"透光性を有する材料からなるフィルム表面層と、少なくとも一部が表面に露出するように前記フィルム表面層に埋め込まれ、球状または略球状の微粒子の表面に該微粒子よりも直径が小さな球状または略半球状の複数の突起が形成された金平糖状の構造を有する透明な複合微粒子と、前記フィルム表面層から露出した前記複合微粒子の表面の少なくとも一部を被うように結合形成された撥水撥油防汚性薄膜とを有することを特徴とする超撥水撥油防汚性透光性フィルム。前記微粒子の直径が50~100nmであり、前記突起の直径が10~20nmであることを特徴とする請求項1記載の透明性の超撥水撥油防汚性透光性フィルム。前記微粒子および前記突起が、ガラス、シリカ、アルミナおよびジルコニアからなる群より選択される材質からなるものであることを特徴とする請求項1または2記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルム。前記フィルム表面層が第1の反応性の官能基を有し、前記複合微粒子が前記第1の反応性の官能基と反応して結合を形成する第2の反応性の官能基を有し、前記複合微粒子は、前記第1および第2の反応性の官能基の反応により形成された結合を介して前記フィルム表面層に結合固定されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルム。前記第1および第2の反応性の官能基が、共に前記超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造条件下で二量化反応しない官能基であることを特徴とする請求項4記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルム。前記撥水撥油防汚性薄膜が単分子膜であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルム。表面の臨界表面エネルギーが1mN/m以上3mN/m以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルム。球状または略球状の微粒子の表面に該微粒子よりも直径が小さな球状または半球状の複数の突起が形成された金平糖状の構造を有する透明な複合微粒子を、少なくともその一部が表面に露出するように、透光性を有するフィルム表面層に埋め込む工程Dと、前記フィルム表面層から露出した前記複合微粒子の表面に撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程Eとを有することを特徴とする超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記複合微粒子を、球状または略球状の第1の微粒子の表面官能基と反応して結合を形成する第1の表面反応基と、第1の反応基とを両端にそれぞれ有する第1の膜化合物を含む第1の反応液を前記第1の微粒子の表面に接触させ、前記表面官能基と前記表面反応基との反応により形成された結合を介して前記第1の微粒子の表面に結合固定された前記第1の膜化合物の被膜を形成する工程Aと、球状または略球状で、前記第1の微粒子よりも直径が小さな第2の微粒子の表面官能基と反応して結合を形成する第2の表面反応基と、前記第1の反応基と反応して結合を形成する第2の反応性基とを両端にそれぞれ有する第2の膜化合物を含む第2の反応液を前記第2の微粒子の表面に接触させ、前記表面官能基と前記表面反応基との反応により形成された結合を介して前記第2の微粒子の表面に結合固定された前記第2の膜化合物の被膜を形成する工程Bと、前記第1の膜化合物の被膜が形成された前記第1の微粒子と、前記第2の膜化合物の被膜が形成された前記第2の微粒子とを接触させ、前記第1の反応基と前記第2の反応基とを反応させ、形成された結合を介して前記第1の膜化合物の被膜が形成された前記第1の微粒子の表面に前記第2の膜化合物の被膜が形成された複数の前記第2の微粒子を結合固定させた金平糖状の複合微粒子を調製する工程Cとを含む方法により製造することを特徴とする請求項8記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記第1の微粒子の直径が50~100nmであり、前記第2の微粒子の直径が10~20nmであることを特徴とする請求項9記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記工程Cにおいて、調製された前記複合微粒子をさらに熱処理して、前記第1の微粒子の表面に前記第2の微粒子を融着することを特徴とする請求項9または10記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記工程Cの後で、前記第1の膜化合物の被膜が形成された前記第1の微粒子の表面に結合固定されなかった前記第2の膜化合物の被膜が形成された第2の微粒子を洗浄除去することを特徴とする請求項9から11のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記工程Eにおいて、前記フィルム表面層および前記複合微粒子の表面に存在する官能基のいずれか1または複数と反応して結合を形成する第3の表面反応基とフッ化炭素基とを有する第3の膜化合物を含む撥水撥油防汚処理液を前記複合微粒子が結合固定された前記フィルム表面層の表面に接触させ、前記フィルム表面層および前記複合微粒子の表面に存在する官能基のいずれか1または複数と前記第3の表面反応基との反応により形成された結合を介して該表面に結合固定された前記第3の膜化合物の被膜を形成することを特徴とする請求項9から12のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記第1~第3の表面反応基がアルコキシシリル基であり、前記第1および第2の反応液、ならびに前記撥水撥油防汚処理液が、1カルボン酸金属塩、カルボン酸エステル金属塩、カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属塩キレート、チタン酸エステルおよびチタン酸エステルキレートからなる群から選択される1または2以上の化合物、および/または2ケチミン化合物、有機酸、アルジミン化合物、エナミン化合物、オキサゾリジン化合物、およびアミノアルキルアルコキシシラン化合物からなる群より選択される1または2以上の化合物を縮合触媒として含むことを特徴とする請求項13記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記工程Eの後で、余分な前記撥水撥油防汚処理液を洗浄除去することを特徴とする請求項13または14記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。溶媒の蒸発およびその後の加熱により、フィルム基材の表面に結合可能なバインダを生成するバインダ前駆体を含む溶媒中に球状または略球状の微粒子、または球状または略球状の微粒子の表面に、該微粒子よりも直径が小さな球状または半球状の複数の突起が結合固定した金平糖状の複合微粒子を分散させた分散液をフィルム基材の表面に塗布後、溶媒を蒸発させ、前記バインダ前駆体を介して前記フィルム表面層の表面に前記微粒子または前記複合微粒子を結合固定させる工程aと、前記微粒子もしくは前記複合微粒子および/または前記フィルム基材の表面に生成した前記バインダの表面の一部をエッチングして、前記バインダ前駆体を介して前記フィルム基材の表面に付着または結合した前記微粒子もしくは前記複合微粒子および/または前記フィルム基材の表面に該微粒子より小さな複数の球状または略球状の突起を形成する工程bと、前記バインダ前駆体を介して前記微粒子または前記複合微粒子を表面に付着または結合させた前記フィルム基材を加熱して、生成した前記バインダを介して前記突起を形成した前記微粒子を前記フィルム基材の表面に結合固定させる工程cと、前記微粒子が結合固定された前記フィルム基材の表面に撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程dとを有することを特徴とする超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記フィルム基材、前記微粒子および前記バインダがいずれも透明であり、前記工程cにおいて前記フィルム基材の表面に形成される金平糖状の突起の高さが30~300nmであることを特徴とする請求項16記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記微粒子の直径が50~100nmであることを特徴とする請求項17記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。