ブース内に流体を供給して前記ブース内の空気を温調する温調手段と、前記ブース内の空気の空気温度を検出する空気温度検出手段と、前記温調手段の運転を制御する制御手段とを備え、前記空気温度の温度制御範囲として下限値と上限値とが設定された温度制御範囲の異なる複数のレベルが、当該複数のレベルのうち隣接するレベルの前記温度制御範囲を相互にオーバーラップさせた環状ステップを形成するように設定され、前記制御手段が、現在のレベルにおいて前記温調手段の温調出力を制御している制御状態において、前記空気温度が前記現在のレベルの温度制御範囲における上限値に到達した場合には、前記現在のレベルを、より大きな上限値を有する新たなレベルに変更して温調出力を上昇させ、前記空気温度が前記現在のレベルの温度制御範囲における下限値に到達した場合には、前記現在のレベルを、より小さな下限値を有する新たなレベルに変更して温調出力を低下させるように、前記複数のレベル間に亘って移動可能なステップサーモ方式を用いて前記温調手段の温調出力を制御する温調装置であって、前記ブース内に供給される流体の流体温度を検出する流体温度検出手段を備え、前記制御手段が、前記流体温度検出手段により検出される流体温度が流体用目標設定温度となるように前記温調手段を運転制御する構成で、前記複数のレベルそれぞれに、異なる温度の前記流体用目標設定温度が対応して設定されるとともに、前記環状ステップに対応して、制御の基準となる基準点がそれぞれ設定され、現在の基準点を制御の基準として前記温調手段の温調出力を制御している制御状態において、前記空気温度が、前記現在の基準点に対応する現在の前記環状ステップから新たな前記環状ステップに移動した後、当該新たな環状ステップを構成するレベル間を往復した際における復のタイミングで、前記制御手段が、前記現在の基準点を当該新たな環状ステップに設定された新たな基準点に変更する温調装置。前記現在の基準点を前記新たな基準点に変更するタイミングが、前記空気温度が前記現在の基準点に対応する現在の前記環状ステップから新たな前記環状ステップに移動した後、当該新たな環状ステップを構成するレベル間を2往復又は3往復した際における最後の復のタイミングに設定される請求項1に記載の温調装置。前記温調手段が、前記ブース内に配設された輻射パネル内に前記流体としての熱媒を循環供給して前記ブース内の空気を輻射温調する輻射温調手段で構成され、前記流体温度検出手段が、前記輻射パネルに供給される熱媒の熱媒温度を検出する熱媒温度検出手段で構成されるとともに、前記制御手段が、前記空気温度に替えて、当該空気温度と前記ブース内における空気の空気用目標設定温度との差分値である制御変数を用いる請求項2に記載の温調装置。前記基準点のそれぞれは、前記環状ステップそれぞれの中間値に設定されている請求項3に記載の温調装置。前記複数のレベルそれぞれに対応する異なる温度の前記流体用目標設定温度としての熱媒用目標設定温度が、前記空気用目標設定温度に所定値を加算又は減算した値である請求項4に記載の温調装置。ここで、上述のとおり、特許文献1に記載の温調装置では、制御手段が、一つのレベルに対応する機器の運転停止の信号を繰り返し検出した場合に、一つのレベルにおいて運転が安定していると判断するものとされている。しかしながら、一つのレベルに対応する機器の運転停止の信号を繰り返し検出した場合には、機器の運転停止の信号が数回繰り返し検出された際に運転が安定していると判断する場合や、非常に多くの回数の運転停止の信号が繰り返し検出された際に漸く運転が安定していると判断する場合などが含まれ、実質的に、運転停止の信号の検出が繰り返された場合において、どのタイミングで運転が安定しているかを判断するのかが明確ではなかった。例えば、機器の運転停止の信号が数回繰り返し検出された際に運転が安定していると判断する場合には、空気温度が複数の環状ステップを順次移動している状態で、一つのレベルに対応する機器の運転停止の信号が他のレベルに対応する機器の運転停止の信号とともに繰り返し検出されて、実際には当該一つのレベルにおいて運転が安定する方向に制御が向かっていない場合でも、運転が安定していると判断してしまう虞があった。また、非常に多くの回数の運転停止の信号が繰り返し検出された場合に運転が安定していると判断する場合には、既に運転が安定している状態であるにも拘らず、運転が安定した際に行われるべき制御が行われない状態が比較的長くなる虞があった。そのため、運転が安定しているか否かの正確且つ迅速な判断が遅れて、ブース内の空気の空気温度が空気用目標設定温度を挟んで比較的長い時間ハンチングしたり、当該空気温度が空気用目標設定温度に収束するまでに比較的長い時間が必要となる虞があり、この場合、温調手段の運転のために余分なエネルギーが必要となる。また、状態によっては、空気温度が空気用目標設定温度に収束しない場合も発生する。本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ブース内を温調する際に、運転が安定していることを正確かつ迅速に判断して、ブース内の空気の空気温度を短い時間で且つハンチングを防止しながら空気用目標設定温度に収束するように安定させ、省エネを実現できる温調装置を提供することにある。上記目的を達成するための本発明に係る温調装置は、ブース内に流体を供給して前記ブース内の空気を温調する温調手段と、前記ブース内の空気の空気温度を検出する空気温度検出手段と、前記温調手段の運転を制御する制御手段とを備え、前記空気温度の温度制御範囲として下限値と上限値とが設定された温度制御範囲の異なる複数のレベルが、当該複数のレベルのうち隣接するレベルの前記温度制御範囲を相互にオーバーラップさせた環状ステップを形成するように設定され、前記制御手段が、現在のレベルにおいて前記温調手段の温調出力を制御している制御状態において、前記空気温度が前記現在のレベルの温度制御範囲における上限値に到達した場合には、前記現在のレベルを、より大きな上限値を有する新たなレベルに変更して温調出力を上昇させ、前記空気温度が前記現在のレベルの温度制御範囲における下限値に到達した場合には、前記現在のレベルを、より小さな下限値を有する新たなレベルに変更して温調出力を低下させるように、前記複数のレベル間に亘って移動可能なステップサーモ方式を用いて前記温調手段の温調出力を制御する温調装置であって、その特徴構成は、前記ブース内に供給される流体の流体温度を検出する流体温度検出手段を備え、前記制御手段が、前記流体温度検出手段により検出される流体温度が流体用目標設定温度となるように前記温調手段を運転制御する構成で、前記複数のレベルそれぞれに、異なる温度の前記流体用目標設定温度が対応して設定されるとともに、前記環状ステップに対応して、制御の基準となる基準点がそれぞれ設定され、現在の基準点を制御の基準として前記温調手段の温調出力を制御している制御状態において、前記空気温度が、前記現在の基準点に対応する現在の前記環状ステップから新たな前記環状ステップに移動した後、当該新たな環状ステップを構成するレベル間を往復した際における復のタイミングで、前記制御手段が、前記現在の基準点を当該新たな環状ステップに設定された新たな基準点に変更する点にある。