"第1電極と、前記第1電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた第2電極と、を備えた圧電アクチュエーターであって、前記圧電体層は、前記第1電極と前記第2電極との間に挟まれた能動部と、前記第1電極と前記第2電極との間に挟まれていない非能動部と、を有し、前記非能動部の少なくとも一部に、前記能動部よりも密度の小さいポーラス部が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエーター。前記ポーラス部は、前記圧電体層の他の部分よりも各結晶の間隔が広いことを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエーター。前記ポーラス部は、前記圧電体層の他の部分よりも表面が粗いことを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電アクチュエーター。前記ポーラス部は、前記圧電体層の一部をフッ酸によって溶かすことによって形成されていることを特徴とする請求項1~3の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。前記ポーラス部には、有機保護膜が含まれていることを特徴とする請求項4に記載の圧電アクチュエーター。前記圧電体層は、少なくとも鉛、ジルコニウムおよびチタンを含むペロブスカイト型酸化物からなることを特徴とする請求項1~5の何れか一項に記載の圧電アクチュエーター。請求項1~6の何れか一項に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。請求項7に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。ところで圧電アクチュエーターの実質的な変位駆動部分である能動部の端部は、第1電極の端部又は第2電極の端部によって規定される。例えば、特許文献1の図4aにも示されているように、圧電体層の幅は第1電極側ほど広くなっており、圧電体層の側面は傾斜面となっている。したがって、圧電アクチュエーターの能動部の端部は、第2電極の端部によって規定され、第2電極の端部よりも外側の部分は実質的に変位駆動されない非能動部となる。そしてこのような構成においては、非能動部が大きくなると、圧電アクチュエーターを変位させる度に、非能動部と能動部との境界部分に応力集中が発生し、圧電体層にクラックが生じるという問題や、圧電体層と各電極とが剥離するという問題が生じる虞がある。このような問題を解決するために、圧電体層の側面の第1電極に対する傾斜角を大きくすることで非能動部の大きさを小さくすることが考えられる。ただし、その場合、圧電体層の側面の長さ、すなわち第1電極の端部と第2電極の端部との距離が短くなり、リーク電流が増加し、圧電体層が焼損し易くなる虞がある。なおこのような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドに限られず、他の液滴を噴射する液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。また液体噴射ヘッド以外の装置に搭載される圧電アクチュエーターにおいても、同様の問題がある。本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、良好に変位させることができ且つ圧電体層の破壊を抑制することができる圧電アクチュエーター及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。上記課題を解決する本発明は、第1電極と、前記第1電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた第2電極と、を備えた圧電アクチュエーターであって、前記圧電体層は、前記第1電極と前記第2電極との間に挟まれた能動部と、前記第1電極と前記第2電極との間に挟まれていない非能動部と、を有し、前記非能動部の少なくとも一部に、前記能動部よりも密度の小さいポーラス部が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエーターにある。ここで、前記ポーラス部は、前記圧電体層の他の部分よりも各結晶の間隔が広くなっている。また前記ポーラス部は、前記圧電体層の他の部分よりも表面が粗くなっている。かかる本発明では、圧電アクチュエーターの駆動によって非能動部の剛性が能動部に比べて低くなる。このため各圧電アクチュエーターを十分に変位させることができる。また第1電極と第2電極との間のリーク電流の発生が抑えられるため、リーク電流による圧電体層の破壊或いは劣化を抑制することができる。また前記ポーラス部は、例えば、前記圧電体層の一部をフッ酸で溶かすことによって形成されている。これによりポーラス部を比較的容易に形成することができる。また前記ポーラス部には、有機保護膜が含まれていることが好ましい。