バインダの表面の一部をエッチングする方法として、化学エッチングまたは物理エッチングを用いることを特徴とする請求項16から18のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記工程cにおける加熱温度が、前記フィルム基材の軟化点未満であることを特徴とする請求項16から19のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記工程dにおいて、前記フィルム基材および前記複合微粒子の表面に存在する官能基のいずれか1または複数と反応して結合を形成する表面反応基とフッ化炭素基とを有する膜化合物を含む撥水撥油防汚処理液を前記複合微粒子が結合固定された前記フィルム基材の表面に接触させ、前記フィルム基材および前記複合微粒子の表面に存在する官能基のいずれか1または複数と前記表面反応基との反応により形成された結合を介して該表面に結合固定された前記膜化合物の被膜を形成することを特徴とする請求項16から20のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記表面反応基がアルコキシシリル基であり、前記撥水撥油防汚処理液が、1カルボン酸金属塩、カルボン酸エステル金属塩、カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属塩キレート、チタン酸エステルおよびチタン酸エステルキレートからなる群から選択される1または2以上の化合物、および/または2ケチミン化合物、有機酸、アルジミン化合物、エナミン化合物、オキサゾリジン化合物、およびアミノアルキルアルコキシシラン化合物からなる群より選択される1または2以上の化合物を縮合触媒として含むことを特徴とする請求項21記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記工程dの後で、余分な前記撥水撥油防汚処理液を洗浄除去することを特徴とする請求項21または22記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。前記工程bの前に前記工程cを行うことを特徴とする請求項16から23のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法。請求項1から7のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムを有するガラス窓。請求項1から7のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムを有する太陽エネルギー利用装置。請求項1から7のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムを有する光学機器。請求項1から7のいずれか1項記載の超撥水撥油防汚性透光性フィルムを有する表示装置。しかしながら、特許文献1に記載の方法では、毒性を有するフッ素ガスを使用することに起因する安全性の問題に加え、反応に長時間数時間を必要とするので効率が悪いという問題を有している。特許文献2記載のディスプレイ用表面材の製造には、ゾルの塗布後温水に浸漬する等の煩雑な工程を要する。特許文献3記載の耐指紋性光硬化性組成物は、簡便な操作で耐指紋性の被膜を形成できる反面、大面積にわたる均一な被膜の形成が困難である等の課題を有している。さらに、撥水撥油防汚性を向上させるために有効な表面への凹凸の形成が困難である。本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、表面に複雑な凹凸を付与することにより、撥水撥油防汚機能、水滴離水性滑水性ともいう、撥油性、耐指紋性等の防汚性が向上した超撥水撥油防汚性透光性フィルムとその製造方法ならびにそれらを用いたガラス窓、太陽エネルギー利用装置および光学機器を提供することを目的とする。前記目的に沿う本発明の第1の態様は、透光性を有する材料からなるフィルム表面層と、少なくとも一部が表面に露出するように前記フィルム表面層に埋め込まれ、球状または略球状の微粒子の表面に該微粒子よりも直径が小さな球状または略半球状の複数の突起が形成された金平糖状の構造を有する透明な複合微粒子と、前記フィルム表面層から露出した前記複合微粒子の表面の少なくとも一部を被うように結合形成された撥水撥油防汚性薄膜とを有することを特徴とする超撥水撥油防汚性透光性フィルムを提供することにより上記課題を解決するものである。フィルム表面層から少なくとも一部が露出した略球状の微粒子と、その表面に形成され、それよりも小さな複数の略半球状の突起で構成された金平糖状の構造を有する複合微粒子により、複雑な凹凸を有するいわゆるフラクタル構造の表面構造がもたらされる。そのため、平坦な表面を有する場合によりも撥水撥油防汚性を大幅に向上できる。また、複合微粒子の表面に撥水撥油防汚性薄膜を形成することにより、撥水性、撥油性および防汚性を向上できる。本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムにおいて、前記微粒子の直径が50~100nmであり、前記突起の直径が10~20nmであってもよい。複合微粒子の大きさが可視光の最短波長400nmよりも小さいため、入射光の散乱や乱反射が抑制され、透明度および光学特性に優れた超撥水撥油防汚性透光性フィルムを提供できる。本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムにおいて、前記微粒子および前記突起が、ガラス、シリカ、アルミナおよびジルコニアからなる群より選択される材質からなるものであってもよい。複合微粒子がガラス、シリカ、アルミナおよびジルコニアからなる群より選択される材質からなるため、透明性に優れると共に、超撥水撥油防汚性透光性フィルムの表面の耐久性を向上できる。本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムにおいて、前記フィルム表面層が第1の反応性の官能基を有し、前記複合微粒子が前記第1の反応性の官能基と反応して結合を形成する第2の反応性の官能基を有し、前記複合微粒子は、前記第1および第2の反応性の官能基の反応により形成された結合を介して前記フィルム表面層に結合固定されていることが好ましい。この場合において、前記第1および第2の反応性の官能基が、共に前記超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造条件下で二量化反応しない官能基であることが特に好ましい。本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムにおいて、前記撥水撥油防汚性薄膜が単分子膜であることが好ましい。撥水撥油防汚性薄膜が単分子膜であるため、得られる超撥水撥油防汚性透光性フィルムの色調や透明度を損なうことがない。本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムにおいて、表面の臨界表面エネルギーは理想的には低いほど良いが、1mN/m以上3mN/m以下であることが好ましい。表面の臨界表面エネルギーが上記範囲であるため、得られる超撥水撥油防汚性透光性フィルムの撥水性、撥油性および防汚性の全てを向上できる。本発明の第2の態様は、球状または略球状の微粒子の表面に該微粒子よりも直径が小さな球状または半球状の複数の突起が形成された金平糖状の構造を有する透明な複合微粒子を、少なくともその一部が表面に露出するように、透光性を有するフィルム表面層に埋め込む工程Dと、前記フィルム表面層から露出した前記複合微粒子の表面に撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程Eとを有することを特徴とする超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法を提供することにより上記課題を解決するものである。フィルム表面層から少なくとも一部が露出した略球状の微粒子と、その表面に形成され、第1の突起よりも小さな複数の略半球状の突起で構成された金平糖状の構造を有する複合微粒子により、複雑な凹凸を有するいわゆるフラクタル構造の表面構造がもたらされる。そのため、平坦なフィルム表面層および球状の微粒子のみが表面に結合固定されたフィルム表面層よりも撥水性、撥油性および防汚性を向上できる。また、工程Eにおいて、複合微粒子の表面に撥水撥油防汚性薄膜を形成することにより、撥水性、撥油性および防汚性を更に向上できる。本発明の第2の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、球状または略球状の第1の微粒子の表面官能基と反応して結合を形成する第1の表面反応基と、第1の反応基とを両端にそれぞれ有する第1の膜化合物を含む第1の反応液を前記第1の微粒子の表面に接触させ、前記表面官能基と前記表面反応基との反応により形成された結合を介して前記第1の微粒子の表面に結合固定された前記第1の膜化合物の被膜を形成する工程Aと、球状または略球状で、前記第1の微粒子よりも直径が小さな第2の微粒子の表面官能基と反応して結合を形成する第2の表面反応基と、前記第1の反応基と反応して結合を形成する第2の反応性基とを両端にそれぞれ有する第2の膜化合物を含む第2の反応液を前記第2の微粒子の表面に接触させ、前記表面官能基と前記表面反応基との反応により形成された結合を介して前記第2の微粒子の表面に結合固定された前記第2の膜化合物の被膜を形成する工程Bと、前記第1の膜化合物の被膜が形成された前記第1の微粒子と、前記第2の膜化合物の被膜が形成された前記第2の微粒子とを接触させ、前記第1の反応基と前記第2の反応基とを反応させ、形成された結合を介して前記第1の膜化合物の被膜が形成された前記第1の微粒子の表面に前記第2の膜化合物の被膜が形成された複数の前記第2の微粒子を結合固定させた金平糖状の複合微粒子を調製する工程Cとを有する方法を用いて前記複合微粒子を調製してもよい。