外部加熱手段を備える反応管内で原料としての含炭化水素化合物を粉体触媒と攪拌混合して、前記含炭化水素化合物を触媒反応により熱分解させて、水素とともに超微粉炭素を生成させる触媒反応装置であって、前記反応管は回転式の搬送攪拌手段が内蔵され、さらに、前記反応管内に1箇所又は複数箇所で原料を気密的に供給する原料供給手段と、前記反応管内に1箇所又は複数箇所で触媒を気密的に供給する触媒供給手段と、前記反応管の搬送方向先端側に接続されて粉体製品を触媒とともに気密的に排出する粉体排出手段と、前記反応管の上部側の1箇所又は複数箇所で接続されて気体成分を減圧吸引機で吸引排出する吸引排出手段と、を備えて前記反応管内を減圧下として前記触媒反応を可能とされている、ことを特徴とする触媒反応装置。前記搬送攪拌手段の攪拌羽根の上側に沿って前記反応管の上部内側に前記気体排出手段と連通する排通路を備えていることを特徴とする請求項1記載の触媒反応装置。前記原料供給手段が前記搬送攪拌手段の中空とされた回転軸の周壁から前記原料を噴出可能に前記回転軸の一端に接続されていることを特徴とする請求項1又は2記載の触媒反応装置。前記外部加熱手段がバーナ及びエジェクターを備えた熱風加熱炉とされるとともに、前記減圧吸引機が前記エジェクターとされていることを特徴とする請求項1~3いずれかに記載の触媒反応装置。前記含炭化水素化合物が、ガス燃料、石油系燃料液体、液化石炭又は微粉石炭であることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の触媒反応装置。前記含炭化水素化合物をガス燃料として、前記反応管内の加熱温度:800~1100°C、減圧度:133~133kPa10~100mmHgの範囲に設定して前記触媒反応をさせることを特徴とする請求項1~4いずれかに記載の触媒反応装置の運転方法。請求項4に記載の触媒反応装置を用いて超微粉炭素及び水素を製造する設備であって、前記吸引排出手段が、さらに、水素分離装置を備えるとともに、該水素分離装置の分離排ガスの出口側が前記エジェクターに接続されて、前記気体成分から水素を分離回収可能とされていることを特徴とする超微粉炭素および水素の製造設備。本発明は、前記特許文献1記載の反応管内で原料としての炭化水素を粉体触媒と攪拌混合して、前記炭化水素を触媒反応により熱分解させて、水素とともに超微粉炭素を生成させる触媒反応装置を基本として改良したものであって、ナノ炭素ナノカーボンを含む超微粉炭素を、さらに効率的に連続して大量生産ができる新規な構成の触媒反応装置を提供することを目的とする。本発明の他の目的は、原料としてメタン等の気体の含炭化水素化合物ばかりでなく、液体や固体の含炭化水素化合物の触媒反応による熱分解にも適用可能な触媒反応装置を提供することを目的とする。本発明者らは、鋭意開発に努力をした結果、下記構成の触媒反装置に想到した。参考のために括弧付きで図符号を付す。外部加熱手段2を備える反応管3内で原料としての含炭化水素化合物を粉体触媒と攪拌混合し、含炭化水素化合物を触媒反応により熱分解させて、水素とともに超微粉炭素を生成させる触媒反応装置であって、前記反応管3は回転式の搬送攪拌手段7が内蔵され、さらに、前記反応管3内に1箇所又は複数箇所で原料を気密的に供給する原料供給手段11と、前記反応管3内に1箇所又は複数箇所で触媒を気密的に供給する触媒供給手段17、19と、前記反応管3の搬送方向先端側に接続されて粉体製品を触媒とともに気密的に排出する粉体排出手段25と、前記反応管3の上部側の1箇所又は複数箇所に接続されて気体成分を吸引排出する気体排出手段30、3435と、を付設して前記反応管3内を減圧下として前記触媒反応を可能とされている、ことを特徴とする。本発明に係る触媒反応装置は、原料供給及び触媒供給時、及び反応管内部、そして粉体製品の排出時においても、気体排出手段による吸引作用にて、すべての連通する装置内部は減圧され、減圧下で熱分解されるため、当該触媒反応が促進され、逆流、逆火が防止されていて安全に連続処理できる。水素から分離された排ガスも、熱風加熱炉内へ導入すれば完全に熱分解できる。即ち、熱風加熱炉内は、廃掃法等でダイオシン類発生抑制に必要とされている燃焼温度:800°C以上、高温滞留時間:2秒以上に維持されるため、環境汚染もなく、クリーンである。