メタンを含む原料ガスと水蒸気とを混合して混合ガスを生成する蒸発器と、前記混合ガスを水蒸気改質反応によって水素含有ガスへと変化させる改質器と、前記蒸発器と前記改質器とに熱を供給する燃焼器と、を有する水素生成装置であって、前記蒸発器は、内筒と、前記内筒を囲む外筒と、前記内筒と前記外筒との間に挿入され、かつ前記内筒と外筒との間に外部から供給される水が流れる螺旋状の流路を規定する中筒と、を有し、前記中筒の内周面および外周面には、螺旋状の凸部と凹部とが表裏一体に形成され、前記中筒の内周面の凸部の上面が前記内筒の外周面と接触し、前記中筒の外周面の凸部の上面が前記外筒の内周面と接触する、水素生成装置。前記中筒を構成する板の厚さは、0.2~0.6mmである、請求項1に記載の水素生成装置。前記中筒は、前記内筒および前記外筒に溶接されない、請求項1に記載の水素生成装置。前記内筒の外周面と接触する前記中筒の内周面の凸部の上面の面積と、前記外筒の内周面と接触する前記中筒の外周面の凸部の上面の面積とは異なる、請求項1に記載の水素生成装置。上流側の前記螺旋状の流路のピッチと、下流側の前記螺旋状の流路のピッチとは異なる、請求項1に記載の水素生成装置。前記水が流れる螺旋状の流路は、前記中筒の外周面の凹部によって構成される、請求項1に記載の水素生成装置。前記中筒の外周面の凹部は、重力方向上方の領域と、重力方向下方の領域と、を有し、前記重力方向下方の領域は、前記重力方向上方の領域よりも浅く、前記水は、前記重力方向下方の領域と前記外筒の内周面との間を流れる、請求項6に記載の水素生成装置。前記水が流れる螺旋状の流路は、前記中筒の内周面の凹部によって構成される、請求項1に記載の水素生成装置。前記中筒の内周面の凹部は、重力方向上方の領域と、重力方向下方の領域と、を有し、前記重力方向下方の領域は、前記重力方向上方の領域よりも浅く、前記水は、前記重力方向下方の領域と前記内筒の外周面との間を流れる、請求項8に記載の水素生成装置。前記水が流れる螺旋状の流路は、前記水の流れの抵抗となる突起を有する、請求項1に記載の水素生成装置。図10に示されるような水素生成装置1では、改質器2における水蒸気改質反応を安定させ、安定した量の水素含有ガスを生成するために、蒸発器10で生成される水蒸気の流量および温度を所望の範囲内で安定させることが求められる。水蒸気の流量および温度を安定させるには、蒸発器10において改質水を一定速度で加熱し、一定速度で蒸発させることが求められる。一方、外筒12に挿入された内筒11を拡管することで製造される蒸発器10では、丸棒50と内筒11および外筒12との接触状態が不安定になり、蒸発流路18のシールが不安定という問題があった。例えば、縦溶接によるビード溶接痕の盛り上がりが内筒11の外周面側や外筒12の内周面に置かれたり、内筒11および外筒12が真円でなかった場合などは、丸棒50と内筒11および外筒12との間に隙間が形成され、蒸発流路18のシールが充分でなくなる。丸棒50と内筒11および外筒12との間に隙間が形成されると、本来、螺旋状の蒸発流路18に沿って螺旋状に流れるべき改質水の一部が、隙間を通って螺旋状の蒸発流路18をショートカットしてしまう。このように、改質水の一部が蒸発流路18をショートカットしてしまうと、改質水の蒸発位置が不安定になり、蒸発器で生成される水蒸気の流量や、温度がばらつく。また、丸棒50と内筒11および外筒12との接触は、線接触であるので、丸棒50と内筒11および外筒12との接触状態が不安定になると、内筒11の内周面を通る燃焼ガスから丸棒50に伝わる熱量や、丸棒50から外筒12に伝わる熱量が局所的にばらつき、蒸発流路18内で急激な温度変化が生じる。蒸発流路18内で温度が急激に変動すると、改質水が蒸発すべき位置で蒸発しなかったり、改質水が突沸したりして、蒸発器で生成される水蒸気の流量や、温度がばらつく。