透明性材料が、柱状部が周期的に形成される周期構造にパターニングされ、該周期構造を透過した後のTE偏光とTM偏光との間に、波長780nmにおいて、75°乃至105°の位相差と90以上のTE偏光およびTM偏光の平均透過率とを有し、且つ波長650nmにおいて、84°乃至96°の位相差と90以上のTE偏光およびTM偏光の平均透過率とを有し、さらに波長405nmにおいて、87°乃至93°の位相差と90以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率とを有し、前記柱状部の断面形状が台形であり、前記台形の底辺の長さが前記周期構造の周期の長さに等しく、且つ前記台形の片側のテーパー部分の幅が60nm以下であることを特徴とする広帯域1/4波長板。前記柱状部の断面形状は台形であり、前記台形の底辺の長さが前記周期構造の周期の長さに等しく、且つ前記台形の片側のテーパー部分の幅が60nm以下であって、さらに、前記柱状部の高さは2180nm以上2220nm以下であり、前記周期構造の周期の長さは330nm以上400nm以下であって、さらに前記柱状部の平均線幅は270nm以上350nm以下であることを特徴とする請求項1記載の広帯域1/4波長板。とろこで、構造複屈折により、90°程度のTE-TM間位相差と高い透過率を、しかも広い波長領域405nm、650nm、780nmにわたって実現するには、数百nmの構造周期に対して、高いアスペクト比の周期構造を寸法精度良く作ることが必要である。特にインプリント法においては、モールドを樹脂から分離するときの変形や形状劣化、すなわち離型性の問題があり、微細な構造を必要とする広帯域1/4波長板の作製には困難が伴っていた。柱状部を、断面形状が台形形状となるように形成することで離型性よく波長板を作製することが可能である。しかしながら、広い波長領域にわたって、高い透過率を実現するためには、高いアスペクト比の周期構造を厳しい寸法精度で適切に設定する必要がある。そこで、この発明は、上記従来の未解決の問題に着目してなされたものであり、高いアスペクト比の周期構造を有しつつ、寸法精度を緩和し寸法余裕度の大きい、広帯域な1/4波長板を提供することを目的としている。上述の課題を解決するために、請求項1にかかる広帯域1/4波長板は、透明性材料が、柱状部が周期的に形成される周期構造にパターニングされ、該周期構造を透過した後のTE偏光とTM偏光との間に、波長780nmにおいて、75°乃至105°の位相差と90以上のTE偏光およびTM偏光の平均透過率とを有し、且つ波長650nmにおいて、84°乃至96°の位相差と90以上のTE偏光およびTM偏光の平均透過率とを有し、さらに波長405nmにおいて、87°乃至93°の位相差と90以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率とを有し、前記柱状部の断面形状が台形であり、前記台形の底辺の長さが前記周期構造の周期の長さに等しく、且つ前記台形の片側のテーパー部分の幅が60nm以下であることを特徴としている。また、請求項2にかかる広帯域1/4波長板は、前記柱状部の断面形状は台形であり、前記台形の底辺の長さが前記周期構造の周期の長さに等しく、且つ前記台形の片側のテーパー部分の幅が60nm以下であって、さらに、前記柱状部の高さは2180nm以上2220nm以下であり、前記周期構造の周期の長さは330nm以上400nm以下であって、さらに前記柱状部の平均線幅は270nm以上350nm以下であることを特徴としている。本発明は、周期構造部分の断面形状が台形の周期構造からなり、各台形の底辺の長さが構造周期の長さに等しい。そのため、周期構造の凹んだ部分の断面形状は、三角形状となり、その結果、インプリントで作製する場合のモールドの断面形状も三角形状となるので、モールドを樹脂から分離するときの変形や形状劣化が生じにくい。これにより、微細な、高いアスペクト比構造であっても、コスト的に有利なインプリント法によって、精度よく広帯域1/4波長板を作製することができ、また、位相差と透過率の目標を達成するための広帯域1/4波長板の周期精度、線幅精度を緩和できる効果もある。