"次のアに示す液晶パネルを点灯検査する液晶パネル点灯検査装置であって,次のイ乃至クを備える液晶パネル点灯検査装置。ア矩形の液晶パネルであって,前記矩形の第1の辺に沿って互いに間隔をあけて形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークと,前記第1の辺に垂直な第2の辺に沿って互いに間隔をあけて形成された前記第1アライメントマーク及び第3アライメントマークと,前記第1の辺に沿って並べて配置された複数の電極からなる第1の電極群と,前記第2の辺に沿って並べて配置された複数の電極からなる第2の電極群とを備えた液晶パネル。イ前記液晶パネルを保持することができて前記液晶パネルの背面に光を当てることができる検査ステージ。ウ前記第1の電極群に接触可能な第1のプローブ群,前記第2の電極群に接触可能な第2のプローブ群,並びに,前記第1アライメントマーク,前記第2アライメントマーク及び前記第3アライメントマークをそれぞれ観察可能な第1カメラ,第2カメラ及び第3カメラを備えるプローブステージ。エ前記検査ステージを前記プローブステージに対してX方向及びこれに垂直なY方向に移動させることができてかつXY平面に垂直なZ軸の周りに回転させることができる駆動機構。オ1枚目の前記液晶パネルについて,前記第1の辺が前記Y方向に平行になるように,そして,前記第2の辺が前記X方向に平行になるように,前記検査ステージにセットされた状態であって,かつ,前記第1の電極群及び前記第2の電極群に対して前記第1のプローブ群及び前記第2のプローブ群が正しく位置決めされた状態において,前記第1カメラの基準点に対する前記第1アライメントマークのXY座標を第1の標準座標x1a,y1aとして記憶し,前記第2カメラの基準点に対する前記第2アライメントマークのXY座標を第2の標準座標x2a,y2aとして記憶し,前記第3カメラの基準点に対する前記第3アライメントマークのXY座標を第3の標準座標x3a,y3aとしてその少なくともX座標x3aを記憶する標準座標記憶手段。カ前記1枚目の液晶パネルと同一仕様の2枚目の前記液晶パネルについて,前記第1の辺が前記Y方向に平行になるように,そして,前記第2の辺が前記X方向に平行になるように,前記検査ステージにセットされた状態であって,かつ,前記第1アライメントマークのXY座標及び前記第2アライメントマークのXY座標が,それぞれ,前記第1の標準座標x1a,y1a及び前記第2の標準座標x2a,y2aに最も近づくように前記2枚目の液晶パネルが位置決めされた状態において,前記第3カメラの前記基準点に対する前記第3アライメントマークのX座標を仮座標x3bとして記憶する仮座標記憶手段。キ前記第3の標準座標のX座標x3aに対する前記仮座標x3bの偏差Δxを算出する偏差算出手段。ク前記検査ステージを,前記X方向において前記偏差Δxとは逆方向に前記偏差Δxの2分の1だけシフトして,前記2枚目の液晶パネルを位置決めする最終の位置決め手段。1枚目の液晶パネルをアライメントするときには,上述のように10~30分程度の時間がかかるので,その間に,液晶パネルがバックライトの照明を受けて,温度が20°C程度上昇する。例えば,液晶パネルの温度が室温20°Cから40°Cに上昇する。一方で,2枚目以降の液晶パネルはアライメント作業に数秒しかかからないので,温度上昇はほとんどない。したがって,1枚目の液晶パネルのアライメントが完了するとき上述の標準座標を記憶するときには,熱膨張した状態の液晶パネルのアライメントマークの位置を記憶していることになり,これに対して,2枚目以降の液晶パネルをアライメントするときには,液晶パネルは熱膨張をほとんどしていない。ゆえに,2枚目以降の液晶パネルでは,熱膨張時に求めた標準座標を基準にして,熱膨張をしていない液晶パネルをアライメントすることになるので,正確な位置合わせができていないおそれがある。今後,液晶パネルの大型化及びバックライトの高輝度化がますます進展するのに伴い,上述の熱膨張の影響が大きくなってくる。例えば,液晶パネルのサイズが50~60型となり,バックライトの輝度が3万カンデラ従来のパソコン用液晶パネルでは約8千カンデラになると,熱膨張の影響はかなり大きくなる。その結果,2枚目以降の液晶パネルの点灯検査のときに,特に液晶パネルの長辺側において,液晶パネルの電極と検査装置のプローブとの位置ずれアライメント不良に起因する点灯不良が発生するようになってきている。