"非水性液体シリカ前躯体材料中の水性相のエマルションを形成すること;そのエマルションを小滴スプレーとして、合成火炎中に供給し、それにより前躯体材料は火炎中でシリカ含有スートに転換されること;ならびにつづいてガラスに焼固するための多孔質スート体として、または直接に実質的に細孔のないガラスとして、基板上にスートを捕集すること、の段階を含むシリカ系ガラスの製造方法。合成火炎が合成バーナーにより供給される請求項1に記載の製造方法。合成火炎がプラズマ加熱装置により供給または増大される請求項1に記載の製造方法。シリカ前躯体材料が非水性で、塩素を含まないケイ素化合物である請求項1~3のいずれか1項に記載の製造方法。非水性で、塩素を含まないケイ素化合物がシロキサン化合物またはその化合物の混合物である請求項4に記載の製造方法。シロキサン化合物がヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、ドデカメチルシクロヘキサシロキサン、またはそれらの2つもしくは3より多い混合物である請求項5に記載の製造方法。エマルションの水性相がさらに乳化剤を含む請求項1~6のいずれか1項に記載の製造方法。乳化剤がシリコーン系界面活性剤である請求項7に記載の製造方法。水性相が純水であり、シリカ系ガラスが純シリカである請求項1~8のいずれか1項に記載の製造方法。水性相が水およびイオン種の溶液であり、イオン種は小滴のエマルションの達成すること、およびまたはスプレーの改良された燃焼を確実にすることを助ける請求項1~8のいずれか1項に記載の製造方法。イオン種が硝酸アンモニウムである請求項10に記載の製造方法。水性相が1つまたはそれより多いドーパント種の前躯体の溶液を含む請求項1~8のいずれか1項に記載の製造方法。水性相が1つまたはそれより多い金属ドーパント種の前躯体の溶液を含む請求項12に記載の製造方法。金属ドーパント種は、合成火炎内で周期律表1~16族、ならびにランタニドおよびアクチニドから選ばれる、1つまたはそれより多い金属の酸化物に転換し得る1つまたはそれより多い化合物を含む請求項13に記載の製造方法。1つまたはそれより多い非金属ドーパント種がガラスに配合される請求項1~8または12から14のいずれか1項に記載の製造方法。非金属ドーパント種がホウ素またはリンの酸化物を含む請求項15に記載の製造方法。スプレー中の小滴が、火炎中の酸化または加水分解による転換についてシリカ系ガラスに要求される全成分を含む請求項1~16のいずれか1項に記載の製造方法。スプレー中の小滴が、非水性液体シリカ前躯体材料中の水性相のエマルションを含む請求項17に記載の製造方法。エマルション中の水性相の小滴の大部分の直径が2μmより小さい請求項18に記載の製造方法。スプレー中の各小滴が、さらにドーパント種を含む非水性液体シリカ前躯体材料中の水性相のエマルションを含む請求項18、19および12~16のいずれか1項に記載の製造方法。エマルションが気力手段により合成バーナー内で微粒化される請求項1~20のいずれか1項に記載の製造方法。気力手段が微粒化ガス流を含む請求項21に記載の製造方法。エマルションが超音波手段により合成バーナー内で微粒化される請求項1~20のいずれか1項に記載の製造方法。超音波手段が超音波ホーンを含む請求項23に記載の製造方法。乳化は、バーナー内または近傍で生じ、そして2つの液相の同時の供給および乳化に適合された超音波ホーンにより促進される請求項1~24のいずれか1項に記載の製造方法。最初のガラス製品は続く均質化プロセスに供される請求項1~25のいずれか1項に記載の製造方法。シリカ系ガラスの製造に用いられる微粒化バーナーからのNOx放出を減少させる方法であり、そこでは微粒化バーナーは、非水性で、塩素のない液体シリカ前駆体中の水性相のエマルションを提供される、請求項1~26のいずれか1項に記載の製造方法。請求項1~27のいずれか1項に記載の製造方法により製造される、純またはドープされたシリカ系ガラス。