"ポリアミド系樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の表面に、無機薄膜層及びガスバリア性樹脂組成物層が、他の層を介して又は介さずにこの順に積層されており、前記ガスバリア性樹脂組成物層が、エチレン-ビニルアルコール系共重合体からなるガスバリア性樹脂と無機層状化合物と添加剤とからなるガスバリア性樹脂組成物から形成され、該ガスバリア性樹脂組成物中の無機層状化合物の含有量が0.1質量~9.0質量であり、かつ、前記添加剤がカップリング剤及び/又は架橋剤であることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。前記無機層状化合物が、スメクタイトである請求項1に記載のガスバリア性積層フィルム。前記カップリング剤が、有機官能基を少なくとも1種類以上有するシランカップリング剤である請求項1又は2に記載のガスバリア性積層フィルム。前記架橋剤として、水素結合性基用架橋剤を含有する請求項1~3のいずれかに記載のガスバリア性積層フィルム。前記ガスバリア性樹脂組成物中の添加剤カップリング剤及び/又は架橋剤の合計含有量が、0.3質量~20質量である請求項1~4のいずれかに記載のガスバリア性積層フィルム。前記無機薄膜層が、無機酸化物を少なくとも含有する請求項1~5のいずれかに記載のガスバリア性積層フィルム。請求項1~6のいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルムのガスバリア性樹脂組成物層側に、ポリエステル基材フィルムを積層したことを特徴とする太陽電池バックシート用積層体。本発明は、かかる従来技術の課題を背景になされたものである。すなわち、本発明の目的は、各種食品や医薬品、工業製品の包装用途、太陽電池、電子ペーパー、有機EL素子、半導体素子、等の工業用途に用いることができる、優れたガスバリア性、層間密着性を有するガスバリア性積層フィルムを提供するものであり、特に、ボイル処理後であっても耐ピンホール性を有し、ガスバリア性の低下が少なく層間剥離の起こらないボイル耐性に優れたガスバリア性積層フィルムを提供することにある。上記課題を解決することができた本発明のガスバリア性積層フィルムは、ポリアミド系樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の表面に、無機薄膜層及びガスバリア性樹脂組成物層が、他の層を介して又は介さずにこの順に積層されており、前記ガスバリア性樹脂組成物層が、エチレン-ビニルアルコール系共重合体からなるガスバリア性樹脂と無機層状化合物と添加剤とからなるガスバリア性樹脂組成物から形成され、該ガスバリア性樹脂組成物中の無機層状化合物の含有量が0.1質量~9.0質量であり、かつ、前記添加剤がカップリング剤及び/又は架橋剤であることを特徴とする。前記無機層状化合物は、スメクタイトが好適である。前記無機薄膜層は、無機酸化物を少なくとも含有することが好ましい。前記添加剤としてカップリング剤を用いる場合、前記カップリング剤は、有機官能基を少なくとも1種類以上有するシランカップリング剤が好適である。前記添加剤として架橋剤を用いる場合、前記架橋剤は、水素結合性基用架橋剤を含有することが好ましい。この場合において、前記ガスバリア性樹脂組成物中の添加剤カップリング剤及び/又は架橋剤の合計含有量は、0.3質量~20質量であることが好ましい。本発明には、上記ガスバリア性積層フィルムのガスバリア性樹脂組成物層側に、ポリエステル基材フィルムを積層した太陽電池バックシート用積層体も含まれる。本発明によれば、酸素、水蒸気等に対する高いガスバリア性を持ちながら層間接着力が高くラミネート強度に優れたガスバリア性積層フィルムが得られる。特に、ボイル処理を行ってもガスバリア性、層間接着力の低下が少なく、シーラント層との2層使いができ、各種用途に適した実用性の高いガスバリア性積層フィルムを得ることができる。また、生産安定性に優れ、均質の特性が得られやすいガスバリア性積層フィルムとなる。本発明のガスバリア性積層フィルムは、ポリアミド系樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の表面に、無機薄膜層及びガスバリア性樹脂組成物層が、他の層を介して又は介さずにこの順に積層されている。以下、本発明のガスバリア性積層フィルムについて、各層に分けて説明する。1.ガスバリア性樹脂組成物層前記ガスバリア性樹脂組成物層は、ガスバリア性樹脂組成物から形成される。前記ガスバリア性樹脂組成物は、エチレン-ビニルアルコール系共重合体以下、EVOHと称する場合がある。からなるガスバリア性樹脂と無機層状化合物と添加剤とからなる。以下、ガスバリア性樹脂組成物層の個々の構成に関して説明する。1-1.ガスバリア性樹脂ガスバリア性樹脂として用いることができるEVOHとしては、例えば、エチレン-酢酸ビニル系共重合体をケン化して得られるものが挙げられる。上記エチレン-酢酸ビニル系共重合体をケン化して得られるものの具体例としては、エチレン及び酢酸ビニルを共重合して得られるエチレン-酢酸ビニル共重合体をケン化して得られるもの;エチレン及び酢酸ビニルとともに、他の単量体を共重合して得られるエチレン-酢酸ビニル系共重合体をケン化して得られるものが挙げられる。本発明では、エチレン及び酢酸ビニルを共重合して得られる共重合体、及び、エチレン及び酢酸ビニルとともに他の単量体を共重合して得られる共重合体を総称してエチレン-酢酸ビニル系共重合体とする。エチレン-酢酸ビニル系共重合体の場合、共重合前の単量体組成物中のエチレン比率が20モル~60モルであることが好ましい。エチレン比率が20モル以上であれば、高湿度下におけるガスバリア性がより向上し、また、ボイル処理後のラミネート強度の低下がより抑制される。一方、エチレン比率が60モル以下であれば、ガスバリア性がより向上する。上記エチレン-酢酸ビニル系共重合体は、酢酸ビニル成分のケン化度が95モル以上のものが好ましい。酢酸ビニル成分のケン化度が95モル以上であればガスバリア性や耐油性がより良好となる。また、上記EVOHは、溶剤中での溶解安定性を向上させるために、過酸化物等により処理して分子鎖切断し、低分子量化したものであっても良い。上記過酸化物としては、以下の1~7が挙げられる。1H2O22M2O2型M:Na、K、NH4、Rb、Cs、Ag、Li等3M’O2型M’:Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cs、Hg等4R-O-O-R型Rはアルキル基を表す。以下同様:過酸化ジエチル等の過酸化ジアルキル類5R-CO-O-O-CO-R型:過酸化ジアセチル、過酸化ジアミル、過酸化ジベンゾイル等の過酸化アシル等6過酸化酸型a-O-O-結合を持つ酸:過硫酸H2SO5、過リン酸H3PO5等bR-CO-O-OH:過ギ酸、過酢酸、過安息香酸、過フタル酸等7過酸化水素包含物:NaOOH2/H2O2、KOOH2/3H2O2等これらの中でも、特に過酸化水素は、後から還元剤、還元性酵素や触媒を用いて、容易に分解処理することが可能であるために好適である。EVOHを過酸化物で処理する方法としては特に限定されず、公知の処理方法を用いることができる。具体的には、例えば、EVOHを溶解した溶液以下、EVOH溶液と称する場合がある。に、過酸化物、分子鎖切断を行うための触媒例えば、硫酸鉄等を添加し、攪拌下で40~90°Cで加熱する方法が挙げられる。より詳しくは、過酸化物として過酸化水素を使用する方法を例にとると、EVOH溶液を後記する溶剤中に溶解した溶液に過酸化水素通常は35質量水溶液を添加し、攪拌下で、温度40°C~90°C、1時間~50時間の条件で処理する。過酸化水素35質量水溶液の添加量は、溶液中のEVOH100質量部に対して3質量部~300質量部程度である。また、分子鎖切断を行うための触媒として、酸化分解の反応速度を調整するため、金属触媒CuCl2、CuSO4、MoO3、FeSO4、TiCl4、SeO2等をEVOH溶液当たり1ppm~5000ppm質量基準、以下同じ程度添加してもよい。