軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、並びに、前記取付フランジに固定されるハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記回転フランジ、および、前記ハウジング部材によってハウジングしたことを特徴とする中空型回転導入機。軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、並びに、前記回転フランジに固定されるハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記取付フランジ、および、前記ハウジング部材によってハウジングしたことを特徴とする中空型回転導入機。軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、前記回転フランジに固定される第1のハウジング部材、並びに前記取付フランジに固定される第2のハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記第1のハウジング部材、および、前記第2のハウジング部材によってハウジングしたことを特徴とする中空型回転導入機。前記軸受は、複数の組合せ軸受であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の中空型回転導入機。取付用穴加工が施された軸受、中空の回転フランジ、および真空シール材が組み込まれた取付フランジを備えた中空型回転導入機であって、前記取付け用穴加工が施された軸受を、前記回転フランジおよび前記取付フランジに直接取付けたことを特徴とする中空型回転導入機。前記取付け用穴加工が施された軸受の軌道輪の、回転軸方向で前記取付フランジもしくは前記回転フランジに対向する面に、はめあい加工が施されたことを特徴とする請求項5に記載の中空型回転導入機。前記中空型回転導入機の回転部に角度位置決め用エンコーダーリングを組み込み、前記取付フランジに角度読取装置を取り付けたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の中空型回転導入機。前記真空シール材が、耐摩耗性、低摩擦性および非粘着性を有するフッ素ゴムOリングであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の中空型回転導入機。しかしながら、上述したような中空型回転導入機は、図1に示すように取付フランジ1および回転フランジ2に真空シール機能と軸受用ハウジング機能を兼ね備えた一体構造となっているため、軸受3の堅牢な固定および調整が困難になっている。このような構造では、軸受3の固定の強度不足および調整不足による強度不均一が生じ、回転時に駆動部8に発生するモーメント負荷を軸受3が十分に受けることができない。したがって、駆動部8に発生するモーメント負荷の変動により、回転フランジ2の回転軸方向の面振れ、および動径方向の偏芯を引き起こしてしまい、軸受部の性能を著しく低下させる要因となっている。加えて、中空型回転導入機に取り付けられたプローブへの外因的な軽微な負荷もまた、面振れおよび偏芯を引き起こす原因となっている。図2に、現在市販されている主要メーカー3社の真空対応中空型回転導入機の偏芯量と面振量を示す。図2aおよびbは、A社の真空対応中空型回転導入機の偏芯量および面振量を示す。図2cおよびdは、B社の真空対応中空型回転導入機の偏芯量および面振量を示す。図2eおよびfは、C社の真空対応中空型回転導入機の偏芯量および面振量を示す。偏芯量は、回転中心から75mmの位置での動径方向の変位量であり、面振量は、回転中心から75mmの位置での回転軸方向の変位量である。上記の従来技術による中空型回転導入機の面振れによる回転軸振れは、角度に換算すると±0.025°程度となる。中空型回転導入機に、長さ1000mmのプローブを取り付けた場合、この軸振れによりプローブの先端位置は±0.4mm程度揺らぐ。このように、従来技術による中空型回転導入機の面振れは、プローブの精密な位置制御を妨げる要素となっている。加えて、従来技術による中空型回転導入機では、駆動部の機械的なバックラッシュの問題により、高精度での絶対角度の回転制御が不可能である。