ウェーハ処理ツール内でウェーハを処理するシステムであって、ウェーハを受け取るよう動作するロードモジュールと、ウェーハを処理するよう動作する処理モジュールと、前記ロードモジュールと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送するよう動作するウェーハ移送ユニットと、前記ウェーハ処理ツール内でウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジューラであって、その際前記スケジューラが、前記処理モジュールと前記ウェーハ移送ユニットとによって行われる動作の継続時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成されるスケジューラとを備えるシステム。前記スケジューラが、前記ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルと、前記処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルとを決定するよう構成される、請求項1に記載のシステム。前記スケジューラが前記供給サイクルと前記処理サイクルとの継続時間を決定するよう構成される、請求項2に記載のシステム。前記スケジューラが制限時間を決定し、前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成される、請求項3に記載のシステム。前記スケジューラがウェーハのバッチを処理する前に前記バッチについて前記スケジュールを生成するよう構成される、請求項1に記載のシステム。前記スケジューラがウェーハの前記バッチについてのレシピに基づいて前記スケジュールを生成するよう構成される、請求項5に記載のシステム。前記スケジューラが前記バッチ内のウェーハの熱履歴の均一性を維持するスケジュールを生成するよう構成される、請求項5に記載のシステム。前記スケジューラが開始スケジュールを生成するよう構成される、請求項1に記載のシステム。前記スケジューラが終了スケジュールを生成するよう構成される、請求項1に記載のシステム。さらに、前記処理モジュールに接続されるロードロックモジュールであって、前記ロードロックモジュールが前記ウェーハ移送ユニットと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送するよう動作するロードロックモジュールを備える、請求項1に記載のシステム。前記スケジューラが、前記ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルと、前記処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルと、前記ロードロックモジュールによって行われる動作を含むロードロックモジュールサイクルLLMとを決定するよう構成される、請求項10に記載のシステム。前記スケジューラが前記供給サイクルと、前記処理サイクルと、前記LLMサイクルとに基づいて制限時間を決定するよう構成され、前記スケジューラが前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成される、請求項11に記載のシステム。前記処理モジュールが、第1の処理モジュールと、第2の処理モジュールとを備える、請求項1に記載のシステム。前記スケジューラが前記第1及び第2の処理モジュールを直列に処理するスケジュールを生成するよう構成される、請求項13に記載のシステム。前記スケジューラが前記第1及び第2の処理モジュールを並列に処理するスケジュールを生成するよう構成される、請求項13に記載のシステム。前記スケジューラが前記第1の処理モジュール内でウェーハの第1のバッチを処理するためスケジュールを生成するよう構成され、前記スケジューラが前記第2の処理モジュール内でウェーハの第2のバッチを処理するため前記スケジュールを修正するよう構成される、請求項15に記載のシステム。前記スケジューラが、前記第1の処理モジュールによって行われる動作を含む第1の処理サイクルと、前記第2の処理モジュールによって行われる動作を含む第2の処理サイクルであって、前記第2の処理サイクルが前記第1の処理サイクルより長い継続時間を有する第2の処理サイクルとを決定するよう構成される、請求項16に記載のシステム。前記スケジューラが、前記第1及び第2の処理サイクルの継続時間の差に等しい待機期間を含むよう前記スケジュールを修正するよう構成される、請求項17に記載のシステム。前記スケジューラが、繰り返された前記第1の処理サイクルの継続時間が前記第2の処理サイクルと等しいかそれより長くなるまで前記第1の処理サイクルを繰り返し、繰り返された前記第1の処理サイクルと前記第2の処理サイクルとの継続時間の差と等しい待機期間を含むよう前記スケジュールを修正するよう構成される、請求項17に記載のシステム。前記処理モジュールが化学蒸着CVDチャンバである、請求項1に記載のシステム。前記スケジューラが前記CVDチャンバ内で処理されるウェーハの熱履歴の均一性を維持するスケジュールを生成するよう構成される、請求項20に記載のシステム。前記処理モジュールがエッチングチャンバである、請求項1に記載のシステム。ウェーハ処理ツール内でウェーハを処理する方法であって、ロードモジュールでウェーハを受け取るステップと、前記ロードモジュールと処理モジュールとの間でウェーハを移送するステップと、前記処理モジュール内でウェーハを処理するステップと、前記装填及び処理モジュールの間でウェーハを移送し、前記処理モジュール内でウェーハを処理する際に行われる動作の継続時間に基づいてウェーハ処理ツール内でウェーハを移動するためスケジューラでスケジュールを生成するステップと、前記スケジュールを実行するステップとを含む方法。スケジュールを生成するステップがさらに、制限時間を決定するステップと、前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップとを備える、請求項23に記載の方法。制限時間を決定するステップがさらに、前記ロードモジュールと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送する際に行われる動作を含む供給サイクルを決定するステップと、前記処理モジュール内でウェーハを処理する際に行われる動作を含む処理サイクルを決定するステップとを含む、請求項24に記載の方法。前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップがさらに、前記供給サイクルが前記制限時間として決定される時前記処理サイクルを前記供給サイクルにそろえるステップを含む、請求項24に記載の方法。前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップがさらに、前記処理サイクルが前記制限時間として決定される時前記供給サイクルを前記処理サイクルにそろえるステップを含む、請求項24に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、バッチ中の第1のウェーハを処理する前にウェーハの前記バッチについてのスケジュールを生成するステップを含む、請求項23に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、ウェーハの前記バッチについてのレシピを利用するステップを含む、請求項28に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、ウェーハの前記バッチ内のウェーハの熱履歴の均一性を維持するステップを含む、請求項28に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、開始スケジュールを生成するステップを含む、請求項23に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、終了スケジュールを生成するステップを含む、請求項23に記載の方法。前記ロードモジュールと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送するステップがさらに、前記ロードモジュールとロードロックモジュールとの間でウェーハを移送するステップと、前記ロードロックモジュールと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送するステップとを含む、請求項23に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、制限時間を決定するステップと、前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップとを含む、請求項33に記載の方法。制限時間を生成するステップがさらに、供給サイクルを決定するステップと、処理サイクルを決定するステップと、ロードロックモジュールLLMサイクルを決定するステップとを含む、請求項34に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、第1の処理モジュール及び第2の処理モジュール内で直列にウェーハを処理するスケジュールを生成するステップを含む、請求項23に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、第1の処理モジュール及び第2の処理モジュール内で並列にウェーハを処理するスケジュールを生成するステップを含む、請求項23に記載の方法。並列にウェーハを処理するスケジュールを生成するステップがさらに、前記第1の処理モジュール内でウェーハの第1のバッチを処理するため前記スケジュールを生成するステップと、前記第2の処理モジュール内でウェーハの第2のバッチを処理するため前記スケジュールを修正するステップとを含む、請求項37に記載の方法。さらに、前記第1の処理モジュール内でウェーハを処理する際行われる動作を含む第1の処理サイクルを決定するステップと、前記第2の処理モジュール内でウェーハを処理する際行われる動作を含む第2の処理サイクルを決定するステップであって、その際前記第2の処理サイクルが前記第1の処理サイクルより長い継続時間を有するステップとを含む、請求項38に記載の方法。前記スケジュールを修正する前記ステップがさらに、前記第1及び前記第2の処理サイクルの継続時間の差に等しい待機期間を追加するステップを含む、請求項39に記載の方法。前記スケジュールを修正する前記ステップがさらに、繰り返された前記第1の処理サイクルが前記第2の処理サイクルに等しいかまたはそれより長くなるまで前記第1の処理サイクルを繰り返すステップと、前記繰り返された第1の処理サイクルと前記第2の処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間を追加するステップとを含む、請求項39に記載の方法。前記処理モジュール内でウェーハを処理するステップがさらに、化学蒸着CVDチャンバ内でウェーハの表面上に膜を形成するステップを含む、請求項23に記載の方法。スケジュールを生成するステップがさらに、前記CVDチャンバ内で処理されるウェーハの熱履歴の均一性を維持するステップを含む、請求項42に記載の方法。前記処理モジュール内でウェーハを処理するステップがさらに、エッチングチャンバ内でウェーハの表面をエッチングするステップを含む、請求項23に記載の方法。前記スケジュールを実行する前記ステップがイベント駆動型である、請求項23に記載の方法。前記スケジュールを実行する前記ステップがタイマ駆動型である、請求項23に記載の方法。前記スケジュールを実行する前記ステップがイベント及びタイマ駆動型である、請求項23に記載の方法。ウェーハ移送ユニットと処理モジュールとを有するウェーハ処理ツール内でのウェーハの移動をスケジューリングする方法であって、前記ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルを決定するステップであって、前記供給サイクルが供給サイクル継続時間を有するステップと、前記処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルを決定するステップであって、前記処理サイクルが処理サイクル継続時間を有するステップと、前記供給サイクル継続時間と前記処理サイクル継続時間とに基づいて制限時間を決定するステップと、前記制限時間に基づいて前記ウェーハ処理ツール内でのウェーハの移動についてのスケジュールを生成するステップとを含む方法。前記供給サイクル継続時間が前記処理サイクル継続時間より長く、制限時間を決定するステップが前記制限時間として前記供給サイクル継続時間を選択するステップを含み、前記スケジュールを生成するステップが前記処理サイクルを前記供給サイクルにそろえるステップを含む、請求項48に記載の方法。前記処理サイクル継続時間が前記供給サイクル継続時間より長く、制限時間を決定するステップが前記制限時間として前記処理サイクルを選択するステップを含み、前記スケジュールを生成する前記ステップが前記供給サイクルを前記処理サイクルにそろえるステップを含む、請求項48に記載の方法。処理サイクルを決定するステップがさらに、第1の処理モジュール内で行われる動作を含む第1の処理サイクルを決定するステップと、第2の処理モジュール内で行われる動作を含む第2の処理サイクルを決定するステップとを含む、請求項48に記載の方法。前記スケジュールを生成するステップがさらに、前記第1及び前記第2の処理サイクルの継続時間の差に等しい待機期間を追加するステップを含む、請求項51に記載の方法。前記スケジュールを生成する前記ステップがさらに、繰り返された前記第1の処理サイクルが前記第2の処理サイクルに等しいかまたはそれより長くなるまで前記第1の処理サイクルを繰り返すステップと、繰り返された前記第1の処理サイクルと前記第2の処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間を追加するステップとを含む、請求項51に記載の方法。コンピュータ可読記憶媒体であって、ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルを決定するステップと、処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルを決定するステップと、前記供給サイクルについての継続時間と前記処理サイクルについての継続時間とを決定するステップと、前記供給サイクル及び前記処理サイクルの継続時間に基づいてウェーハ処理ツール内でのウェーハの移動についてのスケジュールを生成するステップとを行うようコンピュータに命令することによってウェーハ処理ツール内でのウェーハの移動をスケジューリングするコンピュータ実行可能コードを収容するコンピュータ可読記憶媒体。前記コンピュータがさらに、前記処理サイクルの継続時間が前記供給サイクルより長い時前記処理サイクルを前記供給サイクルにそろえるよう命令される、請求項54に記載のコンピュータ可読記憶媒体。前記コンピュータがさらに、前記供給サイクルの継続時間が前記処理サイクルより長い時前記供給サイクルを前記処理サイクルにそろえるよう命令される、請求項54に記載のコンピュータ可読記憶媒体。前記コンピュータがさらに、第1の処理モジュールによって行われる動作を含む第1の処理サイクルを決定するステップと、第2の処理モジュールによって行われる動作を含む第2の処理サイクルを決定するステップと、前記第1の処理サイクルと前記第2の処理サイクルとについて継続時間を決定するステップとを行うよう命令される、請求項54に記載のコンピュータ可読記憶媒体。前記コンピュータがさらに、前記第1の処理サイクルと前記第2の処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間を前記スケジュールに追加するよう命令される、請求項57に記載のコンピュータ可読記憶媒体。前記コンピュータがさらに、繰り返された前記第1の処理サイクルの継続時間が前記第2の処理サイクルに等しいかまたはそれより長くなるまで前記第1の処理サイクルを繰り返し、繰り返された前記第1の処理サイクルと前記第2の処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間を追加するよう命令される、請求項57に記載のコンピュータ可読記憶媒体。前記コンピュータがさらに、ロードロックモジュールによって行われる動作を含むロードロックモジュールLLMサイクルを決定するステップと、前記LLMサイクルについての継続時間を決定するステップと、前記供給サイクルと、前記処理サイクルと、前記LLMサイクルとの継続時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップとを行うよう命令される、請求項54に記載のコンピュータ可読記憶媒体。本発明は、添付の図面に関連してなされる以下の説明を参照することによって最もよく理解できるであろう。なお、図面では同じ部分は同じ番号によって示す。以下の説明は、個々の構成、パラメータ等といった非常に多くの具体的な細部を示す。しかし、認識されるように、この説明は本発明の範囲に対する限定を意図するものではない。図1には、ウェーハ処理ツール100が示される。本発明の1つの代表的な実施形態によれば、ツール100には、ロードモジュール102と、ウェーハ移送ユニット104と、ウェーハオリエンタ106と、ロードロックモジュール108と、処理モジュール116と、制御モジュール118とが含まれる。本実施形態では、ロードモジュール102は多数のウェーハを保持するウェーハカセットを受け取るよう構成する。認識されるように、ロードモジュール102は様々な種類のウェーハカセットを受け取るよう構成してもよい。さらに、わかりやすくするため、ツール100は図1では1つのロードモジュール102を有するものとして示される。しかし、認識されるように、ツール100は任意の数のロードモジュール102を含んでもよい。本実施形態では、ウェーハ移送ユニット104はウェーハを取り上げ配置するよう構成する。さらに、以下さらに詳細に説明されるように、ウェーハ移送ユニット104は、ロードモジュール102と、ウェーハオリエンタ106と、ロードロックモジュール108と、処理モジュール116との間でウェーハを移送するよう構成する。本発明の1つの構成では、ウェーハ移送ユニット104は双腕ロボットとして構成してもよい。しかし、認識されるように、ウェーハ移送ユニット104は、ウェーハの移送に適した任意の適切な機構または装置を含んでよい。さらに、認識されるように、ツール100は任意の数のウェーハ移送ユニット104を含んでもよい。本実施形態では、ウェーハオリエンタ106はウェーハを位置合わせするよう構成する。さらに詳しく言うと、適用例によっては、処理モジュール116内でウェーハを処理する前にウェーハを位置合わせするのが望ましいことがある。例えば、1つの適用例では、溝付きウェーハのような非対称形のウェーハは、ウェーハが同じ方向で処理モジュール116に入るように位置合わせすればよい。しかし、適用例によっては、ウェーハを位置合わせする必要がないこともある。すなわち、ツール100はウェーハオリエンタ106なしで構成してもよく、またウェーハオリエンタ106は使用しなくてもよい。しかし、認識されるように、ツール100は1つより多いウェーハオリエンタ106を備えるよう構成してもよい。本実施形態では、ロードロックモジュール108は、処理モジュール116からウェーハを出し入れするよう構成する。本実施形態の1つの構成では、ロードロックモジュール108には、第1のバッファ110と、第2のバッファ114と、ウェーハを処理モジュール116から出し入れするよう構成されるウェーハ移送ユニット112とが含まれる。さらに詳しく言うと、本構成では、ウェーハ移送ユニット104は、処理すべきウェーハを第1のバッファ110上に配置する。次にウェーハ移送ユニット112は処理すべきウェーハを第1のバッファ110から第2のバッファ114上に移送する。処理モジュール116の準備ができると、ウェーハ移送ユニット112は処理すべきウェーハを第2のバッファ114から処理モジュール116に移送する。ウェーハが処理された後、ウェーハ移送ユニット112はウェーハを処理モジュール116から第1のバッファ110上に移送する。次に、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。しかし、認識されるように、ツール100はロードロックモジュール108なしで構成してもよい。その代わり、ウェーハ移送ユニット104がウェーハを処理モジュール116から直接出し入れするように構成すればよい。本実施形態では、処理モジュール116はツール100の残りの部分の圧力より低い圧力に維持する。1つの好適実施形態では、処理モジュール116は大気圧より低い圧力に維持され、ツール100の残りの部分は大気圧に維持される。処理モジュール116をツール100の他の部分に対して低い圧力に維持する利点は、処理モジュール116からツール100への汚染物質の流れが低減または除去できることである。すなわち、本実施形態では、ロードロックモジュール108は処理モジュール116とツール100の残りの部分との間のエアロックとして動作するよう構成する。さらに詳しく言うと、ロードロックモジュール108は密閉され、排気され、通気されるよう構成する。本実施形態の1つの構成では、ウェーハを処理モジュール116から出し入れする前に、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。さらに、ウェーハ移送ユニット104が処理すべきウェーハを第1のバッファ110に配置するか処理されたウェーハを第1のバッファ110から取り上げた後で、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100の残りの部分の圧力と等しくなるように通気される。本実施形態では、処理モジュール116は、エッチング、化学蒸着CVD、スパッタリング、熱酸化等といった任意の適切なウェーハ処理動作を行うよう構成する。さらに、認識されるように、ツール100は任意の数の処理モジュール116を備えるよう構成してもよい。さらに詳しく言うと、以下代替実施形態及び構成に関連して説明するように、ツール100は同じウェーハ処理動作または異なるウェーハ処理動作を行う多数の処理モジュール116を含んでもよい。本実施形態では、制御モジュール118はツール100を制御するよう構成する。さらに詳しく言うと、制御モジュール118は、ロードモジュール102、ウェーハ移送ユニット104、ウェーハオリエンタ106、ロードロックモジュール108、及び処理モジュール118の各動作を制御するよう構成される。