複数の軸間に張設され、正逆方向に回転されるタイミングベルトと、該タイミングベルトの内側で、前記タイミングベルトの進行方向に配した摺動ガイドと、前記タイムングベルトにより前記摺動ガイド上を往復直線摺動する摺動体と、前記タイミングベルトを前記摺動体との間で挟持する支持体と、前記タイミングベルトの外周囲に張設され、前記タイミングベルトとともに回転するシールベルトと、前記タイミングベルトと前記摺動ガイドと前記摺動体と前記支持体と前記シールベルトからなる駆動手段を内包し、前記タイミングベルトの進行方向に前記支持体が突出するスリットを有するハウジングと、を有し、前記スリットは、前記シールベルトにより閉鎖され、前記支持体は、前記スリットから突出し、その先端にハンド部を備えたことを特徴とするリニアアクチュエータ。前記シールベルトと前記タイミングベルトは、一体的に結合して設けられたことを特徴とする請求項1記載のリニアアクチュエータ。前記ハウジングは、前記駆動手段を2組対称にして内包し、対向する面にそれぞれの駆動手段の前記支持体が突出するスリットを有し、前記支持体の先端に設けられた前記ハンド部は、前記ハウジングの前記スリットが形成された面と異なる面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配されたことを特徴とする請求項1または請求項2記載のリニアアクチュエータ。しかしなから、従来のアクチュエータでは、ガイドレール104に沿って移動体102を往復移動させるためのモータ106およびボールねじ機構の他に、スリット112による開口を塞ぐシールベルト116を張設するために移動体102の移動方向の両端部に上下2ずつ合計4個のプーリ114を設けているので、移動体の移動距離を確保するために、アクチュエータ全体が必要以上に大きくなるという問題があった。本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、リニアアクチュエータ内部の構成を簡略化し、搬送効率を向上させることができるリニアアクチュエータを提供することを目的とする。上記課題を解決し上記目的を達成するために、本発明のうち第1の態様に係るものは、複数の軸間に張設され、正逆方向に回転されるタイミングベルトと、タイミングベルトの内側で、タイミングベルトの進行方向に配した摺動ガイドと、タイムングベルトにより摺動ガイド上を往復直線摺動する摺動体と、タイミングベルトを摺動体との間で挟持する支持体と、タイミングベルトの外周囲に張設され、タイミングベルトとともに回転するシールベルトと、タイミングベルトと摺動ガイドと摺動体と支持体とシールベルトからなる駆動手段を内包し、タイミングベルトの進行方向に支持体が突出するスリットを有するハウジングと、を有し、スリットは、シールベルトにより閉鎖され、支持体は、スリットから突出し、その先端にハンド部を備えたものである。本発明によれば、シールベルトをタイミングベルトの外周囲に張設し、タイミングベルトとともに回転するようにしているので、ハウジング内部の構成を簡略化できるとともに、全体的に省スペース化を図ることができる。これにより、摺動体の移動と連動して移動するハンド部の移動距離も従来より長く設定でき、搬送効率を向上させることができる。本発明のうち第2の態様に係るものは、第1の態様に係るリニアアクチュエータであって、シールベルトとタイミングベルトは、一体的に結合して設けられたものである。本発明によれば、シールベルトとタイミングベルトとが一体的に結合して設けられているので、シールベルトとタイミングベルトがずれることなく、シールベルトによりハウジングのスリットを確実に閉鎖させることができる。本発明のうち第3の態様に係るものは、第1または第2の態様に係るリニアアクチュエータであって、ハウジングは、駆動手段を2組対称にして内包し、対向する面にそれぞれの駆動手段の支持体が突出するスリットを有し、支持体の先端に設けられたハンド部は、ハウジングのスリットが形成された面と異なる面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配されたものである。