"少なくともジオール成分とジカルボン酸成分とを重縮合させてなるポリエステル樹脂を含有する二軸配向ポリエステルフィルムであって、ジオール成分が一般式I;式中、環Aはシクロヘキサン環またはベンゼン環である;n1は0~4の整数である;R1は水素原子および炭素原子数1~3のアルキル基からなる群から選択され、n1が2~4の整数のとき、当該2~4個のR1はそれぞれ独立して当該群から選択されるで表されるジオール化合物を含み、ジカルボン酸成分が一般式II;式中、環Bは、環Aがシクロヘキサン環のときはベンゼン環であり、環Aがベンゼン環のときはシクロヘキサン環である;n2は0~4の整数である;R2は水素原子および炭素原子数1~3のアルキル基からなる群から選択され、n2が2~4の整数のとき、当該2~4個のR2はそれぞれ独立して当該群から選択される;2個のR3はそれぞれ独立して水素原子または炭素原子数1~3のアルキル基であるで表されるジカルボン酸化合物を含み、引張荷重5gfおよび昇温速度10°C/分の条件下で50°Cから100°Cまで昇温したときの熱膨張率が50ppm/°C以下であり、150°Cでの熱収縮率の絶対値が2.0未満であるポリエステルフィルム。環Aがシクロヘキサン環であり、環Bがベンゼン環である請求項1に記載のポリエステルフィルム。環A上の2つのメチロール基が1,3-置換または1,4-置換の関係にあり、環B上の2つの-COOR3基が1,3-置換または1,4-置換の関係にある請求項1または2に記載のポリエステルフィルム。前記ジオール成分が、前記一般式Iにおける環A上の2つのメチロール基が1,4-置換の関係にある1,4-ジオール化合物を含み、前記ジカルボン酸成分が、前記一般式IIにおける環B上の2つの-COOR3基が1,4-置換の関係にある1,4-ジカルボン酸化合物および該環B上の2つの-COOR3基が1,3-置換の関係にある1,3-ジカルボン酸化合物を含む請求項1~3のいずれかに記載のポリエステルフィルム。前記ジオール成分が前記1,4-ジオール化合物からなり、前記ジカルボン酸成分が前記1,4-ジカルボン酸化合物および前記1,3-ジカルボン酸化合物からなる請求項4に記載のポリエステルフィルム。前記1,4-ジオール化合物が1,4-シクロヘキサンジメタノールであり、前記1,4-ジカルボン酸化合物がテレフタル酸であり、前記1,3-ジカルボン酸化合物がイソフタル酸である請求項4または5に記載のポリエステルフィルム。1,4-シクロヘキサンジメタノールとテレフタル酸およびイソフタル酸とを重縮合させてなるポリエステル樹脂を含有する二軸配向ポリエステルフィルムであって、引張荷重5gfおよび昇温速度10°C/分の条件下で50°Cから100°Cまで昇温したときの熱膨張率が50ppm/°C以下であり、150°Cでの熱収縮率の絶対値が2.0未満であるポリエステルフィルム。二軸配向ポリエステルフィルムが前記ポリエステル樹脂を含有するフィルムを少なくとも二軸延伸処理してなる請求項1~7のいずれかに記載のポリエステルフィルム。二軸延伸が同時二軸延伸である請求項8に記載のポリエステルフィルム。熱膨張率が45ppm/°C以下であり、熱収縮率の絶対値が0.9未満である請求項1~9のいずれかに記載のポリエステルフィルム。熱膨張率のMD方向とTD方向との差が30ppm/°C以下であり、熱収縮率のMD方向とTD方向との差の絶対値が1.5以下である請求項1~10のいずれかに記載のポリエステルフィルム。200°Cでのオーブンテスト100時間後の引張強度保持率が50以上である請求項1~11のいずれかに記載のポリエステルフィルム。200°C以上のガラス転移温度を有する請求項1~12のいずれかに記載のポリエステルフィルム。酸化防止剤がさらに含有される請求項1~13のいずれかに記載のポリエステルフィルム。酸化防止剤がフェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤および硫黄系酸化防止剤からなる群から選択される請求項14に記載のポリエステルフィルム。フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤および硫黄系酸化防止剤がそれぞれポリマー成分に対して0.05~2.0重量で含有される請求項15に記載のポリエステルフィルム。耐熱フィルムとして使用される請求項1~16のいずれかに記載のポリエステルフィルム。請求項1~17のいずれかに記載のポリエステルフィルムの製造方法であって、前記ポリエステル樹脂を含有する前駆体フィルムを製造した後、該前駆体フィルムに対して少なくとも二軸延伸処理を含む熱処理工程を実施するポリエステルフィルムの製造方法。本発明は、耐熱寸法安定性および耐熱変形性に十分に優れ、耐熱強度安定性が改善されたポリエステルフィルムおよびその製造方法を提供することを目的とする。