基板を載せる2つのステージが水平方向に配置され、かつ前記2つのステージの一方に対して前記基板の搬入及び搬出を行う第1移送手段と前記2つのステージの他方に対して前記基板の搬入及び搬出を行う第2移送手段とが設けられたタンデム式の露光装置に適用されるとともに、前記第1移送手段及び前記第2移送手段のそれぞれとの間で露光前及び露光後の前記基板を受け渡すことが可能な基板の搬送システムであって、前記露光装置の前記第1移送手段にて搬入される前記基板が置かれる搬入用スペースと前記第1移送手段にて搬出される前記基板が置かれる搬出用スペースとを有し、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースが上下方向に配置された第1受け渡しステーションと、前記露光装置の前記第2移送手段にて搬入される前記基板が置かれる搬入用スペースと前記第1移送手段にて搬出される前記基板が置かれる搬出用スペースとを有し、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースが上下方向に配置された第2受け渡しステーションと、前記第1受け渡しステーションと前記第2受け渡しステーションとの間に配置され、露光前の前記基板を前記第1受け渡しステーション及び前記第2受け渡しステーションのそれぞれの前記搬入用スペースへ移送する第1移送ロボットと、前記第2受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を下流側セクションへ移送する第2移送ロボットと、を備え、前記第2受け渡しステーションは、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースとともに上下方向に配置され、前記基板が置かれる中継スペースを更に有し、前記第1移送ロボットは、前記第1受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースへ移送し、前記第2移送ロボットは、前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースに置かれた露光後の前記基板を前記下流側セクションに移送する、ことを特徴とする基板の搬送システム。前記第1移送ロボットは、前記基板を2枚同時に保持可能な2つのハンド部を有し、露光前の前記基板を前記ハンド部で2枚保持しながら、前記第1受け渡しステーション及び前記第2受け渡しステーションのそれぞれの前記搬入用スペースへ移送する、請求項1に記載の搬送システム。前記第1移送ロボットは、前記2つのハンド部のいずれか一方のハンド部を用いて露光前の前記基板を第1受け渡しステーションの前記搬入用スペースに移送した後に、同じハンド部を用いて前記第1受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースに、いずれか他方のハンド部を用いて露光前の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記搬入用スペースに、それぞれ移送する、請求項2に記載の搬送システム。タンデム式の露光装置は露光前及び露光後の基板の受け渡しが2箇所で行われる。そのため、タンデム式の露光装置を一連の製造ライン内に配置した場合、露光前の基板を上流側セクションから露光装置へ移送する経路が二つに分岐するとともに、露光後の基板を露光装置から下流側セクションへ移送する経路が二つから一つに合流する。従って、露光前及び露光後の基板の移送経路の取り回しが複雑になるので、基板を受け渡す搬送システムのレイアウトが水平方向に拡大しやすい。そこで、本発明は、水平方向へのレイアウトの拡大を抑制できる基板の搬送システムを提供することを目的とする。本発明の基板の搬送システムは、基板Sを載せる2つのステージ5A、5Bが水平方向に配置され、かつ前記2つのステージの一方に対して前記基板の搬入及び搬出を行う第1移送手段7Aと前記2つのステージの他方に対して前記基板の搬入及び搬出を行う第2移送手段7Bとが設けられたタンデム式の露光装置2に適用されるとともに、前記第1移送手段及び前記第2移送手段のそれぞれとの間で露光前及び露光後の前記基板を受け渡すことが可能な基板の搬送システム1であって、前記露光装置の前記第1移送手段にて搬入される前記基板が置かれる搬入用スペース12Aと前記第1移送手段にて搬出される前記基板が置かれる搬出用スペース13Aとを有し、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースが上下方向に配置された第1受け渡しステーション9Aと、前記露光装置の前記第2移送手段にて搬入される前記基板が置かれる搬入用スペース12Bと前記第1移送手段にて搬出される前記基板が置かれる搬出用スペース13Bとを有し、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースが上下方向に配置された第2受け渡しステーション9Bと、前記第1受け渡しステーションと前記第2受け渡しステーションとの間に配置され、露光前の前記基板を前記第1受け渡しステーション及び前記第2受け渡しステーションのそれぞれの前記搬入用スペースへ移送する第1移送ロボット10Aと、前記第2受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を下流側セクションSC2へ移送する第2移送ロボット10Bと、を備え、前記第2受け渡しステーションは、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースとともに上下方向に配置され、前記基板が置かれる中継スペース14を更に有し、前記第1移送ロボットは、前記第1受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースへ移送し、前記第2移送ロボットは、前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースに置かれた露光後の前記基板を前記下流側セクションに移送するものである請求項1。