ターゲット物質を出力するノズルと、重力方向に対して傾斜した、前記ノズルの前記ターゲット物質出力方向に設けられ、第1の開口領域が形成された第1の導電部材と、前記ターゲット物質と前記第1の導電部材との間に電圧を印加する電源と、を備え、前記第1の開口領域は、前記ターゲット物質が前記ノズルから重力方向に滴下するときにターゲット物質が前記第1の導電部材とは離間して通過するように形成されている、ターゲット供給装置。重力方向に対して傾斜した、前記ノズルの前記ターゲット物質出力方向に設けられ、第2の開口領域が形成された第2の導電部材と、を備え、前記電源が、さらに前記第1の導電部材と前記第2の導電部材の間に電圧を印加し、前記第2の開口領域は、前記ターゲット物質が前記ノズルから重力方向に滴下するときにターゲット物質が前記第2の導電部材と離間して通過するように形成されている、請求項1に記載されたターゲット供給装置。前記第1の導電部材は、円形形状の平板で形成されており、前記第1の開口領域は、前記円形形状の平板の中心位置から周縁に向かって延びて形成されている、請求項2に記載されたターゲット供給装置。前記第2の導電部材は、円形形状の平板で形成されており、前記第2の開口領域は、前記円形形状の平板の中心位置から周縁に向かって延びて形成されている、請求項3に記載されたターゲット供給装置。チャンバと、前記チャンバ内にターゲット物質を出力する、請求項1に記載されたターゲット供給装置と、パルスレーザ光を生成するレーザ装置と、前記レーザ装置によって生成されるパルスレーザ光を集光して、前記ターゲット供給装置から滴下されるターゲット物質に照射し、それによってターゲット物質をプラズマ化する集光光学系と、プラズマ化したターゲット物質から放射される極端紫外光を集光して出力する集光ミラーと、を備えた、極端紫外光生成装置。