"試料上に電子ビームを走査する走査手段と、前記電子ビームの照射によって試料から生じる電子を検出する検出器と、前記走査手段からの走査情報と前記検出器からの検出信号とを対応させて画像データを生成する画像処理手段と、前記検出器から前記画像処理手段に送られる検出信号を調整し、前記画像処理手段で生成される画像データの画質を調整する画質調整手段と、前記検出器に入力するための基準光を生成する基準光生成手段とを備え、前記基準光の入力により前記検出器で得られた検出信号から前記画像処理手段で生成される画像データに基づいて、前記画像データの画質を調整することを特徴とする走査型電子顕微鏡。請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、前記基準光生成手段は、LED又は蛍光媒体の何れかを有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、前記基準光生成手段から前記検出器に入力される基準光の光量を調整するフィルタを備えたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、前記画像データの画質を予め定めた範囲内に調整できない場合、オペレータに前記検出器の異常を報知することを特徴とする走査型電子顕微鏡。しかしながら、電子ビームの照射によって試料から得られる二次電子および反射電子の発生効率イールドは常に一定というわけではなく、ある程度の幅で変動するものであり、従って、試料への電子ビームの照射条件が同じであっても検出器によって得られる検出信号にバラツキが生じることがある。上記従来技術においては、試料上に電子ビームを走査することによって得られる画像に基づいてコントラストやブライトネス等の調整を行っているため、二次電子および反射電子の発生効率の変動に起因する検出信号のバラツキが画像の調整精度に影響することが懸念される。また、得られた走査画像に対してソフトウェア等を用いた調整を加えることも考えられるが、微細な画像になるほど調整が難しく、画像がぼやけてしまったり、画像の調整が加わることによって試料の表面構造を必ずしも正確に表現できているとは限らない画像になったりすることが懸念される。本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、走査画像のコントラストやブライトネスをより適切に調整することができる走査型電子顕微鏡を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明は、試料上に電子ビームを走査する走査手段と、前記電子ビームの照射によって試料から生じる電子を検出する検出器と、前記走査手段からの走査情報と前記検出器からの検出信号とを対応させて画像データを生成する画像処理手段と、前記検出器から前記画像処理手段に送られる検出信号を調整し、前記画像処理手段で生成される画像データの画質を調整する画質調整手段と、前記検出器に入力するための基準光を生成する基準光生成手段とを備え、前記基準光の入力により前記検出器で得られた検出信号から前記画像処理手段で生成される画像データに基づいて、前記画像データの画質を調整するものとする。本発明によれば、走査画像のコントラストやブライトネスをより適切に調整することができる。以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。<第1の実施の形態>図1は、本発明の第1の実施の形態に係る走査型電子顕微鏡の全体構成を概略的に示す図である。図1において、走査型電子顕微鏡は、カラム1と、カラム1の内部に設けられ試料2を載置して位置調製するための試料ステージ3と、試料2上に電子ビーム4を照射する電子銃5と、電子銃5から射出された電子ビーム4を試料2上に走査する走査部イメージシフト偏向器6と、走査部の動作を制御する走査制御部7と、電子ビーム4の照射によって試料2から生じる電子二次電子および反射電子13を検出し検出信号を出力する検出器12と、走査制御部7からの走査情報と検出器12からの検出信号とを対応させて画像データを生成する画像処理部9と、検出器12から画像処理部9に送られる検出信号を予め定めた調整設定値に基づいて調整し、画像処理部9で生成される画像データの画質を調整する信号制御部8と、取得した画像や各種設定画面を表示する表示部10及び画像を保存する画像保存部11とから概略構成されている。電子銃5から射出された電子ビーム4は、走査制御部7からの走査信号に基づいて走査部6により偏向されて試料2上で走査する。また、走査制御部7から走査部6に出力される走査信号に関する走査情報走査範囲、走査位置は、画像処理部9に送られる。検出器12は、試料2上への電子ビーム4の走査により生じる電子二次電子および反射電子を異なる位置で検出できるように複数備えられており、本実施の形態では、試料2の上側電子銃5側への電子を検出する検出器SE12a、試料2の表面から上左右側への電子を検出する検出器L12b、検出器R12cの3つの検出器12を設けた場合を示している。なお、検出器12a~12cは同様の構成を有している。図2は、検出器12の詳細を示す模式図である。