工具の表面に被覆される硬質皮膜であって、前記硬質皮膜の組成がAl1-a-b-cSiaMgbMcBxCyNzからなり、前記Mは、Nb、Zr、Cr、CuおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素であり、前記a、b、c、x、y、zが原子比であるときに、0≦a≦0.350≦b≦0.20.03≦ab≦0.50≦c≦0.1かつ、原子比で、0.9≦AlSiMg0≦x≦0.20≦y≦0.40.5≦z≦1xyz=1を満足することを特徴とする硬質皮膜。工具の表面に被覆される硬質皮膜であって、前記硬質皮膜は、組成がAl1-a-b-cSiaMgbMcBxCyNzからなり、前記Mは、Nb、Zr、Cr、CuおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素であり、前記a、b、c、x、y、zが原子比であるときに、0≦a≦0.350≦b≦0.20.03≦ab≦0.50≦c≦0.1かつ、原子比で、0.9≦AlSiMg0≦x≦0.20≦y≦0.40.5≦z≦1xyz=1を満足するA層と、4a、5a、6a族元素、Al、SiおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素のN、CN、BNまたはBCN化合物であるB層とを含み、前記A層と前記B層の各々の厚みが2nm以上200nm以下の範囲で、前記A層と前記B層を交互に積層したことを特徴とする硬質皮膜。前記B層は、組成がTi1-m-nCrmAlnBoCpNqからなり、前記m、n、o、p、qが原子比であるときに、0≦m≦0.50.5≦n≦0.750≦1-m-n≦0.5opq=1を満足することを特徴とする請求項2に記載の硬質皮膜。硬質皮膜を用いて形成される硬質皮膜被覆工具であって、前記硬質皮膜が、請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の硬質皮膜であることを特徴とする硬質皮膜被覆工具。しかしながら、前記した従来の皮膜には、以下に示す問題があった。AlまたはAlSiを含有した従来の皮膜硬質皮膜においては、AlまたはAlSiを、例えば、特許文献1では、原子比で0.75、特許文献2では、原子比で0.765、特許文献3では、原子比で0.9、特許文献4では、原子比で0.79を上限値として含有させることで、皮膜の耐酸化性を向上させている。しかし、切削工具等を、より高い耐酸化性を必要とされる環境下において使用するために、耐酸化性等の切削工具等における性能をさらに向上させることが望まれている。また、近年の被削材の高硬度化や切削速度の高速度化に伴い、従来のTiAlN、TiCrAlN、TiCrAlSiBN、CrAlSiBNあるいはNbCrAlSiBN等の皮膜硬質皮膜に比べ、工具の硬度や耐酸化性、また、靭性等を向上させ、耐摩耗性をさらに改善する硬質皮膜が求められている。本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、硬度、耐酸化性、また、靭性を向上させることで、耐摩耗性に優れる硬質皮膜およびこの硬質皮膜を用いて形成された硬質皮膜被覆工具を提供することにある。請求項1に係る硬質皮膜は、工具の表面に被覆される硬質皮膜であって、前記硬質皮膜の組成がAl1-a-b-cSiaMgbMcBxCyNzからなり、前記Mは、Nb、Zr、Cr、CuおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素であり、前記a、b、c、x、y、zが原子比であるときに、0≦a≦0.35、0≦b≦0.2、0.03≦ab≦0.5、0≦c≦0.1、かつ、原子比で、0.9≦AlSiMg、0≦x≦0.2、0≦y≦0.4、0.5≦z≦1、xyz=1、を満足することを特徴とする。このような構成によれば、皮膜硬質皮膜が、所定の元素を所定量含有することにより、皮膜の硬度や耐酸化性が向上する。