"振動板と、前記振動板の一方の主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、前記振動板の他方の主面に対向して設けられ、孔が設けられている板と、を備え、前記振動板および前記板の少なくとも一方は、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有する、流体制御装置。前記板に接合され、開口部が形成された基板をさらに備え、前記板は、前記基板の前記開口部に面し、屈曲振動可能な可動部と、前記基板に拘束された固定部と、を有する、請求項1に記載の流体制御装置。前記突出部は、前記振動板の他方の主面に形成されており、前記板側へ突出する、請求項1または2に記載の流体制御装置。前記突出部は、円柱状に形成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の流体制御装置。前記突出部は、前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の流体制御装置。前記振動板全体のうち前記突出部を除く領域は、エッチングにより前記振動板の前記突出部の領域の厚みより薄い厚みに形成されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の流体制御装置。前記突出部の前記開口部側の面の面積は、前記開口部の開口面の面積以上である、請求項2から6のいずれか1項に記載の流体制御装置。前記振動板と、前記振動板の周囲を囲む枠板と、前記振動板と前記枠板とを連結し、前記枠板に対して前記振動板を弾性支持する連結部と、を有する振動板ユニットを備え、前記板は、前記振動板の他方の主面に対向するよう前記枠板に接合されている、請求項1から7のいずれか1項に記載の流体制御装置。前記板は、複数の微粒子を含有した接着剤によって前記複数の微粒子を挟んで前記枠板に接着されている、請求項8に記載の流体制御装置。前記板の前記連結部と対向する領域には孔部が形成された、請求項8又は9に記載の流体制御装置。前記振動板および前記駆動体はアクチュエータを構成し、前記アクチュエータは円板状である、請求項1から10のいずれか1項に記載の流体制御装置。図1に示したような構造の流体ポンプは、構造が簡単で薄型に構成でき、例えば燃料電池システムの空気輸送用ポンプとして用いられる。ところが、組み込み先の電子機器は常に小型化の傾向があるため、流体ポンプの能力流量と圧力を低下させることなく更なる流体ポンプの小型化が要求される。流体ポンプが小型化する程、ポンプの能力流量と圧力は低下するため、ポンプの能力を維持しつつ小型化しようとすれば、従来構造の流体ポンプでは限界があった。そこで、本願の発明者は、以下に示す構造の流体ポンプを考案した。図2は、同流体ポンプの主要部の構成を示す断面図である。流体ポンプ901は、基板39、可撓板35、スペーサ37、振動板31、圧電素子32を備え、それらを順に積層した構造を有している。なお、可撓板35は、本発明の板に対応する。流体ポンプ901では、圧電素子32と圧電素子32に接合された振動板31とがアクチュエータ30を構成する。この振動板31の端部は、中心に通気孔35Aが形成された可撓板35の端部に、スペーサ37を介して接着固定されている。そのため、振動板31は、可撓板35からスペーサ37の厚み分離れてスペーサ37に支持されている。また、可撓板35には、中心に円柱形の開口部40が形成された基板39が接合されている。可撓板35の一部は基板39の開口部40で基板39側へ露出する。この円形の露出部は、アクチュエータ30の振動に伴う流体の圧力変動により、アクチュエータ30と実質的に同一周波数で振動することができる。すなわち、この可撓板35と基板39との構成により、可撓板35のアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近は屈曲振動可能な可動部41露出部となり、当該アクチュエータ対向領域の可動部41より外側の周辺部は基板39に拘束された固定部42となっている。以上の構造において圧電素子32に電圧が印加されると、流体ポンプ901では、圧電素子32の伸縮により振動板31が屈曲振動し、振動板31の振動に伴って可撓板35の可動部41が振動する。これにより、流体ポンプ901は、通気孔35Aから空気を吸引又は吐出する。よって、流体ポンプ901では、アクチュエータ30の振動に伴い可動部41が振動するため、実質的に振動振幅を増すことができる。しかしながら、上記流体ポンプ901では、可撓板35の可動部41が基板39によって支持されていない。そのため、可撓板35の可動部41が可動部41にかかる張力等によって振動板31から離れる方向に撓み、可撓板35の可動部41から当該可動部41に対向する振動板31の領域までの間隔が長くなる場合がある。この場合、アクチュエータ30の振動が可動部41に伝わりにくくなり、可動部41の振動が小さくなる。したがって、流体ポンプ901では、理想的な圧力-流量特性に対して圧力が低くなるという問題がある。そこで、スペーサ37の厚みを薄くすることでアクチュエータ30と可撓板35との間隔を予め狭くして振動させることにより、圧力を増加させる方法が考えられるが、この方法では、圧力が増加した分流量が減少するという問題があり、流量を減少させずに高い圧力を発生させることが困難であった。