"複数枚のブレード及びこれら複数枚のブレードの根元部に配置されるハブを有する羽根車を回転させて昇圧した流体が羽根車外周部の出口流路を通過して流出するように構成された遠心式流体機械であって、前記羽根車の背面と前記出口流路との間に形成される空間が、前記羽根車の背面と、該羽根車の背面と対向するように固定側部材に支持されたラビリンスシール板との間に形成されたラビリンス流路によりシールされ、前記ラビリンスシール板の背面と前記固定側部材との接触面に形成されて冷却媒体を流す円周方向の冷却媒体流路を備えていることを特徴とする遠心式流体機械。前記冷却媒体流路が、前記ラビリンスシール板の背面に形成された1または複数の凹溝であることを特徴とする請求項1に記載の遠心式流体機械。前記冷却媒体流路が、前記ラビリンスシール板の背面に接する前記固定側部材の面に形成された1または複数の凹溝であることを特徴とする請求項1に記載の遠心式流体機械。前記冷却媒体流路を複数設け、隣接する流路の冷却媒体流れ方向が異なることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の遠心式流体機械。ところで、上述した羽根車の直接冷却は、羽根車背面のラビリンスシールに高圧の冷気体空気を吹き付けるものであるから、軸方向の押圧力が直接冷却なしの場合よりも増大する。この結果、羽根車の回転を支持する軸受の負担が増し、最悪の場合は軸受の破損につながることも懸念される。なお、特許文献1の構成では。羽根車背面に吹き出される冷気体がラビリンス流路の途中に供給されており、ラビリンス流路の上流や下流に向けて流れることで羽根車を直接冷却している。また、この場合の冷気体は、供給先となるラビリンス流路の圧力が高く、従って、ラビリンス流路以上の高圧を有する冷気体が必要となる。この結果、ラビリンス流路を通過する冷気体の流量が多くなり、冷気体と羽根車との摩擦損失が増大することによって、過給機の性能が低下するという問題も指摘されている。このような背景から、本発明の目的は、遠心圧縮機等の遠心式流体機械において、ラビリンス流路で発生した摩擦熱による羽根車の高温化を抑制することにあり、羽根車の高温化に起因したクリープ寿命の低下を防止することにより、遠心式流体機械のさらなる高圧力比化が可能となる羽根車背面の冷却技術を提供することにある。本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。本発明に係る遠心式流体機械は、複数枚のブレード及びこれら複数枚のブレードの根元部に配置されるハブを有する羽根車を回転させて昇圧した流体が羽根車外周部の出口流路を通過して流出するように構成された遠心式流体機械であって、前記羽根車の背面と前記出口流路との間に形成される空間が、前記羽根車の背面と、該羽根車の背面と対向するように固定側部材に支持されたラビリンスシール板との間に形成されたラビリンス流路によりシールされ、前記ラビリンスシール板の背面と前記固定側部材との接触面に形成されて冷却媒体を流す円周方向の冷却媒体流路を備えていることを特徴とするものである。このような遠心式流体機械によれば、羽根車の背面と出口流路との間に形成される空間が、羽根車の背面と、該羽根車の背面と対向するように固定側部材に支持されたラビリンスシール板との間に形成されたラビリンス流路によりシールされ、ラビリンスシール板の背面と固定側部材との接触面に形成されて冷却媒体を流す円周方向の冷却媒体流路を備えているので、ラビリンスシール板側の温度が羽根車側より低くなる。このため、羽根車で圧縮されて高温となった流体の一部が流入するラビリンス流路においては、ラビリンス流路で発生する摩擦熱の多くが低温のラビリンスシール板側に移動するので、羽根車側への入熱量を低減できる。