"ワークを撮像する、露光時間が可変の撮像装置と、所定の発光周波数で発光制御されて前記ワークに対して照明光を照射する照明装置と、前記撮像装置の合焦位置を制御して前記合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システムと、前記位置制御システムによる合焦位置の制御に際して室内光の点灯周波数が第1の周波数及び第2の周波数のいずれであるかに基づいて前記撮像装置の露光時間を前記室内光の点灯周期の整数倍となるように設定する制御装置とを備え、前記照明装置の発光周波数は、前記第1の周波数及び第2の周波数の公倍数に設定されることを特徴とする画像測定装置。前記制御装置は、前記照明装置を消灯した状態で前記室内光の点灯周波数を検出することを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。前記制御装置は、前記撮像装置の露光時間を、前記第1の周波数に対応した点灯周期の整数倍に設定した場合と、前記第2の周波数に対応した点灯周期の整数倍となるように設定した場合について、それぞれ前記位置制御システムを制御して異なる複数の合焦位置において前記撮像装置による撮像を行い、得られた画像の平均明るさの変動率を計算し、前記撮像装置の露光時間を、前記平均明るさの変動率が低い方の周波数に対応した点灯周期の整数倍に設定することを特徴とする請求項2記載の画像測定装置。前記第1の周波数は100Hz、前記第2の周波数は120Hzであることを特徴とする請求項3記載の画像測定装置。前記照明装置の発光周波数は、600Hzであることを特徴とする請求項4記載の画像測定装置。このような画像測定装置において、撮像装置のフレームレートと撮像範囲を照らす照明の発光周波数との組合せによっては、フリッカが生じて取得画像の明るさにばらつきが生じることがある。この場合、光量の少ない画像は画素間での明暗差が少ない為、合焦位置かどうかに関わらずコントラストが小さくなり、逆に光量の多い画像はコントラストが大きくなる。このため、コントラストから合焦位置を判断する事が困難となり、オートフォーカスの信頼性を低下させてしまうという問題があった。このような問題を解決すべく、画像測定装置は、撮像装置との組合せでちらつきを生じない照明装置を備えているのが一般的である。しかしながら、この場合においても、画像測定装置の態様によっては外乱光の影響を排除する事が困難な場合も数多く存在する。排除が困難であり、かつ問題となりやすい外乱光として、インバータ式でない蛍光灯以下、室内灯が挙げられる。室内灯は、電源周波数が50Hzである地域では100Hz、60Hzである地域では120Hzで明滅を繰り返しており、測定結果やオートフォーカス結果に悪影響を及ぼす。又、照明装置自体にちらつきがある場合もある。本発明は、このような点に鑑みなされたもので、高精度なオートフォーカス処理が可能な画像測定装置を提供することを目的としている。本発明に係る画像測定装置は、ワークを撮像する、露光時間が可変の撮像装置と、所定の発光周波数で発光制御されてワークに対して照明光を照射する照明装置と、撮像装置の合焦位置を制御して合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システムと、位置制御システムによる合焦位置の制御に際して室内光の点灯周波数が第1の周波数及び第2の周波数のいずれであるかに基づいて撮像装置の露光時間を室内光の点灯周期の整数倍となるように設定する制御装置とを備え、照明装置の発光周波数は、第1の周波数及び第2の周波数の公倍数に設定される。この様な構成においては、一定周期で明滅を繰り返す外乱光の影響を排除し、一定の明るさの画像を取得することで、高精度なオートフォーカス処理を行うことが可能となる。又、電源周波数の異なる地域においても共通に使用する事が可能である。本発明の一実施形態において、制御装置は、照明装置を消灯した状態で室内光の点灯周波数を検出する様にしても良い。又、本発明の一実施形態において、制御装置は、撮像装置の露光時間を、第1の周波数に対応した点灯周期の整数倍に設定した場合と、第2の周波数に対応した点灯周期の整数倍となるように設定した場合について、それぞれ位置制御システムを制御して異なる複数の合焦位置において撮像装置による撮像を行い、得られた画像の平均明るさの変動率を計算し、撮像装置の露光時間を、平均明るさの変動率が低い方の周波数に対応した点灯周期の整数倍に設定する様にしても良い。