本発明によれば、ハウジングの対向する面に形成されているスリットから突出させたハンド部をスリットが形成された面と異なる面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配しているので、リニアアクチュエータの現状の高さで、またはリニアアクチュエータの高さを変更するのみで、ハンド部が半導体部品の収納容器に接触することなく、一方のハンド部で半導体部品を取りながら、他方のハンド部でも半導体部品を取ることができる。これにより、半導体部品の搬送効率を向上させることができる本発明によれば、シールベルトをタイミングベルトの外周囲に張設し、タイミングベルトとともに回転するようにしているので、リニアアクチュエータ内部のスペースを有効に利用でき、搬送効率を向上させることができる。以下、本発明のリニアアクチュエータの一実施形態について図面を参照にしながら説明する。図1は本発明の一実施形態におけるリニアアクチュエータの斜視図であり、図2は同リニアアクチュエータの内部構造を示す図であり、図3aは同リニアアクチュエータの上面図であり、図3bは同リニアアクチュエータの側面一部断面図であり、図4は図3aのA-A断面を示す図であり、図5は図3bのB-B断面を示す図であり、図6は図4のC-C断面を示す図である。図1、図2に示すように、リニアアクチュエータ1は、主として、ハウジング2と、摺動体3左摺動体3a、右摺動体3bと、移動体4左移動体4a、右移動体4bと、シールベルト5左シールベルト5a、右シールベルト5bと、タイミングベルト6左タイミングベルト6a、右タイミングベルト6bと、支持体7左支持体7a、右支持体7bとを備えている。ここで、左摺動体3a、左移動体4a、左シールベルト5a、左タイミングベルト6a、左支持体7aは、それぞれハウジング2の左側に設けられた摺動体3、移動体4、シールベルト5、タイミングベルト6、支持体7であり、また、右摺動体3b、右移動体4b、右シールベルト5b、右タイミングベルト6b、右支持体7bは、それぞれハウジング2の右側に設けられた摺動体3、移動体4、シールベルト5、タイミングベルト6、支持体7である。なお、本実施形態では、ハウジング2の左側に設けられた部材とハウジング2の右側に設けられた部材はそれぞれ左右対称の同一部材であるので、以下では、両者を併せて摺動体3、移動体4、シールベルト5、タイミングベルト6、支持体7として説明するその他の部材も同様。また、本実施形態では、摺動体3と移動体4とシールベルト5とタイミングベルト6と支持体7をそれぞれ2組左右対称に設けたが、これに限らず、摺動体3と移動体4とシールベルト5とタイミングベルト6を一組のみ設けたものであってもよい。ハウジング2は、内部が空洞で四角柱形状であり、左右の側面8左側面8a、右側面8bに外部に開いたタイミングベルト6の進行方向に長く延びるスリット9左スリット9a、右スリット9bが形成されている。ハウジング2の内部には、摺動体3を案内するための凸状の摺動ガイド10左摺動ガイド10a、右摺動ガイド10bが左右に設置されている図4、図5参照。摺動体3は、下部に凹部が形成され、その凹部が凸状の摺動ガイド10に嵌合されて、ハウジング2に設けられたスリット9に沿ってタイミングベルト6の進行方向に摺動するものである。このように、摺動体3は、摺動ガイド10に案内されながらスリット9に沿ってタイミングベルト6の進行方向に摺動する。移動体4は、摺動体3の上部で摺動体3と一体的に結合されている。そして、移動体4は、摺動体3が摺動することにより摺動体3と一体的に移動する。タイミングベルト6は、移動体4を移動させるベルトである、このタイミングベルト6は、2つのプーリ11前方プーリ11A左前方プーリ11Aa、右前方プーリ11Ab、後方プーリ11B左後方プーリ11Ba、右後方プーリ11Bbを介してハウジング2内に軸間方向可動に張設されている。すなわち、タイミングベルト6は、前方プーリ11Aと後方プーリ11Bをそれぞれ軸として2軸間に張設され、この2軸間において正逆方向に回転することができる。