下記の条件を満たすことを特徴とする球状シリカ粉末。α粒度分布に2ヵ所の頻度極大値Aμm、Bμmを有し、頻度極大値Aは0.40~1.5μm、頻度極大値Bは0.03~0.07μmの範囲であり、Aの体積頻度値が3.0~7.0、Bの体積頻度値が1.0~9.0。β0.1μm未満の球状シリカ粉末が5~30質量であり、その粉末の孤立シラノール孤立OH基の濃度が1.0個/nm2未満。累積体積10値が0.04~0.1μm、累積体積90値が1.4~2.0μmである請求項1に記載の球状シリカ粉末。0.1~4.0μmの球状シリカ粉末が70~95質量である請求項1又は2に記載の球状シリカ粉末。請求項1~3のいずれか一項に記載の球状シリカ粉末と溶媒を含有してなるスラリー。請求項4に記載のスラリーを用いた樹脂組成物。本発明は、上記を鑑みてなされたものであり、特定の粒度分布と特定の孤立シラノール基を有する球状シリカ粉末を用いることにより、樹脂へ高充填した際に樹脂組成物の流動性が極めて高く、かつ球状シリカ粉末が良好に分散してなる樹脂硬化物を提供することを目的とする。本発明は、上記の課題を解決するために、以下の手段を採用する。1下記の条件を満たすことを特徴とする球状シリカ粉末。α粒度分布に2ヵ所の頻度極大値Aμm、Bμmを有し、頻度極大値Aは0.40~1.5μm、頻度極大値Bは0.03~0.07μmの範囲であり、Aの体積頻度値が3.0~7.0、Bの体積頻度値が1.0~9.0。β0.1μm未満の球状シリカ粉末が5~30質量であり、その粉末の孤立シラノール孤立OH基の濃度が1.0個/nm2未満。2累積体積10値が0.04~0.1μm、累積体積90値が1.4~2.0μmである前記1に記載の球状シリカ粉末。30.1~4.0μmの球状シリカ粉末が70~95質量である前記1又は2に記載の球状シリカ粉末。4前記1~3のいずれか一項に記載の球状シリカ粉末と溶媒を含有してなるスラリー。5前記4に記載のスラリーを用いた樹脂組成物。特定の粒度分布と特定の孤立シラノール基を有する球状シリカ粉末を用いることにより、樹脂へ高充填した際に樹脂組成物の流動性が極めて高く、かつ球状シリカ粉末が良好に分散してなる樹脂硬化物を提供することができる。本発明は、下記条件を満たすことを特徴とする球状シリカ粉末である。α粒度分布に2ヵ所の頻度極大値Aμm、Bμmを有し、頻度極大値Aは0.40~1.5μm、頻度極大値Bは0.03~0.07μmの範囲であり、Aの体積頻度値が3.0~7.0、Bの体積頻度値が1.0~9.0。β0.1μm未満の球状シリカ粉末が5~30質量であり、その粉末の孤立シラノール孤立OH基の濃度が1.0個/nm2未満。球状シリカ粉末の頻度極大値Aは0.40~1.5μmであり、1.5μmを超えると、シリカ凝集物が発生し、外観が不良になる可能性があり、0.4μm未満では、高い流動性が得られない可能性がある。好ましい範囲は0.6~1.3μmである。頻度極大値Bは0.030~0.070μmであり、0.070μmを超えると、最密充填形成に伴い発現する高い流動性が損なわれる可能性があり、0.030~0.070μm未満であると、比表面積の増加に伴い分散系が不安定状態となるため、粒子同士が凝集し、流動性が損なわれる。好ましい範囲は0.040~0.060μmである。Aの体積頻度値が7.0を超えた場合、Bの体積頻度値が1.0未満の場合では、シリカの最大充填率増加に伴う高い流動性が得られない。また、Aの体積頻度値が3.0未満の場合、Bの体積頻度値が9.0を超えた場合では、比表面積の増加に伴い分散系が不安定状態となるため、粒子同士が凝集し、流動性が損なわれる。Aの体積頻度値の好ましい範囲は4.0~6.0、Bの体積頻度値の好ましい範囲は2.0~6.0である。0.1μm未満の球状シリカ粉末の含有量は、流動性、分散性の観点より、5~30質量であり、好ましくは8~20質量である。