第1辺と、前記第1辺と対向する第2辺と、前記第1辺と前記第2辺との間の第3辺と、前記第3辺に対向する第4辺とを有する透光性の基板と、前記基板上に設けられ、前記第3辺に沿って延在するとともに前記第1辺に沿って並び、互いに直列に接続された複数の発電セルとを具備し、前記基板の周縁部における前記複数の発電セルが除去されて前記基板が露出し、該基板が露出した面が前記複数の発電セルを封止するシート材の接着面とされており、前記複数の発電セルの各々は、前記基板上に透明導電層と光電変換層と裏面電極層とをこの順で含み、前記複数の発電セルの表面である前記裏面電極層から前記基板の表面へ伸びる絶縁溝であって、前記第1辺の近傍に前記第1辺に沿う絶縁溝とされる第1溝と、前記第2辺の近傍に前記第2辺に沿う絶縁溝とされる第2溝とを有し、前記第3辺の近傍で前記第3辺に沿う溝及び前記第4辺の近傍で前記第4辺に沿う絶縁溝が無く、前記第1溝及び前記第2溝は、前記基板の端に達しないように前記第3辺及び第4辺の近傍まで伸びる太陽電池パネル。請求項1に記載の太陽電池パネルにおいて、前記第1溝及び前記第2溝の端は、前記基板の端から5mm以上10mm以下の距離だけ離れている太陽電池パネル。請求項1又は2に記載の太陽電池パネルにおいて、前記複数の発電セルは、前記基板上に製膜される第1膜を備え、前記第1膜は、前記第1辺及び前記第2辺の方向とは異なる方向に伸びる第3溝を有し、前記第3溝は、前記第1膜の表面から前記基板の表面へ伸び、前記基板の端に達しないように前記第1辺及び第2辺の近傍まで伸びる太陽電池パネル。請求項3に記載の太陽電池パネルにおいて、前記第3溝の端は、前記基板の端から5mm以上10mm以下の距離だけ離れている太陽電池パネル。従って、本発明の目的は、長期信頼性をより向上させるように太陽電池モジュールの溝加工の工程を適切に行うことが可能な太陽電池パネルを提供することにある。本発明の他の目的は、太陽電池モジュールの性能を落とさずに、太陽電池モジュールの端部の溝加工の工程を短縮して生産性を向上可能な太陽電池パネルを提供することにある。本発明の更に他の目的は、長期信頼性を低下させずに、太陽電池モジュールの周縁領域の発電セルの膜の研磨を適切に行うことが可能な太陽電池パネルを提供することにある。以下に、発明を実施するための最良の形態で使用される番号符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための最良の形態との対応関係を明らかにするために括弧付きで付加されたものである。ただし、それらの番号符号を、特許請求の範囲に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。上記課題を解決するために、本発明の太陽電池パネルは、基板1と、複数の発電セル5とを具備する。基板1は、第1辺1aと、第1辺1aと対向する第2辺1bと、第1辺1aと第2辺1bとの間の第3辺1cと、第3辺1cに対向する第4辺1dとを有する透光性のものである。複数の発電セル5は、基板1上に設けられ、第1辺1aに沿って並び、互いに直列に接続されている。複数の発電セル5の各々は、基板1上に透明導電層2と光電変換層3と裏面電極層4とをこの順で含み、第1辺1aの近傍に複数の発電セル5の表面である裏面電極層4から基板1の表面へ伸びる溝であって、第1辺1aに沿う第1溝15aと、第2辺1bの近傍に第2辺1bに沿う第2溝15bとを有する。第3辺1cの近傍で第3辺1cに沿う溝及び第4辺1dの近傍で第4辺1dに沿う溝が無い。第1溝15a及び第2溝15bは、基板1の端に達しないように第3辺1c及び第4辺1dの近傍まで伸びている。ここで、光電変換層3は薄膜シリコンのp層、i層、n層を積層したもの、更にはこの複数組みを積層したタンデム型太陽電池を構成していてもよい。第1溝15a及び第2溝15bは絶縁溝として、発電セル5の太陽電池モジュール6の端面付近にて透明導電層2と裏面電極層4との短絡発生部分を電気的に切り離して、発電セル5の短絡発生を防止するために重要である。また、太陽電池パネルの端部周辺でシールした領域から外部湿分などが浸入して太陽電池モジュール6の性能を低下することを抑制することにも効果がある。