コヒーレント光を出射する光源と、入射位置に応じて偏向角度が異なる偏向光学素子と、前記偏向光学素子を移動させる移動手段を備え、前記移動手段によって移動される前記偏向光学素子から出射されたコヒーレント光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする照明装置。前記移動手段によって移動される前記偏向光学素子の各点から出射されたコヒーレント光は、被照明領域全体を照明することを特徴とする請求項1に記載の照明装置。前記偏向光学素子は、入射位置により厚さの異なる光透過性基板であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の照明装置。前記偏向光学素子は、入射位置により干渉縞のピッチが異なる回折格子が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の照明装置。前記移動手段は、回転により前記偏向光学素子を移動させることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項に記載の照明装置。前記光源と前記偏向光学素子の間に、ビーム成型手段が配置されていることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載の照明装置。コヒーレント光を出射する光源と、入射位置に応じて偏向角度が異なる偏向光学素子と、前記偏向光学素子を移動させる移動手段と、像が形成される像形成領域を有する光変調素子と、前記光変調素子の像をスクリーンに投影する投射光学系と、を備え前記移動手段によって移動される前記偏向光学素子から出射されたコヒーレント光は、前記像形成領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記像形成領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする投射型映像表示装置。コヒーレント光が入射されるとともに、入射位置に応じて偏向角度が異なる偏向光学素子と、前記偏向光学素子を移動させる移動手段を備え、前記移動手段によって移動される前記偏向光学素子から出射されたコヒーレント光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする光偏向装置。しかしながら、特許文献1に開示されるスペックルノイズ低減方法では、拡散素子到達前に生じていたスペックルノイズ干渉パターンは平均化できるものの、拡散中心からスクリーンへの入射光線角度はスクリーン上のいずれの点においても不変であるため、スクリーン各点の光散乱特性も一定となり、結果としてスクリーン上で発生するスペックルノイズの除去効果は殆ど得られないという問題があった。このような、コヒーレント光を原因として生ずるスペックルは、コヒーレント光を光源として使用する投射型映像表示装置プロジェクタのみならず、コヒーレント光を使用する様々な照明装置において問題となっている。本発明は、コヒーレント光を光源とした場合に生ずるスペックルの抑制を図る照明装置、及び、このような照明装置を利用した投射型映像表示装置を提供することを目的とするものである。本発明に係る照明装置は、コヒーレント光を出射する光源と、入射位置に応じて偏向角度が異なる偏向光学素子と、前記偏向光学素子を経時的に移動させる移動手段を備え、前記移動手段によって移動される前記偏向光学素子から出射されたコヒーレント光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置において、前記移動手段によって移動される前記偏向光学素子の各点から出射されたコヒーレント光は、常に被照明領域全体を照明することを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置において、前記偏向光学素子は、入射位置により厚さの異なる光透過性基板であることを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置において、前記偏向光学素子は、入射位置により干渉縞のピッチの異なる回折格子が形成されていることを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置において、前記移動手段は、回転により前記偏向光学素子を経時的に移動させることを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置は、前記光源と前記偏向光学素子の間に配置され、前記光源から出射されるコヒーレント光の強度分布を均一化するビーム成型手段を備えることを特徴とする。また本発明に係る投射型映像表示装置は、コヒーレント光を出射する光源と、入射位置に応じて偏向角度が異なる偏向光学素子と、前記偏向光学素子を経時的に移動させる移動手段と、像が形成される像形成領域を有する光変調素子と、前記光変調素子の像をスクリーンに投影する投射光学系と、を備え前記移動手段によって移動される前記偏向光学素子から出射されたコヒーレント光は、前記像形成領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記像形成領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする。本発明に係る光偏向装置は、コヒーレント光が入射されるとともに、入射位置に応じて偏向角度が異なる偏向光学素子と、前記偏向光学素子を移動させる移動手段を備え、前記移動手段によって移動される前記偏向光学素子から出射されたコヒーレント光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする。本発明の投射型映像表示装置によれば、移動手段によって経時的に移動される偏向光学素子でコヒーレント光を偏向させることで、偏向光学素子から出射される照明光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することとなり、被照明領域で発生するスペックルを時間的に変化させ、観察者に不可視の状態とさせることが可能となる。さらに、本発明の投射型映像表示装置では、スクリーンに対しても時間的に異なる角度で照射することで、スクリーン上で発生するスペックルを効果的に抑制することができる。では、本発明の実施形態に係る光偏向装置、照明装置、及び、投射型映像表示装置について図面を参照しつつ説明を行う。図1は、本発明の実施形態に係る照明装置を備えた投射型映像表示装置の構成を示す図である。なお、以下に説明する図面は、模式的に示した図であって、実際の形状、寸法、配置とは異なる場合もある。本実施形態の投射型映像表示装置10は、照明装置と、映像を形成するための光変調素子31、光変調素子31で形成された映像をスクリーン41に投射する投射光学系32などを備えている。なお、図では、映像が投影されるスクリーン41面をX-Y平面、それに直交する軸をZ軸としている。スクリーン41には、スクリーン41で反射された映像を観察する反射型スクリーン、あるいは、スクリーン41を透過した映像を観察する透過型スクリーンどちらを使用することもできる。本実施形態の照明装置は、光源11と、偏向光学素子21、さらに図示しない偏向光学素子を移動させる移動手段を有して構成されている。また、照明装置において、光源11を除く他の構成偏向光学素子21と移動手段にて光偏向装置が構成される。光源11には、コヒーレント光としてのレーザー光を出射する半導体レーザーなどの発光素子111が使用される。本実施形態の光源11は、発光素子111の後段に配置されたビームエキスパンダー112を含んで構成されている。ビームエキスパンダー112は、凸レンズ112a、112bの組み合わせで構成され、光変調素子31の像形成領域を照明するに十分な口径に拡大されている。このような構成以外に、凹レンズと凸レンズの組み合わせなど適宜形態を採用することができる。光源11から偏向光学素子21に出射されたコヒーレント光は、平行または略平行なコヒーレント光として出射することが好ましい。後段に配置される偏向光学素子21の各点を同じ条件で照明することが可能とる。光源11から出射されたコヒーレント光は偏向光学素子21を照明する。なお、光源11から出射されるコヒーレント光に対して、その断面方向の強度分布の均一化を図るビーム成型手段を設けておくことが好ましい。設計例として、ビームエキスパンダー112の後段にビーム成型手段を設けることにより光変調素子を均一な強度で照明することが可能となる。ビーム成型手段は、屈折や回折等の効果によりビームの断面強度分布を変える素子で、ホログラムや屈折型素子などが用いられる。偏向光学素子21は、光の入射位置に応じて出射する偏向角度が異なる光学素子であって、本実施形態では、回転軸21aを中心として回転可能な円板形状であって、各所の厚さを変化させることで、裏面スクリーン41側の面に曲面が形成されている。また、光源11からのコヒーレント光が入射する面は平面に形成されており、光透過性の素材の基板で構成されている。この円板形状の偏向光学素子21をZ軸方向の回転軸21aを中心として、モーターなどの移動手段で回転させることで、光源11から入射するコヒーレント光の方向を時間的に変化させている。図3に本実施形態の偏向光学素子21について、Z方向から眺めたときの模式図が示されている。この図に示されるように、円板形状を有する偏向光学素子21は、円周方向に凸面211a、凹面211bが交互に形成されている。回転軸21aを中心として移動手段にて偏向光学素子21を回転させつつ、破線で示される照明領域を光源11からのコヒーレント光で照明することで、入射するコヒーレント光の方向を経時的に変化させることを可能としている。なお、偏向光学素子21に形成される凸面211a、凹面211bにて形成される曲面は、連続的に変化するように形成することが好ましい。偏向方向を滑らかに変化させることが可能となる。本実施形態では、このように偏向光学素子21の厚さを変化させ、裏面側に凸面211a、凹面211bを形成することとしたが、偏向光学素子21の形態は、これに限られるものではなく、移動手段にて移動することで入射するコヒーレント光の方向を経時的に変化させるものであれば適宜形態をとることができる。例えば、各所の厚さの変化は、表面光源11側の面に形成されるものであってもよく、また、両面に形成されていてもよい。また、回折格子を形成することで偏向させることとしてもよい。その場合、偏向方向の変化は、偏向光学素子21の円周方向に向かって回折格子を形成する干渉縞のピッチを変化させることで実現される。図1において、光源11から入射するコヒーレント光は、移動手段によって回転される偏向光学素子21にて時間的に方向が変化する偏向光Laとなり、被照明領域としての光変調素子31の像形成領域を照明する。