"複数枚の板材を接合することにより内部に密閉空間が設けられる組立式の密閉チャンバであって、隣接する板材の接合面に形成されたシール溝と、異なる方向に分岐した分岐部を有するシール材とを備え、シール溝にシール材を装着したとき、シール材の分岐部周辺がシール溝角部方向へ圧縮変形することによりシール材分岐部の角部がシール溝分岐部の角部に対して押し付けられて密着することを特徴とする密閉チャンバ。シール材分岐部の充填率が100近傍に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の密閉チャンバ。シール材について、分岐部の断面積が線形部の断面積より大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の密閉チャンバ。シール溝について、分岐部の断面積が線形部の断面積より小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の密閉チャンバ。シール材の長さがシール溝の長さより短く設定されていることを特徴とする請求項1に記載の密閉チャンバ。シール材分岐部の角部とシール溝分岐部の角部とのシール面がR形状に形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の密閉チャンバ。シール材分岐部の角部とシール溝分岐部の角部とのシール面がC面形状に形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の密閉チャンバ。本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、従来の切削加工や溶接構造による密閉チャンバに比べて簡単かつ低コストで製造することができ、しかもシール材とシール溝とを確実に密着させてリークの発生を防止し、極めて気密性の高い密閉チャンバを安定して提供することにある。上記の目的を達成するため、本発明は、複数枚の板材を接合することにより内部に密閉空間が設けられる組立式の密閉チャンバであって、隣接する板材の接合面に形成されたシール溝と、異なる方向に分岐した分岐部を有するシール材とを備え、シール溝にシール材を装着したとき、シール材の分岐部周辺がシール溝角部方向へ圧縮変形することによりシール材分岐部の角部がシール溝分岐部の角部に対して押し付けられて密着することを特徴とする。また、本発明の密閉チャンバにおいて、シール材分岐部の充填率が100近傍に設定されていると良い。ここで充填率とは、シール溝の断面積をS1とし、シール材の断面積をS2としたときに、シール溝の断面積に対するシール材の断面積の比率S2/S1をいう。例えば具体的な態様として、シール材について、分岐部の断面積が線形部の断面積より大きくなるように形成されている構造を採用することができる。この構造のシール材を均一な断面積のシール溝に装着すると、シール材分岐部が伸び方向と反対方向すなわち分岐部から遠ざかる方向にしか変形せず、シール溝分岐部の角部方向への押し付け力が確保される。また、これとは逆に、シール溝について、分岐部の断面積が線形部の断面積より小さくなるように形成されている構造を採用しても良い。この構造のシール溝に均一な断面積のシール材を装着すると、同様にシール溝分岐部の角部方向への押し付け力が確保される。また、これらの構造に代えて、シール材の長さがシール溝の長さより短く設定されていても良い。また、シール溝分岐部の角部に接触するシール材が損傷しないように、シール材分岐部の角部とシール溝分岐部の角部とのシール面を、R形状円弧面やC面形状45°傾斜面等の面取り加工した形状に変更しても良い。本発明によれば、複数枚の板材を接合することにより内部に密閉空間が設けられる組立式の密閉チャンバとしたことにより、ステンレス鋼の溶接構造やアルミニウム合金の切削加工によって製造する密閉チャンバに比べて、材料費や加工費を大幅に抑えて非常に低コストで製造することができる。また、シール溝にシール材を装着したとき、シール材の分岐部周辺が圧縮変形することによってシール材分岐部の角部がシール溝分岐部の角部に対して押し付けられて密着するように構成されているので、シール溝分岐部の角部に対するシール性が高まり、リークの発生を防ぎ、極めて気密性の高い密閉チャンバを安定して提供することができる。