エンジンに吸引される吸気の一部を通電による発熱によって加熱する発熱ヒータ2と、少なくとも前記発熱ヒータ2の通電制御を行うセンサ回路3と、を搭載する熱式の空気流量測定装置1において、前記センサ回路3は、当該空気流量測定装置1の外部から外部信号が入力された時に、前記発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1に記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、空気流量に応じた検出信号を外部に出力する出力端子28dを備え、この出力端子28dに前記外部信号が入力されることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1に記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、外部から電力の供給を受ける電源端子28b、外部のグランドに接地されるグランド端子28c、吸気温度に応じた検出信号を外部に出力する吸気温端子28aを備え、前記電源端子28b、前記グランド端子28c、前記吸気温端子28aのいずれかに前記外部信号が入力されることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1~請求項3のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、前記センサ回路3は、前記外部信号が入力されている間、前記発熱ヒータ2の温度を予め設定したヒートクリーニング温度に昇温させることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1~請求項3のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、前記センサ回路3は、前記外部信号が入力された時、予め設定したヒートクリーニング時間に亘り、前記発熱ヒータ2の温度を予め設定したヒートクリーニング温度に昇温させることを特徴とする空気流量測定装置。請求項5に記載の空気流量測定装置1において、前記ヒートクリーニング時間は、0.2秒以上であり、且つ2秒以下であることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1~請求項6のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、前記発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気の温度を検出する吸気温度検出抵抗体を備え、前記センサ回路3は、前記吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度に基づいて、前記発熱ヒータ2の温度を昇温させることを特徴とする空気流量測定装置。請求項7に記載の空気流量測定装置1において、前記吸気温度検出抵抗体は、前記発熱ヒータ2が設けられるセンサ基板25に設けられることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1~請求項8のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、前記発熱ヒータ2によって加熱された吸気の温度を検出する加熱吸気温度検出抵抗体21と、前記発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気の温度を検出する非加熱吸気温度検出抵抗体23とを具備し、前記センサ回路3は、前記加熱吸気温度検出抵抗体21の検出する加熱吸気温度と、前記非加熱吸気温度検出抵抗体23の検出する非加熱吸気温度との検出温度差が、予め設定された一定温度差となるように前記発熱ヒータ2を通電制御することを特徴とする空気流量測定装置。請求項9に記載の空気流量測定装置1において、前記センサ回路3は、前記加熱吸気温度検出抵抗体21と前記非加熱吸気温度検出抵抗体23で構成されるブリッジバランスを変更することで、前記発熱ヒータ2の温度を昇温させることを特徴とする空気流量測定装置。請求項10に記載の空気流量測定装置1において、前記センサ回路3は、前記加熱吸気温度検出抵抗体21に与える電圧VE、あるいは前記非加熱吸気温度検出抵抗体23に与える電圧VGの一方の電圧を変更することで、前記発熱ヒータ2の温度を昇温させることを特徴とする空気流量測定装置。請求項1~請求項11のいずれかに記載の空気流量測定装置1において、この空気流量測定装置1は、前記エンジンに吸気を導く吸気ダクト11の内部を流れる吸気の一部が通過するバイパス通路14と、このバイパス通路14に導かれた吸気の一部が通過するサブバイパス通路15とを備え、前記サブバイパス通路15を通過する吸気量を測定することを特徴とする空気流量測定装置。