基板上に、裏面電極層と、入射した光線を光電変換して起電力を得る光吸収層と、アルミニウムドープ酸化亜鉛からなる透明電極層とを備える太陽電池において、該透明電極層は、該光吸収層との界面側よりも該界面から離間する側のアルミニウム含有量が多いことを特徴とする太陽電池。請求項1記載の太陽電池において、前記透明電極層は、アルミニウム含有量が互いに異なる複数の層からなり、各層のアルミニウム含有量は、前記光吸収層との界面側よりも該界面から離隔する側の方が多いことを特徴とする太陽電池。請求項2記載の太陽電池において、前記透明電極層は、前記光吸収層上に積層された第1の透明電極層と、第1の透明電極層上に積層され第1の透明電極層よりもアルミニウム含有量が多い第2の透明電極層とからなることを特徴とする太陽電池。請求項3記載の太陽電池において、前記第1の透明電極層はアルミニウム含有量が第1の透明電極層全体の2質量以下の範囲であり、前記第2の透明電極層はアルミニウム含有量が第2の透明電極層全体の3.0~5.0質量の範囲であることを特徴とする太陽電池。基板上に裏面電極層を形成する工程と、該裏面電極層上に入射した光線を光電変換して起電力を得る光吸収層を形成する工程と、該光吸収層上にアルミニウムを含む酸化亜鉛ターゲットを用いるスパッタリングによりアルミニウムドープ酸化亜鉛からなる透明電極層を形成する工程とを備える太陽電池の製造方法において、該スパッタリングは、アルミニウム含有量が互いに異なる複数の酸化亜鉛ターゲットを用い、同一の製膜条件下、酸化亜鉛ターゲットをアルミニウム含有量が少ないものから多いものに順次交換して行うことを特徴とする太陽電池の製造方法。請求項5記載の太陽電池の製造方法において、前記スパッタリングは、所定のアルミニウムを含有する第1の酸化亜鉛ターゲットを用いて第1の透明電極層を形成した後、同一の製膜条件下、第1の酸化亜鉛ターゲットよりアルミニウム含有量が多い第2の酸化亜鉛ターゲットを用いて第1の透明電極層上に第2の透明電極層を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。しかしながら、前記AZO電極上に前記SiO又はMgOからなる反射防止層を形成するには、前記AZOとは異種の材料によるスパッタリングを行わねばならないので、異種のそれぞれの材料に合わせて製膜条件を変更しなければならないという不都合がある。そこで、本発明は、かかる不都合を解消して、製造が容易で、光透過性を損なうことなく透明電極とカバーガラス又はEVA樹脂との界面における入射光の反射を低減することができる太陽電池及びその製造方法を提供することを目的とする。本発明者らは、AZOの屈折率と光透過性との関係について検討した。この結果、AZOのアルミニウム含有量を、通常の透明電極として用いられるAZOよりも高い特定の範囲とすることにより、光透過性を低減させることなく、屈折率を通常の透明電極として用いられるAZOよりも小さくすることができることを見出し、本発明に到達した。そこで、本発明の太陽電池は、前記目的を達成するために、基板上に、裏面電極層と、入射した光線を光電変換して起電力を得る光吸収層と、アルミニウムドープ酸化亜鉛からなる透明電極層とを備える太陽電池において、該透明電極層は、該光吸収層との界面側よりも該界面から離間する側のアルミニウム含有量が多いことを特徴とする。本発明の太陽電池によれば、前記アルミニウムドープ酸化亜鉛からなる透明電極層の前記光吸収層との界面側から離間する側、即ち外層側のアルミニウム含有量を多くすることにより、この部分の屈折率が該光吸収層との界面側よりも小さくなる。この結果、本発明の太陽電池をカバーガラスとバックシートとにより画成される空間に、前記透明電極層を該カバーガラスに対向させて配設し、該カバーガラス及びバックシートとの間隙をEVA樹脂等の封止剤により封止したときに、該カバーガラス及びEVA樹脂と該透明電極層との屈折率の差が小さくなり、反射光を低減することができる。本発明の太陽電池において、前記透明電極層は、前記光吸収層との界面側から離間する側に向かって連続的にアルミニウム含有量が増加するようにしてもよく、アルミニウム含有量が互いに異なる複数の層からなり、各層のアルミニウム含有量を、前記光吸収層との界面側よりも該界面から離隔する側の方で多くするようにしてもよい。本発明の太陽電池において、前記透明電極層がアルミニウム含有量が互いに異なる複数の層からなるとき、前記透明電極層は、例えば、前記光吸収層上に積層された第1の透明電極層と、第1の透明電極層上に積層され第1の透明電極層よりもアルミニウム含有量が多い第2の透明電極層とからなるようにすることができる。