"音響インピーダンスを利用した空間電荷分布の校正方法であって、試料の厚さdを測定する第1前処理ステップと、試料の誘電率εを測定する第2前処理ステップと、音響インピーダンス顕微鏡を用いて、試料をセットしていない状態で、圧電素子と接続された第1電極界面で反射する音波の大きさを測定する第1音波測定ステップと、第2電極が半導電部材を用いる場合に、当該第2電極を前記第1電極上にセットし、音響インピーダンス顕微鏡で反射する音波を測定する第2音波測定ステップと、試料を第1電極上にセットし、音響インピーダンス顕微鏡で音波の反射波形を測定する第3音波測定ステップと、前記第1、2,3の音波測定ステップの測定結果に基づいて、第1電極の音響インピーダンス、試料の音響インピーダンス、前記半導電部材の音響インピーダンスを算出するZ算出ステップと、前記試料の厚さd、前記第1電極の音響インピーダンス、前記試料の音響インピーダンス、前記半導電部材の音響インピーダンスに基づいて、音波の減衰率αを算出する減衰率演算ステップと、パルス静電応力法を用いた空間電荷分布測定装置に前記試料をセットし、圧電素子から空間電荷分布の測定信号P0tを測定する空間電荷分布測定ステップと、前記第1、第2前処理ステップで得られた前記試料厚さdと、前記減衰率演算ステップで算出された減衰率αに基づいて、前記空間電荷分布測定ステップで測定された前記測定信号P0tを補正し、補正された空間電荷分布Pszを求める補正ステップと、を含み、前記補正ステップは、下記式1において、前記空間電荷分布Psjを、前記測定信号P0iと伝達関数gi,jとから数値解析をして求めることを特徴とする、空間電荷分布の校正方法。前記試料中の厚さ方向の位置をz、減衰率をαとしたときに、前記伝達関数gt,zの振幅がEXP-αzに基づいて減衰することを特徴とする、請求項1に記載の空間電荷分布の校正方法。前記第1、第2、第3音波測定ステップの測定結果から、分散βを算出する分散演算ステップをさらに含み、前記試料中の厚さ方向の位置をz、前記減衰率をα、前記分散をβとしたときに、前記伝達関数gt,zの振幅がEXP-αz-jβに基づいて減衰することを特徴とする、請求項1に記載の空間電荷分布の校正方法。前記試料が2層の場合に、界面での音波の反射と透過が前記伝達関数gt,zに含まれる、請求項1~3のいずれか1項に記載の空間電荷分布の校正方法。試料の一方に接する第1電極と、試料の他方に接する第2電極と、前記第2電極から前記試料へパルス電圧を印加するための第1パルス発生装置PG1と、前記パルス発生装置PG1のパルス電圧の印加によって生じた音波を検出する、前記第1電極に接続された圧電素子と、前記圧電素子からの測定信号P0tを記録する信号波形記録部と、前記信号波形記録部で記録された測定信号P0tに基づいて、空間電荷分布Pszを演算する情報処理部と、を有する空間電荷分布測定装置であって、前記試料の厚さd、前記試料の音響インピーダンス、前記第1電極の音響インピーダンス、第2電極に用いられる半導電材料の音響インピーダンスを測定するために、前記第1電極からパルス電圧を印加するための第2パルス発生装置PS2と、音響インピーダンス顕微鏡用の受動素子回路とをさらに有し、前記情報処理部が、第1電極の音響インピーダンス、試料の音響インピーダンス、前記半導電部材の音響インピーダンスを算出するZ算出部と、前記試料の厚さd、前記第1電極の音響インピーダンス、前記試料の音響インピーダンス、前記半導電部材の音響インピーダンスに基づいて、音波の減衰率αを算出する減衰率演算部と、前記試料厚さdと前記減衰率αに基づいて、前記測定信号P0tを補正し、補正された空間電荷分布Pszを求める補正処理部を有し、前記補正処理部は、下記式1において、前記空間電荷分布Psjを、前記測定信号P0iと伝達関数gi,jとから数値解析をして求めることを特徴とする、空間電荷分布測定装置。前記補正処理部は、前記試料中の厚さ方向の位置をz、前記減衰率をαとしたときに、前記伝達関数gt,zの振幅をEXP-αzに基づいて減衰するとして当該伝達関数gt,zを定める、請求項5に記載の空間電荷分布測定装置。前記情報処理部は、試料および上部電極の音響インピーダンスから、分散βを算出する分散演算部をさらに有し、前記補正処理部は、前記試料中の厚さ方向の位置をz、前記減衰率をα、前記分散をβとしたときに、前記伝達関数gt,zの振幅をEXP-αz-jβに基づいて減衰するとして当該伝達関数gt,zを定めることを特徴とする、請求項5に記載の空間電荷分布測定装置。