"測定対象となる光学素子を載置する、第一面及び該第一面の裏面に相当する第二面とを有する基板と、一部が前記基板に支持され、既知の球面形状を有する球面部を前記光学素子側面部に光軸と垂直な方向から当接可能に備えた外形基準検知手段と、を有する光学素子測定用治具であって、前記外形基準検知手段は、当接した球面部を測定することにより前記光学素子の外形基準が把握できるよう前記基板の複数位置に配置され、その内の少なくとも一つは、前記光学素子を押圧するような付勢力を以って当接可能に構成されていることを特徴とする光学素子測定用治具。前記複数の外形基準検知手段の各球面部は、前記光学素子に対し、前記光学素子の外周を等分割する位置でそれぞれ当接するように配置されていることを特徴とする請求項1記載の光学素子測定用治具。前記複数の外形基準検知手段の内、前記光学素子を押圧するような付勢力を以って当接する外形基準検知手段は、前記基板に支持された支持部と前記球面部との間に弾性部材を有するとともに、前記弾性部材と球面部との間であって前記弾性部材による前記光学素子に対する付勢力を調整可能な調整手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載の光学素子測定用治具。前記光学素子の光軸と垂直な面に複数箇所で当接し、前記光学素子を前記基板との間に挟持して前記光学素子の光軸方向の位置規制を行う複数の挟持手段を備えることを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。前記複数の外形基準検知手段のうち2つの外形基準検知手段の球面部は、前記基板に載置される光学素子の光軸方向からみた外形形状の一辺に対応する位置の側面部に当接するよう構成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。前記複数の外形基準検知手段のうち2つの外形基準検知手段の球面部は、当接する側面部の当接箇所間に、前記光学素子の突起部が配置されるよう構成されていることを特徴とする請求項1~5のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。前記光学素子を押圧するよう付勢力を以って挟持する前記挟持手段は、前記光学素子を押圧する押圧力をFNとするとき、以下の範囲0.1<F<10を満足する事を特徴とする請求項4記載の光学素子測定用治具。前記光学素子を押圧するよう付勢力を以って当接する前記外形基準検知は、前記光学素子を押圧する押圧力をFNとするとき、以下の範囲0.01<F<1を満足する事を特徴とする請求項1~7のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。前記基板は、載置された光学素子を前記第一及び第二面のいずれの方からも測定可能な開口部を備えたことを特徴とする請求項1~8のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。前記挟持手段は、少なくとも3つ以上備えることを特徴とする請求項4又は7記載の光学素子測定用治具。前記挟持手段が前記光学素子と当接する接触部は、球状に構成されていることを特徴とする請求項4,7,又は10に記載の光学素子測定用治具。前記光学素子に対して、前記外形基準検知手段と前記挟持手段とが当接する各位置は、前記光学素子の光軸方向から見て互いに異なる位置に交互に配置されるよう構成したことを特徴とする請求項4,7,10又は11に記載の光学素子測定用治具。請求項1~12のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具を備えた光学素子形状測定装置。前記光学素子形状測定装置は、前記基板の第一面と第二面とを反転可能に保持する保持部を備えることを特徴とする請求項13記載の光学素子形状測定装置。請求項1~12のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具を用いた光学素子形状測定方法。請求項13記載の光学素子形状測定装置を用いた光学素子形状測定方法。請求項14記載の光学素子形状測定装置を用い、前記基板の第一面側から載置された光学素子の面形状を測定した後、前記基板を反転させ、前記基板の第2面側から前記光学素子の面形状を測定することを特徴とする光学素子形状測定方法。請求項15記載の光学素子形状測定方法であって、ゲートカット部を有する外形を有する光学素子は、前記光学素子の光軸方向からみて前記挟持手段の当接位置と前記ゲートカット部とがオーバーラップする位置に配置されることを特徴とする光学素子形状測定方法。