"表面に凹凸パターンを有するスタンパを、基板上に供給された紫外線硬化樹脂材料の上に、当該凹凸パターン表面が密着するように配置し、該スタンパの背面を流体を用いて加圧することにより該スタンパを押圧し、該押圧状態で前記紫外線硬化樹脂材料に紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂材料を硬化させ、前記基板の表面に前記凹凸パターンの反転凹凸パターンを形成するインプリント装置において、前記基板を保持する保持部材と、前記保持部材と対向する耐圧体と、を有し、前記耐圧体は、その底部に前記紫外線硬化樹脂材料に紫外線を照射するLEDを備え、且つ前記耐圧体の底部と前記保持部材とが対向するように配置されていることを特徴とするインプリント装置。前記耐圧体と前記保持部材の少なくとも一方に冷却手段が設けられたことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。前記耐圧体と前記保持部材の少なくとも一方に温度計が設けられ、該温度計と前記冷却手段により温度制御を行う制御部が設けられたことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。前記耐圧体に断熱手段が設けられたことを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載のインプリント装置。前記スタンパが樹脂製のスタンパであることを特徴とする請求項1~4の何れか1項に記載のインプリント装置。しかしながら、図2に記載の装置は、UVランプ光源120の影響により、UVインプリント時にスタンパ156の温度が上昇してその寸法が変化し、精確な凹凸パターンを基板152上に形成することができない場合があった。これは長距離ピッチの場合や、熱の影響を受けやすい樹脂製のスタンパを使用した場合に特に問題となる。また、流体による加圧に耐え得る厚さの石英ガラス通常、5cm以上を用いることが必要であり、製造コストが高いという問題があった。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、インプリント時においてスタンパの寸法変化が防止され、製造コストが削減されたインプリント装置を提供することにある。上記目的は、表面に凹凸パターンを有するスタンパを、基板上に供給された紫外線硬化樹脂材料の上に、当該凹凸パターン表面が密着するように配置し、該スタンパの背面を流体を用いて加圧することにより該スタンパを押圧し、該押圧状態で前記紫外線硬化樹脂材料に紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂材料を硬化させ、前記基板の表面に前記凹凸パターンの反転凹凸パターンを形成するインプリント装置において、前記基板を保持する保持部材と、前記保持部材と対向する耐圧体と、を有し、前記耐圧体は、その底部に前記紫外線硬化樹脂材料に紫外線を照射するLEDを備え、且つ前記耐圧体の底部と前記保持部材とが対向するように配置されていることを特徴とするインプリント装置により達成される。従来から一般的に使用されていた水銀ランプ等のUVランプは、ランプ自体からの発熱が大きく、また、副次的に赤外線が発生するため、スタンパの温度上昇の原因となっていた。LEDは他の紫外線光源と比較して、それ自体からの発熱が小さく、また副次的に赤外線が発生することがないため、光源としてLEDを用いることにより、スタンパの温度上昇を防止することができる。また、LEDは水銀ランプ等のUVランプよりも耐圧面で優れており、耐圧体は、その底部にLEDを収納する際には、石英ガラス等の透明板を設ける必要がなく、インプリント装置の製造コストを削減することが可能になる。なお、透明板を設けてもよいが、この場合には、透明板に掛かる圧力をLEDと共に耐圧体で受けることができるので、透明板は薄い厚さのもので足り、装置の製造コストを削減できるだけでなく、保持部材と耐圧体によって形成される空間内の流体の流れがより安定的になり、スタンパをより一定圧力で加圧可能となる。本発明の好ましい態様は以下のとおりである。1前記耐圧体と前記保持部材の少なくとも一方に冷却手段が設けられている。温度が上昇したとしても、冷却手段によりスタンパの温度上昇を防止することができる。2前記耐圧体と前記保持部材の少なくとも一方に温度計が設けられ、該温度計と前記冷却手段により温度制御を行う制御部が設けられている。インプリント装置の温度変化を常時監視して一定温度を維持することができる。