前記試料が2層の場合に、界面での音波の反射と透過が前記伝達関数gt,zに含まれる、請求項5~7のいずれか1項に記載の空間電荷分布測定装置。本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、空間電荷分布の測定と同時に音響インピーダンスを考慮した信号補正をリアルタイムに行って、誘電体材料中で音波の減衰が大きい試料や音響的性質音響インピーダンス等の異なる誘電体試料を重ねた多層誘電体においても精度の高い空間電荷分布を得ることが可能な音響インピーダンスを利用した空間電荷分布の校正方法およびその校正方法を用いた空間電荷分布測定装置を提供することである。本発明は、音響インピーダンスを利用した空間電荷分布の校正方法であって、試料の厚さdを測定する第1前処理ステップと、試料の誘電率εを測定する第2前処理ステップと、音響インピーダンス顕微鏡を用いて、試料をセットしていない状態で、圧電素子と接続された第1電極界面で反射する音波の大きさP1を測定する第1音波測定ステップと、第2電極が半導電部材を用いる場合に、当該第2電極を前記第1電極上にセットし、音響インピーダンス顕微鏡で反射する音波半導電部材のP1’を測定する第2音波測定ステップと、試料を第1電極上にセットし、音響インピーダンス顕微鏡で音波の反射波形試料のP1’を測定する第3音波測定ステップと、前記第1、2,3の音波測定ステップの測定結果に基づいて、第1電極の音響インピーダンスZle、試料の音響インピーダンスZs、前記半導電部材の音響インピーダンスZueを算出するZ算出ステップと、前記試料の厚さd、前記第1電極の音響インピーダンスZle、前記試料の音響インピーダンスZs、前記半導電部材の音響インピーダンスZueに基づいて、音波の減衰率αを算出する減衰率演算ステップと、パルス静電応力法を用いた空間電荷分布測定装置に前記試料をセットし、圧電素子から空間電荷分布の測定信号P0tを測定する空間電荷分布測定ステップと、前記第1、第2前処理ステップで得られた前記試料厚さdと、前記減衰率演算ステップで算出された減衰率αに基づいて、前記空間電荷分布測定ステップで測定された前記測定信号P0tを補正し、補正された空間電荷分布Pszを求める補正ステップと、を含み、前記補正ステップは、下記式1において、前記空間電荷分布Psjを、前記測定信号P0iと伝達関数gi,jとから数値解析をして求めることを特徴とする。この構成によって、空間電荷分布の測定と同時に音響インピーダンスを考慮した信号補正をリアルタイムに行うことができ、誘電体材料中で音波の減衰が大きい試料において、減衰を考慮した空間電荷分布を求めることができる。また、音響的性質音響インピーダンス等の異なる誘電体試料を重ねた多層誘電体においても正確な空間電荷分布を得ることが可能になる。上記式1は、以下の式1.1、1.2に従って導きだされる。時間をi,試料中の位置をjとして離散系で表すと下記式1.2の関係が成立し、ここで,gi-jを示す行列をgi,jとすると上記式1.2は、上記式1の関係が成立する。上記式1において、gi,jは,試料中の位置z=jΔzでの伝達関数波形時間変化t=iΔtである。式1の連立1次方程式では,測定信号の時間変化Potと従来の空間電荷分布測定におけるインパルス測定波形を音響特性測定の測定結果によって補正し,gz,tを求める。そして,未知となる空間電荷分布Pszを例えばヤコビ法または反復法などの数値解析の手法により求める。この方法は疑似コンボルーション処理と呼ばれる方法である。上記式1.1を離散系に変換すると、式1.2になり、すなわち、測定信号P0tをΔt秒ごとに離散化し、空間電荷分布をPszとして、Δzごとに離散化した場合を考えると、インパルス応答gtは,gt,zとして考えると式1.2は,擬似的に上記式1となる。つまり,式1のPsjを、poiとgi,jから数値解析上記ヤコビ法、反復法等を利用して求めると,空間電荷信号から空間電荷分布を算出するために用いてきた従来のDFT高速フーリエ変換を使用しないまでもデコンボルーション処理を行うことが可能になる。上記式1も模式的にあらわすと図1のようになる。