"線熱膨張係数が30ppm以下かつ、全光線透過率が80以上であり、有機溶剤で洗浄、乾燥する前後での寸法変化率が0.02以下であることを特徴とする透明ポリイミドフィルム。洗浄に用いる有機溶剤の種類がケトン類である、請求項1に記載の透明ポリイミドフィルム。洗浄に用いる有機溶剤の種類がアルコール類である、請求項1に記載の透明ポリイミドフィルム。ポリアミド酸に脱水剤及びイミド化剤を混合した溶液を支持体上に流延することにより作成することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。下記式1で表される繰り返し単位を含むことを特徴とする、請求項4記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。式中R1は下記一般式2から選択される4価の有機基を、また、R2は下記一般式3から選択される2価の有機基を示し、式中R3は、水素、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、C1~C16のアルキル基を示す。R2が下記一般式4から選択される2価の有機基であることを特徴とする請求項5に記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。式中R3は、水素、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、C1~C16のアルキル基を示す。R3がハロゲン、もしくは、ハロゲン化アルキルであることを特徴とする請求項5または6に記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。R3がトリフルオロメチル基であることを特徴とする請求項5乃至8のいずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。前記式1で表される繰り返し単位として、前記R1の構造が下記一般式5から選択される4価の有機基であることを特徴とする請求項5乃至9のいずれかに記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。脱水剤の添加量が脱水剤モル数/ポリアミド酸中アミド基モル数=10~0.01であることを特徴とする請求項4乃至9のいずれかに記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。イミド化剤の添加量がイミド化剤/ポリアミド酸中アミド基モル数=10~0.01であることを特徴とする請求項4乃至10のいずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。本発明は、耐熱性、透明性、更には寸法安定性に優れたポリイミドフィルムおよびその製造方法を提供することを目的とする。本願発明は以下の構成を有するものである。1.線熱膨張係数が30ppm以下かつ、全光線透過率が80以上であり、有機溶剤で洗浄、乾燥する前後での寸法変化率が0.02以下であることを特徴とする透明ポリイミドフィルム。2.洗浄に用いる有機溶剤の種類がケトン類である、1に記載の透明ポリイミドフィルム。3.洗浄に用いる有機溶剤の種類がアルコール類である、1に記載の透明ポリイミドフィルム。4.ポリアミド酸に脱水剤及びイミド化剤を混合した溶液を支持体上に流延することにより作成することを特徴とする、1乃至3のいずれかに記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。5.下記式1で表される繰り返し単位を含むことを特徴とする、4記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。式中R1は下記一般式2から選択される4価の有機基を、また、R2は下記一般式3から選択される2価の有機基を示し、式中R3は、水素、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、C1~C16のアルキル基を示す。6.R2が下記一般式4から選択される2価の有機基であることを特徴とする5に記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。式中R3は、水素、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、C1~C16のアルキル基を示す。7.R3がハロゲン、もしくは、ハロゲン化アルキルであることを特徴とする5または6に記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。8.R3がトリフルオロメチル基であることを特徴とする5乃至8のいずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。9.前記式1で表される繰り返し単位として、前記R1の構造が下記一般式5から選択される4価の有機基であることを特徴とする5乃至9のいずれかに記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。