"被測定物に接触する探針を有するカンチレバーと、前記カンチレバーの変位を検出するための変位検出光学系と、前記被測定物を観察するための観察光学系とを備え、前記探針にて前記被測定物の表面を走査し、前記被測定物の表面形状に応じて揺動する前記カンチレバーの変位を検出することで前記被測定物の表面形状を観察するプローブ顕微鏡であって、前記変位検出光学系は、前記カンチレバーに光を照射するための第1の光源と、前記第1の光源から射出され、前記カンチレバーにて反射される光を受光することで前記カンチレバーの変位を検出する変位検出手段とを備え、前記観察光学系は、前記被測定物に光を照射するための第2の光源と、前記第2の光源から射出され、前記被測定物にて反射される光を所定の位置に結像させる結像レンズと、前記結像レンズにて結像される光を受光することで前記被測定物を観察する観察手段とを備え、前記カンチレバーと、前記第1の光源、及び前記第2の光源との間に配設され、前記カンチレバーの位置を焦点とする対物レンズと、前記第2の光源から射出され、前記観察手段に至る光の光路を変更する光路変更手段とを備え、前記光路変更手段は、前記第2の光源から前記第1の光源と異なる波長の光を射出させ、前記対物レンズの焦点を、前記第1の光源から射出される光の波長に対して前記カンチレバーの位置とし、且つ、前記第2の光源から射出される光の波長に対して前記被測定物の位置とすることを特徴とするプローブ顕微鏡。請求項1に記載のプローブ顕微鏡において、前記第1の光源から射出され、前記変位検出手段に至る光と、前記第2の光源から射出され、前記観察手段に至る光とを分離するフィルタを備えることを特徴とするプローブ顕微鏡。しかしながら、特許文献1に記載のプローブ顕微鏡100では、撮像素子132を結像レンズ131の光軸に沿って駆動する駆動機構が必要となるのでプローブ顕微鏡100が大型化するという問題がある。また、撮像素子132による観察対象カンチレバー110、及び被測定物Wを変更する度に間隔Lを適切に調整する必要があるのでプローブ顕微鏡100の構成が複雑化するという問題がある。本発明の目的は、簡素な構成で小型化することができ、被測定物Wを適切に観察することができるプローブ顕微鏡を提供することにある。本発明のプローブ顕微鏡は、被測定物に接触する探針を有するカンチレバーと、前記カンチレバーの変位を検出するための変位検出光学系と、前記被測定物を観察するための観察光学系とを備え、前記探針にて前記被測定物の表面を走査し、前記被測定物の表面形状に応じて揺動する前記カンチレバーの変位を検出することで前記被測定物の表面形状を観察するプローブ顕微鏡であって、前記変位検出光学系は、前記カンチレバーに光を照射するための第1の光源と、前記第1の光源から射出され、前記カンチレバーにて反射される光を受光することで前記カンチレバーの変位を検出する変位検出手段とを備え、前記観察光学系は、前記被測定物に光を照射するための第2の光源と、前記第2の光源から射出され、前記被測定物にて反射される光を所定の位置に結像させる結像レンズと、前記結像レンズにて結像される光を受光することで前記被測定物を観察する観察手段とを備え、前記カンチレバーと、前記第1の光源、及び前記第2の光源との間に配設され、前記カンチレバーの位置を焦点とする対物レンズと、前記第2の光源から射出され、前記観察手段に至る光の光路を変更する光路変更手段とを備え、前記光路変更手段は、前記第2の光源から前記第1の光源と異なる波長の光を射出させ、前記対物レンズの焦点を、前記第1の光源から射出される光の波長に対して前記カンチレバーの位置とし、且つ、前記第2の光源から射出される光の波長に対して前記被測定物の位置とすることを特徴とする。このような構成によれば、プローブ顕微鏡は、第2の光源から射出され、観察手段に至る光の光路、すなわち観察光学系の光路を変更する光路変更手段を備えるので、被測定物を観察する際に、被測定物にて反射された光が観察手段の位置で結像するように観察光学系の光路を変更することができる。したがって、観察手段を駆動することなく被測定物を適切に観察することができ、プローブ顕微鏡を簡素な構成で小型化することができる。また、このような構成によれば、観察光学系の光路を対物レンズの色収差を利用して変更することができる。したがって、新たな部材を追加することなく、被測定物を適切に観察することができ、プローブ顕微鏡を簡素な構成で小型化することができる。