このような蒸発器10で生成される水蒸気の流量および温度がばらつくという問題は、蒸発流路18を長くすることで解決することもできる。しかし蒸発流路18を長くすること、蒸発器10も長くなり、その結果、水素生成装置1が大型化してしまう。さらに、丸棒50を所望の螺旋状に加工することは困難であるため、丸棒50で所望の螺旋状の蒸発流路18を規定することが困難であった。本発明は係る点に鑑みてなされたものであり、改質水のショートカットと、蒸発流路内における急激な温度変化の発生とを抑制できる蒸発器を有する水素生成装置を提供することを目的とする。本発明者は、弾性と伸縮性を有する筒体で、螺旋状の蒸発流路を規定することで、改質水のショートカットと、蒸発流路内における急激な温度変化の発生を防止できることを見出しさらに検討を加え、発明を完成させた。すなわち、本発明は、以下に示す水素生成装置に関する。[1]メタンを含む原料ガスと水蒸気とを混合して混合ガスを生成する蒸発器と、前記混合ガスを水蒸気改質反応によって水素含有ガスへと変化させる改質器と、前記蒸発器と前記改質器とに熱を供給する燃焼器と、を有する水素生成装置であって、前記蒸発器は、内筒と、前記内筒を囲む外筒と、前記内筒と前記外筒との間に挿入され、かつ前記内筒と外筒との間に外部から供給される水が流れる螺旋状の流路を規定する中筒と、を有し、前記中筒の内周面および外周面には、螺旋状の凸部と凹部とが表裏一体に形成され、前記中筒の内周面の凸部の上面が前記内筒の外周面と接触し、前記中筒の外周面の凸部の上面が前記外筒の内周面と接触する、水素生成装置。[2]前記中筒を構成する板の厚さは、0.2~0.6mmである、[1]に記載の水素生成装置。[3]前記中筒は、前記内筒および前記外筒に溶接されない、[1]または[2]に記載の水素生成装置。[4]前記内筒の外周面と接触する前記中筒の内周面の凸部の上面の面積と、前記外筒の内周面と接触する前記中筒の外周面の凸部の上面の面積とは異なる、[1]~[3]のいずれか一つに記載の水素生成装置。[5]上流側の前記螺旋状の流路のピッチと、下流側の前記螺旋状の流路のピッチとは異なる、[1]~[4]のいずれか一つに記載の水素生成装置。[6]前記水が流れる螺旋状の流路は、前記中筒の外周面の凹部によって構成される、[1]~[5]のいずれか一つに記載の水素生成装置。[7]前記中筒の外周面の凹部は、重力方向上方の領域と、重力方向下方の領域と、を有し、前記重力方向下方の領域は、前記重力方向上方の領域よりも浅く、前記水は、前記重力方向下方の領域と前記外筒の内周面との間を流れる、[6]に記載の水素生成装置。[8]前記水が流れる螺旋状の流路は、前記中筒の内周面の凹部によって構成される、[1]~[5]のいずれか一つに記載の水素生成装置。[9]前記中筒の内周面の凹部は、重力方向上方の領域と、重力方向下方の領域と、を有し、前記重力方向下方の領域は、前記重力方向上方の領域よりも浅く、前記水は、前記重力方向下方の領域と前記内筒の外周面との間を流れる、[8]に記載の水素生成装置。[10]前記水が流れる螺旋状の流路は、前記水の流れの抵抗となる突起を有する、[1]~[9]のいずれか一つに記載の水素生成装置。本発明の水素生成装置における蒸発器では、改質水がショートカットせず、かつ蒸発流路内の温度が安定する。このため本発明の水素生成装置における蒸発器では、改質水を一定速度で加熱し、一定速度で蒸発させることができるので、蒸発器を大型化せずとも生成される水蒸気の流量および温度を安定させることができる。その結果、本発明の水素生成装置は、安定して水素の供給を行うことができる。本発明の水素生成装置は、蒸発器と、改質器と、変成器と、CO除去器と、燃焼器とを有する。本発明の水素生成装置は、蒸発器内の蒸発流路を規定する部材の構造を工夫することで、1改質水が蒸発流路をショートカットすることを防止したり、2蒸発流路内の温度が急激に変化することを防止したことを特徴とする。