LNLithiumNiobate基板に形成された第1のマッハツェンダ型光導波路と、前記第1のマッハツェンダ型光導波路の各分岐導波路に形成された第2のマッハツェンダ型光導波路と、各第2のマッハツェンダ型光導波路に設けられ、前記各第2のマッハツェンダ型光導波路に入力される光を、電極の電位を用いて変調する複数の電極と、前記複数の電極により変調された後、前記各第2のマッハツェンダ型光導波路から出力される各光間に位相の差を発生させるシフト回路とを有し、前記第1のマッハツェンダ型光導波路は、前記位相の異なる光を合波して、出力信号を生成することを特徴とする光送信機。前記複数の電極に電位を与える複数の駆動回路と、前記第1のマッハツェンダ型光導波路から出力される光に基づく電力を監視する監視回路と、前記電力の値を用いて、前記複数の駆動回路から出力される信号の位相差を補正する補正回路とを更に有することを特徴とする請求項1に記載の光送信機。入力されたレーザ光を分離して、直交する2つの偏波光を生成し、各偏波光を、前記第1のマッハツェンダ型光導波路の各分岐導波路に出力する分配器を更に有することを特徴とする請求項1に記載の光送信機。前記複数の駆動回路は、前記複数の電極に対して、各々異なる振幅の信号を出力し、前記複数の電極は、前記異なる振幅の信号と各電極の電位とを用いて、前記光を、直交デュオバイナリ変調することを特徴とする請求項2に記載の光送信機。光送信機が、LNLithiumNiobate基板に形成された第1のマッハツェンダ型光導波路の各分岐導波路に形成された第2のマッハツェンダ型光導波路に入力される光を、各第2のマッハツェンダ型光導波路に設けられた複数の電極の電位を用いて変調し、前記複数の電極により変調された後、前記各第2のマッハツェンダ型光導波路から出力される各光間に位相の差を発生させ、前記位相の異なる光を合波して、出力信号を生成することを特徴とする光送信方法。しかしながら、上述した光QAM変調技術では、以下に示すような問題点があった。すなわち、光送信機は、光QAM変調による伝送品質の劣化を抑えるために、電極とこれに対応する駆動回路とを増加させることがある。例えば、光送信機が16QAM変調を行う場合、各アームに6個ずつの電極及び駆動回路を設けることとなり、実装すべき部品点数が増え、高価となる。また、光QAMの符号状態の遷移に伴い、光信号の位相と振幅とが変動するため、チャープ周波数のばらつきが発生することがある。チャープの発生は、光信号の伝送波形を劣化させ、伝送品質を低下させる要因となる。チャープによる伝送品質の低下は、光伝送路の距離が、伝送遅延に起因する波形劣化を招く程度に長い場合に、特に顕著となる。開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、部品点数を増やすことなく、光の伝送品質の低下を抑えることのできる光送信機、及び光送信方法を提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本願の開示する光送信機は、一つの態様において、第1のマッハツェンダ型光導波路と、第2のマッハツェンダ型光導波路と、複数の電極と、シフト回路とを有する。前記第1のマッハツェンダ型光導波路は、LN基板に形成される。前記第2のマッハツェンダ型光導波路は、前記第1のマッハツェンダ型光導波路の各分岐導波路に形成される。前記複数の電極は、各第2のマッハツェンダ型光導波路に設けられ、前記各第2のマッハツェンダ型光導波路に入力される光を、電極の電位を用いて変調する。前記シフト回路は、前記複数の電極により変調された後、前記各第2のマッハツェンダ型光導波路から出力される各光間に位相の差を発生させる。前記第1のマッハツェンダ型光導波路は、前記位相の異なる光を合波して、出力信号を生成する。本願の開示する光送信機の一つの態様によれば、部品点数を増やすことなく、光の伝送品質の低下を抑えることができる。以下に、本願の開示する光送信機、及び光送信方法の実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施例により本願の開示する光送信機、及び光送信方法が限定されるものではない。まず、本実施例に係る光伝送システムの構成を説明する。