荷電粒子線描画装置における荷電粒子鏡筒内に配置された荷電粒子銃のパーティクルを除去する荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法であって、前記荷電粒子銃のアノード極付近のパーティクルを除去するアノードクリーニング工程と、前記アノードクリーニング工程の後、前記荷電粒子銃のカソード極付近のパーティクルを吸引装置を用いて除去するカソードクリーニング工程と、を備え、前記カソードクリーニング工程において、前記荷電粒子銃のカソードに被せて取り付けられる胴部を備え、前記胴部において、前記吸引装置へと前記胴部内部の気体を排気するための第1の開口部と、前記第1の開口部より前記カソード近くに前記第1の開口部より口径が小さく外気と通じた第2の開口部とが形成された吸引補助具を用いることを特徴とする荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法。前記カソードは、複数の部品により組み立てられ、前記第2の開口部は、前記胴部内壁の側面で前記複数の部品の継ぎ目と略同等な高さ位置に形成されたことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法。前記第2の開口部は、前記胴部の中心方向から所定の角度ずれた方向に向かって気体が流入するように形成されたことを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法。荷電粒子線描画装置における荷電粒子鏡筒内に配置された荷電粒子銃のパーティクルを除去する荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法であって、前記荷電粒子銃のアノード極付近のパーティクルを吸引装置を用いて除去するアノードクリーニング工程と、前記アノードクリーニング工程の後、前記荷電粒子銃のカソード極付近のパーティクル除去するカソードクリーニング工程と、を備え、前記アノードクリーニング工程において、前記アノードに被せて取り付けられる胴部を備え、前記胴部において、前記吸引装置へと前記胴部内部の気体を排気するための第1の開口部と、前記第1の開口部より前記アノード近くに前記第1の開口部より口径が小さく外気と通じた第2の開口部とが形成された吸引補助具を用いることを特徴とする荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法。電子銃室内では、内部に溜まったパーティクルが電子によりチャージアップした結果、放電が起こる。よって、上述したように、電子銃室内での放電の原因の1つにパーティクルが挙げられる。しかしながら、今まで十分にかかる電子銃室内におけるパーティクルの除去を行なうことができなかった。かかる問題は、電子銃だけに限らず、広く荷電粒子線描画装置における荷電粒子銃において共通する問題である。本発明は、かかる問題点を克服し、荷電粒子線描画装置において荷電粒子銃付近のパーティクルの除去を行なう器具を提供することを目的とする。本発明の一態様の吸引補助具は、荷電粒子線描画装置における荷電粒子銃のカソード付近のパーティクルを吸引装置を用いて除去する場合の吸引補助具であって、カソードに被せて取り付けられる胴部を備え、かかる胴部において、上述した吸引装置へと胴部内部の気体を排気するための第1の開口部と、かかる第1の開口部よりカソード近くに第1の開口部より口径が小さく外気と通じた第2の開口部とが形成されたことを特徴とする。かかる構成により、吸引装置により第1の開口部から胴部内部の気体を吸引した場合に、カソード近くの第2の開口部から胴部内部に気体が流入し、カソード付近をブローすることができる。そして、ブローにより舞い上がったパーティクルを所定の方向から吸引することができる。また、上述したカソードは、複数の部品により組み立てられ、上述した第2の開口部は、胴部内壁の側面で複数の部品の継ぎ目と略同等な高さ位置に形成されたことを特徴とする。部品の継ぎ目は、特にパーティクルが溜まりやすい。そこで、継ぎ目と略同等な位置に第2の開口部を形成することにより、継ぎ目部分をブローすることができる。さらに、本発明における第2の開口部は、胴部の中心方向から所定の角度ずれた方向に向かって気体が流入するように形成されたことを特徴とする。開口部の向きを胴部の中心方向から所定の角度ずれた方向に向かって形成することで、吸引された場合に内部に流入する気体を渦巻き型の流れにすることができる。その結果、よりカソード極付近のパーティクルを舞い上がらせることができる。