かかる処理の終了時点は、溶液の粘度が初期の1割程度以下となった点を一つの目安とすることができる。処理終了後の溶液より公知の方法にて溶媒を除去することにより、分子末端に0.03meq/g~0.2meq/g程度のカルボキシル基を含有した、末端カルボン酸変性EVOHを得ることができる。1-2.無機層状化合物前記無機層状化合物は、スメクタイト、カオリン、雲母、ハイドロタルサイト、クロライト等の粘土鉱物を挙げることができる。具体的には、モンモリロナイト、バイデライト、サポナイト、ヘクトライト、ソーコナイト、スチーブンサイト、カオリナイト、ナクライト、ディッカイト、ハロイサイト、加水ハロイサイト、テトラシリリックマイカ、ナトリウムテニオライト、白雲母、マーガライト、金雲母、タルク、アンチゴライト、クリソタイル、パイロフィライト、バーミキュライト、ザンソフィライト、緑泥石等を挙げることができる。また鱗片状シリカ等も使用できる。これらは単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、特にスメクタイトその合成品も含むが好ましい。また、無機層状化合物中に酸化還元性を有する金属イオン、特に鉄イオンが存在するものが好適である。更に、このようなものの中でも、塗工適性、ガスバリア性からモンモリロナイトの使用が好ましい。モンモリロナイトとしては、従来からガスバリア剤に使用されている公知のものが使用できる。例えば、一般式:X,Y2~3Z4O10OH2mH2OWω式中、Xは、Al、FeIII、CrIIIを表す。Yは、Mg、FeII、MnII、Ni、Zn、Liを表す。Zは、Si、Alを表す。Wは、K、Na、Caを表す。H2Oは、層間水を表す。m及びωは正の実数を表す。で示されるモンモリロン石群鉱物を使用することができる。これらの中でも、WがNaであるものが水性媒体中でへき開する点から好ましい。さらに、無機層状化合物の粒径としては、5μm以下、アスペクト比としては50~5000、とりわけ200~3000の範囲がより好ましい。ガスバリア性樹脂組成物ガスバリア性樹脂と無機層状化合物と添加剤との合計100質量中の無機層状化合物の含有量は、0.1質量以上、好ましくは0.5質量以上、より好ましくは1.0質量以上、さらに好ましくは1.2質量以上であり、9.0質量以下、好ましくは7.0質量以下、より好ましくは6.0質量以下、さらに好ましくは5.0質量以下である。無機層状化合物の含有量が0.1質量未満では、ボイル処理によってガスバリア性が低下したり、ボイル処理後のラミネート強度が低下する。一方、無機層状化合物の含有量が9.0質量を超えると、ボイル処理によって、ラミネート強度及びガスバリア性が低下する。これは、ボイル処理により層間剥離強度が低下するために無機薄膜層とガスバリア性樹脂層間で剥離が生じたり、ガスバリア性樹脂層の柔軟性が低下するために、ボイル処理時の水の応力によりガスバリア性樹脂層に亀裂が入る等の理由によりガスバリア性が低下していると推測される。ここで、従来、ガスバリア性樹脂組成物層中の無機層状化合物の配合量が、少ない場合にはガスバリア性が低くなり、多い場合にはガスバリア性は高くなると考えられていた。しかし、本発明のように無機薄膜層と積層する場合においては、ガスバリア性樹脂組成物層中の無機層状化合物含有量が比較的少ない場合であっても無機薄膜との相乗効果により高いガスバリア性を示す。これは、無機薄膜層上のガスバリア性樹脂組成物層は無機薄膜のピンホールや割れによって生じた欠点を埋めるだけでなく、無機薄膜の割れ等の破損を防ぐ機能を持つが、無機層状化合物含有量が少ない量であっても欠点を埋める機能は十分に果たしていることによると考えられる。逆に、無機層状化合物含有量が多くなるとボイル処理時の層間接着力の低下、膜の柔軟性の低下といった現象が現れ、無機薄膜の破損を防ぐ機能が低下して、全体としてはそれ以上のガスバリア性の向上効果が得られないだけでなく、逆にガスバリア性の低下につながっていると考えられる。前記無機層状化合物の配合量は、前記ガスバリア性樹脂100質量部に対して0.5質量部以上が好ましく、より好ましくは1質量部以上、さらに好ましくは3質量部以上であり、10質量部以下が好ましく、より好ましくは9質量部以下、さらに好ましくは8質量部以下である。1-3.添加剤本発明では、ガスバリア性樹脂組成物が添加剤として、カップリング剤及び架橋剤の少なくとも一種を含有する。前記カップリング剤としては、樹脂組成物に使用されるものであれば特に限定されないが、有機官能基を少なくとも1種類以上有するシランカップリング剤が好ましい。前記有機官能基としては、エポキシ基、アミノ基、アルコキシ基、イソシアネート基等が挙げられる。前記有機官能基を少なくとも1種類以上有するシランカップリング剤の具体例としては、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリエトキシシラン、3-3,4-エポキシシクロヘキシルプロピルトリメトキシシラン、2-グリシジルオキシエチルトリメトキシシラン、2-グリシジルオキシエチルトリエトキシシラン、3-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシ基含有シランカップリング剤;2-アミノエチルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、2-[N-2-アミノエチルアミノ]エチルトリメトキシシラン、3-[N-2-アミノエチルアミノ]プロピルトリメトキシシラン、3-[N-2-アミノエチルアミノ]プロピルトリエトキシシラン、3-[N-2-アミノエチルアミノ]プロピルメチルジメトキシシラン等のアミノ基含有シランカップリング剤;ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のアルコキシ基含有シランカップリング剤;γ-イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルメチルジメトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルメチルジエトキシシラン等のイソシアネート基含有シランカップリング剤;等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。前記架橋剤としては、樹脂組成物に使用されるものであれば特に限定されないが、水素結合性基用架橋剤が好ましい。水素結合性基用架橋剤としては、水溶性ジルコニウム化合物、水溶性チタン化合物等が挙げられる。水溶性ジルコニウム化合物の具体例としては、塩酸化ジルコニウム、ヒドロキシ塩化ジルコニウム、塩基性硫酸ジルコニウム、硝酸ジルコニウム、炭酸ジルコニウムアンモニウム、硫酸ジルコニウムナトリウム、クエン酸ジルコニウムナトリウム、乳酸ジルコニウム、酢酸ジルコニウム、硫酸ジルコニウム、オキシ硫酸ジルコニウム、オキシ硝酸ジルコニウム、塩基性炭酸ジルコニウム、水酸化ジルコニウム、炭酸ジルコニウムカリウム、塩化ジルコニウム、塩化ジルコニウム八水和物、オキシ塩化ジルコニウム、モノヒドロキシトリスラクテートジルコニウムアンモニウム、テトラキスラクテートジルコニウムアンモニウム、モノヒドロキシトリススレートジルコニウムアンモニウム等が例示できる。これらの中でも、塗布凝集力の向上による熱水処理後の熱水処理適性及びガスバリア性樹脂組成物層を形成するための塗工液の安定性の点から、塩酸化ジルコニウム、ヒドロキシ塩化ジルコニウムが好ましく、特に塩酸化ジルコニウムが好ましい。水溶性チタン化合物の具体例としては、チタンラクテート、チタンラクテートアンモニウム塩、ジイソプロポキシチタントリエタノールアミネート、ジ-n-ブトキシチタンビストリエタノールアミネート、ジイソプロポキシチタンビストリエタノールアミネート、チタンテトラキスアセチルアセトナート等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。