"基体と、前記基体に対して移動可能な可動部と、前記可動部を駆動するアクチュエーターと、前記可動部または前記可動部とともに動く部分に取り付けられた慣性センサーと、画像を撮影し前記画像により前記慣性センサーの位置または角度を検出する絶対位置検出部と、前記絶対位置検出部により検出された位置または角度の間を、前記慣性センサーの信号で補間する演算部と、を備えたことを特徴とするロボット装置。所定の条件で、前記画像による位置または角度の検出頻度を切り替えることを特徴とする請求項1のロボット装置。前記所定の条件は、現在位置と目標位置までの距離であることを特徴とする請求項2のロボット装置。前記所定の条件は、特定の位置であることを特徴とする請求項2のロボット装置。前記所定の条件は、前記可動部の速度であることを特徴とする請求項2のロボット装置。前記画像による位置または角度の検出頻度が一定であることを特徴とする請求項1のロボット装置。前記画像による位置の検出が失敗したと判断したときに、前記演算部は前記慣性センサーで位置または角度を補間し続けることを特徴とする請求項1のロボット装置。前記画像で得られた位置情報から算出した速度の低周波側の情報と前記慣性センサーで得られた速度の高周波側の情報とを用いて制御されることを特徴とする請求項1のロボット装置。前記画像から位置または角度を検出するたびに、前記演算部は前記慣性センサーが検出する位置または角度を用いて算出した位置または角度の校正を行うことを特徴とする請求項1のロボット装置。前記慣性センサーが静止したときに、前記演算部は前記慣性センサーが検出する位置または角度を用いて算出した位置または角度の校正を行うことを特徴とする請求項1のロボット装置。前記慣性センサーは、角速度センサーであることを特徴とする請求項1のロボット装置。前記慣性センサーは、加速度センサーであることを特徴とする請求項1のロボット装置。前記アクチュエーターは、ステッピングモーターであることを特徴とする請求項1のロボット装置。前記絶対位置検出部は画像センサーを有し、前記画像を撮影する前記画像センサーは、前記可動部に取り付けられていることを特徴とする請求項1のロボット装置。つまり、精度の良い角度センサーは入手し難く、構成し難い。また、画像を撮影する方法では高い精度が実現できない。また、慣性センサーを用いるときは絶対位置や角度を検出し難い。そこで、簡易な構成で高精度な制御を行うことができるロボット装置が望まれていた。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例にかかるロボット装置は、基体と、前記基体に対して移動可能な可動部と、前記可動部を駆動するアクチュエーターと、前記可動部または前記可動部とともに動く部分に取り付けられた慣性センサーと、画像を撮影し前記画像により前記慣性センサーの位置または角度を検出する絶対位置検出部と、前記絶対位置検出部により検出された位置または角度の間を、前記慣性センサーの信号で補間する演算部と、を備えたことを特徴とする。本適用例によれば、アクチュエーターが可動部を駆動することにより、基体に対して可動部が移動する。可動部には慣性センサーが取り付けられ、慣性センサーの角速度または加速度を検出して信号を出力する。絶対位置検出部は慣性センサーの位置または角度を画像により検出する。そして、演算部は絶対位置検出部により検出された位置または角度の間を、慣性センサーの信号で補間する。従って、画像から得られる第1位置情報を演算部が補間するため、画像は高いフレームレートでなくても精度良く位置または角度を検出することができる。その結果、角度センサーを使用するときに比べて簡便に、演算部の負荷を抑えつつ高い分解能で慣性センサーの位置または角度を検出できる。また、モーターの回転角度を検知する角度センサーでは得ることが出来ない可動部の第1位置情報を絶対位置検出部と慣性センサーとで検出することができる。従って、基体に対して駆動する可動部の制御を簡便な構成で高精度に行うことができる。尚、本適用例における画像とは、被写体の形状のみではなく、色や光の明暗等、広く光学センサーにより取得された情報のことを示す。[適用例2]上記適用例に記載のロボット装置は、所定の条件で、前記画像による位置または角度の検出頻度を切り替えることを特徴とする。本適用例によれば、処理として負荷が高い画像による慣性センサーの位置の検出を、ロボットの動作に適した頻度で行うことができる。従って、画像処理の負荷を減らすことで低消費電力化ができる。[適用例3]上記適用例に記載のロボット装置では、前記所定の条件は、現在位置と目標位置までの距離であることを特徴とする。本適用例によれば、可動部が停止する目標位置において高い位置精度が要求されるロボット装置の場合、可動部の現在位置と目標位置までの距離が近いほど高い絶対位置精度が必要である。本適用例によれば、現在位置と目標位置が近づいたときに画像を取得する頻度を上げることができる。従って、高精度な目標位置到達精度を安価に実現できる。