"傾斜照明器であって、光線を発する光源と、前記光源からの光線を反射するよう構成され焦線をなす投影された放物輪郭の凸面円筒形状を有する第1の反射面と、前記第1の反射面からの前記光線を反射するよう構成され第1及び第2の焦線をなす投影された楕円輪郭の凹面円筒形状を有する第2の反射面と、を備え、前記第1の反射面の仮想焦線が前記第2の反射面の前記第1の焦線と一致する、傾斜照明器。前記第2の反射面の前記第2の焦線が標的基板の表面上にあるように第2の反射面が構成された、請求項1に記載の傾斜照明器。前記楕円輪郭が球体輪郭で、前記第1及び第2の焦線が単一の焦線である、請求項2に記載の傾斜照明器。前記第1及び第2の反射面がそれぞれ支持基板上の鏡被膜を備える、請求項1に記載の傾斜照明器。前記第1及び第2の反射面の間に空気媒体を更に備える、請求項4に記載の傾斜照明器。前記第1及び第2の反射面の間に屈折率が1.0より大きい媒体を更に備える、請求項4に記載の傾斜照明器。前記第1の反射面が光学素子の底面を備え、前記第2の反射面が光学素子の頂面を備える、請求項1に記載の傾斜照明器。前記光学素子が堅固な光伝達材料から形成され、前記第1及び第2の反射面が全内反射によって前記光線を反射する構成である、請求項7に記載の傾斜照明器。前記堅固な光伝達材料がガラスを備える、請求項7に記載の傾斜照明器。前記楕円輪郭が球体輪郭で、前記第1及び第2の焦線が単一の焦線である、請求項7に記載の傾斜照明器。前記光源が紫外線波長レーザーを備える、請求項1に記載の傾斜照明器。標的基板の表面上に線を照射する方法であって、光源から光線を発射することと、焦線をなす投影された放物輪郭の凸円柱形状を有する第1の反射面から前記光線を反射することと、第1及び第2の焦線をなす投影された楕円輪郭の凹面円筒形状を有する第2の反射面から前記光線を反射することと、を備え、前記第1の反射面の前記焦線が前記第2の反射面の前記第1の焦線と一致する、方法。前記第2の反射面の前記第2の焦線が標的基板の表面上にあるように前記第2の反射面が構成されている、請求項12に記載の方法。前記投影された楕円輪郭が球体輪郭で、前記第1及び第2の焦線が単一の焦線である、請求項13に記載の方法。前記第1及び第2の反射面がそれぞれ支持基板上の鏡被膜を備える請求項12に記載の方法。前記第1及び第2の反射面の間の空気媒体を通る光線を更に備える、請求項15に記載の方法。前記第1及び第2の反射面の間の溶融石英媒体を通る光線を更に備える、請求項15に記載の方法。前記第1の反射面が光学素子の底面を備え、前記第2の反射面が光学素子の頂面を備える請求項12に記載の方法。前記光学素子が堅固な光伝達材料を備え、前記第1及び第2の反射面からの反射が全内反射によるものである、請求項18に記載の方法。前記堅固な光伝達材料がガラスを備える、請求項18に記載の方法。前記楕円輪郭が球体輪郭で、前記第1及び第2の焦線が単一の焦線である、請求項18に記載の方法。前記光源が紫外線波長レーザーを備える、請求項12に記載の方法。標的基板を検査するための装置であって、光線を発する光源と、前記光源からの光線を反射するよう構成され焦線をなす投影された放物輪郭の凸面円筒形状を有する第1の反射面と、前記第1の反射面からの前記光線を反射するよう構成され第1及び第2の焦線をなす投影された楕円輪郭の凹面円筒形状を有する第2の反射面と、を備える傾斜照明器であって、前記第1の反射面の焦線が前記第2の反射面の前記第1の焦線と一致する、傾斜照明器を備え、線部が前記標的基板の表面上に照射されるように前記第2の反射面の前記第2の焦線が前記標的基板の表面上にあるように第2の反射面が構成される、傾斜照明器と、前記標的基板の表面から回折された光を検出し、前記検出された光に基づき光検出信号を発生するよう構成された検出器と、を備える装置。画像データを生成するために前記検出器からの前記光検出信号を処理し、前記標的基板の前記表面の欠陥を検出するために前記画像データを処理するよう構成された処理システムを更に備える、請求項23に記載の装置。こうした非常に小さい欠陥の検出を向上するための一方法は、光学検査システムの感度を向上することである。光学検査システムの感度は、例えば通常の照明の代わりに傾斜照明を用いることにより向上されうる。一実施形態は傾斜照明器に関する。傾斜照明器は、光線を発する光源、第1の反射面及び第2の反射面を包含する。