図1は、伝達関数gtをΔzだけずらして配列を作成することで,gt,zを作成して,測定した信号Potを用いて,空間電荷分布Pstを求めることになる。すなわちDFTを用いないデコンボリューション処理である。試料内部で音波の振幅が伝搬する距離に応じて減衰する現象が予測できる場合には、伝達関数gt,zをz変更することで音波の減衰による空間電荷を補正しながらデコンボルーション処理を行うことができる。例えば、上記発明において、前記試料中の厚さ方向の位置をz、減衰率をαとしたときに、前記伝達関数gt,zの振幅がEXP-αzに基づいて減衰する。これは、試料中で厚さ方向に位置zに従って減衰率αで減衰するとして、伝達関数gz,tがこの減衰の影響を受けて、Pz=P0e-αzに従うことを意味する。この式に従って,減衰率αで,減衰するとすれば,図1のgz,tの伝達関数が減衰の影響を受け、図1の伝達関数gz,tは,図2のように,伝達関数gz,tの振幅e-αzを減衰させる。この図2で示す連立一次方程式を解き空間電荷分布Pszを求めると結果的に減衰を補正することになる。また、上記発明において、前記第1、第2、第3音波測定ステップの測定結果から、分散βを算出する分散演算ステップをさらに含み、前記試料中の厚さ方向の位置をz、前記減衰率をα、前記分散をβとしたときに、前記伝達関数gt,zの振幅がEXP-αz-jβに基づいて減衰する。これによって、減衰に加えて分散を考慮できる。すなわち、試料中で厚さ方向に位置zに従って減衰率αで減衰し、および分散βで分散するとして、伝達関数gz,tがこの減衰および分散の影響を受けて、Pz=P0e-αz-jβに従うことを意味する。つまり、音波が減衰する場合の他に,分散が起こる場合には,この式を用いて,伝達関数gz,tの伝搬による波形変形を同様に考慮することで,分散の補正も可能となる。分散βは具体的に以下の手順で求めることができる。音響インピーダンス顕微鏡AIMのAIM信号から求める。入射波の波形をFFT高速フーリエ変換して、周波数成分を求める。試料を経由して、上部電極がないときの信号をFFTして周波数成分を求める。FFTすると、f:周波数,位置を入射波をz=0として、周波数スペクトルPf,0:反射波をPf,2dとして求める。また、この時の各スペクトルの位相Φf,0、Φf,2dを求める。分散βf=1/2dΦf,2d-Φf,0を算出して求める。dは試料の厚みである。また、上記発明において、前記試料が2層の場合に、界面での音波の反射と透過が前記伝達関数gt,zに含まれる。すなわち2層試料の場合には,界面での音波の反射と透過を伝達関数に考慮することで,その補正も可能になる。これによって、音響的性質音響インピーダンス等の異なる誘電体試料を重ねた多層誘電体においても正確な空間電荷分布を得ることが可能になる。また、上記発明において、前記第2電極の音響インピーダンスZeと前記試料の音響インピーダンスZsとが異なる場合においても、前記伝達関数gt,zで補正できる。また、他の発明は、上記の空間電荷分布の校正方法に好適に用いることができる空間電荷分布測定装置であって、試料の一方に接する第1電極と、試料の他方に接する第2電極と、前記第2電極から前記試料へパルス電圧を印加するための第1パルス発生装置PG1と、前記パルス発生装置PG1のパルス電圧の印加によって生じた音波を検出する、前記第1電極に接続された圧電素子と、前記圧電素子からの測定信号P0tを記録する信号波形記録部と、前記信号波形記録部で記録された測定信号P0tに基づいて、空間電荷分布Pszを演算する情報処理部と、を有する空間電荷分布測定装置であって、前記試料の厚さd、前記試料の音響インピーダンスZs、前記第1電極の音響インピーダンスZAl、第2電極に用いられる半導電材料の音響インピーダンスZueを測定するために、前記第1電極からパルス電圧を印加するための第2パルス発生装置PS2と、音響インピーダンス顕微鏡用の受動素子回路とをさらに有し、前記情報処理部が、第1電極の音響インピーダンスZle、試料の音響インピーダンスZs、前記半導電部材の音響インピーダンスZueを算出するZ算出部と、前記試料の厚さd、前記第1電極の音響インピーダンスZle、前記試料の音響インピーダンスZs、前記半導電部材の音響インピーダンスZueに基づいて、音波の減衰率αを算出する減衰率演算部と、前記試料厚さdと前記減衰率αに基づいて、前記測定信号P0tを補正し、補正された空間電荷分布Pszを求める補正処理部を有し、前記補正処理部は、下記式1において、前記空間電荷分布Psjを、前記測定信号P0iと伝達関数gi,jとから数値解析をして求めることを特徴とする。