"計測用の光を投光する投光部と、投光部からの光に対する計測対象物からの反射光を受光する受光部と、前記受光部の受光状態に基づき前記計測対象物の変位を計測して計測結果を出力する計測処理部とを具備するセンサであって、前記計測処理部は、前記受光部における受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段と、この判別手段により判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別されたときは前記計測結果が出力され、判別手段により判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱していると判別されたときは前記計測結果が出力されないようにする制御手段とを具備する、光学式変位センサ。前記計測処理部は、投光部および受光部の動作期間を決める露光時間、投光部における発光強度、および受光部における受光ゲインのうちの少なくとも1つを、前記受光部により得られた受光量の増減に応じて変更する感度調整手段をさらに備え、前記判別手段は、前記感度調整手段による処理が行われたことに応じて、この処理後の露光時間と発光強度と受光ゲインとを用いた演算によりこれら三者により調整される感度の高低を示す評価値を算出し、この評価値をあらかじめ定められた上限値および下限値と比較することにより、当該評価値が許容範囲に入るか否かを判別する、請求項1に記載された光学式変位センサ。前記計測処理部は、投光部および受光部をならびに調整手段を繰り返し動かして、受光量、露光時間、発光強度、および受光ゲインの各値を安定させる処理と、安定した露光時間と発光強度と受光ゲインとを用いた演算により前記評価値の基準値を算出する処理と、算出された基準値に基づき前記許容範囲を表す上限値および下限値を決定する処理とを、実行する設定手段を、さらに具備する請求項2に記載された光学式変位センサ。前記設定手段は、前記上限値および下限値を決定する処理において、前記演算により求めた基準値に1より大きい所定の係数αを乗算する演算により前記許容範囲の上限値を求めると共に、前記基準値に前記係数αの逆数1/αを乗算する演算により前記許容範囲の下限値を求める、請求項3に記載された光学式変位センサ。前記係数αの値を入力する入力手段をさらに具備する請求項4に記載された光学式変位センサ。前記判別手段は、前記受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値を、前記許容範囲を表す上限値および下限値と比較することにより、当該パラメータの値が許容範囲に入るか否かを判別し、前記上限値および下限値を設定するためのデータを入力する入力手段と、入力されたデータに基づく上限値および下限値を前記判別手段に設定する設定手段とを、さらに具備する請求項1に記載された光学式変位センサ。上記いずれのタイプのセンサでも、計測の精度を確保するには、センサの計測対象エリアからの反射光のみが受光部に導かれるのが望ましいが、センサの使用状態や周囲の環境によって、検出エリア外からの光が受光部に入射し、誤った処理が行われるおそれがある。その例を、以下、図6~図8を参照して説明する。図6は、三角測距の原理を利用した光学式変位センサを利用したアプリケーションの例を示す。このアプリケーションでは、パレット20に搭載され、かつ2列に配列されて下方に移動する板状のワークを所定の高さ位置で検出することを目的とするもので、各列の検出対象位置の側方にそれぞれセンサ1,1が配備されている。各列ともに、厚みが異なる2種類のワークW1,W2がランダムな順序で搬送されるので、側方のセンサ1によって検出対象位置を通過する物体ワークW1,W2およびパレット20の端面とセンサ1との間の距離を計測し、ワークに対応する計測値が得られている間の時間の長さに基づき、ワークW1,W2のいずれが通過したかを判別する。図7および図8は、上記のアプリケーションにおいて生じる誤検出の例を示す。図7の例では、図中の右側の列でワークの欠落が生じ、センサ1から斜め上方向に進行した光が欠落箇所の上方のパレット20、隣の列のワークW2,欠落箇所の下方のワークW1などで反射した後に、これらの反射を経た光迷光がセンサ1に入光している。図7の例では、ワークW1,W2の配列は一列であり、このワークの列を挟んでセンサ1に対向する位置に、鏡面反射性の高い部材鏡体30が置かれている。この例では、ワークW1,W2の配列に欠落が生じ、センサ1から出てワークWの欠落箇所を通過した光が鏡体30の表面で正反射し、その正反射光がセンサ1に入光している。