帯電ドロップレットを出力するドロップレット生成器と、前記帯電ドロップレットの軌道の近傍に配置された磁気回路であって、導電体のコイルを含む前記磁気回路と、前記コイルに流れる電流を検出して検出信号を出力する電流検出器と、を含む少なくとも一つのドロップレットセンサと、前記検出信号に基づいて前記帯電ドロップレットを検出する信号処理回路と、を含む、ドロップレット生成及び検出装置。前記磁気回路は、前記帯電ドロップレットの軌道を囲んで配置された、請求項1に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記磁気回路は、ループ状の磁性材料によって構成されたコアをさらに含み、前記導電体は、前記コアに少なくとも1回巻かれて前記コイルを構成している、請求項1に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記コアは、非磁性材料によって構成された筒状体に固定された、請求項3に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記ドロップレット生成器は、前記帯電ドロップレットが出力される開口部と、前記開口部からみて前記帯電ドロップレットの出力方向側に設けられ、所定電位が印加される電極と、を含む、請求項1に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記磁気回路は、そのループ面が、前記帯電ドロップレットの軌道に対して所定角度傾斜するように配置された、請求項1に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記信号処理回路は、前記電流検出器からの前記検出信号の出力タイミングに基づいて、前記帯電ドロップレットが前記磁気回路の近傍を通過した位置を計測する、請求項6に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記少なくとも一つのドロップレットセンサは、第1ドロップレットセンサと、第2ドロップレットセンサとを含み、前記第1ドロップレットセンサの前記磁気回路と前記第2ドロップレットセンサの前記磁気回路とは、それぞれのループ面が、互いに異なる方向に前記帯電ドロップレットの軌道に対して傾斜して配置される、請求項1に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記信号処理回路は、前記第1ドロップレットセンサからの前記検出信号の出力タイミングに基づいて、前記帯電ドロップレットが前記第1ドロップレットセンサを通過する位置の第1の方向における位置ずれ量を計測し、前記第2ドロップレットセンサからの前記検出信号の出力タイミングに基づいて、前記帯電ドロップレットが前記第2ドロップレットセンサを通過する位置の第2の方向における位置ずれ量を計測する、請求項8に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記少なくとも一つのドロップレットセンサは、第1ドロップレットセンサと、第3ドロップレットセンサとを含み、前記第1ドロップレットセンサの前記磁気回路は、前記帯電ドロップレットの軌道に対して所定角度傾斜するように配置され、前記第3ドロップレットセンサの前記磁気回路は、そのループ面が、前記帯電ドロップレットの軌道に対して前記所定角度より垂直に近い角度で配置され、前記信号処理回路は、前記第1ドロップレットセンサからの前記検出信号の出力タイミングと、前記第3ドロップレットセンサからの前記検出信号の出力タイミングとの時間差に基づいて、前記帯電ドロップレットが前記第1ドロップレットセンサの前記磁気回路の近傍を通過した位置を計測する、請求項1に記載のドロップレット生成及び検出装置。前記少なくとも一つのドロップレットセンサは、前記第3ドロップレットセンサから離間して設けられる第4ドロップレットセンサをさらに含み、前記信号処理回路は、前記第3ドロップレットセンサからの前記検出信号の出力タイミングと、前記第4ドロップレットセンサからの前記検出信号の出力タイミングとに基づいて、前記帯電ドロップレットの速度を検出する、請求項10に記載のドロップレット生成及び検出装置。導電体のコイルを含む磁気回路と、前記コイルに流れる電流を検出して検出信号を出力する電流検出器と、を含む少なくとも一つのドロップレットセンサと前記ドロップレットセンサからの検出信号に基づいて、ドロップレット生成器から出力される帯電ドロップレットを検出する信号処理回路と、前記帯電ドロップレットの軌道を制御するための軌道制御部と、を含む、ドロップレット制御装置。極端紫外光源装置に用いられる極端紫外光生成用チャンバであって、チャンバ本体と、帯電ドロップレットを前記チャンバ本体の内部に出力するドロップレット生成器と、前記帯電ドロップレットの軌道の近傍に配置された磁気回路であって、導電体のコイルを含む前記磁気回路と、前記コイルに流れる電流を検出して検出信号を出力する電流検出器と、を含む少なくとも一つのドロップレットセンサと、前記ドロップレットセンサからの検出信号に基づいて、前記帯電ドロップレットを検出する信号処理回路と、前記帯電ドロップレットの軌道を制御する軌道制御部と、を含む、極端紫外光生成用チャンバ。極端紫外光源装置に用いられる帯電ドロップレットの位置を制御する方法であって、導電体のコイルを含む磁気回路と、前記コイルを流れる電流を検出して検出信号を出力する電流検出器と、を含む少なくとも一つのドロップレットセンサを、前記帯電ドロップレットの軌道の近傍に配置することと、ドロップレット生成器から前記帯電ドロップレットを出力させることと、前記ドロップレットセンサからの前記検出信号に基づいて、信号処理回路により前記帯電ドロップレットを検出することと、電界発生部により、前記帯電ドロップレットの軌道の一部を含む領域に前記軌道と交差する方向の電界を発生させることと、を含む、ドロップレットの位置制御方法。