"複数のピクセルを含むピクセルアレイであって、前記ピクセルのそれぞれが少なくとも2個のサンプルを生成するピクセルアレイと、複数の記憶要素を含む記憶アレイであって、前記記憶要素のそれぞれが前記複数のピクセルのうちの対応する1つから前記少なくとも2個のサンプルを受け取る記憶アレイとを備えた、復調センサ。請求項1に記載の復調センサにおいて、前記ピクセルが、入射光が電荷キャリアを生成する光感受性領域と、複数の記憶箇所に前記電荷キャリアを転送する復調器/相関器とを有する、復調センサ。請求項1に記載の復調センサにおいて、前記記憶要素が、対応する前記ピクセルによって生成された前記サンプルを蓄積する記憶箇所を有する、復調センサ。請求項1に記載の復調センサにおいて、さらに、前記ピクセルによって生成された前記サンプルを対応する前記記憶要素に転送する転送システムを備えた、復調センサ。請求項4に記載の復調センサにおいて、前記転送システムは、前記記憶要素が受け取る前記サンプルをAD変換する、復調センサ。請求項1に記載の復調センサにおいて、前記記憶要素が、前記サンプルを受け取る記憶ノードの飽和を監視する、復調センサ。請求項1に記載の復調センサにおいて、前記記憶要素が、前記サンプルを受け取る複数の互いに異なる大きさの記憶ノードを有する、復調センサ。請求項1に記載の復調センサにおいて、前記記憶要素が、ミスマッチ除去を実行するように、前記2個のサンプルを異なる記憶ノードに交替で記憶する、復調センサ。請求項1に記載の復調センサにおいて、さらに、奥行き情報を求める後処理部を備えた、復調センサ。変調光を生成する光源と、復調センサとを備えた飛行時間型カメラシステムであって、前記復調センサは、複数のピクセルを含むピクセルアレイであって、前記ピクセルのそれぞれが前記変調光の少なくとも2個のサンプルを生成するピクセルアレイと、複数の記憶要素を含む記憶アレイであって、前記記憶要素のそれぞれが前記複数のピクセルのうちの対応する1つから前記少なくとも2個のサンプルを受け取る記憶アレイとを有する、飛行時間型カメラシステム。ピクセルアレイにおいて変調光を検出する過程であって、当該ピクセルアレイが、複数のピクセルを含み、これらピクセルのそれぞれが前記変調光の少なくとも2個のサンプルを生成するものである過程と、前記少なくとも2個のサンプルを前記ピクセルそれぞれから記憶アレイに転送する過程と、前記記憶アレイの記憶要素において、前記ピクセルのうちの対応する1つから前記少なくとも2個のサンプルを受け取る過程とを備えた、復調方法。請求項11に記載の復調方法において、前記ピクセルが、前記変調光が電荷キャリアを生成する光感受性領域と、複数の記憶箇所に前記電荷キャリアを転送する復調器/相関器とを有する、復調方法。請求項11に記載の復調方法において、さらに、前記記憶要素が受け取る前記サンプルをAD変換する過程を備えた、復調方法。請求項11に記載の復調方法において、さらに、前記サンプルを受け取る記憶ノードの飽和を監視する過程を備えた、復調方法。請求項11に記載の復調方法において、さらに、ミスマッチ除去を実行する過程を備えた、復調方法。請求項11に記載の復調方法において、さらに、奥行き情報を求める後処理を行う過程を備えた、復調方法。変調光を生成する過程と、ピクセルアレイにおいて前記変調光の少なくとも2個のサンプルを生成する過程と、前記サンプルを記憶アレイに転送する過程とを備えた飛行時間法であって、前記記憶アレイが、複数の記憶要素を含み、前記記憶要素のそれぞれが前記ピクセルアレイの対応するピクセルから前記少なくとも2個のサンプルを受け取るものである、飛行時間法。本発明は、ピクセルの開口率を著しく低下させることなく、また、記憶ノードのさらなる小型化により画像品質を犠牲にすることなく、ピクセルサイズを縮小させるという課題を解決することができる。また、この解決策は、各ピクセルの信号ごとに、追加の後処理回路をほぼ所望に組み込むことを可能にする。さらに、この解決策は、飛行時間型カメラのモーションアーチファクトを最小限に抑えることができる。一般的に、本発明の一構成は復調センサに関し、この復調センサは、複数のピクセルを含み、各ピクセルが少なくとも2個のサンプルを生成するピクセルアレイと、複数の処理要素および/または記憶要素を含み、各記憶要素が前記複数のピクセルのうちの対応する1つから前記少なくとも2個のサンプルを受け取る記憶アレイプロクセルproxelprocesspixelアレイとを備える。