"互いに連結されて、振動駆動される第1及び第2梁部材を備え、少なくとも前記第1梁部材には、形状の変化可能な変形部が設けられ、前記第1及び第2梁部材の基端部は、固定端となり、前記第1及び第2梁部材の先端部は、互いに連結されると共に自由端となっており、前記第1及び第2梁部材は、前記変形部の変形によって、互いの間隔が広がるように互いに異なる態様で変形する振動子。請求項1に記載の振動子において、前記変形部の変形によって、曲げ弾性率が変化する振動子。請求項1に記載の振動子において、前記第1及び第2梁部材はそれぞれ、基端側から延伸した第1延伸部と、該第1延伸部の先端部を折返し部として折り返して、基端側へ延伸する第2延伸部とを有し、該第2延伸部の先端部同士が連結されており、前記第1及び第2梁部材の前記第1延伸部の基端部は、固定端となり、前記第1及び第2梁部材の前記第2延伸部の先端部は、自由端となっており、前記第1及び第2梁部材は、前記変形部の変形によって、互いの前記折返し部の間隔が広がるように変形する振動子。請求項1乃至3の何れか1つに記載の振動子において、前記変形部は、前記第1及び第2梁部材の両方に設けられており、前記第2梁部材は、前記変形部の変形によって、前記第1梁部材とは反対側に変形する振動子。請求項1に記載の振動子において、前記第1及び第2梁部材はそれぞれ、基端側から延伸した第1延伸部と、該第1延伸部の先端部を折返し部として折り返して、基端側へ延伸する第2延伸部とを有し、該第2延伸部の先端部同士が連結されており、前記第1及び第2梁部材の前記第1延伸部の基端部は、固定端となり、前記第1及び第2梁部材の前記第2延伸部の先端部は、自由端となっており、前記第1及び第2梁部材は、前記変形部の変形によって、前記第1延伸部の基端部と前記第2延伸部の先端部との間隔が広がるように変形する振動子。請求項1乃至5の何れか1つの記載の振動子において、前記変形部は、外部からの信号に応じて変形するように構成されている振動子。請求項1乃至5の何れか1つに記載の振動子において、前記変形部は、ガスが付着することにより変形するガス感応部である振動子。請求項3に記載の振動子と、前記振動子を振動駆動する駆動部とを備え、前記変形部は、外部からの信号に応じて変形するように構成されており、前記駆動部は、前記第1及び第2梁部材を、前記第2延伸部の先端部が振動の腹となるように振動させる発振器。請求項5に記載の振動子と、前記振動子を振動駆動する駆動部とを備え、前記変形部は、外部からの信号に応じて変形するように構成されており、前記駆動部は、前記第1梁部材を前記折返し部が振動の腹となるように振動させる一方、前記第2梁部材を前記折返し部が振動の腹となるように該第1梁部材とは逆位相で振動させる発振器。請求項6に記載の振動子と、前記振動子を振動駆動する駆動部とを備えた発振器。請求項10に記載の発振器において、前記駆動部は、前記第1梁部材の変形方向と平行な方向に前記振動子を振動させる発振器。請求項10に記載の発振器において、前記駆動部は、前記第1梁部材の変形方向と直交する方向に前記振動子を振動させる発振器。請求項3に記載の振動子と、前記振動子を振動駆動する駆動部とを備え、前記変形部は、ガスが付着することにより変形するガス感応部であり、前記駆動部は、前記第1及び第2梁部材を、前記第2延伸部の先端部が振動の腹となるように振動させるガス検出装置。請求項5に記載の振動子と、前記振動子を振動駆動する駆動部とを備え、前記変形部は、ガスが付着することにより変形するガス感応部であり、前記駆動部は、前記第1梁部材を前記折返し部が振動の腹となるように振動させる一方、前記第2梁部材を前記折返し部が振動の腹となるように該第1梁部材とは逆位相で振動させるガス検出装置。請求項7に記載の振動子と、前記振動子を振動駆動する駆動部とを備えたガス検出装置。請求項15に記載のガス検出装置において、前記駆動部は、前記第1梁部材の変形方向と平行な方向に前記振動子を振動させるガス検出装置。請求項15に記載のガス検出装置において、前記駆動部は、前記第1梁部材の変形方向と直交する方向に前記振動子を振動させるガス検出装置。しかしながら、従来の構成では、梁部材の変形に対する共振周波数の変化量が小さいという問題がある。例えば、ガス検出装置のように、梁部材を受動的に変形させて、当該変形に起因する共振周波数の変化を検出する装置であれば、梁部材の変形に対する共振周波数の変化量が小さいと、検出能力が低くなってしまう。また、このような振動子を、梁部材を能動的に変形させることにより振動子の共振周波数を所望の値に調整することができる発振器として使用することも考えられるが、梁部材の変形に対する共振周波数の変化量が小さいと、振動子の共振周波数を変化させるために必要な梁部材の変形量が大きくなってしまう。ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、梁部材の変形に対する共振周波数の変化量を大きくすることにある。ここに開示された技術は、振動子を対象とし、この振動子は、互いに連結されて、振動駆動される第1及び第2梁部材を備え、少なくとも前記第1梁部材には、形状の変化可能な変形部が設けられ、前記第1及び第2梁部材の基端部は、固定端となり、前記第1及び第2梁部材の先端部は、互いに連結されると共に自由端となっており、前記第1及び第2梁部材は、前記変形部の変形によって、互いの間隔が広がるように互いに異なる態様で変形するものとする。前記の構成によれば、前記変形部の変形によって変化する第1梁部材は、第2梁部材と連結され且つ該第2梁部材との間隔が広がるように該第2梁部材と異なる態様で変形するため、第1梁部材の変形に対する、第1及び第2梁部材全体としての曲げ剛性換言すれば、曲げ弾性率の変化量が、第1梁部材が単独で変形する場合に比べて、大きくなる。その結果、梁部材の変形に対する共振周波数の変化量が大きくなる。また、ここに開示された技術は、発振器を対象としており、この発振器は、前記振動子と、前記振動子を振動駆動する駆動部とを備え、前記変形部は、外部からの信号に応じて変形するように構成されているものとする。前記の構成によれば、前記変形部は、外部からの信号に応じて能動的に変形させられ、それに伴い、前記第1梁部材が変形する。第1梁部材が変形すると、第1梁部材に連結された第2梁部材も変形する。こうして、第1及び第2梁部材が変形することで振動子の共振周波数が変化する。つまり、この発振器は、振動子の共振周波数を可変とすることができる。ここで、第1梁部材は、第2梁部材と連結され且つ該第2梁部材と異なる態様で変形するため、第1梁部材の変形に対する、第1及び第2梁部材全体としての曲げ剛性換言すれば、曲げ弾性率の変化量が、第1梁部材が単独で変形する場合に比べて、大きくなる。その結果、梁部材を少し変形させるだけで、共振周波数を大きく変化させることができる。