"力駆動バルブ要素、流体入口、および流体出口を囲むように構成された第1の室部と、上記第1の室部を囲むように構成されて基準圧力口と連通する第2の室部と、上記第2の室部およびフィードバック口を囲むように構成された第3の室部とを有し、上記力駆動バルブ要素は上記第1の室部の外に延びない圧力安定化器組立体。上記第3の室部の内部の圧力は、閾値圧力より大きいときに、上記第2の室部に加わり上記第2の室部をゆがめる力を生じさせ、この力により上記第1の室部がゆがめられる請求項1記載の圧力安定化器組立体。上記第1の室部のゆがみ、および、上記力駆動バルブ要素の閉止状態へ、または閉止状態からの移動が比例する請求項1または2記載の圧力安定化器組立体。上記第1の室部が十分にゆがむと、上記力駆動バルブ要素が閉じて上記流体入口から上記流体出口への流体の流れが妨げられるようになっている請求項1~3のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記室部の上記十分なゆがみは、閾値歪みをこえる歪みを含む請求項4に記載の圧力安定化器組立体。上記流体入口および上記流体出口は同一平面にある請求項1~5のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記流体入口、上記流体出口、上記基準圧力口、および、上記フィードバック入口は同一平面にある請求項1~6のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記第1、第2または第3の室部の任意の1つに存在する機構要素が、任意の他の室部に入り込まない請求項1~7のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記フィードバック入口からの流体の流れから形成された十分な圧力が、つぎに、上記力駆動バルブ要素を開位置から閉位置に移動させる請求項1~8のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。マルチポート流体マニホールドに固着された請求項1~9のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記室部のうちの任意の2つの間の流体の流れが上記流体マニホールド内の経路を通じて実現される請求項10に記載の圧力安定化器組立体。上記第1の室部の頂部と直交し、上記第1の室部の頂部へ向かう力ベクトルを含む印加外部力が、上記力駆動バルブ要素を閉位置へ移動させるように、上記第1、第2、および第3の室部が構成される請求項1~11のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。力拘束要素をさらに有し、上記力拘束要素は上記第2の室部の歪みに抗する力を加える請求項1~12のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記力拘束要素は、金属コイルバネ、ベルビルワッシャー、圧縮発砲体、エラスチック発砲体、またはエラストメリック発砲体を有する請求項13記載の圧力安定化器組立体。上記第2の室部は少なくとも1つの上記力拘束要素を囲むように構成される請求項13または14のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記第2の室部の壁の少なくとも部分が上記力拘束要素を有する請求項13~15のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。複合要素をさらに有し、上記複合要素は上記第1の室部および上記力抑制要素を有する請求項13~16のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記力抑制要素を有する、上記複合要素の一側面はベルビルワッシャを有する請求項17に記載の圧力安定化器組立体。上記複合要素は上記第2の室部の壁の少なくとも部分をさらに有する請求項17または18のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。上記第1の室部、上記第2の室部、上記第3の室部、または上記力駆動バルブ要素の少なくとも1つが、ポリエステル、ポリエステルグリコール、ポリカーボネート、ポリオレフィン、ナイロン、アクリル、ポリビニルクロライド、または金属を含む請求項1~19のいずれかに記載の圧力安定化器組立体。請求項1~20のいずれかに記載の圧力安定化器組立体として少なくとも第1および第2の圧力安定化器組立体を有するシステムにおいて、上記第1および第2の圧力安定化器組立体が直列に配列されて出力圧力に対する入力圧力の衝撃を減少させることを特徴とするシステム。請求項1~21のいずれかの圧力安定化組立体を有する、燃料電池用の燃料供給システム。圧力安定化器組立体の製造方法において、平面流体マニホールドを形成または供給するステップと、寸法の異なる複数の室部を形成するステップと、上記複数の室部を上記平面マニホールドの表面に入れ子状態で積み重ねるステップと、上記室部の一部を上記平面マニホールドの上記表面に結合させて請求項1~22のいずれかに記載の圧力安定化器組立体を実現するステップとを有する製造方法。圧力安定化器組立体の製造方法において、流体入口、流体出口、基準圧力口、およびフィードバック入口を具備する平面流体マニホールドを形成まあは供給するステップと、第1の室部、第2の室部、および第3の室部を形成または供給するステップと、上記第1の室部を上記マニホールド上に配置して上記第1の室部が力駆動バルブ要素、上記流体入口、および上記流体出口を囲むようにするステップと、上記第2の室部を上記マニホールドに積み重ねて上記第2の室部が上記第1の室部を囲み、かつ上記基準圧力口と連通するようにするステップと、上記第3の室部を上記マニホールドに積み重ね、上記第3の室部が上記第2の室部および上記フィードバック入口を囲むようにするステップと、上記の室部の一部を上記平面マニホールドの上記表面に結合させるステップとを有する製造方法。