"基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、前記基板上に、前記絞りを覆うようにして形成された無機又は有機接着層と、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層に直接接合されていることを特徴とする撮像用レンズ。基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、前記硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とする撮像用レンズ。前記基板上及び前記絞りには、表面改質処理が施されていることを特徴とする請求項2に記載の撮像用レンズ。前記有機接着層は、シランカップリング剤層であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。前記絞りは、黒色フィラーを含む樹脂からなることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。前記レンズ部は、前記基板の物体側表面及び像側表面の両面に形成されていることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。前記無機又は有機接着層は、前記基板側から、無機接着層、有機接着層の順に積層された複数層の構成であることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。前記基板と、前記絞りとの間に、有機接着層を備えることを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。前記基板表面には、最外層にIRカット膜が形成されている事を特徴とする請求項1~8のいずれか一項に記載の撮像用レンズ。基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、前記基板上に、前記絞りを覆うようにして形成された無機又は有機接着層と、硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層に直接接合されていることを特徴とするウエハレンズ。基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、前記硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とするウエハレンズ。前記基板上及び前記絞りには、表面改質処理が施されていることを特徴とする請求項11に記載のウエハレンズ。前記有機接着層は、シランカップリング剤層であることを特徴とする請求項10~12のいずれか一項に記載のウエハレンズ。前記絞りは、黒色フィラーを含む樹脂からなることを特徴とする請求項10~13のいずれか一項に記載のウエハレンズ。前記絞りの樹脂は、水酸基、カルボキシル基等の易反応性基を有する樹脂であり、前記レンズ部を有する樹脂も、水酸基、カルボキシル基等の易反応性基を有する樹脂であることを特徴とする請求項10~14のいずれか一項に記載のウエハレンズ。前記絞りの樹脂は、エポキシ、アクリル、又はアリルエステルであり、前記レンズ部を有する樹脂も、エポキシ、アクリル、又はアリルエステルであることを特徴とする請求項10~15のいずれか一項に記載のウエハレンズ。前記レンズ部は、前記基板の物体側表面及び像側表面の両面に形成されていることを特徴とする請求項14~16のいずれか一項に記載のウエハレンズ。前記無機又は有機接着層は、前記基板側から、無機接着層、有機接着層の順に積層された複数層の構成であることを特徴とする請求項14~17のいずれか一項に記載のウエハレンズ。前記基板と、前記絞りとの間に、有機接着層を備えることを特徴とする請求項14~18のいずれか一項に記載のウエハレンズ。前記絞りは、前記レンズ部の外周を囲む平面視環状に形成されていることを特徴とする請求項14~19のいずれか一項に記載のウエハレンズ。前記基板表面には、最外層にIRカット膜が形成されている事を特徴とする請求項12~20のいずれか一項に記載のウエハレンズ。基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、前記硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されており、前記複数のレンズ部に対応する光軸方向の位置に、複数の開口部を有するスペーサが接合されていることを特徴とするウエハレンズ。前記レンズ部は、前記基板の物体側表面及び像側表面の両面に形成されており、前記スペーサは、前記基板の像側表面に設けられていることを特徴とする請求項22に記載のウエハレンズ。前記無機又は有機接着層は、前記基板側から、無機接着層、有機接着層の順に積層された複数層の構成であることを特徴とする請求項22又は23に記載のウエハレンズ。前記基板と、前記絞りとの間に、有機接着層を備えることを特徴とする請求項22~24のいずれか一項に記載のウエハレンズ。複数のウエハレンズを積層させたウエハレンズ積層体であって、前記複数のウエハレンズのうち、少なくとも一つのウエハレンズが、基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とするウエハレンズ積層体。前記無機又は有機接着層は、前記基板側から、無機接着層、有機接着層の順に積層された複数層の構成であることを特徴とする請求項26に記載のウエハレンズ積層体。前記基板と、前記絞りとの間に、有機接着層を備えることを特徴とする請求項26又は27に記載のウエハレンズ積層体。基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、前記基板上に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、前記接着層形成工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、前記成形工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法。基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、前記基板上に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、前記接着層形成工程後、前記絞り上に形成された前記無機又は有機接着層を除去する接着層除去工程と、前記接着層除去工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、前記成形工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法。基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、前記基板の少なくとも一方の面に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、前記接着層形成工程後、前記絞り上に形成された前記無機又は有機接着層を除去する接着層除去工程と、前記接着層除去工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、前記成形工程によって得られたウエハレンズを、複数積層させてウエハレンズ積層体を形成する積層工程と、前記積層工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法。