荷電粒子を加速する加速管と、高周波電源から印加される高周波電圧を前記加速管に供給するための導波管、または、前記加速管の内部を真空状態に減圧可能な真空ポンプの真空引き管を前記加速管の外周部に接合するための接続部材と、を備えた粒子加速器の製造方法であって、前記接続部材と前記加速管の外周部との接合面にロウ材が配されるとともに、該接続部材に設けられた貫通孔を介して、前記加速管の外周部に設けられたねじ穴にねじを螺合させることにより前記接続部材を前記加速管の外周部に仮止めする工程と、前記加速管の外周部に仮止めされた接続部材の接合面と前記加速管の外周部とを押しつけ合うように弾性力を付与させた状態で、前記接続部材を保持治具によって保持する工程と、前記保持治具によって保持された前記接続部材と前記加速管とを真空炉に導入して加熱する工程と、を含むことを特徴とする粒子加速器の製造方法。内部に空洞が形成された複数のセルを、ロウ材を介して積層して連結することにより前記加速管を組み付ける工程を含み、前記接続部材は、前記複数のセルが積層されて組み付けられた前記加速管の外周部に仮止めされ、前記保持治具によって保持された前記接続部材と前記加速管とを真空炉に導入して加熱する工程において、前記複数のセルが拡散接合して加速管が形成されるとともに、該加速管に前記接続部材が接合されることを特徴とする請求項1に記載の粒子加速器の製造方法。前記接続部材を前記加速管の外周部に仮止めする工程では、前記導波管および前記加速管を接続する導波管接続部材と、前記真空引き管および前記加速管を接続する真空引き管接続部材とを、当該加速管の外周部に180度位相をずらしてそれぞれ仮止めし、前記接続部材を保持治具によって保持する工程では、前記加速管の外周部に、前記導波管接続部材の接合面および前記真空引き管接続部材の接合面を押しつけ合うように弾性力を付与するとともに、前記導波管接続部材および前記真空引き管接続部材によって前記加速管を挟持することを特徴とする請求項1または2に記載の粒子加速器の製造方法。前記接続部材を保持治具によって保持する工程では、前記加速管の外周部に当接するダミー部材を前記接続部材に対して加速管の周方向に180度位相をずらして配置し、前記加速管の外周部に、前記導波管接続部材の接合面および前記ダミー部材の当接面を押しつけ合うように弾性力を付与するとともに、前記導波管接続部材および前記ダミー部材によって前記加速管を挟持することを特徴とする請求項1または2に記載の粒子加速器の製造方法。上述したように、加速管と導波管接続部材とを接合する場合、加速管と導波管接続部材等の接続部材との間にロウ材を配し、真空炉で1000°C程度まで加熱する。この際、リークを生じることなく接合されるように、加速管と接続部材とをステンレスのワイヤで巻き回して仮固定した後に真空炉に導入していた。しかし、真空炉内は1000°C程度まで加熱されるため、加熱時にワイヤが緩んでしまったり、締まりすぎたりして、加速管と接続部材とが適切に接合されず、リークが生じることがあった。このように、加速管と接続部材との間にリークが生じた場合には、加速管を真空炉で再度加熱してロウ付しなければならない。このとき、2回目の加熱時には、1回目に利用したロウ材が溶融しないように、1回目の加熱時と異なるロウ材、すなわち1回目の加熱時に利用したロウ材よりも融点の低いロウ材を利用しなければならず、部品点数が多くなりコストが上昇してしまう。また真空炉を利用して接合する場合、真空炉内を1000°C程度と非常に高温にする必要があるため、2回も真空炉を利用すると、電力が著しく消費されてしまい、コスト高となってしまう。また一旦真空炉で1000°C程度まで加熱されたものを放冷するには、1日程度を要するため、真空炉で2回加熱を行って加速器を製造する場合、少なくとも2日程度といった長時間を要することになる。このように、加速管と接続部材とを接合する際にリークが生じると、当然のこととしてコストが上昇するとともに製造期間が長期化するため、1回の加熱処理でリークが生じないように、確実に加速管と接続部材とを接合することが望まれている。そこで本発明は、このような課題に鑑み、加速管と接続部材とを仮固定する際に工夫することで、加速管と接続部材とをリークを生じることなく確実に接合することが可能な粒子加速器の製造方法を提供することを目的としている。上記課題を解決するために、本発明の粒子加速器の製造方法は、荷電粒子を加速する加速管と、高周波電源から印加される高周波電圧を加速管に供給するための導波管、または、加速管の内部を真空状態に減圧可能な真空ポンプの真空引き管を加速管の外周部に接合するための接続部材と、を備えた粒子加速器の製造方法であって、接続部材と加速管の外周部との接合面にロウ材が配されるとともに、接続部材に設けられた貫通孔を介して、加速管の外周部に設けられたねじ穴にねじを螺合させることにより接続部材を加速管の外周部に仮止めする工程と、加速管の外周部に仮止めされた接続部材の接合面と加速管の外周部とを押しつけ合うように弾性力を付与させた状態で、接続部材を保持治具によって保持する工程と、保持治具によって保持された接続部材と加速管とを真空炉に導入して加熱する工程と、を含むことを特徴とする。