オゾン発生手段と、流体を供給する手段と、該供給される流体にオゾンを溶解させるオゾン溶解手段と、該オゾン溶解手段で溶けきれなかったオゾンを分離する気液分離手段を有するオゾン水製造方法において、前記オゾン溶解手段と前記気液分離手段が同一ライン上でひとつのユニットを構成し、少なくとも2つの該ユニットが、前記流体を供給する手段から並列に分岐した各ライン上にそれぞれ配置され、一方のユニットの該気液分離手段で分離されたオゾンが他方のユニットのオゾン溶解手段に移送されることを特徴とするオゾン水製造方法。前記各ユニットのオゾン溶解手段を第一オゾン溶解手段、第二オゾン溶解手段とし、該第一オゾン溶解手段の吸込圧力負圧と該第二オゾン溶解手段の吸込圧負圧の比が、以下の関係式を満たすことを特徴とする請求項1に記載のオゾン水製造方法。A/B≧0.281A:第一オゾン溶解手段の吸込圧力ゲージ圧B:第二オゾン溶解手段の吸込圧力ゲージ圧前記第一オゾン溶解手段の吸込圧力ゲージ圧が-5kPa以下であることを特徴とする請求項2に記載のオゾン水製造方法。前記第一オゾン溶解手段を通過する流体の最大線速度が5.42m/sec以上、かつ、流体の通過する方向を軸とする軸に対する最大断面積と最小断面積比が、以下の関係式を満たすことを特徴とする請求項1乃至3に記載のオゾン水製造方法。C/D≧2.22C:断面積の最大値D:断面積の最小値オゾン発生器と、流体供給装置と、該供給装置により供給される流体にオゾンを溶解させるオゾン溶解装置と、該オゾン溶解装置で溶けきれなかったオゾンを分離する気液分離装置を有するオゾン水製造装置において、少なくとも第一オゾン溶解装置と該第一オゾン溶解装置と同一ライン上に配置された第一気液分離装置を具備する第一ユニットと、第二オゾン溶解装置と該第二オゾン溶解装置と同一ライン上に配置された第二気液分離装置を具備する第二ユニットとを備え、前記第一オゾン溶解装置と前記第二オゾン溶解装置の上流側に、第一流量調節弁と第二流量調節弁がそれぞれ配置され、前記第一気液分離装置と前記第二気液分離装置の下流側に気液分離後のオゾン水の背圧を調整する第一背圧調節弁と第二背圧調節弁がそれぞれ配置され、前記流体供給装置から流体が供給されるラインから並列に分岐した各ライン上に、該第一ユニットと該第二ユニットが配置され、前記第一気液分離装置が前記第二オゾン溶解装置と連結されていることを特徴とするオゾン水製造装置。前記第一オゾン溶解装置の吸込圧力負圧と、前記第二オゾン溶解装置の吸込圧力負圧の比が、以下の関係式を満たすことを特徴とする請求項5に記載のオゾン水製造装置。A/B≧0.281A:第一オゾン溶解装置の吸込圧力ゲージ圧B:第二オゾン溶解装置の吸込圧力ゲージ圧前記第一オゾン溶解装置の吸込圧力ゲージ圧が-5kPa以下であることを特徴とする請求項6に記載のオゾン水製造装置。前記第一オゾン溶解装置を通過する流体の最大線速度が5.42m/sec以上、かつ、流体の通過する方向を軸とする軸に対する最大断面積と最小断面積比が、以下の関係式を満たすことを特徴とする請求項5乃至7に記載のオゾン水製造装置。C/D≧2.22C:断面積の最大値D:断面積の最小値前記オゾン溶解装置が、エジェクタまたはアスピレータであることを特徴とする請求項5乃至8に記載のオゾン水製造装置。前記エジェクタが、縮径部、スロート部、拡径部が連続して形成されていることを特徴とする請求項9に記載のオゾン水製造装置。