プラズマ処理システムにおいて少なくとも静電チャックESCから伝達される高周波RF電力をフィルタリングするフィルタであって、前記プラズマ処理システムが、前記ESCの第1の部分に配置される第1の発熱体を少なくとも備えると共に、さらに、電源を少なくとも備え、前記フィルタが、第1のコア部材と、第1の複数のコンデンサであって、少なくとも第1のコンデンサと第2のコンデンサとを含む第1の複数のコンデンサと、前記第1のコア部材の少なくとも第1の部分の周囲にこれに沿って巻きつけられて第1の組のインダクタンスを有する少なくとも第1の組のインダクタを形成する第1のケーブルであって、前記第1のケーブルが少なくとも第1の複数のワイヤを備え、前記第1の複数のワイヤが少なくとも第1のワイヤと第2のワイヤとを含み、前記第1のワイヤが前記第2のワイヤに接触して、前記第1のワイヤの少なくとも一部と前記第2のワイヤの少なくとも一部とがより合わされ、前記第1のワイヤの第1の端部が前記第1の発熱体に接続される一方で、前記第1のワイヤの第2の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第2のワイヤの第1の端部が前記第1の発熱体に接続される一方で、前記第2のワイヤの第2の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続される、第1のケーブルと、を備えるフィルタ。請求項1に記載のフィルタであって、前記プラズマ処理システムが、さらに、前記ESCの第2の部分に配置される第2の発熱体を少なくとも備え、前記第1の複数のコンデンサが、さらに、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含み、前記第1のケーブルの前記第1の複数のワイヤが、さらに、少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第2の発熱体に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2の発熱体に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤの前記一部と、前記第2のワイヤの前記一部と、前記第3のワイヤの少なくとも一部と、前記第4のワイヤの少なくとも一部とがより合わされるフィルタ。請求項1に記載のフィルタであって、前記第1のワイヤが被覆マグネットワイヤであるフィルタ。請求項1に記載のフィルタであって、前記第1のコア部材が、少なくとも溝構造を備え、前記第1のケーブルの少なくとも一部が前記溝構造の内部に配置されるフィルタ。請求項4に記載のフィルタであって、前記溝構造が少なくとも複数の溝部分を含み、前記第1のケーブルの第1の部分が第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタを形成し、前記第1のケーブルの第2の部分が前記第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタを形成するように、前記溝構造が前記複数の溝部分のうちの隣接溝部分のピッチをさまざまに変えるフィルタ。請求項1に記載のフィルタであって、前記第1のケーブルの第1の部分を前記第1のコア部材の第1の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタを形成し、前記第1のケーブルの第2の部分を前記第1のコア部材の第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタを形成し、前記第1のケーブルの前記第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチが、前記第1のケーブルの前記第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なるフィルタ。請求項1に記載のフィルタであって、さらに、第2のコア部材を備え、前記第1のケーブルの第1の部分を前記第1のコア部材の前記少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1の組のインダクタを形成し、前記第1のケーブルの第2の部分を前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1の組のインダクタンスと異なる第2の組のインダクタンスを有する第2の組のインダクタを形成し、前記第1のケーブルの前記第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチが、前記第1のケーブルの前記第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なるフィルタ。請求項1に記載のフィルタであって、さらに、第2の複数のコンデンサであって、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含む第2の複数のコンデンサと、前記第1のコア部材の少なくとも第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第2の組のインダクタを形成する第2のケーブルであって、前記第2のケーブルが少なくとも第2の複数のワイヤを備え、前記第2の複数のワイヤが少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤが前記第4のワイヤに接触して、前記第3のワイヤと前記第4のワイヤとがより合わされ、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記第1のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記第2のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤを介して前記電源に接続される、第2のケーブルと、を備えるフィルタ。