"ポリアミドを材質として用いたナノ濾過膜によって原水を軟水化する軟水化手段と、軟水化された原水を逆浸透膜でろ過して精製水を得る精製手段と、前記精製水を貯留する貯留手段と、該貯留手段に貯留される精製水を加熱する加熱手段と、前記貯留手段の精製水を軟水化手段の上流側に返送する返送ラインと、前記返送ラインの開閉状態を切換え可能な制御部と、を備えた精製水製造装置における精製水製造装置のナノ濾過膜の熱水消毒方法であって、前記制御部からの操作信号により、前記貯留手段に貯蓄された精製水から前記返送ラインを通じて精製水を上流側より還流すると同時に、前記加熱手段により精製水を昇温速度5°C/分以下の割合で予め設定された所定温度まで昇温し、加熱することで、前記ナノ濾過膜を熱水に曝すナノ濾過膜の熱水消毒方法。しかしながら、上述した従来の精製水製造装置では、逆浸透膜モジュールだけ熱水消毒を行っているため、その前段のナノ濾過膜モジュールの消毒が十分になされず、ナノ濾過膜モジュールからリークした細菌やエンドトキシン等が逆浸透膜モジュールの一次側に流入して負担がかかる場合がある。そこで、例えば、ナノ濾過膜モジュールの一次側に熱水循環用の配管を接続し、ナノ濾過膜モジュールおよび逆浸透膜モジュールを同時に熱水消毒する方法が考えられるが、ナノ濾過膜モジュールおよび逆浸透膜モジュールのいずれか一方だけ消毒が必要な場合であっても、全ての経路に熱水を循環させなければならず、必要のない場所の熱水消毒を行う分だけ、多量の熱水が必要になり、無駄に消費エネルギーが増加してしまう。そこで、この発明は、ナノ濾過膜モジュールの熱水消毒時の消費エネルギーの増加を抑制することができるナノ濾過膜の熱水消毒方法を提供するものである。上記の課題を解決するために、請求項1に記載した発明は、ポリアミドを材質として用いたナノ濾過膜によって原水を軟水化する軟水化手段例えば、実施の形態におけるナノ濾過膜モジュール61と、軟水化された原水を逆浸透膜例えば、実施の形態における逆浸透膜50でろ過して精製水を得る精製手段例えば、実施の形態における逆浸透膜モジュール12と、前記精製水を貯留する貯留手段例えば、実施の形態における精製水タンク13と、該貯留手段に貯留される精製水を加熱する加熱手段例えば、実施の形態におけるヒータ17と、前記貯留手段の精製水を軟水化手段の上流側に返送する返送ライン例えば、実施の形態における熱水供給ライン77と、前記返送ラインの開閉状態を切換可能な制御部例えば、実施の形態における制御部16と、を備えた精製水製造装置における精製水製造装置のナノ濾過膜の熱水消毒方法あって、前記制御部からの操作信号により、前記貯留手段に貯蓄された精製水から前記返送ラインを通じて、精製水を上流側より還流すると同時に、前記加熱手段により、精製水を昇温速度5°C/分以下で予め設定された所定温度まで昇温し、加熱することで、前記ナノ濾過膜を熱水に曝すことを特徴とする。請求項1に記載した発明によれば、加熱手段によって加熱された精製水を返送ラインを介してナノ濾過膜を備えた軟水化手段の一次側に供給することができるため、軟水化手段単体を熱水消毒することができ、したがって、熱水使用量を抑制して消費エネルギーを低減することができる効果がある。また、制御部からの操作信号により、貯留手段に貯蓄された精製水から返送ラインを通じて精製水を上流側より還流するとともに、加熱手段により精製水を加熱することができるため、ナノ濾過膜を熱水に曝すことができるため、軟水化手段からリークする細菌やエンドトキシン等によって逆浸透膜に負担がかかるのを抑制することができる効果がある。また、5°C/分以下の割合で所定温度まで昇温させることにより、急な温度変化を抑制することができるため、軟水化手段を構成するポリアミドの耐熱性が比較的低い材質の物を使用した場合であっても、軟水化手段の劣化を抑制できる効果がある。以下、図面を用いて本発明の精製水製造装置を説明する。