蒸発器には、外部から水改質水と、都市ガスやLPG等の炭化水素系燃料などのメタンを含む原料ガスとが供給される。蒸発器は外部から供給される改質水が流れるらせん状の流路以下蒸発流路とも称するを有する。外部から供給された改質水は蒸発流路を流れる過程で加熱され、蒸発し、水蒸気となる。その結果、蒸発器では水蒸気と原料ガスとが混合され、混合ガスが生成される。蒸発器の詳細な構造については後述する。改質器は、蒸発器と接続し、蒸発器で生成された混合ガスから水蒸気改質反応によって水素を主成分とする水素含有ガスを生成する。改質器で生成された水素含有ガスは、一定濃度の一酸化炭素を含む。改質器は、Ni系触媒やRu系触媒などの金属系の改質触媒を含む。変成器は、改質器と接続し、改質器で生成された水素含有ガスにおける一酸化炭素濃度をCO変成反応水生ガスシフト反応によって、0.5程度まで低下させる。CO除去器は、変成器と接続し、変成器で生成された一酸化炭素濃度が低い水素含有ガスから、酸化反応によって、一酸化炭素をさらに除去する。燃焼器は蒸発器および改質器に熱を供給する。燃焼器は、バーナなどから構成される。上述のように本発明の水素生成装置は、蒸発器の構造に特徴を有する。以下蒸発器の構造について詳細に説明する。蒸発器は、内筒と、内筒を囲む外筒と、内筒と外筒との間に挿入された中筒と、を有する図1参照。内筒の内側には、燃焼器が配置される。また、内筒の内周面には、燃焼器によって加熱された燃焼ガスを流すための燃焼ガス流路が形成されていてもよい図1参照。内筒の外径は、例えば60~100mmであり;外筒の内径は、例えば61~101mmである。また、外筒と内筒との間の隙間は、例えば1~5mmである。内筒と外筒とは同一の中心軸を有することが好ましい。内筒および外筒は、特に限定されないが例えば丸めた金属板を縦溶接することで製造される。内筒および外筒を構成する金属板の厚さは、0.8~1.5mmである。金属板の材料は例えば、SUS310などのオーステナイト系のステンレスである。中筒は、内筒と外筒との間の空間に螺旋状の蒸発流路を規定するための部材である。中筒は、内筒および外筒と同一の中心軸を有することが好ましい。このように本発明では、内筒と外筒との間に挿入された筒体中筒で螺旋状の蒸発流路を規定することを特徴とする。中筒の内周面および外周面には、螺旋状の蒸発流路を規定するための螺旋状の凸部および螺旋状の凹部が表裏一体に形成されている。すなわち、中筒の外周面の凸部が中筒の内周面の凹部に対応し、中筒の外周面の凹部が中筒の内周面の凸部に対応する図1参照。中筒の内周面および外周面に形成された凸部は上面を有し、凹部は底面を有する。凸部の形状は、順テーパ状であることが好ましい。中筒の外周面の凸部の上面は、外筒の内周面に接触し、中筒の内周面の凸部の上面は、内筒の外周面に接触する。このように本発明では、中筒と内筒および外筒とが面接触することを特徴とする。中筒と内筒とが面接触すると燃焼器から内筒を介して中筒が受け取る熱量を安定させることができる。外筒の内周面に接触する中筒の外周面の凸部の上面の面積以下、外筒と中筒との接触面積とも称するは、内筒の外周面に接触する中筒の内周面の凸部の上面の面積以下、内筒と中筒との接触面積とも称すると同じであってもよいが、異なってもよい実施の形態2、図5参照。このように、内筒または外筒と中筒との接触面積を調節することで、蒸発流路のシール性を向上させたり実施の形態2参照、中筒に伝わる熱量を調節したりすることができる。例えば、内筒と中筒との接触面積を大きくすることで、燃焼ガスから内筒を介して中筒に伝わる熱量を増加させることができ;内筒と中筒との接触面積を小さくすることで、燃焼ガスから内筒を介して中筒に伝わる熱量を減少させることができる。