エンジンに吸引される吸気の一部を通電による発熱によって加熱する発熱ヒータ2と、少なくとも前記発熱ヒータ2の通電制御を行う通電制御回路3と、を搭載する熱式の空気流量測定装置1において、前記通電制御回路3は、当該空気流量測定装置1への通電開始時に、一時的に、前記発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング手段4を備えることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1に記載の空気流量測定装置1において、前記通電制御回路3における前記ヒートクリーニング手段4は、当該空気流量測定装置1への通電開始時に、一時的に、前記発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高める際、吸気温度に関係なく、前記発熱ヒータ2の温度を予め設定したヒートクリーニング目標温度に昇温させることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1または請求項2に記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、前記発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気温度を検出するヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体を備え、前記通電制御回路3における前記ヒートクリーニング手段4は、当該空気流量測定装置1への通電開始時に、一時的に、前記発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高める際、前記ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度に基づいて、前記発熱ヒータ2の温度を予め設定したヒートクリーニング目標温度に昇温させることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1に記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、吸気温度を検出するヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体を備え、前記通電制御回路3における前記ヒートクリーニング手段4は、前記ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度が予め設定されたヒートクリーニング開始温度以下の時で、且つ当該空気流量測定装置1への通電開始時に、一時的に、前記発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めることを特徴とする空気流量測定装置。請求項4に記載の空気流量測定装置1において、前記ヒートクリーニング開始温度は、20°C以下であることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1~請求項5のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、前記ヒートクリーニング手段4が前記発熱ヒータ2の温度を空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング時間は、0.2秒以上であり、且つ2秒以下であることを特徴とする空気流量測定装置。請求項3~請求項6のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、前記ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体は、前記発熱ヒータ2が設けられるセンサ基板25に設けられることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1~請求項7のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、前記発熱ヒータ2によって加熱された吸気温度を検出する加熱吸気温度検出抵抗体21と、前記発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気温度を検出する非加熱吸気温度検出抵抗体23とを具備し、前記通電制御回路3は、加熱吸気温度検出抵抗体21の検出する加熱吸気温度と、非加熱吸気温度検出抵抗体23の検出する非加熱吸気温度との検出温度差が、予め設定された一定温度差となるように前記発熱ヒータ2を通電制御する温度差保持手段31を備え、前記通電制御回路3における前記ヒートクリーニング手段4は、当該空気流量測定装置1への通電開始時に、一時的に、前記加熱吸気温度検出抵抗体21と前記非加熱吸気温度検出抵抗体23で構成される前記温度差保持手段31のホイートストンブリッジのバランスを変更することで、前記発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めることを特徴とする空気流量測定装置。