クライオパネルの冷却運転と該クライオパネルの再生のための昇温運転とを行うための冷凍機を備えるクライオポンプと、該冷凍機に作動気体を供給するための圧縮機と、を備えるクライオポンプシステムであって、前記冷却運転よりも前記昇温運転において前記圧縮機の供給作動気体温度を高くすることを特徴とするクライオポンプシステム。前記圧縮機を制御するための制御部をさらに備え、前記圧縮機は、前記冷凍機に供給する作動気体を冷却するための熱交換器と、該熱交換器を迂回するバイパス路と、を含み、前記制御部は、前記冷凍機の運転状態に応じて、前記熱交換器を経由する流路と前記バイパス路を経由する流路とを切り替えることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプシステム。前記昇温運転は、クライオパネル冷却温度から昇温速度切替温度まで高速に加熱する急速昇温と、該昇温速度切替温度から再生のためのクライオパネル温度まで前記急速昇温より低速に加熱する低速昇温と、を含み、少なくとも前記急速昇温において供給作動気体温度を高くすることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプシステム。クライオポンプまたは冷凍機のための作動気体の圧縮機であって、該クライオポンプまたは冷凍機の冷却運転よりも昇温運転において供給作動気体温度を高くすることを特徴とする圧縮機。クライオパネルの昇温工程を含み、該昇温工程は、クライオパネルを冷却するための冷凍機への供給作動気体温度を昇温工程前よりも高くすることを含むことを特徴とするクライオポンプの再生方法。クライオパネルを冷却するために、冷凍機は作動気体の断熱膨張により寒冷を発生させる。そのため冷凍機に供給される作動気体の温度は低いほうが好ましい。そこで、作動気体の供給元である圧縮機は通常、作動気体の圧縮により生じた熱を除去し、作動気体を冷凍機へと送出する。ところで、クライオポンプの再生のためにクライオパネルを加熱する1つの方法として、冷凍機のいわゆる逆転昇温が知られている。逆転昇温は、冷却運転とは作動気体の吸排気のタイミングを異ならせて作動気体に断熱圧縮を生じさせ、冷凍機でクライオパネルを加熱する運転方法である。典型的には冷凍機の吸排気タイミングを定めるロータリバルブを冷却運転とは逆回転させることで断熱圧縮を生じさせる。本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、逆転昇温による昇温能力を高めることにある。本発明のある態様のクライオポンプシステムは、クライオパネルの冷却運転と該クライオパネルの再生のための昇温運転とを行うための冷凍機を備えるクライオポンプと、該冷凍機に作動気体を供給するための圧縮機と、を備えるクライオポンプシステムであって、前記冷却運転よりも前記昇温運転において前記圧縮機の供給作動気体温度を高くする。この態様によると、比較的高温の作動気体を昇温運転中の冷凍機に供給することができるので、クライオパネルの昇温を促進することができる。クライオパネルの再生における昇温時間を短くすることができるので、再生に要する時間を短縮することができる。本発明の別の態様は、クライオポンプまたは冷凍機のための作動気体の圧縮機であって、該クライオポンプまたは冷凍機の冷却運転よりも昇温運転において供給作動気体温度を高くする圧縮機である。本発明の別の態様は、クライオポンプの再生方法である。この方法は、クライオパネルの昇温工程を含み、該昇温工程は、クライオパネルを冷却するための冷凍機への供給作動気体温度を昇温工程前よりも高くすることを含む。本発明によれば、逆転昇温による昇温能力を高めることができる。図1は、本発明の一実施形態に係るクライオポンプシステム100を模式的に示す図である。クライオポンプシステム100は、クライオポンプ10、制御部20、及び圧縮機52を備える。クライオポンプ10は、例えばイオン注入装置やスパッタリング装置等の真空チャンバに取り付けられて、真空チャンバ内部の真空度を所望のプロセスに要求されるレベルまで高めるために使用される。クライオポンプ10は、クライオポンプ容器30と、放射シールド40と、冷凍機50と、を含んで構成される。