螺旋状の凹凸により螺旋形状部が形成されたレゾルバロータと、前記レゾルバロータの回転により、前記螺旋形状部の凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータと、を有することを特徴とするレゾルバ装置。前記レゾルバロータは、外周部に前記螺旋形状部を有する請求項1記載のレゾルバ装置。前記レゾルバロータは、中空円筒体であって、前記中空円筒体の内周部に前記螺旋形状部を有する請求項1記載のレゾルバ装置。前記レゾルバステータは、励磁コイルと、複数の磁極歯を有する磁極と、を有し、隣り合う前記複数の磁極歯の間隔は、前記螺旋形状部の凸部の前記レゾルバロータの回転軸方向の幅以上である請求項1から3のいずれか1つに記載のレゾルバ装置。ところで、レゾルバ装置はより簡素な構造で信頼性の向上が求められている。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡素な構造で信頼性を向上したレゾルバ装置を提供することを目的とする。本発明のレゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部が形成されたレゾルバロータと、前記レゾルバロータの回転により、前記螺旋形状部の凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータと、を有することを特徴とする。これにより、部品点数が低減され、レゾルバ装置は信頼性が向上する。本発明の望ましい態様として、前記レゾルバロータは、外周部に前記螺旋形状部を有することが好ましい。これにより、回転にともないリラクタンスの変化を起こすことができる。その結果、レゾルバロータの回転位置又は回転数を検出できる。本発明の望ましい態様として、前記レゾルバロータは、中空円筒体であって、前記中空円筒体の内周部に前記螺旋形状部を有することが好ましい。これにより、回転にともないリラクタンスの変化を起こすことができる。その結果、レゾルバロータの回転位置又は回転数を検出できる。本発明の望ましい態様として、前記レゾルバステータは、励磁コイルと、複数の磁極歯を有する磁極と、を有し、隣り合う前記複数の磁極歯の間隔は、前記螺旋形状部の凸部の前記レゾルバロータの回転軸方向の幅以上であることが好ましい。これにより、螺旋形状部と、磁極歯とのリラクタンスの変化が大きくなる。本発明によれば、簡素な構造で信頼性を向上したレゾルバ装置を提供することができる。本発明を実施するための形態実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。実施形態1図1は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有する位置決めテーブル駆動機構の構成図である。図2及び図3は、本実施形態に係るレゾルバ装置の動作を説明する説明図である。図4は、本実施形態に係るレゾルバ装置の回転検出の一例を説明する説明図である。図1に示す位置決めテーブル駆動機構100は、X軸方向へテーブル33を駆動するX軸送り駆動機構である。テーブル駆動機構100は、台座30と、リニアガイド31と、テーブル33と、ガイド35と、ボールネジ軸10と、モータ20と、カップリング部材25と、ボールナット27と、レゾルバステータ1とを含んでいる。テーブル33は、ワークを載置可能なワークステージである。リニアガイド31は、テーブル33を搭載し、テーブル33をX軸方向へ自在にスライドさせるスライド機構である。リニアガイド31は、台座30上に固定されている。モータ20は、ボールネジ軸10を回転駆動する駆動源である。カップリング部材25は、モータ20の回転軸とボールネジ軸10と接続する接続部材である。ボールネジ軸10は、テーブル33の下部にあるボールナット27と接続され、モータ20の回転をテーブル33のX方向の軸送り駆動力へ変換する。ボールネジ軸10は、軟磁性体であることが好ましく、例えば鉄等で形成される。本実施形態のレゾルバ装置は、ボールネジ軸10をレゾルバロータとし、レゾルバステータ1とのリラクタンスの変化を検出する。図2に示すように、ボールネジ軸10の外周部には、螺旋状の凹凸により螺旋形状部11が形成されている。レゾルバステータ1は、図2に示すように複数の磁極歯2a、2bを有する磁極2と、励磁コイル5と、を含んでいる。励磁コイル5は、磁極2に巻回されている。