径方向の内周および径方向の外周を有する内側リング1110と、径方向の内周および径方向の外周を有する外側リング1130と、前記内側リングの前記径方向の外周に取り付けられ、前記径方向の外周の周りで対称に配置され、前記外側リングの前記径方向の内周に取り付けられた複数の支持要素1120とを備え、前記複数の支持要素1120により、前記内側リングが3次元で動くことができる、ばね取付け要素30。前記複数の支持要素がそれぞれ、ばね状の弓形部材から構成される、請求項1記載のばね取付け要素。前記複数の支持要素が、交互に互い違いに構成され、前記複数の支持要素のうち円周方向に隣接する支持要素が、前記内側リングおよび前記外側リングの反対側に位置する、請求項1記載のばね取付け要素。前記複数の支持要素がそれぞれ、アルミニウム、クロム、コバルト、鉄、マグネシウム、モリブデン、ニッケル、鋼鉄、チタン、タングステン、およびバナジウムの1つまたは組合せを含む、請求項1記載のばね取付け要素。前記外側リングが、複数の分割されたタブ1331から構成される、請求項1記載のばね取付け要素。前記複数の分割されたタブ1331の隣接するタブが、互いにつなぎ合わされる、請求項5記載のばね取付け要素。前記内側リングが、放射状に内方へ突出する鍵1511を含む、請求項1記載のばね取付け要素。前記内側リングが、複数の開口1611を含む、請求項1記載のばね取付け要素。前記内側リングが、少なくとも1つの開口1711を含む、請求項1記載のばね取付け要素。実質上同一のプロファイルおよび表面積の凹状の第1の表面15および第2の表面16であって、前記第1の表面が前記第2の表面に面する、第1の表面15および第2の表面16と、前記第1および第2の表面それぞれの対応する一部分上の少なくとも1つの導電性領域と、ばね取付け要素30であって、径方向の内周および径方向の外周を有する内側リング1110と、径方向の内周および径方向の外周を有する外側リング1130と、前記内側リングの前記径方向の外周に取り付けられ、前記径方向の外周の周りで対称に配置され、前記外側リングの前記径方向の内周に取り付けられた複数の支持要素1120とを備えるばね取付け要素30と、前記ばね取付け要素に取り付けられ、前記第1および第2の表面間を動くように前記第1および第2の表面間に支持されるプルーフマス20であって、前記プルーフマスの少なくとも一部分が導電性である、プルーフマス20とを備え、前記ばね取付け要素30により、前記プルーフマス20が3次元で動くことができる、加速度計10。添付の図を参照すると、本発明の態様による加速度計およびばね取付け要素の例が開示されている。説明の目的で、本発明の態様の完全な理解を提供するために、多数の特定の詳細について図面に示し、以下の詳細な説明で述べる。図示および記載の詳細は例示的であり、本発明の範囲に関して限定するものではない。しかし、これらの特定の詳細がなくても本発明の態様を実施できることは明らかであろう。他の例では、図面を簡略化するために、周知の構造およびデバイスは、概略的に示す。図1および2に示すように、一態様による加速度計10が、第1の板13および第2の板14内に形成された半球形の凹状の第1の表面11および第2の表面12を含み、第1の表面11は第2の表面12に面する。例示的な態様では半球形の表面を示すが、第1および第2の表面が実質上同一のプロファイルおよび表面積を有する限り、それだけに限定されるものではないが、多角形の表面、長円形の表面、双曲線形の表面、および放物線形の表面、ならびに任意の他の適した表面などの他の構成を使用することもできる。第1の表面11と第2の表面12は、曲率半径、表面積、ならびにそれだけに限定されるものではないが、深さ、および板13、14の表面における周囲の長さなどの他の寸法が、実質上同一である。第1の表面11と第2の表面12はそれぞれ、導電性領域であり、または導電性領域を保持する少なくとも一部分を有し、各導電性領域は、対応する部分の表面中心の周りで中心に位置決めされる。第1の表面11と第2の表面12の間には、屈曲板および/またはばねなどの実質上全方向性のばね状取付け要素30によって震動性または慣性プルーフマス20が懸架され、したがってプルーフマス20は、複数の次元で運動することができる。例示的な態様では球形のプルーフマス20を示すが、本発明の範囲内では、それだけに限定されるものではないが、多角形、長円形、双曲線形、および放物線形のプロファイルなどの他の構成またはプロファイルを使用することもできる。ばね取付け要素30により、1次元、2次元、または3次元のプルーフマスの運動を可能にする。