筒状の外形を有する容器と、前記容器の端面に配置され、力を受けて前記容器の内側または外側に変位するダイアフラムと、力検出部と前記力検出部の両端に接続された一対の基部とを有し、一方の基部が前記ダイアフラム側に接続され、他方の基部が前記容器側に接続され、前記基部同士を結ぶ線と平行な方向を検出軸とし、前記ダイアフラムの変位により生じた力を検出する力検出素子と、前記容器の側面から前記側面の外周側に突出し、前記側面の外周と同心となるフランジ部と、を備え、前記フランジ部は、前記ダイアフラムが配置された前記端面が前記フランジ部から前記フランジ部の厚み方向に突出するように配置されたことを特徴とする力検出器。前記力検出素子は、前記検出軸の方向が前記ダイアフラムの変位方向と平行となるように配置されたことを特徴とする請求項1記載の力検出器。前記容器の前記ダイアフラムに対向する位置に配置された第2ダイアフラムと、前記ダイアフラムと前記第2ダイアフラムとを連結し、前記ダイアフラムから受ける力と前記第2ダイアフラムから受ける力の合力の方向に変位する力伝達部材と、を備え、前記力検出素子は、前記一方の基部が前記力伝達部材に接続されたことを特徴とする請求項1または2に記載の力検出器。前記フランジ部は、前記側面の中央部に配置されたことを特徴とする請求項3に記載の力検出器。前記容器は、前記側面を形成し両端に開口部を有する円筒形の側壁部と、前記端面を形成し前記開口部をそれぞれ封止する第1の蓋部と、第2の蓋部と、を有し、前記第1の蓋部には前記ダイアフラムが配置され、前記第2の蓋部には前記第2ダイアフラムが配置され、前記フランジ部は、前記第1の蓋部、前記第2の蓋部のいずれか一方の側面に配置されるとともに、前記ダイアフラムが配置された蓋部が形成する前記端面が、前記フランジ部から前記フランジ部の厚み方向に突出した位置に配置されたことを特徴とする請求項3に記載の力検出器。前記側面の外周の径は、前記フランジ部の一方の面側と、前記フランジ部の前記一方の面に対向する他方の面側と、で互いに異なることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の力検出器。前記フランジ部の前記一方の面に当接する第1の円形リングと、前記フランジ部の前記他方の面に当接する第2の円形リングと、を備え、前記第1の円形リングの断面半径と前記フランジ部の一方の面側の前記容器の半径との和と、前記第2の円形リングの断面半径と前記フランジ部の他方の面側の前記容器の半径との和と、が互いに等しいことを特徴とする請求項6に記載の力検出器。前記容器を収容するとともに、前記ダイアフラムと対向する位置に圧力導入口を有する外部ケースを備え、前記外部ケースは、前記外部ケースの側面から前記圧力導入口に合流する排出口が形成されたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の力検出器。しかしながら、以下のような問題があった。すなわち、外部ケース400の内側と圧力センサー200のフランジ部410とを円形リング408、円形リング409を介して固定していることにより、フランジ部410の固定による歪み内部応力が発生する。そして、この歪みがダイアフラム204A、204Bの受圧感度に悪影響を及ぼすこととなり、検出される被測定圧力に誤差が生じるという問題があった。また圧力センサー200を外部ケース400から取り外し、圧力センサー200を再度外部ケースに収納すると圧力のゼロ点が移動するという問題も本願発明者は見出している。そこで、本発明は上記問題点に着目し、フランジを介した外部ケースとの固定に起因するダイアフラムの撓み感度の劣化を抑制し、安定的な物理量が得られる力検出器を提供することを目的とする。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。[適用例1]筒状の外形を有する容器と、前記容器の端面に配置され、力を受けて前記容器の内側または外側に変位するダイアフラムと、力検出部と前記力検出部の両端に接続された一対の基部とを有し、一方の基部が前記ダイアフラム側に接続され、他方の基部が前記容器側に接続され、前記基部同士を結ぶ線と平行な方向を検出軸とし、前記ダイアフラムの変位により生じた力を検出する力検出素子と、前記容器の側面から前記側面の外周側に突出し、前記側面の外周と同心となるフランジ部と、を備え、前記フランジ部は、前記ダイアフラムが配置された前記端面が前記フランジ部から前記フランジ部の厚み方向に突出するように配置されたことを特徴とする力検出器。上記構成により、フランジ部とダイアフラムとの距離は、フランジ部がダイアフラムと同一平面を形成する場合より離れるので、フランジ部の挟持により発生する応力がダイアフラムに伝達するまでに緩和される。したがって、フランジ部を介した外部ケースとの固定に起因するダイアフラムの撓み感度の劣化を抑制し、安定的な物理量が得られる力検出器となる。[適用例2]前記力検出素子は、前記検出軸の方向が前記ダイアフラムの変位方向と平行となるように配置されたことを特徴とする適用例1記載の力検出器。上記構成により、力検出素子がダイアフラムの変位による力を直接受けることができるので力検出器の感度を高めることができる。[適用例3]前記容器の前記ダイアフラムに対向する位置に配置された第2ダイアフラムと、前記ダイアフラムと前記第2ダイアフラムとを連結し、前記ダイアフラムから受ける力と前記第2ダイアフラムから受ける力の合力の方向に変位する力伝達部材と、を備え、前記力検出素子は、前記一方の基部が前記力伝達部材に接続されたことを特徴とする適用例1または2に記載の力検出器。