スペーサシートに積層された状態で焼成される所定形状のセラミックグリーンシートを搬送する搬送装置の上方に配置され、前記セラミックグリーンシートの表面に焼成時の前記スペーサシートとの接合を抑制する粉体を散布する粉体散布装置であって、底部開口に網部材が取り付けられ、前記粉体が投入されるホッパーと、前記ホッパーを振動させる振動機と、前記ホッパー内に前記網部材と接するように配設された回転体と、前記回転体を前記網部材に擦らせながら回転させる駆動手段と、を備える、粉体散布装置。前記回転体は、当該回転体の回転方向において前記網部材の上流側では前記ホッパーの内周面との間に所定の隙間が形成され、前記網部材の下流側では前記ホッパーの内周面に接するように配設されている、請求項1に記載の粉体散布装置。所定形状のセラミックグリーンシートおよびスペーサシートを進行方向に交互に並んだ状態で搬送する搬送装置と、前記搬送装置の上方に配置され、移動中の前記セラミックグリーンシートおよび前記スペーサシートの表面に粉体を散布する請求項1または2に記載の粉体散布装置と、前記粉体を担持する前記セラミックグリーンシートと前記スペーサシートを交互に積み重ねて積層体を形成する積層装置と、を備える、積層自動化システム。セラミックグリーンテープから前記セラミックグリーンシートを打ち抜くプレスと、打ち抜かれた前記セラミックグリーンシートを所定のインターバルで前記搬送装置に供給する第1供給装置と、前記スペーサシートを前記搬送装置上に並ぶ前記セラミックグリーンシートの間に配置されるように前記搬送装置に供給する第2供給装置と、をさらに備える、請求項3に記載の積層自動化システム。セラミックシートを製造する方法であって、所定形状のセラミックグリーンシートおよびスペーサシートを搬送しながらそれらの表面に粉体を散布する散布工程と、前記粉体を担持する前記セラミックグリーンシートと前記スペーサシートを交互に積み重ねて積層体を形成する積層工程と、前記積層体を焼成炉に入れて当該積層体中の前記セラミックグリーンシートを焼成する焼成工程と、を含み、前記散布工程において、請求項1または2に記載の粉体散布装置を使用する、セラミックシート製造方法。前記粉体は、有機樹脂からなる球状微粒子である、請求項5に記載のセラミックシート製造方法。しかしながら、特許文献1に記載されているようにホッパー内に球体を投入したとしても、網部材の目詰まりを確実に防ぐことはできない。本発明は、このような事情に鑑み、網部材の目詰まりを確実に防ぐことができる粉体散布装置およびこの粉体散布装置を用いた積層自動化システムを提供することを目的とする。また、本発明は、前記の粉体散布装置を用いたセラミックシート製造方法を提供することを目的とする。前記課題を解決するために、本発明は、スペーサシートに積層された状態で焼成される所定形状のセラミックグリーンシートを搬送する搬送装置の上方に配置され、前記セラミックグリーンシートの表面に焼成時の前記スペーサシートとの接合を抑制する粉体を散布する粉体散布装置であって、底部開口に網部材が取り付けられ、前記粉体が投入されるホッパーと、前記ホッパーを振動させる振動機と、前記ホッパー内に前記網部材と接するように配設された回転体と、前記回転体を前記網部材に擦らせながら回転させる駆動手段と、を備える、粉体散布装置を提供する。また、本発明は、所定形状のセラミックグリーンシートおよびスペーサシートを進行方向に交互に並んだ状態で搬送する搬送装置と、前記搬送装置の上方に配置され、移動中の前記セラミックグリーンシートおよび前記スペーサシートの表面に粉体を散布する上記の粉体散布装置と、前記粉体を担持する前記セラミックグリーンシートと前記スペーサシートを交互に積み重ねて積層体を形成する積層装置と、を備える、積層自動化システムを提供する。さらに、本発明は、セラミックシートを製造する方法であって、所定形状のセラミックグリーンシートおよびスペーサシートを搬送しながらそれらの表面に粉体を散布する散布工程と、前記粉体を担持する前記セラミックグリーンシートと前記スペーサシートを交互に積み重ねて積層体を形成する積層工程と、前記積層体を焼成する焼成工程と、を含み、前記散布工程において、上記の粉体散布装置を使用する、セラミックシート製造方法を提供する。