パルス光を用いて超音波を発生させ、発生した超音波を試料に照射し、前記試料で反射した反射超音波を用いて、当該試料を観察する超音波顕微鏡であって、パルス光を照射するパルス光照射手段と、前記照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、当該超音波を試料に送出する超音波送波部と、前記試料で反射した反射超音波を受波して内部に伝播させるとともに、前記伝播する反射超音波によって光弾性を発揮する光弾性部と、前記光弾性部を伝播する反射超音波の伝播経路を横切るように測定光を照射する測定光照射手段と、前記反射超音波の伝播経路を横切った通過測定光を受光するとともに、受光した通過測定光の強度変化を検出する測定光検出手段と、前記測定光検出手段が検出した強度変化を基に、試料内部の情報を得る内部情報取得手段と、を具備することを特徴とする超音波顕微鏡。前記光弾性部の内部において前記反射超音波が収束するように伝播させると共に、前記光弾性部内部での反射超音波の収束位置を通過するように測定光を照射可能な位置に、前記測定光照射手段を配備していることを特徴とする請求項1に記載の超音波顕微鏡。前記測定光照射手段は、前記受波した反射超音波の伝播方向に対して略垂直となる方向から、前記反射超音波の収束位置を通過するように測定光を照射することを特徴とする請求項2に記載の超音波顕微鏡。特許文献1に示されるような超音波顕微鏡の空間分解能は、用いられる超音波の波長λで決定される。その波長λは、音速V/周波数fで与えられるので、音速Vが一定となる環境下で空間分解能を高めるためには、周波数fを高くする必要がある。しかし、特許文献1の超音波顕微鏡は、圧電薄膜を用いて超音波の送波を行っているので、当該超音波の周波数は、圧電薄膜の容量成分や共振特性の制約を受け、高周波数の超音波を発生することに関して自ずから限界がある。そこで近年、ナノセカンドnsからピコセカンドpsのオーダーで照射されるパルスレーザ光を用いて高周波超音波を発生させる技術が超音波顕微鏡に応用されつつある。とはいえ、パルスレーザ光によって高周波超音波を発生させて送波しても、従来の圧電薄膜などで受波し検出したとすれば、圧電薄膜の容量成分や共振特性の制約を受け、従来の空間分解能しか得ることができないといった問題が存在する。そのため、送波された高周波超音波を、その高周波数に対応した応答速度で受波し検出する技術が望まれている。本発明は、この問題点に鑑みてなされたものであって、高周波超音波の周波数に対応した高空間分解能で試料の内部を観察することができる超音波顕微鏡の提供を目的としている。上述の目的を達成するため、本発明においては以下の技術的手段を講じた。すなわち、本発明に係る超音波顕微鏡は、パルス光を用いて超音波を発生させ、発生した超音波を試料に照射し、前記試料で反射した反射超音波を用いて、当該試料を観察する超音波顕微鏡であって、パルス光を照射するパルス光照射手段と、前記照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、当該超音波を試料に送出する超音波送波部と、前記試料で反射した反射超音波を受波して内部に伝播させるとともに、前記伝播する反射超音波によって光弾性を発揮する光弾性部と、前記光弾性部を伝播する反射超音波の伝播経路を横切るように測定光を照射する測定光照射手段と、前記反射超音波の伝播経路を横切った通過測定光を受光するとともに、受光した通過測定光の強度変化を検出する測定光検出手段と、前記測定光検出手段が検出した強度変化を基に、試料内部の情報を得る内部情報取得手段と、を具備することを特徴とする。ここで、超音波顕微鏡は、前記光弾性部の内部において前記反射超音波が収束するように伝播させると共に、前記光弾性部内部での反射超音波の収束位置を通過するように測定光を照射可能な位置に、前記測定光照射手段を配備していると好ましい。また、前記測定光照射手段は、前記受波した反射超音波の伝播方向に対して略垂直となる方向から、前記反射超音波の収束位置を通過するように測定光を照射すると好ましい。