減圧容器内に設けられた坩堝内においてシリコン原料を精製する工程と、前記減圧容器内から精製されたシリコンを取り出す工程と、前記精製されたシリコンを取り出す工程の後に、前記減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程と、前記減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程の後に、前記減圧容器内の状態を保持する工程とを備え、前記減圧容器内の状態を保持する工程の後に、前記減圧容器内を真空引きする工程と、前記減圧容器の内圧を大気圧に戻す工程と、前記減圧容器を開放する工程とをさらに備えるシリコンの精製方法。前記減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程は、前記減圧容器の内圧が1.0気圧以下となるように行なわれる請求項1に記載のシリコンの精製方法。前記減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程と前記減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程の後に前記減圧容器内の状態を保持する工程と前記減圧容器内を真空引きする工程とは繰り返し行なわれる請求項1または2に記載のシリコンの精製方法。前記減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程は、前記坩堝の温度が500°C以上1400°C以下であるときに行なわれる請求項1~3のいずれかに記載のシリコンの精製方法。前記減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程は、前記減圧容器内に水蒸気を導入する工程である請求項1~4のいずれかに記載のシリコンの精製方法。しかしながら、真空溶融法によりシリコン原料を精製すると、シリコン融液から蒸発したリン、シリコン、シリコン酸化物、またはシリコン炭化物などが減圧容器の内壁上に堆積する。リン、シリコン、シリコン酸化物、またはシリコン炭化物などが減圧容器の内壁上に堆積した状態で減圧容器を開放すると、減圧容器の内壁上の堆積物が大気と激しく反応することがある。本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは減圧容器を開放したときの安全性を高めることができるシリコンの精製方法を提供することである。本発明のシリコン精製方法は、減圧容器内に設けられた坩堝内においてシリコン原料を精製する工程と、減圧容器内から精製されたシリコンを取り出す工程と、精製されたシリコンを取り出す工程の後に減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程と、減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程の後に減圧容器内の状態を保持する工程とを備える。本発明のシリコン精製方法は、減圧容器内の状態を保持する工程の後に、減圧容器内を真空引きする工程と、減圧容器の内圧を大気圧に戻す工程と、減圧容器を開放する工程とをさらに備える。ここで、シリコン原料とは、純度が99未満のシリコンを意味する。減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程は、減圧容器の内圧が1.0気圧以下となるように行なわれることが好ましい。減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程と、減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程の後に減圧容器内の状態を保持する工程と、減圧容器内を真空引きする工程とは繰り返し行なわれることが好ましい。減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程は、坩堝の温度が500°C以上1400°C以下であるときに行なわれることが好ましい。減圧容器内に水蒸気および大気の少なくとも一方を導入する工程は、減圧容器内に水蒸気を導入する工程であることが好ましい。本発明に係るシリコンの精製方法では、減圧容器を開放したときの安全性を高めることができる。以下、本発明のシリコンの精製方法について図面を用いて説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表すものである。また、長さ、幅、厚さ、深さなどの寸法関係は図面の明瞭化と簡略化のために適宜変更されており、実際の寸法関係を表すものではない。<シリコンの精製方法>図1は、本発明に係るシリコンの精製方法の一例を示すフローチャートである。図2は、本発明に係るシリコンの精製方法の一工程におけるシリコン精製装置の構成を示す断面図である。図3は、本発明に係るシリコンの精製方法の別の一工程におけるシリコン精製装置の構成を示す断面図である。