A重合性基を含有する含フッ素シルセスキオキサン単量体aから誘導された構成単位を有して成る含フッ素重合体を含んでなる表面処理剤。含フッ素重合体が、構成単位Aに加えて、Bフッ素原子を含まない単量体から誘導された構成単位、およびC必要により存在する、架橋性単量体から誘導された構成単位を有して成る請求項1に記載の表面処理剤。構成単位Aを構成する含フッ素シルセスキオキサン単量体aの重合性基が炭素炭素二重結合である請求項1または2に記載の表面処理剤。構成単位Aを構成する含フッ素シルセスキオキサン単量体aが、i含フッ素不完全縮合シルセスキオキサンとii重合性官能基をもつ反応性シランとを反応することによって得られたものである請求項1または2に記載の表面処理剤。含フッ素不完全縮合シルセスキオキサンiが、フルオロアルキル基炭素数1~6のフルオロアルキル基またはフルオロエーテル基を有する不完全縮合シルセスキオキサンである請求項4に記載の表面処理剤。含フッ素不完全縮合シルセスキオキサンiが、一般式:RSiO22lRSiO32m[式中、それぞれのRおよびRは、独立的に、Rf、RfA、アルキル基炭素数1~10、または、アルキル基炭素数1~10の誘導体を表しただし、RおよびRの少なくとも1つはRfまたはRfAである。ここでRfはフルオロアルキル基を表し、Aは、炭素数1~4のアルキレン基、-SO2NR22-基但し、R21は炭素数1~4のアルキル基、R22は炭素数1~4のアルキレン基であるまたは-CH2CHCH2-基である。、lおよびmは、1以上例えば2以上の数であり、不完全縮合シルセスキオキサンの分子量が500~100000となるような数である。]で示される請求項4に記載の表面処理剤。重合性官能基をもつ反応性シランiiにおいて、重合性官能基が、メタアクリル基、アルファ置換アクリル基、エポキシ基またはビニル基である請求項4に記載の表面処理剤。反応性シランiiにおいて、反応性基の例が、トリクロロシリル基およびトリアルコキシシリル基アルコキシ基の炭素数は1~5である。である請求項4に記載の表面処理剤。反応性シランiiが、一般式:A11-A21-Si3式中、A11は、重合性官能基であり、A21は、直接結合または炭素数1~20のアルキル基であり、A31は、ハロゲン原子例えば、塩素原子および臭素原子またはアルコキシ基アルコキシ基の炭素数は1~5である。である。で示される化合物である請求項4に記載の表面処理剤。構成単位Bを構成する単量体bが、フッ素を含有せず、炭素炭素二重結合を有する単量体である請求項2に記載の表面処理剤。構成単位Bを構成する単量体bが、アルキル基を含有するメタアクリル酸エステルである請求項2に記載の表面処理剤。構成単位Bを構成する単量体bが一般式:CH2=CA1COOA2[式中、A1は水素原子またはメチル基、A2はCnH2n1で示されるアルキル基である。]で示されるアクリレート類である請求項2に記載の表面処理剤。架橋性単量体cが、少なくとも2つの反応性基および/または炭素-炭素二重結合を有し、フッ素を含有しない化合物である請求項2に記載の表面処理剤。架橋性単量体cが、少なくとも2つの炭素-炭素二重結合を有する化合物、あるいは少なくとも1つの炭素-炭素二重結合および少なくとも1つの反応性基を有する化合物であり、反応性基は、ヒドロキシル基、エポキシ基、クロロメチル基、ブロックドイソシアネート、アミノ基またはカルボキシル基である請求項2に記載の表面処理剤。撥水撥油剤または防汚加工剤である請求項1~14のいずれかに記載の表面処理剤。難燃化剤、半導体用封止剤または半導体用絶縁膜である請求項1~14のいずれかに記載の表面処理剤。請求項1~14のいずれかに記載の表面処理剤を被処理物の表面に付着させることからなる被処理物の処理方法。請求項17に記載の処理方法によって製造された、表面処理剤が被処理物の表面に付着している被処理物。本発明は以上のような状況を背景としてなされたものであって、その目的は、撥水撥油性、防汚性、耐熱性、耐候性および耐磨耗性に優れた表面処理剤を提供することにある。本発明の他の目的は低誘電性、絶縁性、難燃性に優れた難燃化剤、半導体用封止剤、半導体用絶縁膜などを提供することにある。また別の目的は、フッ素部分の化合物の構造において上記テロマーとは異なる化学骨格構造をもつ代替化合物を提供することにある。