高圧窒素を製造する方法であって、供給空気を実質的にその露点まで冷却し、高圧カラムのベースに前記空気の少なくとも一部を導入し、前記高圧カラムのベースから酸素富化液体を取り出し、前記酸素富化液体の圧力を中圧まで低下させ、前記中圧は前記高圧と大気圧との間であり、前記酸素富化液体を中圧カラムの中間位置に導入し、前記中圧カラムのベースから取り出した液体の少なくとも一部の圧力を低圧まで下げて前記中圧カラムの頂部コンデンサを冷却し、廃蒸気流を生成させ、前記中圧カラムから取り出した蒸気流を低温圧縮機で圧縮し、前記圧縮した蒸気流を冷却し、これを前記高圧カラムのベースに導入し、前記廃蒸気流を加熱し、前記加熱した蒸気を膨張させて力を生成させ、前記中圧カラムの頂部から液体を抜き出し、前記抜き出した液体を前記高圧にポンピングし、これを前記高圧カラムの頂部に注入し、前記高圧カラムの頂部から製品窒素を抜き出すことを含む方法。前記力の少なくとも一部を前記低温圧縮機によって用いる、請求項1に記載の方法。高圧窒素を製造する装置であって、供給空気を実質的にその露点まで冷却する熱交換器と、高圧蒸留カラムと、中圧蒸留カラムと、前記高圧蒸留カラムのベースに前記冷却された圧縮空気の少なくとも一部を導入する導管と、前記高圧蒸留カラムのベースから酸素富化液体を取り出す導管と、前記酸素富化液体の圧力を中圧まで低下させる第1の弁と、ここで前記中圧は前記高圧と大気圧との間であり、前記中圧蒸留カラムの中間位置に前記酸素富化液体を導入する導管と、前記中圧蒸留カラムのベースから取り出した液体の少なくとも一部の圧力を、低圧まで低下させて前記中圧蒸留カラムの頂部凝縮器を冷却して廃蒸気流を生成させる第2の弁と、前記中圧蒸留カラムから取り出した蒸気流を圧縮する低温圧縮機、前記圧縮された蒸気流を冷却する熱交換器、およびこれを前記高圧蒸留カラムのベースに導入する導管と、前記廃蒸気流を加熱する熱交換器と、前記加熱された流を膨張させて力を生成させる第1の膨張器と、前記中圧蒸留カラムの頂部から液体を抜き出す導管と、前記抜き出した液体を前記高圧にポンピングし、これを前記高圧蒸留カラムの頂部に注入するポンプと、前記高圧カラムの頂部から製品窒素を抜き出す導管とを有する装置。高圧窒素を製造する方法であって、供給空気を実質的にその露点まで冷却し、高圧カラムのベースに前記空気の少なくとも一部を導入し、前記高圧カラムのベースから酸素富化液体を取り出し、前記酸素富化液体の圧力を中圧まで低下させ、前記中圧は前記高圧と大気圧との間であり、前記酸素富化液体を中圧カラムの中間位置に導入し、前記中圧カラムのベースから取り出した液体の少なくとも一部の圧力を低圧まで下げて前記中圧カラムの頂部コンデンサを冷却し、廃蒸気流を生成させ、前記中圧カラムから取り出した蒸気流を低温圧縮機で圧縮し、前記圧縮した蒸気流を冷却し、これを前記高圧カラムのベースに導入し、前記廃蒸気流の一部を第1の温度まで加熱し、前記加熱した蒸気を第1の膨張器で膨張させて力を生成させ、前記廃蒸気流の他の一部をさらに第2の温度まで加熱し、前記さらに加熱した蒸気を第2の膨張器で膨張させて力を生成させ、前記中圧カラムの頂部から液体を抜き出し、前記抜き出した液体を前記高圧にポンピングし、これを前記高圧カラムの頂部に注入し、前記高圧カラムの頂部から製品窒素を抜き出すことを含む方法。前記力の少なくとも一部を前記低温圧縮機によって用いる、請求項4に記載の方法。前記中圧カラムから前記蒸気流を取り出すのと同じレベルで前記酸素富化液体を導入して前記低温圧縮機で圧縮する、請求項1の方法。