前記接着層除去工程は、アセトン又はエタノールで前記無機又は有機接着層を除去することを特徴とする請求項30又は31に記載の撮像用レンズの製造方法。前記接着層形成工程は、シランカップリング剤層を形成する工程であることを特徴とする請求項29~31のいずれか一項に記載の撮像用レンズの製造方法。前記基板の表面及び前記絞り形成工程後の前記絞りの表面の濡れ性が、水の接触角で3°以上30°以下の範囲となるように表面改質処理を行う表面改質工程を備えることを特徴とする請求項29~33のいずれか一項に記載の撮像用レンズの製造方法。前記表面改質工程では、UVオゾン処理、プラズマ処理のいずれか一つを行うことを特徴とする請求項34に記載の撮像用レンズの製造方法。基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズを作製するための撮像用レンズの中間物であって、前記基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りを備え、前記絞りの表面の水の接触角が3°以上30°以下であることを特徴とする撮像用レンズの中間物。前記絞りの表面の水の接触角が3°以上20°以下であることを特徴とする請求項36に記載の撮像用レンズの中間物。基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズを作製するための撮像用レンズの中間物の製造方法であって、前記基板の少なくとも一方の面に、光量を調整する所定の開口を有する絞りを形成する絞り形成工程と、前記絞りが形成された前記基板の少なくとも一方の面に対して、表面改質処理を行う表面改質工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの中間物の製造方法。前記表面改質工程では、前記絞りの表面の濡れ性が、水の接触角で3°以上30°以下の範囲となるように表面改質処理を行うことを特徴とする請求項38に記載の撮像用レンズの中間物の製造方法。前記表面改質工程では、前記絞りの表面の濡れ性が、水の接触角で3°以上20°以下の範囲となるように表面改質処理を行うことを特徴とする請求項38又は39に記載の撮像用レンズの中間物の製造方法。一方、レンズ部毎に基板を切断する場合に、レンズ部の大きな内部応力によって、絞りやレンズ部は、それぞれ基板や絞りから剥離することがあり、各層間の密着力を向上させることが課題とされている。しかしながら、上記特許文献1や2はいずれもウエハレンズではなく、切断時における剥離の課題は何ら示されていない。特に基板上に絞り、レンズ部を積層形成していく場合に、切断により基板、絞り、レンズ部各々の界面で剥離が生じて光学特性に影響を与える事自体、開示も示唆もされていない。また、シランカップリング剤等を含む層で密着力を向上させる記述があるが、シランカップリング剤の種類やその反応メカニズムについては言及されておらず、各層の濡れ性を向上させる点についても、記述がない。本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、切断によりレンズ部毎に個片化されるようなウエハレンズにおいて、絞りが基板から、レンズ部が絞りを形成した基板から、それぞれ剥離することを防止し、各層間の密着性を向上させることのできる撮像用レンズ、ウエハレンズ、ウエハレンズ積層体、撮像用レンズの製造方法、撮像用レンズの中間物、撮像用レンズの中間物の製造方法を提供することを目的としている。本発明の一態様によれば、基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、前記基板上に、前記絞りを覆うようにして形成された無機又は有機接着層と、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層に直接接合されていることを特徴とする撮像用レンズが提供される。本発明の他の態様によれば、基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りと、前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、前記硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とする撮像用レンズが提供される。本発明の他の態様によれば、基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、前記基板上に、前記絞りを覆うようにして形成された無機又は有機接着層と、硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層に直接接合されていることを特徴とするウエハレンズが提供される。本発明の他の態様によれば、基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、前記硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とするウエハレンズが提供される。本発明の他の態様によれば、基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、前記硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されており、前記複数のレンズ部に対応する光軸方向の位置に、複数の開口部を有するスペーサが接合されていることを特徴とするウエハレンズが提供される。本発明の他の態様によれば、複数のウエハレンズを積層させたウエハレンズ積層体であって、前記複数のウエハレンズのうち、少なくとも一つのウエハレンズが、基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りと、前記基板上に、前記絞りを露出させるようにして形成された無機又は有機接着層と、硬化性樹脂製の複数のレンズ部を有する樹脂部と、を備え、前記樹脂部は、前記無機又は有機接着層及び前記絞りに直接接合されていることを特徴とするウエハレンズ積層体が提供される。本発明の他の態様によれば、基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、前記基板上に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、前記接着層形成工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、前記成形工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法が提供される。本発明の他の態様によれば、基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、前記基板上に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、前記接着層形成工程後、前記絞り上に形成された前記無機又は有機接着層を除去する接着層除去工程と、前記接着層除去工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、前記成形工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法が提供される。