"リニアモータと、このリニアモータを制御するモータ制御装置とでなるリニアモータシステムであって、前記リニアモータは、それぞれが、各相のコイルが直線方向に並び独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な複数の個別モータを、可動子の移動経路に沿って間隔を開けて配置し、前記可動子を永久磁石で構成した離散配置リニアモータであり、かつ各個別モータ毎に、可動子の位置を検出するリニアスケールからなるセンサを、コイル並び方向となる前記直線方向に沿って配置してなり、前記モータ制御装置は、各前記個別モータおよびセンサと組として配置されてその組の個別モータを制御する複数の個別モータ制御手段と、これら複数の個別モータ制御手段に位置指令を与える統括制御手段とを備える離散配置リニアモータシステム。前記可動子の移動経路は曲線経路部を含み、この曲線経路部に配置された個別モータを制御する個別モータ制御手段に、前記センサの出力から得た検出値を曲線経路部の曲線と前記センサの位置との関係に対応して補正し、補正された検出値を個別モータの制御に用いる曲線対応補正手段を設けた請求項1記載の離散配置リニアモータシステム。前記個別モータ制御手段は、可動子の磁極位置に対応して電流制御を行う電流制御部を有し、前記曲線対応制御手段は、前記センサの出力を用いて定められた計算式に従い前記可動子の磁極位置を求めて前記電流制御部に入力するものとし、前記の定められた計算式として、次式1を用いる請求項2記載の離散配置リニアモータシステム。ただし、xmi:iiは自然数番目の個別モータにおける磁極位置rad、s:センサ出力値、xoffseti:i番目の個別モータの磁極合わせ時の位置、tp:磁極ピッチ、cx:補正項、n:センサ拡大率前記曲線経路の曲率中心に対する経路中心線の位置までの距離とセンサまでとの距離の比である。前記統括制御手段は、入力された位置指令から、各個別モータを動作させる位置指令を生成する指令生成手段を有し、この指令生成手段は、個別モータのピッチであるモータピッチを前記センサの出力を用いて測定するモータピッチ測定部と、この測定されたモータピッチを用いて定められた式に従い、前記個別モータを動作させる位置指令を生成する指令生成部とを有し、この定められた式として、次式2,3を用いる請求項2または請求項3に記載の離散配置リニアモータシステム。xi:モータiに対する位置指令、dix:モータピッチxi:個別モータ制御手段iからの位置フィードバックk:変換係数センサ仕様によるリニア誘導モータは推力が低くて走行性能の向上が困難であるため、工作機械のローダとなる搬送装置等への適用において、リニア同期モータの採用を試みた。従来のリニア同期モータは、地上側にマグネットを配置してコイル側を移動する方式が大部分を占める。しかし、コイル側を移動させるため、可動子に給電が必要であり、可動子への配線の都合上、無端経路での走行が不能であるなど、走行経路が限られたり、給電系が複雑化したりする。このため、リニア同期モータにおいて、地上側に1次コイルを配置することを試みた。しかし、地上側に1次コイルを配置する場合、従来のリニアモータのように、移動経路の全長に渡って連続してコイルを配置するのでは、コイルの使用量が増えてコストが増大する。このような課題を解消する同期形リニアモータとして、それぞれが独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な電機子からなる複数の個別モータを、可動子の移動方向に間隔を開けて配列した離散配置のリニア同期モータを考えた。しかし、その制御やセンサの用い方につき、未解決であった。また、従来の一般のリニアモータでは、曲線経路において、位置,速度を制御するためには専用装置が必要であり、直線経路を走行するための装置との兼用ができなかった。そのため、曲線経路を有するリニアモータは、コストが増大するという問題があった。