複数の磁極歯2a、2bは、ボールネジ軸10の回転軸Oと平行なX方向に、間隔を有して形成されている。本実施形態のレゾルバ装置は、レゾルバステータ1を励磁し、リラクタンスの変化を検知するドライブユニット80と、制御装置90を有している。ドライブユニット80は、励磁コイル5に励磁信号を供給する励磁回路81と、リラクタンスの変化により励磁コイル5に発生するレゾルバ信号を検出する検出回路85と、を含んでいる。制御装置90は、コンピュータであり、例えば、CPUCentralProcessingUnitと、ROMReadOnlyMemoryと、RAMRandomAccessMemoryと、内部記憶部と、入力インターフェースと、出力インターフェースと、を含んでいる。CPU、ROM、RAM及び内部記憶部は、内部バスで接続されている。ROMには、BIOS等のプログラムが記憶されている。内部記憶部は、例えばHDDHarddiskdriveやフラッシュメモリ等であり、オペレーティングシステムプログラムやアプリケーションプログラムを記憶している。CPUは、RAMをワークエリアとして使用しながらROM又は内部記憶部に記憶されているプログラムを実行することにより、種々の機能を実現する。制御装置90は、検出回路85からの角度信号を取り込み、モータ20の回転角度位置又は回転数を演算する。制御装置90は、回転角度位置又は回転数に基づいて、モータ20の電力供給をフィードバック制御する。次に、本実施形態に係るレゾルバ装置の動作を説明する。モータ20を駆動し、ボールネジ軸10は回転軸Oを中心に回転方向Rで回転する。図2の螺旋形状部11の位置が図3の螺旋形状部11の位置に例示されるようにX方向へ移動する。例えば、レゾルバステータ1からみる螺旋形状部11の凸部11a、11b、11c、11dの位置が図2と、図3とで異なることになる。螺旋形状部11の凸部11bと、磁極2の磁極歯2a、2bとの相対位置が変化し、螺旋形状部11と、磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスが変化する。つまり、ボールネジ軸10の回転は、螺旋形状部11と磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスを変化させる。レゾルバロータとなるボールネジ軸10と、レゾルバステータ1とのリラクタンスの変化を利用して回転位置又は回転数を検出するレゾルバ装置は、バリアブルリラクタンス形レゾルバという。隣り合う複数の磁極歯2a、2bの間隔は、螺旋形状部11の凸部11bのX方向レゾルバロータの回転軸方向の幅と等しい、又は、螺旋形状部11の凸部11bのX方向レゾルバロータの回転軸方向の幅よりも大きいことが好ましい。つまり、隣り合う複数の磁極歯2a、2bの間隔は、螺旋形状部11の凸部11bのX方向レゾルバロータの回転軸方向の幅以上となることが好ましい。これにより、螺旋形状部11と、磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスの変化が大きくなる。本実施形態のレゾルバ装置は、ボールネジ軸10の1回転で基本波成分が1周期となる。例えば、励磁回路81がレゾルバステータ1を正弦波で励磁し、検出回路85がリラクタンスの変化をレゾルバ信号として検知する。制御装置90は、レゾルバ信号を回転角度として演算する。ボールネジ軸10の1回転させた場合、制御装置90が演算した結果を図4に例示する。図4は、横軸に回転角度をとり、縦軸に回転角度0度の値を100として、リラクタンスの変化をプロットしている。このように、本実施形態のレゾルバ装置は、ボールネジ軸10のも演算可能である。また、制御装置90は、回転角度360度毎に1回転として回転数を演算することができる。その結果、位置決めテーブル駆動機構100は、X軸方向へテーブル33を精密に駆動制御可能となる。なお、ボールネジ軸10の1回転で基本波成分が2周期とするには、ボールネジ軸の螺旋形状部11を2条ネジとすればよい。螺旋形状部11を多条ネジとすることで、本実施形態のレゾルバ装置は、1回転での基本波成分を増加させ、精度をたかめることができる。以上説明したように、本実施形態のレゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部11が形成されたレゾルバロータとなるボールネジ軸10と、ボールネジ軸10の回転により、螺旋形状部11の凸部11bとの距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータ1と、を有する。