"可動部が第1駆動端に位置することを検知して検知信号を出力する検知センサが取り付けられた状態で前記第1駆動端と第2駆動端との間で前記可動部を往復移動させるセンサ付アクチュエータを制御するアクチュエータの制御装置であって、前記第2駆動端に位置する前記可動部を前記第1駆動端に向けて移動させ、当該第1駆動端への可動部移動の開始から前記検知センサが検知信号を出力するまでの往路側駆動時間を測定する駆動時間測定部と、前記第1駆動端に位置する前記可動部を前記第2駆動端に向けて移動させ、当該第2駆動端への可動部移動の開始から前記往路側駆動時間よりも短い第1中間駆動時間が経過した時点で前記可動部の移動方向を反転させるとともに、当該移動方向の反転から前記検知センサが検知信号を出力するまでの第2中間駆動時間を測定する中間時間測定部と、前記第1駆動端に位置する前記可動部が前記第2駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、復路側駆動時間=往路側駆動時間×第1中間駆動時間/第2中間駆動時間に基づいて計算して出力する駆動時間算出部とを備えることを特徴とするアクチュエータの制御装置。前記駆動時間測定部で測定された前記往路側駆動時間を表示する表示部を備える請求項1に記載のアクチュエータの制御装置。前記センサ付アクチュエータにスピードコントローラが接続され、前記センサ付アクチュエータの初期設定時あるいはメンテナンス時に前記スピードコントローラにより前記センサ付アクチュエータの駆動速度が調整される請求項2に記載のアクチュエータの制御装置であって、前記駆動時間測定部は、前記センサ付アクチュエータの駆動速度調整時に、前記第1駆動端と前記第2駆動端との間で前記可動部を往復移動させながら、前記往路側駆動時間を繰り返して測定し、前記表示部は、前記駆動時間測定部が測定した最新の往路側駆動時間を表示するように表示内容を更新するアクチュエータの制御装置。前記駆動時間算出部で算出された前記復路側駆動時間を表示する表示部を備える請求項1に記載のアクチュエータの制御装置。前記センサ付アクチュエータにスピードコントローラが接続され、前記センサ付アクチュエータの初期設定時あるいはメンテナンス時に前記スピードコントローラにより前記センサ付アクチュエータの駆動速度が調整される請求項4に記載のアクチュエータの制御装置であって、前記駆動時間算出部は、前記センサ付アクチュエータの駆動速度調整時に、前記第1駆動端から前記第1中間駆動時間だけ前記第2駆動端側に前記可動部を移動させた中間位置と、前記第1駆動端との間で前記可動部を往復移動させながら、前記復路側駆動時間を繰り返して算出し、前記表示部は、前記駆動時間算出部が算出した最新の復路側駆動時間を表示するように表示内容を更新するアクチュエータの制御装置。前記センサ付アクチュエータの適正動作が保証される往路側駆動時間および復路側駆動時間の基準範囲を記憶する記憶部と、前記駆動時間測定部で測定された往路側駆動時間および前記駆動時間算出部で算出された復路側駆動時間のうちの少なくとも一方が前記基準範囲を超えているとき、前記センサ付アクチュエータに異常が発生したと判定する異常発生判定部と、前記異常発生判定部により異常が発生したと判定されると、前記センサ付アクチュエータの異常を報知する報知部とを備える請求項1に記載のアクチュエータの制御装置。前記報知部は前記センサ付アクチュエータに異常が発生した旨を表示する表示部である請求項6に記載のアクチュエータの制御装置。