本発明の他の態様によれば、基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズの製造方法であって、前記基板の少なくとも一方の面に、光量を調整する所定の開口を有する複数の絞りを形成する絞り形成工程と、前記絞り形成工程後、前記絞りが形成された前記基板上に、前記絞りを覆うようにして無機又は有機接着層を形成する接着層形成工程と、前記接着層形成工程後、前記絞り上に形成された前記無機又は有機接着層を除去する接着層除去工程と、前記接着層除去工程後、前記無機又は有機接着層と、複数の前記レンズ部を形成する成形面を有する成形型との間に前記硬化性樹脂を滴下し、押圧成形し硬化させて前記樹脂部を形成する成形工程と、前記成形工程によって得られたウエハレンズを、複数積層させてウエハレンズ積層体を形成する積層工程と、前記積層工程後、前記レンズ部毎に切断して複数の前記レンズ部を個片化する切断工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの製造方法が提供される。本発明の他の態様によれば、基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズを作製するための撮像用レンズの中間物であって、前記基板上に形成されて光量を調整する所定の開口を有する絞りを備え、前記絞りの表面の水の接触角が3°以上30°以下であることを特徴とする撮像用レンズの中間物が提供される。本発明の他の態様によれば、基板上に、硬化性樹脂製のレンズ部を有する樹脂部が形成された撮像用レンズを作製するための撮像用レンズの中間物の製造方法であって、前記基板の少なくとも一方の面に、光量を調整する所定の開口を有する絞りを形成する絞り形成工程と、前記絞りが形成された前記基板の少なくとも一方の面に対して、表面改質処理を行う表面改質工程と、を備えることを特徴とする撮像用レンズの中間物の製造方法が提供される。本発明によれば、絞りやレンズ部等の光学部材が各界面から剥離することを防止し、各層間の密着性を向上させることができる。また、基板表面や絞り表面の改質処理を行うことによって、濡れ性が向上し、この点においても各層間の密着性向上につながる。また、各層間の密着性が向上することで、ウエハレンズをダイシングして得られた個片レンズのMTF特性等も良好である。以下、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。[撮像装置]図1に示す通り、撮像装置1は撮像用レンズユニット2と、カバーガラス4、撮像素子図示せずを収納したパッケージ6からなるセンサユニットから構成されており、撮像用レンズユニット2の下方に、センサユニットが配置されている。図示しない撮像素子としては例えばCMOS型イメージセンサが用いられる。撮像用レンズユニット2は2群のレンズ群8,10、スペーサ7から構成されている。まず、レンズ群8について説明する。レンズ群8は基板12を有している。基板12としては、透明で耐熱性があり、強度のあるものであれば良い。例えば、低アルカリのホウケイ酸ガラスや透明無機酸化物を主成分とする基材、ポリイミドやエポキシ等の耐熱性透明樹脂を主成分とする基材等が挙げられる。基板12の上面には、接着層14が形成されている。接着層14の上面には、絞り18aと、絞り18aを覆う接着層15とが形成されており、接着層15の上面全面に樹脂部16が形成されている。接着層14は、基板12と絞り18aとの間に設けられ、接着層14によって基板12に対する絞り18aの密着力を高めることができる。この接着層14は省略しても構わない。接着層15は、基板12及び絞り18aと、樹脂部16との間に設けられ、接着層15によって基板12及び絞り18aに対する樹脂部16の密着力を高めることができる。接着層14は、有機接着層であり、接着層15は、無機又は有機接着層である。無機接着層としては、二酸化チタン、アルミナ、ニ酸化ケイ素等の無機酸化物層等が挙げられる。有機接着層としては、通常の公知の接着剤の他に、アクリル系、イソシアネート系、エポキシ系、アミノ系等のシランカップリング剤層等が挙げられる。接着層15は、有機接着層又は無機接着層のいずれでも良いが、有機接着層の方が好ましい。また、接着層15がシランカップリング剤層の場合は、接着層15は、無機接着層を下層とし、有機接着層を上層の2層構造とする方が好ましい。絞り18aとしては、UV又は熱で硬化するネガ型レジスト、又はポジ型レジストに黒色フィラーを含有させたものや、酸化クロムで主に構成されているもの等がある。絞り18aの形成方法の例としては、基板12上に絞りを気相堆積法や塗布法でベタに形成した後、樹脂部16凸レンズ部16aの周囲を覆うように平面視環状に加工する等が挙げられる。なお、本発明では、絞り18aと樹脂部16との間の接着層15は、図1に示すように、絞り18aが形成された基板12上に、絞り18a全体を覆うように設け、レンズ部を有する樹脂部は接着層に直接接合されている形態イの他、図3に示すように、接着層15が、絞り18aが形成された基板12の上面の内、絞り18aが形成されていない基板12上面が露出した部分にのみ設けられる形態ロもありえるが、形態ロの方が切断時の剥離防止の観点ではより好ましい。なぜなら、絞りは他のコートと異なり、基板上に全面均一に形成されるものではなく、レンズ部に対応する箇所に開口をすべく一部抜けを形成したようなパターン化された形状であるため、絞り形成後の接着層がこの開口部分と絞り部材とが形成された箇所とで平坦に形成できず、係る不均一さがその上に形成されるレンズの形状に悪影響を及ぼすことが一因である。また、外観上もレンズ部には接着層がないほうが、好ましい。また、形態ロの場合、絞り18aの主構成材料が黒色フィラーと、水酸基、カルボキシル基等の易反応性基を有する樹脂、例えば、エポキシ、アクリル又はアリルエステル等の樹脂であり、樹脂部16も同じく、水酸基、カルボキシル基等の易反応性基を有する樹脂、例えば、エポキシ、アクリル又はアリルエステル等の樹脂である場合には、樹脂部16形成時のエネルギーにより、絞り18aと樹脂部16が反応し、密着力が大きくなり、特に好ましい態様となる。絞り18aが形成された基板12の上面のうち、基板12上面が露出した部分のみ、接着層15を形成する方法としては、絞り18aを形成した後に、接着層15をベタで形成し、除去可能なうちに、絞り18aの上面の接着層15のみ、アセトンやエタノール等の溶剤で除去すれば良い。なお、この場合、接着層15及び絞り18aの上面に、樹脂部16が直接設けられることになる。基板12、絞り18aは、密着力をより向上させるために、表面の濡れ性を向上させることが好ましい。特に、絞り18aが形成された基板12の上面のうち、基板12上面が露出した部分のみ、接着層15によって覆われ、絞り18aと樹脂部16が直接接合する構成の場合図3参照は、絞り18aの表面の濡れ性を向上させる効果が顕著となる。通常、最上面~最下面の樹脂部には、ダイシング時に剥離等の問題が発生しないように、それぞれスペーサを接合する必要があるが、本発明の場合、スペーサが無くとも、層間剥離等の問題が発生しにくく、コスト低減が可能となる。接着層15についても濡れ性を向上させる方が好ましいが、特に接着層15が無機接着層である場合には、濡れ性を向上させる効果が大きい。濡れ性については、それぞれの層の上層の材料に対する濡れ性が良好であれば良いが、評価方法としては、水に対する接触角でほぼ評価することができる。具体的には、水の接触角が3°以上30°以下であれば、それぞれの層の上層の材料に対する濡れ性が良好となる。特に、3°以上20°以下が好ましい。接触角を低減する手段としては、公知の手段が利用できるが、特にUVオゾン装置、プラズマ装置等での表面改質をすることが好ましい。UVオゾン装置の場合、処理条件は、10mW/cm2のUV光強度で、3~15分程度、処理を行えば、接触角が低減可能である。