"軸方向荷重が入力されてたわみを生じるフランジ部材1と、そのフランジ部材1を支持する支持部材2と、磁界を発生する磁気ターゲット3と、その磁気ターゲット3が発生する磁界を検出する磁気センサ4とを有し、前記フランジ部材1のたわみにより前記磁気ターゲット3と磁気センサ4が相対変位するように磁気ターゲット3と磁気センサ4の一方を前記フランジ部材1に固定し、他方を前記支持部材2に固定し、前記磁気センサ4で検出した磁界に基づいて前記荷重の大きさを検出する磁気式荷重センサ。前記磁気ターゲット3が、前記磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対変位方向に対して直交する方向を磁化方向とする複数の永久磁石13を、反対の極性を有する磁極が前記磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対変位方向に並ぶように配置したものであり、その隣り合う磁極の境目の近傍に前記磁気センサ4を配置した請求項1に記載の磁気式荷重センサ。前記フランジ部材1と支持部材2を対向一対の円環板状とし、そのフランジ部材1の外径側部分を前記支持部材2で支持し、そのフランジ部材1と支持部材2のうちの一方の部材に、他方の部材の内径面と対向する外径面をもつ筒部7を設け、その内径面と外径面のうちの一方に前記磁気ターゲット3を固定し、他方に前記磁気センサ4を固定した請求項1または2に記載の磁気式荷重センサ。前記フランジ部材1と支持部材2を対向一対の円環板状とし、そのフランジ部材1の内径側部分を前記支持部材2で支持し、そのフランジ部材1と支持部材2のうちの一方の部材に、他方の部材の外径面と対向する内径面をもつ筒部7を設け、その内径面と外径面のうちの一方に前記磁気ターゲット3を固定し、他方に前記磁気センサ4を固定した請求項1または2に記載の磁気式荷重センサ。前記フランジ部材1と支持部材2の周方向の相対位置を固定する位置決め手段16,17,18を設けた請求項1から4のいずれかに記載の磁気式荷重センサ。前記支持部材2のフランジ部材1に対向する側とは反対側の面の内径側部分に、支持部材2を支持する環状突起29を設けた請求項3に記載の磁気式荷重センサ。前記支持部材2のフランジ部材1に対向する側とは反対側の面の外径側部分に、支持部材2を支持する環状突起を設けた請求項4に記載の磁気式荷重センサ。前記フランジ部材1の軸方向荷重が入力される部分を、フランジ部材1の中心軸線上に中心をもつ球面30とした請求項1から7のいずれかに記載の磁気式荷重センサ。複数組の前記磁気ターゲット3と磁気センサ4を前記フランジ部材1の中心軸線を中心とする同一円周上に周方向に等間隔に配置した請求項1から7のいずれかに記載の磁気式荷重センサ。前記磁気センサ4としてホールICを使用した請求項1から9のいずれかに記載の磁気式荷重センサ。前記磁気センサ4として磁気抵抗素子を使用した請求項1から9のいずれかに記載の磁気式荷重センサ。前記磁気センサ4として磁気インピーダンス素子を使用した請求項1から9のいずれかに記載の磁気式荷重センサ。前記磁気ターゲット3にネオジム磁石を使用した請求項1から12のいずれかに記載の磁気式荷重センサ。前記フランジ部材1と支持部材2とを同一の線膨張係数をもつ材料で形成した請求項1から13のいずれかに記載の磁気式荷重センサ。この発明が解決しようとする課題は、微小変位で荷重を検出する荷重センサとして、耐久性に優れ、温度による影響を受けにくい荷重センサを提供することである。上記課題を解決するため、軸方向荷重が入力されてたわみを生じるフランジ部材と、そのフランジ部材を支持する支持部材と、磁界を発生する磁気ターゲットと、その磁気ターゲットが発生する磁界を検出する磁気センサとを有し、前記フランジ部材のたわみにより前記磁気ターゲットと磁気センサが相対変位するように磁気ターゲットと磁気センサの一方を前記フランジ部材に固定し、他方を前記支持部材に固定し、前記磁気センサで検出した磁界に基づいて前記荷重の大きさを検出する磁気式荷重センサを提供する。この磁気式荷重センサは、フランジ部材に軸方向荷重が入力されるとフランジ部材がたわみ、磁気ターゲットと磁気センサの相対位置が変化し、その相対位置の変化に応じて磁気センサの出力信号が変化するので、磁気センサの出力信号に基づいて荷重の大きさを検出することができる。ここで、軸方向荷重が入力されたときに、その荷重はフランジ部材に作用してフランジ部材をたわませるが、磁気センサには作用しない。