基板に対して、ダム剤とフィル剤とを塗布するための塗布装置であって、前記基板を載置するステージと、ダム部を形成するためのダム剤を吐出する吐出口を備えたダム剤吐出ノズルと、前記ダム剤吐出ノズルと前記ステージとを、第1の方向と、この第1の方向と直交する第2の方向に相対的に移動させるダム剤吐出ノズル移動機構と、フィル部を形成するためのフィル剤を吐出するスリットを備えたフィル剤吐出ノズルと、前記フィル剤吐出ノズルと前記ステージとを、前記第1の方向に相対的に移動させるフィル剤吐出ノズル移動機構と、を備えたことを特徴とする塗布装置。請求項1に記載の塗布装置において、前記フィル剤吐出ノズル移動機構は、前記フィル剤吐出ノズルと前記ステージとを、前記第1の方向に加えて、前記第2の方向にも相対的に移動させる塗布装置。請求項2に記載の塗布装置において、前記ステージに対して前記第1の方向に移動する第1ガントリーと、前記ダム剤吐出ノズルを支持し、前記第1ガントリーに沿って前記第2の方向に移動する第1支持部材と、前記ステージに対して前記第1の方向に移動する第2ガントリーと、前記フィル剤吐出ノズルを支持し、前記第2ガントリーに沿って前記第2の方向に移動する第2支持部材と、を備える塗布装置。請求項3に記載の塗布装置において、前記第1支持部材は前記第1ガントリーに対して複数個配設されるとともに、前記第2支持部材は前記第2ガントリーに対して複数個配設される塗布装置。請求項3または請求項4に記載の塗布装置において、前記フィル剤の粘度をacp、塗布後の膜厚をbμmとしたときに、bはaの百分の一以下である塗布装置。請求項3または請求項4に記載の塗布装置において、前記フィル剤の粘度をacp、前記ダム剤の粘度をccpとしたときに、cはaより大きい塗布装置。請求項3から請求項6のいずれかに記載の塗布装置において、前記第1ガントリーの第1の方向への移動速度と、前記第1支持部の前記第2の方向への移動速度とが、いずれも、毎秒10mm以上200mm以下である塗布装置。請求項3から請求項6のいずれかに記載の塗布装置において、前記第2ガントリーの第1の方向への移動速度が、毎秒10mm以上200mm以下である塗布装置。請求項1から請求項8のいずれかに記載の塗布装置において、前記ダム剤吐出ノズルと前記ステージに載置された基板の表面との距離、および、前記フィル剤吐出ノズルと前記ステージに載置された基板の表面との距離が、いずれも、10μm以上250μm以下である塗布装置。請求項9に記載の塗布装置において、前記ダム剤吐出ノズルと前記ステージに載置された基板の表面との距離、および、前記フィル剤吐出ノズルと前記ステージに載置された基板の表面との距離が変更可能である塗布装置。上述したように、従来の封止工程においては、ダム剤の塗布装置とフィル剤の塗布装置を使用して各工程が実行されていることから、効率が悪く、各工程に時間がかかるという問題がある。また、従来の封止工程においては、矩形状のダム部内にノズルを利用してフィル剤102を塗布した後、フィル剤をその自重により広げる構成となっていることから、フィル剤の膜厚を均一化するのに時間がかかるという問題が生ずる。この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、ダム剤とフィル剤とを効率的に塗布できるとともに、フィル剤の膜厚を均一なものとすることが可能な塗布装置を提供することを目的とする。請求項1に記載の発明は、基板に対して、ダム剤とフィル剤とを塗布するための塗布装置であって、前記基板を載置するステージと、ダム部を形成するためのダム剤を吐出する吐出口を備えたダム剤吐出ノズルと、前記ダム剤吐出ノズルと前記ステージとを、第1の方向と、この第1の方向と直交する第2の方向に相対的に移動させるダム剤吐出ノズル移動機構と、フィル部を形成するためのフィル剤を吐出するスリットを備えたフィル剤吐出ノズルと、前記フィル剤吐出ノズルと前記ステージとを、前記第1の方向に相対的に移動させるフィル剤吐出ノズル移動機構とを備えたことを特徴とする。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記フィル剤吐出ノズル移動機構は、前記フィル剤吐出ノズルと前記ステージとを、前記第1の方向に加えて、前記第2の方向にも相対的に移動させる。