蒸着材料を溶媒に溶かしてなる液体材料を、蒸発装置により当該溶媒を除去した上で蒸発させて蒸発材料とし、この蒸発材料を真空容器内に保持された基板へ導いて蒸着させる真空蒸着装置であって、上記蒸発装置が、上記液体材料が充填されるとともに当該液体材料の溶媒が蒸発してなる蒸発溶媒を排出する排出口が形成された蒸発容器と、この蒸発容器に充填された液体材料を加熱して蒸発させる蒸発用加熱器と、上記排出口に設けられた開閉弁と、この開閉弁を介して上記排出口に接続された真空ポンプと、上記蒸発容器から上記真空容器へ導く蒸発材料の流量を調整し得る流量調整弁とを有し、上記蒸発用加熱器が、上記溶媒のみが蒸発して上記蒸着材料が蒸発しない第一温度と、当該蒸着材料が蒸発する第二温度との、少なくとも二段階の加熱温度に設定し得るものであり、上記蒸発装置が、上記流量調整弁を閉にするとともに、上記蒸発容器に充填された液体材料を上記蒸発用加熱器で加熱して当該液体材料が上記第一温度に達したら、上記開閉弁を開にして上記真空ポンプで当該蒸発容器内の蒸発溶媒を吸引することにより、当該液体材料から溶媒を除去し得るものであることを特徴とする真空蒸着装置。蒸発装置の個数が複数であり、上記各蒸発装置と真空容器とを接続して当該各蒸発装置の蒸発材料を真空容器内へ導く分岐形状の案内管を具備することを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着装置。蒸発装置が、蒸発容器内の真空度を計測するセンサを有することを特徴とする請求項1または2に記載の真空蒸着装置。しかしながら、上記特許文献1に記載の蒸着方法およびこの方法に使用する装置では、蒸発用管に充填された材料の全てが基板に向かうため、この材料が蒸着材料を溶媒に溶かしたものである場合には、この溶媒が蒸発してなる蒸発溶媒が、基板や基板付近の処理室内壁面に達してこれらを汚染する。また、上記装置には処理室内の基板と蒸発用管との間にシャッタが設けられているが、上記蒸発溶媒の一部は当該シャッタを回り込むため、上述した汚染を確実に防止することができない。このような汚染が原因となり、基板に形成される蒸着膜の品質が低下するという問題があった。そこで、本発明は、蒸着材料を溶媒に溶かしてなる液体材料から溶媒を確実に除去して蒸着を行うことで、この溶媒による基板の汚染を防止し、高品質の蒸着膜を得ることができる真空蒸着装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明の請求項1に係る真空蒸着装置は、蒸着材料を溶媒に溶かしてなる液体材料を、蒸発装置により当該溶媒を除去した上で蒸発させて蒸発材料とし、この蒸発材料を真空容器内に保持された基板へ導いて蒸着させる真空蒸着装置であって、上記蒸発装置が、上記液体材料が充填されるとともに当該液体材料の溶媒が蒸発してなる蒸発溶媒を排出する排出口が形成された蒸発容器と、この蒸発容器に充填された液体材料を加熱して蒸発させる蒸発用加熱器と、上記排出口に設けられた開閉弁と、この開閉弁を介して上記排出口に接続された真空ポンプと、上記蒸発容器から上記真空容器へ導く蒸発材料の流量を調整し得る流量調整弁とを有し、上記蒸発用加熱器が、上記溶媒のみが蒸発して上記蒸着材料が蒸発しない第一温度と、当該蒸着材料が蒸発する第二温度との、少なくとも二段階の加熱温度に設定し得るものであり、上記蒸発装置が、上記流量調整弁を閉にするとともに、上記蒸発容器に充填された液体材料を上記蒸発用加熱器で加熱して当該液体材料が上記第一温度に達したら、上記開閉弁を開にして上記真空ポンプで当該蒸発容器内の蒸発溶媒を吸引することにより、当該液体材料から溶媒を除去し得るものである。また、本発明の請求項2に係る真空蒸着装置は、請求項1に記載の真空蒸着装置において、蒸発装置の個数が複数であり、上記各蒸発装置と真空容器とを接続して当該各蒸発装置の蒸発材料を真空容器内へ導く分岐形状の案内管を具備するものである。