すなわち、ラビリンス流路のラビリンスシール板側となる接触面に、略全周にわたる円周方向の冷却媒体流路を形成して冷却することにより、高温流体の一部が流入するラビリンス流路においては、羽根車の背面と、この背面に対向するラビリンスシール板の表面との間に大きな温度勾配が形成され、この結果、摩擦で発生する熱量の多くが低温のラビリンスシール板側へ移動するので、羽根車の温度上昇を抑制できる。上記の発明において、前記冷却媒体流路は、前記ラビリンスシール板の背面に形成された1または複数の凹溝であることが好ましい。この場合、複数の凹溝は、羽根車の回転軸中心の周囲に同心円形状に配設されている。このようなラビリンスシール板の凹溝は、一般に機械加工部品であるラビリンスシール板に対して、溝加工の工程を追加するだけで容易に形成することができる。また、上記の発明において、前記冷却媒体流路は、前記ラビリンスシール板の背面に接する前記固定側部材の面に形成された1または複数の凹溝であることが望ましい。この場合、複数の凹溝は、羽根車の回転軸中心の周囲に同心円形状に配設されている。このような固定側部材の凹溝は、特に固定側部材が鋳造部品である場合、鋳型を若干変更するだけで容易に形成することができる。上記の発明において、前記冷却媒体流路を複数設け、隣接する流路の冷却媒体流れ方向が異なるようにすれば、周方向に温度分布が形成されることを防止できるため、ラビリンスシール板の全体を略均一に冷却できる。上述した本発明によれば、羽根車に圧縮されて高温となった流体の一部が流入するラビリンスシール流路において、ラビリンス流路で発生する摩擦熱は、多くの熱量が低温のラビリンスシール板側に移動して羽根車の温度上昇を抑制するので、羽根車が高温化することを防止できる。この結果、羽根車の高温化に起因したクリープ寿命の低下を防止でき、遠心圧縮機等の遠心式流体機械はより一層の高圧力比化が可能になる。以下、本発明に係る遠心式流体機械以下、遠心圧縮機を例示して説明するについて、一実施形態を図面に基づいて説明する。図5に示すように、遠心圧縮機10は、羽根車インペラ11と、ディフューザ21とを主たる要素として構成されたものであり、導入した流体を羽根車11の回転により昇圧して吐出する。羽根車11は、複数枚のブレード12と、これらブレード12の根元部Rに配置されたハブ13とを有している。各ブレード12は、それぞれハブ13の小径側端部13aにその前縁LEが位置するとともに、ハブ13の大径側端部13bにその後縁TEが位置するようにして、ハブ13の表面上に設けられている。なお、図において符号14は、ブレード12の先端側を覆うように配置されたシュラウド、15は羽根車11で圧縮した高温高圧の流体が流出する出口流路、16は羽根車11の背面に形成される空間、17は羽根車11の回転を支持する軸受台固定側部材を示している。ディフューザ21は、前述した羽根車11の下流側に設けられるとともに、対向するシュラウド側壁面22及びハブ側壁面23との間に複数枚のベーンディフューザ翼24を有するものであり、羽根車11を通過して昇圧された流体気体が有する運動エネルギーを圧力エネルギーに変換する機能を有している。すなわち、ディフューザ21では、流体の流速が減速されることにより、流れの動圧が静圧の上昇に変換される。こうして静圧が上昇した流れは、渦巻状のボリュート25により遠心圧縮機10の出口に導かれる。すなわち、遠心圧縮機10は、複数枚のブレード12及びこれら複数枚のブレード12の根元部Rに配置されるハブ13を有する羽根車11を回転させて昇圧した流体が、羽根車11の外周部に形成されている出口流路15を通過してディフューザ21に流出するように構成されている。このよう構成された遠心圧縮機10は、圧縮されて高温となった流体の一部が出口流路15から羽根車11の軸部側へ流入するのを防止するため、羽根車11の背面位置図5に示すG部に形成される空間16にラビリンスシールを設けてシールしている。図1は、羽根車11の高温化を防止する冷却構造例を示すものであり、羽根車11の背面11aと出口流路15との間に形成される空間16に、上述したラビリンスシールが設けられている。