"キャビティーに連通するノズルから前記キャビティー内の液体を駆動素子の駆動により吐出する吐出部と、前記駆動素子の駆動による振動を検出する検出部と、前記振動の周期の変化に基づいて前記吐出部を検査する検査部とを備える液体吐出装置。更に、前記検査部による検査結果に応じて前記吐出部を整備する整備部を備える請求項1に記載の液体吐出装置。前記検査部は、第1の周期から前記第1の周期よりも長い第2の周期への前記振動の周期の変化に基づいて、前記吐出部を検査する、請求項1または請求項2に記載の液体吐出装置。前記検査部は、前記振動の周期の変化に加え、前記振動の周期が変化する際における前記振動の振幅の増大に基づいて、前記吐出部を検査する、請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の液体吐出装置。前記検査部は、前記振動の周期が第1の閾値を下回った後、前記第1の閾値よりも大きな第2の閾値を超えるか否かに基づいて、前記吐出部を検査する、請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の液体吐出装置。前記検査部は、前記振動における最初の周期が設定周期に相当する場合、前記振動の周期の変化に基づいて前記吐出部を検査し、前記最初の周期が前記設定周期と異なる場合、前記最初の周期に基づいて前記吐出部を検査する、請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の液体吐出装置。キャビティーに連通するノズルから前記キャビティー内の液体を駆動素子の駆動により吐出する吐出部を検査する検査方法であって、前記駆動素子の駆動による振動を検出する検出工程と、前記振動の周期の変化に基づいて前記吐出部を検査する検査工程とを備える検査方法。キャビティーに連通するノズルから前記キャビティー内の液体を駆動素子の駆動により吐出する吐出部を検査する機能をコンピューターに実現させるためのプログラムであって、前記駆動素子の駆動による振動を検出する検出機能と、前記振動の周期の変化に基づいて前記吐出部を検査する検査機能を実現させるためのプログラム。しかしながら、従来、吐出部の状態として、インクを吐出可能であるもののインクの着滴位置や着滴形状が正常時とは異なる異常吐出状態を、残留振動に基づいて判定することについて十分な検討がなされていなかった。本発明は、上記した課題を踏まえ、残留振動に基づいて吐出部の異常吐出状態を判定することができる技術を提供することを目的とする。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]適用例1の液体吐出装置は、キャビティーに連通するノズルから前記キャビティー内の液体を駆動素子の駆動により吐出する吐出部と、前記駆動素子の駆動による振動を検出する検出部と、前記振動の周期の変化に基づいて前記吐出部を検査する検査部とを備えることを特徴とする。適用例1の液体吐出装置によれば、駆動素子の駆動による振動の周期が変化する吐出部の異常吐出状態を判定することができる。なお、駆動素子の駆動による振動は、駆動素子の駆動後に残留する駆動素子の残留振動であっても良いし、駆動素子の駆動後に残留するキャビティー内の液体の残留振動であっても良い。[適用例2]適用例1の液体吐出装置は、更に、前記検査部による検査結果に応じて前記吐出部を整備する整備部を備えても良い。適用例2の液体吐出装置によれば、駆動素子の駆動による振動の周期が変化する異常吐出状態に対処することができる。[適用例3]適用例1または適用例2の液体吐出装置において、前記検査部は、第1の周期から前記第1の周期よりも長い第2の周期への前記振動の周期の変化に基づいて、前記吐出部を検査しても良い。適用例3の液体吐出装置によれば、気泡混入に起因する異常吐出状態を判定することができる。[適用例4]適用例1ないし適用例3のいずれかの液体吐出装置において、前記検査部は、前記振動の周期の変化に加え、前記振動の周期が変化する際における前記振動の振幅の増大に基づいて、前記吐出部を検査しても良い。適用例4の液体吐出装置によれば、気泡混入に起因する異常吐出状態の判定誤りを抑制することができる。[適用例5]適用例1ないし適用例4のいずれかの液体吐出装置において、前記検査部は、前記振動の周期が第1の閾値を下回った後、前記第1の閾値よりも大きな第2の閾値を超えるか否かに基づいて、前記吐出部を検査しても良い。適用例5の液体吐出装置によれば、気泡混入に起因する異常吐出状態を判定することができる。[適用例6]適用例1ないし適用例5のいずれかの液体吐出装置において、前記検査部は、前記振動における最初の周期が設定周期に相当する場合、前記振動の周期の変化に基づいて前記吐出部を検査し、前記最初の周期が前記設定周期と異なる場合、前記最初の周期に基づいて前記吐出部を検査しても良い。適用例6の液体吐出装置によれば、駆動素子の駆動による振動に基づく吐出部の検査に要する処理負荷を軽減することができる。[適用例7]適用例7の検査方法は、キャビティーに連通するノズルから前記キャビティー内の液体を駆動素子の駆動により吐出する吐出部を検査する検査方法であって、前記駆動素子の駆動による振動を検出する検出工程と、前記振動の周期の変化に基づいて前記吐出部を検査する検査工程とを備えることを特徴とする。適用例7の検査方法によれば、駆動素子の駆動による振動の周期が変化する異常吐出状態を判定することができる。