"物理量を検出するセンサ部10、該センサ部10の出力信号を処理する処理部50、該処理部50と前記センサ部10との電気的接続を制御する制御部30、及び、前記センサ部10に診断電圧を印加する電圧印加部70を有する容量式センサ装置であって、前記センサ部10は、基板、該基板に固定された壁部11と固定電極12、該固定電極12と対向してコンデンサを構成する可動電極13、該可動電極13と前記壁部11とを連結する梁14を有し、前記センサ部10は、異なる物理量を検出する前記コンデンサを複数有し、複数の前記コンデンサそれぞれの固定電極12は、前記制御部30によって、前記処理部50との電気的な接続が制御され、複数の前記コンデンサそれぞれの可動電極13は、共通の前記壁部11に固定され、同電位となっており、前記電圧印加部70が、共通の前記壁部11に前記診断電圧を印加して、複数の前記コンデンサそれぞれの静電容量を所定値とした状態にて、前記制御部30は、複数の前記コンデンサの固定電極12の内、任意の固定電極12と前記処理部50とを電気的に接続し、前記処理部50は、接続された固定電極12から出力される静電容量に基づいて、前記コンデンサの故障を診断することを、順次、全ての前記コンデンサにて行うことを特徴とする容量式センサ装置。前記壁部11は、平面環状を成し、複数の前記コンデンサそれぞれは、前記壁部11の内環面にて囲まれた領域内に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の容量式センサ装置。前記制御部30は、前記壁部11に前記診断電圧が印加された状態にて、複数の前記コンデンサの固定電極12の内、任意の2つの固定電極12と前記処理部50とを電気的に接続し、前記処理部50は、接続された固定電極12から出力される静電容量に基づいて、前記コンデンサの故障を診断することを、順次、全ての前記コンデンサにて行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の容量式センサ装置。前記処理部50は、前記壁部11に前記診断電圧が印加された状態にて、任意の2つの前記コンデンサから出力されることが期待される静電容量の加算値若しくは差分値を記憶しており、この記憶された加算値若しくは差分値が、検出された2つの前記コンデンサの静電容量の加算値若しくは差分値と等しいか否かによって、前記コンデンサの故障を診断することを特徴とする請求項3に記載の容量式センサ装置。前記制御部30は、物理量を検出する際、その物理量に対応するコンデンサの固定電極12を、前記処理部50に接続することを特徴とする請求項1~4いずれか1項に記載の容量式センサ装置。前記センサ部10は、複数の前記コンデンサの内、加速度検出用のコンデンサを有することを特徴とする請求項1~5いずれか1項に記載の容量式センサ装置。前記センサ部10は、複数の前記コンデンサの内、角速度検出用のコンデンサを有することを特徴とする請求項1~6いずれか1項に記載の容量式センサ装置。ところで、上記したように、特許文献1に示される静電容量検出センサは、可動電極と一方の固定電極とに第1の電圧を印加し、他方の固定電極に第2の電圧を印加して、自己診断を行うために、第2スイッチ群と第3スイッチ群とを有する。このように、自己診断を行うために、1つのセンサ部コンデンサに対して、少なくとも2つのスイッチを有するので、構成が煩雑となる、という問題がある。そこで、本発明は上記問題点に鑑み、構成が簡素化された容量式センサ装置を提供することを目的とする。上記した目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、物理量を検出するセンサ部10、該センサ部10の出力信号を処理する処理部50、該処理部50とセンサ部10との電気的接続を制御する制御部30、及び、センサ部10に診断電圧を印加する電圧印加部70を有する容量式センサ装置であって、センサ部10は、基板、該基板に固定された壁部11と固定電極12、該固定電極12と対向してコンデンサを構成する可動電極13、該可動電極13と壁部11とを連結する梁14を有し、センサ部10は、異なる物理量を検出するコンデンサを複数有し、複数のコンデンサそれぞれの固定電極12は、制御部30によって、処理部50との電気的な接続が制御され、複数のコンデンサそれぞれの可動電極13は、共通の壁部11に固定され、同電位となっており、電圧印加部70が、共通の壁部11に診断電圧を印加して、複数のコンデンサそれぞれの静電容量を所定値とした状態にて、制御部30は、複数のコンデンサの固定電極12の内、任意の固定電極12と処理部50とを電気的に接続し、処理部50は、接続された固定電極12から出力される静電容量に基づいて、コンデンサの故障を診断することを、順次、全てのコンデンサにて行うことを特徴とする。