なお、図7,図8の例では、ワークW1,W2の配列に欠落が出た場合を想定しているが、ワークが欠落していない場合でも、検出対象位置にワークが到達していない状態下で同様のノイズ光がセンサに入光する可能性がある。また、周囲で突発的に発生した光がセンサに入射する場合もある。検出の場所が窓に近い場合には、時間帯によっては窓から差し込んだ日光がセンサに入射する可能性もある。これらのノイズ光がセンサ1に入光すると、センサ1からは、計測対象物とは異なる物体に起因する距離データが出力される。この距離データがワークW1,W2までの距離を示すものでない場合には、誤動作が生じるおそれはないが、ノイズ光がワークW1,W2までの距離を示す位置の付近に入射した場合には、ワークW1,W2のいずれかに相当する計測値が出力されて、誤った処理が行われるおそれがある。特許文献2には、図6~8の例に類似するアプリケーションが示されているが、このアプリケーションでは、受光量分布から複数のピークが生じた場合に、それらのピークは多重反射を反映したものであり、ワークの端面は検出されていないと判断する特許文献2の段落0073~0074,図19を参照。。しかし、このような処理では、複数のピークが生じることなく、ワークW1,W2までの距離を示す位置付近にノイズ光が入射した場合には、誤検出が生じてしまう。物体の変位を計測する目的で使用するセンサにおいて上記のようなノイズ光を受光した場合にも、同様に、ノイズ光に対する誤った計測が実施されると、計測精度を確保できない状態になる。本発明は上記の問題に着目し、受光部にノイズ光が入射した場合でも、そのノイズ光による誤った計測が行われることがないようにして、計測の精度を確保することを課題とする。本発明は、計測用の光を投光する投光部と、投光部からの光に対する計測対象物からの反射光を受光する受光部と、受光部の受光状態に基づき計測対象物の変位を計測して計測結果を出力する計測処理部とを具備する光学式センサに適用される。本発明による計測処理部は、受光部における受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段と、この判別手段により判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別されたときは計測結果が出力され、判別手段により判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱していると判別されたときは計測結果が出力されないようにする制御手段とを具備する。この種のセンサにおいては、一般に、計測を開始するに先立ち、計測対象物からの反射光を計測に適した強度で受光できるように感度を調整し、処理中も、適宜、受光量に基づいて感度を調整する。したがって、図6の例のように、規格化された物体ワークW1,W2およびパレット20を検出対象として計測を行う場合に、これらの物体からの反射光を正しく受光する状態が続いている間の受光量に大きな変化が生じるとは考えにくい。一方、図7の例のように、様々な場所を廻ってセンサに入るノイズ光は、ワークW1,W2やパレット20からの反射光より弱い光になると考えられる。また、図8の例のような鏡体300からの正反射光は、ワークW1,W2やパレット20からの反射光よりも強い光になると考えられる。このように、センサの計測エリアからの反射光の強度と計測エリア外からのノイズ光の強度との間には、大きな差が生じる可能性が高い。この点に着目して、本発明では、受光量の変化の度合いを示すパラメータたとえば、一次元に配列された受光素子により得た受光量分布のピークの値の変化量、または受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値が許容範囲に入っているときは計測結果が出力され、上記パラメータの値が許容範囲を逸脱しているときは計測結果が出力されないように制御する。そうすると、ノイズ光が受光部に入射した場合には、その受光量や受光量に基づき調整される感度に大きな変化が生じるので、ノイズ光による計測データが出力されるのを防ぐことができる。上記のセンサでは、たとえば、判別手段によってパラメータの値が許容範囲に入っていると判別されたときに計測を行って、得られた計測データを出力するように構成される。または、投光受光の都度、計測を行うが、判別手段によりパラメータの値が許容範囲を逸脱していると判別されたときに、計測結果の出力を中止するようにしてもよい。上記のセンサの一実施形態では、計測処理部は、投光部および受光部の動作期間を決める露光時間、投光部における発光強度、および受光部における受光ゲインのうちの少なくとも1つを、受光部により得られた受光量の増減に応じて変更する感度調整手段をさらに備える。