さらに、ここに開示された技術は、ガス検出装置を対象としており、このガス検出装置は、振動子と、前記振動子を振動駆動する駆動部とを備え、前記変形部は、ガスが付着することにより変形するガス感応部であるものとする。前記の構成によれば、前記変形部は、ガス感応部であり、ガスが付着することによって受動的に変形する。その変形部の変形に伴って、第1梁部材が変形する。第1梁部材が変形すると、第1梁部材に連結された第2梁部材も変形する。こうして、第1及び第2梁部材が変形することで振動子の共振周波数が変化する。こうして、ガス検出装置は、振動子の共振周波数の変化に基づいてガスを検出することができる。ここで、第1梁部材は、第2梁部材と連結され且つ該第2梁部材と異なる態様で変形するため、第1梁部材の変形に対する、第1及び第2梁部材全体としての曲げ剛性換言すれば、曲げ弾性率の変化量が、第1梁部材が単独で変形する場合に比べて、大きくなる。その結果、変形部にガスが少し付着しただけでも、共振周波数が大きく変化するようになる。前記振動子によれば、梁部材の変形に対する共振周波数の変化量を大きくすることができる。また、前記発振器によれば、梁部材を少し変形させるだけで、共振周波数を大きく変化させることができ、ひいては、共振周波数の調整幅を大きくすることができる。さらに、前記ガス検出装置によれば、変形部にガスが少し付着しただけでも、共振周波数を大きく変化させることができ、ひいては、検出能力を向上させることができる。また、簡単な回路で検出可能なため、コストを下げることができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。《発明の実施形態1》図1は、実施形態1に係る、変形前のガスセンサの斜視図を、図2は、変形後のガスセンサの斜視図を示す。ガスセンサ1は、第1梁部材2及び第2梁部材3を備えている。ガスセンサ1は、公知のMEMSプロセス半導体プロセスによって作製される。第1及び第2梁部材2,3は、板状に形成されている。第1及び第2梁部材2,3は、互いに線対称な形状をしている。このガスセンサ1が振動子を構成する。詳しくは、第1梁部材2は、シリコンで構成された梁本体20を有している。梁本体20は、直線状に延伸する第1延伸部21と、第1延伸部21の先端部から直角に屈曲する折返し部22と、折返し部22から第1延伸部21と平行に第1延伸部21の基端側へ直線状に延伸する第2延伸部23と、第2延伸部23の先端部から直角に屈曲する連結部24とを有している。これら第1延伸部21、折返し部22、第2延伸部23及び連結部24は、板厚方向が同じ方向を向くようにして同一平面上に位置している。一方、第2梁部材3は、シリコンで構成された梁本体30を有している。梁本体30は、直線状に延伸する第1延伸部31と、第1延伸部31の先端部から直角に屈曲する折返し部32と、折返し部32から第1延伸部31と平行に第1延伸部31の基端側へ直線状に延伸する第2延伸部33と、第2延伸部33の先端部から直角に屈曲する連結部34とを有している。これら第1延伸部31、折返し部32、第2延伸部33及び連結部34は、板厚方向が同じ方向を向くようにして同一平面上に位置している。そして、第1梁部材2の連結部24と、第2梁部材3の連結部34とが互いに連結されている。このとき、第1梁部材2と第2梁部材3とは、板厚方向が同じ方向を向くようにして同一平面上に位置している。第1梁部材2の第1及び第2延伸部21,23並びに第2梁部材3の第1及び第2延伸部31,33は、互いに平行に配列されている。こうして、第1及び第2梁部材2,3は、全体として、平面視M字状に形成されている。第1梁部材2の基端部、即ち、第1延伸部21の基端部と、第2梁部材3の基端部、即ち、第1延伸部31の基端部とは、支持部11に連結されている。こうして、第1及び第2梁部材2,3は、第1延伸部21,31の基端部が固定端となる一方、第1延伸部21,31の先端部即ち、折返し部22,32と第2延伸部23,33の先端部即ち、連結部24,34とが自由端となった片持ち梁を構成する。尚、本明細書では、説明の便宜上、第1及び第2梁部材2,3の板厚方向をZ方向、第1梁部材2の第1及び第2延伸部21,23並びに第2梁部材3の第1及び第2延伸部31,33の長手方向をY方向、第1梁部材2の第1及び第2延伸部21,23並びに第2梁部材3の第1及び第2延伸部31,33の短手方向幅方向をX方向とする。第1梁部材2は、パラジウムで構成されたガス感応膜4,4をさらに有している。ガス感応膜4は、梁本体20の一方の表面2aに積層されている。ここで、梁本体20の表面とは、その法線方向が板厚方向を向く面であり、Z方向を向く面である。詳しくは、ガス感応膜4は、第1梁部材2の第1及び第2延伸部21,23の表面2aに設けられている。パラジウムは、水素を吸着して膨張する材質である。このガス感応膜4が、ガス感応部、即ち、変形部を構成する。尚、第2梁部材3には、ガス感応膜4が設けられていない。このように構成されたガスセンサ1は、第1梁部材2のガス感応膜4に水素が吸着すると、ガス感応膜4が膨張変形する。その結果、第1梁部材2は、ガス感応膜4,4がその長手方向に延びて、図2に示すように、第1及び第2延伸部21,23を内側に、ガス感応膜4,4を外側にして湾曲する。ここで、第1延伸部21の基端部は固定端となっているため、第1延伸部21の折返し部22が、湾曲に伴ってZ方向へ変位する。一方、第2梁部材3は、ガス感応膜4が設けられていないため、平坦な形状を維持している。その結果、ガスセンサ1は、第1梁部材2の折返し部22が第2梁部材3の折返し部32から離間するように、即ち、第1梁部材2と第2梁部材3との間隔が広がるように変形する。このように変形することによって、ガスセンサ1の共振周波数が変化する。以下に、ガスセンサ1を、第1及び第2梁部材2,3の曲げ変形の方向即ち、板厚方向であり、Z方向へ振動以下、垂直振動ともいうさせる場合の共振周波数の変化について説明する。ガスセンサ1を垂直振動させると、ガスセンサ1は、様々な振動モードで共振する。各振動モードを共振周波数の低い順に、1次モード、2次モード、3次モード、...、と称する。図3は、1次モードの垂直振動を行うガスセンサ1の斜視図を、図4は、2次モードの垂直振動を行うガスセンサ1の斜視図を、図5は、3次モードの垂直振動を行うガスセンサ1の斜視図を示す。1次モードの垂直振動においては、ガスセンサ1は、図3に示すように、第1及び第2梁部材2,3が一体となって、第1梁部材2の折返し部22と第2梁部材3の折返し部32とが振動の腹となるようにZ方向へ振動する。すなわち、第1梁部材2と第2梁部材3とが、同位相でZ方向へ振動している。2次モードの垂直振動においては、ガスセンサ1は、図4に示すように、第1梁部材2の折返し部22及び第2梁部材3の折返し部32が実質的に振動の節となり、第1梁部材2の連結部24と第2梁部材3の連結部34が振動の腹となるようにZ方向へ振動する。