従って本発明は、従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることができる、小型低背の流体制御装置を提供することを目的とする。本発明の流体制御装置は、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。1振動板と、前記振動板の一方の主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、前記振動板の他方の主面に対向して設けられ、孔が設けられている板と、を備え、前記振動板および前記板の少なくとも一方は、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有する。この構成では、突出部が設けられている箇所では振動板と板との間隔が他の箇所よりも狭くなっているため、高い圧力を得ることができる。また、突出部が設けられている箇所以外では振動板と板との間隔が狭くなっていないため、圧力損失が減少し、流体の流量が低下しない。そのため、従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることができる。2前記板に接合され、開口部が形成された基板をさらに備え、前記板は、前記基板の前記開口部に面し、屈曲振動可能な可動部と、前記基板に拘束された固定部と、を有することが好ましい。この構成では、駆動体により振動板が振動し、振動板の振動に伴って板の可動部が振動する。また、この構成は、突出部を振動板に設けた第1の構成と、突出部を板に設けた第2の構成とを含んでいる。第1の構成の場合では、板の可動部と当該可動部に対向する振動板の領域との間隔が板の固定部と当該固定部に対向する振動板の領域との間隔より狭くなる。第2の構成の場合では、板の可動部が突出部を兼用し、板の可動部と当該可動部に対向する振動板の領域との間隔が基板と当該基板に対向する振動板の領域との間隔より狭くなる。そのため、この構成では、板の可動部が可動部にかかる張力等によって振動板から離れる方向に撓んでも板の可動部から当該可動部に対向する振動板の領域までの間隔が突出部の高さ分狭まる。これにより、振動板の振動が板の可動部に伝わり易くなる。また、上記第1の構成の場合では、板の可動部と当該可動部に対向する振動板の領域との間隔が狭くなっているが、板の固定部と当該固定部に対向する振動板の領域との間隔は狭くなっていない。同様に、上記第2の構成の場合においても、板の可動部と当該可動部に対向する振動板の領域との間隔が狭くなっているが、基板と当該基板に対向する振動板の領域との間隔は狭くなっていない。そのため、この構成では、振動板の振動時、固定部または基板に対向する振動板の領域が板の固定部または基板に当接することを抑制できる。すなわち振動板の振動が板の固定部または基板によって制限されることを抑制できる。従って、この構成によれば、振動板の振動に伴って板の可動部が十分に振動し、振動板の振動が板の固定部または基板によって制限されることを抑制できる。そのため、よりポンプ能力の高い流体制御装置を提供できる。3前記突出部は、前記振動板の他方の主面に形成されており、前記可動部側へ突出することが好ましい。この構成では、当該可動部に対向する振動板の領域に突出部が設けられ、板の可動部と当該可動部に対向する振動板の領域との間隔が板の固定部と当該固定部に対向する振動板の領域との間隔より狭くなるため、従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることができる。4前記突出部は、円柱状に形成されていることが好ましい。この構成では、振動板の振動に伴う損失がより少なくなり、ポンプとしての動作効率が高まる。5前記突出部は、前記突出部の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなる形状の端部を有することが好ましい。この構成における突出部の端部の形状は、例えばR状、又はテーパ状である。この構成では、突出部の端部と、当該端部より内側に位置する突出部の中央部と、で異なる圧力分布が得られるため、流体の圧縮時に、流体の圧力の高い突出部の中央部から、流体の圧力の低い突出部の端部の方向へ流体が流動し易くなる。このため、ポンプの加圧効率をより改善することができる。また、この構成では、振動板の平面が一様でない場合や、スペーサの厚みにばらつきがある場合であっても、突出部が可動部に接触してしまうことを抑制できる。また、この構成では、突出部と可動部との間に平行度を要求される部分突出部の端部が設けられていない部分が少なくなるため、突出部と可動部との平行度が相対的に高くなり、ポンプの圧縮比をより高めることができる。6前記振動板全体のうち前記突出部を除く領域は、エッチングにより前記振動板の前記突出部の領域の厚みより薄い厚みに形成されていることが好ましい。この構成では、振動板全体のうち突出部を除く領域をエッチングすることで、突出部の高さをエッチングの深さによって精密に規定できる。よって、この構成によれば、エッチングの深さを調整することで、従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることを容易に達成することができる。