[適用例8]適用例8のプログラムは、キャビティーに連通するノズルから前記キャビティー内の液体を駆動素子の駆動により吐出する吐出部を検査する機能をコンピューターに実現させるためのプログラムであって、前記駆動素子の駆動による振動を検出する検出機能と、前記振動の周期の変化に基づいて前記吐出部を検査する検査機能を実現させることを特徴とする。適用例8のプログラムによれば、駆動素子の駆動による振動の周期が変化する異常吐出状態を判定することができる。本発明の形態は、液体吐出装置、検査方法およびプログラムに限るものではなく、インクジェットプリンターを始めとする液体吐出装置の具体的な形態の他、液体中や気体中に固体が分散した状態の流体を吐出する吐出装置など他の形態に適用することもできる。また、本発明は、前述の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることは勿論である。以上説明した本発明の構成および作用を一層明らかにするために、以下本発明を適用した液体吐出装置について説明する。A.実施例:A1.プリンターの構成:図1は、プリンター10の構成を示す説明図である。プリンター10は、液体を吐出する液体吐出装置の一つであるインクジェットプリンターであり、液体としてインクを吐出することによって、文字、図形および画像などのデータを、紙やラベルなどの印刷媒体90に印刷する。プリンター10は、制御部100と、ユーザーインターフェイス180と、通信インターフェイス190と、ヘッドユニット200とを備える。プリンター10のユーザーインターフェイス180は、ディスプレーや操作ボタンを備え、プリンター10のユーザーとの間で情報のやり取りを行う。通信インターフェイス190は、プリンター10と電気的に接続可能なパーソナルコンピューター、デジタルスチルカメラ、メモリーカードなどの外部機器との間で情報のやり取りを行う。プリンター10のヘッドユニット200は、インクを吐出するインク吐出機構を備える。なお、インク吐出機構の詳細については後述する。プリンター10の制御部100は、プリンター10の各部を制御する。例えば、制御部100は、通信インターフェイス190を介して入力されるデータに基づいて、ヘッドユニット200および印刷媒体90を相対的に移動させながら、ヘッドユニット200からインク滴を吐出させる制御を行う。これによって、印刷媒体90に対する印刷が実現される。本実施例では、制御部100は、CPUCentralProcessingUnit、ROMReadOnlyMemory、RAMRandomAccessMemory、および入出力インターフェイスなどを備える装置であり、制御部100による各種の機能は、CPUがコンピュータープログラムに基づいて動作することによって実現される。なお、制御部100による機能の少なくとも一部は、制御部100が備える電気回路がその回路構成に基づいて動作することによって実現されても良い。本実施例では、ヘッドユニット200は、キャリッジ210と、インクカートリッジ220と、ヘッド280とを備える。ヘッドユニット200のキャリッジ210は、制御部100とフレキシブルケーブル170を介して接続され、インクカートリッジ220およびヘッド280を搭載した状態で移動可能に構成されている。ヘッドユニット200のインクカートリッジ220は、インクを内部に収容し、そのインクをヘッド280に供給する。本実施例では、インクの色ブラック、シアン、マゼンタおよびイエロの4色毎に用意された複数のインクカートリッジ220がキャリッジ210に搭載されている。ヘッドユニット200のヘッド280は、印刷媒体90に対向する部位であり、インクカートリッジ220からヘッド280に供給されたインクは、ヘッド280から印刷媒体90に向けて液滴状に吐出される。本実施例では、プリンター10は、ヘッドユニット200および印刷媒体90を相対的に移動させるために、主走査送り機構および副走査送り機構を備える。プリンター10の主走査送り機構は、キャリッジモーター312および駆動ベルト314を備え、駆動ベルト314を介してキャリッジモーター312の動力をヘッドユニット200に伝達することによって、ヘッドユニット200を主走査方向に往復移動させる。プリンター10の副走査送り機構は、搬送モーター322およびプラテン324を備え、搬送モーター322の動力をプラテン324に伝達することによって、主走査方向に交差する副走査方向に印刷媒体90を搬送する。主走査送り機構のキャリッジモーター312、および副走査送り機構の搬送モーター322は、制御部100からの制御信号に基づいて動作する。本実施例の説明では、ヘッドユニット200を往復移動させる主走査方向に沿った座標軸にX軸を設定し、印刷媒体90を搬送する副走査方向に沿った座標軸にY軸を設定し、重力方向の下方から上方に向かう座標軸にZ軸を設定した。X軸、Y軸およびZ軸は、それぞれ相互に直交する座標軸である。図2は、ヘッドユニット200におけるヘッド280の構造を示す説明図である。図2には、印刷媒体90側から見たヘッド280を図示した。ヘッドユニット200のヘッド280は、インクを吐出する複数のノズル48を備える。本実施例では、インクの色ブラック、シアン、マゼンタおよびイエロの4色毎にn個例えば360個のノズル48が設けられ、各色のノズル48は、主走査方向X軸方向に、ブラック、シアン、マゼンタ、イエロの順に配置されている。各色のn個のノズル48は、相互に副走査方向Y軸方向にずらして配列され、本実施例では、副走査方向Y軸方向におけるノズル48同士の間隔を狭めるため、副走査方向Y軸方向に沿って二列に分けて交互に配列されている。