具体的にはフルオロアルキル基の炭素数6以下であっても、優れた撥水性、撥油性、防汚性を有する含フッ素シルセスキオキサン重合体を提供することにある。重合性基を持つ含フッ素シルセスキオキサンモノマーからなる含フッ素重合体を提供することにある。具体的にはA重合性基を含有する含フッ素シルセスキオキサン単量体から誘導された構成単位を有して成る含フッ素重合体を提供する。本発明は、1溶液重合法により、重合開始剤の存在下で、単量体を有機溶剤に溶解させ、加熱撹拌して重合することからなる、あるいは、2乳化重合法により、重合開始剤および乳化剤の存在下で、単量体を水中に乳化させ、撹拌して重合することからなる、前記含フッ素重合体の製造方法を提供する。加えて、本発明は、前記含フッ素重合体を含んでなる表面処理剤を提供する。さらに、本発明は、前記含フッ素重合体を含んでなる難燃化剤、半導体用封止剤および半導体用絶縁膜を提供する。本発明によれば、撥水撥油性、防汚性、耐熱性、耐候性および耐磨耗性に優れた表面処理剤、ならびに低誘電性、絶縁性、難燃性に優れた難燃化剤、半導体用封止剤および半導体用絶縁膜が得られる。含フッ素重合体が、構成単位Aに加えて、Bフッ素原子を含まない単量体から誘導された構成単位、およびC必要により存在する、架橋性単量体から誘導された構成単位を有してよい。含フッ素重合体は、構成単位Aのみからなる単独重合体、または他の構成単位例えば、構成単位BおよびCをも有する共重合体である。構成単位Aは、a含フッ素シルセスキオキサン単量体から構成される。含フッ素シルセスキオキサン単量体aの重合性基が炭素炭素二重結合であってよい。含フッ素シルセスキオキサン単量体aにおいて、重合性基の数は、1~6、例えば、1~5、特に1、2または3であってよい。構成単位Aは、フルオロアルキル基またはフルオロエーテル基を有する。構成単位Aにおけるフルオロアルキル基およびフルオロエーテル基の数は、1~7、例えば1~5、特に1~4であってよい。含フッ素シルセスキオキサン単量体aは、i含フッ素不完全縮合シルセスキオキサンとii重合性官能基をもつ反応性シランとを反応することによって得られる。含フッ素不完全縮合シルセスキオキサンiは、フルオロアルキル基またはフルオロエーテル基を有する不完全縮合シルセスキオキサンであってよい。フルオロアルキル基はパーフルオロアルキル基であることが好ましい。フルオロアルキル基の炭素数は、1~6、特に1~4であってよい。フルオロアルキル基の例は、-CF3、-CF2CF3、-CF2CF2CF3、-CF2、-CF2CF2CF2CF3、-CF2CF2、-C3、-4CF3、-2CF2、-CF2C3、-CFCF2CF2CF3、-5CF3、-3CF2、-4CF2、-7CF3、-5CF2、-6CF2、-9CF3等である。フルオロエーテル基は、パーフルオロポリエーテル基であることが好ましい。フルオロエーテル基の例は、FCF2CF2CF2OaCF2CF2-、FCFCF3CF2OaCFCF3-[式中、aの平均値は2~100、特に5~50、例えば25である]等である。含フッ素不完全縮合シルセスキオキサンiの例は、一般式:RSiO22lRSiO32m[式中、それぞれのRおよびRは、独立的に、Rf、RfA、アルキル基炭素数1~10、または、アルキル基炭素数1~10の誘導体を表しただし、RおよびRの少なくとも1つはRfまたはRfAである。ここでRfはフルオロアルキル基を表し、Aは、炭素数1~4のアルキレン基、-SO2NR22-基但し、R21は炭素数1~4のアルキル基、R22は炭素数1~4のアルキレン基であるまたは-CH2CHCH2-基である。、lおよびmは、1以上例えば2以上の数であり、不完全縮合シルセスキオキサンの分子量が500~100000となるような数である。]で示されるものである。アルキル基の誘導体の例は、-CF3、-CF2CF3、-CF2CF2CF3、-CF2、-CF2CF2CF2CF3、-CF2CF2、-C3、-4CF3、-2CF2、-CF2C3、-CFCF2CF2CF3、-5CF3、-3CF2、-4CF2、-7CF3、-5CF2、-6CF2、-9CF3等である。シルセスキオキサンはPOSSとも呼ばれる。不完全縮合シルセスキオキサンiのシラノール基は反応性が高く、一般に、分子中に1~3個存在する。不完全縮合シルセスキオキサンの具体例は、例えば次のもの構造式Iなどである。構造式I重合性官能基をもつ反応性シランiiは、重合性官能基および反応性基を有する。