"粉体を収容すると共に、前記粉体を供給先に供給する供給口を有する耐圧容器と、前記耐圧容器内に間欠的な第1の圧力を加える第1の加圧手段と、前記耐圧容器内に連続的な第2の圧力を加える第2の加圧手段と、前記第1および第2の加圧手段を制御して前記耐圧容器内に前記第1および第2の圧力を加え、前記粉体を前記耐圧容器内で浮遊させる制御手段と、を備えることを特徴とする、粉体供給装置。前記第1の加圧手段として、前記耐圧容器内に圧縮した気体を送り込む一又は複数の第1の送気手段を備え、前記耐圧容器は、前記第1の送気手段からの気体を流入させる一又は複数の第1の流入口を有することを特徴とする、請求項1に記載の粉体供給装置。前記耐圧容器は、上面および下面を有する円筒形状を呈し、前記第1の流入口は、前記耐圧容器の内側面に沿う螺旋状の下降気流、および前記下降気流の内側に前記下降気流に伴う上昇気流を発生させる構造を有し、前記供給口は、前記上面における前記上昇気流が衝突する位置に配置されていることを特徴とする、請求項2に記載の粉体供給装置。前記第2の加圧手段として、前記耐圧容器内に圧縮した気体を送り込む第2の送気手段を備え、前記耐圧容器は、前記第2の送気手段からの気体を流入させる第2の流入口を有することを特徴とする、請求項1~3のいずれかに記載の粉体供給装置。前記第2の送気手段から送り込まれる気体による衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備えることを特徴とする、請求項4に記載の粉体供給装置。前記衝撃吸収手段として、前記第2の流入口を塞ぐ多孔質部材を備えることを特徴とする、請求項5に記載の粉体供給装置。前記衝撃吸収手段として、前記第2の流入口に対して所定間隔を空けて対面する対面部材を備えることを特徴とする、請求項5または6に記載の粉体供給装置。前記供給口から供給先への供給経路の帯電量を検出するセンサを備え、前記制御手段は、前記センサの検出結果に基づいて前記第1および第2の加圧手段をフィードバック制御し、前記粉体の供給量を調整することを特徴とする、請求項1~7のいずれかに記載の粉体供給装置。請求項1~8のいずれかに記載の粉体供給装置と、前記粉体供給装置から供給される前記粉体を対象物に散布する粉体散布装置と、を備えることを特徴とする、粉体散布システム。粉体を収容すると共に、前記粉体を供給先に供給する供給口を有する耐圧容器内に、間欠的な第1の圧力および連続的な第2の圧力を加え、前記粉体を前記耐圧容器内で浮遊させることを特徴とする、粉体供給方法。しかしながら、上記の粉体供給装置は、昇降する吸込み管および振動する耐圧容器等の可動部品を備えており、構造が複雑になっている。このため、装置の小型化を阻害したり、保守管理に手間取ったりする等、種々の問題があった。本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、粉体の供給を簡単な構造で実現する粉体供給方法および装置、並びに粉体散布システムを提供することを目的とする。1本発明は、粉体を収容すると共に、前記粉体を供給先に供給する供給口を有する耐圧容器耐圧密閉容器と、前記耐圧容器内に間欠的な第1の圧力を加える第1の加圧手段と、前記耐圧容器内に連続的な第2の圧力を加える第2の加圧手段と、前記第1および第2の加圧手段を制御して前記耐圧容器内に前記第1および第2の圧力を加え、前記粉体を前記耐圧容器内で浮遊させる制御手段と、を備えることを特徴とする、粉体供給装置である。本発明によれば、上記のような昇降する吸込み管および振動する耐圧容器等の可動部品を備えずに、簡単な構造で、粉体の供給を実現できる。このため、装置を小型化できる。また、保守管理が簡単になる。さらに、粉体を耐圧容器内で浮遊させてから供給先に供給するから、異物が混入することなく供給できる。2本発明はまた、前記第1の加圧手段として、前記耐圧容器内に圧縮した気体を送り込む一又は複数の第1の送気手段を備え、前記耐圧容器は、前記第1の送気手段からの気体を流入させる一又は複数の第1の流入口を有することを特徴とする、上記1に記載の粉体供給装置である。3本発明はまた、前記耐圧容器は、上面および下面を有する円筒形状を呈し、前記第1の流入口は、前記耐圧容器の内側面に沿う螺旋状の下降気流を、および前記下降気流の内側に前記下降気流に伴う上昇気流を発生させる構造を有し、前記供給口は、前記上面における前記上昇気流が衝突する位置に配置されていることを特徴とする、上記2に記載の粉体供給装置である。