ハンドルの回転操作に伴い、弁本体内の流体通路が開閉される手動弁に設置される手動弁用開度検知装置において、変位センサおよび変位センサに臨まされた検知面を有するターゲットを備えており、変位センサおよびターゲットが中空状とされたハンドル内に配置されていることを特徴とする手動弁用開度検知装置。ハンドルの回転に伴い、変位センサおよびターゲットがセンサ面とターゲットの検知面とが常に向き合うように回転を行うことを特徴とする請求項1の手動弁用開度検知装置。ターゲットは、ハンドル内の弁棒から所定距離離れた位置に配置されたターゲット本体と、ターゲット本体の変位センサに対向する面に形成された検知用傾斜面と、ターゲット本体から下方に突出する下方突出部とを有し、ハンドルの底壁に、ターゲットの下方突出部を上下移動可能に挿通させる貫通孔が設けられて、ターゲットは、その下方突出部下面が弁本体で受けられることにより、ハンドルとともに回転するが弁本体に対して上下移動しないようになされていることを特徴とする請求項1または2の手動弁用開度検知装置。ハンドルは、周壁および底壁を有し底壁の中央部が弁棒に固定されたハンドルベースと、これに被せられたハンドルカバーとを有しており、ターゲット本体は、略直方体状とされて、その長さ方向の中央部に検知用傾斜面および下方突出部が設けられており、ターゲット本体の長さ方向両側に、検知用傾斜面および下方突出部が設けられている部分を挟むようにして、1対の案内軸挿通孔が設けられており、各案内軸挿通孔に挿通された各案内軸の下端がハンドルベースで受けられるとともに、各案内軸の上端が押さえ部材によって受けられて、該押さえ部材がハンドルベースに固定されており、これにより、ターゲットが1対の案内軸に案内されてハンドルに対して上下移動可能とされていることを特徴とする請求項3の手動弁用開度検知装置。ターゲットの各案内軸挿通孔に、案内軸を案内する円筒状リニアブッシュが挿入されており、圧縮コイルばねが各案内軸の上部に嵌め被せられて、その上端が押さえ部材に、下端がリニアブッシュ上面でそれぞれ受けられていることを特徴とする請求項4の手動弁用開度検知装置。ターゲットの下方突出部は、ターゲット本体に取り付けられたボールプランジャーによって形成されており、ボールプランジャーの外周におねじ部が設けられて、ターゲット本体に、ボールプランジャーのおねじ部に対応する貫通めねじ部が設けられており、ボールプランジャーは、ターゲット本体の貫通めねじ部に下側からねじ合わされ、ターゲット本体の貫通めねじ部に上側からねじ合わされたロックナットによって位置決めされてターゲット本体に固定されており、ボールプランジャーの下端に位置するボールが弁本体で受けられていることを特徴とする請求項3から5までのいずれかに記載の手動弁用開度検知装置。変位センサは、センサ支持部材を介してハンドルに固定されており、センサ支持部材に、ターゲット本体に弾性力を作用させる付勢部材が設けられていることを特徴とする請求項3から6までのいずれかに記載の手動弁用開度検知装置。ハンドル内に、プログラムに応じた所定の処理を実行するCPUと、無線モジュールと、これらに電力を供給する電池とが組み込まれていることを特徴とする請求項1から7までのいずれかに記載の手動弁用開度検知装置。上記特許文献1の手動弁用開度検知装置では、変位センサの取付金具が弁本体から突出しているとともに、テーパ円筒形ターゲットの検知用傾斜面および変位センサが外部に露出しているため、変位センサの取付金具やターゲットにハンドル操作時などに手などが当たって初期設定状態から変化しやすく、また、変位センサが故障しやすいことから、長期間にわたっての検知の信頼性に欠けるという問題があった。上記特許文献1の手動弁用開度検知装置では、また、固定されている変位センサに対してターゲットが回転するので、変位センサに臨まされているターゲットの面が変化することから、偏心誤差やターゲットの表面状態の相違の影響を受けて変位センサで得られる値が変動し、変位センサとターゲットの検知用傾斜面との距離に基づいて算出した弁棒位置流体通路の開度の検知精度が低下するという問題もあった。この発明の目的は、長期間にわたっての検知の信頼性が確保され、流体通路の開度の検知精度がよい手動弁用開度検知装置を提供することにある。