冷媒を流入させる入口ポートと、前記冷媒を流出させる出口ポートと、前記入口ポートと前記出口ポートとの間に設けられる弁室と、前記弁室内に配置され、前記入口ポートから前記弁室内に流入した冷媒を膨張させて前記出口ポートへと流出させる冷媒流路が形成された弁座と、前記弁座に接離して前記冷媒流路を開閉する弁体とを備える膨張弁であって、前記弁体が前記弁座に当接した状態で該弁体と離間し、且つ前記弁体が前記弁座から離間した状態で該弁体と当接する部材を有すると共に、前記弁体及び前記部材のいずれか一方に溝部が形成されており、前記弁体が前記弁座から離間した前記冷媒流路の開放時に、前記弁体と前記部材とが当接して前記溝部の開口部が塞がれることにより、前記冷媒を前記冷媒流路へと流通させる流路が形成されることを特徴とする膨張弁。請求項1記載の膨張弁において、前記弁体には、前記弁座に接離する際の進退方向に直交する方向の横孔が貫通形成され、前記部材は、前記入口ポートから連続する配管であると共に、該配管が前記横孔に挿入され、前記溝部は、前記配管に形成された孔部から連続するように該配管に形成されるか、又は、前記配管に形成された孔部に対向する前記横孔の内面に形成されることを特徴とする膨張弁。請求項1記載の膨張弁において、前記部材は、前記弁体を吸引可能なヨークであると共に、該ヨークには前記入口ポートから流入する冷媒が通過する貫通孔が形成され、前記溝部は、前記ヨークの前記貫通孔から連続するように該ヨークに形成されるか、又は、前記弁体の前記ヨークへの当接面に形成されることを特徴とする膨張弁。図11に示すように、電子膨張弁100では、電磁コイル110への通電をオンすると、プランジャ116がコイルばね114の付勢力に抗して後退し、該プランジャ116の先端面116aが弁座104から離間して、冷媒流路106が開放される。一方、電磁コイル110への通電をオフすると、プランジャ116がコイルばね114の付勢力によって前進し、その先端面116aが弁座104に着地して冷媒流路106を閉塞する図11中に2点鎖線で示すプランジャ116参照。このように、パルス式の電子膨張弁100では、弁座104に形成されたオリフィスである冷媒流路106によって冷媒を減圧し膨張させるが、冷媒流量が少ない場合、例えば、二酸化炭素のような体積流量の少ない冷媒を用いた場合には、冷媒流速が小さいため冷媒流路106で十分な流動損失が得られず、十分な減圧が難しいという問題がある。しかも、冷媒流路106を極細径に形成した場合には、冷媒回路内を浮遊するごみ等によって該冷媒流路106が詰まる可能性があり、冷媒流路106の径もある程度確保しておく必要がある。本発明は、上記従来技術の課題を考慮してなされたものであり、オリフィス径を確保しつつ、十分な減圧が可能となる膨張弁を提供することを目的とする。本発明に係る膨張弁は、冷媒を流入させる入口ポートと、前記冷媒を流出させる出口ポートと、前記入口ポートと前記出口ポートとの間に設けられる弁室と、前記弁室内に配置され、前記入口ポートから前記弁室内に流入した冷媒を膨張させて前記出口ポートへと流出させる冷媒流路が形成された弁座と、前記弁座に接離して前記冷媒流路を開閉する弁体とを備える膨張弁であって、前記弁体が前記弁座に当接した状態で該弁体と離間し、且つ前記弁体が前記弁座から離間した状態で該弁体と当接する部材を有すると共に、前記弁体及び前記部材のいずれか一方に溝部が形成されており、前記弁体が前記弁座から離間した前記冷媒流路の開放時に、前記弁体と前記部材とが当接して前記溝部の開口部が塞がれることにより、前記冷媒を前記冷媒流路へと流通させる流路が形成される。このような構成によれば、弁体が弁座に当接した状態で該弁体と離間し、且つ弁体が弁座から離間した状態で該弁体と当接する部材を有すると共に、前記弁体及び前記部材のいずれか一方に溝部が形成されているため、冷媒流路を開放するために弁体を後退させると、該弁体と前記部材とが当接して溝部の開口部が塞がれて、該溝部が微細な流路として形成される。このため、入口ポートから流通される高圧冷媒は、この溝部と部材とによって形成される流路によって減圧された後、さらに冷媒流路によって減圧されるため、当該膨張弁での減圧量を増大させることができ、例えば、二酸化炭素のように体積流量の少ない冷媒であっても十分な減圧量を確保することができる。