温度計測が必要な流体制御機器を含む複数の流体制御機器が隣り合うように配置されて支持部材に取り付けられており、温度計測が必要な流体制御機器と支持部材との間にスペースが形成されている流体制御装置において、サーモスタットが、前記スペース内に配されて温度計測が必要な流体制御機器に当接させられていることを特徴とする流体制御装置。サーモスタットは、支持部材に取り付けられた取付け治具に支持されるとともに、付勢部材によって温度計測が必要な流体制御機器に押し付けられていることを特徴とする請求項1の流体制御装置。取付け治具は、支持部材に固定される第1治具と、第1治具に固定された第2治具と、第2治具に移動可能に取り付けられてサーモスタットが固定される第3治具とからなり、付勢部材は、第1治具と第3治具との間に介在されていることを特徴とする請求項1また2の流体制御装置。サーモスタットは、略長方形板状をなして、その一端部から配線が引き出されており、サーモスタットの長手方向は、流体制御機器が並ぶ方向に対して、斜めに向けられていることを特徴とする請求項1から3までのいずれかに記載の流体制御装置。上記従来の流体制御装置によると、複数の流体制御機器が隣り合うように配置されて支持部材に取り付けられていることから、サーモスタットの設置が必要な流体制御機器の前後には、十分なスペースが無く、設置が困難であった。この発明の目的は、サーモスタットの設置を容易とした流体制御装置を提供することにある。この発明による流体制御装置は、温度計測が必要な流体制御機器を含む複数の流体制御機器が隣り合うように配置されて支持部材に取り付けられており、温度計測が必要な流体制御機器と支持部材との間にスペースが形成されている流体制御装置において、サーモスタットが、前記スペース内に配されて温度計測が必要な流体制御機器に当接させられていることを特徴とするものである流体制御装置。隣り合う流体制御機器間にサーモスタットを配置しようとすると、隣り合う流体制御機器の間隔が狭いため、取付けおよび取外しが困難であり、場合によっては設置できないこともあるという問題があり、温度計測が必要な流体制御機器と支持部材との間のスペースを利用することで、このような問題が解消される。温度計測が必要な流体制御機器としては、熱量式流量制御器MFC、圧力式流量制御器FCSなどの各種プロセスガスの流量を制御する機器が好適であるが、これに限定されるものではない。流体制御装置には、サーモスタットを使用して温度を制御する加熱手段が設けられることが好ましい。サーモスタットは、支持部材に取り付けられた取付け治具に支持されるとともに、付勢部材によって温度計測が必要な流体制御機器に押し付けられていることが好ましい。流体制御機器にサーモスタットを取り付けると、流体制御機器の交換時には、サーモスタットを脱着することが必要となるが、サーモスタットが支持部材に取り付けられた取付け治具に支持されるようになっていることで、流体制御機器のみの交換が可能となる。流体制御機器に直接固定しないことによって、サーモスタットの感度が低下するおそれがあるが、付勢部材によってサーモスタットを流体制御機器に押し付けることで、サーモスタットの感度低下が防止される。また、付勢部材を圧縮することで、サーモスタットを支持した取付け治具をスペースに挿入したり、取り出したりする作業を容易に行うことができる。取付け治具は、支持部材に固定される第1治具と、第1治具に固定された第2治具と、第2治具に移動可能に取り付けられてサーモスタットが固定される第3治具とからなり、付勢部材は、第1治具と第3治具との間に介在されていることが好ましい。このようにすると、使用するサーモスタットに合わせて第3治具の形状を変更することで、種々のサーモスタットに対応可能となる。しかも、支持部材に固定される第1治具がばね受け機能を有しているものとなるので、取付け治具の構成を簡素化することができ、サーモスタットを取付け治具に支持する作業、取付け治具を組み立てる作業および取付け治具を支持部材に取り付ける作業を容易に行うことができる。付勢部材は、例えば、圧縮コイルばねとされて、第3治具の上壁に設けられた1または複数の下方突出部に下側から嵌められて、第3治具の上壁と第1治具とによって挟持されるものとされるが、これに限定されるものではなく、圧縮コイル以外のばねであってもよく、その数も、適宜設定できる。