図1に示すシリコンの精製方法は、シリコン原料を精製する工程以下では精製工程と記すS101と、精製されたシリコンを取り出す工程以下では取り出し工程と記すS102と、水蒸気を導入する工程以下では導入工程と記すS103と、導入工程の後に減圧容器内の状態を保持する工程以下では保持工程と記すS104と、減圧容器内を真空引きする工程以下では真空引き工程と記すS105と、減圧容器の内圧を大気圧に戻す工程以下ではベント工程と記すS106と、減圧容器を開放する工程以下では、開放工程と記すS107とを備える。<精製工程>精製工程S101では、減圧容器1内においてシリコン原料を精製する。精製工程S101におけるシリコン原料の精製方法は特に限定されないが、たとえば以下に示す方法が挙げられる。まず、図2に示す減圧容器1の内部を減圧状態たとえば10Pa以下とする。このとき、減圧容器1に接続された真空ポンプ不図示を用いて減圧容器1の内部を減圧状態とすることが好ましい。真空ポンプは、たとえば油回転ポンプまたは油拡散ポンプなどであることが好ましく、ターボ分子ポンプまたはメカニカルブースターポンプなどが追加的に設けられても良い。次に、図2に示す減圧容器1内に設けられた坩堝3の凹部3a内にシリコン原料、たとえばMG-Siを供給する。その後、坩堝3内のシリコン原料を加熱して当該シリコン原料を溶融させる。これにより、図2に示すシリコン融液7が得られる。続いて、シリコン融液7を減圧状態にて保持する。これにより、シリコンよりも蒸気圧が高い不純物主にリンがシリコンよりも優先的に蒸発する。これにより、シリコンが精製される。ここで、シリコン融液7から蒸発したリンなどの不純物、シリコン、シリコン酸化物、またはシリコン炭化物は、減圧容器1の内壁面上に付着する図2に示す堆積物12。堆積物12が減圧容器1の内壁面上に付着した状態で減圧容器1を開放すると、堆積物12と大気とが激しく反応することがある。堆積物12と大気とが激しく反応することを防止するため、図1に示すシリコンの精製方法では、取り出し工程S102を行なってから、導入工程S103、保持工程S104、真空引き工程S105、およびベント工程S106を行ない、その後に開放工程S107を行なう。<取り出し工程>取り出し工程S102では、精製されたシリコンを坩堝3内から取り出す。精製されたシリコンの取り出し方法は特に限定されず、シリコン精製方法において公知の取り出し方法であれば良く、たとえば坩堝3の側壁に設けられた出湯口不図示から精製されたシリコンを取り出すことができる。<導入工程>導入工程S103では、減圧容器1内に水蒸気を導入し、好ましくは減圧容器1の内圧が1.0気圧以下となるように減圧容器1内に水蒸気を導入し、より好ましくは減圧容器1の内圧が0.9気圧以下となるように減圧容器1内に水蒸気を導入する。水蒸気14は、減圧容器1内に導入されると、図3に示すように減圧容器1内で拡散して堆積物12と反応する。これにより、堆積物12が酸化されるので、開放工程S107において堆積物12と大気とが激しく反応することを防止でき、よって、減圧容器1を開放したときの安全性を高めることができる。減圧容器1の内圧が1.0気圧以下となるように水蒸気を導入すれば、減圧容器1内において堆積物12と水蒸気14とを穏やかに反応させることができる。それだけでなく、減圧容器1の内圧を1.0気圧以下に保てば、減圧容器1の内圧が減圧容器1の外圧よりも陽圧になることを防止できる。これらのことから、減圧容器1の破損を抑制することができる。一方、堆積物12を十分に酸化させるという観点からは、減圧容器1の内圧が0.6気圧以上であることが好ましい。水蒸気の導入方法は特に限定されない。たとえば図3に示すように、減圧容器1の側壁に設けられた導入管5を介して水蒸気を減圧容器1内に供給することができる。なお、減圧容器1における導入管5の位置は図3に示す位置に限定されない。導入工程S103は、坩堝3の温度が500°C以上1400°C以下であるときに行なわれることが好ましく、より好ましくは坩堝3の温度が800°C以上1200°C以下であるときに行なわれることであり、さらに好ましくは坩堝3の温度が1100°C以上1200°C以下であるときに行なわれることである。これにより、減圧容器1内における堆積物12と水蒸気14との反応が促進されるので、開放工程S107において堆積物12と大気とが激しく反応することを抑制でき、よって、減圧容器1を開放したときの安全性を高めることができる。導入工程S103では、水蒸気を導入する代わりに、大気を導入しても良いし、水蒸気と大気との両方を導入しても良い。しかし、導入工程S103では、水蒸気と大気との両方を導入することが好ましく、水蒸気のみを導入することがさらに好ましい。水蒸気と大気との両方又は水蒸気のみを減圧容器1内に導入すると、水蒸気が堆積物12の内部に浸透するため、堆積物12の内部においても酸化反応の進行が可能となる。よって、開放工程S107において堆積物12と大気とが激しく反応すること抑制できるので、減圧容器1を開放したときの安全性を高めることができる。<保持工程>導入工程S103の後、減圧容器1内の状態をそのままの状態に保持する。保持工程S104の間に、堆積物12と、導入工程S103にて導入された水蒸気および大気のうちの少なくとも一方との反応が継続する。よって、開放工程S107において堆積物12と大気とが激しく反応することを抑制できるので、減圧容器1を開放したときの安全性を高めることができる。