また、判別手段は、感度調整手段による処理が行われたことに応じて、この処理後の露光時間と発光強度と受光ゲインとを用いた演算によりこれら三者により調整される感度の高低を示す評価値を算出し、算出された評価値をあらかじめ定められた上限値および下限値と比較することにより、当該評価値が許容範囲に入るか否かを判別する。上記の実施形態によれば、露光時間、発光強度、受光ゲインという3種類の感度パラメータのうちの1以上が変更される都度、その変更後の各感度パラメータにより調整される感度の高低を示す評価値が算出され、この評価値が許容範囲に入るか否かの判別が行われる。したがって、たとえば、あらかじめ、検出エリアからの反射光を受光している状態下で調整される感度に対する評価値のばらつきを求め、このばらつきの範囲が許容範囲に含まれるように上限値および下限値を定めれば、ノイズ光の受光に伴い調整された感度の評価値が許容範囲外であると高い確度で判別されるので、誤った計測結果が出力されるのを防ぐことができる。上記の実施形態では、計測処理部に、投光部および受光部ならびに調整手段を繰り返し動かして、受光量、露光時間、発光強度、および受光ゲインの各値を安定させる処理と、安定した露光時間と発光強度と受光ゲインとを用いた演算により上記評価値の基準値を算出する処理と、算出された基準値に基づき許容範囲を表す上限値および下限値を決定する処理とを、実行する設定手段を設けることができる。この設定手段によれば、計測処理に先立ち、計測に適した受光量が得られるように感度を調整した後に、その調整後の感度の評価値を基準にして、許容範囲の上限値および下限値を決めることができる。設定手段の一実施形態では、演算により求めた基準値に1より大きい所定の係数αを乗算する演算により許容範囲の上限値を求めると共に、基準値に係数αの逆数1/αを乗算する演算により許容範囲の下限値を求めることができる。またこの係数αの値を入力する入力手段を設けることにより、誤った処理が行われない状態になるまで許容範囲を調整したり、計測対象物の変更に応じて許容範囲も変更することが可能になる。上記センサの他の実施形態では、判別手段は、受光量の変化の度合いを示すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値を、許容範囲を表す上限値および下限値と比較することにより、当該パラメータの値が許容範囲に入るか否かを判別する。さらに、この実施形態のセンサは、上限値および下限値を設定するためのデータを入力する入力手段と、入力されたデータに基づく上限値および下限値を判別手段に設定する設定手段とを具備する。計測対象物からの反射光を受光している場合に生じる受光量の変動範囲は、対象物の材質、計測のベース面変位が0の面とセンサとの間の距離など、センサの使用環境上の様々な要素に応じて変動し、それに応じて感度調整の状態も変動する。上記の実施形態では、判別手段が使用する許容範囲を決める上限値および下限値を、入力に応じて設定することができるので、センサの利便性や汎用性を高めることができる。本発明によれば、計測対象物からの反射光以外のノイズ光が受光部に入射した場合でも、そのノイズ光に起因する計測結果が出力されるのを防ぐことができるので、計測を安定して行うことが可能になる。図1は、本発明が適用される光学式変位センサの電気構成を示す。この実施例の光学式変位センサ1以下、単に変位センサ1またはセンサ1という。は、発光素子レーザダイオード11を含む投光部101や、一次元の受光素子12この実施例ではCMOSを使用する。を含む受光部102を有する。投光部101には、発光素子11のほか、投光制御回路13が含まれる。受光部102には、撮像素子12のほか、この撮像素子12により生成された画像信号を処理するための信号処理回路14やA/D変換回路15が設けられる。このほか、センサ1には、CPU10,メモリ16,表示部17,操作部18,入出力インターフェース19などが設けられる。投光部101および受光部102は、図2に示すセンサヘッド100に収容され、その他の構成は、アンプ部と呼ばれる補助筐体図示せず。に設けられる。ただし、センサの構成はこれに限らず、たとえば、全ての構成を1つの筐体に配備することも可能である。CPU10は、メモリ16に格納されたプログラムに基づき、計測処理や感度調整に関わる処理を実行する。計測結果は、表示部17に表示されるほか、入出力インターフェース19を介して外部に出力される。操作部18は、検出処理に先立つ種々の設定を行う場合に用いられる。