また、曲線経路中の高精度な磁極位置検出が行えず、そのため曲線経路で精度良く位置決めや速度制御を行うことができなかった。この発明の目的は、一次側コイルの離散配置によってコイル使用量の削減と給電系の簡素化が図れ、かつ経路各部の構成部品が共通化できて、コスト低下が図れる離散配置リニアモータシステムを提供することである。この発明の離散配置リニアモータシステムを実施形態に用いた符号を付して説明する。この発明の離散配置リニアモータシステムは、リニアモータ1と、このリニアモータ1を制御するモータ制御装置2とでなるリニアモータシステムであって、前記リニアモータ1は、それぞれが、各相のコイルが直線方向に並び独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な複数の個別モータ3を、可動子4の移動経路に沿って間隔を開けて配置し、前記可動子4を永久磁石で構成した離散配置リニアモータであり、かつ各個別モータ3毎に、可動子4の位置を検出するリニアスケールからなるセンサ15を、コイル並び方向となる前記直線方向に沿って配置してなる。前記モータ制御装置2は、各前記個別モータ3およびセンサ15と組3Aとして配置されてその組3Aの個別モータ3を制御する複数の個別モータ制御手段6と、これら複数の個別モータ制御手段6に位置指令を与える統括制御手段7とを備える。この構成によると、固定側として一次側の電機子からなる個別モータ3を離散配置したため、コイル使用量が少なくて済み、かつ移動側に給電する場合に比べて給電系が簡素にできる。また、一次側の電機子となる複数の個別モータ3と、センサ15と、各個別モータ3を制御する個別モータ制御手段6とを組3Aとして設け、この個別モータ3、センサ15、および個別モータ制御手段6をコイルの並び方向に沿って配列するようにしたため、経路各部の構成部品が共通化できて、コスト低下を図ることができる。この発明において、前記可動子4の移動経路Lは曲線経路部Lbを含み、この曲線経路部Lbに配置された個別モータ3を制御する個別モータ制御手段6に、前記センサ15の出力から得た検出値を曲線経路部Lbの曲線と前記センサ15の位置との関係に対応して補正し、補正された検出値を個別モータ3の制御に用いる曲線対応補正手段9を設けても良い。この構成の場合、直線経路部Laの構成部品となる個別モータ3,センサ15,および個別モータ制御手段6の組3Aと同じものを、曲線経路部Lbに用い、曲線経路部Lbでは個別モータ制御手段6に、プログラム等による曲線対応補正手段9を設けるだけで、曲線経路部Lbにおける位置,速度制御を精度良く行うことができる。この場合に、前記個別モータ制御手段6は、可動子4の磁極位置に対応して電流制御を行う電流制御部13を有し、前記曲線対応制御手段9は、前記センサ15の出力を用いて定められた計算式に従い前記可動子4の磁極位置を求めて前記電流制御部13に入力するものとし、前記の定められた計算式として、次式1を用いても良い。ここで、xmi:iiは自然数番目の個別モータにおける磁極位置rad、s:センサ出力値、xoffseti:i番目の個別モータの磁極合わせ時の位置、tp:磁極ピッチ、cx:補正項、n:センサ拡大率前記曲線経路の曲率中心に対する経路中心線の位置までの距離とセンサまでとの距離の比である。これにより、曲線経路部Lbにおける磁極位置検出が精度良く行えて、曲線経路部Lbにおける精度の良い位置,速度制御を行うことができる。同期形のリニアモータでは、個別モータ3への永久磁石からなる可動子の突入時には、コイルインダクタンスや鎖交磁束が位置で変化するため、精度の良い位置や,速度制御には、磁極位置に応じた電流制御が重要となる。この磁極位置に応じた電流制御には、磁極位置を精度良く検出することが必要であるが、リニアスケールからなるセンサ15を用いた場合、曲線経路部Lbでは磁極位置の検出が困難である。この課題が、上記の計算式による手法により解消できる。