工程AからCにおいて、第1の被膜が形成された第1の微粒子の表面に第2の膜化合物の被膜が形成された複数の前記第2の微粒子を結合固定させることにより、安価な球状の微粒子を用いて金平糖状の複合微粒子を容易に調製できる。本発明の第2の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記第1の微粒子の直径が50~100nmであり、前記第2の微粒子の直径が10~20nmであることが好ましい。複合微粒子の大きさが可視光の最短波長400nmよりも小さいため、入射光の散乱や乱反射が抑制され、透明度および光学特性に優れた超撥水撥油防汚性透光性フィルムを提供できる。本発明の第2の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記工程Cにおいて、調製された前記複合微粒子をさらに熱処理して、前記第1の微粒子の表面に前記第2の微粒子を融着してもよい。本発明の第2の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記工程Cの後で、前記第1の膜化合物の被膜が形成された前記第1の微粒子の表面に結合固定されなかった前記第2の膜化合物の被膜が形成された第2の微粒子を洗浄除去してもよい。本発明の第2の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記工程Eにおいて、前記フィルム表面層および前記複合微粒子の表面に存在する官能基のいずれか1または複数と反応して結合を形成する第3の表面反応基とフッ化炭素基とを有する第3の膜化合物を含む撥水撥油防汚処理液を前記複合微粒子が結合固定された前記フィルム表面層の表面に接触させ、前記フィルム表面層および前記複合微粒子の表面に存在する官能基のいずれか1または複数と前記第3の表面反応基との反応により形成された結合を介して該表面に結合固定された前記第3の膜化合物の被膜を形成してもよい。表面官能基と表面反応基との反応により形成された結合を介して撥水撥油防汚性薄膜を複合微粒子の表面に結合固定することにより、撥水撥油防汚性薄膜の耐久性を向上できる。この場合において、前記第1~第3の表面反応基がアルコキシシリル基であり、前記第1および第2の反応液、ならびに前記撥水撥油防汚処理液が、1カルボン酸金属塩、カルボン酸エステル金属塩、カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属塩キレート、チタン酸エステルおよびチタン酸エステルキレートからなる群から選択される1または2以上の化合物、および/または2ケチミン化合物、有機酸、アルジミン化合物、エナミン化合物、オキサゾリジン化合物、およびアミノアルキルアルコキシシラン化合物からなる群より選択される1または2以上の化合物を縮合触媒として含んでいてもよい。表面反応基としてアルコキシシリル基を用いることにより、反応時にハロゲン化水素等の有害な副生成物の生成を防ぐことができると共に、反応液が縮合触媒を含んでいるため、撥水撥油防汚性薄膜の形成に必要な処理時間を短縮できる。更に、前記工程Eの後で、余分な前記撥水撥油防汚処理液を洗浄除去してもよい。余分な反応液を洗浄除去することにより、撥水撥油防汚性薄膜を単分子膜とすることができるため、製造される超撥水撥油防汚性透光性フィルムの透明度を損なうことがない。本発明の第3の態様は、溶媒の蒸発およびその後の加熱により、フィルム基材の表面に結合可能なバインダを生成するバインダ前駆体を含む溶媒中に球状または略球状の微粒子、または球状または略球状の微粒子の表面に、該微粒子よりも直径が小さな球状または半球状の複数の突起が結合固定した金平糖状の複合微粒子を分散させた分散液をフィルム基材の表面に塗布後、溶媒を蒸発させ、前記バインダ前駆体を介して前記フィルム表面層の表面に前記微粒子または前記複合微粒子を結合固定させる工程aと、前記微粒子もしくは前記複合微粒子および/または前記フィルム基材の表面に生成した前記バインダの表面の一部をエッチングして、前記バインダ前駆体を介して前記フィルム基材の表面に付着または結合した前記微粒子もしくは前記複合微粒子および/または前記フィルム基材の表面に該微粒子より小さな複数の球状または略球状の突起を形成する工程bと、前記バインダ前駆体を介して前記微粒子または前記複合微粒子を表面に付着または結合させた前記フィルム基材を加熱して、生成した前記バインダを介して前記突起を形成した前記微粒子を前記フィルム基材の表面に結合固定させる工程cと、前記微粒子が結合固定された前記フィルム基材の表面に撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程dとを有することを特徴とする超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法を提供することにより上記課題を解決するものである。本発明の第3の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記フィルム基材、前記微粒子および前記バインダがいずれも透明であり、前記工程cにおいて前記フィルム基材の表面に形成される金平糖状の突起の高さが30~300nmであってもよい。本発明の第3の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記微粒子の直径が50~100nmであることが好ましい。複合微粒子の大きさが可視光の最短波長400nmよりも小さいため、入射光の散乱や乱反射が抑制され、透明度および光学特性に優れた超撥水撥油防汚性透光性フィルムを提供できる。本発明の第3の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、バインダの表面の一部をエッチングする方法として、化学エッチングまたは物理エッチングを用いてもよい。本発明の第3の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記工程cにおける加熱温度が、前記フィルム基材の軟化点未満であることが好ましい。本発明の第3の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記工程dにおいて、前記フィルム基材および前記複合微粒子の表面に存在する官能基のいずれか1または複数と反応して結合を形成する表面反応基とフッ化炭素基とを有する膜化合物を含む撥水撥油防汚処理液を前記複合微粒子が結合固定された前記フィルム基材の表面に接触させ、前記フィルム基材および前記複合微粒子の表面に存在する官能基のいずれか1または複数と前記表面反応基との反応により形成された結合を介して該表面に結合固定された前記膜化合物の被膜を形成してもよい。表面官能基と表面反応基との反応により形成された結合を介して撥水撥油防汚性薄膜を複合微粒子の表面に結合固定することにより、撥水撥油防汚性薄膜の耐久性を向上できる。本発明の第3の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記表面反応基がアルコキシシリル基であり、前記撥水撥油防汚処理液が、1カルボン酸金属塩、カルボン酸エステル金属塩、カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属塩キレート、チタン酸エステルおよびチタン酸エステルキレートからなる群から選択される1または2以上の化合物、および/または2ケチミン化合物、有機酸、アルジミン化合物、エナミン化合物、オキサゾリジン化合物、およびアミノアルキルアルコキシシラン化合物からなる群より選択される1または2以上の化合物を縮合触媒として含んでいてもよい。表面反応基としてアルコキシシリル基を用いることにより、反応時にハロゲン化水素等の有害な副生成物の生成を防ぐことができると共に、反応液が縮合触媒を含んでいるため、撥水撥油防汚性薄膜の形成に必要な処理時間を短縮できる。更に、前記工程dの後で、余分な前記撥水撥油防汚処理液を洗浄除去してもよい。余分な反応液を洗浄除去することにより、撥水撥油防汚性薄膜を単分子膜とすることができるため、製造される超撥水撥油防汚性透光性フィルムの透明度を損なうことがない。本発明の第3の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法において、前記工程bの前に前記工程cを行ってもよい。本発明の第4の態様は、本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムを表面に設置したガラス窓を提供することにより上記課題を解決するものである。撥水性、撥油性および防汚性に加え、透明度および耐久性にも優れたガラス窓を提供できる。本発明の第5の態様は、本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムをフェースプレートの表面に設置した太陽エネルギー利用装置を提供することにより上記課題を解決するものである。撥水性、撥油性および防汚性に加え、耐久性および耐候性にも優れ、入射光の散乱や乱反射が抑制されるため光エネルギーの利用効率にも優れた太陽エネルギー利用装置を提供できる。