固定配置の内歯車と、その内歯車内で回転可能な偏心円板を軸端部に有し、その偏心円板の外径面に転がり軸受が嵌合された入力軸と、その入力軸と同軸上に配置された出力軸とを有し、前記出力軸の前記入力軸と対向する軸端部に前記内歯車と前記転がり軸受との間で回転可能なケージを設け、そのケージの前記転がり軸受と径方向で対向する部位に内歯車の内周に形成された内歯より数が少ないポケットを周方向に等間隔に設け、そのポケットのそれぞれ内部に前記内歯に噛合するローラを収容し、前記偏心円板の偏心回転によりローラを前記内歯に順次噛合させて入力軸の1回転当たりに内歯の一歯分だけ周方向に移動させることにより出力軸を減速回転させるようにした減速装置において、前記内歯車の歯底円半径、前記入力軸の軸心を中心とする転がり軸受の外接円半径およびローラの外径を予め測定し、ローラと内歯車の歯底間に形成されるローラ隙間を、0~20μmの範囲に管理したことを特徴とする減速装置。前記転がり軸受が嵌合される偏心円板を2枚とし、その2枚の偏心円板を、その円筒状外径面の中心が周方向に180°位置がずれるようにして軸方向に設け、その2枚の偏心円板に転がり軸受が嵌合される状態で、それぞれの転がり軸受における外輪外径面の公転円径を同時に測定するようにした請求項1に記載の減速装置。前記内歯車の歯底円半径の測定が、レーザ変位計による請求項1又は2に記載の減速装置。前記内歯車の歯底円半径の測定が、静電容量式変位計による請求項1又は2に記載の減速装置。ところで、ローラ式減速装置を形成する内歯車、偏心円板、転がり軸受、ローラ等の各種部品は製作誤差を有しており、従来では、これら製作誤差を有する各種の部品を単に組付けてローラ式減速装置を組み立てるようにしているため、ローラ隙間が一定の大きさとならず、品質が一定する良好な製品を得ることができなかった。ここで、ローラ隙間とは、ローラ式減速装置のローラ減速機構部を示す図5において、偏心円板の外周に嵌合された転がり軸受11の偏心円板変位側に配置されたローラ19と内歯車3の内周に形成された内歯4の歯底4a間に形成される隙間20をいう。従来では、上述のように、ローラ隙間20を管理することのない組立てであるため、適正な大きさのローラ隙間20を確保することができず、ローラ隙間20が必要以上に大きくなる場合がある。この場合、内歯車3の内歯4から一旦抜け出たローラ19が隣接する内歯4内に進入する際に、内歯4の歯底4aに衝突し、振動を生じさせることになる。ここで、ローラ隙間20の大きさをδ1とした場合、そのδ1は下記の数式1で表すことができる。δ1=A-B-C数式1上記数式1において、A;内歯車3の歯底円半径B;入力軸の軸心を中心とする転がり軸受11の外接円半径C;ローラ19の外径を示す。本件の発明者らは、ローラ19と内歯車3の歯底4a間に形成されるローラ隙間20が減速装置におよぼす影響を検証したところ、以下の項目を導き出したのである。効率;ローラ隙間の過大、過小のバラツキにより回転ムラが発生する。また、過小隙間部での損失が過大となるため、効率を低下させる。寿命;過小隙間部をローラが通過する際にローラと内歯車内径もしくはローラと転がり軸受の外輪の接触部で過大面圧が発生し、早期剥離が生じる。振動;過大隙間部でローラの挙動が不安定となって振動が発生する。また、ローラ隙間20を入力特性値として特性評価を実施したところ、図6に示す結果を得た。このことから、ローラ隙間20の最適化は重要である。この発明の課題は、ローラ隙間を最適な範囲とすることで減速装置の振動を抑制し、品質の安定化を図ることである。