以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図1に示すように、本発明の密閉チャンバCは、複数枚の板材1,2,3,4と、シール材5と、ボルト7を用いて組み立てる組立式の容器であって、例えば半導体製造装置において、内部を真空状態にして半導体ウエハの成膜処理やエッチング処理等を行う真空チャンバとして使用することができる。本実施形態において、この密閉チャンバCは、互いに対向配置された2枚の側板1,1と2枚の排気口付き側板2,2とをボルト7で固定して平面四角形の型枠8を形成し、この型枠8の上部開口面に天板3を、下部開口面に底板4をそれぞれ配置してボルト7で固定することにより、内部に密閉された空間を有する直方体型の中空容器として構成されている。また、型枠8と天板3との接合面、型枠8と底板4との接合面、及び隣接する側板1と排気口付き側板2との接合面にはそれぞれシール溝6が設けられており、そのシール溝6にシール材5を装着することにより気密性が保たれている。さらに、排気口付き側板2には、それぞれ排気ポート21が設けられており、チャンバ内の密閉空間を真空引きするための真空ポンプ図示略を取り付けられるようになっている。図2に示すように、側板1は、平面長方形のアルミ合金板からなり、上側面、下側面、及び左右両側面にそれぞれ直線状の凹溝61,61,...が形成されており、これらの凹溝61が一連に繋がって全側面を周回する環状凹溝62が設けられている。また、側板1の左右両側面には、隣接する排気口付き側板2を複数のボルト7,7,...で締結するための螺子孔11,11,...と、排気口付き側板2を位置合わせするピン14を挿入するためのピン孔15が設けられている。これと同様に、側板1の上側面には天板3を締結するための螺子孔12,12,...が、下側面には底板4を締結するための螺子孔13,13,...がそれぞれ設けられている。図3に示すように、排気口付き側板2は、平面正方形のアルミ合金板からなり、中央部に排気口22が貫通形成されており、この排気口22の周囲に排気ポート21を固定するための螺子孔23,23,...が設けられている。また、排気口付き側板2の上側面には、両端に屈曲部63を有する凹溝61が形成されているとともに、天板3を締結するための螺子孔24,24,...が設けられている。これと同様に、下側面には、屈曲部63を有する凹溝61と、底板4を締結するための螺子孔25,25,...が設けられている。また、左右両側面には、側板1の螺子孔11と対応する位置にボルト挿入用の挿通孔26が設けられている。なお、排気口付き側板2の内側面の左右両側には段部27,27が形成されており、この段部27に側板1の左右両端面を接合してボルト7を締結することにより型枠8が形成される。図4に示すように、天板3は、同じく平面正方形のアルミ合金板からなり、その周縁部に沿って、型枠8に締結するボルト挿入用の挿通孔31,31,...が設けられている。また、底板4にも同様に、ボルト挿入用の挿通孔41,41,...が設けられている。なお、本実施形態では、側板1、排気口付き側板2、天板3、及び底板4の素材としてアルミ合金板を使用したが、これに代えて、ステンレス鋼板や炭素鋼板等の金属板を使用しても良い。図5に示すように、シール材5は、弾性体からなるスケルトンシール部材で構成されており、全体で8箇所の頂部51を有する直方体型に骨組み成形されている。本実施形態ではフッ素樹脂を加硫成形した丸棒状のゴム材で12本の線形部52,52,...を形成し、各々の頂部51付近に拡大図に示すようなT字型の分岐部53を形成し、これらを接着剤や加硫成形で結合することによって一体成形されている。なお、シール材5の素材や成形方法はこれに限らず、板材の接合部分がシールされるように構成することができれば、その素材や成形方法は何でも良い。次に、上記のように構成された側板1、排気口付き側板2、天板3、底板4、及びシール材5を組み立てて本発明の密閉チャンバCを製造する方法について、図6を参照しながら説明する。組立時には、まず一体成形されたシール材5に対して側板1を装着する。このとき、側板1の全側面にわたって設けられた環状凹溝62に対し、シール材5の線形部52,52,...を順番に嵌め込んでいく。シール材5に側板1を装着し終えたら、側板1のピン孔15にピン14を挿入する。次に、側板1を装着したシール材5に対し排気口付き側板2を装着する。このとき、排気口付き側板2の上下側面に設けられた凹溝61に対し、シール材5の残りの線形部52,52,...を嵌め込んでいく。こうしてシール材5に排気口付き側板2を嵌め込むと、段部27に側板1の左右両端面が当接し、排気口付き側板2のピン孔28にピン14が挿入される。