"圧電材料からなる試料に印加する荷重を段階的又は連続的に増減して、各印加荷重において当該試料から発生する電荷を計測し、前記印加荷重と電荷を座標軸とするグラフを作成してそのグラフを出力表示又は印刷し、そのグラフの直線範囲を当該試料に圧電定数測定のために印加する荷重の好適範囲と決定し、その好適範囲の荷重を印加して圧電定数測定を行うことを特徴とする圧電定数測定方法。試料に荷重を印加する荷重印加手段に取付けられ、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極に、前記上部電極の面積と等しい面積を有するものを用いることを特徴とする請求項1に記載の圧電定数測定方法。試料に対して請求項1の方法により好適範囲と決定された荷重を印加する荷重印加手段に取付けられ、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極に、前記上部電極の面積よりも小さい、異なる面積を有する複数の上部接触電極を用い、前記上部電極とそれぞれの上部接触電極の面積比における圧電定数を計測し、それぞれの計測結果を上部電極と上部接触電極の面積比と圧電定数とを座標軸とするグラフ上にプロットし、それらの座標点を結ぶ線が上部電極と上部接触電極の面積比が1の座標軸と交差する点を当該試料の圧電定数と推定することを特徴とする圧電定数測定方法。圧電材料からなる試料に荷重を段階的又は連続的に増減して印加する荷重印加手段と、荷重印加により試料から発生する電荷を計測する電荷計測手段と、印加された荷重と発生した電荷に基づいて荷重と電荷を座標軸とするグラフを作成するグラフ作成手段と、前記グラフ作成手段が作成したグラフを出力する出力手段とを備えていることを特徴とする圧電応答計測装置。前記荷重印加手段は、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極を、前記上部電極の面積と等しい面積を有するものに、又は上部電極と上部接触電極の面積比を変更するために上部電極の面積よりも小さい、異なる面積を有する複数の上部接触電極に交換可能に支持する支持手段を備えていることを特徴とする請求項4に記載の圧電応答計測装置。前記荷重印加手段は、重りの自然落下をワイヤー等で制御する機構であることを特徴とする請求4又は5に記載の圧電定数測定装置。前記重りの自然落下をワイヤー等で制御する機構は、一端が重りに結合され、他端がモータにより回転されるリールに結合され、中間部が滑車に支持されたワイヤーと、前記上部接触電極の原点位置を検出するセンサーと、前記上部接触電極の上部電極に対する接触位置を検出するセンサーと、前記両センサーの検知信号に基づいて前記モータの回転量を制御してワイヤーの弛緩量を制御する印加荷重制御手段とからなることを特徴とする請求項6に記載の圧電定数測定装置。上部接触電極の原点位置を検出するセンサーは、リールの円周上に設けられた指標と、その指標を検知するセンサーとからなることを特徴とする請求項7に記載の圧電定数測定装置。上部接触電極の上部電極に対する接触位置を検出するセンサーは、定点で揺動自在に支持されたレバーと、そのレバーの一端に回転自在に設けられ、ワイヤーに乗せられた溝付きローラと、前記レバーの他端の高さ位置によりONOFFされるセンサーとからなることを特徴とする請求項7に記載の圧電定数測定装置。前記荷重印加手段は、機械的制御により任意の荷重を任意面積を持つ上部接触電極により強制印加する機構であり、結果データを変換乗数で真値に換算することを特徴とする請求項4又は5に記載の圧電定数測定装置。機械的制御により任意の荷重を強制印加する機構は、定位置に設けられたモータと、そのモータにより所定方向に回転され、下端部が上部接触電極支持部材に螺合されたボールねじとからなる印加荷重制御手段を有することを特徴とする請求項10に記載の圧電定数測定装置。課題1計算式1は、印加荷重に応じて一定の電荷密度が生じることを前提としているが、実際の試料では、印加された荷重は試料の厚み方向に伝わるため、試料厚みと荷重の関係を理解する必要がある。すなわち、与えられた荷重が測定試料にとって、変形可能な範囲を超える過剰な荷重になっていないか検証する必要がある。