"流体を噴出する複数の開口部が設けられた搬送面を備えてなり、所定の幅を有するフィルム状物を前記複数の開口部から噴出する流体によって前記搬送面から浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置であって、前記搬送面は、前記フィルム状物の幅方向中央に対応して搬送方向に延びる中央領域と、幅方向において前記中央領域の両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域と、を有してなり、前記一対の脇領域には、該脇領域毎に、流体を前記面方向と異なる面外方向に噴出する孔部が、前記フィルム状物の幅方向における端部に沿って搬送方向に列となるように設けられることを特徴とする、浮揚搬送装置。前記孔部として、複数の孔が互いに前記フィルム状物の幅方向における端部に沿って間隔を空けて設けられることを特徴とする、請求項1に記載の浮揚搬送装置。前記複数の孔は、それぞれ、面積が0.0025πmm2以上25πmm2以下であることを特徴とする、請求項2に記載の浮揚搬送装置。前記複数の孔は、それぞれ、径の最大値が0.1mm以上10mm以下であることを特徴とする、請求項2に記載の浮揚搬送装置。前記複数の孔は、それぞれ、丸形、三角形、四角形、または多角形のいずれかの形状を呈することを特徴とする、請求項2または3に記載の浮揚搬送装置。前記孔部は、スリットであることを特徴とする、請求項1に記載の浮揚搬送装置。前記孔部における幅方向の中心を基準にする場合、一方の前記脇領域に設けられる前記孔部は、他方の前記脇領域に設けられる前記孔部との間隔が、前記フィルム状物の幅と比較して±5mm以内の範囲であることを特徴とする、請求項1~6のいずれかに記載の浮揚搬送装置。前記開口部として、前記一対の脇領域にそれぞれ複数設けられて前記中央領域に向けて流体を面方向に噴出する脇開口部を備えることを特徴とする、請求項1~7のいずれかに記載の浮揚搬送装置。前記一対の脇領域は、前記孔部が複数列設けられていることで、複数の幅の前記フィルム状物に適用できることを特徴とする、請求項8に記載の浮揚搬送装置。前記複数の脇開口部には、該脇開口部が設けられる前記脇領域毎に、互いに異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、請求項8または9に記載の浮揚搬送装置。前記複数の孔部には、列毎に、互いに異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、請求項8~10のいずれかに記載の浮揚搬送装置。前記開口部として、前記中央領域に設けられて無方向に流体を噴出する複数の中央開口部を備えることを特徴とする、請求項8~11のいずれかに記載の浮揚搬送装置。前記中央開口部には、前記脇開口部に供給される流体の経路とは異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、請求項12に記載の浮揚搬送装置。前記搬送面を二つ備え、前記二つの搬送面は、互いに対向して、前記フィルム状物が通る所定の隙間を形成することを特徴とする、請求項8~13のいずれかに記載の浮揚搬送装置。前記搬送面は、前記中央領域および前記一対の脇領域を備える曲面と、該曲面と連続する平面と、を備えてなり、前記開口部として、前記平面に設けられて前記曲面に向けて流体を面方向に噴出する複数の平面開口部を備えることを特徴とする、請求項8~14のいずれかに記載の浮揚搬送装置。前記搬送面は、前記中央領域および前記一対の脇領域をセットとして、該セットを幅方向に繰り返して有することを特徴とする、請求項8に記載の浮揚搬送装置。このような浮揚搬送装置であっても、フィルム状物は幅方向に±4mm程度蛇行するので、フィルム状物の幅方向のセンタリング性能を向上させることが望まれていた。本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、フィルム状物の幅方向のセンタリング性能を向上させた浮揚搬送装置を提供することを目的とする。1本発明は、流体を噴出する複数の開口部が設けられた搬送面を備えてなり、所定の幅を有するフィルム状物を前記複数の開口部から噴出する流体によって前記搬送面から浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置であって、前記搬送面は、前記フィルム状物の幅方向中央に対応して搬送方向に延びる中央領域と、幅方向において前記中央領域の両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域と、を有してなり、前記一対の脇領域には、該脇領域毎に、流体を前記面方向と異なる面外方向に噴出する孔部が、前記フィルム状物の幅方向における端部に沿って搬送方向に列となるように設けられることを特徴とする、浮揚搬送装置である。本発明によれば、フィルム状物のセンタリング性能を向上させられる。具体的には、フィルム状物の寸法や材質、あるいは搬送する速度などによって異なるが、フィルム状物の幅方向の蛇行量を、従来の10分の1以下である±0.3mm程度に収められる。2本発明はまた、前記孔部として、複数の孔が互いに前記フィルム状物の幅方向における端部に沿って間隔を空けて設けられることを特徴とする、上記1に記載の浮揚搬送装置である。3本発明はまた、前記複数の孔は、それぞれ、面積が0.0025πmm2以上25πmm2以下であることを特徴とする、上記2に記載の浮揚搬送装置である。4本発明はまた、前記複数の孔は、それぞれ、径の最大値が0.1mm以上10mm以下であることを特徴とする、上記2に記載の浮揚搬送装置である。5本発明はまた、前記複数の孔は、それぞれ、丸形、三角形、四角形、または多角形のいずれかの形状を呈することを特徴とする、上記2または3に記載の浮揚搬送装置である。6本発明はまた、前記孔部は、スリットであることを特徴とする、上記1に記載の浮揚搬送装置である。7本発明はまた、前記孔部における幅方向の中心を基準にする場合、一方の前記脇領域に設けられる前記孔部は、他方の前記脇領域に設けられる前記孔部との間隔が、前記フィルム状物の幅と比較して±5mm以内の範囲であることを特徴とする、上記1~6のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。8本発明はまた、前記開口部として、前記一対の脇領域にそれぞれ複数設けられて前記中央領域に向けて流体を面方向に噴出する脇開口部を備えることを特徴とする、上記1~7のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。9本発明はまた、前記一対の脇領域は、前記孔部が複数列設けられていることで、複数の幅の前記フィルム状物に適用できることを特徴とする、上記8に記載の浮揚搬送装置である。10本発明はまた、前記複数の脇開口部には、該脇開口部が設けられる前記脇領域毎に、互いに異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、上記8または9に記載の浮揚搬送装置である。11本発明はまた、前記複数の孔部には、列毎に、互いに異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、上記8~11のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。12本発明はまた、前記開口部として、前記中央領域に設けられて無方向に流体を噴出する複数の中央開口部を備えることを特徴とする、上記8~11のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。13本発明はまた、前記中央開口部には、前記脇開口部に供給される流体の経路とは異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、上記12に記載の浮揚搬送装置である。14本発明はまた、前記搬送面を二つ備え、前記二つの搬送面は、互いに対向して、前記フィルム状物が通る所定の隙間を形成することを特徴とする、上記8~13のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。15本発明はまた、前記搬送面は、前記中央領域および前記一対の脇領域を備える曲面と、該曲面と連続する平面と、を備えてなり、前記開口部として、前記平面に設けられて前記曲面に向けて流体を面方向に噴出する複数の平面開口部を備えることを特徴とする、上記8~14のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。16本発明はまた、前記搬送面は、前記中央領域および前記一対の脇領域をセットとして、該セットを幅方向に繰り返して有することを特徴とする、上記8に記載の浮揚搬送装置である。本発明の上記1~16に記載の浮揚搬送装置によれば、フィルム状物の幅方向のセンタリング性能を向上させられる。