"計測光を分光手段に伝送する伝送手段と、伝送された光を分光する分光手段と、分光された光を受光する受光センサと、前記伝送手段と前記受光センサとの間に設けた2枚のシリンドリカルレンズを有する分光器であって、前記2枚のシリンドリカルレンズは、それぞれ曲率を持つ面の曲率が異なり、互いに曲率を持つ方向を直交させて配置されたことを特徴とする分光器。前記2枚のシリンドリカルレンズは、前記伝送手段と前記分光手段との間に設け、前記伝送手段側に設けられたシリンドリカルレンズは曲面を持つ面を前記伝送手段側に配置し、前記分光手段側に設けられたシリンドリカルレンズは曲面を持つ面を前記分光手段側に配置したことを特徴とする請求項1記載の分光器。前記2枚のシリンドリカルレンズは、一方は、前記伝送手段と前記分光手段との間に設け、曲面を持つ面を前記伝送手段側に配置し、他方は、前記分光手段と前記受光センサの間に設け、曲面を持つ面を前記分光手段側に配置したことを特徴とする請求項1記載の分光器。前記伝送手段を振動させる振動手段を有する、請求項1から請求項3の何れか1項記載の分光器。前記伝送手段は光ファイバであることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項記載の分光器。狭帯域発振エキシマレーザやフッ素分子レーザの発振スペクトル特性、特に前記したE95の計測を行う際にはスペックルの影響を更に軽減する必要がある。スペックルの影響軽減の効果を得るためにはスペックルのコヒーレンス時間等のパラメータも考慮する必要があるが、従来はそこまで考慮したものは見当たらない。また、前記したように、E95とはある波長を中心にして発振スペクトルが含む光エネルギーの95が存在する波長幅であるから、これを計測するにはスペクトル分布の裾野の範囲まで光エネルギー分布を正確に知る必要がある。ところが、スペクトル分布の裾野では光エネルギーレベルが低いのでS/N比も低く、その光エネルギー計測値に占めるノイズ誤差の割合が多いためE95の正確な計測は困難である。これは、半値全幅のように、ピークパワー値の半分のパワーレベルにおける波長幅の計測との大きな違いである。ピークパワー値の半分のレベルがあればS/N比も十分に高いため計測誤差は少ない。従って、特にE95計測ではノイズを軽減することが重要であり、大きなノイズ源であるスペックルの影響を減らすことは必須と言える。本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、受光部のスペックルを軽減し、スペクトルE95の高精度な計測を行うことが可能な分光器を提供することを目的とする。本発明においては、上記課題を次のようにして解決する。1計測光を分光手段に伝送する伝送手段と、伝送された光を分光する分光手段と、分光された光を受光する受光センサと、前記伝送手段と前記受光センサとの間に設けた2枚のシリンドリカルレンズを有する分光器において、前記2枚のシリンドリカルレンズを、それぞれ曲率を持つ面の曲率が異なり、互いに曲率を持つ方向を直交させて配置する。2上記1において、前記2枚のシリンドリカルレンズを、前記伝送手段と前記分光手段との間に設け、前記伝送手段側に設けられたシリンドリカルレンズを曲面を持つ面を前記伝送手段側に配置し、前記分光手段側に設けられたシリンドリカルレンズは曲面を持つ面を前記分光手段側に配置する。3上記1において、前記2枚のシリンドリカルレンズは、一方は、前記伝送手段と前記分光手段との間に設け、曲面を持つ面を前記伝送手段側に配置し、他方は、前記分光手段と前記受光センサの間に設け、曲面を持つ面を前記分光手段側に配置する。4上記1~3において、前記伝送手段を振動させる振動手段を設ける。5上記1~4において、前記伝送手段は光ファイバとする。上記のように、光を伝送する手段を振動させ積算することで、光が均一化され、不均一な照明によるノイズを除去することができ、スペックルの影響を低減化することができる。また、上記光を伝送させる手段を、スペックルのコヒーレンス時間が充分に小さくなるように振動させることにより、スペックルのパルス間の相関が低下し、より効果的にスペックルの影響を除去することが出来る。