互いに平行に対向して配置され、その間で放電が行われる一対の面状のリッジ電極を有したリッジ導波管からなる放電室と、前記放電室を挟んで両側に配置され、互いに平行に対向して配置された一対の平板状のリッジ部を有したリッジ導波管からなり、高周波電力を前記放電室に伝送し、前記一対のリッジ電極の間で放電を起こさせる一対の変換器と、高周波電力を前記変換器の前記リッジ部に供給する電源手段と、を有し、前記放電室は減圧容器の内部に収容され、前記変換器は前記減圧容器の外部に配置され、前記減圧容器に設けられた真空窓を介して前記放電室と前記変換器とが接続された真空処理装置であって、前記真空窓の両面に、前記放電室の一部と前記変換器の一部を、前記真空窓に対して定位置に位置決めする位置決め部材を設けたことを特徴とする真空処理装置。互いに平行に対向して配置され、その間で放電が行われる一対の面状のリッジ電極を有したリッジ導波管からなる放電室と、前記放電室を挟んで両側に配置され、互いに平行に対向して配置された一対の平板状のリッジ部を有したリッジ導波管からなり、高周波電力を前記放電室に伝送し、前記一対のリッジ電極の間で放電を起こさせる一対の変換器と、高周波電力を前記変換器の前記リッジ部に供給する電源手段と、を有し、前記放電室は減圧容器の内部に収容され、前記変換器は前記減圧容器の外部に配置され、前記減圧容器に設けられた真空窓を介して前記放電室と前記変換器とが接続された真空処理装置であって、前記真空窓の両面に、前記放電室と前記真空窓との間、および前記変換器と前記真空窓との間におけるインピーダンスの変化を緩和させる、導電性のある反射波低減部材を設けたことを特徴とする真空処理装置。前記反射波低減部材は、請求項1に記載の位置決め部材を兼ねることを特徴とする請求項2に記載の真空処理装置。前記反射波低減部材は、前記真空窓の内面および外面から直角に起立して前記放電室および前記変換器の容器の周面に沿う板状であることを特徴とする請求項2または3に記載の真空処理装置。前記反射波低減部材の厚みは先端に向かって漸減していることを特徴とする請求項4に記載の真空処理装置。前記反射波低減部材の基端部に、前記真空窓と同じ材質でなり、前記反射波低減部材を下方から支持する支持突起を設け、この支持突起の厚みは先端に向かって漸減していることを特徴とする請求項2から5のいずれかに記載の真空処理装置。前記位置決め部材もしくは反射波低減部材と、前記放電室の容器もしくは前記変換器の容器との間に隙間を設け、この隙間に導電性のある弾性部材を介装したことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の真空処理装置。平面視で、前記減圧容器の内部に設置された前記放電室の中心部を熱膨張の起点と定めて前記減圧容器の底面上に中心固定部を介して固定し、平面視で前記中心固定部を取り囲むように、前記減圧容器の底面と前記放電室との間に3点以上のスライド支持部を設け、これらのスライド支持部は、前記減圧容器の底面に対する前記放電室の水平方向への熱膨張を吸収可能であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の真空処理装置。前記スライド支持部は、前記減圧容器の底面に対する前記放電室の第1の方向への延びを吸収する第1のスライドユニットと、前記第1の方向に直交する第2の方向への延びを吸収する第2のスライドユニットとを、水平な中立プレートを介して重ねた構造であることを特徴とする請求項8に記載の真空処理装置。前記真空窓は、その周面に設けられたシール部材を介して前記減圧容器に取り付けられており、該真空窓は前記減圧容器に対し前記シール部材により気密を保されながら、前記放電室と前記変換器の連結方向にスライド可能であることを特徴とする請求項9に記載の真空処理装置。