本発明は、少なくともジオール成分とジカルボン酸成分とを重縮合させてなるポリエステル樹脂を含有する二軸配向ポリエステルフィルムであって、ジオール成分が一般式I;式中、環Aはシクロヘキサン環またはベンゼン環である;n1は0~4の整数である;R1は水素原子および炭素原子数1~3のアルキル基からなる群から選択され、n1が2~4の整数のとき、当該2~4個のR1はそれぞれ独立して当該群から選択されるで表されるジオール化合物を含み、ジカルボン酸成分が一般式II;式中、環Bは、環Aがシクロヘキサン環のときはベンゼン環であり、環Aがベンゼン環のときはシクロヘキサン環である;n2は0~4の整数である;R2は水素原子および炭素原子数1~3のアルキル基からなる群から選択され、n2が2~4の整数のとき、当該2~4個のR2はそれぞれ独立して当該群から選択される;2個のR3はそれぞれ独立して水素原子または炭素原子数1~3のアルキル基であるで表されるジカルボン酸化合物を含み、引張荷重5gfおよび昇温速度10°C/分の条件下で50°Cから100°Cまで昇温したときの熱膨張率の絶対値が50ppm/°C以下であり、150°Cでの熱収縮率の絶対値が2.0未満であるポリエステルフィルムに関する。本発明はまた、前記ポリエステル樹脂を含有する前駆体フィルムを製造した後、該前駆体フィルムに対して少なくとも二軸延伸処理を含む熱処理工程を実施するポリエステルフィルムの製造方法に関する。本発明のポリエステルフィルムは耐熱寸法安定性および耐熱変形性に十分に優れ、良好な耐熱強度安定性を有する。本発明に係るポリエステルフィルムは特定のポリエステル樹脂を含有する二軸配向フィルムである。二軸配向とは、当該フィルムを構成するポリマー分子が当該フィルムの面内方向において、主として、互いに異なる2方向、好ましくは略直角をなす2方向で配向していることを意味するものであり、例えば後述する二軸延伸により達成することができる。本発明においては特定のポリエステル樹脂を含有するフィルムを二軸配向フィルムとすることにより、二軸配向していないフィルムと比較して、十分に優れた耐熱寸法安定性および耐熱変形性が発現し、耐熱強度安定性を向上させることができる。本明細書中、耐熱寸法安定性とは、フィルムを加熱しても、フィルムの膨張および収縮が十分に防止されるフィルム特性を意味するものとする。耐熱変形性とは、フィルムを加熱しても、フィルムの溶融変形が十分に防止されるフィルム特性を意味するものとする。耐熱強度安定性とは、フィルムを加熱しても、フィルム強度の低下が十分に防止されるフィルム特性を意味するものとする。<ポリエステル樹脂>本発明のポリエステルフィルムに含有される特定のポリエステル樹脂以下、単にポリエステル樹脂Aというは、少なくともジオール成分とジカルボン酸成分とを重縮合させてなるポリエステル樹脂であって、ジオール成分が下記一般式Iで表されるジオール化合物を含み、ジカルボン酸成分が下記一般式IIで表されるジカルボン酸化合物を含むものである。ジオール成分式I中、環Aはシクロヘキサン環またはベンゼン環であり、好ましくはシクロヘキサン環である。環A上の2つのメチロール基は1,2-置換、1,3-置換または1,4-置換の関係にあり、好ましくは1,3-置換または1,4-置換、より好ましくは1,4-置換の関係にある。n1は0~4の整数、好ましくは0または1、より好ましくは0である。R1は水素原子および炭素原子数1~3のアルキル基からなる群から選択される。当該アルキル基の具体例として、例えば、メチル基、エチル基、i-プロピル基およびn-プロピル基が挙げられる。好ましいR1は水素原子またはメチル基であり、より好ましくは水素原子である。n1が2~4の整数のとき、当該2~4個のR1はそれぞれ独立して上記群から選択され、好ましくは同時に水素原子である。一般式Iで表されるジオール化合物の具体例として、例えば、一般式Iaで表されるシクロヘキサン系ジオール化合物および一般式Ibで表されるベンゼン系ジオール化合物が挙げられる。好ましくはシクロヘキサン系ジオール化合物である。式IaおよびIb中、n1およびR1は式Iにおいてと同様である。一般式Iaで表されるシクロヘキサン系ジオール化合物は一般式Iにおいて環Aがシクロヘキサン環であるジオール化合物である。その具体例として、例えば、1,2-シクロヘキサンジメタノール、1,3-シクロヘキサンジメタノール、1,4-シクロヘキサンジメタノール、1,2-ビスヒドロキシメチル-3,4,5,6-テトラメチル-シクロヘキサン、1,3-ビスヒドロキシメチル-2,4,5,6-テトラメチル-シクロヘキサン、1,4-ビスヒドロキシメチル-2,3,5,6-テトラメチル-シクロヘキサン等が挙げられる。好ましくは1,3-シクロヘキサンジメタノール、1,4-シクロヘキサンジメタノールであり、より好ましくは1,4シクロヘキサンジメタノールである。一般式Ibで表されるベンゼン系ジオール化合物は一般式Iにおいて環Aがベンゼン環であるジオール化合物である。その具体例として、例えば、1,2-ビスヒドロキシメチルベンゼン、1,3-ビスヒドロキシメチルベンゼン、1,4-ビスヒドロキシメチルベンゼン、1,2-ビスヒドロキシメチル-3,4,5,6-テトラメチル-ベンゼン、1,3-ビスヒドロキシメチル-2,4,5,6-テトラメチル-ベンゼン、1,4-ビスヒドロキシメチル-2,3,5,6-テトラメチル-ベンゼン等が挙げられる。好ましくは1,3-ビスヒドロキシメチルベンゼン、1,4-ビスヒドロキシメチルベンゼンであり、より好ましくは1,4-ビスヒドロキシメチルベンゼンである。ジオール成分は、前記一般式Iで表されるジオール化合物以外に、他のジオール化合物を含有してよい。