このように空間電荷分布測定装置に音響インピーダンス顕微鏡の機能を組み合わせることによって、空間電荷分布の測定と同時に音響インピーダンスを考慮した信号補正をリアルタイムに行うことができ、誘電体材料中で音波の減衰が大きい試料において、減衰を考慮した空間電荷分布を求めることができる。また、音響的性質音響インピーダンス等の異なる誘電体試料を重ねた多層誘電体においても正確な空間電荷分布を得ることが可能になる。また、上記発明において、前記補正処理部は、前記試料中の厚さ方向の位置をz、前記減衰率をαとしたときに、前記伝達関数gt,zの振幅をEXP-αzに基づいて減衰するとして当該伝達関数gt,zを定める。また、上記発明において、前記情報処理部は、試料および上部電極の音響インピーダンスから、分散βを算出する分散演算部をさらに有し、前記補正処理部は、前記試料中の厚さ方向の位置をz、前記減衰率をα、前記分散をβとしたときに、前記伝達関数gt,zの振幅をEXP-αz-jβに基づいて減衰するとして当該伝達関数gt,zを定める。分散βの算出方法は上記と同様である。また、上記発明において、前記試料が2層の場合に、界面での音波の反射と透過が前記伝達関数gt,zに含まれる。空間電荷分布測定装置図3A、3Bは、音響インピーダンス顕微鏡を組み込んだ空間電荷分布測定装置の概念図と外観図である。空間電荷分布測定装置1は、試料50の一方に接する下部電極11第1電極に相当すると、試料50の他方に接する上部電極12第2電極に相当すると、前記上部電極12から前記試料50へパルス電圧を印加するための第1パルス発生装置PG1と、前記第1パルス発生装置PG1のパルス電圧の印加によって生じた音波を検出する、前記下部電極11に接続された圧電素子14PVDFと、前記圧電素子14からの測定信号P0tを記録するデジタルオシロスコープ18信号波形記録部に相当すると、前記デジタルオシロスコープ18で記録された測定信号P0tに基づいて、空間電荷分布Pszを演算するコンピュータ19情報処理部に相当するとを有する。本実施形態では、下部電極11をアルミ材料で構成する。また、第1パルス発生装置PG1の他に直流印加電圧電源Hを用い、パルス電圧を直流印加電圧0~10kVに重畳して行う。測定信号は、デジタルオシロスコープ18で記録され、必要に応じて平均化処理される。上部電極12には試料50と接する面に半導電シート122が設けられている。また、試料両表面には、試料と両電極の音響的コンタクトと高電圧印加による沿面放電を防止する目的でシリコンオイル13を塗布してある。なお、符号121は、上部電極12における高電圧をシールドするためのガードケースである。符号15は、圧電素子14を収納する下部電極11内部をシールドするケースである。また、試料50からの測定信号は、必要に応じて増幅器17で増幅されてデジタルオシロスコープ18へ入力される。デジタルオシロスコープ18で記録された信号波形は、これと接続されたコンピュータ19へ入力され、デコンボリューション処理が行われる。図3Aの測定波形は、本発明による補正をしない状態のものbeforeCalibration:実線と本発明の補正をした場合のものafterCalibration:破線を概念的に示している。本実施形態の空間電荷分布測定装置1には、さらに音響インピーダンス顕微鏡の機能が組み込まれており、前記試料50の厚さd、前記試料50の音響インピーダンスZs、前記下部電極11と前記上部電極12の音響インピーダンスZAl、Zueのそれぞれを測定するために、前記下部電極11からパルス電圧を印加するための第2パルス発生装置PS2と、音響インピーダンス顕微鏡用のダイオードD1、D2、D3、D4、抵抗R1、コンデンサC1を有する受動素子回路とを有する。音響インピーダンスを測定する場合に、下部電極11のみの状態で、試料50をセットした状態で、あるいは試料50および上部電極12半導電シート122含むをセットした状態で第2パルス発生装置PG2から圧電素子14へ所定のパルス電圧を印加して音波を発生させ、それぞれにおける反射信号を圧電素子14により検出し、上述と同様にデジタルオシロスコープ18で記録する。