反応性シランiiにおいて、重合性官能基の例は、メタアクリル基、アルファ置換アクリル基、エポキシ基、ビニル基などである。反応性シランiiにおいて、反応性基の例は、トリクロロシリル基およびトリアルコキシシリル基アルコキシ基の炭素数は1~5である。である。反応性シランiiは、例えば、一般式:A11-A21-Si3式中、A11は、重合性官能基であり、A21は、直接結合または炭素数1~20例えば、1~10のアルキル基であり、A31は、ハロゲン原子例えば、塩素原子および臭素原子またはアルコキシ基アルコキシ基の炭素数は1~5である。である。で示される化合物である。含フッ素シルセスキオキサン単量体aの例は、次のとおりである。構成単位は、フッ素原子を含まない単量体bによって誘導される。単量体bは、フッ素を含有せず、炭素炭素二重結合を有する単量体であることが好ましい。単量体bは、フッ素を含有しないビニル性単量体であることが好ましい。フッ素原子を含まない単量体bは、一般に、1つの炭素炭素二重結合を有する化合物である。フッ素原子を含まない単量体bとして好ましい単量体としては、例えば、エチレン、酢酸ビニル、ハロゲン化ビニル例えば、塩化ビニル、ハロゲン化ビニリデン例えば、塩化ビニリデン、アクリロニトリル、スチレン、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールアクリレート、メトキシポリエチレングリコールアクリレート、メトキシポリプロピレングリコールアクリレート、ビニルアルキルエーテル、イソプレンなどが例示されるが、これらに限定されるものではない。フッ素原子を含まない単量体bは、アルキル基を含有するメタアクリル酸エステルであってよい。アルキル基の炭素数は、1~30、例えば、6~30、例示すれば、10~30であってよい。例えば、フッ素原子を含まない単量体bは一般式:CH2=CA1COOA2[式中、A1は水素原子またはメチル基、A2はCnH2n1で示されるアルキル基である。]で示されるアクリレート類であってよい。構成単位は、架橋性単量体cによって誘導される。架橋性単量体cは、少なくとも2つの反応性基および/または炭素-炭素二重結合を有し、フッ素を含有しない化合物であってよい。架橋性単量体cは、少なくとも2つの炭素-炭素二重結合を有する化合物、あるいは少なくとも1つの炭素-炭素二重結合および少なくとも1つの反応性基を有する化合物であってよい。反応性基の例は、ヒドロキシル基、エポキシ基、クロロメチル基、ブロックドイソシアネート、アミノ基、カルボキシル基、などである。架橋性単量体cとしては、例えば、ジアセトンアクリルアミド、アクリルアミド、N-メチロールアクリルアミド、ヒドロキシメチルアクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、3-クロロ-2-ヒドロキシプロピルアクリレート、NN-ジメチルアミノエチルアクリレート、NN-ジエチルアミノエチルアクリレート、ブタジエン、クロロプレン、グリシジルアクリレートなどが例示されるが、これらに限定されるものでない。単量体bおよび/または単量体cを共重合させることにより、撥水撥油性や防汚性およびこれらの性能の耐クリーニング性、耐洗濯性、溶剤への溶解性、硬さ、感触などの種々の性質を必要に応じて改善することができる。含フッ素重合体が共重合体である場合、含フッ素シルセスキオキサン単量体a100重量部に対して、フッ素原子を含まない単量体bの量が0.1~100重量部、例えば0.1~50重量部であり、架橋性単量体cの量が50重量部以下、例えば20重量部以下、特に0.1~15重量部であってよい。含フッ素シルセスキオキサン重合体は以下のようにして製造することができる。溶液重合では、重合開始剤の存在下で、単量体を有機溶剤に溶解させ、窒素置換後、30~120°Cの範囲で1~10時間、加熱撹拌する方法が採用される。重合開始剤としては、例えばアゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、ジ-t-ブチルパーオキシド、ラウリルパーオキシド、クメンヒドロパーオキシド、t-ブチルパーオキシピバレート、ジイソプロピルパーオキシジカーボネートなどが挙げられる。重合開始剤は単量体100重量部に対して、001~20重量部、例えば001~10重量部の範囲で用いられる。