"弾性体および該弾性体に振動を励起する電気-機械エネルギ変換素子により構成された振動子と、前記弾性体との摩擦により回転する回転子とを有する振動型駆動装置であって、前記弾性体において前記振動の節となる軸方向の部分に、該弾性体の径方向の外側に向かって開口して該弾性体の周方向に延びる凹部を有しており、前記凹部のうち前記軸方向にて互いに対向する側に設けられた2つの面が、内周側に向かって前記軸方向にて互いに近づくように前記径方向に対して傾斜し、かつ前記凹部の内周側の部分における前記2つの面の間に、凹曲面が形成されていることを特徴とする振動型駆動装置。弾性体および該弾性体に振動を励起する電気-機械エネルギ変換素子により構成された振動子と、前記弾性体との摩擦により回転する回転子とを有する振動型駆動装置であって、前記弾性体において前記振動の節となる軸方向の部分に、該弾性体の径方向の外側に向かって開口して該弾性体の周方向に延びる凹部を有しており、前記凹部のうち前記軸方向にて互いに対向する側に設けられた2つの面が、径方向に平行に延びており、かつ前記凹部の内周側の部分における前記2つの面の間に、凹曲面が形成されていることを特徴とする振動型駆動装置。前記凹曲面が複数形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型駆動装置。前記凹部の内周側から外周側に向かって前記複数の凹曲面が形成されており、該複数の凹曲面の曲率半径が、前記凹部の内周側から外周側に向かって大きくなっていることを特徴とする請求項3に記載の振動型駆動装置。前記2つの面の間に2つの前記凹曲面が形成され、かつ該2つの前記凹曲面の間に溝部が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型駆動装置。前記2つの面および前記凹曲面が、凹凸による粗さを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型駆動装置。請求項1から6のいずれか一項に記載の振動型駆動装置と、該振動型駆動装置により駆動される被駆動部材とを有することを特徴とする機器。しかしながら、振動型駆動装置の最大回転数は、弾性体107の機械的特性によって制限される。すなわち、回転数が、図11に示す限界回転数を超えると、図10に示すように、弾性体107における各凹部107eの最深部分最内周部分の角部にクラックCが発生するおそれがある。このため、回転数がこの限界回転数を超えないように最大回転数が制限される。したがって、弾性体107における上記のようなクラックCの発生を抑えることができれば、モータの最大回転数をより高く設定することができる。本発明は、弾性体にクラックの発生を抑えられる形状を与えることで、最大回転数をより高くすることができるようにした振動型駆動装置を提供する。本発明の一側面としての振動型駆動装置は、弾性体および該弾性体に振動を励起する電気-機械エネルギ変換素子により構成された振動子と、弾性体との摩擦により回転する回転子とを有する。弾性体において振動の節となる軸方向の部分に、該弾性体の径方向の外側に向かって開口して該弾性体の周方向に延びる凹部を有する。そして、凹部のうち軸方向にて互いに対向する側に設けられた2つの面が、内周側に向かって軸方向にて互いに近づくように径方向に対して傾斜しており、かつ凹部の内周側の部分における該2つの面の間に、凹曲面が形成されていることを特徴とする。また、本発明の他の一側面としての振動型駆動装置は、弾性体および該弾性体に振動を励起する電気-機械エネルギ変換素子により構成された振動子と、弾性体との摩擦により回転する回転子とを有する。弾性体において振動の節となる軸方向の部分に、該弾性体の径方向の外側に向かって開口して該弾性体の周方向に延びる凹部を有する。そして、凹部のうち軸方向にて互いに対向する側に設けられた2つの面が、径方向に平行に延びており、かつ凹部の内周側の部分における該2つの面の間に、凹曲面が形成されていることを特徴とする。なお、上記振動型駆動装置と、これにより駆動される被駆動部材とを有する機器も、本発明の他の一側面を構成する。本発明によれば、弾性体に振動の振幅を拡大するために設けた凹部を上記のような形状に形成することで、該弾性体におけるクラックの発生を抑えることができ、振動型駆動装置の最大回転数をより高くすることができる。そして、このような振動型駆動装置を用いることで、弾性体におけるクラック発生による動作不良が生じにくく、かつ被駆動部材をより高速で駆動することが可能な機器を実現することができる。以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。図1には、本発明の実施例1である振動型駆動装置の構成を示している。