7前記突出部の前記開口部側の面の面積は、振動板の振動が板の可動部に十分に伝わるよう、前記開口部の開口面の面積以上であることが好ましい。この構成では突出部が、対向する可動部を覆う大きさとなる。このため、より高い圧力が得られる。8前記振動板と、前記振動板の周囲を囲む枠板と、前記振動板と前記枠板とを連結し、前記枠板に対して前記振動板を弾性支持する連結部と、を有する振動板ユニットを備え、前記板は、前記振動板の他方の主面に対向するよう前記枠板に接合されていることが好ましい。この構成では、振動板の周辺部が実質的に拘束されていないため、振動板の振動に伴う損失が少なく、小型低背でありながら高い圧力と大きな流量が得られる。9前記板は、複数の微粒子を含有した接着剤によって前記複数の微粒子を挟んで前記枠板に接着されていることが好ましい。この構成では、複数の微粒子の直径を調整することで、振動板の振動が板の可動部に十分に伝わるよう、突出部と板の可動部との間隔を定めることができる。また、この構成では、枠板と板とが接着剤によって固定される際、接着剤層の厚みが微粒子の直径より薄くならないため、塗布した接着剤が周囲に流れ出る量を抑制できる。また、この構成では、連結部と板との隙間へ上記接着剤の余剰分が流れ込んでも、連結部の板側の面が板から少なくとも微粒子の直径分離れているため、連結部と板とが接着することを抑制できる。同様に、振動板と板との隙間へ上記接着剤の余剰分が流れ込んでも、振動板の板側の面が板から少なくとも微粒子の直径分離れているため、振動板と板とが接着することを抑制できる。そのため、振動板および連結部と板とが接着して振動板の振動を阻害してしまうことを抑制できる。10前記板の前記連結部と対向する領域には孔部が形成されていることが好ましい。この構成では、枠板を板に接着固定する際に、上記接着剤の余剰分が孔部に流れ込む。そのため、この構成によれば、振動板および連結部と板とが接着することを一層抑制することができる。即ち振動板の振動を阻害してしまうことを一層抑制できる。11前記振動板および前記駆動体はアクチュエータを構成し、前記アクチュエータは円板状であることが好ましい。この構成では、アクチュエータが回転対称形同心円状の振動状態となるため、アクチュエータと可撓板との間に不要な隙間が発生せず、ポンプとしての動作効率が高まる。本発明によれば、突出部が設けられている箇所では振動板と板との間隔が他の箇所よりも狭くなっているため、高い圧力を得ることができる。また、突出部が設けられている箇所以外では振動板と板との間隔が狭くなっていないため、圧力損失が減少し、流体の流量が低下しない。そのため、従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることができる小型低背の流体制御装置を提供できる。《第1の実施形態》以下、本発明の第1実施形態に係る圧電ポンプ101について説明する。図3は、本発明の第1実施形態に係る圧電ポンプ101の外観斜視図である。図4は、図3に示す圧電ポンプ101の分解斜視図であり、図5は、図3に示す圧電ポンプ101のT-T線の断面図である。図6は、図4に示す振動板ユニット160を可撓板151側から見た同振動板ユニット160の外観斜視図であり、図7は、図4に示す枠板161及び可撓板151の接着部分を拡大した概略断面図である。図3~図5に示すように、圧電ポンプ101は、カバー板195、基板191、可撓板151、振動板ユニット160、圧電素子142、スペーサ135、電極導通用板170、スペーサ130及び蓋部110を備え、それらを順に積層した構造を有している。なお、可撓板151が、本発明の板に相当する。円板状の振動板141の上面には圧電素子142が接着固定されて、振動板141と圧電素子142とによって円板状のアクチュエータ140が構成される。ここで、振動板141を含む振動板ユニット160は、圧電素子142の線膨張係数より大きな線膨張係数を有する金属材料で形成されている。振動板141及び圧電素子142を接着時に加熱硬化させることにより、振動板141が圧電素子142側へ凸に反りながら、圧電素子142に適切な圧縮応力を残留させることができ、圧電素子142の割れを防止できる。例えば、振動板ユニット160は、SUS430などで形成するのがよい。例えば、圧電素子142は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスなどで形成するのがよい。圧電素子142の線膨張係数はほぼゼロであり、SUS430の線膨張係数は10.4×10-6K-1程度である。なお、圧電素子142が、本発明の駆動体に相当する。スペーサ135の厚みは、圧電素子142の厚みと同じか、少し厚くしておくとよい。振動板ユニット160は、図4~図6に示すように、振動板141と、枠板161と、連結部162とによって構成される。振動板ユニット160は、金属板のエッチング加工により一体成型することで形成されている。振動板141の周囲には枠板161が設けられていて、振動板141は枠板161に対して連結部162で連結されている。そして、枠板161は、図7に示すように、複数の球形の微粒子121を含有した接着剤層120を介して可撓板151に接着固定されている。なお、図7では説明簡略化のため微粒子121の数が3個しか描かれていないが、実際は多数の微粒子121が存在する。