[適用例4]上記適用例に記載のロボット装置では、前記所定の条件は、特定の位置であることを特徴とする。本適用例によれば、可動部がある頻度で特定の位置を通過、または特定の位置で停止するときに撮影する。従って、絶対位置検出部は特定を位置を撮影するようにできるため、絶対位置検出部は撮影する場所を移動させることがない。その結果、絶対位置検出部をより簡易にすることができる。[適用例5]上記適用例に記載のロボット装置では、前記所定の条件は、前記可動部の速度であることを特徴とする。本適用例によれば、可動部の速度の条件で位置または角度の検出頻度を切り替えている。画像により位置を検出する第1位置情報は、検出の対象とする可動部の動作が遅い方が、位置精度を高くすることができる。逆に、慣性センサーでは検知の対象とする可動部の動作が速い方が検出精度が高い。可動部の速度域が低速から高速まで幅広いロボット装置において、画像による位置の検出が容易な速度になってから画像を使用することで、高精度な制御を実現できる。[適用例6]上記適用例に記載のロボット装置は、画像による位置または角度の検出頻度が一定であることを特徴とする。本適用例によれば、ロボットの動作に関わらず、一定頻度で画像により位置を検出している。可動部の動作パターンが多岐にわたるロボット装置においも、演算部は一定の頻度で画像を撮影する指示を絶対位置検出部に出力すれば良いので演算部を簡略な構成にすることができる。[適用例7]上記適用例に記載のロボット装置は、前記画像による位置の検出が失敗したと判断したときに、前記演算部は前記慣性センサーで位置または角度を補間し続けることを特徴とする。本適用例によれば、画像による位置の検出が失敗した場合でも、ロボット装置の制御を継続できるため、ロボット装置としてロバスト性を高くすることができる。[適用例8]上記適用例に記載のロボット装置は、前記画像で得られた位置情報から算出した速度の低周波側の情報と前記慣性センサーで得られた速度の高周波側の情報とを用いて制御されることを特徴とする。本適用例によれば、画像で得られた位置情報から算出した速度の低周波側の情報と慣性センサーで得られた速度の高周波側の情報とを用いている。慣性センサーから得られた速度の高周波部分のみを利用するので、積分によるオフセット誤差が少なくできる為、精度良く制御することができる。[適用例9]上記適用例に記載のロボット装置は、前記画像から位置または角度を検出するたびに、前記演算部は前記慣性センサーが検出する位置または角度を用いて算出した位置または角度の校正を行うことを特徴とする。本適用例によれば、画像から位置または角度を検出するたびに慣性センサーが検出する位置または角度を用いて算出した位置または角度の校正を行っている。慣性センサーが出力する信号は、加速度や角速度の信号であるため、位置や角度を検出するためには積分処理が必要となる。温度や経年変化等の要因で慣性センサー信号にドリフト成分が生じると、位置や角度に誤差を生じる。しかも、可動部を何度も動作させることを繰り返すうちに誤差成分が蓄積されて、現在の位置や角度を見失う可能性がある。本適用例では画像から位置または角度を検出するたびに慣性センサーによる位置または角度の算出値を校正するため、演算部は精度良く位置または角度を算出することができる。[適用例10]上記適用例に記載のロボット装置は、前記慣性センサーが静止したときに、前記演算部は前記慣性センサーが検出する位置または角度を用いて算出した位置または角度の校正を行うことを特徴とする。本適用例によれば、慣性センサーが静止したときに、演算部は慣性センサーが検出する位置または角度を用いて算出した位置または角度の校正を行っている。従って、慣性センサーが検出する速度及び加速度が0である為、検出する速度及び加速度が変動するときに比べて慣性センサーの校正を容易に行うことができる。[適用例11]上記適用例に記載のロボット装置では、前記慣性センサーは、角速度センサーであることを特徴とする。本適用例の慣性センサーは角速度センサーである為、可動部の動きが回転運動のときに精度よく回転角度を検出することができる。[適用例12]上記適用例に記載のロボット装置では、前記慣性センサーは、加速度センサーであることを特徴とする。本適用例の慣性センサーは加速度センサーである為、可動部の動きが直線運動のときに精度よく加速度を検出することができる。[適用例13]上記適用例に記載のロボット装置では、前記アクチュエーターは、ステッピングモーターであることを特徴とする。本適用例によれば、絶対位置検出部が取得する画像と慣性センサーによりステッピングモーターの脱調を検出することができる。[適用例14]上記適用例に記載のロボット装置では、前記絶対位置検出部は画像センサーを有し、前記画像を撮影する前記画像センサーは、前記可動部に取り付けられていることを特徴とする。本適用例によれば、実質的に画像センサーと慣性センサーがほぼ同一の場所に取り付けられている。このため、可動部とは違うところに画像センサーを設置して慣性センサーの位置を検出するより、高精度に位置を検出できる。