互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータを有する並列スライダ装置の制御装置であって、前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動を制御する第1の位置制御装置と、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動を制御する第2の位置制御装置とを有し、前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置には互いに同一の位置指令を与えられ、前記第1の位置制御装置は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むPI制御あるいはPD制御あるいはPID制御を行い、前記第2の位置制御装置は比例要素のみを含むP制御を行い、前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置とで制御ゲインが互いに相違している並列スライダ装置の制御装置。前記第1の位置制御装置は、位置ループと速度ループとを含むフィードバック補償式のものであり、前記第2の位置制御装置は、位置ループのみを含むフィードバック補償式のものである請求項1に記載の並列スライダ装置の制御装置。前記第1の位置制御装置は、位置ループと速度ループと加速度ループとを含むフィードバック補償式のものであり、前記第2の位置制御装置は、位置ループと速度ループを含むフィードバック補償式のものである請求項1に記載の並列スライダ装置の制御装置。前記第1の位置制御装置の制御ゲインはシステム同定された適正値であり、前記第2の位置制御装置の制御ゲインはシステム同定された前記適正値より小さい値である請求項1から3の何れか一項に記載の並列スライダ装置の制御装置。互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータを有する並列スライダ装置の制御方法であって、前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動制御を第1の位置制御装置によって行い、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動制御を第2の位置制御装置によって行い、前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置には互いに同一の位置指令を与え、前記第1の位置制御装置は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むPI制御あるいはPD制御あるいはPID制御を行い、前記第2の位置制御装置は前記第2の位置制御装置は比例要素のみを含むP制御を行い、前記第1の位置制御装置の制御ゲインと前記第2の位置制御装置の制御ゲインとを互いに異なった値に設定している並列スライダ装置の制御方法。前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動制御は、前記第1の位置制御装置によって位置ループと速度ループとを含むフィードバック補償制御により行い、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動制御は、前記第2の位置制御装置によって位置ループのみを含むフィードバック補償制御により行う請求項5に記載の並列スライダ装置の制御方法。前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動制御は、前記第1の位置制御装置によって位置ループと速度ループと加速度ループとを含むフィードバック補償制御により行い、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動制御は、前記第2の位置制御装置によって位置ループと速度ループとを含むフィードバック補償制御により行う請求項5に記載の並列スライダ装置の制御方法。前記第1の位置制御装置の制御ゲインをシステム同定された適正値とし、前記第2の位置制御装置の制御ゲインをシステム同定された前記適正値より小さい値とする請求項5から7の何れか一項に記載の並列スライダ装置の制御方法。互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータと、前記第1のガイドレールと前記第2のガイドレールとの間に配置され、被測定物を支持する支持体と、前記第1のスライダに取り付けられ、前記被測定物の一方の面までの距離を測定する第1の測定手段と、前記第2のスライダに取り付けられ、前記被測定物の他方の面までの距離を測定する第2の測定手段と、請求項1から4の何れか一項に記載の並列スライダ装置の制御装置と、を有する測定装置。しかしながら、この場合には、支持体の前面側と背面側の両側に独立してガイドレールならびにスライダを配置していることから、それぞれのスライダを個別の駆動手段によって互いに同期させて駆動しなくてはならず、スライダの移動方向に送りむらによって変位計による被測定物の測定位置に表裏でずれを生じる虞がある。このことに起因して被測定物の厚さ測定に誤差を引き起すことが懸念される。このことに対して、送りむらによる測定位置のずれを排除するために、2軸のスライダを互いに機械的に連結することが、本願出願人と同一の出願人によって考えられている。