測定された各種音響インピーダンスZは、減衰率αの算出に用いられる。例えば、圧電素子14にパルス発生装置PG2からパルス電圧幅10ns、高さ2V,繰り返し周波数200Hzを印加すると、パルス電圧は、ダイオードD1を通過し、抵抗R1とダイオードD4の直列回路に印加される。このパルス電圧は並列に接続されるコンデンサC1と圧電素子14の直列回路に印加される。パルス電圧が印加されることによって音波が発生する。発生した音波は、下部電極11を通過し測定試料、上部電極12に伝搬する。伝搬する過程で、試料、電極界面で反射した音波は、再び圧電素子14へ戻る。図4aは圧電素子で発生した音波の伝搬を示す。図4中の記号P0は音波の入射波、P1は下部電極上面空気との界面での反射波、P1’は下部電極11と1層目試料50との界面での反射波、P1は1層目試料50と半導電シート122もしくは2層目試料との界面での反射波を示す。ZAl、Zs1、Zs2は、それぞれ、下部電極11アルミ材料、試料50、半導電シート122若しくは2層目の試料52の音響インピーダンスを示す。圧電素子14で発生した音波は、下部電極11、試料50、半導電シート122と順に伝搬する過程でそれぞれ反射と透過を繰り返す。ここで、試料の音響測定に関係する音波伝搬と再び圧電素子14で検出する過程を以下に示す。図4aでは、測定装置1に試料50を装着しないで、圧電素子14から音波を下部電極11に送った場合の反射を示している。このときの反射した音波の音圧をP1として測定することができる。具体的には、反射して圧電素子14に戻された音圧は、圧電素子14により電気信号に変換される。信号の電圧はダイオードD3、D4のオン電圧以下であるので、増幅器17で増幅されて、デジタルオシロスコープ18で観測される。図4bは、試料50が2層となった場合もしくは空間電荷分布測定のための上部電極12に半導電シート122を用いた場合の音波の反射を示す。図4bの反射波形をデジタルオシロスコープ18により記録することで試料の音響インピーダンスZs、音速c、音波の減衰率α、分散βを測定することができる。音波圧力の透過率rと反射率tは,試料の音響インピーダンスZ[kg/m2/s]によって下記式5,6のように表わされる。なお、音響インピーダンスは,試料の音速c[m/s]と密度r[kg/m3]の積Z=rcで求められる。図4aの実験より、空気の音響インピーダンスが,電極よりも極めて小さいZAlZAir場合には上記式5より,r-1となり,パルス状音波の大きさP0は、測定されるP1の値に等しい。図4bの測定結果cより、5,6より求めた式7により下部電極側の試料の音響インピーダンスZsが測定できる。したがって,試料の裏と表を交換することにより,2層各層のZs1、Zs2が測定できる。なお、この方法により測定した音響インピーダンスZsは、試料の密度測定から求めた音響インピーダンスの測定結果と低い誤差で一致する。また,音波の減衰率αは,音波の減衰が下記式8に従うとすれば減衰率α[1/m]は分散βを無視すれば概略式9式により求めることができる。なお、減衰αと分散βは周波数の関数として扱うものとする。各種音響インピーダンスZを求める。上記式7中のP1は、下部電極11上面空気との界面での反射波であり、測定装置1に試料50を装着しないで圧電素子14から音波を下部電極11に送ることで反射して戻ってきた音波を圧電素子14で検出し、デジタルオシロスコープ18で記録されたものである。図6に測定された波形とP1の一例を示す。また、P1’は下部電極11と試料50との界面での反射波であり、測定装置1に試料50を装着し、圧電素子14から音波を下部電極11に送ることで反射して戻ってきた音波を圧電素子14で検出し、デジタルオシロスコープ18で記録したものである。式7に従って、試料50の音響インピーダンスZs1を求める。また、測定装置1に半導電シート122のみを装着し、圧電素子14から音波を下部電極11に送ることで反射して戻ってきた音波を圧電素子14で検出し、デジタルオシロスコープ18で記録することで、半導電性シート122の反射波P1’を得て、半導電シート122の音響インピーダンスZs2Zueを求める。なお、試料が多層構造であっても同様に反射波を求めて音響インピーダンスを求めることができる。