"検出領域で透明基板の欠陥を検出するための検出システムであって、第1の照射システムであって、それぞれの第1の光を放射する複数の第1のスポット光源からなるスポット光源の第1の組であって、前記ぞれぞれの第1の光は、互いに実質的に平行であって、前記検出領域で走査ラインに集中し、前記スポット光源の第1の組及び前記走査ラインは、第1の光平面を規定する前記スポット光源の第1の組と、それぞれの第2の光を放射する複数の第2のスポット光源からなるスポット光源の第2の組であって、前記それぞれの第2の光は、互いに実質的に平行であって、前記走査ラインに集中し、前記スポット光源の第2の組及び前記走査ラインは、第2の光平面を規定する前記スポット光源の第2の組と、を含む第1の照射システムと、第2の照射システムであって、それぞれの第3の光を放射する複数の第3のスポット光源からなるスポット光源の第3の組であって、前記それぞれの第3の光は、互いに実質的に平行であって、前記走査ラインに集中し、前記スポット光源の第3の組及び前記走査ラインは、第3の光平面を規定する前記スポット光源の第3の組と、それぞれの第4の光を放射する複数の第4のスポット光源からなるスポット光源の第4の組であって、前記それぞれの第4の光は、互いに実質的に平行であって、前記走査ラインに集中し、前記スポット光源の第4の組及び前記走査ラインは、第4の光平面を規定する前記スポット光源の第4の組と、を含む第2の照射システムと、前記走査ラインに集中した前記第1の光、前記第2の光、前記第3の光、及び前記第4の光を受け取り、これらの光に基づいて撮像する撮像部と、を含み、前記検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、前記第1の光から前記第4の光までの全てによって照射され、前記走査ラインを通過する平面Pにおいて、前記透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第1の光及び前記第3の光と、前記第2の光及び前記第4の光との投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Pの列lの異なる側に位置し、前記第1の光平面及び前記第2の光平面と、前記第3の光平面及び前記第4の光平面は、前記平面Pの異なる側に位置し、前記第2の光平面及び前記第3の光平面は、前記第1の光平面及び前記第4の光平面にそれぞれ重ね合わさり、前記第1の光平面及び前記第4の光平面のそれぞれよりも前記平面Pに近くに位置する検出システム。前記平面Pでの前記第1の光及び前記第3の光の投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、前記平面Pでの前記第2の光及び前記第4の光の投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°である、請求項1に記載の検出システム。前記第1の光平面及び前記第4の光平面と、前記平面Pの間の最大角度は、52.5°であり、前記第1の光平面と前記第2の光平面の間の角度は、0°から15°であり、前記第3の光平面と前記第4の光平面の間の角度は、0°から15°であり、前記第2の光平面及び前記第3の光平面と、前記平面Pの間の最小角度は、37.5°である、請求項1又は2に記載の検出システム。前記第1の照射システムは、棒状の第1の光源レセプタクルと、前記第1の光源レセプタクルに取り付けられた、前記複数の第1のスポット光源及び前記複数の第2のスポット光源と、を含み、前記第2の照射システムは、棒状の第2の光源レセプタクルと、前記第2の光源レセプタクルに取り付けられた、前記複数の第3のスポット光源及び前記複数の第4のスポット光源と、を含む、請求項1に記載の検出システム。前記スポット光源の第1の組及び前記スポット光源の第2の組は、前記第1の光源レセプタクルに平行に配置され、前記スポット光源の第3の組及び前記スポット光源の第4の組は、前記第2の光源レセプタクルに平行に配置される、請求項4に記載の検出システム。前記第1のスポット光源及び前記第2のスポット光源は、前記第1の光源レセプタクルに一列に交互に配置され、前記スポット光源の第3の組及び前記スポット光源の第4の組は、前記第2の光源レセプタクルに一列に交互に配置される、請求項4に記載の検出システム。前記第1のスポット光源及び前記第2のスポット光源は、前記第1の光源レセプタクルに一列に配置され、前記スポット光源の第3の組及び前記スポット光源の第4の組は、前記第2の光源レセプタクルに一列に配置され、前記第1のスポット光源は、前記第1の光源レセプタクルの前半に位置し、前記第2のスポット光源は、前記第1の光源レセプタクルの後半に位置し、前記スポット光源の第3の組は、前記第2の光源レセプタクルの前半に位置し、前記スポット光源の第4の組は、前記第2の光源レセプタクルの後半に位置する、請求項4に記載の検出システム。透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、互いに実質的に平行にそれぞれの第1の光を放射し、前記レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第1の列に配置される、複数の第1のスポット光源と、互いに実質的に平行にそれぞれの第2の光を放射し、前記レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第2の列に配置される、複数の第2のスポット光源と、を含み、前記スポット光源の第1の列及び前記スポット光源の第2の列は、実質的に一列に配置され、前記スポット光源の第1の列及び前記スポット光源の第2の列は、前後方向に前記レセプタクルの半分ずれて位置し、前記第1の光及び前記第2の光は、走査ラインに集中し、前記走査ラインを通過する平面Pにおいて、透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第1の光及び前記第2の光の投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な、前記平面Pの列の異なる側に位置する照射システム。