フレーム及び被着体の各一方の面に第1接着シートを貼付して一体化された対象物を当該第1接着シート側から支持する支持手段と、第2接着シートを繰り出す繰出手段と、この繰出手段で繰り出された第2接着シートを、前記フレーム及び被着体の各他方の面に押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置であって、前記支持手段は、前記フレームに対応する領域を支持するフレーム支持部と、前記被着体に対応する領域を支持する被着体支持部と、前記フレームと被着体との間に表出する第1接着シートに対し、フレームの他方の面から一方の面に向かう方向の力を付与可能な付勢手段とを有することを特徴とするシート貼付装置。フレーム及び被着体の各一方の面に第1接着シートを貼付して一体化された対象物を当該第1接着シート側から支持する支持手段と、第2接着シートを繰り出す繰出手段と、この繰出手段で繰り出された第2接着シートを、前記フレーム及び被着体の各他方の面に押圧して貼付する押圧手段と、前記フレーム及び被着体から第1接着シートを剥離可能な剥離手段とを備えた転写装置であって、前記支持手段は、前記フレームに対応する領域を支持するフレーム支持部と、前記被着体に対応する領域を支持する被着体支持部と、前記フレームと被着体との間に表出する第1接着シートに対し、フレームの他方の面から一方の面に向かう方向の力を付与可能な付勢手段とを有することを特徴とする転写装置。前記フレーム支持部と被着体支持部とを相対変位可能に設けられた変位手段を含み、この変位手段は、前記フレーム及び被着体の各他方の面を同一平面に位置決め可能に設けられていることを特徴とする請求項2記載の転写装置。前記被着体は、切り込みによって個片化され、前記付勢手段は、第1接着シートに対して前記力を付与したときに、隣り合う個片の間隔を拡大可能に設けられていることを特徴とする請求項2又は3記載の転写装置。フレーム及び被着体の各一方の面に第1接着シートを貼付して一体化された対象物を当該第1接着シート側から支持する工程と、前記フレームと被着体との間に表出する第1接着シートに対し、フレームの他方の面から離れる方向の力を付与する工程と、第2接着シートを繰り出す工程と、繰り出された第2接着シートを、前記フレーム及び被着体の各他方の面に押圧して貼付する工程と、前記フレーム及び被着体から第1接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とする転写方法。しかしながら、特許文献1にあっては、予めリングフレームに第2接着シートを貼付しておくため、別のシート貼付装置が必要となり、設備が大掛かりになるという不都合がある。また、前述した転写を行うため、2枚のリングフレームを利用することが不可欠となる。このため、第2接着シートが貼付された状態のリングフレームをストックするスペースやストッカが必要となり、当該装置を含む転写装置の全体サイズが大型化する、という不都合がある。また、同文献では、エキスパンド処理にあたって、テーブルからリングフレームが脱落しないように固定するチャック等の機構を設けることが不可欠となり、装置全体の複雑化を招来し、設備コストが上昇するという不都合を生じる。[発明の目的]本発明の目的は、設備や装置全体が大型化、複雑化することを防止することができるシート貼付装置並びに転写装置及び転写方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、フレーム及び被着体の各一方の面に第1接着シートを貼付して一体化された対象物を当該第1接着シート側から支持する支持手段と、第2接着シートを繰り出す繰出手段と、この繰出手段で繰り出された第2接着シートを、前記フレーム及び被着体の各他方の面に押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置であって、前記支持手段は、前記フレームに対応する領域を支持するフレーム支持部と、前記被着体に対応する領域を支持する被着体支持部と、前記フレームと被着体との間に表出する第1接着シートに対し、フレームの他方の面から一方の面に向かう方向の力を付与可能な付勢手段とを有する、という構成を採っている。また、本発明は、フレーム及び被着体の各一方の面に第1接着シートを貼付して一体化された対象物を当該第1接着シート側から支持する支持手段と、第2接着シートを繰り出す繰出手段と、この繰出手段で繰り出された第2接着シートを、前記フレーム及び被着体の各他方の面に押圧して貼付する押圧手段と、前記フレーム及び被着体から第1接着シートを剥離可能な剥離手段とを備えた転写装置であって、前記支持手段は、前記フレームに対応する領域を支持するフレーム支持部と、前記被着体に対応する領域を支持する被着体支持部と、前記フレームと被着体との間に表出する第1接着シートに対し、フレームの他方の面から一方の面に向かう方向の力を付与可能な付勢手段とを有する、という構成を採っている。