複数の磁極が軸方向に配列された第1シャフトと、前記第1シャフトと平行となるように並列配置された第2シャフトと、前記第1シャフトと前記第2シャフトの端部を連結する少なくとも2つの連結部材と、前記第1シャフトが貫通する第1貫通孔及び前記第2シャフトが貫通する第2貫通孔を有し、前記第1貫通孔の内周面に複数の電機子巻線が配列されたフレームと、前記第2シャフトの外周面と前記第2貫通孔の内周面のいずれか一方に設けられたスケール及び他方に設けられたセンサを有し、前記スケールと前記センサとのギャップ方向が、前記第1シャフトの軸線と前記第2シャフトの軸線を含む面方向と略一致するように配設されたリニアエンコーダと、を備え、前記第1シャフト、前記第2シャフト及び前記連結部材と、前記フレームとの、いずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記軸方向に相対的に進退移動することを特徴とするリニアモータ。前記第2シャフトは、中空構造であることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。前記リニアエンコーダは、磁気式エンコーダであることを特徴とする請求項1又は2に記載のリニアモータ。上記従来技術のリニアモータにおいては、リニアエンコーダのスケールがシャフトに設けられ、センサが金属パイプに設けられた構成となっているため、シャフトに外力や振動が作用することによってスケールとセンサとのギャップが変動するおそれがある。すなわち、ロバスト性に向上の余地がある。また、コイルと永久磁石により可動子の推力を発生する電磁部と、スケール及びセンサを有するリニアエンコーダが設けられるエンコーダ部は、その構造上、ストロークの2倍のスペースがそれぞれ必要となるが、上記従来技術では電磁部とリニアエンコーダとが直列に配置されているため、モータの軸方向寸法が大きくなり、体格が大型化するという課題があった。本発明の目的は、ロバスト性を向上しつつ、体格を小型化できるリニアモータを提供することにある。上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、複数の磁極が軸方向に配列された第1シャフトと、前記第1シャフトと平行となるように並列配置された第2シャフトと、前記第1シャフトと前記第2シャフトの端部を連結する少なくとも2つの連結部材と、前記第1シャフトが貫通する第1貫通孔及び前記第2シャフトが貫通する第2貫通孔を有し、前記第1貫通孔の内周面に複数の電機子巻線が配列されたフレームと、前記第2シャフトの外周面と前記第2貫通孔の内周面のいずれか一方に設けられたスケール及び他方に設けられたセンサを有し、前記スケールと前記センサとのギャップ方向が、前記第1シャフトの軸線と前記第2シャフトの軸線を含む面方向と略一致するように配設されたリニアエンコーダと、を備え、前記第1シャフト、前記第2シャフト及び前記連結部材と、前記フレームとの、いずれか一方を可動子、他方を固定子として、前記軸方向に相対的に進退移動するリニアモータが適用される。本発明のリニアモータによれば、ロバスト性を向上しつつ、体格を小型化することができる。以下、一実施の形態について図面を参照して説明する。図1及び図2において、本実施形態のリニアモータ1は、可動子を2軸構造としたピストン型のリニアモータである。このリニアモータ1は、第1フレーム2Aと、第2フレーム2Bと、2つの連結部材3と、第1シャフトSH1と、第1シャフトSH1と平行となるように並列配置された第2シャフトSH2と、リニアエンコーダ10とを備えている。第1フレーム2Aは、第1シャフトSH1が貫通する第1貫通孔4と、第1貫通孔4の両端に配置され、第1シャフトSH1を軸方向図1中左右方向、図2中紙面手前奥方向に直線移動可能に支持する2つの第1直動軸受5とを有している。第1貫通孔4の内周面には、銅線等で円筒状に巻回された電機子巻線7が軸方向に複数個配列されている。第2フレーム2Bは、第1フレーム2Aと別体として構成されており、適宜の固着剤を介して第1フレーム2Aと連結されている。これら第1フレーム2A及び第2フレーム2Bが、特許請求の範囲に記載のフレームに相当する。なお、第1フレーム2Aと第2フレーム2Bとを一体的に構成、すなわち1つのフレームとして構成してもよい。この第2フレーム2Bは、第2シャフトSH2が貫通する第2貫通孔8と、第2貫通孔8の両端に配置され、第2シャフトSH2を軸方向に直線移動可能に支持する2つの第2直動軸受9とを有している。連結部材3は、第1フレーム2A及び第2フレーム2Bの負荷側図1中右側及び反負荷側図1中左側に設けられている。これら連結部材3は、それぞれの内側第1フレーム2A及び第2フレーム2Bに対向する側に設けられた図示しない凹部に、第1シャフトSH1と第2シャフトSH2との端部がそれぞれ嵌合されることにより、第1フレーム2A及び第2フレーム2Bの負荷側及び反負荷側において、第1シャフトSH1と第2シャフトSH2との端部を連結している。第1シャフトSH1は、第1フレーム2Aの第1貫通孔4を貫通しており、第1貫通孔4の両端に設けられた第1直動軸受5により軸方向に直線移動可能に軸支されている。