動作温度範囲内で蒸発及び凝縮が可能な作動流体を収容するための気密性容器を具備するヒートパイプにおいて、前記気密性容器は金属含浸炭素繊維強化炭素材よりなり、該金属含浸炭素繊維強化炭素材の炭素含有率は前記気密性容器の壁内部より壁内周面側で高くし、該金属含浸炭素繊維強化炭素材の壁内周面にナノメートルオーダの凹凸構造を形成したことを特徴とするヒートパイプ。前記金属含浸炭素繊維強化炭素材の配向方向は前記気密性容器の壁に垂直方向である請求項1に記載のヒートパイプ。前記金属含浸炭素繊維強化炭素材の配向方向は前記気密性容器の壁に垂直方向であると共に平行方向である請求項1に記載のヒートパイプ。前記気密性容器の放熱凝縮領域をヒートシンクに嵌合して一体成形した請求項1に記載のヒートパイプ。前記気密性容器の放熱凝縮領域を放射状フィンに嵌合して一体成形した請求項1に記載のヒートパイプ。炭素繊維が網目状に含まれたフィルム状炭素骨格含有プラスチックを筒状形状に形成する形成工程と、該フィルム状炭素骨格含有プラスチックを焼成して多数の空孔を有する炭素繊維骨格を生成する焼成工程と、前記炭素繊維骨格の内周面を炭素を含む溶媒に浸漬する炭素溶媒浸漬工程と、該炭素溶媒浸漬工程後に前記炭素繊維骨格を素焼する素焼工程と、該素焼工程後に、前記炭素繊維骨格を溶融金属に含浸させて内面高炭素含有率金属含浸炭素繊維強化炭素材を生成する工程と、前記内面高炭素含有率金属含浸炭素繊維強化炭素材の内面をプラズマエッチングして該内面にナノメートルオーダの凹凸構造を形成するプラズマエッチング工程と、該プラズマエッチング工程後に、前記内面高炭素含有率金属含浸炭素繊維強化炭素材の内部に作動流体を封入する作動流体封入工程と、該作動流体封入工程後に、前記内面高炭素含有率金属含浸炭素繊維強化炭素材の両端に蓋部を接合する工程とを具備するヒートパイプの製造方法。動作温度範囲内で蒸発及び凝縮が可能な作動流体を収容するための気密性容器は金属含浸炭素繊維強化炭素材よりなり、該金属含浸炭素繊維強化炭素材の炭素含有率は前記気密性容器の壁内部より壁内周面側で高くしたヒートパイプのプラズマエッチング装置において、前記内面高炭素含有率の金属含浸炭素繊維強化炭素材を支持する支持台と、前記金属含浸炭素繊維強化炭素材の内面側に摺動可能に設けられた棒状内側電極と、前記金属含浸炭素繊維強化炭素材の外面側に摺動可能に設けられたリング状外側電極と、前記棒状内側電極の先端部を取り囲むように前記リング状外側電極を移動させる同期駆動部とを具備し、前記金属含浸炭素繊維強化炭素材の壁内周面にナノメートルオーダの凹凸構造を形成したことを特徴とするプラズマエッチング装置。前記棒状内側電極の先端部に複数の突起を設けた請求項7に記載のプラズマエッチング装置。図12のヒートパイプの熱輸送能力をさらに向上させるためには、とりわけ、気密性容器1201の壁内周面から作動流体への熱伝導率を高めて作動流体の熱輸送能力を高める必要があり、この熱伝導率を高めるためには、気密性容器1201の壁内周面は作動流体に対する濡れ性を良好にする必要がある。しかしながら、図12のヒートパイプにおける気密性容器1201の壁内周面の金属層203は作動流体に対する濡れ性は良好とは言えず、従って、気密性容器1201の壁内周面から作動流体への熱伝導率は小さく、この結果、吸熱蒸発領域R1での吸熱蒸発速度及び吸熱蒸発領域R2での放熱凝縮速度が小さくなり、熱輸送能力は不充分であるという課題があった。尚、濡れ性評価装置は種々にあるが、一例として液滴の接触角で評価する装置がある参照:非特許文献1。すなわち、図13を参照すると、固体1301の流体1302に対する濡れ性を評価する場合、固体1301上に流体1302を微少量たとえば2μL垂らし、ミラー1303による流体1302の像1302’を顕微鏡1304で観察する。