案内面を備えたベース上に、負圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブルを、前記案内面と前記案内部の係合部に潤滑油を供給して搭載し、前記負圧ポケットに吸引管路を経由してエジェクタを連通し、前記エジェクタに供給管路と排出管路を連通し、前記供給管路に潤滑油供給装置を連結し、前記排出管路に回収タンクを連結するスライドテーブル装置において、前記排出管路に開閉弁を備え、前記エジェクタの噴出開始時に前記開閉弁を閉動作し、前記吸引管路と前記負圧ポケットに前記潤滑油が充満した後に、前記開閉弁を開動作する弁制御装置を備えるスライドテーブル装置。特許文献1に記載の従来技術では、長時間運転停止した後に起動する時、負圧ポケット100a、100bと吸引管路内101に空気が流入していると、負圧ポケット100a、100b内を所定の負圧にするまでに長時間を要することがある。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、長時間運転停止した後の起動時にも、短時間で負圧ポケット内を所定の負圧にできる、スライドテーブル装置を提供する。上記の課題を解決するため、請求項1に係る発明の特徴は、案内面を備えたベース上に、負圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブルを、前記案内面と前記案内部の係合部に潤滑油を供給して搭載し、前記負圧ポケットに吸引管路を経由してエジェクタを連通し、前記エジェクタに供給管路と排出管路を連通し、前記供給管路に潤滑油供給装置を連結し、前記排出管路に回収タンクを連結するスライドテーブル装置において、前記排出管路に開閉弁を備え、前記エジェクタの噴出開始時に前記開閉弁を閉動作し、前記吸引管路と前記負圧ポケットに前記潤滑油が充満した後に、前記開閉弁を開動作する弁制御装置を備えることである。請求項1に係る発明によれば、エジェクタの噴出開始時に前記開閉弁を閉動作するので、噴出した潤滑油が吸引管路と連結する負圧ポケットに短時間で充満する。充満後に開閉弁を開とすると、吸引管路と負圧ポケット内には空気の混入がないのでエジェクタ部で潤滑油が強く吸引され、負圧ポケット内が短時間で所定の負圧に到達する。以下、本発明の実施の形態をV-平型の静圧案内面を備えたスライドテーブル装置の事例に基づき、図1~図3を参照しつつ説明する。図1に示すように、スライドテーブル装置1は、V型案内面2aと平型案内面2bを備えたベース2と、ベース2上に往復可能でリニアモータ4で駆動されるテーブル3を備えている。図2に示すように、テーブル3は下面にV型案内部3Aと平型案内部3Bを備え、ベースのV型案内面2aとV型案内部3Aが係合し、ベースの平型案内面2bと平型案内部3Bが係合する。V型案内部3Aには中央部に一対の負圧ポケット3a、両端部に一対の静圧ポケット3c、3eを備えている。平型案内部3Bには中央部に負圧ポケット3b、両端部に静圧ポケット3d、3fを備えている。図3に示すように、テーブル3は負圧ポケット3a、3bに連通する吸引流路3cを備え、吸引流路3cは吸引管路5に連通している。吸引管路5はエジェクタ6の吸引口6aに接続している。エジェクタ6の噴出口6bには供給管路8が接続し、供給管路8にはポンプ7が接続している。エジェクタ6の排出口6cには排出管路9aが接続しており、排出管路9aには電磁開閉弁10が接続し、電磁開閉弁10には排出管路9bが接続し、回収タンク11へ連通している。電磁開閉弁10は弁制御装置12により開閉動作を行う。スライドテーブル装置1の起動時の作動について説明する。起動指令が図示しない制御装置から指令されると、ポンプ7が起動すると同時に弁制御装置12が電磁開閉弁10を閉動作する。そうすると、ポンプ7で昇圧された潤滑油が供給管路8を経由してエジェクタ6の噴出口6bに供給される。潤滑油はエジェクタ6の排出口6cから排出管路9aに流入するが、電磁開閉弁10が閉状態であるため排出管路9aに充満した後に、エジェクタ6の吸引口6aから吸引管路5、吸引流路3cを経由して内部の空気を追い出しながら負圧ポケット3a、3bに充満する。所定の時間が経過した後に弁制御装置12により電磁開閉弁10を開動作する。そうすると、排出管路9a内の潤滑油は電磁開閉弁10と排出管路9bを経由してタンク11へ回収される。この状態でエジェクタ6の噴出口6bに昇圧された潤滑油が供給されると、高速の潤滑油が噴出口6bから排出口6cに流入する、この時吸引口6aには負圧が発生する。この負圧により、吸引管路5、吸引流路3cを経由して負圧ポケット3a、3b内の潤滑油を吸引することで、負圧ポケット3a、3bに負圧が発生する。液体を用いたエジェクタでは、吸引管路に気体の混入があるとエジェクタの吸引力が低下するが、本発明のスライドテーブル装置1では、起動時に負圧ポケット3a、3bとエジェクタ6の間に空気の混入が無い状態で吸引を開始できるので、強い吸引力により短時間に負圧ポケット3a、3bを所定の負圧にできる。