ガラス組成として、molで、SiO250~70、Al2O39~15、B2O311~20、CaO8~12を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.8~1.2であって、密度が2.37g/cm3以下、102.5dPasにおける温度が1600°C以下であることを特徴とする無アルカリガラス。ガラス組成として、molで、SiO250~70、Al2O39~15、B2O312~20、CaO9~12、Sb2O30~0.03を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.8~1.05であって、密度が2.35g/cm3以下、歪点が630°C以上、102.5dPasにおける温度が1540°C以下、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数が32~40×10-7/°Cであることを特徴とする請求項1に記載の無アルカリガラス。ガラス組成として、molで、SiO255~70、Al2O39.5~14、B2O314~20、CaO9.2~11、Sb2O30~0.03を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.83~1.0であって、密度が2.35g/cm3以下、歪点が635°C以上、102.5dPasにおける温度が1530°C以下、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数が32~38×10-7/°Cであることを特徴とする請求項1又は2に記載の無アルカリガラス。ガラス組成として、molで、SiO255~70、Al2O310.5~14、B2O315~20、CaO9.5~10.5、Sb2O30~0.03を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.85~0.90であって、密度が2.35g/cm3以下、歪点が635°C以上、102.5dPasにおける温度が1520°C以下、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数が32~36×10-7/°Cであることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の無アルカリガラス。ガラス組成として、molで、SiO255~70、Al2O310.8~14、B2O315.5~20、CaO9.5~10、Sb2O30~0.03を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.87~0.90であって、密度が2.35g/cm3以下、歪点が640°C以上、102.5dPasにおける温度が1520°C以下、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数が32~36×10-7/°Cであることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の無アルカリガラス。液相粘度が105.0dPas以上であることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の無アルカリガラス。オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の無アルカリガラス。チップサイズパッケージの基板に用いることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の無アルカリガラス。上記の通り、CSP等の用途の場合、ガラス基板とSiチップが直接貼り付けられる。しかし、無アルカリガラスとSiの熱膨張係数が不整合であると、両者の熱膨張係数差によって、ガラス基板に反りが発生してしまう。特に、ガラス基板の板厚が小さい程、ガラス基板に反りが発生し易くなる。この問題を解決するためには、無アルカリガラスとSiの熱膨張係数を厳密に整合させる必要がある。しかし、Siの熱膨張係数は32~34×10-7/°Cと非常に低く、Siの熱膨張係数に整合するように、無アルカリガラスの熱膨張係数を低下させると、高品位のガラス基板を作製し難くなる。すなわち、無アルカリガラスにおいて、熱膨張係数を低下させる場合、ガラスの粘性が高くなるため、泡品位を向上させることが困難になり、結果として、高品位のガラス基板を得ることが困難になる。また、CSP等のイメージセンサーは、約2mm程度のSiチップの中に数百万画素分の情報が盛り込まれるため、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等の画素とは比較にならない程、極微小な欠点が問題となり得る。さらに、イメージセンサーとガラス基板を貼り合わせる工程は、略最終工程であるため、ガラス基板の欠点によりデバイスの歩留まりが低下すると、デバイスの生産性が著しく低下してしまう。したがって、この用途に使用される無アルカリガラスは、特に1Siと整合する熱膨張係数を有すること、2泡品位に優れていること、3低コストで薄板の成形が可能であること、4軽量であること等が要求される。上記事情に鑑み、本発明は、CSP等の用途に要求される種々の特性を満足し得る無アルカリガラス、特にSiと整合する熱膨張係数を有する無アルカリガラスを提供することを技術的課題とする。本発明者等は、種々の実験を繰り返した結果、無アルカリガラスにおいて、各成分の含有範囲を厳密に規制すると共に、ガラス特性を所定範囲に規制することにより、上記技術的課題を解決できることを見出し、本発明として、提案するものである。