火炎に微粒化された水性溶液として供給されるドーパント種の塩の使用は、過去に提案されてきたが、その方法は、特にそれらが比較的揮発しないとき、すべての潜在的前駆体種の全蒸発を導きそうもなく、そのような溶液の小滴は乾燥状態まで蒸発し、ついで固体または液体粒子に分解することが期待されるが、特に関心のあるドーパント酸化物の非常に高い沸点のために、得られる酸化物粒子の少なくともいくつかは大きなサイズに留まり、製品ガラスに許容し得ない欠陥を構成する。要求されていることは、火炎中におけるドーパント酸化物、または酸化物、の粒子を合成する方法であり、すべての前駆体が実質的に均一な混合物として反応帯域に供給され、一方、各ドーパント酸化物の全粒子が凝縮シリカ粒子の存在下に蒸気種から共凝縮することを確実にし、そうでなければ蒸気からの凝縮によって達成されるのに匹敵する大きさのドーパント酸化物の分散ナノ粒子、すなわちサブミクロン大きさ、として生成される。本発明者は、サブミクロンサイズ、すなわち従来の合成火炎から合成された酸化物粒子の大きさに相当する、ナノ粒子の大きさ、のシリカおよびドーパント酸化物の両方の粒子を生成させることを可能にする新しい方法を発明した。さらに、本方法は、純およびドーパントされた合成シリカガラスの両方の製造に適切であることを示し、耐火性で比較的不溶性酸化物の均一配合でさえ可能であることを示す。その結果、今や均一ドーピングが原子スケールで達成され得る。このプロセスは、周知のスプレー熱分解方法の新しい変形である。それは、大きな燃焼熱を有する、塩素のないシリカ前躯体とともに使用されるとき、特に有利である。したがって、可能なシリカ前躯体はシロキサンを含み、その最も重要なものは、ヘキサメチルジシロキサンHMDS、オクタメチルシクロテトラシロキサンOMCTS、D4としても知られる、デカメチルシクロペンタシロキサンDMCPSまたはD5、およびドデカメチルシクロヘキサシロキサンDMCHSまたはD6である。他の塩素のない有機ケイ素化合物も、使用条件下で、許容できない加水分解を受けなければ、この種のプロセスに考慮され得るが、特に関心のある前躯体はシロキサンであり、特にシクロシロキサン、もっと特に、D4,D5、およびD6、ならびにそれらの混合物である。しかしながら、他の環状および鎖状シロキサンが使用され得、同族体、置換体およびそれらの混合物を含む。金属塩の水性またはアルコール性溶液は、通常、シロキサンに混和せず、上述のように、2つの別々の成分その一方または両方がスプレーであり得るの混合は、理想的な均質性では今まで達成されていなかった。しかし、もしドーパントが溶液、たとえば水性溶液として供給されるならば、シリカとドーパント前躯体の、要求される終極的に均質な分散体を創り出すことが可能であることが見出され、この溶液はシロキサン中のエマルション、すなわち油中水型エマルションとして供給される。このエマルションそこでは、終極ガラスのすべての成分が密で均質な混合物中に存在し得る。は、火炎における分解、加水分解、または酸化によって、終極的な製品ガラスを製造するのに必要な、すべての成分を含むエーロゾルにおける各小滴とともに、合成火炎中にスプレーされる。均一にドープされたシリカ粒子ヒュームは、このように製造され得、スート体として捕集され、ついでまたは同時にガラスに焼成される。合成火炎は、適切に設計された燃焼バーナーにより供給されるのが通常であり、そこでは前駆体の酸化は酸素または代替の酸化性ガスにより促進され、そして追加エネルギーは、適切な可燃性燃料ガスの燃焼により供給され得、たとえば水素、メタン、プロパン、ブタン、エチレン、アセチレン、等を含む。しかし、ある態様において、そのような追加エネルギーを、プラズマ加熱のような代替的手段により供給することも有利であり得る。プラズマ加熱は、公知のプラズマ加熱装置により提供され得、誘導プラズマトーチ、アークプラズマトーチおよびマイクロ波プラズマ装置を含む。同様に、一般的な燃焼は、そのような追加の電気的加熱手段によって支持され得る。