これにより、ポーラス部が実質的に保護膜として機能し、第1電極と第2電極との間のリーク電流の発生がより確実に抑えられる。また前記圧電体層は、具体的には、少なくとも鉛、ジルコニウムおよびチタンを含むペロブスカイト型酸化物からなる。この場合、圧電体層のリーク電流による破壊或いは劣化を特に効果的に抑制することができる。また本発明は、このような圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。さらに本発明は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、信頼性の高い液体噴射ヘッド或いは液体噴射装置を実現することができる。以下、本発明を一実施形態に基づいて詳細に説明する。実施形態1図1及び図2に示すように、シリコン単結晶基板からなる流路形成基板10には、複数の隔壁11によって区画された圧力発生室12が第1の方向で並設されている。また流路形成基板10には、第1の方向とは直交する第2の方向における圧力発生室12の外側には、各圧力発生室12の共通のインク室液体室となるマニホールド100の一部を構成する連通部13が形成され、各圧力発生室12と連通部13とは、インク供給路14及び連通路15によって連通されている。すなわち流路形成基板10には、圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15からなる液体流路が設けられている。流路形成基板10の一方面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部近傍に連通するノズル21が穿設されたノズルプレート20が接合されている。流路形成基板10のノズルプレート20とは反対側の面である他方面には振動板を構成する弾性膜50及び絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とで構成される圧電アクチュエーター300が設けられている。圧電アクチュエーター300の何れか一方の電極を複数の圧電アクチュエーター300に共通する共通電極とし、他方の電極を圧電アクチュエーター300毎に独立する個別電極としている。本実施形態では、第1電極60を共通電極とし、第2電極80を個別電極としている。また各圧電アクチュエーター300の個別電極である第2電極80には、リード電極90がそれぞれ接続されている。なお第1電極60及び第2電極80は、例えば、白金Pt、イリジウムIrなどの貴金属や、ニッケル酸ランタンLNOなどの導電性酸化物などで形成されている。圧電体層70は、例えば、少なくとも鉛Pb、ジルコニウムZrおよびチタンTiを含むペロブスカイト型酸化物からなる。すなわち圧電体層70の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛PZT等の強誘電性圧電材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適に用いられる。具体的には、チタン酸鉛PbTiO3、チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,TiO3、ジルコニウム酸鉛PbZrO3、チタン酸鉛ランタンPb,La,TiO3、ジルコン酸チタン酸鉛ランタンPb,LaZr,TiO3又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛PbZr,TiMg,NbO3等が挙げられる。本実施形態では、圧電体層70の材料として、チタン酸ジルコン酸鉛PZTを用いている。勿論、圧電体層70の材料は、これらに限定されるものではない。リード電極90は、例えば、金Au等で形成されている。また本実施形態では、弾性膜50及び弾性膜50が圧電アクチュエーター300の駆動に伴って変形する振動板として機能するが、振動板の構成は特に限定されるものではない。このような圧電アクチュエーター300が形成された流路形成基板10上には、圧電アクチュエーター300を保護するための保持部31を備える保護基板30が接合されている。また保護基板30には、マニホールド部32が設けられている。このマニホールド部32は、流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるマニホールド100を構成している。また保護基板30には、保護基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられている。各圧電アクチュエーター300から引き出されたリード電極90の端部近傍は、貫通孔33内に露出するように設けられている。保護基板30上には、各圧電アクチュエーター300を駆動するための駆動回路120が固定されている。この駆動回路120としては、例えば、回路基板や半導体集積回路IC等を用いることができる。そして、駆動回路120とリード電極90とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線121を介して電気的に接続されている。