"ベースとペイロードの間に設けられた第1のバネと、前記第1のバネと併設して前記ベースとペイロードの間で直列接続された第2のバネとダンパ、および前記第2のバネとダンパとの間を接続する中間質量を構成する接続部とからなる振動吸収部と、前記ベースとペイロードの間に設けられベースに対してペイロードの振動を抑制するアクチュエータと、前記ペイロードに搭載された第1の運動センサと、前記振動吸収部の接続部に搭載された第2の運動センサと、前記第1および第2の運動センサからのフィードバック信号に従って前記ペイロードの振動を抑制するよう前記アクチュエータを制御する制御部を含むアクチュエータ制御系と、を備えたことを特徴とする振動絶縁装置。前記アクチュエータ制御系が、アクチュエータ駆動制御のための電流制御系を含むことを特徴とする請求項1に記載の振動絶縁装置。前記運動センサが加速度センサからなることを特徴とする請求項1または2に記載の振動絶縁装置。前記アクチュエータが非接触アクチュエータからなることを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の振動絶縁装置。前記ダンパが流体ダンパからなり、前記アクチュエータ制御系における制御において前記中間質量が前記ダンパの流体質量も含むことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の振動絶縁装置。前記運動センサが相対変位センサからなることを特徴とする請求項1,2,4,5のいずれか1項に記載の振動絶縁装置。前記ダンパが電気的な電磁ダンパまたは粘弾性体を用いた粘弾性ダンパからなることを特徴とする請求項1から4および6のいずれか1項に記載の振動絶縁装置。前記アクチュエータ制御系において、加速度制御でPI制御またはP制御を行うことを特徴とする請求項3に記載の振動絶縁装置。前記アクチュエータ制御系において、加速度センサからなる前記第1および第2の運動センサのうち、前記ペイロードに搭載された第1の運動センサからの加速度から、前記振動吸収部の接続部の加速度を推定する加速度推定器を設け、第2の運動センサを不要とたことを特徴とする請求項3に記載の振動絶縁装置。前記アクチュエータがボイスコイルからなり、前記アクチュエータ制御系が、前記第1および第2の運動センサのフィードバック信号に基づいて得られる前記ペイロードと前記振動吸収部の接続部の加速度をそれぞれ0にする値を加速度制御器でPI制御またはP制御を行って前記アクチュエータへの力指令値を求める加速度制御手段と、前記力指令値を電流指令値に変換した後、前記ボイスコイルの特性に従って電流制御器で前記ボイスコイルへの印加電圧を生成する電流制御手段と、を含むことを特徴とする請求項1から9までのいずれか1項に記載の振動絶縁装置。前記電流制御手段を不要とし、前記加速度制御手段の力指令値に従って前記ボイスコイルへの印加電圧を生成することを特徴とする請求項10に記載の振動絶縁装置。このように振動絶縁装置において、振動絶縁する方式として、受動方式のみで実現する場合と、能動方式のみで実現する場合、受動方式と能動方式を組み合わせたハイブリッド方式の3つの方法がある。上述のように、受動方式の場合、減衰性能を高くする方法として、機械的に、粘性減衰ダンパと前記ダンパに直列配置される第2のバネと前記ダンパと第2のバネに平行に配置する第1のバネで構成される3パラメータが知られており、この場合、減衰特性として、-40dB/decの特性を持つことが知られている図8の減衰特性403参照。さらに、この特性を向上する方法として、3パラメータの振動絶縁ストラットで構成するオイルダンパ内部の流体質量と結合部材の質量で構成される中間質量を考慮することで、-60dB/decで減衰特性を実現することができる図8の減衰特性404参照。しかし、この特性を実現する場合、前記中間質量を精度良く調整する必要があり、適切に調整しなければ、その特性を得られないという問題点があった。また、必ず共振点を持つため、共振周波数以上の高周波数で伝達関数が0dBを下回る領域でしか、減衰効果を得られないという問題点もあった。2つの目の方式である能動方式の場合には、能動アクチュエータが故障すると、振動絶縁効果が全く得られなくなり、例えば、宇宙機に搭載する場合、衛星本体からの振動による観測精度の悪化等のリスクを増大させるという問題点があった。さらに、これらの問題を解決する3つ目の方式として、受動方式と能動方式を組み合わせたハイブリッド方式が開発されている。このハイブリッド方式の受動方式部分は、前記3パラメータ方式のものを使用し、能動方式部は、ボイスコイル、圧電素子等のアクチュエータと加速度センサ等の慣性センサを使用して、低周波数帯域の振動絶縁効果を確保し、能動アクチュエータで制御できない帯域については、3パラメータダンパの受動方式を使用し振動絶縁できる図8の減衰特性402参照。