第1溝15a及び第2溝15bが基板1の端に達しないので、基板1の端から外部の湿分が浸入して、第1溝15a及び第2溝15bで毛細管現象が発生して太陽電池モジュール6内部まで湿分が浸入することを防止することができる。加えて、太陽電池モジュールの周囲領域4に存在していた発電セル5の膜を研磨により除去している工程があることにより、第3辺1cに沿う溝及び第4辺1dに沿う溝は省くことが出来ることが判明した。それにより、第3辺1cに沿う溝及び第4辺1dに沿う溝が無いので、溝加工の工程の処理時間を短縮できる。すなわち、前記複数の発電セルの表面である前記裏面電極層から前記基板の表面へ伸びる溝であって、太陽電池モジュール6の性能低下を抑制し長期信頼性を向上するとともに、太陽電池モジュールの端部の溝加工の工程を短縮することが可能となる。上記の太陽電池パネルにおいて、第1溝15a及び第2溝15bの端は、基板1の端から5mm以上10mm以下の距離d1だけ離れていることが好ましい。この距離は、基板端部から外部湿分の浸入を抑制するには周辺領域4におけるシートとの健全な接着領域が5mm以上あることが望ましく、周囲領域を確保しながら、太陽電池モジュール6の面積を広く取るには10mm以下とすることが望ましい。上記の太陽電池パネルにおいて、複数の発電セル5は、基板1上に製膜される第1膜2を備えることが好ましい。第1膜2は、第1辺1a及び第2辺1bの方向とは異なる方向に伸びる第3溝10を有する。第3溝10は、第1膜2の表面から基板1の表面へ伸び、基板1の端に達しないように第1辺1a及び第2辺1bの近傍まで伸びている。第3溝10は、基板1上に短冊状の複数の発電セル5を直列接続して構成させるに必要である。第3溝10が基板1の端に達しないので、前述の絶縁溝である第1溝15a及び第2溝15bと同様に、基板1の端から外部の湿分が浸入することを防止することができる。すなわち、長期信頼性をより向上させるように太陽電池モジュールの溝加工の工程を適切に行うことができる。上記の太陽電池パネルにおいて、第3溝10の端は、基板1の端から5mm以上10mm以下の距離d2だけ離れていることが好ましい。この距離は、前述の絶縁溝である第1溝15a及び第2溝15bと同様な判断により、周囲領域を確保しながら、太陽電池モジュールの面積を広く取る上で好ましい。上記課題を解決するために、本発明の太陽電池パネルの製造方法は、a第1辺1aと、第1辺1aと対向する第2辺1bと、第1辺1aと第2辺1bとの間の第3辺1cと、第3辺1cに対向する第4辺1dとを有する基板1上に、第1辺1aに沿って並び、互いに直列に接続された複数の発電セル5を形成する工程と、b第1辺1aの近傍に第1辺1aに沿う第1溝15aと、第2辺1bの近傍に第2辺1bに沿う第2溝15bとを形成する工程とを具備する。複数の発電セル5の表面である裏面電極層4から基板1の表面へ伸び、第3辺1cの近傍で第3辺1cに沿う溝及び第4辺1dの近傍で第4辺1dに沿う溝を形成しない。第1溝15a及び第2溝15bは、複数の発電セル5の表面である裏面電極層4から基板1の表面へ伸び、基板1の端に達しないように第3辺及び第4辺1dの近傍まで伸びている。ただし、複数の発電セル5の各々は、基板1上に透明導電層2と光電変換層3と裏面電極層4とをこの順で含む。上記の太陽電池パネルの製造方法において、b工程は、b1第1溝15a及び第2溝15bの端が基板1の端から5mm以上10mm以下の距離d1だけ離れるように第1溝15a及び第2溝15bを形成する工程を備えることが好ましい。上記の太陽電池パネルにおいて、a工程は、a1基板1に透明導電層2を形成する工程と、a2透明導電層2に第1辺1a及び第2辺1bの方向とは異なる方向に伸びる第3溝10を形成する工程とを備えることが好ましい。第3溝10は、透明導電層2の表面から基板1の表面へ伸び、基板1の端に達しないように第1辺1a及び第2辺1bの近傍まで伸びている。上記の太陽電池パネルにおいて、a2工程は、a21第3溝10の端が基板1の端から5mm以上10mm以下の距離d2だけ離れるように第3溝10を形成する工程を含むことが好ましい。上記の太陽電池パネルの製造方法において、cシート材を用いて基板1上に積層された複数の発電セル5用の膜の一部を除去して露出した面をそのシート材の接着面とする工程をさらに具備する。