荷物載置面を底面に対して傾斜して設けた傾斜パレットを搬送するパレット搬送装置であって、第1端と、第2端と、前記傾斜パレットの前記底面を支持する搬送面と、を有し、前記傾斜パレットを搬送するコンベア部と、前記第1端より前記第2端側で前記コンベア部の搬送方向と直交する方向に沿って配置された支持軸を有し、前記コンベア部を前記支持軸回りに揺動自在に支持するコンベア支持部と、前記搬送面が実質的に水平な第1位置と、前記第2端側を上昇させて前記荷物載置面を実質的に水平にする第2位置との間で前記コンベア部を揺動させる揺動駆動部と、前記支持軸より前記第1端側に前記コンベア部と別に設けられ、前記コンベア部が前記第1位置にあるとき、前記搬送面の下方に配置され、前記コンベア部が前記第2位置にあるとき前記搬送面より突出して前記傾斜パレットの前記第2端側への移動を規制する第1規制部と、を備えるパレット搬送装置。前記第1規制部より前記第1端側で前記コンベア部に設けられ、前記傾斜パレットの前記第2端から離れる方向への移動を規制する第2規制部をさらに備える、請求項1に記載のパレット搬送装置。前記コンベア部は、前記揺動駆動部が前記コンベア部を前記第2位置に揺動させた後に前記第1位置に戻る前に、前記傾斜パレットを前記第1端側に搬送する、請求項1又は2に記載のパレット搬送装置。このフォークリフトを用いたガラス基板の移載の際に、フォークリフトに押されて傾斜パレットがローラコンベア上で所定位置からずれることがある。傾斜パレットが所定位置からずれると、ガラス基板を効率良く傾斜パレットに移載できない。本発明の課題は、傾斜パレットに荷物を移載するときの傾斜パレットのずれを、簡素な構成により抑えることにある。以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。本発明に係るパレット搬送装置は、荷物載置面を底面に対して傾斜して設けた傾斜パレットを搬送するパレット搬送装置である。パレット搬送装置は、コンベア部と、コンベア支持部と、揺動駆動部と、第1規制部と、を備える。コンベア部は、第1端と、第2端と、傾斜パレットの底面を支持する搬送面と、を有し、傾斜パレットを搬送する。コンベア支持部は、第1端より第2端側でコンベア部の搬送方向と直交する方向に沿って配置された支持軸を有し、コンベア部を支持軸回りに揺動自在に支持する。揺動駆動部は、搬送面が実質的に水平な第1位置と、第2端側を上昇させて荷物載置面を実質的に水平にする第2位置との間でコンベア部を揺動させる。第1規制部は、支持軸より第1端側にコンベア部と別に設けられる。第1規制部は、コンベア部が第1位置にあるとき、コンベア部の搬送面の下方に配置され、コンベア部が第2位置にあるとき搬送面より突出して傾斜パレットの第2端側への移動を規制する。このパレット搬送装置では、荷物を傾斜パレットに移載する場合には、コンベア部を揺動駆動部により第2位置に配置する。これにより、荷物載置面が実質的に水平になり、フォークリフトなどの物流機器により荷物を荷物載置面に移載しやすくなる。コンベア部が第2位置に揺動すると、第1規制部がコンベア部の搬送面から突出する。この結果、傾斜パレットがフォークリフトにより押されても傾斜パレットが第2端側にずれにくくなる。一方、傾斜パレットへの荷物の移載が終わると、コンベア部を第1位置に戻す。第1位置では、第1規制部は搬送面より下方に配置される。このため、傾斜パレットの移動が妨げられない。ここでは、搬送面が傾斜した第2位置で搬送面から突出するとともに、搬送面が水平な第1位置で搬送面の下方に配置されるように、第1規制部が構成されている。このため、傾斜パレットに荷物を移載するときの傾斜パレットのずれを、簡素な構成により抑えることができる。第1規制部より第1端側でコンベア部に設けられ、傾斜パレットの第2端から離れる方向への移動を規制する第2規制部をさらに備えても良い。この場合には、第2位置に傾斜パレットを配置し自重により傾斜パレットが第1端側に移動しても、傾斜パレットがコンベア部から脱落しなくなる。コンベア部は、揺動駆動部がコンベア部を第2位置に揺動させた後に第1位置に戻る前に、傾斜パレットを第1端側に搬送してもよい。この場合には、フォークリフト等の物流機器により荷物を移載するときに、第1規制部に傾斜パレットが引っ掛かっても、傾斜パレットを第1規制部から離すことができる。これにより、傾斜パレット及び第1規制部の少なくともいずれかの破損を防止できる。本発明によれば、搬送面が傾斜した第2位置で搬送面から突出するとともに、搬送面が水平な第1位置で搬送面の下方に配置されるように、第1規制部が構成されている。