レゾルバロータは、ボールネジ軸10で代用できるため別途有する必要がなく、構造が簡素となる。これにより、部品点数が低減され、レゾルバ装置は信頼性が向上する。また、レゾルバロータであるボールネジ軸10は、外周部に螺旋形状部11を有する。これにより、ボールネジ軸10の回転は、螺旋形状部11と磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスを変化させる。本実施形態のレゾルバ装置は、レゾルバステータ1をボールネジ軸10に近接させている。一般的に、ボールネジ軸10の周囲は、潤滑剤の油脂が飛散する可能性もある。本実施形態のレゾルバ装置は、油脂が飛散する環境においても使用可能である。一般的に、モータ20とボールネジ軸10との間には、接続する接続部材であるカップリング部材25の影響でイナーシャによる動作のずれが生じることがある。本実施形態のレゾルバ装置は、レゾルバステータ1によりレゾルバロータとなるボールネジ軸10の回転を直接検出している。これにより、本実施形態のレゾルバ装置は、モータ20の回転数を検出しているのではない。その結果、本実施形態のレゾルバ装置は、動作ずれの影響を受けずに、ボールネジ軸10の回転を直接検出できる。また、モータ20の反出力軸側に、レゾルバ装置等の回転検出器を付けるよりも、テーブル駆動機構100の全長を短くすることができる。変形例図5は、本実施形態に係るレゾルバ装置の変形例を示す図である。変形例は、ボールネジ軸10の形状を中空円筒体12としている点に特徴がある。なお、上述したものと同じ部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。中空円筒体12は、中空の内周部に螺旋状の凹凸により螺旋形状部11Aを形成している。なお、中空円筒体12は、ボールネジとして使用するため、図5では省略したが外周にも螺旋形状の凹凸が形成されている。レゾルバステータ1は、中空円筒体12の中空部に挿入されている。複数の磁極歯2a、2bは、中空円筒体12の回転軸O1と平行なX1方向に、間隔を有して形成されている。変形例に係るレゾルバ装置の動作を説明する。モータ20を駆動し、中空円筒体12は回転軸O1を中心に回転方向R1で回転する。図5の螺旋形状部11Aの位置がX1方向へ移動する。これにより、螺旋形状部11Aの凸部と、磁極2の磁極歯2a、2bとの相対位置が変化し、螺旋形状部11Aと、磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスが変化する。つまり、中空円筒体12の回転は、螺旋形状部11Aと磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスを変化させる。以上説明したように、本実施形態のレゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部11Aが形成されたレゾルバロータとなる中空円筒体12と、中空円筒体12の回転により、螺旋形状部11Aの凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータ1と、を有する。レゾルバロータとしての中空円筒体12は、構造が簡素となる。これにより、部品点数が低減され、レゾルバ装置は信頼性が向上する。また、モータ20の反出力軸側に、レゾルバ装置等の回転検出器を付けるよりも、テーブル駆動機構100の全長を短くすることができる。また、レゾルバロータである中空円筒体12は、中空円筒体12の内周部に螺旋形状部11Aを有する。これにより、中空円筒体12の回転は、螺旋形状部11Aと磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスを変化させる。なお、中空円筒体12は、軟磁性体であることが好ましく、例えば鉄等で形成される。実施形態2図6は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有するウォームギア駆動機構の構成図である。本実施形態では、レゾルバ装置をウォームギア駆動機構に使用している点に特徴がある。なお、上述した実施形態で説明したものと同じ部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。