"金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒にマイクロ波を照射して加熱することにより金属微粒子を製造する方法であって、該有機溶媒中に、酸性化合物または塩基性化合物、および有機修飾剤が含有されていることを特徴とする金属微粒子の製造方法。金属酸化物または金属水酸化物が、金、白金、パラジウム、銀、銅、ニッケル、亜鉛、ルテニウム、ロジウム、イリジウムから選ばれた1種またはそれ以上の金属からなる請求項1に記載の金属微粒子の製造方法。上記有機溶媒中に含まれている酸性物質が、硝酸、塩酸、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、フッ化水素酸、硫酸、リン酸またはその混合物から選ばれる請求項1または2に記載の金属微粒子の製造方法。上記有機溶媒中に含まれる塩基性物質が、イミダゾール化合物、ピリジン化合物、ピリミジン化合物、ピラジン化合物、ピリダジン化合物またはその混合物から選ばれる請求項1または2に記載の金属微粒子の製造方法。上記有機溶媒中に含まれる有機修飾剤が、炭素数8以上の脂肪酸またはアミン化合物から選ばれる請求項1から4のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法。上記有機溶媒中に酸性化合物を添加し反応温度以下で加熱してエージング処理した後に反応温度にまで昇温させる請求項1から5のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法。上記有機溶媒中に塩基性物質を添加し反応温度に加熱する請求項1から5のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法。金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒にマイクロ波を直接照射する請求項1から7のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法。請求項1から8のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法を実施するためのマイクロ波照射装置であって、マイクロ波発生装置、該マイクロ波発生装置から照射されるマイクロ波の照射領域内に設置されたマイクロ波透過材料からなる容器、マイクロ波遮蔽部材を有し、該マイクロ波遮蔽部材が容器内で金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒が収納されていない空間部を覆うように設置されていることを特徴とするマイクロ波による金属微粒子の製造装置。請求項1から8のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法を実施するためのマイクロ波照射装置であって、マイクロ波発生装置、マイクロ波透過材料からなる容器、マイクロ波発生装置からマイクロ波を容器に誘導する導波管を有し、導波管は容器内でマイクロ波を金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒が収納されている部分にのみ直接マイクロ波を照射するように設置されていることを特徴とするマイクロ波による金属微粒子の製造装置。複数の導波管からマイクロ波が照射される請求項10に記載のマイクロ波による金属微粒子の製造装置。容器を構成するマイクロ波透過部分は、その面積が導波管の断面積よりも広く、金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒の規定量を容器内に投入した時にマイクロ波透過部分の全面が金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒と接触状態となる位置にあり、該導波管の外側にはマイクロ波漏洩防止部材を配置した請求項10または11に記載のマイクロ波による金属微粒子の製造装置。請求項1から8のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法を実施するためのマイクロ波照射装置であって、マイクロ波発生装置、該マイクロ波発生装置から照射されるマイクロ波の照射領域内に設置された容器からなり、該容器のマイクロ波が照射される箇所のみがマイクロ波透過材料から形成されていることを特徴とするマイクロ波による金属微粒子の製造装置。