以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。尚、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。実施形態1図1は、実施形態1にかかるロボット装置の構成を示す模式正面図である。図1に示すように、本実施形態のロボット装置10は、水平に回転可能な、いわゆるスカラロボットである。ロボット装置10は架台8を備え、架台8には基体1が固定されている。基体1に対して、可動部2は回転可能に設置されている。基体1にはアクチュエーター3が設置され、可動部2はアクチュエーター3により駆動可能となっている。可動部2の先端に慣性センサー4が取り付けられている。ロボット装置10はアクチュエーター3を制御する演算部9を備え、慣性センサー4が出力する慣性センサー信号が演算部9に取り込まれる。可動部2のアクチュエーター3に対して反対の側には可動部2とともに動くロボットハンド7が設置され、ロボットハンド7には絶対位置検出部としての画像センサー5が取り付けられている。画像センサー5が出力する画像センサー信号は演算部9に取り込まれる。画像センサー信号が架台8に取り付けられたマーカー6を検知することで、慣性センサー4の位置または角度を検出する。尚、可動部2の動きは回転運動であるため、慣性センサー4には角速度センサーが用いられている。また、アクチュエーター3にステッピングモーターを用いると、画像センサー5と慣性センサー4によりステッピングモーターの脱調を検出できる。よって、簡便な構成で小型軽量のステッピングモーターの欠点を補うことができる。本実施形態の構成は、高精度なために入手が困難な角度センサーや高速度カメラを必ずしも必要とせず、簡便な構成であることが特徴である。ただし、本実施形態は角度センサーや高速度カメラとともに適用することを排除するものではない。図2は、実施形態1における演算部の信号処理を示すブロック図である。図2に示すように、演算部9は慣性センサー4、画像センサー5、アクチュエーター3と接続されている。画像センサー5及び慣性センサー4から得られた情報をもとに、演算部9はアクチュエーター3を制御する制御信号を生成する。そして、演算部9により、従来の角度センサーや高速度カメラを使用したアクチュエーター制御と同等以上の制御が行うことができる。図3は、画像により検出された位置情報を、慣性センサーより得られる位置情報で補間する方法の効果を説明するための図であり、直線補間する方法と比較して説明する。画像により検出された位置情報を第1位置情報とし、慣性センサーより得られる位置情報を第2位置情報とする。例えば、画像を30fpsframepersecondで取得する。すなわち位置情報を33ミリ秒間隔で取得する一方、アクチュエーターの制御周期が125マイクロ秒であったとすると、制御に必要な位置情報が不足するため何らかの方法で補間しなければならない。本実施形態は、慣性センサー4で得られる速度情報や加速度情報を積分することで第2位置情報を算出し、第1位置情報に不足する位置情報を第2位置情報にて補間するものである。ただし、速度情報を積分し続けると誤差が蓄積し第2位置情報にオフセットが生じるため、長時間の使用には耐えられない。したがって、あるタイミングにおいて基準となる第1位置情報の取得が不可欠である。図3において、横軸は時間の推移を示し、縦軸は可動部2の回転角度を示している。そして、センサー推移線11は慣性センサー4が移動する推移を示している。そして、位置検出点12は画像センサー5が撮影した画像を用いて第1位置情報を算出するタイミングを示している。補間線13は位置検出点12における第1位置情報を用いて慣性センサー4の回転角度の推移を直線補間して算出した線である。この図では分かりやすくするため極端な例を示しているが、直線補間した補間線13が、慣性センサーが実際に推移したセンサー推移線11とは大きく異なることが分かる。本実施形態では、位置検出点12の間を第2位置情報にて補間することによりセンサー推移線11により近い値を算出することが可能となっている。図4は、画像を用いて位置を検出するタイミングを説明するための図である。図4aは、一定のタイミングで画像より第1位置情報を取得し、第1位置情報の合間を慣性センサーより取得した第2位置情報で補間することを説明するための図である。図4bは、画像を用いた位置の検出が失敗したときに、慣性センサーの情報を使い続けることを説明するための図である。図4aに示すように、一定の間隔に設定された位置検出点12にて画像センサー5が画像を撮影する。つまり、検出頻度が一定となっている。そして、演算部9が第1位置情報を算出する。次に、位置検出点12の間では慣性センサー4の出力を用いて演算部9が第2位置情報を算出する。演算部9は第1位置情報と第2位置情報とを用いて慣性センサー4の位置を精度良く検出することができる。