上記構成により、ダイアフラムと第2ダイアフラムとの間の相対的な物理量を測定可能な力検出器となる。[適用例4]前記フランジ部は、前記側面の中央部に配置されたことを特徴とする適用例3に記載の力検出器。上記構成により、容器のダイアフラムに対向する端面の位置にさらなるダイアフラムを配置した場合、2つのダイアフラムからフランジ部までの距離が一致する。よって一方のダイアフラム側に偏ってフランジの挟持による応力が伝達することはない。また容器の側面の中央部にフランジ部を配置したので、フランジ部の挟持による応力は各ダイアフラムに到達するまでに十分に緩和させることができる。よってフランジ部を介した外部ケースとの固定に起因するダイアフラムの撓み感度の劣化を高精度に抑制可能な力検出器となる。[適用例5]前記容器は、前記側面を形成し両端に開口部を有する円筒形の側壁部と、前記端面を形成し前記開口部をそれぞれ封止する第1の蓋部と、第2の蓋部と、を有し、前記第1の蓋部には前記ダイアフラムが配置され、前記第2の蓋部には前記第2ダイアフラムが配置され、前記フランジ部は、前記第1の蓋部、前記第2の蓋部のいずれか一方の側面に配置されるとともに、前記ダイアフラムが配置された蓋部が形成する前記端面が、前記フランジ部から前記フランジ部の厚み方向に突出した位置に配置されたことを特徴とする適用例3に記載の力検出器。上記構成により、力検出器全体の強度を維持するとともに、力検出器と外部ケースとの隙間の容積を減少させ、力検出器を液体中に導入する際の前記隙間に残存する空気を容易に外部に放出して、圧力の測定誤差を抑制することができる。[適用例6]前記側面の外周の径は、前記フランジ部の一方の面側と、前記フランジ部の前記一方の面に対向する他方の面側と、で互いに異なることを特徴とする適用例1乃至5のいずれか1例に記載の力検出器。物理量測定環境に晒されるダイアフラムは測定する物理量の大きさや環境に応じてその径の設計が変わるので、ダイアフラムが取り付けられる蓋部の径が変わることになる。しかし上記構成により、基準となる環境に晒されるダイアフラムは同じ規格のものを使うことができるので、測定環境に対応してダイアフラムの設計を変更した力検出器のコストを抑制することができる。[適用例7]前記フランジ部の前記一方の面に当接する第1の円形リングと、前記フランジ部の前記他方の面に当接する第2の円形リングと、を備え、前記第1の円形リングの断面半径と前記フランジ部の一方の面側の前記容器の半径との和と、前記第2の円形リングの断面半径と前記フランジ部の他方の面側の前記容器の半径との和と、が互いに等しいことを特徴とする適用例6に記載の力検出器。上記構成により、第1の円形リングの断面の中心と、第2の円形リングの断面の中心がフランジ部を挟んで互いに対向することになる。よって、フランジ部の挟持により蓋部全体及びダイアフラム全体を屈曲変形させる応力の発生を抑制することができる。[適用例8]前記容器を収容するとともに、前記ダイアフラムと対向する位置に圧力導入口を有する外部ケースを備え、前記外部ケースは、前記外部ケースの側面から前記圧力導入口に合流する穴が形成されたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の力検出器。上記構成により、力検出器を液体中に導入時に外部ケースと力検出器との間に残留する空気を効率的に排出することができる。以下、本発明に係る力検出器を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。なお、図に示されるX軸、Y軸、Z軸は直交座標系を形成しているものとする。図1に第1実施形態に係る力検出器の斜視図YZ面を切り口とした断面図を示す。図2に第1実施形態に係る力検出器の断面図を示し、図2aはXZ面を切り口とした断面図、図2bはYZ面を切り口とした断面図である。第1実施形態に係る力検出器10は、図1aに示すように線分Oを中心軸とした円筒形状を有している。力検出器10は、ハウジング12とダイアフラム44A、ダイアフラム44Bとにより内部を気密封止する容器を形成している。そしてダイアフラム44A、ダイアフラム44Bを備えた容器の収容空間に、力検出素子58、支持シャフト36、力伝達部材としてのセンターシャフト52等を有している。そして力検出器10は、後述のようにダイアフラム44Aが受ける圧力とダイアフラム44B第2ダイアフラムが受ける物理量圧力との差分の力を力検出素子58が検出する相対的な物理量を検出する力検出器となっている。なお容器内は真空封止されている。力検出器10の容器の一部となるハウジング12は、円形の第1の蓋部14ダイアフラム44A、円形の第2の蓋部24ダイアフラム44B、支持シャフト36、円筒形の側壁部42を有する。第1の蓋部14は、円筒形の側壁部42の内壁の-Z軸側の壁面と接する側面を有する第1外周部16と、側壁部42の-Z軸側の端部と当接する第2外周部18と、第1外周部16及び第2外周部18を連通する開口部20とが同心円状に形成されている。そして第2外周部18の側壁部42側にはフランジ部22が接続されている。フランジ部22は、ハウジングの側面を形成する第2外周部18から第2外周部18の外周側に突出するとともに平面視でZ軸方向から見て第2外周部18の外周と同心となるように配置される。またフランジ部22は、第1の蓋部14のZ軸側、すなわち第2外周部18の側壁部42側の面と同一平面を形成するように一体的に接続されている。これにより、図2に示すように、フランジ部22は、ダイアフラム44Aが配置された第2外周部18の-Z軸側の端面が、フランジ部22からフランジ部22の厚み方向Z軸方向に距離Aだけ突出して配置されることになる。