物体側から順に、第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、を有し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含み、前記第1レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、前記第2レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置され、無限遠合焦時の前記第2レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣdvrとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をfとしたとき、次式2.00<Σdvr/f<5.00の条件を満足することを特徴とする光学系。前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項1に記載の光学系。前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、ndは1.30以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載の光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載の光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の光学系。前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の光学系。無限遠合焦時の前記第2レンズ群の横倍率をβvrとし、無限遠合焦時の前記第3レンズ群の横倍率をβ3としたとき、次式-0.15<|1-βvr×β3|<0.50の条件を満足することを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の光学系。無限遠合焦時の全系の焦点距離をfとし、前記第2レンズ群の焦点距離をf2としたとき、次式-0.35<f/f2<-0.07の条件を満足することを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の光学系。開口絞りは、前記第2レンズ群よりも像面側に配置されることを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の光学系。前記開口絞りは、前記第3レンズ群内に配置されることを特徴とする請求項12に記載の光学系。前記第3レンズ群は、近距離物体への合焦に際し、物体側に移動するように配置されることを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の光学系。請求項1から14のいずれか1項に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。物体側から順に、第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、を有する光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んで形成され、前記第1レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置し、前記第2レンズ群は、光軸と略垂直方向の成分を持つように移動するように配置し、無限遠合焦時の前記第2レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣdvrとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をfとしたとき、次式2.00<Σdvr/f<5.00の条件を満足するよう配置されることを特徴とする光学系の製造方法。しかしながら、従来の広い画角の光学系は、防振機構を採用した際に、防振時の収差補正が十分ではないという課題があった。それと同時に、このような光学系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、ゴーストやフレアをより低減させ、より高性能で防振性能に優れた光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することを目的とする。前記課題を解決するため、本発明に係る光学系は、物体側から順に、第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、を有し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含み、前記第1レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、前記第2レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置され、無限遠合焦時の第2レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣdvrとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をfとしたとき、次式2.00<Σdvr/f<5.00の条件を満足することを特徴とする光学系を提供する。また、本発明に係る光学機器は、物体の像を所定の像面上に結像させる上述の光学系のいずれかを有して構成される。また、本発明に係る光学系の製造方法は、物体側から順に、第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、を有する光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んで形成され、前記第1レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置し、前記第2レンズ群は、光軸と略垂直方向の成分を持つように移動するように配置し、無限遠合焦時の前記第2レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣdvrとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をfとしたとき、次式2.00<Σdvr/f<5.00の条件を満足するよう配置することを特徴とする光学系を提供する。本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することができる。以下、本願の好ましい実施形態について説明する。本実施形態に係る光学系は、物体側から順に、第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、を有し、第1レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されている。また、第2レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動させて像を変位させることを特徴とする防振レンズ群である。また、本実施形態に係る光学系は、無限遠合焦時の第2レンズ群の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣdvrとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をfとしたとき、以下の条件式1を満足する。2.00<Σdvr/f<5.001短い焦点距離のレンズを一眼レフレックスカメラやデジタルカメラ等に用いられるほどのバックフォーカスを確保するためには、マージナル光線の光軸からの高さをレンズへの入射時より射出時に高くすることで瞳倍率を1より大きくすることができる、いわゆるワイドコンバータ特性を持った構成にすると有効であることが知られている。また、バックフォーカスの制約が無い場合でも、画角が広くなるにつれて顕著になる周辺光量不足を補う上でも、前述のようなワイドコンバータ特性を持った構成を用いることが有効である。このいわゆるレトロフォーカスレンズタイプでF1.4ほどの大口径化を行ったものが提案されている。ここで、このような広い画角の光学系に対して防振機構を導入する際には、どの箇所に防振レンズを入れるかが問題となる。なお、マージナル光線とは、像高0に達する光線のうちで最も光軸から離れた光線をいう。レトロフォーカスレンズでは、物体側のレンズ群が負の屈折力が強く、像面側のレンズ群は正の屈折力が強い非対称な屈折力配置になっているため、レンズ群同士で互いに収差を打ち消しあうことができず、負の歪曲収差やコマ収差の補正が特に難しくなっている。そのため、レンズ群単独でできる限り収差を補正しておく必要がある。そのような各レンズ群単独での収差補正が十分でない場合は、それ以降のレンズ群で防振した際や近距離物体に対して合焦を行った際に球面収差、コマ収差や偏芯コマ収差、像面湾曲が大きく発生する。そこで、本実施形態に係る光学系では、物体側から順に正または負の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群という配置を採用した。これにより、第1レンズ群を、上述のワイドコンバータ部と考え、それに最適な収差補正を行う。また、防振レンズ群以下、第2レンズ群とも記すは負の屈折力を有することから第3レンズ群とあわせてもレトロフォーカスレンズの屈折力配置を取り、バックフォーカスや撮像素子への光線の入射角度を最適化することが容易となる。このような構成とした結果として、球面収差及びコマ収差を良好に補正することが可能となった。また、周辺光束に対しても、第2レンズ群が負の屈折力をもつことでコマ収差、特にサジタルコマ収差を効果的に補正できる。その結果、レンズ径を大きくすることなく良好な収差補正を実現できる。また、最も物体側のレンズ面が、物体側に凹面を向けた形状をしていることで前述の効果をより発揮できる。また、本実施形態に係る光学系では、収差補正とのバランスを取りながら、防振時にも良好な結像性能を発揮できる有効な範囲を規定している前述の条件式1を満足する構成とした。この条件式1は、防振レンズ群である第2レンズ群が像面に対してどの程度離れているかを、全系の焦点距離との比で規定している。この条件式1が意味するところは、防振レンズ群第2レンズ群が焦点距離に対してあまりにも像面から近い位置や、遠い位置にあると十分な光学性能を、特に防振時に発揮できないからである。従来、本実施形態に係る光学系のような広角レンズで防振機構を導入した際の大きな問題として、防振レンズ群である第2レンズ群の偏芯時の非点収差の変動補正が困難であった。また、大口径レンズでは防振レンズ群第2レンズ群の偏芯時の偏芯コマ収差の補正も困難であった。その理由として、防振レンズ群である第2レンズ群の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動し、結果として非点収差、コマ収差などのバランスが大きく崩れて補正しきれないことに由来している。そのため、防振レンズ群第2レンズ群の屈折力と同じ屈折力を有するレンズ群が比較的多く集まっている箇所であって、それらのうちのいずれかのレンズ群の近傍に防振レンズ群である第2レンズ群を配置すると、防振レンズ群第2レンズ群とその前後のレンズ群で高次収差の出し引きを行う必要が少なくなるため、この防振レンズ群第2レンズ群の偏芯時の収差補正に有利である。