"軸芯を備えた外観が略円柱形状の胴部と、前記胴部の端に固定された軸部とを有し、前記胴部は、その端部に、軸芯方向において内方に向かい縮径するとともに前記胴部と同軸に配置されたテーパー孔状の嵌合孔部を備え、前記軸部は、前記嵌合孔部に嵌合されるテーパー軸状の嵌合部を備える溶融金属めっき浴用ロール。前記嵌合孔部および嵌合部はいずれも、軸芯方向において、内方端に配置された小径縁部と外方端に配置された大径縁部とを有し、前記嵌合部の大径縁部は、前記嵌合孔部の大径縁部よりも内方に配置されている請求項1に記載の溶融金属めっき浴用ロール。前記嵌合部の小径縁部は、前記嵌合孔部の小径縁部より内方に配置されている請求項2に記載の溶融金属めっき浴用ロール。前記嵌合部は、軸芯方向において前記大径縁部の端面に開口するとともに当該大径縁部から前記小径縁部に向かい延設された内方端が閉口する溝または孔を有する請求項2または3のいずれかに記載の溶融金属めっき浴用ロール。前記嵌合孔部は、前記大径縁部と小径縁部の間に形成された凹部を有する請求項2乃至4のいずれかに記載の溶融金属めっき浴用ロール。前記胴部の端に固定された接続部を有し、前記軸部は、前記接続部を介して前記胴部に固定されており、前記嵌合部は、前記軸部に替え前記接続部に形成されている請求項1乃至5のいずれかに記載の溶融金属めっき浴用ロール。特許文献1の溶融金属めっき浴用ロール以下、単にロールという場合がある。は、各々別体の胴部と軸部と嵌合した組立式の溶融金属めっき浴用ロールである。その問題点について、特許文献1のロールの胴部と軸部の嵌合部分の拡大断面図である図6を参照しつつ説明する。特許文献1のロール9は、中空部9nを有する筒状の胴部9bにおいて、その端部の内周面に、外周面が密着するように嵌合部9aを嵌合し、軸部9dを固定した構成である。このロール9を高温の溶融金属めっき浴以下、単にめっき浴と言う場合がある。に浸漬すると、めっき浴で加熱された胴部9bおよび軸部9dは熱膨張を開始し、一定の時間が経過した後に両者の熱膨張は収束し、安定する。ここで、ロール9をめっき浴に浸漬した直後は、嵌合部9aが存在する胴部9bの端面およびその近傍の図示Hに示す端部領域が最も早く加熱され、入熱量が大きい。一方で、当該端部領域Bにおいて胴部9bの内周面に密着している嵌合部9aはめっき浴に直接触れないため、浸漬直後の入熱量は少ない。その結果、めっき浴への浸漬直後は、胴部9bの領域Hの熱膨張量が嵌合部9aに比して大きくなり、両者の熱膨張の時間差により、半径方向において両者の間には隙間が生じることとなる。このめっき浴への浸漬直後に形成された隙間に起因し、軸部9dが水平方向に移動しまたは傾斜して偏芯したり、著しい場合には軸部9dが胴部9bから離脱してしまう可能性があった。この問題を解消するため、軸部9dを胴部9bに嵌合する際の締め代を大きくした場合には、胴部9bによる締付力が大きくなる。すると、当該締付力および操業時に軸部9dに作用する曲げによる図中において矢印Cで示す軸部9dからの押付力が重畳して胴部9bの端部に作用し、当該端部が破損する虞があった。本発明は、上記従来技術の問題点を鑑みてなされたものであり、めっき浴への浸漬直後において胴部と軸部との嵌合が緩まない溶融金属めっき浴用ロールを提供することを目的としている。上記目的を達成する、本発明の一態様は、軸芯を備えた外観が略円柱形状の胴部と、前記胴部の端に固定された軸部とを有し、前記胴部は、その端部に、軸芯方向において内方に向かい縮径するとともに前記胴部と同軸に配置されたテーパー孔状の嵌合孔部を備え、前記軸部は、前記嵌合孔部に嵌合されるテーパー軸状の嵌合部を備える溶融金属めっき浴用ロールである。