上記第1の室部の材料特性が上記第2の室部または上記第3の室部の材料特性と異なる請求項23または24のいずれかに記載の製造方法。上記複数の室部を形成するステップは少なくとも部分的に熱成形プロセスを含む請求項23~25のいずれかに記載の製造方法。力駆動バルブ要素、流体入口、および流体出口を囲むように構成された第1の室部と、上記第1の室部を囲むように構成されて基準圧力口と連通する第2の室部と、上記第2の室部およびフィードバック口を子込むように構成された第3の室部と、力拘束要素であって、上記第2の室部の歪みに抗する力を加えるものと、複合要素であって、上記第1の室部および上記力抑制要素を有するものとを有し、上記力駆動バルブ要素は上記第1の室部の外に延びない圧力安定化器組立体。[定義]ここで使用されるように、流体は、気体状水素、任意の炭化水素、例えば、ブタンまたはプロパン、アルコール、例えば、メタノール、蟻酸、または他の液体、例えば、水、水溶液のような、液体、または、気体を指し、任意の有機溶媒を含んでよい。任意の流体はオプションとしてその中に溶解した溶質を含んでよい。いくつかの実施例において、流体は任意の燃料改質プロセスからのリフォーメートを含んでよい。例えば、流体は化石燃料改質プロセスにより発生させられた水素ガス、例えば、天然ガスの改質により発生させられた水素ガスを含んでよい。他の例において、流体は、メタノール、プロパン、ブタン、または蟻酸の改質により発生させられた水素ガスを含んでよい。例において、リフォーメートはめったには純粋なガスではなく、むしろ、特定のガス、例えば、水素を豊富に含み、ある程度、他のガス、例えばCO2およびCOを含む。ここで使用されるように、ベルビルワッシャーBellevillewasherは、当業者により知られている任意の適切なベルビルワッシャーを指し、代替的には、円錐ディスクバネ、円錐バネワッシャー、ディスクバネ、ベルビルバネ、またはカップバネワッシャーを指す。このバネはフラストコニカル形状円錐台、例えば、垂直方向に向いた円錐を任意の厚さで水平にスライスしたものであり、ワッシャーにバネ特性を付与する。ここで使用されるように、マニホールドは流体を直接に搬送できるパイプまたはチャネルの任意の組立体である。例えば、マニホールドは、流体マニホールドおよびその方法という名称の米国特許第12/053,366号代理人ドケット番号2269.060US1に開示されている任意のマニホールドを含んでよい。[説明]従来の圧力安定化器組立体10が図1に示される。この圧力安定化器組立体10は、高圧入口領域12および低圧入口領域14を含む。2つの領域12、14は分離されているけれども、稼働ポペット16で満たされた開口13を介して繋がっており、ポペット16はこれら領域の間の境界を横切り、バルブを形成する。ポペット16は、低圧力領域14の柔軟な隔膜壁15と接触する。動作においては、低圧力領域14の圧力が低いときには、隔膜壁15の外側に加わる力がポペット16を比較的下方の方向に押して、バルブを開にする。高い圧力の流体が高圧力領域12から低圧力領域14へと流るときに、低圧力領域の圧力が増大し、反対の力を隔膜壁15に内側から加える。圧力が増大し続けるときに、外側および内側の力が平衡する点が到達すると、ポペット16はもはや押し下げられず、バルブがシールされ、さらに高圧力領域12から低圧力領域14へと流れ込むことが阻止される。ポペット16に関連するバネ要素の剛性と、隔膜壁15の寸法を注意深く選択することにより、外部および内部の力が平衡するポイントが選択されて所望のとおり操作される。この圧力安定化器組立体10において、ポペット16がバルブおよびシール要素を形成し、そのため、堅固の程度および組み込まれたきついシーリング要素を必要とする。図2は、他の従来の圧力安定化器組立体20を示す。この圧力安定化器組立体20は、エッチングされた、または他のマイクロ製造技術で製造された層を用いて製造されてよい。図1に示される圧力安定化器組立体10と同様に、組立体20はポペット26を含み、これが隔膜25に結合され、高圧力領域22および低圧力領域24の間の平面を交差する。本発明者は、高圧力領域と低圧力領域との間を延びるポペットまたはポペット類似の機構を採用する圧力安定化器組立体10、20を構築するには、ポペット形成および安定化器のシール構造の双方で極めて良好な精度を必要とし、このため、安定化器組立体の設計およびその製造方法に制約があることを見出した。図3~8は種々の圧力安定化器組立体を示し、これらは、図1および図2の組立体と異なり、全体寸法が小さく、薄みであり、大規模に、かつ比較的低コストで、繰り返し製造でき、またポペットバルブ、ピボット、往復動部材、またはゴムや金属製の隔膜の使用を回避できる。例えば、図3~8の圧力安定化器組立体は、許容誤差が厳しい部品をモールドまたは成形部品に限定することができるので、廉価で組立てることができる。この結果、製造時の、組立体整合許容誤差は、他の圧力安定化器組立体、例えば、図1および図2の組立体に比較して減殺される。これらの圧力安定化器組立体は小さな、またはマイクロ流体用途、例えば、燃料電池システムに実用性を見出せる。組立体により安定化される流体はここで定義されるような任意の流体であってよい。本圧力安定化器組立体は種々のオプションを含んでよい。いくつかの例において、組立体は廉価な製造プロセスを用いてモールドまたは成形される部品を含んでよい。いくつかの例において、ポリマー材料を用いて組立体を形成してよい。いくつかの例において、金属材料を用いて組立体を形成してよい。単一のシール部品を用いてよく、圧力安定化器組立体設計を、このシール部品の寸法に比較的拘泥することなく構成できる。種々の例において、圧力安定化器組立体の部品は、高圧力および低圧力領域の境界を通じて挿入されない。したがって、これら安定化器組立体は、同心円または他の配列の部品を積み上げ、結合して高圧力、低圧力、および基準圧力の室部を形成できる。各室部は共通の分散プレナムを通じて流体を連通させてよい。流体のきついシールは1つのプレナム中に形成されてよい。