"被加工物を切削するバイトホイールであって、ホイール基台と、該ホイール基台に着脱可能に取り付けられたバイトシャンクと、該バイトシャンクに着脱可能に配設された切削刃とを有するバイトユニットと、該ホイール基台の回転中心を基準に該バイトユニットに対して点対称位置の該ホイール基台に配設された、該バイトユニットと同重量を有するバランス取り用錘とを備え、該バランス取り用錘又は該バイトシャンクの少なくとも何れかに該バランス取り用錘と該バイトシャンクとを識別する識別マークが形成されていることを特徴とするバイトホイール。前記識別マークは、該バランス取り用錘又は該バイトシャンクの少なくとも何れかの一部又は全体に色づけされることで形成される請求項1記載のバイトホイール。ところが、従来のバイトホイールでは、一個のバイトユニットがホイール基台に着脱可能に取り付けられている構成であるため、バイトホイールの回転に伴って振動が発生し、この振動により切削した被加工物の加工品質が悪化するという問題がある。そこで、本出願人は、バイトユニットの配設位置に対して対称な位置にバランス取り用錘を配設したバイトホイールを提案し、特許出願した。回転時の振動抑制のために、バランス取り用錘はバイトユニットのシャンクと同様の形状であることが好ましい。ところが、バイトユニットとバランス取り用錘が類似していると、作業者が誤ってバランス取り用錘でセットアップを行ってしまう恐れがある。バランス取り用錘でセットアップを行うと、切り込み量を制御する原点位置が狂い、正しい切り込み量で被加工物を切削できないという問題がある。特に、所定切り込み量よりも深く切り込んでしまった際には、被加工物又はチャックテーブルを破損させてしまう恐れがある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者がバイトユニットとバランス取り用錘とを誤認識する恐れのないバイトホイールを提供することである。本発明によると、被加工物を切削するバイトホイールであって、ホイール基台と、該ホイール基台に着脱可能に取り付けられたバイトシャンクと、該バイトシャンクに着脱可能に配設された切削刃とを有するバイトユニットと、該ホイール基台の回転中心を基準に該バイトユニットに対して点対称位置の該ホイール基台に配設された、該バイトユニットと同重量を有するバランス取り用錘とを備え、該バランス取り用錘又は該バイトシャンクの少なくとも何れかに該バランス取り用錘と該バイトシャンクとを識別する識別マークが形成されていることを特徴とするバイトホイールが提供される。好ましくは、識別マークは、バランス取り用錘又はバイトシャンクの少なくとも何れかの一部又は全体に色付けされることで形成される。本発明のバイトホイールは、バランス取り用錘とバイトユニットとを互いに識別する識別マークを有するため、作業者がバランス取り用錘とバイトユニットとを誤認識する恐れを低減でき、誤認識に起因する被加工物又はチャックテーブルを破損させてしまう恐れを低減することができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明のバイトホイールで切削するのに適した半導体ウエーハWの斜視図が示されている。半導体ウエーハWの表面においては、第1のストリートS1と第2のストリートS2とが直交して形成されており、第1のストリートS1と第2のストリートS2とによって区画された各領域にそれぞれデバイスチップDが形成されている。図1の拡大図に示すように、各デバイスDの4辺には複数の突起状のバンプ5が形成されている。これらのバンプ5は、図8Aの拡大断面図に示すように、アンダーフィル材7内に埋設されている。アンダーフィル材7としては、エポキシ樹脂やベンソシクロブテンBCBが使用される。次に図2を参照して、本発明実施形態に係るバイトホイールを装着したバイト切削装置2について説明する。4はバイト切削装置2のベースハウジングであり、ベース4の後方にはコラム6が立設されている。コラム6には、上下方向に伸びる一対のガイドレール一本のみ図示8が固定されている。この一対のガイドレール8に沿ってバイト切削ユニット10が上下方向に移動可能に装着されている。バイト切削ユニット10は、そのハウジング20が一対のガイドレール8に沿って上下方向に移動する移動基台12に取り付けられている。バイト切削ユニット10は、ハウジング20と、ハウジング20中に回転可能に収容されたスピンドル22図7参照と、スピンドル22の先端に固定されたマウント24と、マウント24に着脱可能に装着されたバイトホイール25とを含んでいる。バイトホイール25にはバイトユニット26が着脱可能に取り付けられている。バイト切削ユニット10は、バイト切削ユニット10を一対の案内レール8に沿って上下方向に移動するボールねじ14とパルスモータ16とから構成されるバイト切削ユニット送り機構18を備えている。パルスモータ16をパルス駆動すると、ボールねじ14が回転し、移動基台12が上下方向に移動される。ベース4の中間部分にはチャックテーブル30を有するチャックテーブル機構28が配設されており、チャックテーブル機構28は図示しないチャックテーブル移動機構によりY軸方向に移動される。33は蛇腹であり、チャックテーブル機構28をカバーする。ベース4の前側部分には、第1のウエーハカセット32と、第2のウエーハカセット34と、ウエーハ搬送用ロボット36と、複数の位置決めピン40を有する位置決め機構38と、ウエーハ搬入機構ローディングアーム42と、ウエーハ搬出機構アンローディングアーム44と、スピンナ洗浄ユニット46が配設されている。また、ベース4の概略中央部には、チャックテーブル30を洗浄する洗浄水噴射ノズル48が設けられている。この洗浄水噴射ノズル48は、チャックテーブル30が装置手前側のウエーハ搬入搬出領域に位置づけられた状態において、チャックテーブル30に向かって洗浄水を噴射する。