以下、図面を参照して、本発明の第1~第16実施形態に係る浮揚搬送装置について詳細に説明する。[第1実施形態]まず、図1~図4を用いて第1実施形態に係る浮揚搬送装置10の構成について説明する。図1Aは、浮揚搬送装置10の外観斜視図である。図1Bは、浮揚搬送装置10の部分拡大斜視図である。図2は、中央領域Pに設けられる中央開口部17をエアチャンバ12の内側から視た斜視図である。図3は、一対の脇領域Q,Rにそれぞれ設けられる脇開口部22をエアチャンバ12の内側から視た斜視図である。図4は、浮揚搬送装置10における搬送面15の断面図である。なお、各図において、図面の簡略化のため、一部の構成の図示を適宜省略する。図1に示す浮揚搬送装置10は、所定の幅を有する一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、走行するフィルム状物F1の途中に配置される。この浮揚搬送装置10は、ブロア装置11で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物F1に噴き付ける。フィルム状物F1は、エアチャンバ12における幅方向の中心に全体に満たされるように配置される。浮揚搬送装置10は、本体となるエアチャンバ12と、このエアチャンバ12にブロア装置11からのエアを供給する一対の供給管13,14と、を備えている。なお、フィルム状物F1を走行させる駆動源図示省略としては、BELLMATIC株式会社東京都西多摩郡瑞穂町が市販するサクションローラなどを採用できる。以下、浮揚搬送装置10の各構成について説明する。エアチャンバ12は、断面視でかまぼこ型をなす長尺形を呈する金属製である。ただし、エアチャンバ12は、金属製であることに限定されず、ポリ塩化ビニル製、ポリエチレン製、ポリプロピレン製などであってもよい。これらの場合、後述する第2の用途例のように水溶液中で用いるときに腐食しない。このエアチャンバ12は、両側面に設けられた一対の供給口図示省略と、フィルム状物F1を搬送する搬送面15と、を備えている。一対の供給口には、それぞれ、供給管13または14が接続される。エアチャンバ12内には、一対の供給管13,14を通じて一対の供給口から、ブロア装置11で圧縮されたエアが供給される。なお、供給口の一方を蓋などで閉塞して、一方の供給管13または14を通じてエアの供給を受けるようにしてもよい。例えば、供給管13が接続される供給口を蓋などで閉塞して、供給管14を通じてエアの供給を受けるようにしてもよい。搬送面15は、断面視で半円弧形の曲面15aと、この曲面15aに滑らかに連続する一対の平面15bと、からなり、フィルム状物F1と対向する。この搬送面15は、一方図面における上側の平面15b、曲面15a、他方図面における下側の平面15bの順に流れる方向を、フィルム状物F1の搬送方向とする。すなわち、搬送面15は、搬送方向を、矢印A1からA2の方向に180°転換する。曲面15aは、フィルム状物F1の幅方向中央に対応して搬送方向A1→A2に延びる中央領域Pと、幅方向において中央領域Pの両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。中央領域Pの幅は、フィルム状物F1の幅と比較して狭くなるように設定されている。一対の脇領域Q,Rの幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Q,Rの面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Pおよび一対の脇領域Q,Rを合わせた幅、すなわち、搬送面15の幅は、フィルム状物F1の幅と比較して広くなるように設定されている。各脇領域Q,Rにおける幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Q,Rにおける幅方向の外側、すなわち、搬送面15の外側には、スペース符号省略が設けられている。なお、中央領域Pの幅は、フィルム状物F1の幅の50以上70以下となるように設定されていることが好ましい。ただし、中央領域Pおよび一対の脇領域Q,Rの幅は、それぞれ、フィルム状物F1の幅などによって適宜設定される。図4に示すように、中央領域Pには、図2Aに示す中央開口部17が複数設けられている。各中央開口部17は、エアチャンバ12の内側に突出する突状部18を備えている。突状部18は、断面視で半円弧形を呈しており、エアチャンバ12の内側に半円形の一対の内孔18a,18bを形成すると共に、中央領域Pの表面に矩形の外孔18cを形成する。エアチャンバ12に供給されたエアは、一対の内孔18a,18bから外孔18cを通じて中央領域Pからフィルム状物F1に噴き付けられる。具体的に、図面に矢印で示すように、一対の内孔18a,18bを通ったエアは、外孔18cの直下で互いにぶつかって流速が弱まる。流速が弱まったエアは、四方八方に拡散する無方向の流れ、すなわち、フィルム状物F1に対する略直交方向で当該フィルム状物F1を押し上げる方向の流れを形成して、外孔18cを通じてフィルム状物F1を押し上げる。なお、中央開口部17におけるエアの無方向の流れは、搬送面15の面方向と異なる面外方向の流れ、すなわち、面方向に対する直角方向の流れを主体とする。中央開口部17の開口率は、全ての内孔18a,18bの面積の合計を中央領域Pの面積で除してから100を乗じた値と定義した場合、3を超えないことが好ましく、1以下であることがより好ましい。なお、本実施形態では、中央開口部17は、断面視で半円弧形を呈する突状部18を備えているが、これに限定されず、図2Bに示す突状部19を備えているようにしてもよい。具体的に、突状部19は、断面視でV字形を呈しており、エアチャンバ12の内側に三角形の一対の内孔19a,19bを形成すると共に、中央領域Pの表面に矩形の外孔19cを形成する。あるいは、図2Cに示す突状部20を備えているようにしてもよい。具体的に、突状部20は、断面視でコ字形を呈しており、エアチャンバ12の内側に矩形の一対の内孔20a,20bを形成すると共に、中央領域Pの表面に矩形の外孔20cを形成する。各脇領域Q,Rには、それぞれ、図3Aに示す脇開口部22が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各脇開口部22は、エアチャンバ12の内側に突出する突状部24を備えている。突状部24は、三角錐の二つの側面をなす形を呈しており、エアチャンバ12の内側に三角形の内孔24aを形成すると共に、脇領域Q,Rの表面に三角形の外孔24bを形成する。内孔24aは、突状部24における脇領域Q,Rの幅方向外側に形成されている。エアチャンバ12に供給されたエアは、内孔24aから外孔24bを通じて各脇領域Q,Rからフィルム状物F1に噴き付けられる。具体的に、図面に矢印で示すように、内孔24aを通ったエアは、中央領域Pに向けて搬送方向と直交する流れ図1Bにおける矢印B1方向の流れを形成して、外孔24bを通じて搬送面15の面方向に噴出する。すなわち、脇領域Qに設けられる脇開口部22と、脇領域Rに設けられる脇開口部22とは、互いに対向するエアの流れを形成する。脇領域Qに設けられる脇開口部22からのエアの流量と、脇領域Rに設けられる脇領域22からのエアの流量とは、互いに略同一となるように設定されている。なお、本実施形態では、脇開口部22は、三角錐の二つの側面をなす形を呈する突状部24を備えているが、これに限定されず、図3Bに示す突状部25を備えているようにしてもよい。具体的に、突状部25は、球面の一部をなす形を呈しており、エアチャンバ12の内側に半楕円形の内孔25aを形成すると共に、脇領域Q,Rの表面に半楕円形の外孔25bを形成する。内孔25aは、突状部25における脇領域Q,Rの幅方向外側に形成されている。あるいは、図3Cに示す突状部26を備えるようにしてもよい。具体的に、突状部26は、四角錐の三つの側面をなす形を呈しており、エアチャンバ12の内側に台形の内孔26aを形成すると共に、脇領域Q,Rの表面に三角形の外孔26bを形成する。内孔26bは、突状部26における脇領域Q,Rの幅方向外側に形成されている。各孔部23は、脇領域Q,Rにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Qに設けられる孔部23は、他方の脇領域Rに設けられる孔部23との間隔が、フィルム状物F1の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部23の互いの間隔は、孔部23における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物F1の幅と比較して、±5mm以内のズレが許容できる。これらの各孔部23は、複数の孔27を備えている。複数の孔27は、それぞれが円形を呈し、互いに所定の間隔を空けて設けられている。