希土類元素Sm、Fe、M、SiおよびNから構成され、ここで、MはBe、Cr、Al、Ti、Ga、Nb、Zr、Ta、Mo、Vの中の少なくても一種であり、その成分の80vol以上はTbCu7相である希土類永久磁性粉。前記MはCr、Zr、Mo、Vの中の少なくとも一種であることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁性粉。Smの含有量は7~12at、Siは01~15at、Mは01~15at、Nは10~15atの範囲内であり、残りはFeであることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁性粉。Smの含有量は7~10at、Siは02~08at、Mは05~15at、Nは10~15atの範囲内であり、残りはFeであることを特徴とする請求項3に記載の希土類永久磁性粉。前記MはZrとRで構成され、RはBe、Cr、Al、Ti、Ga、Nb、Ta、Mo、Vの中の少なくとも一種であることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁性粉。Smの含有量は7~12at、Siは01~15at、Zrは01~3at、Nは5~20at、Rは01~15atの範囲内であり、残りはFeであることを特徴とする請求項5に記載の希土類永久磁性粉。前記RとZrの原子比が005~05の範囲内にあることを特徴とする請求項6に記載の希土類永久磁性粉。前記RとZrの原子比が005~02の範囲内にあることを特徴とする請求項7に記載の希土類永久磁性粉。一部のFeはCoにより代替され、前記Coの含有量が0~30atであることを特徴とする請求項1乃至8の中のいずれかに記載の希土類永久磁性粉。一部のSmはその他の希土類により代替され、前記その他の希土類の含有量が0~10atであることを特徴とする請求項1乃至8の中のいずれかに記載の希土類永久磁性粉。TbCu7相の割合が90vol以上であることを特徴とする請求項1乃至8の中のいずれかに記載の希土類永久磁性粉。TbCu7相の割合が95vol以上であることを特徴とする請求項11に記載の希土類永久磁性粉。αFe相の割合が1vol以下であることを特徴とする請求項1乃至8の中のいずれかに記載の希土類永久磁性粉。平均厚さ10~100μm、平均サイズ10120nmのナノ結晶および非晶質から構成されることを特徴とする請求項1乃至8の中のいずれかに記載の希土類永久磁性粉。平均厚さ20~60μm、平均サイズ2080nmのナノ結晶および非晶質から構成されることを特徴とする請求項14に記載の希土類永久磁性粉。請求項1乃至15の中のいずれかに記載の希土類永久磁性粉とボンド剤とが粘着されてからなるボンド磁石。請求項16に記載のボンド磁石を利用した装置。主な製造法は以下の通りである。1一定成分のSmFe合金の原材料を中間周波数、アークなどの方法で溶かし、合金インゴットを作る。この合金インゴットを粉砕し、何ミリサイズの合金の塊を得る。2前記合金の塊を電磁誘導法で溶かし、それから液体合金をノズルを通し、回転する水冷銅輪に噴射し、急速冷却により板状のSmFe合金粉末を得る。3前記板状のSmFe合金粉末を粉砕し、ふるいにかけ、微細粉を取り除き、粒度10~100μmの粉末を得る。4前記粉末を750°Cで5~30分間焼き戻し、結晶粒子を均質化し、それから450°Cで30分間窒化処理する。窒化処理で使用するガスは工業用純窒素、水素とアンモニアガスの混合ガスである。5前記ステップで表1~13に示す磁性粉を得る。その後は磁性粉の厚さ、結晶粒サイズ、磁気性能などのテストを行う。以下に成分、合金粉末の板状の厚さ、結晶粒サイズ、磁性粉の性能、磁石の性能の角度から本発明の希土類永久磁性粉を説明する。1希土類永久磁性粉成分希土類合金粉末の成分は溶かしたSmFeB系合金粉末を窒化処理することで得られた成分。2合金粉末の板状の厚さ合金粉末は熔融合金液を水冷ロ―ラを通過することで形成する。その厚さはノギスで測定する。測定の精度を確保するため、同じロットの合金粉末50枚の厚さを測り、その平均値を算出する。厚さはλで表し、単位はμmである。3結晶粒サイズXRDを用いて結晶粒サイズを測定する。Cuをターゲットとし、磁性粉の相構造を考察する。結晶粒サイズはScherrer’s計算式で計算する。DKλβcosθK:Scherrer定数。その値は089であるが、一般に1とする。D:結晶粒サイズnmβ:ハーフハイト積分幅。計算時に弧度radに転換する。θ:回折角λ:X線波長、Cuターゲットの場合は0154056nm。結晶粒サイズは必ずしも同じとは限らないので、平均値を取る。ここでは結晶粒サイズをσで表示し、その単位はnmである。4磁性粉の性能磁性粉の性能は振動試料型磁力計で測定するVSM測定。5相比率評価の指標として、相比率を用いる。TbCu7の特性ピーク:426°、3654°、4803°Th2Zn17の特性ピーク:437°、375°αFeの特性ピーク:446°前記三つの特性ピークを用いて各相の含有量を決める。相比率Φは下記計算式で算出する。6収率収率は量産の際に考えなければならない重要な要素である。本実施例では、最終製品の質量M1と投入原材料の質量M2の比を収率として計算する。表1実施例:SmFeBeSiN磁性粉表2実施例:SmFeCrSiN磁性粉表3実施例:SmFeAlSiN磁性粉表4実施例:SmFeTiSiN磁性粉表5実施例:SmFeGaSiN磁性粉表6実施例:SmFeNbSiN磁性粉表7実施例:SmFeZrSiN磁性粉表8実施例:SmFeTaSiN磁性粉表9実施例:SmFeMoSiN磁性粉表10実施例:SmFeVSiN磁性粉表11実施例:SmFeCoMSiN磁性粉表12実施例:SmRFeMSiN磁性粉表1~12の実施例のデータから分かるように、本発明の希土類永久磁性粉は良い磁気性能を見せた。Siの添加は非晶質の形成を促進したため、各合金のTbCu7構造の割合は80以上を達した。SiとMの協同効果で磁性粉の粘度が減少し、濡れ性が高くなった。また、MはCr、Zr、Mo、Vのうちの少なくても一種の場合、SiとMを合わせて添加することにより磁気性能を損なわないと共に、合金中の相構造の割合を増やし、磁性粉の濡れ性と合金の収率をさらに向上した。表13実施例:SmFeRZrSiN磁性粉表13の実施例のデータから分かるように、本発明の希土類永久磁性粉のM成分はZrとRRはBe、Cr、Al、Ti、Ga、Nb、Ta、Mo、Vのうちの少なくとも一種である場合、Si、ZrとRを添加することで希土類永久磁性粉のTbCu7構造の割合は高くなり、100近くなったXRDスペクトラムからでは不純物の相が見られなかった。また、RとZrの原子比は005~02の範囲内にある時、磁性粉の性能、粘度、収率と相構造は最もよいことが分かる。前記は本発明の好ましい実施例であり、本発明を限定するものではない。当業者であれば、本発明に各種変更を行うことができる。このような変更または改良などは、本発明の主旨と原則に基づいたものであれば、本発明の一部と見なされる。