高圧窒素を製造する装置であって、供給空気を実質的にその露点まで冷却する熱交換器と、高圧蒸留カラムと、中圧蒸留カラムと、前記高圧蒸留カラムのベースに前記冷却された圧縮空気の少なくとも一部を導入する導管と、前記高圧蒸留カラムのベースから酸素富化液体を取り出す導管と、前記酸素富化液体の圧力を中圧まで低下させる第1の弁と、ここで前記中圧は前記高圧と大気圧との間であり、前記中圧蒸留カラムの中間位置に前記酸素富化液体を導入する導管と、前記中圧蒸留カラムのベースから取り出した液体の少なくとも一部の圧力を、低圧まで低下させて前記中圧蒸留カラムの頂部凝縮器を冷却して廃蒸気流を生成させる第2の弁と、前記中圧蒸留カラムから取り出した蒸気流を圧縮する低温圧縮機、前記圧縮された蒸気流を冷却する熱交換器、およびこれを前記高圧蒸留カラムのベースに導入する導管と、前記廃蒸気流を加熱する熱交換器と、前記加熱された流の一部を膨張させて力を生成させる第1の膨張器と、前記加熱された流の他の一部を膨張させて力を生成させる第2の膨張器と、前記中圧蒸留カラムの頂部から液体を抜き出す導管と、前記抜き出した液体を前記高圧にポンピングし、これを前記高圧蒸留カラムの頂部に注入するポンプと、前記高圧蒸留カラムの頂部から製品窒素を抜き出す導管とを有する装置。本発明の例示的な実施形態を以下において説明する。本発明は種々の変形および代替的な形態を許すが、その特定の実施形態を図中の例によって示し、本明細書において詳細に説明する。しかし、特定の実施形態の本明細書における記載は本発明を開示された特定の形態に限定することを意図していないが、それどころか、その意図は添付のクレームによって定義された本発明の精神および範囲の範囲内に入るすべての変形、等価物、および代替物をカバーすることにあることを理解されたい。任意のこのような実際の実施形態において、個別の実施で変化するであろうシステム関連またはビジネス関連の制約に適合するような開発者の特定の目標を達成するために、多くの実施固有の決定をなさなければならないことは、もちろん理解されるであろう。本発明は上述した欠点を解決する方法および装置を提供する。上で説明したように、頂部コンデンサの圧力を増大させることによって、より高圧の窒素を供給できる。しかし、蒸留カラムがより高圧において効率が低いため、より高いシステム圧力は低い窒素回収をももたらす。図1を参照すると、カラムの頂部から導管101によって廃ガスを抜き出し、交換器102を通して好適な温度レベルまで加熱し、次に膨張器103において膨張させ、再び交換器102に導入し、その後にこれは廃ガスとしてシステムを出る。より高い排ガス圧力では、排ガス膨張器103がより高い圧力比で稼動するため、熱平衡を達成するにはより少ない廃ガスを必要とする。したがって、システムが改善された性能を達成するには、Grenierサイクルと比較して、製品窒素回収率がより高圧で改善されなければならない。この回収率の増加は廃ガス流を減少させ、システムを最適な熱平衡に到達させる。したがって、より高圧で改善された窒素回収を与えることによって、追加の窒素製造圧縮機を用いることなく、本発明のシステムは高圧窒素を効率よく製造するのに好適である。また、本発明においては、導管101によって頂部圧縮機から酸素富化ガス廃ガスを抜き出して膨張器103へ送り、プロセスの熱平衡または冷凍バランスを達成する。酸素富化空気を熱平衡のために用いているため、これは製品窒素の回収率を変化させない。好ましくは、膨張器103を採用することによって、膨張器103からの仕事出力の少なくとも一部を用いて、低温窒素圧縮機105を稼動させる。中圧蒸留カラム106から、組成が空気に近いガスを抜き出す。このガスを上述した低温窒素圧縮機105に送り、高圧カラム107とほぼ同じ圧力まで加圧する。次に加圧ガスを高圧蒸留カラム107の底部に導入して、製品窒素の回収率を改善させる。製品窒素の回収率を改善させることによって、製造コストの低減が達成されるであろう。本発明の一実施形態は、膨張器103、熱交換器102および二重蒸留カラム106、107をもつ装置に関する。蒸留カラムは、約10バールの高圧すなわち製造圧力で稼動する下部メインカラム107と、約5バールの中圧で稼動する上部副カラム106とで形成されている。これらのカラムの各々はそれぞれ頂部凝縮器108、109を有する。図1において、水分および二酸化炭素を含まない圧縮空気111を、熱交換器102を通してほぼその露点まで冷却し、カラム107のベースに導入する。カラム107のベースで受け入れられた入口空気と平衡にある酸素富化液体112を、膨張弁113において中圧まで減圧させ、カラム106の中間位置に導入する。