一般式1式中、Xはハロゲン原子を示す。なお、4つのXは同一でも互いに異なっていても良い。で示されるジルコニウムハロゲン化物と一般式2式中、R1及びR2は炭素原子数1~6の直鎖又は分枝状のアルキル基を示す。なお、R1とR2は互いに結合して環を形成していても良い。で示されるジアルキルアミンと混合した後、次いで、一般式3式中、Lは炭素原子数1~5のアルキル基で置換されていても良いシクロペンタジエニル基を示す。で示される置換基を有していても良いシクロペンタジエン及びアルキルアルカリ金属を反応させることを特徴とする、一般式4式中、R1及びR2、Lは前記と同義である。で示されるジルコニウムアミド化合物の製造方法。請求項1において、置換基を有していても良いシクロペンタジエン及びアルキルアルカリ金属を反応させる際に、アルキルアルカリ金属、置換基を有していても良いシクロペンタジエンの順で加えて反応させる、請求項1記載のジルコニウムアミド化合物の製造方法。一般式5式中、R1及びR2、前記と同義である。で示されるテトラキスジアルキルアミドジルコニウムの含有量が1未満であり、かつ一般式6式中、R1及びR2、Lは前記と同義である。で示されるビスシクロペンタジエニルビスジアルキルアミドジルコニウムの含有量が1未満であるジルコニウムアミド化合物。ジルコニウムアミド化合物がジルコニウム膜製造原料である、請求項3記載のジルコニウムアミド化合物。前記特許文献1の方法では、エチルシクロペンタジエンとナトリウム源とを反応させてエチルシクロペンタジエニルナトリウム原料を製造、そして、アルキルリチウムとジメチルアミンとを反応させてジメチルアミドリチウム原料を製造し、次いで、ふたつの原料を用いて目的物の製造を行わなければならず、更に目的物の収率も35と低いという問題がある。一方、非特許文献1及び2の製造方法では、アルキルリチウムとジメチルアミンとを反応させてジメチルアミドリチウムを製造、次いで、これに四塩化ジルコニウムを反応させてテトラキスジメチルアミドジルコニウムを製造した後、更に、シクロペンタジエンを反応させるといった多段階での反応が必須となっていた。そのため。工業的に好適な製造方法としては問題があった。本発明の課題は、即ち、ジルコニウムハロゲン化物を出発原料として、高収率及び高選択率にてジルコニウムアミド化合物を製造する、工業的に好適なジルコニウムアミド化合物の製造方法を提供することである。本発明の課題は、一般式1式中、Xはハロゲン原子を示す。なお、4つのXは同一でも互いに異なっていても良い。で示されるジルコニウムハロゲン化物と一般式2式中、R1及びR2は炭素原子数1~6の直鎖又は分枝状のアルキル基を示す。なお、R1とR2は互いに結合して環を形成していても良い。で示されるジアルキルアミンと混合した後、次いで、一般式3式中、Lは炭素原子数1~5のアルキル基で置換されていても良いシクロペンタジエニル基を示す。で示される置換基を有していても良いシクロペンタジエン及びアルキルアルカリ金属を反応させることを特徴とする、一般式4式中、R1及びR2、Lは前記と同義である。で示されるジルコニウムアミド化合物の製造方法によって解決される。本発明により、例えば、化合物半導体材料や重合用触媒、特にジルコニウム含有薄膜を形成させる際に使用可能なジルコニウムアミド化合物の効率的な製造方法を提供することが出来る。本発明の反応で使用するジルコニウムハロゲン化物は、前記の一般式1で示される。その一般式2において、Xはフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子を示し、4つのXは同一でも互いに異なっていても良い。なお、金属ハロゲン化物は、単独又は二種以上を混合して使用しても良い。本発明で使用するアミン化合物は、前記の一般式2で示される。その一般式2において、R1及びR2は、同一又は異なっていても良く、炭素原子数1~6の直鎖又は分岐状のアルキル基を示すが、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基である。なお、R1及びR2は、互いに結合して環を形成していても良い。これらアミン化合物の具体例としては、例えば、ジメチルアミン、エチルメチルアミン、イソプロピルメチルアミン、n-プロピルメチルアミン、ジエチルアミン、エチルイソプロピルアミン、エチルn-プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジn-プロピルアミン、イソプロピルn-プロピルアミン、ジn-ブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ピロリジン、ピペリジン、1-メチルピロリジン、ピロール等が挙げられるが、好ましくはジメチルアミン、エチルメチルアミン、イソプロピルメチルアミン、n-プロピルメチルアミン、ジエチルアミン、エチルイソプロピルアミン、エチルn-プロピルアミン、ピロリジン、1-メチルピロリジン、更に好ましくはジメチルアミン、エチルメチルアミン、イソプロピルメチルアミン、ジエチルアミン、が使用される。なお、これらのアミン化合物は、単独又は二種以上を混合して使用しても良い。本発明におけるアミン化合物の使用形態は、気体、液体又は固体、もしくはそれらが共存した状態のいずれの形態でも良く、例えば、ジメチルアミンであれば、気体として反応系内に導入しても、加圧又は冷却して液体としても、又は有機溶媒に溶解させた常態で使用しても良い。又、固体のアミンであれば、それを粉砕して粉末として使用しても、過熱して融解させて使用しても、又、溶媒に溶解させて使用しても良い。