また、前記2枚のシリンドリカルレンズは、それぞれ曲率を持つ面の曲率が異なり、互いに曲率を持つ方向を直交させて配置することにより、センサ受光面に、より効率的に光を照射することができる。本発明においては、エタロンなどの光を分光する手段に入射する光を伝送する手段、もしくは、上記分光する手段に入射する光を拡散する手段を、振動させるようにしたので、スペックルの影響を除去し、高い精度でE95計測を行うことができる。また、本発明の分光器を用いてレーザ装置の出力光のE95を計測し、フィードバック制御することにより、レーザ光のE95を精度よく一定値に制御することができる。図1aは本発明の前提となる分光器の光学系の構成の概要を示す図である。狭帯域エキシマレーザ装置、フッ素分子レーザ装置から出力される計測光レーザ光をレンズ11で集光し、光ファイバ12を通して取り込む。光ファイバ12の出射側には、後述するファイバ揺動/移動機構13が設けられており、計測の間、常時、振動以下では揺動ともいうもしくは移動させる。光ファイバ12から出射される光は、必要に応じてコリメータレンズ14により適当な角度に集光され、エタロン15に入射する。エタロン15はFSR3pm、フィネス20以上のものを用いる。また、エタロン15は周囲環境による影響を受けないように例えば窒素雰囲気を充填した空間に収納され、この空間は密封される。密封用のウインドウとして、前述のコリメータレンズ14や後述の集光レンズ16を使用しても良い。エタロン15から出た光は、例えば焦点距離650mmの集光レンズ16で集光され、例えばチャンネル数512のCCDセンサ等のセンサ17上にフリンジ干渉縞像が結像する。なお、高繰り返し、高分解能での計測のため、従来使用したNMOSリニアセンサではなく、CCDセンサを用いるのが望ましい。図1b-1にセンサ17上に結像するフリンジ像を示す。前記従来例と同様、エタロン15により計測光の中心波長に対応した半径のフリンジが形成され、その中央部分センサ面イメージの部分がセンサ17に取り込まれる。センサ17には図1b-2に示すようなフリンジ波形が取り込まれる。図2に上記センサ17に取り込まれたデータの処理の概要を示す。センサ17に取り込まれたセンサデータは、図2aに示すように積算処理部21に送られ、SN比を上げるため前記したように積算処理が行われる。積算処理部21で積算処理された後、波長スケール変換部22で、図1b-2に示したフリンジ波形の横軸の波長をリニアスケールに変換し、分解能の最もよい中央部の波形を切り出す。デコンボリューション処理部23では、上記切り出したデコンボリューション対象波形と、予めわかっている装置関数のコンボリューション波形との偏差が小さくなるように、計測毎にデコンボリューション処理を行う。そして、デコンボリューション結果に基づき、前記したようにE95計算部24でE95が計算される。ここで、通常、繰り返し法を用いるデコンボリューション処理では繰り返し計算が充分収束したことを確認するために、計算結果と装置関数のコンボリューション波形とデコンボリューション対象波形との偏差を計算し、偏差または前回の計算結果の偏差との差が、充分小さくなったことを繰り返しの終了条件として用いる。この方法では収束条件の判断のためにコンボリューション処理を行うことで計算時間が2倍かかるという問題がある。また、収束にかかる時間が計測によって、まちまちとなるため、計測にかかる時間を見積もることができないという問題がある。これらの問題を解決するために、いろいろな波形について、最終的な計算結果に対して精度が充分保つために必要な繰り返し回数をあらかじめ求めておき、最大の繰り返し回数を固定値として繰り返しの終了条件とするのが望ましい。この例では、計測され積算処理されたフリンジ波形の処理を、図2aに示すように、波長スケール変換、デコンボリューション処理、E95計算の3つの部分に分け、それぞれ別のプロセッサを用いて、並列処理を行うことで短時間に計測値を更新している。