以上より、本実施形態に係る光学系は、防振レンズ群である第2レンズ群の負の屈折力と同じ負の屈折力を有するレンズ群が比較的多く集まっている第1レンズ群の近傍にこの防振レンズ群である第2レンズ群を配置する構成としている。その結果、この防振レンズ群である第2レンズ群は全系の焦点距離に比して、この防振レンズ群第2レンズ群が像面に対して前述の条件式1を満たす程度離れていることで、良好な収差補正を実現した。また、レトロフォーカスレンズにおいて像面に近い位置に防振レンズ群第2レンズ群を配置すると合焦フォーカシングを行う機構を配置することが困難になり易い。なぜならばオートフォーカス機構が可能なフォーカシング部の負荷を考えると、このフォーカシング部は比較的レンズの像面側よりの位置で行うことが有利である。そのため、防振レンズ群である第2レンズ群を像面に近い位置に配置しようとするとフォーカシング部と近接した配置を強いられることになる。その結果、合焦レンズ群により近距離物体への合焦を行う際に、移動ストロークを小さくする必要があり、そのためには、第3レンズ群の屈折力を強くしなくてはならない。結果として球面収差およびコマ収差の補正が困難となり、好ましくない。同様に防振レンズ群第2レンズ群も少ない偏芯量で十分な防振効果を得ようとすると、この防振レンズ群第2レンズ群も強い屈折力が必要となり、結果として偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。条件式1の上限値を上回ると、防振レンズ群である第2レンズ群がレンズ全体に対して物体側に寄り過ぎるため、レンズの全長が長くなりがちである。その結果、周辺光量が不足するのを防ぐためには第1レンズ群の屈折力を収差補正上の最適値よりも強くする必要が生じ、それにより歪曲収差、像面湾曲などが悪化するため好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式1の上限値を4.50にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式1の上限値を4.00とすることがより好ましい。また、条件式1の下限値を下回ると、防振レンズ群である第2レンズ群がレンズ全体に対して像面側により過ぎるため、前述のようにこの防振レンズ群第2レンズ群及び第3レンズ群ともに強い屈折力を必要とされるため、結果として防振レンズ群第2レンズ群の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式1の下限値を2.20にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式1の下限値を2.40とすることがより好ましい。また、本実施形態に係る光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んでいる。このように構成することで、本実施形態に係る光学系では、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。また、本実施形態に係る光学系では、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減することができる。また、本実施形態に係る光学系では、前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、屈折率ndが1.30以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減することができる。また、本実施形態に係る光学系では、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減することができる。また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において開口絞りから見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において物体側から見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において物体側から見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群及び第2レンズ群において物体側から見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。なお、本実施形態に係る光学系では、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が1.30以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。また、本実施形態に係る光学系は、無限遠合焦時の第2レンズ群の横倍率をβvrとし、無限遠合焦時の第3レンズ群の横倍率をβ3としたとき、以下の条件式2を満足することが望ましい。0.15<|1-βvr×β3|<0.502条件式2は、防振レンズ群である第2レンズ群の光軸と直交する方向の成分を持つような移動量に対する、像面上で像が光軸と略直交する方向の成分を持つような移動量の割合を規定する条件である。この条件式2の上限値を上回ると、防振レンズ群である第2レンズ群の屈折力が強くなりすぎ、結果として、偏芯時のコマ収差及び非点収差の変動ともに収差補正が困難になり好ましくない。また、条件式2の上限値を上回ると、前述のように防振レンズ群第2レンズ群の屈折力が強くなりすぎることに加えて第3レンズ群の横倍率が大きくなりすぎ、これは第3レンズ群の屈折力が適正値よりも強すぎることを意味し、結果として、球面収差、コマ収差なども悪化してしまうため好ましくない。また、第3レンズ群の横倍率が適正値よりも高すぎるため防振レンズ群第2レンズ群の偏芯にともなう偏芯時のコマ収差、非点収差の変動を拡大しすぎることになり、その結果として、防振レンズ群第2レンズ群の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動補正が困難になり好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式2の上限値を0.45にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式2の上限値を0.42とすることがより好ましい。また、条件式2の下限を下回ると、防振制御のために必要な防振レンズ群第2レンズ群の移動量が適正値より大きくなってしまい、結果として、この防振レンズ群第2レンズ群の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。また、防振レンズ群第2レンズ群を駆動するためのアクチュエーターなどの駆動手段も大きくなってしまう。その結果、各レンズ群の間隔が適正値より圧迫されるために各レンズ群の屈折力が強くなりすぎ、球面収差、コマ収差なども悪化してしまうため好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式2の下限値を0.18にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式2の下限値を0.21とすることがより好ましい。また、本実施形態に係る光学系は、無限遠合焦時の全系の焦点距離をfとし、第2レンズ群の焦点距離をf2としたとき、以下の条件式3を満足することが望ましい。-0.35<f/f2<-0.073条件式3は、防振レンズ群である第2レンズ群の焦点距離f2を規定するための条件式である。この条件式3の上限値を上回ると、防振レンズ群第2レンズ群の屈折力が弱くなりすぎるため、防振制御のために必要なこの防振レンズ群第2レンズ群の移動量が適正値より大きくなってしまい、結果として、この防振レンズ群第2レンズ群の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに収差補正が困難になり好ましくない。また、この防振レンズ群第2レンズ群を駆動するためのアクチュエーターなどの駆動手段も大きくなってしまう。その結果、各レンズ群間隔が適正値より圧迫されるために各レンズ群の屈折力が強くなりすぎるため球面収差、コマ収差なども悪化してしまうため好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式3の上限値を-0.10にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式3の上限値を-0.12とすることがより好ましい。また、条件式3の下限値を下回ると、防振レンズ群第2レンズ群の屈折力が強くなりすぎてしまい、結果としてこの防振レンズ群第2レンズ群の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに収差補正が困難になり好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式3の下限値を-0.31にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式3の下限値を-0.28とすることがより好ましい。一般的に、開口絞りに対してコンセントリックな光学面は非点収差を発生させにくいことが知られている。広い画角の光学系で防振機構を導入した際の大きな問題として、偏芯時の非点収差、及びこの非点収差の変動が挙げられる。その理由として、防振レンズ群の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動し、結果として非点収差、コマ収差などのバランスが大きく崩れて補正しきれないことに由来している。そのため、本実施形態に係る光学系では、開口絞りSに対してコンセントリックな光学面とし、偏芯時も防振レンズ群第2レンズ群の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動しないようにした。その結果、偏芯時の非点収差、コマ収差変動が良好に補正された。このように、本実施形態に係る光学系において、開口絞りSは、第2レンズ群よりも像面側に配置されることが望ましく、また、開口絞りSは、第3レンズ群内に配置されることがより望ましい。この場合、開口絞りSの前後にレンズ成分を配置することが望ましい。本実施形態に係る光学系において、防振レンズ群である第2レンズ群を射出した光線は発散光となる。ここで、第2レンズ群と開口絞りSとの間にレンズ群が存在しない場合は開口絞りSを通過した光線は開口絞りSより像面側のレンズ群に対して高い入射高さをもつことになる。その結果球面収差やコマ収差が悪化するため、第2レンズ群と開口絞りSとの間にレンズ成分を有することが望ましい。なお、上記の観点では第2レンズ群と開口絞りSとの間のレンズ成分は正の屈折力を有することがより望ましい。また、開口絞りSより像面側にもレンズ成分を有することで開口絞りS前後で収差を補正することが可能になるため、第3レンズ群は開口絞りSの前後にレンズ成分を有することが好ましい。この構成により、球面収差、コマ収差を良好に補正できる。上記の観点では開口絞りSより像面側のレンズ成分は正の屈折力を有することがより望ましい。また、開口絞りとしての部材を設けずに、レンズの枠でその役割を代用しても良い。また、本実施形態に係る光学系は、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、第3レンズ群が物体側に移動することが望ましい。