"集電体と、前記集電体の表面に互いに離間して配置された柱状体と、を有し、前記柱状体が、リチウムの吸蔵放出によって膨張収縮する活物質体と前記活物質体を被覆する導電材層とを有する、リチウムイオン二次電池用負極。前記集電体表面に、互いに離間した突起を有し、前記活物質体が、前記突起の頭部と接合する、請求項1に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記突起が規則的に配列されている、請求項2に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記突起がめっき法またはローラー加工法で形成された、請求項2または3に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記集電体が銅、銅合金、ニッケル、ニッケル合金、ステンレス鋼から選ばれる1つでからなる、請求項1~4のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記活物質体が、真空蒸着法、スパッタ法、化学気相成長法のいずれかで形成された請求項1~5のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記活物質体がケイ素もしくはスズを含む、請求項1~6のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池用負極。ケイ素単体、ケイ素化合物、スズ単体またはスズ化合物を含む、請求項1~7のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記導電材層が電解液膨潤性ポリマーと導電性材料との混合物である請求項1~8のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記電解液膨潤性ポリマーがフッ素樹脂、ポリアクリロニトリル、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド、から選ばれる少なくとも1つを含む、請求項1~9のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記フッ素樹脂が、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデンとオレフィン系モノマーとの共重合体、ポリテトラフルオロエチレンから選ばれる少なくとも1つを含む、請求項10に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記オレフィン系モノマーがテトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、エチレンから選ばれる少なくとも1つを含む請求項11に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記電解液膨潤性ポリマーがポリイミド、ポリアミドイミドから選ばれる少なくとも1つを含む請求項9から請求項12に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記導電性材料がリチウムイオンと合金化しない金属からなる粉体、もしくは繊維、または、炭素粉、炭素繊維から選ばれる少なくとも1つを含む請求項9から請求項13に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記リチウムイオンと合金化しない金属が銅、銅合金、ニッケル、ニッケル合金、ステンレス鋼である請求項14に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記炭素繊維がカーボンナノチューブ、カーボンナノファイバ、カーボンナノホーンから選ばれる少なくとも1つを含む、請求項14に記載のリチウムイオン二次電池用負極。前記炭素粉が難黒鉛化炭素、易黒鉛化炭素、アセチレンブラック、ケッチェンブラック、ファーネスブラック、チャネルブラック、サーマルブラックから選ばれる少なくとも1つを含む、請求項14に記載のリチウムイオン二次電池用負極。請求項1~17のいずれかに記載の負極と、前記負極と対向する正極と、前記負極と前記正極との間に挟まれ、電解液を含むセパレーターと、を有するリチウムイオン二次電池。