このような状況の中で、本発明者らは、上記の従来技術に鑑みて、簡単に入手可能な金属化合物を原料として、短時間の反応時間により単分散性の金属微粒子を製造する技術の開発を目標に鋭意研究を積み重ねることにより、金属の酸化物または水酸化物を原料として、少量の酸性物質あるいは塩基性物質、および有機修飾剤の存在下に有機溶媒中でマイクロ波加熱することにより、従来のマイクロ波加熱では金属ナノ微粒子を製造することができなかった反応条件においても効率よく金属微粒子を製造できることを見出し、更に研究を積み重ねることにより本発明を完成させるに至った。本発明の目的は、従来のオイルバス、電熱などの間接加熱方式を採用すると、反応に数時間以上の長時間を要し、また粒径分布が粗くなる傾向を示す問題を解決するものである。また、本発明の目的は、従来のマイクロ波加熱による還元反応では、収率が低い、特殊な原料化合物を必要とするなどの問題があったことを解決し、簡便に入手できる金属酸化物類を原料として金属微粒子を高収率で製造する技術を提供することにある。また、本発明の目的は、金属微粒子の単分散性の向上を図るとともに、少量の酸性物質あるいは塩基性物質を添加することにより、高収率で金属微粒子が得られる製造方法および装置を提供することにある。また、本発明の目的は、平均粒径が10nm以下で単分散性を有する金属微粒子を短時間で製造することにある。上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。1金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒にマイクロ波を照射して加熱することにより金属微粒子を製造する方法であって、該有機溶媒中に、酸性化合物または塩基性化合物、および有機修飾剤が含有されていることを特徴とする金属微粒子の製造方法。2金属酸化物または金属水酸化物が、金、白金、パラジウム、銀、銅、ニッケル、亜鉛、ルテニウム、ロジウム、イリジウムから選ばれた1種またはそれ以上の金属からなる上記1に記載の金属微粒子の製造方法。3上記有機溶媒中に含まれている酸性物質が、硝酸、塩酸、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、フッ化水素酸、硫酸、リン酸またはその混合物から選ばれる上記1または2に記載の金属微粒子の製造方法。4上記有機溶媒中に含まれる塩基性物質が、イミダゾール化合物、ピリジン化合物、ピリミジン化合物、ピラジン化合物、ピリダジン化合物またはその混合物から選ばれる上記1または2に記載の金属微粒子の製造方法。5上記有機溶媒中に含まれる有機修飾剤が、炭素数8以上の脂肪酸またはアミン化合物から選ばれる上記1から4のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法。6上記有機溶媒中に酸性化合物を添加し反応温度以下で加熱してエージング処理した後に反応温度にまで昇温させる上記1から5のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法。7上記有機溶媒中に塩基性物質を添加し反応温度に加熱する上記1から5のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法。8金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒にマイクロ波を直接照射する上記1から7のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法。9上記1から8のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法を実施するためのマイクロ波照射装置であって、マイクロ波発生装置、該マイクロ波発生装置から照射されるマイクロ波の照射領域内に設置されたマイクロ波透過材料からなる容器、マイクロ波遮蔽部材を有し、該マイクロ波遮蔽部材が容器内で金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒が収納されていない空間部を覆うように設置されていることを特徴とするマイクロ波による金属微粒子の製造装置。10上記1から8のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法を実施するためのマイクロ波照射装置であって、マイクロ波発生装置、マイクロ波透過材料からなる容器、マイクロ波発生装置からマイクロ波を容器に誘導する導波管を有し、導波管は容器内でマイクロ波を金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒が収納されている部分にのみ直接マイクロ波を照射するように設置されていることを特徴とするマイクロ波による金属微粒子の製造装置。