主に、平面、円筒、曲面からなる計測対象の寸法を測定する際に、非接触式三次元測定機により全体形状を測定し、全体形状の三次元形状データを生成する第1のステップと、計測対象を平面、円筒、曲面部に分割し、レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機で測定する第2のステップと、上記第2のステップでレーザ追尾式非接触測定機から得られたデータに基づき曲面部の三次元形状データを生成する第3のステップと、上記第2のステップでレーザ追尾式接触測定機から得られたデータに基づき平面、および、円筒を算出する第4のステップと、手計測により得られた主要部寸法の入力を受け付ける第5のステップと、上記、第1、第3、第4、および、第5のステップで得られたデータを合成する第6のステップと、該第6のステップで得られたデータに基づき設計データを作成する第7のステップを備えたことを特徴とする3次元寸法測定方法。主に、平面、円筒、曲面からなる計測対象の寸法を測定する際に、非接触式三次元測定機により全体形状を測定し、全体形状の三次元形状データを生成する第1のステップと、計測対象を平面、円筒、曲面部に分割し、レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機で測定する第2のステップと、上記第2のステップでレーザ追尾式非接触測定機から得られたデータに基づき曲面部の三次元形状データを生成する第3のステップと、上記第2のステップでレーザ追尾式接触測定機から得られたデータに基づき平面、および、円筒を算出する第4のステップと、手計測により得られた主要部寸法の入力を受け付ける第5のステップと、上記、第1、第3、第4、および、第5のステップで得られたデータを合成する第6のステップと、該第1から第6のステップで同様に得られた別の計測対象の形状データ同士を比較する第7のステップと、比較結果から、据え付け時の干渉状態を確認する第8のステップと、該第8のステップで得られた情報に基づき、追加工指示を行うステップを備えたことを特徴とする3次元寸法測定方法。しかしながら、特許文献1で述べられている技術では、表面形状を容易に高精度に測定するために、多関節接触式3次元形状測定装置を用いているため、一度に測定できる範囲が狭く、多関節接触式3次元形状測定装置の位置を何回も変更する必要があった。そこで、本発明の目的は、一回の設置で広範囲を高い精度で算出可能な方法を提供することにある。上記目的を達成するために、本発明は、主に、平面、円筒、曲面からなる計測対象の寸法を測定する際に、非接触式三次元測定機により全体形状を測定し、全体形状の三次元形状データを生成する第1のステップと、計測対象を平面、円筒、曲面部に分割し、レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機で測定する第2のステップと、上記第2のステップでレーザ追尾式非接触測定機から得られたデータに基づき曲面部の三次元形状データを生成する第3のステップと、上記第2のステップでレーザ追尾式接触測定機から得られたデータに基づき平面、および、円筒を算出する第4のステップと、手計測により得られた主要部寸法の入力を受け付ける第5のステップと、上記、第1、第3、第4、および、第5のステップで得られたデータを合成する第6のステップと、該第6のステップで得られたデータに基づき設計データを作成する第7のステップと、上記第7のステップで得られた設計データに基づき計測対象同等品を新規に製作するステップを備えたことを特徴とする。本発明によれば、少ない作業量で、短時間に、高い精度で寸法を求めることが可能となる。本発明は、測定対象の寸法を測定する際に、非接触3D測定器で全体形状を測定し、また、高い計測精度が求められる部分は、主に平面と円筒形状であることに着目し、測定対象を平面と円筒の集合体に分解し、分解した平面と円筒をレーザ追尾式接触測定機でN点計測し、取得されたN点の座標データから当てはめにより平面や円筒を求めることで、高い計測精度が求められる主要部分に寸法をもとめ、平面と円筒では表現できない曲面部のうち、高い精度が求められる部位については、レーザ追尾式非接触測定機を用いて計測することで、一回のセッティングで広い範囲を、短時間に計測することを特徴とする。以下、本発明の実施形態を図1から図33を用いて説明する。図1に本発明で用いる計測システムの全体構成について示す。先ず、非接触式三次元測定機6により計測対象全体にわたり、計測対象表面に対応した座標情報を得る。非接触式三次元測定機は、図9に示すように、二つのエンコーダ付き回転モータ27a、27bと、レーザ測距システム28から構成され、図10に示すように、上記エンコーダで二つの角度φ、θを計測するとともに、上記レーザ測距システムにより計測対象までの距離を測定することで、計測点の座標情報11を得る。そして、該得られた座標情報に基づき、計測対象全体形状の三次元形状データ15を生成する。次に、計測対象を平面、円筒、曲面部に分割しステップ2、該分割された部位ごとにレーザ追尾式非接触測定機3とレーザ追尾式接触測定機4で測定する。具体的な計測対象としては、図3、図4に示すようなタービンケーシングやタービンロータが挙げられる。タービンケーシングやタービンロータは、簡略化すると、図5、図6に示されるような、平面と円筒の集合体として表すことができる。