裸ファイバの周囲に被覆部を備える光ファイバを用意し、複数の前記光ファイバを軸方向に平行に整列した状態で束ねて固定して光ファイバ束を形成するステップと、複数の前記光ファイバの先端の被覆部を除去して前記裸ファイバの露出部を形成するステップと、前記露出部の先端をエッチング液に接触させるステップと、前記エッチング液を、毛細管現象により前記露出部のうち前記エッチング液と接触していない領域に向かって浸透させ、前記露出部の先端をエッチングするステップと、を含む光ファイバ束の製造方法であって、エッチングする前の前記露出部は、隣接する前記光ファイバの前記露出部との間隙幅が、前記エッチング液の液面部に対応する位置において、前記光ファイバの前記被覆部の外径以下である、ことを特徴とする光ファイバ束の製造方法。前記光ファイバ束は、複数の前記光ファイバが軸方向に直交する第1の方向に列状に配置された光ファイバ列を形成し、前記光ファイバ列は前記軸方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向に一列または複数列に配置された状態で、前記複数の光ファイバを固定する固定部を備え、前記露出部の先端をエッチングするステップは、前記光ファイバ列の両端に位置する光ファイバが軸方向と垂直な方向に近接するよう前記固定部を変形させ、前記光ファイバ列の両端に位置する前記光ファイバは、エッチングする前における前記露出部の間隙幅が、前記エッチング液の液面部に対応する位置において、前記光ファイバの前記被覆部の外径以下である状態において実施される、ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ束の製造方法。前記光ファイバ束は、複数の前記光ファイバが軸方向に直交する第1の方向に列状に配置された光ファイバ列を形成し、前記光ファイバ列は前記軸方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向に一列または複数列に配置された状態で、前記複数の光ファイバを固定する固定部を備え、前記露出部の先端をエッチングするステップは、前記光ファイバ束の複数の前記光ファイバのうち、前記第1の方向及び前記第2の方向の外周に位置する光ファイバの全部又は一部に、前記毛細管現象の浸透力のばらつきを軽減する補助部材を配置した状態で、前記露出部の先端部を前記エッチング液に接触させることにより実施する、ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ束の製造方法。しかしながら、特許文献3~5に記載された裸ファイバにテーパ部を形成する技術では、簡易なプロセスで滑らかな形状のテーパ部を十分な長さにわたって形成することが難しいという問題がある。即ち、テーパ部の形状は、裸ファイバをエッチング液に浸漬する深さや、エッチングレート、及び持続時間によって決定されるため、特許文献5に記載の技術によって滑らかな形状のテーパ部を形成するには光ファイバホルダの上下動の動作を精密に制御する必要があり、制御装置が複雑化する。また、特許文献3、4においてはかかる観点から裸ファイバのエッチング方法に関して検討されていない。一方、十分に滑らかな形状のテーパ部が形成されていない場合や、テーパ部の長さが不十分である場合には、裸ファイバに曲げを付与した状態で光部品内に実装すると、曲げ応力がテーパ形状の不均一な箇所に集中し、裸ファイバの破損を招く。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、裸ファイバに簡易なプロセスで滑らかな形状のテーパ部を十分な長さにわたって形成可能な、光ファイバ束の製造方法を提供することを目的とする。本発明による光ファイバ束の製造方法は、1裸ファイバの周囲に被覆部を備える光ファイバを用意し、複数の前記光ファイバを軸方向に平行に整列した状態で束ねて固定し、光ファイバ束を形成するステップと、2複数の光ファイバの先端の被覆部を除去して裸ファイバの露出部を形成するステップと、3上記露出部の先端をエッチング液に接触させるステップと、4上記エッチング液を、毛細管現象により上記露出部のうちエッチング液と接触していない領域に向かって浸透させ、露出部の先端をエッチングするステップと、を含む光ファイバ束の製造方法であって、5エッチングする前の上記露出部は、隣接する光ファイバの露出部との間隙幅が、上記エッチング液の液面部に対応する位置において、光ファイバの上記被覆部の外径以下である、ことを特徴とする。