2種類の流体を選択的に導入排出可能とする流体制御装置であって、対称状に配置された同一形状の2つの開閉弁を有しており、各開閉弁の出口に、互いに平行となるように同じ長さの流体排出通路が設けられ、2つの流体排出通路の出口に、各流体排出通路に通じる同じ長さの流体通路を有しチャンバに取付け可能な接続部材が取り付けられていることを特徴とする流体制御装置。各開閉弁は、2つの流体入口通路および1つの流体出口通路を有する三方弁とされて、第1流体入口通路に通じる通路が設けられた第1通路ブロック、第2流体入口通路に通じる通路が設けられた第2通路ブロック、および流体出口通路に通じる通路が設けられた第3通路ブロックによって支持されており、各通路ブロックは、2つの開閉弁の中心線に対して対称に配置されていることを特徴とする請求項1の流体制御装置。2つの開閉弁を挟むように、各開閉弁にパージ用流体を選択的に導入排出可能とするパージ用開閉弁が設けられており、パージ用開閉弁の出口通路が第2通路ブロックの通路に連通していることを特徴とする請求項2の流体制御装置。上記従来の流体制御装置によると、流体ガスの種類によっては、本体内において渦巻き状に流れるに際し、流体が滞留することで、混合された2つの流体の反応によって流体制御装置からの排出口付近に生成物ができ、チャンバ内に不純物が導入されるという問題があった。この発明の目的は、チャンバ内に反応生成物に起因する不純物が入り込むことを防止することができる流体制御装置を提供することにある。この発明による流体制御装置は、2種類の流体を選択的に導入排出可能とする流体制御装置であって、対称状に配置された同一形状の2つの開閉弁を有しており、各開閉弁の出口に、互いに平行となるように同じ長さの流体排出通路が設けられ、2つの流体排出通路の出口に、各流体排出通路に通じる同じ長さの流体通路を有しチャンバに取付け可能な接続部材が取り付けられていることを特徴とするものである。同一形状の2つの開閉弁が対称に配置されていることで、各開閉弁内における流体入口から流体出口までの流体通路容積および流体通路長さが同じとなり、また、その後も同じ長さの流体通路で送られるので、2種類の流体の制御が容易となる。そして、2種類の流体は、それぞれ、別々の流体排出通路を通るので、流体同士が滞留混合して生成物が生じることがなく、反応生成物に起因する不純物が入り込むことを防止して、所要の流体をチャンバ内に導入することができる。各開閉弁は、2つの流体入口通路および1つの流体出口通路を有する三方弁とされて、第1流体入口通路に通じる通路が設けられた第1通路ブロック、第2流体入口通路に通じる通路が設けられた第2通路ブロック、および流体出口通路に通じる通路が設けられた第3通路ブロックによって支持されており、各通路ブロックは、2つの開閉弁の中心線に対して対称に配置されていることが好ましい。このようにすると、組立て分解が容易となり、メンテナンス性にも優れたものとなる。例えば、第1通路ブロックは、第1流体入口通路に流体を導入する導入管接続のための継手が設けられた継手付き通路ブロックとされ、第2通路ブロックは、略V字状U字状を含む通路を有するV字状通路ブロックとされ、第3通路ブロックは、I字状通路を有するI字状通路ブロックとされる。そして、I字状通路ブロックとされた各第3通路ブロックに、互いに平行で上下方向に延びる流体排出管が結合されることで、I字状通路ブロックのI字状通路および流体排出管内通路からなる流体排出通路が形成される。流体排出管は、それぞれの開閉弁からの通路が平行になるように形成され、直線状通路であってもよいし、途中で屈曲した通路であってもよい。2つの開閉弁を挟むように、各開閉弁にパージ用流体を選択的に導入排出可能とするパージ用開閉弁が設けられており、パージ用開閉弁の出口通路が第2通路ブロックの通路に連通していることが好ましい。このようにすると、2種類の流体例えばプロセスガスの導入排出後にパージ用流体を流すことにより、プロセスガスのパージを簡単に行うことが可能な流体制御装置を組立て分解が容易な構造として得ることができる。