"基板と、前記基板の上方であって、第1軸の方向に並んで配置された2つの質量部と、前記2つの質量部のそれぞれに設けられ、前記第1軸と平面視で垂直な第2軸の方向に設けられた第1捻りバネと、前記第1捻りバネを軸として、前記2つの質量部を互いに反対方向に回動振動させる駆動部と、前記第1捻りバネを介して前記2つの質量部のそれぞれに接続され、前記質量部から受ける力を伝達する力伝達部と、前記力伝達部のそれぞれに設けられ、前記力に応じた変位量を電気信号として検出する検出部と、を備えることを特徴とする物理量センサー。前記駆動部は、前記第2軸の方向に設けられた第2捻りバネを介して前記基板に固定され、前記第2捻りバネを軸として回動振動することを特徴とする請求項1に記載の物理量センサー。前記駆動部は、前記駆動部に設けた電極と前記基板に設けた電極との間の静電力により回動振動することを特徴とする請求項1または2に記載の物理量センサー。前記2つの質量部のそれぞれは、接続部を介して前記駆動部に接続されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の物理量センサー。前記力伝達部のそれぞれは、前記質量部の周囲の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の物理量センサー。前記第1捻りバネは、前記質量部の前記第2軸上の対向する側面の各々に設けられたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の物理量センサー。前記第1捻りバネは、前記第2捻りバネと平行に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の物理量センサー。前記2つの質量部は、前記第2捻りバネに対して互いに対称な位置に配置されていることを特徴とする請求項2または7に記載の物理量センサー。前記検出部は、前記力伝達部に設けられている可動電極部と、前記基板上に設けられ且つ前記可動電極部に対向する位置に設けられている固定電極部と、を含むことを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサー。請求項1ないし9のいずれか一項に記載の物理量センサーを搭載したことを特徴とする電子機器。しかしながら、特許文献1に記載されている構成では、質量部の振幅変位量を確保することが難しい。質量部の振幅変位量が少ないと、角速度センサーの検出感度が低下してしまう。また、必要な振幅変位量を得るために高い駆動能力の駆動部が必要となり、センサーの大型化を招いてしまう。本発明の目的は、質量部の振幅変位量を確保し、高い検出感度を有する小型の物理量センサーおよびこれを用いた電子機器を提供することにある。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例に係る物理量センサーは、基板と、前記基板の上方であって、第1軸の方向に並んで配置された2つの質量部と、前記2つの質量部のそれぞれに設けられ、前記第1軸と平面視で垂直な第2軸の方向に設けられた第1捻りバネと、前記第1捻りバネを軸として、前記2つの質量部を互いに反対方向に回動振動させる駆動部と、前記第1捻りバネを介して前記2つの質量部のそれぞれに接続され、前記質量部から受ける力を伝達する力伝達部と、前記力伝達部のそれぞれに設けられ、前記力に応じた変位量を電気信号として検出する検出部と、を備えることを特徴とする。本適用例によれば、2つの質量部を第1捻りバネを回転軸として回動振動させるため、少ない駆動電力により充分な振幅変位量を確保することができる。2つの質量部が、回転軸まわりに互いに第3軸Z軸方向に逆位相で回動振動する際に、第1軸X軸まわりに角速度が入力されると、2つの質量部が受けるコリオリ力により力伝達部が第2軸Y軸方向に変位し、力伝達部に設けた検出部を用いて第1軸回りの角速度を検出することができる。角速度センサーの場合、振幅変位を得られれば振幅速度をも速く設定できるため、微小なコリオリ力の検出が可能となる高感度化。従って、高い検出感度の高性能な物理量センサーを提供できる。[適用例2]上記適用例に係る物理量センサーにおいて、前記駆動部は、前記第2軸の方向に設けられた第2捻りバネを介して前記基板に固定され、前記第2捻りバネを軸として回動振動することが好ましい。