エレクトウェッティングデバイスの製造方法であって、注入口と吸引口とを備えたパネルの前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程と、前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程と、前記パネル内の前記着色オイルの液面を上昇させ、前記吸引口まで達した後も吸引を実施して、前記吸引口に接続された真空系に備えられたトラップ容器に前記着色オイルを排出させることで、前記パネル内の前記着色オイルと前記水の充填を終了する工程と、前記パネルを加圧し、前記注入口と前記吸引口を紫外線硬化樹脂で封止する工程とを有するエレクトロウェッティングデバイスの製造方法。請求項1に記載のエレクトロウェッティングデバイスの製造方法において、前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程は、前記パネルの前記注入口に接続されたバルブを着色オイル導入側配管系に切り替え、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填し、前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程は、前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記バルブを水導入側配管系に切り替え、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填することを特徴とするエレクトロウェッティングデバイスの製造方法。請求項1に記載のエレクトロウェッティングデバイスの製造方法において、前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程は、前記パネルを水面上で着色オイルが層分離している水槽に下降させて前記着色オイル層内で停止させ、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填し、前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程は、前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記パネル端面が前記水層に達するように下降させ、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填することを特徴とするエレクトロウェッティングデバイスの製造方法。本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、低コストであり、かつ生産性の高いエレクトウェッティングデバイスの製造方法を提供することを課題とする。本発明に係るエレクトウェッティングデバイスの製造方法は、エレクトウェッティングデバイスの製造方法であって、注入口と吸引口とを備えたパネルの前記吸入口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程と、前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記吸入口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程と、前記パネル内の前記着色オイルの液面を上昇させ、前記吸引口まで達した後も吸引を実施して、前記吸引口に接続された真空系に備えられたトラップ容器に前記着色オイルを排出させることで、前記パネル内の前記着色オイルと前記水の充填を終了する工程と、前記パネルを加圧し、前記注入口と前記吸引口を紫外線硬化樹脂で封止する工程とを有する。本発明によれば、従来の真空注入方式のLCDパネルと同プロセスの設備を100有効に活用して、パネル内で液面を上昇しながら着色オイル/水を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いエレクトウェッティングデバイスの製造方法を提供することができる。実施の形態1.以下、本発明の実施の形態1に係るエレクトウェッティングデバイスの製造方法について説明する。図1aとbは、エレクトロウェッティングディスプレイパネルの正面図と側面図を示し、パネル1は、注入口1aと吸引口1bをと備え、画素部毎に隔壁リブ1cが形成されている。外周シール1dのシール材は耐水性である必要はなく、LCD用のUV硬化/熱硬化型のシール材を活用できる。まず、図2に示すように、注入口1a/吸引口1bにそれぞれリークが発生しないようにジョイント2を接続する。注入口1aに接続されたジョイント2にはバルブ3を備え、着色オイル/水の供給を切り替えられる配管系に接続される。一方、吸引口1bに接続されたジョイント2には真空系が接続され、途中には余剰の着色オイル/水を回収するトラップ容器4を装備している。次に、図3に示すように、注入口1aに接続されたバルブ3を着色オイル導入側配管系に切り替え、吸引口1bから真空引きを行うことで、パネル1内に着色オイル5を導入する。真空系にトラップ容器4を有していることから、着色オイル5の量は、画素充填できる丁度の量で無くてもよく、ある程度余剰の量をパネル1内に充填する。例えば、2インチサイズのパネルの場合、注入口1aのパネル端から3mm程度まで着色オイル5を充填する。次に、図4及び図5に示すように、適当量な着色オイル5をパネル1内に充填後、注入口1aに接続さ入れた配管系のバルブ3を水導入側配管系に切り替え、吸引口1bから真空引きを行うことで、パネル1内に水6を充填しつつ、着色オイル5の液面を上昇させて、画素部に着色オイル5を充填する。この時、画素部に最適量が充填される為には、液面上昇速度と、画素サイズの間に最適値が存在する。例えば、画素サイズが250μmの場合、液面の上昇速度は0.2mm/sec~0.5mm/secが最適であり、画素サイズが500μmであると、0.7mm/sec~1.2mm/secが最適となる。この速度以下であれば、隔壁で着色オイルを擦り切る時の持ち出し量が多くなり画素部への充填不足が発生し、その速度以上で有れば、隔壁で着色オイルを適量に擦り切ることが出来ずに画部への充填が過剰になり、隣接画素と着色オイル5が連結してしまう。液面の上昇速度は、吸引口1bより真空引きする時の真空圧により適宜調整可能である。さらに、図6に示すように、液面を最適速度で上昇させ、吸引口1bまで達した後も吸引を実施しておき、トラップ容器4に着色オイル5の排出が終了したときを終点とする。その後、図7に示すように、着色オイル5/水6の充填が終了した後、ジョイント2を外す。その後、パネル1を適宜加圧し、注入口1a/吸引口1bを紫外線硬化樹脂等の封止材7で封止する。従って、上記実施の形態1によるエレクトウェッティングデバイスの製造方法によれば、従来の真空注入方式のLCDパネルと同プロセスの設備を100有効に活用して、パネル1内で液面を上昇しながら着色オイル5/水6を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いものが得られる。実施の形態2.次に、本発明の実施の形態2に係るエレクトウェッティングデバイスの製造方法について説明する。まず、図8に示すように、実施の形態1と同様な注入口1aと吸引口1bを備えたパネル1を組み立てる。そして、着色オイル5/水6の入った水槽8を用意し、着色オイル5の層は200μm程度になるよう調整する。また、吸引口1bにそれぞれリークが発生しないようにジョイント2を接続する。さらに、吸引口1bに接続されたジョイント2には真空系が接続され、途中には余剰の着色オイル5/水6を回収するトラップ容器4を装備している。次に、図9に示すように、パネル1全体を下降し、着色オイル5層内100μmで停止する。ここで、吸引口1bから真空引きを行うことで、パネル1内に着色オイル5を導入する。真空系にトラップ容器4を有していることから、着色オイル5の量は、画素充填できる丁度の量で無くてもよく、ある程度余剰の量をパネル1内に充填する。例えば、2インチサイズのパネルの場合、注入口1aのパネル端から3mm程度まで着色オイル5を充填する。次に、図10及び図11に示すように、適当量な着色オイル5をパネル1内に充填後、パネル端面が水6の層に達するように液面より200μm以上下降させる。そして、吸引口1bから真空引きを行うことで、パネル1内に水6を充填しつつ、着色オイル5の液面を上昇させ、画素部に着色オイル5を充填する。液面の上昇速度は、吸引口1bより真空引きする時の真空圧により適宜調整可能である。さらに、図12に示すように、液面を最適速度で上昇させ、吸引口1bまで達した後も吸引を実施しておき、トラップ容器4に着色オイル5の排出が終了したときを終点とする。その後、図13に示すように、着色オイル5/水6の充填が終了した後、ジョイント2を外す。その後、パネル1を適宜加圧し、注入口1a/吸引口1bを紫外線硬化樹脂等の封止材7で封止する。従って、上記実施の形態2によるエレクトウェッティングデバイスの製造方法によれば、実施の形態1と同様に、従来の真空注入方式のLCDパネルと同プロセスの設備を100有効に活用して、パネル1内で液面を上昇しながら着色オイル5/水6を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いものが得られる。