前記ジアルキルアミンの使用量は、ジルコニウムハロゲン化物1モルに対して、好ましくは20.0~3.0モル、更に好ましくは10.0~4.0モルである。本発明で使用する置換基を有していても良いシクロペンタジエンLHは、前記の一般式3で示される。その一般式3において、Lは炭素原子数1~5のアルキル基で置換されていても良いシクロペンタジエニル基を示すが、その置換基としては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基等の炭素原子数1~5のアルキル基を示す。なお、置換基は1又は複数でも良く、置換位置も特に限定されない。これら置換基を有していても良いシクロペンタジエンとしては、例えば、シクロペンタジエン;メチルシクロペンタジエン、エチルシクロペンタジエン、n-プロピルシクロペンタジエン、イソプロピルシクロペンタジエン、n-ブチルシクロペンタジエン、t-ブチルシクロペンタジエン、sec-ブチルシクロペンタジエン等のモノアルキルシクロペンタジエン;ジメチルシクロペンタジエン、メチルエチルシクロペンタジエン、ジエチルシクロペンタジエン、ジn-プロピルシクロペンタジエン、ジイソプロピルシクロペンタジエン、ジn-ブチルシクロペンタジエン、ジsec-ブチルシクロペンタジエン、ジt-ブチルシクロペンタジエン等のジアルキルシクロペンタジエン;トリメチルシクロペンタジエン、ジメチルエチルシクロペンタジエン、ジエチルメチルシクロペンタジエン、トリt-ブチルシクロペンタジエン等のトリアルキルシクロペンタジエン;テトラメチルシクロペンタジエン等のテトラアルキルシクロペンタジエン;ペンタメチルシクロペンタジエン等のペンタアルキルシクロペンタジエンが挙げられる。なお、これらのシクロペンタジエンは、各種位置異性体を含む。置換基を有していても良いシクロペンタジエンは、例えば、その二量体等を熱分解クラッキングさせる等の方法により取得することができる。前記置換基を有していても良いシクロペンタジエンの使用量は、ジルコニウムハロゲン化物1モルに対して、好ましくは0.8~2.0モル、更に好ましくは1.0~1.5モルである。本発明で使用するアルキルアルカリ金属は、例えば、n-ブチルリチウム、n-ヘキシルリチウム、t-ブチルリチウム、メチルリチウム、ジn-ブチルマグネシウム、n-ブチルエチルマグネシウム、塩化エチルマグネシウム、塩化t-ブチルマグネシウム、塩化ベンジルマグネシウム等が挙げられるが、好ましくはn-ブチルリチウム、n-ヘキシルリチウム、t-ブチルリチウム、メチルリチウム、更に好ましくはn-ブチルリチウムが使用される。なお、これらのアルキルアルカリ金属は、単独又は二種以上を混合して使用しても良い。前記アルキルアルカリ金属の使用量は、ジルコニウムハロゲン化物1モルに対して、好ましくは3.0~5.0モル、更に好ましくは3.5~4.5モルである。本発明の反応においては、溶媒中で反応を行うのが望ましく、使用される溶媒としては反応を阻害しないものならば特に限定されないが、例えば、n-ペンタン、n-ヘキサン、n-ヘプタン、n-オクタン、イソオクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタン等のエーテル類が挙げられるが、好ましくは、n-ヘキサン、n-ヘプタン、n-オクタン、イソオクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、トルエン、キシレン、更に好ましくは、n-ヘキサン、n-ヘプタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、トルエン、キシレンが使用される。なお、これらの溶媒は単独又は二種以上を混合して使用しても良い。本発明の反応は、例えば、ジルコニウムハロゲン化物とジアルキルアミンと混合した後、次いで、置換基を有していても良いシクロペンタジエン及びアルキルアルカリ金属を加え、攪拌しながら反応させる等の方法によって行われる。より具体的には、即ち、以下のいずれかの方法によって行われる。方法1;ジルコニウムハロゲン化物とジアルキルアミンと混合した後、次いで、置換基を有していても良いシクロペンタジエンとアルキルアルカリ金属とを混合した溶液を加えて反応させる。式中、X、R1及びR2、Lは前記と同義である。方法2;ジルコニウムハロゲン化物とジアルキルアミンと混合した後、次いで、アルキルアルカリ金属、置換基を有していても良いシクロペンタジエンの順で加えて反応させる。式中、X、R1及びR2、Lは前記と同義である。方法3;ジルコニウムハロゲン化物とジアルキルアミンと混合した後、次いで、置換基を有していても良いシクロペンタジエン、アルキルアルカリ金属の順で加えて反応させる。式中、X、R1及びR2、Lは前記と同義である。以上の方法1~3の中でも、好ましくは方法2、方法3、更に好ましくは方法3が採用される。これらの方法を採用することで、Lの導入をスムーズに進行させることができる。前記反応の際の反応温度は、好ましくは-200~200°C、更に好ましくは-100~150°Cであり、反応圧力は特に制限されない。本発明の反応によって得られたジルコニウムアミド化合物の製造方法は、反応終了後、中和、抽出、濾過、濃縮、蒸留、昇華、再結晶、カラムクロマトグラフィー等による一般的な方法によって単離精製される。なお、本発明のジルコニウムアミド化合物がシクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウム場合には、方法3で合成を行うと、一般式5式中、R1及びR2、前記と同義である。