3前記耐圧体に断熱手段が設けられている。装置全体に熱が拡散することを防止することができる。4前記スタンパが樹脂製のスタンパである。本発明は、特に熱による寸法変化が比較的大きいとされている樹脂製のスタンパを使用するインプリントに好適である。本発明に係るインプリント装置によれば、熱によるスタンパの温度上昇を防止し、寸法変化を抑制することができるので、基板の所定の位置に精密に微細な凹凸パターンを形成することができ、また、透明板の設置が不要となることにより製造コストを削減することができる。したがって、高度な寸法精度が要求される用途に好適に使用することができ、生産性の向上したインプリント装置を提供することができる。以下、本発明について図を参照して詳細に説明する。図1は、本発明に係るインプリント装置の実施の形態の一例を示す概略断面図である。本発明に係るインプリント装置10は、主として、LED16を底部に収容した耐圧体12と、基板52を保持可能な保持部材14とから構成され、基板52上にシート状に供給された紫外線硬化樹脂材料54にスタンパ56配置した後、スタンパ56の背面上面を流体供給管30から供給される流体により押圧し、そのままLED16から紫外線を照射することにより硬化させて基板52上に凹凸パターンを形成するものである。以下、各構成についてそれぞれ詳細に説明する。耐圧体12は、後述する流体による加圧に耐え得るように剛性を有する部材、例えばSUS等から構成され、その形状は略直方体状に形成されている。耐圧体12の底部12aには凹部12cが形成されており、底部12aは加圧時に膜34に接触しない高さになるように設定される。なお、その凹部12cには紫外線を透過する透明板20が設けられていてもよい。この透明板20は、その下面20aが後述する膜34を介して保持部材14の上面基板保持面14aと対向するように設けられ、透明版20は加圧時に膜34に接触しない高さになるように設定される。耐圧体12の底部12aに形成された凹部12cには、紫外線照射用のLED発光ダイオード16が備えられたLED基板18が設けられ、LED16は下方を向くように配置されている。LED基板18の下側の面18aは、凹部19が一定間隔で形成されており、この凹部19にLED16が備え付けられている。これにより、LED16がLED基板18から断面視で突出しない構成とされている。なお、図示のように透明板20を設ける場合、面18aの凹部19以外の領域は、透明板20の上面と接触対向しており、これにより、透明板20にかかる圧力を耐圧体12と共に受けることができる。そのため、用いる透明板20の厚さは、例えば3~5mmと薄いものであればよく、従来のように分厚い透明板石英ガラスを設ける必要はない。透明板20としては、紫外線を透過し、且つある程度の剛性を有するものであればよく、例えば石英ガラスが用いられる。LED16から紫外線が出射すると、透明板20を透過して紫外線硬化樹脂材料54に照射される。LED16の数は、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂材料54を硬化させることができる数があればよく、例えば、10cm2当たり少なくとも9~81個備えられ、紫外線照射量は例えば、300mJ/cm2以上あればよい。また、LED16は、紫外線硬化樹脂材料54に均一に紫外線が照射できるように、一定間隔で配列されている。LED16は、紫外線を照射可能なLEDであり、例えば、200~400nm、好ましくは300~400nmの波長を照射可能なLEDを用いる。保持部材14は、剛性を有する材質、例えばSUS等から構成され、その形状は略直方体状に形成されている。そして、その上面14aで基板52を水平に保持している。耐圧体12及び保持部材14の内部には、冷却媒体が流動する冷却手段としての冷却媒体管24が設けられている。冷却媒体管24は、耐圧体12にはLED基板18の近傍に、保持部材14には基板保持面14aの近傍にそれぞれ設けられている。冷却媒体としては、水や油等の液体や空気や不活性ガス等の気体を用いることができる。これにより、LED基板18から発熱が生じたとしても、スタンパ56の寸法変化を確実に防止することが可能となる。耐圧体12及び保持部材14には、それぞれの内部の温度を測定する温度計28が設けられている。温度計28は、耐圧体12には、LED基板18近傍の温度を測定するように設置することが好ましく、保持部材14には、基板52を保持する面14aの近傍の温度を測定するように設置することが好ましい。