"パターンデータ202に従ってターゲット121を露光するためのマスクレスリソグラフィシステムであって、前記ターゲットを露光するための複数の荷電粒子ビームレット132、133を生成するための電子光学カラム102であり、前記電子光学カラムは、前記ビームレットを調整するためのビームレットブランカアレイ117を含み、前記ビームレットブランカアレイは、ビームレットデータ信号を受信するための複数の受信器150および前記データ信号に従って前記ビームレットを調整するための複数のビームレットブランカ素子152を含んでいる、電子光学カラム102と、前記パターンデータを記憶して処理するための前処理システム140および前記処理されたパターンデータを前記前処理システムから前記ビームレットブランカ素子へと伝送するための複数の伝送チャネル240を備え、前記パターンデータを受信して前記ビームレットデータ信号を生成するためのパターンストリーミングシステム230をさらに備える、データパス101と、前記パターンデータを伝送するための前記伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続する第1および第2のチャネルセレクタ220、320であり、前記第1のチャネルセレクタ220は、前記前処理システムと前記伝送チャネルとの間に接続され、前記第2のチャネルセレクタ320は、前記チャネルと前記ビームレットブランカ素子との間に接続される、第1および第2のチャネルセレクタ220、320と、を具備するシステム。前記第1のチャネルセレクタの各入力および前記第2のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続される、請求項1に記載のシステム。前記第1のチャネルセレクタの入力および前記第2のチャネルセレクタの出力への接続のための前記伝送チャネルの限られたサブセットは、9つ以下の伝送チャネルを備えている、請求項2に記載のシステム。前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの入力および前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有する伝送チャネルを備えている、請求項2または3に記載のシステム。前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの入力および前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを備えている、請求項2~4のいずれか1項に記載のシステム。前記伝送チャネルの限られたサブセットの前記伝送チャネルの1つと前記第2のチャネルセレクタの出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、請求項2~5のいずれか1項に記載のシステム。前記アルゴリズムは、前記第2のチャネルセレクタの出力に対する接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、請求項6に記載のシステム。前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記第2のチャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、前記第2のチャネルセレクタの各出力は、欠陥があるとみなされない一意の伝送チャネルに接続される、請求項6または7に記載のシステム。前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力は、前記伝送チャネルに対するデフォルト接続を有する、請求項1~8のいずれか1項に記載のシステム。前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、前記限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの他の入力または前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有しない伝送チャネルを含む、請求項9に記載のシステム。前記第1のチャネルセレクタおよび/または前記第2のチャネルセレクタは、並列に配置された複数のスイッチング回路を備え、前記スイッチング回路の第1の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの1つの出力に伝送するように配置されている、請求項1~10のいずれか1項に記載のシステム。前記スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、請求項11に記載のシステム。前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力におよび隣接するスイッチング回路のバッファの入力に、その出力を送信するように配置される、請求項12に記載のシステム。前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第1のスイッチング回路の両側に配置された複数の前記スイッチング回路を備える、請求項11~13のいずれか1項に記載のシステム。各スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、請求項11~14のいずれか1項に記載のシステム。前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、事前に規定されたパターンに従う前記スイッチング回路の前記スイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項15に記載のシステム。前記チャネルセレクタは、選択された1つの前記出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、請求項16に記載のシステム。前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、1つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項11~17のいずれか1項に記載のシステム。前記第1のチャネルセレクタは、前記前処理システムと前記パターンストリーマとの間に接続される、請求項1~18のいずれか1項に記載のシステム。前記パターンストリーミングシステムは、データパスに備えられた複数のパターンストリーマを備え、各パターンストリーマは、前記パターンデータの一部を受信し、ビームレットの対応するグループを調整するための流出されるビームレットデータ信号を生成する、請求項1~19のいずれか1項に記載のシステム。前記第2のチャネルセレクタは、前記ビームレットブランカアレイの前記受信器と前記ビームレットブランカアレイの前記ビームレットブランカ素子との間に接続されて、選択された受信器を選択されたビームレットブランカ素子に接続して、前記ビームレットの調整のための前記パターンデータを伝送する伝送チャネルを確立する、請求項1~20のいずれか1項に記載のシステム。前記受信器、前記第2のスペアチャネルセレクタおよび前記ビームレットブランカ素子のすべては、前記ビームレットブランカアレイの基板上に製作される、請求項1~21のいずれか1項に記載のシステム。各受信器は、ビームレットデータ信号を一群のビームレットブランカ素子に伝送するように接続され、前記データパスは、複数の多重化装置および多重分離装置を備え、各多重化装置は、ビームレットのグループの1つを制御するための伝送チャネル上での伝送のためにビームレットデータ信号を多重化する、請求項1~22のいずれか1項に記載のシステム。前記データパスは、前記受信器への伝送のために電気信号から光信号へと前記ビームレットデータ信号を変換する電気-光変換装置を備える、請求項1~23のいずれかに記載のシステム。前記伝送チャネルは、前記光信号を伝送するための光ファイバを備える、請求項24に記載のシステム。露光の間に露光される表面の選択されたサブセットを露光するために、前記ビームレットの選択されたサブセットを割り当てる制御装置をさらに具備し、露光される全体の表面は、2つ以上の露光において露光され、前記ビームレットの選択されたサブセットは、前記2つ以上の露光について異なり、前記データパスは、前記パターンデータの選択されたサブセットを、露光の間に、前記伝送チャネルを介して前記ビームレットブランカ素子の選択されたサブセットに結合するための第1および第2のビームセレクタを備え、前記パターンデータの前記選択されたサブセットは、前記露光の間に露光される前記表面の前記選択されたサブセットに対応し、前記ビームレットブランカ素子の前記選択されたサブセットは、前記露光のためのビームレットの前記選択されたサブセットを調整するためのものである、請求項1~25のいずれか1項に記載のシステム。2つ以上のパスにおいて、ターゲット121のフィールドを露光するためにマスクレスリソグラフィシステムにより生成された複数の荷電粒子ビームレット132、133を調整するために、ビームレット調整データを前記リソグラフィシステムに伝送するためのデータパス101であって、前記ビームレット調整データを前記リソグラフィシステムに伝送するための複数の伝送チャネル240と、前記パターンデータを伝送するための前記伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続する第1および第2のチャネルセレクタ220、320と、を具備し、前記第1のチャネルセレクタ220は、前処理システムと前記伝送チャネルとの間に接続され、前記第2のチャネルセレクタ320は、前記伝送チャネルと前記リソグラフィシステムとの間に接続される、データパス。前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続される、請求項27に記載のデータパス。前記第1のチャネルセレクタの入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力への接続のための伝送チャネルの前記限られたサブセットは、9つ以下の伝送チャネルを備えている、請求項28に記載のデータパス。前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの入力および前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有する伝送チャネルを備えている、請求項28または29に記載のデータパス。前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを備えている、請求項28~30のいずれか1項に記載のデータパス。前記伝送チャネルの限られたサブセットの前記伝送チャネルの1つと前記第1のチャネルセレクタの入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、請求項28~31のいずれか1項に記載のデータパス。前記アルゴリズムは、前記第1のチャネルセレクタの入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力への接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、請求項32に記載のデータパス。前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記第1のチャネルセレクタの前記入力および/または前記第2のチャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、欠陥のない一意の伝送チャネルに接続される、請求項32または33に記載のデータパス。前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、伝送チャネルへのデフォルト接続を有する、請求項27~34のいずれか1項に記載のデータパス。前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、前記限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの他の入力または前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有しない伝送チャネルを含む、請求項35に記載のデータパス。前記第1のチャネルセレクタおよび/または前記第2のチャネルセレクタは、並列に配置された複数のスイッチング回路を備え、前記スイッチング回路の第1の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの1つの出力に伝送するように配置されている、請求項27~36のいずれか1項に記載のデータパス。前記スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、請求項37に記載のデータパス。前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を送信するために配置される、請求項38に記載のデータパス。前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第1のスイッチング回路の両側に配置された複数の前記スイッチング回路を備える、請求項37~39のいずれか1項に記載のデータパス。各スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、請求項37~40のいずれか1項に記載のデータパス。前記チャネルセレクタは、スイッチング回路の1つの入力を、事前に規定されたパターンに従うスイッチング回路のスイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項41に記載のデータパス。前記チャネルセレクタは、選択された1つの出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、請求項42に記載のデータパス。前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、1つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項37~43のいずれか1項に記載のデータパス。前記データパスは、前記前処理システムから前記パターンデータを受信して前記ビームレット調整データを生成するパターンストリーミングシステム230をさらに具備し、前記第1のチャネルセレクタは、前記前処理システムと前記パターンストリーミングシステムとの間に接続される、請求項27~44のいずれか1項に記載のデータパス。前記パターンストリーミングシステムは、データパスに備えられた複数のパターンストリーマを備え、各パターンストリーマは、パターンデータの一部を受信し、ビームレットの対応するグループを調整するために流出されるビームレットデータ信号を生成する、請求項45に記載のデータパス。複数の伝送チャネル240を介してデータを伝送するためのデータパス101のためのチャネルセレクタ320であって、前記チャネルセレクタは、前記複数の伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続するように適合されており、前記チャネルセレクタの各入力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、前記チャネルセレクタの入力と出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、チャネルセレクタ。前記アルゴリズムは、前記チャネルセレクタの出力に対する接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、請求項47に記載のチャネルセレクタ。前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記チャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、前記チャネルセレクタの各出力は、欠陥がない一意の伝送チャネルに接続される、請求項47または48に記載のチャネルセレクタ。前記チャネルセレクタの各出力は、伝送チャネルへのデフォルト接続を有する、請求項47から49のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。前記チャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、前記限られたサブセットは、前記チャネルセレクタの他の出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを含む、請求項50に記載のチャネルセレクタ。並列に配置された複数のスイッチング回路を具備し、前記スイッチング回路の第1の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの1つの出力に伝送するように配置されている、請求項47から51のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。前記スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、請求項52に記載のチャネルセレクタ。前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を送信するために配置される、請求項53に記載のチャネルセレクタ。前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第1のスイッチング回路の両側に配置された複数のスイッチング回路を備える、請求項52から54のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。各スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、請求項47~55のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、事前に規定されたパターンに従う前記スイッチング回路の前記スイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項56に記載のチャネルセレクタ。前記チャネルセレクタは、選択された1つの出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、請求項57に記載のチャネルセレクタ。前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、1つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項47~58のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。以下は、単なる実施例としてかつ図面を参照して与えられる、本発明の様々な実施形態の説明である。荷電粒子リソグラフィシステム図1は、3つのハイレベルなサブシステム、すなわちデータパス101、リソグラフィ機械カラム102およびウエハ位置決めシステム103に分割される、マスクレスリソグラフィシステム100を示す概念図である。リソグラフィ機械カラム102は、データパスにより供給されたパターンデータに従ってウエハを露光する光ビームまたは荷電粒子ビームを生成する。ウエハ位置決めシステム103は、カラム102により生成された露光ビームによるウエハの走査を可能とするべく、カラム102の下方でウエハを移動させる。ウエハ位置決めシステム103は通常、その上にウエハが配置されるウエハテーブル108の動きを制御する制御システム107を含んでいる。一実施形態において、ウエハ位置決めシステムがSEMIM20座標系に従うy方向にウエハを移動させる一方、ビームはy方向に対して垂直またはほぼ垂直なx方向にウエハの表面全体をスイープする。ウエハ位置決めシステムには、露光ビーム下でのウエハの位置決めをデータパスによってカラムに伝達されるパターンデータと同期させるために、データパス101から同期信号が供給される。カラム102は、ウエハを露光するために、光ビームまたは荷電粒子ビームまたはリソグラフィに適している他のタイプのビームを生成する。これらのビームは、ウエハの表面全体に走査され、かつデータパスにより供給されるパターンデータに従う走査と同期するように調整される。ビームの調整は、個々のビームもしくはビームのグループのオン/オフを切り替えることによって、またはそれらの強度を調整することによって、実行することができ、結果としてパターンデータに対応したウエハ表面上の露光パターンとなる。データパス101は、オフラインの処理システム104、インライン処理システム105、およびパターンストリーミングシステム230を含むことができる。オフライン処理システム104は、通常は半導体集積回路の1つの層を作るための、ウエハ上に再生される特徴を表すパターンデータを受信する。パターンデータは、通常はベクターフォーマットで生成され、かつオフライン処理システムは、リソグラフィ機械におけるその使用に備えて、データに対し様々な前処理動作を実行する。この事前処理されたパターンデータは、次いでインライン処理システム105による記憶および更なる処理のために、リソグラフィツール109にアップロードされる。ウエハの露光が生じるときに、処理されたパターンデータは、カラム102に対するストリーミングのためにパターンストリーミングシステム106に転送される。これらの構成要素は通常、2つの別々のグループの装置、リソグラフィツールとも称されるオフライン処理システム104およびリソグラフィ機械109、として配置される。リソグラフィツールは通常、ウエハ位置決めシステム103、リソグラフィ機械カラム102、インライン処理システム105およびパターンストリーミングシステム106を含んでいる。図2Aおよび図2Bは、電子光学カラム102の1つの可能な実施形態を示す、荷電粒子リソグラフィシステム100の簡略図である。そのようなリソグラフィシステムは、例えば、米国特許第6,897,458号、第6,958,804号、第7,019,908号、第7,084,414号、第7,129,502号、および米国特許出願公開第2007/0064213号、第2009/0261267号、第2009/0212229号、および同時係属中の米国特許出願シリアル番号12/905,126号、61/055,839号、61/058,596号、61/101,682号に記載されているが、そのすべてが本出願の出願人に譲渡されたものであり、かつその全体が参照によって、本願明細書に組み込まれる。図2Aに示す実施形態では、リソグラフィシステムは、荷電粒子源110、例えば拡大電子ビーム130を生じさせる電子源を備える。拡大電子ビーム130は、開口アレイ111に衝突し、開口アレイ111はビームの一部をブロックして複数のビームレット131を生じさせる。このシステムは、多数のビームレット、好ましくは約10,000~1,000,000の範囲のビームレットを生じさせる。電子ビームレット131は、電子ビームレット131を集中させる集光レンズアレイ112を通過する。ビームレット131は、コリメータレンズシステム113によってコリメートされる。コリメートされた電子ビームレットは、XYデフレクタアレイ114、第2の開口アレイ115および第2の集光レンズアレイ116を通過する。結果として生じたビームレット132は次に、1つまたは複数のビームレットを偏向させる複数のブランカを備えたビームブランカアレイ117を通過する。ビームレットは、ミラー148を通過し、複数の開口を有するビームストップアレイ118に到達する。ビームレットブランカアレイ117およびビームストップアレイ118は互いに協動し、ビームレットをブロックするかまたはそれらを通過させることにより、ビームレットのオン/オフを切り替える。ビームレットブランカアレイ117は、ビームレットを、ビームストップアレイ118の対応する開口を通過するのではなくブロックされるように偏向させることができる。ビームレットブランカアレイ117がビームレットを偏向させない場合、ビームレットはビームストップアレイ118の対応する開口を通過する。偏向されなかったビームレットは、ビームストップアレイを通過して、ビームデフレクタアレイ119および投影レンズアレイ120を通過する。ビームデフレクタアレイ119は、偏向されなかったビームレットの方向に対して実質的に垂直な、xおよび/またはy方向への偏向を各ビームレット133にもたらして、ビームレットがウエハまたはターゲット121の表面全体をスイープするようにする。この偏向は、ビームレットのオン/オフを切り替えるべくビームレットブランカアレイにより使用される偏向とは別である。次に、ビームレット133は、投影レンズアレイ120を通過してターゲット121上に投影される。投影レンズの構成は、好ましくは約100~500倍の縮小をもたらす。ビームレット133は、ウエハ位置決めシステム103の可動ステージ上に配置されたターゲット121の表面に衝突する。リソグラフィ用途において、ターゲットは通常、荷電粒子センシティブ層またはレジスト層が与えられたウエハを備える。図2Aに示した表示は、非常に単純化されている。図2Bに示した実施形態では、単一の電子ビーム130は、レンズシステム113によってコリメートされ、次いで第1の開口アレイ114aによって、多くのより小さなサブビーム134に分割される。サブビーム134は、コンデンサアレイ116によって、焦点に集められ、次いで第2の開口アレイ114bによって、さらにより多くのビームレットに分割される。そのようなシステムは米国特許出願第12/905,126号に記載されているが、その全体は参照によって、本願明細書に組み込まれる。3つのサブビームおよび9つのビームレットだけが図に示されているが、以下に詳述するように、多数のサブビームおよびビームレットがシステムにより生成される。このシステムにおいては、各サブビームは多くのビームレットに分割されるが、それらは、全体として、パターン化されたビームと考えることができる。一実施形態において、各サブビームは、7×7の配列に配置された49個のビームレットに分割される。ビームレットブランカアレイは、好ましくは、個々のビームレットごとのオン/オフの切替を可能にするべく、ビームレットごとに関連するブランカ電極を具備する1つの穴を備える。パターン化されたビームのビームレットの配置および書込方法は、例えば米国特許出願第12/960,675号に記載されているが、その全体が参照によって、本願明細書に組み込まれる。