しかし、上述のような形状測定装置では、位置決め治具が治具ホルダ上に固定的に取り付けられているだけであり、位置決め治具が安定して光学素子の外形に接触しない。そのため位置決め治具接触により算出される光学素子の外形基準、すなわち当該光学素子の外形形状から算出される当該光学素子の中心の測定精度が低下する可能性がある。また、この位置決め治具は柱状の外形を有するため、加工精度を高めること困難な形状であり精度良い測定には不向きである。さらに、柱状の位置決め治具によって光学素子の横方向の移動を制限するだけであるので、治具を反転して光学素子の両面を測定するような構成を行う場合に光学素子が脱落する恐れがある。そのため、光学素子両面を測定するためには、その都度光学素子をはずして表裏を反転、計測する工程が必要となり、効率的な測定ができない。更に光学素子自体を一旦外すため、当該光学素子の両光学面の偏芯を精度よく測定できない可能性がある。そこで、本発明は、形状測定装置において被測定物である光学素子の外形基準を高精度に測定可能であり、かつ加工精度にも優れた光学素子測定用治具を提供することを目的とする。また、本発明は、反転させた場合にも光学素子の脱落が生じない光学素子測定用治具を提供することを目的とする。また、本発明は、上記のような光学素子測定用治具を用いた光学素子の面形状測定装置及び方法を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、a測定対象となる光学素子を載置する、第一面及び該第一面の裏面に相当する第二面とを有する基板と、b一部が前記基板に支持され、既知の球面形状を有する球面部を前記光学素子側面部に光軸と垂直な方向から当接可能に備えた外形基準検知手段と、を有する光学素子測定用治具であって、c前記外形基準検知手段は、当接した球面部を測定することにより前記光学素子の外形基準が把握できるよう前記基板の複数位置に配置され、複数の外形基準検知手段内の少なくとも一つは、前記光学素子を押圧するような付勢力を以って当接可能に構成されている。ここで、球面部について既知の球面形状とは、球面であること、つまり形状測定により曲率中心が求められることが予め把握可能な形状であることを意味する。上記光学素子測定用治具では、複数の外形基準検知手段接手段の少なくとも1つを基板上の光学素子の外縁部に対して付勢力を以って当接することができるので、光学素子の外縁部に対して外形基準検知手段の球面部を安定して保持又は配置することができる。よって、光学素子の外縁部から精度よく外形基準、すなわち光学素子の中心を求めることができる。また当接する部位は球面部で構成されているため、その他の形状に比べて高精度で加工し易いというメリットがある。本発明の具体的な態様又は観点では、前記複数の外形基準検知手段の各球面部は、前記光学素子に対し、前記光学素子の外周を等分割する位置でそれぞれ当接するように配置されている。この場合、球面部による光学素子のより安定な支持が可能になり、球面部を利用した偏芯計測の精度をより高めることができる。本発明の更に別の態様では、前記複数の外形基準検知手段の内、前記光学素子を押圧するような付勢力を以って当接する外形基準検知手段は、前記基板に支持された支持部と前記球面部との間に弾性部材を有するとともに、前記弾性部材と球面部との間弾性部材の一部と球面部との間を含むであって前記弾性部材による前記光学素子に対する付勢力を調整可能な調整手段を有する。この場合、外縁部の輪郭のサイズや形状が異なる光学素子の計測も高精度で行うことができる。なお、弾性部材と球面部との間の調整手段とは、実施形態に示されるようなバネ端部に調整手段を設ける場合の他、バネの一部の固定箇所を変えることで弾性力による付勢力を調整する調整手段であってもよい。本発明の更に別の態様では、前記光学素子の光軸と垂直な面に複数箇所で当接し、前記光学素子を前記基板との間に挟持して前記光学素子の光軸方向の位置規制を行う複数の挟持手段を備える。この場合、光学素子を光軸方向に関しても基板上に確実に固定することができ、基板を上下反転させた計測も可能になる。なお、光軸と垂直な面に当接とは、実施形態に示されるような光学素子のフランジに相当する外縁部のような平坦面は勿論のこと、多少の光軸と垂直な面から傾きを持って形成された面であってもよく、要は実質的に光軸方向への押圧力が最大又はこれに準じて効率的となるような面に当接するものであればよい。本発明の更に別の態様では、前記複数の外形基準検知手段のうち2つの外形基準検知手段の球面部は、前記基板に載置される光学素子の光軸方向からみた外形形状の一辺に対応する位置の側面部に当接するよう構成されている。