したがって、本発明は、1つの態様において、次の段階を含むシリカ系ガラスの製造方法を提供する:非水性液体シリカ前躯体材料中の水性相のエマルションを形成すること;そのエマルションを小滴スプレーとして、合成火炎中に供給し、それにより前躯体材料は火炎中でシリカ含有スートに転換されること;ならびにつづいてガラスに焼固するための多孔質スート体として、または直接に実質的に細孔のないガラスとして、基板上にスートを捕集すること。特定の態様において、シリカ系ガラスは、ドープされ、もしくはドープされていないすなわち、実質的に純合成ガラス質シリカである。水性相は、エマルションの不連続相を構成し、以下に詳述するように、純もしくは実質的に純水または適切な水性溶液から構成され得る。多くの態様において、スプレー中の各小滴は、火炎中の酸化または加水分解によりシリカ系ガラスに転換するために要求される全成分を含む。たとえば、各小滴は、非水性液体シリカ前躯体材料中の水性相エマルション、ならびにいくらかのもしくは全部のドーパントを含む。乳化は、1つまたは2以上の乳化剤の添加により促進され得る。この用途のために乳化剤として幅広い範囲の界面活性剤が存在し、考慮される。2つまたはそれより多い界面活性剤を一緒に用いるのが有利であり得、そこではHLB親水性親油性比値を異にするのが有利であり得る。したがって、HLB値が3~9である界面活性剤が適切であり得るが、この範囲は制限的ではない。適切な乳化剤の例は、金属不純物のない非イオン界面活性剤であり、シリコーンポリマーのアルコキシ化誘導体のようなシリコーン界面活性剤を含み、ポリメチルシロキサンアルキル置換されていてもよいとポリエーテル、たとえばポリエチレングリコールPEGおよびまたはポリプロピレングリコールPPG、との共重合体を含む。適切な乳化剤は、Tegopren登録商標7008、ポリエーテルアルキルポリメチルシロキサンEvonikDegussaGmbHRodenbacherChaussee463457HanauドイツおよびBC99012BasildonChemicalCompanyLimitedKimberRoadAbingdonOX141RZOX141RZ英国を含むが、他に多くのものがあり、種々の製造者から入手できる。エマルション中の水性相は、1つまたはそれより多い金属塩水性溶液を含み得、たとえば希土類金属とアルミニウム塩の混合物である。油媒体における調節された大きさの水性溶液微小滴を形成する乳化は、標準的な方法たとえば、高速ブレンダー、高圧ホモジナイザー、コロイドミル、高せん断ディスパーサー、超音波分解膜ホモジナイザー、等により達成され得、そして適切な海面活性剤の添加により、温度を調節すること、等により、促進され得る。もしエマルションが十分に安定であれば、その均質化プロセスは、装置への供給の前に、別のプロセスで実施し得る。あるいは、乳化はバーナーの上流の容器内で、直線状に配置され得、またはたとえば2つの液体を供給し、微粒化するのに適合した、超音波ホーンを設けたバーナーたとえば、SonoTekCorporationMiltonNY12547米国から入手し得るのような、適切に設計されたバーナー内で実施してもよい。適切な方法によって、たとえばシロキサンのエマルション内の水性微小滴は、微粒化されたスプレーの各小滴がミクロエマルションのような水性微小滴を含むシロキサン小滴からなるような大きさである、ことを確実にすることができる。このように、エマルションが20~100μmの大きさの油滴に微粒化されるとき、それらはそれぞれ著しく小さな大きさの水性微小滴を多く含む。典型的には、水性微小滴の大部分の直径は2μmより小さい。火炎において加熱する際に、水性微小滴中の水は過熱され得、ついで爆発的に蒸発し、そしてこのように、水の蒸発、次の金属塩の分解の際に形成される耐火性ドーパント酸化物の粒子の大きさを低下させるのに役立つと考えられる。火炎中に存在する高温で、ドーパント酸化物種の広範な蒸発が生じ、そしてこのように、要求されるドーパントされたシリカは、構成酸化物種の共凝縮により実際に達成されるであろう。しかし、耐火性ドーパント種が十分には蒸発されなくても、前駆体溶液の微小滴は分裂され、蒸発されて乾固し、ついで飛行中に十分に酸化され、酸化物または混合酸化物のサブミクロン粒子を生成する。