なぜなら、高精度な回転制御を行うためには、高精度な角度位置決め用エンコーダーを中空型回転導入機に組み込む必要があるからである。しかしながら、図2で示した従来技術による中空型回転導入機に生じる回転部の偏芯量は、そのような高精度な角度位置決め用エンコーダーの取付許容誤差を超えているために、高精度な角度位置決め用エンコーダーを中空型回転導入機に組込むことができない。このように、従来技術による中空型回転導入機の偏芯は、プローブの高精度な回転制御を妨げる要素となっている。また、中空型回転導入機を超高真空雰囲気で利用する場合、使用温度の制限、使用環境の制約、および超高真空雰囲気の汚染の問題により、真空シール材として特許文献3で示されている磁性流体を用いることができない。よって、超高真空雰囲気で利用可能な中空型回転導入機の真空シール方法としては、特許文献3で示されているゴムパッキング方式が適している。従来技術による中空型回転導入機に組込まれたゴムパッキング方式の真空シール材は、ポリテトラフルオロエチレンシールU型リングおよびフッ素ゴムOリングなどが用いられており、例えば、バイトンゴムOリングが用いられている。なお、面振れおよび偏芯の要因である軸受へのモーメント負荷を軽減するための真空シール材には、耐熱性、高気密性、耐摩耗性、金属に対する低動摩擦性および低静摩擦性の特徴を有することが求められる。上述したポリテトラフルオロエチレンシールU型リングは、耐熱性、耐摩耗性、金属に対する低動摩擦性および低静摩擦性の特徴を有し、回転時に摩擦による回転トルクの発生が少なく、駆動部のモーメント負荷は少ない。しかしながら、このポリテトラフルオロエチレンシールU型リングは、フッ素ゴムOリングと比較して気密性に劣るため、中空部の口径が大きくなるにつれて、真空室へのガス流入が起こる。このため、このポリテトラフルオロエチレンシールU型リングを用いた大口径中空型回転導入機は、多重のシール構造および多重の差動排気を行うことにより、真空室の気密を保っている。しかしながら、多重の差動排気は、中空型回転導入機の肥大化につながり、多重の排気装置を用意する必要があるため、動作費用が大幅に増加してしまう。一方、フッ素ゴムOリングは、耐熱性および高気密性の特徴を有し、単段の差動排気でも十分な気密を確保できる。しかし、フッ素ゴムOリングは、一般的には、相手部材と固着粘着し易く、摩擦係数が高く、容易に摩耗する。更に、フッ素ゴムOリングの粘着および摩擦の問題は、回転時に大きな回転トルクを必要とし、軸受に大きなモーメント負荷が発生する。軸受への大きなモーメント負荷は、軸受の動径方向および回転軸方向の振れを引き起こすとともに、軸受の寿命を短くし、不測の破損を引き起こしてしまう。加えて、摩耗の問題は、装置への真空リークの深刻な問題を引き起こす。本発明は、かかる従来技術の諸問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、軸受性能を低下させないような軸受固定構造を有し、高精度な角度制御が可能である中空型回転導入機を提供することにある。また、真空装置での利用により適した真空シール材を組み込んだ、中空型回転導入機を提供することにある。上述したような課題を解決するために、請求項1に記載した発明は、軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、並びに、前記取付フランジに固定されるハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記回転フランジ、および、前記ハウジング部材によってハウジングしたことを特徴とする。請求項2に記載した発明は、軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、並びに、前記回転フランジに固定されるハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記取付フランジ、および、前記ハウジング部材によってハウジングしたことを特徴とする。請求項3に記載した発明は、軸受、前記軸受を固定する内部軸受押用フランジおよび外部軸受押用フランジ、中空の回転フランジ、真空シール材が組み込まれた取付フランジ、前記回転フランジに固定される第1のハウジング部材、並びに前記取付フランジに固定される第2のハウジング部材を備えた中空型回転導入機であって、前記軸受を、前記内部軸受押用フランジ、前記外部軸受押用フランジ、前記第1のハウジング部材、および、前記第2のハウジング部材によってハウジングしたことを特徴とする。