本発明の粉体散布装置および積層自動化システムによれば、回転体が網部材に擦れながら回転するので、網部材の目詰まりを確実に防ぐことができる。また、本発明のセラミックシート製造方法では、上記の粉体散布装置を用いているので、交互に積み重ねられる所定形状のセラミックグリーンシートおよびスペーサシートの表面に、全面に亘って均一な量の粉体を散布することができる。これにより、反りやうねりが格段に小さなセラミックシートを得ることができる。特に、本発明のセラミックシート製造方法を燃料電池に適用して得られた燃料電池用セラミックシートを用いたセルセラミックシートに電極が付いたものは、セパレータインターコネクタとスタック化される際に割れ難く、燃料電池の安定的な使用に貢献できる。以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明は本発明の一例に関するものであり、本発明はこれらによって限定されるものではない。<積層自動化システム>図1に、本発明の一実施形態に係る積層自動化システム1を示す。この積層自動化システム1は、セラミックシートの製造に用いられるものであり、帯状のセラミックグリーンテープ図示せずから所定形状のセラミックグリーンシート8とスペーサシート9の積層体10を自動的に作製する。具体的に、積層自動化システム1は、ラインの上流側から順に、プレス11、第1供給装置12、搬送装置14、第2供給装置13、粉体散布装置15、および積層装置16を備えている。プレス11は、帯状のセラミックグリーンテープから所定形状のセラミックグリーンシート8を打ち抜く。打ち抜かれるセラミックグリーンシート8の形状は、特に限定されるものではなく、円形、楕円形、矩形、角が丸められた矩形などの何れであってもよい。セラミックグリーンテープは、セラミック粒子に分散媒およびバインダー、必要に応じて分散剤や可塑剤などを混合して原料スラリーまたは原料混練物を調整し、この原料スラリーまたは原料混練物をドクターブレード法や押出成形法などの通常の方法によってシート状に成形することにより得ることができる。セラミック粒子の材料は、特に制限されるものではないが、例えば、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化クロム等の金属酸化物;コージェライト、βスポンジューメン、チタン酸アルミニウム、チタン酸バリウム、ムライト、スピネル等の複合酸化物;炭化珪素等の金属炭化物;窒化アルミニウム、窒化ホウ素等の金属窒化物;酸化ニッケル、酸化鉄等の遷移金属酸化物;ランタンマンガネート、ランタンコバルタイト、ランタンクロマイト等のペロブスカイト構造酸化物を挙げることができ、これらから1種を選択するか、2種以上を混合して用いることができる。特に、燃料電池の電解質膜として利用されるセラミックシートを製造する場合は、セラミック粒子の材料として、酸化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化セリウム、酸化イッテリビウム等で安定化されたジルコニア;イットリア、サマリア、ガドリア等がドープされたセリア;ランタンガレート、およびランタンガレートのランタンまたはガリウムの一部が、ストロチウム、カルシウム、バリウム、マグネシウム、アルミニウム、インジウム、コバルト、鉄、ニッケル、銅などで置換されたランタンガレート型ペロブスカイト構造酸化物などを使用することができる。また、燃料電池のセパレータとして利用されるセラミックシートを製造する場合は、導電性の材料が好適である。例えば、ランタンクロマイトや、ランタンクロマイトのランタンまたはクロムの一部が、ストロンチウム、カルシウム、ニッケル、コバルト、アルミニウム、マグネシウム、チタンなどで置換されたランタンクロマイトペロブスカイト構造酸化物を使用することができる。