本発明の第6の態様は、本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムを有する光学機器を提供することにより上記課題を解決するものである。撥水性、撥油性および防汚性に加え、耐久性および耐候性にも優れ、入射光の散乱や乱反射が抑制されるため透明性や光学特性にも優れた光学機器を提供できる。本発明の第7の態様は、本発明の第1の態様に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルムを有する表示装置を提供することにより上記課題を解決するものである。撥水性、撥油性および防汚性に加え、耐久性および耐候性にも優れ、入射光の散乱や乱反射が抑制されるため透明性や光学特性にも優れ、且つ耐指紋付着性に優れた表示装置を提供できる表示装置を提供できる。本発明によれば、撥水撥油防汚機能に加え、耐摩耗性や耐候性等の耐久性、水滴離水性滑水性ともいう、撥油性、防汚性が向上した超撥水撥油防汚性透光性フィルムとその製造方法が提供される。また、本発明によれば、撥水性、撥油性および防汚性に加え、透明度および耐久性にも優れたガラス窓、撥水性、撥油性および防汚性に加え、耐候性および光エネルギーの利用効率にも優れた太陽エネルギー利用装置、および撥水性、撥油性および防汚性に加え、耐久性、透明度および光学特性にも優れた光学機器が提供される。さらに、耐指紋付着性に優れた表示装置を提供できる。なお、本発明の超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造方法では、金平糖状の複合微粒子を形成後、その一部が露出するようにフィルム表面層に埋め込ませることにより、表面に複雑な凹凸をもたらし、水滴接触角は145度以上となり、平坦な場合の110度程度に比べて撥水撥油防汚性を大幅に向上させることができる。続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。なお、図1~3は単なる概略説明図であり、フィルム表面層、複合微粒子または微粒子、および撥水撥油防汚性薄膜を形成する化合物の大きさについては、必ずしも実際の大きさの比率を反映していない。図1に示すように、本発明の第1の実施の形態に係る超撥水撥油防汚性透光性フィルム10は、透光性を有する材料からなるフィルム表面層14と、少なくとも一部が表面に露出するようにフィルム表面層14に埋め込まれ、球状または略球状の微粒子の表面にそれよりも直径が小さな球状または略半球状の複数の突起13が形成された金平糖状の構造を有する透明な融着複合微粒子11a複合微粒子の一例と、フィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面の少なくとも一部を被うように結合形成された撥水撥油防汚性薄膜15aとを有する。超撥水撥油防汚性透光性フィルム10は、球状または略球状の微粒子の表面に該微粒子よりも直径が小さな球状または半球状の複数の突起が形成された金平糖状の構造を有する透明な複合微粒子11を、少なくともその一部が表面に露出するように、透光性を有するフィルム表面層に埋め込む工程Dと、フィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面に撥水撥油防汚性薄膜15aを形成する工程Eとを有する方法により製造される。以下、工程D、Eについてより詳細に説明する。1工程D超撥水撥油防汚性透光性フィルム10を構成するフィルム表面層14は、透光性フィルムの表面層を形成できる限りにおいて任意の材質、形状、大きさのものを特に制限なく使用できる。フィルム表面層14は、フィルム基材と一体になっていてもよく、耐摩耗性および耐スクラッチ性向上、防眩性向上等の目的でフィルム基材表面に設けられたハードコート層のようなフィルム基材とは別個の表面層であってもよい。フィルム表面層14の材質としては、アクリル系樹脂、オキセタン系樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、フッ素系樹脂、ポリエチレンテレフタレートPET、トリアセチルセルロースTAC、ポリイミドPI、これらの任意の2以上の共重合体等の有機系高分子、シリカ等の無機系高分子、あるいはこれらの複合体または積層体等が挙げられる。融着複合微粒子11aは、球状または略球状の微粒子12の表面に、それよりも直径が小さな球状または半球状の複数の突起13が融着した金平糖状の形状を有しており、突起を含まない球状部の直径は、50nm~5mm、好ましくは50nm~400nm、より好ましくは50~100nmである。特に、ガラス窓、太陽エネルギー利用装置、光学機器、タッチパネル等の表示装置等に用いるために透明度が必要とされる超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の製造のためには、入射光の散乱や乱反射による透明度の低下を抑制するために、融着複合微粒子11aの突起を含まない球状部の直径は、可視光の波長よりも短い400nm以下である必要があり、もっとも好ましい直径の範囲は、上記の50~100nmである。突起の直径は、融着複合微粒子11aの突起を含まない球状部の直径の1/100以上1/5以下であり、1nm~50μm、好ましくは5nm~80nm、より好ましくは10~20nmである。融着複合微粒子11aの材質について特に制限はなく、ソーダ石灰ガラス、クリスタルガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ガラスセラミックス、シリカ、アルミナ、ジルコニア等の任意の材質のものを用いることができ、ポリメタクリル酸メチル等からなるアクリルガラスプレキシガラス等の有機材料を用いることもできる。特に、シリカ、アルミナ、ジルコニア等の硬質の無機酸化物からなる微粒子を用いる場合には、得られる超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の表面の硬度および耐摩耗性を向上できる。融着複合微粒子11aは、上記のような形状、大きさのものであれば、製造方法については特に制限されることなく任意の方法を用いて製造されたものを用いることができるが、後述する工程A~Cを含む方法を用いると、安価な球状の微粒子を用いて、大きさの制御されたものを容易に調製できる。融着複合微粒子11aのフィルム表面層14への埋め込みは、例えば、1加熱して軟化させたフィルム表面層14上に融着複合微粒子11aを散布し圧入する、2フィルム表面層14の液状の前駆体と融着複合微粒子11aをフィルム基材に塗布後、前駆体を反応させてフィルム表面層14を形成させる等の方法を用いて行うことができる。また、バインダとして光硬化性樹脂や接着剤エポキシ系接着剤、シアノアクリレート系接着剤を用いてもよい。これらの処理はいずれも従来のロールトゥロール法により実施可能であるため、既存の生産設備を利用可能である上、大面積化への対応も容易である。フィルム表面層14またはその前駆体が有する反応性の官能基第1の反応性の官能基の一例と、複合微粒子11の表面の官能基第2の反応性の官能基の一例とが反応して結合を形成し、埋め込まれた複合微粒子11が結合を介してフィルム表面層14に結合固定されるようにすると、複合微粒子11の剥離強度や超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の耐摩耗性、耐スクラッチ性等を向上できる。複合微粒子11として、シリカ、アルミナ等の無機酸化物を用いる場合、表面基としてヒドロキシル基を有しているため、これと反応する官能基を有するフィルム表面層14またはその前駆体を選択すればよく、その具体例としては、アルコキシシラン等のシリカ前駆体、シリコーン樹脂前駆体等が挙げられる。あるいは、フィルム表面層14またはその前駆体の有する反応性の官能基を一端に有するアルコキシシラン化合物を、後述する工程A、B、Eと同様の条件で複合微粒子11と反応させ、複合微粒子11の表面に当該反応性の官能基を導入してもよい。これらの場合において、複合微粒子11の表面官能基または上記のようにしてアルコキシシラン化合物との反応によりその表面に導入される反応性の官能基は、複合微粒子が凝集した状態で結合を形成し、フィルム表面層14における複合微粒子11の分布が不均一となることを避けるために、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の製造条件下で二量化反応しないものであることが好ましい。このようにして、表面に一部が露出するようにフィルム表面層14に埋め込まれた融着複合微粒子11aは、球状または略球状の微粒子12の表面に、それよりも直径が小さな球状または半球状の複数の第2の突起13が融着した金平糖状の形状を有しており、その高さは、50nm~5mm、好ましくは50nm~400nm、より好ましくは50~100nmである。特に、ガラス窓、太陽エネルギー利用装置、光学機器、タッチパネル等の表示装置等に用いるために透明度が必要とされる超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の製造のためには、入射光の散乱や乱反射による透明度の低下を抑制するために、融着複合微粒子11aの高さは、可視光の波長よりも短い400nm以下である必要がある。