"光学ビームを導くアレイ型光導波路と、前記アレイ型光導波路からの前記光学ビームを受光するアレイ型フォトダイオードと、前記アレイ型フォトダイオードのアレイ両端それぞれに設置された2個の調整用フォトダイオードと、前記2個の調整用フォトダイオードの調整用光学ビームそれぞれに連結された2個の調整用光導波路とを備え、前記2個の調整用光導波路それぞれから、前記アレイ型光導波路とは別に前記2個の調整用フォトダイオードそれぞれに調整用光学ビームを導き、前記2個の調整用フォトダイオードの光電流と電圧をモニタリングすることで、アレイ型フォトダイオードの連結が確実に行われているか否かを確認するようにした調整機能付きアレイ型フォトダイオード。光学ビームを導くアレイ型光導波路と、前記アレイ型光導波路からの前記光学ビームを受光するアレイ型フォトダイオードと、前記アレイ型フォトダイオードのアレイ両端それぞれに設置された2個の調整用フォトダイオードと、前記2個の調整用フォトダイオードの調整用光学ビームそれぞれに連結された2個の調整用光導波路とを備えた調整機能付きアレイ型フォトダイオードの調整方法であって、前記2個の調整用フォトダイオードの一方の出力が最大となるように前記アレイ型フォトダイオードに対して水平方向及び垂直方向に前記アレイ型光導波路を移動する工程と、前記一方の調整用フォトダイオードの最大出力を維持しつつ、前記2個の調整用フォトダイオードの他方の出力が前記一方の調整用フォトダイオードの出力と同等になるように、前記一方の調整用フォトダイオードを軸として前記アレイ型光導波路を回転させる工程とを有する調整機能付きアレイ型フォトダイオードの調整方法。本発明は、従来技術の課題に鑑みてなされたもので、アレイ型フォトダイオードと光導波路との連結が確実に行われているか否かを確認することができ、テラヘルツ波の発生効率を最大にすることができるテラヘルツ波発生器及びその調整方法を提供することを目的とする。本発明の1つの特徴は、光学ビームを導くアレイ型光導波路と、前記アレイ型光導波路からの前記光学ビームを受光するアレイ型フォトダイオードと、前記アレイ型フォトダイオードのアレイ両端それぞれに設置された2個の調整用フォトダイオードと、前記2個の調整用フォトダイオードの調整用光学ビームそれぞれに連結された2個の調整用光導波路とを備え、前記2個の調整用光導波路それぞれに、前記アレイ型光導波路とは別に前記2個の調整用フォトダイオードそれぞれに調整用光学ビームを導き、前記調整用フォトダイオードの光電流と電圧をモニタリングすることで、アレイ型フォトダイオードの連結が確実に行われているか否かを確認するようにしたテラヘルツ波発生器である。また、本発明の別の特徴は、光学ビームを導くアレイ型光導波路と、前記アレイ型光導波路からの前記光学ビームを受光するアレイ型フォトダイオードと、前記アレイ型フォトダイオードのアレイ両端それぞれに設置された2個の調整用フォトダイオードと、前記2個の調整用フォトダイオードの調整用光学ビームそれぞれに連結された2個の調整用光導波路とを備えたテラヘルツ波発生器の調整方法であって、前記2個の調整用フォトダイオードの一方の出力が最大となるように前記アレイ型フォトダイオードに対して水平方向及び垂直方向に前記アレイ型光導波路を移動する工程と、前記一方の調整用フォトダイオードの出力を維持しつつ、前記2個の調整用フォトダイオードの他方の出力が前記一方の調整用フォトダイオードの出力と同等になるように、前記一方の調整用フォトダイオードを軸として前記アレイ型光導波路を回転させる工程とを有するテラヘルツ波発生器の調整方法である。本発明のテラヘルツ波発生器によれば、2個の調整用フォトダイオードの一方の出力が最大となるようにアレイ型フォトダイオードに対して水平方向及び垂直方向にアレイ型光導波路を移動する工程と、一方の調整用フォトダイオードの出力を維持しつつ、2個の調整用フォトダイオードの他方の出力が一方の調整用フォトダイオードの出力と同等になるように、一方の調整用フォトダイオードを軸としてアレイ型光導波路を回転させる工程とにより、アレイ型フォトダイオードと光導波路との連結が確実に行われているか否かを確認することかできる。以下、本発明の実施の形態を図に基づいて詳説する。図1は本発明の1つの実施の形態の調整機能付きアレイ型フォトダイオードを有するテラヘルツ波発生器10を示す。