図2は、センサヘッド100の構成および計測処理の原理を模式的に示す。この例のセンサヘッド100は、発光素子11の光軸をワークWの経路Lの検出対象位置に合わせた状態にして配備されるが、上下動するワークを計測対象とする場合には、図6に示したように、ワークの経路の側方にセンサヘッド100を配備して、ワークの端面とセンサヘッド100との距離を計測してもよい。発光素子11から出射されたレーザ光は、投光レンズ111を介して出射された後に検出対象の物体で反射し、受光用レンズ122を介して受光素子12に入射する。よって、受光素子12により生成される一次元の反射光像が示す受光量分布には、反射光の入射位置に対応する箇所にピークが現れる。このピークの位置は、レーザ光を反射した物体の表面の高さに応じて変動する。上記の原理に基づき、CPU10は、投光部101および受光部102を一定の周期で動かしながら、この周期に合わせて、受光部102により生成される受光量分布パターンに現れた最大ピークの重心の座標を計測し、メモリ16に登録されている変換テーブルを用いてこの座標を距離データに変換する。また、計測を安定して実施できるように、投光および受光の都度、受光量の最大ピークの増減に応じて感度を調整する。なお、最大ピークの重心の座標から変換される距離データは、投光部からのレーザ光を当該重心の位置に向けて反射させた物体とセンサヘッド100との距離を表すもので、変換テーブルには、受光素子12の各座標と距離データとの関係が登録されている。ただし、変換の対象は距離に限らず、レーザ光を反射させた物体の高さが導出されるようにしてもよい。上記の計測処理によれば、たとえば計測対象エリアにワークWが入っていない状態と計測対象エリアにワークWが入っている状態とを見分けることができる。また、図2の例のように計測対象のワークWに段差がある場合には、その段部を挟む2つの面の高低を識別することもできる。しかしながら、受光量分布パターンに現れるピークの全てが計測対象エリアからの反射光により生じるとは限らず、周囲で生じたノイズ光の入射によってピークが生じる場合もある。この点に鑑み、この実施例では、受光量パターン中のピークの位置を検出して計測を行う前に、そのピークに基づき調整される感度を示す評価値を求め、この評価値があらかじめ定めた許容範囲に入っている場合には計測処理を行って距離データを出力する。一方、感度の評価値が許容範囲から逸脱している場合には、距離データを出力せずにエラー出力を行うようにしている。ここで、この実施例で実施される感度調整について説明する。この実施例では、露光時間、投光されるレーザ光の強度以下、投光強度という。、受光量信号の増幅率以下、受光ゲインという。の3種類のパラメータを調整することによって、受光量があらかじめ定めた目標値付近の値になるように感度を調整する。また、計測の開始に先立ち、ワークWを計測対象エリアに配置した状態で投光および受光を繰り返し、ワークWからの反射光によるピークの受光量が十分な強度になるように各感度パラメータを調整する。この処理は後記するチューニング処理において実行される。チューニング処理の後、計測処理が開始された後も、毎回の受光量分布中の最大ピークのゆらぎに応じて感度パラメータが調整される。なお、この実施例では、投光部101の投光期間と受光部102の受光期間とを一致させて、これらの期間の長さを露光時間とするが、各期間は必ずしも一致させる必要はない。たとえば投光期間を受光期間より早く開始し、受光期間を投光期間より遅く終了しても良い。その場合には、投光期間が開始されてから受光期間が終了するまでの時間長さが露光時間となる。投光強度の調整に関しては、最大値を1倍として、所定の比率で段階的に投光強度を小さくする。また受光ゲインに関しては、最小のゲインを1倍として、所定の比率で段階的にゲインを上げる。この実施例では、投光ゲインおよび受光ゲインともに、調整用の制御データを倍率で表すようにしている。感度の調整は、原則として露光時間の調整により行われる。具体的には、受光量分布中の最大受光量を指標にして、最大受光量が減少した場合には、その減少の度合いに応じて露光時間を長くし、最大受光量が上昇した場合には、その上昇率に応じて露光時間を短くする。ただし、この露光時間の調整は、投光受光に必要な最小限度の時間から処理の目的等に応じた最大時間までの範囲で行う必要がある。以下、この調整範囲の上限値を最大露光時間と呼び、下限値を最小露光時間と呼ぶ。この実施例では、露光時間を最小露光時間に設定しても最大受光量が飽和する場合には、投光強度や受光ゲインを下げ、露光時間を最大露光時間に設定しても最大受光量が十分な強度にならない場合には、投光強度や受光ゲインを上げる。