水平面に対して直立すると共に上端が開放され、下端が閉鎖された筒状の反応槽と、前記反応槽内を上側の有担体区画と下側の無担体区画とに仕切る網状部材と、前記網状部材の下側或いは上側に設置され、外部から供給される酸素含有気体を前記反応槽内に散気する散気装置と、を備え、前記反応槽は、微生物及び複数の多孔質担体が充填されていると共に、上端から処理対象廃水が導入され、前記網状部材は、前記有担体区画から前記無担体区画への前記多孔質担体の移動を阻止することを特徴とする廃水処理装置。一端が前記無担体区画と連通し、他端が前記反応槽の液面上で開口する液体循環配管と、前記液体循環配管の途中に設置され、前記無担体区画の液体を前記液体循環配管を介して前記反応槽の液面へ返送する液体返送装置と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の廃水処理装置。一端が前記無担体区画と連通し、他端が前記反応槽の液面と同じ高さ位置で開口する液体排出管を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の廃水処理装置。側部から底部へ向かって傾斜する傾斜部及び溜まった上澄液を外部へ流出させるための流出口を有する沈殿槽と、一端が前記反応槽の無担体区画と連通し、他端が前記沈殿槽と連通する第1の液体循環配管と、一端が前記沈殿槽の底部と連通し、他端が前記反応槽の液面上で開口する第2の液体循環配管と、前記第2の液体循環配管の途中に設置され、前記沈殿槽の底部の液体を前記第2の液体循環配管を介して前記反応槽の液面へ返送する液体返送装置と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の廃水処理装置。側部から底部へ向かって傾斜する傾斜部及び濾過液を外部へ流出させるための流出口を有する濾過槽と、前記濾過槽内に設置され、前記濾過槽に溜まった液体を濾過膜によって濾過して得られる濾過液を前記流出口を介して流出させる濾過構造体と、一端が前記反応槽の無担体区画と連通し、他端が前記反応槽の液面と同じ高さ位置で前記濾過槽側へ延びて前記濾過槽と連通する第1の液体循環配管と、一端が前記反応槽の液面と同じ高さ位置で前記第1の液体循環配管と接続されて連通し、他端が上方へ延びて開口するガス抜き管と、一端が前記濾過槽の底部と連通し、他端が前記反応槽の液面上で開口する第2の液体循環配管と、前記第2の液体循環配管の途中に設置され、前記濾過槽の底部の液体を前記第2の液体循環配管を介して前記反応槽の液面へ返送する液体返送装置と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の廃水処理装置。前記濾過槽内において前記濾過構造体の下部に設置され、外部から供給される空気を前記濾過構造体に向けて散気する洗浄用散気装置を備えることを特徴とする請求項5に記載の廃水処理装置。濾過液を外部へ流出させるための流出口を有する濾過槽と、前記濾過槽内を上側の濾過区画と下側の逆洗排水貯留区画とに仕切る仕切り板と、前記濾過区画内の上側領域に設置され、前記濾過区画内の液体を濾過して前記濾過液とする濾過層と、前記濾過区画内の上側領域の濾過層内に設置され、外部から供給される空気を前記濾過区画内に散気する逆洗用散気装置と、一端が前記反応槽の無担体区画と連通し、他端が前記濾過槽の濾過区画内の下側領域と連通する第1の液体循環配管と、一端が前記反応槽の液面と同じ高さ位置で前記第1の液体循環配管と接続されて連通し、他端が上方へ延びて開口するガス抜き管と、前記ガス抜き管の水位を計測する第1の水位計と、一端が前記濾過区画内の下側領域と連通し、他端が前記逆洗排水貯留区画と連通する逆洗排水管と、前記逆洗用散気装置に対する空気供給ラインに介挿され、前記第1の水位計による前記ガス抜き管の水位計測結果に応じて開閉状態が制御される第1の制御弁と、前記逆洗排水管に介挿され、前記第1の水位計による前記ガス抜き管の水位計測結果に応じて開閉状態が制御される第2の制御弁と、一端が前記濾過槽の逆洗排水貯留区画と連通し、他端が前記反応槽の液面上で開口する第2の液体循環配管と、前記第2の液体循環配管の途中に設置され、前記濾過槽の逆洗排水貯留区画の液体を前記第2の液体循環配管を介して前記反応槽の液面へ返送する液体返送装置と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の廃水処理装置。前記濾過槽の逆洗排水貯留区画の水位を計測する第2の水位計を備え、前記液体返送装置は、前記第2の水位計による前記逆洗排水貯留区画の水位計測結果に応じて作動/停止が制御されることを特徴とする請求項7に記載の廃水処理装置。前記反応槽の上端開放部からの前記多孔質担体の流出を防止するために、前記上端開放部を覆うように設置された担体流出防止部材を備えることを特徴とする請求項1~8のいずれか一項に記載の廃水処理装置。請求項1~9のいずれか一項に記載の廃水処理装置を用いて、発泡性を有する前記処理対象廃水を処理することを特徴とする廃水処理方法。請求項2~9のいずれか一項に記載の廃水処理装置を用いて、発泡性を有する前記処理対象廃水を、前記液体返送装置を連続的または間欠的に作動させて、前記反応槽の液面に生成される泡を消泡しながら処理することを特徴とする廃水処理方法。前記発泡性を有する処理対象廃水は、非破壊検査に用いられる浸透液を含む廃水であることを特徴とする請求項10または11に記載の廃水処理方法。本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであり、従来のスポンジ担体活性汚泥法と同等以上の廃水処理性能を確保しつつ、大幅な省スペース化を実現可能な廃水処理装置及び廃水処理方法を提供することを目的とする。