光伝送システムは、WDMWavelengthDivisionMultiplex方式を用いて、光信号の送受信を行う。図1は、本実施例に係る光伝送システム1の構成の一例を示す図である。図1に示すように、送信側の光伝送装置2と受信側の光伝送装置3とを有し、各光伝送装置2、3は、光伝送路Cを介して接続されている。更に、光伝送装置2は、n個nは自然数の光送信機10-1~nを有する。光伝送装置2は、各光送信機10-1~nから出力される異なる波長の信号を、合波回路4により合波し、合波後の信号を光信号として光伝送路Cに送出する。一方、光伝送装置3は、光伝送装置2と同様の構成を有し、光伝送路Cを経由して受信された光信号を、分波回路5により、異なる光波長を有する複数の信号に分波する。分波後の光信号は、各光受信機20-1~nに入力され、電気信号に光電変換される。次に、各光送信機10-1~nの構成例として、光送信機10-nの構成を代表的に説明する。図2は、本実施例に係る光送信機10-nの構成の一例を示す図である。図2に示すように、光送信機10-nは、信号処理回路Multiplexer11と駆動回路12とCWLDContinuousWavelengthLaserDiode13と光QAM変調器14とを有する。これら各構成部分は、一方向又は双方向に、信号やデータの入出力が可能なように接続されている。信号処理回路11は、入力された電気信号を光QAM変調可能な信号に変換して、駆動回路12に出力する。駆動回路12は、信号処理回路11により処理された信号に基づき、光QAM変調器14が光の外部変調を行うための電位を、光QAM変調器14に出力する。CWLD13は、光QAM変調器14に対して、連続波のレーザ光Lを出力する。光QAM変調器14は、駆動回路12により入力された電位を用いて、CWLD13から入力されるレーザ光Lの外部変調を行う。なお、光送信機10-1~nの内、光送信機10-n以外の光送信機についても、光送信機10-nと同様の構成を有するため、その図示及び詳細な説明は省略する。図3は、16QAMの場合における光QAM変調器14の構成の一例を示す図である。図3に示すように、光QAM変調器14は、第1マッハツェンダ14aと、第2マッハツェンダ14b、14cと、複数の電極14d~14gと、シフト回路14hとを有する。第1マッハツェンダ14aは、ニオブ酸リチウムLN:LithiumNiobateにより形成された基板に埋め込まれるように拡散形成され、CWLD13から入力されるレーザ光Lを分岐する。第2マッハツェンダ14b、14cは、第1マッハツェンダ14aの各アームに形成されており、第2マッハツェンダ14b、14cの各々には、2つの電極14d~14g合計4個が設けられている。これら複数の電極14d~14gは、信号処理回路11により処理された信号に従って4つの駆動回路12a~12dからそれぞれ入力される、2値0又は1の符号信号により、電位を付与される。光QAM変調器14は、これら複数の電極14d~14gの電位に基づき、出力信号を生成する。シフト回路14hは、各第2マッハツェンダ14b、14cから出力される各光信号間に位相の差を発生させる。第2マッハツェンダ14b、14cと電極14d~14gとは、各駆動回路12a~12dにより与えられる電位により、位相0又はπと振幅強度とが相互に異なる信号を生成する。すなわち、第1マッハツェンダ14aの上段のアームでは、第2マッハツェンダ14bと2つの電極14d、14eとにより、4つの光の状態4値が生成される。第1マッハツェンダ14aの下段のアームにおいても、第2マッハツェンダ14cと2つの電極14f、14gとにより、4つの光の状態4値が生成される。しかしながら、第2マッハツェンダ14cからの出力光は、第2マッハツェンダ14bからの出力光から、位相がπ/2シフトされた状態で出力される。そして、上下各アームからの出力信号が、第1マッハツェンダ14aの出力時に合波されることにより、第1マッハツェンダ14aから出力される光の状態は16種となり、16QAMの光変調が実現される。16QAMで光変調された信号は、光QAM変調器14から光信号として出力される。