この発明において、前記統括制御手段7は、入力された位置指令から、各個別モータ3を動作させる位置指令を生成する指令生成手段10を有し、この指令生成手段10は、個別モータ3のピッチであるモータピッチを前記センサ15の出力を用いて測定するモータピッチ測定部10aと、この測定されたモータピッチを用いて定められた式に従い、前記個別モータを動作させる位置指令を生成する指令生成部10bとを有し、この定められた式として、次式2,3を用いるようにしても良い。ここで、xi:モータiに対する位置指令、dix:モータピッチxi:個別モータ制御手段iからの位置フィードバックk:変換係数センサ仕様によるである。補正項cxは、可動子の位置による関数であり、適宜に定めれば良い。例えば、補正項cxは、個別モータ3のスキュー角度を考慮した際に、位置xに応じて0~2πの値をとる。このように、磁極位置や、センサと経路の位置関係、センサ出力に対するオフセット値等を用いて個別モータ3への位置指令を生成することにより、離散配置リニアモータとしながら、センサ15の出力の非線形性を良好に補償することができる。請求の範囲および/または明細書および/または図面に開示された少なくとも2つの構成のどのような組合せも、本発明に含まれる。特に、請求の範囲の各請求項の2つ以上のどのような組合せも、本発明に含まれる。この発明の一実施形態を図1ないし図12と共に説明する。図1において、この離散配置リニアモータシステムは、リニアモータ1と、このリニアモータ1を制御する制御装置2とでなる。リニアモータ1は、リニア同期モータLSMであって、それぞれが独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な電機子からなる複数の個別モータ3を、可動子4の移動方向Xに間隔を開けて設置した離散配置リニアモータである。各個別モータ3は、可動子4のレール図示せずを有する共通のフレーム5に設置されている。フレーム5には、この他に、各個別モータ3毎に、可動子4の位置を検出する位置検出器となるセンサ15が設置される。センサ15は、図1では図示の便宜上、個別モータ3間に示しているが、実際には、可動子移動方向X方向につき、個別モータ3と同じ位置に配置される。可動子4は、永久磁石からなるN,Sの磁極を可動子基体4aに移動方向Xに並べて複数設けたものであり、前記フレーム5に設けられたレール図示せずによって進退自在に案内される。可動子4の各磁極N,Sのピッチは均等としてある。各個別モータ3は、例えば図3AおよびBに示すように、各層の磁極となる複数のコイル3aとコア3bを、前記移動方向Xとなる直線方向に並べたものである。各コア3bは、共通の本体部からくし歯状に突出した部分で構成される。この例では、3相の交流電流で駆動するものとされ、その各相U,V,W相毎に一つの磁極を設けた3極の一次側の電機子とされている。なお、個別モータ3は、各相U,V,W相毎に複数の磁極を設け、相数の整数倍の磁極を有する電機子としても良い。図2に示すように、センサ15はリニアスケールであって、個別モータ3のコイル並び方向となる直線方向に沿って設けられ、個別モータ3よりも若干長い範囲で位置検出が可能なものとされる。センサ15は、具体的には、図9に示すように、長さ方向に複数のセンサ素子15aを並べて配置したものであり、各センサ素子15aは、可動子4の磁力を検出する磁気センサ素子からなる。センサ15は、各センサ素子15aの出力から、可動子4の位置を検出する一つの位置検出値を出力するが、特定の一つ、例えば個別モータ6の中心位置に対応するセンサ素子15aの出力も可能とされている。図1において、制御装置2は、各個別モータ3をそれぞれ制御する複数の個別モータ制御手段6と、これら複数の個別モータ制御手段6に位置指令を与える一つの統括制御手段7とを備える。前記個別モータ3と、個別モータ制御手段6と、センサ15とで、1組の個別モータ組3Aが構成される。この個別モータ組3Aが、例えば図2に平面図で示すように、可動子4の移動経路Lに沿って配置される。同図の移動経路Lは、直角に並ぶ2つの直線経路部Laと、これら直線経路部La間に位置する1つの曲線経路部Lbとを含む。