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、外部からヒートクリーニングが要求された時にヒートクリーニングを実施可能な空気流量測定装置の提供にある。請求項1の手段請求項1の空気流量測定装置は、この空気流量測定装置の外部から外部信号が入力された時に、発熱ヒータの温度を、空気流量測定時の温度より高める。これにより、外部からヒートクリーニングが要求された時例えば、汚損により流量測定値が変化した時、イグニッションスイッチのON時、減速時、イグニッションスイッチのOFF時等に、ヒートクリーニングを実施することができる。請求項2の手段請求項2の空気流量測定装置は、出力端子空気流量に応じた検出信号を外部に出力する端子に外部信号が入力される。このように、出力端子が外部信号の入力端子を兼用するため、従来技術で用いていた専用ハーネスおよび専用ターミナル端子を不要にできる。請求項3の手段請求項3の空気流量測定装置は、電源端子、グランド端子、吸気温端子のいずれかに外部信号が入力される。このように、電源端子、グランド端子、吸気温端子のいずれかが外部信号の入力端子を兼用するため、従来技術で用いていた専用ハーネスおよび専用ターミナル端子を不要にできる。請求項4の手段請求項4の空気流量測定装置は、外部信号が入力されている間、発熱ヒータの温度を予め設定したヒートクリーニング温度に昇温させる。これにより、空気流量測定装置の外部からヒートクリーニングの実施時間以下、ヒートクリーニング時間と称すを任意にコントロールすることができる。請求項5の手段請求項5の空気流量測定装置は、外部信号が入力された時、予め設定したヒートクリーニング時間に亘り、発熱ヒータの温度を予め設定したヒートクリーニング温度に昇温させる。請求項6の手段請求項6のヒートクリーニング時間は、0.2秒以上であり、且つ2秒以下である。ヒートクリーニング時間を0.2秒以上に設定することで、発熱ヒータの発熱による異物除去が実施されて、異物付着による空気流量の測定精度の悪化を回避することができる。また、ヒートクリーニング時間を2秒以下に設定することで、エンジン制御に用いられる空気流量測定の影響を抑えることができる。請求項7の手段請求項7の空気流量測定装置は、ヒートクリーニングを実施する際、吸気温度に基づいて発熱ヒータの温度を昇温させる。これにより、吸気温度が高い状態でヒートクリーニングが実施されても、温度の上がり過ぎによる発熱ヒータの劣化を回避することができ、発熱ヒータの劣化に伴う空気流量の測定精度の悪化を回避することができる。請求項8の手段請求項8の吸気温度検出抵抗体は、発熱ヒータが設けられるセンサ基板上に設けられる。このように、発熱ヒータが設けられるセンサ基板に吸気温度検出抵抗体を設けることで、コストを抑えることができる。請求項9の手段請求項9の空気流量測定装置は、加熱吸気温度検出抵抗体の検出する加熱吸気温度と、非加熱吸気温度検出抵抗体の検出する非加熱吸気温度との検出温度差が、予め設定された一定温度差となるように発熱ヒータを通電制御する。これにより、流量測定時において、発熱ヒータに与えられる電流値空気流量に応じて変化する値によって空気流量を測定することができる。請求項10の手段請求項10の空気流量測定装置は、加熱吸気温度検出抵抗体と非加熱吸気温度検出抵抗体で構成されるブリッジバランスを変更することで、発熱ヒータの温度を昇温させる。このように、流量測定に用いるブリッジバランスを変更することでヒートクリーニングを実施するため、ヒートクリーニングを実施するための特別な回路を不要にでき、コストを抑えることができる。請求項11の手段請求項11の空気流量測定装置は、加熱吸気温度検出抵抗体に与える電圧、あるいは非加熱吸気温度検出抵抗体に与える電圧の一方の電圧を変更することで、発熱ヒータの温度を昇温させる。このように、流量測定に用いる電圧を変化させることでヒートクリーニングを実施できるため、ヒートクリーニングを実施するための特別な回路を不要にでき、コストを抑えることができる。請求項12の手段請求項12の空気流量測定装置は、エンジンに吸気を導く吸気ダクトの内部を流れる吸気の一部が通過するバイパス通路吸気ダクトに対する副通路と、このバイパス通路に導かれた吸気の一部が通過するサブバイパス通路吸気通路に対する副々通路とを備え、サブバイパス通路を通過する吸気量を測定するものである。図面を参照して[発明を実施するための形態]を説明する。空気流量測定装置1は、熱式エアフロメータAFMであり、エンジンに吸引される吸気の一部を通電による発熱によって加熱する発熱ヒータ2と、少なくとも発熱ヒータ2の通電制御を行うセンサ回路3とを搭載する。