本発明において、前記フレーム支持部と被着体支持部とを相対変位可能に設けられた変位手段を含み、この変位手段は、前記フレーム及び被着体の各他方の面を同一平面に位置決め可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。また、前記被着体は、切り込みによって個片化され、前記付勢手段は、第1接着シートに対して前記力を付与したときに、隣り合う個片の間隔を拡大可能に設けられる、という構成も好ましくは採用される。また、本発明の転写方法は、フレーム及び被着体の各一方の面に第1接着シートを貼付して一体化された対象物を当該第1接着シート側から支持する工程と、前記フレームと被着体との間に表出する第1接着シートに対し、フレームの他方の面から離れる方向の力を付与する工程と、第2接着シートを繰り出す工程と、繰り出された第2接着シートを、前記フレーム及び被着体の各他方の面に押圧して貼付する工程と、前記フレーム及び被着体から第1接着シートを剥離する工程とを備える、という方法を採っている。本発明によれば、フレーム及び被着体の各一方の面に第1接着シートが貼付された対象物を支持手段で支持した状態で、当該フレーム及び被着体の他方の面側から第2接着シートを貼付することができるので、従来のように、予めリングフレームに第2接着シートを貼付しておくため、別のシート貼付装置を導入しなくて済むので、設備が大掛かりになるという不都合を解消することができる。また、本発明によれば、被着体及びフレームの各他方の面に第2接着シートを貼付するときに、第2接着シートから第1接着シートが離れる方向に、当該第1接着シートに力を付与して当該第1接着シートを変形又は変位させることができる。これにより、フレームと被着体との間で第1及び第2接着シートが接着することを防止して、フレーム及び被着体の各他方の面に第2接着シートを貼付することができる。換言すれば、第1接着シートから第2接着シートに転写するため、フレームの利用数を1枚とすることができ、2枚のフレームを利用する従来構造に比べ、フレームのストッカ等を省略して装置のコンパクト化を図ることができる。また、第1接着シートに前述した方向の力を付与することで、フレーム支持部にフレームを押さえ付ける力を作用させることも可能となる。この結果、フレーム支持部においてチャック等を設けなくてもよくなり、装置の簡略化を通じて設備的な負担を軽減することが可能となる。また、フレーム及び被着体の各他方の面を同一平面に位置決め可能とした場合、フレーム及び被着体の何れか一方で押圧力が不足したりすることを回避でき、貼付不良の発生を防止することが可能となる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態において、特に明示しない限り、方向を示す用語例えば、上、下、左、右は、図1を基準とする。図1~図3において、転写装置10は、リングフレームRF及び被着体としてのウエハWFに第1接着シートS1を貼付して一体化された対象物TSを支持する支持手段11と、この支持手段11の上方に第2接着シートS2を繰り出す繰出手段13と、この繰出手段13で繰り出された第2接着シートS2をリングフレームRF及びウエハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ14と、支持手段11の左側上方に設けられた剥離手段16とを備えて構成されている。第1及び第2接着シートS1、S2は、基材シートBSと、この基材シートBSの一方の面に設けられた紫外線硬化型の接着剤層ADとをそれぞれ備えている。第1接着シートS1は、接着剤層ADを上向きとしてリングフレームRF及びウエハWFの各一方の面下面に貼付されている。第2接着シートS2は、繰出手段13において支持されるロール状の原反RSにおいて、帯状の剥離シートRLに接着剤層ADを介して所定間隔を隔てて複数仮着されている。ウエハWFは、切り込みによって個片化され、当該個片により複数のチップCPが形成されている。前記支持手段11は、上端側を開放する断面視凹状に設けられたフレーム支持部としての外側テーブル20と、この外側テーブル20の内部に配置された被着体支持部としての内側テーブル22と、外側テーブル20の底面に設けられて内側テーブル21を支持する変位手段である駆動機器としての直動モータ23と、外側テーブル20の内部空間SPを含む付勢手段24とを備えている。前記外側テーブル20の上端面は、吸着面26とされ、当該吸着面26で第1接着シートS1のリングフレームRFに貼付されている領域を吸着保持可能となっている。これにより、外側テーブル20は、リングフレームRFを第1接着シートS1側から支持し、対象物TSのリングフレームRFに対応する領域を支持可能に設けられる。外側テーブル20の上端面には、リングフレームRFの位置決めを行う段部20Aが形成されている。なお、外側テーブル20は、その下面が駆動機器としての単軸ロボット27のスライダ27Aに取り付けられ、繰出手段13及び剥離手段16の下方において、支持手段11が左右方向に移動可能に設けられている。