内部に空洞が形成された複数のセルを、ロウ材を介して積層して連結することにより加速管を組み付ける工程を含み、接続部材は、複数のセルが積層されて組み付けられた加速管の外周部に仮止めされ、保持治具によって保持された接続部材と加速管とを真空炉に導入して加熱する工程において、複数のセルが拡散接合して加速管が形成されるとともに、加速管に接続部材が接合されてもよい。接続部材を加速管の外周部に仮止めする工程では、導波管および加速管を接続する導波管接続部材と、真空引き管および加速管を接続する真空引き管接続部材とを、加速管の外周部に180度位相をずらしてそれぞれ仮止めし、接続部材を保持治具によって保持する工程では、加速管の外周部に、導波管接続部材の接合面および真空引き管接続部材の接合面を押しつけ合うように弾性力を付与するとともに、導波管接続部材および真空引き管接続部材によって加速管を挟持してもよい。接続部材を保持治具によって保持する工程では、加速管の外周部に当接するダミー部材を接続部材に対して加速管の周方向に180度位相をずらして配置し、加速管の外周部に、導波管接続部材の接合面およびダミー部材の当接面を押しつけ合うように弾性力を付与するとともに、導波管接続部材およびダミー部材によって加速管を挟持してもよい。本発明によれば、加速管と接続部材とを仮固定する際に工夫することで、加速管と接続部材とをリークを生じることなく確実に接合することが可能となる。以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。本実施形態では、電子を加速する粒子加速器を例に挙げて説明する。以下、まず、粒子加速器を含んで構成される電子線照射装置について説明し、続いて、粒子加速器の製造方法について詳述する。電子線照射装置100図1は、電子線照射装置100の外観斜視図であり、図2は、図1におけるY軸方向から電子線照射装置100を見た図である。なお、図1では、理解を容易にするために電子線照射装置100を支持する支持機構を省略する。図1および図2に示すように、電子線照射装置100は、カソード電源104と、電子銃110と、高周波ユニット112と、導波管114と、プリバンチャ116と、粒子加速器200と、スキャンホーン120とを備えて構成されている。なお、電子銃110、プリバンチャ116、粒子加速器200、スキャンホーン120は、内部空間真空室が連続しており、この内部空間は、イオンポンプ等の真空ポンプ102で高真空状態から超高真空状態例えば、10E-5Pa以下に維持される。電子線照射装置100において、電子銃110から放出された熱電子は、プリバンチャ116、粒子加速器200で加速され、スキャンホーン120を通過して、コンベア等で構成される搬送装置10で搬送される被照射物Wに向かって図1中Z軸方向に照射される。以下、電子線照射装置100の各機能部について詳述する。電子銃110電子銃110は、例えば、三極管電子銃であり、カソード電源交流電源104から供給された電力によってカソード電極を加熱し、パルス状に印加された高電圧のグリッド電圧引出電圧により、電子線を放出する。高周波ユニット112、導波管114高周波ユニット112は、クライストロン等で構成される高周波増幅器112aと、高周波増幅器112aに電力を供給する高周波電源112bとを含んで構成され、導波管114を通じてプリバンチャ116および粒子加速器200を構成する加速管210に、例えばSバンドに相当する3GHzのパルス状の高周波電力を供給する。導波管114は、セラミック等で構成されたRF窓114a、114bを通じて、高周波増幅器112aから増幅されて供給される高周波の電圧を加速管210に供給する。導波管114におけるRF窓114aとRF窓114bの間には、六フッ化硫黄SF6等の絶縁ガスが充填されており、高周波増幅器112aで増幅されて出力された電圧によって導波管114が放電してしまう事態を回避する。なおRF窓114a、114bはSF6と真空とを隔てる境界の役割を果たす。プリバンチャ116プリバンチャ116は、電子銃110と粒子加速器200の間に設けられ、導波管114を通じて高周波ユニット112に接続されている。プリバンチャ116は、電子銃110から入射された電子線をバンチング密度圧縮速度変調して、加速管210に送出する。具体的に説明すると、プリバンチャ116内は、高周波増幅器112aから供給された高周波の電圧によって高周波電界が形成されており、プリバンチャ116を通過した電子線は、バンチングされて加速管210に入射する。プリバンチャ116で電子線をバンチングすることにより、加速管210で加速された電子線のエネルギーの分散を小さくすることができ、電子線のエネルギーの均一性を向上させることが可能となる。ここで、プリバンチャ116によって圧縮された電子線の加速管210への入射タイミングが、加速管210における高周波の正位相と同期したときのみ、電子線は加速管210で効率よく加速される。