なお、各電極14f、14gが生成する光の状態は、電極の構成と駆動回路からの信号とにより決定されるが、各電極14f、14gが、異なる状態の光を生成する方法としては、例えば、以下に示す2通りの方法がある。第1に、各電極14f、14gの電極長を異なる値とする一方、駆動回路12a、12bが、各電極14f、14gに対して、等しい振幅値の信号を出力する。第2に、各電極14f、14gの電極長を等しい値で構成する一方、駆動回路12a、12bが、各電極14f、14gに対して、異なる振幅値の信号を出力する。図4は、異なる電極長と等しい振幅の駆動回路出力値とを用いた場合における、各電極14f、14gの電位と光位相差との関係の一例を示す図である。図4に示すように、各電極14f、14gの電極長の比率として、1/3:2/3が設定される。また、駆動回路12a、12bからの出力信号上記符号信号は、双方の電極14f、14g共に、出力値として0又は1の値をとるとする。この場合、電極長は、電極14f、14gに対して共に0の電位を与えた場合と、電極14f、14gに対して共に1の電位を与えた場合に、第2マッハツェンダ14cにより分岐された光の位相差が2πとなるように、決定される。光の位相の変動量は、電極長に比例することから、各電極14f、14gの電位状態に起因して生じる、光の位相差は、図4に示す値となる。すなわち、電極14f、14gの電位がそれぞれ0、0の場合には、光位相差は0となり、電極14f、14gの電位がそれぞれ1、0の場合には、光位相差は2π/3となる。また、電極14f、14gの電位がそれぞれ0、1の場合には、光位相差は4π/3となり、電極14f、14gの電位がそれぞれ1、1の場合には、光位相差は2πとなる。上述の位相差をもつ2つの光が、第2マッハツェンダ14cからの出力時に合波されることで、4つの光の状態4値が生成される。更に、一方の第2マッハツェンダ14cからの出力光の位相差はπ/2ずらされるため、第1マッハツェンダ14aからの出力時に、他方の第2マッハツェンダ14bからの出力光と合波されることで、16QAMの光QAM変調が実行される。図5は、等しい電極長と異なる振幅の駆動回路出力値とを用いた場合における、各電極14f、14gの電位と光位相差との関係の一例を示す図である。図5に示すように、各電極14f、14gの電極長の比率として、1:1が設定される。また、駆動回路12a、12bからの出力信号上記符号信号は、電極14f、14gによって異なる振幅値をとり、最大振幅値の比率は、1/3:2/3に設定されているものとする。この場合、駆動回路12a、12bからの出力信号の振幅の絶対値は、電極14f、14gに対して共に0の電位を与えた場合と、電極14f、14gに対してそれぞれ1/3、2/3の電位を与えた場合に、分岐された光の位相差が2πとなるように、決定される。光の位相の変動量は、電極長に比例することから、各電極14f、14gの電位状態に起因して生じる、光の位相差は、図5に示す値となる。すなわち、電極14f、14gの電位がそれぞれ0、0の場合には、光位相差は0となり、電極14f、14gの電位がそれぞれ1/3、0の場合には、光位相差は2π/3となる。また、電極14f、14gの電位がそれぞれ0、2/3の場合には、光位相差は4π/3となり、電極14f、14gの電位がそれぞれ1/3、2/3の場合には、光位相差は2πとなる。上述の位相差をもつ2つの光が、第2マッハツェンダ14cからの出力時に合波されることで、4つの光の状態4値が生成される。更に、一方の第2マッハツェンダ14cからの出力光の位相差はπ/2ずらされるため、第1マッハツェンダ14aからの出力時に、他方の第2マッハツェンダ14bからの出力光と合波されることで、16QAMの光QAM変調が実行される。ここで、本実施例に係る光送信機10-nのように、電極に電位を与える駆動回路が複数存在する場合、各駆動回路12a、12bからの出力信号間に、位相遅延差が発生することがある。この遅延差は、例えば、各駆動回路12a、12bから、対応する第2マッハツェンダ14c迄の電気信号線長のばらつきや、各駆動回路12a、12bへの入力信号遅延を要因とする。図6は、駆動回路からの出力信号間に発生する遅延差の一例を示す図である。図6では、x軸には時間tが規定され、y軸には振幅aが規定されている。