可撓基板部に変位可能に浮遊状態で支持される駆動体と、駆動体の変位を検出する検知電極を有する変位検出部と、前記駆動体を加振させる加振電極を有する加振部と、前記検知電極及び加振電極が連結される差動増幅器と、前記差動増幅器に連結され、加速度及び角速度を算出する回路部と、を含み、前記検知電極と加振電極を利用して加速度を算出することを特徴とする慣性センサ。前記加振電極はX軸方向の第1及び第2加振電極とY軸方向の第1及び第2加振電極からなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極とY軸方向の第1及び第2検知電極からなり、前記加振電極及び検知電極の信号は差動増幅器の第1、2端子に夫々伝達され、前記差動増幅器は信号差を増幅して前記回路部に伝達して、X軸、Y軸及びZ軸方向の加速度を算出することを特徴とする請求項1に記載の慣性センサ。前記X軸方向の第1加振電極と第2検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第1端子に伝達され、第2加振電極と第1検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第2端子に伝達され、差動増幅器で二つの信号差を増幅して前記回路部に伝達して、X軸方向の加速度を算出することを特徴とする請求項2に記載の慣性センサ。前記差動増幅器の差値によるX軸方向の加速度はAx=SX1DX2-SX2DX1であり、ここで、SX1は第1検知電極、DX2は第2加振電極、SX2は第2検知電極、DX1は第1加振電極であることを特徴とする請求項3に記載の慣性センサ。前記Y軸方向の第1加振電極と第2検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極と第1検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第2端子に連結され、差動増幅器で二つの信号差を増幅して前記回路部に伝達して、Y軸方向の加速度を算出することを特徴とする請求項2に記載の慣性センサ。前記差動増幅器の差値によるY軸方向の加速度はAy=SY1DY2-SY2DY1であり、ここで、SY1は第1検知電極、DY2は第2加振電極、SY2は第2検知電極、DY1は第1加振電極であることを特徴とする請求項5に記載の慣性センサ。前記加振電極はX軸方向の第1及び第2加振電極とY軸方向の第1及び第2加振電極からなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極とY軸方向の第1及び第2検知電極からなり、前記差動増幅器は第1、2、3差動増幅器からなり、前記加振電極及び検知電極の信号は第1、2差動増幅器の第1、2端子に夫々伝達され、前記第1、2差動増幅器は信号差を増幅して第3差動増幅器に伝達し、第3差動増幅器は前記第1、2差動増幅器の信号差を増幅して前記回路部に伝達して、X軸及びY軸方向の加速度を算出することを特徴とする請求項1に記載の慣性センサ。前記X軸方向の第1加振電極は第1差動増幅器の第1端子に連結され、前記第2加振電極は前記第1差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して前記第3差動増幅器の第1端子を介して第3差動増幅器に伝達し、前記X軸方向の第1検知電極は第2差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第2差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器の第2端子を介して第3差動増幅器に伝達し、前記第3差動増幅器で第1、2端子の信号差を増幅して前記回路部に伝達することを特徴とする請求項7に記載の慣性センサ。前記第1、2及び3差動増幅器の差値によるX軸方向の加速度はAx=SX1-SX2-DX1-DX2であり、ここで、前記SX1はX軸方向の第1検知電極、前記SX2はX軸方向の第2検知電極、前記DX1はX軸方向の第1加振電極、前記DX2はX軸方向の第2加振電極であることを特徴とする請求項8に記載の慣性センサ。前記Y軸方向の第1加振電極は第1差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第1差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器の第1端子を介して第3差動増幅器に伝達し、前記Y軸方向の第1検知電極は第2差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第2差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器の第2端子を介して第3差動増幅器に伝達し、前記第3差動増幅器で第1、2端子の信号差を増幅して前記回路部に伝達することを特徴とする請求項7に記載の慣性センサ。