従来のスポンジ担体活性汚泥法における課題は、反応槽内で旋回流を生じさせることが主な要因となっている。つまり、旋回流による多孔質担体の良好な流動を保つために、多孔質担体の充填率を低く抑えなければならず、それゆえ、箱型の比較的大きな反応槽が必要となって、思うように省スペースにならないのである。本願発明者は、上記のような従来課題の主要因であった旋回流に頼らない方法の実効性を確認するために、次のような廃水処理試験を実施した。この廃水処理試験では、円筒状の反応槽を垂直に立て反応槽の上端は開放され、下端は閉鎖されている、当該反応槽内に活性汚泥及び立方体形状の多孔質担体以下、スポンジキューブと称すを充填し、反応槽の上端開放部から廃水を導入すると共に、反応槽の底部付近から空気を供給した曝気した。つまり、本廃水処理試験は、設置面積水平断面積が小さく、鉛直方向に細長く延びる反応槽内において、旋回流に頼らずに、反応槽の上端開放部から廃水を導入することでスポンジキューブの充填層に生じる下降流によって廃水とスポンジキューブこれに付着した微生物との接触を試みたものである以下では、このような処理方法を新処理方法と称す。この場合、スポンジキューブを旋回流動させる必要がないため、スポンジキューブの充填率を従来のスポンジ担体活性汚泥法よりも高く設定した。表1に、本廃水処理試験の結果表1中の試験結果Aを示す。なお、表1では比較のために実施した従来のスポンジ担体活性汚泥法による廃水処理試験の結果表1中の試験結果Bも一緒に記載している。また、両試験結果ともに、非破壊検査、特に浸透液を被検査物の表面に浸透させてクラックの発生状況を観察する浸透探傷検査に用いられる浸透液を含む廃水発泡性を有する廃水を、ポリウレタンフォーム製のスポンジキューブを用いて処理した結果を示している。周知のように、浸透探傷検査は、クラックの観察方法の違いにより、蛍光染料を含む浸透液を用いる蛍光浸透探傷検査と、赤色染料を含む浸透液を用いる染色浸透探傷検査とに分類される。また、各浸透液は、その余剰分の除去方法洗浄方法の違いにより、水洗性、後乳化性、溶剤除去性に分類される。水洗性浸透液は、基本成分である油脂類と着色成分蛍光染料或いは赤色染料の他、その油脂類を水洗浄可能とする乳化剤界面活性剤を含んでいる。また、後乳化性浸透液は、基本成分である油脂類と着色成分のみを含んでおり、その余剰分の洗浄時に乳化剤が添加されて水洗性を得るものである。これら水洗性浸透液と後乳化性浸透液とのいずれを用いても、余剰浸透液の洗浄によって油脂類、着色成分及び乳化剤などの有機物を含む廃水以下、FPI廃水と称すが生じることになる。このようなFPI廃水中の有機物は、ポリウレタン樹脂、すなわち主鎖の繰り返し単位中にウレタン結合NHCOOをもつ高分子化合物の発泡体ポリウレタンフォームに極めて吸着されやすい性質を有している。そのため、表1に示す両試験では、FPI廃水を処理するために、ポリウレタンフォーム製のスポンジキューブを用いているのである。表1に示す通り、新処理方法を用いることにより、従来のスポンジ担体活性汚泥法と比較して、半分の滞留時間で同等のCODCr除去率を達成できることがわかった。つまり、これらの試験結果から、新処理方法の採用によって、従来のスポンジ担体活性汚泥法と同等以上の廃水処理性能を確保しつつ、省スペース化反応槽の設置面積が小さくなるを実現可能であることが示された。反応槽内の微生物スポンジキューブの濃度を高める観点から、スポンジキューブの充填率は高い方が良いし、新処理方法を採用すればスポンジキューブの充填率を高く設定することができるが、一方、スポンジキューブの充填率を高くし過ぎると、反応槽内でスポンジキューブ同士が隙間無く密集するため、スポンジキューブの流動性が阻害されて、逆に廃水とスポンジキューブとの接触が減る恐れが考えられる。しかし、本願発明者の実験表1によれば、新処理方法の採用に当って、スポンジキューブの充填率を50~60の範囲で設定する従来のスポンジ担体活性汚泥法では30程度が限界と、従来のスポンジ担体活性汚泥法の2倍の流量で同程度の良好なCODCr除去率を達成できるとの結果が得られ、この恐れは払拭された。また、本願発明者は、スポンジキューブの充填率を60に設定した新処理方法と、従来の標準活性汚泥法スポンジキューブを使用しない活性汚泥法及びスポンジ担体活性汚泥法との微生物の単位量あたりの適正負荷が同等と想定して、それぞれの方法を採用した場合の反応槽の所要敷地面積を試算したところ、表2に示す結果を得た。この表2に示す通り、新処理方法の採用によって、従来の標準活性汚泥法は勿論のこと、従来の旋回流式のスポンジ担体活性汚泥法をはるかに上回る省スペース効果を得られることがわかった。また、本願発明者は、スポンジキューブの浮上確認試験の実施により、新処理方法の採用に当って、スポンジキューブが反応槽の水面上に浮上して微生物が乾燥等により死滅するとの懸念に対しては、反応槽の底部付近に供給する空気量、つまり曝気量を増やして液体中の上昇流の発生を活発にすることで、スポンジキューブの浮上割合を軽減できることを見出した。図6aは、スポンジキューブの浮上確認試験の結果であり、横軸が曝気量、縦軸がスポンジキューブの浮上割合である。この試験は、一辺の長さが10mmのスポンジキューブと、20mmのスポンジキューブとをそれぞれ4日間水に浸漬した後、片方ずつ、その全容積が一定となるように、水が張られた内径77mmの円筒状の反応槽に投入し、反応槽の底部付近に供給する空気量曝気量を増減させて、スポンジキューブが浮上する割合を調べたものである。