本実施例の説明では、ヘッドユニット200におけるノズルを総称する場合には符号48を用い、ブラックのノズルを特定する場合には符号48k、シアンのノズルを特定する場合には符号48c、マゼンタのノズルを特定する場合には符号48m、イエロのノズルを特定する場合には符号48yをそれぞれ使用する。更に、個々のノズルを特定する場合には、ノズル番号を付加した符号を用いる。例えば、図2に示すように、イエロの1番目のノズルには符号48y1、イエロの2番目のノズルには符号48y2、イエロの3番目のノズルには符号48y3、、イエロのn-1番目のノズルには符号48yn-1、イエロのn番目のノズルには符号48ynを用いる。図3は、ヘッドユニット200におけるインク吐出機構を示す説明図である。図3には、ヘッド280を重力方向Z軸方向に沿って切断した断面を図示した。ヘッドユニット200のインク吐出機構は、導入路40と、リザーバー42と、供給口44と、キャビティー46と、ノズル48と、駆動素子66と、振動板67とを備える。インク吐出機構の導入路40およびリザーバー42は、インクの色毎に設けられ、インクカートリッジ220からノズル48へとインクを流す流路の一部を形成する。インクカートリッジ220からヘッドユニット200に供給されたインクは、導入路40を通じてリザーバー42に貯留される。インク吐出機構における供給口44、キャビティー46、駆動素子66および振動板67の各部は、ヘッド280に形成された複数のノズル48の各々に対応して設けられ、ノズル48と共に吐出部270を構成する。つまり、ヘッドユニット200は、ノズル48の数に対応した複数の吐出部270を備える。吐出部270は、駆動素子66の駆動により、キャビティー46内のインクを、キャビティー46に連通するノズル48から吐出する。吐出部270の供給口44およびキャビティー46は、インクカートリッジ220からノズル48へとインクを流す流路の一部を形成する。供給口44は、リザーバー42とキャビティー46との間を連通する流路であり、供給口44を通じてリザーバー42からキャビティー46にインクが供給される。キャビティー46は、ノズル48に連通する流路であり、供給口44およびノズル48よりも十分に大きな流路断面を有し、吐出前のインクを貯留する。吐出部270の駆動素子66は、振動板67を介してキャビティー46に設けられ、吐出部270の振動板67は、キャビティー46における流路壁面の一部を形成する。本実施例では、駆動素子66は、二つの電極662,666の間に圧電体664を積層し電極666側に振動板67を設けたユニモルフ型圧電アクチュエーターであるが、他の実施形態において、積層型圧電アクチュエーターを駆動素子66に適用しても良い。駆動素子66は、駆動信号の印加に基づいて重力方向Z軸方向に撓み、振動板67を変位させる。これによって、キャビティー46の容積を拡張してリザーバー42からインクを引き込んだ後、キャビティー46の容積を縮小してノズル48からインク滴を吐出することが可能である。図1の説明に戻り、本実施例では、プリンター10は、ヘッドユニット200のヘッド280を整備するメンテナンス機構整備部として、ヘッドワイパー330と、ヘッドキャップ340とを備える。プリンター10のヘッドワイパー330は、ヘッド280を拭き取ることによって、ヘッド280に付着したインクを除去する。プリンター10のヘッドキャップ340は、ヘッドユニット200の待機期間中にヘッド280に取り付きノズル48を封止することによって、吐出部270におけるインクの乾燥を防止する。吐出部270のノズル48が目詰まりした場合には、ヘッドキャップ340は、フラッシング処理や吸引処理などの回復処理メンテナンス処理に用いられる。ヘッドキャップ340は、フラッシング処理では、ヘッド280に対峙して吐出部270のノズル48から吐出されるインク滴を受け止め、吸引処理では、ヘッド280に取り付いた状態で、劣化したインクをノズル48から吸引する。ヘッドキャップ340を用いた回復処理によって、気泡や増粘で劣化したインクで目詰まりした吐出部270を、インクを適切に吐出可能な状態へと回復させることができる。図4は、制御部100およびヘッドユニット200の電気的構成を示す説明図である。制御部100は、駆動制御部102と、検査部104と、記憶部108とを備え、ヘッドユニット200は、シフトレジスター52と、ラッチ回路54と、レベルシフター56と、スイッチ58と、共通電路62,68と、複数のスイッチ64と、検出部290とを備える。制御部100の駆動制御部102は、ヘッドユニット200の共通電路62を介して、ヘッドユニット200における複数の駆動素子66の各駆動を制御する。本実施例では、駆動制御部102は、駆動素子66を駆動する駆動信号COMを共通電路62に印加すると共に、駆動信号COMの印加に合わせて、シフト入力信号SI、クロック信号SCK、ラッチ信号LATをヘッドユニット200に出力する。ヘッドユニット200のシフトレジスター52は、複数の吐出部270における各駆動素子66の動作を指示する指示データを保持する記憶装置である。制御部100からのシフト入力信号SIには、各駆動素子66に対応する指示データがクロック信号SCKに同期して順次出力され、シフトレジスター52には、シフト入力信号SIおよびクロック信号SCKに基づいて、各駆動素子66に対応する指示データが順次格納される。本実施例では、各駆動素子66に対応する指示データは、2ビットのデータであり、[0,0]、[0,1]、[1,0]、[1,1]のいずれかを示す。ヘッドユニット200のラッチ回路54は、制御部100からのラッチ信号LATに基づいて、シフトレジスター52に格納されている各駆動素子66の指示データを保持し、各指示データに応じた論理信号をレベルシフター56に出力する。