帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記不要シート巻取手段は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付け可能な押え手段を備え、前記押え手段で接着シートを押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離し可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。前記押え手段は、前記原反を挟み込み可能な押え部材及び受け部材と、これら押え部材及び受け部材を離間接近可能な間隔調整手段とを備えていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。前記押え手段を原反の繰出方向に沿って往復移動可能な移動手段を更に含むことを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。前記押え手段は、前記接着シートの繰出方向先端部を保持して当該接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離可能な予備剥離手段を有することを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有し、所定の間隔を隔てて所定形状の切込が形成されることで当該切込の内側に接着シートが形成されるとともに、当該切込の外側に不要シートが形成された帯状シートが、当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記不要シート巻取手段は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付け可能な押え手段を備え、前記押え手段で接着シートを押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離し可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取工程と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記不要シート巻取工程は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離す切離工程を有することを特徴とするシート貼付方法。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取手段とを含むシート製造装置であって、前記不要シート巻取手段は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付け可能な押え手段を備え、前記押え手段で接着シートを押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離し可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取工程とを備え、前記不要シート巻取工程は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離す切離工程を有することを特徴とするシート製造方法。ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図2に示されるように、接着シートASは、その繰出方向先端部における当該接着シートASの繰出方向に沿った一定の間隔以下、先端縦間隔Sxというに対し、先端縦間隔Sx進んだ位置での接着シートASの繰出方向に直交する方向に沿った間隔以下、先端横間隔Syというの割合以下先端縦横比Sxyというが大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Sxyが大きくなると、巻取手段で接着シートASの繰出方向先端部の不要シートを接着シートASから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。このような場合、切断手段で形成した切込が不十分で、例えば、接着シートASと不要シートとが完全に分断されていなかったり、接着シートASと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまったりしていた場合、接着シートASと不要シートとの切り離しに要する力が接着シートASと剥離シートとの剥離に要する力を上回ってしまうことがあり、当該接着シートASが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートASの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。かかる不都合は、接着シートが方形等に形成され、繰出方向前端が直線に形成されて原反の幅方向に長くなる場合にも、同様に発生する。[発明の目的]本発明の目的は、接着シートの形状に拘わらず、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は、剥離シートから接着シートを良好に剥離することができるシート貼付装置を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記不要シート巻取手段は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付け可能な押え手段を備え、前記押え手段で接着シートを押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離し可能に設けられる、という構成を採っている。本発明において、前記押え手段は、前記原反を挟み込み可能な押え部材及び受け部材と、これら押え部材及び受け部材を離間接近可能な間隔調整手段とを備える、という構成を採ることが好ましい。また、前記押え手段を原反の繰出方向に沿って往復移動可能な移動手段を更に含む、という構成も好ましくは採用される。更に、前記押え手段は、前記接着シートの繰出方向先端部を保持して当該接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから剥離可能な予備剥離手段を有する、という構成を採ることができる。また、本発明のシート貼付装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有し、所定の間隔を隔てて所定形状の切込が形成されることで当該切込の内側に接着シートが形成されるとともに、当該切込の外側に不要シートが形成された帯状シートが、当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記不要シート巻取手段は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付け可能な押え手段を備え、前記押え手段で接着シートを押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離し可能に設けられる、という構成を採っている。