作動流体を流通させる内部通路を有し、その内部通路に弁孔が設けられたボディと、前記ボディに前記弁孔と同軸状に設けられたガイド孔と、前記弁孔に接離して弁部を開閉する弁体と、前記ガイド孔に摺動可能に支持されたガイド部とを一体に備える弁駆動体と、前記弁体に作用する流体圧力の影響をキャンセルするキャンセル構造と、前記ガイド部の摺動面に設けられたシール部材と、前記ボディに取り付けられたアクチュエータと、前記アクチュエータにより軸線方向に駆動され、前記弁体を前記弁部の開閉方向に駆動するための作動体と、前記弁駆動体に挿通され、前記作動体に一体変位可能に作動連結される伝達部材と、前記弁駆動体と前記伝達部材との間に介装されるように支持され、前記弁駆動体を閉弁方向に付勢する付勢部材と、を備えることを特徴とする制御弁。前記内部通路として第1内部通路および第2内部通路を有し、前記第1内部通路の冷媒の流れを調整するために開度が制御される第1弁と、前記第2内部通路の冷媒の流れを調整するために開度が制御される第2弁とを収容する前記ボディと、前記弁孔として前記第1内部通路に設けられた第1弁孔と、前記弁体として前記第1弁孔に接離して前記第1弁を開閉する第1弁体と、前記第2内部通路に前記第1弁孔と同軸状に設けられた第2弁孔と、前記弁駆動体とは別体に設けられて前記第2弁孔に接離して前記第2弁を開閉し、前記伝達部材に一体変位可能に作動連結または相対変位可能に連結解除される第2弁体と、前記弁駆動体と前記第2弁体との間に介装されるように支持され、前記第2弁体を閉弁方向に付勢する第2の付勢部材と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の制御弁。前記第1弁の開度を制御する際には、前記作動体と前記第1弁体とが一体変位可能に作動連結されるとともに、前記伝達部材と前記第2弁体との作動連結が解除され、前記第2弁の開度を制御する際には、前記伝達部材と前記第2弁体とが一体変位可能に作動連結されるとともに、前記作動体と前記第1弁体との作動連結が解除されることを特徴とする請求項2に記載の制御弁。前記アクチュエータとして、回転駆動されるロータを含むステッピングモータと、前記ロータとともに回転し、その軸線周りの回転運動を前記作動体の軸線方向の並進運動に変換する作動変換機構と、を備えることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の制御弁。前記ボディに固定され、前記ロータの軸線方向に延びるシャフトと、前記シャフトの外周面に軸線方向にそって延設された螺旋状のガイド部と、前記ガイド部にそって係合する係合部と前記ロータに支持される動力伝達部とを有し、前記ロータの回転とともに前記シャフトの軸線方向に変位し、前記動力伝達部が前記シャフトの一端側および他端側のそれぞれで係止されることにより前記ロータの回転を規制する回転ストッパと、を備え、前記作動体は、前記ロータに係合して軸線方向に並進可能に支持され、前記ロータがその一端側と他端側に軸受部を有する中空形状をなし、前記シャフトが前記ロータの内部空間に延設されることにより、前記回転ストッパがその内部空間において変位するように構成されていることを特徴とする請求項4に記載の制御弁。ところで、このような空調装置に電気駆動弁を設ける場合、そのアクチュエータとしてモータやソレノイド等が用いられるが、省スペース化や省電力化等のためにそのアクチュエータをコンパクトに構成できるのが望ましい。このような観点から、特に大きな開閉駆動力を要する大口径の弁部を備える電気駆動弁においては、その弁体に作用する流体圧力をキャンセルするための背圧キャンセル構造が設けられたりする。このような電気駆動弁においては、その背圧を保持するために、背圧室を区画する弁体の摺動面にシール部材を設ける構成が汎用されている。しかしながら、このようにして摺動部のシール性を高めようとするほど、弁体を駆動する際の摺動力が大きくなり、それに打ち勝つだけの大きな駆動力を要するようになる。また、電気駆動弁の非通電時の弁部の安定性を維持するために、弁体には通常、その開弁または閉弁状態を維持するための付勢力を発生させるスプリングが設けられる。このため、弁体を駆動するためには、そのスプリングの付勢力に打ち勝つ駆動力も必要となる。したがって、アクチュエータを小さく構成するためには、弁体に作用する摺動力や付勢力の影響を小さくする必要がある。