この様な構成においては、複雑な操作を必要とせず自動で撮像装置のフレームレート及び照明装置の発光周波数を決定する事が可能となり、高精度なオートフォーカス処理を、どのような地域においても容易に行うことが可能となる。又、本発明の一実施形態において、第1の周波数は100Hz、第2の周波数は120Hzである。又、本発明の一実施形態において、照明装置の発光周波数は、600Hzである。本発明によれば、高精度なオートフォーカス処理が可能な画像測定装置の提供が可能になる。[第1実施形態]次に、本発明の第1実施形態に係る画像測定装置の構成について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本施形態に係る画像測定装置の全体図である。画像測定装置は、ワーク3を撮像する撮像装置としてカメラ141が搭載された画像測定機1と、この画像測定機1と電気的に接続されたコンピュータ以下、PCと呼ぶ。2とを備えている。画像測定機1は、次のように構成されている。即ち、試料移動手段11の上には、試料台12がその上面をベース面として水平面と一致するように載置され、試料移動手段11の両側端から立設されたアーム支持体13a,13bの上端でX軸ガイド13cを支持している。試料台12は、試料移動手段11によってY軸方向に駆動される。X軸ガイド13cには、撮像ユニット14がX軸方向に駆動可能に支持されている。撮像ユニット14の下端には、カメラ141が装着されている。尚、本実施形態においては試料台12上に配置されたワーク3を撮像する形式をとっているが、当然他の形式でも良く、例えば床に設置されたワークを横方向から撮像する様な形式でも良い。又、カメラ141としてはCCD、CMOS等種々のカメラを使用可能である。図2は、本施形態に係る画像測定装置のブロック図である。本実施形態において、画像測定装置は、例えば画像測定機1の内部にコントローラ15を備えており、コントローラ15は位置制御システム151及び照明制御装置152を備えている。また、撮像ユニット14はワーク3に光を照射する照明装置142を備えている。本実施形態においては、照明装置142はPWMPulseWidthModulation制御のLEDである。PC2は位置制御システム151を介してカメラ141の焦点位置を制御する。また、PC2は、カメラ141にフレームレートを指定する信号を送信し、照明制御装置152に照明装置142のPWM周波数指令を送信する。カメラ141は照明装置142からの照明光及び室内光が照射されたワーク3を、指定されたフレームレートで撮像し、画像情報をPC2に送信する。この際、位置制御システム151からはカメラ141の位置情報が送信される。尚、本実施形態においては、照明装置142としてPWM制御のLED照明を用いているが、当然種々の照明が使用可能である。次に、本実施形態に係る画像測定装置における撮像ユニット14の構成について説明する。図3は、本実施形態に係る画像測定装置の一部の構成を示すブロック図である。本実施形態において、撮像ユニット14は、カメラ141と、カメラ141のZ座標を検出し、出力するリニアエンコーダ143と、カメラ141をZ軸方向に駆動するカメラ駆動機構144と、カメラ駆動機構144を駆動するZ軸モータ145とを備えている。Z軸モータ145は、画像測定機1に備えられたパワーユニット16を介して位置制御システム151により制御される。又、リニアエンコーダ143は、スケールまたは検出ヘッドがカメラ141と連動してZ軸方向に移動する様に取り付けられている。位置制御システム151はラッチカウンタ及びZ値ラッチバッファを備えており、トリガ信号に応じてリニアエンコーダ143からカメラ141のZ座標情報を取得し、Z値ラッチバッファに保持する。カメラ141は、USBケーブルを介してPC2と、専用DIOデジタル入出力を介して位置制御システム151とそれぞれ接続されている。位置制御システム151はパワーユニット16に対してZ軸駆動命令を出力する。パワーユニット16はZ軸モータ145に駆動電力を供給し、Z軸モータ145は、カメラ駆動機構144によってカメラ141を駆動する。カメラ141は任意のフレームレートで撮像を行い、USBケーブルを介してPC2に画像情報を送信する。