"光入射面となる第1面と、前記光入射面に対向する平らな第2面を有するレンズアレイ、ここで、前記第2面近傍に焦点が存在する、および、前記レンズアレイの第2面内に存在する前記焦点の付近に、透明性樹脂を介して接触する複数個の発電素子、および、前記発電素子に対して前記第2面と反対の側に配置した放熱板からなる集光型太陽電池であって、前記発電素子は、光を照射する第1面とそれに対向する第2面を有する板形状の半導体層、および、前記第1面上に形成された第5電極、および、前記第2面上に形成された第6電極、および、前記第5電極に電気的に接合する板形状の第1電極、および前記第6電極に電気的に接合する板形状の第2電極からなり、前記第1電極と前記第2電極の厚みが、前記半導体層の厚みよりも大きく、前記第1電極の一部、および、前記第2電極の一部が前記半導体層の外側に存在し、前記半導体層の第1面が前記レンズの第2面と対向し、前記半導体層の外側に位置する第1電極の領域と放熱板上に形成された第3電極、および、前記半導体層の外側に位置する第2電極の領域と放熱板上に形成された第4電極が異方性導電性樹脂で電気的に接合されていることを特徴とする集光型太陽電池。光入射面108を有し、前記光入射面から入射した光を集光するレンズアレイ101と、前記レンズアレイにより集光した光を受光し、電気を発生する発電素子103と、前記発電素子に対して前記レンズアレイと対向する側に配置した放熱板102とを有する集光型太陽電池であって、前記発電素子は、光が入射する第一面201aと、前記第一面に対向する第二面201bとを有する半導体層201と、前記第一面上に形成された第5電極202と、前記第二面上に形成された第6電極203と、前記第5電極と電気的に接合されるとともに、前記半導体層の厚みよりも大きい厚みを有し、かつ前記半導体層の外周側に端部が突出する第1電極206と、前記第6電極と電気的に接合されるとともに、前記半導体層の厚みよりも大きい厚みを有し、かつ前記半導体層の外周側に端部が突出する第2電極207と、前記半導体層の外周側に突出した第1電極の端部領域206cと放熱板上に形成された第3電極210、および、前記半導体層の外周側に突出した第2電極の端部領域207cと放熱板上に形成された第4電極211を、それぞれ電気的に接合する異方性導電性樹脂104とを備え、前記レンズアレイと前記放熱板とは、異方性導電膜によって接合されている集光型太陽電池。第1電極の端部の第一面206d、第2電極の端部の第一面207d、及び半導体層の光照射面201aは略同一平面上に位置させ、第1電極の端部の第一面、第2電極の端部の第一面、半導体層の光照射面上に透明樹脂215を介してレンズアレイを設ける請求項2記載の集光型太陽電池。前記異方性導電膜が、熱硬化性樹脂と金属粒子からなる請求項2記載の集光型太陽電池。前記金属粒子が、金粒子、または、表面に金を被覆した樹脂粒子からなる請求項2記載の集光型太陽電池。前記金属粒子が半田粒子である請求項2記載の集光型太陽電池。光入射面を有し、前記光入射面から入射した光を集光するレンズアレイと、前記レンズアレイにより集光した光を受光し、電気を発生する発電素子と、前記発電素子に対して前記レンズアレイと対向する側に配置した放熱板とを有する集光型太陽電池であって、前記発電素子は、発電層、第1の電極、第2の電極、第1バンプ、第2バンプを含み、前記発電層は、n型半導体層およびp型半導体層を積層し、透過平面視において、第1バンプが前記発電層に重ならず、第1電極を介して前記n型半導体層が第1バンプに電気的に接続されており、透過平面視において、第2バンプが前記発電層に重ならず、第2電極を介して前記p型半導体層が第2バンプに電気的に接続されており、前記第1電極及び第2電極の厚みは、前記発電層の厚みよりも大きく、前記第1バンプは、放熱板上に形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合され、前記第2バンプは、放熱板上に絶縁膜を介して形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合される、集光型太陽電池。