更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取工程と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記不要シート巻取工程は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離す切離工程を有する、という方法を採っている。また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取手段とを含むシート製造装置であって、前記不要シート巻取手段は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付け可能な押え手段を備え、前記押え手段で接着シートを押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離し可能に設けられる、という構成を採っている。更に、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記不要シートを巻き取る不要シート巻取工程とを備え、前記不要シート巻取工程は、前記接着シートを剥離シート側に押さえ付けた状態で、前記不要シートに張力を付与することにより、少なくとも前記接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離す切離工程を有する、という方法を採っている。本発明によれば、接着シートを押さえ付けながら、少なくとも接着シートの繰出方向先端部と不要シートとを切り離すので、確実に不要シートだけを剥離シートから剥離することができる。これにより、切断手段で形成した切込が不十分であったり、接着シートと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまったりした場合でも、接着シートが不要シートと共に巻き取られることを確実に回避することができ、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができ、当該原反が切断刃のない特許文献1のような接着シート貼付装置に採用されたときに、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。また、間隔調整手段により押え部材及び受け部材を離間接近可能としたので、厚みが異なる種々の原反を用いる場合でも、押え部材による押さえ付けを安定して行える上、押え部材と原反との間隔を確実に形成し、当該原反の繰出に対して抵抗となるようなことを防止することができ、原反に対する汎用性を良好に発揮させることが可能となる。更に、押え部材及び受け部材を原反の繰出方向に移動可能な移動手段を有する場合、押え部材及び受け部材で原反を挟み込みながら原反の繰り出しを行うことができるので、原反の繰り出しを停止させることなく接着シートと不要シートとを切り離すことができ、処理能力が低下することを防止することが可能となる。その上、原反固有の接着シート間隔に応じて押え部材及び受け部材を移動させることができ、原反に対する汎用性を良好に発揮させることが可能となる。また、接着シートの繰出方向先端部を保持して剥離シートから剥離可能な予備剥離手段を有する場合、剥離手段で接着シートを剥離する前に、接着シートの繰出方向先端部を一旦予備的に剥離することができる。これにより、剥離手段で剥離シートを折り返したときに、接着シートも同様に折り返されてしまい、剥離シートから接着シートが剥離できなくなることを防止でき、これによっても、接着シートが貼付不能になることを回避することが可能となる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書において、特に明示しない限り、左、右、上、下は、図1を基準として用いる。図1及び図2において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWF及びリングフレームRFを吸着支持するテーブル11と、このテーブル11を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ12と、帯状の剥離シートRLと、その一方の面に仮着された帯状シートWSとにより構成された原反RSを繰り出し可能な繰出手段14と、この繰出手段14により繰り出された原反RSの帯状シートWSに切込CUを形成し、当該切込CUの内側に接着シートASを形成するとともに、当該切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、不要シートUSを巻き取り可能な不要シート巻取手段16と、剥離シートRLを折り返して接着シートASを剥離シートRLから剥離する剥離手段としての剥離板18と、この剥離板18で剥離された接着シートASをリングフレームRF及びウエハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ19とを備えて構成されている。帯状シートWSは、基材シートBSと、この基材シートBSの一方の面に積層された接着剤層ADとを備え、当該接着剤層ADを介して剥離シートRLに仮着されている。なお、ウエハWFの下面には保護シートPSが貼付されている。前記繰出手段14は、原反RSを支持する支持軸25と、この支持軸25から繰り出されて切断手段15を通過する前の原反RSを挟み込む第1駆動ローラ27及び第1ピンチローラ28と、剥離板18を経た後の剥離シートRLを挟み込む第2駆動ローラ31及び第2ピンチローラ32と、これらを通過した後の剥離シートRLを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸34とを備えている。各駆動ローラ27、31は、駆動機器としての回動モータDM1、DM2を介して回転可能に設けられている。前記切断手段15は、繰り出される原反RSの帯状シートWS側で回転可能に設けられたダイカットローラ36と、原反RSの剥離シートRL側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ36と連動して回転可能に設けられたプラテンローラ37と、ダイカットローラ36を回転させる駆動機器としての回動モータDM3と、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との相対間隔を調整する間隔調整手段であって図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えている。