図では、最外端付近の偏向光Lat1とLat3、並びに光変調素子31に垂直な方向の偏向光Lat2の様子が示されているが、実際には、偏向光Laは、このLat1~Lat3の間を経時的に連続移動もしくは間欠移動することとなる。光変調素子31は、映像信号に基づいて像が形成される像形成領域を有するディスプレイであって、本実施形態では透過型の液晶表示素子が用いられている。光変調素子31としては、このような透過型のもの以外に、MEMSなどの反射型のものを利用することも可能である。偏向光学素子21からの偏向光Laは、時間の経過に伴い入射角度を変化させつつ光変調素子31に入射し、像形成領域に表示される像に基づいて変調光Lbに変換される。投射光学系32は、光変調素子31からの変調光Lbを映像再生光Lcに拡大変換してスクリーン41に投射する。本実施形態では、この投射光学系32の後段に絞り33が設けられている。では、この投射型映像表示装置10において、スペックルを抑制するための主要構成である照明装置20について、その原理などを詳細に説明する。図2は、本発明の実施形態に係る光偏向素子21から出射される偏向光Laの時間的変化の様子が示されている。図2a~図2cは、偏向光学素子21の移動に伴って変化する偏向光Laの様子が示されている。なお、この図では、円板形状の偏向光学素子21を引き延ばした形態で示しており、偏向光学素子21の曲面変化の様子が分かり易く示されている。この図に示されるように、偏向光学素子21の各点からの偏向光Laは、時間経過に伴い、出射する方向を変化させており、何れの時刻においても光変調素子31の像形成領域の少なくとも一部の領域を照明する。また、各点から出射される偏向光Laは、経時的に被照明領域としての像形成領域を重ねて照明するとともに、入射角度を時間的に変化させつつ像形成領域全体を照明することとなる。被照明領域は、偏向光学素子21による偏向方向によらず、常に照明している領域に設定されることが輝度の均一化を図るとともに光の利用効率向上を図る上で好ましい。図1に戻り、光変調素子31で変調された変調光Lbは、投射光学系32で拡大され映像再生光Lcとしてスクリーン41上に投射され、反射、あるいは、透過される映像を観察者に観察させる。このときスクリーン41の面上で散乱されたコヒーレント光は互いに干渉することでスペックルを生じさせる。しかしながら、本実施形態では、移動手段によって回転される偏向光学素子21によってコヒーレント光が偏向されるため、結果としてスクリーン41に投射する映像再生光Lcの入射角度を経時的に変化させ、このスペックルを極めて効果的に目立たなくしている。図1に示されるスクリーン上の点P1において、例えば、時刻t1における映像再生光Lct1と、時刻t3における映像再生光Lct3が異なる入射角度で照射されることとなる。図に示す他の点P2や図示しない他の点においても同様であって、映像再生光Lcは、入射角度を時間的に変化させつつスクリーン41上に映像を投射する。したがって、ごく短い時間ではスクリーン上に形成されるスペックルも、映像再生光Lcが時間によって異なる入射角度で照射されることで視覚の応答時間内で時間的に平均化され、スクリーン41に投射される像を観察する観察者には十分に目立たない状態となる。以上、図1、図2における本実施形態を用いて投射型映像表示装置、及び、それに用いられる照明装置について説明したが、偏向光学素子21の形状は、図3で説明した円板形状に限らず、各種形状を採用することができる。図4は、矩形形状とした場合の偏向光学素子21を示した図であって、移動手段は、この偏向光学素子21を水平方向に往復移動させることとしている。また、偏向光学素子21の移動方向には、交互に凸面211aと凹面211bが形成されている。光源11にて所定の照明領域を照明することで、偏向光学素子21から出射される光の方向を経時的に変化させることが可能である。この実施形態においても、凹面211a、凸面211bに代え、移動方向について干渉縞のピッチが変化するように形成された回折格子を利用することも可能である。また、図1で説明した実施形態においては、偏向光学素子21から出射された偏向光Laを直接、被照明領域としての光変調素子31の像形成領域に入射させることとしたが、この偏向光学素子21と被照明領域の間に結像光学系を設けることとしてもよい。図5は、偏向光学素子21と被照明領域の間に結像光学系22を配置した実施形態であって、投射型映像表示装置10における偏向光学素子21から光変調素子31までの構成が示されている。本実施形態の結像光学系22は、集光機能を有する第1光学素子22a、第2光学素子22cと、それらの間に配置された絞り22bを備えて構成されている。偏向光学素子21が移動することで、偏向光Laは、Lat1からLat3に示されるように出射する方向を変化させることとなるが、本実施形態のように結像光学系22を用いて、光変調素子31の像形成領域に結像させることで、偏向光学素子21を光変調素子31から離して設けることが可能になるため設計が容易となる。以上、本実施形態によれば、スペックルノイズが目立たない照明装置、並びに、この照明装置にて光変調素子31を照明することでスペックルノイズが目立たない映像を提供することのできる投射型映像表示装置を提供することが可能となる。なお、本発明はこれらの実施形態のみに限られるものではなく、それぞれの実施形態の構成を適宜組み合わせて構成した実施形態も本発明の範疇となるものである。