すなわち、本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、molで、SiO250~70、Al2O39~15、B2O311~20、CaO8~12を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.8~1.2であって、密度が2.37g/cm3以下、102.5dPasにおける温度が1600°C以下であることを特徴とする。このようにガラス組成範囲を規制すれば、耐失透性が向上すると共に、Siの熱膨張係数に整合させ易くなる。ここで、無アルカリは、ガラス組成中のアルカリ金属酸化物Li2O、Na2O、K2Oの含有量が1000ppm質量未満の場合を指す。MgOCaOSrOBaOは、MgO、CaO、SrO、及びBaOの合量である。密度は、アルキメデス法により測定可能である。102.5dPasにおける温度は、白金球引き上げ法で測定可能である。第二に、本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、molで、SiO250~70、Al2O39~15、B2O312~20、CaO9~12、Sb2O30~0.03を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.8~1.05であって、密度が2.35g/cm3以下、歪点が630°C以上、102.5dPasにおける温度が1540°C以下、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数が32~40×10-7/°Cであることが好ましい。ここで、歪点は、ASTMC336の方法に基づいて測定した値を指す。30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数は、ディラトメーターで測定した値を指す。第三に、本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、molで、SiO255~70、Al2O39.5~14、B2O314~20、CaO9.2~11、Sb2O30~0.03を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.83~1.0であって、密度が2.35g/cm3以下、歪点が635°C以上、102.5dPasにおける温度が1530°C以下、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数が32~38×10-7/°Cであることが好ましい。第四に、本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、molで、SiO255~70、Al2O310.5~14、B2O315~20、CaO9.5~10.5、Sb2O30~0.03を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.85~0.90であって、密度が2.35g/cm3以下、歪点が635°C以上、102.5dPasにおける温度が1520°C以下、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数が32~36×10-7/°Cであることが好ましい。第五に、本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、molで、SiO255~70、Al2O310.8~14、B2O315.5~20、CaO9.5~10、Sb2O30~0.03を含有し、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が0.87~0.90であって、密度が2.35g/cm3以下、歪点が640°C以上、102.5dPasにおける温度が1520°C以下、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数が32~36×10-7/°Cであることが好ましい。第六に、本発明の無アルカリガラスは、液相粘度が105.0dPas以上であることが好ましい。ここで、液相粘度は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値である。液相温度は、標準篩30メッシュ500μmを通過し、50メッシュ300μmに残るガラス粉末を白金ボートに入れた後、温度勾配炉中に24時間保持して、結晶の析出する温度を測定することにより算出可能である。なお、液相粘度が高く、液相温度が低い程、耐失透性や成形性に優れている。第七に、本発明の無アルカリガラスは、オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。ここで、オーバーフローダウンドロー法は、フュージョン法とも称されており、溶融ガラスを耐熱性の樋状構造物の両側から溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下端で合流させながら、下方に延伸成形して板状に成形する方法である。第八に、本発明の無アルカリガラスは、CSPの基板に用いることが好ましい。本発明の無アルカリガラスにおいて、上記のように各成分の含有量を限定した理由を以下に示す。なお、各成分の含有量の説明において、表示はモルを表す。SiO2の含有量は50~70、好ましくは55~70、より好ましくは60~70、更に好ましくは62~69、最も好ましくは62~67である。SiO2の含有量が50より少ないと、密度が上昇し易くなる。一方、SiO2の含有量が70より多いと、高温粘度が高くなり、溶融性が低下し易くなることに加えて、ガラス中に失透結晶クリストバライト等の欠陥が生じ易くなる。