本発明に係る超音波顕微鏡によれば、高周波超音波の周波数に対応した高空間分解能で試料の内部を観察することができる。以下、本発明の実施形態を、図を基に説明する。[第1実施形態]まず、図1及び図2を参照しながら、本発明の第1実施形態による超音波顕微鏡1aについて説明する。図1は、本実施形態による超音波顕微鏡1aの構成を示す図である。図2は、本実施形態による超音波顕微鏡1aの音響レンズ2A及び光弾性部材光弾性部6の構成を示す図である。図1に示すように、本実施形態に係る超音波顕微鏡1aは、試料Sが載置されるX-Yステージ3と、X-Yステージ3上の試料Sにレンズ面10を向けて配置された音響レンズ2Aを備えている。レンズ面10には、照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、当該超音波を試料Sに送出する超音波送波部4aが形成されている。この音響レンズ2Aの上部には、内部を伝播する超音波によって光弾性効果を発揮する光弾性部材6が設けられている。さらに、音響レンズ2A及び光弾性部材6の上部には、超音波送波部4aにパルス光を照射するパルス光照射手段5が備えられている。また、音響レンズ2A及び光弾性部材6の側部には、光弾性部材6の側方から測定光を照射するとともに光弾性部材6を透過した透過測定光の強度変化を検出する強度変化検出手段7aと、検出された強度変化を基に試料S内部の情報を得る内部情報取得手段8と、が備えられている。以下、第1実施形態の超音波顕微鏡1aについて、その構成を詳細に説明する。超音波顕微鏡1aは、試料Sが載置されるX-Yステージ3を備えている。このX-Yステージ3は、試料Sを支持し、音響レンズ2Aに対する試料Sの位置を水平方向超音波の照射方向に対して直交する方向の位置に変化させて位置決めするためのものであり、直交するボールネジ機構等から構成される。X-Yステージ3は、コンピュータ等で構成されたステージ制御部21により、試料Sの水平方向位置や送りピッチなどが制御される。X-Yステージ3の上方には、音響レンズ2Aが配備される。この音響レンズ2Aは、超音波を伝播するカップリング媒体9を介して、X-Yステージ3上の試料Sと対向している。カップリング媒体9は、例えば純水などの液体やペースト状の物質である。図2を参照して、音響レンズ2Aについて詳細に説明する。図2は、超音波顕微鏡1aの音響レンズ2Aの構成を示す図である。音響レンズ2Aは、例えばサファイヤからなる円柱状部材2a及び円柱状部材2bを組み合わせて構成されたものであって、円柱状部材2a及び円柱状部材2bの内部は空間及び隙間の無い中実な構造となっている。この円柱状部材2aの一つの底面下底面、すなわちX-Yステージ3と対向する底面のほぼ中央に、円柱状部材2aの内部に向かって湾曲した窪み状凹状のレンズ面10を形成している。このレンズ面10は、当該底面での開口部がほぼ円形であり、レンズ面10は平滑な略球面となっている。レンズ面10が形成されないもう一方の底面上底面であって、反レンズ面、すなわち反X-Yステージ3側は、光学研磨された平面である。円柱状部材2aは、超音波をできるだけ減衰させずに伝播するために硬質材料で形成されるので、円柱状部材2aの材料としてサファイヤなどが用いられている。また、円柱状部材2aの外形形状は円柱形状であるが、円柱形状と同じく上底面と下底面を有する円錐台形状、角柱形状、又は角錐台形状でもよい。円柱状部材2aは、レンズ面10と反レンズ面との間におけるパルス光の透過及び超音波の伝播を妨げない外形形状を有すると共に、内部に空間及び隙間の無い中実な構造を有していればよい。この円柱状部材2aのレンズ面10には、加熱用のパルス光加熱パルス光の吸収及び発熱によって発生する熱応力によって高周波の超音波を発生する金属膜超音波送波部4aが、レンズ面10を覆うように設けられている。この超音波送波部4aについて、以下に説明する。超音波送波部4aは、Moモリブデンなどの金属膜である。この超音波送波部4aに対してパルス光照射手段5から加熱パルス光が照射されると、金属膜Moは、パルス光のエネルギーの吸収及び発熱によって熱膨張する。