"一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子と、前記空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を生成する温度センサと、前記複数の画素毎の位相変調量を制御するための駆動信号を前記空間光変調素子に提供する制御部とを備え、前記制御部は、前記空間光変調素子の位相歪みを補正するために前記空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンを記憶している記憶手段を有しており、前記温度信号に示される温度値に応じて前記N個の補正用パターンの中から一の前記補正用パターンを選択し、該一の補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて前記駆動信号を生成することを特徴とする、空間光変調装置。一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子と、前記空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を生成する温度センサと、前記複数の画素毎の位相変調量を制御するための駆動信号を前記空間光変調素子に提供する制御部とを備え、前記制御部は、前記空間光変調素子の位相歪みを補正するために前記空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群を記憶している記憶手段を有しており、前記温度信号に示される温度値に応じて前記N個の係数値群の中から一の前記係数値群を選択し、該一の係数値群から再構成される前記補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて前記駆動信号を生成することを特徴とする、空間光変調装置。一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子と、前記空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を生成する温度センサと、前記複数の画素毎の位相変調量を制御するための駆動信号を前記空間光変調素子に提供する制御部とを備え、前記制御部は、前記空間光変調素子の位相歪みを補正するために前記空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群と前記温度値との関数を記憶している記憶手段を有しており、前記温度信号に示される温度値を前記関数に適用することにより前記N個の係数値群の内の一の前記係数値群を算出し、該一の係数値群から再構成される前記補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて前記駆動信号を生成することを特徴とする、空間光変調装置。前記N個の係数値群それぞれは、前記空間光変調素子の温度に対して依存性を有する係数値のみを含んでおり、前記記憶手段は、前記空間光変調素子の温度に対して依存性を有する係数値から再構成された位相パターンを基準温度における前記補正用パターンから差し引くことにより作成された基準位相パターンを更に記憶しており、前記制御部は、前記所望の位相パターンに前記補正用パターン及び前記基準位相パターンを加算することにより前記補正済位相パターンを作成することを特徴とする、請求項2または3に記載の空間光変調装置。前記N個の係数値群それぞれは、前記空間光変調素子の温度に対する依存度が基準より大きい係数値のみを含んでおり、前記記憶手段は、前記空間光変調素子の温度に対する依存度が基準より小さい係数値のみを含む第2の係数値群を更に記憶しており、前記制御部は、前記一の係数値群と前記第2の係数値群とを組み合わせて得られる係数値群から再構成される前記補正用パターンを前記所望の位相パターンに加算することにより前記補正済位相パターンを作成することを特徴とする、請求項2または3に記載の空間光変調装置。空間光変調素子の温度を制御する機構を更に備えることを特徴とする、請求項1~5のいずれか一項に記載の空間光変調装置。前記入射光を発生する光源と、前記入射光を前記光源から前記空間光変調素子へ導く光学部品とを更に備え、前記N個の補正用パターンそれぞれは、前記温度信号に示される温度値が前記N個の温度値のうち対応する温度値であるときに、前記空間光変調素子に前記駆動信号を与えない状態で前記入射光を前記光源から前記空間光変調素子に入射させ、前記空間光変調素子から出射された出射光の位相パターンの符号を反転して作成されたことを特徴とする、請求項1~6のいずれか一項に記載の空間光変調装置。前記出射光の位相パターンを計測する計測部と、前記出射光の位相パターンの符号を反転して前記N個の補正用パターンを作成する補正用パターン作成部とを更に備えることを特徴とする、請求項7に記載の空間光変調装置。一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子を用いる空間光変調方法であって、前記空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を温度センサから取得する温度取得ステップと、前記空間光変調素子の位相歪みを補正するために前記空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して予め作成されたN個の補正用パターンの中から、前記温度信号に示される温度値に応じて一の前記補正用パターンを選択する補正用パターン選択ステップと、前記一の補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成ステップと、前記複数の画素毎の位相変調量を前記駆動信号により制御する変調制御ステップとを含むことを特徴とする、空間光変調方法。一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子を用いる空間光変調方法であって、前記空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を温度センサから取得する温度取得ステップと、前記空間光変調素子の位相歪みを補正するために前記空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンから予め算出されたN個の係数値群の中から、前記温度信号に示される温度値に応じて一の前記係数値群を選択する係数値群選択ステップと、前記一の係数値群から再構成される前記補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成ステップと、前記複数の画素毎の位相変調量を前記駆動信号により制御する変調制御ステップとを含むことを特徴とする、空間光変調方法。一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子を用いる空間光変調方法であって、前記空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を温度センサから取得する温度取得ステップと、前記空間光変調素子の位相歪みを補正するために前記空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群と前記温度値との関数に対し、前記温度信号に示される温度値を適用することにより前記N個の係数値群の内の一の前記係数値群を算出する係数値群算出ステップと、前記一の係数値群から再構成される前記補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成ステップと、前記複数の画素毎の位相変調量を前記駆動信号により制御する変調制御ステップとを含むことを特徴とする、空間光変調方法。前記N個の係数値群それぞれは、前記空間光変調素子の温度に対して依存性を有する係数値のみを含んでおり、前記駆動信号生成ステップにおいて、前記空間光変調素子の温度に対して依存性を有する係数値から再構成された位相パターンを基準温度における前記補正用パターンから差し引くことにより予め作成された基準位相パターンと、前記補正用パターンとを前記所望の位相パターンに加算することにより前記補正済位相パターンを作成することを特徴とする、請求項10または11に記載の空間光変調方法。前記N個の係数値群それぞれは、前記空間光変調素子の温度に対する依存度が基準より大きい係数値のみを含んでおり、前記駆動信号生成ステップにおいて、前記空間光変調素子の温度に対する依存度が前記基準より小さい係数値のみを含む第2の係数値群と前記一の係数値群とを組み合わせて得られる係数値群から再構成される前記補正用パターンを前記所望の位相パターンに加算することにより前記補正済位相パターンを作成することを特徴とする、請求項10または11に記載の空間光変調装置。従来より、空間光変調素子Spatiallightmodulator;SLMによって光の位相を変調する技術が知られている。空間光変調素子は、例えばレーザ加工において、被加工物に照射されるレーザ光の照射スポット形状を制御するために用いられる。空間光変調素子の典型的な構造として、例えばシリコン等からなる基板上に液晶層を備え、画素を構成する複数の電極が基板と液晶層との間に配置されたものがある。このような空間光変調素子に光が入射すると、当該光は液晶層を通過して基板表面において反射し、再び液晶層を通過して出射される。そして、当該光が液晶層を通過する際、各電極に印加された電圧の大きさに応じてその位相が変調される。しかしながら、空間光変調素子には、次のような問題がある。すなわち、空間光変調素子の温度が変化すると、基板や電極等の熱膨張係数の相違に起因して、基板に反りが生じる。このような基板の反りは、基板表面において反射する光の位相に影響を及ぼす。つまり、各画素の反射光の位相変調量に誤差が生じ、反射光像全体における位相分布に歪みが生じることとなる。例えばレーザ加工においてこのような位相分布の歪みが生じると、所期の照射スポット形状を精度良く得ることができず、加工精度に大きな影響を及ぼす。なお、特許文献1に記載された技術では、所望の出力画像を得るまでに帰還ループを繰り返し実行する必要があり、装置の動作が遅くなってしまう。また、現実には、光源の揺らぎ等に起因して出力画像に不規則な変動が生じる。このような不規則な変動が帰還制御の基になる画像に含まれるので、所期の変調精度を得ることは極めて困難である。本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、動作の遅延を抑制しつつ、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを抑えることができる空間光変調装置および空間光変調方法を提供することを目的とする。上述した課題を解決するために、本発明による第1の空間光変調装置は、1一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子と、2空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を生成する温度センサと、3複数の画素毎の位相変調量を制御するための駆動信号を空間光変調素子に提供する制御部とを備える。制御部は、空間光変調素子の位相歪みを補正するために空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンを記憶している記憶手段を有している。制御部は、温度信号に示される温度値に応じてN個の補正用パターンの中から一の補正用パターンを選択し、該一の補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する。上述した第1の空間光変調装置では、制御部の記憶手段が、空間光変調素子の位相歪みを補正するためのN個の補正用パターンを記憶している。これらの補正用パターンは、空間光変調素子のN個の温度値にそれぞれ対応している。制御部は、温度センサからの温度信号に示される温度値に応じて一の補正用パターンを選択し、所望の位相パターンにその補正用パターンを加算する。このような構成によって、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、制御部における処理が、温度値に応じて一の補正用パターンを選択及び加算するだけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。また、本発明による第1の空間光変調方法は、一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子を用いる空間光変調方法であって、1空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を温度センサから取得する温度取得ステップと、2空間光変調素子の位相歪みを補正するために空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して予め作成されたN個の補正用パターンの中から、温度信号に示される温度値に応じて一の補正用パターンを選択する補正用パターン選択ステップと、3一の補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成ステップと、4複数の画素毎の位相変調量を駆動信号により制御する変調制御ステップとを含む。上述した第1の空間光変調方法では、補正用パターン選択ステップにおいて、空間光変調素子の位相歪みを補正するためのN個の補正用パターンを用いる。これらの補正用パターンは、空間光変調素子のN個の温度値にそれぞれ対応している。補正用パターン選択ステップでは、温度センサからの温度信号に示される温度値に応じて一の補正用パターンを選択する。そして、駆動信号生成ステップでは、所望の位相パターンにその補正用パターンを加算する。このような方法によって、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、この空間光変調方法を実現する制御手段における処理が、温度値に応じて一の補正用パターンを選択及び加算するだけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。本発明による第2の空間光変調装置は、1一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子と、2空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を生成する温度センサと、3複数の画素毎の位相変調量を制御するための駆動信号を空間光変調素子に提供する制御部とを備える。制御部は、空間光変調素子の位相歪みを補正するために空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群を記憶している記憶手段を有している。制御部は、温度信号に示される温度値に応じてN個の係数値群の中から一の係数値群を選択し、該一の係数値群から再構成される補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する。上述した第2の空間光変調装置では、制御部の記憶手段が、空間光変調素子の位相歪みを補正するためのN個の係数値群を記憶している。これらの係数値群は、空間光変調素子のN個の温度値にそれぞれ対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたものである。制御部は、温度センサからの温度信号に示される温度値に応じて一の係数値群を選択し、この係数値群から補正用パターンを再構築したのち、所望の位相パターンにその補正用パターンを加算する。このような構成によって、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、制御部における処理が、温度値に応じた一の係数値群の選択、補正用パターンの再構築及び加算だけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。