"内部流路を備えた第1の配管2と内部流路を備えた第2の配管3との間を着脱自在に接合する配管の継手構造であって、前記第1の配管2の上部外側に、略筒状の第1の継手部材4を嵌挿するとともに、前記第1の配管2の上端部に第1のドーナッツ板5を載置し、前記第1の継手部材4の上部開口端面に第2のドーナッツ板6を載置し、前記第2のドーナッツ板6の開口部に第2の継手部材7を嵌挿したことを特徴とする配管の継手構造。前記第1の継手部材4と前記第2の継手部材7の外側に耐火断熱体8を配置するとともに、当該耐火断熱体8の外側に、両端開口部にフランジ10を付設したベローズ9を配置し、さらに前記フランジ10に接合される相フランジ16にガスケット12を嵌挿した台座17を一体的に取り付けし、さらに押さえ板15により前記ガスケット12を前記第1の配管2及び前記第2の配管3に圧着させたことを特徴とする請求項1に記載の配管の継手構造。前記第1の配管2と前記第1の継手部材4との間、前記第1のドーナツ板5と前記第2の継手部材4との間、前記第2のドーナツ板6と前記第2の継手部材7との間、並びに前記第2の継手部材7と前記第2の配管3の間には、それぞれ隙間が設けられていることを特徴とする請求項1~2のいずれかに記載の配管の継手構造。前記耐火断熱体8の内部には冷却手段13が介在されていることを特徴とする請求項2~3のいずれかに記載の配管の継手構造。前記第1の継手部材4と前記第2の継手部材7と前記耐火断熱体8とで画成される空間部、及び前記耐火断熱体8と前記ベローズ9とで画成される空間部には、それぞれ繊維状の耐火断熱材14が充填されていることを特徴とする請求項2~4のいずれかに記載の配管の継手構造。本発明は、このような従来の実情に鑑み、管内を流通するガスが外へ漏れないような密封性を有するのは勿論のこと、流体配管を一時的に切り離したい場合であっても配管の一部を切断しなくて良く、また再接続を行う場合であっても再接続時の時間短縮と省力化を図り、容易に再接続を行うことが可能で、しかも管内を流通する高温のガスに対して伸縮自在な柔構造とすることにより熱収縮や外力による破損を防止することができる配管の継手構造を提供することを目的としている。また、本発明において最外殻にベローズを装着する場合には、このベローズが冷却できる構造とし、ベローズ材質として、金属あるいはプラスチックのいずれであっても使用することのできる配管の継手構造を提供することを目的としている。上記目的を達成するための本発明は、前記第1の継手部材4と前記第2の継手部材7の外側に耐火断熱体8を配置するとともに、当該耐火断熱体8の外側に、両端開口部にフランジ10を付設したベローズ9を配置し、さらに前記フランジ10に接合される相フランジ16にガスケット12を嵌挿した台座17を一体的に取り付けし、さらに押さえ板15により前記ガスケット12を前記第1の配管2及び前記第2の配管3に圧着させたことを特徴としている。このような構成であれば、配管を接着したり溶接したりすることが不要であるので接続作業が容易であるとともに、配管の一部を切り離したい場合に切断する必要がなく、また、配管を再接続する場合に短時間で容易にそれを行うことができる。また、管内を流れるガスが高温であるとしても、伸縮自在な柔構造とすることにより管の破損を防止することができる。勿論、ガスが外部に漏洩してしまうことはない。しかも、上記構成によれば、流体配管の接続と、接続部の取り外しを繰り返し行うことができる。ここで、本発明では、前記第1の継手部材4と前記第2の継手部材7の外側に耐火断熱体8を配置するとともに、当該耐火断熱体8の外側に、両端開口部にフランジ10を付設したベローズ9を配置し、さらに前記フランジ10に接合される相フランジ16にガスケット12を嵌挿した台座17を一体的に取り付けし、さらに押さえ板15により前記ガスケット12を前記第1の配管2及び前記第2の配管3に圧着させることが好ましい。このような構成であれば、耐火断熱性が付与されるとともに、ガスケットにより配管周囲を緊密に締め付けることが可能で密閉性を保持することができる。さらに本発明では、前記第1の配管2と前記第1の継手部材4との間、前記第1のドーナツ板5と前記第2の継手部材4との間、前記第2のドーナツ板6と前記第2の継手部材7との間、並びに前記第2の継手部材7と前記第2の配管3の間には、それぞれ隙間が設けられていることが好ましい。このような構成であれば、より柔軟性が発揮されるので、熱収縮が生じたり外力が加わったりした場合にその動きを許容することができ、結果として破損が生じ難くなる。また、本発明では、前記耐火断熱体8の内部には冷却手段13が介在されていることが好ましい。このように耐火断熱材の内部に冷却手段13が介在されることにより、耐火断熱材の高温化を防止することができるとともに、耐火断熱材8の外側に配置されるベローズ9が高温にならないように防止することができる。これにより、ベローズ9の材質として金属に限定されず、プラスチックの使用を可能にすることができる。また、本発明では、前記第1の継手部材4と前記第2の継手部材7と前記耐火断熱体8とで画成される空間部、及び前記耐火断熱体8と前記ベローズ9とで画成される空間部には、それぞれ繊維状の耐火断熱材14が充填されていることが好ましい。