発熱体を内蔵するジャケットヒータであって、ワット密度0.15W/cm2以上の発熱体と、発熱体に隣接して配置される金属箔と、発熱体及び金属箔を包囲する包囲体と、を備えるジャケットヒータ。包囲体が、フッ素樹脂製シートまたはフッ素樹脂コーティング処理を施した無機繊維製クロスである、請求項1に記載のジャケットヒータ。発熱体と金属箔との間に電気絶縁性を有する絶縁部材が介在している、請求項1または2に記載のジャケットヒータ。発熱体の、金属箔が配置される側とは反対側に断熱材が配置される、請求項1~3の何れか一項に記載のジャケットヒータ。発熱体が電熱線を含む、請求項1~4の何れか一項に記載のジャケットヒータ。包囲体の金属箔側の面が被加熱体に接するように装着される、請求項1~5の何れか一項に記載のジャケットヒータ。請求項1~6の何れか一項に記載のジャケットヒータを被加熱体に装着する装着方法であって、包囲体の金属箔側の面が被加熱体に接するように装着する、装着方法。特許文献1のマントルヒータ10では、内層材100がフッ素系樹脂製であるため、その融点は300°Cを若干上回る程度であり、被加熱体の表面温度の設定を250°Cを超えるような高温に設定すると、内層材が熱劣化しまうことが懸念されている。加熱温度に対する要求は今後とも高まることが予測されており、そのためには、発熱体の発熱量を大きくする必要がある。しかし、発熱体の発熱量が高まるのに伴い、内層材100を厚くして耐久性を高めることが考えられるが、柔軟性を損ねたり、コスト増を招くことになる。また、マントルヒータジャケットヒータでは、配管等を所定の温度を保つようにサーモスタットや、熱電対、測温抵抗体を用いて発熱体への通電を制御しているが、例えば、発熱体の発熱量が小さいと、所定温度まで昇温しないか、昇温したとしても時間がかかってしまうことが懸念される。加熱昇温時間を短縮するには、発熱量の大きな発熱体を使用すればよいが、上記の問題が起こる。そこで本発明は、発熱量の大きい発熱体を使用しても内層材及び外層材といった包囲体特に、内層材の熱劣化を抑えることができるジャケットヒータを提供することを目的とする。本発明は、上記目的を達成するために下記のジャケットヒータを提供する。1発熱体を内蔵するジャケットヒータであって、ワット密度0.15W/cm2以上の発熱体と、発熱体に隣接して配置される金属箔と、発熱体及び金属箔を包囲する包囲体と、を備えるジャケットヒータ。2包囲体が、フッ素樹脂製シートまたはフッ素樹脂コーティング処理を施した無機繊維製クロスである、上記1に記載のジャケットヒータ。3発熱体と金属箔との間に電気絶縁性を有する絶縁部材が介在している、上記1または2に記載のジャケットヒータ。4発熱体の、金属箔が配置される側とは反対側に断熱材が配置される、上記1~3の何れか一つに記載のジャケットヒータ。5発熱体が電熱線を含む、上記1~4の何れか一つに記載のジャケットヒータ。6包囲体の金属箔側の面が被加熱体に接するように装着される、上記1~5の何れか一つに記載のジャケットヒータ。7上記1~6の何れか一つに記載のジャケットヒータを被加熱体に装着する装着方法であって、包囲体の金属箔側の面が被加熱体に接するように装着する、装着方法。本発明のジャケットヒータでは、金属箔が介在することにより、例えば、0.15W/cm2以上とった発熱量の大きい発熱体を使用しても包囲体特に、内層材の熱劣化を抑えることができる。また、金属箔によりヒータから伝わる熱が均一に拡散されるため、面状に均一に加熱でき、加熱効率も高まる。更に、ワット密度を高くできることで、ヒータの設計において、ヒータ線を短くすることが可能になり、ヒータ線同士のピッチを広げることができ、製造上省力化できる。更にまた、包囲体により、発塵も抑えられるため、クリーンルーム等において好適に使用することができる。以下、本発明に関するジャケットヒータを説明する。本態様のジャケットヒータ10は、その全体構成は図5に示したものと同様であり、包囲体としての内層材100と外層材200との間に、支持体無機繊維製シート303に発熱線電熱線302を取り付けた発熱体300と断熱材400とを積層したものであるが、更に、図1に断面図で示すように、発熱体300と内層材100との間に金属箔500を介在して構成されている。