図2において、検出器12は、光電子増倍管PMT121と、PMT121に印加される高電圧を調整/出力する高電圧出力部123と、PMT121に入力するための基準光後述を生成する基準光出力部126と、PMT121、高電圧出力部123、及び、基準光出力部126が取り付けられ、検出器12内部の制御を行う制御回路図示せずや信号増幅回路122a図3参照が組み込まれた基板122とを備えている。また、PMT121、高電圧出力部123、基準光出力部126、及び、基板122は、外部からの電子や光子を遮断する筐体127に覆われており、基板122には筐体127の外部との信号の授受を行う出力信号接続部124、及び、入力信号接続部125が設けられている。筐体127には、検出器12内に電子二次電子および反射電子を取り込むための開口部128が設けられており、この開口部128からPMT121に電子が入射される。開口部128に向けて配置されたPMT121のシンチレータ121aに電子が衝突することにより生じた光子は、光電陰極121bで電子に変換され、焦点電極121c、ダイノード121d、及び、陽極121eを介して増幅され、その電気信号が出力信号接続部124を介して信号制御部8に出力される。また、筐体127内部のPMT121の側面には、光透過部121fが設けられており、その近傍に基準光出力部126が配置されている。基準光出力部126は、例えば、LEDや蛍光媒体などであり、この基準光出力部126から出力された基準光126aは、光透過部121fを介して回折効果により光電陰極121bに到達して電子に変換され、焦点電極121c、ダイノード121d、及び、陽極121eを介して増幅され、その電気信号が出力信号接続部124を介して信号制御部8に出力される。図3は、検出器12および信号制御部8の機能ブロック図である。図3に示すように、信号制御部8からの制御信号は検出器12の入力信号接続部125を介して高電圧出力部123及び基準光出力部126に送られる。極板印加電圧を調整/出力する高電圧出力部123は、光電陰極121bや焦点電極121c、ダイノード121d、陽極121e間に印加される電圧を調整し、PMT121における電子の検出感度を調整する。電子ビーム4による試料2の走査によって得られる検出器12からの検出信号と走査制御部7からの走査情報とから生成される画像データの画質を調整する画質調整処理後に詳述時に、画質調整に用いる基準光を生成する基準光出力部126は、入力信号接続部125を介して送られる制御信号によって点灯ONと消灯OFFを制御される。PMT121で検出された検出信号は、信号増幅回路122aにより増幅され、出力信号接続部124を介して信号制御部8に送られる。図1に戻る。信号制御部8は、検出器12a~12cの出力信号接続部124及び入力信号接続部125と接続され、検出器12a~12cとの各種信号の授受を行うための入力インタフェース17及び出力インタフェース18と、出力インタフェース18を介して制御信号を検出器12a~12cに送り、高電圧出力部123及び基準出力部126を制御する検出器制御部19とを備えている。信号制御部8には、検出器12a~12cから入力インタフェース17を介して入力される検出信号に対し、予め定めたゲインの調整設定値に基づいてゲイン設定を行うゲイン設定部14と、ゲイン設定が行われた検出信号に対し、予め定めたコントラストの調整設定値に基づいてコントラスト設定を行うコントラスト設定部15と、コントラスト設定が行われた検出信号に対し、予め定めたブライトネスの調整設定値に基づいてブライトネス設定を行うブライトネス設定部16とが設けられている。ゲイン設定、コントラスト設定、及び、ブライトネス設定は、画像処理部9の制御演算部21からの指示に基づいて行われる。検出器制御部19は、高電圧制御部191と基準光制御部192とを備えている。高電圧制御部191は、画像処理部9の制御演算部21からの指示に基づき出力インタフェース18を介して検出器12a~12cの高電圧出力部123を制御し、検出器12a~12cの極板印加電圧を調整/出力する。基準光制御部192は、出力インタフェース18を介して検出器12a~12cの基準光出力部126を制御し、基準光出力部126の点灯ONと消灯OFFを制御する。画像処理部9は、検出器12a~12cから信号制御部8を介して送られる検出信号と、走査制御部7からの走査情報とを対応させて画像データを生成する画像メモリと20と、画像メモリ20で生成された画像データや各種設定画面を表示部10に表示し、画像保存部11に保存するとともに、図示しない入力手段等による指示に従って画質調整処理を行う制御演算部21とを備えている。この制御演算部21の画質調整処理は、信号制御部8におけるゲイン設定、コントラスト設定、ブライトネス設定それぞれの調整設定値を調整するものである。図4は、表示部10に表示される画像データ及び設定画面を示す図である。図4において、表示部10の表示エリア40には、画像データの画像を表示する画像表示部41と、画像に関する各種設定や情報を表示する情報表示部45とが設けられている。画像表示部41には、検出器12a~12cにより検出された検出信号を用いて画像メモリ20で生成された画像データが各検出器12a~12cについて表示されており、検出器SE12aからの検出信号により生成された画像42、検出器L12bからの検出信号により生成された画像43、検出器R12cからの検出信号により生成された画像44が表示されている。