"一般式MxSi12AlOnN16n:Lny式中、0.3≦xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25、金属Mの原子価をa、ランタニド金属Lnの原子価をbとするとき、m=axbyであるで表わされ、α-サイアロンに固溶する金属MMは、La,Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbを除くランタニド金属、Li,Ca,Mg,Ba,SrおよびYからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の一部または全てが、発光の中心となるランタニド金属LnLnは、Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbからなる群から選ばれる少なくとも1種のランタニド金属で置換されたα-サイアロンを主成分とし、粒度分布曲線におけるメジアン径,D50[μm]とBET比表面積から換算される球相当径,DBET[μm]との比率として定義される凝集度指標,A1=D50/DBETが3.0以下であることを特徴とするα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。一般式MxSi12AlOnN16n:Lny式中、0.3≦xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25、金属Mの原子価をa、ランタニド金属Lnの原子価をbとするとき、m=axbyであるで表わされ、α-サイアロンに固溶する金属MMは、La,Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbを除くランタニド金属、Li,Ca,Mg,Ba,SrおよびYからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の一部または全てが、発光の中心となるランタニド金属LnLnは、Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbからなる群から選ばれる少なくとも1種のランタニド金属で置換されたα-サイアロンを主成分とし、粒度分布曲線におけるメジアン径,D50[μm]と走査型電子顕微鏡写真を画像解析することにより計測される一次粒子径Dparticle[μm]との比率として定義される凝集度指標,A2=D50/Dparticleが3.0以下であることを特徴とするα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。粒度分布曲線におけるメジアン径,D50が8.0μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。BET比表面積から換算される球相当径,DBETが8.0μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。走査型電子顕微鏡写真を画像解析することにより計測される一次粒子径Dparticleが8.0μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。粒度分布曲線における90径D90と10径D10との比率,D90/D10が4.0以下であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。前記一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyにおいて、1.0≦n≦1.25であることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。前記一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyにおいて、0.5<n<1.0であり、前記の凝集度指標,A1=D50/DBETが2.0以下であることを特徴とする請求項1に記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。前記一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyにおいて、0.5<n<1.0であり、前記の凝集度指標,A2=D50/Dparticleが2.0以下であることを特徴とする請求項2に記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体。A一般式MxSi12AlOnN16n:Lny式中、0.3≦xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25、金属Mの原子価をa、ランタニド金属Lnの原子価をbとするとき、m=axbyであるで表わされるα-サイアロンに固溶する金属MMは、La,Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbを除くランタニド金属、Li,Ca,Mg,Ba,SrおよびYからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の窒化物、酸窒化物、酸化物、または熱分解により酸化物となる前駆体物質と、金属元素Mの一部または全てを置換し、発光の中心となるランタニド金属LnLnは、Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbからなる群から選ばれる少なくとも1種のランタニド金属の窒化物、酸窒化物、酸化物、または熱分解により酸化物となる前駆体物質とからなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を窒化ケイ素粉末に添加した混合粉末を、窒素を含有する不活性ガス雰囲気中1400~1800°Cで焼成して第1原料粉末を得る第1工程と、B前記第1原料粉末に、前記金属Mの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質と、前記金属元素Mの一部または全てを置換し、発光の中心となる前記ランタニド金属Lnの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質と、窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末、および熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体粉末と、からなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を添加して、前記の一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyで表わされるα-サイアロン組成になるように秤量、混合して、混合粉末を得る第2工程と、C得られた混合粉末を、窒素を含有する不活性ガス雰囲気中1500~2000°Cで焼成する第3工程とを有することを特徴とするα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体の製造方法。前記第2工程が、前記一般式で表わされるα-サイアロンに固溶する金属Mの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質と、前記金属元素Mの一部または全てを置換し、発光の中心となるランタニド金属Lnの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質と、からなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を、窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末および熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体粉末からなる群から選ばれる少なくとも1種類のアルミニウム化合物粉末と共に混合して、第2原料粉末を得た後、前記第1原料粉末と前記第2原料粉末とを、前記の一般式のα-サイアロン組成になるように秤量、混合することにより混合粉末を得る工程であることを特徴とする請求項10記載の酸窒化物蛍光体の製造方法。