Al2O3の含有量は9~15である。Al2O3の含有量が9より少ないと、耐熱性を高め難くなったり、高温粘性が高くなって、溶融性が低下し易くなる。また、Al2O3には、ヤング率、比ヤング率を高める働きがあるが、Al2O3の含有量が9より少ないと、ヤング率が低下し易くなる。Al2O3の好適な下限範囲は9.5以上、10.2以上、10.5以上、特に10.8以上である。一方、Al2O3の含有量が15より多いと、液相温度が高くなるため、耐失透性が低下し易くなる。Al2O3の好適な上限範囲は14以下、13以下、12以下、特に11.5以下である。B2O3は、融剤として働き、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であり、その含有量は11~20である。B2O3の含有量が11より少ないと、融剤として作用し難くなるため、高温粘性が高くなり、ガラスの泡品位が低下し易くなる。また、密度が上昇し易くなる。B2O3の好適な下限範囲は12以上、13以上、14以上、15以上、特に15.5以上である。一方、B2O3の含有量が20より多いと、歪点、ヤング率が低下し易くなる。B2O3の好適な上限範囲は19以下、18以下、特に17以下である。MgOCaOSrOBaOは、液相温度を下げて、ガラス中に結晶異物を発生させ難くする成分であり、また溶融性や成形性を高める成分であり、その含有量は5~12、7~11、8~10.5、8.5~10、特に9~10が好ましい。MgOCaOSrOBaOの含有量が少ないと、融剤としての働きを十分に発揮できず、溶融性が低下することに加えて、熱膨張係数が低くなり過ぎて、Siの熱膨張係数に整合し難くなる。一方、MgOCaOSrOBaOの含有量が多いと、密度が上昇して、ガラスを軽量化し難くなり、また比ヤング率が低下し、更に熱膨張係数が高くなり過ぎる。モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値は0.8~1.2である。モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が小さくなると、耐失透性が低下し易くなって、オーバーフローダウンドロー法による成形を行い難くなる。一方、モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の値が大きくなると、密度や熱膨張係数が高くなり過ぎる。モル比MgOCaOSrOBaO/Al2O3の好適な数値範囲は0.8~1.05、0.8~1.0、0.83~1.0、0.85~0.95、0.85~0.90、特に0.87~0.90である。MgOは、歪点を低下させずに、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であり、またアルカリ土類金属酸化物の中では最も密度を下げる効果がある成分であり、その含有量は0~8、0~6、0~2、0~1、0~0.5、特に0~0.1が好ましい。しかし、MgOの含有量が多過ぎると、液相温度が上昇して、耐失透性が低下し易くなる。またガラスが分相し易くなって、透明性が低下し易くなる。質量比MgO/B2O3の値が0.6以上になると、ガラスが分相し易くなる。よって、質量比MgO/B2O3の値は0.5以下、0.3以下、0.1以下、0.08未満、特に0.05未満が好ましい。CaOは、歪点を低下させずに、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高める成分であると共に、本発明のガラス組成系において、失透を抑制する効果が高い成分である。また、アルカリ土類金属酸化物の中でCaOの含有比率を相対的に増加させると、密度が低下し易くなる。CaOの好適な下限範囲は8以上、8.5以上、9以上、9.2以上、9.4以上、特に9.5以上である。一方、CaOの含有量が多過ぎると、熱膨張係数や密度が高くなり過ぎたり、ガラス組成の成分バランスを損なわれて、耐失透性が低下し易くなる。CaOの好適な上限範囲は12以下、11以下、10.5以下、特に10以下である。SrOは、歪点を低下させずに、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であるが、SrOの含有量が多くなると、密度や熱膨張係数が上昇し易くなる。また、SrOの含有量が多くなると、Siの熱膨張係数に整合させるために、相対的にCaOやMgOの含有量を低下せざるを得ず、結果として、耐失透性が低下したり、高温粘性が高くなり易い。SrOの含有量は0~2、0~1.5、0~1、0~0.5、特に0~0.1が好ましい。BaOは、歪点を低下させずに、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であるが、BaOの含有量が多くなると、密度や熱膨張係数が上昇し易くなる。また、BaOの含有量が多くなると、Siの熱膨張係数に整合させるために、相対的にCaOやMgOの含有量を低下せざるを得ず、結果として、耐失透性が低下したり、高温粘性が高くなり易い。BaOの含有量は0~2、0~1.5、0~1、0~0.5、特に0~0.1未満が好ましい。上記成分以外にも、例えば、以下の成分をガラス組成中に添加してもよい。なお、上記成分以外の他成分の含有量は、本発明の効果を的確に享受する観点から、合量で25以下、特に15以下が好ましい。SnO2は、高温域で良好な清澄作用を示す成分であり、また高温粘性を低下させる成分であり、その含有量は0~1、0.001~1、0.01~0.5、0.05~0.3、特に0.1~0.3が好ましい。SnO2の含有量が1より多いと、SnO2の失透結晶がガラス中に析出し易くなる。