なお、前記嵌合孔部および嵌合部はいずれも、軸芯方向において、内方端に配置された小径縁部と外方端に配置された大径縁部とを有し、前記嵌合部の大径縁部は、前記嵌合孔部の大径縁部よりも内方に配置されていることが望ましく、さらに、前記嵌合部の小径縁部は、前記嵌合孔部の小径縁部より内方に配置されていることが望ましい。加えて、前記嵌合部は、軸芯方向において前記大径縁部の端面に開口するとともに当該大径縁部から前記小径縁部に向かい延設された内方端が閉口する溝または孔を有することが望ましい。さらに加えて、前記嵌合孔部は、前記大径縁部と小径縁部の間に形成された凹部を有することが望ましい。上記溶融金属めっき浴用ロールにおいて、前記胴部の端に固定された接続部を有する場合には、前記軸部は、前記接続部を介して前記胴部に固定されており、前記嵌合部は、前記軸部に替え前記接続部に形成されていてもよい。本発明によれば、その目的を達成することができる。以下、本発明について、その第1実施態様~第3実施態様に基づき、図面を参照しつつ説明する。なお、以下説明する各実施態様の各要素は、単独にまたは適宜組み合わせて利用することができ、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変形して利用することができる。[溶融金属めっき装置]まず、本発明に係わるロールが組み込まれた溶融金属めっき装置について、その概略構成図である図1を参照しつつ説明する。図1に示すように、溶融金属めっき装置80は、めっき浴81が収納された浴槽82と、めっき浴81の表層部分に浸漬されて、めっき浴81の内に導入される鋼板の酸化を防止するためのスナウト83と、めっき浴81の中に配置された溶融金属めっき浴用ロールであるシンクロール1と、めっき浴81の内でシンクロール1の上方に位置する一対の溶融金属めっき浴用ロールであるサポートロール77と、めっき浴81の表面より僅か上方に位置するガスワイピングノズル86とを有する。シンクロール1自体には外部駆動力が付与されず、走行する鋼板との接触により駆動される。またサポートロール77は、通例、一方のサポートロール7が外部のモーター図示せずに連結された駆動ロールであり、他方のサポートロール7が非駆動ロールである。なお、サポートロール7には外部駆動力が付与されない無駆動タイプもある。溶融金属めっき浴用ロールであるシンクロール1及び一対のサポートロール77は、フレーム8485に取り付けられた軸受8788により回転自在に各々支持されており、常に一体としてめっき浴81の内に浸漬される。走行する鋼板Pは、スナウト83を経てめっき浴81の内に斜方から進入し、シンクロール1を経由して上方に進行方向を変えられる。めっき浴81の中を上昇する鋼板Pは一対のサポートロール77に挟まれ、パスラインが保たれるとともに、反りや振動が防止される。ガスワイピングノズル86は、めっき浴81から出てきた鋼板P1に高速ガスを吹き付ける。高速ガスのガス圧及び吹き付け角度により、鋼板P1に付着した溶融金属めっきの厚さを均一に調整する。このようにして、溶融金属めっきが施された鋼板P1が得られる。[第1実施形態]図1の溶融金属めっき装置80に組み込まれた第1態様のシンクロール1の構成について、一部を断面で示したその正面図である図2、図2の右側面図である図3a、図2のA部の拡大図である図3bを参照しつつ説明する。なお、以下の第2態様および第3態様のシンクロールの構成についても同様であるが、基本的に、シンクロールを例として説明する構成はサポートロールにも適用することができる。図2に示すように、ロール1は、軸芯Iを有する外観が略円柱形状の円筒体である胴部1bと、胴部1bの両端に固定された軸部1dを有している。