さらに、周期構造を透過した後のTE偏光とTM偏光との間に、波長780nmにおいて、75°乃至105°の位相差と90以上のTE偏光およびTM偏光の平均透過率とを有し、且つ波長650nmにおいて、84°乃至96°の位相差と90以上のTE偏光およびTM偏光の平均透過率とを有し、さらに波長405nmにおいて、87°乃至93°の位相差と90以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率とを有し、前記周期構造部分の断面形状が台形の周期構造からなり前記台形の底辺の長さが前記周期構造の周期の長さに等しく、且つ前記台形の片側のテーパー部分の幅が60nm以下となるように、周期構造を作製するため、広帯域の1/4波長板を容易に実現することができる。以下に、本発明の実施の形態に係る広帯域1/4波長板について説明する。図1は、本発明の実施の形態における1/4波長板1の概略構成を示す構成図である。図1において、2は周期構造、3は透明性基板である。周期構造2は、同一形状を有する柱状部2aが複数隣接して配置されて構成される。柱状部2aは、断面形状が、上辺が細い台形形状を有し、台形の底辺部分で柱状部2aどうしが接するように形成される。そして、この周期構造2が透明性基板3上に形成されて1/4波長板1を構成している。この1/4波長板1は、入射光4が周期構造2と透明性基板3を透過した後のTE偏光5とTM偏光6との間に、波長780nmにおいて75°乃至105°の位相差があるともに、TE偏光5とTM偏光6の平均の透過率が90以上となるように形成される。また、波長650nmにおいて、入射光4が周期構造2と透明性基板3を透過した後のTE偏光5とTM偏光6との間に、84°乃至96°の位相差があるともに、平均の透過率が90以上となっている。さらに波長405nmにおいて、入射光4が周期構造2と透明性基板3を透過した後のTE偏光5とTM偏光6との間に、87°乃至93°の位相差があるともに、平均の透過率が90以上となっている。また、周期構造2の、断面形状における台形形状において、各台形の底辺の長さは構造周期の長さに等しくなっている。同時に、周期構造2を決める周期Λ底辺の線幅wbに等しい、上辺の線幅wa、高さhは、波長780nm、650nm、405nmにおける位相差と透過率の条件を満たすように決定されている。以下、本発明の1/4波長板1を設計した実施例、すなわち周期構造2の形状寸法の選択について、図面を用いて詳細に説明する。周期構造2となる透明性材料はポリカーボネイト以下、PCと略記するを例として説明する。透明性基板3としては、周期構造2と同じ材料の他に、合成ガラス、石英、アルミナなどがありうるが、波長400nmから780nmにわたって、光の吸収度をあらわす指標である消衰係数が実用上0ゼロであるものであればよい。ここでは周期構造2と同じPCを透明性基板3とする設計例について説明する。図2に、広帯域1/4波長板の一般的な目標性能を示す。図2のように、波長405nm、650nm、780nmの広い波長域において、高い透過率と90°前後の位相差が要求される。TE偏光5とTM偏光6間の位相差は、入射光4が透明性基板3上に形成された周期構造2を透過することによって、TE成分に対する屈折率とTM成分に対する屈折率に差ができることによって生じる。ここで、TE成分に対する屈折率をnTE、TM成分に対する屈折率をnTMとすると、屈折率差Δnは、Δn=|nTE-nTM|......1であり、周期構造2の高さをh、対象となる波長をλとすると、位相差PSは、PS°≒360°Δnh/λ......2で表わされる。屈折率差Δnは、周期構造2となる、もともとの透明性材料の光学定数屈折率n、消衰係数k、周期構造2の周期Λ、線幅w、及び入射光4の波長λに依存して決まる。したがって、広帯域1/4波長板1においては、それぞれ必要とする波長例えば405nm、650nm、780nmにおいて同時にPS=90°前後となるように、周期構造2の周期Λ、線幅w、及び高さhを選定する必要がある。ここで、周期構造2となる透明性材料の光学定数について考えると、周期構造2を透過後の屈折率差Δnは、もともとの透明性材料の屈折率が大きいほど屈折率差Δnも大きくなる。屈折率差Δnが大きくなると、前記2式より、90°の位相差を得るための周期構造の高さhが小さくてすむようになる。つまり、周期構造2のアスペクト比を小さく抑えるには、なるべく屈折率の大きい透明性材料を使うことが望ましい。しかしあまりに屈折率が大きいと、空間の屈折率=1との差が大きくなって、反射率が大きくなり、透過率が低下するようになるので、適度に屈折率の大きい透明性材料を使うことが望ましい。次に、透明性材料の消衰係数について考えると、周期構造2のアスペクト比を抑えても、少なくとも数百nm以上の高さhが必要であるので、透過率>90を満たすには、透明性材料の消衰係数は、必要な波長領域において、実用上0ゼロである必要がある。