そして、センサ回路3は、空気流量測定装置1の外部に配置されるECU4から外部信号ヒートクリーニング開始の指示信号が入力された時に、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング手段5を備える。なお、ヒートクリーニング手段5は、制御プログラムであっても良いし、シーケンス制御を実行する電気回路コンピュータを用いないロジック回路等で構成されるものであっても良い。以下において本発明が適用された具体的な一例実施例を、図面を参照して説明する。実施例は具体的な一例を開示するものであって、本発明が実施例に限定されないことは言うまでもない。なお、以下の実施例において上記[発明を実施するための形態]と同一符号は、同一機能物を示すものである。[実施例1]実施例1を図1~図6を参照して説明する。空気流量測定装置1は、図1に示すように、車両走行用エンジンの吸気ダクト11に搭載されるものであり、エンジンに吸い込まれる空気流量吸気量の測定を行う熱式エアフロメータである。空気流量測定装置1は、吸気ダクト11に組付けられる通路形成部材ハウジング12と、この通路形成部材12に組付けられるセンサアッシー13と、を備えて構成される。通路形成部材12の説明通路形成部材12は、例えば樹脂材料によって形成されるものであり、エンジンに吸気を導く吸気ダクト11に組付けられる。通路形成部材12の内部には、吸気ダクト11の内部主通路を流れる吸気の一部が通過するバイパス通路14およびサブバイパス通路15が形成される。具体的に、吸気ダクト11には、内外を貫通するAFM装着穴11aが形成されており、このAFM装着穴11aの外部より通路形成部材12を吸気ダクト11内に挿入配置することで、空気流量測定装置1が吸気ダクト11に組付けられる。空気流量測定装置1が吸気ダクト11に組付けられることで、通路形成部材12に形成される空気取入口14aバイパス通路14の空気の取入口が吸気上流側エアクリーナ側に向いて配置されるとともに、通路形成部材12に形成される空気排出口14bバイパス通路14の空気の排出口が吸気下流側エンジン側に向いて配置される。なお、通路形成部材12は、吸気ダクト11にネジ等の締結部材図示しないを用いて着脱可能に取り付けられるものである。バイパス通路14は、吸気ダクト11内を流れる空気の一部が通過する空気通路であり、吸気ダクト11における吸気の流れ方向に沿うように通路が形成されている。そして、バイパス通路14の吸気上流側に上述した空気取入口14aが設けられ、バイパス通路14の吸気下流側に上述した空気排出口14bが設けられるものである。なお、空気排出口14bには、バイパス通路14を通過する空気流を絞るための出口絞り16が形成されている。サブバイパス通路15は、出口絞り16で絞られたバイパス通路14の空気流の一部が流入する入口15aと、サブバイパス通路15を通過した空気流を吸気ダクト11内へ戻す出口15bとを備え、入口15aから流入した空気を通路形成部材12の内部で回転させて吸気ダクト11内へ戻す迂回路を形成するものである。なお、この実施例では、サブバイパス通路15の出口15bを独立して設ける例を開示するが、限定されるものではなく、例えば出口15bをバイパス通路14内に開口させて、サブバイパス通路15を通過した空気流を再びバイパス通路14内に戻すものであっても良い。センサアッシー13の説明センサアッシー13は、図1に示すように、サブバイパス通路15を流れる吸気が触れる部位に配置されるセンサ部17と、通路形成部材12の内部に配置されるセンサ回路3と、を備えて構成される。センサ部17には、図3に示すように、通電による発熱によってサブバイパス通路15を通過する空気を加熱する発熱ヒータ2と、発熱ヒータ2によって加熱された吸気の温度加熱吸気温度を検出する加熱吸気温度検出抵抗体21と、この加熱吸気温度検出抵抗体21に直列に接続されて加熱吸気温度に応じた分圧値V1を発生させる加熱側分圧抵抗体22と、発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気の温度非加熱吸気温度を検出する非加熱吸気温度検出抵抗体23と、この非加熱吸気温度検出抵抗体23に直列に接続されて非加熱吸気温度に応じた分圧値V2を発生させる非加熱側分圧抵抗体24と、が設けられている。また、センサ部17には、図示しないが、発熱ヒータ2によって加熱されていない吸気の温度を検出する吸気温度検出抵抗体図示しないが設けられている。なお、この吸気温度検出抵抗体は、非加熱吸気温度検出抵抗体23とは独立した抵抗体であるが、非加熱吸気温度検出抵抗体23等と同様、後述するセンサ基板25に設けられるものである。