なお、SnO2の含有量が0.001より少ないと、上記の効果を享受し難くなる。ZnOは、溶融性を高める成分であるが、ガラス組成中に多量に含有させると、ガラスが失透し易くなり、また歪点が低下する上、密度も上昇し易くなる。よって、ZnOの含有量は0~5、0~3、0~0.5、特に0~0.3が好ましく、実質的に含有しないことが望ましい。ここで、実質的にZnOを含有しないとは、ガラス組成中のZnOの含有量が0.1以下の場合を指す。ZrO2は、ヤング率を高める成分であり、その含有量は0~5、0~3、0~0.5、特に0~0.2が好ましく、実質的に含有しないことが望ましい。ZrO2の含有量が多過ぎると、液相温度が上昇し、ジルコンの失透結晶が析出し易くなる。また、ZrO2の含有量が多過ぎると、α線のカウント値が上昇し易くなるため、CSP等のデバイスに適用し難くなる。ここで、実質的にZrO2を含有しないとは、ガラス組成中のZrO2の含有量が0.01以下の場合を指す。なお、ヤング率を高める必要性が高い場合は、ZrO2の含有量を0.01以上とすればよい。TiO2は、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であると共に、ソラリゼーションを抑制する成分であるが、ガラス組成中に多く含有させると、ガラスが着色し、透過率が低下し易くなる。よって、TiO2の含有量は0~5、0~3、0~1、特に0~0.02が好ましい。P2O5は、耐失透性を高める成分であるが、ガラス組成中に多く含有させると、ガラス中に分相、乳白が生じることに加えて、耐水性が顕著に低下する。よって、P2O5の含有量は0~5、0~1、0~0.5、特に0~0.1が好ましい。Y2O3は、歪点、ヤング率等を高める働きを有する。しかし、Y2O3の含有量が多過ぎると、密度が上昇し易くなる。よって、Y2O3の含有量は5以下が好ましい。Nb2O5は、歪点、ヤング率等を高める働きを有する。しかし、Nb2O5の成分の含有量が多過ぎると、密度が上昇し易くなる。よって、Nb2O5の含有量は5以下が好ましい。La2O3は、歪点、ヤング率等を高める働きを有する。しかし、La2O3の含有量が多過ぎると、密度が上昇し易くなる。よって、La2O3の含有量は5以下が好ましい。上記の通り、清澄剤として、SnO2が好適であるが、ガラス特性を損なわない限り、清澄剤として、CeO2、SO3、C、金属粉末例えばAl、Si等を5まで添加することができる。As2O3、Sb2O3も清澄剤として有効に作用し、本発明の無アルカリガラスは、これらの成分の含有を完全に排除するものではないが、環境的観点から、これらの成分の含有量はそれぞれ0.1未満、特に0.05未満が好ましい。また、F、Cl等のハロゲンは、溶融温度を低温化すると共に、清澄剤の作用を促進させる効果があり、結果として、溶融コストを低廉化しつつ、ガラス製造窯の長寿命化を図ることができる。しかし、F、Clの含有量が多過ぎると、CSP等の用途において、ガラス基板上に形成される金属の配線パターンが腐食する場合がある。よって、F、Clの含有量は、それぞれ1以下、0.5以下、0.1未満、0.05以下、0.03以下、特に0.01以下が好ましい。本発明の無アルカリガラスにおいて、密度は2.37g/cm3以下、好ましくは2.35g/cm3以下である。密度が大きくなると、ガラスを軽量化し難くなり、また平板形状の場合、自重によりガラスが撓み易くなる。ガラスの泡品位は、ガラスの良品率のみならず、デバイスの良品率にも影響を及ぼす。このため、高温粘性を低下させてガラスの泡品位を高めることは重要である。本発明の無アルカリガラスにおいて、102.5dPasにおける温度は1600°C以下であり、1540°C以下、1530°C以下、特に1520°C以下が好ましい。102.5dPasにおける温度が1600°Cより高いと、低温溶融が困難になり、またガラスの泡品位が低下し易くなるため、ガラスの製造コストのみならず、デバイスの製造コストも高騰し易くなる。本発明の無アルカリガラスにおいて、歪点は630°C以上、635°C以上、特に640°C以上が好ましい。CSP等の用途の場合、ガラス同士を樹脂等で接着させることがある。その場合、歪点が630°Cより低いと、ガラス同士を接着させる際に、ガラス品位が低下するおそれがある。また、歪点が630°Cより低いと、有機EL用ガラス基板として使用する場合、p-SiTFTの製造工程でガラスが熱収縮し易くなる。本発明の無アルカリガラスにおいて、30~380°Cの温度範囲における熱膨張係数は32~40×10-7/°C、32~38×10-7/°C、32~36×10-7/°C、特に33~35×10-7/°Cである。熱膨張係数が上記範囲外となると、ガラス基板とSiチップと貼り合わせる際に、ガラス基板の反り量が大きくなり易い。また、ガラス基板の板厚が小さい程、熱膨張係数の差に起因するガラス基板の反り量が大きくなる。よって、ガラス基板の板厚が小さい場合例えば、ガラス基板の板厚が0.2mm以下の場合、熱膨張係数を上記範囲内に規制する意義が大きくなる。本発明の無アルカリガラスにおいて、液相温度は1180°C以下、1150°C以下、1130°C以下、1110°C以下、1090°C以下、特に1070°C以下が好ましい。このようにすれば、ガラスに失透結晶が発生し難くなるため、オーバーフローダウンドロー法等で成形し易くなる。結果として、ガラスの製造コストを低廉化できると共に、ガラスの表面品位を高めることができる。本発明の無アルカリガラスにおいて、液相粘度は105.0dPas以上、105.2dPas以上、105.3dPas以上、105.5dPas以上、特に105.7dPas以上が好ましい。このようにすれば、成形時に失透結晶が発生し難くなるため、オーバーフローダウンドロー法等で成形し易くなる。