4本発明はまた、前記第2の加圧手段として、前記耐圧容器内に圧縮した気体を送り込む第2の送気手段を備え、前記耐圧容器は、前記第2の送気手段からの気体を流入させる第2の流入口を有することを特徴とする、上記1~3のいずれかに記載の粉体供給装置である。5本発明はまた、前記第2の送気手段から送り込まれる気体による衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備えることを特徴とする、上記4に記載の粉体供給装置である。6本発明はまた、前記衝撃吸収手段として、前記第2の流入口を塞ぐ多孔質部材を備えることを特徴とする、上記5に記載の粉体供給装置である。7本発明はまた、前記衝撃吸収手段として、前記第2の流入口に対して所定間隔を空けて対面する対面部材を備えることを特徴とする、上記5または6に記載の粉体供給装置である。8本発明はまた、前記供給口から供給先への供給経路の帯電量を検出するセンサと、を備え、前記制御手段は、前記センサの検出結果に基づいて前記第1および第2の加圧手段をフィードバック制御し、前記粉体の供給量を調整することを特徴とする、上記1~7のいずれかに記載の粉体供給装置である。上記発明によれば、粉体の供給量を0.1mg単位で調整できる。9本発明はまた、上記1~8のいずれかに記載の粉体供給装置と、前記粉体供給装置から供給される前記粉体を対象物に散布する粉体散布装置と、を備えることを特徴とする、粉体散布システムである。10本発明はまた、粉体を収容すると共に、前記粉体を供給先に供給する供給口を有する耐圧容器内に、間欠的な第1の圧力および連続的な第2の圧力を加え、前記粉体を前記耐圧容器内で浮遊させることを特徴とする、粉体供給方法である。本発明の上記1~8のいずれかに記載の粉体供給装置、上記9に記載の粉体散布システム、および上記10に記載の粉体供給方法によれば、上記のような昇降する吸込み管および振動する耐圧容器等の可動部品を備えずに、簡単な構造で、粉体の供給を実現できる。以下、図面を参照して、本発明に係る粉体散布システム10について詳細に説明する。まず、図1および図2を用いて、粉体散布システム10の構成について詳細に説明する。図1は、粉体散布システム10を示す概略図である。図2は、耐圧容器耐圧密閉容器20の分解斜視図である。図1に示す粉体散布システム10は、粉体YA1を液体等に混ぜずにそのまま散布する乾式散布方式を採用したものであり、より具体的には、粉体YA1を高速気流に乗せて散布する圧送方式を採用したものである。この粉体散布システム10は、例えば、液晶パネルを製造する基板のセル工程において使用され、基板上に粉体YA1を散布してセルギャップを一定に保つために、スペーサを基板上に散布する。粉体YA1には、ミクロオーダ又はナノオーダのもの等が使用される。粉体散布システム10は、基板等の対象物XA1を収容し、その対象物XA1に粉体YA1を散布する粉体散布装置11と、この粉体散布装置11に粉体YA1を供給する粉体供給装置12と、この粉体供給装置12から粉体散布装置11への粉体YA1の供給経路として機能する供給管13と、を備えている。このような圧送方式を採用する粉体散布システム10では、粉体YA1は、供給管13との摩擦による帯電によって、凝集状態のいわゆる二次粒子からいわゆる一次粒子に分散する。その後、粉体散布装置11において、一次粒子に分散している粉体YA1が散布される。粉体YA1の散布量は、粉体YA1の帯電量との間に、すなわち、粉体YA1の帯電に伴って帯電する供給管13の帯電量との間に、相関関係を有する。そこで、粉体散布システム10は、供給管13の帯電量をフィードバック制御することで、すなわち、間接的に粉体YA1の散布量をフィードバック制御することで、粉体YA1の散布量を計測する。なお、粉体YA1の散布量と、供給管13の帯電量と、の間の相関関係のデータは、粉体散布システム10を実際に使用する前に実験を行って収集し、後述する制御ユニット24内のメモリ図示省略に予め記憶されている。このデータの記憶は、粉体散布システム10の製造メーカが製造時に行ってもよいし、粉体散布システム10のユーザが使用前に行ってもよい。以下、各構成要件について説明する。粉体散布装置粉体散布装置11は、粉体YA1を散布する空間を構成するチャンバ14と、このチャンバ14内の天井に配置された散布ノズル15と、チャンバ14内における散布ノズル15の下方に配置されたテーブル16と、等を備えている。チャンバ14は、その側方に、対象物XAを出し入れする扉17を備えていると共に、その下方に排気口18を備えている。散布ノズル15は、テーブル16に向けて粉体YA1を噴出する。この散布ノズル15には、マルチプレックスノズル等を採用できる。