前記内側テーブル22の上面は、吸着面29とされ、当該吸着面29で第1接着シートS1のウエハWFに貼付されている領域を吸着保持し、ウエハWFを第1接着シートS1側から支持して対象物TSのウエハWFに対応する領域を支持可能に設けられる。前記直動モータ23は、内側テーブル20を昇降して当該内側テーブル20と外側テーブル22とを上下に相対変位可能に設けられるとともに、変位した位置で内側テーブル20の移動を規制可能に設けられている。これにより、直動モータ23は、リングフレームRFやウエハWFの厚みに応じて内側テーブル22を昇降した後、それらの各他方の面上面を同一平面に位置決め可能となっている。前記付勢手段24は、外側テーブル20の内部空間SPに連通する減圧管30と、この減圧管30に接続される減圧ポンプや真空エジェクタ等からなる図示しない減圧手段とを備えている。内部空間SPは、支持手段11で対象物TSを支持したときに、当該対象物TSにより外側テーブル20の上端側が閉塞されて密閉状態となる。この状態で、減圧手段を介して内部空間SP内を減圧すると、リングフレームRFとウエハWFとの間に表出する第1接着シートS1に、リングフレームRFの上面から下面に向かう方向の力、すなわち、下方へ引っ張る力が付与され、図1の二点鎖線で示されるように、リングフレームRFとウエハWFとの間の第1接着シートS1が下方に膨らむように変形可能となっている。前記繰出手段13は、原反RSを支持する支持軸31と、この支持軸31から繰り出された原反RSの剥離シートRLを折り返して当該剥離シートRLから第2接着シートS2を剥離する剥離板32と、剥離板32を経た後の剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ34及びピンチローラ35と、これらを通過した後の剥離シートRLを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸36とを備え、押圧ローラ14側に第2接着シートS2を繰り出し可能となっている。駆動ローラ34は、駆動機器としての回動モータDMを介して回転可能に設けられている。支持軸31と剥離板32との間には、第2接着シートS2に貫通孔HL図2及び図3参照を形成するパンチング手段38が設けられている。パンチング手段38は、駆動機器としてのエアシリンダ38Aと、その出力軸の先端に設けられた孔形成刃38Bと、孔形成刃38Bが入り込む受け板38Cとを備え、第2接着シートS2がリングフレームRF及びウエハWFに貼付されたときに、それらの間に表出する領域に貫通孔HLを形成可能に設けられている。前記剥離手段16は、下面が吸着面とされて第2接着シートS2を吸着保持可能な吸着板40と、この吸着板40の上面に連結されて当該吸着板40を上下動可能な駆動機器としての直動モータ41とを備えている。次に、第2接着シートS2に対象物TSのウエハWFを転写する転写方法について説明する。初期作業として、支持軸31に支持された原反RSを所定長さ引き出し、パンチング手段38、剥離板32、駆動ローラ34、ピンチローラ35の順に原反RSを通過させて当該原反RSのリード端を巻取軸36に固定する。そして、繰出手段13が駆動ローラ34を回転して原反RSを繰り出すとともに、この繰り出しに同期して、エアシリンダ38Aの作動により第2接着シートS2に貫通孔HLを形成する。先頭の接着シートS1が剥離板32から所定量剥離されると、図示しないセンサで当該接着シートS2が検出されて繰り出しを停止し、スタンバイ状態となる。対象物TSは、転写装置10に搬送される前に、図示しない紫外線照射装置により第1接着シートS1に対して紫外線が照射され、接着剤層ADが硬化されて接着力が弱められている。その後、図示しない搬送手段を介して対象物TSが外側テーブル20及び内側テーブル22の各吸着面26、29上に載置されて吸着保持される。対象物TSを吸着保持した後、図示しない弁の作動によって、内部空間SPが減圧管30を介して図示しない減圧手段に接続され、内部空間SP内が減圧される。この減圧により、リングフレームRFとウエハWFとの間に表出する第1接着シートS1が図1の二点鎖線で示されるように下方に変形する。これと同時に、内側テーブル20上の第1接着シートS1には、その中心から面方向外側に向かう引張力、すなわち放射方向への引張力が付与され、内側テーブル20上の第1接着シートS1が延び変形し、隣り合うチップCPの間隔が拡大されるエキスパンドされる。次に、直動モータ23の作動によって、リングクレームRFの上面と同一平面にウエハWFの上面が位置するよう内側テーブル22を上下方向に変位して位置決めする。次いで、単軸ロボット27の作動によって、剥離板32の下方で支持手段11を右側から左側に移動させる。支持手段11が所定位置で図示しないセンサによって検知されると、支持手段11の搬送に同期してスタンバイ状態の駆動ローラ34が回転して原反RSが繰り出され、剥離板32の先端で第2接着シートS2が剥離される。そして、剥離された第2接着シートS2が押圧ローラ14による押圧力を受け、リングクレームRF及びチップCP間隔を拡げたウエハWFの各上面に第2接着シートS2が貼付される。