本適用例によれば、駆動部は、第2捻りバネを軸とした回転軸を備え、例えば、前記回転軸まわりに回動振動を許容しその他の運動を制限する少なくとも1本以上のアームを介して前記基板に固定されるので、当該回転軸まわりにのみ運動することができる。この回動振動を、接続部を介して隣接する2つの質量部へ伝達することで、少ない駆動エネルギーを効率的に2つの質量部の振動エネルギーに変換することができる。従って、少ない消費電力で高効率な物理量センサーを提供することができる。[適用例3]上記適用例に係る物理量センサーにおいて、前記駆動部は、前記駆動部に設けた電極と前記基板に設けた電極との間の静電力により回動振動することが好ましい。本適用例によれば、例えば、駆動部に設けた電極にプラスの電圧を印加し、駆動部の電極に対向する基板の電極にマイナスの電圧を印加することにより静電力が働き、駆動部がシーソーのように揺れ動き、それにより質量部のそれぞれを互いに反対方向に回動振動させることができる。[適用例4]上記適用例に係る物理量センサーにおいて、前記2つの質量部のそれぞれは、接続部を介して前記駆動部に接続されていることが好ましい。本適用例によれば、2つの質量部を互いに隣接させ駆動部と接続器により機械的に接続させることで、駆動部からの駆動力を効率良く伝達させることができる。さらに2つの質量部、駆動部、接続器を小面積範囲内に設置することができ、物理量センサーを小型にすることができる。[適用例5]上記適用例に係る物理量センサーにおいて、前記力伝達部のそれぞれは、前記質量部の周囲の少なくとも一部に設けられていることが好ましい。本適用例によれば、力伝達部を駆動部および2つの質量部の周囲の少なくとも一部に設けることにより、力伝達部の外部に検出部を接続すれば省スペース化を図ることができる。このような形態にすることで、力伝達部内側の質量部の面積を大きく取ることができ、即ち、質量部の質量を大きくすることができる。角速度により発生するコリオリ力は質量に比例するので、質量を大きくすることで高感度化が図られる。また、力伝達部は一体化されている必要は無く、複数の質量体と機械ばねで構成されていても良い。力伝達部を複数の質量体と機械ばねに分割することにより、コリオリ検出に必要な力の伝達を効率よく行い、それ以外の不要な力や振動の伝達を抑制することができる。[適用例6]上記適用例に係る物理量センサーにおいて、前記第1捻りバネは、前記質量部の前記第2軸上の対向する側面の各々に設けられたことが好ましい。本適用例によれば、質量部内に設けられた第1捻りバネを、対向する側面の各々に設け、質量部と力伝達部とを接続する複数の捻りばねによって形成したことで、質量部を効率よく回動振動させることができる。特に、2つの捻りばねで回転軸を形成した場合、回動振動のQ値を高くすることができ、質量部にエネルギーロスの少ない振動を与えることができる。振動のQ値が高いほど、少ない駆動エネルギーで質量部の大きな変位量が得られるので、物理量センサーの高感度化に繋がる。従って、高性能な物理量センサーを得ることができる。[適用例7]上記適用例に係る物理量センサーにおいて、前記第1捻りバネは、前記第2捻りバネと平行に設けられていることが好ましい。本適用例によれば、質量部内に設けられた回転軸を駆動部の回転軸と平行にすることにより、駆動部による振動エネルギーを効率良く質量部の振動エネルギーに変換することができる。これにより、駆動部の低消費電力化が行える。[適用例8]上記適用例に係る物理量センサーにおいて、前記2つの質量部は、前記第2捻りバネに対して互いに対称な位置に配置されていることが好ましい。本適用例によれば、質量部が第2捻りバネに対して対称な位置に配置されることにより、一方の質量部と他方の質量部との回動振動の変位量を等しくすることができ、物理量検出の精度を向上することができる。[適用例9]上記適用例に係る物理量センサーにおいて、前記検出部は、前記力伝達部に設けられている可動電極部と、前記基板上に設けられ且つ前記可動電極部に対向する位置に設けられている固定電極部と、を含むことが好ましい。本適用例によれば、第1軸X軸回りに角速度が入力され、コリオリ力により力伝達部が第2軸Y軸の方向に変位すると、力伝達部に設けた可動電極部と、基板に設けられ可動電極部と対向する位置に設けられた固定電極部との間の距離が変位することにより静電容量が変化し、それにより第1軸回りの角速度を検出することができる。[適用例10]本適用例に係る電子機器は、適用例1ないし9のいずれか一例に記載の物理量センサーを搭載したことを特徴とする。