連続したプラスチック基材の一方の面に感光性化合物が含まれる層を形成して積層体を形成し、前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層を露光し、かつ前記露光中の前記積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが0.02N/mm2~0.40N/mm2であることを特徴とする積層体の露光方法。プラスチック基材の一方の面にパターン層を有するカラーフィルターの製造方法であって、連続したプラスチック基材の一方の面に感光性化合物が含まれる層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層にパターンを露光し、かつ露光中の前記積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが0.02N/mm2~0.40N/mm2である露光工程と、露光した前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層を現像する現像工程と、を備えることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。しかし、特許文献1に記載のカラーフィルターの製造方法では、プラスチック基材を露光ステージ上に吸着、固定した際に、プラスチック基材にしわが発生したり、プラスチック基材と露光ステージの間に気泡を挟んでしまい、パターンの形状が正確に露光されず、不良が発生するおそれがある。上記問題を解決するために、本発明は露光の際にプラスチック基材にしわが発生したり、露光ステージとの間に気泡を挟んでしまうといった問題を防ぎ、かつ露光後のパターン寸法精度が安定した露光方法を提供することを目的とする。本発明は、連続したプラスチック基材の一方の面に感光性化合物が含まれる層を形成して積層体を形成し、前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層を露光し、かつ前記露光中の前記積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが0.02N/mm2~0.40N/mm2であることを特徴とする積層体の露光方法を提供する。本発明の積層体の露光方法によれば、積層体を露光ステージ上に固定して露光した際に、プラスチック基材にしわが発生したり、プラスチック基材と露光ステージの間に気泡を挟んでしまい、パターンの形状が正確に露光されず、不良が発生する問題を防ぐことができる。本発明は、プラスチック基材の一方の面にパターン層を有するカラーフィルターの製造方法であって、連続した前記プラスチック基材の一方の面に感光性化合物が含まれる層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層にパターンを露光し、かつ露光中の前記積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが0.02N/mm2~0.40N/mm2である露光工程と、露光した前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層を現像する現像工程と、を備えることを特徴とするカラーフィルターの製造方法を提供する。本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、パターン露光中の積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが0.02N/mm2~0.40N/mm2であることにより、露光したパターン寸法精度が5μm/100mmを満たすカラーフィルターを安定して得ることができる。本発明によれば、露光の際にプラスチック基材にしわが発生したり、露光ステージとの間に気泡を挟んでしまうといった問題を防ぐ露光方法を提供することができる。本発明によれば、露光前後のパターン寸法精度が安定したカラーフィルターの製造方法を提供することができる。1.カラーフィルター図1により本発明の露光方法及びカラーフィルターの製造方法によりできるカラーフィルター10について説明する。図1に示すカラーフィルター10は、プラスチック基材11の一方の面にカラーフィルター用のパターン層12が形成されている。パターン層12は、ブラックマトリックス13や、赤色着色層14a、緑色着色層14b、青色着色層14cの複数色の着色層より形成される着色層14である。本発明の露光方法及びカラーフィルターの製造方法によりできたカラーフィルター10は、例えば液晶ディスプレイ、タッチパネル、有機ELディスプレイ、電子ペーパー等に用いることができる。1プラスチック基材本発明に用いられるプラスチック基材11について説明する。プラスチック基材11は、ロールツーロールプロセスに適用することができる程度の可撓性を有していれば特に制限されることはなく、ディスプレイ用途に応じて適宜選択して用いることができる。特に、ヤング率が4.7GPa~6.0GPaのプラスチック基材が好ましく、具体的には、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN等のプラスチック基材を挙げることができる。プラスチック基材11の厚さは、10μm~500μmであることが好ましく、さらに50μm~150μmであることがより好ましい。プラスチック基材11の厚さが500μmを超える場合には、可撓性が損なわれ、折れやすくなり、プラスチックフィルムをロール状に巻き取ることが困難になる。