請求項8に記載の空気流量測定装置1において、前記温度差保持手段31のホイートストンブリッジのバランスは、前記加熱吸気温度検出抵抗体21に与える電圧VE、あるいは前記非加熱吸気温度検出抵抗体23に与える電圧VGの少なくとも一方の電圧を変更することで、前記発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1~請求項9のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、前記エンジンに吸気を導く吸気ダクト11の内部を流れる吸気の一部が通過するバイパス通路14と、このバイパス通路14に導かれた吸気の一部が通過するサブバイパス通路15とを備え、前記サブバイパス通路15を通過する吸気量を測定することを特徴とする空気流量測定装置。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒートクリーニングを指示するための外部判定回路および専用ハーネスが不要であり、且つヒートクリーニングを実施するためにエンジン停止後に当該空気流量測定装置への給電が不要な空気流量測定装置の提供にある。請求項1の手段請求項1の空気流量測定装置が搭載する発熱ヒータの通電制御回路は、空気流量測定装置への通電開始時に、一時的予め設定された一定時間であっても良いし、作動条件等に応じて連続的あるいは段階的に変化する時間であっても良いに、発熱ヒータの温度を、空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング手段を備える。このように、空気流量測定装置が通電を受けた際に、空気流量測定装置がヒートクリーニングを実施するため、従来技術において用いていたヒートクリーニングを指示するための外部判定回路および専用ハーネスを不要にでき、コストを抑えることができる。また、空気流量測定装置が通電を受けた際にヒートクリーニングを実施するため、従来技術において用いていたエンジン停止後においても空気流量測定装置への給電を行う電源手段を不要にでき、コストを抑えることができる。請求項2の手段請求項2の空気流量測定装置は、ヒートクリーニングを実施する際、吸気温度に関係なく、発熱ヒータの温度を予め設定したヒートクリーニング目標温度略一定のヒータ温度に昇温させる。これにより、吸気温度が高い状態でヒートクリーニングが実施されても、発熱ヒータの温度の上がり過ぎによる発熱ヒータの劣化を回避することができ、発熱ヒータの劣化による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。請求項3の手段請求項3の空気流量測定装置は、ヒートクリーニングを実施する際、吸気温度に基づいて発熱ヒータの温度を、予め設定したヒートクリーニング目標温度略一定のヒータ温度に昇温させる。これにより、吸気温度が高い状態でヒートクリーニングが実施されても、発熱ヒータの温度の上がり過ぎによる発熱ヒータの劣化を回避することができ、発熱ヒータの劣化による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。請求項4の手段請求項4の空気流量測定装置は、吸気温度が、予め設定したヒートクリーニング開始温度以下でないとヒートクリーニングを実施しないものである。これにより、吸気温度が高い状態でヒートクリーニングが実施されることがなく、発熱ヒータの温度の上がり過ぎによる発熱ヒータの劣化を回避することができ、発熱ヒータの劣化による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。請求項5の手段請求項5におけるヒートクリーニング開始温度は、20°C以下である。これにより、発熱ヒータの温度の上がり過ぎによる発熱ヒータの劣化を防ぎ、発熱ヒータの劣化による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。また、吸気温度が20°Cを超えるとヒートクリーニングを実施しなくても、発熱ヒータの通常制御空気流量測定時の通電制御による発熱で異物除去が行われるため、異物付着による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。請求項6の手段請求項6におけるヒートクリーニング時間ヒートクリーニングのための発熱ヒータの通電時間は、0.2秒以上であり、且つ2秒以下である。ヒートクリーニング時間を0.2秒以上に設定することで、発熱ヒータの発熱による異物除去が実施されて、異物付着による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。また、ヒートクリーニング時間を2秒以下に設定することで、エンジン制御に用いられる吸気流量測定の影響を抑えることができる。