図3は、少なくとも1つの実施例に従って構築された圧力安定化器組立体100の模式的な断面図を示す。圧力安定化器組立体100は平面流体分散マニホールド110の表面上に形成されてよい。動作において、実働の圧力安定化器は所与の高圧力の入力および安定化されたより低圧力の出力を具備する。図3は、安定化器組立体100の入口および出口を記述する管およびポートを示す。具体的には、流体マニホールド110は、流体入口140に連結する流体入口管120と、流体出口150および出力流体フィードバック口160に連結する流体出口管130とを含んでよい。これら管および口ポートは流体分散マニホールド110中に構築でき、これは完成された圧力安定化器組立体100の一部として含まれても、含まれなくてもよい。圧力安定化器組立体100は複数の入れ子状の室部、例えば3つの入れ子状の室部第1の室部180、第2の室部190、および第3の室部200を含んでよく、これらは流体分散マニホールド110の表面に配列される。流体分散マニホールド110は、1のプレナムまたは領域から他方へ種々の圧力の流体を搬送するための複数の経路を含んでよい。組立体100中の室部の入口および出口はすべて流体分散喪にホールド中において同一平面であってよい。図示の例において、第1の室部180の周囲は流体分散マニホールド110の頂部または上側の表面に結合されてよく、流体入口140および流体出口150を囲んでよい。結合は第1の室部180の周囲のまわりのシールを形成してよい。力駆動バルブ要素260が第1の室部180の内部に配置保持されてよく、これは第1の室部180の比較的頂部の表面210に付着しても、第1の室部180の底に付着してもよいけれども、頂部表面210内に埋め込まれた機構、例えば、第1の室部の頂部内に埋め込まれたシール要素保持機構310によりその場に保持される。力駆動バルブ要素260をその場に保持する代替的な方法も採用でき、これは例えばバルブ要素を保持するために流体分散マニホールド110中に埋め込まれた機構を採用してよい。第1の室部180は、柔軟性のある室部壁240を含んでよく、これにより、十分な力が頂部表面210の頂部に加わったときに第1の室部の壁240が崩れ、または、歪むように構成され、この結果、力駆動バルブ要素260が圧縮されて流体入口140をシールする。この結果、流体入口140から流体出口150への流体の流れを阻止できる。第1の室部の壁240が崩れ、または、ゆがむときに、頂部表面210も歪んでよい。代替的には、十分な力が頂部表面210の頂部に加わったときに、頂部表面210のみが歪む。この発明の実施例においては、十分な力が頂部表面210の頂部に加わったときに、壁240および頂部表面210に任意の組み合わせで、任意の割合で、歪んで、力駆動バルブ要素260が圧縮されて流体入口140をシールするようになして良い。第2の室部190は、第1の室部180の上で入れ子状に配置されて、完全に第1の室部180を包囲して良い。第2の室部190の周囲は流体分散マニホールド110の上側表面の頂部に結合されて流体のきついシールを形成して良い。第2の室部190は堅固な頂部表面220と柔軟性のある壁部250を含んで良い。第2の室部190は、1または複数の力抑制要素例えば、バネまたは力抑制要素270を含んでもよく、これらは、流体分散マニホールド110の頂部表面および第2の室部の頂部表面220の間で動作してこれら2つを充分に分離するように押す。第2の室部190はさらに基準圧力口170を囲んで良い。基準圧力口170は、入口圧力でも出口圧力でもない基準圧力と連結できる。いくつかの実施例において、基準圧力口170は雰囲気圧力へと開放されている。第2の室部190の頂部表面220に外部から充分な力が加わるときに、柔軟性のある第2の室部の壁が崩れ、または歪むように構成されて良く、これにより、1または複数の力抑制要素270が、例えば、頂部220が第1の室部の頂部表面210に接触するまで、圧縮される。力が充分な大きさのものであれば、力は、第2の室部190の頂部表面220を通じて第1の室部180の頂部表面210に伝達され、これにより、第1の室部180が歪んで力駆動バルブ要素260を閉位置へと押す。第3の室部200は第2の室部190を完全に囲んで良く、その周囲は流体分散マニホールド110の頂部または上側表面に結合されえ流体のきついシールを形成して良い。第3の室部200は出力流体フィードバック口160をも囲んで良い。いくつかの例において、第3の室部の壁部230または第3の室部の任意の他の部分が実質的な堅固さで構築されて不必要な力伝達を行わないように構成してよい。動作においては、高圧力の流体が流体入力管120に入ることができ、入力流体口140を介して第1の室部180に搬送される。流体の圧力の下で、第1の室部180は伸長して例えば、ゆがみ、力駆動バルブ要素260が、流体の入力流体口140から出力流体口150への経路を阻止しない。このため、流体は自由に入力流体口140から出力流体口150へ流れ、出力流体管130に至る。出力流体管130において圧力が増大すると、流体は実質的に出力フィードバック口160を通じて第3の室部200へと流れる。第3の室部200の圧力が増大していくと、力が第2の室部190の頂部表面220に加わる。この力は、第2の室部190に囲まれている1または複数のバネすなわち力抑制部材270に抗して作用し、実際に、第2の室部190を流体マニホールド110の方向に歪ませる。この歪みが充分に大きくなり、第2の室部190の頂部表面220が第1の室部180の頂部表面210と接触すると、力駆動バルブ要素260が圧縮されてシールを形成し、組立体100を通じた流体の流れを停止させる。流体が出力流体管130から取り除かれると、第3の室部200の圧力は減少させられ、ある時点で、第1の室部190中のバネまたは力抑制要素270の抑制力が第2の室部190を拡張させ、この後、第1の室部180が拡張可能になり、これにより、圧縮の動作が繰り返される。所定の流体の流れ速度に対して、平衡が確立され、ここでは、第3の室部200の圧力が比較的一定になり、力駆動バルブ260がほぼ同一位置に止まり、出力圧力が比較的一定になる。