このとき、レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機は、図11、図12に示すように、各々、レーザトラッカシステム5aとカメラシステム5bで監視されている。上記レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機は、各々、レトロリフレクタ32が取り付けられており、上記レーザトラッカシステム5aにて、該レトロリフレクタまでの距離を測定することで、レーザトラッカシステムの座標系における該レトロリフレクタの座標を計測する。また、上記レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機は、各々、複数のLEDが取り付けられており、上記カメラシステムにて、該LEDを撮像する。該LEDの位置関係は予め定められているため、取得された画像を解析することで、上記レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機の姿勢を算出する。以上の情報に基づき、レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機で得られたデータは、レーザトラッカシステムの座標系に変換される。次に、レーザ追尾式非接触測定機で得られたデータから曲面の三次元形状データ14を生成する。曲面の具体例としては、図7に示すような、タービンケーシングのホールダウンボルト部などが挙げられる。レーザ追尾式非接触測定機では、図8に示すように曲面部表面の多くの座標データを取得する。測定原理は、例えば、図13に示すレーザ光切断方式などがある、すなわち、レーザ3aから発振されたレーザ光りは、コリメータレンズ3cで一旦拡大され、シリンドリカルレンズ3dで扇状に広げられる。該扇状の光りは、計測対象に当たり散乱光が発生する。該発生した散乱光は、結像レンズ3eで集光され、エリアセンサ3b上に結像される。このとき、計測対象の位置サイズ、すなわち座標がレーザ輝線36、37、38と変化すると、画像上の結像位置も計測面36a、36b、36cといった具合に変化する。この画像上での結像位置レーザ輝線の位置を画像処理で算出し例えば、輝度分布の重心を求め、三角測量の原理で計測対象までの距離が求まる。一方、レーザ追尾式接触測定機では、図17、図18に示すように、上記分割された各々の平面、および、円筒をN点計測する。そして、N点計測されたデータから、平面、および、円筒形状を求める。さらに、計測対象の主要部16では、ノギスやパイテープ、コンベックスなどを用いて計測される。一般に、図15、図16に示すように、平面と円筒は3点の座標データがあると一意に求まる。しかしながら、計測データには必ず誤差が含まれるため、3点の計測データから平面や円筒は正しく求まらない。そこで、最低でも5点から8点の計測データを取得することが望ましい。4点以上の計測データから平面や円筒を求める方法としては、最小二乗法や擬似逆行列を使えばよい。ここで、タービンケーシングやタービンロータの場合、一般的に、平面や円筒は各々平行になっている。ところが、最小二乗法や擬似逆行列で求まる平面や円筒は、計測誤差のため、平面の法線と円筒の軸は、一致しない。すなわち、図19に示すように、計測データの誤差により、円筒面が投影される平面が、計算のたびに変わる。逆に、投影する平面を予め定めておけば、円筒の中心軸は一致する。そこで、例えば、タービンケーシングを計測する場合には、図20に示すように、機械加工面を基準面46とし、先ず、図21に示すように、該基準面をN点計測する。そして、図22に示すように、該基準面を含む平面46bを求める。次に、計測したい円筒面47をN点計測し、得られた計測データを該平面46bに投影し、投影されたデータに円を当てはめることで円筒を算出する。このようにして求められた形状データは、共通の座標系で合成されステップ17、該得られた合成形状データに基づき設計データCADデータを生成しステップ18、該生成された設計データに基づき、計測対象相当品が新規に製作されるステップ19。図2に本発明で用いる計測システムの別の構成について示す。先ず、非接触式三次元測定機6により計測対象全体にわたり、計測対象表面に対応した座標情報11を得る。そして、該得られた座標情報に基づき、計測対象全体形状の三次元形状データ15を生成する。次に、計測対象を平面、円筒、曲面部に分割しステップ2、該分割された部位ごとにレーザ追尾式非接触測定機3とレーザ追尾式接触測定機4で測定する。このとき、レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機は、各々、レーザトラッカシステム5aとカメラシステム5bで監視されている。上記レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機は、各々、レトロリフレクタが取り付けられており、上記レーザトラッカシステムにて、該レトロリフレクタまでの距離を測定することで、レーザトラッカシステムの座標系における該レトロリフレクタの座標を計測する。また、上記レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機は、各々、複数のLEDが取り付けられており、上記カメラシステムにて、該LEDを撮像する。該LEDの位置関係は予め定められているため、取得された画像を解析することで、上記レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機の姿勢を算出する。