この第1シャフトSH1には、複数の磁極を構成する永久磁石6が軸方向に所定のピッチで配列されている。複数の永久磁石6は、それらの磁極面が第1貫通孔4の内周面に配列された複数の電機子巻線7と磁気的空隙を介して対向すると共に、軸方向にN極同士又はS極同士が対向するように、交互に向きを反転させて配列されている。すなわち、永久磁石6が配列された部分では、N極の磁極とS極の磁極とが軸方向に交互に配列されている。なお、磁極を構成する部材としては、永久磁石に限られず、その他の部材例えば電磁石等を用いてもよい。第2シャフトSH2は、第2フレーム2Bの第2貫通孔8を貫通しており、第2貫通孔8の両端に設けられた第2直動軸受9により軸方向に直線移動可能に軸支されている。この第2シャフトSH2は、その外周面のうち、軸方向と直交する第1方向図1及び図2中上下方向の一方側図1及び図2中下側の面が、平坦面となっている。そして、この第2シャフトSH2の第1方向一方側に、リニアエンコーダ10が配置されている。リニアエンコーダ10は、この例では磁気式エンコーダであり、磁気パターンが設けられたスケール101と、基板102と、スケール101に設けられた磁気パターンによる磁界を検出するセンサ103とを有している。スケール101は、第2シャフトSH2の外周面のうち上記第1方向一方側の平坦面に設けられている。基板102は、第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面の一部を構成する、第1フレーム2Aの外周面のうち上記第1方向他方側図1及び図2中上側の面に設けられている。センサ103は、スケール101と上記第1方向のギャップGを介して対向するように基板102に設けられている。なお、センサ103が基板102に設けられることは、センサ103が第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面の一部を構成する、第1フレーム2Aの外周面のうち上記第1方向他方側の面に設けられることと同等である。そして、このリニアエンコーダ10は、スケール101とセンサ103との上記第1方向のギャップGに係る方向のうち、センサ103における軸方向と直交する第2方向図1中紙面手前奥方向、図2中左右方向の略中央を通るギャップ方向Aが、第1シャフトSH1の軸線AX1と第2シャフトSH2の軸線AX2とを含む面方向Bと略一致するように配設されている。以上のように構成されたリニアモータ1においては、第1シャフトSH1、第2シャフトSH2、及び連結部材3等が可動子30を構成し、第1フレーム2A及び第2フレーム2B等が固定子40を構成している。そして、このリニアモータ1においては、可動子30と固定子40とが、軸方向に相対的に進退移動する。すなわち、第1フレーム2A側第1シャフトSH1側に設けられた電磁部60において、電機子巻線7に通電すると、電機子巻線7に流れる電流と永久磁石6により形成される磁束との相互作用によって、電機子巻線7と永久磁石6の磁極との間に吸引力及び反発力が発生し、これが推進力となって、可動子30が軸方向に進退移動する。また、可動子30が移動するときに、第2フレーム2B側第2シャフトSH2側に設けられたエンコーダ部70において、センサ103によりスケール101に設けられた磁気パターンによる磁界を検出することによって、可動子30の位置移動量を検出することができる。以上説明したように、本実施形態のリニアモータ1においては、並列配置された第1シャフトSH1及び第2シャフトSH2と、これらの端部を連結する2つの連結部材3と、第1フレーム2A及び第2フレーム2Bとを有しており、可動子30と固定子40とを軸方向に相対的に進退移動させる。また、本実施形態のリニアモータ1は、リニアエンコーダ10を有している。リニアエンコーダ10は、第2シャフトSH2の外周面に設けられたスケール101、及び、第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面に設けられたセンサ103を有しており、スケール101とセンサ103とのギャップ方向Aが、第1シャフトSH1の軸線AX1と第2シャフトSH2の軸線AX2を含む面方向Bと略一致するように配設されている。このように、第1シャフトSH1及び第2シャフトSH2の端部を連結部材3で連結することにより、これらを枠型の構造とすることができ、上記面方向Bに対する第2シャフトSH2の剛性を向上できる。これにより、上記ギャップ方向Aに対する第2シャフトSHの剛性を向上できるため、スケール101とセンサ103とのギャップGの変動を抑制することができる。したがって、ロバスト性を向上できる。また、リニアモータ1においては、電機子巻線7と永久磁石8により可動子30の推力を発生する電磁部60と、スケール101及びセンサ102を有するリニアエンコーダ10が設けられるエンコーダ部70とは、その構造上、ストロークの2倍のスペースがそれぞれ必要となるが、本実施形態においては、電磁部60とエンコーダ部70とを並列に配置するため、これらを直列に配置する場合に比べてリニアモータ1の軸方向寸法を大幅に小さくすることができる。