さらに、本発明の請求項3に係る真空蒸着装置は、請求項1または2に記載の真空蒸着装置において、蒸発装置が、蒸発容器内の真空度を計測するセンサを有するものである。上記真空蒸着装置によると、真空ポンプで蒸発容器内の蒸発溶媒を吸引することにより液体材料から溶媒を除去するので、蒸発溶媒による基板や真空容器内の汚染を防止して、品質の高い蒸着膜を得ることができる。また、流量調整弁により、真空容器の真空度を維持したまま、蒸発容器を大気圧に戻して蒸着材料を再充填できるので、蒸着の作業効率を高めることができる。以下、本発明の実施例1に係る真空蒸着装置を、図面に基づき説明する。図1に示すように、この真空蒸着装置1は、蒸着材料を有機溶媒溶媒の一例であるに溶かしてなる有機液体材料液体材料の一例であるLを蒸発させる蒸発装置2と、蒸発した蒸着材料である蒸発材料を導く案内管3と、この案内管3で導かれた蒸発材料を内部に配置された基板Kへ導いて所定の真空度負圧で蒸着させる真空容器4と、この真空容器4内の真空度を維持したまま上記基板Kを交換するためのロードロック室5とを具備する。なお、上記蒸発材料とは、正確には、有機液体材料Lから有機溶媒を除去して蒸着材料とし、この蒸着材料を蒸発させたものである。ここで、上記真空容器4は、上壁部の内側に設けられて基板Kを保持する保持具41と、側壁部に形成されてロードロック室5に連通する連通口42と、下壁部に形成されて上記案内管3から蒸発材料を導く導入口43とを有する。また、上記真空容器4には、内部を所定の真空度1.0×10-4[Pa]程度の負圧にし得る蒸着室用真空ポンプ45が接続されている。上記蒸発装置2は、有機液体材料Lが充填される蒸発容器20を有しており、この蒸発容器20の上端は、充填された当該有機液体材料Lの蒸着材料が蒸発してなる蒸発材料を、上記案内管3へ導くために開口している。上記蒸発容器20の側壁部には、有機液体材料Lを当該蒸発容器20内に供給して充填するための注入口21と、充填された有機液体材料Lの有機溶媒が蒸発してなる蒸発溶媒を当該蒸発容器20内から排出する排出口22とが形成されている。また、上記蒸発装置2は、上記蒸発容器20の開口と案内管3との間に設けられて当該蒸発容器20から案内管3へ導く蒸発材料の流量を調整し得る流量調整弁16と、上記蒸発容器20に充填された有機液体材料Lを加熱して蒸発させる蒸発用ヒータ蒸発用加熱器である18と、上記蒸発容器20の外側から注入口21に設けられて有機液体材料Lの充填量を調整するとともに当該注入口21から蒸発材料の流出を防ぐ第1開閉弁11と、この第1開閉弁11を介して上記注入口21に接続された材料供給管13と、上記蒸発容器20の外側から排出口22に設けられて当該排出口22から蒸発材料の流出を防ぐ第2開閉弁開閉弁の一例である12と、この第2開閉弁12を介して上記排出口22に接続された吸引管14と、この吸引管14に接続されて蒸発容器20内の蒸発溶媒を吸引し得る蒸発室用真空ポンプ真空ポンプの一例である15と、上記蒸発容器20内の真空度を計測するために配置されるセンサ17とを有する。ここで、上記流量調整弁16は、所望の蒸着レートとなるように開度を制御して上記蒸発材料の流量を調整し得るとともに、当然ながら、開度を0にした閉の状態、および開度100にした開の状態にし得るものである。また、上記蒸発用ヒータ18は、上記蒸発容器20の外周側に設けられており、有機液体材料Lにおける有機溶媒のみが蒸発して蒸着材料が蒸発しない温度第一温度であると、蒸着材料まで蒸発する温度第二温度であるとの、少なくとも二段階の加熱温度に設定し得るものである。さらに、上記第1開閉弁11は、開により上記注入口21から有機液体材料Lを蒸発容器20へ充填し得るものであり、閉により上記注入口21から蒸発材料の材料供給管13への流出を防ぐものである。また、上記第2開閉弁12は、閉により上記排出口22から蒸発材料の吸引管14への流出を防ぐものである。