また、本発明による第2の空間光変調方法は、一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子を用いる空間光変調方法であって、1空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を温度センサから取得する温度取得ステップと、2空間光変調素子の位相歪みを補正するために空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンから予め算出されたN個の係数値群の中から、温度信号に示される温度値に応じて一の係数値群を選択する係数値群選択ステップと、3一の係数値群から再構成される補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成ステップと、4複数の画素毎の位相変調量を駆動信号により制御する変調制御ステップとを含む。上述した第2の空間光変調方法では、補正用パターン選択ステップにおいて、空間光変調素子の位相歪みを補正するためのN個の係数値群を用いる。これらの係数値群は、空間光変調素子のN個の温度値にそれぞれ対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたものである。補正用パターン選択ステップでは、温度センサからの温度信号に示される温度値に応じて一の係数値群を選択する。そして、駆動信号生成ステップでは、この係数値群から補正用パターンを再構築したのち、所望の位相パターンにその補正用パターンを加算する。このような方法によって、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、この空間光変調方法を実現する制御手段における処理が、温度値に応じた一の係数値群の選択、補正用パターンの再構築及び加算だけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。本発明による第3の空間光変調装置は、1一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子と、2空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を生成する温度センサと、3複数の画素毎の位相変調量を制御するための駆動信号を空間光変調素子に提供する制御部とを備える。制御部は、空間光変調素子の位相歪みを補正するために空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群と温度値との関数を記憶している記憶手段を有している。制御部は、温度信号に示される温度値を関数に適用することによりN個の係数値群の内の一の係数値群を算出し、該一の係数値群から再構成される補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する。上述した第3の空間光変調装置では、制御部の記憶手段が、空間光変調素子の位相歪みを補正するための関数を記憶している。この関数は、N個の係数値群と温度値との関数であり、N個の係数値群は、空間光変調素子のN個の温度値にそれぞれ対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたものである。制御部は、温度センサからの温度信号に示される温度値を上記関数に適用して一の係数値群を算出し、この係数値群から補正用パターンを再構築したのち、所望の位相パターンにその補正用パターンを加算する。このような構成によって、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、制御部における処理が、関数の演算、補正用パターンの再構築及び加算だけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。また、本発明による第3の空間光変調方法は、一次元もしくは二次元に配列された複数の画素毎に入射光の位相を変調する空間光変調素子を用いる空間光変調方法であって、1空間光変調素子の温度に応じた信号である温度信号を温度センサから取得する温度取得ステップと、2空間光変調素子の位相歪みを補正するために空間光変調素子のN個Nは2以上の整数の温度値に対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群と温度値との関数に対し、温度信号に示される温度値を適用することによりN個の係数値群の内の一の係数値群を算出する係数値群算出ステップと、3一の係数値群から再構成される補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される補正済位相パターンに基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成ステップと、4複数の画素毎の位相変調量を駆動信号により制御する変調制御ステップとを含む。上述した第3の空間光変調方法では、補正用パターン選択ステップにおいて、空間光変調素子の位相歪みを補正するための関数を用いる。この関数は、N個の係数値群と温度値との関数であり、N個の係数値群は、空間光変調素子のN個の温度値にそれぞれ対応して作成されたN個の補正用パターンから算出されたものである。補正用パターン選択ステップでは、温度センサからの温度信号に示される温度値を上記関数に適用して一の係数値群を算出する。そして、駆動信号生成ステップでは、この係数値群から補正用パターンを再構築したのち、所望の位相パターンにその補正用パターンを加算する。このような方法によって、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、この空間光変調方法を実現する制御手段における処理が、関数の演算、補正用パターンの再構築及び加算だけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。また、上述したそれぞれの空間光変調装置において、N個の係数値群それぞれが、空間光変調素子の温度に対して依存性を有する係数値のみを含んでおり、記憶手段が、空間光変調素子の温度に対して依存性を有する係数値から再構成された位相パターンを基準温度における補正用パターンから差し引くことにより作成された基準位相パターンを更に記憶しており、制御部が、所望の位相パターンに補正用パターン及び基準位相パターンを加算することにより補正済位相パターンを作成してもよい。同様に、上述したそれぞれの空間光変調方法において、N個の係数値群それぞれが、空間光変調素子の温度に対して依存性を有する係数値のみを含んでおり、駆動信号生成ステップにおいて、空間光変調素子の温度に対して依存性を有する係数値から再構成された位相パターンを基準温度における補正用パターンから差し引くことにより予め作成された基準位相パターンと、補正用パターンとを所望の位相パターンに加算することにより補正済位相パターンを作成してもよい。また、上述したそれぞれの空間光変調装置において、N個の係数値群それぞれが、空間光変調素子の温度に対する依存度が基準より大きい係数値のみを含んでおり、記憶手段が、空間光変調素子の温度に対する依存度が基準より小さい係数値のみを含む第2の係数値群を更に記憶しており、制御部が、一の係数値群と第2の係数値群とを組み合わせて得られる係数値群から再構成される補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより補正済位相パターンを作成してもよい。同様に、上述したそれぞれの空間光変調方法において、N個の係数値群それぞれが、空間光変調素子の温度に対する依存度が基準より大きい係数値のみを含んでおり、駆動信号生成ステップにおいて、空間光変調素子の温度に対する依存度が基準より小さい係数値のみを含む第2の係数値群と一の係数値群とを組み合わせて得られる係数値群から再構成される補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより補正済位相パターンを作成してもよい。また、上述したそれぞれの空間光変調装置は、空間光変調素子の温度を制御する機構を更に備えることが好ましい。また、上述したそれぞれの空間光変調装置は、入射光を発生する光源と、入射光を光源から空間光変調素子へ導く光学部品とを更に備え、N個の補正用パターンそれぞれが、温度信号に示される温度値がN個の温度値のうち対応する温度値であるときに、空間光変調素子に駆動信号を与えない状態で入射光を光源から空間光変調素子に入射させ、空間光変調素子から出射された出射光の位相パターンの符号を反転して作成されたことを特徴としてもよい。この場合、空間光変調装置は、出射光の位相パターンを計測する計測部と、出射光の位相パターンの符号を反転してN個の補正用パターンを作成する補正用パターン作成部とを更に備えることが好ましい。本発明による空間光変調装置および空間光変調方法によれば、動作の遅延を抑制しつつ、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを抑えることができる。以下、添付図面を参照しながら本発明による空間光変調装置および空間光変調方法の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。第1の実施の形態図1は、本発明の第1実施形態に係る空間光変調装置の構成を示す図である。この空間光変調装置1Aは、光源2、空間フィルタ3、コリメート用レンズ4、フーリエ変換レンズ5、空間光変調素子10、及び制御部20Aを備えている。光源2から出射された光L1は、空間フィルタ3及びコリメート用レンズ4を通過することにより、光像L2となる。この光像L2は、空間光変調素子10に入射する。空間光変調素子10では、制御部20Aから与えられた駆動信号SDに従って、光像L2の位相が複数の画素毎に変調される。これにより、位相変調された光像L3が空間光変調素子10から出力される。光像L3は、フーリエ変換レンズ5を通過してフーリエ光像L4となり、フーリエ光像L4は加工対象物6に照射される。図2aは、空間光変調素子10の構成の一部を示す側断面図である。空間光変調素子10は、シリコン基板11と、シリコン基板11上に設けられた液晶層12とを有する。また、空間光変調素子10は、シリコン基板11と液晶層12との間に配置された第1の電極13、及び該第1の電極13との間に液晶層12を挟む位置に設けられた第2の電極14を更に有する。第1の電極13は、液晶層12に電圧を印加するための複数の画素電極13aを有する。複数の画素電極13aは、複数行および複数列にわたって二次元状に配置されており、これらの画素電極13aによって空間光変調素子10の複数の画素が規定される。複数の画素電極13aと液晶層12との間には、反射鏡18が配置されている。第2の電極14は、ガラス基板15の一方の面上に蒸着された金属膜からなる。ガラス基板15は、上記一方の面とシリコン基板11とが対向するように、スペーサ16を介してシリコン基板11上に支持されている。液晶層12は、シリコン基板11とガラス基板15との間に液晶が充填されて成り、ガラス基板15に沿った領域に配向膜19aを有し、反射鏡18に沿った領域に配向膜19bを有する。このような構成を備える空間光変調素子10では、制御部20Aから出力された駆動信号SDに基づいて、各画素電極13aと第2の電極14との間にアナログ信号電圧が印加される。これにより、液晶層12に電界が生じる。そして、図2bに示されるように、各画素電極13a上の液晶分子12aが、その印加電界の大きさに応じた角度だけ回転する。液晶分子12aは複屈折性を有するので、ガラス基板15を透過して光が入射すると、この光のうち電場と平行な光成分に限って、液晶分子12aの傾斜角に応じた位相差が与えられる。このようにして、画素電極13a毎に光の位相が変調される。また、後述するように、空間光変調素子10の温度が変化すると、シリコン基板11や第1の電極13等の熱膨張係数の相違に起因して、シリコン基板11に反りが生じる。これにより、各画素の反射光の位相変調量が変動し、反射光像L3図1参照の全体における位相分布に歪みが生じる。本実施形態の空間光変調素子10は、このような温度変化による変動分を補正する為に、温度センサ17を更に有する。温度センサ17は、空間光変調素子10の温度を検出するために設けられ、空間光変調素子10の温度に応じた信号である温度信号を生成する。温度センサ17は、例えばシリコン基板11上やガラス基板15上に配置される。図3は、制御部20Aの構成を示すブロック図である。図3に示されるように、制御部20Aは、温度センサ制御部21、記憶部22、選択部23、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、及び駆動部26を有する。温度センサ制御部21は、空間光変調素子10の温度センサ17から温度信号Stempを取得し、この温度信号Stempに所定の演算を施すことにより、空間光変調素子10の温度値Tsを求める。温度センサ制御部21は、求めた温度値Tsを選択部23へ提供する。記憶部22は、本実施形態における記憶手段であり、N個Nは2以上の整数の補正用パターンを記憶している。ここで、N個の補正用パターンとは、空間光変調素子10の温度変化に起因する出射光像L3の位相歪みを補正するために、空間光変調素子10のN個の温度値それぞれに対応して予め作成された位相パターンである。各補正用パターンは、空間光変調素子10の複数の画素のそれぞれに対応する複数の補正位相値を含むデータである。記憶部22は、例えばRAMRandomAccessMemory等によって好適に構成される。選択部23は、温度センサ制御部21から提供された温度値Tsに基づいて、N個の補正用パターンの中から温度値Tsに最も近い温度値に対応する一の補正用パターンを選択し、その補正用パターンを記憶部22から読み出す。選択部23は、読み出した補正用パターンP1を計算機ホログラム演算部25へ提供する。計算機ホログラム作成部24は、所望の位相パターンを有する計算機ホログラムComputerGeneratedHologram;CGHを作成する。この計算機ホログラムは、複数の画素成分を含んでおり、各画素成分は、空間光変調素子10の複数の画素それぞれにおける所望の位相変調量を表す。計算機ホログラム作成部24は、作成した計算機ホログラム所望の位相パターンP2を計算機ホログラム演算部25へ提供する。計算機ホログラム演算部25は、計算機ホログラムP2に含まれる位相変調量と、補正用パターンP1に含まれる補正位相値とを画素毎に加算することにより、空間光変調素子10の温度変化による影響が補正された位相パターン以下、補正済位相パターンというを作成する。計算機ホログラム演算部25は、こうして作成した補正済位相パターンP3を、駆動部26へ提供する。駆動部26は、計算機ホログラム演算部25から提供された補正済位相パターンP3に基づいて、駆動信号SDを生成する。具体的には、補正済位相パターンP3に含まれる画素毎の位相変調量に基づいて、空間光変調素子10の複数の画素電極13a図2参照のそれぞれに印加する電圧値を算出し、これらの電圧値を示す駆動信号SDを生成する。駆動部26は、生成した駆動信号SDを、空間光変調素子10へ提供する。図4は、空間光変調装置1Aの動作を示すフローチャートである。図4を参照しながら、空間光変調装置1Aとともに、本実施形態の空間光変調方法について説明する。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS11。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から選択部23へ転送されるステップS12。次に、選択部23が、その温度値Tsを基に、記憶部22に記憶されているN個の補正用パターンの中から、温度値Tsに最も近い温度値の補正用パターンP1を選択する補正用パターン選択ステップS13。この補正用パターンP1は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS14。続いて、計算機ホログラム演算部25が、計算機ホログラム作成部24から提供された計算機ホログラム所望の位相パターンP2と、補正用パターンP1とを加算合成することにより、補正済位相パターンP3を作成するステップS15。この補正済位相パターンP3は、計算機ホログラム演算部25から駆動部26へ転送されるステップS16。そして、駆動部26が、補正済位相パターンP3に基づいて駆動信号SDを生成する駆動信号生成ステップS17。最後に、空間光変調素子10に含まれる複数の画素毎の位相変調量を、駆動信号SDにより制御する変調制御ステップS18。すなわち、空間光変調素子10に駆動信号SDが提供されると、各画素電極13aには、補正済位相パターンP3に示される位相変調量に応じた電圧が印加される。空間光変調素子10では、印加電圧の大きさに応じて液晶分子12a図2参照の傾きが変化し、屈折率の変化が生じる。その結果、補正済位相パターンP3に対応する位相分布が空間的に表現され、入射光の位相が変調される。