図1は、本発明の精製水製造装置の一例を示す概略構成図である。この精製水製造装置は、水道などから供給される原水を貯留する原水タンク10と、原水タンク10から送られる原水中の残留塩素を除去する活性炭が収納された活性炭フィルタ60と、ナノ濾過膜エレメントが収納されたナノ濾過膜モジュール61軟水化手段と、軟水化された原水を逆浸透膜で濾過して精製水を得る、並列に配置された逆浸透膜モジュール12,12精製手段と、精製水を貯留する精製水タンク13貯留手段と、精製水タンク13内の精製水を殺菌する紫外線ランプ14とを備えている。また、図1に示す精製水製造装置は、一端が原水タンク10に接続し、他端が活性炭フィルタ60に接続し、途中に電動弁20およびこれより下流側に原水ポンプ30が設けられた原水供給ライン40と、一端が活性炭フィルタ60に接続し、他端がナノ濾過膜モジュール61に接続する原水移送ライン70と、一端がナノ濾過膜モジュール61に接続し、他端が逆浸透膜モジュール12,12に接続し、途中に電動弁21およびこれより下流側に加圧ポンプ31が設けられた軟水移送ライン41と、一端が逆浸透膜モジュール12,12に接続し、他端が精製水タンク13に接続し、途中に逆止弁22,22が設けられた精製水移送ライン42と、一端が精製水タンク13に接続し、途中に送水ポンプ33およびこれより下流側に電動弁23が設けられた精製水送水ライン43と、一端が逆浸透膜モジュール12,12に接続し、途中に流量調整弁24およびこれより下流側に電動弁25が設けられた濃縮水排出ライン44と、一端が濃縮水排出ライン44の流量調整弁24と電動弁25との間から分岐し、他端が電動弁21と加圧ポンプ31との間の軟水移送ライン41に接続し、途中に電動弁26およびこれより下流側に逆止弁27が設けられた濃縮水返送ライン45と、一端が濃縮水排出ライン44の電動弁25よりも下流側から分岐し、他端が原水タンク10に接続し、途中に電動弁80が設けられた濃縮水返送ライン71とを備えている。さらに、精製水製造装置は、一端がナノ濾過膜モジュール61に接続し、途中に流量調整弁81が設けられた濃縮水排出ライン72と、一端が濃縮水排出ライン72の流量調整弁81よりも下流側から分岐し、他端が電動弁20と原水ポンプ30との間の原水供給ライン40に接続し、途中に逆止弁82が設けられた濃縮水返送ライン73と、一端が精製水送水ライン43の送水ポンプ33と電動弁23との間から分岐し、他端が精製水タンク13に接続する精製水循環ライン46と、一端が精製水送水ライン43の送水ポンプ33と電動弁23との間から分岐し、途中に電動弁28が設けられた精製水排出ライン47と、これら電動弁、流量調整弁、各ポンプに電気的に接続してこれらの制御を行う制御部16とを具備している。ここで、軟水移送ライン41は、加圧ポンプ31と逆浸透膜モジュール12,12との間において、逆浸透膜モジュール12,12の原水入口57,57に原水を流す第1の流路41aと、逆浸透膜モジュール12,12の濃縮水出口59,59に原水を流す第2の流路41bとに分岐し、これら流路の分岐点には切替弁84が設けられている。また、濃縮水排出ライン44は、逆浸透膜モジュール12,12と流量調整弁24との間において、逆浸透膜モジュール12,12の濃縮水出口59,59から排出される濃縮水を流す第1の流路44aと、逆浸透膜モジュール12,12の原水入口57,57から排出される濃縮水を流す第2の流路44bとに分岐し、これら流路の合流点には切替弁85が設けられている。また、原水入口57付近における第1の流路41aおよび第2の流路44bには共通の配管が使用され、濃縮水出口59付近における第2の流路41bおよび第1の流路44aには共通の配管が使用されている。ところで、上述した精製水タンク13には、精製水タンク13内の精製水を加熱するヒータ17が設けられ、このヒータ17によって、精製水タンク13内の精製水が加熱可能に構成されている。