請求項4に記載した発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の中空型回転導入機であって、前記軸受が、複数の組合せ軸受であることを特徴とする。請求項5に記載した発明は、取付用穴加工が施された軸受、中空の回転フランジ、および真空シール材が組み込まれた取付フランジを備えた中空型回転導入機であって、前記取付け用穴加工が施された軸受を、前記回転フランジおよび前記取付フランジに直接取付けたことを特徴とする。請求項6に記載した発明は、請求項5に記載の中空型回転導入機であって、前記取付け用穴加工が施された軸受の軌道輪の、回転軸方向で前記取付フランジもしくは前記回転フランジに対向する面に、はめあい加工が施されたことを特徴とする。請求項7に記載した発明は、請求項1乃至6のいずれかに記載した中空型回転導入機であって、前記中空型回転導入機の回転部に角度位置決め用エンコーダーリングを組み込み、前記取付フランジに角度読取装置を取り付けたことを特徴とする。請求項8に記載した発明は、請求項1乃至7のいずれかに記載した中空型回転導入機であって、前記真空シール材が、耐摩耗性、低摩擦性および非粘着性を有するフッ素ゴムOリングであることを特徴とする。本発明によると、軸受の堅牢な固定および軸受の取付調整が可能となり、回転角度の高精度の読み取りが可能となる。また、1100mmを超える口径の大きい中空型回転導入機においても単段の差動排気で十分な気密をとることが可能となり、2駆動時に回転フランジに働く回転トルクが低減されることから駆動部に発生するモーメント負荷を軽減でき、軸受に起こる動径方向および回転軸方向の振れを抑えることが可能となり、3軸受へのモーメント負荷の減少に伴い軸受の寿命を長くすることが可能となる。以下に、図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、複数の図面において同一の符号は同一物を表し、その繰り返しの説明は省略する。図3は、本発明の第一実施形態による取付フランジの分割を行った真空対応中空型回転導入機の組立および軸受の調整方法を説明する図である。初めに、外部軸受押用フランジ15を用いて軸受13の外輪をハウジング10に固定するA。この際に、軸受13の外輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。次に、中空の回転フランジ12を、内部軸受押用フランジ14を用いて軸受13に回転可能なように固定するB。この際に、軸受13の内輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。その後、ハウジング10を、真空シール材16が組込まれた取付フランジ11に固定するC。最後に、回転ギア18を回転フランジ12に取り付けD、駆動ギア19を取付フランジ11に取り付ける。図4は、上述したようにして組み立てられた、本発明の第一実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。本実施形態による中空型回転導入機では、真空シール機能および軸受用ハウジング機能を兼ね備えた従来の取付フランジが、軸受用ハウジング機能を有するハウジング10と、真空シール機能を有する取付フランジ11とに分割されている。すなわち、本実施形態による中空型回転導入機では、軸受13は、内部軸受押用フランジ14、外部軸受押用フランジ15、回転フランジ12、および、ハウジング部材10によってハウジングされている。また、真空シール材16が組み込まれた空間を排気するための排気ポート17も有する。このように、従来の取付フランジから軸受用ハウジング機能を分割することにより、軸受13の取付フランジ11および回転フランジ12への堅牢な固定および調整が可能となる。したがって、従来技術と比較して面振れおよび偏芯を低減させた真空対応中空型回転導入機が実現できる。また、高精度な軸受として、例えば高精度クロスローラーベアリングや高精度4点接触形ボールベアリングを用いることにより、面振れおよび偏芯をさらに低減させることができる。図5は、本発明の第二実施形態による回転フランジの分割を行った真空対応中空型回転導入機の組立および軸受の調整方法を説明する図である。