請求項2に係る硬質皮膜は、工具の表面に被覆される硬質皮膜であって、前記硬質皮膜は、組成がAl1-a-b-cSiaMgbMcBxCyNzからなり、前記Mは、Nb、Zr、Cr、CuおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素であり、前記a、b、c、x、y、zが原子比であるときに、0≦a≦0.35、0≦b≦0.2、0.03≦ab≦0.5、0≦c≦0.1、かつ、原子比で、0.9≦AlSiMg、0≦x≦0.2、0≦y≦0.4、0.5≦z≦1、xyz=1、を満足するA層と、4a、5a、6a族元素、Al、SiおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素のN、CN、BNまたはBCN化合物であるB層とを含み、前記A層と前記B層の各々の厚みが2nm以上200nm以下の範囲で、前記A層と前記B層を交互に積層したことを特徴とする。このような構成によれば、硬質皮膜を、所定の元素を所定量含有するA層と、4a、5a、6a族元素、Al、SiおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素のN、CN、BNまたはBCN化合物であるB層との積層膜とし、A層とB層の各々の厚みを所定範囲に規定することで、耐酸化性、硬度が向上するとともに、皮膜の靭性が向上する。請求項3に係る硬質皮膜は、前記B層は、組成がTi1-m-nCrmAlnBoCpNqからなり、前記m、n、o、p、qが原子比であるときに、0≦m≦0.5、0.5≦n≦0.75、0≦1-m-n≦0.5、opq=1、を満足することを特徴とする。このような構成によれば、B層が所定の元素を所定量含有することにより、皮膜の靭性、耐酸化性、硬度がさらに向上する。請求項4に係る硬質皮膜被覆工具は、硬質皮膜を用いて形成される硬質皮膜被覆工具であって、前記硬質皮膜が、請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の硬質皮膜であることを特徴とする。このような構成によれば、硬質皮膜被覆工具が、硬度や耐酸化性、また靭性が向上した硬質皮膜を用いて形成されることで、工具自体の硬度や耐酸化性、また靭性が向上し、耐摩耗性が向上する。本発明に係る硬質皮膜によれば、硬質皮膜が所定の元素を所定量含有することで、皮膜の硬度や耐酸化性を向上させることができ、これにより、耐摩耗性を向上させることができる。また、硬質皮膜をA層とB層との積層膜とすることで、皮膜の硬度や耐酸化性を向上させることができるとともに、皮膜の靭性を向上させることができる。これにより、耐摩耗性を向上させることができる。そして、この硬質皮膜を切削工具等に被覆することで、切削工具等を、高硬度材の切削や熱間鍛造等、さらに面圧の高い条件でも使用することができる。さらに、前記B層の組成において、所定の元素を所定量に規定することで、皮膜の靭性、耐酸化性、硬度をさらに向上させることができる。本発明に係る硬質皮膜被覆工具によれば、硬度や耐酸化性、また靭性が向上した硬質皮膜を用いて形成されることで、工具自体の硬度や耐酸化性、また靭性が向上し、耐摩耗性を向上させることができる。そのため、工具の寿命を延ばすことができ、切削加工等における生産性を向上させることができる。以下、本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。[第1実施形態]本発明は、工具の表面に被覆される硬質皮膜であって、この硬質皮膜の組成がAl1-a-b-cSiaMgbMcBxCyNzからなり、前記Mは、Nb、V、Zr、Cr、Ti、CuおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素であり、前記a、b、c、x、y、zが原子比であるときに、この原子比を所定範囲に規定することで、各成分の含有量を所定範囲に規定したものである。以下、硬質皮膜の組成を規定した理由について説明する。