10.脱水剤の添加量が脱水剤モル数/ポリアミド酸中アミド基モル数=10~0.01であることを特徴とする4乃至9のいずれかに記載の透明ポリイミドフィルムの製造方法。11.イミド化剤の添加量がイミド化剤/ポリアミド酸中アミド基モル数=10~0.01であることを特徴とする4乃至10のいずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。上記本発明によれば耐熱性、透明性に加えて寸法安定性に優れたポリイミドフィルムが得られるため、耐熱性、透明性、寸法安定性が有効とされる分野製品、例えば、無機薄膜や無機微細構造物を表面に有するフィルム部材、例えば、シリコン、もしくは金属酸化物、もしくは有機物から形成される薄膜トランジスター用フィルム、カラーフィルターフィルム、透明電極付きフィルム、ガスバリアフィルム、無機ガラスもしくは有機ガラスを積層したフィルムなどに適応できる。これらの部材は、例えば、液晶ディスプレイ用フィルム、有機EL等フィルム、電子ペーパー用フィルム、太陽電池用フィルム、タッチパネル用フィルムなどに用いることができる。以下において本発明を詳しく説明する。本発明で製造されるポリイミドフィルムは有機溶剤での洗浄乾燥前後での寸法変化率が0.02以下を示す透明ポリイミドフィルムであるが、寸法変化率が0.015以下、さらには0.013以下、特には0.010以下であるフィルムを得ることも可能である。得られるフィルムの寸法変化率がこの範囲より外れると、無機膜を積層した場合、無機膜の寸法変化率との差が大きくなり、無機膜にクラックが入ったり、フィルム全体がカールする等の問題が起こる可能性が高くなる。なお寸法変化率は、フィルムが元のサイズよりも縮んだ場合は-の符号を付けて表示し、元のサイズよりも伸びた場合はの符号を付けて表示で行っているが、上記数値はあるいは-の符号を付けない値である。例えば0.02以下とは、-0.02~0.02の範囲のことである。本発明で製造されるポリイミドフィルムは、式1で表される繰り返し単位を含むポリイミドフィルムである。式1中のR1は式2にあげられている特定構造から選ばれる構造を有する4価の有機基である。その具体例としては、後述する各酸二無水物成分に対応する4価の有機基、すなわち、酸二無水物成分からポリイミド鎖の形成に関与する酸無水物基を取り除いた構造が挙げられる。式2にあげる4価の有機基から選ばれる構造を有する酸二無水物は2種以上を併用して用いることができる。式2にあげる4価の有機基のうち、特に式5に示すベンゼンもしくはビフェニルが好ましい。ベンゼンもしくはビフェニルを有する具体的化合物としてはそれぞれ、ピロメリット酸二無水物、および、3,3’,4,4’ビフェニルテトラカルボン酸二無水物をあげることができるが、中でも3,3’,4,4’ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が好ましい。本願発明のポリイミドフィルムは酸成分全部が式2から選ばれる構造を有する酸二無水物を用いて製造されるのが好ましいが、上記式2から選ばれる構造のみならず、1種以上の式2から選ばれる構造を有さない酸二無水物を併用して用いることができる。2から選ばれる構造を有さない併用可能な他の酸二無水物は酸二無水物全体の70モル、好ましくは50モル、さらには25モルを超えない範囲で用いても良い。酸二無水物を2種以上用いる場合、それらは、規則的に配列されていてもよいし、ランダムにポリイミド中に存在していてもよい。併用可能な他の酸二無水物としては、例えば、エチレンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス3,4-ジカルボキシフェニルプロパン二無水物、2,2-ビス2,3-ジカルボキシフェニルプロパン二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルエーテル二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルスルホン二無水物、1,1-ビス2,3-ジカルボキシフェニルエタン二無水物、ビス2,3-ジカルボキシフェニルメタン二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルメタン二無水物、2,2-ビス3,4-ジカルボキシフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2-ビス2,3-ジカルボキシフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、1,3-ビス[3,4-ジカルボキシベンゾイル]ベンゼン二無水物、1,4-ビス[3,4-ジカルボキシベンゾイル]ベンゼン二無水物、2,2-ビス{4-[4-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}プロパン二無水物、2,2-ビス{4-