本発明では、前記第1の光源から射出され、前記変位検出手段に至る光と、前記第2の光源から射出され、前記観察手段に至る光とを分離するフィルタを備えることが好ましい。このような構成によれば、第1の光源から射出される光が観察手段に入射するのを抑制することができるので、観察手段にて観察される像のコントラストを向上させることができる。第1実施形態以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るプローブ顕微鏡1を示す模式図である。なお、図1では、鉛直上方向をZ軸とし、このZ軸と直交する2軸をそれぞれX,Y軸としている。以下の図面においても同様である。プローブ顕微鏡1は、図1に示すように、探針21を有するカンチレバー2と、変位検出光学系3と、観察光学系4と、3つのビームスプリッタ51~53と、対物レンズ6とを備え、探針21にて被測定物Wの表面を走査し、被測定物Wの表面形状に応じて揺動するカンチレバー2の変位を検出することで被測定物Wの表面形状を観察するものである。各ビームスプリッタ51~53は、入射する光の一部を界面511~531にて反射させるとともに、他の一部を透過させるものであり、それぞれ同一の機能を有している。変位検出光学系3は、カンチレバー2の変位を検出するためのものであり、各ビームスプリッタ51~53を含んで構成され、カンチレバー2に光を照射するための第1の光源31と、第1の光源31から射出される光を平行化するコリメータレンズ32と、所定の位置に設けられ、入射した光を反射する参照面33Aを有する参照ミラー33と、入射した光を所定の位置に集光するレンズ34と、レンズ34にて集光される光の強度を検出する変位検出手段としての光検出素子35とを備える。観察光学系4は、被測定物Wを観察するためのものであり、各ビームスプリッタ51~53を含んで構成され、被測定物Wに光を照射するための第2の光源41と、第2の光源41から射出され、被測定物Wにて反射される光を所定の位置に結像させる結像レンズ42と、結像レンズ42にて結像される光を受光することで被測定物Wを観察する観察手段としてのカメラ43と、カメラ43を制御するPCPersonalComputer44とを備える。対物レンズ6は、カンチレバー2と、第1の光源31、及び第2の光源41との間に配設され、変位検出光学系3、及び観察光学系4で共用している。また、対物レンズ6は、第1の光源31から射出される光をカンチレバー2に照射するとともに、カンチレバー2に照射される光をカメラ43にて観察するために、カンチレバー2の位置が焦点となるように設計され、配置されている。なお、カメラ43にて観察される像の拡大率は、対物レンズ6の焦点距離fと、結像レンズ42の焦点距離との関係で定まる。例えば、対物レンズ6の焦点距離fを10mmとし、結像レンズ42の焦点距離を100mmとすれば、拡大率は10倍100mm/10mmとなる。そして、対物レンズ6の焦点距離fをカンチレバー2の位置に調整する場合には、カメラ43にて観察される像を見ながら行う。ここで、変位検出光学系3の光路、すなわち第1の光源31から光検出素子35に至る光路について説明する。第1の光源31から射出された光は、コリメータレンズ32にて平行化され、ビームスプリッタ51に入射する。ビームスプリッタ51に入射した光の一部は、界面511を透過してビームスプリッタ52に入射する。ビームスプリッタ52に入射した光の一部は、界面521にて参照ミラー33に向かって反射され、他の一部は、界面521を透過して対物レンズ6に入射する。対物レンズ6に入射した光は、対物レンズ6の焦点の位置であるカンチレバー2の背面に集光される。そして、参照ミラー33の参照面33Aにて反射された光以下、参照光とする、及びカンチレバー2にて反射された光以下、測定光とするは、ビームスプリッタ52に入射する。ビームスプリッタ52に入射した参照光の一部は、界面521を透過し、ビームスプリッタ52に入射した測定光の一部は、界面521にて反射される。したがって、参照光、及び測定光は、合成されて干渉光となってビームスプリッタ53に入射する。ビームスプリッタ53に入射した干渉光の一部は、界面531を透過してレンズ34に入射する。レンズ34に入射した干渉光は、所定の位置に集光される。レンズ34にて集光される干渉光は、光検出素子35に入射する。