ガスバリア性樹脂組成物ガスバリア性樹脂と無機層状化合物と添加剤との合計100質量中の添加剤カップリング剤及び架橋剤の含有量は、0.3質量以上が好ましく、より好ましくは0.5質量以上、さらに好ましくは1質量以上、最も好ましくは8質量以上であり、20質量以下が好ましく、より好ましくは18質量以下、さらに好ましくは15質量以下、最も好ましくは12質量以下である。添加剤の含有量を上記範囲内とすることにより、ボイル処理後のラミネート強度の低下をより抑制することができる。また、前記添加剤の配合量は、前記ガスバリア性樹脂100質量部に対して0.5質量部以上が好ましく、より好ましくは1質量部以上、さらに好ましくは3質量部以上であり、15質量部以下が好ましく、より好ましくは13質量部以下、さらに好ましくは12質量部以下である。1-4.形成方法ガスバリア性樹脂組成物層を無機薄膜層上に形成する方法としては、例えば、ガスバリア性樹脂組成物の各材料を溶媒に溶解、分散させた塗工液を無機薄膜層上に塗工する方法;ガスバリア性樹脂組成物を溶融して無機薄膜層上に押し出してラミネートする方法;ガスバリア性樹脂組成物のフィルムを別途形成して、これを無機薄膜層上に接着剤等で貼り合わせる方法;等が挙げられる。これらの中でも、塗工による方法が簡便性、生産性等の面から好ましい。なお、この際に、無機薄膜層上にアンカーコート層を設け、アンカーコート層上にガスバリア性樹脂組成物層を設けても良い。アンカーコート層については後述する。以下、ガスバリア性樹脂組成物層の形成方法の一例として、ガスバリア性樹脂組成物の各材料を溶媒に溶解、分散させた塗工液を、無機薄膜層上に塗工する方法について説明する。ガスバリア性樹脂組成物を塗工液とするための溶媒溶剤としては、EVOHを溶解し得る水性及び非水性のどちらの溶剤でも使用できるが、水と低級アルコールとの混合溶剤を用いることが好ましい。具体的には、水と炭素数2~4の低級アルコールエチルアルコール、n-プロピルアルコール、iso-プロピルアルコール、n-ブチルアルコール、iso-ブチルアルコール、sec-ブチルアルコール、tert-ブチルアルコール等の混合溶剤が好適である。このような混合溶剤を使用するとEVOHの溶解性が良好となり、適度な固形分を維持できる。前記混合溶媒中の低級アルコールの含有量は15質量~70質量が好ましい。混合溶剤中の低級アルコール含有量が70質量以下であれば、前記無機層状化合物を分散した場合、無機層状化合物のへき開がより進行し、また、15質量以上であれば、ガスバリア性樹脂組成物を溶解、分散させた塗工液の塗工適性がより向上する。ガスバリア性樹脂組成物を溶剤に溶解、分散させる方法は、特に限定されないが、例えば、EVOH溶液に、無機層状化合物必要により予め水等の分散媒体中に膨潤、へき開させておいてもよいを添加混合し、無機層状化合物を分散させる方法;水等の分散媒体中に無機層状化合物を膨潤へき開させた分散液に、EVOH必要により予め溶剤に溶解させておいてもよいを添加溶解する方法等が挙げられる。このとき、EVOHからなるガスバリア性樹脂と無機層状化合物との質量比率が、無機層状化合物の含有量が、ガスバリア性樹脂組成物100質量部に対して0.1質量部~10質量部の範囲となる量で混合する。これらの混合に際しては通常の攪拌装置や分散装置を利用して、無機層状化合物を均一に分散することができるが、特に透明で安定な無機層状化合物分散液を得るために、高圧分散機を使用することができる。高圧分散機としては、例えば、ゴーリンAPVゴーリン社製、ナノマイザーナノマイザー社製、マイクロフルイタイザーマイクロフライデックス社製、アルチマイザースギノマシン社製、DeBeeBee社製等が挙げられ、これら高圧分散機の圧力条件として100MPa以下で分散処理を行うことが好ましい。圧力条件が100MPa以下であれば、無機層状化合物の粉砕を抑制でき、目的であるガスバリア性が良好となる。なお、添加剤の混合は攪拌だけで行えるため、どの時期に添加してもよいが、できるだけ添加剤の影響を抑えるという観点から、EVOH溶液中に無機層状化合物が分散し終わった段階で、添加剤を添加することが好ましい。塗工の方式は、グラビアコート、バーコート、ダイコート、スプレーコート等従来の方式が、塗工液の特性に合わせて採用することができる。1-5.ガスバリア性樹脂組成物層用塗工液の乾燥条件ガスバリア性樹脂組成物の塗工液を塗工した後の乾燥温度は、100°C以上が好ましく、より好ましくは130°C以上、さらに好ましくは150°C以上であり、200°C以下が好ましい。また、別処理工程での追加の熱処理、すなわち、一度フィルムを巻き取った後、巻き返しながら、またはロールで、或はラミネート工程等の後工程を行う前やその途中で追加の加熱処理150~200°Cを行うことも効果的である。乾燥温度が100°C以上であれば、塗工層が十分に乾燥でき、ガスバリア性樹脂組成物層の結晶化や架橋が進行し、ボイル処理後のガスバリア性、ラミネート強度がより良好となる。一方、乾燥温度が200°C以下であれば、基材フィルムに熱がかかりすぎることが抑制され、フィルムが脆くなったり、収縮してしまうことが抑制され、加工性が良好となる。1-6.ガスバリア性樹脂組成物層の厚さガスバリア性樹脂組成物層の厚さは、0.01μm以上が好ましく、より好ましくは0.08μm以上、さらに好ましくは0.15μm以上であり、2.0μm以下が好ましく、より好ましくは0.8μm以下、さらに好ましくは0.5μm以下である。厚さが0.01μm以上であれば、ボイル処理後のガスバリア性がより向上し、0.7μm以下であれば、塗工液を用いた場合でも乾燥しやすくなり、ラミネート強度がより向上する。2.基材フィルム本発明で用いる基材フィルムは、ポリアミド系樹脂からなり、溶融押出し後、必要に応じ、長手方向及び/又は幅方向に延伸、冷却、熱固定を施したフィルムである。前記ポリアミド系樹脂の具体例としては、ポリカプロアミドナイロン6、ポリ-ε-アミノへプタン酸ナイロン7、ポリ-ε-アミノノナン酸ナイロン9、ポリウンデカンアミドナイロン11、ポリラウリンラクタムナイロン12、ポリエチレンジアミンアジパミドナイロン26、ポリテトラメチレンアジパミドナイロン46、ポリヘキサメチレンアジパミドナイロン66、ポリヘキサメチレンセバカミドナイロン610、ポリヘキサメチレンドデカミドナイロン612、ポリオクタメチレンドデカミドナイロン612、ポリオクタメチレンアジパミドナイロン86、ポリデカメチレンアジパミドナイロン106、ポリデカメチレンセバカミドナイロン1010、ポリドデカメチレンドデカミドナイロン1212、メタキシレンジアミン-6ナイロンMXD6等が挙げられる。また、これらを主成分とする共重合体であってもよく、その例としては、カプロラクタム/ラウリンラクタム共重合体、カプロラクタム/ヘキサメチレンジアンモニウムアジペート共重合体、ラウリンラクタム/ヘキサメチレンジアンモニウムアジペート共重合体、ヘキサメチレンジアンモニウムアジペート/ヘキサメチレンジアンモニウムセバケート共重合体、エチレンジアンモニウムアジペート/ヘキサメチレンジアンモニウムアジペート共重合体、カプロラクタム/ヘキサメチレンジアンモニウムアジペート/ヘキサメチレンジアンモニウムセバケート共重合体等を挙げることができる。これらのポリアミドには、フィルムの柔軟性改質成分として、芳香族スルホンアミド類、p-ヒドロキシ安息香酸、エステル類等の可塑剤や低弾性率のエラストマー成分やラクタム類を配合することも有効である。さらに上記のポリアミド系樹脂には、公知の添加物,例えば、紫外線吸収剤、帯電防止剤、可塑剤、滑剤、着色剤等を添加してもよい。前記基材フィルムの厚さは1μm以上が好ましく、より好ましくは2μm以上、さらに好ましくは3μm以上であり、500μm以下が好ましく、より好ましくは300μm以下、さらに好ましくは100μm以下である。前記基材フィルムの透明度は、特に限定するものではないが、透明性を有する包装材料積層体として使用する場合には、50以上の光線透過率をもつものが望ましい。また前記基材フィルムは、積層型フィルムであってもよい。積層型フィルムとする場合の積層体の種類、積層数、積層方法等は特に限定されず、目的に応じて公知の方法から任意に選択することができる。基材フィルムの製造方法については、押出し法、キャスト法等、既存の方法を使用することができる。