このラビリンスシールは、羽根車11の背面11aと、羽根車11の背面11aと対向するように軸受台17に支持されたラビリンスシール板30との間に、狭隘空間の中で流体に複雑な流動をさせるようにラビリンス流路31を形成してシールするものである。本実施形態の冷却構造は、ラビリンス流路31を通過する高温流体の摩擦熱により、羽根車11が加熱されてさらに温度上昇することを防止するものである。すなわち、本実施形態の冷却構造は、ラビリンスシール板30の背面31aと軸受台17との接触面に形成され、相対的に高温流体より温度の低い空気等の冷却媒体を流す円周方向の冷却媒体流路40を備えている。この冷却媒体流路40は、ラビリンスシール板30の背面31aに形成された1または複数の凹溝である。図示の冷却媒体流路40は、冷却媒体入口41から導入した冷却媒体矢印Fcを周方向へ流すように、羽根車11の回転軸を中心とする同心円状に4本形成されているが、この流路数が特に限定されることはない。このように、ラビリンスシール板30の背面31aに凹溝を形成する冷却媒体流路40は、一般に機械加工部品であるラビリンスシール板30に対して、溝加工の工程を追加するだけで容易に形成することができる。また、図1に示す実施形態では、冷却媒体入口41が略半径方向と一致するように形成され、この冷却媒体入口41から順次分岐するようにして、半径の異なる冷却媒体流路40が4本設けられている。そして、各冷却媒体流路40は、羽根車11の回転領域を略一周するように形成された後、冷却媒体入口41に隣接して形成された冷却媒体出口42に接続されて合流する。従って、遠心圧縮機10の適所から抽気するなどして導入された冷却媒体Fcは、冷却媒体入口41から各冷却媒体流路40に流入し、ラビリンスシール板30との熱交換により吸熱しながら流れるので、温度上昇した冷却媒体Fhが冷却媒体出口42から流出することとなる。すなわち、4本の冷却媒体流路40を流れる冷却媒体は、図1aでは半と径方向となるように、周方向において全て同方向となる。このような冷却構造を備えた遠心圧縮機10によれば、羽根車11で圧縮された高温高圧流体の一部が流入する空間16にラビリンスシールを備え、ラビリンス流路31を形成するラビリンスシール板30に冷媒媒体流路40が形成されているので、高温高圧流体の流れに摩擦熱を生じさせるラビリンス流路31は、固定側のラビリンスシール板30が冷却されて羽根車11よりも低温となる。このため、高温高圧流体の一部が流入するラビリンス流路31においては、高温側の羽根車11から低温側のラビリンスシール板30に温度勾配が形成されるため、ラビリンス流路31で発生する摩擦熱の多くは低温側のラビリンスシール板30に吸熱されて移動するので、羽根車11側への入熱量は低減される。換言すれば、ラビリンス流路31のラビリンスシール板30側となる接触面に、羽根車11が回転する略全周にわたる円周方向の冷却媒体流路40が形成されているので、冷却媒体流路40を通過して流れる冷却媒体が吸熱冷却することにより、ラビリンス流路40を形成する羽根車11の背面11aとラビリンスシール板30の対向面との間には大きな温度差が生じることとなる。この結果、高温高圧流体が流れる際の摩擦で発生する熱量の多くが低温側のラビリンスシール板30方向へ移動するので、羽根車11の温度上昇を抑制することができる。従って、羽根車11に圧縮された高温高圧流体の一部が流入するラビリンスシール流路31においては、羽根車11の温度上昇が抑制され、羽根車11の高温化に伴うクリープ寿命の低下を防止できるので、遠心圧縮機10の圧力比をより一層高く設定することが可能になる。また、羽根車11の軸方向に作用する押圧力は、上述した冷却構造により増大することはなく、従って、軸受破損等のリスクについては、本実施形態の冷却構造により増加することはない。なお、ここで使用する冷却媒体は、ラビリンス流路31に供給する場合と比較して、高圧とする必要がない。