すなわち、第1梁部材2の第2延伸部23と第2梁部材3の第2延伸部33とが全体として1本の梁のように振動する。3次モードの垂直振動においては、ガスセンサ1は、図5に示すように、第1梁部材2と第2梁部材3とがそれぞれの折返し部22,32を振動の腹としてZ方向へ振動する。すなわち、第1梁部材2の第1及び第2延伸部21,23が全体として1本の梁のように振動し、それとは逆位相で、第2梁部材3の第1及び第2延伸部31,33が全体として1本の梁のように振動する。ガスセンサ1が前述の如く変形すると、特に2次モードの垂直振動においては、ガスセンサ1の共振周波数が大幅に変化する。詳しくは、ガスセンサ1が前述の如く変形すると、第1梁部材2の折返し部22と第2梁部材3の折返し部32とが離間するため、振動の節に近づくほど、X軸回りの断面二次モーメントが大きくなり、曲げ剛性換言すれば、曲げ弾性率が大きくなる。このように、2次モードの垂直振動においては、1本の梁のように振動する第2延伸部23,33の振動の節側の部分の曲げ剛性が大きくなるため、ガスセンサ1の共振周波数は高くなる方向へ大幅に変化する。したがって、変形の前後でのガスセンサ1の共振周波数の変化量が大きくなる。このように、第2梁部材3と連結された第1梁部材2が第2梁部材3と異なる態様で変形すると、振動形態とその振動モードによっては、ガスセンサ1の共振周波数が変形の前後で大幅に変化する。尚、2次モード以外の振動モードにおいても、変形の前後でガスセンサ1の共振周波数が大幅に変化する振動モードが存在し得る。以下に、ガスセンサ1を曲げ変形させたときの変形量に対する、2次モードの垂直振動の共振周波数の変化特性のシミュレーション結果について説明する。図6は、シミュレーションに用いたガスセンサの寸法を示し、図7は、ガスセンサの変形量に対する、2次モードの垂直振動の共振周波数の変化特性のシミュレーション結果を示す。このシミュレーションに用いたガスセンサは、一例にすぎず、本発明はこれに限定されるものではない。このガスセンサ1は、第1梁部材2及び第2梁部材3が厚さ10μmのシリコンで構成されており、第1梁部材2の第1延伸部21及び第2延伸部23の表面2aには厚さ100nmのパラジウムがガス感応膜4として積層されている。一方、第2梁部材3の第1延伸部31及び第2延伸部33の表面3aには、第1梁部材2とのバランスを取るために、厚さ100nmの銀35が積層されている。シミュレーションに用いた解析コードは、ANSYS110ProductLauncherであり、使用した要素タイプはsolid185である。メッシュサイズは、一辺が10μmの6面体とした。材料特性としては、シリコンのヤング率を130.8GPa、密度を2.33g/cm3、ポアソン比を0.26とし、パラジウムと銀のヤング率を110GPa、密度を12.02g/cm3、ポアソン比を0.3とした。また、シミュレーションにおいては、パラジウムの水素吸蔵膨張を温度膨張として静的解析を行った。パラジウムの膨張を0~0.5で変化させ、ガスセンサ1の形状を更新しながら、ガスセンサ1の2次モードの垂直振動の共振周波数を求めた。また、ガスセンサ1は、第1梁部材2の第1延伸部21の基端部と第2梁部材3の第1延伸部31の基端部とを全自由度を拘束した固定端とした。尚、比較例として、第1梁部材2の第1延伸部21だけで構成された単純な梁以下、単純梁というのシミュレーションも行った。第1延伸部21は厚さ10μmのシリコンで構成され、その表面に厚さ100nmのパラジウムが積層されている。その他の寸法、シミュレーション条件は、ガスセンサ1と同様である。パラジウムの膨張を0~0.5で変化させることにより単純梁の曲げ変形量を変えながら、単純梁の1次モードの垂直振動の共振周波数を求めた。図7のシミュレーション結果を見ると、ガスセンサ1の2次モードの垂直振動の共振周波数は、曲げ変形の変形量が大きくなるほど、大きくなることがわかる。尚、変形量とは、図1に示す、第1梁部材2の折返し部22のZ方向への変形量である。一方、単純梁の場合は、曲げ変形の変形量が大きくなっても、共振周波数がほとんど変化しない。つまり、このように構成されたガスセンサ1は、曲げ変形量に対する、2次モードの垂直振動の共振周波数の変化量が大きいことがわかる。続いて、ガスセンサ1を、第1及び第2梁部材2,3の曲げ変形の方向及び第1及び第2梁部材2,3の延伸方向と直交する方向即ち、X方向へ振動以下、水平振動ともいうさせる場合の共振周波数の変化について説明する。ガスセンサ1を水平振動させると、ガスセンサ1は、様々な振動モードで振動する。各振動モードを共振周波数の低い順に、1次モード、2次モード、3次モード、...、と称する。図8は、1次モードの水平振動を行うガスセンサ1の斜視図を、図9は、2次モードの水平振動を行うガスセンサ1の斜視図を、図10は、3次モードの水平振動を行うガスセンサ1の斜視図を示す。1次モードの水平振動においては、ガスセンサ1は、図8に示すように、第1及び第2梁部材2,3が一体となって、第1梁部材2の折返し部22と第2梁部材3の折返し部32とが振動の腹となるようにX方向へ振動する。2次モードの水平振動においては、ガスセンサ1は、図9に示すように、第1梁部材2の折返し部22と第2梁部材3の折返し部32とがそれぞれ振動の腹となり、連結部24,34が振動の節となるようにX方向へ振動する。すなわち、折返し部22と折返し部32とが、逆位相でX方向へ振動している。3次モードの水平振動においては、ガスセンサ1は、図10に示すように、第1梁部材2の折返し部22と第2梁部材3の折返し部32と連結部24,34との3箇所が振動の腹となるようにX方向へ振動する。すなわち、折返し部22と折返し部32とが同位相で、連結部24,34がそれらとは逆位相でX方向へ振動している。ガスセンサ1が前述の如く変形すると、特に3次モードの水平振動においては、ガスセンサ1の共振周波数が大幅に変化する。詳しくは、この振動では、第1梁部材2の第2延伸部23と第2梁部材の第2延伸部33と両者の連結部24,34とで構成されるU字状部分の曲げ剛性が共振周波数に大きな影響を与える。そして、ガスセンサ1が前述の如く変形すると、当該U字状部分の基端側である、第2延伸部23の先端部と第2延伸部33の先端部とがZ方向に離間するように変形するため、曲げ剛性が大きく変化する。その結果、共振周波数も大きく変化する。このように、第2梁部材3と連結された第1梁部材2が第2梁部材3と異なる態様で変形すると、振動形態とその振動モードによっては、ガスセンサ1の共振周波数が変形の前後で大幅に変化する。また、水平振動の場合、エアダンピングが小さくなるため、垂直振動に比べてQ値を高くすることができる。尚、3次モード以外の振動モードにおいても、変形の前後でガスセンサ1の共振周波数が大幅に変化する振動モードが存在し得る。