"支持基板と、該支持基板を振動させる圧電振動素子とを有する圧電振動装置であって、前記圧電振動素子はバイモルフ型であり、前記圧電振動素子の一方の主面の全面が、JISK7161に準じて測定した引張弾性率20~100MPaの弾性体を介して、前記支持基板と接合している圧電振動装置。前記弾性体の厚みが、50~160μmである請求項1記載の圧電振動装置。前記支持基板に、前記圧電振動素子が接合される面と同一の面に設けられており、端子電極を有する端子基板と、該端子基板の端子電極と、前記圧電振動素子の電極とを接続する配線と、該配線と前記支持基板の間に設けられており、弾性体によって形成された配線保護層と、を有する請求項1又は2記載の圧電振動装置。前記支持基板と圧電振動素子間に介在させる前記弾性体と、前記配線保護層とが、同じ材質により形成されている請求項3記載の圧電振動装置。支持基板と、該支持基板を振動させるバイモルフ型の圧電振動素子と、前記支持基板を支持するフレームと、前記支持基板の背面側に設けられた情報を表示する表示部と、前記支持基板に対する使用者の接触動作に対応して、前記圧電振動素子を駆動する駆動手段と、を備え、前記圧電振動素子の一方の主面が、JISK7161に準じて測定した引張弾性率20~100MPaの弾性体を介して、前記支持基板と接合しているタッチパネル装置。しかしながら、前記特許文献1に記載の技術では、圧電体が単層のユニモルフ構造の圧電素子を利用しており、この圧電素子が支持基板に対して平行に振動するので、操作者に振動を伝えるためには弾性率が高い接着剤を使用する必要がある。また、圧電振動素子として、低い入力電圧で大きな変位を得ることができるバイモルフ型圧電素子も知られており、かかるバイモルフ型圧電素子を備え、ユーザに確実な操作感を与えることができるタッチパネル装置が望まれる。かかるタッチパネル装置においては、バイモルフ型圧電素子の振動により操作パネルを大きく変位させること、操作パネルに対する耐衝撃性の向上を図ること、及び、配線の接続の安定性を確保することが必要である。本発明の実施形態は、バイモルフ型の圧電振動素子によって支持基板を振動させる圧電振動装置において、支持基板を操作する際のクリック感を向上させるとともに操作パネルに対する耐衝撃性の向上を図るものである。本発明の実施形態はさらに、配線の断線が生じにくい圧電振動装置を提供する。本発明の一実施形態に係る圧電振動装置は、支持基板と、該支持基板を振動させる圧電振動素子とを有する。一実施形態においては、前記圧電振動素子がバイモルフ型であり、前記圧電振動素子の一方の主面の全面が、JISK7161に準じて測定した引張弾性率20~100MPa温度25°C,湿度60で測定した。以下,特に断らない限り,引張弾性率はこれと同一の測定条件において測定された。の弾性体を介して前記支持基板と接合している。一実施形態においては、前記弾性体の厚みが50~160μmである。他の形態に係る圧電振動装置は、前記支持基板に、前記圧電振動素子が接合される面と同一の面に設けられており、端子電極を有する端子基板と、該端子基板の端子電極と前記圧電振動素子の電極とを接続する配線と、該配線と前記支持基板の間に設けられており、弾性体によって形成された配線保護層と、を有する。さらに他の実施形態に係る圧電振動装置は、前記支持基板と圧電振動素子間に介在させる前記弾性体と、前記配線保護層とが、同じ材質により形成されている。本発明の一実施形態に係るタッチパネル装置は、支持基板と、該支持基板を振動させるバイモルフ型の圧電振動素子と、前記支持基板を支持するフレームと、前記支持基板の背面側に設けられた情報を表示する表示部と、前記支持基板に対する使用者の接触動作に対応して前記圧電振動素子を駆動する駆動手段と、を備え、前記圧電振動素子の一方の主面の全面が、JISK7161に準じて測定した引張弾性率20~100MPaの弾性体を介して前記支持基板と接合している。本発明の上記以外の目的,特徴,利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。本発明の実施形態によれば、バイモルフ型の圧電振動素子によって支持基板を振動させる圧電振動装置において、支持基板を操作する際のクリック感を向上させるとともに操作パネルに対する耐衝撃性の向上を図ることができる。また、本発明の実施形態によって、配線の断線が生じにくい圧電振動装置が提供される。