"内側に空間を持つ質量体と、前記質量体を支え、かつ前記質量体を取り囲むように配置される、円弧状の梁と、前記質量体の前記空間に対向電極を持つ加速度スイッチにおいて、前記質量体の体積を変えることで、多種類の加速度感度の閾値を実現したことを特徴とした加速度スイッチ。内側に空間を持つ質量体と、前記質量体を支え、かつ前記質量体を取り囲むように配置される、円弧状の梁と、前記質量体の前記空間に対向電極を持つ加速度スイッチにおいて、前記質量体の表面積を変えることで、加速度感度の調整をすることを特徴とした請求項1に記載の加速度スイッチ。内側に空間を持つ質量体と、前記質量体を支え、かつ前記質量体を取り囲むように配置される、円弧状の梁と、前記質量体の前記空間に対向電極を持つ加速度スイッチにおいて、前記質量体の一部を削除することで、加速度感度の調整をすることを特徴とした請求項1に記載の加速度スイッチ。内側に空間を持つ質量体と、前記質量体を支え、かつ前記質量体を取り囲むように配置される、円弧状の梁と、前記質量体の前記空間に対向電極を持つ加速度スイッチにおいて、前記質量体の体積、または前記円弧状の梁の寸法、または前記質量体と前記対向電極との間隔を変えることで、単一の加速度感度の閾値を持ちかつ多種類の加速度感度の閾値を実現したことを特徴とした加速度スイッチ。内側に空間を持つ質量体と、前記質量体を支え、かつ前記質量体を取り囲むように配置される、円弧状の梁と、前記質量体の前記空間に対向電極を持つ加速度スイッチにおいて、質量体の体積、または前記円弧状の梁の寸法、または前記質量体と前記対向電極との間隔を変えることで、単一の加速度感度の閾値を持ち、該閾値を超える加速度が加わると前記質量体と前記対向電極とが接触することで、電子機器の動作を開始させることを特徴とした加速度スイッチ。しかしながら、振動や加速度を感知して、システムのオン、オフを行うような場合は、振動や加速度の強度はアプリケーションによって様々である。例えば、歩数計の様な機器ではせいぜい2G以下の加速度しか機器に発生しないために、起動をかける加速度スイッチとしては1.5G程度の加速度に反応するスイッチが必要になる。また、パソコン用のマウスでは、手の弱い動きに反応する必要があるため0.5G程度に反応するスイッチが必要である。このような様々な加速度の要求に対して、加速度センサが対応してきた。したがって、常時加速度を検出するために加速度センサも常時駆動が求められていた。しかし、加速度センサの消費電流は大きく、電池駆動のポータブル機器ではその寿命が極めて短くなってしまうという欠点がある。そこで、本発明の目的は、単一の加速度閾値を持ち、低消費電流でかつばらつきの小さい加速度スイッチを供給することである。本発明は、内側に空間を持つ質量体と、前記質量体を支え、かつ質量体を取り囲むように配置される、円弧状の梁と、質量体の空間に対向電極を持つ加速度スイッチにおいて、質量体の体積を変えることで、加速度感度の調整をする。これにより、単一の加速度感度の閾値を持った加速度スイッチを、例えば0.2Gステップで複数用意し、多種類感度の加速度スイッチをユーザに供給することができる。質量体の体積を変える方法は、具体的には質量体のXY面内の表面積を変えることである。また、他の具体的方法は質量体の一部をエッチングにより削除することである。または円弧状の梁の寸法、または質量体と対向電極との間隔を変えることで、単一の加速度感度の閾値を持った加速度スイッチを、例えば0.1Gから2Gまで0.2Gステップで複数用意し、多種類感度の加速度スイッチをユーザに供給することができる。本発明によれば、単一の加速度感度の閾値を持ち、低消費電流でかつばらつきの小さい加速度スイッチを供給することができる。以下、本発明を実施するための一形態について図面を参照して説明する。まず意匠文献にある加速度スイッチの構成と動作について説明する。図5は意匠登録1310053号に見られる質量体内部の空間に対向電極を持つ、無指向性加速度スイッチ100の構成を説明する、上面側から見た図である。101は加速度スイッチ100の周辺部外枠、102から105は錘106を支える梁。107は対向電極である。