円筒状に巻かれたコイルの焼鈍を行うコイル焼鈍装置であって、前記コイルの端面が載置されて前記コイルを横に倒した状態で支持するコイル支持台と、該コイル支持台側から該コイル支持台に載置された前記コイルの内面側に冷却ガスを吐出する吐出ノズルと、該吐出ノズルから吐出された冷却ガスを吸入する吸入ノズルを有する冷却装置とを備えたことを特徴とするコイル焼鈍装置。前記コイルの両端の開口を塞ぐ断熱部材を設置したことを特徴とする請求項1記載のコイル焼鈍装置。前記吐出ノズルは、上方に向かって拡径するように形成された筒状の板材が所定の隙間を介して複数枚重ね合わされてなり、前記隙間から冷却ガスを吐出するように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のコイル焼鈍装置。前記吐出ノズルは、前記コイルの内面に挿入されると共に周面に複数の孔が設けられた多孔管体からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のコイル焼鈍装置。前記冷却ガスは、アルゴン、窒素又はこれらの混合ガスであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のコイル焼鈍装置。請求項1乃至5のいずれかに記載のコイル焼鈍装置を用いたコイル焼鈍方法であって、コイルの加熱時、均熱時及び冷却時に前記冷却装置によってコイル内面側を冷却することを特徴とするコイル焼鈍方法。特許文献1特開昭5935635号公報の方法では、コイルを焼鈍する際には必ず厚い板厚と薄い板厚を有するコイルを準備する必要があり、非常に効率が悪くなる。さらにリコイリングも実施しなければならず、工程が煩雑になるだけでなく、コストにもかかわってくる。また、特許文献2特開平5287390号公報の方法は、冷却時の温度差をうまくとることで密着および巻き緩みを防止しようとしているが、実際には欠陥は加熱均熱時にも発生しており、冷却時のみではなく根本的な解決にはならない。また、特許文献3特開平5295453号公報は、バッチ式の焼鈍炉の構造をインナーカバー付の二重構造として冷却速度の温度条件を50~150°CHrとすることで、焼きつき疵の問題を解決しているが、冷却の際の温度降下がかなり遅く、効率の面を考慮すると工業化は難しいという問題がある。また、特許文献4特開2006274343号公報では、コイルの内側にカバーを行い、コイルのバックリングを防止する方法が述べられているが、コイルのカバーによる座屈についても温度分布についての影響が不明であり、完全にコイル欠陥が低減するかどうかは不明である。また、特許文献5特開2006257486号公報では、炉のインナーカバーを断熱材にて覆うもしくは内張りすることで炉内を均一温度分布するようにしているが、断熱材が張られているインナーカバーの加熱に際して、最適なコイル温度分布が得られているかどうかは不明である。そのため、この対策により完全にコイル欠陥が低減するかどうかは不明である。従来のバッチ焼鈍において、焼鈍時にコイルに種々の欠陥耳伸び耳歪み縦じわ等が発生しており、それらについて、上記特許文献1~4により解決が図られている。しかしながら、抜本的な解決策はなく、また解決策はあっても実施するにはさらなる生産効率の低下およびコスト高を招く結果となっている。そのため、欠陥発生による非効率およびコスト高をとるか、開示された公開特許文献に示されている対策により欠陥の低減を図るが同時に非効率およびコスト高を取るかの二者択一の状態となっているのが現状である。本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、コイルの焼鈍時に発生するコイル欠陥を低減すると共に生産性を確保しつつさらにコスト面からも問題ない技術を提供することを目的としている。従来例においてはコイルに生ずる欠陥低減の基本的な考え方は、欠陥発生の原因が炉内温度不均一にあると考え、炉内温度を測定し、炉内温度分布を得て、その分布を低減するように加熱法を工夫したり、あるいは炉の外壁構成を変更したりしていた例えば、特許文献3、4参照。