"被駆動手段に付勢する突起部を端部に有する振動板と、前記振動板に積層される圧電体と、を少なくとも備え、前記振動板の前記付勢方向におけるヤング率ELと、前記付勢方向に交差する交差方向におけるヤング率ESと、が異なる、ことを特徴とする圧電アクチュエーター。前記振動板は圧延法により形成された板状基材より形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエーター。前記ヤング率ELおよびESは、EL>ESである、ことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電アクチュエーター。前記圧電体がチタン酸ジルコン酸鉛PZTである、ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電アクチュエーター。請求項1から4のいずれか一項に記載の圧電アクチュエーターと、前記圧電アクチュエーターによって駆動される被駆動手段と、前記圧電アクチュエーターを前記被駆動手段に付勢する付勢手段と、を備える、ことを特徴とするモーター。請求項5に記載のモーターを備えるロボットハンド。請求項6に記載のロボットハンドを備えるロボット。しかし、上述の特許文献1であっても圧電素子の屈曲振動自体は小さなものであって、より大きな駆動力、あるいは回転量回転速度を得ようとすると、圧電素子を大きくした大型の圧電アクチュエーターとなってしまうと言う課題があった。そこで、小型の圧電素子圧電体であっても、圧電素子の屈曲振動を被駆動体へ伝達する振動体を効率よく振動させる圧電アクチュエーター、および圧電アクチュエーターを用いたモーター、およびそのモーターを備えるロボットハンドおよびロボットを提供する。本発明は、少なくとも上述の課題の一つを解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。適用例1本適用例による圧電アクチュエーターは、被駆動手段に付勢する突起部を端部に有する振動板と、前記振動板に積層される圧電体と、を少なくとも備え、前記振動板の前記付勢方向におけるヤング率ELと、前記付勢方向に交差する交差方向におけるヤング率ESと、が異なることを特徴とする。上述の適用例によれば、圧電アクチュエーターの縦振動に対する屈曲振動との比を調整することができ、圧電アクチュエーターの振動を効率良く被駆動手段を駆動させることができる。適用例2上述の適用例において、前記振動板は圧延法により形成された板状基材より形成されていることを特徴とする。上述の適用例によれば、圧延法により形成される板状基材は、圧延方向のヤング率より、圧延方向に交差する方向のヤング率を容易に高くすることができるため、振動板を板状基材から切り出す方向を調整することで、ヤング率EL,ESの差を容易に調整することができる。また、圧延法により板状基材を形成することにより、均一な板圧の基材を大量に製造することができことから安価な基材を容易に入手することができる。適用例3上述の適用例において、前記ヤング率ELおよびESは、EL>ESであることを特徴とする。上述の適用例によれば、圧電アクチュエーターの縦振動に対する屈曲振動との比を向上させることができ、圧電アクチュエーターの振動を効率良く被駆動手段を駆動させることができる。また、低電力駆動が可能となり駆動回路への負荷を低減することができる。すなわち駆動回路の小型化によってロボットなどの装置のシステムの小型化、省電力化を実現することができる。適用例4上述の適用例において、前記圧電体がPZTチタン酸ジルコン酸鉛:PbZr,TiO3であることを特徴とする。上述の適用例によれば、振幅の大きい振動を得ることができ、大きい駆動量を得ることができる。また、入手が容易な材料であることから、安価なアクチュエーターを得ることができる。適用例5本適用例のモーターは、上述の圧電アクチュエーターと、前記圧電アクチュエーターによって駆動される被駆動手段と、前記圧電アクチュエーターを前記被駆動手段に付勢する付勢手段と、を備えることを特徴とする。上述の適用例によれば、小型で高効率のモーターを得ることができる。適用例6本適用例のロボットハンドは、上述の適用例のモーターを備える。本適用例のロボットハンドは、自由度が多く、多数のモーターを備えても、小型、軽量にすることができる。適用例7本適用例のロボットは、上述のロボットハンドを備える。本適用例のロボットは、汎用性が高く、複雑な電子機器の組み立て作業や検査等を可能にすることができる。