中心部に取り付け穴を備えた円盤状のホイール基台と、該ホイール基台の外周面に装着された研削砥石とを具備する平研削ホイールにおいて、該ホイール基台における取り付け穴と外周との間に、交流電力を印加することによって超音波振動を発生する超音波振動手段が配設されている、ことを特徴とする平研削ホイール。該ホイール基台には、該取り付け穴と該超音波振動手段との間に複数の円弧状のスリットが周方向に形成されている、請求項1記載の平研削ホイール。而して、上記特許文献に開示された技術は、平研削ホイールが装着された回転軸に超音波振動手段を配設し、該超音波振動手段によって発生された超音波振動を回転軸を介して平研削ホイールに伝達させる構成であるため、平研削ホイールへの超音波振動の伝達効率が悪いという問題がある。本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、効率よく超音波振動させることができる平研削ホイールを提供することにある。上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、中心部に取り付け穴を備えた円盤状のホイール基台と、該ホイール基台の外周面に装着された研削砥石とを具備する平研削ホイールにおいて、該ホイール基台における取り付け穴と外周との間に、交流電力を印加することによって超音波振動を発生する超音波振動手段が配設されている、ことを特徴とする平研削ホイールが提供される。上記ホイール基台には、取り付け穴と超音波振動手段との間に複数の円弧状のスリットが周方向に形成されていることが望ましい。本発明による平研削ホイールは、ホイール基台における取り付け穴と外周との間に交流電力を印加することによって超音波振動を発生する超音波振動手段が配設されているので、超音波振動手段によって発生された超音波振動をホイール基台の外周面に装着された研削砥石に効率よく伝達することができる。また、ホイール基台における取り付け穴と超音波振動手段との間に複数の円弧状のスリットを周方向に形成することにより、ホイール基台における径方向の剛性が減少するため、超音波振動による振幅が大きくなる。従って、ホイール基台の外周面に装着された研削砥石には、径方向に大きな振幅をもった超音波振動が作用せしめられる。このため、研削抵抗が低減して効率よく被加工物を研削することができる。即ち、ホイール基台の外周面に装着された研削砥石が超音波振動することにより、研削砥石を形成する砥粒が被加工物に食い込みやすく、研削時に砥粒が微細破壊され目つぶれや目詰まりが生じにくくなり、研削抵抗が低減され研削砥石の消耗が少ない。また、研削抵抗が低減するため被加工物の被加工面の加工変質が生じにくく、脆性材料の表面を研削すると高能率研削が可能で表面品質のよい研削加工ができる。以下、本発明によって構成された平研削ホイールの好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。図1には、本発明に従って構成された平研削ホイールを装備した平研削装置の斜視図が示されている。図1に示された平研削装置は、静止基台2と、該静止基台2に加工送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持する被加工物保持機構3と、静止基台2に加工送り方向と直交する割り出し送り方向である矢印Yで示す方向に移動可能に配設された平研削ユニット支持機構4と、該平研削装置ユニット支持機構4に配設され後述するチャックテーブルの被加工物保持面に対して垂直な矢印Zで示す方向Z軸方向に移動可能に配設された平研削ユニット5を具備している。上記被加工物保持機構3は、静止基台2上に矢印Xで示す加工送り方向に沿って平行に配設された一対の案内レール31、31と、該一対の案内レール31、31上に矢印Xで示す方向に移動可能に配設されたチャックテーブル支持基台32と、該チャックテーブル支持基台32上に配設された円筒部材33と、円筒部材33の上端に支持されたカバーテーブル34と、該カバーテーブル34上に配設された被加工物保持手段としての矩形状にチャックテーブル35とを具備している。チャックテーブル35は、上面である被加工物保持面に開口する複数の吸引スリット351を備えており、この複数の吸引スリット351が図示しない吸引手段に連通されている。従って、チャックテーブル35は、上面である被加工物保持面上に被加工物を載置し、図示しない吸引手段を作動することにより、被加工物を吸引保持することができる。図示の実施形態における被加工物保持機構3は、チャックテーブル35を矢印Xで示す加工送り方向に移動せしめる加工送り手段36を具備している。加工送り手段36は、上記一対の案内レール31と31の間に平行に配設された雄ネジロッド361と、該雄ネジロッド361を回転駆動するためのサーボモータ362等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド361は、その一端が上記静止基台2に固定された軸受ブロック363に回転自在に支持されており、その他端が上記サーボモータ362の出力軸に連結されている。なお、雄ネジロッド361は、チャックテーブル支持基台32の中央部に形成された雌ネジ322に螺合されている。従って、サーボモータ362によって雄ネジロッド361を正転および逆転駆動することにより、チャックテーブル支持基台32は案内レール31、31に沿ってX軸方向に移動せしめられる。上記平研削ユニット支持機構4は、静止基台2上に矢印Yで示す割り出し送り方向Y軸方向に沿って平行に配設された一対の案内レール41、41と、該一対の案内レール41、41上に矢印Yで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台42を具備している。この可動支持基台42は、一対の案内レール41、41上に移動可能に配設された移動支持部421と、該移動支持部421に取り付けられた装着部422とからなっている。