また、プラスチック基材11の厚さが10μm未満である場合には、こしが無くなり、工程における取り扱いが困難になる。2パターン層次に、本発明のパターン層12について説明する。パターン層12は上記の通り、ブラックマトリックス13、赤色着色層14a、緑色着色層14b、青色着色層14cの複数色の着色層より形成される着色層14、アライメントマーク図示せず等である。また、パターン層12のパターンは、後述するマスクにより露光される文字、図形、模様等のことをいう。パターン層12は、プラスチック基材11に形成された感光性化合物が含まれる層15を露光、現像することにより形成することができる。例えば、ブラックマトリックス13を形成するために用いられる感光性化合物が含まれる層15としては、遮光性を有するブラックカーボン等の黒色の顔料、溶剤、バインダー樹脂、感光性化合物等を含む組成物を挙げることができる。バインダー樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ノルボルネン系樹脂、4-メチルペンテン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリプロピレンテレフタレート樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂等を挙げることができる。また、エポキシ系樹脂、シリコーン樹脂等を主骨格として、吸水性を低減するような設計をなされたものを挙げることができる。感光性化合物としては、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する電離放射線硬化性化合物、特に電子線硬化性化合物もしくは紫外線硬化性化合物を使用することができる。紫外線硬化性化合物を用いる場合には、バインダー樹脂に光重合開始剤が単独または複数組み合わせて用いることができる。紫外線硬化性化合物を用いる場合には、必要に応じて増感剤、塗布性改良剤、現像改良剤、架橋剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤等と組み合わせて用いることができる。また、着色層14を形成するために用いられる感光性化合物が含まれる層15は、黒色の顔料を染料、または無機顔料もしくは有機顔料等の着色剤に変更する以外は、ブラックマトリックス13に関するものと同じである。なお、本発明のカラーフィルター10は、前述したプラスチック基材11と、プラスチック基材11の一方の面にパターン層12とを有するものであれば特に限定されるものではなく、必要に応じて、保護層や透明電極等が形成されたものであってもよい。形成されたパターン層12のパターン寸法精度について説明する。パターン寸法精度は、形成したパターン層12の特定区間の距離以下、測定値とも言うと、当該特定区間の設計上の寸法以下、設計値とも言うとにより得ることができる。例えば、図2に示すように、形成したパターン層12の四隅a、b、c、dを用いて、a-b間、c-d間、a-d間、b-c間の各区間の距離を測定する。次に、得られた各区間の測定値と、パターンを露光する際に用いられるマスク24に形成されたパターンにおいて、プラスチック基材11に形成されたパターン層12のa-b間、c-d間、a-d間、b-c間に相当する区間の距離の設計値との差分を求める。設計値が100mmでない場合には、求めた差分を設計値の100分の1で割り、100mm当たりの測定値と設計値との差分を求めることができる。ただし、前記の差分、設計値の単位は、ミリメートル単位である。さらに、同様のパターン層12を形成したプラスチック基材11を複数作製すると、各区間の測定値と設計値との差分はパターン層12を形成したプラスチック基材11の数だけ得ることができる。各区間a-b間、c-d間、a-d間、b-c間において得られた複数の測定値と設計値との差分以下、差分1と言う。のうち、差分1の最大値と最小値との差分以下、差分2と言う。を求めて、求めた各区間の差分2の平均値を求めることによりパターン層12のパターン寸法精度を得ることができる。このパターン寸法精度によりパターン寸法の安定性を評価することができる。例えば、実際のパターン寸法の測定値と設計値との差が大きくても、パターン寸法精度が小さい場合には、実際のパターン寸法の測定値と設計値との差が無くなるよう補正を加えることにより設計値に近いパターン寸法のカラーフィルターを安定して得ることができる。また、パターン層12にアライメントマークや寸法測定用のパターン等を設けている場合には、それらを用いてパターン寸法精度を求めてもよい。また、パターン寸法を測定する方法としては、二次元座標測定機を用いることができる。具体的には、SOKKIA社製二次元座標測定機AMIC-1300を挙げることができる。次に、本発明におけるカラーフィルター10の製造方法について詳細に説明するとともに、本発明における積層体16の露光方法についても詳細に説明する。2.カラーフィルターの製造方法本発明のカラーフィルターの製造方法は、図3に示すように連続したプラスチック基材11の一方の面に感光性化合物が含まれる層15を形成して積層体16を形成する積層体形成工程図3aと、前記積層体16の前記感光性化合物が含まれる層15にパターンを露光し、かつ露光中の前記積層体16の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが0.02N/mm2~0.40N/mm2である露光工程図3bと、露光した前記積層体16の前記感光性化合物が含まれる層15を現像する現像工程図3cとを有するものである。