そのため、衝撃荷重や軸方向に対して斜め方向の荷重が加わってもセンサが故障しにくく、高い耐久性を確保することができる。また、荷重を受ける部材の局部の歪みではなくその部材の変形量から軸方向荷重を検出するので、温度変化や温度分布のばらつきによる影響を受けにくい。前記磁気ターゲットとして、前記磁気ターゲットと磁気センサの相対変位方向に対して直交する方向を磁化方向とする複数の永久磁石を、反対の極性を有する磁極が前記磁気ターゲットと磁気センサの相対変位方向に並ぶように配置したものを採用し、その隣り合う磁極の境目の近傍に前記磁気センサを配置すると好ましい。このようにすると、磁気センサの出力信号は、磁気ターゲットと磁気センサの軸方向の相対変位に対して急峻に変化し、一方、軸方向以外の方向の相対変位に対してはあまり変化しないという軸方向の指向性を示す。そのため、磁気センサの出力信号が外部振動の影響を受けにくく、安定した精度で軸方向荷重の大きさを検出することができる。前記フランジ部材と支持部材を対向一対の円環板状とし、そのフランジ部材の外径側部分を前記支持部材で支持し、そのフランジ部材と支持部材のうちの一方の部材に、他方の部材の内径面と対向する外径面をもつ筒部を設け、その内径面と外径面のうちの一方に前記磁気ターゲットを固定し、他方に前記磁気センサを固定すると好ましい。このようにすると、磁気ターゲットと磁気センサの径方向の相対位置の精度を容易に確保することができる。このとき、前記支持部材のフランジ部材に対向する側とは反対側の面の内径側部分に、支持部材を支持する環状突起を設けることができる。このようにすると、フランジ部材に軸方向荷重が入力されたときに、フランジ部材だけでなく支持部材にもたわみが生じ、その両部材のたわみにより前記磁気ターゲットと磁気センサが相対変位するので、荷重検出の分解能を高めることができる。同様に、前記フランジ部材と支持部材を対向一対の円環板状とし、そのフランジ部材の内径側部分を前記支持部材で支持し、そのフランジ部材と支持部材のうちの一方の部材に、他方の部材の外径面と対向する内径面をもつ筒部を設け、その内径面と外径面のうちの一方に前記磁気ターゲットを固定し、他方に前記磁気センサを固定すると好ましい。このようにしても、磁気ターゲットと磁気センサの径方向の相対位置の精度を容易に確保することができる。このとき、前記支持部材のフランジ部材に対向する側とは反対側の面の外径側部分に、支持部材を支持する環状突起を設けることができる。このようにすると、フランジ部材に軸方向荷重が入力されたときに、フランジ部材だけでなく支持部材にもたわみが生じ、その両部材のたわみにより前記磁気ターゲットと磁気センサが相対変位するので、荷重検出の分解能を高めることができる。さらに、前記フランジ部材と支持部材の周方向の相対位置を固定する位置決め手段を設けると、磁気ターゲットと磁気センサの周方向の相対位置の精度を容易に確保することができる。前記フランジ部材の軸方向荷重が入力される部分を、フランジ部材の中心軸線上に中心をもつ球面とすることができる。このようにすると、軸方向に対して斜め方向の荷重が入力されたときにも、フランジ部材に対する荷重の作用点がフランジ部材の中心軸線に近くなり、フランジ部材が均一にたわむので、荷重の検出精度が安定する。また、複数組の前記磁気ターゲットと磁気センサを前記フランジ部材の中心軸線を中心とする同一円周上に周方向に等間隔に配置することができる。このようにすると、軸方向に対して斜め方向の荷重が入力されたときに、それぞれの荷重センサの出力信号の差分に基づいて、軸方向を基準とする荷重の入力角度を推定することが可能となる。前記磁気センサとしては、磁気抵抗素子や磁気インピーダンス素子を使用することも可能であるが、ホールICを使用するとコスト面で有利であり、また耐熱性を確保しやすい。また、前記永久磁石としてネオジム磁石を使用すると、省スペースで強力な磁界を発生させることができる。前記フランジ部材と支持部材とは同一の線膨張係数をもつ材料で形成すると好ましい。このようにすると、温度上昇したときにフランジ部材と支持部材とが同じ割合で熱膨張するので、温度変化による磁気ターゲットと磁気センサの軸方向の相対変位が生じにくくなり、温度変化による影響を効果的に抑えることができる。