開口部を有する電極枠体と、長手方向と交差する方向に沿って前記開口部内に並設された複数本の電極棒と、前記開口部を挟んで各電極棒の長手方向の端部を支持する複数の電極棒支持部と、前記電極枠体上に配置され、前記電極棒が並設される方向に沿って前記電極棒支持部の上面を覆うことで、前記電極棒の長手方向において前記電極棒支持部に開放端部を形成する蓋体とを備えていることを特徴とするスリット電極。前記蓋体は、前記電極棒が並設される方向に沿って複数に分割されていることを特徴とする請求項1記載のスリット電極。前記電極棒の長手方向と前記電極棒が並設される方向に垂直な方向から見たとき、複数に分割された前記蓋体は、互いに隣り合う端部が重なっていることを特徴とする請求項2記載のスリット電極。前記電極棒支持部は、前記電極枠体に形成されていることを特徴とする請求項1、2または3記載のスリット電極。前記電極棒支持部は、前記電極枠体上に前記開口部を挟んで配置された電極棒支持部形成部材に形成された貫通穴で構成されていることを特徴とする請求項1、2または3記載のスリット電極。前記電極棒支持部は、前記電極枠体上に前記開口部を挟んで配置された電極棒支持部形成部材に形成された切り欠き部で構成されていることを特徴とする請求項1、2または3記載のスリット電極。前記電極棒支持部形成部材は、前記電極棒の並設された方向に沿って、複数に分割されていることを特徴とする請求項5または6記載のスリット電極。荷電粒子ビーム引出し用の電極として、請求項1、2、3、4、5、6または7記載のスリット電極を備えていることを特徴とする荷電粒子ビーム発生装置。通常、スリット電極を構成する電極棒は1本だけが歪んでしまうのではなく、ある領域に配置されている複数本の電極棒に歪みが生じてしまう。その為、これらをまとめて交換することが必要とされる。しかしながら、特許文献1の図2に記載される電極の構成では、電極棒を1本ずつ電極枠体に対して抜き差しして交換することになるので、時間がかかってしまう。また、特許文献1の図3に記載される電極の構成では、複数本の電極棒をまとめて交換できるが、交換対象とする電極棒の本数に関わらず、常に電極枠体を分解しなければならないので、作業効率が悪い。特に、イオン源の寸法が大きなものになると、電極枠体も大きなものとなるので、分解作業に多大な時間や労力を要することになる。本発明ではスリット状開口部を形成する複数本の電極棒を交換する際の作業効率が改善されたスリット電極を提供することを主たる目的とする。本発明のスリット電極は、開口部を有する電極枠体と、長手方向と交差する方向に沿って前記開口部内に並設された複数本の電極棒と、前記開口部を挟んで各電極棒の長手方向の端部を支持する複数の電極棒支持部と、前記電極枠体上に配置され、前記電極棒が並設される方向に沿って前記電極棒支持部の上面を覆うことで、前記電極棒の長手方向において前記電極棒支持部に開放端部を形成する蓋体とを備えている。このような構成を採用すると、電極棒支持部の上面を覆う蓋体を取り外すだけで、複数本の電極棒の交換が可能となる。その為、1本ずつ電極棒を抜き差したり、大きな電極枠体を分解したりする従来の構成と比較して、電極棒の交換に要する時間を大幅に短縮することや電極棒の交換作業に係る労力を少なくすることが期待できる。また、前記蓋体は、前記電極棒が並設された方向に沿って複数に分割されていても良い。蓋体に熱膨張が発生した場合、1つの大きな蓋体だと、熱膨張による蓋体の伸びも大きくなる。一方、蓋体を分割しておくと、1つの大きな蓋体に比べて蓋体の熱膨張による伸びを許容できうる程度の小さなものにすることができる。また、蓋体を分割して設けておくと、熱変形の大きい蓋体のみを交換することができるので、部材交換による費用を低額に抑えることが期待できる。また、スリット状開口部の形状を、スリット電極の全面に渡ってほぼ一定にするには、前記電極棒の長手方向と前記電極棒が並設される方向に垂直な方向から見たとき、複数に分割された前記蓋体は、互いに隣り合う端部が重なるように構成されていることが望ましい。また、前記電極棒支持部は、前記電極枠体に形成されていても良い。