バルブケースと、該バルブケースの一端側に穿設され薬液を供給する入力流路と、該入力流路の出口を開閉する弁体と、該弁体を収容して前記入力流路と連通する弁室と、前記バルブケースの他端側から前記薬液を吐出する出力流路を有するノズルと、を備える液垂れ防止バルブにおいて、前記弁体は、前記ノズルと一体にされ、前記弁体には、前記薬液が通過する弁体内流路が形成されるとともに、該弁体内流路と前記出力流路とが連通されていること、前記バルブケースには、前記ノズルの外周部に形成したピストンを収容するシリンダ部が形成され、前記弁体は、前記シリンダ部への操作流体の供給、排出によって開閉することを特徴とする液垂れ防止バルブ。請求項1に記載する液垂れ防止バルブにおいて、前記弁体内流路は、前記出力流路と軸線上で連通されていることを特徴とする液垂れ防止バルブ。請求項2に記載する液垂れ防止バルブにおいて、前記弁体内流路は、前記弁体の中央に形成された縦流路と前記弁体の側壁に前記縦流路に対して放射状に形成された複数の横流路とが連通していることを特徴とする液垂れ防止バルブ。請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載する液垂れ防止バルブにおいて、前記弁室は、前記弁体の側壁外周面に延設された第1隔膜部材を隔てて密閉空間からなる気密室と隣接していることを特徴とする液垂れ防止バルブ。請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載する液垂れ防止バルブにおいて、前記ノズルの先端外周面には、外周縁が前記バルブケースに保持された第2隔膜部材が付設されていることを特徴とする液垂れ防止バルブ。しかしながら、特許文献1~3に記載された技術には、次のような問題があった。特許文献1の技術では、戻しばね600によって排出弁300を閉じた後に、液圧に抗して弁体の一部301を液体排出通路200内に突入させて内室容積を増大させ、液体をノズル500から吸い戻すことができる。しかし、液圧に比較して、戻しばね600の付勢力が大きすぎると、次に排出弁300を開放位置に移動させることができなくなることがある。その結果、戻しばね600によって弁閉方向に作用するばね付勢力を小さくせざるを得ないので、排出弁300の弁閉スピードが遅くなり、弁閉時にノズル500内の液体に伝わる衝撃水撃が小さくなる傾向にあった。そして、弁閉時の水撃が小さいと、ノズル先端での慣性力を利用した液切れが適正に行われないという問題があった。結局、弁閉時におけるノズル先端での液切れが適正に行われなければ、その後に吸引を行っても、液垂れを確実に防止することができないのである。また、特許文献1の技術では、弁体の一部301を液体排出通路200内に突入させて内室容積を増大させる構造であるので、弁体の一部301は液体排出通路200の内壁に摺接する構成をとる必要がある。そのため、弁体の構造が複雑となり、加工精度も高める必要があるので、装置のコスト高に繋がり易いという問題もあった。さらに、特許文献1の技術では、液体が戻しばね600の螺旋形状の間を通過するので、乱流が生じやすい。そのため、乱流を層流に戻すために、戻しばね600が当接する内室端からノズル先端までのノズル内流路を所定の長さ以上確保する必要があった。その結果、バルブ装置の軸線方向のサイズが大きくなり、バルブの小型軽量化を図ることが困難であった。また、特許文献2の技術では、ダイアフラム弁体と同期して作動するサックバック用ダイアフラム弁体を設けたので、弁体を閉じると同時に薬液を吸引できる。したがって、特許文献1の技術よりも、弁閉時におけるノズル先端での液切れが適正に行われやすい。しかし、薬液を供給する回路とは別に、サックバック回路を設けているので、バルブ全体のサイズが大きくなると同時に、重量が重くなり、バルブの小型軽量化の要請に応えることはできないという問題があった。さらに、特許文献3の技術では、中空繊維の充填率を30~60程度にする必要があり段落0016参照、液体を所定流量流すためには、ハウジング径を大きくせざるを得なかった。そのため、バルブの小型軽量化の要請に応えることはできないという問題があった。本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、バルブ閉時の液切れが制御しやすく、小型軽量で層流形成が容易な液垂れ防止バルブを提供することにある。