"少なくとも一つの入力ポートと、該入力ポートから入力される波長多重された入力光を、波長毎の光に分散する分散部と、該分散部により分散される前記波長毎の光を集光する集光素子と、該集光素子により集光される前記波長毎の光をそれぞれ偏向する偏向素子を有する偏向部と、該偏向部で偏向された前記波長毎の光を出力光として出力する少なくとも一つの出力ポートと、前記入力ポートと前記分散部との間の光路中または前記分散部内に配置され、前記入力ポートの配置に基づいて生じる前記偏向素子に対する前記波長毎の光の集光位置のずれを補正する、集光位置ずれ補正素子と、を備えることを特徴とする波長選択スイッチ。前記入力ポートは第1の方向に配置され、前記集光位置ずれ補正素子は、前記入力光の進行方向に直交し、かつ、前記第1の方向に直交する第2の方向に屈折力を有し、前記第2の方向の屈折力が前記第1の方向の位置により異なる請求項1に記載の波長選択スイッチ。前記偏向素子上に集光される前記波長毎の光のスポットが楕円形状となるように、前記入力ポートから入力された前記入力光を整形するビーム整形光学系を備え、前記集光位置ずれ補正素子は、前記ビーム整形光学系内に設けられている請求項2に記載の波長選択スイッチ。前記ビーム整形光学系は、前記入力光の前記進行方向に沿って、前記集光位置ずれ補正素子と、少なくとも前記第1の方向に屈折力を有する第1の光学部材と、前記第2の方向にのみ屈折力を有する第2の光学部材とを備える請求項3に記載の波長選択スイッチ。前記ビーム整形光学系は、前記入力光の前記進行方向に沿って、少なくとも前記第1の方向に屈折力を有する第1の光学部材と、前記集光位置ずれ補正素子とを備える請求項3に記載の波長選択スイッチ。前記分散部は、前記入力光を波長毎の光に分散する分散素子と、前記分散素子により分散された前記波長毎の光を反射させて再び前記分散素子に入射させる反射素子とを備え、前記集光位置ずれ補正素子は前記反射素子と一体として形成されている請求項1または2に記載の波長選択スイッチ。前記偏向素子上に集光される前記波長毎の光のスポットが楕円形状となるように、前記入力ポートから入力された前記入力光を整形するビーム整形光学系を備え、前記集光位置ずれ補正素子は、前記ビーム整形光学系内に設けられている請求項1に記載の波長選択スイッチ。前記入力ポートは、第1の方向に配置され、前記集光位置ずれ補正素子は、前記入力光の進行方向に直交し、かつ、前記第1の方向に直交する第2の方向に屈折力を有し、且つ、前記第2の方向に直交する屈折面の断面が、前記第1の方向の位置に応じて前記入力光の進行方向に傾いている請求項1または7に記載の波長選択スイッチ。前記集光位置ずれ補正素子は屈折力が無く、且つ、前記入力光が前記集光位置ずれ補正素子を通る空気換算長が、前記集光位置のずれを補正するように異なる長さに設定される請求項1または7に記載の波長選択スイッチ。前記入力ポートは第1の方向に配置され、前記集光位置ずれ補正素子は、それぞれの前記入力ポートに対応して、前記第1の方向の位置に対する、前記入力光の進行方向の厚さが、段差を有して変化する部材で構成される請求項9に記載の波長選択スイッチ。前記集光位置ずれ補正素子の前記入力ポート側の面に配置され、前記入力光をそれぞれコリメートするマイクロレンズを備え、前記集光位置のずれを補正するように、前記マイクロレンズの曲率半径および前記入力ポートと前記マイクロレンズとの間の距離が、前記集光位置ずれ補正素子の前記空気換算長とともに設定される請求項9または10に記載の波長選択スイッチ。前記偏向素子上に集光される前記波長毎の光のスポットが楕円形状となるように、前記入力ポートから入力された前記入力光を整形するビーム整形光学系を備える請求項1に記載の波長選択スイッチ。前記入力ポートは第1の方向に配置され、前記分散部は、前記集光位置ずれ補正素子と一体として構成され、前記入力光の進行方向に直交し、かつ、前記第1の方向に直交する第2の方向に入力光を波長毎の光に分散するととともに、前記第2の方向に屈折力を有し、該屈折力が前記第1の方向の位置により異なる請求項1または12に記載の波長選択スイッチ。前記分散部は回折格子を含み、該回折格子は、前記第1の方向に区分された複数の領域を有し、隣接する前記複数の領域の境界で前記回折格子の格子ピッチは不連続であり、かつ、少なくとも一つの前記領域の前記格子ピッチは、前記第2の方向に沿って変化する請求項13に記載の波長選択スイッチ。前記入力ポートおよび前記出力ポートは第1の方向に配置され、前記偏向素子は、回動軸が前記波長毎の光の前記集光位置からずれたミラーであり、前記集光位置ずれ補正素子は、前記入力ポートと前記出力ポートとの組み合わせに応じて異なる前記偏向素子の偏向角度に対応して、前記入力ポートからの前記波長毎の光の前記集光位置を、前記出力ポートの位置と共役になるように補正する、前記第1の方向に非対称な構造を持つ素子である請求項1から14に記載の波長選択スイッチ。波長選択スイッチは、それぞれ、波長選択スイッチの異なる位置の入力ポートから光を入力し、異なる位置の出力ポートから出力させる。典型的には、入力ポートおよび出力ポートは、光が入射出射する端面が、直列に配列され、波長選択スイッチ内へ光を入力または出力させる。このため、入力および出力ポートを通る光の高さ位置は、入力ポートおよび出力ポート毎にそれぞれ異なっている。したがって、集光位置である偏向素子の偏向素子面近傍で、ポート毎の光軸からの距離に起因する像面湾曲を生じる。言い換えれば、入出力ポートの配列方向の位置に依存して、集光位置の位置ずれが生じる。入出力ポートが増加するに従ってこの集光位置の位置ズレが顕著になることは明らかである。このように、偏向素子近傍で集光位置がずれると、偏向素子のミラー等の偏向素子面上での光のスポットが大きくなる。それによって、出力光の入出力ポートへの結合効率が低下し、通信品質が劣化する。特に、偏向素子は、分散素子の分散方向に直列に配列されるので、この分散方向へのビームの広がりは、通信品質を大きく低下させる。さらに、今後1本の光ファイバを用いて、より高速に変調された光信号を多重化するためには、波長毎の透過帯域幅をますます広帯域化しなければならない。このため、分散方向の集光スポットをより狭くすることが必要となり、集光位置ずれに対する結合効率等の品質劣化の感度がより高くなる。したがって、これらの点に着目してなされた本発明の目的は、偏向部における集光位置ずれを補正し通信品質を向上した波長選択スイッチを提供することにある。上記目的を達成する第1の観点に係る波長選択スイッチの発明は、少なくとも一つの入力ポートと、入力ポートから入力される波長多重された入力光を、波長毎の光に分散する分散部と、分散部により分散される波長毎の光を集光する集光素子と、集光素子により集光される波長毎の光をそれぞれ偏向する偏向素子を有する偏向部と、偏向部で偏向された波長毎の光を出力光として出力する少なくとも一つの出力ポートと、入力ポートと分散部との間の光路中または分散部内に配置され、入力ポートの配置に基づいて生じる偏向素子に対する波長毎の光の集光位置のずれを補正する、集光位置ずれ補正素子と、を備えることを特徴とするものである。なお、集光位置のずれを補正するとは、集光位置を出力ポートの出射端面と共役になるように補正することを意味し、必ずしも集光位置を偏向素子の偏向素子面ミラー面上に一致させるものではない。本発明によれば、集光位置ずれ補正素子を用いて、入力ポートの配置に基づいて生じる、偏向素子の偏光面に対する波長毎の光の集光位置のずれを補正するようにしたので、偏向部における集光位置ずれを補正し通信品質を向上することができる。以下、本発明のある態様に係る実施の形態について、図面を参照して説明する。第1実施の形態図1Aおよび図1Bは、それぞれ本発明の第1実施の形態に係る波長選択スイッチの構成を示す側面図および上面図である。波長選択スイッチ1は、入出力部10、マイクロレンズアレイ11、集光位置ずれ補正素子20、シリンドリカルレンズ12および13、レンズ14、分散部を構成する分散素子回折格子15、集光素子を構成するレンズ集光レンズ16、偏向部を構成する偏向器17を含んで構成されている。なお、シリンドリカルレンズ12は、第1の光学部材であり、シリンドリカルレンズ13は第2の光学部材である。図1において、入出力部10は、アレイ状に配置された光ファイバにより構成される入力ポート10a~10c及び10eと出力ポート10dとを備える。この入力ポート10a~10c及び10eおよび出力ポート10dは、それぞれ、波長選択スイッチ1の外部からの波長多重された信号光を入力させ、また、外部へ信号光を出力させるものである。以下、説明の便宜上、入力ポート10a~10c及び10eおよび出力ポート10dを、適宜、入出力ポート10a~10eとまとめて表記する。各光ファイバの一端は波長選択スイッチ1内にあり、他端は波長選択スイッチ1の外部と接続されている。入出力ポートの数は例えば10以上とし、より多数の入出力ポートを設けることができるが、図1Aにおいては、説明の都合から、入出力ポート10cを中心とする5つの入出力ポート10a~10eのみを図示している。