なお、スポンジキューブの充填率を高くすると、反応槽の内壁面との接触によって浮上が妨げられるため、充填率を25として試験を行なった。その結果、図6aに示す通り、曝気量を増やす程、スポンジキューブの浮上割合が減少すること、また、その浮上割合の減少量はスポンジキューブの一辺の長さが長い程大きくなることがわかった。図6aに示す結果からは、スポンジ径を20mm以上にし、曝気量を30mL/cm2/min以上とすることで、スポンジキューブの浮上を大きく軽減できることが示された。勿論、スポンジキューブの浮上割合は、反応槽のサイズ、スポンジキューブの充填率、スポンジキューブの材質、廃水の性状などの各種条件によって異なるため、それぞれの条件に応じて曝気量を適切に設定することが必要である。さらに、本願発明者は、反応槽の上方から液面に対して散水試験を実施することにより、反応槽の底部から反応槽の上方へ液体を循環させて液面に散水することで、スポンジキューブの浮上をさらに抑制できることを見出した。図6bは、散水試験の結果であり、横軸が散水の流速、縦軸が水面上に浮き出たスポンジキューブの高さである。図6bに示す通り、液面に対する散水の流速を上げる程、スポンジキューブの浮上を抑制できることがわかる。さらに、本願発明者は、FPI廃水のような発泡性の強い廃水に対して、反応槽の底部から反応槽の上方へ液体を循環させて液面に散水することによる発泡抑止効果を見出した。即ち、表1の試験結果Aを得たのと同じ装置に、FPI廃水中の極めて発泡性の強い成分の溶液を通水したところ、水面から装置上面まで70cmの余裕高をとっても泡が溢れ出したが、他の条件は変えずに、反応槽の底部から反応槽の上方への間欠的な液体循環を行ったところ、泡が溢れ出すのを防止することができた。本願発明者は、以上のような各種試験の結果に基づき、上記課題を解決し得る廃水処理装置及び廃水処理方法を発明したものである。すなわち、上記課題を解決するために、本発明では、廃水処理装置に係る第1の解決手段として、水平面に対して直立すると共に上端が開放され、下端が閉鎖された筒状の反応槽と、前記反応槽内を上側の有担体区画と下側の無担体区画とに仕切る網状部材と、前記網状部材の下側或いは上側に設置され、外部から供給される酸素含有気体を前記反応槽内に散気する散気装置と、を備え、前記反応槽は、活性汚泥などの微生物及び複数の多孔質担体が充填されていると共に、上端から処理対象廃水が導入され、前記網状部材は、前記有担体区画から前記無担体区画への前記多孔質担体の移動を阻止する、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理装置に係る第2の解決手段として、上記第1の解決手段において、一端が前記無担体区画と連通し、他端が前記反応槽の液面上で開口する液体循環配管と、前記液体循環配管の途中に設置され、前記無担体区画の液体を前記液体循環配管を介して前記反応槽の液面へ返送する液体返送装置とを備える、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理装置に係る第3の解決手段として、上記第1または第2の解決手段において、一端が前記無担体区画と連通し、他端が前記反応槽の液面と同じ高さ位置で開口する液体排出管を備える、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理装置に係る第4の解決手段として、上記第1の解決手段において、側部から底部へ向かって傾斜する傾斜部及び溜まった上澄液を外部へ流出させるための流出口を有する沈殿槽と、一端が前記反応槽の無担体区画と連通し、他端が前記沈殿槽と連通する第1の液体循環配管と、一端が前記沈殿槽の底部と連通し、他端が前記反応槽の液面上で開口する第2の液体循環配管と、前記第2の液体循環配管の途中に設置され、前記沈殿槽の底部の液体を前記第2の液体循環配管を介して前記反応槽の液面へ返送する液体返送装置とを備える、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理装置に係る第5の解決手段として、上記第1の解決手段において、側部から底部へ向かって傾斜する傾斜部及び濾過液を外部へ流出させるための流出口を有する濾過槽と、前記濾過槽内に設置され、前記濾過槽に溜まった液体を濾過膜によって濾過して得られる濾過液を前記流出口を介して流出させる濾過構造体と、一端が前記反応槽の無担体区画と連通し、他端が前記反応槽の液面と同じ高さ位置で前記濾過槽側へ延びて前記濾過槽と連通する第1の液体循環配管と、一端が前記反応槽の液面と同じ高さ位置で前記第1の液体循環配管と接続されて連通し、他端が上方へ延びて開口するガス抜き管と、一端が前記濾過槽の底部と連通し、他端が前記反応槽の液面上で開口する第2の液体循環配管と、前記第2の液体循環配管の途中に設置され、前記濾過槽の底部の液体を前記第2の液体循環配管を介して前記反応槽の液面へ返送する液体返送装置とを備える、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理装置に係る第6の解決手段として、上記第5の解決手段において、前記濾過槽内において前記濾過構造体の下部に設置され、外部から供給される空気を前記濾過構造体に向けて散気する洗浄用散気装置を備える、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理装置に係る第7の解決手段として、上記第1の解決手段において、濾過液を外部へ流出させるための流出口を有する濾過槽と、前記濾過槽内を上側の濾過区画と下側の逆洗排水貯留区画とに仕切る仕切り板と、前記濾過区画内の上側領域