この場合、矩形の輪郭を有する光学素子のように、光学素子を光軸方向からみた場合に少なくとも1辺を有するような外形形状を有する光学素子であっても、安定的に保持して精度よい外形基準測定が可能となる。本発明の更に別の態様では、前記複数の外形基準検知手段のうち2つの外形基準検知手段の球面部は、当接する側面部の当接箇所間に、前記光学素子の突起部が配置されるよう構成されている。この場合、成形時に形成されるゲートの切断跡等の突起物を避けた計測が可能となる。本発明の更に別の態様では、前記光学素子を押圧するよう付勢力を以って挟持する前記挟持手段は、前記光学素子を押圧する押圧力をFNとするとき、以下の範囲0.1<F<10を満足する。下限を下回ると光学素子の外縁部を基板に十分な力で押し付けることができないため、光学素子が不用意に移動してしまうこととなる。また、上限を上回ると、光学素子の外縁部を過剰な力で押し付けるため、光学素子が歪んで計測結果に悪影響を与えることになる。本発明の更に別の態様では、光学素子を押圧するよう付勢力を以って当接する前記外形基準検知は、前記光学素子を押圧する押圧力をFNとするとき、以下の範囲0.01<F<1を満足する。下限値を下回ると、外形基準検知手段と光学素子の外周部との密着度が十分に確保できず、外形を正確に測定することができない。また、上限値を上回ると、光学素子を歪ませてしまい、同様に外形を正確に測定することができない。本発明の更に別の態様では、前記基板は、載置された光学素子を前記第一及び第二面のいずれの方からも測定可能な開口部を備えている。この場合、光学素子を基板に載置したまま表面側からだけでなく開口を介して裏面側からも計測することができる。このことにより、表面形状の中心と裏面形状の中心とのずれ、すなわち、表面と裏面との相対偏芯を測定することが可能となる。。本発明の更に別の態様では、前記挟持手段は、少なくとも3つ以上備えている。この場合、光学素子を基板上に安定して確実に固定することができる。本発明の更に別の態様では、前記挟持手段が前記光学素子と当接する接触部は、球状に構成されている。接触部が球状であるとは、半球等の凸の曲面で接触可能な形状を有することを意味する。この場合、当接箇所が点接触に近い状態となるため、複数箇所の当接でも面的な接触と比較して光学素子の傾きが防止でき、より測定の精度を高めることができる。本発明の更に別の態様では、前記光学素子に対して、前記外形基準検知手段と前記挟持手段とが当接する各位置は、前記光学素子の光軸方向から見て互いに異なる位置に交互に配置されるよう構成している。この場合、外形基準検知手段と前記挟持手段とがともに外周を略均等に分割した位置で外周の当接又は挟持を行うことができるので、外形基準検知手段による計測を容易かつ高精度にしつつ、光学素子の固定を確実にすることができる。また本発明では、上述した様な光学素子測定用治具を備えた光学素子形状測定装置を提供できる。この場合、精度の出しやすい治具を用いて、精度の高い外形基準を測定できる測定装置を提供できる。また上述した光学素子測定用治具を用いた光学素子形状測定方法により、精度の高い外形基準測定が可能となる。また上述した本発明の光学素子形状測定方法において別の態様では、ゲートカット部を有する外形を有する光学素子は、前記光学素子の光軸方向からみて前記挟持手段の当接位置と前記ゲートカット部とがオーバーラップする位置に配置される。この場合、光学素子の周囲を挟んで確実に固定することができるだけでなく、光学素子成形時に生ずるゲート跡等の突起部を用いて挟持部材で挟持でき、外形基準検知手段は当該突起部を避けた配置が可能となる。また上記形状測定装置の別態様では、前記基板の第一面と第二面とを反転可能に保持する保持部を備えており、これにより光学素子を載置したままで表面及び裏面の測定が可能となり、表面形状の中心と裏面形状の中心とのずれ、すなわち、表面と裏面との相対偏芯を測定することが可能となる。またこのような保持部を備えた形状測定装置を用いた光学素子形状測定方法により、光学素子を載置したままで表面及び裏面の測定が可能となり、表面形状の中心と裏面形状の中心とのずれ、すなわち、表面と裏面との相対偏芯を測定することが可能となる。第1実施形態以下、本発明の第1実施形態に係る光学素子測定用治具を図面を用いて説明する。図1aは、面形状測定用の光学素子測定用治具の平面図であり、図1bは、図1aの光学素子測定用治具のAA矢視断面図である。