<原子比で、0.9≦AlSiMg>本発明の硬質皮膜においては、硬質皮膜以下、適宜皮膜と称すに耐酸化性を付与するため、Alと、SiまたはMgを必須成分とし、Alと、Siおよび/またはMg以下、適宜AlSi、Mgと称すの原子比を0.9以上とすることを必須とする。AlSi、Mgの原子比が0.9未満であると、硬質皮膜の耐酸化性を向上させることができない。したがって、AlSi、Mgの原子比は、下限を0.9、より好ましくは0.95とする。<0.03≦ab≦0.5>AlSi、Mgの原子比は、0.9以上を満たす範囲で調整可能であるが、SiMgの原子比abが0.03未満であると、硬度および耐酸化性向上効果が低くなる。一方、SiMgの原子比が0.5を超えると、皮膜の硬度および靭性が低下する。したがって、SiMgの原子比は、下限については、0.03、より好ましくは、0.05とし、上限については、0.5、より好ましくは、0.3とする。<0≦a≦0.35、0≦b≦0.2>前記したとおり、硬質皮膜は、SiまたはMgを含むが、SiまたはMgは任意の成分であり、どちらか一方を含有すればよい。ここで、Si、Mgの原子比a、bが、それぞれ、0.35、0.2を超えると、皮膜の硬度および靭性が低下する。したがって、Si、Mgの原子比は、それぞれ上限を0.35、0.2とする。また、Siについては、より好ましくは、上限を0.3、さらに好ましくは、0.2とする。Mgについては、より好ましくは、上限を0.1とする。なお、Mgについては、表面で酸化された場合、潤滑性を有するMgOを形成することから、Mgの添加により耐酸化性とともに潤滑性を付与することができるという効果がある。<0≦c≦0.1>前記したAl、Si、Mgに加えて、Nb、V、Zr、Cr、Ti、CuおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素であるMを皮膜中に添加することで、添加する元素に応じて皮膜の高硬度化や、さらなる耐酸化性の向上等を図ることができる。添加する元素MがYの場合には、皮膜の耐酸化性の向上、Nb、Ti、Zrの場合には、皮膜の高硬度化、Cr、Cuの場合には、耐酸化性の向上および高硬度化が認められる。さらに、Cuは、添加することにより、皮膜結晶粒が微細化して、皮膜が高硬度化することに加え、CuがN、C、B等と反応しにくいことから、Cuが金属状態で皮膜中に存在し、摺動時の高面圧下において、軟質金属として皮膜に潤滑作用を付与する。またVに関しては、切削時の高温下において、軟質な酸化物を形成し、皮膜に潤滑作用を付与する。ただし、これらの元素Mは、過度の添加を行うと、AlSi、Mgの原子比が少なくなり耐酸化性が低下するために、Mの原子比cは、上限を0.1、より好ましくは、0.05とする。なお、Mは任意の成分であり、含有させなくてもよい。<0≦x≦0.2、0≦y≦0.4、0.5≦z≦1、xyz=1>また、本発明の硬質皮膜において、Nは、AlやSiと結合して高硬度の化合物を形成するために必須の成分である。そのため、Nの原子比zが、下限を0.5、上限を1とする窒化物をベースとしているが、Bの添加により耐酸化性の向上、Cの添加により高硬度化を図ることができる。Bの原子比xが0.2を超えると、皮膜の硬度が低下する。したがって、Bの原子比は、上限を0.2、より好ましくは、0.15とする。また、Cの原子比yが0.4を超えると、皮膜の耐酸化性が低下する。したがって、Cの原子比は、上限を0.4、より好ましくは、0.2とする。なお、B、Cは任意の成分であり、含有させなくてもよい。また、B、C、Nの原子比の合計は、1とする。前記したとおり、Si、Mg、M、B、Cは任意の成分であることから、本発明の硬質皮膜の組成に関する組み合わせは、AlSiMgMBCN、AlSiMgMBN、AlSiMgMCN、AlSiMgMN、AlSiMBCN、AlSiMBN、AlSiMCN、AlSiMN、AlMgMBCN、AlMgMBN、AlMgMCN、AlMgMN、AlSiMgBCN、AlSiMgBN、AlSiMgCN、AlSiMgN、AlSiBCN、AlSiBN、AlSiCN、AlSiN、AlMgBCN、AlMgBN、AlMgCN、AlMgN等が挙げられる。