"被加工部を有する表層部と、前記表層部に空間を介在して配置された下層部を有する中空状の立体構造物を、レーザ加工装置のジェットノズルから噴射された液体噴流に導かれたレーザ光で加工するレーザ加工方法であって、前記空間内に液体を流通させ、前記空間内に入った前記レーザ光を伴った前記液体噴流を前記液体によって乱すことにより、前記レーザ光を散乱させることを特徴とするレーザ加工方法。前記空間内は、前記液体が充満されて空気層がない状態で流通されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。前記液体は、レイノルズ数が、4,520以上393,000以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザ加工方法。前記液体は、マイクロバブル水であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のレーザ加工方法。前記レーザ光は、グリーンレーザ波長532nmであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のレーザ加工方法。前記下層部は、前記表層部の前記被加工部から前記液体噴流の同軸方向へ0.5~30mm以下離間された位置に配置されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のレーザ加工方法。しかしながら、図10aに示すようなウォータジェットレーザ加工方法は、特に、小さな立体形状をした中空状の立体構造物100の表層部110のみを穿孔加工して、下層部120にレーザ光320の影響を与えたくない場合は使用することができない。ウォータジェットレーザ加工方法で表層部110のみをレーザ加工できるようにするためには、ウォータビーム300を遮断する遮蔽物を表層部110と下層部120との間に挿入する必要がある。しかしながら、立体構造物100が配管等の長尺な物の場合は、液体噴流310を遮断できる位置に表層部110と下層部120の間の遮蔽物を移動させることは難しい。また、ウォータジェットレーザ加工方法は、図10bに示すような断面視して曲面状の表層部610と下層部620とからなる中空状の立体構造物600を、液体噴流810に導かれたレーザ光820ウォータビーム800で加工する場合、遮蔽物700を表層部610と下層部620との間に挿入することができず、表層部610のみを加工することができない。そこで、本発明は、このような問題点を解決するために創案されたものであり、中空状の立体構造物複層構造物の表層部のみを液体噴流に導かれたレーザ光で加工して、下層部がレーザ光で損傷することを防止するレーザ加工方法を提供することを目的とする。前記課題を解決するために、本発明に係るレーザ加工方法は、被加工部を有する表層部と、前記表層部に空間を介在して配置された下層部を有する中空状の立体構造物を、レーザ加工装置のジェットノズルから噴射された液体噴流内に導かれたレーザ光で加工するレーザ加工方法であって、前記空間内に液体を流通させ、前記空間内に入った前記レーザ光を伴った前記液体噴流を前記液体によって乱すことにより、前記レーザ光を散乱させることを特徴とする。かかる構成によれば、レーザ加工装置から発せられたレーザ光は、立体構造物の表層部の被加工部を照射して溶融させる。溶融した溶融物は、ジェットノズルから噴射された液体噴流によって吹き飛ばされると共に冷却される。このようにして被加工部は、レーザ光によって穴あけされて、そのレーザ光及び液体噴流が、貫通孔の状態に形成された被加工部内を通って、空間内を流通する液体に入り込む。空間内に入ったレーザ光を伴った液体噴流は、その液体によって乱される。このため、液体噴流を光導体としたレーザ光は、液体噴流の乱れと共に、散乱されて弱くなるので、下層部を加工する強さがなく、下層部を損傷させることがない。したがって、このレーザ加工方法は、例えば、下層部に熱に弱い電子部品等の品物が配置された場合や、下層部が熱に弱い部材からなる場合等に特に有効である。