また、このような保護基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。ここで、封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜41によってマニホールド部32の一方面が封止されている。また、固定板42は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板42のマニホールド100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、マニホールド100の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド100からノズル21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路120からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの圧電アクチュエーター300に電圧を印加し、弾性膜50及び絶縁体膜55で構成される振動板をたわみ変形させる。これにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル21からインク滴が噴射される。ここで、このようなインクジェット式記録ヘッドの圧電アクチュエーター300の構成についてさらに詳細に説明する。図3に示すように、圧電アクチュエーター300は、上述のように絶縁体膜55上に形成された第1電極60と、第1電極60上に形成された圧電体層70と、圧電体層70上に形成された第2電極80と、で構成されている。本実施形態では、第1電極60と圧電体層70とが、流路形成基板10上に圧力発生室12の並設方向で連続的に設けられている。また第2電極80は、圧電アクチュエーター300毎に独立して設けられている。これにより圧電体層70は、第1電極60と第2電極80との間に挟まれた能動部70aと、第1電極60と第2電極80との間に挟まれていない非能動部70bとを有している。このように本実施形態では、第1電極60と第2電極80との間に圧電体層70が連続的に形成されているため、第1電極60と第2電極80との間のリーク電流の発生が抑えられる。したがって、リーク電流による圧電体層70の破壊或いは劣化を抑制することができる。そして本発明では、圧電体層70の非能動部70bの少なくとも一部に、圧電体層70の他の部分よりも密度の小さいポーラス部71が設けられている。本実施形態では、圧電体層70の非能動部70bの全てがポーラス部71となっている。このポーラス部71は、具体的には、圧電体層70の他の部分ポーラス部71以外の部分よりも、結晶の間隔が広くなっている。このようにポーラス部71が圧電体層70の非能動部70bに形成されていることで、圧電アクチュエーター300の駆動によって非能動部70bの剛性は、能動部70aの合成よりも大幅に低くなる。このため圧電体層70が連続的に形成されていても、各圧電アクチュエーター300を十分に変位させることができる。また圧電アクチュエーター300の繰り返し駆動による圧電体層70の破壊を抑制できる。したがって、信頼性の高いインクジェット式記録ヘッドを実現することができる。なお圧力発生室12の並設方向とは交差する方向においては、圧電体層70は第1電極60よりも外側まで延設されているが、ポーラス部71は、圧電体層70の第1電極60の端部近傍に対向する部分には形成されていないことが好ましい。また本実施形態では、非能動部70bの全てをポーラス部71としたが、ポーラス部71は、非能動部70bの少なくとも一部、例えば、非能動部70bの表層部のみに設けられていてもよい。このポーラス部71の形成方法は、特に限定されないが、既知の方法で圧電アクチュエーター300を形成した後、例えば、図4に示すように、第2電極80上にレジスト膜200を形成した状態で、圧電体層70の非能動部70bをエッチング液に浸す。これにより、圧電体層70の非能動部70bの一部一部の成分がエッチング液によって溶かされて、圧電体層70の他の部分よりも密度の低いポーラス部71が形成される図3参照。つまりポーラス部71の形成に用いられるエッチング液は、圧電体層70を形成する一部の材料元素しか溶かさない溶液を用いる必要があり、例えば、本実施形態ではフッ酸を用いている。このようなエッチング液を用いることで、圧電体層70は全て除去されることなく、溶解されない元素を含んだ酸化物やエッチング溶液の成分と反応した反応物例えば、フッ化物などが残る。結果として、例えば、図5に示すように、圧電体層70の非能動部70bには、これらの物質と空孔とで構成される低密度層であるポーラス部71が形成されることになる。実施形態2実施形態1では、並設された複数の圧電アクチュエーター300を構成する圧電体層70が連続して形成された例を説明した。これに対し、本実施形態では、図6に示すように、圧電体層70が圧電アクチュエーター300毎に独立して設けられている。