また、電子部品用等のセラミック基板として利用されるセラミックシートを製造する場合は、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム等の金属酸化物;コージェライト、βスポンジューメン、チタン酸アルミニウム、チタン酸バリウム、ムライト、スピネル等の複合酸化物;炭化珪素等の金属炭化物;窒化アルミニウム、窒化ホウ素等の金属窒化物導電性の材料などを1種または1種以上使用することができる。第1供給装置12は、打ち抜かれたセラミックグリーンシート8を所定のインターバルで搬送装置14に供給する。搬送装置14は、セラミックグリーンシート8を第1供給装置12から積層装置16まで搬送する。第1供給装置12および搬送装置14は、例えば、ベルトコンベアやローラコンベアである。搬送装置14がセラミックグリーンシート8を搬送する速度は、例えば2~10m/分である。第2供給装置13は、スペーサシート9を搬送装置14上に並ぶセラミックグリーンシート8の間に配置されるように搬送装置14に供給する。すなわち、セラミックグリーンシート8およびスペーサシート9は、搬送装置14によって進行方向に交互に並んだ状態で搬送される。第2供給装置13は、例えば、図1の紙面と直交する方向に移動可能な昇降式の真空吸着装置であり、搬送装置14の脇に設置されたスペーサシート保管部図示せずでスペーサシート9をピックアップし、搬送装置14上まで移動させて解放する。スペーサシート9は、多孔質であり、例えば、アルミナ、ジルコニア、ムライトから選ばれる少なくとも1種からなる。スペーサシート9の気孔率は、例えば、30~60である。スペーサシート9の表面の静止摩擦係数は、1.5以下が好ましく、1.2以下がより好ましい。焼成時にはセラミックグリーンシート8が収縮するため、スペーサシート9の表面の静止摩擦係数が小さければ、セラミックグリーンシート8の収縮が良好に行われるからである。粉体散布装置15は、搬送装置14の上方に配置されており、セラミックグリーンシート8およびスペーサシート9の表面に粉体7を散布する。粉体7は、焼成時にセラミックグリーンシート8がスペーサシート9と接合することを抑制するためのものである。粉体7としては、平均粒子径が0.01μm以上、100μm以下の範囲のものが好ましい。ここで、平均粒子径とは、粒度分布から求められるメジアン径、すなわち50体積D50をいう。より好ましい粉体7の平均粒子径は、0.1μm以上、50μm以下であり、さらに好ましい粉体7の平均粒子径は、1μm以上、40μm以下である。粉体7は、有機質および無機質の何れであっても構わない。ただし、粉体7としては、解重合性の高分子樹脂からなる有機質粉体を用いることが好ましい。無機質粉体は、焼成後もセラミックシートやスペーサシート9の表面に残存するばかりでなく、その種類によってはスペーサシート9の表面に融着する可能性がある。しかし、有機質粉体であれば、焼成により焼失してしまうため、後処理による除去作業などが不要である。ただし、有機質粉体と共に少量の無機質粉体を併用し、セラミック粒子の焼結の末期まで少量の粉体を残存させることも有効である。無機質粉体を使用する場合でも、有機質粉体の使用量を50質量以上とすることが好ましく、より好ましい有機質粉体の使用量は60質量以上であり、さらに好ましい有機質粉体の使用量は80質量以上である。有機質粉体としては、上記のように焼成条件下で焼失するものであればその種類は問わず、例えば、コーンスターチ、甘藷でんぷん、馬鈴薯でんぷんなどの天然有機質粉体や、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ポリエチレン樹脂、エチレンアクリル酸共重合樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド縮合樹脂、ベンゾグアナミンメラミンホルムアルデヒド縮合樹脂、メラミンシアヌレート樹脂などの有機樹脂粉体等を使用できる。これらの有機質粉体は、単独で使用してもよいし、必要により2種以上を併用してもよい。無機質粉体の種類も特に限定されないが、好ましいのは天然もしくは合成の各種酸化物や非酸化物である。例えば、シリカ、アルミナ、ジルコニア、チタニア、ムライトや、窒化ホウ素、窒化珪素、窒化アルミニウム、炭化珪素、カーボンなどを使用できる。これらの無機質粉体も、単独で使用してもよいし、必要により2種以上を併用してもよい。