集電体を準備する工程と、前記集電体上に活物質体を形成する工程と、前記活物質体の表面を導電材層で被覆する工程とを、を有する、リチウムイオン二次電池用負極の製造方法。しかしながら、特許文献1や特許文献2に記載されたように膨張空間を持たせて活物質層を形成した場合にでも、集電体と活物質の界面に生じる応力を緩和するには十分ではなく、界面から剥離する場合がある。また、集電体からの剥離にまで至らなくても、活物質の膨張収縮に伴い、活物質の一部が微粉化して脱落する恐れがある。集電体から剥離した活物質や、あるいは活物質から脱落した微粉状活物質は導電性に乏しいために集電性が低下する。その結果、充放電に伴う電池の容量低下や出力特性低下が生じやすくなる。このような活物質の微粉化や剥離を抑制する目的で、スパッタ法等で薄膜形成された負極活物質層表面に負極バインダーを形成したものが特許文献3である。しかしながら、特許文献3で開示されている負極バインダーは、ポリイミド、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレンであり、電解液で膨潤することによってイオン伝導性を得ているが、電子伝導性は付与されていない。このような負極バインダーを特許文献1や特許文献2のような活物質の膨張空間を持たせた電極に適用した場合には、微粉化して脱落することを抑制することができたとしても、活物質―集電体界面からの剥離が生じた場合には、集電性の低下を抑制することは困難である。特許文献4に記載されたように表面だけではなく、膨張空間にもポリマー層を充填することで、特許文献3の課題は解決しうるが、合金系活物質の体積変化に十分に追随することは難しく、膨張空間が維持されるほうが好ましいと考えられる。特許文献4で膨張空間を維持させるようなポリマー層の形成を行った場合には特許文献3で推察されるような課題は残るものと考えられた。上記の課題を解決するために、本発明のリチウムイオン二次電池用負極は、集電体と、前記集電体表面に互いに離間して配置された柱状粒子と、を有し、前記柱状粒子が、リチウムの吸蔵放出によって膨張収縮する活物質体と前記活物質体を被覆する導電材層とを有する、リチウムイオン二次電池用負極である。このような構成によれば、導電材層で被覆していることで活物質の充放電に伴う微粉化による脱落を抑制されることに加え、集電体―活物質界面で剥離した場合にでも活物質表面に導電性が付与されている結果、集電体、もしくは剥離していない活物質に接触すると集電をとることが可能となる。本発明によれば、充放電に伴う体積変化が大きいことによる集電体からの剥離や活物質の微粉化による脱落が生じやすい柱状の活物質を用いたリチウムイオン二次電池の充放電サイクル特性や出力特性を向上させることができる。その結果、負極に炭素材料を用いたものに比べ、高容量のリチウムイオン二次電池を提供することができる。本発明のリチウムイオン二次電池用負極は、規則的に配列した突起を有する集電体以降パターン付集電体というと、該集電体の突起状に形成された膨張空間を有する活物質以降活物質体というと該表面上に形成された電解液膨潤性のポリマーと導電材料の複合材料からなる層以降導電材層というから形成されている。導電材層が被覆された活物質体柱状粒子は、互いに離間しており、柱状粒子間に膨張収縮を緩和する空隙が形成されている。パターン付集電体10に形成された規則的に配列した突起は例えば、次のように配置されている。例えば図2に示すように、複数の突起は、集電体の平坦面内で、互いに平行でかつ第1の間隔S1で配置された複数の第1の仮想直線401と、集電体の平坦面内で、第1の仮想直線401と垂直で第1の間隔S1より小さい第2の間隔S2で配置された複数の第2の仮想直線402との交点上、および隣接する2つの第1の仮想直線401と隣接する2つの第2の仮想直線402とによって構成される矩形の中心上に配置されている。この場合、第1の仮想直線401と第2の仮想直線402との所定の交点上に配置された突起と、前記交点を含む上記矩形の中心上に配置され、前記交点上に配置された突起と最も近い別の突起との間隔ピッチSは、3~100μmであることが好ましく、10~100μmであることが更に好ましく、20~80μmであることがより更に好ましく、40~80μmであることが特に好ましい。ここで、ピッチとは、突起の中心間距離であり、突起の中心とは、突起の最大径の中心点である。このような、規則的な配列を有するパターン付集電体は、たとえば金属シートに凹凸を形成する技術を利用して製造することができる。