このとき、前記第1の透明電極層はアルミニウム含有量が第1の透明電極層全体の2質量以下の範囲であり、前記第2の透明電極層はアルミニウム含有量が第2の透明電極層全体の3.0~5.0質量の範囲であることが好ましい。前記第2の透明電極層は、アルミニウム含有量が前記範囲であることにより、前記第1の透明電極層よりも屈折率を小さくすることができる。前記第2の透明電極層は、アルミニウム含有量が第2の透明電極層全体の3.0質量未満では、その屈折率を前記第1の透明電極層に対して十分に小さくすることができないことがある。また、前記第2の透明電極層は、アルミニウム含有量が第2の透明電極層全体の5.0質量を超えると十分な光透過性を得ることができないことがある。本発明の太陽電池は、基板上に裏面電極層を形成する工程と、該裏面電極層上に入射した光線を光電変換して起電力を得る光吸収層を形成する工程と、該光吸収層上にアルミニウムを含む酸化亜鉛ターゲットを用いるスパッタリングによりアルミニウムドープ酸化亜鉛からなる透明電極層を形成する工程とを備える太陽電池の製造方法において、該スパッタリングは、アルミニウム含有量が互いに異なる複数の酸化亜鉛ターゲットを用い、同一の製膜条件下、酸化亜鉛ターゲットをアルミニウム含有量が少ないものから多いものに順次交換して行う製造方法により製造することができる。本発明の製造方法によれば、前記アルミニウムドープ酸化亜鉛からなる透明電極層を形成する工程において、アルミニウム含有量が互いに異なる複数の酸化亜鉛ターゲットをアルミニウム含有量が少ないものから多いものに順次交換することにより、前記光吸収層との界面側よりも該界面から離間する側のアルミニウム含有量が多い前記透明電極層を形成することができる。本発明の製造方法によれば、いずれのターゲットも同種の酸化亜鉛であるため、スパッタリングの条件を変化させず同一の製膜条件下でアルミニウム含有量の異なる層を製造することができるので、本発明の太陽電池を容易に製造することができる。本発明の製造方法において、前記スパッタリングは、所定のアルミニウムを含有する第1の酸化亜鉛ターゲットを用いて第1の透明電極層を形成した後、同一の製膜条件下、第1の酸化亜鉛ターゲットよりアルミニウム含有量が多い第2の酸化亜鉛ターゲットを用いて第1の透明電極層上に第2の透明電極層を形成することが好ましい。このようにすることにより、前記光吸収層上に積層された第1の透明電極層と、第1の透明電極層上に積層され第1の透明電極層よりもアルミニウム含有量が多い第2の透明電極層とからなる前記透明電極層を容易に形成することができる。次に、添付の図面を参照しながら本発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。図1aに示すように、本実施形態の太陽電池1は、ガラス基板2上に裏面電極層3、光吸収層4、透明電極層5がこの順に積層されている。太陽電池1は、図1bに示すように、カバーガラス6とバックシート7とにより画成される空間内に配設されて太陽電池モジュール8を形成している。太陽電池モジュール8において、太陽電池1は透明電極5がカバーガラス6に対向するように配置され、太陽電池1とカバーガラス6及びバックシート7との間隙にはエチレン-酢酸ビニルEVA樹脂等の封止剤9が充填され、太陽電池1が封止されている。太陽電池1において、裏面電極層3は例えばMo等からなり、光吸収層4は例えば化学式CuInGaSe2で表されるカルコパイライト化合物CIGS等からなり、入射した光線を光電変換して起電力を得ることができる。また、光吸収層4は表面に図示しないバッファ層を備えている。前記バッファ層は例えばInS等からなる。本実施形態の太陽電池1において、透明電極層5はアルミニウムドープ酸化亜鉛AZOからなる。このとき、透明電極層5は、光吸収層4との界面側の部分ではアルミニウム含有量が少なく、該界面から離間する側の部分ではアルミニウム含有量が多くなっている。このような透明電極層5は、例えば、図2に示すように、光吸収層4上に積層された第1の透明電極層5aと、第1の透明電極層5a上に積層され第1の透明電極層5aよりもアルミニウム含有量が多い第2の透明電極層5bとから構成することができる。尚、図2では封止剤9を省略して示している。第1の透明電極層5aは、例えばアルミニウム含有量が2.0質量のAZOからなり、屈折率が2.0である。一方、第2の透明電極層5bは、アルミニウム含有量が3.0~5.0質量の範囲のAZOからなることにより、屈折率を1.70~1.80の範囲とすることができる。ここで、太陽電池モジュール8では、カバーガラス6の屈折率は1.5程度であり、封止剤9の屈折率もカバーガラス6と同程度である。