"クランクシャフトから回転力が伝達される駆動回転体と、カムシャフトに結合された従動回転体と、前記駆動回転体に対して従動回転体を相対回転させて回転位相を変更する位相変更機構と、前記駆動回転体に対して従動回転体を進角方向または遅角方向に付勢する付勢部材と、該付勢部材の端部を支持し、該付勢部材の付勢力に応じて歪み変形可能な支持部材と、前記支持部材の歪みを検出すると共に、該歪みの検出信号をコントロールユニットに無線で送信する歪みセンサと、を備えたことを特徴とする内燃機関のバルブタイミング制御装置。クランクシャフトから回転力が伝達され、内周に作動油室が設けられたハウジングと、カムシャフトに固定されていると共に、前記ハウジング内に相対回転自在に収容され、該ハウジング内の作動油室を進角油室と遅角油室に隔成するベーンロータと、前記ハウジングに対して前記ベーンロータを進角方向または遅角方向へ付勢するばね部材と、該ばね部材の端部を支持し、該付勢部材の付勢力に応じて歪み変形可能な支持部材と、前記支持部材の歪みを検出すると共に、該歪みの検出信号をコントロールユニットに無線で送信する歪みセンサと、を備えたことを特徴とする内燃機関のバルブタイミング制御装置。クランクシャフトから回転力が伝達され、内周に周方向へ所定間隔をおいて複数のシューが設けられたハウジングと、カムシャフトに固定されたロータと、該ロータから径方向外周側に延出され、前記各シューとの間に進角油室と遅角油室を隔成する複数のベーンと、を備え、前記進角油室と遅角油室に選択的に油圧を給排することによって前記ハウジングに対して進角方向または遅角方向へ相対回転するベーンロータと、前記ベーンの先端に設けられ、前記各油室の内周面に摺接するシール部材と、該シール部材を前記各油室の内周面方向へ付勢する付勢部材と、該付勢部材の歪みを検出すると共に、該歪みの検出信号をコントロールユニットに無線で送信する歪みセンサと、を備え、前記シール部材が摺接する前記各油室の内周面は、周方向の位置によって前記ベーンの先端に対する隙間が漸次変化するように形成されていることを特徴とする内燃機関のバルブタイミング制御装置。しかしながら、前記従来のバルブタイミング制御装置にあっては、クランク角センサとカム角センサが、単位角度毎パルス信号に角度を検出しているため、例えば機関低回転時などの場合は、各センサによる分解能が低くなってしまう。これによって、前記相対回転角のタイムリーな検出ができなくなるおそれがある。本発明は、前記相対回転角をタイムリーに検出することができる内燃機関のバルブタイミング制御装置を提供することを目的としている。本発明は、クランクシャフトから回転力が伝達される駆動回転体と、カムシャフトに結合された従動回転体と、前記駆動回転体に対して従動回転体を相対回転させて回転位相を変更する位相変更機構と、前記駆動回転体に対して従動回転体を進角方向または遅角方向に付勢する付勢部材と、該付勢部材の端部を支持し、該付勢部材の付勢力に応じて歪み変形可能な支持部材と、前記支持部材の歪みを検出すると共に、該歪みの検出信号をコントロールユニットに無線で送信する歪みセンサと、を備えたことを特徴としている。本発明によれば、歪みセンサを用いたことによって、相対回転角をタイムリーに検出することが可能になる。以下、本発明に係る内燃機関のバルブタイミング制御装置の実施形態を図面に基づいて詳述する。第1実施形態本発明に係るバルブタイミング制御装置は、排気側の動弁装置に適用したもので、この排気側VTCは、図1に示すように、図外のクランクシャフトによりタイミングチェーンを介して回転駆動される駆動回転体であるタイミングスプロケット1と、該タイミングスプロケット1に対して相対回転可能に設けられた排気カムシャフト2と、タイミングスプロケット1と排気カムシャフト2との間に配置されて、該両者1,2の相対回転位相を変換する位相変更機構3と、該位相変更機構3を作動させる油圧回路4と、を備えている。