前記平面Pの第1の光の前記投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、前記平面Pの前記第2の光の前記投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°である、請求項8に記載の照射システム。前記第1のスポット光源は、直線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置され、前記第2のスポット光源は、前記直線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置される、請求項8に記載の照射システム。前記第1のスポット光源は、曲線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置され、前記第2のスポット光源は、前記曲線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置される、請求項8に記載の照射システム。透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、互いに実質的に平行にそれぞれの第1の光を放射し、前記レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第1の列に配置される、複数の第1のスポット光源と、互いに実質的に平行にそれぞれの第2の光を放射し、前記レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第2の列に配置される、複数の第2のスポット光源と、を含み、前記スポット光源の第1の列及び前記スポット光源の第2の列は、実質的に平行に配置され、前記第1の光及び前記第2の光は、走査ラインに集中し、前記走査ラインを通過する平面Pにおいて、前記透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第1の光及び前記第2の光の投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Pの列の異なる側に位置する照射システム。前記平面Pでの前記第1の光の前記投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、前記平面Pでの前記第2の光の前記投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°である、請求項12に記載の照射システム。前記第1のスポット光源は、直線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置され、前記第2のスポット光源は、直線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置される、請求項12に記載の照射システム。前記第1のスポット光源は、曲線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置され、前記第2のスポット光源は、曲線に沿って実質的に前記レセプタクルに配置される、請求項12に記載の照射システム。透明基板の欠陥を検出するための検出システムにおいて、検出されるための透明基板を検出領域に搬送するための透明基板搬送部と、第1の照射システムであって、第1の放射方向に沿った第1の光を放射する第1のライン光源と、第2の放射方向に沿った第2の光を放射する第2のライン光源と、を含み、前記第1の光及び前記第2の光は、前記検出領域で走査ラインに投射及び集中し、前記第1のライン光源及び前記走査ラインは、第1の光平面を規定し、前記第2のライン光源及び前記走査ラインは、第2の光平面を規定する、第1の照射システムと、第2の照射システムであって、第3の放射方向に沿った第3の光を放射する第3のライン光源と、第4の放射方向に沿った第4の光を放射する第4のライン光源と、を含み、前記第3の光及び前記第4の光は、前記走査ラインに投射及び集中し、前記第3のライン光源及び前記走査ラインは、第3の光平面を規定し、前記第4のライン光源及び前記走査ラインは、第4の光平面を規定する、第2の照射システムと、前記走査ラインに集中した、前記第1の光、前記第2の光、前記第3の光、及び前記第4の光を受け取り、これらの光に基づいて撮像を実行する撮像部と、を含み、前記検出領域の範囲の前記走査ライン上のそれぞれの点は、前記第1の光から前記第4の光までの全てによって照射され、前記走査ラインを通過する平面Pにおいて、前記透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第1の光及び前記第3の光と、前記第2の光及び前記第4の光の前記投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Pの列の異なる側に位置し、前記第1の光平面及び前記第2の光平面と、前記第3の光平面及び前記第4の光平面は、前記平面Pの異なる側に位置し、前記第2の光平面及び前記第3の光平面は、前記第1の光平面及び前記第4の光平面にそれぞれ重ね合わされ、又は前記第1の光平面及び前記第4の光平面のそれぞれよりも前記平面Pに近くに位置する検出システム。前記平面Pでの前記第1の光及び前記第3の光の投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、前記平面Pでの前記第2の光及び前記第4の光の投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°である、請求項16に記載の検出システム。