したがって、プリバンチャ116から加速管210への電子線の入射タイミングを調整するために、プリバンチャ116の高周波導入部116aには、不図示の位相調整手段が設けられている。また、電子線の圧縮率バンチングされた電子線の長さも加速管210による加速効率に影響するため、すなわち、電子線の長さが短い程、加速効率が向上する。したがって、供給する高周波の強度を調整して電子線の長さを調整するために、プリバンチャ116の高周波導入部116aには、不図示の減衰アッテネータ手段が設けられている。粒子加速器200粒子加速器200は、電子を加速する加速管210と、導波管114と加速管210とを接続する導波管接続部材220と、真空ポンプ102と加速管210とを接続する真空引き管接続部材222とを含んで構成される。図3は、加速管210の構成を説明するための説明図である。本実施形態では、粒子加速器200として、定在波型の線形リニアック加速器を例に挙げて説明しているが、電子を加速できればよく、進行波型の線形加速器を採用することもできる。図3に示すように、電子銃110から放出される電子線図3中、黒い塗つぶしで示すは、図3中Z軸方向に広がった状態で放出され、プリバンチャ116の内部空間に入射される。そして、プリバンチャ116によるバンチング機能により、電子線は、Z軸方向に圧縮されて加速管210に入射される。ここで、加速管210は、内部に複数の加速空間230図3中、230a~230cで示すを有している。図3では理解を容易にするために、加速空間230を3個として簡略化して説明するが、後述するように本実施形態の加速管210は31個の加速空間230を有する。高周波電源112から導波管接続部材220を通じて加速管210に高周波の電圧例えば、3GHzが供給されると、複数の加速空間230が空間共振器として機能し、空間共振器内に時間的に変化する電界が生じる。そして、この時間的に変化する電界で電子線を加速する。具体的に説明すると、加速管210の加速空間230は、高周波電源112から導入される高周波の電圧によって、例えば、時刻t0に空間電荷が正になっている箇所232aは、図3bに示すように、次の時刻t1には空間電荷が負-になる。電子は負の電荷を帯びているので、空間電荷が正に帯電している箇所正位相の箇所に引き寄せられる。ここで、電子線の速度と加速空間230における正に帯電するタイミングが同期するように、高周波電源112から供給される電圧の周波数と、加速空間230の距離Lが設計されているため、電子線は加速管210内で徐々に加速され、最終的には、例えば10MeV程度まで加速されて、スキャンホーン120に入射される。なお、電子銃110から所定数の加速空間230の距離L加速空間230における電子線の進行方向図3中Z軸方向の距離は、電子銃110から遠ざかるに従って徐々に長くなるように構成され、以降の加速空間230の距離Lは、所定長さに維持されるように構成される。加速空間230の距離Lについては、後に具体的に説明する。スキャンホーン120スキャンホーン120は、その内部空間が加速管210と連結され、加速管210の出口付近に設けられたスキャン電磁石122と、加速管210と連結する端部と対向する端部に設けられた電子線取出部124とを含んで構成される図1、図2参照。スキャン電磁石122は、加速管210から入射された電子線を水平方向図1中X軸方向に走査スキャンする。電子線の進行方向は鉛直方向図1中Z軸方向であるため、スキャン電磁石122が鉛直方向に進行する電子線を水平方向に走査することにより、水平方向に幅のある被照射物Wに確実に電子線を照射することができる。電子線取出部124は、例えば、50μm程度の厚みのTi箔で構成され、内部空間と、大気とを隔てる境界の役割を果たす。そして、電子線取出部124から大気中に取り出された電子線は、被照射物Wに照射される。こうして、電子銃110で放出された電子線は、粒子加速器200で加速されて、電子線取出部124を通じて、被照射物Wに照射される。以下、電子等の荷電粒子を加速する粒子加速器200の製造方法について説明する。図4は、本実施形態にかかる粒子加速器200の製造方法の処理の流れを説明するためのフローチャートである。図4に示すように、粒子加速器200の製造方法は、加速管210を組み付ける工程加速管組付工程S300と、組み付けた加速管210に接続部材導波管接続部材220、真空引き管接続部材222を仮止めする工程仮止め工程S302、加速管210に仮止めした接続部材を保持治具によって保持する工程保持工程S304、保持治具よって保持された接続部材と加速管210とを真空炉に導入して加熱する工程加熱工程S306とを含む。以下、各工程について説明する。加速管組付工程S300まず、内部に空洞が形成された複数のセル後述する入力フランジ250、バンチングセル252、レギュラーセル254、258、カップラーセル256、エンドセル260、出力フランジ262を、ロウ材を介して積層して連結することにより、加速管210を組み付ける。なお、以下に説明する各セルには、各セル同士の位置決めを行うためのピンを挿入する穴が設けられているが記載を省略する。また、各セルの他のセルと当接する面は鏡面に研磨されている。