この場合、機械的に連結された2軸のスライダ毎を個別に設けられたリニアサーボモータ等の駆動手段の駆動制御してスライダの位置制御を行う位置制御装置は、各スライダの駆動手段毎に用意され、二つの位置制御装置に同一の位置指令を与えて同期を取り、スライダ相互で位置ずれなどの誤差が生じないように考慮される。しかし、一方で、これら二つのスライダは機械的に連結されているため、リニアサーボモータによって駆動制御される方向について機械的な結合による動きの制約があり、リニアサーボモータモータやスライダ自体の搭載重量を含む機械的特性が二つのスライダにおいては完全に一致することはないことも影響して、同一の位置指令を二つの位置制御装置に分配していても、位置指令に対するゲインの設定とこれによる動作は完全には一致せず、時には相互に干渉してスムーズな動きが実現できないことがある。この発明が解決しようとする課題は、上述のような並列スライダ装置において、二つのスライダが相互に干渉することなくスムーズな動きをもって移動することを実現することである。この発明による並列スライダ装置の制御装置は、互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータを有する並列スライダ装置の制御装置であって、前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動を制御する第1の位置制御装置と、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動を制御する第2の位置制御装置とを有し、前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置には互いに同一の位置指令を与えられ、前記第1の位置制御装置は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むPI制御あるいはPD制御あるいはPID制御を行い、前記第2の位置制御装置は比例要素のみを含むP制御を行い、前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置とで制御ゲインが互いに相違している。この発明による並列スライダ装置の制御装置は、好ましい一つの実施形態として、前記第1の位置制御装置は位置ループと速度ループとを含むフィードバック補償式のものであり、前記第2の位置制御装置は位置ループのみを含むフィードバック補償式のもの、あるいは、前記第1の位置制御装置は位置ループと速度ループと加速度ループとを含むフィードバック補償式のものであり、前記第2の位置制御装置は位置ループと速度ループを含むフィードバック補償式のものである。この発明による並列スライダ装置の制御装置は、好ましい一つの実施形態として、前記第1の位置制御装置の制御ゲインはシステム同定された適正値であり、前記第2の位置制御装置の制御ゲインはシステム同定された前記適正値より小さい値である。この発明による並列スライダ装置の制御方法は、互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータを有する並列スライダ装置の制御方法であって、前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動制御を第1の位置制御装置によって行い、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動制御を第2の位置制御装置によって行い、前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置には互いに同一の位置指令を与え、前記第1の位置制御装置は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むPI制御あるいはPD制御あるいはPID制御を行い、前記第2の位置制御装置は前記第2の位置制御装置は比例要素のみを含むP制御を行い、前記第1の位置制御装置の制御ゲインと前記第2の位置制御装置の制御ゲインとを互いに異なった値に設定している。この発明による並列スライダ装置の制御方法は、好ましい一つの実施形態として、前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動制御は前記第1の位置制御装置によって位置ループと速度ループとを含むフィードバック補償制御により行い、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動制御は前記第2の位置制御装置によって位置ループのみを含むフィードバック補償制御により行う、あるいは、前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動制御は、前記第1の位置制御装置によって位置ループと速度ループと加速度ループとを含むフィードバック補償制御により行い、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動制御は、前記第2の位置制御装置によって位置ループと速度ループとを含むフィードバック補償制御により行う。この発明による並列スライダ装置の制御方法は、好ましい一つの実施形態として、前記第1の位置制御装置の制御ゲインはシステム同定された適正値であり、前記第2の位置制御装置の制御ゲインは、システム同定された前記適正値より小さい値である。