"長手方向に搬送される長尺状の被検査材の表面に対して、照射光が搬送方向と直交する幅方向に平行なライン状であって、かつ、該被検査材表面上で全幅に亘って搬送方向に互いにラップするように照射する2台のライン状拡散照明と、前記被検査材表面上で照射光がラップする領域を撮像する1台以上のエリアセンサカメラと、該エリアセンサカメラを前記被検査材の全幅をカバーするように幅方向に往復移動させるカメラ移動手段と、前記エリアセンサカメラの出力信号を画像処理して前記被検査材の表面の欠陥を抽出する画像処理手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。前記ライン状拡散照明が、ストロボ光源を用いたものであり、前記2台のライン状拡散照明の発光タイミングと前記1台以上のエリアセンサカメラの撮像タイミングとを全て同期させる制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。前記被検査材が酸洗鋼板であり、抽出する欠陥対象がスケール残りであることを特徴とする請求項1または2に記載の表面検査装置。しかしながら、特許文献2に記載の装置の場合、リング拡散照明は相当な大きさと重量を有するため、これを収納するセンサヘッドが大型化し、狭い設置スペースに入りきらないことがある。また、幅方向に複数のセンサヘッドを設けることは、隣接するセンサヘッドが物理的に干渉するため困難な場合がある。さらに、リング拡散照明の輝度には個体差があり、光源ランプの劣化寿命にも個体差がある。このため、複数のセンサヘッドを設ける場合、センサヘッド間の照明輝度を一定に保つのが困難である。この結果、幅方向の照明輝度に差異が生じて欠陥検出感度がばらつき、全幅に亘って均一な検査を行うことができない。また、照明ムラを抑えるために、リング拡散照明の中心軸とカメラ視野の中心とを0.5mm程度の精度で正確に合致させる必要があるが、この作業は煩雑であり、かつ、位置調整用の機構を装備する必要がある。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡便かつ安価な装置構成で、搬送方向に直交する幅方向の全幅に亘って均一な検査を行うことができる表面検査装置を提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる表面検査装置は、長手方向に搬送される長尺状の被検査材の表面に対して、照射光が搬送方向と直交する幅方向に平行なライン状であって、かつ、該被検査材表面上で全幅に亘って搬送方向に互いにラップするように照射する2台のライン状拡散照明と、前記被検査材表面上で照射光がラップする領域を撮像する1台以上のエリアセンサカメラと、該エリアセンサカメラを前記被検査材の全幅をカバーするように幅方向に往復移動させるカメラ移動手段と、前記エリアセンサカメラの出力信号を画像処理して前記被検査材の表面の欠陥を抽出する画像処理手段と、を備えることを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記発明において、前記ライン状拡散照明が、ストロボ光源を用いたものであり、前記2台のライン状拡散照明の発光タイミングと前記1台以上のエリアセンサカメラの撮像タイミングとを全て同期させる制御手段をさらに備えることを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記発明において、前記被検査材が酸洗鋼板であり、抽出する欠陥対象がスケール残りであることを特徴とする。本発明によれば、簡便かつ安価な装置構成で、搬送方向に直交する幅方向の全幅に亘って均一な検査を行うことができる表面検査装置を提供することができる。すなわち、本発明によれば、2台のライン状拡散照明を用いて、照射光が搬送方向と直交する幅方向に平行なライン状であって、かつ、該被検査材表面上で全幅に亘って搬送方向に互いにラップするよう照射するようにしたので、例えば酸洗鋼板のような表面性状が不均一な被検査材に対しても、地合ノイズを抑制した検査が可能となる。また、1台以上のエリアセンサカメラを幅方向に移動させながら検査するようにしたので、少ないカメラ台数で高分解能な検査を実現でき、この結果、検査装置の保守が容易となり、装置価格を廉価に抑えることができる。さらに、ライン状拡散照明を固定設置し、エリアセンサカメラのみを移動させるようにしたので、幅方向の照明ムラを抑止でき、全幅に亘って均一な検査を行うことができる上に、カメラ収納ケースの小型軽量化およびカメラ移動機構の小トルク化低廉化を実現でき、この結果、装置全体の構成を簡便で安価なものとすることができる。以下に、本発明にかかる表面検査装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の実施の形態にかかる表面検査装置の構成を示す概略平面図であり、図2は、図1の概略正面図であり、図3は、本実施の形態にかかる表面検査装置の制御系の構成を示す概略ブロック図である。