ビームデフレクタアレイおよび投影レンズアレイは、好ましくは、各パターン化されたビームごとに穴およびレンズ1つだけ例えば1つのパターン化されたビームを構成する49個のビームレットのグループごとに、1つのホールまたはレンズを含む。一群のビームレットは、ウエハ上に単一のストライプを露光するように好ましくは配置され、かつ1つのグループ内のビームレットの調整例えばオン/オフの切り替えを制御するためのデータは、例えば単一のストライプを書き込むために、通常はグループとして結合され交互に配置され/多重化されかつ伝達される。データパスアーキテクチャデータパス101の一実施形態の簡略化されたブロック図が図3に示されており、図2Aにはデータパスの一部も現れている。ビームレットブランカアレイ117の切替は、このデータパスを介して制御される。処理ユニット140は、リソグラフィ機械により製造される装置の配置を記述する、通常はベクターファイルフォーマットで与えられる情報を受信する。オフラインの処理システム104および/またはインラインの処理システム105を含み得る処理ユニットは、この情報の一連の変換を実行して、ビームレットブランカアレイ117を制御するためのデータを生成する。このデータは、チャネル142を介してパターンストリーマ230に伝達され、次いで信号は電気-光変換装置242、例えばレーザダイオードに流出され、電気データ信号は光学的な信号に変換される。それから、光学的な制御信号は、この実施形態においては光ファイバ145、自由空間光ビーム146、マイクロレンズ147および図2aに示す構成ではミラー148を備える送信システム244を介して伝達される。光データ信号は、光ファイバ145によって導かれる。ファイバ出口の自由空間光ビーム146は、マイクロレンズ147のアレイのような光学装置を介して導かれ得る。個々の光ビームは、フォトダイオードのような複数の光-電気変換装置150上に誘導されるが、それらは好ましくはビームブランカアレイ117の表面上に位置決めされる。好ましくは、光ファイバ145ごとに、対応するフォトダイオード150がビームレットブランカアレイ上にある。フォトダイオードは、光データ信号を電気信号に変換し、個々のビームブランカ電極152を作動させて、ビームレット132を調整しまたはビームレット132の偏向を制御して個々のビームレットのオン/オフを切り替える。光ファイバ145の端部は光-電気変換装置150のごく近くに取り付けることができ、その結果、自由空間光ビーム146がかなり短くなり、マイクロレンズおよびミラーを省略できる。これは、光ファイバとビームレットブランカの機械的な分離を成し遂げるべく実行できる。あるいは、自由空間光ビームは、より長いパスを通って進むことができる。一実施形態において、自由空間光ビームは、光-電気変換装置150が位置決めされているビームブランカアレイ117の下側に光ビームが反射されるように角度が付けられている、穴のあいたミラー148上に誘導される。光ファイバの端部をそれに取り付けることもできるが、自由空間光ビームは全くないことになる。個々のビームレットブランカ電極を制御するデータ信号、および同期信号およびクロック信号のような制御信号は、好ましくは時間であるいは周波数で多重化され、その結果、各光ファイバ145および光ビーム146が、例えば1つのレーザダイオード、1つの光ファイバおよびフォトダイオードを共有する多数のビームレットを備えるチャネルのための信号を伝送する。多重化された光ビームは、フォトダイオード150に受信されて電気信号に変換される。ビームレットブランカアレイ117は、フォトダイオードによって受信された各信号を非多重化して、多数のビームレットブランカ電極152を個々に制御するための多数の信号を取り出すロジックを含んでいる。好ましい実施形態において、1つのパターン化されたビーム、例えば49個のビームレットを形成する1つのビームレットグループを制御する個々の信号は、1つの光ファイバ上での伝送のために時間で多重化され、ビームレットブランカアレイ上の1つのフォトダイオードによって受信される。多重化に加えて、ビームレットデータおよび制御信号は、伝送のためにフレーム内にも配置できると共に、例えば頻繁な信号遷移を達成する符号化手法を用いて伝送を改善するために、同期ビット、および付加的な符号化を有することができ、これによりレーザダイオードおよびフォトダイオードを直流結合で使用するのを回避する。遷移を強制することによって、クロック信号を光信号に自動的に分配することもできる。ウエハのより近くで、ビームデフレクタアレイ119を使用して、電子ビームレットをx方向にy方向のわずかな偏向も伴って偏向させ、ウエハ121の表面上で電子ビームレットの走査を達成する。上述した実施形態では、ウエハ121がウエハ位置決めシステム101によって、機械的にy方向に移動し、かつ電子ビームレットはy方向に対して実質的に垂直なx方向において、ウエハ全体をスイープする。データを書き込むときに、ビームレットはx方向において、フライバック時間に比較するとゆっくり偏向される。スイープの終わりに、ビームレットは急速に移動してx範囲のスタート位置へ戻るこれがフライバックと称される。ビームデフレクタアレイ119は、このビームレットのスイープを制御するためのタイミングおよび同期化情報をデータパス101から受信する。以下の説明における走査という用語が、通常はウエハをy方向に移動させることの結果として、ウエハ上でのビームレットのy方向の走査を指すことに注意されたい。現在のリソグラフィ業界の標準は300mmのウエハである。図4Aは、フィールド502に分割されたウエハ501を示している。矩形のフィールドは、通常、ウエハの表面上に典型的には26mm×33mmの最大寸法に画成される。各フィールドは、多数の半導体デバイスを作り出すために処理できるがすなわち、単一のフィールドを露光するためのパターンデータは多数の集積回路デバイスを製造するためのレイアウト設計を含み得る、各デバイスのレイアウトはフィールドの境界を通常は横切らない。26mm×33mmの最大寸法では通常、単一の標準ウエハ上で63個の完全なフィールドが利用可能である。より小さいフィールドが可能であり、ウエハ1枚当たりでより多い数のフィールドに結びつく。パターンデータは通常は単一のフィールドの特徴を記述し、同じパターンデータが通常はすべてのウエハのために使われ、その結果ウエハの各フィールドが同じパターンで露光される。例えば、ウエハの境界線を横切っている部分的な領域に完全なフィールドを書き込むことによって、部分的な不完全なフィールドを書き込むことも可能である。図4Bは、幅508例えば26mm、長さ510例えば33mmのフィールド502の概略図であり、このフィールドは、フィールドのy方向の長さにわたる、幅512例えば2マイクロメートルのストライプ504に分割されている。各ストライプの書込方向およびビームレットのスイープは線506で示されており、ウエハステージのy方向移動中のビームレットのx方向への偏向と、戻りスイープとにより、三角形の書込パスが生じることを示している。ビームレットは通常は一方向にスイープする間に書き込むだけであり、ビームレットを第1のx位置に戻す戻りスイープの間はオフにされることに注意されたい。ウエハは、リソグラフィ機械によって、好ましくはy方向の前方および後方の両方向すなわち、yおよび-y方向に書き込まれる露光される。ビームレット走査デフレクタによるx方向の書込方向は、通常は一方向である。図4Cは、ウエハフィールドを露光するビーム514のアレイの可能な配置を示しており、各ビームは点により表されている。以下の説明においては、これらのビームをそれぞれ多数のビームレットを備え得るサブビームと呼ぶが、この説明はビームレットのアレイにも適用できる。サブビーム514は、傾斜したアレイに配置されている。サブビームのアレイのx方向の幅509はフィールドの幅508と実質的に同じあるいはわずかに大きく、隣接するサブビームの間のx方向の距離512ピッチはフィールドの1つのストライプの幅と実質的に同じである。この構成では、各サブビームはフィールドの単一のストライプを書き込む。さらにまた、各サブビームは、多くのビームレットを備えるパターン化されたビームとすることができる。図4Dには、図4Cのビーム配置がXで示される多数の機能しないあるいは仕様外のサブビーム516と共に示されている。サブビームは、x方向の線518に投影されて示されていて、機能しないあるいは仕様外サブビームから生じた隙間520を示している線518上に投影されたときに、サブビームは、距離512のピッチに等しい隙間をそれらの間に実際に有することになる。露光の第1のパスの間にウエハがy方向に移動するにつれて、サブビームはフィールドのストライプの長さに沿って書き込む。隙間520の下に入っているストライプは書き込まれないことになる。ウエハは、機能しているサブビームが、第1のパスにおいて書き込まれなかったストライプと位置合わせされるように、x方向にわずかに位置を変えることができる。それから第2のパスを実行することができ、それにより第1のパスで外れたストライプは今度は機能しているサブビームによって書き込まれる。フィールドの寸法幅508が電子/光学EOスリットの寸法幅すなわち、ウエハ上に投影されたビームレットの完全なアレイの寸法より小さく例えば26mmの最大寸法より小さく選ばれると、より多くのフィールドをウエハ上に配置できるが、ビームレットのすべてが各フィールドに書き込むために用いられるわけではない。EOスリットはウエハをより多く走査することを必要とすることになり、全体のスループットは減少することになる。機械がフィールドにパターンを書き込んでいるときに、いくつかの時点において、ビームレットブランカアレイは次のフィールドに入ってその中にパターンを書き込み始めるので、機械は同時に2つのフィールドに書き込むことができるのが好ましい。フィールドが十分に小さい場合、機械は同時に3つのフィールドを書き込むように設計できる。リソグラフィ機械の好ましい実施形態においては、機械が露光の際にウエハ上のストライプを露光する多数のサブビームサブビームは一群のビームレットを含むパターン化されたビームであるを生成し、ストライプよりわずかに多いサブビームがある。ビームレットブランカアレイは、好ましくは各サブビームのためのフォトダイオードと各ビームレットのためのブランカ開口を含む。この実施形態において、ビームレットブランカアレイの各フォトダイオードは、対応するサブビームのビームレットを制御するブランカ素子/ビームレットデフレクタの組を制御するための多重化信号を受信する。例えば、この機械は、1つまたは複数の露光において、ウエハ上の完全なフィールドの13,000本のストライプを露光するために13,260のサブビームを生成することができ、その結果ストライプより2多いビームがある。この実施形態において、各サブビームは49個のビームレットに分割することができ、結果として649,740個すなわち13,260×49のビームレットとなる。ビームレットブランカアレイは、約26×26mmの領域内に13,260のフォトダイオードおよび649,740の開口を含む。ビームレットブランカアレイの各フォトダイオードは、1つのサブビームの49個のビームレットを調整し/偏向させる497×7のブランカ素子/ビームレットデフレクタを制御するための多重化信号を受信する。26mmの距離にわたる13,260個のサブビームは、x方向機械的な走査に対して垂直の幅が2μmでy方向にはフィールドと同じ長さのストライプに帰着する。49個のビームレットを備えるパターン化された各ビームは、ウエハ上に単一のストライプを書き込む。チャネルデータパスは、多数のチャネルに分割できる。チャネルは、処理ユニットからリソグラフィシステムへのデータパスであるまた、事前処理装置内のパターンデータファイルからリソグラフィ機械を通って露光されるターゲットに至るパスの全体にわたって概念的に延びると考えることができる。図5は、多数のチャネルを備えるシステムの実施例の概念図を示している。パターンデータファイル202は、ターゲット上に露光されるパターン部分に関連する部分202a、202b等に分割される。一実施形態において、各部分は、ウエハ上の露光されるフィールドのストライプのためのパターンデータを含んでいる。パターンデータ202は、パターンストリーマ230および伝送チャネル240を介して伝送されるが、それらは、この実施例では、パターンデータの部分を処理し、かつパターンデータの各部分のためのビームレットデータおよび制御信号の流れを伝達する、別個のパターンストリーマ230a、230b等および伝送チャネル240a、240b等を備えている。伝送チャネル204は、リソグラフィ機械のビームレットブランカアレイ117にビームレットデータおよび制御信号を伝送する。一実施形態において、ビームレットブランカアレイは、そのそれぞれが対応する処理および通信チャネルからビームレット信号を受信するためのものである信号受信素子150a、150b等を含んでおり、これらの信号受信素子は、単一のチャネルにより伝達されたパターンデータに従って一群のビームレットを調整するブランカ素子152a、152b等の対応するグループに受信信号を伝達する。ビームレットブランカアレイ117は、ターゲット121上にフィールド208を露光するために、ビームレットデータ信号に従ってビームレットを調整する。一実施形態において、ブランカ素子152a、152b等の各グループにより調整されたビームレットは、ターゲット上のフィールドの対応するストライプ208a、208b等を露光する。