一部の実施形態において、前記ピクセルは、入射光が電荷キャリアを生成する光感受性領域光電性領域と、複数の記憶箇所に前記電荷キャリアを転送する復調器/相関器とを有する。好ましくは、前記ピクセルによって生成された前記サンプルを対応する前記記憶要素に転送する転送システムが設けられる。例えば、前記転送システムは、前記記憶要素が受け取る前記サンプルをAD変換する。一部の例では、前記記憶要素が、前記サンプルを受け取る記憶ノードの飽和を監視する。また、前記サンプルを受け取る複数の互いに異なる大きさの記憶ノードが設けられてもよい。また、奥行き情報を求める後処理とともにミスマッチ除去が実行されてもよい。一般的に、本発明の他の構成は飛行時間型カメラシステムに関し、この飛行時間型カメラシステムは、変調光を生成する光源と、復調センサとを備える。当該復調センサは、複数のピクセルを含み、各ピクセルが前記変調光の少なくとも2個のサンプルを生成するピクセルアレイと、複数の記憶要素を含む記憶アレイとを具備する。各記憶要素は、前記複数のピクセルのうちの対応する1つから前記少なくとも2個のサンプルを受け取る。一般的に、本発明のさらなる他の構成は復調方法に関し、この復調方法は、ピクセルアレイにおいて変調光を検出する過程であって、当該ピクセルアレイが複数のピクセルを含み、各ピクセルが前記変調光の少なくとも2個のサンプルを生成するものである過程と、前記少なくとも2個のサンプルを前記ピクセルアレイの各ピクセルから記憶アレイに転送する過程と、前記記憶アレイの記憶要素において、前記ピクセルのうちの対応する1つのピクセルから前記少なくとも2個のサンプルを受け取る過程とを含む。新規な各構成の詳細および構成要素の組合せも含め、本発明の上述の特徴およびその他の特徴、ならびにその他の利点を、添付の図面を参照しながら具体的に説明し、特許請求の範囲で指摘する。本発明を具体化した後述の装置および方法は一例に過ぎず、本発明を限定するものではない。本発明の原理および特徴は、本発明の範囲を逸脱しない範囲で様々な実施形態に用いることができる。添付の図面における同一の符号は、異なる図をとおして同一の構成要素または構成を指す。図面は必ずしも縮尺どおりではなく、本発明の原理を表すことに重点を置いている。図1に、本発明の原理に従って構成された復調センサ100を示す。図示のアーキテクチャは、ピクセルから要素を抽出し、当該要素を物理的に離れた要素として配置する。前記要素は、典型的にはピクセル内に組み込まれる要素であるが、必ずしも光検出に必要とされない。前記物理的に離れた要素は、基本的には記憶要素、場合によっては記憶要素と処理要素の両方であり、記憶要素またはプロクセルproxelprocesspixelと称される。その結果、前記センサは、x×y個のピクセルを含むピクセルアレイ110と、x×y個の記憶要素またはプロクセル310を含む記憶プロクセルアレイ150とを備える。記憶要素またはプロクセル310は、さらなる処理、情報の記憶、および読出しに使用される。xおよびyは、通常100を超える数値であり、好ましくは200を超える数値である。一部の例において、xおよびyは1,000を超える数値である。これら2つのアレイ110,150は、互いに物理的に離れており、好ましくはチップ上で互いに物理的に重なり合わない別個のアレイの形態で互いに物理的に離れている。好ましくは、プロクセルアレイ150において複数の機能が取り扱われる。つまり、センサ100は、ピクセルアレイ100と、各プロクセル310がピクセル210好ましくは、特定の1つのピクセル210にリンクしかつ関連付けられたプロクセルアレイ150とを備える。なお、プロクセルアレイ150は必ずしも連続的なアレイ途切れのないアレイである必要がないことに留意されたい。例えば、プロクセルアレイ150は、ピクセルアレイ110を取り囲む2つ、3つまたは4つのマトリクスに分割されてもよい。ピクセル210からプロクセル310へのデータの転送は、ピクセル読出しデコーダ182によって制御され、転送接続システム転送または接続のシステム180を介して転送される。ピクセル読出しデコーダ182は、ピクセル210を選択し、対応するプロクセル310との接続180を確立する。