また、各入出力ポート10a~10eとマイクロレンズアレイ11内の各マイクロレンズは対になっている。この各マイクロレンズは、各入出力ポート10a~10c及び10eから入力される光を平行光束に変換し、また、入出力ポート10dに向けて出力される平行光束を光ファイバに結合させる。また、各入出力ポート10a~10c及び10eと各マイクロレンズアレイ11のマイクロレンズを通って波長選択スイッチ1内に入力された光、および、入出力ポート10dを通って波長選択スイッチ1から出力される光は、それぞれ互いに平行な光束となる。以下において、入出力ポート10a~10eおよびマイクロレンズアレイ11を透過した平行光束の進行方向を光軸方向z方向:図1Aにおいて水平方向とする。この光軸方向は、シリンドリカルレンズ12,13による合成レンズおよびレンズ14からなる光学系の光軸方向でもある。また、入出力ポート10a~10eおよびマイクロレンズアレイ11の配列された方向を第1の方向y方向:図1Aにおいて鉛直方向とする。光軸方向と第1の方向とは、互いに直交する。さらに、光軸方向および第1の方向y方向のそれぞれに直交する方向を第2の方向x方向と呼ぶ。なお、現実の波長選択スイッチの光路中に、図示しないミラー、プリズム等の偏向部材が光路を折り曲げるために配置されている場合には、x方向及びy方向との説明は、このような偏向部材が無いものとした仮想的な光学系を前提として用いられることとする。集光位置ずれ補正素子20は、第2の方向x方向にのみ屈折力を有する透過型の素子である。この第2の方向x方向の屈折力は、第1の方向y方向の位置に依存して変化する。シリンドリカルレンズ12は、第1の方向y方向に光束を縮める、すなわち、第1の方向y方向に屈折力を有するレンズである。シリンドリカルレンズ12による第1の方向y方向の焦点距離はf1である。また、シリンドリカルレンズアナモルフィックレンズ13は、第2の方向x方向に光束を縮める、すなわち、第2の方向x方向にのみ屈折力を有するレンズである。なお、本願では屈折力の語は所謂光学パワーを意味するものであり、平行光束を収束させる方向に偏向させる度合いを正の屈折力、拡散させる方向に偏向させる度合いを負の屈折力と呼ぶ。本願は、この定義に基づいて、透過型の光学素子のみならず、反射型の素子や、回折を伴う素子について用いても屈折力の語を用いている。シリンドリカルレンズ13による第2の方向x方向の焦点距離及びレンズ配置は、第2の方向x方向の集光位置がシリンドリカルレンズ12により集光される第1の方向x方向の集光位置と一致するように設定される。すなわち、シリンドリカルレンズ13の焦点距離は、シリンドリカルレンズ12の焦点距離f1よりも短い。これによって、マイクロレンズアレイ11により平行光束となった入力光は、集光位置ずれ補正素子20、シリンドリカルレンズ12およびシリンドリカルレンズ13によって、ほぼ一次集光面Sf上に集光される。なお、集光位置ずれ補正素子20、シリンドリカルレンズ12およびシリンドリカルレンズ13は、ビーム整形光学系25を構成する。レンズ14の前側焦点位置は、集光位置ずれ補正素子20、シリンドリカルレンズ12およびシリンドリカルレンズ13による入力光の焦点位置と一致する。言い換えれば、レンズ14は前側焦点位置が一次集光面Sf上に位置する。さらに、シリンドリカルレンズ12,13およびレンズ14を含む光学系の光軸は、例えば、z軸方向に沿い入出力ポート10cを通るように配置される。また、分散素子15は、一次集光面Sfとレンズ14との距離と、レンズ14と分散素子15の分散回折面との距離とが、共に等しくレンズ14の焦点距離f3となる位置に配置される。分散素子15は、例えば、分散面上に第1の方向y方向に平行な格子が形成された回折格子である。分散素子としては、波長毎の光の分解性能が高くより分散角が大きいものが望ましい。図1Bに示すように、レンズ14を透過した入力光は、略平行光束となって分散素子15に入射し、分散素子15の分散面上でx方向に波長毎に異なる角度で回折される。すなわち、分散素子15は入力光を入力光に含まれる波長毎の光に分離する。なお、簡単のために、図1Aでは入出力部10から偏向器17に至るz方向の光路を、直線的に示している。さらに、レンズ16および偏向器17は、分散素子15の分散面からレンズ16までの距離およびレンズ16から偏向器17の偏向素子18の偏向素子面ミラー面までの距離が、それぞれ、レンズ16の焦点距離f4となるように配置される。これにより、図1Bに示すように、分散素子15で分散された波長毎の光は、レンズ16により互いに平行な収斂光束となって、各波長に対応した偏向素子18a~18eに略垂直に入射する。また、図1Aに示すように、一次集光面Sf上の集光点を通過した入力光は、分散素子15で分散された後、yz平面内でレンズ16の光軸と偏向素子18の偏向素子面とが交わる高さ位置y方向の位置に集光する。このことは、入出力ポート10a~10c及び10eの何れから入力された入力光も、同じ高さ位置の偏向素子18波長に応じて18a~18eのいずれかに集光されることを意味する。偏向器17は、例えば、MEMSミラーアレイであり、偏向素子18は、MEMSミラーアレイを構成するマイクロミラーである。偏向素子18は、分離される波長に対応して、上述のレンズ16の光軸の高さ位置に、並列に配置される。この偏向素子18は、それぞれのミラーを独立に制御して傾きを変えることができる。特に、図1Aにおけるyz平面内での傾きを変えることにより、入射した波長毎の光を入射方向とは異なる高さ方向へ反射する。なお、図1Bに示すように、y軸方向から見たとき、波長毎の光は偏向素子18a~18eに垂直に入射し、垂直に反射される。なお,マイクロミラーの傾き制御方向はyz平面内に限るものではない。例えばyz平面に傾く際の回転軸と直交する回転軸について傾きを与えることも出来る。この傾きを与えることによって、y軸方向から見たとき、該マイクロミラーに入射する波長の光は入射方向とは異なる角度へ反射し、隣接する入力ポートから出力ポートへのクロストークを抑制して任意の光減衰を行うことが出来る。また、図1Bにおいて、偏向素子18は、5つのみ図示されているが、偏向素子18の数は、5つに限定されない。各偏向素子18a~18eにより反射された波長毎の光は、それぞれレンズ16を通り分散素子15で回折され、入力光と反対方向の光路を経て、入出力部10のうち入力用に用いられた入出力ポート以外の入出力ポート10dに出力される。なお、何れの入出力ポート10a~10eを入力用または出力用として用いるかは、適宜設計することが可能である。すなわち、入出力ポート10aのみを入力用として用いて、それ以外の入出力ポートを出力用に用いてもよいし、入力用のポートと、出力用のポートと、を複数ずつ設けても良い。図1Aおよび図1Bでは、入出力ポート10a~10c及び10eが入力ポートであり、入出力ポート10dが出力ポートである場合において、入出力ポート10aから波長多重された入力光が入力され、特定の波長の出力光が入出力ポート10dから出力される場合を図示している。図1Aにおいて、入出力ポート10aはシリンドリカルレンズ12,13およびレンズ14による光学系の光軸からの距離位置がY1である。入出力ポート10aからの入力光は、図1Aにおいて実線で示されるように、ビーム整形光学系25によって、一次集光面Sf上に集光した後、レンズ14により光軸からの距離がY2の平行光束となり、分散素子15により波長毎に分散され、レンズ16を通り、それぞれ波長毎に偏向素子18a~18eに集光する。ここで、偏向素子18a~18eに入力した光のうち、少なくとも1つの波長の光を入出力ポート10dから出力する場合は、対応する偏向素子18の偏向方向を制御して、図1Aに破線で示すように、所定の方向に特定の波長の光を反射させる。偏向素子18によって反射された特定波長の光は、レンズ16を通り、分散素子15、レンズ14、ビーム整形光学系25およびマイクロレンズアレイ11の対応するマイクロレンズを経て、入出力ポート10dから出力される。同じ入出力ポート10dに出力する波長の光が複数ある場合は、それら複数の波長の光が分散素子15で合波される。次に、ビーム整形光学系25の機能を、図2および図3を用いて説明する。図2は、図1の入出力ポート10a~10eから集光点近傍までおよび偏向素子18近傍におけるビームを示す斜視図である。また、図3A、図3Bおよび図3Cはそれぞれ、一次集光面Sf、後述するダミー平面Sd、および偏向素子面Smにおける、ビームの形状を示す図である。これらの図では、入出力ポート10aおよび入出力ポート10cが、ともに入力用ポートとして用いられる。まず、本実施の形態では、屈折力が第1の方向y方向のシリンドリカルレンズ12と屈折力が第2の方向x方向のシリンドリカルレンズ13とを、光路上の位置を異ならせて配置し、シリンドリカルレンズ13により大きな屈折力を持たせている。すなわち、この光学系は第2の方向x方向により大きな開口数を有する。このため、一次集光面Sf上では、入出力ポート10cからの入力光が、図3Aに実線で示すように楕円形状B1となる。この楕円形状のスポットは、図3Cに実線で示すように、レンズ14および16により共役な関係にある偏向素子面Sm上に、楕円形状のスポットB1として結像される。