ところで、ラビリンスシール板30の冷却を効率よく行うためには、ラビリンスシール板30の背面壁に接触する冷却媒体、すなわち、冷却媒体流路40を流れる冷却媒体の熱伝達率を上げればよい。熱伝達率はレイノルズ数の関数であるため、冷却媒体の流速を上げれば熱伝達率が大きくなって冷却効率は向上する。冷却媒体の流速を上げるためには、単純なバッファとするよりも、上述したような冷却媒体流路40のような溝を設けることが望ましく、同じ冷却媒体流量で効率よく冷却することができる。また、上述した実施形態では、冷却媒体の流れ方向を規定して流れを整流化するので、冷却媒体流路40を流れる冷却媒体は、低温の冷却媒体を効率的よく入れ替えて冷却することができる。また、冷却媒体流路40の断面形状は、矩形や半円形など特に限定されるものではないが、冷却媒体との接触面積が多くなる矩形を採用すれば、フィン効果によってより一層の熱移動が期待できる。次に、上述した実施形態の第1変形例について、図2及び図3を参照して説明する。なお、上述した実施形態と同様の部分には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。この変形例では、ラビリンスシール板30Aに4本の冷却媒体流路40a~40dが形成され、隣接する流路毎に冷却媒体の流れ方向が異なるように構成されている。このように、冷却媒体の流れ方向が異なるようにすれば、周方向に温度分布が形成されることを防止できるため、ラビリンスシール板30Aの全体を略均一に冷却できる。この場合、冷却媒体流路40a,40cでは、冷却媒体入口41Aから流入した冷却媒体が反時計回りに流れて冷却媒体出口42Aから流出し、冷却媒体流路40b,40dでは、冷却媒体入口41Aから流入した冷却媒体が時計回りに流れて冷却媒体出口42Aから流出する。なお、図中の符号43は冷却媒体供給管を示し、44は冷却媒体排出管を示している。なお、冷却媒体流路の数、冷却媒体供給管43や冷却媒体排出管44の流路系統等については、図示した構成に限定されることはない。このような冷媒媒体流路40a~40dを設けた冷却構造としても、羽根車11に圧縮された高温高圧流体の一部が流入するラビリンスシール流路31においては、羽根車11の温度上昇が抑制され、羽根車11の高温化に伴うクリープ寿命の低下を防止できる。従って、遠心圧縮機10の圧力比をより一層高く設定することが可能になり、羽根車11の軸方向に作用する押圧力が増大することもない。次に、上述した実施形態の第2変形例について、図4を参照して説明する。なお、上述した実施形態と同様の部分には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。この変形例では、上述した冷却媒体流路40Aが、ラビリンスシール板30Bの背面に接する軸受台17Aの面に形成された1または複数図示の例では4本の凹溝である。この場合、冷却媒体流路40Aとなる凹溝は、羽根車11の回転軸中心の周囲に同心円形状に配設されている。このような軸受台17Aの凹溝は、軸受台17Aが鋳造部品であることから、鋳型を若干変更するだけで容易に形成することができる。このような冷媒媒体流路40Aを設けた冷却構造としても、羽根車11に圧縮された高温高圧流体の一部が流入するラビリンスシール流路31においては、羽根車11の温度上昇が抑制され、羽根車11の高温化に伴うクリープ寿命の低下を防止できる。従って、遠心圧縮機10の圧力比をより一層高く設定することが可能になり、羽根車11の軸方向に作用する押圧力が増大することもない。このような本実施形態及び変形例の羽根車背面冷却技術によれば、遠心圧縮機10のような遠心式流体機械において、ラビリンス流路31で発生した摩擦熱により羽根車11が高温化することを防止または抑制できる。この結果、羽根車11の高温化に起因してクリープ寿命が低下することはなく、従って、遠心式流体機械のさらなる高圧力比化が可能となる。なお、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。"