図5は、加速管210の全体構成を説明するための説明図である。図5に示すように、加速管210は、プリバンチャ116に接続される側から順に、入力フランジ250、第1セル1~第7セル7で構成されるバンチングセル252、第8セル8~第15セル15で構成されるレギュラーセル254、第16セル16で構成されるカップラーセル256、第17セル17~第30セル30で構成されるレギュラーセル258、第31セル31で構成されるエンドセル260、出力フランジ262が連結されて構成される。以下、各セル具体的な構成について説明する。入力フランジ250図6は、入力フランジ250を説明するための説明図であり、図6aは、入力フランジ250をプリバンチャ116側から図5中Z軸方向に見た図であり、図6bは、図6aのVIb-VIb断面図であり、図6cは、入力フランジ250をスキャンホーン120側から図5中Z軸方向に見た図である。入力フランジ250は、銅およびステンレスSUSの2層構造で構成され、図6に示すように、プリバンチャ116と接続するための接続部250aと、後述する導水管を形成する導水孔250bと、プリバンチャ116から入射される電子線が通過する空洞250cとを含んで構成される。また入力フランジ250には、他のセルと積層したときに鉛直下方向に臨む面にロウ材を嵌入するためのロウ溝250dが形成されている。他のセルと積層したときに鉛直下方向に臨む面ロウ溝250dが形成される理由については、他のセルのロウ溝とともに後に詳述する。なお、入力フランジ250におけるステンレスSUSで構成される層に接続部250aが形成され、入力フランジ250における銅で構成される層にロウ溝250dが形成されている。バンチングセル252、レギュラーセル254、258、エンドセル260、カップラーセル256バンチングセル252は、銅で構成され、プリバンチャ116から入射された電子線をさらに圧縮して加速する機能を有する。レギュラーセル254、258、エンドセル260およびカップラーセル256は、銅で構成され、バンチングセル252で圧縮された電子線をさらに加速する機能を有する。バンチングセル252と、レギュラーセル254、258とは、電子線の加速方向図1中Z軸方向の長さが異なるが、構成は実質的に等しいので、ここでは、第2セル2を例に挙げて説明する。図7から図9は、第2セル2を説明するための説明図であり、図7aは、第2セル2を構成する第2セル2Lをプリバンチャ116側から図5中Z軸方向に見た図であり、図7bは、図7aのVIIb-VIIb断面図であり、図7cは、第2セル2Lをスキャンホーン120側から図5中Z軸方向に見た図である。また、図8aは、第2セル2を構成する第2セル2Rをプリバンチャ116側から図5中Z軸方向に見た図であり、図8bは、図8aのVIIIb-VIIIb断面図であり、図8cは、第2セル2Rをスキャンホーン120側から図5中Z軸方向に見た図である。図7および図8に示すように、第2セル2Lおよび第2セル2Rは、導水管を形成する導水孔270と、電子線が通過する空洞272とを含んで構成される。また第2セル2Lおよび第2セル2Rには、他のセルと積層したときに鉛直下方向に臨む面、すなわち、図5に示す状態でスキャンホーン120に臨む方向に、ロウ溝274が形成されている。ロウ溝274は、導水孔270を囲んで形成されている。第2セル2は、図9に示すように、1組の第2セル2Lおよび第2セル2Rで構成される。つまり、第2セル2Lの空洞272と、第2セル2Rの空洞272とで、1つの加速空間230が形成されることになる。なお、第1セル1は、第2セル2Rと実質的に等しい構成である。また、第10セル10および第27セル27には、粒子加速器200を電子線照射装置100の構成装置として利用する際に、粒子加速器200を支持する台座に粒子加速器200を固定するための部材を仮止めするためのねじ穴が設けられている。図10は、エンドセルを説明するための説明図であり、図10aは、エンドセル260を構成する第31セル31Rをプリバンチャ116側から図5中Z軸方向に見た図であり、図10bは、図10aのXb-Xb断面図であり、図10cは、エンドセル260を構成する第31セル31Rをスキャンホーン120側から図5中Z軸方向に見た図である。なお、エンドセル260を構成する第31セル31Lは、第2セル2Lと実質的に等しい構成であるため説明を省略する。図10に示すように、第31セル31Rは、第2セル2Rと同様に、導水管を形成する導水孔270と、電子線が通過する空洞272と、を含み、さらに、水を導水孔270に供給するための水供給管を仮止めするための穴276例えば、エンドセル260の周方向に10個が設けられている。また第31セル31Rには、出力フランジ262と積層したときに鉛直下方向に臨む面、すなわち、図5に示す状態でスキャンホーン120に臨む方向に、ロウ溝274が形成されている。ロウ溝274は、導水孔270を囲んで形成されている。