本発明における基材フィルムは、本発明の目的を損なわないかぎりにおいて、無機薄膜層を積層するに先行して、前記基材フィルムをコロナ放電処理、グロー放電、火炎処理、表面粗面化処理等の表面処理を施しても良く、また、公知のアンカーコート処理、印刷、装飾が施されても良い。3.無機薄膜層前記無機薄膜層は、金属又は無機酸化物からなる薄膜である。前記金属薄膜を形成する材料は、薄膜にできるものなら特に制限はないが、例えば、マグネシウム、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、インジウム等が挙げられ、コスト等の観点からアルミニウムが好ましい。また、前記無機酸化物薄膜を形成する材料は、薄膜にできるものなら特に制限はないが、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム等が挙げられ、好ましくは酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムである。これらの中でも、ガスバリア性に優れることから、酸化ケイ素及び酸化アルミニウムを含む多元系無機酸化物薄膜がより好ましく、酸化ケイ素酸化アルミニウム二元系無機酸化物薄膜が最も好ましい。ここでいう酸化ケイ素とはSiOやSiO2等の各種珪素酸化物の混合物であり、酸化アルミニウムとは、AlOやAl2O3等の各種アルミニウム酸化物の混合物である。なお、酸化ケイ素及び酸化アルミニウムを含む多元系無機酸化物薄膜が、ガスバリア性に優れる理由は、多元系無機酸化物薄膜は薄膜中の無機物の比率により膜のフレキシブル性、ガスバリア性を変化させることが可能であり、性能バランスの取れた、良好な薄膜を得ることができるためである。また、後述するように無機薄膜層上に接着剤層を設ける場合、酸化ケイ素及び酸化アルミニウムを含む多元系無機酸化物薄膜と接着剤層との間において高い密着力が得られやすいからである。酸化ケイ素酸化アルミニウム二元系無機酸化物薄膜とする場合、無機酸化物薄膜中に占める酸化アルミニウムの含有量は、20質量以上が好ましく、より好ましくは30質量以上、さらに好ましくは40質量以上であり、99質量以下が好ましく、より好ましくは75質量以下、さらに好ましくは60質量以下である。酸化ケイ素酸化アルミニウム系二元系無機酸化物薄膜中の酸化アルミニウムの含有量が20質量以上であれば、ガスバリア性がより向上し、99質量以下であれば、蒸着膜の柔軟性が良好となり、ガスバリア性積層フィルムの曲げや寸法変化に強くなり、二者併用の効果がより向上する。また、無機酸化物薄膜の比重の値と無機酸化物薄膜中の酸化アルミニウムの含有量質量との関係を、D=0.01AbD:薄膜の比重、A:薄膜中の酸化アルミニウムの質量で示すとき、b値が1.6よりも小さい領域のときには、酸化ケイ素酸化アルミニウム系薄膜の構造が粗となり、また、b値が2.2よりも大きい領域の場合、酸化ケイ素酸化アルミニウム二元系無機酸化物薄膜が硬くなる傾向にある。このため、無機酸化物薄膜としての酸化ケイ素酸化アルミニウム二元系無機酸化物薄膜の比重は、前記薄膜の比重と薄膜中の酸化アルミニウムの含有量質量D=0.01AbD:薄膜の比重、A:薄膜中の酸化アルミニウムの含有量という関係式で表すとき、b値が1.6~2.2であるのが好ましく、さらに好ましくは1.7~2.1であるが、もちろんこの範囲に限定されるものではない。酸化ケイ素酸化アルミニウムを含み、さらに他の無機酸化物を含む多元系無機酸化物薄膜もガスバリア性積層体としての効果は大きい。本発明において、無機薄膜層の膜厚は、1nm以上が好ましく、より好ましくは5nm以上であり、800nm以下が好ましく、より好ましくは500nm以下である。膜厚が1nm以上であれば、ガスバリア性がより向上する。なお、800nmを超えて過度に厚くしても、それに相当するガスバリア性の向上の効果は得られない。無機薄膜層を形成する方法を、酸化ケイ素酸化アルミニウム二元系無機酸化物薄膜を例に説明する。蒸着法による薄膜形成法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理蒸着法、あるいはCVD法化学蒸着法等が適宜用いられる。例えば、真空蒸着法を採用する場合は、蒸着原料としてSiO2とAl2O3の混合物、あるいはSiO2とAlの混合物等が用いられる。加熱には、抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子ビーム加熱等を採用することができ、また、反応ガスとして酸素、窒素、水素、アルゴン、炭酸ガス、水蒸気等を導入したり、オゾン添加、イオンアシスト等の手段を用いた反応性蒸着を採用することも可能である。さらに、基材フィルムにバイアスを印加したり、基材フィルムを加熱したり冷却する等、成膜条件も任意に変更することができる。上記蒸着材料、反応ガス、基板バイアス、加熱冷却等は、スパッタリング法やCVD法を採用する場合にも同様に変更可能である。このような方法により、透明でガスバリア性に優れ、各種処理、例えば、煮沸処理やレトルト処理、さらにはゲルボ試験耐屈曲性試験にも耐えることができる優れた性能のガスバリア性積層フィルムを得ることが可能となる。4.アンカーコート層本発明のガスバリア性積層フィルムにおいては、無機薄膜層とガスバリア性樹脂組成物層との間に、アンカーコート層を有することが好ましい。アンカーコート層を有することにより、無機薄膜層とガスバリア性樹脂組成物層との接着力をより向上させることができる。前記アンカーコート層は、アンカーコート剤樹脂組成物及び溶媒を含有するアンカーコート層用組成物から形成される。前記アンカーコート剤樹脂組成物としては、例えば、ウレタン系、ポリエステル系、アクリル系、チタン系、イソシアネート系、イミン系、ポリブタジエン系等の樹脂に、エポキシ系、イソシアネート系、メラミン系等の硬化剤を添加したものが挙げられる。前記溶媒溶剤としては、例えば、ベンゼン、トルエン等の芳香族系溶剤;メタノール、エタノール等のアルコール系溶剤;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶剤;酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶剤;エチレングリコールモノメチルエーテル等の多価アルコール誘導体等が挙げられる。また、アンカーコート剤樹脂組成物は、有機官能基を少なくとも1種類以上有するシランカップリング剤を含有することが好ましい。前記有機官能基としては、アルコキシ基、アミノ基、エポキシ基、イソシアネート基等が挙げられる。前記シランカップリング剤の添加量としては、アンカーコート剤樹脂組成物樹脂と硬化剤とシランカップリング剤の合計100質量中、0.1質量以上が好ましく、より好ましくは3質量以上であり、10質量以下が好ましく、より好ましくは7質量以下である。添加量が0.1質量以上であれば、ボイル処理後のラミネート強度がより向上する。アンカーコート層の厚さは、0.01μm以上が好ましく、より好ましくは0.05μm以上、さらに好ましくは0.10μm以上であり、0.70μm以下が好ましく、より好ましくは0.50μm以下、さらに好ましくは0.30μm以下である。アンカーコート層の厚さが0.01μm以上であれば、ボイル処理によるラミネート強度の低下がより抑制され、0.70μm以下であれば、コート斑が発生せずガスバリア性がより良好となる。5.プライマーコート層本発明のガスバリア性積層フィルムにおいては、基材フィルムと無機薄膜層との間に、プライマーコート層を設けてもよい。プライマーコート層を有することにより、ガスバリア性積層フィルムの平面性を向上させたり、基材フィルムと無機薄膜層との接着力をより向上させることができる。プライマーコート層は、プライマーコート層を構成する樹脂成分を溶解又は分散したプライマーコート層用塗工液から形成できる。プライマーコート層を構成する樹脂としては、例えば、共重合ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等が挙げられる。