ここで第2外周部18と側壁部42の直径は同一となっている。よって第1外周部16の直径は、第2外周部18の直径より側壁部42の厚みの分だけ小さくなっている。また第2外周部18は、後述のように物理量測定対象圧力測定対象の環境下に晒される。第2の蓋部24は、その側面の外形が側壁部42の内壁と接する直径を有しており側壁部42の内壁のZ軸側の壁面と接続する。また第2の蓋部24は、Z軸側の面に第2の蓋部24と同心円状の凹部26が形成されている。そして凹部26の開口部はダイアフラム44Bにより封止されている。この配置により、フランジ部22は、ダイアフラム44Bが配置された第2の蓋部24のZ軸側の端面が、フランジ部22からフランジ部22の厚み方向Z軸方向に突出して配置されることになる。また第2の蓋部24の-Z軸側の面には第2の蓋部24と同心円状にボス部28が形成され、さらにボス部28及び凹部26をZ軸方向に連通し、後述のセンターシャフト52を挿通する挿通孔30が形成されている。ボス部28は、力検出素子58が接続される部分である。ボス部28は、Z軸方向から見て円形に形成されているが、力検出素子58の第1の基部62と接続する部分は平面に形成しておくことが望ましい。もちろんボス部28は、Z軸方向から見て矩形等の多角形となるように形成してもよい。第1の蓋部14の第1外周部16の第2の蓋部24に対向する面には支持シャフト36を嵌め込む穴32が形成され、第2の蓋部24の第1の蓋部14に対向する面にも支持シャフト36を嵌め込む穴34が形成されている。よって穴32、穴34は互いに対向する位置に形成されている。そして穴32、穴34に支持シャフト36を嵌め込むことにより第1の蓋部14と第2の蓋部24とは支持シャフト36を介して連結される。支持シャフト36は、一定の剛性を有し、±Z軸方向に長手方向を有する棒状の部材であって、ハウジング12とダイアフラム44A、ダイアフラム44Bとから構成される容器の内部に配置され、支持シャフト36の一端が第1の蓋部14の穴32に、他端が第2の蓋部24の穴34にそれぞれ嵌め込まれることにより、第1の蓋部14、支持シャフト36、および第2の蓋部24との間で一定の剛性を獲得する。なお支持シャフト36は複数本用いられるが、各穴の位置の設計に従って任意に配置される。また第2の蓋部24には、ハーメチック端子38が取り付けられている。このハーメチック端子38は、力検出素子58の電極部不図示に交流電圧を印加して力検出素子58を発振させるためのものである。ハーメチック端子38は、ハウジング12の外部面に取り付けられた、またはハウジング12の外であってハウジング12から離間して配置されたIC集積回路、不図示と、力検出素子58とをワイヤー40を介して電気的に接続することができる。なお図2においてハーメチック端子38は1つ描かれているが、力検出素子58の電極部不図示の総数に応じて第2の蓋部24に取り付けられるものとする。円筒形の側壁部42は、その内径が第1の蓋部14の第1外周部16の直径および第2の蓋部24の直径と等しくなるように形成されている。よって、側壁部42の-Z軸側の端部をフランジ部22第2外周部18に接続するとともに、側壁部42の内壁の-Z軸側の壁面を第1外周部16の側面に接続し、側壁部の内壁のZ軸側の壁面を第2の蓋部24の側面に接続することによりハウジング12は封止される。第1の蓋部14、第2の蓋部24、側壁部42はステンレス等の金属で形成することが好ましく、支持シャフト36は一定の剛性を有し熱膨張係数の小さいセラミック等を用いることが好ましい。ダイアフラム44A、44Bはハウジング12の外部に面した一方の主面が受圧面となっており、前記受圧面が被測定圧力環境例えば液体の力圧力を受けて撓み変形する可撓部48を有している。そして可撓部48がハウジング12内部側または外部側Z軸方向に変位するように撓み変形することにより、力検出素子58にZ軸に沿った圧縮力或いは引張り力を伝達するものである。よって、ダイアフラム44A、44Bは、外部からの力圧力によって変位する中央部46と、前記中央部46の外周にあり、前記中央部46が変位できるように外部からの力により撓み変形する可撓部48を有する。また前記可撓部48の外周にあり、ダイアフラム44Aにおいては第1の蓋部14の開口部20の-Z軸側の端部に接続する周縁部50を有している。またダイアフラム44Bにおいては第2の蓋部24の凹部26の開口部に接合して固定される周縁部50を有している。なお周縁部50は、理想的には圧力を受けても変位せず、中央部46は圧力を受けても変形しないものとする。ダイアフラム44A、44Bの材質は、ステンレスのような金属やセラミックなどの耐腐食性に優れたものがよく、また、水晶のような単結晶体やその他の非結晶体でもよい。例えば金属で形成する場合は、金属母材をプレス加工して形成すればよく、水晶で形成する場合は可撓部が他の部分より薄くなるようにフォトリソエッチング加工を行なえばよい。なお、ダイアフラム44A、44Bは、液体やガス等により腐食しないように、外部に露出する表面を耐食性の膜にてコーティングしてもよい。例えば、金属製のダイアフラムであれば、ニッケルの化合物をコーティングしてもよいし、ダイアフラムが水晶のような圧電結晶体であれば珪素をコーティングすればよい。力伝達部材であるセンターシャフト52は、ダイアフラム44Aとダイアフラム44Bとを連結している。センターシャフト52は、ハウジング12内に配置されるとともに、Z軸方向に長手方向を有している。そして長手方向の一端がダイアフラム44Aの中央部46に接続され、他端がダイアフラム44Bの中央部46に接続している。センターシャフト52の材料は、支持シャフト36と同様に一定の剛性を有し熱膨張係数の小さいセラミック等を用いることが好ましい。