"ウエハ状物品を保持するための装置であって、ウエハ状物品に接触するための突き出し部分と前記装置のボディに収まる取り付け部分とを有する複数の可動接触要素と、前記装置上に位置決めされたウエハ状物品に前記接触要素が接触する第1の位置と第2の非接触位置との間で、前記接触要素を一斉に駆動するギアメカニズムと、を備え、前記ギアメカニズムは、前記複数の接触要素の1つに係合する少なくとも一領域において、前記少なくとも一領域に隣接する前記ギアメカニズムのその他の領域よりも容易に前記複数の接触要素の横移動に屈する構造を有する、装置。請求項1に記載の装置であって、前記接触要素は、前記第2の位置から前記第1の位置に一体的に移動可能である一連のピンである、装置。請求項1に記載の装置であって、前記装置の前記ボディは、プラスチックで作成される、装置。請求項1に記載の装置であって、前記装置は、枚葉式湿式処理のためのプロセスモジュール内のスピンチャックである、装置。請求項2に記載の装置であって、前記ピンは、円形に並ぶように配置され、各ピンは、それぞれの枢動ベースの枢動軸に平行で尚且つ該枢動軸からずれた軸に沿って、前記枢動ベースから上向きに突き出している、装置。請求項1に記載の装置であって、前記ギアメカニズムは、その半径方向内側の縁に歯を有するギアリングであり、前記歯は、前記接触要素上の対応する歯と噛み合い係合している、装置。請求項1に記載の装置であって、前記ギアメカニズムは、その半径方向外側の縁に歯を有するギアリングであり、前記歯は、前記接触要素上の対応する歯と噛み合い係合している、装置。請求項1に記載の装置であって、前記構造は、前記ギアメカニズムが前記接触要素上に対して最大で5から20Nまでの範囲で作用するように構成される、装置。請求項1に記載の装置であって、前記構造は、前記その他の領域よりもヤング率が小さい狭められた領域を画定する前記ギアメカニズム内の切り出しである、装置。請求項9に記載の装置であって、前記切り出しは、前記ギアメカニズムの外縁表面が割り込まれることのないように、囲まれている、装置。請求項9に記載の装置であって、前記切り出しは、前記狭められた領域が片持ち梁の形態をとるように、前記ギアメカニズムの縁表面に割り込んでいる、装置。請求項1に記載の装置であって、前記構造は、前記ギアメカニズムの空洞に収まる挿入物であり、前記挿入物は、前記少なくとも1つの接触要素の対応する歯と噛み合い係合するギア歯を含み、前記挿入物は、少なくとも1つの弾性要素によって、前記対応する歯と噛み合い係合するように促され、前記バネは、前記空洞に向かう方向への前記少なくとも1つの接触要素の変位に屈する、装置。請求項12に記載の装置であって、前記少なくとも1つの弾性要素は、少なくとも1つのバネである、装置。請求項12に記載の装置であって、前記少なくとも1つの弾性要素は、前記空洞に収まるエラストマ材料のボディである、装置。ウエハ状物品を保持するための装置であって、ウエハ状物品に接触するための突き出し部分と前記装置のボディに収まる取り付け部分とをそれぞれ有する複数の可動ピンアセンブリと、前記接触要素が前記装置上に位置決めされたウエハ状物品に接触する第1の位置と第2の非接触位置との間で、前記接触要素を一斉に駆動するギアメカニズムと、を備え、前記ギアメカニズムは、前記複数の接触要素の1つに係合する少なくとも一領域において、前記少なくとも一領域に隣接する前記ギアメカニズムのその他の領域におけるよりも容易に前記複数の接触要素の横移動に適応するための手段を含む、装置。図1aの装置100は、チャンバと、ウエハ円盤状物品を把持する及び回転させるための環状チャック20と、ステータ80とを含む。チャンバは、円筒壁60と、底板65と、上板不図示とを含む。上板には上方分配管63が通され、底板65には下方分配管67が通される。ステータ80は、ステータベース板5に取り付けられ、円筒壁60と同心円状である。ステータベース板5は、例えば空気圧式の持ち上げ装置によって、円筒壁60の軸に沿って軸方向に移動可能である。