光源からの光を変調するための第1格子と、スケール上に形成された第2格子と、前記第1、第2格子によって形成された干渉縞が投影される第3格子とを有する3格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、前記第3格子で生じるモアレ縞を受光素子に投影するためのレンズ光学系を備え、前記光源からの光が、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにされ、前記スケール上に、第2格子に隣接して原点パターンが形成されると共に、前記第3格子に隣接して、該原点パターンの透過部が設けられ、主信号検出用受光素子に隣接して配設された原点信号検出用受光素子により、主信号と原点信号を同時に検出可能とされ、前記原点パターン形成面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成するようにされていることを特徴とする光電式インクリメンタル型エンコーダ。前記レンズ光学系が、レンズの焦点位置にアパーチャが配設されたテレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項1に記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。光源からの光を変調するための第1格子と、スケール上に形成された第2格子とを有し、前記第1格子のセルフイメージと第2格子とによって形成されたモアレ縞を検出するようにされた2格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、前記スケール上で生じるモアレ縞を受光素子に投影するためのレンズ光学系を備え、前記光源からの光が、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにされ、前記スケール上に、第2格子に隣接して原点パターンが形成され、主信号検出用受光素子に隣接して配設された原点信号検出用受光素子により、主信号と原点信号を同時に検出可能とされ、前記原点パターン形成面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成するようにされていることを特徴とする光電式インクリメンタル型エンコーダ。前記レンズ光学系が、レンズの焦点位置にアパーチャが配設されたテレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項3に記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。しかしながら、半導体デバイスとして検出できる受光素子アレイフォトダイオード構造のピッチには制限がある。又、実現できたとしても、個々のフォトダイオードのパターンの周囲長が長くなってしまって、パターン境界部に形成される接合容量が大きくなってしまい、検出の高速化が困難になるという問題点を有する。本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出でき、高速化低価格化を実現可能な技術を提供することを課題とする。本発明は、光源からの光を変調するための第1格子と、スケール上に形成された第2格子と、前記第1、第2格子によって形成された干渉縞が投影される第3格子とを有する3格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、前記第3格子で生じるモアレ縞を受光素子に投影するためのレンズ光学系を備え、前記光源からの光を、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにし、前記スケール上に、第2格子に隣接して原点パターンを形成すると共に、前記第3格子に隣接して、該原点パターンの透過部を設け、主信号検出用受光素子に隣接して配設された原点信号検出用受光素子により、主信号と原点信号を同時に検出可能とし、前記原点パターン形成面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成することにより、前記課題を解決したものである。前記レンズ光学系を、レンズの焦点位置にアパーチャが配設されたテレセントリック光学系とすることができる。本発明は、又、光源からの光を変調するための第1格子と、スケール上に形成された第2格子とを有し、前記第1格子のセルフイメージと第2格子とによって形成されたモアレ縞を検出するようにされた2格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、前記スケール上で生じるモアレ縞を受光素子に投影するためのレンズ光学系を備え、前記光源からの光を、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにし、前記スケール上に、第2格子に隣接して原点パターンを形成し、主信号検出用受光素子に隣接して配設された原点信号検出用受光素子により、主信号と原点信号を同時に検出可能とし、前記原点パターン形成面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成することにより、前記課題を解決したものである。前記レンズ光学系を、レンズの焦点位置にアパーチャが配設されたテレセントリック光学系とすることができる。本発明によれば、第3格子面上3格子型の場合、又は、第2格子面上2格子型の場合にモアレ縞を生成させても、これをレンズ光学系で検出することにより、長いピッチの受光素子アレイで検出することができる。したがって、スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出でき、高速化低価格化が実現できる。又、前記光源からの光を、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにしたので、受光素子アレイをスケール移動方向に伸ばし、スケール上のごみなどによる影響の感度を低減することができる。更に、3格子型の場合、前記モアレ縞が生じている第3格子面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成するようにしたので、レンズ光学系の光軸が第3格子面に対して傾いていても、第3格子面で生じているモアレ縞の全面をピントぼけなく検出することができる。あるいは、2格子型の場合、前記モアレ縞が生じているスケール面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成するようにしたので、モアレ縞の全面をピントぼけ無く検出することができる。