制御モジュール118は、処理ユニット、データ記憶ユニット/媒体、ユーザインタフェースユニット、データ入力/出力ユニット等といった任意の適切なコンピュータハードウェアを含んでもよい。また、制御モジュール118は何らかの適切なコンピュータプログラムを含んでもよい。さらに、本発明の1つの態様によれば、制御モジュール118はツール100内でウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジューラを含んでもよい。スケジューラは制御モジュール118の一部として示され説明されるが、スケジューラは、任意の適切なコンピュータハードウェア及び/またはソフトウェアを有する独立したユニットとして構成してもよい。以上、ツール100の様々な構成要素を説明した。以下、ツール100内のウェーハの処理を説明する。以下の説明は、ツール100が定常状態で動作している、すなわち、未処理のウェーハがロードモジュール102から取り出される前に、すでに1つかそれ以上のウェーハがツール100のどこかで処理されていることを想定している。別言すれば、以下の説明は最初または最後に処理されるウェーハの処理を記述するものではない。さらに、ツール100内の異なるウェーハの区別を助けるため、以下の説明では、各ウェーハに番号を割り当てる。しかし、認識されるように、こうした番号は何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。上記で触れたように、ウェーハは、ロードモジュール102上に設置可能なウェーハカセットに入れてツール100から出し入れする。すなわち、ツール100内でウェーハを処理するため、ウェーハ移送ユニット104はまず、未処理のウェーハウェーハ1をロードモジュール102から取り出す。上記で説明したように、1つの構成では、ウェーハ移送ユニット104は双腕ロボットとして構成される。すなわち、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ1をロードモジュール102から取り上げ、前に処理されたウェーハウェーハ2をロードモジュール102に配置する。次に、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ1をウェーハオリエンタ106に移送する。ウェーハ移送ユニット104は前に位置合わせされたウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106から取り出し、未処理のウェーハウェーハ1をウェーハオリエンタ106上に配置する。しかし、上記で説明したが、認識されるように、適用例によってはそのウェーハウェーハ1は位置合わせされないことがある。次にウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ3をロードロックモジュール108に移送する。ウェーハ移送ユニット104は前に処理されたウェーハウェーハ4を第1のバッファ110から取り出し、位置合わせされたウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。次にウェーハ移送ユニット112は位置合わせされたウェーハウェーハ3を第2のバッファ114上に移送する。上記で説明したように、処理されたウェーハウェーハ4を第1のバッファ110から取り出し位置合わせされたウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する前に、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。次にウェーハ移送ユニット112は第2のバッファ114上の位置合わせされたウェーハウェーハ3を処理モジュール116に移送する。処理モジュール116がそのウェーハウェーハ3の処理を完了した後、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を処理モジュール116から取り出し、それを第1のバッファ110に移送する。上記で説明したように、ウェーハを処理モジュール116から取り出すかまたはウェーハを処理モジュール116に配置する前に、ロードロックモジュール1108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。上記で説明したように、ウェーハ移送ユニット104は、処理されたウェーハウェーハ3を第1のバッファ110から取り上げ、それをロードモジュール102に戻す。次にウェーハ移送ユニット104は別の未処理のウェーハウェーハ5をロードモジュール102から取り上げる。この処理を繰り返し、任意の数のウェーハカセット内の任意の数のウェーハを処理することができる。上記で説明したように、本発明の1つの態様によれば、制御システム118には、ツール100内でウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジューラが含まれる。さらに、制御システム118は、温度、圧力、時間、化学的性質、濃度等といった処理パラメータを指定するレシピを含んでもよい。さらに、異なったレシピを利用して、異なったバッチ、グループまたは組合せのウェーハをツール100内で処理してもよい。例えば、レシピは処理モジュール116内の処理時間の長さを指定してもよい。あるバッチのウェーハに対して、レシピは50秒といったある継続時間を指定してもよい。別のバッチのウェーハに対して、レシピは100秒といった継続時間を指定してもよい。すなわち、本発明の1つの態様によれば、スケジューラは、あるバッチのウェーハを処理する前に、そのバッチのウェーハに対するレシピを使用して処理すべきバッチのウェーハに対するスケジュールを生成してもよい。ここで図2を参照すると、スケジューラのための代表的なスケジュール生成処理200が示される。認識されるように、処理200の各動作及び動作の組合せ及び以下説明されるものはコンピュータ可読記憶媒体中に格納してもよく、コンピュータに対する命令として実現してもよい。また、認識されるように、各動作及び動作の組合せは、指定された機能または動作を行う専用ハードウェアによるコンピュータシステムまたは専用ハードウェアとコンピュータ命令との組合せによって実現してもよい。さらに、前に説明したように、スケジューラは制御モジュール118の構成要素であってもよく、独立したユニットであってもよい。引き続き図2を参照すると、本実施形態では、動作202では、制限時間が決定される。再び図1を参照すると、上記で説明したように、ツール100内でウェーハを処理することにはいくつかの動作が含まれうる。上記で説明した実施形態では、こうした動作は、処理モジュール116によって行われる動作を含む処理サイクルと、ロードロックモジュール108によって行われる動作を含むLLMサイクルと、ウェーハ移送ユニット104によって行われる動作を含む供給サイクルとに分類してもよい。以下さらに詳細に説明するように、各サイクルの継続時間を決定してもよい。次に、これらのサイクルの継続時間に基づいて制限時間を決定してもよい。しかし、認識されるように、制限時間を決定せずに、これらのサイクルの継続時間に基づいてスケジュールを決定してもよい。ここで図3を参照すると、代表的な処理サイクル300が示される。本実施形態では、処理サイクル300には処理モジュール116図1によって行われる動作が含まれる。さらに詳しく言うと、動作302では、図1を参照すると、ウェーハ移送ユニット112が未処理のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作304図3では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハを処理モジュール116に配置する。動作306図3では、未処理のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作308図3では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作310図3では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハを第1のバッファ110上に配置する。一例として、動作302、304、308、及び310は各々約5秒を要し、動作306は約60秒を要すると想定する。すなわち、この例では、処理サイクル300は約80秒を要する。しかし、認識されるように、動作302、304、308、及び310は同じ時間を費やす必要はなく、ツール100の設定によって変化してもよい。また、認識されるように、動作306の継続時間は個々の適用例に応じて変化してもよい。さらに、認識されるように、動作302~310の継続時間は明示的に計算してもよく、また経験的に決定してもよい。さて図4には、代表的なLLMサイクル400が示される。本実施形態では、LLMサイクル400には、ロードロックモジュール108図1によって行われる動作が含まれる。さらに詳しく言うと、動作402では、図1を参照すると、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内のものとほぼ等しくなるように通気される。動作404図4では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作406図4では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作408図4では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内のものと等しくなるように、密閉され排気される。動作410図4では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作412図4では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。図4に示したように、本実施形態では、動作410及び412は動作408と同時に行ってもよい。一例として、動作402及び408は各々約20秒を要すると想定する。動作404、406、410、及び412は各々約5秒を要する。すなわち、この例では、LLMサイクル400は約50秒を要する。しかし、認識されるように、動作402及び408は同じ時間を費やす必要はない。さらに、動作404、406、410、及び412は同じ時間を費やす必要はない。さらに、動作402~412の継続時間は個々の適用例に応じて変化してもよい。さらに、認識されるように、動作402~412の継続時間は明示的に計算してもよく、また経験的に決定してもよい。ここで図5を参照すると、代表的な供給サイクル500が示される。本実施形態では、供給サイクル500にはウェーハ移送ユニット104によって行われる動作が含まれる。さらに詳しく言うと、動作502では、図1を参照すると、ウェーハ移送ユニット104は処理すべきウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作504図5では、ウェーハ移送ユニット104は前に位置合わせされたウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作506図5では、ウェーハ移送ユニット104は、位置合わせすべきウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作404図5では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作406図5では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作508図5では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハをロードモジュール102に配置する。動作510図5では、ウェーハオリエンタ106はウェーハを位置合わせする。さらに、図5に示すように、本実施形態では、動作510は動作506に続いて動作404、406、及び/または508と同時に行ってもよい。さらに、分かりやすく完全を期すため、動作404及び406は供給サイクル500とLLMサイクル400図4との両方で示されている。しかし、認識されるように、動作404及び406は、供給サイクル500とLLMサイクル400図4の両方ではなく何れか1つの一部として一度行われる。一例として、動作404、406、及び502~510は各々約5秒を要すると想定する。上記で説明したように、動作510は動作404、406、及び/または508と同時に行ってもよい。すなわち、この例では、供給サイクル500は約30秒を要する。しかし、認識されるように、動作404、406、及び502は同じ時間を費やす必要はない。さらに、こうした動作の継続時間は個々の適用例に応じて変化してもよい。さらに、こうした動作の継続時間は明示的に計算してもよく、また経験的に決定してもよい。要約すると、上記で提供した例では、処理サイクル300図3は約80秒を要し、LLMサイクル図4は約50秒を要し、供給サイクル500図5は約30秒を要する。すなわち、この例では、処理サイクルが制限時間として決定される。再び図2を参照すると、制限時間が決定されたので、動作204では、制限時間に基づいてスケジュールが生成される。この例では、ここで図6を参照すると、代表的なスケジュール600が生成される。しかし、認識されるように、図6で示され説明される個々の動作、動作の順序、及び動作の継続時間はツール100の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール600も、ツール100の個々の構成と個々の適用例に応じて変化してもよい。例えば、前に指摘したように、ツール100はロードロックモジュール108なしで構成してもよい。すなわち、制限時間は処理サイクル300図3と供給サイクル500図5とに基づいて決定してもよい。すなわち、スケジュール600はLLMサイクル400図4なしで生成してもよい。しかし、この例では、ツール100はロードモジュール108を含むものと想定されている。さらに、上記で説明したように、処理サイクル300図3、LLMサイクル400図4、及び供給サイクル500図5の継続時間はそれぞれ80秒、50秒、及び30秒であるとされる。すなわち、処理サイクル300図3が制限時間として決定される。すなわち、この例では、スケジュール600は、処理サイクル300図3、次にLLMサイクル400図4、次に供給サイクル500図5に基づいて生成される。上記で指摘したが、認識されるように、制限時間を決定する動作は省略してもよい。そのかわり、スケジュール600は、処理サイクル300図3、LLMサイクル400図4、及び供給サイクル500図5の継続時間に直接基づいて決定してもよい。本発明の1つの態様によれば、スケジュール600は、処理サイクル300図3、LLMサイクル400図4、及び供給サイクル500図5をそろえることによって生成してもよい。以下様々な代表的なスケジュールの記述に関連して説明されるように、2つのサイクルの間で共有しうる動作または一方のサイクル中のある動作の前後の他方のサイクルの動作を利用する2つのサイクルをそろえてもよい。さらに、本発明の別の態様によれば、サイクルの継続時間によってサイクルをそろえる順序を決定してもよい。すなわち、制限時間として決定されるサイクルは残りのサイクルがそろえられるサイクルである。この例では、図6に示すように、LLMサイクル400図4が処理サイクル300図3にそろえられ、次に供給サイクル500図5がLLMサイクル400図4にそろえられる。さらに詳しく言うと、ロードロックモジュール108図1が通気される動作に対応する動作402が、ウェーハ移送ユニット112図1がウェーハを処理モジュール116図1に配置する動作に対応する動作304に続くように、LLMサイクル400図4が処理サイクル300図3にそろえられる。さらに、この例では、ウェーハ移送ユニット104が処理されたウェーハを第1のバッファ110図1から取り上げる動作に対応する動作404が、やはりロードロックモジュール108図1が通気される動作に対応する動作402の完了に続くように、供給サイクル500図5がLLMサイクル400図4にそろえられる。しかし、前に触れたように、スケジュール600は、ツール100が定常状態で動作している、すなわち、スケジュール100によって処理されるウェーハが処理される最初または最後のウェーハでないと想定している。したがって、図7に見られるように、本発明の1つの態様によれば、スケジュール600は開始スケジュール700を含んでもよい。さらに詳しく言うと、1つの実施形態では、開始スケジュール700には動作702~722が含まれる。動作702では、図1を参照すると、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作704図7では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作706図7では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作708では、ウェーハオリエンタ106は第1のウェーハを位置合わせする。動作710図7では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作712図7では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作714図7では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作716図7では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作718図7では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。動作720図7では、ロードロックモジュール108が通気される。動作722図7では、ロードロックモジュール108が密閉され排気される。さらに、図7に示すように、動作720は、ウェーハを第1のバッファ110図1上に配置する動作714が開始される前に完了する。さらに、動作722は、ウェーハを第1のバッファ110図1上に配置する動作714の後で開始される。本発明の別の態様によれば、図8を参照すると、スケジュール600は終了スケジュール800を含んでもよい。以下さらに詳細に説明するように、終了スケジュール800は、ツール100図1内で処理される最後のウェーハが、ツール100図1内で処理された前のウェーハと同じ熱履歴を有するように生成される。図8に示すように、動作802~826では、最後のウェーハがウェーハオリエンタ106図1から取り上げられ最後の2つ前のウェーハがロードモジュール102図1から戻される間に、最後の1つ前のウェーハが処理モジュール116図1内で処理される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作802図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作804図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを処理モジュール116に配置する。動作806図8では、最後の1つ前のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作808図8では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作810図8では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作812図8では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後の2つ前のウェーハは動作310図8で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。動作814図8では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作816図8では、ロードロックモジュールは、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように排気される。動作818図8では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハをロードモジュール102に配置する。動作820図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作822図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。動作824図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作826図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。図8に示すように、動作828~844では、最後のウェーハは、最後の1つ前のウェーハがロードモジュール102図1に戻される間に、処理モジュール116図1内で処理される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作828図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作830図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを処理モジュール116に配置する。動作832図8では、最後のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作834図8では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作836図8では、ウェーハ移送ユニット104は最後の1つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後の1つ前のウェーハは動作826図8で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。動作838図8では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように排気される。動作840図8では、ウェーハ移送ユニット104は最後の1つ前のウェーハをロードモジュール102に配置する。動作842図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作844図8では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。