以上の構成を備える本実施形態の空間光変調装置1Aおよび空間光変調方法によって得られる効果について説明する。前述したように、空間光変調素子10の温度が変化すると、図2に示されたシリコン基板11や画素電極13a等の熱膨張係数の相違に起因して、シリコン基板11に反りが生じる。このようなシリコン基板11の反りによって、各画素の反射光の位相変調量に誤差が生じ、反射光像全体における位相分布に歪みが生じることとなる。したがって、従来の装置では、計算機ホログラムによって付加したい位相変調特性とは異なる位相変調特性が出力光像で得られてしまう。空間光変調素子10の温度が変化すると、出射光像の位相分布に歪みが生じる。空間光変調素子10の温度変化は、外気温の変化や、或いは高強度のレーザ光が入射することによって空間光変調素子10に熱が蓄積されることに起因する。特に、図2に示されたような電気アドレス型の空間光変調素子10では、シリコン基板11や画素電極13aといった各層の熱膨張率の相違から反射鏡18に反りが生じ、位相歪みの発生につながる。図5は、レンズを通して出射光像を集光させたときの光スポット形状を示す画像である。図5において、aは位相歪みが十分小さい場合の形状を示しており、この場合、光スポット形状は理想的なレーリースポット回折限界となる。一方、bは位相歪みが大きい場合の形状を示しており、この場合、光スポット形状が歪んでしまう。なお、このような問題を解決するためには、例えば、各層の構成材料の熱膨張率が同程度となるような材料を使用するとよい。しかし、そのような材料からなる部材が必ずしも存在しているわけではない。また、例えば、高価な高精度光学部品を使用して光学系を構成したり、或いは空間光変調素子10の反射鏡18の平坦度を高くすることも考えられる。しかし、これらの方法では材料コストや製造コストが格段に上昇し、量産化を妨げる要因となる。このような問題点に対し、本実施形態の空間光変調装置1Aおよび空間光変調方法によれば、空間光変調素子10の複数の温度値毎に異なる補正用パターンを使用するので、空間光変調素子10の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、制御部20Aにおける処理が、温度値Tsに応じて一の補正用パターンP1を選択及び加算するだけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。図6は、このような本実施形態による効果を示すグラフである。図6に示されるグラフG11は、空間光変調素子10における出射光像L3の位相歪みを5°C間隔で計測し、その計測結果からN個この例ではN=8の補正パターンを作成した場合における、空間光変調素子10の温度と位相歪みの二乗平均の平方根単位:波長λとの関係を示している。また、図6に示されるグラフG12は、比較のため、空間光変調素子10における出射光像L3の位相歪みを或る基準温度この例では27°Cのときに計測し、その計測結果から補正パターンを一つのみ作成し、この補正パターンを所望の位相パターンに加算した場合における、空間光変調素子10の温度と位相歪みの二乗平均の平方根単位:波長λとの関係を示している。グラフG12に示されるように、或る基準温度において作成した唯一の補正パターンを用いて所望の位相パターンを補正した場合、位相歪みは空間光変調素子10の温度変化に対して敏感に変化する。これに対し、本実施形態のように複数の温度値に対応するN個の補正パターンを用いて所望の位相パターンを補正することにより、グラフG11に示されるように、測定誤差は有るものの、位相歪みを位相変調量λの1/10以下に抑えることが可能となる。また、本実施形態の空間光変調装置1Aおよび空間光変調方法によれば、空間光変調装置1Aに付加する構成要素が温度センサ17だけで済むので、低い製造コストで上記課題を解決することができる。また、ペルチェ素子などの温度制御手段を空間光変調素子10の外部に取り付けるような場合、空間光変調素子10における温度制御手段との接触部分と他の部分との間に温度勾配が生じてしまう。このような場合であっても、本実施形態によれば、この温度勾配が出射光像に与える位相歪みを緩和できる。また、強制的な温度制御による空間光変調素子10の物理的な劣化により生じる位相歪みも緩和できる。なお、本実施形態では、空間光変調素子10として電気アドレス型の液晶素子を例示したが、空間光変調素子10としては、これ以外にも例えば光アドレス型の液晶素子や可変鏡型の変調素子など、様々な空間光変調素子を適用できる。また、本実施形態において、空間光変調素子10における温度センサ17の取り付け位置すなわち温度計測位置は、空間光変調素子10の筐体内部筐体内温度を計測、空間光変調素子10の筐体外部筐体の外気温を計測、空間光変調素子10のガラス基板15の表面、空間光変調素子10のシリコン基板11の裏面、入射光像L2の入射位置、及び熱源となる空間光変調素子10の回路内部のうちいずれか一箇所であることが好ましい。或いは、これらのうち複数箇所に温度センサ17を配置し、若しくは一つの箇所に複数の温度センサ17を配置してもよい。なお、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置1Aは、図7に示されるフローチャートに従って動作するとよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択するステップS21。次に、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS11。以後、上述した実施形態におけるステップS12~S18図4参照と同様の処理を行う。なお、空間光変調装置1Aがこのような動作を行うためには、記憶部22において、複数の温度センサ17毎に測定された各温度値に対応する補正用パターンと、温度センサ17及び温度値を互いに関連付けるための情報テーブルが予め保持されていることが好ましい。空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置1Aが上記動作を行うことによって、次の効果を更に奏することができる。すなわち、空間光変調素子10の温度を計測するために最適な位置は、空間光変調素子10の使用態様により異なる場合がある。例えば、空間光変調素子10が接している外気温が低く、空間光変調素子10の内部回路が熱源となり内部温度が高くなった場合、空間光変調素子10の内部にて温度勾配が生じ、或る一つの特定位置における温度を計測するだけでは厳密な温度補正が困難になることがある。このような場合であっても、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有し、且つ上述した動作を空間光変調装置1Aが行うことにより、好ましい温度計測位置において空間光変調素子10の温度を計測することができる。なお、空間光変調装置1Aの使用目的や使用環境に応じて温度センサ17を適宜選択するために、温度センサ制御部21が外部信号入力機構例えば、RS232C、GPIB、USB、イーサネット登録商標などを有すると尚良い。また、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置1Aは、図8に示されるフローチャートに従って動作してもよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択するステップS22。次に、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求めるステップS23。そして、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値TsとするステップS24。以後、上述した実施形態におけるステップS12~S18図4参照と同様の処理を行う。上述したように、空間光変調素子10の内部に温度勾配が生じる場合があるが、上記のように複数の温度センサ17を用いて複数箇所の温度を同時に計測し、それらの平均値または温度補正値を用いることによって、温度補正の精度を更に高めることができる。なお、温度補正値は、熱伝導方程式若しくは有限要素法による熱分布の推定により導出された補正係数を用いて算出されても良い。なお、空間光変調装置1Aが図7に示された動作を行う場合、図9に示されるように、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部22及び選択部23を設けても良い。同様に、空間光変調装置1Aが図8に示された動作を行う場合、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部22及び選択部23を設けても良い。これらの構成によれば、各記憶部22及び各選択部23を独立して扱うことができる。例えば、一つの補正用パターンのみを更新したい場合に、対応する記憶部22のみを更新すればよい。また、各記憶部22の容量が小さくて済むので、高価な大容量記憶素子を用いなくてもよい。なお、図9に示されるように、制御部20Aは、複数の記憶部22及び選択部23の中から一つの記憶部22及び選択部23を選択するための別の選択部23aを更に有すると尚好ましい。また、本実施形態若しくは上述した形態空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する形態において、温度センサ制御部21は、N個の補正用パターンに対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本実施形態において、記憶部22は、N個の補正用パターンに加えて、それらN個の補正用パターンとN個の温度値とを相互に関連付けるための温度情報テーブルを予め記憶しておくとよい。また、N個の補正用パターンは画像圧縮して記憶されても良く、その場合には、選択部23の前段または後段に、画像解凍を行うための画像処理部を更に設けるとよい。また、本実施形態において、記憶部22は、或る程度大きな容量を有することが好ましい。いま、補正用パターンがSVGA解像度800ピクセル×600ピクセルの8ビット画像であると仮定する。画像を圧縮しない場合、補正用パターン1枚当たりのデータ量は、800ピクセル×600ピクセル×8ビット=480キロバイトとなる。そして、0°Cから50°Cまでの温度範囲において5°C間隔で補正用パターンを作成すると、補正用パターンの総数は11枚となり、総データ量は約5メガバイトとなる。また、温度補正の精度を高めるために上記温度範囲において1°C間隔で補正用パターンを作成すると、補正用パターンの総数は51枚となり、総データ量は約25メガバイトとなる。このように、温度補正の精度を高めることにより、記憶部22に要求されるデータ容量が必然的に増大するので、制御部20Aは、このような大容量のデータを記憶し得る記憶部22を備えることが好ましい。また、本実施形態において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、選択された補正用パターンP1を一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Aに設けておき、その別の記憶部から補正用パターンを適宜読み出すことによって、選択部23の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Aは、上記別の記憶部のほか、別の記憶部に記憶された補正用パターンに対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用パターンを計算機ホログラム演算部25に転送するとよい。なお、高精度の温度補正が要求される場合であっても、上記別の記憶部として高速応答メモリを用いることによって、このような構成が可能である。図10は、このような構成を有する制御部20Aの動作を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値を求める温度取得ステップS11。次に、前回算出した温度値と、現在の温度値との差分を計算するステップS31。そして、現在の温度値を別の記憶部に記憶させるとともに、現在の温度値及び差分を選択部23へ転送するステップS32。選択部23では、差分と閾値との大小が判定されステップS33、差分が閾値より小さい場合にはステップS33においてYes、別の記憶部に記憶されている補正パターンを計算機ホログラム演算部25へ転送するステップS36。また、差分が閾値より大きい場合にはステップS33においてNo、選択部23が、記憶部22に記憶されているN個の補正パターンの中から一の補正パターンを選択し、その補正パターンを別の記憶部へ転送するステップS37。更に、この補正パターンを、別の記憶部から計算機ホログラム演算部25へ転送するステップS36。以後、上述した実施形態におけるステップS15~S18図4参照と同様の処理を行う。第1変形例ここで、第1実施形態の制御部20Aの変形例について説明する。本変形例では、記憶部22が、或る基準温度における補正用パターンを記憶しており、また、この基準温度における補正用パターンと各温度における補正用パターンとの差分であるN個の補正用差分パターンを記憶している。すなわち、補正用差分パターンとは、基準温度から各温度に変化した際に位相歪みがどのように変化したかを示す情報であり、基準温度における位相歪み補正用パターンに加算合成されることによって、各温度における位相歪み補正用パターンを算出可能とするデータである。このように本変形例の記憶部22は、基準温度における補正用パターンと、他の温度におけるN個の補正用差分パターンとを記憶することによって、実質的にN個の補正用パターンを記憶している。図11は、このような構成を有する制御部20Aの動作を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS11。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から選択部23へ転送されるステップS12。次に、選択部23が、その温度値Tsを基に、記憶部22に記憶されている補正用パターンの中から、温度値Tsに最も近い温度値に対応する補正用差分パターンを選択する補正用パターン選択ステップS38。そして、選択部23が、基準温度に対応する補正用パターンとこの補正用差分パターンとを加算合成することにより、当該温度値に対応する補正用パターンP1を作成するステップS39。この補正用パターンP1は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS14。以後、上述した実施形態におけるステップS15~S18図4参照と同様の処理を行う。本変形例において例示したように、記憶部22は、種々の方式によりN個の補正用パターンを実質的に記憶していてもよい。そのような場合であっても、上述した実施形態による作用効果を好適に発揮することができる。なお、本変形例においても、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合には、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択し、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求めるとよい図7参照。この場合、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部22及び選択部23を設けても良い図9参照。或いは、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択し、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求め、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値Tsとしてもよい図8参照。この場合、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部22及び選択部23を設けても良い。また、本変形例において、温度センサ制御部21は、N個の補正用差分パターンに対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本変形例において、記憶部22は、N個の補正用差分パターンに加えて、それらN個の補正用差分パターンとN個の温度値とを相互に関連付けるための温度情報テーブルを予め記憶しておくとよい。