この発明による手動弁用開度検知装置は、ハンドルの回転操作に伴い、弁本体内の流体通路が開閉される手動弁に設置される手動弁用開度検知装置において、変位センサおよび変位センサに臨まされた検知面を有するターゲットを備えており、変位センサおよびターゲットが中空状とされたハンドル内に配置されていることを特徴とするものである。弁本体は、手動弁の構成要素のうち、流体通路および弁座が形成された弁箱、弁棒に設けられたおねじ部にねじ合わされるめねじ部を有するボンネットなどからなる固定部分をいうものとする。手動弁は、例えば、弁体としてダイヤフラムを使用し、ダイヤフラム押さえによってダイヤフラムを弁座に押し付けることで、流体通路を閉鎖するダイヤフラム弁とされるが、この発明が対象とする手動弁は、ハンドルの回転操作に伴う弁棒の上下移動により弁本体内の流体通路が開閉されるものであれば、弁体その他の構成については限定されない。変位センサとしては、例えば、平面コイル、発振回路および積算回路を有し、対向する導電体との距離変化に応じて発信周波数が変化し、この周波数を積算回路で積算値に変換してデジタル出力するものとされるが、これに限定されるものではない。変位センサおよびターゲットは、そのいずれか一方がハンドルの内面に固定され、他方がハンドルとともに回転するが弁本体に対して回転時に上下移動しないようにハンドルに取り付けられる。例えば、変位センサは、適宜な形状とされたセンサ支持部材を介してハンドルベースの周壁に固定され、ターゲットは、弁本体に上下方向の位置決めをされた状態でハンドルに支持される。ターゲットをハンドルに固定して、センサを弁本体に位置決めされた状態でハンドルに支持させるようにしてもよい。この発明の手動弁用開度検知装置によると、変位センサおよびターゲットがハンドルに保護されることで、長期間にわたっての検知の信頼性が確保されるとともに、流体通路の開度の検知精度がよいものとなる。また、変位センサおよびターゲットがハンドルに一体に設けられていることで、手動弁用開度検知装置の交換を容易に行うことができ、また、既存の手動弁に対して、そのハンドルをこの発明の手動弁用開度検知装置を内蔵したハンドルに交換することで、上記の効果を有する開度検知装置付きの手動弁を容易に得ることができる。ハンドルの回転に伴い、変位センサ及びターゲットがセンサ面とターゲットの検知面とが常に向き合うように回転を行うことが好ましい。このようにすると、変位センサのセンサ面に臨まされているターゲットの検知面が変化しないことから、偏心誤差やターゲットの表面状態の相違の影響を受けて変位センサで得られる値が変動することがなく、変位センサとターゲットの検知用傾斜面との距離に基づいて算出した弁棒位置流体通路の開度の検知精度が優れたものとなる。検知面は、テーパ円筒形にする必要はなく、変位センサのセンサ面に対向する傾斜面とすればよい。ターゲットは、ハンドル内の弁棒から所定距離離れた位置に配置されたターゲット本体と、ターゲット本体の変位センサに対向する面に形成された検知用傾斜面と、ターゲット本体から下方に突出する下方突出部とを有し、ハンドルの底壁に、ターゲットの下方突出部を上下移動可能に挿通させる貫通孔が設けられて、ターゲットは、その下方突出部下面が弁本体で受けられることにより、ハンドルとともに回転するが弁本体に対して上下移動しないようになされていることが好ましい。このようにすると、ハンドルを回転させると、変位センサは、これと一体で回転して弁本体に対して上下に移動する。これに対して、ターゲットは、その下方突出部がハンドルの底壁に設けられた貫通孔に挿通されて、その下面が弁本体で受けられていることにより、回転時は弁本体に対して上下には移動しない。したがって、変位センサと検知用傾斜面との距離が変化し、これを弁棒の上下移動距離に換算することで、流体通路の開度を検知することができる。ターゲットは、適宜なターゲット支持手段によって支持されて、ハンドルと一体回転するものとされ、これにより、ターゲットの検知用傾斜面は変位センサとともに回転し、ターゲットおよび変位センサのそれぞれの取付けに誤差があったとしても、変位センサで得られる計測値にその誤差が含まれることはなく、検知精度に優れたものとなる。