上記課題を解決するために、本発明の液垂れ防止バルブは、次のような構成を有している。1バルブケースと、該バルブケースの一端側に穿設され薬液を供給する入力流路と、該入力流路の出口を開閉する弁体と、該弁体を収容して前記入力流路と連通する弁室と、前記バルブケースの他端側から前記薬液を吐出する出力流路を有するノズルと、を備える液垂れ防止バルブにおいて、前記弁体は、前記ノズルと一体にされ、前記弁体には、前記薬液が通過する弁体内流路が形成されるとともに、該弁体内流路と前記出力流路とが連通されていること、前記バルブケースには、前記ノズルの外周部に形成したピストンを収容するシリンダ部が形成され、前記弁体は、前記シリンダ部への操作流体の供給、排出によって開閉することを特徴とする。ここで、前記弁体は、前記ノズルと一体にされには、弁体とノズルとを一体に形成する場合と、弁体とノズルとを別体に形成して両者を連結する場合とを含むものとする。21に記載する液垂れ防止バルブにおいて、前記弁体内流路は、前記出力流路と軸線上で連通されていることを特徴とする。32に記載する液垂れ防止バルブにおいて、前記弁体内流路は、前記弁体の中央に形成された縦流路と前記弁体の側壁に前記縦流路に対して放射状に形成された複数の横流路とが連通していることを特徴とする。41乃至3のいずれか1つに記載する液垂れ防止バルブにおいて、前記弁室は、前記弁体の側壁外周面から延設された第1隔膜部材を隔てて密閉空間からなる気密室と隣接していることを特徴とする。51乃至4のいずれか1つに記載する液垂れ防止バルブにおいて、前記ノズルの先端外周面には、外周縁が前記バルブケースに保持された第2隔膜部材が付設されていることを特徴とする。次に、本発明に係る液垂れ防止バルブの作用及び効果について説明する。1バルブケースと、該バルブケースの一端側に穿設され薬液を供給する入力流路と、該入力流路の出口を開閉する弁体と、該弁体を収容して入力流路と連通する弁室と、バルブケースの他端側から薬液を吐出する出力流路を有するノズルと、を備える液垂れ防止バルブにおいて、弁体は、ノズルと一体にされ、弁体には、薬液が通過する弁体内流路が形成されるとともに、該弁体内流路と出力流路とが連通されていること、バルブケースには、ノズルの外周部に形成したピストンを収容するシリンダ部が形成され、弁体は、シリンダ部への操作流体の供給、排出によって開閉することを特徴とするので、バルブ閉時の液切れが制御しやすく、小型軽量で層流形成が容易な液垂れ防止バルブとすることができる。具体的には、バルブケースには、ノズルの外周部に形成したピストンを収容するシリンダ部が形成され、弁体は、シリンダ部への操作流体の供給、排出によって開閉するので、薬液の種類例えば、粘度等に応じて操作流体の圧力を調節することによって、弁体の閉じ速度を制御することができる。そのため、弁閉時に、薬液の種類に適した水撃を生じさせることができる。また、弁体は、ノズルと一体にされ、弁体には、薬液が通過する弁体内流路が形成されるとともに、該弁体内流路と出力流路とが連通されているので、弁閉時の水撃が直接ノズル内の薬液に伝達される。そのため、弁体の閉じ速度を制御することによって、薬液の種類に適した水撃が、ノズル先端部に伝達され、ノズル先端部で、慣性力を利用した液切れが適正に行われる。その結果、バルブ閉時の液切れが制御しやすく、ノズル移動時の液垂れを確実に防止することができる。また、弁体と一体にされたノズルの外周部にピストンを形成するとともに、バルブケースにピストンを収容するシリンダ部が形成される簡単な構造であるため、バルブケースに弁体の駆動部をコンパクトに収納してバルブ全体を小型化でき、軽量化もできる。また、特許文献1のように流路内に戻しばねを設ける必要がないので、小型軽量でありながら層流形成が容易である。21に記載する液垂れ防止バルブにおいて、弁体内流路は、出力流路と軸線上で連通されていることを特徴とするので、バルブ全体を小型化しながら、弁体内の弁体内流路とノズル内の出力流路とによって、弁体からノズル先端部にかけて直線的な流路を形成できる。直線的な流路を形成することで、薬液の流れをスムーズにして層流形成に寄与できる。薬液の流れを層流化することによって、ノズル先端から吐出される薬液を、半導体ウェハ上に均一に供給することができる。また、ノズル内を流れる薬液を層流化することによって、弁閉時の水撃がノズル先端の薬液に均等に伝達され、液切れをより一層適正に行うことができる。