"被処理物を熱処理するための熱処理炉と、所定の設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、該複数の制御部から出力される操作量のうち1つを選択する制御部選択信号に従って前記熱処理炉に出力する切替器と、前記複数の制御部のうちいずれか一つの制御部に対する設定値と該設定値が所定の値まで変化する速さを示す傾きを設定する項目とを含む制御切替テーブルを有するシーケンサと、を備え、前記制御切替テーブルは、各段に継続時間や、各ゾーンに対応する前記制御部の構成である制御構成と前記設定値及び前記傾きがそれぞれ設定されている熱処理装置。被処理物を熱処理するための熱処理炉と、所定の設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、該複数の制御部から出力される操作量のうち1つを選択する制御部選択信号に従って前記熱処理炉に出力する切替器と、前記複数の制御部のうちいずれか一つの制御部に対する設定値と該設定値が所定の値まで変化する速さを示す傾きを設定する項目とを含む制御切替テーブルを有するシーケンサと、を備え、前記制御切替テーブルは、各段に各ゾーンに対応する前記制御部の構成である制御構成や前記設定値及び前記傾きや継続時間がそれぞれ設定されている熱処理装置。前記シーケンサは、前記制御切替テーブルを順番に上段から下段へと順次実行して、各ゾーン毎に制御切替信号を出力し、前記制御構成の切替を独立して行う請求項1または請求項2記載の熱処理装置。被処理物を熱処理するための熱処理炉と、所定の設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、該複数の制御部から出力される操作量のうち1つを選択する制御部選択信号に従って前記熱処理炉に出力する切替器と、前記複数の制御部のうちいずれか一つの制御部に対する設定値と該設定値が所定の値まで変化する速さを示す傾きを設定する項目とを含む制御切替テーブルを有するシーケンサとを備えた熱処理装置の制御方法であって、前記シーケンサは、前記制御切替テーブルを順番に上段から下段へと実行し、各ゾーン毎に制御切替信号を出力し、前記制御構成の切替を独立して行う熱処理装置の制御方法。しかしながら、上記に示した制御性能を実現する際、従来では、シーケンサ1の内部に、表1に示すような制御切替テーブルが設定され、これを用いて運用するようになされているため、制御性能に対する最近の厳しい要求に応えられなくなっている。表1は、左端項のNo.1の段、No.2の段、と順番に上段から下段へ実行していくものであり、各段の設定項目には、制御構成と各ゾーンの目標値と傾きと時間がある。制御構成とは、第1の制御部2Aを選ぶか第2の制御部2Bを選ぶかを設定する項目である。目標値と傾きの項目により、設定値がどの値まで目標値どのような速さで変化するのか傾きを決定する。時間とは、各段が継続する時間であるすなわち、表1の制御切替テーブルによる運用では、例えば、No.1段においては、全てのゾーンで同じく制御部2Aを選択しなければいけない。または、ある特定ゾーンで制御部2Bを選択すべきときは、同じく全ゾーンで制御部2Bを選択しなければならないなどという弊害があった。図8には、表1の制御切替テーブルを使用したときの、制御結果の一例が示されている。図8は、ゾーン1の制御量に対して、追従性と定常特性を満たすよう、制御切替を行ったときのものである。図8に示すように、ゾーン2の制御量は、制御部2Aの間に設定値に追従できなかったため、制御性能の悪化を招いている。逆に、ゾーン2の制御量に対して追従性と定常特定を満たすよう制御切替を行った場合、ゾーン1の制御量にオーバーシュートが発生し、同様に、制御性能が悪化することが予想される。本発明は、上記実情に鑑みて為されたもので、制御の追従性と定常特性の向上を図ることができる被処理物の熱処理装置及び方法を提供することを目的とするものである。本発明に係る被処理物の熱処理装置は、被処理物を熱処理するための熱処理炉と、所定の設定値と前記熱処理炉からの制御量とに基づいて操作量を出力する複数の制御部と、該複数の制御部から出力される操作量のうち1つを選択する制御部選択信号に従って前記熱処理炉に出力する切替器と、前記複数の制御部のうちのいずれか一つの制御部を選択する項目と該選択された制御部に対する設定値と該設定値が所定の値まで変化する速さを示す傾きを設定する項目とを含む設定手段を有するシーケンサとを備えたものである。ここで、前記設定手段は、前記制御部が選択されてから切替えられるまでの継続時間を設定する項目を含む。また、前記複数の制御部と前記切替器とで構成される複数の制御系ループを有し、前記制御系ループ毎に前記設定手段が設けられる。さらに、前記複数の制御部は、追従性を重視した制御部と、定常特性を重視した制御部とを含む。以上のような構成の本発明によれば、複数の制御系ループが存在する場合でも、それぞれ独立して複数の制御構成を任意に選択し、その長所を生かした制御を行うことができるので、制御の追従性と定常特性の向上を図ることができる。以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る被処理物の熱処理装置及び方法を説明するための構成図である。