前記共重合ポリエステル樹脂は、水分散性を付与するため、カルボキシル基又はその塩、スルホン酸基又はその塩等の親水性基を持つか、又は親水性のグラフト重合体であることが好ましい。前記共重合ポリエステル樹脂は、ジメチルテレフタレート、ジメチルイソフタレート等のカルボン酸エステルとネオペンチルグリコール、エチレングリコール等のポリオール化合物とをエステル交換反応した後、さらにフマル酸等のポリカルボン酸とエステル化反応させて得ることができる。プライマーコート層用塗工液の溶媒としては、上記共重合ポリエステル樹脂等の溶解性の点から、水100質量又は水/低級アルコール混合溶媒を用いることが好ましい。水/低級アルコール混合溶媒を用いることで、共重合ポリエステル樹脂の分散性、コートの均一性、製造時の安全性が満足できる。プライマーコート層用塗工液の全固形分濃度は2質量~35質量が好ましい。プライマーコート層を基材フィルム上に形成する方法としては、通常前述した様に水系溶液を基材フィルムに塗工する方法が採られる。コートの方法は使用するコート液のコート量と粘度により選択され、ファウンテンバーコーティング法等から採用すればよい。プライマーコート層の厚さは、ガスバリア性の発現、経済性の点から、0.1μm以上が好ましく、より好ましくは0.2μm以上であり、0.5μm以下が好ましく、より好ましくは0.4μm以下である。プライマーコート層の厚さが0.1μm以上であれば、酸素バリア性、特に水蒸気バリア性がより良好となり、一方、0.5μm以下であれば、プライマーコート層の自己架橋が十分に進行し、ガスバリア性がより良好となる。6.他のフィルム等との積層本発明のガスバリア性積層フィルムは、食品包装用途を初め、様々な用途に用いることができ、それに合わせてさらに、ヒートシール層、印刷層、他の樹脂フィルム、これらの層を接着するための接着剤層等、他の素材と積層することが出来る。積層の際には、本発明のガスバリア性積層フィルムの上に直接溶融押し出しラミネートする方法、コーティングによる方法、フィルム同士を直接又は接着剤を介してラミネートする方法等、公知の手段を採用することが出来る。また、高いバリア性が求められる場合には、本発明のガスバリア性積層フィルムを2枚以上積層することもできる。例えば、パウチ等やボイル食品の蓋材として用いる場合には、ガスバリア性樹脂組成物層上にポリエチレンやポリプロピレン等のヒートシール層を設けることが好ましい。また、ガスバリア性樹脂組成物層とヒートシール層の間に他の樹脂フィルムを積層しても良い。他の樹脂フィルムとしては、ポリアミド、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、全芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリスルホン、ポリスチレン、ポリ乳酸等の有機高分子樹脂からなる樹脂フィルムを用いることができる。これらの積層の際には接着剤を介して積層することができる。また、太陽電池用として用いる場合は、本発明のガスバリア性積層フィルムに、フッ素樹脂系フィルムや耐加水分解性ポリエステルフィルム等の耐候性フィルム、光反射性白色フィルム、黒色系の着色フィルム等を積層してバックシートとして用いることができる。あるいは、本発明のガスバリア性積層フィルム同士をガスバリア性樹脂組成物層が内側になるように積層して用いることもできる。太陽電池受光面側のフィルムとして用いる場合には、本発明のガスバリア性積層フィルムに防汚コート、反射低減コート、防眩コート、ハードコート等を設けたり、これらのコートを施した他のフィルムを積層しても良い。また、有機ELや電子ペーパー等の用途の場合にも防汚コート、反射低減コート、防眩コート、ハードコート等を設けたり、これらのコートを施した他のフィルムを積層しても良い。これらの他のコート及び他のフィルムは本発明のガスバリア性積層フィルムのどちらの面の設けても良い。以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は、下記実施例によって限定されるものではなく、前後記の趣旨に適合しうる範囲で適宜変更して実施することも可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。1.評価方法1-1.ラミネートガスバリア性積層フィルムの作製ガスバリア性積層フィルムNo.1~20のガスバリア性樹脂組成物層No.14では無機薄膜層の上に、ウレタン系2液硬化型接着剤を用いたドライラミネート法により、熱接着性樹脂としてポリエチレンフィルムL4102厚さ40μm、東洋紡績社製を貼り合わせ、40°Cにて2日間エージングしてラミネートガスバリア性積層フィルムを得た。なお、乾燥後の接着剤層の厚さは3μmであった。1-2.水蒸気透過度測定ラミネートガスバリア性積層フィルムについて、JISK7129B法に準じて、水蒸気透過度測定装置PERMATRAN-W3/33MG、MOCON社製を用い、温度40°C、湿度90RHの雰囲気下で水蒸気透過度を測定した。なお、ガスバリア性積層フィルムへの調湿は、ガスバリア性樹脂組成物層側から基材フィルム側に水蒸気が透過する方向とした。また、上記ラミネートガスバリア性積層フィルムに対して、温度95°C、気圧0.1MPaで30分間のボイル処理を施した後、40°Cにて1日間乾燥させたものについても、同様に水蒸気透過度を測定した。1-3.酸素透過度ラミネートガスバリア性積層フィルムについて、JISK7126-12006付属書1に準じて、酸素透過度測定装置OX-TRAN2/20、MOCON社製を用い、温度23°C、湿度65RHの雰囲気下で酸素透過度を測定した。また、上記ラミネートガスバリア性積層フィルムに対して、温度95°C、気圧0.1MPaで30分間のボイル処理を施した後、40°Cにて1日間乾燥させたものについても、同様に酸素透過度を測定した。1-4.ラミネート強度の測定方法ラミネートガスバリア積層フィルムを幅15mm、長さ200mmに切り出して試験片とし、温度23°C、相対湿度65の条件下で、テンシロン万能材料試験機テンシロンUMT-II-500型、東洋ボールドウイン社製を用いてラミネート強度を測定した。なお、引張速度は200mm/分とし、ガスバリア性積層フィルムとポリエチレンフィルムとの間に水をつけて、剥離角度90度で剥離させたときの強度を測定した。また、上記ラミネートガスバリア性積層フィルムに対して、温度95°C、気圧0.1MPaで30分間のボイル処理を施した後、40°Cにて1日間乾燥させたものについても、同様にラミネート強度測定した。1-5.耐破袋性の評価ラミネートガスバリア性積層フィルムを、内寸13cm×13cmに三方袋に製袋し、内部に水200ml及び空気200mlを充填後密封した。この密封袋を99°C熱水中で60分間ボイル処理し、シール部での破袋サンプルの有無を目視で確認した。破袋しなかったものは○、破袋したものは×で評価した。2.準備2-1.基材フィルムの作製<作製例1>シリカを3000ppm含むポリカプロアミドナイロン6相対粘度2.80、Tg=41°Cを水分率800ppm~1000ppmに調湿し、Tダイを有する押出し機を用いて270°Cで押出し、表面温度20°Cのドラム上で急冷固化して無定形シートを得た。得られたシートを加熱ロールと冷却ロールの間で縦方向に80°Cで3倍延伸を行い、一軸延伸ポリアミドフィルムを得た。次に、得られた一軸延伸ポリアミドフィルムを130°Cで4.0倍横方向に延伸し、210°Cで熱固化した後に、5.0の横方向の弛緩を行った後に冷却し、厚さ15μmの二軸延伸ポリアミドフィルムを得た。<作製例2>極限粘度0.6230°C、フェノール/テトラクロロエタン質量比=60/40、シリカを100ppm含むポリエチレンテレフタレートPETを予備結晶化後、本乾燥し、Tダイを有する押出し機を用いて280°Cで押出し、表面温度40°Cのドラム上で急冷固化して無定形シートを得た。次に得られたシートを加熱ロールと冷却ロールの間で縦方向に100°Cで4倍延伸を行い、一軸延伸PETフィルムを得た。