"機械的弾性の非線形特性として、変位ないし振動速度の増加により弾性定数が増加する硬いばね特性を有する圧電体セラミックスを、加速度検出素子として用いたことを特徴とする加速度センサ。前記加速度検出素子は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスに印加される加速度を、圧電効果により検知することを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。前記加速度検出素子は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスに印加される加速度を、該圧電体セラミックスの共振周波数の変化、又はインピーダンス変化により検知することを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。前記加速度検出素子を、支持体により片持ち梁構造となるように支持したことを特徴とする請求項2又は3記載の加速度センサ。前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスとして、Sr2-xCaxNaNb5O150≦x≦2,Sr2NaNb5O15,Ca2NaNb5O15,Sr2KNb5O15,Ba2LiNb5O15,Ba2NaNb5O15,Ba2KNb5O15,K3Li2Nb5O15,Ba2Bi1/3Nb5O15,Pb2NaNb5O15,Pb2KNb5O15,又はこれらの少なくとも2種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスを用いたことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の加速度センサ。しかしながら、上述した従来の技術では、機械的弾性の非線形特性として、変位により弾性定数が低下する柔らかいバネ特性を有するPbTi,ZrO3以下、PZTと記載するで代表される鉛系圧電体セラミックスが使用されている。そのため、大きな衝撃が加わると、原理的に、検出部の弾性定数が低下し、それに伴い、検出部の変位撓みが大きくなり、検出部の機械的な破損が生じやすい。従って、両持ち梁構造にするなど、耐衝撃性を考慮した設計が必要になるという不都合がある。本発明は、以上のような点に着目したもので、耐衝撃性が高く、また、大きな衝撃が負荷されても不感状態からの復帰が早く、加速度検出素子の構造が簡便で小型化に適した加速度センサを提供することを、その目的とする。本発明セラミックスデバイスは、機械的弾性の非線形特性として、変位ないし振動速度の増加により弾性定数が増加する硬いばね特性を有する圧電体セラミックスを用いたことを特徴とする。また、本発明の加速度センサは、機械的弾性の非線形特性として、変位ないし振動速度の増加により弾性定数が増加する硬いばね特性を有する圧電体セラミックスを、加速度検出素子として用いたことを特徴とする。主要な形態の一つは、前記加速度検出素子は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスに印加される加速度を、圧電効果により検知することを特徴とする。あるいは、前記加速度検出素子は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスに印加される加速度を、該圧電体セラミックスの共振周波数の変化、又はインピーダンス変化により検知することを特徴とする。他の形態は、前記加速度検出素子を、支持体により片持ち梁構造となるように支持したことを特徴とする。更に他の形態は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスとして、Sr2-xCaxNaNb5O150≦x≦2,Sr2NaNb5O15,Ca2NaNb5O15,Sr2KNb5O15,Ba2LiNb5O15,Ba2NaNb5O15,Ba2KNb5O15,K3Li2Nb5O15,Ba2Bi1/3Nb5O15,Pb2NaNb5O15,Pb2KNb5O15,又はこれらの少なくとも2種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスを用いたことを特徴とする。本発明の前記及び他の目的,特徴,利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。本発明によれば、変位振動速度が増加すると弾性定数が大きくなる硬いばね特性を示す圧電体セラミックスを加速度検出素子として利用して加速度センサを作製することで、大きな衝撃が印加したときに、加速度検出素子の弾性定数が上昇して該素子の過剰な変位が抑制されるとともに、破壊靭性も向上するため、検出部の機械的な破損を抑制できる。このため、耐衝撃性が高く、素子の構造が簡便で小型化にも適した検出感度の高い加速度センサが得られる。また、大きな衝撃が負荷されても、弾性定数が大きくなることで負荷を吸収するため、不感状態からの復帰が早いという効果が得られる。以下、本発明を実施するための形態を、実施例に基づいて詳細に説明する。最初に、図1~図3を参照しながら本発明の実施例1を説明する。図1は、圧電体セラミックスを加速度検出素子として利用した加速度センサの構成を示す図であり、は片持ち梁構造を示し、は両持ち梁構造を示している。図2は、本実施例の実験例と比較例の加速度センサに用いる圧電体セラミックスについての振動速度と弾性定数等価スティッフネスの関係を示す図,図3は、本実施例の実験例と比較例の加速度センサについての加速度と発生電圧の関係を示す図である。図1に示すように、本実施例の加速度センサ10は、2枚の圧電体セラミックス22,24で中間電極30を挟んだバイモルフ構造の加速度検出素子20の一端側が、一対の狭持体12,14によって支持された片持ち梁構造となっている。