前記第1工程が、一般式MxSi12AlOnN16n:Lny式中、0.3≦xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25、金属Mの原子価をa、ランタニド金属Lnの原子価をbとするとき、m=axbyであるで表わされるα-サイアロンに固溶する金属MMは、La,Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbを除くランタニド金属、Li,Ca,Mg,Ba,SrおよびYからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質から選ばれる少なくとも1種類の金属Mの化合物と、前記金属元素Mの一部または全てを置換し、発光の中心となるランタニド金属LnLnは、Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbからなる群から選ばれる少なくとも1種のランタニド金属の窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質から選ばれる少なくとも1種類の金属Lnの化合物とを窒化ケイ素粉末に添加した混合粉末を、窒素を含有する不活性ガス雰囲気中1400~1800°Cで焼成して第1原料粉末を得る工程であり、前記第2工程が、窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末および熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体粉末からなる群から選ばれる2種類以上のアルミニウム化合物粉末を混合して、第2原料粉末を得た後、前記第1原料粉末と前記第2原料粉末とを、前記のα-サイアロン組成になるように秤量、混合することにより混合粉末を得る工程であることを特徴とする請求項10記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体の製造方法。前記第1工程が、窒化ユーロピウム粉末、酸窒化ユーロピウム粉末、酸化ユーロピウム粉末または熱分解により酸化ユーロピウムとなる前駆体粉末から選ばれる少なくとも1種類のユーロピウム化合物粉末と、窒化ケイ素粉末と、より成る混合粉末を窒素を含有する不活性ガス雰囲気中1400~1800°Cで焼成して第1原料粉末を得る工程であり、前記第2工程が、前記第1原料粉末に、窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末および熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体粉末からなる群から選ばれる少なくとも1種類のアルミニウム化合物粉末と、および窒化カルシウム、酸窒化カルシウム、酸化カルシウム粉末および熱分解により酸化カルシウムとなる前駆体粉末から選ばれる少なくとも1種類のカルシウム化合物粉末と、ならびに酸化リチウム粉末または熱分解により酸化リチウムとなる前駆体粉末から選ばれる少なくとも1種類のリチウム化合物粉末とを、添加して、一般式Lix’CaxSi12AlOnN16n:Euy式中、0.3≦x’xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25、ユーロピウムEuの原子価をbとするとき、m=x’2xbyであるで表わされるα-サイアロンの組成になるように秤量、混合することにより混合粉末を得る工程であることを特徴とする請求項10記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体の製造方法。前記第1工程が、窒化ユーロピウム粉末、酸窒化ユーロピウム粉末、酸化ユーロピウム粉末または熱分解により酸化ユーロピウムとなる前駆体粉末から選ばれる少なくとも1種類のユーロピウム化合物粉末と、および酸化リチウム粉末または熱分解により酸化リチウムとなる前駆体粉末から選ばれる少なくとも1種類のリチウム化合物粉末と、ならびに窒化ケイ素粉末と、より成る混合粉末を窒素を含有する不活性ガス雰囲気中1400~1800°Cで焼成して第1原料粉末を得る工程であり、前記第2工程が、窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末および熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体粉末からなる群から選ばれる少なくとも1種類のアルミニウム化合物粉末と、および窒化カルシウム、酸窒化カルシウム、酸化カルシウム粉末および熱分解により酸化カルシウムとなる前駆体粉末からなる群から選ばれる少なくとも1種類のカルシウム化合物粉末とを混合して、第2原料粉末を得た後、前記第1原料粉末と前記第2原料粉末とを、一般式Lix’CaxSi12AlOnN16n:Euy式中、0.3≦x’xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25、ユーロピウムEuの原子価をbとするとき、m=x’2xbyであるで表わされるα-サイアロンの組成になるように秤量、混合することにより混合粉末を得る工程であることを特徴とする請求項11記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体の製造方法。前記第1工程が、窒化ユーロピウム粉末、酸窒化ユーロピウム粉末、酸化ユーロピウム粉末または熱分解により酸化ユーロピウムとなる前駆体粉末から選ばれる少なくとも1種類のユーロピウム化合物粉末と、窒化カルシウム粉末、酸窒化カルシウム粉末、酸化カルシウム粉末または熱分解により酸化カルシウムとなる前駆体粉末から選ばれる少なくとも1種類のカルシウム化合物粉末と、酸化リチウム粉末または熱分解により酸化リチウムとなる前駆体粉末と、窒化ケイ素粉末と、より成る混合粉末を窒素を含有する不活性ガス雰囲気中1400~1800°Cで焼成して第1原料粉末を得る工程であり、前記第2工程が、窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末および熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体粉末から選ばれる少なくとも2種類のアルミニウム化合物粉末を混合して、第2原料粉末を得た後、前記第1原料粉末と第2原料粉末とを、一般式Lix’CaxSi12AlOnN16n:Euy式中、0.3≦x’xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25、ユーロピウムEuの原子価をbとするとき、m=x’2xbyであるで表わされるα-サイアロンの組成になるように秤量、混合することにより混合粉末を得る工程であることを特徴とする請求項12記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体の製造方法。前記窒化ケイ素粉末が、含窒素シラン化合物、非晶質窒化ケイ素、および結晶質窒化ケイ素から選ばれる少なくとも1種類の窒化ケイ素粉末であることを特徴とする請求項10~14のいずれかに記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体の製造方法。前記窒化ケイ素粉末が、含窒素シラン化合物、非晶質窒化ケイ素、および結晶質窒化ケイ素から選ばれる2種類以上の窒化ケイ素粉末の混合物であることを特徴とする請求項15記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体の製造方法。焼成によって得られたα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体を、酸洗浄し、余分なガラス相を取り除くことを特徴とする請求項10~12のいずれかに記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体の製造方法。発光光源と一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyで表わされる請求項1~9のいずれかに記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体から構成される照明器具。発光光源が330~500nmの波長の光を発光するLEDであることを特徴とする、請求項18記載の発光光源とα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体から構成される照明器具。励起源と一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyで表わされる請求項1~9のいずれかに記載のα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体から構成される画像表示装置。