上記で得た一軸延伸PETフィルムを120°Cの温度で4.0倍横方向に延伸し、6の横方向の弛緩を行いながら、熱固定ゾーンの温度を225°Cに設定し熱固定処理を行った。各温度での処理時間は、予熱温度100°Cで3秒、延伸温度120°Cで5秒、熱固定処理温度225°Cで8秒行ったが、この処理時間に限定するものではない。その後冷却し、厚さ12μmの二軸延伸PETフィルムを得た。2-2.プライマーコート層を形成するための塗工液の調製撹拌機、温度計及び部分還流式冷却器を具備したステンレススチール製オートクレーブに、ジメチルテレフタレート466質量部、ジメチルイソフタレート466質量部、ネオペンチルグリコール401質量部、エチレングリコール443質量部、及びテトラ-n-ブチルチタネート0.52質量部を仕込み、160°Cから220°Cまで4時間かけてエステル交換反応を行った。次いで、フマル酸23質量部を加え200°Cから220°Cまで1時間かけて昇温し、エステル化反応を行った。次いで、255°Cまで昇温し、反応系を徐々に減圧したのち26.7Pa0.2mmHgの圧力下で1時間30分反応させた後、無水トリメリット酸19質量部を加え、窒素雰囲気下220°Cで1時間撹拌し共重合ポリエステル樹脂を得た。得られた共重合ポリエステル樹脂は淡黄色透明で重量平均分子量は12000であった。攪拌器、温度計、還流装置と定量滴下装置を備えた反応器に、上記共重合ポリエステル樹脂75質量部とメチルエチルケトン56質量部とイソプロピルアルコール19質量部とを入れ、65°Cで加熱、攪拌し、樹脂を溶解させた。樹脂が完溶した後、メチルエチルケトン25質量部に、メタクリル酸17.5質量部とアクリル酸エチル7.5質量部との混合物と、アゾビスジメチルバレロニトリル1.2質量部とを溶解した溶液を、0.2ml/分で共重合ポリエステル樹脂溶液中に滴下し、滴下終了後さらに2時間攪拌を続けた。さらに水300質量部とトリエチルアミン25質量部を反応溶液に加え、1時間攪拌してグラフト化ポリエステルの分散体を調製した。その後、得られた分散体の温度を100°Cに上げ、メチルエチルケトン、イソプロピルアルコール、過剰のトリエチルアミンを蒸留により留去してグラフト化ポリエステル水系分散体を得た。得られた分散体は、白色で平均粒子径300nm、25°CにおけるB型粘度は50cpsであった。これを水で希釈して、固形分5.0質量のプライマーコート層用塗工液とした。2-3.アンカーコート層を形成するための塗工液の調製<調製例1>ウレタン系の樹脂TM590、東洋モートン社製に、硬化剤CAT56、東洋モートン社製を添加し、溶媒に酢酸エチルを用いて、固形分濃度が6.5質量になるよう調製した。ここに、エポキシ系シランカップリング剤KBE403、信越化学工業社製を、アンカーコート剤樹脂組成物樹脂と硬化剤とシランカップリング剤の合計100質量中の含有量が5質量となるように添加してアンカーコート層用塗工液No.1とした。<調製例2>シランカップリング剤を、イソシアネート系シランカップリング剤KBE9007、信越化学工業社製に変更したこと以外は、調製例1と同様にしてアンカーコート層溶塗工液No.2を調製した。<調製例3>シランカップリング剤を、アミン系シランカップリング剤KBM603、信越化学工業社製に変更したこと以外は、調製例1と同様にしてアンカーコート層溶塗工液No.3を調製した。<調製例4>樹脂をウレタン系の樹脂EL-530A、東洋モートン社製、硬化剤を、イソシアネート系の硬化剤EL-530B、東洋モートン社製に変更したこと以外は調製例1と同様にしてアンカーコート層用塗工液No.4を調製した。2-4.ガスバリア性樹脂組成物層の材料の調製<エチレン-ビニルアルコール系共重合体溶液の調製>精製水20.996質量部とn-プロピルアルコールNPA51質量部の混合溶媒に、エチレン-ビニルアルコール共重合体商品名:SG-525エチレン-酢酸ビニル共重合体をケン化して得られた重合体、エチレン比率26モル、酢酸ビニル成分のケン化度約100、日本合成化学社製以下、EVOHと略記することがある。15質量部を加え、更に過酸化水素水濃度3013質量部と硫酸鉄FeSO40.004質量部を添加して撹拌下で80°Cに加温し、約2時間反応させた。その後冷却してカタラーゼを3000ppmになるように添加し、残存過酸化水素を除去し、これにより固形分15質量のほぼ透明なエチレン-ビニルアルコール系共重合体溶液EVOH溶液を得た。<ポリビニルアルコール樹脂溶液の調製>精製水40質量、n-プロピルアルコールNPA60質量からなる混合溶剤70質量部に、完全けん化ポリビニルアルコール樹脂商品名:ゴーセノール登録商標NL-05けん化度99.5以上、日本合成化学社製30質量部を加え溶解させ、これにより固形分30質量の透明なポリビニルアルコール溶液を得た。<無機層状化合物分散液の調製>無機層状化合物であるモンモリロナイト商品名:クニピア登録商標F、クニミネ工業社製4質量部を精製水96質量部中に攪拌しながら添加し、高圧分散装置にて圧力50MPaの設定で充分に分散させた。その後、40°Cで1日間保温し固形分4質量の無機層状化合物分散液を得た。<添加剤>架橋剤:塩酸化ジルコニウム商品名ジルコゾール登録商標Zc-20固形分20質量、第一稀元素化学工業社製架橋剤:チタンラクテート商品名:オルガチックス登録商標TC-310固形分約45質量、松本製薬工業社製シランカップリング剤:3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン商品名:KBE-403固形分100質量、信越化学工業社製2-5.ガスバリア性樹脂組成物層を形成するための塗工液の調製<調製例1>混合溶剤A精製水:n-プロピルアルコール質量比=40:6064.00質量部に、EVOH溶液を32.36質量部添加し、充分に攪拌混合した。更にこの溶液に、高速攪拌を行いながら無機層状化合物分散液3.64質量部を添加した。この分散液100質量部に対して、3質量部の陽イオン交換樹脂を添加し、イオン交換樹脂の破砕が起きない程度の攪拌速度で1時間攪拌して、陽イオンの除去を行った後、陽イオン交換樹脂のみをストレーナで濾別した。以上の操作で得られた分散液を、更に高圧分散装置にて圧力50MPaの設定で分散処理した。分散処理した混合液97質量部に対して、添加剤としての塩酸化ジルコニウム0.75質量部、精製水0.9質量部、NPA1.35質量部を添加し混合攪拌を行い、それを255メッシュ目開き60μmのフィルターにて濾過し固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.1を得た。<調製例2>混合溶剤A、EVOH溶液及び無機層状化合物分散液の使用量を、混合溶剤A65.76質量部、EVOH溶液33.00質量部、無機層状化合物分散液1.24質量部に変更したこと以外は調製例1と同様にして、固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.2を得た。<調製例3>混合溶剤A、EVOH溶液及び無機層状化合物分散液の使用量を、混合溶剤A62.30質量部、EVOH溶液31.75質量部、無機層状化合物分散液5.95質量部に変更したこと以外は調製例1と同様にして、固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.3を得た。<調製例4>混合溶剤A、EVOH溶液及び無機層状化合物分散液の使用量を、混合溶剤A66.21質量部、EVOH溶液33.17質量部、無機層状化合物分散液0.62質量部に変更したこと以外は調製例1と同様にして、固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.4を得た。<調製例5>混合溶剤A、EVOH溶液及び無機層状化合物分散液の使用量を、混合溶剤A59.10質量部、EVOH溶液30.58質量部、無機層状化合物分散液10.32質量部に変更したこと以外は調製例1と同様にして、固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.5を得た。<調製例6>混合溶剤A64.00質量部に、EVOH溶液を32.36質量部添加し、充分に攪拌混合した。