ガスまたは他の液体の流れが変化すると、安定化器組立体100は自動的に調整して新たな平衡状態を確立する。バルブ260は異なる状態で動作してよい。バルブ260は閉じてよく、この場合、バルブ260のシール用周囲によって包囲された第1の室部180の頂部210の領域に加わる力と、バルブ260のシール用周囲によって包囲されていない第1の室部180の頂部210の領域に加わる力とは必ずしも同じではない。バルブ260は開であってよく、この場合、バルブ260のシール用周囲によって包囲された第1の室部180の頂部210の領域に加わる力と、バルブ260のシール用周囲によって包囲されていない第1の室部180の頂部210の領域に加わる力とは、大体、同じである。開および閉の状態の間で、バルブが実際上無限の数の部分的に開な状態であってよく、この場合、バルブ260のシール用周囲によって包囲された第1の室部180の頂部210の領域に加わる力と、バルブ260のシール用周囲によって包囲されていない第1の室部180の頂部210の領域に加わる力とは必ずしも同じではない。ここで、バルブ260のシール用周囲によって包囲された領域はこれが閉止シール状態のときにバルブ260の周囲内に包囲される領域を指す。圧力安定化器組立体100により取得される、所定の入力圧力に対する出力圧力は、出力および入力圧力の差分に関係する。制御された出力圧力は入力圧力が増大するときに増大する。いくつかの実施例において、所定の入力圧力とこれに対応する出力圧力の差分はほぼゼロであるか、または出力圧力が入力圧力より大きい例えば、入力圧力が減少し、または他の圧力源が出力圧力を増大させる。バネすなわち力抑制要素の力と、基準圧力からの力とが、組合わさって、第2の室部190の頂部表面220に加わる出力フィードバック圧力と、入力圧力および第1の室部180の頂部表面210の種々の部分に加わる第1の室部180内の圧力と相互作用して、バルブが閉状態か、部分的に開か、完全に開状態かを決定する。第2の室部190の頂部表面210の面積、バネ定数、バルブ260のシール用周囲によって包囲された第1の室部180の頂部210の面積、および、バルブ260のシール用周囲によって包囲されていない第1の室部180の頂部210の面積を調整することにより、具体的な流速および具体的な入力圧力に対して、出力および入力圧力の所望の差分を生成する、この発明の実施例を製造できる。当業者は、これら2つの室部の頂部の相対的な寸法選定やバネ定数の詳細は幾何学的な相互作用を用いて決定できることを容易に理解できる。例えば、第1の室部180の頂部表面210の面積は第2の室部190の頂部表面220の面積より小さくされてよい。一例において、バルブ260のシール用周囲によって包囲されていない第1の室部180の頂部210の面積は、バルブ260のシール用周囲によって包囲された第1の室部180の頂部210の面積に較べて小さくて良い。以下の図8の説明において、この発明の実施例内の力の相互作用について検討が加えられる。圧力安定化器組立体100はピボット動作の部品または往復動表面を必要とせず、また、明瞭な隔膜型のシールも必要でない。その代わりに、1または複数の室部が充分な外部からの印加力の下で崩れにように構成された柔軟性のある壁を含んでよい。組立体100において、ポペットを伴わず、また、組立体100のどの部分も、任意の2つの室部の間の境界を通り抜けて挿入される必要がない。バルブ要素260は第1の室部の外に伸びない。この圧力安定化器組立体100内に使用されるバルブ要素260は主に平坦であってよく、バルブを駆動するために加わる力は、安定化器組立体100の頂部または底部と直交しバルブシートと反対の力成分を有する。この相対的な位置決めはバルブ配列の設計を単純化し、これは、例えば、流体入口140を通じる突起が必要とされないからである。ポペットおよび対応するバルブシートを小さなスケールで製造するのは高価であり、また、困難である。この発明では、ポペットおよび対応するバルブシートを使用するのを避けることにより、バルブ構造の種々の層の相対位置に間の精度要求を小さくしてより小さな圧力安定化器バルブを製造できる。また、ポペットおよび対応するバルブシートを使用するのを避けることにより、圧力安定化器の実施例は極めて薄型に製造できる。図1に示される圧力安定化器組立体100の利点は、種々の材料を種々の部品に採用できることであり、最少で、材料の互換性が必要とされる。例えば、室部180、190、200は室部の頂部に所望の剛性を付与し、室部が動く事を可能にするように室部の壁に柔軟性を付与する任意の材料で製造して良い。そのため、室部は、種々の厚さに形成する種々の材料で製造されて良く、例えば、ポリエステル、ポリカーボネート、ナイロン、ポリオレフィン、または他のタイプのエンジニアリングプラスチックを含むプラスチック、または金属で製造されて良い。いくつかの実施例において、個々の室部について、室部の頂部および壁を同一の材料で製造せず、また、他の実施例においては、室部の頂部および壁は同一の材料を含む。いくつかの実施例において、1つの室部の頂部または壁が他の室部の頂部または壁と異なる材料で製造されて良く、他方、他の実施例において、1の室部の頂部または壁は他の室部の頂部または壁と同一の材料を含む。単一の材料が剛性および柔軟性の所望の組み合わせを伴うように製造できないならば、1または複数の室部を、1つの材料料より多くの材料を含む複合構造として形成して良い。図4は、2つの異なる材料を含む複合室部の分解図を示す。図4に示される複合室部は、第1の室部180を充分に包囲でき、第2の室部190を形成する。この例において、室部構造は、第1の材料を用いて柔軟な側壁と、流体基体に結合されてなる、全体として気体または流体シール構造を含むように設計されている。剛性強化部材330が室部の側壁の頂部または上側表面に連結され、これが室部の頂部表面を堅固になし、室部の所望の機能を可能にする。類似の複合構造を、当該圧力安定化器組立体中の他の室部用に採用してよい。