初めに、内部軸受押用フランジ24を用いて軸受23の内輪をハウジング20に固定するE。この際に、軸受23の内輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。次に、真空シール材26が組み込まれた取付フランジ21を、外部軸受押用フランジ25を用いて軸受23に固定するF。この際に、軸受23の外輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。その後、中空の回転フランジ22をハウジング20に固定するG。最後に、回転ギア28を回転フランジ22に取り付けH、駆動ギア29を取付フランジ21に取り付ける。図6は、上述したようにして組み立てられた、本発明の第二実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。本実施形態による中空型回転導入機では、真空シール機能および軸受用ハウジング機能を兼ね備えた従来の回転フランジが、軸受用ハウジング機能を有するハウジング20と、真空シール機能を有する回転フランジ22とに分割されている。すなわち、本実施形態による中空型回転導入機では、軸受23は、内部軸受押用フランジ24、外部軸受押用フランジ25、取付フランジ21、および、ハウジング部材20によってハウジングされている。また、真空シール材26が組み込まれた排気ポート27も有する。このように、従来の回転フランジから軸受用ハウジング機能を分割することにより、軸受23の取付フランジ21および回転フランジ22への堅牢な固定および調整が可能となる。したがって、従来技術と比較して面振れおよび偏芯を低減させた真空対応中空型回転導入機が実現できる。また、高精度な軸受として、例えば高精度クロスローラーベアリングや高精度4点接触形ボールベアリングを用いることにより、面振れおよび偏芯をさらに低減させることができる。図7は、本発明の第三実施形態による取付フランジおよび回転フランジの分割を行った真空対応中空型回転導入機の組立および軸受の調整方法を説明する図である。初めに、内部軸受押用フランジ34を用いて軸受33の内輪を内部ハウジング30bに固定するI。この際に、軸受33の内輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。次に、外部軸受押用フランジ35を用いて軸受33の外輪を外部ハウジング30aに固定するJ。この際に、軸受33の外輪の遊びが起きないように軸受の取付調整を行う。次に、内部ハウジング30bを、中空の回転フランジ32に固定するK。その後、外部ハウジング30aを、真空シール材36が組込まれた取付フランジ31に固定するL。最後に、回転ギア38を回転フランジ32に取り付けM、駆動ギア39を取付フランジ31に取り付ける。図8は、上述したようにして組み立てられた、本発明の第三実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。本実施形態による中空型回転導入機では、真空シール機能および軸受用ハウジング機能を兼ね備えた従来の取付フランジが、軸受用ハウジング機能を有する外部ハウジング30aと、真空シール機能を有する取付フランジ31とに分割されるとともに、真空シール機能および軸受用ハウジング機能を兼ね備えた従来の回転フランジが、軸受用ハウジング機能を有する内部ハウジング30bと、真空シール機能を有する回転フランジ32とに分割されている。すなわち、本実施形態による中空型回転導入機では、軸受33は、内部軸受押用フランジ34、外部軸受押用フランジ35、外部ハウジング部材30a、および、内部ハウジング部材30bによってハウジングされている。また、真空シール材36が組み込まれた空間を排気する排気ポート37も有する。このように、従来の取付フランジおよび回転フランジから軸受用ハウジング機能を分割することにより、軸受33の取付フランジ31および回転フランジ32への堅牢な固定および調整が可能となる。したがって、従来技術と比較して面振れおよび偏芯を低減させた真空対応中空型回転導入機が実現できる。また、高精度な軸受として、例えば高精度クロスローラーベアリングや高精度4点接触形ボールベアリングを用いることにより、面振れおよび偏芯をさらに低減させることができる。上述した第一実施形態、第二実施形態、および第三実施形態による中空型回転導入機は、軸受の外輪が取付フランジに、軸受の内輪が回転フランジに固定された構造である。