する、請求項1に記載の熱交換器。ハウジングの内側に配置されており管を少なくとも部分的に囲んでいる熱伝達媒体を更に含む、請求項1に記載の熱交換器。液体気化用熱交換器であって、内側と、外側表面とを有するハウジング;ハウジング内に配置されている管であって、液体の流れを管に導入するために構成されている入口を有し、及び内側キャビティを有する、管;複数の球状部材と、管との間に複数のボイドを配置するような配列で管の内側キャビティ内に配置されている複数の球状部材であって、複数の球状部材の配列が、液体が複数のボイドを通過して管の入口から管の出口まで進むのを可能にしており、及び液体を少なくとも部分的に気化させるように、複数の球状部材と、管とが、液体が複数のボイドを通過している時に熱を液体に伝達するように構成されている、複数の球状部材、を含む、熱交換器。複数の球状部材が、全体で管の容積の少なくとも約30パーセントの容積を有する、請求項7に記載の熱交換器。加熱器が、管を加熱するように構成されておりハウジングに隣接して配置されている、請求項7に記載の熱交換器。加熱器が、ハウジングの外側表面の1つに及びハウジングの内側に隣接して置かれている、請求項7に記載の熱交換器。球状部材が、ステンレス鋼とチタンの少なくとも1つを含む、請求項7に記載の熱交換器。複数の球状部材のそれぞれが、管の直径の約25よりも小さい直径を有する、請求項7に記載の熱交換器。ハウジングの内側に配置されている第2管であって、第2管に液体の流れを導入するために構成されている入口と、出口とを有し、及び内側キャビティを有する、第2管;及び管の内側キャビティで配列して配置されている第2の複数の球状部材であって、第2の複数の球状部材と第2管との間に第2の複数のボイドが配置されており、第2の複数の球状部材の配列が、液体が第2の複数のボイドを通過して第2管の入口から出口まで進むのを可能にしており、及び液体を少なくとも部分的に気化させるように、複数の球状部材と、管とが、液体が第2の複数のボイドを通過している時に熱を液体に伝達するように構成されている、第2の複数の球状部材、を更に含む、請求項7に記載の熱交換器。液体気化方法であって、熱交換器内において球状部材を含む管の入口に入る液体の流れを開始すること;熱交換器内の管を加熱すること;液体を管内に通過させることによって液体を気体に気化させることであって、球状部材を熱源によって加熱し、及び液体が、球状部材と管との間に規定されている複数のボイドを通過している時に、球状部材が熱を液体に伝達すること;及び気体を熱交換器から除去すること;を含む、液体気化方法。熱交換器内の管を抵抗加熱器によって加熱する、請求項14に記載の液体気化方法。液体が、複数の球状部材の間に配置されている複数のボイド内を流れることができるように、球状部材が管の内側キャビティ内に配置されている、請求項14に記載の液体気化方法。熱交換器から除去した気体を第1気体と混合することを更に含む、請求項14に記載の液体気化方法。液体トリクロロシランの気化方法であって、第1熱交換器の入口に入る液体トリクロロシランの流れを開始すること;第1熱交換器内において複数の非反応性部材を有する第1管内に液体トリクロロシランを通過させることによって液体トリクロロシランを気体状態に部分的に気化させることであって、非反応性部材を第1熱源によって加熱し、及びトリクロロシランが非反応性部材を通過している時に、非反応性部材がトリクロロシランに熱を伝達すること;部分的に気化したトリクロロシランを第1熱交換器から除去すること;部分的に気化したトリクロロシランを第1気体と混合させて、部分的に気化したトリクロロシランと、第1気体との混合物を得ること;第2熱交換器内において非反応性部材を含む第2管に入る、部分的に気化したトリクロロシランと、第1気体との混合物の流れを開始すること;混合物を第2管内に通過させることによって、部分的に気化したトリクロロシランと、第1気体との混合物を気化させることであって、非反応性部材を第2熱源によって加熱し、及び混合物が非反応性部材を通過している時に非反応性部材が熱を混合物に伝達すること;及び気化したトリクロロシランと、第1気体との混合物を第2熱交換器から除去すること、を含む、液体トリクロロシランの気化方法。