このため、傾斜パレットに荷物を移載するときの傾斜パレットのずれを、簡素な構成により抑えることができる。1パレット搬送システム図1において、本発明の一実施形態が採用されたパレット搬送システム10は、ガラス基板14図2参照が載置された傾斜パレット16を、図示しない基板処理装置に搬送するシステムである。パレット搬送システム10は、本発明一実施形態によるパレット搬送装置20と、1または複数のパレットコンベア22とを有する。パレット搬送装置20は、複数のガラス基板14を傾斜パレット16上に受け取る装置である。パレットコンベア22は、パレット搬送装置20でガラス基板14を受け取った傾斜パレット16を基板処理装置に搬送するものである。傾斜パレット16は、図2に示すように、底面16aと、底面16aに対して傾斜して設けられた荷物載置面16bと、荷物載置面16bと直交する荷物接触面16cと、を有している。傾斜パレット16の底面16aは、パレット搬送装置20及びパレットコンベア22に支持される。荷物載置面16bには、パレット12が載置される。パレット12には、結束された複数枚のガラス基板14が縦積みされている。傾斜パレット16の下部には、例えば角パイプ等の鋼材で矩形に組まれた枠部材16dが設けられている。したがって、傾斜パレットの下面では、枠部材16dが露出している。2パレット搬送装置パレット搬送装置20は、図4に示すように、フォークリフト80のフォーク爪80aにより搬送されたガラス基板14をパレット12ごと傾斜パレット16上に受け取る。パレット搬送装置20は、図2、図3及び図4に示すように、傾斜パレット16を搬送可能なコンベア部30と、コンベア部30を支持するコンベア支持部33と、コンベア部30を揺動させる揺動駆動部34と、を備えている。また、パレット搬送装置20は、傾斜パレット16の移動を規制する第1規制部36及び第2規制部38を備えている。2-1コンベア部コンベア部30は、例えば、個別に正逆回転駆動可能な複数のローラ31を有するローラコンベアである。複数のローラ31は、両側に配置されたコンベアフレーム32により両端支持されている。ローラ31の一端に回転駆動用のモータ31a図3参照が設けられている。コンベアフレーム32は、一対の主フレーム32aと複数の連結部材32bとを有する。主フレーム32aは、ローラ31の両側に配置される。複数の連結部材32bは、一対の主フレーム32aを複数のローラ31の間で連結する。コンベア部30は、パレットコンベア22から遠い第1端30aと、パレットコンベア22に近い第2端30bと、傾斜パレット16の底面16aを支持する搬送面30cと、を有する。コンベア部30は、ローラ31により傾斜パレット16の底面16aを支持する。この実施形態では、ローラ31の上部をつなぐ直線が搬送面30cを構成する。コンベア部30は、空の傾斜パレット16をパレットコンベア22から受け取るとともに、ガラス基板14が載置された傾斜パレット16をパレットコンベア22に搬送する。2-2コンベア支持部コンベア支持部33は、コンベア部30の下方に配置された架台40と、架台40とコンベアフレーム32との間に配置された揺動支持部42及び一対の受け部材44と、を有する。架台40は、例えば鋼材で組まれた矩形枠状の部材である。揺動支持部42は、支持軸45と、支持軸45の両端を支持する一対の第1軸受部46と、支持軸45に回動自在に装着された一対の第2軸受部47と、を有する。支持軸45は、コンベア部30の第1端31aより第2端31b側でコンベア部30の搬送方向図2左右方向と直交する方向に沿って配置される。第1軸受部46は、架台40に固定され支持軸45の両端を固定している。第2軸受部47は、コンベアフレーム32の下端に固定されている。コンベア支持部33は、コンベア部30を支持軸45回りに揺動自在に支持する。受け部材44は、第1位置にコンベア部30が配置されると、コンベア部30の第2端の下面に接触可能に位置している。受け部材44は、コンベア部30が第2位置にあるときに、コンベア部30を安定させるために設けられている。2-3揺動駆動部揺動駆動部34は、コンベア部30の第2端側に配置されている。揺動駆動部34は、コンベア部30を、図2に示す第1位置と、図4に示す第2位置とに揺動させる。第1位置は、コンベア部30の搬送面30cが実質的に水平に配置される位置である。第2位置は、搬送面30cに載置された傾斜パレット16の荷物載置面16bが実質的に水平に配置される位置である。第2位置では、第1位置よりコンベア部30の第2端30bが上昇する。また、第1位置では、第1位置よりコンベア部の第1端30aが下降する。