可動部が第1駆動端に位置することを検知して検知信号を出力する検知センサが取り付けられた状態で前記第1駆動端と第2駆動端との間で前記可動部を往復移動させるセンサ付アクチュエータを制御するアクチュエータの制御方法であって、前記第2駆動端に位置する前記可動部を前記第1駆動端に向けて移動させ、当該第1駆動端への可動部移動の開始から、前記検知センサが検知信号を出力するまでの往路側駆動時間を測定する工程と、前記第1駆動端に位置する前記可動部を前記第2駆動端に向けて移動させ、当該第2駆動端への可動部移動の開始から、前記往路側駆動時間よりも短い第1中間駆動時間が経過した時点で前記可動部の移動を停止させて前記可動部を前記第1駆動端と前記第2駆動端との中間位置に位置させる工程と、前記中間位置に位置する前記可動部を前記第1駆動端に向けて移動させ、当該第1駆動端への可動部移動の開始から、前記検知センサが検知信号を出力するまでの第2中間駆動時間を測定する工程と、前記第1駆動端に位置する前記可動部が前記第2駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、復路側駆動時間=往路側駆動時間×第1中間駆動時間/第2中間駆動時間に基づいて計算して出力する工程とを備えることを特徴とするアクチュエータの制御方法。第1駆動端と第2駆動端との間で可動部を往復移動するアクチュエータの駆動時間測定方法であって、前記第2駆動端に位置する前記可動部が前記第1駆動端に移動してきたのを検知センサで検知することで、前記第2駆動端から前記第1駆動端に前記可動部が移動するのに要する往路側駆動時間を測定する工程と、前記第1駆動端に位置する前記可動部を前記往路側駆動時間よりも短い第1中間駆動時間だけ前記第2駆動端に向けて移動させて前記第1駆動端と前記第2駆動端との中間位置に位置させる工程と、前記中間位置に位置する前記可動部が前記第1駆動端に移動してきたのを前記検知センサで検知することで、前記中間位置から前記第1駆動端に前記可動部が移動するのに要する第2中間駆動時間を測定する工程と、前記第1駆動端に位置する前記可動部が前記第2駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、復路側駆動時間=往路側駆動時間×第1中間駆動時間/第2中間駆動時間に基づいて計算して求める工程とを備えることを特徴とするアクチュエータの駆動時間測定方法。印刷装置や表面実装機では、数多くのエアシリンダを用いているが、各エアシリンダに連結されるスピードコントローラー速度制御弁をオペレーターなどがマニュアル操作することでエアシリンダの駆動速度をそれぞれ調整している。そのため、駆動速度にばらつきが生じると、搬送中の基板を突き上げるという問題、余分な時間を持つことでタクトロスを招くという問題等が発生することがあった。ここで、エアシリンダの駆動速度、つまりエアシリンダのピストンロッドが前進端から後退端まで移動するのに要する往路側駆動時間および後退端から前進端まで移動するのに要する復路側駆動時間を正確に求めることができれば、それらに基づいてエアシリンダの駆動速度を高精度に調整することができ、駆動速度のばらつきを抑えることが可能である。また、駆動時間を定期的に求めることでエアシリンダの経時変化を把握することができ、それらに基づいてエアシリンダの駆動速度を再調整することが可能となる。さらには、駆動時間の変化によりエアシリンダの異常発生や交換時期などを管理することも可能となる。このようにエアシリンダの駆動時間は非常に有益な情報である。そこで、ピストンロッドが前進端および後退端に位置することを検知する検知センサをエアシリンダの両端部に取り付け、これら2つの検知センサから出力される検知信号を利用して往路側駆動時間および復路側駆動時間を計測することが考えられる。しかしながら、各エアシリンダに対して2個の検知センサを取り付けることは装置コストを増大させる主要因のひとつになってしまう。この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、エアシリンダなどの可動部を往復移動させるアクチュエータの往路側駆動時間および復路側駆動時間の両方を1つの検知センサにより導出する技術を提供することを目的とする。この発明の第1態様は、可動部が第1駆動端に位置することを検知して検知信号を出力する検知センサが取り付けられた状態で第1駆動端と第2駆動端との間で可動部を往復移動させるセンサ付アクチュエータを制御するアクチュエータの制御装置および制御方法であって、上記目的を達成するため、以下のように構成している。