基板と、前記基板の上面に弾性支持され、当該上面に沿った一の方向に変位可能な質量部と、前記上面に沿った方向であって、かつ、前記一の方向に直交する他の方向に長く、その両端部が前記質量部に固定される可動電極と、前記他の方向に長く、前記可動電極と前記一の方向で対向する固定電極と、前記固定電極を、前記基板の前記上面に固定する固定アンカと、を含み、前記固定アンカは、前記固定電極の長手方向の中央部分のみを前記基板に固定することを特徴とする静電容量型加速度センサ。しかしながら、静電容量型加速度センサでは、製造の過程や使用時の周囲の温度変化によって支持基板に歪み等の変形が生じることがある。このような場合、上記した特許文献1の静電容量型加速度センサでは、固定電極404、405の底面の全面が支持基板400に接続されているため、支持基板409の歪み等の変形が固定電極404、405に強力に伝わる。このため、特許文献1に記載された静電容量型加速度センサは、可動電極と固定電極の相対的な位置関係や形状が変化しやすく、加速度センサの特性に悪影響を与えやすいものともいえる。本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、スティクションの発生と共に基板の歪みによる特性変動をも抑止することができる静電容量型加速度センサを提供することを目的とする。以上の課題を解決するため、本発明の静電容量型加速度センサは、基板例えば図2、3に示した支持基板109と、前記基板の上面に弾性支持され、当該上面に沿った一の方向に変位可能な質量部例えば図1に示した質量部101と、前記上面に沿った方向であって、かつ、前記一の方向例えば図1に示したX方向に直交する他の方向例えば図1に示したY方向に長く、その両端部が前記質量部に固定される可動電極例えば図1に示した可動電極103と、前記他の方向に長く、前記可動電極と前記一の方向で対向する固定電極例えば図1に示した固定電極104、105と、前記固定電極を、前記基板の前記上面に固定する固定アンカ例えば図1に示した固定アンカ107、108と、を含み、前記固定アンカは、前記固定電極の長手方向の中央部分のみを前記基板に固定することを特徴とする。本発明は、固定アンカによって固定電極下面の基板に固定電極下面の一部の領域を接触させて固定するので、基板の歪みや反りが固定電極に及ぼす影響が小さくなって、基板の歪みによる特性変動を抑止することができる静電容量型加速度センサを提供することができる。また、固定アンカが固定電極の中央部分を基板に接触させて固定することにより、固定電極と可動電極との間でスティクションが発生することを抑えることができる。以下、本発明の一実施形態の静電容量型加速度センサを説明する。[構成]図1は、本実施形態の静電容量型加速度センサを説明するための上面図である。図2は、図1中に示した破線A-A’に沿う断面図である。また、図3は、図1中に示した破線B-B’に沿う断面図である。図1に示したように、本実施形態の静電容量型加速度センサ100は、後に図2、3に示す支持基板109と、支持基板109の上面に弾性支持され、この上面に沿った一の方向に変位可能な質量部101と、支持基板109の上面に沿った方向であって、かつ、前記した一の方向に直交する他の方向に長く、その両端部が質量部101に固定される可動電極103と、前記した他の方向に長く、可動電極103と前記した一の方向で対向する固定電極104、105と、固定電極104、105を、支持基板109の上面に固定する固定アンカ107、108と、を含み、固定アンカ107、108が、固定電極104、105の長手方向の中央部分のみを支持基板109に固定している。なお、固定電極104、105は、図1に示した可動電極103に対し、可動電極103の図1における右側に設けられたものを固定電極104、可動電極103の図1における左側に設けられたものを固定電極105としたものである。図1には、固定電極104、105と可動電極103のセットを5セットのみ示したが、実際の静電容量型加速度センサでは、固定電極104、105と可動電極103のセットを20~30セット含んでいる。また、図1中にはX、Y、Zの3方向が示されている。上記した一の方向、長手方向は図中のX方向を示し、他の方向は図中のY方向を示す。また、本実施形態の静電容量型加速度センサ100は、X方向に加わった加速度を検出するセンサであって、Y方向に加わる加速度は、静電容量型加速度センサ100と同様の構成を有する静電容量型加速度センサを静電容量型加速度センサ100と直交する方向に向けて配置することによって検出することができる。質量部101は、静電容量型加速度センサ100に加速度が加わったとき、加速度によって可動電極103に力が加わるように設けられた錘として機能する。一般的に、固定電極には、図1に示した固定電極104のように両端が質量部101に接続されているもの両持ちタイプと、一方の端部だけが質量部101に接続されているもの方持ちタイプとがある。本実施形態の静電容量型加速度センサは、このうちの両持ちタイプの静電容量型加速度センサを前提にして構成されている。図2に示すように、本実施形態の固定電極104は固定アンカ107によって支持されていて、固定電極105は固定アンカ108によって支持基板109に支持されている。また、梁部102は、固定アンカ106によって支持基板109に支持されている。固定アンカ107は、固定電極104下面の中央部分でのみ固定電極104と接触する。固定アンカ108は、固定電極105下面の中央部分でのみ固定電極105と接触する。