しかしながら、炉内温度分布の低減を図ったとしても欠陥が発生する場合があり、そのため欠陥除去のための製造工程を完全にはなくすことができず、結局生産ラインおよびコストを下げることができなかった。そこで、発明者は、欠陥発生の原因について詳細に調査を実施し、原因を特定することを試みた。詳細調査のため、炉内温度の他、コイル内部およびコイルを保持しているサポート台等まで熱電対により温度測定を実施した。また、同時に伝熱計算を実施し、熱電対によって測定できない部分についても温度分布を求め、それらのコイルへの影響を測定した。図13、図14は従来の焼鈍炉41の説明図であり、図13はインナーカバーの一部を切断面にして示し、図14は全断面を示している。また、図15は図14の一部を拡大して示す拡大図である。さらに、図16は、コイル支持台の説明図であり、一部を切断面で示している。従来の焼鈍炉41は、コイル支持台7の上に断熱材からなるスペーサ20を介してクッション材21が設置され、その上にコイル9が横向きの状態で載置されている。そして、コイル9及びコイル支持台7を覆うようにインナーカバー5が設置されており、インナーカバー5の外周部には断熱材11が設置されている。また、コイル9の上端部には蓋13が設置されている図14参照。コイル支持台7は、図15、図16に示すように、円筒状の脚部17と該脚部17の上部に設けられたコイル9を支持するドーナツ状の載置部15とを有している。つまり、支持台の全体形状は、中心部に貫通孔19を有し、径方向断面が略T字状をしている。上記のように構成された焼鈍炉41においては、炉内をバーナ等図示なしで加熱することで、放射熱によってインナーカバー5が加熱され、その輻射熱でコイル9が加熱される。発明者は上記の焼鈍炉41において、前述したように熱電対を用いて温度分布を詳細に調査した。それと共に解析モデルを用いて伝熱計算を実施した。図17が解析モデルの説明図であり、中心線の片側のみを図示している。解析モデルは、図13、図14に示した従来型の焼鈍炉41と同形状とし、インナーカバー5の周面に断熱材11を設置し、またコイル支持台7上にクッション材21を設置し、さらにコイル9の上面にコイル9の孔を覆うように断熱材からなる蓋13を設置している。コイル形状は、20tonコイルで、内径1000mmφ×コイル幅1150mmHである。支持台の下部には炉床ヒータを設置した。解析結果を図18~図21に基づいて説明する。図18は、径方向の圧縮応力を示すグラフであり、縦軸が応力MPa、横軸が加熱時間tHrを示している。図18に示すように、加熱開始から約25時間経過した時点でr方向の圧縮応力のピークが発生している。図19は周方向θ方向の圧縮応力を示すグラフであり、縦軸が応力MPa、横軸が加熱時間tHrを示している。図19に示すように、加熱開始から約25時間経過した時点でθ方向の圧縮応力のピークが発生している。図20は、応力ピーク時の温度分布を示す図である。図20から分かるように、応力ピーク時には、コイル下部におけるコイル9の中心部から外周側に少し入った部位の温度が最も低くなっていることが分かる。また、図21は応力ピーク時における応力分布を示す図であり、図21から分かるように、応力ピーク時には、r方向、θ方向共にコイル9の中心部と外周部との間に大きな応力分布が生じていることが分かる。以上の伝熱計算の結果及び熱電対での温度分布測定の結果から、従来は単純な温度分布に起因する熱変形により耳伸びコイル上部耳歪みコイル下部腹伸び縦じわ等が発生していると考えられたが、それらは単純な温度分布にみに起因して発生しているのではないことが明らかとなった。発明者はコイル9の加熱過程に発生する欠陥の原因を以下のように考察した。コイル9の径方向の中心部から外周側に少し寄った位置に温度の最も低い点冷点が存在する図20参照。そのため、コイル9の径方向の温度勾配は、中心部から外周側に向かって順次高くなるのではなく、中心部近くに極小値を持つことが分かる。