そして、各圧電アクチュエーター300を構成する圧電体層70は、その幅が第1電極60側ほど広くなっている。その結果、圧電アクチュエーター300を構成する圧電体層70のそれぞれが、第1電極60と第2電極80とで挟まれた能動部70aと、第1電極60と第2電極80とで挟まれていない非能動部70bとを備えている。そして本実施形態では、ポーラス部71Aが、圧電体層70の非能動部70bと共に能動部70aの一部にまで形成されている。勿論、ポーラス部71Aは、非能動部70bの一部、例えば、表層部のみに形成されていてもよい。このように本実施形態の構成では、圧電体層70が圧電アクチュエーター300毎に独立して設けられているため、すなわち圧電体層70が連続して形成されていないため、各圧電アクチュエーター300を十分に変位させることができる。特に本実施形態では、圧電体層70の非能動部70bにポーラス部71Aが形成されているため、圧電アクチュエーター300をさらに良好に変位させることができ、インク滴を良好に噴射させることができる。また圧電体層70が圧電アクチュエーター300毎に設けられた構成では、第1電極60と第2電極80との間のリーク電流が生じ易いが、圧電体層70の非能動部70bにポーラス部71Aが形成されていることで、リーク電流の発生を抑制することができる。ポーラス部71Aの表面は、圧電体層70の他の部分よりも表面が粗くなっている。このため、圧電体層70の表面上における第1電極60と第2電極80との距離は、圧電体層70にポーラス部71Aが形成されていない構成に比べて長い。したがって、これら第1電極60と第2電極80との間のリーク電流の発生を抑制することができる。なお本実施形態に係るポーラス部71Aも、既知の方法により圧電アクチュエーター300を形成した後、実施形態1の場合と同様に、圧電体層70の非能動部70bをエッチング液に浸すことによって形成されている。勿論、ポーラス部71Aの形成方法は、特に限定されるものではない。実施形態3実施形態2では、ポーラス部71Aが、圧電体層70の厚さ方向に亘って形成されていた。これに対し、本実施形態では、図7に示すように、ポーラス部71Bが、圧電体層70の第1電極60側の一部のみに形成されている。なお詳しくは後述するが、本実施形態に係る圧電体層70は、第1の圧電体層72と第2の圧電体層73とからなる。そして本実施形態においても、実施形態2の場合と同様に、各圧電アクチュエーター300を十分に変位させることができ、また第1電極60と第2電極80との間でのリーク電流の発生を抑制することができる。さらに本実施形態では、圧電体層70の第2電極80との境界部分にポーラス部71Bが形成されていないため、圧電体層70と第2電極80との密着力も向上する。また本実施形態の圧電アクチュエーター300の形成方法は、特に限定されないが、例えば、以下の手順で形成することができる。まず図8aに示すように、絶縁体膜55上に第1電極60を所定パターンで形成し、この第1電極60上に所定厚さで第1の圧電体層72を形成する。次いで図8bに示すように、第1の圧電体層72の能動部70aが形成される領域にレジスト膜201を形成し、この状態で第1の圧電体層72をエッチング液に浸すことによってポーラス部71Bを形成する。次いで、図8cに示すように、ポーラス部71Bを含む第1の圧電体層72上に所定厚さで第2の圧電体層73と、第2電極80とを順次形成する。その後、図8dに示すように、第2電極80上に各第1の圧電体層72能動部70aに対向してレジスト膜202を形成する。そして、このレジスト膜202をマスクとして、第2電極80、第2の圧電体層73及び第1の圧電体層72のポーラス部71Bを順次パターニングすることによって、本実施形態の圧電アクチュエーター300が形成される図7参照。実施形態4本実施形態の構成は、基本的には実施形態3と同様であり、図9に示すように、ポーラス部71Cは、圧電体層70の第1電極60側の一部のみに形成されており、さらに圧電体層70と第2電極80との境界部分が保護膜220で覆われている。本実施形態では、非能動部70bを構成するポーラス部71Cが、非能動部70bの他の部分よりも外側まで延設されており、ポーラス部71Cの上面71aが露出されている。そして保護膜220は、第2電極80上からこのポーラス部71Cの上面71aまで連続して設けられている。このような構成においても、上述の実施形態と同様に、各圧電アクチュエーター300を十分に変位させることができ、また第1電極60と第2電極80との間でのリーク電流の発生を抑制することができる。特に、圧電体層70と第2電極80との境界部分が保護膜220で覆われていることで、より確実にリーク電流を抑えられる。さらに圧電体層70と第2電極80との剥離をより確実に抑制することができる。また保護膜220がポーラス部71Cの上面71aまで延設されていることで、保護膜220の圧電体層70との密着性を高めることができる。なお本実施形態の圧電アクチュエーター300の形成方法も、特に限定されないが、例えば、以下の手順で形成することができる。