揺動駆動部34は、図2及び図3に示すように、減速モータ50と、減速モータ50により回動する回動軸52と、回動軸52の両端に固定される一対の昇降カム54と、を有する。減速モータ50は、ローラ31の下方に配置される。回動軸52は、支持軸45と平行に配置される。回動軸52は、昇降カム54の内側で架台40に固定された一対の軸受56により架台40に回動自在に支持されている。回動軸52は例えばウォームギアとウォームホイール等の適宜のギヤ機構により減速モータ50に連結されている。昇降カム54は、回動軸52の両端に基端が固定された昇降アーム54aと、昇降アーム54aの先端に回転自在に装着された昇降ローラ54bと、を有する。昇降ローラ54bは、コンベアフレーム32の下面に接触している。2-4第1規制部第1規制部36は、傾斜パレット16が第2端側に向けて移動するのを規制するものである。第1規制部36は、支持軸45より第1端30a側にコンベア部30と別に設けられている。この実施形態では架台40に固定され、上方に延びている。第1規制部36の上端36aは、コンベア部30が図2に示す第1位置にあるとき、コンベア部30の搬送面31cの下方、すなわち、傾斜パレット16の底面16aの下方に位置する。また、コンベア部30が図4に示す第2位置にあるとき、第1規制部36の上端36aは、コンベア部30の搬送面30cの上方に位置する。具体的には、第1規制部36と支持軸45までの距離をLとし、第1位置から第2位置への揺動角度をθとすると、第1規制部36が配置された部分で、コンベア部30がL×tanθの距離Dだけ上下に動く。このため、第1規制部36の上端36aは、第1位置にあるときのコンベア部30の搬送面30cより下方、かつ搬送面30cから距離D下方の位置より上方に位置している。すなわち、コンベア部30が第1位置にあるときには、傾斜パレット16に接触せず、コンベア部30が第2位置に揺動すると第1端30aが下降して第1規制部36が搬送面30cから突出する。突出した第1規制部36は、傾斜パレット16の枠部材16dに接触可能になる。これにより、枠部材16dの内側面16eが第1規制部36に接触すると、傾斜パレット16は第2端側に移動不能になる。2-5第2規制部第2規制部38は、第1規制部36より第1端30a側に配置される。第2規制部38は、傾斜パレット16の第2端から離れる方向の移動を規制する。この実施形態では、第2規制部38は、コンベア部30の第1端30aに固定されている。第2規制部38は、傾斜パレット16の枠部材16dの外側面16fに接触して傾斜パレット16の第2端30b側空離れる方向の移動を規制する。したがって、傾斜パレット16の外側面16fが第2規制部38に接触すると、傾斜パレット16が移動できなくなり、傾いた第2位置にコンベア部30が揺動しても、傾斜パレット16の第1端30aからの脱落を防止できる。3パレット搬送装置の動作フォークリフトからガラス基板14を受け取る際には、コンベア部30を第1位置から第2位置に揺動させる。コンベア部30が図2に示す第1位置にあるとき、減速モータ50を一方向に所定量回転させると、昇降アーム54aが例えば図2の時計回りに180度回転する。これにより、昇降ローラ54bがコンベアフレーム32の第2端30b側を上昇させて、図4に示す第2位置にコンベア部30が配置される。この状態でフォークリフト80のフォーク爪80aでパレット12を引っ掛けてガラス基板14を傾斜パレット16の荷物載置面16bに移載する。このとき、フォーク爪80aがパレット12を介して傾斜パレット16をコンベア部30の第2端30b側に押すことがある。このとき、第1規制部36に傾斜パレット16の枠部材16dの内側面16eが接触すると、傾斜パレット16の第2端30b側に移動できなくなる。このため、フォークリフト80によりガラス基板14を傾斜パレット16に移載しても、傾斜パレット16がずれにくくなる。傾斜パレット16へのガラス基板14の移載が完了すると、フォークリフト80を後退させる。そして、減速モータ50を他方向に所定量回転させると、昇降アーム54aが例えば図4の反時計回りに180度回転する。これにより、昇降ローラ54bに乗ったコンベアフレーム32の第2端30b側が自重により下降し、図2に示す第1位置にコンベア部30が配置される。この第1位置への下降の途中でローラ31を第1端30aに向けて回転駆動する。すなわち、図4反時計回りに回転させる。これにより、傾斜パレット16が第1端30a側に搬送される。このため、傾斜パレット16の内側面16eが第1規制部36に引っ掛かっても、内側面16eを第1規制部36から離すことができる。