各孔部27の大きさは、特に限定されないが、それぞれ、面積が0.025πmm2以上25πmm2以下であること、すなわち、π≒3.14であるから、面積が0.0785mm2以上78.5mm2以下であることが好ましい。あるいは、径の最大値が0.1mm以上10mm以下であることが好ましい。エアチャンバ12に供給されたエアは、孔部23を通じて面外方向図1Bにおける矢印B2方向に噴出して、フィルム状物F1の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物F1が幅方向に位置決めされる。なお、本実施形態では、孔部23は、円形を呈する複数の孔27を備えているが、これに限定されず、楕円その他の丸形、あるいは、三角形、四角形などの多角形を呈する複数の小孔図示省略を備えるようにしてもよい。この場合、複数の小孔は、プレス打抜きパンチングによって形成される。あるいは、孔部23として、スリット図示省略を構成するようにしてもよい。図1に戻って説明する。各平面15bは、それぞれ、平面領域Sを有してなる。各平面領域Sには、それぞれ、平面開口部図示省略が複数設けられていると共に、搬送方向に一対の列となるように孔部23が設けられている。各平面開口部は、図3Aに示す脇開口部22と同様の形状を呈する。すなわち、各平面開口部は、エアチャンバ12の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。ただし、内孔は、突状部における平面領域Sの搬送方向外側に形成されている。エアチャンバ12に供給されたエアは、内孔から外孔を通じて平面領域Sからフィルム状物F1に噴き付けられる。具体的に、内孔を通ったエアは、外孔を通じて曲面15aに向けて搬送方向に沿った流れ図1Bにおける矢印B3方向の流れを形成して、搬送面15の面方向に噴出する。これにより、各平面15bにおけるフィルム状物F1の安定性を保ち、バタツキに起因する品質不良の発生をなくせる。各平面領域Sにおける平面開口部の開口率は、それぞれ、一方または他方の平面領域Sにおける全ての内孔の面積の合計を一方または他方の平面領域Sの面積で除してから100を乗じた値と定義した場合、3を超えないことが好ましく、1以下であることがより好ましい。各孔部23は、平面領域Sにおける幅方向の外側にそれぞれ設けられ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一対の孔部23は、互いの間隔が、フィルム状物F1の幅と略同じになるように設定されている。なお、各平面15bは、平面領域Sを有していなくてもよい。すなわち、各平面15bは、複数の平面開口部や一対の孔部23が設けられていない只の平面であってもよい。次に、浮揚搬送装置10におけるフィルム状物F1のセンタリング動作について、図5に基づいて説明する。図5は、浮揚搬送装置10の正面図であり、Aはフィルム状物F1の定常状態を示し、Bはフィルム状物F1が蛇行した状態を示す。図5Aに示すように、浮揚搬送装置10によって浮揚されつつ搬送されるフィルム状物F1は、定常状態において、幅方向における両端部が、脇領域Q,Rにおける幅方向の中心、すなわち、孔部23に重なるように位置する。各脇領域Q,Rは、それぞれ、そのうちの略50の領域がフィルム状物F1と重なる。この定常状態において、脇領域Qに設けられた脇開口部22からのエアの力は、脇領域Rに設けられた脇開口部22からのエアの力との間で均衡が保たれる。各脇領域Q,Rに設けられた孔部23からのエアの力は、定常状態に維持する力としてフィルム状物F1に作用する。一方、図5Bに示すように、浮揚搬送装置10によって浮揚されつつ搬送されるフィルム状物F1は、何らかの原因により蛇行した状態において、幅方向における両端部が、脇領域Q,Rにおける幅方向の中心からズレるように位置する。各脇領域Q,Rは、それぞれ、そのうちの50より多い領域、またはそのうちの50より少ない領域がフィルム状物F1と重なる。例えば、脇領域Qは、そのうちの略80の領域がフィルム状物F1と重なり、脇領域Rは、そのうちの略20の領域がフィルム状物F1と重なる。このフィルム状物F1が蛇行した状態において、脇領域Qに設けられた脇開口部22からのエアの力は、脇領域Rに設けられた脇開口部22からのエアの力との間で均衡が崩れている。フィルム状物F1が脇領域Qの方向に蛇行している場合、脇領域Qに設けられた脇開口部22からのエアの力が、脇領域Rに設けられた脇開口部22からのエアの力と比較して大きい。脇領域Q,Rに設けられた脇開口部22全体としてのエアの力は、脇領域Qから脇領域Rの方向、すなわち、フィルム状物F1が定常状態に復帰する方向に作用する。この力は、フィルム状物F1のズレが大きいほど大きく、定常状態に近いほど小さい。脇領域Qの方向に蛇行していたフィルム状物F1は、定常状態にほぼ復帰し、あるいは、さらに脇領域Rの方向に蛇行する。脇領域Q,Rに設けられた脇開口部22全体としてのエアの力は、定常状態に近付くにつれて漸次小さくなるので、次第に定常状態にほぼ復帰する。そして、孔部23からのエアがフィルム状物F1の端部に作用して、最終的に定常状態に復帰する。フィルム状物F1が脇領域Rの方向に蛇行している場合、脇領域Rに設けられた脇開口部22からのエアの力が、脇領域Qに設けられた脇開口部22からのエアの力と比較して大きい。脇領域Q,Rに設けられた脇開口部22全体としてのエアの力は、脇領域Rから脇領域Qの方向、すなわち、フィルム状物F1が定常状態に復帰する方向に作用する。脇領域Rの方向に蛇行していたフィルム状物F1は、定常状態にほぼ復帰し、あるいは、さらに脇領域Qの方向に蛇行する。脇領域Q,Rに設けられた脇開口部22全体としてのエアの力は、定常状態に近付くにつれて漸次小さくなるので、次第に定常状態にほぼ復帰する。そして、孔部23からのエアがフィルム状物F1の端部に作用して、最終的に定常状態に復帰する。各脇領域Q,Rに設けられた孔部23からのエアの力は、定常状態に復帰した後にさらに他方の脇領域Q,Rの方向に蛇行することを防止する力としてフィルム状物F1に作用する。次に、浮揚搬送装置の用途例について説明する。[第1の用途例]まず、浮揚搬送装置の第1の用途例について、図6に基づいて説明する。図6は、浮揚搬送装置10を適用した乾燥システム29に係る概略構成図である。なお、浮揚搬送装置10,31へのエアの供給経路の図示は適宜省略する。図6に示す乾燥システム29は、フィルム状物F1をエアによって浮揚搬送しつつ乾燥させるシステムであり、本発明に係る浮揚搬送装置10,31を適用している。この乾燥システム29は、システムの中核をなす乾燥炉30と、この乾燥炉30内に適宜配置された複数の浮揚搬送装置10と、これら複数の浮揚搬送装置10と共に乾燥炉30内に適宜配置された二つの浮揚搬送装置31と、乾燥炉30からエアを回収し、回収したエアを圧縮してから各浮揚搬送装置10,31に供給するブロア装置11と、このブロア装置11が回収するエアを濾過するフィルタ32と、各浮揚搬送装置10,30に供給されるエアを加熱するヒーター33と、各浮揚搬送装置10,20に供給されるエアの圧力を計測する圧力計34と、を備えている。複数の浮揚搬送装置10は、乾燥炉30内に、上下に平行に、かつ、上下が互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。これら複数の浮揚搬送装置10には、フィルム状物F1がS字形を描くように巻き掛けられる。これにより、乾燥炉30の省スペースを実現する。二つの浮揚搬送装置31は、乾燥炉30におけるフィルム状物F1の入口30aまたは出口30bの傍らに、それぞれ配置されている。これら二つの浮揚搬送装置31は、それぞれ、断面視で90°の円弧形を呈する曲面からなる搬送面符号省略を備えている。各浮揚搬送装置31には、フィルム状物F1がL字形を描くように巻き掛けられる。各浮揚搬送装置10,31に供給されたエアは、フィルム状物F1に噴き付けられる。[第2の用途例]次に、浮揚搬送装置36の第2の用途例について、図7に基づいて説明する。図7は、浮揚搬送装置10を適用した洗浄システム37に係る概略構成図である。なお、浮揚搬送装置31へのエアの供給経路の図示は適宜省略する。図7に示す洗浄システム37は、フィルム状物F1を、酸性やアルカリ性を示す水溶液などの液体Lによって浮揚搬送しつつ洗浄するシステムであり、本発明に係る浮揚搬送装置36,31を適用している。浮揚搬送装置36は、所定の幅を有する一のフィルム状物F1を液体Lによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ポンプ39で圧縮された液体Lの供給を受けて、当該液体Lをフィルム状物F1に噴き付ける。なお、浮揚搬送装置36の基本構成は、浮揚搬送装置10と同様である。洗浄システム37は、システムの中核をなす液槽38と、この液槽38内に適宜配置され、液体に浸された複数の浮揚搬送装置36と、液槽38から液体Lを回収し、回収した液体Lを各浮揚搬送装置36に供給するポンプ39と、液槽38内の液体面上方に適宜配置された二つの浮揚搬送装置31と、液槽38外に適宜配置された二つの浮揚搬送装置31と、各浮揚搬送装置31にエアを供給するブロア装置図示省略と、を備えている。