前記エジェクタが第一入口部と、長手方向に延設された第一通路部とを有し、前記第一入口部から第一通路部にかけて第一入口流路を形成する第一流路形成手段と、第二入口部と、前記第一通路部の周囲を包囲するテーパ面に沿って延設された第二通路部とを有し、前記第二入口部から前記第二通路部にかけて第二入口流路を形成する第二流路形成手段と、細径部と、拡径部と、出口部とを有し、前記細径部から前記拡径部および前記出口部にかけて流路面積が拡大され、かつ、前記細径部の端部において前記第一入口流路および前記第二入口流路にそれぞれ連通する出口流路を形成する第三流路形成手段と、前記第一入口流路および前記第二入口流路の少なくとも一方において旋回流を発生させる旋回流発生手段とを備えることを特徴とする請求項9に記載のオゾン水製造装置。本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、溶解しきれない余剰オゾンを効果的に活用し、低コストで且つオゾン溶解効率の高いオゾン水製造方法および装置を提供することを目的とする。オゾン発生手段と、流体を供給する手段と、該供給される流体にオゾンを溶解させるオゾン溶解手段と、該オゾン溶解手段で溶けきれなかったオゾンを分離する気液分離手段を有するオゾン水製造方法において、前記オゾン溶解手段と前記気液分離手段が同一ライン上でひとつのユニットを構成し、少なくとも2つの該ユニットが、前記流体を供給する手段から並列に分岐した各ライン上にそれぞれ配置され、一方のユニットの該気液分離手段で分離されたオゾンが他方のユニットのオゾン溶解手段に移送されることを第1の特徴とする。各ユニットのオゾン溶解手段を第一オゾン溶解手段、第二オゾン溶解手段とし、該第一オゾン溶解手段の吸込圧力負圧と該第二オゾン溶解手段の吸込圧力負圧の比が、以下の関係式を満たすことを第2の特徴とする。A/B≧0.281A:第一オゾン溶解手段の吸込圧力ゲージ圧B:第二オゾン溶解手段の吸込圧力ゲージ圧前記第一オゾン溶解手段の吸込圧力ゲージ圧が-5kPa以下であることを第3の特徴とし、前記第一オゾン溶解手段を通過する流体の最大線速度が5.42m/sec以上、かつ、流体の通過する方向を軸とする軸に対する最大断面積と最小断面積比が、以下の関係式を満たすことを第4の特徴とする。C/D≧2.22C:断面積の最大値D:断面積の最小値オゾン発生器と、流体供給装置と、該供給装置により供給される流体にオゾンを溶解させるオゾン溶解装置と、該オゾン溶解装置で溶けきれなかったオゾンを分離する気液分離装置を有するオゾン水製造装置において、少なくとも第一オゾン溶解装置と該第一オゾン溶解装置と同一ライン上に配置された第一気液分離装置を具備する第一ユニットと、第二オゾン溶解装置と該第二オゾン溶解装置と同一ライン上に配置された第二気液分離装置を具備する第二ユニットとを備え、前記第一オゾン溶解装置と前記第二オゾン溶解装置の上流側に、第一流量調節弁と第二流量調節弁がそれぞれ配置され、前記第一気液分離装置と前記第二気液分離装置の下流側に気液分離後のオゾン水の背圧を調整する第一背圧調節弁と第二背圧調節弁がそれぞれ配置され、前記流体供給装置から流体が供給されるラインから並列に分岐した各ライン上に、該第一ユニットと該第二ユニットが配置され、前記第一気液分離装置が前記第二オゾン溶解装置と連結されていることを第5の特徴とする。前記第一オゾン溶解装置の吸込圧力負圧と、前記第二オゾン溶解装置の吸込圧力負圧の比が、以下の関係式を満たすことを第6の特徴とする。A/B≧0.281A:第一オゾン溶解装置の吸込圧力ゲージ圧B:第二オゾン溶解装置の吸込圧力ゲージ圧前記第一オゾン溶解装置の吸込圧力ゲージ圧が-5kPa以下であることを第7の特徴とし、前記第一オゾン溶解器を通過する流体の最大線速度が5.42m/sec以上、かつ、流体の通過する方向を軸とする軸に対する最大断面積と最小断面積比が、以下の関係式を満たすことを第8の特徴とする。