これらの粒子は、蒸気からの核生成および成長により達成された大きさに匹敵する大きさであり、火炎の同一領域で発生されるシリカナノ粒子と密に混合される。水小滴の崩壊は、シロキサン小滴も砕かれる利点を付与し、シロキサンと酸素のさらに良好な混合、もっと均一な燃焼およびもっとコンパクトな燃焼帯域を確実にし、もっと高い、潜在的捕集効率を導く。これは、微粒化バーナーの前述の不利益を克服する。すなわち、スプレーは、部分酸化の到達に導き得る特大の小滴、基板上の特大粒子、および多孔質体におけるそれらの混入を導き、スート体のこぶ様wartlike成長および得られるガラスにおける潜在的な微小気泡をもたらす不利益US6260385に記載されるようにを克服する。新しい方法は、ドーパント酸化物が高度に耐火性であるときに、純合成シリカガラスおよびドープされた合成シリカガラスの両方の製造に有利であり得る。したがって、ドープされたシリカガラスを製造するために用いられるとき、蒸気から終極的に凝縮するシリカ粒子は、実際に核生成され、耐火性ドーパント酸化物のナノ粒子上に成長することを確実にする。その結果は、堆積され、ついで乾固されるドープされたスートは、従来提案された方法と異なり、調節され得、かつ予測し得る濃度で、シリカガラスにおける均質なドーパント溶液を生成することである。このようにして、製品ガラスに幅広いドーパント種を配合することが可能である。このようなドーパント種は、油中水型エマルションの水性相に化合物の水溶性塩として導入され得る。典型的に、これらは、金属の硝酸塩、塩化物、酢酸塩等、またはホウ素、リン等のような非金属元素化合物の溶液を含む。シロキサン中の水性エマルションの燃焼の新しい方法は、ドープされたガラスの製造のためのルートとして最初は開発されたが、火炎における燃焼から微粒化されたスプレーとして非水性液体ケイ素前躯体における純水エマルションを供給することにより、純合成シリカガラスを製造するための改良法を提供することも見出された。水性溶液へのイオン種の添加は、エマルションの安定を向上させ、そしてエマルションにおける比較的小さな小滴の達成を可能にすることが見出された。これは、上述のようなドープされたシリカガラスの製造におけるばかりでなく、ドープされていないガラスの製造にも潜在的に有益であり得る。このように、純水エマルションに適切なイオン種を添加することは有利であり得、適切な種は、堆積されるべきシリカスート中に有意の不純物を生じさせないで、火炎中で分解または酸化する種である。潜在的な添加剤は、鉱酸、たとえば塩酸、硝酸および硫酸等;カルボン酸、たとえばギ酸、酢酸、プロピオン酸等;または有機塩基、たとえばメチルアミン、トリメチルアミン等、を含み、適切な対イオン、たとえば塩酸塩;および分解性塩、たとえば塩化アンモニウム、硝酸塩、硫酸塩、ギ酸塩、酢酸塩等、をさらに含んでいてもよい。硝酸アンモニウムまたは他の高結合酸素含量の塩の使用は、特に興味深い。熱分解に際して、有意のガスを発生し、そしてエーロゾル中の前躯体粒子の分解を促進すること、および超微細シリカ粒子への十分な酸化に有利であることにおいて、そのような種は有利であり得、一方、異なる種の残渣をシリカに実質的に残さない。油中水型エマルションの使用は、そこでは水性相は1つまたはそれより多い、溶解された塩の形態でドーパント種前躯体を含むが、予測し得る濃度の、ドープされた合成シリカガラスを大量に製造する、費用効果のよい方法を提供し、そこではドーパント種は、原子の大きさで終極的に分散され、粒子含有物を含まない。それは、高コストおよび有機金属ドーパント前駆体の取り扱いの困難さ;もしドーパント酸化物粒子が十分に溶解していないと、ガラス中の微小気泡および含有物のリスク;ならびにガラス中のドーパントの均一な濃度を達成すること、または堆積条件に基づいて最終ガラス中のドーパントの平均レベルを予測することの困難さ、を含む。本発明方法は、希土類金属酸化物および他の耐火性酸化物種でドープされたシリカガラスの製造に特に有用であるが、これらの種に限定されない。