複数の浮揚搬送装置36は、液槽38内に、上下に平行に、かつ、上下が互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。これら複数の浮揚搬送装置36には、フィルム状物F1がS字形を描くように巻き付けられる。これにより、液槽38の省スペースを実現する。各浮揚搬送装置36に供給された液体Lは、フィルム状物F1に噴き付けられる。液槽38内の二つの浮揚搬送装置31、および液槽38外の二つの浮揚搬送装置31は、液槽38におけるフィルム状物F1の入口38aまたは出口38bの傍らに、それぞれ配置されている。各浮揚搬送装置31には、フィルム状物F1がL字形を描くように巻き付けられる。各浮揚搬送装置31に供給されたエアは、フィルム状物F1に噴き付けられる。このように、浮揚搬送装置10によれば、フィルム状物F1のセンタリング性能を向上させられる。具体的には、フィルム状物F1の寸法や材質、あるいは搬送する速度などによって異なるが、フィルム状物F1の幅方向の蛇行量を、従来の10分の1以下である±0.3mm程度に収められる。[第2実施形態]次に、図8Aを用いて、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65の構成について説明する。図8Aは、浮揚搬送装置65における搬送面67の断面図である。なお、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65の特徴部分のみを説明し、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10と同様の構成、作用、および効果についての説明は省略する。後述する第3~第16実施形態についても、特徴部分のみを説明し、他の実施形態と同様の構成、作用、および効果についての説明は、図面に符号を付すなどして省略する。図8Aに示す浮揚搬送装置65は、互いに異なる所定の幅を有する二つのフィルム状物F1,F2から選択された一のフィルム状物F1またはF2を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。各フィルム状物F1,F2は、エアチャンバ66における幅方向の中心に配置される。なお、相対的に幅が狭いフィルム状物をF1とし、相対的に幅が広いフィルム状物をF2として説明する。浮揚搬送装置65は、エアチャンバ66などを備えている。エアチャンバ49は、フィルム状物F1またはF2を搬送する搬送面67などを備えている。搬送面67は、フィルム状物F1,F2の幅方向中央に対応して搬送方向A1→A2に延びる中央領域Pと、幅方向において中央領域Pの両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域Q,Rと、搬送方向に延びて脇領域Qを二つの脇領域Q1,Q2に分ける中間領域Tと、搬送方向に延びて脇領域Rを二つの脇領域R1,R2に分ける中間領域Uと、を有してなる。中央領域Pの幅は、フィルム状物F1の幅と比較して狭くなるように設定されている。一対の脇領域Q1,R1の幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Q1,R1の面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Pおよび一対の脇領域Q1,R1を合わせた幅は、フィルム状物F1の幅と比較して広くなるように設定されている。一対の中間領域T,Uの幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の中間領域T,Uの面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域P、一対の脇領域Q1,R1、および一対の中間領域T,Uを合わせた幅は、フィルム状物F2の幅と比較して狭くなるように設定されている。一対の脇領域Q2,R2の幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Q2,R2の面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域P、一対の脇領域Q1,R1、一対の中間領域T,U、および一対の脇領域Q2,R2を合わせた幅、すなわち、搬送面67の幅は、フィルム状物F2の幅と比較して広くなるように設定されている。各脇領域Q1,R1における幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Q2,R2における幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物F2の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Q2,R2における幅方向の外側、すなわち、搬送面67の外側には、スペース符号省略が設けられている。なお、中央領域Pの幅は、フィルム状物F1の幅の50以上70以下となるように設定されていることが好ましい。また、中央領域P、一対の脇領域Q1,R1、および一対の中間領域T,Uを合わせた幅は、フィルム状物F2の幅の50以上70以下となるように設定されていることが好ましい。ただし、中央領域P、一対の脇領域Q1,R1、一対の中間領域T,U、および一対の脇領域Q2,R2の幅は、それぞれ、フィルム状物F1,F2の幅などによって適宜設定される。中央領域Pには、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10と異なり、中央開口部17図2A参照が設けられていない。エアチャンバ66に供給されたエアは、中央領域Pからフィルム状物F1またはF2に噴き付けられることはない。各脇領域Q1,R1には、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各孔部23は、脇領域Q1,R1における幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Q1に設けられる孔部23は、他方の脇領域R1に設けられる孔部23との間隔が、フィルム状物F1の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部23の互いの間隔は、孔部23における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物F1の幅と比較して、±5mm以内のズレが許容できる。エアチャンバ66に供給されたエアは、脇開口部22を通じて中央領域Pに向けて搬送方向と直交する流れを形成して、各脇領域Q1,R1からフィルム状物F1またはF2に噴き付けられると共に、孔部23を通じてフィルム状物F1の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物F1が幅方向に位置決めされる。脇領域Q1における脇開口部22の開口率は、脇領域Q1における全ての内孔24a図3A参照の面積の合計を脇領域Q1の面積で除してから100を乗じた値と定義した場合、3を超えないことが好ましく、1以下であることがより好ましい。脇領域R1における脇開口部22の開口率は、脇領域Q1における脇開口部22の開口率と同様に定義した場合、3を超えないことが好ましく、1以下であることがより好ましい。各中間領域T,Uには、中央開口部17または脇開口部22のような開口部は設けられていない。エアチャンバ66に供給されたエアは、各中間領域T,Uからフィルム状物F2に噴き付けられることはない。各脇領域Q2,R2には、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各孔部23は、脇領域Q2,R2における幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物F2の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Q2に設けられる孔部23は、他方の脇領域R2に設けられる孔部23との間隔が、フィルム状物F2の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部23の互いの間隔は、孔部23における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物F2の幅と比較して、±5mm以内のズレが許容できる。エアチャンバ66に供給されたエアは、脇開口部22を通じて中央領域Pに向けて搬送方向と直交する流れを形成して、各脇領域Q2,R2からフィルム状物F2に噴き付けられると共に、孔部23を通じてフィルム状物F2の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物F2が幅方向に位置決めされる。