細いパイプ電極の先端から加工液を噴射させながら電極先端を被加工物に近づけ、先端と被加工物間に火花放電を発生させて細穴加工する細穴放電加工装置において、加工穴から流出する加工屑を含む加工液を吸引するための吸引ノズルを、そのノズル口を加工穴開口に近づけた状態で取り付けたことを特徴とする細穴放電加工装置。請求項1に記載の細穴放電加工装置において、前記吸引ノズルは先端部を中空円環状に形成し、円環中心に向かう円環側壁に前記加工屑を含む加工液を吸引するためのノズル口が複数形成してあることを特徴とする細穴放電加工装置。請求項1に記載の細穴放電加工装置において、該装置には前記電極先端を被加工物の加工穴に導くための上下方向中心孔を有する下方に凸状の電極ガイドがその下端面を被加工物表面に接近した状態で取り付けてあり、該電極ガイドの下端部には前記加工屑を含む加工液を前記上下方向中心孔周りに設けた1乃至複数のノズル口から吸引し、電極ガイド内のノズル孔を通して電極ガイド側面に取り付けた吸引パイプに導く吸引ノズルが形成してあることを特徴とする細穴放電加工装置。細いパイプ電極の先端から加工液を噴射させながら電極先端を被加工物に近づけ、先端と被加工物間に火花放電を発生させて細穴加工する細穴放電加工法において、加工前に前記被加工物の表面に絶縁性塗料による薄膜を形成しておき、放電加工時には加工穴開口近傍にノズル口を配した吸引ノズルにて加工穴から流出する加工屑を含む加工液を連続吸引することを特徴とする細穴放電加工法。本発明は、従来技術のこうした問題点を解決するためになされたもので、その課題は、細穴放電加工により精密細穴を形成する際に細穴開口付近にて生ずる二次放電により傷が発生したり、開口エッジが丸みを帯びたりするのを防止する細穴放電加工装置、及びその装置を使用した細穴放電加工方法を提供することにある。前記課題を解決するための請求項1に記載の発明は、細いパイプ電極の先端から加工液を噴射させながら電極先端を被加工物に近づけ、先端と被加工物間に火花放電を発生させて細穴加工する細穴放電加工装置において、加工穴から流出する加工屑を含む加工液を吸引するための吸引ノズルを、そのノズル口を加工穴開口に近づけた状態で取り付けたことを特徴とする細穴放電加工装置である。被加工物が比重の大きい超硬材のような場合には、加工穴開口に運ばれた加工屑が細穴開口近傍に滞留堆積してパイプ電極と被加工物表面部との間に二次放電が発生しやすい。二次放電が発生すると被加工物表面に傷が生じたり細穴開口のエッジが丸みを帯びたりする不具合が生ずる。本構成の細穴放電加工装置では細穴開口近傍に取り付けた吸引ノズルが滞留堆積しようとする加工屑を加工液と一緒に吸引して除去するため、二次放電の発生が抑制されて不具合が防止される効果を奏する。また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の細穴放電加工装置において、吸引ノズルは先端部を中空円環状に形成し、円環中心に向かう円環側壁に加工屑を含む加工液を吸引するためのノズル口が複数形成してあることを特徴とする細穴放電加工装置である。このように吸引ノズル先端部を中空円環状に形成して内側壁面にノズル口を設けた構成とすれば、加工屑を含む加工液を効率的に吸引することができる。また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の細穴放電加工装置において、該装置には電極先端を被加工物の加工穴に導くための上下方向中心孔を有する下方に凸状の電極ガイドがその下端面を被加工物表面に接近した状態で取り付けてあり、該電極ガイドの下端部には加工屑を含む加工液を上下方向中心孔周りに設けた1乃至複数のノズル口から吸引し、電極ガイド内のノズル孔を通して電極ガイド側面に取り付けた吸引パイプに導く吸引ノズルが形成してあることを特徴とする細穴放電加工装置である。