第1管内及び第2管内の非反応性部材が、ステンレス鋼とチタンの1つから作られている複数の球状部材である、請求項18に記載の方法。第1管内の複数の球状部材のそれぞれが、第1管の直径の半分よりも小さい直径を有し、及び第2管内の複数の球状部材のそれぞれが、第2管の直径の半分よりも小さい直径を有する、請求項19に記載の方法。図、及びとりわけ図1を参照して、熱交換器を、通常100で示す。本明細書に記載される熱交換器100は、その後のシリコン含有デバイス例えば、ウエハ又は太陽電池の製造における使用のための液体トリクロロシランSiCl3の気化に用いられる。しかしながら、熱交換器100は、任意の液体を加熱又は気化するのに用いるのにも同様に良く適しており、熱交換器は、本開示の範囲から逸脱せずに任意のこのような目的のために用いてよい。言及は、また、トリクロロシランを気化することvaporizingに対してなされ、及びこのような言及は、液体トリクロロシランをその気体状態に変化させることを意味すると理解すべきである。部分的に気化したトリクロロシランは、部分的に気体に変化したトリクロロシランのことを言う即ち、いくらかの量のトリクロロシランが液体状態で残っている。図1に示されるように、熱交換器100は、エンクロージャーと入口開口112と出口開口114とを形成するハウジング110を含む。ハウジング110は、内側116と外側表面118とを有する。ハウジング110は、例えば、鋼又はその合金などの任意の適切な材料から作られている。ハウジングは、本開示の範囲から逸脱せずに、それとは異なって形成されてよい例えば、長方形、正方形、円形などけれども、ハウジング110は、全体の形状がほぼ円筒形状である。ハウジング110もまた、ハウジングが熱伝達液体122概して、熱伝達媒体をそこ以下に更に詳細に示されるに含むことができるように、入口開口及び出口開口以外充分に封止されている。ハウジング110は、また、ハウジング内に熱伝達流体または熱媒体、熱媒液、heattransferfluid122を循環させるように攪拌機図示せず又は他の装置を含んでもよい。加熱器120が、ハウジング110の少なくとも部分の周りに配置されている。加熱器120は、ハウジング110と、ハウジング内に配置されている熱交換器100の他の要素即ち、管、球状部材、熱伝達流体及びトリクロロシランとを加熱するのに適した任意の装置である。加熱器120は、ハウジングに隣接して配置され、及び図1においてハウジング110の外側表面118上に配置されている一方で、他の実施形態では加熱器は、ハウジングの内側116に配置されてよく、又は代わりに、ハウジングと一体に形成されてよい。図1において加熱器120は電気抵抗加熱器である一方で、他の実施形態では加熱器は放射加熱器又は燃焼加熱器であってよい。加熱器120は、その操作を制御するのに適した制御システム図示せずに接続されている。第1管200と第2管210とがハウジング110の内側116に螺旋状配列で配置されている。他の実施形態では単一管を用いてよい一方で、更に他では、2つより多くの管を用いてよい。更に、管200、210は、螺旋状配列でなくてよく、代わりに、ハウジング110の内側116内の任意の適切な位置に用意されてよい。例えば、管200、210はハウジング110内のループ状配列で配置されてよい。図2に示すように、管200、210は、螺旋状配列で配置されており、及び熱伝達流体122がそれぞれの管の周りを循環できるように所定距離それぞれ互いに離間している。管200、210は、1つの実施形態に記載の管の直径と概ね等しい距離により離間してよい。管200、210の側壁206、216は、液体と気体とを浸透させず、及び管から液体の漏れなしにそこを通過する液体例えば、トリクロロシランの流れを可能にする。