ラッチ信号LATは、シフトレジスター52に各駆動素子66の指示データの全てが格納されるタイミングで制御部100から出力される。本実施例では、ラッチ回路54は、[0,0]の指示データに応じてLoレベルの論理信号を出力し、[0,1]の指示データに応じてLoレベルに続いてHiレベルの論理信号を出力し、[1,0]の指示データに応じてHiレベルに続いてLoレベルの論理信号を出力し、[1,1]の指示データに応じてHiレベルの論理信号を出力する。ヘッドユニット200のレベルシフター56は、ラッチ回路54から出力される論理信号に応じて、各駆動素子66に接続された複数のスイッチ64の各々に、各スイッチ64をオンオフ可能なレベルの電圧を出力する。本実施例では、レベルシフター56は、ラッチ回路54からのLoレベルの論理信号に応じてスイッチ64をオフにするレベルの電圧を出力し、ラッチ回路54からのHiレベルの論理信号に応じてスイッチ64をオンにするレベルの電圧を出力する。ヘッドユニット200における複数のスイッチ64は、共通電路62と各駆動素子66との間の電気的な接続をオンオフする。ヘッドユニット200の共通電路62には、駆動素子66を駆動する駆動信号COMが制御部100から入力される。スイッチ64によって駆動素子66が共通電路62に電気的に接続されたオン状態では、駆動信号COMが駆動素子66の電極662側に印加され、スイッチ64によって駆動素子66が共通電路62から電気的に切り離されたオフ状態では、駆動信号COMは駆動素子66に印加されない。本実施例では、スイッチ64は、トランスミッションゲートによるアナログスイッチである。ヘッドユニット200のスイッチ58は、各駆動素子66の電極666側に電気的に接続された共通電路68を接地ラインGLに電気的に接続接地する。接地ラインGLは、プリンター10における基準電位点に接続されている電気伝導体であり、本実施例では、プリンター10の筐体図示しないに接続されている。本実施例では、共通電路68と接地ラインGLとの間には、スイッチ58と電気的に並列に抵抗59が接続されており、制御部100から出力される検出実施信号DSELに基づいて、スイッチ58が共通電路68を接地ラインGLから電気的に切り離している間、検出部290は、抵抗59に流れる電流に基づく電圧変化をオペアンプで増幅することによって、共通電路68から出力される電気信号HGNDを検出する。これによって、検出部290は、共通電路68の電気信号HGNDと接地ラインGLとの間の電圧変化に基づいて、各駆動素子66から共通電路68に印加される起電力を効果的に検出することができる。ヘッドユニット200の検出部290は、駆動素子66の駆動による振動を検出する。本実施例では、検出部290は、駆動素子66の駆動に起因して駆動素子66の駆動後に残留する振動である残留振動を検出する。本実施例では、駆動素子66は、残留振動を感知して残留振動に応じた電気信号SWを出力する感知部として機能し、共通電路68には、残留振動に伴う起電力によって各駆動素子66から出力される電気信号SWが印加される。検出部290は、共通電路68の電気信号HGNDを測定することによって、電気信号SWを残留振動として検出する。本実施例では、検出部290は、制御部100から出力される検出実施信号DSELに従って電気信号SWを検出し、その検出結果として残留振動の検出値を示す検出信号POUTを制御部100に出力する。図5は、制御部100およびヘッドユニット200における各種信号の一例を示す説明図である。図5には、上段から順に、ラッチ信号LAT、切替信号CH、駆動信号COM、および検出実施信号DSELの各時間変化を図示し、その下段に、シフト入力信号SIの指示データに応じて駆動素子66に印加される印加電圧の時間変化を図示した。ラッチ信号LATは、駆動周期TDに応じて立ち上がる論理信号であり、制御部100からラッチ回路54に入力される。駆動周期TDは、各吐出部270における駆動素子66を駆動して印刷媒体90上に1画素を生成する期間に相当する。切替信号CHは、ラッチ信号LATに基づいてヘッドユニット200において生成される信号であり、ラッチ信号LATの立ち上がりから規定時間の経過に応じて立ち上がる論理信号である。ラッチ回路54は、ラッチ信号LATの立ち上がりから切替信号CHの立ち上がりまでの第1期間T1の間、シフトレジスター52から受け取った2ビットの指示データにおける1ビット目に応じた論理信号を出力し、切替信号CHの立ち上がりからラッチ信号LATの次の立ち上がりまでの第2期間T2の間、指示データの2ビット目に応じた論理信号を出力する。駆動信号COMは、駆動周期TDに同期して周期的に出力される電圧信号であり、制御部100から共通電路62およびスイッチ64を通じて駆動素子66に供給される。駆動信号COMは、第1期間T1では、中間電圧Vcを維持した状態から、中間電圧Vcよりも高い電圧V1にまで立ち上がった後、中間電圧Vcよりも低い電圧V2にまで立ち下がり、再び中間電圧Vcになる。その後の第2期間T2では、駆動信号COMは、中間電圧Vcから、中間電圧Vcよりも高い電圧V1にまで立ち上がった後、中間電圧Vcを維持した状態になる。第1期間T1における駆動信号COMは、吐出部270のノズル48からインク滴を吐出させる印加レベルの信号である。第2期間T2における駆動信号COMは、ノズル48からインク滴を吐出させることなく残留振動を発生させる印加レベルの信号である。