"電力用コンデンサを目標電圧まで充電するコンデンサの充電器であって、昇圧チョッパ回路は、直流電源からリアクトルにオンオフ電圧を繰り返し印加する第1の半導体スイッチと、前記リアクトルの一端になる前記オンオフ電圧入力端と基準電位間に設けたフライホイールダイオードと、前記リアクトルの他端になる電流出力端と基準電位間を短絡できる第2の半導体スイッチと、前記第2の半導体スイッチがオフされた時に前記リアクトルの電流出力端から前記電力用コンデンサに充電電流を流す逆流阻止用ダイオードを備え、前記第2の半導体スイッチをオン制御しておき、前記第1の半導体スイッチのオンオフ比率を前記リアクトルに流す定電流設定値に応じてチョッパ制御器で制御し、この後に前記第2の半導体スイッチのオフ制御によって前記リアクトルから前記逆流阻止用ダイオードを通して前記コンデンサに充電電流を流すチョッパ制御手段を備えたことを特徴とするコンデンサの充電器。前記昇圧チョッパ回路は、粗充電用昇圧チョッパ回路と微調整充電用昇圧チョッパ回路を並列に設け、前記粗充電用昇圧チョッパ回路は、前記チョッパ制御手段によって、前記コンデンサを目標充電電圧以下でその近くまで比較的大きい電流で急速に充電制御し、前記微調整充電用昇圧チョッパ回路は、前記チョッパ制御手段によって、粗充電された前記コンデンサを比較的小さい電流で目標充電電圧まで充電制御することを特徴とする請求項1に記載のコンデンサの充電器。前記昇圧チョッパ回路は、粗充電用昇圧チョッパ回路と微調整充電用昇圧チョッパ回路を並列に設け、前記粗充電用昇圧チョッパ回路は、直流電源から前記リアクトルに直接接続し、前記チョッパ制御手段は、前記第2の半導体スイッチを設定時間だけオン制御して前記コンデンサを目標充電電圧以下でその近くまで比較的大きい電流で急速に充電制御し、前記微調整充電用昇圧チョッパ回路は、前記チョッパ制御手段によって、粗充電された前記コンデンサを比較的小さい電流で目標充電電圧まで充電制御することを特徴とする請求項1に記載のコンデンサの充電器。前記チョッパ制御手段による前記リアクトルの定電流制御は、以下の式に従って制御し、V=1/CITただし、V:充電目標電圧、C:コンデンサ容量、I:定電流設定値、T:第2の半導体スイッチのオフ時間前記オフ時間Tまたは定電流設定値Iは、コンデンサ容量Cの変動を検出または測定してそれに応じて自動補正することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のコンデンサの充電器。特許文献2では、リアクトルLに流す短絡電流が設定値iに達したときに、LC振動電流によってコンデンサ電圧を目標電圧まで充電する。この場合、リアクトルLに流れる短絡電流は、急峻に上昇するため、リアクトルLに直列に設けた電流検出器による短絡電流検出遅れや検出電流が設定値iに達したことの判定遅れによって充電開始電流が不安定なものになり、コンデンサの充電電圧精度の低下になる。このため、特許文献2では粗充電と微調整放電の2段階の制御により充電電圧精度を高める方式も提案しているが、粗充電電圧自体が不安定であるため、粗充電電圧を目標値よりも充分に高い値に制御し、この電圧から目標電圧に向けて微調整放電することになり、これでは微調整放電制御による電圧制御精度の低下と微調整制御遅れが発生し、高い繰り返しで高い精度の充電制御が難しくなる。本発明の目的は、負荷容量の変更やLC回路定数の変動にもコンデンサを高い精度で安定して充電できるコンデンサの充電器を提供することにある。本発明は、前記の課題を解決するため、リアクトルLに流す電流を半導体スイッチのチョッパ動作で定電流制御する昇圧チョッパ回路を設け、コンデンサの充電時にリアクトルLからコンデンサCにエネルギーを移行させてコンデンサCを目標電圧まで充電するもので、以下の構成を特徴とする。1電力用コンデンサを目標電圧まで充電するコンデンサの充電器であって、昇圧チョッパ回路は、直流電源からリアクトルにオンオフ電圧を繰り返し印加する第1の半導体スイッチと、前記リアクトルの一端になる前記オンオフ電圧入力端と基準電位間に設けたフライホイールダイオードと、前記リアクトルの他端になる電流出力端と基準電位間を短絡できる第2の半導体スイッチと、前記第2の半導体スイッチがオフされた時に前記リアクトルの電流出力端から前記電力用コンデンサに充電電流を流す逆流阻止用ダイオードを備え、前記第2の半導体スイッチをオン制御しておき、前記第1の半導体スイッチのオン期間とオフ期間の比率を前記リアクトルに流す定電流設定値に応じてチョッパ制御器で制御し、この後に前記第2の半導体スイッチのオフ制御によって前記リアクトルから前記逆流阻止用ダイオードを通して前記コンデンサに充電電流を流すチョッパ制御手段を備えたことを特徴とする。