この発明の磁気式荷重センサは、入力された荷重がフランジ部材に作用してフランジ部材をたわませるが、磁気センサには荷重が作用しないので、衝撃荷重や軸方向に対して斜め方向の荷重に対する耐久性が高い。また、荷重を受ける部材の局部の歪みではなくその部材の変形量から軸方向荷重を検出するので、温度変化や温度分布のばらつきによる影響を受けにくい。図1~図3に、この発明の第1実施形態の磁気式荷重センサを示す。この磁気式荷重センサは、軸方向に対向する円環板状のフランジ部材1および支持部材2と、磁界を発生する磁気ターゲット3と、磁気ターゲット3が発生する磁界の強さを検出する磁気センサ4とを有する。フランジ部材1は、支持部材2と対向する円環板部5と、円環板部5の支持部材2と対向する側とは反対側の面の内径側部分に隆起して形成された環状の荷重受け部6と、円環板部5の支持部材2と対向する側の面の内径側部分に形成された筒部7とからなる。支持部材2は、フランジ部材1と対向する円環板部8と、円環板部8のフランジ部材1と対向する側の面の外径側部分に隆起して形成された環状の支持段部9と、支持段部9の更に外径側に形成された筒状の嵌合部10とからなる。支持段部9はフランジ部材1の外径側部分を支持しており、この支持段部9によって円環板部5、8の間隔が保持されている。フランジ部材1は、支持部材2の嵌合部10に嵌め込んで固定されている。ここで、フランジ部材1の固定方法としては、フランジ部材1を嵌合部10内に締め代をもって挿入する方法圧入やフランジ部材1の外周縁を塑性変形させて嵌合部10の内周に食い込ませる方法加締め等を採用することができる。フランジ部材1の外径側部分には軸方向に貫通するピン穴14が形成され、支持部材2にも軸方向のピン穴15が形成されており、この両ピン穴14,15に位置決めピン16が挿入されている。ここで、フランジ部材1のピン穴14と支持部材2のピン穴15は、両ピン穴14,15の位置が重なり合ったときに、磁気ターゲット3の周方向位置と磁気センサ4の周方向位置とが合致するように配置され、この両ピン穴14,15に位置決めピン16を挿入することでフランジ部材1と支持部材2の周方向の相対位置が固定されている。筒部7の外径面は、支持部材2の内径面と径方向に対向しており、図3に示すように、筒部7の外径面に形成された面取り部11に磁気ターゲット3が固定され、支持部材2の内径面に形成された溝12に磁気センサ4が固定されている。フランジ部材1および支持部材2はいずれも金属材料鉄、アルミ合金等で形成され、両部材1,2の線膨張係数が同一となるように同じ材料が用いられている。磁気ターゲット3は、その径方向内端と径方向外端に磁極を有するように半径方向に磁化された2個の永久磁石13からなる。2個の永久磁石13は、反対の極性を有する磁極すなわちN極とS極が軸方向に並ぶように隣接して配置されている。永久磁石13としては、例えば、ネオジム磁石を使用すると、省スペースで強力な磁界を発生させることができるが、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、フェライト磁石などを使用してもよい。サマリウムコバルト磁石またはアルニコ磁石を使用すると、永久磁石13の温度上昇に伴う磁界の減少を抑えることができる。また、プラセオジム磁石、サマリウム窒化鉄磁石を使用することもできる。図3に示すように、磁気センサ4は、2個の永久磁石13の隣り合う磁極の境目の近傍で磁気ターゲット3と軸直交方向図では半径方向に対向するように配置されている。磁気センサ4としては、磁気抵抗素子いわゆるMRセンサや、磁気インピーダンス素子いわゆるMIセンサを使用することも可能であるが、ホールICを使用するとコスト面で有利であり、また耐熱性を確保しやすい。この磁気式荷重センサは、フランジ部材1の荷重受け部6に軸方向荷重が入力されると、その軸方向荷重によりフランジ部材1の円環板部5がその外径側部分を支点として軸方向にたわみ図2の鎖線参照、そのたわみにより磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対位置が変化し、その相対位置の変化に応じて磁気センサ4の出力信号が変化する。そのため、フランジ部材1に作用する軸方向荷重の大きさと、磁気センサ4の出力信号との関係を予め把握しておくことにより、磁気センサ4の出力信号に基づいてフランジ部材1に作用する軸方向荷重の大きさを検出することができる。ここで、磁気式荷重センサに軸方向荷重が入力されたときに、その荷重はフランジ部材1に作用してフランジ部材1をたわませるが、磁気センサ4には作用しない。