に設置され、前記濾過区画内の液体を濾過して前記濾過液とする濾過層と、前記濾過区画内の上側領域の濾過層内に設置され、外部から供給される空気を前記濾過区画内に散気する逆洗用散気装置と、一端が前記反応槽の無担体区画と連通し、他端が前記濾過槽の濾過区画内の下側領域と連通する第1の液体循環配管と、一端が前記反応槽の液面と同じ高さ位置で前記第1の液体循環配管と接続されて連通し、他端が上方へ延びて開口するガス抜き管と、前記ガス抜き管の水位を計測する第1の水位計と、一端が前記濾過区画内の下側領域と連通し、他端が前記逆洗排水貯留区画と連通する逆洗排水管と、前記逆洗用散気装置に対する空気供給ラインに介挿され、前記第1の水位計による前記ガス抜き管の水位計測結果に応じて開閉状態が制御される第1の制御弁と、前記逆洗排水管に介挿され、前記第1の水位計による前記ガス抜き管の水位計測結果に応じて開閉状態が制御される第2の制御弁と、一端が前記濾過槽の逆洗排水貯留区画と連通し、他端が前記反応槽の液面上で開口する第2の液体循環配管と、前記第2の液体循環配管の途中に設置され、前記濾過槽の逆洗排水貯留区画の液体を前記第2の液体循環配管を介して前記反応槽の液面へ返送する液体返送装置とを備える、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理装置に係る第8の解決手段として、上記第7の解決手段において、前記濾過槽の逆洗排水貯留区画の水位を計測する第2の水位計を備え、前記液体返送装置は、前記第2の水位計による前記逆洗排水貯留区画の水位計測結果に応じて作動/停止が制御される、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理装置に係る第9の解決手段として、上記第1~第8のいずれか1つの解決手段において、前記反応槽の上端開放部からの前記多孔質担体の流出を防止するために、前記上端開放部を覆うように設置された担体流出防止部材を備える、という手段を採用する。一方、本発明では、廃水処理方法に係る第1の解決手段として、上記第1~第9のいずれか1つの解決手段を有する廃水処理装置を用いて、発泡性を有する前記処理対象廃水を処理する、という手段を採用する。また、本発明では、廃水処理方法に係る第2の解決手段として、上記第2~第9のいずれか1つの解決手段を有する廃水処理装置を用いて、発泡性を有する前記処理対象廃水を、前記液体返送装置を連続的または間欠的に作動させて、前記反応槽の液面に生成される泡を消泡しながら処理する、という手段を採用する。さらに、本発明では、廃水処理方法に係る第3の解決手段として、上記第1または第2の解決手段において、前記発泡性を有する処理対象廃水は、非破壊検査に用いられる浸透液を含む廃水である、という手段を採用する。本発明によれば、従来のスポンジ担体活性汚泥法と同等以上の廃水処理性能を確保しつつ、大幅な省スペース化を実現可能である。以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態について説明する。第1実施形態まず、本発明の第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態における廃水処理装置Aの構成概略図である。この図1において、符号1は、水平面に対して直立すると共に上端が開放され、下端が閉鎖された筒状の反応槽である。なお、この反応槽1の水平断面形状は、円形状でも多角形状でも良い。この反応槽1は、活性汚泥などの微生物図示省略及び複数の多孔質担体Sが予め充填されていると共に、上端側部に設けられた廃水導入口1aを介して外部から処理対象廃水Xが導入される。処理対象廃水Xは、例えば非破壊検査に用いられる浸透液を含む廃水発泡性を有する廃水である。多孔質担体Sは、例えば立方体形状に成形されたポリウレタンフォームである。既に述べたように、ポリウレタンフォームは浸透液を含む廃水の処理に好適な多孔質担体である。以下では、この多孔質担体SをスポンジキューブSと称す。また、スポンジキューブSの充填率は50~60の範囲で設定することが好ましい。符号2は、反応槽1内を上側の有担体区画1bと下側の無担体区画1cとに仕切る網状部材以下、スクリーンと称すであり、反応槽1内の底部に近い位置に水平状態で設置されている。このスクリーン2は、液体活性汚泥を含むを通すがスポンジキューブSを通さない空隙を多数有しており、有担体区画1bから無担体区画1cへのスポンジキューブSの移動を阻止するものである。つまり、無担体区画1cよりも容積がはるかに大きい有担体区画1b内に、全てのスポンジキューブSが充填されてスポンジキューブSの充填層が形成される。符号3は、スクリーン2の直下に設置され、外部から供給される空気等の酸素含有気体を反応槽1の水平断面の全面を覆うように散気する散気装置である。この散気装置3から反応槽1内に供給散気される空気量曝気量は、反応槽1のサイズ、スポンジキューブSのサイズ、充填率及び材質、処理対象廃水Xの性状などの各種条件に応じて、スポンジキューブSの浮上が抑制されるよう適切に設定すれば良い。符号4は、一端が無担体区画1cと連通し、他端が反応槽1の液面と同じ高さ位置まで延びて開口する液体排出管である。この液体排出管4は、反応槽1の無担体区画1cに溜まった液体清浄化された処理対象廃水Xを処理水Yとして反応槽1の液面と同じ高さ位置でオーバーフローするためのものである。上記のように構成された第1実施形態の廃水処理装置Aによって実現される廃水処理プロセスは以下の通りである。反応槽1の上端側部に設けられた廃水導入口1aから反応槽1の内部へ導入された処理対象廃水Xは、反応槽1内の下方へ向かって流れ込み、有担体区画1bスポンジキューブSの充填層に下降流が形成される。