管200、210の側壁206、216は、また、上昇した温度においてトリクロロシランの存在下で充分に非反応性である例えば、ステンレス鋼又はチタン。管200、210のそれぞれは、別個の入口202、212及び出口204、214を有する。更に、管200、210のそれぞれは、内側キャビティを有し、及び第1管の内側キャビティ220を図3に示す。図3に示すように、球状部材300概して、非反応性部材nonreactivemembersは、球状部材を管内の移動から制限するように緊密に充填された配列でそれぞれの管200、210内に配置されている。管内に球状部材300を保持するように、保持部材図示せずを、管200、210のそれぞれの入口202、212及び出口204、214に用いてよい。保持部材は、そこに形成されている開口を有してよく、該開口は、液体及び/又は気体がそこを通過して流れると同時に球状部材がそうするのを防ぐことができるように、球状部材300の直径よりも小さい直径を有する。加熱器120によってハウジング110と管200、210とを加熱することが球状部材の加熱を生じさせるように、球状部材300は置かれている。ボイド310は、球状部材300と、管200、210の側壁206、216との間の空いた空間によって規定されている。ボイド310は、気体が管200、210を通過して流れるのを可能にしており、及び球状部材300は、液体及び/又は気体の充分な量がボイドを通過して流れることができる寸法にされている。例えば、それぞれの球状部材300は、管200、210の直径の半分よりも小さい直径を有してよい。図3において、球状部材30の直径は、管200の直径の約20であり、従って、管の直径に沿って引かれた線Dが5つの球状部材を横切る。1つの実施形態において、管200、210は、直径が約0.75インチであり、側壁206、216の厚さが約0.065インチであり、及び球状部材300は約0.125インチの直径を有する。異なった寸法にされた球状部材300は、ボイド310の体積を変えるように管200、210に用いてよい。例えば、より大きな直径管の直径との関係での球状部材300を、ボイド310の体積を増加するように用いてよい。なぜなら、相対的に大きな直径の球状部材が、それに対応してより大きな体積を有するボイドをもたらすからである。更に、より小さな直径の球状部材300は、ボイド310の体積を減少するように用いられてよく、及び液体及び/又は気体が、それが管200、210内のボイドを通過して流れている時に接触する球状部材の総表面積を、対応して増加させる。管200、210内に含まれている球状部材300の表面積を増加させることは、ボイド310を通過して流れて球状部材に接触するトリクロロシランに対する熱伝達の増加した量及び速度の両方をもたらす。球状部材300は、非反応性材料から作られており、該非反応性材料は、上昇した温度においてトリクロロシランの存在下で反応せず、又は劣化しない。このような材料の例は、様々なタイプのステンレス鋼、チタン及び超合金を含む。更に、球状部材300は図3に示される一方で、代わりに該部材を異なった形状であってよい。部材300は、部材を管200、210内に緊密に充填された配列で配置できる任意の幾何学的形状を有してよく、該配列は、液体及び/又は気体がそこを通過して流れるのを可能にするボイド310の形成をもたらす。例えば、部材300は、それぞれ、異なる形状例えば、いくらかの部材が球状であってよい一方で、他が立方体又は異なる種類の多角形であるを有してよく、又は部材は、それぞれ類似した形状であってよい。更に、部材300は、それぞれ、異なる不規則な形状を有してよい。熱伝達流体122は、ハウジング110の内側116に配置されており、管200、210を囲んでいる。熱伝達流体122は、熱をハウジング110と加熱器120とから管200、210に伝達するように用いられる。適度に高い熱伝導性を有する任意の適切な流体が用いられてよい。適切な熱伝達流体の例は、液体金属例えば、ナトリウム又は水銀など、水、塩水、油又はそれらの組み合わせを含む。