たとえば、レジストを用いてパターン形成し、その後めっきを行うことでパターンを形成する方法めっき法や、表面に凹部が形成されたローラーを通過させつつプレスしてパターンを形成する方法ローラー加工法などが挙げられる。また、パターン付集電体10の材質としては、リチウムイオンとの反応性合金化が低く、電子伝導性に優れるものが好ましく、銅、銅合金、ニッケル、ニッケル合金、ステンレス鋼などを用いることができる。活物質体11は、パターン付集電体10を用い、真空蒸着、スパッタリング、化学蒸着CVDなどの乾式成膜法によって負極活物質を堆積させることによって、容易に形成することができる。活物質体11は、例えば、図5に示す電子ビーム式蒸着装置以下、単に蒸着装置という30によって形成できる。蒸着装置30は、チャンバ31と、チャンバ31内に収容される配管32、固定台33、ノズル34、ターゲット35、および図示しない電子ビーム発生装置と、電源36を含む。なお、図5では、チャンバ31内部の各部材を実線で示している。チャンバ31は耐圧性の容器である。配管32は、一端がノズル34に接続され、他端がチャンバ31の外方に延びて、原料ガスボンベなどに接続される。この配管32は、ノズル34に原料ガスを供給する。原料ガスとしては、酸素、窒素などが挙げられる。固定台33は板状部材であり、回転自在に支持され、厚さ方向の一方の面にパターン付集電体10を固定する。固定台33は、図に垂直な方向に延びる図示しない回転軸を中心として回転する。固定台33の位置は、図3中に実線で示す位置から、一点破線で示す位置までの間で自在に設定することができる。中に実線で示す位置は、固定台33のパターン付集電体10を固定する側の面が鉛直方向下方のノズル34を臨み、固定台33と水平方向の直線とが成す角の角度がα°である。図5図3中に一点破線で示す位置は、固定台33のパターン付集電体10を固定する側の面が鉛直方向下方のノズル34を臨み、固定台33と水平方向の直線とが成す角の角度が180-α°である。角度α°は、形成しようとする活物質体11の寸法、活物質体11の成長方向などに応じて適宜選択できる。ノズル34は、鉛直方向において固定台33とターゲット35との間に設けられ、配管32の一端が接続されている。ノズル34は、ターゲット35から鉛直方向上方に上昇してくる合金系負極活物質の蒸気と配管32から供給される原料ガスとを混合し、固定台33表面に固定されるパターン付集電体10表面に供給する。ターゲット35は合金系負極活物質またはその原料を収容する。電子ビーム発生装置は、ターゲット35に収容される合金系負極活物質またはその原料に電子ビームを照射して加熱し、これらの蒸気を発生させる。電源36はチャンバ31の外部に設けられて、電子ビーム発生装置に電気的に接続され、電子ビームを発生させるための電圧を電子ビーム発生装置に印加する。チャンバ31内の雰囲気は、チャンバ31に図示しない第2の配管を接続し、この第2の配管から適宜ガスを導入することによって調整できる。このような蒸着装置30と同様の構成を有する市販品は、例えば、アルバック株から提供されている。活物質体11の形成は、まず、パターン付集電体10を固定台33に固定し、チャンバ31内部に酸素ガスを導入する。この状態で、ターゲット35内の合金系負極活物質またはその原料に電子ビームを照射し、加熱して蒸気を発生させる。発生した蒸気は鉛直方向上方に上昇し、ノズル34を通過する際に、原料ガスと混合される。その後、さらに上昇し、固定台33に固定されたパターン付集電体10の表面に供給され、凸部13の頂部に活物質体11が形成される。活物質体11の高さ負極活物質層の厚みは、作製するリチウムイオン電池の性能などに応じて適宜設定されるものであって、特に限定されないが、概ね、3~40μmであることが好ましく、さらに好ましくは、5~30μmであり、特に好ましくは、8~25μmである。活物質体11の高さが上記範囲を下回ると、負極全体に占める負極活物質の体積割合が小さくなり、電池のエネルギー密度が小さくなる。活物質体11の高さが上記範囲を上回ると、パターン付集電体10と活物質体11との界面で充電時の負極活物質の膨張に伴う応力が大きくなって、パターン付集電体10の変形などが発生するおそれがある。活物質体11の高さは、パターン付集電体10の凸部13の頂部から活物質体11の頂部までの、パターン付集電体10の厚み方向における距離で表される。