この発明の流体制御装置によると、対称状に配置された同一形状の2つの開閉弁を有しており、各開閉弁の出口に、互いに平行となるように同じ長さの流体排出通路が設けられ、2つの流体排出通路の出口に、各流体排出通路に通じる同じ長さの流体通路を有しチャンバに取付け可能な接続部材が取り付けられているので、2種類の流体の制御が容易となるとともに、流体同士が滞留混合して生成物が生じることがなく、反応生成物に起因する不純物が入り込むことを防止して、所要の流体をチャンバ内に導入することができる。この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下左右は図1の上下左右をいうものとする。この発明による流体制御装置の第1実施形態は、2種類の流体を選択的にチャンバ図示略に導入排出可能とするもので、図1に示すように、上段に配置された2つの同一形状の左右の開閉弁と、下段に左右に並ぶように配置されて開閉弁を支持する6つの直方体状通路ブロックと、6つの通路ブロックの下方に配置されてチャンバに取り付けられる接続部材と、中央の2つの通路ブロックに上端が固定されて下方に延びる流体排出管とを有し、左右に隣り合う2つの開閉弁の中心線に対して、左右対称形状とされている。各開閉弁は、いずれも三方弁で、流体通路が形成された本体と、流体通路を遮断開放するアクチュエータとからなる。各本体には、プロセスガス入口通路として使用される第1流体入口通路、パージガス入口通路として使用される第2流体入口通路およびプロセスガスパージガス共通の出口通路として使用される出口通路が設けられている。各開閉弁は、上方からの六角孔付きボルトによって、対応する通路ブロックに着脱可能に取り付けられている。通路ブロックは、V字状通路を有し左右両端に配置された左右のV字状通路ブロック第2通路ブロックと、第1流体入口通路に流体を導入する導入管接続のための継手が設けられ左右のV字状通路ブロックの内側に配置された左右の継手付き通路ブロック第1通路ブロックと、I字状通路を有し左右の継手付き通路ブロックのさらに内側に配置された左右のI字状通路ブロック第3通路ブロックとからなる。継手付き通路ブロックには、図示省略するが、左右方向から見てL字状の通路が形成されている。各開閉弁の第1流体入口通路は、継手付き通路ブロックの通路に連通し、各開閉弁の第2流体入口通路は、V字状通路ブロックのV字状通路に連通し、各開閉弁の出口通路は、I字状通路ブロックのI字状通路に連通している。左のV字状通路ブロックは、右半部内寄りの半部によって左の開閉弁を支持しており、右のV字状通路ブロックは、左半部内寄りの半部によって右の開閉弁を支持している。V字状通路ブロックの外寄りの半部では、V字状通路が上方に開口しており、別の流体プロセスガスまたはパージガスをV字状通路ブロックに導入することができる。左右のI字状通路ブロックのI字状通路は、互いに平行で上下方向に延びており、各流体排出管は、I字状通路ブロックのI字状通路に連なって、互いに平行で上下方向に延びている。各I字状通路ブロックに流体排出管が結合されることで、I字状通路ブロックのI字状通路および流体排出管内通路からなる流体排出通路が形成されている。左側に配置された通路ブロックと右側に配置された通路ブロックとは、対応するもの同士同一形状とされており、また、左の流体排出管と右の流体排出管とも同一形状とされており、これにより、I字状通路および流体排出管内通路からなる流体排出通路も左右で同じ長さとなっている。なお、流体排出管は、直線状限定されるものではなく、途中で屈曲した通路であってもよい。要は、それぞれの開閉弁からの通路I字状通路および流体排出管内通路が平行になるように形成されていればよい。接続部材は、図2にも示すように、底面が正方形の直方体状とされており、各流体排出管に通じかつ上下方向に延びる同じ長さの左右の流体通路が形成されており、六角孔付きボルトによって、チャンバに取付け可能とされている。