請求項7の手段請求項7のヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体は、発熱ヒータが設けられるセンサ基板上に設けられる。このように、発熱ヒータが設けられるセンサ基板にヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体を設けることで、コストを抑えることができる。請求項8の手段請求項8の通電制御回路は、加熱吸気温度検出抵抗体の検出する加熱吸気温度と、非加熱吸気温度検出抵抗体の検出する非加熱吸気温度との検出温度差が、予め設定された一定温度差となるように発熱ヒータを通電制御する温度差保持手段を備える。そして、ヒートクリーニング手段は、加熱吸気温度検出抵抗体と非加熱吸気温度検出抵抗体で構成されるホイートストンブリッジのバランスを変更することで、発熱ヒータの温度を、空気流量測定時の温度より高めて、ヒートクリーニングを実施するものである。このように、ホイートストンブリッジのバランスを変更することでヒートクリーニングを実施するため、本発明を実施するための特別な回路を不要にでき、コストを抑えることができる。請求項9の手段請求項9の通電制御回路は、加熱吸気温度検出抵抗体の検出する加熱吸気温度と、非加熱吸気温度検出抵抗体の検出する非加熱吸気温度との検出温度差が、予め設定された一定温度差となるように発熱ヒータを通電制御する温度差保持手段を備える。そして、ヒートクリーニング手段は、加熱吸気温度検出抵抗体と非加熱吸気温度検出抵抗体で構成されるホイートストンブリッジのバランスを、加熱吸気温度検出抵抗体に与える電圧、あるいは非加熱吸気温度検出抵抗体に与える電圧の少なくとも一方の電圧を変更することで、発熱ヒータの温度を、空気流量測定時の温度より高めて、ヒートクリーニングを実施するものである。このように、流量測定に用いる電圧を変化させることでヒートクリーニングを実施するため、本発明を実施するための特別な回路を不要にでき、コストを抑えることができる。請求項10の手段請求項10の空気流量測定装置は、エンジンに吸気を導く吸気ダクトの内部を流れる吸気の一部が通過するバイパス通路吸気ダクトに対する副通路と、このバイパス通路に導かれた吸気の一部が通過するサブバイパス通路吸気通路に対する副々通路とを備え、サブバイパス通路を通過する吸気量を測定するものである。図面を参照して[発明を実施するための形態実施形態1、2]を説明する。実施形態1、2の空気流量測定装置1は熱式エアフロメータAFMであり、エンジンに吸引される吸気の一部を通電による発熱によって加熱する発熱ヒータ発熱用抵抗体2と、発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気温度を検出するヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体図示しないと、少なくとも発熱ヒータ2の通電制御を行う通電制御回路3とを搭載する。そして、実施形態1の通電制御回路3は、空気流量測定装置1への通電開始時に、一時的に、発熱ヒータ2の温度を、ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度に基づいて予め設定したヒートクリーニング目標温度空気流量測定時の温度より高く設定した目標ヒータ温度に昇温させるヒートクリーニング手段4を備える。また、実施形態2の通電制御回路3は、空気流量測定装置1への通電開始時で、且つヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度が予め設定したヒートクリーニング開始温度以下の時に、一時的に、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング手段4を備える。以下において本発明が適用された具体的な一例実施例を、図面を参照して説明する。実施例は具体的な一例を開示するものであって、本発明が実施例に限定されないことは言うまでもない。なお、以下の実施例において上記[発明を実施するための形態]と同一符号は、関連機能物を示すものである。[実施例1]実施例1を図1~図5を参照して説明する。空気流量測定装置1は、図1に示すように、車両走行用エンジンの吸気ダクト11に搭載されるものであり、エンジンに吸い込まれる空気流量吸気量の測定を行なう熱式エアフロメータである。空気流量測定装置1は、吸気ダクト11に組付けられる通路形成部材ハウジング12と、この通路形成部材12に組付けられるセンサアッシー13と、を備えて構成される。通路形成部材12の説明通路形成部材12は、例えば樹脂材料によって形成されるものであり、エンジンに吸気を導く吸気ダクト11に組付けられる。通路形成部材12の内部には、吸気ダクト11の内部主通路を流れる吸気の一部が通過するバイパス通路14およびサブバイパス通路15が形成される。