熱電変換素子と電極を備えた熱電変換モジュールと熱源の間に気孔率30~90の多孔質金属部材を挟み、加圧して前記多孔質金属部材を塑性変形させることにより前記熱電変換モジュールと前記熱源とを密着させることを特徴とする熱電変換システムの製造方法。前記多孔質金属部材が、気孔率50~80であることを特徴とする請求項1に記載の熱電変換システムの製造方法。前記多孔質金属部材が、厚さ0.05~2mmであることを特徴とする請求項1または2に記載の熱電変換システムの製造方法。前記多孔質金属部材は、銅、モリブデン、ニッケル、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼のいずれかからなることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の熱電変換システムの製造方法。熱電変換素子と電極を備えた熱電変換モジュールと熱源の間に多孔質金属部材が加圧によって挟まれていることを特徴とする熱電変換システム。前記多孔質金属部材が、気孔率30~90、厚さ0.05~2mmであることを特徴とする請求項5に記載の熱電変換システム。前記多孔質金属部材が、気孔率50~80、厚さ0.05~2mmであることを特徴とする請求項5に記載の熱電変換システム。前記多孔質金属部材は、銅、モリブデン、ニッケル、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼のいずれかからなることを特徴とする請求項5~7のいずれかに記載の熱電変換システム。上記のような熱電変換システムは、一般に、熱電変換モジュールと熱源を加圧して密着させて製造する。熱電変換モジュールと熱源の密着性が低いと、熱抵抗が高くなり発電性能が低下する。通常、熱電変換素子の高さや電極の厚みにはばらつきがあるため、熱電変換モジュール作製後には、電極の高さには10μm程度以上のばらつきが生じる。また、熱電変換素子と電極とをロウ材等で接合しても、ロウ材によって上記のばらつきを吸収しきれない場合がある。さらに、熱電変換モジュール毎の高さにもばらつきが生じる。このため、熱電変換モジュールと熱源の密着性は低下し易い。これに対して、密着性の向上方法としてシリコンなどの熱伝導グリースを熱電変換モジュールと熱源の接着界面に塗布する方法もあるが、150°C以上の温度で使用するとグリースが劣化し、密着性が低下してしまう。しかも、この場合には、高温で用いることができないため発電性能が低くなる。このような状況の下、本発明は、熱電変換モジュールと熱源の密着性を向上させることにより、熱電変換モジュールと熱源の伝熱性を高めた熱電変換システムおよびその製造方法を提供することを目的とする。本発明の熱電変換システムの製造方法は、熱電変換素子と電極を備えた熱電変換モジュールと熱源の間に気孔率30~90の多孔質金属部材を挟み、加圧して多孔質金属部材を塑性変形させることにより熱電変換モジュールと熱源とを密着させることを特徴とする。多孔質金属部材は、気孔を多く含有しているため変形し易い。このため、多孔質金属部材を熱電変換モジュールと熱源の間に挟み、加圧すると、気孔の一部が潰れて多孔質金属部材は塑性変形した状態となる。したがって、本発明によれば、熱電変換モジュールと熱源の全面に多孔質金属部材が接触するため、熱電変換モジュールと熱源の密着性を向上でき、伝熱性を向上させることができる。また、熱電変換モジュール内の電極の高さのばらつき、および熱電変換モジュール毎の高さのばらつきが大きい場合も、同様に高い密着性が得られるため、熱抵抗を低減することができる。さらに、多孔質金属部材の気孔が残留することによって、熱電変換モジュールと熱源間の熱応力を緩和することができる。本発明の熱電変換システムの製造方法においては、多孔質金属部材の気孔率は30~90とする。多孔質金属部材の気孔率が30未満であると、多孔質金属部材の変形量が小さいため、熱電変換モジュール内の電極の高さのばらつきや熱電変換モジュール毎の高さのばらつきが大きい場合に、熱源との密着性を向上させる効果が小さくなる。また、気孔率が90を超えると、電極と多孔質金属部材の密着性は良いものの、気孔が多いために熱抵抗が増加する影響が大きくなり、伝熱性が低下してしまう。このため、多孔質金属部材の気孔率は30~90とする。気孔率が50~80であると、より好ましい。また、多孔質金属部材は、厚さ0.05~2mmであることが好ましい。