そこで、透明電極層5を第1の透明電極層5a及び第2の透明電極層5bから構成することにより、アルミニウム含有量が2.0質量のAZOのみから構成する場合に比較して、カバーガラス6及び封止剤9との屈折率の差を小さくすることができる。従って、太陽電池1によれば、太陽電池モジュール8としたときに、カバーガラス6及び封止剤9図2ではカバーガラス6で代表させているとの界面での反射光を低減することができる。また、第2の透明電極層5bはアルミニウム含有量が3.0~5.0質量の範囲のAZOからなることにより、光透過性を損なうことがない。従って、本実施形態の太陽電池1によれば、光吸収層4における光電変換効率を1以上向上させることができる。また、AZOの光透過性は膜厚にも関係があり、第2の透明電極層5bは60~150nmの範囲の膜厚を備えていることが好ましい。第2の透明電極層5bの膜厚が前記範囲外であるときには、光吸収層4における光電変換効率を1以上向上させる効果が得られないことがある。尚、図2に示す構成では、透明電極層5を、アルミニウム含有量が2.0質量のAZOからなり屈折率が2.0の第1の透明電極層5aと、アルミニウム含有量が3.0~5.0質量のAZOからなり、屈折率が1.70~1.80の範囲の第2の透明電極層5bとの2層により構成している。しかし、透明電極層5は3層以上の層から構成し、光吸収層4側からカバーガラス6に対向する側に向かって、各層のアルミニウム含有量が段階的に増加するようにしてもよい。また、透明電極層5を単一の層とし、光吸収層4側からカバーガラス6に対向する側に向かって連続的にアルミニウム含有量が多くなる構成としてもよい。次に、図1及び図2に示す太陽電池1の製造方法について説明する。太陽電池モジュール8を製造するときには、まず、ガラス基板2上に、Moからなる裏面電極3をスパッタリングし、レーザーを照射してスクライブすることにより、複数の領域に分割する。次に、分割された裏面電極4上に、CuGa層をスパッタリングし、さらにCuGa層上にIn層をスパッタリングする。次に、ガラス基板2をH2Seガス雰囲気中、例えば400~600°Cの範囲の温度に加熱し、CuGa/In層をSe化することによりCIGSとする。次に、CIGS層上に化学浴堆積法によりInSからなるバッファ層を形成し、CIGS層とバッファ層とからなる光吸収層4を形成する。そして、光吸収層4をニードルによりスクライブして、分割された裏面電極3に対応する複数の領域に分割する。次に、光吸収層4上に、スパッタリングによりAZOからなる透明電極5を形成する。ここで透明電極5が、第1の透明電極5aと第2の透明電極5bとからなるときには、まず、2.0質量のAlを含む酸化亜鉛ターゲットを用いてスパッタリングを行い、光吸収層4上に第1の透明電極5aを所定の厚さ、例えば520nmの厚さに形成する。次に、前記酸化亜鉛ターゲットを3.0~5.0質量のAlを含む酸化亜鉛ターゲットに交換し、第1の透明電極5aの形成時と同一の製膜条件でスパッタリングを行うことにより、第1の透明電極5a上に第2の透明電極5bを60~155nmの厚さ、例えば80nmの厚さに形成する。この結果、本実施形態の太陽電池1を製造することができる。太陽電池1は、カバーガラス6とバックシート7とにより画成される空間に配設したのち、常法により、EVA樹脂等の封止剤9により封止されることにより、太陽電池モジュール8を形成することができる。次に、アルミニウム含有量が2.0質量のAZOからなり屈折率が2.0、膜厚が520nmの第1の透明電極層5a上に、第2の透明電極層5bを形成した太陽電池1を用いて太陽電池モジュール8を形成し、光吸収層4の光電変換効率を測定した。ここで、第2の透明電極層5bはAZOのアルミニウム含有量を3.0~5.0質量の範囲で変量することにより、屈折率が1.70~1.80の範囲で変量するようにした。また、各屈折率の第2の透明電極層5bに対し、膜厚を61~151nmの範囲で変量した。透明電極5が、アルミニウム含有量が2.0質量のAZOからなり屈折率が2.0、膜厚が600nmの第1の透明電極層5aのみからなるときの光吸収層4の光電変換効率を100として、結果を図3に示す。図3から、本実施形態の太陽電池1によれば、前記第1の透明電極層5a上に、アルミニウム含有量が3.0~5.0質量のAZOからなり屈折率が1.70~1.80、膜厚が61~151nmの第2の透明電極層5bを形成することにより、光吸収層4の光電変換効率を1以上向上している。従って、第2の透明電極層5bにより、カバーガラス6及び封止剤9と透明電極層5との界面における入射光の反射を低減することができると共に、第2の透明電極層5bの光透過性が損なわれていないことが明らかである。