このような構成にしておくと、電極棒支持部として別の部材を用いる必要がないので、その分の費用を安くすることが期待できる。一方、前記電極棒支持部は、前記電極枠体上に前記開口部を挟んで配置された電極棒支持部形成部材に形成された貫通穴で構成されていても良い。電極枠体上に電極棒支持部を形成しておくと、電極棒支持部が熱変形した場合、電極枠体を交換しなければならない。イオン源の大きさにもよるが、電極枠体は比較的大型な部材である為、その分、部材費用は高い。一方、上記した構成を採用した場合、電極棒支持部形成部材を交換すれば済むので、部材交換に伴って発生する部材費用を低額に抑えることが期待できる。また、前記電極棒支持部は、前記電極枠体上に前記開口部を挟んで配置された電極棒支持部形成部材に形成された切り欠き部で構成されていても良い。このような構成を採用しても、電極棒支持部の熱変形によって部材交換が必要となった場合でも部材交換に要する部材費用を低額に抑えることが期待できる。さらに、前記電極棒支持部形成部材は、前記電極棒の並設された方向に沿って、複数に分割されていても良い。電極棒支持部形成部材に熱膨張が発生した場合、1つの大きな部材にしておくと、熱膨張による部材の伸びも大きくなる。一方、部材を分割しておくと、1つの大きな部材に比べて熱膨張による伸びを許容できうる程度の小さなものにすることができる。その為、電極棒支持部形成部材を分割しておくと、熱膨張による部材の伸びを小さなものにしておくことができる。また、電極棒支持部形成部材を分割しておくと、熱変形が大きい一部の電極棒支持部形成部材のみを交換すればいいので、交換に係る部材費用をより低額に抑えることが期待できる。電極棒支持部の上面を覆う蓋体を取り外すだけで、一度に複数本の電極棒の交換が可能となるので、従来に比べて電極棒の交換に要する時間を大幅に短縮することや電極棒の交換作業に係る労力を少なくすることが期待できる。以下の実施形態において、各図に描かれているX、Y、Zの各軸は互いに直交している。図1には本発明のスリット電極1の一例が描かれている。このスリット電極1は、主に開口部3を有する電極枠体2と開口部3内に配置された複数本の電極棒5図中、ハッチングされている部材とで構成されている。各電極棒5は、長手方向がX方向に沿うように電極枠体2に支持されているとともに、概ねY方向に沿って略等しい間隔を空けて並設されている。概ねY方向に沿って並設された各電極棒5の間やY方向の端部に位置する各電極棒5と電極枠体2との間には、スリット状開口部4が形成されている。なお、図1、後述する図7および図8では、図面の簡略化の為、電極棒5とスリット状開口部4の符号を一部にしか付記していない。図1に示されるスリット電極1から電極棒5と蓋体6とを取り除いた時の様子が図2に描かれている。複数本の電極棒5は、電極枠体2の開口部3を挟んでX方向に沿って対向配置された図2に記載の電極棒支持部7に、その長手方向における両端部が支持されている。この電極棒支持部7は、一例として、電極枠体2の開口部3に隣接する端部を矩形状に切り欠くことで形成されている。図2に記載される電極棒支持部7の上面には、図1に記載の蓋体6がZ方向側より取り付けられる。蓋体6には図示されない貫通穴が形成されており、Z方向側より止めネジ8を蓋体6の貫通穴に挿通し、電極枠体2のネジ穴9に螺合することで、蓋体6の取り付けが行われる。図1に記載の蓋体6は、電極棒5が並設された方向おおよそ図中のY方向に沿って複数に分割されているが、これらを分割せずに1つの蓋体6としても良い。1つの蓋体6の場合、蓋体6の取り付け作業が簡便となる。また、蓋体6には熱膨張が生じるので、熱膨張率が小さいモリブデンやタングステンのような高融点材料を蓋体6に使用することが望まれる。蓋体6に熱膨張が発生した場合、1つの大きな蓋体6だと、熱膨張による蓋体6の伸びも大きくなる。一方で、蓋体6を分割しておくと、1つの大きな蓋体6に比べて蓋体6の熱膨張による伸びを許容できうる程度の小さなものにすることができる。また、蓋体6を分割して設けておくと、熱変形の大きい蓋体のみを交換することができるので、部材交換による費用を低額に抑えることが期待できる。