また、本発明の他の態様の吸引補助具は、荷電粒子線描画装置における荷電粒子銃のアノード付近のパーティクルを吸引装置を用いて除去する場合の吸引補助具であって、アノードに被せて取り付けられる胴部を備え、かかる胴部において、上述した吸引装置へと胴部内部の気体を排気するための第1の開口部と、かかる第1の開口部よりアノード近くに第1の開口部より口径が小さく外気と通じた第2の開口部とが形成されたことを特徴とする。かかる構成により、吸引装置により第1の開口部から胴部内部の気体を吸引した場合に、アノード近くの第2の開口部から胴部内部に気体が流入し、アノード付近をブローすることができる。そして、ブローにより舞い上がったパーティクルを所定の方向から吸引することができる。また、本発明の一態様のパーティクル除去方法は、荷電粒子線描画装置における荷電粒子鏡筒内に配置された荷電粒子銃のパーティクルを除去するパーティクル除去方法であって、荷電粒子銃のアノード極付近のパーティクルを除去するアノードクリーニング工程と、アノードクリーニング工程の後、荷電粒子銃のカソード極付近のパーティクルを除去するカソードクリーニング工程と、を備えことを特徴とする。アノード極付近のパーティクルを除去した後、カソード極付近のパーティクルを除去することで、よりカソード極をクリーンに保つことができる。本発明によれば、ブローにより舞い上がったパーティクルを所定の方向から吸引することができるので、荷電粒子銃付近のパーティクルを除去することができる。実施の形態1.図1は、実施の形態1におけるカソードクリーナの構成とその使用状況を説明するための図である。図1に示すように、吸引補助具の一例となるカソードクリーナ100は、胴部110と圧力開放弁120とを備えている。そして、胴部110は、中心部が開口した円盤状のベース114の中心部に、内面がなだらかに先細りした筒状の筒部112が配置されている。筒部112には、圧力開放弁120が配置されている。そして、ベース114には、外周側面から中心方向に向かって複数の供給口130が形成され、ベース114の内周側面では、供給口130の口径が絞られた開口部の一例となるブロー口Bが形成され、貫通し外気と通じている。また、ベース114の裏面には、蟻溝が形成され、蟻溝にO-リング140がはめ込まれている。そして、O-リング140がはめ込まれている蟻溝の内側にて、ベース114の表面から裏面に向かって複数の供給口132が形成され、ベース114の裏面では、供給口132の口径が絞られた開口部の一例となるブロー口Aが形成され、貫通し外気と通じている。また、各供給口130と供給口132とは一対となってベース114内部で空間が繋がる位置に形成されている。カソードクリーナ100は、荷電粒子線描画装置の一例となる電子線描画装置における電子銃荷電粒子銃の一例を構成するカソード極となるカソード150を覆うように取り付けられて使用する。ここでは、カソード150が中心部に取り付けられている円盤状の碍子156の表面にベース114の裏面が合わさるようにカソードクリーナ100をかぶせる。そして、開口している筒部112の先細りした他端開口部にカフス502が取り付けられ、カフス502にはホース504が取り付けられ、吸引装置となる掃除機506の吸引口に接続される。また、カソード150は、チャンバヘッド158に配置された碍子156に取り付けられた雄ねじが切られているコロナリング154に、雌ねじが切られている取付ナット152により接合され取り付けられている。また、カソードクリーナ100が、カソード150を覆うように被せて取り付けられた状態において、ブロー口Aの内側では、ベース114の裏面と碍子156の表面との間に所定の隙間が開くようにベース114が形成されている。かかる隙間は、例えば1~2mmに形成すると好適である。そして、できるだけ狭い方がより好ましい。一方、ブロー口Aの外側は、O-リング140により通気が遮断されている。そして、カソードクリーナ100が、カソード150を覆うように被せて取り付けられた状態において、ブロー口Bは、掃除機506へと胴部内部の気体を排気するための筒部112の先細りした端部開口部と比べ、カソード150に十分近くで、さらに、取付ナット152とコロナリング154とが接合されている接合部の高さに合わせて形成されている。かかる状態にセットした後、圧力開放弁120が閉じた状態で、掃除機506により筒部112の先細りした側の端部の開口部から吸引すると、各供給口130と供給口132とから外気が吸引され、吸引された外気が、口径が絞られた複数のブロー口Aと複数のブロー口Bからカソードクリーナ100の胴部110内部に流入する。ブロー口Aとブロー口Bとは、共に口径が絞られているため、流入する気体の流速を速めることができる。そして、ブロー口Aから流入した気体は、碍子156表面を伝って胴部110内部に流入し、さらに、コロナリング154の碍子156側の面継ぎ目付近をブローする気体の流れを作る。