32に記載する液垂れ防止バルブにおいて、弁体内流路は、弁体の中央に形成された縦流路と弁体の側壁に縦流路に対して放射状に形成された複数の横流路とが連通していることを特徴とするので、薬液は、入力流路から弁室および複数の横流路を経由して1つの縦流路に流れ込むことになる。薬液が入力流路から弁室、横流路、縦流路へと流れ込むとき、流路が屈曲するとともにオリフィス状に絞られるので、乱流を生じやすいが、放射状に形成された複数の横流路から中央に形成された縦流路に向かって集合するように薬液が流れ込むので、乱流を互いに打ち消し合う方向に作用する。乱流を互いに打ち消し合う方向に作用することによって、乱流から層流への移行をスムーズに行うことができる。特に、複数の横流路を縦流路に対して等間隔で放射状に形成することによって、縦流路の内壁に沿って流れる旋回流を抑制することもできる。この場合、乱流と旋回流とをより効果的に抑制することができ、層流化を促進できる。このように、薬液の乱流又は乱流と旋回流とを効果的に抑制して層流化を促進することによって、ノズル先端から吐出される薬液を、半導体ウェハ上により一層均一に供給することができる。また、ノズル内を流れる薬液を層流化することによって、弁閉時において水撃がノズル先端の薬液に均等に伝達され、液切れをより一層適正に行うことができる。41乃至3のいずれか1つに記載する液垂れ防止バルブにおいて、弁室は、弁体の側壁外周面から延設された第1隔膜部材を隔てて密閉空間からなる気密室と隣接していることを特徴とするので、弁体が閉じるときに、第1隔膜部材は密閉空間からなる気密室から負圧を受ける。第1隔膜部材は、負圧を受けることで、気密室側に撓みながら膨出する。弁閉時における第1隔膜部材の気密室側への撓み、膨出によって、弁室の容積が弁閉前に比べて増大する。弁室の容積が弁閉前に比べて増大することによって、弁体内流路を介して連通しているノズルの出力流路内の薬液が吸い戻される。このとき、弁閉時の水撃に基づく液切れと同時に、ノズルの出力流路内の薬液が吸い戻されるので、確実に液垂れを防止することができる。51乃至4のいずれか1つに記載する液垂れ防止バルブにおいて、ノズルの先端外周面には、外周縁がバルブケースに保持された第2隔膜部材が付設されていることを特徴とするので、ノズルとバルブケースとの間から落下するパーティクル等を第2隔壁部材によって遮断することによって、外部への飛散を防止することができる。特に、シリンダ部におけるシール部材のOリングゴム部材から発生する硫化物等の摩耗粉が、半導体ウェハ上へ付着することを防止できる。そのため、枚葉洗浄における不良を低減して、歩留まりを向上できる。次に、本発明に係る液垂れ防止バルブの実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。図1に、本発明に係る液垂れ防止バルブの実施形態を構成する断面図弁閉状態示し、図2に、図1に示す液垂れ防止バルブにおける弁開状態の断面図を示す。図3に、図1に示す液垂れ防止バルブにおける弁体の横流路の位置で、軸線と直交する方向に切断した断面図であって、aは4個の横流路が90度間隔で放射状に形成されている場合を示し、bは3個の横流路が120度間隔で放射状に形成されている場合を示す。図1に示すように、液垂れ防止バルブ10は、バルブケース1と、入力流路2と、弁体3と、弁室4と、ノズル5とを備えている。バルブケース1は、一端側から第1ケース11、第2ケース12、第3ケース13、第4ケース14の順に分割され、夫々を積層することによって全体として略矩形状をなしている。なお、バルブケース1の材質は、耐薬品性、耐熱性等からフッ素系樹脂であり、例えば、ポリフッ化ビニリデンPVDFが適している。第1ケース11には、バルブケース1の一端側に突起部111が形成されている。突起部111の先端には、入力ポート20が設けられ、図示しない配管を接続するユニオンナット22が螺合されている。突起部111の軸線上には、入力ポート20からの薬液を供給する入力流路2が穿設されている。入力流路2の出口には、弁座21が形成されている。弁座21には、弁体3が当接、離間して、薬液を供給又は遮断している。薬液には、過酸化水素水、アンモニア、純水等が用いられ、その流速は最大4リットル/分程度である。弁体3の側壁外周面には、第1隔膜部材34が延設されている。第1隔壁部材34は、可撓性を有する膜部材である。第1隔膜部材34は、弁体3と一体に成形されている。