この2個のプーリ11のうち、前方プーリ11Aは駆動モータ13左駆動モータ13a、右駆動モータ13bにより駆動される駆動プーリであり、後方プーリ11Bは駆動モータにより駆動されない従動プーリである。また、このタイミングベルト6は、プーリ11の側面の中間付近の小径プーリ部11Xに嵌合して張設されている図3b参照。このタイミングベルト6の内側面にはタイミングベルト歯部16左タイミングベルト歯部16a、右タイミングベルト歯部16bが設けられ、タイミングベルト歯部16はプーリ11の小径プーリ部11Xの側面に設けられた小径プーリ部歯部図示略と噛み合うように構成されている。そして、この駆動モータ13が駆動することにより前方プーリ11Aが回転し、その回転に伴ってタイミングベルト6も回転する。ここで、駆動モータ13は、ハウジング2の外部からボルトで取り付けられ、前方プーリ11Aは駆動モータ13の回転軸を中心として回転する。また、後方プーリ11Bは、ハウジング2の外部から取り付けられたプーリ回転支軸12左プーリ回転支軸12a、右プーリ回転支軸12bを中心として回転する。このように、駆動モータ13が駆動することにより、タイミングベルト6と結合されている移動体4が摺動体3とともに摺動ガイド10上を往復直線摺動する。ここで、移動体4のタイミングベルト6と接触する面には移動体歯部19移動体歯部19a、移動体歯部19bが形成され、その移動体歯部19にタイミングベルト歯部16が噛み合うことにより、移動体4はタイミングベルト6と一体になって移動することができる図6参照。なお、本実施形態では、前方プーリ11Aを駆動プーリとし、後方プーリ11Bを従動プーリとしたが、これに限らず、いずれもプーリ11も駆動プーリとしてもよい。また、本実施形態では、2個のプーリ11を用いてタイミングベルト6を張設したが、これに限らず、前方プーリ11Aと後方プーリ11Bの間に他のプーリを設け、3個以上のプーリ11を用いてタイミングベルト6を張設させてもよい。ここで、摺動ガイド10は、タイミングベルト6の内側で、前方プーリ11Aと後方プーリ11Bの間、すなわち、プーリ11の長手側の軸間方向タイミングベルト6の進行方向に配されている。シールベルト5は、帯状形状をしており、移動体4とともに移動しながらハウジング2のスリット9を閉鎖するものである。ここで、ハウジング2のスリット9を閉鎖するとは、スリット9をシールベルト5で塞ぎ、ハウジング2の内部からスリット9を介しハウジング2の外部にゴミや塵埃などが出ないようにしていることを意味し、スリット9とシールベルト5の間にハウジング2の内部からスリット9を介しハウジング2の外部にゴミや塵埃などが出ない程度の隙間が存在する場合も含まれる。このシールベルト5は、タイミングベルト6の外周囲に沿って、2個のプーリ11前方プーリ11A、後方プーリ11Bを軸として張設されている。具体的には、シールベルト5は、タイムングベルト6の外側面に結合して設けられ、タイミングベルト6が張設されているプーリ11の小径プーリ部11Xと一体になったプーリ11の上下プーリ部11Yを介して張設されている。このように、シールベルト5は、タイミングベルト6とともに回転することができる。なお、本実施形態では、シールベルト5とタイミングベルト6を一体的に結合して設けたが、これに限らず、タイミングベルト6をシールベルト5と別体にして、タイミングベルト6をシールベルト5の内側面に沿って設けてもよい。また、本実施形態では、小径プーリ部11Xと一体の上下プーリ部11Yからプーリ11を構成したが、これに限らず、小径プーリ部11Xと別体の上下プーリ部11Yを組み立ててプーリ11を構成してもよい。支持体7は、タイミングベルト6とシールベルト5を介して移動体4とビス17により結合している図6参照。すなわち、支持体7には支持体ビス取付孔図示略が設けられ、またシールベルト5にはシールベルトビス取付孔図示略が設けられている。そして、タイミングベルト6を移動体4のタイミングベルト取付穴18タイミングベルト取付穴18a、タイミングベルト取付穴18bに装着した後、ビス17を支持体7の支持体ビス取付孔図示略およびシールベルト5のシールベルトビス取付孔図示略に挿入して支持体7と移動体4を結合することにより、支持体7とシールベルト5とタイミングベルト6と移動体4が固定される。