C/D≧2.22C:断面積の最大値D:断面積の最小値また、前記オゾン溶解装置が、エジェクタまたはアスピレータであることを第9の特徴とし、前記エジェクタが、縮径部、スロート部、拡径部が連続して形成されていることを第10の特徴とし、前記エジェクタが第一入口部と、長手方向に延設された第一通路部とを有し、前記第一入口部から第一通路部にかけて第一入口流路を形成する第一流路形成手段と、第二入口部と、前記第一通路部の周囲を包囲するテーパ面に沿って延設された第二通路部とを有し、前記第二入口部から前記第二通路部にかけて第二入口流路を形成する第二流路形成手段と、細径部と、拡径部と、出口部とを有し、前記細径部から前記拡径部および前記出口部にかけて流路面積が拡大され、かつ、前記細径部の端部において前記第一入口流路および前記第二入口流路にそれぞれ連通する出口流路を形成する第三流路形成手段と、前記第一入口流路および前記第二入口流路の少なくとも一方において旋回流を発生させる旋回流発生手段とを備えることを第11の特徴とする。本発明は以上のような構成からなり、以下の優れた効果が得られる。1並列配管部を形成することにより、単一配管よりも加圧供給される液体の圧力が低くなるため、安価な供給手段が使用可能となる。2並列配管部を形成することにより、単一配管よりも加圧供給される液体の圧力が低くなるため、オゾン水を多量に製造できる。3余剰オゾンが効果的に活用されるため、オゾン溶解効率の高いオゾン水を製造することができる。4余剰オゾンが効果的に活用され、排出されるオゾン量が減少するため、余剰オゾンを処理する設備に掛かるコストを低くできる。実施形態1以下、本発明における第一の実施形態について図2から図4を基に説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことは言うまでもない。また、本実施形態においては水を流体として使用する例で説明する。図2において、本発明のオゾン水製造装置は、オゾン発生器1、流体供給装置2と、2個のガス自吸式オゾン溶解装置3a、3bと、溶けきれなかった余剰オゾン5a、5b等のガスを分離する2個の気液分離装置4a、4bと、オゾン溶解装置3a、3bそれぞれに供給される水の流量を調節する流量調節弁7a、7bと、気液分離装置4a、4b後のオゾン水の背圧を調整する背圧調節弁8a、8bと、余剰オゾン5bを処理する廃オゾン処理装置9で構成されている。余剰オゾンとはオゾン溶解装置で溶けきれなかったオゾンのことである。ポンプ等の流体供給装置2を用いて加圧供給された水は、2並列に配管接続された第一オゾン溶解装置3a、第二オゾン溶解装置3bにそれぞれ供給される。オゾン発生器1から発生したオゾンは第一オゾン溶解装置3aによって自吸され第一オゾン溶解装置3a内で水と混合される。第一オゾン溶解装置3aから吐出されるオゾン混合水は第一気液分離装置4aによって溶存できなかったオゾンを含む第一余剰オゾン5aと第一オゾン水6aに分離され、さらに第一余剰オゾン5aは第二オゾン溶解装置3bによって自吸され、第二オゾン溶解装置3b内で分岐された水と混合される。第二オゾン溶解装置3bから吐出されるオゾン混合水を第二気液分離装置4bによって溶存できなかったオゾンを含む第二余剰オゾンガス5bと第二オゾン水6bに分離され、第一オゾン水6aと第二オゾン水6bは合流する。第二余剰オゾンガス5bは廃オゾン処理装置9によって酸素ガスに還元し放出される。第一オゾン溶解装置3aおよび第二オゾン溶解装置3bへの水の流量を調節するために、第一流量調節弁7aおよび第二流量調節弁7bが使用され、第一気液分離装置4a、第二気液分離装置4bでの圧平衡を保つように第一背圧調節弁8a、第二背圧調節弁8bによって背圧が調整される。