図6に示すように、駆動回路12aからの出力波形W1と駆動回路12bからの出力波形W2とは、High状態において振幅値の異なる波形となる。また、これら振幅の異なる2つの出力信号の間には、信号遅延差T1が生じている。信号遅延差T1は、QAM変調された光信号の伝送品質を劣化させる要因となる。そこで、光送信機10-nは、上記遅延差を補正するために、図3に示したように、PDPhotoDiode15と、IV変換回路16と、低域ACAlternatingCurrent電力監視回路17と、補正回路18a、18bとを有する。PD15は、第1マッハツェンダ14aから出力される光をモニタリングする。IV変換回路16は、PD15から入力される電流を電圧に変換する。低域AC電力監視回路17は、IV変換回路16により変換された電圧の交流電力を監視して検出する。補正回路18a、18bは、当該交流電力の値を用いて、駆動回路12a~12dからの出力信号の位相差をそれぞれ制御する。具体的には、駆動回路12a~12dからの出力信号間に位相差が発生すると、PD15及びIV変換回路16からの出力の電気スペクトラムが低域側において減少する。これに伴い、低域AC電力監視回路17からの出力値交流電力値は減少する。一方、上記位相差が減少するのに伴い交流電力値は増大し、位相差=0では、交流電力値は極大値をとる。したがって、補正回路18a、18bは、低域AC電力監視回路17から入力される上記交流電力値が最大となるように、各駆動回路12a~12dから出力される信号の位相を変更することで、信号遅延差T1を補正する。例えば、補正回路18aは、複数の駆動回路12a、12bの内、駆動回路12aの位相を遅らせたときに、交流電力値が小さくなる場合には、位相差が更に大きくなったと判断できることから、駆動回路12aからの出力信号の位相を進める制御を行う。反対に、補正回路18aは、複数の駆動回路12a、12bの内、駆動回路12aの位相を進めたときに、交流電力値が小さくなる場合には、駆動回路12aからの出力信号の位相を遅らせる。また、補正回路18aは、複数の駆動回路12a、12bの内、駆動回路12aの位相を遅らせたときに、交流電力値が大きくなる場合には、位相差が小さくなったと判断できることから、駆動回路12aからの出力信号の位相を更に遅らせる制御を行う。反対に、補正回路18aは、複数の駆動回路12a、12bの内、駆動回路12aの位相を進めたときに、交流電力値が大きくなる場合には、電力値が最大値となるまで、駆動回路12aからの出力信号の位相を更に進める。このように、光送信機10-nは、補正回路18a、18bにより、交流電力値をパラメータとして位相遅延差を調整し、位相遅延差の発生に起因して劣化した光の伝送品質を改善する。その結果、良好な伝送品質が維持される。以上説明したように、光送信機10-nは、第1マッハツェンダメインマッハツェンダ14aと、第2マッハツェンダサブマッハツェンダ14b、14cと、複数の電極14d~14gと、シフト回路14hとを有する。第1マッハツェンダ14aは、LN基板に形成される。第2マッハツェンダ14b、14cは、第1マッハツェンダ14aの各分岐導波路アームに形成される。複数の電極14d~14gは、各第2マッハツェンダ14b、14cに設けられ、各第2マッハツェンダ14b、14cに入力される光を、電極の電位0又は1の2値を用いて変調する。シフト回路14hは、複数の電極14d~14gにより変調された後、各第2マッハツェンダ14b、14cから出力される各光間に位相の差を発生させる。第1マッハツェンダ14aは、上記位相の異なる光を合波して、出力信号を生成する。また、光送信機10-nは、複数の駆動回路12a~12dと、低域AC電力監視回路17と、補正回路18a、18bとを有する。複数の駆動回路12a~12dは、複数の電極14d~14gに電位を与える。低域AC電力監視回路17は、第1マッハツェンダ14aから出力される光に基づく交流電力を監視する。補正回路18a、18bは、上記交流電力の値を用いて、複数の駆動回路12a~12dから出力される信号の位相差を補正する。上述したように、本実施例に係る光QAM変調器14が光16QAMを実現するために必要な電極及び駆動回路の数はそれぞれ4個であり、従来の12個=6個×2と比較して大幅に減少する。