11複数の導波管からマイクロ波が照射される上記10に記載のマイクロ波による金属微粒子の製造装置。12容器を構成するマイクロ波透過部分は、その面積が導波管の断面積よりも広く、金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒の規定量を容器内に投入した時にマイクロ波透過部分の全面が金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒と接触状態となる位置にあり、該導波管の外側にはマイクロ波漏洩防止部材を配置した上記10または11に記載のマイクロ波による金属微粒子の製造装置。13上記1から8のいずれかに記載の金属微粒子の製造方法を実施するためのマイクロ波照射装置であって、マイクロ波発生装置、該マイクロ波発生装置から照射されるマイクロ波の照射領域内に設置された容器からなり、該容器のマイクロ波が照射される箇所のみがマイクロ波透過材料から形成されていることを特徴とするマイクロ波による金属微粒子の製造装置。本発明により次のような効果が奏される。1金属微粒子の製造原料として、入手が容易な金属酸化物あるいは金属水酸化物を利用することができる。2従来のオイルバス加熱などの間接加熱では、数時間以上の反応時間を要したが、短時間で金属微粒子が製造できる。さらに、従来のマイクロ波加熱では金属微粒子が製造できなかった反応条件での製造が可能となる。3単分散性で約10nm以下のナノサイズ金属微粒子を収率よく製造することができる。4反応時における反応容器の破損、損傷などの問題が解消される。本発明は、金属酸化物または金属水酸化物以下、両者を総称して金属酸化物とも言う。を分散した有機溶媒にマイクロ波を照射して加熱することにより金属微粒子を製造する技術に係るものであり、マイクロ波を照射して加熱するにあたり、該有機溶媒中に、酸性化合物または塩基性化合物、および有機修飾剤を含有させて金属微粒子の製造する方法およびその装置に関する。本発明は、従来法では金属微粒子が生成しない反応条件下にあっても、有機溶媒中に酸性化合物または塩基性化合物を共存させることにより金属微粒子を製造することができることを見出したことに基づくものである。本発明において、酸性化合物または塩基性化合物を反応系に添加することを必要とし、これらの化合物が存在しなければ金属ナノ微粒子の生成はできない。これらの化合物の作用効果により金属ナノ粒子が迅速に、効率よく製造される。本発明における酸性化合物の特異な作用効果は以下のことから確認される。例えば、白金のナノ微粒子を製造する本発明の反応系には、原料の酸化白金と王水が存在し、王水には酸化白金が溶解するものの、王水は少量であるから酸化白金が完全に溶解するには不十分であること、また、白金の王水溶解物である塩化白金酸を原料とするマイクロ波加熱では白金微粒子を製造することはできなかったことを考慮すると、王水はある種の触媒的性能を発揮していると考えられる。このことは、さらに、塩化白金酸は橙色をしているにもかかわらず本発明の反応系は黒色酸化白金の色のままで反応が進行する、王水などの酸性化合物の存在がなければ白金ナノ微粒子の製造はできないことにより裏づけられる。また、酸化銀からの銀微粒子の製造においては、イミダゾールなどの塩基性化合物が共存することが好ましい。本発明の金属ナノ微粒子を製造する工程は、金属酸化物粉体を分散させた有機溶媒中に酸性化合物または塩基性化合物を添加し、次いでマイクロ波加熱して所定の反応温度に保持することにより行われる。マイクロ波加熱で加熱する工程では、最終反応温度以下の温度に保持するエージング工程を設けて後に最終反応温度にまで上昇させてもよいし、直接最終反応温度にまで上昇させてもよい。エージング工程を設けることなくとも反応は進行しナノ微粒子を生成させることができるが、エージングにより収率が向上する。例えば、金または白金の微粒子を製造する際には40~130°Cの範囲内でエージング処理を行うことが好ましい。その時には、有機修飾剤はエージング処理後に添加することがさらに好ましい。こうしたエージング処理をすることにより金属微粒子の生成が促進される。本発明は、金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒の部分にのみ直接マイクロ波を照射するようになされているナノ金属微粒子の製造方法およびマイクロ波照射装置にも関する。これにより、反応進行中に生成された金属粒子が容器の内面に付着してこの金属粒子がマイクロ波により赤熱されることによりガラスなどの容器が破損されることを避けることができる。次に、本発明の各事項について詳細に説明する。[原料金属酸化物、金属水酸化物]本発明の微粒子の製造方法は、少なくとも1種またはそれ以上の金属酸化物または水酸化物を有機溶媒中に分散させた溶液を用いる。