このように吸引ノズルを電極ガイドの下端部に埋め込む形で形成すればノズル口を細穴開口部に一層接近させることができるため、加工屑を含む加工液を一層効率的に吸引することができる。また、請求項4に記載の発明は、細いパイプ電極の先端から加工液を噴射させながら電極先端を被加工物に近づけ、先端と被加工物間に火花放電を発生させて細穴加工する細穴放電加工法において、加工前に被加工物の表面に絶縁性塗料による薄膜を形成しておき、放電加工時には加工穴開口近傍にノズル口を配した吸引ノズルにて加工穴から流出する加工屑を含む加工液を連続吸引することを特徴とする細穴放電加工法である。このように被加工物の表面に絶縁性塗料による薄膜を形成しておき、更に吸引ノズルにて加工穴から流出する加工屑を含む加工液を連続吸引すれば細穴開口部での二次放電を効果的に防止できる。以下、本発明に係る細穴放電加工装置、及び細穴放電加工法の実施形態を図面を参照して説明する。図1は、本発明に係る細穴放電加工装置1の全体構成を示したものである。被加工物2はXY位置決めテーブル3上に固定された固定治具4に取り付けられる。XY位置決めテーブル3は図示しないX軸サーボモータ、Y軸サーボモータにより基台5上をX軸、Y軸方向に駆動され、被加工物2の細穴加工位置を放電用パイプ電極7の先端真下に位置決めする。基台5の片側にはコラム8が立設してある。その上部にはXY位置決めテーブル3側に向けて上部アーム9が水平取り付けしてある。上部アーム9の先端には、放電用パイプ電極7を駆動する電極駆動部を支えるコ字状支持フレーム10が上下方向に固定されている。コ字状支持フレーム10の上側フランジ10aと下側フランジ10bの間にはボールネジ12が回転自在に取り付けてあり、上側フランジ10aの上面側にはそのボールネジ12を回転駆動するサーボモータ13が取り付けてある。ボールネジ12にはナット14が螺合させてあり、そのナット14には電極回転駆動機構15が取り付けてある。サーボモータ13がボールネジ12を回転駆動するとナット14が移動して電極回転駆動機構15が上下移動する。電極回転駆動機構15には、放電用パイプ電極7の端部を着脱自在に保持するチャック17が回転自在に取付けてある。チャック17はモータ18により回転駆動される。前記コ字状支持フレーム10の下側フランジ10bには、チャック17に保持されたパイプ電極7の下端側をガイドするガイド孔を備えた電極ガイド19が取り付けてある。パイプ電極7は、中心孔を有する外径数10μm~数mmの銅、タングステン、超硬金属等で形成された細いパイプ状電極である。その下端側は前記電極ガイド19のガイド孔に挿通し、上端側は前記チャック17に保持させて取り付ける。モータ18がチャック17を回転駆動することによりパイプ電極7も回転する。電極回転駆動機構15には図示しないスリップリングが取り付けてあり、そのスリップリングを介して放電のための電圧がパイプ電極7に供給される。また、パイプ電極7の中心孔には、図示しない加工液供給装置から加圧された加工液が供給されるようになっている。加工液はパイプ電極7の中心孔を通って先端から噴出する。加工液は絶縁性の液体であり、例えば灯油が使用される。また、純水が使用される場合もある。本発明の細穴放電加工装置1の特徴として、前記コ字状支持フレーム10の下端部には吸引ノズル20が取り付けてある。吸引ノズル20は、そのノズル口21が細穴加工時に加工穴開口に近づいた状態となるように取り付けてある。吸引ノズル20は図示しない吸引ポンプにホースで繋がれており、加工穴から噴出する加工液や加工穴開口付近に滞留する加工屑を吸引して除去する。次に、細穴放電加工装置1を用いた細穴加工法について説明する。