また、図2aは、図1aに示す治具の中央部の部分拡大平面図であり、図2bは、図2aに対応する部分拡大断面図である。光学素子測定用治具10は、被測定対象である光学素子OEを保持して不図示の面形状測定装置の保持部にセットするためのものであり、かかる面形状測定装置において、光学素子OEの光学面の形状を表側と裏側から計測できるようにするとともに、光学素子OEの偏芯を計測することができるようにしている。光学素子測定用治具10は、以上の目的で、以下に詳述する、基板20と、球面部30を有する外形基準検知手段40と、挟持装置50と、球状被計測部材60と、回転制限部材70とを備える。基板20は、四角形の厚板上の外観を有し、第一面とその裏面に第二面を有している。中央には光学素子OEを載置するための円形ステージ21を有している。円形ステージ21は、中央に開口22を有しており、開口22の縁部分で光学素子OEの外縁部PAを支持する。これにより、円形ステージ21すなわち基板20上に支持された光学素子OEを図1aに示す表側と反対の裏側と両側から観察することができ、面形状測定装置後述の計測用の触針を、図2a、2bに示す光学素子OEの両光学面OS1,OS2に下ろすことができる。なお、基板20は、外形基準検知手段40、挟持装置50、及び球状被計測部材60を、光学素子OEの保持位置の周囲の適所に支持する際の支持体としても機能する。球面部30は、基板20上に3つ配置された略同一形状の球体であり、後述する外形基準検知手段40の一部として、先端にそれぞれ固定されている。各球面部30は、既知の球面形状を有しており、図2に示すように、光学素子OEの外縁部PAの側面に当接する。各球面部30が光学素子OEの側面に当接する位置は、外縁部PAを3等分した均等な位置に対応しており、光学素子OEの中心から120°異なる3方向光軸OAのまわりに等分割された方向に配置されている。なおここでの等分した位置には、厳密に等分された位置だけでなく、ほぼ等分となる位置も含む。各球面部30は、付勢されて、光学素子OEの外縁部PAの側面に当接するとともに、外縁部PAの側面をこれに対して垂直な方向から適当な大きさの押圧力で押圧する。各球面部30に付与する押圧力は、光学素子OEの材料やサイズにも依存するが、光学素子OEの形状に歪みを与えない程度とするものとし、かつ、球面部30と外縁部PA側面との密着度が十分に確保できる程度とする。具体的には、この押圧力をFNとするとき、0.01<F<1程度となるようにする。このようにして、既知の球面形状を有する3つの球面部30を外縁部PAの適所に適度の密着させることにより、外縁部PAの中心を求めることができ、光学素子OEの光軸OAとの位置ずれ量である偏芯を算出することもできる。なおここで複数の外形基準検知手段における各球面部30は、全て付勢力を以って光学素子側面に押圧するよう当接するよう構成されている必要はなく、いずれか少なくとも一つがそのように当接するものであればよい。この場合、他の外形基準検知手段40は基板に対して固定的に配置されているものであってよい。外形基準検知手段40は、先端に球面部30を固定したロッド41と、ロッド41を軸方向に滑らかに移動させる摺動機構42と、ロッド41を先端側に付勢するバネ43aを内蔵するとともにばねの根元位置を調節する付勢部材43とを備える。ロッド41は、図2aに示すように、円形ステージ21に刻設された溝21aに案内された状態で溝21aに沿って往復移動する。摺動機構42は、基板20上面に固設されたガイドであり、ロッド41の根元側が嵌合しており、ロッド41の軸方向に沿った滑らかな移動を可能にしている。付勢部材43は、基板20上面に着脱可能に取り付けられた機構であり、弾性部材であるバネ43aに付勢されて突出しようとするピン43bによって、ロッド41を先端方向に付勢することができるとともに、光学素子OEの外縁部PA側面に球面部30を所定の力で押し付けることができる。ここで、付勢部材43は、バネ43aやピン43bを収納し外周にネジを形成したアジャスタ部43cを調整手段として備えており、アジャスタ部43cのねじ込み量の調整によって、バネ43aの根元位置を微調整することができる。このアジャスタ部43cにより、ロッド41の標準的な位置やロッド41に対する付勢力を適宜調整することができる。また、アジャスタ部43cの調節により、被測定対象である光学素子OEのサイズを変更した場合にも一定範囲で対応することができる。挟持装置50は、3つの板バネ状の挟持部材51と、各挟持部材51を支持する支持枠52とを備える。各挟持部材51の先端部の裏面には、図2b等に示すように、光学素子OEの外縁部PAの上面に当接する接触部51aが形成されている。