軸部1dは、胴部1bと同軸に配置されるとともに胴部1bの軸心Iに沿う方向以下、この方向を軸心方向と言う。に胴部1bの両端から延びており、その端に配置された軸受すべり軸受87により回転自在に支承されている。そして、中空部1nを有する胴部1bの端部には、軸部1dが接続される嵌合孔部1aが配置されている。以下、胴部1b、軸部1dの構成について説明するが、胴部1bの両端に配置される二の軸部1dおよび嵌合孔部1aの構成ならびにそれらと胴部1bとの関係は同一であるので、右側の軸部1dおよび嵌合孔部1aのみ説明し、左側の軸部1dおよび嵌合孔部1aの説明は省略する。[胴部]図2および図3に示すように、望ましくはセラミックスで構成された胴部1bは、めっき処理される鋼板Pが直接接触するその外周面が、所定の外径となるよう形成されている。本態様の胴部1bは、軸芯Iに直交する方向以下、この方向を半径方向と言う。に沿った断面形状が略円形状である略円柱形状の中空部1nを有する略円筒形状をなしている。なお、図示する胴部1bは、嵌合孔部1a以外の部分の軸芯方向における肉厚が同一であるが、その肉厚は変化するように構成してもよく、厚肉部および薄肉部を適宜配置してもよい。図3bに示すように、軸芯方向において内方に向かい縮径するテーパー孔状をなす嵌合孔部1aは、胴部1bの端部に当該胴部1bと同軸に配置されている。ここで、内方とは、図3bに示すように、軸芯方向において胴部1bの端面から中央に向かう方向のことを言い、一方で外方とは胴部1bの中央から端面に向かう方向のことを言う。上記嵌合孔部1aは、軸芯方向において、内方端に配置された直径がD2の小径縁部1iと、小径縁部1iよりも大きな直径D1を有する外方端に配置された大径縁部1jとを有しており、小径縁部1iと大径縁部1jとの間に、5~45度、好ましくは10~30度の角度で傾斜する内周面1mが形成されている。嵌合孔部1aの半径方向における断面形状は略円形状であるが、その断面形状はこれに限定されず、嵌合孔部1aに嵌入れ固定される軸部1dに対応して形成すればよい。[軸部]図2および図3aに示すように、望ましくはセラミックスで構成された軸部1dは中空の略円筒形状であり、軸芯方向において一端側に形成された胴部1bに嵌合される大径の嵌合部1eと、他端側に形成されたすべり軸受87で支承される小径の支承部1gと、嵌合部1eと支承部1gとを連結する連結部1fとを有している。軸部1dは中実であってもよい。なお、半径方向に沿った断面における軸部1dの外周縁の形状は略円形状である必要はなく、三角形状四角形状その他多角形状または楕円形状であってもよいが、ロール1が回転する際に生じる振動の発生を抑制する点から、回転バランスを確保できる略円形状であることが望ましい。また、軸部1dをセラミックスで構成するとめっき浴による腐蝕磨耗が抑制され望ましいが、セラミックスは靭性に乏しく、鋭角な部分が存在すると破壊の起点となるため、連結部1fと嵌合部1eおよび支承部1gの結合部分は、軸心方向に沿う断面視において各々滑らかな曲線で形成することが望ましい。図2において、符号1hは、軸心方向にロール1を支持するスラスト受け部である。望ましくはセラミックスで構成されたスラスト受け部1hは、支承部1gの端部開口に挿着されており、ロール1の回転性を考慮し、軸受に接触する面積が小さくなるように構成されており、その右端面の半径方向に沿う断面視は、右方向に凸である全体として円弧状をなしている。また、図3aにおいて符号1pは、胴部1bの中空部1nに通じるめっき浴の流通孔である。