また、外筒と中筒との接触面積を大きくすることで、中筒から外筒に逃げる熱量を増加させることができ;外筒と中筒との接触面積を小さくすることで、中筒から外筒に逃げる熱量を減少させることができる。中筒の螺旋状の凹部は、内筒および外筒に接触しない。このため、蒸発器は、内筒の外周面と中筒の内周面との間に、中筒の内周面の凹部によって構成された螺旋状の空間と;外筒の内周面と中筒の外周面との間に、中筒の外周面の凹部によって構成された螺旋状の空間とを有する。中筒と内筒または外筒との間の螺旋状の空間は、蒸発流路として機能する。本発明では、水素生成装置の運転状況に応じて、中筒と外筒との間の螺旋状空間を蒸発流路として用いてもよいし、中筒と中筒との間の螺旋状空間を蒸発流路として用いてもよいし、中筒と内筒との間の螺旋状空間および中筒と外筒との間の螺旋状空間の両方を蒸発流路として用いてもよい。蒸発流路の長さは、例えば、約4000mmである。中筒と外筒との間の螺旋状空間を蒸発流路として用いる場合、改質水は、燃焼器を内包する内筒に直接接触しないので、改質水を穏やかに加熱することができ、改質水が突沸することを防止することができる。一方、中筒と内筒との間の螺旋状空間を蒸発流路として用いる場合、改質水は燃焼器を内包する内筒に直接接触するので、改質水を効率的に加熱することができる。また、螺旋状の蒸発流路のピッチは一定であってもよいし、変動していてもよい。例えば、上流側の蒸発流路のピッチを下流側の蒸発流路のピッチよりも小さくすることで、変成器およびCO除去器の温度を最適な範囲に維持することができる実施の形態3、図6参照。蒸発流路のピッチを変えるには、蒸発流路を構成する螺旋形の凹部のピッチを変えればよい。また、蒸発流路は多条であっても一条であってもよいが、多条であることが好ましい。蒸発流路が多条であれば、蒸発流路の周方向の温度分布を低減できるからである。中筒も内筒および外筒と同様に、丸めた金属板を縦溶接することで製造されてもよい。中筒を構成する金属板の材料は、例えばSUS310などのオーステナイト系のステンレスである。中筒を構成する金属板の材料は、内筒および外筒を構成する金属板の材料と同じであることが好ましい。内筒、外筒および中筒の熱膨張係数を同じにするためである。内筒、外筒および中筒の熱膨張係数が異なると、水素生成装置の運転時に、内筒および外筒と中筒との間に隙間が生じ、蒸発流路のシール性が低下してしまうからである。一方、中筒を構成する板の厚さは、内筒および外筒を構成する板よりも薄いことが好ましい。具体的には、中筒を構成する板の厚さは、0.2~0.6mmであることが好ましく、0.2~0.4mmであることがより好ましい。中筒を構成する板の厚さが0.2~0.6mmの範囲であると、中筒の内周面および外周面に所望のパターンの凹部および凸部をバルジ成形ハイドロフォーミングによって容易に形成することができる。このように、バルジ成形で形成された凸部および凹部の角は丸く、通常1~3mmの曲率半径を有する。このような薄い金属板から構成される中筒の内周面および外周面に螺旋状の凹部および凸部を表裏一体に形成することで、中筒に、軸方向および径方向の弾性および伸縮性を付与することができる。このように、本発明では、中筒が弾性および伸縮性を有することを特徴とする。蒸発器の作製方法は特に限定されないが、準備した内筒および外筒との間に、螺旋状の凸部および凹部が表裏一体に形成された中筒を挿入すればよい。上述のように、中筒は径方向に弾性および伸縮性を有するので、中筒の凹凸形状が内筒と外筒との間の空間に合わせて変形し、中筒と外筒および内筒とが密着する。一方、内筒および外筒との間に中筒を挿入した時点で、中筒と外筒および内筒とが密着しない場合は、内筒および外筒との間に中筒を挿入した後、中筒を軸方向に圧縮し、中筒の凸部を高くしたり図4参照、内筒を拡管したり、外筒を縮管したりすればよい。