広い画角の光学系の合焦方法として、開口絞りSより像面側だけを移動させるいわゆるリアフォーカスタイプが知られている。しかし、大口径な広い画角の光学系においては球面収差、コマ収差、像面湾曲の収差変動が大きく望ましくない。そのため、本実施形態に係る光学系では、第3レンズ群は開口絞りSの前後にレンズ成分を有することで、無限遠物体から近距離物体に対しての合焦でも球面収差とコマ収差及び像面湾曲の収差変動を少なく抑えることが可能となった。また、このように開口絞りSの前後にレンズ成分があることにより、上述のように、球面収差、コマ収差を良好に収差補正することができる。次に、本実施形態に係る光学系を搭載した光学機器について説明する。図26は、後述する第1実施例で示す防振機能を有する本実施形態に係る光学系を搭載した一眼レフカメラ1以後、単にカメラと記すの概略構成図を示す。このカメラ1において、不図示の被写体からの光は、後述する防振機能を有する撮影レンズSL2で集光され、クイックリターンミラー3で反射されて焦点板4に結像される。焦点板4に結像された被写体像は、ペンタプリズム5で複数回反射されて接眼レンズ6を介して撮影者に正立像として観察可能に構成されている。撮影者は、不図示のレリーズ釦を半押ししながら接眼レンズ6を介して被写体像を観察して、被写体への合焦および撮影構図を決めた後、レリーズ釦を全押しする。レリーズ釦を全押しした時、クイックリターンミラー3が上方に跳ね上げられ被写体からの光は撮像素子7で受光され撮影画像が取得され、不図示のメモリに記録される。レリーズ釦を全押しした時、撮影レンズ2光学系SLに内蔵されているセンサー8例えば、角度センサーなどで撮影レンズ2カメラ1の傾きが検出されてCPU9に伝達され、CPU9で回転ぶれ量が検出され手ぶれ補正用レンズ群を光軸に直交する方向の成分を持つように駆動するレンズ駆動手段10が駆動され、手ぶれ発生時の撮像素子7上における像ぶれが補正される。このようにして、後述する防振機能を有する撮影レンズ2光学系SLを具備する光学機器1が構成されている。なお、図26に記載のカメラ1は、光学系SLを着脱可能に保持するものでも良く、光学系SLと一体に成形されるものでも良い。また、クイックリターンミラー等を有しないミラーレスカメラでも良く、上記カメラと同様の効果を奏することができる。また、カメラ1には、上述の第1実施例に限らず他の実施例の撮影レンズを装着することができる。以下、本実施形態の光学系の製造方法の概略を、図27を参照して説明する。図27において、各レンズを配置してレンズ群をそれぞれ準備するステップS100。そして、本実施形態に係る光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んでいる。具体的に、本実施形態では、例えば、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、両凸形状の正レンズL14と両凹形状の負レンズL15との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズL16を配置して第1レンズ群G1とし、物体側から順に、両凹形状の負レンズL21と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL22との接合レンズを配置して第2レンズ群G2とし、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31、両凸形状の正レンズL32、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL33、開口絞りS、両凹形状の負レンズL34と両凸形状の非球面正レンズL35との接合レンズ、両凸形状の正レンズL36、及び、像面側に凸面を向けた正メニスカスレンズL37を配置して第3レンズ群G3とする。この際、第1レンズ群G1は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置するステップS200。また、第2レンズ群G2は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動するように配置するステップS300。そして、これらのレンズ群を、無限遠合焦時の第2レンズ群G2の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離をΣdvrとし、無限遠合焦時の全系の焦点距離をfとしたとき、前述の条件式1を満足するよう配置するステップS400。以下、本実施形態に係る光学系の各実施例を、図面に基づいて説明する。なお、図1、図5、図8、図11、図14、図17、図20及び図23は、各実施例に係る光学系SLSL1~SL8のレンズ構成を示す断面図である。図1及び図5に示すように、第1及び第2実施例に係る光学系SL1及びSL2は、物体側から順に、負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成されている。一方、図8、図11、図14、図17、図20及び図23に示すように、第3~第8実施例に係る光学系SL3~SL8は、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成されている。また、各実施例において、第1レンズ群G1は像面に対して光軸方向に固定されており、第2レンズ群G2は光軸と略垂直方向の成分を持つように移動し像面上の像を変位させる防振レンズ群である。開口絞りSは、第3レンズ群G3内に配置し、開口絞りSの前後に正の屈折力を持つレンズ成分を有し第8実施例を除く、近距離物体への合焦に際し、第3レンズ群G3が物体側に移動する。各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをyとし、高さyにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離サグ量をSyとし、基準球面の曲率半径近軸曲率半径をrとし、円錐定数をκとし、n次の非球面係数をAnとしたとき、以下の式aで表される。なお、以降の実施例において、E-nは×10nを示す。Sy=y2/r/{11-κ×y2/r212}A4×y4A6×y6A8×y8aなお、各実施例において、2次の非球面係数A2は0である。また、各実施例の表中において、非球面には面番号の左側に印を付している。第1実施例図1は、本願の第1実施例に係る光学系SL1のレンズ構成を示す図である。この図1の光学系SL1において、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、両凸形状の正レンズL14と両凹形状の負レンズL15との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズL16から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹形状の負レンズL21と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL22との接合レンズから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31、両凸形状の正レンズL32、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL33、開口絞りS、両凹形状の負レンズL34と両凸形状の非球面正レンズL35との接合レンズ、両凸形状の正レンズL36、及び、像面I側に凸面を向けた正メニスカスレンズL37から構成されている。本第1実施例では、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11における像面I側のレンズ面面番号2と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面面番号11に後述する反射防止膜が形成されている。なお、全系の焦点距離がfで、防振係数ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第1実施例においては、防振係数は0.306であり、焦点距離は28.50mmであるので、0.70°の回転ぶれを補正するための第2レンズ群G2の移動量は1.14mmである。以下の表1に、第1実施例の諸元の値を掲げる。この表1において、fは焦点距離、FNOはFナンバー、2ωは画角単位:°、Bfはバックフォーカスをそれぞれ表している。また、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序を、面間隔は各光学面から次の光学面までの光軸上の間隔を、屈折率及びアッベ数はそれぞれd線λ=587.6nmに対する値を示している。全長は、無限遠合焦時のレンズ面の第1面から像面Iまでの光軸上の距離を表している。ここで、以下の全ての諸元値において掲載されている焦点距離、曲率半径、面間隔、その他長さの単位は一般にmmが使われるが、光学系は、比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。なお、物面、像面の曲率半径∞、および開口絞りの曲率半径0000はそれぞれ平面を示す。また、空気の屈折率100000は省略してある。また、これらの符号の説明及び諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。表1第1実施例f2850FNO1452ω756像高216全長1333面番号曲率半径面間隔屈折率アッベ数物面∞∞18425224017410052672302846243574772101772504960436791020155389380953250612476498367633174400447975470013015269953008320562020984738536174806500010139358500117541813014874970401253719298183400371613118654144517137616968055521512194402016399376091696805552171367880201813844713016200436301927404500200000667開口絞りS212264013017847225682265850567177250496023592941142425666460017410052672537599020265632242517725049612731870像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群173343第2レンズ群1114194第3レンズ群144252この第1実施例において、第5面、及び、第23面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表2に、非球面のデータ、すなわち円錐定数κ及び各非球面定数A4~A8の値を示す。表2κA4A6A8第5面0042900654648E08107103E09203329E12第23面19496500212065E06380233E08528645E11この第1実施例において、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔d13、及び、バックフォーカスBfは、合焦に際して変化する。次の表3に、無限遠合焦状態及び撮影倍率-0.0333倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。