曲線経路部Lbは、円弧曲線を成す。各直線経路部Laに複数の個別モータ組3Aが配置され、かつ曲線経路部Lbにも複数図示例では3台の個別モータ組3Aが配置されている。各個別モータ組3Aは互いに同じ構成のものでありただし、個別モータ制御手段6図1における、プログラムまたは設定データ等の一部は異なる、直線経路部Laと曲線経路部Lbとに同じ構成の個別モータ組3Aが設置されている。各個別モータ組3Aにおいて、個別モータ6と、個別モータ制御手段6を構成する回路基板とは、互いに上下に重なる配置とされ、リニアセンサからなるセンサ15は、個別モータ6に対して移動経路Lの側方に配置されている。図2の移動経路Lは一例であり、移動経路Lは、例えば環状に続く形状や、S字状の形状、自由曲線など、自由な形状とできる。図1において、統括制御手段7は、弱電系の回路素子や、コンピュータおよびそのプログラムの一部等で構成される。統括制御手段7は、図4のように、リニアモータ全体の移動範囲Mを各個別モータ3毎に区分した担当範囲Mii:任意の自然数の情報を有している。個別モータ3は離散配置されているため、担当範囲Miは個別モータ3よりも長い範囲であり、また個別モータ3からある程度離れた位置で駆動力を確保するために、隣り合う担当範囲Miは一部を重複させ、例えば、個別モータ3間では2台の個別モータ3で駆動を行うようにしている。統括制御手段7は、上位制御手段図示せずから入力された位置指令xから、各個別モータ3を動作させる位置指令xiを、指令生成手段10により生成する。各個別モータ制御手段6は、モータ電流を個別モータ3に流す強電系のモータ駆動回路図示せずと、このモータ駆動回路を制御する弱電系の制御部図示せずとでなり、基板上に各回路素子を実装したものである。強電系のモータ駆動回路は、複数のスイッチング素子を設けたインバータ等からなり、駆動用の直流電源図示せずに接続されている。個別モータ制御手段6の前記弱電系の制御部は、マイクロコンピュータおよびそのプログラムや、回路素子等により構成される。各個別モータ制御手段6における前記弱電系の制御部に、モータ切替え応答部6aと、フィードバック制御部8とを有する。前記曲線経路部Lbに設置する個別モータ3の個別モータ制御手段6には、上記の他に、曲線対応補正手段9が設けられる。モータ切替え応答部8は、統括制御手段7から与えられた位置指令に応答して、入力された位置指令をフィードバック制御部8へ伝える。フィードバック制御部8は、図4に一例を示すように、それぞれ位置,速度,電流のフィードバック制御を行う位置制御部11と、速度制御部12と、電流制御部13とを有している。すなわち、フィードバック制御部8は、位置ループ、速度ループ、および電流ループを有するカスケード制御を行う。位置制御部11は、個別モータ3に対する可動子4の現在位置を検出する前記センサ15の検出値と位置指令の指令値との偏差に応じ、定められた位置ループゲインのフィードバック制御を行う。位置制御部11は、その出力として速度指令値を出力する。速度制御部12は、センサ15の位置検出値から速度を検出する微分手段等の速度検出手段16を経て得られる速度検出値と、速度指令値との偏差に応じ、定められた速度ループゲインのフィードバック制御を行う。速度制御部12は、その出力として電流指令値を出力する。電流制御部13は、個別モータ3に印加される駆動電流を電流検出器等の電流検出手段14で検出して、電流検出値と電流指令値との偏差に応じた電流指令値を、定められ電流ループゲインを用いて生成し、モータ駆動電流を制御する。この電流制御部13は、ベトクル制御等で制御するものであり、可動子4の磁極位置に対応して電流制御を行う機能を有している。前記曲線対応補正手段9は、前記センサ15の出力から得た検出値を曲線経路部Lbの曲線と前記センサ15の位置との関係に対応して補正し、補正された検出値を個別モータ3の制御に用いる手段である。