検出実施信号DSELは、残留振動に基づいて吐出部270を検査する場合に、第2期間T2において駆動信号COMが電圧V1から中間電圧Vcに復帰したタイミングから、第2期間T2が終了する前のタイミングまでの間に立ち下がる論理信号である。検出実施信号DSELが立ち下がると、ヘッドユニット200のスイッチ58は、共通電路68をグランドから電気的に切り離し、ヘッドユニット200の検出部290は、共通電路68の電気信号HGNDを検出する。シフト入力信号SIの指示データが[0,0]の場合、駆動素子66に印加される印加電圧は、駆動周期TDの間、中間電圧Vcを維持した状態となる。これによって、その駆動素子66に対応する吐出部270においてインク滴は吐出されず、残留振動も発生しない。シフト入力信号SIの指示データ[0,0]は、印刷時に画素を形成しない吐出部270や、残留振動に基づいた検査の実施対象ではない吐出部270に対して設定される。シフト入力信号SIの指示データが[0,1]の場合、駆動素子66に印加される印加電圧は、第1期間T1において中間電圧Vcを維持した後、第2期間T2において電圧V1に立ち上がる。これによって、その駆動素子66に対応する吐出部270において、インク滴を吐出することなく残留振動を発生させることができる。シフト入力信号SIの指示データ[0,1]は、画素を形成することなく検査を実施する際に、残留振動に基づいた検査の実施対象となる吐出部270に対して設定される。シフト入力信号SIの指示データが[1,0]の場合、駆動素子66に印加される印加電圧は、第1期間T1において電圧V1および電圧V2に変化した後、第2期間T2において中間電圧Vcを維持した状態となる。これによって、その駆動素子66に対応する吐出部270においてインク滴が吐出される。シフト入力信号SIの指示データ[1,0]は、印刷時に画素を形成する吐出部270に対して設定される。シフト入力信号SIの指示データが[1,1]の場合、駆動素子66に印加される印加電圧は、第1期間T1において電圧V1および電圧V2に変化した後、第2期間T2において電圧V1に変化する。これによって、その駆動素子66に対応する吐出部270において、インク滴を吐出させつつ、吐出部270の検査に適した残留振動を発生させることができる。シフト入力信号SIの指示データ[1,1]は、画素を形成しつつ検査を実施する際に、残留振動に基づいた検査の実施対象となる吐出部270に対して設定される。図4の説明に戻り、制御部100の検査部104は、ヘッドユニット200の検出部290から検出信号POUTを受け取り、その検出信号POUTに示された残留振動の検出値に基づいて吐出部270を検査する。本実施例では、検査部104は、残留振動の周期の長さ、および残留振動の周期の変化に基づいて、吐出部270を検査する。本実施例では、検査部104は、吐出部270の状態を、正常状態、異常吐出状態、気泡混入による不吐出状態、増粘による不吐出状態の中から特定する。正常状態は、規定の着滴位置および着滴形状でインクを吐出可能な状態である。異常吐出状態は、インクを吐出可能であるもののインクの着滴位置や着滴形状が正常状態の許容範囲を超える状態である。気泡混入による不吐出状態は、キャビティー46内のインクの気泡混入によってインクを吐出できない状態である。増粘による不吐出状態は、キャビティー46内のインクの増粘によってインクを吐出できない状態である。制御部100の記憶部108は、判定基準データ130および検査結果データ140を記憶する。記憶部108の判定基準データ130は、電気信号SWに基づいて吐出部270の状態を判定するための判定基準を示すデータであり、本実施例では、プリンター10の工場出荷時に記憶部108に記憶される。記憶部108の検査結果データ140は、検査部104による吐出部270の検査結果を示すデータであり、検査部104による検査の実施に応じて記憶部108に記憶される。図6は、残留振動に応じた電気信号SWの変化の一例を示す説明図である。図6には、縦軸を電圧、横軸を時間とし、基準電圧Vrefに対する電気信号SWg,SWb,SWvの時間的変化を図示した。図6の電気信号SWgは、インクを吐出可能な正常状態にある吐出部270における残留振動に応じた電気信号SWを示す。図6の電気信号SWbは、気泡混入による不吐出状態にある吐出部270における残留振動に応じた電気信号SWを示す。図6の電気信号SWvは、増粘による不吐出状態にある吐出部270における残留振動に応じた電気信号SWを示す。ここで、吐出部270における振動板67を想定した単振動の計算モデルに圧力Pを与えた時のステップ応答を体積速度uについて計算すると、次の数式1a,1b,1cが得られる。上記の数式1において、流路抵抗rは、供給口44、キャビティー46およびノズル48などの流路形状やこれら流路におけるインクの粘度に依拠し、イナータンスmは、供給口44、キャビティー46およびノズル48などの流路内におけるインクの質量に依拠し、コンプライアンスcは、振動板67の伸縮性に依拠する。気泡混入による不吐出状態では、キャビティー46内のインクが少なくなるため、主にイナータンスmが減少する。イナータンスmが減少すると、数式1bからも明らかなように、角速度ωが大きくなる。そのため、図6に示すように、気泡混入による不吐出状態における電気信号SWbの周期tC_bは、正常状態における電気信号SWgの周期tC_gよりも短くなる。増粘による不吐出状態では、キャビティー46内のインクが増粘するため、流路抵抗rが増加する。流路抵抗rが増加すると、数式1b,1cからも明らかなように、角速度ωが小さくなる。