ブローすることにより、コロナリング154の碍子156側の面付近に付着した、或いは溜まったパーティクルを表面から離脱させ舞い上がらせることができる。一方、ブロー口Bから流入した気体は、取付ナット152とコロナリング154とが接合されている接合部継ぎ目付近をブローする気体の流れを作る。ブローすることにより、取付ナット152とコロナリング154とが接合されている接合部付近に付着した、或いは溜まったパーティクルを表面から離脱させ舞い上がらせることができる。胴部110内部に流入した気体は、舞い上がったパーティクルと共に、なだらかに先細りする筒部112を通って、掃除機506に吸引される。筒部112の内側表面をなだらかな面に形成することにより舞い上がったパーティクルを胴部110内に留めないようにすることができる。また、筒部112の先細りした端部の径は、カフス502の取り付けに合う径にすればよい。ここで、複数のブロー口Aや複数のブロー口Bの口径は、掃除機506へと胴部内部の気体を排気するための筒部112の先細りした端部開口部の口径に比べて十分小さくし、例えば、複数のブロー口Aは、口径がφ1~2mmに形成されると好適である。そして、複数のブロー口Aは、O-リング140がはめ込まれている蟻溝の内側であって、できるだけベース114の外周に近い位置に形成されることが望ましい。できるだけベース114の外周に近い位置に形成されることにより、碍子156表面に付着したより多くのパーティクルを除去することができる。また、複数のブロー口Bも、口径がφ1~2mmに形成されると好適である。さらに、ブロー口Aの口径の方がブロー口Bの口径よりも大きくなるように形成するとより好適である。そして、複数の供給口130と複数の供給口132とから吸引される気体の流量として、5~70L/min大気圧時程度が好適である。また、その際の胴部110内の圧力は、20kPa程度が好適である。図2は、実施の形態1におけるアノードクリーナの構成とその使用状況を説明するための図である。図2に示すように、吸引補助具の一例となるアノードクリーナ200は、胴部210と圧力開放弁220とを備えている。そして、胴部210では、中心部が開口した円盤状のベース214の中心部に、筒状部材の底部に中心部が開口した円盤状のフランジが形成された筒部216が配置され、筒部216の中心部に、内面がなだらかに先細りした筒状の筒部212が配置されている。筒部212には、圧力開放弁220が配置されている。そして、ベース214の裏面では、内周端と外周端との間に開口溝が形成れている。また、ベース214の内周側面下部から外周側に向かって複数の供給口230が形成され、ベース214の裏面に形成された開口溝の側面では、供給口230の口径が絞られた開口部の一例となるブロー口Eが形成され、貫通し外気と通じている。また、筒部212の下部は、筒部216と接続するためのフランジ部が形成され、筒部212のフランジ部には、外周側面から中心部に向かって所定の口径の複数の穴が形成され、筒部212のフランジ部の内周側面では、所定の口径の穴の口径が絞られた開口部の一例となるブロー口Fが形成され、貫通し外気と通じている。そして、筒部212のフランジ部の上面から、外周側面から中心部に向かって形成された複数の所定の口径の穴の各穴に貫通接続する複数の供給口232が形成されている。アノードクリーナ200は、荷電粒子線描画装置の一例となる電子線描画装置における電子銃荷電粒子銃の一例を構成するアノード極となるアノード160を覆うように取り付けられて使用する。ここでは、アノード160が配置されているチャンバ164の上端にO-リングを挟んでベース214の裏面の開口部底面が合わさるようにアノードクリーナ200をかぶせる。そして、開口している筒部212の先細りした他端開口部にカフス512が取り付けられ、カフス512にはホース514が取り付けられ、吸引装置となる掃除機516の吸引口に接続される。また、雌ねじが切られているアノード160は、チャンバ164の下部に配置された固定部材166に取り付けられた雄ねじが切られているアノード押さえ162と接合され取り付けられている。また、アノードクリーナ200が、アノード160を覆うように被せて取り付けられた状態において、筒部216の外側側面とチャンバ164の内側側面との間に所定の隙間が開くように筒部216が形成されている。そして、ベース214とチャンバ164の上端は、O-リングにより通気が遮断されている。そして、アノードクリーナ200が、アノード160を覆うように被せて取り付けられた状態において、ブロー口Fは、掃除機516へと胴部内部の気体を排気するための筒部212の先細りした端部開口部と比べ、アノード160に十分近くで、さらに、アノード160とアノード押さえ162とが接合されている接合部の高さに合わせて形成されている。