本発明による光ファイバ束の製造方法において、1上記光ファイバ束は、複数の光ファイバが軸方向に直交する第1の方向に列状に配置された光ファイバ列を形成し、光ファイバ列は軸方向及び上記第1の方向に直交する第2の方向に一列または複数列に配置された状態で、複数の光ファイバを固定する固定部を備え、3上記露出部の先端をエッチングするステップは、上記光ファイバ列の両端に位置する光ファイバが軸方向と垂直な方向に近接するよう上記固定部を変形させるステップをさらに含み、光ファイバ列の両端に位置する光ファイバは、エッチングする前における露出部の間隙幅が、エッチング液の液面部に対応する位置において、光ファイバの被覆部の外径以下である状態において実施される、ことを特徴とする。本発明による光ファイバ束の製造方法において、1上記光ファイバ束は、複数の光ファイバが軸方向に直交する第1の方向に列状に配置された光ファイバ列を形成し、光ファイバ列は軸方向及び上記第1の方向に直交する第2の方向に一列または複数列に配置された状態で、複数の光ファイバを固定する固定部を備え、3上記露出部の先端をエッチングするステップは、上記光ファイバ束の複数の光ファイバのうち、上記第1の方向及び上記第2の方向の外周に位置する光ファイバの全部又は一部に、毛細管現象の浸透力のばらつきを軽減する補助部材を配置した状態で、露出部の先端部をエッチング液に接触させることにより実施する、ことを特徴とする。本発明にかかる製造方法によれば、裸ファイバに簡易なプロセスで滑らかな形状のテーパ部を十分な長さにわたり形成可能であるから、裸ファイバに曲げを付与した状態で光部品内に実装しても、裸ファイバの破損を防止可能な光ファイバ束を容易に提供することができる。以下、添付図面を参照して、を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。光ファイバの製造方法の第1の実施形態図1は本実施形態の光ファイバ束の製造方法を示すフローチャートである。図2は、本実施形態の光ファイバ束の製造方法に適用できる光ファイバ束の一例を示す構成図である。図2aは全体斜視図、図2bは図2aに示した部分A-A’における断面図、図2cは図2aに示した部分B-B’における断面図である。図3本発明による光ファイバ束の製造方法の第1実施形態を示す概念図であり、図3a~dは概念図である。図1および図2に示すように、まず、複数の光ファイバを軸方向に平行に整列した状態で固定し、光ファイバ束を形成する工程S1、S2。本実施形態に係る光ファイバ束の製造方法に適用可能な光ファイバ束は、図2に示すように、複数の光ファイバ11と固定部12とを備える。光ファイバ11は裸ファイバ11aと、その外周に被覆部11bを備える。光ファイバ束10は複数例えば44本の光ファイバ11が軸方向に直交する第1の方向以下、X方向と称するに列状に配置された光ファイバ列を形成した状態で、固定部12により一括固定され得る。以下、光ファイバ束10を構成する複数の光ファイバ11として、同等の露出部径D1及び被覆部径D0を有するものを採用した場合を例示する。なお、後述するように、光ファイバ列がX方向に配置され、かつ、軸方向及びX方向に直交する第2の方向以下、Y方向と称するに複数列に配置された状態で固定されていても良い。以下では単純化するためにY方向に一列に配置されて固定されている場合を例示する。図2a及びbに示すように、光ファイバ11は被覆部11bにおいて固定部12により被覆され、一括固定され得る。このとき、各光ファイバ11は隣接する光ファイバ11の被覆部11bと接触するよう、密に配列されていることが好ましい。このように構成すれば、複数の光ファイバ11の配列ピッチD2を容易に被覆部径D0と同等に設定できる。本実施形態において、被覆部径D0及び配列ピッチD2は例えば250μmであり、露出部径D1は例えば125μmである。