上記の課題を解決するため、この発明においては、固定配置の内歯車と、その内歯車内で回転可能な偏心円板を軸端部に有し、その偏心円板の外径面に転がり軸受が嵌合された入力軸と、その入力軸と同軸上に配置された出力軸とを有し、前記出力軸の前記入力軸と対向する軸端部に前記内歯車と前記転がり軸受との間で回転可能なケージを設け、そのケージの前記転がり軸受と径方向で対向する部位に内歯車の内周に形成された内歯より数が少ないポケットを周方向に等間隔に設け、そのポケットのそれぞれ内部に前記内歯に噛合するローラを収容し、前記偏心円板の偏心回転によりローラを前記内歯に順次噛合させて入力軸の1回転当たりに内歯の一歯分だけ周方向に移動させることにより出力軸を減速回転させるようにした減速装置において、前記内歯車の歯底円半径、前記入力軸の軸心を中心とする転がり軸受の外接円半径およびローラの外径を予め測定し、ローラと内歯車の歯底間に形成されるローラ隙間を、0~20μmの範囲に管理した構成を採用したのである。ここで、ローラ隙間とは、図5に示される隙間20をいい、そのローラ隙間の大きさを0~20μmの範囲とすると、図6の各種特性の試験結果から明らかなように、振動発生の少ない、高効率の寿命の長い品質にバラツキのない減速装置を得ることができる。この発明に係る減速装置において、転がり軸受が嵌合される偏心円板を2枚とし、その2枚の偏心円板を、その円筒状外径面の中心が周方向に180°位置がずれるようにして軸方向に設け、その2枚の偏心円板に転がり軸受が嵌合される状態で、それぞれの転がり軸受における外輪外径面の公転円径を同時に測定することによって、測定操作を効率よく行うことができる。内歯車の歯底円半径の測定に、レーザ変位計や静電容量式変位計を用いることによって精度の高い測定を可能とすることができる。この発明に係る減速装置においては、上記のように、内歯車の歯底円半径、入力軸の軸心を中心とする転がり軸受の外接円半径およびローラの外径を予め測定し、これら3部品の寸法の選択組み合わせによってローラと内歯車の歯底間に形成されるローラ隙間を、0~20μmの範囲に管理したことによって、減速装置の振動を抑制し、品質の安定化を図ることができる。以下、この発明の実施の形態を図面に基いて説明する。図1に示すように、ハウジング1は、円筒状をなしている。ハウジング1は、軸方向に2分割されて第1分割ハウジング1aと第2分割ハウジング1bが設けられている。第1分割ハウジング1aと第2分割ハウジング1bは、図示省略したボルトの締め付けにより結合一体化され、その突合せ側端部の内径面には、第1分割ハウジング1aと第2分割ハウジング1bとに跨って大径凹部2が形成されている。図1および図2に示すように、大径凹部2内には内歯車3が圧入され、その内歯車3の内周に複数の内歯4が設けられている。図1に示すように、第1分割ハウジング1aの開口端部には端板5が設けられ、その端板5の中央部に形成された軸挿入孔6に入力軸7が挿入されている。入力軸7は、軸挿入孔6内に組込まれた軸受8により回転自在に支持されて、内歯車3と同軸上の配置とされ、上記ハウジング1内に位置する軸端部には内歯車3内において回転可能な2枚の偏心円板9が軸方向に間隔をおいて設けられている。また、2枚の偏心円板9は、円筒状外径面の中心が周方向に180°位置がずれる取付けとされ、その外径面10には転がり軸受11が圧入されている。転がり軸受11として玉軸受を採用している。ここで、図2に示すδ0は、入力軸7の中心O0と偏心円板9の円筒状外径面の中心O1の偏心量を示している。図1に示すように、第2分割ハウジング1bの内側には出力軸12が挿入されている。出力軸12は第2分割ハウジング1bの開口端部内に組込まれた軸受13により回転自在に支持されて、入力軸7と同軸上の配置とされている。出力軸12の入力軸7と対向する軸端部にはケージ14が設けられ、そのケージ14は偏心円板9上の転がり軸受11と内歯車3の対向部間において回転自在とされている。ケージ14は、出力軸12側に閉塞端を有し、その閉塞端面15の中央部に形成された小径孔部16内に入力軸7の軸端部を受ける軸受17が組込まれている。図1および図2に示すように、ケージ14には、周方向に等間隔に並ぶ複数のポケット18が複列に形成され、各列のポケット18は、2枚の偏心円板9のそれぞれに支持された転がり軸受11と径方向で対向する位置に形成されており、一方の列の複数のポケット18と他方の列の複数のポケット18は周方向に半ピッチ位置がずれている。