前記第1の光平面及び前記第4の光平面と、前記平面Pの間の最大角度は、52.5°であり、前記第1の光平面と前記第2の光平面の間の角度は、0°から15°であり、前記第3の光平面と前記第4の光平面の間の角度は、0°から15°であり、前記第2の光平面及び前記第3の光平面と、前記平面Pの間の最小角度は、37.5°である、請求項16に記載の検出システム。前記第1のライン光源、前記第2のライン光源、前記第3のライン光源、及び前記第4のライン光源は、複数のスポット光源をそれぞれ含む、請求項16に記載の検出システム。透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、前記レセプタクルの前後方向に沿ってスポット光源1a,2a,...ka,...naの第1の列に実質的に一列に配置された、複数の第1の光源aを含み、nは、2よりも大きい整数であり、kは、1とnの間の整数であり、それぞれの第1の光源は、第1の光を放射する、スポット光源の第1の組と、前記レセプタクルの前後方向に沿ってスポット光源1b,2b,...kb,...nbの第2の列に実質的に一列に配置された、複数の第2の光源bを含み、それぞれの第2の光源bが第2の光を放射する、スポット光源の第2の組と、を含み、前記第1の光源1aによって放射された前記第1の光と、対応する前記第2の光源1bによって放射された前記第2の光は、第1の走査ドット1sに集中し、前記第1の光源kaによって放射された前記第1の光と、対応する前記第2の光源kbによって放射された前記第2の光は、k番目の走査ドットksに集中し、前記第1の光源naによって放射された前記第1の光と、対応する前記第2の光源nbによって放射された前記第2の光は、n番目の走査ドットnsに集中し、前記第1の走査ドットls,...前記k番目の走査ドットks,...及びn番目の走査ドットnsは、連続直線又は連続曲線に実質的に配置され、走査ラインを通過する平面Pにおいて、前記透明基板に垂直で、前記走査ライン上のそれぞれの点に集中する、前記第1の光及び前記第2の光の投射は、前記点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Pの列の異なる側に位置する照射システム。前記スポット光源の第1の組及び前記スポット光源の第2の組が配置される列は、互いに実質的に平行である、請求項20に記載の照射システム。前記スポット光源の第1の組が配置される列は、前記スポット光源の第2の組が配置される列の延長線に配置される、請求項20に記載の照射システム。前記平面Pでの前記第1の光の投射と、前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、前記平面Pでの前記第2の光の投射と前記列lの間の角度は、37.5°から52.5°である、請求項20に記載の照射システム。前記第1の光源1aと前記第2の光源1bの間の距離は、前記第1の光源kaと前記第2の光源kbとの間の距離と同一である、請求項20に記載の照射システム。しかしながら、ライン走査システムに領域照明を採用することは、大きな寸法bigdimensionの透明基板のためのライン走査システムの大きな寸法largedimensionが原因で、難しい。数メートルの長さの領域照明を有することは、ほとんど不可能である。したがって、準等方性の照射を実現するための新規の照射システムは、この発明の開示で記載した問題を解決するために設計される。本発明は、検出システムの走査ライン上のそれぞれの点pointが走査ラインに沿って両方向からの光を有し、低コストで準等方性の照射システムを実現することに基づいている。即ち、走査ライン上の全ての点は、走査ラインに沿って両方向から照射される。さらに、走査ライン上の全ての点は、走査ラインに沿った短軸の大部分の気泡である欠陥がよく照射されるように、走査ラインに垂直に両方向からの光を同様に有するべきである。上記目的を達成するために、検出システムのために用いられる照射光源は、四つの方向からの光を実現できる光の少なくとも四つの組setを提供するべきである。即ち、光の四つの組は、走査ラインに沿った両方向及び走査ラインに垂直な両方向の光成分lightofcomponentsを有する。実際には、走査ラインに垂直な両方向の光成分は、ライン走査AOIシステムの走査ラインの両側に配置される二つの照射システムを採用することによって実装できる。さらに、それぞれの照射システムは、二つの光の組を実現する光源の二つの組を有してもよく、光のそれぞれの組は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに沿って両方向のうちの一つの光を提供する。このように、ライン走査AOIシステムの検出可能性の気泡方向の効果は、消去される。本発明に従って、それぞれの照射システムの光源の二つの組は、走査ライン上のそれぞれの点が走査ラインに沿った両方向からの光を有する限り、互いに平行に配置されてもよく、一列や他の形状に交互に配置されてもよい。本発明の一実施態様によると、透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルlightsourcereceptacleと、互いに実質的に平行にそれぞれの第1の光を放射し、レセプタクルの前後方向longitudinaldirectionに沿ったスポット光源の第1の列firstlineに配置される、複数の第1のスポット光源と、互いに実質的に平行にそれぞれの第2の光を放射し、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第2の列に配置される、複数の第2のスポット光源と、を含み、スポット光源の第1の列及びスポット光源の第2の列secondlineは、実質的に一列に配置され、スポット光源の第1の列及びスポット光源の第2の列は、前後方向にレセプタクルの半分ずれてindifferenthalfofthereceptacle位置し、第1の光及び第2の光は、走査ラインに集中し、走査ラインを通過する平面Pにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第1の光及び第2の光の投射projectionは、点を通過し、走査ラインに垂直な、平面Pの列の異なる側に位置する照射システムを実現する。