冷凍機50は、例えばギフォードマクマホン式冷凍機いわゆるGM冷凍機などの冷凍機である。冷凍機50は、第1シリンダ11、第2シリンダ12、第1冷却ステージ13、第2冷却ステージ14、バルブ駆動モータ16を備える。第1シリンダ11と第2シリンダ12は直列に接続される。第1シリンダ11の第2シリンダ12との結合部側には第1冷却ステージ13が設置され、第2シリンダ12の第1シリンダ11から遠い側の端には第2冷却ステージ14が設置される。図1に示す冷凍機50は、二段式の冷凍機であり、シリンダを直列に二段組み合わせてより低い温度を達成している。冷凍機50は冷媒管18を介して圧縮機52に接続される。圧縮機52は、例えばヘリウム等の冷媒ガス、すなわち作動気体を圧縮して、冷媒管18を介して冷凍機50に供給する。圧縮機52の詳細については図2を参照して後述する。冷凍機50は、作動気体を蓄冷器を通過させることにより冷却しつつ、まず第1シリンダ11の内部の膨張室で、次いで第2シリンダ12の内部の膨張室で膨張させてさらに冷却する。蓄冷器は膨張室内部に組み込まれている。これにより、第1シリンダ11に設置される第1冷却ステージ13は第1の冷却温度レベルに冷却され、第2シリンダ12に設置される第2冷却ステージ14は第1の冷却温度レベルよりも低温の第2の冷却温度レベルに冷却される。例えば、第1冷却ステージ13は65K~100K程度に冷却され、第2冷却ステージ14は10K~20K程度に冷却される。膨張室で順次膨張することで吸熱し、各冷却ステージを冷却した作動気体は、再び蓄冷器を通過し、冷媒管18を経て圧縮機52に戻される。圧縮機52から冷凍機50へ、また冷凍機50から圧縮機52への作動気体の流れは、冷凍機50内のロータリバルブ図示せずにより切り替えられる。バルブ駆動モータ16は、外部電源から電力の供給を受けて、ロータリバルブを回転させる。冷凍機50を制御するための制御部20が設けられている。制御部20は、第1冷却ステージ13または第2冷却ステージ14の冷却温度に基づいて冷凍機50を制御する。そのために、第1冷却ステージ13または第2冷却ステージ14に温度センサ図示せずが設けられていてもよい。制御部20は、バルブ駆動モータ16の運転周波数を制御することにより冷却温度を制御してもよい。そのために制御部20は、バルブ駆動モータ16を制御するためのインバータを備えてもよい。制御部20は、圧縮機52及び後述する各バルブを制御するよう構成されていてもよい。制御部20は、クライオポンプ10を制御するためのクライオポンプコントローラと、圧縮機52を制御するための圧縮機コントローラと、クライオポンプコントローラ及び圧縮機コントローラとを統括するための上位のコントローラと、を備えてもよい。制御部20はクライオポンプ10に一体に設けられていてもよいし、圧縮機52に一体に設けられていてもよいし、クライオポンプ10及び圧縮機52とは別体の制御装置として構成されていてもよい。図1に示されるクライオポンプ10は、いわゆる横型のクライオポンプである。横型のクライオポンプとは一般に、冷凍機の第2冷却ステージ14が筒状の放射シールド40の軸方向に交差する方向通常は直交方向に沿って放射シールド40の内部に挿入されているクライオポンプである。なお、本発明はいわゆる縦型のクライオポンプにも同様に適用することができる。縦型のクライオポンプとは、放射シールドの軸方向に沿って冷凍機が挿入されているクライオポンプである。クライオポンプ容器30は、一端に開口を有し他端が閉塞されている円筒状の形状に形成された部位以下、胴部と呼ぶ32を有する。この開口は、クライオポンプが接続されるスパッタ装置等の真空チャンバから排気されるべき気体を受け入れるためのポンプ口34として、設けられている。ポンプ口34はクライオポンプ容器30の胴部32の上端部内面により画定される。また胴部32にはポンプ口34としての開口とは別に、冷凍機50を挿通するための開口37が形成されている。胴部32の開口37には円筒状の冷凍機収容部38の一端が取り付けられ、他端は冷凍機50のハウジングに取り付けられている。冷凍機収容部38は冷凍機50の第1シリンダ11を収容する。またクライオポンプ容器30の胴部32の上端には径方向外側に向けて取付フランジ36が延びている。