前記タイミングスプロケット1は、前記位相変更機構3の一部を構成する後述のリアーカバーによって構成されていると共に、図中矢印方向に回転するようになっている。前記排気カムシャフト2は、図外のシリンダヘッドにカム軸受を介して回転自在に支持され、外周面所定位置にバルブリフターを介して排気弁を開作動させる複数の駆動カムが一体に設けられていると共に、一端部2a側に肉厚な円環状のフランジ部2bが一体に形成されている。また、前記一端部2aの内部軸方向には、後述するベーンロータ7を軸方向から固定するカムボルト6が螺着する雌ねじ孔2cが形成されている。前記位相変更機構3は、図1~図4に示すように、前記排気カムシャフト2の一端部2aに配置されたハウジング5と、前記カムシャフト2の一端部に前記カムボルト6によって軸方向から固定されて、前記ハウジング5内に回転自在に収容されたベーンロータ7と、前記ハウジング5の内周面に内方に向かって突出形成された4つのシュー8と、ハウジング5の内部に形成された作動油室が前記各シュー8とベーンロータ7の後述する4つのベーン22~25とによって隔成されたそれぞれ2つの遅角油室9及び進角油室10と、を備えている。前記ハウジング5は、ほぼ円筒状のハウジング本体11と、該ハウジング本体11の前後開口端を閉塞するフロントプレート12及び前記タイミングスプロケット1を兼用したリアプレート13とを備えている。前記ハウジング本体11とフロントプレート12及びリアプレート13が、4本のボルト14によって軸方向から共締めにより一体的に結合されている。前記ハウジング本体11は、前記各シュー8を除く一般部がほぼ薄肉に形成されており、前記各シュー8は、円周方向のほぼ等間隔位置に形成されていると共に、それぞれが側面からみてほぼ台形状に形成されている、。また、各シュー8のそれぞれの先端部に軸方向に沿って形成されたシール溝内には、ほぼコ字形状のシール部材16が嵌着されている。さらに、各シュー8の付け根部側の内部軸方向には、前記各ボルト14が挿通する4つのボルト挿通孔17が貫通形成されている。さらに、前記1つのシュー8の円周方向の一側面には、突出部8aが一体に形成されている。この突出部8aは、ベーンロータ7の一つのベーン22の進角側への回転方向の対向側面22aが適宜当接してベーンロータ7の最大図中右方向の回転位置最大進角位置を規制するようになっている。前記フロントプレート12は、プレス成形によって比較的薄肉な円板状に形成され、中央にベーンロータ7の後述するロータ21の前端部21aが挿通する大径孔12aが穿設されていると共に、外周側の円周方向等間隔位置には、前記各ボルト14が挿通する4つのボルト挿通孔が貫通形成されている。前記リアプレート13は、例えば焼結合金によりフロントプレート11よりも肉厚な円板状に形成され、中央に前記ロータ21の小径後端部21bが回転自在に挿通する大径な支持孔18が貫通形成されていると共に、外周部には前記タイミングチェーンが巻回されて回転力が伝達される複数の歯部13aが一体に形成されている。また、該各歯部13aの径方向内側の外周側には、前記各ボルト14の先端部の雄ねじが螺着する図外の4つの雌ねじ孔が円周方向等間隔位置に形成されている。また、このリアプレート13の前記カムシャフト2側の後端面には、図1に示すように軽量化を図るための凹溝19が形成されている。また、リアプレート13の内面所定位置には、後述するロック機構のロック穴31が形成されている。前記ベーンロータ7は、焼結金属によって一体に形成され、図1~図4に示すように、カムシャフト2方向に延びた段差径状のほぼ円筒状に形成されて、中央にカムボルト挿通用の挿通孔7aが軸方向から貫通形成されたロータ21と、該ロータ21の外周面の円周方向のほぼ等間隔位置に放射状に突設された4枚のベーン22~25と、から構成されている。前記ロータ21は、前端部21aが前記フロントプレート12の大径孔12aに径方向の所定隙間をもって嵌挿されている一方、後端部21bが前記挿通孔7aを挿通したカムボルト6を介してカムシャフト2に締結固定されている。