本適用例によれば、高感度で且つ小型化を実現した電子機器を提供することができる。以下、本発明の物理量センサーおよびこれを用いた電子機器を添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。図1は、本発明の物理量センサーの第1実施形態に係る模式概略平面図、図2は本発明の物理量センサーの第1実施形態に係る詳細な模式平面図である。図3は、図2に示した物理量センサーの動作を説明する模式斜視図aと模式側面図bである。なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示している。また、以下では、X軸第1軸に平行な方向をX軸方向、Y軸第2軸に平行な方向をY軸方向、Z軸第3軸に平行な方向をZ軸方向と言う。以下では、本発明の物理量センサーに関し、X軸第1軸まわりの角速度を検知する角速度センサーに適用させ、詳しく述べる。なお、ばね類は、便宜的に線で表している。実施形態1図1に示すように、物理量センサー1は、基板2に平行なセンサー面3上に形成されており、X軸方向に対向配置された一対の質量部2つの質量部4と、それぞれの質量部4内に設けられ、Y軸に平行な第1捻りばね8で形成された回転軸J1,J2と、対向する2つの質量部4を第1の周波数を用いて互いに逆相で回転軸J1,J2まわりに回動させる駆動部5と、回転軸8を介して質量部4に発生した力を伝達する力伝達部6と、力伝達部6に接続されており、受けた力に応じた変位量を電気信号として検出する検出部7と、を有している。さらに駆動部5は、第2捻りばね9からなる回転軸J3を有し、その回転軸J3まわりに回転運動をする際に、接続部10を介してその回転運動を質量部4へ伝達できるような構成をとっている。このような物理量センサー1によれば、質量部4は回転軸J1,J2まわりに回動振動するので、センサー面3に対して垂直に変位させるよりも振幅変位を得やすい。角速度センサーの場合、振幅変位と同時に振幅速度も速くなるため、それに応じたコリオリ力の検出が容易となる高感度化。さらに、回転軸J1,J2と接続部10との位置関係を自由に設定できる点を活かし、梃子の原理を用いて少ない駆動力で最大かつ最適な振幅変位量を設定することができる。少ない駆動力で駆動できれば、物理量センサー1のサイズを小さくすることができる。したがって、高い検出感度を有する小型の物理量センサー1を提供することができる。振動系構造体以下、物理量センサー1について図2を用いて更に具体的に説明する。基板2に平行なセンサー面3が設けられ、物理量センサー1が形成されている。物理量センサー1は、センサー面3に平行でX軸方向に対向配置された第1質量部210と、第2質量部310を有している。2つの質量部210,310は隣接して設置されており、それぞれの質量部210,310には捻りばね219,220から成る回転軸J1と、捻りばね319,320から成る回転軸J2が形成されている。即ち、2つの質量部210,310はそれぞれ回転軸J1,J2について回動することが可能な構造となっている。また、第1質量部210と第2質量部310との中間領域には、駆動部5が設置されている。この駆動部5は、基板2に固定された基板固定部アンカー30,31にそれぞれ機械的に接続された捻りばね40,41により懸架されている。更にこの駆動部5は、基板2上に設けられた電極260,360に所定の周波数にて電圧を交互に加えることにより、捻りばね40,41から形成される回転軸J3を中心にシーソー運動を行うよう設計されている。なお、図示しないが、基板2上の電極260,360に対向する位置には駆動用の下部電極が形成されている。そして、第1質量部210へは第1接続部221、第2質量部310へは第2接続部321、を介して運動を伝達することができる。即ち、この駆動部5を用いて、第1質量部210と第2質量部310とを、所定の周波数を用いて逆位相で運動させることができるようになっている。検出系構造体一方、第1質量部210に隣接して設けられた第1力伝達部211と第2力伝達部212は、それぞれ板ばね253,254、板ばね251,252、により、基板固定部アンカー242,31、基板固定部アンカー241,30、へ固定されている。この時、板ばね251~254は全てX軸方向へは硬く、Y軸方向へは柔らかく設計されている。更に、第1力伝達部211と第2力伝達部212は、捻りばね219,220により第1質量部210に機械的に接続されている。