本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、電気駆動弁の開閉駆動力を小さく抑えることにより、そのアクチュエータをコンパクトに構成可能とすることにある。上記課題を解決するために、本発明のある態様の制御弁は、作動流体を流通させる内部通路を有し、その内部通路に弁孔が設けられたボディと、ボディに弁孔と同軸状に設けられたガイド孔と、弁孔に接離して弁部を開閉する弁体と、ガイド孔に摺動可能に支持されたガイド部とを一体に備える弁駆動体と、弁体に作用する流体圧力の影響をキャンセルするためのキャンセル構造と、ガイド部の摺動面に設けられたシール部材と、ボディの一端に設けられたアクチュエータと、アクチュエータにより軸線方向に駆動され、弁体を弁部の開閉方向に駆動するための作動体と、弁駆動体に挿通され、作動体に一体変位可能に作動連結される伝達部材と、弁駆動体と伝達部材との間に介装されるように支持され、弁駆動体を閉弁方向に付勢する付勢部材と、を備える。この態様によると、キャンセル構造により比較的大きな弁部を小さな駆動力で開閉することができ、また弁駆動体のガイド部にシール部材を設けることで、その摺動部のシール性を確保することができる。そして、このような構成において、付勢部材を弁駆動体と伝達部材との間に介装させることで、ガイド部の摺動力と付勢部材の付勢力とがアクチュエータの駆動力に同時に対抗することを防止または少なくとも抑制できる。その結果、アクチュエータに要求される駆動力を小さく抑えることができ、アクチュエータをコンパクトに構成できるようになる。本発明によれば、電気駆動弁の開閉駆動力を小さく抑えることができ、そのアクチュエータをコンパクトに構成できるようになる。以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。[第1実施形態]まず、本発明の第1実施形態について説明する。図1~図3は、第1実施形態に係る制御弁の構成および動作を表す断面図である。なお、本実施形態の制御弁は、例えば電気自動車に搭載されるヒートポンプ式の冷暖房装置への適用を想定したものである。すなわち、車両用冷暖房装置には、圧縮機、室内凝縮器、室外熱交換器、蒸発器およびアキュムレータ等を配管にて接続した冷凍サイクル冷媒循環回路が設けられ、冷媒が冷凍サイクル内を状態変化しながら循環する過程でなされる熱交換により車室内の空調が行われる。この冷凍サイクルには冷暖房を適切に制御するための各種制御弁が配設され、制御弁100はその一つを構成する。制御弁100は、上流側通路から第1下流側通路および第2下流側通路に分岐する分岐点に設けられ、その上流側通路から各下流側通路へ流れる冷媒の流量を調整する。制御弁100は、その開度が設定開度に調整される比例弁として構成されている。制御弁100は、基本的には全開状態、大口径制御状態、小口径制御状態、閉弁状態のいずれかの状態に制御される。なお、大口径制御状態は全開状態には到らないが開度が大きい状態であり、小口径制御状態は閉弁状態には到らないが開度が小さい状態である。制御弁100は、小口径制御により膨張装置としても機能する。図1に示すように、制御弁100は、ステッピングモータ駆動式の電動弁として構成され、弁本体101とモータユニット102とを組み付けて構成されている。弁本体101は、有底筒状のボディ104に大口径の第1弁105と小口径の第2弁106とを同軸状に収容して構成される。ボディ104の一方の側部には導入ポート110が設けられ、他方の側部には上下に第1導出ポート112、第2導出ポート114が設けられている。導入ポート110は上流側通路に連通し、第1導出ポート112は第1下流側通路に連通し、第2導出ポート114は第2下流側通路に連通する。すなわち、ボディ104には、導入ポート110と第1導出ポート112とをつなぐ第1内部通路と、導入ポート110と第2導出ポート114とをつなぐ第2内部通路が形成される。第1弁105は第1内部通路の開度を制御し、第2弁106は第2内部通路の開度を制御する。ボディ104の上半部には、有底段付円筒状の区画部材116が配設されている。区画部材116は、弁本体101の内部とモータユニット102の内部とを区画する。区画部材116の底部中央には、円ボス状の軸受部126が設けられている。軸受部126の内周面には雌ねじ部が設けられ、外周面は滑り軸受として機能する。区画部材116は、その上端部および下端部の外周面にそれぞれ設けられたシール部材を介してボディ104に同心状に組み付けられている。区画部材116は、その内周面がガイド孔118を形成し、その下端部が弁孔120を形成している。