"界面活性剤を含まない水に、3位と4位に置換基を有するチオフェンから成る群から選択された少なくとも一種のモノマーが油滴として分散しており、透明であることを特徴とする、前記モノマーの電解重合のための重合液。前記重合液に分散している前記モノマーの油滴のうち、全数の90以上の油滴が250nm以下の直径を有している、請求項1に記載の重合液。前記モノマーが3,4-エチレンジオキシチオフェンである、請求項1又は2に記載の重合液。さらに少なくとも一種の支持電解質を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の重合液。前記支持電解質が、ボロジサリチル酸及びボロジサリチル酸塩から成る群から選択された少なくとも一種の化合物である、請求項4に記載の重合液。前記支持電解質が、式I又は式II式中、mが1~4の整数を意味し、nが1~4の整数を意味し、oが2又は3の整数を意味するで表わされるスルホニルイミド酸及びこれらの塩から成る群から選択された少なくとも一種の化合物である、請求項4に記載の重合液。請求項1~3のいずれか1項に記載の重合液の製造方法であって、界面活性剤を含まない水に前記モノマーを添加し、水と前記モノマーとが相分離した相分離液を得る添加工程、前記相分離液に超音波を照射することにより前記モノマーを油滴として分散させ、乳濁した乳濁分散液を得る第1分散工程、及び、前記乳濁分散液に前記第1分散工程における超音波の周波数より高い周波数の超音波を照射することにより前記モノマーの油滴の平均サイズを減少させ、透明である透明分散液を得る第2分散工程を含むことを特徴とする重合液の製造方法。請求項4~6のいずれか1項に記載の重合液の製造方法であって、界面活性剤を含まない水に前記モノマーを添加し、水と前記モノマーとが相分離した相分離液を得る添加工程、前記相分離液に超音波を照射することにより前記モノマーを油滴として分散させ、乳濁した乳濁分散液を得る第1分散工程、前記乳濁分散液に前記第1分散工程における超音波の周波数より高い周波数の超音波を照射することにより前記モノマーの油滴の平均サイズを減少させ、透明である透明分散液を得る第2分散工程、及び、少なくとも一種の支持電解質を、前記第1分散工程の前、前記第1分散工程と前記第2分散工程の間、又は、前記第2分散工程の後に添加する工程を含むことを特徴とする重合液の製造方法。前記第1分散工程における超音波が15~200kHzの範囲の周波数及び4W/cm2以上の出力を有する、請求項7又は8に記載の重合液の製造方法。前記第2分散工程における超音波が1~4MHzの範囲の周波数及び5W/cm2以上の出力を有する、請求項7~9のいずれか1項に記載の重合液の製造方法。前記第1分散工程における超音波照射時間が2~10分の範囲であり、前記第2分散工程における超音波照射時間が2~10分の範囲である、請求項7~10のいずれか1項に記載の重合液の製造方法。導電性ポリマーを含む透明フィルムであって、少なくとも表面に導電性部分を有する基体を請求項1~6のいずれか1項に記載の重合液に導入して電解重合を行うことにより得られたことを特徴とする透明フィルム。少なくとも表面に導電性部分を有する透明基体と、該透明基体の導電性部分の上に積層された導電性ポリマーを含む透明フィルムと、を有する透明電極であって、前記透明基体を請求項1~6のいずれか1項に記載の重合液に導入して電解重合を行うことにより得られたことを特徴とする透明電極。しかし、非特許文献1,2、特許文献2,3で使用された長鎖アルキル基を有するアニオン系界面活性剤或いは重合型アニオン系界面活性剤を含む重合液から得られた導電性ポリマーフィルムの電導度は、一般に満足の得られる値ではない。また、界面活性剤の使用は、経済的に不利であり、環境負荷を増大させ、重合後の液の廃棄の際には界面活性剤を分離するための煩雑な工程を要する。これに対し、非特許文献3の超音波照射を利用する方法は、環境負荷が小さく、廃棄物処理の工程も簡単になるという利点があるが、得られたPEDOTフィルムの電導度は、従来のアセトニトリル等の有機溶媒を含む重合液からの電解重合により得られたPEDOTフィルムのものより約1桁小さい。さらに、これらの従来技術により得られた導電性ポリマーフィルムについて、密度や透明性に関する知見は存在しない。そこで、本発明の目的は、置換チオフェンの電解重合のための重合液であって、環境負荷が小さく、経済性にも優れる上に、高電導度を示し且つ緻密で透明性が高い導電性ポリマーフィルムを与える重合液を提供することである。本発明の目的はまた、上記重合液を用いることにより得られる、高電導度を示し且つ緻密で透明性が高い導電性ポリマーフィルム及びこのフィルムを含む透明電極を提供することである。発明者らは、非特許文献3の超音波照射を利用する方法を基礎として鋭意検討した結果、界面活性剤を含まない水に飽和溶解量より多い量の置換チオフェンを添加した液に超音波を照射することにより、水中に置換チオフェンが油滴として分散した乳濁した分散液を得た後、この乳濁した分散液にさらに高い周波数の超音波を照射すると、置換チオフェンの油滴のサイズ直径を容易に減少させることができ、分散液全体が透明に見える透明分散液を容易に得ることができること、及び、この透明分散液を重合液として電解重合を行うと、透明分散液中の置換チオフェンの微小な油滴と電解重合の作用極との間の直接的な電荷移動により電解重合が円滑に進行して、高電導度を示し且つ緻密で透明性が高い導電性ポリマーフィルムが得られること、を発見した。したがって、本発明はまず、界面活性剤を含まない水に、モノマーとしての少なくとも一種の置換チオフェンが油滴として分散しており、透明であることを特徴とする、上記モノマーの電解重合のための重合液に関する。本発明に関する限り、透明である重合液とは、重合液に分散している置換チオフェンのうち、全数の90以上の油滴が250nm以下の直径を有している重合液を意味する。本発明の重合液にはこのような微小な置換チオフェンの油滴が高分散状態で存在しており、油滴による光散乱が実質的に認められず、重合液全体が透明に見える。なお、油滴のサイズは動的光散乱法により測定することができる。さらに、本発明に関する限り、界面活性剤とは、水に置換チオフェンを可溶化或いは乳化させる作用を有するものを意味し、水と置換チオフェンと化合物Xとを含む液を機械的に攪拌し、攪拌を停止した後、速やかに置換チオフェンと水とが相分離する場合には、化合物Xは界面活性剤には含まれない。したがって、本発明では、一般的な界面活性剤の範囲に含まれない化合物は当然に界面活性剤の範囲に含まれないが、一般的な界面活性剤の範囲に含まれる化合物であっても、重合液中の含有量が微量であるために実質的な界面活性作用が得られず、攪拌を停止した後速やかに置換チオフェンと水とが相分離する場合には、この微量な化合物も界面活性剤には含まれない。また、本発明に関する限り、超音波とは10kHz以上の周波数を有する音波を意味する。本発明の重合液は、透明な重合液中に分散している微小な置換チオフェンの油滴の凝集が著しく遅いため、極めて安定である。そして、この重合液を使用して電解重合を行うと、微小な置換チオフェンの油滴とPt等の電解重合用の作用極との間の電荷移動が円滑に進行し、微小な油滴のサイズとほぼ等しいサイズのポリマー粒子、したがって透明に見えるポリマー粒子が緻密に集積した透明性が高く且つ高電導度を示す導電性ポリマーフィルムが得られる。