前後にレーザ光を透過させるウィンドウを有するレーザチャンバと、前記レーザチャンバに接続された前記ウィンドウおよびレーザ光路を覆う容器と、前記レーザチャンバと前記容器を収納する筺体とを備え、前記容器内のガスを前記筺体に排出する紫外線ガスレーザ装置において、前記容器から排出されるガスのうち所定のガス成分を捕獲するフィルタを前記筺体内に備えたことを特徴とする紫外線ガスレーザ装置。前記容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排出する回路とからなるパージ用回路と前記レーザチャンバのレーザガスを排出するレーザガス排気用回路とを有し、前記パージ用回路と前記レーザガス排気用回路が前記フィルタを共有することを特徴とする請求項1記載の紫外線ガスレーザ装置。前記容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排気する回路とからなるパージ用回路と前記レーザチャンバのレーザガスを排出するレーザガス排気用回路とを有し、前記パージ用回路に前記フィルタを有するとともに、前記レーザガス排気用回路に前記フィルタとは別に所定のガス成分を捕獲するフィルタが設けられることを特徴とする請求項1記載の紫外線ガスレーザ装置。前後にレーザ光を透過させるウィンドウを有するレーザチャンバと、前記レーザチャンバに接続された前記ウィンドウおよびレーザ光路を覆う容器と、前記レーザチャンバと前記容器を収納する筺体とを備え、前記容器内のガスを前記筺体に排出する紫外線ガスレーザ装置において、前記容器から前記筺体に流れるガスに含まれる前記所定のガス成分を検知する筺体側ガスセンサと、前記筺体側ガスセンサが前記所定のガス成分を検知するに応じて、前記容器から前記筺体に流れるガスを遮断する遮断機構とを設けたことを特徴とする紫外線ガスレーザ装置。前記容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排出する回路とからなるパージ用回路が設けられ、前記筺体側ガスセンサは、前記容器内の所定のガス成分を検知し、前記遮断機構は前記容器内のパージガスを排出する回路に設けられたことを特徴とする請求項4記載の紫外線ガスレーザ装置。前後にレーザ光を透過させるウィンドウを有するレーザチャンバと、前記レーザチャンバに接続された前記ウィンドウおよびレーザ光路を覆う容器と、前記レーザチャンバと前記容器を収納する筺体とを備え、前記容器内のガスを前記筺体に排出する紫外線ガスレーザ装置において、前記レーザチャンバ内部のガス圧を検知するガス圧センサと、前記ガス圧センサが前記レーザチャンバ内のガス圧の低下を検知するに応じて、前記容器から前記筺体に流れるガスを遮断する遮断機構とを設けたことを特徴とする紫外線ガスレーザ装置。現在、露光時間を短縮するために紫外線ガスレーザ装置から出力されるレーザ光の高出力化が強く求められるようになっている。それに伴い以下のような問題がでてきた。図4において、発振段10から出力されたシード光を増幅する増幅段20では、レーザチャンバ21のウィンドウ22、23にたえず高エネルギーのレーザ光が照射される。そのため、ウィンドウ22、23は高エネルギーのレーザ光によりダメージを受け、場合によってはウィンドウ22、23に微小クラックが発生し、この微小クラックが進展して内外部を貫通するクラックとなってレーザガスがリークする可能性がある。小さなエネルギーのレーザ光を生成する発振段10ではウィンドウ11c、11dにクラックが発生するといった問題は発生する可能性は低い。ところが、図4において、従来のパージ用回路40の場合、ウィンドウ22からリークしたレーザガスは、案内ミラー容器13a、案内ミラー容器側パージガス排出管路43、排出管路43aを流れ、排出管路43aの放出端43bから筺体2内にそのまま流出してしまう。同様に、ウィンドウ23からリークしたレーザガスは、フロントミラー容器24、フロントミラー容器側パージガス排出管路46、排出管路43aを流れ、排出管路43aの放出端43bから筺体2内にそのまま流出してしまう。ウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークすると、排気通路4の排気通路側ガスセンサ5はレーザガスに含まれたフッ素ガスを検知し、異常警報が発せられる。レーザガスがリークした紫外線ガスレーザ装置1だけでなく、周辺で稼動していた他の複数の紫外線ガスレーザ装置、さらには露光に関係する設備全体の稼動を停止させる。その後レーザガスがリークしたレーザ装置1をメンテナンスする。そのため、紫外線ガスレーザ装置1のレーザガスが筺体2内に流出すると、露光に関係する生産性の効率が低下してしまう。