これらの実施形態において、管200、210は、整備例えば、洗浄又は交換のためにハウジング110から除去されてよい。別の実施形態において、熱伝達流体を用いず、代わりに管200、210を、ハウジング110内で管を囲むアルミニウム即ち、熱伝達媒体で覆う。アルミニウムを、まず、液体状態まで溶融し、次いで、溶融したアルミニウムが管200、210を囲むようにハウジング110内に注入し、それから凝固させる。この実施形態では、アルミニウムは、その熱伝導性のために、管200、210を覆うように用いられている。他の実施形態では、管200、210は、異なる種類の金属によって囲まれてよい。図4は、液体トリクロロシランの気化システム400を示す。システムは、図1-3に示されるそれらと類似の又は同じ複数の熱交換器を用いる。図4に示される熱交換器の数及び構成は、本来、例示的であり、及び本開示の範囲から逸脱せずに改良されてよい。例えば、システム400に用いられる加熱器の数及び構成は、気化される液体の流速、液体の沸点、液体の熱的特性例えば、熱伝導性、及び液体が加熱されてよい最大温度によって影響を受け得る。液体トリクロロシランの流れを、まず、2つの平行な流れに分割し、次いで、それぞれ、第1熱交換器402と第2熱交換器404とに別個に供給する。次いで、液体トリクロロシランを、別個の熱交換器の各々から除去する即ち、その出口から流れる前に第1熱交換器402と第2熱交換器404の各々で部分的に気化させる。次いで、部分的に気化したトリクロロシラン即ち、トリクロロシランの部分が液体形態で残る一方で、別の部分が気体状態であるを、第3熱交換器410と第4熱交換器412とに別個に向ける。次いで、部分的に気化したトリクロロシランを、別個の熱交換器から除去する前に第3熱交換器410と第4熱交換器412内で更に気化させる即ち、液体トリクロロシランに対する気体トリクロロシランのパーセントが増加する。次いで、部分的に気化したトリクロロシランの平行な流れを、再び一緒に混合し、及び水素ガスを、部分的に気化したトリクロロシランと混合する。次いで、流れを、2つの部分的な流れに再び分割し、次いで、それぞれ、第5熱交換器420と第6熱交換器422とに別個に供給する。次いで、部分的に気化したトリクロロシランを、実質的に全てのトリクロロシランが気体状態であるところまで第5熱交換機420と第6熱交換器422内で更に気化させる。しかしながら、相対的に少ない量のトリクロロシラン即ち、1重量未満が、第5熱交換器420と第6熱交換器422とから出る際に液体形態で残ってよい。次いで、気化したトリクロロシランの平行な流れを、単一のタンク内に再び集めて、及び後の使用のために蓄え、又は次の処理操作に向ける。図5は、図1~3に関して上述した熱交換器内における液体気化方法500を示す。方法は、熱交換器内の管の入口に入る液体例えば、トリクロロシランのような温度感受性液体の流れの開始を伴うブロック510において始まる。ブロック520において熱交換器内の管を加熱器又は他の熱源によって加熱する。次いで、ブロック530において熱交換器内において球状部材で充填された管内に液体を通過させることによって、液体を気体に気化する。管内の球状部材から液体に伝達される熱によって、液体を気化する。続いて、ブロック540において気体を、熱交換器内の管から除去し、及び次の処理操作において蓄え、又は使用する。図6は、図4において上記に示されたのと類似の又は同じトリクロロシラン気化における液体トリクロロシラン気化方法600を示す。方法は、第1熱交換器内における液体トリクロロシランの流れの開始を伴うブロック610において始まる。続いて、ブロック620において非反応性部材例えば、図1~3の上述した球状部材で充填された管内にトリクロロシランを通過させることによって、液体トリクロロシランを第1熱交換器内で部分的に気化する。ブロック630において部分的に気化したトリクロロシランを第1熱交換器から除去する。次いで、ブロック640において部分的に気化したトリクロロシランを水素ガスと混合する。