また、N個の補正用差分パターンは画像圧縮して記憶されても良く、その場合には、選択部23の前段または後段に、画像解凍を行うための画像処理部を更に設けるとよい。また、上記実施形態と同様、本変形例においても、記憶部22は大容量のデータを記憶し得ることが好ましい。また、本変形例において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、合成された補正用パターンP1を一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Aに設けておき、その別の記憶部から補正用パターンを適宜読み出すことによって、選択部23の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Aは、上記別の記憶部のほか、別の記憶部に記憶された補正用パターンに対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用パターンを計算機ホログラム演算部25に転送するとよい図10参照。第2の実施の形態本発明の第2実施形態に係る空間光変調装置の構成を以下に説明する。本実施形態の空間光変調装置は、第1実施形態と同様に、図1に示された光源2、空間フィルタ3、コリメート用レンズ4、フーリエ変換レンズ5、及び空間光変調素子10を備えている。これらの構成は、第1実施形態と同様である。また、本実施形態の空間光変調装置は、第1実施形態の制御部20Aに代えて、以下に説明する制御部を備えている。図12は、本実施形態に係る空間光変調装置が備える制御部20Bの構成を示すブロック図である。図12に示されるように、制御部20Bは、温度センサ制御部21、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、駆動部26、記憶部27、選択部28、及び補正用パターン再構成部29を有する。これらのうち、温度センサ制御部21、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、及び駆動部26の構成は第1実施形態と同様である。記憶部27は、本実施形態における記憶手段であり、N個Nは2以上の整数の係数値群係数値列を記憶している。ここで、N個の係数値群とは、第1実施形態におけるN個の補正用パターンのそれぞれから予め算出された係数であり、一つの補正用パターンについて一又は複数の係数が算出され、この一又は複数の係数が一つの係数値群を構成している。係数値群は、例えば、正規直交関数系、スプライン曲線、2次元最小二乗法などの3次元平面を表現するための計算手法を用いて、二次元画像データである補正用パターンから算出される。記憶部27は、第1実施形態の記憶部22と同様に、例えばRAM等によって好適に構成される。選択部28は、温度センサ制御部21から提供された温度値Tsに基づいて、N個の係数値群の中から温度値Tsに最も近い温度値に対応する一の係数値群を選択し、その係数値群を記憶部27から読み出す。選択部28は、読み出した係数値群A1を補正用パターン再構成部29へ提供する。補正用パターン再構成部29は、選択部28より転送された係数値群A1から一の補正用パターンP1を再構成する。補正用パターン再構成部29は、生成した補正用パターンP1を、計算機ホログラム演算部25へ提供する。図13は、本実施形態に係る空間光変調装置の動作を示すフローチャートである。図13を参照しながら、空間光変調装置の動作とともに、本実施形態の空間光変調方法について説明する。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS41。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から選択部28へ転送されるステップS42。次に、選択部28が、その温度値Tsを基に、記憶部27に記憶されているN個の係数値群の中から、温度値Tsに最も近い温度値に対応する係数値群A1を選択する係数値群選択ステップS43。この係数値群A1は、補正用パターン再構成部29へ転送される。そして、補正用パターン再構成部29が、選択部28より転送された係数値群A1から一の補正用パターンP1を再構成するステップS44。再構成された補正用パターンP1は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS45。続いて、計算機ホログラム演算部25が、計算機ホログラム作成部24から提供された計算機ホログラム所望の位相パターンP2と、補正用パターンP1とを加算合成することにより、補正済位相パターンP3を作成するステップS46。この補正済位相パターンP3は、計算機ホログラム演算部25から駆動部26へ転送されるステップS47。そして、駆動部26が、補正済位相パターンP3に基づいて駆動信号SDを生成する駆動信号生成ステップS48。最後に、空間光変調素子10に含まれる複数の画素毎の位相変調量を、駆動信号SDにより制御する変調制御ステップS49。以上の構成を備える本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、空間光変調素子10の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、制御部20Bにおける処理が、温度値Tsに応じて一の係数値群A1を選択し、補正用パターンP1を再構成して加算するだけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。特に、本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法は、補正用パターンが、図1の空間フィルタ3、コリメート用レンズ4、及びフーリエ変換レンズ5といった光学系において発生する位相傾斜の緩やかな低空間周波数成分により構成される場合に有効である。また、本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、第1実施形態と比較して、記憶部27において記憶されるデータ量を大幅に圧縮できる。第1実施形態において述べたように、補正用パターンは、一個につき例えば480キロバイトのデータ量を有する。これに対し、例えばルジャンドル陪多項式を10次の係数まで用いて補正用パターンを係数値群に変換すると、このようなデータ量を有する補正用パターンは、およそ55個の係数値によって表される。これらの係数値がすべて32ビット符号付単精度浮動小数点型のデータであるとすると、そのデータ量は全部で220バイトとなり、非圧縮画像と比較すると0.5程度の情報量に圧縮することができる。ここで、図14は、干渉計測により取得した補正用パターンの一例を示す画像である。空間光変調素子10では、例えば、位相値0π~2πを表現するために8ビットの2次元画像データを用いる。この場合、例えば位相値0πは0階調値を表し、位相値2πは255階調値を表す。そして、2πを超える位相値を表現するために、2πで除算して得られる剰余値を適用するので、8ビット画像データにおいて255階調値から0階調値に折り返される領域以下、折り返し領域というが発生する。図14において255階調白色に対して0階調黒色となっている領域が、その折り返し領域に該当する。なお、位相値0π~3πを表現可能な位相変調型の空間光変調素子の場合には、3πを超えた位相値を表現するときに折り返し領域が発生する。図15は、正規直交関数系の1つであるルジャンドル陪多項式を10次の係数まで用いて係数値群を算出し、その係数値群から補正用パターンを再構成した場合における、補正用パターンの一例を示す画像である。図15に示されるように、係数値列を用いて補正用パターンを再構成した場合であっても、図14とほぼ同様の補正用パターンを生成し得ることがわかる。なお、本実施形態において、空間光変調素子10として、電気アドレス型の液晶素子以外にも例えば光アドレス型の液晶素子や可変鏡型の変調素子など、様々な空間光変調素子を適用できる。また、本実施形態において、空間光変調素子10における温度センサ17の取り付け位置は、空間光変調素子10の筐体内部、空間光変調素子10の筐体外部、空間光変調素子10のガラス基板15の表面、空間光変調素子10のシリコン基板11の裏面、入射光像L2の入射位置、及び熱源となる空間光変調素子10の回路内部のうちいずれか一箇所であることが好ましい。或いは、これらのうち複数箇所に温度センサ17を配置し、若しくは一つの箇所に複数の温度センサ17を配置してもよい。空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置は、例えば以下のように動作するとよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択する。次に、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める。以後、本実施形態におけるステップS42~S49図13参照と同様の処理を行う。なお、空間光変調装置がこのような動作を行うためには、記憶部27において、複数の温度センサ17毎に測定された各温度値に対応する係数値群と、温度センサ17及び温度値を互いに関連付けるための情報テーブルが予め保持されていることが好ましい。また、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置は、次のように動作してもよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択する。次に、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求める。そして、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値Tsとする。以後、上述した実施形態におけるステップS42~S49図13参照と同様の処理を行う。空間光変調素子10の内部に温度勾配が生じる場合があるが、上記のように複数の温度センサ17を用いて複数箇所の温度を同時に計測し、それらの平均値または温度補正値を用いることによって、温度補正の精度を更に高めることができる。なお、温度補正値は、熱伝導方程式若しくは有限要素法による熱分布の推定により導出された補正係数を用いて算出されても良い。なお、空間光変調装置が上記のような動作を行う場合、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部27及び選択部28を設けても良い。或いは、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部27及び選択部28を設けても良い。これらの構成によれば、各記憶部27及び各選択部28を独立して扱うことができる。また、各記憶部27の容量が小さくて済むので、高価な大容量記憶素子を用いなくてもよい。なお、制御部20Bは、複数の記憶部27及び選択部28の中から一つの記憶部27及び選択部28を選択するための別の選択部を更に有すると尚好ましい。また、本実施形態若しくは上述した形態空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する形態において、温度センサ制御部21は、N個の補正用パターンに対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本実施形態において、選択された係数値群A1を一時的に保持しておく係数値用メモリを制御部20Bに設けておき、その係数値用メモリから係数値群A1を適宜読み出すことによって、選択部28の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Bは、係数値用メモリのほか、係数値用メモリに記憶された係数値群A1に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、係数値用メモリに記憶された係数値群A1を補正用パターン再構成部29に転送するとよい。図16は、このような構成を有する制御部20Bの動作の一例を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値を求める温度取得ステップS41。次に、前回算出した温度値と、現在の温度値との差分を計算するステップS51。そして、現在の温度値を別の記憶部に記憶させるとともに、現在の温度値及び差分を選択部28へ転送するステップS52。選択部28では、差分と閾値との大小が判定されステップS53、差分が閾値より小さい場合にはステップS53においてYes、係数値用メモリに記憶されている係数値群A1を補正用パターン再構成部29へ転送するステップS54。また、差分が閾値より大きい場合にはステップS53においてNo、選択部28が、記憶部27に記憶されているN個の係数値群の中から一の係数値群A1を選択し、その係数値群A1を係数値用メモリへ転送するステップS55。更に、この係数値群A1を、係数値用メモリから補正用パターン再構成部29へ転送するステップS54。以後、本実施形態におけるステップS44~S49図13参照と同様の処理を行う。また、本実施形態において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、係数値群A1により再構成された補正用パターンP1を一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Bに設けておき、その別の記憶部から補正用パターンP1を適宜読み出すことによって、選択部28や補正用パターン再構成部29の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Bは、上記別の記憶部のほか、別の記憶部に記憶された補正用パターンP1に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用パターンP1を計算機ホログラム演算部25に転送するとよい。なお、高精度の温度補正が要求される場合であっても、上記別の記憶部として高速応答メモリを用いることによって、このような構成が可能である。図17は、このような構成を有する制御部20Bの動作の一例を示すフローチャートである。なお、この動作において、ステップS53までは図16に示された動作と同様である。この動作では、差分が閾値より小さい場合ステップS53においてYes、別の記憶部に記憶されている補正用パターンP1を計算機ホログラム演算部25へ転送するステップS56。また、差分が閾値より大きい場合にはステップS53においてNo、選択部28が、記憶部27に記憶されているN個の係数値群の中から一の係数値群A1を選択し、その係数値群A1を係数値用メモリへ転送するステップS57。更に、この係数値群A1を、係数値用メモリから補正用パターン再構成部29へ転送するステップS58。そして、補正用パターン再構成部29が、係数値群A1から一の補正用パターンP1を再構成するステップS59。再構成された補正用パターンP1は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS56。以後、本実施形態におけるステップS46~S49図13参照と同様の処理を行う。また、本実施形態において、N個の温度値の間の温度値に対応する係数値群を、N個の係数値群の補間を行うことにより求めてもよい。図18は、そのような補間方法を含む空間光変調方法を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS41。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から選択部28へ転送されるステップS42。次に、選択部28が、その温度値Tsを基に、記憶部27に記憶されているN個の係数値群の中から、温度値Tsの前後の温度値に対応する二つの係数値群を選択するステップS60。これらの係数値群は、選択部28と補正用パターン再構成部29との間に設けられる係数値群推定部へ転送される。そして、係数値群推定部が、選択部28より転送された二つの係数値群に基づいて、補間計算を行うことにより一つの係数値群を算出するステップS61。算出された係数値群は、補正用パターン再構成部29へ転送される。補正用パターン再構成部29は、係数値群推定部より転送された係数値群から一の補正用パターンP1を再構成するステップS62。以後、本実施形態におけるステップS45~S49図13参照と同様の処理を行う。図19a及びbは、係数値群推定部における係数値群の補間計算方法の一例を説明するためのグラフである。このグラフの横軸は温度値を表し、縦軸は係数値を表している。