以下、本発明の実施形態を、実施例に基づいて詳細に説明する。最初に、図1~図3を参照して本発明の一実施形態に係る圧電振動発生装置を説明する。本発明の一実施形態に係る圧電振動発生装置は、例えば、フォースフィードバックタッチパネル装置に適用される。図1に示すように、本発明の一実施形態に係るタッチパネル装置10は、タッチパネル支持基板16を備えており、このタッチパネル16の周囲は、フレーム12の中空部14に設けられた受け部15によって支持されている。タッチパネル16の裏面には、その短手方向に沿って、圧電振動素子20が接合されている。圧電振動素子20は、その一方の主面が弾性体18を介してタッチパネル16の裏面に接合される。圧電振動素子20の主面全面をタッチパネル16に直接接合することにより、タッチパネル16の耐衝撃性が向上するようにしてもよい。圧電振動素子20の形成位置は、図1に示すものに限られず、適宜変更可能である。フレーム12は、例えば、アルミニウム合金により形成される。タッチパネル16は、例えば、ポリカーボネート樹脂や石英ガラスなどに、図示しない透明導電膜ITOなどの透明電極を重ねて構成される。弾性体18は、例えば、ポリウレタンやEPDMエチレンプロピレンゴム等の弾性部材から成るがこれらには限られない。弾性体18のJISK7161に準じて測定した引張弾性率以下、単に弾性率という場合には、文脈上別に解するべき場合を除き、JISK7161に準じて測定した引張弾性率を指すものとする。が20MPaよりも小さくなると、圧電振動素子20の振動がタッチパネル16へ伝わりづらくなり、逆に弾性率が100MPaよりも大きくなると弾性体18に圧縮力を加えた場合の剛性と引っ張り力を加えた場合の剛性との差が小さくなり、後述するように圧電振動素子20の振動を非対称にタッチパネル16側へ伝達することができなくなる。そこで、本発明の一実施形態においては、弾性体18の弾性率を20~100MPaの範囲とする。一実施形態において、弾性体18の厚みは、50~160μmとなるように構成される。弾性体18の厚みが50μmよりも薄いと、操作者が弾性体18の弾性変位を感知しづらくなり、その結果、後述する十分なクリック感が得られなくなる。一方、厚みが160μmよりも厚いと、圧電振動素子20の振動がタッチパネル16に伝わりづらくなる。タッチパネル16と弾性体18との間、及び、弾性体18と圧電振動素子20間との間には、例えば、エポキシ系、アクリル系、シリコーン系の接着剤が、例えば20~50μm程度の厚さとなるように塗布される。一実施形態において、圧電振動素子20は、バイモルフ型の圧電振動素子である。図1に示すとおり、圧電振動素子20は、圧電素子22及び圧電素子24を含み、圧電素子22及び圧電素子24はそれぞれ圧電層28と電極層30とを積層して成る。圧電素子22と圧電素子24とは、それぞれの間に電極層26を挟んで積層される。圧電層28は、例えば、PZT系圧電セラミックスから成り、電極層30は、例えば、銀から成る。圧電振動素子20を構成する圧電層28及び電極層30の積層数及び厚みは任意であり、本明細書において明示的に説明されたものに限定されない。一例において、圧電層28は、1層の厚みが18~66μm程度となるように構成され、圧電素子22及び圧電素子24は、この圧電層28を6~20層程度積層して構成される。電極層30は、図1に示すように、互いに離間した電極層30A及び電極層30Bから成る。電極層30は、単一の部材から構成されてもよい。バイモルフ型圧電振動素子20の内部には、不図示のスルーホールが形成されており、このスルーホールを介して圧電層28同士が接続されている。タッチパネル16の裏面には、端子基板34が設けられている。この端子基板34は、電極層30A、30Bとそれぞれ接続された端子電極36A、36Bを備える。該端子基板34は、弾性体からなる配線保護層32を介してタッチパネル16に接合されている。端子電極36A、36Bは、配線38A、38Bによって前記電極層30A、30Bと接続されている。配線38A、38Bは、例えば、導電ペーストにより形成される。配線38A,38Bは、弾性体からなる配線保護層32上に形成されるため、圧電振動素子20の振動に追従して動くことができるため断線しにくい。配線保護層32は、例えば、前記弾性体18と同様にウレタン樹脂等から成る。