捻りばね219,220は、回転軸J1まわりには柔らかくY軸方向には硬く設計されており、捻りばね219,220がY軸方向に力F1を受けると、その力F1をそのまま第1力伝達部211と第2力伝達部212へ伝達する構造となっている。そして、力F1は、X軸方向へは柔らかく、Y軸方向へは硬く設計された板ばね222,223により、第1力伝達部211と第2力伝達部212から、第3力伝達部213へと伝達される。第3力伝達部213には、力F1に応じた変位量を電気信号として検出する第1検出部218が接続されている。より詳細には、第1検出部218は、第3力伝達部213に繋がれY軸方向に可動な第1検出櫛歯の第1電極215と、基板2に固定され互いに異なる電位に接続された第1検出櫛歯の第2電極216、および第3電極217、とにより構成された櫛歯ユニット214を複数個有している。力F1に応じた変位量は、第1電極215と他の2つの電極第2電極216、第3電極217間の静電容量を変化させるので、この容量変化の差分を用いて変位量を検出することができる。但し、第1検出部218は、第3力伝達部213および第1電極215がX軸方向へ変位したとしても、容量変化の差分は生じないので、検出信号は発生しない。つまりY軸方向のみの変位量を検出することができる。なお、第1力伝達部211、第2力伝達部212、および第3力伝達部213は、見かけ上、第1質量部210を囲むフレームを形成しているとも言える。また、第2質量部310に隣接して設けられた第4力伝達部311と第5力伝達部312は、それぞれ板ばね353,354、板ばね351,352、により、基板固定部アンカー344,31、基板固定部アンカー343,30、へ固定されている。この時、板ばね353,354,351,352、は全てX軸方向へは硬く、Y軸方向へは柔らかく設計されている。更に、第4力伝達部311と第5力伝達部312は、捻りばね319,320により第2質量部310に機械的に接続されている。捻りばね319,320は、回転軸J2まわりには柔らかくY軸方向には硬く設計されており、捻りばね319,320がY軸方向に力F2を受けると、その力F2をそのまま第4力伝達部311と第5力伝達部312へ伝達する構造となっている。そして、力F2は、X軸方向へは柔らかく、Y軸方向へは硬く設計された板ばね322,323により、第4力伝達部311と第5力伝達部312から、第6力伝達部313へと伝達される。第6力伝達部313には、力F2に応じた変位量を電気信号として検出する第2検出部318が接続されている。より詳細には、第2検出部318は、第6力伝達部313に繋がれY軸方向に可動な第2検出櫛歯の第1電極315と、基板2に固定され互いに異なる電位に接続された第2検出櫛歯の第2電極316、および第3電極317、とにより構成された櫛歯ユニット314を複数個有している。力F2に応じた変位量は、第1電極315と他の2つの電極第2電極316、第3電極317間の静電容量を変化させるので、この容量変化の差分を用いて変位量を検出することができる。但し、第2検出部318についても、第6力伝達部313および第1電極315がX軸方向へ変位したとしても、容量変化の差分は生じないので、検出信号は発生しない。つまり第1検出部218と同様にY軸方向のみの変位量を検出することができる。なお、第4力伝達部311、第5力伝達部312、および第6力伝達部313は、見かけ上、第2質量部310を囲むフレームを形成しているとも言える。このような構成によれば、物理量センサー1は、X軸まわりの角速度に応じて発生するコリオリ力を、力F1およびF2へ変換し、第1検出部218と第2検出部318における静電容量変化として検出することができる。以下に、図3を用いてその動作原理を詳細に説明する。動作原理図3は、物理量センサー1の動作原理を説明する模式図であり、aは模式斜視図、bは模式側面略図である。物理量センサー1内に設けられた駆動部5が、図示しない基板2上に形成された駆動用下部電極に駆動電圧を加えることにより、回転軸J3まわりに回動振動している。つまり、駆動部5はセンサー面上で回転軸J3を支点にシーソー運動を行っている。駆動部5と第1質量部210および第2質量部310とは、第1接続部221および第2接続部321を介して物理的に接続されているため、駆動部5の運動が第1質量部210と第2質量部310へ伝達される。駆動部5の運動がこれら2つの質量部210,310へ伝達されると、それぞれの質量部210,310は各々の回転軸J1,J2と一致する捻りばね図示せずで力伝達部6に接続されているため、それぞれの回転軸J1,J2を中心に回動振動を行う。