好ましくは、ピクセルフィールド110の読出しは行ごとに行われる。つまり、前記読出しデコーダは、ピクセルフィールド110のうちの少なくとも1つの行を選択し、このように選択された行が、プロクセルフィールド150におけるプロクセル310の対応する行に接続される。この場合、転送接続システム180の接続ラインが、一列の全てのピクセルによって共有される。ピクセルの読出しをさらに高速化するために、複数の行を選択して転送するようにしてもよい。センサ100には、さらに、プロクセルの読出しを制御するプロクセル読出しデコーダ186が含まれる。任意で、AD変換および/または位相/奥行き情報計算を、例えばn個の取得されたサンプルに基づいて行う、信号後処理用のブロック184が設けられてもよい。一部の実施形態では、ピクセルアレイ110とプロクセルアレイ150との間の転送接続システム180がAD変換器を有し、これにより、プロクセルアレイに到達して処理される情報はデジタルとなる。図2に、本発明にかかるセンサ100を用いた3DTOF飛行時間型三次元カメラの典型的な用途を示す。詳細には、光源または発光部510任意で、リフレクタまたは投写光学系512を具備するが変調光514を生成する。変調光514は、カメラから距離Rの範囲に位置する3Dシーン516に向けられている。シーン516からの反射光518が対物レンズ系520によって集光され、任意で、バンドパスフィルタに通されることにより、発光部510が放射する波長の光のみが伝達される。TOFセンサ100のピクセルアレイ110に画像が形成される。制御部522が、発光部510の変調と、TOF検出チップ100のサンプリングとを連係させる。これにより、同期復調が達成される。つまり、ピクセルアレイ110の各ピクセル210において生成されたサンプルが、発光部510の変調と同期して、ピクセル内の記憶バケット記憶箇所、および/または記憶プロクセルアレイ記憶もしくはプロクセルのアレイ150におけるプロクセル310内の記憶バケット記憶箇所に記憶される。変調信号の種類は正弦波に限定されないが、ここでは正弦波変調を一例として用いる。情報またはサンプルは、記憶プロクセルアレイ150に転送された後、制御部522によって読み出される。制御部522は、チップ100によって生成されたサンプルを用いて、シーンまでの距離Rがチップ100の全ピクセルについて得られるように3D画像表現を再構成する。正弦波変調の場合において、各ピクセル/プロクセルによって生成されるサンプルとしてn=4個のサンプルA0,A1,A2,A3を用いると、変調信号の決定的な3つの変調パラメータである振幅A、オフセットBおよび位相シフトBが以下の式によって導き出される:A=sqrt222B=A0A1A2A34P=arctanセンサ100の各ピクセル210が同時に光信号を復調することができるので、制御部522は、リアルタイム、すなわち、最大30ヘルツHzのフレームレート、あるいいは、それ以上のフレームレートで、3D画像を提供することができる。連続正弦波変調によって生じる発信信号と受信信号との間の位相遅延Pは、以下の式のとおり距離Rに正比例する:R=式中、fmodは光信号514の変調周波数である。技術水準の典型的な変調周波数は、数メガヘルツMHzないし数百メガヘルツMHz、あるいは、それ以上のGHzである。図3に、複数の異なる機能ブロックを具備した復調ピクセル210を示す。ピクセル210の光感受性領域光電性領域212において、衝突光が荷電キャリアに変換される。典型的に、光感受性領域212には横方向のドリフト電場が設けられており、このドリフト電場により、電荷キャリアが復調器相関器復調器または相関器218にスイープ掃引または走査される。復調器/相関器218は、光生成された電荷を、n個の異なる記憶箇所220A,220B~220Nに交替して転送する。典型的に、複数の異なる記憶箇所220A,220B~220Nへの転送は、光源510の変調と同期して行われる。復調ピクセルの多くは、n個のサンプルを有する記憶箇所220の読出しの前段に、ピクセル内処理部222例えば、コモンモード抑圧などを行う処理部を有する。最も単純な形態の復調ピクセル210は、感受性領域212、相関器/復調器218、記憶箇所220および読出し部224のみを有する。