[3-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}プロパン二無水物、ビス{4-[4-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}ケトン二無水物、ビス{4-[3-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}ケトン二無水物、4,4’-ビス[4-1,2-ジカルボキシフェノキシ]ビフェニル二無水物、4,4’-ビス[3-1,2-ジカルボキシフェノキシ]ビフェニル二無水物、ビス{4-[4-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}ケトン二無水物、ビス{4-[3-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}ケトン二無水物、ビス{4-[4-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}スルホン二無水物、ビス{4-[3-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}スルホン二無水物、ビス{4-[4-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}スルフィド二無水物、ビス{4-[3-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}スルフィド二無水物、2,2-ビス{4-[4-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルプロパン二無水物、2,2-ビス{4-[3-1,2-ジカルボキシフェノキシ]フェニル}-1,1,1,3,3,3-プロパン二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8-フェナントレンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。一方、式1中のR2は2価の有機基で式3から選ばれる構造を有するものである。具体的には式3から選ばれる構造を有するジアミンを用いて式1の構造を有するポリイミドを得ることが出来る。これらジアミンは2種以上を併用して用いることができる。式3で示す構造のうち、好ましくは、式4に示すベンゼンもしくはビフェニルである。式3で示す構造中のR3は、水素、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、C1~C16のアルキル基を示す一価の有機基である。得られるポリイミドの透明性、耐熱性、及び寸法安定性から、ハロゲンやハロゲン化アルキルなどの電子吸引基が好ましく、ハロゲンやハロゲン化アルキルのハロゲンとしてはフッ素が好ましく、中でもフッ素原子もしくはトリフルオロメチル基、特にはトリフルオロメチル基が好ましい。R2として最も好ましくは、2,2’ビストリフルオロメチルベンジジン残基が挙げられる。本願発明のポリイミドフィルムにはジアミン成分として全部が式3から選ばれる構造を有するジアミンを用いるのが好ましいが、式3で示される構造を有するジアミンと他のジアミンを1種以上併用して用いることができる。併用可能な他のジアミンとしては、ポリイミドの透明性を確保できる範囲内で目的の物性に応じて、ジアミン全体の70モル、好ましくは50モル、さらには25モルを超えない範囲で用いてもかまわない。また、2種以上のジアミンを用いる場合それらは、規則的に配列されていてもよいし、ランダムにポリイミド中に存在していてもよい。式3で示される構造を有するジアミンと併用可能な他のジアミンとして、例えば、3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、3,4’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノベンゾフェノン、4,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、3,4’-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ジ3-アミノフェニルプロパン、2,2-ジ4-アミノフェニルプロパン、2-3-アミノフェニル-2-4-アミノフェニルプロパン、2,2-ジ3-アミノフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ジ4-アミノフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2-3-アミノフェニル-2-4-アミノフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、1,1-ジ3-アミノフェニル-1-フェニルエタン、1,1-ジ4-アミノフェニル-1-フェニルエタン、1-3-アミノフェニル-