しかし、この方式の場合、前記受動方式のパッシブ振動絶縁ストラットを用いるため、高周波数において-40dB/decでの減衰特性しか確保できないという問題点があった。また、高周波でより効果の振動絶縁効果をあげるために、4パラメータ方式のパッシブ振動ストラットを実現しようとした場合、流体質量を微調整することでしか実現することができないという問題点もあった。この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、低周波数からの微小振動でも安定した振動絶縁能力を持ち、従来のハイブリッド方式の振動絶縁装置と比較し、さらに高周波数帯域において効果的な減衰特性を持つ振動絶縁装置を提供することを目的とする図8の減衰特性401参照。この発明は、ベースとペイロードの間に設けられた第1のバネと、前記第1のバネと併設して前記ベースとペイロードの間で直列接続された第2のバネとダンパ、および前記第2のバネとダンパとの間を接続する中間質量を構成する接続部とからなる振動吸収部と、前記ベースとペイロードの間に設けられベースに対してペイロードの振動を抑制するアクチュエータと、前記ペイロードに搭載された第1の運動センサと、前記振動吸収部の接続部に搭載された第2の運動センサと、前記第1および第2の運動センサからのフィードバック信号に従って前記ペイロードの振動を抑制するよう前記アクチュエータを制御する制御部を含むアクチュエータ制御系と、を備えたことを特徴とする振動絶縁装置にある。この発明では、低周波数からの微小振動でも安定した振動絶縁能力を持ち、従来のハイブリッド方式の振動絶縁装置と比較し、さらに高周波数帯域において効果的な減衰特性を持つ振動絶縁装置を提供できる。以下、この発明による振動絶縁装置を各実施の形態に従って図面を用いて説明する。なお、各実施の形態において、同一もしくは相当部分は同一符号で示し、重複する説明は省略する。実施の形態1.図1は、この発明の実施の形態1によるハイブリッド方式の振動絶縁装置の基本構成を示す。ベース面109とペイロード搭載面108との間に、第2のバネ103とダンパ106が直列に配設され、第2のバネ103とダンパ106の間にこれらを接続する接続部の質量に相当する中間質量104を配設し、第2のバネ103、ダンパ106および中間質量104に対して、並列に第1のバネ102が配設された4パラメータ振動絶縁ストラット部111に、並列に能動アクチュエータ101を配設する。中間質量104には運動センサである例えば加速度センサ105を配設し、同様にペイロード搭載面108には加速度センサ107を配設する。以上の部分が振動絶縁ストラット1を構成する。コンピュータ等により構成される制御部120は各加速度センサ105、107等からの信号に従って能動アクチュエータ101の制御を行う。また、図2は、振動絶縁ストラット1の具体的構成の一例を断面図で示したものである。振動絶縁ストラット1は中心軸200を有するシャフト軸201を含む。シャフト軸201は、第1の端部202をベース部材204に、第2の端部203を端部材205に接続する。ベース部材204には第1のベローズ206、端部材205には第2のベローズ207が接続する。フランジ208はシャフト軸201と同軸配置される。フランジ208はシャフト軸201より径が大きく、シャフト軸201の外周に沿って延び、第1及び第2のベローズ206、207より径が小さい穴を有し、フランジ208とシャフト軸201の間で環状流路209を形成する。流体は、第1のベローズ206と第1の端部202とで形成される容積室A210と、第2のベローズ207と第2の端部203とで形成される容積室B211と、これらの容積室を接続する環状流路209に充填され、振動に伴い、環状流路209を行き来するこことで、ダンパとしての制動力を生じさせる。フランジ208の外側は、例えば円筒形状の剛性部材A216の軸方向の一端の内側に固定されており、剛性部材A216の他端には第1の板バネA214の外端を挟み込む形で例えば円筒形状の剛性部材B217の軸方向の一端が接続される。剛性部材B217の他端には、第2の板バネB215の外端が固定される。第1の板バネA214の内端が、剛性部材B217の内側で同軸方向に延びる例えば円筒形状の剛性部材C218の軸方向の一端に接続され、第2の板バネB215の内端が、剛性部材C218他端と例えば円筒形状の剛性部材D219の軸方向の一端に挟み込まれる形で固定されている。これにより、第1の板バネA214および第2の板バネB215は、剛性部材A216および剛性部材B217と、剛性部材C218および剛性部材D219との間でバネ性を確保する。