感知部212および復調部218は、米国特許法第7498621号明細書に記載された横方向の動的ドリフト電場を用いて行ってもよく、米国特許出願公開第2008/0239466号明細書に記載された横方向の静的ドリフト電場を用いて行ってもよい。なお、これらの米国特許および米国特許出願の全内容は、参照をもって本明細書に取り入れたものとする。また、横方向の静的ドリフト電場の原理に基づくアプローチについては、様々なものが発表されている。例えば、BButtgenFLustenbergerおよびPSeitzによるDemodulationPixelBasedonStaticDriftFields静的ドリフト電場に基づく復調ピクセルIEEETransactionsonElectronDevices5327412747November2006、CedricTubertらによるHighSpeedDualPortPinnedphotodiodeforTimeOfFlightImaging2つのポートにピン接続された飛行時間型撮像用の高速フォトダイオードInternationalImageSensorWorkshopBergen2009、ならびにDDuriniASpickermannRMahdiWBrockherdeHVogtAGrabmaier、およびBHostickaによるLateraldriftfieldphotodiodeforlownoisehighspeedlargephotoactiveareaCMOSimagingapplications低ノイズかつ高速で広い光活性領域を有する、横方向のドリフト電場を具備したCMOS撮像用のフォトダイオードNuclearInstrumentsandMethodsinPhysicsResearchA2010を参照されたい。主電流の切替によって支援する光検出法MKuijkおよびDvanNiewenhoveによる2003年9月公開の欧州特許出願公開第1513202号であるDetectorforelectromagneticradiationassistedbymajoritycurrent主電流によって支援される、電磁放射検出器の明細書を参照や、大規模なトランスファゲート群の切替に基づく方法米国特許第5856667号明細書、米国特許第6825455号明細書、および米国特許出願公開第2002/0084430号を参照などといった他の方法では、光感受性領域212と復調部218とが互いに物理的に離れていない。これらの感知/復調の方法は、全て本発明に適用可能である。図4に、記憶要素プロクセル310の機能を示す。さらなる処理部312により、対応するピクセルからの信号のさらなる処理が行われ、このようにして生成された情報を情報記憶部314が記憶し、データ読出し部316が情報読出しを可能にする。ピクセルマトリクス110が読み出される代わりに、プロクセルアレイ150が読み出される。本発明にかかる技術を利用した復調センサは、数多くの利点を提供し得る。例えば、開口率および各ピクセルのデータ品質を犠牲にすることなく、ピクセルサイズを減少させることができる。また、ピクセルの出力に適用する処理工程について、より多くの処理工程を組み込むことを可能にする、高い融通性を提供し得る。そのような処理工程には、ダイナミックレンジ向上、ピクセルごとの積算時間制御、記憶部の静電容量をいくつか設けることによる電荷オーバーフロー能力、静電容量切替によるバックグラウンド抑圧、復調ピクセルを用いた際のサンプリング点の増加、および積算期間と積算期間との間におけるプロクセル内の適切な静電容量切替によって行うピクセル内のミスマッチ問題の解消等が含まれる。図5に、ピクセル210のピクセルアレイ110と、分割されたプロクセルアレイとを備えるセンサを示す。分割されたプロクセルアレイは、プロクセル310の第1プロクセルアレイ150Aと第2プロクセルアレイ150Bとを含む。半分のプロクセルアレイ150Bを上方に設置し、もう半分のプロクセルアレイ150Aをピクセルアレイ110の下方に設置することにより、データフローのパラレル化によって、ピクセル210からプロクセル310への信号のシフト速度が上昇する。また、プロクセルアレイを分割することにより、設計上の空間的制約が軽減される。