c工程は、c1基板1の周縁部14における複数の発電セル5の膜を、回転砥石研磨で削る工程と、c2c1工程の後に、基板1の周縁部14における複数の発電セル5用の膜を、ブラスト研磨で削る工程とを備えることが好ましい。太陽電池モジュール6の周縁領域の発電セル5の膜を一部除去して、基板1上に露出した部分を、EVAエチレン酢酸ビニル共重合体等を介して太陽電池モジュール6を封入するバックシートとの接着面とする。この接着面は基板1が露出していることが望ましく、透明導電層2の導電質部分が残留していると、絶縁特性が低下する場合がある。またこの時、基板1上の露出した部分に発生した数10μmレベルの微小な傷や溝が、基板1の周りの辺と交わる方向に残留すると、太陽電池パネル端部のシール部分から外部湿分の浸入があった際に、太陽電池モジュール6内部まで湿分が浸入することがあることが判明した。回転砥石研磨で粗削りし、ブラスト研磨で残りの膜を除去するようにすることで、生産効率の低下を抑制しながら、傷や溝の形成を抑えて確実に膜を除去することができる。それにより、太陽電池モジュール6の周縁領域のEVA等を介したバックシートとの接着部分に毛細管現象を発生させる傷や溝により、外部湿分が太陽電池モジュール6内部に浸入することがなくなり、長期信頼性を低下させずに、太陽電池モジュールの周囲領域の研磨を適切に行うことができる。上記の太陽電池パネルの製造方法において、dc1工程の後に、c2工程を行うものと、c2工程を行なわないそれぞれの場合において、第1辺1a、第2辺1b、第3辺1c及び第4辺1dを砥石により生じる研磨溝が横切らないようにしながら、基板1の周縁部14を砥石で研磨する工程を更に具備することが好ましい。砥石は同一番手もしくは更に細かいもので研磨することが好ましい。基板1の各辺を横切らないようにしながら周縁部14を仕上げ研磨するので、太陽電池パネルの端部から太陽電池モジュール内部に向かう傷や溝を伝って基板1の端から外部の湿分が浸入する経路を断ち切ることになり、湿分の浸入を防止することができる。すなわち、太陽電池モジュール6の周縁領域のEVA等を介したバックシートとの接着部分に毛細管現象を発生させる傷や溝により、外部湿分が太陽電池モジュール6内部に浸入することがなくなり、長期信頼性をより向上させるように太陽電池モジュールの周囲領域の研磨を適切に行うことができる。本発明により、太陽電池モジュールの性能低下を抑制して、長期信頼性を低下させずに、太陽電池モジュールの溝加工の工程を適切に行い、溝加工の工程の処理時間を短縮し、太陽電池モジュールの周囲領域の研磨を適切に行い、長期信頼性を向上させることが可能となる。以下、本発明の太陽電池パネルの実施の形態に関して、添付図面を参照して説明する。まず、本発明の太陽電池パネルの実施の形態の構成について、添付図面を参照して説明する。図1は、本発明の太陽電池パネルの実施の形態の構成を示す上面図である。太陽電池パネルは、基板1と、太陽電池モジュール6とを具備する。基板1は、第1辺1aと、第1辺1aと対向する第2辺1bと、第1辺1aと第2辺1bとの間の第3辺1cと、第3辺1cに対向する第4辺1dとを有する。基板1は、透光性を有しており、例えばガラスが好適である。太陽電池モジュール6は、基板1表面における膜の無い周囲領域14の内側に設けられている。太陽電池モジュール6は、複数の太陽電池発電セル5後述を備え、太陽電池モジュール6の端部の内側に設けられたX方向絶縁溝15aと、X方向絶縁溝15bとを有する。X方向絶縁溝15aは、第1辺1aの近傍に第1辺1aに沿うように設けられている。X方向絶縁溝15bは、第2辺1bの近傍に第2辺1bに沿うように設けられている。X方向絶縁溝15a及びX方向絶縁溝15bは、深さ方向に関して、複数の発電セル5の表面である裏面電極層4から基板1の表面へ伸びている。そして、基板1表面に達しているが、基板1の強度を確保するために、基板1の中まで伸びていないことが好ましい。一方、長さ方向に関して、X方向に伸びている。そして、一方の端が第3辺1cの近傍まで伸び、他方の端が第4辺1dの近傍まで伸びている。そして、両端が基板1の端に達していない。