以下に、ガスセンサ1を曲げ変形させたときの変形量に対する、3次モードの水平振動の共振周波数の変化特性のシミュレーション結果について説明する。図11は、ガスセンサの変形量に対する、水平振動の共振周波数の変化特性のシミュレーション結果を示す。尚、シミュレーションに使用したガスセンサ1は、垂直振動のシミュレーションと同様であり、振動方向のみが異なる。図11のシミュレーション結果を見ると、ガスセンサ1の3次モードの水平振動の共振周波数は、曲げ変形の変形量が大きくなるほど、大きくなることがわかる。尚、変形量とは、図1に示す、第1梁部材2の折返し部22のZ方向への変形量である。-変形例1-次に、変形例1に係るガスセンサ201について説明する。図12は、ガスセンサ201の平面図を示す。ガスセンサ201は、第2梁部材3にもガス感応膜4が設けられている。詳しくは、第2梁部材3の第1延伸部31及び第2延伸部33の表面3bにそれぞれガス感応膜4,4が積層されている。すなわち、第2梁部材3には、第1梁部材2とは反対側の表面にガス感応膜4,4が設けられている。この構成により、ガス感応膜4,4,...に水素が吸着すると、第1梁部材2は、第1及び第2延伸部21,23を内側に、ガス感応膜4,4を外側にして湾曲する一方、第2梁部材3は、第1及び第2延伸部31,33を内側に、ガス感応膜4,4を外側に湾曲する。ここで、第1梁部材2と第2梁部材3とで、ガス感応膜4,4,...がそれぞれ異なる表面2a,3bに設けられているため、第1梁部材2と第2梁部材3とは相反する方向へ湾曲していく。その結果、ガスセンサ201は、第1梁部材2の折返し部22と第2梁部材3の折返し部32とが互いに離間するように、即ち、第1梁部材2と第2梁部材3との間隔が広がるように変形する。このように、第1梁部材2と第2梁部材3とにガス感応膜4,4,...を設けることによって、ガス感応膜4,4が第1梁部材2にしか設けられていないガスセンサ1と比べて、曲げ変形量を大きくすることができ、結果として、水素ガスの濃度に対する共振周波数の変化量を大きくすることができる。尚、第1梁部材2の第1延伸部21のガス感応膜4及び第2延伸部23のガス感応膜4の何れか一方と、第2梁部材3の第1延伸部31のガス感応膜4及び第2延伸部33のガス感応膜4の何れか一方とを省略してもよい。かかる構成であっても、ガス感応膜4,4に水素が吸着すると、ガスセンサ201は、第1梁部材2の折返し部22と第2梁部材3の折返し部32とが互いに離間するように、即ち、第1梁部材2と第2梁部材3との間隔が広がるように変形する。-変形例2-次に、変形例2に係るガスセンサ301について説明する。図13は、ガスセンサ301の斜視図を示す。ガスセンサ301は、第1梁部材302と第2梁部材303とが表面302bと表面303bとを向き合わせた状態で連結されている。そして、第1梁部材302の連結部324は、第2延伸部323の先端から板厚方向の表面302b側に屈曲する一方、第2梁部材303の連結部334は、第2延伸部333の先端から板厚方向の表面303b側に屈曲している。そして、第1梁部材302の連結部324と第2梁部材303の連結部334とが互いに連結されている。そして、ガス感応膜4,4は、第1梁部材302の第1延伸部321と第2延伸部323の表面302bに積層されている。つまり、ガス感応膜4,4は、第1梁部材302の、第2梁部材303と向き合う表面302bに設けられている。かかる構成の場合、ガス感応膜4,4に水素が吸着すると、ガスセンサ301は、第1梁部材302の折返し部322が第2梁部材303の折返し部332から離間するように、即ち、第1梁部材302と第2梁部材303との間隔が広がるように変形する。このように構成されたガスセンサ301を、第1及び第2梁部材302,303の板厚方向に振動、即ち、垂直振動させる。ガスセンサ301は、様々な振動モードで共振する。1次モードの垂直振動では、ガスセンサ301は、第1梁部材302の折返し部322と第2梁部材303の折返し部332を振動の腹とし、第1及び第2梁部材302,303が全体として1本の梁のように振動する。2次モードの垂直振動では、ガスセンサ301は、第1梁部材302の折返し部322と第2梁部材303の折返し部332を実質的な振動の節とし、第1及び第2梁部材302,303の連結部324,334を振動の腹として振動する。3次モードの垂直振動では、ガスセンサ301は、第1梁部材302が第1延伸部321の基端部及び連結部324を振動の節とし、折返し部322を振動の腹として振動し、それとは逆位相で、第2梁部材303が第1延伸部331の基端部及び連結部334を振動の節とし、折返し部332を振動の腹として振動する。そして、ガスセンサ301が前述の如く変形すると、2次モードの垂直振動の共振周波数が大きく変化する。尚、ガス感応膜4を、さらに、第2梁部材303の表面303bに設けてもよい。-変形例3-次に、変形例3に係るガスセンサ401について説明する。図14は、ガスセンサ401の斜視図を示す。ガスセンサ401は、第1梁部材402と第2梁部材403とを有している。第1梁部材402は、互いに平行に延びる第1延伸部421と第2延伸部423と第3延伸部425とを有している。第1延伸部421と第2延伸部423と第3延伸部425は、この順で並設されている。第1延伸部421と第3延伸部425とは同じ長さをしており、第2延伸部423はそれらと比べて短くなっている。第1~第3延伸部421,423,425は、板厚方向が同じ方向を向いており、同一平面上に形成されている。第1延伸部421の先端部と第3延伸部425の先端部とが折返し部422で連結されている。そして、第2延伸部423の基端部も折返し部422に連結されている。第2延伸部423の先端部には、連結部424が設けられている。連結部424は、第2延伸部423の先端部から板厚方向の表面402b側に屈曲して設けられている。第2梁部材403は、第1梁部材402と同様の形状をしている。そして、第1梁部材402と第2梁部材403とは、表面402bと表面403bとを向かい合わせた状態で、連結部424と連結部434とが連結されている。また、第1梁部材402の第1及び第3延伸部421,425の基端部と、第2梁部材403の第1及び第3延伸部431,435の基端部とは、支持部11に連結され、固定端となっている。そして、第1梁部材402の第1~第3延伸部421,423,425の表面402bにガス感応膜4,4,4が積層されている。このように構成されたガスセンサ401を、第1及び第2梁部材402,403の板厚方向に振動、即ち、垂直振動させる。ガスセンサ401は、様々な振動モードで共振する。1次モードの垂直振動では、ガスセンサ401は、第1梁部材402の折返し部422と第2梁部材403の折返し部432を振動の腹とし、第1及び第2梁部材402,403が全体として1本の梁のように振動する。