請求項8に記載のフィルタであって、さらに、第2のコア部材と、第3の複数のコンデンサであって、少なくとも第5のコンデンサと第6のコンデンサとを含む第3の複数のコンデンサと、前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第3の組のインダクタを形成する第3のケーブルであって、前記第3のケーブルが少なくとも第3の複数のワイヤを備え、前記第3の複数のワイヤが少なくとも第5のワイヤと第6のワイヤとを含み、前記第5のワイヤが前記第6のワイヤに接触して、前記第5のワイヤと前記第6のワイヤとがより合わされ、前記第5のワイヤの第1の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記第3のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第5のワイヤの第2の端部が前記第5のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第6のワイヤの第1の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記第4のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第6のワイヤの第2の端部が前記第6のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤと前記第5のワイヤとを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤと前記第6のワイヤとを介して前記電源に接続される、第3のケーブルと、を備えるフィルタ。請求項1に記載のフィルタであって、さらに、第2のコア部材と、第2の複数のコンデンサであって、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含む第2の複数のコンデンサと、前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第2の組のインダクタを形成する第2のケーブルであって、前記第2のケーブルが少なくとも第2の複数のワイヤを備え、前記第2の複数のワイヤが少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤが前記第4のワイヤに接触して、前記第3のワイヤと前記第4のワイヤとがより合わされ、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記第1のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記第2のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤを介して前記電源に接続される、第2のケーブルと、を備えるフィルタ。少なくともウエハを処理するプラズマ処理システムであって、前記プラズマ処理システムが、前記ウエハを支持する静電チャックESCと、前記ESCの第1の部分に配置される第1の発熱体と、少なくとも前記第1の発熱体に電力を供給する電源と、少なくとも前記ESCから伝達される高周波RF電力をフィルタリングするフィルタと、を備え、前記フィルタが、少なくとも、第1のコア部材と、第1の複数のコンデンサであって、少なくとも第1のコンデンサと第2のコンデンサとを含む第1の複数のコンデンサと、前記第1のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第1の組のインダクタを形成する第1のケーブルであって、前記第1のケーブルが少なくとも第1の複数のワイヤを備え、前記第1の複数のワイヤが少なくとも第1のワイヤと第2のワイヤとを含み、前記第1のワイヤが前記第2のワイヤに接触して、前記第1のワイヤの少なくとも一部と前記第2のワイヤの少なくとも一部とがより合わされ、前記第1のワイヤの第1の端部が前記第1の発熱体に接続される一方で、前記第1のワイヤの第2の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第2のワイヤの第1の端部が前記第1の発熱体に接続される一方で、前記第2のワイヤの第2の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続される、第1のケーブルと、を備えるプラズマ処理システム。請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、さらに、前記ESCの第2の部分に配置される第2の発熱体を備え、前記第1の複数のコンデンサが、さらに、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含み、前記第1のケーブルの前記第1の複数のワイヤが、さらに、少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第2の発熱体に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2の発熱体に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤの前記一部と、前記第2のワイヤの前記一部と、前記第3のワイヤの少なくとも一部と、前記第4のワイヤの少なくとも一部とがより合わされるプラズマ処理システム。請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、前記第1のワイヤが被覆マグネットワイヤであるプラズマ処理システム。請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、前記第1のコア部材が、少なくとも溝構造を備え、前記第1のケーブルの少なくとも一部が前記溝構造の内部に配置されるプラズマ処理システム。請求項14に記載のプラズマ処理システムであって、前記溝構造が少なくとも複数の溝部分を含み、前記第1のケーブルの第1の部分が第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタを形成し、前記第1のケーブルの第2の部分が前記第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタを形成するように、前記溝構造が前記複数の溝部分のうちの隣接溝部分のピッチをさまざまに変えるプラズマ処理システム。