また、本発明に係る触媒反応装置は、水素の製造および超微粉炭素ナノ炭素の製造の双方の観点から、簡単な装置で、安全で、安価に大量生産が可能となる。こうして安価に大量生産できるナノ炭素は、将来的に種々な用途が見込まれ、用途の拡大が期待できる。用途としては、例えば、粉体の場合は、高分子材料に導電性を付与したり、炭素繊維の材料としたりすることができる。また、ナノ炭素の材料特性である耐摩耗性や軽量強度性を利用して、ゴム材タイヤ等、金属材、アスファルト材およびセメント材等の強度補強に使用できる。さらには、高比表面積や超軽量である特性を利用して、CO2固定、水素貯蔵、ナノフィルター、燃料電池等にも利用が期待できる。なお、ナノ炭素を製造する観点から見れば、アーク放電法やレーザー蒸発法やCVD法がある。しかし、これらの方法は、連続大量生産には不適であり、高価である。また、原料の観点では、気体ばかりでなく液体、固体と、どのような性状のものでも含炭化水素化合物であれば適用できる。また、生ゴミや汚泥をメタン発酵させたバイオメタンを原料とした場合は、有機廃棄物からも水素やナノ炭素が得られることとなり、CO2削減にも寄与する。原料が低級炭化水素気体原料の場合に適用する、超微粉炭素および水素の製造設備の一実施形態について、主として、図1を例に採り説明する。本実施形態で使用する触媒反応装置は、基本的に、熱風加熱炉外部加熱手段2を備える反応管3と、原料供給手段Aと、触媒供給手段Bと、粉体排出手段Cおよび吸引排出手段Dとで構成されている。上記外部加熱手段は、図例では、送風機36を駆動源とするエジェクター減圧吸引機35を側壁に備えた熱風加熱炉2とされている。エジェクター35に反応管3からの排ガスの全部又は水素分離後の排ガスを導入することにより、排ガスの熱分解浄化および反応管3内の減圧操作を兼ねることができる。なお、外部加熱手段は、抵抗加熱、誘導加熱および高周波加熱等さらには直火バーナーでもよい。熱風加熱炉2の側壁には、上記エジェクター35に加えて、反応管3の下側に熱風を生成させるバーナー4を備えている。また天井壁には、自動排気バンパー42が設けられた排気筒43を備えている。なお、熱風加熱炉2の周壁2aは耐火材で構成されているとともに、底壁に温度センサー41が取り付けられている。該温度センサー41は、その温度信号を、バーナー4の操作弁67及び自動排気バンパー42の駆動部に送信して熱風加熱炉2内の温度制御をするものである。なお、バーナー4への燃料は、後述の原料供給本管5から分岐させた燃料供給配管5Aを介して供給可能とされ、気体原料含炭化水素化合物と兼用できるようになっている。当然、気体原料を用いずに他の汎用燃料を別経路でバーナー4へ供給可能としてもよい。上記反応管3には、回転式の搬送攪拌機7が内蔵されている。ここで、搬送攪拌機7は、中空とされた回転軸8の周面に攪拌羽根7aが形成されている図3。攪拌羽根7aは、図例ではスクリュー羽根であるが、リボンスクリュー羽根、パドル羽根図3D等であってもよい。また、図3Cの如く、搬送攪拌機7は2軸型でもよい。そして、回転軸8は、減速モーター45の出力軸と連結され正逆回転駆動されるようになっている。回転軸8の両端部は、反応管3の両端に取り付けられた軸受47、47にて回転可能に保持されるとともに、反応管3の両端内側の耐熱グランドパッキン48で密封されている。なお、回転軸8の先端側非駆動側はロータリージョイント9が接続されている。回転軸8には、それぞれ拡散キャップが取り付けられた複数個図例では2個の噴射ノズル10が形成されている。また、攪拌羽根7aの上側に沿って前記反応管3の上部内側に排気連通する排通路27を備えている。生成ガス低比重ガスの原料ガスとの比重的分離を容易にするためである。図3A~Eに排通路27の各態様断面を示す。そして、反応管3は、搬送攪拌機7の搬送方向元部側および搬送方向先端側の各位置に原料供給口6および排ガス出口28が形成されている。図例では、排ガス出口28は1箇所であるが、複数箇所であってもよい。複数箇所とする場合は、通常、マニーホールドを介して集合させる。ここで反応管3は、図例では水平であるが、搬送方向側に上方へ傾斜させてもよい傾斜角度:30~60°。反応管3を傾斜させた場合は、粉体触媒の部分的な自重落下による粉体触媒と原料との接触混合の促進が期待できる。