知られているように、多次元空間における物体の運動は、軸に沿った運動成分によって説明することができる。たとえば、2次元の運動は、2つの相互に直角の軸に沿った運動成分によって説明することができる。同様に、たとえば3次元の運動は、3つの相互に直角の軸に沿った運動成分によって説明することができる。プルーフマス20の少なくとも一部分は、導電性である。プルーフマス20と第1の表面11および第2の表面12の間の空間25は、誘電体として作用する気体で充填される。一態様では、気体は、ヘリウムなど、非反応性であり、または高温で低い反応性を有するが、本明細書に開示する目的に適した低い反応性を有する限り、他の気体を使用することもできる。ばねの偏向を可能にするため、第1および第2の板はそれぞれ、対応する半球形の表面11、12の開口の周りに、切頭円錐形の切抜き15、16などの切抜きを含む。第1の板13および第2の板14の係合表面17、18の残りの部分は、屈曲板に係合して保持する。本発明のいくつかの態様では、第1の板13および第2の板14、ばね取付け要素30、ならびにプルーフマス20は、非導電性の材料から作られる。第1の板11および第2の板12ならびにプルーフマス20の導電性部分は、板13、14の第1の表面11および第2の表面12ならびにプルーフマス20に金属または導電性被覆を施すことによって形成される。そのような被覆は厚さを有するが、厚さが実質上均一である限り、厚さの影響は均衡であり、かつ/または無視できるほどである。高温の用途では、金属被覆は、加速度計およびばねが露出される高温で被覆が乱されないように、融点の高い金属から作られる。高温の用途で第1の板13および第2の板14が作られる材料は、高温に耐えるセラミック材料とすることができる。他の用途には、本発明の範囲内で適宜、他の材料を用いることもできる。図1および2では、板13、14を円筒形として示すが、態様では、他の形状を用いることもできる。同様に、ばね取付け要素30の運動を可能にする切抜き部分15、16を切頭円錐形として示すが、ばね取付け要素30の適当な運動に対応する限り、他の形状を適用することもできる。震動性または慣性プルーフマス20が作られる材料もまた、特に高温の用途ではセラミック材料とすることができるが、他の適した材料を使用することもできる。図1に示すように、ばね取付け要素30は、ばね取付け要素30の内周部がプルーフマス20とともに動くように、プルーフマス20に取り付けられる。外周部では、ばね取付け要素30は、上部板13および下部板14の端部17、18によって保持される。この組立て体をともに保持し、封止されたチャンバを提供して誘電体の気体を保持するために、外側筐体40を含むことができる。外側筐体は、ステンレス鋼、セラミック、または高温の用途の態様に適した別の耐熱性の材料とすることができる。図1に示す外側筐体40は一例にすぎず、本発明の様々な態様の範囲から逸脱することなく、外側筐体の他の形状、寸法、タイプ、および組立てを使用することもできる。図3および4に見られるように、それぞれの半球形の表面11、12の一部分は、対応する導電性領域310、320を保持する。図3および4に示す態様では、各表面11、12全体を金属で被覆して導電性領域310、320を形成するが、導電性領域310、320が同じ寸法であり、導電性領域310、320の中心が、導電性領域310、320を付着させる対応する表面の表面中心と一致する限り、より小さい被覆面積を用いて導電性領域310、320を形成することもできる。各導電性領域310、320は、プルーフマス20とともにキャパシタを形成する。各表面上に単一の被覆部分310、320が位置するとき、加速度計10は、単一の軸に沿って加速度成分を測定することができ、それは、加速度計10がその軸に沿って加速度または少なくとも加速度成分を受けるとき、プルーフマス20の偏向によって引き起こされる静電容量の変化によって行われる。たとえば、図3に見られるように、z軸と標示する単一の測定軸が、半球の中心を通過する。図5および6に見られるように、一態様では、それぞれの半球形の表面11、12内で4つの部分を用いており、これらの部分は、導電性領域410、420、430、440、450、460、470、および480であり、またはこれらの導電性領域を保持する。これらの領域の組合せを用いて、加速度または加速度成分を3次元で測定する。8つの導電性領域410、420、430、440、450、460、470、および480は、これらの導電性領域のうち隣接する領域から電気的に分離される。電気的な分離は、たとえば、表面のうち被覆されていない部分を残して領域間に境界を形成することによって実現される。