また、ウィンドウ22、23に発生したクラックからリークしたフッ素ガスが筺体2内に放出されると、フッ素ガスは有害なため、メンテナンス時に筺体2をすぐに開放することができない。そのため、迅速にメンテナンスを行うことができない。同様に、高出力のレーザ光を要求されるシングルチャンバのレーザ装置の場合も、シングルチャンバに封入したレーザガスがシングルチャンバのウィンドウに発生したクラックからリークするおそれがでてきた。本願発明は上記した問題に鑑みてなされたものであり、たとえレーザチャンバのウィンドウからレーザガスがリークしても、レーザガスに含まれる所定のガス成分が紫外線ガスレーザ装置の筺体内に流出するのを防止できる紫外線ガスレーザ装置を提供することを目的とする。以上のような目的を達成するために、第1発明では、前後にレーザ光を透過させるウィンドウを有するレーザチャンバと、前記レーザチャンバに接続された前記ウィンドウおよびレーザ光路を覆う容器と、前記レーザチャンバと前記容器を収納する筺体とを備え、前記容器内のガスを前記筺体に排出する紫外線ガスレーザ装置において、前記容器から排出されるガスのうち所定のガス成分を捕獲するフィルタを前記筺体内に備えたことを特徴とする。第1発明を図1を用いて説明する。第1発明では、図1に示すように、案内ミラー容器13aとフロントミラー容器24から筺体2に排出されるガスのうち、所定のガス成分を捕獲するフィルタ49が筺体2内に設けられている。そのため、たとえレーザガスがリークしても、案内ミラー容器13aとフロントミラー容器24から筺体2に排出されるガスの成分のうち所定のガス成分をフィルタ49で捕獲することができる。第2発明は、第1発明において、前記容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排出する回路とからなるパージ用回路と前記レーザチャンバのレーザガスを排出するレーザガス排気用回路とを有し、前記パージ用回路と前記レーザガス排気用回路とが前記フィルタを共有することを特徴とする。第2発明を図1を用いて説明する。第2発明では、図1に示すように、ウィンドウ22は案内ミラー容器13aで筺体2内の雰囲気から遮断される。ウィンドウ23はフロントミラー容器24で筺体2内の雰囲気から遮断される。そのため、たとえウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスは案内ミラー容器側パージガス排出管路43、フロントミラー容器側パージガス排出管路46、排出管路43aを介してフィルタ49を必ず通過する。したがって、レーザガスに含まれたフッ素ガスはフィルタ49で捕獲され、筺体2内にフッ素ガスが放出されることがない。第2発明ではフィルタ49はパージ用回路とレーザガス排出用回路に共通フィルタとして用いられる。そのため、案内ミラー容器13aとフロントミラー容器24内にリークしたフッ素ガスを共通のフィルタ49で必ず捕獲することができる。第3発明は、第1発明において、前記容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排気する回路とからなるパージ用回路と前記レーザチャンバのレーザガスを排出するレーザガス排気用回路とを有し、前記パージ用回路に前記フィルタを有するとともに、前記レーザガス排気用回路に前記フィルタとは別に所定のガス成分を捕獲するフィルタが設けられることを特徴とする。第3発明を図2を用いて説明する。第3発明では、図2に示すように、ウィンドウ22は案内ミラー容器13aで筺体2内の雰囲気から遮断される。ウィンドウ23はフロントミラー容器24で大気から遮断される。そのため、たとえウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスは案内ミラー容器側パージガス排出管路43、フロントミラー容器側パージガス排出管路46、排出管路55を介してフィルタ56を必ず通過する。したがって、レーザガスに含まれたフッ素ガスはフィルタ56で捕獲され、筺体2内にフッ素ガスが放出されることがない。第3発明ではパージ用回路とレーザガス排出用回路はそれぞれ別のフィルタを有している。そのため、案内ミラー容器13aにリークしたフッ素ガスはフィルタ56で捕獲され、フロントミラー容器24内にリークしたフッ素ガスはフィルタ56で捕獲される。第4発明は、前後にレーザ光を透過させるウィンドウを有するレーザチャンバと、前記レーザチャンバに接続された前記ウィンドウおよびレーザ光路を覆う容器と、前記レーザチャンバと前記容器を収納する筺体とを備え、前記容器内のガスを前記筺体に排出するレーザ装置において、前記容器から前記筺体に流れるガスに含まれる前記所定のガス成分を検知する筺体側ガスセンサと、前記筺体側ガスセンサが前記所定のガス成分を検知するに応じて、前記容器から前記筺体に流れるガスを遮断する遮断機構を設けたことを特徴とする。