一方、散気装置3から反応槽1内に散気された空気酸素は、有担体区画1bへ向かって上昇し、スポンジキューブSに付着した微生物に供給される。上記のように有担体区画1bに形成された下降流によって、処理対象廃水XとスポンジキューブSこれに付着した微生物との接触が促進され、微生物による処理対象廃水Xに含まれる有機物の分解が促進される。処理対象廃水Xは、有担体区画1bの下方に降下するほど清浄化され、有機物含有量の少ない処理対象廃水Xが無担体区画1cに溜まることになる。ここで、有担体区画1bと無担体区画1cは、スクリーン2によって仕切られているため、スポンジキューブSが無担体区画1cに侵入することはない。反応槽1の無担体区画1cに溜まった液体清浄化された処理対象廃水Xは、液体排出管4を通じて徐々に上昇し、液体排出管4内の反応槽1の液面と同じ高さ位置に到達した時点で、処理水Yとして液体排出管4から外部へ流出するオーバーフロー。以上のような第1実施形態の廃水処理装置Aによると、従来のスポンジ担体活性汚泥法と同等以上の廃水処理性能を確保しつつ、大幅な省スペース化を実現可能である。第2実施形態次に、本発明の第2実施形態について説明する。図2は、第2実施形態における廃水処理装置Bの構成概略図である。この図2に示すように、第2実施形態の廃水処理装置Bは、第1実施形態と同様の反応槽1、スクリーン2、散気装置3及び液体排出管4に加えて、液体循環配管5及び液体返送装置6を新たに備えている。液体循環配管5は、一端が反応槽1の無担体区画1cと連通し、他端が反応槽1の液面上で開口する配管である。また、液体返送装置6は、液体循環配管5の途中に設置され、無担体区画1cに溜まった液体清浄化された処理対象廃水Xを液体循環配管5を介して反応槽1の液面へ循環水Xaとして返送する循環ポンプである。なお、この液体返送装置6は、連続的に作動させても良いし、間欠的に作動させても良い。上記のように構成された第2実施形態の廃水処理装置Bによって実現される廃水処理プロセスは以下の通りである。反応槽1の上端側部に設けられた廃水導入口1aから反応槽1の内部へ導入された処理対象廃水Xは、反応槽1内の下方へ向かって流れ込み、有担体区画1bスポンジキューブSの充填層に下降流が形成される。一方、散気装置3から反応槽1内に散気された空気酸素は、有担体区画1bへ向かって上昇し、スポンジキューブSに付着した微生物に供給される。上記のように有担体区画1bに形成された下降流によって、処理対象廃水XとスポンジキューブSこれに付着した微生物との接触が促進され、微生物による処理対象廃水Xに含まれる有機物の分解が促進される。処理対象廃水Xは、有担体区画1bの下方に降下するほど清浄化され、有機物含有量の少ない処理対象廃水Xが無担体区画1cに溜まることになる。ここで、有担体区画1bと無担体区画1cは、スクリーン2によって仕切られているため、スポンジキューブSが無担体区画1cに侵入することはない。反応槽1の無担体区画1cに溜まった液体清浄化された処理対象廃水Xは、液体排出管4を通じて徐々に上昇し、液体排出管4内の反応槽1の液面と同じ高さ位置に到達した時点で、処理水Yとして液体排出管4から外部へ流出するオーバーフロー。一方、反応槽1の無担体区画1cに溜まった液体の一部は、液体返送装置6によって連続的或いは間欠的に液体循環配管5を介して反応槽1の液面上方まで返送され、その位置から液面に向かって循環水Xaとして散水される。この循環水Xaは、有担体区画1bに形成される下降流を強化して処理対象廃水XとスポンジキューブSとの接触を促進すると共に、スポンジキューブSの浮上を抑制し、さらに、液面に生成される泡を消泡する。以上のような第2実施形態の廃水処理装置Bによると、第1実施形態と同様な効果に加えて、上述したような処理対象廃水XとスポンジキューブSとの接触促進の強化、スポンジキューブSの浮上抑制の強化、さらに、液面に生成される泡の消泡を実現できるという効果を得られる。なお、液体返送装置6として、上記のような循環ポンプに替えて、液体循環配管5内に空気を散気して、その空気のエアリフト効果で無担体区画1cに溜まった液体を反応槽1の液面上方まで返送循環させる循環用散気装置を設けても良い。第3実施形態上記第1及び第2実施形態共に、微生物が増殖してスポンジキューブS外にフロックとして出てきた場合、反応槽1の無担体区画1cに接続されたドレン図示省略から、適宜、余剰汚泥として抜き出す必要があるが、余剰汚泥を濃縮する機構がないので、余剰汚泥の乾燥重量に比べて処理すべき汚泥量容積が大きくなる。従って、第1及び第2実施形態の構成はシンプルではあるが、生分解しやすい有機物やSSを多く含む処理対象廃水Xが高負荷で流入する場合には適さない。次に説明する本発明の第3実施形態は、処理すべき余剰汚泥量を削減でき、生分解しやすい有機物やSSを多く含む処理対象廃水Xが高負荷で流入する場合に対して好適なものである。図3は、第3実施形態における廃水処理装置Cの構成概略図である。この図3に示すように、第3実施形態の廃水処理装置Cは、第1実施形態と同様の反応槽1、スクリーン2及び散気装置3に加えて、沈殿槽7、ガス抜き管8、第1の液体循環配管9、第2の液体循環配管10、液体返送装置11及びドレン12を新たに備えている。なお、第3実施形態の廃水処理装置Cでは、第1実施形態で説明した液体排出管4は削除されている。沈殿槽7は、水平面に対して直立すると共に上端が開放され、下端が閉鎖された筒状の槽であって、側部7aから底部7bへ向かって傾斜する傾斜部7c及び溜まった上澄液を処理水Yとして外部へ流出させるための流出口7dを有している。