特に、燃料電池用のセラミックシートを製造する場合は、粉体7として球状微粒子を用いることが、後述するホッパーの底部開口に取り付けられた網部材への詰まりが低減され、連続的に網部材を通過して均一に散布されやすくなるので好ましい。さらに、散布された粉体7はセラミックグリーンシート8とスペーサシート9との間に介在することになるので、粉体7の形状が破砕形や不定形であればセラミックグリーンシート8に傷を付けやすくなり、焼成後に得られるセラミックシートにも傷が生じることになる。粉体7の形状が球状であればセラミックグリーンシート8に傷を付けることは殆どなく、殆ど傷のないセラミックシートを得ることができる。セラミックシートに傷の生じたものがあると、前述の如くスタック化される際に傷が起点となって割れる問題が生じるおそれもある。特に、燃料電池用の電解質膜として利用されるセラミックシートに傷の生じたものがあると、致命的な欠陥となる場合がある。また、個々の球状微粒子の形状は、必ずしも真球である必要はなく、例えば卵形などの球に近似した形状であればよい。球状微粒子には、有機樹脂からなる球状微粒子、有機無機複合微粒子、および無機球状微粒子がある。有機樹脂からなる球状微粒子としては、ポリメタクリル酸メチル系架橋物日本触媒社製、商品名エポスター登録商標MA、平均粒子径:2μm以上15μm以下、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド縮合物日本触媒社製、商品名エポスター、平均粒子径:1μm以上15μm以下、ベンゾグアナミンメラミンホルムアルデヒド縮合物日本触媒社製、商品名エポスターGP、平均粒子径:2.5μm以上4μm以下、メラミンホルムアルデヒド縮合物日本触媒社製、商品名エポスター、平均粒子径:1μm以上2μm以下、架橋ポリスチレン積水化成品工業社製、商品名テクポリマー、平均粒子径:6μm以上17μm以下、架橋アクリル粉体総研化学工業社製、グレードMPシリーズ、平均粒子径:0.1μm以上0.8μm以下、ポリエチレン粉体住友精化社製、商品名フロービーズ登録商標、平均粒子径:6μm以上11μm以下等が例示される。有機無機複合微粒子としては、シリカアクリル複合化合物日本触媒社製、商品名ソリオスター登録商標、平均粒子径:1.1μm以上6.5μm以下が例示される。無機球状微粒子としては、アモルファスシリカ日本触媒社製、商品名シーホスター登録商標、平均粒子径:0.08μm以上2.75μm以下、ジルコニアビーズ東レ社製、商品名トレセラム登録商標TZB、平均粒子径:30μm等が例示される。また、ジルコニアおよび/またはアルミナからなる酸化物粒子やその前駆体粒子を噴霧乾燥により直径が0.8μm以上80μm以下程度の球状に成形し、次いで800°C以上1400°C以下で1時間以上10時間以下熱処理することによって得られる、直径が0.5μm以上50μm以下、好ましくは1μm以上30μm以下の球状酸化物微粒子を使用することも可能である。ただし、セラミックグリーンシートの焼成時に同時に除去でき、そのときに発熱反応を起こさない平均粒子径が1μm以上15μm以下の有機樹脂特に、ポリメタクリル酸メチル系架橋物からなる球状微粒子を用いることが特に好ましい。積層装置16は、表面上に粉体7を担持するセラミックグリーンシート8とスペーサシート9を交互に積み重ねて積層体10を形成する。積層体10は、通常、最下段および最上段にスペーサシート9が位置する構成である。具体的に、積層装置16は、移動コンベア17と固定コンベア18を含む。移動コンベア17は、セラミックグリーンシート8およびスペーサシート9を個別に搬送できるように、搬送装置14からセラミックグリーンシート8またはスペーサシート9を受け取る受取位置と、セラミックグリーンシート8またはスペーサシート9を固定コンベア18に受け渡す受渡位置との間を移動する。固定コンベア18にはストッパー19が設けられており、移動コンベア17から固定コンベア18に受け渡されたセラミックグリーンシート8およびスペーサシート9は、ストッパー19に当接することによって先端が揃えられる。