図8に示すように、動作846~850では、最後のウェーハがロードモジュール102図1に戻される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作846図8では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作848図8では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後のウェーハは動作844図8で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。動作850図8では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをロードモジュール102に配置する。すなわち、終了スケジュール600では、ウェーハ移送ユニット104図1がそれぞれ、最後の2つ前のウェーハ、最後の1つ前のウェーハ、及び最後のウェーハをロードモジュール102図1に戻す動作に対応する動作818、840、及び850は、処理モジュール116図1内でのウェーハの処理に続き同じ時間行われる。すなわち、前に指摘したように、これらのウェーハに関する熱履歴は均一に保持できる。上記の説明では、処理サイクル300図3が制限時間であると想定されていた。以下の説明は、LLMサイクル400図4または供給サイクル500図5が制限時間として決定される適用例でスケジュール600を生成する例を提供する。しかし、本発明の適用例の大部分では、処理サイクル300図3は、処理モジュール116図1内でウェーハを処理する動作に対応する動作310図3として制限時間となる見込みが高く、最長の制限時間を有する見込みが高い。図9を参照すると、一例として、処理サイクル300を完了するには約45秒を要すると想定する。さらに詳しく言うと、処理サイクル300では、動作306は約25秒を要する。また、LLMサイクル400図4及び供給サイクル500図5はそれぞれ約50秒及び約30秒を要すると想定する。従って、この例では、LLMサイクル400図4が制限時間である。ここで図10を参照すると、スケジュール1000はLLMサイクル400図9を制限時間として利用して生成すればよい。さらに詳しく言うと、図10に示すように、図9に示される処理サイクル300はLLMサイクル400図4にそろえられ、供給サイクル500図5はLLMサイクル400図4にそろえられる。この例では、ウェーハ移送ユニット112図1がウェーハを処理モジュール116図1に配置する動作に対応する動作304が、ロードロックモジュール108図1が通気される動作に対応する動作402の前になるように、処理サイクル300図9がLLMサイクル図4にそろえられる。さらに、この例では、処理されたウェーハを処理モジュール116図1から取り出す動作に対応する動作308が、ロードロックモジュール108図1が密閉され排気される動作に対応する動作408の完了に続くように、待機動作1002が動作306に続いて提供される。すなわち、この例では、動作1002は25秒を要する。しかし、認識されるように、待機動作1002は動作306を延長する任意の適当な継続時間でよい。この例では、次に、ウェーハ移送ユニット104が処理されたウェーハを第1のバッファ110図1から取り出す動作に対応する動作404が、やはりロードロックモジュール108図1が通気される動作に対応する動作402の完了に続くように、供給サイクル500図5が処理サイクル300図9にそろえられる。しかし、スケジュール1000は、ツール100図1が定常状態で動作している、すなわち、スケジュール1000によって処理されるウェーハが処理される最初または最後のウェーハでないと想定している。すなわち、本発明の1つの態様によれば、図11を参照すると、スケジュール1000は開始スケジュール1100を含む。さらに詳しく言うと、1つの実施形態では、開始スケジュール1100には動作1102~1122が含まれる。動作1102では、図1を参照すると、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作1104図11では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作1106図11では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作1108図11では、ウェーハオリエンタ106は第1のウェーハを位置合わせする。動作1110図11では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作1112図11では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作1114図11では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作1116図11では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作1118図11では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。動作1120図11では、ロードロックモジュール108が通気される。動作1122図11では、ロードロックモジュール108が密閉され排気される。さらに、図11に示すように、動作1120は、ウェーハを第1のバッファ110図1上に配置する動作1114が開始される前に完了する。さらに、動作1122は、ウェーハを第1のバッファ110図1上に配置する動作1114の後で開始される。本発明の別の態様によれば、図12を参照すると、スケジュール1000は終了スケジュール1200を含む。以下さらに詳細に説明するように、終了スケジュール1200は、ツール100図1内で処理される最後のウェーハが、ツール100図1内で処理された前のウェーハと同じ熱履歴を有するように生成される。図12に示すように、動作1202~1226では、最後のウェーハがウェーハオリエンタ106図1から取り上げられ最後の2つ前のウェーハがロードモジュール102図1に戻される間に、最後の1つ前のウェーハが処理モジュール116図1内で処理される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作1202図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作1204図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを処理モジュール116に配置する。動作1206図12では、最後の1つ前のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作1002図12では、最後の1つ前のウェーハは処理モジュール116内で待機する。動作1208図12では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作1210図12では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作1212図12では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後の2つ前のウェーハは動作310図12で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。動作1214図12では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作1216図12では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように排気される。動作1218図12では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハをロードモジュール102に配置する。動作1220図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作1222図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。動作1224図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作1226図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。図12に示すように、動作1228~1244では、最後のウェーハは、最後の1つ前のウェーハがロードモジュール102図1に戻される間に、処理モジュール116図1内で処理される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作1228図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作1230図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを処理モジュール116に配置する。動作1232図12では、最後のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作1002図12では、最後のウェーハは処理モジュール116内で待機する。動作1234図12では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作1236図12では、ウェーハ移送ユニット104は最後の1つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後の1つ前のウェーハは動作1226図12で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。動作1238図12では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作1240図12では、ウェーハ移送ユニット104は最後の1つ前のウェーハをロードモジュール102に配置する。動作1242図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作1244図12では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。図12に示すように、動作1246~1250では、最後のウェーハはロードモジュール102図1に戻される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作1246図12では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作1248図12では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後のウェーハは動作1244図12で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。動作1250図12では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをロードモジュール102に配置する。すなわち、終了スケジュール1200では、ウェーハ移送ユニット104図1がそれぞれ、最後の2つ前のウェーハ、最後の1つ前のウェーハ、及び最後のウェーハをロードモジュール102図1に戻す動作に対応する動作1218、1240、及び1250は、処理モジュール116図1内でのウェーハの処理に続き同じ時間で行われる。すなわち、前に指摘したように、これらのウェーハに関する熱履歴の均一性が維持できる。上記で提供した例では、処理サイクル300図9はLLMサイクル400図4より短い継続時間を有した。しかし、認識されるように、処理サイクル300図9がLLMサイクル400図4と等しいかそれより長い適用例では、動作306の後に適当な待機動作1002が続いてもよい。例えば、動作306が約30秒を要すると想定する。すなわち、処理サイクル300図9は約50秒を要する。処理サイクル300図9の継続時間はLLMサイクル400図4の継続時間と等しいが、好適には、動作408が完了した後に動作308が行われるように、動作306の後に待機動作1002が続く。この例では、待機動作1002は約20秒間となろう。ここで図13を参照すると、一例として、供給サイクル500を完了するには約90秒を要すると想定する。さらに詳しく言うと、供給サイクル500では、動作502及び508は各々完了するには約35秒を要する。また、処理サイクル300図3及びLLMサイクル図4はそれぞれ約70秒及び約50秒を要する。従って、この例では、供給サイクル500が制限時間として決定される。ここで図14を参照すると、スケジュール1400は図13に示される供給サイクル500を制限時間として利用して生成すればよい。さらに詳しく言うと、図13に示すように、処理サイクル300図3は供給サイクル500図13にそろえられ、次にLLMサイクル400図4は供給サイクル500図13及び処理サイクル300図3にそろえられる。この例では、ウェーハ移送ユニット104図1がウェーハをロードモジュール102図1から取り上げる動作に対応する動作502が、ウェーハ移送ユニット112図1がウェーハを第2のバッファ114図1から取り上げる動作に対応する動作302と同時に開始されるように、処理サイクル300図3が供給サイクル500図13にそろえられる。また、この例では、ロードロックモジュール108図1が通気される動作に対応する動作402が、ウェーハ移送ユニット112図1がウェーハを処理モジュール116図1に配置する動作に対応する動作304に続くように、LLMサイクル400図4が処理サイクル300図3にそろえられる。さらに、この例では、ウェーハ移送ユニット104図1がウェーハを第1のバッファ110図1上に配置する動作に対応するLLMサイクル400図4の動作404が供給サイクル500図13の動作404とそろえるように、LLMサイクル400図4が供給サイクル500図13にそろえられる。すなわち、この例では、ロードロックモジュール108図1が通気される動作に対応する動作402に続いて待機動作1402が提供される。この例では、待機動作1402は約15秒を要する。しかし、認識されるように、待機動作1402は任意の適当な長さでよい。さらに、この例では、ウェーハ移送ユニット112図1が処理されたウェーハを処理モジュール116図1から取り上げる動作に対応する動作308が、ロードロックモジュール108図1が排気される動作に対応する動作408の完了に続くように、動作306に続いて待機動作1404が提供される。この例では、待機動作1404は約5秒を要する。しかし、認識されるように、待機動作1404は任意の適当な長さでよい。しかし、スケジュール1400はツール100図1が定常状態で動作している、すなわち、スケジュール1400によって処理されるウェーハが処理される最初または最後のウェーハでないと想定している。すなわち、本発明の1つの態様によれば、図15を参照すると、スケジュール1400は開始スケジュール1500を含む。さらに詳しく言うと、1つの実施形態では、開始スケジュール1500には動作1502~1522が含まれる。動作1502では、図1を参照すると、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作1504図15では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作1506図15では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作1508図15では、ウェーハオリエンタ106は第1のウェーハを位置合わせする。動作1510図15では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作1512図15では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作1514図15では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作1516図15では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作1518図15では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。動作1520図15では、ロードロックモジュール108が通気される。動作1522図15では、ロードロックモジュール108が密閉され排気される。さらに、図15に示すように、動作1520は、ウェーハを第1のバッファ110上に配置する動作1514が開始される前に完了する。さらに、動作1522は、ウェーハを第1のバッファ110図1上に配置する動作1514の後で開始される。本発明の別の態様によれば、図16を参照すると、スケジュール1400は終了スケジュール1600を含む。以下さらに詳細に説明するように、終了スケジュール1600は、ツール100図1内で処理される最後のウェーハが、ツール100図1内で処理された前のウェーハと同じ熱履歴を有するように生成される。図16に示すように、動作1602~1626では、最後のウェーハがウェーハオリエンタ106図1から取り上げられ最後の2つ前のウェーハがロードモジュール102図1に戻される間に最後の1つ前のウェーハが処理モジュール116図1内で処理される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作1602図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作1604図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを処理モジュール116に配置する。動作1606図16では、最後の1つ前のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作1404図16では、最後の1つ前のウェーハは処理モジュール116内で待機する。動作1608図16では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作1610図16では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作1612図16では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後の2つ前のウェーハは動作310図16で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。また、待機動作1402図16は、ウェーハ移送ユニット104が最後の2つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる位置になるまで動作1608図16を延長することに注意されたい。動作1614図16では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作1616図16では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくかつツール100内の圧力より小さくなるように排気される。動作1618図16では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハをロードモジュール102に配置する。動作1620図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作1622図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。動作1624図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作1626図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後の1つ前のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。図16に示すように、動作1628~1644では、最後のウェーハは、最後の1つ前のウェーハがロードモジュール102図1に戻される間に処理モジュール116図1内で処理される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作1628図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作1630図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを処理モジュール116に配置する。動作1632図16では、最後のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作1404図16では、最後の1つ前のウェーハは処理モジュール116内で待機する。動作1634図16では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作1636図16では、ウェーハ移送ユニット104は最後の1つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後の1つ前のウェーハは動作1626図16で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。また、待機動作1402図16は、ウェーハ移送ユニット104が最後の1つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる位置になるまで動作1634図16を延長することに注意されたい。動作1638図16では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように排気される。動作1640図16では、ウェーハ移送ユニット104は最後の1つ前のウェーハをロードモジュール102に配置する。動作1642図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作1644図16では、ウェーハ移送ユニット112は最後のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。図16に示すように、動作1646~1650では、最後のウェーハはロードモジュール102図1に戻される。