請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、前記第1のケーブルの第1の部分を前記第1のコア部材の第1の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタを形成し、前記第1のケーブルの第2の部分を前記第1のコア部材の第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタを形成し、前記第1のケーブルの前記第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチが、前記第1のケーブルの前記第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なるプラズマ処理システム。請求項16に記載のプラズマ処理システムであって、前記フィルタが、さらに、少なくとも第2のコア部材を備え、前記第1のケーブルの第1の部分を前記第1のコア部材の前記少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1の組のインダクタを形成し、前記第1のケーブルの第2の部分を前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1の組のインダクタンスと異なる第2の組のインダクタンスを有する第2の組のインダクタを形成し、前記第1のケーブルの前記第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチが、前記第1のケーブルの前記第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なるプラズマ処理システム。請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、前記フィルタが、さらに、少なくとも、第2の複数のコンデンサであって、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含む第2の複数のコンデンサと、前記第1のコア部材の少なくとも第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第2の組のインダクタを形成する第2のケーブルであって、前記第2のケーブルが少なくとも第2の複数のワイヤを備え、前記第2の複数のワイヤが少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤが前記第4のワイヤに接触して、前記第3のワイヤと前記第4のワイヤとがより合わされ、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記第1のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記第2のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤを介して前記電源に接続される、第2のケーブルと、を備えるプラズマ処理システム。請求項18に記載のプラズマ処理システムであって、前記フィルタが、さらに、少なくとも、第2のコア部材と、第3の複数のコンデンサであって、少なくとも第5のコンデンサと第6のコンデンサとを含む第3の複数のコンデンサと、前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第3の組のインダクタを形成する第3のケーブルであって、前記第3のケーブルが少なくとも第3の複数のワイヤを備え、前記第3の複数のワイヤが少なくとも第5のワイヤと第6のワイヤとを含み、前記第5のワイヤが前記第6のワイヤに接触して、前記第5のワイヤと前記第6のワイヤとがより合わされ、前記第5のワイヤの第1の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記第3のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第5のワイヤの第2の端部が前記第5のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第6のワイヤの第1の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記第4のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第6のワイヤの第2の端部が前記第6のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤと前記第5のワイヤとを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤと前記第6のワイヤとを介して前記電源に接続される、第3のケーブルと、を備えるプラズマ処理システム。請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、前記フィルタが、さらに、少なくとも、第2のコア部材と、第2の複数のコンデンサであって、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含む第2の複数のコンデンサと、前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第2の組のインダクタを形成する第2のケーブルであって、前記第2のケーブルが少なくとも第2の複数のワイヤを備え、前記第2の複数のワイヤが少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤが前記第4のワイヤに接触して、前記第3のワイヤと前記第4のワイヤとがより合わされ、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記第1のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記第2のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤを介して前記電源に接続される、第2のケーブルと、を備えるプラズマ処理システム。以下、添付の図面に図示されている実施形態を参照して、本発明を詳細に説明する。