0.1μm未満の球状シリカ粉末に存在する孤立シラノール孤立OH基の濃度が1.0個/nm2未満である。0.1μm未満の球状シリカ粉末に存在する孤立シラノール孤立OH基の濃度が1.0個/nm2以上では、表面処理後に残存した親水性である孤立シラノール基が樹脂硬化阻害を起こし、外観不良になる可能性がある。好ましい孤立シラノール基の濃度は0.5個/nm2以下である。球状シリカ粉末の粒度分布、累積体積10値、累積体積90値は、動的光散乱式粒度測定機に基づく値であり、粒度測定機として、例えば、UPAEX150日機装株式会社製にて測定することができる。測定に際しては、粒度分布の解析は、0.003-6.5μmの径範囲を43分割して行った。0.1μm以下の表面処理球状シリカ粉末の捕集方法は、セルロース混合エステルタイプフィルター2-3043-24ミリポア社製、PTFEフィルターJ010A025AADVANTEC社製セルロース混合エステルタイプフィルターA010A025AADVANTEC社製等の0.1μm径のメンブレンフィルターを用いられる。その中でも、特に、セルロース混合エステルタイプフィルターA010A025AADVANTEC社製が好ましい。0.1μm以上の粒子が存在しないことの確認方法は捕集したシリカ粉末の粒度分布測定を行えばよい。本発明における0.1μm未満の球状シリカ粉末に存在する孤立シラノール孤立OH基濃度の定量は、酸塩基滴定、赤外吸収分析IR、核磁気共鳴分析、カールフィッシャー電量滴定法等の既知の方法にて行われる。特に、FT-IR拡散反射法により、3740cm-1付近の孤立シラノール基由来の吸収ピークの大きさを測定し、シラノール基濃度が既知の標準物質の吸収ピークの大きさから0.1μm以下の粉末に存在する孤立シラノール基濃度を求める方法が好ましい。本発明の球状シリカ粉末は、粒子を最密充填させる観点から、累積体積10値以下、D10というが0.04~0.1μm、累積体積90値以下、D90というが1.4~2.0μmの範囲であることが好ましい。D10が0.04μm未満であると、比表面積が増加するため、流動性が悪くなる可能性がある。D10が0.1μmを超えたり、D90が1.4μm未満であると、粒度分布の範囲が狭いため、最密充填に伴う高い流動性の効果が得られない場合がある。D90が2.0μmを超えると、球状シリカ粉末を用いた樹脂硬化物中にシリカ粒子の凝集に伴うツブが生じる可能性がある。本発明の球状シリカ粉末は、表面処理が施されていることが望ましい。表面処理を予め施すことで、シリカ粒子の凝集を抑制することができ、樹脂組成物中に球状シリカ粉末を良好に分散させることができる。表面処理は、シラン系、チタネート系、アルミネート系の各種カップリング剤、エポキシ樹脂、シリコーンオイル、アルキルシラザン類等を用いて行うことができる。例えば、シランカップリング剤による表面処理は、球状シリカ粉末を処理容器内で浮遊層等を形成させた状態で気化させたシランカップリング剤と反応させればよい。アルキルシラザン類による表面処理は、シリカ粉末を処理容器内で浮遊層等を形成させた状態で気化させたアルキルシラザン類とシラノール基を反応させ、余剰分のアルキルシラザン類は加熱により揮発させればよい。球状シリカ粉末を表面処理するシランカップリング剤の量は、球状シリカ粉末とシランカップリング剤の合計量に対して、内割で0.1質量以上7質量以下であることが好ましい。さらに好ましくは、0.3質量以上5質量以下が好ましい。シランカップリング剤の使用量が前記の上限値を超えると、余剰のシランカップリング剤の影響で吸湿率が上昇する場合があり、前記の下限値未満であると、樹脂との密着性が損なわれる場合がある。