光入射面を有し、前記光入射面から入射した光を集光するレンズアレイと、前記レンズアレイにより集光した光を受光し、電気を発生する発電素子と、前記発電素子に対して前記レンズアレイと対向する側に配置した放熱板とを有する集光型太陽電池であって、前記発電素子は、発電層、第1の電極、第2の電極、第1バンプ、第2バンプを含み、前記発電層は、n型半導体層およびp型半導体層を積層し、透過平面視において、第1バンプが前記発電層に重ならず、第1電極を介して前記p型半導体層が第1バンプに電気的に接続されており、透過平面視において、第2バンプが前記発電層に重ならず、第2電極を介して前記n型半導体層が第2バンプに電気的に接続されており、前記第1電極及び第2電極の厚みは、前記発電層の厚みよりも大きく、前記第1バンプは、放熱板上に形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合され、前記第2バンプは、放熱板上に絶縁膜を介して形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合される、集光型太陽電池。第1電極は、半導体層における光入射面側の第一面上に形成される第5電極と、前記第5電極に電気的に接続される電極とからなり、第2電極は、前記第一面と対向する第二面上に形成される第6電極と、前記第6電極と電気的に接続される電極とからなる請求項7又は8記載の集光型太陽電池。特許文献2で開示されているカーボン、ガラス繊維、アルミナ、金属粒子などを混入した樹脂シートは、素子の放熱性が悪く、放熱用の銅板24が必要となる。また、集光用レンズを一体にした構成についての開示はない。本発明は、かかる課題を解決し、発電素子内で発生した熱を効率良く放熱板に逃がすことが可能な、レンズと発電素子とが一体構造の集光型太陽電池を提供することを目的とする。従来の課題を解決するために、本発明の集光型太陽電池は、光入射面を有し、前記光入射面から入射した光を集光するレンズアレイと、前記レンズアレイにより集光した光を受光し、電気を発生する発電素子と、前記発電素子に対して前記レンズアレイと対向する側に配置した放熱板とを有する集光型太陽電池であって、前記発電素子は、発電層、第1の電極、第2の電極、第1バンプ、第2バンプを含み、前記発電層は、n型半導体層およびp型半導体層を積層し、透過平面視において、第1バンプが前記発電層に重ならず、第1電極を介して前記n型半導体層が第1バンプに電気的に接続されており、透過平面視において、第2バンプが前記発電層に重ならず、第2電極を介して前記p型半導体層が第2バンプに電気的に接続されており、前記第1電極及び第2電極の厚みは、前記発電層の厚みよりも大きく、前記第1バンプは、放熱板上に形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合され、前記第2バンプは、放熱板上に絶縁膜を介して形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合される。また、光入射面を有し、前記光入射面から入射した光を集光するレンズアレイと、前記レンズアレイにより集光した光を受光し、電気を発生する発電素子と、前記発電素子に対して前記レンズアレイと対向する側に配置した放熱板とを有する集光型太陽電池であって、前記発電素子は、発電層、第1の電極、第2の電極、第1バンプ、第2バンプを含み、前記発電層は、n型半導体層およびp型半導体層を積層し、透過平面視において、第1バンプが前記発電層に重ならず、第1電極を介して前記p型半導体層が第1バンプに電気的に接続されており、透過平面視において、第2バンプが前記発電層に重ならず、第2電極を介して前記n型半導体層が第2バンプに電気的に接続されており、前記第1電極及び第2電極の厚みは、前記発電層の厚みよりも大きく、前記第1バンプは、放熱板上に形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合され、前記第2バンプは、放熱板上に絶縁膜を介して形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合される。本発明の集光型太陽電池は、第1電極と第2電極の厚みが半導体層の厚みよりも大きく、さらに、第1電極と第2電極の一部が素子の外部に位置する。従って、第1と第2電極は、発電素子の放熱板として機能し、素子内部で発生した熱を、早く第1と第2電極に放熱する。また、本発明の集光型太陽電池は、第1と第2電極が、それぞれ、異方性導電膜の金属粒子を介して放熱板上に形成された第3と第4電極に接合、又は接触し、第1と第2の電極の熱は、効率良く第3と第4電極を通して放熱板に伝導する。この結果、発電素子内部で発生した熱は効率良く放熱板に伝達される。また、異方性導電膜104によって、集光用のレンズアレイ101、発電素子103、放熱板102を一体固定でき、レンズアレイに発生した熱も、異方性導電膜104を介して放熱板に伝えることができる。本発明の実施態様について説明する。