[第2実施形態]次に、硬質皮膜の他の実施形態について説明する。本発明は、工具の表面に被覆される硬質皮膜であって、この硬質皮膜は、組成がAl1-a-b-cSiaMgbMcBxCyNzからなり、前記Mは、Nb、V、Zr、Cr、Ti、CuおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素であり、前記a、b、c、x、y、zが原子比であるときに、この原子比を所定範囲に規定することで、各成分の含有量を所定範囲に規定したA層と、4a、5a、6a族元素、Al、SiおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素のN、CN、BNまたはBCN化合物であるB層とを含み、前記A層と前記B層の各々の厚みが2nm以上200nm以下の範囲で、前記A層と前記B層を交互に積層したものである。前記第1実施形態で説明したAlSiMgMBCN膜等は、それ単体でも切削工具等の摺動部位に適用し、高温下における耐摩耗用途に使用することができる。しかし、前記のAlSiMgMBCN膜等からなる層A層と、4a、5a、6a族元素、Al、SiおよびYから選ばれる1種以上の元素とのN、CN、BNまたはBCN化合物からなる層B層との積層膜とすることにより、耐酸化性、硬度を向上させるとともに、皮膜の靭性を向上させることで、特に高硬度材の切削や熱間鍛造等、さらに面圧の高い条件等の高面圧下での用途でも使用することができる。以下、硬質皮膜の組成を規定した理由およびA層とB層の各々の厚み各々の層厚みを規定した理由について説明する。<A層>A層は、組成がAl1-a-b-cSiaMgbMcBxCyNzからなり、前記Mは、Nb、V、Zr、Cr、Ti、CuおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素であり、前記a、b、c、x、y、zが原子比であるときに、0≦a≦0.35、0≦b≦0.2、0.03≦ab≦0.5、0≦c≦0.1、かつ、原子比で、0.9≦AlSiMg、0≦x≦0.2、0≦y≦0.4、0.5≦z≦1、xyz=1である。ここで、A層の組成を規定した理由および組成に関する組み合わせについては、前記第1実施形態で説明した硬質皮膜と同様であるので、ここでは説明を省略する。<B層>B層である4a、5a、6a族元素、Al、SiおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素のN、CN、BNまたはBCN化合物の例としては、TiBCN、CrBCN、TiAlBCN、TiCrAlBCN、AlCrBCN、TiCrAlY、NbAlBCN、NbCrAl等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。ここで、括弧内のBCNは、N、CN、BNまたはBCNのいずれかの形を示している。なお、なかでも、Alを0.5以上含有する化合物が耐酸化性あるいは硬度の観点から好ましい。<A層とB層の各々の厚み:2nm以上200nm以下>硬質皮膜をA層とB層の積層膜とした場合、その各層の各々の厚み各々の層厚みを2nm以上200nm以下の範囲に規定する必要がある。各々の層厚みが2nm未満であると、靭性が低下する。したがって、各々の層厚みは2nm以上である必要がある。より好ましくは5nm以上である。また、各々の層厚みが200nmを超えると、積層膜としての特性靭性が失われるため、各々の層厚みは200nm以下である必要がある。より好ましくは100nm以下が好適である。ここで、4a、5a、6a族元素、Al、SiおよびYから選ばれる少なくとも1種以上の元素のN、CN、BNまたはBCN化合物であるB層としては、組成がTi1-m-nCrmAlnBoCpNqからなり、前記m、n、o、p、qが原子比であるときに、0≦m≦0.5、0.5≦n≦0.75、0≦1-m-n≦0.5、opq=1であることが最も好ましい。