前記第1、2及び3差動増幅器の差値によるY軸方向の加速度はAy=SY1-SY2-DY1-DY2であり、ここで、前記SY1はY軸方向の第1検知電極、前記SY2はY軸方向の第2検知電極、前記DY1はY軸方向の第1加振電極、前記DY2はY軸方向の第2加振電極であることを特徴とする請求項10に記載の慣性センサ。前記X軸方向の第1、2検知電極及びY軸方向の第1、2検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第1端子に連結され、前記X軸方向の第1、2加振電極及びY軸方向の第1、2加振電極の信号は結合されて差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して前記回路部に伝達して、Z軸方向の加速度を算出することを特徴とする請求項2に記載の慣性センサ。前記差動増幅器の差値による前記Z軸方向の加速度はAz=SX1SY1SX2SY2-DX1DY1DX2DY2であり、ここで、前記SX1はX軸方向の第1検知電極、SY1はY軸方向の第1検知電極、前記SX2はX軸方向の第2検知電極、前記SY2はY軸方向の第2検知電極、前記DX1はX軸方向の第1加振電極、DY1はY軸方向の第1加振電極、前記DX2はX軸方向の第2加振電極、前記DY2はY軸方向の第2加振電極であることを特徴とする請求項2に記載の慣性センサ。前記加振電極はX軸方向の第1及び第2加振電極とY軸方向の第1及び第2加振電極からなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極とY軸方向の第1及び第2検知電極からなり、前記差動増幅器は第1、2、3、4、5及び6差動増幅器からなり、前記加振電極及び検知電極の信号は第1、2、4、5差動増幅器の第1、2端子に夫々伝達され、前記第1、2、4、5差動増幅器は信号差を増幅して第3、6差動増幅器に伝達し、第3、6差動増幅器は前記第1、2、4、5差動増幅器の信号差を増幅して前記回路部に伝達して、Z軸方向の加速度を算出することを特徴とする請求項1に記載の慣性センサ。前記X軸方向の第1加振電極は第1差動増幅器の第1端子に連結され、第1検知電極は第1差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器の第1端子を介して第3差動増幅器に伝達され、前記Y軸方向の第1加振電極は前記第2差動増幅器の第1端子に連結され、前記第1検知電極は前記第2差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して前記第3差動増幅器の第2端子を介して第3差動増幅器に伝達され、前記第3差動増幅器で第1、2端子の信号差が増幅され、前記X軸方向の第2検知電極は第4差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第4差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第6差動増幅器の第1端子を介して第6差動増幅器に伝達され、前記Y軸方向の第2検知電極は第5差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第5差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第6差動増幅器の第2端子を介して第6差動増幅器に伝達され、前記第6差動増幅器で第1、2端子の信号差を増幅して前記回路部に伝達して、Z軸方向の加速度を算出することを特徴とする請求項14に記載の慣性センサ。前記1、2、3、4、5及び6差動増幅器の差値による前記Z軸方向の加速度はAz=[SX1-DX1-DY1-SY1][SX2-DX2-DY2-SY2]であり、ここで、前記SX1はX軸方向の第1検知電極、SY1はY軸方向の第1検知電極、前記SX2はX軸方向の第2検知電極、前記SY2はY軸方向の第2検知電極、前記DX1はX軸方向の第1加振電極、DY1はY軸方向の第1加振電極、前記DX2はX軸方向の第2加振電極、前記DY2はY軸方向の第2加振電極であることを特徴とする請求項15に記載の慣性センサ。本発明の目的は、上述のような問題点を解決するために、加速度の検出時、検知電極に加えて加振電極を利用することにより、加速度の測定感度を向上させる慣性センサを提供することにある。上述した本発明の目的を果たすための本発明の第1実施例による慣性センサは、可撓基板部に変位可能に浮遊状態で支持される駆動体と、駆動体の変位を検出する検知電極を有する変位検出部と、前記駆動体を加振させる加振電極を有する加振部と、前記検知電極及び加振電極が連結される差動増幅器differentialamplifierと、前記差動増幅器に連結され、加速度及び角速度を算出する回路部と、を含み、前記検知電極と加振電極を利用して加速度を算出する。