また、前記空間内は、前記液体が充満されて空気層がない状態で流通されることが好ましい。かかる構成によれば、被加工物である立体構造物内の空間内に液体が充満されていることによって、レーザ光を導光する液体噴流が乱されて、レーザ光が下層部に向かって通過することを抑制できるので、下層部を強く照射して加工するのを防止できる。空間に空気層がある状態では、空気がレーザ光の光導体の役目をして、被加工部を通過したレーザ光を下層部へ案内してしまう。空間に空気層がない状態では、空間を流通する液体が、被加工部を通過したレーザ光を散乱させるので、下層部へ届くレーザ光を衰弱させて下層部に損傷を与えないようにすることができる。また、前記液体は、レイノルズ数が、4,520以上393,000以下であることが好ましい。かかる構成によれば、立体構造物内の液体は、レイノルズ数が4,520以上393,000以下であれば、液体噴流と共にこの液体内を通過するレーザ光を分散させて、下層部に損傷を与えないようにすることが可能である。また、前記液体は、マイクロバブル水であることが好ましい。かかる構成によれば、立体構造物内の液体は、マイクロバブル水であれば、液体噴流と共にこの液体内を通過するレーザ光を分散させて、下層部に損傷を与えないようにすることが可能である。また、前記レーザ光は、グリーンレーザ波長532nmであることが好ましい。かかる構成によれば、液体噴流と共にこの液体噴流内を通過するレーザ光は水等の液体に吸収されずに表層部まで導光されて被加工部を良好に加工できる。そして、被加工部を通過したレーザ光は、空間を流通する液体による液体噴流の乱れと共に散乱され、下層部に損傷を与えないようにすることが可能である。また、前記下層部は、前記表層部の前記被加工部から前記液体噴流の同軸方向へ0.5~30mm以下離間された位置に配置されていることが好ましい。かかる構成によれば、立体構造物内の下層部が、表層部の被加工部から液体噴流の同軸方向へ0.5~30mmしか離れていない表層部と近い位置であっても、下層部に影響を与えることなく加工することができる。本発明に係るレーザ加工方法によれば、中空状の立体構造物の表層部のみを加工して、表層部を貫通したレーザ光が下層部に損傷を与えることなくレーザ加工をすることができる。このため、立体構造物が小さなものであっても、容易に短時間で加工することができ、作業効率を向上させることができる。以下、図面を参照しながら本発明の実施形態に係るレーザ加工方法を説明する。まず、レーザ加工方法を説明する前に、被加工物である立体構造物1について説明する。≪立体構造物の構成≫図1に示すように、立体構造物1は、後記するレーザ加工装置2によって加工される被加工物である。この立体構造物1は、被加工部13を有する表層部11と、この表層部11に対向して配置された下層部12と、表層部11と下層部12との間に形成されて液体3が流動する空間14と、を有する中空状の複層構造体からなる。立体構造物1は、液体3が流通する空間14があるものであればよく、例えば、円筒状あるいは角筒状の筒体、配管、パイプ、箱体等の中空部材からなる。また、立体構造物1の材質は、レーザ光Aによって加工可能なものであればよく、例えば、金属や合成樹脂やセラミック等からなる。さらに立体構造物1は、液体3を流動させることができるように、空間14に連通する少なくとも1つの貫通孔を有する。以下、立体構造物1としてステンレス鋼からなる長尺の配管を例に挙げて説明する。表層部11は、立体構造物1のレーザ加工装置2のジェットノズル21側の表面であって、レーザ光Aによって加工される被加工部13がある側の部位である。下層部12は、表層部11の被加工部13から空間14内の液体3を介在して対向位置に配置された部位である。下層部12は、表層部11の被加工部13から液体噴流B2の同軸方向へ距離D1D1=0.5~30mm以下離れたところに位置している。被加工部13は、ジェットノズル21から噴射された液体噴流B2内のレーザ光Aによって溶融されて、その溶融された溶融物を液体噴流B2で吹き飛ばされながら加工される部位であって、例えば、所望形状に穿孔あるいは切断される。