"ヒータ部がシリカガラス管に収納されたヒータであって、前記ヒータ部は、前記シリカガラス管内において、その軸方向に沿って延設されたシリカガラスからなる棒部材と、ワイヤー状に形成され、前記棒部材の周面に、螺旋状に巻回された発熱体とを備えることを特徴とするヒータ。前記棒部材の周面には、軸方向と交差する方向に貫通する複数の貫通孔が、軸方向に所定間隔を空けて一列に設けられ、前記発熱体は、前記貫通孔に挿通されて、前記棒部材の一部周面に巻回されていることを特徴とする請求項1に記載されたヒータ。前記棒部材は、透明なシリカガラスの中実棒により形成され、前記発熱体が巻回されない他の周面には不透明化処理が施されていることを特徴とする請求項2に記載されたヒータ。前記棒部材は、透明なシリカガラスの管状の棒により形成され、前記発熱体が巻回されない他の外周面、またはそれに対応する内周面には不透明化処理が施されていることを特徴とする請求項2に記載されたヒータ。前記不透明化処理は、シリカガラスの表面を粗面化する処理、またはシリカガラスの表面に少なくとも内側が反射面となる反射膜を形成する処理、またはシリカガラスの表面に遮光部材を貼付する処理、またはシリカガラスの表面に断熱部材を貼付する処理のいずれかを含むことを特徴とする請求項3または請求項4に記載されたヒータ。前記棒部材は、不透明なシリカガラスの中実棒または管状の棒により形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載されたヒータ。前記発熱体が、カーボンワイヤー発熱体であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載されたヒータ。しかしながら、図12に示すヒータ100にあっては、カーボンワイヤー発熱体205と共に螺旋構造となるシリカガラス管210の長さも長くなるため、X1方向軸方向の省スペース化小型化を図る上で限界があった。また、カーボンワイヤー発熱体205からの発熱を効果的に行うために、螺旋状に形成されたシリカガラス管210の直径は、少なくとも35mm程度必要となり、Y1方向径方向の省スペース化小型化にも限界があった。即ち、このような螺旋構造のヒータにあっては、高い発熱量を得ることができるが、小型化には限界があるという課題があった。また、ヒータ100の製造時において、螺旋状に長く形成されたシリカガラス管210を所定形状に巻き取る作業は容易ではなく、故に巻取りに使用する治具も特殊形状使い切りでコストが嵩張るという課題があった。本発明は、上記技術的課題を解決するためになされたものであり、シリカガラス管に発熱体を収容したヒータにおいて、容易に製作できると共に、発熱量を低下させずに省スペース化小型化を図ることができ、所望の領域を加熱することができるヒータを提供することを目的とするものである。前記課題を解決するためになされた、本発明に係るヒータは、ヒータ部がシリカガラス管に収納されたヒータであって、前記ヒータ部は、前記シリカガラス管内において、その軸方向に沿って延設されたシリカガラスからなる棒部材と、ワイヤー状に形成され、前記棒部材の周面に、螺旋状に巻回された発熱体とを備えることに特徴を有する。尚、前記発熱体は、カーボンワイヤー発熱体であることが望ましい。このように構成されたヒータによれば、ヒータ部の発熱量は前記発熱体の巻回数ピッチにより調整することができる。そのため、シリカガラス管と棒部材の径方向及び軸方向の長さを小さく形成しても、発熱体の巻回数を増加させて必要な発熱量を維持することができ、ヒータの径方向及び軸方向の省スペース化小型化を図ることができる。また、発熱体は螺旋状であっても、その保護管であるシリカガラス管を螺旋状に形成する必要がないため、従来のような螺旋状に巻き取るための特別な治具が不要であり、コストを低減し、また、容易に製作することができる。また、前記棒部材の周面には、軸方向と交差する方向に貫通する複数の貫通孔が、軸方向に所定間隔を空けて一列に設けられ、前記発熱体は、前記貫通孔に挿通されて、前記棒部材の一部周面に巻回されていることが望ましい。このように構成することにより、前記発熱体は、前記棒部材に設けられた複数の貫通孔を通って巻回されるため、容易に等間隔に巻回することができる。また、棒部材の周面に軸方向に並ぶ複数の貫通孔のピッチによって、棒部材単位長さあたりの発熱体の巻回数が変化するため、容易に加熱量の粗密を調整することができる。また、棒部材の周面において、複数の貫通孔を設ける位置により、発熱体が露出する面積加熱部範囲を変更することができるため、広範囲な被加熱領域から局所的な被加熱領域まで幅広く対応することができる。