この際、カメラ141から位置制御システム151へトリガ信号として垂直同期信号が出力される様にしても良い。この場合、位置制御システム151は垂直同期信号を受信し、これに応じてリニアエンコーダ143からカメラ141のZ座標を取得する。取得されたZ座標はZ値ラッチバッファに保持され、ラッチカウンタが更新される。保持されたZ値は読み出し命令に応じてPC2に送信される。尚、本実施形態においてはカメラ141をZ軸方向に駆動しているが、カメラ141に設けられたレンズ等の光学系を調整する事によっても同様の動作が可能である。また、本実施形態においては、デジタルシリアル通信手段としてUSBインターフェイスを使用しているが、Gig-E、FireWire等他の手段を用いることも当然可能である。次に、本実施形態に係る画像測定装置のオートフォーカスの方法について説明する。図4は、本実施形態に係る画像測定装置のオートフォーカスの方法を説明する為の図であり、横軸はカメラ141のZ座標を、縦軸はコントラストをそれぞれ表している。本実施形態に係る画像測定装置のオートフォーカスにおいては、複数のZ座標において撮像を行い、それぞれの座標位置における画像からコントラストを算出し、算出された複数のコントラストの中で最も高い数値を示した画像が取得されたZ座標が合焦位置と判断される。図4の例においては、7か所のZ座標Z1~Z7において撮像を行っており、それぞれのZ座標におけるコントラストP1~P7が計算されている。図4の例においては、Z4におけるコントラストP4が最も高くなるため、Z4が合焦位置と判断され、カメラ141のZ座標はZ4に合わされることになる。次に、従来のコントラスト式のオートフォーカスにおける問題点について説明する。前述の通り、このような画像測定装置において、ワーク3には照明装置142からの光の他に、外乱光が照射されていることがある。この様な画像測定装置は多くの場合室内において使用され、外乱光は室内灯からの光となる。室内灯は一定の周期で明滅を繰り返しており、カメラ141のフレームレートとの関係によって、取得画像にちらつきを生じてしまう場合がある。このちらつきの問題について、図5~8を参照して説明する。一般に、インバータ式以外の蛍光灯以下、室内灯の点灯周波数は電源周波数に依存しており、電源周波数が50Hzである地域では100Hz、電源周波数が60Hzである地域では120Hzとなっている。図5は、カメラ141のフレームレートを60fpsに設定して撮像を行った時の室内灯の点灯周波数とフレームレートとの関係を示している。尚、上段は電源周波数が60Hzであった場合、下段は電源周波数が50Hzであった場合について示している。図5の上段に示す通り、カメラ141は露光開始から1/60s約16.7msecの間受光を行っており、受光が終了するとPC2に画像を転送する。PC2への画像転送が終了すると再び露光を開始し、以下、同様の動作を繰り返す。なお、図5では、画像転送時間が比較的長い時間設定されているが、ここではフレーム周期フレームレートの逆数と露光時間とが、ほぼ等しく設定された例を示しており、フレームレートと点灯周波数との誤差により両者の位相が徐々にずれることを強調して示している。前述の通り、電源周波数が60Hzの場合には、室内灯の点灯周波数は120Hzとなる。従って、露光時間が1/60=16.7msに設定されている場合、カメラ141では、受光開始から終了までの間に、室内灯の2周期分の光量が受光される。これにより、仮に、室内灯の点灯周期とフレーム周期とがずれていってもカメラ141により受光される画像は、全て同じ明るさとなる。これに対し、電源周波数が50Hzであった場合、即ち、室内灯の点灯周波数が100Hzであった場合、室内灯は10msec周期で明滅を繰り返す。従って、図5の下段に示す通り、カメラ141の露光時間が、室内灯の点灯周期の整数倍とならない。従って、カメラ141による撮像の度に受光される光量が異なってしまい、取得された画像にちらつきが生じる。前述の通り、コントラスト式のオートフォーカスにおいては、カメラ141によって取得された画像からコントラストを計算している。従って、カメラ141による画像にちらつきが生じた場合、コントラストを正しく計算する事が困難となる。