そして、精製水タンク13には、加熱した熱水を装置内の所定箇所に循環させるための熱水循環ライン75が接続されている。熱水循環ライン75には、熱水供給ライン76,77,78が分岐接続されている。熱水供給ライン76は、活性炭フィルタ60の上流側の原水供給ライン40に合流接続され、その途中には熱水供給ライン76を開閉する電動弁88が介装されている。熱水供給ライン77は、活性炭フィルタ60とナノ濾過膜モジュール61との間の原水移送ライン70に合流接続され、その途中には熱水供給ライン77を開閉する電動弁87が介装されている。熱水供給ライン78は、ナノ濾過膜モジュール61と逆浸透膜モジュール12との間の軟水移送ライン41に合流接続され、その途中には熱水供給ライン78を開閉する電動弁86が介装されている。活性炭フィルタ60とナノ濾過膜モジュール61との間の原水移送ライン70には、さらに熱水を排出するための熱水排出ライン90が分岐接続されている。この熱水排出ライン90は、種々の排水を集合させる主排水ライン100に合流接続され、その途中には熱水排出ライン90を開閉する放出弁91が介装されている。同様に、ナノ濾過膜モジュール61と逆浸透膜モジュール12との間の軟水移送ライン41には、熱水を排出する熱水排出ライン92が分岐接続されている。この熱水排出ライン92は、熱水排出ライン90と同様に、主排水ライン100に合流接続され、その途中には熱水排出ライン92を開閉する放出弁93が介装されている。原水供給ライン40には、原水移送ライン94が分岐接続されている。この原水移送ライン94は、主排水ライン100に合流接続され、その途中には原水移送ライン94を開閉する電動弁89が介装されている。この電動弁89が開放されることで、主排水ライン100に原水が流入し排水温度を低下させることができる。逆浸透膜モジュール12としては、図3に示すような集水管52のまわりに逆浸透膜50を巻き回した円柱状の逆浸透膜エレメント55を円筒状のケーシング56に収納した、いわゆるスパイラル型逆浸透膜モジュールが通常使用される。なお、本発明における逆浸透膜モジュールは、このスパイラル型逆浸透膜モジュールに限定はされず、原水を、逆浸透膜を透過した精製水と逆浸透膜を透過しない濃縮水とに分離できるものであれば、いずれのものも使用できる。また、逆浸透膜モジュール12は、図1の例では2本を並列にして用いているが、必要な水量に応じた本数を用いればよい。逆浸透膜50は、精製水製造装置で通常使用されている逆浸透膜を用いればよく、特に限定はされない。その材質としては、例えば、ポリアミド、ポリスルフォン、酢酸セルロース、ポリアクリロニトリルなどが挙げられる。ナノ濾過膜モジュール61は、図3に示す逆浸透膜モジュール12と同じ構造を有するモジュールであり、集水管のまわりにナノ濾過膜を巻き回した円柱状のナノ濾過膜エレメントを円筒状のケーシングに収納したものであり、原水入口から導入された原水を、ナノ濾過膜を透過した軟水とナノ濾過膜を透過しない濃縮水とに分離するものである。ここで、ナノ濾過膜NF膜、マイクロフィルターともいうとは、限外濾過膜UF膜と逆浸透膜RO膜との中間の細孔径を持ち、かつ膜素材表面に荷電を持つ膜のことを指し、さらに最近のIUPACの定義{JournalofMembraneScience,120,149-1591996に記載された膜および膜プロセス用語1996IUPAC推奨}によると、ナノ濾過膜とは2nmより小さい程度の粒子や高分子が阻止される圧力駆動の膜分離プロセスとされているちなみに、精密濾過膜MF膜は0.1μmより大きいもの、限外濾過膜UF膜は0.1μm~2nmの範囲のものを阻止できる膜とされている。すなわち、ナノ濾過膜は、細孔による分離サイズ分離と膜表面の荷電と溶質中のイオン成分との電気的相互作用による分離効果とが組み合わされて、その膜固有の阻止性能、透過性能を示すものである。