しかし梁が4本と多く複雑なため、詳細の説明は図5に代わって梁が1本の場合の図2を用いて行う。図2は上述したように梁1本の場合の加速度スイッチ200の上面側から見た図である。ただし実際にはこの上にキャップとなる層、およびこの下には支持層が存在する。図3は図2で示すA-A ́面で切った断面図であり、図2で省略されている層も含む。また図2は図3のB-B ́面で切った図に相当する。図2~図3に示すように、加速度スイッチ200は、上から、ガラスなどの絶縁材料を用いる第1基板205、単結晶シリコンなどを用いる第2基板201、およびガラスなどの絶縁材料を用いる第3基板206が積層されて構成される。第2基板の単結晶シリコンは電気的な導通を取るためたとえば低抵抗シリコンが使用される。また貫通電極207および208は金などの金属を埋め込むことにより形成され、加速度スイッチを外部と結びつけるための接点となる。また第1基板と第3基板は陽極接合などの方法により第2基板と接合される。ここで図4に示すように矢印方向に加速度が加わるとスイッチ全体は矢印方向に運動し、梁で支えられた質量体は運動しないため、質量体内部の空間にある対向電極204と質量体203が接触する。なお図4ではわかりやすくするため、質量周辺の梁や周辺部は省略されている。これにより電気的導通が対向電極204から質量体203、梁202、基板周辺部201、貫通電極207を通り外部接点とつながる。また対向電極204はもう一つの貫通電極208を通じて外部接点とつながる。これによりこの加速度スイッチを電子デバイスのスイッチとして使用すれば、振動を検知したときのみ加速度センサ等の電子デバイスを起動させ、振動を検知しないときは電子デバイスをオフの状態にすることにより、無駄なバッテリーの使用を制限することなどができる。シミュレーションにより、Si単結晶を構造体の材料として用い、1Gの加速度を錘のZ軸方向およびX-Y平面方向に同時に加えたときの変位を計算すると以下の結果が得られた。梁の厚さが20マイクロメーターの場合の錘の変位。単位はマイクロメーターX方向の最大変位:23.67Y方向の最大変位:3.42梁の厚さが40マイクロメーターの場合の錘の変位。単位はマイクロメーターX方向の最大変位:12.17Y方向の最大変位:1.87また同様にZ軸およびY軸方向に1Gの加速度を加えた結果は下記の通りである。梁の厚さが20マイクロメーターの場合の錘の変位。単位はマイクロメーターY方向の最大変位:23.70X方向の最大変位:0.65梁の厚さが40マイクロメーターの場合の錘の変位。単位はマイクロメーターY方向の最大変位:12.09X方向の最大変位:0.34上記結果より1X軸方向に加速度を加えた場合のX軸方向の最大変位とY軸方向に加速度を加えた場合のY軸方向の最大変位との差は0.12程度であり、X、Y方向にほぼ同等の変位を示す。2X軸方向に加速度を加えた場合、傾きとしてY方向へ変位する量は、X方向の最大変位の14程度、および15程度である。3Y軸方向に加速度を加えた場合、傾きとしてX方向へ変異する量は、Y方向の最大変位の2.7程度、および2.8程度であった。上記1から3によりX方向とY方向の感度はほぼ同等であり、かつそれぞれ加速度が加えられた方向に錘が素直に変位し、傾いた方向に変位することもあまりない。したがって、たとえば人間の動きを振動で感知してポータブルな電子デバイスのON,OFFを行うような使い方としては十分に等方的な感度を持ち、偏った感度のために加速度の方向によっては感度が低いとか、感度を持たないなどの懸念はないといえる。その為、加速度スイッチとして、十分使用できる。ところで、本加速度スイッチは単一の加速度感度を有していることが特徴である。したがって感度違い品をシリーズで製品化することにより、ユーザは必要な感度の加速度スイッチを入手することができる。例えば、この加速度スイッチを歩数計に使用した場合を考える。人間が立つ動作時には1.5G程度の加速度が垂直方向にかかるため、加速度感度1.5Gの加速度スイッチを歩数計に実装しておく。それにより、人間が立つた瞬間、本加速度スイッチがONし立った状態を検出できる。