本発明を完全に理解するために、数多くの具体的詳細を以下で説明している。しかし、当業者には自明のことであるが、本発明は、これら具体的詳細の一部又は全部を省略しても実現可能である。また、本発明を不必要に曖昧にしないように、周知の処理工程及び/又は構造に関する詳細な説明は省略した。方法及び手法等、さまざまな実施形態を以下に説明する。本発明の手法の実施形態を実施するコンピュータ読み取り可能な命令が格納されるコンピュータ読み取り可能な媒体を含む製品も、本発明の対象とするものでもよいことに留意されたい。コンピュータ読み取り可能な媒体は、たとえば、コンピュータ読み取り可能なコードを格納する、半導体、磁気、光磁気、光学又はその他の形態のコンピュータ読み取り可能な媒体を含むものでもよい。さらに、本発明の実施形態を実施する装置も、本発明の対象とするものでもよい。このような装置は、本発明の実施形態に関するタスクを実行する専用回路及び/又はプログラム可能な回路を含むものでもよい。このような装置の例としては、適切にプログラミングされた汎用コンピュータ及び/又は専用コンピュータデバイスが挙げられるが、コンピュータまたは演算デバイスと、本発明の実施形態に関するさまざまなタスクに適した専用回路またはプログラム可能な回路と、の組み合わせでもよい。本発明の1つ又は複数の実施形態は、プラズマ処理システムにおいて少なくとも静電チャックESCから伝達される高周波RF電力のフィルタリングを行なうフィルタに関する。プラズマ処理システムは、ESCの第1の部分に配置される第1の発熱体と、ESCの第2の部分に配置される第2の発熱体とを含むものでもよい。プラズマ処理システムは、さらに、発熱体に電力を供給する交流AC電源等の電源を含むものでもよい。フィルタは、RF電力の1つの方向への伝達をフィルタリング又は遮蔽することによって、EMCの不具合の問題、干渉の問題及び/又は電力損失の問題を最小限に抑えると共に、AC電力50Hz又は60Hzの別の方向への発熱体に対する伝達を許容するものでもよい。フィルタは、フィルタの一部の構成要素の構造支持体として機能するコア部材を備えるものでもよい。コア部材は、フィルタの筺体内部に固定されるものでもよい。フィルタは、コア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて、一組のインダクタンスを備える少なくとも一組のインダクタを形成するケーブルを備えるものでもよい。ケーブルは、第1のワイヤ、第2のワイヤ、第3のワイヤ及び第4のワイヤを含む複数のワイヤを備えるものでもよい。第1のワイヤと第2のワイヤとが、第1の発熱体に接続され、AC電力を伝達して第1の発熱体に電力を供給するものでもよい。第3のワイヤと第4のワイヤとが、第2の発熱体に接続され、AC電力を伝達して第2の発熱体に電力を供給するものでもよい。フィルタは、さらに、複数のコンデンサを備えるものでもよい。第1のワイヤ、第2のワイヤ、第3のワイヤ及び第4のワイヤが、さらに、一組のコンデンサの中の4つのコンデンサに接続されて、同調回路又は共振回路を形成し、ESCから伝達されたRF電力を1つ又は複数の動作周波数たとえば、60MHz、27MHz及び/又は2MHzで除去するようにしてもよい。第1のワイヤ、第2のワイヤ、第3のワイヤ及び第4のワイヤをより合わせて互いに接触させてワイヤ間の距離又は空間を最小にするようにしてもよい。この結果、第1のワイヤに関する浮遊容量と、第2のワイヤに関する浮遊容量と、第3のワイヤに関する浮遊容量と、第4のワイヤに関する浮遊容量との差を最小限に抑えることができ、ESCで測定される各ワイヤに関するインピーダンスが実質的に等しくなる。これにより、プラズマ処理システム内で処理される各ウエハにおけるプラズマ処理速度たとえば、エッチング速度が実質的に均一になり、製造歩留まりを最大にする効果がある。1つ又は複数の実施形態において、ケーブルの1つ又は複数部分の位置決め及び/又は固定を行なう1つ又は複数の位置決め及び固定機構をコア部材に備えるものでもよい。たとえば、フィルタが、らせん溝構造等の溝構造を備え、溝構造内部に1つ又は複数の部分が配置されて、所定の位置に実質的に保持されるようにしてもよい。これにより、各ワイヤに関する浮遊容量が実質的に一定に保たれ、システム仕様が同じで、処理方法が同じであれば、ウエハ間、RFパワーフィルタ間、及び/又は、プラズマ処理チャンバ間でほとんど差がないプラズマ処理プロファイルを可能にする、という効果がある。1つ又は複数の実施形態において、ケーブルの第1の部分をコア部材の第1の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1のサブセットのインダクタンスを備える第1のサブセットのインダクタを形成すると共に、ケーブルの第2の部分をコア部材の第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを備える第2のサブセットのインダクタを形成するようにしてもよい。複数のコンデンサの中のコンデンサと第1のサブセットのインダクタとで、同調回路共振回路を形成し、ESCから伝達されたRF電力を第1の動作周波数たとえば、60MHzで除去するようにしてもよい。複数のコンデンサの中の同じコンデンサと第2のサブセットのインダクタとで、他の同調回路を形成し、ESCから伝達されたRF電力を第2の動作周波数たとえば、27MHzで除去するようにしてもよい。上述した例の従来技術のフィルタ102では、2つの異なる周波数でRF電力を除去するために二組のコンデンサが必要であるのに対して、本発明の1つ又は複数の実施形態におけるフィルタでは、ただ一組のコンデンサしか必要としない。この結果、プラズマ処理におけるキャパシタ公差の影響を実質的に減らすことができる。これにより、ウエハ間、RFパワーフィルタ間及び/又はプラズマ処理チャンバ間におけるプラズマ処理プロファイルの一貫性をさらに向上させる効果がある。本発明の1つ又は複数の実施形態は、上述した1つまたは複数の特徴を有するフィルタを備えるプラズマ処理システムに関する。プラズマ処理システムは、上述した1つ又は複数の効果を備えるものでもよい。以下に示す図面及び記載を参照することにより、本発明の特徴及び効果をさらに理解することができるであろう。