柔軟性の厚室部を堅固にするのに適切な材料は、プラスチック、金属、セラミック、または有機材料、例えば、木材、繊維ボードを含んで良い。種々の例において、圧力安定化器組立体100を望むように機能させるためには、その室部の各々が、室部の壁部構造を流体基体110に結合させることにより、部分的に製造される。結合は任意の適切な手段によってよく、これは接着剤、溶剤溶接、超音波溶接、レーザ溶接、拡散結合、または、室部壁部材を流体気体材料に連結するために任意の他の方法を含む。このようにして得た結合は、内部流体圧力に起因する力に抗するための充分な強度を有し、組立体の寿命期間に渡って長持ちするのに充分な堅牢性を有さねばならず、流体が安定化器組立体100からもれるのを防止し、阻止するようなシールを形成しなければならない。圧力安定化器組立体100の中で使用される力駆動バルブ要素260は種々のデザインにできる。先に検討したように、組立体100の予想される性能例えば、所与の入力圧力および流速に対して入力および出力圧力の間の差分はどれほどかを計算する際に、安定化器組立体100中の入力圧力に対する出力圧力の比を決定するのは、バネ定数および基準圧力に加えて、第1および第2の室部の頂部210および220の寸法の比である。しかしながら、他の実施例においては、バルブ260のシール周囲により包囲された第1の室部210の面積に対する第2の室部の頂部220の比、または、バルブ260のシール周囲により包囲される面積を含まない第1の室部の頂部210の面積に対する第2の室部の頂部220の比の一方、または任意の比率に基づいて双方が、バルブの設計に依存して、また装置の他の要素の設計に依存して、組立体100の予測される性能を計算するのに用いられて良い。入力口140を覆う、またはその回りのシールを形成する任意の方法を、採用でき、これは圧縮ガスケット、O-リングまたは他の力駆動バルブ要素を採用する。バルブ要素260に用いられる材料は、種々の例において、入力流体により誘導される環境に耐えることができなければならない例えば、バルブ材料は、入力流体の圧力、温度、および他の化学特性に対処し、また適切なシールを維持しなければならない。いくつかの例において、組立体中において採用されるバネまたは他の力抑制要素が第2の室部の頂部表面220に抑制力を付与できる。1または複数のバネすなわち力抑制要素に関してバネ定数を調整することにより、第2の室部の頂部220を第1の室部の頂部210へ変位させるのに必要な出力圧力を調整できる。適切な抑制力を実現する他の方法も採用され、抑制力が第2の室部の頂部220に渡ってほぼ均一に分散されて第2の室部190が歪むときにこの第2の室部190の一貫性のある動きを支持するようになっている。複数の個別のバネまたは力抑制部材170を採用して良く、これは、例えば、小さなコイルバネ、圧縮フォーム、弾性インサート等を含む。単一のバネワッシャーも採用して良く、これは、とくに、安定化器が径方向に対称性を伴う実施例で採用される。バネワッシャーは全体として堅固な材料から製造でき、機構が埋め込まれて所望のバネ特性を付与する。ベルビルワッシャーも採用されて良い。いくつかの実施例において、室部の壁の少なくともいくつかが、第2の室部190の頂部表面200に力抑制効果を付与する材料から製造されて良い。1例において、第2の室部の壁の少なくともいくつかが、力抑制効果を付与する材料から製造されて良いいくつかの例において、バネまたは他の力抑制要素270は省略できる。そのような実施例において、基準圧力からの力が、第2の室部190の頂部表面220へに加わる出力フィードバック圧力の力の、入力圧力の力と、第1の室部180の頂部表面210の種々の部分に加わる第1の室部180内の圧力との相互作用と組合わさって装置の性能を決定する。図1の圧力安定化器組立体100は種々の形状を前提にでき、これは、円、不規則な矩形、資格、多角形等を含む。室部の全体として円形な形状は、径方向に対称的で組立時の保管方位を必要としない部品の製造を可能にする上で便利である。しかしながら、いくつかの例において、キー付けされた機構または非円形形状を実現することが望まれる。いくつかの例において、圧力室部の形状を修正して付加的な機能を実現することは有益である。例えば、室部の形状は、室部の壁が部品の室部内に動きを拘束するように作用するように修正して良い。図5は、圧力安定化器組立体内で使用される第1の室部180の模式的な断面図を示す。この例において、図3の例と同様に、第1の室部の頂部210は平坦ではなく、O-リングの力駆動バルブ要素260を保持するように構成された形付け領域310を含むように修正されている。図5に示す例はO-リングの力駆動バルブ要素260のためのものであるけれども、室部の壁または頂部の他の修正も可能であり、シールを形成する異なる手法が採用されるならば、それが必要である。バルブ要素のための保持機構は、流れが許容されているときにはシールをマニホールドから離すように維持するように設計されてよく、また、室部の壁が過度に歪むときに、力駆動バルブ要素260の過剰な圧縮を阻止するためのハードストップを実現するように設計されても良い。部品を保持する室部の包囲を修正するのに加えて、室部機構の機能を増強させて付加的な機能を果たすようにすることも可能である。圧力安定化器組立体の設計は、3つの同心的な室部を含み、第2の室部は第1の室部および付加的なバネまたは力抑制要素を充分に含む。バネまたは力抑制要素は別々の部品として形成されて第2の室部内に実装されてよいけれども、上述のように、これは第1または第2の室部の壁の一部として形成されても良い。図6は、圧力安定化器が全体として径方向に対称であるということを前提とするような構造の例の模式的な断面図を示す。径方向の対称性は必要でないけれども、説明をする上で便利である。この例では、部品は第1および第2の室部の内部にのみ含まれてよい。一体化した室部部品320は、単一ピースの材料から、ベルビルワッシャー機構270、シール要素保持機構310、および第1の室部の壁240を含むような態様で製造されて良く、ベルビルワッシャー機構270、上から押されたときにバネとして働く。