第1の反射面は、光源からの光線を反射するよう構成され仮想焦線をなす円筒の非動力non-powered方向に沿った投影された放物輪郭の凸面円筒形状を有する。こうした輪郭の第1の反射面は、放物円筒反射面と呼ばれることがある。第2の反射面は、第1の反射面からの光線を反射するよう構成され第1及び第2の焦線をなす投影された楕円輪郭の凹面円筒形状を有する。第1の反射面の仮想焦線は第2の反射面の第1の焦線と一致する。第2の反射面の第1及び第2の焦線は、同一の線であって良く、その場合、投影された楕円輪郭は球状輪郭である。別の実施形態は対象基板の表面上の線部分の照射の方法に関する。光線は光源から発せられる。光線は第1の反射面から反射される。第1の反射面は、焦線をなす投影された放物輪郭の凸円筒形状を有する。光線は更に第2の反射面から反射される。第2の反射面は、第1及び第2の焦線をなす投影された楕円輪郭の凹円筒形状を有する。第1の反射面の仮想焦線は、第2の反射面の第1の焦線と一致する。別の実施形態は標的基板ターゲット基板を検査するための装置に関する。装置は、傾斜照明器及び検出器を包含する。傾斜照明器は、光線を発する光源、第1の反射面及び第2の反射面を包含する。第1の反射面は、光源からの光線を反射するように構成され焦線をなす投影された放物輪郭の凸面円筒形状を有する。第2の反射面は、第1の反射面からの光線を反射するよう構成され第1及び第2の焦線をなす投影された楕円輪郭の凹面円筒形状を有する。第1の反射面の焦線は第2の反射面の第1の焦線と同一で、標的基板の表面上に線部分が照射されるように、第2の反射面の第2の焦線は標的基板の表面上にある。標的基板の一実施例は半導体ウエハーであってよく、製造された基板はパターン化されたウエハーを指すことがある。その他の実施形態、態様及び特性もまた開示される。以前の傾斜非標準照明器は様々な欠点を有する。1つの欠点は、以前の傾斜照明器は、残存収差を生む球状又は非球状断面の円筒ミラーシリンドリカルミラーを一般的に用いることである。残存収差を修正するために修正要素が導入されることがあるが、修正は一般的に完全ではなく、残存収差は開口数の増加を制限する。もう1つの欠点は、以前の傾斜照明器が一般的に照明の波長に敏感であることである。言い換えると、屈折性又は分散性材料を通る波長の分散のために事実上狭帯域である。もう1つの欠点は、以前の傾斜照明器が一般的に光学素子のずれに敏感であることである。小さなずれが光学性能に大きく影響を及ぼすことがある。図1は、製造された基板の検査における使用のための以前の傾斜照明器の光学システムレイアウトである。こうした以前の傾斜照明器は米国特許第7,199,946号に記載される。この以前の傾斜照明器は、光源102、第1のミラー104及び第2のミラー106を包含する。第1及び第2のミラーそれぞれ104及び106は、標的108上に細いラインビームの照射を形成するために円筒状のミラーシリンドリカルミラーである。シリンドリカルミラーの軸は、図の鏡を表す線に平行である。シリンドリカルミラーの対は残存収差を生む。こうした収差を修正するために、非球状円柱素子非円筒素子又は非円柱素子とも呼ばれる110が、光源102と第1のミラー104との間に導入される。図1の傾斜照明器の1つの実施において、標的108上の照明線に垂直な平面内の投影された開口数は0.7で、これは若干小さい。線照明の線幅を小さくするために、0.85や0.95やそれ以上のようなより高い開口数を有することが望ましい。しかしながら、図1に描かれる設計が用いられると、開口数の増加でシリンドリカルミラーによる残存収差が劇的に上昇する。換言すると、非円筒のための非球面条件は劇的に上昇する。たとえそうでも、残存収差はやはり完全に修正できない。図2は、比較的大きい開口数0.85の図1の傾斜照明器の収差図rayfanplotを示す。収差図は、瞳座標の関数としての収差を示す。図2の右側のX-FAN図に見られるように、大きな収差がx寸法に存在する。0.85の開口数に対し、非球面偏移sagは比較的大きく2ミクロンより大きい、残存収差を低減するために追加の非球面条件が必要である。図3a、図3b及び図3cは、ページの平面内のそれぞれ放物、球面及び楕円ミラーの光線収束特性を示す。これらの図は、本明細書で開示される本発明の実施形態を理解するための根拠を提供するために記載される。図3aで、入射光304の平行光線は、放物ミラー302の凸面から反射される。