以上の情報に基づき、レーザ追尾式非接触測定機とレーザ追尾式接触測定機でえられたデータは、レーザトラッカシステムの座標系に変換される。次に、レーザ追尾式非接触測定機で得られたデータから曲面の三次元形状データ14を生成する。一方、レーザ追尾式接触測定機では、上記分割された各々の平面、および、円筒をN点計測する。そして、N点計測されたデータから、平面、および、円筒形状を求める。さらに、計測対象の主要部16では、ノギスやパイテープ、コンベックスなどを用いて計測される。このようにして求められた形状データは、共通の座標系で合成されるステップ17。次に、該得られた形状データと、別の計測対象を同様の手順で計測した得られた形状データとを比較しステップ20、据付前の干渉チェックステップ21を三次元データ上で行う。具体的には、タービンケーシングと該タービンケーシング内部に配置されるタービンロータの形状データを比較し、接触の有無を確認する。接触部位が認められた場合は、当該部位を追加工しステップ22、接触部位が認められない場合には、そのまま据付作業ステップ23を行う。ここで、図23に示すホールダウンボルトの穴位置間隔を求めようとした場合、レーザ追尾式非接触測定機では光がホールダウンボルト穴の内部まで届かず、レーザ追尾式接触測定機ではプローブが届かない場合がある。このような場合には、図23に示すように、ホールダウンボルト穴に真球48を置き、該真球48を図24に示すようにレーザ追尾式非接触測定機で測定し、もしくは、図33に示すようにレーザ追尾式接触測定機でN点計測して、真球48の中心を算出し、真球48の中心間距離を求めればよい。同様に、図25に示すように、タービンケーシングの円筒面にあけられたボルト穴位置を求めたい場合も、レーザ追尾式非接触測定機では光がボルト穴の内部まで届かず、レーザ追尾式接触測定機ではプローブが届かない場合がある。さらに、仮に、レーザ追尾式非接触測定機で光がボルト穴の内部まで届いたり、レーザ追尾式接触測定機でプローブがボルト穴の内部まで届いたりした場合でも、タップ溝の影響でボルト穴位置が正しく算出されない場合もある。このような場合には、図26に示すように、中心軸の精度が正しく求められているボルト52を差込み、該ボルトの中心軸を算出すればよい。具体的には、図27に示すように、ボルト52の上部の円筒52aの外径をレーザ追尾式接触測定機でN点計測したり、図28のように、ボルト52の上部の円筒52bの外径をレーザ追尾式接触測定機でN点計測したりすればよい。図28に示す方法の場合、レーザ追尾式接触測定機のプローブ先端球を保持停止しやすいため、計測が安定する。また、図29のように、ボルト52の上部円筒に円錐溝を設け、レーザ追尾式接触測定機のプローブ先端球を該円錐溝に落とし込むことで、直接ボルトの中心位置を算出してもよい。ここで、タービンケーシングやタービンロータのような大きな計測対象を計測する場合、必ずしも、一回の計測で所望の形状を全て取得できる訳ではない。そのような場合には、非接触式三次元測定機6や、レーザトラッカシステム5の位置を変える必要がある。一旦、非接触式三次元測定機6や、レーザトラッカシステム5の位置を変更してしまうと、計測データの合成共通の座標系に計測データを置き換えるができなくなってしまう。そこで、図14に示すように、予め計測対象全体にわたり、計測対象3個以上のターゲット40a、40b、40cを配置しておき全ての計測が終了するまで動かしてはいけない、非接触式三次元測定機6や、レーザトラッカシステム5の位置を変えるたびに、該ターゲットを測定して座標を求めて置き、求まった3点以上の座標データに基づき、計測データを座標変換すれば、非接触式三次元測定機6や、レーザトラッカシステム5の位置を変えた場合でも、全てのデータを共通の座標系で表すことが可能となる。ここで、タービンケーシングやタービンロータのような大きな計測対象を計測する場合、計測時間が数時間以上にわたる場合がある。さらに、レーザ追尾式非接触測定機3やレーザ追尾式接触測定機4は、計測作業者が持ち歩くため、ぶつけたりする場合がある。最悪の場合、LEDの位置関係が変わったりする。そのような場合、最終的に合成されたデータにずれが生じる。そこで、図30に示す対向面間距離が予め高精度で測定された平板55や、図31に示すリングゲージ円筒56などを定期的に計測し、得られた対向面間距離や、リングゲージ径に変化が無いか調べればよい。但し、対向面間距離やリングゲージ径いずれも、相対位置関係に変化がなかったとしても、絶対座標が変化している場合がある。すなわち、非接触式三次元測定機6や、レーザトラッカシステム5の位置が変わっている場合がある。このような場合、上記リングゲージ円筒56を3個以上固定しておき、定期的に該リングゲージ円筒56を測定し、その中心座標を求めておけば、仮に、非接触式三次元測定機6や、レーザトラッカシステム5の絶対位置や、レーザ追尾式非接触測定機3やレーザ追尾式接触測定機4の測定精度が変化した場合にも、回転、平行移動、拡大、縮小を含む座標変換により、計測データを補正することが可能となる。図32に示すように、3個のリングゲージ円筒56を平板55上に固定した簡易校正治具57を用意し、予め、該リングゲージ円筒56の中心座標と対向面間距離を予め高精度で求めておいて、該簡易校正治具57を固定しておけば、用意に座標補正用データを取得することができる。