第2の突起13の直径は、微粒子12の直径の1/100以上1/5以下であり、1nm~50μm、好ましくは5nm~80nm、より好ましくは10~20nmである。工程Eフィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面に、図示しない表面官能基と表面反応基との反応により形成された結合を介して、その表面に結合固定された撥水撥油防汚性薄膜15aを形成し、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10を製造するのに用いる反応液は、フッ化炭素基を含むアルコキシシラン化合物表面反応基とフッ化炭素基とを有する膜化合物15の一例と、フィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面のヒドロキシル基表面官能基の一例とアルコキシシリル基との縮合反応を促進するための縮合触媒と、非水系の有機溶媒とを混合することにより調製される。フッ化炭素基を含むアルコキシシラン化合物としては、下記の一般式Iで表されるアルコキシシラン化合物が挙げられる。ICF3CF2n-Y-Z-CH2m-SiOR3上式において、mは0~20の整数を、nは0~9の整数を、Rは炭素数1~4のアルキル基をそれぞれ表す。また、Yは、CH2kkは1~3の整数を表すおよび単結合のいずれかを表し、Zは、Oエーテル酸素、COO、SiCH32、および単結合のいずれかを表す。式Iで表されるフッ化炭素基を含むアルコキシシラン化合物としては、下記1~12に示す化合物が挙げられる。1CF3CH2OCH215SiOCH332CF3CH23SiCH32CH215SiOCH333CF3CF25CH22SiCH32CH29SiOCH334CF3CF27CH22SiCH32CH29SiOCH335CF3COOCH215SiOCH336CF3CF25CH22SiOCH337CF3CH2OCH215SiOC2H538CF3CH23SiCH32CH215SiOC2H539CF3CF25CH22SiCH32CH29SiOC2H5310CF3CF27CH22SiCH32CH29SiOC2H5311CF3COOCH215SiOC2H5312CF3CF25CH22SiOC2H53縮合触媒としては、カルボン酸金属塩、カルボン酸エステル金属塩、カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属塩キレート、チタン酸エステルおよびチタン酸エステルキレート等の金属塩が利用可能である。縮合触媒の添加量は、好ましくはアルコキシシラン化合物の0.2~5質量であり、より好ましくは0.5~1質量である。カルボン酸金属塩の具体例としては、酢酸第1スズ、ジブチルスズジラウレート、ジブチルスズジオクテート、ジブチルスズジアセテート、ジオクチルスズジラウレート、ジオクチルスズジオクテート、ジオクチルスズジアセテート、ジオクタン酸第1スズ、ナフテン酸鉛、ナフテン酸コバルト、2-エチルヘキセン酸鉄が挙げられる。カルボン酸エステル金属塩の具体例としては、ジオクチルスズビスオクチリチオグリコール酸エステル塩、ジオクチルスズマレイン酸エステル塩が挙げられる。カルボン酸金属塩ポリマーの具体例としては、ジブチルスズマレイン酸塩ポリマー、ジメチルスズメルカプトプロピオン酸塩ポリマーが挙げられる。カルボン酸金属塩キレートの具体例としては、ジブチルスズビスアセチルアセテート、ジオクチルスズビスアセチルラウレートが挙げられる。チタン酸エステルの具体例としては、テトラブチルチタネート、テトラノニルチタネートが挙げられる。チタン酸エステルキレート類の具体例としては、ビスアセチルアセトニルジ-プロピルチタネートが挙げられる。反応液をフィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面に塗布し、室温の空気中で反応させると、アルコキシシリル基とフィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面のヒドロキシル基とが縮合反応を起こし、下記の化1で示されるような構造を有するフッ化炭素基を含む撥水撥油防汚性薄膜15aを生成する。なお、酸素原子から延びた3本の単結合はフィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面または隣接するシラン化合物のケイ素Si原子と結合しており、そのうち少なくとも1本はフィルム表面層1の表面のケイ素原子と結合している。アルコキシシリル基は、水分の存在下で分解するので、反応は相対湿度45以下の空気中で行うことが好ましい。なお、縮合反応は、フィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面に付着した油脂分や水分により阻害されるので、フィルム表面層14から露出した複合微粒子11をよく洗浄して乾燥することにより、これらの不純物を予め除去しておくことが好ましい。縮合触媒として上述の金属塩のいずれかを用いた場合、縮合反応の完了までに要する時間は2時間程度である。上述の金属塩の代わりに、ケチミン化合物、有機酸、アルジミン化合物、エナミン化合物、オキサゾリジン化合物、アミノアルキルアルコキシシラン化合物からなる群より選択される1または2以上の化合物を縮合触媒として用いた場合、反応時間を1/2~2/3程度まで短縮できる。あるいは、これらの化合物を助触媒として、上述の金属塩と混合質量比1:9~9:1の範囲で使用可能だが、1:1前後が好ましいして用いると、反応時間をさらに短縮できる。例えば、縮合触媒として、ジブチルスズオキサイドの代わりにケチミン化合物であるジャパンエポキシレジン社のH3を用い、その他の条件は同一にして処理を行うと、反応時間を1時間程度にまで短縮できる。さらに、縮合触媒として、ジャパンエポキシレジン社のH3とジブチルスズビスアセチルアセトネートとの混合物混合比は1:1を用い、その他の条件は同一にして反応性フィルム表面層4の製造を行うと、反応時間を20分程度に短縮できる。なお、ここで用いることができるケチミン化合物は特に限定されるものではないが、例えば、2,5,8-トリアザ-1,8-ノナジエン、3,11-ジメチル-4,7,10-トリアザ-3,10-トリデカジエン、2,10-ジメチル-3,6,9-トリアザ-2,9-ウンデカジエン、2,4,12,14-テトラメチル-5,8,11-トリアザ-4,11-ペンタデカジエン、2,4,15,17-テトラメチル-5,8,11,14-テトラアザ-4,14-オクタデカジエン、2,4,20,22-テトラメチル-5,12,19-トリアザ-4,19-トリエイコサジエン等が挙げられる。また、用いることができる有機酸も特に限定されるものではないが、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、マロン酸等が挙げられる。反応液の調製には、有機塩素系溶媒、炭化水素系溶媒、フッ化炭素系溶媒、シリコーン系溶媒、およびこれらの混合溶媒を用いることができる。アルコキシシラン化合物の加水分解を防止するために、乾燥剤または蒸留により使用する溶媒から水分を除去しておくことが好ましい。また、溶媒の沸点は50~250°Cであることが好ましい。具体的に使用可能な溶媒としては、フィルム基材やフィルム表面層14を溶解または膨潤させない限りにおいて任意の溶媒を用いることができるが、非水系の石油ナフサ、ソルベントナフサ、石油エーテル、石油ベンジン、イソパラフィン、ノルマルパラフィン、デカリン、工業ガソリン、ノナン、デカン、灯油、ジメチルシリコーン、フェニルシリコーン、アルキル変性シリコーン、ポリエーテルシリコーン、ジメチルホルムアミド等を挙げることができる。さらに、メタノール、エタノール、プロパノール等のアルコール系溶媒、あるいはそれらの混合物を用いることもできる。また、用いることができるフッ化炭素系溶媒としては、フロン系溶媒、フロリナート米国3M社製、アフルード旭硝子株式会社製等がある。なお、これらは1種単独で用いても良いし、良く混ざるものなら2種以上を組み合わせてもよい。さらに、ジクロロメタン、クロロホルム等の有機塩素系溶媒を添加してもよい。反応液におけるアルコキシシラン化合物の好ましい濃度は、0.5~3質量である。反応後、溶媒で洗浄し、未反応物として表面に残った過剰なアルコキシシラン化合物および縮合触媒を除去すると、撥水撥油防汚性薄膜15aで表面が覆われた超撥水撥油防汚性透光性フィルム10が得られる。洗浄溶媒としては、アルコキシシラン化合物を溶解でき、フィルム基材やフィルム表面層14を溶解または膨潤させない任意の溶媒を用いることができるが、安価であり、溶解性が高く、風乾により容易に除去することのできるジクロロメタン、クロロホルム、N-メチルピロリドン等が好ましい。反応後、余分な反応液を溶媒で洗浄除去せずに空気中に放置すると、表面に残ったアルコキシシラン化合物の一部が空気中の水分により加水分解を受け、生成したシラノール基がアルコキシシリル基と縮合反応を起こす。その結果、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の表面にポリシロキサンよりなる極薄のポリマー膜が形成される。このポリマー膜は、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の表面に共有結合により固定されていないが、フッ化炭素基を有しているため撥水撥油防汚性を有している。