ソレノイド推力に応じて移動するピンポペットがサブパイロットシートの開口面積を変えることによってサブパイロット圧力が調節され、前記サブパイロット圧力に応じて移動するサブポペットがメインパイロットシートの開口面積を変えることによってメインパイロット圧力が調節され、前記メインパイロット圧力に応じて移動するメインポペットがバルブシートの開口面積を変えるソレノイドバルブであって、前記メインポペットが収容されるメインケースと、前記サブポペットが摺動可能に嵌合するバルブハウジングと、を備え、前記サブポペットが前記メインポペットと独立して変位する構成としたことを特徴とするソレノイドバルブ。前記ピンポペットの中心軸が前記メインポペットの中心軸と略直交する構成としたことを特徴とする請求項1に記載のソレノイドバルブ。前記メインポペットが開弁作動するストロークに応じて前記メインパイロットオリフィスの開口面積が変化する構成としたことを特徴とする請求項1または2に記載のソレノイドバルブ。しかしながら、このような従来のソレノイドバルブにあっては、サブポペットがメインポペットの内側に収容され、サブポペットがメインポペットと一緒に変位する構成のため、メインポペットやサブポペットの開弁特性を設定する自由度が小さいという問題点があった。本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、メインポペットやサブポペットの開弁特性を設定する自由度を大きくするソレノイドバルブを提供することを目的とする。本発明は、ソレノイド推力に応じて移動するピンポペットがサブパイロットシートの開口面積を変えることによってサブパイロット圧力が調節され、サブパイロット圧力に応じて移動するサブポペットがメインパイロットシートの開口面積を変えることによってメインパイロット圧力が調節され、メインパイロット圧力に応じて移動するメインポペットがバルブシートの開口面積を変えるソレノイドバルブであって、メインポペットが収容されるメインケースと、サブポペットが摺動可能に嵌合するバルブハウジングと、を備え、サブポペットがメインポペットと独立して変位する構成とした。本発明によると、サブパイロット圧力によって駆動されるサブポペットが、メインポペットと独立して変位するため、サブポペットの作動特性を設定する自由度が大きくなり、メインポペットやソレノイドバルブの開弁特性を多様に設定することができる。以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。図1、2は、ソレノイドバルブ1の断面図である。ソレノイドバルブ1は、一方向開閉タイプのものであり、バルブ通路2を流れる作動流体の流量を調節する。ソレノイドバルブ1のバルブ通路2は、メインポペット5によって開閉されるメイン通路10と、サブポペット40によって開閉されるメインパイロット通路20と、ピンポペット60によって開閉されるサブパイロット通路50とによって構成される。メインポペット5の背後にメインパイロット室21が画成される。メインポペット5は、その背面に受けるメインパイロット室21のメインパイロット圧力と、メインリターンスプリング8のバネ力によって閉弁方向に付勢される。バルブポート12に導かれる供給圧力による開弁力が、メインパイロット室21のメインパイロット圧力による閉弁力とメインリターンスプリング8のバネ力閉弁力とを合わせた力より大きくなると、メインポペット5は図1、2にて左方向に摺動して開弁するように構成される。サブポペット40がメインパイロットシート31に対して変位することによってメインパイロットシート31の開口面積を変えて、メインパイロット通路20を流れる作動流体の流量を調節する。これにより、メインパイロットオリフィス25とメインパイロットシート31との間に生じるメインパイロット圧力中間圧力が制御される。メインパイロット通路20は、メインパイロット室21をバルブシート11より流入側のバルブ通路2バルブポート12に連通する流入側メインパイロット通路23と、メインパイロット室21をバルブシート11より流出側のバルブ通路2バルブポート13に連通する流出側メインパイロット通路27とを備える。サブパイロット通路50に、サブパイロットオリフィス45、サブパイロット室41、サブパイロットシート51とがそれぞれ介装される。ピンポペット60がサブパイロットシート51に対して変位することによってサブパイロットシート51の開口面積を変えて、サブパイロット通路50を流れる作動流体の流量を調節することにより、サブパイロットオリフィス45とサブパイロットシート51との間に生じるサブパイロット圧力中間圧力が制御される。