各接触部51aは、外形が半球状で、外縁部PAに当接して光学素子OEを基板20の板面に垂直な光軸OA方向に付勢しつつ、外縁部PAを基板20との間に挟持する。各接触部51aに付与する押圧力は、光学素子OEの材料やサイズにも依存するが、光学素子OEの形状に歪みを与えない程度とするものとし、かつ、接触部51aの付勢力に起因する摩擦力によって光学素子OEの移動が妨げられる程度とする。具体的には、この押圧力をFNとするとき、0.1<F<10程度となるようにする。接触部51aは、支持枠52の先端部を半球状に加工したり、円弧状の先端を有する板状にしたり、支持枠52の先端部に鋼球を取り付けたりすることによって形成できる。一方、支持枠52は、光学素子OEの周囲から挟持部材51の根元側を支持しており、各挟持部材51は、光学素子OEの中心に向けて120°異なる方向から延びている。つまり、3つの挟持部材51の先端に設けた3つの接触部51aの位置は、外縁部PAを3等分した均等な位置に対応している。このように、3つの接触部51aによって外縁部PAを点接触で均等に支持することにより、光学素子OEを高精度で安定して支持することができる。なお、各挟持部材51は、支持枠52に対して着脱可能になっており、光学素子OEの形状のサイズや形状に合わせて交換できる。挟持部材51を交換する際には、光学素子OEの形状に合わせて反り具合等を調節することにより、各接触部51aに付与する付勢力を調整できる。また、挟持部材51を形成するバネ材料としては、ベリリウム合金、リン青銅、ステンレス等を用いることができる。球状被計測部材60は、基板20上に3つ配置された略同一形状の球体であり、基板20上に設けた固定部材25によって基板20に位置ずれしないようにしっかりと固定されている。なお、基板20上において球状被計測部材60を固定した位置には、開口23が形成されており、固定部材25に固定された球状被計測部材60を図1aに示す表側と反対の裏側との両側から観察することができ、面形状測定装置後述の触針を球状被計測部材60の上下面に接触させて当該上下面をなぞるように移動させることができる。回転制限部材70は、全体として扇状の外形を有し、基板20中央に取り付けられた円形ステージ21の一部であって、1つの挟持部材51の下方に固定されている。回転制限部材70は、光学素子OE側に凹部71を有しており、この凹部71と光学素子OEに形成された主に平坦部FPとが係合することによって光学素子OEの光軸OAのまわりの回転位置が調節される。以上の平坦部FP及び突起部PPは、外縁部PAの輪郭に関して隣接部と異なる不規則部であり、光学素子OEの射出成形時によって不可避的に形成され、このうち突起部PPの先端は、ゲートカット部と呼ばれる。凹部71の位置は、1つの挟持部材51の下側となっており、平坦部FPや突起部PPが3つの球面部30が接することを回避している。このように、球面部30が平坦部FPや突起部PPに接することを防止することによって、外縁部PAの検出精度が低下することを防止できる。なお、以上において、不規則部とは、光学素子のゲートカット部のように曲面の一部に存在する凹凸状の部分や、円形の一部をカットしたDカット形状の光学素子における当該直線状の外形部分などを含み、輪郭形状の大部分とは異なる外形形状部分をいう。図3aは、回転制限部材70の部分拡大図であり、図3bは、図3aの回転制限部材70の変形例を示す。図3aに示すように、光学素子OEの外周に直線状の平坦部FPと矩形の突起部PPとが形成されている場合、回転制限部材70に設けた凹部71は、平坦部FPに対応する形状の直線部分71aと突起部PPと嵌り合う溝部分71bとを有する。なお、図3bに示すように、光学素子OEの外周にゲートカット部を先端に有する単なる突起部PPが形成されている場合、回転制限部材170に設けた凹部171は、このような突起部PPと嵌り合う溝部分171aを有する。以上説明した光学素子測定用治具10において、3つの球面部30と、3つの接触部51aとは、光学素子OEの外縁部PAに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部30と接触部51aとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、球面部30や光学素子OEの光学面OS1の計測を確実にすることができ、その作業性を高めることができる。図4a及び4bは、図1に示す光学素子測定用治具10を用いた面形状測定装置100の構造を説明する正面図及び側面図である。