そのときに発生する熱応力熱弾性効果は、加熱パルスと同じパルス幅時間幅の熱弾性波を発生する。例えば、パルス幅が1ns程度の加熱パルスが照射されると、数百MHz以上の高周波数の超音波を発生させることができる。超音波送波部4aに用いる金属膜の材料としては、モリブデンの他に、金、銅、アルミニウム等を用いることができる。円柱状部材2bは、このような円柱状部材2aと同様の形状及び構成を有するものであり、円柱状部材2bのレンズ面22には、超音波送波部となる金属膜は設けられていない。上述のような円柱状部材2aと円柱状部材2bを、互いの反レンズ面で接合して一体化することで、試料Sに対向する面とその反対面とにレンズ面を有する音響レンズ2Aが得られる。本実施形態においては、円柱状部材2aと円柱状部材2bの2つの部材から音響レンズ2Aを構成したが、単一の円柱状部材の両底面にレンズ面を形成することでも音響レンズ2Aを構成することができる。図1に示す如く、この音響レンズ2Aの上部には、内部を伝播する超音波によって光弾性効果を発揮する光弾性部材6が設けられている。なお、光弾性部材6の構成や働きの詳細は後述する。この光弾性部材6の上部には、加熱パルス光を発生するパルス光照射手段5が設けられている。このパルス光照射手段5は、短パルス幅のパルスレーザ光を発する光源YAGレーザ等であるパルス光照射部12と、加熱パルス光を超音波送波部4aに対して略垂直方向に照射するように導くミラー13と、加熱パルス光のビーム径を調整するレンズ系14とを備えている。これらパルス光照射部12、ミラー13、及びレンズ系14でパルス光照射手段5を構成している。パルス光照射部12は、例えば波長532nm、パルス幅1nsのパルス状のレーザ光を加熱パルス光として発する光源YAGレーザ等である。ここで加熱パルス光の波長は、超音波送波部4aの材質に応じて選択することができ、パルス幅は、発生させたい超音波の周波数に応じて選択することができる。次に、図2を参照して、本願発明の特徴的な構成部材である光弾性部材6について説明する。光弾性部材6は、加えられた応力に応じた光弾性効果を発揮するものであり、例えば石英ガラスなどからなる光透過性を有する円柱状の部材からなる。この光弾性部材6は、円柱状の音響レンズ2Aとほぼ同一の径を有している。なお、光弾性とは、弾性体に外力が加えられると、弾性体に生じた歪の大きさと向きに応じて、弾性体における複屈折の大きさと向き、すなわち屈折率が変化する性質のことである。そのため、外力を加えた光弾性体に光例えば直線偏光を当てて観察すると、生じた歪の大小によって複屈折した光に位相差が生じ、干渉縞となって現れるようになる。この性質効果を光弾性効果という。一方、円柱状の光弾性部材6の一つの底面、すなわち音響レンズ2Aと接合される底面のほぼ中央に、光弾性部材6の外に向かって湾曲した突起状凸状の凸部15を形成している。この凸部15は、円柱状部材2bのレンズ面22に対応した形状及び大きさを有しており、平滑な略球面を有している。凸部15が形成されないもう一方の底面反凸部面、すなわち反X-Yステージ3側は、光学研磨された平面である。図2に示すように、この光弾性部材6の凸部15を円柱状部材2bのレンズ面22に嵌入させて接合すると、当該凸部15と円柱状部材2bのレンズ面22とが密に接する。この構成によって、音響レンズ2Aから光弾性部材6に伝播する反射超音波は、光弾性部材6と円柱状部材2bのレンズ面22との接合面で屈折し、光弾性部材6内で収束する。図1に示すように、光弾性部材6の両側部には、強度変化検出手段7aが設けられている。この強度変化検出手段7aは、図1の紙面に向かって光弾性部材6の左側方に配置される測定光照射手段と、光弾性部材6の右側方に配置される測定光検出手段とから構成されている。詳しくは図2に示すように、測定光照射手段は、反射超音波の状態を測定するための測定光を発する測定光レーザ光源16と、発せられた測定光を収束しつつ光弾性部材6の側方から入射させる集光レンズ11と、を備えている。測定光レーザ光源16は、例えば、HeNeヘリウムネオンレーザ光源で構成されており、測定光を光弾性部材6に向かって出力する。