同様に、信号後処理部も、第1プロクセルアレイ150A用の第1信号後処理部184Aと第2プロクセルアレイ150B用の第2信号後処理部184Bとに分割される。また同様に、2つのプロクセル読出しデコーダ186A,186Bが設けられる。以下では、さらなるプロクセルの構成を開示する。これらプロクセルの機能の各ピクセルへの統合は、これら特定の処理工程をピクセルアレイから取り除くという間接的な手法によってのみ可能となる。以下の例では、プロクセルアレイに組み込まれる機能を指し示すために、ピクセルアレイ210とプロクセルアレイ310との間に2つの接続部が設けられている。なお、以下の異なる例は、互いに容易に組み合せることができる。図6に、光電性のピクセルアレイと荷電記憶要素との分離を示す。詳細には、ピクセル210は、転送接続システム180において任意の数の出力ラインを有し得る。図示の例ではピクセルの出力の数は2つn=2であるが、他の実施形態ではn=4、あるいは、それ以上の数であってもよい。プロクセルは、前記ピクセルの出力と同じ数の記憶ノード314A,314B静電容量で表されるを有する。バッファ要素または読出しアンプ316A,316Bは、プロクセル読出しデコーダ186で制御されるProxelreadoutプロクセル読出しと称された選択信号によって活性化されることにより、記憶ノード314A,314Bに記憶されたアナログ数値の読出しを可能にする。ピクセル210からプロクセル310への情報電荷の転送は、これらの要素同士を出力接続ライン180におけるスイッチ318A,318Bによって接続することにより実現される。スイッチ318A,318Bは、ピクセル読出しデコーダ182で制御されるPixelreadoutピクセル読出しと称された信号によって活性化される。図7に、プロクセル310に対する自動積算制御が可能な一実施形態を示す。最終的なサブ画像は、まずピクセル210に取り込まれてから、ピクセル210から転送接続システム180を介してプロクセル310に転送される。ピクセル210の情報は、プロクセル310におけるキャパシタ314A,314Bで記憶かつ積算され、サブ画像となる。キャパシタ314A,314Bの電圧が基準電圧、例えば飽和を表す閾値を超えると、比較器320が、スイッチ322A,322Bを制御することによって後続の全ての情報転送プロセスを不活性化させる。いくつかのサンプルが記憶されることを必要とする復調ピクセル210の場合、1個のサンプルの飽和をフィードバックすることにより、好ましくは後続の取得されるサブ画像用の全てのサンプルについて、プロクセル310におけるスイッチ322が解放される。図8に、より大きいダイナミックレンジでの動作を可能にするプロクセル310の一例を示す。光生成された電荷光で生成された電荷は、ピクセルの出力ごとに、ピクセル210から転送接続システム180を介してプロクセル310における第1静電容量326A,326Bに転送される。電圧が基準電圧Vr2を超えると、電荷が中間静電容量328A,328Bに流れ込む。Vr1<Vr2として、電圧がさらにVr1を超えると、電荷は大静電容量330A,330Bに流れ込む。この構成によると、低い信号が小さい静電容量に蓄積されるので、感度が高くなる。また、高い信号、すなわち強い信号が大きい静電容量に蓄積されることは、低い出力感度ではあるがダイナミックレンジの向上を意味するので、野外や日中での動作といったバックグラウンド光のレベルが高い環境でもセンサは動作することができる。図9に、プロクセル310がDC抑圧能力を有する一実施形態を示す。典型的な復調ピクセルはある程度の数のサンプリング出力を提供し、これらのサンプル数値間の差分が必要となる場合がある。アナログ領域においてサンプル間の減算を行うため、情報抽出に貢献せずに早期飽和を招くDC成分を抑えることができる。図示のプロクセル310は、ピクセルの2つの出力に適用されたDC抑圧回路を有する。ピクセルのさらなる数の出力を減算する必要があれば、このようなDC抑圧回路をプロクセルに複数組み込んでもよい。スイッチングのタイミングを適切に設定することにより、最終的なサブ画像に取り込まれかねない各チャネル間のDC成分が除去され、これを静電容量314に蓄積することができる。差分出力322は、読出しの間バッファリングに用いられる。一般的に、復調ピクセルのサンプル出力はタップと称される。