この発明による測定装置は、互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータと、前記第1のガイドレールと前記第2のガイドレールとの間に配置され、被測定物を支持する支持体と、前記第1のスライダに取り付けられ、前記被測定物の一方の面までの距離を測定する第1の測定手段と、前記第2のスライダに取り付けられ、前記被測定物の他方の面までの距離を測定する第2の測定手段と、上述の発明による並列スライダ装置の制御装置とを有する。この発明による並列スライダ装置の制御装置によれば、前記第1の位置制御装置は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むPI制御あるいはPD制御あるいはPID制御を行い、前記第2の位置制御装置は比例要素のみを含むP制御をおこなうことにより、第1の位置制御装置の制御ゲインが第2の位置制御装置の制御ゲインより高くなり、制御ゲインが高い側が主側、制御ゲインが低い側が従側になって従側のスライダの動きが主側のスライダの動きに追従するようになり、互いに干渉し合うことなくスムースな動きが実現される。この場合、高い側の制御ゲインはシステム同定された適正値で、低い側の制御ゲインは、システム同定された適正値より小さい値であればよい。この発明に係る好適な実施の形態を添付図面を参照して説明する。なお、以下の添付図面を参照した説明において用いられる前後、上下、左右の方向は、各添付図面に表記された方向とする。図1、図2に示されているように、基台10の水平な上面には支持体12が配置されている。支持体12は、被測定物である円盤状のシリコンウェーハWを支持するものであり、基台10上に固定装着されたドーム形状の固定台14と、固定台14に回転可能に取り付けられた円環回転体16とを有する。円環回転体16は静圧式のエアベアリング図示省略によって前後方向に延在する水平な中心軸線周りに固定台14より回転可能に支持されている。円環回転体16の内周部には、先端にコロ18を有する複数個の支持アーム20が周方向に等間隔に設けられている。円環回転体16は、コロ18がシリコンウェーハWの外周溝図示省略に係合する状態で、支持アーム20によってシリコンウェーハWを円環状空間内に垂直面に沿って支持する。なお、このシリコンウェーハWの支持構造について、より詳細な説明が必要ならば、特許第4132503号公報を参照されたい。図には示されていないが、支持体12には、固定台14をステータ部材、円環回転体16をロータとするブラシレスDCモータが組み込まれている。このブラシレスDCモータは円環回転体16を回転駆動する。基台10の上面には左右のエンドブラケット30、32が取り付けられている。左右のエンドブラケット30、32は、支持体12の左右両側に配置され、上部に前側ガイドレール第1のガイドレール40と後側ガイドレール第2のガイドレール42の左右両端部を各々固定支持している。換言すると、前側ガイドレール40は、上下に迫り出し部フランジ部部40A、40Bを有するI形横断面形状の直線レール真直であり図3参照、左右の端部を左右のエンドブラケット30、32の上部に固定連結され、左右のエンドブラケット30、32間に橋渡しされた状態で、支持体12の前面側を左右方向に水平に延在している。同様に、後側ガイドレール42は、上下に迫り出し部42A、42Bを有するI形横断面形状の直線レール真直であり、左右の端部を左右のエンドブラケット30、32の上部に固定連結され、左右のエンドブラケット30、32間に橋渡しされた状態で、支持体12の背面側を左右方向に水平に延在している。上述の前側ガイドレール40と後側ガイドレール42とは、同一高さ位置にあって互い平行に延在している。また、前側ガイドレール40と後側ガイドレール42は、左右両端の上部を補強連結板34、36によって互い連結されている。前側ガイドレール40には前側スライダ第1のスライダ44がレール長手方向である左右方向に移動可能に設けられている。前側スライダ44は、4枚の矩形板材44A~44Dにより、前側ガイドレール40の外周を取り囲む四角筒体に構成されている。前側スライダ44の矩形板材44A~44Dの各々の内面と、これに対向する前側ガイドレール40の上側の迫り出し部40Aの上面及び前後両面と下側の迫り出し部40Bの下底面及び前後両面との間には、各々、第1のエアギャップが設定され、前側スライダ44の矩形板材44A~44Dには各々対向面に向けて開口した空気噴出ポート46が形成されている図3参照。空気噴出ポート46には、圧縮空気源100より第1のプレッシャレギュレータ102によって第1の圧力P1に調圧された圧縮空気が供給される図5参照。これにより、前側ガイドレール40と前側スライダ44との間に静圧軸受式の第1の空気圧リニアガイド48が構成される。前側ガイドレール40のレール長手方向に沿った前側スライダ44の直線移動は、第1の空気圧リニアガイド48によって前側ガイドレール40に対して非接触状態で案内される。同様に、後側ガイドレール42には後側スライダ第2のスライダ50がレール長手方向である左右方向に移動可能に設けられている。後側スライダ50は、4枚の矩形板材50A~50Dにより、後側ガイドレール42の外周を取り囲む四角筒体に構成されている。後側スライダ50の矩形板材50A~50Dの各々の内面と、これに対向する後側ガイドレール42の上側の迫り出し部42Aの上面及び前後両面と下側の迫り出し部42Bの下底面及び前後両面との間には、各々、第2のエアギャップが設定され、後側スライダ50の矩形板材50A~50Dには各々対向面に向けて開口した空気噴出ポート52が形成されている図3参照。