この面形状測定装置100は、定盤81上に、XYステージ装置82と、Z駆動装置84とを固定した構造を有する。XYステージ装置82やZ駆動装置84の動作は、制御装置99によって制御されている。XYステージ装置82は、説明を省略する駆動機構に駆動されて動作し、XYステージ装置82の上部に設けた載置台82a上に着脱可能に固定された光学素子測定用治具10を、XY面内で2次元的に任意の位置に滑らかに移動させることができる。光学素子測定用治具10の位置は、載置台82aに設けたXミラー83aとYミラー83bとを利用して検出される。すなわち、Xミラー83aに対向して定盤81上に取り付けたレーザ干渉計83dを利用して載置台82aのX軸方向の位置が分かる。また、Yミラー83bに対向して定盤81上に取り付けたレーザ干渉計83eを利用して載置台82aのY軸方向の位置が分かる。Z駆動装置84は、フレーム85上に昇降機構86を固定したものであり、昇降機構86は、フレーム85上部に固定されZ方向に伸びる支持軸86aと、支持軸86aに支持されてZ軸方向に移動する昇降部材86bと、昇降部材86bを昇降させる昇降駆動手段不図示と、昇降部材86bに支持された触針保持部86dと、触針保持部86dに昇降可能に支持された触針PRとを備える。昇降機構86は、昇降部材86bが支持軸86aに非接触に支持されて滑らかに昇降運動する。昇降保持部86dは触針PRを保持しており、これに伴って滑らかに昇降運動する。なお触針PRは、先端に一定の負荷を掛けた状態で高精度で滑らかに昇降することができるようにフィードバックをかけて不図示の昇降駆動手段を動作させている。結果的に、触針PRを低応力で昇降させつつ、XYステージ装置82を適宜動作させて光学素子測定用治具載置した光学素子OEを2次元的に走査するように移動させるならば、触針PRの先端を光学素子測定用治具10に固定した光学素子OEの光学面等に沿って2次元的に移動させることができる。この際、触針PRの先端位置は、触針PRとともに昇降する部材の上端に設けたZミラー91aを利用して検出される。すなわち、Zミラー91aに対向してフレーム85上に取り付けたレーザ干渉計91bを利用して触針PR下端のZ軸方向の位置が分かる。図5は、図4に示す面形状測定装置を用いた測定方法の手順を説明するフローチャートである。最初に、光学素子OEを図4の面形状測定装置100にセットするステップS10。この工程は、ロボットに行わせることもできるが通常オペレータが行う。内容を具体的に説明すると、光学素子OEの表側の光学面OS1を上側にして、光学素子測定用治具10上に取り付ける図1参照。つまり、3つの板バネ状の挟持部材51を取り除いた状態で、3つの外形基準検知手段40を解除状態として、光学素子OEを円形ステージ21上に載置する。その後、3つの外形基準検知手段40を係止状態となるように取り付けて、光学素子OEの周囲から3つの球面部30保持を付勢するとともに、3つの板バネ状の挟持部材51を固定位置に取り付ける。これにより、光学素子OEの固定が完了する。この場合も、光学素子OEの外縁部PAが、3つの球面部30によって周囲から保持され、3つの板バネ状の挟持部材51によって基板20との間に挟持されて固定される。この際、光学素子OEの外縁部PAが、3つの球面部30によって周囲から適当な力で付勢され、3つの板バネ状の挟持部材51によって基板20の表側に付勢されて固定される。その後、このように光学素子OEを固定した光学素子測定用治具10をXYステージ装置82上の載置台82aに固定する。次に、基板20の周辺部に配置された3つの球状被計測部材60の表面形状を計測することによって、表側の面頂点座標系を測定するステップS11。具体的には、各球状被計測部材60の頂点近傍に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて球状被計測部材60の表面に対して触針PRを例えば十字に移動させつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を球面部30の表面から離れないように移動させる。これにより、各球状被計測部材60の中心が算出される。次に、光学素子OEの周囲に配置された3つの球面部30の表面形状を計測することによって、面頂点座標を測定するステップS12。具体的には、各球面部30の頂点近傍に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて球面部30の表面に対して触針PRを十字移動を行わせつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を球面部30の表面から離れないように移動させる。