励起源が電子線、電場、真空紫外線、紫外線であることを特徴とする、請求項20記載の励起源とα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体から構成される画像表示装置。画像表示装置が、蛍光表示管VFD、フィールドエミッションディスプレイFED、プラズマディスプレイパネルPDP陰極線管CRTのいずれかであることを特徴とする、請求項20または21記載の励起源とα-サイアロンを主成分とする酸窒化物蛍光体から構成される画像表示装置。以下、本発明について詳細に説明する。本発明のα-サイアロンは、下記一般式1MxSi12AlOnN16n:Lny1式中、0.3≦xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25で表されるSi、Al、O、Nからなる組成の化合物に,所定量の金属Mが固溶すると共に、固溶した金属Mの一部または全てが、発光の中心となるランタニド金属Lnで置換されたものである。また、本発明の酸窒化物蛍光体は前記のα-サイアロンを主成分とする蛍光体である。固溶させる金属Mは、La,Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbを除くランタニド金属、Li,Ca,Mg,Ba,SrおよびYからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属であり、発光の中心となるランタニド金属Lnは、Ce,Pr,Eu,Dy,Er,Tb,Ybから選ばれる少なくとも1種のランタニド金属である。上記一般式1において、金属Mの原子価をa、ランタニド金属Lnの原子価をbとすると、axby=mである。また、一般式1中の係数mおよびnは、0.3≦m<4.5、0<n<2.25である。mおよびnがこの範囲を外れると、α-サイアロンを形成し難くなるので、好ましくない。mのより好ましい値は0.5<m<2.5である。nのより好ましい値は0.5<n≦1.25、さらに好ましい値は1.0≦n≦1.25である。nが0.5以下になると、蛍光体の発光強度が低下し、nが1.25を超えると、蛍光体粒子の融着凝集が著しくなる。また、上記一般式1における係数nの値が大きくなると、得られる蛍光体の発光スペクトルが短波長側にシフトし、逆に、係数nの値が小さくなると、得られる蛍光体の発光スペクトルが長波長側にシフトする傾向にある。同様に、上記一般式1における係数mnの値が大きくなると、得られる蛍光体の発光スペクトルが短波長側にシフトし、逆に、係数mnの値が小さくなると、得られる蛍光体の発光スペクトルが長波長側にシフトする傾向にある。例えば、本発明のα-サイアロン系酸窒化物蛍光体に固溶させる金属MとしてCa、ランタニド金属LnとしてEuを用いた蛍光体は、発光色が黄色波長約560~590nm程度となり、白色LEDを得るには最適な色調を有している。さらに、上記一般式1における係数mnの値が大きくなると、得られる蛍光体の発光スペクトルのピーク波長が短波長側550nmにシフトし、逆に、係数mnの値が小さくなると、得られる蛍光体の発光スペクトルのピーク波長が長波長側600nmにシフトする。本発明のα-サイアロン系酸窒化物蛍光体の粒度分布曲線におけるメジアン径,D50[μm]とBET比表面積から換算される球相当径,DBET[μm]との比率として定義される凝集度指標,A1=D50/DBETは3.0以下である。A1が3.0を超えると、粒子間の凝集、融着が激しく、白色LED向け等の蛍光体として使用した場合に、入射光の散乱が多くて、吸光度が低下する、得られる発光に色ムラを生ずる、などの問題が発生するので好ましくない。蛍光体粒子としては、単分散の等軸状粒子が望まれている。本明細書において、粒度分布曲線は、JISZ8820に準拠して調製された液中分散試料を用い、レーザー回折散乱法により測定した重量基準の粒子径の分布を篩下積算分布曲線に変換して求められるものであり、メジアン径、D50は、粒度分布曲線における積算割合50に対応した粒子径をいう。また、球相当径とは、粉末が直径の等しい球で構成されていると仮定した場合の粒径であり、粉体工学分野で一般的に用いられる物性値である。直径dの球の体積Vはπd3/6、表面積Sはπd2と表されることから、表面積Sと体積Vとの比はS/V=6/dとなる。BET比表面積SBET[m2/g]は単位重量の粉末当たりの表面積であるから、BET比表面積SBETと球相当径DBET[μm]との関係式は、粉末の密度をρ[g/cm3]とすれば、106ρSBET=6/DBET106となる。これより、DBETはDBET=6/ρSBETと計算される。粒度分布曲線におけるメジアン径,D50[μm]と走査型電子顕微鏡写真を画像解析することにより計測される一次粒子径Dparticle[μm]との比率として定義される凝集度指標,A2=D50/Dparticleについても、同様に、A2が3.0を超えると、粒子間の凝集、融着が激しく、白色LED向け等の蛍光体として使用した場合に、入射光の散乱が多くて、吸光度が低下する、得られる発光に色ムラを生ずる、などの問題が発生するので好ましくない。走査型電子顕微鏡写真を画像解析することにより計測されるα-サイアロン系酸窒化物蛍光体の一次粒子径,Dparticleは8μm以下のものが好ましく、1~6μmのものは特に好ましい。BET比表面積から換算される球相当径,DBETについても、8μm以下のものが好ましく、1~6μmのものは特に好ましい。一次粒子の粒径ばかりでなく、二次粒子の粒径も高度に制御する必要がある。本発明のα-サイアロン系酸窒化物蛍光体の粒度分布曲線におけるメジアン径は、8μm以下のものが好ましく、1~6μmのものは特に好ましい。前記の一次粒子径またはメジアン径が8μmを超えると、エポキシ樹脂やアクリル樹脂などの透光性樹脂との混練物を発光ダイオードLED上に塗布して白色LEDなどの照明器具を作製した場合に、発光強度および色調にバラツキを生じる。更に、本発明のα-サイアロン系酸窒化物蛍光体においては、粒度分布曲線における10径d10と90径d90との比率で定義される分散度d90/d10が4.0以下であることが好ましい。d90/d10比を4.0以下に制御することにより、発光出力が均一かつ良好で、所望の色調を有する照明器具や画像表示装置を得ることができる。以下には、本発明のα-サイアロン系酸窒化物蛍光体の製造方法について説明する。一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyで表わされるα-サイアロンに固溶する金属MMは、La,Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbを除くランタニド金属、Li,Ca,Mg,Ba,SrおよびYからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質、および金属元素Mの一部または全てを置換し、発光の中心となるランタニド金属LnLnは、Ce,Pr,Eu,Dy,Er,Tb,Ybから選ばれる少なくとも1種のランタニド金属の窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質、から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を窒化ケイ素粉末に添加した混合粉末を、窒素を含有する不活性ガス雰囲気中1400~1800°Cで焼成する第1工程で、第1原料粉末を得る。目的とするサイアロン系蛍光体がLix’CaxSi12AlOnN16n:Euy式中、0.3≦x’xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25の場合には、窒化ユーロピウムEuN、酸窒化ユーロピウムEuO,N、酸化ユーロピウムEu2O3または熱分解により酸化ユーロピウムとなる前駆体物質、窒化カルシウム粉末、酸窒化カルシウム粉末、酸化カルシウムCaOまたは熱分解により酸化カルシウムとなる前駆体物質、酸化リチウムLi2Oまたは熱分解により酸化リチウムとなる前駆体物質、からなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を窒化ケイ素粉末に添加混合した混合粉末を、1400~1800°Cで焼成して、第1原料粉末を得る。酸化ユーロピウム粉末は、窒素雰囲気中、高温で焼成することによって、2価の酸化物EuOに還元され、発光源となる。酸化リチウム粉末は、α-サイアロン結晶生成の核発生を促進し、結晶格子内に固溶することで、α-サイアロン相の生成とそれに伴うEu原子の侵入固溶を加速して、発光強度を高める。