このような構成であれば、さらに断熱性能を発揮することができるとともに、流通ガスによりフランジ10,16が高温になることを防止することができる。本発明に係る配管の継手構造によれば、高温、腐食性のガスが管内を通過する際に生じ易い伸縮を効果的に吸収することができるので、熱収縮や外力に起因する管の破損を防止することができる。また、配管端部に複雑な加工がする必要がなく溶接などを行うこともないので、接続が容易であるとともに、管の切り離し、再接続を行う場合の時間短縮と省力化を図ることができる。さらに、継手部に冷却手段を導入すれば最外方にベローズを用いる場合に、材質として金属に限定されずプラスチックを採用することもできる。以下、図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の態様について説明する。なお、以下の説明では、亜鉛還元法による高純度多結晶シリコンの製造において原料ガスとして使用する亜鉛ガス及び四塩化珪素ガスを流通ガスとする配管の継手構造について説明するが、本発明の継手構造は、これらの流通ガスが流れる配管に限定されるものではなく、他の高温、腐食性のガスを供給するための配管の継手構造にも適用可能である。亜鉛還元法で原料ガスとして使用する亜鉛ガス及び四塩化珪素ガスは一般に、900~1,200°Cの高温であり、また亜鉛ガスは鉄などの金属と反応し、四塩化珪素ガスは腐食性のガスでもあるので配管材料として金属を使用することはできない。そこで、亜鉛還元法における配管材料としては、石英管、窒化珪素、炭化珪素などのセラミックスの適用が可能であるが、コストや取り扱い易さの面から通常は石英が使われている。以下の説明では、亜鉛還元法における配管として石英管を適用した場合について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図1は本発明の一実施例に係る配管の継手構造1を示した断面図で、第1の配管2と第2の配管3はともに石英管である。なお、説明の都合上、以下では、第1の配管2側を下、第2の配管3側を上として上下を規定する。本実施例において、流通ガスである亜鉛ガス又は四塩化珪素ガスは第1の配管2の下方より流入し、第2の配管3の上方へ流れていく。この配管の継手構造1では、内部流路を有する第1の配管2と内部流路を有する第2の配管3との間が、第1の継手部材4と、第1のドーナツ板5と、第2のドーナツ板6と、第2の鍔付継手部材7とにより着脱自在に接続されている。配管の継手構造1を構成するこれら各部材の材質は、第1の配管2及び第2の配管3と同様に全て石英製である。なお、第1の配管2及び第2の配管3の材質が石英以外の窒化珪素、炭化珪素などであれば、継手構造1のこれら各構成部材も配管材質と同じ材質にするとよい。以下、本実施例に係る配管の継手構造1の組み立てについて説明する。先ず、上面が開口し底面の一部が円形に開口して形成された略円筒状の第1の継手部材4を第1の配管2の上方外側に嵌挿する。第1の継手部材4の底部開口部4aの直径Aは、第1の配管2の外径Bよりも大きくする。また第1の継手部材4の底面4bは、第1の配管2の上部開口端面2aより1~10cm下の位置まで嵌挿することが好ましい。この時、第1の継手部材4の底部開口部4aの内周面と第1の配管2の外周面が互いに接触しないように1~10mmの隙間を確保することが好ましい。次に、第1の配管2の上部開口端面2a上に第1のドーナツ板5を載置する。この第1のドーナツ板5の外径Cは第1の配管2の外径Bより大きく、第1の継手部材4の内径Dより小さくするB<C<D。この時、第1のドーナツ板5の外周面と第1の継手部材4の内周面は互いに接触しないようにし、第1のドーナツ板5の外周面と第1の継手部材4の内周面との間に形成される隙間は1~10mm確保することが好ましい。第1のドーナツ板5の開口部の直径Eは、第1の配管2の内径Fよりも小さく設定するE>F。また、第1の配管2の上部開口端面2aと、第1のドーナツ板5の下面は、単に接触しているだけであり特に接着溶接はされていない。次に、第1の継手部材4の上部開口端面4c上に、第2のドーナツ板6を載置する。この第2のドーナツ板6の外径Gは第1の継手部材4の外径Hより大きくG>H、第2のドーナツ板6の開口部の直径Iは、第1の継手部材4の内径Dより小さくするI<D。また、第1の継手部材4の上部開口端面4cと第2のドーナツ板6の下面は、単に接触しているだけであり、特に接着溶接はしていない。次に、底面が開口し上面にドーナツ状の鍔18を一体に設けた円筒状の第2の継手部材7を、第2のドーナツ板6及び第1の継手部材4の内側に嵌挿する。第2の継手部材7の上部に一体に設けられたドーナツ状の鍔18の開口部の直径Jは、第2の配管3の内径Kより小さいJ<K。ドーナツ状の鍔18は第2の継手部材7の上端部と溶接等により一体に固定されている。また、第2の継手部材7の外径Lは、第2のドーナツ板6の開口部の直径Iよりも小さいL<I。