このアクチュエータの制御装置は、第2駆動端に位置する可動部を第1駆動端に向けて移動させ、当該第1駆動端への可動部移動の開始から検知センサが検知信号を出力するまでの往路側駆動時間を測定する駆動時間測定部と、第1駆動端に位置する可動部を第2駆動端に向けて移動させ、当該第2駆動端への可動部移動の開始から往路側駆動時間よりも短い第1中間駆動時間が経過した時点で可動部の移動方向を反転させるとともに、当該移動方向の反転から検知センサが検知信号を出力するまでの第2中間駆動時間を測定する中間時間測定部と、第1駆動端に位置する可動部が第2駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、復路側駆動時間=往路側駆動時間×第1中間駆動時間/第2中間駆動時間に基づいて計算して出力する駆動時間算出部とを備えることを特徴としている。また、このアクチュエータの制御方法は、第2駆動端に位置する可動部を第1駆動端に向けて移動させ、当該第1駆動端への可動部移動の開始から、検知センサが検知信号を出力するまでの往路側駆動時間を測定する工程と、第1駆動端に位置する可動部を第2駆動端に向けて移動させ、当該第2駆動端への可動部移動の開始から、往路側駆動時間よりも短い第1中間駆動時間が経過した時点で可動部の移動を停止させて可動部を第1駆動端と第2駆動端との中間位置に位置させる工程と、中間位置に位置する可動部を第1駆動端に向けて移動させ、当該第1駆動端への可動部移動の開始から、検知センサが検知信号を出力するまでの第2中間駆動時間を測定する工程と、第1駆動端に位置する可動部が第2駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、復路側駆動時間=往路側駆動時間×第1中間駆動時間/第2中間駆動時間に基づいて計算して出力する工程とを備えることを特徴としている。さらに、この発明の第2態様は、第1駆動端と第2駆動端との間で可動部を往復移動するアクチュエータの駆動時間測定方法であって、上記目的を達成するため、第2駆動端に位置する可動部が第1駆動端に移動してきたのを検知センサで検知することで、第2駆動端から第1駆動端に可動部が移動するのに要する往路側駆動時間を測定する工程と、第1駆動端に位置する可動部を往路側駆動時間よりも短い第1中間駆動時間だけ第2駆動端に向けて移動させて第1駆動端と第2駆動端との中間位置に位置させる工程と、中間位置に位置する可動部が第1駆動端に移動してきたのを検知センサで検知することで、中間位置から第1駆動端に可動部が移動するのに要する第2中間駆動時間を測定する工程と、第1駆動端に位置する可動部が第2駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、復路側駆動時間=往路側駆動時間×第1中間駆動時間/第2中間駆動時間に基づいて計算して求める工程とを備えることを特徴としている。このように構成された発明アクチュエータの制御装置、制御方法およびアクチュエータの駆動時間測定方法では、第2駆動端を出発した可動部が第1駆動端まで移動してきたことを検知センサが検知することで往路側駆動時間が実際に測定される。これに対し、当該検知センサのみでは、復路側駆動時間を実測することは不可能である。ここで、第1駆動端と第2駆動端との間の任意の位置、つまり中間位置を設定した場合、第1駆動端と中間位置との間を可動部が往復移動するのに要する時間、つまり第1中間駆動時間および第2中間駆動時間を正確に取得することができる。そして、それらの比は、第1駆動端と第2駆動端との間を可動部が往復移動するのに要する時間、つまり往路側駆動時間および復路側駆動時間の比と等しく、次の比例式往路側駆動時間:第2中間駆動時間=復路側駆動時間:第1中間駆動時間が成立する。したがって、次式復路側駆動時間=往路側駆動時間×第1中間駆動時間/第2中間駆動時間に基づいて復路側駆動時間が正確に算出される。