空間14は、液体3が上流側から下流側に向かって流動するように、表層部11と下層部12とによって形成された中空部位である。空間14は、例えば、図1に示すような真っ直ぐな形状に形成されて、その空間14内に液体3が充満されて空気層がない状態で流通されるようになっている。≪液体供給部の構成≫不図示の液体供給部は、空間14へ液体3を供給するため、不図示のポンプからホースを介して立体構造物1に装着した液体導入ノズル23へ、液体3を供給する。≪液体の構成≫液体3は、例えば、レーザ光Aが通過可能な透光性のものからなり、例えば、清水等の水、レイノルズ数Reが4,520以上393,000以下の液体3、あるいは、所謂マイクロバブル水等である。なお、レイノルズ数Reは液体3の流速や流量、空間14の大きさによって変化するので、少なくともレイノルズ数Reは4,520以上であればよく、さらには、液体3が層流から乱流へ遷移する値以上であれば液体噴流B2を乱してレーザ光Aを散乱させることができ、レーザ光Aが下層部12を損傷させることを防止できる。また、液体3には、0.5kgfcm2以上の圧力Pがかかっているとよい。マイクロバブル水とは、微細な気泡が含まれている水である。≪レーザ加工装置の構成≫レーザ加工装置2は、ジェットノズル21から噴射された液体噴流B2内に導かれたレーザ光Aで表層部11の被加工部13をレーザ加工する装置である。レーザ加工装置2は、不図示のポンプから送られた高圧液B1例えば、高圧水と、不図示のレーザ発振装置から発せられたレーザ光Aと、が供給されるレーザ加工ヘッド部2aを備えている。このレーザ加工ヘッド部2aは、前記高圧水を液体噴流B2として噴射するジェットノズル21と、レーザ発振装置図示省略から伝送されたレーザ光Aを集光する集光レンズ部22と、を備えている。ジェットノズル21は、レーザ加工ヘッド部2aに送られた高圧水を水柱状の液体噴流B2に変えて被加工部13に向けて噴射するノズルである。集光レンズ部22は、不図示のレーザ発振装置から光ファイバ等と介して伝送されて来たレーザ光Aを集光してジェットノズル21の液体噴流B2内を介して被加工部13に向けて照射するように構成されている。レーザ光Aは、例えば、YAGレーザの二倍波である、波長が532nmの所謂グリーンレーザからなる。なお、レーザ光Aは、グリーンレーザに限定されるものではなく、他の波長のレーザ光を使用しても構わない。[作用]次に、図1を参照しながら本実施形態に係るレーザ加工方法の作用を説明する。図1に示すように、レーザ加工装置2のジェットノズル21から噴射された液体噴流B2は、水柱状に噴射されて、表層部11の表面の被加工部13を噴き付ける。レーザ加工装置2から発せられたレーザ光Aは、ジェットノズル21から噴射された液体噴流B2を光導体として、その液体噴流B2内を通って表層部11の被加工部13を照射して溶融させる。溶融された溶融物は、ジェットノズル21から噴射された液体噴流B2によって吹き飛ばされる。このようにして被加工部13は、レーザ光Aと液体噴流B2とによって穴あけ加工されて、そのレーザ光A及び液体噴流B2が、貫通孔の形状に形成された被加工部13を通過して、空間14内を流通する液体3に入り込む。空間14内に入ったレーザ光Aを伴った水柱状の液体噴流B2は、液体3によって乱される。このため、液体噴流B2を光導体としたレーザ光Aは、液体噴流B2の乱れと共に散乱されるので、下層部12を加工する強さがなく、下層部12を損傷させることがない。つまり、下層部12は、レーザ光Aによってレーザ加工されないように、液体3によって保護することができる。その結果、立体構造物1は、表層部11の被加工部13のみがレーザ加工されて穿孔される。[変形例]なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。なお、既に説明した構成は同じ符号を付してその説明を省略する。≪第1変形例≫図2は、本発明の実施形態に係るレーザ加工方法の第1変形例を示す要部概略断面図である。