実際に、この方法は、周期律表IUPAC版1~16族、ならびにランタニドおよびアクチニド系列から選ばれる、幅広い範囲の金属の酸化物でドープされたガラス製品を生成するのに使用され得る。さらに、たとえばホウ素およびまたはリンの酸化物を含む、ある非金属ドーパントの配合にも使用され得る。いくつかの用途で要求されるように、もしガラス中のドーパントレベルに勾配を有することが望まれるならば、これはエマルションに存在する特定のドーパント種の濃度の漸進的変動により達成され得る。いくつかの態様において、非水性相に溶解された、1つまたはそれより多いドーパント種を提供することは適切であり得るが、本発明補法の主要な利点の1つは、シロキサンのような非水性で、塩素のないシリカ前駆体中で安価な塩の形態の溶解ドーパント前駆体を含む、水性エマルションを用いて均質にドープされたガラスを製造する費用効果のよい方法を提供することである。上述のように、本発明方法は、ドープされたガラスを生成し得、そこではドーパント種は、最初に製造されたガラスで達成されたよりもはるかに大きな均質性のレベルで達成するのが望ましい用途に関して、原子レベルで実質的に均質に分散される。たとえば、最初に達成されたよりももっと均一なドーパントレベルを達成することが望ましく、あるいは屈折率、熱膨張係数または他の特性、の均一性を改良するために手段を講じることが必要であり得、そしてたとえば最初に製造されたガラスで得られるよりも均一なOHレベルを要求され得る。これらの状況下で、続く均質化プロセスを適用し、ついで適切なアニール操作をすることにより、ガラスの全体的な均一性を改良することができる。いくつかの均質化は、特に比較的大きな断面積を有する、代わりの形状体を与えるガラスのリフロープロセスによって達成され得る。US5443607およびUS5790315に記載される均質化プロセスそこでは、ガラス体はツイスティングにより混合されるは、最高の均質性の光学ガラスの製造に特に適している。エマルションの水性相における溶液として火炎へドーパント種を供給することは、本発明の最も重要な適用の1つとみなされ、ある状況において、水性相に懸濁されて超微粒子の分散体として、または第2のエマルションとして、すなわち非水性の塩素のないシリカ前駆体中に懸濁した微小滴として存在する水中油型エマルションとして、あるドーパントを供給することが望ましい。本発明の付加的な特徴は、シロキサンスプレー中の水のエマルションの使用は、燃焼特性を変え、その結果、火炎は窒素酸化物の減少したレベルをもたらす。これは、NOx放出が制限される状況下で大規模で用いられるとき、重要な利点を示す。したがって、本発明は、シリカ系ガラスの製造に用いられる微粒化バーナーのNOx放出を減少させる方法を提供し、そこでは微粒化バーナーは、上述のシリカ製造法において、非水性の塩素のない液体シリカ前駆体中の水性相のエマルションを提供される。例実験は、それぞれのシロキサン中または混合物中の水または水性溶液のエマルション群を用いて行われた。適切な組成77D4、21D5、2D6を有する混合物がD4Nとして供給されるMomentivePerformanceMaterials22CorporateWoodsBoulevardAlbanyNY12211米国。この混合物は、室温で冷凍を受けないので、試験に使用されたが、明らかに純シロキサンはこの方法において代替的に使用され得る。典型的なエマルションは以下のとおりである。エマルション1.典型的なエマルションは次のように製造された。920mLのD4Nに、30mLの乳化剤Tegopren登録商標7008が添加された。ついで、水50mLが非水性相に添加され、その混合物は高速ホモジナイザーUltraTurraxModelNoT125IKAWerkeGmbHCoKGJankeKunkelStr1079219Staufenドイツを用いて、最初に乳化された。乳化は、超音波浴内の容器の強い撹拌により完結された。得られるエマルションの水性相の小滴の大きさ分布は、レーザー回折粒子アナライザー、ModelLS230により測定された。こお分布は図1に示される。水性相の微小滴の直径は3.5μmより小さいのが通常であり、そのような微小滴の大部分は直径が2μmより小さい。