"バッチ方式のUF濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置であって、少なくとも、1現像処理が行われる現像槽と、現像液を収容する現像タンクと、前記現像タンク内の現像液を前記現像槽に送る手段と、前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液古液を濾過ユニット側に送液する手段とを備えた現像ユニットと、2前記現像ユニットから送液された現像液古液を貯留する定量ドレイン機構を有するUF濾過循環タンクと、複数のUF濾過フィルタを使用して前記UF濾過循環タンク内の現像液古液を濾過する手段と、前記UF濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段と、濾過された現像液濾液を交互に運転される複数の濾液タンクのいずれかに送る手段と、現像液濾液を貯留する前記複数の濾液タンクとを備えた濾過ユニットと、3前記複数の濾液タンクに送液された現像液濾液の濃度を測定する手段と、前記複数の濾液タンクに現像液原液を補充して濃度を調整する手段とを備えた現像液濃度調整ユニットと、4濃度調整された現像液濾液を再度現像に供するため、リザーブタンクに、前記複数の濾液タンクのいずれかから現像液濾液を送液する手段と、更に前記リザーブタンクの現像液を前記現像ユニットの前記現像タンクに送液して再利用する手段とを備えた現像液循環ユニットと、から構成される現像装置において、前記UF濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、前記濾過ユニットと前記現像ユニット間の全体流量フローが一時停止した時点においても、自動的に定期的な前記UF濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構を具備していることを特徴とする現像装置。前記自動逆洗浄機構は、搭載されている前記複数のUF濾過フィルタを自動選択し、順次逆洗浄動作を行う機能を具備していることを特徴とする請求項1に記載する現像装置。前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作条件として少なくとも、逆洗浄時間、圧力、流量、送液量を、それぞれ所望する値に設定可能な機能を有することを特徴とする請求項1または2に記載する現像装置。前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作履歴を監視する機能を有することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載する現像装置。前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作実施時に使用する複数のポンプを備え、前記ポンプのいずれかを任意に選択し、その動作周波数変更を可能とする機能を有することを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載する現像装置。バッチ方式のUF濾過装置では、現像装置、UF濾過装置の稼働状況送液流量等により、濾過液を貯める2基以上のタンクが現像装置への濾過液送液中もしくは,再生濾過液作製中となった場合に、現像-UF濾過装置の全体フローが一時的に停止する事がある。従来のバッチ方式のUF濾過装置では、UF濾過装置内のUF循環タンクの液面上昇時にUF循環タンク内の液供給動作が不可となる事により、UF濾過装置と現像装置間の全体流量フローが一時停止し、通常稼働時は定期的に実施している逆洗浄動作は実施されず、UF膜の閉塞化が発生し、濾過流量低下となる。連続稼動時は一定周期で、濾過と逆方向に濾液等の清浄な液を通液し、濾過膜に付着または蓄積した微粒子や不純物の汚れを除去し、濾過膜の閉塞を防ぐ逆洗浄動作を実施しているが、上記した一時停止が発生する事により、これまでのバッチ方式のUF濾過装置では逆洗浄動作なしの待機となってしまう。この待機時間が長ければ長いほど、濾過膜の閉塞問題が深刻化し、流量の不安定化を招くことになる。UF濾過装置は濾過動作の安定化が基本となる為、濾過膜閉塞が発生した場合は、UF濾過装置として本来のパフォーマンスを発揮する事が不可能となる問題が発生する。本発明は、係る問題点に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタ製造に用いられるバッチ方式のUF濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置において、UF膜の閉塞防止が可能となり、濾過装置の停止有無に関らず安定的な濾過流量の確保が可能となる機構を有する現像装置を提供することを課題とする。