このように、本発明では、中筒が有する弾性および伸縮性を利用して中筒を内筒および外筒に変形密着させるので、仮に内筒の外周面や外筒の内周面に縦溶接によるビードが置かれている場合や内筒または外筒の真円度が不十分な場合でも、中筒が内筒および外筒に強い力で密着することができる。このため、本発明では、中筒を、内筒および外筒に溶接しなくとも、強い力で蒸発流路をシールできる。これにより蒸発流路間を改質水がショートカットすることを防止することができる。さらに、上述のように中筒と内筒および外筒とは面接触で密着するので、中筒と内筒および外筒との接触面積が安定し、燃焼ガスから内筒を介して中筒に伝わる熱量が安定する。これにより、中筒が規定する蒸発流路の温度が安定し、蒸発流路内の急激な温度変化を防止することができる。このため本発明の水素生成装置における蒸発器は、改質水を一定速度で加熱し、一定速度で蒸発させることができるので、蒸発器を大型化せずとも生成される水蒸気の流量および温度を安定させることができる。その結果、本発明の水素生成装置は、安定して水素の供給を行うことができる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。本発明は、以下の実施の形態に限定されない。[実施の形態1]図1は、実施の形態1の水素生成装置1の断面の模式図である。図1に示されるように水素生成装置1は、蒸発器10と、改質器2と、変成器3と、水素排出口5に接続したCO除去器4と、燃焼器6とを有する。蒸発器10は、内筒11と、内筒11を囲む外筒12と、内筒11と外筒12との間に挿入された中筒13と、を有する。蒸発器10の重力方向の長さは、300~400mmである。改質器2は蒸発器10の重力方向下方に配置され、蒸発器10から伸びた内筒11を包囲する。変成器3は蒸発器10のうち、重力方向下部蒸発流路18の下流側の領域を包囲する。CO除去器4は、蒸発器10のうち、重力方向上部蒸発流路18の上流側の領域を包囲する。燃焼器6は蒸発器10の内筒11の内側に配置された燃焼筒9内に配置される。燃焼器は、燃焼器6に燃焼用の燃料および空気を供給する燃料空気供給器7に接続されている。燃焼器6は、例えばバーナである。燃焼器6によって加熱された空気は、燃焼ガス流路14を通って、燃焼ガス排出口8から排出される。次に蒸発器10の構造について詳細に説明する。上述のように、蒸発器10は、内筒11と、内筒11を囲む外筒12と、内筒11と外筒12との間に挿入された中筒13と、を有する。図2は、中筒13の側面図を示す。図1および図2に示されるように中筒13の内周面および外周面には、螺旋状の凸部21と、螺旋状の凹部22とが表裏一体に形成されている。中筒13の外周面の凸部21Aは、中筒13の内周面の凹部22Bに対応し;中筒13の外周面の凹部22Aは、中筒13の内周面の凸部21Bに対応する。図2および図1に示されるように、凸部21の形状は順テーパ状である。外筒12の内周面に接触する中筒13の外周面の凸部21Aの幅W1は1~30mmであり、内筒11の外周面に接触する中筒13の内周面の凸部21Bの幅W2は2~50mmである。本実施の形態では、中筒13の外周面の凹部22Aが蒸発流路18を構成する。このため、本実施の形態では、改質水17は、外筒12と中筒13との間を流れる。次に、このような中筒13をバルジ成形によって製造する方法について、図3A~図3Dを参照しながら説明する。図3A~図3Dに示されるように、バルジ成形による中筒13の製造方法は、1薄板から構成された筒体30を準備する第1ステップ図3Aと、2金型31に筒体30をセットし、筒体30の両端をピストン33で密封するステップ図3Bと、3筒体内に液体35を注入する第3ステップ図3Cと、4筒体30内の液体35の圧力を上昇させて、筒体30に凹部および凸部を形成する第4ステップ図3Dとを有する。