そして、演算部9は一定の頻度で画像を撮影する指示を画像センサー5に出力すれば良いので演算部9を簡略な構成にすることができる。図4bに示すように、所定の間隔に設定された位置検出点12にて画像センサー5が画像を撮影する。そして、演算部9が画像による位置の検出が失敗したと判断したときに、慣性センサー4の出力を用いて演算部9が第2位置情報で角度を補間し続ける。この方法によれば、画像による位置取得が失敗してもアクチュエーター3の制御が継続できる為、ロボット装置10としてロバスト性を高くすることができる。変形例1図5は、画像から位置情報を取得するタイミングを説明するためのグラフである。図5aにおいて、横軸は時間の推移を示し、画像センサー5を用いて第1位置情報を取得する期間と慣性センサー4を用いて第2位置情報を取得する期間とを示している。慣画の期間は慣性センサー4と画像センサー5との両方を用いて慣性センサー4の位置を検出する期間である。慣のみの期間は慣性センサー4を用いて慣性センサー4の位置を検出する期間である。縦軸は可動部2の角速度を示す。可動部2の速度によって慣画の期間と慣のみの期間が設定されている。可動部の角速度が高い時は慣性センサー4のみで位置検出を行い、可動部2の角速度が判定値以下に減速すると画像センサーによる第1位置情報の取得を開始する。慣画の期間において、位置検出の精度が必要でないときには慣のみの期間にしても良い。マーカー6を撮像することにより絶対値情報を取得するためには、画像センサーの移動速度が低速の方が、被写体のぶれ量が少ないため好ましい。この方法によれば、被写体のぶれ量が所定値以下であることが期待できるようになってから撮像を開始するため、演算部における画像処理量を減らすことができる。図5bに示すように、可動部2の角速度で画像センサー5は撮影レートを切替えている。つまり、位置検出頻度を切替えている。可動部2が加速するときは慣性センサー4のみを用いて位置を検出する。可動部2の角速度が第1判定値以下のときは60fpsで画像を撮影し、第1判定値以上第2判定値未満のときは5fpsで画像を撮影し、第2判定値以上のときは慣性センサー4のみを使って位置を検出する。このように可動部2の速度や加速度で画像センサー5が撮影するフレームレートを変化させても良い。ロボット装置10がより高い精度が求められる作業を行う際は、一般的に可動部2は低速であり、その際に画像センサー5が撮影するフレームレートを上げることは制御の位置精度を高める上で有効である。変形例2図6は、画像を用いて位置を検出するタイミングを説明するための模式図である。図6に示すように、基体1を中心として可動部2が回転する。ロボットハンド7の軌道に目標位置14が設定されている。ロボットハンドが、所定の距離以上目標位置に近付いたら画像による第1位置情報の取得を開始する。目標位置14から所定の距離より離れているときは、慣性センサー4による第2位置情報のみでアクチュエーター3を制御する。つまり、現在位置と目標位置までの距離で画像による角度の検出頻度を切り替えている。可動部2が停止する目標位置14において高い位置精度が要求されるロボット装置10の場合、可動部2の現在位置と目標位置14までの距離が近いほど高い絶対位置精度が必要である。本変形例によれば、現在位置と目標位置14が近づいたときに画像を取得する頻度を上げている。従って、高精度な目標位置到達精度を実現できる。さらに、この方法によれば、位置精度があまり要求されないロボットハンド7の位置決めまでの移動時に、演算部9の負荷を軽くすることができる。尚、距離の測定方法については、赤外線センサーや超音波センサー等を用いた直接的な距離測定手法のほかに、角度センサーや慣性センサー4の情報を累積して、現在の位置と目標の位置を算出する方法がある。また、画像センサー5を2つ以上用いて視差情報から距離を推定する方法や、目標とする対象物を画像センサー5で検出し認識できるかどうかの判定を繰り返すことでタイミングを決める方法等がある。変形例3図7は、変形例3にかかる演算部の構成を示すブロック図である。図7に示すように、演算部21は積分器15を備え、積分器15は慣性センサー4と接続されている。そして、積分器15はハイパスフィルター16HPFと接続されている。さらに、演算部21は位置変換器17を備え、位置変換器17は画像センサー5と接続されている。そして、位置変換器17はローパスフィルター18LPFと接続されている。ハイパスフィルター16とローパスフィルター18とは合成器19と接続され、合成器19は制御計算器20と接続されている。そして、制御計算器20はアクチュエーター3と接続されている。慣性センサー4が出力する角速度信号は積分器15に入力され、積分器15は角速度信号を積分して第2位置情報に変換する。そして、ハイパスフィルター16は第2位置情報のうち高周波成分のみを合成器19へ出力する。同様に、画像センサー5が出力する画像信号は位置変換器17に入力され、位置変換器17は画像信号から第1位置情報に変換する。