サーモスタットは、略長方形板状をなして、その一端部から配線が引き出されており、サーモスタットの長手方向は、流体制御機器が並ぶ方向に対して、斜めに向けられていることが好ましい。このようにすると、スペースを有効に使用できるとともに、サーモスタットの配線が取り出しやすくなる。流体制御機器近傍のスペースの大きさによっては、サーモスタットの長手方向を流体制御機器が並ぶ方向またはこれと直交する方向に向けてもよい。サーモスタットとしては、市販のものが使用され、その大きさ長さ、幅、厚み、取付部ねじ、ブラケットなど、配線などは、種々のものが用意されている。第3治具の構成をサーモスタットの形状に合わせて適宜変更するとともに、これに合わせて、第2治具および第1治具の構成も適宜変更することで、種々の形状のサーモスタットを使用することができる。この発明の流体制御装置によると、温度計測が必要な流体制御機器と支持部材との間に形成されているスペースを利用して、サーモスタットを配置しているので、隣り合う流体制御機器の間隔が狭い流体制御装置に対するサーモスタットの設置が容易となる。この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。図1および図2は、この発明の流体制御装置を示している。流体制御装置は、半導体製造装置等において用いられるもので、上段に配置された複数の流体制御機器と、下段に配置されて複数の流体制御機器を支持する複数のブロック継手と、複数のブロック継手を支持する支持部材と、複数の流体制御機器のうち流量制御を行う流体制御機器に取り付けられたサーモスタットユニットと、複数の流体制御機器および複数のブロック継手の一部または全部を加熱するための加熱手段図示略とを備えている。流体制御装置は、図示したものを1つのラインとして、複数のラインが互いに平行となるように配置されて構成される。サーモスタットユニットは、サーモスタットが取付け治具に支持されたもので、取付け治具は、支持部材に固定された第1治具と、第1治具に固定された第2治具と、第2治具に移動可能に取り付けられてサーモスタットが固定された第3治具とを有している。サーモスタットユニットは、符号で示す温度計測が必要な流体制御機器に取り付けられている。サーモスタットの温度計測データに基づいて、加熱手段の制御が行われる。温度計測が必要な流体制御機器は、熱量式流量制御器MFC、圧力式流量制御器FCSなどの流量を制御する機器であり、その左右両側に設けられた通路ブロックが左右のブロック継手で支持されており、これらの左右のブロック継手間にスペースが形成されている。サーモスタットユニットについて、図3から図8までを参照して、詳細に説明する。図3および図4は、サーモスタットユニット全体を示し、図5は、第1治具を、図6は、第2治具を、図7は、第3治具をそれぞれ示している。図8は、サーモスタットユニットの組立て工程を示している。以下の説明において、上下および左右は、図3についていうものとし、図3の紙面表側図4の下を前、図3の紙面裏側図4の上を後というものとする。サーモスタットユニットは、サーモスタットと、第1から第3までの治具および1対の圧縮コイルばね付勢部材からなる取付け治具とで構成されている。第1治具は、板状で、略正方形の本体部分と、本体部分から後方に延びている後方延在部と、本体部分から左後方に延びている左後方延在部とからなる。左後方延在部は、図4に示すように、平面から見て、サーモスタットユニットの重なり部分から張り出すように設けられており、ここに、サーモスタットユニットを支持部材に固定するためのおねじ図示略を挿通する2つのねじ挿通孔が設けられている。後方延在部は、図4において、第2治具のナット形成部に重なっている部分で、ここに、第2治具と結合するためのおねじ図示略を挿通する2つのねじ挿通孔が設けられている。第2治具は、下壁および左右壁を有している。下壁は、方形状で、その後方部分にナット形成部が張出し状に設けられ、ナット形成部には、2つのナットが左右に並んで固定されている。下壁には、第3治具を挿入可能とする方形孔が設けられている。