このとき、リングクレームRF及びウエハWFに第1及び第2接着シートS1、S2が貼付されることとなるが、リングフレームRF及びウエハWF間において、第1接着シートS1が下方に変形されているので、対向する各接着シートS1、S2が接着することを防止可能となる。また、第2接着シートS2に貫通孔HLが形成されているので、接着シートS1、S2間の空間が減圧され、接着シートS1と接着シートS2とが接着することはない。第2接着シートS2の貼付後、単軸ロボット27によって支持手段11を剥離手段16の下方位置まで移動させる。次いで、直動モータ41の作動により吸着板40を下降し、吸着体40の下面に第2接着シートS2を吸着保持させる図2参照。この吸着保持後、直動モータ41の作動により吸着板40を上昇させる。この上昇によって、図3に示されるように、リングフレームRF及びウエハWFは、各吸着面26、29に吸着保持された第1接着シートS1から剥離され、吸着板40に吸着保持された第2接着シートS2と共に上昇する。これにより、隣り合うチップCPの間隔が拡大されたウエハWFは、第2接着シートS2を介してリングクレームRFと一体化され、第1接着シートS1から第2接着シートS2へ転写される。転写が完了すると、第2接着シートS2を介してリングクレームRFと一体化されたウエハWFは、図示しない搬送手段によって次工程に搬送されるとともに、支持手段11上の第1接着シートS1は、図示しない回収手段によって回収される。そして、支持手段11が初期位置に復帰した後、上記同様の動作が繰り返されることとなる。なお、吸着板40を上昇させたときに、第1接着シートS1がウエハWF及びリングクレームRFから剥離されない場合、当該接着力は弱まっているので、人手或いはチャックシーリンダやチャックモータ等の把持手段で第1接着シートS1を把持して回収するように構成することができる。従って、このような実施形態によれば、第1接着シートS1から第2接着シートS2にウエハWFを転写するために利用するリングフレームRFを単一にすることができる。これにより、2枚のリングフレームを利用して転写を行う場合に比べ、リングフレームのストッカ等を省略して装置全体の小型化を図ることが可能となる。また、第1接着シートS1を下方に引っ張ることでチップCPの間隔を拡大するので、リングフレームRFを固定する治具等をなくすことができる。更に、直動モータ23によってリングクレームRF及びウエハWFの各上面を同一平面に位置決め可能となるので、第2接着シートS2をウエハWF及びリングフレームRFに貼付するときに、押圧力が過不足するような貼付不良の発生を防止することができるまた、第2接着シートS2に貫通孔HLを設けたので、当該貫通孔HLによって第1及び第2の接着シートS1、S2を目視或いはセンサ等の検知手段で区別し易くなり、ウエハWFが転写前であるか転写後であるかを容易に判別することが可能となる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、上記実施形態の転写装置10における剥離手段16を省くことで、シート貼付装置として使用することもできる。この場合、リングクレームRFに接着している第1接着シートS1を剥離する場合は、適宜なシート剥離装置を採用したり、人手で第1接着シートS1を剥離したりするように構成すればよい。更に、フレームは、前述と同様に転写を行える限りにおいて、リングフレームRFに代えて、C字状やU字状等の別形状のフレームを用いてもよい。また、第2接着シートS2の形状は、各チップCPを貼付可能とする限りにおいて、第1接着シートS1と同一としたり、リングフレームRFの内周縁との間に隙間が生じるように形成したりしてもよい。ここで、前記隙間が生じるように形成した場合、当該隙間がパンチング手段38で形成した貫通孔HLと同様の効果を奏すこととなり、当該パンチング手段38の設置を省略することができる。更に、前記支持手段11における変位手段23は、リングフレームRF及びウエハWFの各上面を位置決めするため、外側テーブル20及び内側テーブル22の少なくとも一方を変位し、それらを相対変位可能とすればよい。また、繰出手段13や押圧ローラ14、剥離手段16は、前記実施形態と同様の機能を発揮する限りにおいて、種々の設計変更が可能である。更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。また、被着体はウエハWFに限定されることなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。更に、ウエハWFは個片化されていないものであってもよい。また、第1及び第2接着シートS1、S2は、紫外線硬化型の接着剤層を備えたものに限定されることはなく、ウエハWFやリングフレームRFを接着したり、それらから剥離したりすることができるものであれば足りる。更に、パンチング手段38で形成する貫通孔HLは、1箇所でもよいし複数個所でもよい。