A原料供給手段は、反応管3に1箇所又は複数箇所で原料を気密的に供給するもので、下記の如く構成されている。気体原料気体含炭化水素化合物を充填する原料ボンベ11の出口は、原料供給本管5から分岐した第一第二原料供給管5a、5bを介して、第一原料供給口6及び第二原料供給口であるロータリージョイント9に接続されている。なお、第一第二原料供給管5a、5bには、それぞれ、流量計71、69が付設された流量調節弁70、68が配されている。B触媒供給手段は、反応管3の一箇所又は複数箇所図例では1箇所で触媒を気密的に供給するもので、下記の如く構成されている。それぞれ漏斗状の触媒受入槽17と触媒供給槽19とがロータリーバルブ21を中間に設けた連結管20を介して上下二段に連結されるとともに、触媒供給槽19の出口側が反応管3の触媒供給口23に接続されている。こうして、粉体触媒を反応管3に気密的に供給可能とされている。なお、各槽17、19には押出スクリュー18、22が配設されている。各押出スクリュー18、22は、各槽17、19の天井壁内側に配されたグランドパッキン77、78で密封保持されて、減速モーター76、79の出力軸と連結されて粉体触媒の定量供給が可能とされている。C粉体排出手段は、反応管3の粉体排出口49に、接続されて粉体製品を触媒とともに気密的に排出するものであり、その構成は下記の如くである。反応管3の粉体排出口49には粉体排出連結管50が冷却搬送管51の受入口51aに接続されており、粉体排出連結管50の途中にはロータリーバルブ53が設けられている。反応管3と冷却搬送管51との間でガスを遮断して気密的に粉体を排出させるためである。この冷却搬送管51の外側は、冷風又は水を冷却媒体とする冷却ジャケット52で覆われている。冷却搬送管51の内部には、さらに、スクリュー式の搬送機57を有している。該搬送機57はその回転軸61の一端が、減速モーター59の出力軸と連結され回転駆動されるようになっている。回転軸61は、反応管3と同様、冷却搬送管51の両端に取り付けられた軸受58、58にて保持されるとともに、冷却搬送管51の両端内側にグランドパッキン62、62が配されて回転可能に密封されている。冷却搬送管51は、図例では水平に配されているが、搬送方向に向かって上側に傾斜させて配することが望ましい。自重による粉体の落下が期待でき粉体混合が促進されて冷却効率の向上が期待できる。この傾斜角度は、反応管3と同様、30~60°とすることが望ましい。そして、冷却搬送管51の出口51bには途中にロータリーバルブ65を備えた粉体回収管64が接続されて、回収粉体収納缶66へ粉体製品超微粉炭素/触媒が気密的に排出されて回収可能となっている。D気体吸引排出手段は、反応管3の上部側の1箇所又は複数箇所で気体成分を吸引排出するもので、下記の如く構成されている。図例では排ガス出口28は搬出方向側の1箇所であるが、さらに中間部に1箇所又は複数個所に設けてもよい。水素を含む低比重の生成排ガスは搬送方向の中間位置でも原料ガスから上昇分離するためである。反応管3の排通路27に連通させて反応管3の上部に形成された排ガス出口28には、塵埃フィルター30が途中に設けられた排ガス配管29を介して、入口側に加圧ポンプ31が付設された水素分離装置32に接続されている。水素分離装置32としては、水素分離膜装置例えば、宇部興産社製UBE水素分離膜を使用するが、水素を分離できるものであれば、特に限定されない。そして、水素分離装置32の水素排出側は水素ガスホルダー33に接続されている。さらに、水素分離装置32の分離ガス排出側は吸引配管34を介してエジェクター35に接続されている。また、塵埃フィルター30からの出口側の排ガス配管29には、エジェクター35と直結するバイパス配管37が接続されている。そして、バイパス配管37にバイパス切替弁38が、水素分離装置32の入口側出口側の各配管29、34には、それぞれ入口弁39、出口弁40が設けられている。なお、上記製造設備において、より多くの処理能力を要する場合は、反応管3を複数段重ねて設置し、それぞれ片方の上下を連通させて連結された多段方式、横並びに反応管を複数本連結した連結管方式等により、より大量能力で対応できる。次に、上記製造設備を使用して、超微粉炭素及び水素を製造する方法について説明する。