出力された測定光は、集光レンズ11で収束されて光弾性部材6内に入射し、反射超音波の伝播経路を横切るように光弾性部材6内を通過する。このとき、測定光は、反射超音波の伝播経路を略垂直に横切ると好ましい。反射超音波の伝播経路を略垂直に横切ることで、測定光は、反射超音波の変化を高い時間分解能で反映することができる。測定光は、反射超音波の伝播経路のどの位置を横切ってもよいが、本実施形態においては、反射超音波の収束点収束位置23と測定光の収束点がほぼ一致するように通過する。このように反射超音波の収束点23と測定光の収束点とを一致させることによって、透過測定光は反射超音波による光弾性効果を確実に受けることができ、反射超音波の状態に合わせて正確に屈折の状態が変化する。ここで、測定光は、加熱パルス光とは異なる波長を有しているのが好ましい。一方、光弾性部材6の右側方に配備された測定光検出手段は、光弾性部材6をはさんで集光レンズ11の反対側に配置された遮光板17と、遮光板17を通過した透過測定光を受光してその強度を出力する光検出器測定光受光部18とを有している。さらに、測定光検出手段は、光検出器18が出力した透過測定光の強度信号の時系列変化を検出する高速オシロスコープ19と、を備えている。遮光板17は、ピンホールやスリットなどの開口を有しており、且つ、この開口が、集光レンズ11を通過した測定光の光軸上に位置するように配置されている。光検出器18は、例えばフォトダイオードからなるものであり、光弾性部材6を透過した透過測定光を検出し、検出した透過測定光を光電変換して当該透過測定光の強度信号を生成し、後述する高速オシロスコープ19に出力するものである。高速オシロスコープ19は、光検出器18から出力された透過測定光の強度信号を受け取るとともに、強度信号をサンプリングして一次記憶し、その強度信号の時系列変化を検出する装置である。例えば、高速オシロスコープ19は、熱パルス光が出力されたことを示すパルス光出力開始信号をパルス光照射部12から取得し、当該パルス光出力開始信号を取得した時点から、図3に示すような透過測定光の強度信号の強度のピークE1、E2、E3、エコーが検出された時点までの時間を検出し、その時間の情報を計算機20に出力する。ここで、最も早く検出されたピークE1は、音響レンズ2Aとカップリング媒体9との界面からの反射エコーを示し、ピークE2は、試料Sの表面からの反射エコーを示し、以降に続くピークE3以降は試料Sの内部からの反射エコーを示している。高速オシロスコープ19は、例えば数十ps程度のサンプリング周期での信号入力機能を有しているので、熱パルス光のパルス幅よりも十分に短い間隔で透過測定光の強度信号をサンプリングすることができる。内部情報取得手段8である計算機20は、高速オシロスコープ19から得られるピークE1、E2、の情報から、試料Sの内部に存在する欠陥等の深さや、音速等を算出する。このとき、加熱パルス光を複数回繰り返し照射することで試料S内の同一測定点の測定を繰り返し、同期加算平均化処理を行うことで測定精度S/N比を向上させる。以上のように構成された超音波顕微鏡1aの動作について、以下に説明する。測定光レーザ光源16が測定光を照射すると共に、パルス光照射手段5のパルス光照射部12が加熱パルス光を発すると、加熱パルス光が光弾性部材6及び音響レンズ2Aを透過して超音波送波部4aに到達する。加熱パルス光を受けた超音波送波部4aは、熱弾性効果により超音波を発生する。発生した超音波は、レンズ面10の形状に従って収束され、試料Sの表面及び内部に入射する。試料Sの表面及び内部で反射した反射超音波は、入射とは反対の経路を経てレンズ面10に戻り、音響レンズ2A内及び光弾性部材6内を伝播する。音響レンズ2A内を伝播した反射超音波は、石英ガラスからなる光弾性部材6とサファイアからなる音響レンズ2Aの音速の違いから、光弾性部材6との接合面で屈折する。このとき、サファイアの音速11000m/sよりも石英ガラスの音速5900m/sのほうが低いので、屈折した反射超音波は、当該接合面の焦点に収束しつつ、光弾性部材6内を伝播する。