ここで、接着剤層120の接着剤122の材質は例えば、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂であり、微粒子121の材質は例えば、導電性の金属でコーティングされたシリカ又は樹脂である。そして、接着剤層120は、接着時、加圧条件下で加熱することで硬化される。そのため、接着後、枠板161及び可撓板151は複数の微粒子121を挟んだ状態で接着剤層120によって接着固定される。また、上記振動板141は、図5、図6に示すように、可動部154側に突出する円柱状の突出部143を有する。この突出部143は、可撓板151の可動部154に対向して配置されている。振動板141と可撓板151の可動部154及び固定部155との関係の詳細については後述する。ここで、振動板141全体のうち突出部143を除く領域および連結部162は、当該領域に対してハーフエッチングを行うことにより、振動板141の突出部143の領域の厚みより薄い厚みに形成されている。このため、突出部143の高さは、ハーフエッチングの深さによって精密に規定できる。この実施形態において、突出部143の高さは20μmであり、突出部143の直径は5.5mmである。また、固定部155に対向する振動板141の領域および連結部162と可撓板151との間の距離は、ハーフエッチングの深さと微粒子121の直径との合計例えば30μmによって精密に規定できる。即ち、固定部155に対向する振動板141の領域および連結部162は、可撓板151からハーフエッチングの深さと微粒子121の直径との合計分離れて、配置される。そして、連結部162は、小さなバネ定数の弾性を持つ弾性構造となっている。したがって、振動板141は3つの連結部162で枠板161に対して3点で柔軟に弾性支持されており、振動板141の屈曲振動は殆ど妨げられない。すなわち、圧電ポンプ101は、アクチュエータ140の周辺部が勿論中心部も実質的に拘束されていない構造となっている。枠板161の上面には、樹脂製のスペーサ135が接着固定されている。スペーサ135の厚みは圧電素子142と同じか少し厚く、ポンプ筺体180の一部を構成するとともに、次に述べる電極導通用板170と振動板ユニット160とを電気的に絶縁する。スペーサ135の上には、金属製の電極導通用板170が接着固定されている。電極導通用板170は、ほぼ円形に開口した枠部位171と、この開口内に突出する内部端子173と、外部へ突出する外部端子172とで構成されている。内部端子173の先端は圧電素子142の表面にはんだ付けされる。はんだ付け位置をアクチュエータ140の屈曲振動の節に相当する位置とすることにより内部端子173の振動は抑制できる。電極導通用板170の上には、樹脂製のスペーサ130が接着固定される。スペーサ130はここでは圧電素子142と同程度の厚みを有する。スペーサ130は、アクチュエータが振動したときに、内部端子173のはんだ部分が、蓋部110に接触しないようにするためのスペーサである。また、圧電素子142表面が蓋部110に過度に接近して、空気抵抗により振動振幅が低下することを抑制する。そのため、スペーサ130の厚みは、前述の通り、圧電素子142と同程度の厚みであればよい。蓋部110はスペーサ130の上端部に接合され、アクチュエータ140の上部を覆う。そのため、後述する可撓板151の通気孔152を通して吸引された流体は吐出孔111から吐出される。吐出孔111は蓋部110の中心に設けてもよいが、蓋部110を含むポンプ筺体180内の正圧を開放する吐出孔であるので、蓋部110の中心に設ける必要はない。可撓板151には電気的に接続するための外部端子153が形成されている。また、可撓板151の中心には通気孔152が形成されている。可撓板151は、振動板141に対向し、接着剤層120によって複数の微粒子121を挟んで枠板161に接着固定されている図7参照。可撓板151の下部には、中心に円柱形の開口部192が形成された基板191が接着剤で貼付されている。可撓板151の一部は基板191の開口部192で露出する。この円形に露出した可撓板151の一部は、アクチュエータ140の振動に伴う空気の圧力変動により、アクチュエータ140と実質的に同一周波数で振動することができる。すなわち、この可撓板151と基板191との構成により、可撓板151の開口部192に対応する箇所が屈曲振動可能な可動部154となり、可撓板151の可動部154より外側の周辺部が基板191に拘束された固定部155となる。この円形の可動部154の固有振動数は、アクチュエータ140の駆動周波数と同一か、やや低い周波数になるように設計している。従って、アクチュエータ140の振動に呼応して、通気孔152を中心とした可撓板151の可動部154も大きな振幅で振動する。可撓板151の振動位相がアクチュエータ140の振動位相よりも遅れた例えば90°遅れの振動となれば、可撓板151とアクチュエータ140との間の隙間空間の厚み変動が実質的に増加する。そのことによってポンプの能力をより向上させることができる。基板191の下部には、カバー板195が接合されている。カバー板195には、3つの吸引孔197が設けられている。吸引孔197は、基板191に形成された流路193によって、開口部192と連通している。