"回折格子が形成された第1光学部材と、回折格子が形成された第2光学部材とを備え、該第1光学部材と第2光学部材とが互いの回折格子を対向させた状態で配設された回折光学素子であって、前記第2光学部材は、内部に複数の空隙部が形成されている回折光学素子。前記空隙部は、空孔であって、前記第2光学部材は、樹脂又はガラスで構成され、内部に複数の前記空孔が分散されている、請求項1に記載の回折光学素子。前記第2光学部材は、多孔質の樹脂又はガラスで構成されている、請求項1に記載の回折光学素子。前記空孔は、球状であって、前記空孔の平均径は、該回折光学素子が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下である、請求項2に記載の回折光学素子。前記空孔は、球状であって、前記第2光学部材に含まれる前記空孔のうち、直径が該回折光学素子の対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下であるものが95以上を占める、請求項2に記載の回折光学素子。前記第2光学部材は、複数の微粒子が堆積して構成され、該微粒子間に前記空隙部が形成されている、請求項1に記載の回折光学素子。前記微粒子の平均径は、該回折光学素子が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下である、請求項6に記載の回折光学素子。前記第2光学部材に含まれる前記微粒子のうち、粒子径が該回折光学素子の対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下であるものが95以上を占める、請求項6に記載の回折光学素子。前記第2光学部材は、内部に空隙部を有する微粒子を含有する樹脂又はガラスで構成されている、請求項1に記載の回折光学素子。前記微粒子の平均径は、該回折光学素子が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下である、請求項9に記載の回折光学素子。前記第2光学部材に含まれる前記微粒子のうち、粒子径が該回折光学素子の対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下であるものが95以上を占める、請求項9に記載の回折光学素子。前記第2光学部材を前記回折格子の単位周期構造ごとに光軸に平行な面で複数の領域に分割した場合に、隣り合う2つの領域において、一方の領域中の前記空隙部の体積比率をp1、他方の領域中の前記空隙部の体積比率をp2とすると、以下の式1が成り立つ、請求項1に記載の回折光学素子。0.9×p2<p1<1.1×p21前記第2光学部材を前記回折格子の単位周期構造ごとに光軸に平行な面で複数の領域に分割した場合に、隣り合う2つの領域において、一方の領域に含まれる前記空孔の平均径をd1、他方の領域に含まれる前記空孔の平均径をd2とすると、以下の式2が成り立つ、請求項2に記載の回折光学素子。0.9×d2<d1<1.1×d22前記第2光学部材を前記回折格子の単位周期構造ごとに光軸に平行な面で複数の領域に分割した場合に、隣り合う2つの領域において、一方の領域の所定の波長λに対する屈折率をn1λ、他方の領域の所定の波長λに対する屈折率をn2λとすると、以下の式3が成り立つ、請求項1に記載の回折光学素子。0.9×n2λ<n1λ<1.1×n2λ3前記第2光学部材を前記回折格子の単位周期構造ごとに光軸に平行な面で複数の領域に分割した場合に、隣り合う2つの領域において、一方の領域の前記微粒子の平均径をv1、他方の領域の前記微粒子の平均径をv2とすると、以下の式4が成り立つ、請求項6に記載の回折光学素子。0.9×v2<v1<1.1×v24光束を所定の面上に合焦させるための結像光学系を備えた光学機器であって、前記結像光学系は、請求項1乃至15の何れか1つに記載の回折光学素子を有する光学機器。しかし、ナノコンポジット技術では、無機微粒子のサイズを使用する波長よりも微小にする必要があるため、製造が困難である等の問題がある。また、ガラスで構成された光学部材と樹脂で構成された光学部材とを積層させて回折光学素子にとっては、ナノコンポジット技術があまり有効ではないという問題がある。すなわち、ガラスと樹脂とでは、樹脂の方が微粒子の混合が容易であるため、樹脂で構成される光学部材に微粒子が混合される。