かかる状態にセットした後、圧力開放弁220が閉じた状態で、掃除機516により吸引すると、各供給口230から外気が吸引され、吸引された外気が、口径が絞られた複数のブロー口Eからチャンバ164の内側側面内壁と筒部216との間に流入する。同様に、各供給口232から外気が吸引され、吸引された外気が、口径が絞られた複数のブロー口Fからアノードクリーナ200の胴部210内部筒部212内部に流入する。ブロー口Eとブロー口Fとは、共に口径が絞られているため、流入する気体の流速を速めることができる。そして、ブロー口Eから流入した気体は、チャンバ164の内側側面内壁を伝って胴部210内部に流入し、さらに、アノード押さえ162の側面付近をブローする気体の流れを作る。チャンバ164の内側側面内壁を伝って胴部210内部に流入することのより、チャンバ164の内側側面内壁に付着した、或いは溜まったパーティクルを表面から離脱させ胴部210内部に運ぶことができる。また、ブローすることにより、アノード押さえ162の側面付近に付着した、或いは溜まったパーティクルを表面から離脱させ舞い上がらせることができる。一方、ブロー口Fから流入した気体は、アノード160とアノード押さえ162とが接合されている接合部付近をブローする気体の流れを作る。ブローすることにより、アノード160とアノード押さえ162とが接合されている接合部継ぎ目付近に付着した、或いは溜まったパーティクルを表面から離脱させ舞い上がらせることができる。胴部210内部に流入した気体は、舞い上がったパーティクルと共に、なだらかに先細りする筒部212を通って、掃除機516に吸引される。筒部212の内側表面をなだらかな面に形成することにより舞い上がったパーティクルを胴部210内に留めないようにすることができる。また、筒部212の先細りした端部の径は、カフス512の取り付けに合う径にすればよい。ここで、複数のブロー口Eや複数のブロー口Fの口径は、掃除機516へと胴部内部の気体を排気するための筒部212の先細りした端部開口部の口径に比べて十分小さくし、例えば、複数のブロー口Eは、口径がφ1~2mmに形成されると好適である。そして、複数のブロー口Fも、口径がφ1~2mmに形成されると好適である。さらに、ブロー口Eの口径の方がブロー口Fの口径よりも大きくなるように形成するとより好適である。また、図2では、筒部216の外周側面外壁面にテーパがついているが、無くても構わない。テーパを無くし、筒部216の外周側面外壁面とチャンバ164の内壁面との隙間を小さくすることで気体の流速を速めることができる。その結果、パーティクル除去効率を高めることができる。そして、複数の供給口230と複数の供給口232とから吸引される気体の流量として、5~70L/min大気圧時程度が好適である。また、その際の胴部210内の圧力は、20kPa程度が好適である。図3は、電子線描画装置の構成の一例を示す概念図である。図3において、荷電粒子線描画装置の一例となる電子線描画装置500は、電子鏡筒510と試料を載置する移動可能なステージが搭載されたライティングチャンバ520とを備えている。電子鏡筒510内には、カソード150やアノード160等で構成される電子銃が配置される電子銃室522荷電粒子銃室の一例とその下部に電子レンズや偏向器等が搭載される電子光学系524が配置されている。図3では、本実施の形態1を説明する上で必要な構成部分以外については記載を省略している。電子線描画装置500にとって、通常、必要なその他の構成が含まれることは言うまでもない。図4は、電子銃室の構成とパーティクルの付着状況とを説明するための概念図である。図4において、カソード150は、取付ナット152でコロナリング154に取り付けられたウェネルト174の内部において、チャンバヘッド158内から碍子156を介して延びる2つの押さえ具172で押さえられたホウ化ランタンLaB6材170が配置した構成になっている。LaB6材170から放出された電子は、ウェネルト174に印加された図示していないバイアス電圧により軌道修正を受け、ウェネルト174直下で一度集束クロスオーバーした後、アノード160に向かって加速し、アノード160の中心部に形成された開口部を通って電子光学系へと進む電子ビームを形成する。ここで、コロナリング154の外周部は、膨らんでいるため、碍子156との間の継ぎ目部分に凹部空間が形成され、そこにパーティクルが付着或いは溜まってしまう。また、コロナリング154と取付ナット152は、ねじで接合しているため、ねじ溝或いはコロナリング154と取付ナット152との接合部継ぎ目付近にパーティクルが付着或いは溜まってしまう。さらに、図4において×印で示す電子銃室522内の壁面となる碍子156表面やチャンバ164の内側側面内壁及び底面にパーティクルが付着或いは溜まってしまう。これらのパーティクルがチャージアップして放電の原因となってしまう。