そして、ローパスフィルター18は第1位置情報のうち低周波成分のみを合成器19へ出力する。合成器19は画像センサー5により検出された第1位置情報の低周波成分と、慣性センサー4の角速度信号を演算することにより得られる第2位置情報の高周波成分とを合成し位置情報を制御計算器20に出力する。そして、制御計算器20はアクチュエーター3の制御計算を行う。尚、慣性センサー4が加速度センサーならば2回の積分、角速度センサーならば1回の積分で第2位置情報を得られる。この方法によれば、慣性センサー4から得られた速度の高周波部分のみを利用するので、積分によるオフセット誤差が少なくできる為、精度良く制御することができる。さらに、この方法によれば、慣性センサー4の信号はロボットハンド7の振動を抑える役割を果たす。図8は、実施形態1にかかる慣性センサーを用いた位置情報校正処理のフローチャートである。ここでは、角速度センサーを慣性センサー4としている。ステップS1にて、画像により取得した最新の第1位置情報θnewをもとに、次に第1位置情報が得られるまでの間、角速度センサーより得られた角速度wを用いて算出した角度で位置情報を補間する。ステップS2において、アクチュエーター3の制御で用いられない未校正の角度θを演算する。アクチュエーター3の制御周期をΔtとすると、位置情報の校正処理を行わない角度θは、式1で表される。θ=θ0w×Δt式1ここでθ0は、前回演算した角度θである。この演算を繰り返していくと、角速度センサー信号のドリフト成分が蓄積され、角度θに誤差が発生する。ステップS3にて、この誤差を抽出し位置情報の校正を行った角度θcontを演算する。位置情報の校正を行った角度θcontは、式2で表される。θcont=θ1w-w_drift×Δt式2ステップS2とステップS3とは並行して行われ、次に、ステップS4に移行する。ステップS3の次にステップS10にも移行する。ステップS4にて、画像により第1位置情報を取得したかを判断する。取得したとき、ステップS5に移行する。ステップS5ではθnewとθとを比較し、慣性センサー4のドリフト成分を抽出する。ここで、w_drift=θdrift/n×Δt式3θdrift=θ-θnew式4である。ここで、ステップS3におけるθ1は、前回の制御で用いられた角度θ1である。nは、画像より得られた第1位置情報を角速度センサーより得られた角度情報で補間した回数である。この結果、位置情報の校正を行った角度θcontをアクチュエーター3の制御に用いることで、角度精度が必要程度に保証されるため、角度センサー等の精度を要する部材が不要となる。ステップS5の後ステップS6に移行する。ステップS6にてカウントをリセットして、ステップS7に移行する。ステップS7では画像によるデータを用いて位置情報を更新し、ステップS4に移行する。ステップS4にて第1位置情報を取得しないときステップS8に移行する。ステップS8ではカウントアップしてステップS9に移行する。ステップS9では慣性センサー4の出力を用いて位置情報を更新し、ステップS1に移行する。ステップS10ではθcontを用いたアクチュエーター3の制御演算を行い終了する。以上述べたように、本実施形態にかかるロボット装置10によれば、以下の効果を得ることができる。1本実施形態によれば、画像から得られる第1位置情報を演算部9が補間するため、画像は高いフレームレートでなくても精度良く位置または角度を検出することができる。その結果、角度センサーを使用するときに比べて簡便に、演算部9の負荷を抑えつつ高い分解能で慣性センサー4の角度を検出できる。また、可動部2の位置情報を画像センサー5と慣性センサー4とで検出することができる。従って、基体1に対して駆動する可動部2の制御を簡便な構成で高精度に行うことができる。2本実施形態によれば、処理として負荷が高い画像による慣性センサー4の位置の検出を、可動部2の動作に適した頻度で行うことができる。従って、位置変換器17の負荷を減らすことで低消費電力化ができる。3本実施形態によれば、現在位置と目標位置が近づいたときに画像を取得する頻度を上げることができる。従って、高精度な目標位置到達精度を実現できる。4本実施形態によれば、可動部2の速度の条件で位置または角度の検出頻度を切り替えている。可動部2の速度域が低速から高速まで幅広いロボット装置10において、画像による位置の検出が容易な速度になってから画像を使用することで、高精度な制御を実現できる。5本実施形態によれば、可動部2の動作に関わらず、一定頻度で画像により位置を検出している。可動部2の動作パターンが多岐にわたるロボット装置10においも、演算部21は一定の頻度で画像を撮影する指示を画像センサー5に出力すれば良いので演算部21を簡略な構成にすることができる。6本実施形態によれば、画像による位置の検出が失敗した場合でも、ロボット装置10の制御を継続できるため、ロボット装置10としてロバスト性を高くすることができる。7本実施形態によれば、画像で得られた位置情報から算出した速度の低周波側の情報と慣性センサー4で得られた速度の高周波側の情報とを用いている。