温度勾配に極小値が存在するため、コイル9は加熱時の膨張の過程において、コイル9の冷点近くで巻き締まりの現象が生じ、これによって応力が発生していると考えられる。そして、このような巻き締まりの現象が生ずることで、以下のような状況が生ずると考えられる。バッチ炉の炉壁およびインナーカバー5等の外側から加熱されて、熱放射によってコイル9が加熱されるため、最初にコイル外周部分の温度が上昇することとなる。そのため、加熱時には、コイル外周部が内周部に比較して熱膨張が大きくなる。そして、コイル9に巻き締まりが生ずると、隣接する板同士が自由に動けないので、図22に示されるように、熱膨張の大きいコイル外周部の下端部でコイル全体を持ち上げて保持しているような状態となる。また、コイル外周下端部が外側に膨らむことにより、単に膨張による耳歪みとなるだけでなく、コイル9の重量をこの箇所で支えるため、それによる変形も発生し、さらにコイル9が膨張する際にコイル下のスペーサ20との摩擦による変形も生ずることとなる。さらに、図22のような状態になっていると、図23に示すように、コイル9における径方向の途中にずりが発生することも考えられる。また、コイルの冷却時には、放射冷却によりコイル9が冷却されるので、コイル9の外周部から冷却されることになる。そのため、加熱時とは逆に、図24に示すように、コイル9の外周部が先に収縮しコイル9の内周部によってコイル9を支えるような状態が発生する。コイル冷却時にこのような状態になっていると、コイル加熱時と同様に、図25に示すように、コイル9における径方向の途中にずりが発生することも考えられる。以上の考察から、発明者はコイルの加熱時及び冷却時においてコイルの径方向の部位において、巻き締まりが生じない状況をつくることで、上記のような現象が防止できると考えた。つまり、従来の温度分布温度勾配を作らない緩やかな加熱及びコイル昇温という考えとは全く違い、コイルが巻き締まらないような温度勾配であればそれを許容する、さらに言えば積極的に温度勾配をつくることでコイル欠陥を抑制するという課題を解決できるとの知見を得た。これにより高品質の確保と同時に生産性を確保できる。そして、温度勾配をつくるための手段として、本発明においては、コイルの中心部を積極的に冷却させるという手段を採用したものである。1本発明に係るコイル焼鈍装置は、円筒状に巻かれたコイルの焼鈍を行うコイル焼鈍装置であって、前記コイルの端面が載置されて前記コイルを横に倒した状態で支持するコイル支持台と、該コイル支持台側から該コイル支持台に載置された前記コイルの内面側に冷却ガスを吐出する吐出ノズルと、該吐出ノズルから吐出された冷却ガスを吸入する吸入ノズルを有する冷却装置とを備えたことを特徴とするものである。2また、上記1に記載のものにおいて、前記コイルの両端の開口を塞ぐ断熱部材を設置したことを特徴とするものである。3また、上記1又は2に記載のものにおいて、前記吐出ノズルは、上方に向かって拡径するように形成された筒状の板材が所定の隙間を介して複数枚重ね合わされてなり、前記隙間から冷却ガスを吐出するように構成されていることを特徴とするものである。4また、上記1又は2に記載のものにおいて、前記吐出ノズルは、前記コイルの内面に挿入されると共に周面に複数の孔が設けられた多孔管体からなることを特徴とするものである。5また、上記1乃至4のいずれかに記載のものにおいて、前記冷却ガスは、アルゴン、窒素又はこれらの混合ガスであることを特徴とするものである。6本発明に係るコイル焼鈍方法は、上記1乃至5のいずれかに記載のコイル焼鈍装置を用いたコイル焼鈍方法であって、コイルの加熱時、均熱時及び冷却時に前記冷却装置によってコイル内面側を冷却することを特徴とするものである。本発明に係るコイル焼鈍装置においては、コイルの内面側に冷却ガスを吐出する冷却装置を設けたことにより、コイル加熱時及び又は冷却時にコイル内面側を冷却することでコイル径方向の温度勾配における極小点発生を抑制することができ、これによりコイル加熱過程においてコイルに強い巻き締まりが生じず、巻き締まりに起因するコイル欠陥発生を抑制することができる。