他のジオール化合物としては、ポリエステルフィルム原料として使用されるジオール化合物が使用可能であり、例えば、エチレングリコール、1,2-プロパンジオール、1,3-プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、1,2-ブタンジオール、1,3-ブタンジオール、2,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール等の脂肪族ジオール化合物、および2,2-ビス4-β-ヒドロキシエトキシフェニルプロパン等のジフェニル系ジオール化合物が挙げられる。ポリエステル樹脂Aは、耐熱寸法安定性、耐熱変形性、コスト、押出成形性および結晶性延伸性の観点から、ジオール成分が、前記一般式Iで表されるジオール化合物の中でも、前記一般式Iにおける環A上の2つのメチロール基が1,4-置換の関係にある1,4-ジオール化合物を含むことが好ましく、より好ましくは当該1,4-ジオール化合物特に1,4-シクロヘキサンジメタノールのみからなる。全ジオール成分に対する上記一般式Iで表されるジオール化合物の含有割合は、耐熱寸法安定性、耐熱変形性、コスト、押出成形性および結晶性延伸性の観点から、50モル以上が好ましく、より好ましくは80モル以上、最も好ましくは95モル以上である。ジオール成分は上記一般式Iで表されるジオール化合物を2種類以上で含んでよく、その場合、それらの合計含有割合が上記範囲内であればよい。ポリエステル樹脂Aは、上記したジオール成分以外に、例えば、トリメチロールメタン、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、グリセロール、ヘキサントリオールなどの3官能以上の多価アルコール成分を構成モノマーとして含有してもよい。全アルコール成分に対する3官能以上の多価アルコール成分の含有割合は通常、50モル以下であり、好ましくは20モル以下である。ジカルボン酸成分式II中、環Bは、環Aがシクロヘキサン環のときはベンゼン環であり、環Aがベンゼン環のときはシクロヘキサン環である。環B上の2つの-COOR3基は1,2-置換、1,3-置換または1,4-置換の関係にあり、好ましくは1,3-置換または1,4-置換、より好ましくは1,4-置換の関係にある。n2は0~4の整数、好ましくは0または1、より好ましくは0である。R2は水素原子および炭素原子数1~3のアルキル基からなる群から選択される。当該アルキル基の具体例として、R1の説明で例示した同様のアルキル基が挙げられる。好ましいR2は水素原子またはメチル基であり、より好ましくは水素原子である。n2が2~4の整数のとき、当該2~4個のR2はそれぞれ独立して上記群から選択され、好ましくは同時に水素原子である。2個のR3はそれぞれ独立して水素原子または炭素原子数1~3のアルキル基である。当該アルキル基の具体例として、R1の説明で例示した同様のアルキル基が挙げられる。好ましいR3はそれぞれ独立して水素原子またはメチル基であり、より好ましくは同時に水素原子である。一般式IIで表されるジカルボン酸化合物の具体例として、例えば、一般式IIaで表されるベンゼン系ジカルボン酸化合物および一般式IIbで表されるシクロヘキサン系ジカルボン酸化合物が挙げられる。好ましくはベンゼン系ジカルボン酸化合物である。式IIaおよびIIb中、n2、R2およびR3は式IIにおいてと同様である。一般式IIaで表されるベンゼン系ジカルボン酸化合物は一般式IIにおいて環Bがベンゼン環であるジカルボン酸化合物である。その具体例として、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、5-tert-ブチルイソフタル酸、フタル酸、4,4-ビフェニルジカルボン酸、4,4-ビフェニルスルホンジカルボン酸、テレフタル酸メチル、イソフタル酸メチル、フタル酸メチル、1,2-ジカルボキシル-3,4,5,6-テトラメチル-ベンゼン、1,3-ジカルボキシル-2,4,5,6-テトラメチル-ベンゼン、1,4-ジカルボキシル-2,3,5,6-テトラメチル-ベンゼン等が挙げられる。好ましくはテレフタル酸、テレフタル酸メチル、イソフタル酸、イソフタル酸メチルである。一般式IIbで表されるシクロヘキサン系ジカルボン酸化合物は一般式IIにおいて環Bがシクロヘキサン環であるジカルボン酸化合物である。その具体例として、例えば、1,2-シクロヘキサンジカルボン酸、1,3-シクロヘキサンジカルボン酸、1,4-シクロヘキサンジカルボン酸、1,2-ジカルボキシル-3,4,5,6-テトラメチル-シクロヘキサン、1,3-ジカルボキシル-2,4,5,6-テトラメチル-シクロヘキサン、1,4-ジカルボキシル-2,3,5,6-テトラメチル-シクロヘキサン等が挙げられる。好ましくは1,4-シクロヘキサンジカルボン酸である。ジカルボン酸成分は、前記一般式IIで表されるジカルボン酸化合物以外に、他のジカルボン酸化合物を含有してよい。他のジカルボン酸化合物としては、ポリエステルフィルム原料として使用されるジカルボン酸化合物が使用可能であり、例えば、1,4-ナフタレンジカルボン酸、1,5-ナフタレンジカルボン酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸等のナフタレン系ジカルボン酸化合物、4,4-ジフェニルジカルボン酸、4,4-ジフェニルエーテルジカルボン酸、4,4-ジフェニルスルホンジカルボン酸等のジフェニル系ジカルボン酸化合物、アジピン酸、セバシン酸等の脂肪族ジカルボン酸化合物が挙げられる。