一方、第3の板バネC212は、カバーA222と例えば円筒形状の剛性部材E220の軸方向の一端との間に外端を挟み込む形で固定されている。第3の板バネC212の内端は、例えば円筒形状の剛性部材F221の軸方向の一端に接続される。また、同様に第4の板バネD213は、例えば円筒形状の剛性部材E220の他端に外端が固定され、内端が剛性部材F221とカバーB223の間に挟み込まれる形で固定されている。これにより、第3の板バネC212と第4の板バネD213は、カバーA222および剛性部材E220と、剛性部材F221およびカバーB223との間でバネ性を確保する。カバーA222に対してピボットA224を接続してストラット端A226を構成し、同様に、カバーB223には2軸ピボットB225を接続してストラット端B227を構成する。また、図1に示した中間質量104に搭載の加速度センサ105が剛性部材A216内、ペイロード搭載面108に搭載の加速度センサ107はカバーA222内に配設されている。なお、センサ感度軸は、図2に示す中心軸200に平行な方向となっている。さらに、能動アクチュエータ101は、図2に示す剛性部材E220に配設された磁石231、剛性部材F221に配設されたコイル232とで構成されたる非接触アクチュエータであるボイスコイルからなる。中間質量104は、フランジ208、剛性部材A216から構成される質量を意味している。図2のストラット端B227が図1のベース面109接続される。また、ストラット端A226がペイロード搭載面108に接続される。また、第3の板バネC212と第4の板バネD213が第1のバネ102を構成し、第3の板バネC212と第4の板バネD213が第2のバネ103を構成する。また、シャフト軸201、端部材205、第1および第2のベローズ206,207、および第1および第2のベローズ206,207内に充填された流体がダンパ106を構成する。また、フランジ208、剛性部材A216、が中間質量104を構成する。そして、磁石231、コイル232が能動アクチュエータ101を構成する。また、図1の直列接続された第2のバネ103とダンパ106、およびこれらの間を接続する接続部である中間質量104が振動吸収部を構成する。図3は、図1の振動絶縁ストラット1の制御部120による制御のアクチュエータ制御系の基本構成を示すブロック図である。この制御系は、電流制御系と加速度制御系をカスケード接続したものである。図3において、アクチュエータ制御系は、所定の演算を行ったり所定の出力を発生する演算部10,14,19、加算部13、減算部11,15,20、加速度制御器12,21、電流制御器16、加速度センサ107,105で構成される。そして4パラメータ振動絶縁ストラット部111に相当する振動アイソレータ18からの抑制できない振動に従ってボイスコイル101に電圧を与える制御を行う。演算部10,減算部11,加速度制御器12,加算部13,演算部19,減算部20,加速度制御器21で構成される加速度制御手段は、運動センサのフィードバック信号に基づいて得られるペイロード搭載面108と中間質量104の加速度をそれぞれ0にする値を加速度制御器でPI制御またはP制御を行ってボイスコイル101への力指令値を求める。また、演算部14,減算部15,電流制御器16、で構成される電流制御手段は、力指令値を電流指令値に変換した後、ボイスコイルの特性に従って電流制御器でボイスコイルへの印加電圧を生成する。電流制御系は、電流フィードバック33となっており、一方、加速度制御系については、ペイロード搭載面108の加速度フィードバック32と中間質量104の加速度フィードバック31の構成となっている。なお、加速度制御器12,21はともにPI制御系またはP制御系を構成している。また、加速度制御器12,21からの出力は、ボイスコイル101への力指令値Fとなる。この制御系は、振動絶縁ストラット1内のペイロード搭載面108に搭載された加速度センサ107の出力Xpと中間質量104に搭載された加速度センサ105の出力XFを計測し、これらの加速度センサ107,105の出力を0とするように、振動絶縁ストラット1内の能動アクチュエータであるボイスコイル101のコイル232に電圧を印加して制御を行う。図1に示す振動絶縁ストラット1の構成の運動方程式は、次のように記述できる。ここでmp:ペイロード搭載面108を含む支持する質量mF:中間質量104の質量k1:第1のバネ102の剛性k2:第2のバネ103の剛性c:ダンパ106の減衰係数Xp:ペイロード質量mpの位置変位XF:中間質量mFの位置変位XB:ベース面109の位置変位Xp:ペイロード質量mpの速度XF:中間質量mFの速度F:ボイスコイル101の発生する力である。