中圧カラム106において、降下する液体は酸素で富化され、カラム106のベースでメイン凝縮器108を冷却して、カラム107中での還流を確実にする。カラム106のボトム液体140を、膨張弁114において減圧させ、次に頂部凝縮器109を冷却してカラム106中の還流を確実にするのに役立てる。液体140を、約1.7バールの圧力で凝縮器109において気化させ、次に熱交換機中で加温し、次に膨張器103中で膨張させて、熱平衡を達成するのに必要な冷凍バランスを与える。膨張後、次に熱交換器ライン102中で加温して、装置の残留ガス102を構成する。導管116によってカラム106から凝縮器109の凝縮流の一部を抜き出し、ポンプ117によって高圧に戻し、カラム107の頂部に再注入する。カラム106から空気に近い組成をもつガス流を抜き出し、導管118によって低温圧縮機105に送り、高圧カラム107の圧力のわずか上まで加圧する。本明細書で使用する限り、低温圧縮という用語は、低温蒸留システムへの周囲レベルの供給原料よりも温度の低いガス流の圧力を機械的に上げて、周囲よりも低い温度でシステムに戻す方法を意味する。カラム106から抜き出されて低温圧縮機105に送られるガス流を、酸素富化液体112が導入されたのと同じレベルにある中間位置で抜き出してもよい。低温圧縮の機械的エネルギーは、冷凍によってバランスされるはずである。次に熱交換器102によってガスを冷却し、蒸留カラム107の底部に導入して製品窒素の回収を改善する。カラム107の頂部からガス窒素流119から抜き出し、熱交換器102で加温して窒素製品として回収する。本発明の一実施形態において、この装置は供給空気を実質的にその露点まで冷却する熱交換器102、高圧蒸留カラム107、中圧蒸留カラム106を有する。また、本発明は前記高圧蒸留カラムのベースに前記冷却された圧縮空気の少なくとも一部を導入する導管130、前記高圧蒸留カラムのベースから酸素富化液体を取り出す導管112、前記酸素富化液体の圧力を中圧ここで前記中圧は前記高圧と大気圧との間であるまで低下させる第1の弁113を含む。また、装置は前記中圧蒸留カラムの中間位置に前記酸素富化液体を導入する導管132、前記中圧蒸留カラムのベースから取り出した液体の少なくとも一部の圧力を、低圧まで低下させて前記中圧蒸留カラムの頂部凝縮器を冷却して廃蒸気流101を生成させる第2の弁114を有する。また、THCパージ流141を前記中圧蒸留カラムの頂部から取り出す。この発明は、中圧蒸留カラム106から取り出した蒸気流118を圧縮する低温圧縮機105、圧縮された蒸気流を冷却する熱交換器102、およびこれを前記高圧蒸留カラムのベースに導入する導管131を含む。また、装置は、前記廃蒸気流を加熱する熱交換器102、前記加熱された流を膨張させて力を生成させる第1の膨張器103、前記中圧蒸留カラムの頂部から液体を抜き出す導管106、前記抜き出した液体を前記高圧にポンピングし、これを前記高圧蒸留カラム107の頂部に注入するポンプ117、および前記高圧カラムの頂部から製品窒素を抜き出す導管119を有する。上記発明の一実施形態の非限定的な例は以下のとおりである。本発明の一実施形態は、第1の膨張器204、第2の膨張器203、熱熱交換器202および二重蒸留カラム206、207をもつ装置に関する。蒸留カラムは、約10バールの高圧すなわち製造圧力で稼動する下部メインカラム207と、約5バールの中圧で稼動する上部副カラム206とで形成されている。これらのカラムの各々はそれぞれ頂部凝縮器208、209を有する。図2において、水分および二酸化炭素を含まない圧縮空気211を、熱交換器202を通してほぼその露点まで冷却し、カラム207のベースに導入する。カラム207のベースで受け入れられた入口空気と平衡にある酸素富化液体212を、膨張弁213において中圧まで減圧させ、カラム206の中間位置に導入する。中圧カラム206において、降下する液体は酸素で富化され、カラム206のベースでメイン凝縮器208を冷却して、カラム207中での還流を確実にする。