第1原料粉末の配合組成としては、酸化リチウムLi2Oまたは熱分解により酸化リチウムとなる前駆体物質を含有することが好ましい。Li源となる物質を含まない場合には、若干、凝集粒子、融着粒子が生成し、本発明の製造方法の効果が減じられる傾向にあるので、好ましくない。酸化カルシウム粉末は、α-サイアロン結晶格子内に固溶することで、α-サイアロン相の格子間隔を広げ、格子の膨張に伴い、Eu原子の侵入固溶量を増大させて、発光強度を高める。前記第1原料粉末を得るための原料物質の調合は、各々の原料物質と粉砕媒体を、混合容器内に投入し、ボールミル、振動ミル等の粉砕機を用いて、0.25~2時間、粉砕混合することによって実施される。第1工程の焼成は、窒素含有不活性ガス雰囲気中で行う。好ましくは、窒素雰囲気中で行う。窒化ケイ素源として、含窒素シラン化合物および/または非晶質窒化ケイ素粉末を含有する窒化ケイ素粉末を用いた場合の焼成条件は、結晶化開始温度範囲1150°C~1250°Cの間を毎時10~100°C程度の昇温速度で緩速昇温しながら、1400~1800°Cまで焼成することで、一次粒子の分散した、主として結晶質窒化珪素および/または窒化ケイ素含有複合酸窒化物より成る等軸晶の焼成粉末を得ることが出来る。昇温速度が毎時10°C以下の場合には、焼成に長時間を要するので、生産性が低下する。逆に、毎時100°C以上の場合には、焼成後に針状晶や極微粒のもやもやとした凝集融着粒子を含んだ粉末となるので好ましくない。第1工程での焼成粉末は、第2原料との混合状態を良くするために、目開き350~590μmの篩を通過させた後に第1原料粉末とする。第2工程においては、前記第1原料粉末に、前記金属Mの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質、前記金属元素Mの一部または全てを置換し、発光の中心となる前記ランタニド金属Lnの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質、窒化アルミニウム粉末、および酸化アルミニウム粉末、からなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を添加して、前記の一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyで表わされるα-サイアロン組成になるように秤量、混合して、所望の組成を有する混合粉末を得る。目的とするサイアロン系蛍光体がLix’CaxSi12AlOnN16n:Euy式中、0.3≦x’xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25の場合には、前記第1原料粉末に、窒化ユーロピウムEuN、酸窒化ユーロピウムEuO,N、酸化ユーロピウムEu2O3または熱分解により酸化ユーロピウムとなる前駆体物質、窒化カルシウムCa3N2、酸窒化ユーロピウムCaO,N、酸化カルシウムCaOまたは熱分解により酸化カルシウムとなる前駆体物質、酸化リチウムLi2Oまたは熱分解により酸化リチウムとなる前駆体物質、窒化アルミニウム粉末および/または酸化アルミニウム粉末、からなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を添加して、前記の一般式Lix’CaxSi12AlOnN16n:Euyで表わされるα-サイアロン組成になるように秤量、混合して、所望の組成を有する混合粉末を得る。第3工程では、得られた混合粉末を窒化ケイ素製坩堝に充填して、1500~2000°Cで焼成する。焼成雰囲気は、窒素を含有する不活性ガス雰囲気中で行う。好ましくは窒素雰囲気中で行うが、少量の水素、アンモニア、炭化水素メタン、エタンなど、一酸化炭素を流通させてもかまわない。本発明によるα-サイアロン系酸窒化物蛍光体の製造方法の、別の実施形態においては、まず、前記の製造方法と同じ第1工程を採用して、第1原料粉末を得る。第2工程においては、前記の一般式で表わされるα-サイアロンに固溶する金属Mの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質、前記金属元素Mの一部または全てを置換し、発光の中心となる前記ランタニド金属Lnの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質からなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を、窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末および熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体粉末からなる群から選ばれる少なくとも1種類のアルミニウム化合物粉末と共に混合して、第2原料粉末を得た後、前記第1原料粉末と前記第2原料粉末とを、前記の一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyで表わされるα-サイアロン組成になるように秤量、混合して、所望の組成を有する混合粉末を得る。目的とするサイアロン系蛍光体がLix’CaxSi12AlOnN16n:Euy式中、0.3≦x’xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25の場合における第2工程の原料調合は、窒化ユーロピウムEuN、酸窒化ユーロピウムEuO,N、酸化ユーロピウムEu2O3または熱分解により酸化ユーロピウムとなる前駆体物質、窒化カルシウムCa3N2、酸窒化ユーロピウムCaO,N、酸化カルシウムCaOまたは熱分解により酸化カルシウムとなる前駆体物質、酸化リチウムLi2Oまたは熱分解により酸化リチウムとなる前駆体物質、からなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物、およびアルミニウム源となる物質を粉砕媒体と共に混合容器内に入れ、ボールミル、振動ミル等の粉砕機を用いて0.25~2時間、粉砕、混合する。粉砕混合時間が0.25時間未満では混合が不十分となり、得られるサイアロン系酸窒化物蛍光体の発光強度を下げる原因となる。逆に、粉砕混合時間が2時間を越えると、粉砕媒体の混入量が増大する。第2工程で用いる原料粉末の秤量および混合時の雰囲気は、大気雰囲気下でかまわないが、湿度が高い場合は、窒素アルミニウムの一部が加水分解または酸化されて、原料粉末中の酸素濃度が高くなり、その結果として、凝集粒子、融着粒子の生成割合を増大してしまうので、注意が必要である。このようにして調整した混合粉末は、第1原料との混合状態を良くするために、混合粉末を目開き350~590μmの篩を通過させた後に、第2原料粉末とする。得られた前記第1原料粉末と前記第2原料粉末とを、前記の一般式Lix’CaxSi12AlOnN16n:Euyで表わされるα-サイアロン組成になるように秤量、混合して、所望の組成を有する混合粉末を得る。第3工程では、得られた混合粉末を窒化ケイ素製坩堝に充填して、1500~2000°Cで焼成する。焼成容器としては窒化ケイ素製坩堝以外に黒鉛製、炭化ケイ素製および窒化ホウ素製坩堝を用いることはできる。黒鉛製容器の場合には、その内壁を窒化ケイ素、窒化ホウ素等で被覆しておくことが好ましい。焼成雰囲気は、窒素を含有する1気圧の不活性ガス雰囲気中で行う。また、加圧された窒素含有不活性ガス雰囲気中で焼成を行なうことも出来る。好ましくは窒素雰囲気中で焼成を行うが、少量の水素、アンモニア、炭化水素メタン、エタンなど、一酸化炭素を流通させてもかまわない。1気圧の窒素雰囲気下での焼成温度は、1500~1800°C、好ましくは1550~1750°Cである。1500°C以下では、所望とするα-サイアロン系酸窒化物粉末の生成に長時間の加熱を要し、実用的でない。また、生成粉末中におけるα-サイアロン相の生成割合も低下する。1気圧の窒素雰囲気下では、1800°Cを超えると、窒化ケイ素およびサイアロンが昇華分解してしまい、遊離のシリコンが生成するので好ましくない。焼成時間が1時間未満では、得られるサイアロン系酸窒化物蛍光体の発光強度が低く、過度に長い焼成時間では、生産性が悪い。また、融着粒子、粗大粒子の割合を増加傾向にある。一方、加圧窒素ガス雰囲気下では、1600~2000°C、好ましくは1600~1900°Cの温度範囲で焼成することもできる。この場合には、窒素ガス加圧により、高温下での窒化ケイ素およびサイアロンの昇華分解が抑制され、短時間で所望のα-サイアロン系蛍光体を得ることができる。