本発明においては、ナノ濾過膜としては、ポリアミドを材質として用いたもの以下、ポリアミド系ナノ濾過膜と記すが使用される。ポリアミド系ナノ濾過膜は、膜素材表面にマイナスの固定荷電を有するので、一般的なナノ濾過膜である酢酸セルロース系、ポリスルホン系、ポリアクリロニトリル系に比べ、2価以上の陽イオン、特にカルシウムイオンやマグネシウムイオンなどの硬度成分の除去能力が高く、原水の軟水化に最適である。また、ポリアミド系ナノ濾過膜は、イオン交換樹脂に比べ、原水の滞留が少ないので、細菌が繁殖しにくい。また、ポリアミド系ナノ濾過膜は、2nmより小さい程度の粒子や高分子を阻止できるので、エンドトキシンの除去が可能である。また、ポリアミド系ナノ濾過膜は、一般的なナノ濾過膜である酢酸セルロース系に比べ、流量が多く、使用できるpH範囲温度範囲が広く、エンドトキシンの除去能力が高く、耐薬品性が高い。原水ポンプ30、加圧ポンプ31および送水ポンプ33に使用される高圧ポンプとしては、精製水製造装置で通常使用されているものであれば特に限定はされず、例えば、多段渦巻ポンプ、プランジャーポンプなどを用いることができる。制御部16は、それぞれ図示しない処理部と、インターフェイス部と、カレンダータイマとから概略構成され、活性炭フィルタ60、ナノ濾過膜モジュール61および逆浸透膜モジュール12への原水の供給開始と、これらへの原水の供給停止と、精製水の排出開始とを制御し、かつこれらの制御をカレンダータイマに設定された任意の日時に行うことができるものである。前記カレンダータイマは、年月日および時刻を管理する時計部と、精製水製造装置の運転スケジュールを記憶する記憶部とを具備してなり、記憶部に記憶された設定日時に電気信号を発信できるようにされている。前記インターフェイス部は、各ラインに設けられたすべての弁、ポンプと処理部との間を電気的に接続するものである。前記処理部は、カレンダータイマからの電気信号や処理部に入力された操作信号に基づいて、各ラインに設けられた弁の開閉およびポンプの運転の開始、停止を制御するものである。なお、この処理部は専用のハードウエアにより実現されるものであってもよく、また、この処理部はメモリおよび中央演算装置CPUによって構成され、処理部の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。また、制御部16には、周辺機器として、入力装置、表示装置等が接続されるものとする。ここで、入力装置とは、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力デバイスのことをいい、表示装置とは、CRTや液晶表示装置のことをいう。また、上述した制御部16の制御指令に従って電動弁86~88と放出弁91,93との開閉作動が制御されている。これら電動弁86~88と放出弁91,93との開放を制御することで、活性炭フィルタ60、ナノ濾過膜モジュール61および逆浸透膜モジュールに対して個別に熱水の循環が可能になっている。制御部16には、さらに主排水ライン100の排水温度を計測する排水温度センサ図示せずが接続されている。制御部16は、この排水温度センサの計測結果に基づいて、主排水ライン100を流過する排水の温度を所定温度例えば50°C以下に維持するべく、原水移送ライン94の電動弁89を開閉制御して、主排水ライン100への原水の混入割合を調整する。さらに制御部16には、上述したヒータ17が接続されている。制御部16は、精製水タンク13内の精製水温度を計測する温度センサ図示略の出力に基づいてヒータ17の駆動制御を行い、精製水タンク13内の精製水の温度調整を行う。ここで、制御部16によって熱水を循環させる際、精製水温度が60~95°C程度に制御される。なお、精製水温度を制御部16で監視してヒータ17を制御する場合について説明したが、精製水温度の制御方法は上記の制御方法に限られるものではない。