なお、d0は、物体から最も物体側のレンズ面までの距離、βは撮影倍率をそれぞれ示し、他の実施例も同様であり以降の説明を省略する。表3無限遠合焦状態中間撮影距離状態d0またはβ∞00333d13755652Bf38113914次の表4に、この第1実施例における各条件式対応値を示す。なおこの表4において、Σdvrは無限遠合焦時の第2レンズ群G2の最も像面側のレンズ面から全系の近軸像面までの光軸上の距離を、βvrは無限遠合焦時の第2レンズ群G2の横倍率をβvrを、β3は無限遠合焦時の前記第3レンズ群の横倍率を、fは全系の焦点距離を、f2は第2レンズ群G2の焦点距離を、それぞれ表している。以上の符号の説明は以降の実施例においても同様である。表41Σdvr/f=3072|1-βvr×β3|=0313f/f2=020この第1実施例の無限遠合焦状態の収差図を図2aに示し、中間撮影距離状態の収差図を図3aに示す。また、第1実施例の無限遠合焦状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図2bに示し、中間撮影距離状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図3bに示す。各収差図において、FNOはFナンバーを、NAは開口数を、Yは像高を、Aは主光線の入射角を、Dはd線λ=587.6nmを、Gはg線λ=435.8nmを、それぞれ示している。また、非点収差を示す収差図において実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示している。また、コマ収差において破線はサジタルの横収差図を示している。なお、これらの収差図の説明は以降の実施例においても同様である。各収差図から明らかなように、第1実施例に係る光学系SL1では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。図4は、第1実施例に係る光学系SL1において、物体側から入射した光線BMによりゴーストが発生する状態を示している。図4において、物体側からの光線BMが図示のように光学系SL1に入射すると、両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面第1番目の反射光発生面でありその面番号は11で反射し、その反射光は第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11における像面側のレンズ面第2番目の反射光発生面でありその面番号は2で再度反射して像面Iに到達し、ゴーストおよびフレアを発生させてしまう。なお、第1番目の反射光発生面面番号11は物体から見て凹形状のレンズ面であり、第2番目の反射光発生面面番号2は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストおよびフレアを効果的に低減することができる。第2実施例図5は、本願の第2実施例に係る光学系SL2のレンズ構成を示す図である。この図5の光学系SL2において、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、像面I側に凸面を向けた正メニスカスレンズL14と像面I側に凸面を向けた負メニスカスレンズL15との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズL16から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹形状の負レンズL21と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL22との接合レンズから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31、両凸形状の正レンズL32、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL33、開口絞りS、両凹形状の負レンズL34と両凸形状の非球面正レンズL35との接合レンズ、両凸形状の正レンズL36、及び、像面I側に凸面を向けた正メニスカスレンズL37から構成されている。本第2実施例では、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11における像面I側のレンズ面面番号2と、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL16における像面I側のレンズ面面番号10に後述する反射防止膜が形成されている。なお、全系の焦点距離がfで、防振係数ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第2実施例においては、防振係数は0.306であり、焦点距離は27.99mmであるので、0.70°の回転ぶれを補正するための第2レンズ群G2の移動量は1.12mmである。以下の表5に、この第2実施例の諸元の値を掲げる。表5第2実施例f2799FNO1452ω767像高216全長1333面番号曲率半径面間隔屈折率アッベ数物面∞∞16758324017410052672300546933683412101772504960436441020155389380953358512506176482398174400447976111113015259953318288957020915026555017480650001078414500116396613014874970401268577282183400371613186927143929742316968055521510359902016390216421696805552171488310201811377113016126644461926212500200000701開口絞りS212212213017847225682249850535177250496023537841792440763260017550052312536823020265196441817725049612731344像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群185875第2レンズ群1114198第3レンズ群144351この第2実施例において、第5面、及び、第23面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表6に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径R、円錐定数κ及び各非球面定数A4~A8の値を示す。表6κA4A6A8第5面0016000867227E07262240E10158840E12第23面19875800908714E07551987E08797050E11この第2実施例において、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔d13、及び、バックフォーカスBfは、合焦に際して変化する。次の表7に、無限遠合焦状態及び撮影倍率-0.0333倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。表7無限遠合焦状態中間撮影距離状態d0またはβ∞00333d13781674Bf38123918次の表8に、この第2実施例における各条件式対応値を示す。表81Σdvr/f=3182|1-βvr×β3|=0313f/f2=020この第2実施例の無限遠合焦状態の収差図を図6aに示し、中間撮影距離状態の収差図を図7aに示す。また、第2実施例の無限遠合焦状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図6bに示し、中間撮影距離状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図7bに示す。各収差図から明らかなように、第2実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第3実施例図8は、本願の第3実施例に係る光学系SL3のレンズ構成を示す図である。この図8の光学系SL3において、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、像面I側に凸面を向けた正メニスカスレンズL14、及び、両凸形状の正レンズL15から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹形状の負レンズL21と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL22との接合レンズから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31、両凸形状の正レンズL32、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL33、開口絞りS、両凹形状の負レンズL34と両凸形状の非球面正レンズL35との接合レンズ、両凸形状の正レンズL36、及び、像面I側に凸面を向けた正メニスカスレンズL37から構成されている。本第3実施例では、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11における像面I側のレンズ面面番号2と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面面番号10に後述する反射防止膜が形成されている。なお、全系の焦点距離がfで、防振係数ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第3実施例においては、防振係数は0.306であり、焦点距離は28.44mmであるので、0.70°の回転ぶれを補正するための第2レンズ群G2の移動量は1.13mmである。以下の表9に、この第3実施例の諸元の値を掲げる。表9第3実施例f2844FNO1452ω758像高216全長1333面番号曲率半径面間隔屈折率アッベ数物面∞∞110000024017410052672304726113618202101772504960440528020155389380953499611066230000800174397448578502702088429048917439744859199472500107441213014874970411155716299180100349612131420134460536116968055521410832902015384316091696805552161592420201711684713016200436301826190500190000656開口絞りS202317022917618226562148664600177250496022613501402329851160017291654662439601020256316244417725049612633521[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群155308第2レンズ群1014223第3レンズ群134302この第3実施例において、第5面、及び、第22面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表10に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径R、円錐定数κ及び各非球面定数A4~A8の値を示す。