で示されるテトラキスジアルキルアミドジルコニウムの含有量が1未満であり、かつ一般式6式中、R1及びR2、Lは前記と同義である。で示されるビスシクロペンタジエニルビスジアルキルアミドジルコニウムの含有量が1未満である。次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。実施例1方法3;シクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウムの合成攪拌装置及び温度計を備えた内容積200mlのフラスコに、アルゴン雰囲気にて、四塩化ジルコニウム6.01g25.79mmol及びトルエン60mlを混合した後、混合液を冷却した。次いで、液体のジメチルアミン10.51g233.14mmolを液温が-10°Cを超えないようにゆるやかに滴下した。その後、反応混合液に1.65mol/Lのn-ブチルリチウムヘキサン溶液66ml108.90mmolを液温が-10°Cを超えないようにゆるやかに滴下した。更に、シクロペンタジエン2.21g33.43mmolをゆるやかに滴下して1時間反応させた。反応終了後、反応液を濾過した後に濾液を濃縮した。得られた濃縮物を減圧蒸留90°C、16Paし、淡黄色液体として、シクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウム5.35gを得た単離収率;71.7。なお、得られたシクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウム中には、テトラキスジアルキルアミドジルコニウムの含有量が1未満であり、ビスシクロペンタジエニルビスジアルキルアミドジルコニウムの含有量が1未満であった。実施例2方法3;シクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウムの合成攪拌装置及び温度計を備えた内容積3Lのフラスコに、アルゴン雰囲気にて、四塩化ジルコニウム92.48g0.397mol及びトルエン1Lを混合した後、混合液を冷却した。次いで、気体のジメチルアミン127.88g2.837molを液温が10°Cを超えないようにゆるやかに吹き込んだ。その後、反応混合液に1.63mol/Lのn-ブチルリチウムヘキサン溶液1.02L1.663molを液温が10°Cを超えないようにゆるやかに滴下した。更に、シクロペンタジエン31.10g0.471molを滴下して2時間反応させた。反応終了後、反応液を濾過した後に濾液を濃縮した。得られた濃縮物を減圧蒸留90~100°C、20Paし、淡黄色液体として、シクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウム89.89gを得た単離収率;73.9。なお、得られたシクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウム中には、テトラキスジアルキルアミドジルコニウムの含有量が1未満であり、ビスシクロペンタジエニルビスジアルキルアミドジルコニウムの含有量が1未満であった。実施例3方法2;シクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウムの合成攪拌装置及び温度計を備えた内容積200mlのフラスコに、アルゴン雰囲気にて、四塩化ジルコニウム6.03g25.88mmol及びトルエン60mlを混合した後、混合液を冷却した。次いで、液体のジメチルアミン8.30g184.12mmolを液温が-10°Cを超えないようにゆるやかに滴下した。その後、反応混合液に、シクロペンタジエン2.21g33.43mmolをゆるやかに滴下した。更に、1.62mol/Lのn-ブチルリチウムヘキサン溶液64ml103.68mmolを液温が-10°Cを超えないようにゆるやかに滴下し1時間反応させた。反応終了後、反応液を濾過した後に濾液を濃縮した。得られた濃縮物を減圧蒸留60~130°C、24Paし、淡黄色液体として、シクロペンタジエニルトリスジメチルアミノジルコニウムを収率20で得た1H-NMRによる分析値。なお、白色固体としてテトラキスジメチルアミドジルコニウムが15、黄色固体としてビスシクロペンタジエニルビスジメチルアミドジルコニウムが5生成していた1H-NMRによる分析値。比較例1シクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウムの合成攪拌装置及び温度計を備えた内容積200mlのフラスコに、アルゴン雰囲気にて、四塩化ジルコニウム6.80g29.18mmol及びトルエン60mlを混合した後、反応混合液を冷却した。次いで、シクロペンタジエン2.47g37.37mmolを液温が-10°Cを超えないようにゆるやかに滴下した。その後、反応混合液に、液体のジメチルアミン11.94g264.86mmolを液温が-10°Cを超えないようにゆるやかに滴下した。更に、1.62mol/Lのn-ブチルリチウムヘキサン溶液74ml119.88mmolを液温が-10°Cを超えないようにゆるやかに滴下して1時間反応させた。反応終了後、反応液を濾過した後に濾液を濃縮した。得られた濃縮物を減圧蒸留60~90°C、16Paしたところ、白色固体としてテトラキスジメチルアミドジルコニウムのみが得られ3.02g、目的とするシクロペンタジエニルトリスジメチルアミドジルコニウムは生成していなかった。