クライオポンプ10は、取付フランジ36を用いて取付先の真空チャンバに取り付けられる。クライオポンプ容器30は、クライオポンプ10の内部と外部とを隔てるために設けられている。上述のようにクライオポンプ容器30は胴部32と冷凍機収容部38とを含んで構成されており、胴部32及び冷凍機収容部38の内部は共通の圧力に気密に保持される。これによりクライオポンプ容器30は、クライオポンプ10の排気運転中は真空容器として機能する。クライオポンプ容器30の外面は、クライオポンプ10の動作中、すなわち冷凍機が作動している間も、クライオポンプ10の外部の環境にさらされるため、放射シールド40よりも高い温度に維持される。典型的にはクライオポンプ容器30の温度は環境温度に維持される。ここで環境温度とは、クライオポンプ10が設置されている場所の温度、またはその温度に近い温度をいい、例えば室温程度である。また、クライオポンプ容器30の冷凍機収容部38の内部に圧力センサ54が設けられている。圧力センサ54は、冷凍機収容部38の内部圧力すなわちクライオポンプ容器30の圧力を周期的に測定し、測定圧力を示す信号を制御部20に出力する。圧力センサ54はその出力を通信可能に制御部20に接続されている。なお圧力センサ54はクライオポンプ容器30の胴部32に設けられてもよい。圧力センサ54は、クライオポンプ10により実現される高い真空レベルと大気圧レベルの両方を含む広い計測範囲を有する。少なくとも再生処理中に生じ得る圧力範囲を計測範囲に含むことが望ましい。圧力センサ54として、本実施形態では例えばクリスタルゲージを使用することが好ましい。クリスタルゲージとは、水晶振動子の振動抵抗が圧力によって変化する現象を利用して圧力を測定するセンサである。あるいは圧力センサ54はピラニー真空計であってもよい。なお、真空レベルの測定用の圧力センサと、大気圧レベルの測定用の圧力センサとが、個別にクライオポンプ10に設けられていてもよい。クライオポンプ容器30には、ベントバルブ70、ラフバルブ72、及びパージバルブ74が接続されている。ベントバルブ70、ラフバルブ72、及びパージバルブ74はそれぞれ制御部20により開閉が制御される。ベントバルブ70は、排出ライン80の例えば末端に設けられている。あるいはベントバルブ70は排出ライン80の中途に設けられ末端には放出された流体を回収するためのタンク等が設けられていてもよい。ベントバルブ70が開弁されることにより排出ライン80の流れが許容され、ベントバルブ70が閉弁されることにより排出ライン80の流れが遮断される。排出される流体は基本的にはガスであるが、液体または気液の混合物であってもよい。例えばクライオポンプ10に凝縮されたガスの液化物が排出流体に混在していてもよい。ベントバルブ70が開弁されることにより、クライオポンプ容器30の内部に生じた陽圧を外部に解放することができる。排出ライン80は、クライオポンプ10の内部空間から外部環境へと流体を排出するための排出ダクト82を含む。排出ダクト82は例えばクライオポンプ容器30の冷凍機収容部38に接続されている。排出ダクト82は流れ方向に直交する断面が円形のダクトであるが、その他のいかなる断面形状を有してもよい。排出ライン80は、排出ダクト82を排出される流体から異物を除去するためのフィルタを含んでもよい。このフィルタは、排出ライン80においてベントバルブ70の上流に設けられていてもよい。ベントバルブ70は、いわゆる安全弁としても機能するよう構成されている。ベントバルブ70は、排出ダクト82に設けられている例えば常閉型の制御弁である。ベントバルブ70は更に、所定の差圧が作用したときに機械的に開弁されるよう閉弁力が予め設定されている。この設定差圧は例えば、クライオポンプ容器30に作用し得る内圧やポンプ容器30の構造的な耐久性等を考慮して適宜設定することができる。クライオポンプ10の外部環境は通常大気圧であるから、設定差圧は大気圧を基準として所定の値に設定される。ベントバルブ70は通常、例えば再生中などのようにクライオポンプ10から流体を放出するときに制御部20によって開弁される。放出すべきでないときは制御部20によってベントバルブ70は閉弁される。