いま、N個の係数群それぞれには、m個の係数値k1,k2,,kmが含まれているとする。これらの係数値k1,k2,,kmは、N個の係数群毎に異なる値をもつ。図19aに示されるように、温度値tnに対応する係数値k1の値をk1n、温度値tn1に対応する係数値k1の値をk1n1とする。また、図19bに示されるように、温度値tnに対応する係数値kmの値をkmn、温度値tn1に対応する係数値kmの値をkmn1とする。このとき、係数値k1と温度値tとの関係図中の直線B1は、比例係数a1及び定数b1を用いて、k1t=a1tb1と表される。同様に、係数値kmと温度値tとの関係図中の直線B2は、比例係数am及び定数bmを用いて、kmt=amtbmと表される。係数値k2t~km-1tについても同様である。そして、これらの数式から、温度値t0tn<t0<tn1に対応する係数値k10,k20,,km0を容易に求めることができる。係数値群推定部は、このような線形補間計算を行うことによって、係数値k10,k20,,km0からなる一つの係数値群を算出することができる。図20a及びbは、係数値群推定部における係数値群の補間計算方法の他の例を説明するためのグラフである。なお、この補間計算方法を行うに際しては、図18に示されたステップS60において、選択部28が、記憶部27に記憶されているN個の係数値群の中から、温度値Tsの近傍の温度値に対応する三つ以上の係数値群を選択する必要がある。図20aに示されるように、温度値tn-1に対応する係数値k1の値をk1n-1、温度値tnに対応する係数値k1の値をk1n、温度値tn1に対応する係数値k1の値をk1n1とする。また、図20bに示されるように、温度値tn-1に対応する係数値kmの値をkmn-1、温度値tnに対応する係数値kmの値をkmn、温度値tn1に対応する係数値kmの値をkmn1とする。このとき、最小二乗法により、係数値k1と温度値tとの関係図中の直線B3をk1t=a1tb1と近似ことができる。同様に、係数値kmと温度値tとの関係図中の直線B4をkmt=amtbmと近似することができる。係数値k2t~km-1tについても同様である。そして、これらの数式から、温度値t0tn<t0<tn1に対応する係数値k10,k20,,km0を容易に求めることができる。係数値群推定部は、このような最小二乗法による近似補間計算を行うことによって、係数値k10,k20,,km0からなる一つの係数値群を算出することができる。なお、本方法において、各温度値毎に異なる大きさの重みを付加した上で最小二乗法による近似計算を行っても良い。また、上述した線形近似に限らず、高次多項式近似や指数近似を適用しても良い。第2変形例ここで、第2実施形態の制御部20Bの変形例について説明する。本変形例では、記憶部27が、或る基準温度における補正用パターン若しくは該補正用パターンについての係数値群を記憶しており、また、この基準温度における補正用パターンと各温度における補正用パターンとの差分補正用差分パターンについてのN個の係数値群以下、差分係数値群というを記憶している。なお、補正用差分パターンとは、基準温度から各温度に変化した際に位相歪みがどのように変化したかを示す情報であり、基準温度における位相歪み補正用パターンに加算合成されることによって、各温度における位相歪み補正用パターンを算出可能とするデータである。このように本変形例の記憶部27は、基準温度における補正用パターン若しくは係数値群と、他の温度におけるN個の差分係数値群とを記憶することによって、実質的にN個の係数値群を記憶している。図21は、このような構成を有する制御部20Bの動作を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS41。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から選択部28へ転送されるステップS42。次に、選択部28が、その温度値Tsを基に、記憶部27に記憶されている差分係数値群の中から、温度値Tsに最も近い温度値に対応する差分係数値群を選択する係数値群選択ステップS63。この差分係数値群は、基準温度における係数値群若しくは補正用パターンと共に補正用パターン再構成部29へ転送される。補正用パターン再構成部29は、選択部28より転送された差分係数値群から一の補正用差分パターンを再構成するとともに、必要に応じて基準温度における係数値群から一の補正用パターンを再構成するステップS64。補正用パターン再構成部29は、補正用差分パターンと基準温度における補正用パターンとを加算合成することにより、補正用パターンP1を生成するステップS65。以後、上記実施形態におけるステップS45~S49図13参照と同様の処理を行う。本変形例において例示したように、記憶部27は、種々の方式によりN個の係数値群を実質的に記憶していてもよい。そのような場合であっても、上述した実施形態による作用効果を好適に発揮することができる。なお、本変形例においても、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合には、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択し、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求めるとよい。この場合、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部27及び選択部28を設けても良い。或いは、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択し、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求め、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値Tsとしてもよい。この場合、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部27及び選択部28を設けても良い。また、本変形例において、温度センサ制御部21は、N個の差分係数値群に対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本変形例において、選択された差分係数値群を一時的に保持しておく差分係数値用メモリを制御部20Bに設けておき、その係数値用メモリから差分係数値群を適宜読み出すことによって、選択部28の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Bは、差分係数値用メモリのほか、差分係数値用メモリに記憶された差分係数値群に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、差分係数値用メモリに記憶された差分係数値群を補正用パターン再構成部29に転送するとよい。また、本変形例において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、差分係数値群から再構成された補正用差分パターン、若しくは該補正用差分パターンから合成された補正用パターンP1を一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Bに設けておき、その別の記憶部から補正用差分パターン又は補正用パターンP1を適宜読み出すことによって、選択部28や補正用パターン再構成部29の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Bは、上記別の記憶部のほか、別の記憶部に記憶された補正用差分パターン又は補正用パターンP1に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用差分パターンを用いて生成される補正用パターンP1、或いは上記別の記憶部に記憶された補正用パターンP1を計算機ホログラム演算部25に転送するとよい。また、本変形例において、N個の温度値の間の温度値に対応する差分係数値群を、N個の差分係数値群の補間を行うことにより求めてもよい図18~図20参照。第3の実施の形態本発明の第3実施形態に係る空間光変調装置の構成を以下に説明する。本実施形態の空間光変調装置は、第1実施形態と同様に、図1に示された光源2、空間フィルタ3、コリメート用レンズ4、フーリエ変換レンズ5、及び空間光変調素子10を備えている。これらの構成は、第1実施形態と同様である。また、本実施形態の空間光変調装置は、第1実施形態の制御部20Aに代えて、以下に説明する制御部を備えている。図22は、本実施形態に係る空間光変調装置が備える制御部20Cの構成を示すブロック図である。図22に示されるように、制御部20Cは、温度センサ制御部21、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、駆動部26、記憶部31、係数値演算部32、及び補正用パターン再構成部33を有する。これらのうち、温度センサ制御部21、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、及び駆動部26の構成は第1実施形態と同様である。記憶部31は、本実施形態における記憶手段であり、N個Nは2以上の整数の係数値群係数値列に含まれる各係数値についての、温度値を変数とする関数を記憶している。ここで、N個の係数値群とは、第1実施形態におけるN個の補正用パターンのそれぞれから予め算出された係数であり、一つの補正用パターンについて一又は複数の係数が算出され、この一又は複数の係数が一つの係数値群を構成している。係数値群は、前述した第2実施形態と同様の方法によって算出される。記憶部31は、第1実施形態の記憶部22と同様に、例えばRAM等によって好適に構成される。係数値演算部32は、温度センサ制御部21から提供された温度値Tsを、記憶部31に記憶された関数に適用することにより、N個の係数値群うち一の係数値群を算出する。係数値演算部32は、算出した係数値群A1を補正用パターン再構成部33へ提供する。補正用パターン再構成部33は、係数値演算部32より転送された係数値群A1から一の補正用パターンP1を再構成する。補正用パターン再構成部33は、生成した補正用パターンP1を、計算機ホログラム演算部25へ提供する。図23は、本実施形態に係る空間光変調装置の動作を示すフローチャートである。図23を参照しながら、空間光変調装置の動作とともに、本実施形態の空間光変調方法について説明する。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS71。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から係数値演算部32へ転送されるステップS72。次に、係数値演算部32が、記憶部31に記憶されている各係数値の関数を順次読み出して、これらの関数に温度値Tsを適用する。これにより、温度値Tsに対応する各係数値が得られる係数値算出ステップS73。これらの係数値からなる係数値群A1は、補正用パターン再構成部33へ転送される。そして、補正用パターン再構成部33が、係数値演算部32より転送された係数値群A1から一の補正用パターンP1を再構成するステップS74。再構成された補正用パターンP1は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS75。続いて、計算機ホログラム演算部25が、計算機ホログラム作成部24から提供された計算機ホログラム所望の位相パターンP2と、補正用パターンP1とを加算合成することにより、補正済位相パターンP3を作成するステップS76。この補正済位相パターンP3は、計算機ホログラム演算部25から駆動部26へ転送されるステップS77。そして、駆動部26が、補正済位相パターンP3に基づいて駆動信号SDを生成する駆動信号生成ステップS78。最後に、空間光変調素子10に含まれる複数の画素毎の位相変調量を、駆動信号SDにより制御する変調制御ステップS79。以上の構成を備える本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、空間光変調素子10の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、制御部20Cにおける処理が、温度値Tsを関数に適用して一の係数値群A1を算出し、補正用パターンP1を再構成して加算するだけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。また、本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、第2実施形態と比較して、記憶部31において記憶されるデータ量を更に圧縮できる。例えば、10次ルジャンドル陪多項式を用いて補正用パターンを表現し、各係数値に三次最小二乗法を適用することによって温度値を変数とする関数を作成した場合、4つの係数を持つ55個の関数が記憶部31に記憶される。各係数値がすべて32ビット符号付単精度浮動小数点型のデータであるとすると、そのデータ量は32ビット×4係数×55関数=880バイトとなる。前述した第2実施形態では各温度値毎に係数値群を記憶しておく必要があるので、温度値が4個を超える場合には、本実施形態のほうが記憶部のデータ量を小さくすることができる。特に、入射光の波長が複数ある場合には、各波長に応じて複数の補正用パターンを用意する必要があるので、記憶部に要求される記憶容量が大きくなる傾向がある。このような場合には、記憶容量をより少なくできる本実施形態が有利である。また、本実施形態によれば、第2実施形態の選択部28図12参照を不要にできるので、制御部を簡素化することもできる。また、本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、温度値を変数とする関数を用いて補正用パターンを作成するので、高精度かつ高分解能な補正が可能となる。更に、代表的な正規直交関数のみを用いて係数値群を算出すれば、計算時間の短縮を図ることができる。なお、本実施形態において、空間光変調素子10として、電気アドレス型の液晶素子以外にも例えば光アドレス型の液晶素子や可変鏡型の変調素子など、様々な空間光変調素子を適用できる。また、本実施形態において、空間光変調素子10における温度センサ17の取り付け位置は、空間光変調素子10の筐体内部、空間光変調素子10の筐体外部、空間光変調素子10のガラス基板15の表面、空間光変調素子10のシリコン基板11の裏面、入射光像L2の入射位置、及び熱源となる空間光変調素子10の回路内部のうちいずれか一箇所であることが好ましい。或いは、これらのうち複数箇所に温度センサ17を配置し、若しくは一つの箇所に複数の温度センサ17を配置してもよい。空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置は、例えば以下のように動作するとよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択する。次に、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める。以後、本実施形態におけるステップS72~S79図23参照と同様の処理を行う。また、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置は、次のように動作してもよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択する。次に、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求める。そして、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値Tsとする。以後、上述した実施形態におけるステップS72~S79図23参照と同様の処理を行う。特に、空間光変調素子10の内部に温度勾配が生じる場合には、上記のように複数の温度センサ17を用いて複数箇所の温度を同時に計測し、それらの平均値または温度補正値を用いることによって、温度補正の精度を更に高めることができる。なお、空間光変調装置が上記のような動作を行う場合、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部31及び係数値演算部32を設けても良い。或いは、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部31及び係数値演算部32を設けても良い。