1-4-アミノフェニル-1-フェニルエタン、1,3-ビス3-アミノフェノキシベンゼン、1,3-ビス4-アミノフェノキシベンゼン、1,4-ビス3-アミノフェノキシベンゼン、1,4-ビス4-アミノフェノキシベンゼン、1,3-ビス3-アミノベンゾイルベンゼン、1,3-ビス4-アミノベンゾイルベンゼン、1,4-ビス3-アミノベンゾイルベンゼン、1,4-ビス4-アミノベンゾイルベンゼン、1,3-ビス3-アミノ-α,α-ジメチルベンジルベンゼン、1,3-ビス4-アミノ-α,α-ジメチルベンジルベンゼン、1,4-ビス3-アミノ-α,α-ジメチルベンジルベンゼン、1,4-ビス4-アミノ-α,α-ジメチルベンジルベンゼン、1,3-ビス3-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジルベンゼン、1,3-ビス4-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジルベンゼン、1,4-ビス3-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジルベンゼン、1,4-ビス4-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジルベンゼン、2,6-ビス3-アミノフェノキシベンゾニトリル、2,6-ビス3-アミノフェノキシピリジン、4,4’-ビス3-アミノフェノキシビフェニル、4,4’-ビス4-アミノフェノキシビフェニル、ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]ケトン、ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]ケトン、ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]スルフィド、ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]スルフィド、ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]スルホン、ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]スルホン、ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]エーテル、ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]エーテル、2,2-ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]プロパン、2,2-ビス[3-3-アミノフェノキシフェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、1,3-ビス[4-3-アミノフェノキシベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-4-アミノフェノキシベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-3-アミノフェノキシベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-4-アミノフェノキシベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-3-アミノフェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-4-アミノフェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4-ビス[4-3-アミノフェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4-ビス[4-4-アミノフェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、4,4’-ビス[4-4-アミノフェノキシベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’-ビス[4-4-アミノ-α,α-ジメチルベンジルフェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’-ビス[4-4-アミノ-α,α-ジメチルベンジルフェノキシ]ジフェニルスルホン、4,4’-ビス[4-4-アミノフェノキシフェノキシ]ジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジフェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4-フェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4-ビフェノキシベンゾフェノン、6,6’-ビス3