一方、本発明の第四実施形態による中空型回転導入機は、軸受の内輪が取付フランジに、軸受の外輪が回転フランジに固定されており、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。以下に、本発明の第四実施形態による中空型回転導入機について説明する。図9は、本発明の第四実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。図示した中空型回転導入機は、第二実施形態と同様に、従来の回転フランジから軸受用ハウジング機能を分割したものであるが、従来の取付フランジからの軸受用ハウジング機能を分割した第一実施形態による中空型回転導入機においても、従来の取付フランジおよび回転フランジから軸受用ハウジング機能を分割した第三実施形態による中空型回転導入機においても、同様の構造とし、同様の効果を得ることができる。具体的には、本実施形態による中空型回転導入機では、軸受43の外輪が、外部軸受押用フランジ45を用いてハウジング40へ固定されている。また、軸受43の内輪が、内部軸受押用フランジ44を用いて、真空シール材46が組み込まれた取付フランジ41に固定されている。また、ハウジング40は回転フランジ42に固定される。回転ギア48は回転フランジ42に取り付け、排気ポート47および駆動ギア49は取付フランジ41に取り付けられている。本発明による中空型回転導入機は、複数の組合せ軸受を組み合わせても、同様に軸受部の調整が可能である。図10は、本発明の第五実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。本実施形態による中空型回転導入機は、アンギュラ接触形ボールベアリングを組み合わせた軸受53を用いている。なお、ハウジング部材50、真空シール材56が組み込まれた取付フランジ51、回転フランジ52、内部軸受押用フランジ54、外部軸受押用フランジ55、排気ポート57、回転ギア58、駆動ギア59は、第一実施形態と同様に構成されている。フッ素ゴムOリングは、一般には、容易に摩耗し、粘着性が強く、摩擦係数が高いため、中空型回転導入機のような長期および断続的な回転のある個所のシール材として使用した場合、軸受に発生する大きなモーメント負荷により動作不良軸受の動径方向および回転軸方向の振れ、軸受の不測の破損を引き起こす。フッ素ゴムに、耐摩耗性、低摩擦性、金属に対する非粘着性の特徴を付加する方法としては、フッ素ゴム体の表面に架橋材を含浸させ、加熱によりゴム表面近傍での架橋を進行させる方法表面改質が考案されている例えば、特許文献4参照。本発明による中空型回転導入機の真空シール材に、耐摩耗性、低摩擦性、金属に対する非粘着性の特徴を有する特殊フッ素ゴムOリング、例えばフリッドアーマー登録商標Oリング日本バルカー工業社製、フロロプラスニチアス社製フッ素ゴムOリングを用いることにより、大口径の中空型回転導入機においても単段の差動排気で十分な気密をとることができる。加えて、駆動部に発生するモーメント負荷を軽減でき、軸受に起こる動径方向および回転軸方向の振れを抑えることが可能となり、軸受へのモーメント負荷の減少に伴い軸受の寿命を長くすることができる。図11に、本発明の第一実施形態による中空型回転導入機の偏芯量aおよび面振量bを示す。軸受13には高精度4点接触形ボールベアリングを用い、真空シール材16は耐摩耗性、低摩擦性、金属に対する非粘着性の特徴を有する特殊フッ素ゴムである、フリッドアーマー登録商標Oリングを用いた。偏芯量および面振量はそれぞれ、回転中心から75mmの位置での動径方向の変位量および回転軸方向の変位量である。図2に示した従来技術による中空型回転導入機の偏芯量および面振量と比較すると、本発明の第一実施形態による中空型回転導入機の偏芯量および面振量はともに、大幅に改善されたことがわかる。僅かに残る偏芯および面振は、用いた軸受の仕様範囲内であることから、軸受に由来するものである。故に、本発明によると、偏芯および面振を軽減することが可能であることが検証された。図12は、本発明の第六実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。本実施形態による中空型回転導入機は、図示されるように、回転部である回転フランジ62に高精度角度位置決め用エンコーダーリング70、例えば高分解能光学式角度位置決め用エンコーダーリングが組み込まれ、取付フランジ61に角度読取装置71が取り付けられている。