"第1係合部を有した第1出力軸と、該第1出力軸の前記第1係合部に対して所要回転角度離間して配され相対的に回転して前記第1係合部と係合する第2係合部を有した第2出力軸と、前記第1出力軸と前記第2出力軸との間に介在され前記第1出力軸の前記第1係合部と前記第2出力軸の第2係合部とを所要回転角度離間させると共に着座に伴う前記第1係合部と前記第2係合部との係合を遅延させるトーションばねとを有した係合遅延機構を備え、トルク検知部が被締結物の着座に伴う前記トーションばねの荷重増加によるトルク上昇を検知するとモーターの回転速度を高速から低速に切り替えると共に、前記第1出力軸の前記第1係合部と前記第2出力軸の前記第2係合部とが係合する前にモーターの回転速度が低速になるよう制御されていることを特徴とするネジ締め装置。前記係合遅延機構は、スピンドル部に設けられている請求項1に記載のネジ締め装置。前記係合遅延機構は、ソケット部に設けられている請求項1に記載のネジ締め装置。ところで、このようなオーバーシュートは、一般にハードジョイント剛体締結で生じ易く、ソフトジョイント軟体締結では生じ難い。これは、モーターが低速回転になるには所要時間t1を要するところ、図9に示すように、ハードジョイントの場合は着座後のトルク上昇が著しく、例えば図9のハードジョイントでは出力軸が30°回転すると目標トルクに達してしまうため、モーターが低速になる前に目標トルクに達してしまうからである。他方、図9のソフトジョイントでは出力軸が360°回転して目標トルクに達するため、モーターが低速になる時間が十分ありオーバーシュートは生じない。本願発明者は、上記事情に鑑み、ハードジョイントの場合でも、モーターが低速回転になる時間を確保できる機構および制御を想起し本発明を為したものであり、すなわち、本発明の課題は、着座までは高速回転させ短時間で効率的にネジ締めができると共に、着座後のオーバーシュートを被締結物の硬さに関わらず防止でき、トルク制御および角度制御の信頼性が高くかつコンパクトなネジ締め装置を提供することにある。上記課題を解決するものは、第1係合部を有した第1出力軸と、該第1出力軸の前記第1係合部に対して所要回転角度離間して配され相対的に回転して前記第1係合部と係合する第2係合部を有した第2出力軸と、前記第1出力軸と前記第2出力軸との間に介在され前記第1出力軸の前記第1係合部と前記第2出力軸の第2係合部とを所要回転角度離間させると共に着座に伴う前記第1係合部と前記第2係合部との係合を遅延させるトーションばねとを有した係合遅延機構を備え、トルク検知部が被締結物の着座に伴う前記トーションばねの荷重増加によるトルク上昇を検知するとモーターの回転速度を高速から低速に切り替えると共に、前記第1出力軸の前記第1係合部と前記第2出力軸の前記第2係合部とが係合する前にモーターの回転速度が低速になるよう制御されていることを特徴とするネジ締め装置である。前記係合遅延機構は、スピンドル部に設けられていてもよい。前記係合遅延機構は、ソケット部に設けられていてもよい。請求項1に記載したネジ締め装置によれば、着座までは高速回転させ短時間で効率的にネジ締めができると共に、着座後のオーバーシュートを被締結物の硬さに関わらず防止でき、トルク制御および角度制御の信頼性が高くかつコンパクトなネジ締め装置となる。請求項2に記載したネジ締め装置によれば、着座までは高速回転させ短時間で効率的にネジ締めができると共に、着座後のオーバーシュートを被締結物の硬さに関わらず防止できるスピンドル部を備えたネジ締め装置となる。請求項3に記載したネジ締め装置によれば、着座までは高速回転させ短時間で効率的にネジ締めができると共に、着座後のオーバーシュートを被締結物の硬さに関わらず防止できるソケット部を備えたネジ締め装置となる。本発明では、第1出力軸3と第2出力軸5との間に介在され第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とを所要回転角度離間させると共に着座に伴う第1係合部2と第2係合部4との係合を遅延させるトーションばね6を有した係合遅延機構7を備え、トルク検知部8が被締結物の着座に伴うトーションばね6の荷重増加によるトルク上昇を検知すると、モーター9の回転速度を高速から低速に切り替えると共に、第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とが係合する前にモーター9の回転速度が低速になるよう制御されることで、着座までは高速回転させ短時間で効率的にネジ締めができると共に、着座後のオーバーシュートを被締結物の硬さに関わらず防止でき、トルク制御および角度制御の信頼性が高くかつコンパクトなネジ締め装置1を実現した。