2前記昇圧チョッパ回路は、粗充電用昇圧チョッパ回路と微調整充電用昇圧チョッパ回路を並列に設け、前記粗充電用昇圧チョッパ回路は、前記チョッパ制御手段によって、前記コンデンサを目標充電電圧以下でその近くまで比較的大きい電流で急速に充電制御し、前記微調整充電用昇圧チョッパ回路は、前記チョッパ制御手段によって、粗充電された前記コンデンサを比較的小さい電流で目標充電電圧まで充電制御することを特徴とする。3前記昇圧チョッパ回路は、粗充電用昇圧チョッパ回路と微調整充電用昇圧チョッパ回路を並列に設け、前記粗充電用昇圧チョッパ回路は、直流電源から前記リアクトルに直接接続し、前記チョッパ制御手段は、前記第2の半導体スイッチを設定時間だけオン制御して前記コンデンサを目標充電電圧以下でその近くまで比較的大きい電流で急速に充電制御し、前記微調整充電用昇圧チョッパ回路は、前記チョッパ制御手段によって、粗充電された前記コンデンサを比較的小さい電流で目標充電電圧まで充電制御することを特徴とする。4前記チョッパ制御手段による前記リアクトルの定電流制御は、以下の式に従って制御し、V=1/CITただし、V:充電目標電圧、C:コンデンサ容量、I:定電流設定値、T:第2の半導体スイッチのオフ時間前記オフ時間Tまたは定電流設定値Iは、コンデンサ容量Cの変動を検出または測定してそれに応じて自動補正することを特徴とする。以上のとおり、本発明によれば、リアクトルLに流す電流を半導体スイッチのチョッパ動作で定電流制御する昇圧チョッパ回路を設け、コンデンサの充電時にリアクトルLからコンデンサCにエネルギーを移行させてコンデンサCを目標電圧まで充電するため、負荷容量の変更やLC回路定数の変動にもコンデンサを高い精度で安定して充電できる。さらに、粗充電用昇圧チョッパ回路によってコンデンサを目標充電電圧以下でその近くまで比較的大きい電流で急速に充電制御し、微調整充電用昇圧チョッパ回路によって粗充電されたコンデンサを比較的小さい電流で目標充電電圧まで充電制御することにより、充電時間は多少長くなるが、充電電圧精度を一層高くすることができる。また、粗充電用昇圧チョッパ回路は、直流電源からリアクトルに直接に短絡電流を流し、コンデンサを目標充電電圧近くまで急速充電することにより、粗充電用昇圧チョッパ回路と微調整充電用昇圧チョッパ回路を並列に設ける場合にも、コストダウンとコンパクト化を図ることができる。実施形態1図1は、本発明の実施形態を示す回路構成図であり、この回路のタイムチャートを図2に示す。半導体スイッチ1とリアクトル2と半導体スイッチ3およびフライホイールダイオード4は昇圧チョッパ回路を構成する。この昇圧チョッパ回路のチョッパ制御は、定常時には半導体スイッチ3をオン状態にしておき、半導体スイッチ1を一定の周波数でオンオフ制御し、このオン期間には直流電源5からリアクトル2にパルス電圧を印加し、オフ期間にはダイオード4からリアクトル2に循環電流を流し、オン期間とオフ期間の比率に応じた値の定電流制御でリアクトル2に電磁エネルギーを蓄積しておく。このチョッパ制御には、チョッパ制御器6は電流検出器7で検出するリアクトルの電流値が設定値に制御されるよう半導体スイッチ1のオンオフ比率チョッパの導通率を制御する。半導体スイッチ3の両端に、逆流阻止用ダイオード8と充電制御対象となるコンデンサ9の直列回路を並列接続で設ける。また、放電用の半導体スイッチ10のオンによってコンデンサ9から磁気パルス圧縮回路および負荷11へのパルス放電を可能にする。以上の構成による昇圧チョッパ回路によるコンデンサ9の充電動作を図2を参照して説明する。まず、半導体スイッチ3をオン制御しておき、チョッパ制御器6が半導体スイッチ1を数k~十kHzの周波数でオンオフ比率を制御し、矢印Aの経路で設定値に一致させた定電流制御を行ない、リアクトル2にエネルギーを蓄積させる。次に、半導体スイッチ3を一定時間だけオフしたとき図2の時刻t1~t2、回路には矢印Bの経路で電流が流れ、リアクトル2に蓄えられたエネルギーはダイオード8を通してコンデンサ9へ移行し、コンデンサ9が充電される。その後、半導体スイッチ10をオンさせたとき図2の時刻t3、コンデンサ9に蓄積されたエネルギーを磁気パルス圧縮回路および負荷11に放電し、負荷レーザヘッドに必要なパルスエネルギーが転送される。コンデンサ9が充電された後は次の充電のため半導体スイッチ3をオンさせる図2の時刻t2。半導体スイッチ3とコンデンサ9の間にあるダイオード8は半導体スイッチ3とコンデンサ9の電圧の差をブロックすることである。