PC膜は、透明性高分子樹脂の中で比較的に屈折率が大きく、インプリント用樹脂としても使えることから、本発明に用いる透明性材料として適している。図3に代表的なPC膜の、波長λが405nm、650nm、780nmの場合の光学定数を示す。図3の特性を有するPC膜を透明性材料として、本発明の、断面の台形形状の底辺の長さが構造周期の長さに等しい周期構造2の、波長405nm、650nm、780nmにおける位相差、透過率を計算し、広帯域1/4波長板1の設計を行った。計算は、図4に示すように、周期Λ、断面の中間の高さにあたる平均線幅w、柱状部2aの高さhをパラメータとした。なお、図4から分かるように、平均線幅wと台形形状の上辺の幅図1ではwaとの片側あたりの差、および平均線幅wと台形形状の底辺の幅図1ではwbとの片側あたりの差をそれぞれaとすると、台形形状の片側あたりのテーパー幅は2aであり、Λ=w2aという関係が成り立つ。また、透明性材料の屈折率nは図3の値、広帯域1/4波長板1の周囲の屈折率n0は1.0として計算した。良好な計算結果が得られた例を図5に示す。図5は、構造の周期Λ=330nm、平均線幅w=270nm、したがって、片側あたりのテーパー幅60nmの場合の広帯域1/4波長板1において、高さhを横軸として、3つの波長での位相差を計算したものである。図5aは波長405nm、図5bは650nm、図5cは780nmの場合を表す。図5a~cのそれぞれにおいて、上部および右端部に記載された帯状部分は、図2の一般的な目標性能における位相差の許容範囲とそれに伴う高さhの許容範囲を表わしている。さらに、上記の構造のときの高さhに対する、波長405nmにおける透過率を計算すると図5dに示すように90以上となる。なお、波長405nmで透過率が90以上であると、波長650nm、および780nmにおいては、波長が長くなることと、屈折率が小さくなることとによる効果で、波長405nmで可能な範囲を含む、広い高さ範囲で透過率が90となるので、図を省略している。このように図5の結果より、このときの本発明の構造においては、ほぼ高さhが2180nmから2220nmの範囲で、波長405nm、650nm、780nmに対する位相差と、透過率の目標を達成することができ、本発明の実施の形態に関わる1/4波長板1を作製できることが分かる。図5と同様に、PC膜を透明性材料として用い、周期Λ、断面の中間の高さにあたる平均線幅w、柱状部2aの高さhをパラメータとして、本発明の構造の、波長405nm、650nm、780nmにおける位相差、透過率を計算した結果をまとめた表を図6に示す。なお、図6中の○、×の判定は、位相差においては、それぞれ波長405nmと650nm、または405nmと780nmにおいて、図2の位相差の目標範囲を満たす高さhが重なる部分が存在すれば○としている。また、透過率は目標の90以上を○としている。さらに、図6中の最適高さとは、位相差仕様を満たす高さh範囲の中央値を表す。比較例比較例として、図7に示す、柱状部が、垂直な断面を持つ周期構造についても、本発明の場合と同様の計算を行った。すなわち、PC膜を透明性材料として、図8のように、周期Λ、線幅w、周期部の高さhをパラメータとして、波長405nm、650nm、780nmにおける位相差、透過率を計算した。その結果をまとめた表を図9に示す。本発明の図6の結果と、従来構造の図9の結果とを比較すると、以下のことが分かる。すなわち、従来の垂直な断面を持つ周期構造においては、スペース幅Λ-wが77nm程度以下であれば、広帯域1/4波長板の目標性能を満たすことができる。しかしながら、同じ周期線幅であっても、線幅周期が5nm違えば、位相差若しくは透過率の目標仕様を満たさなくなる。したがって、従来構造の周期または線幅の必要精度は厳しく、5nm程度である。これに対し、本発明の底辺が周期長に等しい台形の周期構造2においては、ほぼテーパー幅2a60nm以下が必要なものの、周期で330nmから400nm、平均線幅では270nmから350nmの広い範囲で広帯域1/4波長板の目標をクリアすることができる。これは微細な加工における最大の課題である寸法精度を緩和できること、すなわち寸法余裕度を大きくできることを意味している。これはひとつには、断面が台形形状になることで加工部分の垂直方向の屈折率変化がより緩やかになり、反射率が低下する効果が生まれることによる。また、アスペクト比については、従来構造も本発明の構造も大きな差はなく、本発明の方法が、アスペクト比において特に不利になるということはない。