具体的に、吸気ダクト11には、内外を貫通するAFM装着穴11aが形成されており、このAFM装着穴11aの外部より通路形成部材12を吸気ダクト11内に挿入配置することで、空気流量測定装置1が吸気ダクト11に組付けられる。空気流量測定装置1が吸気ダクト11に組付けられることで、通路形成部材12に形成される空気取入口14aバイパス通路14の空気の取入口が吸気上流側エアクリーナ側に向いて配置されるとともに、通路形成部材12に形成される空気排出口14bバイパス通路14の空気の排出口が吸気下流側エンジン側に向いて配置される。なお、通路形成部材12は、吸気ダクト11にネジ等の締結部材図示しないを用いて着脱可能に取り付けられるものである。バイパス通路14は、吸気ダクト11内を流れる空気の一部が通過する空気通路であり、吸気ダクト11における吸気の流れ方向に沿うように通路が形成されている。そして、バイパス通路14の吸気上流側に上述した空気取入口14aが設けられ、バイパス通路14の吸気下流側に上述した空気排出口14bが設けられるものである。なお、空気排出口14bには、バイパス通路14を通過する空気流を絞るための出口絞り16が形成されている。サブバイパス通路15は、出口絞り16で絞られたバイパス通路14の空気流の一部が流入する入口15aと、サブバイパス通路15を通過した空気流を空気ダクト内へ戻す出口15bとを備え、入口15aから流入した空気を通路形成部材12の内部で回転させて吸気ダクト11内へ戻す迂回路を形成するものである。なお、この実施例では、サブバイパス通路15の出口15bを独立して設ける例を開示するが、限定されるものではなく、例えば出口15bをバイパス通路14内に開口させて、サブバイパス通路15を通過した空気流を再びバイパス通路14内に戻すものであっても良い。センサアッシー13の説明センサアッシー13は、図1に示すように、サブバイパス通路15を流れる吸気が触れる部位に配置されるセンサ部17と、通路形成部材12に固定支持されるセンサ回路部18と、を備えて構成される。センサ部17には、図2に示すように、通電による発熱によってサブバイパス通路15を通過する空気を加熱する発熱ヒータ2と、発熱ヒータ2によって加熱された吸気温度加熱吸気温度を検出する加熱吸気温度検出抵抗体21と、この加熱吸気温度検出抵抗体21に直列に接続されて加熱吸気温度に応じた分圧値V1を発生させる加熱側分圧抵抗体22と、発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気温度非加熱吸気温度を検出する非加熱吸気温度検出抵抗体23と、この非加熱吸気温度検出抵抗体23に直列に接続されて非加熱吸気温度に応じた分圧値V2を発生させる非加熱側分圧抵抗体24と、が設けられている。また、センサ部17には、図示しないが、発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気温度を検出するヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体図示しないが設けられている。なお、このヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体は、非加熱吸気温度検出抵抗体23とは独立した抵抗体であるが、非加熱吸気温度検出抵抗体23等と同様、後述するセンサ基板25に設けられるものである。この実施例のセンサ部17は、チップ型基板型を採用するものであり、上述した発熱ヒータ2、加熱吸気温度検出抵抗体21、加熱側分圧抵抗体22、非加熱吸気温度検出抵抗体23、非加熱側分圧抵抗体24、ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体が、同一一枚のセンサ基板25に設けられるものである。なお、この実施例では、センサ部17の具体例としてチップ型を採用する例を説明するが、限定されるものではなく、例えばボビン型抵抗体単品型の抵抗体を用いたセンサ部17であっても良い。センサ回路部18は、内部に通電制御回路3図2参照が設けられる。図2に示す通電制御回路3は、図1に示す外部接続用コネクタ26具体的には、複数のターミナル端子と電気的に接続されるものであり、外部接続用コネクタ26を介して外部機材ECU等と接続される。通電制御回路3を収容するセンサ回路部18のハウジングセンサアッシー13のハウジングは、通路形成部材12と同様、例えば樹脂部材によって形成されるものであり、通路形成部材12に組付けられることで、センサ部17がサブバイパス通路15におけるUターン部に配置される。なお、センサアッシー13は、通路形成部材12に対して接着剤や溶着技術等により固着されるものであっても良いし、ネジ等の締結部材により着脱可能に取り付けられるものであっても良い。温度差保持手段31の説明次に、通電制御回路3に設けられる温度差保持手段ホイートストンブリッジ回路31を説明する。センサ部17における加熱吸気温度検出抵抗体21、加熱側分圧抵抗体22、非加熱吸気温度検出抵抗体23、非加熱側分圧抵抗体24は、図2に示すように、ブリッジ回路を構成するものでる。