感光材料の1つ以上の特性を測定するためのシステムであって、前記感光材料において規定のフォトリソグラフィプロセスを行うように適応される、フォトリソグラフィ処理システムと、前記感光材料の1つ以上の特性の測定を行うように適応される、コヒーレント反ストークスラマン散乱CARS顕微鏡検査システムとを備える、システム。前記CARS顕微鏡検査システムは、前記フォトリソグラフィ処理システムが、前記感光材料において前記規定のフォトリソグラフィプロセスを行うのと同時に、前記感光材料の1つ以上の特性の測定を行うように適応される、請求項1に記載のシステム。前記フォトリソグラフィ処理システムは、前記感光材料において行われる前記規定のフォトリソグラフィプロセスを中断するように適応され、前記CARS顕微鏡検査システムは、前記フォトリソグラフィ処理システムが、前記感光材料において行われる前記規定のフォトリソグラフィプロセスを中断している間、前記感光材料の1つ以上の特性の測定を行うように適応される、請求項1に記載のシステム。前記感光材料の別個の部分を前記CARS顕微鏡検査システムによって行われる測定に曝すように適応される、走査機構をさらに備える、請求項1に記載のシステム。前記走査機構は、前記感光材料を移動させるように適応される、請求項4に記載のシステム。前記CARSシステムは、前記感光材料に指向される入射放射線ビームを発生させるように適応され、前記走査機構は、前記入射放射線ビームを操向するように適応される、請求項4に記載のシステム。前記CARSシステムは、前記被検査物に指向されるストークス放射線ビームを発生させるように適応される、ストークスビーム源と、前記被検査物に指向されるポンプ放射線ビームを発生させるように適応される、ポンプビーム源とを備え、前記走査機構は、前記ストークスおよびポンプ放射線ビームを操向するように適応される、請求項4に記載のシステム。前記CARS顕微鏡検査システムは、周波数ωSを伴うストークス放射線ビームを発生させるように適応される、ストークスビーム源と、周波数ωPを伴うポンプ放射線ビームを発生させるように適応される、ポンプビーム源とを備える、請求項1に記載のシステム。前記CARS顕微鏡検査システムは、前記ストークス放射線ビームおよび前記ポンプ放射線ビームを前記感光材料の実質的に同一の領域に指向するように適応される、請求項8に記載のシステム。前記CARS顕微鏡検査システムは、前記ストークス放射線ビームおよび前記ポンプ放射線ビームを組み合わせ、前記感光材料に指向される入射放射線ビームを発生させるように適応され、前記入射放射線ビームは、2ωP-ωSの周波数を有する、請求項8に記載のシステム。前記CARS顕微鏡検査システムは、前記感光材料上に入射放射線ビームを発生させるように適応される、少なくとも1つの放射線ビーム源と、前記入射放射線ビームに応答して、前記感光材料によって放出される放射線を検出するように適応される、検出器とを備える、請求項1に記載のシステム。前記感光材料によって放出される放射線は、前記感光材料の1つ以上の特性に関する情報を提供する、請求項11に記載のシステム。前記感光材料の1つ以上の特性は、前記感光材料中のポリマーの架橋結合度を含む、請求項12に記載のシステム。前記感光材料の1つ以上の特性は、前記感光材料中のポリマー弱化または切断度を含む、請求項12に記載のシステム。前記感光材料は、フォトレジストを含む、請求項1に記載のシステム。前記フォトレジストは、ネガ型フォトレジストを含む、請求項15に記載のシステム。規定のフォトリソグラフィプロセスを受けている間、感光材料の1つ以上の特性を測定する方法であって、前記規定のフォトリソグラフィプロセスを前記感光材料において行うステップと、コヒーレント反ストークスラマン散乱CARS顕微鏡検査を使用して、前記感光材料の1つ以上の特性を測定するステップとを含む、方法。前記感光材料の1つ以上の特性を測定するステップは、前記感光材料において行われる前記規定のフォトリソグラフィプロセスと同時に、前記感光材料の1つ以上の特性を測定するステップを含む、請求項17に記載の方法。