プラズマ装置を使う場合は、反応ガスとして酸素を利用し、200W~500Wで30秒~10分程度、処理を行うと良い。勿論、処理を行う表面の状態により異なるため、前記条件に限定されるものではない。本発明では、接着層14、15がシランカップリング剤層の場合は、接着層14、15を設ける前に、UVオゾン処理、プラズマ処理等で下地の表面を活性化し、表面に水酸基等の官能基を増やすことで濡れ性を上げるとともに、その水酸基とシランカップリング剤を100°C以上の温度で反応させ、シロキサン結合を作ることにより、下地との非常に強固な密着力が得られる。さらに、シランカップリング剤層が、例えば樹脂部16のすぐ下に位置する場合には、樹脂部16の材料と反応しやすいシランカップリング剤を選択し、樹脂部16の硬化時のUV光や熱エネルギーを利用して反応させることで、樹脂部16との大きな密着力を得ることができる。シランカップリング剤としては、例えば、アクリル系、イソシアネート系、エポキシ系、アミノ系等が挙げられる。樹脂部は下層接着層又は接着層と絞り全面に設けられる場合と、下層上に島状に設けられている場合の両方があり得る。このような島状の構成の場合、下層は樹脂部で一部分が覆われない露出部が形成される事になる。樹脂部16は凸レンズ部16aとその周辺部の非レンズ部16bとから構成され、これらが一体成形されている。凸レンズ部16aは表面が非球面形状を呈している。絞り18aは非レンズ部16bで覆われている。一方、基板12の下面には、接着層20が形成されている。接着層20の下面には、絞り18bと、絞り18bを覆う接着層21とが形成されており、接着層21の下面全面に樹脂部22が形成されている。接着層20は、基板12と絞り18bとの間に設けられ、接着層20によって基板12に対する絞り18bの密着力を高めることができる。この接着層20は省略しても構わない。接着層21は、基板12及び絞り18bと、樹脂部22との間に設けられ、接着層21によって基板12及び絞り18bに対する樹脂部22の密着力を高めることができる。なお、絞り18b、接着層20、接着層21は、上述した絞り18a、接着層14、接着層15とそれぞれ同様であるので、その説明を省略する。樹脂部22は凹レンズ部22aとその周辺部の非レンズ部22bとから構成され、これらが一体成形されている。凹レンズ部22aは表面が非球面形状を呈している。絞り18bは非レンズ部22bで覆われている。レンズ群8は基板12、樹脂部16,22、絞り18a,18b、接着層14,20、接着層15,21により構成されている。次に、レンズ群10について説明する。レンズ群10は基板30を有している。基板30の上面には、接着層31が形成されている。接着層31の上面全面に樹脂部32が形成されている。接着層31は、基板30と樹脂部32との間に設けられ、接着層31によって基板30に対する樹脂部32の密着力を高めることができる。樹脂部32は凹レンズ部32aとその周辺部の非レンズ部32bとから構成され、これらが一体成形されている。凹レンズ部32aは表面が非球面形状を呈している。基板30の下面には、接着層33が形成されている。接着層33の下面には、絞り18cと、絞り18cを覆う接着層35とが形成されており、接着層35の下面全面に樹脂部34が形成されている。接着層33は、基板30と絞り18cとの間に設けられ、接着層33によって基板30に対する絞り18cの密着力を高めることができる。接着層33は、接着層14と同様に省略しても良く、有機接着層とすることが好ましい。接着層35は、基板30及び絞り18cと、樹脂部34との間に設けられ、接着層35によって基板30及び絞り18cに対する樹脂部34の密着力を高めることができる。樹脂部34は凸レンズ部34aとその周辺部の非レンズ部34bとから構成され、これらが一体成形されている。凸レンズ部34aは表面が非球面形状を呈している。絞り18cは非レンズ部34bで覆われている。レンズ群10はガラス基板30、樹脂部32,34、絞り18c、接着層31,33、接着層35により構成されている。なお、絞り18c、接着層31,33、接着層35は、上述した絞り18a、接着層14、接着層15とそれぞれ同様であるので、その説明を省略する。レンズ群8の樹脂部16,22とレンズ群10の樹脂部32,34とは公知の光硬化性樹脂から構成されている。当該光硬化性樹脂としては、例えば下記に示すようなアクリル樹脂,アリルエステル樹脂,エポキシ系樹脂などが使用可能である。アクリル樹脂,アリルエステル樹脂を使用する場合にはラジカル重合により反応硬化させることができ、エポキシ樹脂を使用する場合にはカチオン重合により反応硬化させることができる。レンズ群8,10の各部位を構成する樹脂の種類は互いに同じでもよいし、異なってもよい。樹脂の詳細は下記1~3の通りである。1アクリル樹脂重合反応に用いられるアクリレートは特に制限はなく、一般的な製造方法により製造された下記アクリレートを使用することができる。エステルアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、エーテルアクリレート、アルキルアクリレート、アルキレンアクリレート、芳香環を有するアクリレート、脂環式構造を有するアクリレートが挙げられる。これらを1種類又は2種類以上を用いることができる。特に脂環式構造を持つアクリレートが好ましく、酸素原子や窒素原子を含む脂環構造であってもよい。例えば、シクロヘキシルアクリレート、シクロペンチルアクリレート、シクロヘプチルアクリレート、ビシクロヘプチルアクリレート、トリシクロデシルアクリレート、トリシクロデカンジメタノールアクリレートや、イソボロニルアクリレート、水添ビスフェノール類のジアクリレート等が挙げられる。また特にアダマンタン骨格を持つと好ましい。例えば、2-アルキル-2-アダマンチルメタアクリレート特開2002-193883号公報参照、アダマンチルジメタアクリレート特開昭57-500785、アダマンチルジカルボン酸ジアリル特開昭60―100537、パーフルオロアダマンチルアクリル酸エステル特開2004-123687、新中村化学製2メチル2アダマンチルメタクリレート、13アダマンタンジオールジアクリレート、135アダマンタントリオールトリアクリレート、不飽和カルボン酸アダマンチルエステル特開2000-119220、3,3’-ジアルコキシカルボニル11’ビアダマンタン特開2001-253835号公報参照、1,1’-ビアダマンタン化合物米国特許第3342880号明細書参照、テトラアダマンタン特開2006-169177号公報参照、2-アルキル-2-ヒドロキシアダマンタン、2-アルキレンアダマンタン、1,3-アダマンタンジカルボン酸ジ-tert-ブチル等の芳香環を有しないアダマンタン骨格を有する硬化性樹脂特開2001-322950号公報参照、ビスアダマンタン類やビスグリシジルオキシフェニルアダマンタン特開平11-35522号公報、特開平10-130371号公報参照等が挙げられる。また、その他反応性単量体を含有することも可能である。アクリレートであれば、例えば、メチルアクリレート、メチルメタアクリレート、n-ブチルアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタアクリレート、tert-ブチルアクリレート、tert-ブチルメタアクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、などが挙げられる。