脇領域Q2,R2における脇開口部22の開口率は、それぞれ、脇領域Q1における脇開口部22の開口率と同様に定義した場合、3を超えないことが好ましく、1以下であることがより好ましい。なお、浮揚搬送装置65におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作は、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。フィルム状物F2を浮揚させつつ搬送する場合、何らかの原因によりフィルム状物F2が蛇行したときであっても、脇領域Q1に設けられた脇開口部22からのエアの力は、脇領域R1に設けられた脇開口部22からのエアの力との間で均衡が保たれている。すなわち、各脇領域Q1,R1に設けられた脇開口部22からのエアがフィルム状物F2に影響を及ぼすことはない。[第3実施形態]次に、図8Bを用いて、第3実施形態に係る浮揚搬送装置69の構成について説明する。図8Bは、浮揚搬送装置69における搬送面71の断面図である。図8Bに示す浮揚搬送装置69は、二つのフィルム状物F1,F2から選択された一のフィルム状物F1またはF2を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置69は、エアチャンバ70などを備えている。エアチャンバ70は、搬送面71などを備えている。搬送面71は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。中央領域Pには、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65と同様、中央開口部17図2A参照が設けられていない。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に二の列となるように孔部23が設けられている。幅方向における内側の各孔部23は、脇領域Q,Rにおける幅方向の内側にそれぞれ設けられ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。幅方向における外側の各孔部23は、脇領域Q,Rにおける幅方向の外側にそれぞれ設けられ、フィルム状物F2の幅方向における端部と略重なるように設定されている。なお、浮揚搬送装置69におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作は、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作に準ずる。[第4実施形態]次に、図8Cを用いて、第4実施形態に係る浮揚搬送装置73の構成について説明する。図8Cは、浮揚搬送装置73における搬送面63の断面図である。図8Cに示す浮揚搬送装置73は、二つのフィルム状物F1,F2から選択された一のフィルム状物F1またはF2を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置73は、エアチャンバ74などを備えている。エアチャンバ74は、搬送面63などを備えている。搬送面63は、中央領域Pと、一対の脇領域Q1,R1と、一対の中間領域T,Uと、一対の脇領域Q2,R2と、を有してなる。中央領域Pには、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65と異なり、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q1,Q2,R1,R2には、それぞれ、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65と同様、脇開口部22図3A参照が複数設けられている。各中間領域T,Uには、それぞれ、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65と異なり、中間開口部図示省略が複数設けられている。各中間開口部は、図2Aに示す中央開口部17と同様の形状を呈する。すなわち、各中間開口部は、エアチャンバ74の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。エアチャンバ74に供給されたエアは、内孔から外孔を通じて無方向の流れを形成して、各中間領域T,Uからフィルム状物F2に噴き付けられる。中間領域Tにおける中間開口部の開口率は、中間領域Tにおける全ての内孔の面積の合計を中間領域Tの面積で除してから100を乗じた値と定義した場合、3を超えないことが好ましく、1以下であることがより好ましい。中間領域Uにおける中間開口部の開口率は、中間領域Tにおける中間開口部の開口率と同様に定義した場合、3を超えないことが好ましく、1以下であることがより好ましい。なお、浮揚搬送装置73におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作は、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作に準ずる。フィルム状物F1を浮揚させつつ搬送する場合、各中間領域T,Uに設けられた中間開口部からのエアは、各脇領域Q2,R2に設けられた脇開口部22からのエアをフィルム状物F1から遮蔽する。これにより、各脇領域Q2,R2に設けられた脇開口部22からのエアがフィルム状物F1に作用することを防止する。フィルム状物F2を浮揚させつつ搬送する場合、何らかの原因によりフィルム状物F2が蛇行したときであっても、脇領域Q1に設けられた脇開口部22からのエアの力は、脇領域R1に設けられた脇開口部22からのエアの力との間で均衡が保たれている。すなわち、各脇領域Q1,R1に設けられた脇開口部22からのエアがフィルム状物F2に影響を及ぼすことはない。[第5実施形態]次に、図8Dを用いて、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89の構成について説明する。図8Dは、浮揚搬送装置89における搬送面91の断面図である。図8Dに示す浮揚搬送装置89は、一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置89は、エアチャンバ90などを備えている。エアチャンバ90は、搬送面91などを備えている。搬送面91は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。中央領域Pには、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10と異なり、中央開口部17図2A参照が設けられていない。このため、中央領域Pの幅が広い場合には、フィルム状物F1におけるエアが噴き付けられない領域が広くなり、当該フィルム状物F1を浮揚させる力が不足する傾向にある。すなわち、中央領域Pの幅は、狭く設定されていることが好ましい。各脇領域Q,Rには、それぞれ、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10と同様、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるよう孔部23が設けられている。なお、浮揚搬送装置89におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。[第6実施形態]次に、図9Aを用いて、第6実施形態に係る浮揚搬送装置140の構成について説明する。図9Aは、浮揚搬送装置140における搬送面149の断面図である。図9Aに示す浮揚搬送装置140は、一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置140は、エアチャンバ144などを備えている。エアチャンバ144は、搬送面149などを備えている。搬送面149は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。中央領域Pには、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10と同様、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10と同様、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。なお、浮揚搬送装置140におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。[第7実施形態]次に、図9Bを用いて、第7実施形態に係る浮揚搬送装置174の構成について説明する。図9Bは、浮揚搬送装置174における搬送面176の断面図である。