赤外線を検出する赤外線センサであって、中空部を有する基板と、該中空部の上に設けられ、検知膜を含む温度検知部と、該温度検知部に接続され、該中空部の上に該温度検知部を保持する支持脚と、該温度検知部の上に設けられ、板状の吸収傘を含む傘構造部と、を含み、該吸収傘は、一定の間隔で平行に配置された複数のスリットを有し、入射した赤外線の、該スリットの長手方向に垂直な方向の電界成分を選択的に吸収することを特徴とする赤外線センサ。上記吸収傘が、上記温度検知部の上に直接配置されたことを特徴とする請求項1に記載の赤外線センサ。請求項1または2に記載された赤外線センサをアレイ状に配置した赤外線センサアレイ。第1および第2の赤外線センサを含み、該第1の赤外線センサに設けられたスリットと、該第2の赤外線センサに設けられたスリットとの深さが異なることを特徴とする請求項3に記載の赤外線センサアレイ。互いに長手方向が異なるスリットを有する第1、第2、第3および第4の赤外線センサを含み、該第1の赤外線センサに設けられたスリットの長手方向と該第2の赤外線センサに設けられたスリットの長手方向とが直交し、該第3の赤外線センサに設けられたスリットの長手方向と該第4の赤外線センサに設けられたスリットの長手方向とが直交することを特徴とする請求項3に記載の赤外線センサアレイ。上記第1の赤外線センサに設けられたスリットの長手方向と上記第3の赤外線センサに設けられたスリットの長手方向とが、45°の角度をなすことを特徴とする請求項5に記載の赤外線センサアレイ。請求項5または6に記載の第1、第2、第3および第4の赤外線センサを1つのユニットとし、複数の該ユニットがアレイ状に配置されたことを特徴とする赤外線センサアレイ。しかしながら、偏光フィルタと熱型赤外線センサとを組み合わせた構造では、第1に、熱型赤外線センサの他に偏光フィルタが必要となり構造が複雑になる、第2に、どのような偏光フィルタを用いても必要な波長成分の一部が変更フィルタに吸収されてしまい検出効率が低下する、第3に、複数の偏光を検出するには、熱型赤外線センサ毎に構造の異なる偏光フィルタを装着しなければならない、等の問題があった。そこで、本発明は、小型化が可能で、偏光に対する検出効率の高い熱型赤外線センサおよび熱型赤外線センサアレイの提供を目的とする。本発明は、赤外線を検出する赤外線センサであって、中空部を有する基板と、中空部の上に設けられ、検知膜を含む温度検知部と、温度検知部に接続され、中空部の上に温度検知部を保持する支持脚と、温度検知部の上に設けられ、板状の吸収傘を含む傘構造部と、を含み、吸収傘は、一定の間隔で平行に配置された複数のスリットを有し、入射した赤外線の、スリットの長手方向に垂直な方向の電界成分を選択的に吸収することを特徴とする赤外線センサである。また、本発明は、上述の赤外線センサをアレイ状マトリックス状に配置した赤外線センサアレイに関する。以上のように、本発明の赤外線センサでは、入射する赤外線の、スリットに垂直な電界成分のみを選択的に吸収することができ、特定の偏光のみを検知することが可能となる。また、本発明の赤外線センサアレイでは、入射する赤外線の偏光情報を検知することが可能となる。実施の形態1.図1は、全体が100で表される、本発明の実施の形態1にかかる熱型赤外線センサの上面図であり、図2は、図1をI-I方向に見た場合の断面図である。図1、2に示すように、熱型赤外線センサ100は、例えばシリコンからなる基板1を含む。基板1には中空部2が設けられ、中空部2の上には、温度検知部4が支持脚3により支持されている。支持脚3は、薄膜金属配線6とこれを支える誘電体膜16を含んでいる。支持脚3は、ここでは2本であり、上方から見るとL字型に折れ曲がった形状となっている。支持脚3は、温度検知部4の中心軸に対して略対称に配置されている。温度検知部4は、検知膜5と薄膜金属配線6を含み、検知膜5と薄膜金属配線6は、酸化シリコン等の絶縁層18に覆われている。検知膜5は、例えば結晶シリコンを用いたダイオードからなる。