そのため、図6に示すように、増粘による不吐出状態における電気信号SWvの周期tC_vは、正常状態における電気信号SWgの周期tC_gよりも長くなると共に、電気信号SWvの減衰量は、電気信号SWgよりも大きくなる。本実施例では、電気信号SWの周期tCが下限閾値tC_Lから上限閾値tC_Hまでの範囲である場合tC_L≦tC≦tC_H、吐出部270の状態が正常状態であると判断する。本実施例では、電気信号SWの周期tCが下限閾値tC_Lより短い場合tC<tC_L、吐出部270の状態が気泡混入による不吐出状態であると判断し、電気信号SWの周期tCが上限閾値tC_Hより長い場合tC_H<tC、吐出部270の状態が増粘による不吐出状態であると判断する。図6には、電気信号SWg,SWb,SWvの第1周期として周期tC_g,tC_b,tC_vを図示したが、理論上、電気信号SWg,SWb,SWvの各周期は一定であり、第1周期以降の周期第2周期、第3周期、についても、それぞれ周期tC_g,tC_b,tC_vの各値と同じ値となる。図7は、気泡混入による不吐出状態の電気信号SWbの一例を示す説明図である。図7には、縦軸を電圧、横軸を時間とし、正常状態の電気信号SWgと対比させつつ、基準電圧Vrefに対する電気信号SWbの時間的変化として、第1周期tC1から第6周期tC6を図示した。図7に示すように、電気信号SWbにおける第1周期tC1以降の第2周期tC2~第6周期tC6の各値は、第1周期tC1と同等の値になり、電気信号SWbの第1周期tC1~第6周期tC6の各値は、正常状態の下限閾値tC_Lよりも短くなるtC1,tC2,,tC6<tC_L。図8は、異常吐出状態の電気信号SWngの一例を示す説明図である。図8には、縦軸を電圧、横軸を時間とし、正常状態の電気信号SWgと対比させつつ、基準電圧Vrefに対する電気信号SWngの時間的変化として、第1周期tC1から第5周期tC5を図示した。図8の電気信号SWngは、異常吐出状態にある吐出部270における残留振動に応じた電気信号SWを示し、その異常吐出状態は、インクを吐出可能であるものの、キャビティー46内のインクの気泡混入によってインクの着滴位置や着滴形状が正常状態の許容範囲を超える状態である。気泡混入による異常吐出状態の電気信号SWngは、正常状態の電気信号SWg、気泡混入による不吐出状態の電気信号SWb、および増粘による不吐出状態のSWvと異なり、その周期が変化する。図8の例では、電気信号SWngにおける第1周期tC1、第2周期tC2、および第3周期tC3の各値は、正常状態の下限閾値tC_Lよりも短いtC1,tC2,tC3<tC_Lが、その後に続く第4周期tC4および第5周期tC5は、正常状態の上限閾値tC_Hよりも長くなるtC_H<tC4,tC5。図8の例では、電気信号SWngの周期が変化する第3周期tC3および第4周期tC4の各振幅を比較すると、第4周期tC4の最大振幅Ah4は、第3周期tC3の最大振幅Ah3よりも増大する。図8の例では、電気信号SWngは、第1周期tC1~第3周期tC3では一つの極小点および一つの極大点をそれぞれ有するが、第4周期tC4では二つの極小点および二つの極大点を有し、第5周期tC5では三つの極小点および三つの極大点を有する。A2.プリンターの動作:図9は、プリンター10の制御部100が実行する検査処理P100の詳細を示すフローチャートである。検査処理P100は、ヘッドユニット200における吐出部270を残留振動に基づいて検査する処理である。本実施例では、検査処理P100は、制御部100のCPUがコンピュータープログラムに基づいて検査部104として動作することによって実現される。本実施例では、制御部100は、予め設定された時期や、ユーザーからの指示入力に基づいて、検査処理P100を開始する。検査処理P100を開始すると、制御部100は、ヘッドユニット200における複数の吐出部270の一つを検査対象として選定するステップS120。検査対象の吐出部270を選定した後ステップS120、制御部100は、駆動制御部102として動作することによって、検査対象の吐出部270における駆動素子66を駆動するステップS130。具体的には、検査対象である吐出部270に対応するシフト入力信号SIの指示データに[0,1]を設定し、その他の吐出部270に対応するシフト入力信号SIの指示データに[0,0]を設定して、シフト入力信号SIおよびクロック信号SCKと共に、図5に示すように、ラッチ信号LAT、駆動信号COMおよび検出実施信号DSELをヘッドユニット200に出力する。これによって、検査対象の吐出部270における駆動素子66から残留振動に応じた電気信号SWが共通電路68に印加される。その際に、ヘッドユニット200の検出部290によって検出される共通電路68の電気信号HGNDは、検査対象の吐出部270における残留振動に応じた電気信号SWとなり、検出部290は、その検出結果として電気信号SWの検出値を示す検出信号POUTを制御部100に出力する。検査対象の駆動素子66を駆動した後ステップS130、制御部100は、ヘッドユニット200の検出部290から出力される検出信号POUTを通じて、電気信号SWの検出値を取得するステップS140。本実施例では、制御部100は、残留振動に応じた電気信号SWの検出値として、検出実施信号DSELの立ち下がり期間中に検出される電気信号SWの周期tCを取得する。残留振動の検出値を取得した後ステップS140、制御部100は、判定処理P150を実行する。判定処理P150では、制御部100は、ヘッドユニット200の検出部290によって電気信号SWとして検出された残留振動に基づいて、検査対象である吐出部270の状態を判定する。