ここで、第一オゾン溶解装置3aでの吸込み圧Ps1ゲージ圧と第二オゾン溶解装置3bでの吸込み圧Ps2ゲージ圧の比Ps1ゲージ圧/Ps2ゲージ圧は0.28以上が良い。0.28より低い条件において、第一オゾン溶解装置3aの水の流量を低くし、第二オゾン溶解装置3bの水の流量を大きくする、または、第一オゾン溶解装置3aの通水口径を大きくし、第二オゾン溶解装置3bの通水口径を小さくすることになり、第一オゾン溶解装置においてオゾン発生手段からの高濃度オゾンの混合溶解性能が低下し、オゾン水の溶存オゾン濃度が低下する恐れがある。また、第一オゾン溶解装置3aでの吸込み圧Ps1ゲージ圧は-5kPa以下であることが好ましい。-5kPa<Ps1ゲージ圧<0kPaでは安定した吸込み性能を得られず、0kPa≦Ps1ゲージ圧だとブロア等、オゾンを送気する手段が別途必要となるために、コストが増大する。さらに、Ps1ゲージ圧を-5kPa以下に維持する為には第一オゾン溶解装置3aにおいて、ある程度の流速および差圧すなわち、ある程度の流速の差が必要であり、最大線速度LV1maxが、LV1max≧5.42m/secかつ、流体の通過する方向を軸とする軸に対する最大断面積の最小断面積に対する比が、2.2以上であることが望ましい。LV1maxが5.42m/sec未満だと、通水部最大断面積/通水部最少断面積が2.2以上においても、Ps1ゲージ圧≦-5kPaを維持するのは困難であり、同様に、通水部最大断面積/通水部最少断面積が2.2未満だと、LV1maxが5.42m/sec以上であってもPs1ゲージ圧≦-5kPaを維持するのは困難となるためである。以下、図3~図4を参照して本発明の第一の実施の形態に係るエジェクタについて説明する。図3は、本発明の第一の実施の形態に係るエジェクタの構成を示す縦断面図であり、図4は、図3の要部拡大図である。このエジェクタは、略円柱状の本体11と、本体11に嵌合される略円柱状のノズル部材12とを有する。本体11の一端面には、ノズル部材12が嵌挿される受容部16が設けられ、他端面には、出口流路15を形成する出口開口部31が設けられている。受容部16の内周面の開口側には雌ネジ部21が設けられている。受容部16の底面32には円環状溝部20が設けられ、円環状溝部20の外周面は雌ネジ部21の略延長線上に位置している。本体11の内部には、受容部16の底面に形成され、円錐台形状に縮径する縮径部17、縮径部17に連設された円柱状の細径部となるスロート部18、およびスロート部18に連設され、出口開口部31にかけて円錐台形状に拡径する拡径部19が、それぞれ本体11の中心軸上に設けられ、縮径部17から出口開口部31にかけてベンチュリ効果を有する出口流路15が形成されている。本体11の周面には、周方向所定位置に第二入口開口部30が設けられ、第二入口開口部30は円環状溝部20に連通している。受容部16の底面32には、円環状溝部20から縮径部17の周縁にかけて複数の放射曲線状の溝部が周方向等間隔に設けられている。ノズル部材12は、外周面に雄ネジ部24が設けられた円柱部22と、円柱部22の一端面に円柱部22と同軸で円錐台形状に突設された突出部23とを有する。円柱部22の端面には第一入口開口部20が設けられ、突出部23の端面には吐出口25が設けられている。ノズル部材12の内部には、流路の途中から吐出口25にかけて縮径された円錐台形状のテーパ部26がノズル部材12の中心軸上に設けられ、第一入口開口部29から吐出口25にかけて、出口側で絞られる第一入口流路13が形成されている。