ポリエステル樹脂Aは、耐熱寸法安定性、耐熱変形性、コスト、押出成形性および結晶性延伸性の観点から、ジカルボン酸成分が、前記一般式IIで表されるジカルボン酸化合物の中でも、前記一般式IIにおける環B上の2つの-COOR3基が1,4-置換の関係にある1,4-ジカルボン酸化合物を含むことが好ましく、より好ましくは当該1,4-ジカルボン酸化合物および前記一般式IIにおける環B上の2つの-COOR3基が1,3-置換の関係にある1,3-ジカルボン酸化合物を含み、最も好ましくは1,4-ジカルボン酸化合物特にテレフタル酸および1,3-ジカルボン酸化合物特にイソフタル酸のみからなる。全ジカルボン酸成分に対する上記一般式IIで表されるジカルボン酸化合物の含有割合は、耐熱寸法安定性、耐熱変形性、コスト、押出成形性および結晶性延伸性の観点から、50モル以上が好ましく、より好ましくは80モル以上、最も好ましくは95モル以上である。ジカルボン酸成分が上記一般式IIで表されるジカルボン酸化合物を2種類以上で含む場合、それらの合計含有割合が上記範囲内であればよい。ポリエステル樹脂Aは、上記したジカルボン酸成分以外に、モノカルボン酸成分および/または3官能以上の多価カルボン酸成分を構成モノマーとして含有してもよい。ポリエステル樹脂Aはまた40~250°C、特に70~200°Cのガラス転移温度を有することが好ましい。原料樹脂のガラス転移温度はJISK7121に基づいて測定することができる。ポリエステル樹脂Aはまた180~350°C、特に200~300°Cの融点を有することが好ましい。融点はJISK7121に基づいて測定することができる。ポリエステル樹脂Aは上記したモノマー成分を公知の方法により重縮合させることにより製造することもできるし、市販品として入手することもできる。ポリエステル樹脂Aの市販品として、例えば、コポリエステルcopolyester13319イーストマン社製等が挙げられる。コポリエステルcopolyester13319イーストマン社製は1,4-シクロヘキサンジメタノールとテレフタル酸およびイソフタル酸との重縮合体である。ポリエステルフィルム中、ポリエステル樹脂Aは上記した範囲内でモノマー組成、ガラス転移温度、融点および/またはカルボキシル末端濃度が異なる2種類以上のポリエステル樹脂Aが含有されてもよい。本発明のポリエステルフィルムは上記ポリエステル樹脂A以外に、他のポリマーを含有してもよいが、耐熱寸法安定性および耐熱変形性のさらなる向上の観点から、ポリエステルフィルム中のポリマー成分は上記ポリエステル樹脂Aのみからなることが好ましい。ポリエステルフィルム中のポリマー成分に対するポリエステル樹脂Aの含有割合は、耐熱寸法安定性および耐熱変形性のさらなる向上の観点から、60重量以上が好ましく、より好ましくは80重量以上であり、最も好ましくは100重量である。耐熱寸法安定性および耐熱変形性等の性能や製膜性に悪影響を与えない範囲で、例えば、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリブチレンテレフタレートPBT、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリトリメチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂;ポリエーテルイミド、ポリフェニレンサルファイト、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンエーテル等の他のポリマーがポリエステルフィルム中に含有されてもよい。<添加剤>ポリエステルフィルムは上記したポリマー以外に、酸化防止剤、紫外線吸収剤、着色剤、光安定剤、滑剤、結晶核剤、難燃剤等の添加剤を含有してもよい。耐熱性の観点から、ポリエステルフィルムは酸化防止剤を含有することが好ましい。耐候性の観点から、ポリエステルフィルムは紫外線吸収剤を含有することが好ましい。酸化防止剤はポリエステルフィルムの分野で酸化防止剤として使用されているものが使用可能であり、例えば、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、硫黄系酸化防止剤等が挙げられる。フェノール系酸化防止剤はフェノール骨格を含有する有機化合物であり、従来よりポリエステルフィルムの分野でフェノール系酸化防止剤として使用されているフェノール骨格含有有機化合物が使用できる。フェノール系酸化防止剤は市販品として入手することができる。フェノール系酸化防止剤の市販品として、例えば、スミライザーGA-80住友化学社製、アデカスタブAO-60、アデカスタブAO-330ともにADEKA社製、イルガノックス245BASF社製、サイアノックス1790CYTEC社製等が挙げられる。リン系酸化防止剤はリン原子を含有する有機化合物であり、従来よりポリエステルフィルムの分野でリン系酸化防止剤として使用されているリン原子含有有機化合物が使用できる。リン系酸化防止剤は市販品として入手することができる。