また、弁孔120の下端開口端縁により弁座122が形成されている。区画部材116における第1導出ポート112との対向面には、内外を連通する連通孔が設けられている。ボディ104の内方には、大径の弁体130、小径の弁体132、および弁作動体134が同軸状同一軸線上に配設されている。弁体130が上流側から弁孔120に接離して第1弁105の開度を調整することにより、第1内部通路を流れる冷媒の流量が調整される。弁体130の外周面にはリング状の弾性体例えばゴムからなる弁部材136が嵌着されており、その弁部材136が弁座122に着座することにより、第1弁105を完全に閉じることが可能になる。一方、ボディ104の下半部には、小円筒状のガイド部材140が配設されている。ガイド部材140は、第2内部通路の中央部に弁体130と同軸状に設けられ、その下半部がボディ104に圧入されている。ガイド部材140は、その上半部の内周面がガイド孔142を形成し、その下端部が弁孔144を形成している。また、弁孔144の上端開口端縁により弁座146が形成されている。ガイド部材140における導入ポート110との対向面には、内外を連通する連通孔が設けられている。図示のように、弁孔120および弁孔144の上流側に導入ポート110に連通する共通の高圧室115が形成され、弁孔120の下流側には第1導出ポート112に連通する低圧室117が形成され、弁孔144の下流側には第2導出ポート114に連通する低圧室119が形成されている。弁体130は、縮径部を介してガイド部148が連設されている。すなわち、弁体130とガイド部148とが縮径部を介して一体化された段付円筒状の弁駆動体を構成している。ガイド部148は、低圧室117に配置されている。そして、ガイド部148の上端部がOリング149シール部材として機能するを介してガイド孔118に摺動可能に支持されることにより、弁体130の開閉方向への安定した動作が確保されている。ガイド部148と区画部材116との間には背圧室150が形成される。また、弁体130とガイド部148とを貫通する連通路151が形成され、高圧室115と背圧室150とを連通させている。これにより、背圧室150には常に、導入ポート110から導入される上流側圧力Pinが満たされる。本実施形態においては、弁孔120の有効径Aとガイド孔118の有効径Bとが等しく設定されているため弁体130の有効受圧面積とガイド部148の有効受圧面積とが実質的に等しくされているため、弁体130に作用する冷媒圧力の影響はキャンセルされる。特にOリング149を設けたことにより、ガイド部148の摺動部のシール性が確保されるとともに、その摺動部にゴミなどが挟み込まれることが防止されている。弁体130の内方には長尺状の伝達ロッド152伝達部材として機能するが同軸状に挿通され、その伝達ロッド152の下端部に弁体132が作動連結可能に配設されている。伝達ロッド152の上端部は弁作動体134の底部を貫通し、その先端部が外方に加締められて係止部154となっている。すなわち、伝達ロッド152は、その上端部が弁作動体134の底部に支持されている。伝達ロッド152の下端部は半径方向外向きに突出した係止部156となっている。伝達ロッド152の中央部には、半径方向外向きに突出するばね受け部158が設けられている。そして、ガイド部148の内壁とばね受け部158との間にスプリング160付勢部材として機能するが介装されている。すなわち、弁体130と伝達ロッド152とは軸線方向に相対変位可能となっているが、通常はスプリング160により係止部154が軸線方向に付勢され、図示のように突っ張った状態を維持する。弁体132は、段付円柱状をなし、弁体130の下方に同軸状に配設されている。弁体132は、ガイド部材140に摺動可能に挿通され、その先端部が弁孔144に対向配置されいる。弁体132は、いわゆるニードル弁体として構成され、その尖った先端部が弁孔144に挿抜される。そして、弁体132が弁座146に着脱することにより第2弁106が開閉される。弁体132の上半部は円筒状の収容部となっており、伝達ロッド152の係止部156を軸線方向に相対変位可能に収容している。一方、弁体132の上端開口部が内方にやや加締められた係止部162となっており、係止部156の離脱を防止している。弁体130と弁体132との間には、弁体132を閉弁方向に付勢するスプリング164第2の付勢部材として機能するが介装されている。