2次モードの垂直振動では、ガスセンサ401は、第1梁部材402の折返し部422と第2梁部材403の折返し部432を実質的な振動の節とし、第1及び第2梁部材402,403の連結部424,434を振動の腹として振動する。3次モードの垂直振動では、ガスセンサ401は、第1梁部材402が第1及び第3延伸部421,425の基端部並びに連結部424を振動の節とし、折返し部422を振動の腹として振動し、それとは逆位相で、第2梁部材403が第1及び第3延伸部431,435の基端部並びに連結部434を振動の節とし、折返し部432を振動の腹として振動する。-変形例4-次に、変形例4に係るガスセンサ501について説明する。図15は、変形前のガスセンサ501の斜視図を示し、図16は、変形後のガスセンサ501の斜視図を示す。ガスセンサ501は、第1梁部材502と第2梁部材503とを有している。第1梁部材502は、直線状に延伸する板状の梁本体521で構成されている。また、第2梁部材503も、第1梁部材502と同様に、直線状に延伸する板状の梁本体531で構成されている。第1梁部材502と第2梁部材503は、1枚の平板を構成するように、同一平面上に配設されている。また、第1梁部材502と第2梁部材503とは、互いに平行に配設されている。第1及び第2梁部材502,503の基端部は、支持部図示省略に連結され固定端となる一方、第1及び第2梁部材502,503の先端部は、連結部524を介して互いに連結され自由端となっている。そして、梁本体521の表面502aには、ガス感応膜4が積層されている。このように構成されたガスセンサ501は、第1梁部材502のガス感応膜4に水素が吸着すると、ガス感応膜4が膨張変形する。その結果、第1梁部材502は、図16に示すように、ガス感応膜4がその長手方向に延びるようにして、梁本体521を内側に、ガス感応膜4を外側にして湾曲する。ここで、第2梁部材503は、第1梁部材502に連結されているため、第1梁部材502の変形に伴って変形する。詳しくは、第2梁部材503は、第1梁部材502とは反対側へ湾曲する。すなわち、第2梁部材503は、第1梁部材502のガス感応膜4が設けられている表面502aと同じ側の表面503aが縮み、第1梁部材502のガス感応膜504が設けられていない表面502bと同じ側の表面503bが延びるように湾曲する。その結果、第1及び第2梁部材502,503は、互いの中間部が板厚方向に離間するように湾曲する。このように変形することによって、ガスセンサ501の共振周波数が変化する。以下に、ガスセンサ501を、第1及び第2梁部材502,503の曲げ変形の方向即ち、板厚方向であり、Z方向へ振動以下、垂直振動ともいうさせる場合の共振周波数の変化について説明する。図17は、1次モードの垂直振動を行う変形前のガスセンサ501の斜視図を示し、図18は、2次モードの垂直振動を行う変形前のガスセンサ501の斜視図を示し、図19は、3次モードの垂直振動を行う変形前のガスセンサ501の斜視図を示す。1次モードの垂直振動においては、ガスセンサ501は、図17に示すように、第1及び第2梁部材502,503の基端部を振動の節とする一方、第1及び第2梁部材502,503の先端部を振動の腹として、第1及び第2梁部材502,503が一体となってZ方向へ振動する。すなわち、第1梁部材502と第2梁部材503とが、同位相でZ方向へ振動している。2次モードの垂直振動においては、ガスセンサ501は、図18に示すように、第1及び第2梁部材502,503の基端部と基端部から全長の略80くらい離れた部分とを振動の節とする一方、第1及び第2梁部材502,503の先端部と基端部から全長の略45くらい離れた部分とを振動の腹として、第1及び第2梁部材502,503が一体となってZ方向へ振動する。すなわち、第1梁部材502と第2梁部材503とが、同位相でZ方向へ振動している。3次モードの垂直振動においては、ガスセンサ501は、図19に示すように、第1及び第2梁部材502,503の基端部及び先端部を振動の節とする一方、第1及び第2梁部材502,503の中間部を振動の腹として、Z方向へ振動する。このとき、第1梁部材502と第2梁部材503とが、逆位相でZ方向へ振動している。ガスセンサ501が前述の如く変形すると、特に1,2次モードの垂直振動においては、ガスセンサ501の共振周波数が大幅に変化する。詳しくは、ガスセンサ501が前述の如く変形すると、第1梁部材502と第2梁部材503とがZ方向へ離間することによって、第1及び第2梁部材502,503全体としてのX軸回りの断面二次モーメントが大きくなる。特に、1,2次モードの垂直振動では、第1及び第2梁部材502,503が同位相で一体的に振動するため、曲げ剛性が大きく上昇し、共振周波数が大幅に増大する。以下に、ガスセンサ501を曲げ変形させたときの変形量に対する、共振周波数の変化特性のシミュレーション結果について説明する。図20は、1次モードの垂直振動を行う変形後のガスセンサ501の斜視図を示し、図21は、2次モードの垂直振動を行う変形後のガスセンサ501の斜視図を示している。このガスセンサ501は、第1梁部材502及び第2梁部材503が厚さ10μmのシリコンで構成されている。第1及び第2梁本体502,503のZ方向寸法は、連結部524を除く部分が760μmであって、連結部524を含めると780μmである。第1及び第2梁部材502,503それぞれのX方向幅は、30μmである。第2梁部材503のZ方向寸法も同様である。第1梁部材502と第2梁部材503とのX方向の間隔は10μmである。シミュレーションに用いた解析コードは、ANSYS120であり、使用した要素タイプはsolid186である。メッシュサイズは、一辺が10μmの6面体とした。材料特性としては、シリコンのヤング率を130.8GPa、密度を2.33g/cm3、ポアソン比を0.26とした。ガスセンサ501は、第1梁部材2の第1延伸部21の基端部と第2梁部材3の第1延伸部31の基端部とを全自由度を拘束した固定端とした。また、シミュレーションにおいては、第1及び第2梁本体502,503の連結部524を除く部分のY方向中間地点における、第1梁部材502と第2梁部材503のZ方向間隔以下、変形量というが0の場合と35μmの場合とで、ガスセンサ501の各モードの垂直振動の共振周波数を求めた。変形前のガスセンサ501の1次モードの垂直振動の共振周波数は、19743Hzであった。それに対して、変形後のガスセンサ501の1次モードの垂直振動の共振周波数は、26507Hzであった。このように、ガスセンサ501の第1及び第2梁部材502,503を曲げ変形させることによって、1次モードの垂直振動の共振周波数を大幅に変化させることができる。さらに、変形前のガスセンサ501の2次モードの垂直振動の共振周波数は、123770Hzであった。