以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。第1実施形態図1は本実施形態に係る圧電アクチュエーターを示す、aは分解斜視図、bは組立斜視図である。図1bに示すように圧電アクチュエーター100以下、アクチュエーター100というは、板状の振動板20の一方の面20bとその裏面20cに圧電素子10が接着剤や合金ろう材などの固着手段によって積層されている。図1aに示すように、圧電素子10は、矩形の圧電体11の振動板20に貼り合わされる側には電極12が形成され、他方の側には電極13a,13b,13c,13d,13eに分割された電極13が形成されている。圧電体11は、圧電性を有する材料、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛<PZT:PbZr,TiO3>、水晶、ニオブ酸リチウムLiNbO3などが挙げられ、特にPZTが好適に用いられる。また、電極12,13は、Au,Ti,Agなどの導電性金属を蒸着、スッパッタリングなどにより成膜して形成することができる。なお、後述する振動板20の材料が導電性を有している場合には電極12は形成しなくても良く、振動板20を電極として用いればよい。振動板20は、ステンレス、ニッケル合金、ゴムメタルなどで形成され、加工性の容易さからステンレスが用いられ、SUS301H材が本実施形態に係るアクチュエーター100には好適に用いられる。振動板20はほぼ矩形の基体部20aと、後述するモーターを構成する場合に、被駆動体に付勢する方向としての基体部20aの長手方向図示、L方向の一方の端部に突出させた突起部20dと、を備えている。突起部20dは、先端部が円弧状に形成され、後述する被駆動体に付勢されて当接する。なお、先端部が直線状に形成された突起部20d ́であってもよい。また、後述するモーターを構成する場合に、付勢手段を備える支持体に振動板20をネジなどの固定部材によって装着するため装着孔20fを有する装着部20eを備えている。このように形成されるアクチュエーター100は、次のように動作する。図2a,bは、アクチュエーター100の振動挙動を示す概略平面図である。図2aに示すように、圧電素子10に形成された電極13のうち、電極13c,13b,13dと、図示されない電極12との間に交流電圧を印加することにより、電極13c,13b,13dが形成されている圧電体11の領域部は図示矢印の縦振動が励振される。電極13bの領域ではアクチュエーター100を長手方向図1aに図示するL方向に縦振動を励起し、電極13c,13dの領域ではアクチュエーター100に形状Mで示す屈曲振動を励起し、振動板20の突起部20dの先端部は楕円軌道R1を描いて振動する。また、図2bに示すように、圧電素子10に形成された電極13のうち、電極13a,13b,13eと、図示されない電極12との間に交流電圧を印加することにより、電極13a,13b,13eが形成されている圧電体11の領域部は図示矢印の縦振動が励振される。電極13bの領域ではアクチュエーター100を長手方向図1aに図示するL方向に縦振動を励起し、電極13a,13eの領域ではアクチュエーター100に形状Nで示す屈曲振動を励起し、振動板20の突起部20dの先端部は楕円軌道R2を描いて振動する。上述の通り、アクチュエーター100において振動板20は、圧電素子10の振動を突起部20dにおける楕円軌道R1,R2の振動に変換し、その変換効率を高める手段が求められる。そこで振動板20の振動挙動をより効率よく励起させるために、振動板20を以下のようにして形成する。図3aは、本実施形態に係る振動板20の原料基材であるステンレス板の成形方法を示す概念図である。図3aに示すように、振動板20を形成する基材は、対向配置された圧延ローラー200のローラー200aとローラー200bとの間隙を、図示左方向から板厚t1の材料Mを通過圧延し、振動板20を成形する板厚t2の板状の基材mを得る、いわゆる圧延法によって得られる。振動板20の成形は図示しないが、得られた基材mをプレス打抜き、レーザー切断、エッチングなどの公知の手法により行われ、振動板20を得ることができる。この時、振動板20の長手方向Lは、基材mの圧延ロール方向Rに対して交差するように配置され、成形される。上述した振動板20の成形は、図3bにも示すように振動板20の長手方向Lは基材mの圧延ロール方向Rに交差するように配置される。