また、前記加振電極はX軸方向の第1及び第2加振電極とY軸方向の第1及び第2加振電極からなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極とY軸方向の第1及び第2検知電極からなり、前記加振電極及び検知電極の信号は差動増幅器の第1、2端子に夫々伝達され、前記差動増幅器は信号差を増幅して前記回路部に伝達して、X軸、Y軸及びZ軸方向の加速度を算出する。また、前記X軸方向の第1加振電極と第2検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第1端子に伝達され、第2加振電極と第1検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第2端子に伝達され、差動増幅器で二つの信号差を増幅して前記回路部に伝達して、X軸方向の加速度を算出する。そして、前記差動増幅器の差値によるX軸方向の加速度はAx=SX1DX2-SX2DX1であり、ここで、SX1は第1検知電極、DX2は第2加振電極、SX2は第2検知電極、DX1は第1加振電極である。また、前記Y軸方向の第1加振電極と第2検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極と第1検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第2端子に連結され、差動増幅器で二つの信号差を増幅して前記回路部に伝達して、Y軸方向の加速度を算出する。また、前記差動増幅器の差値によるY軸方向の加速度はAy=SY1DY2-SY2DY1であり、ここで、SY1は第1検知電極、DY2は第2加振電極、SY2は第2検知電極、DY1は第1加振電極である。また、本発明の第2実施例による慣性センサにおいて、加振電極はX軸方向の第1及び第2加振電極とY軸方向の第1及び第2加振電極からなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極とY軸方向の第1及び第2検知電極からなり、前記差動増幅器は第1、2、3差動増幅器からなり、前記加振電極及び検知電極の信号は第1、2差動増幅器の第1、2端子に夫々伝達され、前記第1、2差動増幅器は信号差を増幅して第3差動増幅器に伝達し、第3差動増幅器は前記第1、2差動増幅器の信号差を増幅して前記回路部に伝達して、X軸及びY軸方向の加速度を算出する。そして、前記X軸方向の第1加振電極は第1差動増幅器の第1端子に連結され、前記第2加振電極は前記第1差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して前記第3差動増幅器の第1端子を介して第3差動増幅器に伝達し、前記X軸方向の第1検知電極は第2差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第2差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器の第2端子を介して第3差動増幅器に伝達し、前記第3差動増幅器で第1、2端子の信号差を増幅して前記回路部に伝達する。また、前記第1、2及び3差動増幅器の差値によるX軸方向の加速度はAx=SX1-SX2-DX1-DX2であり、ここで、前記SX1はX軸方向の第1検知電極、前記SX2はX軸方向の第2検知電極、前記DX1はX軸方向の第1加振電極、前記DX2はX軸方向の第2加振電極である。また、前記Y軸方向の第1加振電極は第1差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第1差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器の第1端子を介して第3差動増幅器に伝達し、前記Y軸方向の第1検知電極は第2差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第2差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器の第2端子を介して第3差動増幅器に伝達し、前記第3差動増幅器で第1、2端子の信号差を増幅して前記回路部に伝達する。また、前記第1、2及び3差動増幅器の差値によるY軸方向の加速度はAy=SY1-SY2-DY1-DY2であり、ここで、前記SY1はY軸方向の第1検知電極、前記SY2はY軸方向の第2検知電極、前記DY1はY軸方向の第1加振電極、前記DY2はY軸方向の第2加振電極である。本発明による慣性センサは、前記X軸方向の第1、2検知電極及びY軸方向の第1、2検知電極の信号は結合されて差動増幅器の第1端子に連結され、前記X軸方向の第1、2加振電極及びY軸方向の第1、2加振電極の信号は結合されて差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して前記回路部に伝達して、Z軸方向の加速度を算出する。また、前記差動増幅器の差値による前記Z軸方向の加速度はAz=SX1SY1SX2SY2-DX1DY1DX2DY2であり、ここで、前記SX1はX軸方向の第1検知電極、SY1はY軸方向の第1検知電極、前記SX2はX軸方向の第2検知電極、前記SY2はY軸方向の第2検知電極、前記DX1はX軸方向の第1加振電極、DY1はY軸方向の第1加振電極、前記DX2はX軸方向の第2加振電極、前記DY2はY軸方向の第2加振電極である。