各導電性領域は、隔置されたプルーフマスとともにキャパシタを効果的に形成する。領域の対向ペアは、対向キャパシタを形成し、これらのキャパシタは、対応する対向ペアを通過する軸に沿って、加速度または少なくとも加速度成分を測定することができる。さらに、領域セットまたはグループの対向ペアを使用して、領域グループの対応する対向ペアを通過する軸に沿って、加速度または少なくとも加速度成分を測定することもできる。たとえば、態様では、図5および6に見られるように8つの導電性領域の組合せを使用することで、たとえば3つの相互に直角のデカルト軸に沿って加速度成分を測定することによって、空間における加速度の測定を可能にする。図6に標示するy軸に沿った加速度成分の測定は、第1のセットの領域410および450の総静電容量と第2のセットの領域430および470の総静電容量を比較することによって実現することができ、図6に標示するx軸に沿った加速度成分の測定は、第3のセットの領域420および460の総静電容量と第4のセットの領域440および480の総静電容量を比較することによって実現することができ、またz軸に沿った加速度成分の測定は、第5のセットの領域410~440の総静電容量と第6のセットの領域450~480の総静電容量を比較することによって実現することができる。他のセットおよび向きを使用して、類似の結果を提供することもできる。一態様では、上記で論じた半球形の表面ごとに単一の導電性領域をもつ場合と同様に、導電性領域は、各導電性領域の中心が、導電性領域を付着させる対応する部分の表面中心と一致する限り、表面のうち導電性領域を付着させる対応する部分より小さくすることができる。さらに、導電性領域はすべて、実質上同じ寸法にするべきである。より一般的な原則は、対向する導電性領域または対向する対称形の導電性領域セットもしくはグループおよびプルーフマスによって形成されるキャパシタの対向セットは、最初の位置で対向する電気的部分の中心およびプルーフマスの中心を通過する軸に沿って、加速度を測定できることである。したがって、本発明は、上述のように半球形の表面ごとに1つまたは4つの導電性領域に限定されるものではなく、所与の状況に対して適宜、2つ、3つ、5つ、またはそれ以上の導電性領域を有することができる。図7および8に見られるように、一態様による代替の3軸加速度計では、互いから電気的に分離された6つの導電性領域610、620、630、640、650、660を用いており、それぞれの半球形の表面11、12内に3つずつ存在する。この場合も、電気的な分離は、表面のうち被覆されていない部分を残して領域間に境界を形成することによって実現することができる。半球11、12は、実質上同一の構成の導電性領域を有するが、x-y平面内で一方を他方に対して180度回転させて、上部半球11の領域610、620、630を、下部半球12の対応する領域640、650、660からプルーフマス20の反対側に配置する。各領域は、隔置されたプルーフマス20とともに対応するキャパシタを効果的に形成し、これらの領域の対向ペア610/660、620/650、および630/640は、対応する対向ペアの領域の中心を通過する軸に沿って、加速度または少なくとも加速度成分を測定することができる。図7および8に見られるように3つの対向ペアを使用することで、3つの軸に沿った測定を可能にし、したがって調整回路ならびに/または処理ハードウェアおよび/もしくはソフトウェア内で加速度計10の正しい向きおよび/または適当な補正係数を適用することによって、3つの相互に直角のデカルト軸に沿った加速度成分を測定することができる。半球形の表面ごとに1つおよび4つの導電性領域を用いる上記で論じた態様と同様に、態様の導電性領域は、各導電性領域の中心が、導電性領域を付着させる対応する部分の表面中心と一致する限り、表面のうち導電性領域を付着させる対応する部分より小さくすることができる。さらに態様では、導電性領域はすべて、同じ寸法にするべきである。上記で論じた態様では、プルーフマスおよびキャパシタの対向ペアまたはキャパシタの対称形の対向セットもしくはグループは、調整回路に接続される。調整回路は、各キャパシタまたはキャパシタグループとプルーフマスの間の静電容量を監視し、キャパシタの対向ペアまたはキャパシタの対称形の対向セットもしくはグループ間の微分静電容量を示す電圧など、対応する信号を提供する。各信号は、加速度計によって受ける加速度の大きさおよび/または方向を、監視される静電容量が初期値から変化した程度の関数として表す。