図6に示すウォームギア駆動機構200は、モータ21と、出力軸26と、ウォーム70と、ウォームホイール75と、軸受78、79と、レゾルバステータ1と、を有している。モータ21の出力軸26は、ウォーム70と接続されている。軸受78は、ラジアル玉軸受であり、軸受79は、ラジアル滑り軸受である。なお、軸受78、79は、ラジアル玉軸受又はラジアル滑り軸受のどちらでもよい。出力軸26は、軸受78に支持されている。また、ウォーム70は、軸受79に支持されている。なお、ウォーム70は、軟磁性体であることが好ましく、例えば鉄等で形成される。ウォーム70は、外周部に図2のボールネジ軸10の螺旋形状部11と同様に、螺旋状の凹凸により螺旋形状部70Aが形成されている。ウォーム70の外周部の螺旋形状部70Aは、ウォームホイール75と噛合している。レゾルバステータ1は、ウォーム70の外周部の螺旋形状部70Aと近接するように配置されている。モータ21を駆動し、出力軸26は回転軸O2を中心に回転方向R2で回転する。出力軸26の回転にともないウォーム70も回転軸O2を中心に回転方向R2で回転する。その結果螺旋形状部70Aの位置がX2方向へ移動する。これにより、螺旋形状部70Aの凸部と、レゾルバステータ1との相対位置が変化し、螺旋形状部70Aと、レゾルバステータ1とのリラクタンスが変化する。ウォーム70の回転は、ウォームホイール75をウォームホイール75の回転軸O3を中心にR3方向へ回転させる。実施形態3図7は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有するモータの構成図である。図8は、図7の軸方向に直交した断面図である。図9は、モータの回転角度検出のブロック図である。本実施形態では、レゾルバ装置をモータに使用している点に特徴がある。なお、上述した実施形態で説明したものと同じ部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。図7に示すモータ装置300は、駆動対象に直接回転力を伝達するダイレクトドライブモータと呼ばれるモータ装置である。ダイレクトドライブモータは、駆動対象に直接回転力を伝達するため、摩擦損失が少なく効率を高くすることができる。モータ装置300は、機枠42と、この機枠42内に組み込まれるモータ本体部43と、機枠42に組み付けられるレゾルバステータ1と、を含んでいる。図7に示すように、機枠42は、例えば、ハウジングベース45にインナハウジング46とアウターハウジング47とが同芯にボルト48で固定して組み付けられている。ハウジングベース45、インナハウジング46、アウターハウジング47は鉄等で形成されている。図7に示すように、モータ本体部43は、インナハウジング46とアウターハウジング47との間に、内部ステータ固定子49、外部ステータ固定子50、ロータ回転子41を配置している。ここで、内部ステータ49は、インナハウジング46の側に組み付けられており、外部ステータ50は、アウターハウジング47の側に組み付けられている。内部ステータ49と外部ステータ50との間には、ロータ回転子41が位置して回転自在に軸支されている。レゾルバ装置は、図7に示すように、レゾルバロータ15、レゾルバステータ1と、を有している。ここで、モータ本体部43、レゾルバステータ1がこの順にモータ回転軸O4方向のモータ端部側に向かって位置している。図7に示すように、レゾルバロータ15は、ロータ41に固定されている。レゾルバステータ1は、ステータ鉄心2Qと、磁極2と、磁極歯2a、2bと、励磁コイル5と、を有している。ステータ鉄心2Qは、円環状であり、後述するように複数の磁極2を含んでいる。図7に示すように、複数の磁極歯2a、2bは、回転軸O4と平行なX3方向に、間隔を有して形成されている。また、レゾルバステータ1は、レゾルバホルダ52を介してボルト44によりアウターハウジング47の内周面に固定されている。なお、レゾルバステータ1とモータ本体部43の外部ステータ50との間にも磁気遮蔽のための遮蔽板を設けてもよい。遮蔽板により、レゾルバステータ1は、モータ本体部43からの磁束の変化の影響をより受けにくくなる。レゾルバロータ15は、図7及び図8に示すように、円環状のロータ鉄心15aを有している。円環状のロータ鉄心15aの外周部には、螺旋状の凹凸により螺旋形状部11Cが形成されている。ロータ鉄心15aの内径中心O4は、ステータ鉄心2Qの内径中心と一致している。