上記において、ターゲットは、付勢部材例えば圧縮コイルばねによって下方に付勢されていることが好ましい。ターゲット支持手段は、例えば、ハンドル底壁の貫通孔とターゲットの下方突出部との嵌め合いをスプライン嵌合とすればよく、また、ターゲットを案内する案内軸に対してターゲットが回転しないものとされてもよい。例えば、ハンドルは、周壁および底壁を有し底壁の中央部が弁棒に固定されたハンドルベースと、これに被せられたハンドルカバーとを有しており、ターゲット本体は、略直方体状とされて、その長さ方向の中央部に検知用傾斜面および下方突出部が設けられており、ターゲット本体の長さ方向両側に、検知用傾斜面および下方突出部が設けられている部分を挟むようにして、1対の案内軸挿通孔が設けられており、各案内軸挿通孔に挿通された各案内軸の下端がハンドルベースで受けられるとともに、各案内軸の上端が押さえ部材によって受けられて、該押さえ部材がハンドルベースに固定されており、これにより、ターゲットが1対の案内軸に案内されてハンドルに対して上下移動可能とされていることがある。このようにすると、ターゲットがハンドルに対して上下移動する際に、傾いたり引っ掛かったりすることがなく、スムーズなターゲットの移動が確保されることで、検知精度に優れたものとなる。ターゲットの各案内軸挿通孔に、案内軸を案内する円筒状リニアブッシュが挿入されており、圧縮コイルばねが各案内軸の上部に嵌め被せられて、その上端が押さえ部材に、下端がリニアブッシュ上面でそれぞれ受けられていることがより好ましい。リニアブッシュは、軌道溝が設けられた案内軸に対して相対的に直線移動可能に組み付けられる外筒と、案内軸の軌道溝と外筒に設けられた軌道溝との間に設けられた複数のボールとを備えているもので、複数のボールが転動することによって円滑な相対移動が確保される。案内軸とリニアブッシュとの隙間は、両者間のガタをなくすために極力小さいものとされ、ボールが内部で転動するリニアブッシュが使用されることで、案内軸に対するターゲットの相対移動がガタ無くかつスムーズなものとなる。そして、圧縮コイルばねがリニアブッシュを押えることで、ターゲット全体が常に下方に付勢され、ターゲットのガタも防止される。ターゲットの下方突出部は、ターゲット本体に取り付けられたボールプランジャーによって形成されており、ボールプランジャーの外周におねじ部が設けられて、ターゲット本体に、ボールプランジャーのおねじ部に対応する貫通めねじ部が設けられており、ボールプランジャーは、ターゲット本体の貫通めねじ部に下側からねじ合わされ、ターゲット本体の貫通めねじ部に上側からねじ合わされたロックナットによって位置決めされてターゲット本体に固定されており、ボールプランジャーの下端に位置するボールが弁本体で受けられていることがある。ターゲットの下方突出部は、ターゲット本体に一体に形成されてももちろんよいが、ボールプランジャーを使用することで、ターゲットの下方突出部が弁本体で受けられた状態でのターゲットの移動がスムーズなものとなり、検知精度がより一層向上する。変位センサは、センサ支持部材を介してハンドルに固定されており、センサ支持部材に、ターゲット本体に弾性力を作用させる付勢部材が設けられていることがある。ターゲット本体がセンサ支持部材に対して移動する際にがたつくと、精度が低下することになり、このターゲット本体のがたつきが付勢部材によって抑えられる。この発明の手動弁用開度検知装置において、ターゲットおよび変位センサに加えて、ハンドル内に、プログラムに応じた所定の処理を実行するCPUと、無線モジュールと、これらに電力を供給する電池とがさらに組み込まれていることが好ましい。このようにすると、変位センサの計測値を使用して流体通路の開度を求め、これを外部に設置されたデータ監視システムに送信することで、手動弁が設置されている場所から離れた位置において、手動弁の開度が検知できる。また、変位センサ、CPU、無線モジュールおよび電池をハンドルに一体にすることにより、弁の保守、交換が容易に行える。それに、CPUと内蔵メモリにより、全開から全閉の変位値を記憶、直線補正をすることにより、弁のばらつきを吸収することができる。