そのため、衝撃荷重や軸方向に対して斜め方向の荷重が加わっても磁気センサ4が故障しにくく、高い耐久性を確保することができる。また、この磁気式荷重センサは、フランジ部材1の局部の歪みではなく、フランジ部材1の変形量から軸方向荷重を検出するので、フランジ部材1の温度変化や温度分布のばらつきによる影響を受けにくく、高い精度で軸方向荷重の大きさを検出することが可能である。図1~図3では、フランジ部材1に磁気ターゲット3を固定し、支持部材2に磁気センサ4を固定しているが、この磁気ターゲット3と磁気センサ4の関係を反対にしてもよい。すなわち、図4に示すように、フランジ部材1の筒部7の外径面に磁気センサ4を固定し、支持部材2の内径面に磁気ターゲット3を固定してもよい。フランジ部材1に軸方向荷重を入力したとき、フランジ部材1には主にせん断荷重が作用し、支持部材2には主に圧縮荷重が作用する。そして、磁気ターゲット3は、フランジ部材1に作用するせん断荷重によって変位する一方、磁気センサ4は、支持部材2に作用する圧縮荷重によってはほとんど変位せず、この磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対変位によって軸方向荷重の検出が可能となっている。フランジ部材1に軸方向荷重を入力したときの磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対位置の変化量は極めて小さい。例えば、フランジ部材1に入力される軸方向荷重の大きさが30kNのとき、磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対位置の変化量は軸方向に0.1mm程度と極めて微小であるが、上記磁気式荷重センサは、複数の永久磁石13を反対の磁極が磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対変位方向に並ぶように配置し、その隣り合う磁極の境目の近傍に磁気センサ4を配置しているので、磁気センサ4の出力信号が、磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対位置の変化に対して急峻に変化し、磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対位置の変化量を高精度に検出することができる。例えば、上記磁気ターゲット3と磁気センサ4にかえて、単一コイルによるリラクタンス変化を利用するギャップセンサを利用した場合、センサの分解能の不足により、フランジ部材1のたわみの大きさを高精度に検出することができない。そこで、フランジ部材1にかえて、剛性が低い部材すなわち荷重が作用すると大きく変形する性質をもつコイルばねのような部材を用いることが考えられるが、このようにすると、例えば荷重センサを電動ブレーキに組み込んだ場合、電動ブレーキの応答性を損なう問題が生じる。この問題を解消するためには複雑な変位拡大機構が必要となり、ヒステリシス誤差の発生や製造コストの増加に繋がる。これに対し、上記磁気式荷重センサでは、磁気センサ4の出力信号が、磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対位置の変化に対して急峻に変化するので、磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対位置の変化量を高精度に検出することができる。また、この磁気式荷重センサは、フランジ部材1に支持部材2の内径面と対向する筒部7を設け、その筒部7の外径面に磁気ターゲット3を固定し、フランジ部材1の内径面に磁気センサ4を固定しているので、磁気ターゲット3と磁気センサ4の径方向の相対位置の精度を容易に確保することができる。また、この磁気式荷重センサは、フランジ部材1と支持部材2の周方向の相対位置を位置決めピン16で固定するようにしているので、磁気ターゲット3と磁気センサ4の周方向の相対位置の精度を確保するのが容易である。また、この磁気式荷重センサは、フランジ部材1と支持部材2とを同一の線膨張係数をもつ材料で形成しているので、温度上昇したときにフランジ部材1と支持部材2とが同じ割合で熱膨張する。そのため、温度変化による磁気ターゲット3と磁気センサ4の軸方向の相対変位が生じにくく、検出精度が安定している。