有機溶剤としては、単量体に不活性でこれらを溶解するものであり、例えば、アセトン、クロロホルム、HCHC225、イソプロピルアルコール、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、石油エーテル、テトラヒドロフラン、14-ジオキサン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、1122-テトラクロロエタン、111-トリクロロエタン、トリクロロエチレン、パークロロエチレン、テトラクロロジフルオロエタン、トリクロロトリフルオロエタンなどが挙げられる。有機溶剤は単量体の合計100重量部に対して、50~2000重量部、例えば、50~1000重量部の範囲で用いられる。乳化重合では、重合開始剤および乳化剤の存在下で、単量体を水中に乳化させ、窒素置換後、50~80°Cの範囲で1~10時間、撹拌して重合させる方法が採用される。重合開始剤は、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、t-ブチルパーベンゾエート、1-ヒドロキシシクロヘキシルヒドロ過酸化物、3-カルボキシプロピオニル過酸化物、過酸化アセチル、アゾビスイソブチルアミジン-二塩酸塩、アゾビスイソブチロニトリル、過酸化ナトリウム、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムなどの水溶性のものやアゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、ジ-t-ブチルパーオキシド、ラウリルパーオキシド、クメンヒドロパーオキシド、t-ブチルパーオキシピバレート、ジイソプロピルパーオキシジカーボネートなどの油溶性のものが用いられる。重合開始剤は単量体100重量部に対して、001~10重量部の範囲で用いられる。放置安定性の優れた重合体水分散液を得るためには、高圧ホモジナイザーや超音波ホモジナイザーのような強力な破砕エネルギーを付与できる乳化装置を用いて、単量体を水中に微粒子化し、油溶性重合開始剤を用いて重合することが望ましい。また、乳化剤としてはアニオン性、カチオン性あるいはノニオン性の各種乳化剤を用いることができ、単量体100重量部に対して、05~20重量部の範囲で用いられる。アニオン性および/またはノニオン性および/またはカチオン性の乳化剤を使用することが好ましい。単量体が完全に相溶しない場合は、これら単量体に充分に相溶させるような相溶化剤、例えば、水溶性有機溶剤や低分子量の単量体を添加することが好ましい。相溶化剤の添加により、乳化性および共重合性を向上させることが可能である。水溶性有機溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、プロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、エタノールなどが挙げられ、水100重量部に対して、1~50重量部、例えば10~40重量部の範囲で用いてよい。また、低分子量の単量体としては、メチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、222-トリフルオロエチルメタクリレートなどが挙げられ、単量体の総量100重量部に対して、1~50重量部、例えば10~40重量部の範囲で用いてよい。含フッ素シルセスキオキサン重合体は、表面処理剤として使用することができる。本発明の表面処理剤は、溶液、エマルションまたはエアゾールの形態であることが好ましい。表面処理剤は、含フッ素重合体および媒体例えば、有機溶媒および水などの液状媒体を含んでなる。表面処理剤において、含フッ素シルセスキオキサン重合体の濃度は、例えば、0.01~50重量であってよい。本発明の表面処理剤は、従来既知の方法により被処理物に適用することができる。通常、該表面処理剤を有機溶剤または水に分散して希釈して、浸漬塗布、スプレー塗布、泡塗布などのような既知の方法により、被処理物の表面に付着させ、乾燥する方法が採られる。また、必要ならば、適当な架橋剤と共に適用し、キュアリングを行ってもよい。さらに、本発明の表面処理剤に他の表面処理剤例えば、撥水剤や撥油剤あるいは、防虫剤、柔軟剤、抗菌剤、難燃剤、帯電防止剤、塗料定着剤、防シワ剤などを添加して併用することも可能である。