一方、ベントバルブ70は、設定差圧が作用したときに機械的に開弁される。このため、クライオポンプ内部が何らかの理由で高圧となったときに制御を要することなくベントバルブ70は機械的に開弁される。それにより内部の高圧を逃がすことができる。こうしてベントバルブ70は安全弁として機能する。このようにベントバルブ70を安全弁と兼用することにより、2つの弁をそれぞれ設ける場合に比べてコストダウンや省スペース化という利点を得られる。ラフバルブ72は、粗引きポンプ73に接続される。ラフバルブ72の開閉により、粗引きポンプ73とクライオポンプ10とが連通または遮断される。粗引きポンプ73は典型的にはクライオポンプ10とは別の真空装置として設けられ、例えばクライオポンプ10が接続される真空チャンバを含む真空システムの一部を構成する。ラフバルブ72を開きかつ粗引きポンプ73を動作させることにより、クライオポンプ10の内部を減圧することができる。パージバルブ74は図示しないパージガス供給装置に接続される。パージガスは例えば窒素ガスである。制御部20がパージバルブ74を制御することにより、パージガスのクライオポンプ10への供給が制御される。放射シールド40は、クライオポンプ容器30の内部に配設されている。放射シールド40は、一端に開口を有し他端が閉塞されている円筒状の形状、すなわちカップ状の形状に形成されている。放射シールド40は、図1に示されるような一体の筒状に構成されていてもよく、また、複数のパーツにより全体として筒状の形状をなすように構成されていてもよい。これら複数のパーツは互いに間隙を有して配設されていてもよい。クライオポンプ容器30の胴部32及び放射シールド40はともに略円筒状に形成されており、同軸に配設されている。クライオポンプ容器30の胴部32の内径が放射シールド40の外径を若干上回っており、放射シールド40はクライオポンプ容器30の胴部32の内面との間に若干の間隔をもってクライオポンプ容器30とは非接触の状態で配置される。すなわち、放射シールド40の外面は、クライオポンプ容器30の内面と対向している。なお、クライオポンプ容器30の胴部32および放射シールド40の形状は、円筒形状には限られず、角筒形状や楕円筒形状などいかなる断面の筒形状でもよい。典型的には、放射シールド40の形状はクライオポンプ容器30の胴部32の内面形状に相似する形状とされる。放射シールド40は、第2冷却ステージ14およびこれに熱的に接続される低温クライオパネル60を主にクライオポンプ容器30からの輻射熱から保護する放射シールドとして設けられている。第2冷却ステージ14は、放射シールド40の内部において放射シールド40のほぼ中心軸上に配置される。放射シールド40は、第1冷却ステージ13に熱的に接続された状態で固定され、第1冷却ステージ13と同程度の温度に冷却される。低温クライオパネル60は、例えば複数のパネル64を含む。パネル64は例えば、それぞれが円すい台の側面の形状、いわば傘状の形状を有する。各パネル64は、第2冷却ステージ14に取り付けられているパネル取付部材66に取り付けられている。各パネル64には通常、活性炭等の吸着剤図示せずが設けられている。吸着剤は例えばパネル64の裏面に接着されている。パネル取付部材66に複数のパネル64が互いに間隔をあけて取り付けられている。複数のパネル64は、ポンプ口34から見てポンプ内部に向かう方向に配列されている。放射シールド40の吸気口には、真空チャンバ等からの輻射熱から第2冷却ステージ14およびこれに熱的に接続される低温クライオパネル60を保護するために、バッフル62が設けられている。バッフル62は、例えば、ルーバ構造やシェブロン構造に形成される。バッフル62は、放射シールド40の中心軸を中心とする同心円状に形成されていてもよいし、あるいは格子状等他の形状に形成されていてもよい。バッフル62は放射シールド40の開口側の端部に取り付けられており、放射シールド40と同程度の温度に冷却される。放射シールド40の側面には冷凍機取付孔42が形成されている。冷凍機取付孔42は、放射シールド40の中心軸方向に関して放射シールド40側面の中央部に形成されている。放射シールド40の冷凍機取付孔42はクライオポンプ容器30の開口37と同軸に設けられている。