さらにセンターシャフト52の中央部には固定部54が取り付けられている。固定部56は、Z軸方向にセンターシャフト52を挿通してセンターシャフト52と接続する貫通孔56が形成されている。よって固定部54はZ軸方向のセンターシャフト52の変位に伴ってZ軸方向に変位する。また固定部54の側面には後述の力検出素子58の第2の基部64が接続される。このとき、ボス部28の力検出素子58が取り付けられる部分と、固定部54の力検出素子58が取り付けられる部分は、同一平面を形成するように配置することが望ましい。これにより力検出素子58をボス部28及び固定部54に取り付ける際に力検出素子58を変形させることはなく、これによる変形による圧力値の測定誤差を抑制することができる。力検出素子58は、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等の圧電材料により形成され、力検出部となる振動腕60とその両端に形成された第1の基部62と第2の基部64を有する。第1の基部62はボス部28の側面に接続され、第2の基部64は固定部54の側面に接続される。よって力検出素子58はボス部28を介してハウジング12容器に接続され、固定部54を介して力伝達部材であるセンターシャフト52に接続される。また、力検出素子58は、その長手方向Z軸方向、すなわち第1の基部62と第2の基部64とが並ぶ方向を、センターシャフト52、ダイアフラム44A、ダイアフラム44Bの変位方向Z軸方向と同軸または平行になるように配置され、その変位方向が検出軸となっている。さらに力検出素子58の振動腕60には励振電極不図示が形成され、励振電極不図示と電気的に接続する電極部不図示を有する。力検出素子58の電極部不図示は、ハーメチック端子38及びワイヤー40を介してIC不図示と電気的に接続され、IC不図示から供給される交流電圧により、固有の共振周波数で振動する。そして力検出素子58は、その長手方向Z軸方向から伸長応力または圧縮応力を受けることにより共振周波数が変動する。本実施形態においては力検出部となる振動腕60として双音叉型振動子を適用することができる。双音叉型振動子は、振動腕60である前記2つの振動ビームに引張り応力伸長応力或いは圧縮応力が印加されると、その共振周波数が印加される応力にほぼ比例して変化するという特性がある。そして双音叉型圧電振動片は、厚みすべり振動子などに比べて、伸長圧縮応力に対する共振周波数の変化が極めて大きく共振周波数の可変幅が大きいので、わずかな物理量の差圧力差を検出するような分解能力に優れる力検出器においては好適である。双音叉型圧電振動子は、伸長応力を受けると振動腕60の共振周波数が高くなり、圧縮応力を受けると振動腕60の共振周波数は低くなる。また本実施形態においては2つの柱状の振動ビームを有する力検出部のみならず、一本の振動ビームシングルビームからなる力検出部を適用することができる。力検出部振動腕をシングルビーム型の振動子として構成すると、長手方向検出軸方向から同一の応力を受けた場合、その変位が2倍になるため、双音叉の場合よりさらに物理量を高感度に検出可能な力検出器とすることができる。本実施形態においては、ダイアフラム44Aに印加される力圧力がダイアフラム44Bに印加される力圧力より大きくなる場合、センターシャフト52は、Z軸方向に変位し、これにより力検出素子58はZ軸方向に圧縮応力を受けるため共振周波数が低くなる。逆にダイアフラム44Aに印加される力圧力がダイアフラム44Bに印加される力圧力より小さくなる場合、センターシャフト52は、-Z軸方向に変位し、これにより力検出素子58はZ軸方向に引張り応力を受けるため共振周波数が高くなる。なお、上述の圧電材料のうち、双音叉型またはシングルビーム型の圧電振動子の圧電基板用としては温度特性に優れた水晶が望ましい。また力検出素子を水晶で形成する場合は、上述のようにフォトリソエッチング加工により形成することが好適である。第1実施形態の力検出器10の組み立ては、まず第1の蓋部14にダイアフラム44Aを接続し、第2の蓋部24ハーメチック端子38付にダイアフラム44Bを接続する。そして第1の蓋部14の穴32に支持シャフト36を嵌め込んで接続するとともに、ダイアフラム44Aの中央部46にセンターシャフト52固定部54付の一端を接続する。そしてセンターシャフト52を第2の蓋部24の挿通孔30に通してセンターシャフト52の他端をダイアフラム44Bの中央部46に接続する。このとき第2の蓋部24の穴34にも支持シャフト36を嵌め込んで接続する。次に、力検出素子58の第1の基部62を第2の蓋部24のボス部28の側面に接続し、第2の基部64を固定部54の側面に接続する。そして力検出素子58の電極部不図示とハーメチック端子38とをワイヤー40により接続する。最後に、第1の蓋部14、第2蓋部24、支持シャフト36等により外形が形成された構造体を円筒形の側壁部42に挿通して側壁部42を第1の蓋部14フランジ部22、第2の蓋部24に接続することにより力検出器10が構築される。なお力検出器10のハウジング12内を真空にするためには、上述の構造体と側壁部42の取り付けを真空チャンバー内で行なえばよい。また側壁部42に封止孔不図示を形成し、側壁部42を接続したあとに封止孔不図示から容器内部を真空吸引し、封止孔不図示を封止部材不図示により封止してもよい。図3に第1実施形態の力検出器と前記力検出器を収容する外部ケースの分解斜視図を示す。図4に第1実施形態の力検出器を外部ケースに収容した斜視図を示す。図5に第1実施形態の力検出器を外部ケースに収容した断面図を示す。