表10κA4A6A8第5面0116100806560E07169170E09157780E12第22面17884100286500E06291840E08377560E11この第3実施例において、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔d12、及び、バックフォーカスBfは、合焦に際して変化する。次の表11に、無限遠合焦状態及び撮影倍率-0.0333倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。表11無限遠合焦状態中間撮影距離状態d0またはβ∞00333d12747645Bf38323934次の表12に、この第3実施例における各条件式対応値を示す。表121Σdvr/f=3132|1-βvr×β3|=0313f/f2=020この第3実施例の無限遠合焦状態の収差図を図9aに示し、中間撮影距離状態の収差図を図10aに示す。また、第3実施例の無限遠合焦状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図9bに示し、中間撮影距離状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図10bに示す。各収差図から明らかなように、第3実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第4実施例図11は、本願の第4実施例に係る光学系SL4のレンズ構成を示す図である。この図11の光学系SL4において、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸形状の正レンズL15との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズL16から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹形状の負レンズL21と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL22との接合レンズから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31、両凸形状の正レンズL32、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL33、開口絞りS、両凹形状の負レンズL34と両凸形状の非球面正レンズL35との接合レンズ、両凸形状の正レンズL36、及び、像面I側に凸面を向けた正メニスカスレンズL37から構成されている。本第4実施例では、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11における像面I側のレンズ面面番号2と、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL16における像面I側のレンズ面面番号10に後述する反射防止膜が形成されている。なお、全系の焦点距離がfで、防振係数ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第4実施例においては、防振係数は0.290であり、焦点距離は24.70mmであるので、0.70°の回転ぶれを補正するための第2レンズ群G2の移動量は1.04mmである。以下の表13に、この第4実施例の諸元の値を掲げる。表13第4実施例f2470FNO1442ω837像高216全長1333面番号曲率半径面間隔屈折率アッベ数物面∞∞17026024017410052672285261193388442682101772504960450722020155389380954192112506298509227175520275878820475017439744858821340209622415501772504961107370775001196957130158313593812440043721834003716131287811447455303169680555215908370201633070562168692550017440765020186644213016398034561923078500200000845開口絞りS212097713017847225682251753409177250496023482621072436230459617410052672534691020264977345117725049612728781像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群111153第2レンズ群1114713第3レンズ群144248この第4実施例において、第5面、及び、第23面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表14に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径R、円錐定数κ及び各非球面定数A4~A8の値を示す。表14κA4A6A8第5面0041600301610E06130950E10150790E12第23面23208700621040E06101630E07181570E10この第4実施例において、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔d13、及び、バックフォーカスBfは、合焦に際して変化する。次の表15に、無限遠合焦状態及び撮影倍率-0.0333倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。表15無限遠合焦状態中間撮影距離状態d0またはβ∞00333d13630547Bf31473229次の表16に、この第4実施例における各条件式対応値を示す。表161Σdvr/f=3192|1-βvr×β3|=0293f/f2=017この第4実施例の無限遠合焦状態の収差図を図12aに示し、中間撮影距離状態の収差図を図13aに示す。また、第4実施例の無限遠合焦状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図12bに示し、中間撮影距離状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図13bに示す。各収差図から明らかなように、第4実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第5実施例図14は、本願の第5実施例に係る光学系SL5のレンズ構成を示す図である。この図14の光学系SL5において、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズL14から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹形状の負レンズL21と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL22との接合レンズから構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と像面I側に凸面を向けた負メニスカスレンズL32、開口絞りS、両凹形状の負レンズL33と両凸形状の非球面正レンズL34との接合レンズ、像面I側に凸面を向けた正メニスカスレンズL35、及び、像面I側に凸面を向けた正メニスカスレンズL36から構成されている。本第5実施例では、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11における像面I側のレンズ面面番号2と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面面番号8に後述する反射防止膜が形成されている。なお、全系の焦点距離がfで、防振係数ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第5実施例においては、防振係数は0.272であり、焦点距離は28.08mmであるので、0.70°の回転ぶれを補正するための第2レンズ群G2の移動量は1.26mmである。以下の表17に、この第5実施例の諸元の値を掲げる。表17第5実施例f2808FNO1842ω764像高216全長1245面番号曲率半径面間隔屈折率アッベ数物面∞∞1699462401741005267225426500345000210177250496042691502015538938095235661379657582475190366313173917634008655391301558574521956097360174397448510836329114988064717410052671237637130200069254613619301101140000500開口絞りS1526632250176182265616691095841772504960171100001441814803730217291654661944972020208764238217725049602131772像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群116953第2レンズ群816395第3レンズ群114215この第5実施例において、第5面、及び、第17面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表18に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径R、円錐定数κ及び各非球面定数A4~A8の値を示す。表18κA4A6A8第5面0043300868000E07324000E09256000E12第17面3855700123000E05212000E09165000E11この第5実施例において、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔d10、及び、バックフォーカスBfは、合焦に際して変化する。次の表19に、無限遠合焦状態及び撮影倍率-0.0333倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。表19無限遠合焦状態中間撮影距離状態d0またはβ∞00333d10865748Bf38103927次の表20に、この第5実施例における各条件式対応値を示す。表201Σdvr/f=3112|1-βvr×β3|=0273f/f2=017この第5実施例の無限遠合焦状態の収差図を図15aに示し、中間撮影距離状態の収差図を図16aに示す。また、第5実施例の無限遠合焦状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図15bに示し、中間撮影距離状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図16bに示す。各収差図から明らかなように、第5実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第6実施例図17は、本願の第6実施例に係る光学系SL6の構成を示す図である。