これらの構成によれば、各記憶部31及び各係数値演算部32を独立して扱うことができる。また、各記憶部31の容量が小さくて済むので、高価な大容量記憶素子を用いなくてもよい。なお、制御部20Cは、複数の記憶部31及び係数値演算部32の中から一つの記憶部31及び係数値演算部32を選択するための別の選択部を更に有すると尚好ましい。また、本実施形態若しくは上述した形態空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する形態において、温度センサ制御部21は、N個の補正用パターンに対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本実施形態において、係数値演算部32により算出された係数値群A1を一時的に保持しておく係数値用メモリを制御部20Cに設けておき、その係数値用メモリから係数値群A1を適宜読み出すことによって、係数値演算部32の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Cは、係数値用メモリのほか、係数値用メモリに記憶された係数値群A1に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、係数値用メモリに記憶された係数値群A1を補正用パターン再構成部33に転送するとよい。図24は、このような構成を有する制御部20Cの動作の一例を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値を求める温度取得ステップS71。次に、前回算出した温度値と、現在の温度値との差分を計算するステップS81。そして、現在の温度値をメモリに記憶させるとともに、現在の温度値及び差分を係数値演算部32へ転送するステップS82。係数値演算部32では、差分と閾値との大小が判定されステップS83、差分が閾値より小さい場合にはステップS83においてYes、係数値用メモリに記憶されている係数値群A1を補正用パターン再構成部33へ転送するステップS84。また、差分が閾値より大きい場合にはステップS83においてNo、係数値演算部32が、記憶部31に記憶されている関数を読み出し、この関数に温度値Tsを適用することにより一の係数値群A1を算出し、その係数値群A1を係数値用メモリへ転送するステップS85。更に、この係数値群A1を、係数値用メモリから補正用パターン再構成部33へ転送するステップS84。以後、本実施形態におけるステップS74~S79図23参照と同様の処理を行う。また、本実施形態において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、係数値群A1により再構成された補正用パターンP1を一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Cに設けておき、その別の記憶部から補正用パターンP1を適宜読み出すことによって、係数値演算部32や補正用パターン再構成部33の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Cは、上記別の記憶部のほか、該別の記憶部に記憶された補正用パターンP1に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用パターンP1を計算機ホログラム演算部25に転送するとよい。なお、高精度の温度補正が要求される場合であっても、上記別の記憶部として高速応答メモリを用いることによって、このような構成が可能である。図25は、このような構成を有する制御部20Cの動作の一例を示すフローチャートである。なお、この動作において、ステップS83までは図24に示された動作と同様である。この動作では、差分が閾値より小さい場合ステップS83においてYes、別の記憶部に記憶されている補正用パターンP1を計算機ホログラム演算部25へ転送するステップS86。また、差分が閾値より大きい場合にはステップS83においてNo、係数値演算部32が、記憶部31に記憶されている関数に温度値Tsを適用することにより一の係数値群A1を算出し、その係数値群A1を係数値用メモリへ転送するステップS87。更に、この係数値群A1を、係数値用メモリから補正用パターン再構成部33へ転送するステップS88。そして、補正用パターン再構成部33が、係数値群A1から一の補正用パターンP1を再構成するステップS89。再構成された補正用パターンP1は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS86。以後、本実施形態におけるステップS76~S79図23参照と同様の処理を行う。第4の実施の形態本発明の第4実施形態に係る空間光変調装置の構成を以下に説明する。本実施形態の空間光変調装置は、第1実施形態と同様に、図1に示された光源2、空間フィルタ3、コリメート用レンズ4、フーリエ変換レンズ5、及び空間光変調素子10を備えている。これらの構成は、第1実施形態と同様である。また、本実施形態の空間光変調装置は、第1実施形態の制御部20Aに代えて、以下に説明する制御部を備えている。図26は、本実施形態に係る空間光変調装置が備える制御部20Dの構成を示すブロック図である。図26に示されるように、制御部20Dは、温度センサ制御部21、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、駆動部26、記憶部34、温度依存成分演算部35、及び記憶部36を有する。これらのうち、温度センサ制御部21、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、及び駆動部26の構成は第1実施形態と同様である。記憶部34は、本実施形態における記憶手段であり、N個Nは2以上の整数の係数値群係数値列に含まれる各係数値についての、温度値を変数とする関数を記憶している。ここで、N個の係数値群それぞれは、第1実施形態におけるN個の補正用パターンそれぞれから予め算出された係数値群であるが、本実施形態におけるこれらの係数値群は、各補正用パターンについて算出された一又は複数の係数値のうち、空間光変調素子10の温度に対して依存性を有する或いは、依存度が或る基準より大きい係数値のみからなる。これらの係数値群は、前述した第2実施形態と同様の方法によって算出された係数値のうち、空間光変調素子10の温度に対して依存性を有する或いは、依存度が或る基準より大きい係数値のみ選択されて成る。記憶部34は、第1実施形態の記憶部22と同様に、例えばRAM等によって好適に構成される。温度依存成分演算部35は、温度センサ制御部21から提供された温度値Tsを、記憶部34に記憶された関数に適用することにより、N個の係数値群うち一の係数値群を算出する。更に、温度依存成分演算部35は、算出した係数値群から一の補正用パターンP4温度依存成分を再構成する。温度依存成分演算部35は、生成した補正用パターンP4を、計算機ホログラム演算部25へ提供する。記憶部36は、記憶部34と共に本実施形態の記憶手段を構成する。記憶部36は、基準位相パターンを予め記憶している。基準位相パターンとは、基準温度における補正用パターンから補正用パターンP4を差し引くことにより予め作成された位相パターンである。言い換えれば、基準位相パターンとは、空間光変調素子10の温度に依存しない或いは、依存度が或る基準より小さい係数値のみから予め再構成された位相パターンである。本実施形態では、計算機ホログラム演算部25が、計算機ホログラム作成部24から提供される計算機ホログラムP2に含まれる位相変調量と、補正用パターンP4に含まれる補正位相値と、記憶部36の基準位相パターンP5に含まれる補正位相値とを画素毎に加算することにより、補正済位相パターンP3を作成する。図27は、本実施形態に係る空間光変調装置の動作を示すフローチャートである。図27を参照しながら、空間光変調装置の動作とともに、本実施形態の空間光変調方法について説明する。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS91。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から温度依存成分演算部35へ転送されるステップS92。次に、温度依存成分演算部35が、記憶部34に記憶されている各係数値空間光変調素子10の温度に依存する係数値の関数を順次読み出して、これらの関数に温度値Tsを適用する。これにより、温度値Tsに対応する各係数値が得られる。更に、温度依存成分演算部35が、これらの係数値から一の補正用パターンP4を再構成するステップS93。再構成された補正用パターンP4は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS94。続いて、計算機ホログラム演算部25が、計算機ホログラム作成部24から提供された計算機ホログラム所望の位相パターンP2と、補正用パターンP4と、基準位相パターンP5とを加算合成することにより、補正済位相パターンP3を作成するステップS95。この補正済位相パターンP3は、計算機ホログラム演算部25から駆動部26へ転送されるステップS96。そして、駆動部26が、補正済位相パターンP3に基づいて駆動信号SDを生成する駆動信号生成ステップS97。最後に、空間光変調素子10に含まれる複数の画素毎の位相変調量を、駆動信号SDにより制御する変調制御ステップS98。以上の構成を備える本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、次の効果を奏することができる。すなわち、空間光変調素子10の温度変化による位相歪みは、空間光変調素子10を構成するシリコン基板11や画素電極13aといった各構成要素の熱膨張率が互いに異なるという機械的な要因によると考えられる。したがって、空間光変調素子10では低次関数的な位相歪みが支配的である。例えば、補正用パターンをルジャンドル陪多項式によって表現した際には、低次の係数値或いは関数が温度変化の影響をより強く受ける傾向がある。故に、このような低次の係数値関数のみを温度補正し、それ以外の係数値関数については或る基準温度において取得した補正用パターンのものをそのまま用いるとよい。これにより、第1ないし第3実施形態と同様の温度補正を好適に実現することができるので、空間光変調素子10の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、制御部20Dにおける処理が、温度値Tsを関数に適用して係数値群A2を算出し、補正用パターンP4を再構成して基準位相パターンP5等に加算するだけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。特に本実施形態では、各演算部において、数個の関数への温度値Tsの代入や、画素毎の位相値の加算といった負荷の小さい演算が多いので、前述した第2実施形態や第3実施形態と比較して動作をより高速化できる。また、係数値群の算出のために低次の正規直交関数系を使用すると、補正パターンの高次成分を十分には表現できない場合がある。本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、そのような場合であっても、補正パターンの高次の係数値としては実測した位相歪みパターンから算出された一定値を用い、温度依存性が高い低次の係数値については温度値Tsに応じて可変とすることによって、温度変化による位相歪みを高い精度で補正することができる。なお、本実施形態において、記憶部34が記憶している関数の基となる係数値群は、互いの関数を独立に取り扱える正規直交関数系例えば、矩形の場合はルジャンドル陪多項式、円形の場合はゼルニケ多項式などを使用して算出されたものであることが好ましい。図28は、このような本実施形態による効果を示すグラフである。図28に示されるグラフG21~G23は、本実施形態の空間光変調装置における空間光変調素子10の温度値と、位相歪みの二乗平均の平方根単位:波長λとの関係を示したグラフである。なお、これらのグラフG21~G23は、空間光変調素子10における出射光像L3の位相歪みを5°C間隔で計測し、その計測結果からN個この例ではN=7の補正パターンを作成し、それらの補正パターンを10次ルジャンドル陪多項式により表現し、この10次ルジャンドル陪多項式の係数値のうち、グラフG21では一つ、グラフG22では二つ、グラフG23では三つの係数値に対し、二次の最小二乗法を適用することにより温度値Tsを変数とした関数を作成した場合を示している。また、図28に示されるグラフG24は、比較のため、空間光変調素子10における出射光像L3の位相歪みを或る基準温度この例では27°Cのときに計測し、その計測結果から補正パターンを一つのみ作成し、この補正パターンを所望の位相パターンに加算した場合における、空間光変調素子10の温度と位相歪みの二乗平均の平方根との関係を示している。グラフG24に示されるように、或る基準温度において作成した唯一の補正パターンを用いて所望の位相パターンを補正した場合、位相歪みは空間光変調素子10の温度変化に対して敏感に変化する。これに対し、本実施形態のように空間光変調素子10の温度値を変数とする関数を用いて補正パターンを作成し、この補正パターンを用いて所望の位相パターンを補正することにより、グラフG21~G23に示されるように、測定誤差は有るものの、位相歪みを位相変調量λの1/10以下に抑えることが可能となる。なお、本実施形態では、グラフG21~G23から明らかなように、温度値を変数とする関数が作成される係数値の数が多いほど、位相歪みをより効果的に抑えることができる。また、本実施形態では、記憶部34に記憶される関数、および記憶部36に記憶される基準位相パターンを予め適切に作成することが重要となる。図29は、これらの関数および基準位相パターンの作成方法の一例を示すフローチャートである。まず、空間光変調素子10の温度が基準温度例えば室温25°Cであるときに、空間光変調素子10から出射される出射光像L3の位相歪みを計測するステップS111。このとき、図1に示された光源2から光L1を出射させ、空間フィルタ3及びコリメート用レンズ4を通過した光像L2を空間光変調素子10に入射させ、空間光変調素子10から出射された出射光像L3がフーリエ変換レンズ5を通過した後のフーリエ光像L4の位相歪みすなわち光学系全体の位相歪みを計測することが好ましい。次に、計測した位相歪みを補正するための補正用パターンを作成するステップS112。そして、例えば10次ルジャンドル陪多項式を用いて補正用パターンを展開し、ルジャンドル陪多項式の各次数における係数値を算出するステップS113。そして、これらの係数値のうち温度依存性を有する次数を予め調べておき、その次数からなるルジャンドル陪多項式と該次数における係数値とに基づいて、温度依存性を有する成分のみからなる位相パターンを再構成するステップS114。ルジャンドル陪多項式は正規直交関数系なので、再構成された位相パターンを補正用パターンから差し引くことによりステップS115、残差成分である基準位相パターンが好適に得られる。また、温度依存性を有する次数に係る係数値を、温度値を変数とする関数によって表現することにより、記憶部34の関数が好適に得られる。また、本実施形態では、記憶部36に記憶されている基準位相パターンが一つのみである場合について説明した。しかしながら、記憶部36に記憶される基準位相パターンは、空間光変調素子10の複数の温度値に対応して複数用意されてもよい。その場合、制御部20Dは、図30に示されるように、記憶部36に記憶された複数の基準位相パターンから一の基準位相パターンを選択する選択部37を更に有することが好ましい。図30は、このような構成を制御部20Dが有する場合における、空間光変調装置の動作の一例を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS91。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から温度依存成分演算部35及び選択部37へ転送されるステップS115。温度依存成分演算部35は、記憶部34に記憶されている各係数値の関数を順次読み出して、これらの関数に温度値Tsを適用する。これにより、温度値Tsに対応する各係数値が得られる。更に、温度依存成分演算部35は、これらの係数値から一の補正用パターンP4を再構成するステップS93。再構成された補正用パターンP4は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS94。