この図において、回転子16a,16bの回転中心軸が延びる方向を軸方向という。振動型駆動装置の基本的な構成は、図9に示した従来の振動型駆動装置の構成と同じである。図2には、図1に示す振動型駆動装置に用いられている弾性体7の一部の断面を示している。弾性体7は、軸方向両側に振動部7a,7bを有するとともに、これら振動部7a,7bの間に圧電素子保持部7c,7dを有する。この弾性体7は、振動部7aおよび圧電素子保持部7cを有する第1の弾性体と、振動部7bおよび圧電素子保持部7dを有する第2の弾性体とが、圧電素子保持部側で接合されて一体化されている。2つの圧電素子保持部7c,7dの間には、電気-機械エネルギ変換素子としての圧電素子9が挟み込まれて保持されている。圧電素子9には、フレキシブル基板8を介して互いに位相が異なる2つの周波信号が入力される。2つの周波信号が入力された圧電素子9には、軸方向に伸長する部分と圧縮する部分とが周方向にて発生し、かつこれらの部分が周方向に順次移動する。これにより、弾性体7には、軸方向に対して屈曲し、該屈曲の方位が周方向において順次変化するような振動が励起される。弾性体7における振動部7aと圧電素子保持部7cとの間および振動部7bと圧電素子保持部7dとの間には、弾性体7の周方向に延びる凹部7eが形成されている。該凹部7eは、弾性体7の径方向外側に向かって開口している。弾性体7における凹部7eが形成された部分は他の部分に比べて剛性が低くなる。また、凹部7eは弾性体7に励起される振動の節となる位置に形成される。これらにより、振動部7a,7bの振幅が、凹部7eが形成されない場合に比べて拡大される。図12には、弾性体7第1の弾性体が振動により屈曲する様子を示している。振動部7aは、弾性体7における凹部7eの近傍部分を中心節として、圧電素子保持部7cに対して大きく屈曲する。弾性体7および圧電素子9により構成される振動子17は、支持部材10によって不図示のケースに固定される。回転子16a,16bはそれぞれ、回転盤12a,12bと、該回転盤12a,12bに固定された摺動部材11a,11bとにより構成されている。回転盤12a,12bは、出力軸1に固定された回転係合部材14a,14bに周方向にて係合しており、これにより、回転盤12a,12bと回転係合部材14a,14bと出力軸1とが一体となって回転する。出力軸1は、ケースにおける軸方向両側に取り付けられた不図示の軸受けにより回転可能に支持されている。回転盤12a,12bがそれぞれ加圧ばね13a,13bから軸方向の付勢力を受けることにより、摺動部材11a,11bが振動子17の振動部7a,7bに圧接される。振動する振動部7a,7bと摺動部材11a,11bとの接触摩擦によって回転子16a,16bが回転駆動され、回転盤12a,12bおよび回転係合部材14a,14bを介して出力軸1が回転する。この出力軸1からギア等により駆動力を取り出すことができ、該駆動力を用いて、ギア、プーリ、レバー、アーム、シャフト等の被駆動部材30を駆動することができる。被駆動部材30は、振動型駆動装置を駆動源として備える各種機器の構成要素である。このように構成される振動型駆動装置の圧電素子9に印加される周波信号の周波数Hzと該振動型駆動装置の回転数r/minとの関係は、図11に示した従来の振動型駆動装置における関係と基本的に同じである。ただし、本実施例では、最大回転数を従来よりも高くするために、以下に説明するように凹部7eの形状に特徴を持たせている。従来では、図10に示すように、弾性体107に設けられた凹部107eが周方向に直交する断面軸方向に沿った断面であり、以下、周方向断面というにて矩形の形状を有し、角部に応力集中によるクラックが発生し易かった。これに対して、本実施例では、周方向断面において、凹部7eのうち軸方向にて互いに対向する側に設けられた2つの面図1Aに符号7e1,7e2で示すが、内周側に向かって軸方向にて互いに近づくように径方向に対して傾斜している。言い換えれば、上記2つの面以下、上傾斜面7e1および下傾斜面7e2というが、互いに頂面を軸方向にて接近させた円錐台の錐面のように形成されている。さらに、凹部7eの内周側の部分には、図1Bに拡大して示すように、径方向外側に向かって凹の形状を有し、上傾斜面7e1と下傾斜面7e2の内周端に段差なく繋がる凹曲面7e3が形成されている。つまり、2つの錐台上傾斜面7e1および下傾斜面7e2の間に、これらに滑らかに角部が形成されないように繋がる凹曲面7e3によって形成された内周端部を設けている。凹部7eの内面をこのように形成することで、図12に示すように、振動する弾性体7における凹部7eの周辺の応力を凹部7eに沿って滑らかに変化させ、応力集中の発生、つまりはクラックの発生を抑えることができる。