このように、1つの検知センサを用いて往路側駆動時間および復路側駆動時間が正確に導出される。また、これら往路側駆動時間および復路側駆動時間については表示部に表示するのが望ましく、この表示によって種々の制御が可能となり、アクチュエータ制御の幅が広がる。例えば、センサ付アクチュエータにスピードコントローラが接続される場合、センサ付アクチュエータの初期設定時あるいはメンテナンス時にスピードコントローラによりセンサ付アクチュエータの駆動速度を調整することができる。このようにセンサ付アクチュエータの駆動速度調整を行うとき、第1駆動端と第2駆動端との間で可動部を往復移動させながら、駆動時間測定部が測定した最新の往路側駆動時間を表示するように表示部の表示内容を更新させると、オペレーターは表示内容を見ながらスピードコントローラを操作することで往路側の駆動速度を適切に調整することができる。この点に関しては、復路側でも同様である。すなわち、中間位置第1駆動端から第1中間駆動時間だけ第2駆動端側に可動部を移動させた位置と、第1駆動端との間で可動部を往復移動させながら、駆動時間算出部が算出した最新の復路側駆動時間を表示するように表示部の表示内容を更新させると、オペレーターは表示内容を見ながらスピードコントローラを操作して復路側の駆動速度を適切に調整することができる。さらに、センサ付アクチュエータの適正動作が保証される往路側駆動時間および復路側駆動時間の基準範囲を記憶する記憶部と、駆動時間測定部で測定された往路側駆動時間および駆動時間算出部で算出された復路側駆動時間のうちの少なくとも一方が基準範囲を超えているとき、センサ付アクチュエータに異常が発生したと判定する異常発生判定部と、異常発生判定部により異常が発生したと判定されると、センサ付アクチュエータの異常を報知する報知部とを設けてもよい。このように往路側駆動時間や復路側駆動時間に基づきアクチュエータの異常を早期に発見することができる。なお、報知部としては、例えば表示部を用いることができ、センサ付アクチュエータに異常が発生した旨を表示することでオペレーター等に的確に報知することができる。以上のように、1つの検知センサによって往路側駆動時間だけでなく、復路側駆動時間も正確に導出することができる。基板に電子部品を実装する基板処理システムでは、印刷機、印刷検査機、表面実装機および実装検査機などの基板処理装置が搬送路に沿って並設されており、各基板処理装置が基板搬送路に沿って搬送される基板に対して処理プログラムにしたがって所望の処理を施す。例えば表面実装機では、装置全体制御する制御装置によって基板搬送機構が制御され、基板を所定の目標位置まで搬送して停止させる。このとき、制御装置がエアシリンダを駆動制御することで基板ストッパーを基板搬送路上に位置させて基板停止を行うことがある。また、制御装置からの制御指令に応じて別のエアシリンダを駆動して目標位置で基板をクランプして固定することもある。そして、テープフィーダーなどの部品供給部から供給されるICIntegratedCircuit等の電子部品が目標位置の基板に実装される。また、部品実装の完了後に、制御装置によって上記エアシリンダが駆動制御されてクランプ解除およびストッパー退避が実行されて基板の搬出準備が完了した後、基板搬出が実行される。このように基板処理装置では、数多くのエアシリンダが用いられているが、本実施形態では、制御装置はエアシリンダに取り付けられる単一の検知センサから出力される検知信号に基づいてエアシリンダを制御している。以下、図面を参照しながら、本実施形態における制御装置の構成および動作について詳述する。図1は、本発明にかかるアクチュエータの制御装置の一実施形態を示す図である。この制御装置1は、印刷機や表面実装機などの基板処理装置を制御するものであり、プログラムにしたがって基板処理を実行するための一動作として、センサ付エアシリンダ2を駆動制御することで基板ストッパーや基板クランプなどを作動させる。このセンサ付エアシリンダ2では、同図に示すように、X方向に延設されたシリンダチューブ21内でピストンロッド22が往復自在に設けられている。