本発明の一実施態様は、光入射面となる第1面と、前記光入射面に対向する平らな第2面を有するレンズアレイ、ここで、前記第2面近傍に焦点が存在する、および、前記レンズアレイの第2面内に存在する前記焦点の付近に、透明性樹脂を介して接触する複数個の発電素子、および、前記発電素子に対して前記第2面と反対の側に配置した放熱板からなる集光型太陽電池であって、前記発電素子は、光を照射する第1面とそれに対向する第2面を有する板形状の半導体層、および、前記第1面上に形成された第5電極、および、前記第2面上に形成された第6電極、および、前記第5電極に電気的に接合する板形状の第1電極、および前記第6電極に電気的に接合する板形状の第2電極からなり、前記第1電極と前記第2電極の厚みが、前記半導体層の厚みよりも大きく、前記第1電極の一部、および、前記第2電極の一部が前記半導体層の外側に存在し、前記半導体層の第1面が前記レンズの第二面と対向し、前記半導体層の外側に位置する第1電極の領域と放熱板上に形成された第3電極、および、前記半導体層の外側に位置する第2電極の領域と放熱板上に形成された第4電極が異方性導電性樹脂で電気的に接合されている。本発明の一実施態様は、光入射面108を有し、前記光入射面から入射した光を集光するレンズアレイ101と、前記レンズアレイにより集光した光を受光し、電気を発生する発電素子103と、前記発電素子に対して前記レンズアレイと対向する側に配置した放熱板102とを有する集光型太陽電池であって、前記発電素子は、光が入射する第一面201aと、前記第一面に対向する第二面201bとを有する半導体層201と、前記第一面上に形成された第5電極202と、前記第二面上に形成された第6電極203と、前記第5電極と電気的に接合されるとともに、前記半導体層の厚みよりも大きい厚みを有し、かつ前記半導体層の外周側に端部が突出する第1電極206と、前記第6電極と電気的に接合されるとともに、前記半導体層の厚みよりも大きい厚みを有し、かつ前記半導体層の外周側に端部が突出する第2電極207と、前記半導体層の外周側に突出した第1電極の端部領域206cと放熱板上に形成された第3電極210、および、前記半導体層の外周側に突出した第2電極の端部領域207cと放熱板上に形成された第4電極211を、それぞれ電気的に接合する異方性導電性樹脂104とを備え、前記レンズアレイと前記放熱板とは、異方性導電膜によって接合されている。加えて、第1電極の端部の第一面206d、第2電極の端部の第一面207d、及び半導体層の光照射面201aは略同一平面上に位置させ、第1電極の端部の第一面、第2電極の端部の第一面、半導体層の光照射面上に透明樹脂215を介してレンズアレイを設ける。また、前記異方性導電膜が、熱硬化性樹脂と金属粒子からなる。また、前記金属粒子が、金粒子、表面に金を被覆した樹脂粒子、または半田粒子である。本発明の一実施態様は、光入射面を有し、前記光入射面から入射した光を集光するレンズアレイと、前記レンズアレイにより集光した光を受光し、電気を発生する発電素子と、前記発電素子に対して前記レンズアレイと対向する側に配置した放熱板とを有する集光型太陽電池であって、前記発電素子は、発電層、第1の電極、第2の電極、第1バンプ、第2バンプを含み、前記発電層は、n型半導体層およびp型半導体層を積層し、透過平面視において、第1バンプが前記発電層に重ならず、第1電極を介して前記n型半導体層が第1バンプに電気的に接続されており、透過平面視において、第2バンプが前記発電層に重ならず、第2電極を介して前記p型半導体層が第2バンプに電気的に接続されており、前記第1電極及び第2電極の厚みは、前記発電層の厚みよりも大きく、前記第1バンプは、放熱板上に形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合され、前記第2バンプは、放熱板上に絶縁膜を介して形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合される。本発明の一実施態様は、光入射面を有し、前記光入射面から入射した光を集光するレンズアレイと、前記レンズアレイにより集光した光を受光し、電気を発生する発電素子と、前記発電素子に対して前記レンズアレイと対向する側に配置した放熱板とを有する集光型太陽電池であって、前記発電素子は、発電層、第1の電極、第2の電極、第1バンプ、第2バンプを含み、前記発電層は、n型半導体層およびp型半導体層を積層し、透過平面視において、第1バンプが前記発電層に重ならず、第1電極を介して前記p型半導体層が第1バンプに電気的に接続されており、透過平面視において、第2バンプが前記発電層に重ならず、第2電極を介して前記n型半導体層が第2バンプに電気的に接続されており、前記第1電極及び第2電極の厚みは、前記発電層の厚みよりも大きく、前記第1バンプは、放熱板上に形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合され、前記第2バンプは、放熱板上に絶縁膜を介して形成した電極と、異方性導電性膜を介して電気的に接合される。