次いで、部分的に気化したトリクロロシランと水素ガスとの混合物を第2熱交換器内に向ける。続いて、ブロック650において、第2熱交換器内に入ると、第2熱交換器内において非反応性部材で充填された管内に混合物を通過させることによって、混合物を気化する。次いで、ブロック670においてトリクロロシラン及び水素ガスの気化した混合物を第2熱交換器から除去する。任意の特定の理論に縛られずに、管内に配置されている球状部材が、トリクロロシランに伝達される熱の速度及び量を増加させると考えられる。なぜなら、球状部材が、トリクロロシランと接触する熱交換器の表面積を増加させるからである。トリクロロシランと接触する熱交換器の表面積の増加は、従来の管タイプの熱交換器で可能なものより大きい速度で更なる熱がトリクロロシランに伝達するのを可能にする。操作中に、液体トリクロロシランが気化し始め、液体トリクロロシランに対する気体の比率が増加するにつれて、熱伝達係数が増加する。熱伝達係数のこの増加は、部分的に気化されるトリクロロシランに伝達される熱の速度及び量を顕著に減少させる。球状部材を用いない従来の管タイプの熱交換器では、本開示の実施形態と比較すると、残りの量の液体トリクロロシランを気体状態に変化させるのにより長く時間がかかる。従って、トリクロロシランを気化するのに充分な熱をトリクロロシランに伝達するのを確実にするように、管がますます長くなければならず、又はトリクロロシランの流速を低下させる必要がある。上述したように、熱交換器の温度を単に増加させることは、気化する割合を増加するのに実行可能な選択肢ではない。なぜなら、特定温度例えば、450°Fよりも高い温度では、トリクロロシランは過度に腐食性及び反応性を示すようになるからである。従って、従来の管タイプの熱交換器では、トリクロロシランを完全に気化することは、不可能ではないにしても、ますます難しくなる。上述した熱交換器と球状部材は、熱交換器を通過するトリクロロシランと接触する熱交換器の表面積即ち、管と球状部材の表面積を大幅に増加させる。トリクロロシランの実質的な部分が気化されている場合でさえ、表面積のこの増加は、トリクロロシランに熱を伝達する熱交換器の能力の対応する増加をもたらす。従って、トリクロロシランに伝達される熱の速度及び量の増加は、実質的に全ての液体トリクロロシランのその気体状態への変化をもたらす。より大きな熱量がトリクロロシランに伝達されるので、上述した熱交換器の効率もまた増加し、及び液体トリクロロシランが、従来の管タイプの熱交換器と比較した場合に更に速くその気体状態に変化する。その増加した効率に起因して、相対的な管の寸法、長さ、及びトリクロロシランを気化させるのに必要な熱量は、従来の管タイプの熱交換器と比較した場合に減少する。相対的な管の寸法、長さ、及びトリクロロシランを気化させるのに必要な熱量のこの減少は、また、トリクロロシランを気化することに付随した資本コスト即ち、システムの構成要素の実際のコスト及びシステムの操業コストを顕著に減少させる。本明細書で説明される及び記載される本発明の実施形態の実施の順序又は作動の性能は、他に指定がない限り、本質的ではない。即ち、操作は、他に指定がない限り、任意の順序で行われてよく、本発明の実施形態は、本明細書に開示されるそれらに加えた又はそれより少ない操作を含んでよい。例えば、別の操作の前、同時又は後に特定の操作を実施する又は行うことは本発明の態様の範囲内であるとみなされる。本発明の要素又はそれらの実施形態を導入する場合に、冠詞a、an、the及びsaidは、1以上の要素であることを意味することが意図される。用語comprising、including及びhavingは、包含的であり、及び上述した要素以外に付加的な要素があってよいことを意味することが意図される。様々な変化が、本発明の範囲から逸脱せずに上述した構成でなされ得るので、上述した記載に含まれる及び添付図面に示される全ての事柄が、説明するためのものとして解釈され、及び制限する意味ではないと解釈されるものであると意図される。