すなわち、ロータ21は、後端部21bの内周側に円環状の支持壁21cが一体に形成され、この支持壁21cの中央にカムボルト6の軸部6aが挿通する挿通孔21dが軸方向に貫通形成されている。また、前記支持壁21cの後面に、前記カムシャフト一端部2aの先端部が嵌入する円環状の嵌入溝21eが形成されている。また、前記後端部21bは、後端面がカムシャフト2のフランジ部2bの前端面に当接していると共に、前記支持壁21cの後端面と前記カムシャフト一端部2aの対向先端面との間に円環状の隙間Sが形成されている。したがって、ロータ21を、カムシャフト2の一端部2aに前記カムボルト6によって締結固定する際には、前記隙間Sの存在によって前記後端部21bの後端面がフランジ部2bの前端面に圧接しつつカムボルト6の軸力が支持壁21dに作用することから、該ロータ21をカムシャフト2に強固に固定することができる。また、ロータ21は、外周面が前記各シュー8の先端部上面に嵌着された前記シール部材16に摺動しつつ正逆回転すると共に、図2、図4に示すように、前端部21a側の内部には、前記各遅角油室9に連通する4つの遅角側油孔27と、各進角油室10に連通する4つの進角側油孔28が径方向へそれぞれ貫通形成されている。前記各ベーン22~25は、図2~図4に示すように、それぞれが各シュー8間に配置されていると共に、各先端面に軸方向に形成されたシール溝26内に前記ハウジング本体11の内周面11aに摺接するほぼコ字形状のシール部材29が嵌着されている。この各シール部材29は、両端部が内方へ折曲されたほぼコ字形状に形成されていると共に、前記シール溝26の底面とシール部材29の内面との間に弾装された図外の板ばねによって前記ハウジング本体11の内周面11a方向へ付勢されている。また、前記各ベーン22~25は、1つベーン22が最大巾に形成され、該ベーン22以外の3枚のベーン23~25の巾が最大巾のベーン22よりも小さいほぼ同一の巾に設定されている。このように、各ベーン22~25の巾をそれぞれ変化させることによってベーンロータ7全体の回転バランスを均一化するようになっている。また、前記各ベーン22~25の進角油室10側の一側面と該一側面に周方向から対向する各シュー8の対向側面との間に、ベーンロータ7を最大進角側へ付勢する付勢部材である4つのコイルスプリング50がそれぞれ配置されている。この各コイルスプリング50は、図3にも示すように、一端部50aが各ベーン22~25の一側面に形成された円形状の第1ばね受け溝22a~25aに弾接支持されている一方、他端部50bが前記各シュー8の対向側面にそれぞれ形成された円形状の第2ばね受け溝8bに弾接支持されている。ここで、前記最大巾のベーン22の一側面に対向する第1シュー8の第2ばね受け溝8bの孔縁部には、コイルスプリング50の他端部50bを弾接支持する支持部材51が配置されている。この支持部材51は、前記コイルスプリング50の付勢力に応じて歪み変形可能な金属製の円形ばね板によって形成されていると共に、外周部一端面が前記第2ばね受け溝8bの円環状の段差孔縁部8cに載置されて、これと反対側の他端面のほぼ中央に前記コイルスプリング50の他端部50bが弾接している。したがって、前記支持部材51は、コイルスプリング51の付勢力の変化に応じて第2ばね受け溝8b方向へ撓み変形可能になっている。また、この支持部材51の一端面のほぼ中央位置に歪みセンサ52が取り付けられている。前記歪みセンサ52は、例えば、特開2006-220574号公報などに記載されたものと構造的に同一のものである。この歪みセンサ52は、シリコン単結晶によって形成された一片が数ミクロン~数mm角、厚さが10~数百ミクロンのチップ形状を有したものを拡散層などの素子形成面シリコン基板の裏面全体を前記支持部材51の一端面に貼り付けて、前記コイルスプリング50の圧縮、伸張変形による付勢力の変化に応じた支持部材51の歪みを検出するようになっている。