ここで、上記復のタイミングとは、空気温度が新たな環状ステップを構成する二つのレベルのうち、一方のレベルと他方のレベルとを連続して往復する際において、一方のレベルから他方のレベルに変更され、その後連続して、当該他方のレベルから一方のレベルに変更される瞬間をいう。上記特徴構成によれば、基本的に、制御手段は、ブース内に供給される流体の流体温度流体温度検出手段により検出される流体温度が流体用目標設定温度となるように、温調手段の温調出力の運転制御を実行する。この際には、ブース内において検出される空気の空気温度の温度制御範囲として下限値と上限値とが設定された温度制御範囲が異なる複数のレベルが設定され、複数のレベルのうち隣接するレベルの温度制御範囲が相互にオーバーラップした環状ステップを形成するように設定される。これにより、制御手段が、現在のレベルにおいて温調手段の温調出力を制御している制御状態において、空気温度が現在のレベルの温度制御範囲における上限値に到達した場合には、現在のレベルを、より大きな上限値を有する新たなレベルに変更して温調出力を上昇させ、空気温度が現在のレベルの温度制御範囲における下限値に到達した場合には、現在のレベルを、より小さな下限値を有する新たなレベルに変更して温調出力を低下させるように、複数のレベル間に亘って移動可能なステップサーモ方式を用いて温調手段の温調出力を制御することができる。また、複数のレベルそれぞれに、異なる温度の流体用目標設定温度が対応して設定される。これにより、制御手段が、ステップサーモ方式を用いて温調手段の温調出力を制御するにあたり、流体温度が各レベルに対応する異なる温度の流体用目標設定温度となるように、温調手段の運転を各レベルごとの温調出力でフィードバック制御することができる。従って、リアルタイムに流体用目標設定温度を変更する場合と比較すると、本特徴構成によれば、レベルの数の分だけ流体用目標設定温度を設定して、レベル間を往復する場合にのみ流体用目標設定温度を変更するだけでよく、流体の温度変化を小さくすることができるとともに、空気温度の温度変化も小さくすることができ、安定した温度制御が可能となる。更に、制御手段では、ステップサーモ方式を用いて温調手段の温調出力を制御するにあたり、各環状ステップに対応して制御の基準となる基準点がそれぞれ設定されている。そして、制御手段は、現在の基準点を制御の基準として温調手段の温調出力を制御している制御状態において、ブース内や外部の負荷等の影響によりブース内の空気温度が、現在の基準点に対応する現在の環状ステップから新たな環状ステップに移動した後、この新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して往復した際における復のタイミングで、現在の基準点を新たな環状ステップに設定された新たな基準点に変更する制御を実行する。すなわち、上述のとおり、空気温度が、現在の基準点に対応する現在の環状ステップを構成する二つのレベルのうち、温調出力の大きなレベルの上限値に至ると、より温調出力の大きなレベルに変更され、また、温調出力の小さなレベルの下限値に至ると、より温調出力の小さなレベルに変更されて、制御手段は変更後のレベルの温調出力で温調し、その後、空気温度が当該変更後のレベルの下限値又は上限値に至ると、制御手段は順次レベルを変更する。この際、空気温度はいずれかの環状ステップを構成するレベル上を移動しているが、例えば、空気温度が現在の基準点に対応する現在の環状ステップとは異なる新たな環状ステップのレベルを移動している状態において、当該新たな環状ステップを構成する二つのレベル間を連続して往復移動する挙動を示す場合には、これら二つのレベルの温調出力にて温調することにより空気温度が空気用目標設定温度に収束する可能性があるものと判断することができる。そのため、空気温度が、新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して往復移動したことが判断できる場合、すなわち、当該レベル間を少なくとも一往復したことが確定できる往復の復の挙動を示した場合には、当該新たな環状ステップにおいて空気温度が空気用目標設定温度に収束すると判断して、このような復の挙動のタイミングを用いて、現在の環状ステップの現在の基準点を新たな環状ステップに対応する新たな基準点に変更する。これにより、運転が安定しているか否かを判断するタイミングを明確にすることができるとともに、当該タイミングを正確かつ迅速に判断することができる。また、空気温度が空気用目標設定温度に収束すると考えられる新たな環状ステップを移動している状態で、当該新たな環状ステップに対応する新たな基準点を制御の基準として用いることで、新たな基準点からの空気温度の偏移量の絶対値を現在の基準点からの空気温度の偏移量の絶対値よりも比較的小さく抑えることができる。よって、的確かつ迅速に新たな基準点を基準とした温調出力の制御を実行することができ、ブース内の空気の空気温度を短い時間で且つハンチングを防止しながら空気用目標設定温度に収束するように安定させ、当該空気温度が空気用目標設定温度に収束するまでの時間を比較的短くすることができ、省エネを実現することができる。本発明に係る温調装置の更なる特徴構成は、前記現在の基準点を前記新たな基準点に変更するタイミングが、前記空気温度が前記現在の基準点に対応する現在の前記環状ステップから新たな前記環状ステップに移動した後、当該新たな環状ステップを構成するレベル間を2往復又は3往復した際における最後の復のタイミングに設定される点にある。