X方向絶縁溝15の幅は、例えば50~100μmである。図2は、本発明の太陽電池パネルの実施の形態における太陽電池モジュール6の構成を示す断面図である。図1のXX断面の一部を示している。複数の太陽電池発電セル5の各々は、基板1上に設けられ、第1辺1aに沿って並び、互いに直列に接続されている。発電セル5は、透明導電層2、光電変換層3及び裏面電極層4を含む。透明導電層2は、基板1上に製膜され、Y方向に伸びる溝10により複数の短冊状の太陽電池5の各々に対応するように分割されている。溝10は、深さ方向に関して透明導電層2の表面から基板1の表面へ伸びている。長さ方向に関して第1辺1a及び第2辺1bの近傍まで伸び、基板1の端に達していない。溝10の幅は、例えば10~50μmである。光電変換層3は、薄膜シリコンのp層、i層、n層を積層したもの、更には、この積層したものを複数積層したタンデム型、トリプル型太陽電池を構成している。光電変換層3は、透明導電層2上に設けられ、溝10の隣近傍にY方向に伸びる溝11により複数の太陽電池5の各々に対応するように分割されている。溝11は、深さ方向に関して光電変換層3の表面から透明導電層2の表面へ伸びている。裏面電極層4は、光電変換層3上に設けられ、溝11の隣近傍にY方向に伸びる溝12により複数の太陽電池5の各々に対応するように分割されている。溝12は、深さ方向に関して裏面電極層4の表面から光電変換層3の表面へ伸びている。図3は、図1のA部を拡大した概略図である。X方向絶縁溝15aにおける第3辺1c側の端は、基板1の端から距離d1だけ離れている。図示されていないが、X方向絶縁溝15aにおける第4辺1d側の端も同様に、基板1の端から距離d1だけ離れている。図示していないが、X方向絶縁溝15bの両端についても同様である。基板1の両端から距離d1だけ離すことにより、X方向絶縁溝1515a、15bは、基板の端部まで達していないので、太陽電池パネルの端部から外部湿分が溝の毛細管現象で太陽電池モジュール6内部へと浸入する恐れが無くなる。すなわち、X方向絶縁溝15からの湿分浸入による太陽電池発電セル5の劣化が発生することを防止することができる。それにより、長期信頼性をより向上させるように太陽電池モジュールの端部における絶縁用の溝加工の工程を適切に行うことが可能となる。距離d1は、太陽電池モジュール6の面積をできるだけ大きくとることから、10mm以下が好ましい。一方、太陽電池パネルの端部から外部湿分が浸入することを抑制する各種比較試験を実施したところ、周辺領域14におけるEVA等を介したバックシートとの健全な接着領域が5mm以上あることが望ましいことが判明していることから、距離d1も5mm以上が好ましい。溝10における第1辺1a側の端は、基板1の端から距離d2だけ離れている。図示されていないが、溝10における第2辺1b側の端も同様に、基板1の端から距離d2だけ離れている。基板1の両端から距離d2だけ離すことにより、溝10は、基板1の端部まで達していないので、その溝から太陽電池5へ外部湿分が浸入する恐れが無くなる。すなわち、溝10からの湿分浸入による太陽電池発電セル5の劣化が発生することを防止することができる。それにより、長期信頼性をより向上させるように太陽電池モジュールの溝加工の工程を適切に行うことが可能となる。距離d2は、太陽電池モジュール6の面積をできるだけ大きくとることから、10mm以下が好ましい。一方、絶縁溝15a、15bにおける距離d1と同様に、周辺領域14におけるEVA等を介したバックシートとの健全な接着領域が5mm以上あることが望ましいことから、距離d2も5mm以上が好ましい。本発明では、複数の太陽電池発電セル5の表面である裏面電極層4から基板1の表面へ伸び、第3辺1cの近傍で第3辺1cに沿う溝及び第4辺1dの近傍で第4辺1dに沿うY方向絶縁溝が無い。図9は、発明者らの実験による本発明の太陽電池パネルの絶縁溝の加工形態による性能比較を示す表である。各絶縁溝における条件にて製作した太陽電池パネル10枚をAM1.5、全天日射基準太陽光1000W/m2のソーラシミュレータを用いて発電特性を確認した。