コンデンサ9の充電電圧は、電流設定値と半導体スイッチ3のオフ時間T時刻t1~t2で決定される。このオフ時間Tと電流設定値は、例えば、下記の式2を基に予め求めて設定しておく。なお、オフ時間Tまたは定電流設定値Iは、コンデンサ容量Cの変動を検出または測定してそれに応じて自動補正することで、充電電圧精度の低下を無くすことができる。[数]V=1/CIT...式2V:充電目標電圧、C:コンデンサ容量、I:定電流設定値リアクトルLに流す定電流値、T:半導体スイッチ3のオフ時間コンデンサCに電流が流入する時間以上のように、本実施形態1によるコンデンサの充電は、リアクトル2に流す電流を半導体スイッチ1のチョッパ動作で定電流制御する昇圧チョッパ回路を設け、リアクトル2に蓄積するエネルギーを設定値に制御しておき、コンデンサ9の充電タイミングでリアクトル2からコンデンサ9にエネルギーを移行させてコンデンサ9を目標電圧まで充電する。したがって、本実施形態では、リアクトル2には、従来の短絡電流を基にした充電タイミング制御を不要にし、チョッパ動作による定電流の精度を高めることによってコンデンサを高い電圧精度で安定して充電できる。実施形態2図3は本実施形態2の回路構成図であり、この回路のタイムチャートを図4に示す。本実施形態は、基本的には実施形態1の回路を2台並列に設け、一方を粗充電用とし、他方を微調整充電用とする。粗充電用の昇圧チョッパ回路は充電対象とするコンデンサを目標充電電圧以下でその近くまで比較的大きい電流で急速に充電し、微調整充電用の昇圧チョッパ回路は粗充電されたコンデンサを比較的小さい電流で目標充電電圧まで充電する。図3において、導体スイッチ3と3Aをオンし、チョッパ制御器6と6Aがそれぞれの設定値IとIAの電流を半導体スイッチ1,1Aを数k~十kHzの周波数でオンオフ制御し、矢印A,AAの経路でそれぞれ設定値I,IAに一致させた定電流でリアクトル2,2Aにエネルギーを蓄積させる。次に、半導体スイッチ3を一定時間だけオフし図4の時刻t1~t2、粗充電回路には矢印Bの経路で電流を流し、リアクトル2に蓄えられたエネルギーをダイオード8を通してコンデンサ9へ移行し、コンデンサ9を急速に粗充電する。その後、半導体スイッチ3Aを一定時間だけオフし図4の時刻t3~t4、微調整充電回路には矢印BAの経路で電流を流し、リアクトル2Aに蓄えられたエネルギーはダイオード8Aを通してコンデンサ9へ移行し、コンデンサ9を微調整充電する。その後、半導体スイッチ10をオンしたとき図4の時刻t5、コンデンサ9に蓄積されたエネルギーを磁気パルス圧縮回路および負荷11に放電し、負荷レーザヘッドに必要なパルスエネルギーが転送される。本実施形態2によれば、粗充電によってコンデンサを目標電圧近くまで急速に充電し、この後に微調整充電によってコンデンサを目標電圧まで充電するため、実施形態1に比べて充電時間は多少長くなるが、充電電圧精度を一層高くすることができる。実施形態3図5は本実施形態3の回路構成図であり、この回路のタイムチャートを図6に示す。本実施形態は、実施形態2における粗充電回路の半導体スイッチ1とダイオード4、チョッパ制御器6と電流検出器7を取り除き、リアクトル2半導体スイッチ3およびダイオード8で構成する昇圧チョッパによってコンデンサ9を粗充電する。図5において、半導体スイッチ3Aをオンし、半導体スイッチ1Aを数k~十kHzの周波数でオンオフし、矢印AAにはリアクトル2Aに微調整充電を流し、リアクトル2Aにエネルギーを蓄積させる。次に、半導体スイッチ3Aを設定時間だけオン制御し、リアクトル2に設定時間だけ短絡電流を流してリアクトル2にエネルギーを蓄積させる。その後、半導体スイッチ3をオフすると粗充電回路には矢印Bの経路で電流が流れ、リアクトル2に蓄えられたエネルギーはコンデンサ9へ移行し、コンデンサ9が目標電圧以下でその近くまで充電される。その後、半導体スイッチ3Aをオフすると、微調整充電回路には矢印BAの経路で電流が流れ、リアクトル2Aに蓄えられたエネルギーはコンデンサ9へ移行し、コンデンサ9が微調整充電される。半導体スイッチ10をオンすることで、コンデンサ9に蓄積されたエネルギーを負荷側に放電する。本実施形態によれば、粗充電回路は従来の昇圧チョッパ方式とするため、リアクトル2を定電流制御するための半導体スイッチ1やチョッパ制御器6を省略でき、実施形態2に比べてコストダウンとコンパクト化を図ることができる。なお、コンデンサ9が粗調整充電されたときの電圧変動分は、コンデンサの粗充電電圧検出によって、微調整充電回路における微調整充電での前記の式2における設定値Iまたは充電時間Tの補正をすることで、充電電圧精度を確保できる。"