この加速度スイッチONの状態を何らかの手段で検出し、その信号によって加速度センサを起動すれば、それ以降、歩数のカウントを開始することができる。これにより、人間が歩行動作をしていない時には加速度センサを休止して、電池の消耗を防ぐことができ長寿命の歩数計が実現できる。また、最近、パソコンの無線マウスが市場にでてきているが、電池の消耗が早く頻繁に交換の必要がある。これを防止するために加速度センサを内蔵して、マウスを動かした時にマウスの電源がONして動作を開始するものがでてきた。しかし、加速度センサは高価であり、かつ常時動作で消費電流が流れているため、十分にユーザの要求を満たしていないのが現状である。本加速度スイッチを加速度センサの代わりにマウスに使用すれば、このユーザの要求を満足させることができる。実際には、人間がマウスを動かす動作を検出するために、05G程度の加速度スイッチをマウスに実装しておけばよい。マウスが使われる時の加速度で本加速度スイッチがONし、その検出信号でのみ無線回路の動作を開始させれば、非使用時の消費電流をカットすることが出来る。以上のようなユーザの要求に応える為には、例えば0.1Gから2Gまで0.2Gステップで感度の違う製品を用意しておけば、加速度センサをわざわざ自分で、必要な加速度感度に調整する回路を作ることなく、必要な加速度感度の閾値を持った素子をたやすく入手することができる。これを実現するためには、スイッチ素子内の寸法パラメータを変える必要がある。そこで、寸法パラメータが加速度感度にどのように影響するのかを考察する。この加速度感度に影響を及ぼす素子のパラメータとして、電極間隔、梁の寸法および錘の重さがある。以下、電極間隔、梁の寸法および錘の重さと感度の関係についてそれぞれ説明する。まず、電極間隔と感度の関係を説明する。スイッチの感度は錘の変移量と電極間隔の距離によって左右される。本スイッチでは中心電極と錘内側との距離が電極間隔となる。たとえばスイッチに1Gの加速度が加わり、錘が10μm変移した時には、電極間隔が10μmであるならば両電極が接触してスイッチがON状態になるので信号を感知できる。この時スイッチは1Gの感度を持つと言える。もしこのとき電極間隔が5μmであれば半分の変移量、すなわち半分の加速度の0.5Gで両電極が接触するので、0.5Gの感度を持つと言える。このように電極間隔と感度は正比例の関係にある。この電極間隔のエッチングは寸法も小さく、高精度なエッチングを行う必要がある。一般にシリコンのMEMSの加工ではドライエッチングの一種のボッシュプロセスを用いるが、制約がある。それはサイドエッチングやスキャロッピングなどの現象の為、寸法精度に影響を受ける。その結果、電極間隔にばらつきが生じることである。電極間隔のばらつきは上述したように、感度のばらつきとなる。この影響を避けるためには最低でも3μm程度、製造の再現性や精度を考慮すると5~10μm程度が現実的な電極間隔と考えられる。ここで、本スイッチの感度を変えたければ、この電極間隔を変えればよいことが分かる。電極間隔10μmにして、サイドエッチングやスキャロッピングなどの現象で0.5μm、加工寸法が製品毎にばらつくとすると、1Gに対して5感度がばらついてしまう。この電極間隔を5μmにした時には、0.5μm加工寸法のばらつきが0.5Gに対して10、感度のばらつきになる。すなわち電極間隔を変えることによってスイッチの感度を変える方法は可能である。しかし、狙い値の感度に対してばらつき量が異なる製品になることがありえる。次に梁の寸法と感度について説明する。本スイッチの構造では、感度は梁の部分のバネ定数に反比例している。バネ定数kは、式1で示される。ここで、E:ヤング率w:梁の厚さt:梁の幅L:梁の長さすなわち、式1より次の事が言える。1.梁の厚さと感度は1次比例する。梁が厚ければバネ定数も大きくなり、感度も悪くなる。2.梁の幅と感度は3次比例する。梁の幅が大きくなるとバネ定数も大きくなり、感度も悪くなる。以上より梁の幅を変えると、最も大きく感度を変えることができる。したがって、この梁の幅をスイッチ毎に変えることによって、スイッチの加速度感度違い品を製品化することは可能である。しかし、これは逆に言うと梁の幅のばらつき量が大きく感度をばらつかせてしまうことになる。