その結果、樹脂で構成された光学部材の実効屈折率が高くなる。ここで、回折光学素子では、2つの材料間の屈折率差が大きいほど回折格子の段差を低くすることができる。回折格子の段差が低いと、光が回折格子に斜めに入射した場合でも光学性能を維持できる。しかし、前述のように樹脂で構成された光学部材の実効屈折率が高くなると、2つの材料間の屈折率差が小さくなり、回折格子の段差を高くしなければならない。その結果、光が回折格子に斜めに入射した際の光学性能が劣化してしまう。このように、ガラスで構成された光学部材と樹脂で構成された光学部材とを積層させて回折光学素子にとっては、ナノコンポジット技術があまり有効ではない。ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ナノコンポジット技術以外の方法で、回折光学素子の材料の選択を容易にすることにある。上記課題を解決する回折光学素子は、回折格子が形成された第1光学部材と、回折格子が形成された第2光学部材とを備え、該第1光学部材と第2光学部材とが互いの回折格子を対向させた状態で配設された回折光学素子であって、前記第2光学部材は、内部に複数の空隙部を有する。ここで、第1光学部材と第2光学部材とを積層させるとは、第1光学部材と第2光学部材とを直接、密着させて重ね合わせる場合に限られず、空気、反射防止膜、接着剤等の中間層を介在させて、第1光学部材と第2光学部材とを重ね合わせることを含む。上記回折光学素子によれば、光学部材の内部に空隙を設けることで、実効的な屈折率を任意の値に変化させることができる。そのため、回折光学素子の材料の選択を容易にすることができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。《発明の実施形態1》図1には、本実施形態に係る例示的な回折光学素子1を備えた交換レンズ200及びそれが取り付けられたカメラ100の概略図を、図2には、回折光学素子1の概略断面図を示す。交換レンズ200は、カメラ100に着脱可能に構成されている。交換レンズ200は、例えば、望遠ズームレンズである。交換レンズ200は、屈折型レンズ210、220に加えて、回折光学素子1をレンズ素子として機能させている。これら屈折型レンズ210、220及び回折光学素子1によって、光束をカメラ100の撮像素子110上に合焦させるための結像光学系230を構成している。この交換レンズ200又は、交換レンズ200を備えたカメラ100が光学機器を構成する。回折光学素子1は、それぞれ光透過性を有する第1光学部材10及び第2光学部材11を積層させて構成された密着積層型回折光学素子である。本実施形態では、第1光学部材10はガラス材料であり、第2光学部材11は樹脂材料である。第2光学部材11は、複数の空隙部を有する、多孔質の樹脂で構成されている。第2光学部材11の詳細な構成については後述する。第1光学部材10と第2光学部材11とは相互に接合されている。第1光学部材10の接合面10aと第2光学部材11の接合面11aとで構成される境界面12には、断面鋸歯形状の回折格子13が形成されている。回折格子13の光学的パワーは波長依存性を有するため、回折格子13は、波長の異なる光に対してほぼ同じ位相差を付与し、波長の異なる光を相互に異なる回折角で回折させる。回折格子13は、第1光学部材10の接合面10aに形成された凸状の第1回折格子14と、第2光学部材11の接合面11aに形成された凹状の第2回折格子15とで構成される。詳しくは、第1回折格子14は、回折光学素子1の光軸Xを中心として周方向に延び且つ、光軸Xを中心として同心円状に規則的に配列された複数の山形状の凸部14a、14a、...で構成されている。各凸部14aは、光軸Xと略平行な即ち、光軸Xに沿って延びる縦面14bと光軸Xに対して傾斜した即ち、縦面14bに対して傾斜した傾斜面14cとを有し、その横断面が略三角形状をしている。また、第2回折格子15は、回折光学素子1の光軸Xを中心として周方向に延び且つ、光軸Xを中心として同心円状に規則的に配列された複数の谷形状の凹部15a、15a、...で構成されている。各凹部15aは、光軸Xと略平行な縦面15bと光軸Xに対して傾斜した傾斜面15cとを有し、その横断面が略三角形状をしている。これら第1回折格子14と第2回折格子15とはそれぞれ、格子高が同じで且つ格子ピッチも同じとなるように構成されている。