一方、通電制御回路3には、加熱吸気温度検出抵抗体21と加熱側分圧抵抗体22の分圧によって得られる加熱吸気温度に応じた分圧値V1と、非加熱吸気温度検出抵抗体23と非加熱側分圧抵抗体24の分圧によって得られる非加熱吸気温度に応じた分圧値V2との電圧差に応じた出力を発生するオペアンプ比較器32と、このオペアンプ32の出力に応じた電流を発熱ヒータ2に印加するパワートランジスタ増幅素子33と、が設けられる。加熱吸気温度検出抵抗体21を用いて検出される加熱吸気温度分圧値V1と、非加熱吸気温度検出抵抗体23を用いて検出される非加熱吸気温度分圧値V2との検出温度差が、予め設定された一定温度差一定電圧差となるように、オペアンプ32とパワートランジスタ33が発熱ヒータ2を通電制御する。なお、通常制御時流量測定時は、発熱ヒータ2に与えられる電流値空気流量に応じて変化する値によって吸気流量を測定する。ヒートクリーニング手段4の説明この通電制御回路3には、空気流量測定装置1への通電開始時外部接続用コネクタ26を介して空気流量測定装置1が通電を受けた時:具体的な一例として、キースイッチがONされてエンジン始動が行われる際に、一時的に、発熱ヒータ2の温度を、通常制御時空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング手段4が設けられている。この実施例1におけるヒートクリーニング手段4は、空気流量測定装置1への通電開始時に、一時的に、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高める際、ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度に基づいて、発熱ヒータ2の温度を空気流量測定時の温度{通常制御時における発熱ヒータ2の温度制御:図3bの破線A参照}より高く設定されたヒートクリーニング目標温度理解補助の一例として、例えば310°Cに昇温させるものである。発熱ヒータ2の昇温技術の説明ヒートクリーニング時に発熱ヒータ2の温度を昇温させる技術を説明する。この実施例のヒートクリーニング手段4は、加熱吸気温度検出抵抗体21を用いて検出される加熱吸気温度に応じた分圧値V1、あるいは非加熱吸気温度検出抵抗体23を用いて検出される非加熱吸気温度に応じた分圧値V2の少なくとも一方の分圧値を変更することで、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めて、ヒートクリーニングを実施するものである。具体的に、この実施例の通電制御回路3は、図2に示すように、空気流量測定装置1の外部から通電制御回路3に供給される電源電圧図2中、B参照を一定電圧にする基準電圧発生手段34電圧レギュレータと、通常制御時流量測定時には加熱吸気温度に応じた分圧値V1を発生させるための電圧VEを加熱側分圧抵抗体22に与えるとともに、ヒートクリーニング時には発熱ヒータ2を通常制御時より昇温させるために分圧値V1の変更のために、加熱側分圧抵抗体22に与える電圧VEの変更を行う電圧調整手段35と、通常制御時流量測定時およびヒートクリーニング時の両方において、非加熱吸気温度に応じた分圧値V2を発生させるための電圧VGを非加熱側分圧抵抗体24に与える電圧供給手段36と、が設けられている。続いて、吸気温度に基づいて発熱ヒータ2をヒートクリーニング目標温度例えば310°Cに昇温させる技術を説明する。電圧調整手段35は、ヒートクリーニングを実施する際、通常制御時流量測定時における発熱ヒータ2の温度VE_CTL値から、下記式1に示す直線1次近似式{図3aの一点鎖線B参照}によって求められる発熱ヒータ2の上昇温度VE_CTL_PWup値を引き算し、その引き算した温度変更温度を用いて電圧VEを可変制御する。VE_CTL_PWup=吸気温度×ゲインオフセット値1このように、ヒートクリーニングを実施する際に、電圧調整手段35が電圧VEを吸気温度に合わせて可変制御することにより、図3bの実線Cに示すように、吸気温度が変化しても、発熱ヒータ2の温度を略一定のヒートクリーニング目標温度例えば310°Cに制御することができる。ヒートクリーニングの実施時間の説明次に、ヒートクリーニング手段4によるヒートクリーニングの実施時間発熱ヒータ2の温度を空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング時間を説明する。電圧調整手段35には、ヒートクリーニングを実施する際、ヒートクリーニング時間を決定するタイマー手段コンデンサ等が設けられている。センサ部17がチップ型を採用するこの実施例の場合、ヒートクリーニング時間の好ましい設定範囲は、0.2秒以上で、且つ2秒以下の範囲である。ヒートクリーニング時間のさらに好ましい設定時間は、0.5秒以上で、且つ1秒以内の範囲である。以下では、具体的な一例として、ヒートクリーニング時間が0.5秒に設定されるものとして説明するが、具体的な一例であって限定されるものではない。