この場合、固体1301の表面張力をγS、流体1302の表面張力をγF、固体3011流体1302界面の表面張力γSFとすれば、濡れ性が良好親性である程、表面張力γS、γF、γSFは小さくなり、流体1302の接触角θは0度に近づく。他方、濡れ性が悪く疎性である程、表面張力γS、γF、γSFは小さくなり、流体1302の接触角θは180度に近づく。図12の金属層1203の作動流体たとえば、代表的な水に対する接触角は30度~40度と大きく、濡れ性は良好とは言えない。上述の課題を解決するために、本発明に係るヒートパイプは、動作温度範囲内で蒸発及び凝縮が可能な作動流体を収容するための気密性容器を具備するヒートパイプにおいて、気密性容器は金属含浸炭素繊維強化炭素材よりなり、この金属含浸炭素繊維強化炭素材の炭素含有率は気密性容器の壁内部より壁内周面側で高くし、金属含浸炭素繊維強化炭素材の壁内周面にナノメートルオーダの凹凸構造を形成したことを特徴とする。また、本発明に係るヒートパイプの製造方法は、炭素繊維が網目状に含まれたフィルム状炭素繊維強化プラスチックを筒状形状に形成する形成工程と、フィルム状炭素繊維強化プラスチックを焼成して多数の空孔を有する炭素繊維骨格を生成する焼成工程と、炭素繊維骨格の内周面を炭素を含む溶媒に浸漬する炭素溶媒浸漬工程と、炭素溶媒浸漬工程後に炭素繊維骨格を素焼する素焼工程と、素焼工程後に、炭素繊維骨格を溶融金属に含浸させて内面高炭素含有率金属含浸炭素繊維強化炭素材を生成する工程と、内面高炭素含有率金属含浸炭素繊維強化炭素材の内面をプラズマエッチングして該内面にナノメートルオーダの凹凸構造を形成するプラズマエッチング工程と、プラズマエッチング工程後に、内面高炭素含有率金属含浸炭素繊維強化炭素材の内部に作動流体を封入する作動流体封入工程と、作動流体封入工程後に、内面高炭素含有率金属含浸炭素繊維強化炭素材の両端に蓋部を接合する工程とを具備する。さらに、本発明に係るヒートパイプのプラズマエッチング装置は、動作温度範囲内で蒸発及び凝縮が可能な作動流体を収容するための気密性容器は金属含浸炭素繊維強化炭素材よりなり、金属含浸炭素繊維強化炭素材の炭素含有率は気密性容器の壁内部より壁内周面側で高くしたヒートパイプのプラズマエッチング装置において、内面高炭素含有率の金属含浸炭素繊維強化炭素材を支持する支持台と、金属含浸炭素繊維強化炭素材の内面側に摺動可能に設けられた棒状内側電極と、金属含浸炭素繊維強化炭素材の外面側に摺動可能に設けられたリング状外側電極と、棒状内側電極の先端部を取り囲むようにリング状外側電極を移動させる同期駆動部とを具備し、金属含浸炭素繊維強化炭素材の壁内周面にナノメートルオーダの凹凸構造を形成したことを特徴とする。本発明によれば、気密性容器の壁内周面はナノメートルオーダの凹凸構造となるので、気密性容器の壁内周面は作動流体に対する接触角はほぼ0度となり、濡れ性が非常に良好となり、この結果、作動流体の熱輸送能力を十分に大きくできる。図1は本発明に係るヒートパイプの第1の実施の形態を示す一部切欠いた斜視図である。図1に示すように、ヒートパイプは、動作温度範囲内で蒸発及び凝縮が可能な作動流体図示せずを収容するための円筒状の気密性容器1よりなる。気密性容器1の大きさは、たとえば、内径4mm、外径6mm、長さ150mm程度である。気密性容器1は円筒部11及び円筒部11を塞ぐ円形の蓋部12a、12bよりなる。尚、図1においても、R1は受熱蒸発領域、R2は放熱凝縮領域を示す。円筒部11及び蓋部12a、12bは金属含浸炭素繊維強化炭素材よりなり、この場合、金属含浸炭素繊維強化炭素材の炭素含有率は、気密性容器1の壁内部でたとえば40程度であるのに対し、気密性容器1の壁内周面側でたとえば60以上と高くなっている。