すなわち、弁体132と伝達ロッド152とはその収容部の長さだけ軸線方向に相対変位可能となっているが、通常はスプリング164により係止部162と係止部156とが係合する方向に付勢され、図示のように突っ張った状態を維持する。本実施形態においては、スプリング164の荷重がスプリング160の荷重よりも相当小さくなるように設定されている。例えば、図示の状態におけるスプリング160の荷重が600g重、スプリング164の荷重が100g重程度となるように設定される。一方、スプリング160の荷重とスプリング164の荷重との合力が、ガイド部148のOリング149における摺動抵抗弁駆動体の摺動力:例えば600g重よりも大きくなるように設定されている。なお、変形例においては、スプリング160の荷重を700g重とするなど、弁駆動体の摺動力よりも大きく設定してもよい。弁作動体134は、段付円筒状をなし、その外周部に雄ねじ部が形成されている。雄ねじ部は、軸受部126の雌ねじ部に螺合する。弁作動体134の上端部には半径方向外向きに延出する複数本実施形態では4つの脚部153が設けられており、モータユニット102のロータに嵌合している。弁作動体134は、モータユニット102の回転駆動力を受けて回転し、その回転力を並進力に変換する。すなわち、弁作動体134が回転すると、ねじ機構作動変換機構として機能するによって弁作動体134が軸線方向に変位し、弁体130または弁体132を開閉方向に駆動する。第1弁105の開弁時には弁体130と弁作動体134とが一体に動作し、第2弁106の開弁時には弁体132と弁作動体134とが一体に動作する。一方、モータユニット102は、ロータ172とステータ173とを含むステッピングモータとして構成されている。モータユニット102は、有底円筒状のスリーブ170の内方にロータ172を回転自在に支持するようにして構成されている。スリーブ170の外周には、励磁コイル171を収容したステータ173が設けられている。スリーブ170は、その下端開口部がボディ104に組み付けられており、ボディ104とともに制御弁100のボディを構成する。ロータ172は、円筒状に形成された回転軸174と、その回転軸174の外周に配設されたマグネット176を備える。本実施形態では、マグネット176は24極に磁化されている。回転軸174の内方にはモータユニット102のほぼ全長にわたる内部空間が形成されている。回転軸174の内周面の特定箇所には、軸線に平行に延びるガイド部178が設けられている。ガイド部178は、後述する回転ストッパと係合するための突部を形成するものであり、軸線に平行に延びる一つの突条により構成されている。回転軸174の下端部はやや縮径され、その内周面に軸線に平行に延びる4つのガイド部180が設けられている。ガイド部180は、軸線に平行に延びる一対の突条により構成され、回転軸174の内周面に90度おきに設けられている。この4つのガイド部180には、上述した弁作動体134の4つの脚部153が嵌合し、ロータ172と弁作動体134とが一体に回転できるようになっている。ただし、弁作動体134は、ロータ172に対する回転方向の相対変位は規制されるものの、そのガイド部180にそった軸線方向の変位は許容される。すなわち、弁作動体134は、ロータ172とともに回転しつつ弁体132の開閉方向に駆動される。ロータ172の内方には、その軸線に沿って長尺状のシャフト182が配設されている。シャフト182は、その上端部がスリーブ170の底部中央に圧入されることにより片持ち状に固定され、ガイド部178に平行に内部空間に延在している。シャフト182は、弁作動体134と同一軸線上に配置されている。シャフト182には、そのほぼ全長にわたって延在する螺旋状のガイド部184が設けられている。ガイド部184は、コイル状の部材からなり、シャフト182の外面に嵌着されている。ガイド部184の上端部は折り返されて係止部186となっている。ガイド部184には、螺旋状の回転ストッパ188が回転可能に係合している。回転ストッパ188は、ガイド部184に係合する螺旋状の係合部190と、回転軸174に支持される動力伝達部192とを有する。係合部190は一巻きコイルの形状をなし、その下端部に半径方向外向きに延出する動力伝達部192が連設されている。動力伝達部192の先端部がガイド部178に係合している。すなわち、動力伝達部192は、ガイド部178の一つの突条に当接して係止される。このため、回転ストッパ188は、回転軸174により回転方向の相対変位は規制されるが、ガイド部178に摺動しつつその軸線方向の変位が許容される。