なお、固定コンベア18には、積層中のスペーサシート9またはセラミックグリーンシート8の上に新たに載せられたセラミックグリーンシート8またはスペーサシート9を、搬送方向と直交する方向の両側から押すことによりその方向にセンタリングする機構が設けられていることが好ましい。規定枚数のセラミックグリーンシート8およびスペーサシート9が移動コンベア17から固定コンベア18に受け渡されて積層体10が形成されると、ストッパー19が固定コンベア18の搬送面よりも下または積層体10よりも上に移動し、積層体10が固定コンベア18上の所定位置まで搬送される。積層自動化システム1により得られた積層体10は、その後、焼成炉に入れられて、積層体10中のセラミックグリーンシート8中のバインダー等の有機成分が粉体7が有機質粉体の場合は有機質粉体も焼成される。具体的な焼成条件は、特に限定されない。例えば、まず、セラミックグリーンシート8から有機成分を除去するために、焼成炉を1~80時間程度150~600°C好ましくは250~500°Cに保つ。次いで、焼成炉を1~10時間1000~1800°C好ましくは1200~1600°Cに保って、セラミック粒子を酸化性雰囲気下あるいは非酸化性雰囲気下で焼結する。なお、粉体7として無機質粉体を用いた場合は、それらを除去する。これにより、セラミックシートが得られる。特に、燃料電池用のセラミックシートを得るためには、焼成炉を酸化性雰囲気下2~5時間1300~1480°C好ましくは1300~1450°Cに保つことが好ましい。燃料電池の単セルを作製するには、まず、上述のようにして得られたセラミックシートの一方の面に、NiO粉末と酸素イオン伝導性粉末安定化ジルコニア粉末および/またはドープセリア粉末からなるペーストをスクリーン印刷等によって塗布し、これを焼成して燃料極を形成する。次いで、セラミックシートの他方の面に、LaMnO3系やLaSrCoFeO3系等のペロブスカイト形結晶構造を持つ粉末からなるペーストを、上記と同様に塗布して焼成し、空気極を形成する。さらに、得られた単セルは、複数枚が複数枚のセパレータインターコネクタと交互に積層されてスタック化され、燃料電池の発電システムに組み込まれて燃料電池として使用される。<粉体散布装置>次に、図2aおよびbを参照して、粉体散布装置15の詳細を説明する。粉体散布装置15は、搬送装置14を跨ぐ門型フレーム15Aに支持されており、粉体7が投入されるホッパー2と、ホッパー2を振動させる振動機3を備えている。ホッパー2は、セラミックグリーンシート8の搬送方向上述の進行方向と直交する方向に延びる長方形板状の底壁21と、底壁21上に立てられた、略長方形筒状の周壁22とを有している。すなわち、周壁22の内側面が、ホッパー2の内部空間に面する内周面2aを構成している。なお、以下では、説明の便宜のために、セラミックグリーンシート8の搬送方向を前方、その反対方向を後方というとともに、それらと直交する水平方向を左右方向という。周壁22は、前後方向で互いに対向する前壁部および後壁部と、左右方向で互いに対向する一対の側壁部とからなる。前壁部の下部は、少し後方に傾斜している。前壁部および後壁部の上端部には、ホッパー2内への粉体7の投入をガイドするガイド板23が設けられている。底壁21には、周壁22の下部で囲まれる領域も少し小さな大きさの底部開口2bが形成されている。より詳しくは、底部開口2bは、周壁22の前壁部の下端部には接するが、その他の壁部からは離間する位置に形成されている。底部開口2bには、網部材4が取り付けられている。また、底壁21には、当該底壁21の長手方向の中央から後方に突出する固定部25が一体的に設けられている。固定部25は、ボルトおよびナットによって門型フレーム15Aに固定されている。網部材4としては、例えばステンレスからなる金網を好適に用いることができる。網部材4の網目の大きさ線ピッチから線径を引いた値は、0.08mm以上、0.15mm以下が好ましい。網目の大きさが0.08mm未満だと、後述するブラシローラ5と網部材4との接触面で網目が詰まり、網目の大きさが0.15mmを超えると、ブラシローラ5と網部材4との接触面で網目から落ちようとする粉体量にバラツキが生じるからある。