配線保護層32を弾性体18と同じ材質から形成することにより、両者の接合強度を向上させることができる。タッチパネル16の裏面には、各種情報などを表示するための背面パネル40が設けられる。背面パネル40は、フレーム12の中空部14を密封するようにタッチパネル16に設けられる。タッチパネル装置10の密閉された中空部14に、スピーカ要素を設けてもよい。タッチパネル装置10は、タッチパネル16に圧力が加えられたときに、当該圧力が加えられた位置を検出する公知の操作位置検出機構を備える。また、タッチパネル装置10は、ユーザがタッチパネル16を押したときに、前記圧電振動素子20を振動させるための駆動電圧を印加する駆動回路不図示を備えている。該駆動回路には、端子基板34の端子電極36A及び36B,配線38A及び38Bを介して、前記圧電振動素子20の電極層30A及び30Bが接続される。次に、図2を参照して本発明の一実施形態に係るタッチパネル装置10の動作を説明する。図2は、タッチパネル装置10の一部を示す断面図であり、図1とはタッチパネル装置10の上下を反転させている。図2には、タッチパネル装置10の電極層30A及び30Bに駆動電圧が供給されていない状態が示されている。図示しない駆動回路から、端子電極36A、36B及び配線38A、38Bを介して電極層30A及び30Bに交流の駆動電圧が印加されると、圧電振動素子20がタッチパネル16と反対側図2に矢印FAで示す方向の方向及びタッチパネル16と同じ側図2に矢印FBで示す方向の方向に交互に変位する。つまり、圧電振動素子20は、交流の駆動電圧が印加されると、図2に示す位置と図2に示す位置の間でタッチパネル16の主面と垂直な上下方向に振動する。図2は、圧電振動素子20が図2に示す位置と図2に示す位置の中間の位置にある状態を示す。圧電振動素子20がタッチパネル16と反対側に変位するときには、弾性体18に引っ張り方向の外力が作用して弾性体18の剛性が低くなり、反対に、圧電振動素子20がタッチパネル16と同じ側に変位するときには、弾性体18が圧縮されることにより該弾性体18の剛性が高くなる。したがって、圧電振動素子20がタッチパネル16と同じ側に変位する場合に、逆側に変位する場合よりも、圧電振動素子20の変位がタッチパネル16に伝わりやすくなり、圧電振動素子20の変位によりタッチパネル16をより大きく変位させることができる。その結果、タッチパネル16を操作するユーザの指先に確実にクリック感を与えることができる。このように、圧電振動素子20が上下方向に対称に振動するにもかかわらず、ユーザにとっては圧電振動素子20のタッチパネル16側への変位がより大きく感じられることになる。剛性は、構造部材の変形しにくさを示すもので、一般に部材の断面形状弾性二次モーメントと材料の弾性率との積で与えられる例えば、プラスチック大辞典工業調査会参照。弾性体の剛性は、一般に、引っ張り力を受けるとき引っ張り方向に変形するときに低くなり、圧縮力を受けるとき圧縮方向に変形するときに高くなる。この弾性体の性質により、圧電振動素子20がタッチパネル16の反対方向に変位するときに弾性体18の剛性が低くなり、逆に、前記圧電振動素子20がタッチパネル16の方向に変位するときに弾性体18の剛性が高くなる。その結果、圧電振動素子20のタッチパネル16に向かう方向の変位が離れる方向の変位と比べて伝達されやすくなり、圧電振動素子20の変位が非対称にタッチパネル16へ伝達される。図3は、圧電振動素子20としてPZT系圧電セラミックス厚さ0.2mm,銀電極使用を用い、弾性体18及び配線保護層32としてウレタン系樹脂厚さ0.16mmを用い、タッチパネル16としてポリカーボネート厚さ0.8mmを用いたタッチパネル装置10において、電圧18Vpp、周波数200Hzの正弦波で圧電振動素子20を駆動した場合のタッチパネル16の相対変位量の経時変化を示す。図3のグラフにおいて、縦軸の正方向が前記図2の上方向への変位を表す。図示のとおり、圧電振動素子20の駆動により、タッチパネル16は上方向への変位が大きくなる。これにより、操作者に対して確実なクリック感を与えることができる。本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることができる。例えば、本明細書において示した形状、寸法、材質は一例であり、必要に応じて適宜変更することができる。"