圧延ロールされた基材mにおいては、圧延加工歪により、圧延ロール方向Rにおける基材mのヤング率縦弾性係数ESと、圧延ロール方向Rに交差、直交する方向、すなわち振動板20の長手方向Lにおける基材mのヤング率ELとは、EL>ESとなる。すなわち、図2によって説明した振動板20の屈曲振動の振動方向に、ヤング率のより低い圧延ロール方向R方向のヤング率ESとなるように、振動板20の被駆動体に付勢するほうこうと交差する方向としての短手方向を圧延ロール方向Rにあわせて配置することにより、より効率的に圧電素子10の振動を被駆動体へ伝えることができる。圧延ロール方向Rは、図3bに示すように筋状のロール痕Sが圧延ロール方向Rに沿って残る。このロール痕Sが振動板20の表面に残っていることで、振動板20の成形方向を識別することができる。すなわち、ロール痕Sの方向におけるヤング率がESであり、ロール痕Sに交差する方向のヤング率がELとなる。上述のように、振動板20の長手方向Lを基材mの圧延ロール方向Rと交差するようにすることによって、圧電体の振動を効率良く振動板に備える突起部の駆動振動にすることができ、小型であっても大きな駆動量、あるいは大きい出力を発生させることができるモーターのアクチュエーターとして使用することができる。第2実施形態第2実施形態として第1実施形態に係るアクチュエーター100を備えるモーターを説明する。図4は第2実施形態に係るモーター1000を示し、aは組立平面図、bはaに示すA-A ́部の断面図である。図4aに示すように、モーター1000は基台300と、基台300に回転可能に固定される被駆動体400と、基台300に摺動可能に固定される支持体500と、支持体500を被駆動体400側に付勢する付勢手段としてのコイルばね600と、支持体500に固定部材であるねじ700によって固定されるアクチュエーター100と、を備えている。被駆動体400は、図4bに示すように回転軸410および軸受け310などから構成される回転手段により基台300に固定される。回転軸の回転力は、回転軸に接続される図示されない減速あるいは増速装置2000を介して所望の回転数、あるいは出力トルクによって被駆動装置を駆動する。支持体500は、ガイド孔510を備え、基台300に備えるガイドピン320がガイド孔510に挿通され、支持体500は基台300に摺動可能に固定される。ガイド孔510の形状は、本実施形態ではトラック状の平面形状を成し、アクチュエーター100の付勢方向に支持体500が摺動可能となっており、アクチュエーター100の付勢方向に交差する方向ではガイドピン320のガイド部外径よりわずかに大きくし、アクチュエーター100の付勢方向に交差する方向のガタ量を最小にする形状となっている。また、支持体500は付勢手段としてのコイルばね600の一方の端部が、アクチュエーター100を装着する固定腕520に装着されている。コイルばね600の他方の端部は基台300に備えるばね装着部330に装着され、支持体500が被駆動体400の方向に付勢される。なお、付勢手段としてはコイルばね600に限定されず、例えば、板ばね、弾性ゴムなどを用いても良い。また、支持体500には、アクチュエーター100の振動板20の装着部20eを支持体500の固定腕520に載置し、図示しない固定腕520に設けたねじ孔にねじ700によってアクチュエーター100が固定される。固定されたアクチュエーター100の突起部20dは、支持体500を介して被駆動体400に所定の力で付勢される。このように構成されるモーター1000は、図2によって説明したアクチュエーター100の突起部20dの振動挙動が、アクチュエーター100の被駆動体400への付勢力によって被駆動体400に回転駆動を与える。上述のように、圧電体の振動を効率良く振動板に備える突起部の駆動振動にすることができる圧電アクチュエーターを用いることにより、小型であっても大きな駆動量、あるいは大きい出力を発生させることができるモーターを得ることができる。第3実施形態図5は、第2実施形態に係るモーター1000を備えたロボットハンド3000を示す外観図である。ロボットハンド3000は基部3100と、基部3100に接続された指部3200とを備えている。基部3100と指部3200との接続部3300と、指部3200の関節部3400とには、モーター1000が組み込まれている。モーター1000が駆動することによって、指部3200が屈曲し、物体を把持することができる。超小型モーターであるモーター1000を用いることによって、小型でありながら多数のモーターを備えるロボットハンドを実現することができる。