"2枚の金属板と、これら両金属板間に密接挟着した熱伝導シートとからなる積層構成の複合熱伝導部材において、上記熱伝導シートに透孔を形成し、この透孔内に上記両金属板の間に介設して一体に固定するための金属板固着部を一方の金属板面に薄膜状に形成するとともに、熱伝導シートを両金属板の間に圧接した押圧状態で同金属板固着部を固化形成することを特徴とする複合熱伝導部材。前記金属板固着部は、昇温および減圧またはその一方の雰囲気中において固化形成することを特徴とする請求項1に記載の複合熱伝導部材。前記熱伝導シートは、前記両金属板の間の全外周部分を残して配置し、この全外周部分の両金属板の間に介設して一体に固定するための金属板固着部を一方の金属板面に無端状に薄膜形成してなることを特徴とする請求項2記載の複合熱伝導部材。前記金属板固着部は、低融点粉末金属材の溶融凝固によって形成してなることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の複合熱伝導部材。しかしながら、上記構成の放熱部材は、多数枚のグラファイトシートを多段に重ねるように構成しても放熱容量の増大が困難であり、更なる高出力化による発熱の増大と小型化による集中発熱に対応することが困難であった。すなわち、グラファイトシート間の熱流動は、間に介設する金属片の接触面積によって制限されることに加え、グラファイトシートと熱流動用の金属片とを密着させるための熱伝導性接着剤の熱伝導率が金属に比べて格段に小さいことから、グラファイトシートを多段に重ねても、その熱流動ネックによりグラファイトシート間の十分な熱流動が確保できないという問題があった。本発明の目的は、熱伝導シートを金属板の間に挟んで積層状に構成したコンパクトな積層体であって、層間の熱流動ネックを招くことなく積層体の全体に及ぶ良好な熱伝導を確保することができる簡易な構成の複合熱伝導部材を提供することにある。請求項1に係る発明は、2枚の金属板と、これら両金属板間に密接挟着した熱伝導シートとからなる積層構成の複合熱伝導部材において、上記熱伝導シートに透孔を形成し、この透孔内に上記両金属板の間に介設して一体に固定するための金属板固着部を一方の金属板面に薄膜状に形成するとともに、熱伝導シートを両金属板の間に圧接した押圧状態で同金属板固着部を固化形成することを特徴とする。上記金属板面に薄膜状に形成された金属板固着部は、熱伝導シートの透孔内において両金属板を一体に固定し、このとき、押圧力によって両金属板が熱伝導シートを圧接することから、金属板と熱伝導シートとの圧接面間に介在する空気層が押し出されることにより直接密着されて境界面における熱流動抵抗が最小限度に抑えられ、この両金属板と熱伝導シートとの密接状態は、金属板固着部の固化により、押圧力を除いた後においても継続される。請求項2に係る発明は、請求項1の構成において、前記金属板固着部は、昇温および減圧またはその一方の雰囲気中において固化形成することを特徴とする。上記金属板固着部を昇温および減圧またはその一方による低密度の雰囲気中において固化形成することにより、金属板と熱伝導シートとの間に挟み込まれる空気の量が小さく抑えられる。請求項3に係る発明は、請求項2の構成において、前記熱伝導シートは、前記両金属板の間の全外周部分を残して配置し、この全外周部分の両金属板の間に介設して一体に固定するための金属板固着部を一方の金属板面に無端状に薄膜状に形成してなることを特徴とする。上記両金属板の間の全外周部分に無端状に形成された金属板固着部は、押圧下の両金属板と密接する熱伝導シートを包含する領域を画成して両金属板を一体固定する。請求項4に係る発明は、請求項1~3の構成において、前記金属板固着部は、低融点粉末金属材の溶融凝固によって形成してなることを特徴とする。上記低融点粉末金属材は、加熱と冷却によって両金属板を一体固定する。