本発明のネジ締め装置を図1ないし図6に示した一実施例を用いて説明する。この実施例のネジ締め装置1は、第1係合部2を有した第1出力軸3と、第1出力軸3の第1係合部2に対して所要回転角度離間して配され相対的に回転して第1係合部2と係合する第2係合部4を有した第2出力軸5と、第1出力軸3と第2出力軸5との間に介在され第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とを所要回転角度離間させると共に着座に伴う第1係合部2と第2係合部4との係合を遅延させるトーションばね6とを有した係合遅延機構7を備え、トルク検知部8が被締結物の着座に伴うトーションばね6の荷重増加によるトルク上昇を検知するとモーター9の回転速度を高速から低速に切り替えると共に、第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とが係合する前にモーター9の回転速度が低速になるよう制御されている。以下、各構成について詳述する。この実施例のネジ締め装置1は、トルク検知式ナットランナーであり、図2に示すように、本体部20と、制御装置30と、本体部20の先端に装着されネジ締めに際するストローク機構であるスピンドル部40と、被締結物を嵌合させるためのソケット部50とを有している。ただし、本発明のネジ締め装置1は、ナットランナーに限定されるものではなく、上記係合遅延機構7を備え被締結物をネジ締め可能なネジ締め装置を広く包含する。本体部20は、モーターサーボモーター9と、モーター9の回転速度を検知する速度角度検知部21と、減速機22と、トルク検知部8とを有している。トルク検知部8は歪みゲージ10を介してトルクを検知するように構成されている。制御装置30は、速度角度検知部21からの速度データをA/D変換器31を介してCPU演算処理部32に入力し、トルク検知部8からのトルクデータを増幅器33およびA/D変換器34を介してCPU演算処理部32に入力し、電流検知部35の電流データおよびCPU演算処理部32の演算データが速度/電流指令部36に入力されると、速度/電流指令部36が入力されたデータに対応したサーボ電流を算出してサーボ電流制御部37に指令し、サーボ電流制御部37が対応する電流をモーター9に逐次出力するよう制御する。本体部20内では、図1に示すように、モーター9からの回転力が減速機22の減速軸23を介して第1出力軸3および第2出力軸5に伝達されるように構成されている。具体的には、第1出力軸3は、本体部20内の先端側に配された出力軸であり、先端部3aがハウジング24の先端より突出している。他方、第2出力軸5は、本体部20内の基端側に配された出力軸であり、減速軸23に連結され、減速軸23の回転に伴って回転するように構成されている。そして、第1出力軸3は、第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4と係合剛体連結およびトーションばね6を介して第2出力軸5からの回転力を受けて回転するように構成されている。具体的には、第1出力軸3の後端側には、図3に示すように、後端側に向かって突出し第2出力軸5の先端筒状部5a内を回転可能に配された第1係合部2が設けられている。他方、第2出力軸5の先端筒状部5a内には、第1出力軸3の第1係合部2に対して所要回転角度離間して配され、図4に示すように、第1出力軸3の第1係合部2に対して相対的に回転した後、図5に示すように、第1出力軸3の第1係合部2と係合する第2係合部4a,4bが設けられている。そして、図5の係合状態で第1出力軸3と第2出力軸5は剛体連結し、モーター9が回転すると、減速軸23および第2出力軸5を介して第1出力軸3が回転するように構成されている。また、第1出力軸3の後端側には、図1に示すように、トーションばね6の一端6aが固定され、他方、第2出力軸5の先端側には、トーションばね6の他端6bが固定されている。そして、ネジ締めに際して被締結物が着座するまでは、図3の状態第2出力軸5の第2係合部4が第1出力軸3の第1係合部2に対して所要回転角度離間した状態で、モーター9からの回転力を減速軸23および第2出力軸5およびトーションばね6を介して第1出力軸3に伝達し、第1出力軸3が回転するように構成されている。つぎに、本発明のネジ締め装置1のネジ締めに際する係合遅延機構7等による特徴的作用について説明する。