以下、各工程について詳細に説明する。2-1.積層体形成工程まず、本発明の積層体形成工程について説明する。積層体形成工程は、連続したプラスチック基材11を準備し、プラスチック基材11の一方の面に前述の感光性化合物を含む組成物を塗布して、感光性化合物が含まれる層15を形成して積層体16を得ることができる。ここで、積層体16とはプラスチック基材11の一方の面に感光性化合物を含む層15を形成したものをいう。プラスチック基材11の一方の面に感光性化合物を含む層15を形成して積層体16を得る方法としては、プラスチック基材11に直接感光性化合物を含む組成物を塗布する方法が挙げられる。具体的には、グラビアコート、ダイコート等による塗布方法を挙げることができる。また、プラスチック基材11の一方の面に感光性化合物を含む層15を形成して積層体16を得る方法としては、転写により感光性化合物が含まれる層15を形成する方法を挙げることができる。具体的には、プラスチック基材11とは別の剥離性シートを準備して、剥離性シートの剥離性のある面に感光性化合物を含む組成物を塗布して、感光性化合物が含まれる層15を転写することができる転写シートを作製する。この転写シートを用いて、プラスチック基材11に感光性化合物が含まれる層15を転写して、積層体16を得ることができる。なお、転写する方法としては、剥離性シートに塗布した感光性化合物を含む組成物自体の接着性、特に熱接着性を利用する方法や、塗布した感光性化合物を含む組成物の上に感熱接着剤層を積層しておく方法等を挙げることができる。転写により感光性化合物が含まれる層15を形成する方法を用いることにより、感光性化合物が含まれる層15をドライプロセスで行うことができ、塗布後に乾燥を行うための時間や設備を減らすことができ、より効率的に積層体16を得ることができる。2-2.露光工程次に、本発明の露光工程について説明する。図3bに示すように、積層体形成工程で得られた積層体16の感光性化合物が含まれる層15に対して、マスク24を介してパターンを露光する。図3bでは、感光性化合物が含まれる層15がネガ型であることを想定して描いてあるが、感光性化合物が含まれる層15はポジ型であってもよい。また、図4は本発明の露光工程で用いられる露光装置の一例を示す図である。まず、前述した積層体形成工程で得られた積層体16をロール状に巻取り、繰り出し積層体ロール21として、露光装置20に設置する。繰り出し積層体ロール21から繰り出された積層体16は、露光部22に搬送される。露光部22は、光源23及びマスク24を有している。露光部22に搬送された積層体16は、露光する前に露光部22の入口側及び出口側に設けられたダンサーローラ25a、25bによりテンションをかけられる。積層体16にかけるテンションは、ダンサーローラ25a及び25bの少なくとも、いずれか一方を、露光部22内の積層体16が伸びる方向に移動させることにより調整される。図4では、ダンサーローラ25a、25bは光源23がある側とは反対の方向に移動するよう描いている。なお、積層体16にかかるテンションは、積層体16の搬送方向と垂直な方向を幅方向とした時に、積層体16の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが0.02N/mm2~0.40N/mm2であることが好ましく、さらに0.02N/mm2~0.14N/mm2であることがより好ましい。ここで、本発明における積層体16にかかるテンションは、積層体16の幅と厚さによりできる面の単位面積当たりにかかる力として求められる。また、搬送方向と平行な方向とは、図2に示すように、幅方向に垂直な搬送方向と平行な方向であり、積層体16が搬送されて進む方向とその逆の方向との両方を意味する。テンションが0.02N/mm2より小さい場合には、積層体16が弛み、シワが発生した状態で露光されてしまい、パターンの形状が正確に露光されないといった問題が発生するおそれがある。また、積層体16と露光装置20の搬送系との間に静電気が生じると、積層体16にかかるテンションよりも静電気による力の方が大きいため、積層体16にシワが発生し、パターンの形状が正確に露光されないといった問題が発生するおそれがある。テンションが0.40N/mm2より大きい場合には、積層体16が大きく伸びた状態で露光されるため、露光後にテンションが開放され積層体16が元の状態に戻ると、パターン寸法精度が5μm/100mmを超えるおそれがある。また、ブラックマトリックス13や着色層14等を形成するために露光や現像を繰り返し行う場合に、2版目以降は既に形成されているパターン層12を基準に位置合わせ以下、アライメントとも言うを行うことがある。しかし、露光中のテンションが0.40N/mm2より大きいと、アライメントのズレが生じ、例えば、ブラックマトリックス13のパターンと赤色着色層14aのパターンが重なるおそれがある。積層体16にかかるテンションを測定する方法としては、プッシュプルゲージを用いることができる。例えば、図5に示すように、露光装置20にセットした繰り出し積層体ロール21から繰り出された積層体16をダンサーローラ25aに通して、積層体16の端部にプッシュプルゲージ27を設置する。次に、ダンサーローラ25aを移動させて、積層体16にかかる力を測定し、積層体16の幅と厚さによりできる面の面積で割ることによりテンションを求めることができる。具体的なプッシュプルゲージとしては、アイコーエンジニアリング株式会社製プッシュプルゲージCPUGAUGE9500シリーズ50NBTypeを挙げることができる。