浸漬塗布の場合、浸漬液における含フッ素重合体の濃度は005~10重量であってよい。スプレー塗布の場合、処理液における含フッ素重合体の濃度は01~5重量であってよい。ステインブロッカーを併用してもよい。ステインブロッカーを使用する場合には、アニオン性またはノニオン性乳化剤を使用することが好ましい。本発明の表面処理剤例えば、撥水撥油剤で処理される被処理物としては、繊維製品、石材、フィルター例えば、静電フィルター、防塵マスク、燃料電池の部品例えば、ガス拡散電極およびガス拡散支持体、ガラス、紙、木、皮革、毛皮、石綿、レンガ、セメント、金属および酸化物、窯業製品、プラスチック、塗面、およびプラスターなどを挙げることができる。繊維製品は、特にカーペットであってよい。繊維製品としては種々の例を挙げることができる。例えば、綿、麻、羊毛、絹などの動植物性天然繊維、ポリアミド、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレンなどの合成繊維、レーヨン、アセテートなどの半合成繊維、ガラス繊維、炭素繊維、アスベスト繊維などの無機繊維、あるいはこれらの混合繊維が挙げられる。本発明の加工剤は、洗剤溶液、ブラッシングに対する抵抗性に優れるので、ナイロン、ポリプロピレンのカーペットに対して好適に使用できる。繊維製品は、繊維、布等の形態のいずれであってもよい。本発明の表面処理剤でカーペットを処理する場合に、繊維または糸を表面処理剤で処理した後にカーペットを形成してもよいし、あるいは形成されたカーペットを表面処理剤で処理してもよい。本発明の実施例について具体的に説明するが、実施例が本発明を限定するものではない。撥水性試験撥剤処理済カーペットを温度21°C、湿度65の恒温恒湿機に4時間以上保管する。試験液イソプロピルアルコールIPA、水、及びその混合液表1に示すも温度21°Cで保存したものを使用する。試験は温度21°C、湿度65の恒温恒湿室で行う。試験液をカーペット上にマイクロピペッターで各50μlずつ5滴を静かに滴下し、10秒間放置後、液滴がカーペット上に4滴または5滴残っていれば、その試験液をパスしたものとする。撥水性は、パスした試験液のイソプロピルアルコールIPA含量体積の最大なものをその点数とし、撥水性不良なものから良好なレベルまでFail、0、1、2、3、4、5、6、7、8、9、及び10の12段階で評価する。撥油性試験撥剤処理済カーペットを温度21°C、湿度65の恒温恒湿機に4時間以上保管する。試験液表2に示すも温度21°Cで保存したものを使用する。試験は温度21°C、湿度65の恒温恒湿室で行う。試験液をカーペット上にマイクロピペッターで各50μlずつ5滴を静かに滴下し、30秒間放置後、液滴がカーペット上に4滴または5滴残っていれば、その試験液をパスしたものとする。撥油性は、パスした試験液の最高点数とし、撥油性不良なものから良好なレベルまでFail、1、2、3、4、5、6、7、及び8の9段階で評価する。防汚性試験AATCCTestMethod1231989に準じて行った。防汚性の評価は、変退色用グレースケールを用いて防汚性試験前のカーペット試料と比較し、変退色の著しいものから全く変退色のないレベルまで1、12、2、23、3、34、4、45及び5の9段階で評価する。以下のように、モノマーを合成した。製造例13Fシルセスキオキサントリオールの製造充分に乾燥した3L4つ口フラスコに26M水酸化ナトリウム水溶液、テトラヒドロフランを仕込んだ。この混合溶液を攪拌しながら内温64°Cまで昇温し、還流条件下333トリフルオロプロピルトリクロロシランテトラヒドロフラン溶液を約1時間かけて滴下した。滴下終了後10時間加熱還流し、室温まで冷却した。その後ロータリーエバポレーターによるテトラヒドロフランの留去により析出した粘性物質を濾過で取り出し、減圧条件下で乾燥することにより水を除去した。得られた物質に更にテトラヒドロフランを加え、析出した沈殿物を濾過により除去し、濾液を濃縮、乾燥することで白色固体を得た。得られた白色固体とテトラヒドロフラン、35テトラエチルアンモニウムヒドロキシド溶液を3L4つ口フラスコに仕込み、この混合溶液を攪拌しながら内温64°Cまで昇温し、4時間加熱還流した。還流終了後室温まで冷却し、ロータリーエバポレーターによりテトラヒドロフランを留去した後パーフルオロイソヘキサンを加えた。