本発明の他の実施例による慣性センサにおいて、加振電極はX軸方向の第1及び第2加振電極とY軸方向の第1及び第2加振電極からなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極とY軸方向の第1及び第2検知電極からなり、前記差動増幅器は第1、2、3、4、5及び6差動増幅器からなり、前記加振電極及び検知電極の信号は第1、2、4、5差動増幅器の第1、2端子に夫々伝達され、前記第1、2、4、5差動増幅器は信号差を増幅して第3、6差動増幅器に伝達し、第3、6差動増幅器は前記第1、2、4、5差動増幅器の信号差を増幅して前記回路部に伝達して、Z軸方向の加速度を算出する。また、前記X軸方向の第1加振電極は第1差動増幅器の第1端子に連結され、第1検知電極は第1差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器の第1端子を介して第3差動増幅器に伝達され、前記Y軸方向の第1加振電極は前記第2差動増幅器の第1端子に連結され、前記第1検知電極は前記第2差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して前記第3差動増幅器の第2端子を介して第3差動増幅器に伝達され、前記第3差動増幅器で第1、2端子の信号差が増幅され、前記X軸方向の第2検知電極は第4差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第4差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第6差動増幅器の第1端子を介して第6差動増幅器に伝達され、前記Y軸方向の第2検知電極は第5差動増幅器の第1端子に連結され、第2加振電極は第5差動増幅器の第2端子に連結され、二つの信号差を増幅して第6差動増幅器の第2端子を介して第6差動増幅器に伝達され、前記第6差動増幅器で第1、2端子の信号差を増幅して前記回路部に伝達して、Z軸方向の加速度を算出する。また、前記1、2、3、4、5及び6差動増幅器の差値による前記Z軸方向の加速度はAz=[SX1-DX1-DY1-SY1][SX2-DX2-DY2-SY2]であり、ここで、前記SX1はX軸方向の第1検知電極、SY1はY軸方向の第1検知電極、前記SX2はX軸方向の第2検知電極、前記SY2はY軸方向の第2検知電極、前記DX1はX軸方向の第1加振電極、DY1はY軸方向の第1加振電極、前記DX2はX軸方向の第2加振電極、前記DY2はY軸方向の第2加振電極である。本発明の特徴及び利点は添付図面に基づいた以下の詳細な説明によってさらに明らかになるであろう。本発明の詳細な説明に先立ち、本明細書及び請求範囲に用いられた用語や単語は通常的かつ辞書的な意味に解釈されてはならず、発明者が自らの発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則にしたがって本発明の技術的思想にかなう意味と概念に解釈されるべきである。本発明は、加速度の検出時、検知電極に加えて加振電極を利用することにより、加速度の測定感度を向上させることができる慣性センサを提供する効果を有する。本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、本発明を説明するにあたり、係わる公知技術についての具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にする可能性があると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。以下、添付された図面を参照して、本発明の好ましい実施例による慣性センサについて詳細に説明する。図1は本発明による慣性センサの概略的な平面図であり、図2は本発明による慣性センサの概略的な断面図である。図示したように、慣性センサ100は、可撓基板部110と、駆動体120と、支持部130と、を含み、前記駆動体の変位を検出する検知電極を有する変位検出部と、前記駆動体を加振させる加振電極を有する加振部を含む。より具体的には、前記可撓基板部110は、可撓基板、圧電素子PZT及び電極を含み、前記可撓基板はシリコーンまたはSOISiliconOnInsulator基板からなり、圧電素子及び電極が蒸着される。そして、前記電極は、検知電極111a、111a’、111b、111b’と加振電極112a、112a’、112b、112b’とからなる。また、前記加振電極は、X軸方向の第1及び第2加振電極112b、112b’とY軸方向の第1及び第2加振電極112a、112a’とからなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極111b、111b’とY軸方向の第1及び第2検知電極111a、111a’とからなる。