請求項1に係る発明により、上記金属板面に薄膜状に形成された金属板固着部は、熱伝導シートの透孔内において両金属板を一体に固定し、このとき、押圧力によって両金属板が熱伝導シートを圧接することから、金属板と熱伝導シートとの圧接面間に介在する空気層が押し出されることにより直接密着されて境界面における熱流動抵抗が最小限度に抑えられ、この両金属板と熱伝導シートとの密接状態は、金属板固着部の固化により、押圧力を除いた後においても継続される。この複合熱伝導部材の金属板の外表面に受けた熱流束は、効率よく熱伝導シートに向かい、この熱伝導シートの及ぶ範囲の熱拡散が行われるとともに、同様にして熱伝導シートの両面にそれぞれ接する金属板に対する高効率の熱移動により両金属板の外表面全体から、隣接媒体を介する熱伝導、または、隣接空間への熱輻射が行われる結果、沿面方向の熱伝導に優れる熱伝導シートの特性を最大限に生かして高効率の熱拡散が可能となる。したがって、熱伝導シートとの密接による高性能の複合熱伝導部材を固化材の印刷等の薄膜形成処理によるコンパクトな積層体として簡易に構成することができる。請求項2に係る発明は、請求項1の効果に加え、上記金属板固着部を昇温および減圧またはその一方による低密度の雰囲気中において固化形成することにより、金属板と熱伝導シートとの間に挟み込まれる空気の量が小さく抑えられることから、高度の直接密着により境界面における熱流動抵抗が更に小さく抑えられる。請求項3に係る発明により、請求項2の効果に加え、上記両金属板の間の全外周部分に無端状に形成された金属板固着部は、押圧下の両金属板と密接する熱伝導シートを包含する領域を画成して両金属板を一体固定することから、熱伝導シート周りの低密度の雰囲気が維持されるとともに、両金属板の外表面に受ける大気圧との差による圧接力が金属板と熱伝導シートとの間に作用して圧接面間に介在する空気層が押し出されて境界面における熱流動抵抗が更に小さく抑えられる。また、熱伝導シートと金属板固着部との間の減圧空間により、気密低下があっても内圧の大きな変動が緩和されて略一定に保持されることから、長期に亘り安定した熱拡散特性を確保することができる。請求項4に係る発明により、請求項1~3の効果に加え、上記金属板固着部として低融点粉末金属材を適用することにより、加熱と冷却の簡易な取扱いによって両金属板を一体固定することができることから、低融点合金粉末のスクリーン印刷、溶融加熱、真空タンクによる減圧冷却等の簡易な工程によって耐久性と熱拡散性に優れた複合熱伝導部材を得ることができる。上記技術思想に基づいて具体的に構成された実施の形態について以下に図面を参照しつつ説明する。図1は本発明の複合熱伝導部材の基本構成例についての分解斜視図である。複合熱伝導部材1は、外郭表装部材を兼ねる銅板等による2枚の金属板2,3と、これら両金属板2,3の間に密接挟着した薄膜状グラファイト等の熱伝導シート4とから積層状に構成される。両金属板2,3の間には、熱伝導シート4の外縁全周に臨んで大気圧より低い気圧に減圧した状態で介設して一体に気密固着する耐熱性の外周用の金属板固着部5を無端形成し、また、熱伝導シート4に透孔4a...を格子配置または散点状に形成し、この透孔4a...内に両金属板2,3の間を大気圧より低い気圧下で両金属板2,3に介設して一体に気密固着する耐熱性の透孔用金属板固着部6を形成する。外周用金属板固着部5、透孔用金属板固着部6は、例えば、印刷塗布によって薄膜形成が可能なクリームハンダ等の低融点の熱伝導金属の粉末が最適である。上記構成の複合熱伝導部材1の製造については、その製造例の工程図を図2に示すように、まず、第一金属板の装填の第1工程以下においてP1の如く略記する。において、第一金属板2として所要の放熱板形状に準備した銅板をスクリーン印刷のための所定位置に設定装着する。