第4発明を図3を用いて説明する。第4発明では、図3に示すように、ウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークして筺体側ガスセンサ61、62が所定のガス成分を検知した場合、案内ミラー容器13aおよびフロントミラー容器24から筺体2内にレーザガスが流れないように、遮断機構によりリークしたレーザガスを遮断している。第5発明は、第4発明において、前記容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排出する回路とからなるパージ用回路が設けられ、前記筺体側ガスセンサは、前記容器に設けられ、前記遮断機構は前記容器内のパージガスを排出する回路に設けられたことを特徴とする。第5発明を図3を用いて説明する。第5発明では、図3に示すように、案内ミラー容器13a内とフロントミラー容器24内のフッ素ガスを検知できるように、筺体側ガスセンサ61、62を設けている。そのため、案内ミラー容器13a内またはフロントミラー容器24内にウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークした場合、筺体側ガスセンサ61、62でレーザガスに含まれたフッ素ガスを検出し、案内ミラー容器側パージガス排出管路43とフロントミラー容器側パージガス排出管路46に設けたバルブ44、47を遮断することができる。第6発明は、前後にレーザ光を透過させるウィンドウを有するレーザチャンバと、前記レーザチャンバに接続された前記ウィンドウおよびレーザ光路を覆う容器と、前記レーザチャンバと前記容器を収納する筺体とを備え、前記容器内のガスを前記筺体に排出する紫外線ガスレーザ装置において、前記レーザチャンバ内部のガス圧を検知するガス圧センサと、前記ガス圧センサが前記レーザチャンバ内のガス圧の低下を検知するに応じて、前記容器から前記筺体に流れるガスを遮断する遮断機構とを設けたことを特徴とする。第6発明では、ウィンドウに発生したクラックからレーザガスがリークするとレーザチャンバ内部の圧力が低下するため、ガス圧センサによってそのガス圧低下を検知することによりレーザガスのリークを検知することが可能である。発明の効果第1発明乃至第3発明によれば、たとえレーザチャンバに設けたウィンドウに発生したクラックからレーザガスがリークしても、ウィンドウを大気から遮断する容器から筺体側にレーザガスが放出される前に、レーザガスに含まれる所定のガス成分をフィルタで捕獲することができる。そのため、排気通路側ガスセンサが所定のガス成分を検知することがなく、異常警報が発せられることもない。これにより、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する生産設備全体を停止することを回避でき、露光に関する生産性が低下することがない。第4発明および第5発明によれば、筺体側ガスセンサが所定のガス成分を検知した場合、ウィンドウを大気から遮断する容器から筺体内にレーザガスが放出されないように、遮断機構により容器から筺体に流れるガスを遮断している。そのため、排気通路側ガスセンサが所定のガス成分を検知することがなく、異常警報が発せられることもない。これにより、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する設備全体を停止することを回避でき、露光に関する生産性が低下することがない。また、レーザチャンバのウィンドウに発生したクラックからリークしたレーザガスが筺体内に放出されないので、メンテナンス作業の前に筺体内に放出されたフッ素ガスを除去する必要がない。これにより、安全にしかも迅速にレーザガスがリークした紫外線ガスレーザ装置のメンテナンスを行うことができる。第6発明によれば、ガス圧センサがレーザチャンバ内部のレーザガス圧の低下を検知した場合、案内ミラー容器側パージガス排出管路43のガス流れとフロントミラー容器側パージガス排出管路46のガス流れが遮断される。これにより、第6発明においても、第4発明および第5発明と同様の効果を得ることができる。発明の効果第1発明乃至第3発明によれば、たとえレーザチャンバに設けたウィンドウに発生したクラックからレーザガスがリークしても、ウィンドウを大気から遮断する容器から筺体側にレーザガスが放出される前に、レーザガスに含まれる所定のガス成分をフィルタで捕獲することができる。そのため、排気通路側ガスセンサが所定のガス成分を検知することがなく、異常警報が発せられることもない。