実施形態において、平面Pでの第1の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、平面Pでの第2の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°である。実施形態において、第1のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第2のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。別の実施形態において、第1のスポット光源は、曲線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第2のスポット光源は、曲線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。本発明の別の実施態様によると、透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、互いに実質的に平行にそれぞれの第1の光を放射し、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第1の列に配置される、複数の第1のスポット光源と、互いに実質的に平行にそれぞれの第2の光を放射し、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第2の列に配置される、複数の第2のスポット光源と、を含み、スポット光源の第1の列及びスポット光源の第2の列は、実質的に平行に配置され、第1の光及び第2の光は、走査ラインに集中し、走査ラインを通過する平面Pにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第1の光及び第2の光の投射は、点を通過し、走査ラインに垂直な平面Pの列の異なる側に位置する照射システムを実現する。実施形態において、平面Pでの第1の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、平面Pでの第2の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°である。実施形態において、第1のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第2のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。別の実施形態において、第1のスポット光源は、曲線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第2のスポット光源は、曲線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。本発明の別の実施態様によると、透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、レセプタクルの前後方向に沿ってスポット光源1a,2a,...ka,...naの第1の列に実質的に一列に配置された、複数の第1の光源aを含み、nは、2よりも大きい整数であり、kは、1とnの間の整数であり、それぞれの第1の光源は、第1の光を放射する、スポット光源の第1の組と、レセプタクルの前後方向に沿ってスポット光源1b,2b,...kb,...nbの第2の列に実質的に一列に配置された、複数の第2の光源bを含み、それぞれの第2の光源bが第2の光を放射する、スポット光源の第2の組と、を含み、第1の光源1aによって放射された第1の光と、対応する第2の光源1bによって放射された第2の光は、第1の走査ドット1s,...に集中し、第1の光源kaによって放射された第1の光と、対応する第2の光源kbによって放射された第2の光は、k番目の走査ドットks,...に集中し、第1の光源naによって放射された第1の光と、対応する第2の光源nbによって放射された第2の光は、n番目の走査ドットnsに集中し、第1の走査ドットls,...k番目の走査ドットks,...及びn番目の走査ドットnsは、連続直線又は連続曲線に実質的に配置され、走査ラインを通過する平面Pにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第1の光及び第2の光の投射は、点を通過し、走査ラインに垂直な平面Pの列の異なる側に位置する照射システムを実現する。実施形態において、スポット光源の第1の組及びスポット光源の第2の組が配置される列は、互いに実質的に平行である。別の実施形態において、スポット光源の第1の組が配置される列は、スポット光源の第2の組が配置される列の延長線に配置される。別の実施形態において、平面Pでの第1の光の投射と、列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、平面Pでの第2の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°である。別の実施形態において、第1の光源1aと第2の光源1bの間の距離は、第1の光源kaと第2の光源kbとの間の距離と同一である。