更に、第1電極は、半導体層における光入射面側の第一面上に形成される第5電極と、前記第5電極に電気的に接続される電極とからなり、第2電極は、前記第一面と対向する第二面上に形成される第6電極と、前記第6電極と電気的に接続される電極とからなる。以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態では、本発明の集光型太陽電池の具体的な構造を示す。図1aは、本発明の一実施形態における集光型太陽電池システムの模式図である。図1bは、図1の集光型太陽電池100のAA面における断面模式図である。集光型太陽電池システム107は、集光型太陽電池100と、集光型太陽電池100を支える支柱105、台106、集光型太陽電池を動かして太陽光を追尾するための駆動装置図示せずから構成される。集光型太陽電池100は、集光用のレンズアレイ101、発電素子103、放熱板102とを順に配置されている。レンズアレイ101は、太陽光が入射する第1面108と、第1面108に対向する第2面109から構成され、太陽光を集光する。本実施形態の集光型太陽電池は、対向する第2面109が平面形状であり、第2面109内近傍にレンズの焦点が存在する。レンズアレイ101は、太陽光を集光するレンズを二次元に配列した構造を有する。図1aで示すレンズアレイは、光入射側から個々のレンズを見た時のレンズの平面形状は四角形である。レンズ形状は四角形に限る必要はなく、多角形でも良い。例えば、個々のレンズの平面形状が六角形の場、レンズアレイは、個々のレンズが蜂の巣状に配置された構造となる。図1bで示すように、発電素子103は、接着剤としての透明樹脂215を介して、レンズアレイの第2面109の焦点付近に接触している。放熱板102は、発電素子103に対して、レンズアレイの第2面109とは反対側に配置されている。本実施形態の集光型太陽電池100は、レンズアレイ101と放熱板102によって発電素子103をはさんだ構造になっている。図2は、一個の発電素子103の近傍の断面模式図である。図3aは発電素子の側面図、図3bは下面図、図3cは上面図である。図2A、図2B、図3を用いて本実施形態の集光型太陽電池に用いる発電素子の構造を説明する。発電素子103は、半導体層201発電層、半導体層201の光照射面側201aに形成した第5電極202、光照射面201aと対向する面側201bに形成した第6電極203、板形状の第1電極206、板形状の第2電極207を有する。第1電極206は、第5電極202と電気的に接続しており、図2に示すように第一端部206a、中間部206b、第二端部206cを有する。第一端部206aは、第6電極203側に絶縁膜204を介して位置し、中間部206bで屈曲し、第二端部206cは半導体層201の外周側から突出する。第1電極206の中間部206b、端部206cの部分が、接続用金属膜205を介して第5電極202と電気的に接続している。第2電極207は、第6電極203と電気的に接続しており、図2に示すように第三端部207a、中間部207b、第四端部207cを有する。端部207aは第6電極203に接続され、中間部207bで屈曲し、端部207cは半導体層201の外周側から突出する。第1電極206の端部206cの第一面206dと、第2電極の端部207cの第一面207dは、半導体層201の光照射面201a第5電極202を含むと略同一平面上になるように構成されている。本実施形態の、第1電極206と第2電極207は、図2に示すように、屈曲した形状であり、端部206a、207a、中間部206b、207b、端部206c、206cの各厚みt1、t2、t3は均一でない。ここで、厚みt1,t2,t3は、電極の一端から他端における各位置の厚みである。本実施形態の第1電極と第2電極の厚みとは、電極を構成する最小の厚みt1、t2、t3の中で最小の厚みと定義する。また、第1電極206と第2電極207の厚みは、半導体層201の厚みよりも大きい。第1電極と第2電極の厚みに制限はないが、半導体層201の厚みの1.5~3倍が望ましい。