上記特徴構成によれば、空気温度が、新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して2往復又は3往復した際における最後の復のタイミングで、現在の基準点を新たな環状ステップに対応する新たな基準点に変更するので、空気温度が、新たな環状ステップのみでの移動を繰り返して当該新たな環状ステップにおいて空気用目標設定温度に収束するであろうことを、迅速且つより確実に予測することができる。これにより、当該予測に基づいて、現在の基準点を新たな基準点に、迅速且つ適切なタイミングで変更することが可能となる。本発明に係る温調装置の更なる特徴構成は、前記温調手段が、前記ブース内に配設された輻射パネル内に前記流体としての熱媒を循環供給して前記ブース内の空気を輻射温調する輻射温調手段で構成され、前記流体温度検出手段が、前記輻射パネルに供給される熱媒の熱媒温度を検出する熱媒温度検出手段で構成されるとともに、前記制御手段が、前記空気温度に替えて、当該空気温度と前記ブース内における空気の空気用目標設定温度との差分値である制御変数を用いる点にある。上記特徴構成によれば、ブース内に配設された輻射パネル内に熱媒を循環供給してブース内の空気を輻射温調するので、ブース内に直接空気を送風する場合と比較して、ブース内に発生する空気流を低減することができ、ブース内の精密機器の測定精度の低下を低減することができる。また、輻射温調手段の温調出力を、ブース内の空気温度に替えて、当該空気温度と空気用目標設定温度との差分値を制御変数として用いて制御するので、空気温度が空気用目標設定温度から乖離している度合いを適切に反映させた状態で、温調出力の制御を行うことができる。特に、ブース内に配設された輻射パネル内に熱媒を循環供給してブース内の空気を輻射温調する場合には、当該空気の空気温度に応じて当該熱媒の熱媒温度や流量を即座に変更しても、応答性が悪いためブース内の空気の温調状態を即座に変更することは困難であり、過大な時間遅れが生じて、ブース内の空気温度が空気用目標設定温度を挟んだハンチングが生じ易い。このような場合であっても、上述のとおり、新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して往復移動したことを判断することにより、運転が安定しているか否かを正確かつ迅速に判断して、当該正確且つ迅速な判断に基づいて、現在の環状ステップの現在の基準点を新たな環状ステップに対応する新たな基準点に変更するので、空気温度が空気用目標設定温度に収束すると考えられる新たな環状ステップを移動している状態で、当該新たな基準点を制御の基準として用いることができる。これにより、応答性の悪い輻射温調を用いる構成であっても、空気温度が新たな環状ステップを移動している状態において、当該新たな環状ステップに対応する新たな基準点からの空気温度の偏移量の絶対値を、現在の基準点からの空気温度の偏移量の絶対値よりも比較的小さく抑えることができ、空気温度をより迅速で且つハンチングを低減した状態で空気用目標設定温度に収束させることが可能となる。本発明に係る温調装置の更なる特徴構成は、前記基準点のそれぞれは、前記環状ステップそれぞれの中間値に設定されている点にある。上記特徴構成によれば、複数の基準点のそれぞれが、隣接する二つのレベルに亘る環状のステップそれぞれの中間値に設定されるので、系が、特定の環状ステップを構成する隣接する二つのレベルのいずれか一方で安定化できる場合には、当該特定の環状ステップの中間値を中心として制御変数が二つのレベル上を順次移動し、温調出力が当該二つのレベル間で切り替わることとなる。これにより、系が特定の環状ステップにて安定する場合には、当該特定の環状ステップの中間値を中心とする温度制御範囲内に制御変数の変動を抑えることができ、迅速な安定化を図ることができる。本発明に係る温調装置の更なる特徴構成は、前記複数のレベルそれぞれに対応する異なる温度の前記流体用目標設定温度としての熱媒用目標設定温度が、前記空気用目標設定温度に所定値を加算又は減算した値である点にある。上記特徴構成によれば、ブース内の空気の空気用目標設定温度を基準として、複数のレベルそれぞれに対応する異なる温度の熱媒用目標設定温度を設定できる。これにより、例えば、空気温度と空気用目標設定温度との差分値である制御変数に応じて、制御変数が大きい場合には、熱媒用目標設定温度を空気用目標設定温度よりも低い温度に設定し、制御変数が小さい場合には、熱媒用目標設定温度を空気用目標設定温度よりも高い温度に設定することができ、ブース内の空気の温調に必要な輻射温調手段の温調出力を適切に設定することができる。よって、適切な熱媒温度に温調された熱媒からの輻射により、ブース内の空気の空気温度をより迅速に空気用目標設定温度に収束させることが可能となる。本発明に係る輻射温調装置E温調装置の一例を備えた輻射温調システムD温調システムの一例について、図1~図15を参照しながら説明する。輻射温調システムDは、図1に示すように、電子顕微鏡F精密機器の一例が収容されるブース1と、輻射温調装置Eとを備えて構成される。輻射温調装置Eは、ブース1内に配設された輻射パネル2aに熱媒としての冷却水Q流体の一例を循環供給してブース1内の空気Pを輻射温調する輻射温調手段2温調手段の一例と、輻射パネル2aに供給される冷却水Qの冷却水温度Q1流体温度及び熱媒温度の一例を検出する冷却水用温度センサ3流体温度検出手段及び熱媒温度検出手段の一例と、ブース1内の空気Pの空気温度P1を検出する空気用温度センサ4空気温度検出手段の一例と、運転を制御する制御部5制御手段の一例とを備える。なお、図示を省略するが、制御部5にはブース1内の空気用目標設定温度P2及び冷却水用目標設定温度Q2流体用目標設定温度及び熱媒用目標設定温度の一例等を設定可能で、設定された各種情報を記憶可能な記憶部を備えている。以下では、ブース1の構成及び輻射温調装置Eの構成を説明した後、制御部5による制御方法、及び輻射温調装置Eの運転方法について説明する。ブース1は、図1に示すように、壁面により側面部及び天井部が囲繞されることで、ブース1内の内部空間に外部から空気等が侵入しないように構成され、ブース1はクリーンルームとされている。