軸心周りに60°のピッチで等角度に形成された流通孔1pは、嵌合部1eの外周面に複数条形成された軸芯方向に延びる溝と嵌合孔部1aの内周面で画成された貫通孔であり、ロール1を浸漬した際に胴部1bの中空部1nへめっき浴を導入して熱衝撃による割損を防止するとともに、ロール1をめっき浴から引き上げる際に当該中空部1nからめっき浴を排出し、中空部1nに残存するめっき浴が凝固し、ロール1が破損することを防止する。また、中空部1nに貫通孔1pを通じてめっき浴を導入してロール1の内部の空気を排出することで、浮力で上昇したロール1の軸部が過大な力で軸受と接触し、その磨耗が進行することを抑制することができる。なお、流通孔1pの構成は、好ましい態様である図示に限定されることなく、異なる孔径の流通孔1pを複数設けてもよく、流通孔1pを配置する角度ピッチも同一である必要もなく、同一円周上に設ける必要もない。さらに、めっき浴の導入排出をさらに円滑にするためには、軸心方向から見たときに、図2に示す右側の胴端部に形成した流通孔1pに対し、左側の胴端部に形成した流通孔1pがずれた位置となるように両者を配置してもよい。図3bに示すように、軸部1dの嵌合部1eは、胴部1bの嵌合孔部1aに嵌合されるテーパー軸状をなしている。すなわち、嵌合部1eは、軸芯方向において内方端に形成された直径がD4の小径縁部1kと、小径縁部1kよりも大きな直径D3を有する外方端に形成された大径縁部1Lと、大径縁部1Lから小径縁部1kへと内方に向かい縮径する、嵌合孔部1aの内周面1mと同一角度で傾斜した外周面1oとを有している。そして、各々内方に向かい縮径する嵌合孔部1aおよび嵌合部1eの内周面1mおよび外周面1oが接触する状態で両者を嵌合することにより、軸部1dは胴部1bに固定される。かかるロール1によれば、めっき浴への浸漬直後において胴部と軸部との嵌合が緩まない胴部1bと軸部1dの嵌合構造を実現することができる。すなわち、図3bに示すように、嵌合孔部1aは内方に向かい縮径しているので、大径縁部1jの存する部分の胴部1bの肉厚t1は薄く、大径縁部1jから内方に向かうほど厚くなり、小径縁部1iの存する部分の胴部1bの肉厚t2は最も厚肉となる。このように、嵌合孔部1bの存する領域の胴部1bの肉厚を内方に向かうにつれ厚肉化する、換言すると胴部1bの内方領域Eの肉厚を外方領域Fの肉厚に対し厚くなるよう構成とすることにより、めっき浴への浸漬により内方領域Eに存する胴部1bが加熱され熱膨張が開始するまでの時間を、外方領域Fに存する胴部1bに対し遅延させることができる。これにより、めっき浴への浸漬直後の熱膨張により、外方領域Fにおいて嵌合孔部1aと嵌合部1eとの嵌合が緩んだ場合でも、内方領域Eにおける嵌合孔部1aと嵌合部1eとの嵌合は保持されるので、胴部1bと軸部1dとの固定を維持することができる。さらに、上記テーパー嵌合構造を有するロール1によれば、次のような副次的な作用効果を奏することができる。まず、軸部1dにスラスト力が作用した場合の、その変位の防止である。すなわち、図6に示す従来技術のロール9では、胴部9bと軸部9dとの嵌合は、各々の内周面および外周面との密着により確保されている。ここで、図示矢印Sに示すように過大なスラスト力が水平に軸部9dへ作用すると、胴部9bとの密着による摩擦力に抗し当該スラスト力を受けた軸部9dは水平方向に変位する可能性がある。一方で、本態様のロール1では、図3bに示すように、軸部1dの嵌合部1eの外周面1oは、胴部1bの嵌合孔部1aの内周面1mに接触しており、さらに両面はいずれも内方に向かい縮径する傾斜面であるので、スラスト力が軸部1dに作用した場合でも、軸部1dの水平方向の変位は規制され、その位置は保持される。