薄膜金属配線6は、支持脚3に含まれる薄膜金属配線6と同時に形成され、検知膜5とアルミニウム配線7とを電気的に接続する。薄膜金属配線6は、例えば膜厚が100nmのチタン合金からなる。アルミニウム配線7は、絶縁層17により覆われている。検知膜5が出力した電気信号は、支持脚3に形成された薄膜金属配線6を経由してアルミニウム配線7に伝わり、検出回路図示せずにより検出される。薄膜金属配線6と検知膜5との間の電気的接続、および薄膜金属配線6とアルミニウム配線7との間の電気的接続は、必要に応じて上下方向に延在する導電体図示せずを介して行っても良い。絶縁層17の上には、赤外線を反射する反射膜8が中空部2を覆うように配置されている。反射膜8は、温度検知部4とは熱的に接続されない状態で、支持脚3の少なくとも一部の上部を覆うように配置されている。反射膜7は、例えばアルミニウムのような金属からなる。温度検知部4の上には、支持柱9と、支持柱9で支えられた板状の吸収傘10からなる傘構造部20が設けられている。図1に示すように、熱型赤外線センサ100は、上方から見ると傘構造部20のみが見える。吸収傘10は、例えばAu、Ag、Cu、Alなどの金属薄膜からなり、膜厚は数nm程度から数百nm程度であり、測定対象とする吸収波長において入射光の漏れ出しがない膜厚が望ましい。ここでは、吸収傘10は単層構造の金属薄膜6としたが、例えば膜厚が100~200nm程度の酸化シリコンなどの誘電体薄膜で金属薄膜6の上下を挟み込んだ3層構造や、誘電体薄膜の上に金属薄膜6を形成した2層構造を用いても良い。吸収傘10には、平行に形成された複数の直線状のスリット11が一定間隔に設けられ、一次元的な周期構造となっている。吸収傘10の膜厚は、吸収、熱時定数、材料の応力等を考慮して適宜決められる。図2から分かるように、吸収傘10は温度検知部4の上に支持柱9で接続されており、即ち、吸収傘10と温度検知部4は熱的に接続されている。一方、吸収傘10は、反射膜8とは熱的に接続されない状態で、反射膜8より上方に保持され、反射膜8の少なくとも一部を覆い隠すように横方向に板状に広がっている。かかる熱型赤外線センサ素子100では、入射した赤外線は主に吸収傘10で吸収される。一方、吸収傘10を透過した赤外線は、反射膜8で反射されて吸収傘10に裏面から再度入射して吸収される。吸収傘10に吸収された赤外線は熱に変換され、支持柱9を通って温度検知部4に伝わる。温度検知部4では、検知膜5の電気抵抗が温度により変化するため、外部に設けた検出回路図示せずで検知膜5の電気抵抗の変化を検出することにより、赤外線の量を検出できる。ここでは反射膜8を設けた構造を示したが、反射膜8は無くても良い。次に、吸収傘11の吸収構造について詳しく説明する。図3は、Auで形成された1次元周期構造の吸収傘の吸収特性を、厳密結合波解析を用いて求めた結果である。ここで、d:スリットの深さZ軸方向、p:スリットの周期、w:スリットの幅X軸方向、λab:吸収波長とすると、d=1μm、p=3μm、w=0.1μmとした。また、入射光はスリットに垂直な電界成分X軸方向のみとした。図3から、特定の波長約5.6~5.7μmで強い吸収が発生していることが分かる。この吸収は、スリットの深さ方向を共振方向として、吸収波長:λabとすると、原理的には以下の式1で説明できる。但し、図3に示すように、吸収波長は、式1で求めた結果より長波長化する。これはスリット内で共振する電磁界の一部がスリット外に漏れ出すことから、等価的にスリットの深さが深くなることから説明できる。また、スリット深さだけではなく、高次の回折を生じずに吸収を実現するためには、以下の式2の関係を満たさなければならない。λab>p式2また、スリット11の幅に関しては、共振状態を維持するために、深さに依存するが、例えばd=1μmの場合、wは200nmより細いことが望ましい。