"合金工具鋼にて構成されているプラグゲージにおいて、JISG4404の合金工具鋼鋼材で規定されている鋼種のうち焼入れ焼戻し熱処理を行う際の焼戻し温度が180°C以下のものが用いられるとともに、前記焼戻し温度以下の処理温度でスパッタリング法により硬質被膜がコーティングされていることを特徴とするプラグゲージ。前記硬質被膜の膜厚は0.5~1.5μmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載のプラグゲージ。前記合金工具鋼は、JISG4404の合金工具鋼鋼材で規定されている鋼種のうち焼入れ焼戻し熱処理後の硬さがHRC58以上のものであることを特徴とする請求項1または2に記載のプラグゲージ。ところで、このような硬質被膜のコーティング方法としては、アークイオンプレーティング法が広く用いられているが、処理温度が一般に450~500°C程度と高いため、基材として高価な高速度工具鋼や超硬合金を使用する必要があり、製造コストが高くなるという問題があった。安価な合金工具鋼を用いることも考えられるが、焼入れ焼戻し熱処理を行う際の焼戻し温度が500°C程度以上のものを採用する必要があり、使用できる鋼種が制約されるため、現状では高速度工具鋼や超硬合金を用いるのが一般的である。本発明は以上の事情を背景として為されたもので、その目的とするところは、焼戻し温度が比較的低い合金工具鋼に対しても硬質被膜をコーティングできるようにして、耐摩耗性に優れた安価なプラグゲージを提供することにある。かかる目的を達成するために、第1発明は、合金工具鋼にて構成されているプラグゲージにおいて、JISG4404の合金工具鋼鋼材で規定されている鋼種のうち焼入れ焼戻し熱処理を行う際の焼戻し温度が180°C以下のものが用いられるとともに、前記焼戻し温度以下の処理温度でスパッタリング法により硬質被膜がコーティングされていることを特徴とする。第2発明は、第1発明のプラグゲージにおいて、前記硬質被膜の膜厚は0.5~1.5μmの範囲内であることを特徴とする。第3発明は、第1発明または第2発明のプラグゲージにおいて、前記合金工具鋼は、JISG4404の合金工具鋼鋼材で規定されている鋼種のうち焼入れ焼戻し熱処理後の硬さがHRC58以上のものであることを特徴とする。このようなプラグゲージにおいては、焼戻し温度が180°C以下の合金工具鋼を用いてプラグゲージが構成されているとともに、その焼戻し温度以下の処理温度でスパッタリング法により硬質被膜がコーティングされているため、実用上満足できる耐摩耗性を備えたプラグゲージを安価に製造できる。第2発明では、硬質被膜の膜厚が0.5~1.5μmの範囲内であるため、耐摩耗性を確保しつつ膜厚のばらつきが抑制され、例えばJISメートルねじ2級相当の標準的なプラグゲージの要求寸法精度を満たすことができる。第3発明では、焼入れ焼戻し熱処理後の硬さがHRC58以上の合金工具鋼が用いられるため、硬質被膜がコーティングされることによって優れた耐摩耗性が得られる。本発明のプラグゲージは、めねじに対応するおねじが設けられたゲージ部を有する通り側或いは止り側のねじプラグゲージに好適に適用されるが、めねじの内径に対応する円柱形状のゲージ部を有する内径用プラグゲージや、ドリル等によって形成された円穴の内径を検査する栓ゲージにも適用され得る。基材を構成する合金工具鋼は、JISG44042006版の合金工具鋼鋼材で規定されている鋼種のうち、焼入れ焼戻し熱処理を行う際の焼戻し温度が180°C以下で、且つ焼入れ焼戻し熱処理後の硬さがHRC58以上のものが好適に用いられ、具体的にはSKS3、SKS31、SKS93、SKS94、SKS95、SKD11、SKD12などが適当である。JIS規格以外であっても、焼入れ焼戻し熱処理を行う際の焼戻し温度が180°C以下の合金工具鋼に相当する鋼種であれば同様に用いることが可能である。硬質被膜は、例えばTiAlN、TiCN、TiCrN、TiNなど、元素の周期表のIIIb族、IVa族、Va族、VIa族の金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、或いはこれらの相互固溶体が好適に用いられる。単一組成の単層であっても良いが、ターゲットや導入反応ガスを切り換えることにより、組成が異なる複数種類の被膜を積層して設けることもできるなど、種々の態様が可能である。硬質被膜の膜厚は、耐摩耗性を確保しつつ膜厚のばらつきを抑制してプラグゲージの要求寸法精度を満たす上で0.5~1.5μm程度の範囲内が適当であるが、被膜の組成に応じて適宜定められる。以下、本発明の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は、本発明の一実施例で、めねじ用の限界ゲージである通り側または止り側のねじプラグゲージ10を説明する図であり、は軸心と直角方向から見た正面図で、シャンク12およびゲージ部14を同軸上に一体に備えている。ゲージ部14には、検査すべきめねじに対応するおねじ16が設けられており、めねじに螺合されて通過できるか否かにより、めねじの外径や有効径、ピッチ誤差などを検査できる。図1のはゲージ部14の外周部の拡大断面図で、合金工具鋼にて構成されている基材20の表面には硬質被膜22がコーティングされている。基材20は、JISG4404の合金工具鋼鋼材で規定されている鋼種のうち、焼入れ焼戻し熱処理を行う際の焼戻し温度が180°C以下で、且つ焼入れ焼戻し熱処理後の硬さがHRC58以上のもので、本実施例では焼戻し温度が180°Cで焼入れ焼戻し熱処理後の硬さがHRC60以上と規定されているSKS31が用いられている。硬質被膜22は、元素の周期表のIIIb族、IVa族、Va族、VIa族の金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、或いはこれらの相互固溶体で、本実施例ではTiAlNの単層がスパッタリング法によって形成されている。