多官能アクリレートとして、例えば、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールトリメタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールセプタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、トリペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、トリペンタエリスリトールトリメタアクリレートなどが挙げられる。2アリルエステル樹脂アリル基を持ちラジカル重合による硬化する樹脂で、例えば次のものが挙げられるが、特に以下のものに限定されるわけではない。芳香環を含まない臭素含有メタアリルエステル特開2003-66201号公報参照、アリルメタアクリレート特開平5-286896号公報参照、アリルエステル樹脂特開平5-286896号公報、特開2003-66201号公報参照、アクリル酸エステルとエポキシ基含有不飽和化合物の共重合化合物特開2003-128725号公報参照、アクリレート化合物特開2003-147072号公報参照、アクリルエステル化合物特開2005-2064号公報参照等が挙げられる。3エポキシ樹脂エポキシ樹脂としては、エポキシ基を持ち光又は熱により重合硬化するものであれば特に限定されず、硬化開始剤としても酸無水物やカチオン発生剤等を用いることができる。エポキシ樹脂は硬化収縮率が低いため、成形精度の優れたレンズとすることができる点で好ましい。エポキシの種類としては、ノボラックフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂が挙げられる。その一例として、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、2,2’-ビス4-グリシジルオキシシクロヘキシルプロパン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3,4-エポキシシクロヘキサンカーボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシド、2-3,4-エポキシシクロヘキシル-5,5-スピロ-3,4-エポキシシクロヘキサン-1,3-ジオキサン、ビス3,4-エポキシシクロヘキシルアジペート、1,2-シクロプロパンジカルボン酸ビスグリシジルエステル等を挙げることができる。硬化剤は硬化性樹脂材料を構成する上で使用されるものであり特に限定はない。硬化剤としては、酸無水物硬化剤やフェノール硬化剤等を好ましく使用することができる。酸無水物硬化剤の具体例としては、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、3-メチル-ヘキサヒドロ無水フタル酸、4-メチル-ヘキサヒドロ無水フタル酸、あるいは3-メチル-ヘキサヒドロ無水フタル酸と4-メチル-ヘキサヒドロ無水フタル酸との混合物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸等を挙げることができる。また、必要に応じて硬化促進剤が含有される。硬化促進剤としては、硬化性が良好で、着色がなく、硬化性樹脂の透明性を損なわないものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、2-エチル-4-メチルイミダゾール2E4MZ等のイミダゾール類、3級アミン、4級アンモニウム塩、ジアザビシクロウンデセン等の双環式アミジン類とその誘導体、ホスフィン、ホスホニウム塩等を用いることができ、これらを1種、あるいは2種以上を混合して用いてもよい。撮像用レンズ2では、レンズ群8の非レンズ部22bとレンズ群10の非レンズ部32bとの間に接着剤が塗布され、レンズ群8とレンズ群10とが接着されている。非レンズ部22b,32bは凹レンズ部22a,32aのフランジ部に相当している。レンズ群10には、スペーサ7が接着されている。スペーサ7には開口部7aが形成されており、この開口部7aに凸レンズ部16a、凹レンズ部22a、凹レンズ部32a、凸レンズ部34aが配置されている。撮像用レンズ2では、凸レンズ部16a、凹レンズ部22a、凹レンズ部32a、凸レンズ部34a、スペーサ7の開口部7aは各表面が非球面形状を呈しており、光軸が一致している。特に撮像用レンズ2では、レンズ群8の凸レンズ部16aが物体側に配置され、レンズ群10の凸レンズ部34aが像側に配置されている。物体側から像側に向けて、凸レンズ部16aがレンズ群8の物体側光学面であるS1面を、凹レンズ部22aがレンズ群8の像側光学面であるS2面を、凹レンズ部32aがレンズ群10の物体側光学面であるS3面を、凸レンズ部34aがレンズ群10の像側光学面であるS4面をそれぞれ構成している。なお、上記撮像用レンズ2において、基板12に対してIRカット膜図示しないを形成しても良い。IRカット膜は、公知の真空蒸着法やスパッタ、CVDChemicalVaporDeposition法などを使用して、基板12の上下両面に対しそれぞれ形成される。IRカット膜赤外線遮蔽膜は、赤外線を遮光するための膜であり、波長365nmの光に対しては50以上の透過率を有している。従って、本発明でいう基板には、ガラス基板単体に限らず、上述したIRカット膜がガラス基板上にコートされた複合基板も含まれる。なお、IRカット膜が形成される場合は二酸化ケイ素、二酸化チタン等の層が交互に積層されて構成されており、最上面は、ガラスと同じ二酸化ケイ素の層であることが好ましい。[撮像装置撮像用レンズの製造方法]続いて、撮像装置1の製造方法撮像用レンズの中間物70、ウエハレンズ51、ウエハレンズ積層体50及び撮像用レンズ2の製造方法を含むについて、図1~図3を参照しながら簡単に説明する。始めに、基板12に対し、例えば遮光性フォトレジストを塗布してこれを所定形状にパターニングし、複数の絞り18aを形成する絞り形成工程。遮光性フォトレジストとしては、カーボンブラックを混入させたフォトレジストが使用可能である。なお、基板12には、予め、UVオゾン装置やプラズマ装置等によって表面改質処理を行っておくことが好ましい表面改質工程。これによって、基板12上に絞り18aが形成された撮像用レンズ2の中間物70が得られる。また、絞り形成工程前に、基板12上に有機接着層14を、気相堆積法や塗布法によって形成しておくことが好ましい。また、絞りが形成された基板にもUVオゾン装置やプラズマ装置等によって表面改質処理を行っておくことが好ましい表面改質工程。その後、絞り18aが形成された基板12上に、接着層15を気相堆積法や塗布法により形成する接着層形成工程。接着層15を形成したら、図3に示すように、絞り18aが形成された基板12の上面のうち、基板12の上面が露出した部分のみ、接着層15で覆われるつまり、絞り18aの上面を覆わない場合には、絞り18aの上面に形成された接着層15を除去する接着層除去工程。除去方法は、アセトンやエタノール等の溶剤を使用すれば良い。一方、図1に示すように、接着層15が基板12と絞り18aの全面を覆う場合には、上記接着層除去工程を行わない。その後、光硬化性樹脂を成形型に滴下し、当該成形型とウエハ状の基板12とのうち一方を他方に押圧して成形型と基板12との間に光硬化性樹脂を充填し、光照射して光硬化性樹脂を硬化させる。その結果、基板12の有機又は無機接着層上に複数の凸レンズ部16aが形成される成形工程。その後、基板12を裏返し、上記と同様にして基板12に、接着層20、複数の絞り18b、接着層21、複数の凹レンズ部22aを形成する。レンズ部16a,22aを形成した後、成形型を基板12から離型する。離型は、凸レンズ部16aの形成後と、凹レンズ部22aの形成後、にそれぞれ離型するようにしても良いし、両面のレンズ部16a,22aの形成後に一括して離型しても良い。