そして、このフィルムが高温を経験しても、高い電導度が保たれる。重合液中の置換チオフェンの油滴のサイズが小さいほど、導電性ポリマーフィルムの密度、電導度及び透明性が向上するが、特に、重合液中に分散している置換チオフェンの油滴のうち、全数の80以上の油滴が100nm以下の直径を有するようになると、導電性ポリマーフィルムの電導度が顕著に増加し、フィルムの透明性も顕著になる。本発明の重合液では、置換チオフェン、すなわち、3位と4位に置換基を有するチオフェンから成る群から選択された化合物をモノマーとして特に限定無く使用することができる。チオフェン環の3位と4位の置換基は、3位と4位の炭素と共に環を形成していても良い。特にモノマーがEDOTであると、可視光の透過性透明性に優れ、高い電導度と高い電気化学容量とを有する導電性ポリマーフィルムが得られるため好ましい。本発明の重合液には、通常、溶媒としての水と置換チオフェンに加えて、少なくとも一種の支持電解質が含まれる。しかしながら、電解重合に用いる作用極と対極との間隔を互いの拡散層が重なる約100μm以下に接近させた条件で電解重合を行う場合には、重合液に支持電解質が含まれている必要は無い。本発明では界面活性剤として作用しない支持電解質を使用することができるが、支持電解質が置換チオフェンの油滴に溶解する油溶性の電解質であると、重合促進効果が認められるため好ましく、特に、ボロジサリチル酸、ボロジサリチル酸塩、式I又は式II式中、mが1~4の整数、好ましくは2を意味し、nが1~4の整数、好ましくは2を意味し、oが2又は3の整数を意味するで表わされるスルホニルイミド酸及びこれらの塩から成る群から選択された少なくとも一種の化合物を支持電解質として使用すると、電解重合により得られる導電性ポリマーフィルムの耐熱性が向上するため好ましい。但し、ボロジサリチル酸及びボロジサリチル酸塩に含まれるボロジサリチル酸イオンは、水中で水への溶解度が極めて小さいサリチル酸とホウ酸とに加水分解することがわかっている。そのため、ボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩を支持電解質として使用すると、徐々に重合液中に沈殿が生じて使用に耐えなくなる。このことを回避するため、ボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩を支持電解質として使用する場合には、この支持電解質を液に添加した後沈殿生成前に電解重合を行うか、或いは、p-ニトロフェノールと併用する。p-ニトロフェノールがボロジサリチル酸イオンの加水分解を抑制するためであると思われるが、p-ニトロフェノールとボロジサリチル酸イオンとを含む重合液からは沈殿が生成しない。本発明の重合液は、上述したように、水と置換チオフェンとを含む液に異なる周波数の超音波を照射することによって好適に得ることができる。したがって、本発明はまた、上述の本発明の重合液の製造方法であって、界面活性剤を含まない水に上記モノマーを添加し、水と上記モノマーとが相分離した相分離液を得る添加工程、上記相分離液に超音波を照射することにより上記モノマーを油滴として分散させ、乳濁した乳濁分散液を得る第1分散工程、及び、上記乳濁分散液に上記第1分散工程における超音波の周波数より高い周波数の超音波を照射することにより上記モノマーの油滴の平均サイズを減少させ、透明である透明分散液を得る第2分散工程、を含むことを特徴とする重合液の製造方法に関する。支持電解質を含む重合液を得る場合には、支持電解質の添加は、上記第1分散工程の前、上記第1分散工程と上記第2分散工程の間、又は、上記第2分散工程の後に行われる。支持電解質としてボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩を使用する場合には、第2分散工程の後、好ましくは電解重合の直前に液に添加するか、或いは、p-ニトロフェノールと併用する。p-ニトロフェノールと併用する場合には、ボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩は第1分散工程の前或いは上記第1分散工程と上記第2分散工程の間に添加しても良いが、p-ニトロフェノールをボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩とほぼ同時に添加するか、或いは、p-ニトロフェノールをボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩より先に添加する。第1分散工程は、15~200kHzの周波数を有し、比較的高出力な、好適には4W/cm2以上の出力を有する超音波を使用することにより、好適に実施することができ、第2分散工程は、1~4MHzの周波数を有し、比較的高出力な、好適には5W/cm2以上の出力を有する超音波を使用することにより、好適に実施することができる。第1分散工程における超音波の周波数が15kHzより小さいか、或いは、周波数が200kHzを超えると、また、第1分散工程における超音波の出力が4W/cm2より小さいと、乳濁分散液を得るのに好適なキャビテーションが発生しにくくなる。また、第2分散工程における超音波の周波数が1MHzより小さいか、或いは、周波数が4MHzを超えると、また、第2分散工程における超音波の出力が5W/cm2より小さいと、第1分散工程で生成した置換チオフェンの油滴の平均サイズを透明分散液が得られるようになるまで減少させるのに好適なキャビテーションが発生しにくくなる。本発明の重合液の製造方法では、第1分散工程及び第2分散工程をそれぞれ1回例えば、第1分散工程を20kHzの周波数及び10W/cm2の出力を有する超音波を使用して、第2分散工程を1MHzの周波数及び20W/cm2の出力を有する超音波を使用して行っても良いが、第1分散工程を異なる周波数及び/又は出力の超音波を使用して複数回例えば、20kHzの周波数及び10W/cm2の出力を有する超音波に続いて50kHzの周波数及び20W/cm2の出力を有する超音波を使用して行っても良く、及び/又は、第2分散工程を異なる周波数及び/又は出力の超音波を使用して複数回例えば、1MHzの周波数及び20W/cm2の出力を有する超音波に続いて2MHzの周波数及び10W/cm2の出力を有する超音波を使用して行っても良い。特に、第2分散工程は、回数が増加するほど超音波の周波数を増加させる条件で複数回行うのが好ましい。第2分散工程を複数回繰り返すことにより、置換チオフェンの油滴がさらに細分化し、置換チオフェンの油滴数の80以上が100nm以下の直径を有する特に好適な重合液を容易に得ることができる。そして、この重合液を用いた電解重合により得られる導電性ポリマーフィルムの電導度及び透明性がさらに向上する。各分散工程の超音波照射時間は、約1分程度であっても、乳濁分散液又は透明分散液が得られるが、超音波照射時間が長くなると、置換チオフェンの油滴の凝集が阻害され、解乳化までの時間が長期化するため好ましい。第1分散工程における超音波照射時間は、2~10分の範囲であるのが好ましく、第2分散工程における超音波照射時間は、2~10分の範囲であるのが好ましい。各分散工程における超音波照射時間が10分以上では、油滴の凝集阻害効果が飽和する傾向が認められる。