これにより、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する生産設備全体を停止することを回避でき、露光に関する生産性が低下することがない。第4発明および第5発明によれば、筺体側ガスセンサが所定のガス成分を検知した場合、ウィンドウを大気から遮断する容器から筺体内にレーザガスが放出されないように、遮断機構により容器から筺体に流れるガスを遮断している。そのため、排気通路側ガスセンサが所定のガス成分を検知することがなく、異常警報が発せられることもない。これにより、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する設備全体を停止することを回避でき、露光に関する生産性が低下することがない。また、レーザチャンバのウィンドウに発生したクラックからリークしたレーザガスが筺体内に放出されないので、メンテナンス作業の前に筺体内に放出されたフッ素ガスを除去する必要がない。これにより、安全にしかも迅速にレーザガスがリークした紫外線ガスレーザ装置のメンテナンスを行うことができる。第6発明によれば、ガス圧センサがレーザチャンバ内部のレーザガス圧の低下を検知した場合、案内ミラー容器側パージガス排出管路43のガス流れとフロントミラー容器側パージガス排出管路46のガス流れが遮断される。これにより、第6発明においても、第4発明および第5発明と同様の効果を得ることができる。本願発明の実施例1の紫外線ガスレーザ装置を説明するための概念図である。本願発明の実施例2の紫外線ガスレーザ装置を説明するための概念図である。本願発明の実施例2の紫外線ガスレーザ装置を説明するための概念図である。従来の紫外線ガスレーザ装置を説明するための概念図である。以下、実施例につき本願発明を説明する。以下、実施例につき本願発明を説明する。実施例1図1は本願発明の実施例1の紫外線ガスレーザ装置を説明するための概念図である。図1の基本構成は図4と同じであり、おもな相違点はパージ用回路の構成である。したがって、以下において、図4と同機能を有する構成要素については同じ符号をつける。実施例1のパージ用回路40は、案内ミラー容器13a内に供給されたパージガスを排出する案内ミラー容器側パージ用回路40aと、フロントミラー容器24内に供給されたパージガスを排出するフロントミラー容器側パージ用回路40bとからなる。案内ミラー容器13aのうちレーザチャンバ21のウィンドウ22近傍には案内ミラー容器側パージガス導入管路41が接続される。案内ミラー容器13aのうちレーザチャンバ11のウィンドウ11c近傍には案内ミラー容器側パージガス導入管路42が接続される。案内ミラー容器13aの発振段10寄りには案内ミラー容器側パージガス排出管路43が接続される。案内ミラー容器側パージガス排出管路43上にはバルブ44が設けられる。案内ミラー容器側パージガス排出管路43は排出管路43aの一端に接続される。排出管路43aの他端は後述するレーザガス排出用回路のガス管路48に接続される。排出管路43a上には逆止弁52とバルブ53が設けられる。逆止弁52は排出管路48側のガスが排出管路43a側に逆流しないように設けられる。フロントミラー容器24のうちレーザ光出射側にはフロントミラー容器側パージガス導入管路45が接続される。フロントミラー容器24のうちウィンドウ23近傍にはフロントミラー容器側パージガス排出管路46が接続される。フロントミラー容器側パージガス排出管路46上にはバルブ47が設けられる。フロントミラー容器側パージガス排出回路46は案内ミラー容器側パージガス排出管路43とともに排出管路43aに接続される。レーザガス排気用回路60は、おもにレーザチャンバ11、21内のレーザガスを排気するための2つのガス管路11b、21cと、これらのガス管路に接続するガス管路48とからなる。ガス管路48はフッ素ガスを捕獲するフィルタ49と逆止弁54を介してポンプ50に接続される。ポンプ50の排出口51は筺体2内にある。ガス管路11bは、一端がレーザチャンバ11に接続され、他端がガス管路48に接続される。ガス管路21cは、一端がレーザチャンバ21に接続され、他端がガス管路48に接続される。ガス管路48はフッ素ガスを捕獲するフィルタ49と逆止弁54を介してポンプ50に接続される。逆止弁54はポンプ50側からフィルタ49側にガスが逆流しないようにするために設けられる。図1の構成の場合、たとえウィンドウ22にクラックが発生してレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスは案内ミラー容器13aと案内ミラー容器側パージガス排出管路43と排出管路43aと排出管路48を経由して、フィルタ49を必ず通過する。