前述したようにサイドエッチングやスキャロッピングなどの現象により、梁の幅が違うと加工精度はばらつく。その結果、3乗で感度もばらついてしまうことになる。また梁の厚さは、たとえばSOIウェハを使用すればこの活性層をそのまま梁の厚みとして用いることができるため、寸法に大きな制約はなくなりまた寸法の精度も保つことができる。これによって、活性層の厚みが異なるウェハを用いて、梁の厚さをスイッチ毎に変えれば、スイッチの加速度感度違い品を製品化することは可能である。しかし、感度違い品を作るたびにSOIウェハの活性層209の厚みを変えたシリコンウェハを入手することが必要である。次に錘の重さと感度について説明する。錘の重さを決めているのは質量体203の体積であるが、これはシリコンウェハの厚みと図4に示されている質量体203のXY面内の表面積の積である。まず、シリコンウェハの厚みはそのまま錘の厚みとなるため、シリコン自体も厚い方が変移量が多くなり高感度となる。しかしここでドライエッチング処理の制約がある。このシリコンのエッチングにはドライエッチングの一種のボッシュプロセスが適用されて厚いシリコンを高速にエッチングすることが可能である。しかしあまりにも厚い場合はボッシュプロセスを用いてもシリコンエッチングの処理時間が長すぎて、コストアップになり、また錘の寸法、形状の制御が困難となる。したがって350μm程度を使用することが望ましい。次に質量体203のXY面内の表面積であるが以下のように決まる。スイッチ周辺部は陽極接合などの接合用の領域として確保されなければならない。この領域は広いほど陽極接合は安定して達成される。接合糊しろを、1mm角の20程度すなわち片側100μm、チップ両サイドで200μm程度の領域をチップ外周部に確保すると、質量体203の外周直径寸法はおよそ800μm程度となる。ここで、錘の重さと加速度感度は反比例する。すなわち、錘が重いと加速度感度は良くなる。すなわち、質量体203のXY面内の表面積を変えるか、シリコンウェハの厚みを変えれば、加速度感度を変えることが出来る。しかし、感度違い品を作るたびにシリコンの厚みを変えたウェハを入手する必要がある。一方、XY面内の表面積を変える方法は、有効である。なぜなら、表面積を決める加工はボッシュプロセスのドライエッチングを用いるが、そのXY面内の表面積が変わってもエッチング条件に変わりはない。したがって、サイドエッチングやスキャロッピングなどの現象により生じるばらつきは表面積が変わっても一定である。しかも、前述のように0.5μm加工寸法が製品毎にばらつくとしても、質量体203の外周の半径に対する影響は少ない。例えば半径が400μmの質量体だったら0.25の感度ばらつきにしかならない。また半径200μmの質量体だったら0.5の感度ばらつきであり、半径を半分にして感度を1/4に落としても、そのばらつきは0.25以内に収まる。すなわち感度2G品と0.5G品では0.25以内のばらつきで収まることになる。更に、図1に示すように質量体203の内側切削部分Dをエッチングすることによっても、同様以上の効果を得ることが出来る。すなわち加速度感度は質量体203の重さに反比例するので、内側部分Dをエッチングして質量体203の重さを変え、感度を変えることができる。具体的には内側切削部分Aを大きくすると、質量体203の重さは軽くなるので、加速度感度は悪くなる。このエッチングは質量体203をエッチング形成する時に同時に行うことができるので、工程増およびスルーレートの悪化はないという利点もある。またこの方法は、前記質量体203の表面積を変える方法に比較して、質量体203の外周の半径は変えない為、感度ばらつきを更に抑えることができるという利点もある。また、切削部分として質量体203の内側部分で説明したが、外側部分でも、また外側と内側の中間部分をエッチングしても、その効果は変わらない。なお、本発明では説明の為に、0.1Gから2Gまで0.2Gステップで複数用意すると記述したが、この数値範囲は限定されるものではない。以上により、本発明により単一の加速度感度の閾値を持ち、低消費電流でかつばらつきの小さい多種類の加速度スイッチを容易に供給することができる。"