本発明の別の実施態様によると、検出領域で透明基板の欠陥を検出するための検出システムであって、第1の照射システムであって、それぞれの第1の光を放射する複数の第1のスポット光源からなるスポット光源の第1の組であって、ぞれぞれの第1の光は、互いに実質的に平行であって、検出領域で走査ラインに集中し、スポット光源の第1の組及び走査ラインは、第1の光平面lightplaneを規定defineするスポット光源の第1の組と、それぞれの第2の光を放射する複数の第2のスポット光源からなるスポット光源の第2の組であって、それぞれの第2の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第2の組及び走査ラインは、第2の光平面を規定するスポット光源の第2の組と、を含む第1の照射システムと、第2の照射システムであって、それぞれの第3の光を放射する複数の第3のスポット光源からなるスポット光源の第3の組であって、それぞれの第3の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第3の組及び走査ラインは、第3の光平面を規定するスポット光源の第3の組と、それぞれの第4の光を放射する複数の第4のスポット光源からなるスポット光源の第4の組であって、それぞれの第4の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第4の組及び走査ラインは、第4の光平面を規定するスポット光源の第4の組と、を含む第2の照射システムと、走査ラインに集中した第1の光、第2の光、第3の光、及び第4の光を受け取り、これらの光に基づいて撮像する撮像部と、を含み、検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、第1の光から第4の光までの全てによって照射され、走査ラインを通過する平面Pにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第1の光及び第3の光と、第2の光及び第4の光との投射は、点を通過し、走査ラインに垂直な平面Pの列lの異なる側に位置し、第1の光平面及び第2の光平面と、第3の光平面及び第4の光平面は、平面Pの異なる側に位置し、第2の光平面及び第3の光平面は、第1の光平面及び第4の光平面にそれぞれ重ね合わさり、第1の光平面及び第4の光平面のそれぞれよりも平面Pに近くに位置するarecloser検出システムを実現する。実施形態において、平面Pでの第1の光及び第3の光の投射と、列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、平面Pでの第2の光及び第4の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°である。実施形態において、第1の光平面及び第4の光平面と、平面Pの間の最大角度は、52.5°であり、第1の光平面と第2の光平面の間の角度は、0°から15°であり、第3の光平面と第4の光平面の間の角度は、0°から15°であり、第2の光平面及び第3の光平面と、平面Pの間の最小角度は、37.5°である。実施形態において、第1の照射システムは、棒状の第1の光源レセプタクルと、第1の光源レセプタクルに取り付けられた、複数の第1のスポット光源及び複数の第2のスポット光源と、を含み、第2の照射システムは、棒状の第2の光源レセプタクルと、第2の光源レセプタクルに取り付けられた、複数の第3のスポット光源及び複数の第4のスポット光源と、を含む。この実施形態において、複数の第1のスポット光源及び複数の第2のスポット光源は、第1の光源レセプタクルに取り付けられる。言い換えれば、これらのスポット光源は、同一の平面にある。確かに、スポット光源のそれぞれの組と複数の第2のスポット光源は、光源レセプタクルに取り付けられなくてもよいものの、光の組が互いに実質的に平行であって、走査ラインに沿った両方の方向のうちの一つの光を提供する限り、異なる平面に任意に分布してもよいことは、当業者が容易に理解できる。別の実施形態において、スポット光源の第1の組及びスポット光源の第2の組は、第1の光源レセプタクルに平行に配置され、スポット光源の第3の組及びスポット光源の第4の組は、第2の光源レセプタクルに平行に配置される。別の実施形態において、第1のスポット光源及び第2のスポット光源は、第1の光源レセプタクルに一列に交互に配置され、スポット光源の第3の組及びスポット光源の第4の組は、第2の光源レセプタクルに一列に交互に配置される。別の実施形態において、第1のスポット光源及び第2のスポット光源は、第1の光源レセプタクルに一列に配置され、スポット光源の第3の組及びスポット光源の4の組は、第2の光源レセプタクルに一列に配置され、第1のスポット光源は、第1の光源レセプタクルの前半にinthefirsthalf位置し、第2のスポット光源は、第1の光源レセプタクルの後半にinthesecondhalf位置し、スポット光源の第3の組は、第2の光源レセプタクルの前半に位置し、スポット光源の第4の組は、第2の光源レセプタクルの後半に位置する。本発明の別の実施態様によると、透明基板の欠陥を検出するための検出システムにおいて、検出されるための透明基板を検出領域に搬送するための透明基板搬送部と、第1の照射システムであって、第1の放射方向に沿った第1の光を放射する第1のライン光源と、第2の放射方向に沿った第2の光を放射する第2のライン光源と、を含み、第1の光及び第2の光は、検出領域で走査ラインに投射及び集中し、第1のライン光源及び走査ラインは、第1の光平面を規定し、第2のライン光源及び走査ラインは、第2の光平面を規定する、第1の照射システムと、第2の照射システムであって、第3の放射方向に沿った第3の光を放射する第3のライン光源と、第4の放射方向に沿った第4の光を放射する第4のライン光源と、を含み、第3の光及び第4の光は、検出領域で走査ラインに投射及び集中し、第3のライン光源及び走査ラインは、第3の光平面を規定し、第4のライン光源及び走査ラインは、第4の光平面を規定する、第2の照射システムと、走査ラインに集中した、第1の光、第2の光、第3の光、及び第4の光を受け取り、これらの光に基づいて撮像を実行する撮像部と、を含み、検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、第1の光から第4の光までの全てによって照射され、走査ラインを通過する平面Pにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第1の光及び第3の光と、第2の光及び第4の光の投射は、点を通過し、前記走査ラインに垂直な平面Pの列の異なる側に位置し、前記第1の光平面及び前記第2の光平面と、前記第3の光平面及び第4の光平面は、平面Pの異なる側に位置し、第2の光平面及び第3の光平面は、第1の光平面及び第4の光平面にそれぞれ重ね合わされ、又は第1の光平面及び第4の光平面のそれぞれよりも平面Pに近くに位置する検出システムを実現する。