このとき、第1質量部210と第2質量部310は、各接続部221,321と回転軸J1,J2の位置関係から、梃子の原理を利用して回動振動の振幅変位量をより大きく取ることができる図3b参照。このような回動振動を行っている第1質量部210と第2質量部310に、X軸まわりの角速度が入力されると、その回動方向V1、V2に応じてコリオリ力図2中の力F1およびF2が生じる。発生したコリオリ力F1,F2は、図示しない捻りばねによって力伝達部6へと伝達される。この伝達された力に応じた変位量を検出部7により検出する。このようにして、物理量センサー1が形成された面内の軸、例えばX軸やY軸に対する角速度を計測することができる。実施形態2図4は、本発明の第2実施形態に係る模式平面図である。なお、実施形態1と重複する部材には、実施形態1と同じ図番を付している。基板2に平行なセンサー面3が設けられ、物理量センサー11が形成されている。物理量センサー11は、センサー面3に平行でX軸方向に対向配置された第1質量部410と、第2質量部510を有している。2つの質量部410,510は隣接して設置されており、それぞれの質量部410,510には捻りばね419,420から成る回転軸J1と、捻りばね519,520から成る回転軸J2が形成されている。即ち、2つの質量部410,510は、それぞれ回転軸J1,J2について回動することが可能な構造となっている。また、第1質量部410と第2質量部510との中間領域には、駆動部51が設置されている。この駆動部51は、基板2に固定された基板固定部アンカー30,31にそれぞれ機械的に接続された捻りばね40,41により懸架されている。更にこの駆動部51は、基板2上に設けられた電極260,360に所定の周波数にて電圧を交互に加えることにより、捻りばね40,41から形成される回転軸J3を中心にシーソー運動を行うよう設計されている。なお、図示しないが、基板2上の電極260,360に対向する位置には駆動用の下部電極が形成されている。そして、第1質量部410へは第1接続部421、第2質量部510へは第2接続部521、を介して運動を伝達することができる。即ち、この駆動部51を用いて、第1質量部410と第2質量部510とを、所定の周波数を用いて逆位相で運動させることができるようになっている。この駆動部51は、第1実施形態の駆動部5と比して小型に形成されている。その代わりに、第1質量部410との第1接続部421、第2質量部510との第2接続部521を、捻りばね419,420から成る回転軸J1と捻りばね519,520から成る回転軸J2より内側に、即ち駆動部51に近接して、設けられている。物理量センサー11の第1力伝達部211と第2力伝達部212には、力に応じた変位量を電気信号として検出する第1検出部418が接続されている。より詳細には、第1検出部418は、第1力伝達部211と第2力伝達部212に繋がれY軸方向に可動な可動電極部としての第1検出櫛歯の第1電極415と、基板2に固定され互いに異なる電位に接続された固定電極部としての第1検出櫛歯の第2電極416、および第3電極417、とにより構成された櫛歯ユニット414を複数個有している。力F1に応じた変位量は、第1電極415と他の2つの電極第2電極416、第3電極417間の静電容量を変化させるので、この容量変化の差分を用いて変位量を検出することができる。なお、第3力伝達部213は、第1力伝達部211、第2力伝達部212に接続され、見かけ上、三者で第1質量部410を囲むフレームを形成しているとも言える。物理量センサー11の第4力伝達部311と第5力伝達部312には、力F2に応じた変位量を電気信号として検出する第2検出部518が接続されている。より詳細には、第2検出部518は、第4力伝達部311と第5力伝達部312に繋がれY軸方向に可動な第2検出櫛歯の第1電極515と、基板2に固定され互いに異なる電位に接続された第2検出櫛歯の第2電極516、および第3電極517、とにより構成された櫛歯ユニット514を複数個有している。力F2に応じた変位量は、第1電極515と他の2つの電極第2電極516、第3電極517間の静電容量を変化させるので、この容量変化の差分を用いて変位量を検出することができる。なお、第6力伝達部313は、第4力伝達部311、第5力伝達部312に接続され、見かけ上、三者で第2質量部510を囲むフレームを形成しているとも言える。