したがって、図9に見られるように、加速度の単軸測定は、第1のキャパシタまたはキャパシタセットを含む第1の静電容量910および第2のキャパシタまたはキャパシタセットを含む第2の静電容量920を調整回路930へ接続することによって実現することができる。調整回路930は、第1の静電容量910と第2の静電容量920の間の微分静電容量を示す信号940を提供する。信号940は、加速度計によって受ける加速度の大きさおよび/または方向を、第1の静電容量910および第2の静電容量920が初期値から変化した程度の関数として示す。同様に、図10に見られるように、加速度の3軸測定は、第1の静電容量1010、第2の静電容量1020、第3の静電容量1030、第4の静電容量1040、第5の静電容量1050、および第6の静電容量1060を調整回路1070に接続することによって実現することができる。上記のように、各静電容量は、単一のキャパシタまたは1組のキャパシタとすることができる。調整回路1070は、第1の静電容量1010と第2の静電容量1020の間の微分静電容量を示す第1の信号1080、第3の静電容量1030と第4の静電容量1040の間の微分静電容量を示す第2の信号1085、および第5の静電容量1050と第6の静電容量1060の間の微分静電容量を示す第3の信号1090を提供する。図11は、本発明の一態様によるプルーフマス20を保持するために使用できるばね取付け要素30の斜視図を示す。ばね取付け要素は、内側リング1110、複数の支持要素1120、および外側リング1130から構成される。内側リング1110は、プルーフマス20に取り付けられる。支持要素1120は、内側リング1110の周辺部または外周の周りに対称に配置されてそこに取り付けられた弓形の材料片から構成することができる。支持要素はまた、外側リング1130の内周に取り付けられる。外側リングは、上部板13および下部板14の端部17、18図2参照によって固定することができる。プルーフマスは、内側リング1110に固定され、支持要素1120によって3次元で全方向に動くことができる。支持要素の数および形状は、特定の用途で望みに応じて、設計で変更させることができる。内側リング1110および外側リング1130ならびに支持要素1120は、それだけに限定されるものではないが金属、金属合金、プラスチックを含む任意の適した材料から作ることができる。たとえば、高温の用途では、材料は、アルミニウム、クロム、コバルト、鉄、マグネシウム、モリブデン、ニッケル、鋼鉄、チタン、タングステン、およびバナジウムの1つまたは組合せから選択することができる。支持要素1120は、全方向性のばねとして協働して機能する半円形または弓形の材料片から構成することができる。図12に示すように、支持要素のアレイは、互い違いに構成することができる。一例のみとして、複数の支持要素1120の周りを時計回りに進むと、第1の支持要素は、軸方向に上方z軸へ突出するように構成することができ、時計回り方向に次の支持要素は、軸方向に下方-z軸へ突出するように構成することができ、このパターンは、すべての支持要素が内側リングと外側リングの間に配置されるまで繰り返すことができる。言い換えれば、支持要素は、交互に互い違いに構成することができ、隣接する支持要素は、内側リングおよび外側リングの反対側に位置する。複数の支持要素1120は、実質上放射状の向きであり、運動中に3次元でプルーフマス20を効果的かつ予測可能に支持する。支持要素1120の構成および形状は、1組の支持要素たとえば、z軸要素の膨張または収縮が、対向する組の支持要素たとえば、-z軸要素によって打ち消されるため、温度の影響に対する感度を低減させる。さらに、片側たとえば、左側の要素は、反対側たとえば、右側の要素の膨張または収縮を打ち消す。図11および12に見られるように、ばね取付け要素30は、3つの次元すべてにおいて対称とすることができ、複数の支持要素1120の対称の性質により、ばね取付け要素30の直線性を高める。図13は、本発明の別の態様によるプルーフマス20を支持するために使用できるばね取付け要素1300の上面図を示す。図13は、製造中で、支持要素1320が半円形の形状に形成される前のばね取付け要素1300を示す。ばね取付け要素1300は、打抜きまたは機械加工された半加工品から形成することができ、内側リング1310、複数の支持要素1320、および外側リング1330を含む。外側リング内には、複数の分割されたタブ1331が形成され、隣接するタブ間に間隙または空間が形成される。図14は、支持要素1320が半円形の形状に形成された後のばね取付け要素1300の上面図を示す。