ヒートクリーニングの作動説明次に、ヒートクリーニング手段4の制御例作動を、図4のフローチャートを参照して説明する。なお、ヒートクリーニング手段4は、ロジック回路等によって組まれたものマイコンを用いないものであっても良いし、マイコンを用いて制御プログラムによって実行されるものであっても良い。先ず、空気流量測定装置1への通電開始が開始されたか否かの判断を行うステップS1。このステップS1の判断結果がNOの場合は、ヒートクリーニングを実施せず、通常制御吸気流量測定を実施するステップS2。上記ステップS1の判断結果がYESの場合は、ヒートクリーニング時間が0ゼロに設定されていないか否かの判断図中、TIME_PWup≠0の判断を行うステップS3。このステップS3の判断結果がNOの場合は、ヒートクリーニングを実施することなくステップS2通常制御へ進み、流量測定を行う。上記ステップS3の判断結果がYESの場合は、上記式1を用いて発熱ヒータ2の上昇温度VE_CTL_PWup値を計算するステップS4。続いて、i予め設定されたヒートクリーニング時間例えば0.5秒に亘り、ii発熱ヒータ2の温度VE_CTL値から、上記ステップS4で求めた発熱ヒータ2の上昇温度VE_CTL_PWup値を引き算した温度変更温度を用いて電圧VEを可変制御するステップS5。このステップS5の実行により、ヒートクリーニング時間例えば0.5秒に亘って、発熱ヒータ2の温度をヒートクリーニング目標温度例えば310°Cに昇温させるヒートクリーニングが実施される。そして、このステップS5が実行されるとヒートクリーニング時間の経過後、ステップS2通常制御へ進み、流量測定を行う。実施例1の効果1実施例1の空気流量測定装置1は、上述したように、空気流量測定装置1が外部からの通電を受けた際、通電制御回路3に設けられたヒートクリーニング手段4が、ヒートクリーニング時間に亘って一時的の一例、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニングを実施する。このように、外部から通電を受けた際に、空気流量測定装置1に搭載された通電制御回路3がヒートクリーニングを実施するため、従来技術において用いていたヒートクリーニングを指示するための外部判定回路および専用ハーネスを廃止することができ、ヒートクリーニングを実施する空気流量測定装置1のコストを抑えることができる。また、外部から通電を受けた際にヒートクリーニングを実施するため、従来技術において用いていたエンジン停止後においても空気流量測定装置1への給電を行う電源手段を廃止することができ、空気流量測定装置1へ電力を供給する電源に要するコストを抑えることができる。実施例1の効果2この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、ヒートクリーニングを実施する際、吸気温度に基づいて発熱ヒータ2の温度を、略一定のヒートクリーニング目標温度例えば、310°Cに昇温させる。これにより、吸気温度が高い状態でヒートクリーニングが実施されても、発熱ヒータ2の温度の上がり過ぎによる発熱ヒータ2の劣化を回避することができ、発熱ヒータ2の劣化による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。即ち、信頼性の高い空気流量測定装置1を提供することができる。実施例1の効果3この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、好ましい形態として、ヒートクリーニング時間が、0.2秒以上で、且つ2秒以下の範囲に設定される。ヒートクリーニング時間を0.2秒以上に設定することで、発熱ヒータ2の発熱によって効率的な異物除去が行われ、図5の実線Dに示すように、異物付着による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。また、ヒートクリーニング時間を2秒以下に設定することで、エンジン制御に用いられる吸気流量測定の影響エンジン完爆後における流量計測の影響を抑えることができるとともに、発熱ヒータ2の劣化を抑えることができる。この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、さらに好ましい形態として、ヒートクリーニング時間が、0.5秒以上で、且つ1秒以下の範囲に設定される。図5の実線Dに示すように、ヒートクリーニング時間を0.5秒以上に設定することで、発熱ヒータ2の発熱による異物除去を確実にでき、異物付着による吸気流量の測定精度の悪化を確実に回避することができる。また、ヒートクリーニング時間を1秒以下に設定することで、エンジン制御に用いられる吸気流量測定の影響をより確実に抑えることができるとともに、発熱ヒータ2の劣化を抑えることができる。さらに、この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、ヒートクリーニング時間が、0.5秒に設定される。