なお、これらの装置は、上述した動径方向の偏芯の低減により、取り付け可能となったものである。こうすることによって、高分解能での角度の絶対角度を読み取ることが可能となる。その他の作用効果は、上述した第一実施形態から第五実施形態と同様である。なお、軸受63は、内部軸受押用フランジ64によって回転フランジ62に固定され、外部軸受押用フランジ65によってハウジング部材60に固定され、ハウジング部材60は、真空シール材66が組み込まれた取付フランジ61に固定されている。また、回転ギア68および駆動ギア69も有する。回転部への高精度な角度位置決め用エンコーダーの組込みは、図9に示すような軸受の内輪固定外輪回転型の中空型回転導入機でも可能である。図13に、内輪固定外輪回転型の中空型回転導入機に高精度な角度位置決め用エンコーダーを組み込んだ、本発明の第七実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。本実施形態では、回転部であるハウジング80に高精度角度位置決め用エンコーダーリング90、例えば高分解能光学式角度位置決め用エンコーダーリングを組込み、取付フランジ81に角度読取装置91を取り付けることにより、高分解能での角度の絶対角度を読み取ることを可能にしている。その他の作用効果は、上述した第一実施形態から第五実施形態と同様である。なお、軸受83は、内部軸受押用フランジ84によって、真空シール材86が組み込まれた取付フランジ81に固定され、外部軸受押用フランジ85によってハウジング部材80に固定され、ハウジング部材80は、回転フランジ82に固定されている。また、回転ギア88および駆動ギア89も有する。次いで、上述したようなハウジング部材と一体加工された軸受を用いた中空型回転導入機について説明する。上述した実施形態による中空型回転導入機では、軸受を、ハウジング部材を介して取付フランジ、回転フランジまたはその両方に固定しているため、ハウジングの構造および加工精度が、中空型回転導入機の回転精度および組立精度に影響を与えてしまう。また、中空型回転導入機を既存の真空システムに組み込む際には、既存の装置との立体干渉を避けるために、回転軸方向および動径方向における中空型回転導入機の大型化を抑えることが望ましい。例えば、上述した実施形態による中空型回転導入機では軸受押用フランジを用いており、そのため、真空側の取付フランジと大気側の回転フランジの取付面間の距離が、回転フランジ、取付フランジ、および軸受の厚みに加えて、軸受押用フランジおよびハウジング部材の厚みが加わるため、長くなってしまう。そこで、上述したような実施形態の中空型回転導入機では、取付面間の距離を短くするために薄型の軸受が用いられている。しかしながら、薄型の軸受は、中空型回転導入機の回転案内の高精度化、高剛性化および高負荷容量化を困難にしてしまう。また、上述したような実施形態の中空型回転導入機は、駆動部および角度読取部を除くと、取付フランジ、回転フランジ、軸受、軸受押用フランジ、ハウジング部材、および真空シールという部品から構成されるため、従来の中空型回転導入機と比較して部品点数や組立工数が増加してしまい、製作費用の増加をもたらしてしまう。以下に説明する本発明の実施形態による中空型回転導入機には、取付け用穴加工が施された軸受が用いられていて、この軸受は、ハウジングを使用せずに直接、回転フランジおよび取付フランジに取り付けることができる。そのため、ハウジングの構造および加工精度が、中空型回転導入機の回転精度および組立精度に影響を与えることはない。また、この軸受は、軸受押用フランジを必要としない構造であるために、取付フランジと回転フランジの取付面間の距離を短くすることができる。したがって、より厚みのある軸受を組込んだ場合でも、上述したような中空型回転導入機と比較して回転軸方向の大型化を抑えることが出来る。また、より厚みのある軸受を用いることで、軸受の内輪および外輪の厚み、並びに転動体のサイズを増加させることができ、軸受部の剛性および負荷許容量を大幅に増加させるとともに、高精度な回転案内を得ることが可能となる。また、ハウジング部材および軸受押用フランジという部品が不要になるので、部品点数や組立工数を減少させることができ、製作費用を抑えることが可能となる。