このスポットは、分散素子15によって波長毎に分離されているので、複数のスポットが波長の分離方向である水平方向に並列に並ぶことになる。ここで、この波長選択スイッチ1でより多くの波長の切り換えを行うためには、入力光に含まれる波長毎の光の周波数間隔をより狭くすることが必要となる。とくに、占有波長帯域幅が狭くなる50GHzスペーシングでは、より波長の分離方向に狭い偏向素子18を用いて、その偏向素子18により幅の狭いスポットを集光させる必要がある。本実施の形態のように、ビーム整形光学系25を用いてビームのスポット形状を分散素子15の分散方向に短軸を有する楕円形状に整形することによって、波長の分解度を高め、異なる波長の光が同一の偏向素子18に入射することによるクロストークの発生を防止することができる。また、集光位置ずれ補正素子20は、ビーム整形光学系25をシリンドリカルレンズ12および13で構成した場合に生じる像面湾曲を補正するために設けた素子である。集光位置ずれ補正素子20を設けない場合、シリンドリカルレンズ12,13およびレンズ14を含む光学系の光軸からの距離が大きい入出力ポート10aから射出された入力光は、偏向素子面Smよりも手前で集光してしまう。特に、図2の偏向素子面Smにおけるx方向のスポットの広がりは、波長選択スイッチ1の通信品質を劣化させる。そこで、集光位置ずれ補正素子20を設けて、入出力ポート10aから出射された入力光を、図3Cに破線で示すように、偏向素子面Sm上でx方向の幅が最も狭いスポットB2を形成するように補正している。集光位置ずれ補正素子20を用いた場合は、図3Aに破線で示すように、一次集光面Sfでは、入出力ポート10aからの入力光のスポットB2の幅は最小とせず、図3Bに示すように、これよりレンズ14側で、最小となるようにする。この入出力ポート10aからの入力光の横幅が最小となる位置を含む光軸に直交する平面を、ダミー平面Sdとして図2Bに示す。集光位置ずれ補正素子20は、言わば、一次集光面Sfとダミー平面Sdとのずれ量ΔZを調整することによって、偏向素子面Smにおける集光位置のずれ量ΔZ’が0となるように調整するものである。なお、図3Aから図3Cにおいて、スポットは、それぞれ模式的に記載されたものであり、その大きさは限定されない。また、一次集光面Sfとダミー平面Sdとの位置関係も設計例であり、必ずしもダミー平面Sdが一次集光面よりレンズ14側にある必要はない。図4Aは、図1の集光位置ずれ補正素子20の一例を示す斜視図である。また、図4Bは、図4Aの集光位置ずれ補正素子20aの屈折面の形状を説明する図である。この集光位置ずれ補正素子20aは、ガラス等光透過性の部材で構成されている。図4Aにおいて手前側が屈折力を有する曲面であり、その背面側は平面となっている。i,iiおよびiiiは、それぞれ、y方向の位置の異なるxz平面に平行な平面による集光位置ずれ補正素子20aの屈折面の断面形状を示している。図4Aおよび図4Bに示すように、集光位置ずれ補正素子20aは、第1の方向y方向に屈折力を実質的に有さない。また、集光位置ずれ補正素子20aは、第2の方向x方向の屈折力が第1の方向y方向の位置により異なっている。より具体的には、第1の方向y方向の中心位置では、第2の方向x方向の屈折力が0であり、この中心位置から第1の方向y方向に離れるに従って、第2の方向x方向により大きな負の屈折力を有する。これによって、第1の方向y方向に光軸から離れた位置を通る光束の集光位置をレンズ14の方向にずらしている。なお、第1の方向y方向の中心位置は、シリンドリカルレンズ12、13の合成レンズおよびレンズ14の光軸が通る位置である。また、集光位置ずれ補正素子20として、別の形状の素子を用いることもできる。図5Aは、図1の集光位置ずれ補正素子20の他の例を示す斜視図である。また、図5Bは、図5Aの集光位置ずれ補正素子20bの屈折面の形状を説明する図である。この集光位置ずれ補正素子20bは、第1の方向y方向の中心位置では、第2の方向x方向に正の屈折力を有し、この中心位置から第1の方向y方向に離れるに従って、第2の方向x方向の屈折力が小さくなる。この集光位置ずれ補正素子20bを用いた場合は、入出力ポート10cから入力された光軸を通る入力光に対しても、第2の方向x方向に屈折力を及ぼすので、シリンドリカルレンズ13についても焦点距離および/または位置を調整して、第2方向x方向の集光位置が一次集光面Sf上になるようにする。図6Aは、図1の集光位置ずれ補正素子20の更に他の例を示す斜視図である。また、図6Bは、図6Aの集光位置ずれ補正素子20cの屈折面の形状を説明する図である。この集光位置ずれ補正素子20cは、図5Aおよび図5Bの集光位置ずれ補正素子20bに代えて用いることができる。図5Aおよび図5Bの集光位置ずれ補正素子20bの屈折面が、滑らかに曲率が変化する曲面で構成されているのに対して、この集光位置ずれ補正素子20cの屈折面は、各入出力ポート10a~10c及び10eからの入力光の第1の方向y方向の入射位置に対応して、第2の方向x方向に曲率の異なる円筒面を組み合わせたものである。ここで、z軸を含むyz面内では屈折面が直線をなすように、各円筒面が配置されている。その他の部分では、それぞれ異なる入出力ポート10a~10eに対応する円筒状の屈折面の境界には、段差が設けられている。このような集光位置ずれ補正素子20cを用いれば、入出力ポート10a~10c及び10eからのそれぞれの入力光の入力光束に対して、それぞれ第2の方向x方向に一様な屈折力を及ぼすことができる。また、z軸を含むyz面内に屈折面が直線となっていなくても良い。例えば、それぞれ異なる入出力ポート10a~10eに対応する円筒状の屈折面が同芯の円筒を積み上げたように形成されても良い。この場合も入出力ポート10a~10c及び10eからのそれぞれの入力光の入力光束に対して、それぞれ第2の方向x方向に一様な屈折力を及ぼすことができる。以上説明したように、本実施の形態によれば、入出力ポート10a~10c及び10eから入力された入力光を、いずれの入出力ポート10a~10c及び10eから入力されたかに係らず、各偏向素子18の偏向素子面で最も幅の狭い楕円形状のスポットを形成して集光させる集光位置ずれ補正素子20を設けたので、分散素子15により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポート10a~10c及び10eの位置に依存することなく、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光させることができる。したがって、異なる波長の光が同一の偏向素子に入射することによるクロストークの発生や出力ポートへの結合効率の低下を抑制し、通信品質を高めることができる。さらに、チャネルごとの分解度が高まるので、光通信の高速化のために要求されるより広い透過帯域幅に対応することができる。なお、出力ポート10dを入力ポートとして使用した際にも、入出力ポート10dから入力された入力光が、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光するように補正素子20が構成されているのが望ましい。また、集光位置ずれ補正素子20は、入出力ポート10a~10c及び10eから入力された入力光を一次集光面Sfにいったん集光させるビーム整形光学系25内に設けたので、小型に構成することができる。第2実施の形態図7は、本発明の第2実施の形態に係る波長選択スイッチ1の構成の一部を示す上面図である。本実施の形態は、第1実施の形態のビーム整形光学系25を図7のビーム整形光学系25’に置き換えたものであり、シリンドリカルレンズ13の後段には第1実施の形態の波長選択スイッチ1と同様にレンズ14、分散素子15、レンズ16および偏向素子18を備えた偏向器17が配置されている。この光学系のビーム整形光学系25’は、第2の方向x方向にのみ屈折力を有する反射型の集光位置ずれ補正素子20’と球面ミラー12’と、第2の方向x方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズ13とを備える。ここで、球面ミラー12’は第1の光学部材であり、シリンドリカルレンズ13は第2の光学部材である。図8Aは、図7の集光位置ずれ補正素子20’の一例を示す斜視図である。この図8Aにおいて、手前側の面が反射面となっている。この集光位置ずれ補正素子20’aは、第1の方向y方向に屈折力を実質的に有さない。また、集光位置ずれ補正素子20’aは、第2の方向x方向の屈折力が第1の方向y方向の位置により異なっている。より具体的には、第1の方向y方向の中心位置では、第2の方向x方向の屈折力が0であり、この中心位置から第1の方向y方向に離れるに従って、第2の方向x方向により大きな負の屈折力を有する。これによって、第1の方向y方向に光軸から離れた位置を通る入力光の集光位置をレンズ14の方向にずらしている。図8Bは、図7の集光位置ずれ補正素子20’の更に他の例を示す斜視図である。この集光位置ずれ補正素子20’bは、第1の方向y方向に屈折力を実質的に有さない。