ところで,プローブを使った検査装置の分野では,熱膨張によるアライメント不良を回避するものとして,次の特許文献2に記載の技術が知られている。特開平7-58167号公報この特許文献2は,プローブカードのバンプとウエハの電極パッドとを正確に位置合わせする技術を開示しており,高温試験において,加熱したプローブカードが熱膨張しても,その熱膨張を考慮して位置合わせができるようになっている。具体的には,プローブカードにおいて,バンプがX方向とY方向に並んでいる場合に,このバンプの並びと平行に,すなわち,X方向とY方向に,目盛が形成されている。この目盛の伸縮状況を撮像装置で撮影することにより,プローブカードの実際の熱膨張量を把握でき,これにより,プローブカードのバンプの配列の伸縮状況が分かる。これに基づいて,バンプとウエハの電極パッドとを位置合わせするようになっている。この特許文献2は,被検査体ではなくてプローブカードの熱膨張の影響を考慮したものであるが,プローブカードに目盛を設けて,この目盛の伸縮量を撮像装置で読み取っている。したがって,この技術を用いるには,プローブカードのX方向とY方向にあらかじめ目盛を形成しておく必要がある。本発明は,上述の問題点を解決するためになされたものであり,その目的は,同一仕様の複数の液晶パネルを点灯検査するときに,液晶パネル間で熱膨張による伸縮量に違いがあっても,その違いを考慮して液晶パネルをアライメントすることができる液晶パネル点灯検査装置を提供することにある。本発明の別の目的は,熱膨張による伸縮量を測定するための目盛を設ける必要のない液晶パネル点灯検査装置を提供することにある。本発明に係る液晶パネル点灯検査装置は,次のアに示す液晶パネルを点灯検査するものであって,次のイ乃至クを備えている。ア矩形の液晶パネルであって,前記矩形の第1の辺に沿って互いに間隔をあけて形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークと,前記第1の辺に垂直な第2の辺に沿って互いに間隔をあけて形成された前記第1アライメントマーク及び第3アライメントマークと,前記第1の辺に沿って並べて配置された複数の電極からなる第1の電極群と,前記第2の辺に沿って並べて配置された複数の電極からなる第2の電極群とを備えた液晶パネル。イ前記液晶パネルを保持することができて前記液晶パネルの背面に光を当てることができる検査ステージ。ウ前記第1の電極群に接触可能な第1のプローブ群,前記第2の電極群に接触可能な第2のプローブ群,並びに,前記第1アライメントマーク,前記第2アライメントマーク及び前記第3アライメントマークをそれぞれ観察可能な第1カメラ,第2カメラ及び第3カメラを備えるプローブステージ。エ前記検査ステージを前記プローブステージに対してX方向及びこれに垂直なY方向に移動させることができてかつXY平面に垂直なZ軸の周りに回転させることができる駆動機構。オ1枚目の前記液晶パネルについて,前記第1の辺が前記Y方向に平行になるように,そして,前記第2の辺が前記X方向に平行になるように,前記検査ステージにセットされた状態であって,かつ,前記第1の電極群及び前記第2の電極群に対して前記第1のプローブ群及び前記第2のプローブ群が正しく位置決めされた状態において,前記第1カメラの基準点に対する前記第1アライメントマークのXY座標を第1の標準座標x1a,y1aとして記憶し,前記第2カメラの基準点に対する前記第2アライメントマークのXY座標を第2の標準座標x2a,y2aとして記憶し,前記第3カメラの基準点に対する前記第3アライメントマークのXY座標を第3の標準座標x3a,y3aとしてその少なくともX座標x3aを記憶する標準座標記憶手段。カ前記1枚目の液晶パネルと同一仕様の2枚目の前記液晶パネルについて,前記第1の辺が前記Y方向に平行になるように,そして,前記第2の辺が前記X方向に平行になるように,前記検査ステージにセットされた状態であって,かつ,前記第1アライメントマークのXY座標及び前記第2アライメントマークのXY座標が,それぞれ,前記第1の標準座標x1a,y1a及び前記第2の標準座標x2a,y2aに最も近づくように前記2枚目の液晶パネルが位置決めされた状態において,前記第3カメラの前記基準点に対する前記第3アライメントマークのX座標を仮座標x3bとして記憶する仮座標記憶手段。