エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムであって、花崗岩またはアルミニウム製の高品質の基部21と、移動式往復台を移動させるために同じ送り軸方向に平行するように配置および駆動される2個のリニアモータ22と、位置誤差を補償するために各前記リニアモータの位置値を検出し、前記位置値をフィードバックとして与えるリニアエンコーダ23と、基部21の表面を基準として用いて移動し、前記移動式往復台が移動できるように所定の接触力/張力/圧縮力を圧縮空気の力として付与するエアベアリングおよび真空パッド24と、前記基部に置いた器材を固定し、または荷重を移動させる移動式往復台25と、磁石のプリロード力を引き起こすための棒鋼26と、モーメントの外力に耐えることができるように高程度の剛性を形成するために前記エアベアリングおよび真空パッド24と逆方向に磁力をもたらすプリロードされた磁石27とで構成され、前記リニアエンコーダ23が、前記移動式往復台25の側面に設置した一対の側面リニアエンコーダ23-1、23-1’と、前記移動式往復台25の一側部の下部に設置した一対の下面リニアエンコーダ23-2、23-2’とで構成され、前記リニアエンコーダ23が、基準マーク41、垂直位置誤差を補償するためのLトラック42、および水平位置の誤差を補償するためのTトラック43を有するスケールに沿って移動する、誤差補償システム。前記移動式往復台25の左右側面に付着した前記一対の側面リニアエンコーダ23-1、23-1’の中から前記側面リニアエンコーダ23-1、23-1’の1つが、前記スケールに沿って移動するとき、Tトラック43についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの水平位置を補償するために与えられ、各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、前記スケールの前記水平位置に応じるために調整され、前記エアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整されることによって前記移動式往復台25の真直度誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。前記移動式往復台25の左右側面に付着した前記側面リニアエンコーダ23-1、23-1’が、前記スケールに沿って移動するとき、Lトラック42についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの垂直位置を補償するために与えられ、プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、フィードバックを与えた前記誤差値に応じるためにそれぞれ調整され、前記エアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整され、一方で同時に前記リニアモータ22が制御されることによって前記移動式往復台25のヨー誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。前記移動式往復台25の両端の下部に付着した前記下面リニアエンコーダ23-2、23-2’が、前記スケールに沿って移動するとき、Tトラック43についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの水平位置を補償するために与えられ、プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、フィードバックを与えた前記誤差値に応じるために同時に調整され、前記エアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整されることによって、前記移動式往復台25の平面度誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。前記移動式往復台25の両端の下部に付着した前記下面リニアエンコーダ23-2、23-2’が、前記スケールに沿って移動するとき、Tトラック43についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの水平位置を補償するために与えられ、前記下面リニアエンコーダ23-2、23-2’の各誤差値に関するフィードバックが与えられ、各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、フィードバックを与えた前記誤差値に応じるために調整され、前記エアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整されることによって前記移動式往復台25のピッチ誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。前記移動式往復台25の左右側面に付着した前記側面リニアエンコーダ23-1、23-1’の一対が、前記スケールに沿って移動するとき、Tトラック43についての誤差値に関するフィードバックが、前記スケールの水平位置を補償するために与えられ、各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、フィードバックを与えた前記誤差値に応じるために調整され、前記エアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整されることによって、前記移動式往復台25のロール誤差を補償する、請求項1に記載のエンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム。したがって、本発明は、上記課題を解決するために開発されたものであり、本発明の目的は、リアルタイムの位置誤差フィードバックを与えるためにリニアエンコーダを用い、次いでこのフィードバックに応じてエアベアリングパッドairbearingPADのプリロードされた真空エアの圧力を調整することによって、平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償する、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供することである。