加えて、本態様のロール1では、テーパー孔状の嵌合孔部1aにテーパー軸状の嵌合部1eを嵌合するので両者の軸芯が良好に一致するとともに、特に焼嵌めまたは冷嵌めにより胴部1bに軸部1dを嵌合する際に、その作業性を改善することが可能となる。これを従来のロールである図6を参照しつつ例示すると、焼嵌めの場合には、中空部9nと嵌合部9aとの間に一定の締め代が存するようにそれらの内径または外径を調整し、その後、胴部9bを所定の温度に加熱して胴部9bを膨張させ、一定量拡径した中空部9nに嵌合部9aを挿入し、次いで胴部9bを冷却して収縮させ、中空部9nに嵌合部9aを固定する。ここで、加熱温度が過温であると胴部9bが破損する虞があるため、加熱により拡径した中空部9nと嵌合部9aとの間に形成される隙間は数mm程度と極めて狭小である。そのように狭小な隙間しかない状態において、軸部9dが傾いた状態で中空部9nに挿入されるとその端部が中空部9nの内周面と挿入開始直後に接触し、その後の挿入の継続が困難となる。一方で、本態様のロール1では、図3bに示すように、胴部1bの外方に形成された嵌合孔部1aの大径縁部1jは、軸部1dの内方に形成された嵌合部1eの小径縁部1kよりも大径であるので、軸部1dの挿入開始直後において両者の間には充分な隙間を確保することができ、軸部1dを円滑に挿入することが可能となる。上記したように焼嵌めまたは冷嵌めで胴部1bに軸部1dを固定する場合には、嵌合孔部1aの内径で締め代を除した値である嵌合率は、0.01/1000~0.5/1000の範囲内であるのが好ましい。嵌合率が0.01/1000未満であると、嵌合部1eの締付け力が不十分であり、胴部1bから軸部1dが離脱するおそれがある。また嵌合率が0.5/1000を超えると、締付力が大きくなりすぎ、胴部1bまたは軸部1dが破損するおそれがある。より好ましい嵌合率は0.2/1000~0.3/1000である。さらに、図3aおよびbに示すように、嵌合部1eには、軸芯方向において大径縁部1Lの端面に開口するとともに大径縁部1Lから小径縁部1kに向かい延設された内方端が閉口する閉口溝1q、具体的には小径端部1kには開口しない軸芯に沿って形成された閉口溝1qを外方領域Fの外周面に設けておくことが望ましい。このように嵌合部1eに閉口溝1qを設けると、嵌合部1eと嵌合孔部1aを嵌合したときに当該閉口溝1qと嵌合孔部1aの内周面とで画成された空間が外方領域Eに形成される。そして、当該空間が嵌合部1eに形成されたロール1をめっき浴に浸漬すると、浸漬直後に当該空間に閉口溝1qの開口からめっき浴が浸入し、嵌合部1eを加熱する。これにより外方領域Eに存する嵌合部1eは、嵌合孔部1aが形成された胴部1bの端部分とほぼ同時に熱膨張し、両者の熱膨張の時間差による隙間の生成が抑制される。なお、閉口溝1qは、図3aに示すように、好ましくは複数条、さら好ましくは等角度で嵌合部1eの外周面に設けることが好ましい。また、軸芯方向における閉口溝1qの長さは、大径縁部1Lと小径縁部1kの距離の2/3以下とすることが好ましく、なお好ましくは1/2以下である。さらに、閉口溝1qに替えて内方が閉口する閉口孔を嵌合部1eの外周部に形成してもよい。さらに加えて、図3bに示すように、軸芯方向において、嵌合部1eの大径縁部1Lは、嵌合孔部1aの大径縁部1jよりも内方に配置されていることが望ましい。具体的には、嵌合部1eの大径縁部1Lの外径D3を、嵌合孔部1aの大径縁部1jの内径D1よりも小さくすれば、上記態様で配置することができる。かかる配置態様を有するロール1によれば、図示Gの方向に軸部1dに曲げが作用した場合であっても、嵌合孔部1aの大径縁部1jには嵌合部1eは接触していないので、大径縁部1jの破損を防止することができる。