図2に示す立体構造物1Aは、前記立体構造物1図1参照を湾曲形状に形成したものであって、被加工部13を有する湾曲状の表層部11Aと、液体3が流通する湾曲状の空間14Aと、表層部11Aから空間14Aを介在して配置された湾曲状の下層部12Aと、からなる。このような湾曲形状の立体構造物1Aであっても、前記実施形態と同様に、下層部12Aが加工されないように保護することができる。つまり、立体構造物1Aは、空間14A内に流通する液体3が存在していれば、液体3内に放射されたレーザ光A及び液体噴流B2が散乱するため、レーザ光Aが表層部11Aのみを加工して、下層部12Aを保護することができる。液体3は、特定な形状を有するものでは無いので、表層部11Aと下層部12Aとが複雑な形状の立体構造物1Aであったとしても、前記実施形態と同様に、空間14A内に入ったレーザ光Aを散乱させて下層部12Aの損傷を防ぎ、表層部11Aのみを加工することができる。その結果、レーザ光Aを遮断する遮蔽物700図10b参照を配置できなかった立体構造物1や、遮蔽物700の設置が難しかった被加工部位であっても加工することができる。≪第2変形例≫図3は、本発明の実施形態に係るレーザ加工方法の第2変形例を示す要部概略断面図である。前記した立体構造物1図1参照は、図3に示す立体構造物1Bのように、表層部11Bと下層部12Bとの間の空間14Bに連通する1つの開口部1Baと、開口部1Baと対向する空間14Bの一方側が閉塞された略ボックス状となっている。この場合、開口部1Baに、液体3を空間14B内に送る供給口23Baと、空間14B内の液体3を排出する排出口23Bbと、を有する液体導入ノズル23Bを設ける。このように、立体構造物1Bの開口部1Baに、供給口23Baと排出口23Bbとを有する液体導入ノズル23Bを設けたことによって、空間14B内に空気層が形成されることなく、液体3を容易に空間14B内に供給することができると共に、液体3が停留することなく流通させることができる。図4は、本発明に係るレーザ加工方法の効果を示すための比較例を示す図であり、立体構造物内に水を充填し、水が停留した状態でレーザ加工するときの状態を示す要部概略断面図であり、図5は、そのときの下層部図4のX部の状態を示す部分拡大図である。図4に示すように、前記実施形態で説明した立体構造物1図1参照と同じ筒状の形状をしたステンレス鋼からなる立体構造物1Cの表層部11Cと下層部12Cとの間の空間14Cに、水31清水を充填して実際に実験を行った。この実験では、立体構造物1Cを、表層部11Cと下層部12Cとの間隔D2内径φ5mmのステンレス鋼管を使用し、表層部11Cの被加工部13Cを貫通したレーザ光A及び液体噴流B2が下層部12Cにどのような影響与えるか確認した。空間14C内に水31を充填したのみでは、レーザ光A及び液体噴流B2が下層部12Cまで届いてしまい、図5に示すように、下層部12Cに焼け12Caが形成されて加工されることが判った。次に、図1、図6、図7を参照しながら実施例1を説明する。図6は、本発明に係るレーザ加工方法の実施例1の実験結果を示す表であり、前記実施形態のような貫通孔がある立体構造物であるパイプ材の実験結果を示す。図7は、本発明に係るレーザ加工方法の実施例1における立体構造物の内径とレイノルズ数との関係を示すグラフであり、図6の番号1-1~番号5-4までの実験結果を示す。図6及び図7において、立体構造物に液体を流通させるために使用した不図示のポンプの能力は、動力Lが100W、圧力Pが0.3MPa程度で十分であるので、ホンプ能力から次の式を使って本レーザ加工方法に使用する最大流量を20リットル20,000ml/minとした。Lを動力[kW]、Pを圧力[MPa]、Qを流量[L/min]とすると、動力Lは、L=PQ/60である。レイノルズ数Reは、図1に示すレーザ加工装置2によって、円筒管からなる立体構造物1をレーザ加工した際のデータであって、液体3としての水31の代表速度をU、代表長さをD1、動粘性係数をVとすると、空間14内を流れる水31のレイノルズ数Reは、Re=UD1/Vであり、この計算式を利用して図6及び図7のレイノルズ数Reを算出した。