本発明の請求項1に係る発明は、バッチ方式のUF濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置であって、少なくとも、1現像処理が行われる現像槽と、現像液を収容する現像タンクと、前記現像タンク内の現像液を前記現像槽に送る手段と、前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液古液を濾過ユニット側に送液する手段とを備えた現像ユニットと、2前記現像ユニットから送液された現像液古液を貯留する定量ドレイン機構を有するUF濾過循環タンクと、複数のUF濾過フィルタを使用して前記UF濾過循環タンク内の現像液古液を濾過する手段と、前記UF濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段と、濾過された現像液濾液を交互に運転される複数の濾液タンクのいずれかに送る手段と、現像液濾液を貯留する前記複数の濾液タンクとを備えた濾過ユニットと、3前記複数の濾液タンクに送液された現像液濾液の濃度を測定する手段と、前記複数の濾液タンクに現像液原液を補充して濃度を調整する手段とを備えた現像液濃度調整ユニットと、4濃度調整された現像液濾液を再度現像に供するため、リザーブタンクに、前記複数の濾液タンクのいずれかから現像液濾液を送液する手段と、更に前記リザーブタンクの現像液を前記現像ユニットの前記現像タンクに送液して再利用する手段とを備えた現像液循環ユニットと、から構成される現像装置において、前記UF濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、前記濾過ユニットと前記現像ユニット間の全体流量フローが一時停止した時点においても、自動的に定期的な前記UF濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構を具備していることを特徴とする現像装置である。また、本発明の請求項2に係る発明は、前記自動逆洗浄機構は、搭載されている前記複数のUF濾過フィルタを自動選択し、順次逆洗浄動作を行う機能を具備していることを特徴とする請求項1に記載する現像装置である。また、本発明の請求項3に係る発明は、前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作条件として少なくとも、逆洗浄時間、圧力、流量、送液量を、それぞれ所望する値に設定可能な機能を有することを特徴とする請求項1または2に記載する現像装置である。また、本発明の請求項4に係る発明は、前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作履歴を監視する機能を有することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載する現像装置である。また、本発明の請求項5に係る発明は、前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作実施時に使用する複数のポンプを備え、前記ポンプのいずれかを任意に選択し、その動作周波数変更を可能とする機能を有することを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載する現像装置である。従来のバッチ方式のUF濾過装置においては、濾過ユニット内のUF濾過循環タンクの液面上昇時にUF濾過循環タンク内への現像液古液供給動作が不可となる事により、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止し、通常稼働時は定期的に実施している逆洗動作は実施されず、UF膜の閉塞化が発生し、濾過流量低下となる。それに対して、本発明の現像装置によれば、UF停止時も定期的に逆洗浄動作を実施する事により、UF膜の閉塞防止が可能となり、濾過装置の停止有無に関らず安定的なろ過流量の確保が可能となる。以下、本発明の現像装置について、フォトリソグラフィー方式でのカラーフィルタ製造に用いられる現像液循環方式を用いた現像装置の、一実施形態例に基づいて説明する。図1は、本発明の現像装置の一実施形態の全体構成を示す概略説明図である。本発明の現像装置は、バッチ方式のUF濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置であって、少なくとも、現像ユニット10と、濾過ユニット20と、現像液濃度調整ユニット30と、現像液循環ユニット40と、から構成され、濾過ユニット20にはUF濾過フィルタ毎に逆洗浄する自動逆洗浄機構23を備えている。図1に示した実施形態例では、現像槽12-1の現像タンク11-1に現像液を供給するリザーブタンク41-1、現像槽12-2、12-3、12-4のそれぞれの現像タンク11-2、11-3、11-4に現像液を供給するリザーブタンク41-2と、バッチ方式のUF濾過装置として現像液濾液を貯留し供給する複数の濾液タンク26-1、26-2を備えている。