反射された光線は、放物ミラー302の後ろの仮想点光源306から出るかのように広がる。仮想点光源306は放物ミラー302の放物形の焦点にある。こうした凸放物面鏡は放物線の頂点からz=R/2の距離で、ここでRは放物線の曲率半径である焦点で完全な虚像を作ることがある。放物ミラー302が放物形の断面の円筒ミラーシリンドリカルミラーの場合、虚線像306が形成される。かくして、コリメートされた入力光のための完全な虚線像を形成するために凹放物円筒ミラーが用いられることがある。図3bで、点光源314からの入射光は、球面ミラー312の凹面から反射される。図の場合、点光源314は球面ミラー312の球形の中心にある。この場合、反射された光は点光源314上に収束する。かくして、中心に位置する被写体の完全な像を形成するために凹球面ミラーが用いられることがある。同様に、円筒ミラーシリンドリカルミラー312の中心線に線物体314を置くことにより完全な線像が形成可能である。かくして、中心で線物体の完全な線像を形成するために円筒ミラーシリンドリカルミラーが用いられることがある。図3cで、点光源からの入射光は、楕円ミラー322の凹面から反射される。点光源は楕円ミラー322の楕円形の第1の焦点にあってよい。反射光は楕円形の第2の焦点上に収束する。点光源は更なる焦点324にあってよく、反射光は近い方の焦点326で収束してよく、その逆でもよい。かくして、被写体が他方の焦点に位置するとき、楕円の1つの焦点で像を形成するために凹楕円ミラーが用いられることがある。同様に、他方の焦線に線物体324を置くことにより、楕円輪郭の円筒ミラーシリンドリカルミラー322の1つの焦線326で完全な線像が形成可能である。かくして、焦線の1つに線物体を配置することで、完全な線像を形成するために楕円輪郭の円筒ミラーシリンドリカルミラーが用いられることがある。図4aは本発明の実施形態に係る第1の2重ミラー構成の投影図である。この第1の2重ミラー構成の別の方向の投影図が図4cに示される。この2重ミラー構成は凸面放物円筒ミラーである第1の鏡404及び凹面球円筒ミラーである第2の鏡406を包含する。第1のミラー404は円筒の投影断面図が放物線である円筒の形状の反射凸面を有する。図4aにおいて第1のミラー404はページの平面で放物線であり、円筒の軸はページの平面に垂直である。放物円筒はページの平面に垂直な仮想焦線408を有する。第2のミラー406は円筒の投影断面図が球体である円筒の形状の反射凹面を有する。図4aにおいて、第2のミラー406はページの平面で球体であり、円筒の軸409はページの平面に垂直である。具体的には、球体円筒406の軸409は放物円筒404の仮想焦線408と一致する。光源402からの光線は第1のミラー404の反射凸面から第2のミラー406に反射する。光源402は、例えば紫外線波長レーザーであってよい。光は第2のミラー406の反射凹面から反射され第1のミラー404の仮想焦線408でもある軸409に収束する。軸409は照射線部が標的面上に形成されるように標的基板410の表面上にある。図4bは、本発明のある実施形態に基づく第2の2重ミラー構成の投影図である。この第2の2重ミラー構成の別の方向の投影図が図4dに示される。この2重ミラー構成は凸面放物円筒ミラーである第1のミラー414及び凹面楕円円筒ミラーである第2のミラー416を包含する。第1のミラー414は円筒の投影断面図が放物線である円筒の形状の反射凸面を有する。図4bにおいて第1のミラー414はページの平面で放物線であり、円筒の軸はページの平面に垂直である。放物円筒はページの平面に垂直な仮想焦線418を有する。第2のミラー416は円筒の投影断面図が楕円である円筒の形状の反射凹面を有する。図4bにおいて、第2のミラー416はページの平面で楕円である。楕円円筒の第1のこの場合、より近い焦線419はページの平面に垂直である。具体的には、楕円円筒416の第1の焦線419は放物円筒414の仮想焦線418と一致する。楕円円筒の第2のこの場合、より遠い焦線420もページの平面に垂直である。光源412からの光線は第1のミラー414の反射凸面から第2のミラー416に反射する。光は第2のミラー416の反射凹面から反射され第2の焦線420に収束する。照射線部が標的面上に形成されるように第2の焦線420は標的基板422の表面上にある。図4bは、楕円円筒のより近い焦線が放物円筒の焦線と一致し、楕円円筒のより遠い焦線が標的基板の表面に一致する実施形態を描写することに留意願いたい。