すなわち、TiCrAlBCN、CrAlBCNあるいはTiAlBCN化合物等であって、Alの原子比nが、下限については0.5、上限については0.75、Cr、Tiの原子比m、1-m-nが、上限について、それぞれ0.5であることが最も好ましい。なお、Cr、Tiは任意の成分であり、含有させなくてもよい。また、Nは高硬度の化合物を形成するために必須の成分であるが、B、Cは任意の成分であり、含有させなくてもよい。以下、B層の組成を規定した理由について説明する。<0.5≦n≦0.75>B層の組成の限定理由としては、AlSi、Mgを高濃度で含有する化合物は、靭性がやや低下する傾向がある。そのため、B層では、より高靭性を付与するための層として、まずSi、Mgを含有しない化合物とし、さらには、Alの原子比nを0.75以下とすることで、積層化したときに、皮膜に高い靭性を付与することができる。一方、Alの原子比が0.5未満であると、B層を高耐酸化性層A層と積層した場合でも、特性耐酸化性の劣化が生じやすい。したがって、Alの原子比は、下限については、0.5、より好ましくは、0.6とし、上限については、0.75、より好ましくは、0.7とする。<0≦m≦0.5、0≦1-m-n≦0.5>Cr、Tiに関しては、目的に応じて単独であるいは双方の添加をすることが可能である。Crの単独添加により耐酸化性を向上させることができ、Tiの単独添加により高硬度の皮膜を得ることができる。また、Cr、Tiの双方の添加により、耐酸化性および硬度を向上させることができる。Cr単独添加の場合には、Crの原子比mは、下限を0.25、上限を0.5とすることが好ましい。これは、Crの原子比が0.25未満であると、皮膜の結晶構造が軟質な六方晶に転移し、硬度が低下するとともに、耐酸化性も低下するためであり、0.5を超えると、Alの原子比が少なくなり、耐酸化性が低下するためである。なお、より好ましくは、下限が0.3、上限が0.4である。Ti単独添加の場合には、Tiの原子比1-m-nは、下限を0.3、上限を0.5とすることが好ましい。これは、Tiの原子比が0.3未満であると、皮膜の結晶構造が軟質な六方晶に転移し、硬度が低下するためであり、0.5を超えると、Alの原子比が少なくなり、耐酸化性が低下するためである。なお、より好ましくは、下限が0.35、上限が0.4である。Ti、Crの双方を添加する場合には、Cr、Tiの原子比は、双方とも下限を0.05とすることが好ましい。これは、皮膜に耐酸化性あるいは硬度を付与するためであり、好ましくは、双方とも下限が0.1である。上限に関しては、CrTiの原子比が0.5未満であればよい。これを超えるとAlの原子比が少なくなり、耐酸化性が低下するためである。<opq=1>また、B、C、Nの原子比の合計は、1とする。なお、Bの添加により耐酸化性の向上、Cの添加により高硬度化を図ることができる。前記したとおり、Ti、Cr、B、Cは任意の成分であることから、B層の組成に関する組み合わせは、TiCrAlBCN、TiCrAlBN、TiCrAlCN、TiCrAlN、CrAlBCN、CrAlBN、CrAlCN、CrAlN、TiAlBCN、TiAlBN、TiAlCN、TiAlN等が挙げられる。次に、本発明に係る硬質皮膜被覆工具について、図面を参照して説明する。硬質皮膜被覆工具は、硬質皮膜を用いて形成されるものであり、この硬質皮膜が、前記に記載した硬質皮膜であることを特徴とするものである。図1は、本発明に係る硬質皮膜被覆工具の一例を模式的に示す模式図であり、aは、高硬度材用エンドミルの模式図、bは、倣い用エンドミルの模式図である。硬質皮膜被覆工具としては、一例を挙げれば、図1aに示すように、刃先径φD1が10.0mm、シャンク径φd1が10.0mm、刃長L1が50mm、全長L2が100mmである高硬度材用エンドミル、また別の例としては、図1bに示すように、刃先径φD2が6.0mm、シャンク径φd2が6.0mm、先端のボールRの半径が3.0mm、刃長L3が9mm、全長L4が250mmである倣い用エンドミル等が挙げられるがこれらに限定されるものではない。