薄すぎると変形し難くなるため、その厚さは0.05mm以上とする。一方、多孔質金属部材は、多孔質であるが故に、気孔を有さない真密度の金属層に比して、熱伝達性および電気伝導性が低下するので、多孔質金属部材が厚くなると、熱電変換素子と電極の間の熱伝達性および電気伝導性が低下する。このため、多孔質金属部材の厚さを2mm以下にすることが好ましい。さらに、多孔質金属部材は、銅、モリブデン、ニッケル、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼のいずれかからなることが好ましい。多孔質金属部材の材質が銅、モリブデン、ニッケル、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼であると、不活性雰囲気および減圧下において伝熱性の高い部材を形成することができる。また、多孔質金属部材の材質がニッケル、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼であると、大気などの酸化雰囲気において劣化させることなく伝熱性の高い部材を形成することができる。また、本発明の熱電変換システムは、熱電変換素子と電極を備えた熱電変換モジュールと熱源の間に多孔質金属部材が加圧によって挟まれていることを特徴とする。本発明によれば、熱電変換モジュールと熱源の伝熱性を多孔質金属部材を用いることによって向上させているため、高温で用いることができ、発電性能を向上させることができる。本発明によれば、熱電変換モジュールと熱源の密着性を向上させることにより、熱電変換モジュールと熱源の伝熱性を高めた熱電変換システムを得ることができる。以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。1第1実施形態図2に、本発明の第1実施形態の熱電変換システム20を示す。図2において符号10は熱電変換モジュールであり、熱電変換モジュール10は、複数の熱電変換素子11を互いに離間して配列し、熱電変換素子11の両側に、電極12a、12bを互い違いに積層して構成されている。熱電変換素子11は、P型半導体からなるものとN型半導体からなるものが交互に配列され、電極12a、12bによって直列に接続されている。熱電変換モジュール10の一方の側には、多孔質金属シート多孔質金属部材13が積層され、多孔質金属シート13には、熱源である加熱ダクト14が積層されている。多孔質金属シート13は、気孔率30~90、厚さ0.05~2mmであり、銅、モリブデン、ニッケル、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼のいずれかからなる。また、熱電変換モジュール10の他方の側には、冷却ダクト15が積層されている。上記の熱電変換システム20は、次のようにして作製する。すなわち、上記の熱電変換モジュール10と加熱ダクト14の間に多孔質金属シート13を挟み、加圧して多孔質金属シート13を塑性変形させることにより熱電変換モジュール10と加熱ダクト14とを密着させて作製する。冷却ダクト15は、多孔質金属シートの加圧時、加圧前または加圧後に熱電変換モジュール10に積層させればよい。具体的には、電極12aと加熱ダクト14の間に多孔質金属シート13を挟む。そして、加圧によって多孔質金属シート13の気孔13aの一部を潰して塑性変形させることにより、多孔質金属シート13を電極12aと加熱ダクト14の全面に接触させる。これにより、熱電変換モジュール10と加熱ダクト14の密着性を向上でき、伝熱性を向上させることができる。また、変形した多孔質金属シート13に気孔13aが残留するため、熱電変換モジュール10と加熱ダクト14間の熱応力を緩和することができる。なお、多孔質金属シート13の気孔率や、熱電変換モジュール10の構成材料によって適切な加圧力は異なる。2第2実施形態図3に、本発明の第2実施形態の熱電変換システム30を示す。図3において、上記第1実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付してある。本実施形態においては、熱電変換モジュール10はケース16に収容され、ケース16の外面に加熱ダクト14および冷却ダクト15が積層されている。この場合には、熱電変換モジュール10とケース16間に多孔質金属シート13を挟むことにより、熱電変換モジュール10とケース16との密着性を向上させることができ、ケース16の外面の加熱ダクト14との伝熱性を向上させることができる。