よって、掃除機506或いは掃除機516で吸引する際に図1及び図2において示したカソードクリーナ100及びアノードクリーナ200を用いてかかるパーティクルを除去することができる。図5は、電子銃室の開閉の様子を説明するための図である。図5に示すように、電子銃室522は、碍子156及び碍子156に取り付けられたカソード150と共にチャンバヘッド158が所定の位置を支点に回転させて外すことで開くことができる。そして、開いた状態で、図1及び図2において示したカソードクリーナ100及びアノードクリーナ200を取り付けて掃除機506或いは掃除機516で吸引する。図6は、パーティクル除去方法の工程を示すフローチャート図である。図6において、パーティクル除去方法は、チャンバ開工程S602と、アノードクリーニング工程S604と、カソードクリーニング工程S606と、チャンバ閉工程S602という一連の工程を実施する。Sステップ602において、チャンバ開工程として、図5に示すようにチャンバヘッド158を外すことにより電子銃室522を開ける。S604において、アノードクリーニング工程として、図2の説明のようにアノードクリーナ200を取り付けた後、掃除機516で吸引することで電子銃質のアノード極付近のパーティクルを除去する。S606において、カソードクリーニング工程として、図1の説明のようにカソードクリーナ100を取り付けた後、掃除機506で吸引することで電子銃質のカソード極付近のパーティクルを除去する。S608において、チャンバ閉工程として、図5に示すようにチャンバヘッド158を元に戻すことにより電子銃室522を閉める。電子銃にとって、電子を放出するカソード極のクリーン度を向上させた方が、より精度の高い電子ビームを放出することができるので、カソードクリーニング工程をより後段に行なうことが好適である。よって、チャンバ閉工程の前でアノードクリーニング工程の後にカソードクリーニング工程を行なうことで、よりカソード極のクリーン度を向上させることができる。図7は、カソードクリーナの正面図である。図8は、カソードクリーナの上面図である。図7及び図8に示すように、ここでは、供給口130及び供給口132を60度ずつずらして6箇所配置した。ここで、カソードクリーナ100の胴部110の内側壁面は、より胴部内部の気体を滞留させずに掃除機506に排気することができるように上方から見た場合の断面を円形に形成したが、四角形やその他の多角形であっても構わない。図9は、カソードクリーナ内部の圧力真空を大気開放する様子を説明するための図である。掃除機506でカソードクリーナ100の胴部110内を吸引した場合、胴部110内部が減圧真空状態になるため、差圧による圧力により碍子156からカソードクリーナ100を取り外しにくい。そこで、図9に示すように、圧力開放弁120を回転させて外部と通気口の位置を合わせることで大気開放することができる。図10は、アノードクリーナの正面図である。図11は、アノードクリーナの上面図である。図10及び図11に示すように、ここでは、供給口230及び供給口232を30度ずつずらして12箇所配置した。ここで、アノードクリーナ200の胴部210の内側壁面は、より胴部内部の気体を滞留させずに掃除機516に排気することができるように上方から見た場合の断面を円形に形成したが、四角形やその他の多角形であっても構わない。図12は、アノードクリーナ内部の圧力真空を大気開放する様子を説明するための図である。掃除機516でアノードクリーナ200の胴部210内を吸引した場合、胴部210内部が減圧真空状態になるため、差圧による圧力によりチャンバ164の上端面からアノードクリーナ200を取り外しにくい。そこで、図12に示すように、圧力開放弁220を回転させて外部と通気口の位置を合わせることで大気開放することができる。図13は、クリーニング前後でのパーティクル数を測定した結果を示す図である。ここでは、胴部110及び胴部210の内圧を20kPaにして、50s間吸引したときの結果を示している。また、パーティクル数は、1L中におけるサイズが0.3~0.5μmのパーティクル数をパーティクルカウンタによりカウントした。図13に示すように、クリーニング前のカソード極付近では、パーティクル数が490個であったのに対し、クリーニング後は、ほぼ0個にすることができた。また、クリーニング前のアノード極付近では、パーティクル数が10個であったのに対し、クリーニング後は、ほぼ0個にすることができた。以上のように、カソードクリーナ100でカソード極を覆い、掃除機506で吸引することで胴部110内に形成された供給口から胴部内部に気体が流入し、カソード周辺をブローすることによりパーティクルを舞い上がらせ、舞い上がったパーティクルを吸引することで除去することができる。