すなわち、第1回折格子14の各凸部14aが第2回折格子15の各凹部15aにぴったりと嵌り込むように構成されている。その結果、第1光学部材10の接合面10aと第2光学部材11の接合面11aとは、隙間を空けることなく重なり合って、1つの境界面12を形成する。第1回折格子14と第2回折格子15とが一体となって回折格子13を形成する。ただし、接合面10aと接合面11aとが略平行であれば、接合面10aと接合面11aとの間に、空気、反射防止膜、接着剤等の、第1回折格子14や第2回折格子15とは屈折率が異なる中間層があっても構わない。尚、第1回折格子14の凸部14aの傾斜面14c及び第2回折格子15の凹部15aの傾斜面15cは、非球面状又は球面状に湾曲していてもよい。一方、第1光学部材10の接合面10aとは反対側の表面10bと、第2光学部材11の接合面11aとは反対側の表面11bとは、相互に平行な平面に形成されている。図1に示すように、例えば、第1光学部材10側から回折光学素子1に入射した光は、回折格子13でもって回折されて第2光学部材11側から出射されるようになっている。尚、第1光学部材10の表面10bと第2光学部材11の表面11bとは平行でなくてもよい。また、第1光学部材10の表面10bと第2光学部材11の表面11bとは、平面ではなく、非球面状又は球面状に湾曲していてもよい。前記第2光学部材11は、樹脂層16の中に複数の空孔17,17,...が分散されている。空孔17は、略球状に形成されている。樹脂層16中では、複数の空孔17,17,...がそれぞれ分離した状態で存在する場合に限られず、複数の空孔17,17,...が連結された状態でも存在する。また、空孔17は、球状がつぶれた形状でも存在し得る。また、空孔17内は、気体例えば、空気、二酸化炭素等で満たされている。すなわち、空孔17は、気泡である。空孔17は、空隙部の一例である。第2光学部材11内に複数の空孔17,17,...を形成することによって、第2光学部材11の光学定数を変化させることができる。具体的には、第2光学部材11内に複数の空孔17,17,...を形成することによって、第2光学部材11の実効屈折率を、空孔17が形成されていない場合と比較して低下させることができる。詳しくは後述するが、これにより、回折光学素子1として採用できる第2光学部材11の材料選択の幅、さらには、第1光学部材10の材料選択の幅を広げることができる。空孔17の平均径は、回折光学素子1が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下であることが好ましい。例えば、回折光学素子1の対象波長が400~700nmであるとすると、空孔17の平均径は、20nm以下であることが好ましい。このように構成することで、第2光学部材11に光が入射した際の光の散乱を抑えることができる。あるいは、第2光学部材11に含まれる空孔17,17,...のうち、直径が回折光学素子1の対象波長の最短波長の1/20以下であるものが95以上であることが好ましい。この構成によっても、第2光学部材11に光が入射した際の光の散乱を抑えることができる。また、複数の空孔17,17,...は、第2光学部材11の樹脂層16内に一様に拡がっている。すなわち、複数の空孔17,17,...は、樹脂層16の一箇所に固まっているのではない。詳しくは、第2光学部材11を第2回折格子15の単位周期構造即ち、凹部15aごとに光軸に平行な面で複数の領域11d,11d,...に分割した場合に、隣り合う2つの領域11d,11dにおいて、一方の領域11d中の前記空孔17,17,...の体積比率をp1、他方の領域11d中の前記空孔17,17,...の体積比率をp2とすると、以下の式1が成り立つことが好ましい。0.9×p2<p1<1.1×p21上記式1を満たすことにより、複数の領域11d,11d,...間での空孔17,17,...の量のばらつきが小さくなる。つまり、複数の空孔17,17,...が、第2光学部材11の樹脂層16内に一様に拡がった状態となる。さらに、隣り合う2つの前記領域11d,11dにおいて、一方の領域11dに含まれる空孔17,17,...の平均径をd1、他方の領域11dに含まれる空孔17,17,...の平均径をd2とすると、以下の式2が成り立つことが好ましい。