インレットポート及びアウトレットポートを有する第1のバルブ本体と、前記インレットポートの閉状態及び開状態を行うように、前後に移動するシールユニットと、ベローズにより囲まれ、前記シールユニットを前記閉状態の位置及び前記開状態の位置に移動させるシャフトと、前記シールユニットが前記開状態の位置にあるとき前記ベローズが腐食性ガスにさらされないように、前記ベローズを囲んで形成されるカバーと、前記シャフトに沿って移動し、前記カバーをガイドするカバーガイドユニットと、を含むことを特徴とする真空工程用バルブ。前記シールユニットは、前記カバーの一端に結合され、前記カバーガイドユニットは前記カバーの他端に移動可能に挿入されることを特徴とする請求項1に記載の真空工程用バルブ。前記第1のバルブ本体の前記インレットポートに対向する位置に形成される設置ホールと、前記設置ホールに結合され、前記シャフト及び前記カバーガイドユニットを支持する第2のバルブ本体と、をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の真空工程用バルブ。前記カバーガイドユニットは、前記カバーの他端に挿入されるガイド部材と、前記ガイド部材の先端部に装着され、前記カバーをガイドするように形成される第1のガイドリングと、前記ガイド部材の後端部に備え、前記カバーが前記開状態の位置に到達すると前記カバーを前記シールユニットによりシールする第1のシールリングと、を含むことを特徴とする請求項3に記載の真空工程用バルブ。前記第1のバルブ本体は、エンドフランジをさらに含み、前記ガイド部材の先端部は前記ベローズと結合され、前記ガイド部材の後端部は前記第1のバルブ本体の前記エンドフランジに結合されることを特徴とする請求項4に記載の真空工程用バルブ。前記第1のガイドリングは、前記シールユニットが前記開状態の位置に移動した場合に前記カバー内部のガスを流出させるように、円周方向に沿って形成される複数のカットアウト部を含むことを特徴とする請求項5に記載の真空工程用バルブ。前記カバーは、前記第1のシールリングに接触するように、ラウンド状の面取り端部を有することを特徴とする請求項4に記載の真空工程用バルブ。前記第2のバルブ本体は、ピストンをさらに含み、前記シャフトは、前記エンドフランジを通過して延設され、前記ピストンは、空圧により前記シャフトを移動させるように前記シャフトの後端部に結合されることを特徴とする請求項5に記載の真空工程用バルブ。前記ピストンの外周面に設けられ、前記ピストンを前記第2のバルブ本体の内面に沿って直線的にガイドする第2のガイドリングと、前記ピストンの前記外周面に設けられ、前記第2のバルブ本体をシールする第2のシールリングとをさらに含み、前記第2のバルブ本体の内面は円柱状であることを特徴とする請求項8に記載の真空工程用バルブ。前記第2のガイドリングと前記第2のシールリングとが、前記ピストン上で前記シャフトの長手方向に沿って所定の距離離隔して配置されることを特徴とする請求項9に記載の真空工程用バルブ。前記カバーは、前記カバーの中心方向に配列された複数のネジにより、前記シール部に結合されることを特徴とする請求項1に記載の真空工程用バルブ。前記ベローズは、互いに溶接された複数のサブプレートを含むことを特徴とする請求項1に記載の真空工程用バルブ。インレットポート及びアウトレットポートを有する内部に収容空間が形成されるバルブ本体と、前記バルブ本体にカンチレバー支持されるシャフト及び前記シャフトを囲むベローズを含み、前記収容空間内で前記インレットポートに向かって前進又は後退することにより前記インレットポートの開状態又は閉状態を行うシャフトアセンブリと、前記バルブ本体の中心線方向に沿って延設されるガイド部材と、一端が前記シャフトアセンブリに固定され、他端が前記ガイド部材によりガイドされるように形成されるカバーと、を含むことを特徴とする真空工程用バルブ。このような真空システムは、ポンプ及び配管の真空度を制御できるように、各種バルブを含むが、バルブの内部に腐食性残留物などの異物が付着することにより、装置の寿命を縮め、ポンプに致命的な問題を起こすことがある。本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、バルブに異物が付着することを防止し、バルブの損傷を防止する真空工程用バルブを提供することを目的とする。本発明の他の目的は、バルブを動作させるためのシャフトなどが往復運動を繰り返すことによって撓むことを最小限に抑える真空工程用バルブを提供することを目的とする。本発明の実施形態による真空工程用バルブは、インレットポート及びアウトレットポートを有する第1のバルブ本体と、前記インレットポートの閉状態及び開状態を行うように、前後に移動するシールユニットと、ベローズにより囲まれ、前記シールユニットを前記閉状態の位置及び前記開状態の位置に移動させるシャフトと、前記シールユニットが前記開状態の位置にあるとき前記ベローズが腐食性ガスにさらされないように、前記ベローズを囲んで形成されるカバーと、前記シャフトに沿って移動し、前記カバーをガイドするカバーガイドユニットと、を含むことを特徴とする。