圧力差のある2つの空間を隔離する圧力隔壁に取り付け可能であり、且つ、透過型の光学素子を保持可能なホルダ装置であって、前記2つの空間のうち前記光学素子に対して低圧側の空間に配される第1部と、前記2つの空間のうち前記光学素子に対して高圧側の空間に配される第2部とを含むホルダ部と、前記第2部と前記光学素子の間を封止する第1封止部材と、を備える、ホルダ装置。前記第1部と前記光学素子とは、直接接触する、請求項1記載のホルダ装置。前記第1部と前記光学素子との接触は、面接触、点接触、線接触のいずれか1つを含む、請求項2記載のホルダ装置。前記ホルダ部は、前記光学素子の中央部をレーザ光が透過可能に開口する開口部を備え、前記第1部材と前記光学素子の接触面は、前記開口部の中心を通る軸に対して実質的に回転対称である、請求項2記載のホルダ装置。前記第1部と前記光学素子との間に配され、該第1部および該光学素子それぞれと直接接触する接触部材をさらに備える、請求項1記載のホルダ装置。前記第1部と前記光学素子とは、ロウ付けされている、請求項1記載のホルダ装置。前記ホルダ部は、前記第1部を含む第1部材と、前記第2部を含む第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間を封止する第2封止部材とを含む、請求項1記載のホルダ装置。前記光学素子は、ダイヤモンド製である、請求項1記載のホルダ装置。前記光学素子は、ウィンドウである、請求項1記載のホルダ装置。前記光学素子は、レンズである、請求項1記載のホルダ装置。前記第1部近傍に冷却媒体を循環可能な流路を備える、請求項1記載のホルダ装置。前記第1部と前記第2部とは、前記光学素子の外縁部を挟むように配され、前記流路は、前記光学素子の前記外縁部に沿って延在する第1流路と、該第1流路から延在して前記ホルダ部の外表面で開口する第2流路とを含む、請求項11記載のホルダ装置。前記第2流路に対して着脱可能な配管と、前記配管へ冷却媒体を供給可能な冷却媒体供給部と、をさらに備える、請求項12記載のホルダ装置。請求項1~12のいずれか一つに記載のホルダ装置と、前記圧力隔壁を含むチャンバと、前記ホルダ部と前記圧力隔壁との間を封止する第3封止部材と、を備える、チャンバ装置。請求項14記載のチャンバ装置と、レーザ光を出力するレーザ装置と、前記チャンバ内部にターゲットを供給するターゲット供給装置と、前記レーザ装置から出力された前記レーザ光を前記チャンバ内部の前記ターゲットに前記光学素子を介して集光させる光学系と、を備える、極端紫外光生成装置。