ステータベース板5及び該板に取り付けられステータ80は、円筒壁60の外径よりも直径が大きい中央開口を有する。上板もまた、チャンバを開くために軸方向に移動可能である。上板は、その閉位置では、円筒壁60に対して密着される。ステータ80は、環状チャックの一部であるロータ85を軸方向及び半径方向に方向付けるための並びに駆動するための、幾つかのコイル84を含む。このような構成は、米国特許第6,485,531号で更に説明されている。環状チャック20の直径は、環状チャック20が円筒壁60内で自由に浮揚可能且つ回転可能であるように、円筒壁の内径未満である。環状チャック20は、内側チャックベースボディ21を含み、該内側チャックベースボディ21は、その外側を環状溝が取り巻いており、該環状溝は、ギアリング30を受け入れる。ギアリング30は、好ましくは、PEEK、アルミニウム、又はステンレス鋼で作成される。ギアリング30は、内向きの歯31を含む。そして、内向きの歯31は、ピンシャフト27の歯を駆動する図1cを参照せよ。この実施形態は、6本の下向きのピンシャフト27を有し、各シャフトは、ギアリング30によって駆動される小ギアを有する。ピンシャフト27は、環状チャックの回転軸に平行な軸Aを中心に回ることができる。ピン28は、ピンシャフト27の回転軸Aに対して偏心した位置でピンシャフト27に取り付けられる又はピンシャフト27と一体的に形成される。したがって、ギアリング30によってピンシャフト27が回されるときに、ピン28は、チャックから半径方向に変位される。ピン及びギアリング30は、ともに、チャックベースボディ21に載せられるので、ピンシャフト27は、ギアリング30がチャックベースボディに相対的に回転するときにのみ、ギアリング30によって回転される。ピン28は、ウエハWの周縁でウエハWに接触するように位置決めされる。ピン28は、ウエハWの重量も支えるので、ウエハが把持されているときの、ピン28に相対的なウエハWの軸方向変位を阻止するために、形状が円筒状であるか、又はウエハの縁に接触する半径方向内側の側面に陥凹部分を有するか、のいずれかであってよい。ギアリング30をチャックベースボディ21の環状溝に嵌め込むために、ギアリング30は、環状溝に挿入されたときに合わさって固定される2つの別々のパーツからなる。チャックベースボディ21及びギアリング30は、ギアリング30がピン28を、ウエハの把持に対応するそれらの半径方向最奥位置に促すように、1つ以上のつる巻きバネ40図2を参照せよを通じてつながれる。永久磁石33図1bを参照せよが、歯ギアリング30に取り付けられる。チャックベースボディ21の外周には、永久磁石である少なくとも24個の複数のロータ磁石85が、等間隔で配置される。これらのロータ磁石85は、駆動位置決めユニットの一部である、すなわち、チャックベースボディ21に取り付けられるロータ能動軸受けの構成要素の一部である。複数のロータ磁石85、及び永久磁石33を載せているギアリング30は、チャックベースボディ21と、外側の下方チャックカバー22と、ロータ磁石カバー29とによって提供される中空の環状空間に封じ込められる。このようなロータ磁石カバー29は、ステンレス鋼製のジャケットであってよい。カバー22及び29は、環状であり、チャックベースボディ21と同心円状である。チャック20を組み立てるときは、ピンシャフト27は、図1cに示されるようにチャックベースボディ21に対してしっかり密着されるように、上方からそれぞれのシートに挿入される。各ピンシャフト27は、ネジ24によって適所に固定される。また、各ピンシャフトは、そのシートに、ピンシャフトとネジとの間のつる巻きバネによって押し込めることができる。ステータベース板5に取り付けられるのは、円筒壁60に対して同心円状に配置されるステータ及び能動位置決めユニット80である。位置決めユニット80は、ロータ磁石85に連絡しており、そうしてチャック20を浮揚させる、位置決めする、及び回転させる。