図2に、本発明の1つ又は複数の実施形態において、図1Aの例に示すプラズマ処理システム100のようなプラズマ処理システムで用いられるRFパワーフィルタ200フィルタ200の概略図を示す。フィルタ200は、フィルタ200の少なくとも一部の構成要素を収容する筺体250を備えるものでもよい。フィルタ200は、また、筺体250内部に配置され、筺体250にしっかりと連結されて、インダクタとコンデンサの構造支持体として機能するコア部材208を備えるものでもよい。フィルタ200は、また、少なくともコンデンサ214a、コンデンサ214b、コンデンサ214c及びコンデンサ214dを含む複数の接地コンデンサ214を備え、少なくともインピーダンスを調整して、図1Aの例に図示されるESC108からのRF電力損失を削減し、エッチング速度等のプラズマ処理速度を向上させるようにしてもよい。フィルタ200は、さらに、コア部材208の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられるケーブル216を備え、一組のインダクタンスを備える一組のインダクタ206を形成するようにしてもよい。一組のインダクタ206の中のインダクタと複数の接地コンデンサ214の中のコンデンサとにより、同調回路又は共振回路を形成して、ESC108から伝達されるRF電力を所定の動作周波数たとえば、60MHzで除去又は遮断するようにしてもよい。ケーブル216は、固体両面被覆マグネット銅ワイヤのような被覆マグネットワイヤ等の複数のワイヤを備えるものでもよい。複数のワイヤは、ワイヤ216a及びワイヤ216bを含むものでもよい。ワイヤ216aの第1の端部を図1Aの例に図示されるケーブル104及び端子110aを介してESC108に配置される第1の電気発熱体に接続する一方で、ワイヤ216aの第2の端部をコンデンサ214aに接続して第1の共振回路を形成すると共に、他のワイヤを介して電源たとえば、AC電源に接続して第1の電気発熱体に電力を供給するようにしてもよい。また、ワイヤ216bの第1の端部を図1Aの例に図示されるケーブル104及び端子110bを介して第1の電気発熱体に接続する一方で、ワイヤ216bの第2の端部をコンデンサ214bに接続して第2の共振回路を形成すると共に、他のワイヤを介して電源に接続して第1の電気発熱体に電力を供給するようにしてもよい。複数のワイヤは、さらに、ワイヤ216c及びワイヤ216dを含むものでもよい。ワイヤ216cの第1の端部を図1Aの例に図示される端子110cを介してESC108に配置される第2の電気発熱体に接続する一方で、ワイヤ216cの第2の端部をコンデンサ214cに接続して第3の共振回路を形成すると共に、他のワイヤを介して電源に接続して第3の電気発熱体に電力を供給するようにしてもよい。また、ワイヤ216dの第1の端部を図1Aの例に図示される端子110dを介して第2の電気発熱体に接続する一方で、ワイヤ216dの第2の端部をコンデンサ214dに接続して共振回路を形成すると共に、他のワイヤを介して電源に接続して第2の電気発熱体に電力を供給するようにしてもよい。ワイヤ216a~216d及びコンデンサ214a~214dにより形成される共振回路が、ESC108から漏出又は伝達されるRF電力を所定の動作周波数たとえば、60MHzで除去するものでもよい。1つ又は複数の実施形態において、ワイヤ216aの少なくとも一部とワイヤ216bの少なくとも一部をより合わせて、ワイヤ216aの一部とワイヤ216bの一部との間の距離又は空間を最小にすることにより、距離又は空間に伴う影響を最小限に抑えるようにしてもよい。この結果、ワイヤ216aに関する浮遊容量とワイヤ216bに関する浮遊容量との間の差を最小にすることができ、図1Aの例に図示されるESCにおいて、ワイヤ216aに関するインピーダンスとワイヤ216bに関するインピーダンスとが実質的に等しくなる。1つ又は複数の実施形態において、ワイヤ216cの少なくとも一部とワイヤ216dの少なくとも一部をより合わせて、ワイヤ216cの一部とワイヤ216dの一部との間の距離を最小にするようにしてもよい。1つ又は複数の実施形態において、ワイヤ216aの少なくとも一部とワイヤ216cの少なくとも一部をより合わせて、ワイヤ216aの一部とワイヤ216cの一部との間の距離を最小にすることにより、距離に伴う影響を最小限に抑えるようにしてもよい。この結果、ワイヤ216aに関する浮遊容量とワイヤ216cに関する浮遊容量との間の差を最小にすることができ、ESC108において、ワイヤ216aに関するインピーダンスとワイヤ216cに関するインピーダンスとが実質的に等しくなる。1つ又は複数の実施形態において、ワイヤ216bの少なくとも一部とワイヤ216dの少なくとも一部をより合わせて、ワイヤ216bの一部とワイヤ216dの一部との間の距離を最小にするようにしてもよい。1つ又は複数の実施形態において、ワイヤ216aの少なくとも一部と、ワイヤ216bの少なくとも一部と、ワイヤ216cの少なくとも一部と、ワイヤ216dの少なくとも一部とをより合わせて、ワイヤ216aの一部とワイヤ216bの一部とワイヤ216cの一部とワイヤ216dの一部との間の距離を最小にする又は距離の影響を最小限に抑えるようにしてもよい。この結果、各ワイヤに関する浮遊容量間の差を最小限に抑えることができ、ESC108における各ワイヤに関するインピーダンスが実質的に等しくなる。これにより、プラズマ処理システム内で処理される各ウエハにおけるプラズマ処理速度たとえば、エッチング速度が実質的に均一になり、製造歩留まりを最大にする効果がある。1つ又は複数の実施形態において、ケーブル216は、6本以上のワイヤをより合わせて形成され、ESC108に配置される3つ以上の電気ヒータを支持するものでもよい。コア部材208は、ケーブル216の少なくとも一部の位置決めを行なう、及び/又は、仕様に応じて適当な位置にケーブル216の一部を固定するための位置決め機構を備えるものでもよい。たとえば、コア部材208が、溝構造252たとえば、らせん溝構造を備え、ケーブル216の少なくとも一部たとえば、らせん形のインダクタ部の位置決め及び/又は固定を行なうようにしてもよい。ケーブル216の少なくとも一部を溝構造252の内部に配置するようにしてもよい。コア部材208を筺体250にしっかりと連結することにより、筺体250の壁部に対するケーブル216の一部の動きを抑制又は最小限に抑えることができる。