第4実施形態図6は、ロボットハンド3000を備えるロボット4000の構成を示す図である。ロボット4000は、本体部4100、アーム部4200およびロボットハンド3000等から構成されている。本体部4100は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定される。アーム部4200は、本体部4100に対して可動に設けられており、本体部4100にはアーム部4200を回転させるための動力を発生させる図示しないアクチュエーターや、アクチュエーターを制御する制御部等が内蔵されている。アーム部4200は、第1フレーム4210、第2フレーム4220、第3フレーム4230、第4フレーム4240および第5フレーム4250から構成されている。第1フレーム4210は、回転屈折軸を介して、本体部4100に回転可能または屈折可能に接続されている。第2フレーム4220は、回転屈折軸を介して、第1フレーム4210および第3フレーム4230に接続されている。第3フレーム4230は、回転屈折軸を介して、第2フレーム4220および第4フレーム4240に接続されている。第4フレーム4240は、回転屈折軸を介して、第3フレーム4230および第5フレーム4250に接続されている。第5フレーム4250は、回転屈折軸を介して、第4フレーム4240に接続されている。アーム部4200は、制御部の制御によって、各フレーム4210~4250が各回転屈折軸を中心に複合的に回転または屈折し動く。アーム部4200の第5フレーム4250のうち第4フレーム4240が設けられた他方には、ロボットハンド接続部4320が接続されており、ロボットハンド接続部4300にロボットハンド3000が取り付けられている。ロボットハンド接続部4300にはロボットハンド3000に回転動作を与えるモーターが内蔵され、ロボットハンド3000は対象物を把持することができる。小型、軽量のロボットハンド3000を用いることによって、汎用性が高く、複雑な電子機器の組み立て作業や検査等が可能なロボットを提供することができる。図7に示す駆動装置100Aを用いて、アクチュエーター100の特性を評価した。図7aは、駆動装置100Aの概略平面図、bは駆動装置100Aの概略断面図である。図7aに示すように、駆動装置100Aは基台30Aに固定された支持体50Aに圧電体としてPZTを用いたアクチュエーター100が固定され、図7bに示すように、突起部20dに当接する内周面40Aaを有するリング状の被駆動体40Aを備えている。被駆動体40Aの内周面40Aaは直径方向に凹状に形成され手いる。また、被駆動体40Aは基台30Aとは、ボールベアリング31Aなどにより回転可能に固定されている。また、アクチュエーター100は、図8に示すように、厚さ0.5mmのSUS301EHを原料とする基材mの圧延ロール方向Rに対して長手方向Lを交差させてプレス加工によって打抜き成形させた振動板20を用いたものをアクチュエーター試料A以下、試料Aという、圧延ロール方向Rと長手方向Lとを合わせて形成させた振動板21を用いたものをアクチュエーター試料B以下、試料Bという、とした。こうして得られた試料Aの振動板20と,試料Bの振動板21の長手方向Lのヤング率を計測したところ、試料A振動板20は220GPa、試料B振動板21は190GPa、であり、圧延ロール方向Rに長手方向Lを交差させて得られた試料A振動板20の方が高いヤング率を得られた。インピーダンス特性図9aに示すインピーダンス曲線を得るため、試料A,Bについて測定し、図9bの結果を得た。図9bの結果から、屈曲共振インピーダンスZf2は、試料Aの方が試料Bより小さい値を示した。インピーダンスと、アクチュエーター100の突起部20dの振動軌跡と、は反比例の関係にあることから、屈曲共振において試料Aの方が試料Bより屈曲振動における変位量を大きくすることができる。駆動特性次に、図7に示す駆動装置100Aにおいて、試料Aと試料Bとの駆動特性を確認した。駆動装置100Aに対して、駆動電圧として±5Vの正弦波電流を投入し、被駆動体40Aの回転速度と、突起部20dにおける楕円振動の周波数との関係を測定し、図10の結果を得た。図10に示すように、入力電源駆動電圧として±5Vの正弦波電流に対して試料Aの方が試料Bより早い回転速度を得ることができる。以上の通り、振動板20の長手方向Lを基材mの圧延ロール方向Rに交差させて形成する図3参照、すなわち振動板20の長手方向Lのヤング率を大きくすることにより駆動効率の高い圧電アクチュエーターを得ることができる。"