負極活物質層の厚さは、以下のように測定することができる。まず、負極活物質形成後の負極全体の厚さを測定する。負極活物質がパターン付集電体10の片面のみに担持されている場合、負極全体の厚さからパターン付集電体10の厚さを差し引くことで、負極活物質の厚さが得られる。負極活物質がパターン付集電体10の両面に担持されている場合、負極全体の厚さからパターン付集電体10の厚さを差し引くことで、両面の負極活物質の合計厚さが得られる。なお、パターン付集電体10の表面が凹凸を有する場合には、パターン付集電体10の凸部13の頂部を基準にして厚さを求める。負極活物質は、単結晶でもよく、多結晶でもよく、微結晶でもよく、アモルファスでもよい。ここで、多結晶の活物質は複数の結晶子結晶粒crystalliteを含む。微結晶の活物質はサイズが50nm以下の結晶子を含む。活物質が非晶質であること、もしくは、活物質が微結晶であることは、X線回折XRD、透過型電子顕微鏡TEMなどを用いて確認することができる。結晶子の粒径は、活物質のXRD測定で得られる回折パターンにおいて、2θ=15~40°の範囲で最も強度の大きなピークの半価幅から、Scherrerの式によって算出される。回折パターンにおいて、2θ=15~40°の範囲にシャープなピークが見られず、ブロードなハローパターンだけが観測される場合、負極活物質は実質的に非晶質であると判断できる。負極活物質は、高容量の負極を作製する観点より、ケイ素またはスズを含むことが好ましく、ケイ素を含むことが特に好ましい。ケイ素を含む負極活物質としては、ケイ素単体、ケイ素合金、ケイ素と酸素とを含む化合物、ケイ素と窒素とを含む化合物などが上げられる。ケイ素と酸素とを含む化合物は、さらに窒素を含んでいてもよく、ケイ素と窒素とを含む化合物は、さらに酸素を含んでいてもよい。ケイ素と酸素とを含む化合物は、ケイ素酸化物であることが好ましく、特に、一般式SiOx0<x<2で表される組成を有するケイ素酸化物が好ましい。酸素元素の含有量を示すx値は、0.01≦x≦1であることがさらに好ましい。活物質は、ケイ素と酸素との比率が異なる複数のケイ素酸化物の複合物を含んでもよい。本発明の導電材層12に用いられる電解液膨潤性ポリマーとしては、たとえば、フッ素樹脂、ポリアクリロニトリル、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド等が挙げられる。前記ポリマーは単独または2以上を組み合わせて用いることができる。フッ素樹脂としては、たとえば、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデンとオレフィン系モノマーとの共重合体、ポリテトラフルオロエチレンなどが挙げられる。オレフィン系モノマーには、たとえば、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、エチレンなどがある。これらの電解液膨潤性ポリマーを用いた場合に、活物質との密着性を高めるために、ポリイミド、ポリアミドイミド等と混合することがなお好ましい。導電材層12に用いられる導電材としては、活物質に用いられる材料よりも電子伝導性に優れ、リチウムと合金化反応しないことが必須であり、金属繊維、金属粉、炭素繊維、炭素粉を用いることができる。金属繊維および金属粉としては、銅、銅合金、ニッケル、ニッケル合金、ステンレス鋼を用いることができるが、電子伝導性の観点から銅または銅合金を用いることが好ましい。炭素繊維としてはカーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、カーボンナノホーンを用いることができる。炭素粉としては黒鉛材料やカーボンブラックを用いることができる。黒鉛材料は難黒鉛化炭素、易黒鉛化炭素のいずれも用いることができ、カーボンブラックはアセチレンブラック、ケッチェンブラック、ファーネスブラック、チャネルブラック、サーマルブラックが挙げられる。なかでも、炭素繊維はそれ自体が絡み合っており、活物質が膨張収縮した場合にでも電子伝導経路が絶たれる恐れが少ない。一方、同じように繊維であっても金属繊維は、剛性が大きく炭素繊維に比べて太いものが多いために絡み合いにくいうえに、その硬さのために活物質上で針状に固定化された場合にはセパレータを貫通し、短絡する恐れがある。このために、炭素繊維が最も好ましく用いられる。