次に、本実施の形態における蒸発器10を製造する方法について、図4A~図4Dを参照しながら説明する。図4A~図4Dに示されるように、蒸発器10の製造方法は、1内筒11および外筒12を準備する第1ステップ図4Aと、2内筒11および外筒12との間に、中筒13を挿入する第2ステップ図4Bと、3内筒11と外筒12との間に挿入された中筒13を軸方向に圧縮する第3ステップ図4Cと、4中筒13を軸方向に圧縮された状態で固定する第4ステップ図4Dとを有する。第2ステップで、内筒11および外筒12との間の空間に中筒13を容易に挿入できるように、中筒13における凸部の高さhまたは凹部の深さを、内筒11と外筒12と間隔dよりも小さくしておくことが好ましい。第3ステップで、中筒13を軸方向に圧縮する。上述のように、中筒13は径方向に伸縮性を有するので、中筒13を軸方向に圧縮することで、中筒13における凸部の高さhまたは凹部の深さが増加する。また、中筒13は弾性を有するので、中筒13の凹凸形状が内筒11と外筒12との間の空間の形状に合わせて変形し、中筒13と内筒11および外筒12とが密着する。このように、本実施の形態では、中筒が有する弾性および伸縮性を用いて中筒を内筒および外筒に変形密着させているので、中筒が内筒および外筒に強固に密着することができる。このため、本実施の形態では、強い力で蒸発流路をシールできる。これにより蒸発流路間を改質水がショートカットすることを防止することができる。さらに、中筒と内筒および外筒とは面接触で密着するので、中筒と内筒および外筒との接触面積が安定し、燃焼ガスから内筒を介して中筒に伝わる熱量が安定する。これにより、中筒が規定する蒸発流路の温度が安定し、蒸発流路内の急激な温度変化を防止することができる。次に本実施の形態の水素生成装置1を用いて燃料ガスを生成する手順について、図1を参照しながら説明する。燃焼器6を駆動し、水素生成装置1全体を加熱する。そして水素生成装置1の各部材が反応に適した温度に達したことを確認した後、蒸発器10の蒸発流路18に、原料供給器15から原料ガスを、改質水供給器16から改質水17を供給する。蒸発器10の蒸発流路18では、燃焼ガス流路14内の燃焼ガスからの伝熱によって、上流から下流に向かって徐々に温度が上昇する。蒸発流路18の温度は、水素生成装置および燃料電池システムの構成や、後述する変成触媒および選択酸化触媒の活性温度の違い等を考慮しつつ調節される。具体的には、蒸発流路18の上流側の温度は、常温~100°C程度であり、蒸発流路18の下流側の温度は、100~300°Cである。このため、改質水17は、蒸発流路18の上流側では蒸発せず、蒸発流路18を流れる過程で徐々に加熱され、下流側で蒸発する。その結果、蒸発器10内で水蒸気と原料ガスとの混合ガスが生成される。混合ガスは、蒸発流路18を流れる過程でさらに加熱される。蒸発器10で生成された混合ガスは、改質器2に流入する。改質器2では、改質器2が有する改質触媒の触媒作用で、原料ガスと水蒸気とが水蒸気改質反応して、水素含有ガスが生成される。改質器2で生成された水素含有ガスは変成器3に流入する。変成器3では、変成触媒の作用によるCO変成反応によって水素含有ガス中の一酸化炭素が変成される。変成触媒は約150°C~400°Cで高い触媒作用を発揮するので、水素生成装置1の運転中、変成器3の温度を比較的高温150°C~400°Cに維持することが求められる。変成器3の温度は、蒸発器10の重力方向下部の領域と熱交換することで維持される。変成器で一酸化炭素が除去された水素含有ガスは、CO除去器4に流入する。CO除去器では、水素含有ガス中の一酸化炭素と酸素とがCO選択酸化触媒の作用で反応し、水素含有ガス中の一酸化炭素が酸化され、水素含有ガス中の一酸化炭素が除去される。