本発明の現像装置はバッチ方式のUF濾過方式であり、UF濾過循環タンクに貯留された現像液古液は、UF濾過フィルタ毎に逆洗浄する自動逆洗浄機構23を備えている濾過ユニット20で濾過動作を受け、濾液タンク26-1、26-2に貯留される。各濾液タンクでは交互に、濾液供給、濃度測定、原液補給で濃度調整され、その後リザーブタンクへの送液によって再度現像液として循環利用される。図1に示すように、炭酸ナトリウムNa2CO3を現像液主成分とする現像液は、現像液循環ユニット40のリザーブタンク41-1、41-2から現像新液供給管路42-1、42-2を通して現像槽12-1及び12-2,12-3,12-4の現像タンク11-1及び、11-2,11-3,11-4に供給される。現像ユニット10の個別詳細は図示しないが、現像はクリーンルーム内のクローズ化された状態で、現像タンク11から、現像液を複数の現像フィルタを介して該現像フィルタに対応する個々の送液ポンプにより送液経路を通して現像液吐出機構から現像液を吐出し、現像槽12で、対象とするアクリル樹脂系感光性樹脂が塗布パターン露光された被現像ガラス基板に対して実施される。現像槽12において現像処理に使用された後の現像液古液は、現像液リターン経路を経て現像タンク11中に貯留された後、現像液古液送液手段13によって濾過ユニット20側に送られる。濾過ユニット20は、現像ユニット10から送液された現像液古液を貯留する定量ドレイン機構22を有するUF濾過循環タンク21と、複数のUF濾過フィルタ24を使用してUF濾過循環タンク21内の現像液古液を濾過する手段と、UF濾過フィルタ毎に逆洗浄する自動逆洗浄機構23と、濾過された現像液濾液を交互に運転される複数の濾液タンク26のいずれかに送る送液手段と、現像液濾液を貯留する複数の濾液タンク26とを備えている。UF限外濾過モード使用時は現像タンク11からUF濾過循環タンク21へ使用済み現像液古液を大量に送液しているので、全体の循環フローにより現像タンク11の汚染度は通常時より良化する。また、現像タンク11からは基板上の持ち出し以外には一切ドレインされない。UF濾過フィルター24で濾過された濃縮現像液がUF濾過循環タンク21にリターンされることで、UF濾過循環タンク21の汚染度が最も高くなるために、定量ドレイン経路22を用いて一定量の現像液をドレインする。循環量のバランスがとれている場合、減少した分は現像タンク11からの流入量で調整され、供給と廃液が過不足とならない様に、全体の流量が調整される。UF濾過循環タンク21の現像液は、送液経路25を経て、本実施形態例では5本のUF濾過フィルタ24を備え、かつ、各UF濾過フィルタを逆洗浄するための逆洗浄タンク29等の逆洗浄機構23を含むUF濾過ユニット20に送られ、UF濾過を行う。その後、UF濾過フィルタ24を透過した濾液は濾液送液経路28により濾液タンク26に送液され、UF濾過フィルタ24を透過しない成分が増加した残りの濃縮液はUF濾過フィルタ濃縮液循環管路27を通ってUF濾過循環タンク21に戻される。現像液濃度調整ユニット30では、複数のそれぞれの濾液タンク26毎に、送液された現像液濾液の現像主成分Na2CO3濃度を濃度測定機で測定し、一定の濃度となるように濾液タンク26に現像液原液タンク31から現像液原液を補充して濃度を調整する。濃度調整された現像液濾液は再度現像に供するため、現像液循環ユニット40のリターン送液経路43を通してクリーンルーム内のリザーブタンク41へ送られる。これで、現像液は循環することになる。従来のバッチ方式のUF濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置での動作フローでは、イ濾液タンク26-2がリザーブタンク41-2に濾液から濃度調整された現像液を送液中で、且つ、ロ濾液タンク26-1は濾液の濃度調整中であり現像液作製準部中となる場合がある。この場合、ハUF濾過フィルタ24を透過した濾液は、濾液タンク26-1および26-2いずれにも送液ができない状態となる。そこで、ニ濾液タンク26への送液が不可となりUF濾過循環タンク21の液面が上昇する。UF濾過循環タンク21からは定量ドレイン機構22によって一定的に定量ドレインを実施しているが、定量ドレインの廃液能力と各現像装置からの液送液の比率が異なる為、UF濾過循環タンク21は即満了となる。ホUF濾過循環タンク21の液面満了により、現像ユニット側からの送液が不可となる。その結果、ヘ現像タンクからの送液が出来ず、UF濾過装置と現像装置間の全体流量フローが一時停止し、濾過動作が停止し、それに伴い逆洗浄動作も停止する。トこの一時停止の間、逆洗浄動作が実施されず、待機時間が長引けば、UF濾過フィルタ24の閉塞が発生する。チこの閉塞が発生すると、再稼動時に正常な濾過動作が実施不可となり、濾液流量の不安定化となり、現像工程の不安定化とそれに伴う品質不良が発生することになる。