また、制御部16は、予め設定された所定の水温例えば80°Cにおける消毒時間を、現在の精製水温度に換算した等価消毒時間を求め、この等価消毒時間だけ熱水を循環制御する。この場合、現在の精製水温度が低いほど等価消毒時間は長くなり、現在の精製水温度が高いほど等価消毒時間は短くなる。制御部16に接続された表示装置には、上述した等価消毒時間が表示可能になっている。そして、この等価消毒時間の表示により、ユーザは熱水消毒の時間すなわち等価消毒時間を監視することができるようになっている。上述した熱水が通水される各ラインを構成する部品は少なくとも90°C以上の耐熱性能を有しており、例えば、配管部分はステンレス等、熱伝導率の比較的高い金属性のものを採用している。また、活性炭フィルタ60、逆浸透膜モジュール12およびナノ濾過膜モジュール61は耐熱仕様のものを採用していている。このように構成することで、熱水により各ラインや活性炭フィルタ60、逆浸透膜モジュール12およびナノ濾過膜モジュール61が加熱されるため、とりわけ配管の継ぎ手部分など従来薬液を接触させるのが困難だった部分の熱消毒が熱伝導により可能となっている。なお、図示都合上、図1では制御部16が一部の電動弁にのみ接続されているが、電子制御可能な全ての弁、および全てのポンプの駆動回路に接続される。次に、この精製水製造装置を用いた精製水の製造方法について説明する。精製水製造時には、精製水排出ライン47の電動弁28、精製水返送ライン74の電動弁83、および薬液供給ライン48の電動弁29は閉じられ、その他の電動弁は開かれている。また、精製水製造開始時には、軟水移送ライン41は、切替弁84によって第1の流路41aが選択され、濃縮水排出ライン44は、切替弁85によって第1の流路44aが選択されている。原水タンク10から原水供給ライン40を通って供給された原水は、原水ポンプ30によって昇圧された後、活性炭フィルタ60に通される。活性炭フィルタ60にて原水中の残留塩素を除去された原水は、原水移送ライン70を通ってナノ濾過膜モジュール61に供給される。ナノ濾過膜モジュール61に供給された原水の一部は、ナノ濾過膜を透過して軟水化される。一方、ナノ濾過膜を透過しなかった残りの原水は濃縮水となり、一部の濃縮水は濃縮水排出ライン72から分岐した濃縮水返送ライン73を通って原水供給ライン40に戻されて原水として再利用され、残りの濃縮水は濃縮水排出ライン72を通って装置外に排出される。このとき、ナノ濾過膜モジュール61内の原水圧力の調整は、流量調整弁81によって行われる。ナノ濾過膜モジュール61にて軟水化された原水は、軟水移送ライン41の加圧ポンプ31によって昇圧された後、第1の流路41aを通って逆浸透膜モジュール12,12に供給される。逆浸透膜モジュール12に供給された原水の一部は、逆浸透膜を透過して精製水となり、精製水移送ライン42を通って精製水タンク13に貯留される。一方、逆浸透膜を透過しなかった残りの原水は濃縮水となり、一部の濃縮水は濃縮水排出ライン44から分岐した濃縮水返送ライン45を通って軟水移送ライン41に戻されて軟水化された原水として再利用され、一部の濃縮水は濃縮水排出ライン44から分岐した濃縮水返送ライン71を通って原水タンク10に戻されて原水として再利用され、残りの濃縮水は濃縮水排出ライン44を通って装置外に排出される。このとき、逆浸透膜モジュール12内の原水圧力の調整は、流量調整弁24によって行われる。精製水タンク13に貯留された精製水は、送水ポンプ33を駆動させることによって精製水送水ライン43から装置外に送水され、人工透析用の希釈水などとして使用される。また、精製水タンク13に貯留された精製水は、常時駆動されている送水ポンプ33によって、精製水送水ライン43から取り出された後、精製水循環ライン46を経て精製水タンク13に返送されており、絶えず流動状態にある。さらに、精製水タンク13に貯留された精製水は、紫外線ランプ14によって、常時殺菌処理されている。