XおよびY方向の太陽電池パネルの全周方向に絶縁溝がある従来工程による太陽電池パネル図10の計測値の平均値を100として、比較評価したものである。本発明によるX方向のみに絶縁溝加工した太陽電池パネル図1の特性は、開放電圧Voc、短絡電流Isc、最大出力Pmaxのいずれについても、従来型の太陽電池パネル図10との間で初期性能の差は無かった。一方、比較例としてY方向のみに絶縁溝加工した太陽電池パネルでは、従来工程による太陽電池パネルに対して、特に開放電圧Vocでの性能低下が見られた。これは、絶縁溝工程の後の工程にて行われる太陽電池周辺領域での発電セル5の膜の研磨を行った際に、Y方向においては絶縁溝加工と同様な絶縁効果を得るため、Y方向の絶縁溝加工を省略することが可能である。しかしながら、X方向においては、周辺領域での発電セル5の膜の研磨の際に、複数の発電セル5どうしの直列接続領域において、裏面電極層4と透明導電層2とが短絡を発生し易く、X方向の絶縁溝を省略することが出来ないためである。また、本発明による太陽電池パネル図1を、屋外での過酷な条件を模擬した確認実験も行った。予めAM1.5、全天日射基準太陽光1000W/m2で20時間の光暴露を行い性能安定化させた後に、JISC8938で規定された高温高湿試験温度85°C、湿度85、評価時間1000時間にて、性能に変化が無いことを確認した。すなわち、Y方向絶縁溝を設けなくても、Y方向絶縁溝を有するものと同等の初期性能を得ることができた。従って、太陽電池モジュールの性能低下を抑制しながら、太陽電池モジュールの端部における絶縁用の溝加工の工程の処理時間を短縮することが可能となる。図4は、本発明の太陽電池パネルの実施の形態における周囲領域に関する図である。周囲領域14は、基板に製膜された太陽電池用の膜を研磨により除去された領域である。周囲領域14の膜を除去するにあたり、通常では、回転砥石により研磨やブラスト研磨約10~50μm粒径のアルミナ粒子などを使用のいずれか一方の方法を実施する。しかし、回転砥石の研磨は、除去する膜の膜厚の制御が困難であり、基板1まで削り過ぎると基板1の強度を低下させたり、逆に透明導電層2が残るとEVA等を介してバックシートと接合する接着不良部分の不具合や、残留した透明導電層2を経由した絶縁特性の低下を発生する不具合が発生しやすい。一方、ブラスト研磨は、除去/非除去の領域を区分けするマスキングが煩雑で難しく、除去する膜が厚いときはマスキングの早期な消耗や変形が起き易くなる。本願発明では、初期においては、太陽電池発電セル5の全積層膜厚の50以上を占める裏面電極層と光電変換層の全てと透明導電層2の一部の粗削りを回転砥石の研磨で行い、残りの膜をブラスト研磨で削ることとする。これにより、研磨の精度及びその信頼性を向上させることができる。それにより、基板1まで削り過ぎたり、逆に透明導電層2が残る不具合を防止することができる。それにより、EVA等を介したバックシートと基板1との間の接着状況が均一に密着して接着強度がある良好な状態となり、ここから太陽電池発電セル5へ外部湿分が浸入することを防止でき、長期信頼性を維持することが可能となる。図4において、周囲領域14の膜を回転砥石研磨のみ、または回転砥石研磨とブラスト研磨の組合せで除去した後、本発明では更に周囲領域14においてヘアライン処理を行う。研磨方向21は、ヘアライン処理を行うおよその位置及び方向を示している。ヘアライン処理は、後工程で用いる太陽電池モジュール6を覆うEVA等を介したバックシートと基板1との接着性を高めるとともに、太陽電池パネルの端部の辺から周辺領域14を横切って太陽電池モジュール6側へと伸びる研磨による傷や溝をなくして外部湿分の浸入を断ち切るために行う接着面周囲領域14の仕上げ工程である。周囲領域14の膜を除去するまでの工程で、何らかの理由で周囲領域14を横切って太陽電池モジュール6側へと伸びる傷や溝が残留していると、毛細管現象により太陽電池モジュール6内部に外気からの湿分の浸入を招く恐れがある。このため、最終処理として、膜を除去した後の周囲領域14を砥石で軽く研磨して、ヘアラインを形成する。これにより、傷や溝が残留していてもそれらが研磨、除去され、更に残留した傷や溝においても周辺領域14を横切って太陽電池モジュール6側へと伸びる溝を断ち切るので、基板1とEVA等を介したバックシートとの接着面の密着性と封入の信頼性を極めて高くすることができる。