レーザガスに含まれたフッ素ガスはフィルタ49で捕獲され、その他のガスはフィルタ49を通過し、排出口51から筺体2内に放出される。そのため、筺体2内にフッ素ガスが放出されることがない。同様に、たとえウィンドウ23にクラックが発生してレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスはフロントミラー容器24とフロントミラー容器側パージガス排出管路46と排出管路43aと排出管路48を経由して、フィルタ49を必ず通過する。レーザガスに含まれたフッ素ガスはフィルタ49で捕獲され、その他のガスはフィルタ49を通過し、排出口51から筺体2内に放出される。そのため、筺体2内にフッ素ガスが放出されることがない。したがって、排気通路4に設けた排気通路側ガスセンサ5がウィンドウ22、23に発生したクラックからリークしたフッ素ガスを検知することはなく、異常警報が発せられることもない。図1の構成の場合、異常警報が発せられないので、他の複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた周辺の露光に関係する設備全体を停止することが回避できるメリットがある。一方、レーザチャンバ21からリークしたフッ素ガスがフィルタ49で捕獲されるため、レーザチャンバ21からレーザガスがリークしたことを排気通路側ガスセンサ5で検知できないというデメリットがある。しかしながら、ウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークしたことは以下のようにして知ることができる。ウィンドウ22、23にクラックが発生してレーザガスがリークすると、出力レーザ光の性能、たとえば出力レーザ光のエネルギーが低下する。そこで、出力レーザ光のエネルギーを常時監視することにより間接的にウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークしたことを知ることができる。以上のように、実施例1によれば、ウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスは必ずフィルタ49を通過する。したがって、レーザガスに含まれるフッ素ガスはフィルタ49で捕獲され、フッ素ガスが筺体2内に放出されることがない。そのため、排気通路側ガスセンサ5がフッ素ガスを検知することはなく、異常警報が発せられることもない。これにより、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する設備全体を停止することを回避でき、露光に関する生産性が低下することがない。また出力レーザ光の性能を常時監視することにより、レーザガスがリークした紫外線ガスレーザ装置1を迅速に発見することができる。そのため、露光に関するそのほかの複数の紫外線ガスレーザ装置を含む設備を停止することなく、レーザガスがリークした紫外線ガスレーザ装置1のみをメンテナンスすればよい。これにより、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する設備全体を停止することを回避でき、露光に関する生産性が低下することがない。実施例2実施例1は、図1に示すように、パージ用回路40のパージガスがレーザガス排気用回路60に設けられたフィルタ49を介して筺体2内に放出される構成であった。図1の構成の場合、パージ用回路40の排出管路43a上に逆止弁52およびバルブ53が配置される。ポンプ50側には逆止弁54が配置される。逆止弁を開放してパージガスを筺体2内に排出するためには、案内ミラー容器側パージガス導入管路41、42およびフロントミラー容器側パージガス導入管路45から、案内ミラー容器13aとフロントミラー容器24内にそれぞれ導入するパージガスの圧力を高める必要がある。その結果、案内ミラー容器13a内およびフロントミラー容器24内の圧力が高くなり、案内ミラー容器13aおよびフロントミラー容器24が変形するおそれがある。また案内ミラー容器13a内の各光学部品11a、14、15、21aの位置ずれを招くおそれがある。同様に、フロントミラー容器24内のフロントミラー21bの位置ずれを招くおそれがある。そこで実施例2では、実施例1の構成に伴う問題を回避するために、パージ用回路40のフィルタをレーザガス排出用回路60のフィルタとは別に設けることとし、互いに回路を切り離している。図2は本願発明の実施例2の紫外線ガスレーザ装置を説明するための概念図である。図2の基本構成は図4と同じであり、おもな相違点はパージ用回路の構成である。したがって、以下において、図4と同機能を有する構成要素については同じ符号をつける。