図9Bに示す浮揚搬送装置174は、選択された一のフィルム状物F1またはF2を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、各フィルム状物F1,F2は、エアチャンバ175における幅方向の一端を基準に配置される。この浮揚搬送装置174は、グラビア印刷等に用いられる。浮揚搬送装置174は、エアチャンバ175などを備えている。エアチャンバ175は、搬送面176などを備えている。搬送面176は、中央領域Pと、一対の脇領域Q1,Rと、中間領域Tと、脇領域Q2と、を有してなる。脇領域Q1における幅方向の中心は、脇領域Rにおける幅方向の中心と共に、フィルム状物F1の幅方向における端部と重なるように設定されている。脇領域Q2における幅方向の中心は、脇領域Rにおける幅方向の中心と共に、フィルム状物F2の幅方向における端部と重なるように設定されている。中央領域Pには、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65と同様、中央開口部17図2A参照が設けられていない。各脇領域Q1,R,Q2には、それぞれ、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65と同様、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。中間領域Tには、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65と同様、中間開口部が設けられていない。なお、浮揚搬送装置174におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作は、第2実施形態に係る浮揚搬送装置65におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作に準ずる。[第8実施形態]次に、図9Cを用いて、第8実施形態に係る浮揚搬送装置178の構成について説明する。図9Cは、浮揚搬送装置178における搬送面180の断面図である。図9Cに示す浮揚搬送装置178は、一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置178は、エアチャンバ179などを備えている。エアチャンバ179は、搬送面180などを備えている。搬送面180は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。中央領域Pには、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89と同様、中央開口部17図2A参照が設けられていない。各脇領域Q,Rには、それぞれ、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89と異なり、脇開口部図示省略が複数設けられていると共に、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89と同様、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。脇開口部は、図2Aに示す中央開口部17と同様の形状を呈する。すなわち、各脇開口部は、エアチャンバ179の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。なお、浮揚搬送装置178におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89におけるフィルム状物F1のセンタリング動作と異なり、各脇領域Q,Rに設けられた孔部23からのエアの力のみによってなされる。このように、本発明は、中央領域Pに向けて流体を面方向に噴出する脇開口部22図3A参照を備えていなくてもよい。[第9実施形態]次に、図10を用いて、第9実施形態に係る浮揚搬送装置76の構成について説明する。図10Aは、浮揚搬送装置76の外観斜視図である。図10Bは、浮揚搬送装置76の側面図である。図10Aおよび図10Bに示す浮揚搬送装置76は、一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置76は、本体となる第1エアチャンバ77と、この第1エアチャンバ78と対をなす第2エアチャンバ78と、第1エアチャンバ77にブロア装置11からのエアを供給する一対の供給管13,14と、第2エアチャンバ78にブロア装置11からのエアを供給する供給管79と、を備えている。第1エアチャンバ77は、断面視で凸となる略底浅茶碗形を呈する。この第1エアチャンバ77は、一対の供給口図示省略と、搬送面80と、を備えている。搬送面80は、断面視で凸となる円弧形の曲面80aと、この曲面80aに滑らかに連続する一対の平面80bと、からなり、フィルム状物F1と対向する。この搬送面80は、一方図面における右側の平面80b、曲面80a、他方図面における左側の平面80bの順に流れる方向を、フィルム状物F1の搬送方向とする。すなわち、搬送面80は、搬送方向を、矢印A1からA2の方向に約120°転換する。搬送面80は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。中央領域Pには、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89と同様、中央開口部17図2A参照が設けられていない。各脇領域Q,Rには、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89と同様、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各孔部23は、脇領域Q,Rにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。第2エアチャンバ78は、断面視で凹となる略底浅茶碗形を呈する。この第2エアチャンバ78は、上面に設けられた供給口図示省略と、搬送面81と、を備えている。搬送面81は、断面視で凹となる円弧形の曲面81aと、この曲面81aに滑らかに連続する一対の平面81bと、からなる。この第2エアチャンバ78の搬送面81は、第1エアチャンバ77の搬送面80と対向して、その搬送面80と共に、フィルム状物F1が通る隙間を形成する。搬送面81は、一方図面における右側の平面81b、曲面81a、他方図面における左側の平面81bの順に流れる方向を、フィルム状物F1の搬送方向とする。搬送面81は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。中央領域Pには、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89と同様、中央開口部17図2A参照が設けられていない。各脇領域Q,Rには、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89と同様、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各孔部23は、脇領域Q,Rにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、第2エアチャンバ78の各孔部23は、第1エアチャンバ77の孔部23と対向するように設けられている。なお、浮揚搬送装置76におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第5実施形態に係る浮揚搬送装置89におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。[第10実施形態]次に、図11Aを用いて、第10実施形態に係る浮揚搬送装置83の構成について説明する。図11Aは、浮揚搬送装置83における搬送面86,87の断面図である。図11Aに示す浮揚搬送装置83は、二つのフィルム状物F1,F2から選択された一のフィルム状物F1またはF2を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置83は、第1エアチャンバ84と、第2エアチャンバ85と、などを備えている。第1エアチャンバ84は、搬送面86などを備えている。搬送面86は、中央領域Pと、一対の脇領域Q1,R1と、一対の中間領域T,Uと、一対の脇領域Q2,R2と、を有してなる。第4実施形態に係る浮揚搬送装置73と同様、中間領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q1,R1には、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各中間領域T,Uには、それぞれ、中間開口部が複数設けられている。各脇領域Q2,R2には、それぞれ、脇開口部22が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。