制御系の構成については、加速度制御系として、中間質量104に配設した加速度センサ105、ペイロード搭載面108に配設した加速度センサ107の加速度信号Xp、XFを、ともに0となるようにボイスコイル101を制御する必要がある。このボイスコイル101への力指令Fは、ペイロード搭載面108の加速度センサ107、中間質量104に配設した加速度センサ105をともにPI制御を組む場合、加速度制御器12のPI制御の比例ゲインα、積分ゲインβとし、加速度制御器21のPI制御で比例ゲインγ、積分ゲインμとすると、次式のように記述できる。これをラプラス演算子sとして、ラプラス変換すると、と変形できる。一方、実際に制御系を設計する際には、ボイスコイル101の特性を考慮する必要がある。ボイスコイルの特性方程式は、で示される。ここで、I:ボイスコイル101の励磁電流KT:ボイスコイル101の推力定数L:ボイスコイル101のインダクタンスR:ボイスコイル101の巻線抵抗KE:ボイスコイル101の誘導起電圧定数Vin:ボイスコイル101への印加電圧XP:ペイロード面の速度XB:ベース面の速度である。また、電流制御系として、PI制御系を使用し、比例ゲインKpと積分ゲインKIを定義し、Kp=KPeKI=KPeとすると、電流制御系の開ループ伝達関数Gは、G=KPe/となり、電流制御系のゲイン交差角周波数ωeは、ωe=KPe/Lとなる。一方、電流制御系の閉ループ伝達関数がG=ωe/とあらわされるので、電流制御の閉ループ伝達特性を考慮したボイスコイルの発生力Fは、となる。図3に示すIは、加速度制御器12,25から出力されるボイスコイルの力指令値Fを電流指令値に変換したものである。中間質量104の加速度XFのフィードバック制御を含む系のベース面109の変位XBに対するペイロード搭載面108の変位XPの伝達関数は、式~を連立してとくと次のように記述できる。なお、上記のように、電流制御系の閉ループ伝達特性に起因した1次遅れが含まれており、分子は次数2次の特性に対して、分母は次数5次の伝達関数となる。このとき、中間質量104の加速度制御器25の比例ゲインγ、積分ゲインμをそれぞれ、と設定することにより、前記ベース変位XBに対するペイロード変位XPの伝達関数Gの分子をとなり、では、分子次数0次、分母次数4次となり高周波数において、-80dB/decの減衰特性を実現することが可能となる。この構成によれば、ハイブリッド方式の振動絶縁ストラット1のの条件を満たす周波数の減衰特性については、その特性を受け持つ受動方式の振動絶縁性能の-40dB/decに対して、-80dB/decの減衰特性を実現することが可能となり、中間質量104と2次のバネである第1のバネ102により生じる共振も抑制することが可能となる。実施の形態2.この発明の実施の形態2による振動絶縁装置の基本構成、および振動絶縁ストラットの制御部による制御におけるアクチュエータ制御系の基本構成はそれぞれ図1、図3と同様である。実施の形態1においては、中間質量104は、第2のバネ103とダンパ106の接続部材としているが、中間質量104には、ダンパ106すなわち図3のベローズ206,207に充填される流体の流体質量を含む構成にすることもできる。中間質量104に流体質量も考慮することにより、精度のよい中間質量制御が可能となり、振動絶縁性能を改善することが可能となる。実施の形態3.この発明の実施の形態3による振動絶縁装置の基本構成はそれぞれ図1とほぼ同様であるが、振動絶縁ストラットの制御部による制御におけるアクチュエータ制御系の基本構成を図4に示す。上記実施の形態では、加速度制御系へ加速度フィードバック31,32のために中間質量104の運動とペイロード搭載面108の運動をモニターするセンサとして、加速度センサ105,107を搭載する構成としたが、加速度センサ105の代わりに、ストラットの内部に、ペイロード搭載面108と中間質量104の相対変位を計測可能な例えば渦電流変位センサからなる相対変位センサ105aを搭載してもよい。この相対変位センサは、例えば図2の剛性部材A216と端部材205の間のいずれか一方に配置すればよい。その場合のアクチュエータ制御系の基本構成については、図4に示すように、相対変位センサ105aの出力34であるXF-XPを微分器26にとりこみ、相対加速度を求める。そして加算器25で該相対加速度にペイロード搭載面108の加速度センサ107のからの加速度XPを足しこみ絶対加速度XFを求める。この構成によれば、非常にコンパクトな受動方式の振動絶縁ストラット部111であるような場合、中間質量104を形成する部品に加速度センサが搭載不可能となるが、渦電流変位センサを配設することで、変位をモニターすることが可能となり、また、コンパクトなハイブリッド方式の振動絶縁ストラット1を構成することが可能となる。実施の形態4.