特に、装置構成に必要な駆動回路の数は、送信シンボル数と同じ個数光16QAM変調の場合、4=2×2個で足りる。これにより、光送信機10-nに実装すべき部品点数が減少する。したがって、光送信機10-nを、安価なコストで簡易に構成することが可能となる。また、光QAM変調器14は、第2マッハツェンダ14b、14cに設けられた電極14d~14gにて位相変調を行うため、光信号の位相と振幅強度との変動が低減され、チャープの発生は抑止される。チャープの発生は、光信号の伝送波形を劣化させ、伝送品質を低下させる要因となることから、チャープの抑止により、光伝送路の距離に拘らず、伝送品質の低下は抑制される。その結果、光伝送後の伝送品質は、従来より改善される。また、第1マッハツェンダ14aは、LN基板内に拡散形成され、LN基板に埋め込まれた第1マッハツェンダ14aが、各アームに形成された第2マッハツェンダ14b、14cに、複数の電極14d~14gを有する。これにより、光送信機10-nは、半導体マッハツェンダにて生じる位相変動に伴う光ロスを発生させることなく、多値変調信号を生成することができる。したがって、光送信機10-nは、上記光ロスと非線形特性とを補正するための電極を別途設ける必要がないため、少ない部品点数で効果的にQAM変調を行うことができる。更に、光ロスの発生は、平均光出力レベルを低下させることから、CWLD13から入力されるレーザ光Lが同等の場合、光送信機10-nは、LN基板を使用しない他の光送信機と比較して、より高出力の光信号を送信することができる。また、光送信機10-nは、第1マッハツェンダ14aの各アームに形成された第2マッハツェンダ14b、14cに、複数の電極14d~14gを有する。したがって、光送信機10-nは、2値の電位を出力する駆動回路12a~12dを複数設けることで、多値の電位を出力する駆動回路を必要とせずに、16QAM以上の変調を行うことができる。変形例1以上、16QAM変調を例に採り、光QAM変調器14の構成及び動作を説明したが、光QAM変調器14は、第2マッハツェンダ14b、14cの各々にn個nは自然数の電極を設けることで、2n×2nQAM変調を実現することができる。図7は、変形例12n×2nQAMの場合に係る光QAM変調器14の構成の一例を示す図である。図7に示すように、第2マッハツェンダ14b、14cには、それぞれn個ずつの電極14d-1~14d-n、14f-1~14f-nが設けられている。また、電極14d-1~14d-n、14f-1~14f-nには、それぞれ電位を与えるための駆動回路12c-1~12c-n、12a-1~12a-nがn個ずつ電気接続されている。これにより、各電極における入力光の位相変調によって、1つの第2マッハツェンダにつき、2n個の光の状態の生成が可能となる。したがって、光QAM変調器14は、第2マッハツェンダ14b、14cからの出力光間にπ/2の位相差をもたせることで、2n×2n種類の光の状態値を生成することができる。その結果、2n×2nQAM変調が実現される。変形例2更に、別の変形態様として、光送信機10-nは、CWLD13からの出力光を分離する偏波分配器19を有するものとしてもよい。すなわち、光送信機10-nは、入力されたレーザ光Lを分離して、直交する2つの偏波光を生成し、各偏波光を、第1のマッハツェンダ14aの各分岐導波路アームに出力する偏波分配器19を更に有するものとしてもよい。図8は、変形例2二重偏波型2n×2nQAMの場合に係る光QAM変調器14の構成の一例を示す図である。図8に示すように、光QAM変調器14は、CWLD13から入力されるレーザ光Lを偏波分配器19により分離することで、直交する2つの偏波TETransverseElectric波とTMTransverseMagnetic波の光を生成する。第2マッハツェンダ14bは、TE波の光に対して2n×2nQAM変調を行うと共に、第2マッハツェンダ14cは、TM波の光に対して2n×2nQAM変調を行う。これにより、光送信機10-nは、二重偏波DualPolarization型の2n×2nQAMを実現することができる。