慣性センサー4から得られた速度の高周波部分のみを利用するので、積分によるオフセット誤差が少なくできる為、精度良く制御することができる。8本実施形態によれば、画像から可動部2の回転角度を検出するたびに慣性センサー4が検出する回転角度を用いて算出した位置または角度の校正を行っている。従って、演算部21は精度良く位置または角度を算出することができる。9本実施形態によれば、慣性センサー4は、角速度センサーである為、可動部2の動きが回転運動のときに精度よく回転角度を検出することができる。10本実施形態によれば、アクチュエーター3は、ステッピングモーターである。画像センサー5が撮影する画像と慣性センサー4の出力によりステッピングモーターの脱調を検出することができる。11本実施形態によれば、画像センサー5は、可動部2に取り付けられている。従って、実質的に画像センサー5と慣性センサー4がほぼ同一の場所に取り付けられている。このため、可動部2とは違うところに画像センサー5を設置して慣性センサー4の位置を検出するより、容易に高精度な位置検出をすることができる。実施形態2次に、本発明の特徴的なロボット装置について図9に従って説明する。図9は、実施形態2にかかるロボット装置の構成を示す模式正面図である。本実施形態が実施形態1と異なる点は、ロボット装置が可動部を複数備えている点にある。本実施形態のロボット装置は、複数の関節を持つスカラロボットである。尚、実施形態1と同一の構成、部位、作用については、重複する説明は省略する。図9に示すように、ロボット装置23は架台8を備え、架台8上に基体1が固定されている。基体1に対して、可動部2はアクチュエーター3により駆動可能である。可動部2の先端に慣性センサー4が取り付けられ、慣性センサー4から第1慣性センサー信号が演算部24に出力される。可動部2の一端には回転軸を備えるアクチュエーター93が設置され、アクチュエーター93の回転軸には可動部92が設置されている。そして、可動部2に対して、可動部92はアクチュエーター93により駆動可能となっている。このとき、可動部92にとって、可動部2は基体固定部とみなせる。可動部92の一端にはロボットハンド7が設置され、ロボットハンド7には慣性センサー94が取り付けられている。慣性センサー94から第2慣性センサー信号が演算部24に出力される。絶対位置検出部としての画像センサー96は架台8に固定され、画像センサー96が撮影する画像の画像センサー信号が演算部24に出力される。画像センサー96は慣性センサー4と慣性センサー94とが移動する範囲を撮影可能な場所に設置されている。そして、画像センサー96が慣性センサー4と慣性センサー94とを撮影し、演算部24が慣性センサー4と慣性センサー94の動きを検出する。そして、演算部24は、第1慣性センサー信号と第2慣性センサー信号とを用いて、第1慣性センサー信号と第2慣性センサー信号の位置または角度を補間する。これにより、演算部24は慣性センサー4及び慣性センサー94の位置または角度を精度良く検出することができる。以上述べたように、本実施形態にかかるロボット装置23によれば、以下の効果を得ることができる。1本実施形態によれば、ロボット装置23の関節が複数あるときにも、慣性センサー4及び慣性センサー94の位置または角度を精度良く検出することができる。2本実施形態によれば、画像センサー96は慣性センサー4及び慣性センサー94を撮影可能な場所に設置されている。従って、慣性センサーが複数あるときにも、画像センサーの数は1つで検出することができる。実施形態3次に、本発明の特徴的なロボット装置について図10に従って説明する。図10は、実施形態3にかかるロボット装置の構成を示す模式正面図である。本実施形態が実施形態2と異なる点は、ロボット装置が垂直多関節ロボットである点にある。つまり、本実施形態のロボット装置は、複数の関節を持つ垂直多関節ロボットである。尚、実施形態1または実施形態2と同一の構成、部位、作用については、重複する説明は省略する。図10に示すように、ロボット装置25は架台8を備え、架台8上には基体1が設置されている。基体1には回転軸が回転するアクチュエーター3が設置されている。アクチュエーター3の回転軸には支持体26が接続され、支持体26はアクチュエーター3により回転するようになっている。支持体26には回転軸を備えたアクチュエーター103が設置されている。アクチュエーター103の回転軸はアクチュエーター3の回転軸と直交する方向に配置されている。そして、アクチュエーター103の回転軸は可動部2と接続されている。これにより、可動部2はアクチュエーター103により回転可能になっている。可動部2の一端には回転軸を備えたアクチュエーター104と慣性センサー4が設置されている。アクチュエーター104の回転軸とアクチュエーター103の回転軸とは平行に配置されている。アクチュエーター104の回転軸は可動部27と接続されている。