また、前記棒部材は、透明なシリカガラスの中実棒により形成され、前記発熱体が巻回されない他の周面には不透明化処理が施されていることが望ましい。或いは、前記棒部材は、透明なシリカガラスの管状の棒により形成され、前記発熱体が巻回されない他の外周面、またはそれに対応する内周面に不透明化処理が施されていてもよい。尚、前記不透明化処理は、シリカガラスの表面を粗面化する処理、またはシリカガラスの表面に少なくとも内側が反射面となる反射膜を形成する処理、またはシリカガラスの表面に遮光部材を貼付する処理、またはシリカガラスの表面に断熱部材を貼付する処理のいずれかを含むことが望ましい。このように棒部材において発熱体が巻回されない側に不透明化処理を施すことによって、発熱体が巻回された側からの発熱量を向上させることができる。また、前記棒部材は、不透明なシリカガラスの中実棒または管状の棒により形成されていてもよく、その場合には、棒部材内の熱伝導性が低下し、発熱体が巻回された側から前方への加熱を効率的に行うことができる。本発明によれば、シリカガラス管に発熱体を収容したヒータにおいて、容易に製作できると共に、発熱量を低下させずに省スペース化小型化を図ることができ、所望の領域を加熱することができる。以下に、本発明にかかる実施形態について図面に基づいて説明する。ここで、図1は、本発明にかかるヒータの実施形態を示す断面図であり、図2は、図1のヒータの封止端子構造を示す拡大断面図、図3は、図1の封止端子を示す断面図である。なお、図2、図3では、ヒータの左右端部が同一形状であるため、一方の端部のみを図示すると共に、一の端部の説明をもって両端部の説明とする。図1に示されているヒータ1は、ヒータ部2と、前記ヒータ部2を収納する、両端が開放された大径のシリカガラス管3と、前記大径のシリカガラス管3の両端部3a,3bに収納された小径のシリカガラス管4a,4bと、この小径のシリカガラス管4a,4bの内部に圧縮収納されたワイヤーカーボン材Aと、前記大径のシリカガラス管3の端部を封止し、閉塞する封止端子部10a,10bとから構成されている。尚、シリカガラス管3内には不活性ガスAr、またはN2などが封入されている。この封止端子部10a,10bは、ヒータ部2に電力を供給する接続線6a,6bと、前記接続線6a,6bの外周面に形成された熱膨張傾斜部7a,7bと、大径のシリカガラス管3の両端部3a,3bに一端部が融着する共に、他端部が、接続線6a,6bの外周囲に形成された熱膨張傾斜部7a,7bの外周面に融着する円筒状のシリカガラスからなる封止部材5a,5bとを備えている。この前記接続線6a,6bはMoモリブデン、あるいはWタングステン棒からなり、その直径は1mm乃至3mmに形成されている。前記接続線6a,6bの直径は、必要に応じて適宜選択することができるが、直径が小さすぎる場合には、大きな電気抵抗となる傾向があり、また直径が大きすぎる場合には、端子自体が大きくなる傾向がある。なお、接続線6a,6bは、小径シリカガラス管4a,4b内に圧縮収納されているワイヤーカーボン材Aに容易に接続ができるように、その先端部は尖っている。また、この接続線6a,6bの外周面には、図2、3に示すように、タングステンガラス層7a1が形成され、更に前記タングステンガラス層7a1上に、例えば熱膨張係数が8×107/°C0~300°Cである96珪酸ガラス層7a2が積層、形成されている。即ち、接続線6a,6bの径方向に熱膨張係数が小さくなるように、熱膨張傾斜部7a,7bが形成されている。また、図3に示すように、前記封止部材5aは、小径部5a1と、大径部5a3と、前記小径部5a1と大径部5a3とを接続する立上がり部5a2が形成された円筒状体である。そして、前記小径部5a1の内周面は、前記96珪酸ガラス層7a2の外周面に融着され、大径部5a3の端面は、前記大径のシリカガラス管3の両端部3aの端面に融着される。更に、熱膨張傾斜部7aタングステンガラス層7a1及び前記96珪酸ガラス層7a2より具体的には、コーニング社製、バイコール登録商標の全体の厚さt3は、前記小径部5a1の厚さt1肉厚の0.2倍~1倍に形成されている。この熱膨張傾斜部7aの厚さt3が封止部材5a小径部5a1の厚さt1の0.2倍未満である場合及び1倍を超える場合には熱膨張による歪みの吸収できず、破損する虞があるため、望ましくない。続いて、ヒータ部2の構成について、図1に加え図4乃至図6を更に用いて説明する。図4は、図1のヒータ部2の破線領域D1を示す一部拡大図であり、図5は、破線領域D2を示す一部拡大図である。