前記感光材料において行われる前記規定のフォトリソグラフィプロセスを中断するステップをさらに含み、前記感光材料の1つ以上の特性を測定するステップは、前記感光材料における前記規定のフォトリソグラフィプロセスが中断されている間に行われる、請求項17に記載の方法。前記感光材料が製造されている間に、感光材料の1つ以上の特性を測定するためのシステムであって、前記感光材料を製造するように適応される、感光材料製造システムと、前記感光材料が前記感光材料製造システムによって製造されている間、前記感光材料の1つ以上の特性の測定を行うように適応される、コヒーレント反ストークスラマン散乱CARS顕微鏡検査システムとを備える、システム。本開示のある側面は、材料がフォトリソグラフィプロセスを受けている間、1つ以上の感光材料例えば、フォトレジストの特性例えば、収縮を測定するためのシステムに関する。本システムは、感光材料において規定のフォトリソグラフィプロセスを行うように適応される、フォトリソグラフィ処理システムと、感光材料の1つ以上の特性の測定を行うように適応される、コヒーレント反ストークスラマン散乱CARS顕微鏡検査システムとを備える。別の側面では、CARS顕微鏡検査システムは、フォトリソグラフィ処理システムが、感光材料において規定のフォトリソグラフィプロセスを行うのと同時に、感光材料の1つ以上の特性を測定するように適応される。さらに別の側面では、CARS顕微鏡検査システムは、フォトリソグラフィ処理システムが中断している間、または感光材料において行われている規定のフォトリソグラフィプロセスを一時的に停止している間、感光材料の1つ以上の特性を測定するように適応される。本開示の別の側面では、本システムはさらに、感光材料の別個の部分をCARS顕微鏡検査システムによって行われる1つ以上の特性の測定に曝すように適応される、走査機構を備える。一側面では、走査機構は、感光材料を移動させるように適応される。別の側面では、走査機構は、入射放射線ビームを感光材料に操向するように適応される。さらに別の側面では、走査機構は、ストークス放射線ビームおよびポンプ放射線ビームの両方を感光材料に操向するように適応される。本開示の別の側面では、CARS顕微鏡検査システムは、周波数ωSを伴うストークス放射線ビームを発生させるように適応される、ストークスビーム源と、周波数ωPを伴うポンプ放射線ビームを発生させるように適応される、ポンプ放射線ビームとを備える。一側面では、CARS顕微鏡検査システムは、ストークス放射線ビームおよびポンプ放射線ビームを感光材料上の実質的に同一の領域に指向するように適応される。さらに別の側面では、CARS顕微鏡検査システムは、ストークス放射線ビームおよびポンプ放射線ビームを組み合わせ、2ωP-ωSの周波数を伴うコヒーレント放射線を発生させるように適応される。別の側面では、CARS顕微鏡検査システムは、感光材料上にコヒーレント放射線ビームを発生させるように適応される、少なくとも2つの放射線源と、入射放射線ビームに応答して、感光材料によって放出される放射線を検出するように適応される、検出器とを備える。一側面では、感光材料によって放出された放射線は、感光材料の1つ以上の特性に関する情報を提供する。さらに別の側面では、感光材料の1つ以上の特性は、感光材料中のポリマーの架橋結合度を含む。さらに別の側面では、感光材料の1つ以上の特性は、感光材料中のポリマー弱化または切断度を含む。加えて、本開示の別の側面では、感光材料は、フォトレジストを含む。別の側面では、フォトレジストは、ネガ型フォトレジストを含む。さらに別の側面では、フォトレジストは、ポジ型フォトレジストを含む。他の側面は、感光材料の1つ以上の特性の測定を行う方法に関する。また、他の側面は、材料が製造されている間、感光材料の1つ以上の特性を測定するためのシステムに関する。本開示の他の側面、利点、および新規特徴は、付随の図面と併せて検討されることによって、以下の発明を実施するための形態から明白となるであろう。図2は、本開示のある実施形態による、例示的原位置での材料特性評価システム200のブロック図を図示する。