このシリンダチューブ21では、後端部にヘッドカバー23aが取り付けられるとともに、先端部にロッドカバー23bが取り付けられている。そして、圧力供給源であるエアー供給源24が切替バルブ25を介してヘッドカバー23aおよびロッドカバー23bにそれぞれ接続されており、制御装置1からの切替指令に応じて切替バルブ25が作動することでピストンロッド22がX方向に駆動される。なお、本実施形態では、ピストンロッド22の駆動端のうちX方向側を第1駆動端と称するとともに、-X方向側を第2駆動端と称する。また、第2駆動端から第1駆動端に駆動する動作を往路側駆動と称するとともに、第1駆動端から第2駆動端に駆動する動作を復路側駆動と称する。また、本実施形態では、シリンダチューブ21のX方向側の側端部のみに検知センサ26が取り付けられており、ピストンロッド22が第1駆動端に位置することを検知して検知信号を制御装置1に出力する。さらに、切替バルブ25とヘッドカバー23aとを接続して空圧回路を構成する配管27aにはスピードコントローラ通称:スピコン28aが介挿されるとともに、切替バルブ25とロッドカバー23bとを接続して空圧回路を構成する配管27bにはスピードコントローラ28bが介挿されている。このため、オペレーター等がスピードコントローラ28a、28bをマニュアル操作することで、ピストンロッド22の往路側駆動速度および復路側駆動速度を可変可能となっている。制御装置1は、上記したプログラムや各種データなどを記憶するメモリ11と、プログラムや検知信号などに基づいてセンサ付エアシリンダ2を駆動制御するCPUCentralProcessingUnit12と、入出力I/F13と、タッチパネル等の表示操作部14とを有している。また、メモリ11、CPU12および入出力I/F13は制御ボックス15内に収納されており、バス16を介して相互間で各種信号やデータなどを授受可能となっている。さらに、入出力I/F13は、表示操作部14、切替バルブ25および検知センサ26と電気的に接続されている。そして、CPU12はメモリ11に予め記憶されたプログラムにしたがって入出力I/F13を介して検知センサ26からの検知信号を受け取り、また切替指令および表示指令をそれぞれ切替バルブ25および表示操作部14に出力することで、次の説明する動作を実行する。以下、図2ないし図6を参照しつつ制御装置1によるセンサ付エアシリンダ2の駆動時間の導出処理、駆動速度の調整処理、異常検出処理について詳述する。図2は、図1に示す制御装置の動作概要を示すフローチャートである。また、図3は、往路側駆動速度の調整を示すフローチャートである。また、図4および図5は、復路側駆動速度の調整を示すフローチャートである。さらに、図6は、往路側駆動時間、第1中間時間、第2中間駆動時間および復路側駆動時間の関係を模式的に示す図である。この制御装置1は、メモリ11に予め記憶されたプログラムにしたがってセンサ付エアシリンダ2などを制御することで、往路側駆動速度の調整、復路側駆動速度の調整、エアシリンダ2の異常検知などを実行する。この実施形態では、図3に示すように、制御装置1のCPU12は入出力I/F13を介して切替バルブ25に切替指令、より詳しくはロッド前進指令を与えステップS11、これに応じてピストンロッド22が-X方向側に移動する。そして、ピストンロッド22が第1駆動端から第2駆動端まで移動するに十分な所定時間だけが経過するのを待つステップS12。これにより、往路側駆動速度の調整を開始した時点でピストンロッド22がいずれの位置に位置していたとしても、所定時間が経過した時点でピストンロッド22は第2駆動端に位置することとなる図3中の上破線領域。こうしてピストンロッド22が第2駆動端に位置している状態で、CPU12は切替指令、より詳しくはロッド後退指令を切替バルブ25に与える。これによってピストンロッド22のX方向への移動が開始されるステップS13。