[実施の形態1]本発明の一実施の形態に係るコイル焼鈍装置1は、図1に示すように、炉の外壁3、外壁3内に設置されたインナーカバー5、インナーカバー5内に設置されたコイル支持台7、コイル支持台7側からコイル支持台7に載置されたコイル9の内面側に延出してコイル9の内面側を冷却する冷却ガスを吐出する吐出ノズル8及び該吐出ノズル8によって吐出された冷却ガスを吸入する吸入ノズル10と有する冷却装置12図4参照を備えている。円筒状のコイル9はコイル支持台7上に端面を当接させてコイル9が横向きになるように載置される。インナーカバー5の外周部には断熱材11が巻かれ、コイル9上部の開口部には断熱用の蓋13が設置されている。インナーカバー5の外側にはバーナー図示なしが設置され、バーナーによる熱放射によってコイル9が加熱される。以下、コイル焼鈍装置1の主要な構成を詳細に説明する。<コイル支持台>コイル支持台7は、載置部15と、脚部17を備えている。脚部17から載置部15に貫通する貫通孔19が設けられており、貫通孔19に冷却塔10が立設されている。載置部15には、断熱材からなるスペーサ20が設置され、その上にクッション材21が設置され、さらにその上にコイル9が載置されるようになっている。断熱材からなるスペーサ20を設置することで、コイル支持台7側からの熱の伝達を少なくしている。<冷却装置>本実施の形態の冷却装置12は、コイル9内面側に冷却ガスを吐出してコイル内面側を冷却するものである。冷却装置12は、図4に示すように、冷却ガスを吐出する吐出ノズル8と、吐出ノズル8から吐出された冷却ガスを吸入する吸入ノズル10と、冷却ガスが流れて循環する循環路を形成するガス通流管14と、冷却ガスを冷却するための熱交換器16とを備えている。吐出ノズル8から吐出された冷却ガスは、図4に示すように、コイル内面側を上昇する際にコイル内面側を冷却して吸入ノズル10に吸入される。吸入ノズル10に吸入された冷却ガスは図示しない循環路において熱交換されて冷却され、再び吐出ノズル8からコイル内面側に吐出される。吐出ノズル8に繋がる冷却ガスが流れるガス通流管14は、図1に示すように、コイル支持台7の貫通孔19に立設されており、ガス通流管14における貫通孔19に配置される部位には断熱材32が巻かれ、コイル支持台7側から冷媒への入熱を小さくしている。本実施の形態では、下側に配置されたガス通流管14の上端部が吐出ノズル8になっており、上側に配置されたガス通流管14の下端部が吸入ノズル10になっている。吐出ノズル8から吐出する冷却ガスとしては、窒素アルゴンを含む不活性ガスを用いるのが好ましい。上記のように構成されたコイル焼鈍装置1においては、バーナーによって炉内を加熱し、バーナーによる放射熱でインナーカバー5内のコイル9が加熱される。本実施の形態のコイル支持台7は載置部15に断熱材からなるスペーサ20を設置すると共にコイル上端面に断熱材からなる蓋13が設置されているので、コイル内面側への入熱が小さくなるようになっている。加熱中、吐出ノズル8から冷却ガスを吐出してコイル内面側を冷却する。コイル内面側を冷却することによって、コイル9の径方向の温度勾配が、外側が高く、中央部が低くなる。これによって、従来例ではコイル中心部からコイル外周部に亘る温度勾配に極小値が発生していたが、これがほとんどない状態となる。温度勾配に極小値が発生しないため、コイル9は加熱される過程で、外側の熱膨張が大きく、中央部に向かって熱膨張が小さくなるという単純な膨張形態を呈する。これをコイル9全体としてみると、コイル9が巻き緩む状態となる。したがって、加熱の過程で、外側のコイル9が熱膨張しても、コイル9全体として巻き緩むために、コイル板同士の摩擦が少なく、内側のコイル9がコイル支持台7の台部15から浮上ることはなく、コイル9の下端面全体が台部15に当接した状態になる。