キ前記第3の標準座標のX座標x3aに対する前記仮座標x3bの偏差Δxを算出する偏差算出手段。ク前記検査ステージを,前記X方向において前記偏差Δxとは逆方向に前記偏差Δxの2分の1だけシフトして,前記2枚目の液晶パネルを位置決めする最終の位置決め手段。このように,本発明によれば,第1アライメントマークと第2アライメントマークに基づいて液晶パネルを仮に位置決めしてから,第3アライメントマークに関して上述の偏差Δxを求めて,その半分だけ液晶パネルをX方向にシフトしている。これにより,第2の辺におけるプローブと電極との位置合わせが従来よりも正確になる。その結果,大型の液晶パネルを高輝度バックライトで照明した場合においても,アライメント不良に起因する点灯欠陥を回避することができる。本発明によれば,同一仕様の複数の液晶パネルを点灯検査するときに,液晶パネル間で熱膨張による伸縮量に違いがあっても,その違いを考慮して液晶パネルをアライメントすることができる。その結果,大型の液晶パネルを高輝度バックライトで照明した場合においても,アライメント不良に起因する点灯欠陥を回避できる。また,従来から存在する三つのアライメントマークを利用しているだけなので,熱膨張による伸縮量を測定するための特別の目盛を設ける必要がない。以下,図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明する。図1は本発明の液晶パネル点灯検査装置の一例の要部の平面図である。この液晶パネル点灯検査装置は,プローブを備えるプローブステージと,液晶パネルを保持する検査ステージとを備えていて,検査ステージはプローブステージの下方にある。図1はプローブステージの要部を上方から見たところであり,検査ステージの上に載っている液晶パネル10が見えている。プローブステージは第1のプローブベース12と第2のプローブベース14を備えている。第1のプローブベース12はY方向に延びており,第2のプローブベース14はX方向に延びている。X方向とY方向は互いに直交している。液晶パネル10は長方形であり,そのひとつの短辺28第1の辺をゲート側と呼び,これに隣り合うひとつの長辺30第2の辺をデータ側と呼ぶことにする。液晶パネルのゲート側には,マトリックスセルの多数のゲート線の電極が配列され,データ側には多数のデータ線の電極が配列されている。以下,第1のプローブベース12をゲート側プローブベースと呼び,第2のプローブベース14をデータ側プローブベースと呼ぶことにする。ゲート側プローブベース12にはゲート側プローブユニット16が搭載されている。ゲート側プローブユニット16には複数のゲート側プローブブロック18が固定されている。各ゲート側プローブブロック18には複数のゲート側プローブ20が取り付けられている。ゲート側プローブベース12に取り付けられているすべてのゲート側プローブ20が第1のプローブ群を構成する。データ側プローブベース14にはデータ側プローブユニット22が搭載されている。このデータ側プローブユニット22にも複数のデータ側プローブブロック24が固定されている。各データ側プローブブロック24には複数のデータ側プローブ26が取り付けられている。データ側プローブベース14に取り付けられているすべてのデータ側プローブ26が第2のプローブ群を構成する。図1では,理解を容易にするために,2個のゲート側プローブブロック18と3個のデータ側プローブブロック24を図示しているが,実際の液晶パネル点灯検査装置では,もっと多くのプローブブロックを用いている。また,各プローブブロック18,24では数本のプローブ20,26を図示しているが,実際には,もっと多くのプローブを設けている。ゲート側プローブユニット16には,その両端付近に第1カメラ32と第2カメラ34が配置されている。一方,データ側プローブユニット22にはゲート側プローブユニット16から離れた方の端部付近に第3カメラ36が配置されている。図2は図1の2-2線断面図である。プローブステージ38の下方に検査ステージ40が配置されている。検査ステージ40はX駆動台42とY駆動台44とZ駆動台46とθ回転台48とを備えている。検査ステージ40の上面に液晶パネル10を保持することができる。X駆動台42は検査ステージの上面をX方向図2の紙面に垂直な方向に移動させることができる。Y駆動台44は検査ステージの上面をY方向に移動させることができる。