そして、離型後、基板12の両面のレンズ部16a,22aに対してポストキュアし加熱加工する。ポストキュアは、両面のレンズ部16a,22aに対して一括して行っても良いし、レンズ部16a,22aをそれぞれ離型した後、一方のレンズ部毎に行っても良い。このように離型することによって、複数のレンズ部16a,22aを有する第1ウエハレンズ51図2参照が製造される。その後、上記第1ウエハレンズ51を製造したのと同様にして、基板30にも複数の絞り18c、接着層31、接着層33、接着層35、複数の凹レンズ部32a、凸レンズ部34aを形成し、離型する。離型後は、ポストキュアを行う。なお、この基板30にはIRカットコートを施さなくて良い。その後、樹脂部34上に反射防止膜図示しないを形成することが好ましい。反射防止膜は2層構造を有している。樹脂部34に対し直に第1層が形成されており、その上に第2層が形成されている。第1層は屈折率1.7以上の高屈折率材料から構成された層であり、好ましくはTa2O5,Ta2O5とTiO2との混合物,ZrO2,ZrO2とTiO2との混合物のいずれかで構成されている。第1層はTiO2,Nb2O3,HfO2で構成されてもよい。第2層は屈折率1.7未満の低屈折率材料から構成された層であり、好ましくはSiO2から構成されている。反射防止膜は第1層、第2層がともに蒸着等の手法により形成されており、好ましくは、第1層、第2層は、その成膜温度がリフロー処理に供される半田等の導電性ペーストの溶融温度に対し-40~40°C好ましくは-20~20°Cの範囲に保持されながら、形成されている。このように反射防止膜を形成することによって、複数のレンズ部32a,34aを有する第2ウエハレンズ52図2参照が製造される。その後、非レンズ部22b,32bのうち少なくとも一方に接着剤を塗布して、第1及び第2ウエハレンズ51,52を互いに接着する積層工程図2参照。その後、スペーサ7と、レンズ群10の非レンズ群34bのうち少なくとも一方に接着剤を塗布して、スペーサ7とレンズ群10を互いに接着する。その結果、ウエハレンズ積層体50が製造される図2参照。その後、ダイサーなどを使用して、図2に示す通り、1組の凸レンズ部16a,凹レンズ部22a,凹レンズ部32a,凸レンズ部34aを一単位として、その組ごとにウエハレンズ積層体50をダイシングライン60で切断ダイシングして断片化する切断工程。その結果、複数の撮像用レンズ2が製造される。樹脂部16,22,32,34をダイシングする場合、例えば、回転刃を用いるダイサーを使用し、刃の回転数を3000rpm~50000rpm、切断速度1~10mm/secとすることが好ましい。樹脂部16,22,32,34をダイシングする場合、物体側の樹脂部16から像側の樹脂部34に向けて切断することが好ましい。ダイシング中は、樹脂部16,22,32,34のダイシング部分で粉塵が舞うため、好ましくはダイシング部分に対し防塵用の純水を流しながら噴出しながら切断する。その後、得られた撮像用レンズ2を組み込むとともに接着するとともに、カバーガラス4、撮像素子を設置し、撮像装置1が製造される。本実施の形態においては、ダイシングにより撮像用レンズ2を作製した後に、カバーガラス4や撮像素子を設置する形態としたが、ウエハレンズ積層体50と複数の撮像素子が設けられた基板を積層した後にダイシングすることで、撮像装置1を得ることも可能である。また、本実施の形態においては、S3面基板30の上面には絞りを設けていないが、絞りを設けても良い。電子機器の製造方法の一例として、撮像装置1と他の電子部品とをプリント配線基板に実装する場合には、プリント配線基板上にあらかじめ半田を配置し、そこへ撮像装置1と電子部品とを配置してからIRリフロー炉に投入加熱して半田を溶融させ、その後冷却することにより、撮像装置1と電子部品とをプリント配線基板に同時に実装することができる。以下、本発明について実施例及び比較例を用いて具体的に説明する。[実施例1]第1ウエハレンズの作製予め水の接触角を測定した、0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、総厚800nmの複数層の酸化クロム層を有する金属膜を成膜し、ポジ型フォトレジストを公知の方法で塗布、乾燥した。その後、マスクを用いて、レジストの露光現像処理を行い、130°C、2分加熱後、さらに露光部のクロム化合物をエッチングで除去し、不要なレジストを除去して、光透過部、アライメントマークを有する絞りを形成した。絞りの表面の水の接触角を測定後、接着層として、気相堆積法で20nm厚の酸化チタン層を形成した。次に、酸化チタン層上にカチオン重合型のエポキシ樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂部が当該接着層全体に直接接合されている第1ウエハレンズを作製した下記表1参照。撮像用レンズの作製第1ウエハレンズのレンズ間を、公知のダイサーでブレード回転数20000rpm、切断速度4mmsの条件で、S1面最上面側からダイシングして、60個の撮像用レンズを得た。ダイシング後の剥離評価ダイシングして得られた、撮像用レンズの断面を顕微鏡で観察し、層間が完全に剥離、又はわずかに剥離し始めているレンズの個数を数えた。但し、レンズ間とスペーサ間が剥離した個片は数に含めなかった。その結果、下記表2に記載の数の撮像用レンズで剥離が認められた。[実施例2]第1ウエハレンズの作製絞り形成工程までは実施例1と同様に作製した。次いで、絞りが形成されたガラス基板上に、アミノ系シランカップリング剤東レダウコーニング社製Z6020の1重量エタノール溶液をスピンコーターで塗布し、ホットプレート上で150°C,30分間、加熱して、絞りが形成されたガラス基板とシロキサン結合を有する、シランカップリング剤層を形成した。その後、カチオン重合型のエポキシ樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層とも強固に結合させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂部が当該接着層全体に直接接合されている第1ウエハレンズを作製した表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例3]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、テクノビジョン社製UVオゾン処理装置UV208で5分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例1と同様に行い、その後、前記UVオゾン処理装置で5分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次いで、接着層として、気相堆積法で20nm厚の酸化シリカ層を形成後、実施例2と同様にアミノ系シランカップリング剤層を形成した。次に、シランカップリング層上にカチオン重合型のエポキシ樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層とも強固に結合させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂部が当該接着層全体に直接接合されている第1ウエハレンズを作製した表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例4]第1ウエハレンズの作製予め水の接触角を測定した、0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、黒色フィラーとエポキシ樹脂を含有する、ネガ型レジスト材料を、スピンコート法で塗布、乾燥し、2μm厚の膜を形成した。