光検出素子35は、レンズ34にて集光される干渉光を検出し、検出された干渉光の強度に基づいてカンチレバー2の変位を検出する。また、観察光学系4の光路、すなわち第2の光源41からカメラ43に至る光路について説明する。第2の光源41から射出された光は、ビームスプリッタ51に入射する。ビームスプリッタ51に入射した光の一部は、界面511にて反射され、ビームスプリッタ52に入射する。ビームスプリッタ52に入射した光の一部は、界面521を透過して対物レンズ6に入射する。対物レンズ6に入射した光は、対物レンズ6の焦点の位置であるカンチレバー2の背面に集光される。そして、カンチレバー2にて反射された光は、ビームスプリッタ52に入射する。ビームスプリッタ52に入射した光の一部は、界面521にて反射され、ビームスプリッタ53に入射する。ビームスプリッタ53に入射した光の一部は、界面531にて反射され、結像レンズ42に入射する。結像レンズ42に入射した光は、所定の位置に集光される。結像レンズ42にて集光される光は、カメラ43に入射する。すなわち、この状態では、カメラ43は、カンチレバー2の背面で合焦するので、カンチレバー2に照射される測定光を観察することができる。図2は、平行ガラス7を挿入した状態におけるプローブ顕微鏡1を示す模式図である。プローブ顕微鏡1は、カンチレバー2と、対物レンズ6との間に設けられ、対物レンズ6の焦点、すなわち焦点距離fを調整する光路変更手段としての平行ガラス7を備える。焦点調整部材としての平行ガラス7は、対物レンズ6の光軸と直交する2つの面を有し、図示しない駆動機構によって観察光学系4の光路に対して挿抜自在に設けられている。図3は、平行ガラス7を挿入した状態におけるカンチレバー2と、対物レンズ6との間の拡大図である。平行ガラス7をカンチレバー2と、対物レンズ6との間に挿入すると、焦点距離fが大きくなる方向に対物レンズ6の焦点がシフトする。具体的に、平行ガラス7の屈折率をnとし、厚さをtとすると、焦点のシフト量Sは、以下の式1で表すことができる。図4は、平行ガラス7の屈折率n、及び厚さtを変更した場合におけるシフト量Sの変化を示すグラフである。なお、図4では、縦軸をシフト量Sとし、横軸を厚さtとしている。また、グラフG1,G2,G3は、屈折率nを1.45,1.50,1.55としたときのそれぞれのグラフを示している。平行ガラス7の屈折率n、及び厚さtを変更した場合におけるシフト量Sの変化は、図4に示すように、屈折率n、及び厚さtが大きいほど、シフト量Sが大きくなる。したがって、この関係に基づいて、平行ガラス7の屈折率n、及び厚さtは、探針21の長さよりもシフト量Sが大きくなるように選定する。このような本実施形態によれば以下の効果がある。1プローブ顕微鏡1は、観察光学系4の光路を変更する光路変更手段を備えるので、被測定物Wを観察する際などに、被測定物Wにて反射された光がカメラ43の位置で結像するように観察光学系4の光路を変更することができる。したがって、カメラ43を駆動することなく被測定物Wを適切に観察することができ、プローブ顕微鏡1を簡素な構成で小型化することができる。2プローブ顕微鏡1は、平行ガラス7を観察光学系4の光路に対して挿抜することで、対物レンズ6の焦点を調整することができるので、被測定物Wを観察する際に、被測定物Wにて反射された光がカメラ43の位置で結像するように観察光学系4の光路を変更することができる。したがって、プローブ顕微鏡1を簡素な構成で小型化することができる。3プローブ顕微鏡1は、平行ガラス7の屈折率n、及び厚さtを調整することで焦点を調整することができる。したがって、平行ガラス7の形状を簡素化することができるので、プローブ顕微鏡1を容易に製造することができる。第2実施形態以下、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。図5は、本発明の第2実施形態に係るプローブ顕微鏡1Aを示す模式図である。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。前記第1実施形態では、光路変更手段は、平行ガラス7とされていたが、本実施形態では、光路変更手段は、第2の光源41Aと、対物レンズ6Aとで構成されている点で異なる。プローブ顕微鏡1Aは、図5に示すように、第2の光源41Aと、対物レンズ6Aと、第1の光源31から射出され、光検出素子35に至る青色光と、第2の光源41Aから射出され、カメラ43に至る赤色光とを分離するフィルタとしてのバンドパスフィルタ53Aとを備える。