CO選択酸化触媒は約80°C~200°Cで高い触媒作用を発揮するので、水素生成装置1の運転中、CO除去器4の温度を比較的低温80°C~200°Cに維持することが求められる。CO除去器4の温度は、蒸発器10の重力方向上部の領域と熱交換することで維持される。CO除去器で一酸化炭素が除去された水素含有ガス燃料ガスは、水素排出口5から流出し、燃料電池に供給される。また、燃料電池で消費しきれなかった水素含有ガスの一部はオフガスとして燃焼器に供給され燃焼器の燃料として使用される。上述のように、本実施の形態の水素生成装置1における蒸発器10は、改質水17を一定速度で加熱し、一定速度で蒸発させることができるので、蒸発器10を大型化せずとも生成される水蒸気の流量および温度を安定させることができる。その結果、水素生成装置1は、安定して水素の供給を行うことができる。[実施の形態2]実施の形態1では、外筒と中筒との接触面積が、内筒と中筒との接触面積と等しい形態について説明した。実施の形態2では、外筒と中筒との接触面積が、内筒と中筒との接触面積よりも大きい形態について説明する。図5は実施の形態2の蒸発器10の断面の模式図である。実施の形態1の蒸発器10と同一の構成要素については説明を省略する。実施の形態1と同様に、実施の形態2でも中筒13の外周面の凹部22Aが、蒸発流路18を構成する。図5に示されるように、実施の形態2の蒸発器10では、中筒13の外周面の凸部21Aの上面の面積が、中筒13の内周面の凸部21Bの面積よりも大きい。このように、中筒13の外周面の凸部21Aの上面を広くすることで、中筒13の外周面の凹部22Aによって構成された蒸発流路18のシール性が向上し、改質水17がショートカットすることをより確実に防止できる。[実施の形態3]実施の形態1および2では、蒸発流路のピッチが一定である形態について説明した。実施の形態3では、蒸発流路の上流側と下流側とで流路ピッチが変化する形態について説明する。図6は実施の形態3の蒸発器10の断面の模式図である。実施の形態1の蒸発器10と同一の構成要素については説明を省略する。図6に示されるように、実施の形態3の蒸発器10では、蒸発流路18のピッチが上流側と下流側とで変化する。より具体的には、上流側の蒸発流路18のピッチP1が、下流側の蒸発流路18のピッチP2よりも小さい。下流側の蒸発流路18のピッチP2の最大ピッチは、上流側の蒸発流路18のピッチP1のうちの最小ピッチに対して、2倍以上であることが好ましく、4倍以上であってもよい。例えば、重力方向上部の流路ピッチP1を平均12mmとすることができ、重量方向下部の流路ピッチP2を平均48mmとすることができる。このように、上流側の蒸発流路18のピッチP1を下流側の蒸発流路18のピッチP2よりも小さくすることで、蒸発器10の重量方向上部の領域が有する蒸発器10の単位高さあたりの蒸発流路18の長さが長くなり、蒸発器10の重力方向下部の領域が有する蒸発器10の単位高さあたりの蒸発流路18の長さが短くなる。このため、本実施の形態では、改質水17のほとんどが蒸発器10の重量方向上部の領域が有する長い蒸発流路18を流れる過程で蒸発温度まで加熱され、蒸発する。これにより、改質水17は、ほとんど蒸発器10の重量方向下部が有する蒸発流路18には流入しなくなる。すなわち、本実施の形態では、改質水17が蒸発器10の重力方向上部に偏在する。より具体的には、CO除去器4に包囲された領域では、流路ピッチを短くして;変成器3に包囲された領域では、流路ピッチを長くする。このように、改質水17を蒸発器10の重力方向上部に偏在させることで、CO除去器4および変成器3を最適温度に維持することができる。以下、CO除去器4および変成器3を最適温度に維持するメカニズムについて説明する。実施の形態1の説明で述べたように、CO除去器4の最適温度は、比較的低温80~200°Cである。