この気密性容器1の壁内周面には図2に示すようなナノメートルオーダの凹凸構造NSが形成されている。尚、ナノメートルオーダとは約10~500nmの範囲を示す。気密性容器1の壁内周面のナノメートルオーダの凹凸構造NSは作動流体に対する接触角がほぼ0°であり、従って、良好な濡れ性を呈する。この結果、気密性容器1の壁内周面から作動流体への熱伝達率が高まる。従って、受熱蒸発領域R1での吸熱蒸発速度及び放熱凝縮領域R2での放熱凝縮速度が高まり、熱輸送能力を増加させることができる。図1においては、気密性容器1のナノメートルオーダの凹凸構造NSによる気密性容器1の壁内周面から作動流体への熱伝達率が高まった分、気密性容器1の金属含浸炭素繊維強化炭素材の配向方向は気密性容器1の壁の垂直方向であると共にこの壁の平行方向とすることができる。たとえば、金属含浸炭素繊維強化炭素材の気密性容器1の壁の垂直方向配向と平行方向配向との比は70~80:30~20とする。これにより、作動流体の内部圧力に対抗できるようになるので、図12の補強部材1203は不要となる。但し、気密性容器1の金属含浸炭素繊維強化炭素材の配向方向のほぼ100を気密性容器1の壁の垂直方向としても、金属含浸炭素繊維強化炭素材の金属含浸量を増加させれば、作動流体の内部圧力に対抗できるようになるので、やはり、図12の補強部材1203は不要となる。次に、図1のヒートパイプの製造方法を図3、図4、図5を参照して説明する。始めに、図3のフィルム状炭素骨格含有プラスチック円筒状形成工程301を参照すると、フィルム状炭素骨格含有プラスチックを丸めて円筒状とする。たとえば、プラスチックはポリイミド樹脂等である。また、炭素繊維はたとえば炭素繊維が網目状にフィルム状ポリイミド樹脂に含まれている。炭素繊維が網目状にされているので、金属含浸炭素繊維強化炭素材の配向が気密性容器1の壁の垂直方向及び平行方向の配向となる。次に、図3の焼成工程302を参照すると、円筒状のフィルム状炭素骨格含有プラスチックを焼成する。この結果、プラスチックが焼失して炭素繊維骨格間に多数の空孔が生成される。次に、図3の炭素溶媒浸漬工程303を参照すると、円筒状炭素繊維骨格の内周面を炭素を含む溶媒たとえばエポキシ樹脂、アクリル樹脂に浸漬する。次に、図3の素焼工程304を参照すると、高温たとえば1000°Cで1~2時間の素焼を行う。これにより、円筒状炭素繊維骨格の内周面の炭素含有率がその内部炭素含有率より高くなる。たとえば、円筒状炭素繊維骨格の内部の炭素含有率は40程度であるのに対し、円筒状炭素繊維骨格の内周面での炭素含有率は60以上たとえば90~100となる。これにより、内面高炭素含有率円筒状炭素繊維骨格が得られる。次に、図3の溶融金属含浸工程305を参照すると、銅、銀、アルミニウム等の金属をその融点以上に加熱して溶融させ、高圧たとえば100気圧の環境下で内面高炭素含有率円筒状炭素繊維骨格の外周面側から溶融金属を含浸させる。これにより、溶融金属は円筒状炭素繊維骨格の内部の空孔に侵入して内面高炭素含有率円筒状金属含浸炭素繊維強化炭素材が得られる。尚、上述の金属の代りにシリコンを用いてもよい。シリコンの溶融時の粘度が小さいので、高圧環境下でなくとも含浸できる。シリコンは非金属であるが、本発明では、金属として扱う。次に、図3のプラズマエッチング工程306を参照すると、内面高炭素含有率円筒状金属含浸炭素繊維強化炭素材の内面をプラズマエッチングして内面高炭素含有率円筒状金属含浸炭素繊維強化炭素材の内面にナノメートルオーダの凹凸構造NSを形成する。図3のプラズマエッチング工程306は図4に示すプラズマエッチング装置によって実行される。