Z駆動台46は検査ステージの上面をZ方向上下方向に移動させることができる。θ回転台48は検査ステージの上面をZ軸上下方向に延びる軸の周りに回転させることができる。図2では,第1カメラ32,第2カメラ34,ゲート側プローブブロック18及びゲート側プローブ20が明瞭に示されている。第1カメラ32の光軸の真下には第1原点マーク50が配置されていて,第2カメラ34の光軸の真下には第2原点マーク52が配置されている。これらの原点マーク50,52はゲート側プローブユニット16に取り付けられているものであり,二つのカメラ32,34の基準点となる。同様に,図1の第3カメラ36の光軸の真下にも第3原点マークが配置されている。この第3原点マークはデータ側プローブユニット22に取り付けられているものであり,第3カメラ36の基準点となる。図3は液晶パネル10とプローブステージ38との位置関係を示す平面図である。プローブステージ38については,ゲート側プローブユニット16を本来の位置よりも図の左方向にずらし,かつ,データ側プローブユニット22を本来の位置よりも図の上方向にずらして示してある。これにより,プローブステージ38の下方の液晶パネル10の全体を示すことができる。液晶パネル10の第1の辺28には,この辺28に沿って複数のゲート電極54が並べて配置されている。ゲート電極54は所定のブロック毎にひとまとまりになっている。ひとつのゲート側プローブブロック18に所属するひとまとまりのゲート側プローブ20は,上述のひとまとまりのゲート電極54に対応している。そして,第1の辺28に形成されたすべてのゲート電極54が第1の電極群を構成する。したがって,第1のプローブ群複数のゲート側プローブ20で構成されるが第1の電極群複数のゲート電極54で構成されるに対応する。また,液晶パネル10の第1の辺28の両端付近に第1アライメントマーク56と第2アライメントマーク58が形成されている。これらのアライメントマーク56,58は第1の辺28に沿って互いに間隔をあけて形成されていることになる。液晶パネル10の第2の辺30には,この辺30に沿って複数のデータ電極60が並べて配置されている。データ電極60も所定のブロック毎にひとまとまりになっている。ひとつのデータ側プローブブロック24に所属するひとまとまりのデータ側プローブ26は,上述のひとまとまりのデータ電極60に対応している。第2の辺30に沿ったすべてのデータ電極60が第2の電極群を構成する。したがって,第2のプローブ群複数のデータ側プローブ26で構成されるが第2の電極群複数のデータ電極60で構成されるに対応する。液晶パネル10の第2の辺30の左端付近には,上述の第1アライメントマーク56が存在し,第2の辺30の右端付近には第3アライメントマーク62が形成されている。第1アライメントマーク56と第3アライメントマーク62は第2の辺30に沿って互いに間隔をあけて形成されていることになる。ゲート側プローブユニット16に取り付けられた第1カメラ32と第2カメラ34は,それぞれ,第1アライメントマーク56と第2アライメントマーク58を観察することができる。データ側プローブユニット22に取り付けられた第3カメラ36は第3アライメントマーク62を観察することができる。図4は液晶パネル10の電極とアライメントマークの一部を拡大して示したものである。拡大して示したデータ側について述べると,データ電極60はY方向に細長く延びていて,これが第2の辺30に沿ってすなわち,X方向に並べて配置されている。第3アライメントマーク62は十字型をしている。ゲート側についても述べると,ゲート電極54はX方向に細長く延びていて,これが第1の辺28に沿ってすなわち,Y方向に並べて配置されている。第1アライメントマーク56と第2アライメントマーク58も十字型をしている。これらの電極54,60とアライメントマーク56,58,62は,共通のマスク等を用いて形成されているので,それらの間の位置関係は正確に定まっている。次に,液晶パネルのアライメント手順の概略を説明する。同一仕様の液晶パネルを次々に点灯検査する場合には,次のようにしている。まず,1枚目の液晶パネルについては,プローブステージのすべてのプローブが液晶パネルのすべての電極に確実に接触することを顕微鏡で確認し,そのときの液晶パネルのアライメントマークの位置とカメラの基準位置との位置関係を標準座標として登録する。