この歪みセンサ52の構造の一例を図4に基づいて簡単に説明すると、例えばp型の拡散抵抗4本を用いてホイートスンブリッジ回路を形成し、このホイートストンブリッジ回路を形成する4本のp型不純物拡散層による抵抗15は、対向する一組の抵抗15,15がシリコン単結晶の-110方向が長手となるように配置されている。残りの一組の抵抗15、15は、-110方向に対して90°回転させた110方向が長手となるように配置されている。すなわち、ホイートストンブリッジ回路を構成する半数の抵抗の各抵抗の両端子102を結ぶ直線が半導体単結晶の110方向とほぼ同一となるように形成されていると共に、該半数の抵抗の各抵抗の両端子を結ぶ線に対してほぼ直角が望ましいが、45°より大きく135°より小さい角度で交わるように配置されている。このように拡散抵抗のレイアウトにすることにより、4本すべての抵抗15は周囲の影響をすべて等しくすることができることから、4本の抵抗15のマスク形状を同一にエッチングすることができる。このため、不純物拡散層を形成した際に、4本の抵抗値を均一にすることができ、ホイートストンブリッジ回路のオフセットを小さくことを可能とし、精度の高い歪み量測定を行うことができる。また、この測定装置としては、図5に示すように、前記歪みセンサ52が貼り付けられた前記シリコン基板60上に、電源61や増幅器62やA/D変換器、アナログ回路63、通信制御部64及びアンテナ65が設けられて、後述するコントロールユニットとの情報のやり取りを無線形式で行うようになっている。この場合、前記電源61は、蓄電池であっても良いし、電磁波を用いて自己発電を行うもので合っても良い。このような無線方式でコントロールユニットとの通信を行うことにより、コントロールユニットとの間に配線が必要なくなり、ベーンロータ7の回転を阻害することなく測定を行うことができる。また、前記アンテナ65は、図6に示すように、シリコン基板60の外側に配置することも可能である。このように、アンテナ65を外部に配置する場合には、アンテナ65が取り囲む面積を大きくすることができることから、通信距離を長くすることができる。さらに、前記最大巾のベーン22と前記リアプレート13との間には、ベーンロータ7の自由な回転を拘束するロック機構が設けられている。このロック機構は、図1及び図2に示すように、前記最大巾ベーン22の内部軸方向に貫通形成された摺動用孔22b内に摺動自在に収容されて、リアプレート13側に対して進退自在が設けられたロックピン30と、前記リアプレート13に形成されて、前記ロックピン30の先端部が進出して係合し、あるいは後退して係合が解除される前記ロック穴31と、機関の始動状態に応じて前記ロックピン30をロック穴31に係合あるいは係合を解除する係脱機構とから構成されている。前記ロックピン30は、先端部を含めた全体がほぼ円柱状に形成されて、前記ロック穴31内に軸方向から係合し易い形状になっている。なお、前記摺動用孔22bのフロントプレート12側の孔縁には、切欠孔22cが形成され、この切欠孔22cと前記フロントプレート12の大径孔12aがベーンロータ7の回転範囲で常に連通してロックピン30の良好な摺動を確保するための空気抜き孔として機能するようになっている。前記ロック穴31は、円周方向の前記進角油室10側に偏倚した位置に形成され、前記ロックピン30が係合した場合には、ハウジング5とベーンロータ7の相対変換角度が最大進角側の位置となるように設定されている。前記係脱機構は、ロックピン30の後端部とフロントプレート12の内端面との間に弾装されて、ロックピン30を進出方向へ付勢するロックばね32と、前記ロック穴31内に油圧を供給してロックピン30を後退させる図外の解除用油圧回路とから構成されており、この解除用油圧回路は、前記遅角油室9と進角油室10にそれぞれ選択的に供給された油圧が所定の油孔を介してロック孔31に供給されて前記ロックピン30に後退方向へ作用するようになっている。