図11から図13は、カップラーセル256を説明するための説明図であり、図11aは、カップラーセル256を構成するカップラーセル256Lをプリバンチャ116側から図5中Z軸方向に見た図であり、図11bは、カップラーセル256Lをスキャンホーン120側から図5中Z軸方向に見た図であり、図11cは、図11bのXIc-XIc断面図であり、図11dは、図11bのXId-XId断面図である。また、図12aは、カップラーセル256を構成するカップラーセル256Rをプリバンチャ116側から図5中Z軸方向に見た図であり、図12bは、カップラーセル256Rをスキャンホーン120側から図5中Z軸方向に見た図であり、図12cは、図12aのXIIc-XIIc断面図であり、図12dは、図12aのXIId-XIId断面図である。図11および図12に示すように、カップラーセル256Lおよびカップラーセル256Rは、銅で構成されており、導水管を形成する導水孔280と、電子線が通過する空洞282と、ロウ溝284と、導波管114から供給される高周波電圧が導入される電圧導入孔286と、加速管210の内部空間と真空ポンプ102とを連通させるための真空孔288と、導波管接続部材220を仮止めするためのねじ穴290と、真空引き管接続部材222を仮止めするためのねじ穴292が設けられている。ここでもロウ溝284は、他のセルと積層したときに鉛直下方向に臨む面に形成されており、ロウ溝284は、空洞282と導水孔280を囲んで形成されている。カップラーセル256は、図13に示すように、1組のカップラーセル256Lおよびカップラーセル256Rで構成される。つまり、カップラーセル256Lの空洞282と、カップラーセル256Rの空洞282とで、1つの加速空間230が形成されることになる。続いて、バンチングセル252、レギュラーセル254、258、エンドセル260、カップラーセル256の電子線の加速方向図1中Z軸方向の長さについて説明する。バンチングセル252は、プリバンチャ116から電子線の加速方向に遠ざかるにつれて、電子線の加速方向図1中Z軸方向の長さが長くなるように構成される。具体的に説明すると、バンチングセル252において、電子線の加速方向図1中Z軸方向の、第1セル1の長さをL1、第2セル2の長さをL2、第3セル3の長さをL3、第4セル4および第5セル5の長さをL4、第6セル6および第7セル7の長さをL6とすると、バンチングセル252は、L1L2L3L4L6の関係を満たすように構成される。これは、プリバンチャ116から入射された電子線は、30KeV程度であり、バンチングセル252で2MeV程度まで加速するためである。一方、2MeV以上は、光速と等しい速度に換算することができる。したがって、第8セル8~第15セル15までのレギュラーセル254と、第16セル16であるカップラーセル256、第17セル17~第30セル30までのレギュラーセル258、第31セル31であるエンドセル260の電子線の加速方向図1中Z軸方向の長さLXを実質的に等しくすることができる。なお、第1セル1に入射される30keVの電子線の移動速度より、第8セル8入射される2MeVの電子線の移動速度光速は、はるかに速いため、所定の期間に移動する距離が長くなる。したがって、レギュラーセル254、258、カップラーセル256、エンドセル260の電子線の加速方向図1中Z軸方向の長さLXは第7セル7の長さよりも長く形成される。出力フランジ262図14は、出力フランジ262を説明するための説明図であり、図14aは、出力フランジ262をプリバンチャ116側から図5中Z軸方向に見た図であり、図14bは、図14aのXIVb-XIVb断面図であり、図14cは、出力フランジ262をスキャンホーン120側から図5中Z軸方向に見た図である。図14に示すように、出力フランジ262は、ステンレスSUS、または、銅およびステンレスSUSの2層構造で構成され、スキャンホーン120と接続するための接続部262bと、後述する挿通棒410を挿通させるための挿通孔262aと、電子線が通過する空洞262cとを含んで構成される。ここでは、出力フランジ262がステンレスSUSで構成される例について説明する。以上説明した、各セル入力フランジ250、バンチングセル252、レギュラーセル254、258、エンドセル260、カップラーセル256に形成されたロウ溝250d、274、284にロウ材を嵌めこみ、ロウ材を介して各セルを積層する。ここで利用されるロウ材は、金、パラジウム、銀等を含んで構成されるロウ材である。そして、各セルが積層されて構成された加速管210は、保持治具で保持される。図15は、加速管210を保持するための保持治具400を説明するための説明図である。なお、図15b中、理解を容易にするために、各セルにおける導水孔、挿通孔以外の構成の記載を省略する。図15aに示すように、保持治具400は、ステンレスSUS、または、耐高温材料例えば、インコネル登録商標やセラミック等で構成され、挿通棒410と、上部加速管押え板412aと、下部加速管押え板412bと、バネ押え板414と、バネ416と、吊り下げ板418とを含んで構成される。挿通棒410は、後述するナット420a、420bと螺合する溝タップが切られている。