したがって、ケーブル216における各ワイヤ及び筺体250の壁部に関する浮遊容量を実質的に一定にすることができる。本発明の実施形態は、従来技術で必要とされたような技術集約的で時間のかかる校正処理を必要とすることなく、ウエハ間、RFパワーフィルタ間、及び/又は、プラズマ処理チャンバ間でほとんど差がないプラズマ処理プロファイルたとえば、エッチングプロファイルを可能にする、という効果がある。図1Aの例に図示されるESC108から伝達されるRF電力を第2の動作周波数たとえば、27MHzで除去又は遮断するために、フィルタ200が、さらに、第2の複数の接地コンデンサ224を備えるようにしてもよい。接地コンデンサ224も、少なくともインピーダンスを調整して、ESC108からのRF電力損失を削減し、プラズマ処理速度を向上させる。フィルタ200が、また、コア部材208の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられるケーブル212を備え、第2の組のインダクタンスを有する第2の組のインダクタ202を形成するようにしてもよい。第2の組のインダクタ202の中のインダクタと第2の複数のコンデンサ224の中のコンデンサとにより、同調回路又は共振回路を形成し、ESC108から伝達されるRF電力を第2の動作周波数たとえば、27MHzで除去又は遮断するようにしてもよい。ケーブル212も、複数のワイヤ、たとえば、ワイヤ212a、ワイヤ212b、ワイヤ212c及びワイヤ212dを備えるものでもよい。ワイヤ212aの第1の端部がコンデンサ214aに接続されると共に、ワイヤ216aの第2の端部に接続される一方で、ワイヤ212aの第2の端部が第2の複数のコンデンサ224の中の1つのコンデンサに接続されると共に、電源に接続されるようにしてもよい。したがって、ワイヤ216aと同様に、インダクタとしての機能に加えて、ワイヤ212aは、電源と第1の電気発熱体との間の接続の一部分として機能するものでもよく、少なくともワイヤ212aを介してワイヤ216aが電源に接続されるものでもよい。また、ワイヤ212bの第1の端部がコンデンサ214bに接続されると共に、ワイヤ216bの第2の端部に接続される一方で、ワイヤ212bの第2の端部が第2の複数のコンデンサ224の中の別のコンデンサに接続されると共に、電源に接続されるようにしてもよい。したがって、ワイヤ216bと同様に、インダクタとしての機能に加えて、ワイヤ212bは、電源と第1の電気発熱体との間の接続の一部分として機能するものでもよく、少なくともワイヤ212bを介してワイヤ216aが電源に接続されるものでもよい。同様に、インダクタとしての機能に加えて、ワイヤ212c及びワイヤ212dは、電源と第2の電気発熱体との間の接続の一部分として機能するものでもよい。上述したワイヤ216a~216dの構成と同様に、2つ以上のワイヤ212a~212dの少なくとも一部をより合わせて、プラズマ処理システム内で処理されるウエハのプラズマ処理速度が実質的に均一になるようにしてもよい。コア部材208が、さらに、ケーブル212の少なくとも一部の位置決めを行なう、及び/又は、仕様に応じて適当な位置にケーブル212の一部を固定するためのらせん溝構造254等の第2の位置決め機構を備えるものでもよい。溝構造252と同様に、溝構造254は、ケーブル212の動きを抑制又は最小限に抑えて、ウエハ間、RFパワーフィルタ間及び/又はプラズマ処理チャンバ間におけるプラズマ処理プロファイルの一貫性を維持することができる。図1Aの例に図示されるESC108から伝達されるRF電力を第3の動作周波数たとえば、2MHzで除去又は遮断するために、フィルタ200が、さらに、少なくともインピーダンスを調整して、ESC108からのRF電力損失を削減し、プラズマ処理速度を向上させる第3の複数の接地コンデンサ226を備えるようにしてもよい。フィルタ200が、また、第3の組のインダクタンスを有する第3の組のインダクタ222を形成するケーブル232を備えるものでもよい。第3の組のインダクタ222の中のインダクタと第3の複数のコンデンサ226の中のコンデンサとにより、同調回路又は共振回路を形成し、ESC108から伝達されるRF電力を第3の動作周波数たとえば、2MHzで除去又は遮断するようにしてもよい。ケーブル216のワイヤ及びケーブル212のワイヤと同様に、インダクタとしての機能に加えて、ケーブル232のワイヤは、電源とESC108に配置される電気ヒータとの間の接続の一部として機能するものでもよい。ケーブル232のワイヤは、一組のワイヤ230及び図1Aの例に図示されるACコネクタ128を介して電源に接続されるものでもよい。上述したケーブル216のワイヤ及びケーブル212のワイヤの構成と同様に、ケーブル232の中の2つ以上のワイヤの少なくとも一部をより合わせて、プラズマ処理システム内で処理されるウエハのプラズマ処理速度が実質的に均一になるようにしてもよい。空間及び/又は構造に基づき、ケーブル232は、コア部材208により支持される代わりに、同様に筺体250内部に配置され、筺体250にしっかりと連結されるが、コア部材208とは異なる配向の別のコア部材228により支持されるようにしてもよい。ケーブル232の少なくとも一部をコア部材228の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、第3の組のインダクタ222を形成するようにしてもよい。コア部座208と同様に、コア部材228が、ケーブル232の少なくとも一部の位置決めを行なう、及び/又は、仕様に応じて適当な位置にケーブル232の一部を固定するためのらせん溝構造256等の位置決め機構を備えるものでもよい。溝構造252及び溝構造254と同様に、溝構造256は、ケーブル232の動きを抑制又は最小限に抑えて、ウエハ間、RFパワーフィルタ間及び/又はプラズマ処理チャンバ間におけるプラズマ処理プロファイルの一貫性を維持することができる。本発明の1つ又は複数の実施形態は、フィルタ200と同一又は同様の特徴及び効果を有するRFパワーフィルタを備えるプラズマ処理システムに関する。図3に、本発明の1つ又は複数の実施形態において、図1Aの例に示すプラズマ処理システム100のようなプラズマ処理システムで用いられるRFパワーフィルタ300フィルタ300の概略図を示す。