上記金属元素の種類は特に限定されることはなく、金属微粒子を構成する所望の金属の種類に応じていかなる種類のものをも単独で、また組み合わせて使用することができる。生成する金属微粒子の粒径は約10nm以下であり、その収率は80から100を達成することができる。例えば、微粒子を構成する金属が銀の場合はAg2O、白金の場合はPtO2nH2O、金の場合はAu2O3nH2O、亜鉛の場合はZnOH2、ニッケルの場合はNiOH2、銅の場合はCuOH2などを原料として用いることができる。その他、微粒子を構成する金属元素としては、例えば、銀、金、インジウム、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、白金、銅、ニッケル、亜鉛などそれぞれの酸化物、水酸化物を単独または複数組み合わせて用いることができる。また、それらの金属酸化物、水酸化物はその製造方法や履歴などには関係なく本発明に原料として利用できる。これらの原料としての金属酸化物または水酸化物は、その反応性、生成する金属微粒子の粒径などを考慮すると、その粒径が40から80μmであることが好適であり、その有機溶媒中での金属濃度は0.001~10モル/lが好ましい。さらに好ましくは、0.01~1モル/lの範囲である。金属酸化物の濃度が低すぎると生産量が少なくなり経済的ではなく、高濃度になると還元反応が不十分となり、また、生成した金属微粒子の凝集が起こる可能性が大きくなるため好ましくない。[酸性化合物]金属酸化物の有機溶媒分散液には酸性化合物が共存することが必要であり、酸性化合物の存在がなければ比較例1に示すように金属微粒子は得られない。酸性化合物が共存することで、例えば、図1にみられるように凝集することなく分散したナノ微粒子が得られ、その粒度分布は図4にみられるように単分散とすることができる。酸性化合物としては酸性を示す物質であればいずれのものも使用可能であるが、例えば、硝酸、塩酸、その混合物、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、硫酸などを挙げることができる。上述したように、酸性化合物は触媒的作用効果を示すものと考えられるから必要な量は多くはない。酸性化合物が必要とされる量は、金属酸化物1モルに対して0.01~100モルの範囲である。さらに好ましくは、0.1~10モルの範囲である。酸性化合物の量が下限より少なくなると金属微粒子の生成が困難となり、上限を超えると微粒子の生成が困難となるとともに、生成した金属微粒子が酸性化合物により汚染されることがあるため、その用途が限定されることがあり好ましくない。酸性化合物の添加時期は、少なくとも最終反応温度に保持している期間は共存するように調整される。[塩基性化合物]金属酸化物の有機溶媒分散液には塩基性化合物が共存することが必要であり、塩基性化合物の存在がなければ金属微粒子の収率は著しく低下する。塩基性化合物としては塩基性を示す物質であればいずれのものも使用可能であるが、例えば、イミダゾール化合物、ピリジン化合物、ピリミジン化合物、ピラジン化合物、ピリダジン化合物などを挙げることができる。塩基性化合物が必要とされる量は、金属酸化物1モルに対して0.01~10.0モルの範囲である。さらに好ましくは、0.1~5.0モルの範囲である。金属酸化物分散液中にこの範囲内の塩基性化合物が共存することにより金属ナノ微粒子を製造することが好ましい。[有機溶媒]金属酸化物または金属水酸化物は溶媒中で還元されて微粒子状の金属に変換されるが、有機溶媒としては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、グリセリン、1プロパノール、2プロパノール、1ブタノール、2ブタノール、2メチル2プロパノール、ペンタノール、1ヘキサノール、1ヘプタノールや1オクタノールなどのアルコール類、135トリメチルベンゼン、124トリメチルベンゼン、134トリメチルベンゼ、1245テトラメチルベンゼン、1プロピルベンゼン、1ブチルベンゼン、2ブチルベンゼン、2メチル1プロピルベンゼン、2メチル2プロピルベンゼンなどの芳香族化合物、ジメチルスルホキシド、NNジメチルホルムアミドなどの単独または混合物が例示される。[有機修飾剤]有機修飾剤は、生成した金属微粒子の凝集力を抑制し安定な一次粒子の形成に寄与するものであるが、他に生成後の粒子の酸化を防止する機能をも有する。有機修飾剤は金属微粒子からすると不純物であるからその使用量は必要最小限にすることが好ましい。有機修飾剤としては炭素数が8以上の高級脂肪酸類やアミン化合物が用いられる。