また、図2bに示すように、デコンボリューション処理自体を複数のプロセッサを使って並列処理をしても良い。デコンボリューション処理中、最も多くの時間を消費するコンボリューション処理を複数のプロセッサを用いて並列処理をすることにより、短時間で処理を行うことができる。コンボリューション処理はチャンネルごとに独立な処理であるため、複数のプロセッサに処理するチャンネルを割り当て並列に処理させる。図3に図1に示したファイバ揺動/移動機構13の構成例を示す。図3aに示すように、光ファイバ12の出射端の近傍にアクチュエータ31を設け、アクチュエータ31により、光ファイバ12の出射端を揺動振動させ、得られるフリンジを時間的に積算する。従来においては、前記図4aに示したように、不均一な照明により計測信号にノイズがのるという現象が生じたが、上記のように揺動させ積算することで、図4bに示すように光が均一化され、不均一な照明によるノイズを除去することができる。このため、スペックルの影響を低減化することができる。光ファイバ12の揺動の対象は角度でも位置でもよいが、できるだけ均一な照明とするためにファイバ揺動の周期は信号積算時間と同じか、それより長いことが望ましい。なお、揺動/移動機構13により光ファイバ12を非常に高速に動かし、レーザ発光時間内に均一に照明することができれば、前記したように複数パルスの信号を積算する必要はなくなる。このように、多パルスの積算を行うことで、高いSN比で信号を計測できると同時に、入射系を振動させてスペックルの影響を除去することができる。また、レーザの発振周波数に対してスペックルのコヒーレンス時間が充分に小さくなるように光ファイバ12を揺動させることで、スペックルのパルス間の相関が低下し、より効果的にスペックルの影響を除去することが出来る。図3aでは光ファイバ12そのものを揺動させたが、図3bに示すように、光ファイバ12の出射光を、アクチュエータ32により駆動されるミラー33を介して、コリメータレンズ14に入射させるようにしてもよい。アクチュエータ32は、図3cに示すようにミラー33を前後方向に移動させたり、図3dに示すようにミラー33の傾きを変動させたり、あるいは、図3eに示すように傾けたミラー33を回転させる。これにより、光ファイバ12の出射端を揺動させたのと同様の効果を得ることができる。さらに、図3fに示すように、光ファイバ12から出射される光を拡散させる円形拡散板34を設け、円形拡散板34を回転させるように構成しても、図3abと同様の効果を得ることができる。なお、以下では、図3bfに示したものも含めて、ファイバ揺動/移動機構という。ところで、光ファイバ12から射出される光は、光ファイバのNAで規定される角度だけ広がりをもって射出される。そのままではセンサ17まで到達しない光が多く非効率であるため、図1に示したように光ファイバと12エタロン15の間にコリメータレンズ14を設置したが、このコリメータレンズは必須ではなく、図5に示すように、コリメータレンズを省略することもできる。また、コリメータレンズ14として、単レンズを用いると、図1に示したようにセンサ面に光が円形に照射される。ラインセンサ受光素子として用いる場合、センサ受光面が長方形形状のため、センサで受光しない無駄な光が多くなる。そこで、コリメータレンズとして曲率の異なるシリンドリカルレンズを2枚組み合わせることによって、センサ受光面に、より効率的に光を照射することができる。図6に上記のように上記シリンドリカルレンズから構成されるコリメータレンズを用いた本発明の実施例の分光器の光学系の概略構成を示す。同図aは光学系を上から見た図、bはこの光学系のコリメータレンズの部分を側方から見た図、cは結像面に結像するフリンジ像を示す。同図において、14はコリメータレンズであり、コリメータレンズ14は、レンズ面の曲率が異なる2枚のシリンドリカルレンズ14a,14bから構成される。シリンドリカルレンズは、一方向に対しては曲率を持ち、この方向に直交する方向に対しては曲率を持たないレンズであり、本実施例では、図6に示すように曲率を持たない面を対向させた2枚のシリンドリカルレンズ14a,14bをコリメータレンズ14として用いている。