よって、従来例のように加熱の過程でコイル9の外周端部でコイル9全体を支えるような状態にならず、そのような状態になることに起因する数々のコイル欠陥耳歪みコイル下部鋼板密着等の発生が抑制される。冷却過程において、インナーカバー5の外及び内側に大気を流すことで冷却が行われる。また、冷却過程においても、加熱過程と同様に、吐出ノズル8から冷却ガスを吐出することでコイル内面側を冷却する。内面側を冷却することで、コイル9の径方向の温度勾配が、加熱過程の場合と同様に、外側が高く、中央部が低くなる状態になる。これにより、コイル中心部からコイル外周部に亘る温度勾配に極小値が発生しない状態となる。そのため、上記の加熱過程と同様に、極小値の発生に起因したコイル欠陥の発生が抑制される。以上のように、本発明によれば、加熱過程及び冷却過程におけるコイル欠陥の発生を抑制することができると共に、従来では不可能であった1個のコイル内に発生する特性のばらつきの抑制を達成することが可能となった。これによりさらに高い特性を焼鈍工程において狙うことが可能となり、製品の高品質化も期待できる。コイル内部は空洞になっており、インナーカバー5からの輻射および底部にある床ヒーターからの輻射に対して、そのまま加熱されるため、コイル温度を所望の温度まで上げようとすると、コイル内側の温度も上昇せざるを得ない。コイル内側の温度を低く抑えるため、断熱材13をコイル9の上部に配置して輻射熱が入るのを防止しても、断熱材を通して輻射が行われたり、さらには炉底の床ヒーターからの輻射もあったりしており、温度上昇は免れない。そのため、コイル内部をコイル外側より低温に保持する方法として加熱を実施するにあたり、昇温速度を遅くして加熱を実施することも考えられるが、加熱に長時間を要しコスト増になるし、必ずしも完全に温度勾配の極小点を抑制することはできない。また、炉内で冷却する場合、どうしても内側の温度が高くなるため、温度分布をコイル品質に影響のない程度まで落として冷却を実施する必要があり、そのような実施ではさらなるコスト増となる。しかし、本実施の形態で示したコイル焼鈍装置1によればこのようなコスト増になることなく、効率よくコイル欠陥のないコイルの焼鈍ができる。[実施の形態2]実施の形態1においては、吐出ノズル8を円筒状のパイプによって形成したが、本実施の形態2は、吐出ノズル8の他の態様として、図5に示すように、先端に蓋体28を有すると共に、上方に向かって拡径する逆円錐筒状にした板18を複数枚重ねて、蓋体28と板18の隙間30及び重ねた板18間の隙間22から冷却ガスを拡散して吐出できるようにしたものである。本明細書において拡散板型ノズルという場合あり。このような形状にすることで、吐出ノズル8から吐出される冷却ガスがコイル9の内面側に向けて拡散しやすくなり、均一にコイルの内側を冷却することができ、冷却効率を高めることができる。実施の形態3本実施の形態の吐出ノズル8は、図6に示すように、先端が閉じた管24の周囲に複数の孔26が設けられてなるものである。本明細書において多孔管体型ノズルという場合あり。このような形状にすることで、冷却ガスがコイル9の内面に向けて複数の孔26から吐出されるので、実施の形態2のものと同様に、均一にコイルの内側を冷却することができ、コイル9の内面側を効率的に冷却できる。上記のような本実施の形態の効果をモデル実験による比較を行って確認した。図7はモデル実験に用いたモデルの説明図であり、<モデル1>が従来例でありコイル内部を冷却しないもの図7a、<モデル2>がコイル内面側に冷却ガスを吐出して冷却するもの図7bである。コイル9のモデルとしては、図8のモデル仕様の説明図に示すように、コイル内径が508mm、コイル幅1150mmで67mm厚の板を60層巻いたコイルを用い、コイル上端面にはコイル中央からコイル9の14までを覆うサイズの断熱材からなる蓋13を設置した。図9はコイル半径方向の温度分布をMises応力が最大となる時刻で測定した測定結果を色分けして示したものである。従来例は、加熱から211時間経過後のものであり、図9aに示すように、コイル半径方向の中心よりも少し外径側の位置に冷点が存在することが分かる。