そして、前記検知電極111a、111a’、111b、111b’及び前記加振電極112a、112a’、112b、112b’は、可撓基板部110の上部に夫々分離された円形の帯状からなり、前記駆動体の中心を基準に前記検知電極が加振電極より近接配置される。また、前記可撓基板部110の下部に駆動体120が変位可能に形成され、前記駆動体120が浮遊状態で支持されるように支持部130が形成される。即ち、前記支持部130は、前記駆動体120及び可撓基板部110を支持し、前記駆動体120が浮遊された状態で自由に移動可能であるように支持する。このように構成され、角速度の検出時、本発明による慣性センサ100は、可撓基板部110の加振電極112に駆動信号が印加されることにより前記駆動体120が振動し、前記駆動体120の振動により前記検知電極に特定極性の電荷が発生して、前記電荷を検出することにより角速度の方向と大きさを測定する。そして、加速度の検出時、駆動体120の移動により前記検知電極に特定極性の電荷が発生し、前記電荷を検出することにより加速度の方向と大きさを測定する。図3は本発明の第1実施例による慣性センサのX軸及びY軸方向のセンシングのための概略的な部分回路図である。図示したように、前記加振電極はX軸方向の第1及び第2加振電極112b、112b’とY軸方向の第1及び第2加振電極112a、112a’とからなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極111b、111b’とY軸方向の第1及び第2検知電極111a、111a’とからなる。そして、前記検知電極111a、111a’、111b、111b’と加振電極112a、112a’、112b、112b’は、差動増幅器differentialamplifier:DAを介して加速度検出回路に連結され、X軸方向の加速度Ax、Y軸方向の加速度Ay及びZ軸方向の加速度Azが算出される。より具体的には、X軸方向の第1加振電極112bDX1と第2検知電極111b’SX2の信号は結合されて差動増幅器DAの第1端子に伝達され、第2加振電極112b’DX2と第1検知電極111bSX1の信号は結合されて差動増幅器DAの第2端子に伝達されて、差動増幅器で二つの信号差を増幅する。また、Y軸方向の第1加振電極112aDY1と第2検知電極111a’SY2の信号は結合されて差動増幅器DAの第1端子に伝達され、第2加振電極112a’DY2と第1検知電極111aSY1の信号は結合されて差動増幅器DAの第2端子に伝達されて、前記差動増幅器DAで二つの信号差を増幅する。そして、前記差動増幅器で差値を増幅して加速度検出回路に伝達され、前記加速度検出回路でX軸方向の加速度及びY軸方向の加速度を算出する。より具体的には、前記差動増幅器の差値によるX軸方向の加速度はAx=SX1DX2-SX2DX1で、Y軸方向の加速度はAy=SY1DY2-SY2DY1で算出される。このように具現されることにより、従来の加速度の算出時には考慮されていなかった、加振電極DX1、DX2、DY1、DY2の値が加えられることにより、測定感度が向上される。図4は本発明の第2実施例による慣性センサのX軸及びY軸方向のセンシングのための概略的な部分回路図である。図示したように、前記加振電極はX軸方向の第1及び第2加振電極112b、112b’とY軸方向の第1及び第2加振電極112a、112a’とからなり、前記検知電極はX軸方向の第1及び第2検知電極111b、111b’とY軸方向の第1及び第2検知電極111a、111a’とからなる。前記検知電極111a、111a’、111b、111b’と加振電極112a、112a’、112b、112b’が複数の差動増幅器DA1、DA2、DA3を介して加速度検出回路に連結され、X軸方向の加速度AxとY軸方向の加速度Ayが算出される。より具体的には、X軸方向の第1検知電極111bSX1は第1差動増幅器DA1の第1端子に連結され、第2検知電極111b’SX2は第1差動増幅器DA1の第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器DA3の第1端子を介して第3差動増幅器DA3に伝達する。また、X軸方向の第1加振電極112bDX1は第2差動増幅器DA2の第1端子に連結され、第2加振電極112b’DX2は第2差動増幅器DA2の第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器DA3の第2端子を介して第3差動増幅器DA3に伝達する。そして、前記第3差動増幅器DA3で第1、2端子の信号差を増幅して加速度検出回路に伝達し、X軸方向の加速度Axを算出する。次に、Y軸方向の第1検知電極111aSY1は第1差動増幅器DA1の第1端子に連結され、第2検知電極111a’SY2は第1差動増幅器DA1の第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器DA3の第2端子を介して第3差動増幅器DA3に伝達する。