冷凍機50の第2シリンダ12及び第2冷却ステージ14は冷凍機取付孔42から放射シールド40の中心軸方向に垂直な方向に沿って挿入されている。放射シールド40は、冷凍機取付孔42において第1冷却ステージ13に熱的に接続された状態で固定される。なお放射シールド40が第1冷却ステージ13に直接取り付けられる代わりに、接続用のスリーブによって放射シールド40が第1冷却ステージ13に取り付けられてもよい。このスリーブは例えば、第2シリンダ12の第1冷却ステージ13側の端部を包囲し、放射シールド40を第1冷却ステージ13に熱的に接続するための伝熱部材である。図2は、本発明の一実施形態に係る圧縮機52を模式的に示す図である。圧縮機52はクライオポンプ10を含む閉じた流体回路に作動気体を循環させるために設けられている。圧縮機ユニットはクライオポンプ10から作動気体を回収し圧縮して再度クライオポンプ10へと送出する。圧縮機52は、気体を昇圧する圧縮機本体140、外部から供給された低圧気体を圧縮機本体140へと供給するための低圧配管142、及び、圧縮機本体140により圧縮された高圧気体を外部に送出するための高圧配管144を含んで構成される。圧縮機52は吸入ポート146にてクライオポンプ10からの戻りガスを受け入れ、低圧配管142へと作動気体は送られる。吸入ポート146は、低圧配管142の末端において圧縮機52の筐体に設けられている。低圧配管142は吸入ポート146と圧縮機本体140の吸入口とを接続する。低圧配管142は中途に、戻りガスに含まれる脈動を除去するための容積としてのストレージタンク150を備える。ストレージタンク150は吸入ポート146と、後述するバイパス機構152への分岐との間に設けられている。ストレージタンク150で脈動が除去された作動気体は、低圧配管142を通じて圧縮機本体140に供給される。ストレージタンク150の内部には、気体から不要な微粒子等を取り除くためのフィルタが設けられていてもよい。ストレージタンク150と吸入ポート146との間には、外部から作動気体を補充するための受入ポート及び配管が接続されていてもよい。圧縮機本体140は、例えばスクロール方式或いはロータリ式のポンプであり、吸入されたガスを昇圧する機能を奏するものである。圧縮機本体140は、昇圧された作動気体を高圧配管144に送り出す。圧縮機本体140はオイルを用いて冷却を行う構成とされており、オイルを循環させるオイル冷却配管が圧縮機本体140に付随して設けられている。このため、昇圧された作動気体はこのオイルが若干混入した状態で高圧配管144に送り出される。よって、高圧配管144にはその中途にオイルセパレータ154が設けられている。オイルセパレータ154にて作動気体から分離されたオイルは低圧配管142へと戻され、低圧配管142を通じて圧縮機本体140に戻されてもよい。オイルセパレータ154には過度の高圧を解放するためのリリーフ弁が設けられていてもよい。圧縮機本体140とオイルセパレータ154とを接続する高圧配管144の中途に、圧縮機本体140から送出された高圧作動気体を冷却するための熱交換器145が設けられている。熱交換器145は例えば冷却水破線で示すにより作動気体を冷却する。またこの冷却水は圧縮機本体140を冷却するオイルを冷却するためにも利用されてもよい。高圧配管144において熱交換器の上流及び下流の少なくとも一方に作動気体の温度を測定する温度センサ153が設けられていてもよい。圧縮機本体140とオイルセパレータ154とを接続するために2つの経路が設けられている。すなわち、熱交換器145を経由する主流路147と、熱交換器145を迂回するバイパス路149と、が設けられている。バイパス路149は、熱交換器145の上流圧縮機本体140の下流で主流路147から分岐し、熱交換器145の下流オイルセパレータ154の上流で主流路147に合流する。主流路147とバイパス路149との合流位置には三方弁151が設けられている。三方弁151を切り替えることにより、主流路147とバイパス路149とのいずれかに作動気体の流路を切り替えることができる。三方弁151は、その他の同等の流路構成に置き換えてもよく、例えば、主流路147とバイパス路149のそれぞれに2ポート弁を設けることにより主流路147とバイパス路149との切り替えを可能としてもよい。