過剰研磨による深いヘアラインを残すとEVA等との接着面の密着性が悪くなり、逆効果になる恐れがあるため、ヘアライン処理に用いる仕上げ砥石は、柔らかめの研磨材が望ましい。そのような研磨材としては、例えば、炭化ケイ素系の400~1200程度を使用することができる。仕上げ砥石は、回転砥石として軽荷重を掛けながら周囲領域14内を自動走行させても良いし、手作業でも良い。ただし、基板1の端を横切って外へ向かうことが無いように、仕上げ砥石を研磨方向21のように動かすようにする。このように、周囲領域14からはみ出ずに研磨することで、傷や溝が残ったとしても基板1の端部まで達していないので、その溝から太陽電池5へ外部湿分が浸入する恐れが無くなる。すなわち、傷や溝からの湿分による太陽電池発電セル5の劣化が発生することを防止することができる。それにより、EVA等を介したバックシートとの接着性を向上させながら、長期信頼性をより向上させることができる。次に、本発明の太陽電池パネルの製造方法の実施の形態について説明する。ここでは、基板1としてのガラス基板上に太陽電池発電セル5として単層アモルファスシリコン薄膜太陽電池を用いた例について説明する。図5~図8は、本発明の太陽電池パネルの製造方法の実施の形態を示す概略図である。1図5a基板1としてソーダフロートガラス基板1.4m×1.1m×板厚:4mmを使用する。基板端面は破損防止にコーナー面取りやR面取り加工されていることが望ましい。2図5b透明導電層2として酸化錫膜SnO2を主成分とする透明電極膜を約500~800nm、熱CVD装置にて約500°Cで製膜処理する。この際、透明電極膜の表面は適当な凹凸のあるテクスチャーが形成される。透明導電層2として、透明電極膜に加えて、基板1と透明電極膜との間にアルカリバリア膜図示されずを形成しても良い。アルカリバリア膜は、酸化シリコン膜SiO2を50~150nm、熱CVD装置にて約500°Cで製膜処理する。3図5cその後、基板1をX-Yテーブルに設置して、レーザーダイオード励起YAGレーザーの第1高調波1064nmを、図の矢印に示すように、透明電極膜の膜面側から入射する。パルス発振:5~20kHzとして加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明電極膜を発電セル5の直列接続方向に対して垂直な方向へ、溝10を形成するように幅約6~10mmの短冊状にレーザーエッチングする。溝10は基板1の端より5~10mmの位置にてエッチングを終了させる。エッチングの終了はレーザー光の停止でも良いが、簡易的には基板1の非レーザーエッチング領域に金属性のマスキング板を設置することで対応が可能である。この基板1の端より5~10mmの位置にてエッチングを終了させることにより、太陽電池パネル端部からの太陽電池モジュール6内部への外部湿分浸入の抑制に、有効な効果を呈する。4図5dプラズマCVD装置により、減圧雰囲気:30~150Pa、約200°Cにて光電変換層3としてのアモルファスシリコン薄膜からなるp層膜/i層膜/n層膜を順次製膜する。光電変換層3は、SiH4ガスとH2ガスとを主原料に、透明導電層2の上に製膜される。太陽光の入射する側からp層、i層、n層がこの順で積層される。光電変換層3は本実施形態では、p層:BドープしたアモルファスSiCを主とし膜厚10~30nm、i層:アモルファスSiを主とし膜厚250~350nm、n層:pドープした微結晶Siを主とし膜厚30~50nmである。またp層膜とi層膜の間には界面特性の向上のためにバッファー層を設けても良い。5図5e基板1をX-Yテーブルに設置して、レーザーダイオード励起YAGレーザーの第2高調波532nmを、図の矢印に示すように、光電変換層3の膜面側から入射する。パルス発振:10~20kHzとして加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明導電層2のレーザーエッチングラインの約100~150μmの横側を、溝11を形成するようにレーザーエッチングする。6図6a裏面電極層4としてAg膜/Ti膜をスパッタリング装置により減圧雰囲気、約150°Cにて順次製膜する。