同様に、アノードクリーナ200でアノード極及びチャンバ内壁を覆い、掃除機516で吸引することで胴部210内に形成された供給口から胴部内部に気体が流入し、アノード周辺及びチャンバ内壁をブローすることによりパーティクルを舞い上がらせ、舞い上がったパーティクルを吸引することで除去することができる。実施の形態2.実施の形態1では、ブロー口の方向を胴部の中心方向に向かって形成していたが、実施の形態2では、角度を変えて形成する場合について説明する。図14は、実施の形態2におけるカソードクリーナに形成されるブロー口の方向の一例を示す概念図である。図14に示すように、供給口130及び供給口130から続くブロー口Bの方向をベース114の中心方向から所定の角度θだけずらして形成する。所定の角度θだけずらして形成することによりブロー口Bから胴部内部に流入する気体に渦巻き状の流れを形成することができる。その結果、より付着したパーティクルの剥離を向上させることができる。ここで、図14に示す場合のように、60ずつずらして6箇所の供給口130及びブロー口Bを形成する場合、0°<θ≦60°とすることが望ましい。0°<θ≦60°とすることで、胴部の内壁にブローした気体がぶつかってしまう前に、次のブローした気体の流れにより渦巻き状に回転させられるようにすることができる。図15は、実施の形態2におけるカソードクリーナに形成されるブロー口の方向の他の一例を示す概念図である。図15に示すように、供給口130の向きは、ベース114の中心方向のままにして、ブロー口Bの方向をベース114の中心方向から所定の角度θだけずらして形成してもよい。ここで、カソードクリーナ100の胴部110の内側壁面は、図14及び図15に示すように上方から見た場合の断面を円形に形成することが望ましい。断面を円形に形成することにより胴部内部の気体の流れをより抵抗を受けずに渦巻き状にすることができる。図16は、実施の形態2におけるアノードクリーナに形成されるブロー口の方向の一例を示す概念図である。図16に示すように、供給口232に通気しブロー口に続く開口穴及びブロー口Fの方向を筒部212の中心方向から所定の角度θだけずらして形成する。所定の角度θだけずらして形成することによりブロー口Fから胴部内部に流入する気体に渦巻き状の流れを形成することができる。その結果、より付着したパーティクルの剥離を向上させることができる。ここで、図16に示す場合のように、30ずつずらして12箇所のブロー口Bを形成する場合、0°<θ≦75°とすることが望ましい。0°<θ≦75°とすることで、胴部の内壁にブローした気体がぶつかってしまう前に、次のブローした気体の流れにより渦巻き状に回転させられるようにすることができる。図17は、実施の形態2におけるアノードクリーナに形成されるブロー口の方向の他の一例を示す概念図である。図17に示すように、供給口232及び供給口232に通気しブロー口に続く開口穴の向きは、筒部212の中心方向のままにして、ブロー口Fの方向を筒部212の中心方向から所定の角度θだけずらして形成してもよい。ここで、実施の形態1では、アノードクリーナ200において、チャンバ164の内壁をブローするブロー口Eについてもベース214の中心側から半径方向に沿って外側に向かって形成していたが、ここでも所定の角度θだけずらして形成しても気体に渦巻き状の流れを形成することができる点で同様であるため好適である。また、アノードクリーナ200の胴部210の内側壁面は、図16及び図17に示すように上方から見た場合の断面を円形に形成することが望ましい。断面を円形に形成することにより胴部内部の気体の流れをより抵抗を受けずに渦巻き状にすることができる。以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、気体として、空気の他、窒素やアルゴン等の不活性ガスを用いて構わない。また、カソードクリーナ100やアノードクリーナ200を使用する環境は、クリーンルームなどパーティクルが存在しない或いは、通常の環境より非常に少ない場所で使用することが望ましい。また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。例えば、電子線描画装置500を制御する制御部構成については、記載を省略したが、必要とされる制御部構成を適宜選択して用いることは言うまでもない。また、カソードクリーナ100やアノードクリーナ200において、各部品を取り付けるためのネジ等の構成については記載を省略したが、必要とされる部品を適宜選択して用いることは言うまでもない。その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての吸引補助具及びパーティクル除去方法は、本発明の範囲に包含される。