このように本発明によれば、各コンデンサの固定電極12と処理部50との電気的な接続が、制御部30によって制御され、各コンデンサの可動電極13が、共通の壁部11に連結されている。したがって、各コンデンサの診断時に、共通の壁部11に診断電圧を印加することで、各コンデンサの静電容量を所定値とすることができる。これによれば、各コンデンサに対して、自己診断用のスイッチが2つ設けられた構成と比べて、構成が簡素化される。請求項2に記載のように、壁部11は、平面環状を成し、複数のコンデンサそれぞれは、壁部11の内環面にて囲まれた領域内に配置された構成が好適である。これによれば、壁部11が平面矩形状の場合と比べて、各コンデンサの可動電極13と壁部11とを連結する梁14の形状を簡素化することができる。請求項3に記載のように、制御部30は、壁部11に診断電圧が印加された状態にて、複数のコンデンサの固定電極12の内、任意の2つの固定電極12と処理部50とを電気的に接続し、処理部50は、接続された固定電極12から出力される静電容量に基づいて、コンデンサの故障を診断することを、順次、全てのコンデンサにて行う構成を採用することもできる。そして、請求項3に記載の構成においては、請求項4に記載のように、処理部50は、壁部11に診断電圧が印加された状態にて、任意の2つのコンデンサから出力されることが期待される静電容量の加算値若しくは差分値を記憶しており、この記憶された加算値若しくは差分値が、検出された2つのコンデンサの静電容量の加算値若しくは差分値と等しいか否かによって、コンデンサの故障を診断する構成を採用することができる。請求項5に記載のように、制御部30は、物理量を検出する際、その物理量に対応するコンデンサの固定電極12を、処理部50に接続する構成が良い。これによれば、物理量を検出する際、制御部30とは別に、その物理量に対応するコンデンサと処理部50とを電気的に接続する接続部例えば、特開2011-75435号公報の請求項2に記載の第1のスイッチ群を有する構成と比べて、構成が簡素化される。請求項6に記載のように、センサ部10は、複数のコンデンサの内、加速度検出用のコンデンサを有する構成を採用することができる。請求項7に記載のように、センサ部10は、複数のコンデンサの内、角速度検出用のコンデンサを有する構成を採用することもできる。以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。第1実施形態図1に基づいて、本実施形態に係る容量式センサ装置を説明する。図1に示すように、容量式センサ装置100は、要部として、センサ部10、制御部30、処理部50、及び、電圧印加部70を有する。センサ部10は、制御部30のスイッチ31を介して処理部50と電気的に接続され、電圧印加部70は、処理部50とセンサ部10とに電気的に接続されている。処理部50から電圧印加部70に診断信号が入力されると、電圧印加部70からセンサ部10に診断電圧が印加され、容量式センサ装置100の自己診断が開始される。センサ部10は、第1半導体層と第2半導体層とが絶縁層を挟んで成るSOI基板図示略を、所定形状にエッチングしてなるものである。センサ部10は、絶縁層と第2半導体層から成る壁部11と固定電極12、第2半導体層から成り、第1半導体層の上方に浮いた可動電極13と梁14を有する。固定電極12と可動電極13とは互いに対向してコンデンサを構成しており、可動電極13は、可撓性を有する梁14を介して壁部11に固定され、第1半導体層に対して可動と成っている。