また、集光位置ずれ補正素子20’bは、第1の方向y方向の中心位置では、第2の方向x方向の正の屈折力を有し、この中心位置から第1の方向y方向に離れるに従って、第2の方向x方向の屈折力が小さくなる。この集光位置ずれ補正素子20’bを用いた場合は、入出力ポート10cから入力された光軸を通る入力光に対しても、第2の方向x方向に屈折力を及ぼすので、シリンドリカルレンズ13について焦点距離および/または位置を調整して、第2の方向x方向の集光位置が一次集光面Sf上になるようにする。その他の構成、作用は第1実施の形態と同様である以上説明したように、本実施の形態によれば、集光位置ずれ補正素子20’として反射型の素子を用いることができる。したがって、波長選択スイッチ1の光学系の空間的な配置のニーズや、使用する光の周波数特性に応じて、適宜透過型または反射型の集光位置ずれ補正素子を選択して使用することができる。なお、球面ミラー12’は、第1の方向y方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルミラーでもよい。また、出力ポート10dを入力ポートとして使用した際にも、入出力ポート10dから入力された入力光が、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光するように集光位置ずれ補正素子20が構成されているのが望ましい。第3実施の形態図9は、本発明の第3実施の形態に係る波長選択スイッチ1の構成およびこれを通るビームを説明する斜視図である。この波長選択スイッチ1では、第1実施の形態の波長選択スイッチ1における、集光位置ずれ補正素子20およびシリンドリカルレンズ13を、一つの集光位置ずれ補正素子21に置き換えている。すなわち、集光位置ずれ補正素子21は、第2の方向x方向への集光作用と、第1の方向y方向の位置に応じた第2の方向x方向の集光位置ずれを補正する作用とを有する。図10Aは、図9の集光位置ずれ補正素子21の一例を示す斜視図である。また、図10Bは、図10Aの集光位置ずれ補正素子21の屈折面の形状を説明する図である。この集光位置ずれ補正素子21は、図10Aの手前側の曲面21aが屈折力を有する曲面であり、その背面側は平面となっている。i,iiおよびiiiは、それぞれ、y方向の位置の異なるxz平面に平行な平面による集光位置ずれ補正素子21の屈折面の断面形状を示している。図10Aおよび図10Bに示すように、集光位置ずれ補正素子21の屈折面は、シリンドリカル面に修正を加えた形状となっている。すなわち、集光位置ずれ補正素子21の屈折面は、第1の方向y方向に屈折力を実質的に有さない。また、第1の方向y方向の中心位置では、第2の方向x方向の屈折力が光軸方向の入力光を一次集光面Sfに集光させる曲率を有し、この中心位置から第1の方向y方向に離れるに従って、第2の方向x方向の屈折力が小さくなる。これによって、第2の方向x方向に光軸から離れた位置を通る光束の集光位置を、一次集光面Sfよりもレンズ14の方向にずらしている。これによって、入出力ポート10aおよび10cから光が入力された場合、一次集光面Sf、ダミー平面Sdおよび偏向素子面Smには、それぞれ、図3A,図3Bおよび図3Cに示したものと同様の形状のスポットが形成される。図11は、図9の集光位置ずれ補正素子21の設計例を示すグラフである。このグラフの横軸は、集光位置ずれ補正素子21内の高さ位置、すなわち、第1の方向y方向の位置を示し、0は光軸と同じ高さ位置であり、1および-1は最上部および最下部を示している。また、縦軸は第1の方向y方向に垂直な断面、すなわち、xz断面における屈折面の曲率半径Rを光学素子の高さ位置が0の時を1とした相対値で表したものである。図11から分かるように、光学素子の高さ位置が中央から離れるに従って、曲率半径Rを大きくしている。また、図12は、図11で示した光学素子の設計例に基づいて設計した集光位置ずれ補正素子21を用いた場合の、入出力ポートのポート高さに対する偏向素子面Smでの結像位置のずれΔz’のシミュレーション結果を実線で示すグラフである。このグラフには、集光位置ずれ補正素子21を用いずに、集光位置のずれを補正する作用の無いシリンドリカルレンズを用いた場合の集光位置のずれを破線で示している。グラフの縦軸のΔz’は、シリンドリカルレンズの場合の集光位置のずれΔz’の最大値を1とする相対値で示している。図12から分かるように、集光位置ずれ補正素子21を用いることによって集光位置のずれΔz’を、入出力ポートのポート高さに依存することなく、集光位置ずれの補正作用の無いシリンドリカルレンズを用いた場合の1/10以下に抑制することができる。その他の構成は、第1実施の形態と同様であるので、同一構成要素には同一参照符号を付して説明を省略する。以上説明したように本実施の形態によれば、ビーム整形光学系25をシリンドリカルレンズ12と集光位置ずれ補正素子21との2つの光学素子で構成しながら、集光位置のずれを補正し、第1実施の形態と同様の効果を得ることができる。したがって、第2の方向x方向の集光位置ずれを補正しない場合と比べて、部品点数が増加しない。また、従来のシリンドリカルレンズの製造プロセスを修正して製作することができるので、新たな集光位置ずれ補正用の部材を製作するよりも容易に製造することができる。さらに、第1実施の形態のように、別途集光位置ずれ補正素子を設けた場合と比べ、光学系の調整が容易である。なお、集光位置ずれ補正素子21の加工方法としては、NC加工により直接的にレンズ形状を作製する方法や、型を作製して成形する方法、リソグラフィ技術を使用した方法などがある。成形により作製する場合、成形に適した光学ガラスや樹脂を適宜選択する。また、集光位置ずれ補正素子21を反射型の素子にしてもよい。第4実施の形態図13は、本発明の第4実施の形態に係る波長選択スイッチ1の構成を示す上面図である。この波長選択スイッチ1は、入出力部10、マイクロレンズアレイ11、シリンドリカルレンズ12,13、集光レンズ31、透過型の分散素子32、ミラー反射素子33、および偏向器17を含んで構成される。入出力部10、マイクロレンズアレイ11、シリンドリカルレンズ12,13は、第1実施の形態と同様の光学素子である。集光レンズ31は、この集光レンズ31とシリンドリカルレンズ12,13による集光点とのz方向の距離、および、分散素子32の中心との距離が集光レンズ31の焦点距離に等しくなるように、シリンドリカルレンズ13と分散素子32との間に配置されている。ここで、xz平面内におけるマイクロレンズアレイ11、シリンドリカルレンズ12,13からなる光学系の光軸と、集光レンズ31の光軸とは第2の方向x方向にずらして配置する。なお、これらの光軸の第1方向y方向の高さ位置は同じである。また、偏向器17は、偏向素子18を集光レンズ31側に向けた状態で、シリンドリカルレンズ12,13による集光点とz方向の位置が略等しい位置であって、集光レンズ31の光軸が通る側に第2の方向x方向にずらして配置されている。すなわち、集光レンズ31と偏向器17の偏向素子との間の距離も、集光レンズ31の焦点距離である。分散素子32とミラー33とは、いわゆるリットマン-メトカルフ型の構成を有する分散部を形成している。すなわち、分散素子32で回折分散された光は、ミラー33で反射され、再び分散素子32で回折分散される。このように、2度分散素子を透過して回折分散されることによって、分散角を大きくすることができる。また、ミラー33は反射面33aが平面ではなく、第1の方向y方向の位置に応じて分散素子32の分散方向に屈折力を有する集光位置ずれ補正素子としての機能を併せて有する。例えば、ミラー33は、反射面33aが第1の方向y方向に屈折力を有さない。ミラー33は、反射面33aの第1の方向y方向が光軸と同じ高さ位置におけるxz断面は直線であり、この高さ位置から第1の方向y方向にずれるに従って負の屈折力を有する曲面となるように構成することができる。以上のような構成によって、入出力部10のいずれかの入出力ポート10a~10c及び10eから入力された入力光は、マイクロレンズアレイ11内の対応するマイクロレンズで平行光束となり、シリンドリカルレンズ12および13で集光された後、集光レンズ31により平行光束として、分散素子32で波長毎の光に分散され、ミラー33で折り返され、分散素子32でさらに分散されて、集光レンズ31により偏向器17の偏向素子18上に集光される。この波長毎の光は偏向素子18によって波長毎に異なる角度で反射され、偏向素子18で反射されるまでの光路を折り返して、入力部10の入出力ポート10dに出力される。ここで、光軸からの距離が離れた入出力ポートから入力された入力光は、偏向素子18での第2の方向x方向の集光位置の位置ずれが、ミラー33の反射面33aによって補正される。したがって、第1実施の形態と同様に、分散素子32により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポート10a~10c及び10eの位置に依存することなく、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光させることができる。