それに対して、変形後のガスセンサ501の2次モードの垂直振動の共振周波数は、346550Hzであった。このように、ガスセンサ501の第1及び第2梁部材502,503を曲げ変形させることによって、2次モードの垂直振動の共振周波数を大幅に変化させることができる。尚、1,2次モード以外の振動モードにおいても、変形の前後でガスセンサ501の共振周波数が大幅に変化する振動モードが存在し得る。続いて、ガスセンサ501を、第1及び第2梁部材502,503の曲げ変形の方向及び第1及び第2梁部材502,503の延伸方向と直交する方向即ち、X方向へ振動以下、水平振動ともいうさせる場合の共振周波数の変化について説明する。図22は、1次モードの水平振動を行う変形後のガスセンサ501の平面図を示し、図23は、1次モードの水平振動を行う変形前のガスセンサ501の平面図を示している。ガスセンサ501の水平振動においては、変形前は、第1梁部材502と第2梁部材503とが同一平面上に並んでおり且つ平坦な形状をしているため、図22に示すように、第1及び第2梁部材502,503の一方が縮み、他方が伸びるような曲げ変形は生じ難い。そのため、変形前のガスセンサ501は、水平振動中には、図23に示すように、1つの変曲点を有するような曲げ変形を生じる。それに対して、前述の如く、第1及び第2梁部材502,503が曲げ変形すると、第1及び第2梁部材502,503が長手方向に伸び縮みし易い。つまり、変形前の平坦な第1及び第2梁部材502,503は、長手方向に伸び縮みするためには、第1及び第2梁部材502,503自体にひずみを生じる必要があったが、変形後の湾曲した第1及び第2梁部材502,503は、曲げ変形量を変えることによって、長手方向への寸法を容易に拡大及び縮小することができる。そのため、変形後のガスセンサ501は、図22に示すように、第1及び第2梁部材502の一方が縮み、他方が伸びるような曲げ変形を生じ易い。このように、ガスセンサ501の変形の前後で図23に示す振動形態から図22に示す振動形態に変化することによって、ガスセンサ501の水平振動の共振周波数が小さくなる。ここで、ガスセンサ501の1次モードの水平振動の共振周波数をシミュレーションにより求めた。変形前のガスセンサ501の1次モードの水平振動の共振周波数は、85239Hzであった。それに対して、変形後のガスセンサ501の1次モードの水平振動の共振周波数は、60536Hzであった。このように、ガスセンサ501の第1及び第2梁部材502,503を曲げ変形させることによって、1次モードの水平振動の共振周波数を大幅に変化させることができる。このように、2本の単純梁の先端部を連結したガスセンサ501であっても、第1梁部材502と第2梁部材503とを異なるように変形させることによって、共振周波数を大きく変化させることができる。-変形例5-次に、変形例5に係るガスセンサ601について説明する。図24は、変形前のガスセンサ601の斜視図を示し、図25は、変形後のガスセンサ601の斜視図を示す。ガスセンサ601においては、第1及び第2梁部材2,3の構成はガスセンサ1と同じであり、ガス感応膜4が設けられている場所が異なる。詳しくは、ガスセンサ601は、第1梁部材2の第2延伸部23の表面2aと、第2梁部材3の第2延伸部33の表面3aにそれぞれガス感応膜4,4が積層されている。また、ガスセンサ601は、後述する実施形態2とは異なり、圧電素子により駆動されるタイプのガスセンサである。詳しくは、第1梁部材2の第1延伸部21の基端部には、駆動用の圧電素子26が積層されている。第2梁部材3の第1延伸部31の基端部には、検出用の圧電素子36が積層されている。この構成において、ガス感応膜4,4に水素が吸着すると、第1梁部材2は、第2延伸部23を内側に、ガス感応膜4を外側にして湾曲すると共に、第2梁部材3は、第2延伸部33を内側に、ガス感応膜4を外側にして湾曲する。このとき、第1梁部材2の第1延伸部21及び第2梁部材3の第1延伸部31は、ほとんど変形しない。ガス感応膜4,4は、第1梁部材2と第2梁部材3とで、同じ側の表面2a,3aに設けられているため、第2延伸部23,33は同じ方向へ湾曲する。その結果、ガスセンサ601の第1梁部材2は、第2延伸部23の先端部が第1延伸部21の基端部から離間するように、即ち、第2延伸部23の先端部と第1延伸部21の基端部との間隔が広がるように変形する。同様に、ガスセンサ601の第2梁部材3は、第2延伸部33の先端部が第1延伸部31の基端部から離間するように、即ち、第2延伸部33の先端部と第1延伸部31の基端部との間隔が広がるように変形する。このように変形することによって、ガスセンサ601の共振周波数が変化する。特に、3次モードの垂直振動の共振周波数が大幅に変化する。3次モードの垂直振動においては、第1梁部材2の第1及び第2延伸部21,23が全体として1本の梁のようになって、折返し部22を振動の腹としてZ方向へ振動し、それとは逆位相で、第2梁部材3の第1及び第2延伸部31,33が全体として1本の梁のようになって、折返し部32を振動の腹としてZ方向へ振動する。そのため、前述の如く、第1梁部材2において第2延伸部23の先端部と第1延伸部21の基端部との間隔が広がり、第2梁部材3において、第2延伸部33の先端部と第1延伸部31の基端部との間隔が広がるように変形すると、1本の梁のように振動する第1及び第2延伸部21,23の振動の節側の部分と第1及び第2延伸部31,33の振動の節側の部分との曲げ剛性が大きくなる。それにより、ガスセンサ601の共振周波数は高くなる方向へ大幅に変化する。したがって、変形の前後でのガスセンサ601の共振周波数の変化量が大きくなる。また、圧電素子により駆動及び検出を行うセンサにおいては、大きな応力が生じる部分に圧電素子を設けることによって、駆動を容易に行うことができると共に検出能力を向上させることができる。ここで、3次モードの垂直振動においては、第1梁部材2の第1延伸部の基端部及び第2梁部材の第2延伸部の基端部は、振動の節となり、大きな応力が生じる。つまり、3次モードの垂直振動が有効なガスセンサ601においては、駆動用及び検出用の圧電素子26,36を第1梁部材2の第1延伸部21の基端部及び第2梁部材の第1延伸部31の基端部に配置することによって、駆動及び検出性能を向上させることができる。こうして、圧電素子26,36を第1梁部材2の第1延伸部21の基端部及び第2梁部材の第1延伸部31の基端部に配設すると、これらの基端部は支持部11に近いため、圧電素子26,36への配線の引き回しを簡素化することができる。例えば、折返し部22,32に圧電素子を配置するような場合には、配線を支持部11から第1延伸部21,31を通って折返し部22,32まで架設する必要があり、配線の引き回しが煩雑になる。それに対して、圧電素子26,36を第1梁部材2の第1延伸部21の基端部及び第2梁部材の第1延伸部31の基端部に配設する構成では、圧電素子26,36までの配線を短くして、配線の引き回しを簡素化することができる。