なお、この沈殿槽7の水平断面形状は、円形状でも多角形状でも良い。ガス抜き管8は、沈殿槽7内に設置され、一端が沈殿槽7の液面上で開口し、他端が沈殿槽7の液面下で開口する管状部材である。第1の液体循環配管9は、一端が反応槽1の無担体区画1cと連通し、他端がガス抜き管8の途中正確にはガス抜き管8の液面より下の部分に接続されて連通する配管である。第2の液体循環配管10は、一端が沈殿槽7の底部7b近傍と連通し、他端が反応槽1の液面上で開口する配管である。液体返送装置11は、第2の液体循環配管10の途中に設置され、沈殿槽7の底部7bに溜まった液体を第2の液体循環配管10を介して反応槽1の液面へ返送する循環ポンプである。なお、この液体返送装置11は、連続的に作動させても良いし、間欠的に作動させても良い。ドレン12は、沈殿槽7の底部7b近傍に接続された水抜き弁である。上記のように構成された第3実施形態の廃水処理装置Cによって実現される廃水処理プロセスは以下の通りである。反応槽1の上端側部に設けられた廃水導入口1aから反応槽1の内部へ導入された処理対象廃水Xは、反応槽1内の下方へ向かって流れ込み、有担体区画1bスポンジキューブSの充填層に下降流が形成される。一方、散気装置3から反応槽1内に散気された空気酸素は、有担体区画1bへ向かって上昇し、スポンジキューブSに付着した微生物に供給される。上記のように有担体区画1bに形成された下降流によって、処理対象廃水XとスポンジキューブSこれに付着した微生物との接触が促進され、微生物による処理対象廃水Xに含まれる有機物の分解が促進される。処理対象廃水Xは、有担体区画1bの下方に降下するほど清浄化され、有機物含有量の少ない処理対象廃水Xが無担体区画1cに溜まることになる。ここで、有担体区画1bと無担体区画1cは、スクリーン2によって仕切られているため、スポンジキューブSが無担体区画1cに侵入することはない。反応槽1の無担体区画1cに溜まった液体清浄化された処理対象廃水Xは、第1の液体循環配管9を通じてガス抜き管8へ至り、ガス抜き管8を経由して沈殿槽7内に流入する。この沈殿槽7に流入した液体に含まれる活性汚泥などの微生物は沈降して沈殿槽7の底部7bに沈殿する。ここで、沈殿槽7には傾斜部7cが設けられているため、活性汚泥などの微生物が底部7bに沈殿しやすい。一方、活性汚泥などの微生物の沈殿によって得られた上澄水は、沈殿槽7の上部側面に設けられた流出口7dから処理水Yとして外部に流出する。また、沈殿槽7の底部7bに溜まった液体沈殿した活性汚泥などの微生物を高濃度に含む液体は、液体返送装置11によって連続的或いは間欠的に第2の液体循環配管10を介して反応槽1の液面上方まで返送され、その位置から液面に向かって循環水Xbとして散水される。これにより、沈殿槽7において濃縮された活性汚泥などの微生物が反応槽1へ戻されるので、第1及び第2実施形態よりも反応槽1内の微生物を確実に維持できる。また、余剰汚泥は、沈殿槽7の底部7bで濃縮されてドレン12から外部へ排出されるので、第1及び第2実施形態よりも処理すべき汚泥量は減少する。なお、循環水Xbは、第2実施形態と同様、反応槽1の有担体区画1bに形成される下降流を強化すると共に、スポンジキューブSの浮上を抑制し、さらに、液面に生成される泡を消泡する役割も担う。以上のような第3実施形態の廃水処理装置Bによると、第1及び第2実施形態と同様な効果に加えて、処理すべき余剰汚泥量を削減できる生分解しやすい有機物やSSを多く含む処理対象廃水Xが高負荷で流入する場合に対して好適という効果を得られる。第4実施形態次に、本発明の第4実施形態について説明する。図4は、第4実施形態における廃水処理装置Dの構成概略図である。この図4に示すように、第4実施形態の廃水処理装置Dは、第1実施形態と同様の反応槽1、スクリーン2及び散気装置3に加えて、濾過槽13、濾過膜モジュール14、洗浄用散気装置15、第1の液体循環配管16、ガス抜き管17、第2の液体循環配管18、液体返送装置19及びドレン20を新たに備えている。なお、第4実施形態の廃水処理装置Dでは、第1実施形態で説明した液体排出管4は削除されている。濾過槽13は、水平面に対して直立すると共に上端が開放され、下端が閉鎖された筒状の槽であって、側部13aから底部13bへ向かって傾斜する傾斜部13c及び後述の濾過膜モジュール14から得られる濾過液を処理水Yとして外部へ流出させるための流出口13dを有している。なお、この沈殿槽13の水平断面形状は、円形状でも多角形状でも良い。濾過膜モジュール14は、精密濾過膜等の濾過膜に囲まれてなる濾過構造体であり、濾過槽13内の中央部に設置されて、濾過槽13に溜まった液体を濾過膜によって濾過して得られる濾過液を流出口13dを介して外部に流出させる。洗浄用散気装置15は、濾過槽13内において濾過膜モジュール14の下部に設置され、外部から供給される空気を濾過膜モジュール14に向けて散気する。第1の液体循環配管16は、一端が反応槽1の無担体区画1cと連通し、他端が反応槽1の液面と同じ高さ位置で濾過槽13側へ延びて濾過槽13と連通する配管である。ガス抜き管17は、一端が反応槽1の液面と同じ高さ位置で上記第1の液体循環配管16と接続されて連通し、他端が上方へ延びて開口する管状部材である。第2の液体循環配管18は、一端が濾過槽13の底部13b近傍と連通し、他端が反応槽1の液面上で開口する配管である。液体返送装置19は、第2の液体循環配管18の途中に設置され、濾過槽13の底部13bに溜まった液体を第2の液体循環配管18を介して反応槽1の液面へ返送する循環ポンプである。なお、この液体返送装置19は、連続的に作動させても良いし、間欠的に作動させても良い。