また、制御部のカレンダータイマに記憶された一定時間ごと、または利用者の切り替え操作によって、切替弁84および切替弁85を切り替え、軟水移送ライン41として第2の流路41bを選択し、濃縮水排出ライン44として第2の流路44bを選択して、逆浸透膜モジュール12への原水の導入方向および逆浸透膜モジュール12からの濃縮水の排出方向出口を切り替えることも可能である。次に、精製水製造装置の停止時について説明する。夜間、休日など精製水を使わない日時が設定された制御部16のカレンダータイマからの停止信号や利用者の停止操作に基づいて、制御部16は、原水ポンプ30の運転を停止し、原水供給ライン40の電動弁20、軟水移送ライン41の電動弁21、精製水送水ライン43の電動弁23および濃縮水排出ライン44の電動弁25を閉じて、精製水の製造を停止させる。これと同時に、制御部16は、熱水供給ライン78の電動弁86を開く。これにより、精製水タンク13に貯留された精製水は、送水ポンプ34によって、精製水送水ライン43から取り出された後、熱水循環ライン75および熱水供給ライン78を経て軟水移送ライン41に返送される。軟水移送ライン41に返送され精製水は、第1の流路41aまたは第2の流路41bを通って逆浸透膜モジュール12,12に供給される。逆浸透膜モジュール12に供給された精製水の一部は、逆浸透膜を透過し、精製水移送ライン42を通って精製水タンク13に送られる。一方、逆浸透膜を透過しなかった残りの精製水は、濃縮水排出ライン44から分岐した濃縮水返送ライン45を通って軟水移送ライン41に戻され、再度、逆浸透膜モジュール12,12に供給される。このように、精製水製造装置の停止時においては、精製水タンク13内の精製水は、送水ポンプ34、逆浸透膜モジュール12の順に送られ、再び精製水タンク13に戻される。すなわち、精製水は、精製水タンク13-送水ポンプ34-逆浸透膜モジュール12-精製水タンク13の順に絶えず循環している。次に、精製水製造装置の消毒時の熱水循環を説明する。制御部16は、活性炭フィルタ60、ナノ濾過膜モジュール61および逆浸透膜モジュール12のメンテナンス後、所定の時間経過した場合に、装置内の消毒を行うための熱水循環を行う。ここで、活性炭フィルタ60、ナノ濾過膜モジュール61および逆浸透膜モジュール12にはそれぞれ個別に消毒を行うまでの所定の時間が予め設定されている。制御部16は、この予め設定された所定の時間が経過した時点で、精製水タンク13の精製水をヒータ17で加熱して熱水とし、この熱水をそれぞれ活性炭フィルタ60、ナノ濾過膜モジュール61および逆浸透膜モジュール12に対して個別に通水する。ナノ濾過膜モジュール61に熱水を通水する場合は、ナノ濾過膜制御部16は、消毒開始と同時に、熱水供給ライン77の電動弁87を開放するとともに、熱水排出ライン92の放出弁93を開放して熱水循環ライン75の送水ポンプ34を駆動させ、あわせて、精製水タンク13の精製水をヒータ17による精製水の加熱を開始する。このとき、電動弁86,88は閉塞状態に維持することが好ましい。これにより、熱水は、精製水タンク13、熱水循環ライン75、熱水供給ライン77、原水移送ライン70、ナノ濾過膜モジュール61、熱水排出ライン92および主排水ライン100を順次流過する。なお、このとき、ヒータ17は、5°C/分以下で所定温度まで昇温させることにより、たとえナノ濾過膜を構成するポリアミドの耐熱性が低い材質の物を使用する場合であっても、ナノ濾過膜の劣化を防止できるので好ましい。また、逆浸透膜モジュール12に熱水を通水する場合も、制御部16は、消毒開始と同時に、熱水供給ライン77の電動弁87を開放するとともに、熱水排出ライン92の放出弁93を開放して熱水循環ライン75の送水ポンプ34を駆動させ、あわせて、精製水タンク13の精製水をヒータ17による精製水の加熱を開始する。このとき電動弁87,88は閉塞状態に維持する。