前記加速度検出素子20の表裏には、表面電極26,28が形成されており、これら表面電極26,28は、前記狭持体12,14の一方の側面に形成された引出電極16,18に接続されている。そして、前記圧電体セラミックス22,24は、同図に矢印で示すように、分極方向が逆になるように分極処理が施される。前記加速度検出素子20に、図1に矢印で示すように外力が負荷されると、その外力に比例した電圧が発生することを利用して、加速度を検知する。なお、図1に示す例では片持ち梁構造としたが、図1に示す加速度センサ10Aのように、加速度検出素子20Aの両端を、一対の狭持体12A,14Aで支持し、前記表面電極26を一方の引出電極16に接続し、他方の表面電極28を他方の引出電極18に接続する構成としてもよい。前記圧電体セラミックス22,24としては、Sr2-xCaxNaNb5O150≦x≦2,Sr2NaNb5O15,Ca2NaNb5O15,Sr2KNb5O15,Ba2LiNb5O15,Ba2NaNb5O15,Ba2KNb5O15,K3Li2Nb5O15,Ba2Bi1/3Nb5O15,Pb2NaNb5O15,Pb2KNb5O15,又はこれらの少なくとも2種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスが用いられる。<実験例>次に、本実施例の実験例について説明する。前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックス22,24として、Sr1.9CaO.1NaNb5O15以下SCNNと記載するの圧電体セラミックスを選定した。該圧電体セラミックスの粉体は、Na2CO3,Nb2O5,SrCO3,CaCO3を化学量論組成に秤量、混合後、仮焼する固相合成法により作製した。作製した圧電体セラミックス粉体に、機械的品質係数を高めるために、MnOを0.3wt添加した。そして、この圧電体セラミックスの粉体を短冊状に成形して焼成し、圧電体セラミックス22,24を得た。一方の圧電体セラミックス22の表裏に、表面電極26と中間電極30をAgで形成し、他方の圧電体セラミックス24の表裏に、表面電極28と中間電極30をAgによって形成し、これらの電極を利用して分極処理を施し、図1に矢印で示すように分極方向が逆になるように、互いの中間電極30同士を向かい合わせて貼り合わせることで、加速度検出素子20を得た。そして、該加速度検出素子20の一方の端部を、一対の狭持体12,14で支持し、該狭持体12,14の側面に形成された引出電極16,18に、前記表面電極26,28を接続することで、片持ち梁構造の加速度センサ10を作製した。比較のために、柔らかいばね特性を有するPZTを加速度検出素子とする同構造片持ち梁構造の加速度センサと、図1に示す両持ち梁構造の加速度センサも作製し、評価を行った。なお、両持ち梁構造の加速度センサは、PZT及びSCNNの双方について作製した。図2には、本実施例の実験例に使用する圧電体セラミックスであるSCNNと、比較例に使用する圧電体セラミックスPZTについての振動速度と弾性定数等価ステッィフネスの関係が示されている。同図において、横軸は振動速度[m/srms]を表し、縦軸は右側及び左側ともに弾性定数等価スティックネス[GN/m]を表している。なお、PZTセラミックスの弾性定数は、右側の縦軸の数値により表され、SCNNセラミックスの弾性定数は、左側の縦軸の数値により表されている。同図からは、PZTセラミックスでは、振動速度の増加に対して弾性定数が低下するのに対し、SCNNセラミックスでは、振動速度の増加に対して弾性定数が増加することが確認された。図3には、本実施例の実験例の加速度センサSCNN使用の片持ち梁構造と、比較例の加速度センサPZT使用の両持ち梁構造について、加速度[G]と発生電圧[mV]の関係が示されている。図3の結果から、SCNNを利用した本実施例の片持ち梁構造の加速度センサ10は、PZTを利用した比較例の両持ち梁構造の加速度センサよりも感度が高いことが確認された。また、図示されていないが、PZTの片持ち梁構造の特性は、SCNNの片持ち梁構造と同等の特性であり、SCNNの両持ち梁構造の加速度センサは、PZTの両持ち梁構造と同等であった。次に、これらの加速度センサを、衝撃試験により負荷したところ、比較例のPZTを利用した加速度センサでは、片持ち梁構造の場合は1500Gで、両持ち梁構造の場合は3000Gで、振動検知する梁のところでクラックが入った。特に、片持ち梁構造の加速度センサでは梁が折れ、実用の際に求められる1500Gの衝撃に耐えられず、実用に堪えないことが確認された。また、50Gの一定の加速度でセンサを加振と停止を繰り返してセンサ出力電圧を計測した所、加振が停止してから、センサの出力電圧が0となるまでの時間が、SCNNを使用したものでは、PZTを使用した場合に対して30早くなることが確認された。一方、SCNNを利用した実験例の加速度センサは、片持ち梁構造であっても、3000Gの負荷を印加しても劣化が認められなかった。以上の効果は、Sr2-xCaxNaNb5O150≦x≦2,Sr2NaNb5O15,Ca2NaNb5O15,Sr2KNb5O15,Ba2LiNb5O15,Ba2NaNb5O15,Ba2KNb5O15,K3Li2Nb5O15,Ba2Bi1/3Nb5O15,Pb2NaNb5O15,Pb2KNb5O15,又はこれらの少なくとも2種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスのセラミックスを使用しても確認された。