更にこの溶液に、高速攪拌を行いながら無機層状化合物分散液3.64質量部を添加した。この分散液100質量部に対して、3質量部の陽イオン交換樹脂を添加しイオン交換樹脂の破砕が起きない程度の攪拌速度で1時間攪拌して、陽イオンの除去を行った後、陽イオン交換樹脂のみをストレーナで濾別した。以上の操作から得られた分散液を、更に高圧分散装置にて圧力50MPaの設定で分散処理した後、分散処理した混合液97質量部に対して3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン0.75質量部、精製水0.9質量部、NPA1.35質量部を添加し混合攪拌を行い、それを255メッシュのフィルターにて濾過し固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.6を得た。<調製例7>添加剤をチタンラクテート0.75質量部に変更したこと以外は調製例6と同様にして、固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.7を得た。<調製例8>無機層状化合物なし混合溶剤A66.67質量部に、EVOH溶液を33.33質量部添加し、充分に攪拌混合した。更に、この分散液100質量部に対して、3質量部の陽イオン交換樹脂を添加しイオン交換樹脂の破砕が起きない程度の攪拌速度で1時間攪拌して、陽イオンの除去を行った後、陽イオン交換樹脂のみをストレーナで濾別した。この様にして得られた混合液97質量部に対して、塩酸化ジルコニウム0.75質量部と、混合溶剤A2.25質量部とを添加し混合攪拌を行い、それを255メッシュのフィルターにて濾過し固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.8を得た。<調製例9>ポリビニルアルコール樹脂使用混合溶剤A78.17質量部に、ポリビニルアルコール樹脂溶液を15.87質量部添加し、充分に攪拌混合した。更にこの溶液に、高速攪拌を行いながら無機層状化合物分散液3.55質量部を添加した。この分散液100質量部に対して、3質量部の陽イオン交換樹脂を添加しイオン交換樹脂の破砕が起きない程度の攪拌速度で1時間攪拌して、陽イオンの除去を行った後、陽イオン交換樹脂のみをストレーナで濾別した。以上の操作で得られた分散液を、更に高圧分散装置にて圧力50MPaの設定で分散処理した後、分散処理した混合液97質量部に対して塩酸化ジルコニウム0.75質量部と、混合溶剤A2.25質量部とを添加し混合攪拌を行い、それを255メッシュのフィルターにて濾過し固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.9を得た。<調製例10>添加剤なし混合溶剤A64.00質量部に、EVOH溶液を32.36質量部添加し、充分に攪拌混合した。更にこの溶液に、高速攪拌を行いながら無機層状化合物分散液3.64質量部を添加した。この分散液100質量部に対して、3質量部の陽イオン交換樹脂を添加しイオン交換樹脂の破砕が起きない程度の攪拌速度で1時間攪拌して、陽イオンの除去を行った後、陽イオン交換樹脂のみをストレーナで濾別した。以上の操作で得られた分散液を、更に高圧分散装置にて圧力50MPaの設定で分散処理した後、それを255メッシュのフィルターにて濾過し固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.10を得た。<調製例11>無機層状化合物多量添加混合溶剤A56.85質量部に、EVOH溶液を29.76質量部添加し、充分に攪拌混合した。更にこの溶液に、高速攪拌を行いながら無機層状化合物分散液13.39質量部を添加した。この溶液100質量部に対して、3質量部の陽イオン交換樹脂を添加しイオン交換樹脂の破砕が起きない程度の攪拌速度で1時間攪拌して、陽イオンの除去を行った後、陽イオン交換樹脂のみをストレーナで濾別した。以上の操作で得られた分散液を、更に高圧分散装置にて圧力50MPaの設定で分散処理した後、分散処理した混合液97質量部に対して塩酸化ジルコニウム0.75質量部と、混合溶剤A2.25質量部とを添加し混合攪拌を行い、それを255メッシュのフィルターにて濾過し固形分5質量のガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.11を得た。3.ガスバリア性積層フィルムの作製<製造例1>上記で得た二軸延伸ポリアミドフィルムONY厚さ15μmに、プライマーコート層用塗工液をインラインコート法によって塗布し、乾燥させてプライマーコート付き基材フィルムを得た。前記プライマーコート付き基材フィルムに、無機薄膜層として酸化ケイ素と酸化アルミニウムの二元系無機酸化物薄膜層酸化ケイ素/酸化アルミナの比率質量比=60/40を形成した。ここで、無機薄膜層は、蒸着源として、3mm~5mm程度の大きさの粒子状のSiO2純度99.99とAl2O3純度99.9を用い、電子ビーム蒸着法により、酸化アルミニウムと二酸化ケイ素との二元系無機酸化物薄膜を形成した。蒸着材料は、混合せずに、2つに区切って投入した。加熱源として、EBElectronBeam銃を用い、Al2O3とSiO2のそれぞれを時分割で加熱した。そのときのEB銃のエミッション電流を1.2Aとし、Al2O3とSiO2との質量比が40:60となるように、各材料を加熱した。フィルム送り速度を30m/minとし、蒸着時の圧力を、1×102Paに調整した。また、蒸着時のフィルムを冷却するためのロールの温度を-10°Cに調整した。このようにして得られた無機薄膜層の厚さは27nmであった。無機薄膜層上に、ガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.1をグラビアロールコート法によって塗布し、160°Cで乾燥させガスバリア性樹脂層を形成し、ガスバリア性積層フィルムNo.1を作製した。なお、乾燥後のガスバリア性樹脂層の厚さは0.25μmであった。<製造例2~5>ガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液を、ガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.2~5に変更したこと以外は製造例1と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.2~5を作製した。<製造例6>製造例1と同様にしてプライマーコート付き基材フィルムを形成し、該プライマーコート付き基材フィルムに無機薄膜層を形成した。無機薄膜層上にアンカーコート層用塗工液No.1をグラビアロールコート法によって塗布し乾燥させアンカーコート層を形成した。乾燥後のアンカーコート層の厚さは0.25μmであった。アンカーコート層上に、ガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.1をグラビアロールコート法によって塗布し、160°Cで乾燥させガスバリア性樹脂組成物層を形成し、ガスバリア性積層フィルムNo.6を作製した。なお、乾燥後のガスバリア性樹脂組成物層の厚さは0.25μmであった。<製造例7~9>アンカーコート層用塗工液を、アンカーコート層用塗工液No.2~4に変更したこと以外は製造例6と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.7~9を作製した。<製造例10>酸化ケイ素と酸化アルミニウムの2元系酸化物無機薄膜層中の酸化ケイ素と酸化アルミニウムの質量比酸化ケイ素/酸化アルミニウムを、50/50に変更したこと以外は製造例1と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.10を作製した。<製造例11>プライマーコート層を形成しなかったこと以外は製造例1と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.11を作製した。