包囲体である内層材100及び外層材200としては、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルコキシエチレン共重合体PFA、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体FEP、ポリクロロトリフルオロエチレンPCTFE、テトラフルオロエチレン-エチレン共重合体ETFE、クロロトリフルオロエチレン-エチレン共重合体ECTFE、ポリビニリデンフロライドPVDF等のフッ素系樹脂からなるフッ素樹脂製シート、あるいは前記のフッ素系樹脂の繊維を編んだフッ素樹脂繊維製クロス織布、ガラス繊維や、シリカ繊維、アルミナ繊維、シリカアルミナ繊維といった無機繊維からなる無機繊維製クロス織布、こういった無機繊維製クロスに前記フッ素系樹脂をコーティング処理したフッ素樹脂コーティング無機繊維製クロスなどを使用できる。また、この内層材100及び外層材200として、上記フッ素系樹脂以外にポリアミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフタルアミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリメチルペンテン等の、耐熱性ではあるが、フッ素系樹脂よりは低融点の樹脂も使用できる。こうした包囲体の厚さは、本発明の効果が得られれば特に制限はないが、0.1~8mmが適当であり、0.1~5mmが好適であり、0.1~2mmがさらに好適である。発熱体300は、ワット密度が0.15W/cm2以上であれば特に制限はなく、例えば、通電によって発熱するニクロム線や、スレンレス線といった発熱線電熱線302を使用することができる。こうした電熱線302は電気的に絶縁されることが好ましい。こうした絶縁は、電熱線302にガラス繊維や、シリカ繊維、アルミナ繊維、シリカアルミナ繊維といった無機繊維からなる無機繊維製スリーブを被覆したり、樹脂をコーティングしたりすればよい。また、電熱線に代えて、カーボン製発熱体やセラミックス製発熱体を使用してもよい。ここで、本発明において、ワット密度とは、電力密度とも呼ばれ、ジャケットヒータの単位表面積cm2あたりの電気容量Wで表現されるヒータの表面負荷W/cm2の度合いのことをいう。一般的に、ワット密度の数値が大きければ、ヒータの表面温度は高くなり、逆に、ワット密度の数値が小さければ、ヒータの表面温度は低くなる。また、ワット密度の上限に特に制限はないが、0.5W/cm2以下であればよく、具体的には、0.15~0.5W/cm2であればよく、0.17~0.5W/cm2、0.20~0.5W/cm2、0.25~0.5W/cm2とすることもできる。こうした電熱線302は、支持体303に所望のパターンに縫い糸304で縫い付けられてもよい。こうした支持体303は、例えば、ガラス繊維や、シリカ繊維、アルミナ繊維、シリカアルミナ繊維といった無機繊維からなる無機繊維製クロスを用いることができる。ここで、本発明においては、ワット密度の高い電熱線を使用することができるため、電熱線の直径を太く、長さを短くすることができるほか、隣接する電熱線同士の間隔以下、ピッチともいうを、従来よりも広くすることができる。具体的には、こうしたピッチは、均熱性を確保するため、従来10~35mm程度であったが、本発明の構成によれば、例えば40~70mm、好ましくは45~60mmとすることもできる。断熱材400は、ガラスファイバーやセラミックファイバー、シリカファイバー等を集成し、ニードル加工を施した無機繊維マットを使用できる。また、コロイダルシリカやアルミナゾル、ケイ酸ソーダ等の無機質バインダーや、でんぷんなどの有機質バインダーでマット状に成形してもよい。あるいは、アラミドやポリアミド、ポリイミド等の耐熱性の有機樹脂製多孔質成形体とすることもできる。こうした断熱材の厚さは、本発明の効果が得られれば特に制限はないが、5~100mmが適当であり、5~50mmが好適であり、8~30mmがさらに好適である。上述した材料のほかに、断熱材として、エアロゲルが充填された繊維体エアロゲル繊維体を使用することもできる。こうしたエアロゲル繊維体は、繊維基材にエアロゲルが充填されてなる断熱材である。エアロゲル繊維体を構成する繊維基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートPET繊維等の有機繊維、カーボン繊維、ガラス繊維、アルミノシリケート繊維、シリカ繊維、ムライト繊維やアルミナ繊維等の無機繊維からなる繊維基材を用いることができ、耐熱性に優れた無機繊維からなる繊維基材を好ましく用いることができる。すなわち、繊維基材としては、無機繊維の織布又は不織布を好ましく用いることができる。