図3は、図2の要部拡大図であり、電極棒5が電極棒支持部7に配置される時の様子が描かれている。X方向及びY方向において、電極棒5の寸法とX方向に配置された一対の電極棒支持部7間の寸法との関係は、R1X<LX<R2X、LY≦RYとなるように設定されている。Z方向においては、電極棒5は電極棒支持部7内に収まるように互いの寸法関係が設定されている。ただし、これに限られない。例えば、電極棒支持部7の上方を覆う蓋体6の一部にザグリを設けておき、ここに電極棒5の一部が収納されるように構成しておく場合、電極棒5は電極棒支持部7内に収まらなくても良い。図3では、電極棒支持部7を電極枠体2に形成していた。その場合、電極棒支持部7を構成する特別な部材が必要ないので、その分の部材費用を安くすることが期待できる。しかしながら、電極棒支持部7が形成される近辺は、プラズマに曝されたり、イオンビームが衝突したりして比較的高温に加熱される。その為、電極棒支持部7が熱変形してしまう可能性がある。電極棒支持部7が熱変形した場合、図3の例では電極枠体2を交換しなければならない。イオン源の大きさにもよるが、電極枠体2は比較的大型な部材となる為、その分、部材費用が高い。そこで、電極棒支持部7を電極枠体2に形成せずに、別の部材に形成することが考えられる。図4は、図3の変形例であり、電極棒支持部形成部材10を用いた例が描かれている。ここでは、Y方向に沿って電極棒5が並設されている間隔で貫通穴11を有する櫛形状の電極棒支持部形成部材10が電極枠体2上に取り付けられている。電極棒支持部形成部材10が電極枠体2に取り付けられることで、この貫通穴11の部分が電極棒支持部7になる。電極棒支持部7を構成している貫通穴11の形状に歪みが生じた場合は、電極棒支持部形成部材10を取り替えるだけで良いので、電極枠体2を交換する場合に比べて交換に要する部材費用を安くすることが期待できる。なお、電極棒支持部形成部材10の電極枠体2への取り付け関しては、蓋体6の電極枠体2への取り付けと同様に、止めネジ8等を用いて行われる。図5は、図2の要部拡大図であり、電極棒支持部7上に蓋体6を配置した時の様子が描かれている。この図より理解できるように蓋体6を電極棒支持部7の上面に配置した場合、電極棒5の長手方向であるX方向において、電極棒支持部7に開放端部13が形成される。このような構成によって、電極棒5端部の電極棒支持部7からの抜け落ちが防止される。図6には、図4に描かれた電極棒支持部形成部材10とその変形例が描かれている。図6aは、図4に描かれた電極棒支持部形成部材10であり、Z方向に向けて形成された貫通穴11がY方向に沿って複数設けられている。図6bは、電極棒支持部形成部材10の変形例であり、貫通穴10の代わりに、切り欠き部12が形成されている。このようなものであっても電極棒支持部形成部材10として用いることができる。なお、この図6a、bに描かれている貫通穴11と切り欠き部12の個数は、あくまで一例であり、ここに描かれている以上の個数3つ以上を有する電極棒支持部形成部材10であっても良い。また、これまでに例示した電極棒支持部7の形状は、矩形状であるが、これに限られない。例えば、XY平面において半円形断面を有する形状であっても良い。さらに、電極棒支持部形成部材10を用いた場合、蓋体6は電極棒支持部形成部材10上に取り付けられてもいいし、電極棒支持部形成部材10の上面を覆うようにして、電極枠体2に取り付けられても良い。また、電極棒支持部形成部材10も蓋体6と同様に熱膨張が発生することが考えられるので、熱膨張率が小さいモリブデンやタングステンのような高融点材料を電極棒支持部形成部材10に使用することが望まれる。電極棒支持部形成部材10に熱膨張が発生した場合、1つの大きな部材だと、熱膨張による部材の伸びが大きくなる。一方で、部材を分割しておくと、1つの大きな部材に比べて熱膨張による部材の伸びを許容できうる程度の小さなものにすることができる。その為、蓋体6と同様に電極棒支持部形成部材10を複数に分割しておくことが望まれる。また、このような分割構造を採用すると、熱変形が低減できることに加えて、熱変形の大きい電極棒支持部形成部材10のみを交換することができるので、部材交換時の費用を低額に抑えることが期待できる。