左右壁には、下端から上端近くまで延びる前後1対の案内溝がそれぞれ設けられている。第3治具は、上壁および前後壁を有している。上壁には、めねじが設けられている右方延在部が設けられている。上壁の下面には、圧縮コイルばねの装着用として使用される2つの円筒状下方突出部が左右に並んで設けられている。前後壁の左右の中央部には、周縁部分が切り欠かれた上方突出部が設けられている。前後壁の下縁部は、それより上の部分よりも左右に突出するように形成されている。サーモスタットは、略長方形板状をなして、その左端部から配線が引き出されている。サーモスタットには、おねじが取り付けられている右方延在部が設けられている。第3治具のめねじが設けられている右方延在部は、このサーモスタットに対応するように設けられたもので、上壁の上面にサーモスタットが載置されて、サーモスタットのおねじがめねじにねじ合わされることにより、サーモスタットが第3治具に固定されている。第3治具の前後壁の上方突出部は、サーモスタットが前後に移動することを規制している。第3治具は、その前後壁の下縁部が第2治具の左右壁の案内溝に嵌め入れられることで、上下方向に移動可能なように第2治具に取り付けられている。第2治具の下壁に設けられている方形孔は、第3治具を第2治具の下側から挿入可能とするためのもので、案内溝が上方に開口していないことで、第2治具が第3治具から上方に抜け出すことが防止されている。各圧縮コイルばねは、第3治具の上壁に設けられた左右の円筒状下方突出部に下側からそれぞれ嵌め入れられて、第3治具の上壁と第1治具とによって挟持されている。これにより、第3治具は、2つの圧縮コイルばねによって上方に付勢されて上下方向に移動可能となっており、第3治具に載置されたサーモスタットも上方に付勢されて上下方向に移動可能となっている。サーモスタットユニットを組み立てるには、まず、図8aに示すように、第2治具の下壁の方形孔を利用して、第3治具の上壁の右方延在部を先端側にして、第2治具の下側から斜めに挿入していき、図8bに示すように、第2治具の右壁の案内溝に第3治具の前後壁を合わせて、その下縁部を案内溝内に嵌め入れる。次いで、図8bに矢印で示すように、第3治具全体を第2治具の下壁の方形孔内に挿入して、第2治具と平行になるように回転させ、図8cに示すように、第3治具の前後壁の両方の下縁部を案内溝内に嵌め入れる。次いで、図8dに示すように、第2治具の下側から、第3治具の2つの円筒状下方突出部に圧縮コイルばねを装着する。次いで、図8eに示すように、第1治具を第2治具に重ねて、両者を固定する。次いで、図8fに示すように、第3治具にサーモスタットを固定する。こうして、サーモスタットと第1から第3までの治具および1対の圧縮コイルばね付勢部材からなる取付け治具とで構成されたサーモスタットユニットが組み立てられる。サーモスタットユニットは、圧縮コイルばねが圧縮された状態で、図1に示すように、流体制御機器と支持部材との間のスペースに挿入される。この際、サーモスタットの長手方向は、図2に示すように、流体制御機器が並ぶ方向すなわち図2の左右方向に向けるのではなく、流体制御機器が並ぶ方向に対し斜めに向けられている。これにより、流体制御機器が並ぶラインが図2の手前に配置されている場合であっても、サーモスタットの配線が取り出しやすいものとされている。サーモスタットユニットは、第1治具が支持部材に固定されることで、流体制御装置に取り付けられる。すなわち、流体制御機器には直接固定されないので、流体制御機器に交換の必要が生じた場合には、サーモスタットユニットをそのままにして、流体制御機器のみの交換が可能である。サーモスタットユニットは、圧縮コイルばねを圧縮することによって、既に配置された流体制御機器と支持部材との間のスペースに容易に挿入することができ、また、流体制御機器を流体制御装置から取り外すことなく、容易に取り外すことができる構造にしても良い。流体制御機器に直接固定しないことによって、サーモスタットの感度が低下するおそれがあるが、圧縮コイルばねが圧縮された状態とされているので、サーモスタットは、この圧縮コイルばねの弾性力によって付勢されて流体制御機器に押し付けられることから、その感度低下が防止される。