前記真空工程用バルブは、前記シールユニットは、前記カバーの一端に結合され、前記カバーガイドユニットは前記カバーの他端に移動可能に挿入されてもよい。前記真空工程用バルブは、前記第1のバルブ本体の前記インレットポートに対向する位置に形成される設置ホールと、前記設置ホールに結合され、前記シャフト及び前記カバーガイドユニットを支持する第2のバルブ本体と、をさらに含んでもよい前記真空工程用バルブは、前記カバーガイドユニットは、前記カバーの他端に挿入されるガイド部材と、前記ガイド部材の先端部に装着され、前記カバーをガイドするように形成される第1のガイドリングと、前記ガイド部材の後端部に備え、前記カバーが前記開状態の位置に到達すると前記カバーを前記シールユニットによりシールする第1のシールリングと、を含んでもよい。前記真空工程用バルブは、前記第1のバルブ本体は、エンドフランジをさらに含み、前記ガイド部材の先端部は前記ベローズと結合され、前記ガイド部材の後端部は前記エンドフランジに結合されてもよい。前記真空工程用バルブは、前記第1のガイドリングは、前記シールユニットが前記開状態の位置に移動した場合に、前記カバー内部のガスを流出させるように、円周方向に沿って形成される複数のカットアウト部を含んでもよい。前記真空工程用バルブは、前記カバーは、前記第1のシールリングに接触するように、ラウンド状の面取り端部を有してもよい。前記真空工程用バルブは、前記第2のバルブ本体は、ピストンをさらに含み、前記シャフトは、前記エンドフランジを通過して延設され、前記ピストンは、空圧により前記シャフトを移動させるように前記シャフトの後端部に結合されてもよい。前記真空工程用バルブは、前記ピストンの外周面に設けられ、前記ピストンを前記第2のバルブ本体の内面に沿って直線的にガイドする第2のガイドリングと、前記ピストンの前記外周面に設けられ、前記第2のバルブ本体をシールする第2のシールリングと、をさらに含み、前記第2のバルブ本体の内面は円柱形状であってもよい。前記真空工程用バルブは、前記第2のガイドリングと前記第2のシールリングとは、前記シャフトの長手方向に沿って所定の距離離隔して前記ピストン上に配置されるようにしてもよい。前記真空工程用バルブは、前記カバーは、前記カバーの中心方向に配列された複数のネジにより、前記シール部に結合されてもよい。前記真空工程用バルブは、前記ベローズは、互いに溶接された複数のサブプレートを含んでもよい。また、本発明の実施形態による真空工程用バルブは、インレットポート及びアウトレットポートを有する内部に収容空間が形成されるバルブ本体と、前記バルブ本体にカンチレバー支持されるシャフト及び前記シャフトを囲むベローズを含み、前記収容空間内で前記インレットポートに向かって前進又は後退することにより前記インレットポートの開状態又は閉状態を行うシャフトアセンブリと、前記バルブ本体の中心線方向に沿って延設されるガイド部材と、一端が前記シャフトアセンブリに固定され、他端が前記ガイド部材によりガイドされるように形成されるカバーと、を含むことを特徴とする。本発明によれば、ベローズにカバーを装着することにより、ベローズに異物が付着したり、異物の付着によりベローズが損傷したりすることを根本的に防止することができ、結果として、装置の安定性と耐久性を向上させ、ポンプなどの破損の危険を低減する真空工程用バルブを提供することができる。また、本発明によれば、カバーガイドユニットを含むことにより、カバーの移動によりシャフト及びベローズが撓むことを防止し、往復運動に対する構造的安定性を有する真空工程用バルブを提供することができる。以下、添付図面を参照して本発明の実施形態による真空工程用バルブについて詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態による真空工程用バルブを用いた真空システムの一例を示す概念図である。図1に示すように、本発明の実施形態による真空システムは、工程チャンバ11、ターボ分子ポンプTMP12、ドライポンプ13を含む。半導体ウエハが配置された工程チャンバ11にガスを注入し、一定のエネルギーを与えてプラズマを発生させると、ウエハに反応が起こり、薄膜が形成される。薄膜形成過程で発生した不要な反応物は、ターボ分子ポンプ12及び配管14から排出される。真空工程用バルブ100は、ターボ分子ポンプ12の下流に設置され、真空工程用バルブ100’は、工程チャンバ11を真空状態にするために使用される。このような真空工程用バルブ100はアイソレーションバルブと呼ばれ、ターボ分子ポンプ12の後段に配置される真空工程用バルブ100’はターボアイソレーションバルブと呼ばれる。ただし、図1は一例にすぎず、本発明の実施形態による真空工程用バルブは、真空を利用して工程を行う装置、例えばロードロックチャンバの真空度を制御するための装置など、各種装置に適用してもよい。図2は、本発明の実施形態による真空工程用バルブを示す断面図である。図2に示すように、真空工程用バルブ100は、インレットポート112及びアウトレットポート113が形成される第1のバルブ本体110と、インレットポート112を選択的に開閉するための開閉装置とを含む。