変形例3また、光送信機10-nは、等しい電極長を偏波分配器19に適用することにより、2n×2nQAM変調に限らず、直交デュオバイナリDuobinary変調を実現することもできる。すなわち、光送信機10-nにおいて、複数の駆動回路12a~12dは、複数の電極14d~14gに対して、各々異なる振幅の信号を出力し、複数の電極14d~14gは、上記異なる振幅の信号と各電極の電位とを用いて、上記光を、直交デュオバイナリ変調するものとしてもよい。図9は、変形例3において、等しい電極長と異なる振幅の駆動回路出力値とを用いた場合における、各電極14f、14gの電位と光位相差との関係の一例を示す図である。駆動回路12a~12dが、異なる振幅の出力信号を、長さの等しい電極に与える図5参照ことで、光QAM変調器14は、図9に示すような光の位相状態を得ることができる。すなわち、電極14f、14gの電位がそれぞれ0、0の場合には、光位相差は0となり、電極14f、14gの電位がそれぞれ1、0の場合には、光位相差はπとなる。また、電極14f、14gの電位がそれぞれ0、1の場合にも、光位相差はπとなる。そして、電極14f、14gの電位がそれぞれ1、1の場合には、光位相差は2πとなる。図10は、変形例3に係る光QAM変調器14の構成の一例を示す図である。図10に示すように、上述の位相差をもつ2つの光が、第2マッハツェンダ14cからの出力時に合波されることで、3つの光の状態3値が生成される。変形例3では、図5に示した例とは異なり、電極14f、14gの電位がそれぞれ1、0の場合と0、1の場合とで、第2マッハツェンダ14cの各アーム間の光位相差は同一の値をとる。このため、各電極14f、14gの電位の組合せにより取り得る光位相差は、3種類となる。更に、一方の第2マッハツェンダ14cからの出力光の位相差はπ/2ずらされるため、第1マッハツェンダ14aからの出力時に、他方の第2マッハツェンダ14bからの出力光と合波されることで、9=3×3QAMの光QAM変調が実現される。このような直交デュオバイナリ変調は、高い波長分散耐性を有する。変形例4更に、別の変形態様として、2n×2nQAM変調を行う光QAM変調器14は、各駆動回路12a、12bからの出力信号を同一の信号とし、各駆動回路12c、12dからの出力信号を同一の信号とすることで、2n-1×2n-1QAM変調を実現することができる。図11は、変形例4に係る光QAM変調器14が2n-1×2n-1QAM変調を行った場合における、各電極14f、14gの電位と光位相差との関係の一例を示す図である。各駆動回路12a、12bから各電極14f、14gへそれぞれ入力される信号は、同一の信号であることから、各電極14f、14gにおける電位は、同一の値共に0又は共に1をとる。その結果、第2マッハツェンダ14cの各アームにおける光の位相差は、図11に示す状態となる。すなわち、各電極14f、14gの電位が異なる光位相状態は生成されないこととなり、光位相差は、0又は2πの2種類となる。これにより、光QAM変調器14は、4QAM変調n=2の場合が可能となる。光伝送装置2は、かかる特性を利用することで、入力された方式選択信号に従い、変調方式を、例えば、16QAM変調方式から4QAM変調方式に変更することができる。変形例4に係る光伝送装置2によれば、受信側の光伝送装置3が4QAM変調方式にのみ対応した旧式の装置である場合にも、送信側における光伝送装置2の変調方式を、受信側に合わせて変更することにより、光信号の送受信が可能となる。したがって、光伝送装置2は、受信側の変調数に応じて、多様な光伝送装置に柔軟に対応することができる。その結果、光伝送システム1の汎用性が向上する。なお、上記説明では、実施例、変形例毎に個別の構成、及び動作を説明した。しかしながら、実施例及び各変形例に係る光伝送装置2は、他の変形例に特有の構成要素を併せて有するものとしてもよい。また、実施例、変形例毎の組合せについても、2つに限らず、3つ以上の組合せ等、任意の形態を採ることが可能である。例えば、変形例1、3、4に係る光伝送装置2が、変形例2に係る偏波分配器19を有し、CWLD13からの出力光を分離するものとしてもよい。また、変形例1~3に係る光伝送装置2が、方式選択信号に基づいて変調方式の切替えを行う機能をもつものとしてもよい。