この実施の形態のテラヘルツ波発生器10は、プレナー光波回路PLCや光ファイバーのような、光学ビームを導くアレイ型光導波路11、光学ビームの焦点を合わせたり光学ビームの方向を制御したりするのに用いる1つ又は複数のレンズLens-1,Lens-2、アレイ型フォトダイオードPD1,PD2,PD3,PD4、電力合成回路12、アレイ型フォトダイオードPD1,PD2,PD3,PD4と電力合成回路12との間にあるインピーダンス整合回路網13、そしてDCバイアスのフォトダイオード用のその他のコンポーネント、例えバイパスキャパシタ14から構成されている。そして本実施の形態の特徴として、アレイ型フォトダイオードPD1~PD4の両端にさらに2個の調整用フォトダイオードmPD1,mPD2を追加し、これらの追加された調整用フォトダイオードmPD1,mPD2の調整用光学ビームmBeam1,mBeam2にも調整用光導波路m11,m12を連結している。追加された調整用光導波路m11,m12は、配列の過程において、他の光導波路11とは別に光信号を導く設定にしている。本実施の形態の場合、一般に2N個のフォトダイオードPD1~PD2Nの一次元的なアレイ配列である場合、必要なのはフォトダイオードmPD1,mPD2の2個と追加された光導波路m11,m12の2本のみである。さらに、アレイ型フォトダイオードPD1~PD4の光電流を測定せずとも、調整用フォトダイオードmPD1,mPD2の光電流Im1,Im2と電圧Vm1,Vm2をモニタリングすることで、アレイ型フォトダイオードPD1~PD4の連結が確実に行われているかを確認することができ、テラヘルツ波の発生効率を最大にすることが可能である。次に、上記実施の形態のテラヘルツ波発生器10の調整方法について説明する。図2に示すように一次元的なアレイ型フォトダイオードPD1~PD4を調整する場合を説明する。フォトダイオードPD1~PD4、調整用フォトダイオードmPD1,mPD2は、64ミクロン間隔に6個配置してある。この配列のアレイ型フォトダイオードは、InPプロセスを用いて作成したものである。使用したレーザーは波長1.5ミクロンサンテック社製でカプラーを使ってプレナー型の光導波路出力のレーザービームの間隔は127ミクロンの両端のみから放射されている。図2のステップ1のように、調整用フォトダイオードmPD1の光導波路m11が給光し、光導波路ホルダーやレンズのセットを制御して、mPD1からの光電流Im1が最大に達するようにする。この段階では、光学ビームは水平X方向と垂直Y方向のみに制御される。尚、図2において、軸AX1は、アレイ型フォトダイオードPD1~PD4のアレイ軸であり、軸AX2は光学ビームのアレイ軸である。次に図2のステップ2のように、もう一方の調整用フォトダイオードmPD2の光導波路m12も給光させ、レンズの倍率や光学ビームの角度を制御して、mPD1の光電流Im1を常に最大に保持しながら、mPD2の光電流Im2も最大に達するように、アレイ軸AX2方向に微調整するとともに、一方の調整用フォトダイオードmPD1を軸にした回転角φを調整する。光学ビームの角度φを制御する際には、mPD1を軸に光導波路11のホルダーを回転させてもよい。結果を図3に示す。調整用フォトダイオードmPD1とmPD2の光電流Im1,Im2のバランス度合いを観察することが重要であり、最良の調整を実現するためには2つの光電流Im1,Im2が同等であることが理想である。図3のグラフにおいて、タイミングtAは調整用フォトダイオードmPD1に対して光電流が最大に達し、調整用フォトダイオードmPD2に対して微調整を開始したタイミングを示す。そしてタイミングtBは、調整用フォトダイオードmPD1の光電流Im1を常に最大に保持しながら、他方の調整用フォトダイオードmPD2の光電流Im2も最大に達するように微調整したタイミングを示す。この調整により、図2のステップ3のように、全ての光学ビームは、各フォトダイオードの最適枠内に完全に一致するか、ほぼ一致すると想定される。したがって、この段階においては、フォトダイオード配列の光電流の総量Im1m2及びmPD1とmPD2の光電流Im1,Im2のバランスを観察しながら、光学ビームが正確に同調される図3のステップ3。以上のテラヘルツ発生器10に対する調整方法により、アレイ型フォトダイオードPD1~PD4とアレイ型光導波路11との連結が確実に行われているか否かを確認することかできる。"