この図17の光学系SL6において、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL14、及び、両凸形状の正レンズL15から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL21と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22との接合レンズ、両凹形状の負レンズL23、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL24から構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31、両凸形状の正レンズL32、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL33、開口絞りS、両凹形状の負レンズL34と両凸形状の非球面正レンズL35との接合レンズ、両凸形状の正レンズL36、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL37から構成されている。本第6実施例では、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11における像面I側のレンズ面面番号2と、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL14における物体側のレンズ面面番号6に後述する反射防止膜が形成されている。なお、全系の焦点距離がfで、防振係数ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第6実施例においては、防振係数は0.290であり、焦点距離は29.0mmであるので、0.70°の回転ぶれを補正するための第2レンズ群G2の移動量は1.22mmである。以下の表21に、この第6実施例の諸元の値を掲げる。表21第6実施例f2900FNO1452ω747像高216全長1341面番号曲率半径面間隔屈折率アッベ数物面∞∞1589892401741005267229526692372211210177250496043804102015538938095350561250643678398174400447874328202089196655017480650009104422359105500025114874970401141353150151742523112634310201312576413014874970401441948033154378733518340037161693370174042542316968055521814595502019383686261696805552201600730202126323613016126644462226332500230000500開口絞りS2425587130178472256825439365351772504960268308122327344521442175500523128502430202910261247317725049613033734像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群187469第2レンズ群1015004第3レンズ群174327この第6実施例において、第5面、及び、第26面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表22に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径R、円錐定数κ及び各非球面定数A4~A8の値を示す。表22κA4A6A8第5面0155400209390E07801120E10197890E12第26面39109400505950E06286350E08443890E11この第6実施例において、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔d16、及び、バックフォーカスBfは、合焦に際して変化する。次の表23に、無限遠合焦状態及び撮影倍率-0.0333倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。表23無限遠合焦状態中間撮影距離状態d0またはβ∞00333d16974870Bf37323836次の表24に、この第6実施例における各条件式対応値を示す。表241Σdvr/f=3022|1-βvr×β3|=0293f/f2=019この第6実施例の無限遠合焦状態の収差図を図18aに示し、中間撮影距離状態の収差図を図19aに示す。また、第6実施例の無限遠合焦状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図18bに示し、中間撮影距離状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図19bに示す。各収差図から明らかなように、第6実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第7実施例図20は、本願の第7実施例に係る光学系SL7のレンズ構成を示す図である。この図20の光学系SL7において、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL14と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL15との接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL16から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹形状の負レンズL21と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL22との接合レンズで構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31、両凸形状の正レンズL32、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL33、開口絞りS、両凹形状の負レンズL34と両凸形状の非球面正レンズL35との接合レンズ、両凸形状の正レンズL36、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL37から構成されている。本第7実施例では、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11における像面I側のレンズ面面番号2と、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面面番号11に後述する反射防止膜が形成されている。なお、全系の焦点距離がfで、防振係数ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第7実施例においては、防振係数は0.30であり、焦点距離は30.87mmであるので、0.70°の回転ぶれを補正するための第2レンズ群G2の移動量は1.26mmである。以下の表25に、この第7実施例の諸元の値を掲げる。表25第7実施例f3087FNO1452ω713像高216全長1350面番号曲率半径面間隔屈折率アッベ数物面∞∞154000240174100526723005711013296733210177250496044796602015538938095421697576266310006841744004478746891130152599533181396430209639435501748065000105875968510118079313014874970401251576305183400371613111029143956142616968055521512286402016388316041696805552171524890201821432214516126644461924780500200000507開口絞りS212387713017847225682240125600177250496023683162732427044660017550052312543519020269235853117725049612735520像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群168801第2レンズ群1114658第3レンズ群144320この第7実施例において、第5面、及び、第23面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表26に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径R、円錐定数κ及び各非球面定数A4~A8の値を示す。表26κA4A6A8第5面0678900481790E07978310E10173750E13第23面30523200170060E06419410E08589620E11この第7実施例において、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔d13、及び、バックフォーカスBfは、合焦に際して変化する。次の表27に、無限遠合焦状態及び撮影倍率-0.0333倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。表27無限遠合焦状態中間撮影距離状態d0またはβ∞00333d13639528Bf38323943次の表28に、この第7実施例における各条件式対応値を示す。表281Σdvr/f=2872|1-βvr×β3|=0303f/f2=021この第7実施例の無限遠合焦状態の収差図を図21aに示し、中間撮影距離状態の収差図を図22aに示す。また、第7実施例の無限遠合焦状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図21bに示し、中間撮影距離状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図22bに示す。各収差図から明らかなように、第7実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。第8実施例図23は、本願の第8実施例に係る光学系SL8のレンズ構成を示す図である。この図23の光学系SL8において、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズL13との接合レンズ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL14、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL15から構成されている。第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹形状の負レンズL21と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL22との接合レンズで構成されている。第3レンズ群G3は、物体側から順に、開口絞りS、両凸形状の正レンズL31と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL32との接合レンズ、両凹形状の負レンズL33と両凸形状の非球面正レンズL34との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL35、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL36から構成されている。