0.9×d2<d1<1.1×d22上記式2を満たすことにより、複数の領域11d,11d,...間での空孔17,17,...のサイズのばらつきが小さくなる。さらにまた、隣り合う2つの前記領域11d,11dにおいて、一方の領域11dの所定の波長λに対する屈折率をn1λ、他方の領域11dの所定の波長λに対する屈折率をn2λとすると、以下の式3が成り立つことが好ましい。所定の波長λは、回折光学素子1の対象波長中の任意の波長とすることが好ましく、例えば、d線の波長である。0.9×n2λ<n1λ<1.1×n2λ3上記式3を満たすことにより、複数の領域11d,11d,...間での屈折率のばらつきが小さくなる。次に、このように構成された回折光学素子1の製造方法の一例について簡単に説明する。まず、第1回折格子14の反転形状が形成された金型を用意する。この金型に軟化したガラス材料を充填する。こうして、第1光学部材10を成形する。続いて、別の金型内に、第1光学部材10を第1回折格子14が金型の内方を向く状態で設置する。つまり、第1回折格子14が、金型と協働してキャビディを形成する。そして、第1光学部材10が設置された金型内に紫外線硬化樹脂材料を充填する。この結果、第1回折格子14の谷の部分に樹脂が流れ込む。この紫外線硬化樹脂材料には、紫外線硬化モノマーとそれに相溶する空隙部形成剤ポロジェンとが混合されている。紫外線硬化モノマーは、紫外線に反応してポリマーに変化する。ここで使用されるポロジェンは、モノマーには相溶するが、ポリマーには相溶しない材料である。つまり、硬化した後の紫外線硬化樹脂材料の中に、ポロジェンがポリマーから分離した状態で存在する。紫外線で硬化させた後にポリマー中に含まれるポロジェンを取り除く洗浄工程を経ることで材料中に多数の空孔17,17,...が存在する第2光学部材11が第1光学部材10の第1回折格子14上に積層される。そして、第1回折格子14と重なり合う第2回折格子15を有する第2光学部材11が成形される。尚、この製造方法は一例であって、回折光学素子1を製造できる限りにおいては、任意の製造方法を適用することができる。ポロジェンの含有量を調整することによって、空孔17,17,...の量を調節することができる。また、ポロジェンのサイズを調節することによって、空孔17,17,...のサイズを調節することができる。本実施形態のように、回折光学素子1が交換レンズ200に用いられる場合には、白色光を対象とするため、回折効率の波長依存性が低いことが望まれる。そのため、回折光学素子1は下記式4を満たすことが好ましい。-630≦M≦-4554ただし、M={n1λ2-n2λ2}/{n1λ1-n1λ3-n2λ1n2λ3}、n1λ:波長λの入射光に対する第1光学部材の屈折率、n2λ:波長λの入射光に対する第2光学部材の屈折率、λ1:0486133μm、λ2:0587562μm、λ3:0656273μm、である。詳しくは、式4において、λ1はF線の波長、λ2はd線の波長、λ3はC線の波長である。つまり、Mの分子は、第1光学部材10の基準屈折率n1λ2と第2光学部材11の基準屈折率n2λ2との差であり、Mの分母は、第1光学部材10の主分散n1λ1-n1λ3と第2光学部材の主分散n2λ1-n2λ3との差である。ここで、主分散とは、F線に対する屈折率とC線に対する屈折率との差である。すなわち、Mは、第1光学部材10と第2光学部材11との間の主分散の変化量差に対する、第1光学部材10と第2光学部材11との間の基準屈折率の変化量差を表しており、本明細書においては、Mを材料間の傾きと称する。回折光学素子1の回折効率の波長依存性は、この材料間の傾きMに応じて変化する。そして、式1を満たすように第1及び第2光学部材10、11を選択し、その第1及び第2光学部材10、11を用いて回折光学素子1を作製することによって、回折光学素子1の回折効率を可視波長域波長が0.400~0.700μmの領域の全域に亘って一様に高くすることができる。つまり、可視波長域の全域に亘る回折効率の波長依存性を低減させると共に、可視波長域の全域における回折効率の平均値以下、可視平均回折効率というを向上させることができる。図3aは、材料間の傾きMを満たすように選択した、第1及び第2光学部材10、11の組合せを示すグラフである。図3aのグラフの縦軸は、基準屈折率nλdであり、横軸は、主分散nλF-nλCである。