このタイミングで、CPU12は往路側駆動時間TAのカウント値をゼロにリセットした後、カウントを開始して往路側駆動時間TAの計測を開始するステップS14。そして、ピストンロッド22が第1駆動端まで後退し、検知センサ26から検知信号が出力されるステップS15でYESと、それを受けてCPU12はカウントを停止して往路側駆動時間TAの計測を終了するとともに、その時点のカウント値から往路側駆動時間TAを取得する。また、CPU12は、取得した値を最新の往路側駆動時間TAとしてメモリ11に書き込むとともに、同図中の下破線領域に示すように、表示操作部14での往路側駆動時間TAの表示を上記のようにして取得した最新値に書き換えるステップS17。このように、本実施形態では、ピストンロッド22を第2駆動端から第1駆動端に移動させ、ピストンロッド22の第1駆動端への移動を検知する、つまり検知センサ26がON状態となることで往路側駆動時間TAを実測している。したがって、往路側駆動時間TAを正確に測定することができる。次のステップS18では、オペレーター等による往路側駆動速度の調整が完了しているか否かをCPU12は判断する。すなわち、表示操作部14に表示されている往路側駆動時間TAが所定値である場合には、オペレーター等は調整終了の操作、例えば表示操作部14に表示される調整終了ボタンへのタッチを行う一方、その操作が行われない間、CPU12は調整終了とは判断せず、ステップS11に戻って一連の動作を繰り返す。この繰り返し中に、オペレーター等はスピードコントローラ28a、28bを操作して往路側駆動速度を行うのであるが、それに応じて表示操作部14に表示されている往路側駆動時間TAも変化する。このため、表示操作部14に表示されている往路側駆動時間TAを見ながらスピードコントローラ28a、28bをオペレーター等が操作することで、往路側駆動時間TAを所定値に設定することができ、往路側駆動速度が往路側駆動速度=第1駆動端と第2駆動端の距離/往路側駆動時間TAに調整される。この往路側駆動速度の調整処理は、通常、装置出荷時やメンテナンス時に実行されるものである。そして、調整終了の操作が行われたことを確認した上で、次のステップS2が進む。このステップS2では、図4および図5に示す復路側駆動速度の調整処理が実行される。この調整処理では、CPU12は上記したステップS11~S16と同様に往路側駆動時間TAを測定するステップS201~S206。ここで、往路側駆動速度の調整処理から復路側駆動速度の調整処理までの時間が短く、復路側駆動速度の調整開始時点でも往路側駆動速度が変動していない場合には、往路側駆動時間TAの測定は不要である。ただし、次のステップS207を実行する直前において、図4中の破線領域に示すように、少なくともピストンロッド22を第1駆動端に位置させておく必要がある。次のステップS207では、第1駆動端に位置しているピストンロッド22を-X方向側、つまり第2駆動端側に移動させるべく、切替バルブ25に対してロッド前進指令を与える。これによってピストンロッド22の-X方向への移動が開始される。それから往路側駆動時間TAよりも短い第1中間駆動時間TBが経過したステップS208でYES時点で、CPU12は切替バルブ25に対してロッド後退指令を与えてピストンロッド22の移動方向を反転させるステップS209。つまり、第1中間駆動時間TBの経過時点で、図5の上破線領域に示すように、ピストンロッド22は第1駆動端と第2駆動端との中間位置で移動停止した後、X方向に移動し始める。なお、本実施形態では、第1中間駆動時間TBを予めメモリ11に記憶しているが、往路側駆動時間TAから所定値を減算することで第1中間駆動時間TBを算出し、その値を用いてもよい。この移動反転と同時に、CPU12は第2中間駆動時間TCのカウント値をゼロにリセットした後、カウントを開始して第2中間駆動時間TCの計測を開始するステップS210。そして、ピストンロッド22が第1駆動端まで後退し、検知センサ26から検知信号が出力されるステップS211でYESと、それを受けてCPU12はカウントを停止して第2中間駆動時間TCの計測を終了するとともに、その時点のカウント値から第2中間駆動時間TCを取得するステップS212。