なお、固定電極12は、外力によって変動しなければよいので、第2半導体層のみから成っても良い。センサ部10は、複数のコンデンサを有する。本実施形態において、センサ部10は、4つのコンデンサCa~Cdを有し、コンデンサCa~Cdそれぞれの固定電極12a~12dは、後述するスイッチ31を介して、処理部50に接続されている。また、コンデンサCa~Cdそれぞれの可動電極13a~13dは、梁14a~14dを介して、壁部11に固定され、電気的に同電位となっている。本実施形態に係る壁部11は、平面環状を成し、その内環面によって囲まれた領域内に、コンデンサCa~Cdが配置されている。そして、壁部11の内環面に梁14a~14dそれぞれの一端が接続されている。制御部30は、コンデンサCa~Cdの固定電極12a~12dと、処理部50の差動増幅回路51との電気的な接続を制御するものである。制御部30は、固定電極12a~12dそれぞれに接続された端子と差動増幅回路51の入力端子との間に設けられたスイッチ31と、該スイッチ31を制御する開閉制御部32と、を有する。図1に示すように、固定電極12a,12bそれぞれには1つの端子が接続され、固定電極12c,12dそれぞれには2つの端子が接続されている。そして、差動増幅回路51の非反転入力端子、及び、反転入力端子それぞれには、2つの端子が接続されている。スイッチ31は、固定電極12aと非反転入力端子との間に設けられたスイッチ31aと、固定電極12c,12dと非反転入力端子との間に設けられたスイッチ31bと、固定電極12c,12dと反転入力端子との間に設けられたスイッチ31cと、固定電極12bと反転入力端子との間に設けられたスイッチ31dと、を有する。本実施形態に係るセンサ部10は、角速度と加速度とを検出する機能を果たす。図示しないが、各可動電極13a~13dは、SOI基板の厚さ方向と電極12,13の対向方向とに直交する振動方向に振動可能となっている。したがって、上記した厚さ方向に角速度が印加されると、可動電極13は対向方向に変位して、コンデンサの静電容量が変動する。本実施形態では、コンデンサCa、Cbが同相、コンデンサCc、Cdが同相であり、コンデンサCa、CbとコンデンサCc、Cdとが互いに逆相に振動する。これにより、コンデンサCa、Cbそれぞれの可動電極13a,13bと、コンデンサCc、Cdそれぞれの可動電極13c,13dと、に印加されるコリオリ力の印加方向が逆向きとなり、変位方向が逆向きとなっている。上記したように、可動電極13a~13dは、振動方向に振動しているが、この振動状態において、加速度が対向方向に印加されると、可動電極13a~13dには、加速度の印加方向とは逆向きに慣性力が働き、全ての可動電極13a~13dは同方向に変位する。なお、加速度だけを検出する場合、もちろんではあるが、可動電極13a~13dを振動させなくともよい。開閉制御部32は、角速度を検出する場合、非反転入力端子と固定電極12a,12dを電気的に接続し、反転入力端子と固定電極12b,12cを電気的に接続する。これにより、差動増幅回路51からは、コンデンサCa、Cdの静電容量からコンデンサCb、Ccの静電容量が差分された値に比例する信号が出力される。また、開閉制御部32は、加速度を検出する場合、非反転入力端子と固定電極12a,12cを電気的に接続し、反転入力端子と固定電極12b,12dを電気的に接続する。これにより、差動増幅回路51からは、コンデンサCa、Ccの静電容量からコンデンサCb、Cdの静電容量が差分された値に比例する信号が出力される。処理部50は、差動増幅回路51、マイコン52、及び、メモリ53を有する。上記したように、差動増幅回路51の非反転入力端子と反転入力端子は、スイッチ31を介してコンデンサCa~Cdの固定電極12と電気的に接続されており、出力端子はマイコン52に接続されている。マイコン52には、メモリ53が電気的に接続され、マイコン52の出力端子が、外部素子図示略、制御部30、及び、電圧印加部70それぞれに電気的に接続されている。