第2エアチャンバ85は、搬送面87などを備えている。搬送面87は、第1エアチャンバ84の搬送面86と対向して、その搬送面86と共に、フィルム状物F1またはF2が通る隙間を形成する。搬送面87は、中央領域Pと、一対の脇領域Q1,R1と、一対の中間領域T,Uと、一対の脇領域Q2,R2と、を有してなる。搬送面87は、搬送面86と同様であり、中間領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q1,R1には、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各中間領域T,Uには、それぞれ、中間開口部が複数設けられている。各脇領域Q2,R2には、それぞれ、脇開口部22が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。なお、浮揚搬送装置83におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作は、第4実施形態に係る浮揚搬送装置73におけるフィルム状物F1,F2のセンタリング動作に準ずる。[第11実施形態]次に、図11Bを用いて、第11実施形態に係る浮揚搬送装置104の構成について説明する。図11Bは、浮揚搬送装置104における搬送面107,108の外観斜視図である。図11Bに示す浮揚搬送装置104は、一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置104は、第1エアチャンバ105と、第2エアチャンバ106と、などを備えている。第1エアチャンバ105は、搬送面107などを備えている。搬送面107は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。第6実施形態に係る浮揚搬送装置140と同様、中間領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。第2エアチャンバ106は、搬送面108などを備えている。搬送面108は、第1エアチャンバ105の搬送面107と対向して、その搬送面107と共に、フィルム状物F1が通る隙間を形成する。搬送面108は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。搬送面108は、搬送面107と同様であり、中間領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。なお、浮揚搬送装置104におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第6実施形態に係る浮揚搬送装置140におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。[第12実施形態]次に、図12を用いて、第12実施形態に係る浮揚搬送装置109の構成について説明する。図12は、浮揚搬送装置109の外観斜視図である。図12に示す浮揚搬送装置109は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ブロア装置110,111で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物F1に噴き付ける。この浮揚搬送装置109は、本体となる一対の第1エアチャンバ112と、これら一対の第1エアチャンバ112と共に本体となる一対の第2エアチャンバ113と、一対の第1エアチャンバ112にブロア装置110からのエアを供給する二対の供給管13,14と、一対の第2エアチャンバ113にブロア装置111からのエアを供給する二つの供給管114と、を備えている。第1エアチャンバ112は、搬送面115などを備えている。搬送面115は、曲面115aと一対の平面115bとからなり、フィルム状物F1と対向する。曲面115aは、曲面領域Vを有してなる。この曲面領域Vには、曲面開口部図示省略が複数設けられていると共に、搬送方向に対の列となるように孔部23が幅方向に繰り返して設けられている。各曲面開口部は、図2Aに示す中央開口部17と同様の形状を呈する。すなわち、各曲面開口部は、第1エアチャンバ112の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。第1エアチャンバ112に供給されたエアは、内孔から外孔を通じて無方向の流れを形成して、曲面領域Vからフィルム状物F1に噴き付けられる。一対の平面115bは、それぞれ、平面領域Sを有してなる。各平面領域Sには、それぞれ、平面開口部図示省略が複数設けられていると共に、搬送方向に対の列となるように孔部23が繰り返して設けられている。第2エアチャンバ113は、搬送面116などを備えている。搬送面116は、平行四辺形略長方形の平面116aからなり、フィルム状物F1と対向する。平面116aは、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を一つのセットとして、当該セットを幅方向に繰り返して有する。本実施形態では、五つのセットを繰り返す。各中央領域Pおよび各脇領域Q,Rは、それぞれ、平行四辺形略長方形を呈する。各中央領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。一対の第1エアチャンバ112と、一対の第2エアチャンバ113とは、各第1エアチャンバ112の平面115bと、各第2エアチャンバ113の平面116aと、が連続し、すなわち、各第1エアチャンバ112の搬送面115と、各第2エアチャンバ113の搬送面116と、が連続して周面をなすように配置される。これにより、中央領域Pを基準としてフィルム状物F1を螺旋状に巻き付けることが可能となる。なお、浮揚搬送装置109におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。[第13実施形態]次に、図13を用いて、第13実施形態に係る浮揚搬送装置120の構成について説明する。図13は、浮揚搬送装置120の外観斜視図である。図13に示す浮揚搬送装置120は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置120は、本体となる一対の第1エアチャンバ118と、これら一対の第1エアチャンバ118と共に本体となる一対の第2エアチャンバ121と、二対の供給管13,14と、二つの供給管114と、を備えている。第1エアチャンバ118は、搬送面119などを備えている。搬送面119は、曲面119aと一対の平面119bとからなり、フィルム状物F1と対向する。曲面119aは、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を一つのセットとして、当該セットを幅方向に繰り返して有する。各中央領域Pおよび各脇領域Q,Rは、それぞれ、平面展開視で平行四辺形略長方形を呈する。各中央領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各平面119bは、それぞれ、平面領域Sを有してなる。各平面領域Sには、それぞれ、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10と同様、平面開口部図示省略が複数設けられていると共に、搬送方向に対の列となるように孔部23が繰り返して設けられている。第2エアチャンバ121は、搬送面122などを備えている。搬送面122は、平面122aからなり、フィルム状物F1と対向する。平面122aは、平面領域Wを有してなる。この平面領域Wには、平面開口部図示省略が複数設けられていると共に、搬送方向に対の列となるように孔部23が繰り返して設けられている。各平面開口部は、図2Aに示す中央開口部17と同様の形状を呈する。すなわち、各平面開口部は、第2エアチャンバ121の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。第2エアチャンバ121に供給されたエアは、内孔から外孔を通じて無方向の流れを形成して、平面領域Wからフィルム状物F1に噴き付けられる。一対の第1エアチャンバ118と、一対の第2エアチャンバ121とは、各第1エアチャンバ118の平面119bと、各第2エアチャンバ121の平面122aと、が連続し、すなわち、各第1エアチャンバ118の搬送面119と、各第2エアチャンバ121の搬送面122と、が連続して周面をなすように配置される。これにより、中央領域Pを基準としてフィルム状物F1を螺旋状に巻き付けることが可能となる。なお、浮揚搬送装置120におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第12実施形態に係る浮揚搬送装置109におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。