被加工物2をXY位置決めテーブル3上に固定した固定治具4に取り付け、XY位置決めテーブル3をX軸サーボモータ、Y軸サーボモータにより移動させて被加工物2の細穴加工位置を放電用パイプ電極7の先端真下に位置決めする。次に、吸引ポンプを稼働させ、吸引ノズル20がノズル口21から加工屑を含む加工液を吸引できる状態にする。スリップリングを介してパイプ電極7と被加工物2との間に放電電圧を印加し、パイプ電極7の中心孔に加工液供給装置から加圧した加工液を供給して先端から噴出させる。そしてモータ18を駆動してパイプ電極7を回転させる。この状態でサーボモータ13を駆動し、電極回転駆動機構15を低速で下降させる。パイプ電極7の先端が被加工物2の表面に接近すると、パイプ電極7先端と被加工物2との間に火花放電が発生する。火花放電により被加工物2の表面は削られ、被加工物2に穴が開き始める。この状態を図2に示す。火花放電が発生した部分の被加工物2は溶解し、加工液により急冷されて加工屑となって激しく飛散する。残った部分には月のクレーターのような窪みができる。放電電流をパルス状に流して火花放電を連続発生させ、それに合わせてパイプ電極7を低速下降させることで窪みが深まり穴が形成される。火花放電により飛散した加工屑は加工液と混ざってスラッジとなりパイプ電極7外面と細穴内面との隙間を通って加工穴開口に運ばれる。細穴開口近傍には吸引ノズル20がノズル口21を細穴開口に接近させた状態で取り付けてある。細穴開口に到達した加工屑は加工液と一緒に吸引ノズル20に吸い込まれて除去される。このような動作の繰り返しにより細く、深い穴が形成される。被加工物2が比重の大きい超硬材のような場合、加工液により加工穴開口に運ばれた加工屑は細穴開口近傍に滞留堆積し易い。加工屑は金属であるため滞留堆積すると加工屑を介してパイプ電極7と被加工物2表面部との間に二次放電が発生する。この二次放電は被加工物2表面に傷を発生させたり、細穴開口のエッジに丸みを帯びさせたりする不具合を引き起こす。本発明の細穴放電加工装置1では、細穴開口近傍に取り付けた吸引ノズル20が滞留堆積しようとする加工屑を加工液と一緒に吸引して除去するため二次放電の発生が抑制されて不具合の発生が防止される。変形実施形態以上説明した細穴放電加工装置、及び細穴放電加工法は次のように変形して実施してもよい。その1細穴放電加工法として、被加工物2の表面には図3に示すように加工前に絶縁性塗料による薄膜22を形成しておくとよい。このようにすることで細穴開口部での二次放電を更に効果的に防止できる。薄膜22は、例えば金属研磨表面のケガキに使用される青ニスをスプレイで吹きつけて形成する。薄膜22は厚すぎると穴加工の放電開始に悪影響を与えるため50μm程度の厚みとする。その2前記実施形態では図2、図3に示したように、吸引ノズル20のノズル口21は細穴開口の片側に配置されてパイプ電極7の片側から加工屑と加工液を吸引するようにされていた。これに代えて、吸引ノズル20の先端部を図4に示すような中空円環状に形成し、円環中心に向かう円環側壁に加工屑を含む加工液を吸引するノズル口21aを複数形成するとよい。この吸引ノズル20aの中心をパイプ電極7が通るようにして細穴開口に接近して取り付ければ加工屑を含む加工液を一層効率的に吸引することができる。その3吸引ノズルは図5に示すように電極ガイド19の下端部に埋め込む形で形成してもよい。ノズル口21bはパイプ電極7を通す中心孔周りに下向きに複数個形成する。ノズル口21bから吸引した加工屑を含む加工液は、電極ガイド19内に形成したノズル孔を通って電極ガイド19側面に取り付けた吸引パイプ24に導く。このような構成とすれば、ノズル口21bを細穴開口部に一層接近させることができるため加工屑を含む加工液を一層効率的に吸引することができる。