より好ましい網目の大きさは、0.10mm以上、0.135mm以下である。例えば、網部材4としては、線径0.08mm、1インチあたり120メッシュの金網を用いることができる。振動機3は、門型フレーム15Aを挟んでホッパー2と反対側に配置されている。振動機3は、支持板31に載置されており、支持板31は、ボルトおよびナットによってホッパー2の固定部25に固定されている。振動機3がホッパー2を振動させる振動数は、例えば60~7200Hzである。さらに、本実施形態では、ブラシローラ5回転体が網部材4と接するようにホッパー2内に配設されている。また、ホッパー2の外側には、ブラシローラ5を網部材4に擦らせながら回転させる駆動手段として減速機付モータ6が配設されている。ブラシローラ5は、芯体51の外周面に毛材52が一様に植え込まれたものである。芯体51は、ホッパー2の周壁22の一方の側壁部を貫通して延びていて、図略のカップリングにより減速機付モータ6の出力軸に連結されている。ブラシローラ5は、網部材4上をセラミックグリーンシート8の搬送方向と同じ方向に進むように回転する図2bでは時計回り。本実施形態では、ブラシローラ5が、当該ブラシローラ5の回転方向において網部材4の上流側ではホッパー2の内周面2aとの間に所定の隙間が形成され、網部材4の下流側ではホッパー2の内周面2aに接するように配設されている。換言すれば、ブラシローラ5は、ホッパー2の周壁22の後壁部から所定距離だけ離間し、周壁22の前壁部に接している。すなわち、ブラシローラ5とホッパー2の周壁22の後壁部との間に形成される隙間によって、ホッパー2内に投入された粉体7を網部材4まで導く供給路が形成される。供給路を通じて網部材4に到達した粉体7は、振動機3によって振動が与えられることにより、またはブラシローラ5の回転に追従して網部材4を透過する。一例として、ブラシローラ5の直径は40mmである。芯体51は、例えば樹脂からなるパイプであり、その外径は例えば15mmである。毛材52は、例えばナイロン161などからなる、線径0.4mmのものである。減速機付モータ6がブラシローラ5を回転させる回転数は、10~60rpmが好ましい。減速機付モータ6には、図略のインバータが接続されており、ブラシローラ5の回転数すなわち、減速機付モータ6の出力軸の回転数を調整できるようになっている。ここで、ブラシローラ5の回転数は、網部材4を透過してセラミックグリーンシート8上に散布される粉体7の散布量が、例えば、100cm2あたり1mg以上、5mg以下となるように調整される。粉体7の散布量は、搬送装置14によるセラミックグリーンシート8の搬送速度、振動機3による振動数、およびブラシローラ5の回転数に依存するため、散布量を上記の範囲内に保つためには、これらの関係を予め実験などにより決定すればよい。以上説明したように、本実施形態の粉体散布装置15では、ブラシローラ5が網部材4に擦れながら回転するので、網部材4の目詰まりを確実に防ぐことができる。さらに、本実施形態では、ブラシローラ5がホッパー2内で前方に寄せられた位置に配置されているので、ホッパー2内を粉体7がブラシローラ5の回転方向に逆らって落下するのを防止しつつ、ブラシローラ5の回転を合理的に利用して粉体7を網部材4に移動させることができる。なお、前記実施形態では、駆動手段として減速機付モータ6が採用されていたが、本発明の駆動手段はこれに限られない。例えば、搬送装置14の推進力を利用してブラシローラ5を回転させる、すなわち搬送装置14の推進力をトルクに変換する駆動機構などを採用することも可能である。さらに、本発明の回転体としては、ブラシローラ5以外にも、例えば、芯体の外周面に軸方向に延びる弾性変形可能な複数の羽板が取り付けられた掻き取りローラを用いることも可能である。また、前記実施形態では、粉体散布装置15がセラミックグリーンシート9の表面だけでなくスペーサシート9の表面にも粉体7を散布する。しかし、スペーサシート9の表面への粉体7の散布は別工程別ラインまたは手動で行われ、その粉体7を担持するスペーサシート9が粉体散布装置15の下流側で搬送装置14に供給されてもよい。