本発明の重合液は、従来の置換チオフェンから得た導電性ポリマーフィルムに比較して、透明度の高い導電性ポリマーフィルムを与える。したがって、本発明はまた、導電性ポリマー、好ましくはPEDOTを含む透明フィルムであって、少なくとも表面に導電性部分を有する基体を本発明の重合液に導入して電解重合を行うことにより得られたことを特徴とする透明フィルムに関する。基体として、少なくとも表面に導電性部分を有する透明基体を使用し、この透明基体を本発明の重合液に導入して電解重合を行うことにより、導電性部分を有する透明基体と、該透明基体の導電性部分の上に積層された導電性ポリマー、好ましくはPEDOTを含む透明フィルムとを有する、高電導度を有し、透明度が高く、環境安定性に優れた透明電極が提供される。本発明の置換チオフェンの電解重合のための重合液は、水を溶媒として使用し、界面活性剤を使用していないため、環境負荷が小さく、経済性にも優れる。また、本発明の重合液から得られる導電性ポリマーフィルムは、従来の水を溶媒とした重合液から得られた導電性ポリマーフィルムに比較して、緻密で、電導度が高く、フィルムが高温を経験しても高い電導度が保たれる。さらに、本発明の重合液から得られた導電性ポリマーフィルムは、極めて高い透明性を示す。本発明の置換チオフェンの電解重合のための重合液は、溶媒としての水と、水に油滴として分散している置換チオフェンとを必須成分として含み、置換チオフェンを水に可溶化或いは乳化するための界面活性剤を含まないことを特徴とする。そして、本発明の重合液は、界面活性剤を含まない水に置換チオフェンを添加し、水と置換チオフェンとが相分離した相分離液を得る添加工程、上記相分離液に超音波を照射することにより乳濁分散液を得る第1分散工程、及び、上記乳濁分散液に上記第1分散工程における超音波の周波数より高い周波数の超音波を照射することにより透明分散液を得る第2分散工程を含む方法により好適に製造することができる。そして、この重合液に作用極と対極とを導入して電解重合を行う電解重合工程により、高電導度を有する透明な導電性ポリマーフィルムが得られる。以下、各工程について、詳細に説明する。1添加工程本発明の重合液では、環境負荷が小さく、経済的にも優れる水を溶媒として使用し、モノマーとして、水に難溶な置換チオフェン、すなわち、3位と4位に置換基を有するチオフェンから選択されたモノマーを使用する。チオフェン環の3位と4位の置換基は、3位と4位の炭素と共に環を形成していても良い。使用可能なモノマーの例としては、3,4-ジメトキシチオフェン、3,4-ジエトキシチオフェンなどの3,4-ジアルコキシチオフェン、3,4-メチレンジオキシチオフェン、EDOT、3,4-1,2-プロピレンジオキシチオフェンなどのアルキレンジオキシチオフェン、3,4-メチレンオキシチアチオフェン、3,4-エチレンオキシチアチオフェン、3,4-1,2-プロピレンオキシチアチオフェンなどのアルキレンオキシチアチオフェン、3,4-メチレンジチアチオフェン、3,4-エチレンジチアチオフェン、3,4-1,2-プロピレンジチアチオフェンなどのアルキレンジチアチオフェン、チエノ[3,4-b]チオフェン、イソプロピルチエノ[3,4-b]チオフェン、t-ブチル-チエノ[3,4-b]チオフェンなどのアルキルチエノ[3,4-b]チオフェンが挙げられる。モノマーとして、単独の化合物を使用しても良く、2種以上の化合物を混合して使用しても良い。特に、EDOTを使用するのが好ましい。添加工程では、水に置換チオフェンを添加するほか、必要に応じて支持電解質を添加することができる。作用極と対極との間隔を互いの拡散層が重なる約100μm以下に接近させた条件で電解重合を行う場合には、重合液に支持電解質を添加する必要はない。本発明では、界面活性剤として作用しない支持電解質を使用することができ、例えば、塩酸、過塩素酸、ホウ酸、硝酸、リン酸などの無機酸、酢酸、シュウ酸、クエン酸、アスコット酸、酒石酸、スクアリン酸、ロジゾン酸、クロコン酸、サリチル酸、p-トルエンスルホン酸、1,2-ジヒドロキシ-3,5-ベンゼンジスルホン酸、メタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、ボロジサリチル酸、ビスオキサレートボレート酸、また、式I又は式II式中、mが1~4の整数を意味し、nが1~4の整数を意味し、oが2又は3の整数を意味するで表わされるスルホニルイミド酸などの有機酸、及び、これらの塩を使用することができる。塩としては、リチウム塩、ナトリウム塩、カリウム塩などのアルカリ金属塩、アンモニウム塩、エチルアンモニウム塩、ブチルアンモニウム塩などのアルキルアンモニウム塩、ジエチルアンモニウム塩、ジブチルアンモニウム塩などのジアルキルアンモニウム塩、トリエチルアンモニウム塩、トリブチルアンモニウム塩などのトリアルキルアンモニウム塩、テトラエチルアンモニウム塩、テトラブチルアンモニウム塩などのテトラアルキルアンモニウム塩を挙げることができる。ただし、添加工程においてボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩を使用する場合には、p-ニトロフェノールと併用する。支持電解質は、単独の化合物を使用しても良く、2種以上の化合物を使用しても良い。支持電解質としては、水に分散している置換チオフェンの油滴に溶解する油溶性を示すものが、重合促進効果があるため好ましく、過塩素酸リチウム、過塩素酸テトラエチルアンモニウム、p-トルエンスルホン酸ナトリウム、ボロジサリチル酸及びその塩、式I又は式IIで表わされるスルホニルイミド酸及びこれらの塩を好適に使用することができる。ボロジサリチル酸及びその塩、式I又は式IIで表わされるスルホニルイミド酸及びこれらの塩は、耐熱性の高い導電性ポリマーフィルムを与えるため特に好ましく、中でも、ビスペンタフルオロエタンスルホニルイミド酸の塩、例えばカリウム塩、ナトリウム塩、アンモニウム塩が極めて好ましい。モノマーとしての置換チオフェンは、重合液に対して、飽和溶解量を超える量で、したがって、静置した状態で飽和溶解量を超えた置換チオフェンが水から相分離する量で使用される。飽和溶解量を超える置換チオフェンの量は、超音波照射により解乳化が抑制され、透明分散液が得られる量であれば良く、モノマーの種類ばかりでなく、支持電解質の種類と量、超音波照射条件によっても変化する。モノマーとしてEDOTを使用する場合には、一般に、水1リットルに対して20~30ミリモルのEDOTを水に添加するのが好ましい。支持電解質は、支持電解質の種類に依存して、重合液に対する飽和溶解度以下の量で且つ電解重合のために充分な電流が得られる濃度、好ましくは水1リットルに対して10ミリモル以上の濃度で使用される。支持電解質が濃すぎると、置換チオフェンが油滴として分散しにくくなり、透明分散液が得られにくくなる。なお、支持電解質は、この添加工程において添加することもできるが、これに限定されず、後述する第1分散工程と第2分散工程の間、又は、第2分散工程の後に添加することもできる。水と、置換チオフェンと、場合により支持電解質とを含み、水と置換チオフェンとが相分離した相分離液は、次に超音波処理に付される。本発明の重合液では、置換チオフェンを水に可溶化或いは乳化させるために、環境負荷を増大させ、経済的にも不利である界面活性剤を使用しない。