能動位置決めユニット80の下方には、ステータベース板5に取り付けられた2つの空気圧シリンダ50がある。空気圧シリンダ50のロッドの末端側の端に、ロック磁石55永久磁石が配置される。ロック磁石は、ギアリング30の永久磁石33に対応している。空気圧シリンダ50は、ロック磁石55が円筒壁60の軸に対して半径方向に移動可能であるように配置される。例えばウエハを解放するなどのために、ピンが開かれるときは、以下の手順が実施される。ロック磁石55と浮揚チャック20との間の隙間から円筒壁60が無くなるように図1cを参照せよ、ステータベース板5、及びそれとともに浮揚チャック20が持ち上げられる。その後、空気圧シリンダ50は、ロック磁石55をチャック20のごく近くに移動させ、チャックは、永久磁石33、及びそれとともにギアリング30がロック磁石によってロックされるように、回される。次いで、チャックは、ギアリングが静止している状態で回され、そうして、ピン28は、開かれる。或いは、空気圧シリンダが移動される間、チャックベースボディが静止していることによって、ロック磁石が接線方向にチャックの外周に沿って回り、それによってギアリングが回されることも考えられる。しかしながら、上述されたように、本発明者らは、高めのプロセス温度では、説明されたようなチャックのピンが、処理の完了に際して又は処理中にウエハを移動させたいときに開けない恐れがあることを発見した。処理チャンバは、熱硫酸又は120°C程度の温度に過熱された水を内包していると考えられるので、ピン、及びそれらに関連付けられた作動メカニズムは、チャックが使用されている間は観察不可能である。更に、本実施形態のギアリング30は、チャックボディ21の溝に収まっている。それでも尚、本発明者らは、この問題の原因が、好ましくはステンレス鋼で作成されるリングギア230が、好ましくはPVDFポリフッ化ビニリデン又はECTFEエチレン-クロロトリフルオロエチレンなどのプラスチックで作成されるチャックベースボディ21よりも、高温で見舞われる熱膨張の程度が少ないことにあることを、突き止めた。ピンシャフト27は、チャックベースボディ21に嵌め込まれるので、相対的に大きいチャックベースボディ21の膨張は、ピンアセンブリを、対応するギアリング30の変位を伴うことなく半径方向外側に変位させると考えられ、それゆえに、ピン28は、ギアリング30を行き詰まらせるのに十分な力をもって、ギアリング30の歯に押し付けられるだろう。この現象は、ギアリング30が、ピンアセンブリを半径方向内側に促し、それゆえに、ピンシャフト27が、膨張されたチャックベースボディ21内に捕らわれる状態としても、理解することができる。ピンアセンブリは、ギアリング30と噛み合い係合しているので、結果は同じである、すなわち、ギアリング30が捕らわれることになる。問題の原因を突き止めた発明者らは、チャックベースボディの熱膨張によって引き起こされるピンアセンブリの高温変位に適応するために、ギアリングを少なくともそれがそれぞれのピンアセンブリに接触する領域で弱めるなどのような、様々な解決策を考え出した。図3~8は、本発明を実施するように設計された幾つかの構造例を示している。これらの各図は、リングギア30の、それぞれのピンアセンブリに接触する領域を含む一部分を、放射断面図で示している。したがって、本実施形態では、これらの各図に示された構造は、ギアリング30の外周に沿って6回にわたって繰り返されと考えられ、これら6つの区分は、ギアリング30の、図に示されるようにおおよそ同じ幅を有する中実のすなわち未変更の領域によって、相互につながれている。その問題に対する解決策は、歯ギア30がピンシャフト27に触れる区域31を、弱めの形態で具現化することであった。これは、ヤング率を低くされた区域を有することを意味する。図3では、歯31の後ろ側に、狭めであってそれゆえに大幅に弱められた領域33、34を画定する囲まれた切り出し32がある。