また、LED表示灯をハンドルに取り付けることで無線通信の状態、弁の動作状況を通知することもできる。なお、この明細書において、上下は、手動弁のハンドル側を上として、弁本体側を下というものとするが、この上下は、便宜的なものであり、手動弁は、上下を逆にして設置されることもあり、また、水平面だけでなく、垂直面に設置されることもある。この発明の手動弁用開度検知装置によると、変位センサおよびターゲットが中空状とされたハンドル内に配置されているので、変位センサおよびターゲットがハンドルに保護されることで、長期間にわたっての検知の信頼性が確保されるとともに、流体通路の開度の検知精度がよいものとなる。また、変位センサおよびターゲットがハンドルに一体に設けられていることで、手動弁用開度検知装置の交換を容易に行うことができ、また、既存の手動弁に対して、そのハンドルをこの発明の手動弁用開度検知装置を内蔵したハンドルに交換することで、上記の効果を有する開度検知装置付きの手動弁を容易に得ることができる。この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下は、図1の上下をいうものとする。図1は、この発明による手動弁用開度検知装置を有する流体制御器を示しており、流体制御器は、ハンドルの回転操作によって流体通路が開閉される手動弁と、ハンドルに内蔵された開度検知装置とからなる。手動弁は、所要の流体通路図示略が設けられた弁箱およびその上方に設けられたボンネットからなる弁本体と、ボンネット内に支持されて回転しながら上昇または下降することにより流体通路を開閉する弁棒と、弁棒上端部に固定されたハンドルとを備えている。ハンドルは、底壁および周壁を有する円筒状のハンドルベースとこれに被せられた樹脂製ハンドルカバーとによって中空状に形成されており、その中空状部分が開度検知装置配置空間とされている。ハンドルベースの底壁の中央部には、弁棒上端部を挿通するための貫通孔が設けられており、弁棒上端部に設けられたおねじ部にナットがねじ合わされることで、ハンドルベースと弁棒とが固定されている。ハンドルは、弁本体のボンネットの上方に位置し、これらは互いに同心であり、ハンドルが回転して上方に移動すると、操作部材であるハンドルと固定部材である弁本体のボンネットとの距離が変化する。開度検知装置は、手動弁の流体通路の開度を数値化して外部に取り出すもので、変位センサと、変位センサに対向するターゲットと、変位センサの計測値を処理するCPUと、CPUと外部との送受信を行う無線モジュールと、変位センサ、CPUおよび無線モジュールに電力を供給する電池とを備えている。以下では、図2から図6までを参照して、この発明による開度検知装置の第1実施形態の詳細な構成を説明する。変位センサは、センサ支持部材を介してハンドルベースの周壁に固定されている。ターゲットは、ハンドルベース上の弁棒から所定距離離れた位置に配置された略直方体状のターゲット本体と、ターゲット本体の長さ方向中央部に変位センサのセンサ面に内側から対向するように形成された検知用傾斜面と、ターゲット本体の長さ方向中央部に下方に突出するように配置されたボールプランジャーとを有している。ターゲットは、後述するように、1対の案内軸、押さえ部材および圧縮コイルばね付勢部材によって、ハンドルベースと一体で回転するとともに、ハンドルベースに対して上下移動可能ハンドルベースが弁本体に対して上下方向に移動しても、ターゲットは、弁本体に対して上下方向に移動しないとされている。ハンドルベースには、ターゲットを長さ方向両側から挟むことでターゲットの配置および移動空間を形成している厚肉部が設けられている。ボールプランジャーの外周には、おねじ部が設けられており、ターゲット本体の長さ方向中央部には、このおねじ部に対応する貫通めねじ部が設けられている。ボールプランジャーは、ターゲット本体の貫通めねじ部に下側からねじ合わされ、ターゲット本体の貫通めねじ部に上側からねじ合わされたロックナットによって位置決めされてターゲット本体に固定されている。ボールプランジャーの下部は、ターゲットの下方突出部を形成している。ハンドルベースの底壁には、この下方突出部を上下移動可能に挿通させる貫通孔が設けられている。