第1隔膜部材34の外周縁341は、第1ケース11と第2ケース12によって狭持されている。なお、弁体3の材質は、フッ素系樹脂である。例えば、ポリテトラフルオロエチレンPTFEが適している。第1ケース11には、第1隔膜部材34によって図面下方が封止され、入力流路2の出口と連通して薬液を通過させる弁室4が形成されている。一方、第2ケース12には、第1隔膜部材34によって図面上方が封止され、密閉空間からなる気密室6が形成されている。弁体3は、弁室4と気密室6との中に収容されている。第2ケース12には、後述するノズル5の外周面とのシール性を確保するOリング121が嵌合されている。弁体3は、円筒状をなし、平坦面を有する頭部31が弁座21と当接、離間して弁閉状態、弁開状態を形成する。弁体3の側壁には、複数の横流路32が図面水平方向に形成されている。各横流路32の開口部は、円形断面をなしている。各横流路32は、弁体3の側壁において第1隔膜部材34の付根より図面上方に位置している。弁体3の中央には、円形断面の縦流路33が、図面下方に開放されるように形成されている。図3aに示すように、横流路32は、4個の横流路32A、32B、32C、32Dが中央の縦流路33に対して90度間隔で放射状に形成されている。各横流路32A、32B、32C、32Dは、縦流路33と軸線上で連通している。各横流路32A、32B、32C、32Dと縦流路33とによって、弁体3には、薬液が通過する弁体内流路30が形成されている。なお、図3bに示すように、横流路32を3個の横流路32E、32F、32Gとして、中央の縦流路33に対して120度間隔で放射状に形成することもできる。ただし、横流路32を2個として、中央の縦流路33に対して対向するように形成する場合は、放射状に形成する場合には含まれない。後述するシミュレーション結果から明らかなように、2個の対向する横流路32から流れ込む薬液の流れは、縦流路33の内壁に沿って同じ方向に逃げる旋回流を形成しやすいからである。したがって、横流路32の間隔は、90度間隔や120度間隔等のように厳密な等間隔として設定する必要はなく、縦流路33の内壁に沿って同じ方向に逃げる旋回流を抑制できる程度の間隔を有して放射状に形成されていればよい。一方、弁体側壁の強度が確保できる程度を限度に、横流路32の個数を4個以上に増加することは、可能である。弁体3には、第1隔膜部材34の付根より図面下方においてノズル5の基端部52が連結されている。弁体3とノズル5との連結は、弁体外周に形成した雄ねじ35にノズル内周に形成した雌ねじ522を螺合することによって行われている。なお、ノズル5の材質は、フッ素系樹脂である。例えば、ポリテトラフルオロエチレンPTFEが適している。ノズル5の軸線上には、薬液を吐出する出力流路51が貫通して形成されている。出力流路51は、図面上下方向に同一径で形成された直線状の流路である。出力流路51の径は、弁体3に形成した縦流路33の径と略等しい大きさである。ノズル5の外周部には、ピストン53が形成されている。ピストン53は、ノズル5の図面上下方向の略中間部に位置する。ピストン53の外周面には、環状溝が形成され、Oリング531が嵌合されている。ノズル5の先端外周面54には、第2隔膜部材55が付設されている。第2隔膜部材55の内周縁552には、雌ねじ553が形成され、ノズル5の先端外周面54に形成された雄ねじ541に螺合されている。第2隔膜部材55の外周縁551は、第3ケース13と第4ケース14とによって狭み込まれて保持されている。第4ケース14の中央には、バルブケース1の他端側に向けて貫通孔141が形成されている。ノズル5の先端部542は、貫通孔141から図面下方に突出している。ノズル5の先端部542から、出力流路51を流れる薬液が半導体ウェハに向けて吐出される。第3ケース13には、シリンダ部130が形成されている。シリンダ部130は、操作流体を供給、排出する第1操作ポート131と第2操作ポート136とを備えている。ここでは、操作流体として圧縮エアを用いている。第1操作ポート131は、第1操作流路132を介して、第1操作室133に連通している。また、第2操作ポート136は、第2操作流路134を介して、第2操作室135に連通している。ノズル5のピストン53は、第1操作室133と第2操作室135との間で摺動可能に収容されている。第3ケース13には、ノズル5の外周面とのシール性を確保するOリング137が嵌合されている。