実施例2のパージ用回路40は、案内ミラー容器13a内に供給されたパージガスを排出する案内ミラー容器側パージ用回路40aと、フロントミラー容器24内に供給されたパージガスを排出するフロントミラー容器側パージ用回路40bとからなる。案内ミラー容器13aのうちレーザチャンバ21のウィンドウ22近傍には案内ミラー容器側パージガス導入管路41が接続される。案内ミラー容器13aのうちレーザチャンバ11のウィンドウ11c近傍には案内ミラー容器側パージガス導入管路42が接続される。案内ミラー容器13aの発振段10寄りには案内ミラー容器側パージガス排出管路43が接続される。案内ミラー容器側パージガス排出管路43上にはバルブ44が設けられる。フロントミラー容器24のうちレーザ光出射側にはフロントミラー容器側パージガス導入管路45が接続される。フロントミラー容器24のうちウィンドウ23近傍にはフロントミラー容器側パージガス排出管路46が接続される。フロントミラー容器側パージガス排出管路46上にはバルブ47が設けられる。案内ミラー容器側パージガス排出管路43とフロントミラー容器側パージガス排出管路46は排出管路55に接続される。排出管路55にはフッ素ガスを捕獲するフィルタ56とバルブ57が設けられる。バルブ57はフィルタ56と放出端58の間に設けられる。排出管路55の放出端58は筺体2内にある。レーザガス排気用回路60は、おもにレーザチャンバ11、21内のレーザガスを排気するための2つのガス管路11b、21cと、これらのガス管路に接続するガス管路48とからなる。ガス管路48はフッ素ガスを捕獲するフィルタ49と逆止弁54を介してポンプ50に接続される。ポンプ50の排出口51は筺体2内にある。ガス管路11bは、一端がレーザチャンバ11に接続され、他端がガス管路48に接続される。ガス管路21cは、一端がレーザチャンバ21に接続され、他端がガス管路48に接続される。ガス管路48はフッ素ガスを捕獲するフィルタ49と逆止弁54を介してポンプ50に接続される。逆止弁54はポンプ50側からフィルタ49側にガスが逆流しないようにするために設けられる。図2の構成の場合、たとえウィンドウ22、23にクラックが発生してレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスは必ずフィルタ56を通過する。そのため、レーザガスに含まれるフッ素ガスはフィルタ56で捕獲され、フッ素ガスが筺体2内に放出されることがない。したがって、排気通路側ガスセンサ5がフッ素ガスを検知することはなく、異常警報が発せられることもない。また、パージ用回路40には逆止弁がないため、実施例1の場合より小さな圧力のパージガスで案内ミラー容器13a内およびフロントミラー容器24内に導入可能である。以上のように、実施例2によれば、ウィンドウ22、23にクラックが発生してレーザガスがリークしても、レーザガスに含まれるフッ素ガスが筺体2内に放出されることがない。そのため、排気通路側ガスセンサ5はフッ素ガスを検知することはなく、異常警報が発せられることもない。これにより、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する設備全体を停止することを回避でき、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する生産性の効率を低下させることがない。また実施例1と同様にして、出力レーザ光の性能を常時監視してレーザガスがリークした紫外線ガスレーザ装置1をすばやく発見できる。そのため、レーザガスがリークした紫外線ガスレーザ装置1のみをメンテナンスすればよく、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する生産性の効率を低下させることがない。また実施例2によれば、パージガスの導入圧力を小さくできる。そのため、案内ミラー容器13aおよびフロントミラー容器24の変形を回避することができる。これにより、案内ミラー容器13a内の各光学部品11a、14、15、21aの位置ずれを招くことが回避できる。同様に、フロントミラー容器24内のフロントミラー21bの位置ずれを招くことが回避できる。実施例3実施例1および実施例2では、ウィンドウ22、23に発生したクラックからリークしたレーザガスのうちフッ素ガスをフィルタで捕獲し、これにより、フッ素ガスが筺体2内に放出されることを防止していた。実施例3では、ウィンドウ22、23にクラックが発生してレーザガスがリークした場合、パージガスの出口管路を遮断してリークしたレーザガスが筺体2内に流出しないようにしている。図3は本願発明の実施例3の紫外線ガスレーザ装置を説明するための概念図である。図3の基本構成は図4と同じである。したがって、以下において、図4と同機能を有する構成要素については同じ符号をつける。