1つの実施形態において各通信チャネルは、パターンストリーマ、電気-光コンバータ例えばレーザダイオード、および光学ビームレットデータおよび制御信号を伝送するための光ファイバを備えると共に、自由空間内で光信号を伝送するための構成を含むこともできる。光信号は光-電気コンバータ例えばフォトダイオード150a、150b等により受信されるが、それらはビームレットブランカ素子を制御するために受信した光信号を電気信号に変換する。チャネルは、単一のビーム/多数の個々のビームレットを含むパターン化されたビーム例えば49個のビームレットが1つのパターン化された電子ビームを構成するのためにデータおよび制御信号を伝送するべく割り当てることができる。1つのパターン化されたビームは、ウエハ上に単一のストライプを書き込むために用いることができる。この構成において、チャネルは、複数のビームレット例えば49個のビームレットを備え、かつパターンデータに従って1つのストライプを書き込むためのビームレット信号を運ぶ、1つのパターン化されたビームを制御する専用のデータパスを表している。非常に多数のチャネルおよびチャネル当たりの極めて高いデータ転送速度の結果として、データパスのコストは、荷電粒子リソグラフィ機械の全体のコストの主要な要素である。非常に多数のチャネルのため、一部のデータパスチャネルが障害または適合度の損失を被り、露光の間に使用されるべきでないことがあり得る。さらにまた、リソグラフィ機械において、生成されて正確に制御されなければならないビームレットの非常に大きい数のために、一部のビームレットが障害を被りあるいは仕様外となり、露光の間に使用されるべきではないことがあり得る。チャネルの障害に対処するために、データパスはスペアのチャネルを含むべきである。またビームレットの障害に対処するために、データパスは、ウエハの全体が適切に機能しているビームレットにより露光されることを保証するべく、ビームレットにチャネルを再割当する手段を含むべきである。データパスは、好ましくは、ウエハを露光するためのパターンデータを送信するのに十分なチャネルに加えて予備のあるいは余剰のチャネルとして使用される付加的な数のチャネルを含むことによって、機能しないチャネルに冗長性を与える付加的な能力を提供する。これは、予備の伝送チャネルおよび/または予備のブランカ受信器回路例えばフォトダイオードを使用可能にして、処理システムとビームレットブランカアレイとの間の機能しないチャネルを補償し、かつ/またはビームレットブランカ回路の100未満の歩留まりを補償する。この設計はまた、任意のチャネルに切り替えることができるので、ほんの少しの余分のテスト回路により、露光が同時に行われている間のスペアチャネルのテストを可能にする。データパスは、好ましくは、機能しないまたは仕様外のビームレットに冗長性を与える機能も提供する。これは、2パスまたはマルチパス走査方法を使用して達成できる。ここでは、ウエハの第1の走査がフィールドのストライプの一部を書き込むと共に、第2の走査がストライプの残りの部分を書き込み、ウエハの各フィールドのストライプの全体を2つの走査によって、書き込む結果になる。デュアルスキャン露光手法すなわち1次走査/冗長走査は、好ましくは、1つの走査につきアクティブなチャネルをほぼ50/50に分割することにより実行される。これは、いくつかの利点を提供する。それは、デュアルスキャン露光の各走査がより少ないおよびほぼ同じ数のビームを含むので、ウエハの加熱効果を滑らかにすることになる。最大電力消費が減少し、かつ2つの走査に対して電力消費がより一様に分割されるためシステムの電力消費の変動がより少なくなる。また、必要とする処理資源、特にリソグラフィ機械への伝送に備えるべくパターンデータを処理するためのリアルタイム処理資源が少なくなる。1次のおよび2次走査の間で処理がより均一に分割されるからである。これは、コストを減らし、パターンデータ処理システムのフットプリントを減らし、高価な製造のための床面積を節約し、処理システムにより消費される電力を減らす。この設計はまた、1次および2次走査において、それらを共有することによって、データパスにおける光伝送部品の数を減らし、部品コスト、複雑さおよび維持コストを節約し、電力およびブランカアレイ上の光-電気コンバータおよび関連する回路により消費される電力および面積を減少させる。1次および2次走査におけるアクティブなチャネルの数のバランスをとると共に、これらの利点を獲得するための方法は、処理および/または伝送の資源を各走査ごとにアクティブなビームに切り替えるスイッチマトリックス例えば図6Bに示したスイッチ400および420の追加によって、実行できる。図6Aは、データパス101およびブランカアレイ117を示す単純化した概略図である。データパス101は、パターンデータ202を記憶するハードディスク記憶装置を有した処理システム140を備えるが、パターンデータ202はパターンストリーマ230に伝送されると共に、次いで電気-光E/O変換装置242に流されて光ファイバを含む伝送チャネル244上での伝送のための光信号を生成させる。光信号は、ビームレット132の調整のためにビームレットブランカ電極152に伝達される対応する電気信号を生成させる、光-電気O/E変換装置150により受信される。図6Bは、データパスの冗長な予備のチャネルを実行すると共に機能しないまたは仕様外のビームレットに冗長性を与えるスイッチマトリックス400および420を含む、同じシステムを示す簡略化された概略図である。ハードディスクからのパターンデータ202は、実行される特定の走査、例えば第1の1次走査または第2の2次または冗長的な走査のいずれかのためにパターンデータの一部を選択する、第1の1次/2次ビームセレクタ210を最初に通過する。第1の1次の/2次のビームセレクタ210により選択されたパターンデータは、メモリ212にロードされ、次いで、パターンデータを伝送するためにどのチャネルを使用するかを選択する、第1のチャネルセレクタ220を通過する。パターンデータは、選択されたチャネルを通って、光ファイバ244上での伝送のための光信号を生成するE/O装置242に伝送される。光信号は、第2のチャネルセレクタ320および第2の1次/2次ビームセレクタ330を通過する対応する電気データ/制御信号を生成するO/E装置150により受信され、ビームレットを調整するためのビームレットブランカ素子152に伝送される。2つのチャネルセレクタ220および320は、互いと連動して動作し、特定の走査のためのパターンデータの伝送のためにどのチャネルを使用するかを選択する。これらのセレクタは、機能しないチャネルの代わりのスペアチャネルを選択するべく作動して、チャネルの冗長スキームを実行する。2つの1次/2次ビームセレクタ210および330は、互いに連動して作動し、選択されたビームレットブランカ素子に伝送されるべきパターンデータ202の一部を選択する。これは、各走査に使用されるビームと、それらのビームにより露光されるウエハ上のストライプのためのパターンデータとの適合を可能にする。ビームのビームレットを調整しあるいは切り替えるブランカ素子は、そのビームにより露光されるウエハ上のストライプに対応して、それらに伝達される正しいパターンデータを有しなければならない。パターンデータとビームのこの適合は、マルチパス走査を可能にすると共に、ビームレットの障害に対処する冗長機構をもたらす。第1の1次/2次ビームセレクタ210および第1のチャネルセレクタ220が第1のスイッチマトリックス420を形成し、かつ第2のチャネルセレクタ320および第2の1次/2次ビームセレクタ330が、第2のスイッチマトリックス400を形成する。最大数の利点を得るために、スイッチマトリックス420はパターンストリーマ230の処理資源の前側で、かつスイッチマトリックス400はブランカアレイ117の光伝送受信器150の後側で、最も良く実施できる。スイッチマトリックス400のブランカアレイ側での実施は、パターンストリーマ230および光ファイバ244で必要とされる資源の減少に結びつく。スイッチマトリックス400は、好ましくはビームレットを偏向させるビームレットブランカ素子152に近接するように、ブランカアレイ117上に位置決めされる。図7は、第1のビームセレクタ210、第1のチャネルセレクタ220、パターンストリーマ230、伝送システム240、信号受信器150、第2のチャネルセレクタ320、第2のビームセレクタ330およびビームレットブランカ素子152を備えた、冗長パスを有するデータパス構成のブロック図である。パターンデータ202は通常、オフラインシステム104のデータファイル内のディスク上にあるが、他のメディアおよび/またはリアルタイムシステムまたはリソグラフィツールの一部に記憶することもできる。パターンデータファイルは、多数の電子ビームを制御する多数のチャネルのためのパターンデータを備える。データパスの冗長性図7に示した実施形態は、冗長性をもたらす付加的な機能をデータパスに含んでいる。チャネルセレクタ220および320は、パターンストリーマ230、伝送システム240および信号受信器150によって与えられる選択されたチャネルに接続することによって、この冗長性をもたらす。パターンストリーマ230、伝送システム240および信号受信器150は、好ましくは、ウエハの各走査のためのまたはウエハのマルチパス走査の各パスのためのパターンデータを伝送するために十分なチャネルにプラスして、予備のあるいは冗長なチャネルとして利用可能な付加的な数のチャネルを提供する。パターンストリーマ230は、そのそれぞれが1つのチャネルのパターンデータの一部を処理してストリーム化されたビームデータ/制御信号を生成する、複数のパターンストリーマ230a、230b等を備えている。パターンストリーマの一実施形態は、図9に示すと共に以下により詳細に説明する。伝送システム240は、データパスの1つのチャネルのためのビームデータ/制御信号を伝送する複数の伝送素子240a、240b等を備えている。伝送素子は、パターンストリーマからリソグラフィ機械のブランカへとビーム信号を伝送するための部品を備えている。この伝送素子は、電子信号の伝送、あるいは電気から光への信号の変換および光信号の伝送を提供する。1つの構成において、伝送素子は、例えば図3に関連して上述したような、電気-光変換装置および光ファイバを備える。信号受信器150は、複数のレシーバ150a、105b等を備える。1つの構成において、受信器は、例えば図3に関連して上述したような、光信号を受信すると共に電気信号へとそれを変換する光-電気変換装置を備える。信号受信器は、個々のビームレットを調整しまたは切り替えるべくビームデータ/制御信号を個々のビームブランカ電極へ便利に転送できるように、好ましくはブランカ上に位置決めされる。個々のパターンストリーマ230a、伝送素子240aおよび信号受信器150aは、単一のビームまたはパターン化されたビームについてデータ/制御信号を処理して伝送するべくデータパスの単一のチャネルを形成するために、図7に示したように配置できる。チャネル部品の1つまたは複数に障害が生じた場合、チャネルセレクタ220および320は、代わりのチャネルを選択することによって、機能しないチャネルの使用を回避するために使用できる。主にブランカチップのチャネル歩留まりが100でないことによって、機能しない伝送チャネルの一定数を処理するためには、余分のチャネルが必要である。例えば、2つの走査において、13,260個のパターン化されたビームを使用してウエハ上に13,000個のストライプを露光し、1つのパターン化されたビームにより露光された各ストライプが1つのチャネルからデータ/制御信号を受信するように設計された実施形態においては、データパスに必要なチャネル数は、完全な露光のための13,260個のアクティブなチャネルのうちのほぼ半分に一定数のスペアチャネルを加えることで算出できる。例えば、これは13,260個のうちの7/13、すなわち7140個のアクティブなチャネルと、ほぼ9のスペアチャネルすなわち、7140個の9を備え、ほぼ7800個のチャネルに等しくなる。1次/2次ビームセレクタ210および330の使用は、上記の実施例において、13,260個からほぼ7800個への、全体チャネル数の減少を可能にする。チャネルセレクタ220および320は、フォトダイオードを含むチャネル部品の最初の低い歩留まりを許容すると共に製造または動作の間に仕様外となるチャネルを可能にするチャネルプール内での選択を可能とし、より厳しくない製造要件およびデータパスのより低いMTBR平均故障間隔に結びつく。スイッチマトリックスはまた、共有される伝送ビットエラーチェッカによるチャネル機能のオンライン監視を可能にする。スイッチマトリックスは、回路のためのシリコン面積および電力消費のわずかな増加に結びつくが、関係する回路はほぼ変化しないので、電力消費の増加は小さい。追加の制御回路も、スイッチマトリックスに必要とされる。98以上のシステムの歩留まりすなわち、全チャネルの作動、96のチャネル歩留まりすなわち、不完全なチャネルが最大4および357個の光チャネルのグループクラスタサイズにとって、クラスタ当たりで光チャネルの余分が33個で、クラスタが357個のアクティブなチャネルを有する合計390個のチャネルを備えている一実施形態においては、9.2の余分のチャネルが必要であることが算出される。一実施形態において、357個のチャネルは、それぞれが7個のチャネルである51個のユニットに分割され、7個のチャネルのそれぞれは、EOスリットマトリックスにおける13個の連続したサブビームの列のうち7個のサブビームを制御する。マルチパス走査図7に示される実施形態はまた、マルチパス走査方法をもたらす。