カラム206のボトム液体240を、膨張弁214において減圧させ、次に頂部凝縮器209を冷却してカラム206中の還流を確実にするのに役立てる。カラム206から空気に近い組成をもつガス流を抜き出し、導管218によって低温圧縮機205に送り、高圧カラム207の圧力のわずか上まで加圧する。次に熱交換器202によってガスを冷却し、蒸留カラム207の底部に導入して製品窒素の回収を改善する。製品窒素の回収率を改善することによって、製造コストの低減が達成されるであろう。頂部凝縮器209から導管201によって廃ガスを抜き出し、交換器202において好適な温度レベルまで加熱し、廃ガスの第1の部分221を第1の膨張器204で膨張させ、それによって第1の膨張流223を生成する。また、THCパージ流241を前記中圧蒸留カラムの頂部から取り出す。そして、高温廃ガスの第2の部分222を第2の膨張器203で膨張させ、それによって第2の膨張流224を生成する。第1の部分221と第2の部分222の温度は同じではない。一実施形態において、第2の部分222の温度は第1の部分221のそれより高い。第1の膨張ライン223と第2の膨張ライン224とを再結合して再び熱交換器202に導入することができ、その後にこれは廃ガスとしてシステムを出る。第2の膨張器203または第1の膨張器204からの仕事出力の少なくとも一部を用いて低温窒素圧縮機205を稼動させてもよい。液体240を、凝縮器209において約1.7バールの圧力で気化させて流201を生成させ、次にこれを熱交換器202で加温し、次に膨張器203で膨張させて、熱平衡を達成するために必要とされる冷凍バランスを与える。膨張後、次に熱交換器ライン202中で加温して、装置の残留ガス202を構成する。導管216によってカラム206から凝縮器209の凝縮流の一部を抜き出し、ポンプ217によって高圧に戻し、カラム207の頂部に再注入する。カラム207の頂部からガス窒素流を抜き出し、熱交換器202で加温して窒素製品として回収する。当業者は、追加の膨張器の配置が可能であり、図1および図2に示したスキームに限定すべきではないことを認識するであろう。熱交換器202における温度レベルの改善に加えて、二重膨張器配置は第2の膨張器203へのより高い入口温度という利点も与え、これはその仕事出力の見地から有益である。より高い仕事出力は回収できるより高い流量およびより高い製品回収を意味する。図1のスキームにおいて、膨張器103によって生成され、プロセスで要求される冷凍をバランスさせるために用いられる過剰な冷凍は、たとえば一体化されたオイルブレーキまたは発電機ブレーキ図示せずにおいて消失できることに注目することも有用である。本発明の一実施形態において、この装置は供給空気を実質的にその露点まで冷却する熱交換器202、高圧蒸留カラム207、および中圧蒸留カラム206を有する。また、本発明は前記高圧蒸留カラムのベースに前記冷却された圧縮空気の少なくとも一部を導入する導管230、前記高圧蒸留カラムのベースから酸素富化液体を取り出す導管212、前記酸素富化液体の圧力を中圧ここで前記中圧は前記高圧と大気圧との間であるまで低下させる第1の弁213を含む。また、本発明は前記中圧蒸留カラム206の中間位置に前記酸素富化液体を導入する導管232、前記中圧蒸留カラムのベースから取り出した液体の少なくとも一部の圧力を、低圧まで低下させて前記中圧蒸留カラムの頂部凝縮器を冷却して廃蒸気流を生成させる第2の弁214を有する。また、この発明は、中圧蒸留カラム206から取り出した蒸気流を圧縮する低温圧縮機205、前記圧縮された蒸気流を冷却し、これを前記高圧蒸留カラムのベースに導入することを含む。また、本発明は、前記廃蒸気流を加熱する熱交換器202、前記加熱された流の一部を膨張させて力を生成させる第1の膨張器203、前記加熱された流の他の一部を膨張させて力を生成させる第2の膨張器204を含む。また、本発明は、前記中圧蒸留カラム206の頂部から液体を抜き出す導管206、前記抜き出した液体を前記高圧にポンピングし、これを前記高圧蒸留カラム207の頂部に注入するポンプ217、および前記高圧カラムの頂部から製品窒素を抜き出す導管219を有する。