ドレン20は、濾過槽13の底部13b近傍に接続された水抜き弁である。上記のように構成された第4実施形態の廃水処理装置Dによって実現される廃水処理プロセスは以下の通りである。反応槽1の上端側部に設けられた廃水導入口1aから反応槽1の内部へ導入された処理対象廃水Xは、反応槽1内の下方へ向かって流れ込み、有担体区画1bスポンジキューブSの充填層に下降流が形成される。一方、散気装置3から反応槽1内に散気された空気酸素は、有担体区画1bへ向かって上昇し、スポンジキューブSに付着した微生物に供給される。上記のように有担体区画1bに形成された下降流によって、処理対象廃水XとスポンジキューブSこれに付着した微生物との接触が促進され、微生物による処理対象廃水Xに含まれる有機物の分解が促進される。処理対象廃水Xは、有担体区画1bの下方に降下するほど清浄化され、有機物含有量の少ない処理対象廃水Xが無担体区画1cに溜まることになる。ここで、有担体区画1bと無担体区画1cは、スクリーン2によって仕切られているため、スポンジキューブSが無担体区画1cに侵入することはない。反応槽1の無担体区画1cに溜まった液体清浄化された処理対象廃水Xは、第1の液体循環配管16を通じて濾過槽13内に流入する。この濾過槽13に流入した液体に含まれる活性汚泥などの微生物は濾過膜モジュール14によって取り除かれ、濾過槽13の底部13bへ沈降して溜まる。ここで、濾過槽13には傾斜部13cが設けられているため、活性汚泥などの微生物が底部13bに溜まりやすい。一方、活性汚泥などの微生物が除去されて得られる濾過液は処理水Yとして濾過膜モジュール14から流出口13dを介して外部に流出する。ここで、濾過膜モジュール14の目詰まり等により濾過性能が低下した場合には、洗浄用散気装置15から空気を供給することで、濾過膜モジュール14を洗浄して濾過性能を回復させることができる。また、濾過槽13の底部13bに溜まった液体活性汚泥などの微生物を高濃度に含む液体は、液体返送装置19によって連続的或いは間欠的に第2の液体循環配管18を介して反応槽1の液面上方まで返送され、その位置から液面に向かって循環水Xcとして散水される。これにより、濾過槽13において濃縮された活性汚泥などの微生物が反応槽1へ戻されるので、第1及び第2実施形態よりも反応槽1内の微生物を確実に維持できる。また、余剰汚泥は、濾過槽13の底部13bで濃縮されてドレン20から外部へ排出されるので、第1及び第2実施形態よりも処理すべき汚泥量は減少する。なお、循環水Xcは、第2実施形態と同様、反応槽1の有担体区画1bに形成される下降流を強化すると共に、スポンジキューブSの浮上を抑制し、さらに、液面に生成される泡を消泡する役割も担う。以上のような第4実施形態の廃水処理装置Dによると、第1及び第2実施形態と同様な効果に加えて処理すべき余剰汚泥量を削減できるという効果を得られる。また、第4実施形態の廃水処理装置Dでは、濾過槽13内において、沈殿ではなく、濾過によって液体中の混濁物活性汚泥等を除去するので、第3実施形態よりも一層浄化された処理水Yを得られる。なお、濾過槽13の水位は濾過膜モジュール14の詰まり具合により変動するが、ガス抜き管17内の水位は維持されるので、反応槽1の水位は変動しない。第5実施形態次に、本発明の第5実施形態について説明する。図5は、第5実施形態における廃水処理装置Eの構成概略図である。この図5に示すように、第5実施形態の廃水処理装置Eは、第1実施形態と同様の反応槽1、スクリーン2及び散気装置3に加えて、濾過槽21、仕切り板22、濾過層23、逆洗用散気装置24、第1の液体循環配管25、ガス抜き管26、逆洗用レベル計27、逆洗排水管28、逆洗空気用電磁弁29、逆洗排水用電磁弁30、第2の液体循環配管31、液体返送装置32及び返送用レベル計33を新たに備えている。なお、第5実施形態の廃水処理装置Eでは、第1実施形態で説明した液体排出管4は削除されている。濾過槽21は、水平面に対して直立すると共に上端が開放され、下端が閉鎖された筒状の槽であって、側部の所定高さ位置には後述の濾過層23から得られる濾過液を処理水Yとして外部へ流出させるための流出口21aを有している。なお、この沈殿槽21の水平断面形状は、円形状でも多角形状でも良い。仕切り板22は、完全に水を遮断する板であり、濾過槽21内を上側の濾過区画21bと下側の逆洗排水貯留区画21cとに仕切るものである。逆洗排水貯留区画21cの最大容量は、濾過区画21bの水の占める有効容積と同程度かそれ以上であることが望ましい。なお、逆洗排水貯留区画21cの側部にはガス抜き口21dが設けられている。濾過層23は、濾過区画21bを上下に分割する領域の上側領域に設置されて濾過区画21b内の液体を濾過するものであり、下層側から網状部材層23aスクリーン、砂利層23b、珪砂やプラスチック製の濾材層23cの順で水平断面の全面を覆うように積層されて成る。なお、流出口21aは、この濾過区画21bにおける濾過層23の上方側面に設けられている。逆洗用散気装置24は、濾過区画21b内の濾材層23c内に設置され、外部から供給される空気を水平断面の全面を覆うように濾過区画21b内に散気するものである。第1の液体循環配管25は、一端が反応槽1の無担体区画1cと連通し、他端が濾過槽21の濾過区画21b内の下側領域と連通する配管である。ガス抜き管26は、一端が反応槽1の液面と同じ高さ位置で上記第1の液体循環配管25と接続されて連通し、他端が上方へ延びて開口する管状部材である。逆洗用レベル計27は、ガス抜き管26の水位を計測する第1の水位計である。逆洗排水管28は、一端が濾過槽21の濾過区画21b内の下側領域と連通し、他端が逆洗排水貯留区画21cと連通する配管である。