ブース1内には、輻射温調装置Eから供給される冷却水Qからの輻射により、ブース1内の空気Pを温調する一対の輻射パネル2aが、互いに対向する状態で、それぞれ壁面の側面部に配設されている。ブース1の内部空間の底部には架台Gが配設され、当該架台G上に電子顕微鏡Fが載置された状態でブース1内に収容されている。ブース1内には、ブース1内の空気Pの空気温度P1を検出する空気用温度センサ4が配設されている。空気用温度センサ4により検出された空気温度P1は、輻射温調装置Eの制御部5に入力される構成となっている。輻射温調装置Eの輻射温調手段2は、冷却水Qを温調することが可能な熱交換部10を備える。例えば、図示しないが、輻射温調手段2を、循環通流する冷媒と熱交換することで冷却水Qを冷却、加熱可能な熱交換部10を有する公知の冷凍回路を備えた構成とすることができる。なお、輻射温調手段2は、後述するように、制御部5により冷却水Qの冷却水温度Q1が冷却水用目標設定温度Q2となるように、その運転状態温調出力が制御される。また、輻射温調手段2は、冷却水Qを、送液ポンプ11、熱交換部10、輻射パネル2aの入口及び出口、送液ポンプ11の順に循環通流させる流体循環流路13が設けられている。流体循環流路13に設けられた送液ポンプ11は、冷却水Qを流体循環流路13に循環通流させる循環手段として機能する。この流体循環流路13は、熱交換部10の下流側と輻射パネル2aの上流側との間で分岐しており、冷却水Qを一対の輻射パネル2aにそれぞれ供給可能に構成され、また、それぞれの輻射パネル2aの下流側と送液ポンプ11の上流側との間で合流しており、一対の輻射パネル2aから排出された冷却水Qを送液ポンプ11側に通流可能に構成されている。この流体循環流路13において熱交換部10の下流側と一対の輻射パネル2aの上流側との間には、一対の輻射パネル2aに供給される冷却水Q一対の輻射パネル2aの上流側の冷却水Qの冷却水温度Q1を検出する冷却水用温度センサ3が配設されている。冷却水用温度センサ3により検出された冷却水温度Q1は、輻射温調装置Eの制御部5に入力される構成となっている。輻射パネル2aは、公知の輻射パネルにより構成され、ブース1内に一対設けられて、例えば、輻射パネル2a内に蛇行して配設された伝熱パイプ図示せず内を入口から出口に向かって冷却水Qが通流することにより、当該冷却水Qからの輻射伝熱によりブース1内の空気Pを温調することが可能に構成されている。制御部5は、公知の情報演算処理手段から構成され、熱交換部10、送液ポンプ11等の作動状態を制御し、冷却水Qの流量や温度制御等が可能に構成されている。なお、制御部5には、各機器の作動状態に関する信号が、当該各機器から入力されるように構成されている。以下に、制御部5による輻射温調の制御方法について説明する。図2に示すように、制御部5は、空気用温度センサ4により検出される空気温度P1とブース1内における空気Pの空気用目標設定温度P2との差分値P1-P2を制御変数X=P1-P2とし、制御変数Xの温度制御範囲として下限値と上限値とが設定された温度制御範囲が異なる複数のレベルを設定する。本実施形態では、複数のレベルとして、下限値及び上限値が最も低い温度の温度制御範囲のレベル1から最も高い温度の温度制御範囲のレベル6までの、それぞれ異なる温度制御範囲の6つのレベルが、隣接するレベルの温度制御範囲を相互にオーバーラップさせた環状ステップを形成するように設定されている。また、複数のレベルのそれぞれに対応して異なる温度の冷却水用目標設定温度Q2が設定され、基本的に制御部5は、各レベルに応じて、冷却水温度Q1が当該異なる温度の各冷却水用目標設定温度Q2となるように輻射温調手段2熱交換部10の温調出力を制御する。複数のレベルそれぞれに対応する異なる温度の各冷却水用目標設定温度Q2は、空気用目標設定温度P2に所定値を加算又は減算した値に設定される。具体的には、本実施形態では、レベル1では、冷却水用目標設定温度Q2は、空気用目標設定温度P2に2°Cを加算した値Q2=P22に設定され、同様に、レベル2では、冷却水用目標設定温度Q2は、空気用目標設定温度P2に設定され、レベル3では、冷却水用目標設定温度Q2は、空気用目標設定温度P2に2°Cを減算した値Q2=P2-2に設定され、レベル4では、冷却水用目標設定温度Q2は、空気用目標設定温度P2に4°Cを減算した値Q2=P2-4に設定され、レベル5では、冷却水用目標設定温度Q2は、空気用目標設定温度P2に6°Cを減算した値Q2=P2-6に設定され、レベル6では、冷却水用目標設定温度Q2は、空気用目標設定温度P2に8°Cを減算した値Q2=P2-8に設定される。すなわち、制御部5は、レベルが変更される毎に、変更されたレベルに対応した各冷却水用目標設定温度Q2を目標温度として温調出力を制御するように構成されている。従って、制御部5は、複数のレベル間をステップ状に移動可能なステップサーモ方式により、輻射温調手段2の温調出力を制御するにあたり、レベル間で冷却加熱能力が異なるように設定し、レベル1からレベル6に上がるに従って、加熱から冷却を行うように構成されている。具体的には、レベル6の温調出力冷却能力を100とすると、レベル1の温調出力は-30、レベル2の温調出力は0、以下同様に、レベル3は30、レベル4は60、レベル5は80に設定される。図2に示すように、レベル1は下限値a及び上限値bの温度制御範囲1.6°Cとされ、レベル2は下限値c及び上限値dの温度制御範囲1.6°Cとされ、レベル3は下限値e及び上限値fの温度制御範囲1.6°Cとされ、レベル4は下限値g及び上限値hの温度制御範囲1.6°Cとされ、レベル5は下限値i及び上限値jの温度制御範囲1.6°Cとされ、レベル6は下限値k及び上限値lの温度制御範囲1.6°Cとされる。図2に示すように、レベル1とレベル2との温度制御範囲のオーバーラップは、レベル2の下限値cからレベル1の上限値bまでであり、当該オーバーラップした温度制御範囲1.2°Cにより第1環状ステップが形成される。同様に、レベル2とレベル3との温度制御範囲のオーバーラップは、レベル3の下限値eからレベル2の上限値dまでであり、当該オーバーラップした温度制御範囲1.2°Cにより第2環状ステップが形成される。レベル3とレベル4との温度制御範囲のオーバーラップは、レベル4の下限値gからレベル3の上限値fまでであり、当該オーバーラップした温度制御範囲1.2°Cにより第3環状ステップが形成される。