固定部12は例えば熱硬化性または紫外線硬化性樹脂である。複数の光ファイバ11は公知の手法により整列すればよい。例えば、被覆部径D0の整数倍と同等の幅の溝部を形成した配列治具を使用するのが好適である。溝部に複数の光ファイバ11を配列することで、各光ファイバ11が隣接する光ファイバの被覆部11bと接触するよう、密に配列することができる。このような状態で溝部の上方より押さえ蓋を用いて複数の光ファイバを押圧固定することが好ましい。続いて、溝部内に樹脂材を充填硬化することにより、多数の光ファイバ11が固定部12で一括固定され得る。樹脂材が紫外線硬化性樹脂であれば迅速に硬化することが可能であるから作業性が良い。また、溝部との密着力が弱い樹脂材例えばフッ素系樹脂を採用すれば、光ファイバ束10を簡単に溝部から剥離することができるから、いっそう作業性がよく好ましい。図2cに示すように、光ファイバ束10は部分B-B’において、複数の光ファイバ11は固定部12より離れるに従って扇状に広がるため、配列ピッチD2は被覆部径D0よりやや大きくなっている。続いて、図3aに示すように、複数の光ファイバ11の先端の外周の被覆を除去することにより、裸ファイバの露出部11aを形成する。このとき、複数の光ファイバ11の被覆を一括して除去すれば、各光ファイバ11の被覆部際13を揃えることができ、光ファイバ束10の取り扱い作業性が向上するため好ましい。前述のように光ファイバ束10を形成した後に、複数の光ファイバ11の被覆を一括して除去すれば、個々の光ファイバ11について被覆を除去した後に、被覆部際13が揃うように光ファイバ11を配列して固定するといった手間を省略することができるため、作業性が良い。次に、図3bに示すように、露出部11aの先端部11cをエッチング液1に接触させる。このとき、エッチング液1の液面1aから露出部11aの先端部11cまでの距離浸漬深さd1が、エッチング後の光ファイバ束14の小径部11eの長さD6に相当する。このとき、エッチングする前の露出部11aは、隣接する光ファイバ11の露出部11aとの間隙幅D3が、エッチング液1の液面部1aに対応する位置において、光ファイバ11の被覆部の外径D0以下である。続いて、図3cに示すように、エッチング液1を、毛細管現象により露出部11aのうちエッチング液1と接触していない領域に向かって浸透させ、露出部11aの先端をエッチングするこのとき、エッチング液1の浸透領域1bの幅d2図3cにおいてはエッチング液1の浸透高さが、エッチング後の光ファイバ束14のテーパ部長D5に相当する。この状態で、露出部11aを所定時間エッチング液1に浸漬することにより露出部11aの一部が溶解する。このようにして、図3dに示すように、テーパ部11d及び小径部11eが形成される。本実施形態によれば、複数の光ファイバ11の裸ファイバ露出部11aを一括してエッチングする事により、テーパ部11dの始点小径部11eとテーパ部11dの境界部の位置を、露出部11aのエッチング液1の液面1aに対応する位置に揃えることができるから、その後の取り扱いが容易である。また、特別な装置を用いること無く、裸ファイバに簡易なプロセスで滑らかな形状のテーパ部を、十分な長さにわたって形成可能となるから、裸ファイバに曲げを付与した状態で光部品内に実装しても、裸ファイバ同士の接触による破損を防止可能な光ファイバ束を製造できる。エッチング液1は裸ファイバの材質及び特性に応じて適宜選択すればよく、例えば本実施形態のように石英系光ファイバであれば、エッチング液としてフッ酸水溶液が採用され得る。また、プラスチック光ファイバであれば、含フッ素有機溶剤等が採用され得る。図4は、エッチング後の露出部先端の断面を示す図である。エッチング後の露出部11aは、大径部未エッチング部11a、テーパ部11d、小径部11eから構成される。かかる露出部11aの先端構造はエッチング条件により制御され得る。即ち、小径部長D6は前述のように露出部のエッチング液1への浸漬深さd1液面1aから露出部の先端部11cまでの距離により制御され得る。また、小径部径D4はエッチングレート及びエッチング時間により制御され得る。さらに、テーパ部長D5前述のように露出部におけるエッチング液1の浸透領域1bの幅d2図2においてはエッチング液1の浸透高さにより制御され得る。