この第2開閉弁12を開にするとともに、上記第1開閉弁11および流量調整弁16を閉にすることで、上記蒸発室用真空ポンプ15は、上記蒸発容器20内の蒸発溶媒を吸引し得るものである。さらに、上記蒸発装置2は、蒸発容器20内の蒸発材料が温度低下により蒸発装置2に付着することを防止する第1付着防止用ヒータ28と、蒸発溶媒が温度低下により第2開閉弁12または吸引管14に付着することを防止する第2付着防止用ヒータ29とを有する。上記第1付着防止用ヒータ28は、流量調整弁16の外周側および第1開閉弁11に設けられたものであり、上記第2付着防止用ヒータ29は、第2開閉弁12および吸引管14の外周側に設けられたものである。ところで、上記案内管3は、軸心を鉛直方向して配置された円筒形状の管であり、上端口が上記真空容器4の導入口43に接続されるとともに、下端口が流量調整弁16に接続されたものである。また、案内管3内の上記蒸発材料が温度低下により当該案内管3内に付着することを防止するため、上記案内管3の外周側には、案内管用ヒータ38が設けられる。なお、上述した蒸発用ヒータ18、案内管用ヒータ38、第1付着防止用ヒータ28および第2付着防止用ヒータ29は、いずれも電熱ヒータである。一方、上記ロードロック室5は、内部に交換用の基板K’が配置されるとともに、上記真空容器4側の側壁部に基板交換口52が形成されたものである。この基板交換口52と当該真空容器4の連通口42とは、仕切弁56を介して接続されている。また、上記ロードロック室5には、基板Kの交換の際に内部を真空容器4と同程度の真空度にするため、ロードロック用真空ポンプ55が接続されている。以下、上記真空蒸着装置1の操作方法について説明する。まず、第1開閉弁11を開にし、蒸着材料であるAlq3を有機溶媒であるクロロホルムに溶かしてなる有機液体材料Lを、注入口21から蒸発容器20に充填した後、第1開閉弁11を閉にする。次に、流量調整弁16を開にして、蒸着室用真空ポンプ45により、真空容器4内および蒸発容器20内が1.0×10-4[Pa]程度となるまで吸引する。このとき、センサ17により、蒸発容器20内の真空度を計測し、この計測された値以下では真空基準値というを記録する。次に、流量調整弁16を閉にして、蒸発用ヒータ18により、蒸発容器20内の有機液体材料Lを、61°C程度まで加熱する。この61°C程度は、クロロホルムのみが蒸発してAlq3が蒸発しない温度である。そして、第2付着防止用ヒータ29で第2開閉弁12および吸引管14を加熱するとともに、第2開閉弁12開にして蒸発室用真空ポンプ15で蒸発容器20内を吸引する。これにより、蒸発容器20内の蒸発したクロロホルムが、第2開閉弁12および吸引管14に冷却されて付着することなく、蒸発室用真空ポンプ15で吸引されていく。このとき、センサ17により、蒸発容器20内の真空度の上昇を確認しておく。この真空度が上記真空基準値と同等またはより高い真空度になれば、蒸発容器20内の蒸発したクロロホルムが全て除去されているので、第2開閉弁12を閉にするとともに吸引ポンプを停止し、第2付着防止用ヒータ29を停止する。その後、蒸発容器20内のAlq3を蒸発させて蒸着を行うため、流量調整弁16を閉にしたまま、当該Alq3を蒸発用ヒータ18で265°Cまで加熱する。この265°CはAlq3が蒸発する温度である。一方、第1付着防止用ヒータ28および案内管用ヒータ38で、流量調整弁16、第1開閉弁11および案内管3を315°C程度蒸発用ヒータ18によるAlq3の加熱温度よりも50°C程度高温まで加熱する。そして、Alq3が265°Cになれば、所望の蒸着レートとなるように流量調整弁16の開度を制御する。これにより、Alq3は蒸発して蒸発材料となり、この蒸発材料は所望の流量で流量調整弁16を通過し、蒸発装置2および案内管3に冷却されて付着することなく真空容器4へ導かれて、蒸着が行われる。