支持要素1320をカーブまたは湾曲させて所望の形状にした後、タブ1331を含む外側リング要素は、内側リング1310の方へ放射状に内方へ動くことが分かる。それぞれの隣接する支持要素1320は、ある支持要素がz軸方向に突出するのに対して、隣接する支持要素が-z軸方向に突出するという点で、図11および12に示す要素と同様に構成することができる。タブ1331は、それだけに限定されるものではないが、溶接および接着の用途を含む任意の適した方法によって、直接的に、または外側の支持リング複数可によって、互いにつなぎ合わせることができ、あるいはタブは、特定の用途で望みに応じて、離したままにすることができる。外側リング1330は、上部板13および下部板14の端部17、18図2参照によって固定することができる。さらに、端部17、18は、複数の円周方向に配置された支柱および孔図示せずを含むことができる。たとえば、支柱は、端部18上に配置して上方へ延ばすことができ、対向する孔は、端部17内に形成し、支柱の位置と位置合わせすることができる。1つまたは複数のタブ1331は、任意選択の孔1340を有することができ、孔1340もまた、端部17、18内の支柱および孔と位置合わせされる。外側リング1330は、支柱の上に配置することができ、これらの支柱は、ばね取付け要素の望ましくない動きを防止するのを助けるはずである。少数の孔1340だけを示すが、孔1340は、周囲のタブ1331の1つまたは複数の中に存在しうることを理解されたい。外側リング1330およびタブ1331はまた、2次外側リング図示せずにつなぎ合わせることができる。2次外側リングは、外側リング1330の少なくとも片側を覆うように、タブ1331の上および/または下に配置されるはずであり、次いで任意の適した方法たとえば、溶接、接着などで、2つの要素をつなぎ合わせることができる。次いで端部17と端部18の間に、2つの層2次外側リングおよび外側リング1330/タブ1331によって形成されるを挟むことができる。プルーフマス20は、固体の単一の要素として構成することができ、または複数の部品たとえば、2つ以上からなる要素とすることができる。非限定的な一例のみとして、プルーフマスは、2つの半体によって形成することができ、2つの半体は、ばね支持要素上の対応する部材に係合するために使用される1つまたは複数の部材を含むことができる。図15は、内側リング1510、支持要素1520、および外側リング1530を有するばね取付け要素1500の上面図を示す。内側リング1510は、鍵要素1511を含む。この鍵要素は、放射状に内方へ図示の通り、放射状に外方へ、または特定の用途で望みに応じて、任意の他の適した方向に突出するように構成することができる。鍵要素1511は、プルーフマス20内に形成された対応する凹部に係合するように設計される。図16は、内側リング1610、支持要素1620、および外側リング1630を有するばね取付け要素1600の上面図を示す。内側リング1610は、1つまたは複数の開口1611を含む。開口1611は、特定の用途で望みに応じて、任意の適した形状および数で構成することができる。開口1611は、プルーフマス20内の対応する突出部に係合するように設計される。図17は、内側リング1710、支持要素1720、および外側リング1730を有するばね取付け要素1700の上面図を示す。内側リング1710は、円形でない開口1711を含む。開口1711は、特定の用途で望みに応じて、任意の適した形状たとえば、方形、多角形、楕円形を構成することができる。開口1711は、プルーフマス20内の1つまたは複数の対応する突出部に係合するように設計される。本明細書に開示する態様を適用することによって、小型の頑丈な加速度計が提供される。具体的には、ガスタービン内に位置する場合などの極限の温度に耐える多軸加速度計が提供される。さらに、ばね取付け要素は、物体または組立て体が3次元で高精度のばね支持を必要とするときはいつでも使用することができる。本開示について、1つまたは複数の例示的な態様を参照して説明したが、本開示の範囲から逸脱することなく、様々な変更を加えることができ、本開示の要素を等価物に置き換えることができることが、当業者には理解されるであろう。さらに、本開示の範囲から逸脱することなく、特定の状況または材料を本開示の教示に適合させるために、多くの修正を加えることができる。したがって、本開示は、本発明を実施するために企図される最良の形態として開示する特定の態様複数可に限定されるものではなく、本発明は、添付の特許請求の範囲の範囲内に入るすべての態様を含むものとする。