ここで、原料である含炭化水素化合物は、低級炭化水素気体原料のみのものが、触媒による熱分解が促進されて望ましい。原料ボンベ11に充填する低級炭化水素としては、メタン、エタン、プロパン、ブタン等を主成分とする天然ガスや都市ガスやバイオメタン等を挙げることができる。エジェクター35の送風機36を起動させるとともに、同時に、バーナー4を点火して熱風加熱炉2内を所定温度800°C以上まで昇温させる。さらに、触媒受入槽17に粉体触媒を供給し、触媒供給槽19へ押出し、反応管3内に気密的に供給して反応管3の粉体排出口49近くまで充填し、かつ、連続定量供給可能としておく。図示は省略するが、ロータリーバルブ21に代えて二個のバルブにて、バルブ間に粉体触媒を供給し、相互のバルブを交互に開閉することによって、投入、排出を繰り返して供給しても、粉体触媒を気密的に供給することができる。ここで、粉体触媒は、遷移金属である鉄属、白金属、希土類が有効である。特に、鉄族である鉄、コバルト、ニッケルが汎用性を有して望ましい。加熱炉熱風発生炉2に取り付けられたバーナー4は、炉内温度が800~1100°Cでコントロールできるものであり、バーナー4で生じた熱風にて反応管3を加熱する。このときの、反応管内温度及び減圧度は、気体原料の性状及び触媒等の種類により異なるが、温度:800~1100°Cさらには、800~900°C、減圧度:10~110mmHgさらには50~-90mmHgが望ましい。こうした状態で、原料ボンベ11から気体原料を、バーナー4および第一原料供給口6及びロータリージョイント9の入口第二原料供給口に供給する。具体的には、調節弁68、70及び流量計69、71にて流量を確認、コントロールして、反応管3内に供給する。この際、気体原料のガス圧は、図示しないが、微圧調整減圧弁にて、設定値例えば、01PaGになるまで減圧を行う。反応管3内の減圧度のコントロールを容易にするためである。こうして気体原料は、第一原料供給口6、およびロータリージョイント第二原料供給口9を経て複数の噴射ノズル10から反応管3内に噴出される。攪拌機7の正転逆転例えば、正転3回、逆転2回により、反応管3内の滞留時間を保ち、粉体触媒と気体原料とが混合攪拌される。こうして、気体原料含炭化水素化合物が熱分解により、炭素と水素に分解され、粉体触媒を炭素が取り囲み、超微粉炭素が生長する。そして、粉体触媒上で生長した超微粉炭素ナノ炭素は、徐々に反応管3の粉体排出口49へ搬送されて、入口および出口にロータリーバルブ53、65を備えた冷却搬送管51を経て、冷却されながら回収粉体収納缶66に気密的に排出されて回収される。回収した超微粉炭素から粉体触媒を除去すれば、非常に精度のよいナノ炭素を製造できる。この粉体触媒の除去には、慣用の水熱法や遠心分離法や、限外濾過法や、酸化法を使用できる。他方、水素は原料である含炭化水素化合物より軽い水素は比重がメタンの1/4であるため、生成した水素やオフガス等の低比重ガスは優先的に気体原料メタン等から比重分離されて上昇する。そして、生成ガスおよび未分解ガス部分分解ガス、微量窒素ガス、都市ガスに含まれる付臭ガス等は、反応管3の上部空間である排通路27を通り、反応管3の出口側上部の排ガス出口28より排出される。排ガス出口28から配管29を経て、水素や排ガスと共に流出してきたナノ炭素が粉塵フィルター30で捕獲される。このフィルター30を通過した水素や排ガスは、圧縮加圧ポンプ31にて加圧例えば、1MPaされて水素分離装置32に送られ、排ガス分離後と水素に分離され、水素は水素ガスホルダー33に貯留される。上記排ガス分離後は、吸引配管34を通り、エジェクター減圧吸引機35の吸引室に吸引されて、エジェクター35内にて大気と混合され、熱風加熱炉2に送気され、熱分解浄化される。こうして、送風機36を駆動源とするエジェクター35により、反応管3内が、-10~-100mmHgまで減圧される。反応管3内で熱分解された水素を、熱分解用の熱源として利用する場合は、排ガス配管29の切替弁38、39、40を操作することにより、水素分離装置32への入口側の排ガス配管29及び出口側の吸引配管34を閉非導通状態とするともに、バイパス配管37を開導通状態とする。こうして、水素ガスを含む排ガス未分離は、水素分離装置32を通過させることなく、エジェクター35への吸引配管34にて減圧吸引させて熱風加熱炉2内へ導入して燃焼させることができる。