すなわち、2タップの復調ピクセルはn=2個のサンプル出力を有する。このようなピクセルを用いて、例えば正弦波で強度変調された光波を0°、90°、180°および270°の等間隔のステップで4回サンプリングする場合、続けて2回の測定を実行する必要がある。第1の測定で例えば0°および180°のサンプルを出力し、第2の積算サイクルで90°および270°位相のサンプルを出力する。しかし、4タップ数ピクセル構造が利用可能な場合、n=4個の全てのサンプルを1つの取得サイクル内で得ることができる。本発明にかかるプロクセルを用いるアプローチであれば、2タップピクセル構造であっても、1つの取得サイクル内で4個全てのサンプルを得ることが可能になる。このプロクセル310を用いることで、n=2個から=4個にサンプルの数を増加することができる。一般的に、このような概念は、任意のタップ数を有するピクセル構造およびプロクセル構造に拡張可能であり、これにより、サンプルの数も任意の数に増加することができる。図10に、2タップピクセル構造を4タップ数プロクセル構造に変換する特別な例を示す。動作の第1フェーズにおいてスイッチ344,348は閉じられている。0°情報/180°情報の積算の間スイッチ344,348が閉じられていることにより、ピクセル210からの、転送接続システム180の出力ライン上の荷電は、記憶箇所336,340に転送されて当該記憶箇所336,340を帯電させる。次のフェーズでは、90°情報/270°情報の積算の間スイッチ346,350が閉じられることにより、ピクセル210からの、出力ライン180上の荷電は、記憶箇所338,342に転送されて当該記憶箇所338,342を帯電させる。図11は、図10に対応するタイミング図である。取込みプロセスごとに、サンプリングプロセスが0°/180°位相取得と90°/270°位相取得との間で切り替わる。デジタル信号0180activated0/180活性化および90270activated90/270活性化により、0°および180°のサンプル群と、90°および270°のサンプル群のいずれのサンプル群が現在取得されるのかが決まる。このスイッチング方式により、ピクセルの2つの出力値が、プロクセル310内の対応する積算段336および340、あるいは、積算段338および342に転送される。プロクセル310内のスイッチ344,346,348,350は、信号0180activatedおよび90270activatedによって制御される。ピクセルの4つの出力は、各サンプルが表す特定の位相値に合わせて、Out0,Out90,Out180,およびOut270と表される。図12に、アナログ経路間のピクセル内ミスマッチの補償を可能にするプロクセル回路を示す。転送接続システム180が2つの出力部を有する復調ピクセル210を例として、ピクセルの出力部は、スイッチ356,360が閉じ、その後にスイッチ358,362が閉じることにより、プロクセル310内の2つの積算要素記憶ノード352,354に交互に接続される。このような交互接続は、1つの完全な取得サイクル内の連続する複数の積算プロセスの間に行われる。1つの完全な取得サイクルでは、少なくとも2個の連続する画像、好ましくは多数個の連続する画像が取得される。図13は、連続する積算プロセスのための、異なるピクセル-プロクセル接続部間の切替を詳細に示したタイミング図である。信号mismatchcompミスマッチ補償およびnotmismatchcompミスマッチ補償でないにより、それぞれ対応するスイッチ358/362、スイッチ356/360が制御される。スイッチ358/362、スイッチ356/360は、ピクセルの出力180とプロクセルの積算ノード352,354とを接続する。なお、物理的な出力経路が信号mismatchcompおよび信号notmismatchcompによって変化してもサンプルの論理値がプロクセル内の常に同じ積算要素に接続されるように、ピクセルもそれに応じて交互に動作する必要がある。図14に、情報をデジタル領域に変換する、ピクセルからプロクセルへの転送接続システム180を示す。このように、プロクセル310はデジタルの数値を取り扱う。図14の例では、1本の出力ラインにつき1つのAD変換器を設ける。仕様に応じて、マルチプレクサ方式、シリアル方式、パイプライン方式、またはこれらの組合せなど、その他のAD変換構成も考えられ得る。