また、テーパ角θは、大径部径D1と小径部径D4及びテーパ部長D5により決定される。図5はエッチング液1を毛細管現象により露出部11aに浸透させる原理を示す図である。露出部11aの先端をエッチング液1に接触させると、毛細管現象により、露出部11aのうちエッチング液1と接触していない領域に向かってエッチング液1が供給される様子を示している。一般に、毛細管現象は固体に接触した液体の表面が上昇したり低下したりする現象であり、液体分子間の引力と液体と固体分子間の引力の差に起因するマグローヒル科学技術用語大辞典第3版日刊工業新聞社。そして、細い環状物体の内側を液体が浸透する現象としての毛細管現象においては、液体の浸透領域幅d2は、Tを液体の表面張力とし、θ’を接触角とし、ρを液体の密度とし、gを重力加速度とし、rを管の内径半径とした場合、1式のように表すことができる。ここで、1式は環状物体の内側を液体が浸透する現象を記述するものであるから、露出部11aの外周面を浸透するエッチング液1の挙動について単純に適用することはできない。しかし、エッチング液1の浸透領域1bにおいては、毛細管現象による浸透力F1と、これに対する抗力F2が発生し、両者がつりあうまでエッチング液1は浸透することとなることが把握できる。露出部11aの先端を下向きにして、露出部11aとエッチング液1を接触させた場合、一般に浸透力F1は表面張力によるものである。即ち、露出部11aとの濡れ性の高いエッチング液1は露出部11aとの接触部近傍において露出部11aに沿って傾きを持って移動して浸透領域1bを形成する。当該領域においてエッチング液1は表面張力により縮まろうとすることとなるから、結果として液面1aは露出部11aの近傍では垂直方向に持ち上がる。つまり、浸透領域1bにおけるエッチング液1が上昇する力は、露出部11a付近の表面張力の垂直成分に等しい。そして、かかる浸透力F1と、持ち上げた液体の重さがつり合うまで浸透領域1bにおけるエッチング液1は上昇することとなる。即ち、この場合において、抗力F2は持ち上げられた浸透領域1bの液体の重さであると考えることができる。以上より、テーパ部長D5は前述のように露出部11aにおけるエッチング液1の浸透領域幅d2により決定されるから、テーパ部長D5は浸透力F1や抗力F2を調整することにより制御され得る。即ち、浸透力F1を制御するために、露出部11aとエッチング液1の濡れ性を調整しても良いし、エッチング液1の表面張力を調整しても良いし、露出部11aとエッチング液1の接触角θ’を調整ても良いし、露出部11aを細い環状物体の中に収容することにより1式においてrに相当浸透力F1を調整しても良い。さらに、露出部11aの近傍に電極を配置して電圧を印加して液体の表面張力の変化を誘発する電気毛細管現象によって浸透力F1を調整しても良い。一方、抗力F2を制御するために、エッチング液1の密度を調整しても良い。また、浸透領域1bにおけるエッチング液1は、露出部11aのエッチングにより消費される一方で、拡散によって新鮮なエッチング液1の循環が行われる。しかし、拡散速度に対して消費速度が大きいため、浸透領域1bにおけるエッチング液1は、液面1aから遠ざかるに従って濃度が小さくなるように濃度分布を有することとなる。その結果、液面1a付近から遠ざかるに従って、エッチング速度が低下するから、露出部11aは浸透領域1bにおける領域で滑らかなテーパ部11dが形成される。このような観点からすれば、テーパ部11dを滑らかに形成したり、テーパ部長D5を制御するに当たっては、エッチング液1は攪拌しないか、または攪拌を弱くすることが好ましい。このように構成すれば、エッチング液1の毛細管現象による浸透力F1を大きくすることができるから、裸ファイバのテーパ部長D5を大きくできる。また、外径の変化が滑らかで、充分な長さを有するテーパ部11dを備える光ファイバ11から構成される光ファイバ束10が得られる。これにより、光部品への実装プロセスにおいて裸ファイバに曲げが加えられた場合にも、その曲げ応力を充分な長さを有するテーパ部11dで分散させることができるから、裸ファイバの損傷が防止できる。