さらに、ミラー33を用いて光学系を折り返しており、且つ、第1実施の形態に比べて少ないレンズの数で装置を構成しているので、実装に必要とされるスペースが小さくて良く、装置を小型化することができる。なお、出力ポート10dを入力ポートとして使用した際にも、入出力ポート10dから入力された入力光が、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光するように集光位置ずれ補正素子20が構成されているのが望ましい。第5実施の形態図14Aおよび図14Bは、それぞれ、本発明の第5実施の形態に係る波長選択スイッチ1の構成を示す側面図および上面図である。本実施の形態は、第1実施の形態において、集光位置ずれ補正素子20を、マイクロレンズアレイ11とシリンドリカルレンズ12との間ではなく、レンズ14と分散素子15との間に配置したものである。この場合、ビーム整形光学系25は、シリンドリカルレンズ12および13により構成される。その他の構成、作用は第1実施の形態と同様なので、同一構成要素には同一参照符号を付して説明を省略する。このようにしても、第1実施の形態と同様に、分散素子15により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポートの位置に依存することなく、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光させることができる。したがって、異なる波長の光が同一の偏向素子に入射することによるクロストークの発生および出力光の出力ポートへの結合効率の低下を抑制し、通信品質を高めることができる。なお、出力ポート10dを入力ポートとして使用した際にも、入出力ポート10dから入力された入力光が、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光するように集光位置ずれ補正素子20が構成されているのが望ましい。第6実施の形態図15Aおよび図15Bは、それぞれ、本発明の第6実施の形態に係る波長選択スイッチ1の構成を示す側面図および上面図である。本実施の形態は、第1実施の形態において、ビーム整形光学系25とレンズ14とを設けず、マイクロレンズアレイ11と分散素子15との間に集光位置ずれ補正素子20を配置したものである。これによって、入出力ポート10a~10c及び10eから入力された入力光はマイクロレンズアレイ11により平行光束として分散素子15に入射する。その他の構成および作用は、第1実施の形態と同様であるので、同一構成要素には同一参照符号を付して説明を省略する。本実施の形態によれば、偏向素子18上で楕円形のスポットを形成するためのビームの整形は行わないが、第1実施の形態と同様に、偏向素子18上での第2の方向x方向への集光位置のずれを補正することができる。したがって、分散素子15により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポートの位置に依存することなく、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光させることができる。したがって、異なる波長の光が同一の偏向素子に入射することによるクロストークの発生や、出力ポートへの結合効率の劣化を抑制し、通信品質を高めることができる。なお、出力ポート10dを入力ポートとして使用した際にも、入出力ポート10dから入力された入力光が、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光するように集光位置ずれ補正素子20が構成されているのが望ましい。第7実施の形態図16は、本発明の第7実施の形態に係る波長選択スイッチ1の入出力ポート10から一次集光面Sf近傍までの構成およびこれを通るビームを説明する斜視図である。本実施の形態は、第1実施の形態において、集光位置ずれ補正素子20およびシリンドリカルレンズ13に代えて、集光位置ずれ補正素子20とは形状の異なる集光位置ずれ補正素子41を、第1実施の形態におけるシリンドリカルレンズ13の配置されていた位置に設けたものである。図17Aは、図16の集光位置ずれ補正素子41のxz平面に平行な面での断面の位置及び形状を示す図である。また、図17Bは、図16の集光位置ずれ補正素子41のyz平面による断面図である。図17Aに示すように、集光位置ずれ補正素子41のxz平面に平行な断面は、第1の方向y方向の光軸からの高さ位置に係らず、円弧を有する、例えば略半円形の形状となっている。この半円形の断面形状は、光軸からの距離が離れるに従って、z軸に沿って入力光の進行方向一次集光面Sf側にシフトする。また、図17Bに示すように、集光位置ずれ補正素子41は、第2の方向x方向に直交する屈折面の断面が、第1の方向y方向の位置に応じて入力光の進行方向z方向に傾いている。すなわち、集光位置ずれ補正素子41は、y軸方向の中央部に比べてy軸方向の両端部がz軸方向にせり出した形状となっている。この集光位置ずれ補正素子41は、第1~第5実施の形態で用いられた集光位置ずれ補正素子と異なり、光軸からの第1の方向y方向の距離に係らず、第2の方向x方向の屈折力は一定である。この集光位置ずれ補正素子41は、光軸からの距離に応じて屈折面を光軸方向にずらすことによって、集光位置を調整している。その他の構成および作用は、第1実施の形態と同様であるので、同一構成要素には同一参照符号を付して説明を省略する。本実施の形態によれば、第2の方向x方向に屈折力分布を有さない集光位置ずれ補正素子41を用いて、第1実施の形態と同様に、偏向素子18上での第2の方向x方向への集光位置のずれを補正することができる。したがって、分散素子15により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポート10a~10c及び10eの位置に依存することなく、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光させることができる。したがって、異なる波長の光が同一の偏向素子18に入射することによるクロストークの発生や、出力ポートへの結合効率の劣化を抑制し、通信品質を高めることができる。なお、出力ポート10dを入力ポートとして使用した際にも、入出力ポート10dから入力された入力光が、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光するように集光位置ずれ補正素子20が構成されているのが望ましい。第8実施の形態図18は、本発明の第8実施の形態に係る波長選択スイッチの構成の一部を示す斜視図である。特に、入出力ポート10a~10eから一次集光面Sf近傍までおよび偏向素子18近傍におけるビームを示している。本実施の形態は、第1実施の形態の集光位置ずれ補正素子20を図18の集光位置ずれ補正素子20dに置き換えたものであり、シリンドリカルレンズ13の後段には、図18では省略されているが、第1実施の形態の波長選択スイッチ1と同様にレンズ14、分散素子15、レンズ16および偏向素子18を備えた偏向器17が配置されている。この光学系の集光位置ずれ補正素子20dは、第1の方向y方向、第2の方向x方向ともに屈折力を持たず、入出力ポート10a~10eからの入力光の各々が通る光路の空気換算長が異なるように構成されている。空気換算長とは、屈折率nの媒質中を光路に沿って距離dだけ光が進行するとき、d/nで表される長さである。本実施の形態において、集光位置ずれ補正素子20dは、入力光の進行方向z方向の厚さが第1の方向y方向の中心領域で薄く、光軸から第1の方向y方向に離れるに従って階段状の段差を伴って厚くなっていくように構成されている。また、入出力ポート10a~10eの各ポートからの光が入射する領域については、段差を跨がずそれぞれ同一の素子厚さになっている。また、入出力ポートに向き合った面に関しては同一面になるように構成されている。なお、入力光をガウスビームと想定した場合、光束は空間的に無限に広がりを持つが、ここでは、例えばビームのパワーが中心の1/e2になるまでの領域をビーム径とする。集光位置ずれ補正素子20dは、使用波長帯において透明な素材からなり、例えば光学ガラス、樹脂やシリコンのような半導体等を用いて構成される。素子の厚さを抑えて大きな補正効果を持たせるには、屈折率の大きな材料を使用するのが好適である。集光位置ずれ補正素子20dを設置することにより、入出力ポートから、シリンドリカルレンズ12及び13までの物理的距離は変えないまま、空気換算長にポート位置依存性を持たせることができ、これによって、第1の方向y方向に光軸から離れた位置を通る入力光の集光位置をレンズ14の方向にずらしている。したがって、第1実施の形態と同様に、分散素子15により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポート10a~10c及び10eの位置に依存することなく、偏向素子18の偏向素子面上に高い精度で集光させることができる。