なお、ここでは、挿通棒410、ナット420a、420bをインコネル登録商標で構成し、バネ416をセラミックで構成し、上部加速管押え板412a、下部加速管押え板412b、バネ押え板414、吊り下げ板418をステンレスSUSで構成する例について説明する。このように、荷重がかかる挿通棒410、ナット420a、420bをインコネル登録商標で構成することで、クリープ現象の発生を抑制し、破断が生じる事態を回避することができる。また、バネ416をセラミックで構成することで、高温に曝したとしてもバネ剛性を維持することができる。まず、各セルに設けられた導水孔250b、270、280が連通することで構成された導水管240、および、出力フランジ262に設けられた挿通孔262aに挿通棒410を挿通する。そして、下部加速管押え板412bに設けられた挿通孔を鉛直図15中Z軸方向上方向に向かって、挿通棒410に挿入し、加速管210の下部出力フランジ262に当接させ、ナット420aで固定する。続いて、上部加速管押え板412aに設けられた挿通孔を、鉛直下方向に向かって挿通棒410に挿入し、加速管210の上部入力フランジ250に当接させる。そして、上部加速管押え板412aの上方からバネ416を挿通棒410に挿入し、バネ416の上方からバネ押え板414の挿通孔に挿通棒410を挿入して、バネ押え板414をナット420bで固定する。ここで、ナット420bを鉛直下方向に向かって絞めていくと、バネ押え板414が鉛直下方図15中、白抜き矢印で示すに移動する。そうすると、バネ416の弾性力が鉛直下方に付与され、上部加速管押え板412aに鉛直下方の力がかかる。そうすると、上部加速管押え板412aと下部加速管押え板412bとの距離が縮み、加速管210を挟持することになる。このようにして、保持治具400を用いて、ロウ材を介して複数のセルを積層して連結することにより、加速管210を組み付ける。また、上述したように、ロウ溝250d、274、284は、保持治具400を用いて連結したときに、各セルにおける、鉛直下方向に臨む面に設けられる。図16は、ロウ溝を説明するための説明図である。図16では、レギュラーセル254に設けられたロウ溝274を例に挙げて説明する。図16では、特に、第13セル13、第12セル12、第11セル11を示している。保持治具400を用いて各セルを連結すると、鉛直下方向から、出力フランジ262、第31セル31エンドセル260、第30セル30レギュラーセル258、...、第16セル16カップラーセル256、...第13セル13レギュラーセル254、第12セル12レギュラーセル254、第11セル11レギュラーセル254、...、第1セル1バンチングセル252、入力フランジ250の順で鉛直上方向に積層される。ここで図16に示すように、ロウ溝274は、保持治具400に保持されて積層されたときに鉛直下方向に臨む面274aに設けられる。これは、後述する加熱工程S306において、保持治具400に保持させたまま加速管210を加熱すると、ロウ溝274に嵌めこまれたロウ材が溶融して自重によって鉛直下方に移動するためである。つまり、鉛直下方図16中、Z軸方向に向かって開口したロウ溝274にロウ材を嵌めこんでおけば、溶融したときに、その自重によって、ロウ溝274から鉛直下方に当接されたセルに向かって図16に示す拡大図では、第11セル11Lのロウ溝274から第11セル11Rに向かって、ロウ材が溶融することになる。したがって、セル同士を確実にロウ付けすることが可能となる。なお、ここでは、図16を用いてロウ溝274について説明したが、ロウ溝250d、284についても同様の効果を得ることができる。仮止め工程S302仮止め工程S302は、加速管組付工程S300において組み付けられた加速管210のうち、カップラーセル256に導波管接続部材220と真空引き管接続部材222とを仮止めする工程である。図17は、導波管接続部材220を説明するための説明図であり、図17aは、導波管接続部材220を説明するための断面図を示し、図17bは、図17aに示すX軸方向から導波管接続部材220を見た図を示す。図17に示すように、導波管接続部材220は、銅、または、銅およびステンレスSUSの2層構造で構成され、導波管114から供給される高周波電圧を加速管210に導入するための電圧導入孔220aと、挿通孔220bと、ロウ溝220cと、貫通孔220dとを含んで構成される。貫通孔220dは、導波管接続部材220とカップラーセル256とを当接させると、カップラーセル256におけるねじ穴290と連通するように形成されている。なお、ここでは、導波管接続部材220が銅およびステンレスの2層構造で構成される例について説明し、導波管接続部材220におけるステンレスで構成される層に挿通孔220bが形成され、導波管接続部材220における銅で構成される層にロウ溝220cと、貫通孔220dとが形成される。図18は、真空引き管接続部材222を説明するための説明図であり、図18aは、真空引き管接続部材222を説明するための断面図を示し、図18bは、図18aに示すX軸方向から真空引き管接続部材222を見た図を示す。