前記ダイカットローラ36は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃40を備え、帯状シートWSにリングフレームRFの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込CUを形成可能に設けられている。切断刃40によって形成された接着シートASは、帯状シートWSの繰出方向原反RSが支持軸25から巻取軸34に向かう方向先端領域が剥離板18によって剥離シートRLから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Sa図2参照となる。ここで、切断手段15には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反RSにエネルギーを付与しながら切込CUを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ36、37から離れた位置から切込CUの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。前記不要シート巻取手段16は、切断手段15により切込CUが形成された後の帯状シートWS側に位置し、接着シートASを剥離シートRL側に押さえ付け可能な押え手段42と、この押え手段42を経た後の不要シートUSを挟み込む第3駆動ローラ43及び第3ピンチローラ44と、これらを通過した後の不要シートUSを駆動機器として回動モータDM4によって所定のトルクで巻き取る巻取軸46とを備えている。第3駆動ローラ43は、駆動機器となる張力調整手段としての回動モータDM5を介して回転可能に設けられている。回動モータDM5は、正逆回転可能であってトルク調整可能に設けられ、この調整により、押え手段42と第3駆動ローラ43との間の不要シートUSに張力を付与できるように設けられている。前記押え手段42は、図3に示されるように、平面視で接着シートASの初期剥離領域Saの平面形状と同形状に設けられ、正面視において下端に向かって徐々に尖った形状をなす凸部50A及び、当該凸部50Aを支えるショルダ部50Bとからなる押え部材50と、凸部50Aの下端側であって剥離シートRL側に配置され、凸部50Aとで原反RSを挟み込み可能なローラからなる受け部材51と、押え部材50を左右方向に移動可能に支持する駆動機器としての直動モータからなる間隔調整手段53と、この間隔調整手段53及び受け部材51を支持する支持フレーム54と、この支持フレーム54を原反RSの繰出方向沿って往復移動可能つまり、上下方向に移動可能な駆動機器としての直動モータからなる移動手段55と、不要シートUSの垂れ下がりを検知可能な撮像手段や光学センサ等の検知手段56とを備えている。押え部材50は、凸部50Aで接着シートASを押さえ付けつつ、ショルダ部50Bの下端で不要シートUSを折り返し可能に設けられている。押え部材50及び受け部材51は、間隔調整手段53を作動することにより離間接近可能に設けられ、原反RSの厚みに応じ、それらの間隔を調整可能となっている。凸部50Aの下部右面側の面には、基材シートBS表面を吸着可能な吸着面とされている。これにより、図1Bに示されるように、押え部材50で接着シートASの初期剥離領域Saを吸着保持しながら、間隔調整手段53を作動して押え部材50を左方向に移動することにより、初期剥離領域Saを剥離シートRLから一時的に剥離可能となる。なお、押え部材50及び間隔調整手段53により、予備剥離手段が構成される。次に、本実施形態における接着シートASの貼付方法について説明する。まず、支持軸25に支持された原反RSを第1駆動ローラ27と第1ピンチローラ28との間、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との間、及び、押え部材50と受け部材51との間を通過させる。そして、剥離シートRLから帯状シートWSを剥離し、当該帯状シートWSのリード端を巻取軸46に固定する。また、剥離シートRLは、剥離板18の先端で折り返して第2駆動ローラ31と第2ピンチローラ32との間を通過させ、そのリード端を巻取軸34に固定する。また、原反RSの厚みを図示しないコンピュータやシーケンサ等の制御手段に入力しておく。押え部材50は、制御手段に入力された原反RSの厚みを基に、当該原反RSの厚みより更に1mmの間隔をもって受け部材51から離間するように制御されている。本実施形態では、図1に示されるように、ダイカットローラ36の回転方向における切断刃40が形成されていない領域の中央をダイカットローラ36のスタート位置Stとし、当該スタート位置Stがプラテンローラ37に再接近した状態で、ダイカットローラ36の回転を停止させておく。そして、回動モータDM1~DM5を連動させて原反RSを繰り出すと、切断刃40により基材シートBS側から剥離シートRL側に向かって切込CUが形成され、帯状シートWSは、切込CUの内側の接着シートASと、切込CUの外側の不要シートUSとに区分される。次いで、切断刃40によって形成された接着シートASにおける初期剥離領域Saの下端が、図1Aの二点鎖線で示される押え部材50の凸部50Aの下端に側面視で一致したことが図示しない撮像手段や光学センサ等の検知手段に検知されると、移動手段55が原反の繰出速度と同速度で押え部材50を繰出方向に移動させつつ、間隔調整手段53が押え部材50を受け部材51側に移動させ、初期剥離領域Saを押え部材50と受け部材51とで挟みこむ。なお、剥離シートRLから剥離された不要シートUSは、図1A中二点鎖線で示されるように、検知手段56の検知によって所定の弛みが形成されつつ、不要シート巻取手段16で巻き取られるようになっている。そして、押え部材50が所定の位置に到達したことが図示しない検知手段によって検知されると、回動モータDM5のトルクを調整し、弛ませていた不要シートUSに張力を付与し、図1A中実線で示されるように、強制的に接着シートASと不要シートUSとを切り離す。剥離シートRLから剥離された不要シートUSは、第3駆動ローラ43を経て当該第3駆動ローラ43と同期回転する巻取軸46により巻き取られる。これにより、接着シートASが不要シートUSと共に巻取軸46方向へ共上がりすることはない。その後、凸部50Aの下端側における吸着面により初期剥離領域Saを吸着し、図1Bに示されるように、間隔調整手段53を作動して押え部材50を受け部材51から離れる方向に移動し、当該押え部材50に吸着保持された接着シートASの初期剥離領域Saを剥離シートRLから強制的に剥離させた後、押え部材50の吸着を停止する。