レベル4とレベル5との温度制御範囲のオーバーラップは、レベル5の下限値iからレベル4の上限値hまでであり、当該オーバーラップした温度制御範囲1.2°Cにより第4環状ステップが形成される。レベル5とレベル6との温度制御範囲のオーバーラップは、レベル6の下限値kからレベル5の上限値jまでであり、当該オーバーラップした温度制御範囲1.2°Cにより第5環状ステップが形成される。なお、隣接するレベル間でオーバーラップしない温度制御範囲ac間、ce間、eg間、gi間、ik間、bd間、df間、fh間、hj、ji間の部分ディファレンシャルは、それぞれ0.4°Cに設定されている。以下、まず、本発明の基礎となるステップサーモ方式について、図2~図6に基づいて説明する。図2に示すように、レベル1とレベル2との間を移動する第1環状ステップでは、高い温度からc点に到達したときにレベル2をレベル1に変更し、低い温度からb点に到達したときにレベル1をレベル2に変更するように制御状態が変更される。同様に、レベル2とレベル3との間を移動する第2環状ステップでは、高い温度からe点に到達したときにレベル3をレベル2に変更し、低い温度からd点に到達したときにレベル2をレベル3に変更するように制御状態が変更される。レベル3とレベル4との間を移動する第3環状ステップでは、高い温度からg点に到達したときにレベル4をレベル3に変更し、低い温度からf点に到達したときにレベル3をレベル4に変更するように制御状態が変更される。レベル4とレベル5との間を移動する第4環状ステップでは、高い温度からi点に到達したときにレベル5をレベル4に変更し、低い温度からh点に到達したときにレベル4をレベル5に変更するように制御状態が変更される。レベル5とレベル6との間を移動する第5環状ステップでは、高い温度からk点に到達したときにレベル6をレベル5に変更し、低い温度からj点に到達したときにレベル5をレベル6に変更するように制御状態が変更される。また、制御部5は、輻射温調手段2の起動時には、制御変数Xの大小に応じて、上記のように設定された複数のレベルから、制御に用いるのに最適なレベルを選択する。例えば、本実施形態では、輻射温調手段2の起動時には、レベル3の下限値eと上限値fとの中間値を起動用基準点N0として、制御変数Xがそれぞれ、所定温度制御範囲X≦-1.2°Cにある場合にレベル1とし、所定温度制御範囲-1.2°C<X<-0.8°Cにある場合にレベル2とし、起動用基準点N0を挟んで所定温度制御範囲-0.8°C≦X<0.8°Cにある場合にレベル3とし、さらに、所定温度制御範囲0.8°C≦X<1.2°Cにある場合にレベル4とし、所定温度制御範囲1.2°C≦X<1.6°Cにある場合にレベル5とし、所定温度制御範囲1.6°C≦Xにある場合にレベル6とするように選択可能に構成されている。具体的に説明すると、輻射温調装置Eの起動時電子顕微鏡Fの作業開始前には、制御部5は、空気用温度センサ4により検出されたブース1内の空気Pの空気温度P1と起動時に設定された空気用目標設定温度P2との温度差差分値:P1-P2を、制御変数X=P1-P2として導出する。そして、制御部5は、起動用基準点N0から制御変数Xがいずれの所定温度制御範囲にあるかに応じて、レベル1~レベル6のうちから適切なレベルを選択する。例えば、図3に示すように、起動用基準点N0を基準として、制御変数Xの値が0.2°Cとなっている場合図3では、X1と記載には、レベル3を選択する。続いて、制御部5は、冷却水温度Q1が、選択されたレベルにおいて設定されている冷却水用目標設定温度Q2空気用目標設定温度P2に所定値を加減した値となるように、輻射温調手段2の温調出力を制御して、冷却水Qを温調する。例えば、レベル3を選択した場合には、冷却水用目標設定温度Q2を空気用目標設定温度P2に2°Cを減算した値とし、冷却水Qの冷却水温度Q1が当該冷却水用目標設定温度Q2となるように輻射温調手段2の温調出力が制御される。次に、制御部5は、起動用基準点N0を基準として制御変数Xを所定の時間間隔で繰り返し導出し、選択されたレベルにおいて制御変数Xが移動して、当該レベルの上限値或いは下限値に到達した場合には、選択されたレベルから新たなレベルに変更する。同様に、新たなレベルに変更した後も、起動用基準点N0を基準として制御変数Xを所定の時間間隔で繰り返し導出し、変更されたレベルにおいて制御変数Xが移動して、当該レベルの上限値或いは下限値に到達した場合には、変更されたレベルからさらに新たなレベルに変更する。例えば、図3に示すように、レベル3において制御変数Xが上限値f方向に移動して、当該上限値fに到達すると、制御部5は、レベル3からより大きな上限値を有するレベル4に変更し、温調出力を変更した状態で輻射温調手段2を運転させる。すなわち、レベル3の流体用目標設定温度Q2よりも低い温度であるレベル4の流体用目標設定温度Q2空気用目標設定温度P2よりも4°C低い温度とし、温調出力が制御される。その結果、例えば、図4に示すように、制御変数Xが、変更されたレベル4において当該レベル4の上限値h方向に移動して、当該上限値hに到達すると、制御部5は、さらに、当該レベル4から、より大きな上限値を有するより新たなレベル5に変更し温調出力を変更した状態で輻射温調手段2を運転させる。すなわち、レベル4の流体用目標設定温度Q2よりも低い温度であるレベル5の流体用目標設定温度Q2空気用目標設定温度P2よりも6°C低い温度とし、温調出力が制御される。また、図5に示すように、制御変数Xが、変更されたレベル5において当該レベル5の下限値i方向に移動して、当該下限値iに到達すると、制御部5は、当該レベル5からより小さな下限値を有するレベル4に変更し、当該レベル4の流体用目標設定温度Q2にて温調出力を制御し、更に、制御変数Xが、変更されたレベル4において当該下限値g方向に移動して、当該下限値gに到達すると、制御部5は当該レベル4から、より小さな下限値を有するレベル3に変更し、当該レベル3の流体用目標設定温度Q2にて温調出力を制御する。