本第8実施例では、第1レンズ群G1の負メニスカス形状の非球面負レンズL13における像面I側のレンズ面面番号5と、第2レンズ群G2の正メニスカスレンズL22における像面I側のレンズ面面番号12に後述する反射防止膜が形成されている。なお、全系の焦点距離がfで、防振係数ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比がKのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群をftanθ/Kだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第7実施例においては、防振係数は0.27であり、焦点距離は28.00mmであるので、0.70°の回転ぶれを補正するための第2レンズ群G2の移動量は1.26mmである。以下の表29に、この第8実施例の諸元の値を掲げる。表29第8実施例f2800FNO1842ω765像高216全長1245面番号曲率半径面間隔屈折率アッベ数物面∞∞1100000240174100526722594750034607721017725049604285970201553893809523872901687112361190366313171864895202085832638119036631319250749400107009113016061437901148211402174397448512986837130000010開口絞りS14593495591741005267154597413020006925461661044160517250652501846662378181189198001772504960197176512320109608293172916546621458390202215667046718040046572332339像面∞[レンズ群焦点距離]レンズ群始面焦点距離第1レンズ群124033第2レンズ群1015294第3レンズ群134175この第8実施例において、第5面、及び、第19面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表30に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径R、円錐定数κ及び各非球面定数A4~A8の値を示す。表30κA4A6A8第5面0105300144211E06386598E09608176E13第19面3354500114404E05295647E09875837E12この第8実施例において、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との軸上空気間隔d12、及び、バックフォーカスBfは、合焦に際して変化する。次の表31に、無限遠合焦状態及び撮影倍率-0.0333倍状態での各焦点距離における可変間隔を示す。表31無限遠合焦状態中間撮影距離状態d0またはβ∞00333d12808728Bf38203926次の表32に、この第8実施例における各条件式対応値を示す。表321Σdvr/f=3172|1-βvr×β3|=0273f/f2=018この第8実施例の無限遠合焦状態の収差図を図24aに示し、中間撮影距離状態の収差図を図25aに示す。また、第8実施例の無限遠合焦状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図24bに示し、中間焦点距離状態において0.70°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図25bに示す。各収差図から明らかなように、第8実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。次に、本実施形態の各実施例に係る光学系SL1~SL8以後、まとめてSLというに用いられる反射防止膜多層広帯域反射防止膜とも言うについて説明する。図28は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜101は7層からなり、レンズ等の光学部材102の光学面に形成される。第1層101aは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第1層101aの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第2層101bが形成される。さらに、この第2層101bの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第3層101cが形成され、この第3層101cの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第4層101dが形成される。またさらに、この第4層101dの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第5層101eが形成され、この第5層101eの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第6層101fが形成される。そして、このようにして形成された第6層101fの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第7層101gが形成されて本実施形態の反射防止膜101が形成される。第7層101gの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル-ゲル法を用いている。ゾル-ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル-ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。このように、この反射防止膜101の第1層101a~第6層101fまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第7層101gは、フッ酸/酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面上述の光学部材102の光学面に真空蒸着装置を用いて第1層101aとなる酸化アルミニウム層、第2層101bとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第3層101cとなる酸化アルミニウム層、第4層101dとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第5層101eとなる酸化アルミニウム層、第6層101fとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材102を取り出した後、フッ酸/酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第7層101gとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸/酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式bに示す。2HFMgCH3COO2→MgF22CH3COOH...bこの成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで140°C、24時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材102は、第7層101gの成膜終了後、大気中で160°C、1時間加熱処理して完成される。このようなゾル-ゲル法を用いることにより、大きさが数nmから数十nmの粒子が空隙を残して堆積することにより第7層101gが形成される。このようにして形成された反射防止膜101を有する光学部材の光学的性能について図29に示す分光特性を用いて説明する。本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材レンズは、以下の表33に示す条件で形成されている。ここで表33は、基準波長をλとし、基板の屈折率光学部材が1.62、1.74及び1.85について反射防止膜101の各層101a第1層~101g第7層の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表33では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2SiO2とそれぞれ表している。表33物質屈折率光学膜厚光学膜厚光学膜厚媒質空気1第7層MgF2SiO21260268λ0271λ0269λ第6層ZrO2TiO22120057λ0054λ0059λ第5層Al2O31650171λ0178λ0162λ第4層ZrO2TiO22120127λ013λ0158λ第3層Al2O31650122λ0107λ008λ第2層ZrO2TiO22120059λ0075λ0105λ第1層Al2O31650257λ003λ003λ基板の屈折率162174185図29は、表33において基準波長λを550nmとして反射防止膜101の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。図29から、基準波長λを550nmで設計した反射防止膜101を有する光学部材は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率を0.2以下に抑えられることが判る。また、表33において基準波長λをd線波長587.6nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜101を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図29に示す基準波長λが550nmの場合とほぼ同等の分光特性を有することがわかっている。次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は5層からなり、表33と同様、以下の表34で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第5層の形成に前述のゾル-ゲル法を用いている。表34物質屈折率光学膜厚光学膜厚媒質空気1第5層MgF2SiO21260275λ0269λ第4層ZrO2TiO22120045λ0043λ第3層Al2O31650212λ0217λ第2層ZrO2TiO22120077λ0066λ第1層Al2O31650288λ0290λ基板の屈折率146152図30は、表34において、基板の屈折率が1.52及び基準波長λを550nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図30から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率が0.2以下に抑えられることがわかる。なお、表34において基準波長λをd線波長587.6nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図30に示す分光特性とほぼ同等の特性を有することがわかっている。