例えば、カプリン酸C=10、ラウリン酸C=12、ミリスチン酸C=14、パルミチン酸C=16、ステアリン酸C=18などの飽和脂肪酸、オレイン酸C=18、二重結合1個、リノール酸C=18、二重結合2個、リノレン酸C=18、二重結合3個などの不飽和脂肪酸、分岐状脂肪酸C=16、主鎖側の炭素数が9、他に環状脂肪酸、ヒドロキシル脂肪酸などが挙げられる。これらのなかでも、飽和脂肪酸が好適である。また、炭素数が8以上のアミン化合物としては、例えば、オレイルアミン、nオクチルアミン、nノニルアミン、1アミノデカン、1アミノウンデカン、ドデシルアミン、1アミノトリデカン、テトラデシルアミン、1アミノペンタデカン、ヘキサデシルアミン、1アミノヘプタデカン、ステアリルアミン、1アミノノナデカン、などが挙げられる。高級脂肪酸類を有機修飾剤とする場合は、金属酸化物または金属水酸化物に対し等モル量以下で使用される。すなわち、金属酸化物または金属水酸化物中に含まれる金属元素1モルに対して、例えば、1モル以下の割合で有機溶媒に添加される。金属元素:有機修飾剤のモル比が、1:1から6:1の範囲が好適であり、更に好適な範囲としては3:1から6:1が挙げられる。モル比がこの上限を超えると、生成した金属微粒子に余剰の有機修飾剤が残存することとなる。このとき、高融点の脂肪酸などを使用した場合には脂肪酸が析出することにより生成物が反応容器内で固化してしまい金属微粒子を利用する際に、さらに処理を行なう必要が発生することがあり好ましくない。また、下限値より少なくなると有機修飾剤としての機能を果たすことはできない場合がある。アミン化合物を有機修飾剤とする場合は、金属酸化物または金属水酸化物に対し等モル量以上とすることが好ましく、ナノ粒子の精製時に過剰なアミンは回収することができる。反応系を、最終の反応温度に維持している期間中有機修飾剤は金属原料と共存していることが好ましい。最終の反応温度に維持する前に、エージング処理工程を行う場合には、エージング処理以後に反応系に有機修飾剤を添加することが好ましい。[反応工程における反応温度]本発明における還元反応が進行する温度範囲は、140°Cから240°Cが好適であり、更に好適には、140°Cから195°Cの温度範囲を挙げることができる。反応温度が低いと、還元反応が生起したとしても反応速度が遅く経済的ではない。また、反応温度は混合溶媒の沸点によって上限は制限される。反応系は、減圧、常圧、加圧のいずれでもよく必要に応じて選択することができる。反応温度は、1段階加熱または複数段階加熱のいずれかが採用される。1段階加熱であれば、反応温度を140°Cから240°Cに保つことにより実施され、複数段加熱であれば、最終反応温度よりも低い温度に一旦昇温しその温度で保持エージングする、次いで最終の反応温度にまで昇温し保持することにより反応を完結する。こうしたエージング処理により、ナノ微粒子の製造において酸化物または水酸化物表面を活性化し、収率が向上する利点がある。例えば、銀のナノ微粒子の製造では、有機溶媒中に塩基性物質を添加した後一度に反応温度まで昇温することにより製造することができる。金や白金のナノ微粒子の製造では、反応系を最終反応温度よりも低い温度に一旦昇温しその温度一段階の温度で保持した後に有機修飾剤を添加して最終の反応温度にまで昇温し保持することにより反応を完結することが好ましい。こうしたエージング処理の温度は、例えば、室温~120°Cの温度範囲とすることが好適である。[マイクロ波照射装置]本発明で使用されるマイクロ波照射装置は、容器内に収納された金属酸化物を含む有機溶媒を所定の温度に加熱させることができるものであればいずれの装置でも差し支えないが、例えば、四国計測工業株式会社製のキャビティ型マイクロ波反応装置SMW-107などにより、ガラス製の容器内で金属微粒子の生成反応を実施することができる。特に、金属微粒子を製造する際に起こることがある容器の破損問題を解決するには、反応の遂行全般にわたり、金属酸化物を含有する混合溶媒にのみ常にマイクロ波を照射することが重要である。反応進行中にガラス製の容器である三口フラスコの破損が発生したときの状態を図7に示す。こうした容器の破損現象は次のようにして発生するものと考えられる。すなわち、容器中に金属酸化物を含む有機溶媒反応混合物を収納してこれにマイクロ波を照射すると、反応混合物はマイクロ波を吸収して温度が上昇するに伴って体積が増加し、容器中の液面が上昇する。さらにマイクロ波を照射して反応を進行させ続けると、加熱された混合溶媒が蒸発などにより揮散して溶媒の体積がある程度減少し液面が低下する。このとき、液面近くで生成していた金属微粒子が容器内壁面に付着したまま残されることがある。