窒素ガス圧を高くすることで焼成温度を上げることができるが、例えば5気圧の窒素ガス加圧下では1600~1850°C、50気圧の窒素ガス加圧下では1600~2000°Cで焼成することができる。本発明によるα-サイアロン系酸窒化物蛍光体の製造方法の、さらに別の実施形態においては、まず、前記第1工程において、一般式MxSi12AlOnN16n:Lny式中、0.3≦xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25、金属Mの原子価をa、ランタニド金属Lnの原子価をbとするとき、m=axbyであるで表わされるα-サイアロンに固溶する金属MMは、La,Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbを除くランタニド金属、Li,Ca,Mg,Ba,SrおよびYからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質から選ばれる少なくとも1種類の金属Mの化合物と、前記金属元素Mの一部または全てを置換し、発光の中心となるランタニド金属LnLnは、Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbからなる群から選ばれる少なくとも1種のランタニド金属の窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により酸化物となる前駆体物質から選ばれる少なくとも1種類の金属Lnの化合物とを窒化ケイ素粉末に添加した混合粉末を、窒素を含有する不活性ガス雰囲気中1400~1800°Cで焼成して第1原料粉末を得る。目的とするサイアロン系蛍光体がLix’CaxSi12AlOnN16n:Euy式中、0.3≦x’xy<1.5,0<y<0.7,0.3≦m<4.5、0<n<2.25の場合には、窒化ユーロピウムEuN、酸窒化ユーロピウムEuO,N、酸化ユーロピウムEu2O3または熱分解により酸化ユーロピウムとなる前駆体物質、から選ばれる少なくとも1種類のユーロピウム化合物と、窒化カルシウムCa3N2、酸窒化ユーロピウムCaO,N、酸化カルシウムCaOまたは熱分解により酸化カルシウムとなる前駆体物質、から選ばれる少なくとも1種類のカルシウム化合物と、酸化リチウムLi2Oまたは熱分解により酸化リチウムとなる前駆体物質、および窒化ケイ素粉末を粉砕媒体と共に混合容器内に入れ、ボールミル、振動ミル等の粉砕機を用いて0.25~2時間、粉砕、混合する。粉砕混合時間が0.25時間未満では混合が不十分となり、得られるサイアロン系酸窒化物蛍光体の発光強度を下げる原因となる。逆に、粉砕混合時間が2時間を越えると、粉砕媒体の混入量が増大する。第2工程においては、前記第1原料粉末に、窒化アルミニウム粉末または酸窒化アルミニウム粉末を添加して、前記の一般式MxSi12AlOnN16n:Lnyで表わされるα-サイアロン組成になるように、秤量、混合を行い、所望の組成を有する混合粉末を得る。第2工程において添加するアルミニウム化合物が、窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末および熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体粉末からなる群から選ばれる2種類以上のアルミニウム化合物粉末である場合には、選ばれた2種類以上のアルミニウム化合物粉末を予め混合して、第2原料粉末を得た後、前記第1原料粉末と前記第2原料粉末とを、前記のα-サイアロン組成になるように秤量、混合することにより混合粉末を得る。第2工程で用いる原料粉末の秤量および混合時の雰囲気は、大気雰囲気下でかまわないが、湿度が高い場合は、窒素アルミニウムの一部が加水分解または酸化されて、原料粉末中の酸素濃度が高くなり、その結果として、凝集粒子、融着粒子の生成割合を増大してしまうので、注意が必要である。第3工程で得られた焼成粉末を、鉱酸を用いて酸処理することにより、余分なガラス相を取り除く。例えば、0.1~6規定の硝酸を加え、1~10時間撹拌することで余分なガラス相を溶出、除去する。硝酸濃度が0.1規定未満の場合には、ガラス相の溶出が不十分で、得られる蛍光体の発光強度が低くなる。逆に、6規定を超えると、処理過剰となり、廃液処理等の費用が高くなるので好ましくない。鉱酸としては、硝酸以外に、硫酸、塩酸、フッ酸、またはこれらの鉱酸の混合溶液を用いる。酸処理後のスラリーは、水洗、湿式篩分け、ろ過、乾燥を行うことで、所望の粒度を有するα―サイアロン系酸窒化物粉末を得る。乾燥は、例えば、120°Cで行う。ここで、アルミニウム源となる物質としては、窒化アルミニウムAlN粉末単独、AlNとアルミニウムAlとの混合粉末、あるいはAlN粉末とアルミニウムの酸化物または熱分解により酸化アルミニウムとなる前駆体物質の混合粉末のいずれかを用い、α-サイアロン生成に必要な窒化アルミニウム源および/または酸化アルミニウム源とする。熱分解により金属Mの酸化物となる前駆体物質、ランタニド金属Lnの酸化物となる前駆体物質,およびアルミニウムの酸化物となる前駆体物質としては、それぞれの元素の水酸化物、炭酸塩、炭酸水素アンモニウム塩、硝酸塩、アルコキシドなどが挙げられ、それぞれ粉末の状態で用いられる。具体的には、熱分解により酸化リチウムとなる前駆体物質としては、例えば、炭酸リチウムLi2CO3、水酸化リチウムLiOH、硝酸リチウムLiNO3などが挙げられる。熱分解により、酸化カルシウムとなる前駆体物質としては、例えば、炭酸カルシウムCaCO3、水酸化カルシウムCaOH2、硝酸カルシウムCaNO32、塩化カルシウムCaCl2などが挙げられる。熱分解により酸化アルミニウムAl2O3となる前駆体物質としては、例えば、水酸化アルミニウムAlOH3、アルミニウムのアンモニウムドーソナイト塩AACHNH4AlCO3OH2などが挙げられる。さらに、熱分解によりランタニド金属Lnの酸化物となる前駆体物質としては、例えば、酸化ユーロピウムEu2O3の場合、Eu2C2O43、EuOH3、EuCl3、EuNO33などが挙げられる。炭酸リチウム粉末の添加量は、前記の一般式Lix’CaxSi12AlOnN16n:Euyにおける組成比x’で、0.03≦x’≦0.20であることが好ましい。x’が0.03未満になると、得られるサイアロン系酸窒化物蛍光体の発光強度を高める効果は小さくなり、x’が0.20を超えると、炭酸リチウム等の原料から持ち込まれる酸素の量が増えるため、得られるサイアロン系酸窒化物蛍光体の酸素濃度が上昇して、融着粒子、凝集粒子の割合を増大してしまう。本発明に用いられる含窒素シラン化合物としては、シリコンジイミドSiNH2、シリコンテトラアミド、シリコンニトロゲンイミド、シリコンクロルイミド等が挙げられる。これらは、公知方法、例えば、四塩化ケイ素、四臭化ケイ素、四沃化ケイ素等のハロゲン化ケイ素とアンモニアとを気相で反応させる方法、液状の前記ハロゲン化ケイ素と液体アンモニアとを反応させる方法などによって製造される。また、非晶質窒化珪素粉末は、公知方法、例えば、前記含窒素シラン化合物を窒素又はアンモニアガス雰囲気下に600~1200°Cの範囲の温度で加熱分解する方法、四塩化ケイ素、四臭化ケイ素、四沃化ケイ素等のハロゲン化ケイ素とアンモニアとを高温で反応させる方法などによって製造されたものが用いられる。非晶質窒化珪素粉末及び含窒素シラン化合物の平均粒子径は、通常、0.005~0.05μmである。前記の含窒素シラン化合物、非晶質窒化ケイ素粉末は加水分解し易く、酸化され易い。したがって、これらの原料粉末の秤量は、不活性ガス雰囲気中で行う。また、第1工程における原料粉末の混合も不活性ガス雰囲気中で行う。水分または酸素を含む雰囲気中で混合した場合には、原料となる含窒素シラン化合物または非晶質窒化ケイ粉末が酸化され、原料粉末の酸素濃度が増して、得られるサイアロン系酸窒化物蛍光体中の融着粒子凝集粒子の割合を増大してしまう。原料として用いる窒化ケイ素粉末中の結晶質成分の割合が95重量を超えると、第1工程で得られる第1原料粉末が強く融着して、第2工程での混合状態を悪化させる。さらに、第3工程で得られるサイアロン系酸窒化物粉末が強固に融着して硬く、強力な粉砕処理が必要となるので、好ましくない。窒化ケイ素源としては、粒子径が0.1μm以上10μm以内の結晶質窒化ケイ素を用いることができるが、結晶質窒化ケイ素の粒子径が細かいほど、第1工程、及び第3工程で得られる焼成粉末の融着、焼結が進行して、硬くなり、長時間の粉砕処理が必要となってくる。