エマルション2.脱イオン水50mL中の硝酸セリウムIII8gの水性溶液が、30mLのTegopren登録商標7008を含む920mLのD4Nに添加された。その混合物は前記のように乳化され、小滴の大きさ分布が上記のように測定され、図1に示される結果を生じた。水性微小滴の大部分の直径は明らかに1μmより小さい。エマルション3.脱イオン水50mL中の硝酸セリウムIII40gの水性溶液が、30mLのBC99012を含む920mLのD4Nに添加された。その混合物は前記のように乳化され、小滴の大きさ分布が上記のように測定され、図1に示される結果を生じた。溶解された塩の高濃度にもかかわらず、水性小滴はすべて直径が1.5μmより小さい。これらのようなエマルションが、微粒化バーナーに供給され得、その簡易な例が模式的に図2に示される。バーナーのアセンブリーは、3つの要素、すなわち微粒化ノズル、パイロットバーナーおよび補助バーナーから構成され得る。スプレーは、簡易なステンレス鋼微粒化10ModelNoAL06DelavanLtdWidnesWA80Rj英国により供給され、それはシロキサン混合液体すなわち、選択された油中水型エマルション11の流れとともに、パルスなし計量ポンプ示されていないにより供給され、そして微粒化ガス12、たとえば酸素、の流れとともに微粒化され得る。これは微細な小滴スプレー13を生じさせる。この使用条件下でそのようなノズルからのスプレーについての典型的な平均小滴は20~100μmの範囲にある。このように、油中水型エマルションで操作されるとき、スプレー中の各小滴は水性相の数多くの微小滴を含み、そして最終的な純またはドープされたシリカスートの全成分を配合すると思われ、実質的に均一な組成のスート粒子を生じさせるのに酸素との反応を要求する。ノズル10は、ステンレス鋼パイロットバーナー14の下に配置され得、半径11mmの円上に現れる直径1mmのオリフィスのリング16を組み入れ、そしてバーナーの主軸方向に傾斜されている。水素15とともに供給され、このことはパイロット火炎16の列を備え、シロキサンスプレーの燃焼を安定化させる。空気流17がアトマイザースプレーにより引き起こされ、そしてアトマイザーノズルの表面をシリカの堆積がないように保つのを助ける。このバーナーの代替に、ノズル10とパイロットバーナー14は、密閉して結合され得、そして配置は17で示される環状ギャップにおいて、選択されたガスの制御された流れを供給するようになされ得る。バーナーの合計稼働能力は補助バーナー18を用いて適宜調節され得、それは共軸バーナーの形状で溶融シリカで製造され、ポート19により酸素を、そしてポート20により水素を供給され得る。このようなバーナーは、シロキサン中の水性エマルションを純およびドープされたシリカスートに転換するのに用いられ、ついで純およびドープされたシリカガラスに焼成され得る。液体とガスの流れ、および環状ギャップ17の大きさ、ならびにバーナーと基板示されていないを分離する距離を調節することにより、所与のスート密度について堆積効率を最適化することが可能である。いくつかの状況下で、堆積効率に限界があることが見出され、それを超える高い堆積効率はスート体の小節のある成長を招き、焼成に際して許容できない欠陥を含むガラスを生成する。この効果は、超微細酸化物粒子ではなく、過大で不十分に酸化された粒子の、スート体への配合のためであると考えられる。小節形成が生じるとき、操作時の火炎周囲の高速写真はこのような過大粒子に対応すると考えられる形跡を明らかにした。これらは、ガラスが焼成されるとき、ガラス中に含有物または微小気泡の領域を生じさせ得、このような欠陥は製品において許容され得ない。比較例において、スートの小節成長を導く堆積条件を示すことが可能である。バーナーが、たとえば0.72L時間の速度で上記混合シロキサンを供給され、酸素0.70sm3h内で微粒化され、0.73sm3hでパイロットジェットへの水素流を、そして補助バーナーへの2.10sm3hでの酸素流および1.75sm3hでの水素流を伴う。