一方、冷媒流路を閉塞するために弁体を前進させると、該弁体と前記部材とが離間して溝部の開口部が開放されるため、溝部に冷媒回路中を浮遊するごみ等が詰まることがなく、仮にごみ等が詰まっていた場合であっても、入口ポートから流通される高圧冷媒によって除去される。従って、冷媒流路をある程度大きな径で形成してごみ等の詰まりを防止しつつ、十分な減圧量を得ることが可能となる。前記弁体には、前記弁座に接離する際の進退方向に直交する方向の横孔が貫通形成され、前記部材は、前記入口ポートから連続する配管であると共に、該配管が前記横孔に挿入され、前記溝部は、前記配管に形成された孔部から連続するように該配管に形成されるか、又は、前記配管に形成された孔部に対向する前記横孔の内面に形成されるとよい。そうすると、弁体の進退動作による冷媒流路の開閉動作と、前記部材による溝部の開口部の開閉動作とをシンプルな構造で互いに連係させることができる。前記部材は、前記弁体を吸引可能なヨークであると共に、該ヨークには前記入口ポートから流入する冷媒が通過する貫通孔が形成され、前記溝部は、前記ヨークの前記貫通孔から連続するように該ヨークに形成されるか、又は、前記弁体の前記ヨークへの当接面に形成されるとよい。これによっても、弁体の進退動作による冷媒流路の開閉動作と、前記部材による溝部の開口部の開閉動作とをシンプルな構造で互いに連係させることができる。本発明によれば、冷媒流路を開放するために弁体を後退させると、該弁体と前記部材とが当接して溝部の開口部が塞がれて、該溝部が微細な流路として形成される。このため、入口ポートから流通される高圧冷媒は、この溝部と部材とによって形成される流路によって減圧された後、さらに冷媒流路によって減圧されるため、当該膨張弁での減圧量を増大させることができる。一方、冷媒流路を閉塞するために弁体を前進させると、該弁体と前記部材とが離間して溝部の開口部が開放されるため、溝部に冷媒回路中を浮遊するごみ等が詰まることがなく、仮にごみ等が詰まっていた場合であっても、入口ポートから流通される高圧冷媒によって除去される。従って、冷媒流路をある程度大きな径で形成してごみ等の詰まりを防止しつつ、十分な減圧量を得ることが可能となる。以下、本発明に係る膨張弁について、この膨張弁を備えた冷媒サイクル装置との関係で好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る電子膨張弁10を備えた冷媒サイクル装置12の全体構成図である。この冷媒サイクル装置12は、例えば、自動販売機の冷却加熱装置として用いられ、3つの商品収納庫14a、14b、14cをそれぞれ冷却加熱し、販売用の缶飲料等の商品を所定温度に保持するためのものである。勿論、電子膨張弁10は、自動販売機以外、例えば室内用や車両用の空調装置や各種ショーケース等に用いられる冷媒サイクル装置に適用することもできる。先ず、冷媒サイクル装置12の構成の一例について説明する。図1に示すように、冷媒サイクル装置12は、図示しない自動販売機の機械室に配置される圧縮機16、庫外熱交換器18、補助熱交換器20、内部熱交換器22及び電子膨張弁10と、商品収納庫14aに配設される蒸発器24及び加熱用熱交換器26と、商品収納庫14bに配設される蒸発器28と、商品収納庫14cに配設される蒸発器30とを備え、これらが所定量の冷媒例えば、二酸化炭素を封入した配管によって接続されることで冷媒回路を構成している。商品収納庫14bには、さらに、庫内を加熱するためのヒータ32が設けられている。圧縮機16は、低温低圧の冷媒を吸引側配管34を介して吸引口から吸引し、それを圧縮することで高温高圧状態にして吐出口から吐出側配管35へと吐出するものであり、例えば2段圧縮式で構成される。吐出側配管35は三方弁36によって2方に分岐しており、一方の配管38は庫外熱交換器18に接続され、他方の配管40は商品収納庫14a内へと配設されて加熱用熱交換器26に接続される。三方弁36を切替制御することにより、圧縮機16から吐出された冷媒は庫外熱交換器18又は加熱用熱交換器26に択一的に流通される。