実施形態において、平面Pでの第1の光及び第3の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°であり、平面Pでの第2の光及び第4の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°である。実施形態において、第1の光平面及び第4の光平面と、平面Pの間の最大角度は、52.5°であり、第1の光平面と第2の光平面の間の角度は、0°から15°であり、第3の光平面と第4の光平面の間の角度は、0°から15°であり、第2の光平面及び第3の光平面と、平面Pの間の最小角度は、37.5°である。別の実施形態において、第1のライン光源、第2のライン光源、第3のライン光源、及び第4のライン光源は、複数のスポット光源をそれぞれ含む。本発明の他の目的及び効果は、添付した図面とともに明細書を参照して、より明らかになり、容易に理解できる。本発明の実施形態を、図面を参照してより詳細に以下に説明する。図3は、本発明の第1の実施形態に従った透明基板の欠陥を検出するための照射システムを示す。照射システムは、LED素子等のスポット光源の二つの組からなる。図3に示すように、スポット光源の二つの組は、棒状の光源レセプタクルの前後方向に沿って、棒状の光源レセプタクルに実質的に平行に配置される。第1の組のそれぞれのLED素子は、それぞれの第1の光を放射し、それぞれの第1の光は、互いに実質的に平行である。同様に、第2の組のそれぞれのLED素子は、それぞれの第2の光を放射し、それぞれの第2の光は、互いに実質的に平行である。図3を参照すると、透明基板上のライン又はドットは、ライン走査CCDカメラの走査ラインを示す。CCDカメラは、走査ラインを含む、上面図の紙paperに平行な表面に焦点を合わせる。側面図において、走査ラインは、ドットであるため、ドキュメント表面に垂直である。二つの平行なLEDラインの方向は、全ての走査ラインが照射できるように、走査ラインに平行である。図3の上面図及び前面図に示すように、二つの組のLED素子は、LEDラインに沿って異なる方向に傾く。第1の組のLED素子は、左に傾き、第2の組のLED素子は、右に傾く。言い換えれば、走査ラインを通過する平面P即ち、紙面paperplaneにおいて、光源レセプタクルに垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する第1の光及び第2の光の投影projectionは、平面Pの列の異なる側に位置する。平面Pは、点を通過し、走査ラインに垂直である。平面Pでの第1の光の投射と列lの間の角度αは、37.5°から52.5°が好ましい。平面Pでの第2の光の投射と列lの間の角度αは、37.5°から52.5°が好ましい。これにより、走査ライン上の全ての点は、走査ラインに沿った両方向からの光を有することができる。さらに、CCDカメラの焦点を合わせた表面の走査ラインに垂直な光も、走査ラインに沿った短軸の欠陥、主に気泡がよく照射されるように必要とされる。そこで、LED素子は、図3の側面図に示すように、異なる角度β及び角度γの上面図の走査ラインに垂直な方向にも傾く。言い換えれば、LED素子の二つの組を含む照射システムは、走査ラインのすぐ近くrightdownに位置すべきではない。走査ラインの異なる側に配置される、二つの照射システムが検出システムに用いられる照明光源illuminationsourceとして採用されているから、上述した少なくとも四つの光の組は、準等方性の照射を実現できる。したがって、これにより、CCDカメラの焦点を合わせた表面に位置する欠陥は、どんな軸が走査ラインに平行でも、よく照射できる。本実施形態において、透明基板の欠陥を検出するための照射システムは、LED素子の二つの組set列lineからなる。しかしながら、それは、一例を挙げる目的のみである。周知技術のように、特定の用途及び詳細な必要条件に依存して、列の数は、2,3などにできる。本実施形態において、LED素子等の第1のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第2のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置される。しかしながら、図に示していないものの、例えば、自動車に用いられるガラスなどの弧状のガラスを検出するために用いられるとき、レセプタクルは、平面的でなく、弧状であってもよいことは、当業者が第1の実施形態の変形例として容易に考えうるoccurことである。この場合、二つの曲線が互いに平行であって、弧状の走査ラインに適合する限り、第1のスポット光源は、曲線に沿って実質的に弧状レセプタクルに配置され、第2のスポット光源は、曲線に沿って実質的に弧状レセプタクルに配置される。本発明の第2の実施形態に従って、図4に示すように、第2の実施形態の基本理念は、第1の実施形態の基本理念と同一である。第2の実施形態と第1の実施形態の相違は、第2の実施形態において、スポット光源の二つの組は、平行に配置されるのではなく、一列に配置されることだけである。図4を参照すると、スポット光源の第1の組及びスポット光源の第2の組は、前後方向にレセプタクルの半分ずれて位置する。