<製造例12、13>ガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液を、ガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.6、7に変更したこと以外は製造例1と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.12,13を作製した。<製造例14>ガスバリア性樹脂組成物層を形成しなかったこと以外は製造例1と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.14を作製した。<製造例15>無機薄膜層を形成しなかったこと以外は製造例1と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.15を作製した。<製造例16~19>ガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液を、ガスバリア性樹脂組成物層形成用塗工液No.8~11に変更したこと以外は製造例1と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.16~19を作製した。<製造例20>プライマーコート付き基材フィルムを、プライマーコート層を有さない二軸延伸PETフィルムに変更したこと以外は製造例1と同様にして、ガスバリア性積層フィルムNo.20を作製した。作製したガスバリア性積層フィルムNo.1~20の構成及びこれらの評価結果を表1,2に示した。ガスバリア性積層フィルムNo.1~13は、本発明要件を満足するものである。これらのフィルムでは、ボイル処理後においても、ラミネート強度が高く、酸素透過度及び水蒸気透過度が低い値である。また、ボイル処理に対する耐破袋性にも優れていた。ガスバリア性積層フィルムNo.14はガスバリア性樹脂組成物層を有さないもの、ガスバリア性積層フィルムNo.15は無機薄膜層を有さないものであるが、これらはいずれも酸素透過度及び水蒸気透過度が高い値である。ガスバリア性積層フィルムNo.16はガスバリア性樹脂組成物が無機層状化合物を含有しない場合であるが、これはラミネート強度が非常に弱く、ボイル処理に対する耐破袋性も劣っていた。ガスバリア性積層フィルムNo.17はガスバリア性樹脂としてPVAを用いた場合であるが、ボイル処理時にガスバリア性積層フィルムと無延伸ポリプロピレンフィルムとが剥離してしまった。ガスバリア性積層フィルムNo.18はガスバリア性樹脂組成物が添加剤を含有しない場合、ガスバリア性積層フィルムNo.19はガスバリア性樹脂組成物中の無機層状化合物含有量が9質量を超える場合であるが、これらは酸素透過度及び水蒸気透過度が高い値を示し、且つ、ラミネート強度が非常に弱かった。ガスバリア性積層フィルムNo.20は、基材フィルムがポリエステルフィルムの場合であるが、これはボイル処理によりラミネート強度が大きく低下し、また、ボイル処理に対する耐破袋性も劣っていた。4.太陽電池バックシート用積層シートの作製4-1.原料ポリエステル樹脂の重合ポリエステル樹脂aの重合エステル化反応缶を昇温し、200°Cに到達した時点で、高純度テレフタル酸を86.4質量部及びエチレングリコールを64.4質量部からなるスラリーを仕込み、攪拌しながら触媒として三酸化アンチモンを0.03質量部、トリエチルアミンを0.16質量部添加した。次いで、加圧昇温を行いゲージ圧3.5kgf/cm2、240°Cの条件で、加圧エステル化反応を行った。その後、エステル化反応缶内を常圧に戻した。15分後、得られたエステル化反応生成物を重縮合反応缶に移送し、280°Cの減圧下で固有粘度が0.65dl/gに到達するまで重縮合反応を行った。重縮合にて得られたポリエチレンテレフタレートを常法に従ってチップ化しポリエステルを得た。この際、溶融樹脂を約275°Cに保った状態で、濾過粒子サイズ初期濾過効率955μmのステンレス焼結体フィルターを用いて、樹脂中に含まれる異物を除去するために高精度濾過を行った。ポリエステル樹脂bの重合エステル化反応缶を昇温し、200°Cに到達した時点で、高純度テレフタル酸を86.4質量部及びエチレングリコールを64.4質量部からなるスラリーを仕込み、攪拌しながら触媒として三酸化アンチモンを0.03質量部、トリエチルアミンを0.16質量部と平均粒径2.5μmのシリカ粒子のエチレングリコールスラリーを、生成PETに対し、2000ppmとなるよう添加した。次いで、加圧昇温を行いゲージ圧3.5kgf/cm2、240°Cの条件で、加圧エステル化反応を行った。その後、エステル化反応缶内を常圧に戻した。15分後、得られたエステル化反応生成物を重縮合反応缶に移送し、280°Cの減圧下で固有粘度が0.65dl/gに到達するまで重縮合反応を行った。重縮合にて得られたポリエチレンテレフタレートを常法に従ってチップ化しポリエステルを得た。この際、溶融樹脂を約275°Cに保った状態で、濾過粒子サイズ初期濾過効率9520μmのステンレス焼結体フィルターを用いて、樹脂中に含まれる異物を除去するために高精度濾過を行った。4-2.ポリエステル基材フィルムの製造ポリエステル樹脂a及びポリエステル樹脂bを、それぞれ回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで固相重合を行い、固有粘度0.75dl/gのポリエステル樹脂A及びポリエステル樹脂Bを得た。基材フィルムの中間層用原料としてポリエステル樹脂Aを135°Cで6時間減圧乾燥133Pa1Torrした後、押出機2中間層B層用に供給し、ポリエステル樹脂Aとポリエステル樹脂Bを平均粒径2.5μmのシリカ粒子濃度が0.06質量になるように配合したものを、押出機1外層A層用に供給し、それぞれ285°Cで溶解した。この2つのポリエステル樹脂を、それぞれステンレス焼結体の濾材公称濾過精度10μm粒子95カットで濾過し、3層合流ブロックにて、積層し、口金よりシート状にして押し出した後、静電印加キャスト法を用いて表面温度30°Cのキャスティングドラムに巻きつけて冷却固化し、未延伸フィルムを作った。この時、A層/B層/A層の厚さの比は1.5:7:1.5となるように各押し出し機の吐出量を調整した。また、この時の押し出し機内における溶融樹脂の滞留時間は15分間であった。次にこの未延伸フィルムを加熱されたロール群及び赤外線ヒーターで100°Cに加熱し、その後、周速差のあるロール群で長手方向に3.5倍延伸して一軸配向PETフィルムを得た。得られた一軸配向PETフィルムを引き続き、フィルムの端部をクリップで把持しながら、温度120°Cの熱風ゾーンに導き予熱工程、幅方向に4.3倍に延伸した横延伸工程。次に、幅方向に延伸された幅を保ったまま、最高温度235°Cで熱固定処理し、30°Cの冷却工程で幅方向に3の緩和処理を行なった。なお、予熱工程、横延伸工程、熱固定工程における炉内の熱風風速は20m/秒とし、冷却工程の冷却風風速は10m/秒とした。また、熱風及び冷却風は濾過精度1μmのフィルターを通して循環させた。こうして厚さ50μmの二軸延伸ポリエステルフィルムに被覆層が形成されたポリエステル基材フィルムを得た。4-3.積層シートの作製ガスバリア性積層フィルムNo.1、18及びポリエステル基材フィルムを21cm×30cmに切り、ガスバリア性積層フィルムとポリエステル基材フィルムとをガスバリア性樹脂組成物層が内側になるように2枚重ね合わせて、ドライラミネーションした。接着剤はドライラミネーション用ポリウレタン接着剤大日本インキ化学工業社製製品名:LX951/KMW70を使い、接着剤量は3.5g/m2とした。エージング条件としては、室温エージング1日後、40°Cでのエージングを1日施した。4-4.評価得られた太陽電池バックシート用積層シートに対して、温度121°C、湿度100RH、気圧0.2MPaで30分間処理した後、40°Cにて1日間乾燥した。湿熱処理後の試料について、上記ラミネートガスバリア性積層フィルムの場合と同様にして、水蒸気透過度及び酸素透過度を測定した。なお、水蒸気透過度測定において積層シートへの調湿は、基材フィルムONY側から無機薄膜層側に水蒸気が透過する方向とした。"