その後、図6に示すように、制御変数Xが、変更されたレベル3において当該下限値e方向に移動して、当該下限値eに到達すると、制御部5は当該レベル3をより小さな下限値を有するレベル2に変更し、当該レベル2の流体用目標設定温度Q2空気用目標設定温度P2にて、温調出力を制御し、更に、制御変数Xが、変更されたレベル2において当該レベル2の上限値d方向に移動して、当該上限値dに到達すると、制御部5は、当該レベル2をより大きな上限値を有するレベル3に変更し、当該レベル3の流体用目標設定温度Q2空気用目標設定温度P2よりも2°C低い温度にて、温調出力を制御する。このように、基本的なステップサーモ方式の制御状態では、起動用基準点N0を基準とした制御変数Xが各レベルの上限値或いは下限値に到達することで、制御変数Xが存在する現在のレベルが隣接する新たなレベルに順次変更されて、当該制御変数Xの値に応じて輻射温調手段2の温調出力がステップ状に変更されるように構成されている。また、基本的なステップサーモ方式では、制御変数Xの基準点例えば、起動用基準点N0を固定し、各レベルにおいて、当該各レベルの下限値或いは上限値に到達した時点で、現在のレベルを隣接する新たなレベルに変更し、温調出力を変更する構成とされる。次に、図2、図7~図15を用いて、本願に係るステップサーモ方式について説明する。本願に係るステップサーモ方式では、図7に示すように、上述の起動用基準点N0とは別に、複数の環状ステップのそれぞれに対応して、それら各環状ステップにおける制御の基準となる基準点制御変数Xがゼロとなる点が設定される。本実施形態では、これら複数の基準点は、隣接するレベルの温度制御範囲のうち相互にオーバーラップした温度制御範囲により形成された環状ステップそれぞれの中間値に設定される。具体的には、第1環状ステップのレベル1及びレベル2における制御の基準となる第1基準点N1は、c点とb点との中間値に設定される。同様に、第2環状ステップのレベル2及びレベル3における制御の基準となる第2基準点N2は、e点とd点との中間値に設定され、第3環状ステップのレベル3及びレベル4における制御の基準となる第3基準点N3は、g点とf点との中間値に設定され、さらに、第4環状ステップのレベル4及びレベル5における制御の基準となる第4基準点N4は、i点とh点との中間値に設定され、第5環状ステップのレベル5及びレベル6における制御の基準となる第5基準点N5は、k点とj点との中間値に設定される。なお、これら基準点は、第1基準点N1から、第2基準点N2、第3基準点N3、第4基準点N4、第5基準点N5に向かうにつれて順次、相対的に制御変数Xが増加する位置に設定されている。図7及び図15に示すように、輻射温調装置Eの起動時電子顕微鏡Fの作業開始前には、ユーザが操作部図示せずを操作して輻射温調装置Eを起動させると共にステップ♯1、ブース1内の空気Pの空気温度P1が当該電子顕微鏡Fの作業に最適な温度空気用目標設定温度P2:例えば18~22°Cとなるように、当該空気用目標設定温度P2を入力するステップ♯2。なお、輻射温調装置Eの起動と同時に、制御部5が、予め設定された温度を記憶部図示せずから読み出して、空気用目標設定温度P2として用いてもよい。輻射温調装置Eが起動されると、制御部5は、空気用温度センサ4により検出されたブース1内の空気Pの空気温度P1と空気用目標設定温度P2との温度差差分値:P1-P2を、制御変数X=P1-P2として導出するステップ♯3。そして、制御部5は、起動用基準点N0から制御変数Xがいずれの所定温度制御範囲にあるかに応じて、レベル1~レベル6のうちから適切なレベルを選択するステップ♯4。例えば、図7に示すように、起動用基準点N0を基準として、制御変数Xの値が0.2°Cとなっている場合図7では、X1と記載には、レベル3を選択する。続いて、制御部5は、冷却水温度Q1が、選択されたレベルにおいて設定されている冷却水用目標設定温度Q2空気用目標設定温度P2に所定値を加減した値となるように、輻射温調手段2の温調出力を制御して、冷却水Qを温調するステップ♯5。例えば、レベル3を選択した場合には、冷却水用目標設定温度Q2を空気用目標設定温度P2から2°C減算した値とし、冷却水Qの冷却水温度Q1が当該冷却水用目標設定温度Q2となるように輻射温調手段2の温調出力が制御される。なお、起動時には起動用基準点N0を基準とする制御変数Xを、選択されたレベルの温度制御範囲に位置させるようにしたが、起動してレベルを選択した後すぐに、起動用基準点N0ではなく制御変数Xが属する環状ステップの基準点現在の基準点を制御の基準として制御が行われる起動時のみの処理。例えば、図8に示すように、レベル3において制御変数Xが上限値f方向に移動すると、制御変数Xは第3環状ステップのレベル3に位置しているので、当該第3環状ステップに対応する第3基準点N3を制御の基準として制御が行われる。次に、制御部5は、制御変数Xを所定の時間間隔で繰り返し導出しステップ♯6、ブース1内或いは外部からの負荷熱負荷の影響等により、時間の経過とともに制御変数Xが変動し、選択されたレベルにおいて制御変数Xが移動して、当該レベルの上限値或いは下限値に到達した場合には、選択された現在のレベルから新たなレベルに変更する。その後、当該新たなレベルにおいて制御変数Xが移動して、当該レベルの上限値或いは下限値に到達した場合には、新たなレベルからより新たなレベルに変更する。このように制御変数Xが順次変動することにより、現在の基準点を制御の基準とした状態で、レベルが順次変更され、制御変数Xを現在の基準点に収束させるように温調出力が制御される。説明を加えると、例えば、図8に示すように、現在の基準点である第3基準点N3を制御の基準として輻射温調手段2の温調出力を制御している状態において、レベル3にて制御変数Xが上限値f方向に移動し、制御変数Xが当該上限値fに到達すると図8では、X2と記載、制御部5は、レベル3からより大きな上限値hを有するレベル4に変更し、温調出力を変更した状態で輻射温調手段2を運転させる。すなわち、レベル3における輻射温調手段2の温調出力では、制御変数Xを第3基準点N3に収束させることは困難と判断して、レベル3の流体用目標設定温度Q2よりも低い温度であるレベル4の流体用目標設定温度Q2空気用目標設定温度P2よりも4°C低い温度とし、温調出力が制御される。そして、更に、図9に示すように、第3基準点N3を制御の基準として新たなレベル4で輻射温調手段2の温調出力を制御している状態において、レベル4にて制御変数Xが上限値h方向に移動し、制御変数Xが当該上限値hに到達すると図9では、X3と記載、制御部5は、レベル4からより大きな上限値jを有するレベル5に変更し、温調出力を更に変更した状態で輻射温調手段2を運転させる。