リン系酸化防止剤の市販品として、例えば、スミライザーGP住友化学社製、アデカスタブPEP-36ADEKA社製、Irgafos38、Irgafos168ともにBASF社製等が挙げられる。硫黄系酸化防止剤は硫黄原子を含有する有機化合物であり、従来よりポリエステルフィルムの分野で硫黄系酸化防止剤として使用されている硫黄原子含有有機化合物が使用できる。硫黄系酸化防止剤は市販品として入手することができる。硫黄系酸化防止剤の市販品として、例えば、スミライザーMB住友化学社製、アデカスタブAO-412SADEKA社製等が挙げられる。酸化防止剤の含有割合は、耐熱性の観点から、ポリエステルフィルム中のポリマー成分に対して0.01~5.0重量、特に0.02~3.0重量が好ましい。2種類以上の酸化防止剤が含有される場合はそれらの合計量が上記範囲内であればよい。耐熱性のさらなる向上の観点からは、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤および硫黄系酸化防止剤がそれぞれポリマー成分に対して0.05~2.0重量、特に0.1~1.0重量で含有されることが好ましい。紫外線吸収剤はポリエステルフィルムの分野で紫外線吸収剤として使用されているものが使用可能であり、例えば、ベンズオキサジン系紫外線吸収剤、トリアジン系紫外線吸収剤、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤等が挙げられる。ベンズオキサジン系紫外線吸収剤はベンズオキサジン骨格を含有する有機化合物であり、従来よりポリエステルフィルムの分野でベンズオキサジン系紫外線吸収剤として使用されているベンズオキサジン骨格含有有機化合物が使用できる。ベンズオキサジン系紫外線吸収剤は市販品として入手することができる。ベンズオキサジン系紫外線吸収剤の市販品として、例えば、サイアソーブUV-3638CYTEC社製等が挙げられる。トリアジン系紫外線吸収剤はトリアジン骨格を含有する有機化合物であり、従来よりポリエステルフィルムの分野でトリアジン系紫外線吸収剤として使用されているトリアジン骨格含有有機化合物が使用できる。トリアジン系紫外線吸収剤は市販品として入手することができる。トリアジン系紫外線吸収剤の市販品として、例えば、チヌビン1577ED、チヌビン479ともにBASF社製等が挙げられる。ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤はベンゾトリアゾール骨格を含有する有機化合物であり、従来よりポリエステルフィルムの分野でベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤として使用されているベンゾトリアゾール骨格含有有機化合物が使用できる。ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤は市販品として入手することができる。ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤の市販品として、例えば、スミソーブ250住友化学社製、アデカスタブLA-31ADEKA社製、チヌビン234BASF社製等が挙げられる。紫外線吸収剤の含有割合は、ポリエステルフィルム中のポリマー成分に対して0.1~2.0重量、特に0.15~1.5重量が好ましい。2種類以上の紫外線吸収剤が含有される場合はそれらの合計量が上記範囲内であればよい。着色剤はポリエステルフィルムの分野で使用される任意の顔料および染料が使用できる。着色剤の含有割合は本発明の目的が達成される限り特に制限されず、例えば、ポリマー成分に対して1~30重量が好適である。<ポリエステルフィルムの製造方法>本発明のポリエステルフィルムは以下の方法により製造できる。例えば、前記ポリエステル樹脂Aならびに所望により含有される他のポリマーおよび添加剤を所定の割合で混合し、溶融混練して前駆体フィルムを製造した後、得られた前駆体フィルムに対して少なくとも二軸延伸処理を含む熱処理工程を実施する。前駆体フィルムの製造方法は公知の方法を採用できる。例えば、所望の成分からなる混合物を二軸押出機により溶融混練し、混練物をTダイより押し出した後、冷却すればよい。前駆体フィルムの厚みは特に制限されるものではなく、例えば、100~2000μmであり、好ましくは120~1000μmである。熱処理工程は少なくとも二軸延伸処理を行う工程であり、通常は二軸延伸処理後、熱固定処理を行う。熱処理工程によって、フィルムの熱膨張率および熱収縮率の絶対値を減少させることができる。二軸延伸処理は、MD方向およびTD方向について同時に延伸を行う同時二軸延伸を行ってもよいし、またはMD方向もしくはTD方向のうち一方の方向に延伸を行った後、他方の方向に延伸を行う逐次二軸延伸を行ってもよい。好ましくは同時二軸延伸を行う。同時二軸延伸を行ったフィルムの方が、逐次二軸延伸を行ったフィルムよりも、耐熱寸法安定性が向上するためである。一方で、二軸延伸の代わりに、一軸延伸を行っても、所望の耐熱寸法安定性は得られない。本明細書中、MD方向とは、いわゆる流れ方向であって、押出機からの前駆体フィルムの引き取り方向縦方向を意味するものとする。