情報表示部45には、画質調整処理の条件設定画面45A図5参照と、画像表示部41に表示された画像42~44に関する各種情報を表示する画像結果表示画面45B図6参照と、画質調整処理時に基準光の光量を段階的に変動させた場合の信号出力状態を表示することによりPMT121の特性を表示する特性結果表示画面45C図7参照とが切り換え可能に配置されており、各画面のタブ45a~45cを選択することにより表示する画面を切り換える図5~図7参照。図5~図7は、条件設定画面45A、画像結果表示画面45B、および、特性結果表示画面45Cをそれぞれ示す図である。図5において、条件設定画面45Aには、検出器SE12aにより検出される電子二次電子および反射電子から得られる画像データの画質調整に関して、自動での画質の調整である画質調整処理を行うAUTOか、手動でDAC値を調整して画質を調整するMANUALかを選択的に設定する選択ボタン46aと、選択ボタン46aでMANUALを選択した場合にDAC値を設定/変更するDAC値調整部47aとが設けられている。検出器L12b、及び、検出器R12cに関しても同様の設定手段が設けられている。すなわち、条件設定画面45Aには、検出器L12bにより検出される電子二次電子および反射電子から得られる画像データの画質調整に関して、自動での画質の調整である画質調整処理を行うAUTOか、手動でDAC値を調整して画質を調整するMANUALかを選択的に設定する選択ボタン46bと、DAC値を設定/変更するDAC値調整部47bとが設けられている。また、条件設定画面45Aには、検出器R12cにより検出される電子二次電子および反射電子から得られる画像データの画質調整に関して、自動での画質の調整である画質調整処理を行うAUTOか、手動でDAC値を調整して画質を調整するMANUALかを選択的に設定する選択ボタン46cと、ブライトネス、コントラスト、ゲインの各DAC値を設定/変更するDAC値調整部47cとが設けられている。また、条件設定画面45Aには、画質調整処理の実行を指示するための実行ボタン48が設けられている。オペレータにより実行ボタン48が選択されると、選択ボタン46a~46cでAUTOが選択された検出器12a~12cについては画質調整処理が実施され、MANUALが選択された検出器12a~12cについてはDAC値調整部47a~47cで選択したブライトネス、コントラスト、ゲインの各DAC値が画質に反映される。図6において、画像結果表示画面45Bには、検出器SE12aにより検出される電子二次電子および反射電子から得られる画像データの画質に関する情報の表示部として、ブライトネス、コントラスト、ゲインの値を表示する表示部49aと、画素階調情報を表意する表示部50aと、ヒストグラムを表示する表示部51aとが設けられている。検出器L12b、及び、検出器R12cに関しても同様の設定手段が設けられている。すなわち、画像結果表示画面45Bには、検出器L12bにより検出される電子二次電子および反射電子から得られる画像データの画質に関する情報の表示部として、ブライトネス、コントラスト、ゲインの値を表示する表示部49bと、画素階調情報を表意する表示部50bと、ヒストグラムを表示する表示部51bとが設けられている。また、画像結果表示画面45Bには、検出器R12cにより検出される電子二次電子および反射電子から得られる画像データの画質に関する情報の表示部として、ブライトネス、コントラスト、ゲインの値を表示する表示部49cと、画素階調情報を表意する表示部50cと、ヒストグラムを表示する表示部51cとが設けられている。また、画像結果表示画面45Bには、確認ボタン52が設けられており、オペレータにより確認ボタン52が選択されると条件設定45Aに戻る。図7において、特性結果表示画面45Cには、検出器SE12aのPMT121の特性の表示部として、基準光の光量を段階的に変動させた場合の信号出力状態の変化をグラフ表示する表示部53aと、表示部53aのグラフ上の選択点の情報を数値で表示する表示部54aとが設けられている。検出器L12b、及び、検出器R12cに関しても同様の設定手段が設けられている。すなわち、特性結果表示画面45Cには、検出器L12bのPMT121の特性の表示部として、基準光の光量を段階的に変動させた場合の信号出力状態の変化をグラフ表示する表示部53bと、表示部53bのグラフ上の選択点の情報を数値で表示する表示部54bとが設けられている。また、特性結果表示画面45Cには、検出器R12cのPMT121の特性の表示部として、基準光の光量を段階的に変動させた場合の信号出力状態の変化をグラフ表示する表示部53cと、表示部53cのグラフ上の選択点の情報を数値で表示する表示部54cとが設けられている。また、特性結果表示画面45Cには、確認ボタン55が設けられており、オペレータにより確認ボタン55が選択されると条件設定45Aに戻る。ここで、画質調整処理の詳細を図8を参照しつつ説明する。図8は、本実施の形態の画質調整処理の処理フローである。制御演算部21は、画質調整処理の実行が指示されると対象となる検出器12の基準光出力部126を点灯させるステップS10。次に、ゲイン、コントラスト、ブライトネスのデフォルト値を設定しステップS20、検出信号の値を算出するステップS30。