<動作説明>次に、本実施形態に係る液垂れ防止バルブ10の動作方法を説明する。図2に示すように、液垂れ防止バルブ10を弁開状態にするため、第1操作ポート131から第1操作室133に操作流体を供給するとともに、第2操作ポート136から第2操作室135の操作流体を排出する。操作流体の供給、排出は、図示しない電磁弁を開閉することによって行う。弁開状態になった弁体3は、弁座21からストロークSだけ離間するので、薬液が入力流路2から弁室4の中に流れ込む。弁室4の中に流れ込んだ薬液は、各横流路32A、32B、32C、32Dを通過して縦流路33に流れていく。このとき、薬液は、矢印L1、L2、L3のように流れる方向を複雑に変更する。しかし、4個の横流路32A、32B、32C、32Dが中央の縦流路33に対して90度間隔で放射状に形成されているので、矢印L1の方向に一旦分散した薬液は、矢印L2の方向に向きを変えて、縦流路33において一箇所に集合する。集合するとき、途中で生じた乱流を打ち消し合うよう作用する。また、一箇所に集合するとき、薬液は互いに等間隔に離れた方向から流れてきて衝突するので、両隣の横流路からの流れによって旋回流の形成を抑制しながら、図面下方に向きを変えて矢印L3の方向の流れとなる。矢印L3の方向になった薬液の流れは、そのままノズル内の出力流路51に沿って、矢印L4のように直線的に進行する。このように、弁体内の縦流路33にて形成された矢印L3の流れは、乱流と旋回流を抑制しつつ、そのままの方向である矢印L4の流れとして出力流路51において維持されるので、薬液の層流化を促進する。次に、図1に示すように、液垂れ防止バルブ10を弁閉状態にするため、第2操作ポート136から第2操作室135に操作流体を供給するとともに、第1操作ポート131から第1操作室133の操作流体を排出する。弁閉状態になった弁体3は、弁座21に当接するので、入力流路2から弁室4の中に流れ込む薬液が遮断される。このとき、薬液の種類例えば、粘度等に応じて操作流体の圧力を調節することによって、弁体3の閉じ速度を制御することができる。そのため、弁閉時に、薬液の種類に適した水撃を生じさせることができる。例えば、粘度の高い薬液の場合、液切れしにくいので、弁体3を速く閉じて水撃を大きくする。弁体3を閉じたときの水撃は、弁室4から横流路32、縦流路33を経由して、ノズル5の出力流路51にある薬液に衝撃力として直接伝達される。その衝撃力によって、ノズル先端部542で薬液に慣性力が作用し、ノズル先端部542を境に薬液が分離して液切れしやすくなる。さらに、弁体3が閉じるときに、第1隔膜部材34は密閉空間からなる気密室6から負圧を受ける。第1隔膜部材34は、負圧を受けることで、気密室側に撓みながら膨出するので、弁室4の容積が弁閉前に比べて増大する。弁室4の容積が弁閉前に比べて増大することによって、横流路32と縦流路33とからなる弁体内流路30を介して連通しているノズル5の出力流路51内の薬液が吸い戻される。このとき、弁閉時の水撃に基づく液切れと同時に、ノズル5の出力流路51内の薬液が吸い戻されるので、確実に液垂れを防止することができる。<シミュレーション結果>次に、本実施形態に係る液垂れ防止バルブ10において、弁体3に形成した横流路32が2個の場合と4個の場合とで比較して、流れ解析のシミュレーションを行ったので、その結果を説明する。図4に、図1に示す液垂れ防止バルブにおいて、2個の横流路を縦流路に対して対向するように形成した時の流速分布コンタ図を示す。図5に、図1に示す液垂れ防止バルブにおいて、4個の横流路を縦流路に対して90度間隔で放射状に形成した時の流速分布コンタ図を示す。図6に、図1に示す液垂れ防止バルブにおいて、2個の横流路を縦流路に対して対向するように形成した時の流線図を示す。図7に、図1に示す液垂れ防止バルブにおいて、4個の横流路を縦流路に対して90度間隔で放射状に形成した時の流線図を示す。本流れ解析のシミュレーションは、本実施形態の液垂れ防止バルブを用いるが、弁体3に形成する横流路32を2個で縦流路33に対して対向するように形成した場合図4、図6と、弁体3に形成する横流路32を4個で縦流路に対して90度間隔で放射状に形成した場合図5、図7とを比較して行った。いずれも、入口側の流速は、2.5リットル/分であり、出口側は大気開放としている。まず、流速分布コンタ図について図4と図5を比較する。