第2の光源41Aは、第1の光源31から射出される光の波長とは異なる波長の光を射出する。なお、本実施形態では、第2の光源41Aから射出される光を赤色光図5中鎖線とし、第1の光源31から射出される光を赤色光よりも波長の短い青色光図5中実線とする。これは、対物レンズ6Aが硝材である場合において、赤色光が対物レンズ6Aに入射したときの焦点距離は、対物レンズ6Aの色収差の影響によって青色光が対物レンズ6Aに入射したときの焦点距離よりも長くなるためである。対物レンズ6Aは、第1の光源31から射出される光、すなわち青色光の波長に対してカンチレバー2の位置を焦点とし、第2の光源41Aから射出される光、すなわち赤色光の波長に対して被測定物Wの位置を焦点とする。ここで、各色光の波長に対する焦点距離は、対物レンズ6Aに用いられる硝材によって定まる。以下、対物レンズ6Aに用いられる硝材の選定について説明する。図6は、赤色光が対物レンズ6Aに入射したときの焦点距離と、青色光が対物レンズ6Aに入射したときの焦点距離との関係を示す図である。なお、図6では、赤色光を鎖線で示し、青色光を実線で示している。赤色光が対物レンズ6Aに入射したときの焦点距離、及び青色光が対物レンズ6Aに入射したときの焦点距離のシフト量を、図6に示すように、δfとすると、シフト量δfは、以下の式2で表される。なお、nFは、F線波長486nmにおける屈折率であり、nDは、D線波長588nmにおける屈折率であり、nCは、C線波長656nmにおける屈折率である。図7は、代表的な3種類の硝材における波長ごとの屈折率と、分散率Δと、シフト量δfとの関係を示す図である。シフト量δfは、図7に示すように、分散率Δが大きくなるほど大きくなる。したがって、この関係に基づいて、対物レンズ6Aに用いられる硝材は、探針21の長さよりもシフト量δfが大きくなるように選定する。例えば、分散率Δの大きい硝材SF11商品名にて対物レンズ6Aを製造し、対物レンズ6Aの焦点距離fが30mmの場合には、シフト量δfは、1.17mmとなるので、シフト量δfを一般的な探針21の長さである10~15μmよりも十分大きくすることができる。このような本実施形態においても、前記第1実施形態における1と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。4プローブ顕微鏡1Aは、観察光学系4の光路を対物レンズ6Aの色収差を利用して変更することができる。したがって、新たな部材を追加することなく、被測定物Wを適切に観察することができ、プローブ顕微鏡1Aを簡素な構成で小型化することができる。5プローブ顕微鏡1Aは、バンドパスフィルタ53Aを備えるので、第1の光源31から射出される光がカメラ43に入射するのを抑制することができるので、カメラ43にて観察される像のコントラストを向上させることができる。実施形態の変形なお、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。例えば、前記第1実施形態では、焦点調整部材は、平行ガラス7とされていたが、例えば、レンズ等であってもよい。また、例えば、前記第1実施形態では、平行ガラス7は、カンチレバー2と、対物レンズ6との間に設けられていたが、結像レンズ42と、カメラ43との間に設けられていてもよい。なお、焦点調整部材を結像レンズ、及び観察手段の間に設けた場合には、焦点調整部材を対物レンズ、及びカンチレバーの間に設けた場合と比較してプローブ顕微鏡を容易に製造することができる。要するに、焦点調整部材は、観察光学系の光路に対して挿抜自在に設けられ、挿抜することで対物レンズ、及び結像レンズのうち、少なくともいずれか一方のレンズの焦点を調整することができればよい。前記第2実施形態では、第2の光源41Aから射出される光を赤色光とし、第1の光源31から射出される光を赤色光よりも波長の短い青色光としていたが、これらは他の色光であってもよい。要するに、対物レンズにおいて、第1の光源から射出される光の波長に対してカンチレバーの位置を焦点とし、第2の光源から射出される光の波長に対して被測定物の位置を焦点とすることができればよい。前記第2実施形態では、プローブ顕微鏡1Aは、バンドパスフィルタ53Aを備えていたが、例えば、ビームスプリッタであってもよい。"