しかしながら、特許文献1の発明では、試料に一定荷重例えば200gfのみを印加しているため、得られた応答がその試料と荷重に対する正しい応答であるかは検証されていない。そのため、検証可能な圧電応答計測が必要である。従って、本発明の第一の課題は、試料の厚みに対して適切な荷重を印加することができ、もって、正確な圧電定数測定を可能にする圧電定数測定方法及びその方法を使用するための圧電定数測定装置を提供することにある。課題2また、計算式1は、加えられた荷重の面積に応じて発生するC電荷を測定することで圧電定数を求めるが、発生した電荷内に予定していないd31、d15等の成分を含んだ電荷応答を圧電定数d33として測定している。従って、正確なd33成分の測定が困難であるので、d33成分のみを求める手法が必要となる。さらに、計算式1は、試料と計測電極との間の距離と平行なキャパシターの表面積が限りなく大きく、計算上の境界効果が無視できる並行平板であると仮定としてのみ成立する式である。従って、この点も考慮に入れて、加圧点と電荷捕集に寄与する電極面積に関する効果も充分推察可能で、かつ、補正可能な圧電応答計測方法でなければならない。従って、本発明の第二の課題は、試料の荷重が印加される面積が異なる場合にも、正確な圧電定数を得ることができる圧電定数測定方法及びその方法を使用するための圧電定数測定装置を提供することにある。本発明の圧電定数測定方法は、上記第一の課題を解決するため、圧電材料からなる試料に印加する荷重を段階的又は連続的に増減して、各印加荷重において当該試料から発生する電荷を計測し、前記印加荷重と電荷を座標軸とするグラフを作成してそのグラフを出力表示又は印刷し、そのグラフの直線範囲を当該試料に圧電定数測定のために印加する荷重の好適範囲であると決定し、その好適範囲の荷重を印加して圧電定数測定を行うことを特徴としている請求項1。そして、この圧電定数測定方法を使用するための圧電定数測定装置は、圧電材料からなる試料に荷重を段階的又は連続的に増して印加する荷重印加手段と、荷重印加により試料から発生する電荷を計測する電荷計測手段と、印加された荷重と発生した電荷に基づいて荷重と電荷を座標軸とするグラフを作成するグラフ作成手段と、前記グラフ作成手段が作成したグラフを出力する出力手段とを含むことを特徴としている請求項3。換言すると、本発明は、試料に対する荷重印加に伴う電荷発生に基づいて圧電定数d33を測定する圧電定数測定装置において、前記試料の厚みを考慮して、d33成分が最大になるように印加荷重を制御する荷重印加手段を備えた。すなわち、最大荷重を試料に一度に印加する既存の方法から、試料印加荷重を一意的なものから任意に選択した荷重を印加する方法又は試料印加荷重を連続的に変えて印加する方法にした。また、各荷重と発生電荷を座標軸とするグラフを作成して、そのグラフを出力表示又は印刷して、その中に線形関係が得られているか否かで、試料に対する荷重印加が最適であるか否かを検証できるようにした。本発明は、上記第二の課題を解決するため、上記の圧電定数測定方法において、前記荷重印加手段に取付けられ、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極に、前記上部電極の面積と等しい面積を有するものを用いることを特徴としている請求項2。上部接触電極に、前記上部電極の面積と等しい面積を有するものを用いることができない場合の圧電定数測定方法として、試料に対して請求項1の方法により好適範囲と決定された荷重を印加する荷重印加手段に取付けられ、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極に、前記上部電極の面積よりも小さい、異なる面積を有する複数の上部接触電極を用い、前記上部電極とそれぞれの上部接触電極の面積比における圧電定数を計測し、それぞれの計測結果を上部電極と上部接触電極の面積比と圧電定数とを座標軸とするグラフ上にプロットし、それらの座標点を結ぶ線が上部電極と上部接触電極の面積比が1の座標軸と交差する点を当該試料の圧電定数と推定することを特徴としている請求項4。