これにより、移動体4の移動に伴って、支持体7およびシールベルト5も可動することになる。支持体7は、ハウジング2のスリット9から突出してハウジング2の上部に延び、ハウジング2の上部には半導体部品などの精密部品を載せるためのハンド部14左ハンド部14a、右ハンド部14bが形成されている。この支持体7の左ハンド部14aと右ハンド部14bは、ハウジング2の上面上で、左ハンド部14aが右ハンド部14bの下方に所望の間隔をあけて、左ハンド部14aと右ハンド部14bの進行方向の中心位置が同一になるように配置されている。ここで、所望の間隔とは、ハンド部14に載せる物たとえば、半導体部品の高さより高い間隔である。このようにすることにより、下部のハンド部14に半導体部品を載せた状態で、上部のハンド部14を自由に移動させることができる。なお、本実施形態では、左ハンド部14aを右ハンド部14bの下部に配置させたが、これに限らず、右ハンド部14bを左ハンド部14aの下部に配置させてもよい。このように、ハウジング2は、タイミングベルト6と摺動ガイド10と摺動体3と支持体7とシールベルト5からなる駆動手段を2組対称に内包して構成されている。ハウジング2の前方側面2aと後方側面2cには排圧機構図示略が設けられている。この排圧機構は、ハウジング2の前方側面2aと後方側面2cに設けられた排圧口と、その排圧口に接続された排圧チューブと、排圧チューブを介しハウジング2内の内気を吸引するポンプから構成されている。この排圧機構により、ハウジング2内の内気が吸引され、ハウジング2の内部が減圧されて負圧状態に保たれる。また、排圧機構図示略は、ハウジング2の前方側面2aと後方側面2cに設けられた排圧口と、その排圧口全体を覆う塵埃などを通さないフィルターから構成するものであってもよい。この排圧機構によっても、ハウジング2の内部の塵埃などをハウジング2の外部に出すことなく、ハウジング2の内気をハウジング2の外部に排気することができる。なお、本実施形態では、ハウジング2の前方側面2aと後方側面2cに排圧機構図示略を設けたが、これに限らず、ハウジング2の壁面であれば他の壁面に排圧機構を設けたものであってもよい。リニアアクチュエータ1の下部には、回転昇降支軸15が設けられている。この回転昇降支軸15により、リニアアクチュエータ1を上下方向に昇降させることができるとともに回転させることができる。次に、本発明の一実施形態におけるリニアアクチュエータの動作、作用について説明する。リニアアクチュエータ1は、操作スイッチ図示略が操作されることにより、あらかじめ作成されたプログラムに従い作動するが、ここでは、リニアアクチュエータ1の基本動作について説明する。まず、操作スイッチ図示略が操作されることにより、所定のプログラムに従って、支持体7のハンド部14が半導体部品の収納容器内の半導体部品に向かって移動する。具体的には、回転昇降支軸15によりリニアアクチュエータ1を昇降回転させて、支持体7のハンド部14を移動させようとする半導体部品の方向に向ける。そして、駆動モータ13によりプーリ11を回転させ、プーリ11に張設されているタイミングベルト6により移動体4を摺動体3および支持体7とともに半導体部品の方向に前進移動させる。このようにして、支持体7のハンド部14を移動させようとする半導体部品の下部に移動させることができる。そして、支持体7のハンド部14を半導体部品の下部に移動させた後は、回転昇降支軸15によりリニアアクチュエータ1を上昇させ、それに伴ってハンド部14が上昇することにより、ハンド部14上に半導体部品を保持することができる。なお、このように支持体7が前進した場合でも、シールベルト5が移動体4とともに移動するので、ハウジング2のスリット9はシールベルト5により閉鎖されている状態を維持することができる。次に、半導体部品を載せた支持体7のハンド部14をハウジング2の上部に後退させる。具体的には、駆動モータ13を上述と逆回転させることにより、支持体7を後退移動させて、半導体部品が載せられているハンド部14をハウジング2の上部に移動させる。