2枚目以降の液晶パネルでは,基本的には,カメラの基準位置に対してアライメントマークの位置が上述の標準座標に一致するように液晶パネルをアライメントする。そして,本発明では,1枚目の液晶パネルのアライメント作業のときの液晶パネルの熱膨張量と,2枚目以降の液晶パネルのアライメント作業のときの液晶パネルの熱膨張量とが異なっていても,その違いによる影響を最小限にするように,アライメント手順を改良している。以下,アライメント手順を詳しく説明する。図2に示す検査ステージ40の上面に1枚目の液晶パネル10を載せる。検査ステージ40にはバックライトが組み込まれており,このバックライトはあらかじめ点灯しておく。検査ステージ40のX駆動台42とY駆動台44とθ回転台48を動かして,図3に示す液晶パネル10の三つのアライメントマーク56,58,62が三つのカメラ32,34,36の視野に入るようにする。そして,三つのカメラ32,34,36の視野の中には基準点としての原点マークそのうちの二つは図2の符号50,52として示されているが見えているので,この原点マークに各アライメントマークができるだけ合致するように,検査ステージを動かす。この作業は,画像処理によるパターンマッチングによって自動的に実施される。次に,図2に示す検査ステージのZ駆動台46を上昇させて,液晶パネルの電極をプローブステージのプローブに接触させる。それから,図3に示す液晶パネル10のゲート電極54とデータ電極60のすべてが,プローブステージのゲート側プローブ20とデータ側プローブ26のすべてに確実に接触しているかどうかを,顕微鏡を用いてオペレータが確認する。電極とプローブの位置がずれていることが判明したら,そのずれ量を確認した上で,Z駆動台46を下げてから,上述のずれ量に相当する分だけ,検査ステージ40のX駆動台42とY駆動台44とθ回転台48を動かして,液晶パネル10の位置を微調整する。そして,再び,液晶パネル10を上昇させてから,顕微鏡を用いて液晶パネル10の電極54,60とプローブ20,26が確実に接触しているかどうかを確認する。確実に接触していることが確認できたら,三つのカメラの基準点に対する三つのアライメントマークの座標位置を標準座標として記憶する。次に,プローブを液晶パネルの電極に接触させた状態で,プローブに所定の電圧を印加して,液晶パネルを全点灯させ,オペレータが目視によって点灯欠陥の有無を検査する。ここまでの作業に,例えば10~30分程度の時間がかかる。その所要時間のほとんどは,上述の標準座標を決定するまでの作業に費やされる。図5Aは上述の標準座標を得たときの三つのアライメントマークの位置を模式的に示している。第1アライメントマーク56の中心位置の座標x1a,y1a以下,第1の標準座標というは,第1カメラの視野内の十字型の原点マーク50の中心点を基準として求められる。同様に,第2アライメントマーク58の中心位置の座標x2a,y2a以下,第2の標準座標というは,第2カメラの視野内の十字型の原点マーク52の中心点を基準として求められる。第3アライメントマーク62の中心位置の座標x3a,y3a以下,第3の標準座標というは,第3カメラの視野内の十字型の原点マーク64の中心点を基準として求められる。これらの三つの座標が各アライメントマークの標準座標となる。後述するように,第3の標準座標については,そのX座標x3aだけが重要になるので,少なくともこのX座標x3aだけは記憶する必要がある。ところで,10~30分間のアライメント作業の間に,液晶パネルはバックライトからの照明光を受けて温度が上昇する。例えば,室温20°Cから40°Cまでパネル温度が上昇する。そのために,液晶パネルは熱膨張する。大型の液晶パネル例えば,50型のものでは,長辺の長さが約1mになり,温度が20°C上昇すると,熱膨張量は例えば40μm程度になる。したがって,上述の標準座標は,実は,熱膨張した液晶パネルについて求められたものである。次に,1枚目の液晶パネルを検査ステージから取り外して,1枚目の液晶パネルと同一仕様の2枚目の液晶パネルを検査ステージに載せる。そして,図5Bに示すように,第1アライメントマーク56の中心位置が,第1原点マーク50を基準にして上述の第1の標準座標x1a,y1aにできるだけ近づくように,かつ,第2アライメントマーク58の中心位置が,第2原点マーク52を基準にして上述の第2の標準座標x2a,y2aにできるだけ近づくように,液晶パネル10bをX方向及びY方向に移動させるとともにZ軸周りにθ回転する。