また、硬質皮膜を被覆する工具としては、前記したエンドミルの他、チップ、ドリル等の切削工具や、プレス、鍛造金型、打ち抜きパンチ等の治工具が挙げられるが、これらに限定されるものではなく、適宜、その他の工具に適用してもよい。硬質皮膜の成膜方法としては、アークイオンプレーティング法、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法等を用いることができるが、これらに限定されるものではない。次に、工具への成膜方法の一例について説明するが、成膜方法としては、これに限定されるものではない。まず、蒸発源アーク式蒸発源、スパッタ蒸発源を複数備えている複合成膜装置のカソードに、各種合金、あるいは金属のターゲットを取り付け、さらに、回転する基板ステージ上の支持台上に、エンドミル等の被処理体を取り付け、チャンバー内を真空状態にする。その後、チャンバー内にあるヒータで被処理体の温度を550°Cに加熱し、窒素ガスC含有膜の場合はN2-CH4の混合ガスを導入してチャンバー内の圧力を4Paにしてアーク放電を開始し、被処理体の表面に皮膜を形成する。なお、蒸発源において、アーク式蒸発源とスパッタ蒸発源とを併用する場合には、体積比1:1のAr-N2あるいはAr-N2-CH4混合ガスを使用し、全体の圧力を2.8Paとして、アーク式蒸発源とスパッタ蒸発源とを同時に放電させる。被処理体にはバイアス電圧として-100Vを印加する。以上のように、硬度や耐酸化性、また靭性が向上した硬質皮膜を被覆することにより、工具自体の硬度や耐酸化性、また靭性が向上し、耐摩耗性を向上させることができる。そのため、工具の寿命を延ばすことができ、切削加工等における生産性を向上させることができる。以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例によって制限を受けるものではなく、前後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に含まれる。図2は、本実施例で用いる複合成膜装置の概略図である。この複合成膜装置1は、真空排気する排気口8と、成膜ガスおよび希ガスを供給するガス供給口9とを有するチャンバー2と、アーク式蒸発源3に接続されたアーク電源4と、スパッタ蒸発源5に接続されたスパッタ電源6と、コーティング対象である被処理体切削工具図示省略を支持する基板ステージ10上の支持台11と、この支持台11と前記チャンバー2との間で支持台11を通して被処理体に負のバイアス電圧を印加するバイアス電源7とを備えている。また、その他、ヒータ12、放電用直流電源13、フィラメント加熱用交流電源14等を備えている。本発明の実施に際しては、供給するガスは、成膜成分に合わせて窒素N2、メタンCH4等の成膜ガスと、これらとアルゴン等の希ガスとの混合ガスを使用した。なお、アーク式蒸発源3を用いることにより、アークイオンプレーティング蒸発AIP、スパッタ蒸発源5を用いることにより、アンバランスドマグネトロンスパッタリング蒸発UBMを行うことができる。[実施例1]図2に示す蒸発源アーク式蒸発源3、スパッタ蒸発源5を複数備えている複合成膜装置1のカソードに、各種合金、あるいは金属のターゲット図示省略を取り付け、さらに、回転する基板ステージ10上の支持台11上に被処理体図示省略として超硬合金製チップ、切削試験用のエンドミル超硬合金製、6枚刃、刃先径10mmφ、および白金箔30×5×0.1mmtを取り付け、チャンバー2内を真空状態にした。その後、チャンバー2内にあるヒータ12で被処理体の温度を550°Cに加熱し、窒素ガスC含有膜の場合はN2-CH4の混合ガスを導入してチャンバー2内の圧力を4Paにしてアーク放電を開始し、基板被処理体の表面に表1、2に示す膜厚約3μmの皮膜を形成した。基板にはバイアス電圧として-100Vを印加した。なお、実施例1では、アーク式蒸発源3を用いることにより、アークイオンプレーティング蒸発AIPを行った。