インクジェット印刷ヘッドであって、成形ノズルプレートで、その中に複数のノズル孔を有するノズル孔面と、ノズル孔面を囲んで空腔を画成する側壁と、ノズルプレートの空腔内の成形ダイ調芯機能部とを備える成形ノズルプレートと、ダイ調芯機能部に従って空腔内に位置決めしたMEMSダイとを備える、インクジェット印刷ヘッド。ノズル孔面内面の成形インク流路壁をさらに備え、この成形流路壁が複数のノズル孔をそれぞれ囲む構成とした、請求項1に記載のインクジェット印刷ヘッド。ダイ調芯機能部は、側壁から空腔内へ突出する少なくとも1つのリブを備える、請求項1に記載のインクジェット印刷ヘッド。ダイ調芯機能部は、MEMSダイにノズルプレートのノズル孔を精密調芯させる構成とした、請求項1に記載のインクジェット印刷ヘッド。それ故、インクジェット印刷ヘッドの組み付けを簡略化する調芯機能部を備えた成形ノズルプレートを提供することが、望ましい筈である。様々な実施形態によれば、本教示はインクジェット印刷ヘッドを含むものである。インクジェット印刷ヘッドは、成形ノズルプレートで、その中に複数のノズル孔を有するノズル孔面を備える成形ノズルプレートと、ノズル孔面を囲んで空腔を画成する側壁と、ノズルプレートの空腔内のダイ調芯機能部とを備える成形ノズルプレートと、ダイ調芯機能部に従って空腔内に配置されたMEMSダイとを含んでいる。様々な実施形態によれば、本教示はインクジェット印刷ヘッド用のノズルプレートを含むものである。ノズルプレートは、内面と外面と複数のノズル孔とを有するフェイスプレートと、内面の一側のフェイスプレートと一体成形されてこれを囲む側壁で、内面の一側に空腔を画成する側壁と、ノズルプレートの空腔内に一体成形されたダイ調芯機能部とを含んでいる。本発明の様々な実施形態によれば、本教示はインクジェット印刷ヘッドの形成方法を含むものである。本方法は、ノズルプレートの成形工程で、ノズルプレートが、その中に形成されたノズル孔を有するノズルフェイスプレートと、ノズルフェイスプレートを囲んでノズルフェイスプレートの内面に空腔を画成する側壁と、側壁から空腔内へ突出する調芯機能部と、ノズルフェイスプレートの内面から突出するインク流路壁とを含む工程と、駆動ダイを可撓性回路にフリップチップ接合する工程と、可撓性回路をMEMSダイに取り付ける工程と、調芯機能部に従い駆動ダイとMEMSダイとをノズルフェイスプレートの内面に接着する工程と、空腔を裏当てプレートでもって被覆する工程とを含む。図面の一部詳細が単純化され、厳密な構造上の精度や細部や寸法を維持するのではなく実施形態の理解を容易にするよう描かれている点に、留意されたい。図1は、本教示による例示インクジェット印刷機2000を表わす。図1に示すインクジェット印刷機2000が概略説明図を表わし、他の構成要素を追加したり、あるいは既存の構成要素を取り除くか修正したりできることは、当業者には即明らかとなる筈である。図1に示す如く、1以上の液滴噴射器1000をインクジェット印刷機2000内に組み込み、インク液滴を基板Pに噴射することができる。個々の液滴噴射器1000を画像源から導出される信号に従って動作させ、印刷媒体P上に所望の印刷画像を作成する。印刷機2000は、前後の走査運動にて印刷ヘッドを移動させる図示の往復キャリッジ印刷機、もしくは印刷基板が印刷ヘッドに対し移動する固定型の形態をとることができる。キャリッジ型印刷機には、単一ダイ組立体あるいは部分幅寸法の印刷ヘッド向けに互いに隣接した数個のダイ組立体とを有する印刷ヘッドを持たせることができる。単一ダイと複数ダイの部分幅印刷ヘッドは共にキャリッジ型印刷機内で実質同じように機能するため、単一のダイ印刷機ヘッドを有する印刷機だけを説明することにする。無論、唯一の差異は、部分幅寸法印刷ヘッドがより大きな帯幅の情報を印刷することになる点にある。インク流路とノズルとを含む単一ダイ印刷ヘッドは、使い捨てインク供給カートリッジに封止的に取り付けることができ、組み合わされた印刷ヘッドとカートリッジ組立体は、記録媒体を静止保持したまま、一度に一つの情報帯を印刷するよう往復駆動されるキャリッジに交換可能に取り付けられている。各情報幅は、印刷ヘッド内のノズル列の高さに等しい。一つの帯が印刷された後、記録媒体Pは最大で印刷帯の高さに等しい距離だけ歩進し、次の印刷帯が先の印刷帯に隣接あるいは重複する。この手順は、画像全体が印刷されるまで反復される。