一方で、測定光レーザ光源16から照射された測定光は、集光レンズ11で収束されて反射超音波の収束点23を横切って通過する。もし、光弾性部材6内を反射超音波が伝播していなければ、光弾性部材6は光弾性効果を発揮していないので、測定光は、屈折することなく光弾性部材6を真っ直ぐに透過するとともに、そのほぼ全てが遮光板17の開口に入射し、光検出器18へと達する。しかしこのとき、光弾性部材6は伝播する反射超音波からの応力によって光弾性による効果光弾性効果を発揮しており、特に、反射超音波の収束点23において大きな光弾性効果を発揮している。反射超音波の収束点23を通過した測定光は、この光弾性効果によって複屈折を起こしその進路を変更する。このように進路を変更した測定光は、その一部が遮光板17の開口に入射することができないので光検出器18に到達できず、測定光の検出強度は低下する。しかし、反射超音波の状態に依存して複屈折の程度も変化するので、遮光板17の開口に入射する測定光の量も反射超音波の状態に依存して変化する。つまり、反射超音波の収束点23を通過した測定光の進路が反射超音波の状態に依存して揺らぐように変化するので、遮光板17の開口に入射する測定光の量も、反射超音波の状態を反映して揺らぐように変化する。このように、光検出器18が検出する測定光の強度も、反射超音波の状態を反映して変化することとなるので、この透過測定光の強度変化を検出すれば、反射超音波の変化を検出することができる。光検出器18は、このように遮光板17の開口を通過した透過測定光を受光し、その強度を高速オシロスコープ19に出力する。その後、高速オシロスコープ19が、当該透過測定光の強度信号の時系列変化を検出し、計算機20が上述のように試料Sの内部に存在する欠陥等の深さや、音速等を算出する。X-Yステージ3によって試料Sにおける観測部位の位置決めがなされるごとに、加熱パルス光及び測定光の照射と、光検出器18による透過測定光の検出と、計算機20による試料Sの内部に存在する欠陥等の深さの算出とが行われる。以上のような動作を経て、試料Sの内部における3次元方向の状態の分布を観測することができる。[第2実施形態]図4を参照しながら、本発明の第2実施形態による超音波顕微鏡1bについて説明する。図4は、本実施形態による超音波顕微鏡1bの音響レンズ2Bの構成を示す図である。第1実施形態による超音波顕微鏡1aでは、音響レンズ2Aと光弾性部材光弾性部6とは別体であったが、本実施形態による超音波顕微鏡1bでは、音響レンズ2Bが光弾性効果を発揮する光弾性部としての働きも兼ねている。本実施形態による超音波顕微鏡1bにおいてその他の構成は、第1実施形態による超音波顕微鏡1aと略同様である。図4を参照して、音響レンズ2Bの構成を以下に説明する。音響レンズ2Bは、例えば石英ガラスからなる円柱状の部材であって、内部は空間及び隙間の無い中実な構造となっている。この音響レンズ2Bの一つの底面下底面、すなわちX-Yステージ3と対向する底面のほぼ中央に、音響レンズ2Bの内部に向かって湾曲した窪み状凹状のレンズ面30が形成されている。このレンズ面30は、当該底面での開口部がほぼ円形であり、平滑な略球面となっている。レンズ面30が形成されていないもう一方の底面上底面であって、反レンズ面、すなわち反X-Yステージ3側は、全体にわたって凸状に湾曲し、音響レンズ2B内に焦点を有する湾曲面となるように形成されている。音響レンズ2Bは、加えられた応力に応じた光弾性効果を発揮するとともに、超音波をできるだけ減衰させずに伝播するために硬質材料で形成される。よって、音響レンズ2Bは、石英ガラスに限らず、サファイヤなどの光透過性を有する材料を用いて構成することもできる。なお、音響レンズ2Bの形状を円柱形状であるとしたが、円柱形状と同じく上底面と下底面を有する円錐台形状、角柱形状、又は角錐台形状でもよい。音響レンズ2Bは、レンズ面30と反レンズ面である湾曲面との間におけるパルス光の透過及び超音波の伝播を妨げない外形形状を有すると共に、内部に空間及び隙間の無い中実な構造を有していればよい。