デジタル領域への変換により、プロクセル310内でのデータの処理手法として、様々な手法を実施することが可能になる。積算、ミスマッチ除去、サンプルの数の増加、バックグラウンド減算、感度の可変化などといった既述の様々な処理タスクを、プロクセル310内でデジタル的に実行できる。また、複数のプロクセルのデジタルビニングも可能になる。3D撮像用の復調ピクセルの場合、プロクセルは、全位相/全距離計算を後処理で実行することができ、さらには、基準測定値の減算などの較正を実行することもできる。サンプリングしたデータをデジタル値に変換する詳細な例として、Oggier、LehmannおよびBuettgenによるOnchiptimebaseddigitalconversionofpixeloutputsピクセル出力の、チップ上での時間ベースのデジタル変換米国特許出願公開第2009/0021617号明細書が挙げられる。この文献の全教示内容は、参照をもって本明細書に取り入れたものとする。図15は、典型的な2タップの復調ピクセル210のタイミング図である。ミスマッチ除去のアプローチでは、4個の画像が取得される。第1の取得では、出力1が0°のサンプルを供給し、出力2が180°のサンプルを取り込む。その後、データはチップ外に転送および記憶される。第2の取得では、90°および270°が取り込まれる。サンプリングミスマッチおよびチャネルミスマッチを除去するために、第3の取得は、第1の取得の際のサンプリングを単純に逆にしたものとする。つまり、出力1は180°を提供し、出力2は0°を取り込む。最後の第4の画像では、出力1が270°のサンプルを有し、出力2が90°のサンプルを有する。両方のチャネルの4個全ての画像がチップ外に転送された後、位相、振幅およびオフセットの算出に用いられる。図16は、2タップピクセルアーキテクチャにおいて同様のミスマッチ除去を行う、センサ100の動作を示すタイミング図である。サンプルの別々の積算時間が大幅に短縮されており、また、全体的な画像取得を通してサンプルの別々の積算が上手くミックスさている。このプロクセルは、チップ上での中間的な記憶が可能である。これにより、高速な読出しが可能となるので、異なるサンプルを極めて近接した間隔で取込むことができる。さらに、これにより、モーションアーチファクトを軽減することができる。図17は、ダイナミックレンジを向上させる、センサ100の動作を示すタイミング図である。各サブ積算は、互いに異なる露光時間を有する。各プロクセル310は、ピクセル210ごとに連続するサンプルの品質を評価する。一般的に、飽和および信号対ノイズ比がチェックされる。品質が良好な場合、取り込まれたサンプル値がプロクセル内で積算される。この特定の例についても、ミスマッチ除去を行う2タップピクセルセンサの積算タイミングおよび出力タイミングを図示する。このようなタイミングは、図14のデジタル変換およびプロクセルと組み合わせて適用してもよく、さらには、前述したその他のプロクセルの実施形態にも適用可能である。以上のように、ピクセルの信号記憶性能を犠牲にすることなくピクセルサイズを縮小することができる、撮像センサの新たな設計概念を立証した。この概念の要点は、信号の中間記憶を保証するのに絶対的に必要な記憶ノードのみをピクセル内に維持しながら、最終的な記憶ノードをピクセルフィールドからチップ上の記憶要素のアレイに移動させることである。また、複数の要素を含み、各要素が特定のピクセルとリンクした外部アレイを設けたことにより、新たな機能の導入が可能となる。例えば、アナログおよびデジタルの処理回路を、ピクセルの光感受性に悪影響を全く及ぼすことなく、極めて高い融通性をもってセンサに集積することができる。ピクセルごとにさらなる処理工程を組み込むことのできる融通性は、いわゆる復調ピクセルにとって有利である。ピクセルアーキテクチャを調節せずに、様々な概念、例えば、マルチサンプリングやピクセル内のミスマッチ補償等を容易に実施することができる。以上のとおり、本発明を好ましい実施形態に基づいて具体的に図示し詳細に説明した。しかし、当業者であれば、添付の特許請求の範囲に包含される本発明の範囲を逸脱することなく形態および細部に対して様々な変更が可能であることを理解するであろう。"