動作原理図5は、物理量センサー11の動作原理を説明する模式図であり、aは模式斜視図、bは模式側面略図である。物理量センサー11内に設けられた駆動部51が、図示しない基板2上に形成された駆動用下部電極に駆動電圧を加えることにより、回転軸J3まわりに回動振動している。つまり、駆動部51はセンサー面上で回転軸J3を支点にシーソー運動を行っている。駆動部51と第1質量部410および第2質量部510とは、第1接続部421および第2接続部521を介して物理的に接続されているため、駆動部51の運動が第1質量部410と第2質量部510へ伝達される。駆動部51の運動がこれら2つの質量部410,510へ伝達されると、それぞれの質量部410,510は各々の回転軸J1,J2と一致する捻りばね図示せずで力伝達部6に接続されているため、それぞれの回転軸J1,J2を中心に回動振動を行う。このとき、第1質量部410と第2質量部510は、接続部421,521と回転軸J1,J2の位置関係から、梃子の原理を利用して回動振動の振幅変位量をより大きく取ることができる図5b参照。このような回動振動を行っている第1質量部410と第2質量部510に、X軸まわりの角速度が入力されると、その回動方向V1,V2に応じてコリオリ力F1,F2が生じる。発生したコリオリ力F1,F2は、図示しない捻りばねによって力伝達部6へと伝達される。この伝達された力に応じた変位量を検出部7により検出する。このようにして、物理量センサー11面内の軸、例えばX軸やY軸に対する角速度を計測することができる。図4および図5に示した第2実施形態では、駆動部51は第1実施形態の駆動部5と比して小型に形成されているが、回転軸J1,J2の位置関係から、梃子の原理を利用して各質量部410,510の振幅変位量を自在に設定することができる。更に、物理量センサー11の力伝達部6に対し、Y軸方向に検出部7を延在させたので、X軸方向の占有幅を少なくすることができる。変形例1図6は、実施形態1の物理量センサーにおける検出部の変形例を示す模式平面図である。物理量センサー1において力伝達部6は、より詳細には第1力伝達部211、第2力伝達部212、第3力伝達部213により構成されている。検出部7は、3つの力伝達部のうち第3力伝達部213に接続された第1検出部618から成っている。更に、第1検出部618は、第3力伝達部213に繋がれY軸方向に可動な第1検出容量の第1電極615と、基板2に固定され互いに異なる電位に接続された第1検出容量の第2電極616、および第3電極617、とにより構成された静電容量ユニット614第1の検出容量部を複数個有している。力に応じた変位量は、第1電極615と他の2つの電極第2電極616、第3電極617間の静電容量を変化させるので、この容量変化の差分を用いて変位量を検出することができる。但し、第1検出部618は、第3力伝達部213および第1電極615がX軸方向へ変位したとしても、容量変化の差分は生じないので、検出信号は発生しない。つまりY軸方向のみの変位量を検出することができる。検出部7をこのような構成としたことで、信号検出に必要な静電容量の面積を大きくすることができる。即ち、コリオリ力による容量変化の差分を大きく取ることができ、物理量センサー1の感度を高めることができる。なお、上記では実施形態1の検出部7の変形例について説明したが、実施形態2の検出部においても同様に適用できる。変形例2図7は、実施形態1の物理量センサーにおける検出部の変形例を示す模式平面図である。物理量センサー1において力伝達部6は、コの字型をした一体型の力伝達部611により構成されている。力伝達部611が力を受けたときに応力が集中する部位に、圧電体による第1の検出部711が形成されている。圧電体を用いた応力検出では、圧縮応力による容量変化と引張応力による容量変化を比較することで検出することができる。本変形例では、第1圧電体712と第2圧電体713を設け、その差分を検出することでコリオリ力から伝達される力量を検知する構成とした。この場合でも、力伝達部611が単純にX軸方向へ変位したとしても、その差分は生じないので検出信号は発生しない。つまりY軸方向のみの変位量を検出することができる。検出部7をこのような構成としたことで、信号検出に必要な面積を小さくすることができる。即ち、物理量センサー1の小型化が可能となる。なお、上記では実施形態1の検出部7の変形例について説明したが、実施形態2の検出部においても同様に適用できる。