第1の実施形態と同様に、第1の組のLED素子は、左に傾き、第2の組のLED素子は右に傾く。言い換えれば、走査ラインを通過する平面P即ち、紙面において、光源レセプタクルに垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する第1の光及び第2の光の投射は、平面Pの列の異なる面に位置する。平面Pは、点を通過し、走査ラインに垂直である。平面Pでの第1の光の投射と列lの間の角度αが37.5°から52.5°であることが好ましい。平面Pでの第2の光の投射と列lの間の角度αが37.5°から52.5°であることが好ましい。これによると、走査ライン上のそれぞれの点は、走査ラインに沿った両方の方向からの光を有することができる。本実施形態において、LED素子等の第1のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第2のスポット光源は、同一の直線に沿って、実質的に配置される。しかしながら、図に示していないものの、例えば、自動車に用いられるガラス等の弧状のガラスを検出することに用いられるとき、レセプタクルが平面的でなくても、弧状であってもよいことは、当業者が第2の実施形態の変形例として容易に考えうることである。その場合、曲線が弧状の走査ラインに適合する限り、第1のスポット光源は、曲線に沿って実質的に弧状のレセプタクルに配置され、第2のスポット光源は、同一の曲線に沿って実質的に配置される。本発明の第3の実施形態に従って、図には示していないものの、第3の実施形態の基本理念は、第1の実施形態及び第2の実施形態の基本理念と同一である。第3の実施形態と前の二つの実施形態の相違は、第3の実施形態において、第1のスポット光源及び第2のスポット光源は、一列の光源レセプタクルに交互にalternately配置される。本実施形態において、LED素子等の第1のスポット光源は、直線に沿って実質的にレセプタクルに配置され、第2の光源は、同一の直線に沿って実質的に配置される。しかしながら、前の二つの実施形態と同様に、例えば、自動車に用いられるガラス等の弧状のガラスを検出するために用いられるとき、レセプタクルは、平面的でなく、弧状であってもよいことは、当業者が第3の実施形態の変形例として容易に考えうることである。この場合、第1のスポット光源及び第2のスポット光源は、曲線が弧状の走査ラインに適合する限り、曲線に沿って弧状のレセプタクルに交互に実質的に配置される。本発明の第4の実施形態に従って、図に示していないものの、第4の実施形態の基本理念は、前の実施形態の基本理念と同一である。第4の実施形態の照射システムは、棒状の光源レセプタクルに配置されたスポット光源の2組を含む。スポット光源の第1の組は、複数の第1の光源aを含み、それらは、レセプタクルの前後方向に沿って、スポット光源1a,2a,...ka,...naの第1の列になるように、実質的に一列に配置される。スポット光源の数nは、2より大きい数であってもよく、それぞれの第1の光源aは、第1の光を放射する。スポット光源の第2の組は、複数の第2の光源bを含み、それらは、レセプタクルの前後方向に沿って、スポット光源1b,2b,...kb,...nbの第2の列になるように、実質的に一列に配置される。スポット光源の数nは、2より大きくてもよく、それぞれの第2の光源bは、第2の光を放射する。第1の光源1aによって放射された第1の光及び対応する第2の光源1bによって放射された第2の光は、第1の走査ドットscandot1sに集中する。第1の光源kaによって放射された第1の光及び対応する第2の光源kbによって照射された第2の光は、k番目の走査ドットksに集中する。第1の光源naによって照射された第1の光及び対応する第2の光源nbによって照射された第2の光は、n番目の走査ドットnsに集中する。そして、第1のドット1s、k番目の走査ドットks、及びn番目の走査ドットnsは、照射システムを含む検出システムの走査ラインであってもよい、連続直線continuousstraightline又は連続曲線を構成する。走査ラインを通過する平面Pにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する第1の光及び第2の光の投射は、平面Pの列の異なる側に位置する。平面Pは、点を通過し、走査ラインに垂直である。本実施形態において、スポット光源の第1の組及びスポット光源の第2の組が配置される複数の列は、互いに実質的に平行である。本実施形態の変形例として、スポット光源の第1の組が配置される列は、スポット光源の第2の組が配置される列の延長線にある。本発明の実施形態において、平面Pでの第1の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°であることが好ましい。平面Pでの第2の光の投射と列lの間の角度は、37.5°から52.5°であることが好ましい。本実施形態において、第1の光源1aと第2の光源1bの間の距離は、第1の光源kaと第2の光源kbの間の距離と同一である。好ましい実施形態において、対応する第1の光源と第2の光源の間の距離は、同一である。図5は、本発明の第5の実施形態に従って、検出領域detectionregionで透明基板の欠陥を検出するための検出システムを示す。図5に示すように、検出システムは、第1の実施形態に従った二つの照射システムと、CCDカメラであってもよい撮像部を含む。示したように、二つの照射システムは、CCDカメラの走査ラインの異なる側に配置される。走査ラインの左側の第1の照射システムは、スポット光源の二つの組を含む。スポット光源の第1の組は、それぞれ第1の光を放射する複数の第1のスポット光源からなる。それぞれ第1の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第1の組と走査ラインは、第1の光平面lightplaneを規定するdefine。