前記油圧回路4は、前記各遅角油室9と進角油室10に対して油圧を選択的に供給するか、あるいは各油室9,10内の油を排出するもので、図1に示すように、前記遅角側油孔27に連通する遅角通路33と、前記各進角側油孔28に連通する進角通路34と、該各通路33,34に電磁切換弁35を介して油圧を選択的に供給するオイルポンプ36と、前記各通路33,34に電磁切換弁35を介して選択的に連通するドレン通路37と、を備えている。前記両通路33、34は、先端部38aが前記ロータ21の前端部21a内に挿通された円柱状の通路構成部38の内部に形成されている。この通路構成部38は、シリンダヘッドに保持されて、前記先端部38aに形成された径方向孔33aと外周に形成されたグルーブ溝33bを介して前記遅角通路33と各遅角側油孔27とを連通するようになっている。また、前記ロータ21の内部には、前記先端部38aの先端面とカムボルト6の頭部6bとによって隔成された油室34aが形成され、該油室34aを介して前記進角通路34と各進角側油孔28とを連通するようになっている。また、前記先端部38aの外周には、外部とグルーブ溝33bとの間、該グルーブ溝33bと油室34aとの間をそれぞれシールする3つのシール部材39がそれぞれ嵌着固定されている。前記オイルポンプ36は、吐出通路36aが図外の濾過フィルターを介して前記両通路33,34に適宜選択的に連通すると共に、機関の摺動部などに潤滑油を供給するメインオイルギャラリーにそれぞれ連通している。また、前記オイルポンプ36には、過大な吐出圧を抑制する図外のリリーフ弁が設けられている。前記電磁切換弁35は、2方向弁であって、図外のコントロールユニットからの出力信号によって各通路33,34とオイルポンプ36の吐出通路36a下流の供給通路41とドレン通路37とを選択的に切り換え制御するようになっている。前記コントロールユニットは、内部のマイクロコンピュータが図外のクランク角センサやエアーフローメータ、水温センサ、スロットルバルブ開度センサなどの各種センサ類からの情報信号を入力して現在の機関運転状態を検出すると共に、前記歪みセンサ52で検出した支持部材51の歪み変化値に基づいて前記ハウジング5に対するベーンロータ7の相対回転位置を演算によって算出するようになっている。このような機関運転状態とベーンロータ7の相対回転位置に応じて前記電磁切換弁35の電磁コイルに制御パルス電流を出力するようになっている。以下、本実施形態の作用を説明すれば、まず、機関停止時には、遅角油室9と進角油室10への油圧の供給が停止されると共に、各コイルスプリング50の進角方向への付勢力によってベーンロータ7が図2及び図3に示すように最進角位置に相対回転してロックピン30がロックばね32のばね力によって進出し、先端部30aがロック穴31内に係合する。これによって、ベーンロータ7の相対回転が規制される。次に、イグニッションスイッチをオンして機関を始動させクランキングが開始されると、オイルポンプ36の作動も開始される。この始動直後は、オイルポンプ36の吐出圧が十分に立ち上がらないことから、図1に示すように、予めロックピン30の先端部30aがロック穴31内に係入した状態が維持されて、ベーンロータ7を始動に最適な進角側の位置に拘束している。このため、スムーズなクランキングによって良好な始動性が得られると共に、前記各カムシャフト2,2に作用する交番トルクによる各ベーンロータ7,7のばたつきを抑制できる。そして、機関始動後の所定の低回転低負荷域では、コントロールユニットが電磁切換弁35の電磁コイルへの非通電状態を維持する。これによって、オイルポンプ36の吐出通路36aと進角側通路34を連通させると同時に、遅角側通路33とドレン通路37とを連通させる。このため、オイルポンプ36から吐出された作動油が、進角側通路34を介して各進角油室10内に流入して、該各進角油室10が高圧になる一方、遅角油室9内の作動油が遅角側通路36を通ってドレン通路37からオイルパン44内に排出されて、各遅角油室9内が低圧になる。このとき、各進角油室10内に流入した作動油圧が、ロック機構に供給されることから、ロックピン30が後退動してロック穴31から抜け出しロックが解除される。