本実施形態の浮揚搬送装置120は、一対の第2エアチャンバ121を備えているが、これら一対の第2エアチャンバ121を備えないようにしてもよい。[第14実施形態]次に、図14を用いて、第14実施形態に係る浮揚搬送装置160の構成について説明する。図14は、浮揚搬送装置160の外観斜視図である。図14に示す浮揚搬送装置160は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置160は、本体となる一対の第1エアチャンバ157と、第2エアチャンバ121と、などを備えている。第1エアチャンバ157は、搬送面158などを備えている。搬送面158は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を一つのセットとして、当該セットを幅方向に繰り返して有する。各中央領域Pおよび各脇領域Q,Rは、それぞれ、平面展開視で平行四辺形略長方形を呈する。第13実施形態に係る浮揚搬送装置120と同様、各中央領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。一対のエアチャンバ157と、一対の第2エアチャンバ121とは、各エアチャンバ157の平面158bと、各第2エアチャンバ121の平面122aと、が連続し、すなわち、各エアチャンバ157の搬送面158と、各第2エアチャンバ121の搬送面122と、が連続して周面をなすように配置される。これにより、中央領域Pを基準としてフィルム状物F1を螺旋状に巻き付けることが可能となる。なお、浮揚搬送装置160におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第13実施形態に係る浮揚搬送装置120におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。本実施形態の浮揚搬送装置160は、一対の第2エアチャンバ121を備えているが、これら一対の第2エアチャンバ121を備えないようにしてもよい。[第15実施形態]次に、図15を用いて、第15実施形態に係る浮揚搬送装置125の構成について説明する。図15Aは、浮揚搬送装置125の正面図である。図15Bは、浮揚搬送装置125の側面図である。図15Aおよび図15Bに示す浮揚搬送装置125は、一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置125は、本体となるエアチャンバ126と、供給管127と、を備えている。エアチャンバ126は、直方体の形を呈する。このエアチャンバ126は、供給口図示省略と、搬送面128と、を備えている。供給口には、供給管127が接続される。エアチャンバ126内には、供給管127を通じて供給口から、ブロア装置11で圧縮されたエアが供給される。搬送面128は、平面128aからなり、フィルム状物F1と対向する。この搬送面128は、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有してなる。中央領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。各孔部23は、脇領域Q,Rにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物F1の幅方向における端部と略重なるように設定されている。なお、浮揚搬送装置125におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。[第16実施形態]次に、図16を用いて、第16実施形態に係る浮揚搬送装置163の構成について説明する。図16は、浮揚搬送装置163の外観斜視図である。図16に示す浮揚搬送装置163は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物F1をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ブロア装置164,165,166で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物F1に噴き付ける。この浮揚搬送装置163は、本体となる第1エアチャンバ167と、この第1エアチャンバ167と共に本体となる一対の第2エアチャンバ168と、第1エアチャンバ167にブロア装置164からのエアを供給する一対の供給管13,14と、一対の第2エアチャンバ168にブロア装置165,166からのエアを供給する二対の供給管169,170と、を備えている。第1エアチャンバ167は、円柱形を呈する。この第1エアチャンバ167は、一対の供給口図示省略と、フィルム状物F1を搬送する搬送面171と、を備えている。搬送面171は、円柱面171aからなり、フィルム状物F1と対向する。円柱面171aは、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を一つのセットとして、当該セットが螺旋状を呈するように幅方向に繰り返して有する。中央領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。第2エアチャンバ168は、円柱形を呈する。この第2エアチャンバ168は、一対の供給口図示省略と、フィルム状物F1を搬送する搬送面172と、を備えている。搬送面172は、円柱面172aからなり、フィルム状物F1と対向する。円柱面172aは、中央領域Pと、一対の脇領域Q,Rと、を有する。中央領域Pおよび一対の脇領域Q,Rは、それぞれ、環状を呈する。中央領域Pには、中央開口部17図2A参照が複数設けられている。各脇領域Q,Rには、それぞれ、脇開口部22図3A参照が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部23が設けられている。第1エアチャンバ167には、中央領域Pを基準としてフィルム状物F1を螺旋状に巻き付けることが可能である。各第2エアチャンバ168には、中央領域Pを基準としてフィルム状物F1を巻き付けることが可能であり、各第2エアチャンバ168は、フィルム状物F1の搬送方向を90°転換する。なお、浮揚搬送装置163におけるフィルム状物F1のセンタリング動作は、第1実施形態に係る浮揚搬送装置10におけるフィルム状物F1のセンタリング動作に準ずる。本発明は、上記各実施形態および上記用途例に限られるものではなく、その趣旨および技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。すなわち、上記各実施形態において、搬送面は、流体を噴出する複数の開口部が設けられた平面、または、断面視で円弧形をなす曲面からなるが、円柱面、楕円柱面、または、断面視で楕円弧形をなす曲面からなるようにしてもよい。あるいは、上記各実施形態において、互いに異なる所定の幅を有する三つ以上のフィルム状物から選択された一のフィルム状物を、浮揚させつつ搬送するようにしてもよい。この場合、各フィルム状物に対応して、孔部23を複数の列となるように設ければよい。あるいは、上記各実施形態において、フィルム状物F1,F2を、エアによって浮揚させつつ搬送することに代えて、水などの液体、その他の流体によって浮揚させつつ搬送するようにしてもよい。この場合、洗浄、改質、または鍍金を行う装置などに適用できる。あるいは、上記各実施形態において、エアチャンバの内部の空間を、複数の領域の各々に対応するように仕切る仕切板図示省略を備えるようにしてもよい。この場合、各空間に対し、専用のブロア装置で圧縮されたエアを個別に供給することで、エアの供給を各領域の状況に応じて個別に制御できる。例えば、選択された一のフィルム状物F1またはF2を浮揚させつつ搬送する装置の場合、各脇領域Q2,R2に設けられた脇開口部22、および各中間領域T,Uに設けられた中間開口部からエアを噴出させないようにすることも可能となる。仕切板を備えることに加えて、フィルム状物F1,F2の蛇行量を検知するセンサ図示省略と、このセンサによる検知結果に基づいて各ブロア装置を制御する制御ユニット図示省略と、を備えるようにしてもよい。制御ユニットは、センサによってフィルム状物F1,F2の蛇行量が検知された場合、各ブロア装置の羽根図示省略の回転速度を適宜変更させて、フィルム状物F1,F2の蛇行が修正されるようにエアの量を制御する。センサおよび制御ユニットを備えることに加えて、エアの量を調整する複数の電磁弁を備えるようにしてもよい。制御ユニットは、センサによる検知結果に基づいて複数の電磁弁を制御する。電磁弁は、制御ユニットによる制御下において開閉され、各ブロア装置から供給されるエアの量を調節する。この場合、ブロア装置の羽根の回転速度を適宜変更する必要がない。あるいは、上記各実施形態および上記各用途例の構成を、可能な範囲で他の実施形態または他の用途例に適用してもよい。"