この音響レンズ2Bの湾曲面には、加熱用のパルス光加熱パルス光の吸収及び発熱によって発生する熱応力によって高周波の超音波を発生する金属膜超音波送波部4bが、当該湾曲面全体を覆うように設けられている。この超音波送波部4bについて、以下に説明する。超音波送波部4bは、第1実施形態による超音波送波部4aと同じく、Moモリブデンなどの金属膜である。この超音波送波部4bに対してパルス光照射手段5から加熱パルス光が照射されると、超音波送波部4aと同様に加熱パルスと同じパルス幅時間幅の熱弾性波を発生する。超音波送波部4bの材料としては、モリブデンの他に、金、銅、アルミニウム等を用いることができる。このように、超音波送波部4bが形成された音響レンズ2Bの上部には、音響レンズ2Bと同じ材質の凹レンズ31が設けられている。凹レンズ31の凹面は、音響レンズ2Bの反レンズ面である凸状の湾曲面に対応した形状であり、凹レンズ31の凹面と音響レンズ2Bの凸状の湾曲面の間に超音波送波部4bが挟み込まれている。このとき、音響レンズ2Bの反レンズ面と超音波送波部4bは密に接しており、超音波送波部4bと凹レンズ31の凹面も密に接している。凹レンズ31において、凹面が形成されない他方の面は、光学研磨された平面である。このように構成された超音波送波部4bを有する音響レンズ2Bによって、超音波送波部4bで発生した超音波は、音響レンズ2Bにおいて湾曲面の焦点に収束され、当該焦点を通過した超音波は拡散しつつレンズ面30に到達する。レンズ面30から試料Sに発せられた超音波は試料Sで反射して反射超音波となり、伝播してきた経路を反対向きに進む。そのため反射超音波は、レンズ面30に入射後、音響レンズ2Bの湾曲面の焦点に収束される。本実施形態による超音波顕微鏡1bにおいて音響レンズ2B以外の構成は、第1実施形態による超音波顕微鏡1aと略同様である。本実施形態による超音波顕微鏡1bも強度変化検出手段7aを有しており、強度変化検出手段7aの測定光照射手段が音響レンズ2Bの一側方に設けられ、測定光検出手段が音響レンズ2Bを挟んで測定光照射手段の反対側に設けられている。第1実施形態と同様に、測定光照射手段の測定光レーザ光源16から出力された測定光は集光レンズ11で収束されて、音響レンズ2Bの側方から入射する。入射した測定光は、音響レンズ2B内の反射超音波の伝播経路を横切って音響レンズ2B内を透過する。このとき、測定光は、反射超音波の伝播経路を略垂直に横切ると好ましい。反射超音波の伝播経路を略垂直に横切ることで、測定光は、反射超音波の変化を高い時間分解能で反映することができる。また、測定光は、反射超音波の伝播経路のどの位置を横切るように出力されてもよいが、本実施形態においては、音響レンズ2Bの湾曲面の焦点である反射超音波の収束点収束位置32と測定光の収束点とがほぼ一致するように出力される。このように反射超音波の収束点32と測定光の収束点とを一致させることによって、透過測定光は反射超音波による光弾性効果を確実に受けることができる。ここで、測定光は、加熱パルス光とは異なる波長を有しているのが好ましい。本実施形態による超音波顕微鏡1bの動作において、音響レンズ2Bが光弾性部としての機能も兼ねていること以外は、第1実施形態による超音波顕微鏡1aの動作と略同様であるので、超音波顕微鏡1bの動作についての説明は省略する。なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。特に、今回開示された実施形態において、明示的に開示されていない事項、例えば、動作条件や測定条件、各種パラメータ、構成物の寸法、重量、体積などは、当業者が通常実施する範囲を逸脱するものではなく、通常の当業者であれば、容易に想定することが可能な値を採用している。例えば、第1実施形態において、音響レンズ2Aをサファイヤを用いて、光弾性部材6を石英ガラスを用いて構成したが、音響レンズ2Aと光弾性部材6の材質の組み合わせはこれに限らない。また、上記各実施形態において、測定光レーザ光源16から発せられる測定光の波長は、赤外線など特定の波長に限定されるものではない。光弾性部材の材質や所望する屈折率に応じて任意の波長を選択することができる。