本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムは、花崗岩またはアルミニウム製の高品質の基部と、移動式往復台を移動させるために同じ送り軸方向に平行するように配置および駆動される2個のリニアモータと、位置誤差を補償するために各リニアモータの位置値を検出し、この位置値をフィードバックとして与えるリニアエンコーダと、基部の表面を基準として用いて移動し、移動式往復台が移動できるように所定の接触力/張力/圧縮力を圧縮空気の力として付与するエアベアリングおよび真空パッドairbearingandvacuumPADと、基部に置いた器材を固定し、または荷重を移動させる移動式往復台と、磁石のプリロード力pre-loadforceを引き起こすための棒鋼steelbarと、モーメントの外力に耐えることができるように高程度の剛性を形成するためにエアベアリングおよび真空パッドと逆方向に磁力をもたらすプリロードされた磁石pre-loadedmagnetとで構成され、これらリニアエンコーダが、移動式往復台の側面に設置した一対の側面リニアエンコーダと、移動式往復台の一側部の下部に設置した一対の下面リニアエンコーダとで構成され、リニアエンコーダが、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのLトラックLtrack、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラックTtrackを有するスケールに沿って移動されることを特徴とする。上記の通り、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムは、μm単位の高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、以下の利益、すなわち、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現することができるという利益を達成する。以下、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを、図面を参照することによってより詳細に説明する。本発明の説明において、関連したオープン構造または構成要素openstructureorcomponentの特定の説明が、本発明の要旨を不明瞭にするおそれがあると判断された場合、そのようなものについての詳細な説明は省略している。さらに、本明細書に記載されている用語は、本発明の機能を考慮して定義されたものであり、そのような用語は、顧客、操作者または使用者の目的または使用法に応じて代わり得る。したがって、定義は、本明細書全体を包含する詳細に基づいていなければならない。同じ参照符号は、図面全体を通じて同じ構造的要素を指す。図2は、本発明によるリニアステージの詳細正面図である。図3は、本発明によるリニアステージの平面図である。図4は、図2のリニアエンコーダおよびスケールの説明図である。図5は、図2のリニアエンコーダおよびスケールの詳細図である。図6は、図2のエアベアリングおよび真空パッドの詳細図である。図7は、図6のエアベアリングおよび真空パッドに装備され、プリロードされた真空エアベアリングの詳細図である。図8は、本発明による真直度誤差補償システムの説明図である。図9は、本発明によるヨー誤差補償システムの説明図である。図10は、本発明による平面度誤差補償システムの説明図である。図11は、本発明によるピッチ誤差補償システムの説明図である。図12は、本発明によるロール誤差補償システムの説明図である。図2~図12を参照すると、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムは、花崗岩またはアルミニウム製の高品質の基部21と、移動式往復台を移動させるために同じ送り軸方向に平行するように配置および駆動される2個のリニアモータ22と、位置誤差を補償するために各リニアモータの位置値を検出し、この位置値をフィードバックとして与えるリニアエンコーダ23と、基部21の表面を基準として用いて移動し、移動式往復台が移動できるように所定の接触力/張力/圧縮力を圧縮空気の力として付与するエアベアリングおよび真空パッド24と、基部に置いた器材を固定し、または荷重を移動させる移動式往復台25と、磁石のプリロード力を引き起こすための棒鋼26と、モーメントの外力に耐えることができるように高程度の剛性を形成するためにエアベアリングおよび真空パッド24と逆方向に磁力をもたらすプリロードされた磁石27とで構成される。リニアエンコーダ23は、移動式往復台25の側面に設置した一対の側面リニアエンコーダ23-1、23-1’と、移動式往復台25の一側部の下部に設置した一対の下面リニアエンコーダ23-2、23-2’とで構成され、このように構成されたリニアエンコーダ23が、基準マーク41、垂直位置誤差を補償するためのLトラック42、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラック43を有するスケールに沿って移動する。したがって、真直度、平面度、ピッチ、ヨー、およびロールに関連したフィードバックが可能になる。本明細書では、側面リニアエンコーダ23-1、23-1’および下面リニアエンコーダ23-2、23-2’が、移動式往復台25の両側にそれぞれ設置される。エアベアリングおよび真空パッド24は、プリロードされた真空エアベアリングpre-loadedvacuumairbearing70と共に単一のユニットとして構成され、エアベアリングおよび真空パッド24は、プリロードされた真空エアベアリング70の圧力を調整し、したがって、エアベアリングおよび真空パッドのプリロード力を制御可能である。ここで、図2~図12を参照して、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムの平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するシステムをより詳細に説明する。まず、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムの真直度誤差を補償するシステムを検討すると、移動式往復台25は、前述のように、基準マーク41、垂直位置誤差を補償するためのLトラック42、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラック43を有するスケールに沿って矢印によって示すような移動方向に移動する。したがって、移動式往復台25の左右側面に付着した一対の側面リニアエンコーダ23-1、23-1’の中から側面リニアエンコーダ23-1、23-1’の1つが、スケールに沿って移動するとき、Tトラック43についての誤差値に関するフィードバックが、スケールの水平位置を補償するために与えられ、各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、スケールの水平位置に応じるために調整され、したがってエアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧pre-loadedpressureが調整され、それによって移動式往復台25の真直度誤差を補償する。