その後、マスクを用いて、レジストの露光現像処理を行い、200°C、20分間加熱して、光透過部、アライメントマークを有する絞りを形成した。絞りの表面の水の接触角を測定後、絞りをマスクして、絞り以外の部分に、気相堆積法で20nm厚の酸化シリカ層を形成後、マスクを除去後、実施例2と同様の方法でエポキシ系シランカップリング剤信越シリコーン社製KBM403の1重量エタノール溶液層を形成した。絞り上のエポキシシランカップリング剤層は、絞りとの結合力が弱いため、アセトンで拭き取ることで除去した。その後、カチオン重合型のエポキシ樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層、絞りとも強固に結合させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合している第1ウエハレンズを作製した下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例5]第1ウエハレンズの作製絞り形成工程までは実施例4と同様に作製した。絞りの表面の水の接触角を測定後、絞り上に、一液型のアクリル系接着剤をスクリーン印刷法で6μm厚になるように印刷し、ホットプレート上で100°C,5分間の条件で乾燥させた。その後、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーで接着剤層とも強固に結合させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂部が当該接着層全体に直接接合されている第1ウエハレンズを作製した下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例6]第1ウエハレンズの作製絞り形成工程までは実施例4と同様に作製した。絞りの表面の水の接触角を測定後、絞り上に、接着層として、気相堆積法で20nm厚の酸化シリカ層を形成後、実施例2と同様にアミノ系シランカップリング剤層を形成した。絞り上のエポキシシランカップリング剤層は、アセトンで拭き取ることで除去した。その後、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層、絞りとも強固に結合させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合している第1ウエハレンズを作製した下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例7]第1ウエハレンズの作製予め水の接触角を測定した、0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、イソシアネート系シランカップリング剤信越シリコーン社製KBE9007の1重量エタノール溶液をスピンコーターで塗布し、ホットプレート上で150°C,30分間、加熱して、基板とシロキサン結合を有する、シランカップリング剤層を形成した。次いで、黒色フィラーとアクリル樹脂を含有する、ネガ型レジスト材料を、前記シランカップリング剤層上にスピンコート法で塗布、乾燥し、2μm厚の膜を形成した。その後、マスクを用いて、レジストの露光現像処理を行い、220°C、20分間加熱して、光透過部、アライメントマークを有する絞りを形成した。絞りの表面の水の接触角を測定後、絞りをマスクして、絞り以外の部分に、気相堆積法で20nm厚の酸化チタン層を形成し、マスクを除去後、実施例2と同様の方法でエポキシ系シランカップリング剤信越シリコーン社製KBM403の1重量エタノール溶液層を形成した。絞り上のエポキシシランカップリング剤層は、アセトンで拭き取ることで除去した。その後、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層、絞りとも強固に結合させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合している第1ウエハレンズを作製した下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例8]第1ウエハレンズの作製実施例7と同様に、第1ウエハレンズを作製した後、レンズ部を有する樹脂層側に06mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合して、スペーサ付きの第1ウエハレンズを作製した下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例9]第1ウエハレンズの作製予め水の接触角を測定した、0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、アクリル系シランカップリング剤東レダウコーニング社製SZ6030の1重量エタノール溶液をスピンコーターで塗布し、ホットプレート上で150°C,30分間、加熱して、基板とシロキサン結合を有する、シランカップリング剤層を形成した。それ以降は、実施例7と同様に行った下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例10]第1ウエハレンズの作製予め水の接触角を測定した、0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、イソシアネート系シランカップリング剤信越シリコーン社製KBE9007の1重量エタノール溶液をスピンコーターで塗布し、ホットプレート上で150°C,30分間、加熱して、基板とシロキサン結合を有する、シランカップリング剤層を形成した。それ以降は、実施例7と同様に行ったが、絞り上のエポキシ系シランカップリング剤層は、エタノールで拭き取ることで除去した下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例11]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、テクノビジョン社製UVオゾン処理装置UV208で5分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例7と同様に行い、その後、前記UVオゾン処理装置で5分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次いで、実施例10と同様の2層の接着層を形成し後、絞り上のエポキシ系シランカップリング剤層は、エタノールで拭き取ることで除去した。その後、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させるとともに、照射光のエネルギーでシランカップリング剤層、絞りとも強固に結合させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合している第1ウエハレンズを作製した下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表2に示した。