さらに、これらを直列に配置する場合には、エンコーダ部は電磁部に比べて半径方向に小さく構成できるにもかかわらず、これらを同径のフレームに収納するのが一般的であり、リニアモータの体格が不必要に大型化する。これに対し、本実施形態では、電磁部60とエンコーダ部70とを並列に配置するため、エンコーダ部70の配置スペースが必要最小限となるように第1フレーム2A及び第2フレーム2Bを構成することが可能となり、リニアモータ1の体格を小型化することができる。したがって、本実施形態によれば、ロバスト性を向上しつつ、リニアモータ1の体格を小型化することができる。また、本実施形態では特に、次のような効果を得ることができる。すなわち、一般に、リニアモータのエンコーダとしては、主として光学式と磁気式が用いられる。磁気式エンコーダは、光学式エンコーダと比較して、構造がシンプルで部品点数が少なく、低コストであるが、ギャップ変動に弱くロバスト性が低いという特性がある。一方、光学式エンコーダは、磁気式エンコーダと比較して位置分解性能に優れ、ロバスト性が高いが、高コストである。本実施形態では、スケール101とセンサ103とのギャップGの変動を抑制できることから、リニアエンコーダ10として磁気式エンコーダを用いている。これにより、リニアエンコーダ10の低コスト化を図ることができる。なお、実施の形態は、上記内容に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。1リニアエンコーダを第2シャフトの第1方向他方側に配置する場合上記実施形態においては、リニアエンコーダ10を第2シャフトSH2の第1方向一方側に配置していたが、これに限られず、リニアエンコーダを第2シャフトの第1方向他方側に配置してもよい。図3及び図4において、本変形例のリニアモータ1′の第2シャフトSH2′は、その外周面のうち、軸方向図3中左右方向、図4中紙面手前奥方向と直交する第1方向図3及び図4中上下方向の他方側図3及び図4中上側の面が、平坦面となっている。そして、この第2シャフトSH2′の第1方向他方側に、リニアエンコーダ10′が配置されている。リニアエンコーダ10′のスケール101′は、第2シャフトSH2′の外周面のうち上記第1方向他方側の平坦面に設けられている。基板102′は、前述の第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面のうち上記第1方向他方側の面に設けられている。センサ103′は、スケール101′と上記第1方向のギャップG′を介して対向するように基板102′に設けられている。なお、センサ103′が基板102′に設けられることは、センサ103′が第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面のうち上記第1方向他方側の面に設けられることと同等である。そして、このリニアエンコーダ10′は、上記実施形態におけるリニアエンコーダ10と同様、スケール101′とセンサ103′との上記第1方向のギャップG′に係る方向のうち、センサ103′における軸方向と直交する第2方向図3中紙面手前奥方向、図4中左右方向の略中央を通るギャップ方向A′が、第1シャフトSH1の軸線AX1と第2シャフトSH2′の軸線AX2′とを含む面方向B′と略一致するように配設されている。本変形例のリニアモータ1′においては、前述の第1シャフトSH1、第2シャフトSH2′、及び前述の連結部材3等が可動子30′を構成し、前述の第1フレーム2A及び第2フレーム2B等が固定子40を構成している。そして、このリニアモータ1′においては、可動子30′と固定子40とが、軸方向に相対的に進退移動する。リニアモータ1′の上記以外の構成は、上記実施形態のリニアモータ1と同様である。以上説明した本変形例によれば、上記実施形態と同様、ロバスト性を向上しつつ、リニアモータ1′の体格を小型化することができる。2第2シャフトを中空構造とする場合図5及び図6において、本変形例のリニアモータ1′′の第2シャフトSH2′′は、中空構造であり、中空部12を有している。この第2シャフトSH2′′は、前述の実施形態における第2シャフトSH2と同様、その外周面のうち、軸方向図5中左右方向、図6中紙面手前奥方向と直交する第1方向図5及び図5中上下方向の一方側図5及び図5中下側の面が、平坦面となっている。そして、この第2シャフトSH2′′の第1方向一方側に、前述のリニアエンコーダ10が配置されている。リニアエンコーダ10は、前述の実施形態と同様、前述のスケール101と前述のセンサ103との上記第1方向のギャップGに係る方向のうち、センサ103における軸方向と直交する第2方向図5中紙面手前奥方向、図5中左右方向の略中央を通るギャップ方向A′′が、前述の第1シャフトSH1の軸線AX1と第2シャフトSH2′′の軸線AX2′′とを含む面方向B′′と略一致するように配設されている。また、2つの連結部材3′′は、前述の実施形態における2つの連結部材3と同様、前述の第1フレーム2A及び第2フレーム2Bの負荷側図5中右側及び反負荷側図6中左側に設けられている。