なお、ここまでの説明では光ファイバ束10は複数の光ファイバ11がX方向に列状に配置された光ファイバ列が、Y方向に一列に配置された状態で固定された光ファイバ束を例示したが、Y方向に複数列に渡って配置されていた光ファイバ束を用いても良い。この場合においても、エッチングする前の露出部11aは、隣接する光ファイバ11の露出部11aとの間隙幅D3が、エッチング液1の液面部1aに対応する位置において、光ファイバ11の被覆部の外径D0以下であれば良い。そのような条件を満足すれば、各々の光ファイバ11のXY平面内における配置は適宜変更可能であり、例えば四方配置即ち最密充填されていない場合としてもよいし、六方配列即ち、最密充填されている場合としてもよい。テーパ部を有する光ファイバの製造方法の第2の実施形態本実施形態の光ファイバ束の製造方法は、例えば第1実施形態において、光ファイバ束は、複数の光ファイバがX方向に列状に配置された光ファイバ列を形成し、光ファイバ列はX方向およびY方向に一列または複数列に配置された状態で、複数の光ファイバを固定する固定部を備え、上記露出部の先端をエッチングするステップは、上記光ファイバ列の両端に位置する光ファイバが軸方向と垂直な方向に近接するよう上記固定部を変形させるステップをさらに含み、光ファイバ列の両端に位置する光ファイバは、エッチングする前における露出部の間隙幅が、エッチング液の液面部に対応する位置において、光ファイバの被覆部の外径以下である状態において実施されても良い。その一例を図6を参照して説明する。図6は、本実施形態における、エッチング液を毛細管現象により露出部のうちエッチング液と接触していない領域に向かって浸透させ、露出部の先端をエッチングするステップを示す。図中、光ファイバ束10は複数の光ファイバ11がX方向に列状に配置された光ファイバ列を形成し、そのような光ファイバ列をY方向に一列だけ配置された状態で固定されたものを用いた場合を例示している。光ファイバ束10は、光ファイバ列の両端に位置する光ファイバ11が接合部Eにおいて軸方向に垂直な方向X方向及びY方向を含む面内において近接するように、固定部12を楕円状に変形した状態としている。この時、接合部Eにおいて近接配置された光ファイバ11は、互いに軸方向に平行な状態であることが好ましい。このようにすれば、エッチングする前における露出部11aの間隙幅が、エッチング液1の液面部1aに対応する位置において、光ファイバ11の被覆部11bの外径D0以下に容易に設定され得る。以上のように構成すれば、光ファイバ列の両端に位置する光ファイバ11についても、隣接する光ファイバとの間において毛細管現象による浸透力F1を生じさせることができるので、浸透力F1をさらに大きくすることができる。このようにして製造される光ファイバ束10は、外径の変化が滑らかで、さらに十分な長さを有するテーパ部11dが形成された裸ファイバ11aを備える光ファイバ11から構成される。これにより、光部品への実装プロセスにおいて裸ファイバ11aに曲げが加えられた場合にも、その曲げ応力を充分な長さを有するテーパ部11dで分散させることができるから、裸ファイバ11aの損傷が防止できる。テーパ部を有する光ファイバの製造方法の第3の実施形態第1の実施形態の光ファイバ束の製造方法において、光ファイバ束10は、複数の光ファイバ11がX方向に列状に配置された光ファイバ列を形成し、光ファイバ列はX方およびY方向に一列または複数列に配置された状態で、複数の光ファイバ11を固定する固定部12を備えたものであり、露出部11aの先端をエッチングするステップは、複数の光ファイバ11のうち、X方向及びY方向の外周に位置する光ファイバ11の全部又は一部に、毛細管現象の浸透力のばらつきを軽減する補助部材を配置した状態で、露出部の先端部をエッチング液に接触させることにより実施しても良い。その一例を図7を参照して説明する。図7は、本実施形態における、エッチング液1を毛細管現象により露出部のうちエッチング液1と接触していない領域に向かって浸透させ、露出部の先端をエッチングするステップを示す。図中、光ファイバ束10は複数の光ファイバ11がX方向に列状に配置された光ファイバ列を形成し、そのような光ファイバ列をY方向に一列だけ配置された状態で固定部12により固定されている。