これにより、可動部27はアクチュエーター104により回転可能になっている。可動部27には回転軸を備えたアクチュエーター105が設置されている。アクチュエーター105の回転軸とアクチュエーター104の回転軸とは直交する向きに配置されている。そして、アクチュエーター105の回転軸は可動部28と接続されている。これにより、可動部28はアクチュエーター105により回転可能になっている。可動部28の一端には回転軸を備えたアクチュエーター106と慣性センサー101が設置されている。アクチュエーター106の回転軸とアクチュエーター105の回転軸とは直交する向きに配置されている。そして、アクチュエーター106の回転軸はロボットハンド29と接続されている。これにより、ロボットハンド29はアクチュエーター106により回転可能になっている。ロボットハンド29は直動式のアクチュエーター107と一対の指部を備えている。そして、アクチュエーター107を駆動することにより指部の間隔を変えることが可能になっている。ロボットハンド29には画像センサー5及び慣性センサー102が設置されている。ロボット装置25は動作を制御する演算部30を備えている。慣性センサー4,101,102からそれぞれ出力される第1慣性センサー信号、第2慣性センサー信号、第3慣性センサー信号と画像センサー5から出力される画像センサー信号が演算部30に入力される。演算部30は画像センサー5が撮影する画像より慣性センサー102の位置及び角度を検出する。そして、演算部30が第1慣性センサー信号、第2慣性センサー信号、第3慣性センサー信号を用いて、慣性センサー102の位置または角度を補間する。これにより、演算部30は慣性センサー102の位置または角度を精度良く検出することができる。そして、演算部30は、アクチュエーター3,103,104,105,106,107を、それぞれ第1制御信号,第2制御信号,第3制御信号,第4制御信号,第5制御信号,第6制御信号で制御する。尚、実施形態1では慣性センサー4の角度を検出したが、本実施形態では慣性センサー102の位置と角度とを検出している。本実施形態によれば、ロボット装置25が垂直多関節ロボットにおいても、画像センサー5と慣性センサー4,101,102とを用いることにより高精度な制御を実現できる。実施形態4次に、本発明の特徴的なロボット装置について図11に従って説明する。図11は、実施形態4にかかるロボット装置の構成を示す模式平面図である。本実施形態が実施形態2と異なる点は、ロボット装置が直交ロボットである点にある。つまり、本実施形態のロボット装置は、直交する2方向に移動する直交ロボットである。尚、実施形態1~実施形態3と同一の構成、部位、作用については、重複する説明は省略する。図11に示すようにロボット装置33は架台8を備え、架台8上には基体1が立設されている。そして、基体1には長尺のレール34が架台8と平行に設置されている。レール34に沿って可動部2が移動可能に設置され、レール34にはマーカー6が設置されている。基体1には回転軸を備えたアクチュエーター3が設置され、回転軸にはベルト116が取り付けられている。そして、レール34の一端にはプーリー34aが設置され、ベルト116はアクチュエーター3の回転軸とプーリー34aとの間で移動するようになっている。そして、ベルト116に可動部2が固定されている。これにより、アクチュエーター3はベルト116を介して可動部2を移動可能になっている。可動部2には長尺のレール35が設置されている。レール35の長手方向とレール34の長手方向とは直交する方向となっている。レール35に沿って可動部114が移動可能に設置され、レール35にはマーカー115が設置されている。可動部2には回転軸を備えたアクチュエーター111が設置され、回転軸にはベルト117が取り付けられている。そして、レール35の一端にはプーリー35aが設置され、ベルト117はアクチュエーター111の回転軸とプーリー35aとの間で移動するようになっている。そして、ベルト117に可動部114が固定されている。これにより、アクチュエーター111はベルト117を介して可動部114を移動可能になっている。可動部2には慣性センサー4及び画像センサー5が設置されている。画像センサー5はマーカー6を、絶対位置検出部としての画像センサー113はマーカー115を撮影して、演算部に出力する。可動部114には慣性センサー112及び画像センサー113が設置されている。尚、慣性センサー4,112は加速度センサーとなっている。そして、ロボット装置33は動作を制御する演算部36を備えている。慣性センサー4,112からそれぞれ第1慣性センサー信号及び第2慣性センサー信号が出力される。そして、画像センサー5,113からは第1画像センサー信号及び第2画像センサー信号が出力される。第1慣性センサー信号及び第2慣性センサー信号と第1画像センサー信号及び第2画像センサー信号とが演算部36に入力される。演算部36は第1慣性センサー信号及び第2慣性センサー信号を2回積分することにより位置信号に変換する。