移動支持部421の下面には上記一対の案内レール41、41と嵌合する一対の被案内溝421a、421aが形成されており、この一対の被案内溝421a、421aを一対の案内レール41、41に嵌合することにより、可動支持基台42は一対の案内レール41、41に沿って移動可能に構成される。また、装着部422は、一側面に矢印Zで示すチャックテーブル35の被加工物保持面に対して垂直な押圧方向Z軸方向に延びる一対の案内レール423、423が平行に設けられている。図示の実施形態における平研削ユニット支持機構4は、可動支持基台42を一対の案内レール41、41に沿ってY軸方向に移動させるための割り出し送り手段43を具備している。割り出し送り手段43は、上記一対の案内レール41、41の間に平行に配設された雄ネジロッド431と、該雄ネジロッド431を回転駆動するためのパルスモータ432等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド431は、その一端が上記静止基台2に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ432の出力軸に伝動連結されている。なお、雄ネジロッド431は、可動支持基台42を構成する移動支持部421の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ432によって雄ネジロッド431を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台42は案内レール41、41に沿ってY軸方向に移動せしめられる。図示の実施形態における平研削ユニット5は、ユニットホルダ51と、該ユニットホルダ51に取り付けられたスピンドルハウジング52と、該スピンドルハウジング52に回転可能に支持された回転スピンドル53を具備している。ユニットホルダ51は、上記装着部422に設けられた一対の案内レール423、423に摺動可能に嵌合する一対の被案内溝511、511が設けられており、この被案内溝511、511を上記案内レール423、423に嵌合することにより、押圧方向Z軸方向に移動可能に支持される。上記回転スピンドル53はスピンドルハウジング52の先端から突出して配設されており、図示しないサーボモータ等の駆動源によって回転駆動せしめられる。この回転スピンドル53の先端部に平研削ホイール6が装着されている。この平研削ホイール6については後で詳細に説明する。図示の実施形態における平研削装置は、平研削ユニット5を一対の案内レール423、423に沿ってZ軸方向に移動させるための移動手段50を具備している。移動手段50は、上記加工送り手段36および割り出し送り手段43と同様に案内レール423、423の間に配設された雄ネジロッド図示せずと、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ502等の駆動源を含んでおり、パルスモータ502によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、平研削ユニット5を案内レール423、423に沿ってZ軸方向に移動せしめる。次に、平研削ホイール6およびその取付け構造について、図2乃至図4を参照して説明する。平研削ホイール6は、図2に示すようにアルミニウム等によって円盤状に形成され中心部に取り付け穴611を備えたホイール基台61と、該ホイール基台61の外周面に装着された研削砥石62とからなっている。このように構成された平研削ホイール6のホイール基台61の側面には、取り付け穴611と外周との間に交流電力を印加することによって超音波振動を発生する超音波振動手段63が配設されている。この超音波振動手段63は、図3に示すように回転スピンドル53の軸方向に分極された円環状の超音波振動子631と、該超音波振動子631の両側分極面に装着された円環状の2枚の電極板632、633とからなっている。超音波振動子631は、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、リチウムタンタレート等の圧電セラミックスによって形成されている。2枚の電極板632、633のうち内側の電極板632は絶縁体を介してホイール基台61の側面に装着されており、内周側が折り曲げられて外側に露出して構成されている。なお、超音波振動手段63は、ホイール基台61の両側面に配設してもよい。なお、ホイール基台61には、取り付け穴611と超音波振動手段63との間に複数の円弧状のスリット612が周方向に形成されている。上述したように構成された平研削ホイール6は、図4に示すように平研削装置のスピンドルハウジング52に回転自在に支持された回転スピンドル53に装着されるマウンター64と、該マウンター64と対向して配設されるホイール固定ナット65とによって挟持され固定される。マウンター64は、円環状のフランジ部641と、該フランジ部641の中心部から側方に突出して形成された円筒状の装着部642とからなっている。装着部642には、軸方向に貫通する嵌合穴642aが形成されており、先端部の外周面に雄ネジ642bが形成されている。なお、嵌合穴642aの内周面は、回転スピンドル53の先端部に形成されたテーパー面531と対応するテーパー面に形成されている。このように形成されたマウンター64の嵌合穴642aを回転スピンドル53の先端部に形成されたテーパー面531に嵌合した後、回転スピンドル53の先端部外周面に形成された雄ネジ532にマウンター固定ナット66を螺合することにより、回転スピンドル53にマウンター64を装着する。次に、平研削ホイール6のホイール基台61に形成された取り付け穴611をマウンター64の装着部642に嵌合する。そして、マウンター64の装着部642に形成された雄ネジ642bにホイール固定ナット65を螺合することにより、マウンター64の円環状のフランジ部641とホイール固定ナット65との間に平研削ホイール6を挟持して固定する。