この実施例のセンサ部17は、チップ型基板型を採用するものであり、上述した発熱ヒータ2、加熱吸気温度検出抵抗体21、加熱側分圧抵抗体22、非加熱吸気温度検出抵抗体23、非加熱側分圧抵抗体24、吸気温度検出抵抗体が、同一一枚のセンサ基板25に設けられるものである。なお、この実施例では、センサ部17の具体例としてチップ型を採用する例を説明するが、限定されるものではなく、例えばボビン型抵抗体単品型の抵抗体を用いたセンサ部17であっても良い。センサ回路3は、図2に示すように、通路形成部材12に形成されたコネクタ26を介して、空気流量測定装置1とは異なる車両部位に搭載されたECU4と電気的に接続される。具体的に、コネクタ26は、樹脂製のカプラ27と複数のターミナル端子28によって構成される。コネクタ26の構成は限定されるものではないが、具体的な一例を図2を用いて説明する。図2に示すコネクタ26は、所謂オスコネクタであり、メス型に成形されたカプラ27と、このカプラ27の底部でカプラ27内に突出した状態で支持される複数のターミナル端子28とで構成される。図2のカプラ27は、通路形成部材12の一部によって樹脂成形されたものである。具体的な各ターミナル端子28の内訳を説明する。この実施例のカプラ27の底部には、図2の左から右に向かって、吸気温度に応じた検出信号をECU4に出力する吸気温端子28aと、ECU4より電力例えば、DC5Vの供給を受ける電源端子28bと、ECU4のグランドに接続されるグランド端子28cと、検出した空気流量に応じた検出信号をECU4に出力する出力端子28dと、センサ回路3の調整に用いられる回路調整用端子28eと、が設けられている。センサ回路3を収容するハウジングセンサアッシー13のハウジングは、通路形成部材12と同様、例えば樹脂部材によって形成されるものであり、通路形成部材12に組付けられることで、センサ部17がサブバイパス通路15におけるUターン部に配置される。なお、センサアッシー13は、通路形成部材12に対して接着剤や溶着技術等により固着されるものであっても良いし、ネジ等の締結部材により着脱可能に取り付けられるものであっても良い。温度差保持手段31の説明センサ回路3には、加熱吸気温度検出抵抗体21の検出する加熱吸気温度と、非加熱吸気温度検出抵抗体23の検出する非加熱吸気温度との検出温度差が、予め設定された一定温度差となるように発熱ヒータ2を通電制御する温度差保持手段31が設けられている。この温度差保持手段31は、図3に示すように、センサ部17における加熱吸気温度検出抵抗体21、加熱側分圧抵抗体22、非加熱吸気温度検出抵抗体23、非加熱側分圧抵抗体24によって構成されるブリッジ回路を用いて発熱ヒータ2を通電制御するものであり、加熱吸気温度検出抵抗体21と加熱側分圧抵抗体22の分圧によって得られる加熱吸気温度に応じた分圧値V1と、非加熱吸気温度検出抵抗体23と非加熱側分圧抵抗体24の分圧によって得られる非加熱吸気温度に応じた分圧値V2との電圧差に応じた出力を発生するオペアンプ比較器32と、このオペアンプ32の出力に応じた電流を発熱ヒータ2に印加するパワートランジスタ増幅素子33と、を用いるものである。具体的に、温度差保持手段31は、加熱吸気温度検出抵抗体21を用いて検出される加熱吸気温度分圧値V1と、非加熱吸気温度検出抵抗体23を用いて検出される非加熱吸気温度分圧値V2との検出温度差が、予め設定された一定温度差一定電圧差となるように、オペアンプ32とパワートランジスタ33が発熱ヒータ2を通電制御するものである。なお、通常制御時流量測定時は、発熱ヒータ2に与えられる電流値空気流量に応じて変化する値によって空気流量を測定する。具体的な一例としてこの実施例のセンサ回路3は、検出した空気流量に応じたパルス幅パルス周波数:例えば、空気流量の増加に伴いパルス周波数が高くなるを出力端子28dに発生させるものであり、ECU4は出力端子28dに発生するパルス幅パルス周波数から空気流量を読み取るものである。ヒートクリーニング手段5の説明センサ回路3には、空気流量測定装置1の外部に設置されたECU4から外部信号ヒートクリーニング開始の指示信号が入力された時に、発熱ヒータ2の温度を、通常制御時空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング手段5が設けられている。ここで、ECU4を説明する。ECU4は、空気流量測定装置1によって検出された空気流量と、他のセンサ類で検出されたエンジン運転状態エンジン回転数、エンジン負荷等とに基づいて燃料噴射制御を実施するものである。この実施例のECU4には、エンジンの運転状態が予め設定された条件に一致すると、空気流量測定装置1に外部信号ヒートクリーニング開始の指示信号を出力するように設けられている。