これにより、ベーンロータ7は、自由な回転が許容されて排気弁の開閉タイミングを任意に変更することができるが、この状態では、最進角側に保持される。一方、機関が例えば中回転域に移行した場合は、コントロールユニットから電磁切換弁35に所定のデューティ制御電流が出力されて、吐出通路36aと遅角側通路33とを連通させると同時に、進角側通路34とドレン通路37とを連通させる。これにより、各進角油室10内の作動油が排出されて低圧になると共に、各遅角油室9内に作動油が供給されて内部が高圧になる。このとき、各遅角油室9からロック機構に油圧が供給されることから、ロックピン30はロック穴31から抜け出した状態が維持される。このため、ベーンロータ7は、図7に示すように、ハウジング5に対して反時計方向へ回転して、タイミングスプロケット1に対するカムシャフト2の相対回動位相が遅角側に変換される。この結果、排気弁の開閉タイミングが遅角側に制御されて、吸気弁と排気弁のバルブオーバーラップが大きくなり、かかる中回転域における機関燃焼効率を向上させることができる。そして、この実施形態によれば、クランクシャフトとカムシャフトの相対回転角を、前記特異な構成の歪みセンサ52によってハウジング5に対するベーンロータ7の相対回転角を検出することによって行うようにしたため、前記従来のような、クランク角センサとカム角センサを用いた場合に比較して、相対回転角を連続かつタイムリーに検出することができる。すなわち、前記ベーンロータ7が、図2に示す最進角の回転位置にある場合は、コイルスプリング50による支持部材51へのばね付勢力が小さく該支持部材51の歪みが小さいため、かかる小さな歪みを前記歪みセンサ52が検出してコントロールユニットに出力する。その後、前述のように、機関運転状態に応じてベーンロータ7が各コイルスプリング50のばね力に抗して、つまりコイルスプリング50を圧縮変形させながら遅角側へ相対回転すると、前記支持部材51に作用する反力が漸次大きくなって歪みが大きくなる。これを、歪みセンサ52が精度良く検出してコントロールユニットに出力する。これによって、コントロールユニットは、ハウジング5に対するベーンロータ7の相対回転角を演算によって算出して、前記電磁切換弁35をフィードバック制御する。したがって、前記相対回転制御を高精度に行うことができると共に、連続かつタイムリーに検出することができる。また、前記歪みセンサ52を用いることによって、従来のような、クランク角センサとカム角センサを用いる場合に比較してコストの大幅な低減化が図れる。さらに、前記歪みセンサ52から検出された情報信号を無線によってコントロールユニットに出力することから、無用な配線が不要になると共に、断線などのトラブルの発生がない。なお、前記4つのコイルスプリング50を用いずに、歪みセンサ52が配置されたコイルスプリング50のみであってもよい。また、この実施形態によれば、前述のように、前記ベーンロータ7が、各コイルスプリング50のばね力によって進角方向に付勢されていることから、例えば機関停止時において排気弁の開閉タイミングを最進角側へ強制的に制御することができるので、前述したように機関の始動性が良好になる。第2実施形態図8~図12は本発明の第2実施形態を示し、排気VTCの基本構造は第1実施形態と同様であるが、異なるところは、前記各コイルスプリングを廃止し、前記最大肉厚の第1ベーン22が位置するハウジング本体11の内周面11aが遅角側から進角側に掛けて内方湾曲した円弧テーパ状に形成されていると共に、前記第1ベーン22の外周側シール溝26内に設けられたシール部材29をハウジング本体11の内周面方向に付勢する付勢部材である板ばね53に歪みセンサ52を設けたものである。具体的に説明すれば、第1ベーン22は、ハウジング本体11の周方向の2つのシュー8,8の間に配置され、ほぼ円弧状の外周面の円周方向の遅角側の一端部に前記シール溝26が軸方向に沿って形成されている。