図18に示すように、真空引き管接続部材222は、銅、または、銅およびステンレスSUSの2層構造、または、ステンレスSUSで構成され、加速管210の内部空間と真空ポンプ102とを連通させるための真空孔222aと、挿通孔222bと、ロウ溝222cと、貫通孔222dとを含んで構成される。貫通孔222dは、真空引き管接続部材222とカップラーセル256とを当接させると、カップラーセル256におけるねじ穴292と連通するように形成されている。なお、ここでは、真空引き管接続部材222がステンレスSUSで構成される例について説明する。図19は、仮止め工程S302を説明するための説明図である。仮止め工程S302では、まず、導波管接続部材220における、カップラーセル256加速管210の外周部と接合する面接合面に設けられたロウ溝220cと、真空引き管接続部材222におけるカップラーセル256の外周部と接合する面に設けられたロウ溝222cとにロウ材を配しておく。そして、図19に示すように、貫通孔220dを介して、カップラーセル256の外周部に設けられたねじ穴290にねじを螺合させることにより、導波管接続部材220をカップラーセル256の外周部に仮止めする。また、貫通孔222dを介して、カップラーセル256の外周部に設けられたねじ穴292にねじを螺合させることにより、真空引き管接続部材222を、カップラーセル256の外周部に仮止めする。ここで、導波管接続部材220と、真空引き管接続部材222とは、カップラーセル256の外周部に180度位相をずらしてそれぞれ仮止めされる。また、仮止め工程S302では、第10セル10および第27セル27に台座を仮止めし、第31セル31には、水を導水孔270に供給するための水供給管を仮止めする。保持工程S304保持工程S304は、加速管210カップラーセル256の外周部に仮止めされた導波管接続部材220および真空引き管接続部材222を保持治具500で保持する工程である。図20は、保持治具500による導波管接続部材220および導波管接続部材220の加速管210への保持を説明するための説明図であり、図21は、図20における保持治具500付近の詳細図である。図21に示すように、保持治具500は、ステンレスSUS、または、耐高温材料例えば、インコネル登録商標やセラミック等で構成され、挿通棒510と、導波管接続部材220を押さえる押え板512aと、真空引き管接続部材222を押さえる押え板512bと、バネ516を押さえる押え板514a、514b、バネ516とを含んで構成される。挿通棒510は、後述するナット520a、520bと螺合する溝タップが切られている。なお、ここでは、挿通棒510、ナット520a、520bをインコネル登録商標で構成し、バネ516をセラミックで構成し、押え板512a、512b、514a、514bをステンレスSUSで構成する例について説明する。このように、荷重がかかるおそれのある挿通棒510、ナット520a、520bをインコネル登録商標で構成することで、クリープ現象の発生を抑制し、破断が生じる事態を回避することができる。また、バネ516をセラミックで構成することで、高温に曝したとしてもバネ剛性を維持することができる。まず、押え板512aを導波管接続部材220に当接させ、押え板512bを真空引き管接続部材222に当接させた状態で、押え板512aに設けられた挿通孔522aと、押え板512bに設けられた挿通孔522bとに挿通棒510を挿入する。ここで、上述したように、導波管接続部材220と、真空引き管接続部材222とは、加速管210の外周部に180度位相をずらしてそれぞれ仮止めされているので、1本の挿通棒510が挿通孔522aと挿通孔522bとを挿通することになる。そして、押え板512aの導波管接続部材220と当接している面と対向する面にバネ516が当接するように、バネ516を挿通棒510に挿入し、押え板512bの真空引き管接続部材222と当接している面と対向する面にバネ516が当接するように、バネ516を挿通棒510に挿入する。続いて、バネ516を押え板512aまたは押え板512bと挟むように、押え板514a、514bの挿通孔522a、522bを挿通棒510に挿入して、押え板514a、514bをナット520a、520bで固定する。ここで、ナット520a、520bを加速管210に向かって絞めていくと、押え板514a、514bが加速管210に移動する。そうすると、バネ516の弾性力が、加速管210の外周部に導波管接続部材220の接合面が圧接する方向図21中、白抜き矢印で示すと、加速管210の外周部に真空引き管接続部材222の接合面が圧接する方向図21中、黒い塗りつぶしの矢印で示すに付与される。つまり、加速管210の外周部と導波管接続部材220の接合面とを押しつけ合うように、また、加速管210の外周部と真空引き管接続部材222の接合面とを押しつけ合うように弾性力を付与する。そうすると、押え板512aと押え板512bとの距離が縮み、導波管接続部材220および真空引き管接続部材222によって加速管210が挟持されることになる。