<真空引き工程>真空引き工程S105では、減圧容器1内を真空引きする。これにより、減圧容器1内に存在する気体が減圧容器1の外へ排出される。真空引きする方法は特に限定されないが、減圧容器1に接続された真空ポンプ不図示を用いて減圧容器1内を真空引きすることが好ましい。これにより、精製工程S101で使用する真空ポンプと真空引き工程S105で使用するポンプとを共有できるため、低コストでシリコンを精製することができる。<ベント工程>ベント工程S106では、減圧容器1の内圧を大気圧に戻す。減圧容器1の内圧を大気圧に戻す方法は特に限定されないが、たとえば減圧容器1のベント弁を開けるという方法を選択できる。<開放工程>開放工程S107では、減圧容器1を開放する。減圧容器1の開放方法は特に限定されないが、たとえば減圧容器1の蓋または扉を開くといった方法を選択できる。このとき、導入工程S103において堆積物12が酸化されているため、開放工程S107を行なっても堆積物12が大気と激しく反応することを防止できる。以上説明したように図1に示すシリコン精製方法では、開放工程S107を行なう前に導入工程S103を行なって堆積物12を酸化させる。よって、開放工程S107において堆積物12が大気と激しく反応することを防止できるので、減圧容器1を開放したときの安全性を高めることができる。なお、図1に示すシリコン精製方法では、導入工程S103と保持工程S104と真空引き工程S105とを繰り返し行なうことが好ましい。これにより、減圧容器1内における堆積物12の酸化反応が促進されるため、開放工程S107において堆積物12と大気とが激しく反応することを抑止でき、よって、減圧容器1を開放したときの安全性が高くなる。保持工程S104を行なう時間は特に限定されないが、たとえば0時間よりも長く10時間以下であることが好ましい。導入工程S103と保持工程S104と真空引き工程S105とを繰り返すたびに保持工程S104を行なう時間を適宜変更しても良い。導入工程S103と保持工程S104と真空引き工程S105とを繰り返す回数が少ない場合には、保持工程S104を行なう時間は短い方が好ましく、たとえば0時間よりも長く5時間以下であることが好ましい。また、精製工程S101と取り出し工程S102とを繰り返し行なってから、導入工程S103、保持工程S104、真空引き工程S105、ベント工程S106および開放工程S107を順に行なっても良い。以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。<実施例1>図2および図3に示すシリコン精製装置を用いてシリコンを精製した。つまり、本実施例で使用したシリコン精製装置は、1720mm×1450mm×2750mmの容積を有する減圧容器1を備え、減圧容器1内には、坩堝3と、坩堝3を加熱するためのヒータ不図示と、坩堝3およびヒータを保持するための炉体とが設けられている。減圧容器1には、油拡散ポンプ1台、メカニカルブースターポンプ1台、およびロータリポンプ2台が接続されており、減圧容器1の側壁には導入管5が設けられている。また、減圧容器1は、真空溶融法によるシリコン原料内の不純物除去の際に用いるベント弁とは別に当該減圧容器1の覗き窓にベント弁を有しており、覗き窓に設けられたベント弁より減圧容器1内への大気または水蒸気の導入が可能である。まず、真空ポンプを運転させて減圧容器1の内圧を1Pa以下とした。次に、シリコン原料を坩堝3の凹部3a内に供給した。続いて、加熱装置を用いて、シリコン原料の温度が1450°C~1750°Cとなるように、シリコン原料を6.5時間、加熱した。得られたシリコン融液を1Pa以下の減圧状態にて16.5時間、保持した。このときのシリコン融液7の温度は1700°Cであった。その後、1時間かけてシリコン融液7を坩堝3から取り出した。このときのシリコン融液7の温度は1450°C~1650°Cであった。そして、上記シリコン原料の溶融、上記シリコン融液の保持、および上記シリコン融液の取り出しを1サイクルとして、このサイクルを33回繰り返した。33回目のサイクルが終了した後、1時間かけて減圧容器1を徐冷した。これにより、減圧容器1内の雰囲気温度は1100°C以下になった。この減圧容器1内に、表1に示す条件で、水蒸気を含む大気を導入した。ここで、水蒸気を含む大気は、大気を膜式加湿器に経由させることにより得られた。減圧容器1内の状態をそのままの状態で6.5時間放置してから、ロータリポンプ、メカニカルブースターポンプ、および油拡散ポンプを用いて減圧容器1内を真空引きした。真空引きを開始して30分後に、全てのポンプを停止した。なお、メカニカルブースターポンプおよび油拡散ポンプは、それぞれのポンプ内の真空度に応じて自動で稼働するため、30分間常時稼働していたわけではなかった。ロータリポンプ、メカニカルブースターポンプ、および油拡散ポンプの全てを停止してから、減圧容器1の内圧を大気圧に戻した。その後、減圧容器1を開放したが、堆積物12と大気との激しい反応は確認されなかった。<実施例2>サイクル数および水蒸気を含む大気を導入する条件を表1の実施例2に示す条件に変更したことを除いては上記実施例1と同様の方法にしたがってシリコン原料を精製した。