ターゲットは、そのターゲット本体がハンドルベースの底壁上に移動可能に載置されて、その下方突出部が底壁の貫通孔に挿通されている。底壁の貫通孔に挿通されたターゲットの下方突出部の下端すなわち、ボールプランジャーの下端に位置するボールは、弁本体のボンネットの上面で受けられるようになされており弁棒からターゲットの下方突出部までの距離がボンネットの半径に比べて小さくなされており、これにより、ターゲットの弁本体に対する上下位置が一定に保たれている。ターゲット本体の長さ方向両側に、検知用傾斜面および下方突出部が設けられている部分を挟むようにして、1対の案内軸挿通孔が設けられている。各案内軸挿通孔には、案内軸がそれぞれ挿通されており、各案内軸の下端部は、ハンドルベースに設けられた凹所に嵌め入れられている。そして、各案内軸の上端部は、押さえ部材に設けられた凹所に嵌め入れられている。押さえ部材の凹所は、段付き状とされており、上側の小径部に各案内軸の上端部が嵌め入れられており、凹所の下側の大径部は、圧縮コイルばねの上端を受けるものとされている。押さえ部材は、ターゲット本体の長さ方向に長い長方形板状とされて、長さがターゲットよりも長くなされている。押さえ部材の両端部には、皿ねじが配されており、押さえ部材は、これらの皿ねじによって、ハンドルベースの厚肉部に固定されている。これにより、1対の案内軸がハンドルベースに固定され、ターゲットがこれらの1対の案内軸に案内されてハンドルベースに対して上下移動可能とされている。ターゲットの各案内軸挿通孔は、リニアブッシュが挿入可能な大きさとされており、ここに、案内軸の上下移動を回転不可能に案内する円筒状リニアブッシュが挿入されて固定されている。リニアブッシュは、図示省略するが、軌道溝が設けられた案内軸に対して相対的に運動可能に組み付けられる外筒と、案内軸の軌道溝と外筒に設けられた軌道溝との間に転動可能に設けられた複数のボールとを備えている。各案内軸挿通孔の下端には、リニアブッシュの下面を受ける環状の内方突出縁部が設けられている。内方突出縁部の内径は、案内軸が挿通可能な大きさとされている。各案内軸の上部には、圧縮コイルばねがそれぞれ嵌め被せられて、その上端部が押さえ部材に設けられた段付きの凹所の大径部に挿入されており、その下端がリニアブッシュの上面で受けられている。これにより、リニアブッシュの上面と押さえ部材との間に圧縮コイルばねが介在されて、リニアブッシュが圧縮コイルばねによって下向きに付勢されることで、ターゲットに常時下向きの付勢力が作用している。こうして、ターゲットのハンドルベースに対する上下移動がガタ無くスムーズに行われることが確保されている。図3および図5には、流体通路が閉の状態が示されており、この閉状態においてハンドルを回転させると、弁棒は、弁本体に対して回転しながら上方に移動する。この際、弁本体のボンネット11bに支持されたターゲットは、ハンドルとともに回転するが、弁本体に対する上下位置は変えない。また、圧縮コイルばねの下端は、ターゲットに受けられているので、その位置は上下移動せず、圧縮コイルばねの上端は、押さえ部材に受けられているので、これとともに上方に移動し、圧縮コイルばねは、ターゲットを下方に付勢した状態で伸張する。また、案内軸は、押さえ部材とハンドルベースとによって挟持されてハンドルベースと一体で回転し、弁本体に対して上下移動しないターゲットは、案内軸に対して相対的に直線移動し、この直線移動は、ハンドルを基準にすると、下方への移動となる。この結果、図4および図6に示す流体通路が開の状態が得られる。上記の開度検知装置によると、弁本体に対してハンドルが上下移動すると、ハンドルと一体で移動する変位センサと弁本体によって位置決めされているターゲットの検知用傾斜面との距離が変化し、この距離の変化が変位センサによって計測される。したがって、この変位センサの計測値を検知用傾斜面の角度を用いてハンドルと弁本体との距離に換算することで、弁棒の移動量が求められる。弁棒の移動量は、流体通路の開度と関係付けられているので、この関係に基づいて、流体通路の開度が求められる。