この発明の実施の形態4による振動絶縁装置の基本構成、および振動絶縁ストラットの制御部による制御におけるアクチュエータ制御系の基本構成はそれぞれ上記実施の形態のものと同様である。上記実施の形態においては、ダンパ106として、流体ダンパを用いる構成としたが、ダンパの効果を有するものであれば、電気的な磁気ダンパ、粘弾性体を用いた粘弾性ダンパ等で構成してもよい。この構成であれば、流体ダンパを用いる場合と同様の特性を確保することができる。なお、流体ダンパの場合、温度依存性が高く、温度により粘性が変化する。そのため、温度範囲によっては、設計値と大きく異なってしまい、所望の減衰特性を実現できないという可能性がある。特に、磁気ダンパを使用する場合、流体ダンパと同様に、機械的な接触を持たないため不要な摩擦が生じない、また、流体ダンパのような温度による減衰係数の変化が生じないため、温度に対する減衰特性に耐性を持たせることが可能となる。実施の形態5.この発明の実施の形態5による振動絶縁装置の基本構成、および振動絶縁ストラットの制御部による制御におけるアクチュエータ制御系の基本構成はそれぞれ上記実施の形態のものと同様である。上記実施の形態では例えば図3において、ペイロード搭載面108の加速度センサ107の出力を用いる加速度制御器12は、PI制御を用いる構成としたが、この加速度制御器12をP制御を用いる構成としてもよい。また、同様に、中間質量104に搭載の加速度センサ105の加速度センサ出力を用いる加速度制御器21はPI制御を用いているが、この加速度制御器21についてもP制御を用いる構成としてもよい。この構成によれば、加速度制御器12,21の電気回路をPI制御器に比べて、単純化することが可能となる。実施の形態6.図5は、この発明の実施の形態6によるハイブリッド方式の振動絶縁装置の基本構成を示す。中間質量104の加速度センサ105の代わりにベース面109に加速度センサ110が搭載されている。図6は、図5の振動絶縁ストラット1の制御部120による制御のアクチュエータ制御系の基本構成を示すブロック図である。上記実施の形態では、例えば図1に示すように中間質量104の加速度をモニターするため加速度センサ105を配置し、図3のアクチュエータ制御系においては、この加速度センサ105の出力を用いた構成としたが、図6に示すように、ペイロード搭載面108の加速度センサ107の出力XPと図5に示すベース面109に搭載の加速度センサ110の出力XBをもちいて、中間質量104の加速度XFを推定する中間質量加速度推定器27を配設する構成としてもよい。この構成であれば、中間質量104の加速度をモニターするための加速度センサ105の搭載する必要がなく、振動絶縁ストラット1の全体質量を抑えることが可能となる。また、受動方式の振動絶縁ストラット部111が非常に小さくコンパクトで加速度センサが搭載できない場合にも、所望の振動絶縁特性を実現することが可能となる。実施の形態7.この発明の実施の形態7による振動絶縁装置の基本構成は上記実施の形態と同様であるが、振動絶縁ストラットの制御部による制御におけるアクチュエータ制御系の基本構成を図7に示す。実施の形態1では、アクチュエータ制御系すなわち制御部120に、図3に示すように電流制御器16を搭載する構成としたが、図7に示すように電流制御器16を含まない構成としてもよい。アクチュエータ制御系の基本的な動作は、例えば図3に示す実施の形態1では、加速度制御系により算出されるボイスコイル101の指令値Fに、電流制御器16による位相遅れを考慮することで、制御性能を向上させている。しかし、実際の構成上、ボイスコイル101での発生力の遅れが無視できる、あるいは、必要な振動絶縁特性を実現できる範囲内であれば、図7に示すように、電流制御ループを排除し、指令値Fにより直接アクチュエータすなわちボイスコイル101を駆動させることが可能となり、制御演算負荷を低減することが可能となる。そして、電流制御器16と演算器14と減算器15を含む電流制御全体を省略することが可能となり、アクチュエータ制御系の回路全体を簡略化することが可能となる。以上、この発明では、中間質量に加速度センサを取り付けたことにより、中間質量の加速度をモニターすることが可能となり、従来の受動方式の4パラメータ振動絶縁ストラットにおいて、中間合成質量の微調整によってのみの実現可能であった高周波数帯域における-60dB/decの減衰特性を、質量の微調整によらず容易に実現可能とすることができ、さらに、制御系との組み合わせにより、更なる帯域および振動絶縁効果の改善を図ることが可能となる。なお、この発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、各実施の形態の特徴の可能な組み合わせを全て含むことは云うまでもない。"