導電材層12は上述の電解液膨潤性ポリマーと導電材を溶媒に溶解、分散させてスラリーを作製し、パターン付集電体10上に形成された活物質体11表面に塗布し、乾燥させて形成することができる。スラリーの塗布は、公知の方法により実施可能である。公知の方法としては、負極板をスラリー中に浸漬し、引き上げるディップ法やダイコーター、コンマコーター、バーコーター、ロールコーター、スピンコーター、ディップスクイーズコーターなどコーターを用いる方法、あるいはドクターブレード法などが挙げられる。なかでも浸漬法が簡便で、好ましい。なお、導電材層12の厚さは、膨張空間の容積や、活物質体11の大きさ、あるいは隣接した活物質体11との距離に応じて最適化することができる。また、導電材層12の厚さは上記スラリーの粘度や、配合比、ディップ法の場合は引き上げ速度、コーター法では負極板とのギャップと掃引速度で調整することが可能で、リチウムイオン二次電池に求められる要件に応じて変更最適化可能である。実施例11.負極板の作製直径50mmの鍛鋼製ローラの表面に、レーザー加工によって、直径20μm、深さ8μmの円形の凹部を形成して、凸部形成用ローラとした。凹部は、中心間距離がローラ表面に沿って20μmとなるように、凹部の中心点を二次元三角格子状に千鳥格子状パターンとして配置した。凸部形成用ローラは、同じものを2本作製し、互いのローラの軸が平行になるように配置して、一対のニップローラとした。一対のニップローラ間に、厚さ20μmの合金銅箔商品名:HCL-02Z、ジルコニアを全体の0.03重量含有する銅合金、日立電線株製を通過させて、合金銅箔の表裏両面を加圧し、凸部を成形した。このとき、一対のニップローラ間には、線圧2.0kgf/cm約19.6N/cmの荷重をかけた。一対のニップローラ間の通過後に走査型電子顕微鏡で観察した結果、合金銅箔の表裏各面には、最大高さRzが約8μmの凸部13が複数形成されていた。この合金銅箔を縦35mm、横185mmに裁断して、パターン付集電体10とした。次に、パターン付集電体10にケイ素を蒸着して、凸部13の表面に活物質体11を形成した。蒸着装置には、図3の蒸着装置30と同様の構造を有する市販の蒸着装置株アルバック製を使用した。なお、パターン付集電体10を固定した固定台が、角度α=60°の位置図3に示す実線の位置と、角度180-α=120°の位置図3に示す一点鎖線の位置とを交互に回転するように設定した。各活物質体11は凸部13の頂部および頂部近傍の側面から、凸部13の延びる方向に成長していた。蒸着条件は次のとおりである。負極活物質原料蒸発源:ケイ素、純度99.9999、株高純度化学研究所製ノズルから放出される酸素:純度99.7、日本酸素株製ノズルからの酸素放出流量:0sccm角度α:60°電子ビームの加速電圧:-8kVエミッション:500mA蒸着時間:2.5分形成された負極活物質層の厚さは16μmであった。負極活物質層の厚さは次のようにして求めた。負極の厚さ方向の断面を走査型電子顕微鏡で観察し、凸部13表面に形成された10個の活物質体11について、凸部13の頂点から活物質体11の頂点までの長さそれぞれを求めた。得られた10個の測定値の平均値を、負極活物質層の厚さとした。また、活物質体11に含まれる酸素量をオージェ電子分光法により定量したところ、活物質体11を構成する化合物の組成は、SiO0.2であった。ここで蒸着中に酸素を導入していないにもかかわらず、ケイ素酸化物が生成していたのは、チャンバ31側壁に吸着した酸素あるいは水分に由来するものと考えられる。該負極板について、タッキング試験機株式会社レスカ製TAC-2を用い、集電体に対する活物質の密着強度を測定した。測定は、測定子先端直径2mmの先端に両面テープ日東電工製No.515を取り付け、押し込み速度30mm/min、押し込み時間10秒、荷重400gf、引き上げ速度600mm/minでおこなった。負極板は2cm×3cmに切り出し,測定子に対向する位置に先の両面テープで貼付、固定した。このようにして密着強度を測定したところ12kgf/cm2であった。2.導電材層の形成導電材層12を形成するためのスラリーを調整した。スラリーは、次のように調整した。まずポリアミドイミドPAIのN―メチルピロリドンNMP溶液東洋紡製商品名バイロマックス銘柄HR-11NN固形分濃度15wtにポリフッ化ビニリデンPVdF呉羽化学製8500粉末を溶解し、NMPを加えて、PAI:PVdF:NMP=1.3:0.65:98.05重量比になるように調整した。