この作業は,二つのアライメントマークを用いて液晶パネルを位置決めする従来方法と同じものである。このときの第1アライメントマーク56の中心位置の座標はx1b,y1b以下,第1の途中座標というであり,第2アライメントマーク58の中心位置の座標はx2b,y2b以下,第2の途中座標というである。第1の途中座標のX座標x1b及び第2の途中座標のX座標x2bは,それぞれ,第1の標準座標のX座標x1a及び第2の標準座標のX座標x2aに等しくすることができる。一方,第1の途中座標のY座標y1b及び第2の途中座標のY座標y2bは,第1の標準座標のY座標y1a及び第2の標準座標のY座標y2aに必ずしも一致させることはできない。1枚目の液晶パネルが熱膨張をしていたのに対して,2枚目の液晶パネルが熱膨張をほとんどしていないからである。2枚目の液晶パネル10bは,顕微鏡による位置合わせ確認作業をしないので,液晶パネルが検査ステージの上に載っている時間は非常に短い。したがって,2枚目の液晶パネル10bは,1枚目の液晶パネル10aと比較して,温度上昇はほとんどなく,熱膨張はほとんどしていない。仮に,y1bをy1aに一致させると,y2bはy2aから離れることになり,逆に,y2bをy2aに一致させると,y1bはy1aから離れることになる。そこで実際の位置決め制御では,y1aとy2aの中間位置がy2aとy2bの中間位置に一致するように液晶パネルのY方向の位置を制御している。換言すれば,y1b-y1a=y2a-y2bとなるように制御している。ここまでの位置決め作業は,従来方法と同じである。比較的小型の液晶パネルであって,かつ,バックライトの輝度もそれほど高くないときは,ここまでのアライメント作業によって,2枚目以降の液晶パネルも,問題なく点灯検査が可能であった。しかし,50~60型のような大型の液晶パネルで,バックライトも高輝度になると,液晶パネルの熱膨張量が大きくなって,データ電極とデータ側プローブの間での位置ずれが発生するようになり,点灯検査における線欠陥が生じるようになっている。この点を以下に詳しく説明する。図6はデータ側プローブとデータ電極の間でのX方向の位置ずれを説明する説明図である。図6の上段は,第1原点マーク50及び第3原点マーク64とそれらの間の複数のデータ側プローブ26についてのX方向の位置を模式的に示している。なお,データ側プローブ26の実際の数はもっと多数であるが,理解を容易にするために少数のデータ側プローブ26だけを示している。図6のA状態は,図5Aの状態,すなわち,1枚目の液晶パネルのアライメントを完了した状態での,二つのアライメントマーク56,62とそれらの間の複数のデータ電極60のX方向の位置を示している。第1アライメントマーク56の中心位置のX座標は,第1原点マーク50を基準にしてx1a第1の標準座標のX座標である。第3アライメントマーク62の中心位置のX座標は,第3原点マーク64を基準にしてx3a第3の標準座標のX座標である。この状態では,顕微鏡を用いて,すべてのデータ電極60がすべてのデータ側プローブ26に接触可能であることが確認されている。図6のB状態は,図5Bの状態,すなわち,第1アライメントマーク56と第2アライメントマーク58を用いて同一仕様の2枚目の液晶パネルをアライメントした状態での,第1アライメントマーク56及び第3アライメントマーク62とそれらの間の複数のデータ電極60のX方向の位置を示している。このとき,第1アライメントマーク56の中心位置のX座標x1bは,第1の標準座標のX座標x1aに等しい。一方,第3アライメントマーク62の中心位置のX座標x3bは,第3の標準座標のX座標x3aと比較して,偏差Δxだけずれている。その理由は,A状態では1枚目の液晶パネルが熱膨張していてX方向に伸びていたのに対して,B状態では2枚目の液晶パネルがほとんど熱膨張していないからである。ずれ量Δxは,1枚目の液晶パネルにおける二つのアライメントマーク56,62の間の熱膨張量にほぼ等しい。B状態では,すべてのデータ電極60がすべてのデータ側プローブ26に接触可能であるとは言い難い状況にある。偏差Δxの大きさや,プローブ26の配列のばらつきの程度によっては,どれかのデータ電極60が,対応するデータ側プローブ26に接触しないこともあり得る。