まず図10aに示すように、第1電極60上に圧電体層70及び第2電極80を順次積層した後、これら第2電極80及び圧電体層70をパターニングする。このとき、圧電体層70は、その厚さ方向の一部のみを除去する。次いで図10bに示すように、圧電体層70及び第2電極80の表面を覆って、例えば、酸化アルミニウム等からなる保護膜220を形成する。次いで、図10cに示すように、保護膜220を所定形状にパターニングする。次いで図10dに示すように、保護膜220を介して露出された圧電体層70をエッチング液に浸すことでポーラス部71Cを形成する。その後、ポーラス部71Cをパターニングすることで、本実施形態に係る圧電アクチュエーター300が形成される図9参照。実施形態5本実施形態は、基本的には実施形態2と同様の構成であるが、図11に示すように、第2電極80上に、例えば、フッ素系の樹脂やシリコン系樹脂例えば、ジビニルテトラメチルシロキサンベンゾシクロブテン樹脂、ポリイミド等の材料からなる保護膜221を形成するようにした点で実施形態2とは異なる。また詳しくは後述するが、ポーラス部71Dには、保護膜221の材料成分が含まれている。このような構成においても、実施形態2と同様に、各圧電アクチュエーター300を十分に変位させることができ、インク滴を良好に噴射させることができる。また第1電極60と第2電極80との間のリーク電流の発生を抑制することができる。特に本実施形態では、第2電極80が保護膜221で覆われると共に、ポーラス部71Dに保護膜221の材料が含まれているため、第1電極60と第2電極80との間のリーク電流の発生をより確実に抑制することができる。すなわちポーラス部71Dを、実質的に保護膜として機能させることができ、第1電極60と第2電極80との間のリーク電流の発生をより確実に抑制することができる。特に、保護膜221の材料として、有機保護膜有機材料を用いた場合、有機保護膜の剛性が小さいため、ポーラス部71Dの剛性を大幅に上昇させることがなく、圧電アクチュエーター300を十分に変位させることができる。なおこのような圧電アクチュエーター300は、例えば、下記の手順で形成することができる。まず図12aに示すように、絶縁体膜55上に第1電極60を所定パターンで形成した後、この第1電極60上に圧電体層70及び第2電極80を順次形成する。次いで図12bに示すように、第2電極80を所定形状にパターニングした後、各第2電極80を覆ってレジスト膜203を形成する。すなわち圧電体層70の能動部70aが形成される領域にレジスト膜203を形成する。次いで図12cに示すように、この状態で圧電体層70をエッチング液に浸すことによってポーラス部71Dを形成する。次に、図12dに示すように、ポーラス部71D圧電体層70及び第2電極80の表面を覆ってフッ素系の樹脂からなる保護膜221を形成する。このときポーラス部71Dに保護膜221の材料が含まれることになる。保護膜221の材料は、例えば、ポーラス部71Dの空孔に入り込む。その後、保護膜221及び圧電体層70ポーラス部71Dを順次パターニングすることによって、本実施形態の圧電アクチュエーター300が形成される図11参照。他の実施形態以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではない。また、このような構成のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図13に示すインクジェット式記録装置において、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1は、インク供給手段を構成するカートリッジ2を着脱可能に備える。記録ヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動可能に設けられている。この記録ヘッドユニット1は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。なおインクジェット式記録装置Iとして、記録ヘッドユニット1がキャリッジ3に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、インクジェット式記録装置Iの構成はこれに限定されるものではない。インクジェット式記録装置Iは、例えば、インクジェット式記録ヘッドが固定されて、紙等の記録シートを副走査方向に移動させることで印刷を行う、いわゆるライン式のものであってもよい。また上述した例では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッドの他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED電界放出ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。また、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに搭載される圧電アクチュエーターに限られず、その他の装置に搭載される圧電アクチュエーターにも適用することができる。"