サブパイロット通路50は、サブパイロット室41をバルブシート11より流入側のバルブ通路2バルブポート12に連通する流入側サブパイロット通路43と、サブパイロット室41をバルブシート11より流出側のバルブ通路2バルブポート13に連通する流出側サブパイロット通路47とを備える。流入側サブパイロット通路43は、その上流端がバルブポート12に連通し、その下流端がサブパイロット室41に連通する。流入側サブパイロット通路43には、サブパイロットオリフィス45が介装される。図1、2には、バルブポート12からバルブポート13に向かう作動流体の流れが矢印で示されている。以下、この作動流体の流れについて説明する。ソレノイド推力によってピンポペット60がサブパイロットシート51から離れ、サブパイロット通路50が開通すると、作動流体は、バルブポート12→流入側サブパイロット通路43サブパイロットオリフィス45→サブパイロット室41→流出側サブパイロット通路47サブパイロットシート51→バルブポート13の順に流れる。上記サブパイロット通路50の流量が増加するのに伴ってサブパイロット室41のサブパイロット圧力が低下すると、サブパイロット圧力とメインパイロット圧力との差圧力によってサブポペット40がサブリターンスプリング7に抗してメインパイロットシート31より離れ、メインパイロット通路20が開通する。こうしてメインパイロット通路20が開通すると、作動流体は、バルブポート12→流入側メインパイロット通路23メインパイロットオリフィス25→メインパイロット室21→流出側メインパイロット通路27メインパイロットシート31→バルブポート13の順に流れる。メインパイロット通路20の流量が増加するのに伴ってメインパイロット室21のメインパイロット圧力が低下すると、メインパイロット圧力とバルブポート12に導かれる圧力源からの圧力の差圧力によってメインリターンスプリング8に抗してメインポペット5がバルブシート11より離れ、メイン通路10が開通する。こうしてメイン通路10が開通すると、作動流体は、バルブポート12→バルブシート11→バルブポート13の順に流れる。以上、ソレノイドバルブ1において作動流体が流れる回路構成について説明した。次に、ソレノイドバルブ1の具体的な構造について説明する。ソレノイドバルブ1の筐体は、メインポペット5を収容するメインケース3と、サブポペット40及びピンポペット60を収容するサブケース9とを備える。メインケース3には、メインポペット5が摺動可能に挿入される内周面32が形成される。メインケース3には、この内周面32と同一中心線上にバルブシート11とバルブポート12が形成される。メインケース3には、この内周面32の中心線と略直交してバルブポート13が形成される。バルブポート12が図示しない配管等を介して圧力源に連通し、バルブポート13が図示しない配管等を介して負荷に連通する。流入側メインパイロット通路23を画成する部位として、メインポペット5には、通孔28と、複数のノッチ29と、複数のノッチ24とが形成される。通孔28にチェック弁26が介装される。このチェック弁26は、バルブポート12からメインパイロット室21に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。ノッチ24は、その深さがメインポペット5の軸方向について漸次減少する溝状に形成される。ノッチ24は、メインケース3の内周面32及び内周端部角部33に対峙して開口し、内周端部33との間にメインパイロットオリフィス25を可変絞りとして画成する。メインパイロットオリフィス25の開口面積は、図1、2に示すようにメインポペット5がバルブシート11に着座する閉弁位置にて最小となり、メインポペット5が開弁作動するストロークに応じて漸次増大する。メインポペット5が開弁作動するストロークに応じてメインパイロットオリフィス25の開口面積が変えられることにより、メインポペット5の開弁特性に対する設定自由度を大きくすることができる。メインケース3とサブケース9は図示しない複数ボルトを介して締結され、両者の間にはメインパイロット室21が画成される。サブケース9にはメインポペット5の背後に位置して凹部15が形成され、この凹部15によってメインパイロット室21が画成される。凹部15にはメインリターンスプリング8を囲むガイドスリーブ14が介装される。作動流体がガイドスリーブ14の外周面に沿って流れることにより、作動流体がコイル状のメインリターンスプリング8に干渉することが抑えられる。サブケース9にはサブバルブアッシ39が取り付けられる。このサブバルブアッシ39は、サブポペット40を収容する円筒状のバルブハウジング16を備え、このバルブハウジング16がサブケース9に取り付けられる。バルブハウジング16の内周面42にはサブポペット40が摺動可能に介装される。