外周面に軌道面を有し、回転可能な内輪と、内周面に軌道面を有し、ハウジングに固定される外輪と、内輪の軌道面及び外輪の軌道面に転動自在に配置される複数の転動体と、複数の転動体を円周方向に亘って等間隔に保持する保持器とを備えるスラスト軸受において、少なくとも前記内輪が高清浄度鋼製で、かつ、特殊熱処理が施されていることを特徴とするスラスト軸受。近年、油圧式無段変速機の小型化に伴って、それに組み込まれるスラスト軸受も小型化され、高荷重条件下で使用されている。そのため、スラスト軸受では、内外輪の軌道面、特に荷重の加わる内輪の軌道面に剥離が発生しやすく、場合によっては内輪あるいは内外輪が破損することがある。また、油圧式無段変速機に限らず、油圧ポンプや油圧モータにおいても同様の傾向にある。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、内外輪の破損を防止し、長寿命のスラスト軸受を提供することにある。上記目的を達成するために、本発明は、外周面に軌道面を有し、回転可能な内輪と、内周面に軌道面を有し、ハウジングに固定される外輪と、内輪の軌道面及び外輪の軌道面に転動自在に配置される複数の転動体と、複数の転動体を円周方向に亘って等間隔に保持する保持器とを備えるスラスト軸受において、少なくとも前記内輪が高清浄度鋼製で、かつ、特殊熱処理が施されていることを特徴とするスラスト軸受を提供する。本発明のスラスト軸受では、少なくとも内輪、好ましくは内外輪が高清浄度鋼製で、更に特殊熱処理が施されており、一般的材料であるSUJ2等と比べて高強度で、軌道面の剥離を抑える効果が高く、破損が抑えられて長寿命となる。以下、油圧式無段変速機を例示して、本発明のスラスト軸受について詳細に説明する。図1は油圧式無段変速機の一例を示す断面図であるが、油圧式無段変速機30は、図示しないエンジンから入力軸31に伝達された回転駆動力を油圧力に変換する可変容量ポンプ32と、油圧力を回転駆動力に戻して出力軸40に伝達する可変容量モータ41とを備えており、入力軸31に伝達された回転駆動力を前進側、後進側の駆動力に無段階に変更して出力軸40から出力したり、この出力を停止したりする。可変容量ポンプ32は、入力軸31と一体回動するシリンダブロック33と、シリンダブロック33の周方向複数箇所に配置され、ピストン室34内を往復動するノーズピストン35と、ガイドブロック36のガイド面に沿って回動する斜板37とを備えている。可変容量ポンプ32は、斜板37が回動操作することで、ノーズピストン35の往復動ストロークを変化し、ピストン室34が吐出する油量を変化している。斜板37には、スラスト軸受10がノーズピストン35の先端部と接触する位置に配置されており、スラスト軸受10は斜板37と共に回動する。スラスト軸受10は、図2に示すように、内輪軌道面11を有する内輪12と、外輪軌道面13を有する外輪14とを対向配置し、内輪軌道面11と外輪軌道面13との間に、転動体である複数の玉15を転動自在に配置したものである。さらに、スラスト軸受10は、複数の玉15を円周方向に亘って等間隔に保持する保持器16を備える。また、内輪12は回転可能であり、内輪軌道面11が形成された面とは反対側の端面21にノーズピストン35の先端部が接触する。一方、外輪14は、斜板37に固定される。そのため、スラスト軸受10はノーズピストン35から受ける高荷重を内輪12で受け、玉15を介して、斜板37に固定された外輪14側へ逃がしている。本発明では、少なくとも内輪12、好ましくは内輪12及び外輪14を高清浄度鋼製とし、更に特殊熱処理を施す。高清浄度鋼は酸素含有量が少なく、更には鋼中の介在物の粒径も小さいため、軌道面における内部起点剥離の発生を抑えることができる。酸素含有量は少ないほど好ましく、6ppm以下であることがより好ましい。また、介在物の粒径も小さいほど好ましく、30μm以下であることがより好ましい。また、特殊熱処理では浸炭処理、窒化処理または浸炭窒化処理を行い、高清浄度鋼の硬度を高める。特殊熱処理による硬化により、表面起点剥離を抑えることができる。尚、玉15は、一般的なSUJ2鋼等をそのまま使用することができるが、特殊熱処理を施して硬化させることが好ましい。更に、高清浄度鋼製としてもよい。また、転動体を玉15に代えてころを用いたスラストころ軸受とすることもできる。更には、上記のように、内輪12はノーズピストン35から高荷重を受けるため、外輪14よりも肉厚にすることもできる。以下に実施例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明はこれにより何ら制限されるものではない。試験1高清浄度鋼を用いて日本精工株式会社製軸受6206の内輪及び外輪を作製し、試験軸受Aとした。また、SUJ2製の内輪及び外輪からなる同軸受を、試験軸受Bとした。尚、試験軸受A、Bとも、玉はSUJ2製で、特殊熱処理を施したものを用い、同種の潤滑剤を封入した。そして、試験軸受A、Bを、等価荷重Pと基本動定格荷重Cとの比P/C:0.71、速度:3900rpmにて回転させ、寿命を比較した。結果を図3に示すが、高清浄度鋼を用いることにより、軌道面の剥離が抑えられて寿命が5倍以上に延びている。試験2日本精工株式会社製軸受6206の内輪及び外輪をSUJ2製とし、更に特殊熱処理浸炭窒化処理してビッカース硬さ540Hvとし、試験軸受Cとした。また、SUJ2製の内輪及び外輪からなる同軸受を試験軸受Dとした。尚、試験軸受C、Dとも、玉はSUJ2製で、特殊熱処理を施したものを用い、同種の潤滑剤を封入した。そして、試験軸受C、Dを、コンタミ条件下粒径74~147μm、等価荷重Pと基本動定格荷重Cとの比P/C:0.32、速度:3000rpmにて回転させ、寿命を比較した。結果を図4に示すが、特殊熱処理を施すことにより、軌道面の剥離が抑えられて寿命が2倍以上に延びている。上記の試験1及び試験2から、内輪及び外輪を高清浄度鋼製とし、特殊熱処理を施すことにより、剥離発生が抑えられて長寿命になることがわかる。