すなわち、回転ストッパ188は、ロータ172と一体に回転し、その係合部190がガイド部184にそってガイドされることで、軸線方向に駆動される。ただし、回転ストッパ188の軸線方向の駆動範囲はガイド部178の両端に形成された係止部により規制される。同図には、回転ストッパ188が中間位置にある状態が示されている。回転ストッパ188が上方へ変位して係止部186に係止されると、その位置が上死点となる。回転ストッパ188が下方へ変位すると、その下死点にて係止される。ロータ172は、その上端部がシャフト182に回転自在に支持され、下端部が軸受部126に回転自在に支持されている。具体的には、回転軸174の上端開口部を封止するように有底円筒状の端部部材194が設けられ、その端部部材194の中央に設けられた円筒軸196の部分がシャフト182に支持されている。すなわち、軸受部126が一端側の軸受部となり、シャフト182における円筒軸196との摺動部が他端側の軸受部となっている。以上のように構成された制御弁100は、モータユニット102の駆動制御によってその弁開度を調整可能なステッピングモータ駆動式の制御弁として機能する。以下、その動作について詳細に説明する。制御弁100の流量制御において、車両用冷暖房装置の図示しない制御部は、設定開度に応じたステッピングモータの駆動ステップ数を演算し、励磁コイル171に駆動電流駆動パルスを供給する。それによりロータ172が回転し、一方で弁作動体134が回転駆動されて大口径の第1弁105および小口径の第2弁106の開度が設定開度に調整され、他方で回転ストッパ188がガイド部184にそって駆動されることにより、各弁体の動作範囲が規制される。具体的には、大口径制御を実行する場合、図1の状態からロータ172が一方向に回転駆動正転されることにより、図2に示すように、ロータ172とともに回転する弁作動体134がねじ機構によって下降する。このとき、弁作動体134がガイド部148に当接した状態でこれを押し下げるようにして弁体130を開弁方向に変位させる。弁体130は、図1に示す全閉状態と図2に示す全開位置との間の範囲で駆動され、第1弁105の開度が調整される。このとき、モータユニット102の駆動力としては、Oリング149の摺動力摺動抵抗とスプリング164の付勢力反力との合力に打ち勝つだけの大きさがあれば足りる。すなわち、伝達ロッド152と弁体132との作動連結が解除され、伝達ロッド152が弁体130とともに変位可能であるため、スプリング160の付勢力は反力として作用しない。このため、モータユニット102は、荷重の小さいスプリング164の付勢力例えば最大200g重とOリング149の摺動力例えば600gとの合力に打ち勝つだけの駆動力を発生すればよい。なお、弁体132の係止部162と伝達ロッド152の係止部156との係合状態が解除されるため、弁体132と弁座146との間に過度な押圧力が作用することもない。逆に、第1弁105を図2に示した開弁状態から図1に示した閉弁状態に戻す場合には、図2の状態からロータ172を他方向に回転駆動逆転させる。その場合、スプリング160の付勢力とスプリング164の付勢力との合力がOリング149の摺動力よりも大きいため、弁体130は弁作動体134との作動連結が維持されたまま一体となって閉弁方向に押し上げられる。このとき、スプリング164の付勢力がモータユニット102の駆動力と同方向に作用する。すなわち、モータユニット102の駆動力としては、Oリング149の摺動力例えば600g重とスプリング164の付勢力100~200g重との差分400~500g重に打ち勝つだけの大きさがあれば足りる。また、小口径制御を実行する場合、図1の状態からロータ172が他方向に回転駆動逆転されることにより弁体132が開弁方向に変位し、図3に示すように第2弁106が開弁状態となる。すなわち、ロータ172とともに回転する弁作動体134がねじ機構によって上昇し、係止部154を吊り上げるようにして伝達ロッド152および弁体132を開弁方向に変位させる。弁体132は、図1に示す全閉状態と図3に示す全開位置との間の範囲で駆動され、第2弁106の開度が調整される。このとき、モータユニット102の駆動力としては、スプリング160の付勢力反力とスプリング164の付勢力反力の合力に打ち勝つだけの大きさがあれば足りる。すなわち、伝達ロッド152と弁体130との作動連結が解除され、伝達ロッド152が弁体132と一体に変位するため、Oリング149の摺動力は反力として作用しない。