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、動作1646図16では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作1648図16では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。最後のウェーハは動作1644図16で第1のバッファ110上に配置されたことに注意されたい。動作1650図16では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをロードモジュール102に配置する。すなわち、終了スケジュール1600では、ウェーハ移送ユニット104図1がそれぞれ、最後の2つ前のウェーハ、最後の1つ前のウェーハ、及び最後のウェーハをロードモジュール102図1に戻す動作に対応する動作1618、1640、及び1650は、処理モジュール116図1内でのウェーハの処理に続き同じ時間で行われる。すなわち、前に指摘したように、これらのウェーハに関する熱履歴の均一性が維持できる。上記で提供した例では、供給サイクル500図13は処理サイクル300図3より長い継続時間を有した。しかし、認識されるように、供給サイクル500図13が処理サイクル300図3と等しいかそれより短い適用例では、動作402の後に適当な待機動作1402が続いてもよい。例えば、図17を参照すると、動作502及び508は各々約25秒を要すると想定する。すなわち、処理サイクル300図3の継続時間は供給サイクル500図13より長い。しかし、好適には、ウェーハ移送ユニット104図1が動作404を行う位置にあるように、動作402の後に待機動作1402が続く。この例では、待機動作1402は約5秒間となろう。再び図2を参照すると、制限時間に基づいてスケジュールを開発して、動作206で、そのスケジュールを実行する。上記で説明したように、再び図1を参照すると、1つの代表的な実施形態では、ツール100は、スケジュールを実行するよう構成された適当なコンピュータハードウェア及びソフトウェアを有する制御モジュール118を含んでもよい。本発明の1つの態様によれば、スケジュールの実行は、イベント駆動型、タイマ駆動型、またはイベント及びタイマ駆動型の組合せでよい。以下説明するように、実行すべき個々のスケジュールに応じて、スケジュールを実行するこうした方式の1つが好適になりうる。イベント駆動型の実行では、スケジュールの動作は別の動作の実行に応答して実行される。例えば、図6を参照すると、スケジュール600では、動作402の実行は動作304の完了によってトリガすればよい。さらに詳しく言うと、図1を参照すると、ウェーハ移送ユニット112がウェーハを処理モジュール116に配置し終えると図6の動作304、ロードロックモジュール108は通気を開始する図6の動作402。1つの代表的な実施形態では、ウェーハ移送ユニット112がウェーハを処理モジュール116に配置する動作を完了した時制御モジュール118に信号を送るセンサをロードロックモジュール108及び/または処理モジュール116内に提供する。そして制御モジュール118は通気を開始する適当な制御信号をロードロックモジュール108に送る。イベント駆動型の実行の1つの利点は、処理時間、メモリ空間等といったコンピュータリソースの利用が少なくてよいことである。さらに、ウェーハ移送ユニット104の能力が時間制限である場合、イベント駆動型はタイマ駆動型より高速に実行される。例えば、図14に示されるスケジュール1400はタイマ駆動型ではなくイベント駆動型を利用して実行すればよい。タイマ駆動型では、スケジュールの動作は所定の時間設定または間隔で実行される。例えば、再び図6を参照すると、スケジュール600では、動作304及び402は、それぞれ5秒及び10秒といった個々の時間設定で実行すればよい。また、動作404は動作304の5秒後に実行してもよい。すなわち、制御モジュール118はタイミング機構を含んでもよい。タイマ駆動型実行の1つの利点は、ウェーハの熱履歴のより高い均一性を提供できることである。すなわち、ウェーハ移送ユニット104の能力が時間制限でない場合、厳密なイベント駆動型実行よりもタイマ駆動型実行が好適である。例えば、図6に示されるスケジュール600はイベント駆動型ではなくタイマ駆動型を利用して実行すればよい。上記で指摘したように、別の代替案はイベント駆動型及びタイマ駆動型の組合せであり、その場合一部の動作はイベント駆動型で実行され他の動作はタイマ駆動型で実行される。例えば、再び図6を参照すると、スケジュール600では、動作402、及び502の実行はタイマ駆動型でよいが、スケジュール600の残りの動作の実行はイベント駆動型である。さらに詳しく言うと、動作302は、スケジュール600の前の実行に由来する動作310の完了によってトリガしてもよい。すなわち、図1を参照すると、ウェーハ移送ユニット112は、前に処理されたウェーハを第1のバッファ110上に配置した後未処理のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。再び図6を参照すると、動作402は特定の時間設定または間隔で実行される。図6に示すように、動作402は、スケジュール600の実行が最初に開始されてから10秒後に実行される。動作404は動作402が完了すると実行される。すなわち、図1を参照すると、ロードロックモジュール108は、スケジュール600の実行が始まってから10秒過ぎたところで通気を開始する。しかし、ウェーハ移送ユニット104は、ロードロックモジュール108が通気を完了して初めて処理されたウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。イベント駆動型及びタイマ駆動型を組み合わせて実行することの1つの利点は、コンピュータリソースの利用を少なくしつつ熱履歴のより高い均一性が維持できることである。すなわち、図6に示されるスケジュール600は好適には、イベント駆動型及びタイマ駆動型の組合せを利用して実行される。図1を参照すると、これまで1つのロードロックモジュール108及び処理モジュール116を有するツール100に関連してウェーハの処理に関するスケジュールの生成が説明された。しかし、前に触れたように、ツール100は任意の数のロードロックモジュール108及び処理モジュール116を備えるよう構成してもよい。以下代替の代表的な実施形態に関連して代表的なするように、1つのロードロックモジュール108及び処理モジュール116を有するツール100について図2で示され上記で説明されたスケジュール生成処理を利用して、多数のロードロックモジュール108及び処理モジュール116を有するツール100についてのスケジュールを生成してもよい。図18を参照すると、1つの代替実施形態では、追加のロードロックモジュール1808及び処理モジュール1816を有するツール100が示される。認識されるように、処理モジュール116及び1816は同じかまたは異なったウェーハ処理動作を行うことができる。さらに、処理モジュール116及び1816は並列または直列に動作してもよい。以下さらに詳細に説明するように、処理モジュール116及び1816が並列に動作する場合、ウェーハは処理モジュール116または処理モジュール1816の何れかで処理される。それと対照的に、処理モジュール116及び1816が直列に動作する場合、ウェーハは処理モジュール116及び処理モジュール1816の両方で処理される。便宜上かつわかりやすくするため、処理サイクル300図3は処理モジュール116及び処理モジュール1816についての処理サイクルを示すと想定する。同様に、LLMサイクル400図4及び供給サイクル500は処理モジュール116及び処理モジュール1816についてのLLMサイクル及び供給サイクルを示すと想定する。しかし、認識されるように、処理モジュール116及び1816は異なった処理サイクル、LLMサイクル、及び/または供給サイクルを有してもよい。さらに、上記で説明したように、こうしたサイクルの継続時間は明示的に計算してもよく、また経験的に決定してもよい。上記で説明したように、図2を参照すると、スケジュール生成処理200を利用して、処理モジュール116図18及び1816図18を有するツール100におけるウェーハ移動スケジュールを生成してもよい。一例として、ここでは処理モジュール116図18及び1816図18が並列に動作すると想定する。すなわち、ウェーハは処理モジュール116図18または1816図18の何れかで処理され、両方で処理されることはない。図2に示すように、動作202で、制限時間が決定される。上記で指摘したように、この例では、処理モジュール116及び1816は、それぞれ図3、図4、及び図5で示されるような処理、LLM、及び供給サイクルを有すると想定する。すなわち、本発明の前の実施形態に関連して説明したように、処理サイクル300図3が制限時間として決定される。動作202では、制限時間に基づいてスケジュールが生成される。ここで図19を参照すると、処理モジュール116図18及び1816図18を有するツール100図18内でウェーハを処理するスケジューリングについての代表的なスケジュール1900が示される。しかし、認識されるように、図19で示され説明される個々の動作、動作の順序及び動作の継続時間はツール100図18の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール1900も、ツール100図18の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。スケジュール1900の様々な動作が以下さらに詳細に説明される。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール100内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール100内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は1つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。この例では、図18を参照し処理モジュール116に関連して、動作1902図19では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を第2のバッファ114から取り上げる。動作1904図19では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を処理モジュール116に配置する。動作1906図19では、ウェーハウェーハ1が処理モジュール116内で処理される。動作1908図19では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を処理モジュール116から取り上げる。動作1910図19では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を第1のバッファ110上に配置する。動作1912図19では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作1920図19では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をロードモジュール102から取り上げる。動作1922図19では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作1924図19では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作1944図19では、ウェーハウェーハ2が位置合わせされる。動作1926図19では、ウェーハ移送ユニット104は、第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ4を取り出す。動作1928図19では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。動作1914図19では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作1916図19では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110から取り上げる。動作1918図19では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114上に配置する。動作1930図19では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ4をロードモジュール102に配置する。ここで処理モジュール1816に関連して、動作1956図19では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第2のバッファ1814から取り上げる。動作1958図19では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を処理モジュール1816に配置する。動作1960図19では、ウェーハウェーハ5が処理モジュール1816内で処理される。動作1962図19では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を処理モジュール1816から取り上げる。動作1964図19では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を第1のバッファ1810上に配置する。動作1952図19では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作1932図19では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をロードモジュール102から取り上げる。動作1934図19では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作1936図19では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作1946図19では、ウェーハウェーハ6が位置合わせされる。動作1938図19では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ7を取り上げる。動作1940図19では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810上に配置する。動作1954図19では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作1948図19では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810から取り上げる。動作1950図19では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ1814上に配置する。動作1942図19では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ7をロードモジュール102に配置する。再び図19を参照すると、動作1980~1992は処理モジュール116についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作1980図19では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ114から取り上げる。動作1982図19では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ2を処理モジュール116に配置する。動作1984図19では、ウェーハウェーハ2が処理モジュール116内で処理される。動作1988図19では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ8をロードモジュール102から取り上げる。動作1990図19では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作1992図19では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ8をウェーハオリエンタ106上に配置する。再び図19を参照すると、動作1970~1976は処理モジュール1816についての前の処理サイクルの完了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作1970図19では、ウェーハウェーハ7が処理モジュール1816内で処理される。動作1972図19では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ7を処理モジュール1816から取り上げる。動作1974図19では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ7を第1のバッファ1810上に配置する。動作1976では、ロードロックモジュール1808は密閉され排気される過程にある。スケジュール1900は、ツール100が定常状態で動作している、すなわち、スケジュール1900によって処理されるウェーハが処理される最初または最後のウェーハでないと想定している。したがって、本発明の1つの態様によれば、図20のように、スケジュール1900は開始スケジュール2000を含んでもよい。さらに詳しく言うと、1つの実施形態では、開始スケジュール2000には動作2002~20104が含まれる。動作2002では、図18を参照し処理モジュール116に関連して、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作2004図20では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2006図20では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作2032図20では、ウェーハオリエンタ106は第1のウェーハを位置合わせする。動作2008図20では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2010図20では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2022図20では、ロードロックモジュール108が通気される。動作2012図20では、ウェーハ移送ユニット104は第1のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作2024図20では、ロードロックモジュール108が密閉され排気される。動作2026図20では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作2028図20では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。動作2036図20では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作2038図20では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを処理モジュール116内に配置する。動作2040図20では、第1のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作2042図20では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作2044図20では、ウェーハ移送ユニット112は第1のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。処理モジュール1816に関連して、動作2014図20では、ウェーハ移送ユニット104は第3のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作2016図20では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2018図20では、ウェーハ移送ユニット104は第3のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2030図20では、ウェーハオリエンタ106は第3のウェーハを位置合わせする。動作2034図20では、ロードロックモジュール1808が通気される。動作2020図20では、ウェーハ移送ユニット104は第2のウェーハを第1のバッファ1810上に配置する。動作2094図20では、ロードロックモジュール1808が密閉され排気される。動作2072図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第2のウェーハを第1のバッファ1810から取り上げる。動作2074図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第2のウェーハを第2のバッファ1814上に配置する。動作2096図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第1のウェーハを第2のバッファ1814から取り上げる。動作2098図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第1のウェーハを処理モジュール1816内に配置する。動作20104図20では、第2のウェーハが処理モジュール1816内で処理される。図20を参照すると、動作20104はスケジュール1900の動作1970として継続されることに注意されたい。すなわち、再び図18を参照すると、動作1972図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第2のウェーハを処理モジュール1816から取り上げる。動作1974図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第2のウェーハを第1のバッファ1810上に配置する。再び処理モジュール116に関連して、動作2050図20では、ウェーハ移送ユニット104は第4のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作2052図20では、ウェーハ移送ユニット104は第3のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2054図20では、ウェーハ移送ユニット104は第4のウェーハを位置合わせす装置106上に配置する。動作2076図20では、ウェーハオリエンタ106は第4のウェーハを位置合わせする。