図2の例で図示したフィルタ200と同様に、フィルタ300は同調回路又は共振回路を備えるものでもよく、同調回路は、接地コンデンサたとえば、一組の接地コンデンサ324の中のコンデンサと筺体350内部に固定される1つまたは複数のコア部材たとえば、コア部材308の周囲にこれに沿って巻きつけられるワイヤたとえば、ケーブル312に含まれるワイヤにより形成されるインダクタとの組み合わせであり、異なる周波数においてRF電力を除去することができる。インダクタの形成に加えて、ワイヤは、ESCたとえば、図1Aの例に図示されるESC108に配置される1つまたは複数の電気発熱体を電源に連結して、1つ又は複数の電気発熱体に電力を供給するようにしてもよい。ワイヤの中の2つ以上のワイヤをより合わせて、浮遊容量の変動を最小限に抑え、プラズマ処理システムにおいて処理されるウエハのプラズマ処理速度を実質的に均一にするようにしてもよい。コア部材の中の1つ又は複数が、1つ又は複数の位置決め機構たとえば、1つ又は複数の溝構造を備え、ワイヤ又はワイヤにより形成される1つ又は複数のケーブルの位置決めを行なって、ワイヤの動きを抑制する又は最小限に抑えるようにしてもよい。したがって、浮遊容量の変動を最小限にすることができる。これにより、技術集約的で時間のかかる校正処理を必要とすることなく、ウエハ間、RFパワーフィルタ間、及び/又は、プラズマ処理チャンバ間でほとんど差がないプラズマ処理プロファイルを可能にする、という効果がある。フィルタ200が、3本のケーブルに対応して三組のコンデンサを備え、3つの異なる動作周波数においてRF電力を除去するのに対して、フィルタ300は、2本のケーブルに対応してコンデンサを二組だけ備え、3つの異なる動作周波数においてRF電力を除去することができる。用いるコンデンサを減らすことにより、コンデンサの公差の影響を削減することができる。これにより、ウエハ間、RFパワーフィルタ間及び/又はプラズマ処理チャンバ間におけるプラズマ処理プロファイルの一貫性をさらに向上させる効果がある。必要なコンデンサの数を減らすために、ケーブル312を用いて、2つ以上の周波数、たとえば、60MHz及び27MHzにおいて、RF電力を除去するようにしてもよい。1つ又は複数の実施形態において、ケーブル312の第1の部分をコア部材308の第1の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1のサブセットのインダクタンスを備える第1のサブセットのインダクタを形成すると共に、ケーブル312の第2の部分を異なる方法でコア部材308の第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを備える第2のサブセットのインダクタを形成するようにしてもよい。一組の接地コンデンサ324と第1のサブセットのインダクタとにより形成される同調回路により、第1の周波数、たとえば、60MHzで、RF電力を遮断すると共に、同じ接地コンデンサ324と第2のサブセットのインダクタとにより形成される同調回路により、第2の周波数、たとえば、27MHzで、RF電力を遮断するようにしてもよい。異なるサブセットのインダクタンスを有する異なるサブセットのインダクタを提供するために、隣接ケーブル部分間のピッチをさまざまに変えるようにケーブル312を巻きつけるようにしてもよい。たとえば、ケーブル312の第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチがケーブル312の第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なるようにケーブル312を巻きつけるようにしてもよい。一例として、ケーブル312の隣接ケーブル部分332及び334間のピッチpを、ケーブル312の隣接ケーブル部分336及び338間のピッチqと異ならせるたとえば、ピッチqより小さくするようにしてもよい。これらのピッチの値は、当業者であれば、膨大な実験をすることなく最適化できるであろう。所定のピッチに応じてケーブル部分を位置決めする、及び/又は、所定のピッチに応じてケーブル部分を適切な位置に固定するために、コア部材308が、ケーブル部分間の所定のピッチに応じたさまざまなピッチを有する溝構造等の位置決め機構を備えるようにしてもよい。たとえば、溝構造が、隣接溝部分間のピッチをさまざまに変えた複数の溝部分を有するようにしてもよい。一例として、隣接溝部分352及び354間のピッチpを、隣接溝部分356及び358間のピッチqと異ならせるたとえば、ピッチqより小さくするようにしてもよい。これらのピッチの値は、当業者であれば、膨大な実験をすることなく最適化できるであろう。ケーブル312のケーブル部分間のピッチをさまざまに変える及び、ケーブル部分を保持する溝部分間のピッチをさまざまに変えることにより、ただ1本のケーブルすなわち、ケーブル312とただ一組の接地コンデンサすなわち、接地コンデンサ324とだけで、2つの異なる周波数でRF電力を遮断することができる。したがって、用いるコンデンサを減らすことができ、コンデンサの公差の影響を削減することができる。これにより、プラズマ処理の均一性及びプラズマ処理プロファイルの一貫性を実質的に向上させる効果がある。さらに、フィルタ300の製造も実質的に簡略化できる。本発明の1つ又は複数の実施形態は、フィルタ300と同一又は同様の特徴及び効果を有するRFパワーフィルタを備えるプラズマ処理システムに関する。図4に、本発明の1つ又は複数の実施形態において、図1Aの例に示すプラズマ処理システム100のようなプラズマ処理システムで用いられるRFパワーフィルタ400フィルタ400の概略図を示す。フィルタ400は、図2の例を参照して説明したフィルタ200及び図3の例を参照して説明したフィルタ300の1つ又は複数の特徴たとえば、より合わせたワイヤを位置決め機構を備えるコア部材に固定する及び1つ又は複数の効果を有するものでもよい。ただし、フィルタ200が三組のコンデンサで同調回路を形成して3つの周波数でRF電力を遮断し、また、フィルタ300が二組のコンデンサで同調回路を形成して3つの周波数でRF電力を遮断するのに対して、フィルタ400は、ただ一組のコンデンサで同調回路を形成して3つの周波数でRF電力を遮断することができる。