図3a中の点A~Dは、第1光学部材10に用いられる材料の一例であり、点E~Hは、第2光学部材11に用いられる材料の一例である。点A~Hの具体的な光学定数を以下の表1に示す。これらは、第1光学部材10および第2光学部材11に用いられる材料の一例を示すものであって、その全てを網羅しているわけではない。点Aと点Eとを結ぶ直線の傾きは-6.22であり、この直線の傾きは、材料間の傾きMに相当する。材料Aと材料Eとの組み合わせは、材料間の傾きMに関する式4の関係を満たしている。また、点Bと点Fとを結ぶ直線の傾き、および、点Dと点Hとを結ぶ直線の傾きは、それぞれ-6.18-6.20であり、材料Bと材料Fとの組み合わせも、材料Dと材料Hとの組み合わせも、材料間の傾きMに関する式4の関係を満たしている。このように材料間の傾きMが所定の値となるように第1及び第2光学部材10、11を選択することによって、所望の光学特性を実現する回折光学素子1を得ることができる。しかし、点Cと点Gとを結ぶ直線の傾きは、0.64であり、式4を満たさない。このように、材料Cの組み合わせで式4を満たすような第2光学部材11の光学材料が存在しないことがある。すなわち、材料間の傾きMに関する所定の条件を満たすような光学材料の組み合わせが存在しない場合がある。例えば、所望のガラス材料は存在するが、このガラス材料に対応する樹脂材料が存在しないという場合である。また、材料間の傾きMに関する所定の条件を満たす光学材料の組み合わせが存在したとしても、その光学材料が成形が難しい材料である可能性もある。例えば、選択したガラス材料の成形温度が高いため、成形が困難であるような場合である。また、材料間の傾きMに関する所定の条件を満たし、かつ、成形が容易な光学材料の組み合わせが存在したとしても、2つの材料間の屈折率差が小さい場合もある。一般に、成形が容易な材料は、屈折率が低い場合が多い。しかし、低屈折率材料同士を組み合わせると、2つの材料間の屈折率差が小さくなる傾向がある。屈折率差が小さいほど、回折格子の高さが高くなる。その結果、光が回折格子に斜入射する際の回折効率が低下してしまい、所望の光学特性が得ることが困難になる。このように、回折光学素子1に適した材料を選択する際には、様々な制約がある。つまり、実在する光学材料の中では、材料選択の自由度は小さい。そこで、本実施形態に係る回折光学素子1では、第2光学部材11の内部に複数の空隙部を形成している。具体的には、第2光学部材11は、内部に複数の空孔17,17,...を備えている。これにより、第2光学部材11の光学定数を変化させることができる。具体的には、第2光学部材11の実効屈折率を低下させることができる。図3bは、光学部材の内部に空隙部を設けることによる光学定数の変化を示すグラフである。光学部材に対する空隙部の体積比率を大きくすることによって、該光学部材の実効的な光学定数は空気の光学定数に近づく。すなわち、光学部材の内部に複数の空隙部を設けることによって、その光学部材の実効屈折率を下げることができる。つまり、回折光学素子1の一方の光学部材の光学定数を変化させることによって、材料間の傾きMに関する所定の条件を満たすような光学材料の組み合わせを実現することができる。具体的に、図3bの点Cおよび点Gを例にして説明する。点Cと点Gとを結ぶ直線の傾きは、上記式4を満たさない。つまり、材料Cと材料Gとを組み合わせたとしても、所望の光学特性を有する回折光学素子1を得ることができない。しかし、材料Gの内部に空隙部を形成することによって、点Gは、図3bの曲線L上を移動する。つまり、材料Gは、図3bの曲線L上の任意の点に対応する光学定数を取り得る。空隙部の体積比率を調整することによって、材料Gの光学定数を曲線Lに沿う範囲で任意に調整することができる。例えば、材料Gの光学定数を点G ́に対応する光学定数となるように調整することができる。点G ́に対応する光学定数は、屈折率ndが1.69、アッベ数νdが17.0である。点Cと点G ́とを結ぶ直線の傾きは-5.40であり、材料Cと材料G’との組み合わせは上記式4を満たす。この結果、最適な組み合わせ相手が存在しなかったために使用することができなかった材料Cも、使用可能となる。したがって、本実施形態では、第2光学部材11の内部に複数の空隙部を形成することによって、第2光学部材11の光学定数を調整することができる。