可撓板151、基板191、及びカバー板195は、振動板ユニット160の線膨張係数より大きな線膨張係数を有する材料で形成されている。可撓板151、基板191、及びカバー板195は、ほぼ同一の線膨張係数からなる。例えば、可撓板151はベリリウム銅、基板191はリン青銅、カバー板195は銅などで形成するのが良い。これらの線膨張係数は概略17×10-6K-1程度である。また、振動板ユニット160はSUS430などで形成するのがよい。SUS430の線膨張係数は10.4×10-6K-1程度である。この場合、枠板161に対する、可撓板151、基板191、カバー板195の線膨張係数の違いから、接着時に加熱硬化させることにより、可撓板151が圧電素子142側に凸に反りながら、中心付近の屈曲振動可能な可動部154に張力が与えられる。これによって、屈曲振動可能な可動部154の張力が調整されるとともに、屈曲振動可能な可動部154がたるんで、振動が妨げられることがない。可撓板151を構成するベリリウム銅はバネ材なので、円形の可動部154が大きな振幅で振動しても、へたりなどが生じることがなく、耐久性に優れる。以上の構造において外部端子153,172に駆動電圧が印加されると、圧電ポンプ101では、アクチュエータ140が同心円状に屈曲振動し、振動板141の振動に伴って可撓板151の可動部154が振動する。これにより、圧電ポンプ101は、吸引孔197から通気孔152を介して空気をポンプ室145へ吸引し、ポンプ室145の空気を吐出孔111から吐出する。このとき、圧電ポンプ101では、振動板141の周辺部が実質的に拘束されていないため、振動板141の振動に伴う損失が少なく、小型低背でありながら高い圧力と大きな流量が得られる。図8Aは、図3に示す圧電ポンプ101の常温時の主要部の断面図であり、図8Bは、図3に示す圧電ポンプ101の高温時の主要部の断面図である。ここで、図8Aは、説明のため、振動板ユニット160、圧電素子142、可撓板151、基板191及びカバー板195の接合体の反りを実際より強調して示している。また、図8ABでは、説明のため、蓋部110、スペーサ130、電極導通用板170、及びスペーサ135の図示を省略している。この実施形態の圧電ポンプ101では、圧電素子142、振動板ユニット160、可撓板151、基板191、及びカバー板195は、常温20°Cより高い温度例えば120°Cで接着剤等によって接合される図8B参照。これにより、接合後、常温において、上述した振動板ユニット160及び圧電素子142の線膨張係数の違いから振動板141は圧電素子142側を凸にして反り、上述した振動板ユニット160及び基板191の線膨張係数の違いから可撓板151は圧電素子142側を凸にして反る図8A参照。この実施形態では常温において、振動板141及び可撓板151は、圧電素子142側を凸にしてほぼ等しい曲率で反っている。しかしながら、この実施形態の流体ポンプ101においても、可撓板151の可動部154が基板191によって支持されていない。そのため、常温時、可撓板151の可動部154が、可撓板151及び基板191を接着する際に使用した接着剤の余剰分159の硬化収縮等によって振動板141から離れる方向に撓んでしまう図8A参照。そのため、可撓板151の可動部154から当該可動部154に対向する振動板141の領域までの間隔が長くなる。そこで、この実施形態の流体ポンプ101では、振動板141が、可動部154に対向する領域に突出部143を有する。これにより、可撓板151の可動部154と当該可動部154に対向する振動板141の領域との間隔が可撓板151の固定部155と当該固定部155に対向する振動板141の領域との間隔より狭くなる。そのため、可撓板151の可動部154が振動板141から離れる方向に撓んでも可撓板151の可動部154から当該可動部154に対向する振動板141の領域までの間隔が突出部143の高さ分狭まる。これにより、アクチュエータ140の振動が可撓板151の可動部154に伝わり易くなる。また、この構成では、可撓板151の可動部154と当該可動部154に対向する振動板141の領域との間隔が狭くなっているが、可撓板151の固定部155と当該固定部155に対向する振動板141の領域との間隔は狭くなっていない。そのため、アクチュエータ140の振動時、固定部155に対向する振動板141の領域が可撓板151の固定部155に当接してしまい、アクチュエータ140の振動が可撓板151の固定部155によって制限されることを抑制できる。すなわち、可撓板151の固定部155と当該固定部155に対向する振動板141の領域との間の距離が狭くなっていないため、この間を通過する流体の流量は低下しない。即ち、可撓板151の固定部155と当該固定部155に対向する振動板141の領域との間での圧力損失は生じない。以上より、この実施形態の圧電ポンプ101によれば、突出部143が設けられている箇所では振動板141と可撓板151との間隔が他の箇所よりも狭くなっているため、高い圧力を得ることができる。また、突出部143が設けられている箇所以外では振動板141と可撓板151との間隔が狭くなっていないため、圧力損失が減少し、流体の流量が低下しない。そのため、従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることができる。また、この実施形態の圧電ポンプ101によれば、振動板141の振動に伴って可撓板151の可動部154が十分に振動し、振動板141の振動が可撓板151の固定部155によって制限されることを抑制できる。そのため、この実施形態の圧電ポンプ101は、小型低背で優れたポンプ能力を有する。また、この実施形態の圧電ポンプ101では、複数の微粒子121の直径を調整することで、アクチュエータ140の振動が可撓板151の可動部154に十分に伝わるよう、突出部143と可撓板151の可動部154との間隔を定めることができる。そして、この実施形態の圧電ポンプ101では、エッチングの深さを調整することで、従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることを容易に達成することができる。なお、突出部143の高さは、可撓板151の可動部154が振動板141から離れる方向に撓むため図8A参照、可動部154の先端が撓んだ距離より長いことが好ましい。また、突出部143の可動部側の面の面積は、アクチュエータ140の振動が可撓板151の可動部154に十分に伝わるよう、開口部192の開口面円柱の上面の面積以上であることが好ましい。この場合、突出部143が、対向する可動部154を覆う大きさとなる。さらに、この実施形態の圧電ポンプ101では、枠板161と可撓板151とが接着剤層120を介して接着固定される際、接着剤層120の厚みが微粒子121の直径より薄くならないため、接着剤層120の接着剤122が周囲に流れ出ることを抑制できる。また、圧電ポンプ101では、連結部162と可撓板151との隙間へ接着剤122の余剰分が流れ込んでも、連結部162の可撓板151側の面が可撓板151から微粒子121の直径とハーフエッチングの深さとの合計分離れているため、連結部162と可撓板151とが接着することを抑制できる。同様に、固定部155に対向する振動板141の領域と可撓板151の固定部155との隙間へ上記接着剤122の余剰分が流れ込んでも、振動板141の当該領域の可撓板151側の面が可撓板151の固定部155から微粒子121の直径とハーフエッチングの深さとの合計分離れているため、固定部155に対向する振動板141の領域と可撓板151の固定部155とが接着することを抑制できる。そのため、振動板141および連結部162と可撓板151とが接着して振動板141の振動を阻害してしまうことも抑制できる。図9は、図4に示す振動板ユニット160及び可撓板151の接合体の平面図である。図4~図9に示すように、可撓板151及び基板191の連結部162と対向する領域に孔部198を設けておくとよい。これにより、枠板161を可撓板151に接着固定する際に、接着剤122の余剰分が孔部198に流れ込む。そのため、この実施形態の圧電ポンプ101によれば、振動板141及び連結部162と可撓板151とが接着することを一層抑制することができる。即ち振動板141の振動を阻害してしまうことを一層抑制できる。ここで、この実施形態の圧電ポンプ101の圧力-流量特性ポンプ能力と、突出部が設けられていない圧電ポンプの圧力-流量特性とを比較する。両圧電ポンプに対して共振周波数の35Vppの正弦波交流電圧を印加した条件で、両圧電ポンプの吐出孔111から吐出される空気の流量と吐出圧力とを測定した結果を表1に示す。図10は、本発明の第1実施形態に係る圧電ポンプ101の圧力-流量特性と、突出部が設けられていない圧電ポンプの圧力-流量特性とを示すグラフである。図10に示すグラフの各点は、表1に示す各圧力および各流量に対応する。なお、上述したように、突出部143の高さは20μmであり、突出部143の直径は5.5mmである。図10に示す測定結果より、本発明の圧電ポンプ101の圧力と流量が全て、突出部が設けられていない圧電ポンプの圧力と流量を上回ることが明らかとなった。即ち、突出部が設けられていない圧電ポンプのポンプ能力より、突出部143を備える圧電ポンプ101のポンプ能力の方が優れていることが明らかとなった。この結果は、突出部143を設けたことで、高い圧力が得られ、また、突出部143以外の箇所では振動板141と可撓板151との間隔が狭くなっていないため、圧力損失が減少し、流体の流量が低下しなかったためである。続いて、圧電ポンプ101の吐出圧力と突出部143の直径との関係について説明する。突出部143の直径を異ならせた複数の圧電ポンプ101を用意し、各圧電ポンプ101に対して共振周波数の35Vppの正弦波交流電圧を印加した条件で、各圧電ポンプ101の吐出孔111から吐出される空気の吐出圧力の最大値を測定した結果を表2に示す。図11は、本発明の第1実施形態に係る圧電ポンプ101の最大圧力と突出部143の直径との関係を示すグラフである。図11に示すグラフの各点は、表2に示す各最大圧力および各径比率に対応する。なお、円柱形の開口部192の直径は、5mmである。また、各圧電ポンプ101の突出部143の直径は、5mmを1としたときの径比率で表している。図11に示す測定結果により、径比率<1の区間で、径比率が小さくなるにつれて圧電ポンプ101の圧力が低くなることが明らかとなった。この結果は、突出部143の直径が円柱形の開口部192の直径より小さいことにより、アクチュエータ140の振動が可撓板151の可動部154に十分に伝わらず、振動板141の振動に伴って可撓板151の可動部154が十分に振動しなかったためであると考えられる。