そのため、多少耐久性に劣る点を除けば、このままの状態でも超撥水撥油防汚性透光性フィルム10として使用できる。本実施の形態においては、アルコキシシラン化合物を用いた場合について説明したが、フッ化炭素基を有するハロシラン化合物を用いてもよい。ハロシラン化合物を用いる場合には、縮合触媒および助触媒が不要であること、アルコール系溶媒が使用できないこと、アルコキシシラン化合物より加水分解を受けやすいので、乾燥溶媒を用い、乾燥空気中相対湿度30以下で反応を行うことを除き、アルコキシシラン化合物と同様に反応液の調製およびフィルム表面層14から露出した複合微粒子11との反応を行うことができる。単分子膜状の撥水撥油防汚性薄膜15aの膜厚は高々1nm程度であるため、フィルム表面層14から露出した複合微粒子11の表面に形成された5~50nm程度の凸凹はほとんど損なわれることがない。また、この凸凹の効果いわゆる蓮の葉効果により、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の見かけ上の表面エネルギーを小さくでき、水滴接触角は、140°以上本実施の形態では150°程度となり、超撥水が実現できる。また、工程Eにおいて用いることができるフッ化炭素基を含むハロシラン化合物としては、下記21~26に示す化合物が挙げられる。また、下記27~32に示すイソシアネートシラン化合物を用いることもできる。21CF3CH2OCH215SiCl322CF3CH23SiCH32CH215SiCl323CF3CF25CH22SiCH32CH29SiCl324CF3CF27CH22SiCH32CH29SiCl325CF3COOCH215SiCl326CF3CF25CH22SiCl327CF3CH2OCH215SiNCO328CF3CH23SiCH32CH215SiNCO329CF3CF25CH22SiCH32CH29SiNCO330CF3CF27CH22SiCH32CH29SiNCO331CF3COOCH215SiNCO332CF3CF25CH22SiNCO3なお、撥水撥油防汚性薄膜15aはフィルム表面層14の表面に形成されてもよい。フィルム表面層14に、フッ化炭素基を含むアルコキシシラン化合物と反応可能な表面官能基が存在する場合には、上述のアルコキシシラン化合物と反応できるため、工程Eにおいてフィルム表面層14の表面層にも撥水撥油防汚性薄膜15aを形成できる。フィルム表面層14に、フッ化炭素基を含むアルコキシシラン化合物と反応可能な表面官能基が存在しない場合であっても、コロナ処理等の前処理によりフィルム表面層14の表面に、アルコキシシラン化合物と反応可能なヒドロキシル基等の表面官能基を導入できる。融着複合微粒子の調製融着複合微粒子11aは、球状または略球状の第1の微粒子21の表面官能基と反応して結合を形成する第1の表面反応基と、第1の反応基とを両端にそれぞれ有する第1の膜化合物を含む第1の反応液を前記第1の微粒子の表面に接触させ、表面官能基と表面反応基との反応により形成された結合を介して第1の微粒子21の表面に結合固定された第1の膜化合物の被膜を形成する工程Aと、球状または略球状で、第1の微粒子21よりも直径が小さな第2の微粒子22の表面官能基と反応して結合を形成する第2の表面反応基と、第1の反応基と反応して結合を形成する第2の反応性基とを両端にそれぞれ有する第2の膜化合物を含む第2の反応液を第2の微粒子22の表面に接触させ、表面官能基と表面反応基との反応により形成された結合を介して第2の微粒子22の表面に結合固定された第2の膜化合物の被膜を形成する工程Bと、第1の膜化合物の被膜が形成された第1の微粒子21と、第2の膜化合物の被膜が形成された第2の微粒子22とを接触させ、第1の反応基と第2の反応基とを反応させ、形成された結合を介して第1の膜化合物の被膜が形成された第1の微粒子21の表面に第2の膜化合物の被膜が形成された複数の第2の微粒子22を結合固定させた金平糖状の複合微粒子11を調製後、、加熱して第1の微粒子21と第2の微粒子22とを融着させた融着複合微粒子11aを調製する工程C図2参照とを有する方法により調製してもよい。以下、各工程についてより詳細に説明する。工程A第1の微粒子21の形状について特に制限はないが、球状または略球状であることが好ましい。第1の微粒子21の大きさは、50nm~5mm、好ましくは50nm~400nm、より好ましくは50~200nmである。特に、ガラス窓、太陽エネルギー利用装置、光学機器、表示装置等に用いるために透明度が必要とされる超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の製造のためには、入射光の散乱や乱反射による透明度の低下を抑制するために、第1の微粒子21の大きさは、可視光の波長よりも短い400nm以下である必要がある。第1の微粒子21の材質についても特に制限はなく、ソーダ石灰ガラス、クリスタルガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ガラスセラミックス、シリカ、アルミナ、ジルコニア等の任意の材質のものを用いることができ、ポリメタクリル酸メチル等からなるアクリルガラスプレキシガラス等の有機材料を用いることもできる。特に、シリカ、アルミナ、ジルコニア等の硬質の無機酸化物からなる微粒子を用いる場合には、得られる超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の表面の硬度および耐摩耗性を向上できる。第1の反応基を含むアルコキシシラン化合物第1の膜化合物と、アルコキシシリル基と複合微粒子11の表面官能基ヒドロキシル基との縮合反応を促進するための縮合触媒と、非水系の有機溶媒とを含む反応液中で、第1の微粒子21をアルコキシシラン化合物と接触させることにより、第1の微粒子21の表面に第1の膜化合物の被膜を形成する。第1の反応基としては、例えば、熱によりアミノ基等の求核剤と反するエポキシ基が挙げられる。エポキシ基を含むアルコキシシラン化合物としては、直鎖状アルキレン基の両末端に、エポキシ基オキシラン環を含む官能基およびアルコキシシリル基をそれぞれ有し、下記の一般式化2で表されるアルコキシシラン化合物が好ましい。上式において、Eはエポキシ基を含む官能基を、mは3~20の整数を、Rは炭素数1~4のアルキル基をそれぞれ表す。エポキシ基を有するアルコキシシラン化合物の一例としては、下記31~42に示した化合物が挙げられる。CH2OCHCH2O3Si3CH2OCHCH2O7Si3CH2OCHCH2O11Si3CH2CHOCHCH22CH2Si3CH2CHOCHCH22CH4Si3CH2CHOCHCH22CH6Si3CH2OCHCH2O3Si3CH2OCHCH2O7Si3CH2OCHCH2O11Si3CH2CHOCHCH22CH2Si3CH2CHOCHCH22CH4Si3CH2CHOCHCH22CH6Si3ここで、CH2OCHCH2O-基は、化3で表される官能基グリシジルオキシ基を表し、CH2CHOCHCH22CH-基は、化4で表される官能基3,4-エポキシシクロヘキシル基を表す。第1の膜化合物として、直鎖状アルキレン基の両末端に、アミノ基およびアルコキシシリル基をそれぞれ有し、下記の一般式化5で表されるアルコキシシラン化合物を用いてもよい。上式において、mは3~20の整数を、Rは炭素数1~4のアルキル基をそれぞれ表す。なお、エポキシ基は、アルコキシシリル基との副反応を避けるために、保護基によって保護されていてもよい。保護基は加水分解等により容易に除去できるものが好ましく、ケトンとアミノ基との反応により生成するケチミン誘導体等が挙げられる。また、アミノ基は、化5に示したような1級アミン以外に2級アミンでもよく、アミノ基の代わりにピロール基、イミダゾール基等のイミノ基を有する官能基を含むアルコキシシラン化合物を用いることができる。この場合において、用いることができるアミノ基を有するアルコキシシラン化合物の一例としては、下記51~58に示した化合物が挙げられる。H2N3Si3H2N5Si3H2N7Si3H2N9Si3H2N5Si3H2N5Si3H2N7Si3H2N9Si3反応液の調製に用いることができる縮合触媒および溶媒ならびに反応条件については、工程Eの場合と同様であるため、詳しい説明を省略する。ただし、第1の反応基がアミノ基の場合、スズSn塩を含む化合物は、アルコキシシラン誘導体に含まれるアミノ基と反応して沈殿を生成するため、縮合触媒として用いることができない。工程B第2の微粒子22の形状について特に制限はないが、球状または略球状であることが好ましい。第2の微粒子22の大きさは、複合微粒子11の直径の1/100以上1/5以下であり、1nm~50μm、好ましくは5nm~80nm、より好ましくは5~50nmである。特に、ガラス窓、太陽エネルギー利用装置、光学機器等に用いるために透明度が必要とされる超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の製造のためには、入射光の散乱や乱反射による透明度の低下を抑制するために、第2の微粒子22の大きさは、可視光の波長よりも短い400nm以下、かつ複合微粒子11の直径の1/100以上1/5以下である必要がある。