図4において、図3の溶融金属含浸工程305にて得られた内面高炭素含有率円筒状金属含浸炭素繊維強化炭素材を被加工材401としてアルミニウム等で形成された真空チャンバ402内の2つの支持台403、404で挟み込んで固定する。支持台403、404は絶縁材料によって形成されており、支持台403、404には、被加工材401を嵌めるための小さな窪み図示せずが設けられている。また、支持台403には、真空チャンバ402にArO2ガスを導入するためのガス導入口403aが設けられ、この場合、ガス導入口403aの内径は被加工材401の内径とほぼ同一とされている。他方、真空チャンバ402の下方側には真空ポンプ図示せずに接続されたガス排出口402aが設けられている。この結果、ガス導入口403aから導入されたArO2ガスは被加工材401の壁の内周面側を通り、ガス排出口402aから排出される。被加工材401の内周面を加工するために、被加工材401の内外に1対の放電電極、つまり、内側電極405及び外側電極406を設けてある。内側電極405は真空チャンバ402に絶縁部材405aによって摺動可能に密着支持され、他方、外側電極406は被加工材401に摺動可能に密着支持され、外側電極支持台407に固定されている。内側電極405は高周波電源407に接続されてアノード電極として作用し、他方、外側電極406は外側電極支持台406a及び真空チャンバ402を介して接地されてカソード電極として作用する。内側電極405及び外側電極406は同期駆動部408によって同時に同速度で移動する。図5は図4の内側電極405を示し、Aは全体斜視図、Bは先端部斜視図である。図5に示すように、内側電極405は棒状であり、その直径は被加工材401の直径より小さく、その長さは被加工材401の全長より長い。内側電極405の先端は複数の突起を有し、プラズマエッチングを均一に行うために、360°全周に亘って均等に配置されている。他方、外側電極406はリング状をなしており、内側電極405の先端部を取り囲むように設けられている。このとき、さらに、内側電極405を微振動あるいは回転させるようにし、これにより、プラズマの発生位置の偏りを防止し、プラズマエッチングを被加工材401の円周方向に亘って均一に行なうことができる。図4のプラズマエッチング装置をたとえば次の条件で動作させる。到達真空度:665PaO2ガス流量:100sccmArガス流量:50sccm投入電力:500W加工時間:1~2分1cm2当りこのとき、内側電極405の先端部を取り囲むように外側電極406を、図6に示すごとく、移動させる。この結果、内側電極405と外側電極406との間のみでプラズマが発生し、被加工材401の壁の内周面がナノメートルオーダの凹凸構造NSとなる。尚、図3のステップ306でのプラズマエッチング法は、電子サイクロトロン共鳴ECRエッチング法、反応性イオンエッチングRIE法、大気圧プラズマエッチング法等のいずれでもよく、また、処理ガスは、ArO2ガス以外のO2ガス、CO2ガス、CF4ガス、SF4ガス等のいずれでもよい。次に、図3の作動流体封入工程307を参照すると、作動流体たとえば純水の蒸気を内面がナノメートルオーダの凹凸構造NSである円筒状金属含浸炭素繊維強化炭素材に封入する。最後に、図3の蓋部接合工程308を参照すると、別途製造した円板状の蓋部12a、12bを作動流体を封入した内面がナノメートルオーダの凹凸構造NSである円筒状金属含浸炭素繊維強化炭素材の両端に接合する。この場合、蓋部12a、12bは、被加工材401と同様に、ナノメートルオーダの凹凸構造が形成されているが、必ずしも、金属含浸炭素繊維強化炭素材である必要はなく、炭素基板でもよい。