動作2046図20では、ロードロックモジュール108が通気される。動作2056図20では、ウェーハ移送ユニット104は第3のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作2048図20では、ロードロックモジュール108が密閉され排気される。動作2078図20では、ウェーハ移送ユニット112は第3のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作2080図20では、ウェーハ移送ユニット112は第3のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。動作1902図20では、ウェーハ移送ユニット112は第3のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作1904図20では、ウェーハ移送ユニット112は第3のウェーハを処理モジュール116に配置する。動作1906図20では、第3のウェーハが処理モジュール116内で処理される。再び処理モジュール1816に関連して、動作2058図20では、ウェーハ移送ユニット104は第5のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作2060図20では、ウェーハ移送ユニット104は第4のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2062図20では、ウェーハ移送ユニット104は第5のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2082図20では、ウェーハオリエンタ106は第5のウェーハを位置合わせする。動作20100図20では、ロードロックモジュール108が通気される。動作2068図20では、ウェーハ移送ユニット104は第4のウェーハを第1のバッファ1810上に配置する。動作20102図20では、ロードロックモジュール1808が密閉され排気される。図20を参照すると、動作20102はスケジュール1900の動作1976として継続されることに注意されたい。再び図18を参照すると、動作2090図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第4のウェーハを第1のバッファ1810から取り上げる。動作2092図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第4のウェーハを第2のバッファ1814上に配置する。動作1956図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第4のウェーハを第2のバッファ1814から取り上げる。動作1958図20では、ウェーハ移送ユニット1812は第4のウェーハを処理モジュール1816に配置する。動作1960図20では、第4のウェーハが処理モジュール1816内で処理される。本発明の別の態様によれば、図21を参照すると、スケジュール1900は終了スケジュール2100を含んでもよい。以下さらに詳細に説明するように、終了スケジュール2100は、ツール100図18内で処理される最後のウェーハが、ツール100図18内で処理された前のウェーハと同じ熱履歴を有するように生成される。処理モジュール116図18に関連して、図21に示すように、最後の4つ前のウェーハが動作1984で処理される。図18を参照すると、動作2102図21では、ウェーハ移送ユニット112は最後の4つ前のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作2104図21では、ウェーハ移送ユニット112は最後の4つ前のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作1988図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをロードモジュール102から取り上げる。動作1990図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作1992図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2122図21では、ウェーハオリエンタ106は最後のウェーハを位置合わせする。動作210621では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作2108図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の6つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作2112図21では、ウェーハ移送ユニットは最後の6つ前のウェーハをロードモジュール102内に配置する。動作2110図21では、ロードロックモジュール108が密閉され排気される。動作2192図21では、ウェーハ移送ユニット112は最後の2つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作2194図21では、ウェーハ移送ユニット112は最後の2つ前のウェーハを第2のバッファ114上に配置する。処理モジュール1816に関連して、動作2132図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後の3つ前のウェーハを第2のバッファ1814から取り上げる。動作2134図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後の3つ前のウェーハを処理モジュール1816内に配置する。動作2136図21では、最後の3つ前のウェーハが処理モジュール1816内で処理される。動作2164図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後の3つ前のウェーハを処理モジュール1816から取り上げる。動作2166図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後の3つ前のウェーハを第1のバッファ1810上に配置する。動作2114図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2124図21では、ロードロックモジュール1808が通気される。動作2116図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の5つ前のウェーハを第1のバッファ1810から取り上げる。最後の5つ前のウェーハは動作1962図21で処理モジュール1816から取り出され、動作1964図21で第1のバッファ1810上に配置されたことに注意されたい。動作2118図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハを第1のバッファ1810上に配置する。動作2120図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の5つ前のウェーハをロードモジュール102内に配置する。動作2130図21では、ロードロックモジュール1808が密閉され排気される。動作2126図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後のウェーハを第1のバッファ1810から取り上げる。動作2128図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後のウェーハを第2のバッファ1814上に配置する。処理モジュール116に関連して、動作2138図21では、ウェーハ移送ユニット112は最後の2つ前のウェーハを第2のバッファ114から取り上げる。動作2140図21では、ウェーハ移送ユニット112は最後の2つ前のウェーハを処理モジュール116内に配置する。動作2142図21では、最後の2つ前のウェーハが処理モジュール116内で処理される。動作2144図21では、ウェーハ移送ユニット112は最後の2つ前のウェーハを処理モジュール116から取り上げる。動作2146図21では、ウェーハ移送ユニット112は最後の2つ前のウェーハを第1のバッファ110上に配置する。動作2148図21では、ロードロックモジュール108が通気される。動作2150図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の4つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作2154図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の4つ前のウェーハをロードモジュール102内に配置する。動作2152図21では、ロードロックモジュール108が密閉され排気される。処理モジュール1816に関連して、動作2168図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後のウェーハを第2のバッファ1814から取り上げる。動作2170図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後のウェーハを処理モジュール1816内に配置する。動作2172図21では、最後のウェーハが処理モジュール1816内で処理される。動作2174図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後のウェーハを処理モジュール1816から取り上げる。動作2176図21では、ウェーハ移送ユニット1812は最後のウェーハを第1のバッファ1810上に配置する。動作2160図21では、ロードロックモジュール1808が通気される。動作2156図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の3つ前のウェーハを第1のバッファ1810から取り上げる。動作2158図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の3つ前のウェーハをロードモジュール102内に配置する。動作2162図21では、ロードロックモジュール1808が密閉され排気される。再び処理モジュール116に関連して、動作2186図21では、ロードロックモジュール108が通気される。動作2188図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハを第1のバッファ110から取り上げる。動作2190図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後の2つ前のウェーハをロードモジュール102内に配置する。再び処理モジュール1816に関連して、動作2178図21では、ロードロックモジュール1808が通気される。動作2180図21では、ウェーハ移送ユニット1804は最後のウェーハを第1のバッファ1810から取り上げる。動作2182図21では、ウェーハ移送ユニット104は最後のウェーハをロードモジュール102内に配置する。すなわち、終了スケジュール2100では、ウェーハ移送ユニット104図18がそれぞれ、最後の6つ前のウェーハ、最後の5つ前のウェーハ、最後の4つ前のウェーハ、最後の3つ前のウェーハ、最後の2つ前のウェーハ、及び最後のウェーハをロードモジュール102図18に戻す動作に対応する動作2112、2120、2154、2158、2190、及び2182は、処理モジュール116図18及び1816図18内でのウェーハの処理に続き同じ時間で行われる。すなわち、前に触れたように、これらのウェーハに関する熱履歴の均一性が維持できる。再び図2を参照すると、制限時間に基づいてスケジュールを開発したので、動作206で、そのスケジュールを実行する。上記でさらに詳細に説明したように、再び図1を参照すると、1つの代表的な実施形態では、ツール100はスケジュールを実行するよう構成された適切なハードウェア及びソフトウェアを有する制御モジュール118を含んでもよい。また、スケジューラはスケジュールを実行するよう構成された適切なハードウェア及びソフトウェアを有する独立したユニットとして構成してもよい。図18を参照すると、上記の説明では、処理モジュール116及び1816内でのウェーハ処理動作の継続時間は同じであると想定された。さらに、上記で説明したように、処理モジュール116及び1816についてのスケジュールは一緒に生成された。しかし、認識されるように、処理モジュール116及び1816内でのウェーハ処理動作の継続時間は個々の適用例に応じて変化してもよい。また、認識されるように、両方の処理モジュール116及び1816を利用するスケジュールが生成されツール100上で実行される時、処理モジュール116または1816の何れかを利用するスケジュールがすでにツール100上で動作していてもよい。一例として、処理モジュール116及び1816内での処理サイクルの継続時間がそれぞれ約80秒及び110秒であると想定する。しかし、認識されるように、処理モジュール116についての処理サイクルの継続時間は処理モジュール1816のものより長くてもよい。一例として、両方の処理モジュール116及び1816を利用するスケジュールが生成され実行される時、スケジュール600図6もすでに処理モジュール116について生成され動作していると想定する。しかし、認識されるように、処理モジュール1816は処理モジュール116が利用される時に動作していてもよい。ここで、処理モジュール1816内での処理サイクルは処理モジュール116内のものより優先されると想定する。例えば、適用例によっては、処理モジュール116内で処理されるウェーハの熱履歴の均一性を維持するより、処理モジュール1816内でウェーハを迅速に処理する方が望ましいことがある。こうした適用例では、より短い処理サイクルを有する処理モジュール116の処理サイクル間に待機期間が提供される。例えば、ここで図22を参照すると、スケジュール2200では、処理モジュール1816図18についての処理サイクルが優先されると想定され、処理モジュール116図18及び1816図18についての処理サイクルの継続時間はそれぞれ約80秒及び約110秒である。すなわち、スケジュール2200では、処理モジュール116図18内の処理サイクル間に待機期間が提供されるが、これは処理モジュール1816図18と処理モジュール116図18との処理サイクルの持続期間の差に等しく、この例では約30秒である。ここでスケジュール2200の様々な動作を以下さらに詳細に説明する。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール100図18内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール100図18内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は1つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。この例では、図18を参照し処理モジュール116に関連して、動作2202図22では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を第2のバッファ114から取り上げる。動作2204図22では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を処理モジュール116に配置する。動作2206図22では、ウェーハウェーハ1が処理モジュール116内で処理される。動作2208図22では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を処理モジュール116から取り上げる。動作2210図22では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を第1のバッファ110上に配置する。動作2212図22では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2220図22では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をロードモジュール102から取り上げる。動作2222図22では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2224図22では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2244図22では、ウェーハウェーハ2が位置合わせされる。動作2226図22では、ウェーハ移送ユニット104は、第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ4を取り出す。動作2228図22では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。動作2214図22では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2216図22では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110から取り上げる。動作2218図22では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114上に配置する。動作2230図22では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ4をロードモジュール102に配置する。ここで処理モジュール1816に関連して、動作2256図22では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第2のバッファ1814から取り上げる。動作2258図22では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を処理モジュール1816に配置する。動作2260図22では、ウェーハウェーハ5が処理モジュール1816内で処理される。動作2262図22では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を処理モジュール1816から取り上げる。動作2264図22では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を第1のバッファ1810上に配置する。動作2252図22では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2232図22では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をロードモジュール102から取り上げる。動作2234図22では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2236図22では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2246図22では、ウェーハウェーハ6が位置合わせされる。動作2238図22では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ7を取り上げる。動作2240図22では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810上に配置する。動作2254図22では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2248図22では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810から取り上げる。動作2250図22では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ1814上に配置する。動作2242図22では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ7をロードモジュール102に配置する。再び図22を参照すると、動作2280~2292は処理モジュール116についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作2280図22では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ114から取り上げる。動作2282図22では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ2を処理モジュール116に配置する。動作2284図22では、ウェーハウェーハ2が処理モジュール116内で処理される。動作2286図22では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2288図22では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ8をロードモジュール102から取り上げる。動作2290図22では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2292図22では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ8をウェーハオリエンタ106上に配置する。再び図22を参照すると、動作2270~2274は処理モジュール1816についての前の処理サイクルの完了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作2270図22では、ウェーハウェーハ7が処理モジュール1816内で処理される。動作2272図22では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ7を処理モジュール1816から取り上げる。動作2274図19では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ7を第1のバッファ1810上に配置する。前に指摘し図22に示したように、処理モジュール116についての処理サイクルには、処理モジュール1816についての処理サイクルと処理モジュール116についての処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間が含まれる。図22に示したように、この例では、待機期間の継続時間は約30秒である。