そして、この圧電定数測定方法を使用するための圧電定数測定装置は、前記荷重印加手段が、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極を、前記上部電極の面積と等しい面積を有するもの又は上部電極と上部接触電極の面積比を変更するために上部電極の面積よりも小さい、複数の異なる面積を有する上部接触電極に交換可能に支持する支持手段を備えていることを特徴としている請求項5。前記荷重印加手段は、重りの自然落下をワイヤー等で制御する機構であってもよい請求項6。その重りの自然落下をワイヤー等で制御する機構は、一端が重りに結合され、他端がモータにより回転されるリールに結合され、中間部が滑車に支持されたワイヤーと、前記上部接触電極の原点位置を検出するセンサーと、前記上部接触電極の上部電極に対する接触位置を検出するセンサーと、前記両センサーの検知信号に基づいて前記モータの回転量を制御してワイヤーの弛緩量を制御するワイヤー弛緩量制御手段とから構成されたものとすることができる請求項7。そして、上部接触電極の原点位置を検出するセンサーは、前記リールの円周上に設けられた指標と、その指標を検知するセンサーとからなるもの請求項8を、上部接触電極の上部電極に対する接触位置を検出するセンサーは、定点で揺動自在に支持されたレバーと、そのレバーの一端に回転自在に設けられ、ワイヤーに乗せられた溝付きローラと、前記レバーの他端の高さ位置によりONOFFされるセンサーとからなるものを用いることができる請求項9。前記荷重印加手段は、機械的制御により任意の荷重を強制印加する機構であっても良い請求項10。その機械的制御により任意の荷重を強制印加する機構は、定位置に設けられたモータと、そのモータにより所定方向に回転され、下端部が上部接触電極支持部材に螺合されたボールねじとからなる印加荷重制御手段を有するものとすることができる請求項11。その他、強制荷重印加法としてはテコ等も用いることができる。請求項1の発明によれば、試料の厚みを考慮して、d33成分が最大になるように印加荷重を制御することができる。従って、当該試料に最適な荷重を決定し、その荷重を印加することにより高信頼度の圧電定数測定が可能になる。請求項2の発明によれば、上部電極の面積が試料の寸法に応じて変わったとしても、d33成分以外のd31、d15等の影響を取り除き、d33成分のみの圧電定数を取り出すことができる。請求項3の発明によれば、グラフ表示により、印加される荷重の有効範囲を容易に確認することができる。請求項4の発明によれば、上部接触電極に、上部電極の面積と等しい面積を有するものを用いることができない場合でも、上部接触電極の面積が上部電極の面積と等しい場合とほぼ同程度の圧電定数測定を測定可能である。請求項10、11の発明によれば、荷重印加手段を簡単な構成とすることができる。次に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。以下には、本発明の圧電定数測定方法を使用するための圧電定数測定装置について先に説明し、その装置の使用方法の説明において、圧電定数測定方法を併せて説明することとする。本発明の圧電定数測定装置は、主たる構成要素として、図1に示すように、試料セット部Aと、荷重印加手段B1と、計測部Cとを有する。以下、各部について順次詳細に説明する。[試料セット部]試料セット部Aは、試料台1を有し、その試料台の平坦な上面に、下部電極2と上部電極3を貼着した試料4を安定して載置することができる。試料4は、シート状もしくは板状又は棒状の圧電材料PZT:チタン酸ジルコン酸鉛である。[荷重印加手段]図1に示された荷重印加手段B1は、上部接触電極5を下方に突出させた重り6を、試料4に対して昇降させて試料4に対して荷重を印加可能に支持するものであり、本発明によりその印加荷重を制御できる機能を新たに備えたものである。その荷重印加手段B1は、いかなる構成を有するものでも良いが、一例を説明すると、重り6の上部に一端を結合したワイヤー7を、滑車8を介して延長し、その他端をステッピングモータ91以下、単にモータという。により回転されるリール92に結合してある。モータ91には、計測部Cの後述される印加荷重制御手段133が接続されている。印加荷重制御手段133は、後述するようにモータ91の回転方向及び回転量を制御して、巻き上げられているワイヤー7を徐々に緩めることにより、試料4に印加する荷重を漸増するものである。