3倍よりも大きくすると、第3と第4電極形成時に発生した応力により半導体層が割れる場合がある。第1電極206と第2電極207とは、絶縁膜204によって電気的に絶縁されている。第1電極206の端部206cの第二面206e及び第2電極207の端部207cの第二面207e上には、それぞれ、第1バンプ208と第2バンプ209が形成されている。バンプ材料にはAuを用いることが望ましい。図2、3に示すように、発電素子は、発電層半導体層、第1の電極、第2の電極、第1バンプ、第2バンプを含む。前記発電層は、n型半導体層およびp型半導体層を積層し、前記n型半導体層は前記p型半導体層上に積層しており、透過平面視において、第1バンプが前記発電層に重ならず、第1電極を介して前記n型半導体層が第1バンプに電気的に接続されており、透過平面視において、第2バンプが前記発電層に重ならず、第2電極を介して前記p型半導体層が第2バンプに電気的に接続されている。また、p型半導体層とn型半導体層とを入れ替えた構造でもよい。すなわち、発電素子は、発電層半導体層、第1の電極、第2の電極、第1バンプ、第2バンプを含む。前記発電層は、n型半導体層およびp型半導体層を積層し、前記p型半導体層は前記n型半導体層上に積層しており、透過平面視において、第1バンプが前記発電層に重ならず、第1電極を介して前記p型半導体層が第1バンプに電気的に接続されており、透過平面視において、第2バンプが前記発電層に重ならず、第2電極を介して前記n型半導体層が第2バンプに電気的に接続されている。半導体層発電層201は、pn接合が積層された構造を含めば特に制限はない。例えば、半導体層としては、n型のGaAs薄膜とp型のGaAs薄膜が積層されたもの、または、光入射面から順に、n型InGaP膜、p型InGaP膜、トンネル接合膜、n型GaAs膜、p型GaAs膜、トンネル接合膜、n型InGaAs膜、p型InGaP膜が積層されたものがある。また、上記半導体層のpn接合の順序が反対でも良い。この場合、np接合が積層された構造となる。第1電極と第2電極に接触する部分に、低効率の低いコンタクト層を挿入しても良い。また、光電流の再結合を防ぐために、再結合防止用の薄膜を挿入しても良い。第5電極と第6電極の材料は、半導体層201とオーミック接続するものが好ましく、例えばTiとAuの積層膜、Ti、Pt、Auの積層膜、AuGe合金、Ni、Auの積層膜を使用することができる。第5電極202は、図3cで示すように、櫛型状であることが望ましい。櫛型形状にすることで、発電素子に照射された太陽光が半導体層201に入射して吸収される。第1電極206と第2電極207の材料は、Au又はNiを使用することができる。図2を用いて、本発明の集光型太陽電池の構造を示す。発電素子103は、第5電極202の面がレンズアレイの第2面109に透明樹脂215を介して配置されている。透明樹脂215としては、アクリル系接着性樹脂を用いることができる。また第1電極206の端部206cは接続用金属膜205を介して、第2電極207の端部207cは、絶縁膜204を介して、それぞれ、透明樹脂215に接触している。本実施の形態では、第1電極206と第2電極207上に、それぞれ、第1バンプ208と第2バンプ209が形成されている。第1バンプ208と第2バンプ209は、それぞれ、異方性導電膜104によって、放熱板102上の第3電極210と第4電極211に電気的に接続されている。第1バンプ208と第3電極210の間、および、第2バンプ209と第4電極211の間に金属粒子213が複数個存在する。そして、第1バンプ208及び第2バンプ209と、金属粒子213、第3電極210及び第4電極211と、金属粒子213、金属粒子213同士が接触または接合することにより、電気的に接続される。バンプがない場合に比べて、バンプがある方が電気接続しやすいが、バンプを用いなくても接続は可能である。第1電極206と第2電極207とを金属粒子213を用いて、第3電極210、第4電極211と接合しても良い。上述したように、異方性導電膜104は、発電素子103と放熱板102に形成した第3電極210及び第4電極211とを電気的に接合すると同時に、放熱板102とレンズアレイ101とを接着固定する。異方性導電膜104によって、レンズアレイ101、発電素子103、放熱板102を一体固定でき、レンズアレイに発生した熱も、異方性導電膜104を介して放熱板に伝えることができる。第1電極206の端部206cの第一面206dと、第2電極の端部207cの第一面207dは、半導体層201の光照射面201a第5電極202を含むと略同一平面上にし、第一面206d、第一面207d、光照射面201a上に、透明樹脂を介してレンズアレイ101を設けることにより、発電素子103とレンズアレイ101との平行度を精度よく保つことができる。