空気噴出ポート52には、圧縮空気源100より第2のプレッシャレギュレータ104によって第2の圧力P2に調圧された圧縮空気が供給される図5参照。これにより、後側ガイドレール42と後側スライダ50との間に静圧軸受式の第2の空気圧リニアガイド54が構成される。後側ガイドレール42のレール長手方向に沿った後側スライダ50の直線移動は、第2の空気圧リニアガイド54によって後側ガイドレール42に対して非接触状態で案内される。なお、図3では、第1、第2の空気圧リニアガイド48、54のエアギャップは、実際より大きく誇張して図示されている。前側スライダ44と後側スライダ50の各々の下底部には連結用ベース部材56、58が固定装着されている。連結用ベース部材56、58の各々の左右両面には、連結丸棒60、62の前後両端部が締結ボルト64、66によって連結用ベース部材56、58に固定されたVブロック68、70によって固定されている図4参照。これにより、前側スライダ44と後側スライダ50とが互いに同一の左右方向位置走査方向位置および同一の前後方向位置に機械的に剛固に連結される。この場合、前側スライダ44と後側スライダ50との機械的な連結は、専ら連結丸棒60、62の曲げ剛性により決まる所要の剛性をもって行われることになる。この機械的な連結は、Vブロック68、70によって連結丸棒60、62を保持して連結丸棒60、62を連結用ベース部材56、58の各々の左右両面平面に押し付けることにより行われているので、高い左右方向位置精度をもって行われることになる。前側スライダ44上には前後方向に移動可能なテーブル88を備えた微動テーブル装置90が取り付けられている。テーブル88には変位計92が搭載されている。変位計92は、静電容量式変位計等、非接触式のものであり、円環回転体16に取り付けられた被測定物であるシリコンウェーハWの中心を通る高さに配置され、シリコンウェーハWの表面までの距離を測定する。同様に、後側スライダ50上には前後方向に移動可能なテーブル94を備えた微動テーブル装置96が取り付けられている。テーブル94には変位計98が搭載されている。変位計98も、静電容量式変位計やレーザ式変位計等、非接触式のものであり、円環回転体16に取り付けられた被測定物であるシリコンウェーハWの中心を通る高さに配置され、シリコンウェーハWの裏面までの距離を測定する。シリコンウェーハWの平坦度測定は、円環回転体16によってシリコンウェーハWを回転させた状態で、前側スライダ44、後側スライダ50の左右方向移動によって変位計92、98を、シリコンウェーハWを直径方向に横切る方向に走査移動しながら変位計92、98によって変位計92、98の走査位置からシリコンウェーハWの表面、裏面までの距離を測定することにより行われる。基台10の前側ガイドレール40の前側位置には第1の電動サーボアクチュエータである前側リニアサーボモータ72の固定子部材74がブラケット76によって固定装着されている。固定子部材74は、左右方向に長く、前側ガイドレール40と平行に延在している。前側スライダ44には前側リニアサーボモータ72の可動子部材78が取り付けられている。これにより、前側スライダ44は前側リニアサーボモータ72によって左右方向に駆動される。基台10の後側ガイドレール42の後側位置には第2の電動サーボアクチュエータである後側リニアサーボモータ80の固定子部材82がブラケット84によって固定装着されている。固定子部材82は、左右方向に長く、後側ガイドレール42と平行に延在している。後側スライダ50には後側リニアサーボモータ80の可動子部材86が取り付けられている。これにより、後側スライダ50は後側リニアサーボモータ80によって左右方向に駆動される。前側ガイドレール40と前側スライダ44との間と、後側ガイドレール42と後側スライダ50との間には、各々、前側スライダ44、後側スライダ50の左右方向移動の実位置を検出する前側リニアスケール100、後側リニアスケール102図5参照が設けられている。次に、上述の構成による並列スライダ装置の制御装置の一つの実施形態を、図5を参照して説明する。この制御装置は、前側リニアサーボモータ72の駆動を制御する第1の位置制御装置である前側サーボコントローラ100と、後側リニアサーボモータ80の駆動を制御する第2の位置制御装置である後側サーボコントローラ130と、前側サーボコントローラ100と後側サーボコントローラ130とで共通の位置指令発生器140を有する。位置指令発生器140は、例えば、パルス列指令式のものであり、位置指令として、制御すべき前側スライダ44、後側スライダ50の移動速度に応じたパルス周波数をもって、制御すべき前側スライダ44、後側スライダ50の移動量に応じたパルス数のパルス信号を前側サーボコントローラ100と後側サーボコントローラ130とに出力する。前側サーボコントローラ100は、位置偏差値に比例ゲインを設定した比例要素と位置偏差の積分値に積分ゲインを設定した積分要素とを含むPI制御、或いは、位置偏差値に比例ゲインを設定した比例要素と位置偏差の微分値に微分ゲインを設定した積分要素とを含むPD制御、あるいは比例要素と積分要素と微分要素を含むPID制御を行うものである。