裏面電極層4は本実施形態では、Ag膜:200~500nm、これを保護するものとして防食効果の高いTi膜:10~20nmをこの順に積層する。n層と裏面電極層4との接触抵抗低減と光反射向上を目的に、光電変換層3と裏面電極層4との間にGZOGaドープZnO膜を膜厚:50~100nm、スパッタリング装置により製膜して設けても良い。7図6b基板1をX-Yテーブルに設置して、レーザーダイオード励起YAGレーザーの第2高調波532nmを、図の矢印に示すように、基板1側から入射することで、レーザー光が光電変換層3で吸収され、このとき発生する高いガス蒸気圧を利用して裏面電極層4が爆裂して除去される。パルス発振:1~10kHzとして加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明導電層2のレーザーエッチングラインの約250μm~400μmの横側を、溝12を形成するようにレーザーエッチングする。8図6c発電領域を区分して、基板端周辺の膜端部においてレーザーエッチングによる直列接続部分が短絡し易い影響を除去する。基板1をX-Yテーブルに設置して、レーザーダイオード励起YAGレーザーの第2高調波532nmを、基板1側から入射することで、レーザー光が透明導電層2と光電変換層3で吸収され、このとき発生する高いガス蒸気圧を利用して裏面電極層4が爆裂して除去される。パルス発振:1~10kHzとして加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、基板1の端部から5~15mmの位置を、X方向絶縁溝15を形成するようにレーザーエッチングする。このとき、Y方向絶縁溝は設けない。溝11は基板1の端より5~10mmの位置にてエッチングを終了させる。エッチングの終了はレーザー光の停止でも良いが、簡易的には基板1の非レーザーエッチング領域に金属性のマスキング板を設置することで対応が可能である。この基板1の端より5~10mmの位置にてエッチングを終了させることにより、太陽電池パネル端部からの太陽電池モジュール6内部への外部湿分浸入の抑制に、有効な効果を呈する。9図7a後工程のEVA等を介したバックシートとの健在な接着面を確保するために、基板1周辺周囲領域14の積層膜は、段差があるとともに剥離し易いため、この膜を除去する。まず、基板の端から5~15mmで、前述の図6c工程で設けた絶縁溝15よりも基板端側における裏面電極層4/光電変換層3/透明導電層2において、初期の粗削りを回転砥石の研磨で行う。初期においては、太陽電池発電セル5の全積層膜厚の50以上を占める裏面電極層4と光電変換層3の全てと透明導電層2の一部の粗削りを回転砥石の研磨で削る。粗削りの終了後、残りをブラスト研磨で膜の研磨除去を行う。次に、幅3~5mmの800炭化珪素系研磨材による回転砥石を用いて仕上げの研磨ヘアライン処理により残留した傷や溝においても周辺領域14を横切って太陽電池モジュール6側へと伸びる溝を断ち切る処理を行う。研磨屑や砥粒は基板1を洗浄処理して除去した。10図7b端子箱取付け部分はバックシートに開口貫通窓を設けて集電板を取出す。この開口貫通窓部分には絶縁材を複数層を設置して外部からの湿分などの浸入を抑制する。直列に並んだ一方端の太陽電池発電セル5と、他方端部の太陽電池発電セル5とから銅箔を用いて集電して太陽電池パネル裏側の端子箱部分から電力が取出せるように処理する。銅箔は各部との短絡を防止するために銅箔幅より広い絶縁シートを配置する。集電用銅箔などが所定位置に配置された後に、太陽電池モジュール6の全体を覆い、基板1からはみ出さないようにEVAエチレン酢酸ビニル共重合体等による充填材シートを配置する。EVAの上に、防水効果の高いバックシートを設置する。バックシートは本実施形態では防水防湿効果が高いようにPTEシート/AL箔/PETシートの3層構造よりなる。バックシートまでを所定位置に配置したものを、ラミネータにより減圧雰囲気で内部の脱気を行い約150~160°Cでプレスしながら、EVAを架橋させて密着させる。11図8a太陽電池モジュール6の裏側に端子箱を接着剤で取付ける。