また、図11に示す測定結果により、1.18<径比率の区間で、径比率が大きくなるにつれて圧電ポンプ101の圧力が低くなることが明らかとなった。この結果は、突出部143の直径が円柱形の開口部192の直径より長すぎることにより、アクチュエータ140の振動時、振動板141の突出部143が可撓板151の固定部155に当接し、振動板141の振動が可撓板151の固定部155によって制限されたためであると考えられる。そして、図11に示す測定結果により、1.00≦径比率≦1.18の区間で、即ち突出部143の直径5mm~5.9mmの区間で、圧電ポンプ101の圧力が高くなることが明らかとなった。この結果は、突出部143の直径が円柱形の開口部192の直径と同じか少し大きい程度であることにより、振動板141の振動に伴って可撓板151の可動部154が十分に振動し、振動板141の振動が可撓板151の固定部155によって制限されることも抑制できたためであると考えられる。以上より、突出部143の直径を円柱形の開口部192の直径と同じか少し大きい程度とすることで、振動板141の振動に伴って可撓板151の可動部154が十分に振動し、振動板141の振動が可撓板151の固定部155によって制限されることを抑制できる。すなわち、突出部143の直径を円柱形の開口部192の直径と同じか少し大きい程度とすることで、圧電ポンプ101は、小型低背で優れたポンプ能力を有する。また、以上のことから、流体制御装置の圧力、流量を制御するためには、振動板141と可撓板151の隙間を適切にすることが重要であることが明らかとなった。また圧力を増すためには、特に可撓板151に設けられた通気孔152の周辺の隙間を小さくすることが効果的であることが明らかとなった。《第2の実施形態》以下、本発明の第2実施形態に係る圧電ポンプ201について説明する。図12は、本発明の第2実施形態に係る圧電ポンプ201の振動板ユニット260の外観斜視図である。この実施形態の圧電ポンプ201が第1実施形態の圧電ポンプ101と相違する点は、突出部243の形状が円環状である点である。その他の構成については同じである。この実施形態の圧電ポンプ201においても、可撓板151の可動部154と当該可動部154に対向する振動板141の領域との間隔が可撓板151の固定部155と当該固定部155に対向する振動板141の領域との間隔より狭くなる。従って、この実施形態の圧電ポンプ201によれば、上記第1の実施形態に係る圧電ポンプ101と同様の効果が得られる。《第3の実施形態》以下、本発明の第3実施形態に係る圧電ポンプ301について説明する。図13は、本発明の第3実施形態に係る圧電ポンプ301の振動板ユニット360の外観斜視図である。この実施形態の圧電ポンプ301が第1実施形態の圧電ポンプ101と相違する点は、半円状の突出部343A、Bを備える点である。その他の構成については同じである。この実施形態の圧電ポンプ301では、空気が突出部343A、Bの間の溝344を通過することが可能である。この実施形態の圧電ポンプ301においても、可撓板151の可動部154と当該可動部154に対向する振動板141の領域との間隔が可撓板151の固定部155と当該固定部155に対向する振動板141の領域との間隔より狭くなる。従って、この実施形態の圧電ポンプ301によれば、上記第1の実施形態に係る圧電ポンプ101と同様の効果が得られる。《第4の実施形態》以下、本発明の第4実施形態に係る圧電ポンプ401について説明する。図14は、本発明の第4実施形態に係る圧電ポンプ401の断面図である。図15は、図14に示す可撓板451の平面図である。この実施形態の圧電ポンプ401が第1実施形態の圧電ポンプ101と相違する点は、可撓板451の形状である。その他の構成については同じである。詳述すると、この実施形態の圧電ポンプ401では、可撓板451の可動部154が突出部154を兼用し、可撓板451の可動部154と当該可動部154に対向する振動板141の領域との間隔が基板191と当該基板191に対向する振動板141の領域との間隔より突出部154の高さ分狭くなっている。なお、可撓板451の可動部154より外側の領域は、基板191に拘束された固定部455となっている。また、この実施形態の圧電ポンプ401では、可撓板451の可動部154と当該可動部154に対向する振動板141の領域との間隔が狭くなっているが、基板191と当該基板191に対向する振動板141の領域との間隔は狭くなっていない。そのため、この実施形態の圧電ポンプ401では、突出部154が設けられている箇所では振動板141と可撓板451との間隔が他の箇所よりも狭くなっているため、高い圧力を得ることができる。また、突出部154が設けられている箇所以外では振動板141と可撓板451との間隔が狭くなっていないため、圧力損失が減少し、流体の流量が低下しない。また、アクチュエータ440の振動時、基板191に対向する振動板141の領域が基板191に当接することを抑制できる。すなわちアクチュエータ440の振動が基板191によって制限されることを抑制できる。従って、この実施形態の圧電ポンプ401によれば、上記第1の実施形態に係る圧電ポンプ101と同様の効果が得られる。