本発明例は、加熱から243時間経過後のものであり、図9bに示すように、コイル内周側の温度が最も低く外側に向うに従って温度が高くなっているのが分かる。図9をグラフ表示したものが図10であり、図10に示されるように、太線で示す従来例では、コイル中心側から100mmの位置に冷点が存在し、温度分布は下に凸の曲線となっている。他方、本発明例では、図10の細線で示すように、殆ど極小点を持たず、コイル内周側から外周側にかけて温度が徐々に高くなっている。図11は、Mises応力が最大となる時刻におけるコイル半径方向の応力分布半径方向圧縮力を示したグラフであり、縦軸が応力[MPa]、横軸がコイル半径方向の距離[mm]を示している。図12は、Mises応力が最大となる時刻におけるコイル半径方向の応力分布周方向圧縮力を示したグラフであり、縦軸が応力[MPa]、横軸がコイル半径方向の距離[mm]を示している。図11、図12のグラフを見ると理解されるように、従来例であるMODEL1ではコイル半径方向の距離が150mm以内の部位において大きな応力が発生しているが、本発明例であるMODEL2では応力発生が抑制されている。以上のように、コイル内面に冷却ガスを吐出することで、コイル半径方向で温度勾配が極小値を持つことが緩和され、それによってコイル径方向での応力発生が緩和されたことが実証された。このように、加熱時における応力発生が抑えられ、それ故に従来で問題となった種々のコイル9に発生する変形を抑えることができる。なお、実施の形態3で示した吐出ノズル8でも同様の結果が得られている。以下の実施例では、従来法と本発明の焼鈍装置でコイルの焼鈍を実施した場合各種の比較を行い、優位性の有無を検討した。なお、コイル板厚の厚いものと薄いものでは薄いものの方が欠陥が発生しやすいため、巻数Nが少なくても結果が明確となる。そのため実際にコイルの板厚とはしては、300μm程度から10mm程度まであるが、300μ程度のもので検討を実施した。1実施の形態1図1参照を用いた場合の焼鈍と従来の焼鈍における欠陥率比較以下の示す方法で実験を実施した。実施の形態1の炉にして、焼鈍実験を行った場合の欠陥発生率と従来の焼鈍における欠陥発生率との比較を行った。なお、欠陥については、耳伸びコイル上部耳歪みコイル下部腹伸び縦じわ鋼板密着等の形状欠陥に加えて、特定の相変態を伴う特性向上が図られない等の特性低下の欠陥も含んでいる。実施条件は以下の通りである。なお、コイルの欠陥が1個でもあれば、欠陥コイルとした。ただし、検査ラインで見つけたとしても実際には廃棄はしないで発見箇所を切り出して、使用可能な箇所のみを使用するために欠陥があってもコイル自体は使用可能である。また特性に関わる相変態の不良については、特性をオンライン調査し、不良部はすべて切り捨てるようにした。そのためコイルの歩留まりのほかに、コイルの長さに対する歩留まりも比較した。加熱冷却パターンは以下の通りとした。<従来例1>通常の焼鈍炉バーナーおよび床ヒーター使用:従来加熱冷却均熱温度800°C目標で、昇温に48時間、均熱で60時間、冷却を炉冷にして74時間とした。その際のコイルは、板厚033mm、幅1050mm、コイル重量8tonのものを用いた。さらに炉内ガスとして、窒素ガスを使用し、流量は15lminで実施した。<従来例2>通常の焼鈍炉バーナーおよび床ヒーター使用:緩やかな加熱冷却均熱温度800°C目標で、昇温に60時間、均熱で60時間、冷却を炉冷にして100時間とした。その際のコイルは、板厚033mm、幅1050mm、コイル重量8tonのものを用いた。炉内ガスは同様に、窒素ガスを使用し、流量は15lminで実施した。<実施の形態1>実施の形態1の装置を用いた焼鈍炉バーナー冷却塔使用:最適な加熱冷却均熱温度800°C目標で、昇温に54時間、均熱で60時間、冷却を炉冷にして60時間とした。その際のコイルは、板厚033mm、幅1050mm、コイル重量8tonのものを用いた。炉内ガスは同様に、窒素ガスを使用し、流量は15lminで実施した。