前記変換器を、前記減圧容器に対し、前記放電室と前記変換器の連結方向にスライド可能に支持し、該変換器を前記放電室側に押圧する押圧手段を有することを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の真空処理装置。前記変換器と前記放電室との間に密着力検知手段が設けられ、前記押圧手段は前記密着力検知手段からの密着力情報に基づき、前記放電室が熱膨張しても前記真空窓に負荷が掛からず、かつ前記放電室と前記真空窓と前記変換器との間に隙間が発生しない密着力となるように、前記変換器を前記放電室に対して離接させる方向に駆動することを特徴とする請求項11に記載の真空処理装置。前記真空窓は前記減圧容器にシール部材を介して取り付けられるとともに、該真空窓の周囲を、前記シール部材を圧縮する方向に押圧するフランジ部材が設けられ、該フランジ部材には、前記変換器の支持部が一体的に設けられたことを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の真空処理装置。しかしながら、基板面積が1平方メートルを超えて、基板が大型化するに伴い、プラズマ製膜処理を施すことができる大型のプラズマ生成装置真空処理装置になると、上記の真空窓を挟んで変換器と放電室とを接続するにあたり、真空と大気圧の圧力差に伴う変形や、温度差に伴う熱膨張により、変換器と放電室との間に位置ずれが生じ易くなり、その相互位置を維持することが困難になる。両者の位置がずれると高周波電力の伝送ロスや放電室プロセス室における電界分布が不均一になり、基板への製膜等の処理品質が低下するといった課題があった。また、大型化した変換器と放電室とを正確に位置決めして接続するには、特殊な冶具や測定器具を用いながら行う必要があり、メンテナンスの度に多大な手間と工数が掛かり、製膜基板の生産性と歩留まりを低下させることになる。また、変換器と放電室とが真空窓に突き当てられる形で固定されるため、各部の熱膨張等によって真空窓との間に押圧変形や隙間が発生する可能性があり、この隙間から電力が漏洩して、前記と同じく高周波電力の伝送ロスが発生したり、電界分布が不均一になることで、基板等のプラズマ処理の品質が低下する懸念があった。なお、放電室プロセス室はそのプロセス条件によっては200°C以上の高温になることもあり、大型構成部材の熱変形により上記の課題や懸念が助長される傾向があった例:1000ミリメートル長のSUS304材とアルミナ材の間に100°Cの温度差がある場合には、熱膨張差量=熱膨張率差16-7×10-6×温度差100°C×1000=0.9ミリメートルとなり、約1ミリメートルの位置ずれや隙間が生じる。しかも、前述したように、真空窓には真空と大気圧との圧力差に十分耐えられる板厚が必要となる。しかし、一方では真空窓の板厚増加に伴い、誘電体損失誘電正接tanδによる発熱で板厚方向の温度差が増加することで熱応力も加わり、真空窓が破損し易くなるという課題が生じることになる。例:誘電体損失は誘電体内の分子や極性基などの内部摩擦により熱を発生し、発熱量Q=kfE2εtanδで表されるk:定数、f:周波数、E:電場、ε:誘電率、tanδ:誘電正接。本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、放電室が減圧容器に収容され、この減圧容器の外部に設けられた変換器が、減圧容器に設けられた真空窓を介して放電室に接続される構成の真空処理装置において、簡素かつ安価な構成により、放電室と変換器との相互の位置決めを容易かつ正確に行うとともに、放電室の熱膨張による悪影響を排除し、高品質な真空処理を効率良く行うことのできる真空処理装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。