庫外熱交換器18の出口側において、配管38は、補助熱交換器20及び内部熱交換器22を順に経由して分配器42に接続される。分配器42は、配管38を3方に分岐させ、分岐した各配管43a、43b、43cは、それぞれ電子膨張弁10を介して蒸発器24、28、30に接続された後、その出口側の配管44a、44b、44cが、蒸発器24、28、30の出口側で吸引側配管34に合流し、内部熱交換器22を経て圧縮機16の吸引口に接続される。一方、加熱用熱交換器26の出口側において、配管40は、庫外熱交換器18と補助熱交換器20の間の配管38に合流し、補助熱交換器20の入口側へと接続される。庫外熱交換器18、補助熱交換器20、蒸発器24、28、30及び加熱用熱交換器26には、図示しないファンが近接配置される。庫外熱交換器18及び補助熱交換器20に近接配置されるファンは庫外送風用であり、庫外熱交換器18等の周囲に外気を通過させて外部へと送出するためのものである。一方、蒸発器24、28、30及び加熱用熱交換器26に近接配置されるファンは庫内送風用であり、蒸発器24等の周囲を通過して加熱又は冷却された空気を各庫内に循環させるためのものである。このような冷媒サイクル装置12では、圧縮機16の回転数や電子膨張弁10の開度を変化させ、さらに、三方弁36や分配器42を適宜開閉制御することにより、各庫内を所望の温度域で管理することができる。この際、冷媒サイクル装置12では、商品収納庫14a~14cに収納される商品種類や気候条件等に応じて、例えば3つの運転モードCCC運転、HCC運転、HHC運転を実行することができる。CCC運転は、各庫14a~14cを全て冷却COLD運転する運転モードであり、三方弁36を配管38側に切り替え、分配器42を3方分配とする。HCC運転は、商品収納庫14aを加熱HOT運転し、商品収納庫14b、14cを冷却COLD運転する運転モードであり、三方弁36を配管40側に切り替え、分配器42を配管44b、44cの2方分配とする。HHC運転は、商品収納庫14a、14bを加熱HOT運転し、商品収納庫14cを冷却COLD運転する運転モードであり、三方弁36を配管40側に切り替え、分配器42を配管44cの1方分配とし、ヒータ32をオンする。勿論、冷媒サイクル装置12の運転モードは上記以外のものであってもよく、電子膨張弁10が適用される冷媒回路の構成も上記冷媒サイクル装置12以外の構成であってもよい。次に、電子膨張弁10の構成について説明する。図2は、本発明の第1の実施形態に係る電子膨張弁10の構成を示す断面図であり、図2Aは側面断面図であり、図2Bは正面断面図であり、該電子膨張弁10への通電をオフした状態を示している。図3は、図2に示す電子膨張弁10の通電をオンした状態での構成を示す断面図であり、図3Aは側面断面図であり、図3Bは正面断面図である。電子膨張弁膨張弁10は、図示しない制御装置の制御下にパルス駆動制御されることで、冷媒流量及び冷媒蒸発温度を制御するものである。図2に示すように、電子膨張弁10は、高圧冷媒が流入する入口ポート50と、低圧冷媒を流出させる出口ポート52と、入口ポート50と出口ポート52の間に形成される弁室54と、弁室54内に配置される弁座56と、弁室内54内で進退移動することで弁体として機能するプランジャ60と、プランジャ60を摺動可能に収容するケース62とを備える。入口ポート50には、高圧流入管となる配管43a43b、43cが接続され、出口ポート52には、低圧流入管となる配管44a44b、44cが接続される。このような入口ポート50と出口ポート52との間に設けられる弁室54は、円筒形状のケース62の内部空間によって形成されており、この弁室54には、入口ポート50と出口ポート52との間を仕切るように弁座56が配設されている。入口ポート50には、ケース62内へと水平に延びた高圧冷媒用の内部配管配管、部材58が連続して設けられている。内部配管58は、ケース62を直径方向に貫通し、その先端が該ケース62の壁面に固定されて閉塞された管状体である。内部配管58は、プランジャ60を水平方向に貫通する横孔長孔61に挿通されている。