実施例3では、図4と異なり、案内ミラー容器13a内に含まれるフッ素ガスを検知する筺体側ガスセンサ61とフロントミラー容器24内に含まれるフッ素ガスを検知する筺体側ガスセンサ62が設けられている。また、バルブ44、47の開閉を制御するコントローラ63が設けられている。具体的には、筺体側ガスセンサ61は、案内ミラー容器13aのうちレーザチャンバ21のウィンドウ22に隣接する箇所に設けられている。こうすることで、ウィンドウ22に発生したクラックからリークしたレーザガスを迅速に検出することができる。また筺体側ガスセンサ62は、フロントミラー容器24のうちレーザチャンバ21のウィンドウ23に隣接する箇所に設けられている。こうすることで、ウィンドウ23に発生したクラックからリークしたレーザガスを迅速に検出することができる。筺体側ガスセンサ61はフッ素ガスを検知するとコントローラ63に検知信号を送信する。コントローラ63は検知信号を受信するとバルブ44に遮断信号を送信する。バルブ44は遮断信号を受信すると案内ミラー容器側パージガス排出管路43のガスの流れを遮断する。筺体側ガスセンサ62はフッ素ガスを検知するとコントローラ63に検知信号を送信する。コントローラ63は検知信号を受信するとバルブ47に遮断信号を送信する。バルブ47は遮断信号を受信するとフロントミラー容器側パージガス排出管路46のガスの流れを遮断する。場合によっては、筺体側ガスセンサ61、62のいずれかでフッ素ガスが検知されたら、バルブ44、47の両方が遮断されるようにしてもよい。さらに、バルブ44、47の遮断とともに、パージガスの供給自体を停止してもよい。図3の構成の場合、たとえウィンドウ22、23に発生したクラックからレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスが混入したパージガスはバルブ44、47で遮断される。したがって、フッ素ガスが筺体2内に放出されることがない。そのため、排気通路4に設けた排気通路側ガスセンサ5がフッ素ガスを検知して、複数の紫外線ガスレーザ装置を含めた露光に関する設備全体を停止することがない。したがって、露光に関する生産性の効率を低下させることがない。以上のように、実施例3から、実施例1および実施例2と同様の効果を得ることができる。さらに実施例3では次のような効果も得ることができる。ウィンドウ22、23に発生したクラックからリークしたフッ素ガスが筺体2内に放出されると、フッ素ガスは有害なため、メンテナンス時に筺体2をすぐに開放することができない。実施例3によれば、ウィンドウ22、23に発生したクラックからリークしたレーザガスが筺体2内に放出されない。そのため、メンテナンス作業前に筺体2内のフッ素ガスを処理する必要がなく、安全にしかも迅速に紫外線ガスレーザ装置1のメンテナンスを行うことができる。実施例3では、フロントミラー容器側パージガス排出管路46は案内ミラー容器側パージガス排出管路43のうちバルブ44の下流側で排出管路43aに合流するように接続されている。必要に応じて案内ミラー容器側パージガス排出管路43とフロントミラー容器側パージガス排出管路46をそれぞれ独立して構成し、それぞれの放出端で窒素ガスを筺体2内に放出してもよい。また、レーザチャンバ21内部のガス圧力を検知するガス圧センサ図示していないにより、レーザガスのリークを検知することもできる。ウィンドウに発生したクラックからレーザガスがリークするとレーザチャンバ内部の圧力が低下するため、ガス圧センサによってそのガス圧低下を検知することによりレーザガスのリークを検知することが可能である。なお、リークがなくてもレーザガスの供給排気制御によって、レーザガス圧が低下する場合がある。そこで、レーザガスの排気制御を行っていないときにレーザガス圧の低下を検知したり、レーザガスの排気制御の結果以上のレーザガス圧低下を検知したりした場合にレーザガスのリークがあったものと判断することができる。このガス圧センサはレーザガス圧の低下を検知するとコントローラ63に検知信号を送信する。コントローラ63は検知信号を受信するとバルブ44、47に遮断信号を送信する。各バルブは遮断信号を受信すると案内ミラー容器側パージガス排出管路43のガス流れとフロントミラー容器側パージガス排出管路46のガス流れを遮断する。以上説明した実施例でも実施例1、2と同様の効果を得ることができる。以上の実施例1~3では、発振段と増幅段で構成される紫外線ガスレーザ装置で説明した。本願発明はシングルチャンバの紫外線ガスレーザ装置にも適用できることは明らかである。また、実施例1~3ではパージガスを窒素ガスとした。本願発明は特に窒素ガスに限られるものではなく適宜ほかのパージガスを用いることができる。