再び図18を参照すると、ここで、処理モジュール116についての処理サイクルは処理モジュール1816についての処理サイクルより優先されると想定する。例えば、適用例によっては、処理モジュール116内で処理されたウェーハの熱履歴を維持することが望ましいことがある。適用例によっては、以下説明するように、優先される処理サイクルの継続時間が他の処理サイクルより短い場合、優先される処理サイクルが繰り返され、優先される処理サイクルと他の処理サイクルとの間に待機期間が提供される。例えば、ここで図23を参照すると、スケジュール2300では、処理モジュール116図18についての処理サイクルが優先されると想定され、処理モジュール116図18及び1816図18についての処理サイクルの継続時間はそれぞれ約80秒及び約110秒である。すなわち、スケジュール2300では、処理モジュール116図18内の処理サイクルが繰り返され、処理モジュール1816図18内の処理サイクル間に待機期間が提供されるが、これは処理モジュール116図18内の処理サイクルの継続時間の2倍と処理モジュール1816図18内の処理サイクルとの間の差に等しく、この例では約30秒である。ここでスケジュール2300の様々な動作を以下さらに詳細に説明する。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール100図18内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール100図18内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は1つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。この例では、図18を参照し処理モジュール116に関連して、動作2302図23では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を第2のバッファ114から取り上げる。動作2304図23では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を処理モジュール116に配置する。動作2306図23では、ウェーハウェーハ1が処理モジュール116内で処理される。動作2308図23では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を処理モジュール116から取り上げる。動作2310図23では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を第1のバッファ110上に配置する。動作2312図23では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2320図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をロードモジュール102から取り上げる。動作2322図23では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2324図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2344図23では、ウェーハウェーハ2が位置合わせされる。動作2326図23では、ウェーハ移送ユニット104は、第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ4を取り出す。動作2328図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。動作2314図23では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2316図23では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110から取り上げる。動作2318図23では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114上に配置する。動作2330図22では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ4をロードモジュール102に配置する。ここで処理モジュール1816に関連して、動作2356図23では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第2のバッファ1814から取り上げる。動作2358図23では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を処理モジュール1816に配置する。動作2360図23では、ウェーハウェーハ5が処理モジュール1816内で処理される。動作2362図23では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を処理モジュール1816から取り上げる。動作2364図23では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を第1のバッファ1810上に配置する。動作2352図23では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2332図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をロードモジュール102から取り上げる。動作2334図23では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2336図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2346図23では、ウェーハウェーハ6が位置合わせされる。動作2338図23では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ7を取り上げる。動作2340図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810上に配置する。動作2354図23では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2348図23では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810から取り上げる。動作2350図23では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ1814上に配置する。動作2342図23では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ7をロードモジュール102に配置する。再び図23を参照すると、動作2380~23110は処理モジュール116図18についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作2380図23では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114から取り上げる。動作2382図23では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を処理モジュール116に配置する。動作2384図23では、ウェーハウェーハ3が処理モジュール116内で処理される。動作23100では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を処理モジュール116から取り上げる。動作23102では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。さらに、動作2386では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2388図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ8をロードモジュール102から取り上げる。動作2390図23では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2392図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ8をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作23110図23では、ウェーハウェーハ8が位置合わせされている。動作2394図23では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ1を取り上げる。動作2396図23では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6を第1のバッファ110上に配置する。動作23104図23では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作23106図23では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ6を第1のバッファ110から取り上げる。動作23108図23では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ6を第2のバッファ114上に配置する。動作2398図23では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ1をロードモジュール102に配置する。前に指摘し図23に示したように、処理モジュール1816図18についての処理サイクルには、処理モジュール116図18についての処理サイクルの継続時間の2倍と処理モジュール1816図18についての処理サイクルの継続時間との間の差に等しい待機期間が含まれる。図23に示したように、この例では、待機期間の持続期間は約50秒である。再び図18を参照すると、前に指摘したように、ツール100の処理モジュール116及び1816は直列に動作するよう構成してもよい。例えば、ウェーハはまず処理モジュール116内で処理し次に処理モジュール1816内で処理してもよい。認識されるように、ウェーハはまず処理モジュール1816内で処理し次に処理モジュール116内で処理してもよい。ここで図24を参照すると、処理モジュール116図18及び1816図18内でウェーハを直列処理するスケジューリングについての代表的なスケジュール2400が示される。さらに詳しく言うと、この例では、ウェーハはまず処理モジュール116図18内で処理され次に処理モジュール1816図18内で処理される。認識されるように、図24で示され説明される個々の動作、動作の順序、及び動作の継続時間はツール100図18の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール2400も、ツール100図18の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。スケジュール2400の様々な動作が以下さらに詳細に説明される。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール100内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール100図18内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は1つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。この例では、図18を参照し処理モジュール116に関連して、動作2402図24では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を第2のバッファ114から取り上げる。動作2404図24では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を処理モジュール116に配置する。動作2406図24では、ウェーハウェーハ1が処理モジュール116内で処理される。動作2408図24では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を処理モジュール116から取り上げる。動作2410図24では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を第1のバッファ110上に配置する。動作2412図24では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2420図24では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をロードモジュール102から取り上げる。動作2422図24では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2424図24では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2444図24では、ウェーハウェーハ2が位置合わせされる。動作2426図24では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ4を取り出す。動作2428図24では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。動作2414図24では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2416図24では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110から取り上げる。動作2418図24では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114上に配置する。ここで処理モジュール1816に関連して、動作2456図24では、ウェーハ移送ユニット1812は、処理モジュール116内で前に処理されたが処理モジュール1816内でまだ処理されていないウェーハウェーハ5を第2のバッファ1814から取り上げる。動作2458図24では、ウェーハ移送ユニット1812はこのウェーハウェーハ5を処理モジュール1816内に配置する。動作2460図24では、ウェーハウェーハ5が処理モジュール1816内で処理される。動作2462図24では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を処理モジュール1816から取り上げる。動作2464図24では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を第1のバッファ1810上に配置する。動作2452図24では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2438図24では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ6を取り上げる。動作2440図24では、ウェーハ移送ユニット104は処理モジュール116内で前に処理されたウェーハウェーハ4を第1のバッファ1810上に配置する。動作2454図24では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2448図24では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ4を第1のバッファ1810から取り上げる。動作2450図24では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ4を第2のバッファ1814上に配置する。動作2442図24では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ6をロードモジュール102に配置する。再び図24を参照すると、動作2480~24110は処理モジュール116図18についての別の処理サイクルに関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作2480図24では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114から取り上げる。動作2482図24では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を処理モジュール116に配置する。動作2484図24では、ウェーハウェーハ3が処理モジュール116内で処理される。動作24100では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を処理モジュール116から取り上げる。動作24102では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。さらに、動作2486では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2488図24では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ7をロードモジュール102から取り上げる。動作2490図24では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2492図24では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ7をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作24110図24では、ウェーハウェーハ7が位置合わせされる。動作2494図24では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ1を取り上げる。動作2496図24では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ110上に配置する。動作24104図24では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作24106図24では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ110から取り上げる。動作24108図24では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ114上に配置する。再び図24を参照すると、動作24116~24128は処理モジュール1816図18についての別の処理サイクルに関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作24116図24では、ウェーハ移送ユニット1812は、処理モジュール116内で前に処理されたが処理モジュール1816ウェーハ4内でまだ処理されていないウェーハウェーハ4を第2のバッファ1814から取り上げる。動作24118図24では、ウェーハ移送ユニット1812はこのウェーハウェーハ4を処理モジュール1816内に配置する。動作24120図24では、ウェーハウェーハ4が処理モジュール1816内で処理される。動作24122図24では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作24112図24では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ5を取り上げる。動作24114図24では、ウェーハ移送ユニット104は処理モジュール116内で前に処理されたウェーハウェーハ1を第1のバッファ1810上に配置する。動作24124図24では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作24126図24では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ1を第1のバッファ1810から取り上げる。動作24128図24では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ1を第2のバッファ1814上に配置する。動作2498図24では、処理されたウェーハウェーハ5をロードモジュール102に配置する。再び図24を参照すると、動作2472及び2474は処理モジュール1816図18についての前の処理サイクルの完了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作2472図24では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ6を処理モジュール1816から取り上げる。動作2474図24では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ6を第1のバッファ1810上に配置する。以下の説明と関連する図面では、本発明の代替実施形態を3つ及び4つの処理モジュールを有するツール100図25及び図27に関連して説明し図示する。しかし、認識されるように、ツール100図25及び図27は任意の数の処理モジュールを含んでもよい。ここで図25を参照すると、ロードロックモジュール108、1808、及び2508、及び処理モジュール116、1816、及び2516を有するツール100が示される。ここで図26を参照すると、図25に示されるツール100内でのウェーハの処理をスケジューリングする代表的なスケジュール2600が示される。しかし、認識されるように、図26で示され説明される個々の動作、動作の順序、及び動作の継続時間はツール100図25の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール2600も、ツール100図25の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。スケジュール2600の様々な動作が以下さらに詳細に説明される。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール100図25内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール100図25内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は1つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。