すなわち、レベル4における輻射温調手段2の温調出力では、制御変数Xを第3基準点N3に収束させることは困難と判断して、レベル4の流体用目標設定温度Q2よりも低い温度であるレベル5の流体用目標設定温度Q2空気用目標設定温度P2よりも6°C低い温度とし、温調出力が制御される。これにより、現在の基準点である第3基準点N3を制御の基準として輻射温調手段2の温調出力を制御して、制御変数Xを第3基準点N3に収束させるように構成できる。次に、制御部5は、このようなレベルの変更が生じたことにより、制御変数Xが、現在の基準点である第3基準点N3に対応する現在の環状ステップから新たな環状ステップに移動したか否かを判断するステップ♯7。例えば、上述のように、レベル3からレベル4に変更され、更にレベル4からレベル5に変更された場合には、制御変数Xは、環状ステップという観点から見ると、レベル3に対応する第3環状ステップ現在の環状ステップから、レベル4及びレベル5に対応する第4環状ステップ新たな環状ステップに移動した状態となっているステップ♯7:Yes。一方、例えば、レベル3からレベル4に変更されたものの、制御変数Xがレベル4の上限値hに到達せずレベル4を移動している場合にはレベル5に変更されることがなく、制御変数Xは、レベル3に対応する第3環状ステップ現在の環状ステップから、レベル4及びレベル5に対応する第4環状ステップ新たな環状ステップに移動した状態とはなっていないステップ♯7:No。なお、この場合、ステップ♯6に戻り、制御変数Xの導出を繰り返す。次に、制御変数Xが、現在の基準点に対応する現在の環状ステップから、新たな環状ステップに移動した場合にはステップ♯7:Yes、制御変数Xが、新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して2往復したか否かを判断するステップ♯8。例えば、レベル4からレベル5に変更された後図9参照、図10に示すように、レベル5にて制御変数Xが下限値i方向に移動し、制御変数Xが当該下限値iに到達すると図10では、X4と記載、制御部5は、レベル5からレベル4に変更する。このレベル4に変更される瞬間は、第4環状ステップ新たな環状ステップを構成するレベル4及びレベル5間を連続して1往復した際における復のタイミングである。そして、図11に示すように、レベル4にて制御変数Xが上限値h方向に移動し、制御変数Xが当該上限値hに到達すると図11では、X5と記載、制御部5は、レベル4からレベル5に変更し、更に、図12に示すように、レベル5にて制御変数Xが下限値i方向に移動し、制御変数Xが当該下限値iに到達すると図12では、X6と記載、制御部5は、レベル5からレベル4に変更する。このレベル4に変更される瞬間は、第4環状ステップ新たな環状ステップを構成するレベル4及びレベル5間を連続して2往復した際における最後の復のタイミング本実施形態に係る復のタイミングである。このように、第4環状ステップを構成するレベル4及びレベル5間を連続して2往復した際における最後の復の挙動が発生した場合にはステップ♯8:Yes、制御変数Xが当該第4環状ステップを構成するレベル4及びレベル5以外のレベルを移動することがないものとして、当該第4環状ステップ内において安定するものと判断することができる。すなわち、当該第4環状ステップ新たな環状ステップを構成する二つのレベル4及びレベル5間を連続して往復移動する挙動を示す場合には、これら二つのレベルの温調出力にて温調することにより空気温度P1が空気用目標設定温度P2に収束する可能性があるものと判断することができる。また、第4環状ステップを構成するレベル4及びレベル5間を連続して2往復した際における最後の復の挙動が発生した場合にはステップ♯8:Yes、図13に示すように、2往復の最後の復のタイミングで第3基準点N3現在の基準点を第4環状ステップに対応する第4基準点N4新たな基準点に変更するステップ♯9。この第3基準点N3から第4基準点N4への変更により、制御変数Xは、レベル4に位置する状態を維持しながら、第4基準点N4と第3基準点N3との差分値正の値だけ増分した位置に変更されることとなる。即ち、制御変数Xは、レベル4において、X6と記載した位置からX6 ́と記載した位置に変更される状態となる。この場合、第4基準点N4と第3基準点N3との差分値は、第4環状ステップを構成するレベル4及びレベル5のオーバーラップの温度制御範囲ih間よりも小さく設定されているので、第3基準点N3を第4基準点N4に変更したとしても、制御変数Xは、レベル4に位置する状態を維持したままレベルが変更することなく、第4基準点N4と第3基準点N3との差分値だけ増分することとなる。なお、同様に、隣接する各基準点同士の差分値正の値は、各環状ステップを構成する二つのレベルのオーバーラップの温度制御範囲よりも小さく設定されている。そしてこの状態では、図14に示すように、第4基準点N4を新たな現在の制御の基準として、冷却水温度Q1がレベル4又はレベル5に対応した冷却水用目標設定温度Q2となるように冷却水Qを温調する制御が行われるステップ♯10。そして、制御変数Xが、第4環状ステップを構成するレベル4及びレベル5間の往復を繰り返して、当該第4環状ステップの中間値である第4基準点N4を中心として系が安定し、当該第4基準点N4に収束した場合にはステップ♯11:Yes、当該運転状態を維持するステップ♯12。一方で、制御変数Xが当該第4基準点N4に収束しない場合にはステップ♯11:No、ステップ♯6に戻り、制御変数Xの導出を繰り返す。また、一方で、例えば、第3環状ステップから第4環状ステップに変更されたものの、制御変数Xが第4環状ステップのレベル4及びレベル5間を連続して2往復しなかった場合にはステップ♯8:No、第4環状ステップ内において安定する可能性が低下するため、基準点の変更は行わず、現在の基準点である第3基準点N3を基準として制御を行う。なお、この場合、ステップ♯6に戻り、制御変数Xの導出を繰り返す。これらにより、運転が安定しているか否かを判断するタイミングを明確にすることができるとともに、当該タイミングを正確かつ迅速に判断することができる。