概略すると、原位置での材料特性評価システム200は、コヒーレント反ストークスラマン散乱CARS顕微鏡検査システムを使用して、フォトリソグラフィプロセスを受けている感光材料例えば、フォトレジストの1つ以上の特性を測定する。例えば、CARSシステムは、フォトリソグラフィプロセスに関して指定された放射線に暴露されている間、例えば、ネガ型フォトレジストにおいて、ポリマー中の架橋結合の形成を検出可能である。同様に、CARSシステムは、フォトリソグラフィプロセスに関して指定された放射線に暴露されている間、例えば、ポジ型フォトレジストにおいて、ポリマー弱化または切断を検出可能である。したがって、CARSシステムを使用して、フォトリソグラフィプロセスを受けている間、フォトレジストを監視することによって、例えば、フォトレジストの収縮および/または他の特性が、容易に観察され得る。これは、ポジ型またはネガ型フォトレジスト等の感光材料の現像のためのプロセスを改善および/または最適化するのに有用であろう。より具体的には、原位置での材料特性評価システム200は、フォトリソグラフィ処理システム240によって行われる特定のフォトリソグラフィプロセスを受けているフォトレジスト被検査物250の1つ以上の特性の原位置測定のために構成される、CARS顕微鏡検査システム210を備える。CARS顕微鏡検査システム210は、順に、ストークスビーム源212と、ポンプビーム源214と、検出器216と、走査機構218とを備える。ストークスビーム源212は、周波数ωSを伴うストークス放射線ビームを発生させる。ポンプビーム源214は、周波数ωPを伴うポンプ放射線ビームを発生させる。ストークスおよびポンプビームは、CARSシステム210内で組み合わせられ例えば、一方が他方を変調させ、周波数2ωP-ωSを伴う入射放射線ビームを発生させてもよい。ポンプビーム周波数とストークスビーム周波数との間の差異を調節することによって、入射放射線信号は、フォトレジスト被検査物250の少なくとも一部のラマン活性振動モードの実質的周波数に同調され得る。励起ビームは、フォトレジスト被検査物250と相互作用し、ポンプおよびストークス両方の周波数より高い周波数において、コヒーレント信号を発生させる。そのより短い波長パルスが、検出器216によって検出され、フォトレジスト被検査物250の1つ以上の特性に関する情報を確認する。走査機構218は、ウエハ、PCB、またはフォトレジスト被検査物250を含有する他の要素を入射放射線ビームに対して移動させ、ビームをフォトレジスト被検査物の異なる部分または領域と相互作用させるように適応される。走査機構218は、フォトレジスト被検査物250を実際に移動させることによって例えば、フォトレジスト被検査物を支持する構造例えば、段を移動させることによって、これを行ってもよい。代替として、または加え、走査機構218は、入射放射線ビームを操向可能であってもよい。入射放射線ビームを空間的に走査することによって、フォトレジスト被検査物250の化学物質に特異的3次元画像が、確認され得、これは、フォトレジスト被検査物内の励起された分子振動子の濃度または密度を説明する。検出された信号は、三次感受率の二乗に比例し、したがって、振動性振動子の数に非常に依存する。したがって、検出された信号の断続性は、フォトレジスト被検査物250中のポリマー密度変動の直接的結果である。したがって、フォトレジスト被検査物250が、フォトリソグラフィ処理システム240によって行われるプロセスを受けている間、CARSシステム210は、フォトレジスト被検査物のポリマー架橋結合密度の3次元画像を生成可能であって、これは、フォトレジスト被検査物のフォトリソグラフィ処理の最適化、フォトレジスト収縮等のフォトレジスト被検査物の構造および特徴の特性評価、フォトレジスト被検査物中の欠陥の検出、フォトレジスト被検査物の均一性および非均一性の確認、およびその他等、多くの用途に有用である。同様に、これは、最適フォトレジスト現像を達成するために、フォトリソグラフィプロセスを調整する際に有用となるであろう。