図2は、静電起動されるインクジェット印刷ヘッド200用の既知の設計を表わすものである。既知のインクジェット印刷ヘッド200は、基板210と、基板210上面の少なくとも1枚のシリコンウェーハ220と、基板210とウェーハ220とを通る1以上のインク流路230と、基板210のインク流路230をインク供給貯槽図示せずに接続する管240と、基板210上に装着したMEMSダイ250と、基板210上にMEMSダイと並列に装着した駆動ダイ260とを含んでいる。ノズルプレート270はMEMSダイ250上に装着され、このノズルプレート270が印刷ヘッド200からインク液滴を噴射される面となる。印刷ヘッド200のMEMSダイ250には、当分野で熟知されているように、電極により制御される静電起動膜を含めることができる。様々な他の構成要素が図示してあるが、ここでは説明しないことにする。当業者は、既存のインクジェット印刷ヘッド200の構成を理解するであろう。一般に、印刷ジェット印刷ヘッド200は基板から始め、そこから積み上げることで組み立てられる。これは、必須機能部を調芯させる必要性が故に組み立て工程における潜在的な過失を招くことがある。必須機能部には、これに限定はされないが、MEMSダイ内のノズル出口と基板内のノズル出口および/または印刷ヘッド200のノズルプレート内のノズル孔の一方または両方との調芯を含めることができる。図3Aは上面図であり、図3Bは特に本教示による例示ノズルプレート310を表わす例示印刷ヘッド300の側面図である。明瞭さと説明の簡単さに配慮し、しかるべき構成要素だけが図示してある。例示印刷ヘッド300は、例えば図1のインクジェット印刷機2000内で使用することができ、例えば図2の印刷ヘッド200に示される追加の既知の構成要素を含めることができる。図3Aと図3Bに示す印刷ヘッド300とノズルプレート370とが概略説明図を表わし、他の構成要素を追加したり、あるいは既存の構成要素を取り除くか修正したりできることを、当業者は即理解する筈である。印刷ヘッド300には、ノズルプレート370、すなわちMEMSダイ350と駆動ダイ360とを含む2ダイ構成を含めることができる。MEMSダイ350と駆動ダイ360は、図示の如く互い違いとすることができる。図示の印刷ヘッド300のその部分には、可撓性回路362を含めることができる。ノズルプレート370には、内面372aと外面372bとを有するフェイスプレート372を含めることができる。側壁374は、フェイスプレート372の内面372aの一側に空腔376を構成するようフェイスプレート372を囲む。ノズルプレート370は、フェイスプレート372と側壁374とを一体形成するよう成形することができる。それ故、ノズルプレート370は一体構成からなる。ノズルプレート370のフェイスプレート372には、ノズル孔330を含めることができる。ノズル孔330はノズルプレート370の成形期間中に形成できるか、あるいは成形ノズルプレートの形成に続きレーザ切断することができる。幾つかの実施形態では、ノズルプレートの成形期間中により大きな孔を形成することができ、レーザ切断フィルムをフェイスプレートに適用し、さらに所定の大きさのノズル孔330を画成することができる。MEMSダイ360をノズルプレート370の空腔376内に配置し、後続の図面に関連してさらに詳しく説明するように、ノズル孔330に精密に調芯することができる。駆動ダイ360は、可撓性回路362にフリップチップ接合させることができる。可撓性回路362はタブ付けするか、そうでなければMEMSダイ350に取り付けることができる。そして、組立体全体は、射出成形ノズルプレート370の空腔376内に接着することができる。実施形態では、組立体は空腔376内の所定場所にロックするようエポキシにて固定することができる。図示の構成を用いることで、深掘り反応性イオンエッチングDRIEインク孔を取り除くことができる。その代わりに、インクはコスト低減エッジ給送ダイ用にMEMSダイの背面上あるいはMEMSダイ周囲に経路設定することができる。図4は、本教示による例示成形ノズルプレート370の斜視図である。図4に示した成形ノズルプレート370が概略説明図を表わしており、他の構成要素を追加したり、既存の構成要素を取り除くか修正したりできることは、当業者には即明らかとなる筈である。