また、図6は、図5の横断面図である。図1に示すように、ヒータ部2は、シリカガラス管3内において軸方向に延設された透明なシリカガラスの中実棒20と、中実棒20に螺旋状に巻回されたカーボンワイヤー発熱体24とを有する。前記中実棒20は、その直径がシリカガラス内径に対して3mm~5mm小さく、シリカガラス管3に略等しい長さに形成され、その両端部に設けられた支持棒21によって、シリカガラス管3内に支持されている。また、図6に示すように中実棒20の周側面には、軸方向に交差する方向図では直交方向に貫通する貫通孔22が形成され、この貫通孔22は、図4,図5に示すように軸方向に沿って一列に、等間隔を空けて複数形成されている。尚、図では、中実棒20の軸を水平方向としたときに、中実棒20の下部に貫通孔22が横一列に設けられた例を示している。また、中実棒20の両端部にあっては、図4に示すように、最も端の貫通孔22Aに連通する連通孔23が中心軸に沿って形成されている。前記貫通孔22および連通孔23の直径は、少なくとも前記カーボンワイヤー発熱体24が挿通可能な大きさに形成されている。即ち、図示するように前記連通孔23には、カーボンワイヤー発熱体24が挿通され、最端の貫通孔22Aを通って中実棒20の上側周面一部周面に巻回されている。そして、前記最端の貫通孔22Aから中実棒20の上側周面を巻回されるカーボンワイヤー発熱体24は、隣の貫通孔22に通され、再び中実棒20の上側周面に巻回されている。このようにして、カーボンワイヤー発熱体24は、図1、図5に示すように中実棒20の軸方向に沿って一列に形成された前記複数の貫通孔22にそれぞれ通されて中実棒20の上側周面に螺旋状に巻回されている。また、このヒータ部2にあっては、図6に示すように中実棒20においてカーボンワイヤー発熱体24が巻回された一部周面上側周面が加熱部範囲Hとなる。一方、中実棒20においてカーボンワイヤー発熱体24が巻回されない他の周面下側周面が非加熱部範囲Nとなる。即ち、ヒータ部2は軸周りの全周方向への加熱をするのではなく、加熱方向に指向性を有している。ここで、加熱部範囲Hから前方への発熱量を増加させるために、中実棒20の非加熱部範囲Nの外周面表面を不透明化処理することが望ましい。具体的には、前記非加熱部範囲Nの表面をブラスト加工、或いは化学エッチング処理等により粗面化することにより不透明化させることができる。或いは、前記非加熱部範囲Nの表面に、内側中実棒20側に熱反射するように反射膜を形成してもよい。或いは、非加熱部範囲Nの表面にシート状の遮光部材や断熱部材黒鉛シートなどを貼付してもよい。尚、本実施形態においては、前記のように中実棒20の軸を水平方向としたとき、中実棒20の下部に貫通孔22が設けられた例を示したが、被加熱領域の大きさに応じて、その形成位置を決めてよい。例えば、図7aに示すように貫通孔22を中実棒20の軸中心の高さに形成し、カーボンワイヤー発熱体24の露出面積即ち加熱部範囲Hをより小さくしてもよい。また、図7bに示すように貫通孔22を中実棒20の上部に形成し、加熱部範囲Hをより狭くしてもよく、その場合には周方向に局所的な加熱を行うことができる。また、このように構成されたヒータ部2によれば、直管状のシリカガラス管3内に配置された中実棒20に、カーボンワイヤー発熱体24を螺旋状に巻回させて配するため、カーボンワイヤー発熱体24の巻回数ピッチにより発熱量を調整することができる。このため、発熱量を低下させずにヒータ1の軸方向および径方向を小さく形成したい場合には、前記複数の貫通孔22のピッチを小さくしてカーボンワイヤー発熱体24の巻回数を増加させればよい。次にカーボンワイヤー発熱体24について、図8、図9、図10を用いて説明する。図8は、カーボンワイヤーを示す平面図、図9はカーボンワイヤー発熱体と接続線の接続状態を示す断面図、図10は図9の横断面図である。前記カーボンワイヤー発熱体24としては、図8に示すような複数本のカーボンファイバーを束ねたファイバー束を複数束用いてワイヤー状に編み込んだもの等が用いられる。このカーボンワイヤー発熱体24は、図4、図5に示したように中実棒20の連通孔23及び貫通孔22に挿通され、中実棒20の一部周面に巻回されるが、その両端部は図9、図10に示すように小径のシリカガラス管4a,4bの内部に圧縮収納された複数本のワイヤーカーボン材A間に、圧縮状態で埋設されている。前記カーボンワイヤー発熱体24の具体例としては、直径5乃至15μmのカーボンファイバー、例えば、直径7μmのカーボンファイバーを1000乃至3000本程度束ねたファイバー束を10束程度用いて直径約1.3~2.5mmの編紐、あるいは組紐形状に編み込んだ等のカーボンワイヤーが用いられる。