上記した、従来のバッチ方式のUF濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置でのトラブルを回避するために、本発明の現像装置は、濾過ユニット20において、UF濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止し、濾過動作が停止した時点においても、自動的に選択された設定のもとにUF濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構23を具備している。ここで、逆洗浄動作に使用するのは濾過液で、濾過液の精製は逆洗浄選択されたUF濾過フィルタ24にて実施する。本発明の現像装置での動作フローを以下説明する。本発明の、バッチ方式のUF濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置での動作フローでは、上記したイ濾液タンク26-2がリザーブタンク41-2に濾液から濃度調整された現像液を送液中、且つ、ロ濾液タンク26-1は濾液の濃度調整中であり現像液作製準部中。ハUF濾過フィルタ24を透過した濾液は、濾液タンク26-1および26-2いずれにも送液ができない状態となる。そして、ニ濾液タンク26への送液が不可となりUF濾過循環タンク21の液面が上昇する。ホUF濾過循環タンク21の液面満了により、現像ユニット側からの送液が不可となる。その結果、ヘ現像タンクからの送液が出来ず、UF濾過装置と現像装置間の全体流量フローが一時停止し、濾過動作が停止し、それに伴い逆洗浄動作も停止する。ここまでの現象は同じである。本発明においては、前記したように、濾過ユニット20の、UF濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止し、濾過動作が停止した時点においても、自動的に選択された設定のもとにUF濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構23を具備している。そのため、所定の設定タイミングで逆洗浄動作を実施出来るので、前記したトの現象は発生しない。また、この自動逆洗浄機構23は、所定のタイミングで各UF濾過フィルタ毎に逆洗浄するように設定可能である。そのため、各UF濾過フィルタの閉塞現象が発生しない様に予め条件出しすることで、適切な所定の設定で逆洗浄動作を実施出来る。この、自動逆洗浄機構23の逆洗浄動作を、図1に示す5つのUF濾過フィルタ24-1、24-2,24-3,24-4,24-5を有する濾過装置で実施する場合を説明する。aUF濾過フィルタ24-1にて逆洗浄用タンク29に濾過液を貯める。次に、逆洗浄用タンク29から濾過液をUF濾過フィルタ24-1に送り逆洗浄する。なお、本発明に係るUF濾過装置では、クロスフロー濾過方式を採用しており、逆洗浄動作においても、クロスフロー方式で、フィルター膜面の反対側から濾過液が供給されているかたちとなる。次に、UF濾過フィルタ24-2,24-3,24-4,24-5についても順に同様の逆洗浄動作を実施し、UF濾過フィルタ24-1に戻り、これを繰り返すことになる。本発明に係る自動逆洗浄機構は、搭載されている複数のUF濾過フィルタを自動選択し、順次逆洗浄動作を行う機能を具備しており、また、逆洗浄動作条件として少なくとも、逆洗浄時間、圧力、流量、送液量を、それぞれ所望する値に設定可能な機能を有していることが好ましい。さらに、この自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作履歴を監視する機能を有しているため、複数のUF濾過フィルタのそれぞれの劣化状況の把握も出来るため、適切な交換時期の判断が可能である。また、製造の都合で直ちに交換することが出来ない場合でも、本発明に係る自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作実施時に使用する複数のポンプを備え、このポンプのいずれかを任意に選択し、その動作周波数変更を可能とする機能を有している。このことで、UF濾過フィルタのそれぞれの閉塞進行状況や、逆洗浄効果の把握が可能であり、閉塞気味のUF濾過フィルタには逆洗浄時間を長くし、逆にリーク傾向にあるUF濾過フィルタには逆洗浄時間を短くして、逆洗浄動作をより適切に行うことができる。また、このことで、UF濾過フィルタの高寿命化につながる。以上説明したとおり、本発明の現像装置によれば、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止し場合にも、自動逆洗浄機構により逆洗浄動作が実施されるため、UF濾過フィルタの閉塞現象が発生しない。その結果、バッチ方式のUF濾過装置の特徴である濾過液の濃度安定化を図り、現像タンクの現像液の汚染度の安定化を図ることが可能となり、製品に対して安定した現像液が供給され品質の安定化が可能な現像装置となり品質事故防止となる。"