成膜終了後、膜中の金属成分組成を調べるとともに、硬度、耐酸化性、耐摩耗性について、評価を行った。<皮膜組成>超硬合金製チップにおける皮膜中の金属元素の成分組成を、EPMAElectronProbeMicroAnalyzerにより測定した。<硬度>皮膜の硬度は、超硬合金製チップにおける皮膜のビッカース硬度を、荷重0.25N、保持時間15秒の条件で調べることにより評価した。硬度が20GPa以上のものを良好、20GPa未満のものを不良とした。<耐酸化性>皮膜の耐酸化性は、熱天秤を使用して、白金箔に形成したサンプルを乾燥空気中で4°C/分で昇温し、酸化重量変化から酸化開始温度を決定した。なお、酸化開始温度が高いほど、被削材との反応性が低下し、耐酸化性に優れているものである。酸化開始温度が1050°C以上のものを耐酸化性が良好、1050°C未満のものを耐酸化性が不良とした。<耐摩耗性>皮膜の耐摩耗性は、硬質皮膜を形成したエンドミルを用い、以下の条件で切削試験を行って刃先逃げ面の摩耗量摩耗幅を測定した。なお、摩耗量摩耗幅が小さいほど、耐摩耗性に優れているものである。摩耗量が100μm未満のものを耐摩耗性が良好、100μm以上ものを耐摩耗性が不良とした。切削試験条件被削材:SKD11HRC60切削速度:150m/分刃送り:0.04mm/刃軸切り込み:4.5mm径方向切り込み:0.2mm切削長:50mその他:ダウンカット、ドライカット、エアブローのみ実施例1の結果を表1、2に示す。なお、表中M成分を含有していないものについては、Mの種類を-で示す。表1、2に示すように、No.4~8、12~16、19~26、29~32、34~46、48~50、52~54は、皮膜の組成が本発明の範囲を満足しているため、あるいは参考例のため、硬度、耐酸化性、耐摩耗性のすべてが良好であった。一方、No.1~3は、従来型のTiN、TiAlN、TiAlSiN系硬質皮膜である。したがって、硬度は良好であるものの、耐酸化性に劣り、耐摩耗性に劣った。No.9、10、17、27は、SiMgの原子比が下限値未満のため、硬度および耐酸化性に劣り、耐摩耗性に劣った。No.28は、SiMgの原子比が上限値を超えるため、硬度に劣り、耐摩耗性に劣った。No.11、18は、それぞれSi、Mgの原子比が上限値を超えるため、硬度に劣り、耐摩耗性に劣った。No.33は、MCrの原子比が上限値を超えるため、耐酸化性に劣り、耐摩耗性に劣った。No.47は、Bの原子比が上限値を超えるため、硬度に劣り、耐摩耗性に劣った。No.51は、Cの原子比が上限値を超えるため、耐酸化性に劣り、耐摩耗性に劣った。No.55は、Nの原子比が下限値未満のため、硬度に劣り、耐摩耗性に劣った。[実施例2]図2に示す蒸発源アーク式蒸発源3、スパッタ蒸発源5を複数備えている複合成膜装置1のカソードに、各種合金、あるいは金属のターゲット図示省略を取り付け、さらに、回転する基板ステージ10上の支持台11上に被処理体図示省略として超硬合金製チップ、切削試験用のエンドミル超硬合金製、6枚刃、刃先径10mmφ、および白金箔30×5×0.1mmtを取り付け、チャンバー2内を真空状態にした。その後、チャンバー2内にあるヒータ12で被処理体の温度を550°Cに加熱し、窒素ガスC含有膜の場合はN2-CH4の混合ガスを導入してチャンバー2内の圧力を4Paにしてアーク放電を開始し、基板被処理体の表面に表3に示す膜厚A層とB層の各々の厚み、積層周期積層した場合のA層B層の厚み、総厚みの皮膜を形成した。なお、蒸発源において、アーク式蒸発源3とスパッタ蒸発源5とを併用する場合には、体積比1:1のAr-N2あるいはAr-N2-CH4混合ガスを使用し、全体の圧力を2.8Paとして、アーク式蒸発源3とスパッタ蒸発源5とを同時に放電させた。基板にはバイアス電圧として-100Vを印加した。また、積層膜を形成する場合は、複数の蒸発源に異なる組成のターゲットを取り付け、回転する支持台11上に被処理体を載せて、成膜中に回転させることによって積層膜を形成する方法を用いた。