この溶液に01N塩酸を加え中和することにより析出してきた白色沈殿を濾過により取り出した。得られた白色沈殿をパーフルオロイソヘキサン中で再結晶することにより白色結晶20g収率60を得た。白色結晶の同定は1HNMR、13CNMR、29SiNMR、19FNMR、IR、及びGPCにより行った。得られた白色結晶である3Fシルセスキオキサントリオールの化学式は次のとおりである。製造例29Fシルセスキオキサントリオールの製造充分に乾燥した3L4つ口フラスコに14M水酸化ナトリウム水溶液、テトラヒドロフランを仕込んだ。この混合溶液を攪拌しながら内温64°Cまで昇温し、還流条件下334455666ノナフルオロヘキシルトリクロロシランテトラヒドロフラン溶液を約1時間かけて滴下した。滴下終了後10時間加熱還流し、室温まで冷却した。その後ロータリーエバポレーターによるテトラヒドロフランの留去により析出した粘性物質を濾過で取り出し、減圧条件下で乾燥することにより水を除去した。得られた物質に更にテトラヒドロフランを加え、析出した沈殿物を濾過により除去し、濾液を濃縮、乾燥することにより白色固体が得られた。得られた白色固体とテトラヒドロフラン、35テトラエチルアンモニウムヒドロキシド溶液を3L4つ口フラスコに仕込み、この混合溶液を攪拌しながら内温64°Cまで昇温し、4時間加熱還流した。還流終了後室温まで冷却し、ロータリーエバポレーターによりテトラヒドロフランを留去した後パーフルオロイソヘキサンを加えた。この溶液に01N塩酸を加え中和することにより析出してきた白色沈殿を濾過により取り出した。得られた白色沈殿をパーフルオロイソヘキサン中で再結晶することにより白色結晶20g収率59を得た。白色結晶の同定は1HNMR、13CNMR、29SiNMR、19FNMR、IR、及びGPCにより行った。得られた白色結晶である9Fシルセスキオキサントリオールの化学式は次のとおりである。製造例3メタクリレート含有3Fシルセスキオキサンの製造窒素気流下で充分に乾燥した1Lナスフラスコに、製造例1で得た3Fシルセスキオキサントリオール、トリエチルアミン、テトラヒドロフランを加え混合し、系内を十分に窒素置換した。この混合液を攪拌しながら氷浴で0°Cに保ち、メタクリロキシプロピルトリクロロシランを約30分かけて滴下した。滴下終了後、室温で2時間攪拌した後、濃縮することにより黄色粘性物質を得た。これをパーフルオロイソヘキサンを用いて再結晶し、白色結晶を得た。白色結晶の同定は1HNMR、13CNMR、29SiNMR、19FNMR、IR、GPC及び元素分析により行った。得られた白色結晶であるメタクリレート含有3Fシルセスキオキサンの化学式は次のとおりである。製造例4メタクリレート含有9Fシルセスキオキサンの合成窒素気流下で充分に乾燥した1Lナスフラスコに、製造例2で得た9Fシルセスキオキサントリオール、トリエチルアミン、テトラヒドロフランを加え混合し、系内を十分に窒素置換した。この混合液を攪拌しながら氷浴で0°Cに保ち、メタクリロキシプロピルトリクロロシランを約30分かけて滴下した。滴下終了後、室温で2時間攪拌した後、濃縮することにより黄色粘性物質を得た。これをパーフルオロイソヘキサンを用いて再結晶し、白色結晶とテトラクロロヘキサフルオロブタンダイキン工業社製S31655gを仕込んで30分間溶液中の窒素バブリング後、気相中の窒素置換を30分行った。内温を60°Cに昇温後、トリクロロエタン367gに溶かしたパーブチルPV075gを添加し、6時間反応させた。反応の工程管理はガスクロで行い、モノマーピークの消失を確認して反応終了とした。反応終了後、重合上がり溶液にメタノールを加えて析出した白色の沈殿物について減圧ろ過を行い、真空デシケーターで乾燥して白色の固体70gを得た。ポリマーの同定は、1Hnmr、19Fnm、13Cnmrで行った。製造例69Fシルセスキオキサンホモポリマーの製造100ml4つ口フラスコに製造例4で合成したモノマーメタクリレート含有9Fシルセスキオキサンモノマー10gとテトラクロロヘキサフルオロブタンダイキン工業社製S31655gを仕込んで30分間溶液中の窒素バブリング後、気相中の窒素置換を30分行った。内温を60°Cに昇温後、トリクロロエタン367gに溶かしたパーブチルPV075gを添加し、6時間反応させた。反応の工程管理は反応時間で行った。