即ち、本発明に係る真空処理装置の第1の態様は、互いに平行に対向して配置され、その間で放電が行われる一対の面状のリッジ電極を有したリッジ導波管からなる放電室と、前記放電室を挟んで両側に配置され、互いに平行に対向して配置された一対の平板状のリッジ部を有したリッジ導波管からなり、高周波電力を前記放電室に伝送し、前記一対のリッジ電極の間で放電を起こさせる一対の変換器と、高周波電力を前記変換器の前記リッジ部に供給する電源手段と、を有し、前記放電室は減圧容器の内部に収容され、前記変換器は前記減圧容器の外部に配置され、前記減圧容器に設けられた真空窓を介して前記放電室と前記変換器とが接続された真空処理装置であって、前記真空窓の両面に、前記放電室の一部と前記変換器の一部を、前記真空窓に対して定位置に位置決めする位置決め部材を設けたことを特徴とする。上記構成によれば、真空窓の両面に設けられた位置決め部材により、放電室の一部と真空窓との間、および変換器の一部と真空窓との間を精度高く確実かつ迅速に位置決めし、放電室の容器と変換器の容器を真空窓に正確に取り付けることができる。これにより、変換器と放電室の相互の位置ずれを防止して高周波電力の伝送ロスを回避するとともに、放電室における電界分布を均一化し、基板への製膜等のプラズマ処理の品質を向上させることができる。その上、真空処理装置のメンテナンス時の組立や保守等の作業時間を短縮し、高品質なプラズマ処理の運用を効率良く行うことができる。また、本発明に係る真空処理装置の第2の態様は、互いに平行に対向して配置され、その間で放電が行われる一対の面状のリッジ電極を有したリッジ導波管からなる放電室と、前記放電室を挟んで両側に配置され、互いに平行に対向して配置された一対の平板状のリッジ部を有したリッジ導波管からなり、高周波電力を前記放電室に伝送し、前記一対のリッジ電極の間で放電を起こさせる一対の変換器と、高周波電力を前記変換器の前記リッジ部に供給する電源手段と、を有し、前記放電室は減圧容器の内部に収容され、前記変換器は前記減圧容器の外部に配置され、前記減圧容器に設けられた真空窓を介して前記放電室と前記変換器とが接続された真空処理装置であって、前記真空窓の両面に、前記放電室と前記真空窓との間、および前記変換器と前記真空窓との間におけるインピーダンスの変化を緩和させる、導電性のある反射波低減部材を設けたことを特徴とする。上記構成によれば、真空窓の両面に設けられた導電性のある反射波低減部材により、放電室と真空窓との間、および変換器と真空窓との間においてインピーダンスが急に変化する傾向が緩和され、インピーダンスの急変に起因して発生する高周波電力の反射波の発生が抑制される。したがって、高周波電力の伝送ロスを回避するとともに、放電室における電界分布を均一化し、かつ反射波による高周波電源系統の変調や故障等を有効に防止して、基板への製膜等のプラズマ処理の品質を向上させることができる。また、本発明に係る真空処理装置の第3の態様は、前記第2の態様において、前記反射波低減部材は、請求項1に記載の位置決め部材を兼ねることを特徴とする。上記構成によれば、真空窓に取り付けられる位置決め部材と反射波低減部材とが共通部品となるため、真空処理装置の部品点数の増加を低減させ、簡素かつ安価な構成により、放電室と変換器との相互の位置決めを容易かつ正確に行えるようにするとともに、変換器と真空窓との間、および真空窓と放電室との間における反射波の発生を低減させることができる。また、本発明に係る真空処理装置の第4の態様は、前記第2または第3の態様において、前記反射波低減部材は、前記真空窓の内面および外面から直角に起立して前記放電室および前記変換器の容器の周面に沿う板状であることを特徴とする。上記構成によれば、例えば放電室の昇温時における熱膨張や、降温時における熱収縮により、放電室と真空窓との間、および変換器と真空窓との間において隙間が発生しても、この隙間が反射波低減部材により閉塞されるため、高周波電力の伝送ロスを回避するとともに、放電室における電界分布を均一化し、基板への製膜等のプラズマ処理の品質を向上させることができる。また、本発明に係る真空処理装置の第5の態様は、前記第4の態様において、前記反射波低減部材の厚みは先端に向かって漸減していることを特徴とする。