マルチプレックスノズルは、複数の入口と複数の出口とを備え、一つの経路から供給された粉体YA1を複数に分岐して散布するものである。マルチプレックスノズルの詳細は、特開2002-148635号公報等を参照されたい。テーブル16には、粉体散布システム10の使用に際し、対象物XA1が載置される。粉体供給装置粉体供給装置12は、粉体YA1を収容する耐圧容器20と、この耐圧容器20を固定するスタンド21と、耐圧容器20内に圧縮した空気等の気体を送り込んで圧力を加える加圧手段として機能する第1および第2の送気手段22,23と、これら第1および第2の送気手段22,23の制御手段として機能する制御ユニット24と、供給管13の帯電量を検出し、その検出結果を制御ユニット24に逐次入力するセンサ25と、を備えている。図2に示す耐圧容器20は、ステンレス等の金属を主として形成されている。この耐圧容器20は、容器本体27と、耐圧容器20の上面を構成する蓋28と、パッキンとして機能するOリング29と、第2の送気手段23から送り込まれる気体による衝撃を吸収する衝撃吸収手段として機能する多孔質部材30およびL字片31と、を備えている。容器本体27は、下面を有する円筒形状を呈し、上端にフランジ部27aを有する。フランジ部27aには、蓋28と対面する上端面に環状の溝符号省略が形成されている。当該溝には、Oリング29が嵌め込まれている。蓋28は、肉厚の円板形状を呈している。蓋28の外側となる上面には、供給管13と、第1および第2の送気手段22,23からの気体の供給経路として機能する第1および第2の樹脂管22a,23aと、が接続されている。蓋28の内側となる下面には、粉体YA1を供給先である粉体散布装置11に供給する供給口28aと、第1の送気手段22からの気体を耐圧容器20内に流入させる四つの第1の流入口28bと、第2の送気手段23からの気体を耐圧容器20内に流入させる第2の流入口28cと、が形成されている。供給口28aは、蓋28の下面中央、すなわち、後述する上昇気流UD1が衝突する位置に形成されている。四つの第1の流入口28bは、蓋28の下面において、供給口28aを囲うように互いに間隔を空けて形成されている。また、これら第1の流入口28bは、耐圧容器20の内側面に沿う螺旋状の下降気流DD1、およびその下降気流DD1の内側に下降気流DD1に伴う上昇気流UD1を発生させる構造を有している。すなわち、各第1の流入口28bは、円板形状を呈する蓋28の下面において、円周方向に傾斜するように上方に向けて穿たれている図示省略。図面中央奥側の第1の流入口28bは、図面左側に傾斜するように上方に向けて穿たれている。図面右側の第1の流入口28bは、図面奥側に傾斜するように上方に向けて穿たれている。図面中央手前側の第1の流入口28bは、図面右側に傾斜するように上方に向けて穿たれている。図面左側の第1の流入口28bは、図面手前側に傾斜するように上方に向けて穿たれている。第2の流入口28cには、多孔質部材30が突出するように嵌め込まれている。多孔質部材30は、第2の流入口28cを塞ぐ。この多孔質部材30は、粉体YA1が第2の樹脂管23aに逆流することを防止する機能を兼ね備える。蓋28の下面において、第2の流入口28cの近傍には、L字片31が固定されている。L字片31における水平面31aは、第2の流入口28cに対して所定間隔を空けて対面する対面部材として、すなわち、第2の送気手段23から送り込まれる気体による衝撃を吸収する衝撃吸収手段として機能する。また、L字片31における垂直面31bは、第2の流入口28cおよび供給口28aを互いに仕切り、第2の流入口28cから流入する気体が、供給口28aから供給されていく粉体YA1に影響を及ぼすことを防止する。蓋28の内部には、供給口28aおよび供給管13の接続箇所を繋ぐ粉体経路28dと、第1の樹脂管22aの接続箇所および四つの第1の流入口28bを繋ぐ第1の加圧経路28eと、第2の樹脂管23aの接続箇所および第2の流入口28cを繋ぐ第2の加圧経路28fと、が形成されている。第1の加圧経路28eには、粉体YA1が第1の樹脂管22aに逆流することを防止する弁図示省略が設けられている。第1の送気手段22は、耐圧容器20内に間欠的に気体を送り込み、耐圧容器20内に間欠的な圧力を加える。この第1の送気手段22は、主として、耐圧容器20内に下降気流DD1および上昇気流UD1を発生させる機能、並びに耐圧容器20内の粉体YA1に衝撃を加えて浮遊させる機能を有する。第2の送気手段23は、耐圧容器20内に連続的な気体を送り込み、耐圧容器20内に連続的な圧力を加える。