そこにおいて、ウエハの第1の走査がフィールドストライプの一部を書き込むと共に、第2の走査がストライプの残りの部分を書き込み、結果としてウエハの各フィールドのストライプのすべてを書き込むことになる。この原理は3つの走査あるいは4つの走査、その他に拡張することもできるが、より大きな数の走査がウエハを露光するための全体の時間を増加させると共に、ウエハのスループットを減少させる。したがって、2パス走査デュアルスキャンとも呼ばれるの手法が好まれる。マルチパス走査は、スループットを必然的に減少させるが、適切に機能しているビームだけが露光のために使用されることを確実にするために実行され、その結果、露光されなければならないウエハのストライプまたは領域が露光されないままとなりあるいは不適切に露光されることがないようになる。フィールド中のたった1つの失敗した/露光されていないストライプが通常はウエハのそのフィールドを役立たないものにするので、2パス走査が好まれる。機能しない、きちんと並んでいないあるいはそれ以外の仕様外のビームレット一般的に機能しないビームレットと称されるを補償するために、マルチパス走査を用いることができる。リソグラフィ機械が非常に多数のビームレットを生成して調整する場合、機能しないビームレットによって占められている書き込み位置に機能しているビームレットを再割当するために、個々のビームレットのパスまたはビームレットのグループを操作するべく機械内に付加的なシステムを含める必要性を回避することが、非常に好ましい。マルチパス走査方法は、第2のまたはその後の走査の間にウエハを異なる位置に動かすことでビームレットを再割当し、これを回避する。ビームレットの障害率は通常低いので、このためには2パス走査は都合がよい。システムの保守の間隔を可能な限り延長するために、機能していないビームレットを特定する検査を周期的に実行できる。この検査は、各ウエハ走査の前に、ウエハの第1の走査のそれぞれの前に、またはいくつかの他の都合のいい時点に、実行できる。この検査は、例えば同時係属中の米国特許出願第61/122,591号に説明されているものを含め、1つまたは複数のビーム測定を含むことができる。なお、上記出願の全体が参照によって、本願明細書に組み込まれる。機能しないビームレットが検出されると、悪影響下にあるそのビームレットは、スイッチオフすることができ、それによりそのビームレットにより露光されていたであろう領域ストライプは書き込まれない。次いで、第1の走査の間に省略されたウエハのストライプを書き込むために、第2の走査が用いられる。例えば上述したように、複数のビームレットを備えるパターン化されたビームについてデータ/制御信号を伝送するために1本のチャネルを使用するパターン化されたビームレットシステムにおいて、機能しないビームレットを含む完全なチャネルは好ましくはスイッチオフされ、そのチャネルのビームレットにより露光されていたであろうウエハフィールドの完全なストライプは書き込まれない。ウエハ全体に第1の走査を実行した後に、失敗したストライプおよび機能しないビームレットによって失敗した他のチャネルの他の任意のストライプを埋めるために、そのビームレットの全部が仕様内で作動している機能しているチャネルを使用して、次いで2回目の走査を実行できる。第2の走査のためにウエハを第1の走査の後に初期位置に戻すことができるが、適切に機能しているチャネルを失敗したストライプの書き込みに利用できることを確実にする位置へとウエハを移動させることもできる。デュアルスキャン露光の第2の冗長性走査のために、パターンデータは、第1の走査が完了した後に第2の走査をできるだけ早く始めることができるように、第1の走査の間にリソグラフィシステム内に好ましくは準備されるすなわちブランカへの伝送に適したフォーマットにパターンデータを変換するべく処理される。第1の走査の終了と第2の走査の開始の間に大きな遅れがないのが好ましく、それにより第2の走査のためのデータは好ましくは迅速に適切なノード上で利用可能となる。リソグラフィ機械は、好ましくは、連続したインラインフィールドを1つの走査で書き込むことができると共に、機械的な走査と並列なy方向における両方向、すなわちy方向および-y方向に書き込むことができる。この機械はまた、通常はカラムの縁部に位置決めされる、予備のビームまたは複数のビームレットを備える予備のパターン化されたビームを好ましくは含むが、これはデュアルスキャン方法を実施するのにかならずしも必要ではない。適切に機能しているチャネルによって第2の走査の間に失敗したストライプを書き込むために、ウエハは、失敗したストライプ位置を書き込むために適切に機能しているビームレットを有するチャネルが配置されるまで、ストライプの数に対応する量で、リソグラフィ機械のカラムに関してx方向または-x方向に移動オフセットさせることができる。これは、好ましくはステージの上のウエハの機械的なオフセットにより、少なくとも部分的に達成される。あらゆる種類のエラー位置例えば最初および最後のチャネルの両方の障害によりよく対処するために、第1および第2の両方の走査のためのウエハのオフセットが望ましい場合がある。図4Cは、ウエハフィールドを露光するためのサブビーム514の構成の1つの可能性を示し、かつ図4Dは機能しないサブビーム516の効果を図示している。x方向の線518に投影されるサブビームは、機能しないサブビームに対応する隙間520を有している。ウエハが第1の走査の間にy方向に移動するとき、隙間520の下に入るストライプは書き込まれないことになる。ウエハは、機能しているサブビームが、第1のパスにおいて書き込まれなかったストライプに位置合わせされるように、x方向にわずかに移動させることができる。それから、第1のパスにおいて失敗したストライプが今度は機能しているサブビームによって、書き込まれるように、第2のパスを実行できる。図4Eは、Xで示される機能しないサブビームを有する第1の走査のためのサブビームのアレイ522と、第2の走査のために2つ位置を移動させた同じアレイ524を示している。アレイ524の機能しないサブビームに対応するアレイ522のサブビームは1で示されており、かつこれらの位置のサブビームは、第1の走査の間に書き込まれなければならないアレイ524のサブビームのいずれもがこれらの位置に書き込むことができないからである。同様に、アレイ522の機能しないサブビームに対応するアレイ524のサブビームは2で示されており、かつこれらの位置のサブビームは第2の走査の間に書き込まれなければならない。他のサブビーム位置点により示されるは、第1の走査のアレイ522または第2の走査のアレイ524によって、書き込まれることができる。上で議論したように、データパスのサイズを減らすために、各走査に対するアクティブなサブビームの割当は、サブビーム位置のほぼ半分が各走査の間に書き込まれるようになすことができる。サブビームアレイ524は、図4Eにおいては移動したように図示されているが、実際にはウエハを移動させることが通常である。このシフトにより、x方向において、ライン518上に投影されたサブビームは、隙間を有していないが、これは、機能しないサブビームに対応するすべての位置が、機能しているサブビームによって、一方の走査の間に書き込まれるからである。線518上には、いずれかの走査の間に書き込むことができる中央重なり領域526と、一方の走査の間にだけ書き込むことができるいずれかの端部に延長部分がある。機能しているサブビームが1つの走査の間にそれぞれ定位置に書き込むべく常に利用できる確率を増加させるために、重なり領域526はフィールドの幅508より大きい。サブビームアレイの幅の両端の延長部分のサイズ、すなわちスリット幅は、見逃すストライプがないように、2つの走査の好ましい最大値を超えるフィールドの幅にわたるあらゆる位置を書き込むために、機能しているサブビームを見つける確率と直接的な関係がある。延長部分が大きくなるほど、予想される最大のビーム障害率において、線を見逃すことなくフィールドへ書き込みすることを可能にする、機能しているサブビームの書き込み位置との一致をうまく見つける確率はより高くなる。サブビームの障害の量がより大きくなるほど、そのような一致を見いだすことが全く不可能になる時点までの妥当な時間内に良好な一致を見つける可能性はより小さくなる。機能しているチャネルによって、すべてのストライプが書き込まれる結果となるために、第1および第2の走査のために使用されるチャネルおよび各走査に必要とされるウエハオフセットを計算するべく、様々なアルゴリズムを使用できる。2パス走査においては、アルゴリズムは、機能しないチャネルを使用しない各走査の間に、チャネルのほぼ50/50の分割を探す。様々なチャネル割当およびウエハオフセットをテストして適切な組合せを見つけるために、ブルートフォース手法、またはより洗練された適合ビームセレクタアルゴリズムを使用できる。2パス走査を使用するリソグラフィシステムのために、サブビーム/ビームレット数を減少させることもできる。原則として、要件は、フィールドの幅全体にわたるあらゆる書込位置に、2つのパスのうちの少なくとも1つにおいて、機能しているビームを与えることである例えば、フィールドの26mm幅わたる2ミクロンピッチの13,000個のサブビーム。これは、図4Dに示されており、そこでは、露光走査の1つにおいて、その幅全体にわたるフィールドを2つの走査で正しく露光するために、線518に沿ったあらゆる位置が、機能しているサブビームを必要とする。理論的には、フィールドの幅全体にわたる書込位置の数より少ないビーム例えば、13,000未満のサブビームを有するリソグラフィ機械によって、これを達成できる。しかしながら、実際にこれを達成するために、好ましい実施形態は、フィールド全体の書込位置よりわずかに多いサブビームを含む。これは、フィールドの幅全体にわたる各書込位置において、少なくとも1つの交互に並ぶサブビームに結びつく。この構成では、サブビームアレイの幅509は、両端に小さい延長部分を伴って、フィールド幅508よりわずかに大きくなることになり、それにより、第2のパスのためのウエハのシフトは、依然として中心重なり部分526が露光されるべきフィールドの全幅508をカバーする結果をもたらす。この設計における強調点は、システムにおける許容または予想されるビーム障害のある特定の数、例えば予想される最大障害率2が与えられたときに、フィールドが正しく書き込まれる、すなわち適切に機能しているサブビーム/ビームレットでフィールド内のすべてのストライプを書き込むことによって書き込まれる確率を高めることにある。フィールドを2パスで露光することは、リソグラフィ機械のスループットを減らすので、可能な場合は回避しなければならない。1つの実施形態において、ストライプよりサブビームが2多い場合、例えば、13,000個のストライプを露光するためのサブビームが13,260個の場合、第1および第2走査に利用可能な13,000個の連続したサブビームのグループの間では、サブビームとストライプの一致は最大で260個のストライプの分だけ移動させることができる。13,000個の連続するサブビームのこれらの2つのグループから、ストライプを書き込むために実際に選択されるサブビームが後で選択される。すべての可能なマッチを評価するために、一致アルゴリズムは、260×260=67,600個の可能な組合せを評価して、2つのパスで13,000個のストライプを書き込むためのサブビームの2つの適切なグループを見いだす。第1および第2のパスで選択されたサブビームのグループは交換可能であるので、これは組合せの数を概ね半分、33,930個まで減少させる。さらにまた、計算は並列化できるが、これは第1および第2のパスにおけるサブビームのグループの各組合せの適合性のテストは、独立に行うことができるからである。一実施形態において、セレクタアルゴリズムは、13,000個のサブビームの2つのグループのすべての可能な組合せをループ化するように書き込まれる。毎回、各パスにおいて、どのサブビームがどのストライプを書き込むことができるかを決定するために関数がコールされる。この関数では、各ストライプ1~13,000について、第1のパスおよび第2のパスにおいて、サブビームがどのストライプを書き込むことができるかが決定される。ストライプが、第1あるいは第2のパスのいずれかにおいて、1つのサブビームのみによって、書き込むことができる場合、そのサブビームは関連したパスにおいて、ストライプを書き込むように割り当てられる。ストライプを書き込むためのサブビームが見つからない場合、関数は抜け出して、13,000個のサブビームの2つのグループの新しい組合せが評価される。2つの異なるサブビームがストライプを書き込むことができる場合、どのサブビームもまだそれを書き込むようには割り当てられない。次のステップでは、どのサブビームがどのパスにおいて、どのストライプを書き込むか、実際の割当が実行される。この関数は、すべてのストライプについて、それが第1のパスで書き込まれるのかそれとも第2のパスで書き込まれるのか、およびどのサブビームによって書き込まれるのかを決定する。この関数は、連続するストライプをサブビーム番号に割り当てる際に、第1および第2のパスの間で交互に入れ替えることができる。両方の関数において、EOスリットのビーム領域の13個のサブビームの各列においてストライプを書き込むサブビームの数の記録が、第1および第2のパスについて維持されることに注意されたい。EOスリットの13個のサブビームの列の中から7つ未満のサブビームが1つのパスのために選択されることを確実にするために、EOスリットの13個のビームの各列はグループ番号に割り当てられる。