なお、上述したように、導波管接続部材220と、真空引き管接続部材222とは、加速管210の外周部に180度位相をずらしてそれぞれ仮止めされているので、押え板512aと押え板512bのみで、導波管接続部材220および真空引き管接続部材222を加速管210に保持させることができる。そうすると、図20に示すように、各セルが連結されてなる加速管210と、加速管210に仮止めされた台座450と、水供給管470と、加速管210に仮止めされ、かつ保持治具500によって保持された導波管接続部材220と、真空引き管接続部材222とが一体となって保持される。加熱工程S306加熱工程は、保持治具400、500によって保持された加速管210、導波管接続部材220、真空引き管接続部材222を真空炉に導入して1000°C程度まで加熱する工程である。具体的に説明すると、図20に示す、吊り下げ板418に設けられた吊り下げ孔418aを真空炉の部材に吊り下げて、真空炉に加速管210を固定して加熱する。上述したように、各セルの他のセルと当接する面は鏡面に研磨されているため、加熱工程S306を経ることで、複数のセルが拡散接合して、加速空間230が外部大気と隔離された加速管210が形成される。また、各セルの他のセルと当接する面の研磨が十分でなく、拡散接合が為されなかったとしても、各セルの間に配されたロウ材が溶融し、各セル間の空隙を埋めることができる。さらに、導波管接続部材220は、導波管接続部材220とカップラーセル256との間に配されたロウ材が溶融することによって、加速管210カップラーセル256と接合される。真空引き管接続部材222は、真空引き管接続部材222とカップラーセル256との間に配されたロウ材が溶融することによって、加速管210カップラーセル256と接合される。ここで、仮止め工程S302と保持工程S304を経ることにより、導波管接続部材220と真空引き管接続部材222をカップラーセル256の外周部に確実に保持させることができ、真空炉で加熱したとしても、導波管接続部材220や真空引き管接続部材222が加速管210カップラーセル256からずれてしまう事態を回避することができる。したがって、真空炉による1回の加熱で、導波管接続部材220および真空引き管接続部材222の双方をカップラーセル256と確実に接合することが可能となる。以上説明したように、本実施形態にかかる粒子加速器200の製造方法によれば、加速管組付工程S300、仮止め工程S302、保持工程S304を経ることで、真空炉で1回加熱するだけで、リークを生じることのない加速管210の形成、および、リークが生じない、加速管210と導波管接続部材220、真空引き管接続部材222の接合を遂行することができる。したがって、真空炉の利用に費やしていたコストを削減することができる。また真空炉の利用回数が低減することから、粒子加速器200の製造時間を大幅に短縮することが可能となる。以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。例えば、上述した実施形態では、荷電粒子として電子を加速する粒子加速器200の製造方法を例に挙げて説明したが、陽子やイオン化した原子を加速する粒子加速器の製造方法にも適用できる。また、上述した実施形態では、導波管接続部材220および真空引き管接続部材222にロウ溝274、284が形成されているが、カップラーセル256の外周部にロウ溝274、284が形成されてもよい。さらに、上述した実施形態では、定在波型の線形リニアック加速器を例に挙げて説明したが、進行波型の線形加速器の製造に本発明の粒子加速器の製造方法を適用することもできる。進行波型の線形加速器の場合、加速管に導波管接続部材が2つ接合されることになる。このとき、一方の導波管接続部材は、その接合面に対して、加速管の周方向に180度位相をずらした位置に真空引き管接続部材が接合されるが、他方の導波管接続部材は、その接合面に対して、加速管の周方向に180度位相をずらした位置に真空引き管接続部材等の他の接続部材が配されない。この場合、加速管の外周部に当接するダミー部材を、導波管接続部材に対して加速管の周方向に180度位相をずらして配置しておく。そうすると、上述した保持治具500の押え板512aが導波管接続部材に、押え板512bがダミー部材に当接することにより、バネ516によって、加速管の外周部に、導波管接続部材の接合面およびダミー部材の当接面を押しつけ合うように弾性力を付与され、導波管接続部材およびダミー部材によって加速管が挟持されることになる。また、上述した実施形態の出力フランジ262に構成された挿通孔262aは、接合後にステンレスSUSピースが挿入された後、溶接され、封止されるとよい。さらに、上部加速管押え板412a、下部加速管押え板412b、押え板512a、512bにおける、加速管210と接触する面に、窒化ホウ素BN等の耐高温性の剥離材を塗布したり、セラミック板を挟んだりすることで、不要な接合を回避してもよい。また、挿通棒410、510、ナット420a、420b、520a、520bのタップには、焼き付けを防止するための、窒化ホウ素BN等の耐高温性の剥離材を塗布してもよい。