前記の場合において、ワイヤーの編み込みスパンは2乃至5mm程度であり、カーボンファイバーによる表面の毛羽立ちは0.5乃至1.5mm程度である。なお、前記毛羽立ちとは、図8の符号aに示すような、カーボンファイバーが切断されたものの一部が、カーボンワイヤーの外周面から突出したものである。また、前記ワイヤーカーボン材Aは、カーボンワイヤー発熱体24と同一もしくは、少なくともカーボンファイバーを束ねたファイバー束を複数編み上げてなる編紐あるいは組紐形状である点において同等の構成材料が用いられる。なお、同一の構成材料とは、カーボンファイバー直径、カーボンファイバーの束ねた本数、ファイバー束を束ねる束数、編み込み方、編み込みスパン長さ、毛羽立ち長さ、材質が同一であることを意味している。また、小径のシリカガラス管4a,4bに収容されるワイヤーカーボン材Aの本数は、カーボンワイヤー発熱体24の本数以上が収容されるのが良い。より好ましくは、カーボンワイヤー発熱体24の本数の5倍以上の本数が、ワイヤーカーボン材Aとして収容されているのが良い。具体的に説明すれば、例えばカーボンワイヤー発熱体24が1本のときワイヤーカーボン材Aが14本、あるいはカーボンワイヤー発熱体24が2本のときワイヤーカーボン材Aが12本等、5倍以上の本数がワイヤーカーボン材Aとして用いられるのが好ましい。また、カーボンワイヤー発熱体24と後述する接続線6a,6bとの間にワイヤーカーボン材Aが介在するために、カーボンワイヤー発熱体24の熱が接続線6a,6bに極力伝わらないようにすることができ、封止端子部10a,10bの高温劣化を防止することができる。即ち、ワイヤーカーボン材Aが断熱材として機能し、封止端子部10a,10bの高温劣化を防止することができる。以上のように本発明に係る実施の形態によれば、直管状のシリカガラス管3内に配置された中実棒20にカーボンワイヤー発熱体24が巻回されてヒータ部2が構成され、ヒータ部2の発熱量は前記カーボンワイヤー発熱体24の巻回数ピッチにより調整される。そのため、シリカガラス管3と中実棒20の径方向及び軸方向の長さを小さく形成しても、カーボンワイヤー発熱体24の巻回数を増加させて必要な発熱量を維持することができ、ヒータ1の径方向及び軸方向の省スペース化小型化を図ることができる。また、カーボンワイヤー発熱体24は、中実棒20に設けられた複数の貫通孔22を通って巻回されるため、容易に等間隔に巻回することができる。また、中実棒20の周面に軸方向に並ぶ複数の貫通孔22のピッチによって中実棒20の単位長さあたりのカーボンワイヤー発熱体24の巻回数が変化するため、容易に加熱量の粗密を調整することができる。また、中実棒20の周面において、複数の貫通孔22を設ける位置により、カーボンワイヤー発熱体24が露出する面積加熱部範囲Hを変更することができるため、広範囲な被加熱領域から局所的な被加熱領域まで幅広く対応することができる。また、カーボンワイヤー発熱体24の保護管であるシリカガラス管3を螺旋状に形成する必要がないため、従来のような螺旋状に巻き取るための特別な治具が不要であり、コストを低減し、また、容易に製作することができる。尚、前記実施の形態においては、棒部材は透明なシリカガラスの中実棒20としたが、中実棒に限らず図11に示すようなパイプ状管状の棒部材30であってもよい。この場合、非加熱部範囲Nの外周面または内周面に不透明化処理が施されていることが望ましく、それにより貫通孔22に挿通されたカーボンワイヤー発熱体24から効果的に加熱部範囲H側に放熱させることができる。また、前記のように中実棒20或いは棒部材30が透明なシリカガラスからなる場合に限らず、不透明のシリカガラスにより棒部材が形成されていてもよく、その場合には、加熱部範囲Hに巻回されたカーボンワイヤー発熱体24から効果的に前方へ放熱することができる。また、前記実施の形態においては、直管状のシリカガラス管3内に直棒の中実棒20が配置された例を示したが、それに限らず、シリカガラス管3を所望の形状例えば円環状に形成し、その中に軸線に沿った形例えば円環状の中実棒20を配置してもよい。また、前記実施の形態においては、中実棒20に複数の貫通孔22を設け、カーボンワイヤー発熱体24を前記貫通孔22に挿通して中実棒20の一部周面に巻回するものとした。しかしながら、それに限らず、中実棒20に前記貫通孔22を設けずに、カーボンワイヤー発熱体24を中実棒20の全周面に螺旋状に巻回するようにしてもよい。それにより中実棒20の全周方向に放熱させることができる。"