次いで、側板1と排気口付き側板2を当接させて位置決めした状態で、挿通孔26から差し込んだボルト7を螺子孔11に螺子止めし、側板1と排気口付き側板2とを固定する。上記のようにして2枚の側板1,1と2枚の排気口付き側板2,2とを固定すると、四方を板材で囲まれた筒型の型枠8が形成される。そして、この型枠8の上面に天板3を配置し、天板3の挿通孔31に差し込んだボルト7を螺子孔12と24にそれぞれ螺子止めする。このとき、型枠8の上面には、図6の上面図のように環状に繋がったシール材5が嵌め込まれているので、型枠8と天板3との接合面がこの環状のシール材5でシールされることによって気密性が確保される。また、底板4についても同様に、挿通孔41にボルト7を差し込み、螺子孔13と25にそれぞれ螺子止めして型枠8の下面に固定することにより、型枠8と底板4の接合面が環状のシール材5によってシールされる。こうして型枠8に天板3と底板4を固定すると、密閉チャンバCの組立が完了する。このように本発明の密閉チャンバCによれば、一体成形されたシール材5に板材1,2,3,4を嵌め込んでボルト7で固定するだけで組み立てられるため、溶接構造や無垢材からの切削などの従来の製造方法に比べて短時間に簡単な作業すなわち低コストで密閉チャンバCを製造することができる。また、構成部品である側板1、排気口付き側板2、天板3、及び底板4がすべて板材で構成されているので、各板材のサイズを大きく成形すれば、密閉チャンバC全体のサイズを容易に拡大することができる。しかも側板1、排気口付き側板2、天板3、及び底板4を複数枚並べて連結することにより、密閉チャンバCの全体のサイズを更に一層拡大化することも可能である。ところで、本発明ではシール材5による板材1,2,3,4の接合面のシール性を高めるため、シール材5とシール溝6との関係を改良したことを特徴とするものであるが、以下その詳細な構造について説明する。図7は一般的な断面角型のシール溝6Aについて、異なる方向に分岐したシール溝分岐部64付近を拡大して示した図であり、図8は一般的な断面丸型のシール材5Aについて、同じくシール材分岐部53付近を拡大して示した図である。ここで、図7のシール溝6Aに図8のシール材5Aを装着した状態を図9に示す。図9において、断面角型のシール溝6Aに断面丸型のシール材5Aを嵌め込んだ場合、図のようにシール溝底部の面Aと面Bにおいては、板材による押し付け力に対して十分なシール材5Aの反発力が得られる。ところが、このシール材5Aは、3方向に分岐したシール材分岐部53付近の伸びの合成力が図のD方向とE方向に作用するため、シール溝分岐部64の角部64aにおいて、隙間のシールに必要なC方向へのシール材5Aの反発力が十分でない。このため、シール溝分岐部64の角部稜線64aがほぼ完全な直線をなしていない限り、シール材5Aによって角部64aの隙間をシールしづらい傾向にあった。また、シールした場合でもそのシール性能例えばガスの透過時間の減少などが良くなく、真空チャンバとして使用するにあたって実用上問題があった。そこで、本実施形態の密閉チャンバCにあっては、シール溝6にシール材5を装着したとき、シール材分岐部53の角部53aがシール溝分岐部64の角部64aに対して所定の圧力で押し付けられるように、分岐部53の充填率シール溝分岐部53の断面積に対するシール材分岐部64の断面積の比率が100近傍の高い値に設定されている。図10はその一例として、本発明のシール材5Bについて分岐部53付近を拡大して示したものである。図10に示すように、本実施形態のシール材5Bは、線形部52の断面形状が丸型であるのに対し、分岐部53の断面形状が半円型と角を丸めた角型とを組み合わせた複合型の形状からなる。このため、線形部52の断面積に比べて分岐部53の断面積の方が大きくなるように成形されている。図11は、図7のシール溝6Aに図10のシール材5Bを装着した状態を示したものである。図11において、断面角型のシール溝6Aに断面複合型のシール材5Bを嵌め込むと、シール材分岐部53の充填率が100近傍に設定されているため、図のD方向とE方向へシール材5Bが逃げることができず、シール材5Bの伸び方向と反対方向すなわちシール溝分岐部64から遠ざかる方向へしか変形できなくなる。このため、シール溝分岐部64の角部64aにおいて、隙間のシールに必要なC方向に対して、シール材5Bの押し付け力が相殺されることなく確保される。したがって、本実施形態のシール材5Bによれば、シール溝分岐部64の角部64aに対して十分な押し付け力が得られ、シール材5Bとシール溝6Aとの密着性を高め、隙間を塞いでリークを確実に防止することができる。