内部配管58には、横孔61の中央付近で下方に開口する孔部58aが形成されている。弁座56は、出口ポート52が開口形成されたケース62の底部に嵌合するように配設された段付き円板形状の部材であり、その中心を細径の冷媒流路オリフィス64が貫通している。冷媒流路64は、入口ポート50内部配管58と出口ポート52との間を連通させるものであり、高圧冷媒を膨張させて低圧冷媒として流出させるためのオリフィスとして機能する。プランジャ60は、ケース62によって形成された円筒状のシリンダ内を進退移動図2では上下移動可能なピストンであり、円筒形状のボビン66の中心孔66aの上部に内挿されたヨーク68の下端に対し、コイルばね70を介して支持されている。ヨーク68は、ハウジング外ヨーク69の上面に対して固定ねじ71によって固定されている。コイルばね70は、プランジャ60を前進方向下方に付勢する圧縮ばねである。このように、ボビン66の中心孔66aには、ヨーク68とケース62とが内挿されており、このケース62内でプランジャ60が摺動可能となっている。電子膨張弁10では、ボビン66に巻回された電磁コイル72への通電がオンされると、電磁コイル72及びヨーク68によって形成される磁気回路により、ヨーク68の下端にコイルばね70を介して支持されたプランジャ60が、コイルばね70の付勢力に抗して後退退動する図3参照。一方、電磁コイル72への通電がオフされると、プランジャ60はコイルばね70の付勢力によって前進進動する図2参照。プランジャ60の中央から先端寄りには、横孔61が水平方向に貫通している。横孔61は、プランジャ60をその進退方向上下方向に直交する方向水平方向に貫通すると共に、プランジャ60の進退方向に長い長孔である。プランジャ60が進退すると、横孔61も進退するため、内部配管58が横孔61内で相対的に上下方向に移動することができる図2及び図3参照。このような横孔61の底面には、該横孔61の延在方向に沿った微細な溝部61aが形成されている。溝部61aは、オリフィスとなる冷媒流路64と同一又は略同一の断面積を有する微細な凹溝である。図4は、電子膨張弁10への通電をオフした状態での内部配管58とプランジャ60の横孔61との位置関係を模式的に示す断面説明図であり、図4Aは側面断面図であり、図4Bは正面断面図である。図5は、電子膨張弁10への通電をオンした状態での内部配管58とプランジャ60の横孔61との位置関係を模式的に示す断面説明図であり、図5Aは側面断面図であり、図5Bは正面断面図である。図2及び図4に示すように、溝部61aは、電子膨張弁10への通電がオフされてプランジャ60がコイルばね70の付勢力によって前進位置下限位置にある場合には、その上部が開口する凹溝として配置されている。一方、図3及び図5に示すように、溝部61aは、電子膨張弁10への通電がオンされてプランジャ60がコイルばね70の付勢力に抗して後退位置上限位置にある場合には、その上部の開口が内部配管58の下面によって閉塞されて微細な流路として形成される。次に、以上のように構成される電子膨張弁10の作用について説明する。例えば、冷媒サイクル装置12でCCC運転が実行されている場合には、図示しない制御装置の制御下に、各蒸発器24、28、30への冷媒の流通を制御する各電子膨張弁10は、図示しない通電装置から電磁コイル72へと所定のパルス通電がオンされる。この際、図3に示すように弁体であるプランジャ60が後退して先端面60aが弁座56から離間した状態では冷媒流路64が開放され、図2に示すように弁体であるプランジャ60が前進して先端面60aが弁座56に着地した状態では冷媒流路64が閉塞されるため、このパルス通電によって冷媒流路64が所定の時間周期で開閉され、蒸発器24、28、30での冷媒の蒸発温度が所定の温度に制御される。また、例えば、冷媒サイクル装置12でHCC運転が実行されている場合には、図示しない制御装置の制御下に、蒸発器24への冷媒の流通を制御する電子膨張弁10への通電はオフされ、他の蒸発器28、30への冷媒の流通を制御する各電子膨張弁10への通電がオンされる。