実験では、図6に示すように、ジェットノズル21の径を60um、レーザの出力を23W、周波数を10kHz、液体噴流B2の水圧を13MPa、液体3として、水温が17.5°C、動粘性が0.00000108の水31を使用した。実験結果として、下層部12に焼けが無いときは○、下層部12に図5に示すような焼け12Caがあるときは×として図6の表に記載した。まず、図6に示すように、表層部11と下層部12との間隔D1内径が2.5mmの場合の番号1-1~番号1-6の実験を行った。番号1-1~1-2の実験結果より、レイノルズ数Reが3.07×103以下であるとき、下層部12に焼けが発生した。番号1-3~番号1-6の実験結果より、レイノルズ数Reが4.72×103以上であるとき、下層部12には焼けが発生しておらず、レーザ加工による下層部12の損傷を防止できた。次に、表層部11と下層部12との間隔D1内径が3.5mmの場合の番号2-1~番号2-6の実験を行った。番号2-1~2-2の実験結果より、レイノルズ数Reが2.95×103以下であるとき、下層部12に焼けが発生した。番号2-3~番号2-6の実験結果より、レイノルズ数Reが5.06×103以上であるとき、下層部12の焼けを防止できた。次に、表層部11と下層部12との間隔D1内径が4.5mmの場合の番号3-1~番号3-6の実験を行った。番号3-1~3-3の実験結果より、レイノルズ数Reが4.19×103以下であるとき、下層部12に焼けが発生した。番号3-4~番号3-6の実験結果より、レイノルズ数Reが5.90×103以上であるとき、下層部12の焼けを防止できた。次に、表層部11と下層部12との間隔D1内径が1mmの場合の番号4-1~番号4-4の実験を行った。番号4-1の実験結果より、レイノルズ数Reが3.54×103であるとき、下層部12に焼けが発生した。番号4-2~番号4-4の実験結果より、レイノルズ数Reが5.90×103以上であるとき、下層部12の焼けを防止できた。次に、表層部11と下層部12との間隔D1内径が0.5mmの場合の番号5-1~番号5-4の実験を行った。番号5-1の実験結果より、レイノルズ数Reが3.54×103であるとき、下層部12に焼けが発生した。番号5-2~番号5-4の実験結果より、レイノルズ数Reが5.11×103以上であるとき、下層部12の焼けを防止できた。以上の実験結果から、液体3としての水31のレイノルズ数Reが4.72×103以上図6、番号1-3参照であれば、水31は液体噴流B2を乱してレーザ光Aを散乱させるので、レーザ光Aが下層部12を損傷することを防止できる。図7は、図6の番号1-1~番号5-4までの実験結果をグラフにしたものである。図6で下層部12の損傷が○で焼けが発生しないものOKなものを白星、白菱形、白四角、白三角、白丸で表し、下層部12の損傷が×で焼けが発生したものNGなものを黒星、黒菱形、黒四角、黒三角、黒丸で表した。グラフ中の一点鎖線aは、下層部12に焼けが発生しないおおよそのレイノルズ数Reの最小値を示し、実線bは前記実験の最大流量20,000ml20リットル/min図6の番号1-6,2-6,3-6,4-4,5-4におけるレイノルズ数を示している。図7に示すグラフより、レイノルズ数Reが一点鎖線aを最小値とし、実線bを上限値とする範囲であれば、下層部12に焼けを発生させることなく表層部11を良好に加工できることがわかる。次に、図8を参照しながら実施例2を説明する。図8は、本発明に係るレーザ加工方法の実施例1で使用したレーザ加工装置及び立体構造物を示す要部概略断面図であり、前記立体構造物1Dはボックス状の形をしている。実施例2は、実施例1と同様、レーザ加工装置2のジェットノズル21の径は60μm、レーザの出力23W、周波数10kHz、液体噴流B2の水圧は13MPaである。また、立体構造物1Dの空間14Dに水31を供給する液体導入ノズル23Dのノズル孔中心からの距離r、内径2r0=φ1.2mm、液体導入ノズル23Dの先端から表層部11Dの内壁までの距離D4=4mmとして、空間14Dに遮蔽物として樹脂やセラミックを設置した場合、エアや水31、マイクロバブル水を供給した場合、遮蔽物や液体3などの供給もしない場合の実験を行った。