エンドエフェクタと、エンドエフェクタに結合され、エンドエフェクタを直線的に移動するように操作可能な上部アセンブリと、上部アセンブリに結合され、上部アセンブリを回転及び垂直移動するように操作可能な下部アセンブリと、上部アセンブリに取り付けられ、エンドエフェクタの下方に位置する1以上の冷却板を含む基板搬送ロボット。1以上の流体コンジットが、冷却流体を通して循環させるための1以上の冷却板と熱的接触している請求項1記載の基板搬送ロボット。1以上の流体コンジットが、1以上の冷却板内に配置されている請求項2記載の基板搬送ロボット。1以上の冷却板は、長方形のアレイ内に配置された複数の冷却板を含む請求項2記載の基板搬送ロボット。複数の冷却板は、共に流体結合している請求項4記載の基板搬送ロボット。1以上の冷却板は、高放射率コーティングを備えた表面を有する請求項1記載の基板搬送ロボット。高放射率コーティングは、アルミニウム箔を含む請求項6記載の基板搬送ロボット。水平方向に延びる複数のフィンガーを有するエンドエフェクタと、エンドエフェクタに結合され、エンドエフェクタを水平方向に移動するように操作可能な上部アセンブリと、上部アセンブリに取り付けられ、エンドエフェクタの下方でエンドエフェクタから離間した水平上面を有する1以上の冷却板を含む基板搬送ロボット。1以上の流体コンジットが、冷却流体を通して循環させるための1以上の冷却板と熱的接触している請求項8記載の基板搬送ロボット。1以上の冷却板は、長方形のアレイ内に配置された複数の冷却板を含む請求項9記載の基板搬送ロボット。複数の冷却板は、共に流体結合している請求項10記載の基板搬送ロボット。1以上の冷却板は、高放射率コーティングを備えた表面を有する請求項9記載の基板搬送ロボット。高放射率コーティングは、粘着剤によって1以上の冷却板に取り付けられたアルミニウム箔を含む請求項12記載の基板搬送ロボット。処理チャンバ内で基板を処理する工程と、搬送ロボットのフィンガー上で基板を処理した後、処理チャンバから基板を除去する工程と、搬送ロボットに取り付けられた1以上の冷却板を用いて基板を冷却する工程であって、冷却板はフィンガーから離間されフィンガーの下方にある工程と、基板を冷却した後、搬送ロボットを使用してロードロックチャンバに基板を搬送する工程を含む基板を処理するための方法。1以上の冷却板を用いて基板を冷却する工程は、1以上の冷却板を含む複数の冷却板を通る経路のコンジットを通してクーラントを流す工程を含む請求項14記載の方法。