本実施形態のモータ装置300は、レゾルバロータ15は、ロータ鉄心15aの外径中心がロータ鉄心15aの内径中心O4と一致している。ステータ鉄心2Qは、レゾルバステータ1を複数含んでおり、位相がずれた3相の励磁信号で励磁される。図8では、レゾルバステータ1は、A相、B相及びC相の3相とし、レゾルバステータ1を、1A、1B、1Cと、相別で区別されている。レゾルバステータ1の磁極2には、励磁コイル5が巻回されている。ロータ鉄心15aが回転すると、所定位置でのレゾルバステータ1A、1B、1Cのいずれかと、ロータ鉄心15aの外径に形成された螺旋形状部11Cとの対向する位置関係が変化する。これにより、螺旋形状部11Cの凸部と、磁極2の磁極歯2a、2bとの相対位置が変化し、螺旋形状部11Cと、磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスが変化する。つまり、ロータ鉄心15aの回転は、螺旋形状部11Cと磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスを変化させる。なお、本実施形態のレゾルバ装置は、ロータ鉄心15aの1回転で基本波成分が1周期となる。図9は、モータの回転角度検出のブロック図である。本実施形態のレゾルバ装置は、レゾルバステータ1A、1B、1Cを励磁し、リラクタンスの変化を検知するドライブユニット80と、制御装置90を有している。ドライブユニット80は、励磁コイル5に励磁信号を供給する励磁回路81と、リラクタンスの変化により励磁コイル5に発生するレゾルバ信号を検出する検出回路85と、を含んでいる。励磁回路81は、発信回路82と、増幅回路83と、を含んでいる。発振回路82は、基準信号を発振する回路である。基準信号は、例えば正弦波である。増幅回路83は、増幅器を含んでいる。増幅回路83は、発信回路82から出力される基準信号を増幅器により適度な信号レベルに増幅し励磁信号を発生させる。励磁信号は、例えば正弦波のアナログ信号である。励磁回路81は、レゾルバステータ1A、1B、1Cへ励磁信号を出力する。図9に示すように、レゾルバステータ1A、1B、1Cは、それぞれ相別に直列に接続されている。図9のレゾルバ電流信号検出部86は、電流検出用抵抗Ra~Rcを有している。レゾルバA相のレゾルバステータ1Aの励磁コイル5は、電流検出用抵抗Raの一端との間に接続されている。他の各相の励磁コイル5も、レゾルバA相と同様に電流検出用抵抗Rb、Rcの各一端との間に接続されている。なお、電流検出用抵抗Ra~Rcの各他端は内部でアースされている。レゾルバステータ1A、1B、1Cには、ある周波数の正弦波が励磁信号として印加される。レゾルバロータ15が1回転する間に、レゾルバステータ1A、1B、1CのレゾルバA相、レゾルバB相及びレゾルバC相の各励磁コイル5は、相毎に120°ずつ、位相のずれた1サイクルの交流信号であるレゾルバ信号を出力する。また、このレゾルバ信号がレゾルバ信号検出部86に出力される。励磁信号がレゾルバステータ1A、1B、1Cに供給されると、電流検出用抵抗Ra~Rcの各端からレゾルバ信号が出力される。出力されたレゾルバ信号は、3/2相変換器87へ供給される。3/2相変換器87は、供給されたレゾルバ信号を2相信号sin信号、cos信号に変換する。3/2相変換器87によって変換された2相信号sin信号、cos信号は、制御装置90に供給される。制御装置90は、2相信号をA/D変換し、ソフトウエアによる情報処理でモータの回転角度位置又は回転数を演算する。制御装置90は、回転角度位置又は回転数に基づいて、モータ本体部43の電力供給をフィードバック制御する。以上説明したように、本実施形態のレゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部11Cが形成されたレゾルバロータ15と、レゾルバロータ15の回転により、螺旋形状部11Cの凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータ1と、を有する。レゾルバロータは、螺旋形状部を設けるだけでよく、構造が簡素となる。これにより、部品点数が低減され、レゾルバ装置は信頼性が向上する。また、レゾルバロータ15は、外周部に螺旋形状部11Cを有する。これにより、レゾルバロータ15の回転は、螺旋形状部11Cと磁極2の磁極歯2a、2bとのリラクタンスを変化させる。本実施形態のレゾルバ装置は、小型とすることができ、モータ装置内部に形成するのに適している。