ここで、蒸着が行われるうちに蒸発容器20内のAlq3が少なくなれば、有機液体材料Lの再充填が必要になる。このとき、流量調整弁16を閉にするとともに、第1付着防止用ヒータ28および蒸発用ヒータ18を停止して蒸発容器20内を自然冷却により室温まで温度を下げた後、第1開閉弁11を開にして、蒸発容器20内を大気圧に戻す。以後は、上述した操作と同様の操作により、有機液体材料Lを充填して蒸着を行う。ところで、基板Kに所望の膜厚の蒸着膜が形成されると、この基板Kと新たな基板K’との交換が必要になる。このとき、流量調整弁16を閉にするとともに、蒸着室用真空ポンプ45およびロードロック用真空ポンプ55でそれぞれ真空容器4内およびロードロック室5内を所定の真空度にした後、仕切弁56を開にして、真空容器4内の基板Kとロードロック室5内の基板K’とを入れ替える。その後、仕切弁56を閉にした後、所望の蒸着レートとなるように、流量調整弁16の開度を制御する。これにより、再び蒸着が行われる。このように、有機溶媒であるクロロホルムが、真空容器4内に入ることなく、排出口22から排出されるので、蒸発したクロロホルムによる基板Kや真空容器4内の汚染を防止して、品質の高い蒸着膜を得ることができる。また、有機溶媒であるクロロホルムを蒸発させて吸引した後の蒸発容器20内の真空度を、センサ17により計測することで、蒸発容器20内のクロロホルムの存否を知ることができるため、確実にクロロホルムを除去して基板Kや真空容器4内の汚染を十分に防止し、より品質の高い蒸着膜を得ることができる。さらに、流量調整弁16を閉にすることで、真空容器4内の真空度を維持したまま、蒸発容器20を大気圧に戻して有機液体材料Lを再充填できるので、蒸着の作業効率を高めることができる。次に、本発明の実施例2に係る真空蒸着装置1について図面に基づき説明する。なお、本実施例2において、実施例1と同一部分については同一の符号を付して説明を省略する。図2に示すように、上記真空蒸着装置101は、案内管103の形状および蒸発装置2の個数のみが異なる。具体的には、蒸発装置2の個数は2つであり、案内管103は、これら蒸発装置2に接続される2つの下端口と、真空容器4に接続される1つの上端口とを有する分岐形状である。言い換えれば、この案内管103の軸心は、水平に配置された両流量調整弁16から鉛直上方にそれぞれ伸びた後、互いに接近する方向水平方向に伸びてして一点で合流し、その合流した点から鉛直上方に伸びて導入口43に達するものである。また、案内管用ヒータ38は、この形状の案内管103の外周側に設けられる。このように、本実施例2に係る真空蒸着装置1では、一方の蒸発装置22Aまたは2Bに有機液体材料Lを再充填するときに、他方の蒸発装置22Bまたは2Aで蒸着を行うことができるので、有機液体材料Lの再充填で蒸着を停止する必要がなく、蒸着の効率をさらに高めることができる。ところで、上記実施例1および2では、蒸着材料としてAlq3、溶媒として有機溶媒であるクロロホルムについて説明したが、これらに限定されるものではない。すなわち、蒸着材料は蒸着に用いるための材料であればよく、溶媒は当該蒸着材料を溶かすものであればよい。さらに、上記実施例1および2では、蒸発用ヒータ18、案内管用ヒータ38、第1付着防止用ヒータ28および第2付着防止用ヒータ29がいずれも電熱ヒータであるとして説明したが、これは一例に過ぎず、誘電加熱式など他の加熱手段であってもよい。また、上記実施例2では、蒸発装置2の個数は2つとして説明したが、この個数に限定されるものではなく、複数であればよい。この場合、案内管は蒸発装置2の個数だけ分岐した形状となる。このように、多数3つ以上の蒸発装置2を用いることで、各蒸発容器20に充填する有機液体材料Lの量を少なくでき、各蒸発容器20内の蒸発溶媒が少なくなることで、より確実に有機溶媒を除去できるため、より一層品質の高い蒸着膜を得ることができる。