また、硬質被膜22の膜厚tは0.5~1.5μmの範囲内で、本実施例では約1.0μmをねらい値として形成されており、その表面寸法すなわち外径や有効径がねじプラグゲージ10に要求される寸法公差の範囲内となるように、硬質被膜22がコーティングされる前の基材20の寸法が定められる。具体的には、外径については、ねらい値よりも2t程度小さい寸法が定められ、有効径については、ねらい値よりも3t程度小さい寸法が定められる。フランクについても面垂直方向に同じ膜厚tで硬質被膜22が形成される場合、計算上はコーティング後の目標有効径よりも4t=2×t/cos60°だけ小さくする必要があるが、スパッタリング法では傾斜部分の膜厚が薄くなるため、本実施例では目標有効径よりも3t程度小さい寸法としている。そして、このようなねじプラグゲージ10は、合金工具鋼実施例ではSKS31を用いて所定のおねじ16を有する基材20を形成し、所定の焼戻し温度例えば180°C±10°Cの範囲内で焼入れ焼戻し熱処理を行った後に、その焼戻し温度以下の処理温度でコーティング処理を行って硬質被膜22を設けることにより製造される。図2は、硬質被膜22をスパッタリング法でコーティングするスパッタリング工程を説明する図で、スパッタリング装置30を用いて行われる。このスパッタリング工程では、硬質被膜22を構成しているTiAlのターゲット38に電源40により負の一定のバイアス電圧例えば-50~-60V程度を印加するとともに、バイアス電源34により基材20に負の一定のバイアス電圧例えば-70V程度を印加することにより、アルゴンイオンArをターゲット38に衝突させてその構成物質TiAlを叩き出す。チャンバー32内には、アルゴンガスの他に窒素ガスN2が所定の流量で導入され、その窒素原子Nがターゲット38から叩き出されたTiAlと結合してTiAlNとなり、基材20の表面に硬質被膜22として付着させられる。基材20は軸心まわりに回転駆動され、おねじ16が設けられたゲージ部14の全周に略均等に硬質被膜22がコーティングされるようになっている。図3は、このような製造方法に従ってM4×0.7およびM10×1.5の2種類のねじプラグゲージ10をそれぞれ2本ずつ製作し、硬質被膜22のコーティング前後の寸法変化を調べた結果を説明する図である。何れの試験品も、硬質被膜22の膜厚tのねらい値は1.0μmで、コーティング前の外径許容差はコーティング後の外径許容差よりも2μm小さく、コーティング前の有効径許容差はコーティング後の有効径許容差よりも3μm小さい。また、先、中、元は、ゲージ部14の軸方向位置で、先は先端部、中は中央部、元はシャンク12側の端部を意味している。そして、それ等の先、中、元に記載の寸法が実測値で、何れの試験品に関しても、外径および有効径共に許容差の範囲内に入っている。寸法差は、コーティング後の径寸法からコーティング前の径寸法を引き算した値で、外径に関してはコーティング前に比べて-1.9μm~1.8μmの範囲でばらつくが、JISメートルねじ2級相当の公差は一般的には12μm以上であるため、コーティング前の寸法を適当に設定することにより要求寸法精度を十分に満たすことができる。有効径に関しても、コーティング前の寸法を適当に設定することにより要求寸法精度を十分に満たすことができる。具体的には、コーティング前に比べて0.1μm~1.9μmの範囲でばらつくが、JISメートルねじ2級相当の公差は一般的には8μm以上であるため、要求寸法精度を十分に満たすことができる。また、図4は、合金工具鋼SKS31にて構成されているφ12の円柱形状のプラグゲージであって、前記実施例と同様にスパッタリングによりTiAlNの硬質被膜22を1.0μmの膜厚ねらい値で形成した本発明品と、その硬質被膜22が無い合金工具鋼のままの比較品を用意し、耐摩耗性試験を行った結果を説明する図である。は試験方法を説明する図で、上記試験品を350rpmで軸心まわりに回転駆動しつつ、軸方向の一部に上方からFC角材JISの規定によるFC250;ねずみ鋳鉄に3.0kgの錘を載せて押圧し、FC角材で押圧された部分とそうでない部分の径寸法A、Bの差を摩耗量として測定する。径寸法A、Bは、軸心まわりに45°間隔で測定した4箇所の直径寸法の平均値を用いた。は、1日に8時間約16.8万回転試験を行って、1日毎に摩耗量B-Aを調べた結果で、○印で示す本発明品は4日経っても摩耗量が略0であったのに対し、×印で示す比較品は3日間で摩耗量が5μmを越えた。この結果から、硬質被膜22がコーティングされることにより耐摩耗性が大幅に向上し、合金工具鋼にて構成されている安価なプラグゲージであっても実用上十分に満足できる耐久性が得られるようになる。このように、本実施例のねじプラグゲージ10においては、JISに規定の焼戻し温度が180°C以下の合金工具鋼を用いて基材20が構成されているとともに、その焼戻し温度以下の処理温度でスパッタリング法により硬質被膜22がコーティングされているため、実用上満足できる耐摩耗性を備えたねじプラグゲージ10が安価に製造される。また、本実施例では硬質被膜22の膜厚tが0.5~1.5μmの範囲内であるため、耐摩耗性を確保しつつ膜厚tのばらつきが抑制され、例えばJISメートルねじ2級相当の標準的なねじプラグゲージの要求寸法精度を十分に満たすことができる。また、本実施例では焼入れ焼戻し熱処理後の硬さがHRC58以上の合金工具鋼が基材20として用いられるため、硬質被膜22がコーティングされることによって優れた耐摩耗性が得られる。以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、これはあくまでも一実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更,改良を加えた態様で実施することができる。"