いくつかの実施例において、第1の室部は領域340を基礎に置く流体マニホールドに結合されて良く、これは、シール要素のまわりの環帯を形成し入口および出口を含んでよい。オプションの結合領域340のために、第1の室部の壁240の動作はバネ要素270の動作から独立にすることができる。いくつかの実施例において、オプションの結合領域340は存在する。他の実施例において、オプションの結合領域340は存在しない。この圧力安定化器組立体は液体および気体を含む流体の圧力を安定化することが可能である。シール要素の材料を選定することにより、もれの流れがない気体のきついシールを実現することができ、例えば、安定化器は流れが少ないまたは流れがない上程で出力圧力を維持するように構成することができる。いくつかの例において、安定化対象の流体はここで定義される任意の流体を含んでよい。いくつかの実施例において、圧力安定化器は医療用途に用いられて良い。携帯型の電源用途においては、安定化器組立体は、燃料先駆体、例えば、化学水素化物の溶液、または、水、アルコール、その他を含む、水素を生成するための反応物の圧力や投げレヲ安定化させるために用いることができる。圧力安定化器組立体は入れ子状態の室部として構築されるので、シール要素、入口、および出口圧力の状態と無関係に、外部圧力を加えることにより、バルブを作動させることができる。例えば、大きく充分な力が外部ソースから第3の室部の頂部に加わると、第3の室部は歪み、その結果、第2の室部の頂部を押し、さらに第1の室部の頂部を押すことになる。この力を加えることにより、シール要素が変位して入口から出口への流体の経路が閉じることになる。したがって、圧力安定化器組立体は一体化した遮断バルブを実現することができる。図7は、径方向に対称な圧力安定化器組立体100の模式的な断面図を示し、これは図6に示される実施例と類似な少なくとも1つの実施例に従って構築されたものである。図7は、安定化器組立体100の入口および出口を記述する管およびポートを示す。具体的には、流体マニホールド110は流体入口140と、流体出口150および出力流体フィードバック口160へとつながる流体出力管130とを含んでよい。これらの管およびポートは流体分散マニホールド110中に構築されて良く、これは、完成された圧力安定化器組立体100の一部として含まれても含まれなくても良い。圧力安定化器組立体100は第1の室部180、第2の室部190、および第3の室部200を含んでよく、これらは流体分散マニホールド110の表面に配列される。第1の室部180の周囲は流体分散マニホールド110の頂部または上側の表面に結合されてよく、流体入口140および流体出口150を囲んでよい。結合は第1の室部180の周囲のまわりのシールを形成してよい。第2の室部190は、第1の室部180の上で入れ子状に配置されて、完全に第1の室部180を包囲して良い。第2の室部190の周囲は流体分散マニホールド110の上側表面の頂部に結合されて流体のきついシールを形成して良い。第2の室部190は堅固な頂部表面220と柔軟性のある壁部250を含んで良い。一体化した室部部品320は、単一ピースの材料から、ベルビルワッシャー機構270、シール要素保持機構310、および第1の室部の壁240を含むような態様で製造されて良く、ベルビルワッシャー機構270、上から押されたときにバネとして働く。第2の室部190はさらに基準圧力口170を囲んで良い。基準圧力口170は、入口圧力でも出口圧力でもない基準圧力と連結できる。いくつかの実施例において、基準圧力口170は雰囲気圧力へと開放されている。第3の室部200は第2の室部190を完全に囲んで良く、その周囲は流体分散マニホールド110の頂部または上側表面に結合されえ流体のきついシールを形成して良い。第3の室部200は出力流体フィードバック口160をも囲んで良い。いくつかの例において、第3の室部の壁部230または第3の室部の任意の他の部分が実質的な堅固さで構築されて不必要な力伝達を行わないように構成してよい。図7において、変数D、710は第2の室部190の頂部220の直径を表す。変数Do-ring、720はバルブ260のシール周囲の直径を表す。変数Pin、730は入力圧力を表し、変数Pout、740は出力圧力を表す。変数Pref、750は、基準圧力を表す。実施例、例えば、図7に示されるような実施例においては、バルブ位置は、第2の室部190の頂部220に加わる力と、抑制要素およびバルブ260のシールの周囲により包囲される、第1の室部180の頂部210の領域に加わる力の双方により加わる力との差分により決定されるということを前提として、種々の部品の寸法および入口および出口圧力の間の関係を計算する方法の例は、以下のとおりである。Pinmin=最少入口圧力、Pinmax=最大入口圧力、Poutmin=最少許容出口圧力、およびPoutmax=最大許容出口圧力として、以下の式が力の関係を記述する。πPinD0-ring/22Fspring=πPoutD/22したがって、出力圧力がPoutminであるときに、フィードバック圧力によって第2の室部の頂部に加わる力が、Pinmin程度の小さな入力圧力で、バルブが依然として開であるように充分に小さくなるためには、Dはつぎの式を満たさなければならない。D≦21/πPoutminπPinminDo-ring/22Fspring1/2同様に、出力圧力がPoutmaxであるときに、フィードバック圧力によって第2の室部の頂部に加わる力が、Pinmax程度の大きな入力圧力で、バルブが依然として閉であるように充分に大きくなるためには、Dはつぎの式を満たさなければならない。D≧21/πPoutmaxπPinmaxDo-ring/22Fspring1/2圧力安定化器組立体は種々の寸法に製造できる。例えば、適切なサイズは、約0.01mm、0.1mm、1mm、2mm、4mm、8mm、10mm、20mm、50mm、100mm、または200mmに等しい、図7に示すDを含む。[例1]圧力安定化器の実用的な実施例は、ポリマー製マイクロ流体基体に接着剤で結合されたポリマー部品から製造できる。