支持台11上の被処理体は基板ステージ10の回転に伴い、異なる組成のターゲットを取り付けた蒸発源の前を交互に通過するが、そのときに各々の蒸発源のターゲット組成に対応した皮膜が交互形成されることで、積層膜を形成することが可能である。A層、B層の各々の厚み、積層周期は、各蒸発源への投入電力蒸発量あるいは支持台11の回転数早い方が1層あたりの厚みは薄くなるにて制御した。このようにして、A層、B層を交互に積層した。成膜終了後、膜中の金属成分組成を調べるとともに、靭性、耐酸化性、耐摩耗性について、評価を行った。<皮膜組成>超硬合金製チップにおける皮膜中の金属元素の成分組成を、EPMAElectronProbeMicroAnalyzerにより測定した。<靭性>皮膜の靭性を評価するために、先端半径が200μmのダイヤモンド圧子を用いて、超硬合金製チップに被覆した皮膜のスクラッチ試験0~100N、荷重増加速度:100N/分、距離:10mmを実施し、皮膜にチッピングが発生する荷重を、チッピング荷重Nとして定義した。チッピング荷重が80N以上のものを靭性が良好、80N未満のものを靭性が不良とした。<耐酸化性>皮膜の耐酸化性は熱天秤を使用して、白金箔に形成したサンプルを乾燥空気中で4°C/分で昇温し、酸化重量変化から酸化開始温度を決定した。なお、酸化開始温度が高いほど、被削材との反応性が低下し、耐酸化性に優れている。酸化開始温度が1100°C以上のものを耐酸化性が良好、1100°C未満のものを耐酸化性が不良とした。<耐摩耗性>硬質皮膜を形成したエンドミルを用い、以下の条件で切削試験を行って刃先逃げ面の摩耗量摩耗幅を測定した。なお、摩耗量摩耗幅が小さいほど、耐摩耗性に優れている。摩耗量が85μm未満のものを耐摩耗性が優良、85~110μmのものを耐摩耗性が良好、110μmを超えるものを耐摩耗性が不良とした。なお、実施例2は、実施例1に比べ、高硬度の被削材を用いた試験である。切削試験条件被削材:SKH51HRC65切削速度:100m/分3183rpm深さ切込:5mm軸切り込み:0.2mm刃送り:0.1mm/刃1909mm/分ダウンカット、エアブローのみ切削長:10mその他:ダウンカット、ドライカット、エアブローのみ実施例2の結果を表3に示す。なお、表中B層を含まないもの等については、-で示す。また、表中AIPは、アークイオンプレーティング蒸発、UBMは、アンバランスドマグネトロンスパッタリング蒸発を示す。なお、硬度については、超硬合金製チップにおける皮膜のビッカース硬度積層膜としての平均硬度について、荷重0.25N、保持時間15秒の条件で調べた値を参考として示す。表3に示すように、No.8~39は、皮膜の組成が本発明の範囲を満足しているため、あるいは参考例のため、靭性、耐酸化性、耐摩耗性のすべてが優良または良好であった。ここで、No.8~17は、皮膜の組成が請求項2の範囲は満たすが、請求項3の範囲を満たさないものであり、No.18~39は、皮膜の組成が請求項3の範囲を満たすもの、あるいは参考例のものである。なお、硬度、靭性、耐酸化性等の数値は、皮膜を構成する各成分同士の兼ね合い等により、変化するものである。No.5~7は、A層の組成は本発明の範囲を満足しているため、耐酸化性は良好であったが、B層を設けていないため、靭性はNo.8~39に比べて劣った。そのため、耐摩耗性は、従来型のTiAlN、TiAlSiN系硬質皮膜であるNo.1、2に比べると良好であったが、No.8~39に比べると、やや劣る結果となった。このことから、高硬度材等の面圧の高い条件においては、A層単体よりも、A層とB層の積層膜とすることで、耐摩耗性をより向上させることができることがわかる。一方、No.1、2は、従来型のTiAlN、TiAlSiN系硬質皮膜であり、靭性、耐酸化性に劣るため、耐摩耗性に劣った。No.3は、A層およびB層の厚みが上限値を超えるため、靭性に劣り、耐摩耗性に劣った。No.4は、A層およびB層の厚みが下限値未満であるため、靭性に劣り、耐摩耗性に劣った。