さらに加えて、図3bに示すように、軸芯方向において、嵌合部1eの小径縁部1kは、嵌合孔部1aの小径縁部1iよりも内方に配置されていることが望ましい。具体的には、嵌合部1eの小径縁部1Lの外径D4を、嵌合孔部1aの小径縁部1iの内径D1よりも小さくすれば、上記態様で配置することができる。かかる配置態様を有するロール1によれば、軸芯方向において、嵌合部1eの内方の端面は胴部1bに直接接触しないので、軸部1dを胴部1bに嵌合する作業の際またはめっき浴中で軸部1dが膨張した際において、当該端面と胴部1bとの接触による各々の破損を防止することができる。[第2実施形態]本発明に係わる第2態様のシンクロール2について、図4を参照しつつ説明する。なお、図4に示すシンクロール2おいて、上記シンクロール1と同様な要素については同一符号を付し、詳細な説明を省略する以下、図5を参照しつつ説明する第3態様のシンクロールについても同様である。。第2態様のロール2は、胴部1bの端に固定された接続部2rを有し、軸部1dは、接続部2rを介して胴部1bに固定されており、嵌合部1eは、軸部1dに替え接続部2rに形成されている点で、第1態様のロール1と相違している。すなわち、略円環形状をなす接続部2rは、図4に示すように、その外周部に形成された嵌合部1eを有しており、この嵌合部1eを嵌合孔部1aに嵌合することにより、接続部2rは胴部1bに固定される。図中符号2pは、貫通孔状に形成されためっき浴の流通孔である。上記構成のロール2によれば、胴部1bの嵌合孔部1aに接続部2rの嵌合部1eを嵌合することにより両者は固定され、胴部1bに嵌合された接続部2rに軸部1dが固定される。なお、図示するように接続部2rにも嵌合孔部1aを、軸部1dにも嵌合部1eを設け、胴部1bおよび接続部2rと同様にこれらを嵌合し固定してもよい。[第3実施形態]本発明に係わる第3態様のシンクロール3について、図5を参照しつつ説明する。第3態様のロール3は、嵌合孔部3aが凹部3tを有する点で第1態様のロール1と相違する。図5aに示すように、本態様の嵌合孔部3aは、その大径縁部3jと小径縁部3iとの間に形成された凹部3tを有しており、これを換言すれば、嵌合孔部3aは、軸芯方向において外方に形成された大径孔部3uと、大径部3uよりも内方に形成された小径孔部3vとを有し、さらに大径孔部3uと小径孔部3vとの間に介在された凹部3tを有していることとなる。この嵌合孔部3aに設けた凹部3tは熱的な絶縁部として機能するものである。すなわち、ロール3をめっき浴に浸漬した直後は、まず胴部1bの端部から熱が伝導する。この端部から伝導した熱は、嵌合孔部3aの大径孔部3uを加熱し膨張させるが、大径孔部3uの内方に配置された凹部3tで熱伝導が阻害され、小径孔部3vが加熱され熱膨張が開始するまでの時間を、大径孔部3uに対し遅延させることができる。これにより、めっき浴への浸漬直後の熱膨張により、大径孔部3uと嵌合部1eとの嵌合が緩んだ場合でも、小径孔部3vと嵌合部1eとの嵌合は保持されるので、胴部1bと軸部1dとの固定を維持することができる。上記凹部3uの形態は特に限定されず、例えば嵌合孔部3aの内周面の同一円周上に有底孔を複数個設けた態様、当該有底孔を千鳥状に離散して設けた態様、その他各種の態様とすることができる。しかしながら、上記した熱絶縁機能を充分に発揮するためには、凹部3tは略円環溝状の溝とすることが望ましい。図5aに示すように、軸芯方向において、嵌合部1eの大径縁部1Lを、嵌合孔部3aの大径縁部3jよりも外方に配置し、さらに、嵌合部1eの小径縁部1kを、嵌合孔部3aの小径縁部3iよりも外方に配置してもよい。