なお、実施例2におけるレイノルズ数Reは、液体3としての水31の代表速度をUm、代表長さをD4、動粘性係数をVとすると、空間14D内を流れる水31のレイノルズ数Reは、以下の式で求められる。Re=UmD4/V2また、前記代表速度Umは、以下の式で表すことができる参照:社河内敏彦著噴流工学P49。Um=2.1×r0/r×U03r0は液体導入ノズル23Dのノズル孔の半径、rは液体導入ノズル23Dのノズル孔中心からの距離、U0は図中U0における流速を示しており、r=r0で最大値となる。さらに流速U0は流量をQとすると以下のように表すことができる。U0=Q/πr0D4m/s4実施例2による実験の結果、空間14Dに遮蔽物や液体3などもない状態でレーザ加工を行うと、下層部12Dに焼けが発生した。空間14Dに遮蔽物として樹脂やセラミックを配置してレーザ加工を行うと、下層部12Dには焼けが発生せず、被加工部13Dの形状も良好であったが、樹脂やセラミックにレーザ光Aによって溶けた跡や加工された跡が残った。次に、排出口23Dbを閉塞した状態で空間14D内にエアを供給してレーザ加工を行った。空間14D内の圧力Pが1.5kgf/cm2以上であるとき、下層部12Dに焼けは発生しなかったが、圧力Pが高くなるほど被加工部13Dの加工形状が悪くなった。これは、圧力Pが高くなるとレーザ光Aによって貫通した被加工部13Dからエアが噴出し、液体噴流B2を乱してしまうからである。また、圧力Pが0.5kgf/cm2のとき、加工形状は良好であったが、下層部12Dに焼けが発生した。次に、排出口23Dbを閉塞した状態で空間14D内に水31を供給してレーザ加工を行った。水31の圧力Pが1.0kgf/cm2のとき、下層部12Dに焼けは発生しなかったが、加工形状が悪くなった。水31の圧力Pが0.5kgf/cm2以下のとき、加工形状は良好であったが、下層部12Dに焼けが発生した。次に、排出口23Dbを開放した状態で空間14D内にマイクロバブル水を供給してレーザ加工を行った。マイクロバブル水の圧力Pが0.0kgf/cm2、流量Qが0ml/min、流速Uが0m/sec、レイノルズ数Reが0のとき、加工形状は良好であったが、下層部12Dに焼けが発生した。マイクロバブル水の圧力Pが1.0kgf/cm2、流量Qが525ml/min、流速U0が0.58m/sec、レイノルズ数Reが4.52×103のとき、下層部12Dに焼けは発生せず、加工形状も良好であった。マイクロバブル水の圧力Pが3.0kgf/cm2、流量Qが1,320ml/min、流速U0が1.46m/sec、レイノルズ数Reが1.14×104のとき、下層部12Dに焼けは発生しなかったが、加工形状が悪くなった。次に、排出口23Dbを開放した状態で空間14D内に水31を供給してレーザ加工を行った。水31の圧力Pが1.0kgf/cm2、流量Qが525ml/min、流速U0が0.58m/sec、レイノルズ数Reが4.52×103のとき、下層部12Dに焼けは発生せず、加工形状も良好であった。水31の圧力が0.0kgf/cm2、レイノルズ数Reが0のとき、加工形状は良好であったが、下層部12Dに焼けが発生した。以上、実施例2の実験結果から、樹脂、セラミック、木材等の遮蔽物を空間14D内に挿入すれば、下層部12Dの損傷を防止することができるが、遮蔽物がレーザ光Aによって徐々に加工されるため、やがて下層部12D焼けが発生してしまうこと、遮蔽物の交換が必要になることがわかる。また、表層部11Dと下層部12Dとの間の空間14Dが閉塞された空間である場合、液体噴流B2が散乱されにくいため、下層部12Dに焼けが発生しやすいことがわかる。さらに、レイノルズ数Reが4.52×103以上であれば下層部12Dの損傷を防止できることがわかる。つまり、本発明のレーザ加工方法では、立体構造物1Dの空間14D内に水31を充填状態静止状態にさせず、流動させながらレーザ加工することによって、被加工部13Dを良好に加工することが可能であることが確認できた。"