重り6の上部接触電極5が試料4の上部電極3に接触したと検出したときの荷重を最小印加荷重とし、ワイヤーを緩めた量距離で試料4に印加する荷重を連続的又は段階的に増すことができるように構成されている。この印加荷重制御を実現するため、上部接触電極5が試料4の上部電極3から上方に離間している所定位置を検出する原点位置検出センサー93と、上部接触電極5が試料4の上部電極3に接触した位置を検出する接触位置検出センサー94が設けられている。原点位置検出センサー93は、例えば、透過式又は反射式の光センサーで構成され、重り6が試料4の上方の所定の原点位置に存在しているときは、リール92に備えてある指標、例えばリール92に形成した原点位置確認用切り込み93aを検知するように取付けられている。接触位置検出センサー94は、同じく光センサーで構成され、接触位置検知機構95を構成するレバー953の先端でONOFFされるように取付けられている。接触位置検知機構95は、定位置に取付けられたステ―951に中間部において支点952により揺動自在に支持された前記レバー953を有し、そのレバーの一端に溝付きローラ954が回転自在に設けられ、その溝付きローラ954が溝においてワイヤー7に乗せられていて、レバー953の他端の遮光片94aの高さ位置により接触位置検出センサー94をONOFFするようになっている。原点位置検出センサー93及び接触位置検出センサー94は、光センサーに代えて、磁気センサーであってもよい。重り6が試料4に接触する前は、図2aに示すように、ワイヤー7が緊張しているので、レバー953は、その遮光片94aが接触位置検出センサー94のビームを遮断する位置に保持されることにより、接触位置検出センサー94がOFF状態に維持され、未接触状態が検出される。これに対して、モータ91が所定方向に回転されてワイヤー7が緩められ、重り6が試料4に接触すると、図2cに示すように、レバー953の遮光片94aが接触位置検出センサー94のビームを遮断しない位置に移動するので、接触位置検出センサー94はON状態となり、重り6が試料4に接触したことが検出される。上述のように、印加荷重制御手段133は、原点位置検出センサー93と接触位置検出センサー94からの検知信号を入力され、その検知信号に基づいてモータ91を制御することにより、ワイヤーの緩め量を制御して、試料4に印加される荷重を最小印加荷重から連続的又は段階的に増すことができる。図5は、一例として、重量815gの重り6を使用した場合の、モータ91を所定方向に回転させてワイヤー7を緩め、接触位置検知センサーがON状態になってからの緩め量と、試料4に印加される荷重との関係を示す。重り6の重量に近い約700gまでは、緩め量に応じて荷重が109gから691gまで線形に変化することが分かる。重りの重量を変更することにより、最大印加荷重を増減することが可能である。[計測部]計測部Cは、図3に示すように、積分回路100と、入力部121と、出力部122と、記憶部123と、演算制御部130とを有するマイクロコンピュータで構成されている。以下に、各構成要素について順次詳細に説明する。積分回路積分回路100は、上記試料セット部Aにおける重り6の荷重印加により試料4に生じる微小電流を積分し、好ましくはさらに増幅して、電圧に変換するものである。積分回路100は、発生した微小電流を積分し電圧に変換する機能、好ましくはさらに増幅する機能があれば、既知のいかなる積分回路を用いても良い。図示の例は、差動アンプ101の帰還回路102にコンデンサ103を挿入したミラー積分回路により構成されている。そして、差動アンプ101の2つの入力端子には、試料セット部Aの下部電極2と上部電極3に接続されている導線2a,3aの先端に結合されているプラグ不図示を差し込むことができるジャック2b,3bが設けられている。プラグ及びジャック2b,3bを用いずに、導線2a,3aを差動アンプ101の入力端子に直接接続しても良い。積分回路100のコンデンサ103の容量及び差動アンプ101の増幅率は、可変であり、被測定圧電材料の種類、すなわち、薄膜やバルクに対応可能にするため、負荷時又は除荷時の発生電流の大小に応じて、その検出が可能なように設定される。