力検出器10を収容する外部ケース66は、第1外部ケース68、第2外部ケース84図3、図4では不図示、図5参照、ねじ込み金具80により構成され、力検出器10と同様に線分Oを中心とした円筒形状を有している。また力検出器10のフランジ部には円形リング96Oリング、円形リング98Oリングが配設される図1参照。第1外部ケース68は、力検出器10のダイアフラム44A側を収容する凹部70を有するとともに、凹部70の開口部にねじ込み金具80と螺合する雌ネジ72が形成されている。また第1外部ケース68の凹部70の底部の中央にZ軸方向に長手方向を有する圧力導入口74が形成されている。さらに第1外部ケース68の凹部70の底部の側面から圧力導入口74に通じる排出口76が形成されている。この排出口76はZ軸方向からみて圧力導入口74を中心として十字を形成するように配置される。この圧力導入口74、排出口76はドリル掘削により形成することができる。図5に示すように、第2外部ケース84は、力検出器10のダイアフラム44B側を収容する凹部86を有している。また凹部86の開口部にはねじ込み金具80と螺合する雌ネジ90が形成されている。さらに第2外部ケース84の凹部86の中央には開放孔88が形成されている。また、この開放孔88は中空のチューブ92に接続されている。ねじ込み金具80は、側壁部42の直径以上でフランジ部22の直径以下の寸法の挿通孔81図3参照を有することにより側壁部42を挿通するとともにフランジ部22に当接可能な円筒形の形状を有している。そしてねじ込み金具80は、第1外部ケース68及び第2外部ケース84に収容されるとともに各外部ケースの内壁に形成された雌ネジ72、90に螺合する雄ネジ82を側壁の外側に有している。ここで、雄ネジ82を雌ネジ72、90に螺合させたさせた場合、雄ネジ82と雌ネジ72、雌ネジ90図5参照との間における液体や気体の漏洩はないものとする。図1、図5に示すように、円形リング96Oリングは、第2外周部18の外周に倣った寸法を有するリング状の弾性体であり、円形リング98Oリングは側壁部42の外周に倣った寸法を有するリング状の弾性体である。ここで円形リング96と円形リング98の断面の直径は互いに一致する。また本実施形態においては、側壁部42の外周と第2外周部18は同一の直径を有するため、円形リング96と円形リング98の内周の直径は互いに一致する。そして、ねじ込み金具80を第1外部ケース68に螺合させることにより、円形リング96はフランジ部22及び凹部70の底面に圧接され、円形リング98はフランジ部22及びねじ込み金具80のフランジ部22に対向する面に圧接され、それぞれ圧縮変形する。そして円形リング96のフランジ部22及び凹部70への圧接により、図5に示すように、第1外部ケース68、力検出器10ダイアフラム44A、円形リング96による内部空間78が形成される。また円形リング98のフランジ部22及びねじ込み金具80への圧接により、第2外部ケース84、力検出器10ダイアフラム44B、円形リング98による内部空間94が形成される。したがって、この円形リング96、円形リング98により、ダイアフラム44A、ダイアフラム44Bの圧力環境を分離することができる。よって例えば、基準となる物理量測定環境下例えば大気圧のような圧力環境下にチューブ92の一端を開放することにより、第2外部ケース84、力検出器10、円形リング98により形成される内部空間94、及びダイアフラム44Bを、基準となる圧力環境下大気圧に晒すことができる。この場合、ハーメチック端子38に接続したワイヤー40を開放孔88、チューブ92に挿通してIC不図示に接続すればよい。一方、圧力導入口74、排出口76を測定対象となる被物理量測定環境下被測定圧力環境下に晒すことにより、第1外部ケース68、力検出器10、円形リング96により形成される内部空間78、及びダイアフラム44Aを被測定圧力環境下例えば水圧に晒すことができる。このように、外部ケース66に収容された力検出器10においては、フランジ部22が、円形リング96、円形リング98により挟持された形となるが、この挟持する力によりフランジ部22にはZ軸方向からの圧縮に起因する歪みが発生しており、この歪みによる応力がダイアフラム44Aに到達し得る。しかし、上述のようにフランジ部22は、ダイアフラム44Aが配置された第2外周部18の-Z軸方向の端面、及びダイアフラム44Bが配置された第2の蓋部24のZ軸側の端面が、それぞれフランジ部22からフランジ部22の厚み方向Z軸方向に突出した位置に配置されている。よってフランジ部22とダイアフラム44Aとの距離は、フランジ部22がダイアフラム44Aと同一平面を形成する場合より離れることになる。これにより、円形リング96、円形リング98のフランジ部22の挟持により発生する応力がダイアフラム44Aに伝達するまでに緩和される。したがって、フランジ部22を介した外部ケース66との固定に起因するダイアフラム44Aの感度受圧感度の劣化を抑制可能な力検出器10となる。またこのように外部ケース66に収容した力検出器10を、水圧測定のために水中に導入する場合、第1外部ケース68、力検出器10、円形リング96により形成される内部空間78に残存する空気を外部に放出する必要がある。一方、水中の石等の衝突によるダイアフラム44Aの機械的な損傷を避けるため、圧力導入口74は小さく設計されている。したがって、外部ケース66に収容した状態で力検出器10を水中に導入した場合、圧力導入口74が小さく設計されているため、上述の内部空間78の空気の排出が困難となっている。そこで本実施形態のように圧力導入口74に通じる排出口76を形成することで、力検出器10の液体水中への導入時に外部ケース66と力検出器10との間となる上述の内部空間78に残留する空気を効率的に排出することができる。