図14は、以下に説明する本発明の実施形態による真空対応中空型回転導入機に用いることが可能な、取付け用穴加工が施された軸受100の一例を示す。この軸受100は、従来の薄型軸受と比較して、内輪101および外輪102の厚み、並びに転動体103の寸法を増加した構造となっている。また、軸受100の外輪102には、回転軸方向で取付フランジに対向する面に、はめあい加工が施されている。こうすることにより、軸受100と取付フランジの、回転軸方向からの取付が可能になる。したがって、軸受100の外輪102は、軸受の動径方向から固定する必要が無くなり、動径方向の大型化を抑えることが出来る。また、内輪101の、回転軸方向で回転フランジに対向する面に、はめあい加工を施してもよく、同様の効果を得ることができる。図15は、本発明の第八実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。本実施形態における中空型回転導入機では、中空の回転フランジ112に、取付け用穴加工が施された軸受100の内輪101を回転可能なように固定した後、真空シール材116が組み込まれた取付フランジ111に、軸受100の外輪102を固定する。最後に、回転ギア118を回転フランジ112に取り付け、駆動ギア119を取付フランジ111に取り付ける。なお、真空シール材116には、上述した実施形態と同様に、耐摩耗性、低摩擦性、金属に対する非粘着性の特徴を有するフッ素ゴムOリングを用いる。本実施形態による軸受100を用いると、従来技術による中空型回転導入機に用いられてきた薄形の軸受、例えばラジアル荷重、アキシャル荷重、およびモーメント加重などの複雑な荷重をひとつの軸受で受けるクロスローラーベアリングを用いた場合と比較して、軸受押用フランジが不要になる。そのため、取付面間の距離L1が長くなること無く、軸受の厚みを増加させることができる。図16は、従来の薄型軸受内径Φd70mm、厚さB8mmの薄形クロスローラーベアリングおよび本実施形態による取付け用穴加工が施された軸受内径Φd70mm、厚さB15mmのクロスローラーベアリングの、動径方向の基本動定格加重および基本静定格加重、内輪の回転精度、静的許容モーメント、回転軸方向の静的許容荷重の一例を示す。軸受の厚みが8mmから15mmに増加したことにより、動径方向の荷重、回転軸方向の荷重、モーメント荷重に対する負荷容量が向上することがわかる。図17は、従来の薄型軸受内径Φd70mm、厚さB8mmの薄形クロスローラーベアリングおよび本実施形態による取付け用穴加工が施された軸受内径Φd70mm、厚さB15mmのクロスローラーベアリングの、動径方向から1kNの荷重を印加した時の変位量μm、回転軸方向から1kNの荷重を印加した時の変位量μm、50Nmモーメント荷重を印加した時の変位角量mradの一例を示す。軸受の厚みが8mmから15mmに増加したことにより、動径方向の剛性、回転軸方向の剛性、モーメント荷重に対する剛性が向上することがわかる。このように、本実施形態による中空型回転導入機では、ハウジングおよび軸受押用フランジを必要とせず、軸受100を直接、取付フランジ111および回転フランジ112に取り付けることができるので、高剛性、高負荷容量および高精度な回転案内が可能な中空型回転導入機を実現することができる。また、ハウジングおよび軸受押用フランジ、並びにそれらを組込むための作業が不要になり、製作費用の削減が可能となる。図18は、本発明の第九実施形態による中空型回転導入機の構造を示す。本実施形態による中空型回転導入機は、第八実施形態による中空型回転導入機の高精度な回転制御を可能にするために、回転部である中空の回転フランジ122へ角度位置決め用エンコーダーリング130を組込み、取付フランジ121に角度読取装置131を取り付けたものである。このような構成により、回転角の高精度な読取が可能になる。なお、第八実施形態による中空型回転導入機と同様に、軸受100は、真空シール材126が組み込まれた取付フランジ121および回転フランジ122に固定される。最後に、回転ギア128を回転フランジ122に取り付け、駆動ギア129を取付フランジ121に取り付ける。以上説明したように、本発明によると、中空型回転導入機の面振れおよび偏芯を大幅に軽減し、高精度な回転制御が可能となる。これにより、従来不可能であった微小な材料評価が可能となるとともに、光学素子等の装置の超高精度回転制御が可能となる。