リングギア30の材料は、狭めの領域33が、チャックベースボディ21の熱膨張及びそれに関連したピンアセンブリ27の変位を受けて半径方向外側に撓む一方で、尚も、チャックベースボディ21の冷却及び収縮に伴ってその初期位置に戻るような、十分な弾性を有する。図4では、切り出し32’は、完全には囲まれておらず、したがって、弱められた領域33’は、片持ち梁の構成をとっている。図5では、歯31は、ギアリング30内に形成された空洞36に嵌め込まれる別個のブロック35に形成されている。コイルバネ37は、ブロック35を、ピンアセンブリ27と噛み合い係合するように半径方向内側に促す一方で、尚も、ピンアセンブリ27の、チャックベースボディ21の熱膨張に際した半径方向外側の変位にも適応している。図6~8の例は、基本的に図5と同じ原理に基づいて動作する。図6では、図5のコイルバネ37が、板バネ38に置き換わっている。図7では、先述の例におけるバネが、やはり同様にピンアセンブリの外向き変位に適応するような圧縮弾性を有するエラストマ材料のボディ39に置き換わっている。最後に、図8は、空洞36’に嵌め込まれているのではなくストリップバネ41を通じて空洞の縁につながれたブロック35’を示している。図3~8の各例に共通しているのは、ピンを開閉するときにピンシャフトを駆動する歯区域が、リングギアの、隣接する領域における半径方向の全幅と比べて大幅に弱められていることである。したがって、弱められた領域は、弱められていない隣接する領域よりも、低い有効ヤング率を有していると見なすことができる。これらのどの実施形態でも、ピンシャフトの各小ギアに加えられる最大の力は、これらの弱められた区域によって制限され、好ましくは、5から20Nまでの範囲の値に制限される。図9は、ベルヌーイの定理に基づいて動作するスピンチャック10’を、ウエハWが適所にある状態で示している。ピンアセンブリ27’は、上方チャックボディ11に取り付けられ、ウエハの縁に係合する偏心ピン28’は、上方チャックボディ11から上向きに突き出している。上方チャックボディ11は、下方チャックボディ12と合わせられ、そして、下方チャックボディ12は、シャフト不図示を通じて機械的に駆動される。図10aでは、チャック10’は、下方ベースボディ12を取り外された状態で、下方から示されている。これは、この実施形態の、幾分異なるギアリング30’を明らかにしており、ここでは、先の実施形態とは対照的に、ギアリングの半径方向外側の縁に歯31が設けられている。円を描いた矢印は、チャックの時計回りの回転を示している。ただし、この図では、チャックが下方から示されているので、矢印自体は反時計回りを向いている。ピンアセンブリ27’のボディが、上方ベースボディ11に収まっている一方で、歯31は、ピンアセンブリ27’上の対応する歯と噛み合っている。ギアリング30’と上方ベースボディ11との間につながれたコイルバネ43は、ギアリングを、上方ベースボディ11に相対的に或る角度方向に向くように促し、この向きでは、上方ベースボディ11の上面から突き出したピン28’は、チャックの使用に際したウエハWの把持に対応するそれらの半径方向最奥位置にある。図10aの細部D10bは、図10bの概略断面図に示されており、ここでは、理解を容易にするために、ギアリングのみが描かれている。図10bは、図3に類似しているが、この実施形態のピンアセンブリ27が、ギアリング30’の半径方向外側に位置しているゆえに、歯31を、半径方向外側の狭い領域44にあるものとして示している。更なる図解を伴わなくても、図4~8の例は、この実施形態にも同様に適応可能であることがわかる。本発明は、スピンチャックとの関連で説明されてきたが、非回転チャックにも使用することが可能である。更に、本発明は、湿式化学処理に使用されるチャックとの関連で説明されてきたが、乾式処理にも使用することが可能である。本発明は、その様々な好ましい実施形態との関連で説明されてきたが、これらの実施形態は、本発明を単に例示するために提供されたものであり、添付の特許請求の範囲の真の範囲及び趣旨によって与えられる保護の範囲を制限する口実として使用されるべきでない。"