さらに、集光位置ずれ補正素子20dは屈折力を持たない素子により構成されているため、z軸方向の調整に高い精度を必要とせず、組み立てを容易にすることができる。また、本実施の形態において図19に示すように、マイクロレンズアレイ11のマイクロレンズと集光位置ずれ補正素子20dとが一体になるように構成しても良い。すなわち、ビーム整形光学系25と、マイクロレンズアレイ11と、が一体になるように構成されても良い。一つの部材からマイクロレンズアレイ11の機能部と集光位置ずれ補正素子20dの機能部とを形成しても良いし、それぞれ個別に製造したマイクロレンズと集光位置ずれ補正素子とを接合して形成しても良い。接合により形成する場合、界面の反射によるノイズを低減するための工夫が必要となる。例えば、同一素材から製造したマイクロレンズおよび集光位置ずれ補正素子を、オプティカルコンタクトや陽極接合といった直接接合によって接合したり、屈折率を整合した接着剤を用いて接合したりするのが好適である。また、本実施の形態において図20に示すように、集光位置ずれ補正素子20dの厚さd1に加え、入出力ポート10a~10eとマイクロレンズアレイ11との距離d0、および、マイクロレンズアレイ11の曲率半径Rを併せて設定しても良い。これにより分散素子15により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポート10a~10c及び10eの位置に依存することなく、偏向素子18の偏向素子面上により高い精度と自由度で集光させることができる。また、マイクロレンズアレイ11の各々のレンズ形状が回転対称にならないアナモルフィックように構成しても良い。これにより第1の方向y方向の補正効果と第2の方向x方向の補正効果とをより独立性の高い状態で設計することが可能となる。さらに、光路の空気換算長は、必ずしも入出力ポート1つ1つに対応して異なっている必要はなく、少なくとも光軸中心付近の入出力ポートに対する空気換算長と、光軸から離れた入出力ポートに対する空気換算長と、の少なくとも2種類を有していれば良い。その場合、隣接する入出力ポートからの光束が、集光位置ずれ補正素子20dの空気換算長が変わる境界を挟む場合は、それらの入出力ポート間隔を、他のポート間隔に対して大きくするように構成しても良い。これにより1つの入出力ポートから入射する光が前記境界により分離されることを抑制することが出来る。また、本実施の形態における集光位置ずれ補正素子20dは素子の厚さが第1の方向y方向に異なっているのが特徴ではなく、光路の空気換算長が異なっていることが特徴である。したがって素子の厚さを第1の方向に均一にしながら、集光位置ずれ補正素子20dを構成する材料を第1の方向の位置に応じて変えることによって、屈折率が変わるように構成しても良い。さらに、上述の本実施の形態の構成は、集光位置ずれ補正素子20dの設置位置を、最適な効果の得られる場所に設定して説明を行ったものである。しかし、集光位置ずれ補正素子20dの配置はこれに限られず、各入出力ポートからの入射光がポートごとに分離されているところに配置すれば、補正効果を得ることは可能である。また、上述の本実施の形態の構成は、集光位置ずれ補正素子20dと、シリンドリカルレンズ12と、を離間して配置しているが、これに代えて、集光位置ずれ補正素子20dをz方向に反転して、集光位置ずれ補正素子20dとシリンドリカルレンズ12との互いに対向する平面が接するように、あるいは、集光位置ずれ補正素子20dとシリンドリカルレンズ12とを一体として構成しても良い。第9実施の形態図21Aおよび図21Bは、本発明の第9実施の形態に係る波長選択スイッチの構成を示す図である。この波長選択スイッチは、図1Aおよび図1Bの第1実施の形態の波長選択スイッチにおいて、ビーム整形光学系25内に集光位置ずれ補正素子20を設けず、分散素子15’に集光位置ずれ補正素子の機能を持たせたものである。すなわち、本実施の形態における、分散素子と集光位置ずれ補正素子とは一体として構成されている。以下に分散素子15’の構成について、図22~図24を参照して説明するxd、yd、zdは分散素子15’上のローカル座標を示す。図22は、一般的な分散素子を正面から見た図である。この分散素子は回折格子を有し、回折格子のピッチは全面に渡って等間隔のピッチを有している。第1実施の形態の分散素子15は、このような均一なピッチを有している。一方、図23は、本実施の形態に係る分散素子15’の格子を示す図である。分散素子15’は図23に示すように、yd方向に3区分され、領域aおよび領域cは同じ特性の格子ピッチになっている。領域aおよび領域cにおいて、ピッチは第2の方向xdに沿って連続的に変化している。一方、中心領域bは、第1実施の形態と同じ等間隔のピッチの格子となっている。中心部領域bの格子と、領域aおよび領域bの格子とは不連続である。分散素子15’の斜視図を図24に示す。回折面を構成する格子の凸部15’aの高さ、および、凹部15’bと凸部15’aとの幅の比は回折光が最大になるように最適化する。回折格子で光を回折させると、そのままではp偏向とs偏向との光量に差異が発生する。このため、凸部15’aは偏光方向による回折光の光量の差をなくすように、複数の誘電体を積層して構成しても良い。上記のような構成によって、本実施の形態の波長選択スイッチでは、集光位置ずれ補正素子20が無いため、図25に示すように、光学系の光軸から離れた入出力ポート、たとえば、入出力ポート10aからの光線は、一次集光面Sfでは集光せず、シリンドリカルレンズ13側にΔz離れたダミー平ら面Sdで集光する。一次集光面Sf以降について図26Aおよび図26Bに示す。入出力ポート10aからの光線を実線で、入出力ポート10cからの光線を破線で示す。入出力ポート10cからの入力光は、ほぼ光学系の軸上付近を通過する。この入力光は、一次集光面Sfに集光し、レンズ14で光軸に沿う平行光束になり分散素子15’で波長毎に分散され、レンズ16で、分散された各波長の光束が、偏向器17上にある各偏向素子18の素子面ミラー面Smに集光される。一方、入出力ポート10aからの入力光は、一次集光面Sfからシリンドリカルレンズ13側にΔz離れたSdに集光するため、その後レンズ14により、平行光束より少し収束する光束になり、分散素子15’に入射する。分散素子15’に入射する位置は、光軸からyd方向に離れた位置、つまり図23の領域cとなる。領域cの格子は、ピッチ間隔をxd方向に沿って変化させることによって屈折力を有し、収束光束として入射された光束を、平行光束として各波長の光に分散する。従って、入出力ポート10cからの光束と同様に、レンズ16により、分散された各波長の光束が、偏向器17上にある各偏向素子18の素子面に集光される。図26Bの上面図に示すように、第1の方向y方向から見た場合、分散素子15’で分散された以降では、入出力ポート10cからの光線も入出力ポート10aからの光線も重なってみえる。各偏向素子18の素子面Smで反射した光線は、上記説明の光路を逆方向に戻り、入出力ポート10dに集光され出力される。なお、領域aと領域bの境界のように、格子の特性が変化するところで、格子が不連続になる。この境界部分にいずれかの入出力ポート10a~10cおよび10eからの光束または入出力ポート10dへ向かう光束が入射しないように、上記境界の上下に光束が通る入出力ポートの間の間隔を他の入出力ポート間の間隔より少し広くすることが好ましい。また、本実施の形態では、分散素子15’の回折面を格子の延びる方向に3つの領域に区分されているが、仮に中心領域から離れた領域cが、それぞれ2つの入出力ポート10aおよび10bに対応する場合、最軸外にある入出力ポート10aのΔzにあわせて、格子ピッチを最適化すると、最軸外の入出力ポート10aの内側の入出力ポート10bの偏向素子18での集光位置が補正され過ぎる場合がある。そこで、区分された領域の数を増やして、それぞれの入出力ポートのΔzに応じて、格子ピッチを最適化することにより全ての入出力ポート10a~10cおよび10eからの光線の集光位置から、偏向素子18での素子面Smまでの距離を小さくすることができる。図27は、本発明の第10実施の形態に係る波長選択スイッチの一次集光面近傍から偏向器までの構成及び光路を示す上面図である。この波長選択スイッチは、図13に示した第4実施の形態に係るリットマン-メトカルフ型の分散部を有する波長選択スイッチにおいて、ビーム整形光学系25内に集光位置ずれ補正素子を設けず、分散素子32’を集光位置ずれ補正素子と一体として構成したものである。分散素子32’は、第9実施の形態の分散素子15’と同様にyd方向に格子が不連続で、xd方向のピッチ間隔が不等間隔である。その他の構成は、第4実施の形態と同様なので、同一の構成要素には同一の参照符号を付して説明を省略する。次に、本実施の形態による波長選択スイッチの光路について説明する。図27において、入出力ポート10aからの光束を実線、入出力ポート10cからの光束を破線で示している。入出力ポート10cからの光束は一次集光面Sfに集光する。集光後、Sfから発散する光束は、集光レンズ31により平行光束となり、分散素子32’により波長毎の光に分散される。