また上記構成においては、第1の蓋部14とフランジ部22とを一体的に形成することができる。よって力検出器10全体の強度を維持することができる。またこのように第1の蓋部14とフランジ部22とを一体的に形成することにより、その力検出器10と外部ケース66との隙間の容積、すなわち上述の内部空間78図5参照の容積を減少させ、力検出器10を液体中に導入する際の内部空間に残存する空気を容易に外部に放出して、圧力の測定誤差を抑制することができる。なお、力検出器10のフランジ部22は、上述のように、円形リング96、円形リング98により挟持された形となるが、第1外部ケース68、第2外部ケース84、ねじ込み金具80は、力検出器10に直接触れないように設計することが好ましい。図6に第2実施形態の力検出器の断面図を示し、図6aはXZ面を切り口とした断面図、図6bはYZ面を切り口とした断面図である。第2実施形態に係る力検出器100は、基本的には第1実施形態と類似するが、フランジ部102が容器の側面の中央部、すなわち、側壁部104の中央部に配置されている点で相違する。本実施形態のように、容器のダイアフラム44Aに対向する端面となる第2の蓋部24に第2ダイアフラムとなるダイアフラム44Bを配置した場合、2つのダイアフラムのそれぞれからフランジ部102までの距離が一致する。よって、上述の円形リング96、98を用いたフランジ部102の挟持において、一方のダイアフラム側に偏ってフランジ部102の挟持による応力が伝達することはない。また容器の側面の中央部、すなわち側壁部104の中央部にフランジ部102を配置したので、フランジ部102の挟持による応力は各ダイアフラムに到達するまでに十分に緩和させることができる。よってフランジ部を介した外部ケース不図示との固定に起因するダイアフラムの撓み感度受圧感度の劣化を高精度に抑制可能な力検出器100となる。図7に、第3実施形態に係る力検出器の断面図を示し、図7aは第1外周部の直径が側壁部の直径より大きい場合のXZ面を切り口とした断面図、図7bは第1外周部の直径が側壁部の直径より小さい場合のXZ面を切り口とした断面図である。第3実施形態の力検出器110は、基本的には第1実施形態等類似するが、前記ハウジング12の側面の径は、フランジ部112の一方の面側側壁部42側と、前記フランジ部の前記一方の面に対向する他方の面側第2外周部116側と、で互いに異なる点で相違する。すなわち、フランジ部112の-Z軸側に配置される第2外周部116の外周の直径が、フランジ部112のZ軸側に配置される側壁部42の外周の直径と異なったものとなっている。ダイアフラムは測定する圧力や環境に応じてその径の設計が変わるので、ダイアフラムが取り付けられる蓋部の径、すなわち第2外周部116の内径開口部116aの直径Dが変わることになる。例えば、低い圧力を測定する場合は、図7に示すように、ダイアフラム118の直径が大きく設計され、逆に高い圧力を測定する場合は、図8に示すように、ダイアフラム120の直径が小さく設計される。よって、開口部116aの設計に応じて、第2外周部116の外形の直径も変化することになる。しかし本実施形態では、第2の蓋部24、ダイアフラム44B、側壁部42は同じ規格のものを使うことができるので、測定環境に対応してダイアフラムの設計を変更した力検出器110のコストを抑制することができる。また本実施形態においては、側壁部42側の面には第1の円形リング122が配置され、フランジ部112の前記第1の円形リング122が当接する面の反対面、すなわち第2外周部116側の面には第2の円形リング124が配置される。このとき、第1の円形リング122の断面半径R2と、側壁部42の半径R1との和が、第2の円形リング124の断面半径R4と、前記蓋部の半径すなわち第2外周部116の外周の半径R3との和に等しくなるように、第1の円形リング122の直径R2、第2の円形リング124の直径R4が設計される。上記構成により、第1の円形リング122の断面の中心O1と、第2の円形リング124の断面の中心2がフランジ部112を挟んで互いに対向する。さらにO1とO2とを結ぶ線がZ軸に平行となり、フランジ部112の両面の法線の方向と一致する。よって、第1の円形リング122、第2の円形リング124によるフランジ部112の挟持により蓋部となる第1の蓋部126全体及びダイアフラム118、120全体を屈曲変形させる応力の発生を抑制することができる。なお、第3実施形態の力検出器110も、第1外部ケース128、第2外部ケース130、ねじ込み金具132の寸法等を適宜変更することにより外部ケースに収納することができる。図9に第4実施形態の力検出器の断面図を示し、図9aはXZ面を切り口とした断面図、図9bはYZ面を切り口とした断面図を示す。第4実施形態の力検出器140において、第1の蓋部14にはダイアフラム44Aが配置されるが、第2の蓋部24にはダイアフラム44Bは配置されない。また力伝達手段となるセンターシャフト52は用いず、力検出素子58をダイアフラム44Aに直接接続する構成を有している。よって、本実施形態はハウジング12内部の気圧例えば真空を基準とする絶対圧を測定する力検出器140となっている。力検出素子58の第1の基部62は、固定部142を介して第2の蓋部24に接続している。また力検出素子58の第2の基部64は、ダイアフラム44Aの中央部に固定されるとともに、中央部46に固定された固定部144によりダイアフラム44Aとの接続の強度が補強されている。