また、CO除去器4は、蒸発器10の重力方向上部の領域を包囲する図1参照。本実施の形態では、蒸発器10の重力方向上部の領域に改質水17が偏在するので、蒸発器10の重力方向上部の領域では改質水17が内筒11からの熱を吸収する。これにより、内筒11から蒸発器10の重力方向上部の領域を包囲するCO除去器4に伝わる熱量を減少させ、CO除去器4を比較的低温に維持することができる。一方、変成器3の最適温度は、比較的高温150~400°Cである。また、変成器3は、蒸発器10の重力方向下部の領域を包囲する図1参照。上述のように、本実施の形態では、蒸発器10の重量方向下部が有する蒸発流路18には、主に水蒸気および原料ガスが流れ、高い熱吸収能を有する改質水17が存在しない。このため、内筒11から蒸発器10の重力方向下部の領域を包囲する変成器3に伝わる熱量は減少されない。さらに蒸発器10の重力方向下部が有する蒸発流路18は短いので、蒸発流路18を流れる水蒸気や原料ガスが変成器3から熱を吸収する時間が短い。この結果、変成器3の温度が低下することが防止され、変成器3を比較的高温に維持することができる。[実施の形態4]実施の形態4では、蒸発流路を構成する中筒の凹部が、深さが深い領域と、深さが浅い領域とを有する形態について説明する。図7は、実施の形態4の蒸発器10の断面の模式図である。実施の形態1の蒸発器10と同一の構成要素については説明を省略する。図7に示されるように、実施の形態4の蒸発器10では、蒸発流路18を構成する中筒13の外周面の凹部は、深さが異なる重力方向上方の領域23と、重力方向下方の領域24とを有する。領域23の深さd1は、領域24の深さd2よりも深い。このような実施の形態4の蒸発器10では、改質水17は、領域24と外筒12の内周面との間を流れる。このため、本実施の形態では、改質水17が内筒11から離れている。これにより、燃焼器6から内筒11を介して改質水17に熱が急激に伝達することを防止し、改質水17の突沸を防止することができる。[実施の形態5]実施の形態1~4では、蒸発流路が中筒の外周面の凹部によって構成される形態について説明した。実施の形態5では、蒸発流路が中筒の内周面の凹部によって構成される形態について説明する。また、実施の形態5では、実施の形態4と同様に蒸発流路を構成する中筒の凹部が、深さが深い領域と、深さが浅い領域とを有する。図8は実施の形態5の蒸発器10の断面の模式図である。実施の形態1の蒸発器10と同一の構成要素については説明を省略する。図8に示されるように、本実施の形態では、中筒13の内周面の凹部が蒸発流路18を構成する。また蒸発流路18を構成する中筒13の内周面の凹部は、深さが異なる重力方向上方の領域23と、重力方向下方の領域24とを有する。領域23の深さd1は、領域24の深さd2よりも深い。このような、実施の形態5の蒸発器10では、改質水17は、領域24と内筒11の外周面との間を流れる。このため、本実施の形態では、改質水17が内筒11の外周面に接する面積が多く、改質水17が内筒11を介して燃焼器6から受取る熱量を多くすることができる。これにより、蒸発流路18を短くすることができ、蒸発器10の小型化が可能となる。[実施の形態6]実施の形態6では、蒸発流路が改質水の流れの抵抗となる突起を有する形態について説明する。図9は実施の形態6の蒸発器における中筒13の側面図である。実施の形態1の中筒13と同一の構成要素については説明を省略する。図9に示されるように、本実施の形態では、蒸発流路18を構成する中筒13の外周面の凹部が、改質水の流れの抵抗となる突起19を有する。このように、蒸発流路18が改質水の流れの抵抗となる突起19を有することで、改質水の流れが速すぎる場合などに、改質水の速度を減速させることができ、改質水17を安定して蒸発させることができる。