曲線対応補正手段9は、具体的には、前記センサ15の出力を用いて、定められた計算式に従い前記可動子4の磁極位置を求めて前記電流制御部13図4に入力するものである。前記の定められた計算式として、次式1を用いる。ただし、xmiはiiは自然数番目の個別モータにおける磁極位置rad、sはセンサ出力値、xoffsetiはi番目の個別モータの磁極合わせ時の位置、tpは磁極ピッチ、cxは補正項、nはセンサ拡大率前記曲線経路の曲率中心に対する経路中心線の位置までの距離とセンサまでとの距離の比である。前記磁極位置は、図9に示すように、個別モータ3の可動子移動方向の中心位置O3に対する、可動子4の任意のN,S極からなる磁極対図では2つ目の磁極対を示している4p内における定められた特定の位置を言う。この定められた特定の位置は、図示の例では、S極における最も磁力が大きくなる位置としている。単位はradである。xmiは、この磁極位置について、i番目の個別モータにおけるものを示す。各磁極対は等ピッチである。センサ出力値sは、センサ15を構成する磁気センサ素子である各センサ素子15aのうちの、前記中心位置O3にあるセンサ素子15aの出力であり、検出した磁力磁界の強さを電圧値等で出力する。xoffsetiは、i番目の個別モータ3の、例えば磁極合わせ時の位置である。センサ素子15aは、磁界が一定であるとすれば、X方向移動方向の位置にかかわらずに出力に線形性を持つように設置するのが理想であるが、設置の都合上で出力に差が生じてしまう。そのため、定められた特定の位置でのセンサ出力値を測定して、オフセット値xoffsetとして記憶させておき、センサ出力から減算する。xoffsetiは、例えば図12に示す値である。この値は、システムの仕様、センサ仕様によって変化する。一例として磁極合わせ時の位置を基準とした例を挙げたが、この場合、磁極合わせ時の位置がゼロとなるように調整する値となる。なお、xoffsetiは、初期設定される値であり、変化しない。この実施形態のシステムでは、システム立ち上げ時に磁極合わせ作業を行って各個別モータ制御手段6の持つサーボドライバに学習させる立ち上げ時に、一度のみ。関連する情報として、図6に示すdixを挙げる。dixは、可動子4の位置によって変化する値として定義される。図12中にその値を示した図は個別モータ3が4台の場合。センサフィードバックが非線形性を有する場合、dixを計測しながら運転することで、センサフィードバックの非線形性を考慮した各モータ指令値を生成することができる。位置指令値整形によるセンサフィードバックの非線形性補償につき説明する。離散配置リニアモータ1における指令値生成は、統合座標から各個別モータ3への指令値分解を基本としている。従来手法では、センサフィードバックが十分に線形性を持つと仮定し、xoffsetiを固定値として扱っていた。そのため、図11Bのようにセンサフィードバックの非線形性が強くなると、急激な偏差の増大等を招き、可動子4の挙動に振動等などの大きな影響をもたらした。この実施形態の手法では、センサフィードバックの非線形性を考慮して、xoffsetiを運転中に計測し、図11Aに示すように、即座に指令値に反映させることにした。これによって、リニアモータ1を統括する統括制御手段7または個別モータ制御手段6は、事前にセンサフィードバックの非線形性に関係する情報無しに、簡単な演算によってリニアモータ1の非線形性を補償できる。そのため、可動子4を滑らかに運転することが可能となる。磁極ピッチtpは、可動子4におけるN,S極の磁極対の配置のピッチである。補正項cxは、センサ15自体やその配置によって必要となる補正値であって、任意に定めれば良く、事前の測定等により適宜の値を求めて定める。補正項cxは移動方向の位置xの関数として定められる。前述のように、補正項cxは、可動子の位置による関数であり、適宜に定めれば良い。例えば、補正項cxは、個別モータ3のスキュー角度を考慮した際に、位置xに応じて0~2πの値をとる。