図示の実施形態における平研削ユニット5は、上記超音波振動手段63に交流電力を印加する交流電力印加手段7を具備している。交流電力印加手段7は、マウンター64のフランジ部641に配設された受電手段71と、該受電手段71と対向して配設されスピンドルハウジング52の先端面に装着された給電手段72を具備している。受電手段71は、マウンター64のフランジ部641におけるスピンドルハウジング52と対向する面に形成された嵌合凹部641aに嵌合され環状の溝711aを備えたローター側コア711と、該ローター側コア711の環状の溝711a内に配設された受電コイル712とからなっている。このように構成された受電手段71の受電コイル712の一端は適宜の接続手段を介して上記超音波振動手段63を構成する一方の電極板632に接続され、受電手段71の受電コイル712の他端は適宜の接続手段を介して上記超音波振動手段63を構成する他方の電極板633に接続されるように構成されている。上記給電手段72は、受電手段71と対向する面に環状の溝721aを備えたステータ側コア721と、該ステータ側コア721の環状の溝721a内に配設された給電コイル722とからなっている。なお、ステータ側コア721は、スピンドルハウジング52の先端面に取付けボルト723によって装着される。このように構成された給電手段72の給電コイル722は、電気配線724、725を介して交流電源73に接続されている。なお、図示の実施形態における交流電力印加手段7は、交流電源の周波数を変換する周波数変換器74を備えている。以上のように構成された、受電手段71と給電手段72は、ロータリートランスを構成する。図示の実施形態における交流電力印加手段7は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。交流電源73から周波数変換器74によって所定の周波数に変換された交流電力が給電手段72の給電コイル722に印加されると、回転する受電手段71の受電コイル712および図示しない導線を介して上記超音波振動手段63の電極板632と電極板633間に所定周波数の交流電力が印加される。この結果、上記超音波振動手段63は、径方向に繰り返し変位して超音波振動する。従って、上記超音波振動手段63を装着した平研削ホイール6のホイール基台61も径方向に超音波振動し、ホイール基台61の外周面に装着された研削砥石62が径方向に超音波振動する。なお、図示の実施形態においては、ホイール基台61には取り付け穴611と超音波振動手段63との間に複数の円弧状のスリット612が周方向に形成されているので、ホイール基台61がマウンター64の円環状のフランジ部641とホイール固定ナット65とによって挟持されてもスリット612によって固定力が遮断され、超音波振動手段63によって発生する超音波振動が研削砥石62に十分伝達される。従って、ホイール基台61の外周面に装着された研削砥石62には、径方向に大きな振幅をもった超音波振動が作用せしめられる。なお、超音波振動手段63の電極板632と電極板633の間に周波数が50kHzで150Wの交流電力を印加すると、平研削ホイール6は径方向に6μm程度の振幅で超音波振動する。図示の実施形態における平研削装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。平面研削作業を実施するには、図1に示す平研削装置のチャックテーブル35の保持面に被加工物を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、被加工物はチャックテーブル35上に吸引保持される。このようにしてチャックテーブル35上に被加工物を吸引保持したならば、加工送り手段36を作動して被加工物を吸引保持したチャックテーブル35を加工領域に移動する。そして、平研削ホイール6を所定の方向に回転しつつ移動手段50を作動して平研削ホイール6を構成する研削砥石62の外周面をチャックテーブル35上に保持された被加工物の上面被研削面より例えば10μm下方の研削位置に位置付ける。次に、上記加工送り手段36を作動してチャックテーブル35を加工送り方向に所定の加工送り速度で移動することにより、チャックテーブル35上に保持された被加工物の上面被研削面は研削砥石62によって研削される平面研削工程。そして、チャックテーブル35に保持された被加工物が平研削ホイール6を超えた所定位置に達したら、チャックテーブル35の移動を停止するとともに、割り出し送り手段43を作動して所定量割り出し送りする割り出し送り工程。以後、平面研削工程と割り出し送り工程を交互に繰り返し実行する。上記平面研削工程においては、上述したように交流電力印加手段7の交流電源73から周波数変換器74によって所定の周波数に変換された交流電力が給電手段72の給電コイル722に印加され、回転する受電手段71の受電コイル712および図示しない導線を介して上記超音波振動手段63の電極板632と電極板633間に所定周波数の交流電力が印加される。この結果、上記超音波振動手段63が径方向に繰り返し変位して超音波振動するため、超音波振動手段63が装着された平研削ホイール6のホイール基台61も径方向に超音波振動し、ホイール基台61の外周面に装着された研削砥石62が径方向に超音波振動する。特に本発明による平研削ホイール6は、ホイール基台61に超音波振動手段63が配設されているので、超音波振動手段63によって発生された超音波振動をホイール基台61の外周面に装着された研削砥石62に効率よく伝達することができる。このため、研削抵抗が低減して効率よく被加工物を研削することができる。即ち、ホイール基台61の外周面に装着された研削砥石62が超音波振動することにより、研削砥石62を形成する砥粒が被加工物に食い込みやすく、研削時に砥粒が微細破壊され目つぶれや目詰まりが生じにくくなり、研削抵抗が低減され研削砥石の消耗が少ない。また、研削抵抗が低減するため被加工物の被加工面の加工変質が生じにくく、脆性材料の表面を研削すると高能率研削が可能で表面品質のよい研削加工ができる。