これにより、熱水は、精製水タンク13、熱水循環ライン75、熱水供給ライン78、軟水移送ライン41、第1の流路41aまたは第2の流路41b、逆浸透膜モジュール12、第1の流路44aまたは第2の流路44b、濃縮水排出ライン44および主排水ライン100を順次流過する。なお、このとき、ヒータ17は、5°C/分以下の割合で所定温度まで昇温させることにより、たとえナノ濾過膜を構成するポリアミドの耐熱性が低い材質の物を使用する場合であっても、ナノ濾過膜の劣化を防止できるので好ましい。活性炭フィルタ60に熱水を通水する場合、制御部16は、精製水タンク13の精製水が十分に加熱され所定温度の熱水になったことが検出されたら、熱水供給ライン76の電動弁88を開放するとともに、熱水排出ライン90の放出弁91を開放して熱水循環ライン75の送水ポンプ34を駆動させることが好ましい。ナノ濾過膜モジュール61や逆浸透膜モジュール12と異なり、耐熱性の高い活性炭を洗浄する場合については、精製水を所定温度まで熱してから還流を開始することにより、より少量の精製水で短時間に洗浄を終了させることができるからである。このとき、電動弁86,87は閉塞状態に維持する。これにより、熱水は、精製水タンク13、熱水循環ライン75、熱水供給ライン76、原水供給ライン40、活性炭フィルタ60、熱水排出ライン90および主排水ライン100を順次流過する。ナノ濾過膜モジュール61に熱水を通水する場合、制御部16は、精製水タンク13の精製水が十分に加熱され所定温度の熱水になったことが検出されたら、熱水供給ライン77の電動弁87を開放するとともに、熱水排出ライン92の放出弁93を開放して熱水循環ライン75の送水ポンプ34を駆動させる。このとき、電動弁86,88は閉塞状態に維持する。これにより、熱水は、精製水タンク13、熱水循環ライン75、熱水供給ライン77、原水移送ライン70、ナノ濾過膜モジュール61、熱水排出ライン92および主排水ライン100を順次流過する。逆浸透膜モジュール12に熱水を通水する場合、制御部16は、精製水タンク13の精製水が十分に加熱され所定温度の熱水になったことが検出されたら、熱水供給ライン78の電動弁86を開放して熱水循環ライン75の送水ポンプ34を駆動させる。このとき電動弁87,88は閉塞状態に維持する。これにより、熱水は、精製水タンク13、熱水循環ライン75、熱水供給ライン78、軟水移送ライン41、第1の流路41aまたは第2の流路41b、逆浸透膜モジュール12、第1の流路44aまたは第2の流路44b、濃縮水排出ライン44および主排水ライン100を順次流過する。ここで、逆浸透膜モジュール12を流過する熱水の一部はろ過され、精製水移送ライン42を介して精製水として精製水タンク13に貯留される。なお、活性炭フィルタ60、ナノ濾過膜モジュール61および逆浸透膜モジュール12に通水した熱水を、主排水ライン100を介して排水する場合について説明したが、精製水タンク13および原水タンク10に返送して再利用するようにしてもよい。また、制御部16は、活性炭フィルタ60、ナノ濾過膜モジュール61および逆浸透膜モジュール12のうち、隣り合うもの同士で消毒を実行する時期が近い場合については、同時に熱水の通水を行うようにしてもよい。この通水の一例として、例えば、活性炭フィルタ60とナノ濾過膜モジュール61との消毒時期が近い場合、熱水供給ライン76の電動弁88を開放するとともに、熱水排出ライン92の放出弁93を開放して、送水ポンプ34を駆動する。これにより、熱水は、熱水循環ライン75、熱水供給ライン76、原水供給ライン40、活性炭フィルタ60、原水移送ライン70、ナノ濾過膜モジュール61、熱水排出ライン92を順次流過し、活性炭フィルタ60とナノ濾過膜モジュール61とが同時に熱水消毒される。