オイルセパレータ154を経由した作動気体は、高圧配管144を通じてアドソーバ156に送られる。アドソーバ156は、例えばストレージタンク150内のフィルタやオイルセパレータ154等の流路上の汚染物質除去手段により取り切れていない汚染成分を作動気体から取り除くために設けられている。アドソーバ156は、例えば気化しているオイル成分を吸着により除去する。吐出ポート148が高圧配管144の末端において圧縮機52の筐体に設けられている。すなわち高圧配管144は圧縮機本体140と吐出ポート148とを接続し、その中途に熱交換器145、オイルセパレータ154及び、アドソーバ156が設けられている。アドソーバ156を経由した作動気体は吐出ポート148を通じてクライオポンプ10へと送出される。圧縮機52は、低圧配管142と高圧配管144とをつなぐバイパス配管158を有するバイパス機構152を備える。図示の実施例では、バイパス配管158は、ストレージタンク150と圧縮機本体140との間において低圧配管142から分岐している。また、バイパス配管158は、オイルセパレータ154とアドソーバ156との間において高圧配管144から分岐している。バイパス機構152は、クライオポンプ10へと送出されずに高圧配管144から低圧配管142へと迂回する作動気体流量を制御するための制御弁を備える。図示の実施例においては、バイパス配管158の中途に第1制御弁160及び第2制御弁162が並列に設けられている。一実施例においては第1制御弁160は常開型のソレノイドバルブであり、第2制御弁162は常閉型のソレノイドバルブである。第1制御弁160は運転停止時の高圧側と低圧側との均圧のために設けられており、第2制御弁162がバイパス配管158の流量制御弁として使用される。圧縮機52は、クライオポンプ10からの戻りガスの圧力を測定するための第1圧力センサ164と、クライオポンプ10への送出ガスの圧力を測定するための第2圧力センサ166と、を備える。第1圧力センサ164は例えばストレージタンク150に設置されており、ストレージタンク150において脈動が除去された戻りガスの圧力を測定する。第2圧力センサ166は例えばオイルセパレータ154とアドソーバ156との間に設けられている。上記の構成のクライオポンプ10による動作を以下に説明する。クライオポンプ10の作動に際しては、まずその作動前にラフバルブ72を通じて粗引きポンプ73でクライオポンプ容器30の内部を1Pa程度にまで粗引きする。圧力は圧力センサ54により測定される。その後クライオポンプ10を作動させる。制御部20による制御のもとで、冷凍機50の駆動により第1冷却ステージ13及び第2冷却ステージ14が冷却され、これらに熱的に接続されている放射シールド40、バッフル62、クライオパネル60も冷却される。冷却されたバッフル62は、真空チャンバからクライオポンプ10内部へ向かって飛来する気体分子を冷却し、その冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体例えば水分などを表面に凝縮させて排気する。バッフル62の冷却温度では蒸気圧が充分に低くならない気体はバッフル62を通過して放射シールド40内部へと進入する。進入した気体分子のうちクライオパネル60の冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体は、クライオパネル60の表面に凝縮されて排気される。その冷却温度でも蒸気圧が充分に低くならない気体例えば水素などは、クライオパネル60の表面に接着され冷却されている吸着剤により吸着されて排気される。このようにしてクライオポンプ10は取付先の真空チャンバの真空度を所望のレベルに到達させることができる。排気運転が継続されることによりクライオポンプ10には気体が蓄積されていく。蓄積した気体を外部に排出するために、排気運転が開始されてから所定時間が経過したときまたは所定の再生開始条件が満たされたときに、クライオポンプ10の再生が行われる。再生処理は、昇温工程、排出工程、及び冷却工程を含む。クライオポンプ10の再生処理は例えば制御部20により制御される。