センサ拡大率bは、例えば、図10に示すように、前記曲線経路Lbの、検出に用いるセンサ素子15aのある位置における、曲率中心Oに対する、経路中心線Lb0の位置までの距離Aとセンサまでの距離Bの比、B/Aである。経路中心線Lb0は、可動子4の移動する運動中心の軌跡である。なお、センサ拡大率bは、センサの設置状況、可動子4のレールの構成等により変わってくる値であり、これらを考慮して適宜に設定される。上記の式1により、曲線経路部Lbにおいても磁極位置xmiの検出が精度良く行える。この検出した磁極位置xmiを電流制御に用いることで、曲線経路部Lbにおける精度の良い位置,速度制御を行うことができる。同期型のリニアモータでは、個別モータ3への永久磁石からなる可動子4の突入時には、コイルインダクタンスや鎖交磁束が位置で変化するため、精度の良い位置や速度制御には、磁極位置xmiに応じた電流制御が重要となる。この磁極位置xmiに応じた電流制御には、磁極位置xmiを精度良く検出することが必要であるが、リニアスケールからなるセンサ15を用いた場合、曲線経路部Lbでは磁極位置xmiの検出が困難である。この課題を、上記の計算式1による手法で解消することができる。図1において、前記統括制御手段7の指令生成手段10は、モータピッチ測定部10aと指令生成部10bとを有する。モータピッチ測定部10aは、個別モータ3のピッチであるモータピッチdixを、可動子4の位置検出に用いる前記センサ15の出力を用いて測定する。センサ15の出力は、個別モータ制御部6から統括制御手段7へ送信し、この送信された値をモータピッチの測定に用いる。モータピッチ測定部10aによる測定は、可動子4の走行毎に行う。指令生成部10bは、上位制御手段から入力された位置指令xに対して、モータピッチ測定部10aで測定されたモータピッチ10aを用い、定められた式に従って、各個別モータ3を動作させる位置指令xiを生成する。この定められた式として、次式2,3を用いる。ただし、xiは、i番目の個別モータ3に対する位置指令、dixは、モータピッチ、xiは、i番目の個別モータ3の個別モータ制御手段6から送信される位置フィードバック値、kはセンサ仕様により任意に定められる変換係数である。統括制御手段7の指令生成手段10による位置指令xiの生成につき、図7,8AおよびBを用いて説明する。指令生成手段10は、上位制御手段から入力された位置指令xに対して、この位置指令xの移動範囲を担当範囲Mi図5として含む各個別モータ3に、その個別モータ3毎の値座値に座標変化した指令として分配する。すなわち、リニアモータ1の全体としての位置は、端部の個別モータ3の原点位置となるが、個々の個別モータ3は、その個別モータ3の持つ原点位置の座標で駆動されるため、リニアモータ1の全体の座標位置から、動作させようとなる個別モータ3の原点位置までの値を差し引いた値が、その動作させようとする個別モータ3に対する位置指令xiとなる。したがって、各個別モータ3のセンサ15の検出値は、図7のようになる。図8Bのように、各センサ15の検出値を、重複範囲を除いて加算した値が、リニアモータ1の全体としての位置を示す。上記のリニアモータ1の全体の座標位置から、動作させようとなる個別モータ3の原点位置までの値を差し引く計算を行うにつき、各個別モータ3間のモータピッチdixの値が必要となる。モータピッチdixは、直線経路部Laでは既知の値として定めることができるが、曲線経路部Lbでは、既知の値として精度良く定めることが困難である。そこで、この実施形態では、可動子4の位置検出に用いるセンサ15の出力を用いて、モータピッチdixを測定し、上記の式2,3により求めている。式3において、xi1-xi/kとあるのは、単にi1番目の個別モータ3の位置の検出値xi1から、i番目の個別モータ3の位置の検出値xiを差し引いただけでは、センサ仕様による誤差が生じるため、その誤差を無くすため、適切となるセンサ仕様による変換係数nkを定めておいて係数と除算したものである。式3において、右辺は、上位制御手段より与えられた位置指令xから、モータピッチdixを差し引いた値を示す。