他方、選択部37は、温度値Tsを基に、記憶部36に記憶されている複数の基準位相パターンの中から、温度値Tsに最も近い温度値に対応する基準位相パターンを選択するステップS116。この基準位相パターンP5は、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS117。以後、本実施形態におけるステップS95~S98図27参照と同様の処理を行う。残差成分である基準位相パターンが、空間光変調素子10の温度に対して僅かに依存するような場合には、上記のような空間光変調方法を用いることによって、位相歪みの補正をより高精度に行うことができる。また、本実施形態において、空間光変調素子10として、電気アドレス型の液晶素子以外にも例えば光アドレス型の液晶素子や可変鏡型の変調素子など、様々な空間光変調素子を適用できる。また、本実施形態において、空間光変調素子10における温度センサ17の取り付け位置は、空間光変調素子10の筐体内部、空間光変調素子10の筐体外部、空間光変調素子10のガラス基板15の表面、空間光変調素子10のシリコン基板11の裏面、入射光像L2の入射位置、及び熱源となる空間光変調素子10の回路内部のうちいずれか一箇所であることが好ましい。或いは、これらのうち複数箇所に温度センサ17を配置し、若しくは一つの箇所に複数の温度センサ17を配置してもよい。空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置は、例えば以下のように動作するとよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択する。次に、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める。以後、本実施形態におけるステップS92~S98図27参照と同様の処理を行う。また、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置は、次のように動作してもよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択する。次に、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求める。そして、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値Tsとする。以後、上述した実施形態におけるステップS92~S98図27参照と同様の処理を行う。特に、空間光変調素子10の内部に温度勾配が生じる場合には、上記のように複数の温度センサ17を用いて複数箇所の温度を同時に計測し、それらの平均値または温度補正値を用いることによって、温度補正の精度を更に高めることができる。なお、空間光変調装置が上記のような動作を行う場合、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部34及び温度依存成分演算部35を設けても良い。或いは、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部34及び温度依存成分演算部35を設けても良い。これらの構成によれば、各記憶部34及び各温度依存成分演算部35を独立して扱うことができる。また、各記憶部34の容量が小さくて済むので、高価な大容量記憶素子を用いなくてもよい。なお、制御部20Dは、複数の記憶部34及び温度依存成分演算部35の中から一つの記憶部34及び温度依存成分演算部35を選択するための別の選択部を更に有すると尚好ましい。また、本実施形態では、制御部20Dが、温度依存性を有する係数値の数と同じ個数の温度依存成分演算部35及び記憶部34を有しても良い。これにより、並列演算処理が可能となり、演算を更に高速化できる。また、本実施形態若しくは上述した形態空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する形態において、温度センサ制御部21は、N個の補正用パターンに対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本実施形態において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、温度依存成分演算部35により再構成された補正用パターンP4を一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Dに設けておき、その別の記憶部から補正用パターンP4を適宜読み出すことによって、温度依存成分演算部35の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Dは、上記別の記憶部のほか、該別の記憶部に記憶された補正用パターンP4に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用パターンP4を計算機ホログラム演算部25に転送するとよい。なお、高精度の温度補正が要求される場合であっても、上記別の記憶部として高速応答メモリを用いることによって、このような構成が可能である。図31は、このような構成を有する制御部20Dの動作の一例を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値を求める温度取得ステップS91。次に、前回算出した温度値と、現在の温度値との差分を計算するステップS118。そして、現在の温度値をメモリに記憶させるとともに、現在の温度値及び差分を温度依存成分演算部35へ転送するステップS119。温度依存成分演算部35では、差分と閾値との大小が判定されステップS120、差分が閾値より小さい場合にはステップS120においてYes、別の記憶部に記憶されている補正用パターンP4を計算機ホログラム演算部25へ転送するステップS121。また、差分が閾値より大きい場合にはステップS120においてNo、温度依存成分演算部35が、記憶部34に記憶されている関数を読み出し、この関数に温度値Tsを適用することにより一の係数値群を算出し、その係数値群から一の補正用パターンP4を再構成し、別の記憶部に記憶させるステップS122。この補正用パターンP4は、別の記憶部から計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS121。以後、本実施形態におけるステップS95~S98図27参照と同様の処理を行う。また、本実施形態では、制御部20Dが記憶部34及び記憶部36といった二つの記憶部を有しているが、制御部20Dは、これらを統合した一つの記憶部を有してもよい。第3変形例ここで、第4実施形態の制御部20Dの変形例について説明する。本変形例では、記憶部36が、上述した基準位相パターンに代えて、基準温度における補正用パターンを記憶している。また、記憶部34は、N個の係数値群係数値列に含まれる各係数値についての温度値を変数とする関数を記憶しており、且つ、これらの関数は、基準温度を原点とし、該基準温度における係数値からの変化量を示す以下、この関数を差分関数という。すなわち、差分関数とは、基準温度から各温度に変化した際に位相歪みがどのように変化したかを示す情報であり、この差分関数から再構成される位相歪み補正用パターンを、基準温度における位相歪み補正用パターンに加算合成することによって、各温度における位相歪み補正用パターンが算出される。このように本変形例の記憶部34及び36は、基準温度における補正用パターンと、基準温度における係数値からの変化量を示す関数とを記憶することによって、実質的に、N個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群と温度値との関数を記憶している。図32は、このような構成を有する制御部20Dの動作を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS91。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から温度依存成分演算部35へ転送されるステップS92。次に、温度依存成分演算部35が、記憶部34に記憶されている差分関数を順次読み出して、これらの差分関数に温度値Tsを適用する。これにより、温度値Tsに対応する各係数値が得られる。更に、温度依存成分演算部35が、これらの係数値から一の補正用差分パターンを再構成するステップS123。再構成された補正用差分パターンは、計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS124。続いて、計算機ホログラム演算部25が、計算機ホログラム作成部24から提供された計算機ホログラム所望の位相パターンP2と、温度依存成分演算部35から提供された補正用差分パターンと、記憶部36に記憶された基準温度における補正用パターンとを加算合成することにより、補正済位相パターンP3を作成するステップS125。以後、上記実施形態におけるステップS96~S98図27参照と同様の処理を行う。なお、本変形例では、データ作成方法が第4実施形態とは少し異なる。まず、基準温度例えば室温25°Cのときの空間光変調素子10における出射光像L3の位相歪みを計測する。次に、各温度における出射光像L3の位相歪みを計測し、基準温度における位相歪みと、各温度における位相歪みとの差分パターンを生成する。この差分パターンを、例えば10次ルジャンドル陪多項式によって表現し、ルジャンドル陪多項式等の正規直交関数の各次数における係数値を算出する。これらの係数値を、温度を変数とした関数として表現することにより、記憶部34に記憶させておく差分関数を作成することができる。本変形例において例示したように、記憶部34及び36は、種々の方式により実質的に、N個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群と温度値との関数を記憶していてもよい。そのような場合であっても、第3実施形態と同様の作用効果を好適に得ることができる。なお、本変形例においても、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合には、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択し、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求めるとよい。この場合、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部34及び温度依存成分演算部35を設けても良い。或いは、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択し、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求め、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値Tsとしてもよい。この場合、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部34及び温度依存成分演算部35を設けても良い。また、本変形例において、温度センサ制御部21は、N個の差分係数値群に対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本変形例において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、温度依存成分演算部35により再構成された補正用差分パターンを一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Dに設けておき、その別の記憶部から補正用差分パターンを適宜読み出すことによって、温度依存成分演算部35の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Dは、上記別の記憶部のほか、該別の記憶部に記憶された補正用差分パターンに対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用差分パターンを計算機ホログラム演算部25に転送するとよい。また、本変形例において、記憶部36に記憶される補正用パターンは、複数の基準温度値に対応して複数用意されてもよい。その場合、制御部20Dは、記憶部36に記憶された複数の補正用パターンから一の補正用パターンを選択する選択部を更に有することが好ましい。また、本変形例において、制御部20Dは、差分関数の数と同じ個数の温度依存成分演算部35及び記憶部34を有しても良い。これにより、並列演算処理が可能となり、演算を更に高速化できる。また、本変形例では、制御部20Dが記憶部34及び記憶部36といった二つの記憶部を有しているが、制御部20Dは、これらを統合した一つの記憶部を有してもよい。第5の実施の形態本発明の第5実施形態に係る空間光変調装置の構成を以下に説明する。本実施形態の空間光変調装置は、第1実施形態と同様に、図1に示された光源2、空間フィルタ3、コリメート用レンズ4、フーリエ変換レンズ5、及び空間光変調素子10を備えている。これらの構成は、第1実施形態と同様である。また、本実施形態の空間光変調装置は、第1実施形態の制御部20Aに代えて、以下に説明する制御部を備えている。図33は、本実施形態に係る空間光変調装置が備える制御部20Eの構成を示すブロック図である。図33に示されるように、制御部20Eは、温度センサ制御部21、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、駆動部26、記憶部34、係数値演算部38、記憶部40、及び補正用パターン再構成部41を有する。これらのうち、温度センサ制御部21、計算機ホログラム作成部24、計算機ホログラム演算部25、及び駆動部26の構成は第1実施形態と同様である。また、記憶部34は、第4実施形態と同様に、空間光変調素子10の温度に依存する係数値についての関数を記憶している。この関数は、第4実施形態において示された方法によって好適に作成される図29参照。係数値演算部38は、温度センサ制御部21から提供された温度値Tsを、記憶部34に記憶された関数に適用することにより、一の係数値群を算出する。係数値演算部38は、生成した係数値群A4を、補正用パターン再構成部41へ提供する。記憶部40は、記憶部34と共に本実施形態の記憶手段を構成する。記憶部40は、基準係数値群を予め記憶している。基準係数値群とは、空間光変調素子10の温度に対して依存性を有しない或いは、依存度が或る基準より小さい係数値のみを含む係数値群である。補正用パターン再構成部41は、係数値群A4と基準係数値群A5とを組み合わせて得られる一の係数値群から一の補正用パターンP6を再構成する。補正用パターン再構成部41は、生成した補正用パターンP6を、計算機ホログラム演算部25へ提供する。本実施形態では、計算機ホログラム演算部25が、計算機ホログラム作成部24から提供される計算機ホログラムP2に含まれる位相変調量と、補正用パターンP6に含まれる補正位相値とを画素毎に加算することにより、補正済位相パターンP3を作成する。図34は、本実施形態に係る空間光変調装置の動作を示すフローチャートである。図34を参照しながら、空間光変調装置の動作とともに、本実施形態の空間光変調方法について説明する。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS131。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から係数値演算部38へ転送されるステップS132。次に、係数値演算部38が、記憶部34に記憶されている各係数値空間光変調素子10の温度に依存する係数値の関数を順次読み出して、これらの関数に温度値Tsを適用する。これにより、温度値Tsに対応する各係数値が得られるステップS133。そして、この係数値群A4が係数値演算部38から補正用パターン再構成部41に転送されるとともに、基準係数値群A5が記憶部40から補正用パターン再構成部41に転送されるステップS134。補正用パターン再構成部41は、これらの係数値群A4,A5から一の補正用パターンP6を再構成するステップS135。再構成された補正用パターンP6は、計算機ホログラム演算部25へ転送される。