次に、図3で用いた吸収傘の吸収構造について、電界成分がスリットに垂直な場合X軸方向と、スリットに平行な場合Y軸方向の入射光について、厳密波結合解析を用いて求めた吸収率を図4に示す。図4から、本実施の形態1にかかる吸収傘10では、スリット11の長手方向Y軸方向に垂直な方向X軸方向の電界成分を有する入射光実線を選択的に吸収し、スリット11に平行な方向Y軸方向の電界成分を有する入射光破線は殆ど吸収しないことが分かる。つまり偏光が分離されて吸収されることが分かる。このように、本実施の形態1にかかる吸収傘10を用いることにより、偏光を分離して検出できる。この現象は、物理的分野においては、表面プラズモン、プラズモニクス、あるいはメタマテリアルとも呼ばれる。これらは異なる用語で呼ばれるが、いずれにおいても金、銀、アルミニウム等の金属によって1次元周期構造を形成すると、表面に強く局在する表面モードが生じ、選択的な吸収が発生するというメカニズムは同じである。図5は、このような吸収傘10を有する熱型赤外線センサを、Z軸を中心にして回転させた場合の、回転角とセンサ出力との関係を示す。図5から分かるように、各回転角度おけるセンサの出力を測定することにより入射光の偏光を求めることができる。このように、本発明の実施の形態1にかかる赤外線センサ100では、第1に、従来構造のような偏光フィルタが不要となり、偏光検知システムを、赤外線センサ単体のみの最小構造から形成することができる。第2に、偏光フィルタにおける赤外線の吸収がなくなり、赤外線の検出効率が高くなる。第3に、複数の異なる偏光を検知する系においても、スリット構造を変えるだけで、偏光フィルタを用いることなく所望の偏光を検知することができる。実施の形態2.図6は、全体が200で表される、本発明の実施の形態2にかかる熱型赤外線センサアレイの上面図であり、図1に示す熱型赤外線センサ100をアレイ状マトリックス状に配置したものである。図6では、説明を簡単にするために、2行×2列の合計4個の熱型赤外線センサ100からなる熱型赤外線センサアレイ200を示しているが、配置される熱型赤外線センサ100の個数に制限は無い。熱型赤外線センサアレイ200は、外部の走査回路図示せず等により各行、各列の熱型赤外線センサを選択して、各センサが検出した情報を時系列に取り出す。また、各センサが検出した情報は並列に読み出してもよい。このように、熱型赤外線センサ100をアレイ状に並べて、スリットに垂直な電界成分のみを検出することにより、偏光情報を有する画像を検出する熱画像イメージャとして用いることが可能となる。また、Z軸を中心としてアレイを回転させることで、本発明の実施の形態1で述べたように各センサ画素における偏光角度を求めることが可能となる。この結果、各画素において、偏光角度および入射光強度の情報を有する画像を検出する熱画像イメージャとして用いることが可能となる。実施の形態3.図7は、全体が300で表される、本発明の実施の形態3にかかる熱型赤外線センサアレイの上面図であり、図8は、図7をVII-VII方向に見た場合の断面図である。熱型赤外線センサアレイ300は、スリット深さのみ異なる4種類の熱型赤外線センサ100、110、120、130をアレイ状に配置したものである。図7では、説明を簡単にするために、2行×2列の合計4個の熱型赤外線センサからなる熱型赤外線センサアレイ300を示しているが、配置される熱型赤外線センサの個数に制限は無い。熱型赤外線センサアレイ300は、外部の走査回路図示せず等により各行、各列の熱型赤外線センサを選択して、各センサが検出した情報を時系列に取り出す。また、各センサが検出した情報は並列に読み出してもよい。熱型赤外線センサにおいて、スリットの深さを変えることでセンサ画素における検知波長を変えることができる。即ち、各画素において、スリットを設けることにより偏光角度を検出できるとともに、画素によって異なる波長における入射光強度情報を有する画像を検出する熱画像イメージャとして用いることが可能となる。実施の形態4.