12図8b銅箔と端子箱の出力ケーブルとをハンダ等で接続し、端子箱内部を封止剤ポッティング剤で充填して密閉する。これで太陽電池パネルが完成する。13図8cXおよびY方向の太陽電池パネルの全周方向に絶縁溝がある従来工程による太陽電池パネル図10と比較を行うために、図8bまでの工程で形成された太陽電池パネルについて発電検査ならびに、所定の性能試験を行う。発電検査は、AM1.5、全天日射基準太陽光1000W/m2のソーラシミュレータを用いて行う。14図8d発電検査図8cに前後して、所定の性能試験を行う。i絶縁検査ラミネートされた太陽電池パネルの出力端子と基板端面やバックシートなど導電部分との間にDC:1000V負荷を印加して抵抗値≧100MΩなることを確認する。ii耐電圧検査ラミネートされた太陽電池パネルの出力端子と基板端面やバックシートなど導電部分との間にDC:3800Vまたは2200Vを1分間負荷をかけて、絶縁破壊がないことを確認する。iii高温高湿試験製造方法の変更を実施したことによる、構造と製造条件が適切であることの最終確認には、屋外での過酷条件を模擬して、JISC8938に従い、20時間光暴露で予め性能を安定させた後に、高温高湿条件:温度85°C、湿度:85、評価時間1000時間で性能に変化ないことを確認する。外観変化が無く、初期性能値の95以上を確保し、性能に変化ないことを確認する。上記製造方法により、本発明を用いた製品となる太陽電池パネルが製造され、その特性が従来の工程によるものと変わりないことを確認した。また高温高湿試験における長期信頼性確認試験においては、更に評価時間を延長させても外観変化がみられなく、従来の工程より信頼性が向上していることを確認した。本発明では、基板1の両辺第1辺1a及び第2辺1bよりも手前に溝10の両端を設けるようにするので、溝10から太陽電池発電セル5へ外部湿分が浸入する恐れが無くなる。そして、傷や溝からの湿分浸入による太陽電池発電セル5の劣化が発生することを防止することができる。すなわち、長期信頼性をより向上させるように太陽電池モジュールの溝加工の工程を適切に行うことが可能となる。本発明では、X方向絶縁溝15を設けるがY方向絶縁溝を設けないので、溝加工のプロセスを短縮し処理時間を短縮することができる。本発明者の実験から、この場合でも太陽電池モジュールの特性が全く変わらないことが判明している。すなわち、太陽電池モジュールの性能を低下させることなく、太陽電池モジュールの端部の溝加工の工程に必要な処理時間を短縮して、生産性を向上することができる。本発明では、基板1の両辺第1辺1a及び第2辺1bに達しないように溝10の両端を設けるので、溝10から太陽電池発電セル5へ外部湿分が浸入する恐れが無くなる。そして、溝からの湿分浸入による太陽電池発電セル5の劣化が発生することを防止することができる。すなわち、長期信頼性をより向上させるように太陽電池モジュールの溝加工の工程を適切に行うことが可能となる。本発明では、基板1の両辺第3辺1c及び第4辺1dに達しないようにX方向絶縁溝15の両端を設けるので、X方向絶縁溝15から太陽電池発電セル5へ外部湿分が浸入する恐れが無くなる。そして、溝からの湿分浸入による太陽電池発電セル5の劣化が発生することを防止することができる。すなわち、長期信頼性をより向上させるように太陽電池モジュールの溝加工の工程を適切に行うことが可能となる。本発明では、上述のような3つの段階に分けて異なる方法で周囲領域14の研磨を行うので、周囲領域14に傷や溝が残らないようにしながら、周囲領域14の膜を確実に除去することができる。それにより、長期信頼性を低下させずに、太陽電池モジュールの周囲領域の研磨を適切に行うことが可能となる。上記実施の形態では光電変換層3としてアモルファスシリコン薄膜太陽電池を用いたものについて説明したが、本発明は、微結晶シリコン太陽電池、ならびにアモルファスシリコン太陽電池と微結晶シリコン太陽電池を各1~複数層に積層させたタンデム型太陽電池のような他の種類の薄膜太陽電池にも同様に適用可能である。更に本発明は、金属基板などの上に、裏面電極光入射と反対という意味で裏面というを形成し、その上に光電変換層、光入射側透明導電層を形成するタイプの太陽電池にも同様に適用することができる。