アルミ材料である下部電極11の音響インピーダンスZAlは、音速や密度が明らかな水の文献値水の音速1539m/s、密度1000kg/m3を基に同様の測定を行い求める上記非特許文献4参考。次に、上記式9に従って減衰率αを求める。上記式9中のP1は試料50と半導電シート122との界面での反射波である。測定装置1に試料50を装着し、かつ上部電極の半導電シート122を装着して圧電素子14から音波を下部電極11に送ることで反射して戻ってきた音波を圧電素子14で検出し、デジタルオシロスコープ18で記録する。図7に測定された音波の波形例を示す。試料は、厚さ0.53mmのPVCシートである。図7の波形から図6の波形との差分を求めることで、P1信号が拡大されるため、反射波形を求めることができ、それからより正確な反射波P1を求めることができる。dは音響インピーダンスを求めたい試料の厚みである。また,この音響インピーダンス顕微鏡の回路は,パルス発生装置を別として,同期をとることで,PEA法の回路と干渉互いに影響を受けることすることがなく,両測定は同時に測定を行うことができる。空間電荷分布の校正方法図5は、空間電荷分布の校正方法を示すフローチャートを示す。以下に本実施形態の空間電荷分布の校正方法を示す。まず、試料50の厚さdと、試料50の誘電率εを測定するS1:第1前処理ステップ、第2前処理ステップ。厚さdは、音響インピーダンス顕微鏡を用いた測定あるいは厚さゲージアズワン株式会社製、シクネスゲージ、DS-1211で測定される。誘電率εは、以下の方法で測定できる。Qメーターまたは万能ブリッジでマイクロメーター付きの電極空間電荷分布測定装置PEA装置でもよいに試料を挟み、音速Cを共振点で測定する。その後、試料をマイクロメーター付きの電極またはPEA装置からはずし、試料を空気として、ギャップをちじめてゆき、共振する点を求める。このとき、試料の厚さの比は、比誘電率になる。また、厚さ測定機能付きのPEA装置とすると電子回路を付加して比誘電率を測定することができる。誘電率εは、測定信号P0tから空間電荷分布Pszを求める際に用いられる。次に、音響インピーダンス顕微鏡を用いて、試料50をセットしていない状態で、圧電素子14と接続された下部電極11界面で反射する音波の大きさP1を測定するステップS2、第1音波測定ステップ。そして、上部電極12が半導電シート122部材を用いる場合に、当該上部電極122を下部電極11上にセットし、音響インピーダンス顕微鏡で反射する音波を測定するステップS3、第2音波測定ステップ。そして、試料50を下部電極11上にセットし、音響インピーダンス顕微鏡で音波の反射波形を測定するステップS4、第3音波測定ステップ。なお、上記ステップS2からステップS4の順番は、この順番に制限されず順番が入れ替わってもよい。次に、前記第1、2,3の音波測定ステップの測定結果に基づいて、下部電極11の音響インピーダンスZAl、試料の音響インピーダンスZs、半導電シート122の音響インピーダンスZueを算出するステップS5、Z算出ステップ。上記式7に基づいて各種音響インピーダンスが求められる。そして、試料50の厚さd、下部電極11の音響インピーダンスZAl、試料50の音響インピーダンスZs、半導電シート122の音響インピーダンスZueに基づいて、音波の減衰率αを算出するステップS5、減衰率演算ステップ。上記式9に基づいて減衰率αが求められる。式9のZs2は、半導電シート122あるいは2層目の試料の音響インピーダンスに相当する。また、減衰率αの算出とともに、分散βを算出する分散演算ステップが実行されてもよい。さらに音速cを算出する音速演算ステップが実行されてもよい。音速cは、試料50を測定装置1に装着し、音響測定での試料-電極界面での音波反射の伝搬時間の差と試料の厚さ測定の結果から求めることができる。試料の厚さdは、厚さゲージで予め測定することができる。次に、空間電荷分布測定装置1に試料50をセットし、圧電素子14から空間電荷分布の測定信号P0tを測定するステップS6、空間電荷分布測定ステップ。パルス電圧を直流印加電圧0~10kVに重畳して行い、上部電極12を介して試料50に印加する。測定信号P0tは、増幅器17で増幅されてデジタルオシロスコープ18に記録される。