本発明の置換チオフェンの電解重合のための重合液は、置換チオフェンが水に油滴として分散した透明な重合液であること、すなわち、重合液中に存在する置換チオフェンの油滴のうち、全数の90以上の油滴が250nm以下の直径を有していることを特徴とする。このような微小な油滴を超音波照射により得るためには、少なくとも同等サイズ、好適には百nm以下のサイズのキャビテーションを発生させる必要があるが、百nm以下のサイズのキャビテーションは、相分離している状態の置換チオフェンを均一に分散させるためにはあまりにも小さく機械的作用も小さいため、実質上置換チオフェンを分散させる作用を有しない。そこで、本発明の重合液は、以下の第1分散工程とこれに続く第2分散工程とを実施することにより好適に得られる。2第1分散工程第1分散工程では、添加工程で得られた相分離液に超音波処理を施こすことにより置換チオフェンを油滴として分散させ、乳濁した乳濁分散液を得る。乳濁分散液中では、数μm以下の直径を有する置換チオフェンの油滴が水中に高分散状態で分散しているものの、全数の10を超える油滴が250nmを超える直径を有しており、油滴による光散乱により液全体が乳濁して見える。この工程に使用される超音波発振器として、超音波洗浄機用、細胞粉砕機用等として従来から知られている超音波発振器を特に制限なく使用することができる。この工程では、機械的作用が強い数百nm~数μmのキャビテーションを発生させることができる超音波を相分離液に照射する。超音波の周波数は、15~200kHzの範囲であるのが好ましく、20~100kHzの範囲であるのが特に好ましい。超音波の出力は、4W/cm2以上であるのが好ましい。この工程における超音波照射時間は、乳濁分散液が得られる時間であれば厳密な制限はないが、2~10分の範囲であるのが好ましい。照射時間が長いほど、置換チオフェンの油滴の凝集が阻害され、解乳化までの時間が長期化する傾向にあるが、超音波照射時間が10分以上では、油滴の凝集阻害効果が飽和する傾向が認められる。また、超音波照射時の相分離液の温度は、液の組成変化が起こらず、安定な乳濁分散液が得られれば特に限定がないが、一般的には10~60°Cの範囲である。本発明では、第1分散工程は、1回、例えば、20kHzの周波数及び10W/cm2の出力を有する超音波を使用して1回行っても良いが、第1分散工程を異なる周波数及び/又は出力の超音波を使用して複数回例えば、20kHzの周波数及び10W/cm2の出力を有する超音波に続いて50kHzの周波数及び20W/cm2の出力を有する超音波を使用して行うこともできる。3第2分散工程第1分散工程に続いて、乳濁分散液に第1分散工程における超音波の周波数より高い周波数の超音波を照射し、置換チオフェンの油滴の平均サイズを減少させることにより、透明な分散液、すなわち、置換チオフェンの油滴数の90以上の油滴が250nm以下の直径を有している重合液を得ることができる。支持電解質を使用するが、相分離液に添加しなかった場合には、第2分散工程の前に乳濁分散液に添加することもできる。但し、この段階でボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩を使用する場合には、p-ニトロフェノールと併用する。この工程に使用される超音波発振器としては、超音波洗浄機用、細胞粉砕機用等として従来から知られている超音波発振器を特に制限なく使用することができる。この工程では、乳濁分散液中の置換チオフェンの油滴のサイズを250nm以下に減少させるために、機械的作用が弱いものの、少なくとも同等サイズ、好適には百nm以下のキャビテーションを発生させることができる超音波が使用される。超音波の周波数は、1~4MHzの範囲が好ましく、超音波の出力は、5W/cm2以上であるのが好ましい。超音波の周波数が4MHzを超えると、もはやキャビテーションが発生しない。この工程における超音波照射時間は、透明分散液が得られる時間であれば厳密な制限はないが、2~10分の範囲であるのが好ましい。照射時間が長いほど、置換チオフェンの油滴の凝集が阻害され、解乳化までの時間が長期化する傾向にあるが、超音波照射時間が10分以上では、油滴の凝集阻害効果が飽和する傾向が認められる。また、超音波照射時の乳濁分散液の温度は、液の組成変化が起こらず、安定な透明分散液が得られれば特に限定がないが、一般的には10~60°Cの範囲である。第2分散工程は、1回、例えば1MHzの周波数及び20W/cm2の出力を有する超音波を使用して1回行っても良いが、第2分散工程を異なる周波数及び/又は出力の超音波を使用して複数回例えば、1MHzの周波数及び20W/cm2の出力を有する超音波に続いて2MHzの周波数及び10W/cm2の出力を有する超音波を使用して行うこともでき、回数が増加するほど超音波の周波数を増加させる条件で複数回行うのが好ましい。第2分散工程を複数回繰り返すと、置換チオフェンの油滴がさらに細分化し、置換チオフェンの油滴数の80以上が100nm以下の直径を有する特に好適な重合液を容易に得ることができる。4電解重合工程本発明では、第2分散工程により得られた透明分散液を重合液として電解重合を行う。支持電解質を使用するが、相分離液及び乳濁分散液に添加しなかった場合には、電解重合の前に透明分散液に支持電解質を添加することもできる。この段階でボロジサリチル酸及び/又はボロジサリチル酸塩を使用する場合には、p-ニトロフェノールと併用する必要はない。重合液中に導入する作用極導電性ポリマーフィルムの基体としては、少なくとも表面に導電性部分を有する材料が使用され、白金、ニッケル、チタン、鋼、カーボン等の導電体の板、箔、網、焼結体、発泡体等を用いることができる。また、透明で絶縁性のガラス又はプラスチックの表面にスズドープ酸化インジウムITO、酸化スズ、フッ素ドープ酸化スズなどの半導体セラミックスの蒸着層を設けた透明基体を作用極とすることもでき、この作用極の使用により、導電性ポリマーフィルムを備えた透明電極を得ることができる。対極としては、白金、ニッケルなどの板を用いることができる。また、置換チオフェンとしてEDOTを含む重合液を使用すると、可視光の透過性透明性に優れ、高い電導度と高い電気化学容量とを有するPEDOTフィルムが得られるため好ましい。電解重合は、定電位法、定電流法、電位掃引法のいずれかの方法により行われる。定電位法による場合には、飽和カロメル電極に対して1.0~1.5Vの電位が好適であり、定電流法による場合には、1~10000μA/cm2の電流値が好適であり、電位掃引法による場合には、飽和カロメル電極に対して0~1.5Vの範囲を5~200mV/秒の速度で掃引するのが好適である。電解重合により、導電性ポリマーフィルム、好ましくはPEDOTフィルムを好適には0.001~50μmの厚みで基体上に形成する。重合温度には厳密な制限がないが、一般的には10~60°Cの範囲である。重合時間は、一般的には0.6秒~10時間の範囲である。電解重合により、微小な油滴のサイズとほぼ等しいサイズのポリマー粒子、したがって透明に見えるポリマー粒子が緻密に集積した導電性ポリマーフィルムが得られる。極めて透明度の高い導電性ポリマーフィルム、好ましくはPEDOTフィルムを得るためには、定電流法による重合を、5~500μA/cm2、好ましくは10~100μA/cm2の電流値で、0.6~120秒間、好ましくは6~60秒間行うのが好ましい。