図3は、感度調整のための3種類のパラメータを導出する場合の具体的な処理の手順を示す。この処理は、次の図4に示す検出処理に組み込まれ、繰り返し実行される。また、この実施例では、現在の処理サイクルで検出した最大受光量Ptとあらかじめ定めた受光量の目標値との比率に基づき感度パラメータを調整し、その調整の結果を、2段階後の検出処理に適用する。以下、露光時間をST,投光強度をD,受光ゲインをGとして、フローチャートを参照しながら説明する。なお、各感度パラメータに関しては、現在の処理サイクルで適用された値前々回の処理サイクルで求めた値をSTt,Dt,Gtとし、2段階後の処理サイクルに適用される値をSTt2,Dt2,Gt2とする。まずステップS101において、CPU10は、受光量の目標値P0を現時点での最大受光量Ptにより除算した値P0/Ptを、現在の処理サイクルに適用された露光時間STtに掛ける演算によって、2サイクル先の露光時間STt2を算出する。次に、CPU10は、上記の演算により求めた露光時間STt2を前出の最小露光時間および最大露光時間と比較する。STt2が最小露光時間から最大露光時間までの範囲に入る場合ステップS102,S103がともにNOには、このSTt2の値を確定すると共に、2サイクル先の投光強度Dt2および受光ゲインGt2にそれぞれDt,GtをセットするステップS108。すなわち、露光時間はピーク受光量Ptの増減の割合に応じて調整されるが、投光強度や受光ゲインの値は2サイクル前と同じ値に設定される。一方、露光時間STt2が最小露光時間より小さい場合ステップS102がYESには、CPU10は、STt2の値を最小露光時間に変更するステップS104。また、投光強度Dt2や受光ゲインGt2を、変更前のSTt2の最小露光時間に対する逸脱の度合いに応じて、現在値より低い倍率に設定するステップS105。露光時間STt2が最大露光時間より大きい場合ステップS102がNOでステップS103がYESには、CPU10は、STt2の値を最大露光時間に変更するステップS106。また、投光強度Dt2や受光ゲインGt2を、変更前のSTt2の最大露光時間に対する逸脱の度合いに応じて、現在値より高い倍率に設定するステップS107。上記の処理によれば、最大受光量Ptが大幅に上昇した場合には、露光時間STt2が最小露光時間まで短縮されると共に、投光強度や受光ゲインが引き下げられる。一方、最大受光量Ptが大幅に低下した場合には、露光時間STt2が最大露光時間まで引き上げられると共に、投光強度や受光ゲインも引き上げられる。いずれの場合にも、2サイクル後に再びPtと同じ強度の光を受光した場合には、その受光量が目標値P0になるように感度が調整される。最大受光量Ptの上昇幅または減少幅が大きくなるほど、投光強度や受光ゲインの倍率の変動幅も大きくなる。つぎに図4を参照して、1サイクル分の計測処理の手順を説明する。ステップS1で、CPU10は、本サイクルに適用される感度パラメータSTt,Dt,Gtをメモリ16から読み出し、これらのパラメータにより調整された感度の下で投光部101および受光部102を動作させるステップS1,S2。つぎに、CPU10は、受光素子12により生成された反射光像を入力し、この反射光像が示す受光量分布の中から、あらかじめ定めた値以上の振幅ごく小さな振幅とする。を持つピークを検出するステップS3。ピークが検出されるとステップS4がYES、検出されたピークのうちの最大のピークを対象として、そのピーク部分の最大受光量Ptを取得するステップS5。ステップS6は、先の図3に示した処理ステップS101~S108をまとめたものである。この処理により、ステップS5で取得した最大受光量Ptおよび受光量の目標値P0の比率などに基づき、2サイクル先の各感度パラメータSTt2,Dt2,Gt2が導出される。ステップS7では、上記の処理により求めた各感度パラメータSTt2,Dt2,Gt2を掛け合わせる演算により、これらの感度パラメータにより調整される感度の高低を表す評価値Rを算出する。ステップS8ではこの評価値Rをあらかじめ定めた下限値RAおよび上限値RBと比較する。評価値Rが下限値RAから上限値RBまでの範囲に含まれる場合ステップS8がYESには、CPU10は、最大受光量Ptの出現位置を含む最大ピークの重心の座標gtを算出するステップS9。さらに、先に述べた変換テーブルを用いて座標gtを距離データに換算しステップS10、この距離データを出力するステップS11。