図6は、本来ちらつきが生じなければ取得されていたコントラストと、ちらつきによって誤差を生じたコントラストとを比較する図であり、縦軸にはコントラストを、横軸にはカメラのZ座標を示している。尚、点線で表した曲線が本来のコントラスト、実線で表した曲線が誤差を生じたコントラストである。図6に示す通り、取得された画像にちらつきが生じることにより、コントラストのピークが本来の位置と異なった場所に移動している。その結果、コントラストP3’がコントラストP4’より大きくなってしまい、本来の合焦位置であるZ4で無く、Z3が合焦位置と判断されてしまう。図7は、基本的には図5と同様の図を示しているが、図5ではカメラのフレームレートが60fpsに設定されていたのに対し、図7では50fpsに設定されている点において異なっている。この場合、図5のケースとは逆に、室内灯の点灯周波数が100Hzであるときにはカメラ141による取得画像間においてちらつきを生じないが、120Hzの時にはちらつきを生じる。図8も、基本的に図5及び図7と同様の図を示しているが、図8ではカメラのフレームレートが20fpsに設定されている。この場合には、室内灯の点灯周波数が100Hzの場合、120Hzの場合共に、露光時間50msが室内灯の点灯周期の整数倍となるので、ちらつきを生じない。しかしながら、このようなフレームレートで撮像を行った場合、撮像のスピードを大幅に落とす事となるため、オートフォーカスに膨大な時間がかかってしまう。この様な問題を解決すべく、本発明においては、室内灯の点灯周波数に合わせてカメラ141の露光時間を調整している。この調整方法を図9に示す。図9は、基本的には図5と同様であるが、電源周波数が60Hzである場合にはカメラの露光時間を1/60sに、50Hzの場合には1/50sに設定している点において異なっている。この様に電源周波数に応じて柔軟に露光時間を調整する事によって、外乱光によるちらつきを生じない画像の取得が可能となる。尚、図9においてはカメラ141の露光時間が室内灯の点灯周波数の1周期分の時間の2倍の時間となっているが、必ずしも2倍である必要は無く、整数倍でさえあればよい。実用的には、露光時間を短く、即ち、フレームレートを大きく設定する事によってオートフォーカス動作の高速化を図ることが考えられる。具体的には、電源周波数が60Hzである場合にはカメラの露光時間を1/120sに、電源周波数が50Hzである場合にはカメラの露光時間を1/100sに設定する事が考えられる。又、ワーク3に対し、室内灯以外の外乱光が照射される場合には、露光時間を長く、即ち、フレームレートを小さく設定する事によって、ノイズを抑制し、オートフォーカス動作の信頼性を向上させることも考えられる。なお、本実施形態では、カメラ141の露光時間が室内灯の点灯周期の整数倍に設定されていれば良く、フレームレートには、関係しない。このように設定することにより、フレーム周期中の露光開始タイミングが不定であっても、常に一定の光量の露光がなされるので、ちらつきが生じない。次に、ソフトウェアを用いて室内灯の点灯周波数を自動的に検出する方法について説明する。図10に室内灯の点灯周期を検出する処理のフローを示す。図10は、上記の電源周波数が60Hzである場合にはカメラのフレームレートを120fpsに、電源周波数が50Hzである場合にはカメラのフレームレートを100fpsに設定するフレームレートの調整方法を、ソフトウェアを用いて行う時のフローチャートである。フレームレートの調整が開始されるとPC2は、まず外乱光の影響を確認する為に照明装置142を消灯するS1。次に、カメラ141のフレームレートを100fpsに設定するS2。次にカメラ141による撮像を行い、ワーク3の画像を取得し、平均明るさの変動率を計算するS3。このステップS3において、ワーク3の画像は3枚以上取得すると良い。次にカメラ141のフレームレートを120fpsに変更しS4、ワーク3の画像の取得及び平均明るさの変動率の計算を行うS5。最後にカメラ141のフレームレートを100fpsに設定した時の平均明るさの変動率と、120fpsに設定した時の平均明るさの変動率とを比較し、カメラ141のフレームレートを平均明るさの変動率が小さかった方のフレームレートに設定するS6。尚、カメラ141のフレームレートは、先に60fpsに設定してから50fpsに変更しても良い。又、ステップS6において、比較した平均明るさの変動率が共に所定の閾値以上であった場合には、フレームレートを60fpsに設定しても良い。