ソレノイドバルブ1の仕様に応じて、サブポペット40の大きさや形状が変更される場合には、バルブハウジング16の内周面42等の形状が変更されることにより、容易に対応できる。なお、これに限らず、サブケース9とバルブハウジング16を一体化して形成し、これをメインケース3と別体で形成してもよい。また、メインケース3とサブケース9を一体化して形成し、これとバルブハウジング16を別体で形成してもよい。メインパイロット室21を画成する部位として、サブケース9には通孔91が形成され、バルブハウジング16には通孔35が形成され、この通孔35がバルブハウジング16の内周面42に開口される。バルブハウジング16の内周面42に圧力補償スリーブ81が摺動可能に介装される。圧力補償スリーブ81には、メインパイロットシート31及び通孔83が、その中心線上に形成される。サブポペット40はサブリターンスプリング7の付勢力によってメインパイロットシート31に着座する。円筒状のサブポペット40には、サブパイロットシート51及び通孔49が、その中心線上に形成される。サブパイロットシート51に着座するピンポペット60は、サブポペット40と同軸上に設けられる。ピンポペット60及びサブポペット40の中心軸は、メインポペット5の中心軸と略直交するように配置される。これにより、メインケース3の内周面32の中心線は、バルブハウジング16の内周面42の中心線と略直交するように形成され、メインパイロット通路20を通過する作動流体がU字状に流れる構成とする。サブケース9には、ソレノイドアッシ94が取り付けられる。このソレノイドアッシ94のケース95は、ブロック96を介してサブケース9に嵌合し、フランジ97を介して固定される。フランジ97は、複数本のボルト図示せずを介してサブケース9に締結される。バルブハウジング16はその端面がブロック96に当接することによってサブケース9内に固定される。ピンポペット60にはプランジャ66が連結される。このプランジャ66はケース95の内側に画成されるプランジャ室70に収容される。プランジャ室70は、サブパイロット室41に連通し、サブパイロット圧力が導かれる。ケース95の端部にはアジャスタスクリュ71が締結される。ケース95内にはアジャスタスクリュ71に当接するリテーナ67が摺動可能に介装される。リテーナ67とピンポペット60の端部の間にリターンスプリング69が介装される。プランジャ66とブロック96の間には対向リターンスプリング89が介装される。この対向リターンスプリング68のバネ力はリターンスプリング69のバネ力より小さく設定される。ピンポペット60はその背面が受けるサブパイロット圧力とリターンスプリング69と対向リターンスプリング68のバネ力の差によって閉弁方向に付勢される。ピンポペット60は、図示しないコイルの磁界によって発生するソレノイド推力開弁力が、サブパイロット圧力による閉弁力とリターンスプリング69と対向リターンスプリング68のバネ力閉弁力とを合わせた力より大きくなると、図1、2において上方に移動して開弁する。圧力補償機構80は、サブケース9にはキャップ88が取り付けられ、このキャップ88と圧力補償スリーブ81の間に皿バネ形の圧力補償スプリング82が介装される。圧力補償機構80は、サブパイロット圧力が上昇するのに伴ってサブポペット40が圧力補償スプリング82に抗して圧力補償スリーブ81と共に図1、2において下方に移動し、サブポペット40に形成されたサブパイロットシート51が一緒に移動する。これにより、サブパイロット圧力が上昇しても、サブパイロットシート51がピンポペット60と共に図1、2において下方に移動することにより、ピンポペット60を閉弁方向に付勢するリターンスプリング69が伸張してリターンスプリング69のバネ力が小さくなり、ピンポペット60を開弁させるソレノイド推力が高まることを抑えられる。流出側メインパイロット通路27流出側サブパイロット通路47を画成する部位として、サブケース9には通孔92が形成され、この通孔92にチェック弁34が介装される。このチェック弁34は、メインパイロット室21からバルブポート13に向かう作動流体の流れに対して開弁し、逆方向の流れに対して閉弁する。メインケース3には、チェック弁34の出口側とバルブポート13を連通する通孔17が形成される。サブポペット40のまわりに画成されるメインパイロット室21に導かれる作動流体は、メインパイロットシート31→圧力補償スリーブ81の通孔83→サブケース9の通孔92→チェック弁34→メインケース3の通孔17→バルブポート12の順に流れ、流出側メインパイロット通路27を通過する。流入側サブパイロット通路43を画成する部位として、サブケース9には通孔93が形成され、バルブハウジング16にはサブパイロットオリフィス45が形成される。