本実施の形態は、製造ラインで長手方向に搬送される被検査材が酸洗鋼板であり、抽出する欠陥対象がスケール残りである表面検査装置に本発明を適用したものである。本実施の形態は、概略的に、酸洗鋼板1の表面を照明する2台のライン状拡散照明2、3と、酸洗鋼板1の表面を撮像する1台以上、図示例では1台のエリアセンサカメラ4と、このエリアセンサカメラ4を酸洗鋼板1の幅方向に移動させるカメラ移動手段5と、これらライン状拡散照明2、3、エリアセンサカメラ4およびカメラ移動手段5の動作を制御する制御手段6と、エリアセンサカメラ4の出力信号を画像処理して酸洗鋼板1の表面の欠陥を抽出する画像処理手段7と、を備える。2台のライン状拡散照明2、3は、酸洗鋼板1の全幅以上の長さを有して、その全長に亘ってほぼ均一な輝度分布を有するライン状のものであって、酸洗鋼板1の表面に対して、照射光が搬送方向と直交する幅方向に平行なライン状であって、かつ、酸洗鋼板1表面上で全幅に亘って搬送方向に互いにラップするラップ領域ELを形成するよう照射するように、搬送方向に離間させて平行に固定配置されている。ライン状拡散照明2、3の光源としては、ハロゲン光源、メタルハライド光源、LED等を用いることができるが、移動する酸洗鋼板1をブレなく撮像するためには、キセノンストロボ光源やストロボLED光源などのストロボ光源を用いることが好ましい。ライン状拡散照明2、3と光源とは複数本の光ファイバ等により連結されていてもよく、この場合、1つの光源を共用するようにしてもよい。エリアセンサカメラ4は、酸洗鋼板1表面上で2台のライン状拡散照明2、3による照射光がラップするラップ領域ELを撮像するように撮像位置が設定されている。これにより、エリアセンサカメラ4からみれば、2台のライン状拡散照明2、3は、酸洗鋼板1の搬送方向においてカメラ視野両側から対称的に照射光を照射するように配置されている。エリアセンサカメラ4は、検査対象とする欠陥の最小サイズの半分以下の分解能を有する高精細なカメラが用いられる。検査対象の欠陥サイズが例えば0.05mmと微小な場合でも、0.025mm以下の高分解能のエリアセンサカメラ4を用いることによって検査が可能となる。カメラ移動手段5は、1台以上のエリアセンサカメラ4を、酸洗鋼板1の幅方向に往復移動させるもので、リニアステージなどが用いられる。ここで、移動ストロークは、何れかのカメラで酸洗鋼板1の全幅を隈なくカバーして撮像できるように設計される。例えば、板幅1800mmの酸洗鋼板1を、3台のエリアセンサカメラ4で撮像検査する場合、600mm間隔で幅方向に配置した3台のエリアセンサカメラ4を幅方向に同時に600mm移動させるように設計される。制御手段6は、装置全体の動作を制御するものであり、制御用パソコン等が用いられるが、特に、ストロボ光源を用いた2台のライン状拡散照明2、3の発光タイミングと1台以上のエリアセンサカメラ4の撮像タイミングとが全て同期するよう、ライン状拡散照明2、3、エリアセンサカメラ4およびカメラ移動手段5の動作に関して同期制御を行う。画像処理手段7は、エリアセンサカメラ4の出力信号を画像処理して酸洗鋼板1の表面の欠陥、すなわちスケール残りを抽出する。画像処理としては、シェーディング補正、2値化あるいは多値化、閾値処理に基づいた欠陥判定などの周知の処理を用いることができる。例えば、エリアセンサカメラ4の出力信号を2値化あるいは多値化し、予め実験などで欠陥サンプルを用いて決定された閾値レベルを下回る部分を抽出し、この抽出された箇所をスケール残りと判定するように構成することができる。これは、スケール残りは鋼板表面に光反射率の低い酸化スケールが付着したものであるので、健全部分より暗く撮像されることを利用したものである。このような構成によれば、2台のライン状拡散照明2、3による照射光をカメラ視野両側から対称的に照射するようにしたので、例えば表面粗度の大きい酸洗鋼板1上の微小スケール残りを検査するような場合でも、地合ノイズの過剰検出を抑止して安定した欠陥検査が可能となる。これは、酸洗鋼板1表面の微細凹凸形状からの反射光強度が互いに打ち消されるためである。また、ライン状拡散照明2、3として集光性の低い拡散照明を用いるのは、酸洗鋼板1の厚さやパスラインが変動してもラップ領域ELが所定長さ以上となるようにするためと、直接光照射による地合ノイズの顕在化を防止するためと、表面をできるだけ均一に照明して輝度ムラを抑制するためである。このような拡散照明は、ライン状拡散照明2、3の出射部前面に光拡散板を設置する等により実現できる。また、高分解能のエリアセンサカメラ4を用いると、カメラ視野が狭くなるため、大量のカメラが必要となり高価かつ保守性が悪くなるが、1台以上の少数のカメラを酸洗鋼板1の幅方向に移動させながら検査することで、カメラ台数の大幅な削減が可能となる。