これにより、蒸発器24への冷媒の流通を制御する電子膨張弁10では、コイルばね70の付勢力によってプランジャ60の先端面60aが弁座56に密着して冷媒流路64を閉塞する一方、蒸発器28、30への冷媒の流通を制御する各電子膨張弁10では冷媒流路64が開閉され、蒸発器28、30での冷媒の蒸発温度が所定の温度に制御される。このように、電子膨張弁10への通電がオフされた状態では、図2に示すように、プランジャ60がコイルばね70の付勢力によって前進位置となり、先端面60aが弁座56に着地して冷媒流路64を閉塞する。この場合には、図2及び図4に示すように、微細な溝部61aは、内部配管58から離間した位置にあるため、溝部61aは上部開口が開放された凹溝となっている。このため、溝部61aに冷媒回路中を浮遊するごみ等が詰まることがなく、仮に溝部61a内にごみ等が詰まっていた場合であっても、入口ポート50から内部配管58及びその孔部58aを通して流通される高圧冷媒によって吐き出される。一方、電子膨張弁10への通電がオンされた状態では、図3に示すように、プランジャ60がコイルばね70の付勢力に抗して後退位置となり、先端面60aが弁座56から離間して冷媒流路64を開放する。この場合には、図3及び図5に示すように、微細な溝部61aは、その上部開口が内部配管58によって閉塞されて微細な流路として形成されている。このため、入口ポート50から内部配管58及びその孔部58aを通して流通される高圧冷媒は、この溝部61aと内部配管58とによって形成される微細な流路によって減圧された後、さらに冷媒流路64によって減圧されるため、例えば、二酸化炭素のような体積流量の少ない冷媒であっても十分な減圧量を確保することができる。つまり、溝部61が冷媒流路64と共にオリフィスとして機能するため、冷媒流路64をある程度大きめの径で形成した場合であっても、減圧量を増大させることができる。以上のように、本実施形態に係る電子膨張弁10によれば、弁体であるプランジャ60が弁座56に当接した状態で該プランジャ60と離間し図2及び図4参照、且つ弁体であるプランジャ60が弁座56から離間した状態で該プランジャ60と当接する部材である内部配管58を有すると共に図3及び図5参照、プランジャ60に溝部61aが形成されている。そして、プランジャ60が弁座56から離間した冷媒流路64の開放時に、弁体であるプランジャ60と内部配管58とが当接して溝部61aの開口部上部開口が塞がれることにより、高圧冷媒を冷媒流路64へと流通させる微細な流路が形成される。すなわち、冷媒流路64を開放するために電磁コイル72への通電をオンして弁体であるプランジャ60を引き上げると、プランジャ60と内部配管58とが当接して溝部61aの開口部が塞がれて、該溝部61aが微細な流路として形成される。このため、入口ポート50から流通される高圧冷媒は、この溝部61aと内部配管58とによって形成される微細な流路によって減圧された後、さらに冷媒流路64によって減圧されるため、当該電子膨張弁10での減圧量を増大させることができ、例えば、二酸化炭素のように体積流量の少ない冷媒であっても十分な減圧量を確保することができる。一方、冷媒流路64を閉塞するために電磁コイル72への通電をオフして弁体であるプランジャ60を押し下げると、プランジャ60と内部配管58とが離間して溝部61aの開口部が開放される。このため、溝部61aに冷媒回路中を浮遊するごみ等が詰まることがなく、仮に溝部61a内にごみ等が詰まっていた場合であっても、入口ポート50から流通される高圧冷媒によって除去することができる。これにより、オリフィスである冷媒流路64をある程度大きな径で形成してごみ等の詰まりを防止しつつ、十分な減圧量を得ることが可能となる。この場合、弁体であるプランジャ60には、弁座56に接離する際の進退方向に直交する方向の横孔61が貫通形成され、内部配管58が横孔61に挿入されており、溝部61aが内部配管58に形成された孔部58aに対向する横孔61の内面に形成されている。これにより、プランジャ60の進退動作による冷媒流路64の開閉動作と、溝部61aの開口部の内部配管58による開閉動作とをシンプルな構造で互いに連係させることができる。