請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記ステージに対して前記第1の方向に移動する第1ガントリーと、前記ダム剤吐出ノズルを支持し、前記第1ガントリーに沿って前記第2の方向に移動する第1支持部材と、前記ステージに対して前記第1の方向に移動する第2ガントリーと、前記フィル剤吐出ノズルを支持し、前記第2ガントリーに沿って前記第2の方向に移動する第2支持部材とを備える。請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記第1支持部材は前記第1ガントリーに対して複数個配設されるとともに、前記第2支持部材は前記第2ガントリーに対して複数個配設される。請求項5に記載の発明は、請求項3または請求項4に記載の発明において、前記フィル剤の粘度をacp、塗布後の膜厚をbμmとしたときに、bはaの百分の一以下である。請求項6に記載の発明は、請求項3または請求項4に記載の発明において、前記フィル剤の粘度をacp、前記ダム剤の粘度をccpとしたときに、cはaより大きい。請求項7に記載の発明は、請求項3から請求項6のいずれかに記載の発明において、前記第1ガントリーの第1の方向への移動速度と、前記第1支持部の前記第2の方向への移動速度とが、いずれも、毎秒10mm以上200mm以下である。請求項8に記載の発明は、請求項3から請求項6のいずれかに記載の発明において、前記第2ガントリーの第1の方向への移動速度が、毎秒10mm以上200mm以下である。請求項9に記載の発明は、請求項1から請求項8のいずれかに記載の発明において、前記ダム剤吐出ノズルと前記ステージに載置された基板の表面との距離、および、前記フィル剤吐出ノズルと前記ステージに載置された基板の表面との距離が、いずれも、10μm以上250μm以下である。請求項10に記載の発明は、請求項9に記載の発明において、前記ダム剤吐出ノズルと前記ステージに載置された基板の表面との距離、および、前記フィル剤吐出ノズルと前記ステージに載置された基板の表面との距離が変更可能である。請求項1乃至請求項3に記載の発明によれば、ダム剤吐出ノズルとフィル剤吐出ノズルの作用により、ダム剤とフィル剤とを効率的に塗布することが可能となる。このとき、フィル剤を吐出するスリットを備えたフィル剤吐出ノズルを利用してフィル剤を塗布することから、フィル剤の膜厚を均一なものとすることが可能となる。請求項4に記載の発明によれば、複数のダム剤吐出ノズルと複数のフィル剤吐出ノズルの作用により、ダム剤とフィル剤とをさらに効率的に塗布することが可能となる。請求項5に記載の発明によれば、フィル剤の膜厚を均一なものとすることが可能となる。請求項6に記載の発明によれば、ダム剤およびフィル剤の塗布後の工程を確実に実行することができる。請求項7に記載の発明によれば、ダム剤をとぎれさせることなく、良好な形状のダム部を形成することが可能となる。請求項8に記載の発明によれば、フィル剤を、その膜厚を管理しながら塗布することが可能となる。請求項9および請求項10に記載の発明によれば、ダム剤吐出ノズルおよびフィル剤吐出ノズルと基板との干渉を防止しながら、ダム剤およびフィル剤を正確な位置に塗布することが可能となる。以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、この発明に係る塗布装置の斜視図である。この塗布装置は、有機EL表示装置用ガラス基板や液晶表示装置用ガラス基板等の透光性を有する基板100に対して、ダム剤101とフィル剤102とを塗布するためのものであり、基板100を載置するための基台31上に固定されたステージ32と、ダム部を形成するためのダム剤101を吐出する吐出口を備えた複数のダム剤吐出ノズル14と、フィル部を形成するためのフィル剤102を吐出するスリットを備えたフィル剤吐出ノズル24とを備える。また、この塗布装置は、基台31上に配設された一対のガイドレール33に沿って第1の方向に往復移動可能な第1ガントリー11および第2ガントリー21を備える。第1ガントリー11には、第1の方向と直交する第2の方向に向けて一対のガイドレール12が配設されている。そして、ダム剤吐出ノズル14を支持する第1支持部材13が、これらのガイドレール12に沿って、第2の方向に往復移動可能となっている。ここで、ダム剤吐出ノズル14は、第1支持部材13に対して昇降可能に支持されている。このため、ダム剤吐出ノズル14とステージ32に載置された基板100の表面との距離は、変更可能となっている。同様に、第2ガントリー21には、第1の方向と直交する第2の方向に向けて一対のガイドレール22が配設されている。そして、フィル剤吐出ノズル24を支持する第2支持部材23が、これらのガイドレール22に沿って、第2の方向に往復移動可能となっている。