機能しないビームレットを補償する機能の他に、マルチパス走査はまた、ウエハのための全体の露光電流が2つのまたはそれより多い走査の間で分割され、ウエハの瞬間的な加熱を減少させて複数の走査にわたってウエハ上の熱負荷を平滑化するという利点を有している。複数の走査を使用することは、データパスにおいて、必要とされる容量を減少させる。ウエハごとに2つの走査を使用するときに、データパスのデータ伝送容量は理論的に半分になるが、これは各走査が、ビームレット制御データの量の半分だけ必要とするからである。必要とされる容量のこの減少は重要であるが、これは必要とされる莫大なデータ伝送容量およびそれに関連するデータパスの高いコストのためである。例えば、パターン化されたビーム当たりのビームレットが49個で1つのチャネルを備えるリソグラフィ機械においては、1チャネルにつき約4ギガビット/秒の伝送容量が予想され得る。それぞれが49個のビームレットを有する13,260個のパターン化されたビームを有するリソグラフィ機械は、各々4ギガビット/秒の容量の13,260個のチャネルを必要とする。このように、データパスに必要とされる容量を減少させることは重要である。これらの理由により、機能しないあるいはきちんと並んでいないビームレットが存在しない場合でも、マルチパス走査は有利である。ビームセレクタ210および330は、データパスにおけるマルチパス走査方法を実施するために用いることができる。第1のビームセレクタ210は、ウエハの各走査の間におけるデータパスを経由したリソグラフィ機械への伝送のために、パターンデータファイルの一部を選択する。また第2のビームセレクタ330は、適切なビームレットを調整するために、伝送されるビームデータ/制御信号の、走査の間に使用するべく選択されたパターン化ビームに対応するビームレットブランカ素子へのルートを決める。例えば、ウエハを2パス走査する場合、ウエハ上の露光フィールドの第1部分に対応するパターンデータの第1部分が、第1の走査の間における伝送のために選択され、ウエハ上の露光されない残りのフィールドに対応するパターンデータの残りの部分が、第2の走査の間における伝送のために選択される。第1の走査について、ビームセレクタ210は、リソグラフィ機械への伝送のために、パターンデータの第1部分の、パターンストリーマ230へのルートを決める。スペアチャネルセレクタ320は、信号受信器150から、第1の走査のために選択されたパターン化ビームに属する関連するビームレットブランカ素子への、ビームデータ/制御信号のルートを決める。第2の走査について、ビームセレクタ210およびパターンストリーマ230は、第2の走査のために選択されたパターン化ビームに属する関連するビームレットブランカ素子への伝送のために、パターンデータの残りの部分のルートを同じように決める。2パス走査においては、データパスの必要な容量例えばチャネル数を最小化するために、パターンデータのほぼ半分が各パスの間に伝送されることが好ましい。3パスまたは他のマルチパス走査方法は、好ましくはパターンデータのほぼ等しい部分が各走査の間に伝送される、相当する方法で実施できる。ビームセレクタ210およびスペアチャネルセレクタ320は、ハードウェア、ソフトウェアまたはハードウェアおよびソフトウェアの組合せとして実施できる。ビームセレクタ210は、パターンデータファイル202の選択された場所にアドレスする、例えばウエハ上のフィールドの選択されたストライプを露光するパターンデータを含むパターンデータファイルの一部202a、202b等にアドレスするシステムを備えることができる。スペアチャネルセレクタ320およびビームセレクタ330は、以下に詳述される。したがって、図7の構成は、リソグラフィシステムにおける冗長性を達成する2つの方法をもたらす。チャネルとチャネルセレクタ220および320の組合せが、ビームデータ/制御信号のリソグラフィ機械への伝送における冗長性をもたらす。図7の実施形態において、データパスは、ビーム信号の生成にも冗長性をもたらすために、冗長パターンストリーマ230を含む。ビームセレクタ210、および330はまた、機能しないビームレットに冗長性を与えるマルチパス走査をもたらす。リソグラフィシステムの一実施形態においては、それぞれ49個のビームレットから成る13,260個のパターン化ビームがウエハ上に13,000個のストライプを書き込むために使用され、かつパターンデータは649,740個の個々のビームレットを制御するデータの13,260個のチャネルをもたらす。パターンデータは、オフラインシステム104のデータファイル202内に与えられる。一実施形態において、データパスは、パターンストリーマ230、伝送システム240および信号受信器150における7800チャネルのための伝送容量を含む。7800個のチャネルは概念的に20個のクラスタに配置され、357個のチャネルを含む各クラスタは、それぞれ7チャネルおよび追加の33チャネルの51ユニットに分割される。13チャネルのためのパターンデータ例えばウエハ上の露光される13個のストライプに対応するパターンデータは、リソグラフィ機械のウエハ上の13のストライプを書き込むための13個のパターン化ビームに対応する。ビームセレクタ210は、13チャネルのためのパターンデータからの7チャネルのためのパターンデータの選択をもたらし、ビームセレクタ330は、送信されたパターンデータに対応するリソグラフィ機械の13ビームのうちの7つについて、ブランカ素子への7つの伝送チャネルの切替をもたらす。ウエハの2パス走査における第1の走査において、パターンデータの7140チャネル、すなわちパターンデータを表す全体チャネル数の約54が伝送される。チャネルセレクタ220および320は相補的に作動して、20クラスタのそれぞれにおける各クラスタにおいて、利用可能な390チャネルのうちの357を選択し、したがって利用可能な全体で7800チャネルの中から7140のチャネルを選択する。20クラスタのそれぞれについて、クラスタの51ユニットにおける選択された作動チャネルのいずれかが機能しない場合、クラスタの33の選択されない付加的なチャネルのうちの1つが代わりに使用される。それに代えて、ユニットの1つまたは複数のチャネルが機能しない場合、すべてのユニットの選択が取り消され、クラスタの33のスペアチャネルからの7つのチャネルが代わりに使用される。機能しないチャネルを置き換えるスペアチャネルを選択するために、多くの他の代わりの方法を使用することもできる。ウエハの第2の走査において、パターンデータの残りの6120チャネルが伝送される。チャネルセレクタ220および320は相補的に作動して、20のクラスタのそれぞれにおける各クラスタにおいて、利用可能な390チャネルのうちの306を選択し、したがって利用可能な全体で7800のチャネルから6120のチャネルを選択する。20のクラスタのそれぞれについて、チャネルのいずれかが機能しない場合、選択されない付加的なチャネルのうちの1つが上述したように代わりに使用される。以下の表1は、この実施形態におけるチャネルの使用を要約している。もちろん、他の多くのチャネルへのパターンデータの配置、グループへのチャネルの割当、スペアチャネルの分配、各走査へのチャネルの割当が、本願明細書に記載された原則を使用することにより予期できる。図8Aは、冗長なパスを有したデータパス構成におけるスイッチ400の概略図である。この実施例では、データパスのチャネルはクラスタに配置される。スイッチ400は、歩留まりがXのクラスタのNチャネル402を受信する。チャネル402のうち、機能しないチャネルが一定の割合である。スイッチは、Nチャネルのうち機能しているチャネルを、歩留まり100の出力側のMチャネル404に接続する。図8Bは、例えば7つのチャネルを含む各ユニット407に分割されたクラスタのNチャネル402を示している。スイッチ400は、選択されたアクティブなチャネル402のユニット、および機能しないチャネル402を置き換えるために必要であれば1つまたは複数の付加的なチャネル403を、例えば13のパターン化されたビームを制御するために13のチャネルを含んでいるブランカアレイの各ユニットのうち対応するユニットに入力するために、出力408に切り替える。スイッチ400からの各出力408は、パターン化されたビームの個々のビームレットを調整するブランカ素子のマトリックスを備えた偏向器マトリックス410に送られる。図9は、パターンストリーマ230および関連する構成部品の簡略回路図を示している。データパスは、典型的にGDS-IIまたは類似のデータファイルの形のパターンデータを、リソグラフィ機械の電子ビームレットを制御するオン/オフ信号に変換する。この変換は、典型的にオフライン処理でありパターンデータ上の一連の変換を実行する中央記憶装置である処理システム140において、実行できる。このプロセスは、平坦化/前処理、ラスタ化、および多重化のステップを典型的に含む。典型的なステップの説明は以下の通りである。平坦化/前処理ステップは、レイアウトデータフォーマットを用量マップdosemapに変換する。この用量マップは、ウエハ上の領域をベクトルフォーマットおよび関連する用量率値で記載する。このステップは、近接効果の補正およびレジスト加熱の補正のような、いくつかの前処理を含むことができる。この前処理の複雑さのため、このステップは、好ましくはオフラインで実行される。ラスタ化ステップは、用量マップを制御オンオフ信号の流れに変える。多重化ステップは、多重化スキームに従ってビームレットデータおよび制御信号をパッケージする。各パターンストリーマノード230a、230b等は、典型的に、ネットワーク装置232、磁気ディスク装置233、ノードプロセッサユニット234、メモリ235、および複数のチャネル処理ユニット237a、237b等を備える。各パターンストリーマノードについて、ネットワーク装置232は、ノードをチャネルセレクタ220に接続して、リソグラフィ機械のブランカへのストリーミングのためにオフラインシステム104からパターンデータを受け取るように機能する。ネットワーク装置232は、リソグラフィ機械のブランカに対するストリーミングのためにパターンデータをビームデータおよび制御信号を変換するべく、ノードプロセッサユニット234にパターンデータを伝達する。ディスク記憶ユニット233は、変換プロセスの間におけるパターンデータの記憶を提供する。ノードプロセッサユニットにより生成されたビーム信号は一時的にメモリ235に記憶され、かつその信号はチャネル処理ユニット237a、237b等によって、そこから流れ出す。この実施形態において、パターンストリーマノードは、いくつかのチャネルをサポートすると共に、各チャネルのためにチャネル処理ユニット237a、237b等を含んでいる。この実施形態において、電気-光変換素子242a、242b等は、チャネル処理ユニットから流れ出たビームデータ/制御信号を受け取ると共に、光ファイバケーブル244a、244b等を介する伝送のためにこれらの電気信号を光信号に変換する。パターンストリーマノードは、12のチャネルを提供して、1パッケージに12個の別々のコンバータを有する市販の電気-光コンバータに適合するように便利に設計できる。データパスがクラスタに配置される上述した実施形態において、各パターンストリーマノードは、クラスタの12ユニットのそれぞれのチャネルにデータを流れ出させるように配置できる。図10は、信号を受信し、切り替えおよび非多重化するデータパスのための回路の一実施形態の簡略図を示している。これらの素子は、光ビームデータ/制御信号を受信するための受信器、および信号を引き続いて処理すると共に個々のビームレットブランカ素子を制御するための回路が、すべて緊密に接近するように、好ましくはブランカアレイ上に組み立てられる。これは、シリコン基板上に形成されたブランカアレイ開口、ブランカ電極、光-電気コンバータ、スイッチ、および従来のリソグラフィおよび半導体処理技術を使用して基板上に形成された関連する回路を有した実施形態において、達成される。信号受信器150は、光ビームデータ/制御信号を受信すると共に信号を電気信号に変換するための光-電気変換装置例えばフォトダイオードを備える。上述した実施形態において、データパスはクラスタに配置され、各クラスタは、図10に示したように明確にするためにより少ないチャネルが示されているが、それぞれ7つのチャネルの51個のユニットに分割された390チャネルと追加の33チャネルを備えている。各信号受信器150は、後で詳しく述べるように、各サブビームのためにシリアルデータ/制御信号を表すように調整された例えば、単一のサブビームの49個のビームレットを制御する信号を含む光信号を受信すると共に、信号が読み込まれるべきタイミングを示す基準クロック313を受信する。直並列変換器314は、信号受信器150から各シリアル出力信号を受信すると共に、それを8ビット符号化信号に変換する。8ビット/7ビットデコーダは、各8ビット符号化信号を受信すると共に、7つのビームレットを制御するデータを含む7ビットデータ信号にそれをデコードする。制御信号のための追加ビット、例えば、ビームレット偏向器および関連する回路の同期動作のための同期およびクロック信号が存在してもよい。第2のチャネルセレクタ320は、390個の入力および357個の出力を有していて、クラスタ内の全390チャネルのためのビームデータおよび制御信号を受信する。スイッチ制御ユニット315の制御下で、チャネルセレクタ320は、390個の入力のうち357個をその357個の出力に接続すし各入出力は、一組のビームレットを制御する制御信号のためのデータビットを備える一組の並列信号を備えている、その結果、いかなる不完全なチャネルも使用されず、出力に接続された357チャネルの100が機能しているチャネルとなる。