小さなO-リングがシール要素として使用でき、約300psiまでの圧力で基体のきついシールを実現できる。この例において、第1の室部の直径は約2.5mmでよく、第2の室部の直径は約14mmでよく、第3の室部の直径は約18mmでよく、このため、全体の圧力安定化器組立体は、大体で、直径が約18mmの円の形状である。第3の室部の高さは2mm未満で良く、他の2つの素粒は第3の室部内に内包される。3つの室部はすべてポリエステル、ポリエステルグリコール、ポリカーボネート、またはアクリルから製造されて良く、これら部品は溶液結合により流体基体に結合される。このような圧力安定化器を製造するために使用される部品の分解斜視図が図8に示される。この例は安定化器の入力口および出力口140、150を具備する流体基体110を示す。また、環境圧力基準口170も示される。O-リングのシール要素260は、安定化器が動作中のときに、入力口140の回りをシールできる。図6に示されるように、複合要素320がシール要素260、および出口140や入口150を包囲でき、これは、第1の室部180、第1の室部の頂部に埋め込まれたシール要素保持機構310、およびベルビルワッシャーバネ組立体270を含む図8には詳細に示されない。図8に示されるように、強化部材330が複合要素の頂部に付加されて、第2に室部の頂部を堅固にして良く、これは図4において説明した。つぎに、入れ子状の部品820が強化部材330状に配置されて良く、これが基準圧力口170を包囲し、第2の室部190を形成する。入れ子状の部品830が第2の室部190の上に配置されて良く、これが圧力フィードバック口160を包囲して第3の室部200を形成する。図3~8に示す圧力安定化器組立体は平坦なマニホールド上の入れ子状の部品により組み立てることができる。そのため、この安定化器は、ピックプレースロボットを使用して、または、大きなシートの形成部品を組み立て、つぎに、結合シートから組み立てた圧力安定化器を取り外すことにより製造するのに適したものにできる。複数の室部の境界を通り抜け、または、横切るように挿入される部品は必要でない。例えば、力駆動バルブ要素は第1の室部の外側には伸びない。されに、各室部は流体基体と直接に流体連通されるだけである。図3~8の圧力安定化器組立体の許容誤差の問題は、組み立てプロセスの整合性ではなく安定化器の部品に限定できる。この結果、製造コストを小さくできる。[付加的な実施例]この発明は以下の事例的な実施例を実現する。実施例1は、力駆動バルブ要素、流体入口、および流体出口を囲むように構成された第1の室部と、上記第1の室部を囲むように構成されて基準圧力口と連通する第2の室部と、上記第2の室部およびフィードバック口を囲むように構成された第3の室部とを有し、上記力駆動バルブ要素は上記第1の室部の外に延びない圧力安定化器組立体を実現する。実施例2は、上記第3の室部の内部の圧力は、閾値圧力より大きいときに、上記第2の室部に加わり上記第2の室部をゆがめる力を生じさせ、この力により上記第1の室部がゆがめられる実施例1の圧力安定化器組立体を実現する。実施例3は、上記第1の室部のゆがみ、および、上記力駆動バルブ要素の閉止状態へ、または閉止状態からの移動が比例する実施例1または2の圧力安定化器組立体を実現する。実施例4は、上記第1の室部が十分にゆがむと、上記力駆動バルブ要素が閉じて上記流体入口から上記流体出口への流体の流れが妨げられるようになっている実施例1~3の圧力安定化器組立体を実現する。実施例5は、上記室部の上記十分なゆがみは、閾値歪みをこえる歪みを含む実施例4の圧力安定化器組立体を実現する。実施例6は、上記流体入口および上記流体出口は同一平面にある実施例1~5の圧力安定化器組立体を実現する。実施例7は、上記流体入口、上記流体出口、上記基準圧力口、および、上記フィードバック入口は同一平面にある実施例1~6の圧力安定化器組立体を実現する。実施例8は、上記第1、第2または第3の室部の任意の1つに存在する機構要素が、任意の他の室部に入り込まない実施例1~7の圧力安定化器組立体を実現する。実施例9は、上記フィードバック入口からの流体の流れから形成された十分な圧力が、つぎに、上記力駆動バルブ要素を開位置から閉位置に移動させる実施例1~8の圧力安定化器組立体を実現する。実施例10は、マルチポート流体マニホールドに固着された実施例1~9の圧力安定化器組立体を実現する。実施例11は、上記室部のうちの任意の2つの間の流体の流れが上記流体マニホールド内の経路を通じて実現される実施例10の圧力安定化器組立体を実現する。実施例12は、上記第1の室部の頂部と直交し、上記第1の室部の頂部へ向かう力ベクトルを含む印加外部力が、上記力駆動バルブ要素を閉位置へ移動させるように、上記第1、第2、および第3の室部が構成される実施例1~11の圧力安定化器組立体を実現する。実施例13は、力拘束要素をさらに有し、上記力拘束要素は上記第2の室部の歪みに抗する力を加える実施例1~12の圧力安定化器組立体を実現する。実施例14は、上記力拘束要素は、金属コイルバネ、ベルビルワッシャー、圧縮発砲体、エラスチック発砲体、またはエラストメリック発砲体を有する実施例13の圧力安定化器組立体を実現する。実施例15は、上記第2の室部は少なくとも1つの上記力拘束要素を囲むように構成される実施例13または14の圧力安定化器組立体を実現する。実施例16は、上記第2の室部の壁の少なくとも部分が上記力拘束要素を有する実施例13~15の圧力安定化器組立体を実現する。実施例17は、複合要素をさらに有し、上記複合要素は上記第1の室部および上記力抑制要素を有する実施例13~16の圧力安定化器組立体を実現する。実施例18は、上記力抑制要素を有する、上記複合要素の一側面はベルビルワッシャーを有する実施例17の圧力安定化器組立体を実現する。実施例19は、上記複合要素は上記第2の室部の壁の少なくとも部分をさらに有する実施例17または18の圧力安定化器組立体を実現する。実施例20は、上記第1の室部、上記第2の室部、上記第3の室部、または上記力駆動バルブ要素の少なくとも1つが、ポリエステル、ポリエステルグリコール、ポリカーボネート、ポリオレフィン、ナイロン、アクリル、ポリビニルクロライド、または金属を含む実施例1~19の圧力安定化器組立体を実現する。