これにより、各球面部30の中心が算出される。次に、光学素子OEの外縁部PAの中心に対応する表面外形基準位置を算出するステップS13。ここで、表面外形基準位置は、外縁部PAの側面が真円であると仮定して、3つの球面部30の中心が通る円の中心を算出して得られた座標とする。なお、外形基準位置の計算方法は、3つの球面部30の中心が通る円を求めるものに限らず、様々な幾何的計算方法を用いることができる。次に、光学素子OEの表側の光学面OS1の表面形状を測定するステップS14。具体的には、光学素子OEの光学面OS1上方に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて光学素子OEに対して触針PRを2次元的に走査移動させつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を光学面OS1から離れないように移動させる。これにより、2次元的な表面形状データが得られる。次に、ステップS14で得た表面形状データを設計値でフィッティングする座標変換を行うステップS15。具体的には、表面形状データをZとし、設計値をZ0とし、これらの差分であるZd=Z0-Zの最小2乗平均値RMSが最小になるように座標変換を行う。この際、座標変換に必要なデータが座標変換データとして保管される。次に、光学素子OEの表面外形偏芯を算出するステップS16。ここで、光学素子OEの表面外形偏芯は、外縁部PAの中心に相当する外形基準位置が光学素子OEに関する光学面OS1の表面形状の計測値から得た光軸OAからずれている量とする。なお、光学素子OEの表面形状は、ステップS15で得た座標変換後の表面形状データに対応するものとなっている。次に、光学素子測定用治具10を裏返して不図示の面形状測定装置の保持部にセットするステップS17。この工程は、ロボットに行わせることもできるが通常オペレータが行ってもよい又は行うことが好ましい。内容を具体的に説明すると、光学素子OEを固定した光学素子測定用治具10をXYステージ装置82上の載置台82aから取り外し、光学素子測定用治具10をそのままにして上下反転させて再度載置台82aに固定する。次に、基板20の周辺部に配置された3つの球状被計測部材60の表面形状を計測することによって、裏側の面頂点座標を測定するステップS18。具体的には、各球状被計測部材60の頂点近傍に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて球状被計測部材60の裏面に対して触針PRを例えば十字に移動させつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を球面部30の表面から離れないように移動させる。これにより、各球状被計測部材60の中心が算出される。次に、ステップS11で得た表側の面頂点座標系と、ステップS18で得た表側の面頂点座標系とを比較して、表側座標系と裏側座標系との関係を算出するステップS19。球状被計測部材60の計測結果を利用すると、基板20の表側座標系と裏側座標系との関係が得られる。次に、光学素子OEの外縁部PAの中心に対応する裏面外形基準位置を算出するステップS20。ここで、裏面外形基準位置は、ステップS13で得た表面外形基準位置をステップS19で得た表側座標系と裏側座標系との関係を利用して座標変換することによって得られる。次に、光学素子OEの裏側の光学面OS2の表面形状を測定するステップS21。具体的には、光学素子OEの光学面OS2上方に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて光学素子OEに対して触針PRを2次元的に走査移動させつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を光学面OS2から離れないように移動させる。これにより、2次元的な裏面形状データが得られえる。次に、ステップS21で得た表面形状データを設計値でフィッティングする座標変換を行うステップS22。具体的な手法は、表側のステップS15と同様であるので説明を省略する。次に、ステップS15で得た座標変換データと、ステップS22で得た座標変換データとを、ステップS19で得た関係を利用して比較して、光学素子OEの両光学面OS1,OS2の相対的偏芯を算出するステップS23。次に、光学素子OEの裏面外形偏芯を算出するステップS24。