また、Y軸方向の第1加振電極112aDY1は第2差動増幅器DA2の第1端子に連結され、第2加振電極112a’DY2は第2差動増幅器DA2の第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器DA3の第1端子を介して第3差動増幅器DA3に伝達する。そして、前記第3差動増幅器DA3で第1、2端子の信号差を増幅して加速度検出回路に伝達する。前記加速度検出回路でX軸方向の加速度及びY軸方向の加速度を算出する。より具体的には、前記差動増幅器の差値によるX軸方向の加速度はAx=SX1-SX2-DX1-DX2で、Y軸方向の加速度はAy=SY1-SY2-DY1-DY2で算出される。このように具現されることにより、第1実施例による慣性センサのX軸及びY軸方向のセンシングのための概略的な部分回路図よりノイズを減らし、信号の大きさをさらに大きく増幅することができ、測定感度が向上される。図5は本発明の第1実施例による慣性センサのZ軸方向のセンシングのための概略的な部分回路図である。図示したように、前記第1、2検知電極111a、111a’、111b、111b’と第1、2加振電極112a、112a’、112b、112b’は、差動増幅器を介して加速度検出回路に連結され、Z軸方向の加速度Azが算出される。より具体的には、X軸及びY軸方向の第1、2検知電極111b、111a、111b、111aSX1、SY1、SX2、SY2の信号は結合されて差動増幅器DAの第1端子に連結され、X軸及びY軸方向の第1、2加振電極112b、112a、112b、112aDX1、DY1、DX2、DY2の信号は結合されて差動増幅器DAの第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して加速度検出回路に伝達する。従って、前記差動増幅器の差値によるZ軸方向の加速度はAz=SX1SY1SX2SY2-DX1DY1DX2DY2で算出される。このように具現されることにより、従来の加速度の算出時には考慮されていなかった、加振電極DX1、DX2、DY1、DY2の値が加えられることにより、測定感度が向上される。図6は本発明の第2実施例による慣性センサのZ軸方向のセンシングのための概略的な部分回路図である。図示したように、前記第1、2検知電極111a、111a’、111b、111b’と第1、2加振電極112a、112a’、112b、112b’は、差動増幅器を介して加速度検出回路に連結され、Z軸方向の加速度Azが算出される。より具体的には、X軸方向の第1加振電極112bDX1は第1差動増幅器DA1の第1端子に連結され、第1検知電極111bSX1は第1差動増幅器DA1の第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器DA3の第1端子を介して第3差動増幅器DA3に伝達する。そして、Y軸方向の第1加振電極112aDY1は第2差動増幅器DA2の第1端子に連結され、第1検知電極111aSY1は第2差動増幅器DA2の第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して第3差動増幅器DA3の第2端子を介して第3差動増幅器DA3に伝達する。そして、前記第3差動増幅器DA3で第1、2端子の信号差を増幅する。次に、X軸方向の第2検知電極111b’SX2は第4差動増幅器DA4の第1端子に連結され、第2加振電極112b’DX2は第4差動増幅器DA4の第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して第6差動増幅器DA6の第1端子を介して第6差動増幅器DA6に伝達する。そして、Y軸方向の第2検知電極111a’SY2は第5差動増幅器DA5の第1端子に連結され、第2加振電極112a’DY2は第5差動増幅器DA5の第2端子に連結されて、二つの信号差を増幅して第6差動増幅器DA6の第2端子を介して第6差動増幅器DA6に伝達する。そして、前記第6差動増幅器で第1、2端子の信号差を増幅し、加速度検出回路に伝達する。前記差動増幅器の差値によるZ軸方向の加速度はAz=[SX1-DX1-DY1-SY1][SX2-DX2-DY2-SY2]で算出される。このように具現されることにより、第1実施例による慣性センサのZ軸方向のセンシングのための概略的な部分回路図よりノイズを減し、信号の大きさをさらに大きく増幅することができ、測定感度が向上される。結局、加速度及び角速度センサで具現される慣性センサにおいて、時分割方式で角速度及び加速度を分けて測定し、加速度を測定する間に駆動体を加振する必要がないことを考慮して、加振電極を検知電極として利用し、差動増幅器を介して信号の大きさを増幅することにより、測定感度が向上された慣性センサを得ることができる。以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明による慣性センサはこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。