一方、上記の評価値Rが下限値RAより小さいか、評価値Rが上限値RBより大きい場合ステップS8がNOには、ステップS9,S10,S11を行うことなく、エラー出力ステップS12を実行する。また何らかの原因で投光部101からの光に対する反射光を受光できなかった場合には、ステップS3の処理でピークが検出されないため、ステップS4の判定がNOとなり、同様にステップS12に進んでエラー出力を実行する。この実施例では、ワークWを安定して計測するために、事前にワークWからの反射光による受光量のピークが最適な強度になるように感度パラメータを調整してから図4の処理を開始する。よって、ステップS3やS5の処理により抽出された受光量の最大ピークが、計測対象エリア内の物体ワークWまたはその支持面からの反射光により生成されている場合は、その反射を生じさせる物体の種類が替わった直後を除き、最大受光量Ptに大きな変化が生じることはない。また反射を生じさせる物体が替わった直後の変動の幅も比較的小さな範囲に留めることができる。したがって、計測対象エリアからの光により受光量の最大ピークが形成されている場合には、殆どの場合は露光時間STの調整のみで対応でき、投光強度や受光ゲインの調整が必要になった場合でも、小幅の調整で対応することができる。しかし、ワークWからの反射光が入光せずに、ノイズ光が入光した場合には、最大ピークに大きな変化が生じる可能性が高くなる。たとえば、先に述べた図7の例のように、センサ1の主要な光路から離れて進行した弱い光が複数の場所で反射してセンサ1に戻る場合には、そのノイズ光によるピークの受光量Ptはかなり低くなり、目標値P0とPtの比率により算出された露光時間STt2は最大露光時間を大幅に上回る状態となる。このため、露光時間STt2は最大露光時間に変更され、投光強度Dや受光ゲインGが大幅に高められる。よって、各感度パラメータの積算値による評価値Rも大きな値になる。また図8の例のように、強度の高い正反射光が入光すると、最大ピークが飽和する可能性があるから、その飽和レベルをPtとして導出される露光時間STt2は、最小露光時間を大幅に下回る状態となる。このため、露光時間STt2は最小露光時間に変更され、投光強度Dや受光ゲインGが大幅に引き下げられる。よって評価値Rも小さな値になる。評価値Rの許容範囲については、たとえば、計測対象エリアからの反射光により受光量の最大ピークが形成されている状態下で生じる各感度パラメータのばらつきに基づいて評価値Rのばらつきの範囲を求め、この範囲が許容範囲に含まれるように上記の下限値RAおよび上限値RBを定めてメモリ16に登録すればよい。登録された下限値RAおよび上限値RBを用いて図4に示した計測処理を実行すれば、ノイズ光による受光量が最大受光量Ptとして検出され、それに基づき調整された感度パラメータが大きな変化を示したとしても、ステップS8の判定がNOとなるため、ノイズ光による誤った距離データが算出されて出力されるおそれがない。よって、精度の良い計測処理を安定して実施することが可能になる。上記のとおり、この実施例では、投光および受光を繰り返しながら、毎回のサイクルにおける最大受光量と目標値との比率に基づいて2サイクル先の感度パラメータを導出すると共に、導出された感度パラメータの適否を判別するための評価値を求め、この評価値が許容範囲に入るか否かを判別した。ただし、2サイクル先の感度パラメータを導出したのは、検出処理のサイクルが比較的短い場合でも、感度の調整を安定して実行するための措置であり、CPU10の演算速度が対応できるのであれば、次のサイクルの感度パラメータを導出し、それらの感度パラメータによる評価値Rが許容範囲に入るか否かを判別してもよい。また図4に示した処理では、露光時間の変化の度合いが下限値RAおよび上限値RBが示す許容範囲から逸脱した場合には、計測処理が実施されないようにしているが、これに限らず、計測処理を常に実行し、評価値Rが許容範囲から逸脱した場合に計測データの出力を中止するようにしてもよい。また、計測の精度を高めるために、1回の投光および受光により計測された距離データではなく、現時点から遡る複数のサイクルで求めた距離データの平均値を求める演算移動平均演算を行い、この平均値を計測結果として出力してもよい。この場合にも、投光および受光の都度、感度の調整および評価値Rの算出を行い、評価値Rが許容範囲を逸脱した場合には、移動平均演算を中止、または平均値の出力を中止するのが望ましい。また評価値Rが許容範囲を逸脱した後に許容範囲以内の値に復帰した場合には、移動平均演算や出力を再開しても良いが、評価値Rが許容範囲を逸脱していた間の距離データは、移動平均演算の対象から除外するのが望ましい。