この条件の電解重合により、0.001~0.05μm、好ましくは0.003~0.035μmの厚さの極めて透明度が高い導電性ポリマーフィルム、好ましくはPEDOTフィルムが得られる。電解重合後の導電性ポリマーフィルムを水、エタノール等で洗浄し、乾燥することにより、高密度で高い電導度と高い電気化学容量とを有し、透明性の高い導電性ポリマーフィルムを基体上に得ることができる。本発明の導電性ポリマーフィルムは、基体との接着性に優れるため、基体上に配置されたままの形態で使用することもでき、基体から剥離して導電性透明フィルムとして使用することもでき、従来の導電性ポリマーフィルムが適用されているあらゆる電気的光学的用途において使用することができる。例えば、基体上に配置されたままの形態で、高い電導度と高い電気化学容量とを有する透明電極が得られ、この透明電極は有機エレクトロルミネッセンス装置、タッチパネル式ディスプレー等の各種電子機器の構成要素として好適に使用することができる。また、導電性ポリマーフィルムを基体から剥離して導電性透明フィルムとし、自立性で可撓性の透明電極として好適に使用することができる他、絶縁性のプラスチックトレーやプラスチックシートの上に透明性の高い導電性ポリマーフィルムを貼付することにより、これらの外観に影響を与えることなく帯電を防止することができる。以下に本発明の実施例を示すが、本発明は以下の実施例に限定されない。1油滴の安定性水に分散した置換チオフェンの油滴の安定性を調査するため、以下の実験を行った。実験1ガラス容器に水50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離した液を得た。この液に、第1分散工程として、周波数20kHz、出力44W/cm2の超音波を5分間照射し、乳濁分散液を得た。この乳濁分散液に、第2分散工程として、さらに周波数1.6MHz、出力16W/cm2の超音波を5分間照射し、第1の透明分散液を得、次いでさらに周波数2.4MHz、出力7W/cm2の超音波を5分間照射し、第2の透明分散液を得た。乳濁分散液、第1の透明分散液、及び、第2の透明分散液のそれぞれについて、25°Cで、動的光散乱法によりEDOT油滴のサイズ直径を測定し、電気泳動光散乱法によりゼータ電位を測定し、さらにpHを測定した。結果を表1に示す。第1分散工程に続いて第2分散工程を実施すると、油滴の平均サイズが大幅に減少し、pHが低下し、ゼータ電位の絶対値が大きくなった。また、第2分散工程を周波数及び出力が異なる超音波を使用して2回行うと、油滴の平均サイズがさらに減少し、pHがさらに低下し、ゼータ電位の絶対値がさらに大きくなった。ゼータ電位の絶対値が増加すれば、油滴の反発力が強くなり、したがって油滴の安定性が高くなるが、表1の結果より、第1分散工程に続いて第2分散工程を実施することにより、油滴の凝集が阻害された安定な分散液が得られ、第2分散工程を2回実施することにより、油滴の凝集がさらに阻害されたさらに安定な分散液が得られたことがわかる。本発明の重合液の透明性が長時間維持されるのは、このゼータ電位の絶対値の増加に起因していると考えられる。実験20.14gのEDOTに代えて0.144gの3,4-ジメトキシチオフェン濃度0.02Mを使用し、実験1の手順を繰り返した。乳濁分散液、第1の透明分散液、及び、第2の透明分散液のそれぞれについて測定した油滴の平均サイズ、ゼータ電位、及びpHの値を表2に示す。表2から、3,4-ジメトキシチオフェンを水に分散させた分散液においても、EDOTを水に分散させた分散液の場合と同様に、第1分散工程に続いて第2分散工程を実施することにより、油滴の凝集が阻害された安定な分散液が得られ、第2分散工程を2回実施することにより、油滴の凝集がさらに阻害されたさらに安定な分散液が得られたことがわかる。2重合液の調製実施例1ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離した液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数1.6MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間、次いで周波数2.4MHz、出力7.1W/cm2の超音波を5分間照射したところ、透明分散液が得られた。この液は、常温で2日間放置しても、透明な状態を保っていた。実施例2ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離した液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数1.6MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したところ、透明分散液が得られた。この液は、常温で2日間放置しても、透明な状態を保っていた。実施例3ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数15kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数2.4MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したところ、透明分散液が得られた。この液は、常温で2日間放置しても、透明な状態を保っていた。実施例4ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数200kHz、出力50W/cm2の超音波を30分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数2.4MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したところ、透明分散液が得られた。この液は、常温で2日間放置しても、透明な状態を保っていた。実施例5ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数1.0MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したところ、透明分散液が得られた。この液は、常温で2日間放置しても、透明な状態を保っていた。実施例6ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数4.0MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したところ、透明分散液が得られた。この液は、常温で2日間放置しても、透明な状態を保っていた。比較例1ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水相から相分離した液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。比較例2ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数10kHz、出力8W/cm2の超音波を5分間照射したが、EDOTの油滴が水中に高分散状態で存在している乳濁分散液が得られず、EDOTの一部が容器底部に残留していた。この液に、周波数2.4MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したが、分散液は乳濁していた。