フィルタに取り付けられるクリーニングユニットであって、気体を通過させるための第1の開口と第2の開口を有するハウジングであって、前記第2の開口側が前記フィルタに取り付けられるハウジングと、前記ハウジング内に、前記気体の流路を形成するよう、所定間隔で交互に配置された高温プレートと低温プレートとを有し、前記高温プレートと前記低温プレートとの間に温度勾配を生じさせ、熱泳動により前記低温プレートで前記気体中の微粒子を捕集することを特徴とするクリーニングユニット。前記高温プレートは熱源ユニットに接続され、前記低温プレートは内部に冷媒を循環させる流路を備える請求項1記載のクリーニングユニット。前記微粒子の粒子径が200μm以下である請求項1又は2記載のクリーニングユニット。前記温度勾配が780°C/cm以上で、前記微粒子の捕集率が70以上である請求項1から3のいずれか1に記載のクリーニングユニット。前記温度勾配が1000°C/cm以下である請求項4記載のクリーニングユニット。前記低温プレートが前記第1の開口側に取り出し可能である請求項1から5のいずれか1に記載のクリーニングユニット。前記ハウジングの前記第2の開口側に、前記フィルタとワンタッチで着脱可能な機構を備える請求項1から6のいずれか1に記載のクリーニングユニット。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、HEPAフィルタやULPAフィルタの長寿命化を図り、ランニングコストを低減することができるクリーニングユニットを提供する。本発明の一態様のクリーニングユニットは、フィルタに取り付けられるクリーニングユニットであって、気体を通過させるための第1の開口と第2の開口を有するハウジングであって、前記第2の開口側が前記フィルタに取り付けられるハウジングと、前記ハウジング内に、前記気体の流路を形成するよう、所定間隔で交互に配置された高温プレートと低温プレートとを有し、前記高温プレートと前記低温プレートとの間に温度勾配を生じさせ、熱泳動により前記低温プレートで前記気体中の微粒子を捕集することを特徴とする。本態様によれば、フィルタの前段で微粒子を除去することができるので、フィルタの長寿命化を図ることができる。したがって、ランニングコストを低減することができる。本発明の一態様のクリーニングユニットは、好ましくは、前記高温プレートは熱源ユニットに接続され、前記低温プレートは内部に冷媒を循環させる流路を備える。本態様によれば、高温プレートと低温プレートを一定温度に保持することができる。本発明の一態様のクリーニングユニットは、好ましくは、前記微粒子の粒子径が200μm以下である。本態様によれば、粒径200μm以下の微粒子を容易に捕集することができる。本発明の一態様のクリーニングユニットは、好ましくは、前記温度勾配が780°C/cm以上で、前記微粒子の捕集率が70以上である。本態様によれば、温度勾配を780°C/cm以上の範囲とすることで、気体中の微粒子の捕集率を70以上とすることが可能となる。本発明の一態様のクリーニングユニットは、好ましくは、前記温度勾配が1000°C/cm以下である。本態様によれば、温度勾配を1000°C/cm以下の範囲とすることにより、効率的に微粒子を捕集することができる。本発明の一態様のクリーニングユニットは、好ましくは、前記低温プレートが前記第1の開口側に取り出し可能である。本態様によれば、低温プレートに付着した微粒子を容易に清掃することができる。本発明の一態様のクリーニングユニットは、好ましくは、前記ハウジングの前記第2の開口側に、前記フィルタとワンタッチで着脱可能な機構を備える。本態様によれば、クリーニングユニットをフィルタに簡単に着脱することができる。本発明のクリーニングユニットによれば、製造設備のフィルタの前段で微粒子を除去することができる。フィルタの長寿命化を図ることができるので、ランニングコストを低減することができる。以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明されるが、本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。また、本明細書において~を用いて表される数値範囲は、~の前後に記載される数値を含む範囲を意味する。図1は、ナノマテリアル、例えばカーボンナノチューブCNTを製造するための製造装置を示す。製造装置10、マイクロ波電源11、反応筒12、均熱板13、金属基板14、微粒子捕集器15を備える。次に、製造装置10を用いたCNTの成膜方法について説明する。