所定のサイズ以下の開口サイズを有する開口の配列が形成されると共に電気伝導性を有するメッシュを各々が含む複数のセグメントと、前記複数のセグメントの少なくとも周縁部を支持するフレームと、を具備するスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントの各々が、板状の多角形の形状を有する、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントの少なくとも周縁部が、ナノメタルインクによって前記フレームに接合されている、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。ドライバレーザから出力されるレーザ光をターゲット物質に照射することによって生成される極端紫外光のスペクトルを純化し、前記複数のセグメントの各々が、前記ドライバレーザから出力されるレーザ光の波長の半分以下の開口サイズを有する開口の配列が形成されたメッシュを含む、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントの各々が、略5μm以下の開口サイズを有する開口の配列が形成されたメッシュを含む、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントの各々が、電気伝導性を有する物質が少なくとも光入射側表面にコーティングされたメッシュを含む、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントの各々が、正六角形の形状を有する開口の配列が形成されたメッシュを含む、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントの各々が、前記メッシュの主面上に形成された複数層の薄膜をさらに含む、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントの各々が、前記メッシュの一部の領域上に形成された補強部をさらに含む、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントの光入射側表面が前記スペクトル純度フィルタの中心軸に対して90°以外の角度を有するように、前記フレームが前記複数のセグメントを支持する、請求項1記載のスペクトル純度フィルタ。前記複数のセグメントに含まれている第1群のセグメント及び第2群のセグメントの光入射側表面が前記スペクトル純度フィルタの中心軸に対して互いに異なる角度を有するように、前記フレームが前記複数のセグメントを支持する、請求項10記載のスペクトル純度フィルタ。炭酸ガスを含むレーザガスをレーザ媒質として使用する外部ドライバレーザから出力されるレーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質をプラズマ化することによって極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、前記チャンバ内の所定の位置にターゲット物質を供給するターゲット供給手段と、プラズマから放射される極端紫外光を反射して集光する集光ミラーと、前記集光ミラーによって反射された極端紫外光の光路中に設けられたスペクトル純度フィルタであって、所定のサイズ以下の開口サイズを有する開口の配列が形成されると共に電気伝導性を有するメッシュを各々が含む複数のセグメント、及び、前記複数のセグメントの少なくとも周縁部を支持するフレームを含む前記スペクトル純度フィルタと、を具備する極端紫外光生成装置。前記複数のセグメントの光入射側表面が前記スペクトル純度フィルタの中心軸に対して90°よりも大きい角度を有するように、前記フレームが前記複数のセグメントを支持し、前記集光ミラーから前記複数のセグメントに入射する極端紫外光の入射角度が、前記複数のセグメントの光入射側表面が同一平面上に配置された場合における極端紫外光の入射角度よりも平均的に小さい、請求項12記載の極端紫外光生成装置。前記複数のセグメントに含まれている第1群のセグメント及び第2群のセグメントの光入射側表面が前記スペクトル純度フィルタの中心軸に対して互いに異なる角度を有するように、前記フレームが前記複数のセグメントを支持する、請求項13記載の極端紫外光生成装置。