図4に示した成形ノズルプレート370は、ノズル孔330と調芯機能部380の例示的な配置を含むさらなる詳細を示すものである。図4において、明確さに配慮し、かつ調芯機能部380が見えるよう、1個のMEMSダイを取り除いてある。MEMSダイ350の一部は、駆動ダイ360とMEMSダイ350に隣接させて図示してある。調芯機能部380は、空腔内でMEMSダイ350に係合調芯させ、したがってノズルプレート370のノズル孔330をMEMSダイ350の対応するインク出口に対し調芯させるのに適した距離だけ空腔376内に突出している。実施形態では、1以上の調芯機能部380を用いることができる。加えて、調芯機能部は、ノズルプレート350の空腔376内に駆動ダイ360を調芯するのに用いることができる。調芯機能部380は、MEMSダイ350の外端に当接する寸法とすることができる。実施形態では、調芯機能部380とMEMSダイ350との間の当接には、調芯機能部380に対する摩擦嵌合としてダイを固定する上での公差を持たせることができる。ダイと調芯機能部380との間の公差に加え、空腔376内の所定場所にMEMSダイ350を固定するのにエポキシを使用することができる。図5は、本教示による例示成形ノズルプレート370の底部斜視図である。図5に示した成形ノズルプレート370は概略説明図を表わすものであり、他の構成要素を追加したり、既存の構成要素を取り除くか修正したりできることは、当業者には即明らかとなる筈である。図5に示す如く、ノズル孔330は孔中心間に約3~約5μmの公差をもって配置することができる。図5からは見てとれないが、ノズルプレート370の外面372bの平坦度を約0.076μmにできることは理解されよう。この種の平坦度すなわち平滑面は、ワイパブレードを傷つけることなくノズルプレート上でのワイパブレードの使用を可能にし、さらに現在は使用することの出来ない装置内でのワイパブレードの使用が導入できるようにするものである。図6は、本教示による例示成形ノズルプレート370の一部の上部斜視図である。図6に描かれた成形ノズルプレートが概略説明図を表わすものであり、他の構成要素を追加したり、既存の構成要素を取り除くか修正したりできることは、当業者には即明らかとなる筈である。図6に示す如く、ノズルプレート370にはその内面372aに成形流路壁390を含めることができる。流路壁390は、周知の如くMEMS駆動部350からのインク供給源に調芯させたまま、各ノズル孔330を囲むよう構成することができる。図6はまた、調芯機能部380をさらに詳しく示している。調芯機能部380は、空腔376の角部に隣接させて配置することができる。調芯機能部380はさらに、MEMSダイ350を受容して調芯するのに最も適した位置にリブとして側壁374から突出するよう配置することができる。調芯機能部380は、MEMSダイ350のエッジへの係合に適した距離だけ側壁から突出させることができる。調芯機能部350は同一としなければならないことはないが、空腔376内のそれらの位置に従って異なる大きさとすることができることを、理解されたい。流路壁390と調芯機能部380は、ノズルプレート370と同時に成形することができる。この成形ノズルプレート370は、それ故に一つの製造工程においてモジュール調芯機能部とインク噴射孔とを含み、それによってMEMSダイとノズル面372のノズル孔330との間の公差の積み重ねを取り除くことのできるノズルプレートを提供することができる。目下のところSU-8フォトレジストで出来た流路壁390は、ノズルプレート370の成形時に作り出されることによって、さらにコストを低減することもできる。ノズル孔330に見当合わせされた成形ダイ調芯機能部380は、MEMSダイ350の正確な位置決めを可能とし、オペレータの組み立て過失に由来する公差のばらつきを低減することができる。図7は、本教示による例示成形ノズルプレート370の上部斜視図である。図7に示した成形ノズルプレートが概略説明図を表わし、他の構成要素を追加したり、既存の構成要素を取り除くか修正したりできることは、当業者には即明らかとなる筈である。図7に示す如く、インクジェット印刷ヘッドのモジュールには一対のMEMSダイ350と一対の駆動ダイ360とを図示の如く含めることができる。図7はまた、ノズルプレート370内の可撓性回路362の配置を表わすものである。