放熱板102の材料としてはアルミニウムや銅を用いることができる。放熱板102は、第3電極210と電気的に接続されている。放熱板102は、絶縁膜212によって第4電極211と電気的に絶縁されている。この結果、第3電極210と第4電極211は電気的に絶縁されている。異方性導電膜104は、金属粒子213が熱硬化性樹脂214に均一に分散した構造を有する。金属粒子には、Au、AuやNiで被覆された樹脂粒子、またはハンダ粒子を用いることができる。図4は、放熱板102をレンズアレイ101側から見た平面模式図である。図では、発電素子103が4個の場合を記載しているが、これ以上の数でも良い。また、理解しやすいように、図4では、レンズアレイ101と、発電素子103周辺の異方性導電膜104は省略されている。発電素子103における各々の第5電極202は、接続用金属膜205、第1電極206、第1バンプ208、金属粒子213、第3電極210を介して放熱板102と電気的に接続させている。発電素子103のおける各々の第6電極203は、第2電極207、第2バンプ209、金属粒子213を介して第4電極211に電気的に接続されている。第4電極211は、共通電極401に電気的に接続されている。第4電極211と共通電極401とは、絶縁膜212によって放熱板102と電気的に絶縁されている。このように、本実施形態の集光型太陽電池は、電気回路的には、発電素子103が並列接続された構造を有する。複数の発電素子103で発電した電気エネルギーは、外部取り出し線402、403によって外部に取り出すことができる。本実施形態の集光型太陽電池においては、発電素子上の第5電極202と第6電極203に、それぞれ、板形状の第1電極206と板形状の第2電極207が電気的に接合する構造を有する。この構造によって、半導体層201内部で発生した熱は、第5電極202と第6電極203を介して、第1電極206と第2電極207に伝わる。また、本実施の形態の集光型太陽電池においては、板形状の第1電極206と第2電極207の厚みが半導体層201の膜厚よりも大きく、さらに、第1電極206と第2電極207の一部は半導体層201の外部に位置することを特徴とする。従って、第1電極206と第2電極は、発電素子103の放熱板として働き、半導体層201内部で発生した熱が第1電極206と第2電極207に放熱される。また、本実施の形態の集光型太陽電池においては、板形状の第1電極206と第2電極207が、それぞれ、異方性導電膜104によって放熱板上に形成された第3電極210と第4電極211に接合していることを特徴とする。第1電極206と第3電極210の間、および、第2電極207と第4電極211の間には金属粒子が存在するので、第1電極206と第2電極207の熱は、率良く第3電極210と第4電極211を通して放熱板102に伝導する。この結果、半導体層201で発生した熱は効率良く放熱板102に伝わり、半導体層201の熱を冷却することができる。尚、本実施の形態で第1電極206は、第5電極202を含んで、第1の電極とし、第2電極207は、第6電極203を含んで、第2の電極としてもよい。実施の形態2本実施の形態では、実施の形態1で示した集光型太陽電池の作製方法を示す。図2、図5、図6を用いて本発明の集光型太陽電池の作製方法を説明する。図5と図6は、発電素子の作製方法を示した断面模式図である。図6a、b、c、d、eは、それぞれ、図5a、b、c、d、eを半導体層501側から見た平面模式図である。図5aと図6aで示すように、基板503に犠牲層502を介して半導体層501を形成する。基板503としては、例えば、厚みが400~600μmのGaAs基板を用いることができる。犠牲層502としては、例えば、膜厚が10~200nmのAlAs膜を用いることができる。半導体層501としては、例えば、n型のGaAs薄膜とp型のGaAsを積層したもの、または、基板側から、n型InGaP膜、p型InGaP膜、トンネル接合膜、n型GaAs膜、p型GaAs膜、トンネル接合膜、n型InGaAs膜、p型InGaAs膜が積層されたものを用いることができる。また、半導体層501の再下部と最上面に、電極とオーミックコンタクト接続をするための抵抗率の低いコンタクト層を作製しても良い。また、光電流の再結合を防ぐために、再結合防止用の薄膜を挿入しても良い。次に、図5bと図6bで示すように、犠牲層502を残して、半導体層501をパターニングする。