制御部20は、所定の再生開始条件が満たされたか否かを判定し、当該条件が満たされた場合には再生を開始する。その場合、制御部20は、冷凍機50のクライオパネル冷却運転を中止し、冷凍機50の昇温運転を、具体的には急速昇温を開始する。当該条件が満たされていない場合には、制御部20は再生を開始せず、例えば真空排気運転を継続する。図3は、本発明の一実施形態に係る再生方法を説明するためのフローチャートである。再生処理は、排気運転中のクライオパネル温度よりも高温である再生温度にクライオポンプ10を昇温する昇温工程を含むS10。図3に示す再生処理の一例は、いわゆるフル再生である。フル再生は、クライオポンプ10の低温クライオパネル60及びバッフル62を含むすべてのクライオパネルを再生する。クライオパネルは真空排気運転のための冷却温度から例えば常温付近の再生温度例えば約300Kまで加熱される。昇温工程は、逆転昇温を含む。一実施例においては逆転昇温運転は、冷却運転とは冷凍機50内のロータリバルブを逆方向に回転させることにより、作動気体に断熱圧縮を生じさせるよう作動気体の吸排気のタイミングを異ならせる。こうして得られる圧縮熱でクライオパネルを加熱する。図3に示されるように、一実施例においては昇温工程は、急速昇温S11と低速昇温S12とを含む。急速昇温は、冷却運転におけるクライオパネル冷却温度から昇温速度切替温度まで比較的高速にクライオパネルを加熱する。低速昇温は、その昇温速度切替温度から再生温度まで急速昇温より低速にクライオパネルを加熱する。昇温速度切替温度は例えば200K乃至250Kの温度範囲から選択される温度である。なお、こうした2段階の昇温は必須ではない。一定の昇温速度でクライオパネルは加熱されてもよいし、昇温速度が2段階よりも多段階に区分けされる昇温工程であってもよい。昇温工程において制御部20は、急速昇温において低速昇温よりもバルブ駆動モータ16を高回転で制御する。制御部20は急速昇温において、クライオパネル温度の測定値が昇温速度切替温度に達したか否かを判定する。制御部20は、当該切替温度に達するまでは急速昇温を継続し、当該切替温度に達した場合には急速昇温から低速昇温に切り替える。制御部20は低速昇温において、クライオパネル温度の測定値が再生温度に達したか否かを判定する。制御部20は、再生温度に達するまでは低速昇温を継続し、再生温度に達した場合には昇温工程を終了し、次の排出工程を開始する。排出工程は、クライオパネル表面から再気化した気体をクライオポンプ10の外部へ排出するS14。再気化した気体は例えば排出ライン80を通じて、または粗引きポンプ73を使用して、外部に排出される。再気化した気体は、必要に応じて導入されるパージガスとともにクライオポンプ10から排出される。排出工程においては、冷凍機50の昇温運転が継続されていてもよいし、冷凍機50の運転は停止されてもよい。制御部20は例えば、クライオポンプ10の内部の圧力測定値に基づいて、気体排出が完了したか否かを判定する。例えば、制御部20は、クライオポンプ10内の圧力が所定のしきい値を超えている間は排出工程を継続し、圧力がそのしきい値を下回った場合に排気工程を終了し冷却工程を開始する。冷却工程は、真空排気運転を再開するためにクライオパネルを再冷却するS16。冷凍機50の冷却運転が開始される。制御部20は、クライオパネル温度の測定値が真空排気運転のためのクライオパネル冷却温度に達したか否かを判定する。制御部20は、クライオパネル冷却温度に到達するまでは冷却工程を継続し、当該冷却温度に達した場合には冷却工程を終了する。こうして再生処理は完了する。クライオポンプ10の真空排気運転が再開される。本発明の一実施形態においては、クライオパネルの昇温工程は、クライオパネルを冷却するための冷凍機50への圧縮機52からの供給作動気体温度を昇温工程前よりも高くすることを含む。クライオポンプシステム100は、冷凍機50の冷却運転よりも昇温運転において供給作動気体温度を高くする。供給作動気体温度は少なくとも急速昇温において高くする。あるいは、供給作動気体温度は昇温工程を通じて高くしてもよい。急速昇温終了後または昇温工程終了後、冷却工程が開始されるまでに、供給作動気体温度はもとの温度レベルに戻される。