なお、溝部61aは、プランジャ60側に形成されていなくてもよく、例えば、該プランジャ60と接離する部材である内部配管58側に形成された溝部74として構成してもよい図6参照。図6に示すように、溝部74は、内部配管58に形成された孔部58aから連続するように該内部配管58の下面に形成された微細な溝部である。この場合にも、冷媒流路64を開放するためにプランジャ60を引き上げると、プランジャ60と内部配管58とが当接して溝部74の開口部が横孔61の内面によって塞がれて、該溝部74が微細な流路として形成される一方、冷媒流路64を閉塞するためにプランジャ60を押し下げると、プランジャ60と内部配管58とが離間して溝部74の開口部が開放される。図7は、本発明の第2の実施形態に係る電子膨張弁10aの構成を示す側面断面図であり、図8は、図7中のVIII-VIII線に沿う断面図である。この第2の実施形態に係る電子膨張弁10aにおいて、上記第1の実施形態に係る電子膨張弁10と同一又は同様な機能及び効果を奏する要素には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略し、以下同様とする。電子膨張弁膨張弁10aは、上記の電子膨張弁10と比べて、入口ポート50、プランジャ60、及び、ヨーク68に代えて、ケース62の上端に設けられる入口ポート76、横孔61を持たないプランジャ78、及び、高圧冷媒用の供給流路80aが形成されたヨーク80を備え、入口ポート76から出口ポート52までが上下方向で直線状に設置されている。プランジャ78の上面である基端面78aには、その直径方向に延びて上部が開口する微細な溝部78bが形成されている。溝部78bは、上記の溝部61aと同様なものであり、オリフィスとなる冷媒流路64と同一又は略同一の断面積を有する微細な凹溝である。プランジャ78は、電磁コイル72への通電がオフされた状態では、入口ポート76から供給流路80aを通して基端面78aに付与される高圧冷媒と、冷媒流路64側の低圧冷媒との圧力差によって押し下げられており、その先端面78cが弁座56に密着し、冷媒流路64を閉塞している図7参照。一方、電磁コイル72への通電がオンされると、電磁コイル72とヨーク80とで形成される磁気回路によってプランジャ78が後退し、その先端面78cが弁座56から離間して冷媒流路64が開放される。従って、この電子膨張弁10aによれば、弁体であるプランジャ78が弁座56に当接した状態で該プランジャ78と離間し、且つ弁体であるプランジャ78が弁座56から離間した状態で該プランジャ78と当接する部材であるヨーク80を有すると共に、プランジャ78にヨーク80の供給流路80aと連通可能な溝部78bが形成されている。そして、プランジャ78が弁座56から離間した冷媒流路64の開放時に、弁体であるプランジャ78とヨーク80の下面とが当接して溝部78bの開口部上部開口が塞がれることにより、高圧冷媒を冷媒流路64へと流通させる微細な流路が形成される。すなわち、冷媒流路64を開放するために電磁コイル72への通電をオンして弁体であるプランジャ78を引き上げると、プランジャ78とヨーク80とが当接して溝部78bの開口部が塞がれて、該溝部78bが微細な流路として形成される。このため、入口ポート76から流通される高圧冷媒は、この溝部78bとヨーク80とによって形成される微細な流路によって減圧された後、さらに冷媒流路64によって減圧されるため、上記の電子膨張弁10と同様に、当該電子膨張弁10aでの減圧量を増大させることができる。一方、冷媒流路64を閉塞するために電磁コイル72への通電をオフして弁体であるプランジャ78を押し下げると、プランジャ78とヨーク80とが離間して溝部78bの開口部が開放され、ごみ等が除去される。これにより、オリフィスである冷媒流路64をある程度大きな径で形成してごみ等の詰まりを防止しつつ、十分な減圧量を得ることが可能となる。この場合、弁体であるプランジャ78と接離する部材として該プランジャ78を吸引可能なヨーク80を用い、該ヨーク80には入口ポート76から流入する冷媒が通過する貫通孔である供給流路80aが形成され、溝部78bは、プランジャ78のヨーク80への当接面となる基端面78aに形成されている。