次に、積層体16にテンションがかけられた状態で、積層体16は露光される。露光に用いられる光源は、感光性化合物が含まれる層15がパターン層12を形成することができる光源であれば、特に制限は無く、感光性化合物が含まれる層15に応じて適宜選択して用いることができる。露光量は、感光性化合物が含まれる層15がパターン層12を形成することができる露光量であれば特に制限は無く、感光性化合物が含まれる層15に応じて適宜選択して用いることができる。また、マスク24と積層体16との距離は、500μm以下が好ましい。マスク24と積層体16との距離が500μmを超えると、露光するパターンの解像度が低下するおそれがある。露光した後に、ダンサーローラ25a、25bが移動することにより積層体16にかかるテンションを開放し、積層体16はテンションをかけられる前の状態になる。その後、露光された積層体16は搬送され、ロール状に巻き取られ、巻き取り積層体ロール26を得ることができる。2-3.現像工程次に、本発明の現像工程について説明する。露光した後に、現像を行うことによりパターン層12を得ることができる。現像は、図3cに示すように、感光性化合物が含まれる層15がネガ型の場合には、現像液により露光されなかった感光性化合物が含まれる層15が除去されて、パターン層12が形成される。現像液は、パターン層12が形成することができれば特に制限されることはなく、感光性化合物が含まれる層15に応じて適宜選択して用いることができる。以上の説明では、1つのパターン層12を形成する方法について説明したが、ブラックマトリックス14や着色層13等を形成する場合には、上記の積層体形成工程、露光工程、現像工程を繰り返し行えばよい。以下実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例で得られた内容のみに限定されない。以下の実施例と比較例では、ブラックマトリックス13を形成したプラスチック基材11を作製した。実施例1プラスチック基材11として、厚さ0.125mm、幅330mm、長さ30mのロール状のプラスチック基材11東洋紡績株式会社製コスモシャインA4100を準備した。プラスチック基材11の一方の面にマイクログラビアコーターで下記の組成のブラックマトリックス形成用感光性化合物を含む組成物を塗布して、乾燥させ、積層体16を作製した。下記にブラックマトリックス形成用感光性化合物を含む組成物を示す。カーボンブラック61重量部アクリル樹脂12.48重量部ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート16.38重量部エピコート180S70三菱油化シェル株社製7.02重量部Irg.907チバスペシャリティケミカルズ株社製3.12重量部メトキシブチルアセテート300重量部次に、作製した積層体16を図4に示す露光装置20によりロールツーロールでパターンを露光した。露光の際に積層体16にかけたテンションは、0.02N/mm2であった。また、マスク24と積層体16の距離は150μmとし、光源23は超高圧水銀ランプを用いて、200mJ/cm2露光した。露光後に現像を行い、プラスチック基材11にブラックマトリックス13を形成した。なお、同様の方法でブラックマトリックス13を形成したプラスチック基材11を3枚作製した。次に、形成したブラックマトリックス13のパターン寸法精度を求めた。まず、図2に示すように、形成したブラックマトリクス13の四隅a、b、c、dを用いて、a-b間、c-d間、a-d間、b-c間の各区間の距離を測定した。次に、得られた各区間の測定値と、パターンを露光する際に用いられるマスク24に形成されたブラックマトリクス13のパターンにおいて、プラスチック基材11に形成されたブラックマトリクス13のa-b間、c-d間、a-d間、b-c間に相当する区間の距離の設計値との差分を求めた。また、求めた測定値と設計値との差分を設計値の100分の1で割り、100mm当たりの測定値と設計値との差分差分1を計算した。ただし、前記の差分、設計値の単位は、ミリメートル単位である。ブラックマトリックス13を形成したプラスチック基材11は3枚作製されているので、得られた測定値と設計値との差分差分1は各区間でN=3である。さらに、各区間のN=3の差分1のうち最大値と最小値との差分差分2を求めて、求めた各区間の差分2の平均値を求めて、パターン寸法精度を得た。実施例2積層体16にパターンを露光する際に積層体16にかけたテンションを0.14N/mm2とした以外は実施例1と同様とした。実施例3積層体16にパターンを露光する際に積層体16にかけたテンションを0.40N/mm2とした以外は実施例1と同様とした。比較例1積層体16にパターンを露光する際に積層体16にかけたテンションを0.46N/mm2とした以外は実施例1と同様とした。比較例2積層体16にパターンを露光する際に露光装置20のダンサーローラ25a及び25bを取り外し、積層体16をフリーテンションの状態とした以外は実施例1と同様とした。評価表1と図6に実施例1~実施例3、比較例1の結果を示す。実施例1~実施例3のパターン寸法精度は、5μm/100mmより小さかった。一方、比較例1のパターン寸法精度は、5μm/100mmより大きかった。また、比較例2では、テンションがかかっていないため露光ステージ上で積層体16が弛み、露光ステージ上で積層体16を吸着する際に露光ステージと積層体16との間に気泡が発生し、積層体16が歪んでしまい、パターン不良が発生した。