圧電材料がPZT薄膜の場合は、積分コンデンサ容量は一例として約0.1μFが適当である。こうして、試料セット部Aの導線2a、3aを積分回路100に接続した状態で試料セット部Aの試料台1に試料4を載せ、その試料4に荷重印加手段B1により重り6の荷重を印加することにより生じる微小電流は、積分回路100により電圧に変換される。入力部入力部121は、印加荷重制御手段133に荷重を試料4に印加させる指示又は荷重を試料から除去させる指示、その他の指示を入力するために使用される。出力部出力部122は、この装置による計測結果として作成されるグラフを表示又は印刷することが可能なものであり、液晶ディスプレイ又はCRTなどのグラフを表示可能な表示部、又は印字媒体にグラフを印刷可能なプリンタである。記憶部記憶部123には、必要なソフトウェアを含むシステムプログラム、ワーキングデータが記憶されるほか、後述される記憶制御手段137により下記のデータが自動で保存されるようになっている。すなわち、測定日時、積分回路100のレンジ、設定荷重、モータ情報からワイヤーを緩めた量、センサー情報から上部接触電極が上部電極に接触した否かONOFF、積分回路の生データ、積分回路のレンジ等の情報から演算した電荷、設定荷重と電荷で計算した圧電定数d33などである。演算制御部演算制御部130は、CPUで構成されていて、図3に例示するように、AD変換手段131と、位置情報記憶手段132と、印加荷重制御手段133と、パルス生成手段134と、演算手段135と、座標データ作成手段136と、記憶制御手段137と、グラフデータ作成手段138と、グラフ表示手段139と、動作条件設定手段1310とを有する。AD変換手段131は、積分回路100より入力するアナログ値である電圧値をデジタル値に変換するものである。位置情報記憶手段132は、原点位置検出センサー93から入力される原点位置情報と、接触位置検出センサー94から入力される接触位置情報を記憶するものである。印加荷重制御手段133は、入力部121より荷重印加指示を入力した場合は、モータ91を接触位置検出センサー94がONするまで又は荷重を増加させる指定がある場合には指定量分のワイヤーを緩める方向に回転させ、入力部121より荷重除去指示を入力した場合は、モータ91を原点位置検出センサー93がONするまで又は任意位置までワイヤーを緊張させる方向に回転させるように構成されている。また、演算制御部130は、図4に示すように、動作条件設定手段1310による印加荷重制御条件の設定、記憶制御手段137によるデータ測定結果の収集変換保存、及びグラフデータ作成手段138とグラフ表示手段139によるグラフ表示の機能を有している。圧電定数測定続いて、上記構成を備えた圧電定数測定装置を用いて試料の圧電定数を測定する場合の動作の流れを説明する。1動作条件の設定まず、装置を起動させ、計測部Cの入力手段121及び動作条件設定手段1310により、重りの移動速度、移動量、ワイヤーの緩め量荷重印加量を設定する。2実行次に、計測部Cは、設定された動作条件に基づいて、計測を次のように実行する。21積分回路100の出力値を含むデータの収集変換記録を開始する。22印加荷重制御手段133が重り6を原点位置から設定量だけ動作する。23接触位置検知センサー94が動作して、試料4との接触を知らせる。24荷重を増加させるため、印加荷重制御手段133がさらにワイヤーを緩める。25ワイヤーの緩め量設定値で重りを保持し、荷重を一定に保つ。26以上の動作の間、データの収集変換記録を反復継続する。27設定された荷重印加を終了したら,印加荷重制御手段133はワイヤーを巻取り、重りを予め設定した位置原点位置又は試料に近い位置に上昇させて、実行を終了する。3データファイル格納又はグラフ表示31入力部121から入力される格納指示に従い、記憶制御手段137は、収集変換記録したデータのファイルを記憶部123に格納する。32入力部121から入力される表示指示又は印刷指示に従い、グラフを表示部に表示し、又はプリンタで印刷する。上記動作において、演算制御部130の演算手段135は、積分回路100からの電圧を連続的にモニタリングし、積分回路100のアンプレベルに応じて電荷を計算する。ワイヤーの動作とは無関係にデータの収集が行われる。