このように、ヒートクリーニング時間を0.5秒以上に設定することで、発熱ヒータ2の発熱による異物除去率を高める効果と、エンジン制御に用いられる吸気流量測定の影響をより小さく抑える効果の両立を図ることができる。実施例1の効果4この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体が、発熱ヒータ2等が設けられる同一のセンサ基板25上に設けられる。このように、発熱ヒータ2等が設けられるセンサ基板25にヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体を設けることで、ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体を追加するコストを抑えることができ、空気流量測定装置1のコスト上昇を抑えることができる。実施例1の効果5この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、加熱吸気温度検出抵抗体21によって検出される加熱吸気温度に応じた分圧値V1具体的には、分圧値V1を変更するための電圧VEを変化させることでヒートクリーニングを実施する。このため、ヒートクリーニングを実施するための特別回路を用いずに済み、ヒートクリーニングを実施する空気流量測定装置1のコストを抑えることができる。[実施例2]実施例2を図2、図6、図7を参照して説明する。なお、上記実施例1と同一符号は同一機能物を示すものである。上記の実施例1のヒートクリーニング手段4は、図3bの実線Cに示すように、吸気温度が変化しても、ヒートクリーニング時の発熱ヒータ2の温度が略一定となるように発熱ヒータ2を通電制御する例を示した。これに対し、この実施例2のヒートクリーニング手段4は、図6に示すように、ヒートクリーニング用吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度が予め設定されたヒートクリーニング開始温度以下例えば、吸気温度が20°C以下の時で、且つ空気流量測定装置1への通電開始時に、一時的に例えば、実施例1で示したヒートクリーニング時間に亘り、発熱ヒータ2の温度図6中、実線C参照を、通常制御時空気流量測定時の温度図6中、破線A参照より高めるものである。この実施例2のヒートクリーニング手段4は、上記実施例1と同様、ヒートクリーニングを実施する際、加熱吸気温度検出抵抗体21によって検出される加熱吸気温度に応じた分圧値V1、あるいは非加熱吸気温度検出抵抗体23によって検出される非加熱吸気温度に応じた分圧値V2の少なくとも一方の分圧値を変更することで、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めるものである。具体的に、この実施例2のヒートクリーニング手段4を、図2を参照して説明する。電圧調整手段35は、ヒートクリーニングを開始する条件が成立すると吸気温度が20°C以下の通電開始時、一時的に例えば、実施例1で示したヒートクリーニング時間に亘り、通常制御時流量測定時における発熱ヒータ2の温度VE_CTL値から予め設定された所定値を引き算し、その引き算した温度変更温度を用いて電圧VEを可変制御する。これにより、ヒートクリーニングを開始する条件が成立した場合吸気温度が20°C以下の通電開始時、一時的に例えば、実施例1で示したヒートクリーニング時間に亘り、発熱ヒータ2の温度図6中、実線C参照を、通常制御時空気流量測定時の温度図6中、破線A参照より高めることができる。実施例2の効果1この実施例2の空気流量測定装置1は、上述したように、吸気温度がヒートクリーニング開始温度以下例えば、20°C以下でないとヒートクリーニングを実施しない。吸気温度が高い状態20°Cより高い温度では、ヒートクリーニングが実施されないため、発熱ヒータ2の温度の上がり過ぎによる発熱ヒータ2の劣化を回避することができる。これにより、発熱ヒータ2の劣化による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができ、空気流量測定装置1の信頼性を高めることができる。実施例2の効果2この実施例2の空気流量測定装置1は、上述したように、ヒートクリーニング開始温度が20°C以下に設定される。図7の実線Eに示すように、吸気温度が20°Cを超えるとヒートクリーニングを実施しなくても、発熱ヒータ2の通常制御空気流量測定時の通電制御による発熱で異物除去が行われるため、異物付着による吸気流量の測定精度の悪化を回避することができる。実施例2の効果3この実施例の空気流量測定装置1は、実施例1と同様、加熱吸気温度検出抵抗体21によって検出される加熱吸気温度に応じた分圧値V1具体的には、分圧値V1を変更するための電圧VEを変化させることでヒートクリーニングを実施する。このため、ヒートクリーニングを実施するための特別回路を用いずに済み、ヒートクリーニングを実施する空気流量測定装置1のコストを抑えることができる。