又、3格子型の場合、前記スケール上に、第2格子に隣接して原点パターンを形成すると共に、前記第3格子に隣接して、該原点パターンの透過部を設けたので、主信号検出用受光素子に隣接して配設した原点信号検出用受光素子により、主信号と原点信号を同時に検出することができる。あるいは、2格子型の場合、前記スケール上に、第2格子に隣接して原点パターンを形成したので、主信号検出用受光素子に隣接して配設された原点信号検出用受光素子により、主信号と原点信号を同時に検出することができる。又、前記原点パターン形成面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成するようにしたので、原点パターン3格子型の場合、又は、モアレ縞と原点パターンの両方2格子型の場合をピントぼけなく検出することができる。以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。第1の参考形態は、図1に示す如く、光源10からの光を変調するための第1格子14と、スケール20上に形成された第2格子22と、前記第1、第2格子によって形成された干渉縞24が投影される第3格子30とを有する3格子型光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、前記第3格子30を通過して生じるモアレ縞32を受光素子アレイ40に投影するための、レンズ52を含むレンズ光学系50を設けたものである。ここで、第1格子14のピッチをP1例えば1μm、第2格子22のピッチをP2例えば1μm、第3格子30のピッチをP3例えば1.01μmとし、モアレ縞32のピッチをPM例えば101μmとすると、ピッチP1とP3を次式のように定める。P1=P21P3=P1×PM/PM-P12レンズ光学系50の倍率も、モアレ縞32のピッチPMが受光素子アレイ40のピッチに合わせて結像するよう設定する。そして、第3格子面を通過して生じるピッチPMのモアレ縞32を、レンズ光学系50によって受光素子アレイ40へ導くことにより、スケール20上の格子ピッチP2が例えば1μmと細かくても、例えば101μmという長いピッチの受光素子アレイ40で検出できる。次に、第2の参考形態を詳細に説明する。本参考形態は、図2に示す如く、レンズ52の焦点位置にアパーチャ54が配設されたテレセントリック光学系60を用いると共に、第3格子30を通過したピッチPMのモアレ縞32のみを検出するように、光学系の開口数NAを規定したものである。具体的には、モアレ縞ピッチPMの半分よりも短いピッチの縞をカットするために、光学系の開口数NAを次式のように設定する。NA=f×λ3ここで、fはモアレ縞32の空間周波数、λは、光の波長である。今、レンズ52の焦点距離をL、アパーチャ54の開口径をDとすると、次式の関係が成立する。D=2×L×NA4これにより、光学系60が第3格子30のパターンを解像しなくなるので、歪が無い波形の検出が実現できる。又、テレセントリック光学系60であるので、受光素子アレイ40とレンズ52の間隔の自由度が高い。次に、第3の参考形態を詳細に説明する。本参考形態は、図3に示す如く、スケール20の移動方向紙面に垂直な方向に対して横方向から光を入射するようにしたものである。これにより、受光素子アレイ40をスケール移動方向に伸ばすことができるので、スケール20上のごみなどによる影響の感度を低減させることができる。なお、図3の光学系では、モアレ縞が生じている面がレンズ光学系の光軸に対して傾いているため、光軸から離れたたところにはピントが合わない。そこで、図4に示す第4の参考形態のように、モアレ縞が生じている面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子アレイ面が1点で交差するように配置して、いわゆるシャインプルーフ光学系を採用することにより、第3格子面上で生じているモアレ縞32の全面をピントぼけ無く検出することが可能となる。なお、各面の角度は同一角度であれば像の大きさは1:1となるが、必ずしも同一である必要は無い。次に、本発明の第1実施形態を詳細に説明する。本実施形態においては、図5に示す如く、スケール20上に、主信号たるインクリメンタルパターン第2格子22のほかに、原点パターン26が配置されている。そして、第3格子30と隣接して格子のない透過部34を設けると共に、主信号検出用の受光素子アレイ40に隣接して、原点信号検出用の受光素子アレイ42を配置する。更に、原点パターン26を高精度で検出できるよう、原点パターン26がある面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子アレイ面の交点が1点で交差するようにして、原点パターン26を精度良く検出できるようにする。この際、第3格子面にはピントが合っていないが、モアレ縞32のピッチが長いので、同じレンズ光学系テレセントリック光学系60によって検出することができる。このようにして、主信号と原点信号を同時に検出することができる。なお、前記実施形態においては、本発明が3格子型のインクリメンタル型エンコーダに適用されていたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、図6に示す第5の参考形態のように、2格子型のインクリメンタル型エンコーダにも同様に適用できる。本参考形態では、光源10の出側にコリメータレンズ12を設けて、第1格子14のセルフイメージをスケール20上に投影し、該第1格子14のセルフイメージと第2格子22とによって形成されたモアレ縞28を検出するようにされた2格子型のインクリメンタル型エンコーダにおいて、前記スケール20上で生じるモアレ縞28を受光素子アレイ40に投影するためのレンズ52及びアパーチャ54を含むテレセントリック光学系60を設けたものである。本参考形態によれば、第1格子14のセルフイメージをスケール20上の第2格子22に投影させて、セルフイメージと第2格子22とのモアレ縞28を検出することができる。又、図6に示した2格子型においても、図7に示す本発明の第2実施形態の如く、第1実施形態と同様に原点信号を同時に検出することができる。ここでは、レンズ光学系テレセントリック光学系60のピントをスケール20第2格子22と原点パターン26が配置されている面に合わせて、原点パターン26を直接検出し、又、同時にモアレ縞28も検出する。これにより主信号と原点信号を同時に検出することができる。ここでも、第2格子22及び原点パターン26がある面と、レンズ52の中心面と、受光素子アレイ40、42の受光面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系として、原点信号を検出する受光素子アレイ42と主信号を検出する受光素子40の両方にピントが合うようにすることができる。なお、第2実施形態においても、アパーチャ54を省略して、第2の参考形態と同様のレンズ52のみを含む単純なレンズ光学系50を用いることもできる。