又、算出した平均明るさ変動率が共に低かった場合には、フレームレートを手動で設定する様にしても良い。又、以上に示したような方法を、画像測定装置や、専用のソフトウェアの起動時に行うことも可能である。次に、本実施形態に係る画像測定装置の照明装置142の動作について説明する。本実施形態においては、照明装置142としてPWM制御のLEDを使用しており、又、PWM周波数を、120と100の最小公倍数である600Hzの整数倍に設定している。理由については、以下に説明する。図11は、PWM周波数を480Hzに設定した時の照明装置142の発光時間とカメラ141の露光時間との関係を示すタイミングチャートである。尚、上段にはカメラ141のフレームレートが60fpsであった場合について、下段にはカメラのフレームレートが50fpsであった場合について示している。図11の上段に示す通り、PWM周波数が480Hz、カメラ141のフレームレートが60fpsであった場合、PWM周波数がカメラ141のフレームレートの8倍となる。従って、カメラ141によって照明装置142からの光が8パルス分受光される事となり、撮像された画像の光量は全て等しくなる。これに対し、図11の下段に示す通り、カメラ141のフレームレートが50fpsであった場合には、PWM周波数はカメラのフレームレートの9.6倍となる。従って、照明装置142のPWM周波数がフレームレートの整数倍で無くなる為、図5の下段の例の様に、カメラ141のフレームレートと照明装置142の照射サイクルとの間に誤差が発生し、取得される画像間にちらつきが生じてしまう。この様な場合、図5及び図6を参照して説明した時と同様に、取得されるコントラストと本来のコントラストとの間に誤差が生じ、オートフォーカスの精度を損なうこととなる。これに対し、本実施形態に係る画像測定装置においては、照明装置142の発光周波数を600Hzの倍数に設定している。この様に、照明装置142の発光周波数を600Hzの倍数に設定した時の様子を図12に示す。図12は基本的には図11と同じであるが、照明装置142の発光周波数が600Hzに設定されている点において異なっている。図12の上段からもわかるとおり、カメラ141のフレームレートが60fpsであった場合には、カメラ141の一回分の露光時間においてワーク3が照明装置142によって照射される光量は、照明装置142の10パルス分の光量となる。又、カメラ142のフレームレートが50fpsであった場合には、照明装置142の12パルス分の光量が受光される。従って、カメラ141のフレームレートが50fpsに設定されている場合においても60fpsに設定されている場合においても、常に一定の光量で受光できることとなる。この様な構成によれば、カメラ141のフレームレートが変化した場合においてもちらつきのない、適切な画像を取得する事が可能となる。又、スイッチング方式のパワー回路で照明を点灯させる場合、原理的にスイッチングによるリップルが生じる。このリップルによっても照明がちらつき、入力画像にフリッカが生じ得るが本実施形態の様な構成によれば解決できる。尚、本実施例においてはカメラのフレームレートを100fpsと120fpsとから選択している為、照明装置142の発光周波数を600Hzに設定しているが、選択する複数のフレームレートの公倍数であればよく、例えばカメラのフレームレートを50fpsと60fpsとから選択する場合には、その最小公倍数である300Hzに設定するようなことも可能である。又、カメラ141のフレームレートを50fps、60fps以外の値に設定する場合、照明装置142の発光周波数を自動でカメラ141のフレームレートの整数倍に調整する事も可能である。更に、照明装置142は、例えばカメラ141からの垂直同期信号を受信して、露光時間内に一定のパルス分だけ照明装置142を発光させる様なことも考えられる。更に、例えばスイッチング方式のパワー回路において、ごく微小な電流あるいは電圧を制御する場合、スイッチングを間引きすることによって、効率を改善したり、スイッチング制御素子が持っている実力以上に微小な電流あるいは電圧を制御している様に見せかける方法がある。この場合にも、間引きする周期を一定にし、その周波数をフレームレートの公倍数に設定すれば、入力画像にフリッカが生じることがなくなる。"