そして、第1画像センサー信号を用いて慣性センサー4の位置を検出し、第1慣性センサー信号を用いて慣性センサー4の位置を補間する。同様に、第2画像センサー信号を用いて慣性センサー112の位置を検出し、第2慣性センサー信号を用いて慣性センサー112の位置を補間する。そして、演算部36はアクチュエーター3,111にそれぞれ第1制御信号,第2制御信号を出力して制御する。アクチュエーター3はベルト116を介して可動部2を、アクチュエーター111はベルト117を介して可動部114を駆動する。本実施形態において、可動部2、可動部114の動きは直線運動であるため、慣性センサー4は加速度センサーが適している。本実施例によれば、可動部がベルトを介して直線的に駆動するロボット装置においても、高精度な制御を安価に実現できる。実施形態5次に、本発明の特徴的なロボット装置について図12に従って説明する。図12は、実施形態5にかかるロボット装置の構成を示す模式正面図である。本実施形態が実施形態4と異なる点は、ロボット装置がプロッターである点にある。つまり、本実施形態のロボット装置は、1方向に移動する可動部を有するロボットである。尚、実施形態1~実施形態4と同一の構成、部位、作用については、重複する説明は省略する。図12に示すように、ロボット装置としてのプロッター39は架台8を備え、架台8上には一対の基体1が立設されている。そして、基体1を架橋するレール40が設置され、レール40に沿って可動部2が移動可能になっている。一方の基体1には回転軸を有するアクチュエーター3が設置され、他方の基体1にはプーリー40aが設置されている。そして、回転軸とプーリー40aとの間にベルト121が掛けられている。そして、ベルト121に可動部2が固定されている。アクチュエーター3が回転軸を回転させるとき、可動部2はレール40に沿って移動する直動機構を形成している。可動部2には慣性センサー4及び画像センサー5が設置され、基体1の一方にはマーカー6が設置されている。尚、慣性センサー4は加速度センサーとなっている。画像センサー5はマーカー6を撮影可能になっている。架台8上には回転軸を備えるアクチュエーター122が設置され、回転軸の軸方向はレール40の長手方向と同じ向きになっている。そして、アクチュエーター122の回転軸には可動部123が接続され、アクチュエーター122は可動部123を回転させることが可能になっている。可動部123上には紙41が設置され、可動部123が回転することにより、紙41が移動する。つまり、可動部123は紙送り用ローラーとなっている。プロッター39は、動作を制御する演算部42を備えている。慣性センサー4から出力される慣性センサー信号と画像センサー5から出力される画像センサー信号は演算部42に入力される。演算部42は慣性センサー信号を2回積分することにより位置信号に変換する。そして、画像センサー信号を用いて慣性センサー4の位置を検出し、慣性センサー信号を用いて慣性センサー4の位置を補間する。演算部42はアクチュエーター3に第1制御信号を出力して制御し、アクチュエーター122に第2制御信号を出力して制御する。画像センサー5は、マーカー6を撮影した画像の信号を演算部42に送り、画像の信号は位置情報に変換される。尚、アクチュエーター3はベルト121を介して描画機能を有する可動部2を駆動する。また、演算部42において算出された可動部2の位置情報をもとに、紙送り用ローラーである可動部123をアクチュエーター122が駆動する。マーカー6はLED等の光源で、画像センサーはその光を検知する程度の受光素子でも良い。本実施例によれば、演算部42が精度良く算出した可動部2の位置情報を他の可動部123の制御に使うことで、より高精度なプロッターを実現できる。尚、本発明本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。変形例4前記第1の実施形態では、一定の間隔、速度、目標までの距離に応じて画像による検出頻度を切替えた。他にも、予め設定した、特定の位置にて画像による位置検出を行っても良い。可動部2がある頻度で特定の位置を通過、または特定の位置で停止するときに撮影する。従って、画像センサー5は特定の位置を撮影するようにできるため、画像センサー5は撮影する場所を移動させたり、撮影する向きを変える必要がない。その結果、画像センサー5を支持する構造を簡易にすることができる。この内容は実施形態2~実施形態5にも適用できる。変形例5前記第1の実施形態では、慣性センサー4の校正を行う説明がなかった。慣性センサー4が停止しているときに、校正を行うのが好ましい。慣性センサー4が静止したときに、演算部9は慣性センサー4が検出する位置または角度を用いて算出した位置または角度の校正を行う。従って、慣性センサー4が検出する速度及び加速度が0である為、検出する速度及び加速度が変動するときに比べて慣性センサー4の校正を容易に行うことができる。この内容は実施形態2~実施形態5にも適用できる。"