この波長毎の光は、ミラー33で反射され、分散素子32’でさらに分散され、集光レンズ31に入射する。集光レンズ31は、分散された各波長の平行光束を、偏向器17の偏向素子18の偏向面Sm上に集光する。一方、入出力ポート10aからの光束は、一次集光面Sfよりも入出力ポート側の面Sdに集光されるので、集光レンズ31により、平行光束より少し収束する光束に変換される。分散素子32’は、図23に示した分散素子15’と同様にyd方向に中心領域bとその外側の領域aおよび領域cに区分されている。入出力ポート10aからの光線は外側の領域cを通過する。外側の領域cは、ピッチが不等間隔で、少し収束された光束を波長毎の光束に分散させるとともに、各波長の光が平行光束に近くなるように発散方向に変換する屈折力を有している。これらの各波長の光束は、ミラー33で反射され、再度分散素子32’に入射される。入射した光束は、さらに分散されるとともに、さらに発散方向に変換され、各波長に分散された平行光束となる。集光レンズ31は各波長に分散された平行光束を偏向器17の偏向素子18の偏向素子面Sm上に集光する。偏向素子面ミラー面Smで反射した光は、上述の光路を逆方向に戻り、入出力ポート10dの出射面に集光される。次に、分散素子32’のピッチの例を図28のグラフを用いて説明する。図28の横軸は、図27のxd方向の座標を示し、縦軸は、偏向素子32’の中心領域bのピッチを1として規格化したピッチの値を示している。また、破線は中心領域bについてのグラフであり、実線は領域aおよび領域cについてのグラフである。本実施の形態では、中心領域bのピッチを等間隔としているので、破線のグラフの横軸の値は座標xdによらず1である。また、実線のグラフに示されるように、領域a、cでは座標xdの正の方向でピッチが少し狭くなっている。図29は、偏向素子面ミラー面Smと各ポートからの光線の集光位置Sm’との間の距離Δzを示すグラフである。図29において、横軸は光軸からのポート高さの相対値を示し、入出力ポート10aのポート高さを1としている。また、縦軸はΔz’の相対値を示す。また、破線は、等間隔なピッチを有する通常のグレーティングを用いた場合について算出したΔz’であり、実線は、本実施の形態に係る分散素子32’を用いた場合のΔz’の値を示している。グラフ上の3点は、左から順に入出力ポート10c、10b、10aに対応している。ここで、縦軸は等間隔なピッチを有する分散素子を用いた場合の入出力ポート10aについてのΔz’の値を1としている。入出力ポート10aから入射した入力光は、分散素子32’の領域cを通り、入出力ポート10bおよび10cから入射した入力光は、分散素子32’の中心領域bを通る。本実施の形態の分散素子32’を使用することで、入出力ポート10aから入射した光束のΔzを小さくできることがわかる。本実施の形態では、集光位置ずれ補正素子のような部品を別途追加することなく、集光位置ずれ補正をすることができる。また、本実施の形態で使用する集光位置ずれ補正機能を含ませた分散素子は、マスクパターンを変更するだけで、従来の分散素子と同じ方法で製造することができ、コストもほとんど変わらない。以上のことから、第1実施の形態と同様に、分散素子32’により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポート10a~10c及び10eの位置に依存することなく、出力ポートとして機能する入出力ポート10dの出射面と光学的に共役になる位置に高い精度で集光させることができ、安価で、入出力ポートによらず結合効率の低下を原因とする挿入ロスの少ない波長選択スイッチを提供することができる。第11実施の形態図30は、本発明の第11実施の形態に係る波長選択スイッチの構成の一部を示す斜視図である。図30は、入出力ポート10a~10eから集光点近傍までおよび偏向素子18’近傍におけるビームを示している。本実施の形態は、第1実施の形態に係る波長選択スイッチにおいて、偏向素子18’として、該偏向素子18’の偏向面上でそれぞれの入力ポートからの波長毎の光が偏向される位置に対して、回動中心が第1の方向側にずれたミラー素子を用いるとともに、集光位置ずれ補正素子20を図30の集光位置ずれ補正素子20eに置き換えたものであり、シリンドリカルレンズ13の後段には、図30では省略しているが、第1実施の形態の波長選択スイッチ1と同様にレンズ14、分散素子15、レンズ16および偏向素子18’を備えた偏向器17が配置されている。その他、第1実施の形態と同一の構成要素には同一の参照符号を付して説明を省略する。偏向器17は、例えば、MEMSミラーアレイであり、偏向素子18’は、MEMSミラーアレイを構成するマイクロミラーを含む素子である。ここで、本実施の形態において偏向素子18’の図1Aにおけるyz平面内での傾きを変える際の回動軸は、波長ごとに分散された光束が偏向される位置に対して、第1の方向側にずれている。このようなミラー配置の構成は、MEMSミラーアレイのピッチが小さくなった場合に電極配置のスペースを確保する要請や、カンチレバータイプの製作が容易なミラー構成に起因するものである。このようなミラーアレイを使用した場合、図30にSmaおよびSmbとして示すように、偏向素子面Smは固定面ではなくなる。これに伴って必要となる光学的考慮について図31A,31Bおよび31Cを用いて説明する。これらの図31A,31Bおよび31Cの上段にxz断面から見た図を、下段にyz断面から見た図をそれぞれ示す。図31Aは、偏向素子18’のマイクロミラー52を回動軸51に対して回動した際の偏向素子面Smの変位を模式的に示す図である。マイクロミラー52の回動軸51がレンズ16の光軸Oと第1の方向y方向にずれているため、入出力ポートの組み合わせを変えるために、マイクロミラー52を異なる偏向角度に変えると、Sma、Smb、Smcのそれぞれに示すように、偏向素子面Smはz軸方向に偏向角度依存性をもって変位図のd1およびd2する。ここで、Sma、Smb、Smcとなるマイクロミラー18’の偏向角度は、入出力ポート10aと10d、10bと10d、および、10eと10dを光学的に結合させる状態をそれぞれ表しているものとする。図31Bは、それぞれ入出力ポート10a、10bおよび10eから入射した光束を、偏向素子面Smbの位置に固定的に集光させた場合の偏向素子18’近傍での光束を模式的に示す図である。すなわち、ミラー面の回動による偏向素子面Smの変位を考慮しない場合の光束を示している。この図において、L1、L2およびL3は、それぞれ、入出力ポート10a、10bおよび10eから入射する光束を示し、特に下段においては、これら光束の外形を模式的に示している。また、L1’、L2’およびL3’は、それぞれ、L1、L2およびL3がマイクロミラー52で反射され入出力ポート10dへ向かう光束を示している。入出力ポート10bと10dとを光学的に結合させる場合、マイクロミラー18’の位置はSmbにあり、入出力ポート10bからの光束L2は、マイクロミラー52で反射され、光束L2’となる。偏向素子面Smb上の集光点は、入出力ポート10dの入出射面と共役の位置に配置されているので、反射された光束L2’は、入出力ポート10dに効率良く結合する。一方、入出力ポート10eと10dとを光学的に結合させる場合、マイクロミラー18’の位置はSmaにあるため、入出力ポート10eから出射した光束L3はSmaで反射され光束L3’となり、Smaからd1だけ入出力ポート側に進んだところに集光する。この集光位置ガウス像面は入出力ポート10dの入出射面と光学的に共役でないため結合の効率が下がってしまう。入出力ポート10aと10dとを光学的に結合させる場合も同様に結合の効率が下がってしまう。そこで、本実施の形態では、結合効率の低下を抑制するために各入出力ポート10a、10bおよび10eからの光束の集光位置を図31Cのように設定している。この図に示すように、入出力ポート10eからの光束L3は、偏向素子面Smaより手前の点P1に集光位置ガウス像面を有するように構成されている。より詳細には、出力ポートとして振る舞っている入出力ポート10dから出射した光の集光位置Smbに一致と、入力ポートとして振舞っている入出力ポート10eから入射した光の集光位置P1とが、偏向素子面Smaに対して、z軸方向に対称な位置に形成されているのが望ましい。これにより入出力ポート10eと10dそれぞれから出射した光の集光位置ガウス像面を偏向素子18’での反射を介して一致させることができ、効率よく結合させることが出来る。言い換えれば、入出力ポート10eからの光束L3は、偏向素子面Smaで反射されるが、反射された光束L3’は偏向素子面Smbで集光した後発散する光と同じであり、入出力ポート10dに効率良く結合する。これは、入出力ポート10aと10dとを光学的に結合させる場合も同様に考えることができる。すなわち、入出力ポート10aからの入射した光束L1は、偏向素子面Smcから距離d2進んだ位置P2に集光位置を有するように構成される。ここで、入出力ポート10aからの光の集光位置と入出力ポート10eからの光の集光位置とでは空間上の固定された点であるSmSmbからずらす方向が逆になっている。