本実施形態では、前側サーボコントローラ100は、位置ループと速度ループと加速度ループとをカスケード接続されたものであり、位置指令発生器140が発生する位置指令と前側リニアスケール100により検出される前側スライダ44の実位置との偏差位置偏差を算出する位置偏差演算部112と、位置偏差演算部112が出力する位置偏差に位置ループゲインを設定して速度指令を出力する位置ループゲイン設定部114と、位置ループゲイン設定部114が出力する速度指令と前側リニアスケール100が出力する前側スライダ44の実位置信号を微分して得られる前側スライダ44の実速度との偏差速度偏差を算出する速度偏差演算部116と、速度偏差演算部116が出力する速度偏差に速度ループゲインを設定して加速度指令を出力する速度ループゲイン設定部118と、速度ループゲイン設定部118が出力する加速度指令と前側リニアスケール100が出力する前側スライダ44の実位置信号を2回微分して得られる前側スライダ44の実加速度との偏差加速度偏差を算出する加速度偏差演算部120と、加速度偏差演算部120が出力する加速度偏差に加速度ループゲインを設定してパルス指令を前側リニアサーボモータ72に出力する加速度ループゲイン設定部122とを有する。後側サーボコントローラ130は、位置偏差値に比例ゲインを設定した比例要素のみを含むP制御を行う。後側サーボコントローラ130は、位置ループと速度ループとをカスケード接続されたものであり、位置指令発生器140が発生する位置指令と後側リニアスケール102により検出される後側スライダ50の実位置との偏差位置偏差を算出する位置偏差演算部132と、位置偏差演算部132が出力する位置偏差に位置ループゲインを設定して速度指令を出力する位置ループゲイン設定部134と、位置ループゲイン設定部134が出力する速度指令と後側リニアスケール102が出力する後側スライダ50の実位置信号を微分して得られる後側スライダ50の実速度との偏差速度偏差を算出する速度偏差演算部136と、速度偏差演算部136が出力する速度偏差に速度ループゲインを設定しててパルス指令を後側リニアサーボモータ80に出力する速度ループゲイン設定部138とを有する。前側スライダ44と後側スライダ50の移動位置は、連結丸棒60、62等による連結部の弾性変形がない限り、常に同一である。このため、前側サーボコントローラ100と後側サーボコントローラ130には、共通の位置指令発生器140より互いに同一の位置指令が与えられる。これにより、前側リニアサーボモータ72、後側リニアサーボモータ80による前側スライダ44、後側スライダ50の位置制御は、前側リニアスケール100、後側リニアスケール102により検出される前側スライダ44、後側スライダ50の実位置をフィードバック補償情報としてフルクローズ方式で、互いに独立したフィードバック制御系によって、同一位置指令のもとに前側スライダ44と後側スライダ50の左右方向移動位置走査位置が同じなるように同期して行われる。本実施形態の制御装置において、重要なことは、上述したように、前側サーボコントローラ100は、位置ループと速度ループと加速度ループとを含むのに対して、後側サーボコントローラ130は、位置ループと速度ループのみであり、カスケード接続されるループ数が異なっている。このことにより、結果的に、前側サーボコントローラ100と後側サーボコントローラ130とで制御ゲインが互いに相違することになる。この場合、前側サーボコントローラ100の制御ゲインは、後側サーボコントローラ130の制御ゲインより大きくなり、前側サーボコントローラ100の制御ゲインがシステム同定された適正値フィードバック補償制御における最適値に設定され、後側サーボコントローラ130の制御ゲインがシステム同定された前記適正値より小さい値に設定されればよい。特に、加速度ループは、位置ループ、速度ループより、制御量が目標値に収束するように作用し、結果的にハイゲインな設定になる。また、前側サーボコントローラ100はPI制御、PD制御を或いはPID制御を行うのに対し、後側サーボコントローラ130はP制御を行うので、このことによっても、結果的に、前側サーボコントローラ100の制御ゲインは、後側サーボコントローラ130の制御ゲインより大きくなる。最終的には、上述のカスケード接続の相違による制御ゲイン差あるいは/およびPID制御方式の相違による制御ゲイン差により、前側サーボコントローラ100の制御ゲインがシステム同定された適正値に設定され、後側サーボコントローラ130の制御ゲインがシステム同定された前記適正値より小さい値に設定されればよい。これにより、制御ゲインが高い前側サーボコントローラ100が主側、制御ゲインが低い後側サーボコントローラ102が従側になって、従側である後側スライダ50の動きが主側である前側スライダ44の動きに追従するようになり、結果として、前側スライダ44と後側スライダ50の双方が、互いに干渉し合うことなく、滑らかな動きをもって移動することなる。なお、上述した実施形態では、カスケード接続とPID制御方式の双方が相違しているが、実際には、ゲイン同定の観点から、カスケード接続とPID制御方式の何れか一方が相違していればよい。また、各ループのゲイン設定時定数設定によって、前側サーボコントローラ100と後側サーボコントローラ130とで制御ゲインを相違させてもよい。他の実施形態として、前側サーボコントローラ100の加速度ループと、後側サーボコントローラ130の速度ループとが省略されてもよく、この場合も、前側サーボコントローラ100の制御ゲインを後側サーボコントローラ130の制御ゲインより大きく設定することができる。以上、本発明を、その好適形態実施例について説明したが、当業者であれば容易に理解できるように、本発明はこのような実施例により限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。