上記磁気ターゲット3と磁気センサ4にかえて静電容量センサを用いると、高温または低温条件に対応するには複雑な防湿構造が必要となるため、製造コストが高価になる。また、電気的ノイズを除去するためには複雑な絶縁構造やセンサ駆動回路、またはカットオフ周波数の低いローパスフィルタが必要となるため、コストが増加する問題が生じる。これに対し、上記磁気式荷重センサでは、複雑な防湿構造が不要であり、また、電気的ノイズを除去するための複雑な絶縁構造が不要である。上記磁気ターゲット3と磁気センサ4にかえて、レーザ変位センサを用いると、油脂類などに対するシール構造が必要となり、またセンサの設置条件も制限される。これに対し、上記磁気式荷重センサでは、油脂類などに対するシール構造が不要である。磁気センサ4の出力は電圧出力のほか、電流などの他のアナログ出力としてもよく、PWMデューティ比やシリアルパラレル通信などの所定プロトコルに準ずるディジタル出力でもよい。図5に、この発明の第2実施形態の磁気式荷重センサを示す。以下、第1実施形態に対応する部分は同一の符号を付して説明を省略する。フランジ部材1と支持部材2は、円筒状のハウジング20に嵌め込んで収容されている。ハウジング20の一端には底板21が設けられ、この底板21によって、支持部材2のフランジ部材1と対向する側とは反対側の面が支持されている。フランジ部材1は円環板部5の外周縁をかしめることにより、フランジ部材1には軸方向の予圧が付与されるとともに、ハウジング20から抜け止めされている。このようにフランジ部材1に軸方向の予圧を付与しておくと、荷重がゼロに近い状態においてもその荷重を安定して検出することができる。図6に、この発明の第3実施形態の磁気式荷重センサを示す。支持部材2は、フランジ部材1と対向する円環板部8と、円環板部8のフランジ部材1と対向する側の面の外径側部分に隆起して形成された環状の支持段部9と、支持段部9の更に外径側に形成された筒状の嵌合部10とからなる。筒状の嵌合部10の内周には雌ねじ22が形成され、その雌ねじ22に雄ねじ部材23がねじ係合している。雄ねじ部材23は、フランジ部材1の荷重受け部6を貫通させるリング状に形成され、フランジ部材1の外径側部分を軸方向に締め付けて、軸方向の予圧を付与している。このようにフランジ部材1に軸方向の予圧を付与しておくと、荷重がゼロに近い状態においてもその荷重を安定して検出することができる。図7に、この発明の第4実施形態の磁気式荷重センサを示す。フランジ部材1と支持部材2は円筒状のハウジング24に収容されている。ハウジング24には潤滑剤を含浸した滑り軸受25が挿入され、その滑り軸受25内にフランジ部材1と支持部材2とが軸方向に摺動可能に挿入されている。ハウジング24の下端には、底板26がねじ止めにより固定されており、この底板26で、支持部材2のフランジ部材1と対向する側とは反対側の面が支持されている。ハウジング24の上端には蓋板27がねじ止めにより固定され、この蓋板27とフランジ部材1の間に軸方向に圧縮した状態で予圧ばね28が組み込まれている。予圧ばね28は、フランジ部材1の外径側部分を支持段部9に向けて押圧することによりフランジ部材1の位置を固定している。滑り軸受25にかえてガイド用ボールを有するリニアボールガイド図示せずを用いてもよい。この実施形態においても、フランジ部材1に軸方向の予圧が付与されているので、荷重がゼロに近い状態において、荷重を安定して検出することができる。図8に、この発明の第5実施形態の磁気式荷重センサを示す。支持部材2は、フランジ部材1に対向する側とは反対側の面の内径側部分に環状突起29を有し、この環状突起29で支持部材2が支持されるようになっている。このようにすると、フランジ部材1に軸方向荷重が入力されたときに、フランジ部材1だけでなく支持部材2にもたわみが生じ、その両部材1,2のたわみにより磁気ターゲット3と磁気センサ4が相対変位するので、荷重検出の分解能を高めることができる。図9に、この発明の第6実施形態の磁気式荷重センサを示す。この磁気式荷重センサは、第5実施形態の磁気式荷重センサの内径側と外径側を反対にした構成のものである。図9において、フランジ部材1の内径側部分は支持部材2で支持されている。支持部材2の外径側部分には、フランジ部材1の外径面と対向する内径面をもつ筒部7が形成されている。磁気ターゲット3はフランジ部材1の外径面に固定され、磁気センサ4は筒部7の内径面に固定されている。