このため、振動型駆動装置の最大回転数を従来に比べてより高くすることができる。そして、このような振動型駆動装置を各種機器における被駆動部材30の駆動源として用いることにより、弾性体におけるクラック発生による動作不良が生じにくく、かつ被駆動部材をより高速で駆動することが可能な機器を実現することができる。なお、傾斜面7e1,7e2は、周方向断面において曲率を持つ面例えば、凸面であってもよい。図3Aには、本発明の実施例2である振動型駆動装置に用いられる弾性体第1および第2の弾性体7′の周方向断面の形状を示している。本実施例の弾性体7′でも、実施例1と同様に、周方向断面において、凹部7eの内面であって軸方向にて互いに対向する側に設けられた2つの面上傾斜面7e1と下傾斜面7e2が、内周側に向かって軸方向にて互いに近づくように径方向に対して傾斜している。すなわち、上傾斜面7e1と下傾斜面7e2が、互いに頂面を軸方向にて接近させた円錐台の錐面のように形成されている。そして、本実施例では、凹部7eの内周側の部分の上下には、図3Bに拡大して示すように、径方向外側に向かって凹の形状を有し、上傾斜面7e1と下傾斜面7e2のそれぞれの内周端に段差なく繋がる2つの凹曲面7e3,7e3′が形成されている。さらに、2つの凹曲面7e3,7e3′の間には、より内周側に凹み外周側に開口し、かつ周方向に延びる内周溝部7e4が形成されている。つまり、2つの錐面上傾斜面7e1および下傾斜面7e2の間に、これらに滑らかに角部が形成されないように繋がる凹曲面7e3,7e3′と該凹曲面7e3,7e3′の間に設けられた内周溝部7e4とを有する内周端部を設けている。内周溝部7e4は、矩形の周方向断面を有する。上傾斜面7e1および下傾斜面7e2から凹曲面7e3,7e3′にかけては角部が形成されていない。しかも、凹曲面7e3,7e3′と内周溝部7e4との間に角部が形成されることで、この周辺の応力が分散される。これにより、振動する弾性体7における凹部7eの周辺での応力集中の発生、つまりはクラックの発生を抑えることができる図4Aには、実施例1にて説明した弾性体7における凹部7eの周辺の応力分布を示している。実施例1でも、応力Sはある程度分散され、応力集中は生じていない。これに対して、図4Bには、実施例2にて説明した弾性体7′における凹部7eの周辺の応力分布を示している。実施例2では、実施例1よりもさらに応力Sが分散され、応力集中の発生をより効果的に抑えている。図5A~Cには、上述した実施例1,2における弾性体7,7′の変形例を実施例3として示している。これらの変形例でも、実施例1,2と同様に、凹部7eは、軸方向にて互いに対向する側に設けられた2つの面であって、内周側に向かって軸方向にて互いに近づくように径方向に対して傾斜した上傾斜面7e1および下傾斜面7e2を有する。すなわち、上傾斜面7e1と下傾斜面7e2が、互いに頂面を軸方向にて接近させた円錐台の錐面のように形成されている。そして、図5Aに示す変形例では、実施例2と同様に、径方向外側に向かって凹の形状を有し、上傾斜面7e1および下傾斜面7e2のそれぞれの内周端に段差なく繋がる2つの凹曲面7e3,7e3′が形成されている。また、該2つの凹曲面7e3,7e3′の間に、より内周側に凹み外周側に開口し、かつ周方向に延びる内周溝部7e5が形成されている。つまり、2つの円錐面上傾斜面7e1および下傾斜面7e2の間に、これらに滑らかに角部が形成されないように繋がる凹曲面7e3,7e3′と、該凹曲面7e3,7e3′の間に形成された内周溝部7e5とを有する内周端部を設けている。内周溝部7e5は、この内周溝部7e5の開口の近くにおいて径方向に平行に延びて互いに対向する2つの平行面と、該2つの平行面よりも内周側において軸方向にて互いに対向する側に設けられ、内周側に向かって軸方向にて互いに近づくように径方向に対して傾斜した2つの傾斜面とを有する。すなわち、該2つの傾斜面が、互いに頂面を軸方向にて接近させた円錐台の錐面のように形成されている。これらの錐面は、その内周端にて、90度又はこれよりも小さい角度で接している。これにより、内周凹部7e5が形成する角部の数を、実施例2に比べて増やし、応力の分散をより促している。また、図5Bに示す変形例では、径方向外側に向かって凹の形状を有し、上傾斜面7e1および下傾斜面7e2のそれぞれの内周端に段差なく繋がる2つの凹曲面7e6,7e7が形成されている。これら2つの凹曲面7e6,7e7は、それらの間に周方向に延びる稜線が形成されるように軸方向にて隣り合っている。このように、凹部7eの内周側の部分に、複数の凹曲面をそれらが隣り合って稜線を形成するように設けてもよい。本実施例では、実施例1に比べて、凹部7eの内周側の部分に形成される角部稜線の数を増やし、応力の分散をより促している。