前述のように真空窓は誘電体であり、変換器と真空窓との間、および真空窓と放電室との間に反射波低減部材を設けたことにより、真空窓におけるインピーダンスの急変が緩和される。ここで、反射波低減部材の厚みを先端に向かって漸減させたことにより、反射波低減部材の断面積が徐変するため、真空窓におけるインピーダンスの急変をより有効に緩和させることができ、基板への製膜等のプラズマ処理の品質を一層向上させることができる。また、本発明に係る真空処理装置の第6の態様は、前記第2から第5のいずれかの態様において、前記反射波低減部材の基端部に、前記真空窓と同じ材質でなり、前記反射波低減部材を下方から支持する支持突起を設け、この支持突起の厚みは先端に向かって漸減していることを特徴とする。上記構成によれば、真空窓の材質と同じ材質で形成された支持突起によって反射波低減部材が支持されているため、反射波低減部材の支持強度を高めることができる。しかも、支持突起の厚みが先端に向かって漸減しているため、真空窓においてインピーダンスが急変する傾向を緩和させることができ、基板への製膜等のプラズマ処理の品質を高めることができる。また、本発明に係る真空処理装置の第7の態様は、前記第1から第6のいずれかの態様において、前記位置決め部材もしくは反射波低減部材と、前記放電室の容器もしくは前記変換器の容器との間に隙間を設け、この隙間に導電性のある弾性部材を介装したことを特徴とする。上記構成によれば、例えば放電室が熱膨張することにより、真空窓と放電室との連結方向水平方向での相対位置、あるいは真空窓と変換器との連結方向水平方向での相対位置が変化しても、真空窓に設けられた反射波低減部材と、放電室および変換器の容器との間が、導電性のある弾性部材を介して電気的に導通した状態に保たれる。これにより、変換器と、位置決め部材反射波低減部材と、真空窓と、位置決め部材反射波低減部材と、プロセス室との電位的な接触が良好に行なわれるので、伝送ロスの低減や放電室における電界分布の不均一化を抑制し、プラズマ処理の品質を高めることができる。また、本発明に係る真空処理装置の第8の態様は、前記第1から第7のいずれかの態様において、平面視で、前記減圧容器の内部に設置された前記放電室の中心部を熱膨張の起点と定めて前記減圧容器の底面上に中心固定部を介して固定し、平面視で前記中心固定部を取り囲むように、前記減圧容器の底面と前記放電室との間に3点以上のスライド支持部を設け、これらのスライド支持部は、前記減圧容器の底面に対する前記放電室の水平方向への熱膨張を吸収可能であることを特徴とする。一般に、放電室での基板加熱のための基板設置部分の温度上昇や、プラズマ発生によるリッジ電極部の温度上昇により放電室が熱膨張する場合は、平面視で放電室の中心部から見ると該中心部から放射状に周囲へと寸法が拡大する。したがって、上記構成とすることにより、熱膨張時も放電室の中央位置を移動させずに、放電室全体を熱変形に拘束されることなく相似形状を維持することができる。このように、放電室の中心部を熱膨張の起点と定めているので、例えば放電室の両側に設けられた真空窓の片方のみに不均一な応力が集中することがなく、真空処理装置の健全性を維持することができる。しかも、放電室の中央部が中心固定部を介して減圧容器の中心部に固定されるため、放電室を安定的に減圧容器内に固定することができる。また、本発明に係る真空処理装置の第9の態様は、前記第8の態様において、前記スライド支持部は、前記減圧容器の底面に対する前記放電室の第1の方向への延びを吸収する第1のスライドユニットと、前記第1の方向に直交する第2の方向への延びを吸収する第2のスライドユニットとを、水平な中立プレートを介して重ねた構造であることを特徴とする。上記構成によれば、平面視で放電室の各部が水平方向にどのように膨張しても、この膨張が第1の方向または第2の方向に沿うベクトル成分に分解され、第1の方向に沿うベクトル成分は第1のスライドユニットにより吸収され、第2の方向に沿うベクトル成分は第2のスライドユニットにより吸収される。