マイコン52は、物理量角速度及び加速度を検出する検出モードにて、非反転入力端子と固定電極12a,12dを電気的に接続し、反転入力端子と固定電極12b,12cを電気的に接続する信号をスイッチ31に出力した後、非反転入力端子と固定電極12a,12cを電気的に接続し、反転入力端子と固定電極12b,12dを電気的に接続する信号をスイッチ31に出力することを順次繰り返す旨が含まれた検出制御信号を、開閉制御部32に出力する。これに対し、マイコン52は、コンデンサCa~Cdの故障を診断する診断モードにて、診断開始の旨を含む診断信号を電圧印加部70と開閉制御部32それぞれに出力する。電圧印加部70は、診断信号が入力されると、壁部11に形成されたパッド11aに診断電圧を印加して、壁部11、及び、壁部11と連結された梁14、及び、梁14と連結された可動電極13a~13dそれぞれを同電位とし、固定電極12a~12dに固定電圧を印加することで、コンデンサCa~Cdそれぞれの静電容量を所定値とする。一方、開閉制御部32は、診断信号が入力されると、コンデンサCa~Cdの内、2つのコンデンサを選択し、その選択されたコンデンサを差動増幅回路51に接続する。こうすることで、差動増幅回路51からは、任意の2つのコンデンサから出力される静電容量の加算値若しくは差分値に比例する信号が出力される。上記したメモリ53には、診断電圧印加時に、各コンデンサCa~Cdから出力されることが期待される静電容量の加算値や差分値が記憶されている。マイコン52は、差動増幅回路51から出力される静電容量の加算値若しくは差分値が、メモリ53に記憶された値と等しくなっているか否かによって、コンデンサCa~Cdの故障を診断する。開閉制御部32は、4つのコンデンサCa~Cdから任意の2つのコンデンサを選ぶことを、全ての場合において順次行う。そして、マイコン52は、各コンデンサの組み合わせにおいて、差動増幅回路51から出力される信号がメモリ53に記憶された値と等しいか否かを、全ての場合において順次行う。これにより、例えば、電極12,13間に異物が挟まっているか否かなどの故障を診断する。次に、本実施形態に係る容量式センサ装置100の作用効果を説明する。上記したように、各コンデンサCa~Cdの固定電極12a~12dと処理部50との電気的な接続が、制御部30によって制御され、各コンデンサCa~Cdの可動電極13a~13dが、共通の壁部11に連結されている。したがって、各コンデンサCa~Cdの診断時に、共通の壁部に診断電圧を印加することで、各コンデンサCa~Cdの静電容量を所定値とすることができる。これによれば、各コンデンサに対して、自己診断用のスイッチが2つ設けられた構成と比べて、構成が簡素化される。壁部11は、平面環状を成し、複数のコンデンサCa~Cdそれぞれは、壁部11の内環面にて囲まれた領域内に配置されている。これによれば、壁部が平面矩形状の場合と比べて、各コンデンサCa~Cdの可動電極13a~13dと壁部11とを連結する梁14a~14dの形状を簡素化することができる。制御部30は、自己診断を行う際、任意の2つのコンデンサの固定電極を処理部50に接続し、物理量を検出する際、その物理量角速度や加速度に対応するコンデンサの固定電極を、処理部50に接続している。これによれば、物理量を検出する際、制御部とは別に、その物理量に対応するコンデンサと処理部とを電気的に接続する接続部例えば、特開2011-75435号公報の請求項2に記載の第1のスイッチ群を有する構成と比べて、構成が簡素化される。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。本実施形態では、自己診断時において、開閉制御部32は、コンデンサCa~Cdの内、2つのコンデンサを選択し、マイコン52は、差動増幅回路51から出力される静電容量の加算値若しくは差分値が、メモリ53に記憶された値と等しくなっているか否かによって、コンデンサCa~Cdの故障を診断する例を示した。しかしながら、自己診断時において、開閉制御部32が、コンデンサCa~Cdの内、1つのコンデンサを選択し、マイコン52は、差動増幅回路51から出力される静電容量が、メモリ53に記憶された値と等しくなっているか否かによって、コンデンサCa~Cdの故障を診断しても良い。この場合、メモリ53には、診断電圧印加時に、各コンデンサCa~Cdから出力されることが期待される静電容量が記憶されている。"