-アミノフェノキシ-3,3,3’,3’-テトラメチル-1,1’-スピロビインダン、6,6’-ビス4-アミノフェノキシ-3,3,3’,3’-テトラメチル-1,1’-スピロビインダン、1,3-ビス3-アミノプロピルテトラメチルジシロキサン、1,3-ビス4-アミノブチルテトラメチルジシロキサン、α,ω-ビス3-アミノプロピルポリジメチルシロキサン、α,ω-ビス3-アミノブチルポリジメチルシロキサン、ビスアミノメチルエーテル、ビス2-アミノエチルエーテル、ビス3-アミノプロピルエーテル、ビス2-アミノメトキシエチル]エーテル、ビス[2-2-アミノエトキシエチル]エーテル、ビス[2-3-アミノプロトキシエチル]エーテル、1,2-ビスアミノメトキシエタン、1,2-ビス2-アミノエトキシエタン、1,2-ビス[2-アミノメトキシエトキシ]エタン、1,2-ビス[2-2-アミノエトキシエトキシ]エタン、エチレングリコールビス3-アミノプロピルエーテル、ジエチレングリコールビス3-アミノプロピルエーテル、トリエチレングリコールビス3-アミノプロピルエーテル、エチレンジアミン、1,3-ジアミノプロパン、1,4-ジアミノブタン、1,5-ジアミノペンタン、1,6-ジアミノヘキサン、1,7-ジアミノヘプタン、1,8-ジアミノオクタン、1,9-ジアミノノナン、1,10-ジアミノデカン、1,11-ジアミノウンデカン、1,12-ジアミノドデカン、1,2-ジアミノシクロヘキサン、1,3-ジアミノシクロヘキサン、1,4-ジアミノシクロヘキサン、1,2-ジ2-アミノエチルシクロヘキサン、1,3-ジ2-アミノエチルシクロヘキサン、1,4-ジ2-アミノエチルシクロヘキサン、ビス4-アミノシクロへキシルメタン、2,6-ビスアミノメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,5-ビスアミノメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタンが挙げられる。本発明におけるポリイミドフィルムは式1で示す構造を有することが特徴であるが、ポリイミドフィルム全体が実質的に上記式で示す構造であることが好ましい。アミン成分としては、ハロゲン化アルキル鎖特にはトリフルオロメチル基を有するものが好ましい。具体的に特に好ましく用いられるアミン成分としては、2,2’ビストリフルオロメチルベンジジンが好ましい。また、テトラカルボン酸二無水物としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、が挙げられ、中でも3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が好ましい。本発明のポリイミドを製造する方法としては、酸二無水物とジアミンから前駆体であるポリアミド酸を合成し、これに脱水剤やイミド化触媒を添加してポリイミドフィルムを得る手法である。ポリアミド酸の状態で成形し、その後、脱水剤やイミド化触媒を用いずに加熱によりイミド化を行う手法では、得られるフィルムの線膨張が悪く、目的には適さない。用いるイミド化剤としては、沸点が40°C以上180°C以下であるイミド化剤が好ましい。沸点が180°Cを越えるイミド化剤は高温での乾燥時にフィルムが着色し、フィルムの外観が損なわれやすい。また、沸点が40°C未満であると十分にイミド化が進行する前に揮発する可能性がある。好適に用いられるイミド化剤としては、アミン化合物を挙げることができる。具体的にはピリジンあるいはピコリンが挙げられる。イミド化剤の添加量については、イミド化剤/ポリアミド酸中アミド基モル数=10~0.01が好ましく、さらにはイミド化剤/ポリアミド酸中アミド基モル数=5~0.5が好ましい。脱水剤としては酸無水物、カルボジイミドを用いることが出来る。酸無水物としては無水酢酸、プロピオン酸無水物、n-酪酸無水物、安息香酸無水物、トリフルオロ酢酸無水物が挙げられる。カルボジイミドとしてはジシクロヘキシルカルボジイミドを挙げることができる。脱水剤の添加量については、脱水剤モル数/ポリアミド酸中アミド基モル数=10~0.01が好ましく、更には、脱水剤モル数/ポリアミド酸中アミド基モル数=6~0.5、特には脱水剤モル数/ポリアミド酸中アミド基モル数=5~2が好ましい。脱水剤、イミド化剤がこれら範囲にあることにより、線膨張係数がより小さいフィルムを得ることが可能である。脱水剤、イミド化剤の割合がこれらの範囲よりも低い場合、化学イミド化の効果が十分に得られず、線膨張係数が大きくなる場合があり、また脱水剤、イミド化剤の割合がこれらの範囲よりも高い場合、硬化速度が速くなりすぎて、フィルムを作成することが困難になる場合がある。脱水剤とイミド化剤はポリアミド酸と混合することが好ましい。ポリアミド酸のフィルムを脱水剤やイミド化剤の溶液に浸漬する方法では、フィルムの深部にまで浸透するのに時間がかかり、表面と深部でのイミド化率が異なり不均一なフィルムになりやすく、目的とする特性のフィルムが得難くなる。