[実施例12]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、サムコ社製プラズマ処理装置PD2203Lに酸素を導入し、200W,2分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例7と同様に行い、その後、前記プラズマ処理装置で同様に2分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次ぐ、接着層以降は、実施例10と同様に行った下記表3参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[実施例13]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、サムコ社製プラズマ処理装置PD2203Lに酸素を導入し、200W,4分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例7と同様に行い、その後、前記プラズマ処理装置で同様に4分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次いで、接着層以降は、実施例10と同様に行った下記表3参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[実施例14]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面を、サムコ社製プラズマ処理装置PD2203Lに酸素を導入し、400W、6分間処理後、水の接触角を測定した。次いで、絞り形成工程は実施例4と同様に行い、その後、前記プラズマ処理装置で同様に6分間、絞りが形成された基板の処理を行い、水の接触角を測定した。次いで、接着層以降は、実施例10と同様に行った。但し、レンズ樹脂は、カチオン重合型のエポキシ樹脂を使用した下記表3参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[実施例15]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、実施例5と同手順でレンズ部を作製後、もう一方の面に、同手順でレンズ部を作製し、基板の両面にレンズ部を有する樹脂部が接着層全体に直接接合された第1ウエハレンズを作製した下記表3参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[実施例16]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、実施例4と同手順でレンズ部を作製後、もう一方の面に、同手順でレンズ部を作製し、基板の両面にレンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに直接接合している第1ウエハレンズを作製した下記表3参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[実施例17]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、実施例12と同手順でレンズ部を作製した。但し、絞り形成工程後の接着層上層はアクリル系シランカップリング剤を使用した。その後、もう一方の面に、同手順でレンズ部を作製した。次いで、S2面側に06mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合して、基板の両面にレンズ部を有する樹脂層が接着層と絞りに共に直接接合しているスペーサ付きの第1ウエハレンズを作製した下記表3参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[実施例18]第1ウエハレンズの作製実施例17と同手順でS1面及びS2面にレンズ部を有する第1ウエハレンズを作製した。但し、スペーサは接合しなかった下記表1参照。第2ウエハレンズの作製第1ウエハレンズと同様に、S3面及びS4面にレンズ部を有する第2ウエハレンズを作製した下記表3,4参照。第1ウエハレンズと第2ウエハレンズの接合作製した第1ウエハレンズと、第2ウエハレンズを接着剤を介して接合し、2体のウエハレンズが積層された、ウエハレンズ積層体を作製した。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[実施例19]第1ウエハレンズの作製第2ウエハレンズの作製第1ウエハレンズと第2ウエハレンズの接合実施例18と同手順で第1及び第2ウエハレンズを作製し、第1及び第2ウエハレンズが積層接着された、ウエハレンズ積層体を作製した。次いで、当該ウエハレンズ積層体のS4面側に06mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合した下記表3,4参照。撮像レンズ個片の作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[比較例1]第1ウエハレンズの作製絞り形成工程までは、実施例1と同様に行った。その後、接着層は形成せずに、絞りが形成された基板上に、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させた。次いで、マスターを離型して、第1ウエハレンズを作製した下記表3参照。撮像レンズ個片の作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[比較例2]第1ウエハレンズの作製0.6mm厚のホウケイ酸ガラス基板の一方の面に、実施例4と同手順でレンズ部を作製した。但し、絞りの形成には、黒色フィラーとアクリル樹脂を含有する、ネガ型レジスト材料を使用した。その後、接着層は形成せずに、絞りが形成された基板上に、ラジカル重合型のアクリル樹脂を滴下し、マスター成形型で押圧しながら、光照射し、樹脂を硬化させた。次いで、マスターを離型して、レンズ部を作製後、もう一方の面に、同手順でレンズ部を作製した。その後、S2面側に06mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合して、レンズ部が基板の両面に形成されているスペーサ付きの第1ウエハレンズを作製した下記表3参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。[比較例3]第1ウエハレンズの作製実施例21比較例2と同手順でS1面及びS2面にレンズ部を有する第1ウエハレンズを作製した。第2ウエハレンズの作製第1ウエハレンズと同様に、S3面及びS4面にレンズ部を有する第2ウエハレンズを作製した下記表3,4参照。第1ウエハレンズと第2ウエハレンズの接合作製した第1ウエハレンズと、第2ウエハレンズを接着剤を介して接合し、2体のウエハレンズが積層された、ウエハレンズ積層体を作製した。次いで、当該ウエハレンズ積層体のS1面とS4面側に06mm厚のガラススペーサを接着剤を介して接合した下記表1参照。撮像用レンズの作製とダイシング後の剥離評価は実施例1と同様に行い、その結果を下記表4に示した。なお、表1~表4において、-は構成無しであることを意味し、↑は上の段に示す実施例比較例と同様の構成であることを意味する。つまり、実施例1~14、比較例1は基板片面にのみレンズ部を形成した構成であり、実施例15~19、比較例2,3は基板両面にレンズ部が形成された構成である。[まとめ]表1~4の結果から明らかなように、基板と絞りの間や、絞り形成後に各種接着層を形成したレンズ、及び、基板表面や絞り表面の濡れ性を向上させた実施例1~実施例19は、比較例1~3に比べて、ダイシング後の層間剥離のレンズの個数が少なかった。したがって、層間の密着性が向上し、全層で密着性が良好であることがわかる。また、各層間の密着性が向上することで、ウエハレンズをダイシングして得られた個片レンズのMTF特性等も良好である。"