さらに、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムのヨー誤差を補償するシステムを検討すると、移動式往復台25は、前述のように、基準マーク41、垂直位置誤差を補償するためのLトラック42、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラック43を有するスケールに沿って矢印によって示すような移動方向に移動する。したがって、移動式往復台25の左右側面に付着した側面リニアエンコーダ23-1、23-1’が、スケールに沿って移動するとき、Lトラック42についての誤差値に関するフィードバックが、スケールの垂直位置を補償するために与えられ、各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、フィードバックを与えた誤差値に応じるために調整され、したがってエアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整され、一方で同時にリニアモータ22が制御され、それによって移動式往復台25のヨー誤差を補償する。加えて、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムの平面度誤差を補償するシステムを検討すると、移動式往復台25は、前述のように、基準マーク41、垂直位置誤差を補償するためのLトラック42、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラック43を有するスケールに沿って矢印によって示すような移動方向に移動する。したがって、移動式往復台25の両端の下部に付着した下面リニアエンコーダ23-2、23-2’が、スケールに沿って移動するとき、Tトラック43についての誤差値に関するフィードバックが、スケールの水平位置を補償するために与えられ、プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、フィードバックを与えた誤差値に応じるために同時に調整され、したがってエアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整され、それによって移動式往復台25の平面度誤差を補償する。また、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムのピッチ誤差を補償するシステムを検討すると、移動式往復台25は、前述のように、基準マーク41、垂直位置誤差を補償するためのLトラック42、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラック43を有するスケールに沿って矢印によって示すような移動方向に移動する。したがって、移動式往復台25の両端の下部に付着した下面リニアエンコーダ23-2、23-2’が、スケールに沿って移動するとき、Tトラック43についての誤差値に関するフィードバックが、スケールの水平位置を補償するために与えられ、下面リニアエンコーダ23-2、23-2’の各誤差値に関するフィードバックが与えられ、各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、フィードバックを与えた誤差値に応じるために調整され、したがってエアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整され、それによって移動式往復台25のピッチ誤差を補償する。また、本発明による、エンコーダフィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムのロール誤差を補償するシステムを検討すると、移動式往復台25は、前述のように、基準マーク41、垂直位置誤差を補償するためのLトラック42、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラック43を有するスケールに沿って矢印によって示すような移動方向に移動する。したがって、移動式往復台25の左右側面に付着した側面リニアエンコーダ23-1、23-1’の一対が、スケールに沿って移動するとき、Tトラック43についての誤差値に関するフィードバックが、スケールの水平位置を補償するために与えられ、各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が、フィードバックを与えた誤差値に応じるために調整され、したがってエアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整され、それによって移動式往復台25のロール誤差を補償する。[移動式往復台25]が、基準マーク41、垂直位置誤差を補償するためのLトラック42、および水平位置[誤差]を補償するためのTトラック43を有するスケールに沿って移動すると共に、フィードバック誤差が与えられ、各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が調整され、それによってエアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧が調整されるリアルタイムに誤差を補償するシステムが使用されてきたが、別個のレーザ走査装置を使用して基部の下面および側面を走査した後に、次いで誤差補償ソフトウェアを使用して各プリロードされた真空エアベアリング70の空気圧が調整され、それにより、エアベアリングおよび真空パッド24のプリロード圧を調整するライン測定に続く補償のシステムによって、平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償することも、もちろん可能になされる。本発明を、上記好適な実施に係る例を与えることを通じて説明してきたが、これら実施に係る例は、本発明を限定するものではなく、例示のために与えられるものであり、実施に係る例に対する変更、修正、または調整が、本発明の当業者によって様々なやり方で、本発明の技術的詳細から逸脱することなく行われてもよい。したがって、本発明の保護範囲は、本発明の技術的詳細の要旨の中に包含される変更、修正、および調整の全ての例を包含するように解釈されるものとする。