流体通路の開度については、開度検知装置を内蔵したハンドルを手動弁に取り付けた状態配管施工後、パッキン交換時、メンテナンス時などで、ハンドルを全閉位置に操作して、開度0のポイントを設定し、さらに、ハンドルを全開位置に操作して、開度100のポイントを設定する。そして、CPUおよび内蔵メモリにより、全開から全閉の変位値を記憶、直線補正をすることにより、手動弁の組立て時に生じるばらつきを吸収することができる。上記の開度検知装置によると、ハンドル内には、変位センサおよびターゲットに加えて、変位センサの計測値を処理するCPUおよびCPUと外部との送受信を行う無線モジュールも内蔵されているので、図7に示すように。得られた流体通路の開度は、無線モジュールを介して外部に設置されたデータ監視システムに無線で送信され、モニタによって異常がないかが常時監視される。図7に示すように、CPUには、プログラムを格納してCPUがこのプログラムを実行して生成されたデータを格納する内蔵メモリに加えて、温度センサが内蔵されている。CPUは、変位センサの計測値、温度センサの計測値および電池の電圧計測値を取得して、変位センサの計測値を処理して得られた開度信号と、CPU内温度と、電池電圧レベルとを送信する。これらの情報は、データ監視システムで受信され、これにより、手動弁が設置されている場所から離れた位置において、手動弁の開度検知が可能となる。このデータ監視システムによると、一定時間間隔に開度検知装置からの開度信号を取得して、規定の開度状態でない場合、アラームが出力される。また、初期設定開度0~100を外れた場合にも、アラームが出力される。さらに、CPUの温度について、一定時間間隔に温度信号を取得して、使用温度範囲を外れるとアラームが出力される。電池の電源については、規定の電源電圧以下になるとアラームが出力される。一定時間間隔は、例えば標準が5分に1回とされ、これにより、電池の寿命を長く例えば4年以上することができる。ここで、開度信号は、単に開または閉という情報でなく、開度0~100の間の数値で得られることから、ハンドルの操作に際し、開度0全閉のはずが、開度2になっているきっちり閉じられていないかまたは何らかの事情で開いてきたとか、開度100全開のはずが、開度95完全に開けられていないかまたは何らかの事情で閉じてきたとかを確実に把握することができる。また、CPU内蔵の温度センサによると、例えば、弁体の破損による流体の漏れを温度上昇から推定できるようにしておくことで、データ監視システム側で流体漏れの異常の検出ができる。なお、温度センサは、CPUに内蔵されているものに限らず、手動弁の温度が計測できるのであればどのような物でも良い。図8および図9に、この発明による開度検知装置の第2実施形態を示す。同図において、第1実施形態と同じ構成には同じ符号を付し、その説明を省略する。図8および図9に示すように、この実施形態では、センサ支持部材に、ターゲット本体に弾性力を作用させるL字状板ばね付勢部材が設けられている。各板ばねは、検知用傾斜面が設けられている部分を挟むように1対配置されており、その水平部分がボルト図示略によってセンサ支持部材に取り付けられて、水平部分に対して屈曲する部分がセンサ支持部材とターゲット本体との間を下方に延びている。板ばねは、フリー状態において、垂直に対し下端がターゲット側に位置する傾斜状態とされており、ターゲット本体に当接することで、ターゲット本体に弾性力を及ぼすようになっている。ターゲット本体とボールプランジャーとはねじ合わされており、ボールプランジャーのボールが弁本体で受けられることで、ターゲットの移動がスムーズなものとなっている。ここで、ターゲット本体が移動する際に、ねじ合わせ部分のがたつきなどによって変位センサのセンサ面に対する位置が変化する可能性があるが、これが板ばねによって抑えられる。こうして、この第2実施形態によると、ターゲット本体と変位センサのセンサ面との間の距離が安定し、検知精度がより一層向上する。なお、上記において、ハンドル内に固定された変位センサに対して、ターゲットは、ハンドルとともに回転するが、弁本体に対する上下位置を変えないようになされているが、これを逆にして、ターゲットをハンドル内に固定して、変位センサをハンドルとともに回転するが、弁本体に対する上下位置を変えないようにしても、同様の作用効果を得ることができる。