そのような状態でさらにマイクロ波を照射し続けると、内壁面に付着した金属微粒子がマイクロ波により赤熱されて容器が局部的に高温に加熱されることになり、ガラスが破損する現象が発生することがある。このような容器の破損を防止するには、金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒にマイクロ波を直接照射する構造のマイクロ波照射方法やマイクロ波照射装置とすることにより達成することができる。例えば、図8に示すように、マイクロ波発生装置1、該マイクロ波発生装置から照射されるマイクロ波の照射領域内に設置されたマイクロ波透過材料からなる容器3、マイクロ波遮蔽部材5を有し、該マイクロ波遮蔽部材5が容器3内で金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒反応液4が収納されていない空間部を覆うように設置されているマイクロ波発生装置が好適に用いられる。容器内の空間部を覆うように設置されたマイクロ波遮蔽部材5スカート部は容器内壁に付着し取り残された金属微粒子にはマイクロ波が照射されないように遮蔽して過加熱による容器の破損を防止する。また、マイクロ波発生装置1、該マイクロ波発生装置1から照射されるマイクロ波の照射領域内に設置された容器3からなり、該容器3でマイクロ波が照射される箇所のみがマイクロ波透過材料7から形成されているマイクロ波照射装置により容器の破損を防止することが可能となる図9参照。また、マイクロ波発生装置、該マイクロ波発生装置から照射されるマイクロ波の照射領域内に設置された容器からなり、容器内の金属酸化物または金属水酸化物を分散した有機溶媒反応液が収納されている部分に対応する該容器壁にのみをマイクロ波透過材料から形成する装置により同様の照射効果を得ることができる。次に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって何ら限定されるものではない。本実施例では、酸性化合物である王水を添加した系でマイクロ波加熱により反応を行ないナノサイズの白金微粒子を高収率で製造した。以下に試験方法を示す。還流管を取り付けた100mLの三ツ口フラスコに酸化白金PtO2nH2O1.5gキシダ化学、デカン酸0.765g、王水0.12gを1-ヘキサノール17.92gと1,3,5-トリメチルベンゼン6.25gの混合溶液に添加した。この懸濁液に四国計測工業株式会社製キャビティ型マイクロ波反応装置SMW107を用いて、マイクロ波2.45GHzを照射し、35°Cminの昇温速度で110°Cまで昇温し、30分間エージングした後、マイクロ波を一旦停止し、7.92gのオレイルアミンを添加した。さらに、110°C、30分間エージングを行った後、35°Cminの昇温速度で152°Cまで昇温し、10分間保持した。加熱の間、マグネチックスターラで撹拌を行い、反応温度はANRITSU製光ファイバー温度計FL2000のファイバープローブを懸濁液中に浸漬することで計測制御を行った。濾過精製後、800°Cでの強熱減量からナノサイズの白金微粒子が1.2g生成し、収率は91であることが確認された。生成物はヘキサンに分散し、透過型電子顕微鏡観察を行った。1W/Wに調整した白金微粒子をDLS動的光散乱法により粒径分布を計測した結果、平均粒径8.6nmの白金微粒子が生成していることが確認された。透過型電子顕微鏡写真を図1に、白金微粒子の粒径分布を図4に示す。本実施例では、酸性化合物である王水を添加した系でマイクロ波加熱により反応を行ないナノサイズの金微粒子を高収率で製造した。以下に試験方法を示す。還流管を取り付けた100mLの三ツ口フラスコに三酸化二金Au2O3nH2O0.576g添川理化学、王水0.2gをジメチルスルホキシドDMSO35.84gと1,3,5-トリメチルベンゼン12.5gの混合溶液に添加した。この懸濁液に四国計測工業株式会社製キャビティ型マイクロ波反応装置SMW107を用いて、マイクロ波2.45GHzを照射しながら、35°Cminの昇温速度で50°Cまで昇温し、30分間エージングした。マイクロ波を一旦停止し、17.4gのオレイルアミンを添加した後、直ちにマイクロ波加熱により70°Cminの昇温速度で140°Cまで昇温し、水浴で急冷した。加熱の間、マグネチックスターラで撹拌を行い、反応温度はANRITSU製光ファイバー温度計FL2000のファイバープローブを懸濁液中に浸漬することで計測制御を行った。濾過精製後、800°Cでの強熱減量からナノサイズの金微粒子が0.45g生成し、収率は94であることが確認された。生成物はヘキサンに分散し、透過型電子顕微鏡観察を行った。1W/Wに調整した金微粒子をDLS動的光散乱法により粒径分布を計測した結果、平均粒径7.9nmの金微粒子が生成していることが確認された。