スポット光源の第2の組は、それぞれ第2の光を放射する複数の第2のスポット光源からなる。それぞれ第2の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第2の組と走査ラインは、第2の光平面を規定する。本実施形態において、第1の光平面と第2の光平面の間の角度は、0°から15°である。同様に、走査ラインの右側の第2の照射システムは、スポット光源の二つの組を含む。スポット光源の第3の組は、それぞれ第3の光を放射する複数の第3のスポット光源からなる。それぞれの第3の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第3の組と走査ラインは、第3の光平面を規定する。スポット光源の第4のセットは、それぞれ第4の光を放射する複数の第4のスポット光源からなる。それぞれの第4の光は、互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中し、スポット光源の第4の組と走査ラインは、第4の光平面を規定する。本実施形態において、第3の平面と第4の平面の間の角度は、0°から15°である。第1及び第4の光平面と、平面Pの間の最大角度は、52.5°である。第2及び第3の光平面と平面Pの最小角度は、37.5°である。検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、第1の光から第4の光までの全ての光によって照射されることを留意すべきである。図5に示すように、撮像部は、走査ラインに集中した第1の光、第2の光、第3の光、及び第4の光を受け取り、透明基板の欠陥を検出するためにこれらの光に基づいた撮像を実行する。さらに、図5は、本発明に従って検出システムの一例として図示されたことを留意すべきである。検出システムは、第1の実施形態の照射システム以外の照射システムを含んでもよいことは、当業者が容易に考えうることである。例えば、検出システムは、第2の実施形態から第4の実施形態までに従った照射システムを含んでもよい。代わりに、CCDカメラの走査ラインの異なる側に配置された二つの照射システムは、異なってもよい。例えば、走査ラインの左側の第1の照射システムは、本発明の第1の実施形態に従った照射システムであってもよい。走査ラインの右側の第2の照射システムは、本発明の第2の実施形態に従った照射システムであってもよい。さらに、スポット光源の第4の組は、上述した第1の実施形態から第4の実施形態までの組のように、レセプタクルに取り付けられていなくてもよい。例えば、それぞれの組のスポット光源は、同一の平面になくてもよく、即ち、一つの組のそれぞれのスポット光源によって放射されたそれぞれの光が互いに実質的に平行であって、走査ラインに集中する限り、それぞれの組のスポット光源は、任意に分布distributeしてもよい。当業者は、検出システムに用いられる二つの照射システムの多様な組み合わせを考えうる。本発明の第6の実施形態に従った検出システムは、第5の実施形態の検出システムと同一である。検出システムは、検出される透明基板を検出領域及び二つの照射システムに搬送するための透明基板搬送部を含む。第1の照射システムは、第1の放射方向に沿った第1の光を放射する第1のライン光源linelightsourceと、第2の放射方向に沿った第2の光を放射する第2のライン光源とを含む。第1の光及び第2の光は、検出領域の走査ラインに投影及び集中し、第1のライン光源及び走査ラインは、第1の光平面を規定し、第2のライン光源及び走査ラインは、第2の光平面を規定する。第2の照射システムは、第3の放射方向に沿った第3の光を放射する第3のライン光源と、第4の放射方向に沿った第4の光を放射する第4のライン光源とを含む。第3の光及び第4の光は、走査ラインに投影及び集中し、第3のライン光源及び走査ラインは、第3の光平面を規定し、第4のライン光源及び走査ラインは、第4の光平面を規定する。同様に、検出領域の範囲の走査ライン上のそれぞれの点は、第1の光から第4の光までの全てによって照射される。さらに、走査ラインを通過する平面Pにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する、第1の光及び第3の光と、第2の光及び第4の光は、平面Pの列の異なる側に位置する。平面Pは、点を通過し、走査ラインに垂直である。第1の光平面及び第2の光平面と、第3の光平面及び第4の光平面とは、平面Pの異なる側に位置し、第2の光平面及び第3の光平面は、第1の光平面及び第4の光平面にそれぞれ重ね合わされ、又は、第1の光平面及び第4の光平面のそれぞれよりも平面Pに近くに位置する。検出システムは、走査ラインに集中する、第1の光、第2の光、第3の光、及び第4の光を受け取り、これらの光に基づく撮像を実行する撮像部を含む。上記から理解できるように、第6の実施形態の検出システムと第5の実施形態の検出システムとの間の相違は、本実施形態において用いられる光源がスポット光源ではなく、ライン光源であることである。確かに、本実施形態の変形例として、第1のライン光源、第2のライン光源、第3のライン光源、及び第4のライン光源は、複数のスポット光源をそれぞれ含んでもよい。上述した実施形態は、発明を限定するよりも図示することと、当業者が添付された特許請求の範囲から逸脱しない代替実施形態を設計できることに留意すべきである。請求項において、括弧の間に位置する、任意の参照符号は、請求項を限定するとみなされない。含むという言葉は、素子の存在、又は、請求項若しくは明細書に列挙されないステップの存在を排除しない。単数の構成要素は、その構成要素の複数の存在を排除しない。複数の構成単位を列挙するシステムの請求項において、これら複数の構成単位は、ソフトウェア及び/又はハードウェアの全く同一の項目によって実現できる。第1、第2、及び第3等の単語の利用は、順番を示していない。これらの単語は、名前として解釈されるべきである。"