なお、ECU4が空気流量測定装置1に外部信号を出力する際の具体的な一例は、汚損により流量測定値が変化したとECU4が判断し、且つエンジンの空燃比制御に影響を与えない運転状態の時、イグニッションスイッチがONされた時ECU4のON時、エンジンのクランキング時スタータスイッチのON時、エンジンの減速時減速による燃料カット時、イグニッションスイッチがOFFされた時ECU4のOFF時、である。また、この実施例の空気流量測定装置1は、上述した複数のターミナル端子28のうち、吸気温端子28a、電源端子28b、グランド端子28c、出力端子28dのいずれかにECU4から外部信号ヒートクリーニング開始の指示信号が与えられるように設けられている。具体的な一例として、この実施例では、出力端子28dに外部信号が入力されるように設けられている。ここで、出力端子28dに入力される外部信号の具体例と、センサ回路3が出力端子28dに入力された外部信号を検出する具体例とを説明する。センサ回路3は、通常制御時流量測定時、上述したように、検出した空気流量に応じたパルス信号を出力端子28dに発生させるものであり、具体的なパルス信号は、ECU4から出力端子28dを介してセンサ回路3に与える電圧信号を、センサ回路3に搭載されたスイッチング素子でON-OFFグランドに対する非接地-接地することで発生させるものである。そして、この実施例の外部信号はECU4から与えられる電源電圧が0Vに切り替わることである。即ち、出力端子28dに出力信号が入力されるとは出力端子28dの供給電圧が0Vになることである。また、センサ回路3には、出力端子28dの電圧が0Vになったこと即ち、出力端子28dに外部信号が入力されたことを検出する外部信号検出手段が設けられている。この外部信号検出手段は、ECU4から出力端子28dへの供給電圧が予め設定された時間より長く0Vに切り替えられた場合に、ECU4から外部信号ヒートクリーニング開始の指示信号が与えられたことを検出するものである。そして、ヒートクリーニング手段5は、上述した外部信号検出手段によってECU4から外部信号ヒートクリーニング開始の指示信号が与えられたことを検出した時に、発熱ヒータ2の温度を、通常制御時空気流量測定時の温度より高めるように設けられている。この実施例のヒートクリーニング手段5は、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高める際、吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度に基づいて、発熱ヒータ2の温度を空気流量測定時の温度{通常制御時における発熱ヒータ2の温度制御:図4bの破線A参照}より高く設定されたヒートクリーニング温度理解補助の一例として、例えば310°Cに昇温させるものである。発熱ヒータ2の昇温技術の説明ヒートクリーニング時に発熱ヒータ2の温度を昇温させる技術を説明する。この実施例のヒートクリーニング手段5は、加熱吸気温度検出抵抗体21を用いて検出される加熱吸気温度に応じた分圧値V1、あるいは非加熱吸気温度検出抵抗体23を用いて検出される非加熱吸気温度に応じた分圧値V2の一方の分圧値を変更することで、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高めて、ヒートクリーニングを実施するものである。具体的に、この実施例のセンサ回路3は、図3に示すように、ECU4から電源端子28bを介してセンサ回路3に供給される電源電圧図3中、B参照を一定電圧にする基準電圧発生手段34電圧レギュレータと、通常制御時流量測定時には加熱吸気温度に応じた分圧値V1を発生させるための電圧VEを加熱側分圧抵抗体22に与えるとともに、ヒートクリーニング時には発熱ヒータ2を通常制御時より昇温させるために分圧値V1の変更のために、加熱側分圧抵抗体22に与える電圧VEの変更を行う電圧調整手段35と、通常制御時流量測定時およびヒートクリーニング時の両方において、非加熱吸気温度に応じた分圧値V2を発生させるための電圧VGを非加熱側分圧抵抗体24に与える電圧供給手段36と、が設けられている。続いて、吸気温度に基づいて発熱ヒータ2をヒートクリーニング温度例えば310°Cに昇温させる技術を説明する。電圧調整手段35は、ヒートクリーニングを実施する際、通常制御時流量測定時における発熱ヒータ2の温度VE_CTL値から、下記式1に示す直線1次近似式{図4aの一点鎖線B参照}によって求められる発熱ヒータ2の上昇温度VE_CTL_PWup値を引き算し、その引き算した温度変更温度を用いて電圧VEを可変制御する。VE_CTL_PWup=吸気温度×ゲインオフセット値1このように、ヒートクリーニングを実施する際に、電圧調整手段35が電圧VEを吸気温度に合わせて可変制御することにより、図4bの実線Cに示すように、吸気温度が変化しても、発熱ヒータ2の温度を略一定のヒートクリーニング温度例えば310°Cに制御することができる。