各列の複数のポケット18は、内歯車3の内周に形成された内歯4の歯数より少なく、それぞれのポケット18に対して一つのローラ19が径方向に移動自在に収容されている。ローラ19は、内歯車3の内歯4に対して噛合可能とされ、そのローラ19が噛合する内歯4は、周方向に並ぶ複数のローラ19のそれぞれが同時に接触可能とする曲線状の歯形とされている。全てのローラ19を接触可能とするため、前述の特許文献1に記載されているように、出力軸12の回転角が内歯車3の内歯4の一ピッチ分の範囲において、偏心円板9の回転によって出力軸12が回転し、その時、ローラ19の中心が描く軌跡と平行する曲線のうちローラ19の外側にある曲線を一歯分とする歯形としている。実施の形態で示す減速装置は上記の構成からなり、減速装置の組立てに際しては、図5に示す内歯車3の歯底円半径A、入力軸の軸心を中心とする転がり軸受11の外輪11aの外接円半径Bおよびローラ19の外径Cをそれぞれ測定し、これら3部品の寸法の選択組み合わせによるマッチングによってローラ19と内歯車3の歯底間に形成されるローラ隙間20の大きさδ1が、0~20μmとなるよう、上記ローラ隙間20の大きさδ1を管理する。ここで、入力軸7の軸心を中心とする転がり軸受11の外輪11aの外接円半径Bの測定に際しては、転がり軸受11と同一径とされたゲージ用外輪図示省略を予め用意し、そのゲージ用外輪の外周に形成された真円状外径面にダイヤルゲージ30の接触子31を押し付けて、指針を振らせ、その指針の振れ量を記憶しておく。その後、図3に示すように、第1分割ハウジング1aおよび内歯車3を取り外した状態で、ポケット18内にダイヤルゲージ30の接触子31を挿入し、その接触子31を転がり軸受11の外輪11aの外径面に押し付け、指針の振れ量を記憶しておいた振れ量に一致させた状態において、入力軸7を一回転させるようにする。その測定により、ダイヤルゲージ30の指針は、図4のグラフで示すように、偏心円板9の偏心量δの2倍の数値2δを加味した数値がサイン曲線として検出されることになり、その振幅Wをケージ用外輪の半径にプラスすることで転がり軸受11における外輪11aの外接円半径Bを知ることができる。このように、偏心円板9の外径面に転がり軸受11を嵌合した取付け状態でその転がり軸受11の外輪11aの外径面を直接測定することにより、偏心円板9の外径や転がり軸受11の内輪内径、同軸度を測定する必要がなく測定作業が容易であり、精度の高い測定とすることができる。また、減速装置の組立てラインで測定可能であるため、大幅なライン変更を必要としない。ここで、内歯車の歯底円半径の測定に際しては、レーザ変位計や静電容量式変位計を用いて測定する。図1は、3部品の寸法の選択組み合わせによるマッチングによって組み立てられた減速装置を示す。その減速装置における入力軸7を回転すると、偏心円板9の回転によりローラ19が内歯車3の内歯4と順次噛合し、その入力軸7の一回転当たりにローラ19が内歯4の一歯分だけ周方向に移動し、出力軸12が減速回転する。このとき、ローラ19と内歯車3の歯底間に形成されるローラ隙間20の大きさδ1が、0~20μmとなるよう、上記ローラ隙間20が管理されているため、ローラ19が内歯車3に衝突するようなことがなく、振動を発生させるようなことはない。ローラ隙間20の過大、過小のバラツキによって回転ムラが発生し、あるいは、過小隙間部での損失が過大となるのを抑制することができ、効率を低下させるという不都合の発生はない。ローラ19が過小隙間部を通過する際には、ローラ19と内歯車内径もしくはローラ19と転がり軸受11の外輪11aの接触部で過大面圧が発生し、早期剥離が生じるが、ローラ隙間20の大きさδ1を0~20μmの範囲とすることによってそのような不都合の発生はない。