ここで、フィル剤吐出ノズル24は、第2支持部材23に対して昇降可能に支持されている。このため、フィル剤吐出ノズル24とステージ32に載置された基板100の表面との距離も、変更可能となっている。この塗布装置においては、第1、第2ガントリー11、21を、各々、第1の方向に移動させるとともに、第1、第2支持部材13、23を、各々、第2の方向に移動させることにより、ダム剤吐出ノズル14とフィル剤吐出ノズル23とを、互いに直交する第1の方向および第2の方向に往復移動させる構成となっている。なお、このときの第1ガントリー11の第1の方向への移動速度と第1支持部材13の第2の方向への移動速度、すなわち、ダム剤吐出ノズル14の互いに直交する方向への移動速度は、いずれも、毎秒10mm以上200mm以下となっている。この速度は、高速である方が塗布の効率を向上させることができるが、これを過度に高速とすると、ダム剤101を連続して塗布することが困難となる。ダム剤吐出ノズル14の互いに直交する方向への移動速度を、毎秒10mm以上200mm以下とすることにより、ダム剤101をとぎれさせることなく、良好な形状のダム部を形成することが可能となる。また、このときの第2ガントリー21の第1の方向への移動速度と第2支持部材23の第2の方向への移動速度、すなわち、フィル剤吐出ノズル24の互いに直交する方向への移動速度は、いずれも、毎秒10mm以上200mm以下となっている。この速度は、高速である方が塗布の効率を向上させることができるが、これを過度に高速とすると、フィル剤102の膜厚を所定値に維持することが困難となる。フィル剤吐出ノズル24の互いに直交する方向への移動速度を、毎秒10mm以上200mm以下とすることにより、フィル剤102をその膜厚を管理しながら塗布することが可能となる。なお、上述した実施形態においては、説明の便宜上、ダム剤吐出ノズル14およびフィル剤吐出ノズル24を、各々、2個のみ図示しているが、これらのダム剤吐出ノズル14およびフィル剤吐出ノズル24は、塗布の効率を向上させるため、さらに多数個配設される。図2は、ダム剤吐出ノズル14によるダム剤101の塗布状態と、フィル剤吐出ノズル24によるフィル剤102の塗布状態を模式的に示す説明図である。ダム剤吐出ノズル14は、ダム部を形成するためのダム剤101を吐出する略円形の吐出口15を備える。一方、フィル剤吐出ノズル24は、フィル部を形成するためのフィル剤102を吐出するスリット25を備える。このスリット25は、第2支持部材23の往復移動方向である第2の方向図2における紙面に垂直な方向を長手方向とする形状を有する。ダム剤吐出ノズル14とステージ32に載置された基板100の表面との距離D1は、10μm以上250μm以下となるように設定される。この距離D1が大きくなった場合には、ダム剤101を正確な位置に塗布することが困難となる。一方、この距離D1が過度に小さくなった場合には、ダム剤吐出ノズル14と基板100とが干渉する可能性がある。同様に、フィル剤吐出ノズル24とステージ32に載置された基板100の表面との距離D2も、10μm以上250μm以下となるように設定される。この距離D2が大きくなった場合には、フィル剤102を正確な位置に塗布することが困難となる。一方、この距離D2が過度に小さくなった場合には、フィル剤吐出ノズル24と基板100とが干渉する可能性がある。図3は、この発明に係る塗布装置の制御系を示すブロック図である。この発明に係る塗布装置は、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたROM41と、制御時にデータ等が一時的にストアされるRAM42と、論理演算を実行するCPU43とからなる制御部40を備える。この制御部40は、ダム剤吐出ノズル14の吐出動作を制御するダム剤吐出ノズル制御部51と、フィル剤吐出ノズル24の吐出動作を制御するフィル剤吐出ノズル制御部52とに接続されている。また、この制御部40は、第1ガントリー11を第1の方向に往復移動させるための第1ガントリー用モータ53と、第2ガントリー21を第1の方向に往復移動させる第2ガントリー用モータ54と、第1支持部材13を第2の方向に往復移動させる複数の第1支持部材用モータ55と、第2支持部材23を第2の方向に往復移動させる複数の第2支持部材用モータ56と、ダム剤吐出ノズル14を昇降させるダム剤吐出ノズル用モータ57と、フィル剤吐出ノズル24を昇降させるフィル剤吐出ノズル用モータ58と接続されている。