図10は、判定処理P150の詳細を示すフローチャートである。制御部100は、判定処理P150を開始すると、検出された残留振動の第1周期tC1が、正常状態の下限閾値tC_Lよりも小さいか否かを判断するステップS152。第1周期tC1が下限閾値tC_L以上である場合ステップS152:NO、制御部100は、検出された残留振動の第1周期tC1が、正常状態の上限閾値tC_Hよりも大きいか否かを判断するステップS156。第1周期tC1が上限閾値tC_H以下である場合ステップS156:NO、制御部100は、検査対象である吐出部270が正常状態であると判定しステップS162、その後、判定処理P150を終了する。このように正常状態と判定される際の電気信号SWは、図6の電気信号SWgに代表される電圧変化を示す。第1周期tC1が上限閾値tC_Hより大きい場合ステップS156:YES、制御部100は、検査対象である吐出部270が増粘による不吐出状態であると判定しステップS164、その後、判定処理P150を終了する。このように増粘による不吐出状態と判定される際の電気信号SWは、図6の電気信号SWvに代表される電圧変化を示す。第1周期tC1が下限閾値tC_Lより小さい場合ステップS152:YES、制御部100は、第1周期tC1に続く第2周期tC2以降の周期tCとして、上限閾値tC_Hを超える周期tCが検出されたか否かを判断するステップS154。すなわち、制御部100は、下限閾値tC_Lより小さい第1の周期から、上限閾値tC_Hを超える第2の周期への残留振動の周期の変化が存在か否かを判断する。本実施例では、制御部100は、検出実施信号DSELがLoレベルの間に検出される電気信号SWの周期tCのうち、ノイズと十分に区別可能な電圧レベルである期間における第2周期tC2以降の周期tCについて、上限閾値tC_Hを超える周期tCが検出されたか否かを判断する。上限閾値tC_Hを超える周期tCが検出されない場合ステップS154:NO、すなわち、下限閾値tC_Lより小さい第1の周期から上限閾値tC_Hを超える第2の周期への残留振動の周期の変化が存在しない場合、制御部100は、検査対象である吐出部270が気泡混入による不吐出状態であると判定しステップS166、その後、判定処理P150を終了する。このように気泡混入による不吐出状態と判定される際の電気信号SWは、図6および図7の電気信号SWbに代表される電圧変化を示す。上限閾値tC_Hを超える周期tCが検出された場合ステップS154:YES、すなわち、下限閾値tC_Lより小さい第1の周期から上限閾値tC_Hを超える第2の周期への残留振動の周期の変化が存在する場合、制御部100は、検査対象である吐出部270が異常吐出状態であると判定しステップS168、その後、判定処理P150を終了する。このように異常吐出状態と判定される際の電気信号SWは、図8の電気信号SWngに代表される電圧変化を示す。図9の説明に戻り、判定処理P150の後、制御部100は、判定処理P150の判定結果を保存するステップS170。その後、制御部100は、ヘッドユニット200における吐出部270の全てを検査するまで、検査対象の吐出部270の選定ステップS120からの処理を繰り返し実行するステップS180:NO。ヘッドユニット200における吐出部270の全てを検査するとステップS180:YES、制御部100は、検査処理P100を終了する。本実施例では、検査処理P100の検査結果に応じて、制御部100は、ヘッドキャップ340を用いたフラッシング処理や吸引処理などの回復処理メンテナンス処理を実行する。検査処理P100の検査結果に応じた回復処理として、例えば、増粘による不吐出状態、気体混入による不吐出状態、異常吐出状態の各状態に応じて、それぞれ異なる回復処理を実行しても良い。また、増粘や気体混入による不吐出状態と判定した場合には回復処理を実行し、異常吐出状態と判定した場合には、プリンター10の初期設定やユーザーによる設定に基づいて回復処理を実行するか否かを判断しても良い。これによって、異常吐出状態に起因する印刷品質の劣化を許容できない状況では回復処理を実行し、異常吐出状態に起因する印刷品質の劣化を許容できる状況では回復処理を実行せずに、回復処理に伴うインクの消費量や消費電力を抑制することができる。A3.効果:以上説明した実施例のプリンター10によれば、図8の電気信号SWngに代表されるように残留振動の周期tCが変化する吐出部270の異常吐出状態を判定することができる。また、整備部であるヘッドキャップ340を備えるため、残留振動の周期tCが変化する吐出部270の異常吐出状態に対処することができる。また、第1の閾値である下限閾値tC_Lよりも小さい第1の周期から、第2の閾値である上限閾値tC_Hよりも大きい第2の周期への残留振動の周期tCの変化に基づいて吐出部270を検査するため判定処理P150のステップS152:YES、ステップS154YES、図8の電気信号SWngに代表されるように気泡混入に起因する吐出部270の異常吐出状態を判定することができる。また、最初の周期である第1周期tC1が下限閾値tC_Lよりも小さい設定周期に相当する場合、残留振動の周期tCの変化に基づいて吐出部270を検査し判定処理P150のステップS152:YES、ステップS154、最初の周期である第1周期tC1が下限閾値tC_Lよりも小さい設定周期と異なる場合、その第1周期tC1に基づいて吐出部270を検査するため判定処理P150のステップS152:NO、ステップS156、残留振動に基づく吐出部270の検査に要する処理負荷を軽減することができる。