続いて、計算機ホログラム演算部25が、計算機ホログラム作成部24から提供された計算機ホログラム所望の位相パターンP2と、補正用パターンP6とを加算合成することにより、補正済位相パターンP3を作成するステップS136。この補正済位相パターンP3は、計算機ホログラム演算部25から駆動部26へ転送されるステップS137。そして、駆動部26が、補正済位相パターンP3に基づいて駆動信号SDを生成する駆動信号生成ステップS138。最後に、空間光変調素子10に含まれる複数の画素毎の位相変調量を、駆動信号SDにより制御する変調制御ステップS139。以上の構成を備える本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、次の効果を奏することができる。すなわち、本実施形態では、第4実施形態と同様に、温度変化の影響をより強く受ける係数値のみを温度補正し、それ以外の係数値については或る基準温度において取得した補正用パターンのものをそのまま用いている。第4実施形態における基準位相パターンP5の正規直交関数系の高次成分が位相歪みに対して強い影響を及ぼさない場合には、本実施形態のように、この基準位相パターンP5を正規直交関数系の係数値群として保持してもよい。これにより、第1ないし第3実施形態と同様の温度補正を好適に実現することができるので、空間光変調素子10の温度変化に伴う位相分布の歪みを好適に抑えることができる。また、制御部20Eにおける処理が、温度値Tsを関数に適用して係数値群A4を算出し、補正用パターンP6を再構成して加算するだけで済むので、動作の遅延を小さく抑えることができる。特に本実施形態では、各演算部において、数個の関数への温度値Tsの代入や、画素毎の位相値の加算といった負荷の小さい演算が多いので、前述した第2実施形態や第3実施形態と比較して動作をより高速化できる。また、係数値群の算出のために低次の正規直交関数系を使用すると、補正パターンの高次成分を十分には表現できない場合がある。本実施形態の空間光変調装置および空間光変調方法によれば、そのような場合であっても、補正パターンの高次の係数値としては実測した位相歪みパターンから算出された一定値を用い、温度依存性が高い低次の係数値については温度値Tsに応じて可変とすることによって、温度変化による位相歪みを高い精度で補正することができる。なお、本実施形態において、記憶部34が記憶している関数の基となる係数値群は、互いの関数を独立に取り扱える正規直交関数系例えば、矩形の場合はルジャンドル陪多項式、円形の場合はゼルニケ多項式などを使用して算出されたものであることが好ましい。また、本実施形態では、第4実施形態と異なり、記憶部40が基準位相パターンではなく係数値群を記憶している。このような構成により、予め記憶部に記憶させておくべきデータを簡易に作成できる。また、本実施形態では、記憶部40に記憶されている基準位相パターンが一つのみである場合について説明した。しかしながら、記憶部40に記憶される基準係数値群は、空間光変調素子10の複数の温度値に対応して複数用意されてもよい。その場合、制御部20Eは、第4実施形態の図30に示された構成と同様に、記憶部40に記憶された複数の基準係数値群から一の基準係数値群を選択する選択部を更に有することが好ましい。残差成分である基準位相値群が、空間光変調素子10の温度に対して僅かに依存するような場合には、このような構成によって、位相歪みの補正をより高精度に行うことができる。また、本実施形態において、空間光変調素子10として、電気アドレス型の液晶素子以外にも例えば光アドレス型の液晶素子や可変鏡型の変調素子など、様々な空間光変調素子を適用できる。また、本実施形態において、空間光変調素子10における温度センサ17の取り付け位置は、空間光変調素子10の筐体内部、空間光変調素子10の筐体外部、空間光変調素子10のガラス基板15の表面、空間光変調素子10のシリコン基板11の裏面、入射光像L2の入射位置、及び熱源となる空間光変調素子10の回路内部のうちいずれか一箇所であることが好ましい。或いは、これらのうち複数箇所に温度センサ17を配置し、若しくは一つの箇所に複数の温度センサ17を配置してもよい。空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置は、例えば以下のように動作するとよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択する。次に、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める。以後、本実施形態におけるステップS132~S139図34参照と同様の処理を行う。また、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合、空間光変調装置は、次のように動作してもよい。まず、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択する。次に、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求める。そして、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値Tsとする。以後、上述した実施形態におけるステップS132~S139図34参照と同様の処理を行う。特に、空間光変調素子10の内部に温度勾配が生じる場合には、上記のように複数の温度センサ17を用いて複数箇所の温度を同時に計測し、それらの平均値または温度補正値を用いることによって、温度補正の精度を更に高めることができる。なお、空間光変調装置が上記のような動作を行う場合、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部34及び係数値演算部38を設けても良い。或いは、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部34及び係数値演算部38を設けても良い。これらの構成によれば、各記憶部34及び各係数値演算部38を独立して扱うことができる。また、各記憶部34の容量が小さくて済むので、高価な大容量記憶素子を用いなくてもよい。なお、制御部20Eは、複数の記憶部34及び係数値演算部38の中から一つの記憶部34及び係数値演算部38を選択するための別の選択部を更に有すると尚好ましい。また、本実施形態では、制御部20Eが、温度依存性を有する係数値の数と同じ個数の係数値演算部38及び記憶部34を有しても良い。これにより、並列演算処理が可能となり、演算を更に高速化できる。また、本実施形態若しくは上述した形態空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する形態において、温度センサ制御部21は、N個の補正用パターンに対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本実施形態において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、補正用パターン再構成部41により再構成された補正用パターンP6を一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Eに設けておき、その別の記憶部から補正用パターンP6を適宜読み出すことによって、係数値演算部38及び補正用パターン再構成部41の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Eは、上記別の記憶部のほか、該別の記憶部に記憶された補正用パターンP6に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用パターンP6を計算機ホログラム演算部25に転送するとよい。なお、高精度の温度補正が要求される場合であっても、上記別の記憶部として高速応答メモリを用いることによって、このような構成が可能である。図35は、このような構成を有する制御部20Eの動作の一例を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値を求める温度取得ステップS131。次に、前回算出した温度値と、現在の温度値との差分を計算するステップS141。そして、現在の温度値をメモリに記憶させるとともに、現在の温度値及び差分を選択部へ転送するステップS142。選択部では、差分と閾値との大小が判定されステップS143、差分が閾値より小さい場合にはステップS143においてYes、別の記憶部に記憶されている補正用パターンP6を計算機ホログラム演算部25へ転送するステップS144。また、差分が閾値より大きい場合にはステップS143においてNo、係数値演算部38が、記憶部34に記憶されている関数を読み出し、この関数に温度値Tsを適用することにより一の係数値群を算出する。更に、補正用パターン再構成部41が、算出した係数値群及び基準係数値群から一の補正用パターンP6を再構成するステップS145。この補正用パターンP6は、別の記憶部へ転送されステップS146、更に別の記憶部から計算機ホログラム演算部25へ転送されるステップS144。以後、本実施形態におけるステップS136~S139図34参照と同様の処理を行う。また、本実施形態では、制御部20Eが記憶部34及び記憶部40といった二つの記憶部を有しているが、制御部20Eは、これらを統合した一つの記憶部を有してもよい。第4変形例ここで、第5実施形態の制御部20Eの変形例について説明する。本変形例では、記憶部40が、上述した基準係数値群に代えて、基準温度における補正用パターンについての係数値群を記憶している。また、記憶部34は、前述した第3変形例と同様にN個の差分関数を記憶している。このように本変形例の記憶部34及び40は、基準温度における補正用パターンについての係数値群と、N個の差分関数基準温度における係数値からの変化量を示す関数とを記憶することによって、実質的に、N個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群と温度値との関数を記憶している。図36は、このような構成を有する制御部20Eの動作を示すフローチャートである。まず、温度センサ制御部21が温度信号Stempを温度センサ17から取得し、この温度信号Stempに基づいて、空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求める温度取得ステップS131。この温度値Tsに関する情報は、温度センサ制御部21から温度依存成分演算部35へ転送されるステップS132。次に、係数値演算部38が、記憶部34に記憶されている各係数値の関数を順次読み出して、これらの関数に温度値Tsを適用する。これにより、温度値Tsに対応する各係数値が得られるステップS133。そして、この係数値群が係数値演算部38から補正用パターン再構成部41に転送されるとともに、基準温度における補正用パターンについての係数値群が記憶部40から補正用パターン再構成部41に転送されるステップS147。補正用パターン再構成部41は、これらの係数値群を加算し、一の補正用パターンP6を再構成するステップS148。再構成された補正用パターンP6は、計算機ホログラム演算部25へ転送される。以後、上記実施形態におけるステップS136~S139図34参照と同様の処理を行う。なお、本変形例では、前述した第3変形例と同様に、データ作成方法が第5実施形態とは少し異なる。まず、基準温度例えば室温25°Cのときの空間光変調素子10における出射光像L3の位相歪みを計測する。次に、各温度における出射光像L3の位相歪みを計測し、基準温度における位相歪みと、各温度における位相歪みとの差分パターンを生成する。この差分パターンを、例えば10次ルジャンドル陪多項式によって表現し、ルジャンドル陪多項式等の正規直交関数の各次数における係数値を算出する。これらの係数値を、温度を変数とした関数として表現することにより、記憶部34に記憶させておく差分関数を作成することができる。本変形例において例示したように、記憶部34及び36は、種々の方式により実質的に、N個の補正用パターンから算出されたN個の係数値群と温度値との関数を記憶していてもよい。そのような場合であっても、第3実施形態と同様の作用効果を好適に得ることができる。なお、本変形例においても、空間光変調素子10が温度センサ17を複数有する場合には、複数の温度センサ17の中から計測に用いる温度センサ17を選択し、選択した温度センサ17から提供される温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21が空間光変調素子10の現在の温度値Tsを求めるとよい。この場合、一つの温度センサ17に対して各一つの記憶部34及び係数値演算部38を設けても良い。或いは、複数の温度センサ17の中から計測に用いる二以上の温度センサ17を選択し、選択した二以上の温度センサ17から提供される二以上の温度信号Stempに基づいて、温度センサ制御部21がこれらに対応する二以上の温度値を求め、これらの温度値の平均値、若しくは計測箇所に応じて重み付けされた温度補正値を算出し、その値を温度値Tsとしてもよい。この場合、温度センサ17の複数の組み合わせに対して各一つの記憶部34及び係数値演算部38を設けても良い。また、本変形例において、温度センサ制御部21は、N個の差分係数値群に対応するN個の温度値を予め保持しておき、温度信号Stempに基づいてこれらN個の温度値の中から一の温度値を選択するか、若しくは温度信号Stempに補正係数を乗算する等、温度信号Stempの温度情報を前処理して温度値Tsを生成しても良い。また、本変形例において、記憶部40に記憶される係数値群は、複数の基準温度値に対応して複数用意されてもよい。その場合、制御部20Eは、記憶部40に記憶された複数の係数値群から一の係数値群を選択する選択部を更に有することが好ましい。また、本変形例において、空間光変調素子10の温度変化が緩やかであるか、若しくは要求される温度補正の精度が比較的低い場合には、補正用パターン再構成部41により再構成された補正用パターンP6を一時的に保持しておく別の記憶部例えば、フレームメモリなどを制御部20Eに設けておき、その別の記憶部から補正用パターンP6を適宜読み出すことによって、係数値演算部38及び補正用パターン再構成部41の動作頻度を少なくしてもよい。その場合、制御部20Eは、上記別の記憶部のほか、該別の記憶部に記憶された補正用パターンP6に対応する温度値を記憶する手段と、該温度値と現在の温度値Tsとの差分を算出する手段とを更に有することが好ましい。そして、この差分が閾値より小さい場合には、上記別の記憶部に記憶された補正用パターンP6を計算機ホログラム演算部25に転送するとよい。また、本変形例において、制御部20Eは、差分関数の数と同じ個数の係数値演算部38及び記憶部34を有しても良い。これにより、並列演算処理が可能となり、演算を更に高速化できる。また、本変形例では、制御部20Eが記憶部34及び記憶部40といった二つの記憶部を有しているが、制御部20Eは、これらを統合した一つの記憶部を有してもよい。本発明による空間光変調装置および空間光変調方法は、上述した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、上述した各実施形態に係る空間光変調装置は、空間光変調素子10の出射光像L3またはフーリエ光像L4の波面位相歪みを計測する手段例えば、マイケルソン干渉計などの干渉計測装置やシャックハルトマンセンサなどの波面センサを更に備えても良い。これにより、室温基準温度における波面位相歪みを計測し、この計測結果をもとに補正用パターンを空間光変調装置において算出することができる。また、この場合、室温以外の或る基準温度に空間光変調素子10や光学系の温度を制御する装置を更に備えることによって、任意の温度を基準温度として補正用パターンを作成することができる。また、この場合、第2実施形態ないし第5実施形態に係る空間光変調装置は、算出した補正用パターンを係数値群に変換する装置を更に備えることが好ましい。更に、第3実施形態ないし第5実施形態に係る空間光変調装置は、係数値群を、関数を変数とする関数に変換する装置を更に備えることがより好ましい。また、上述した各実施形態に係る空間光変調装置は、空間光変調素子10の温度を制御するための機構を更に備えても良い。これにより、更に高い精度で位相歪みを補正できる。また、上述した各実施形態では、空間光変調素子の画素電極が複数行および複数列にわたって二次元状に配置されている場合を例示したが、本発明における空間光変調素子はこれに限られず、例えば複数の画素電極が一次元状に配置された構成を有していてもよい。"