これにより、第1規制部36および傾斜パレット16の少なくともいずれかが損傷しにくくなる。コンベア部30が第1位置に戻ると、コンベア部30の第1端30aが上昇し、第1規制部36の上端36aが搬送面30cの下方に配置される。このため、傾斜パレット16の搬送の邪魔にならない。この状態で、コンベア部30により傾斜パレット16をパレットコンベア22に搬送して移載作業を完了する。4特徴上記実施形態は、下記のように表現可能である。Aパレット搬送装置20は、荷物載置面16bを底面16aに対して傾斜して設けた傾斜パレット16を搬送するパレット搬送装置20である。パレット搬送装置20は、コンベア部30と、コンベア支持部33と、揺動駆動部34と、第1規制部36と、を備える。コンベア部30は、第1端30aと、第2端30bと、傾斜パレット16の底面16aを支持する搬送面30cと、を有し、傾斜パレット16を搬送する。コンベア支持部33は、第1端30aより第2端30b側でコンベア部30の搬送方向と直交する方向に沿って配置された支持軸45を有し、コンベア部30を支持軸45回りに揺動自在に支持する。揺動駆動部34は、搬送面30cが実質的に水平な第1位置と、第2端30b側を上昇させて荷物載置面16bを実質的に水平にする第2位置との間でコンベア部30を揺動させる。第1規制部36は、支持軸45より第1端30a側にコンベア部30と別に設けられる。第1規制部36は、コンベア部30が第1位置にあるとき、搬送面30cの下方に配置され、コンベア部30が第2位置にあるとき搬送面30cより突出して傾斜パレット16の第2端30b側への移動を規制する。このパレット搬送装置20では、荷物であるガラス基板14を傾斜パレット16に移載する場合には、コンベア部30を揺動駆動部34により第2位置に配置する。これにより、荷物載置面16bが実質的に水平になり、フォークリフト80などの物流機器によりガラス基板14を荷物載置面16bに移載しやすくなる。コンベア部30が第2位置に揺動すると、第1規制部36がコンベア部30の搬送面30cから突出する。この結果、傾斜パレット16がフォークリフト80により押されても傾斜パレット16が第2端30b側にずれにくくなる。一方、傾斜パレット16へのガラス基板14の移載が終わると、コンベア部30を第1位置に戻す。第1位置では、第1規制部36は搬送面30cより下方に配置される。このため、傾斜パレット16の移動が妨げられない。ここでは、搬送面30cが傾斜した第2位置で搬送面31cから突出するとともに、搬送面30cが水平な第1位置で搬送面31cの下方に配置されるように、第1規制部36が構成されている。このため、傾斜パレット16にガラス基板14を移載するときの傾斜パレット16のずれを、簡素な構成により抑えることができる。B第1規制部36より第1端30a側でコンベア部30に設けられ、傾斜パレット16の第2端30bから離れる方向への移動を規制する第2規制部38をさらに備えても良い。この場合には、第2位置に傾斜パレット16を配置し自重により傾斜パレット16が第1端30a側に移動しても、傾斜パレット16がコンベア部30から脱落しなくなる。Cコンベア部30は、揺動駆動部34がコンベア部30を第2位置に揺動させた後に第1位置に戻る前に、傾斜パレット16を第1端30a側に搬送してもよい。この場合には、フォークリフト80等の物流機器によりガラス基板14を移載するときに、第1規制部36に傾斜パレット16が引っ掛かっても、傾斜パレット16を第1規制部36から離すことができる。これにより、傾斜パレット16及び第1規制部36の少なくともいずれかの破損を防止できる。5他の実施形態以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。a前記実施形態では、コンベア部30をローラコンベアで構成したが、コンベア部は、ローラコンベアに限定されない。コンベア部は、例えば、チェンコンベア、ベルトコンベア等のその他のコンベアで構成してもよい。b前記実施形態では、揺動駆動部34を減速モータ50及び昇降カム54で構成したが、揺動駆動部はこれに限定されない。例えば、油圧シリンダ、空圧シリンダ、電動シリンダ等のアクチュエータにより揺動駆動部を構成しても良い。また、ボールネジとボールスクリューの組合せにより揺動駆動部を構成しても良い。c前記実施形態では、パレット12を傾斜パレット16の荷物載置面16bに載せたが、本発明はこれに限定されない。荷物の側面を掴んで移載する場合は、パレットの載せることなく、荷物を直接荷物載置面16bに載置しても良い。