比較例3ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数250kHz、出力50W/cm2の超音波を30分間照射したが、EDOTの油滴が水中に高分散状態で存在している乳濁分散液が得られず、EDOTの一部が容器底部に残留していた。この液に、周波数2.4MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したが、分散液は乳濁していた。比較例4ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数800kHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したが、分散液は乳濁していた。比較例5ガラス容器に濃度1Mの過塩素酸リチウム水溶液50mLを導入し、この液にEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数5MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間照射したが、分散液は乳濁していた。実施例1、実施例2、及び比較例1の重合液について、超音波分散直後に、25°Cで動的光散乱法によりEDOT油滴のサイズを測定した。図1に、油滴サイズの分布を示す。ライン1は実施例1の重合液の測定結果を、ライン2は実施例2の重合液の測定結果を、ライン3は比較例1の重合液の測定結果をそれぞれ示す。いずれの重合液においても、油滴サイズの分布が狭く、EDOT油滴の平均サイズは、実施例1の重合液においては79.2nm、実施例2の重合液においては187nm、比較例1の重合液においては335nmであった。また、実施例1の重合液では、全数の99.6の油滴が250nm以下の直径を有しており、全数の84.2の油滴が100nm以下の直径を有していた。実施例2の重合液では、全数の95.7の油滴が250nm以下の直径を有していたが、100nm以下の直径を有する油滴は存在しなかった。これに対し、比較例1の重合液では、全ての油滴が250nmを超える直径を有していた。また、0.14gのEDOTに代えて0.144gの3,4-ジメトキシチオフェンを使用して実施例1の手順を繰り返したが、実施例1の重合液と同様に透明な分散液が得られ、この液は、常温で2日間放置しても、透明な状態を保っていた。3電解重合1:密度及び電導度の測定実施例7実施例1の重合液に、作用極としての2cm×2cmの面積を有する白金電極、対極としての4cm×4cmの面積を有する白金電極、及び参照電極としての飽和カロメル電極を導入し、1.4Vで定電位電解重合を行った。通電電荷量は、0.2C/cm2に規制した。重合後のPEDOTフィルムをエタノールで洗浄した後、常温で2時間放置することにより乾燥した。得られたPEDOTフィルムについて、膜厚を段差計により測定し、通電電荷量から概算した重量と実測した膜厚から、概算密度を算出した。さらに、4探針法により電導度を測定した。膜厚、概算密度、及び電導度の値を表3に示す。実施例8実施例1の重合液の代わりに実施例2の重合液を使用し、実施例7の手順を繰り返した。膜厚、概算密度、及び電導度の値を表3に示す。比較例6実施例1の重合液の代わりに比較例1の重合液を使用し、実施例7の手順を繰り返した。膜厚、概算密度、及び電導度の値を表3に示す。比較例7実施例1の重合液の代わりに、濃度1Mの過塩素酸テトラブチルアンモニウムを溶解したアセトニトリル50mLにEDOTを0.14g濃度0.02M溶解させた重合液を用いて、実施例7の手順を繰り返した。膜厚、概算密度、及び電導度の値を表3に示す。比較例8実施例1の重合液の代わりに、濃度0.1Mのドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムを溶解した水溶液50mLにEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射した重合液を用いて、実施例7の手順を繰り返した。膜厚、概算密度、及び電導度の値を表3に示す。比較例9実施例1の重合液の代わりに、濃度0.1Mのポリスチレンスルホン酸ナトリウムを溶解した水溶液50mLにEDOTを0.14g濃度0.02M添加し、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射した重合液を用いて、実施例7の手順を繰り返した。膜厚、算出した概算密度、及び電導度の値を表3に示す。表3から明らかなように、透明分散液を重合に用いた実施例7,8のPEDOTフィルムは、乳濁分散液を重合に用いた比較例6のPEDOTフィルムに比較して、大幅に増大した密度と大幅に増大した電導度を有している。また、実施例7と実施例8の比較から、第2分散工程を2回行い、透明分散液中のEDOT油滴のサイズを小さくするほど、高密度のフィルムが得られ、電導度が増大することがわかった。特に、EDOTの油滴数の84.2が100nm以下の直径を有する重合液を用いた実施例7のPEDOTフィルムは、極めて高い電導度を示した。さらに、実施例7,8のPEDOTフィルムは、従来の界面活性剤を含む水性重合液を用いた比較例8,9のPEDOTフィルムに比較して、同等以上の密度を示す上に、極めて高い電導度を示した。実施例7,8のPEDOTフィルムは、従来のアセトニトリルを溶媒とした重合液を用いた比較例7のPEDOTフィルムと比較して、密度は同等以上であったが、電導度の値については、実施例8のPEDOTフィルムは比較例7のPEDOTフィルムに及ばなかった。これは、重合過程で生成するオリゴマープレポリマーがアセトニトリルには溶解するが水には溶解しないため、水媒体中でのポリマーの鎖伸長が抑制され、その結果、実施例7,8のPEDOTの重合度が比較例7のPEDOTの重合度より低くなることが影響していると思われる。また、実施例1の重合液に代えて0.144gの3,4-ジメトキシチオフェンの油滴を含む透明分散液を用いて実施例7の手順を繰り返したが、実施例7と略同一の電導度を示すポリ3,4-ジメトキシチオフェンのフィルムが得られた。4電解重合2:電導度の熱安定性PEDOTフィルムについて150°Cでの熱エージングを行うことにより、電導度の熱安定性を評価した。この際、PEDOTフィルムを積層するための基体として、ITOガラス電極のような表面酸素を多く含む基体を使用すると、熱エージングの過程で基体上の酸素がPEDOTフィルムに移動し、この酸素がPEDOTフィルムの熱劣化を引き起こす可能性があることから、PEDOTフィルムを積層するための基体として、表面酸素をほとんど有しないエポキシ樹脂層を表面に備えた基体を使用した。実施例9投影面積1×1cm2に打ち抜いたアルミニウム箔の表面にエポキシ樹脂を塗布することにより、表面に絶縁層を有する基体を得た。この基体を、20質量のEDOTを含むエタノール溶液に浸漬し、室温で乾燥した後、さらに酸化剤であるパラトルエンスルホン酸鉄IIIを20質量の濃度で含むエタノール溶液に浸漬し、室温で乾燥後、高温処理した。この化学酸化重合工程を繰り返し、基体のエポキシ樹脂層上にPEDOTの化学重合膜を形成した。実施例1の重合液に、作用極としての上記化学重合膜を備えた基体、対極としての4cm×4cmの面積を有する白金電極、及び参照電極としての飽和カロメル電極を導入し、0.5mA/cm2の電流条件で定電流電解重合を行った。