第1のチャネルセレクタ220もまた同様に作動し、357個の入力および390個の出力を有していて、入力は390個のうちの使用可能な357チャネルに接続される。第1および第2のチャネルセレクタは、各クラスタのチャネルの100が機能しているチャネルとなるように、1つのクラスタについて357の機能しているチャネルを選択するべく協調する。第1および第2のチャネルセレクタの一実施形態において、各クラスタの357個のアクティブなチャネルは、閉じた蛇行するループserpentineloopによって、互いに論理的にリンクされる。クラスタの357のアクティブなチャネルの各々は、チャネルセレクタ320の出力に接続されている。追加のチャネルは、通常は蛇行するループ上に分配されている。これは、1つのクラスタの全体で390個のチャネルを11チャネルの6つのグループと12チャネルの27グループとに分割すると共に、各グループが付加的なチャネルのうち1つを有することによって、達成できる。これらの付加的なチャネルは、それらが第1のチャネルセレクタ220の入力および第2のチャネルセレクタ320の出力に直接接続されていない点を除き、標準的なアクティブチャネルと同じである。これらの付加的なチャネルは、シフトのみによって、入出力に接続できる。各入出力は、標準的なアクティブチャネルに接続されているが、異なる標準的なアクティブチャネルにまたは付加的なチャネルの1つに接続されるように、蛇行するループに沿った各方向左または右において、多くの場所に移動できる。最大のシフトは、蛇行するループに沿った2、3、4またはより多くの場所とすることができる。チャネル歩留まりが少なくとも96であると仮定すると、いずれの方向の4つの最大移動を使用して、少なくとも98のシステム歩留まりを達成できると計算される。これは、9つの伝送チャネルごとのうちの1つすなわち、1つのアクティブチャネルまたは蛇行するループに沿った左側の4つのチャネルのうちの1つ、または蛇行するループに沿った右側の4つのチャネルのうちの1つを、第1のチャネルセレクタ220の1つの入力におよび第2のチャネルセレクタ320の1つの出力に接続する、多重化またはスイッチング回路によって、実施できる。図12~図14は、この切替方式を実施する1つの可能な実施形態を示している。図12は、入力iを出力oに接続すると共に、必要であれば入力を隣接する出力にシフトさせる、スイッチング回路322を示している。このスイッチング回路322は、2つの直列回路に接続されたa~jのラベルが付けられている10個のトリステートバッファ324を備えている。各バッファは、その入力において、信号を通過させまたは遮断するために配置されている。各直列回路は、直列に接続された5つのバッファを備えており、各直列回路の最後のバッファは、その出力をスイッチング回路322の出力oに送信するように配置されている。各直列回路の残りのバッファのそれぞれは、直列回路の次のバッファの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を前方に送るように配置されている。各バッファa~jは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するように制御可能である。バッファ制御信号は、この制御を可能にするために生成されて各バッファに伝送される。図12に示した実施形態は5つのバッファの2つの直列接続を備えているが、異なる数のバッファを各直列回路に含め得ることおよび/またはより多くの直列回路を含め得ることは明らかである。スイッチング回路322のバッファの数を増加させることは、入力信号をより大きな数の使用可能な出力にシフトさせることができるようにする。スイッチング回路は、単一の信号を入力から出力に転送するまたは多重化信号例えば、データ、同期、クロック信号等を含む時間多重化信号を転送するように構成できる。スイッチング回路は、一組の並列信号を入力から出力へと転送するように構成できるが、図12の図の各入力が一組の並列入力を表し、各線が一組の並列線を表し、各バッファが一組のバッファを表し、1つの線ごとに1つのバッファがあり、各出力は一組の並列出力を表している。この構成において、スイッチング回路は、一組の並列入力信号を、並列出力信号の選択された組、例えば7つのデータ信号、同期信号およびクロック信号に転送する。図13は、はしご配置に構成された多くの直列回路322を備え、各スイッチング回路322がはしごの1つのラングを形成している、チャネルセレクタ回路326を示している。各ラングの入力n-4、n-3、n-2等とラベルが付けられたがチャネルセレクタの入力を形成し、各ラングの出力同じくn-4、n-3、n-2等にラベルが付けられたがチャネルセレクタの出力を形成している。チャネルセレクタ回路326が第1のチャネルセレクタ220のために使用されるときには、チャネルセレクタ220が入力より多くの出力を有するように、ラング入力のすべてがチャネルセレクタの入力に接続されるわけではない。チャネルセレクタ回路326が第1のチャネルセレクタ320のために使用されるときには、チャネルセレクタ320が出力より多くの入力を有するように、ラング出力のすべてがチャネルセレクタの出力に接続されるわけではない。各ラングの各直列回路の各バッファは、各直列回路の最後のバッファを除いて、その出力が隣接するラングの直列回路のバッファの入力に接続されていて、連続するバッファ出力が隣接するラングの直列回路の別の回路のバッファ入力に接続されるように、その接続は交互に切り替えられている。このようにして、最後のバッファ以外のバッファをアクティブ化してその入力における信号をその出力に通過させたときに、信号は直列回路に沿ってかつ隣接するラングのうちの1つの直列回路の1つの上に転送される。バッファを選択的にアクティブ化することによって、特定のラングの入力上の信号は、そのラングの出力に直接送信しまたは隣接するラング上におよびそこから必要に応じて他の隣接するラングの上へとシフトさせ、所望する出力への直接的なシフトされない出力または入力のはしごの上側あるいは下側の1つまたは複数のラングへのシフトを可能とする。ラング間で接続する配置により、バッファを選択的に活性化させて1つまたは複数の中間ラングを横断して入力をシフトさせることができるようにすると共に、それらの中間のラングの入力がそれらの出力に直接伝送されるシフトされないようにすることができる。図13は、ラング間接続の1つの使用可能な配置を図示しているが、このシフティングを実施するために多くの他の配置が使用可能である。図13においては、ラング間の接続は、隣接するラングを直接接続するように配置されていて、各ラングがはしごの上側の次のラングにまたは下側の次のラングに接続されているが、いくつかのラングを跨ぐラング間の接続による他の配置も使用可能である。図13は、9本のラングを図示しているが、より多くのラング、すなわちチャネルセレクタの入出力につき1本のラングが通常は使用される。例えば、第2のチャネルセレクタ320については、390個の入力および357個の出力をもたらすべく、はしご回路に390本のラングを配置できる。例えば、入力nが付加的なチャネルの1つに接続される場合、そのラングの出力nは、チャネルセレクタの出力に接続されない。他のラングのn-4、n-3、n-2、n-1、n1、n2、n3およびn4で示される入力はアクティブチャネルに接続されており、かつこれらのラングの出力n-4、n-3、n-2、n-1、n1、n2、n3およびn4はチャネルセレクタの出力に接続されている。このように、付加的な入力チャネルnは、第2のチャネルセレクタ320の出力に直接接続されていないが、最大ではしごの上側に4つのラングまたは下側に4つのラングのいずれかの出力に接続してシフトすることができる。すなわち入力nは、出力n-4、n-3、n-2、n-1、n1、n2、n3またはn4のいずれかに接続できる。はしごは、すべてのラングが両側に隣接するラングを有していて、チャネルセレクタ内の上側または下側の所望の数の場所にシフトすることができるように、蛇行するループのような連続ループに形成できる。各ラングは、上述したように、一組の並列信号を入力から出力に転送するように構成できるが、1つのラングの並列入力の各セットは、並列線、バッファおよびラング間接続を介して、一組の並列出力へとセットとして一緒にシフトされる。図14A~図14Iは、入力の直接的なシフト無しの出力への転送、またはしごの上側または下側に最高4つのラング出力によるシフトを達成するための、図13の回路について可能なバッファアクティブ化パターンを図示している。これらのバッファアクティブ化パターンは、いずれかの方向への4つのラングの最大シフトによって、入力を出力に転送するための、9つのパスの組をもたらす。すなわち、出力nは、n-4からn4への入力のいずれかから転送された信号を受信できる。パスのこの組は、入力から出力へのパスが互いに交差しないならば、転送された信号が互いに干渉しないように、任意の組合せで選択できる。すなわち、出力nは、そこから出力n-1がその信号を得る入力より高い数値の入力からおよびそこから出力n1がその信号を得る入力より低い数値の入力から、その信号を受け取ることができる。9つのパターンのそれぞれは、5つの使用可能なバッファおよび10個の使用不能なバッファのパターンの、一意のパスを記述する。これらのパスは、1つのパスが特定の出力のために選択された場合に、このパスが他の出力のためのパスのすべての許容される組合せと衝突しないように定められる。2つの連続する出力のためのパスの組合せに許容される数は987654321=45である。図13の実施形態または他の回路装置における接続の配置を使用して、このシフトを達成するために他の活性化パターンも可能であることは明らかである。図14Aは、3つの中間のラングを横断して入力n-4を出力nに転送するための、はしごの下側へ4つの場所へのシフトを示している。黒い塗りつぶしで示されているバッファは、トライステート高入力インピーダンスモードすなわち使用禁止に切り替えられて、信号がその出力へ転送されることをそのバッファの入力で遮断する。ストライプの塗りつぶしで示されているバッファは、アクティブ化されて、その入力において、信号をそれらの出力へと通過させすなわち使用可能、また白い塗りつぶしで示されているバッファは図示される転送に関係しておらず、その状態はチャネルセレクタ回路の他の入力の所望の転送によって、決まる。図14Bは、入力n-3を2つの中間のラングを横切って出力nに転送する、はしごの下側に3つの場所へのシフトを図示している。図14Cは、入力n-2を1つの中間のラングを横切って出力nに転送する、はしごの下側に2つの場所へのシフトを図示している。図14Dは、入力n-1を次のラングへと下った出力nに転送する、はしごの下側に1つの場所へのシフトを図示している。図14Eは、入力nと同じラングの出力nへの直接的なシフトしない転送を図示している。図14Fは、入力n1を上側に次のラングの出力nに転送する、はしごの上側に1つの場所へのシフトを図示している。図14Gは、入力n2を1つの中間のラングを横切って出力nに転送する、はしごの上側に2つの場所へのシフトを図示している。図14Hは、入力n3を2つの中間のラングを横切って出力nに転送する、はしごの上側に3つの場所へのシフトを図示している。図14Iは、入力n4を3つの中間のラングを横切って出力nに転送する、はしごの上側に4つの場所へのシフトを図示している。第1のチャネルセレクタ220のそれぞれの入力または第2のチャネルセレクタ320の出力に必要なシフティングを決定するために、アルゴリズム、すなわち入出力に対するチャネルのマッピングを用いることができる。一実施形態においては、チャネルセレクタの入出力ごとにそれを接続可能なチャネルを指示するルックアップテーブルが作られる。それに入出力を接続できるチャネルの順序は、重要でありかつ維持される。制御回路は、アルゴリズムを実行すると共に、チャネルセレクタを制御する例えばチャネル制御回路326のバッファを制御する制御信号を生成するべく、構成できる。一実施形態において、アルゴリズムは、可能なマッピングを評価するための外側ループおよび内側ループを含む。アルゴリズムの外側ループは、チャネルセレクタ入力/出力のソートされたリストに目を通すと共に、使用されたチャネルのリストを作成し、かつすべての欠陥があるチャネルをこのリストに加える。チャネルセレクタの各入出力について、アルゴリズムは、現在の入出力から開始してリストの終わりまで、次いでリストの最初から現在の入出力へと戻る、チャネルセレクタの入力/出力リストを通る内側ループを実行する。内側ループの各入出力について、アルゴリズムは、テーブルに定められた順序で、入出力を接続できるまだ使用されておらずかつ欠陥がない、ルックアップテーブル内の第1のチャネルを探す。入出力のためのチャネルがマップに見つからない場合、アルゴリズムは内側ループを止めて外側ループ上の処理を再開する。あるチャネルが入出力にマップすることが見いだされた場合、ちょうど今マップされたチャネルは使用されたチャネルのリストに加えられ、アルゴリズムは次の入出力をマップする内側ループを継続する。使用されたチャネルのリストは、あるチャネルが利用可能であるかを決定するごとに使用される。外側ループにおける出発点としての現在の入出力について、すべての入力/出力をチャネルにマップすることができた場合は、欠陥がないチャネルをすべての入力/出力にマップするための解答が見いだされている。