係合遅延機構7は、前述した各構成である、第1係合部2を有した第1出力軸3と、第1出力軸3の第1係合部2に対して所要回転角度離間して配され相対的に回転して第1係合部2と係合する第2係合部4を有した第2出力軸5と、第1出力軸3と第2出力軸5との間に介在され第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とを所要回転角度離間させると共に着座に伴う第1係合部2と第2係合部4との係合を遅延させるトーションばね6とを有している。この係合遅延機構7は、ネジ締めに際して、第1係合部2と第2係合部4との係合剛体連結を遅延させ、被締結物の着座検知図6中:P点から第1出力軸3と第2出力軸5とが剛体連結図6中:Q点するまでの間係合遅延時間内:Δt内にモーター9の減速所要時間図6中、t1を確保することで、トルクの上昇を遅延させオーバーシュートを防止するための緩衝機構であり、回転制御に際して以下のように作用する。まず、ネジ締めを開始して被締結物が着座し着座検知するまでは、図6に示すように、モーター9を高速で回転させる。これにより、効率的にネジ締めを行うことができる。この間の第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4a,4bとの位置関係は、図3に示すように、第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4a,4bとがそれぞれ所要回転角度この実施例では90°離間した状態で第1出力軸3および第2出力軸5は回転している。つぎに、被締結物が着座すると、第1出力軸3の回転が抑制されるため、第1出力軸3を介してトーションばね6に荷重がかかりトルクが上昇する。この時の第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4a,4bとの位置関係は、トーションばね6が捩られることにより、図4に示すように、第2出力軸5の第2係合部4a,4bが、第1出力軸3の第1係合部2に係合する方向に近づいて行く。トーションばね6のこの荷重増加を歪みゲージ10を介してトルク検知部8が検知すると、制御装置30はモーター9の回転速度を高速から低速に切り替えると共に、第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とが係合する前にモーター9の回転速度が低速になるように制御する。具体的には、制御装置30は、トーションばね6の荷重増加をトルク検知部8が検知図6中の速度切替トルクを検知すると、モーター9の回転速度を高速から低速に切り替えるよう制御する。この速度切替トルクの検知着座検知:図6中:P点から第1出力軸3と第2出力軸5とが剛体連結図6中:Q点するまでの間図6中の係合遅延時間内:Δt内に、モーター9の減速所要時間図6中、t1が確保されるため、第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とが係合剛体連結した時図6中、Q点には、モーター9の回転速度は低速に切り替わっており、オーバーシュートが防止されるよう構成されている。さらに、第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とが係合した後には、低速回転により締付けトルクが被締結物に付与されて行き、目標トルクに達すると、モーター9の回転が停止されネジ締めが完了する。このように、本発明は、第1出力軸3と第2出力軸5との間に介在され第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とを所要回転角度離間させると共に回転に伴う第1係合部2と第2係合部4との係合を遅延させるトーションばね6を有した係合遅延機構7を備え、トルク検知部8が被締結物の着座に伴うトーションばね6の荷重増加によるトルク上昇を検知すると、第1出力軸3の第1係合部2と第2出力軸5の第2係合部4とが係合する前にモーター9の回転速度が低速に切り替わっているように制御されるため、着座するまでは高速回転させて短時間で効率的にネジ締めができると共に、ハードジョイントの場合でも着座後のオーバーシュートが防止され、トルク制御および角度制御の信頼性が高くかつコンパクトなネジ締め装置となる。なお、この実施例の前記所要回転角度は、90°であるが、これに限定されるものではなく、ハードジョイントの場合でも、第1出力軸の第1係合部と第2出力軸の第2係合部とが係合する前剛体連結にモーターの回転速度を低速に切り替え可能な回転角度であればよく、モーターの種類や高速時の回転数等によって適宜設定される。