本発明の球状シリカ粉末の製造方法は、特に限定しないが、例えば、金属粉末スラリーを製造炉で可燃性ガスと助燃性ガスとからなる高温火炎中に供給し、該火炎中で該金属粉末を酸化させることにより製造された粉末を分級処理して得られる。球状シリカ粉末含有スラリーについて説明する。球状シリカ粉末は、水又は有機溶媒を用いたスラリーとして、好適に使用することができる。球状シリカ粉末を分散させる有機溶媒としては、その種類が特に限定されるものではない。樹脂に応じて選択すればよい。例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸メチル、酢酸エチル等の極性溶媒が用いられる。その中でも特に、メチルエチルケトンが好ましい。球状シリカ粉末含有スラリーの分散処理は、ボールミル、超音波分散機、各種ミキサー、高圧ホモジナイザー等の機器を使用して行えばよい。尚、スラリーの変性を防ぐため、窒素雰囲気下等の非酸化性雰囲気下で製造を行うことが望ましい。スラリーに含まれる球状シリカ粉末の含有量は特に制限はないが、樹脂組成物の成形性の観点から50~85質量であることが好ましい。樹脂組成物について説明する。シリカ含有スラリーを用いて、半導体パッケージ基板や層間絶縁フィルム等の樹脂基板を製造する場合には、樹脂としてエポキシ樹脂を採用することが好ましい。樹脂組成物に用いるエポキシ樹脂は、特に限定されないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェノキシ型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの中の1種類を単独で用いることもできるし、異なる重要分子量を有する2種類以上を併用もでき、1種類または2種類以上することもできる。これらエポキシ樹脂中でも特にビスフェノールF型エポキシ樹脂が好ましい。本発明の樹脂組成物は、公知の硬化剤を用いればよいが、フェノール系硬化剤を使用することができる。フェノール系硬化剤としてはフェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールノボラック樹脂、ポリビニルフェノール類などを単独あるいは2種以上組み合わせて使用することができる。前記フェノール硬化剤の配合量は、エポキシ樹脂との当量比フェノール性水酸基当量/エポキシ基当量が1.0未満、0.1以上が好ましい。これにより、未反応のフェノール硬化剤の残留がなくなり、吸湿耐熱性が向上する。樹脂組成物に配合される球状シリカ粉末の量は、耐熱性、熱膨張率の観点から、樹脂組成物の全体質量に対して、80質量以上であることが望ましい。実施例1-21比較例1-11金属粉末スラリー法で製造された球状シリカ粉末電気化学工業社製SFP-30Mを分級処理して得られた球状シリカ粉末に、表面処理を施して、表面処理球状シリカ粉末とした。表面処理には、シランカップリング剤の3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン信越化学工業株式会社製KBM-403を用いた。シランカップリング剤の使用量は、球状シリカ粉体とシランカップリング剤の合計量に対して、内割で0.5質量とした。同様に、金属粉末スラリー法で製造された球状ナノシリカ粉末電気化学工業社製UFP-30を分級処理して得られた球状ナノシリカ粉末に、表面処理を施して、表面改質された球状ナノシリカ粉末とした。表面処理は、シリル化剤のヘキサメチルジシラザン信越化学工業株式会社製HMDSを用いた。HMDSの使用量は、球状ナノシリカ粉末とHMDSの合計量に対して、内割で3質量とした。次いで、得られた球状シリカ粉末と球状ナノシリカ粉末をメチルエチルケトンMEKに分散させて、固形分濃度が80質量のスラリーを調製した。それらの配合量を表1~3に示す。