また、本発明に係るインプリント装置10には、冷却手段24及び温度計28により耐圧体12及び保持部材14の温度制御を行う制御部図示せずが設けられている。これにより、インプリント装置10の稼働時において、常時一定温度に維持することが可能となる。また、耐圧体12の内部には、LED基板18の外側の位置に断熱手段としての断熱材26が設けられている。断熱材26を設けることにより、装置10全体に熱が拡散することを防止することができる。断熱材26としては、例えば、ポリウレタン、フェノール樹脂等の発泡体やグラスウール、ロックウール等の繊維系断熱材を使用することができる。断熱材は保持部材14の内部にも設けてもよい。耐圧体12の下面12aの外周上にはOリングシール材等のシール材22が設けられている。シール材22には、可撓性を有する膜34が取り付けられており、これにより流体を供給するキャビティ36が形成されている。膜34は、紫外線を透過する材料から構成されていることが必要であり、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、PMMA、ポリシクロオレフィン、フッ素系樹脂等のフィルムから構成され、厚さは例えば、50μm~5mm、好ましくは100μm~3mmの厚さに設定される。キャビティ36には、耐圧体12に設けられた流体給排管30から流体が供給され、キャビティ36内が加圧される構成とされている。この流体としては、例えば、空気、窒素、二酸化炭素、アルゴン等を用いることができる。流体によりキャビティ36内が加圧されることにより、スタンパ56の背面を均一圧で押圧することができ、押圧状態で紫外線が紫外線硬化樹脂材料54に照射される。図示していないが、耐圧体12と保持部材14のうち少なくとも一方を上下移動させる上下移動手段が設けられており、押圧時において、耐圧体12と保持部材14との間隔が調整される。本実施の形態では、スタンパ56に押圧力を付与する手段は膜34を介して流体により間接的に押圧する例を示しているが、これに限られるものではなく、特許文献1に記載のように膜を介さずに流体で直接押圧する構成としてもよい。この場合、流体には、空気や不活性ガス等の気体が用いられる。本発明において、基板52に所望のパターンを形成するためのスタンパ56は、紫外線透過性を有する従来から公知のスタンパを使用することができる。具体的には、例えば、石英ガラス、樹脂等を使用することができる。樹脂製のスタンパとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリシクロオレフィン、フッ素系樹脂、ポリ塩化ビニル等の離型性の良い樹脂で作製されたスタンパが用いられる。上述したように、本発明はインプリント装置全体の温度を一定に維持することができるので、本発明に係るインプリント装置は、熱による寸法変化が比較的大きい樹脂製のスタンパを用いるインプリントに好適である。本発明において、紫外線硬化樹脂材料54は、紫外線硬化性樹脂と光重合開始剤を含む。紫外線硬化性樹脂としては、例えば、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート、エポキシ樹脂、イミド系オリゴマー、ポリエンチオール系オリゴマー等が挙げられる。ウレタンアクリレートは、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、メチレンビス4-シクロヘキシルイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等のジイソシアネート類とポリプロピレンオキサイドジオール、ポリプロピレンオキサイドトリオール、ポリテトラメチレンオキサイドジオール、エトキシ化ビスフェノールA等のポリオール類と2-ヒドロキシエチルアクリレート2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、グリシドールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート等のヒドロキシアクリレート類とを反応させることによって得られ、分子中に官能基としてアクリロイル基とウレタン結合を有するものである。ポリエステルアクリレートとしては、例えば、無水フタル酸とプロピレンオキサイドとアクリル酸とからなるポリエステルアクリレート、アジピン酸と1,6-ヘキサンジオールとアクリル酸とからなるポリエステルアクリレート、トリメリット酸とジエチレングリコールとアクリル酸とからなるポリエステルアクリレート等が挙げられる。