第2の微粒子13の材質についても特に制限はなく、ソーダ石灰ガラス、クリスタルガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ガラスセラミックス、シリカ、アルミナ、ジルコニア等の任意の材質のものを用いることができ、ポリメタクリル酸メチル等からなるアクリルガラスプレキシガラス等の有機材料を用いることもできる。特に、シリカ、アルミナ、ジルコニア等の硬質の無機酸化物からなる微粒子を用いる場合には、得られる超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の表面の硬度および耐摩耗性を向上できる。第2の反応基としては、第1の反応基と反応して結合を形成する任意の官能基を用いることができるが、例えば、第1の反応基がエポキシ基の場合にはアミノ基を、第1の反応基がアミノ基の場合にはエポキシ基をそれぞれ用いることができる。用いることができる膜化合物、反応液の調製に用いられる縮合触媒および溶媒ならびに反応条件については上述の場合と同様であるため、詳しい説明を省略する。工程C次いで第1の膜化合物の被膜が形成された第1の微粒子21と、第2の膜化合物の被膜が形成された第2の微粒子22とを接触させ、第1の反応基と第2の反応基とを反応させ、形成された結合を介して第1の膜化合物の被膜が形成された第1の微粒子21の表面に第2の膜化合物の被膜が形成された複数の第2の微粒子22を結合固定させた金平糖状の複合微粒子11を調製後、加熱して第1の微粒子21と第2の微粒子22とを融着させた融着複合微粒子11aを調製する図2参照。加熱温度は、50°C以上であることが好ましい。加熱温度が50°C未満だと、架橋反応の進行に長時間を要し、生産効率が低下する。また、加熱時間が第1の微粒子および第2の微粒子22の融点を超えると、所望の形状の複合微粒子11が得られなくなる。第1および第2の膜化合物の結合の形成に利用される結合は、共有結合、イオン結合、配位結合、及び分子間力による結合のいずれであってもよいが、加熱または光等のエネルギー線の照射により形成される共有結合が好ましい。加熱により形成される共有結合の具体例としては、エポキシ基とアミノ基又はイミノ基との反応により形成されるN-CH2CHOH結合以外に、イソシアネート基とアミノ基との反応により形成されるNH-CONH結合等であってもよい。光照射により形成される共有結合の具体例としては、シンナモイル基またはカルコニル基の光二量化反応により形成される共有結合が挙げられる。このようにして、第1の膜化合物の被膜が形成された第1の微粒子21の表面に第2の膜化合物の被膜が形成された複数の第2の微粒子22を結合固定させた金平糖状の複合微粒子11が得られる図2参照。なお、図では第1および第2の膜化合物の被膜の厚さを誇張しており、実際にはこれらの被膜の厚さは複合微粒子11の大きさに対し無視できる程度である。複合微粒子11はそのまま超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の製造に用いてもよいが、さらに加熱して第1の微粒子21と第2の微粒子22とを融着複合微粒子11aを調製し、これを超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の製造に用いてもよい。融着は、第1の微粒子21と第2の微粒子22の軟化温度以上融点以下の温度で所定時間加熱することにより行うことができる。その際、第1および第2の膜化合物の被膜は、熱分解および/または酸化分解を受け消失する。なお、複合微粒子11をそのまま超撥水撥油防汚性透光性フィルム10の製造に用いる場合には、第1または第2の反応基が表面官能基となるため、これと反応する表面反応基を有する膜化合物を選択する必要がある。第1または第2の反応基がアミノ基の場合には、表面反応基としてアルコキシシリル基を用いることができるが、エポキシ基の場合には、クロロシリル基を表面反応基として用いればよい。本発明の第2の実施の形態に係る耐摩耗性超撥水撥油透光性フィルム100は、溶媒の蒸発およびその後の加熱により、フィルム基材101の表面に結合可能なバインダを生成するバインダ前駆体を含む溶媒中に球状または略球状の微粒子102を分散させた分散液をフィルム基材101の表面に塗布して、溶媒を蒸発させ、フィルム基材101および微粒子102の表面にバインダ前駆体103aを生成させる工程aと、微粒子102の表面に生成したバインダ前駆体103aの表面の一部をエッチングして、バインダを介してフィルム基材101の表面に付着または結合した微粒子102の表面に、微粒子102より小さな複数の球状または略球状の突起104を形成する工程bと、バインダ前駆体103aを介して微粒子102を表面に付着または結合させたフィルム基材101を加熱して、生成したバインダ103を介して突起104を形成した微粒子102をフィルム基材101の表面に結合固定させる工程cと、突起104が形成された微粒子102が結合固定された樹脂フィルム基材101の表面に撥水撥油防汚性薄膜図示しないを形成する工程dとを有する図3参照。以下、各工程についてより詳細に説明する。工程a複合微粒子の代わりに球状または略球状の微粒子102を用いる以外は、本発明の第1の実施の形態に係る耐摩耗性超撥水撥油透光性フィルム10の製造方法の工程Dにおいてバインダ前駆体を含む分散液を用いる場合と同様である。樹脂フィルム基材101および微粒子102については、本発明の第1の実施の形態に係る耐摩耗性超撥水撥油透光性フィルム10の製造に用いられるフィルム表面層14および第1の微粒子21とそれぞれ同様である。分散液の製造に用いられる溶媒およびバインダ前駆体、塗布の条件は、本発明の第1の実施の形態に係る耐摩耗性超撥水撥油透光性フィルム10の製造方法の工程Dと同様である。なお、球状または略球状の微粒子102の代わりに、本発明の第1の実施の形態に係る耐摩耗性超撥水撥油透光性フィルム10の製造において用いた複合微粒子11または融着複合微粒子11a図2参照を用いてもよい。工程b次いで、微粒子102の表面に生成したバインダ前駆体103aの表面の一部をエッチングして、バインダを介してフィルム基材101の表面に付着または結合した微粒子102の表面に、微粒子102より小さな複数の球状または略球状の突起104を形成する。形成される突起104の大きさは、微粒子の直径の1/100以上1/5以下であり、1nm~50μm、好ましくは5nm~80nm、より好ましくは5~50nmである。特に、ガラス窓、太陽エネルギー利用装置、光学機器、表示装置等に用いるために透明度が必要とされる耐摩耗性超撥水撥油透光性フィルム100の製造のためには、入射光の散乱や乱反射による透明度の低下を抑制するために、突起の大きさは、可視光の波長よりも短い400nm以下、かつ微粒子の直径の1/100以上1/5以下である必要がある。上記の様な大きさの微細な突起を形成することができるエッチング方法としては、反応性ガスより生成させた高密度プラズマを用いたドライエッチング法等が挙げられる。なお、図3に示すように、フィルム基材101の表面に形成したバインダ103の表面もエッチングしてもよい。工程cバインダ前駆体103aを介して微粒子102または複合微粒子11もしくは融着複合微粒子11aを表面に付着または結合させたフィルム基材101を加熱して、生成したバインダ103を介して突起104を形成した微粒子102をフィルム基材101の表面に結合固定させてもよい。なお、ここで、工程bの前に工程cを行っても、同様の表面形状が形成出来た。工程d最後に、突起104が形成された微粒子102が結合固定されたフィルム基材101の表面に膜厚がナノレベルの撥水撥油防汚性薄膜を形成する。本工程については、本発明の第1の実施の形態に係る耐摩耗性超撥水撥油透光性フィルム100の製造方法の工程Eと同様である。超撥水撥油防汚性透光性フィルム10は、150度程度の水滴接触角を有している。種々の体積の水滴0.02~0.08mLを用いた検討結果より、水滴接触角が150度以上のとき、水滴の体積に関係なく転落角は15度以下となることを確認している。そのため、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10、100を乗り物や建築物の窓ガラス板表面に貼着した場合、ほとんどの水滴は表面にとどまることができずに転落する。超撥水撥油防汚性透光性フィルム10、100は、耐摩耗性および耐候性等の耐久性、水滴離水性滑水性、ならびに防汚性に優れており、撥水撥油防汚機能が要求される乗り物や建築物のガラス窓の表面に貼着することができる。超撥水撥油防汚性透光性フィルム10、100を貼着したガラス窓を用いることのできる乗り物としては、自動車、鉄道車両、船舶等が挙げられ、運転席、客室等の別を問わずあらゆる窓の窓用ガラス板として用いることができる。特に、運転席用のガラス窓に用いた場合には、運転席からの視認性を向上できる効果も有している。また、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10、100を貼着したガラス窓を用いることのできる建築物としては、一戸建て住宅、集合住宅、オフィスビル等の任意の建築物が挙げられる。また、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10、100を貼着したガラス板を太陽エネルギー利用装置のフェイスプレートに用いると、汚れの付着、入射光の散乱および乱反射等による太陽光エネルギーの利用効率の低下を抑制できると共に、耐久性および耐候性に優れ、屋外の過酷な環境下でも長期間にわたって使用可能な太陽エネルギー利用装置が提供される。