開閉装置は、シャフト122、シール部121、ベローズ123、カバー130、及びカバーガイドユニット140を含む。第1のバルブ本体110は、内部にシャフトアセンブリ120図3参照が収容される収容空間111を有するように、中空形状に形成される。インレットポート112の対向側には、設置ホール110-1が形成され、設置ホール110-1には、シャフト122及びカバーガイドユニット140を支持するための第2のバルブ本体150が結合される。インレットポート112はチャンバ側に連結され、アウトレットポート113はポンプ側に連結される。インレットポート112とアウトレットポート113とは、第1のバルブ本体110において様々な角度を有するように設置することができる。図2においては、インレットポート112とアウトレットポート113とが直角に設置される。シャフト122は、第2のバルブ本体150を通過して長手方向に直線往復移動を行うように形成される。シャフト122を支持するための第2のバルブ本体150の構成の詳細については後述する。シャフト122の直線駆動のために、シャフト122の後端部にはピストン170が結合される。ピストン170の構成の詳細については後述する。シール部121は、インレットポート112に接触することによりインレットポート112を閉塞する閉状態と、インレットポート112から離隔することによりインレットポート112を開放する開状態とを実現できるように形成される。シール部121の先端部には、インレットポート112に接触してインレットポート112を閉塞するためのオーリング125が設置される。シール部121は、シャフト122の先端部に結合されており、シャフト122により、インレットポート112に向かって前進するか、又はインレットポート112から後退する。シール部121は、シャフト122に挿入されたスプリング126により、シール部121が閉状態を保持する方向に付勢されるようになっている。シール部121の開状態の実現のためにシャフト122を後退させる力は、シャフト122の後端部に設置されるピストン170の圧力により発生する。インレットポート112の開放時にシャフト122が腐食性ガスにさらされないように、シャフト122はベローズ123により囲まれている。ベローズ123は、シャフト122の前進又は後退により膨張又は収縮し、ベローズ123の内部空間と外部空間との間を遮断する。ベローズ123は、複数の板を溶接して成形した板状ベローズにより実現してもよい。板状ベローズは、成形ベローズ鋳造により成形したものであって、円弧状断面が重なる形状を有する。に比べて収縮したときの長さが短いので、設置空間の面で利点があり、シール部121の開状態と閉状態間の距離、すなわちシール部121のストロークを十分に確保することができる。また、後述するカバーガイドユニット140は、ベローズ123の設置長さを相対的に短くすることができるので、板状ベローズはこの場合に効用性がある。第1のバルブ本体110には、インレットポート112の閉状態で真空工程用バルブ100内部の収容空間111とインレットポート112に連結された配管の真空度の差を緩和するように、補助ポート105を設置してもよい。ただし、補助ポート105は、真空システムによって省略してもよい。図3は、本発明の実施形態によるカバーが装着されたシャフトアセンブリの断面図である。シャフトアセンブリ120は、前述したシール部121、シャフト122、及びベローズ123を含む。シャフトアセンブリ120は、第1のバルブ本体110にカンチレバー支持される。すなわち、シャフト122は第2のバルブ本体150を通過して第2のバルブ本体150によりガイドされる。第2のバルブ本体150は第1のバルブ本体110に結合されているため、シャフトアセンブリ120の一端は第1のバルブ本体110に支持され、シャフトアセンブリ120の他端は自由端となっている。図3を参照すると、ベローズ123は、腐食性ガスにさらされないように、カバー130により囲まれる。ベローズ123は、複数の溝を含む構造であるので、真空工程用バルブ100の開放時に腐食性ガスに含まれる異物が入り込みやすいため、表面が滑らかなカバー130によりベローズ123を囲む。カバー130は、略円筒状に形成され、その先端部がシール部121に結合される。カバー130とシール部121との結合は、カバー130にシール部121が挿入された状態でカバー130の外周面を貫通して中心方向に配列される複数のネジ131により、カバー130をシール部121に結合させて行う。第1のバルブ本体110にカンチレバー支持されているシャフトアセンブリ120及びカバー130の支持力を補完し、装置の安定性を高めるために、カバー130はカバーガイドユニット140により支持される。カバーガイドユニット140は、カバー130が移動する過程で揺れることを防止し、真空工程用バルブ100の開放時に真空工程用バルブ100の内部を移動するガスからベローズ123を遮蔽する。カバーガイドユニット140は、ガイド部材141と、ガイド部材141の第1の位置に備える第1のガイドリング142と、ガイド部材141の第2の位置に備える第1のシールリング143とを含む。