結果として、ガラスの製造コストを低廉化できると共に、ガラスの表面品位を高めることができる。本発明の無アルカリガラスは、所定のガラス組成となるように調合したガラス原料を連続式ガラス溶融窯に投入した後、このガラス原料を加熱溶融し、得られた溶融ガラスを清澄した上で、成形装置に供給して平板形状等に成形することで作製可能である。本発明の無アルカリガラスは、オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。オーバーフローダウンドロー法では、ガラスの表面になるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形される。このため、未研磨で表面品位が良好な平板形状のガラスを安価に製造することができる。なお、オーバーフローダウンドロー法で用いる樋状構造物の構造や材質は、所望の寸法や表面精度を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行う際に、力を印加する方法も特に限定されない。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。本発明の無アルカリガラスは、オーバーフローダウンドロー法以外にも、種々の成形方法を採用することができる。例えば、ダウンドロー法スロットダウン法等、フロート法、ロールアウト法等を採用することができる。本発明の無アルカリガラスは、平板形状を有することが好ましい。このようにすれば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等のフラットディスプレイ用ガラス基板、CSP、CCD、CIS等のイメージセンサー用ガラス基板に適用することができる。また、本発明の無アルカリガラスは、平板形状の場合、その板厚は0.6mm以下、0.5mm以下、0.3mm以下、0.2mm以下、特に0.1mm以下が好ましい。板厚が小さい程、ガラスを軽量化することができ、結果として、デバイスも軽量化し易くなる。なお、本発明の無アルカリガラスは、液相粘度が高いため、オーバーフローダウンドロー法で成形し易い性質を有する。オーバーフローダウンドロー法で成形すれば、未研磨で表面品位が良好な平板形状のガラスを安価に製造することができる。以下、実施例に基づいて、本発明を説明する。但し、以下の実施例は、単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。表1~3は、本発明の実施例試料No.1~13を示している。次のようにして、試料No.1~13を作製した。まず表中のガラス組成になるように調合したガラス原料を白金坩堝に入れ、1600°Cで24時間溶融した後、カーボン板上に流し出して平形板状に成形した。次に、得られた各試料について、密度、熱膨張係数α、歪点Ps、徐冷点Ta、軟化点Ts、104dPasにおける温度、103dPasにおける温度、102.5dPasにおける温度、液相温度TL、液相粘度log10ηTL、ヤング率を評価した。密度は、周知のアルキメデス法で測定した値である。熱膨張係数αは、ディラトメーターで測定した値であり、30~380°Cの温度範囲における平均値である。歪点Ps、徐冷点Ta、軟化点Tsは、ASTMC336の方法に基づいて測定した値である。104.0dPasにおける温度、103.0dPasにおける温度、102.5dPasにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。液相温度TLは、標準篩30メッシュ500μmを通過し、50メッシュ300μmに残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に24時間保持した後、結晶の析出する温度を測定した値である。液相粘度log10ηTLは、液相温度TLにおけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値である。ヤング率は、共振法で測定した値である。なお、本発明の無アルカリガラスにおいて、ヤング率は64GPa以上が好ましい。ヤング率が大きい程、比ヤング率ヤング率/密度が大きくなるため、平板形状の場合、自重によりガラスが撓み難くなる。表1~3から明らかなように、試料No.1~13は、ガラス組成が所定範囲に規制されているため、密度が2.37g/cm3以下、歪点が630°C以上、102.5dPasにおける温度が1600°C以下であった。なお、試料No.1~13は、ガラス組成中にAs2O3、Sb2O3を含有していないが、泡品位が良好であった。試験溶融炉で表1に記載の試料No.1~4を溶融した後、オーバーフローダウンドロー法で厚み0.1mmの平板形状に成形した。成形に際し、引っ張りローラーの速度、冷却ローラーの速度、加熱装置の温度分布、溶融ガラスの温度、溶融ガラスの流量、板引き速度、攪拌スターラーの回転数等を適宜調整することにより、ガラス板の表面品位を調節した。得られたガラス板の表面品位を測定したところ、反りは0.075以下、うねりWCAは0.15μm以下カットオフfh:0.8mm、fl:8mm、表面粗さRyは20Å以下カットオフλc:9μmであった。なお、反りは、ガラス板を光学定盤上に置き、JISB-7524に記載のすきまゲージを用いて測定した値である。うねりは、触針式の表面形状測定装置を用いて、JISB-0610に記載のWCAろ波中心線うねりを測定した値であると共に、SEMISTDD15-1296FPDガラス基板の表面うねりの測定方法に準拠した方法により測定した値である。平均表面粗さRyは、SEMID7-94FPDガラス基板の表面粗さの測定方法に準拠した方法により測定した値である。