つぎに、この実施例のセンサ1には、計測処理に先立ち、投光および受光を繰り返しながら計測に必要な条件を決定する機能が設けられる。この機能による処理が先に述べたチューニング処理である。チューニング処理には、受光量の最大ピークが前出の目標値P0付近で安定するように感度を調整する処理が含まれる。したがって、ワークWのモデルを計測対象エリアに配置した状態でチューニング処理を行うことにより、ワークWからの反射光による受光量のピーク値を目標値P0付近の値にすることができる。また、この実施例のセンサ1には、応答時間が異なる複数種の計測モードが設けられており、これらの計測モード毎に、デフォルトの計測条件が登録されている。なお、応答時間とは、ある時点における投光受光に対しCPU10が計測結果を出力するまでにかかる時間の長さであり、投光および受光を行う周期以下、測定周期という。、最大露光時間、前出の移動平均演算の回数などにより変動する。上記のチューニング処理で設定される感度パラメータも、計測モードによって異なるものになる。さらに、この実施例では、チューニング処理により感度を調整した後に、その調整結果に基づいて評価値Rの下限値RAおよび上限値RBを求め、登録することができる。図5は、このチューニング処理から下限値RAおよび上限値RBを登録する処理までをまとめたフローチャートである。以下、この図5を参照して各処理の流れを説明する。チューニング処理を行うに先立ち、ユーザは、いずれかの計測モードを選択する操作を行うと共に、検出対象位置にワークWを配置し、操作部18によりチューニング処理の開始を指示する。これにより、図5に示す処理が開始される。この処理の最初のステップS21では、まず選択された計測モードに対応するデフォルトの計測条件を読み出す。この計測条件には、測定周期、最小露光時間、最大露光時間、投光強度および受光ゲインのそれぞれの最大倍率選択された計測モードにおいて調整が認められる最大の倍率が含まれる。ステップS21では、上記デフォルトの計測条件の範囲内で露光時間ST,投光強度D,受光ゲインGを初期設定する。たとえば、露光時間STにデフォルトの最小露光時間を設定し、投光強度Dおよび受光ゲインGを1倍に設定する。この後は、最大受光量が目標値P0付近で安定すると共に、各感度パラメータST,D,Gがほぼ一定の値で安定する状態になるまで、投光受光処理と感度調整処理図3のステップS101~S108と同様の処理とを繰り返すステップS21~S25。最大受光量および各感度パラメータが安定するとステップS23,S24がYES、ステップS26に進み、安定した露光時間STをST0、安定した投光強度DをD0、安定した受光ゲインGをG0とし、これらの値に基づき計測条件を決定する。ここで決定される計測条件にも、測定周期、最小露光時間、最大露光時間、投光強度および受光ゲインの最大倍率が含まれる。さらに、前述した移動平均演算のデータ数1以上の整数も計測条件に加えられる。なお、この実施例のセンサ1のメモリ16には、計測モード毎に、経験的に導出された計測条件を露光時間の値により読み出せるように設定された計測条件テーブルが登録されている。ステップS26では、安定した露光時間ST0によりこの計測条件テーブルを参照してST0にあてはまる計測条件を読み出し、これを計測のために登録する。計測条件テーブルに登録されている計測条件は、いずれも、対応する計測モードのデフォルトの露光時間の許容範囲を逸脱しないように最小露光時間および最大露光時間が定められている。測定周期や投光強度もデフォルト値以下の値になるように設定される。一方、受光ゲインはデフォルト値を上回る場合もある。さらに、対応する計測モード内の応答時間や最大露光時間を満足する範囲で移動平均演算のデータ数1以上の整数が求められ、これも計測条件に加えられる。ステップS26により計測条件が決定すると、つぎのステップS27では、安定した露光時間ST0,投光強度D0,受光ゲインG0を乗算する演算により、感度パラメータの評価値Rの基準値R0を算出する。この基準値R0は、好ましい感度を示すものとなる。ステップS28では、上記の基準値R0に所定の係数αα>0を乗算する演算により、評価値Rの上限値RBを算出する。また、基準値R0にαの逆数1/αを乗算する演算により、評価値Rの下限値RAを算出する。そして、ステップS29において、RAおよびRBをメモリ16に登録し、これをもって処理を終了する。上記のチューニング処理後に選択された計測モードに移行すると、先の図4に示した手順による計測処理が開始される。チューニング処理により求められた下限値RAおよび上限値RBは、毎回の感度調整の評価値Rを判定する処理ステップS8に用いられる。