この例では、図25を参照し処理モジュール116に関連して、動作2650図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を第2のバッファ114から取り上げる。動作2651図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を処理モジュール116に配置する。動作2652図26では、ウェーハウェーハ1が処理モジュール116内で処理される。動作2653図26では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を処理モジュール116から取り上げる。動作2654図26では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を第1のバッファ110上に配置する。動作2655図26では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2608図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をロードモジュール102から取り上げる。動作2609図26では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2610図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2638図26では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ2を位置合わせする。動作2611図26では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ4を取り上げる。動作2612図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。動作2656図26では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2657図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110から取り上げる。動作2658図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114上に配置する。動作2613図26では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ4をロードモジュールに配置する。ここで処理モジュール1816に関連して、動作2660図26では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第2のバッファ1814から取り上げる。動作2661図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ5を処理モジュール1816内に配置する。動作2662図26では、ウェーハウェーハ5が処理モジュール1816内で処理される。動作2663図26では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を処理モジュール1816から取り上げる。動作2664図26では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を第1のバッファ1810上に配置する。動作2665図26では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2614図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をロードモジュール102から取り上げる。動作2615図26では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2616図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2639図26では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ6を位置合わせする。動作2617図26では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ7を取り上げる。動作2618図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810上に配置する。動作2666図26では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2667図26では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810から取り上げる。動作2668図26では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ1814上に配置する。動作2619図26では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ7をロードモジュール102に配置する。ここで処理モジュール2516に関連して、動作2670図26では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ8を第2のバッファ2514から取り上げる。動作2671図26では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ8を処理モジュール2516内に配置する。動作2672図26では、ウェーハウェーハ8が処理モジュール2516内で処理される。動作2673図26では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ8を処理モジュール2516から取り上げる。動作2674図26では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ8を第1のバッファ2510上に配置する。動作2675図26では、ロードロックモジュール2508は、ロードロックモジュール2508内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2620図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ9をロードモジュール102から取り上げる。動作2621図26では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2622図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ9をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2640図26では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ9を位置合わせする。動作2623図26では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ2510から、前の処理サイクルで処理モジュール2516内で処理されたウェーハウェーハ10を取り上げる。動作2624図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6を第1のバッファ2510上に配置する。動作2676図26では、ロードロックモジュール2508は、ロードロックモジュール2508内の圧力が処理モジュール2516内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2677図26では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ6を第1のバッファ2510から取り上げる。動作2678図26では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ6を第2のバッファ2514上に配置する。動作2625図26では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ10をロードモジュール102に配置する。再び図26を参照すると、動作2680~2688は処理モジュール116についての別の処理サイクルに関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図25を参照すると、動作2680図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114から取り上げる。動作2681図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を処理モジュール116に配置する。動作2682図26では、ウェーハウェーハ3が処理モジュール116内で処理される。動作2683図26では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を処理モジュール116から取り上げる。動作2684図26では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。動作2685図26では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2626図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ11をロードモジュール102から取り上げる。動作2627図26では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ9をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2628図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハ図11をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2641図26では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ11を位置合わせする。動作2629図26では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ110を、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ1を取り上げる。動作2630図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ9を第1のバッファ110上に配置する。動作2686図26では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2687図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ9を第1のバッファ110から取り上げる。動作2688図26では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ9を第2のバッファ114上に配置する。動作2631図26では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ1をロードモジュール102に配置する。再び図26を参照すると、動作2690~2695は処理モジュール1816についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図25を参照すると、動作2690図26では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ1814から取り上げる。動作2691図26では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を処理モジュール1816内に配置する。動作2692図26では、ウェーハウェーハ2が処理モジュール1816内で処理される。動作2695図26では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2632図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ12をロードモジュール102から取り上げる。動作2633図26では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ11をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2634図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ12をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2642図26では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ12を位置合わせする。動作2635図26では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ5を取り上げる。動作2636図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ11を第1のバッファ1810上に配置する。再び図26を参照すると、動作26100~26105は処理モジュール2516についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図25を参照すると、動作26100図26では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ6を第2のバッファ2514から取り上げる。動作26101図26では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ6を処理モジュール2516内に配置する。動作26102図26では、ウェーハウェーハ6が処理モジュール2516内で処理される。動作26105図26では、ロードロックモジュール2508は、ロードロックモジュール2508内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。再び図26を参照すると、動作26112~26118は処理モジュール1816についての前の処理サイクルの終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図18を参照すると、動作26112では、ウェーハウェーハ7が処理モジュール1816内で処理される。動作26113図26では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ7を処理モジュール1816から取り上げる。動作26114図26では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ7を第1のバッファ1810上に配置する。動作26116図26では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作26117図26では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第1のバッファ1810から取り上げる。動作26118図26では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第2のバッファ1814上に配置する。動作2601図26では、ウェーハ移送ユニット104は前の処理サイクルで処理モジュール1816内で前に処理されたウェーハウェーハ13をロードモジュール102に配置する。再び図26を参照すると、動作26122~26128は処理モジュール2516についての前の処理サイクルの終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図25を参照すると、動作26122図26では、ウェーハウェーハ10が処理モジュール2516内で処理される。動作26123図26では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ10を処理モジュール2516から取り上げる。動作26124図26では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ10を第1のバッファ2510上に配置する。動作2602図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3をロードモジュール102から取り上げる。動作2603図26では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ8をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2604図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2637図26では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ3を位置合わせする。動作2605図26では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ2510から、前の処理サイクルで処理モジュール2516内で処理されたウェーハウェーハ14を取り上げる。動作2606図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ8を第1のバッファ2510上に配置する。動作26126図26では、ロードロックモジュール2508は、ロードロックモジュール2508内の圧力が処理モジュール2516内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作26127図26では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ8を第1のバッファ2510から取り上げる。動作26128図26では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ8を第2のバッファ2512上に配置する。動作2607図26では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ14をロードモジュール102に配置する。ここで図27を参照すると、ロードロックモジュール108、1808、2508、及び2708、及び処理モジュール116、1816、2516、及び2716を有するツール100が示される。ここで図28を参照すると、図27に示されるツール100内でウェーハの処理をスケジューリングする代表的なスケジュール2800が示される。しかし、認識されるように、図28で示され説明される個々の動作、動作の順序、及び動作の継続時間はツール100図27の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール2800も、ツール100図27の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。スケジュール2800の様々な動作が以下さらに詳細に説明される。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール100図27内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール100図27内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は1つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。この例では、図27を参照し処理モジュール116に関連して、動作2860図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を第2のバッファ114から取り上げる。動作2861図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ1を処理モジュール116に配置する。動作2862図28では、ウェーハウェーハ1が処理モジュール116内で処理される。動作2863図28では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を処理モジュール116から取り上げる。動作2864図28では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ1を第1のバッファ110上に配置する。動作2865図28では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2814図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をロードモジュール102から取り上げる。動作2815図28では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2816図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2851図28では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ2を位置合わせする。動作2817図28では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ4を取り上げる。動作2818図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。動作2866図28では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2867図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第1のバッファ110から取り上げる。動作2868図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114上に配置する。動作2819図28では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ4をロードモジュール102に配置する。