実施例21は、実施例1~20の圧力安定化器組立体として少なくとも第1および第2の圧力安定化器組立体を有するシステムにおいて、上記第1および第2の圧力安定化器組立体が直列に配列されて出力圧力に対する入力圧力の衝撃を減少させることを特徴とするシステムを実現する。実施例22は、実施例1~21の圧力安定化組立体を有する、燃料電池用の燃料供給システムを実現する。実施例23は、圧力安定化器組立体の製造方法であって、平面流体マニホールドを形成または供給するステップと、寸法の異なる複数の室部を形成するステップと、上記複数の室部を上記平面マニホールドの表面に入れ子状態で積み重ねるステップと、上記室部の一部を上記平面マニホールドの上記表面に結合させて請求項1~22のいずれかに記載の圧力安定化器組立体を実現するステップとを有する製造方法を実現する。実施例24は、圧力安定化器組立体の製造方法であって、流体入口、流体出口、基準圧力口、およびフィードバック入口を具備する平面流体マニホールドを形成まあは供給するステップと、第1の室部、第2の室部、および第3の室部を形成または供給するステップと、上記第1の室部を上記マニホールド上に配置して上記第1の室部が力駆動バルブ要素、上記流体入口、および上記流体出口を囲むようにするステップと、上記第2の室部を上記マニホールドに積み重ねて上記第2の室部が上記第1の室部を囲み、かつ上記基準圧力口と連通するようにするステップと、上記第3の室部を上記マニホールドに積み重ね、上記第3の室部が上記第2の室部および上記フィードバック入口を囲むようにするステップと、上記の室部の一部を上記平面マニホールドの上記表面に結合させるステップとを有する製造方法を実現する。実施例25は、上記第1の室部の材料特性が上記第2の室部または上記第3の室部の材料特性と異なる実施例23または24の製造方法を実現する。実施例26は、上記複数の室部を形成するステップは少なくとも部分的に熱成形プロセスを含む実施例23~25の製造方法を実現する。実施例27は、力駆動バルブ要素、流体入口、および流体出口を囲むように構成された第1の室部と、上記第1の室部を囲むように構成されて基準圧力口と連通する第2の室部と、上記第2の室部およびフィードバック口を子込むように構成された第3の室部と、力拘束要素であって、上記第2の室部の歪みに抗する力を加えるものと、複合要素であって、上記第1の室部および上記力抑制要素を有するものとを有し、上記力駆動バルブ要素は上記第1の室部の外に延びない圧力安定化器組立体を実現する。実施例28は、実施例1~27の圧力安定化器組立体または方法であって、すべての要素またはオプションが利用または選択できるようにオプションとして構成される組立体または方法を実現する。[付加的な注釈]上述の詳細な説明は添付図面を参照して行われ、この図面も詳細な説明の一部を形成する。図面は、この発明が実施される具体的な実施例を、図説により示す。これら実施例は、ここでは例とも呼ばれる。これらの例はここで図示され説明されるものに加えて、圧力開放装置または熱開放装置の一方または双方のような要素を含んでよい。しかしながら、本発明者は、ここで図示され説明されたそれら要素のみが供給されている例も想定している。さらに、本発明者は、ここで図示され説明されたそれら要素の任意の組み合わせや置換または1または複数の側面を、1の具体的な例またはその1または複数の側面とともに用いた例、あるいは、ここで図示され説明された他の例またはその1または複数の側面とともに用いた例も想定している。この文書で参照される、すべての文献、特許、および特許文書は、個々に参照して組み入れていても、全体としてここに参照して組み入れられる。この文書と参照されて組み入れられたこれら文書との間に一貫性のない使用がある場合には、組み入れられた参照注の使用はこの文書の使用を補充するものとして把握すべきであり、一貫性が矛盾なく受け入れられない場合にはこの文書の用例が優先する。この文書において、用語1つ単語の[aまたは[anは1または1より多いことを含むように用いられ、少なくとも1つまたは1または複数の任意の他の事例または用法とは独立している。この文書において、用語またはorは明示的に示される場合を除き非排他的なまたはorを指すのに用いられ、例えば、AまたはBはAであるがBでない、BであるがAでない、およびAであり、かつBであるを含む。この文書において、用語頂部単語のtop、底部単語のbottom、内側単語のinward、外側単語のoutward、その他は、理解のため、または参照のためのものであり、これらの用語は限定を目的とするものではない。添付の特許請求の範囲において、含むを意味するものinclude、compriseは同等の意味を有し、ここでを意味するものinwhich、whereinは同等の意味を有する。また特許請求の範囲において、用語有するinclude、compriseはオープンエンドであり、すなわち、そのような用語を請求口中に列挙するのに加えて要素を含む、システム、実施装置、物品、プロセスは当該請求項の範囲に依然として含まれるとみなされる。さらに、特許請求の範囲において、用語第1、第2、第3等は単にラベルとして用いられ、数字的な要件をそれら対象に課すことを意図しない。上述の説明は説明のためのものであり、限定的ではない。例えば、さきに説明した例またはそれらの1または複数の側面は、相互に組みあわせて採用されて良い。他の実施例、例えば、当業者がこれら記述を参考にして採用できるものを採用してよい。要約は規則37C.F.R1.72bに適合するものであり読者に技術的開示の本質を即座に把握させることを可能にする。これは、請求項の範囲の意味を解釈したり範囲を限定するのに使用されないことに留意されたい。以下の特許請求の範囲は詳細な説明に組み入れられ、各請求項はそれ独自で個別の実施例である。この発明の範囲は、特許請求の範囲に加えて、そのような特許請求の範囲と均等と考えられるすべての範囲を参照にして決定されるべきである。"