それ以外の場合、アルゴリズムは、外側ループの次の入出力に移動し、内側ループの次の出発点として使用する。入力/出力が出発点としてもはや利用可能でない場合、外側ループが終了して解答は見いだされない。一実施形態において、チャネルセレクタ320は、クラスタごとにその出力を、7つの出力の51グループ、合計357個の出力をもたらす。ビームセレクタ330は、チャネルセレクタ320から出力を受け取り、その出力を関連するブランカ素子に切り替える。2パス走査で第1の走査においては13個のうちの7つの伝送チャネルを選択する上記した実施形態において、各ビームセレクタ330はチャネルセレクタから7つの出力の1グループを受信し、それらを第1の走査について13個の可能な出力中の7つに切り替え、ビームセレクタ330は6つの伝送チャネル入力を第2の走査について13の可能な出力中の6つに切り替える。一実施形態において、13の連続的なサブビームの行のうち7つのサブビームが第1の走査のために選択され、ビームセレクタ330は、7つのチャネル出力からのデータおよび制御信号を、チャネルセレクタ320から13個のサブビームの行のうち選択された7つのサブビームのための偏向器マトリックスへと導くように作動する。第2の走査については、13個のサブビームの行のうちの6つのサブビームが選択され、ビームセレクタ330は、6つのチャネルからのデータおよび制御信号を選択された6つのサブビームのための偏向器マトリックスに導くように作動する。このようにして、ビームセレクタ330は、大きい組から選択された対応するブランカ素子のブセットへの一組の伝送チャネルの切替をもたらして、複数の走査露光のうち1つの走査のために送信されたパターンデータに対応した、リソグラフィ機械のパターン化されたビームの選択されたサブセットを制御するデータの送信を達成する。図15は、i0からi6にラベル付けされた7つの入力およびo0からo12にラベル付けされた13個の出力を有する、7~13個のビームセレクタ330の概略図である。ビームセレクタは、ビームセレクタの入力を出力に接続するための、以下の表に示されているような、可能な入力~出力マッピングを提供する。図16は、ビームセレクタ330の一実施形態の簡略化された回路図であり、スイッチの可能な配置を示している。この実施形態においては、7~13個のビームセレクタが上記した入力~出力マッピングを実施するためのビームセレクタ制御信号334の制御下で、7つの入力i1~i7を13個の出力O1~O13に切り替える、スイッチ332の7×7アレイとしての実施が示されている。多重分離装置340は、ビームセレクタ330から出力を受信する。多重分離装置はオプションであり、複数のビームレットを制御するためのビームデータ/制御信号が多重化信号として伝送されるときに用いられる。パターン化ビームにつき49個のビームレットがある上記した実施形態において、ビーム信号は1つのチャネル上で多重化信号として伝送することができ、その信号は49個のビームレットのそれぞれのための信号を含んでいる。例えば、信号は伝送のために時間で多重化されると共に、各ビームレットのために一連のデータおよび制御信号に非多重化される。それから、非多重化されたビームレット信号は、ビームレットブランカ素子152のマトリックス350へ転送される。ビームレットブランカ素子152は、非多重化されたビームレット信号の制御下で、各パターン化ビームの個々のビームレットを調整しまたは切り替えて、パターンデータに従ったターゲットの露光を達成する。多重化、フレーミング、符号化および同期化システムコストを減らすために、単一のビームレットを調整する多くのブランカ素子を制御するべく、1つの光ファイバを使用できる。一実施形態において、ビームレットブランカアレイの連続したブランカ素子を制御するためにすなわち、一連のビームレットを制御するために、各ファイバ上で送信される連続した制御ビットが使用される。一実施形態において、各ファイバは、1つのパターン化ビームの49個のサブビームのための制御情報を伝送するためのチャネルを備える。この制御情報は、各ビームレットのためのブランカ電極に適用する前に最初にバッファリングすることができ、または制御情報はバッファリングなしで直接適用される。このために、ビームレットブランカアレイにバッファを設けることができる。交互に配置され/多重化されたサブビームを有するデータパスの概略図が図11Aおよび図11Bに示されているが、行および列セレクタを使用する多重分離方式によって、多重化されたサブチャネルをデコードして各ビームレットのために個々の制御ビットを切り離すようになっている。同期化を目的として、また制御情報ストリームのどのビットがどのビームレットに属するかを示すために、好ましくはいくつかの種類のフレーミングが使用される。フレーム開始インジケータビット例えば7ビットは、ビームレットブランカ上のフレーマが同期する繰り返しパターンにおいて、使用できる。AC結合された光伝送器およびフォトダイオード側の自動閾値調整を使用するために、直流平衡された伝送シーケンスが必要とされるときには、好ましくはいくつかのタイプの適切な符号化が使用される。1つの実施例は、8ビットシンボルを10ビットシンボルにマッピングしてDCバランスおよび制限されたディスパリティboundeddisparityを達成しつつ、クロック復元を可能とするのに十分な状態変化を与える8b/10b符号化である。しかしながら、この種の符号化はより高いビットレートに帰着し、8b/10b符号化はビットレートに25を上乗せする。信号のフレーミングおよびエンコーディングは、例えばフレームの始まりをマークするために特定のコード化されたワードを使用することにより、組み合わせることもできる。各チャネルは、多くの個々のビームレット例えば49個のビームレットのためのデータを運ぶ。情報は、データパスからブランカまでシリアル様式で伝送される。ブランカ上での非多重化および同期化の実施に応じて、直列データ伝送に起因して、異なるビームレットのための制御情報を異なる時間に受信するブランカから生じるブランカタイミングオフセットを補償する必要がある。いくつかの可能なビームレット同期化のオプションがある。同期化の実施は、主にブランカ上での実施の可能性に依存する。ビームレットの同期化は、例えば、1つの同期信号にすべてのビームレットを同期させる、列のすべてのビームレットを同期させる、行のすべてのビームレットを同期させる、またはビームレットを同期させないといった、異なる方法で実行できる。7×7のアレイに配置されたパターン化ビーム当たり49ビームレットの実施形態については、1つの同期信号ですべてのビームレットを同期させるために、49個のビームレットのための制御データをバッファリングする共に、ビームレットを切り替えるための49個のブランカ電極のそれぞれに同期をとって適用できる。列のすべてのビームレットを同期させるためには、7つのチャネルのための制御データの各列をバッファリングすると共に、ビームレットのその列のための7つのブランカ電極に同期をとって適用できる。行のすべてのビームレットを同期させるためには、7つのチャネルのための制御データの各行を、バッファリングすると共に、ビームレットのその行のための7つのブランカ電極に同期をとって適用できる。同期化を実行しないときは、データがブランカによって、受け取られたときに、全49個のビームレットの制御データをブランカ電極に直接適用できる。列、行または同期化しないことについて、個々のビームレットピクセルタイミングは異なる。ビームレットの間でタイミングに違いがあるときには、その違いはx方向にピクセルをシフトすることで補償できる。このシフトは、常にサブピクセルの範囲内である。補償は、通常はラスタ化がリアルタイムに実行されるときにのみ可能である。シフトが列~ビームレットの関連に依存するからである。図11Aおよび図11Bは、49個の個々のビームレットから成る1つのパターン化ビームのためのデータを1つのチャネルが与える実施形態のための、単一チャネルのデータパス素子を示す図である。図11Aにおいて、フォトダイオード304は、データパスからシリアル光ビームデータ/制御信号を受信すると共に対応する電気シリアルビーム信号を生成し、それは増幅器305およびレベル調整306に入力される。クロックおよびデータ回復CDR307は周波数リファレンスからクロックを生成し、位相は受信したシリアルビーム信号の遷移にクロック308を一致させる。直列信号はデータ並直列交換回路314において、並列信号例えば8ビットコード化された並列信号に変換され、かつこの信号は1つのグループの7つのビームレットを制御するためのデータを表す並列信号例えば7ビットのデータを生成するためにデコードされる。制御信号は、同期信号および/またはクロック信号といった、ビームデータ信号に含めることもできて、8または9ビット並列ビーム信号に帰着する。それから、並列ビームデータ/制御信号はスイッチ400に入力し、49個のビームレットから成る1つのパターン化ビームを調整するための適切なビームレット偏向器マトリックス350に切り替えられる。図11Bにおいて、シリアルビーム信号は適切な偏向器マトリックスに切り替えられて、送りレジスタ342によって、受け取られる。送りレジスタ342はメモリーセルユニット352に対する出力であるデータ信号343を生成し、行カウンタ344は、メモリーセルユニット352内にデータ信号343を記録するサンプル信号345を生成する。偏向器に対する信号の分配は、列によって、なし得る。各メモリーセルユニット352は、7つのビームレットのためのビームレット制御データを記憶するメモリーセルを備え、7つのメモリーセルユニット352は、1つのパターン化されたビームの49個のビームレットを調整するためのビームレットデータを記憶する。ビームレット制御データは、メモリーセルユニットから計時されると共に、行ライン358を介してビームレットブランカ素子356の個別電極に転送される。ビームレットブランカ素子152が、リソグラフィマシンのビームレットブランカアレイの開口355を通過する各ビームレットに調整をもたらす。個々のビームレットブランカ素子にアドレシングする他の構成も、もちろん可能である。必要なデータパス容量の減少2つの走査のマルチパス走査の使用は、その最大容量の半分で書き込みするリソグラフィマシンに帰着する。書き込み容量のこの減少は、データパスのために必要とされるハードウェアの量の大幅な減少を可能とする。ノードの概念は、データパスの一実施形態の以下の説明において、使用される。ノードは、接続されたY光学チャネルを有すると共に、利用可能なX処理ユニットを有する。市販されている電気-光E/Oコンバータは通常、12個のチャネルすなわち、Y=12を含んでいる。E/Oコンバータ例えばレーザダイオードは、処理ユニットからの電気制御データを、リソグラフィマシンのブランカアレイに光ファイバを通じて伝送される光データに変換する。E/Oコンバータを駆動する処理ユニット例えばフィールドプログラマブルゲートアレイ、FPGAfsが含むチャネル数はXである。処理ユニットのいずれかをO/Eコンバータのいずれかに切り替えるために、XY交差点crosspointを使用できる。XY交差点は、別々のデバイスとし、または処理ユニットに一体化できる。交差点については、処理ユニットの出力Xのいずれかをデータパス出力Yのいずれかにルート決めすることができる。いくつかの光チャネルが機能しない場合、最初に2走査露光の第1および第2の走査の間でのシフトの可能性を決定することができ、すべてのストライプ位置が少なくとも1つの適切に機能しているチャネルによって、カバーされる。可能なシフト位置が知られているときに、利用可能な処理ユニットが走査の間に割り当てられるかどうかおよびストライプの100をカバーするかどうかが決定される。ノード当たり処理ユニットの数を減らすことは、データパスのために必要なハードウェアの量を著しく減らすが、ロバストネスをわずかに減少させる。2パス走査についてのノード当たり処理ユニットの数の減少は、50の減少例えば、12/6の構成が下限である。50近くの構成は、小さいクラスタのエラー例えば、1つのクラスタにおいて、5つのエラーに対して特に敏感である。したがって、12/6の構成は、エラークラスタに対する感度を大きく低下させる12/7の構成より好まれない。12/7の構成は、12チャネル当たりの処理ユニットの数について合理的な下限をもたらす。アクティブチャネルの数は、良好なロバストネスのために、好ましくは書き込まれるストライプの数より大きい例えば2大きい。アクティブチャネルの数を増加させることは、著しくロバストネスを増加させる。ノード当たり処理ユニットの数を減らすことによるロバストネスの損失は、付加的なチャネルを使用することによって、容易に補償できる。大きい例えば5より大きいエラークラスタは、劇的にロバスト性を減少させる。本発明は、上に議論した特定の実施形態を参照することにより説明された。ここで注意されるべきことは、様々な構成および変形例を説明してきたが、当業者が知るように、それは本願明細書において、説明した任意の実施形態と共に使用できる。さらにまた、本発明の精神および範囲から逸脱しない当業者によく知られている様々な変形および変更の形態に、これらの実施形態が影響されやすいことは認識される。したがって、特定の実施形態を説明したが、これらは単なる実施例であって本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲は添付の請求の範囲において定められる。"