逆洗空気用電磁弁29は、逆洗用散気装置24に対する空気供給ラインに介挿され、逆洗用レベル計27によるガス抜き管26の水位計測結果に応じて開閉状態が制御される第1の制御弁である。逆洗排水用電磁弁30は、逆洗排水管28に介挿され、逆洗用レベル計27によるガス抜き管26の水位計測結果に応じて開閉状態が制御される第2の制御弁である。なお、これら逆洗空気用電磁弁29及び逆洗排水用電磁弁30は、通常、閉状態に制御される。第2の液体循環配管31は、一端が濾過槽21の逆洗排水貯留区画21cの底部近傍と連通し、他端が反応槽1の液面上で開口する配管である。液体返送装置32は、第2の液体循環配管31の途中に設置され、濾過槽21の逆洗排水貯留区画21cに溜まった液体を第2の液体循環配管31を介して反応槽1の液面へ返送する循環ポンプである。返送用レベル計33は、濾過槽21の逆洗排水貯留区画21cの水位を計測する第2の水位計である。上記の液体返送装置32は、返送用レベル計33による逆洗排水貯留区画21cの水位計測結果に応じて作動/停止が制御される。上記のように構成された第5実施形態の廃水処理装置Eによって実現される廃水処理プロセスは以下の通りである。反応槽1の上端側部に設けられた廃水導入口1aから反応槽1の内部へ導入された処理対象廃水Xは、反応槽1内の下方へ向かって流れ込み、有担体区画1bスポンジキューブSの充填層に下降流が形成される。一方、散気装置3から反応槽1内に散気された空気酸素は、有担体区画1bへ向かって上昇し、スポンジキューブSに付着した微生物に供給される。上記のように有担体区画1bに形成された下降流によって、処理対象廃水XとスポンジキューブSこれに付着した微生物との接触が促進され、微生物による処理対象廃水Xに含まれる有機物の分解が促進される。処理対象廃水Xは、有担体区画1bの下方に降下するほど清浄化され、有機物含有量の少ない処理対象廃水Xが無担体区画1cに溜まることになる。ここで、有担体区画1bと無担体区画1cは、スクリーン2によって仕切られているため、スポンジキューブSが無担体区画1cに侵入することはない。反応槽1の無担体区画1cに溜まった液体清浄化された処理対象廃水Xは、第1の液体循環配管25を通じて濾過槽21の濾過区画21b内に流入する。この濾過区画21bに流入した液体は、濾過層23に入り、スクリーン23a、砂利層23b、濾材層23cを経て上昇するうちに、その含有する活性汚泥等の懸濁物が除去され、清澄な水濾過液が処理水Yとして流出口21aから流出オーバーフローする。懸濁物で濾過層23が目詰まりしてくると、ガス抜き管26の水位が上昇する。これを逆洗用レベル計27で検知し、逆洗空気用電磁弁29及び逆洗排水用電動弁30を開状態とする。すると、逆洗用散気装置24によって濾過区画21b内に空気が供給され、濾過区画21b内の液体はその空気で攪拌されながら、逆洗排水管28を経て逆洗排水貯留区画21cに落下し、同時に濾過層23に捕捉された懸濁物の大部分が逆洗排水貯留区画21cに落下する。これによりガス抜き管26の水位が下がるため、これを逆洗用レベル計27で検知し、遅延タイマで適当な時間の経過後に逆洗空気用電磁弁29及び逆洗排水用電動弁30を閉状態に戻す。この一連の操作で逆洗排水貯留区画21cの水位が上昇すれば、返送用レベル計33でそれを検知し、逆洗排水貯留区画21cの液体活性汚泥を高濃度に含む液体は、液体返送装置32によって第2の液体循環配管31を介して反応槽1の液面上方まで返送され、その位置から液面に向かって循環水Xdとして散水される。これにより、濾過槽21において濃縮された活性汚泥などの微生物が反応槽1へ戻されるので、第1及び第2実施形態よりも反応槽1内の微生物を確実に維持できる。返送用レベル計33にて逆洗排水貯留区画21cの水位が底面近くまで低下したことを検知して、液体返送装置32を停止させる。なお、循環水Xdは、第2実施形態と同様、反応槽1の有担体区画1bに形成される下降流を強化すると共に、スポンジキューブSの浮上を抑制し、さらに、液面に生成される泡を消泡する役割も担う。以上のような第5実施形態の廃水処理装置Eによると、第1及び第2実施形態と同様な効果に加えて、第3実施形態と同様に処理すべき余剰汚泥量を削減できるという効果を得られる。また、第5実施形態の廃水処理装置Eでは、濾過槽21内において、沈殿ではなく、濾過によって液体中の混濁物活性汚泥等を除去するので、第3実施形態よりも一層浄化された処理水Yを得られる。なお、濾過槽21の水位は濾過層23の詰まり具合により変動するが、ガス抜き管26内の水位は維持されるので、反応槽1の水位は変動しない。以上、本発明の第1~第5実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、以下のような変形例が挙げられる。上記第1~第5実施形態では、反応槽1において、スクリーン2の下方に散気装置3を設置する場合を例示したが、この散気装置3をスクリーン2の上方に設置しても良い。また、上記第1~第5実施形態において、反応槽1の廃水導入口1aに、スポンジキューブSの逆流を防ぐためのストレーナを設けても良い。また、上記第1~第5実施形態において、反応槽1の上端開放部からのスポンジキューブSの流出を防止するために、反応槽1の上端開放部を覆うように担体流出防止部材例えば網状の蓋などを設けても良い。また、上記第1~第5実施形態では、処理対象廃水Xとして非破壊検査に用いられる浸透液を含む廃水を例示したが、本発明は発泡性を有する廃水の処理に広く適用することができる。スポンジキューブSの材質は処理対象廃水の性状に応じて適宜変更すれば良い。