《第5の実施形態》以下、本発明の第5実施形態に係る圧電ポンプ501について説明する。図16は、本発明の第5実施形態に係る圧電ポンプ501の断面図である。図17は、図16に示す突出部543の一部拡大断面図である。この実施形態の圧電ポンプ501が第1実施形態の圧電ポンプ101と相違する点は、突出部543の形状である。その他の構成については同じである。詳述すると、突出部543は、突出部543の周縁に近づくにつれて厚みが薄くなるR形状の端部547と、端部547より内側に位置する平坦形状の中央部546と、を有する。この実施形態の圧電ポンプ501では、突出部543の端部547と可撓板151の可動部154との間隔が、突出部543の中央部546と可撓板151の可動部154との間隔よりも広くなっている。これにより、この実施形態の圧電ポンプ501では、突出部543の中央部546と、突出部543の端部547とで異なる圧力分布が得られるため、空気の圧縮時に、空気圧の高い突出部543の中央部546と可動部154との間から、空気圧の低い突出部543の端部547と可動部154との間へ空気が流動し易くなる。このため、ポンプの加圧効率をより改善することができる。また、この実施形態の圧電ポンプ501では、振動板141の平面が一様でない場合や、接着剤層120の厚みにばらつきがある場合であっても、突出部543が可動部154に接触してしまうことを抑制できる。また、この実施形態の圧電ポンプ501では、突出部543と可動部154との間に平行度を要求される部分突出部543の端部547が設けられていない部分が少なくなるため、突出部543と可動部154との平行度が相対的に高くなり、ポンプの圧縮比をより高めることができる。なお、本実施形態では突出部543の端部547をR状に形成したが、これに限るものではない。例えば、突出部543の端部547をテーパ状等に形成してもよい。《他の実施形態》前記実施形態ではユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータ140を設けたが、振動板141の両面に圧電素子142を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するように構成してもよい。また、前記実施形態では、圧電素子142の伸縮によって屈曲振動するアクチュエータ140を設けたが、これに限るものではない。例えば、電磁駆動で屈曲振動するアクチュエータを設けてもよい。また、前記実施形態では、圧電素子はチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成しているが、これに限るものではない。例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスの圧電材料などから構成してもよい。また、前記実施形態では、圧電素子142と振動板141との大きさをほぼ等しくした例を示したが、圧電素子142より振動板141のほうが大きくてもよい。また、以上の実施形態では円板状の圧電素子142及び円板状の振動板141を用いたが、これらは一方が矩形又は多角形であってもよい。また、前記実施形態では突出部143、243、343のそれぞれがハーフエッチングにより形成されているが、これに限るものではない。例えば、金属板を金型で押圧することにより、突出部143、243、343のそれぞれを形成しても構わない。また、前記実施形態では振動板141と突出部143、243、343のそれぞれが一体形成されているが、これに限るものではない。例えば、振動板141と突出部143、243、343のそれぞれが別体であっても構わない。また、突出部の形状も突出部143、243、343の形状に限らない。また、前記実施形態では突出部が振動板141及び基板191のいずれか一方に設けられているが、これに限るものではない。例えば、突出部が振動板141及び基板191の両方に設けられていても構わない。また、前記実施形態では、連結部162を3箇所に設けたが、これに限るものではない。例えば、2箇所だけ、あるいは、4箇所以上設けてもよい。連結部162はアクチュエータ140の振動を妨げるものではないが、振動に多少の影響を与えるため、3箇所で連結保持することにより、高精度に位置を保持しつつ自然な保持が可能となり、圧電素子142の割れを防止することもできる。また、本発明は可聴音の発生が問題とならない用途では、可聴音周波数帯域でアクチュエータ140を駆動してもよい。また、前記実施形態では、可撓板151のアクチュエータ140に対向する領域の中心付近に1個の通気孔152を配置した例を示したが、これに限るものではない。例えば、アクチュエータ140に対向する領域の中心付近に複数の孔を配置してもよい。また、前記実施形態では、アクチュエータ140を1次モードで振動させるように駆動電圧の周波数を定めたが、これに限るものではない。例えば、アクチュエータ140を3次モード等の他のモードで振動させるように駆動電圧の周波数を定めてもよい。また、前記実施形態では流体として空気を用いているが、これに限るものではない。例えば、当該流体が、液体、気液混合流、固液混合流、固気混合流などのいずれであっても適用できる。最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"