太陽エネルギー利用装置の具体例としては、太陽熱温水器、太陽電池、温室等が挙げられる。また、超撥水撥油防汚性透光性フィルム10、100は、撥水撥油防汚機能が要求される光学機器用の部材にも適用できる。光学機器用の部材としては、カメラ、分光計等のレンズ、プリズム、ミラーが上げられる。また表示装置としては、PDP等の表示装置のフェイスプレート等が挙げられ、耐摩耗性および耐候性等の耐久性、水滴離水性滑水性ともいう、防汚性に優れた撥水撥油防汚性反射防止膜を形成でき、光学性能に優れた光学装置や、表面反射の少ないPDPディスプレイ等の表示装置のフェイスプレート等を提供できる。次に、本発明の作用効果を確認するために行った実施例について説明する。これらの実施例は単なる例示であり、本発明の範囲を限定するものではない。実施例1:超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造11融着複合微粒子の調製[1]エポキシ化シリカ微粒子の製造3-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン化60.99重量部、およびジブチルスズビスアセチルアセトナート縮合触媒0.01重量部を秤量し、これを100重量部のヘキサメチルジシロキサン溶媒に溶解し、反応液を調製した。このようにして得られた反応液中に平均直径が約130nmの第1のシリカ微粒子を分散させ、撹拌しながら空気中相対湿度45で2時間程度反応させた。その後、エタノールで洗浄し、余分なアルコキシシラン化合物およびジブチルスズビスアセチルアセトナートを除去した。[2]アミノ化シリカ微粒子の調製3-アミノプロピルトリメトキシシラン化7、信越化学工業株式会社製0.99重量部、および酢酸縮合触媒0.01重量部を秤量し、これを100重量部のヘキサメチルジシロキサン溶媒に溶解し、反応液を調製した。このようにして得られた反応液中に平均直径が約15nm程度の第2のシリカ微粒子を分散させ、撹拌しながら空気中相対湿度45で2時間程度反応させた。その後、エタノールで洗浄し、余分なアルコキシシラン化合物およびジブチルスズビスアセチルアセトナートを除去した。[3]融着複合微粒子の調製エポキシ化シリカ微粒子およびアミノ化シリカ微粒子を均一に混合し、100°Cで30分間加熱し、エポキシ基およびアミノ基を反応させ、エポキシ化シリカ微粒子の表面に複数のアミノ化シリカ微粒子が結合固定された複合微粒子を調製した。次いで、630°Cで25分加熱してアミノ化シリカ微粒子をエポキシ化シリカ微粒子の表面に融着させ、融着複合微粒子を調製した。2フィルム表面層への融着複合微粒子の埋め込みPETフィルムの表面に上述のようにして調製した融着複合微粒子を均一に散布後、PETフィルムを加熱軟化し、ロールを用いて融着複合微粒子を圧入した。99重量部のヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシランCF3CF27CH22SiOCH33、1重量部のジブチルスズジアセチルアセトナート縮合触媒をそれぞれ秤量後、ヘキサメチルジシロキサンに溶解し、濃度1重量程度の反応液を作製した。融着複合微粒子を埋め込んだフィルム表面層の表面に反応液を塗布し、室温で反応させた。このとき、融着複合微粒子ならびにシリカ被膜の表面にはヒドロキシル基が多数含まれているので、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン-SiOCH3基とヒドロキシル基が、縮合触媒の存在下で脱アルコールこの場合は、脱CH3OH反応し、下記化学式化8に示したような結合を形成し、フッ化炭素基を含む撥水撥油防汚性薄膜が表面と化学結合した状態で約1ナノメートル程度の膜厚で形成された。その後、ジクロロメタンで余分な反応液を洗浄除去すると、表面に露出した融着複合微粒子の表面に化学結合したフッ化炭素基を含む撥水撥油防汚性薄膜単分子膜で被われた、撥水撥油防汚性および反射防止機能を有する太陽熱温水器用の超撥水撥油防汚性透光性フィルムを製造できた。このようにして得られた耐摩耗性超撥水撥油防汚性透光性フィルムの表面の走査型電子顕微鏡SEM写真を図4に示す。融着複合微粒子がそれぞれフィルム表面層に埋め込まれたことにより、表面に複雑な凹凸が形成されており、後述するように、平坦なフィルム表面層の表面に撥水撥油防汚性薄膜を形成した場合の水滴接触角110度程度に比べて、撥水性、撥油性および防汚性に優れた水滴接触角155±8度を実現出来ることが確認された。しかも、製造に使用した融着複合微粒子の大きさがいずれも可視光の波長よりも短かったため、透明度はほとんど劣化しなかった。一方、このとき、形成された微粒子表面の撥水撥油防汚性薄膜は、シリカ微粒子の表面エネルギーを小さくする作用があり、フラクタル構造を有する凸凹と併せて、基材表面の見かけ上の表面エネルギーを大きく低減できる作用がある。実際に水滴接触角を測定したところ、多少のバラツキは観測されたものの、接触角は150~160°程度であり、臨界表面エネルギーも1~3mN/m程度であった。このようにして得られた超撥水撥油防汚性透光性フィルムを太陽熱温水器に装着し実用化試験を行うと、空気中の粉塵や黄砂による汚れもほとんど付着せず、雨が降れば、セルフクリーニングされ、さらに、微細な表面凸凹によりフィルムの表面反射を低減出来て、普通のガラス透過率92程度を装着した場合に比べて初期値で平均3程度以上集熱効率を向上できた。また、普通のガラスの場合、1年も使用すると表面が汚れ、光利用効率が30程度も低下したが、このフィルムを設置したフェースプレートガラスを用いた太陽熱温水器では、1年後でも汚れによる効率低下は5以下であった。実施例2:超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造2エポキシ化シリカ微粒子として直径の異なるものを混合して用いた平均直径100nmのシリカ微粒子と平均直径50nmのシリカ微粒子を重量比で1:10程度に混合して用いた。を用いた以外は実施例1と同様の方法を用い、超撥水撥油防汚性透光性フィルムを作製した。これを太陽電池パネルの表面に貼着すると、太陽電池の表面近傍断面がフラクタル構造で、撥水撥油効果が高く水滴接触角で158度、かつ高い光透過性500nm近傍の光の透過率が約99であった。を有する反射防止機能を有する超撥水撥油防汚性透光性フィルムで覆われた太陽電池を製造できた。さらにまた、このセルで実用化試験を行った結果では、半年経過後でも空気中の粉塵や黄砂による汚れもほとんど付着せず、雨が降れば、セルフクリーニングされ、さらに、微細な表面凸凹によりフィルムの表面反射を低減出来て、普通のガラス板を装着した場合に比べて平均6程度光利用効率を向上できた。また、普通のガラスの場合、1年も使用すると表面が汚れ、光利用効率が30程度も低下したが、このフィルムを設置したフェースプレートガラスを用いた太陽電池では、1年後でも汚れによる効率低下はほとんどみられなかった。なお、このときの水滴接触角は158°程度であったが、水滴接触角が140°以上であれば、実用上ほぼ同様の効果が得られた。実施例3:超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造3実施例1と同様の方法を用いて撥水撥油防汚性反射防止膜を形成したレンズを製作し、光学機器に装着しテスト使用してみたが、雨滴は全く付着せず、また指紋の付着はほとんど無く、しかも光透過率は反射防止マルチコート膜と同等であり、光学特性に遜色がなく、防汚性に優れたレンズを製作できた。実施例4:超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造4実施例1と同様の方法を用いて表面に撥水撥油防汚性反射防止膜を形成したPDPプラズマディスプレイパネルのフェイスプレートを製作し、テスト使用してみたが、指紋の付着がほとんど無く、さらに室内の蛍光灯等がフェイスプレート表面へ写り込むのを効率よく低減でき、視認性を大幅に向上できた。透過率は、可視光の全波長領域にわたって92以上であった。実施例5:超撥水撥油防汚性透光性フィルムの製造5メチルトリメトキシシランのメタノール溶液に、平均直径が約130nmのシリカ微粒子を分散させ、PETフィルムの表面に塗布した。70°C以上でPETフィルムの軟化温度以下の温度で加熱することにより、メチルトリメトキシシランが縮重合し、形成された透明なポリシロキサンの被膜を介してPETフィルムの表面にシリカ微粒子を固定できた。次いで、プラズマ法を用いてポリシロキサン被膜をドライエッチングプラズマガス:CF4-CF2F2-O2:圧力0.4Paすることにより、シリカ微粒子の表面に底面の直径が数十nm程度の略半球状の凹凸を形成した。このようにして得られた、金平糖状の凹凸が形成されたポリシロキサン系クリアコート層を有するPETフィルムの表面に、実施例1と同様の操作を行い、表面に化学結合した膜厚1nm程度のフッ化炭素基を含む撥水撥油防汚性薄膜を形成した。このようにして、実施例1等の場合と同様、水滴接触角160°程度の高い撥水性を有し、撥油性および防汚性にも優れた超撥水撥油防汚性透光性フィルムを製造できた。得られた超撥水撥油防汚性透光性フィルムは、可視光の全波長域において、92以上の高い透過率を有していた。"