メインポペット5のまわりに画成されるメインパイロット室21に導かれる作動流体は、ガイドスリーブ14まわりの間隙→サブケース9の通孔93→サブパイロットオリフィス45→サブパイロット室41→サブパイロットシート51の順に流れ、流入側サブパイロット通路43を通過する。流出側サブパイロット通路47を画成する部位として、サブポペット40には通孔49が形成される。サブパイロット室41に導かれる作動流体は、サブパイロットシート51→サブポペット40の通孔49→圧力補償スリーブ81の通孔83→サブケース9の通孔92→チェック弁34→メインケース3の通孔17→バルブポート13の順に流れ、流出側メインパイロット通路27を通過する。以上の構成により、ソレノイドバルブ1は、ソレノイド推力に応じて移動するピンポペット60がサブパイロット圧力を調節し、サブパイロット圧力に応じて移動するサブポペット40がメインパイロットシート31の開口面積を変えることによって、メインパイロットシート31メインパイロット通路20を通過する作動流体の流量が調節される。こうしてサブポペット40によって調節されるメインパイロットシート31メインパイロット通路20の開口面積は、メインポペット5よって調節されるバルブシート11メイン通路10の開口面積より小さく設定されるため、サブポペット40によって少流量を精度よく調節することができる。そして、サブポペット40がメインパイロットシート31メインパイロット通路20の開口面積を変えることによって、メインパイロット室21に生じるメインパイロット圧力が調節される。このメインパイロット圧力に応じてメインポペット5が移動してバルブシート11メイン通路10の開口面積を変えることによってメイン通路10を流れる流量を調節する。こうしてメインポペット5によって調節されるメイン通路10バルブシート11の開口面積は、サブポペット40によって調節されるメインパイロットシート31メインパイロット通路20の開口面積より大きく設定されるため、サブポペット40によって大流量を応答性よく調節することができる。サブパイロット圧力によって駆動されるサブポペット40が、メインポペット5の変位と独立して変位するため、サブポペット40の作動特性を設定する自由度が大きくなり、ソレノイドバルブ1の開弁特性を多様に設定することができる。以下、本実施形態の要旨と作用、効果を説明する。本実施形態では、ソレノイド推力に応じて移動するピンポペット60がサブパイロットシート51の開口面積を変えることによってサブパイロット圧力が調節され、サブパイロット圧力に応じて移動するサブポペット40がメインパイロットシート31の開口面積を変えることによってメインパイロット圧力が調節され、メインパイロット圧力に応じて移動するメインポペット5がバルブシート11の開口面積を変えるソレノイドバルブ1であって、メインポペット5が収容されるメインケース3と、サブポペット40が摺動可能に嵌合するバルブハウジング16と、を備え、サブポペット40がメインポペット5と独立して変位する構成とした。上記構成に基づき、サブパイロット圧力によって駆動されるサブポペット40が、メインポペット5と独立して変位するため、サブポペット40の作動特性を設定する自由度が大きくなり、ソレノイドバルブ1の開弁特性を多様に設定することができる。サブポペット40が摺動可能に嵌合するバルブハウジング16が、メインポペット5を収容するメインケース3と別部材によって構成されるため、サブポペット40とバルブハウジング16とをユニット化して設けることが可能となり、ソレノイドバルブ1の仕様に応じて、サブポペット40の開弁特性を変えることが容易に行われる。本実施の形態では、ピンポペット60の中心軸がメインポペット5の中心軸と略直交する構成とした。上記構成に基づき、メインパイロット通路20を通過する作動流体がU字状に流れる構成とすることが可能となり、メインパイロット通路20の通路長を短縮してその圧力損失を低減することができる。本実施形態では、メインポペット5が開弁作動するストロークに応じてメインパイロットオリフィス25の開口面積が変化する構成とした。上記構成に基づき、メインポペット5が開弁作動するストロークに応じてメインパイロットオリフィス25の開口面積が変えられることにより、メインポペット5の開弁特性に対する設定自由度を大きくすることができる。なお、本実施形態は、メイン通路10における作動流体の一方向の流れに対して開弁作動する一方向開閉タイプのソレノイドバルブ1であるが、これに限らず、メイン通路10における作動流体の一方向の流れと逆方向の流れに対して開弁作動する両方向開閉タイプのソレノイドバルブに本発明を適用してもよい。本発明は上記の実施形態に限定されずに、その技術的な思想の範囲内において種々の変更がなしうることは明白である。