実施例2においても、減圧容器1を開放したときにおける堆積物12と大気との激しい反応は認されなかった。<実施例3>サイクル数および水蒸気を含む大気を導入する条件を表1の実施例3に示す条件に変更したことを除いては上記実施例1と同様の方法にしたがってシリコン原料を精製した。実施例3においても、減圧容器1を開放したときにおける堆積物12と大気との激しい反応は確認されなかった。<実施例4>サイクル数および水蒸気を含む大気を導入する条件を表1の実施例4に示す条件に変更したことを除いては上記実施例1と同様の方法にしたがってシリコン原料を精製した。実施例4においても、減圧容器1を開放したときにおける堆積物12と大気との激しい反応は確認されなかった。<実施例5>サイクル数および水蒸気を含む大気を導入する条件を表1の実施例5に示す条件に変更したこと、および水蒸気を含む大気の導入を2回行なったことを除いては上記実施例1と同様の方法にしたがってシリコン原料を精製した。具体的には、33回目のサイクルが終了した後、1時間かけて減圧容器1を徐冷した。これにより、減圧容器1内の雰囲気温度は1100°C以下になった。この減圧容器1内に、表1に示す条件で、水蒸気を含む大気を導入した。減圧容器1内の状態をそのままの状態で30分放置してから、その後、ロータリポンプ、メカニカルブースターポンプ、および油拡散ポンプを用いて、減圧容器1内を真空引きした。真空引きを開始して30分後に、全てのポンプを停止した。表1に示す条件で、水蒸気を含む大気を再び導入した。減圧容器1内の状態をそのままの状態で6.5時間放置してから、ロータリポンプ、メカニカルブースターポンプ、および油拡散ポンプを用いて、減圧容器1内を真空引きした。真空引きを開始して30分後に、全てのポンプを停止した。全てのポンプを停止してから、減圧容器1の内圧を大気圧に戻した。その後、減圧容器1を開放した。実施例5では、減圧容器1を開放したときにおける堆積物12と大気との反応は全く確認されなかった。<実施例6>サイクル数および水蒸気を含む大気を導入する条件を表1の実施例6に示す条件に変更したことを除いては上記実施例5と同様の方法にしたがってシリコン原料を精製した。実施例6においても、減圧容器1を開放したときにおける堆積物12と大気との反応は全く確認されなかった。<実施例7>サイクル数、水蒸気を含む大気を導入する条件および減圧容器1内を真空引きする条件を表1の実施例7に示す条件に変更したことを除いては上記実施例5と同様の方法にしたがってシリコン原料を精製した。実施例7においても、減圧容器1を開放したときにおける堆積物12と大気との反応は全く確認されなかった。<比較例>比較例では、シリコン原料の精製が終了してから、減圧容器1内にアルゴンガスを供給した。具体的には、実施例1におけるサイクルを30回繰り返してから、ロータリポンプ、メカニカルブースターポンプ、および油拡散ポンプを全て停止した。その後、減圧容器1の内圧が0.9気圧となるまでアルゴンガスを減圧容器1へ導入して、減圧容器1を冷却した。その後、6.5時間経過してから、ロータリポンプ、メカニカルブースターポンプ、および油拡散ポンプを用いて減圧容器1内を真空引きした。真空引きを開始して30分後に、全てのポンプを停止した。全てのポンプを停止した後、減圧容器1の内圧を大気圧に戻してから減圧容器1を開放したところ、堆積物12と大気との激しい反応が確認された。結果を表1に示す。なお、表1におけるサイクル数には、シリコン原料の溶融、シリコン融液の保持、およびシリコン融液の取り出しをこの順に繰り返し行なった回数を記している。なお、サイクル数が多くなるほど、減圧容器1内の堆積物12の量が多くなるため、堆積物12と大気との激しい反応が起こりやすくなることが分かっている。表1における真空引きには、減圧容器1内の真空引きを行なった時間を記している。表1における安全性には、減圧容器1の内圧を開放したときに、堆積物12と大気との反応が全く確認されなかった場合にAと記し、堆積物12と大気との激しい反応が確認されなかった場合にBと記し、堆積物12と大気との激しい反応が確認された場合にCと記している。表1に示す結果から、精製されたシリコンを取り出してから減圧容器1の内圧が0.9気圧以下となるように水蒸気を含む大気を導入すれば、アルゴンガスを導入したときに比べて、減圧容器1を開放したときにおける堆積物12と大気との反応が起こり難くなり、よって、減圧容器1を開放したときにおける安全性が高まることが分かった。水蒸気を含む大気の導入と減圧容器1内の真空引きとを2回行なうと実施例5~7、減圧容器1の内圧を開放したときにおける堆積物12と大気との反応を抑制できた。よって、減圧容器1を開放したときにおける安全性をさらに高めるためには、水蒸気の導入と減圧容器1内の真空引きとを1回行なうよりも2回行なう方が好ましいと言える。今回開示された実施の形態および実施例は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施の形態および実施例ではなくて、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内のすべての変更が含まれることが意図される。