この場合、バーナー4も燃焼しているが、高温になり過ぎれば、温度センサー41からの信号により操作弁67を操作してバーナー4への燃料供給を少なくして、熱風加熱炉2内の温度制御をする。本発明の触媒反応装置は、特許文献1以下従来技術という。の如く原料の性状が限定されない。その理由は、下記の如くであると考える。熱分解によるメタンの化学反応式は、CH4=C2H2-748kJmolで表され、分解反応は体積が2倍になるとともに吸熱反応である。即ち、本発明では、特許文献1に記載の従来技術の如く10気圧1013MPa以下の加圧下でなく、減圧しながら反応させるとともに、反応管内温度も、従来技術より高く設定できるためである。例えば、実施例レベルで、従来技術では650°C×02MPG3気圧であるのに対し、本発明では800~830°C比例制御×15kPaGである。したがって、触媒反応がさらに効率化される。また、原料が液体であっても、気化し易く、低級炭化水素と同様に触媒反応が促進される。原料が粉状であっても、減圧下の高温であるため、乾留による炭化熱分解反応を経て生成したガス炭化水素がさらに触媒反応により熱分解されて超微粉炭素ナノカーボンが生成する。図2は、図1の超微粉炭素及び水素の製造設備において気体原料を液体原料とした場合の、変更部分図である。主たる変更箇所は、原料ボンベ11を、給油ポンプ13を備えた原料油タンク12とした点にある。なお、図1と同一部分については同一図符号を付して、それらの説明を省略してある。原料油としては、炭素数6~10の炭化水素が主体である石油系燃料ガソリン、軽油、灯油、重油や液化石炭等、また、廃タイヤや廃プラスチックから得られる再生油、さらには、植物菌類に由来するテルペンC5H8nを挙げることができる。そして、原料油の反応管3への供給は下記の如く行なう。原料タンク12に接続された給油ポンプ13により原料供給本管5から分岐させた燃料供給配管5Aを介してバーナー4に、原料油を燃料として供給するとともに、第一第二原料供給管5a、5bを経て原料供給口6から原料油を反応管内に供給する。該原料供給口6の下部には液体炭化水素を微小油滴にするための有孔板又は網状物11が付設されている。図示は省略するが、原料供給口は噴射ノズルとしてもよい。また、原料を固体含炭化水素化合物とする場合、高級炭化水素であるパラフィン以外に微粉石炭も使用可能である。固体含炭化水素化合物は、粉体とすることにより、図示は省略するが、粉体触媒と同様方式の上下二槽による供給方法で、気密的に原料を反応管内に供給することができ、また、供給箇所も搬送方向元部側の原料供給口を含めて複数としてもよい。そして、粉体原料を微粉石炭とする場合は、該高級炭化水素を石炭微粉等とともにバーナー燃焼加熱手段の原料とすることができる。下記仕様の実験装置を用いて、下記運転条件で超微粉炭素及び水素の製造実験を実施した。<熱分解反応管装置仕様>1本体設備敷設面積幅1200mm×長さ4000mm×高さ1500mm2反応管3寸法Φ220mm×長さ3100mm3搬送攪拌機寸法Φ200mm×長さ3000mm4減速モーター4502kw5反応管攪拌機回転数01~1rpm6熱風加熱炉2寸法幅1200mm×長さ2800mm×高さ1300mm7バーナー4ガスバーナー025kw×300000kcalH8触媒受入槽178L9触媒第供給槽1910L10塵埃フィルター30寸法Φ50mm×250L40μメッシュ11圧縮加圧ポンプ31075kw×1Mpa12水素分離装置32Φ100mm×2000Lmm13冷却搬送管51Φ160mm×1500Lmm14搬送機57Φ100mm×1000Lmm15減速モーター5901kw16送風機36075kw<運転条件>1原料ガス都市ガス2ガスバーナー供給圧力20kPa3原料ガス供給量30Nm3H4熱風加熱炉内温度800~850°C比例制御5反応管内温度800~830°C6金属粉末触媒鉄触媒7触媒供給量1kgH<実験結果>1水素生成量60m3H2生成炭化物169kgH<実施例結果>得られた水素は純度99以上のものであった。また、得られた超微粉炭素は、鉄触媒への絡み合いを起点として成長したナノ炭素ナノファイバーやナノチューブであった。なお、ナノファイバーは数ナノメートルから数百ナノメートルの大きさの繊維状であった。