実際問題として,大型の液晶パネルを高輝度バックライトを用いて点灯検査をする場合には,2枚目以降の液晶パネルの検査において,データ側プローブのどれかがデータ電極に接触しないことに伴う点灯不良線欠陥が発生している。そこで,本発明では,2枚目以降の液晶パネルについて,上述の偏差Δxを求めた上で,図6のC状態に示すように,偏差Δxの半分だけ,その偏差の方向図6では左方向とは反対の方向図6では右方向に,液晶パネルをシフトしている。x3bはx3aに対して図6の左方向に偏差Δxだけずれているので,液晶パネルは右方向にΔx/2だけシフトすることになる。これによって,1枚目の液晶パネルのX方向の中心位置と2枚目以降の液晶パネルのX方向の中心位置とが一致することになる。その結果,複数のデータ側プローブ26の位置と複数のデータ電極60の位置とが最も良く合致する状態となる。ところで,1枚目の液晶パネルの熱膨張量が非常に大きくなると,上述のようにシフトをしたとしても,いずれかのデータ側プローブ26がデータ電極60に接触できないような事態も考えられる。そのような場合には,もはや本発明をもってしても接触不良に起因する点灯不良を解消することは不可能になり,別の対策を考える必要がある。図6の下段には,最終的に位置決めが完了した2枚目以降の液晶パネルについて,その第1アライメントマークのX座標x1cと第3アライメントマークのX座標x3cを求める数式を示している。1式は偏差Δxを求める数式である。Δxは,B状態の第3アライメントマークのX座標x3bからA状態の第3アライメントマークのX座標x3aを引き算したものである。2式は第1アライメントマークの最終的なX座標x1cを求める数式である。このx1cは,B状態の第1アライメントマークのX座標x1bから,Δx/2を引き算したものである。3式は第3アライメントマークの最終的なX座標x3cを求める数式である。このx3cも,B状態の第3アライメントマークのX座標x3bから,Δx/2を引き算したものである。図5Cは,図5Bの状態から液晶パネルをX方向においてΔx/2だけ,偏差Δxとは逆の方向にすなわち矢印66の方向にシフトした状態を示している。すなわち,図6のC状態に相当する。この状態では,熱膨張した液晶パネル10a1枚目の液晶パネルの中心と,ほとんど熱膨張をしていない液晶パネル10b2枚目以降の液晶パネルの中心とが一致することになる。ところで,図5Bの状態から図5Cの状態へと液晶パネルをX方向にシフトすることで,第1アライメントマーク56及び第2アライメントマーク58と第1原点マーク50及び第2原点マーク52との間のアライメント状態がX方向にずれてしまうことになる。しかし,ゲート電極はX方向に細長くなっているので,液晶パネルをX方向にシフトしても,ゲート側プローブがゲート電極から外れることはない。2枚目以降の液晶パネルをアライメントするのに要する時間は数秒程度で済む。これを説明すると,2枚目以降の液晶パネルを図5Bの状態にするには,第1アライメントマーク56と第2アライメントマーク58を,できるだけ第1の標準座標x1a,y1aと第2の標準座標x2a,y2bに合致するように,検査ステージを動かすことになる。この作業は,アライメントマークと原点マークとの画像処理によるパターンマッチングによるものであり,数秒程度で終わる。このアライメント作業が完了したら,液晶パネルを上昇させて液晶パネルの電極をプローブに接触させて,プローブから電極に所定の電圧を印加して,オペレータが目視によって液晶パネルの点灯状態を検査する。その検査に要する時間はせいぜい1分程度である。その間にも,液晶パネルはバックライトによって照明されて多少の温度上昇をし,多少の熱膨張が生じることになる。しかし,プローブの先端がいったん液晶パネルの電極に接触してしまえば,その後,液晶パネルが多少熱膨張して電極位置がわずかにシフトしても,プローブの先端は電極に接触したまま,そのシフトに追随するので,プローブが電極から外れることはない。上述の実施例の説明は,カメラの光軸と検査ステージのZ軸とが完全に一致していることを前提にしている。もし,カメラの光軸が検査ステージのZ軸に対してわずかに傾斜しているならば,アライメントマークの座標について補正が必要になる。そのような補正方法は,例えば,上述の特許文献1に記載されている。本発明のアライメント方法は,そのような補正方法と組み合わせることも可能である。"