B.その他の実施形態:以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこうした実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることは勿論である。例えば、上述の実施例では、吐出部270における残留振動を感知する感知部として駆動素子66を利用したが、他の実施形態において、駆動素子66とは別に、残留振動を感知する専用のセンサーを適用しても良い。また、上述の実施例では、インク滴を吐出させることなく残留振動を発生させる印加レベルで駆動素子66を駆動させて残留振動を検出したが、他の実施形態において、インク滴を吐出させる印加レベルで駆動素子66を駆動させて残留振動を検出しても良い。また、上述の実施例では、印刷媒体90に対する印刷とは異なるタイミングで検査処理P100を実施したが、他の実施形態において、印刷媒体90に対する印刷を実行中に、残留振動に応じた電気信号SWに基づいて吐出部270を検査しても良い。また、上述の実施例では、残留振動の周期tCに基づいて判定処理P150を実施したが、他の実施形態において、残留振動の位相や振幅に基づく判定に用いられる判定閾値を判定基準データ130に設定しておき、残留振動の周期tCに加え、位相および振幅の少なくとも一つに基づいて検査処理P100を実施しても良い。具体的には、図8の例のように、電気信号SWngの周期が変化する第3周期tC3および第4周期tC4の各振幅を比較すると、第4周期tC4の最大振幅Ah4は、第3周期tC3の最大振幅Ah3よりも増大することから、異常吐出状態の判定条件として、残留振動の周期tCの変化に加え、残留振動の周期tCが変化する際における残留振動の振幅の増大に基づいて、吐出部270を検査しても良い。これによって、気泡混入に起因する異常吐出状態の判定誤りを抑制することができる。また、検査処理P100の検査結果に応じた回復処理に加え、または回復処理に代えて、制御部100は、検査処理P100の検査結果を、ユーザーインターフェイス180を通じてユーザーに報知しても良いし、通信インターフェイス190を通じて外部機器に報知しても良い。また、増粘や気体混入による不吐出状態と判定した場合には、検査処理P100の検査結果を報知する報知処理を実行し、異常吐出状態と判定した場合には、プリンター10の初期設定やユーザーによる設定に基づいて報知処理を実行するか否かを判断しても良い。これによって、異常吐出状態に起因する印刷品質の劣化を許容できない状況では報知処理を実行し、異常吐出状態に起因する印刷品質の劣化を許容できる状況では報知処理を実行せずに、報知処理に伴う処理負荷や消費電力を抑制することができる。また、上述の実施例では、各吐出部270における駆動素子を駆動させる駆動信号の信号レベルは電圧V1の一つであったが、他の実施形態において、ランク毎に更に駆動信号の信号レベル例えば、電圧、電流、電力量などに応じた判定基準を判定基準データ130に設定しておき、駆動信号の信号レベルに応じて検査処理P100を実施しても良い。これによって、駆動信号の信号レベルに応じて変化する残留振動の特性を考慮して、残留振動に基づく検査の誤判定を一層防止することができる。また、検出部290によって検出する振動は、駆動素子66の駆動に起因する振動であれば良く、例えば、駆動素子66の駆動によるキャビティー46内のインクの振動を検出しても良いし、駆動素子66の駆動後における駆動素子66の振動を検出しても良いし、駆動素子66の駆動による振動板67の振動を検出しても良い。また、駆動素子66の駆動に起因する振動を感知する手段として、駆動素子66を兼用しても良いし、専用のセンサーを別途用意しても良い。また、駆動素子66の駆動に起因する振動を感知する手段を、ノズル48毎に設けても良いし、2個以上のノズル48に設けても良い。また、駆動素子66の駆動に起因する振動を感知する手段を、キャビティー46に設けても良いし、供給口44やリザーバー42に設けても良い。また、駆動素子66の駆動に起因する振動を検出するタイミングは、駆動素子66の駆動後に限るものではなく、駆動素子66の駆動前でも良いし、駆動と同時でも良いし、駆動中であっても良い。上述した実施例では、液体吐出装置の一例として、インクを吐出するインクジェットプリンターについて説明したが、本発明の液体吐出装置が吐出する液体は、インクに限るものではなく、各種の液体の他、液体中や気体中に固体が分散した状態の流体であっても良い。例えば、本発明は、インクジェット方式のプリンターに限るものではなく、他の方式のプリンターに適用することもできる。また、液晶ディスプレー、有機ELディスプレー、および面発光ディスプレー等の製造に用いられ、電極材や色材などの材料を分散や溶解の状態で含む液状体を吐出する吐出装置に適用することもできる。また、バイオチップの製造に用いられ、生体有機物を含有する液体を吐出する吐出装置に適用することもできる。また、精密ピペットとして用いられ、試料となる液体を吐出する吐出装置に適用することもできる。また、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する吐出装置や、光通信素子に用いられる微小半球レンズ光学レンズを形成するために紫外線硬化性樹脂を始めとする透明樹脂液を吐出する吐出装置に適用することもできる。また、ウェハーをエッチングするためのエッチング液を吐出する吐出装置や、トナーを始めとする粉体を吐出する吐出装置に適用することもできる。"