通電電荷量は、0.2C/cm2に規制した。得られた電解重合膜と化学重合膜との複合層を有する基体をエタノールで洗浄した後、160°Cで30分放置することにより乾燥した。基体上のPEDOT複合層について、4探針法により電導度を測定した。次いで、この複合層を有する基体について大気中、150°Cにて熱エージングを行い、100時間後、200時間後、及び300時間後に電導度を測定した。得られた結果を表4に示す。比較例10投影面積1×1cm2に打ち抜いたアルミニウム箔の表面にエポキシ樹脂を塗布することにより、表面に絶縁層を有する基体を得た後、実施例9と同様の方法によりエポキシ樹脂層上にPEDOTの化学重合膜を形成した。この基体上のPEDOT化学重合膜について、4探針法により電導度を測定した。次いで、この化学重合膜を有する基体について大気中、150°Cにて熱エージングを行い、100時間後、200時間後、及び300時間後に電導度を測定した。得られた結果を表4に示す。比較例10のPEDOT化学重合膜の電導度は、150°Cの高温を経験することにより急速に低下し、150°Cの温度を300時間経験した後には、電導度が初期値の1.25×10-4倍にまで低下した。これに対し、実施例9のPEDOT複合層の150°Cの温度を300時間経験した後の電導度は初期値の7.5×10-2倍であり、本発明のPEDOTフィルムが熱安定性に優れていることがわかる。5電解重合3:電気容量の測定実施例10実施例1の重合液に、作用極としての表面積0.06cm2の白金ロッド電極、対極としての4cm×4cmの面積を有する白金電極、及び参照電極としての銀-塩化銀電極を導入し、50μA/cm2の条件で定電流電解重合を60秒間行った。通電電荷量は、50mC/cm2である。重合後の作用極を水及びエタノールで洗浄した後、30分常温で放置することにより乾燥した。次いで、乾燥後の作用極を濃度1Mの硫酸ナトリウム水溶液に導入し、電圧範囲0V~0.6V、走査速度10mV/秒の条件下でサイクリックボルタモグラムの測定を行い、PEDOTフィルムの電気化学容量を測定した。結果を表5に示す。比較例11実施例1の重合液の代わりに比較例1の重合液を使用し、実施例10の手順を繰り返した。結果を表5に示す。比較例12実施例1の重合液の代わりに、比較例7で用いた重合液を使用し、実施例10の手順を繰り返した。結果を表5に示す。比較例13実施例1の重合液の代わりに、比較例8で用いた重合液を使用し、実施例10の手順を繰り返した。結果を表5に示す。実施例10、比較例11の界面活性剤を含まない水性重合液から得られたPEDOTフィルムは、比較例12のアセトニトリルを溶媒とした重合液を用いたPEDOTフィルムには及ばないものの、比較例13の界面活性剤を含む水性重合液から得られたPEDOTフィルムより高い電気化学容量を示した。また、実施例10及び比較例11の比較から、透明分散液を重合に用いたPEDOTフィルムは、乳濁分散液を重合に用いたPEDOTフィルムよりも、大きな電気化学容量を有することがわかった。6電解重合4:PEDOTフィルムの吸光度及びSEM写真実施例11実施例1の重合液に、作用極としての1cm×1cmの面積を有するITOガラス電極、対極としての4cm×4cmの面積を有する白金電極、及び参照電極としての飽和カロメル電極を導入し、1.4Vで定電位電解重合を行った。通電電荷量は、0.2C/cm2に規制した。重合後のPEDOTフィルムをエタノールで洗浄した後、常温で2時間放置することにより乾燥した。次いで、乾燥後のPEDOTフィルムを備えたITOガラス電極について、可視紫外分光光度計を用いて吸光度を測定した。ITOガラス電極のみについても測定し、ブランクとした。また、ITOガラス電極上のPEDOTフィルムのSEM写真を倍率1000倍及び5000倍で撮影した。実施例12実施例1の重合液の代わりに実施例2の重合液を使用し、実施例11の手順を繰り返した。比較例14実施例1の重合液の代わりに比較例1の重合液を使用し、実施例11の手順を繰り返した。比較例15実施例1の重合液の代わりに、比較例7で用いた重合液を使用し、実施例11の手順を繰り返した。図2は、実施例11,12及び比較例14,15のPEDOTフィルムを備えたITOガラス電極についての、可視紫外領域における吸光度を示した図である。ライン4は実施例11における結果を、ライン5は実施例12における結果を、ライン6は比較例14における結果を、ライン7は比較例15における結果を示す。実施例11,12におけるPEDOTフィルムは、比較例14,15におけるPEDOTフィルムより低い吸光度を有しており、透明性に優れていることが分かる。また、実施例11,12の比較から、第2分散工程を2回行い、透明分散液中のEDOT油滴のサイズを小さくするほど、フィルムの透明性が向上することがわかった。また、界面活性剤を含まない水性重合液を用いた実施例11,12及び比較例14におけるPEDOTフィルムは、従来のアセトニトリルを溶媒とした重合液を用いた比較例15のPEDOTフィルムと比較して、短波長側に吸収ピークを有しているが、これは、上述したように、重合過程で生成するオリゴマープレポリマーがアセトニトリルには溶解するが水には溶解しないため、水媒体中でのポリマーの鎖伸長が抑制され、その結果、実施例11,12及び比較例14におけるPEDOTの重合度が比較例15におけるPEDOTの重合度より低くなるためであると思われる。図3は実施例11におけるPEDOTフィルムのSEM写真であり、図4は比較例14におけるPEDOTフィルムのSEM写真であり、図5は比較例15におけるPEDOTフィルムのSEM写真である。各図において、aは倍率1000倍の写真であり、bは倍率5000倍の写真である。図3と図4から、界面活性剤を含まない水性重合液から、球状粒子が緻密に充填されたPEDOTフィルムが得られていることがわかる。また、重合液中のモノマー油滴のサイズが小さいほど、PEDOTの粒子サイズが小さく、重合液中のモノマー油滴のサイズとPEDOTの粒子サイズとは略同等であった。本発明では、この緻密な粒子が充填されたフィルムが得られ、このことがフィルムの高い電導度、高い電気化学容量と、透明性とをもたらしているものと考えられる。アセトニトリルを溶媒とした重合液から得られたPEDOTフィルムのSEM写真図5から、PEDOT粒子が一部アセトニトリルに溶解している様子が観察された。このことが、PEDOTフィルムの透明性を低下させている原因であると思われる。また、実施例1の重合液に代えて0.144gの3,4-ジメトキシチオフェンの油滴を含む透明分散液を用いて実施例11の手順を繰り返し、ポリ3,4-ジメトキシチオフェンのフィルムを備えたITOガラス電極について、可視紫外分光光度計を用いて吸光度を測定したが、実施例11と略同一の吸光度を示す導電性ポリマーフィルムが得られた。7電解重合5:自立性PEDOTフィルムの光透過率実施例13実施例1の重合液に、作用極としての1cm×3cmの面積を有するITOガラス電極、対極としての2cm×2cmの面積を有する白金電極、及び参照電極としての飽和カロメル電極を導入し、1.4Vで定電位電解重合を行った。通電電荷量は、0.05C/cm2に規制した。重合後のPEDOTフィルムをアセトニトリルで洗浄した後、減圧下で乾燥した。