原料として用いる窒化ケイ素粉末中の結晶質成分の割合が5~95重量の場合には、反応性は高く、出発原料を混合して坩堝中で焼成するという通常の粉末焼成法で効率良く、サイアロン粉末を作製することができる。しかしながら、この製造法で得られたサイアロン粉末は、主として20μm以上の凝集粒子で構成されおり、所望の粒度の蛍光体粉末を得るには、やはり粉砕処理が必要であった。この問題を解消するために、第1工程において、結晶質窒化ケイ素の割合が5重量未満であって、残部が非晶質窒化ケイ素および/または含窒素シラン化合物である窒化ケイ素粉末に、ランタニド金属Luの窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解によりランタニド金属Ln酸化物となる前駆体物質、金属MMは、Li,Ca,Mg,Y、またはLa,Ce,Pr,Eu,Dy,Er,TbおよびYbを除くランタニド金属から選ばれる少なくとも1種の金属の窒化物、酸窒化物、酸化物または熱分解により金属Mの酸化物となる前駆体物質、から選ばれる少なくとも1種類の金属化合物を混合し、窒素含有不活性ガス雰囲気中1400~1800°Cで焼成することによって、第1原料粉末を調整することが望ましい。結晶質窒化ケイ素の割合が5重量未満である場合には、後工程としての粉砕処理が不要となるという利点がある。第1工程で得られた第1原料粉末の走査型電子顕微鏡観察によれば、一次粒子がほぼ単分散の状態にあり、凝集粒子、融着粒子は非常に少ない。一方、第1工程でアルミニウム源となる物質を混合した場合は、得られるサイアロン系酸窒化物蛍光体の凝集、融着および粗大化が進行し、好ましくない粒子形態を有する粒子の生成割合が増大するばかりでなく、発光強度も低下するので好ましくない。従来技術を採用して、予め、総ての原料粉末を同時に混合した後に焼成するという製造方法で得られたα-サイアロン系酸窒化物蛍光体は、20μm未満の粒子の生成割合が60重量未満で、しかも粒径20μm未満の粒子の発光強度は低い。これは、粒子表面の欠陥が増大するためと考えられる。また、粒径が20μmを超えると、粒子の凝集により、白色LEDに応用した場合に、発光強度が著しく不均一になるので好ましくない。本発明のα-サイアロン系酸窒化物蛍光体は、2~20μmの範囲の粒径を有する粒子の生成割合が、85重量以上で、凝集が少なく、しかも粒径20μm未満の粒子の発光強度が高い特徴がある。前記の第1原料粉末や第2原料粉末を混合する方法については、特に制約は無く、それ自体公知の方法、例えば、乾式混合する方法、各原料物質と実質的に反応しない不活性溶媒中で湿式混合した後に溶媒を除去する方法などを採用することができる。混合装置としては、V型混合機、ロッキングミキサー、ボールミル、振動ミル、媒体攪拌ミルなどが好適に使用される。各原料粉末と粉砕媒体を、容器内に入れ、ボールミル、振動ミル等の粉砕機を用いて0.25~2時間粉砕混合する。粉砕混合時間が0.25時間未満では混合が不十分となり、得られるサイアロン蛍光体の発光強度を下げる原因となる。粉砕混合時間が2時間を越えると、粉砕媒体の混入量が増す。第1工程および第3工程の焼成に使用される加熱炉については、とくに制約は無く、例えば、高周波誘導加熱方式または抵抗加熱方式によるバッチ式電気炉、ロータリーキルン、流動化焼成炉、プッシャ-式電気炉などを使用することができる。本発明の、希土類元素で賦活させたα-サイアロン系蛍光体は、公知の方法でエポキシ樹脂やアクリル樹脂等の透明樹脂と混練して、コーティング剤を製造することが出来、該コーティング剤で表面をコーティングされた発光ダイオードは、白色LEDなどの高輝度照明器具や電子線などの励起源を用いた画像表示装置として使用される。以下では、具体的な例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。比表面積測定には島津製作所製フローソーブ2300型を用いた。試料をセルに入れ、脱気処理後、窒素ガスを吸着、脱着させ、脱着ガス量からBET1点法により求めた。粒度分布測定には、堀場製作所製LA-910型レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いた。分散剤としてサンノプコ社製SNディスパーサント5468を添加し、出力100wの超音波バスを用いて、試料を水中に均一分散させた。分散液を測定装置に注入し、レーザー回折散乱法により重量基準の粒子径分布を測定して、篩下積算分布曲線に変換した。α―サイアロン系酸窒化物粒子の屈折率は1.28とした。粒子形態観察には、日本電子製JSMT-220走査型電子顕微鏡を用いた。試料台上に分散させた粉末試料に金蒸着を施した後に、装置に試料を装填し、倍率1000~3000倍で粒子形態を観察した。生成粉末の走査型電子顕微鏡写真を画像解析して、一次粒子径を求めた。画像解析に際しては、個々の一次粒子の外形を確定し、粒子の外形のうち幅の広い方向から長軸径を、長軸と直交する幅の狭い側の寸法から短軸径を求めた。長軸径および短軸径の測定は、500個以上の粒子について行なった。生成粉末は、大部分がアスペクト比1.5未満の等軸状粒子であるので、一次粒子径は短軸径と長軸径の相乗平均として算出した。実施例1四塩化ケイ素とアンモニアを室温以下の温度で反応させることにより得られたシリコンジイミドSiNH2を700~1200°Cで加熱分解して、シリコンニトロゲンイミドSi2N2NHおよび/または非晶質窒化ケイ素粉末を得た。シリコンニトロゲンイミドSi2N2NHなどおよび/または非晶質窒化ケイ素粉末の金属不純物含有量は10ppm以下であった。含窒素シラン化合物シリコンジイミドSiNH2,シリコンニトロゲンイミドSi2N2NH、非晶質窒化ケイ素、および結晶質窒化ケイ素から選ばれる窒化ケイ素源となる化合物を、表1に示した化学組成となるように配合したものを窒化ケイ素原料として使用した。焼成後にSi925Eu015Ca062Li010O089N1233という化学組成となるように、窒化ケイ素原料に酸化ユーロピウムEu2O3粉末、炭酸リチウムLi2CO3粉末および炭酸カルシウムCaCO3粉末を秤量、添加して、窒素雰囲下において、25分間、振動ミルによって混合した。混合粉末を窒化ケイ素製坩堝に充填し、抵抗加熱式電気炉内に装填して、窒素ガス雰囲気中に、室温から1150°Cまでを2時間、1150°Cから1250°Cまでを50°C/h、1250°Cから1635°Cまでを100°C/hの昇温速度という昇温スケジュールで加熱し、1635°Cで1時間保持、焼成して、第1原料粉末を得た。焼成粉末の走査型電子顕微鏡観察によれば、等軸晶より成る一次粒子が分散して、極度に凝集粒子、融着粒子の少ない粉末が生成していた。第1原料粉末は目開き350μmの篩を通過させた。次いで、窒化アルミニウムAlN粉末、酸化アルミニウムAl2O3粉末をAl275O018N261の化学組成になるように秤量し、大気雰囲気下において、35分間、振動ミルによって混合して、第2原料粉末を得た。第2原料粉末も目開き350μmの篩を通過させた。第1原料粉末と第2原料粉末を、Ca062Eu015Li010Si925Al275O107N1494という化学組成で、総量75gになるように、各々秤量し、1リットルのポリエチレン製容器に入れ、82rpmの回転数で3分間、回転させながら、混合した。混合により得られた原料粉末を窒化ケイ素製坩堝に充填し、抵抗加熱式電気炉に装填して、窒素ガス雰囲気下に、室温から1200°Cまでを2時間、1200°Cから1650°Cまでを昇温速度200°C/hという昇温スケジュールで加熱し、1650°Cで20時間保持して、焼成した。得られた焼成粉末は、窒化ケイ素製乳鉢で軽く解砕した。解砕後のα―サイアロン系粉末20gを1規定硝酸水溶液205gと共に250mlのポリエチレン製容器に入れ、102rpmの回転数で5時間回転させながら、酸処理した。酸処理後のスラリーを、目開き10μmの篩を通した後、水洗、ろ過し、設定温度120°Cの乾燥器内で6時間乾燥した。上記の工程で得られたα―サイアロン系粉末について、化学組成の分析、電子顕微鏡による粒子形態観察、比表面積、粒度分布などの粉体特性を評価した。生成粉末の走査型電子顕微鏡写真を画像解析して、一次粒子径を求めた。画像解析に際しては、個々の一次粒子の外形を確定し、粒子の外形のうち幅の広い方向から長軸径を、長軸と直交する幅の狭い側の寸法から短軸径を求めた。長軸径および短軸径の測定は、500個以上の粒子について行なった。生成粉末は、大部分がアスペクト比1.5未満の等軸状粒子であるので、一次粒子径は短軸径と長軸径の相乗平均として算出した。また、得られたα―サイアロン系粉末の蛍光特性を評価するために、蛍光測定装置JASCO社製FP-6500を用いて、検出波長570~595nmにおける励起スペクトルと励起波長450nmにおける発光スペクトルを測定した。