また、CPU12は、取得した値を最新の第2中間駆動時間TCとしてメモリ11に書き込む。第1中間駆動時間TBは設定値であり、往路側駆動時間TAおよび第2中間駆動時間TCは検知センサ26を用いることで正確に測定された値であり、いずれの値TA、TB、TCについても、CPU12は正確に取得することができる。ここで、これら3種類の駆動時間TA、TB、TCに加え、未取得の復路側駆動時間TDを含めた駆動時間の相互関係を模式的にまとめると図6に示す通りである。これらのうち中間駆動時間TB、TCの比は、第1駆動端と第2駆動端との間を可動部が往復移動するのに要する時間、つまり往路側駆動時間および復路側駆動時間の比と等しく、次の比例式往路側駆動時間TA:第2中間駆動時間TC=復路側駆動時間TD:第1中間駆動時間TBが成立する。したがって、次式復路側駆動時間TD=往路側駆動時間TA×第1中間駆動時間TB/第2中間駆動時間TCに基づいて復路側駆動時間TDを正確に算出することができる。そこで、本実施形態では、次のステップS213で、CPU12は上式に基づいて復路側駆動時間TDを算出する。それに続いて、CPU12は、算出した復路側駆動時間TDをメモリ11に書き込むとともに、図5中の下破線領域に示すように、表示操作部14での復路側駆動時間TDの表示を上記のようにして算出した値に書き換えるステップS214。このように、本実施形態では、1つの検知センサ26を用いて往路側駆動時間TAだけでなく、復路側駆動時間TDについても正確に導出することができる。また、復路側駆動速度の調整処理では、往路側駆動速度の調整処理と同様に、オペレーター等による速度調整が終了するステップS215でYESまで、ステップS207に戻って一連の工程が繰り返される。すなわち、表示操作部14に表示されている復路側駆動時間TDが所定値である場合には、オペレーター等は調整終了の操作、例えば表示操作部14に表示される調整終了ボタンへのタッチを行う一方、その操作が行われない間、CPU12は調整終了とは判断せず、ステップS207に戻って一連の動作を繰り返す。この繰り返し中に、オペレーター等はスピードコントローラ28a、28bを操作して復路側駆動速度を行うのであるが、それに応じて表示操作部14に表示されている復路側駆動時間TDも変化する。このように、表示操作部14に表示されている復路側駆動時間TDを見ながらスピードコントローラ28a、28bをオペレーター等が操作することで、復路側駆動時間TDを所定値に設定することができ、復路側駆動速度が復路側駆動速度=第1駆動端と第2駆動端の距離/復路側駆動時間TDに調整される。こうして、復路側駆動速度の調整処理が完了すると、エアシリンダ2の異常検知処理を実行する。この異常検知処理は、図2に示すように、所定の検知タイミングで実行されるものでありステップS3、往路側駆動時間TAの測定値および復路側駆動時間TDの算出値に基づいて行われる。この往路側駆動時間TAについては、往路側駆動速度の調整処理におけるステップS11~S16や復路側駆動速度の調整処理におけるステップS201~S206と同様にして測定する。また、復路側駆動時間TDについては、復路側駆動速度の調整処理におけるステップS207~S213と同様にして算出する。そして、こうして求められた往路側駆動時間TAおよび復路側駆動時間TDが、エアシリンダ2の適正動作が保証される駆動時間の基準範囲に入っているか否かをCPU12が判定するステップS6。この基準範囲は予め実験などにより求められており、メモリ11に記憶されている。駆動時間TA、TDが上記範囲内である場合には、エアシリンダ2は正常に動作していると判断し、ステップS3に戻る。一方、駆動時間TA、TDが上記範囲外である場合には、エアシリンダ2に経時変化が生じており、異常発生の可能性があることがわかる。そこで、CPU12はその旨を表示操作部14に表示してオペレーター等に報知するステップS7。