変形例3図8は、本発明の変形例を示す模式平面図である。物理量センサー14は、基板2に平行なセンサー面3内に、X軸に関するX軸物理量センサー12、Y軸に関するY軸物理量センサー13、を有している。X軸物理量センサー12は、第2実施形態の物理量センサー11の構成を具備しており、X軸方向の必要面積が小さい形態で配置されている。このX軸物理量センサー12は、X軸まわりの角速度を高感度に検出することができる。一方、Y軸物理量センサー13は、第1実施形態の物理量センサー1の構成を具備しており、90度回転させて配置されているため、X軸方向の必要面積が小さい形態で配置されている。このY軸物理量センサー13は、Y軸まわりの角速度を高感度に検出することができる。以上のように、物理量センサー14は、第1実施形態の物理量センサー1と第2実施形態の物理量センサー11をうまく組み合わせることで、X軸まわりとY軸まわりの各物理量センサーを最小の面積で構成することができる。従って、物理量センサー14は、小型で高感度な多軸物理量センサーを提供できる。図9は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したモバイル型またはノート型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図9において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部100を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、角速度検知手段ジャイロセンサーとして機能する本発明の物理量センサー1が内蔵されている。図10は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用した携帯電話機PHSも含むの構成を示す斜視図である。この図10において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部100が配置されている。このような携帯電話機1200には、角速度検知手段ジャイロセンサーとして機能する本発明の物理量センサー1が内蔵されている。図11は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図11には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCDChargeCoupledDeviceなどの撮像素子により光電変換して撮像信号画像信号を生成する。ディジタルスチルカメラ1300におけるケースボディー1302の背面には、表示部100が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部100は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側図中裏面側には、光学レンズ撮像光学系やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。撮影者が表示部100に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送格納される。また、このディジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ1300には、角速度検知手段ジャイロセンサーとして機能する本発明の物理量センサー1が内蔵されている。なお、本発明の物理量センサーを備える電子機器は、図9のパーソナルコンピューターモバイル型パーソナルコンピューター、図10の携帯電話機、図11のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置例えばインクジェットプリンター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳通信機能付も含む、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡、魚群探知機、各種測定機器、計器類例えば、車両、航空機、船舶の計器類、フライトシミュレーター等に適用することができる。以上、本発明の物理量センサーを図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成特徴を組み合わせたものであってもよい。"