蛍光特性は、市販品のYAG:Ce系蛍光材料化成オプトニクス社製P46Y3の同励起波長による発光スペクトルの最高発光強度564nmにおけるピーク強度の値を100とした場合の相対値で、表2に示した。実施例2含窒素シラン化合物シリコンジイミドSiNH2,シリコンニトロゲンイミドSi2N2NH、非晶質窒化ケイ素、および結晶質窒化ケイ素から選ばれる窒化ケイ素源となる化合物の配合割合、第1工程および第2工程における焼成条件を、若干変更した以外は、実施例1と同様の操作を繰り返して、α―サイアロン系酸窒化物蛍光体を得た。第1工程および第2工程より成るα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の合成条件を表1に、得られた酸窒化物蛍光体の粉体特性および蛍光特性を、表2に示す。実施例2で得られたα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の励起波長450nmにおける発光スペクトルを、比較例4で得られたα―サイアロン系酸窒化物蛍光体および市販品のYAG:Ce系蛍光材料化成オプトニクス社製P46Y3の発光スペクトルと共に、図2に示した。実施例3~15実施例1と同様に、含窒素シラン化合物シリコンジイミドSiNH2,シリコンニトロゲンイミドSi2N2NH、非晶質窒化ケイ素、および結晶質窒化ケイ素から選ばれる窒化ケイ素源となる化合物を、表1に示した化学組成となるように配合したものを窒化ケイ素原料として使用した。焼成後にSi12EuyLix’O05x’15yδN1643ここで、0≦δ≦0.5yという化学組成となるように、窒化ケイ素原料に酸化ユーロピウムEu2O3粉末および酸化リチウム前駆体の粉末を秤量、添加して、窒素雰囲下において、表1に記載の条件で、振動ミルによる混合を行なった。混合粉末を窒化ケイ素製坩堝に充填し、抵抗加熱式電気炉内に装填して、窒素ガス雰囲気中に、室温から1150°Cまでを2時間、1150°Cから1250°Cまでを50°C/h、1250°Cから所定の保持温度までを100°C/hの昇温速度という昇温スケジュールで加熱し、表1に記載の条件で1時間保持、焼成して、第1原料粉末を得た。焼成粉末のX線回折測定によれば、α―Si3N4相含有率94以上であり、走査型電子顕微鏡観察では、等軸晶より成る一次粒子が分散して、極度に凝集粒子、融着粒子の少ない粉末が生成していた。第1原料粉末は目開き350μmの篩を通過させた。次いで、窒化アルミニウムAlN粉末、酸化アルミニウムAl2O3粉末、および炭酸カルシウムCaCO3粉末を所定の化学組成になるように秤量し、大気雰囲気下において、表1に記載の条件で、振動ミルによる混合を行い、第2原料粉末を得た。第2原料粉末も目開き350μmの篩を通過させた。第1原料粉末と第2原料粉末を、焼成後にCaxEuyLix’Si12AlOnN16nという化学組成になるような配合割合で、総量75gになるように、各々秤量し、1リットルのポリエチレン製容器に入れ、82rpmの回転数で3分間、回転させながら、混合した。混合により得られた原料粉末を、実施例1と同様の操作で、表1に記載の条件で焼成した。得られた焼成粉末は、実施例1と同様に、解砕、酸処理、水洗、ろ過、乾燥を行なった。上記の工程で得られたα―サイアロン系酸窒化物粉末の化学組成、粉体特性および蛍光特性の評価結果を、表2に示した。蛍光特性の評価には、蛍光測定装置JASCO社製FP-6500を用い、検出波長570~595nmにおける励起スペクトルと励起波長450nmにおける発光スペクトルを測定した。実施例9で得られたα―サイアロン系酸窒化物粉末の走査型電子顕微鏡写真を、図1に示す。実施例16第1工程の原料調製では、焼成後にSi12EuyCaxOx15yδN1643という化学組成となるように、窒化ケイ素原料に酸化ユーロピウムEu2O3粉末と炭酸カルシウムCaCO3粉末を秤量、添加して、窒素雰囲下において、45分間、振動ミルによって混合した以外は、実施例1と同様の操作を繰り返して、α―サイアロン系酸窒化物蛍光体を得た。第1工程および第2工程より成るα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の合成条件を表1に、得られた酸窒化物蛍光体の粉体特性および蛍光特性を、表2に示す。実施例17第2工程の原料調製において、アルミニウム源として窒化アルミニウムAlN粉末のみを用いた以外は、実施例1と同様の操作を繰り返して、α―サイアロン系酸窒化物蛍光体を得た。第1工程および第2工程より成るα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の合成条件を表1に、得られた酸窒化物蛍光体の粉体特性および蛍光特性を、表2に示す。実施例18第1工程の原料調製において、炭酸カルシウムCaCO3粉末に代えて、窒化カルシウムCa3N2をカルシウム源として用いた以外は、実施例17と同様の操作を繰り返して、α―サイアロン系酸窒化物蛍光体を得た。第1工程および第2工程より成るα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の合成条件を表1に、得られた酸窒化物蛍光体の粉体特性および蛍光特性を、表2に示す。実施例19第1工程の原料調製において、炭酸カルシウムCaCO3粉末に代えて、窒化カルシウムCa3N2をカルシウム源として用い、酸化ユーロピウムEu2O3に代えて窒化ユーロピウムEuNをユーロピウム源として用いた以外は、実施例17と同様の操作を繰り返して、α―サイアロン系酸窒化物蛍光体を得た。第1工程および第2工程より成るα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の合成条件を表1に、得られた酸窒化物蛍光体の粉体特性および蛍光特性を、表2に示す。実施例20第1工程の原料調製では、焼成後にSi12EuyO15yδN1643という化学組成となるように、窒化ケイ素原料に酸化ユーロピウムEu2O3粉末を秤量、添加して、混合した以外は、実施例3と同様の操作を繰り返して、α―サイアロン系酸窒化物蛍光体を得た。第1工程および第2工程より成るα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の合成条件を表1に、得られた酸窒化物蛍光体の粉体特性および蛍光特性を、表2に示す。実施例21第1工程の原料調製では、焼成後にSi12EuyO15yδN1643という化学組成となるように、窒化ケイ素原料に酸化ユーロピウムEu2O3粉末を秤量、添加して、混合した以外は、実施例3と同様の操作を繰り返して、第1原料粉末を得た。焼成粉末のX線回折測定によれば、α―Si3N4相含有率95であり、走査型電子顕微鏡観察では、等軸晶より成る一次粒子が分散して、極度に凝集粒子、融着粒子の少ない粉末が生成していた。第1原料粉末は目開き350μmの篩を通過させた。次いで、窒化アルミニウムAlN粉末、酸化アルミニウムAl2O3粉末、炭酸カルシウムCaCO3粉末、炭酸リチウムLi2CO3粉末、および第1原料粉末を、焼成後にCaxEuyLix’Si12AlOnN16nという化学組成になるような配合割合で、総量75gになるように、各々秤量し、1リットルのポリエチレン製容器に入れ、82rpmの回転数で3分間、回転させながら、混合した。この混合粉末も目開き350μmの篩を通過させた。混合により得られた原料粉末を、実施例3と同様の操作で、表1に記載の条件で焼成した。得られた焼成粉末は、実施例3と同様に、解砕、酸処理、水洗、ろ過、乾燥を行い、α―サイアロン系酸窒化物蛍光体を得た。第1工程および第2工程より成るα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の合成条件を表1に、得られた酸窒化物蛍光体の粉体特性および蛍光特性を、表2に示す。比較例1四塩化ケイ素とアンモニアを室温以下の温度で反応させることにより得られたシリコンジイミドSiNH2を1200°Cで加熱分解して、非晶質窒化ケイ素粉末を得た。非晶質窒化ケイ素粉末の金属不純物含有量は10ppm以下であった。非晶質窒化ケイ素粉末を窒化ケイ素原料として使用し、焼成後にCaxEuySi12AlOnN16nδという化学組成となるように、窒化ケイ素原料に酸化ユーロピウムEu2O3粉末、窒化カルシウムCa3N2粉末、および窒化アルミニウムAlN粉末を秤量、添加して、窒素雰囲下において、所定の時間、振動ミルによって混合して、原料粉末を得た。原料粉末は目開き350μmの篩を通過させた。