そして、支持部材2は、フランジ部材1に対向する側とは反対側の面の外径側部分に環状突起29を有し、その環状突起29で支持部材2が支持されるようになっている。このようにしても、フランジ部材1に軸方向荷重が入力されたときに、フランジ部材1だけでなく支持部材2にもたわみが生じ、その両部材のたわみにより磁気ターゲット3と磁気センサ4が相対変位するので、荷重検出の分解能を高めることができる。図10に、この発明の第7実施形態の磁気式荷重センサを示す。フランジ部材1の荷重受け部6には、フランジ部材1の中心軸線L上に中心をもつ球面30が形成されている。このようにすると、軸方向に対して斜め方向の荷重が入力されたときにも、フランジ部材1に対する荷重の作用点がフランジ部材1の中心軸線Lに近くなり、フランジ部材1が均一にたわむので、荷重の検出精度が安定する。図11、図12に、この発明の第8実施形態の磁気式荷重センサを示す。この磁気式荷重センサは、磁気ターゲット3と磁気センサ4を複数組図では2組有し、その磁気ターゲット3と磁気センサ4が、フランジ部材1の中心軸線Lを中心とする同一円周上に周方向に等間隔に配置されている。このようにすると、図13に示すように、各組の磁気センサ4の出力信号の差分Vs1-Vs2と、荷重Fの入力角度θfとの関係を予め把握しておくことにより、軸方向に対して斜め方向の荷重Fが入力されたときに、それぞれの磁気センサ4の出力信号の差分Vs1-Vs2に基づいて、軸方向を基準とする荷重Fの入力角度θfを推定することが可能となる。そして、その推定した入力角度θfに基づいて入力荷重Fの軸方向成分の大きさを得ることも可能となる。この第8実施形態において、図12に示すように、各磁気センサ4に対応して個々に磁気ターゲット3を設けてもよく、図14に示すように、筒部7の外周を全周にわたって連続するリング状の磁気ターゲット3を設けてもよい。図14に示すようなリング状の磁気ターゲット3を採用すると、フランジ部材1と支持部材2の周方向の相対位置を管理する必要がなくなり、組み立て作業性が向上する。図15に、入力された軸方向荷重Fを、磁気センサ4の出力信号Vsから推定する方法を示す。まず、永久磁石13が発生する磁界Bと温度Tの関係を予め把握しておき、その関係に基づいて、磁気センサ4の出力信号Vsを補正するステップS1。次に、補正後のセンサ出力Vsに基づいて、磁気センサ4と磁気ターゲット3の相対変位Δxを推定するステップS2。その後、その相対変位Δxに基づいて軸方向荷重Fの大きさを演算するステップS3。このように、磁気ターゲット3の温度に対する磁気特性を補償することにより、最終的に温度条件に依存しない荷重推定が可能となる。温度補償の手段として、例えばホールICのような、予め温度補償機能を有する磁気センサ4を使用し、その磁気センサ4の出力から荷重を推定してもよい。上記各実施形態では、フランジ部材1と支持部材2の周方向の相対位置を固定する手段として位置決めピン16を例に挙げて説明したが、位置決めピンにかえて、図16、図17に示すようなキー結合を採用してもよい。図16、図17において、フランジ部材1の外周には軸方向に延びるキー溝17が形成され、支持部材2の嵌合部10の内周には軸方向に延びるキー突起18が形成され、キー突起18がキー溝17に嵌合している。キー溝17とキー突起18は、両者が嵌合したときに磁気ターゲット3の周方向位置と磁気センサ4の周方向位置とが合致するように配置されている。図16、図17に示す実施形態の変形例として、フランジ部材1の外周と支持部材2の嵌合部10の内周にそれぞれキー溝を形成し、その両キー溝に共通のキー部材を嵌合させるようにしてもよい。また、キー結合のほか、セレーション結合、軸方向対向面での凹凸結合などを採用することもできる。また、上記各実施形態では、磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対位置の変化量を高精度に検出するため、磁気ターゲット3の磁化方向が磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対変位方向と直交するように磁石を配置したが、図18に示すように、磁気ターゲット3の磁化方向が磁気ターゲット3と磁気センサ4の相対変位方向と平行となるように磁気ターゲット3を配置し、その磁気ターゲット3の近傍に磁気センサ4を配置してもよい。"