レーザ光のビーム伝播経路上に配置された光学モジュールと、前記ビーム伝播経路上に配置され、前記レーザ光のビーム伝播経路を調節するアクチュエータ部と、前記ビーム伝播経路上に配置され、前記ビーム伝播経路を検出する計測部と、前記計測部によって検出された前記レーザ光のビーム伝播経路の検出結果に基づいて、前記アクチュエータ部を制御する制御部と、を備える光学装置。前記光学モジュールは、レーザ光を増幅する増幅器、リレー光学系、過飽和吸収セル、ビーム伝播経路長を調整する光学系、空間フィルタ、および偏光制御素子を備えた光学系のうち少なくとも1つを1つ以上含む請求項1記載の光学装置。前記アクチュエータ部は、前記光学モジュールの入力側に配置されている請求項1記載の光学装置。前記アクチュエータ部は、前記光学モジュールの出力側に配置されている請求項1記載の光学装置。前記レーザ光と異なる波長のガイドレーザ光を出力するガイドレーザ光源と、前記ガイドレーザ光のビーム伝播経路を前記レーザのビーム伝播経路に略一致させるビーム伝播経路合成部と、をさらに備え、前記計測部は、前記ガイドレーザ光のビーム伝播経路を検出し、前記制御部は、前記計測部による前記ガイドレーザ光のビーム伝播経路の検出結果に基づいて、前記アクチュエータ部を制御する請求項1記載の光学装置。請求項1から5のいずれか一つに記載の光学装置を少なくとも1つ含むレーザ装置。請求項6記載のレーザ装置を備える極端紫外光生成装置。