図3は、本開示の別の実施形態による、別の例示的原位置での材料特性評価システム300のブロック図を図示する。原位置での材料特性評価システム300は、システム200のものと類似し、同一の参照番号によって記載される同一の要素の多くを含む。原位置での材料特性評価システム300とシステム200との間の差異は、ストークス放射線ビームおよびポンプ放射線ビームの両方とも、フォトレジスト被検査物250上に集束されることである。したがって、入射放射線ビームは、実質的に、フォトレジスト被検査物250において発生される。この場合、走査機構218は、ストークスビームおよびポンプビームを個々に操向し得るが、両方とも、フォトレジスト被検査物250の実質的に同一の領域に集束されるように行われる。図4は、本開示の別の側面による、別の例示的材料特性評価システム400のブロック図を図示する。材料特性評価システム400は、前述のシステム200に類似し、同一の参照番号によって記載される同一の要素の多くを含む。材料特性評価システム400は、ポンプ放射線ビームの一部がフォトリソグラフィ処理システム240に送信される、CARSシステム410を含むという点において、システム200と異なる。フォトリソグラフィシステム240は、少なくとも部分的に、ポンプ放射線ビームωPから導出される、放射線ビームωTを発生させる。フォトレジスト被検査物250は、フォトリソグラフィ放射線ビームωTに曝され、ネガ型フォトレジスト被検査物中にポリマー架橋結合を、あるいはポジ型フォトレジスト被検査物中にポリマー弱化または切断を誘発する。そのようなシステム400では、CARSシステム410は、フォトリソグラフィ処理システム240によって行われるフォトリソグラフィプロセスを受けている間、リアルタイムでフォトレジスト被検査物250を監視可能である。図5は、本開示の別の側面による、別の例示的材料特性評価システム500のブロック図を図示する。材料特性評価システム500は、前述のシステム200に類似し、同一の参照番号によって記載される同一の要素の多くを含む。材料特性評価システム500は、システム500が、前述の実施形態において使用されるのとは対照的に、製造されている間、感光材料例えば、フォトレジストを特性評価するように構成されるという点において、システム200と異なる。故に、材料特性評価システム500は、フォトレジスト被検査物550を製造するプロセスを行う、フォトレジスト製造システム540を備える。フォトレジスト500の製造は、典型的には、いくつかの異なる要素を精密に混合するステップを含む。例えば、フォトレジストは、典型的には、モノマー、オリゴマー、溶離液、光増感剤、および1つ以上の添加剤等のいくつかの要素の混合物である。フォトレジストは、特定の放射線に暴露されると、重合化または脱重合化例えば、光可溶化のいずれかを行う。例えば、ネガ型フォトレジストは、典型的には、メタクリル酸モノマーおよびオリゴマーを含み、これらは、概して、ともに化学的に結合されない。特定の放射線への暴露に応じて、ネガ型フォトレジスト中のポリマーは、架橋結合を受ける。ポジ型フォトレジストは、一方、典型的には、ノボラックにおけるようなフェノールホルムアルデヒド型分子を含む。特定の放射線への暴露に応じて、フォトレジストポリマーは、弱化例えば、光可溶化する。フォトレジスト中の溶媒要素は、スピンコーティングによって、フォトレジストの堆積を促進するために、それらを液体形態にする。ネガ型フォトレジスト中で使用される溶媒は、典型的には、トルエン、キシレン、およびハロゲン化脂肪族炭化水素を含む。一方、ポジ型フォトレジスト中で使用される溶媒は、例えば、典型的には、2-酢酸エトキシエタノール、ビス2-メトキシエチルエーテル、およびシクロヘキサノン等の有機溶媒を含む。光増感剤要素は、特定の放射線に暴露されるとき、ポリマー反応を制御するために使用される。例えば、光増感剤は、放射線の波長に対するフォトレジストの応答を拡大または縮小させるために使用されてもよい。ネガ型フォトレジスト中で使用される光増感剤は、典型的には、ビスアジド増感剤を含む。