その他の構成は、前記図1に示したものと同様である。コリメータレンズとして、上記構成のレンズを用いることにより、結像面に結像するフリンジ像を図6cに示すように、センサ形状に合わせた形状とすることができ、センサ受光面に、より効率的に光を照射することができる。また、通常は前記図12に示したように、エタロン15とセンサ17の間に球面の集光レンズ16を設け、この組み合わせでフリンジを検出している。このとき得られるフリンジ像は前記図1b-1に示したように同心円状であり、同心円状の光を直線状のセンサを用いて切り取るような形となる。そこで、エタロン15への入射光学系にシリンドリカルレンズや回折光学素子等を用いて2次元の1方向にだけ角度の分散をつけ、集光レンズ16にも1方向だけ集光するレンズを用いることで、より効率的にセンサ受光面に光を照射することができる。図7に上記のように、コリメータレンズ14と集光レンズ16に曲率の異なるシリンドリカルレンズを用いた場合の本発明の実施例を示す。同図aは光学系を上から見た図、bはこの光学系のコリメータレンズの部分を側方から見た図、cは結像面に結像するフリンジ像を示す。その他の構成は前記図1と同様である。同図に示すように、コリメータレンズ14と集光レンズ16にシリンドリカルレンズを用い、それぞれのシリンドリカルレンズの曲率を持つ方向を直交させることにより、図6cに示すように、縞状のフリンジパターンを得ることができる。このフリンジ信号をセンサ17で受光し、各ラインをビニングし積算することで、SN比の高いフリンジ信号を得ることができる。図8は、前記特許文献1等に記載される、並列に束ねた長さの相違する複数本の光ファイバを用いた分光器に本発明を適用した場合の構成例を示す図である。同図に示すように、計測光をレンズ11を介して、長さの相違する複数本の光ファイバを並列に束ねた光ファイバ群12’に入射させ、光ファイバ群12’の出射端を前記したファイバ揺動/移動機構13により揺動させる。なお、光ファイバの揺動/移動機構としては、前記図3に示し各種機構を用いることができる。上記構成とすることで、前記したようにファイバ内部での光の干渉に起因するスペックルを除去することができるとともに、光ファイバの揺動により、より効果的にスペックルの影響を除去することが出来る。次に、図9abの光学系により光ファイバの出射側に設けたファイバ揺動/移動機構による揺動/移動速度の計算例について説明する。図9aの光学系は、前記図3に示した揺動/移動機構を備えた光ファイバ12の端面から出た光を、エタロン15に入射させ、出てきた光を集光レンズ16でセンサ面に集光させる場合の光学系を示し、図9bは、揺動/移動機構を備えた光ファイバ12の端面から出た光を、コリメータレンズ14を介してエタロン15に入射させ、エタロンから出た光をレンズでセンサ面に集光させる場合の光学系を示している。1図9aに示す光学系における揺動/移動速度。図9aに示すように、光ファイバ端面と集光レンズ16の距離をL1、集光レンズ16とセンサ17の距離をL2とし、エタロン15の有効径をqとすると、同図に示す光学系のコヒーレンス時間は次式で与えられる。1/τc=|v|√B2/Rs21/q2ここでB=L2/F-1、Rs=2F/k0qであり、Fは集光レンズ16の焦点距離、qはエタロンの有効径、k0は波数2π/λである。焦点位置に受光面があるためL2=Fなので、B=0となる。したがって1/τc=|v|/qとなる。実際の設計値を代入し、F=650mm、λ=193nm、q=10mmとし、レーザ装置が4kHz発振であるとすると、前記図3に示したファイバ揺動/移動機構13による移動速度は以下の式のvとなる。|v|=1/τcq=40000[mm/s]この速度を実現させるためには、前記図3に示した円形拡散板34を19100rpm以上の速度で回転させ、回転軸より20mmの位置に入射した光をエタロン15に入射させる。これにより、コヒーレンス時間より短い周期でスペックルを変化させることができる。なお、可能であれば、光ファイバ12の端部、ミラー33を線速度40000mm/s以上で揺動させるようにしてもよい。