この第2の送気手段23は、主として、耐圧容器20内の圧力を調整する機能、および供給管13内に耐圧容器20からチャンバ14への気流を発生させる機能を有する。これらの第1および第2の送気手段22,23の動作状況によって、粉体散布装置11への粉体YA1の供給量、すなわち粉体散布装置11における粉体YA1の散布量が決定する。図1に戻って、制御ユニット24は、センサ25によって検出される現時点における供給管13の帯電量に基づいて、第1および第2の送気手段22,23、すなわち、粉体散布装置11への粉体YA1の供給量をフィードバック制御し、粉体YA1の供給量を計測することができる。具体的に、制御ユニット24は、現時点における供給管13の帯電量以下、現在の帯電量と略す。と、予めメモリ図示省略に記憶されている目標値となる供給管13の帯電量以下、目標値となる帯電量と、を比較する。制御ユニット24は、現時点の帯電量が目標値となる帯電量に達している場合、第1および第2の送気手段22,23の動作を停止させ、現時点の帯電量が目標値となる帯電量に達していない場合、第1および第2の送気手段22,23の動作を継続させる。センサ25は、供給管13を仮想接地して供給管13からの放電量を積算するアンプ図示省略で構成され、積算した放電量を供給管13の帯電量として検出する。センサ25の詳細は、特開2009-063786号公報等を参照されたい。供給管供給管13は、ステンレス等の金属製のパイプと、このパイプを被覆する電磁シールドおよび絶縁用のゴムチューブと、を備えているいずれも図示省略。次に、粉体散布システム10の動作順序を説明する。準備段階において、まず、対象物XA1がテーブル16に載置されると共に、粉体YA1が耐圧容器20内に収容される。そして、操作パネル等のマンマシンインタフェース図示省略によって、制御ユニット24に対して粉体YA1の散布量等の設定値および動作開始の信号が入力される。制御ユニット24は、動作開始の信号が入力されると、第1および第2の送気手段22,23を制御して、耐圧容器20内に間欠的な圧力および連続的な圧力を加える。これにより、耐圧容器20内に下降気流DD1および上昇気流UD1が発生すると共に、供給管13内に耐圧容器20からチャンバ14への気流が発生する。粉体YA1は、耐圧容器20内で浮遊すると共に供給管13内の気流に乗って粉体散布装置11に供給され、対象物XA1に散布される。センサ25は、粉体YA1の散布中、粉体YA1の散布量との間に相関関係を有する供給管13の帯電量を検出し、その検出結果を制御ユニット24に逐次入力する。制御ユニット24は、現時点の帯電量が目標値となる帯電量に達している場合、第1および第2の送気手段22,23の動作を停止させ、現時点の帯電量が目標値となる帯電量に達していない場合、第1および第2の送気手段22,23の動作を継続させる。このように、粉体散布システム10によれば、上記特許文献3に記載の粉体散布システムのような昇降する吸込み管および振動する耐圧容器等の可動部品を備えずに、簡単な構造で、粉体の供給を実現できる。このため、粉体散布システム10を構成する粉体供給装置12を小型化できる。また、保守管理が簡単になる。さらに、粉体YA1を耐圧容器20内で浮遊させてから供給先である粉体散布装置11に供給するから、異物が混入することなく供給できる。また、センサ25の検出結果に基づいて第1および第2の送気手段22,23をフィードバック制御するから、粉体散布装置11への粉体の供給量を0.1mg単位で調整できる。本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨および技術的思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。すなわち、上記実施形態において、粉体YA1の散布量と、供給管13の帯電量と、の間の相関関係のデータを、制御ユニット24内のメモリ図示省略に記憶せず、ユーザが、当該相関関係のデータを管理して、供給管13の帯電量を粉体YA1の散布量の代わりとして取り扱うようにしてもよい。あるいは、上記実施形態において、各構成要件の数量、形状、大きさは、適宜変更できる。例えば、第1の送気手段22および第1の流入口28bの数量が挙げられる。具体例としては、複数の第1の流入口28bに一対一で対応する複数の第1の送気手段22を備えるようにしてもよい。この場合、各第1の送気手段22を独立に制御して、一の第1の流入口28bから隣の第1の流入口28bへと順々に切り替えながら気体を流入させることで、螺旋状の下降気流DD1を発生させられる。あるいは、第1の送気手段22および第1の流入口28bを一つずつ備えるようにしてもよい。"