図4では、横流路32と縦流路33の交差する付近において、流速の速い領域最大流速が10m/s程度が図面右斜め上方から左斜め下方に向かって形成されている。その流速の速い領域の先端が、縦流路33の外周部に沿って延びている。縦流路内の流速は、外周部が速く中心部が遅くなっている。その結果、2つの対向する方向から来た横方向の流れが、お互いに衝突を回避しながら、縦流路内で縦流路33の内壁に沿って同じ方向に逃げる螺旋状の流れとなって、軸中心に旋回している様子を把握することができる。これに対して、図5では、横流路32と縦流路33の交差する付近において、流速の速い領域最大流速が5m/s程度がV字状に左右略対称形状となって形成されている。その流速の速い領域の先端が、縦流路33の中心部に沿って延びている。縦流路内の流速は、外周部が遅く中心部が速くなっている。その結果、90度間隔で放射状に形成した4個の横流路32から来た横方向の流れが、縦流路内で衝突することで縦方向に流れの方向を変更して層流化し、そのまま出力流路51に流れていく様子を把握することができる。なお、横流路32と縦流路33の交差する付近において、図4では最大流速が10m/s程度であるが、図5では最大流速が5m/s程度と、集合した箇所で流速に差異が生じている。図5では、縦流路33において一箇所に集合するとき、流れが衝突し合った結果であると推定できる。次に、流線図について図6と図7を比較する。図6では、流線が弁室4内において複雑に屈曲し、縦流路33内において外周部に沿って旋回しながら出口に向かって延びている。その結果、縦流路33内の旋回流が、そのまま出力流路51においても維持されている様子を把握することができる。これに対して、図7では、流線が弁室4内においてあまり複雑に屈曲せず、縦流路33内において直ぐに直線的になり、そのまま出口に向かって延びている。その結果、縦流路33内の層流が、そのまま出力流路51においても維持されている様子を把握することができる。以上のように、流れ解析のシミュレーション結果から、4個の横流路32A、32B、32C、32Dを縦流路33に対して90度間隔で放射状に形成した時には、縦流路33内で層流が形成され、そのまま出力流路51においても層流が維持されことが分かった。一方、2個の横流路32を縦流路33に対して対向するように形成した時には、縦流路33内で旋回流が形成され、そのまま出力流路51においても旋回流が維持されことが分かった。したがって、層流を形成するためには、複数の横流路32を縦流路33に対して均等間隔で放射状に形成すると効果的であることが判明した。<作用効果>以上、詳細に説明したように、本実施形態の液垂れ防止バルブ10によれば、以下の作用効果を奏することができる。具体的には、第3ケース13には、ノズル5の外周部に形成したピストン53を収容するシリンダ部130が形成され、弁体3は、シリンダ部130への操作流体の供給、排出によって開閉するので、薬液の種類例えば、粘度等に応じて操作流体の圧力を調節することによって、弁体3の閉じ速度を制御することができる。そのため、弁閉時に、薬液の種類に適した水撃を生じさせることができる。また、弁体3は、ノズル5と一体に連結され、弁体3には、薬液が通過する横流路32A、32B、32C、32Dと縦流路33とからなる弁体内流路30が形成されるとともに、該弁体内流路30と出力流路51とが連通されているので、弁閉時の水撃がノズル5内の薬液に直接伝達される。そのため、弁体3の閉じ速度を制御することによって、薬液の種類に適した水撃が、衝撃力として直接伝達される。その衝撃力によって、ノズル先端部542で薬液に慣性力が作用し、ノズル先端部542を境に薬液が分離して液切れしやすくなる。その結果、バルブ閉時の液切れが制御しやすく、ノズル移動時の液垂れを確実に防止することができる。また、弁体3と一体に連結されたノズル5の外周部にピストン53を形成するとともに、第3ケース13にピストン53を収容するシリンダ部130を形成する簡単な構造であるため、バルブケース1に弁体3の駆動部をコンパクトに収納してバルブ全体を小型化でき、軽量化もできる。また、特許文献1のように流路内に戻しばねを設ける必要がないので、小型軽量でありながら層流形成が容易である。さらに、バルブを小型軽量にすることで、特に固定構造がなくても、配管施工のみで保持できる。また、施工工数の低減を図ることもできる。