反応終了後、重合上がり溶液にメタノールを加えて析出した白色の沈殿物について減圧ろ過を行い、真空デシケーターで乾燥して白色の固体685gを得た。ポリマーの同定は1Hnmr、19Fnm、13Cnmrで行った。比較製造例1イソブチルシルセスキオキサントリオールの製造充分に乾燥した3L4つ口フラスコに26M水酸化ナトリウム水溶液、テトラヒドロフランを仕込んだ。この混合溶液を攪拌しながら内温64°Cまで昇温し、還流条件イソブチルトリクロロシランテトラヒドロフラン溶液を約1時間かけて滴下した。滴下終了後10時間加熱還流し、室温まで冷却した。その後ロータリーエバポレーターによるテトラヒドロフランの留去により析出した白色沈殿を濾過で取り出し、減圧条件下で乾燥することで白色固体を得た。得られた白色固体とテトラヒドロフラン、35テトラエチルアンモニウムヒドロキシド溶液を3L4つ口フラスコに仕込み、この混合溶液を攪拌しながら内温64°Cまで昇温し、4時間加熱還流した。還流終了後室温まで冷却し、ロータリーエバポレーターによりテトラヒドロフランを留去した後アセトニトリルを加えた。この溶液に01N塩酸を加え中和することにより析出してきた白色沈殿を濾過により取り出した。得られた白色沈殿をアセトニトリル中で再結晶することにより白色結晶20g収率60を得た。白色結晶の同定は1HNMR、13CNMR、29SiNMR、19FNMR、IR、により行った。比較製造例2メタクリレート含有イソブチルシルセスキオキサンの製造窒素気流下で充分に乾燥した1Lナスフラスコに、比較製造例1で得たイソブチルシルセスキオキサントリオール20g、トリエチルアミン89g、テトラヒドロフランを加え混合し、系内を十分に窒素置換した。この混合液を攪拌しながら氷浴で0°Cに保ち、メタクリロキシプロピルトリクロロシランを約30分かけて滴下した。滴下終了後、室温で2時間攪拌した後、濃縮することにより白色固体を得た。これをアセトンを用いて再結晶し、白色結晶を添加し、6時間反応させた。反応の工程管理はガスクロで行い、モノマーピークの消失を確認して反応終了とした。反応終了後、重合上がり溶液にメタノールを加えて析出した白色の沈殿物について減圧ろ過を行い、真空デシケーターで乾燥して白色の固体70gを得た。ポリマーの同定は、1Hnmr、19Fnm、13Cnmrで行った。比較製造例49FAlcAAホモポリマー200ml4つ口フラスコに2エチルアクリレート9FAlcAAダイキン化成品販売株製R142015gとテトラクロロヘキサフルオロブタンダイキン工業社製S31612145gを仕込んで30分間溶液中に窒素バブリング後、気相中の窒素置換を30分行った。内温を60°Cに昇温後、トリクロロエタン786gに溶かしたパーブチルPV161gを添加し、5時間反応させた。反応の工程管理はガスクロで行い、モノマーピークの消失を確認して反応終了とした。反応終了後、重合上がり溶液にメタノールを加えると、白色水あめ状沈殿物が析出した。デカンテーションにより上澄み液を取り除き、沈殿物をエバポレーターにかけて溶媒を除去すると、非常に粘度の高い透明な液状化合物936gが得られた。ポリマーの同定は1Hnmr、19Fnm、13Cnmrで行った。比較製造例517FAlcAAホモポリマー200ml4つ口フラスコに2エチルアクリレート17FAlcAAダイキン化成品販売株製R182015gとテトラクロロヘキサフルオロブタンダイキン工業社製S31612145gを仕込んで30分間溶液中に窒素バブリング後、気相中の窒素置換を30分行った。内温を60°Cに昇温後、トリクロロエタン786gに溶かしたパーブチルPV161gを添加し、5時間反応させた。反応の工程管理はガスクロで行い、モノマーピークの消失を確認して反応終了とした。反応終了後、重合上がり溶液にメタノールを加えて析出した白色沈殿物について減圧ろ過を行い、真空デシケーターで乾燥して白色粉末状化合物1255gを得た。ポリマーの同定は1Hnmr、19Fnm、13Cnmrで行った。比較製造例69FAlcAAStA共重合体100ml4つ口フラスコに2エチルアクリレート9FAlcAAダイキン化成品販売株製R1420700g、ステアリルアクリレート300g、テトラクロロヘキサフルオロブタンダイキン工業社製S3165647gを仕込み、30分間溶液中に窒素バブリング後、気相中の窒素置換を30分行った。