ここで、光学素子OEの裏面外形偏芯は、外縁部PAの中心に相当する外形基準位置が光学素子OEの光学面OS2に関する表面形状の計測値から得た光軸OAからずれている量とする。なお、以上説明した測定方法は単なる例示であり、種々の変形が可能である。例えばステップS11,S12,S14,S18,S21の計測を最初に行って、残った計算を一括して行うことも可能である。第2実施形態以下、第2実施形態に係る光学素子測定用治具について説明する。第2実施形態の光学素子測定用治具は、第1実施形態の治具を一部変更したものであり、特に説明しない部分は、第1実施形態の装置と共通しており、図面において共通する部分には同一の符号を付して重複説明を省略する。図6aは、第2実施形態の光学素子測定用治具の平面図であり、図6bは、図6aの光学素子測定用治具のAA矢視断面図である。また、図7は、図6aに示す治具の中央部の部分拡大平面図である。本実施形態の光学素子測定用治具210も、光学素子OEを保持して面形状測定装置図4参照にセットすることにより、光学素子OEの光学面の形状を表側と裏側とから計測することができ、光学素子OEの偏芯を計測することができるようにしている。このため、基板220上に、球面部30と、第1外形基準検知手段240と、第2外形基準検知手段246と、挟持装置250と、球状被計測部材60とを設けている。なお、この光学素子測定用治具210に固定される光学素子OEは、輪郭が矩形になっている。基板220は、四角形の厚板上の外観を有し、中央に開口22を有しており、開口22の縁部分で光学素子OEの外縁部PAを支持する。これにより、基板220上に支持された光学素子OEを表と裏の両側から計測することができる。3つの第1外形基準検知手段240は、それぞれ球面部30を光学素子OEの外縁部PAの側面に当接させるとともに、各球面部30を介して外縁部PAの側面を適当な力で押圧する役割を有する。ここで、第1外形基準検知手段240は、球面部30を先端に固定したロッド41を軸方向に滑らかに移動させる摺動機構242と、ロッド41を先端側に付勢する板バネ状の付勢部材243とを備える。第2外形基準検知手段246は、3つの球面部30を基板220上に適当な配置で固定する板状の部材であり、複数の輪郭段差部分246a,246bの隅に球面部30を接着剤等によって固定している。この際、第2外形基準検知手段246の形状は、光学素子OEの外縁部PAとの干渉を避け得るものとなっている。以上説明した第1外形基準検知手段240と第2外形基準検知手段246とにより、偏芯計測用の計6つの球面部30を光学素子OEの外縁部PAの側面に略間隔で配置することができ、外縁部PAの側面に与える力を略均等で所望の大きさにすることができる。各挟持装置250は、2つの板バネ状の挟持部材51と、両挟持部材51を支持する支持体252とを備える。各挟持部材51の先端部の裏面には、図7に示すように、光学素子OEの外縁部PAの上面に当接する接触部51aが形成されている。各挟持部材51によって、光学素子OEの外縁部PAを点接触で均等に支持することができ、光学素子OEを高精度で安定して支持することができる。なお、光学素子OEの外縁部PAは、矩形の輪郭を有しており、その一辺には、ゲートカット部として突起部PPが形成されている。突起部PPに球面部30を当接させると、偏芯の計測精度が得られないので、隣接する2つの球面部30のちょうど中央に突起部PPが配置されるように、基板220上における第1外形基準検知手段240の配置を調整する。以上説明した第2実施形態の光学素子測定用治具も、図4a,4bに示す面形状測定装置100にセットすることができ、矩形の輪郭を有する光学素子OEの表面及び裏面の形状を計測することができるとともに、光学素子OE偏芯を計測することができる。以上、実施形態に即して本発明を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第1実施形態では、3つの球面部30をすべて外形基準検知手段40によって可動としているが、1又は2つの球面部30を図6に示す第2外形基準検知手段246と同様のもので固定し、残った球面部30を外形基準検知手段40によって可動に支持し光学素子OEの外縁部PAに付勢することもできる。また、上記実施形態では、既知の球面形状を有する複数の球面部30を光学素子OEの外縁部PAの側面に当接させ、触針を当該球面部に接触させることによって光学素子OEの外形基準を計測しているが、特に接触による測定には限定されず、光学素子OEや球面部30を撮影し、光学的な解析によって光学素子OEの偏芯を補助的に決定することもできる。"