なお、本実施形態では、固定電極の中央部分の文言を、固定電極104、105の裏面における縦方向Y方向に沿う中心線の中心点を含む領域を指す。この領域は、小さいほど望ましいが、固定部箇所の強度の確保も考慮して適宜決定される。このような構成によれば、固定電極104、105は、固定アンカ107、108によって固定電極104、105下面の中央部分のみが支持基板109に固定されることになる。したがって、図3に示すように、固定電極104、105には、固定アンカ107、108及び支持基板109と接触していない領域が存在する。実施形態1の静電容量型加速度センサ100は、加速度が印加された際、慣性力によって質量部101が支持基板109に対して相対的に変位することにより可動電極103と固定電極104との間の静電容量、及び可動電極103と固定電極105の間の静電容量が変化することにより、静電容量型加速度センサ100に印加された加速度を検出するように構成されている。なお、以上の構成において、可動電極103、固定電極104、105は、例えば不純物が注入されたポリシリコンによって形成される。ポリシリコンの厚さや注入される不純物種、濃度等の条件は、静電容量型加速度センサの仕様や必要とされる精度に応じて適宜決定される。また、固定アンカとしては、シリコン、シリコンを含む絶縁物等を用いることが考えられる。[作用、効果]次に、本実施形態の作用、効果について説明する。図4は、本実施形態の静電容量型加速度センサによって得られる作用、効果を説明するための図である。図4aは、図5に示した全面が固定アンカ407によって支持基板409に固定された固定電極404を示した図である。図4bは、図1に示した中央部分のみが支持基板109に固定された固定電極104が、応力に関する問題を解決できることを説明するための図である。図4cは、固定電極104を、その端部で基板に固定した場合のスティッキングに関する問題点を説明するための図である。図4dは、図1に示した中央部分のみが支持基板109に固定された固定電極104が、スティクションに関する問題を解決できることを説明するための図である。図4aに示したように、可動電極404の下面の全面を支持基板409に固定した場合、支持基板409に製造の過程や使用時の周囲の温度変化による応力が加わると、加わった応力が可動電極409にも伝わって固定電極404に歪み等が発生する。固定電極404の歪み等は、可動電極403との間の静電容量に影響し、静電容量型加速度センサの精度や信頼性を損なう原因になり得る。一方、図4bに示したように、固定電極104下面のうち一部の領域のみが固定アンカ107によって支持基板109に固定される場合、支持基板109に生じた歪みが固定電極104に伝わり難くなっている。このため、本実施形態は、支持基板109に製造の過程や使用時の周囲の温度変化による応力が加わって歪みが生じた場合にも静電容量型加速度センサの特性変動を抑えることができる。また、本実施形態では、可動電極103が所謂両持ち型の電極であることから、その両端が質量部101に接続されている。このため、静電容量型加速度センサ100に加速度が印加された際、可動電極103において発生する質量部101に対する相対的な変位以下、相対変位と記すの最大値は、可動電極103のY方向の中央の比較的小さな範囲で発生すると思われる。可動電極103に対向する固定電極104の端部に固定アンカ107を設けて支持基板109に固定した場合、図4cに示すように、可動電極103の相対変位が大きい部位に対向する固定電極104の部位が接触する。接触後、固定電極104と可動電極103との間に毛管作用、静電気力、ファンデルワールス力等が生じ、可動電極103が自身の復元力F’によって固定電極104から離れることを妨げる。一方、図4dに示したように、固定電極104の中央部分で固定電極104を支持基板109に固定すれば、可動電極の相対変位が最大になる部位復元力Fが最大になる部位において、固定電極104が固定される。このため、可動電極103に働く復元力Fが効率的に固定電極104から可動電極103を離すことに利用される。このような本実施形態によれば、加速度の消失後、固定電極104と可動電極103との間に毛管作用、静電気力、ファンデルワールス力等が生じたとしても、復元力Fによって可動電極103が固定電極104から離れて元の位置に戻るので、スティクションの発生を抑えることができる。なお、図4では、固定電極104及び固定アンカ107と支持基板109、可動電極103の関係について説明した。しかし、このような関係が、図1に示した固定電極105及び固定アンカ108と支持基板109、可動電極103の関係にも同様に当てはまることは言うまでもない。なお、以上説明した本実施形態の静電容量型加速度センサは、貼り合わせ、犠牲層エッチングのいずれの工程によっても実現することが可能である。以上説明したように、本実施形態によれば、固定アンカ107、108によって固定電極下面104、105下の支持基板109に固定電極下面の一部の領域を接触させて固定するので、基板の歪みや反りが固定電極に及ぼす影響が小さくなって、支持基板109の歪みによる静電容量型加速度センサの特性変動を抑止することができる。また、固定アンカ107、108が固定電極104、105の中央部分のみを支持基板109に接触させて固定することにより、固定電極104、105と可動電極103との間に正電気力等が作用したとしても、可動電極103の復元力が固定電極104、105から可動電極103を離すことに効率よく作用してスティクションの発生を抑えることができる。