そして、試料接触の判断は、積分回路100からの電圧から判断するのではなく、接触位置検知センサー94の検知信号を基に行うようにしている。それは、予期せずに電荷応答をしない試料を計測する場合もあるためである。さらに詳述すると,演算制御部130は、印加荷重制御手段133によりワイヤーの緩め量が所定値ずつ、例えば、0.1mmずつ増す間に、積分回路100が試料4から発生する電荷を集積し、その出力するアナログの電圧が演算制御部130のAD変換手段131によりデジタル信号に変換され、パルス生成手段134が発生するサンプリングパルスに同期して演算手段135に入力される。演算手段135は、そのデジタル信号の電圧を取込み、下記の式2により電荷ΔQを求める。ΔQ=VoutZf2ただし、Voutはアンプ101の出力、Zfはコンデンサ103の容量。図6は、試料が厚さ1μmのPZTである場合に対する荷重と、計測された電荷試料応答との関係を示す。図6から、荷重が100~200gの範囲は線形性が保たれているが、200gを超えると線形性が保てなくなり、この試料では200g以上の荷重を印加しても、圧縮変形が起こらず、発生電荷が増加しないことが確認できる。すなわち、使用した厚さ1μmの試料に対する荷重は、100~200gの範囲が正確な試料応答を得るために適切であることが分かる。同様にして、厚さが200μmのPZTに対する荷重と試料応答の関係を図7に示す。同図から、100~600gの範囲において段階的に増加される荷重に対して線形を保ったまま電荷が増加することが確認される。このように、本発明の装置では、試料の膜厚等による荷重応答性の違いを確認することが可能になった。すなわち、荷重を段階的に増して印加する方法を用いることにより、印加荷重が試料変形に対して最適であるか圧電定数測定を正確に行うことができる範囲にあるかの検証を行えるようになった。一般的に、荷重印加時に圧電材料に発生する電荷ΔQと、荷重変化量ΔNとを用いて、3式を演算すれば、圧電定数d33を得ることができる。d33=ΔQ/ΔN本発明では、AD変換手段131からデジタルの電圧値を演算手段135に入力し、その演算手段135は、式2により電荷値ΔQを求め、その電荷値ΔQと、記憶部123に記憶されている荷重変化量ΔNとを用いて、上記3式を演算させ、その演算結果を座標データ作成手段136に入力させるようになっている。座標データ作成手段136は、入力した演算結果に基づいて、荷重と圧電定数とを座標軸とするグラフの座標点x、yを決定し、その座標データを出力して、記憶制御手段137に与えるようになっている。記憶制御手段137は、座標データを入力する度に、記憶部123の座標データ格納領域に記憶するようになっている。グラフデータ作成手段138は、座標データ作成手段136が座標データを出力する度に、記憶部123の座標軸データ格納領域から荷重と圧電定数とを座標軸とする所定の目盛りを有するグラフ図9を参照の座標軸データを読出すとともに、前記座標データ格納領域から座標データを読出し、これらのデータを合成してグラフデータを作成し、出力するように構成されている。一つの実施の形態として、グラフデータ作成手段138が出力するグラフデータは、記憶制御手段137により、これを記憶部123のグラフデータ格納領域に保存し、必要時に可搬性を有する記録媒体に記録するなど、外部に出力するようにしても良い。しかし、本発明の好ましい実施の形態においては、グラフデータ作成手段138が出力するグラフデータを、グラフ表示手段139から出力部122、例えば、液晶ディスプレイ又はCRTなどのグラフを表示可能な表示部又は印刷可能なプリンタに出力するようになっている。本発明に係る圧電定数測定装置は、上記のように、荷重印加手段B1及び印加荷重制御手段133を介して試料4に印加する荷重を段階的又は連続的に増減して、各印加荷重において当該試料から発生する電荷を計測部Cの積分回路100及び演算制御部130により計測し、前記印加荷重と電荷を座標軸とするグラフデータを作成してそのグラフデータを出力部122に出力表示又は印字するものであり、その出力されたグラフ図6,図7参照の直線範囲を当該試料に圧電定数測定のために印加する荷重の好適範囲と決定することができる。