さらに、図5Cに示す変形例では、実施例1と同様に、上傾斜面7e1と下傾斜面7e2との間に凹曲面7e3が形成されているが、これら上傾斜面7e1,下傾斜面7e2および内周凹部7e3には、凹凸による粗さが設けられている。本実施例では、実施例1に比べて、凹部7eの内周側の部分に形成される角部凹凸の数を増やし、応力の分散をより促している。これらの変形例によっても、振動する弾性体における凹部7eの周辺での応力集中の発生、つまりはクラックの発生を抑えることができる。このため、振動型駆動装置の最大回転数を従来に比べてより高くすることができる。図5Cに示した凹凸による粗さを、図3実施例2および図5A,Bに示した弾性体7,7′に適用してもよい。図6には、本発明の実施例4である振動型駆動装置に用いられる弾性体の凹部7eを拡大して示している。本実施例でも、実施例1~3と同様に、周方向断面において、凹部7eの内面であって軸方向にて互いに対向する側に設けられた2つの面上傾斜面7e1と下傾斜面7e2が、内周側に向かって軸方向にて互いに近づくように径方向に対して傾斜している。すなわち、上傾斜面7e1と下傾斜面7e2が、互いに頂面を軸方向にて接近させた円錐台の錐面のように形成されている。そして、本実施例では、凹部7eの内周側の部分最内周部分から上傾斜面7e1と下傾斜面7e2の内周端付近までの部分に、該凹部7eの内周側から外周側に向かって複数の凹曲面7e8が形成されている。そして、該複数の凹曲面7e8の曲率半径は、凹部7eの内周側から外周側に向かって大きくなっている。各凹曲面7e8は、弾性体の径方向外側に向かって凹となる曲面として形成され、かつ周方向に延びている。また、互いに隣り合う曲面7e8の間には周方向に延びる稜線が形成されている。このように、凹部7eの最内周部分から離れるほど大きな曲率半径を有する複数の凹曲面7e8を形成することで、凹部7eの周辺にて応力を効率的に分散させることができ、凹部7eの周辺での応力集中の発生、つまりはクラックの発生を抑えることができる。なお、本実施例にて説明した上傾斜面7e1および下傾斜面7e2における複数の凹曲面7e8を、図3および図5A~Cに示した実施例2,3の弾性体7,7′に適用してもよい。図7には、実施例1~4にて説明した弾性体に凹部7eを形成する方法の例を実施例5として示している。図7には、代表として実施例1にて説明した弾性体を示している。20は旋盤に取り付けられたバイト20である。弾性体を旋盤のチャックに保持して回転させ、かつチャックを軸方向に移動させる。そして、バイト20のノーズRを径方向に移動させながら弾性体を切削加工することで、凹部7eの上傾斜面7e1、下傾斜面7e2および凹曲面7e3を形成することができる。さらに、実施例2,3,4の弾性体の凹部も、バイト20の形状やノーズ半径を変更することで、同様にして形成することができる。また、実施例1~4の弾性体の凹部7eは、旋盤に限らず、フライス盤や研削盤等の加工機械を用いて形成することもできる。図8A~Cには、本発明の実施例6である振動型駆動装置に用いられる弾性体7′′を示している。この弾性体7′′に設けられた凹部7eは、実施例1~3と異なり、それぞれ軸方向にて互いに対向し、かつ径方向に平行に延びる上面7e1′′および下面7e2′′を有する。そして、該凹部7eの内周側の部分における上面7e1′′と下面7e2′′との間には、径方向外側に向かって凹の形状を有し、上面7e1′′と下面7e2′′のそれぞれの内周端に段差なく繋がる2つの凹曲面7e3,7e3′が形成されている。さらに、2つの凹曲面7e3,7e3′の間には、実施例2で説明した内周溝部7e4又は実施例3で説明した内周溝部7e5が形成されている。このように、凹部7eの上面7e1′′と下面7e2′′を錐面としなくても、凹部7eの内周側の部分に凹曲面7e3,7e3′や内周溝部7e4,7e5を形成することで、これらを形成しない場合に比べて凹部7eの周辺での応力集中の発生をある程度抑えることが可能である。なお、本実施例における凹部7eの内周側の部分における上面7e1′′と下面7e2′′との間に、内周溝部7e4,7e5を形成せず、図2実施例1に示したように凹曲面7e3のみを形成したり、図5B実施例3に示したように2つの凹曲面7e6,7e7のみを形成したりしてもよい。また、本実施例における上面7e1、下面7e2および凹曲面7e37e3′,7e6,7e7に、図5C実施例3および図6実施例4にて説明した凹凸による粗さや内周側から外周側に向かって曲率半径が大きくなる複数の凹曲面を形成してもよい。以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。"