ここで、不織布としては、例えば、無機繊維を抄造機により抄造して得られる紙状のものや、集綿した無機繊維をニードル加工してマット状に成形したブランケットや、無機繊維に有機バインダーを加えてマット状に成形したフェルト等のマットを用いることができる。繊維基材として、無機繊維がランダムに配向した不織布を用いることにより、当該繊維基材の無機繊維間にエアロゲルを効果的に保持することができる。また、繊維基材を構成する無機繊維としては、例えば、本発明のジャケットヒータが、100°C未満といった、それほど耐熱性が要求されない環境で使用される場合には、エアロゲル繊維体に優れた柔軟性を付与できるPET繊維等の有機繊維を好ましく用いることができる。また、例えば、本発明のジャケットヒータが、100~250°Cといった、ある程度の耐熱性が要求される環境で使用される場合には、安価なガラス繊維を好ましく用いることができる。また、例えば、本発明のジャケットヒータが、250°Cを超えるような高い耐熱性が要求される環境で使用される場合には、耐熱性の高いアルミノシリケート繊維、シリカ繊維、ムライト繊維やアルミナ繊維等のセラミックス繊維を好ましく用いることができる。エアロゲルとしては、例えば、無機材料からなるエアロゲル無機エアロゲル又は有機材料からなるエアロゲル有機エアロゲルを用いることができ、耐熱性に優れた無機エアロゲルを好ましく用いることができる。無機エアロゲルとしては、例えば、シリカエアロゲルやアルミナエアロゲルを用いることができる。特に、シリカエアロゲルを用いることにより、エアロゲル繊維体の断熱性を効果的に高めることができる。したがって、エアロゲル繊維体としては、無機繊維の不織布に無機エアロゲルが充填されたものを好ましく用いることができる。具体的には、例えば、セラミックス繊維の不織布にシリカエアロゲルが充填されたエアロゲル繊維体や、ガラス繊維マットにシリカエアロゲルが充填されたエアロゲル繊維体を好ましく用いることができる。こうしたエアロゲル繊維体としては、例えば、AspenAerogelsIncからSPACELOFT2200、SPACELOFT2250、Pyrogel6650、PyrogelXTといった製品が入手可能である。エアロゲル繊維体に含有されるエアロゲルと繊維基材との比率は、当該エアロゲル繊維体が備えるべき特性例えば、断熱性、耐熱性、低発塵性、可撓性に応じて適宜設定することができる。エアロゲル繊維体の密度は、例えば、20~500kg/m3の範囲とすることができ、好ましくは100~300kg/m3の範囲とすることができる。このようなエアロゲル繊維体は、繊維間の空隙を埋めるエアロゲル内の微細孔により、当該エアロゲル繊維体内における空気の対流が効果的に防止されるため、優れた断熱性を有する。具体的に、エアロゲル繊維体の25°Cにおける熱伝導率は、例えば、0.024W/mK以下とすることができ、好ましくは0.020W/mK以下とすることができ、より好ましくは0.018W/mK以下とすることができる。また、エアロゲル繊維体の80°Cにおける熱伝導率は、例えば、0.035W/mK以下とすることができ、好ましくは0.027W/mK以下とすることができ、より好ましくは0.025W/mK以下とすることができる。このように、エアロゲル繊維体は優れた断熱性を有するため、十分な断熱性を維持しつつ薄型化することができる。具体的に、エアロゲル繊維体の厚さは、例えば、1~50mmの範囲とすることができ、好ましくは1~25mmの範囲とすることができ、より好ましくは1~15mmの範囲とすることができる。断熱材の厚さを低減することにより、本発明のジャケットヒータの可撓性を向上させることができるほか、ジャケットヒータの厚さを低減でき省スペース化に寄与することもできる。金属箔500としては、熱伝導率が高ければ特に制限はない。安価であることからアルミ箔が好適であるが、銅やステンレスなどといった他の金属であってもよい。また、金属箔500の厚さは、薄すぎると破断するおそれがあり、厚すぎると可撓性が損なわれ、コスト増にもなるため、20μm~5mmが適当であり、30~100μmが好適であり、40~70μmがさらに好適である。また、図2に示すように、発熱体300を構成する電熱線302と金属箔500との間に、電気絶縁性を有する絶縁部材600をさらに介在させることもできる。こうした絶縁部材600の材料としては、例えば、ガラス繊維や、シリカ繊維、アルミナ繊維、シリカアルミナ繊維などといった無機繊維製クロスが適当である。