このため、放電室の各部を水平方向に保ったまま放電室の熱膨張をスムーズに吸収して健全な運転を行うことができる。また、本発明に係る真空処理装置の第10の態様は、前記第9の態様において、前記真空窓は、その周面に設けられたシール部材を介して前記減圧容器に取り付けられており、該真空窓は前記減圧容器に対し前記シール部材により気密を保されながら、前記放電室と前記変換器の連結方向にスライド可能であることを特徴とする。上記構成によれば、放電室の熱膨張による伸びに合わせて真空窓および変換器が固定したままで可動できる。これにより放電室および変換器の端部を常に真空窓に密着せさた状態に保つことができ、電界的に安定した伝送路を確保することができる。また、本発明に係る真空処理装置の第11の態様は、前記第1から第10のいずれかの態様において、前記変換器を、前記減圧容器に対し、前記放電室と前記変換器の連結方向にスライド可能に支持し、該変換器を前記放電室側に押圧する押圧手段を有することを特徴とする。上記構成によれば、放電室が熱膨張して容器の寸法が伸び、真空窓と変換器を連結方向に突き離す方向に押圧した後に熱収縮しても、押圧手段によって連結方向に真空窓と変換器が放電室側に押圧されて元の位置に戻される。このため、放電室と真空窓と変換器との間に隙間が発生せず、互いに所定内圧で押し付けて密着した状態に保つことができる。したがって、連結方向への熱膨張と熱収縮に対して許容が大きくなるとともに、隙間の発生を防止して高周波電力の伝送ロスを回避するとともに、放電室における電界分布を均一化し、基板への製膜等のプラズマ処理の品質を向上させることができる。また、本発明に係る真空処理装置の第12の態様は、前記第11の態様において、前記変換器と前記放電室との間に密着力検知手段が設けられ、前記押圧手段は前記密着力検知手段からの密着力情報に基づき、前記放電室が熱膨張しても前記真空窓に負荷が掛からず、かつ前記放電室と前記真空窓と前記変換器との間に隙間が発生しない密着力となるように、前記変換器を前記放電室に対して離接させる方向に駆動することを特徴とする。上記構成によれば、放電室の熱膨張による容器の寸法変化量に応じて、密着力検知手段が検知する密着力が変化し、この密着力情報に基づいて連結方向への押圧手段が駆動され、真空窓に負荷が掛からず、かつ放電室と真空窓と変換器との間に隙間が発生しない密着力が付与される。即ち、放電室が膨張した時には変換器が放電室から連結方向に離れる方向に駆動され、放電室が収縮した時には連結方向に変換器が放電室に近づく方向に駆動される。このため、放電室および変換器の端部を常に真空窓に密着せさた状態に保ち、電界的に安定した伝送路を確保して高品質なプラズマ処理を行うことができる。また、本発明に係る真空処理装置の第13の態様は、前記第1から第12のいずれかの態様において、前記真空窓は前記減圧容器にシール部材を介して取り付けられるとともに、該真空窓の周囲を、前記シール部材を圧縮する方向に押圧するフランジ部材が設けられ、該フランジ部材には、前記変換器の支持部が一体的に設けられたことを特徴とする。上記構成によれば、フランジ部材によって真空窓が減圧容器に気密的に固定されると同時に、真空窓に接続される変換器がフランジ部材に設けられた支持部によって支持される。このため、変換器の重量が負荷となって真空窓に負担を掛けて損傷させることを低減させることができ、真空処理装置の健全性を維持することができる。以上のように、本発明によれば、放電室が減圧容器に収容され、この減圧容器の外部に設けられた変換器が、減圧容器に設けられた真空窓を介して放電室に接続される構成の真空処理装置において、簡素かつ安価な構成により、放電室と変換器との相互の位置決めを容易かつ正確に行うとともに、放電室の熱膨張による悪影響を排除し、高品質な真空処理を効率良く行うことができる。