また、空気温度P1が空気用目標設定温度P2に収束すると考えられる新たな環状ステップを移動している状態で、当該新たな環状ステップに対応する新たな基準点を制御の基準として用いることで、新たな基準点からの空気温度P1の偏移量の絶対値を現在の基準点からの空気温度P1の偏移量の絶対値よりも比較的小さく抑えることができる。また、新たな環状ステップを構成する二つのレベルのいずれか一方で安定化できる場合には、当該新たな環状ステップの中間値を中心として制御変数Xが二つのレベル上を順次移動し、温調出力が当該二つのレベル間で切り替わることとなるため、系が新たな環状ステップにて安定する場合には、当該新たな環状ステップの中間値を中心とする温度制御範囲内に制御変数Xの変動を抑えることができ、迅速な安定化を図ることができる。更に、空気温度P1と空気用目標設定温度P2との差分値である制御変数Xに応じて、制御変数Xが大きい場合には、冷却水用目標設定温度Q2を空気用目標設定温度P2よりも低い温度に設定し、制御変数Xが小さい場合には、冷却水用目標設定温度Q2を空気用目標設定温度P2よりも高い温度に設定することができ、ブース1内の空気Pの温調に必要な輻射温調手段2の温調出力を適切に設定することができる。よって、適切な冷却水温度Q1に温調された冷却水Qからの輻射により、ブース1内の空気Pの空気温度P1をより迅速に空気用目標設定温度P2に収束させることが可能となる。特に、新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して往復移動したことを判断することにより、運転が安定しているか否かを正確かつ迅速に判断して、当該正確且つ迅速な判断に基づいて、現在の環状ステップの現在の基準点を新たな環状ステップに対応する新たな基準点に変更するので、空気温度P1が空気用目標設定温度P2に収束すると考えられる新たな環状ステップを移動している状態で、当該新たな基準点を制御の基準として用いることができる。これにより、応答性の悪い輻射温調を用いる構成であっても、空気温度P1が新たな環状ステップを移動している状態において、当該新たな環状ステップに対応する新たな基準点からの空気温度P1の偏移量の絶対値を、現在の基準点からの空気温度P1の偏移量の絶対値よりも比較的小さく抑えることができ、空気温度P1をより迅速で且つハンチングを低減した状態で空気用目標設定温度P2に収束させることが可能となる。よって、的確かつ迅速に新たな基準点を基準とした温調出力の制御を実行することができ、ブース1内の空気Pの空気温度P1を短い時間で且つハンチングを防止しながら空気用目標設定温度P2に収束するように安定させ、当該空気温度P1が空気用目標設定温度P2に収束するまでの時間を比較的短くすることができ、省エネを実現できる。別実施形態A上記実施形態においては、制御変数Xが、現在の基準点に対応する現在の環状ステップから、新たな環状ステップに移動した後、当該新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して2往復した際における最後の復のタイミングで、現在の基準点を新たな基準点に変更した。しかしながら、当該新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して1往復した際における復のタイミング本願にいう復のタイミングで現在の基準点を新たな基準点に迅速に変更する構成とすることもできる。また、制御変数Xが、新たな環状ステップのみでの移動を繰り返して当該新たな環状ステップにおいて空気用目標設定温度P2に収束するであろうことを、より確実に予測するため、当該新たな環状ステップを構成するレベル間を連続して3往復した際における最後の復のタイミング本願にいう復のタイミングで現在の基準点を新たな基準点に変更する構成とすることもできる。B上記実施形態においては、複数の基準点として、隣接するレベルの制御範囲のオーバーラップした温度制御範囲により形成された環状ステップの中間値を用いたが、当該複数の基準点としては、その他の構成を採用することもできる。例えば、複数のレベルにおいて、各レベルにおける温度制御範囲の下限値と上限値との中間値を基準点として、これら複数の基準点を各環状ステップに対応させた状態で制御の基準となる基準点をそれぞれ設定する構成を採用することもできる。C上記実施形態では、輻射温調手段2の起動時において、制御変数Xに応じてレベルの選択を行ったが、起動時に選択されるレベルを予め特定のレベルに固定する構成とすることもできる。すなわち、起動時において、その特定のレベルにて輻射温調手段2の温調を制御している状態において制御変数Xを導出し、上記実施形態と同様に、制御変数Xが当該特定のレベルの上限値又は下限値に到達して、特定のレベルから順次新たなレベルに変更するように構成して、輻射温調手段2の温調出力の制御を行う構成とすることもできる。D上記実施形態においては、制御変数Xの温度制御範囲として複数の異なるレベル例えば、6つを設定し、隣接するレベルの温度制御範囲を相互にオーバーラップさせた状態で設定したが、制御変数Xの温度制御範囲の具体的な温度範囲や、設定数、或いはオーバーラップする範囲等については適宜変更することができる。E上記実施形態においては、複数のレベルに対応する各冷却水用目標設定温度Q2を、空気用目標設定温度P2にレベルに対応した所定値を加算又は減算した値とする際の所定値として、2、0、-2、-4、-6、-8、の6つの数値を用いて、6つのレベルを設定したが、これに限らず、各種の数値を用いることができ、レベル数も適宜増減することができる。F上記実施形態においては、空気温度検出手段により検出された空気温度P1に替えて、当該空気温度P1と空気用目標設定温度P2との温度差差分値:P1-P2である制御変数Xを用いて、当該制御変数Xを横軸とするステップサーモ方式について説明したが図2~図14の横軸参照、当該空気温度P1自体を横軸とするステップサーモ方式にて制御する構成としてもよい。G上記実施形態においては、冷却水Q流体の一例を用いた輻射温調装置Eによりブース1内を温調する構成について説明したが、ブース1内に空気流体の一例を送風供給してブース1内の空気を温調する構成としてもよい。この場合、上記実施形態における一対の輻射パネル2aは必要なく、流体循環流路13に熱交換部10により温調された空気を循環通流させてブース1内に送風する構成とすることができる。