次に、試料厚さdおよび減衰率αに基づいて、記録された測定信号P0tを補正し、補正された空間電荷分布Pszを求めるステップS7、補正ステップ。この補正ステップは、下記式1において、空間電荷分布Psjを、測定信号P0iと伝達関数gi,jとから数値解析を利用して求める。数値解析はコンピュータ19で実行される。このとき、試料中の厚さ方向の位置zおよび減衰率αに基づいて、伝達関数gt,zの振幅が指数関数EXP-αzに従って減衰するとする。なお、減衰と分散を考慮する場合には、試料中の厚さ方向の位置z、減衰率α、分散βに基づいて、伝達関数gt,zの振幅が指数関数EXP-αz-jβに従って減衰するとする。また、このとき、試料が2層の場合に、界面での音波の反射と透過が伝達関数gt,zに含まれる。上記ステップS7で求められた空間電荷分布Psjを出力するステップS8。ここでは、コンピュータ19のモニターに表示させてもよく、別の装置へ送信してもよく、記録媒体に保存させてもよい。実験例次に音響インピーダンス顕微鏡の機能を付加した空間電荷分布測定装置で、試料の空間電荷分布測定を行った。まず、すでに示してある図4cは、音響的性質の異なる2層試料厚さ2mmと1mmのアクリルPMMAと塩化ビニルPVCシートを重ねた試料の測定を行った音波波形を示している。Alは、下部電極を意味し、Semi-conは、半導電シートを意味している。P1は下部電極上面空気との界面での反射波、P1’は下部電極11と1層目試料PMMAとの界面での反射波、P1は1層目試料PMMAと2層目試料PVCとの界面での反射波を示す。PVDFsignalは、圧電素子で検出した音波波形である。次に、厚さ0.53mmの塩化ビニルシートの音響特性と空間電荷分布の測定結果を図7、8に示す。図8に示す空間電荷分布の測定結果は、音波の減衰等は考慮しないで通常のデコンボルーション処理を行い、電位分布を計算して、印加電圧と陽極位置での電位が一致する条件で構成した結果である。10kVまでの印加電圧に対して,電極界面に電荷が観測されている。しかし,陰極と陽極での電荷密度を比較すると,陽極上部電極側での電荷密度が,陰極下部電極側の0.82となっている。上記図8の結果について、音響特性から考察を行った。厚さ0.53mmの塩化ビニルシートを1cm角に切り、天秤により質量を測定し、厚さを機械式の厚さゲージで測定し、測定装置1の音響インピーダンス機能を利用して音速cを測定した。それぞれの値を用いて、試料の音響インピーダンスZsを計算すると3.1×106[kg/m2/s]あった。ρは試料の密度、cは音速である。上部電極12に使用した半導電シート122Semi-conを音響インピーダンス機能を利用して測定し、音響インピーダンスZueを求めた。また,下部電極11のアルミ電極についても同様に測定を行い音響インピーダンスZleを求めた。以下の値となった。塩化ビニルの音響インピーダンスZsを上記式7を用いて、音響インピーダンス機能を利用して求めた各反射波を用いて求めると2.63×106[kg/m2/s]であり,音速cと密度ρから求めた値とずれはあるが、ほぼ測定できたことを確認した。また、音波の減衰率αを上記式9を用いて、音響インピーダンス機能を利用して求めた各反射波を用いて求めると、0.45×103[1/m]となった。先に求めた、上部電極の音響インピーダンスZueと試料の音響インピーダンスZsの違いから起こる上部電極界面で発生する音波の大きさPUと下部電極で発生する音波の大きさPLの比を求めると1.09倍となった。これによって、上部電極側で発生する音波の大きさの方が,下部電極に比べ10程度大きいことが予想された。次に,減衰率αを考慮して,上部電極と下部電極の信号の比を計算すると1:0.86であった。この結果は、音響特性から予測される上部電極と下部電極の電荷密度の比は0.86で、空間電荷分布測定から得られる0.82倍とほぼ一致しており、電極界面の電荷密度は陽極上部電極と陰極下部電極でほぼ等しいが、試料内部での音波の減衰により、上部電極の電荷密度は陰極に比べ0.82倍小さく評価されたことが実験的に明らかになった。これが、減衰等によって生じた音波測定の誤差といえ、本発明において、音響特性を考慮した信号処理を同時に行うことで、試料や電極半導電シートの音響特性による誤差を補正することができる。例えば、補正によって、図4cのafterCalibrationの破線の信号波形に補正できる。"