TD方向とは、いわゆる幅方向であって、当該MD方向に対する直交方向を意味するものとする。二軸延伸処理を行うに際して、延伸倍率および延伸温度は本発明の目的が達成される限り特に制限されるものではないが、以下の範囲とする。耐熱寸法安定性がより一層、向上するためである。延伸倍率は、MD方向およびTD方向ともに2.0倍以上の破断が起こらない範囲内であり、特に2.0~5.0が好ましく、より好ましくは2.3~5.0倍である。MD方向およびTD方向の延伸倍率は近似していることが好ましい。具体的には、MD方向の延伸倍率をPMD、TD方向の延伸倍率をPTDとしたとき、PTD-PMDは-0.5~0.5が好ましく、より好ましくは-0.3~0.3である。なお、MD方向の延伸倍率は延伸直前のMD方向長さに基づく倍率である。TD方向の延伸倍率は延伸直前のTD方向長さに基づく倍率である。延伸倍率を上記範囲内で調整することにより熱膨張率を制御することができる。例えば、所定方向の延伸倍率を増大させると、当該方向の熱膨張率の値は小さくなる。延伸温度は、当該フィルムを構成するポリマー成分のガラス転移温度をTgP°Cとしたとき、TgP以上、TgP30°C以下であり、耐熱寸法安定性のさらなる向上の観点から好ましくはTgP°C以上、TgP25°C以下である。なお、延伸温度は、延伸を行う雰囲気温度である。ポリマー成分が2種類以上のポリマーからなる場合、ポリマー成分のTgPは、各ポリマーのガラス転移温度に当該ポリマーの含有比率を乗じた値の和である。延伸温度を上記範囲内で調整することにより熱膨張率の減少幅を制御することができる。例えば、延伸温度を低くすると、熱膨張率の値は小さくなる。熱固定処理は、延伸フィルムを延伸温度以上の温度で保持することにより、ポリマー分子の配向を固定する処理である。熱固定温度は、当該フィルムを構成するポリマー成分のガラス転移温度をTgP°C、融点をMpP°Cとしたとき、TgP50°C以上、MpP以下であり、耐熱寸法安定性および耐熱変形性のさらなる向上の観点から好ましくはTgP100°C以上、MpP-20°C以下である。なお、熱固定温度は、フィルム保持を行う雰囲気温度である。ポリマー成分が2種類以上のポリマーからなる場合、ポリマー成分のMpPは、各ポリマーの融点に当該ポリマーの含有比率を乗じた値の和である。熱固定温度を上記範囲内で調整することにより熱収縮率絶対値の減少幅を制御することができる。例えば、熱固定温度を高くすると、熱収縮率絶対値の減少幅は大きくなる。熱固定処理は、二軸延伸処理時の張力を維持したまま熱固定を行う緊張式熱固定を実施してもよいし、当該処理と同時に当該張力を弛緩させて熱固定を行う弛緩式熱固定を実施してもよいし、または当該張力を維持して熱固定第1熱固定を行った後、当該張力を弛緩させて熱固定第2熱固定を行う複合式熱固定を実施してもよい。好ましくは弛緩式熱固定を実施する。熱固定処理を上記いずれの方式で実施するに際しても、熱固定温度は前記範囲内に設定される。熱固定処理を上記した弛緩式または複合式で行う場合、熱収縮率の絶対値の低減、耐熱寸法安定性および耐熱変形性のさらなる向上、フィルムの平坦性の観点から、弛緩倍率はMD方向およびTD方向ともに0.8~1.00倍が好ましく、より好ましくは0.85~1.00倍、最も好ましくは0.90~0.95倍である。MD方向およびTD方向の弛緩倍率は近似していることが好ましい。具体的には、MD方向の弛緩倍率をQMD、TD方向の弛緩倍率をQTDとしたとき、QTD-QMDは-0.1~0.1が好ましく、より好ましくは-0.05~0.05であり、最も好ましくは-0.02~0.02である。なお、MD方向の弛緩倍率は延伸直後のMD方向長さに基づく倍率である。TD方向の弛緩倍率は延伸直後のTD方向長さに基づく倍率である。弛緩倍率を上記範囲内で調整することにより熱収縮率絶対値の減少幅を制御することができる。例えば、所定方向の弛緩倍率を低減すると、当該方向の熱収縮率絶対値の減少幅は大きくなる。<ポリエステルフィルム>本発明のポリエステルフィルムの厚みは特に制限されるものではなく、例えば、10~150μmであり、好ましくは12~125μmである。本発明のポリエステルフィルムには著しく優れた耐熱寸法安定性および耐熱変形性が発現する。その結果、本発明のポリエステルフィルムを例えば、積層用耐熱フィルムとして使用し、当該フィルム上に高温条件下で積層を行った場合においても、反りや溶融変形を十分に防止することができる。耐熱寸法安定性について詳しくは、本発明のポリエステルフィルムは、例えば、熱膨張率および熱収縮率がそれぞれ特定の範囲内である。具体的には、引張荷重5gfおよび昇温速度10°C/分の条件下で50°Cから100°Cまで昇温したときの熱膨張率の値は50ppm/°C以下であり、好ましくは45ppm/°C以下、より好ましくは40ppm/°C以下である。熱膨張率の値は、MD方向およびTD方向のいずれの方向についても、上記範囲内である。熱膨張率の値が大きすぎると、耐熱寸法安定性が低下し、反りを十分に防止できない。本発明のポリエステルフィルムの熱膨張率は通常は、5~50ppm/°C、好ましくは10~45ppm/°C、より好ましくは10~40ppm/°Cである。