この搬送システムによれば、各受け渡しステーションの搬入用スペースと搬出用スペースとが上下方向に配置され、これらのスペースを介して露光前及び露光後の基板の受け渡しが行われる。このため、レイアウトの水平方向の広がりを抑制できる。露光前の基板を各受け渡しステーションへ移送する第1移送ロボットは、第1及び第2受け渡しステーションの間に配置されていながらも、第2受け渡しステーションの中継スペースを利用して露光後の基板の移送作業の一部を分担する。そして、中継スペースは第2受け渡しステーションの搬入用スペース及び搬出用スペースとともに上下方向に配置されているので、中継スペースを設けてもレイアウトが水平方向へ広がるおそれがない。本発明の搬送システムの一態様として、前記第1移送ロボットは、前記基板を2枚同時に保持可能な2つのハンド部10aを有し、露光前の前記基板を前記ハンド部で2枚保持しながら、前記第1受け渡しステーション及び前記第2受け渡しステーションのそれぞれの前記搬入用スペースへ移送してもよい請求項2。この態様によれば、基板を一枚ずつ二つの受け渡しステーションへ移送する場合と比較して工程数が減るため作業時間を短縮できる。この態様においては、前記第1移送ロボットは、前記2つのハンド部のいずれか一方のハンド部を用いて露光前の前記基板を第1受け渡しステーションの前記搬入用スペースに移送した後に、同じハンド部を用いて前記第1受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースに、いずれか他方のハンド部を用いて露光前の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記搬入用スペースに、それぞれ移送してもよい請求項3。この場合には、第1受け渡しステーションにおいて、二つのハンド部のいずれか一方のハンド部が露光前の基板から露光後の基板に持ち替えることによって、持ち替えた露光後の基板を第2受け渡しステーションに移送すると同時に、いずれか他方のハンド部を用いて露光前の基板を第2受け渡しステーションに移送できる。従って、二つのハンド部の両方で基板を保持している期間が増えるので効率的な基板の移送が達成される。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。以上説明したように、本発明の基板の搬送システムによれば、上下方向に配置された搬入用スペース及び搬出用スペースを介して露光前及び露光後の基板の受け渡しが行われ、かつ露光前の基板を各受け渡しステーションへ移送する第1移送ロボットが第1及び第2受け渡しステーションの間に配置されていながらも、第2受け渡しステーションの中継スペースを利用して露光後の基板の移送作業の一部を分担し、中継スペースが第2受け渡しステーションの搬入用スペース及び搬出用スペースとともに上下方向に配置されているので、水平方向へのレイアウトの拡大を抑制できる。図1に示すように、搬送システム1は露光装置2に適用され、その露光装置2との間でガラス製の基板Sを受け渡す。基板Sは露光装置2の上流側に設けられた不図示の塗布セクションでその表面にレジスト膜が形成され、レジスト膜が形成された基板Sは温度調整セクションSC1にて温度調整される。温度調整セクションSC1には上下方向に複数段の基板搭載スペース不図示が形成され、各搭載スペースに基板Sが置かれた状態で温度調整が実行される。温度調整された基板Sは搬送システム1を介して露光装置2に供給される。露光装置2は基板Sのレジスト膜を所定のパターンに露光する。露光された基板Sは搬送システム1を介して下流側セクションSC2に送られる。露光装置2は基板Sを載せる2つのステージ5A、5Bを持ち、各ステージ5A、5Bへの基板Sの搬入及び搬出を同時に行うことができるタンデム式の露光装置として構成されている。二つのステージ5A、5Bは水平方向図1の左右方向に配置され、これらの間にはマスクステージ6が配置されている。図1の想像線で示したように、基板Sが載せられた状態で各ステージ5A、5Bがマスクステージ6の背面側に移動することで、マスクステージ6が保持するマスクのパターンに合わせて基板Sが露光される。マスクステージ6で露光処理が終わると、各ステージ5A、5Bは図1の実線で示した定位置に戻る。露光装置2には、各ステージ5A、5Bに対して基板Sの搬入及び搬出を行う第1露光機ロボット7A及び第2露光機ロボット7Bが設けられている。第1露光機ロボット7Aは本発明の第1移送手段に、第2露光機ロボット7Bは本発明の第2移送手段にそれぞれ相当する。搬送システム1には、露光装置2の各露光機ロボット7A、7Bとの間で露光前及び露光後の基板Sを受け渡すため、第1受け渡しステーション9Aと第2受け渡しステーション9Bとが設けられている。これらのステーション9A、9Bの間には第1移送ロボット10Aが配置され、第2受け渡しステーション9Bと下流側セクションSC2との間に第2移送ロボット10Bが配置されている。搬送システム1の各構成要素9A、9B、10A、10Bは露光装置2に隣接するようにして、の各露光機ロボット7A、7Bの並び方向と平行な直線上に並べられている。図2に示すように、第1受け渡しステーション9Aは第1露光機ロボット7Aにて搬入される露光前の基板Sが置かれる搬入用スペース12Aと第1露光機ロボット7Aにて搬出される露光後の基板Sが置かれる搬出用スペース13Aと有する。