接続部材への各流体排出管の固定は、図2に示すように、各流体排出管に設けられたフランジ部が六角孔付きボルトによって接続部材に取り付けられることで行われている。なお、接続部材の底面形状は、正方形に限定されず、チャンバに各流体排出管を接続可能な形状であれば、長方形でも多角形でも、どのような形状であってもよい。上記の実施形態の流体制御装置によると、左右に隣り合う2つの開閉弁の中心線に対して、左右対称形状とされているので、開閉弁の入口から出口までの流体通路容積も流体通路長さも同じとなっており、そのため、左右の流体通路のコンダクタンスが同じとなり、2種類の流体例えば2種類のガスをチャンバに送るに際し、圧力等の条件を予め合わせておいた上で、開閉弁を同時に開とすれば、2種類のガスの導入排出のタイミングにズレが生じることはなく、2種類の流体の制御が容易となる。図4に、比較例としての流体制御装置を示している。この流体制御装置では、中央の通路ブロックとして、左右2つのI字状通路ブロックに代えて、Y字状通路を有する1つのY字状通路ブロックが使用されており、2種類の流体がY字状通路ブロックのY字状通路内で混合されるようになされている。そして、排出管として、Y字状通路内で混合された後の流体を下方に送る1本の通路を有するものが使用され、接続部材には、排出管に通じる1本の流体通路が形成されている。中央の通路ブロック、排出管および接続部材以外の構成は、図1に示す第1実施形態と同じとされており、左右対称形状とされている点でも同じとなっている。この比較例の流体制御装置においても、左右に隣り合う2つの開閉弁の中心線に対して、左右対称形状とされているので、開閉弁の入口から出口までの流体通路容積も流体通路長さも同じとなっており、そのため、左右の流体通路のコンダクタンスが同じとなり、第1実施形態のものと同様に、2種類の流体の制御が容易となるという効果を得ることができる。しかしながら、比較例の流体制御装置では、Y字状通路ブロックのY字状通路内の破線で示す部分に、流体が滞留し、2種類の流体が例えば反応性があるガス種の場合、混合されることで、生成物ができてしまうという問題がある。これに対し、第1実施形態の流体制御装置によると、2種類の流体は、それぞれ、別々の流体排出管および別々の接続部材内流体通路を通るので、流体同士が滞留混合して生成物が生じることがなく、反応生成物に起因する不純物が入り込むことを防止して、所要の流体をチャンバ内に導入することができる。図1に示す流体制御装置は、この発明の要部を示すもので、好ましい実施形態としては、図3に示すように、2つのプロセスガス用開閉弁を挟むように、各プロセスガス用開閉弁にパージ用流体を選択的に導入排出可能とする左右のパージ用開閉弁が設けられているものとされる。なお、以下の説明においては、第1実施形態と同じ構成には同じ符号を付し、その説明を省略する。パージ用開閉弁は、流体通路が形成された本体と、流体通路を遮断開放するアクチュエータとからなる。パージ用開閉弁の本体の内寄りの半部は、プロセスガス用開閉弁を支持しているV字状通路ブロックの外寄りの半部に支持されており、これにより、パージ用開閉弁の出口通路がV字状通路ブロックのV字状通路に連通している。パージ用開閉弁の本体の外寄りの半部は、継手が設けられた左右の継手付き通路ブロックに支持されている。継手付き通路ブロックには、図示省略するが、左右方向から見てL字状の通路が形成されており、この通路がパージ用開閉弁の入口通路に連通している。パージ用開閉弁は、上方からの六角孔付きボルトによって、着脱可能に対応する通路ブロックに取り付けられている。この第2実施形態の流体制御装置によると、2種類の流体例えばプロセスガスの導入排出後に、パージ用流体を流すことにより、プロセスガスのパージを簡単に行うことができる。また、第1および第2実施形態の流体制御装置によると、各開閉弁が上方からの六角孔付きボルトによって、着脱可能に対応する通路ブロックに取り付けられているので、組立て分解が容易であり、また、各開閉弁ごとの取外しが容易なので、メンテナンス性にも優れたものとなる。