ヒートクリーニングの実施時間の説明次に、ヒートクリーニングの実施時間発熱ヒータ2の温度を空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニング時間を説明する。電圧調整手段35には、ヒートクリーニングを実施する際、ヒートクリーニング時間を決定するタイマー手段コンデンサ等が設けられている。センサ部17がチップ型を採用するこの実施例の場合、ヒートクリーニング時間の好ましい設定範囲は、0.2秒以上で、且つ2秒以下の範囲である。ヒートクリーニング時間のさらに好ましい設定時間は、0.5秒以上で、且つ1秒以内の範囲である。以下では、具体的な一例として、ヒートクリーニング時間が0.5秒に設定されるものとして説明するが、具体的な一例であって限定されるものではない。ヒートクリーニングの作動説明次に、ヒートクリーニング手段5の制御例作動を、図5のフローチャートを参照して説明する。なお、ヒートクリーニング手段5は、ロジック回路等によって組まれたものマイコンを用いないものであっても良いし、マイコンを用いて制御プログラムによって実行されるものであっても良い。先ず、ECU4から出力端子28dに外部信号が入力されたか否かの判断を行うステップS1。このステップS1の判断結果がNOの場合は、ヒートクリーニングを実施せず、通常制御空気流量測定を実施するステップS2。上記ステップS1の判断結果がYESの場合は、ヒートクリーニング時間が0ゼロに設定されていないか否かの判断図中、TIME_PWup≠0の判断を行うステップS3。このステップS3の判断結果がNOの場合は、ヒートクリーニングを実施することなくステップS2通常制御へ進み、流量測定を行う。上記ステップS3の判断結果がYESの場合は、上記式1を用いて発熱ヒータ2の上昇温度VE_CTL_PWup値を計算するステップS4。続いて、i予め設定されたヒートクリーニング時間例えば0.5秒に亘り、ii発熱ヒータ2の温度VE_CTL値から、上記ステップS4で求めた発熱ヒータ2の上昇温度VE_CTL_PWup値を引き算した温度変更温度を用いて電圧VEを可変制御するステップS5。このステップS5の実行により、ヒートクリーニング時間例えば0.5秒に亘って、発熱ヒータ2の温度をヒートクリーニング温度例えば310°Cに昇温させるヒートクリーニングが実施される。そして、このステップS5が実行されるとヒートクリーニング時間の経過後、ステップS2通常制御へ進み、流量測定を行う。実施例1の効果1実施例1の空気流量測定装置1は、上述したように、ECU4から空気流量測定装置1に外部信号が入力された時に、ヒートクリーニングを実施して、発熱ヒータ2の温度を、空気流量測定時の温度より高める。このように、ECU4からヒートクリーニングが要求された時ECU4がヒートクリーニングが必要と判断した際、あるいはECU4がヒートクリーニングに適した運転状態であると判断した際に、実施例1の空気流量測定装置1はヒートクリーニングを実施することができる。実施例1の効果2実施例1の空気流量測定装置1は、上述したように、出力端子28dに外部信号が入力されるものであり、出力端子28dが外部信号の入力端子を兼用するものである。このため、従来技術で用いていた専用ハーネスおよび専用ターミナル端子を不要にできる。その結果、コネクタ26の小形化を図ることができるとともに、空気流量測定装置1のコストを抑えることができる。実施例1の効果3この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、ヒートクリーニングを実施する際、吸気温度に基づいて発熱ヒータ2の温度を、略一定のヒートクリーニング温度例えば、310°Cに昇温させる。これにより、吸気温度が高い状態でヒートクリーニングが実施されても、温度の上がり過ぎによる発熱ヒータ2の劣化を回避することができ、発熱ヒータ2の劣化による空気流量の測定精度の悪化を回避することができる。即ち、信頼性の高い空気流量測定装置1を提供することができる。実施例1の効果4実施例1の空気流量測定装置1は、上述したように、ECU4から外部信号が入力された時、予め設定したヒートクリーニング時間に亘り、発熱ヒータ2の温度を予め設定したヒートクリーニング温度に昇温させる。ヒートクリーニング時間を空気流量測定装置1で設定するため、ECU4は単純な出力信号を発生するのみでヒートクリーニングを実施することができる。このため、ECU4の制御負荷を低減できる。実施例1の効果5この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、好ましい形態として、ヒートクリーニング時間が、0.2秒以上で、且つ2秒以下の範囲に設定される。