ガス導入管16から流入されたCH4H2ガスが反応筒12内でマイクロ波によりプラズマ状態で燃焼される。均熱板13上に設置された金属基板14上にCNTが成膜される。その他の燃焼ガスや捕集されなかった超微粒子は排出口17から微粒子捕集器15で処理される。CNT成膜中において製造装置10は密閉状態が保たれる。したがって、オペレータが暴露するリスクは小さい。一方、CNTを回収する場合、製品回収口の扉18が開かれ、反応筒12内から金属基板14が取り出される。この際、製造装置10は開放状態となり、オペレータのCNTの暴露リスクが高くなる。エアクリーニングユニット20が取り付けられたフィルタ30が扉18の近傍に設置される。製品回収時に扉18の開放に伴って飛散するCNTを、エアクリーニングユニット20が迅速に回収する。さらにフィルタ30を介してエアが系外に排出される。フィルタ30としてHEPAフィルタ、ULPAフィルタを使用することができる。図2は、一実施形態に係るクリーニングユニットの構成図である。クリーニングユニット20は、気体を通過させるための第1の開口22と第2の開口23を有するハウジング21と、ハウジング21内に気体の流路を形成するよう、所定間隔で交互に配置された高温プレート24と低温プレート25を備える。高温プレート24は熱源ユニット26と接続される。熱源ユニット26は温度制御装置を備える。高温プレート24は、熱源ユニット26により、低温プレート25より高い温度で、一定温度に維持される。高温プレート24は、SUS304、SUS321、冷間圧延鋼板等の材料で構成される。熱源ユニット26として、蒸気、熱ヒーター等を使用することができる。ハウジング21は、SUS304、SS400等の材料で構成される。その大きさは、例えば、500×500×400mmである。低温プレート25は、内部に冷媒を循環させるための流路を備える。低温プレート25は、その内部を流れる冷媒により、高温プレート24より低い温度で、一定温度に維持される。低温プレート25は、SUS304、SUS321、冷間圧延鋼板等の材料で構成される。冷媒として、水道水、エチレングリコールを用いた不凍液等を使用することができる。低温プレート25の流路は、例えば、低温プレート25に配管を設置することで形成することができる。また、溝を有する平板と平板の2枚で低温プレート25を構成し、この2枚を接合することで流路を形成することができる。クリーニングユニット20は、高温プレート24と低温プレート25との間の温度勾配を生じさせることにより熱泳動力を気体中の微粒子に作用させて、微粒子を捕集する。熱泳動現象について説明する。微粒子の周囲のガス例えば、空気等に温度の勾配が存在すると、微粒子は低温側の気体分子より高温側の気体分子から大きな運動エネルギーを与えられる。その結果、微粒子は高温側から低温側に移動する。熱泳動現象による微粒子の移動速度Vcm2K-1S-1は以下の式で表現される。ここでKTは熱泳動係数、ηは気体の粘度kgm-1s-1、ρは微粒子の密度gcm-3、Tは周囲温度K、dT/dxは温度勾配を意味する。熱泳動係数KTは気体と微粒子の熱伝導率の比、及びクヌーセン数によって変化する。クヌーセン数は、周りのガスの希薄度を示す。Knクヌーセン数>10では気体分子と微粒子の衝突が微粒子の運動を支配する。Kn<0.01では気体分子全体をつながりのあるもの連続流体として取り扱うことができる。0.01<Kn<10では、微粒子近傍では気体と微粒子の衝突が支配的になり、微粒子から離れたところでは、気体は連続流体として取り扱うことができる。本実施形態のクリーニングユニットにより、カーボンナノチューブ、フラーレン、及び金属酸化物のナノ粒子、例えばTiO2等の微粒子が捕集される。微粒子の粒径に関して、特に限定されないが、特に、大きさを示す三次元のうち少なくとも一次元が約1nmから100nm以下のナノ粒子が本実施形態のクリーニングユニットにより好適に捕集される。図3は、高温プレートと低温プレートとの間の異なる温度勾配における、捕集率と捕集される微粒子の粒子径μmの関係を示すグラフである。グラフによれば、高温プレートと低温プレートとの間の温度勾配が大きいほど、捕集率が向上する。また、粒子径が小さいほど捕集率が向上する。捕集率は以下の式で表現される。ηT:実験条件での粒子の捕集率上下プレートに温度差有り、ηL:ある温度での粒子の捕集率上下プレートに温度差なし図4は、粒子径が0.2μmにおける捕集率と温度勾配°C/cmの関係を示すグラフである。