フィルタ400の筺体450の内部で、ケーブル412の第1の部分414を第1のコア部材408の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1の組のインダクタンスを有する第1の組のインダクタを形成すると共に、ケーブル412の第2の部分416を第2のコア部材428の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1の組のインダクタンスと異なる第2の組のインダクタンスを有する第2の組のインダクタを形成する。図3の例を参照して説明したフィルタ300の構成と同様に、ケーブル412の部分414の隣接ケーブル部分間のピッチをさまざまに変えることにより、ケーブル412の部分414が2つの異なるインダクタンスのサブセットを有する2つのサブセットのインダクタを形成することができる。たとえば、ケーブル412の部分414の一部の隣接ケーブル部分間のピッチがケーブル412の部分414の別の一部の隣接ケーブル部分間のピッチと異なるように、ケーブル412の部分414を巻きつけるようにしてもよい。一例として、隣接ケーブル部分432及び434間のピッチrを、隣接ケーブル部分436及び438間のピッチsと異ならせるたとえば、ピッチsより小さくするようにしてもよい。コア部材408に設けられる1つ又は複数の位置決め機構たとえば、図3の例に図示されるらせん溝構造により、これらのピッチを維持するようにしてもよい。この結果、第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタと、第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタと、を形成することができる。さらに、ケーブル412の部分416の隣接ケーブル部分のピッチがケーブル412の部分414の隣接ケーブル部分のピッチと異なるように、ケーブル412の部分416を巻きつけるようにしてもよい。たとえば、ケーブル412の部分416における隣接ケーブル部分440及び442間のピッチtを、ケーブル412の部分414における隣接ケーブル部分432及び434間のピッチrと異ならせるたとえば、ピッチrより小さくするようにすると共に、ケーブル412の部分414における隣接ケーブル部分436及び438間のピッチsと異ならせるたとえば、ピッチsより小さくするようにしてもよい。コア部材428に設けられる1つ又は複数の位置決め機構たとえば、図2の例に図示されるらせん溝構造により、これらのピッチを維持するようにしてもよい。この結果、第2の組のインダクタンスを有する第2の組のインダクタ、又は、第1のサブセットのインダクタンスと異なると共に第2のサブセットのインダクタンスと異なる第3のサブセットのインダクタンスを有する第3のサブセットのインダクタを形成することができる。これらのピッチの値は、当業者であれば、膨大な実験をすることなく最適化できるであろう。一組の接地コンデンサ426と第1のサブセットのインダクタとにより形成される同調回路により、第1の周波数、たとえば、60MHzで、RF電力を遮断するようにしてもよい。また、同じ接地コンデンサ426と第2のサブセットのインダクタとにより形成される同調回路により、第2の周波数、たとえば、27MHzで、RF電力を遮断するようにしてもよい。さらに、同じ接地コンデンサ426と第3のサブセットのインダクタとにより形成される同調回路により、第3の周波数、たとえば、2MHzで、RF電力を遮断するようにしてもよい。フィルタ400では、二組又は三組の接地コンデンサを用いる代わりに、ただ一組の接地コンデンサを用いて、3つの異なる周波数でRF電力を遮断する。したがって、用いるコンデンサをさらに減らすことができ、コンデンサの公差の影響をさらに削減することができる。これにより、RFパワーフィルタの製造をさらに簡略化できると共に、プラズマ処理の均一性及びプラズマ処理プロファイルの一貫性をさらに向上させる効果がある。1つ又は複数の実施形態において、4つ以上の異なるインダクタンスのサブセットを有する4つ以上のサブセットのインダクタを形成して、4つ以上の異なる周波数でRF電力を除去するように、ケーブル412を巻きつけてもよい。本発明の1つ又は複数の実施形態は、フィルタ400と同一又は同様の特徴及び効果を有するRFパワーフィルタを備えるプラズマ処理システムに関する。以上の説明からわかるように、本発明の実施形態は、ワイヤをより合わせて形成されるインダクタを備えるRF電力フィルタリング機構を含むものでもよい。したがって、ワイヤ間の間隔を最小にすることができ、ワイヤに関する浮遊容量の差を最小限に抑えることができる。これにより、ウエハのプラズマ処理速度を実質的に均一にすることができるという効果がある。本発明の実施形態は、RF電力フィルタリング機構におけるインダクタを形成するワイヤを位置決めする、及び/又は、ワイヤを固定する位置決め機構を含むものでもよい。したがって、ワイヤに関する浮遊容量を実質的に一定に保持することができる。これにより、ウエハ間、RFパワーフィルタ間、及び/又は、プラズマ処理チャンバ間でほとんど差がないプラズマ処理プロファイルを可能にする、という効果がある。本発明の実施形態は、RF電力フィルタリング機構におけるインダクタを形成するワイヤの隣接部分間のピッチをさまざまに変更可能である。したがって、三組のコンデンサの代わりにただ一組又は二組のコンデンサと三組のワイヤの代わりにただ一組又は二組のワイヤとにより形成される同調回路により、3つ以上の異なる周波数でRF電力を除去することができる。本発明の実施形態により、RF電力フィルタリング機構で用いられるコンデンサを大幅に削減することができる。これにより、ウエハ間、RFパワーフィルタ間及び/又はプラズマ処理チャンバ間におけるプラズマ処理プロファイルの一貫性をさらに向上させる効果がある。本発明をいくつかの実施形態に関して説明してきたが、本発明の要旨の範囲内で、さまざまな変形、置き換え及び等価な構成が可能である。また、多くの別の方法で、本発明の方法及び装置を実現可能なことは言うまでもない。さらに、本発明の実施形態は、他の用途への適用も可能である。本明細書に添付されている要約部分は、字数制限があるため、便宜上記載されるものであって、何ら特許請求の範囲を限定するものではない。したがって、以下の特許請求の範囲は、本発明の要旨の範囲内でこのような変形、置き換え及び等価な構成をすべて含むものと解釈されるべきである。