なお、図3において、加熱ダクト14および冷却ダクト15の間には、熱電変換モジュール10を収容したケース16は1個示されているが、複数個設けても良い。上記の熱電変換システム20、30は、熱電変換モジュール10と加熱ダクト14の伝熱性を多孔質金属シート13を用いることによって向上させているため、高温で用いることができる。したがって、発電性能を向上させることができる。上記実施形態において、熱電変換モジュール10が絶縁されていない場合は、多孔質金属シート13と電極12aの間に絶縁シートを挟んでもよい。この場合も、絶縁シートの積層した電極12a毎や、複数の熱電変換モジュール10毎で高さのばらつきがあっても、多孔質金属シート13を電極12aに積層することによって、加熱ダクト14やケース16との密着性を向上させることができる。また、多孔質金属シート13の電極12a側の面に絶縁シートを接合させてクラッド構造として用いても良い。また、多孔質金属シート13は、片側または両側の表面図2においては電極12a側の面および加熱ダクト14側の面に金属薄膜を接合させてクラッド構造として用いても良い。この場合、金属薄膜によって熱源との伝熱性をさらに向上させながら、熱電変換モジュール10との密着性を向上させることが出来る。上記実施形態において、多孔質金属シート13は、加熱ダクト14側の電極12aに積層される。多孔質金属シート13を熱電変換モジュール10の両側に積層してもよいが、冷却ダクト15側の電極12bに積層しても、多孔質金属シート13による伝熱性向上効果が小さく、製造コストが割高となる。なお、本発明の多孔質金属部材は、上記のような連続したシート状のものに限らず、電極12a毎に分かれていてもよい。本発明の熱電変換システムにおいて、熱電変換素子としては、例えば、シリコン-ゲルマニウム系、マグネシウム-シリコン系、マンガン-シリコン系、ビスマス-テルル系、鉛-テルル系、鉄-バナジウム-アルミニウム系等が挙げられる。また、電極としては、銅、モリブデン、ニッケル、鉄、アルミニウム、タングステン、銀、チタン、ステンレス鋼等が挙げられる。20対の熱電変換素子を電極を介して直列になるように配置し、冷却ダクト側の電極を基板で固定し、加熱ダクト側の電極を絶縁した熱電変換モジュールを用意した。多孔質金属部材は、次のようにして作製した。まず、金属粉末ステンレス、バインダPVA;ポリビニルアルコール、スペーサPW;パラフィンワックス、および粘度調整材水を混合混練し、0.1mm程度のシート状に成形を行った。次に、スペーサを溶媒抽出し、バインダを加熱によって脱脂除去を行った。この脱脂体を1100°Cにおいて焼結することによって気孔率5~90の多孔質金属シートを作製した。なお、脱脂体の焼結温度は用いる金属粉末によって異なる。また、気孔率はスペーサの寸法、バインダの量で調節を行った。そして、加熱ダクト、多孔質金属部材、熱電変換モジュール、冷却ダクトの順に積層して1MPaの圧力で加圧を行い、熱電変換システムを作製した。次に、加熱ダクトを500°Cに加熱し、冷却ダクトを20°Cに冷却し、その際の熱流量qを測定し、温度差480°Cを熱流量で除することによって熱抵抗を求めた。気孔率5の多孔質金属部材の熱抵抗を100とした場合の気孔率に対する比熱抵抗を表1に示す。表1より、熱抵抗に対する気孔率の影響がわかる。気孔率が5の試料番号01の試料に比べ、試料番号02~08の試料においては、気孔率の増加にしたがい熱抵抗は減少し、伝熱性が向上した。これは、気孔率の増加にしたがって、多孔質金属部材が変形し易くなり、熱電変換モジュール内で電極の高さにばらつきがあっても、電極と加熱ダクト間の密着性が良好となったため、熱抵抗が低減したと考えられる。また、気孔率が増加すると電極および加熱ダクトと多孔質金属部材の接触面積は低下するが、密着性改善効果のほうが影響が大きく、多孔質金属部材によって熱抵抗を低減できることを確認できた。一方、気孔率が80以上の試料番号09~11では、気孔率の増加にしたがい熱抵抗が増加し、伝熱性が低下した。これは、気孔率の増加にしたがって電極と多孔質金属部材は密着するが、気孔の増加による熱抵抗増加の影響が大きくなったためと考えられる。表1より、気孔率が30~90の範囲において、熱抵抗を確実に低下でき、さらに、気孔率が50~80の範囲であると、熱抵抗を著しく低下でき、伝熱性を大幅に向上できることがわかった。