内温を60°Cに昇温後、トリクロロエタン367gに溶かしたパーブチルPV075gを添加し、6時間反応後、トリクロロエタン367gに溶かしたパーブチルPV075gを追加して、さらに6時間反応させた。反応の工程管理はガスクロで行い、9FAlcAAモノマーとステアリルアクリレートモノマーのピークの消失を確認して反応終了とした。反応終了後、重合上がり溶液にメタノールを加えると、白色沈殿物が析出した。デカンテーションにより上澄み液を取り除き、沈殿物をエバポレーターにかけて溶媒を除去すると、非常に粘度の高い白濁した液状化合物706gが得られた。ポリマーの同定は1Hnmr、19Fnm、13Cnmrで行った。ポリマーにおけるモノマー組成は、仕込み組成とほぼ同様であった。比較製造例717FAlcAAStA共重合体200ml4つ口フラスコに2エチルアクリレート17FAlcAAダイキン化成品販売株製R18202100g、ステアリルアクリレート900g、テトラクロロヘキサフルオロブタンダイキン工業社製S31617000gを仕込み、30分間溶液中に窒素バブリング後、気相中の窒素置換を30分行った。内温を60°Cに昇温後、トリクロロエタン1100gに溶かしたパーブチルPV0225gを添加し、5時間反応させた。続けて更にトリクロロエタン367gに溶かしたパーブチルPV075gを再添加して、5時間反応させた。反応の工程管理はガスクロで行い、17FAlcAAモノマーとステアリルアクリレートのピークの消失を確認して反応終了とした。反応終了後重合上がり溶液にメタノールを加えて析出した白色沈殿物について減圧ろ過を行い、真空デシケーターで乾燥して白色粉末状の化合物2707gを得た。ポリマーの同定は1Hnmr、19Fnm、13Cnmrで行った。ポリマーにおけるモノマー組成は、仕込み組成とほぼ同様であった。実施例1製造例5で得られた3Fシルセスキオキサンホモポリマー5gとメチルイソブチルケトンMIBK5gを混合し、75°C~80°Cで10分間加温した。別容器に純水144g、ポリオキシエチレンアルキルエーテルノニオン性乳化剤05g及びαオレフィンスルホン酸ナトリウムアニオン性乳化剤01gを混合し、75°C~80°Cで10分間加温した。この二つの液を混合し、超音波乳化機で乳化した。この乳化液20gに水980gを加えて全量100gとし、処理液とした。この処理液をカーペット20cm×20cm、ナイロン6、カットパイル密度32oz/yd2にWPUwetpickup、カーペット100gに対して20gの液がのっている場合にWPU20量が20となるようスプレー処理した。次に熱キュアを120°Cで10分間行った。次に撥水性試験、撥油性試験、防汚性試験を実施した。結果を表3に示す。実施例2製造例6で得られたポリマーを実施例1と同様に乳化した。この乳化液13gに水987gを加えて全量100gとし、処理液とした。この処理液を実施例1と同様に処理した。次に撥水性試験、撥油性試験、防汚性試験を実施した。結果を表3に示す。比較例1比較製造例3で得られたポリマーを実施例1と同様に乳化した。この乳化液20gに水980gを加えて全量100gとし、処理液とした。この処理液を実施例1と同様に処理した。次に撥水性試験、撥油性試験、防汚性試験を実施した。結果を表3に示す。比較例2比較製造例4で得られたポリマーを実施例1と同様に乳化した。この乳化液14gに水986gを加えて全量100gとし、処理液とした。この処理液を実施例1と同様に処理した。次に撥水性試験、撥油性試験、防汚性試験を実施した。結果を表3に示す。比較例3比較製造例5で得られたポリマーを実施例1と同様に乳化した。この乳化液12gに水988gを加えて全量100gとし、処理液とした。この処理液を実施例1と同様に処理した。次に撥水性試験、撥油性試験、防汚性試験を実施した。結果を表3に示す。比較例4比較製造例6で得られたポリマーを実施例1と同様に乳化した。この乳化液20gに水980gを加えて全量100gとし、処理液とした。この処理液を実施例1と同様に処理した。次に撥水性試験、撥油性試験、防汚性試験を実施した。結果を表3に示す。比較例5比較製造例7で得られたポリマーを実施例1と同様に乳化した。この乳化液17gに水983gを加えて全量100gとし、処理液とした。この処理液を実施例1と同様に処理した。次に撥水性試験、撥油性試験、防汚性試験を実施した。結果を表3に示す。