熱膨張率について、反りをより一層十分に防止する観点から好ましくは、熱膨張率のMD方向とTD方向との差の値は30ppm/°C以下であり、より好ましくは20ppm/°C以下、さらに好ましくは10ppm/°C以下、最も好ましくは5ppm/°C以下である。本明細書中、熱膨張率は、試験片2mm×25mmを長手方向が鉛直方向になるように吊り下げて、該試験片の下端に5gf/2mm幅の引張荷重を印加し、雰囲気温度を昇温速度10°C/分で50°Cから100°Cまで昇温したときの熱膨張率である。熱膨張率は、引張方向がMD方向の場合およびTD方向の場合について測定され、具体的には後述する方法により測定される。150°Cでの熱収縮率の絶対値は2.0未満であり、好ましくは0.9未満、より好ましくは0.5未満である。熱収縮率の絶対値は、MD方向およびTD方向のいずれの方向についても、上記範囲内である。熱収縮率の絶対値が大きすぎると、耐熱寸法安定性が低下し、反りを十分に防止できない。熱収縮率について、反りをより一層十分に防止する観点から好ましくは、熱収縮率のMD方向とTD方向との差の絶対値は1.5以下であり、より好ましくは1以下、さらに好ましくは0.5以下、最も好ましくは0.2以下である。本明細書中、熱収縮率は、試験片200mm×200mmを雰囲気温度150°Cで30分間放置したときのMD方向およびTD方向の各方向における熱収縮率であり、具体的には後述する方法により測定される。熱収縮率の値は正の値が収縮を意味し、負の値が膨張を意味する。なお、熱収縮率の絶対値が2.0未満とは、熱収縮率の値が-2.0を超えて2.0未満であること、を意味する。耐熱変形性について具体的には、本発明のポリエステルフィルムのガラス転移温度は180°C以上、特に200°C以上、好ましくは220°C以上、より好ましくは230°C以上である。本発明のポリエステルフィルムはその製造過程において、特に前記した二軸延伸処理および熱固定処理を含む熱処理工程の前後で、フィルムのガラス転移温度が50°C以上、特に80°C以上上昇し、好ましくは100°C以上、より好ましくは130°C以上上昇している。なお、通常積層用として用いるポリエステルフィルムのガラス転移温度は、300°C程度までであるが、特にそれに限定されない。また、ガラス転移温度の上昇温度は250°C程度までであるが、特にそれに限定されるものではない。また本発明のポリエステルフィルムは良好な耐熱強度安定性を有する。例えば二軸延伸前の前駆体フィルムと比較して耐熱強度安定性が改善される。特にポリエステルフィルムが酸化防止剤を含有する場合、著しく優れた耐熱強度安定性が発現する。具体的には本発明のポリエステルフィルムにおいて、200°Cでのオーブンテスト100時間後の引張強度保持率は5以上、好ましくは50以上、より好ましく80以上を達成する。なお、本発明においては二軸配向フィルムにおける前記ポリエステル樹脂Aに特有の分子挙動に基づいて、当該引張強度保持率は100を超えることがあり、150程度となる場合もあり得る。オーブンテストはフィルムの耐熱耐久性を評価するための加速試験であり、後述する方法によって行われる。引張強度保持率は、供試フィルムを200°C雰囲気のオーブン内で100時間放置した後に測定された引張強度の、当該テスト前の引張強度に対する保持率である。引張強度保持率は、JISK7127;1999に基づき測定され、引張方向がMD方向の場合およびTD方向の場合についての平均値であり、具体的には後述する方法により測定される。本発明のポリエステルフィルムは耐熱フィルムとして有用である。耐熱フィルムとは、例えば50°C以上、特に100°C以上の高温条件下で使用されるために、当該高温条件下であっても、耐熱寸法安定性、耐熱変形性および耐熱強度安定性等の耐熱性、特に耐熱寸法安定性および耐熱変形性が要求されるフィルムである。耐熱フィルムとして、例えば、積層用耐熱フィルム、離型用耐熱フィルム、貼着用耐熱フィルム等が挙げられる。積層用耐熱フィルムとは、自己の表面に他の層を積層するために使用されるフィルムであって、積層時に高温条件に曝されるために耐熱性を要するフィルムである。他の層としては、例えば、金属層、セラミックス層、樹脂層等が挙げられる。積層用耐熱フィルムは、例えば、電子機器等のフレキシブルプリント基板を製造する際に使用される基材フィルム、フレキシブル太陽電池を製造する際に使用される基材フィルム等として有用である。具体的には、例えば本発明のポリエステルフィルムをプリント基板の基材フィルムとして使用する場合、当該フィルムの上には、ドライラミネート法、蒸着法またはスパッタリング法等により、例えば70~200°Cの高温条件下で配線用金属層が形成される。このような用途においても、本発明のポリエステルフィルムは、寸法変動、強度低下および変形が十分に防止されるので、積層体の反りを十分に防止でき、当該フィルムと金属層との剥離も十分に防止できる。離型用耐熱フィルムは、いわゆる工程フィルムとも呼ばれるフィルムである。離型用耐熱フィルムとは、当該フィルムの上に別の層を形成することにより、当該別の層の支持層あるいは保護層として利用される一方で、最終的には剥離除去されるフィルムである。当該フィルムと別の層の間にはシリコン層の離型層が設けられる場合もある。離型用耐熱フィルムは、別の層の形成工程やその後の工程において熱が付与されるので、寸法変動、強度低下および変形を防止するために耐熱性が必要とされる。