透過型電子顕微鏡写真を図2に、ナノ微粒子の粒径分布を図5に示す。本実施例では、塩基性化合物であるヘプタデシルイミダゾールを添加した系でマイクロ波加熱により反応を行ないナノサイズの銀微粒子を高収率で製造した。以下に試験方法を示す。還流管を取り付けた1Lのセパラブル容器に、1-ヘキサノール89.4g、1,3,5-トリメチルベンゼン30.4gの混合溶媒を加えた後、酸化銀9g東洋化学工業、ミリスチン酸C13H27COOH9g、ヘプタデシルイミダゾール6gを添加し、分散した。この懸濁液に四国計測工業株式会社製キャビティ型マイクロ波反応装置SMW107を用いて、マイクロ波2.45GHzを照射し、反応温度を157°Cまで30°Cminで昇温した。157°C到達後、10分間その温度を保持し,反応を終了した。加熱の間,メカニカル攪拌機で撹拌を行い、反応温度はANRITSU製光ファイバー温度計FL2000のファイバープローブを懸濁液中に浸漬することで計測制御を行った。濾過精製後、800°Cでの強熱減量からナノサイズの銀微粒子が8.0g生成し、収率は95であることが確認された。生成物はヘキサンに分散し、透過型電子顕微鏡観察を行った結果、10W/Wに調整した銀微粒子をDLS動的光散乱法により粒径分布を計測した結果、平均粒径4.8nmの銀微粒子が生成していることが確認された。透過型電子顕微鏡写真を図3に、銀微粒子の粒径分布を図6に示す。本実施例では塩酸を含有する系でマイクロ波加熱により反応を行ないナノサイズの白金微粒子を高収率で製造した。以下に試験方法を示す。還流管を取り付けた100mLの三ツ口フラスコに酸化白金PtO2nH2O0.25gキシダ化学、デカン酸1.68g、塩酸0.08gを1ヘキサノール17.92gと135トリメチルベンゼン6.25gの混合溶液に添加した。この懸濁液に四国計測工業株式会社製キャビティ型マイクロ波反応装置SMW107を用いて、マイクロ波2.45GHzを照射し、35°Cminの昇温速度で110°Cまで昇温し、30分間エージングした後、マイクロ波を一旦停止し、1.32gのオレイルアミンを添加した。さらに、110°C、30分間エージングを行った後、35°Cminの昇温速度で152°Cまで昇温し、10分間保持した。加熱の間、マグネチックスターラで撹拌を行い、反応温度はANRITSU製光ファイバー温度計FL2000のファイバープローブを懸濁液中に浸漬することで計測制御を行った。濾過精製後、800°Cでの強熱減量からナノサイズの白金微粒子が0.18g生成し、収率は87であることが確認された。比較例1本比較例では、実施例1おいて王水を使用しなかったところ、原料粉末のままで還元されナノサイズの微粒子は製造できなかった。以下に、試験方法を示す。還流管を取り付けた100mLの三ツ口フラスコに酸化白金PtO2nH2O1.5gキシダ化学、デカン酸0.765gを1-ヘキサノール17.92gと1,3,5-トリメチルベンゼン6.25gの混合溶液に添加した。この懸濁液に四国計測工業株式会社製キャビティ型マイクロ波反応装置SMW107を用いて、マイクロ波2.45GHzを照射し,35°Cminの昇温速度で110°Cまで昇温し、30分間エージングした後、マイクロ波を一旦停止し、7.92gのオレイルアミンを添加した。さらに110°C、30分間エージングを行った後、35°Cminの昇温速度で152°Cまで昇温し、10分間保持したが、生成物はヘキサンに分散せず、ナノ粒子は得られなかった。加熱の間、マグネチックスターラで撹拌を行い、反応温度はANRITSU製光ファイバーFL2000のファイバープローブを懸濁液中に浸漬することで計測制御を行った。比較例2本比較例では、塩化白金酸白金の王水溶解物を金属原料化合物としたところ還元反応が起きなかった。以下に試験方法を示す。使用還流管を取り付けた100mLの三ツ口フラスコに白金の王水溶解生成物である塩化白金酸H2PtCl66H2O1.5g、デカン酸0.765gを1-ヘキサノール17.92gと1,3,5-トリメチルベンゼン6.25gの混合溶液に添加した。この懸濁液に四国計測工業株式会社製キャビティ型マイクロ波反応装置SMW107を用いて、マイクロ波2.45GHzを照射し、35°Cminの昇温速度で110°Cまで昇温し、30分間エージングした後、マイクロ波を一旦停止し、7.92gのオレイルアミンを添加した。さらに110°C、30分間エージングを行った後、35°Cminの昇温速度で152°Cまで昇温し、10分間保持したが、白金イオンは還元せず、ナノ粒子は得られなかった。加熱の間,マグネチックスターラで撹拌を行い、反応温度はANRITSU製光ファイバー温度計FL2000のファイバープローブを懸濁液中に浸漬することで計測制御を行った。"