さらに、圧電素子により駆動及び検出を行うセンサの場合、空気の粘性抵抗がそれほど問題とならない。すなわち、後述する実施形態2のように静電駆動及び静電容量による検出を行うセンサにおいては、駆動及び検出性能を向上させるために、センサを駆動電極及び検出電極に近接させる場合がある。この場合、センサが、駆動電極及び検出電極が設けられた基板に近接することになり、センサと基板との間の空気による粘性抵抗の影響が大きくなる。その結果、センサの振動が妨げられる場合がある。つまり、静電駆動によるセンサは、空気の粘性抵抗から制約を受ける。それに対して、圧電素子で駆動するセンサにおいては、駆動及び検出性能を向上させるためにセンサを基板に近接させる必要がないため、空気の粘性抵抗の影響が問題となる場合が少ない。したがって、平面視でM字状に形成された第1及び第2梁部材2,3のうち、中央に位置する第2延伸部23,33にガス感応膜4,4を設けることによって、ガスの吸着量に応じて3次モードの垂直振動の共振周波数が大幅に変化するガスセンサを実現することができる。そして、このように構成されたガスセンサ601を、第1延伸部21,31の基端部に設けられた圧電素子26,36により駆動及び検出することによって、駆動及び検出性能を向上させることができると共に、圧電素子26,36への配線の引き回しを簡略化させることができる。さらに、ガスセンサ601を圧電素子26,36によって駆動及び検出することによって、空気の粘性抵抗の影響を小さくすることができる。ただし、変形の前後で3次モードの垂直振動の共振周波数を大きく変化させるための構成は、前記の構成に限られるものではない。例えば、第1梁部材2の第1延伸部21の表面2bと第2梁部材3の第1延伸部31の表面3bにさらにガス感応膜を設けてもよい。こうすることにより、第1梁部材2は、第2延伸部23の先端部と第1延伸部21の基端部との間隔がさらに広がるように変形し、第2梁部材3は、第2延伸部33の先端部と第1延伸部31の基端部との間隔がさらに広がるように変形する。あるいは、第2延伸部23,33にガス感応膜4,4を設けることなく、第1延伸部21,31にガス感応膜を設けてもよい。この場合であっても、第1梁部材2は、第2延伸部23の先端部と第1延伸部21の基端部との間隔が広がるように変形し、第2梁部材3は、第2延伸部33の先端部と第1延伸部31の基端部との間隔が広がるように変形する。尚、3次モード以外の振動モードにおいても、変形の前後でガスセンサ601の共振周波数が大幅に変化する振動モードが存在し得る。以下に、ガスセンサ601を曲げ変形させたときの変形量に対する、3次モードの垂直振動の共振周波数の変化特性のシミュレーション結果について説明する。図26は、シミュレーションに用いたガスセンサの寸法を示し、図27は、ガスセンサの変形量に対する、垂直振動の共振周波数の変化特性のシミュレーション結果を示す。このシミュレーションに用いたガスセンサは、一例にすぎず、本発明はこれに限定されるものではない。このガスセンサ601は、第1梁部材2及び第2梁部材3が厚さ15μmのシリコンで構成されており、第1梁部材2の第1延伸部21及び第2梁部材3の第1延伸部31の表面2a,3aには厚さ3μmのPZTチタン酸ジルコン酸鉛27が積層されている。PZT27は、ガス感応膜4の代わりであって、PZT27に電圧を印加することによって、ガスセンサ601に曲げ変形を生じさせた。シミュレーションに用いた解析コードは、ANSYS110ProductLauncherであり、使用した要素タイプは、シリコンについてはsolid45であり、PZTについてはsolid5である。メッシュサイズは、一辺が3~20μmの6面体とした。材料特性としては、シリコンは、線形等方性とし、ヤング率を130.8GPa、密度を2.33g/cm3、ポアソン比を0.28とした。また、PZTは、線形異方性とし、密度を7.534g/cm3とし、弾性スティフネス{cijE}、圧電応力定数{eij}及び比誘電率{εij}は以下のように設定した。シミュレーションにおいては、PZT27に電圧を印加することによってガスセンサ601を変形させて静的解析を行った。印加電圧を0~20Vの間で変化させ、ガスセンサ601の形状を更新した上で、ガスセンサ601の3次モードの垂直振動の共振周波数を求めた。また、ガスセンサ601は、第1梁部材2の第1延伸部21の基端部と第2梁部材3の第1延伸部31の基端部とを全自由度を拘束した固定端とした。図26では、印加電圧に相当する変形量を付記している。図27のシミュレーション結果を見ると、ガスセンサ601の3次モードの垂直振動の共振周波数は、印加電圧が大きくなるほど即ち、曲げ変形の変形量が大きくなるほど、大きくなることがわかる。尚、変形量とは、図25に示す、連結部24,34のZ方向への変形量である。《発明の実施形態2》続いて、前記ガスセンサ1を備えたガス検出装置5について説明する。図28に、ガス検出装置のブロック図を示す。ガス検出装置5は、ガスセンサ1と、ガスセンサ1を制御する制御装置50とを備えている。ガスセンサ1は、シリコン基板図示省略上に形成されており、支持部11がシリコン基板に連結されている。第1及び第2梁部材2,3は、シリコン基板と所定の間隔を空けた状態で対向している。シリコン基板のうち、ガスセンサ1の第1梁部材2と第2梁部材3との連結部24,34と対向する部分には、駆動電極12と検出電極13とが設けられている。ガスセンサ1は、適切な電圧が印加されている。制御装置50は、制御回路51と、駆動電極12へパルス電圧を出力する可変周波数発生回路52と、検出電極13からの検出電圧と可変周波数発生回路52からのパルス電圧駆動電圧との位相差を検出する位相検出回路53と、検出電極13からの検出電圧の周波数を検出する周波数カウンタ54と、周波数カウンタ54で検出した周波数からガス濃度を算出する周波数-濃度変換回路55とを有している。この制御装置50が駆動部を構成する。可変周波数発生回路52は、任意の周波数のパルス状の駆動電圧を出力することが可能であり、制御回路51からの出力信号に応じた周波数の駆動電圧を出力する。駆動電極12に駆動電圧が印加されると、駆動電極12と、ガスセンサ1の第1梁部材2及び第2梁部材3の連結部24,34との間に静電力が作用し、ガスセンサ1が第1及び第2梁部材2,3の板厚方向へ振動する。ガスセンサ1が振動すると、ガスセンサ1と検出電極13との間隔が変化する。そうすると、ガスセンサ1と検出電極13との間の静電容量が変化する。位相検出回路53には、検出電極13からの検出電圧と可変周波数発生回路52からの駆動電圧が入力されている。そして、位相検出回路53は、検出電圧と駆動電圧との位相差を求め、その結果を制御回路51へ出力する。