また、前記ハウジング本体11の前記2つのシュー8,8間に有する前記内周面11aは、図9及び図12に示すように、遅角側の一端部11bから進角側の他端部11cに沿って漸次内方へ湾曲状に入り込んだテーパ状に形成されている。したがって、図9、図12に示すように、前記ベーンロータ7が最遅角側から最進角側へ回転するに連れて、前記ベーン22の外周面とハウジング本体11の内周面11aとの間の隙間Cが漸次小さくなるように形成されている。一方、前記シール部材29は、シール溝26に沿って第1ベーン22の軸方向に沿って配置されて、平坦な外面29aが前記内周面11aに前記板ばね53のばね力によって弾接している。また、前記板ばね53は、図10に示すように、同じくシール溝26に沿って細い弓状に折曲形成されて、ほぼ平坦に折曲された両端部53b、53cの外面が前記シール部材29の内面に弾接していると共に、中央部53aの内面がシール溝26の底面に弾接している。さらに、この板ばね53の中央部53aの外面には、歪みセンサ52が設けられている。この歪みセンサ52は、構造が第1実施形態のものと同じであるから、詳しい説明は省略する。したがって、前述した機関運転状態の変化に伴って、前記ベーンロータ7が、図8、図9に示す最大遅角側の位置から図11、図12に示す時計方向最進角側の位置へ漸次回転して、前記シール部材29が内周面11aの一端部11bから他端部11cまで湾曲テーパに沿って摺接すると、シール部材29が漸次シール溝26の内方へ押し込まれる。これによって、板ばね53は、両端部53b、53cを介して中央部53aを含む全体が圧縮変形する。つまり、ベーンロータ7の最遅角から最進角側への回転に伴って板ばね53の歪み量が漸次大きくなり、ここから逆回転した場合は歪み量が漸次小さくなることから、この歪みの変化を前記歪みセンサ52が検出してコントロールユニットに出力する。このため、ハウジング5に対するベーンロータ7の相対回転最大遅角位置から最大進角位置までの相対回転角を精度良く検出することができる。なお、ロック機構は、本実施形態ではベーンロータ7の最遅角側の回転位置でロックするようになっており、図中22bはロックピン30が摺動する摺動用孔である、その他は、第1実施形態と同様な作用効果が得られる。本発明は、前記実施形態の構成に限定されるものではなく、排気VTCの他に、吸気VTCに適用することも可能であり、この場合は、コイルスプリングがベーンロータを遅角側に付勢するように設け、このコイルスプリングの他端部を支持する支持部材に歪みセンサを配置する。また、前記歪みセンサ52を、ベーンロータ7のベーン22側に支持部材51を介して配置することもできる。さらに、前記歪みセンサ53を用いた測定装置を、図13に示すように、前記カムシャフト2の外周側に配置することも可能である。すなわち、カムシャフト2の外周面には、図5に示した前記歪みセンサ52や電源61や増幅器62やA/D変換器、アナログ回路63、通信制御部64が設けられたシリコン基板60が設けられ、前記カムシャフト2の外周を取り囲むように円環状の受信アンテナ65が配置されていると共に、該受信アンテナ65から出力された信号を受ける受信部66が設けられている。前記歪みセンサ53からの電磁波はカムシャフト2がどの位置に存在しても受信アンテナ65で受信できる。したがって、電波が受信できないために、歪み量が測定不能となる領域が存在することがないといった、利点がある。さらに、付勢部材としては、前記コイルスプリング50以外にトーションスプリングを用いることも可能である。この場合は、前記トーションスプリングの一端部をハウジング5側に係止させ、他端部をベーンロータに係止させるが、例えばこの他端部側にばね力を受ける支持部材を設け、ここに歪みセンサを配置することも可能である。また、前記支持部材51は、その材質は限定されるものではなく、金属の他に合成樹脂材などであってもよく、また厚さなどを変えて、撓み変形率を種々変更することも可能である。"