2図9bに示す光学系における揺動/移動速度。図9bに示すように、光ファイバ端面とコリメータレンズ14の距離をL1、コリメータレンズ14とエタロン15の距離をL2、エタロン15と集光レンズ16の距離をL3、集光レンズ16とセンサ17の距離をL4とし、エタロンの有効径をqとすると、同図に示す光学系のコヒーレンス時間は次式で与えられる。1/τc=|v|√B2/Rs2ν2/q2ここで、Rs=2F2/k0q、B=A2L3L4[1/A1L1L2-1-L2/F11/L2-1/A1L221/L3-1/A2L32]、A1=1/L11/L2-1/F1、A2=1/L31/L4-1/F2、ν=L2/F1-1である。また、F1はコリメータレンズ14の焦点距離、F2は集光レンズ16の焦点距離であり、センサ17へは集光レンズ16で集光して入射させるため、F2=L4となる。上記式に、実際の設計値であるL1=50、L2=50、L3=50、L4=650、F1=100、F2=650、ν=0.5、A1=0.03、A2=0.02、B=6.5の設計値を代入すると、Rsは以下の値となり、前記図3に示したファイバ揺動/移動機構13による移動速度は以下の式のvとなる。Rs=2×650×193×106/2π/10=0.0041/τc=|v|√6.52/0.00420.52/102=1625|v||v|=4000/1625=2.46mm/sこの速度を実現させるためには、前記図3に示した光ファイバ12の端部、ミラー33を線速度2.5mm/s以上で振動させるか、あるいは円形拡散板34を回転させ、光ファイバ12に対向する周速度を2.5mm/s以上になるようにする。これにより、コヒーレンス時間より短い周期でスペックルを変化させることができる。上記実施例で示した分光器をレーザ装置の出力側に設けてE95を計測し、この計測結果をターゲットとなる設定値と比較して、レーザ装置にフィードバックすることにより、レーザ装置出力のE95の一定値制御を行うことができる。図10は、上記フィードバック制御の構成例を示す図であり、図10aは上記実施例で示した分光器の出力により狭帯域化モジュールLMNの波面調整を行うことにより、E95を制御する場合の構成例を示し、図10bは、上記実施例で示した分光器の出力によりレーザチェンバに供給するガス分圧を調整することにより、E95を制御する場合の構成例を示している。図10abにおいて、101はレーザチェンバであり、レーザチェンバ101には一対の電極E同図では一方の電極のみが示されているが設けられ、また、レーザチェンバ101内に充填されたレーザガスを循環させるためのファン102が設けられている。レーザ共振器は、狭帯域化モジュール103に搭載されたグレーティング回折格子と出力ミラー104とにより構成され、レーザ光は上記グレーティングと出力ミラー104の間を往復し、出力ミラー104からレーザ光として出射される。出力ミラー104から出射されるレーザ光の一部はビームスプリッタ105により波長モニタ分光器106へ導入され、E95が計測される。コントローラ107は、上記計測結果に基づき、狭帯域化モジュールLMNの波面調整を行ったり図10a、レーザチェンバ101に供給するガス分圧を調整する図10bことにより、E95を制御する。図11は、2台のレーザを用いた2ステージレーザ装置に適用した場合の構成例を示す図である。2ステージレーザ装置は、発振段レーザ100と増幅段レーザ200から構成され、1台目の発振段レーザ100は低パルスエネルギーながら狭帯域化スペクトルをもち、2台目の増幅段レーザ200は、発振段レーザ100の狭帯域化スペクトルを維持したままパルスエネルギーのみ増幅する。図11において、増幅段レーザ200が出力するレーザ光はの一部はビームスプリッタ105により波長モニタ分光器106へ導入され、E95が計測される。波長モニタ106による計測結果は、同期コントローラ108に送られ、同期コントローラ108は、発振段レーザ100と増幅段レーザ200の同期タイミングを調整することにより、E95を制御する。"