また、接合方法は、好ましくは、熱伝導性を考慮して半田、ろう材を用いることがよい。さらに、ヒートパイプの気密性を確保するために、必要に応じて蓋部12a、12bの接合部分の凹凸構造を削り落としてもよい。図7は本発明に係るヒートパイプの第2の実施の形態を示す一部切欠いた斜視図である。図7に示すように、ヒートパイプは、六角柱状の気密性容器2よりなる。気密性容器2の大きさは、たとえば、一辺3mm、長さ150mm程度である。気密性容器2は六角柱部21及び六角柱部21を塞ぐ六角形の蓋部22a、22bよりなる。尚、図7においても、R1は受熱蒸発領域、R2は放熱凝縮領域を示す。六角柱状の気密性容器2は、図1の気密性容器1に比較して角の部分がエッチングされにくいので、作動流体が停滞し易くなるが、側面が平面であるので、平坦な発熱源に適するという利点を有する。図7のヒートパイプの製造方法は、図3のフィルム状炭素繊維強化プラスチック円筒状形成工程301の代りに、フィルム状炭素繊維強化プラスチック六角柱状形成工程を設ける。これにより、フィルム状炭素繊維強化プラスチックを折って六角柱状とする。その後の工程は図3の工程302~308と同様である。図8は本発明に係るヒートパイプの第3の実施の形態を示す一部切欠いた斜視図である。図8の気密性容器3においては、図1の気密性容器1の放熱凝縮領域R2に長さ約40mmのヒートシンク13を一体成形したものである。この場合、ヒートシンク13も金属含浸炭素繊維強化炭素材よりなり、その配向方向はヒートシンク13の各面に平行方向である。図8のヒートパイプの製造方法においては、図3のプラズマエッチング工程306と作動流体封入工程307との間で、気密性容器3の内面高炭素含有率円筒状金属含浸炭素繊維強化炭素材とヒートシンク13とを嵌合して一体成形させるための焼成工程が実行される。これにより、熱伝導グリス等で接合するよりも、一体性に優れており、従って、熱伝導性が優れる。図9は本発明に係るヒートパイプの第4の実施の形態を示す一部切欠いた斜視図である。図9の気密性容器4においては、図1の気密性容器1の放熱凝縮領域R2に長さ約50mmの放射状フィン14を一体成形したものである。この場合、放射状フィン14も金属含浸炭素繊維強化炭素材よりなり、その配向方向は放射状フィン14の各面に平行方向である。また、放射状フィン14の各フィンは気密性容器4を中心に点対称となっているので、各フィンへの熱拡散が均等となり、この結果、各フィンの放熱能力を最大限に利用できる。図9のヒートパイプの製造方法においては、図3のプラズマエッチング工程306と作動流体封入工程307との間で、気密性容器4の内面高炭素含有率円筒状金属含浸炭素繊維強化炭素材と放射状フィン14とを嵌合して一体成形させるための焼成工程が実行される。これにより、熱伝導グリス等で接合するよりも、一体性に優れており、従って、熱伝導性が優れる。図10は図9の気密性容器4の応用例を示す斜視図である。図10においては、図9の気密性容器4の放射状フィン14に軸流ファン5を対向させてある。つまり、放射状フィン14の各フィンの配置は点対称となっているので、軸流ファン5との相性が良いことが理解できる。つまり、軸流ファン5の風量が大きい周辺部が放射状フィン14の各フィンに対応させることができる。上述の気密性容器1、2、3、4の受熱蒸発領域R1に発熱源として半導体装置を装着する場合には、金属含浸炭素繊維強化炭素材よりなるアダプタを介して装着すればよい。また、発熱源として1つの半導体チップあるいは1つの発光ダイオードLEDチップを装着する場合には、蓋部12a22aに直接装着すればよい。さらに、上述の気密性容器1、2、3、4の円筒部11、六角柱部21は他の筒状形状たとえば多角柱状でもよい。