本発明の第2の実施の形態においては、上記第二の課題を解決する方法として、測定される圧電定数からd31成分,d15成分を除外するために、上記のように、d33成分が主たる試料応答となるような最適荷重を見つけ出し、かつ、上部電極と上部接触電極の面積効果から正確なd33成分を類推するようにした。面積効果とは、上部電極と上部接触電極の面積が等しいことにより、圧電応答にd31成分,d15成分が入り込まない効果である。特許文献1の発明で得られる圧電定数には、d33、d31、d15の3成分が混合している。これは、試料に荷重を印加したときに、荷重を印加した領域のみが変形するのではなく、その周りの領域も連続して変形するため、d33成分以外に、d31,d15等の電荷が発生するためである。特に、上部電極の面積が上部接触電極の面積よりも大きい場合は、接触電極が接触している領域以外で発生したd31、d15成分を含んでしまう。また、印加した荷重が小さい場合は、試料の厚みによっては表面のみを押すことになり、d33成分よりも他の成分が強く影響した測定結果になる。図8は、上部電極と上部接触電極の接触面積の違いが試料応答に及ぼす影響を説明する図である。図中、矢印は応力荷重を示す。同図aは上部電極3の面積が上部接触電極5の面積よりも非常に大きい場合であり、この場合は、d31、d15成分の影響が大きい。同図bは上部電極3が上部接触電極5よりやや大きい場合であり、この場合も、d31、d15成分が混入する。同図cは上部電極3の面積が上部接触電極5の面積が等しい場合であり、この場合は、d33成分のみが得られる。このように、上部電極3と上部接触電極5の面積が等しい場合にのみ、正確なd33成分の測定が可能である。d33成分の具体的な抽出方法として、試料の厚みに応じてd33成分が主成分になるように最適な荷重を試料に印加すればよい。しかしながら、試料がMEMS等の実デバイスである場合は、一つの上部接触電極で上部電極のみを押すことはきわめて困難なことである。この問題を解決する一つの方法は、試料上の上部電極面積を変更できない場合に対して、複数の接触面積の異なる上部接触電極を用意し、上部電極面積と等しい面積を有するものを選択して用い、直接、d33成分を測定することである。これにより、図8cのような関係を導くことが可能である。上部電極面積と等しい面積を有する一つの上部接触電極を用いることができない場合の問題を解決する他の方法は、既知面積で上部電極より小さな面積を有する複数の上部接触電極を用い、上部電極とそれぞれの上部接触電極の面積比から上部電極と上部接触電極が等しい面積での測定結果d33成分のみを類推する方法である。この方法を実施する場合は、前記荷重印加手段には、試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極を上部電極面積より小さな面積を有するものに交換可能に支持する支持手段が備えられる。図7で得られた各荷重での発生電荷から、式1を用いて荷重と圧電定数の関係をグラフ化すると、図9の関係が得られる。これは、200μmの厚膜試料富士セラミックス商標φ10×200μmd33≒600規格品に、直径10mmのほぼ円形の上部電極3の面積が存在し、直径5mmの円形の上部接触電極5で試料に荷重を印加した場合の例である。理論的には、試料4の厚み、形状等は制約を受けない。当該試料に適した上部接触電極と重りを使用すれば、測定可能である。ただし、試料の弾性変形範囲内で使用することが前提であり、荷重印加で試料が破壊する場合は、正確な測定はできない。式1に従うような理想状態では、圧電定数dはある範囲の荷重に対して一定の値を示すが、実際の結果は、図9に示すように、軽荷重時に高い圧電定数を示すことがわかる。すなわち、200μmの厚膜試料を300g以下の荷重で押した場合は、試料に最適な応力が印加されておらず、電極面積が大きいためにd33成分よりもd31,d15成分が多くなるが、数百g程度図9の例では、400~600gの範囲の荷重で押した場合は、得られた試料応答の結果には、d31,d15成分よりもd33成分が主たる成分になることを意味している。そこで、直径2mm,5mm,8mmの3種類の上部接触電極を順次交換して試料に、適正な範囲図9の400~600gの範囲の荷重を印加して圧電定数を計測したところ、直径2mm上部接触電極/上部電極の面積比:0.04では1470pCN、直径5mm上部接触電極/上部電極の面積比:0.25では1280pCN、直径8mm面積比:0.64では890pCNの計測結果になった。