なお、ここで差し引くモータピッチdixは、リニアモータ1の始端から移動開始させる場合、始端の個別モータ3から、移動させようとする範囲の終端の個別モータ3までの全ての個別モータ3間のモータピッチを加算した値である。このように、可動子4の位置検出に用いる前記センサ15の出力を用いてモータピッチdixを測定して上記式2,3の計算を行うことにより、曲線経路部Lbにおいても、センサ15の非線形性を補償し、各個別モータ3の個別モータ制御装置6に、精度良く位置指令xiを与えることができる。上記構成の離散配置リニアモータシステムによると、このように、固定側として一次側の電機子からなる個別モータ3を離散配置したため、コイル使用量が少なくて済み、かつ移動側に給電する場合に比べて給電系が簡素にできる。また、一次側の電機子となる複数の個別モータ3と、位置検出要のセンサ15と、各個別モータ3を制御する個別モータ制御手段6とを組として設け、この個別モータ3、センサ15、および個別モータ制御手段6を配列するようにしたため、経路各部の構成部品が共通化できて、コスト低下を図ることができる。また、個別モータ制御手段6に、前記センサ15の出力から得た検出値を曲線経路部の曲線と前記センサの位置との関係に対応して補正し、補正された検出値を個別モータ3の制御に用いる曲線対応補正手段8を設けたため、直線経路部Laの構成部品となる個別モータ3、センサ15、および個別モータ制御手段15の組と同じものを、曲線経路部Lbに用い、曲線経路部Lbでは個別モータ制御手段6にプログラム等による曲線対応補正手段9を設けるだけで、曲線経路部Lbにおける位置,速度制御を精度良く行うことができる。この曲線対応補正手段8は、具体的には、上記の式1によって磁極位置xmiを求め、フィードバック制御部8の電流制御部13による電流制御に用いるようにしたため、曲線経路部Lbにおける位置,速度制御を良好に行うことができる。また、統括制御手段7に、上記のようにモータピッチ測定部10aと指令生成部19とを有する指令生成手段10を設け、上記の式2,3により、磁極位置や、センサ15と経路の位置関係、センサ出力に対するオフセット値等を用いて個別モータ3への位置指令を生成するようたにしたため、離散配置リニアモータ1としながら、センサ15の出力の非線形性を良好に補償することができる。図13,図14は、この離散配置リニアモータシステムを適用した搬送装置21の一例を示す。図13に示すように、この搬送装置は、旋盤等からなる工作機械20に対してワークの搬入搬出を行うガントリ型のローダとなるものである。この搬送装置21は、水平なフレーム22に長さ方向に沿って設けられたレールに走行体23が走行自在に設置され、走行体23に、走行方向X方向と直交する方向である前後方向Z方向に移動自在に前後移動台24が搭載されている。前後移動台24にロッド状の昇降体25が昇降自在に設置され、昇降体25の下端にワークを把持可能なチャック26を有するローダヘッド27が設けられている。チャック26と工作機械20の主軸20aとの間で、ワークの受渡しが行われる。上記走行体23の走行駆動源として、離散配置リニアモータ1が設けられている。離散配置リニアモータ1は、その各個別モータ3が、フレーム22に長さ方向に沿って配列され、走行体23に前記可動子4が設けられている。図14に示すように、走行体23は、上記フーム22に設けられたレール28に車輪29により走行自在に設置されている。なお、この例では個別モータ3の下側に可動子4が対向して位置する。この実施形態における離散配置リニアモータ1、およびその乗り移り制御装置2は、特に説明した事項の他は、図1~図12と共に前述したとおりである。以上のとおり、図面を参照しながらこの発明の好適な実施形態を説明したが、この発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。したがって、そのようなものもこの発明の範囲内に含まれる。"