本発明が適用される電極枠体2に形成される開口部3は長方形状である必要はなく、それ以外の形状であっても良い。例えば、円形状や楕円形状、多角形状のものであっても良く、開口部3に電極棒5を配置した際に、イオンビームを通過させるスリット状開口部4が形成されるものであれば、どのような形状であっても良い。電極棒5の材質としては、高温に加熱されることから高融点材料例えば、モリブデン、タングステンが用いられることが考えられる。また、蓋体6は必ずしもX方向に開口部3を挟んで対に設けられている必要はない。例えば、図7に示されるように紙面左側に配置される蓋体6の数が4つであるのに対して、紙面右側に配置される蓋体6の数が2つであるといったように、開口部3を挟んで配置される蓋体6の個数を異ならせても良い。さらに、これまで電極棒5の長手方向がX方向に沿って配置されている例について説明してきたが、それ以外の構成であっても良い。例えば、図8に記載されているように、XY平面上でX方向に対して斜めとなる方向に各電極棒5の長手方向を配置しておき、各電極棒5がおおよそY方向に沿って並設されるようにしておいても良い。この場合、XY平面において、複数本の電極棒5の間に形成されるスリット状開口部4の形状はおおよそ平行四辺形になる。なお、本発明ではこの図8のように各電極棒5の長手方向と並設方向とが交差していれば良い。また、図8に描かれているように電極棒5を配置した場合、X方向に開口部3を挟んで対向配置されていた電極棒支持部7、電極棒支持部形成部材10に形成される貫通穴11や切り欠き部12の配置も電極棒5の配置に伴って、Y方向にずれて配置されるようになる。この様子が、図9に描かれている。図1の蓋体6では、X方向における端部が開口部3側にはみ出して配置されていた。この場合、図10Aに示すように、スリット状開口部4の形状が場所によって異なってくる。具体的には、図10AにA~Cで表されるスリット状開口部4の形状を比べると、AとCではほぼ同じ形状になるが、Bの形状は他の形状よりも大きくなる。スリット状開口部4の形状の違いが大きくなると、スリット状開口部4を通過するイオンビームの量にムラが生じてしまう。そこで、各スリット状開口部4を同形状にする為に、開口部3の縁に蓋体6の端部をぴったり沿わせるようにすることが考えられる。ただし、取り付け誤差や部材の製造精度を考慮すると、ぴったり沿わせるようにすることは難しい。また、蓋体6の端部を開口部3から離して配置することも考えられるが、そうすると、電極棒支持部7が露出されることになる。電極棒支持部7が露出されると、電極棒5が抜け落ちる恐れがある。抜け落ちを確実に防止する為には、蓋体6で覆われる電極棒支持部7の領域を広げるとともに、電極棒5の長さをこれまで以上に長くしておかなければならない。この場合、図1の構成に比べて、電極棒5の熱膨張による一層の歪みが懸念される。そこで、図10B、図10Cに示すような蓋体6の構成を用いることが考えられる。図10Bの構成では、Z方向から見たときに、隣り合う蓋体6の端部が重なるように配置されている。ただし、重なると言っても互いの部材がぴったりとくっついているのではない。図10Cに描かれているように、隣り合う蓋体6の端部は熱膨張が許容できるように隙間を空けた状態で配置されている。このような構成の蓋体6を用いることによって、複数のスリット状開口部4を全て同一形状にすることができる。また、電極棒5の脱落防止を考慮して、電極棒5の長さを長くする必要がないので、電極棒5の熱膨張による歪みを図1の例と同程度にすることができる。上述した実施形態では、イオンビーム照射装置に用いられるイオン源に本発明のスリット電極1が適用される例について述べてきたが、電子ビーム照射装置で用いられる電子源に本発明のスリット電極1を適用させても良い。電子源においてもイオン源と同じく、電子ビームの引出し時に電極部が加熱される問題が生じるので、本発明のスリット電極1を適用させることができる。前述した以外に、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行っても良いのはもちろんである。