図1において、図7に示す従来例と同一部分は同一符号を付してその説明は省略する。新たな符号として、10は、本発明におけるシーケンサを示し、このシーケンサ10は、複数の制御系ループにそれぞれ独立して制御構成を指示する、後述するテーブルを有し、複数の制御系ループの制御構成の切替をそれぞれ独立して行うものである。すなわち、本発明における被処理物の熱処理方法においては、被処理物を熱処理する熱処理炉4に対し、複数の制御部図1では2つと切替部とでなる複数の制御系ループを有し、各制御系ループは、シーケンサ10からの設定値と熱処理炉4から出力される制御量とに基づいて複数の制御部から出力される操作量のうち1つをシーケンサ10からの制御部選択信号に従つて選択して熱処理炉4に出力するようにした被処理物の熱処理方法において、複数の制御系ループに対し、時間経過に伴い各制御系ループにおける制御構成をそれぞれ独立して切り替えるようにするものである。以下詳細に説明すると、本発明の実施の形態においては、まず、図7に示す場合と同様に、複数のゾーンが存在し、複数の制御系ループを切り替える場合、表2のような制御切替テーブルをシーケンサ10に持つ。表2は、左端項のNo.1の段、No.2の段、と順番に上段から下段へ実行していくものであり、各段の設定項目には、時間と、各ゾーンに対応する制御構成と目標値及び傾きがある。制御構成の項目が、各ゾーンで独立に設定できるところが、表1と異なる点である。または、表3のような制御切替テーブルをシーケンサに持つ。表3は、各ゾーン毎に独立して制御切替テーブルを持っていることを示している。それぞれのテーブルは、左端項のNo,1の段、No.2の段、と順番に上段から下段へ実行していくものであり、各段の設定項目には、各ゾーンに対応する制御構成、目標値、傾き及び時間がある。制御構成の項目が、各ゾーンで独立に設定できるところが、表1と異なる点であり、また、機能的には変わらないものの、時間の項目を各ゾーン毎に設定できるため、制御切替の流れを理解しやすくなった点が、表2と異なる点である。そして、表2や表3を実現するため、図1に示す構成を採用する。すなわち、図1に示す構成において、本実施の形態に係るシーケンサ10から出力される制御切替信号は、ゾーン数だけあり、各ゾーンの制御構成の切替は独立して行うことができるようにしたものである。図1に示す構成でも、操作量や制御量は1本の線で描かれているが、それが複数であることを含んでいる。それは、半導体ウェハの熱処理装置にたとえるならば、操作量は、抵抗ヒータヘの電力供給信号であったり、空冷口の開閉制御信号であったりする。制御量は、炉内の温度であったり、抵抗ヒータの温度であったりする。また、これまで、制御構成の選択肢を2つとしてきたが、選択肢を2つ以上にしても本発明は適用でき、さらなる性能の向上が期待できる。図2には、シーケンサ10が表2または表3に示す制御切替テーブルを使用したときの、制御結果の一例が示されている。ゾーン1の制御量に対して、追従性と定常特性を満たすよう、制御切替を行うことができ、同時に、ゾーン2の制御量に対しても、追従性と定常特性を満たすよう、制御切替を行い得るので、図8で発生したような、制御性能の悪化を避けることができる。図1に示した、第1の制御部2A2A-1,2A-2,2A-3を総称するや、第2の制御部2B2B-1,2B-2,2B-3を総称するの構成は、例えば図3や図4や図5で表される。図3に示す制御部2第1の制御部2Aと第2の制御部2Bを総称するは、入力される設定値と制御量の差を出力する減算器212つと、第1および第2のPID調節部22、23で構成される。制御量はaとbの2つがあり、制御量aは、制御の対象であって主制御量と呼ぶべきものであり、制御量bは、副制御量と呼ぶべきものである。例えば半導体ウェハの熱処理装置などでは、制御量aは炉内温度、制御量bはヒータ温度または抵抗ヒータヘの負荷電力などにあてはまる。すなわち、図3に示す制御部2は、制御量aと設定値の差をPID演算し、その出力を制御量bの設定値として扱い、その値と制御量bの差をPID演算した結果を操作量として出力することにより、制御量aを制御する構成である。また、図4に示す制御部2は、減算器21と、第3のPID調節部24と、定常値補正部25で構成される。定常値補正部25は、制御量aがある特定の設定値に迫従して整定状態にあるとき、制御量aと制御量bの差をあらかじめ記憶しておき、その値を制御量bに加えるものである。すなわち、図4に示す制御部2は、本来は制御量aを制御したいが、制御量aを実際には検知し得ない場合に、制御量bを用いて制御量aを制御する構成である。さらに、図5に示す制御部2は、減算器21と第4のPID調節部26とで構成される。この図5に示す制御部2は、設定値と制御量aの差をPID演算した結果を操作量として出力することにより、制御量aを制御する構成である。図1に示した、第1の制御部2Aや、第2の制御部2Bは、例に挙げた図3や図4や図5に示す構成や、または、その他の構成であってもよい。このように、制御パラメータのみが異なるだけでなく、制御の構成そのものが異なることが、本発明の特徴である。"