こうした絶縁部材により、電熱線と金属箔との間には電気的な絶縁を確実に確保することができる。また、本発明において、金属箔500と絶縁部材600とを一体に接合したものを、絶縁部材600が発熱体側となるように、発熱体と包囲体の間に介在させてもよい。具体的には、無機繊維製クロスの表面にアルミ箔を熱融着加工したものや、アルミ蒸着フィルムを接着加工したもの、アルミ転写加工したものなどといったアルミ加工クロスを無機繊維製クロスが露出する側を発熱体側となるように配置すればよい。こうしたアルミ加工クロスは、例えば、ニチアス株式会社製アルミ加工クロスを使用することができる。発熱体300を構成する、上記のような発熱量の大きな電熱線301では、表面温度は500°C近くにまで上昇するため、内層材100の電熱線の直下部分においては、直接熱が伝わってしまうと、早期に劣化してしまう可能性があるが、金属箔500が介在することにより、金属箔に伝わった熱が金属箔内で均一に拡散するため、内層材100へ電熱線からの直接的な伝熱が抑えられ、熱劣化を防ぐことができる。また、内層材100および外層材200の両周縁部103、104は、縫合や熱溶着などにより接合することにより、発熱体300、断熱材400及び金属箔500を積層した状態で、内層材100と外層材200とにより包囲する。ここで、本発明のジャケットヒータと配管といった被加熱体とを含む断面構造においては、当該配管の径方向外側に向けて、当該配管の外表面、本発明のジャケットヒータの包囲体としての内層材、金属箔、発熱体、断熱材、包囲体としての外層材が順次積層されることとなる。なお、上述したように、金属箔と発熱体の間に絶縁部材を介在してもよい。上記のジャケットヒータ10を配管20に被覆させるには、従来と同様に、両周縁部103、104の間隔を拡げて配管20に装着させた後、両周縁部103、104を当接させて、例えば、端面の面ファスナー105、106を介して固定させる。面ファスナー105、106に代えて、ホックやバックルなどの器具、ベルト類など公知の固定手段も採用できる。尚、ジャケットヒータ10は、図5に図示されるように、配管20に装着するような円筒状とする他、曲管やL字状の管に装着できるように、全体を湾曲あるいはL字状に形成することもでき、被加熱体が四角いケース状であるような場合には、箱形状、板状に形成することもできる。上述した構成によれば、本発明のジャケットヒータは、被加熱体の最高表面温度最高使用温度の設定を250°C超とすることができる。なお、被加熱体の最高表面温度は200~250°Cであってもよく、この場合、昇温速度の速いジャケットヒータを提供することができる。以下に、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明はこれにより何らに制限されるものではない。試験サンプル作製シリカ繊維製スリーブに挿入したニクロム線を、支持体としてのガラスクロス厚さ0.25mmの表面に縫い糸で縫い付けて発熱体とした。この発熱体のワット密度は0.17W/cm2であった。そして、ガラスクロス側に厚さ50μmの金属箔としてのアルミ箔を積層し、ニクロム線側に断熱材としてのガラス繊維製マット厚さ16mmを積層して積層体を作成した。次いで、この積層体を包囲体としてのフッ素樹脂PTFEコーティング処理を施したガラス繊維製クロス厚さ0.25mmで包囲し、端部を接合して、図3に示すような断面形状を有するサンプルAを作製した。尚、ガラス繊維製クロスにコーティングしたPTFEの融点は327°Cである。また、比較のために、アルミ箔を介在させないこと以外は同様にして、サンプルBを作製した。表面温度測定被加熱体としての配管の表面温度が250°Cになるように設定し、サンプルA、Bのニクロム線に通電し、ニクロム線の直下の配管に接するフッ素樹脂PTFEコーティング処理を施したガラス繊維製クロスの表面の温度を測定した。結果を図4に示すが、アルミ箔を介在させないサンプルBでは、表面温度が約300°Cまで昇温したのに対し、アルミ箔を介在させたサンプルAでは最高でも約270°Cであり、本発明に従いアルミ箔を介在させることの効果が確認された。本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。本出願は、2010年4月6日出願の日本特許出願2010-088006に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。