ガイド部材141は、第1のバルブ本体110の中心線方向に沿って延設され、スプリング126及びシャフト122を囲むように円筒状に形成される。このようなガイド部材141は、カバー130の端部が挿入された状態で、カバー130がガイド部材141に沿って移動できるようにする。従って、ガイド部材141は、カバー130が定められた方向に移動するようにし、カンチレバー支持されるシャフト122にかかる半径方向の荷重を低減する。第1のガイドリング142は、ガイド部材141とカバー130の相対移動時、カバー130の内周面に接触してカバー130をガイドできるように形成される。カバー130が開状態の位置と閉状態の位置のどちらでも第1のガイドリング142に接触できるように、第1のガイドリング142と第1のシールリング143間の第1の距離は、開状態の位置と閉状態の位置間の第2の距離より長く設定される。第1のシールリング143は、カバー130が開状態の位置に到達するとカバー130の端部に接触するように形成される。カバー130の接触時の密閉性を向上させるために、カバー130の端部は、第1のシールリング142に接触できるようにラウンド面130-1を含む。ガイド部材141の先端部は、ベローズ123に結合され、ガイド部材141の後端部は、第1のバルブ本体110と第2のバルブ本体150との間に位置し、第1のバルブ本体110を密封するエンドフランジ160に結合される。エンドフランジ160と第1のバルブ本体110に形成された顎部との間には、第2のバルブ本体150の結合時の密封性を向上させるために、オーリングO-ring161が備えられる。図4は、本発明の実施形態による第1のガイドリングを示す平面図である。図4を参照すると、第1のガイドリング142の外周面には、円周方向に沿って複数のカットアウト部142-1が形成される。カットアウト部142-1は、シャフトアセンブリ120が収縮するとき、すなわちシール部121が閉状態の位置から開状態の位置に移動するとき、ベローズ123とカバー130との間の空間の気体が抜け出るように、カバー130の設置による抵抗力を緩和する。ただし、カットアウト部142-1は、図4とは異なり、第1のガイドリング142の外周面上の一箇所に位置してもよい。図5は、本発明に実施形態よる第2のバルブ本体を示す断面図である。シャフト122のガイドのために、第2のバルブ本体150は、中心部にシャフト122が通過する通路ホール151を含み、通路ホール151は、シャフト122を回転支持するためのブッシング158、159及びオーリング157を含む。第2のバルブ本体150の後端部には、ピストン170をガイドするシリンダ部156が形成される。第2のバルブ本体150の一側には、作動流体を流入させるためのポート154が形成され、第2のバルブ本体150の中間部分には、ピストン170に作動流体の圧力を作用させる流体収容部152が備えられる。閉状態への移動時にピストン170を緩衝するために、シリンダ部156の底面にはゴムリング153が設置される。図6は、本発明の実施形態によるピストンを示す断面図である。ピストン170は、作動流体の圧力により、ピストン170と結合されたシャフト122を後退させる。ピストン170は、相対的に幅の広い形状を有し、ピストン170の外周面には、第2のシールリング171を装着するためのシールリング溝170-1、及び第2のガイドリング172を装着するためのガイドリング溝170-2が形成される。第2のガイドリング172は、ピストン122がシリンダ部156内で正確な直線運動を行えるようにガイドし、従って、ポンピングによる半径方向の荷重によりシャフト122が撓み、さらにはピストン170が偏心したり偏摩耗したりすることを防止する。以下、図7を参照して上記構成による作用について説明する。図7は、図2の真空工程用バルブの開状態を示す作動状態図である。ポート154に作動流体が供給されると、ピストン170はその圧力により左側に移動する。これにより、ピストン170と結合されたシャフト122及びシール部121がスプリング126を圧縮して共に左側に移動する。インレットポート112を閉塞していたオーリング125がインレットポート112から離脱すると開放が開始される。これと同時に、シール部121に固定されていたカバー130も左側に移動するが、カバー130は、ガイド部材141及び第1のガイドリング142のガイドにより、ピストン170及びシール部121の移動方向と一致する方向に移動する。カバー130の移動過程で、カバー130とベローズ123との間の空間の気体は、第1のガイドリング142に形成されたカットアウト部142-1を介して収容空間111に放出される。シール部121が完全開状態になると、カバー130の端部は第1のシールリング143に接触する。従って、開状態で収容空間111内に流入した腐食性ガス又は粒子がベローズ123側に流入することが防止される。本発明の実施形態による真空工程用バルブは、前述した実施形態の構成と方法に限定されるものではなく、上記各実施形態の全部又は一部を選択的に組み合わせて様々な変形を加えることで様々な実施形態を構成することができる。