また、本実施形態によれば、弁体内流路30の内、縦流路33は、出力流路51と軸線上で連通されているので、弁体内の縦流路33とノズル内の出力流路51とによって、弁体3からノズル先端部542にかけて直線的な流路を形成できる。本実施形態では、上記流路長を30~40mm程度と、従来例例えば、特許文献1のバルブ装置におけるノズル通路の比べて半分以下に短くすることができた。また、直線的な流路を形成することで、薬液の流れをスムーズにして層流形成に寄与できる。薬液の流れを層流化することによって、ノズル先端部542から吐出される薬液を、半導体ウェハ上に均一に供給することができる。また、ノズル5内を流れる薬液を層流化することによって、弁閉時の水撃がノズル先端部542の薬液に均等に伝達され、液切れをより一層適正に行うことができる。また、本実施形態によれば、弁体内流路30は、弁体3の側壁に形成された4つの横流路32A、32B、32C、32Dと弁体3の中央に形成された縦流路33とを連通させるので、薬液は、入力流路2から弁室4および4つの横流路32A、32B、32C、32Dを経由して1つの縦流路33に流れ込むことになる。薬液が入力流路2から弁室4、横流路32A、32B、32C、32D、縦流路33へと流れ込むとき、流路が屈曲するとともにオリフィス状に絞られるので、乱流を生じやすいが、放射状に形成された複数の横流路32A、32B、32C、32Dから中央に形成された縦流路33に向かって集合するように薬液が流れ込むので、乱流を互いに打ち消し合う方向に作用する。乱流を互いに打ち消し合う方向に作用することによって、乱流から層流への移行をスムーズに行うことができる。特に、4個の横流路32A、32B、32C、32Dを縦流路33に対して90度間隔で放射状に形成することによって、縦流路33の内壁に沿って流れる旋回流を抑制することもできる。この場合、乱流と旋回流とをより効果的に抑制することができ、層流化を促進できる。このように、薬液の乱流又は乱流と旋回流とを効果的に抑制して層流化を促進することによって、ノズル先端542から吐出される薬液を、半導体ウェハ上により一層均一に供給することができる。また、ノズル内を流れる薬液を層流化することによって、弁閉時において水撃がノズル先端542の薬液に均等に伝達され、液切れをより一層適正に行うことができる。また、本実施形態によれば、弁室4は、弁体3の側壁外周面から延設された第1隔膜部材34を隔てて密閉空間からなる気密室6と隣接していることを特徴とするので、弁体3が閉じるときに、第1隔膜部材34は密閉空間からなる気密室6から負圧を受ける。第1隔膜部材34は、負圧を受けることで、気密室側に撓みながら膨出する。弁閉時における第1隔膜部材34の気密室側への撓み、膨出によって、弁室4の容積が弁閉前に比べて増大する。弁室4の容積が弁閉前に比べて増大することによって、弁体内流路30を介して連通しているノズル5の出力流路51内の薬液が吸い戻される。このとき、弁閉時の水撃に基づく液切れと同時に、ノズル5の出力流路51内の薬液が吸い戻されるので、確実に液垂れを防止することができる。なお、本実施形態の縦流路33及び出力流路51による直線的な流路の長さは、前述のように30~40mm程度と短いので、発泡性の薬液であっても液垂れ防止効果を確保できる。また、本実施形態によれば、ノズル5の先端外周面には、外周縁551が第3ケース13と第4ケース14とによって保持された第2隔膜部材55が付設されているので、ノズル5とバルブケース1との間から落下するパーティクル等を第2隔壁部材55によって遮断することによって、外部への飛散を防止することができる。特に、シリンダ部130におけるシール部材のOリングゴム部材137、531、121から発生する硫化物等の摩耗粉が、半導体ウェハ上へ付着することを防止できる。そのため、枚葉洗浄における不良を低減して、歩留まりを向上できる。なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。上述した実施形態では、弁体3とノズル5とを別体で成形して両者をねじにより連結したが、弁体3とノズル5とを一体に成形してもよい。縦流路33と出力流路51とを連続流路とすることが容易になり、一層、層流化を促進できるからである。また、上述した実施形態では、4個の横流路32A、32B、32C、32Dの断面を円形状とし、軸線と直交する水平方向に形成したが、断面は矩形、楕円形、多角形等任意の形状とし、傾斜方向に形成してもよいことは、勿論である。