このようにして、支持体7のハンド部14に載せられた半導体部品をハウジング2の上部に移動させることができる。なお、このように支持体7が後退させた場合でも、シールベルト5が移動体4とともに移動するので、ハウジング2のスリット9はシールベルト5により閉鎖されている状態を維持することができる。次に、支持体7のハンド部14に載せられている半導体部品を他の場所に移動させる。具体的には、回転昇降支軸15によりリニアアクチュエータ1を回転昇降させて、支持体7のハンド部14を半導体部品の移動場所の方向に向ける。そして、駆動モータ13によりプーリ11を回転させ、プーリ11に張設されているタイミングベルト6により移動体4を摺動体3および支持体7とともに半導体部品の移動場所に前進移動させる。そして、支持体7のハンド部14上の半導体部品を他の場所まで前進移動させた後は、他の場所において、回転昇降支軸15によりリニアアクチュエータ1を降下させ、それに伴ってハンド部14が降下することにより、他の場所に半導体部品が降ろすことができる。その後、支持体7のハンド部14を後退させる。このように、半導体部品が移動可能になり半導体部品を他の場所に移動させることができる。また、本実施形態のリニアアクチュエータ1は、左支持体7aの左ハンド部14aに半導体部品を載せている状態で、右駆動モータ13bにより右プーリ11bを回転させ、半導体部品の収納容器内の半導体部品を右ハンド部14bに載せることもできる。また、ハンド部14の上下方向に間隔と半導体部品の収納容器の半導体部品の上下方向の間隔が同じ、若しくは正数倍の比例の関係である場合は、左支持体7aの左ハンド部14aと右支持体7bの右ハンド部14bを同時に前進させることにより、半導体部品の収納容器内の別々の半導体部品を左ハンド部14a上および右ハンド部14b上に同時に載せることもできる。このように、ハンド部14をハウジング2のある面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配しているので、リニアアクチュエータ1の現状の高さで、またはリニアアクチュエータ1の高さを変更するのみで、ハンド部14が半導体部品の収納容器に接触することなく、一方のハンド部14で半導体部品を取りながら、他方のハンド部14でも半導体部品を取ることができる。これにより、左ハンド部14aおよび右ハンド部14bがそれぞれ独立して作業することができるので、半導体部品の搬送効率を向上させることができる。今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。以下、本発明の変形例について説明する。1本実施形態では、摺動体3と移動体4を別々の構成として説明したが、これに限らず、摺動体3と移動体4とを一体として摺動体とみなしてもよい。この場合、摺動体はタイミングベルト6により摺動ガイド10上を往復直線摺動し、また摺動体はタイミングベルト6を支持体7との間で挟持している。2本実施形態では、半導体部品をハンド部14に載せると説明したが、これに限らず、半導体部品をハンド部14により把持するようにしてもよい。この場合のハンド部14は、半導体部品を把持する把持手段図示略を有するものである。3本実施形態では、支持体7のハンド部14はハウジング2の上部に配置させたものであったが、これに限らず、ハウジング2の対向する面にスリット9を形成し、支持体7のハンド部14をスリット9が形成された面と異なる面たとえば、ハウジング2の下面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配するようにしてもよい。4本実施形態では、シールベルト5を支持体7と移動体4の間に挟んで結合させたが、これに限らず、シールベルト5を支持体7と移動体4の間に挟まず、シールベルト5と移動体4とをビスにより固定し、支持体7と移動体4とを他のビスにより固定してもよい。ここで、ビスに代えてボルトを用いて固定してもよい本実施形態でも同様。また、シールベルト5を固定する際に、シールベルト5を移動体4内で分離させて固定してもよい。