同様に、ナノ濾過膜モジュール61と逆浸透膜モジュールとの消毒時期が近い場合、および、活性炭フィルタ60とナノ濾過膜モジュール61と逆浸透膜モジュール12との全ての消毒時期が近い場合も、消毒対象となるものの最も上流側に接続された電動弁86~88を開放して、複数の消毒対象に対して同時に熱水を流過させることができる。以上説明したような精製水製造装置にあっては、精製水タンク13のヒータ17によって加熱された精製水である熱水を、熱水供給ライン77を介してナノ濾過膜モジュール61の一次側に供給するとともに、ナノ濾過膜モジュール61を通過した熱水を熱水排出ライン92によって排出することができるため、ナノ濾過膜モジュール61単体を熱水消毒することができ、したがって、熱水使用量を抑制して消費エネルギーを低減することができる。また、ナノ濾過膜モジュール61を熱水消毒することで、ナノ濾過膜モジュール61からリークする細菌やエンドトキシン等によって逆浸透膜モジュール12に負担がかかるのを抑制することができる。さらに、熱水供給ライン76を介してナノ濾過膜モジュール61の上流側に設けられた活性炭フィルタ60に熱水を供給することができるため、消費エネルギーの増加を抑制しつつ、活性炭フィルタ60の熱水消毒を行い、ナノ濾過膜モジュール61の負担を軽減することができる。そして、軟水化手段として、従来のイオン交換樹脂を備えた前処理装置の代わりに、ポリアミド系ナノ濾過膜を備えたナノ濾過膜モジュール61を用いているので、原水の滞留が少なくなって細菌が繁殖しにくく、また、原水中のエンドトキシンの除去が可能である。また、ナノ濾過膜モジュール61によって原水の軟水化を行うので、イオン交換樹脂および再生塩タンクが不要で、これに伴いイオン交換樹脂の再生時期の管理、薬剤の調製、イオン交換樹脂の再生操作なども不要となり、装置の維持管理が容易となり、さらに、装置の小型化も達成できる。また、ナノ濾過膜モジュール61によって原水中のエンドトキシンをはじめ、細菌類、不純物の除去を行うので、逆浸透膜モジュール12の負担が軽減され、逆浸透膜モジュール12の薬洗の頻度を減らすことができる。また、この精製水製造装置にあっては、精製水タンク13の精製水を逆浸透膜モジュール12や加圧ポンプ31よりも上流側に返送する返送ライン熱水循環ライン75を具備しているので、精製水製造装置の停止時に、装置内に精製水を循環させることができる。これにより、精製水製造装置の停止時であっても、加圧ポンプ30、逆浸透膜モジュール12、精製水タンク13、送水ポンプ34、およびこれらを接続する各ラインに滞留水が発生することがなく、細菌の繁殖を抑えることができる。また、この精製水製造装置にあっては、逆浸透膜モジュール12に供給される原水を原水入口57に流す第1の流路41aと、逆浸透膜モジュール12に供給される原水を濃縮水出口59に流す第2の流路41bと、第1の流路41aと第2の流路41bとを切り替える切替弁84とを具備しているので、逆浸透膜モジュール12への原水の導入方向を適宜、切り替えることが可能である。これにより、原水が、濃縮水出口59側の逆浸透膜エレメント55において網目スペーサー54で形成される流路全体を満遍なく流れ、濃縮水出口59側の偏流や滞留が減少し、細菌の繁殖が抑えられる。なお、本発明の精製水製造装置は、図示例のものに限定はされず、原水を逆浸透膜で濾過して精製水を得る精製手段逆浸透膜モジュールに加えて、次のi~iiiの構成、iポリアミドを材質として用いたナノ濾過膜によって原水を軟水化する軟水化手段;ii精製水を貯留する貯留手段、貯留手段の精製水を精製手段の上流側に返送する返送ラインおよび返送ラインの途中で返送される精製水を一時貯留する一時貯留手段;iii逆浸透膜モジュールの原水入口に原水を供給し、濃縮水出口から濃縮水を取り出す第1の流路、逆浸透膜モジュールの濃縮水出口に原水を供給し、原水入口から濃縮水を取り出す第2の流路、および第1の流路と第2の流路とを切り替える切り替え手段、のうちの少なくともいずれか1つの構成を具備する精製水製造装置であればよい。"