以上の説明のような光学的な振る舞いをさせるために、本実施の形態の集光位置ずれ補正素子20eは以下のように構成されている。図32Aは、偏向素子面Smの変位を考慮した集光位置ずれ補正素子の一例を示す斜視図である。また、図32Bは、図32Aの集光位置ずれ補正素子20eの屈折面の形状を説明する図である。この集光位置ずれ補正素子20eは、ガラス等光透過性の部材で構成されている。図32Aにおいて手前側が屈折力を有する曲面であり、その背面側は平面となっている。i、iiおよびiiiは、それぞれ、y方向の位置の異なるxz平面に平行な平面による集光位置ずれ補正素子20eの屈折面の断面形状を示している。図32Aおよび図32Bに示すように、集光位置ずれ補正素子20eは、第1の方向y方向に屈折力を実質的に有さない。また、集光位置ずれ補正素子20eは、第2の方向x方向の屈折力が第1の方向y方向の位置により異なっている。より具体的には、第1の方向y方向に正の方向の端部近傍では、第2の方向x方向の屈折力が0に近く断面iii、この端部から第1の方向y方向に負の方向に中心位置に近づくに従って、第2の方向x方向により大きな正の屈折力を有する断面i。さらに、中心位置から第1の方向y方向に負の方向に離れるに従って、第2の方向x方向により小さな正の屈折力を有する断面ii。第1の方向y方向に正の方向に離れた場合に比べ、負の方向に同じ距離だけ離れたときの屈折力は小さい。これによって、第1の方向y方向に光軸から離れた位置を通る光束の集光位置を、第1の方向y方向に非対称にレンズ14の方向にずらしている。すなわち、集光位置ずれ補正素子20eは、第1の方向y方向に非対称な構造を有する。なお、第2の方向x方向の中心位置は、シリンドリカルレンズ12、13の合成レンズおよびレンズ14の光軸が通る位置である。なお、上述の集光位置ずれ補正素子20eの形状は、一例であって、他の形状の集光位置ずれ補正素子を用いても同様の効果を得ることができる。例えば、第1の方向y方向の中心位置では、第2の方向x方向の屈折力が0であり、この中心位置から第1の方向y方向に正および負の方向に離れるに従って、第2の方向x方向により大きな負の屈折力を有し、且つ、正の方向に離れた場合よりも負の方向に離れた場合の方がより屈折力が小さい形状とすることもできる。この場合、シリンドリカルレンズ12および13の曲率を、集光位置ずれ補正素子20eの形状に応じて変える必要がある。また、実際の面形状は、マイクロミラーの振れ角および回動中心から集光面までの距離で決まるミラー回動時のZ軸方向のずれ量や、レンズ14、分散素子15、レンズ16といった後段の光学系の収差特性にも依存して決定される。それゆえ、集光位置ずれ補正素子20eの屈折力はy方向に対し単調減少、単調増加、偏曲点を1つ以上有する関数のいずれにもなり得る。さらに、入出力ポート10a~10eからの光は集光位置ずれ補正素子20e面上で、ポートごとの重なりをほぼ有さないため、図33Aおよび図33Bに示すような本実施の形態の変形例に係る集光位置ずれ補正素子20fを、集光位置ずれ補正素子20eに代えて用いることができる。集光位置ずれ補正素子20eの屈折面が、滑らかに曲率が変化する曲面で構成されているのに対して、この集光位置ずれ補正素子20fの屈折面は、各入出力ポート10a~10c及び10eからの入力光の第1の方向y方向の入射位置に対応して、第2の方向x方向に曲率の異なる円筒面の一部を組み合わせたものである。ここで、z軸を含むyz面内では屈折面が直線をなすように、各円筒面が配置されている。その他の部分では、それぞれ異なる入出力ポート10a~10eに対応する円筒状の屈折面の境界には、段差が設けられている。このような集光位置ずれ補正素子20fを用いれば、入出力ポート10a~10c及び10eからのそれぞれの入力光の入力光束に対して、それぞれ第2の方向x方向に一様な屈折力を及ぼすことができる。また、z軸を含むyz面内に屈折面が直線となっていなくても良い。例えば、それぞれ異なる入出力ポート10a~10eに対応する円筒状の屈折面が同芯の円筒を積み上げたように形成されても良い。この場合も入出力ポート10a~10c及び10eからのそれぞれの入力光の入力光束に対して、それぞれ第2の方向x方向に一様な屈折力を及ぼすことができる。以上説明したように、本実施の形態に係る波長選択スイッチによれば、選択する入出力ポート10a~10eの組み合わせに応じて偏向素子18の素子面Smが変位する場合であっても、第1実施の形態と同様に、分散素子15により分散された波長毎の光を、入力光が入力される入出力ポート10a~10c及び10eの位置に依存することなく、出力ポートとして機能する入出力ポート10dの出射面と光学的に共役になる位置に高い精度で集光させることができる。さらに、集光位置ずれ補正素子20eおよび20fは第1の方向y方向について、光軸に関して非対称な屈折力を持つようになっているため、回動中心が反射面中心から離れたマイクロミラーからなる偏向素子に対しても高い自由度を持って、集光位置を最適に合わせることが可能である。なお、本実施の形態では、第1実施の形態において、入出力ポート10a~10eの近くに配置された集光位置ずれ補正素子20を集光位置ずれ補正素子20eに置き換えている。さらに、上述の他の実施の形態においても、偏向素子18が回動軸の位置が集光位置からずれたミラーの場合、集光位置ずれ補正素子を、入力ポートからの光の集光位置が、出力ポートの位置と共役になるように、非対称な構造とすることによって、同様の効果を得ることができる。例えば、第9実施の形態では、分散素子18’の格子特性をyd方向で軸対称にしているが、格子特性を非対称に構成すれば良い。すなわち、領域a、b、cの全てで格子特性を異ならせれば良い。分散素子のピッチを異なる屈折力を有するように変化させ、さらに第1の方向に格子を不連続にすることで、分散素子に分散機能と集光位置ずれ補正機能とを持たせることができ、分散素子で分散された各波長の光を、入力光が入力される入出力ポート10a~10c及び10eの位置に依存することなく、入出力ポート10dに入出射面と光学的に共役になる位置に高い精度で集光させることができる。なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能である。たとえば、入力ポートと出力ポートとは、複数の共通の入出力用のポートを設け、適宜入力ポートと出力ポートとを切り替えられるように構成してもよい。また、実施の形態において、入力ポートと出力ポートとは、それぞれの端面が直列に配置されているが、それぞれ分離して別個の位置に配置しても良い。各実施の形態では、本発明の集光位置ずれ補正素子は、偏向素子面上で第2の方向x方向の幅が最も狭いスポットを形成するように入力光を補正するものとしたが、第2の方向x方向の幅が最小値とならなくとも、集光位置ずれ補正素子を設けない場合に比べて第2の方向x方向のスポットの幅が小さくなれば、本発明による通信品質の改善効果は得られる。したがって、本発明の範囲は、そのような効果が得られる限り、第2の方向x方向のスポットが最小値とならない場合も含む。また、各実施の形態において、入出力ポートから出力された入力光の光軸方向z方向に直交する鉛直方向を第1の方向y方向、水平方向を第2の方向x方向としたが、第1の方向y方向は鉛直方向に限られず、第2の方向x方向は水平方向に限られない。第1の方向y方向および第2の方向x方向は、入力光の進行方向に直交し且つ互いに直交する2方向であれば良い。さらに、ビーム整形光学系は、第1の方向y方向に屈折力を有するシリンドリカルレンズと、第1の方向y方向に直交する第2の方向x方向に屈折力を有するシリンドリカルレンズとを組み合わせたものに限られない。例えば、ビームのスポットを円形として良いならば、単一の球面レンズを用いることができる。あるいは、第1の方向y方向に屈折力を有するシリンドリカルレンズに代えて、他の少なくとも第1の方向y方向に屈折力を有するレンズ、例えば、球面レンズを用い、その後段にシリンドリカルレンズを配置することもできる。その場合も、集光位置に楕円形状のビームウェストを形成することができる。また、一方向に屈折力を有するレンズとして、シリンドリカルレンズに代えて一方向に屈折力を有するフレネル形状のレンズリニアフレネルレンズを用いることもできる。また、各実施の形態で例示した集光位置ずれ補正素子の形状は例示に過ぎない。例えば、ビーム整形光学系に配置した集光位置ずれ補正素子は、屈折面が入力部側にある形態に限られず、分散素子側の面あるいは両面を屈折面として構成しても良い。さらに、偏向部は、MEMSミラーアレイに限られず、液晶素子や光学結晶を用いて構成することもできる。また、レンズ14は、集光位置ずれ補正素子20と同様の機能を備えていても良い。この場合、補正機能を有する面は、第1の方向y方向に屈折力を有していても、有していなくても良い。また、レンズ14およびレンズ16は、集光作用を奏すればよく、集光ミラーや、回折型集光素子等を用いることができる。また、分散素子は、透過型に限られず、反射型回折格子、Grism、スーパープリズム等を用いることもできる。"