なお、球状シリカ粉末と球状ナノシリカ粉末の平均球形度については、すべて0.90以上であった。平均球形度は、実体顕微鏡ニコン社製商品名モデルSMZ-10型等にて撮影した粒子像を画像解析装置マウンテック社製商品名MacViewに取り込み、写真から粒子の投影面積Aと周囲長PMから測定する。周囲長PMに対応する真円の面積をBとすると、その粒子の真円度はA/Bとなるので、試料の周囲長PMと同一の周囲長を持つ真円を想定すると、PM=2πr、B=πr2であるから、B=π×PM/2π2となり、個々の粒子の真円度は、真円度=A/B=A×4π/PM2となる。このようにして得られた任意の粒子200個の真円度を求め、その平均値を二乗したものを平均球形度とした。エポキシ樹脂としてフェノールノボラック型エポキシ樹脂EPICLONN-830大日本インキ化学工業株式会社製、エポキシ当量165g/eq10質量、硬化剤としてノボラック型フェノール樹脂PSM-4261群栄化学工業株式会社製、水酸基当量106g/eq、軟化点80°C5質量、硬化促進剤として2-エチル-4-メチルイミダゾール0.2質量を得られたシリカ含有スラリー組成物100質量に溶解し、樹脂組成物エポキシ樹脂ワニスを調製した。この樹脂組成物を基材に塗布し、温度150°C、2時間乾燥してMEKを除去し、樹脂硬化物を得た。得られた樹脂組成物の流動性、分散性及び樹脂硬化物の外観を以下に示す方法に従って評価した。それらの評価結果を表1~3に示す。次に、以下の方法にて、0.1μm未満の球状シリカ粉末を捕集した。3.0gの球状シリカ含有スラリーに対して、27gのメチルエチルケトンMEKを投入後、分散処理を行い、該スラリーを0.1μm径のセルロース混合エステルタイプメンブレンフィルターA010A025AADVANTEC社製により0.1μm以下の粒子を濾別した。次に、濾別後のスラリーを乾燥後、粒度分布測定を行い、0.1μm以上の粒子がないことを確認した。その後、粉末中の炭素量をC/SアナライザーLECO社製を用いて測定した。さらに、0.1μm未満の球状シリカ粉末に存在する孤立シラノール孤立OH基の濃度を赤外吸収スペクトル分析装置PerkinElmer社製商品名SpectrumOneを用いた。測定方法は、まず標準試料を用いたバックグラウンド測定を行った後、試料の充填されたセルをセットし、スキャン数32回、波数3740[cm-1]の吸収スペクトルを測定した。樹脂組成物及び樹脂硬化物の評価方法を以下の1~3に示す。1流動性得られた樹脂組成物をB型粘度計東機産業株式会社製:TVB-10にて2rpm時の粘度を測定した。この際、2.0Pas以上を不良とした。2分散性樹脂組成物をJIS-K5101に準拠して、幅90mm、長さ240mm、最大深さ100μmのグラインドゲージを用いることにより、分散性として評価した。各符号は以下の通りである。◎:1cm以上の筋線状痕が3本発生した位置の目盛りが3μm未満○:1cm以上の筋線状痕が3本発生した位置の目盛りが5μm未満△:1cm以上の筋線状痕が3本発生した位置の目盛りが5μm以上×:1cm以上の筋線状痕が3本発生した位置の目盛りが10μm以上3成形性/シリカ粒子の凝集物得られた樹脂硬化物の面積1cm3中に存在する10μm以上のシリカ粒子の凝集物の個数を表面形状検査システムKURASURF-PH倉敷紡績株式会社製を用いて、縞パターンを照射し位相差シフトを行うことで表面形状の凹凸を検出し、次の基準で成形性として評価した。各符号は以下の評価基準である。◎:10μm未満の凝集物なし○:10μm未満の凝集物5個未満×:10μm以上の凝集物5個以上表1~3の実施例および比較例の対比から明らかなように、本発明の球状シリカ粉末をエポキシ樹脂に高充填した際、極めて流動性の高いスラリー及びシリカ粒子が良好に分散してなる樹脂硬化物を得ることができる。