次いで、カーボンナノチューブのNMP分散液CNanoTechnologyLimited製LB-100カーボンナノチューブ5wt含有と上記PAI/PVdF-NMP溶液を体積比で1:1に混合し、目的のスラリーとした。このスラリーに先に作製した負極板を浸漬し、5cm/secの速さで引き上げた。その後85°Cの真空乾燥機中で5時間乾燥させ導電材層12を形成した。このように作成した、負極板を電子顕微鏡で観察したところ、繊維状のカーボンナノチューブが分散された電解液膨潤性ポリマーで被覆されており、被覆された活物質体間の空隙も維持されていることが観察できた。また、導電材層12の厚さは約200nmであった。3.評価用セルの作製評価用セルはR2016サイズのコイン型電池のケースを用い、対極に金属リチウムを用いて、ポリエチレン製セパレータ厚さ16μmを介して、直径12.5mmの円盤状に打ち抜いた上記負極板を対峙させ、電解液には1.2Mのヘキサフルオロリン酸リチウムLiPF6を溶解させた炭酸エチレン/炭酸ジエチル1/1体積比溶液を用いて、電池ケース周辺をかしめて作製した。4.セルの評価作製したセルは3段定電流充電、定電流放電によって評価した。充電条件:1mA0Vcut0.5mA0Vcut0.1mA0Vcut放電条件:1mA1.5Vcut充電と放電、放電と充電の間には30分間の休止時間を設けた。これを10サイクル繰り返した。セルは3個作製し、同様の条件で評価を行った。このような評価を行った結果の初期の充放電曲線を図4にサイクル特性を図5に示した。図5に示したように、初期充電容量、初期放電容量、初期充放電効率は3セルの平均でそれぞれ8.7mAh、6.7mAh、77であった。またサイクル特性は10サイクルでの容量維持率10サイクル目放電容量/1サイクル目放電容量×100は3セル平均で91であった。これらのセルを評価後分解するとごくわずか目視で観察できる程度に剥離した活物質がセパレータ上に付着している様子が観察された。比較例1実施例1のスラリーにカーボンナノチューブを加える前の電解液膨潤性ポリマー溶液を用いた以外は実施例1と同様のセルを作製し、評価した。その結果を初期の充放電曲線を図4にサイクル特性を図5に示した。図5に示したように、初期充電容量、初期放電容量、初期充放電効率は3セルの平均でそれぞれ8.3mAh、4.9mAh、59であった。またサイクル特性は10サイクルでの容量維持率10サイクル目放電容量/1サイクル目放電容量×100は3セル平均で59であった。評価後のセルを分解すると、ごくわずか目視で観察できる程度に剥離した活物質がセパレータ上に付着している様子が観察された。比較例2実施例1のスラリーを塗布しなかった以外は実施例1と同様のセルを作製し、評価した。その結果を初期の充放電曲線を図4にサイクル特性を図5に示した。図5に示したように、初期充電容量、初期放電容量、初期充放電効率は3セルの平均でそれぞれ8.0mAh、3.0mAh、38であった。またサイクル特性は10サイクル持たず、4サイクルでほぼ放電しなくなった。この評価セルを分解すると、活物質が集電体から剥離し、集電体が露出している様子が観察された。これらの結果から、導電材層を形成した活物質体は多少の剥離が生じても集電性が高められている結果、剥離した活物質も作動可能となり、優れたサイクル特性を示すようになったものと考えられる。また、図4の充放電曲線を詳細にみると、電解液膨潤性ポリマーで被覆したものでは、未被覆のものと比べて、充電初期の電圧降下が大きいことが観測され、さらに充放電曲線もわずかに分極が大きいことがわかる。一方、導電材層を形成したものでは未被覆のものに比べて、充電初期の電圧降下は小さく、さらに充放電曲線の分極が小さくなっていることがわかった。これらのことは導電材層を形成した活物質体を有する負極板は出力特性、効率充放電特性に優れるものであると考えられる。加えて、図4の充放電曲線から充放電特性のばらつきも抑制されていることが分かった。このことは生産上歩留まり向上に寄与しうるものであると考えられる。なお、本実施例ではケイ素からなる活物質体表面に、電解液膨潤性ポリマーとしてポリアミドイミドとポリフッ化ビニリデンの混合物、導電材としてカーボンナノチューブを用いた導電材層を形成したものを示したが、他の材料の組み合わせでも本願発明の効果が発現することは明らかであり、本願発明は本実施例に限定されるものではない。"