これにより、接着剤層ADが剥離シートRLの剥離処理が施されていない内部にまで達していたとしても、これを断ち切ることができ、接着シートASが剥離板18で剥離されることなく、剥離シートRLと共に巻取軸34方向に繰り出されることを防止することができる。なお、押え部材50は、吸着を停止した後、図1A中二点鎖線で示される初期位置に復帰される。次いで、押え手段42を経た後の原反RSの接着シートASが剥離板18の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートASの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ36は、図1に示されるように、スタート位置Stがプラテンローラ37に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートASの間隔を任意に調整することができる上、接着シートASの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームRFとウエハWFとがテーブル11上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ12を介してテーブル11が剥離板18の下方を右側から左側に搬送される。テーブル11が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル11の搬送に同期して第1及び第2駆動ローラ27、31が回転して原反RSが繰り出され、剥離板18の先端で接着シートASが剥離される。そして、剥離された接着シートASが押圧ローラ19による押圧力を受け、リングクレームRF及びウエハWFの各上面に貼付され、接着シートASを介してウエハWFとリングクレームRFとが一体化される。従って、このような実施形態によれば、押え手段42で接着シートASを押さえ付けながら、不要シートUSの張力を増大することによって、接着シートASと不要シートUSとを切り離すことができる。これにより、接着シートAS外縁の曲率等、接着シートASの形状やサイズに拘わらず、切り離しの確実性を高めて接着シートASが不要シートUSと共に巻取軸51方向へ共上がりすること防止することができる。また、剥離板18で剥離を行う前に、接着シートASの初期剥離領域Saを一時的に剥離するので、接着シートASの剥離シートからの剥離不良や、被着体への貼付不良を確実に防止することができる。この結果、接着シートASが大径化しても、接着シートASの剥離及び貼付を良好に行うことが可能となる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、押え部材50は、前記実施形態と同様に機能し得る限りにおいて、棒状や軸状の部材を用いたり、ローラを用いたりして構成してもよい。更に、押え部材50で接着シートASを押さえ付けた状態で、接着シートAS全体が不要シートUSと切り離される構成としてもよい。このとき押え部材50は、接着シートAS全体又は略全体を剥離シートRL側に押さえ付け可能な形状とすることが好ましい。また、前記移動手段55を省略し、接着シートASの初期剥離領域Saが押え部材50の下端側に達したタイミングで原反RSの繰り出しを停止してから、弛んだ不要シートUSの張力を増大させて接着シートASとの切り離しを行ってもよい。但し、前記実施形態のように移動手段55を利用した方が、原反RSの繰り出しを停止せずに押え部材50等と接着シートASとの相対位置を維持して切り離しを行うことができ、処理能力が低下することを防止できる。更に、前記シート貼付装置10の剥離板18及び押圧ローラ19を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段15によって接着シートASを形成した後、当該接着シートASが剥離シートRLに仮着された原反RSが巻取軸34に巻き取られる。巻取軸34に巻き取られた原反RSは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。また、原反RSにおける帯状シートWSが予め他の装置等によって、所定の間隔を隔てて所定形状の切込CUが形成されることで当該切込CUの内側に接着シートASが形成されるとともに、当該切込CUの外側に不要シートUSが形成されたものの場合、前記シート貼付装置10の切断手段15を省略することができる。このような場合にでも、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。また、切断刃40の平面形状は、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能である。更に、前記張力調整手段は、前記実施形態と同様に不要シートUSの張力を増加できる限りにおいて、種々の設計変更が可能である。例えば、第3駆動ローラ43及び第3ピンチローラ44を駆動機器により押え手段42と相対移動可能に設けたり、不要シートUSの厚み方向に進退可能な出力軸により不要シートUSを押圧可能に設けたりすることで原反RSの張力を増加してもよい。また、切断手段15は、前記切込CUを形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。更に、切断刃40は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。更に、繰出手段14や剥離板18、押圧ローラ19は、前記実施形態と同様の機能を発揮する限りにおいて、種々の設計変更が可能である。また、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の相対間隔を調整する間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、切断刃40とプラテンローラ37との相対間隔は、原反RSの厚みや性質、特に剥離シートRSの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。更に、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよいし、また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。更に、被着体は、ウエハWFやリングフレームRFに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームRFに代えて、C字状やU字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームRFなしで単独の被着体を接着シートASの貼付対象としてもよい。