別の実施形態において、より近い及びより遠い焦線が逆であってもよい。換言すると、この別の実施形態において、楕円円筒のより遠い焦線が放物円筒の焦線と一致し、楕円円筒のより近い焦線が標的基板の表面に一致する。凸反射及び凹反射面の曲率半径が、2つの反射面の間の媒体の屈折率と無関係であることを出願人は突き止めた。かくして、図4aから図4dに関して上述される実施形態において、2つのミラーの間の媒体は、空気又は例えば溶融石英やフッ化カルシウムのような、光伝達媒体であってよい。1つの実施形態において、設計は2つの別々な反射ミラー素子を用いて構成されて良く、媒体は空気であってよい。この実施形態において、各ミラー素子は表面上に反射層のある保持基板を包含して良い。こうした実施形態が図5から図7に関連して以下に記載される。別の実施形態において、設計は2つの反射面のある1つの光伝達固体片を用いて構成されて良い。こうした実施形態が図8から図11に関連して以下に記載される。図5は、本発明のある実施形態に基づく光学検査システムのための2重ミラー広帯域傾斜照明器の光学配置を示す。照明器の投影図が図6に描かれる。加えて、この照明器のレンズ一覧が付録Aに記される。図5及び図6に示される照明器は、光源502、第1のミラー504、及び第1のミラー504と別の光学素子である第2のミラー506を包含する。2つのミラーの間の媒体は、例えば空気又は例えば溶融石英のような、いかなる他の光伝達媒体であってよい。第1の底のミラー504は、像面すなわち標的表面の平面より上又は接してにある仮想焦線付きの凸面放物円筒ミラーすなわち、投影放物輪郭を有する凸面円筒ミラーである。第2の頂部のミラー506は、第1のミラー504の仮想焦線と一致する第1の焦線及び標的基板508の表面にある第2の焦線付きの凹面楕円円筒ミラーすなわち、投影楕円輪郭を有する凹面円筒ミラーである。図7は、本発明のある実施形態に基づく図5及び図6の2ミラー広帯域傾斜照明器の収差図rayfanplotを示す。図7に見られるように、照明器設計を用いた幾何収差がない。前述のように、第2のミラー506は凹球体円筒ミラーであってよく、その場合、第1のミラー504によって形成される仮想焦線は標的基板面508である像面上にあり、第2のミラー506の2つの焦線は重なり、標的基板508の頂面上にある。照明器に加えて、光学検査システムは検出器510及び処理システム512を包含する。検出器510は、標的基板の表面上の照射線部から分散、回析及び/又は反射された光を検出し、検出された光を基に光検出信号を発生する構成であってよい。処理システム512は、画像データを生成するために検出器からの光検出信号を処理するための電子回路、及び標的基板の表面上の不良を検出するために画像データを処理するためのコンピュータ1つ以上のプロセッサ、メモリ、及びコンピュータ可読のプログラムコードを含むを用いた構成であってよい。図8は、本発明のある実施形態に基づく光学検査システムのための一体型2重反射広帯域傾斜照明器の線拡がり図である。この実施形態において、2つの反射面の間の物質は空気でなくて良く、1.0より大きい屈折率を有して良い。この照明器の投影図が図9に描かれる。加えて、この照明器のレンズ一覧が付録Bに記される。図8及び図9に示される照明器は、光源802と、入射面803、第1の反射面804、第2の反射面806及び出口面807を包含する一体成形単一片の2重反射器と、を包含する。一体型2重反射器は、好ましくは温度変化に影響を受けないガラスのような光伝達物質からなってよい。この設計は実質的に無彩色でガラスの選択の影響を受けない。光源802から発せられた光線は、入射面803で一体型2重反射器に入り、第1の底の面804に進む。第1の面804は像面すなわち標的表面の平面よりほんの少し上方又は直接上にある仮想焦線付きの凸面放物円筒面すなわち、投影放物輪郭を有する凸面円筒面である。光線は入射面803によって屈折させられ、それから第1の面804から反射され第2の頂面806に進み、最後に光線は出口面807によってまた反射され標的基板面808の頂上に線像を形成する。第1の面804からの反射は全内反射によるものであって良い。第2の面806は、第1の面804の仮想焦線と一致する及びまた標的基板808の表面上にある焦線付きの凹面球面ミラーすなわち、球面曲率を備える凹面円筒ミラーであってよい。