上記構成により、力検出素子58はセンターシャフト52を介さずにダイアフラム44Aからの力を受けるので、ダイアフラム間の圧力差に対する力検出素子58の感度を高めることができる。本実施形態の力検出器140の組み立ては、第1の蓋部14にダイアフラム44A、固定部144を接続し、第2の蓋部24に固定部142を接続し、第1の蓋部14、支持シャフト36、第2の蓋部24を組み合わせ、力検出素子58を固定部142及び固定部144に接続するとともにワイヤー40を介してハーメチック端子38と電気的に接続する。そして、例えば真空環境下で側壁部42を第1の蓋部14、第2の蓋部24に接続することによりケーシング12内が真空封止された形で力検出器140が形成される。なお、本実施形態並びに以後の実施形態において、フランジ部22の構成及びダイアフラム44Aに対する作用効果は、第1実施形態と同様なので説明を省略する。図10に、第4実施形態の力検出器の変形例の断面図を示す。図10に示すように、本変形例の力検出器150は、第4実施形態の力検出器140の第2の蓋部24において、第2の蓋部24の厚み方向Z軸方向に貫通する圧力導入口152を形成したものである。この力検出器150を、第1外部ケース68、第2外部ケース84等を用いて収容すると、圧力導入口152によりケーシング12の内部は第2外部ケース84が形成する内部空間94に対して開放される。よって、ダイアフラム44Aの受圧面-Z軸側の面の反対面Z軸側の面は、チューブ92の接続先となる基準圧力環境例えば大気圧環境から圧力が印加される。よって、本変形例によれば、ダイアフラム44Aの受圧面に印加される被測定圧力環境の圧力内部空間78の圧力を基準圧力環境の圧力を基準として測定することができる。図11に、第5実施形態の力検出器の断面図を示し、図11aはXZ面を切り口とした断面図、図11bはYZ面を切り口とした断面図を示す。図11に示すように、本実施形態の力検出器160は、全体形状は第1実施形態と同様であるが、力検出素子162としてATカットの水晶基板を用いた厚みすべり振動子を用いている。力検出素子162は全体として矩形の形状を有し、一方の主面Y軸側の面の中央部には励振電極164Aが配置され、他方の主面-Y軸側の面の励振電極164Aに対向する位置には励振電極164Bが配置されている。そして、力検出素子162の一方の主面のZ軸側には引出電極166A、引出電極166Bが配置されている。引出電極166Aは、励振電極164Aから引き出される形で配置され、励振電極164Aと電気的に接続されている。引出電極166Bは、励振電極164Bから水晶基板の端面X軸側の面を経由して引き出される形で配置され、励振電極164Bと電気的に接続されている。そして、引出電極166Aは、ワイヤー168Aを介してハーメチック端子170Aと電気的に接続され、引出電極166Bは、ワイヤー168Bを介してハーメチック端子170Bに電気的に接続される。これにより励振電極164Aは、引出電極166A、ワイヤー168A、ハーメチック端子170Aを介して力検出器160の外部にあるIC集積回路、不図示と電気的に接続され、励振電極164Bは、引出電極166B、ワイヤー168B、ハーメチック端子170Bを介してIC不図示と電気的に接続される。よってIC不図示から交流電圧が印加されることにより、励振電極164A、励振電極164Bにおいて交流電圧が印加され、力検出素子160は、励振電極164A、励振電極164Bに挟まれた領域を中心として所定の共振周波数で厚みすべり振動を発振する。さらに、力検出素子160は、力検出素子160の他方の主面-Y軸側の面のZ軸側がボス部28に支持され、-Z軸側がセンターシャフト52に固定された固定部54に支持される。センターシャフト52は、ダイアフラム44A、ダイアフラム44Bから受ける力の合力の方向Z軸方向に変位する。よって力検出素子160は、センターシャフト52の変位により応力が印加され共振周波数が変化する。したがって、力検出器160は、この共振周波数の変化を測定することにより圧力相対圧を測定することができる。図12に、従来技術の力検出器の外部ケースからの着脱を行なった場合の、着脱前後の力検出器の圧力値の変化を所定の環境温度ごとに示す。図12において縦軸は変化量、横軸は印加圧力kPaである。また力検出器の環境温度は、-10°C、10°C、25°C、50°Cとした。本願発明者は、特許文献1等に記載された従来技術に係る圧力センサーを、外部ケースに収納し、外部ケースから取り出し、再び外部ケースに収納した場合において、初期収納時の圧力値と再収納時の圧力値との差分について調査した。すると図12に示すように、印加する圧力に係らず、圧力値が大きく変化しており、印加する圧力を下げていくほど、圧力値の誤差が増加していることが分かった。また温度を変えても同様の傾向を有することがわかった。このことから、印加される圧力に係らず再収納時にダイアフラムに一定量の応力が及んでいるものと考えられる。よって、従来技術の圧力センサー力検出器は、外部ケースに収納するたびに圧力センサーの圧力値のゼロ点調整を行う必要がある。図13に、従来技術の力検出器の外部ケースからの着脱を行なった場合の力検出器の共振周波数圧力値変化の経時変化をフランジ部の厚みごとに示す。図13aはフランジ部の厚みが3mm、図13bは4mm、図13cは6.5mmである。図13において、縦軸は周波数Hz、横軸は時間a.u.である。本願発明者は、力検出器に取り付けたフランジ部の厚みを3mm、4mm、6.5mmとした場合において、力検出器の外部ケースからの脱着を繰り返した場合の共振周波数の経時変化を調査した。ここで、着脱とは、外部ケースに収納され圧力値のゼロ点が調整された力検出器を外部ケースから外し、その力検出器を再び外部ケースに収納することをいう。