ノズル部材12の雄ネジ部24は、円柱部22の端面33が本体11の受容部16の底面32に当接するまで本体11の受容部16の雌ネジ部21に密封状態で螺合され、ノズル部材12が本体11の受容部16に嵌挿されている。このとき、本体11の凹部となる縮径部17内に凸部となる突出部23が収容され、本体11の受容部16の底面32に設けられた溝部12とノズル部材12の突出部23側の端面33とによって連通流路27が形成されている。さらに、本体11の縮径部17の内周面テーパ面とノズル部材12の突出部23の外周面テーパ面との間にはクリアランスが設けられ、このクリアランスによりテーパ面に沿って環状流路28が形成されている。これにより、第二入口開口部30から円環状溝部20、連通流路27、および環状流路28を通って本体11のスロート部18に連通し、出口側で絞られる第二入口流路14が形成されている。なお、本体11の受容部16の底面32とノズル部材12の突出部23側の端面33は当接していても良いし、適度なクリアランスを持っていても良い。クリアランスを持っている場合、クリアランスの部分と溝部の部分が連通流路27を形成する。なお、本体11およびノズル部材12の材質は、使用する流体によって侵されない材質であれば特に限定されず、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどいずれでも良い。特に流体に腐食性流体を用いる場合は、ポリテトラフルオロエチレン、ポリビニリデンフルオロライド、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂などのフッ素樹脂であることが好ましく、フッ素樹脂製であれば腐食性流体に用いることができ、腐食性ガスが透過しても配管部材の腐食の心配がなくなるため好適である。本体11またはノズル部材12の構成材を透明または半透明な部材としてもよく、この場合には流体の混合の状態を目視で確認できるため好適である。流体混合器に流す物質によっては各部品の材質は鉄、銅、銅合金、真鍮、アルミニウム、ステンレス、チタンなどの金属や合金であっても良い。特に流体が食品である場合、衛生的で寿命の長いステンレスが好ましい。本体11とノズル部材12との組立方法は螺着、溶接、溶着、接着、ピン止め、嵌め合わせ等の内部流体の密閉性が保たれる方法であればいずれの方法でもよい。第一入口開口部29、第二入口開口部30及び出口開口部31にはそれぞれ流体を導入及び排出するための配管図示せずが接続されるが、その接続方法は特に限定されない。本発明のオゾン水製造装置によって製造されたオゾン水は、手機器水槽水床空気温泉プール水海水環境用水衣類野菜類金属部品類の消毒殺菌滅菌抗菌静菌除菌、シリコンウエハー半導体基板フォトマスク基板シリコン物質食材膜衣類野菜類金属部品類の洗浄、フォトレジストおよび残渣の除去有機化合物無機化合物金属類の酸化、上水下水工場等の事業場廃水の水処理、汚染地盤等の浄化除染、メッキ処理の前処理、食材、膜、衣類、野菜類、金属部品類の表面処理、パルプの漂白、促進酸化処理などに用いられる。次に、本発明の実施形態を用いてオゾン溶解試験を行った。その結果について以下に示す。図2のように、水道水を貯留した水槽からポンプを用いて2並列に配管接続されたオゾン溶解装置にそれぞれ給水される。オゾン発生装置から発生したオゾンは第一オゾン溶解装置によって自吸され第一オゾン溶解装置内で水道水と混合される。第一オゾン溶解装置から吐出されるオゾン混合水を第一気液分離装置によって溶存できなかったオゾンを含む第一余剰オゾンと第一オゾン水に分離された後、さらに第一余剰オゾンは第二オゾン溶解装置によって自吸され、第二オゾン溶解装置内で分岐された水道水と混合される。