このような配置形態であっても本発明の目的である、めっき浴への浸漬直後において胴部1bと軸部1dとの嵌合が緩まないロールを構成することが可能である。さらに、本態様のロール3では、図5aにおいて符号Gで示す方向に軸部1dに曲げが負荷された場合でも、嵌合孔部3aの内周面に作用する応力を低減することができる。すなわち、図5bに示すように、軸部に曲げが負荷されることにより嵌合部1eの小径縁部1kが嵌合孔部1aの内周面1mを強圧し、当該内周面1mに図示矢印Tで示す応力が作用した場合でも、当該応力Tは、内周面1mに直交する分力T1および内周面1mに沿う分力T2に、内周面1mの傾斜角度に応じ分力される。しかして、嵌合孔部3aの内周面1mまたは嵌合部1eの小径縁部1kを破損させる応力Tは、内周面1mの傾斜角度に応じた分力T1へと低減され、それらの破損を抑制することができる。[材料構成]上記第1~第3態様のロール1~3の胴部1b、軸部1dおよび接続部2rを好ましくはセラミックスで構成する場合について、その例を説明する。セラミックスとしては、回転体が使用される雰囲気その他の操業条件の要請による耐熱衝撃性耐蝕性などに応じ、アルミナジルコニアシリカその他の酸化物系セラミックス、硼化ジルコニウム硼化チタン硼化ボロンその他の硼化物系セラミックス、炭化シリコン炭化ボロンその他の炭化物系セラミックス、またはカーボンなどの無機材料を利用してよい。そして、本態様のシンクロールは、めっき浴への浸漬および取出しの際に急熱急冷されるため、耐熱衝撃性に優れている必要がある。そのため、胴部1b、軸部1dおよび接続部2wを構成するセラミックスとしては、熱伝導率が高い窒化珪素窒化アルミその他の窒化物系セラミックスが好ましく、めっき浴である溶融金属に対し高い耐溶損性および耐磨耗性を有し、高温強度に優れた窒化珪素系セラミックスが特に好ましい。以下、胴部1b、軸部1dおよび接続部2wを構成するに好適な窒化珪素セラミックスについて詳述するが、窒化珪素セラミックス自体は特開2001-335368号に記載のものと同じでよい。窒化珪素セラミックス中に存在するアルミニウム及び酸素はフォノン散乱源となり、熱伝導率を低減させる。窒化珪素セラミックスは、窒化珪素粒子とその周囲の粒界相とから構成され、アルミニウム及び酸素はこれらの相に含有される。アルミニウムは珪素に近いイオン半径を有するため、窒化珪素粒子内に容易に固溶する。アルミニウムの固溶により窒化珪素粒子自身の熱伝導率が低下し、窒化珪素セラミックスの熱伝導率は著しく低下する。従って、窒化珪素セラミックス中におけるアルミニウムの含有量はできるだけ少なくすることが望ましい。焼結助剤として添加する酸化物中の酸素の多くは粒界相に存在する。窒化珪素セラミックスの高熱伝導率化を達成するには、窒化珪素粒子に比べて熱伝導率が低い粒界相の量を低減することが必要である。焼結助剤の添加量の下限は、8.5以上の相対密度を有する焼結体が得られる量である。焼結助剤の添加量をこの範囲内でできるだけ少なくすることにより、粒界相中の酸素量を低減させることが望ましい。酸素量の少ない窒化珪素粉末を原料とすると、粒界相中の酸素量が低減できるために粒界相の量自体を低減でき、焼結体の高熱伝導率化が達成されるが、焼結過程で生成するSiO2の量の減少により難焼結性となる。ところが、他の酸化物より焼結性に優れたMgOを焼結助剤として用いると、焼結助剤の添加量を少なくして、緻密な焼結体を得ることができる。その結果、焼結体の熱伝導率は飛躍的に高くなる。