これにより、プランジャ78の進退動作による冷媒流路64の開閉動作と、溝部78bの開口部のヨーク80による開閉動作とをシンプルな構造で互いに連係させることができる。勿論、この電子膨張弁10aにおいても、溝部78bは、プランジャ78側に形成されていなくてもよく、例えば、該プランジャ78と接離する部材であるヨーク80の下面に供給流路80aから連続するように形成された溝部80bとして構成してもよい図7及び図8中の2点鎖線参照。図9は、本発明の第3の実施形態に係る電子膨張弁10bの構成を示す側面断面図であり、図10は、図9中のX-X線に沿う断面図である。電子膨張弁膨張弁10bは、上記の電子膨張弁10と比べて、プランジャ60、及び、ヨーク68に代えて、横孔61を持たないプランジャ82、及び、高圧冷媒用の屈曲した供給流路84aが形成されたヨーク84を備え、コイルばね70の上部が供給流路84a内に挿入配置されている。プランジャ82の上面である基端面82aには、その直径方向に延びて上部が開口する微細な溝部82bが形成されている。溝部82bは、上記の溝部61a、78bと同様なものであり、オリフィスとなる冷媒流路64と同一又は略同一の断面積を有する微細な凹溝である。プランジャ82は、電磁コイル72への通電がオフされた状態では、コイルばね70の付勢力によって押し下げられており、その先端面82cが弁座56に密着し、冷媒流路64を閉塞している図9参照。一方、電磁コイル72への通電がオンされると、電磁コイル72とヨーク84とで形成される磁気回路によってプランジャ82が後退し、その先端面82cが弁座56から離間して冷媒流路64が開放される。従って、この電子膨張弁10bによれば、弁体であるプランジャ82が弁座56に当接した状態で該プランジャ82と離間し、且つ弁体であるプランジャ82が弁座56から離間した状態で該プランジャ82と当接する部材であるヨーク84を有すると共に、プランジャ82にヨーク84の供給流路84aと連通可能な溝部82bが形成されている。そして、プランジャ82が弁座56から離間した冷媒流路64の開放時に、弁体であるプランジャ82とヨーク84の下面とが当接して溝部82bの開口部上部開口が塞がれることにより、高圧冷媒を冷媒流路64へと流通させる微細な流路が形成される。すなわち、冷媒流路64を開放するために電磁コイル72への通電をオンして弁体であるプランジャ82を引き上げると、プランジャ82とヨーク84とが当接して溝部82bの開口部が塞がれて、該溝部82bが微細な流路として形成される。このため、入口ポート50から流通される高圧冷媒は、この溝部82bとヨーク84とによって形成される微細な流路によって減圧された後、さらに冷媒流路64によって減圧されるため、上記の電子膨張弁10、10aと同様に、当該電子膨張弁10bでの減圧量を増大させることができる。一方、冷媒流路64を閉塞するために電磁コイル72への通電をオフして弁体であるプランジャ82を押し下げると、プランジャ82とヨーク84とが離間して溝部82bの開口部が開放され、ごみ等が除去される。これにより、オリフィスである冷媒流路64をある程度大きな径で形成してごみ等の詰まりを防止しつつ、十分な減圧量を得ることが可能となる。この場合、弁体であるプランジャ82と接離する部材として該プランジャ82を吸引可能なヨーク84を用い、該ヨーク84には入口ポート50から流入する冷媒が通過する貫通孔である供給流路84aが形成され、溝部82bは、プランジャ82のヨーク84への当接面となる基端面82aに形成されている。これにより、プランジャ82の進退動作による冷媒流路64の開閉動作と、溝部82bの開口部のヨーク84による開閉動作とをシンプルな構造で互いに連係させることができる。勿論、この電子膨張弁10bにおいても、溝部82bは、プランジャ82側に形成されていなくてもよく、例えば、該プランジャ82と接離する部材であるヨーク84の下面に供給流路84aから連続するように形成された溝部84bとして構成してもよい図9及び図10中の2点鎖線参照。なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で自由に変更できることは勿論である。