得られるポリイミドフィルムの線熱膨張係数は30ppm以下であるが、25ppm以下、さらには20ppm以下、特には10ppm以下のフィルムを得ることも可能である。線膨張係数がこの範囲を外れると、積層した無機膜との線膨張係数の差が大きくなり、温度や変形などわずかな刺激で破壊される可能性が高くなる。得られるポリイミドフィルムの全光線透過率は80以上であるが、83以上、さらには85以上のフィルムを得ることも可能である。全光線透過率がこの範囲を外れると、フィルムの透明性が損なわれる可能性が高くなる。次に、本発明に係るポリイミドを合成する手法をこれより具体的に例示するが、本発明はこれに限定されるものではない。酸成分として3,3’,4,4’ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、アミン成分として2,2’ビストリフルオロメチルベンジジンを用いてポリイミドを合成する例を述べる。先ず、2、2’ビストリフルオロメチルベンジジンを溶解させたジメチルアセトアミドを攪拌しつつ、等モルの3,3’,4,4’ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を徐々に加えてポリアミド酸を得ることができる。混合する際の温度は発熱に注意すれば室温でも良いが、10°C以下、さらには5°C以下で行うことができる。また攪拌時間としては10時間以上、さらには20時間以上で行うことができる。得られたポリアミド酸を0°C以下の低温にした後、沸点が180°C以下のイミド化剤、脱水剤、ジメチルアセトアミド溶液を加えて激しく攪拌した後、ガラス、フィルム、ベルトなどの基板上に塗布、乾燥し、塗膜を成形させ、加熱することでフィルム状のポリイミドが得ることができる。基板上に塗布等を行うにあたって、ポリアミド酸は真空下もしくは遠心沈殿機等を用いて脱泡しておくことが好ましい。加熱に際しては、一般式4で示された構造を有するジアミンを用いたポリアミド酸を用いた場合、中でもR3が水素、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、C1~C16のアルキル基の場合、さらにはR3がハロゲン、もしくは、ハロゲン化アルキルである場合、特にはR3がトリフルオロメチル基であるジアミン成分を用いた場合、例えば300°C~400°C、さらには320~400°C、特には350~400°Cの範囲で加熱することでフィルム状のポリイミドが得ることができる。加熱温度が400°C以上の場合、フィルム内で分子の再配列がおこり結晶化が加速され、フィルムの透明性が確保できなくなる場合があるので避けることが好ましい。洗浄に用いる有機溶媒としては、脱脂、脱水力にすぐれ、揮発性の高いものが望ましい。これらすべての条件を満たさなくても良いが、有機溶媒の例としては、これに限定されるものではないが、たとえばアセトン、エチルメチルケトン等のケトン類、メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類等があげられる。本発明のポリイミドフィルムは、特に透明性や寸法安定性を有することを特徴とするが、耐熱性、絶縁性等その他の特性についても良好である。例えば、ガラス転移温度は、耐熱性の観点からは高ければ高いほど良いが、示差走査熱量測定装置において、昇温速度10°C/minの条件で測定したときのガラス転移温度が、200°C以上、更には300°C以上すなわち、200°Cまで、あるいは300°Cまでには明確なTgが観測されないのポリイミドフィルムを得ることが可能である。本発明に係るポリイミドフィルムは、ポリマーの末端の構造を除く等実質的にフィルムの全構造が式1で表される構造を有するポリイミドであることが好ましいが、特性を調整する目的で他の構造を導入しても構わない。その際、式1で示す構造はフィルム組成物の固形分全体に対し、通常、40~99.9重量の範囲内で含有させて成すことが好ましい。また、その他の任意成分の配合割合は、ポリイミドフィルム組成物の固形分全体に対し、0.1重量~60重量の範囲が好ましい。0.1重量未満だと、添加物を添加した効果が発揮されにくく、60重量を越えると、樹脂組成物の特性が最終生成物に反映されにくい。なお、ポリイミドフィルム組成物の固形分とは溶剤以外の全成分である。本発明に係るポリイミドフィルムは、その表面に金属酸化物や透明電極等の各種無機薄膜を形成して用いることも可能である。これら無機薄膜の製膜方法は特に限定されるものではなく、例えばCVD法、スパッタリング法や真空蒸着法、イオンプレーティング法等のPVD法であっても良い。本発明に係るポリイミドフィルムは、耐熱性、絶縁性等のポリイミド本来の特性に加えて、低線熱膨張性透明性を有することから、これらの特性が有効とされる分野製品、例えば、印刷物、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー、半導体部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム、光学部材又は建築材料を形成するのに適している。