この結果、検査装置の保守が容易となり、装置価格を廉価に抑えることができる。ここで、1台以上のエリアセンサカメラ4を幅方向に移動させて画像を撮像することにより、搬送される酸洗鋼板1の表面をカメラ毎にジグザグ状に検査することになる。一般の表面検査装置では、このようにカメラを移動させて検査すると非検査領域が生じて欠陥の見逃しが懸念されるため、幅方向に多数のカメラを並べて固定配置する装置構成をとるのが通例である。しかしながら、スケール残りは、鋼板表面上において、搬送方向に一定長さ連続的に発生するという特性を有する。このため、ジグザグ状に検査しても見逃しを生ずることはなく、上記のようにカメラ台数を減らすことにより、装置全体の低価格化を図ることが可能となる。カメラ台数は、スケール残りの連続発生長さと鋼板の搬送速度に応じて、1台あるいは数台を用いるようにすればよい。さらに、2台のライン状拡散照明2、3を固定設置し、エリアセンサカメラ4のみを移動させるようにしたので、幅方向の照明ムラを抑止でき、全幅に亘って均一な検査を行うことができる。また、カメラ収納ケースの小型軽量化およびカメラ移動機構の小トルク化低廉化を実現することができ、この結果、装置全体の構成を簡便で安価なものとすることができる。また、高速で搬送される酸洗鋼板1を検査する場合、画像のブレが問題となるが、2台のライン状拡散照明2、3の光源としてストロボ光源を用い、制御手段6で2台のライン状拡散照明2、3の発光タイミングと1台以上のエリアセンサカメラ4の撮像タイミングとの同期をとることにより、解消することができる。以下、本実施の形態を酸洗鋼板1のスケール残り検査に適用した実施例1について説明する。2台のライン状拡散照明2、3としてストロボLED光源、エリアセンサカメラ4として1392×1040画素のモノクロCCDカメラを2台、カメラ移動手段5としてリニアステージを用いた。約φ0.1mmのスケール残りを検出するため、カメラの分解能は0.03mmに設定した。2台のライン状拡散照明2、3の発光タイミングと2台のエリアセンサカメラ4の撮像タイミングは、制御用パソコンに搭載された画像処理ボードとデジタルI/Oボードとを用いて同期させるようにした。このような構成により、幅方向の全幅に亘って均一な検査条件で、φ0.1mmのスケール残り欠陥を検出率99で安定して検出できることが確認されたものである。なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば、2台のライン状拡散照明2、3は、遮光板の回折による拡散を利用したものであってもよい。図4は、この変形例を示す概略正面図である。2台のライン状拡散照明2、3は、酸洗鋼板1の全幅以上の長さを有して内向きにある角度だけ傾けて平行に配置された光出射部2a,3aと、光出射部2a,3aと同等の長さを有し、これらの光出射部2a,3aと酸洗鋼板1との間であって光出射部2a,3aの直下に配置された遮光板2b、3bとからなる。光出射部2a,3aとしては、多数のLEDを直線状に配置したり、光源に連結された光ファイバ束を直線状に分配したりすればよい。遮光板2b、3bは、光出射部2a,3aと平行で、光出射部2a,3aよりも若干内側寄りエリアセンサカメラ4の光軸寄りに突出する位置に配置される。このような遮光板2b、3bとしては、光学的に不透明なものであれば材質を問わないが、例えば表面を黒アルマイト処理したアルミ材などを用いることができる。なお、照明光に対する透過率が十分小さいものであれば、完全な遮光板でなくても使用可能である。このような変形例のライン状拡散照明2、3によれば、酸洗鋼板1の表面には、明るい線状の照光部11a、11bの内側に暗い遮光部12が形成される。この遮光部12は、光出射部2a,3aによる照明光が遮光板2b、3bにより搬送方向に回折されて拡散光となって照明される照明領域であり、全幅に亘って帯状に形成されることになる。このような変形例のライン状拡散照明2、3によれば、照光部11による直接的な反射光はエリアセンサカメラ4に入らず、遮光部12に向かう例えば回折光2cが、後方拡散反射してエリアセンサカメラ4に入ることになる。よって、遮光板2b、3bの回折による拡散光を利用した本変形例によれば、エリアセンサカメラ4に鋼板からの正反射光成分が入らなくなるので、鋼板表面の微細凹凸形状に起因する地合ノイズが抑止された撮像が可能になる。また、本実施の形態では、酸洗鋼板1上のスケール残りという微小欠陥の検査に適用した例で説明したが、このような適用例に限られない。例えば、冷延鋼板や表面処理鋼板などの他の鋼板、あるいはアルミニウムなどの非鉄金属や紙、フィルム、プラスチックなどを被検査材とする製造ラインにも適用することができる。また、スリ疵や周期性疵など、搬送方向に連続的に発生する特性をもつ他の表面欠陥の検査にも適用することができる。"