このため、モータユニット102は、スプリング160の付勢力例えば最大700g重とスプリング164の付勢力例えば最大150g重との合力に打ち勝つだけの駆動力を発生すればよい。なお、伝達ロッド152と弁体130との係合状態が解除されるため、弁体130と弁座122との間に過度な押圧力が作用することもない。逆に、第2弁106を図3に示した開弁状態から図1に示した閉弁状態に戻す場合には、図3の状態からロータ172を一方向に回転駆動正転させる。その場合、スプリング160の付勢力とスプリング164の付勢力との合力が閉弁方向に作用するため、モータユニット102の駆動力に対する反力は作用しない。[第2実施形態]次に、本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態に係る制御弁は、第1実施形態の制御弁において小口径の第2弁106をなくし、大口径の第1弁105のみを設けたものである。このため、第1実施形態とほぼ同様の構成部分については同一の符号を付す等して適宜その説明を省略する。図4および図5は、第2実施形態に係る制御弁の構成および動作を表す断面図である。制御弁200は、ステッピングモータ駆動式の電動弁として構成され、弁本体201とモータユニット102とを組み付けて構成されている。ボディ204には導入ポート110と導出ポート112とが設けられ、それらをつなぐ内部通路に弁孔120が設けられている。伝達ロッド252の下端部にばね受け部158が設けられている。本実施形態においては、図示の状態におけるスプリング160の荷重例えば700g重が、Oリング149における摺動抵抗弁駆動体の摺動力:例えば600g重よりも大きくなるように設定されている。このような構成において、大口径制御を実行する場合、基本的に第1実施形態と同様の制御がなされる。すなわち、図4の状態からロータ172が一方向に回転駆動正転されることにより、図5に示すように、弁作動体134がガイド部148に当接した状態で弁体130を開弁方向に変位させる。このとき、モータユニット102の駆動力としては、Oリング149の摺動力摺動抵抗に打ち勝つだけの大きさがあれば足りる。すなわち、伝達ロッド252が弁体130とともに変位可能であるため、スプリング160の付勢力は反力として作用しない。このため、モータユニット102は、Oリング149の摺動力例えば600gに打ち勝つだけの駆動力を発生すればよい。逆に、図5に示した開弁状態から図4に示した閉弁状態に戻す場合には、図5の状態からロータ172を他方向に回転駆動逆転させる。その場合、スプリング160の付勢力がOリング149の摺動力よりも大きいため、弁体130は弁作動体134との作動連結が維持されたまま一体となって閉弁方向に駆動される。このとき、モータユニット102の駆動力としては、Oリング149の摺動力に打ち勝つだけの大きさがあれば足りる。以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はその特定の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内で種々の変形が可能であることはいうまでもない。上記実施形態においては、弁作動体134と伝達ロッド152とを作動連結および連結解除可能に別体で構成する例を示した。変形例においては、弁作動体134と伝達ロッド152とを相対変位しないよう一体に構成してもよい。すなわち、作動体と伝達部材とを一体にした作動伝達部材として構成してもよい。上記実施形態では、モータユニット102におけるシャフト182のガイド部184や回転ストッパ188の係合部190をいずれもコイル状の部材により螺旋状に形成する例を示した。変形例においては、例えばシャフト182のガイド部184を雄ねじ部とし、回転ストッパ188の係合部190を雌ねじ部とするねじ機構としてもよい。すなわち、両者により回転を並進に変換する機構が構成されればよい。上記実施形態では、上記制御弁を電気自動車の冷暖房装置に適用する例を示したが、内燃機関を搭載した自動車や、内燃機関と電動機を搭載したハイブリッド式の自動車の冷暖房装置に適用することが可能であることは言うまでもない。また、上記制御弁を作動流体としての冷媒の流れを制御する電気駆動弁として構成する例を示したが、冷媒以外の作動流体の流れを制御する電気駆動弁として構成することもできる。さらに、上記実施形態では、制御弁のアクチュエータとしてステッピングモータを用いる例を示したが、他の形式のモータあるいはソレノイドをアクチュエータとすることもできる。