図31は、図30に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図30、図31には表34に示す基板の屈折率が1.46の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が1.52とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。また比較のため、図32に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図32は、表34と同じ基板の屈折率1.52に以下の表35で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図33は、図32に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。表35物質屈折率光学膜厚媒質空気1第7層MgF21390243λ第6層ZrO2TiO22120119λ第5層Al2O31650057λ第4層ZrO2TiO22120220λ第3層Al2O31650064λ第2層ZrO2TiO22120057λ第1層Al2O31650193λ基板の屈折率152図29~図31で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図32および図33で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。次に、前述の第1実施例から第8実施例に、上記表33、表34に示す反射防止膜を適用した例について説明する。本第1実施例の光学系SL1において、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11の屈折率は、表1に示すように、nd=1.74100であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL21の屈折率は、nd=1.48749であるため、負メニスカスレンズL11における像面側のレンズ面面番号2に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表33参照を用い、両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面面番号11に、基板の屈折率が1.46に対応する反射防止膜表34参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第2実施例の光学系SL2において、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11の屈折率は、表5に示すように、nd=1.74100であり、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL16の屈折率は、nd=1.74806であるため、負メニスカスレンズL11における像面側のレンズ面面番号2に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表33参照を用い、両凸形状の正レンズL16における像面側面番号10のレンズ面に、基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜表33参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第3実施例の光学系SL3において、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11の屈折率は、表9に示すように、nd=1.74100であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL21の屈折率は、nd=1.48749であるため、負メニスカスレンズL11における像面側のレンズ面面番号2に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表33参照を用い、両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面面番号10に、基板の屈折率が1.46に対応する反射防止膜表34参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第4実施例の光学系SL4において、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11の屈折率は、表13に示すように、nd=1.74100であり、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL16の屈折率は、nd=1.77250であるため、負メニスカスレンズL11における像面側のレンズ面面番号2に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表33参照を用い、両凸形状の正レンズL16における像面側のレンズ面面番号10に、基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜表33参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第5実施例の光学系SL5において、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11の屈折率は、表17に示すように、nd=1.74100であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL21の屈折率は、nd=1.55857であるため、負メニスカスレンズL11における像面側のレンズ面面番号2に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表33参照を用い、両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面面番号8に、基板の屈折率が1.52に対応する反射防止膜表34参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第6実施例の光学系SL6において、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11の屈折率は、表21に示すように、nd=1.74100であり、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL14の屈折率は、nd=1.74400であるため、負メニスカスレンズL11における像面側のレンズ面面番号2に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表33参照を用い、正メニスカスレンズL14における物体側のレンズ面面番号6に、基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜表33参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第7実施例の光学系SL7において、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL11の屈折率は、表25に示すように、nd=1.74100であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL21の屈折率は、nd=1.48749であるため、負メニスカスレンズL11における像面側のレンズ面面番号2に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表33参照を用い、両凹形状の負レンズL21における物体側のレンズ面面番号11に、基板の屈折率が1.46に対応する反射防止膜表34参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第8実施例の光学系SL8において、第1レンズ群G1の負メニスカスレンズL13の屈折率は、表29に示すように、nd=1.55389であり、第2レンズ群G2の正メニスカスレンズL22の屈折率は、nd=1.74397であるため、負メニスカスレンズL13における像面側のレンズ面面番号5に基板の屈折率が1.52に対応する反射防止膜101表34参照を用い、正メニスカスレンズL22における像面側のレンズ面面番号12に、基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜表33参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。なお、上述の実施形態において、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。本実施形態では、3群構成の光学系を示したが、以上の構成条件等は、4群構成等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像面側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、合焦時に変化する空気間隔で分離された、若しくは光軸と略直交成分を持つように移動するか否かで分離された少なくとも1枚のレンズを有する部分を示す。また、単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としても良い。この場合、合焦レンズ群はオートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の超音波モーター等のモーター駆動にも適している。特に、前述したように第3レンズ群を合焦レンズ群とするのが好ましい。また、レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直な方向の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動揺動させて、手ブレによって生じる像ブレを補正する防振レンズ群としてもよい。特に、第2レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。また、レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を妨げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。レンズ面が非球面の場合、非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、レンズ面は回折面としても良く、レンズを屈折率分布型レンズGRINレンズ或いはプラスチックレンズとしても良い。また、各レンズ面には、フレアやゴーストを軽減し高コントラストの高い光学性能を達成するために、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施しても良い。なお、本願を分かり易く説明するために実施形態の構成要件を付して説明したが、本願がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。以上のように、本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することができる。