ヒートクリーニング時間を0.2秒以上に設定することで、発熱ヒータ2の発熱によって効率的な異物除去が行われ、図6の実線Dに示すように、異物付着による空気流量の測定精度の悪化を回避することができる。また、ヒートクリーニング時間を2秒以下に設定することで、エンジン制御に用いられる空気流量測定の影響エンジン完爆後における流量計測の影響を抑えることができるとともに、発熱ヒータ2の劣化を抑えることができる。この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、さらに好ましい形態として、ヒートクリーニング時間が、0.5秒以上で、且つ1秒以下の範囲に設定される。図6の実線Dに示すように、ヒートクリーニング時間を0.5秒以上に設定することで、発熱ヒータ2の発熱による異物除去を確実にでき、異物付着による空気流量の測定精度の悪化を確実に回避することができる。また、ヒートクリーニング時間を1秒以下に設定することで、エンジン制御に用いられる空気流量測定の影響をより確実に抑えることができるとともに、発熱ヒータ2の劣化を抑えることができる。さらに、この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、ヒートクリーニング時間が、0.5秒に設定される。このように、ヒートクリーニング時間を0.5秒に設定することで、発熱ヒータ2の発熱による異物除去率を高める効果と、エンジン制御に用いられる空気流量測定の影響をより小さく抑える効果の両立を図ることができる。実施例1の効果6この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、吸気温度検出抵抗体が、発熱ヒータ2等が設けられるセンサ基板25上に設けられる。このように、発熱ヒータ2等が設けられるセンサ基板25に吸気温度検出抵抗体を設けることで、吸気温度検出抵抗体を追加するコストを抑えることができ、空気流量測定装置1のコスト上昇を抑えることができる。実施例1の効果7この実施例の空気流量測定装置1は、上述したように、加熱吸気温度検出抵抗体21と非加熱吸気温度検出抵抗体23で構成されるブリッジバランスを変更することで、発熱ヒータ2の温度を昇温させる。具体的には、加熱吸気温度検出抵抗体21によって検出される加熱吸気温度に応じた分圧値V1分圧値V1を変更するための電圧VEを変化させることでヒートクリーニングを実施する。このため、ヒートクリーニングを実施するための特別回路を用いずに済み、ヒートクリーニングを実施する空気流量測定装置1のコストを抑えることができる。[実施例2]実施例2を図7を参照して説明する。なお、以下の実施例では、上記実施例1と同一符号は同一機能物を示すものである。この実施例2の空気流量測定装置1は、ヒートクリーニングの実施条件に、吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度を加えたものであり、iECU4から外部信号が入力され、ii且つ、吸気温度検出抵抗体の検出する吸気温度が予め設定されたヒートクリーニング開始温度以下例えば、吸気温度が20°C以下の時に、ヒートクリーニングを実施するものである。実施例2の効果1この実施例2の空気流量測定装置1は、上述したように、吸気温度がヒートクリーニング開始温度以下例えば、20°C以下でないとヒートクリーニングを実施しない。吸気温度が高い状態20°Cより高い温度では、ヒートクリーニングが実施されないため、温度の上がり過ぎによる発熱ヒータ2の劣化を回避することができる。これにより、発熱ヒータ2の劣化による空気流量の測定精度の悪化を回避することができ、空気流量測定装置1の信頼性を高めることができる。実施例2の効果2この実施例2の空気流量測定装置1は、上述したように、ヒートクリーニング開始温度が20°C以下に設定される。図7の実線Eに示すように、吸気温度が20°Cを超えるとヒートクリーニングを実施しなくても、発熱ヒータ2の通常制御空気流量測定時の通電制御による発熱で異物除去が行われるため、異物付着による空気流量の測定精度の悪化を回避することができる。[実施例3]上記の実施例1では、ECU4から空気流量測定装置1に外部信号が入力された時、予め設定したヒートクリーニング時間に亘って、ヒートクリーニングを実施する例を示した。これに対し、この実施例3は、ECU4から空気流量測定装置1に外部信号が入力されている間、ヒートクリーニングを実施するものである。これにより、ECU4からヒートクリーニング時間を任意にコントロールすることができ、ECU4の要求に応じたヒートクリーニングを実施することが可能になる。