制御回路51は、該位相差が90°となるように、駆動電圧の周波数を調整する出力信号を可変周波数発生回路52へ出力する。尚、ガスセンサ1が共振しているときには、該位相差が90°となる。このように、制御回路51、可変周波数発生回路52及び位相検出回路53は、駆動電圧と検出電圧との位相差をフィードバックしながら、位相差が90°となるように、即ち、ガスセンサ1が共振するように、駆動電圧の周波数を制御している。例えば、ガスセンサ1を2次モードの垂直振動で共振させる。周波数カウンタ54は、検出電極13からの検出信号の周波数をモニタしている。ガスセンサ1は、前述の如く、制御回路51によって共振させられているため、周波数カウンタ54は、基本的には、ガスセンサ1の共振周波数をモニタしている。周波数-濃度変換回路55は、ガスセンサ1の共振周波数に対する水素ガスのガス濃度の検量線を有している。ガスセンサ1の共振周波数は、前述の如く、第1梁部材2の変形量に応じて変化する。そして、第1梁部材2の変形量は、ガス感応膜4の膨張量、即ち、水素ガスの吸着量に応じて変化する。また、水素ガスの吸着量は、水素ガスのガス濃度に相関している。よって、ガスセンサ1の共振周波数と水素ガスのガス濃度とは相関しており、前記検量線を予め求めておくことができる。周波数-濃度変換回路55は、周波数カウンタ54から入力される、ガスセンサ1の共振周波数を当該検量線に基づいてガス濃度に変換する。これら周波数カウンタ54及び周波数-濃度変換回路55が、ガスセンサ1の共振周波数の変化に基づいてガスを検出するガス検出部を構成する。つまり、ガス感応膜4に水素ガスが吸着すると、ガス感応膜4が膨張して第1梁部材2が変形する。それにより、ガスセンサ1の共振周波数が変化すると、制御回路51のフィードバック制御によって駆動電圧の周波数が当該共振周波数と同じ周波数に調整される。その結果、ガスセンサ1は変化後の共振周波数で共振させられる。このとき、変化後の共振周波数は、周波数カウンタ54で検出され、周波数-濃度変換回路55によりガス濃度に変換される。こうして、ガス濃度が検出される。そして、ガスセンサ1を前記の構成とすることによって、ガス感応膜4の変形に対する共振周波数の変化を大きくすることができるため、ガスの検出能力を向上させることができる。また、簡単な回路で構成できるためコストを下げることができる。尚、前記実施形態では、ガスセンサを静電力及び静電容量を用いて駆動及び検出を行っているが、これに限られるものではない。駆動電極12及び検出電極13の代わりに、前記変形例6のようにガスセンサに駆動用及び検出用の圧電素子を設けてもよい。その場合、制御装置50からの駆動電圧が駆動用圧電素子に印可され、検出用圧電素子からの検出電圧が制御装置50に入力される。《その他の実施形態》本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。前記実施形態では、ガスセンサについて説明したが、これに限られるものではない。例えば、発振器及びそれに用いられる振動子であってもよい。かかる場合には、前記ガス感応膜4に代えて、圧電体層を設けるとよい。そして、圧電体層に外部、例えば、制御回路51から電圧が印加され、これにより、振動子を曲げ変形させるように構成してもよい。振動子の形状や圧電体層の設置場所は、前記実施形態を参考にして適宜に設定することができる。かかる構成によれば、圧電体層に印加する電圧を調整することによって振動子の変形を調整し、それによって、振動子の共振周波数を調整することができる。このとき、制御回路51に周波数カウンタ54からの出力信号が入力され、制御回路51が共振周波数に応じて圧電体層へ印加する電圧をフィードバック制御するように構成してもよい。こうして、共振周波数を所望の値に変更できる振動子及び発振器を構成することができる。尚、周波数-濃度変換回路55は不要である。また、制御回路51が圧電体層に印加する電圧と、その電圧に対応する振動子の共振周波数との関係を既知の場合には、周波数カウンタ54も省略してよい。また、前記実施形態では、ガス感応膜4として、水素を吸着するパラジウムを採用しているが、これに限られるものではない。ガスを付着吸着又は吸蔵に限られない。させることによって形状が変化膨張や収縮する物質であれば、任意の物質をガス感応膜4として採用することができる。尚、前記実施形態では、変形部としてガス感応膜4を用いたが、これに限られるものではない。例えば、第1梁部材とは線膨張係数が異なる材料で構成された変形部を採用してもよい。かかる振動子によれば、周囲の温度に応じて、第1梁部材と変形部とが異なるひずみ量で熱変形し、第1梁部材及び変形部とが曲げ変形を生じる。その結果、第1梁部材と第2梁部材とが異なる態様で変形し、第1及び第2梁部材全体としての曲げ剛性が変化し、共振周波数が変化する。この共振周波数の変化を検出することによって、周囲の温度を検出することができる。つまり、温度センサを構成することができる。さらに、ガスセンサの形状や振動形態や振動モードも前記実施形態に限られるものではない。第1梁部材と第2梁部材とを異なる態様で変形させることによって、変形の前後で共振周波数を大きく変化させることができる限りは、任意の形状、振動形態及び振動モードを採用することができる。また、前記実施形態では、梁本体は変形前は平坦な形状、具体的には、平板状をしているが、これに限られるものではない。梁本体は変形前から予め湾曲した形状であってもよい。例えば、ガスセンサ501は、変形時には、第1梁部材502と第2梁部材503とを反対側に湾曲させる必要がある。第1梁部材502はガス感応膜4が存在するため、変形時の湾曲方向第1梁部材502のどちらの表面が内側でどちらの表面が外側になるかは決まっている。しかし、第2梁部材503はガス感応膜4が設けられていないため、第1梁部材502が曲げ変形したときに、第2梁部材503がどちらに湾曲するかがわからない。そのため、第2梁部材503を予め所望の方向へ、少し湾曲した状態に形成してもよい。尚、第2梁部材503の、第1梁部材502のガス感応膜4が設けられた表面とは反対側の表面にガス感応膜4を設けてもよい。また、前記ガス検出装置5では、ガスセンサ1をフィードバック制御により共振させて、そのときの共振周波数を検出することによって、ガス濃度を検出しているが、これに限られるものではない。例えば、振動子即ち、ガスセンサ1が変形しても、振動子の駆動周波数を変化させない構成であってもよい。この場合、振動子の共振周波数が駆動周波数から離れていくため、振動子の振幅が小さくなる。そのため、振動子の振幅を監視することによって、共振周波数の変化、ひいては、振動子の変形を検出し得る。つまり、振動子の共振周波数の変化を検出できる方法であれば、任意の方法を採用することができる。尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。"