第二オゾン溶解装置から吐出されるオゾン混合水を第二気液分離装置によって溶存できなかったオゾンを含む第二余剰オゾンと第二オゾン水に分離された後、第一オゾン水と第二オゾン水は合流する。第二余剰オゾンはオゾン分解装置によって酸素ガスに還元し放出される。オゾン発生装置から発生するオゾン濃度は気相オゾン濃度計を用い、合流後のオゾン水のオゾン濃度は液相オゾン濃度計を用いて測定した。本試験においては、製造されたオゾン水の液相オゾン濃度およびオゾン発生装置から発生した気相オゾン濃度から、単位時間あたりのオゾン量を算出し、次式にてオゾン溶解効率を求めた。溶解効率=液相のオゾン量/導入された気相オゾン量×100[気相オゾン濃度の測定]気相オゾン濃度計:東亜ディーケーケー社製OZ-30[液相オゾン濃度の測定]液相オゾン濃度計:東亜ディーケーケー社製OZ-20本発明におけるオゾン溶解試験は実施例1から実施例3及び比較例1から比較例3のそれぞれについて行った。その試験結果を表1~表3に示す。[実施例1]オゾン溶解装置が、水道水流量10~25L/minのときの給水圧が001~005MPa、吸込み圧ゲージ圧が-1~-21kPaであるエジェクタを使用してオゾン溶解試験を行い、オゾン溶解効率を表1に示した。[実施例2]オゾン溶解装置が、水道水流量10~25L/minのときの給水圧が001~009MPa、吸込み圧ゲージ圧が-7~-50kPaであるエジェクタを使用してオゾン溶解試験を行い、オゾン溶解効率を表2に示した。[実施例3]オゾン溶解装置が、水道水流量10~25L/minのときの給水圧が004~027MPa、吸込み圧ゲージ圧が-15~-72kPaであるエジェクタを使用してオゾン溶解試験を行い、オゾン溶解効率を表3に示した。また、Ps1ゲージ圧とPs2ゲージ圧の比を一定とした時の、各Ps1ゲージ圧におけるオゾン自吸性能を調査し、その時の結果を表4に示した。さらに、PV1とPs1ゲージ圧の関係について表5に示した。[比較例1]実施例1で用いたオゾン溶解装置を使用し、並列配管ではなく単独配管でオゾン溶解試験を行い、その時のオゾン溶解効率を表1に示した。[比較例2]実施例2で用いたオゾン溶解装置を使用し、並列配管ではなく単独配管でオゾン溶解試験を行い、その時のオゾン溶解効率を表2に示した。[比較例3]実施例3で用いたオゾン溶解装置を使用し、並列配管ではなく単独配管でオゾン溶解試験を行い、その時のオゾン溶解効率を表3に示した。表1の結果から、同水流量において、実施例1-1~1-6の給水圧はすべてにおいて比較例1-1~1-3よりも低いことが分かる。また、オゾン溶解効率はPs1ゲージ圧/Ps2ゲージ圧=0.11の時のみ減少していた。表2の結果から、同水流量において、実施例2-1~2-6の給水圧はすべてにおいて比較例2-1~2-3よりも低いことが分かる。また、実施例2-1~2-6のオゾン溶解効率は比較例2-1~2-3よりも高い。表3の結果から、同水流量において、実施例3-1~3-6の給水圧はすべてにおいて比較例3-1~3-3よりも低いことが分かる。また、実施例3-1~3-6のオゾン溶解効率は比較例3-1~3-3よりも高い。表1~表2の結果より、エジェクタを単独で使用するよりも、2並列配管を形成し、2個のエジェクタを使用してオゾン水を製造する方が、給水圧が低い。さらに、Ps1ゲージ圧/Ps2ゲージ圧が0.28以上の条件下では、同水流量において、7~19以上の溶解効率向上が見られ、且つ給水圧が50以上減少している。表4から、オゾンが安定して自吸可能となる条件は吸込圧Ps1ゲージ圧がPs1≦-5kPaであった。また、表5より吸込圧Ps1ゲージ圧がPs1≦-5kPaの条件を満たす最大線速度LV1maxはLV1max≧5.42m/secである。