以上のような構成を有する塗布装置において、基板100に対してダム剤とフィル剤の塗布を実行するときには、ステージ32上に基板100を位置決めして載置するとともに、ダム剤吐出ノズル用モータ57およびフィル剤吐出ノズル用モータ58の駆動により、ダム剤吐出ノズル14と基板100の表面との距離、および、フィル剤吐出ノズル24と基板100の表面との距離を上述した値に設定する。しかる後、第1ガントリー11を第1の方向に移動させるとともに、第1支持部材13を第2の方向に移動させながら、ダム剤吐出ノズル14からダム剤を吐出することにより、基板100上に矩形状のダム部101を形成する。図4は、基板100の表面におけるダム剤101とフィル剤102の吐出状態を示す説明図である。図4に示す基板100上のダム剤101による矩形状の領域は、ダム部を示している。一列分のダム部が形成されれば、さらに、第1ガントリー11を第1の方向に移動させるとともに、第1支持部材13を第2の方向に移動させながら、ダム剤吐出ノズル14からダム剤を吐出することにより、基板100上に次の列のダム部を形成する。また、ダム部の形成と並行して、ダム部の内部へのフィル部の塗布を実行する。この場合には、第2支持部材23を第2の方向に移動させることによりフィル剤吐出ノズル24を先にダム剤101により形成された矩形状のダム部の内側と対向する位置に配置する。そして、第2ガントリー21を第1の方向に移動させながらフィル剤吐出ノズル24からフィル剤を吐出することにより、基板100上のダム剤101による矩形状のダム部の領域内にフィル剤の薄膜を形成する。ここで、フィル剤吐出ノズル24の第2の方向と平行な方向のサイズが、基板100上に形成されたダム部の内部の一辺のサイズと一致している場合には、第2ガントリー21の移動によりフィル剤吐出ノズル24を第1の方向に移動させるだけで、フィル剤102の塗布作業が完了する。この場合には、図4に示すように、ダム剤101によるダム部の内部全域に、フィル剤102による薄膜が形成されることになる。この場合においては、第2支持部23を第2の方向に往復移動させる第2支持部材用モータ56等のフィル剤吐出ノズル移動機構を省略してもよい。一方、フィル剤吐出ノズル24の第2の方向と平行な方向のサイズが、基板100上に形成されたダム部の内部の一辺のサイズより小さな場合には、第2支持部材23を第2の方向に移動させた後に、再度上記の動作を繰り返すことにより、ダム剤101によるダム部の内部全域にフィル剤102の薄膜を形成する。以上のように、この発明に係る塗布装置によれば、ダム剤101とフィル剤102とを、並行して効率的に塗布することが可能となる。なお、この場合において、フィル剤101の粘度をacp/センチポアズ、塗布後のフィル剤の膜厚をbμmとしたときに、bはaの百分の一以下とすることが好ましい。このような構成とすることにより、フィル剤の膜厚を均一なものとすることが可能となる。また、ダム剤101の粘度をccp/センチポアズとしたとき、c>a、すなわち、ダム剤101の粘度cをフィル剤102の粘度aより大きくすることが好ましい。具体的には、これらの塗布剤が有機溶剤系の場合には、c:aの比率を100:1程度にすることが好ましく、とれらの塗布剤が水溶性液の場合にはc:aの比率を10:1程度とすることが好ましい。このような粘度関係を設定することにより、ダム剤101およびフィル剤102の塗布後の工程を確実に実行することができる。さらに、塗布対象の基板のサイズが大型の場合や連続したシート状である場合には、第1ガントリー11および/または第2ガントリー21を複数個設けて、同時に塗布動作をさせて、塗布の効率化を図るようにしてもよい。また、上述の実施形態では、スリット25を設けたフィル剤吐出ノズル24によりフィル剤102を吐出したが、スリット25に代えて多穴ノズルにより構成されたフィル剤吐出ノズルによりフィル剤102を吐出するようにしてもよい。上述した実施形態においては、ダム剤塗布ノズル14およびフィル剤塗布ノズル24を互いに直交する第1、第2の方向に移動させることにより、ダム剤101およびフィル剤102を塗布しているが、基板100を支持したステージ32を互いに直交する第1、第2の方向に移動させることにより、ダム剤101およびフィル剤102を塗布するようにしてもよい。また、上述した実施形態においては、ダム剤とフィル剤とを個別に塗布しているが、ダム剤とフィル剤の両方の機能を持つ液が使用できる場合には、これをスリットで塗布するようにしてもよい。