また、いずれの場合でも、力検出器を構成するダイアフラムが形成する面と同一平面を形成する位置にフランジ部が取り付けられている。そして、2つの円形リングを用いたフランジ部の挟持は、図16等に示すように、第1外部ケース、第2外部ケース、ねじ込み金具を用いて行なっている。図13に示すように、いずれの場合であっても、フランジの両面を挟持した瞬間は力検出器の共振周波数が急激に立ち上がっている。フランジ部の厚みが3mmのものは最大で1Hz程度上昇し、4mmのものは最大で1.7Hz程度上昇し、6.5mmのものは最大で2.7Hz程度上昇している。このことから、フランジ部の円形リングOリングの挟持により、フランジ部の厚み方向に圧縮する応力が印加され、その応力がダイアフラムに伝達されたといえる。そして、フランジの厚みを大きくするほど、立ち上がり時の変化量が大きいことがわかる。このことから、フランジの厚みを大きくするほど、円形リングの挟持によるフランジの厚みの変化量が大きくなり、その分発生する応力も大きくなったといえる。いずれの場合も、その後は時間経過とともに力検出器の共振周波数が単調に減少しているのは、ねじ込み金具により締め付けられた円形リングが時間をかけて安定な形に変形したり、安定な位置に移動したりするからである。このように、従来技術の力検出器圧力センサーにおいても、フランジ部の厚みを小さくすることにより、ダイアフラムに伝達する応力を軽減させることができるが、ダイアフラムとフランジ部との距離が近いため、ダイアフラムに到達する応力の緩和は未だ不十分であるといえる。図14に、本実施形態の力検出器と従来技術の力検出器において、外部ケースからの着脱を行なった場合の、着脱前後の各センサーの共振周波数圧力値の変化の比較を示す。図14において、縦軸は周波数変化量Hz、横軸はフランジの厚みmmである。本願発明者は、特許文献1等の従来技術と同型の力検出器タイプ1、本発明の第2実施形態と同型の力検出器タイプ2の外部ケースへの脱着を繰り返した場合の共振周波数の変化を調査した。タイプ1、タイプ2ともに直径22mm、長さ40mmの円筒形の外形を有している。またダイアフラムは円筒形の外形の下端に配置され、その直径を13.5mmとした。そして、タイプ1においては、フランジ部を前述の外形の側面の下端に配置した。一方、タイプ2においては、フランジ部を前述の外形の側面であって、フランジ部の厚み方向の中心が前述の下端から20mmの位置側面の中央部となるように配置した。そしてタイプ1、タイプ2ともにフランジの厚みを4mm、3mm、2mm、1mmとした場合について、各センサーの共振周波数の変化について調査した。図14に示すように、タイプ2の共振周波数の変化は、どの厚みでもタイプ1に比べて小さいことがわかる。例えばフランジ部の厚みが3mmの場合、タイプ1では、0.6Hzの変化である。そしてフランジ部の厚みを小さくするとその差が大きくなる傾向にある。よって、タイプ2のようにダイアフラムとフランジ部との距離が大きくなると、従来技術のものよりダイアフラムに到達する応力の緩和が進むことがわかる。特にタイプ2のように力検出器の側面の中央部にフランジ部を配置した場合は、より大きな効果が得られることがわかる。また第1実施形態の力検出器でもダイアフラムとフランジ部との距離は従来技術の力検出器より大きいので、上述のように、力検出器の着脱による共振周波数の変化は小さくなるものと考えられる。図15に、本実施形態の力検出器の外部ケースからの着脱を繰り返した場合の、着脱前後における圧力値の変化を所定の温度ごとに示す。図15aは上述の着脱の工程を1回行なった場合、図15bは2回行なった場合、図15cは3回行なった場合、図15dは4回行なった場合である。また図15の各図において、縦軸は変化量、横軸は印加圧力100Paである。また図15の各図において力検出器の環境温度は、-10°C、10°C、30°C、50°Cとした。本願発明者は、本実施形態の力検出器の外部ケースからの着脱を繰り返した場合の、着脱の前後における圧力値の変化について調査した。図15に示すように着脱の工程を繰り返しても、着脱前のゼロ点調整された力検出器の圧力値の変動が極めて小さいことがわかる。よって本実施形態の構成により、着脱を繰り返しても安定した圧力値を得ることができる。図16に、本実施形態の力検出器の外部ケースからの着脱を3回繰り返した場合の力検出器のヒステリシス特性を示す。図16aでは力検出器の環境温度を-10°Cとし、図16bでは10°C、図16cでは30°C、図16dでは50°Cとした。また図16の各図において、縦軸は変化量、横軸は印加圧力Paである。本願発明者は、着脱を繰り返した力検出器の圧力を印加前の圧力値と圧力を印加して印加した圧力を解除した後の圧力値の変化ヒステリシスを評価した。すると図16に示すように、環境温度、印加する圧力の大きさを変化させても良好なヒステリシス特性を有することが実証された。よって本実施形態の力検出器によれば、着脱を繰り返すことによる圧力値のバラつきを抑制した安定的な圧力値が得られるとともに、ヒステリシス特性の劣化も抑制することができる。いずれの実施形態においても、2つのダイアフラムを用いた相対的な物理量相対圧を測定する力検出器について適用して説明してきたが、いずれか一方のダイアフラムだけを用い、例えば容器内を真空封止して、真空を基準とした絶対圧を測定する力検出器にも適用することができる。また第1実施形態等において、第1の蓋部14を第1外周部16と第2外周部18、開口部20、フランジ部22を有する構成とし、第2の蓋部24を凹部26、ボス部28、挿通孔30を有する構成としたが、これを互いに逆となる構成としてもよい。