コイル内面への吐出する冷却ガスは窒素ガスもしくはアルゴンガスを使用し、流量は最大3Nm3Hrで実施した。実験は各30コイル実施し、その発生率を表1に示す。表1から分かるように、実施の形態1の装置では、従来例に比較して欠陥発生率が改善し、さらに歩留まりを完全に改善することが可能となっている。2冷却ガスの種類による比較本実施例2においては、異なる冷却ガスを使用した場合の比較を行った。比較として、表1に示した従来のバッチ炉の結果も併せて示した。加熱の条件は炉の外側に配置したバーナーの能力によって決定される。そのため、各炉の加熱能力は同じである。ただし、冷却に関しては冷却装置の有無により異なるため、それぞれの炉における冷却能力の比較も示した。以下の加熱冷却パターンは以下の通りである。<a従来のバッチ炉>通常の焼鈍炉バーナーおよび床ヒーター使用:従来加熱冷却均熱温度800°C目標で、昇温に48時間、均熱で60時間、冷却をバーナーおよび床ヒーターを切った状態で炉冷にして実施し、実際には74時間となった。コイルは、板厚033mm、幅1050mm、コイル重量8tonのものを用いた。さらに炉内ガスとして、窒素ガスを使用し、流量は15lminで実施した。<b実施の形態1冷却ガス:アルゴン>本実施の形態の装置を用いた焼鈍炉バーナー冷却装置使用:最適な加熱冷却を実施均熱温度800°C目標で、昇温に54時間、均熱で60時間実施後、冷却を実施した。加熱時においても、本実施の形態の冷却装置12を用いてコイルの内部を緩やかに冷却しておいた。冷却ガスとしてアルゴンを使用した。冷却装置12を使用してコイルの内部より冷却を実施することで冷却時間が従来例の場合より格段に短縮され50時間にて終了した。コイルは、板厚033mm、幅1050mm、コイル重量8tonのものを用いた。炉内ガスは、窒素ガスを使用し、流量は15lminで実施した。<c実施の形態1冷却ガス:窒素>本実施の形態の装置を用いた焼鈍炉バーナー冷却装置使用:最適な加熱冷却を実施均熱温度800°C目標で、昇温に54時間、均熱で60時間、冷却を炉冷にして40時間とした。なお、加熱時においても、本実施の形態の冷却装置12を用いてコイル内部を緩やかに冷却しておいた。本実施の形態の装置内の作動流体として窒素を使用した。冷却装置12を使用してコイルの内部より冷却を実施することで冷却時間が従来より格段に短縮され、bと同様に40時間にて終了した。その際のコイルは、板厚033mm、幅1050mm、コイル重量8tonのものを用いた。炉内ガスは同様に、窒素ガスを使用し、流量は15lminで実施した。実験結果を表2に示す。表2の結果より、冷却能力にて焼鈍時間は違いが出てくるが結果として、特性に問題のないことがわかった。これより、従来法に比較して本発明が有効であることが明らかとなった。また、アルゴン窒素等の不活性ガスが適当と考えられる。加えて、不活性ガスを使用し、コイル内部が低温になった後に空気を使用して冷却することで、さらにコストを削減することも可能となる。なお、欠陥の発生率および歩留まり率では、どれも欠陥の発生は見られず、差異はなかった。また、今回はアルゴン窒素等を使用して冷却を実施したが、そのほかには他の不活性ガスを使用しても問題はない。3吐出ノズルの違いによる比較本実施例では、吐出ノズル8の違いによる比較を行った。比較対象としては、従来例コイル内部を冷却しないものと、本発明に係るコイル内部を冷却するものであって吐出ノズル8の形式が、実施の形態1の円筒状パイプ、実施の形態2の拡散板型ノズル、及び実施の形態3の多孔管体型ノズルを比較した。実験の結果を表3に示す。コイル内側の温度分布はどの吐出ノズル8においても変化はなかったが、表3に示すように、コイルを冷却する際の冷却能力に違いがあった。表3に示されるように、拡散板型ノズルと多孔管体型ノズルの冷却能力が高いので、コイル内部に温度分布をつけることなく焼鈍時間の短縮を図ろうとすれば、これらのノズルを用いるのが好ましい。なお、欠陥の発生率および歩留まり率では、どれも欠陥の発生は見られず、差異はなかった。