第1受け渡しステーション9Aの各スペース12A、13Aは上下方向に互いに重なるようにして配置されている。第2受け渡しステーション9Bは第2露光機ロボット7Bにて搬入される露光前の基板Sが置かれる搬入用スペース12Bと第2露光機ロボット7Bにて搬出される露光後の基板Sが置かれる搬出用スペース13Bとこれらのスペース12B、13Bの間に設けられた中継スペース14とを有する。第2受け渡しステーション9Bの各スペース12B、13B、14は上下方向に互いに重なるようにして配置されている。各搬入用スペース12A、12Bでは露光前の基板Sに対する処理としてプレアラインメント及び異物検査が行われる。更に、各搬入用スペース12A、12Bでは基板温度調整が行われてもよい。各搬入用スペース12A、12Bにはこれらの前処理を行うための不図示の装置が設けられている。また、各搬入用スペース12A、12B及び各搬出用スペース13A、13Bには、上下方向に延びる軸線Axを中心として旋回可能に構成され、基板Sが載せられるターンテーブル15が設けられている。このターンテーブル15を回転させることで、ターンテーブル15に載せられた露光前又は露光後の基板Sの向きを変更することが可能となる。そのため、基板Sの向きを変える装置を受け渡しステーション9A、9Bとは別に設置する必要がないので設置スペースを削減できる。各移送ロボット10A、10Bはガラス基板搬送用ロボットとして市販されているものと同じであるが、図2に示したように、第1移送ロボット10Aは二つのハンド部10aを有するダブルハンド型である。図1及び図2に示したように、第1移送ロボット10Aは、実線及び破線の矢印で示した経路に従って、温度調整セクションSC1に保持された露光前の基板Sを、第1受け渡しステーション9A及び第2受け渡しステーション9Bのそれぞれの搬入用スペース12A、12Bへ移送する。更に、第1移送ロボット10Aは、一点鎖線の矢印で示した経路に従って、第1受け渡しステーション9Aの搬出用スペース13Aに置かれた露光後の基板Sを第2受け渡しステーション9Bの中継スペース14へ移送する。第1移送ロボット10Aが行うこれらの移送作業の手順は任意である。但し、本形態では、第1移送ロボット10Aの二つのハンド部10aを利用することによって、これらの移送作業を以下の手順で実行して作業効率を高めている。まず、第1移送ロボット10Aは二つのハンド部10aの一方を用いて温度調整セクションSC1から基板Sを取り出してこの基板Sを保持する。次に、第1移送ロボット10Aは、実線の矢印で示した経路に沿って、一方のハンド部10aで保持した基板Sを第1受け渡しステーション9Aの搬入用スペース12Aに移送する。その移送後に、同じハンド部10aを用いて第1受け渡しステーション9Aの搬出用スペース13Aに置かれた露光後の基板Sを取り出して保持する。次に、第1移送ロボット10Aは二つのハンド部10aの他方を用いて温度調整セクションSC1から基板Sを取り出してこの基板Sを保持する。そして、第1移送ロボット10Aは一方のハンド部10aで保持した露光後の基板Sを第2受け渡しステーション9Bの中継スペース14に、他方のハンド部10aで保持した露光前の基板Sを第2受け渡しステーション9Bの搬入用スペース12Bにそれぞれ移送する。この手順によれば、第1受け渡しステーション9Aにおいて、二つのハンド部10aのいずれか一方のハンド部10aが露光前の基板Sから露光後の基板Sへ持ち替えることによって、持ち替えた露光後の基板Sを第2受け渡しステーション9Bに移送すると同時に、いずれか他方のハンド部10aを用いて露光前の基板Sを第2受け渡しステーション9Bに移送できる。従って、二つのハンド部10aの両方で基板Sを保持している期間が増えるので効率的な基板の移送を達成できる。また、基板Sを一枚ずつ二つの受け渡しステーション9A、9Bへ移送する場合と比較して工程数が減るため作業時間を短縮できる。第2移送ロボット10Bは、実線の矢印で示した経路に従って、第2受け渡しステーション9Bの搬出用スペース13B及び中継スペース14のそれぞれに置かれた露光後の基板Sを下流側セクションSC2に移送する。第2移送ロボット10Bはダブルハンド型でもシングルハンド型でもよい。以上説明したように、搬送システム1によれば、各受け渡しステーション9A、9Bの搬入用スペース12A、12Bと搬出用スペース13A、13Bとが上下方向に配置され、これらのスペースを介して露光前及び露光後の基板Sの受け渡しが行われる。このため、搬送システム1のレイアウトの水平方向の広がりを抑制できる。露光前の基板Sを各受け渡しステーション9A、9Bへ移送する第1移送ロボット10Aは、第1受け渡しステーション9A及び第2受け渡しステーション9Bの間に配置されていながらも、第2受け渡しステーション9Bの中継スペース14を利用して露光後の基板Sの移送作業の一部を分担する。そして、中継スペース14は第2受け渡しステーション9Bの搬入用スペース12B及び搬出用スペース13Bとともに上下方向に配置されているので、中継スペース14を設けてもレイアウトが水平方向へ広がるおそれがない。本発明は上記形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内において種々の形態にて実施できる。露光装置に設けられる露光機ロボットはいかなる形態であってもよい。即ち、受け渡しステーションに置かれた基板を露光装置の各ステージに搬入し、かつ各ステージに載せられた基板を搬出して受け渡しステーションに置くことができる移送手段を備えた露光装置であれば本発明の適用対象となり得る。第1移送ロボットがダブルハンド型であることは必須ではなく、単一のハンド部を有するシングルハンド型であっても構わない。