また、マグネシウムとともに添加し得る焼結助剤としては、Y、La、Ce、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Dy、Ho、Er、Tm、Yb,Lu等の周期律表第3族後述が挙げられる。なかでも、焼結温度及び圧力が高くなり過ぎないという点で、Y、La、Ce、Gd、Dy、Ybが好ましい。本発明に使用する窒化珪素セラミックスの常温における熱伝導率は50W/mK以上であり、より好ましくは60W/mK以上である。従って、窒化珪素系セラミックス中の酸素含有量は、50W/mK以上の熱伝導率を得るには5重量以下であり、60W/mK以上の熱伝導率を得るには3重量以下である。また窒化珪素粒子中の酸素含有量は、50W/mK以上の熱伝導率を得るには2.5重量以下であり、60W/mK以上の熱伝導率を得るには1.5重量以下である。さらに窒化珪素系セラミックス中のアルミニウムの含有量は、50W/mK以上の熱伝導率を得るには0.2重量以下であり、60W/mK以上の熱伝導率を得るには0.1重量以下である。窒化珪素セラミックス中の酸化マグネシウムMgOと周期律表第3族元素酸化物の合計量は0.6~7重量であるのが好ましい。その合計量が0.6重量未満では、焼結体の相対密度が95未満と不十分である。一方7重量を超えると、熱伝導率の低い粒界相の量が過剰となり、焼結体の熱伝導率が50W/mK未満となる。MgO第3族元素酸化物は0.6~4重量であるのがより好ましい。MgO/第3族元素酸化物の重量比は1~70が好ましく、1~10がより好ましく、1~5が最も好ましい。MgO/第3族元素酸化物が1未満では、粒界相中の希土類酸化物の割合が多すぎるため、難焼結性となり緻密な焼結体が得られない。また、MgO/第3族元素酸化物が70を超えると焼結時におけるMgの拡散を抑制できず、焼結体表面に色むらが生じる。Mg/第3族元素酸化物が1~70の範囲にあると、1650~1850°Cでの焼結により高熱伝導率化が著しい。焼結体を1800~2000°Cで熱処理すると、さらに高熱伝導率化される。熱処理による高熱伝導率化は、窒化珪素粒子の成長と蒸気圧の高いMgOの揮発による。窒化珪素粒子中のアルミニウム、マグネシウム及び周期律表第3族元素の合計量は1.0重量以下であるのが好ましい。窒化珪素焼結体中のβ型窒化珪素粒子のうち、短軸径が5μm以上のβ型窒化珪素粒子の割合が10体積超では、焼結体の熱伝導率は向上するが、組織中に導入された粗大粒子が破壊の起点として作用するため破壊強度が著しく低下し、700Mpa以上の曲げ強度が得られない。従って、窒化珪素焼結体中のβ型窒化珪素粒子のうち、短軸径が5μm以上のβ型窒化珪素粒子の割合は10体積以下であるのが好ましい。同様に、組織中に導入された粗大粒子が破壊の起点として作用することを抑えるために、β型窒化珪素粒子のアスペクト比は15以下であるのが好ましい。胴部1b、軸部1dまたは接続部2rを形成する窒化珪素セラミックスは、急激な温度変化に対して十分な抵抗力を有する必要がある。急激な温度変化に対する抵抗力は下記式1:R=αc1-ν/Eα1但し、αc:常温における4点曲げ強度MPa、ν:常温におけるポアソン比、E:常温におけるヤング率MPa、α:常温から800°Cまでの平均熱膨張係数により表される係数で表される係数Rは600以上であるのが好ましく、700以上であるのがより好ましい。係数Rが600未満であると軸部1dおよび接続部1jが破壊するおそれがある。係数Rは、軸部1dおよび接続部1jから切り出した試験片に対して測定した常温における4点曲げ強度αcMPa、常温におけるポアソン比ν、常温におけるヤング率EMPa及び常温から800°Cまでの平均熱膨張係数αから求める。"