第2の継手部材7の外周面と、第2のドーナツ板6の開口部内周面は互いに接触しないようにし、第2のドーナツ板6の開口部内周面と第2の継手部材7の外周面との間に形成される隙間が、1~10mmになるように設定する。第2の継手部材7の下端部位置7aは、第1の継手部材4の上部開口端面4cの位置よりも1~10cm下の位置になるように設定する。配管の継手構造1を構成する第1の継手部材4と、第1のドーナツ板5と、第2のドーナツ板6と、第2の継手部材7とを互いに接着せず、それぞれの間に所定の隙間を確保することにより、継手内部の連通路を仮に900~1,200°Cの高温ガスが通過して各部材が熱の影響により多少収縮したとしても、各部材が互いに伸縮自在に動き合うので、配管2,3及び継手部材4,7が相互に干渉して破損することはない。さらに、本実施例の配管の継手構造1では、第1の継手部材4と第2の継手部材7の下部外側を囲繞するように耐火断熱体8が配置されている。この耐火断熱材8は、複数の分割体から構成されたものであり、耐火断熱体8の材質は、炭化珪素、アルミナ、シリカ等を成分組成とするキャスタブル耐火材で構成することが好ましい。そして、第1の継手部材4の底面4bは、耐火断熱体8の上に載置されている。また、このように複数の分割体から構成された耐火断熱材8の外方には、所定間隔離間して、両端開口部にフランジ10、10’を付設したベローズ9が装着されている。一方、このベローズ9の両端開口部に設けたフランジ10、10’には、相フランジ16、16’が配置され、両フランジ間はボルトなどの締め付け手段11,11’により一体に固定されている。なお、上記第2の継手部材7の鍔18は、フランジ16’の上に載置されている。さらに相フランジ16,16’には、それぞれガスケット12、12’を介挿した台座17、17’が一体的に取り付けられている。また、本実施例では、これらの押さえ板15と台座17との間、および押さえ板15’と台座17’との間が、それぞれボルトなどの締め付け手段22により一体に固定されている。このようにガスケット12が台座17と押さえ板15とで締め付けられ、同様にガスケット12’が台座17’と押さえ板15’とで締め付けられる。これにより、第1の配管2の外周面と第2の配管3の外周面は、変形したガスケット12,12’により確実に圧着されるので、密閉性が保持されている。一方、上記耐火断熱体8の内部にはステンレス製蛇管などからなる冷却手段13が内在されている。この冷却手段13により耐火断熱体8は勿論のこと、外側近傍に配置されたベローズ9が高温になることが防止されている。したがって、耐火断熱材8の外方に配置されるベローズ9の材質は、金属に限定されず、他の材質、例えばプラスチックなどを用いることができる。但し、プラスチックとしてテフロンデュポン社の登録商標などを用いる場合は、耐熱温度が200~250°Cなので、冷却手段13に空気或いは不活性ガスなどを通すことにより耐熱温度以下に冷却することが必要である。本実施例において、流通ガスが900~1,200°Cの高温の場合、フランジ10、16またはフランジ10’、16’もかなりの高温になるので、これらフランジ10、16またはフランジ10’、16’内部にも、水や空気などの冷媒を通すなどして冷却手段を設けることが好ましい。なお、ガスケット12の材質としては金属、セラミック、柔軟性に富むグラファイトなどの耐熱性のものが好ましい。さらに、第1の継手部材4と第2の継手部材7と耐火断熱体8とで画成される空間部、及び耐火断熱材8とベローズ9とで画成される空間部には、それぞれ石英綿、ガラスウールなどの形状可変な繊維状断熱材14が充填されることが好ましい。本実施例に係る配管の継手構造1は上記のように構成されているので、接着や溶接を行う必要がない。これにより、仮に配管の連結部を一時的に取り外す必要があるとしても、一部分を切断したりする必要がない。また、上記したように、第1の配管2に第1の継手部材4を嵌挿し、さらに第1のドーナツ板5を載置し、さらに第2のドーナッツ板6を組立てていけばよいので、作業は一方向からの作業で良く、組み立て作業性が良好である。さらに、継手部の接合を一時的に解除する必要がある場合は、フランジ10,16間、およびフランジ10’、16’間の締め付け手段11、11’の係合を解除すれば良い。逆に、再接合を行う場合はこの締め付け手段11、11’を最後に結合すれば良い。以上本発明の一実施例について説明したが、本発明は上記実施例に何ら限定されない。例えば、上記実施例では、ガスは下方の第1の配管2から上方の第2の配管3に向かって流れる場合を説明したが、ガスの流れを逆にすることも可能であるとともに、シリコン製造分野以外の配管にも適用可能である。また、上記実施例では、配管2,3を上下方向に配置しているが、単に載置している第1のドーナツ板5及び第2のドーナッツ板6、さらには第2の継手部材7などが横倒れしないように、突起や支柱のような適宜な防止手段を設ければ、継手構造を横向きの姿勢とすることも可能である。また、上記実施例では、石英管の継手構造について説明したが、これに限定されず、例えば、肉薄で配管の端部にネジを切ることのできないステンレス配管などの継手構造にも適用可能である。"