エポキシアクリレートは、エピクロルヒドリン等のエポキシ化合物とアクリル酸又はメタクリル酸との反応により合成されたものであり、例えば、ビスフェノールAとエピクロルヒドリンとアクリル酸との反応により合成されるビスフェノールA型エポキシアクリレート、ビスフェノールSとエピクロルヒドリンとアクリル酸との反応により合成されるビスフェノールS型エポキシアクリレート、ビスフェノールFとエピクロルヒドリンとアクリル酸との反応により合成されるビスフェノールF型エポキシアクリレート、フェノールノボラックとエピクロルヒドリンとアクリル酸との反応により合成されるフェノールノボラック型エポキシアクリレート等が挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂;トリスフェノールメタントリグリシジルエーテル等の芳香族エポキシ樹脂、及び、これらの水添化物や臭素化物等が挙げられる。光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤及び光カチオン重合開始剤が好ましく、光ラジカル重合開始剤としては、例えば、4-2-ヒドロキシエトキシフェニル2-ヒドロキシ-2-プロピルケトン、α-ヒドロキシ-α-α’-ジメチルアセトフェノン、メトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体;ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物;ベンジルジメチルケタール等のケタール誘導体;ハロゲン化ケトン、アシルフォスフィンオキシド、アシルフォスフォナート、2-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン等が挙げられる。光カチオン重合開始剤としては、例えば、鉄-アレン錯体化合物、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩、オニウム塩、ピリジニウム塩、アルミニウム錯体/シラノール塩、トリクロロメチルトリアジン誘導体等が挙げられる。上記オニウム塩やピリジニウム塩の対アニオンとしては、例えば、SbF6-、PF6-、AsF6-、BF4-、テトラキスペンタフルオロボレート、トリフルオロメタンスルフォネート、メタンスルフォネート、トリフルオロアセテート、アセテート、スルフォネート、トシレート、ナイトレート等が挙げられる。光重合開始剤の添加量は、一般に紫外線硬化性樹脂100重量部に対して、0.1~15重量部であり、好ましくは、0.5~10重量部である。以下、本発明のインプリント装置10によりインプリントを行う過程について説明する。まず、基板52に紫外線硬化樹脂54をシート状に塗布し、次いで紫外線硬化樹脂54上にスタンパテンプレート56を配置する。この際、精確な位置合わせが必要な場合には、適宜アライメントを行う。次に、この積層体を保持部材14の所定の位置に配置した後、耐圧体12と保持部材14との間隔を上下移動手段で調節し、シール材22が可撓性膜22を介して保持部材14の上面基板保持面14aと密着した状態とする。その後、流体給排管30から流体を供給し、キャビティ36内を加圧例えば、1~50barすることにより、スタンパ56を紫外線硬化樹脂材料54に押圧する。この押圧状態で、紫外線をLED16から照射して紫外線硬化樹脂材料54を硬化させた後、耐圧体12と保持部材14を引き離す。これにより、基板52上に微細な凹凸パターンを形成することができるが、この動作中に、上述した温度計28、冷却媒体管24及び制御部図示せずにより、耐圧体12及び保持部材14の温度制御を行うことが好ましい。温度制御により設定する温度は、スタンパ56の寸法が変化しない温度、特に、スタンパの設定温度の±5°C、好ましくは±1°C、特に好ましくは±0.5°Cの範囲で設定することが好ましい。これにより、寸法変化を確実に防止することができ、所望とする凹凸パターンを高精度で形成することが可能となる。ここで、スタンパの設定温度とは、スタンパの作製において設定される、所望の寸法を示す温度のことをいい、例えば、設定温度が23°Cのスタンパを使用する場合は、22~24°C、好ましくは22.5~23.5°Cの温度となるように温度制御を行う。スタンパの設定温度は、通常1~30°C、特に20~25°Cの範囲内の温度に設定される。本発明は上記各実施の形態の構成に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。"