図5の処理によれば、ワークWからの反射光を受光している状態下での感度調整が終了したときの感度パラメータST0,D0,G0による評価値Rを基準値R0として、この基準値R0より十分に大きい値を上限値RBとし、基準値R0より十分に小さな値を下限値RAとして、それぞれ登録することができる。よって、ワークWからの反射光による受光量との差が極端に大きい受光量は下限値RAおよび上限値RBによる許容範囲から外れるようになる。RA,RBの導出に用いられるαの値は、必要に応じて変更することができる。たとえば、デフォルトのαの値によりRAおよびRBを求めた後に、試験的な計測を行い、誤動作が生じた場合には、αの値を変更してRAおよびRBを再度算出し、再び試験的な計測を実行する。これを繰り返すことによりノイズ光による誤計測が生じない状態になったとき、RAおよびRBの値を確定することができる。ただし、αやR0を用いることなく、チューニング処理後に、RAおよびRBの値を変更しながら試験的な計測を行う方法によって、RAおよびRBの値を確定してもよい。αまたはRAおよびRBの値を変更しながら試験的な計測を行う場合には、変更する対象の数値を操作部18により入力することができる。または、図1に示した入出力インターフェース19を介してパーソナルコンピュータなどの外部機器を接続し、この外部機器から変更対象の数値を入力してもよい。この場合には、検出テスト中のセンサの検出信号を外部機器に入力して、検出エラーの有無を確認しながら、入力値を変更することも可能である。また、移動するワークWを計測する場合には、通常の計測と同じ条件でワークWを移動させて感度調整を行いながら評価値Rを算出し、評価値Rのばらつき度合いに基づいてRAおよびRBの値を決めてもよい。このようにすれば、ワークWの支持面からの光の入射に伴う感度の変化も考慮してRAおよびRBの値を決めることができる。また、ワークWに段差や反射率が異なる箇所がある場合には、1つのワークWが検出対象位置を通過する間の受光量のばらつきを考慮してRAおよびRBの値を決めることができる。複数種のワークを検出対象とする場合には、ワークの種毎に、RAおよびRBの値を求め、各値の組み合わせをワークの識別情報に紐付けてメモリ15に登録しておくとよい。このようにすれば、計測対象のワークが変更される場合には、ユーザは、該当するワークの識別情報を選択することにより、対象のワークの計測に適した状態を設定することができる。上記の実施例では、3種類の感度パラメータによる感度の高低を評価値Rというパラメータに置き換えて表し、この評価値Rが許容範囲に入るか否かをワークWの計測結果を出力するか否かの判定条件としたが、評価値Rに代えて、毎回の最大受光量の変化の度合いを求め、この変化の度合いが許容範囲に入るか否かを判別してもよい。なお、最大受光量の変化の度合いを示すパラメータとして、たとえば、1サイクル前または2サイクル前の最大受光量に対する最新の最大受光量の比率や、目標値に対する最大受光量の比率を求めることができる。また、このように受光量の変化の度合いによる判別を行う場合には、撮像素子12とは別の受光素子を設け、この受光素子により計測された受光量を用いた判別処理を行ってもよい。評価値Rや受光量の変化の度合いを判別しながらワークWの有無を検出する機能は、必ずしも常時有効にする必要はない。たとえば、操作部18により当該機能の有効と無効とを切り替える操作を受け付けて、無効にする操作が行われた場合には、図4のステップS7,S8を実行することなく、常にステップS9,S10,S11が実行されるようにしてもよい。この切り替えも、操作部18による操作に応じて行うものに限らず、外部機器からの切替信号の入力に応じて行ってもよい。また、通常は、上記の機能を無効にしておき、エラーの発生回数が許容値を超えたことなど、あらかじめ定めた条件が成立した場合に、上記機能を有効にしてもよい。また、時間帯によってノイズ光が入射する可能性がある場合窓から差し込む日光などには、内部のタイマに基づき、一定時間毎に、または定められた時刻になったときに、上記の機能を有効にし、さらに所定時間が経過したら、再び、機能を無効にしてもよい。また、上記実施例のセンサ1は、三角測距の原理を応用したものであるが、センサの種類はこれに限らず、その他の方式により変位を計測するセンサにおいても、演算処理に使用される受光量の変化の度合い、または受光量の変化に応じて調整される感度パラメータの変化の度合いが許容範囲に入るかどうかを判別し、許容範囲に入ると判断された場合に演算を実行することにより、ノイズ光の影響を受けることなく、検出対象物を精度良く検出することが可能になる。"