ここで処理モジュール1816に関連して、動作2870図28では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第2のバッファ1814から取り上げる。動作2871図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ5を処理モジュール1816内に配置する。動作2872図28では、ウェーハウェーハ5が処理モジュール1816内で処理される。動作2873図28では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を処理モジュール1816から取り上げる。動作2874図28では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ5を第1のバッファ1810上に配置する。動作2875図28では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2820図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をロードモジュール102から取り上げる。動作2821図28では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ2をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2822図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2852図28では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ6を位置合わせする。動作2823図28では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ7を取り上げる。動作2824図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810上に配置する。動作2876図28では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2877図28では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第1のバッファ1810から取り上げる。動作2878図28では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ1814上に配置する。動作2825図28では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ7をロードモジュール102に配置する。ここで処理モジュール2516に関連して、動作2880図28では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ8を第2のバッファ2514から取り上げる。動作2881図28では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ8を処理モジュール2516内に配置する。動作2882図28では、ウェーハウェーハ8が処理モジュール2516内で処理される。動作2883図28では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ8を処理モジュール2516から取り上げる。動作2884図28では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ8を第1のバッファ2510上に配置する。動作2885図28では、ロードロックモジュール2508は、ロードロックモジュール2508内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2826図26では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ9をロードモジュール102から取り上げる。動作2827図28では、ウェーハ移送ユニットは位置合わせされたウェーハウェーハ6をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2828図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ9をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2853図28では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ9を位置合わせする。動作2829図28では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ2510から、前の処理サイクルで処理モジュール2516内で処理されたウェーハウェーハ10を取り上げる。動作2830図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ6を第1のバッファ2510上に配置する。動作2886図28では、ロードロックモジュール2508は、ロードロックモジュール2508内の圧力が処理モジュール2516内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2887図28では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ6を第1のバッファ2510から取り上げる。動作2888図28では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ6を第2のバッファ2514上に配置する。動作2831図28では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ10をロードモジュール102に配置する。ここで処理モジュール2716に関連して、動作2890図28では、ウェーハ移送ユニット2712は未処理のウェーハウェーハ11を第2のバッファ2714から取り上げる。動作2891図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ11を処理モジュール1716内に配置する。動作2892図28では、ウェーハウェーハ11が処理モジュール2716内で処理される。動作2893図28では、ウェーハ移送ユニット2712は処理されたウェーハウェーハ11を処理モジュール2716から取り上げる。動作2894図28では、ウェーハ移送ユニット2712は処理されたウェーハウェーハ11を第1のバッファ2710上に配置する。動作2895図28では、ロードロックモジュール2708は、ロードロックモジュール2708内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2832図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ12をロードモジュール102から取り上げる。動作2833図28では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ9をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2834図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ12ウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2854図28では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ12を位置合わせする。動作2835図28では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ2710から、前の処理サイクルで処理モジュール2716内で処理されたウェーハウェーハ13を取り上げる。動作2836図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ9を第1のバッファ2710上に配置する。動作2896図28では、ロードロックモジュール2708は、ロードロックモジュール2708内の圧力が処理モジュール2716内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作2897図28では、ウェーハ移送ユニット2712は未処理のウェーハウェーハ9を第1のバッファ2710から取り上げる。動作2898図28では、ウェーハ移送ユニット2712は未処理のウェーハウェーハ9を第2のバッファ2714上に配置する。動作2837図28では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ13をロードモジュール102に配置する。再び図28を参照すると、動作28100~28108は処理モジュール116についての別の処理サイクルに関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図27を参照すると、動作28100図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を第2のバッファ114から取り上げる。動作28101図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ3を処理モジュール116に配置する。動作28102図28では、ウェーハウェーハ3が処理モジュール116内で処理される。動作28103図28では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を処理モジュール116から取り上げる。動作28104図28では、ウェーハ移送ユニット112は処理されたウェーハウェーハ3を第1のバッファ110上に配置する。動作28105図28では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2838図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ14をロードモジュール102から取り上げる。動作2839図28では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ12をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2840図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ14をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2855図28では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ14を位置合わせする。動作2841図28では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ110から、前の処理サイクルで処理モジュール116内で処理されたウェーハウェーハ1を取り上げる。動作2842図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ12を第1のバッファ110上に配置する。動作28106図28では、ロードロックモジュール108は、ロードロックモジュール108内の圧力が処理モジュール116内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作28107図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ12を第1のバッファ110から取り上げる。動作28108図28では、ウェーハ移送ユニット112は未処理のウェーハウェーハ12を第2のバッファ114上に配置する。動作2843図28では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ1をロードモジュール102に配置する。再び図28を参照すると、動作28110~28115は処理モジュール1816についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図27を参照すると、動作28110図28では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を第2のバッファ1814から取り上げる。動作28111図28では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ2を処理モジュール1816内に配置する。動作28112図28では、ウェーハウェーハ2が処理モジュール1816内で処理される。動作28115図28では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。動作2844図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ15をロードモジュール102から取り上げる。動作2845図28では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ12をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2846図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ15をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2856図28では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ15を位置合わせする。動作2847図28では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ1810から、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で処理されたウェーハウェーハ5を取り上げる。動作2848図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ12を第1のバッファ1810上に配置する。再び図28を参照すると、動作28120~28125は処理モジュール2516についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図27を参照すると、動作28120図28では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ6を第2のバッファ2514から取り上げる。動作28121図28では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ6を処理モジュール2516内に配置する。動作28122図28では、ウェーハウェーハ6が処理モジュール2516内で処理される。動作28125図28では、ロードロックモジュール2508は、ロードロックモジュール2508内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。再び図28を参照すると、動作28130~28135は処理モジュール2716についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図27を参照すると、動作28130図28では、ウェーハ移送ユニット2712は未処理のウェーハウェーハ9を第2のバッファ2714から取り上げる。動作28131図28では、ウェーハ移送ユニット2712は未処理のウェーハウェーハ9を処理モジュール2716内に配置する。動作28132図28では、ウェーハウェーハ9が処理モジュール2716内で処理される。動作28135図28では、ロードロックモジュール2708は、ロードロックモジュール2708内の圧力がツール100内の圧力と等しくなるように通気される。再び図28を参照すると、動作28143~28148は処理モジュール1816についての前の処理の終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図27を参照すると、動作28143図28では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ7を処理モジュール1816から取り上げる。動作28144図28では、ウェーハ移送ユニット1812は処理されたウェーハウェーハ7を第1のバッファ1810上に配置する。動作28146図28では、ロードロックモジュール1808は、ロードロックモジュール1808内の圧力が処理モジュール1816内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作28147図28では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第1のバッファ1810から取り上げる。動作28148図28では、ウェーハ移送ユニット1812は未処理のウェーハウェーハ5を第2のバッファ1814上に配置する。動作2801図28では、ウェーハ移送ユニット104は、前の処理サイクルで処理モジュール1816内で前に処理されたウェーハウェーハ16をロードモジュール102に配置する。再び図28を参照すると、動作28152~28158は処理モジュール2516についての前の処理サイクルの終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図27を参照すると、動作28152図28では、ウェーハウェーハ10が処理モジュール2516内で処理される。動作28153図28では、ウェーハ移送ユニット25512は処理されたウェーハウェーハ10を処理モジュール2516から取り上げる。動作28154図28では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ10を第1のバッファ2510上に配置する。動作2802図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ11をロードモジュール102から取り上げる。動作2803図28では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ8をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2804図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ11をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2849図28では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ11を位置合わせする。動作2805図28では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ2510から、前の処理サイクルで処理モジュール2516内で処理されたウェーハウェーハ17を取り上げる。動作2806図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ8を第1のバッファ2510上に配置する。動作28156図28では、ロードロックモジュール2508は、ロードロックモジュール2508内の圧力が処理モジュール2516内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作28157図28では、ウェーハ移送ユニット2512は未処理のウェーハウェーハ8を第1のバッファ2510から取り上げる。動作28158図28では、ウェーハ移送ユニット2512は処理されたウェーハウェーハ8を第2のバッファ2512上に配置する。動作2807図28では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ17をロードモジュール102に配置する。再び図28を参照すると、動作28162~28168は処理モジュール2716についての前の処理サイクルの終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図27を参照すると、動作28162図28では、ウェーハウェーハ13が処理モジュール2716内で処理される。動作28163図28では、ウェーハ移送ユニット2712は処理されたウェーハウェーハ13を処理モジュール2716から取り上げる。動作28164図28では、ウェーハ移送ユニット2712は処理されたウェーハウェーハ13を第1のバッファ2710上に配置する。動作2808図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3をロードモジュール102から取り上げる。動作2809図28では、ウェーハ移送ユニット104は位置合わせされたウェーハウェーハ11をウェーハオリエンタ106から取り上げる。動作2810図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ3をウェーハオリエンタ106上に配置する。動作2850図28では、ウェーハオリエンタ106はウェーハウェーハ3を位置合わせする。動作2811図28では、ウェーハ移送ユニット104は第1のバッファ2710から、前の処理サイクルで処理モジュール2716内で処理されたウェーハウェーハ18を取り上げる。動作2812図28では、ウェーハ移送ユニット104は未処理のウェーハウェーハ11を第1のバッファ2710上に配置する。動作28166図28では、ロードロックモジュール2708は、ロードロックモジュール2708内の圧力が処理モジュール2716内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作28167図28では、ウェーハ2712は未処理のウェーハウェーハ11を第1のバッファ2710から取り上げる。動作28168図28では、ウェーハ移送ユニット2712は処理されたウェーハウェーハ11を第2のバッファ2712上に配置する。動作2813図28では、ウェーハ移送ユニット104は処理されたウェーハウェーハ18をロードモジュール102に配置する。本発明は添付の図面中に代表的なされる個々の実施形態に関連して説明されたが、本発明の精神と範囲から離れることなく様々な修正を行ってもよい。例えば、ツール100図1は任意の数のロードモジュール102図1を含んでもよい。従って、本発明は図面中に示され上記で説明された個々の形態に限定されるものとみなされるべきではない。