パターンのサイズには特に制限がないが、例えば一辺が100~1000μmの正方形にすることが望ましい。パターニングは、ウェットエッチング法またはドライエッチング法を用いることができる。なお、図ではパターニングした半導体層201が一個しか示されていないが、実際は、基板503上にパターニングした多数個の半導体層201が存在する。次に、図5cと図6cで示すように、第6電極203と接続用電極205を形成する。これらの電極は、例えば、パターニングしたレジスト膜を形成後、真空電子ビーム蒸着法でTi、Au薄膜を形成した後、レジストを剥離することで形成することができる。第6電極203と接続用電極205の厚みに特に制限はないが、10~300nmが好ましい。次に、図5dと図6dで示すように、絶縁膜204を形成する。絶縁膜としては、酸化シリコン薄膜またはチッ化シリコン薄膜を用いることができる。これらの薄膜は、真空スパッタリング法またはCVD法で形成することができる。絶縁膜204は、ドライエッチング法によりパターニングすることが可能である。次に、図5eと図6eで示すように、第1電極206と第2電極207を形成する。これらの電極は電界メッキ法により形成することができる。電極材料としてはAu又はNiを用いることができる。次に、図5で示すように、第1電極206と第2電極207に、それぞれ、第1バンプ208及び第2バンプ209を形成する。次に、図5で示すように、基板503と転写用基板504とを、ワックス505を用いて貼り付ける。転写用基板としては例えばガラス基板やシリコンウェーハを用いることができる。次に、図5で示すように、犠牲層502を残して、ウエットエッチング法またはドライエッチング法によって基板503のみを除去する。基板がGaAs、犠牲層がAlAsの場合は、酒石酸と過酸化水素水の混合溶液を用いることで基板のみをウェットエッチングすることが可能である。次に、図5iで示すように、犠牲層を除去した後、第5電極202を形成する。犠牲層がAlAsの場合は、フッ酸水溶液を用いて除去することができる。第5電極202は、図3cで示すように、櫛型形状であることが望ましい。第5電極202は、犠牲層502を除去した後、犠牲層502の存在した面に、例えばTiとAuの積層膜を形成し、所定の形状のレジストのパターンを形成し、このTiとAuの積層膜をエッチング除去後、レジストを剥離することで形成することができる。最後に、図5で示すように、ワックスを有機溶剤で溶解して発電素子103を転写用基板504から剥離する。次に、図2で示すように、作製した発電素子103を、第5電極202がレンズアレイの第2面109に向くように透明樹脂215を介してレンズアレイの第2面109に配置する。発電素子103をレンズアレイの第2面109に配置する方法に制限はないが、例えば、以下の方法を用いることができる。すなわち、最初に、レンズアレイの第2面109の全面にアクリル系の接着剤を塗布する。次に、真空ピンセットで発電素子103をつかみ、発電素子103をレンズアレイの第2面109の所定の位置に移動し、発電素子103を接着剤の上に置く。最後に、接着剤を硬化して、発電素子103をレンズアレイの第2面109に固定する。次に、発電素子を配置したレンズアレイの第2面109の全体に異方性導電膜104を形成する。異方性導電膜の形成方法には以下の二種類がある。一つ目は、Au粒子やAu又はNiを分散した熱硬化性樹脂フィルムをレンズアレイの第2面109に貼り付ける方法である。この方法には、例えば、ソニ-ケミカルインフォメーションデバイス製の異方性導電フィルムCP6920F3を用いることができる。二つ目は、ハンダ粒子を分散した熱硬化性樹脂内を塗布する方法である。二つ目の方法は、例えば、特許第4432949号公報、特許第4591399号公報、特開2008-69317号公報に記述されている。次に、第1バンプ208と第3電極210、および、第2バンプ209と第4電極211が接触するように、放熱板102をレンズアレイ101の第2面109に押し付ける。押し付けた状態で放熱板を加熱した後、冷却する。これにより、図2で示すように、第1バンプ208と第3電極210、及び、第2バンプ209と第4電極211が電気的に接合される。本実施の形態においては、第1バンプ208と第2バンプ209が、半導体層201の外側に位置しているので、放熱板102をレンズアレイ101に押し付けるときに、半導体層201には直接力がかからない。この結果、半導体層201が割れることがない。以上の工程により、本発明の集光型太陽電池を作製することができる。"