混合により得られた原料粉末を窒化ケイ素製坩堝に充填し、抵抗加熱式電気炉内に装填して、窒素ガス雰囲気中に、室温から1150°Cまでを2時間、1150°Cから1250°Cまでを50°C/h、1250°Cから所定の保持温度までを100°C/hの昇温速度という昇温スケジュールで加熱し、表1に記載の条件で16時間保持、焼成した。得られた焼成粉末は、実施例1と同様に、解砕、酸処理、水洗、ろ過、乾燥を行なった。上記の工程で得られたα―サイアロン系酸窒化物粉末の化学組成、粉体特性および蛍光特性の評価結果を、表2に示した。蛍光特性の評価には、蛍光測定装置JASCO社製FP-6500を用い、検出波長570~595nmにおける励起スペクトルと励起波長450nmにおける発光スペクトルを測定した。比較例2、3焼成後にCaxEuyLix’Si12AlOnN16nという化学組成となるように、非晶質窒化ケイ素粉末に酸化ユーロピウムEu2O3粉末、炭酸リチウムLi2CO3粉末、炭酸カルシウムCaCO3粉末、および窒化アルミニウムAlN粉末、酸化アルミニウムAl2O3粉末から選ばれるアルミニウム源化合物を秤量、添加して、窒素雰囲下において、所定の時間、振動ミルによって混合して、原料粉末を得た。原料粉末は目開き350μmの篩を通過させた。混合により得られた原料粉末を、比較例1と同様に、表1に記載の条件で焼成した後、実施例1と同様に、解砕、酸処理、水洗、ろ過、乾燥を行なった。上記の工程で得られたα―サイアロン系粉末について、化学組成の分析、電子顕微鏡による粒子形態観察、比表面積、粒度分布などの粉体特性を評価した。生成粉末の走査型電子顕微鏡写真を画像解析して、一次粒子径を求めた。生成粉末はアスペクト比1.2未満の等軸状粒子であるので、一次粒子径は短軸径と長軸径の平均として測定した。また、得られたα―サイアロン系粉末の蛍光特性を評価するために、蛍光測定装置JASCO社製FP-6500を用いて、検出波長570~595nmにおける励起スペクトルと励起波長450nmにおける発光スペクトルを測定した。蛍光特性は、市販品のYAG:Ce系蛍光材料化成オプトニクス社製P46Y3の同励起波長による発光スペクトルの最高発光強度564nmにおけるピーク強度の値を100とした場合の相対値で、表2に示した。比較例4~7シリコンニトロゲンイミドSi2N2NH、非晶質窒化ケイ素、および結晶質窒化ケイ素から選ばれる窒化ケイ素源となる化合物を、表1に示した化学組成となるように配合したものを窒化ケイ素原料として使用した。焼成後にCaxEuySi12AlOnN16nという化学組成となるように、窒化ケイ素原料に、所定量の酸化ユーロピウムEu2O3粉末、炭酸カルシウムCaCO3粉末窒化アルミニウムAlN粉末および酸化アルミニウムAl2O3粉末を秤量、添加して、窒素雰囲下において、表1に記載の条件で、振動ミルによる混合を行なった。混合により得られた原料粉末を、比較例1と同様に、表1に記載の条件で焼成し、比較例1と同様に、解砕、酸処理して、所定の目開き10~20μmの篩を通した後、水洗、ろ過、乾燥を行なった。上記の工程で得られたα―サイアロン系酸窒化物粉末の化学組成、粉体特性および蛍光特性の評価結果を、表2に示した。蛍光特性の評価には、蛍光測定装置JASCO社製FP-6500を用い、検出波長570~595nmにおける励起スペクトルと励起波長450nmにおける発光スペクトルを測定した。比較例4で得られたα―サイアロン系酸窒化物蛍光体の励起波長450nmにおける発光スペクトルを、実施例2で得られたα―サイアロン系酸窒化物蛍光体および市販品のYAG:Ce系蛍光材料化成オプトニクス社製P46Y3の発光スペクトルと共に、図2に示した。表2より、含窒素シラン化合物シリコンジイミドSiNH2,シリコンニトロゲンイミドSi2N2NH、非晶質窒化ケイ素、および結晶質窒化ケイ素から選ばれる窒化ケイ素源となる化合物に、酸化ユーロピウムEu2O3粉末、窒化ユーロピウムEuN粉末、炭酸カルシウムCaCO3粉末、窒化カルシウムCa3N2粉末、および酸化リチウムの前駆体粉末から選ばれる化合物の粉末を混合、焼成するという第1工程で得られた第1原料粉末を、第2工程において、窒化アルミニウム粉末、酸化アルミニウム粉末、および炭酸カルシウム粉末から選ばれる化合物の粉末を混合した第2原料粉末と混合した後、第2工程で再度焼成するという、二段階の焼成プロセスの採用によって、凝集、融着が少ない高分散性のサイアロン系酸窒化物蛍光体の得られることが分かる。また、同表より、このような一次粒子径が大きくて、粒度分布曲線におけるメジアン径二次粒子径との一次粒子径との比率として定義される凝集度指標が3.0以下の蛍光体は、従来の製造方法で得られる蛍光体に比べて、著しく蛍光強度が高いことが分かる。次に、本発明のサイアロン系酸窒化物からなる蛍光体を用いた照明器具について説明する。実施例22いわゆる砲弾型白色発光ダイオードLEDランプを製作した。本実施例では、実施例1で合成したサイアロン系酸窒化物蛍光体を、必要に応じて、他の蛍光体粉末と混合した後、エポキシ樹脂に混合した。まず、1組のリードワイヤの一方にある素子載置用の凹部に青色LED素子をダイボンディングし、リードワイヤと青色発光ダイオード素子の下部電極とを電気的に接続して、固定した。次に、青色LED素子の上部電極ともう一方のリードワイヤとをワイヤボンディングし、電気的に接続した。次に、青色LED素子を被覆するようにして、本発明の蛍光体を含むエポキシ樹脂をディスペンサで適量塗布し、硬化させて、第一の樹脂部を形成した。最後にキャスティング法により、リードワイヤの先端部、青色発光ダイオード素子、蛍光体を分散した第一の樹脂を、全体が略円柱形状となるように、第二の樹脂で封止した。本実施例では、第一の樹脂と第二の樹脂の両方に同じエポキシ樹脂を使用したが、シリコン樹脂等の他の樹脂あるいはガラス等の透明材料を使用しても良い。樹脂としては、できるだけ紫外光による劣化の少ない材料を選定することが好ましい。実施例1~20で合成したサイアロン系酸窒化物蛍光体を用いた場合には、蛍光が均一で色ムラが無く、製品ロット内およびロット間の輝度、色度の変動が小さくて、製品歩留りが高かった。本実施の白色LEDランプは、その先端部がレンズ形状の曲面となっていることから、砲弾型と通称されている。比較例8実施例21と同様の方法で砲弾型白色LEDランプを製作した。比較例1~7で合成したサイアロン系酸窒化物蛍光体を用いた場合には、発光にやや色ムラが認められ、製品ロット内およびロット間の輝度、色度の変動が大きくて、製品歩留りが低かった。実施例23図3に示す基板実装用チップ型白色LEDランプを製作した。透光性樹脂として、室温の粘度が50Pである液状のエポキシ樹脂を使用した。実施例で得られたα-サイアロン系酸窒化物蛍光体をエポキシ樹脂との質量比が6:100となるように混合して、蛍光体を分散させた混練物を得た。該混練物は、光源であるLED上に塗布され、蛍光を発する層として利用した。光源としては、主発光ピークが450~470nmのInnAlmGa1N窒化物系半導体を発光層に持つ青色LEDを用意した。図3に示す成形体パッケージ4の凹部に、この青色LED2を前記のエポキシ樹脂1で固定した。35μmの金線を用いて、青色LEDの各電極と各リード電極5とを、それぞれワイヤボンディングして、電気的に接続した。α-サイアロン系酸窒化物蛍光体を含有するエポキシ樹脂を青色LED2を配置した成形体パッケージ4の凹部に流し込んだ後、120°Cで4時間硬化させ,光源が蛍光層でコーティングされた白色LEDランプを得た。得られた基板実装用チップ型白色LEDランプが白色光を発する照明装置として機能することを確認するために、白色LEDランプの各500個に対して発光特性を測定して、発光強度の平均値と標準偏差を調べ、素子毎の特性の変動状況を把握した。また、色調の変動状況についても調べた。実施例1~20で合成したサイアロン系酸窒化物蛍光体を用いた場合には、蛍光が均一で色ムラが無く、製品ロット内およびロット間の輝度、色度の変動が小さくて、製品歩留りが高かった。比較例9実施例22と同様の方法で基板実装用チップ型白色発光ダイオードランプを製作した。比較例1~7で合成したサイアロン系酸窒化物蛍光体を用いた場合には、発光にやや色ムラが認められ、製品ロット内およびロット間の輝度、色度の変動が大きくて、製品歩留りが低かった。次に、本発明の蛍光体を用いた画像表示装置について説明する。実施例24本発明の実施例1で得られた蛍光体をプラズマディスプレイパネル用のセルの内面に塗布し、電極に通電して、セル中でXe放電による真空紫外線を発生させた。この真空紫外光により蛍光体が励起されて、黄色の可視光を発し、この発光が保護層、誘電体層、ガラス基板を介して外側から観察され、画像表示として機能することを確認した。"