続いて、検出信号の値が予め定めた閾値の範囲内であるかどうかを判定しステップS40、判定結果がNOである場合には、検出信号の値と閾値の範囲の中間値との差が小さくなるようにゲインのDAC値を変更するステップS41。そして、ステップS40での判定結果がYESになるまで、ステップS41,S30の処理を繰り返す。また、ステップS40での判定結果がYESの場合は、画素階調の値を取り込みステップS50、画素階調の値が予め定めた閾値の範囲内であるかどうかを判定しステップS60、判定結果がNOである場合には、画素階調の値と閾値の範囲の中間値との差が小さくなるようにコントラストのDAC値を変更するステップS61。そして、ステップS60での判定結果がYESになるまで、ステップS61,S50の処理を繰り返す。また、ステップS60での判定結果がYESの場合は、ヒストグラムの値を取り込みステップS70、ヒストグラムの値が予め定めた閾値の範囲内であるかどうかを判定しステップS80、判定結果がNOである場合には、ヒストグラムの値と閾値の範囲の中間値との差が小さくなるようにブライトネスのDAC値を変更するステップS81。そして、ステップS80での判定結果がYESになるまで、ステップS81,S70の処理を繰り返す。また、ステップS80での判定結果がYESの場合は、検出器12の基準光出力部126を消灯させステップS90、処理を終了する。以上のように構成した本実施の形態における効果を説明する。走査型電子顕微鏡において、電子ビームの照射によって試料から得られる二次電子および反射電子の発生効率イールドは常に一定というわけではなく、ある程度の幅で変動するものであり、従って、試料への電子ビームの照射条件が同じであっても検出器によって得られる検出信号にバラツキが生じることがある。したがって、従来技術においては、試料上に電子ビームを走査することによって得られる画像に基づいてコントラストやブライトネス等の調整を行っているため、二次電子および反射電子の発生効率の変動に起因する検出信号のバラツキが画像の調整精度に影響することが懸念される。また、得られた走査画像に対してソフトウェア等を用いた調整を加えることも考えられるが、微細な画像になるほど調整が難しく、画像がぼやけてしまったり、画像の調整が加わることによって試料の表面構造を必ずしも正確に表現できているとは限らない画像になったりすることが懸念される。これに対して本実施の形態においては、検出器に入力するための基準光を生成する基準光出力部を有し、基準光出力部から検出器への基準光の入力により検出器で得られた検出信号から生成される画像データに基づいて画像調整処理を行うように構成したので、走査画像のコントラストやブライトネスをより適切に調整することができる。なお、本実施の形態において、基準光出力部126から検出器12に入力される基準光の状経路上に、その光量を調整するフィルタを備えた構成としてもよい。また、本実施の形態の画質調整処理において、記画像データの画質に関する各値を予め定めた範囲内に調整できない場合、オペレータに検出器12の異常を報知するように構成してもよい。<第2の実施の形態>本発明の第2の実施を図9を参照しつつ説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態における検出器12に換えて、検出器22を用いた場合を示したものである。図中、第1の実施の形態で説明したものと同様の部材には同じ符号を付し、説明を省略する。図9は、第2の実施の形態の検出器22の詳細を示す模式図である。図9において、検出器22は、光電子増倍管PMT221と、PMT221に印加される高電圧を調整/出力する高電圧出力部123と、PMT221に入力するための基準光を生成する基準光出力部226と、PMT221、高電圧出力部123、及び、基準光出力部226が取り付けられ、検出器22内部の制御を行う制御回路図示せずや信号増幅回路122a図3参照が組み込まれた基板122とを備えている。また、PMT221、高電圧出力部123、及び、基板122は、外部からの電子や光子を遮断する筐体127に覆われており、基板122には筐体127の外部との信号の授受を行う出力信号接続部124、及び、入力信号接続部125が設けられている。筐体127には、検出器22内に電子二次電子および反射電子を取り込むための開口部128が設けられており、この開口部128からPMT221に電子が入射される。開口部128に向けて配置されたPMT221のシンチレータ121aに電子が衝突することにより生じた光子は、光電陰極121bで電子に変換され、焦点電極121c、ダイノード121d、及び、陽極121eを介して増幅され、その電気信号が出力信号接続部124を介して信号制御部8に出力される。また、基準光出力部226は、筐体127における開口部128に隣合うように、筐体外部に配置されている。基準光出力部226から出力された基準光226aは、回折効果により光電陰極121bに到達して電子に変換され、焦点電極121c、ダイノード121d、及び、陽極121eを介して増幅され、その電気信号が出力信号接続部124を介して信号制御部8に出力される。その他の構成は、第1の実施の形態と同様である。以上のように構成した本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。"