球面曲率を有する円筒面は、楕円状に屈曲する円筒の2つの焦線が一致するすなわち同一の、楕円屈曲を有する円筒面の特別な場合であることに留意いただきたい。光線は第2の面806から反射され標的基板面808に進む。第2の面806からの反射は全内反射によるものであって良い。光線は出口面807で一体型2重反射器を出て標的基板808の表面上の線部を照射する。入射面803と出口面807は好ましくは互いに平行で好ましくは標的面上の形成された線画像に垂直であることに留意いただきたい。照射の斜めの垂直でない角度は実施形態によって変わってよい。1つの具体的な実施形態において、垂直照射の入射角を0度と定める場合、照射は64度の入射角であって良い。図5から図7のような先の実施形態と同様に、第2の面806は楕円円筒面であっても良く、その場合、第1の面804の仮想焦線は第2の面806の1つの焦線と一致し、第2の面806の他方の焦線は標的の基板808の頂面上にある。一体型の2重反射器ではミラー基板が、底反射面を支持する必要が無いことに留意頂きたい。これは底反射面が、この実施形態の単一片の底面であるからである。かくして、一体成形の光学装置が像面すなわち、標的表面の面に非常に近く配置されて良い。この設計を用いて、0.9又は0.95や1.0に近い高い開口数が達成可能である。対照的に、底ミラーがミラー基板によって支持されることが必要な実施形態は、像面にそれ程近く配置できない。入射光線は限られたビーム幅を有するので、これは開口数を制限し高い開口数の達成は困難である。放物円筒反射面804の曲率半径R1は式1を満たす。ここでφは入射光の直径を表し、NAはレーザー線ビームの目標開口数である。球面円筒反射面806の曲率半径R2は式2を満たす。ここでdは2つの反射面の間の垂直距離を表す。R1及びR2の値は、2つの反射面の間の媒体の屈折率と無関係であることを出願人は突き止めた。かくして、屈折率の公差は無関係である。極端な場合、これは空気であってよい。しかしながら、2つの反射面の間の媒体が空気の場合、2つの反射面を支持するために余分な基板が必要である。照明器に加えて、光学検査システムは検出器810及び処理システム812を包含する。検出器810は、標的基板の表面上の照射線部から分散、回析及び/又は反射された光を検出し、検出された光を基に光検出信号を発生する構成であってよい。処理システム812は、画像データを生成するために検出器からの光検出信号を処理するための電子回路及び標的基板の表面上の不良を検出するために画像データを処理するためのコンピュータ1つ以上のプロセッサ、メモリ、及びコンピュータ可読のプログラムコードを含むを用いた構成であってよい。図10は、本発明のある実施形態に基づく図8及び図9の照明器の収差図rayfanplotを示す。図10に見られるとおり、幾何収差の無い完全な線が標的基板の表面上に形成されうる。図11は、本発明のある実施形態に基づく一体型2重反射器光学素子の実施形態の透視図である。図11に示されるように、一体成形の2重反射光学素子は、入射面803、第1底の反射面804、第2の反射面806及び出口面807を包含する。有利には、この照明器設計は無彩色である。かくして、スペクトル帯の幅は最終ビームプロファイルの線幅に影響を与えない。図12に示されるように、標的基板面808上の光学装置の非パワー方向に沿った色の拡がりΔdが式3を満たす場合、異なる波長で屈折率の変動により線が実際広がることを出願人は更に突き止めた。ここでtは入口面803と出口面807との間の距離を表し、n1及びn2は外側極端波長での屈折率であり、θは出口803に入る光線1202のための照射入射角である。一体成形の反射設計を用いる1つの利点は、底反射面が基板を有する必要が無いので、光学部品を形成する全線が、標的基板の頂面である像面に非常に近く配置されうることである。図12にあるように照射入射角θが式4を満たすのに十分高い場合、2つの反射面804及び806上で全内反射が起こり、この2つの面の上に反射被膜は必要とされない。ここでnは照射スペクトル内の最長波長のための屈折率である。しかしながら、多くの場合、第1及び第2の反射面それぞれ、804及び806はそれでも反射被膜で覆われている。1つの利点は、一体成形の光学要素の2つの円筒面を被膜することは、全内反射TIRの実施に関する位相遅延問題を最小化することである。付録A2重ミラー設計のためのレンズ一覧付録B一体成形設計のためのレンズ一覧"