これらの面積比と圧電定数dの関係を図10に示す。図10において、●P1,P2,P3がそれぞれ直径2mm,5mm,8mmに対応する計測結果である。これらは、図8のabにそれぞれ対応している。そして、図10のP1,P2,P3を結ぶ直線を、鎖線で示すように、面積比1まで延長したときの○P4においては、圧電定数560pCNを得る。この値は、面積比1におけるd33成分の真値に近いということができる。これは、図8のcに対応している。こうして、図7,9のそれぞれから最適値を確認し、接触面積が異なる複数の上部接触電極を用いて圧電定数を計測し、それらの計測結果を図10のように上部接触電極/上部電極の面積比と圧電定数を座標軸とするグラフ上にプロットし、それらの座標点を結ぶ線が面積比1の座標軸と交差する点における圧電定数dを、上部電極と上部接触電極との面積比が1の場合の換算値と推定することができる。[上部接触電極交換ユニット]図1の50は、接触面積の異なる上部接触電極を重り6に交換可能に取付ける手段の一例としての上部接触電極交換ユニットである。この上部接触電極交換ユニット50は、上部接触電極5を支持する支持部材51を、重り6の下部に接続した固定部材52に対して、ネジその他の固着具53により着脱可能に取付けるものである。以上のように、本発明は、印加荷重を任意に制御し、かつ、上部電極と上部接触電極の面積比が1となるように調整することにより、種々の試料やデバイスに対して、d31成分,d15成分を除外し、d33成分のみを取り出すことができる。従って、本発明方法及び装置を用いて当該試料の厚み等に対して印加するのに最適な荷重を決定し、特許文献1に記載されているのと同じ方法で、圧電定数測定装置によりその荷重を印加することにより、d33成分のみを含む正確な圧電定数を得ることができるので、信頼性の高い圧電定数測定が可能である。[荷重印加手段の他の例]図11は、荷重印加手段B2が機械的制御により任意の荷重を強制印加する機構で構成されている実施の形態の一例を示す概念図である。この荷重印加手段B2は、所定の位置に設けられた固定部160に固定されたモータ96と、そのモータの回転軸に上端が結合されたボールネジ97と、そのボールネジ97の下部に螺合され、図示されていないガイド部材により固定部160に対して回転不能に、かつ、昇降自在に保持された固定部材52と、その固定部材52の下端部に固着された接触荷重検出ユニット54とから構成されている。モータ96は計測部Cの印加荷重制御手段133に電気的に接続されている。そして、計測部Cの入力部121より荷重印加指示を入力すると、印加荷重制御手段133がモータ96を所定方向に回転させ、ボールネジ97を介して固定部材52が下方に移動され、また、入力部121より荷重除去指示を入力すると、印加荷重制御手段133がモータ96を所定方向に逆回転させ、ボールネジ97を介して固定部材52が上方に移動されるようになっている。接触荷重検出ユニット54は、ロードセルなどで構成され、そのロードセルの出力電圧の有無及び大小により、上部接触電極5が上部電極3に対する接触荷重を検出して、その検出信号を印加荷重制御手段133に出力することができるものである。印加荷重制御手段133は、その検出信号に基づいて荷重印加時のモータ96の回転量を制御するように構成されている。また、接触荷重検出ユニット54の下端部には、図1の支持部材51と同様の支持部材51が固着具により交換可能に結合されている。接触荷重検出ユニット54に支持部材51を兼ねさせ、あるいは、接触荷重検出ユニット54に支持部材51を一体的に接続して、接触荷重検出ユニット54を固定部材52に交換可能に結合するように構成してもよい。いずれにしても、この実施の形態においても、上部接触電極交換ユニット50が備えられて、上部接触電極5と上部電極3の面積比を1にすることが可能である。そして、この実施の形態における荷重印加手段B2は、試料4に対する印加荷重を連続的に増減することが可能であるので、連続的に荷重を印加される環境で使用される試料の圧電定数測定に有効である。"