グラフによれば、780°C/cm以上の温度勾配を生じさせることで、70以上の捕集率を実現することができる。グラフによれば、500°C/cm~1000°C/cmの温度勾配の範囲では、捕集率が直線的に向上する。1000°C/cmを越えると、捕集率のグラフの傾きは小さくなる。温度勾配を生じさせるためのエネルギー効率と70以上の捕集率を考慮すると、温度勾配を780°C/cm~1000°C/cmの範囲とするのが好ましい。高温プレートと低温プレートの距離は、1~2.5mmの範囲であることが好ましい。その理由は、市販のヒーターで汎用的に用いられる温度が200°C前後であるためである。また、メンテナンス性を考慮すれば、2~2.5mmの範囲であることがより好ましい。クリーニングユニット20を利用した微粒子の捕集方法について説明する。微粒子、例えば、カーボンナノチューブを含む気体が第1の開口22から第2の開口23へ流れ、ハウジング21を通過する。高温プレート24と低温プレート25のそれぞれが、気体の流れに平行で、約1mmの間隔で配置される。低温プレート25の流路内を水道水が循環し、低温プレート25が約7°Cの温度に維持される。高温プレート24は熱源ユニット26により約96°Cの温度に維持される。高温プレート24と低温プレート25との温度勾配は、約910°C/cmとなる。上述の温度に設定された高温プレート24と低温プレート25との間を気体が通過すると、熱泳動力により微粒子が低温プレート25で捕集される。低温プレート25が約7°Cの温度で、高温プレート24と低温プレート25の間隔が約1mmの場合、温度勾配を1000°C/cmとすると、高温プレート24の温度は約107°Cとなる。温度勾配を1000°C/cmより大きくすると、高温プレート24の温度が高くなりすぎ、クリーニングユニット20に使用される樹脂部材の劣化が起こる。したがって、温度勾配は1000°C/cm以下であることが好ましい。図2では、高温プレート24と低温プレート25のそれぞれを気体の流れに平行となるよう配置したが、これに限定されない。気体の流路が形成できれば、高温プレート24と低温プレート25のそれぞれを気体の流れに垂直、又は斜めに配置することができる。上述したように、微粒子は低温プレート25で捕集される。したがって、低温プレート25で捕集された微粒子を除去する必要がある。そのためには、低温プレート25が第1の開口22側に取り出し可能であることが好ましい。低温プレート25をハウジング21から取り出すことにより、低温プレート25を容易に清掃することができる。低温プレート25をハウジング21から取り出すために、スライド機構を採用することができる。例えば、ハウジング21内に溝を形成し、低温プレート25を溝に設置する。この溝に沿って低温プレート25を移動させることで、低温プレート25が第1の開口22側にスライド可能となる。これにより低温プレート25をハウジング21から取り出すことができる。また、ハウジング21内にスライドレールを設け、低温プレート25をスライドレールに設置する。スライドレールにより低温プレート25を移動させることで、低温プレート25が第1の開口22側にスライド可能となる。これにより低温プレート25をハウジング21から取り出すことができる。低温プレート25に冷媒を流す場合、低温プレート25がフレキシブル配管で接続されることが好ましい。フレキシブル配管は低温プレート25の移動に伴って、その形状が変化するので、低温プレート25を容易にハウジング21から取り出すことができる。クリーニングユニット20のハウジング21の第2の開口23側に、製造設備のフィルタとワンタッチで接続できる機構を備える。図5は、クリーニングユニットをフィルタに取るつけるためのワンタッチ機構の一例を示す。図5aは、クリーニングユニット20をフィルタ30に取り付ける状態を示す組立斜視図である。クリーニングユニット20のハウジング21の側面に複数2~4個のバックル40が取り付けられている。一方、フィルタ30の側面であって、バックル40に対応する位置にバックル受け金具42が取り付けられている。ワンタッチ機構は図5aに示すバックル40とバックル受け金具42とに限定されず、公知のワンタッチ機構を採用することができる。図5bは、A-A’における断面図を示す。クリーニングユニット20がフィルタ30の凹部にパッキン材44を介してはめ込まれる。バックル40とバックル受け金具42とをワンタッチで連結することにより、クリーニングユニット20とフィルタ30とがワンタッチで連結される。パッキン材44としゴム、テフロン登録商標等が使用される。