例えば、この実施例のサーボモータの場合は、速度切替え指令が出力された後、出力軸が速度切替えを完了するまでに要する時間が12~15msecであるため、例えば高速回転が1000rpmの場合は、15msecの時間で出力軸が回転する角度θは、θ=1000rpm60×360°×15msec1000=90degとなり、90°以上の回転角度があれば確実な速度切替えが可能となるため、所要回転角度は、90°に設定されている。また、トーションばねの捩りトルクは、フリクショントルクを若干増加させる程度の微少トルクであることが好ましい。換言すれば、第1出力軸の第1係合部と第2出力軸の第2係合部との間に、上記所要回転角度を保持可能であると共に復元可能であり、さらに、荷重増加をトルク検知部が検知可能な程度の捩りトルクを有するものであればよく、トルクが急上昇するような捩りトルクが大きいトーションばねは好ましくない。つぎに、図7に示した本発明のネジ締め装置の他の実施例について説明する。この実施例のネジ締め装置60と前述したネジ締め装置1との基本的な相違は、ネジ締め装置1が本体部20内に係合遅延機構7を有しているのに対して、ネジ締め装置60は係合遅延機構77をスピンドル部70内に有している点である。ネジ締め装置1と同一構成部分については同一符号を付し説明を省略する。具体的には、この実施例の係合遅延機構77は、第1係合部72を有した第1出力軸73と、第1出力軸73の第1係合部72に対して所要回転角度離間して配され相対的に回転して第1係合部72と係合する第2係合部を有した第2出力軸75と、第1出力軸73と第2出力軸75との間に介在され第1出力軸73の第1係合部72と第2出力軸75の第2係合部とを所要回転角度離間させると共に回転に伴う第1係合部72と第2係合部との係合を遅延させるトーションばね76とを有しており、この係合遅延機構77がスピンドル部70内に設けられ、本体部20内のトルク検知部8が被締結物の着座に伴うトーションばね76の荷重増加によるトルク上昇を検知すると、第1出力軸73の第1係合部72と第2出力軸75の第2係合部とが係合する前に、モーター9の回転速度が低速となるように制御されている。また、第2出力軸75の後端側には、本体部20の先端側より突出する出力軸39の先端部39aが嵌合され、本体部20内のモーター9からの回転力が第2出力軸75に伝達されるように構成されている。さらに、第1出力軸73の先端部73aはソケット部に嵌合され、モーター9からの回転力をソケット部に伝達するように構成されている。このように、本発明のネジ締め装置は係合遅延機構が本体部内に設けられたものに限定されるものではなく、スピンドル部内に設けられたものも本発明の範疇に包含される。さらに、図8に示した本発明のネジ締め装置の他の実施例について説明する。この実施例のネジ締め装置80と前述したネジ締め装置1との基本的な相違は、ネジ締め装置1が本体部20内に係合遅延機構7を有しているのに対して、ネジ締め装置80は係合遅延機構97をソケット部90内に有している点である。ネジ締め装置1と同一構成部分については同一符号を付し説明を省略する。具体的には、この実施例の係合遅延機構97は、第1係合部を有した第1出力軸92と、第1出力軸92の第1係合部に対して所要回転角度離間して配され相対的に回転して第1係合部と係合する第2係合部を有した第2出力軸95と、第1出力軸92と第2出力軸95との間に介在され第1出力軸92の第1係合部と第2出力軸95の第2係合部とを所要回転角度離間させると共に回転に伴う第1係合部と第2係合部との係合を遅延させるトーションばね96とを有しており、この係合遅延機構97がソケット部90内に設けられ、本体部20内のトルク検知部8が被締結物の着座に伴うトーションばね96の荷重増加によるトルク上昇を検知すると、第1出力軸92の第1係合部と第2出力軸95の第2係合部とが係合する前に、モーター9の回転速度が低速となるように制御されている。また、第2出力軸75の後端側には、本体部20の先端側より突出する出力軸39の先端部39aが嵌合され、本体部20内のモーター9からの回転力が第2出力軸95に伝達されるように構成されている。さらに、第1出力軸92の先端面には被締結物嵌合部98が固定されており、モーター9からの回転力を被締結物嵌合部98に伝達するように構成されている。このように、本発明のネジ締め装置は係合遅延機構が本体部内に設けられたものに限定されるものではなく、ソケット部内に設けられたものも本発明の範疇に包含される。"