次いで、PEDOTフィルムをITOガラス電極から剥離し、得られた自立性フィルムの光透過率を可視紫外分光光度計により測定した。比較例16実施例1の重合液の代わりに比較例1の重合液を使用し、実施例13の手順を繰り返した。比較例17実施例1の重合液の代わりに、比較例7で用いた重合液を使用し、実施例13の手順を繰り返した。図6は、実施例13及び比較例16,17の自立性PEDOTフィルムについての、可視紫外領域における透過率を示した図である。ライン8は比較例17における結果を、ライン9は比較例16における結果を、ライン10は実施例13における結果を示す。実施例13のPEDOTフィルムは、比較例16,17のPEDOTフィルムより高い光透過率を有しており、透明性に優れていることが分かる。実施例13のPEDOTフィルムは主に100nm以下のPEDOT粒子から構成されているため、可視光が散乱することなく容易に透過する。8電解重合6:透明ガラスPEDOT導電膜の熱安定性実施例14ガラス容器に蒸留水50mLを導入し、この液にEDOTを0.140g濃度0.02M添加し、EDOTが水と相分離した液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数1.6MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間、次いで周波数2.4MHz、出力7.1W/cm2の超音波を5分間照射したところ、透明分散液が得られた。この液は、常温で2日間放置しても、透明な状態を保っていた。この液に、ボロジサリチル酸アンモニウムを0.08Mの濃度で溶解させ、重合液を得た。得られた重合液に、作用極としての1cm2の面積を有するITO電極、対極としての4cm2の面積を有する白金メッシュ、及び参照電極としての銀-塩化銀電極を導入し、10μA/cm2の条件で定電流電解重合を60秒間行った。重合後の作用極をメタノールで洗浄した後、150°Cで30分間乾燥し、透明ガラスPEDOT導電膜を得た。実施例15ガラス容器に蒸留水50mLを導入し、この液にEDOTを0.210g濃度0.03M添加し、EDOTが水と相分離している液を得た。この液に、周波数20kHz、出力22.6W/cm2の超音波を5分間照射したところ、水にEDOTが油滴として分散した乳濁分散液が得られた。この乳濁分散液に、周波数1.6MHz、出力22W/cm2の超音波を5分間、次いで周波数2.4MHz、出力7.1W/cm2の超音波を5分間照射したところ、透明分散液が得られた。次いで、この液に、ビスペンタフルオロエタンスルホニルイミド酸ナトリウムを0.08Mの濃度で溶解させ、重合液を得た。得られた重合液に、作用極としての1cm2の面積を有するITO電極、対極としての4cm2の面積を有する白金メッシュ、及び参照電極としての銀-塩化銀電極を導入し、10μA/cm2の条件で定電流電解重合を60秒間行った。重合後の作用極をメタノールで洗浄した後、150°Cで30分間乾燥し、透明ガラスPEDOT導電膜を得た。実施例14,15の重合液で使用した支持電解質については、事前に界面活性剤として作用しうるかを以下の方法により確認した。水に各実施例で使用した量のEDOTと支持電解質とを添加し、機械的に撹拌した後、静置した。その結果、速やかに水とEDOTが相分離し、これらの支持電解質が界面活性剤として作用していないことが確認された。比較例18ガラス容器に蒸留水50mLを導入し、この液にEDOT0.14g濃度0.02Mと、スルホン酸塩基を有する界面活性剤であるブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム1.08g濃度0.08Mとを添加し、25°Cで60分間攪拌して重合液を得た。得られた重合液に、作用極としての1cm2の面積を有するITO電極、対極としての4cm2の面積を有する白金メッシュ、及び参照電極としての銀-塩化銀電極を導入し、10μA/cm2の条件で定電流電解重合を60秒間行った。重合後の作用極をメタノールで洗浄した後、150°Cで30分間乾燥し、透明ガラスPEDOT導電膜を得た。比較例191cm2の面積を有するITO電極上に、市販のPEDOTとポリスチレンスルホン酸PSSとの複合体を含むディスパージョン商品名バイトロンP、スタルク社製の100μLをキャストし、5000rpmの回転数で30秒間スピンコートを行った。次いで、150°Cで30分間乾燥し、透明ガラスPEDOT導電膜を得た。実施例14,15及び比較例18,19の透明ガラスPEDOT導電膜の電気化学的活性をサイクリックボルタモグラムにより評価した。電解液としての1Mの硫酸ナトリウムを溶解した水溶液に、作用極としての実施例14,15及び比較例18,19のいずれかの透明ガラスPEDOT導電膜、対極としての4cm2の面積を有する白金メッシュ、及び参照電極としての銀-塩化銀電極を導入し、走査電位範囲を-0.4~0.6Vとし、走査速度を10mV/sとして評価した。次いで、透明ガラスPEDOT導電膜を電解液から取り出し、洗浄後、空気中、150°Cで330時間熱エージングを行い、再度電気化学的活性をサイクリックボルタモグラムにより評価した。図7~10に、熱エージング前後のサイクリックボルタモグラムを示す。図7は、実施例14ボロジサリチル酸ナトリウム使用の透明ガラスPEDOT導電膜のサイクリックボルタモグラムを示しており、図8は、実施例15ビスペンタフルオロエタンスルホニルイミド酸ナトリウム使用の透明ガラスPEDOT導電膜のサイクリックボルタモグラムを示しており、図9は、比較例18ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム使用の透明ガラスPEDOT導電膜のサイクリックボルタモグラムを示しており、図10は、比較例19ポリスチレンスルホン酸ナトリウム使用の透明ガラスPEDOT導電膜のサイクリックボルタモグラムを示している。Aは初期のサイクリックボルタモグラム、Bは熱エージング後のサイクリックボルタモグラムである。初期のサイクリックボルタモグラムを参照すると、比較例19の透明ガラスPEDOT導電膜は、他の導電膜に比較して電流応答が著しく小さく、電気化学的活性に乏しいものであることがわかる。また、熱エージング前後のサイクリックボルタモグラムを参照すると、実施例14,15の透明ガラスPEDOT導電膜は、比較例18,19の透明ガラスPEDOT導電膜に比較して、熱経験による電流応答の減少が著しく小さいことがわかる。したがって、本発明のPEDOT導電膜が、電気化学的活性に優れ、耐熱性にも優れることがわかった。従来、水難溶性のEDOTの水中濃度を高めるために、スルホン酸基又はスルホン酸塩基を有するアニオン系界面活性剤が支持電解質として多用されており、また、これらの界面活性剤のアニオンがドープされたPEDOTフィルムが、ドーパントの嵩高さにより脱ドープが抑制されるため、熱耐久性に優れることが報告されている特許文献2参照。しかしながら、実施例14,15の導電膜は、比較例18の導電膜ドーパント;ブチルナフタレンスルホン酸イオン及び比較例19の導電膜ドーパント;ポリスチレンスルホン酸イオンより、さらに優れた耐熱性を有していた。特に、支持電解質としてビスペンタフルオロエタンスルホニルイミド酸ナトリウムを含む重合液から得られた実施例15の導電膜は、極めて優れた熱安定性を示した。"