また、シール材5の構造は図10に示す形状に限られない。図12~16は、シール溝分岐部64の角部64aにおいて、図11のC方向へのシール材5の反発力を確保するため、シール材分岐部53の断面積を断面丸型のシール材5A図8を参照の断面積よりも大きくした例を示したものである。例えば、図12に示すシール材5Cは、線形部52の断面形状が円形であるのに対し、分岐部53の断面形状はそれよりもひと回り大径の円形に成形されている。また、図13に示すシール材5Dは、線形部52の断面形状が円形であるのに対し、分岐部53の断面形状は上半分が半円形に比べて断面積を拡大した半楕円形に成形されている。また、図14に示すシール材5Eでは、分岐部53の断面形状が円形に対し上下方向に断面積を拡大した楕円形に成形されており、図15に示すシール材5Fでは、分岐部53の断面形状が円形に対し左右方向に断面積を拡大した楕円形に成形されている。さらに、図16に示すシール材5Gは、分岐部53の断面形状が円形よりも一回り大きく、かつ、四つ角を丸めた略方形に成形されている。このように、図12~16ではいずれも、シール材5について線形部52の断面積よりも分岐部53の断面積の方が相対的に大きくなるように設定されている。このため、断面角型のシール溝6A図7を参照にこれらのシール材5C~5Gを装着した場合、図11のようにシール材5が板材により圧縮され、シール材5が伸びようとしてD方向への合力と反対方向への反発力が増す。その結果、図11のC方向への押し付け力が強くなるので、シール溝分岐部64の角部64aに対する密着性が高まり、隙間を塞いでリークを確実に防止することができる。また、上述した実施形態は、一般的な断面角型のシール溝分岐部64に対して断面積を拡大したシール材分岐部53を装着する例であったが、これとは逆に、断面積を縮小したシール溝分岐部64に対して一般的な断面丸型のシール材分岐部53を装着しても良い。例えば、図17に示すシール溝6Bは、断面角型の溝において分岐部64の内壁面に突出した隆起部66を設けることにより、分岐部64の断面積が線形部65の断面積よりも小さくなるように設定したものである。また、図18に示すシール溝6Cは、断面角型の溝において分岐部64の角部付近の溝深さdを浅くすることにより、同じく分岐部64の断面積が線形部65の断面積よりも小さくなるように設定したものである。さらに、図19に示すシール溝6Dは、断面角型の溝において分岐部64の角部付近の溝幅wを狭くすることにより、同じく分岐部64の断面積が線形部65の断面積よりも小さくなるように設定されている。このように、図17~19ではいずれも、シール溝6について線形部65の断面積よりも分岐部64の断面積の方が相対的に小さくなるように設定されている。このため、断面積を縮小したシール溝6B図17、6C図18、6D図19に対して断面丸型のシール材5A図8を装着した場合、図11で説明したときと同様に、シール材5Aが板材により圧縮されてD方向への合力と反対方向への反発力が増大する。したがって、これらの例によってもシール溝分岐部64の角部64aに対する密着性が高まり、隙間を塞いでリークを確実に防止することができる。以上説明した実施形態では、シール材分岐部53の充填率を100近傍に設定してある。充填率を100近傍としたのは、100未満、例えば90程度であっても、シール材5が弾性体である場合、シール面に密着している部分では、シール材5が押し付け圧力に関して液体に近い性質を示すためである。また、充填率は100を超えていても良い。充填率が100を超えたシール材5は、シール溝6に嵌め込んだときそれぞれ分岐部53から遠ざかる方向に変形し、シール材が溝内部に完全に収納されるので、シール溝分岐部64の角部64aに当接したシール材5が損傷することもない。また、シール材5が損傷を受けないように、シール材分岐部53の角部53aとシール溝分岐部64の角部64aとのシール面を面取り加工した形状に変更することも可能である。例えば、図20に示すようにシール面をR形状円弧面に形成した構成や、図21に示すようにシール面をC面形状45°傾斜面に形成した構成を採用することができる。なお、図示しないが、シール材5の長さをシール溝6の長さに比べて短く設定しても良い。この場合にも、シール溝6にシール材5を嵌め込んだときにシール材5が伸びようとしてD方向への合力と反対方向への反発力が増すので、上述した実施形態と同様の効果が得られる。"