バーナーは、その他は類似の条件下で上記エマルションの類似流で供給されるとき、小節のない、許容できるスート堆積が達成され得、得られる純シリカスート体は、1500°Cの温度で1時間、真空下で加熱することにより、気泡および含有物のないガラスに焼成され得る。必要ならば、焼成の前に、たとえば塩素のない大気中で加熱することによって、脱水および精製プロセスに供され得る。水素またはヘリウム中での焼成も可能である。適切な乳化剤の添加は、安定な油中水型エマルションの達成を助けるのに有益であり、そこでは水性小滴は小さな大きさであり、この大きさの分布は長時間にわたって維持され得る。しかし、ある状況において、添加された乳化剤のないエマルションで操作することが可能である。このようなエマルションは、比較的安定ではないようであるが、なお本発明方法において使用され得る。たとえば、超音波微粒化ホーンを組み込んだバーナーに、添加乳化剤なしのシロキサン、および水性相を別々に供給するとき、2つの成分は、ホーンの表面で超音波振動の影響下で溶け合わされる。水性微小滴のエマルションは、それによって、各シロキサン小滴内で形成され、その小滴は火炎に供給され、そして反応して適切な、純またはドープされたシリカスートを形成する。したがって、添加乳化剤の存在は、本質的な特徴ではない。シロキサン前躯体中のドーパント塩の水性溶液のエマルション、たとえば上記のエマルション2または3、を用いて、許容し得るスート堆積を達成すること、そしてこのようにして、原子レベルで、均質にドープされ、気泡および含有物のないガラスに焼成され得る、均一にドープされたスート体を達成すること、は可能である。上記の実験は、本発明方法の実行可能性を示し、さらに非水性たとえば、シロキサン前躯体中の、水エマルション、または1つもしくはそれより多い金属塩の水性溶液のエマルション、の燃焼;ならびに続くガラスへの焼成に適切な多孔質体として生成物を捕集すること;により、純およびドープされた合成シリカガラスを達成することが可能であることを示す。適切なバーナーにより、そして基板の温度を上昇させることにより、スート粒子を細孔のないドープされたシリカガラスに直接に焼成することが可能であろう。これらの実験は、最も簡易なバーナーでなされ得るが、もっと洗練されたバーナーがエマルションスプレーを発生させ、これを合成火炎に供給するのに用いられ得ること、さらに微粒化の種々の方法が可能であること、が明らかである。たとえば、エマルションは、気力手段たとえば、微粒化ガス流または超音波手段たとえば、超音波ホーンの使用により、微粒化され得る。ある態様において、液体供給のその場での乳化を達成することが可能であり、たとえば2つの液体供給を取り扱うのに適合された、超音波ホーンバーナー内に配置されてもよいに、成分液体を供給することによる。代替のバーナーは、燃料として、水素、天然ガス、プロパン等を使用する、共軸バーナーを含み得、またはたとえば火炎にジェット流として供給される予備混合ガスを使用し得る。窒素またはアルゴンのような不活性ガスは、代替の微粒化ガスとして、またはバーナー要素の冷却を助けるために、あるいはバーナー等の表面の堆積形成を避けるために、反応ガスと分離するガスとして、使用され得、そしてさらにひつようであれば反応性ガス流における希釈ガスとしても使用され得る。酸素は最も都合のよい酸化性ガスであることが明らかであるが、他のガスたとえば、空気、オゾン、窒素酸化物等も原則として可能である。単一の非水性前躯体たとえばシロキサン、またはシリカ合成バーナーに供給されるエーロゾルスプレーのような前躯体混合物を用いるとき、純水、または非水性前躯体中のエマルションとして適切なイオン種の水性溶液エマルション、を添加することは、前躯体の燃焼効率を改良し得、さらに潜在的な捕集効率および得られる純シリカガラス製品の品質を改良し得る。さらに、純水を1つもしくはそれより多い金属化合物の水性溶液、またはそのような化合物の水コロイド懸濁液と置換することにより、均質にドープされたシリカスートを堆積でき、したがって気泡および含有物のない、均質にドープされたガラスを得ることができる。"