具体的には、本発明のポリイミドフィルムをいわゆる光学フィルムとして用い、偏向子と組み合わせて偏光板として用いることができる。また、液晶セルの少なくとも一方の表面に本発明のポリイミドフィルムあるいは本発明のポリイミドフィルムを用いた偏光板からなる光学部材を設け、液晶パネルとしても用いることができる。さらには、当該液晶パネルを用いた液晶表示装置としても用いることができる。[線熱膨張係数CTEの評価]熱機械的分析装置セイコーインスツルメント社製、商品名:TMA120Cにより窒素気流下、昇温速度10°C/分、降温速度10°C/分、フィルムサイズ10mmx3mm、フィルムの長手方向の片端に引っ張り荷重6gをかけて測定を行った。なお、CTE値は100~200°Cの2ndスキャンの値とした。[ガラス転移温度の評価]島津製作所製DSC-50島津熱流束示差走査熱量計により、昇温速度10°C/minで測定してポリマーのTgガラス転位温度を求めた。[フィルムの洗浄乾燥および寸法変化率の評価]縦100mm、横100mm、膜厚約50μmのフィルムを23°C、55の恒温恒室に24時間静置させた後、ミッツ株製プリント基板加熱システムにより縦80mm間隔、横80mm間隔に穴を開け、株ミツトヨ製測定顕微鏡MF-A1720Hにより穴間隔を測定した。フィルムを有機溶剤アセトンあるいはイソプロパノールに室温で5分間洗浄5分間フィルムを有機溶剤に浸漬するし、その後、120°Cの熱風オーブンで5分間乾燥させ、30分後に再び穴間隔を測定した。溶剤洗浄前後の寸法変化により、フィルムの寸法変化率を算出した。寸法変化率は四辺の平均値を表示した。-表示はフィルムが元のサイズよりも縮んだことを、表示はフィルムが元のサイズよりも伸びたことを示している。前駆体溶液の合成2,2’ビストリフルオロメチルベンジジン21.8g68mmolを300mlの3つ口フラスコに投入し、167gの脱水されたジメチルアセトアミドDMAcに溶解させ窒素気流下、氷浴で冷却しながら撹拌した。そこへ、上記3,3’,4,4’BPDA20g68mmolを添加し、添加終了後、40時間撹拌し、粘稠液体前駆体溶液を得た。実施例1合成した上記前駆体溶液80gを0°C付近に冷却した後、β-ピコリン1.2g13mmol、無水酢酸8.0g78mmolを添加して混合した。遠心分離機により脱泡した後、アルミシート上に流延し、120°Cでゲルフィルムを作成した。ゲルフィルムをアルミシートから引き剥がしてピンフレームに固定して、25°Cから300°Cまで30分かけて昇温し300°Cで1時間加熱乾燥を行った。室温まで戻してポリイミドフィルム1を得た。ガラス転移温度の測定を行った結果、300°Cまでに明確なTgは観測されなかった。また、100~200°CでのCTE値は18ppm/Kであった。得られたフィルムをアセトンで洗浄する前後での寸法変化率を測定した。得られた結果を表1にまとめる。実施例2合成した上記前駆体溶液80gを0°C付近に冷却した後、β-ピコリン3.6g39mmol、無水酢酸24g235mmolを添加して混合した。遠心分離機により脱泡した後、アルミシート上に流延し、120°Cでゲルフィルムを作成した。ゲルフィルムをアルミシートから引き剥がしてピンフレームに固定して、25°Cから300°Cまで30分かけて昇温し300°Cで1時間加熱乾燥を行った。室温まで戻してポリイミドフィルム2を得た。ガラス転移温度の測定を行った結果、300°Cまでに明確なTgは観測されなかった。また、100―200°CでのCTE値は2.3ppm/Kであった。得られたフィルムのイソプロパノールで洗浄する前後での寸法変化率を測定した。得られた結果を表1にまとめる。比較例1ポリイミドフィルム1の代わりにPETフィルムを用いて、アセトンで洗浄する前後での寸法変化率を測定した。得られた結果を表1にまとめる。なお、PETフィルムのCTE値は50―120°Cでの値とした。比較例2ポリイミドフィルム1の代わりにPENフィルムを用いて、アセトンで洗浄する前後での寸法変化率を測定した。得られた結果を表1にまとめる。なお、PENフィルムのCTE値は50―150°Cでの値とした。比較例3ポリイミドフィルム2の代わりにPETフィルムを用いて、イソプロパノールで洗浄する前後での寸法変化率を測定した。得られた結果を表1にまとめる。比較例4ポリイミドフィルム2の代わりにPENフィルムを用いて、イソプロパノールで洗浄する前後での寸法変化率を測定した。得られた結果を表1にまとめる。表1の結果より、本発明のポリイミドフィルムは、耐熱性透明性が良好で、且つ高い寸法安定性を有するフィルムである為、これらの特性が有効とされる分野製品、例えば、無機薄膜や無機微細構造物を表面に有するフィルム部材、例えば、シリコン、もしくは金属酸化物、もしくは有機物から形成される薄膜トランジスター用フィルム、カラーフィルターフィルム、透明電極付きフィルム、ガスバリアフィルム、無機ガラスもしくは有機ガラスを積層したフィルムなどに適応できる。これらの部材は、例えば、液晶ディスプレイ用フィルム、有機EL等フィルム、電子ペーパー用フィルム、太陽電池用フィルム、タッチパネル用フィルムなどに適している。"