一方、ポジ型フォトレジスト中で使用される光増感剤は、典型的には、ジアゾナフトキノンジアゾナフトキノンを含む。1つ以上の添加剤が、フォトレジスト中で採用され、フォトレジストによる光吸収の増加、フォトレジスト内に拡散する光の制御、および/または指定された表面へのフォトレジストの接着の改善等、具体的機能を果たしてもよい。再び、前述のように、これらの要素のいずれかが、ともに混合され、フォトレジストを形成する間、CARSシステム210は、フォトレジスト材料550の測定を行ってもよい。これらの測定は、以下にさらに論じられるように、原位置および/またはリアルタイムで行われてもよい。CARSシステム500は、フォトレジストの重合の測定を提供し、これは、フォトレジストのための所望の混合物または組成物を達成する際に有用となり得る。図6は、本開示の別の側面による、フォトリソグラフィまたは製造プロセスを受けている間、フォトレジスト被検査物を原位置で特性評価する例示的方法600の流れ図を図示する。本実施例では、フォトレジスト被検査物の処理は、それぞれ、被検査物に関して1回以上のCARS測定を行うために、1回以上、中断または一時的に停止される。より具体的には、方法600によると、フォトレジスト被検査物が、処理のために、原位置に定置されるブロック602。次いで、プロセスの初期段階において、被検査物を特性評価するために、フォトレジスト被検査物の初期CARS測定が行われてもよいブロック604。次いで、フォトレジスト被検査物の処理が、開始または継続されるブロック606。フォトレジスト被検査物の処理は、被検査物の測定を行うために、プロセスの完了に先立って中断されてもよいブロック608。プロセスが中断されている間、原位置でのフォトレジスト被検査物のCARS測定が、行われるブロック610。測定後、プロセスは、再開されるブロック612。プロセスの完了に先立って、フォトレジスト被検査物の付加的中間CARS測定が、行なわれてもよい。したがって、この点において、プロセスが、ブロック614に従って、完了していない場合、動作608から614が、所望に応じて、繰り返され、フォトレジスト被検査物の付加的CARS測定を取得してもよい。プロセスが、ブロック614に従って、完了していると、フォトレジスト被検査物の最終CARS測定が、行なわれてもよいブロック616。図7は、本開示の別の側面による、プロセスを受けているフォトレジスト被検査物を原位置で特性評価する別の例示的方法700の流れ図を図示する。前述の実施例では、フォトレジスト被検査物は、原位置にあったが、被検査物において行なわれているプロセスは、被検査物のCARS測定を行なう目的のために、中断または一時的に停止された。本実施例では、プロセスは、停止されず、フォトレジスト被検査物のCARS測定は、プロセスが被検査物において行なわれている間に行なわれる。より具体的には、方法700によると、フォトレジスト被検査物が、処理のために原位置に定置されるブロック702。次いで、フォトレジスト被検査物の初期CARS測定が、プロセスの初期段階において、被検査物を特性評価するために行なわれてもよいブロック704。次いで、フォトレジスト被検査物の処理が、開始または継続されるブロック706。フォトレジスト被検査物のCARS測定は、被検査物が規定のプロセスを受けている間、継続的、周期的、または別の様式において行なわれてもよいブロック708。ブロック710に従って、プロセスの完了に先立って、フォトレジスト被検査物の付加的CARS測定が、被検査物が処理されている間に行なわれてもよいブロック708。プロセスが、ブロック710において判定されるように、完了すると、フォトレジスト被検査物の最終CARS測定が、行なわれてもよいブロック712。本発明は、種々の実施形態と関連して説明されたが、本発明は、さらなる修正が可能であることを理解されるであろう。本願は、以下の本発明の任意の変形、使用、または適応、一般には、本発明の原理ならびに本発明が属する技術の範囲内の既知および慣行内に入るような本開示からの逸脱に及ぶことを意図している。