離型用耐熱フィルムは、例えば、樹脂膜形成用工程フィルム、セラミック薄膜形成用工程フィルム、金属薄膜形成用工程フィルム等として有用である。貼着用耐熱フィルムは、例えば70~200°Cの高温条件下で使用される粘着テープの基材フィルムとして有用である。具体的には、例えば本発明のポリエステルフィルムを耐熱用粘着テープの基材フィルムとして使用する場合、本発明のポリエステルフィルムは寸法変動、強度低下および変形が十分に防止されるので、貼り合わせ品の反りや、粘着テープの剥離を十分に防止できる。実施例/比較例表1に記載の成分からなる混合物を二軸押出機により樹脂温度310°Cで溶融混練し、混練物をTダイより押し出した後、冷却し、前駆体フィルムを得た。前駆体フィルムを、表1に記載の延伸条件で延伸および熱固定を行った。熱固定は所定の温度および弛緩倍率にて弛緩式熱固定を行った。同時二軸延伸は、MD方向およびTD方向について同時に延伸した。逐次二軸延伸は、MD方向で延伸した後、TD方向で延伸した。一軸延伸は、MD方向のみについて延伸した。PCTAはコポリエステル13319イーストマン社製、1,4-シクロヘキサンジメタノールとテレフタル酸およびイソフタル酸との重縮合体、Tg92°C、融点285°Cを使用した。PETはポリエチレンテレフタレートMn15000、Tg75°C、融点265°C、末端カルボキシル基濃度30当量/tonを使用した。熱膨張率熱膨張率は、熱機械測定装置Q400EM;TAINSTRUMENTS社を用い、試験片フィルム;2mm×25mmを、該試験片の長手方向が鉛直方向になるように吊り下げ、該試験片の下端に5gf/2mm幅の引張荷重を印加した。その後、雰囲気温度を昇温速度10°C/分で昇温し、50°Cから100°Cまでの寸法変化を1°Cあたりの変化量に換算し、熱膨張率R1を測定した。熱膨張率は引張方向がMD方向およびTD方向の場合について測定した。◎;R1≦40ppm/°C最良;○;40ppm/°C<R1≦45ppm/°C良;△;45ppm/°C<R1≦50ppm/°C実用上問題なし;×;50ppm/°C<R1実用上問題あり。熱収縮率まず、長さ150mmの2本の直線をそれぞれ、MD方向およびTD方向に対して平行に、かつ互いに中点で交わるように、試験片フィルム;200mm×200mm上に描いた。この試験片を、標準状態温度23°C×湿度50に2時間放置し、その後試験前の直線の長さを測定した。続いて150°Cの雰囲気に設定された熱風循環式オーブン内で一角を支持した宙吊り状態にて30分間放置した後、取り出して、標準状態に2時間放置冷却した。その後各方向の直線の長さを測定し、試験前の長さからの変化量を求め、当該試験前の長さに対する変化量の割合として熱収縮率R2を求めた。熱収縮率R2について正の値は収縮したことを意味する。◎;R2の絶対値<0.5最良;○;0.5≦R2の絶対値<0.9良;△;0.9≦R2の絶対値<2.0実用上問題なし;×;2.0≦R2の絶対値実用上問題あり。積層後の反りフィルムをアルミ箔と貼り合わせた後の反りについて評価した。詳しくは、アルミ箔厚み20μm/ウレタン系接着剤固形分で3g/m2/各フィルムを重ね合わせ、70°Cおよび10kgf/cm2で5分間、熱プレスを行い、試料サイズ:50mm×50mmを得た。放置冷却後、試料に生じる反りを目視で判断した。◎:反りは全く認められなかった;△:反りがわずかに認められたものの実用上問題なかった;および×:反りが明らかに認められた。フィルムのガラス転移温度TMAJISC6481:19965.17.1TMA法に従ってガラス転移温度を測定した。詳しくは、熱機械測定装置Q400EM;TAINSTRUMENTS社により、試験片フィルム;2mm×25mmを、引張荷重5gf/2mm幅および昇温速度10°C/分の条件下で昇温し、Tgを測定した。Tgは引張方向がMD方向およびTD方向の場合について測定し、それらの平均値で示した。Tgの測定は、最終的に得られたフィルムおよび延伸直前のフィルムについて行い、上昇幅°Cを求めた。最終的に得られたフィルムのTg◎:230°C≦Tg最良;○:220≦Tg<230°C良;△:200≦Tg<220°C実用上問題なし;および×:Tg<200°C。上昇幅◎:130°C≦上昇幅最良;○:100≦上昇幅<130°C良;△:50≦上昇幅<100°C実用上問題なし;および×:上昇幅<50°C。耐熱変形性200°Cの雰囲気に設定された熱風循環式オーブン内にフィルム100mm×100mmを10分間放置し、そのとき、フィルムに起こる変形を目視で判断した。◎:変形は全く認められなかった;△:変形がわずかに認められたものの実用上問題なかった;および×:変形が明らかに認められた。耐熱強度安定性200°Cの雰囲気に設定された熱風循環式のオーブン内に試験片100mm×100mmを100時間放置した。フィルムをオーブンから取り出し、引張強度を測定し、当該テスト前の引張強度に対する保持率を求めた。保持率は引張方向がMD方向およびTD方向の場合について求め、それらの平均値Mについて評価した。引張強度はJISK7127;1999に従って測定した。◎;80≦M≦100最良;○;50≦M<80良;△;10≦M<50実用上問題なし;×;M<10実用上問題あり。"