本実施形態では、光ファイバ束10が補助部材15に設けられた空間部15bの内部に収容されている点において、他の実施形態と相違する。光ファイバ束10はX方向及びY方向の外周に位置する光ファイバ11を補助部材15の本体部15aと近接配置されている。このとき、光ファイバ11の露出部11aと本体部15aとの間隔が、光ファイバ11の被覆部11bの外径D0以下であるように配置されているのが好ましい。補助部材15が、光ファイバ11の配列するX方向及びY方向の両端に存在する光ファイバ11の露出部11aに近接して配置されている状態で、裸ファイバ11aの先端をエッチング液1に接触させるので、光ファイバ11の配列するX方向及びY方向におけるテーパ部長D5の分布を小さくし、テーパ部長D5を大きくすることが可能となる。これをさらに説明する。エッチング液1は裸ファイバ11aと補助部材15の本体部15aとの間の空間を毛細管現象により上昇することとなる。即ち、光ファイバ列のX方向およびY方向において両端に位置する光ファイバ11についても、本体部15aとの間において毛細管現象による浸透力F1を生じさせることができるので、浸透力F1をさらに大きくすることができる。このようにして製造される光ファイバ束10は、外径の変化が滑らかで、さらに十分な長さを有するテーパ部11dが形成された裸ファイバ11aを備える光ファイバ11から構成される。これにより、光部品への実装プロセスにおいて裸ファイバ11aに曲げが加えられた場合にも、その曲げ応力を充分な長さを有するテーパ部11dで分散させることができるから、裸ファイバ11aの損傷が防止できる。補助部材15を構成する材料は特に限定されないが、エッチング液に1対する濡れ性が露出部11aと同等であることが好ましい。このように構成すれば、テーパ部長D5を大きくし、その分布をいっそう小さくすることが可能となる。例えば、裸ファイバが石英系ガラスから構成されている場合は補助部材15をガラス製とし、裸ファイバがプラスチックファイバである場合には、エッチング液に1対する濡れ性が同等の樹脂により補助部材15を構成することが好ましい。また、本体部15aの光ファイバの配列するX方向及びY方向の両端に存在する光ファイバ11の一部にのみ近接するよう空間部15bの形状を変更すれば、部分的にテーパ部長の分布を小さくすることも可能である。例えば、図7において、補助部材15として、光ファイバ列の両端の少なくとも一方に位置する光ファイバ11の露出部11aに近接してダミーファイバを配置した状態で、露出部11aの先端をエッチング液1に接触させても良い。この時、このとき、光ファイバ11の露出部11aとダミーファイバとの間隔が、光ファイバ11の被覆部11bの外径D0以下であるように配置されているのが好ましい。これにより、光ファイバ列の両端にダミーファイバを近接配置すれば、X方向における光ファイバ11について、露出部11aのテーパ部長D5を同等にすることができる。一方、光ファイバ列の一方の端に位置する光ファイバ11にのみダミーファイバを近接配置すれば、X方向における一方の端に位置する光ファイバ11についてのみ、露出部11aのテーパ部長D5を大きくすることもできる。ダミーファイバは、例えば光ファイバ11と同様の光ファイバで、先端に裸ファイバを露出したものや、光ファイバ11を構成する裸ファイバ11であることが好ましい。このようにすれば、ダミーファイバを光ファイバ11に近接して配置することが容易であるだけでなく、光ファイバ11を構成する裸ファイバ11aとエッチング液1に対する濡れ性を同等とすることができるからテーパ部長D5を大きくできることは前述の通りである。本発明による光ファイバ束の製造方法は上述した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態では裸ファイバを構成する材料の一例として石英系材料や樹脂を例示したが、これら以外にも様々な材料による裸ファイバから構成される光ファイバに適用できる。また、シングルモードファイバに限られず、マルチモードファイバや、ホールアシストファイバ等、様々な形態の光ファイバについて適用できる。