図3を参照すると、本発明実施形態に係るバイトホイール25の斜視図が示されている。バイトホイール25は、環状のホイール基台50と、ホイール基台50に着脱可能に取り付けられたバイトユニット26と、ホイール基台50の回転中心を基準にバイトユニット26に対して点対称位置のホイール基台50に着脱可能に取り付けられたバイトユニット26と同一重量のバランス取り用錘カウンターバランス66とから構成される。バイトホイール25は矢印R方向に回転されてウエーハWの表面に形成されたバンプ5を切削する。バイトユニット26は、図4の分解斜視図に示すように、略直方体形状のシャンクバイトシャンク52と、シャンク52に着脱可能に取り付けられたバイト54とから構成される。バイト54は板状を呈しており、長手方向の一端部の表面側にはダイアモンド等で所定形状に形成された切削刃56が固着されている。バイト54にはねじ58が挿入される丸穴59が形成されている。シャンク52の一側面には、バイト54の厚さと同等の深さを有するピット60が形成されている。ピット60にはねじ穴61が形成されている。バイト54をシャンク52のピット60内に挿入し、バイト54の丸穴59を通してねじ58をねじ穴61に螺合することにより、バイト54がシャンク52に固定される。図5に示すように、ホイール基台50には直方体形状の取り付け穴62と、取り付け穴62に開口するねじ穴63が形成されている。バイトユニット26のシャンク52をホイール基台50に形成された取り付け穴62中に挿入し、ねじ64をねじ穴63に螺合して締め付けることにより、バイトユニット26がホイール基台50に固定される。一方、バランス取り用錘66はバイトユニット26と同一重量を有しており、図3及び図6に示すように、ホイール基台50の回転中心を基準にバイトユニット26に対して点対称位置のホイール基台50に形成された取り付け用穴68中に挿入され、ねじ穴69中にねじ70を螺合して締め付けることにより、ホイール基台50に固定される。バランス取り用錘66はバイトシャンク52と同一形状をしているため、作業者がバイトユニット26のセットアップを行う際に、バランス取り用錘66を誤ってバイトユニット26のバイトシャンク52と認識してしまい、バランス取り用錘66をチャックテーブル30に接触させてセットアップを行ってしまう恐れがある。本発明ではこれを防止するために、バランス取り用錘66全体に着色67を施してある。色の種類は特に限定されるものではないが、バイトユニット26のシャンク52とバランス取り用錘66とを明確に差別化できるような色が好ましい。図7を参照すると、本発明第2実施形態のバランス取り用錘66Aが示されている。本実施形態のバランス取り用錘66Aは、その一部に着色テープ67aが貼着されている。図8を参照すると、本発明第3実施形態のバランス取り用錘66Bが示されている。本実施形態のバランス取り用錘66Bでは、錘と書いた識別マーク69が彫られている。このように、図6に示した第1実施形態のバランス取り用錘66では、その全体に施された着色67が識別マークとなり、図7に示した第2実施形態のバランス取り用錘66Aでは、その一部に貼着された着色テープ67aが識別マークとなり、図8に示した第3実施形態のバランス取り用錘66Bでは、錘と書いた識別マーク69が彫られている。よって、何れの実施形態においても、作業者はバランス取り用錘66,66A,66Bをバイトユニット26と明確に区別することができ、バイトユニット26の切削刃56とチャックテーブル30とが接触した位置を検出して、切り込み量を制御する際の原点位置とするセットアップを確実に実施することができる。次に、図9を参照して、バイトホイール25による半導体ウエーハWの切削加工方法について説明する。半導体ウエーハWの表面には、図10Aの拡大断面図に示すように、各デバイスDの電極にそれぞれ接続された複数のバンプ5が形成されており、これらのバンプ5はエポキシ樹脂等から形成されたアンダーフィル材7中に埋設されている。スピンドル22を約2000rpmで回転させつつ、バイトホイール送り機構18を駆動してバイトユニット26の切削刃56をアンダーフィル材7に所定深さ切り込ませ、チャックテーブル30を矢印Y方向に1mm/sの送り速度で移動させながら、アンダーフィル材7とともにバンプ5を切削する。この切削加工時には、チャックテーブル30は回転させずにY軸方向に加工送りする。チャックテーブル30に吸引保持されたウエーハWの左端が切削刃56の取り付け位置を通過すると、ウエーハWの切削が終了し、図10Bに示すように、アンダーフィル材7の表面は平坦となり、バンプ5はアンダーフィル材7とともに切削されてその高さが均一に加工される。本実施形態のバイトホイール25では、ホイール基台50の回転中心を基準にバイトユニット26に対して点対称な位置のホイール基台50にバイトユニット26と同一重量を有するバランス取り用錘66,66A,又は66Bが配設されているため、バイトホイール25の回転に伴う振動が軽減され、振動に起因する被加工物の加工品質の悪化を抑制することができる。更に、バランス取り用錘66A,66Bはその全体又は一部が着色され、バランス取り用錘66Bでは識別マーク69が貼付されているため、バイトユニット26のセットアップ時に作業者がバランス取り用錘66,66A,又は66Bをバイトユニット26と誤認識することが防止される。上述した第1乃至第3実施形態では、バランス取り用錘66,66A,66Bに着色を施すか或いは識別マークを貼付してバイトユニット26のバイトシャンク52と区別しているが、バランス取り用錘66側には何ら識別マークを付与せずに、バイトユニット26のバイトシャンク52に着色等して識別マークとしてもよい。"