次に、金属板固着部の塗布工程P2において、外周用金属板固着部5、透孔用金属板固着部6を形成するためのスクリーン印刷用メタル版厚さ50~300μmを位置合わせし、低融点合金粉末材をスキージー操作によって第一金属板2に片面印刷塗布することによりバンプを形成する。一般に、外周用金属板固着部5は略1mm幅、透孔用金属板固着部6は、直径が0.1mm~10mmの範囲でその略3倍の間隔に配置する。続く熱伝導シートの装填工程P3において、熱伝導シート4を第一金属板2の上記塗布面側に重ね合わせる。熱伝導シート4は、上記印刷塗布された外周用金属板固着部5、透孔用金属板固着部6に掛からない大きさに形状と透孔を形成して準備、すなわち、2枚の銅板間の縁部に全周形成する外周用金属板固着部5の内方に収まる形状にカットするとともに所定の透孔4a...を穿設したものを上記塗布部に掛からない所定位置に重ね合わせる。次いで、第二金属板の装填工程P4において、第二金属板3として所要の放熱板形状に準備した銅板を上記熱伝導シート4の上から蓋をするように所定位置に重ね合わせて三層状に構成し、この三層構成体を、次の押圧一体化工程P5において、熱伝導シート4が両金属板2,3と密接するように、両金属板2,3に押圧力を加えた状態で一体的に固定する。この三層構成の押圧固定体は、次の一体加熱工程P6において、所定の温度例えば230°Cまで段階的な昇温例えば5段階によって低融点金属粉末材を溶融させ、次いで、取り出した押圧固定体を一体減圧冷却工程P7において、真空ボックスにて減圧状態で固化するべく冷却する。このようにして構成された複合熱伝導部材1は、その内部構成を表す部分破断による平面図を図3に示すように、2つの金属板2,3の間に熱伝導シート4を挟むとともに、透孔用金属板固着部6の固着力によって両金属板2,3と熱伝導シート4との密接状態が確保されて隣接層間の熱流動抵抗を小さく抑えることができる。また、気密性の外周用金属板固着部5によってその内側領域が低圧に保たれ、その大気圧との差に基づく外圧を2つの金属板2,3の外面から受けて内面における熱伝導シート4との密接な接触が確保されることから、特に、複合熱伝導部材1の折り曲げ等の機械的作用下にあっても、安定して隣接層間の熱流動抵抗を小さく抑えることができる。この場合において、熱伝導シート4と金属板固着部5,6との間の減圧空間により、気密低下があっても内圧の大きな変動が緩和されて略一定に保持されることから、長期に亘り安定した熱拡散特性を確保することができる。2つの金属板2,3と間に密接される熱伝導シート4とによる層間の熱流動の様子は、多層構成の複合熱伝導部材11における作用説明断面図を図4に示すように、発熱部材Hから金属板2に集中的に熱流束を受ける状態において、この金属板2からの集中的な熱流束が隣接の熱伝導シート4に達することにより、その延設範囲に直ちに拡散されつつ隣接の金属板に移行し、結果として複合熱伝導部材1の内部の温度分布が略均一化されて発熱部材Hとの接触部を除く2つの金属板2,3の全表面Sにおける効率的な熱交換を実現することができる。この場合において、外表面に位置する2つの金属板2,3が大気から受ける外圧が層の重なり方向に作用することから、間に第三の金属板Mを含む多層構成の場合にあっても隣接層間に直列に同様の圧接力が作用して隣接層間の熱流動抵抗を小さく抑えることができる。したがって、多層化に応じて大きな熱拡散能力を確保することができ、大容量の放熱部材を構成することができる。また、透孔用金属板固着部6は、熱伝導シート4を挟む2つの金属板2,3を相互に一体固着して複合熱伝導部材全体としての剛性が確保されることから、複合熱伝導部材を大型多層に構成した場合にあっても、安定した取扱いが可能となるほか、外周用金属板固着部5を含め、粉末金属材のスクリーン印刷と融点までの昇温および減圧下の冷却とによって形成することができるので、簡易な工程によって耐久性に優れた複合熱伝導部材を得ることができる。