一実施例においては、クライオポンプシステム100は、圧縮機52における流路切替制御によって、冷凍機50への供給作動気体温度を高くする。制御部20は、冷凍機50の運転状態に応じて圧縮機52における作動気体の流路を切り替える。制御部20は、冷凍機50が冷却運転の場合には熱交換器145を経由する主流路147に作動気体を流し、昇温運転の場合にはバイパス路149に作動気体を流すよう流路を切り替える。図4は、本発明の一実施形態に係る圧縮機52における流路切替制御を説明するためのフローチャートである。この処理は所定の周期で制御部20により反復される。まず、制御部20は、冷凍機50の運転状態を判別するS20。冷凍機50が冷却運転をしている場合には、制御部20は、圧縮機52において作動気体が主流路147を経由するよう三方弁151を切り替えるS22。前回の本判定において冷凍機50が冷却運転をしている場合には、主流路147を経由する状態を継続する。一方、冷凍機50が昇温運転をしている場合には、制御部20は、圧縮機52において作動気体がバイパス路149を経由するよう三方弁151を切り替えるS24。前回の判定において冷凍機50が昇温運転をしている場合には、バイパス路149を経由する状態を継続する。なお、冷凍機50が運転を停止している場合には、三方弁151の状態を変更せず継続してもよい。上述のように、制御部20は、急速昇温の実行中に限り、圧縮機52において作動気体がバイパス路149を経由するよう三方弁151を切り替えてもよい。あるいは、昇温工程の完了または排出工程の完了まで、バイパス路149を経由するよう三方弁151を切り替えてもよい。制御部20は、冷却工程を開始するまでには作動気体経路を主流路147に戻すよう三方弁151を切り替える。このような三方弁151の切替動作により、冷却運転においては作動気体は主流路147すなわち熱交換器145を経由する一方、昇温運転においては作動気体は熱交換器145を経由せずにバイパス路149を経由する。よって、冷却運転においては熱交換器145により冷却されて低温の作動気体が冷凍機50へと供給される。一方、昇温運転においては、作動気体は熱交換器145を経由しないので、圧縮機本体140で圧縮熱を与えられて高温となった作動気体がそのまま冷凍機50へと供給される。なお、制御部20は、クライオポンプシステム100の温度センサの測定値に基づいて、作動気体流路をバイパス路149から主流路147へと復帰させてもよい。例えば、制御部20は、冷凍機50に供給される作動気体温度が所定温度を超えることが温度センサ153の測定温度に基づき予測される場合には、バイパス路149から主流路147へと切り替えてもよい。この所定温度は例えば上述の再生温度であってもよい。このようにすれば、過度に高温の作動気体が冷凍機50に供給されるのを避けることができる。本発明の一実施形態によれば、比較的高温の作動気体を昇温運転中の冷凍機50に供給することができるので、クライオパネルの昇温を促進することができる。よって、クライオパネルの再生における昇温時間を短くすることができるので、再生に要する時間を短縮することができる。圧縮機52における流路の切替という単純な操作で、かつ作動気体を追加的に加熱することなく熱交換器145への排熱を利用して、冷凍機50に高温の作動気体を供給することができるので、省エネルギー性に優れる。以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。例えば、供給作動気体温度を高くするために、バイパス路149の設置及び流路切替に代えて、熱交換器145の冷却能力を昇温工程において弱めてもよい。例えば熱交換器145の冷媒冷却水の流量を小さくしたり、あるいは冷却水温度を高めてもよい。あるいは、熱交換器145の冷媒流路に、作動気体と熱交換をする主流路と熱交換をしないバイパス路とを設け、上述の実施例と同様に冷凍機50の運転状態に応じて切り替えてもよい。上述の実施例においては、主流路147とバイパス路149とが作動気体を流すために選択的に使用されているがこれに限られない。主流路147とバイパス路149との流量比を調整することにより、作動気体温度をいくらか調整するようにしてもよい。