したがって、上記表示内容に基づきオペレーター等は、メンテナンスが必要であるか否かを判断することができ、その判断結果を表示操作部14により入力する。この入力を受けてCPU12は、オペレーター等によりメンテナンスが必要であると判断された場合には、ステップS1に戻って速度調整を開始する。一方、メンテナンスは不要であると判断された場合には、ステップS3に戻って、次の計測タイミングを待つ。以上のように、本実施形態によれば、1つの検知センサ26を用いて往路側駆動時間TAおよび復路側駆動時間TDを正確に導出することができる。また、往路側駆動時間TAおよび復路側駆動時間TDを表示操作部14に表示しているので、エアシリンダ2の初期設定時あるいはメンテナンス時にスピードコントローラ28a,28bによりエアシリンダ2の駆動速度を調整することができる。特に、第1駆動端と第2駆動端との間でピストンロッド22を往復移動させながら、最新の往路側駆動時間TAを表示するように表示操作部14の表示内容を更新させているので、オペレーター等は表示内容を見ながらスピードコントローラ28a,28bを操作することで往路側の駆動速度を適切に調整することができる。また、復路側でも同様である。すなわち、中間位置と、第1駆動端との間でピストンロッド22を往復移動させながら、最新の復路側駆動時間TDを表示するように表示操作部14の表示内容を更新させているので、オペレーター等は表示内容を見ながらスピードコントローラ28a,28bを操作して復路側の駆動速度を適切に調整することができる。なお、復路側では、第2駆動端に達する前に中間位置でピストンロッド22を反転移動させる必要があるため、第1駆動端から中間位置に移動する際のピストンロッド22の駆動速度をスピードコントローラ28a,28bにより予め低く設定しておくのが好適である。さらに、往路側駆動時間TAや復路側駆動時間TDに基づきエアシリンダ2の異常を早期に発見することが可能となっており、しかも、それを表示操作部14に表示するため、オペレーター等に的確に報知することができる。このように、本実施形態では、CPU12が本発明の駆動時間測定部、中間時間測定部、駆動時間算出部、異常発生判定部として機能している。また、表示操作部14が本発明の表示部および報知部に相当している。また、ピストンロッド22が本発明の可動部に相当する。また、メモリ11が本発明の記憶部に相当している。なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、復路側駆動時間TDが所定値となるようにスピードコントローラ28a,28bを操作してピストンロッド22の駆動速度を調整しているが、次のように調整してもよい。すなわち、第1中間駆動時間TBを徐々に長くしていき、第2中間駆動時間が一定となったところで、当該第2中間駆動時間が所定値となるようにスピードコントローラ28a,28bを操作してピストンロッド22の駆動速度を調整してもよい。また、上記実施形態では、エアシリンダ2のヘッドカバー23a側を第1駆動端とし、ロッドカバー23b側を第2駆動端としているが、ヘッドカバー23a側およびロッドカバー23b側をそれぞれ第2駆動端および第1駆動端とした場合も、上記実施形態と全く同様である。また、上記実施形態では、表示操作部14に異常発生を検知した旨を表示してオペレーター等に報知しているが、本発明の報知部については表示操作部14に限定されるものではなく、その他の報知手段、例えば音声やライト等による報知を行ってもよい。さらに、上記実施形態では、基板処理装置で基板ストッパーや基板ストッパー等を駆動するセンサ付エアシリンダ2を制御する場合については説明したが、本発明にかかる制御装置および制御方法の適用範囲はこれに限定されるものではなく、可動部が第1駆動端に位置することを検知して検知信号を出力する検知センサが取り付けられた状態で第1駆動端と第2駆動端との間で可動部を往復移動させるセンサ付アクチュエータに対して適用することができる。"