"真空容器内の外側高温部側ではスペーサーを減らし、Alシートが多くなるように積層し、前記真空容器内の内側低温部側ではAlシートを減らし、スペーサーが多くなるように積層することにより、不均一な積層構造を有することを特徴とする極低温機器の多層断熱材。請求項1記載の極低温機器の多層断熱材において、前記真空容器内の外側高温部側ではAlシートのみ積層した第1層部と、Alシートとスペーサーを交互に積層した第2層部と、前記真空容器内の内側低温部側ではスペーサーのみを積層した第3層部とを有することを特徴とする極低温機器の多層断熱材。請求項1又は2記載の極低温機器の多層断熱材において、前記極低温機器が超電導マグネットであることを特徴とする極低温機器の多層断熱材。しかしながら、上記した従来の多層断熱材の層間は接触しているため、輻射だけでなく熱伝導による熱の流れが存在している。熱伝導を低減するために、一般的な多層断熱材104は、アルミ蒸着フィルムAlシート104Aとスペーサー104Bが交互に積層されている構造を有する。ただしスペーサー104Bを増やしすぎると、自重の増加によって圧縮力が多層断熱材104にかかり熱伝導がかえって大きくなるので、層間の熱伝導は十分に低減されていないのが現状である。本発明は、上記状況に鑑みて、不均一な積層構造を有する多層断熱材とすることにより、熱伝導を抑えるとともに、輻射伝熱を抑え、断熱効果を向上させることができる極低温機器の多層断熱材を提供することを目的とする。本発明は、上記目的を達成するために、1極低温機器の多層断熱材において、真空容器1内の外側高温部5側ではスペーサー4Bを減らし、Alシート4Aが多くなるように積層し、前記真空容器1内の内側低温部6側ではAlシート4Aを減らし、スペーサー4Bが多くなるように積層することにより、不均一な積層構造を有することを特徴とする。2上記1記載の極低温機器の多層断熱材において、前記真空容器1内の外側高温部5側ではAlシート4Aのみ積層した第1層部7と、Alシート4Aとスペーサー4Bを交互に積層した第2層部8と、前記真空容器1内の内側低温部側6ではスペーサー4Bのみを積層した第3層部9とを有することを特徴とする。3上記1又は2記載の極低温機器の多層断熱材において、前記極低温機器が超電導マグネットであることを特徴とする。本発明によれば、極低温機器の多層断熱材の断熱能力の増加は、冷却系への負荷の低減を意味し、極低温機器の運用を従来よりも少ないエネルギーで行うことができる。つまり、省エネルギー化を図ることができる。本発明の極低温機器の多層断熱材は、真空容器内の外側高温部側ではスペーサーを減らし、Alシートが多くなるように積層し、前記真空容器内の内側低温部側ではAlシートを減らし、スペーサーが多くなるように積層することにより、不均一な積層構造を有する。以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は本発明が適用される極低温機器である超電導マグネットへの多層断熱材の施工模式図、図2は図1に示す多層断熱材のA部拡大断面模式図である。図1において、1は真空容器、2は極低温機器としての超電導マグネット、3は極低温機器2の支持部材、4は多層断熱材、5は真空容器1内の外側高温部、6は真空容器1内の内側低温部である。極低温機器2の多層断熱材4内の伝熱形態は温度によって異なり、極低温機器2内の外側高温部5では輻射が支配的であるのに対し、極低温機器2の内側低温部6では熱伝導が支配的である。一方、多層断熱材4はアルミ蒸着フィルムAlシート4Aとスペーサー4Bが交互に積層されている構造であるが、そのスペーサー4Bは熱伝導に対してのみ効果があることに着目し、真空容器1内の内側低温部6側のスペーサー4Bは従来のスペーサーよりも多く積層し、真空容器1内の外側高温部側にはスペーサーを用いない構造とする。本発明の極低温機器の多層断熱材は、真空容器1内の外側高温部5側でのスペーサー4Bの量を低減して、その分、真空容器1内の内側低温部6側のスペーサー4Bの量を増加させるようにしたので、トータルとしての本発明の極低温機器2の多層断熱材4は、従来のスペーサー入りの極低温機器の多層断熱材と重量は同じとなるので、極低温機器2の多層断熱材4の自重による熱伝導の増加を招くことはなく、高い断熱性能を得ることができる。図2に示すように、極低温機器の多層断熱材4は、一例を示すと、真空容器1内の外側高温部5側からAlシート4Aのみの第1層部7と、Alシート4Aとスペーサ4Bとが交互に積層される第2層部8と、真空容器1内の内側低温部6ではスペーサー4Bのみを積層した第3層部9とを有する構造となっている。図3は本発明に係る多層断熱材の試験装置の模式図、図4は20層多層断熱材の断熱性能試験結果高温端300K,低温100Kを示す図である。図3において、11は真空容器、12は極低温冷凍機、13は性能評価用多層断熱材多層のアルミニウム蒸着フィルムとスペーサー、14は熱流速計、15はアルミニウム板である。ここで、アルミニウム蒸着フィルムは12μm、スペーサー材質はポリエステルネット、スペーサー厚みは0.2mm、高温端温度は300K、低温端温度は100K、真空度は102Pa以下、積層数は20層アルミニウム蒸着フィルム20枚、スペーサー20枚であり、従来の場合は、アルミニウム蒸着フィルム一層とスペーサー一層とを交互に積層した結果、熱侵入量は、図4のaに示すように8.84W/m2、本発明の場合は、内側は5層スペーサ2重、中間は10層スペーサ1重、外側は5層アルミニウム蒸着フィルムでスペーサなしとした結果、図4のbに示すように、8.47W/m2となり、本発明によれば、従来の場合に比べて断熱性能が改善されることが分かった。なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。"