これら連結部材3′′は、それぞれの内側に設けられた図示しない凹部に、第1シャフトSH1の端部がそれぞれ嵌合されると共に、それぞれの内側に設けられた図示しない貫通孔に、第2シャフトSH2′′がそれぞれ挿通されることにより、第1フレーム2A及び第2フレーム2Bの負荷側及び反負荷側において、第1シャフトSH1と第2シャフトSH2′′との端部を連結している。本変形例のリニアモータ1′′においては、第1シャフトSH1、第2シャフトSH2′′、及び連結部材3′′等が可動子30′′を構成し、第1フレーム2A及び第2フレーム2B等が固定子40を構成している。そして、このリニアモータ1′′においては、可動子30′′と固定子40とが、軸方向に相対的に進退移動する。また、第2シャフトSH2′′の軸線AX2′′上、詳細には、第2シャフトSH2′′の負荷側の端部以下適宜、第2シャフトSH2′′の負荷側先端部と称するには、機器部品等をハンドリングするための治具として、電動グリッパ14が取り付けられている。電動グリッパ14は、2つの爪141を有しており、当該2つの爪141で機器部品等を把持可能な治具である。この電動グリッパ14は、可動子30′′の移動に伴って移動される。そして、電動グリッパ14に一端側が接続され当該電動グリッパ14に対して電力を供給するための配線13が、第2シャフトSH2′′の内部の中空部12にこの例では2本挿通され配設されている。したがって、配線13を介して、電動グリッパ14に電力を供給することができる。リニアモータ1′′の上記以外の構成は、前述の実施形態のリニアモータ1と同様である。以上説明した本変形例によれば、前述の実施形態と同様、ロバスト性を向上しつつ、リニアモータ1′′の体格を小型化することができる。また、本変形例においては、第2シャフトSH2′′が中空構造であり、第1シャフトSH1、第2シャフトSH2′′、及び連結部材3′′等が可動子30′′である。そして、機器部品等をハンドリングするために第2シャフトSH2′′の負荷側先端部に設けられる電動グリッパ14に対して電力を供給するための配線13を、第2シャフトSH2′′の内部の中空部12を挿通して配設している。これにより、配線13を第2シャフトSH2′′の先端部に横方向より接続する必要がないので、配線13のテンションによって可動子30′′に作用する駆動抵抗を軽減することができる。また、流路方向を変更するための部材等も不要となるため、可動子30′′の重量を軽減することができる。したがって、タクトタイムを向上することができる。さらに、上記流路方向を変更する部材が不要となることで、可動子30′′の軸ブレを防止するためのガイド部材等も不要となるので、リニアモータ1′′全体の重量をさらに軽減し、且つ小型化を図ることができる。また、配線13を第2シャフトSH2′′内に配設できるので、配線をリニアモータ外部において引き回す場合に比べて省スペース化を図ることができる。なお、第2シャフトSH2′′の負荷側先端部に取り付ける治具としては、上記電動グリッパ14に限られず、他の治具を取り付けてもよい。例えば、第2シャフトSH2′′の負荷側先端部に、治具として機器部品等を真空吸着可能なピックを取り付けた場合には、ピックに一端側が接続され当該ピックに対して空気等の流体を吸引するための流体用チューブを、第2シャフトSH2′′の中空部12を挿通して配設することができる。この場合には、流体用チューブを第2シャフトSH2′′の先端部に横方向より接続する必要がないので、流体用チューブのテンションによって可動子30′′に作用する駆動抵抗を軽減することができる。また、流体用チューブを第2シャフトSH2′′内に配設できるので、流体用チューブをリニアモータ外部において引き回す場合に比べて省スペース化を図ることができる。3その他以上では、リニアエンコーダ10等のスケール101等を第2シャフトSH2等の外周面に設け、センサ103等を第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面に設ける構成としたが、反対に、スケールを第2フレーム2Bの第2貫通孔8の内周面に設け、センサを第2シャフトSH2等の外周面に設ける構成としてもよい。また以上では、第1シャフトSH1と第2シャフトSH2等とを連結する連結部材3等を2つ設ける構成としたが、これに限られず、連結部材を3つ以上設ける構成としてもよい。また以上では、リニアエンコーダ10等が磁気式エンコーダである場合を一例として説明したが、これに限られず、リニアエンコーダが光学式エンコーダである場合に対しても適用可能である。さらに以上では、第1シャフトSH1、第2シャフトSH2等、及び連結部材3等が可動子、第1フレーム2A及び第2フレーム2B等が固定子である場合を一例として説明したが、反対に、第1シャフト、第2シャフト、及び連結部材が固定子、フレームが可動子である場合に対しても適用可能である。また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。その他、一々例示はしないが、上記実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。