このように、本実施例によれば、変位振動速度が増加すると弾性定数が大きくなる硬いばね特性を示す圧電体セラミックス22,24を利用したバイモルフ構造の加速度検出素子20を利用して加速度センサ10を作製し、前記加速度検出素子20に印加される加速度を、圧電効果により検知することとしたので、次のような効果がある。大きな衝撃を印加したときに、加速度検出素子20の弾性定数が上昇して該素子20の過剰な変位が抑制されるとともに、破壊靭性も向上するため、検出部の機械的な破損を抑制できる。このため、耐衝撃性が高く、素子の構造が簡便で小型化にも適した検出感度の高い加速度センサ10が得られる。また、大きな衝撃が負荷されても、弾性定数が大きくなることで吸収するため、不感状態からの復帰が早いという効果が得られる。片持ち梁構造,両持ち梁構造のいずれの構造としても、前記及びの効果が得られる。次に、図4を参照しながら本発明の実施例2を説明する。図4は、本実施例の加速度センサの構成を示す図であり、は片持ち梁構造,は両持ち梁構造を示す。なお、上述した実施例1と同一ないし対応する構成要素には、同一の符号を用いることとする。上述した実施例1では、加速度検出素子20に印加される加速度を、圧電体セラミックス22,24の圧電効果により検知することとしたが、本実施例では、加速度検出素子は、前記圧電体セラミックスに印加される加速度を、該圧電体セラミックスの共振周波数の変化、又はインピーダンス変化により検知することとした例である。図4に示すように、本実施例の片持ち梁構造の加速度センサ50では、加速度検出素子51は、圧電体セラミックス56の表裏に表面電極58A,58Bが形成された圧電ユニモルフ振動子54Aと、圧電体セラミックス60の表裏に表面電極60A,60Bが形成された圧電ユニモルフ振動子54Bを、振動体66を挟むように、接合層62,64によって接合した構成となっている。そして、該加速度検出素子51の片側を挟持体52によって支持している。前記表面電極58Aは、挟持体52の側面に形成された引出電極68に接続され、前記表面電極60Aは、挟持体52の側面に形成された引出電極70に接続され、表面電極58B及び60Bは、振動体66の側面に形成された引出電極72によって接続されている。本実施例の実験例として、上述した実施例1と同様に、圧電体セラミックスとしてSCNNを利用し、図4に示すように、2つの片持ち梁構成の圧電ユニモルフ振動子54A,54Bを接合して加速度検出素子51を構成し、2つの振動子54A,54Bの共振周波数変化、又はインピーダンス変化を差動的に検出することにより、加速度を検出する加速度センサを作製した。そして、得られた加速度センサ50について、前記実施例1と同様に、加速度検出特性について試験を行ったところ、実験例のSCNNを利用した加速度センサでは、PZTを利用した比較例の加速度センサと同様の加速度検出感度であることを確認した。また図4に示すように、前記加速度検出素子51の両端を挟持体52A,52Bによって支持した両持ち梁構造の加速度センサ50Aでも同様な性能を確認した。その後、衝撃試験を行った結果、図4の片持ち梁構造の加速度センサ50において、実験例のSCNNの加速度センサでは、1500Gの衝撃に対しても劣化が認められなかったのに対し、PZTのセンサでは、クラックが発生し、センシングができなくなった。図4の両持ち梁構造の加速度センサ50Aでは、3000Gの衝撃に対して、SCNNを使用したものは劣化が認められなかったが、PZTのセンサでは、クラックが発生して機能しなくなった。また、50Gの一定の加速度でセンサを加振と停止を繰り返してそれぞれの振動子の出力電圧を計測した所、加振が停止してから、センサの出力電圧が0となるまでの時間が、図4及び図4のどちらの構造においても、PZTを使用した場合に比べて、30、SCNNを使用したものが早くなり、安定する時間がSCNNのほうがPZTよりも早いことが確認された。以上の結果から、本実施例によっても、上述した実施例1と同様に、感度が高く、耐久性の高い加速度センサが得られることが確認された。なお、加速度検出素子に利用される圧電体セラミックスは、上述した実験例のほか、Sr2-xCaxNaNb5O150≦x≦2,Sr2NaNb5O15,Ca2NaNb5O15,Sr2KNb5O15,Ba2LiNb5O15,Ba2NaNb5O15,Ba2KNb5O15,K3Li2Nb5O15,Ba2Bi1/3Nb5O15,Pb2NaNb5O15,Pb2KNb5O15,又はこれらの少なくとも2種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスとしても、同様の効果が得られることが確認された。なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることができる。例えば、以下のものも含まれる。前記実施例で示した形状,寸法は一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。材料についても同様であり、硬いばね特性を有する圧電体セラミックスについて、上述した実施例で示した材料群から選択することが好ましいが、表面電極26,28や、中間電極30については、公知の各種の電極材料を利用してよい。前記実施例で示した加速度検出素子の狭持体も一例であり、同様の効果を奏するように適宜設計変更してよい。引出電極16,18による引出方法も一例であり、同様の効果を奏するように適宜設計変更してよい。前記実施例1では、2つの圧電体セラミックスを貼り合わせたバイモルフ型の加速度検出素子を用いることとしたが、ユニモルフ構造の検出素子を利用してもよい。また、前記実施例2では、ユニモルフ振動子を用いたが、これはバイモルフ振動子であってもよい。前記実施例では、本発明を加速度検出素子に適用した場合を示したが、セラミックスデバイス一般に適用することを妨げるものではない。"