さらに、透孔用金属板固着部6は、散点状の配置例の見取図を図5に示すように、発熱部材Hからの距離の増加に対して逆に隣接間距離を小さく設定する。すなわち、発熱部材Hの近傍位置6aについては隣接間距離を大きく、遠隔位置6bについては隣接間距離を小さく設定する。このような透孔用金属板固着部6の配置により、発熱部材Hの近傍における大きな圧接力による隣接層間の熱移動を確保しつつ、高密度の熱流束の拡散抵抗を抑えて効率よく周縁部まで拡散することができる。上述のように、複合熱伝導部材1は、印刷塗布等の薄膜形成処理によって簡易に高精度の処理が可能な透孔用金属板固着部6によって両金属板2,3と熱伝導シート4との間の圧接状態が維持されて層間熱流動抵抗が小さく抑えられる点を特徴とし、これに加え、気密性の外周用金属板固着部5がその内方に減圧領域を形成することにより、両金属板2,3と熱伝導シート4との接触面から空気を極力排出して直接接触する状態を維持するとともに、機械的な作用下にあっても、両金属板2,3に大気圧作用力を受けて熱伝導シート4のそれぞれの接触面に直接密着されて金属板と熱伝導シートとの間の層間熱流動抵抗が最小限度に抑えられることを特徴とするものである。なお、気密性の外周用金属板固着部5の形成は、上記工程に限られず、昇温および減圧またはその一方の雰囲気中で熱伝導シート4と両金属板2,3を密接維持しつつ、両金属板間を一体に固定するべく固化する気密性を有する固化材を用いることにより、上記同様の作用効果を確保しうることが明らかであることから、その説明を省略する。ここで、本発明の実施例として、上記複合熱伝導部材1による均熱板の熱拡散作用の実測例について説明する。前掲の図3の1層の熱伝導シート構成の複合熱伝導部材および比較例としての単一金属材による熱伝導部材による均熱板について、次の条件下における発熱体の昇温結果を得た。複合熱伝導部材は、被験用均熱板として、両面の金属板を銅板0.1mm厚、50mm角とし、熱伝導シートをグラファイトシート16点の1.8mm径透孔を形成とし、金属板固着部をクリームハンダ5mm幅の無端外周部および16点の1.4mm径透孔部の印刷バターンとし、その積層体を重錘加圧90g/cm2下で加熱リフロー炉によりクリームハンダを融解させ、放冷によって金属板固着部を形成する。また、上記被験用均熱板と同一外形寸法の銅板0.2mm厚、50mm角による比較用均熱板を準備する。使用材料は、いずれも均熱板としての実用構成材による。発熱部材はトランジスタ1W動作とし、被験用均熱板および比較用均熱板について、それぞれの下面に発熱部材を伝導性両面テープで固定し、発熱部材単体による昇温を含め、インキュベータ40°C恒温設定にて1W出力の通電下における発熱部材および各均熱板表面発熱部材の背面位置に貼着した熱電対により温度を測定する。使用機材は、いずれも一般的な熱負荷試験用部材による。上記測定による発熱部材の温度は、均熱板温度を括弧書きとして、A:発熱部材単体の場合に98.0°C、B:比較用均熱板付設66.7°Cの場合に79.4°C、C:被験用均熱板付設64.8°Cの場合に74.6°Cの結果が得られた。すなわち、40°Cの無風雰囲気における発熱部材の温度上昇幅については、発熱部材単体の58.0°Cが、単一銅板により39.4°Cに圧縮されて18.6°Cの放熱効果、これに対し、前記構成の複合熱伝導部材により34.6°Cにまで圧縮されて23.4°Cの放熱効果が確認された。このように、本発明による複合熱伝導部材による放熱効果は、比較例対比に示すとおりの大きな有意差が認められることから、放熱効果を損なうことなく薄型化および軽量化に大きく貢献しうるものであり、また、容積重量の増加を招くことなく多層構成による大容量のヒートシンクを構成することができ、さらに、薄いテープ状に構成して発熱部材に直接貼付ける熱拡散部材として高出力部品の高密度実装を可能とするものである。"