図9は全体が400で表される、本発明の実施の形態4にかかる熱型赤外線センサアレイの上面図である。図9においては、支持柱9の凹部は省略している。図9に示すように、熱型赤外線センサアレイ400では、スリット11の長手方向は全て異なり、熱型赤外線センサ100、140で互いに直交し、熱型赤外線センサ150、160で互いに直交している。一方、熱型赤外線センサ100、150で互いに45°の角度となり、同じく熱型赤外線センサ140、160で互いに45°の角度になっている。4つの熱型赤外線センサ画素を一つのユニットとすると、このユニットによって偏光が検知できる。図10、11にそのメカニズムを示す。図10、11では、対称性から明らかなように、熱型赤外線センサ100、140の成す直交座標系図10の実線、図11では破線で表示と、熱型赤外線センサ150、160の成す直交座標系図11の実線により、入射光の偏光角が一意に決定される。従って、熱型赤外線センサの電気特性を読み出す読み出し回路に、以下のアルゴリズム1~3を組み込むことによって、偏光角度を求めることが出来る。1熱型赤外線センサ100、140によって検知される偏光角度は、θまたは-θとなる図10参照。2熱型赤外線センサ150、160によって検知される偏光角度は、Φまたは-Φとなる図11参照。345-Φ>0ならば偏光角はθ、45-Φ<0ならば偏光角は-θである。このように、異なる直交座標系を形成する1次元周期構造を形成した4つの熱型赤外線センサ画素を1ユニットとすることで、熱型赤外線センサを回転させることなく偏光角度を求めることが可能となる。実施の形態5.図12は、全体が500で表される、本発明の実施の形態5にかかる熱型赤外線センサアレイの上面図である。図12においては、支持柱9の凹部は省略している。熱型赤外線センサアレイ500では、実施の形態4にかかる熱型赤外線センサアレイ400を、2ユニット配置した構造となっている。ここでは、説明を簡単にするために2ユニットつまり合計8個の熱型赤外線センサからなる熱型赤外線センサアレイ500を示しているが、配置される熱型赤外線センサの個数に制限は無い。これらの熱型赤外線センサアレイは、外部の走査回路図示せず等により各行、各列の熱型赤外線センサを選択して、各センサが検出した情報を時系列に取り出す。また、各センサが検出した情報は並列に読み出してもよい。4つの熱型赤外線センサ4画素を一つのユニットとしてアレイ状に配置した場合、各ユニットが一つの画素に相当するとみなすことができる。そして、それぞれのユニットに上述の実施の形態4のアルゴリズムを適用することで、各ユニットにおいて偏光角度情報が得られる。従って、熱型赤外線センサを回転させることなく、被観察物の偏光角度情報を含んだ画像が得られる。実施の形態6.図13は、本発明の実施の形態6にかかる熱型赤外線センサの温度検知部4の断面図である。温度検知部4以外の構造は、図2と同様であり、温度検知部4は支持脚3で中空部2の上部に支持される。図13の温度検知部4は検知膜5と薄膜金属配線6を含む。検知膜5は、例えばシリコンからなるダイオードである。薄膜金属配線6は、例えば膜厚が100nmのチタン合金からなる。検知膜5と薄膜金属配線6は、例えば酸化シリコンからなる絶縁層18で覆われている。更に温度検知部4は、赤外線を吸収する吸収膜21を、その上部に直接備えている。吸収膜21はAu、Agなどの金属からなる。吸収膜21には、実施の形態1で示したような、1次元の周期的なスリット11が形成されており、特定の波長と偏光を吸収する。本実施の形態のような吸収膜21と一体形成された温度検知部4を有する熱型赤外線センサ素子では、所望の赤外波長が共振して選択的に吸収量が増加するため、特定波長のみを選択的に検出可能となる。また、吸収傘を支持柱で支持する工程が不要となり、製造工程が簡略化され、より安価に製品を製造できる。なお、かかる構造の温度検知部4を含む熱型赤外線センサをアレイ状に配置して、上述の実施の形態2~5にかかる熱型赤外線センサアレイを形成しても良い。