それにより、所望の光学定数を有する第1及び第2光学部材10,11を積層させて、所望の光学性能を有する回折光学素子1を実現することができる。つまり、第2光学部材11を構成する光学材料そのものが所望の光学定数を有さなかったとしても、第2光学部材11に空隙部を形成することによって、第2光学部材11の光学定数を、所望の光学性能を有する回折光学素子1を実現するための所望の値に調整することができる。その結果、第1及び第2光学材料10,11の光学材料を選択する際の制約を取り除くことができ、材料選択の自由度を大きくすることができる。また、空孔17の平均径を回折光学素子1が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下とすることによって、第2光学部材11に光が入射した際の光の散乱を抑えることができる。さらに、第2光学部材11を凹部15aごとに複数の領域11d,11d,...に分割して、隣り合う2つの領域11d,11dにおいて、一方の領域11d中の前記空孔17,17,...の体積比率をp1、他方の領域11d中の前記空孔17,17,...の体積比率をp2とした場合に上記式1を満足させることによって、空孔17,17,...を第2光学部材11内に一様に散在させることができる。これにより、光学定数を第2光学部材11内で均一にすることができる。さらにまた、隣り合う2つの前記領域11d,11dにおいて、一方の領域11dに含まれる空孔17,17,...の平均径をd1、他方の領域11dに含まれる空孔17,17,...の平均径をd2とした場合に上記式2を満足させることによって、散乱の程度を第2光学部材11内で均一にすることができる。また、隣り合う2つの前記領域11d,11dにおいて、一方の領域11dの所定の波長λに対する屈折率をn1λ、他方の領域11dの所定の波長λに対する屈折率をn2λとした場合に上記式3を満足させることによって、波長λに対する屈折率を第2光学部材11内で均一にすることができる。《発明の実施形態2》続いて、実施形態2に係る回折光学素子201について説明する。図4は、実施形態2に係る回折光学素子201の概略断面図を示す。実施形態2に係る回折光学素子201は、第2光学部材211の構成が実施形態1の第2光学部材11と異なる。そこで、実施形態1と同様の構成は、同様の符号を付して説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。詳しくは、第2光学部材211は、複数の微粒子18,18,...が堆積して形成されている。第2光学部材211は、その微粒子18,18,...間に空隙部19,19,...が形成されている。微粒子18は、例えば、樹脂材料である。微粒子18は、略球形状をしている。微粒子18は、完全な球形状で存在するものもあれば、複数の微粒子18,18,...が結合して、球形状を維持していないものも存在する。第2光学部材211内に複数の空隙部19,19,...を形成することによって、第2光学部材211の光学定数を変化させることができる。具体的には、第2光学部材211内に複数の空隙部19,19,...を形成することによって、第2光学部材211の実効屈折率を、空隙部19が形成されていない場合と比較して低下させることができる。すなわち、第2光学部材211における空隙部19,19,...の体積比率即ち、第2光学部材11の体積に対する空隙部19,19,...の体積の比率を増加させることによって、第2光学部材211の実効屈折率を低下させることができる。詳しくは後述するが、これにより、回折光学素子201として採用できる第2光学部材211の材料選択の幅、さらには、第1光学部材10の材料選択の幅を広げることができる。微粒子18の平均径は、回折光学素子201が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下であることが好ましい。例えば、回折光学素子201の対象波長が400~700nmであるとすると、微粒子18の平均径は、20nm以下であることが好ましい。このような構成にすることで、第2光学部材211に光が入射した際の光の散乱を抑えることができる。あるいは、第2光学部材211に含まれる微粒子18,18,...のうち、直径が回折光学素子201が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下であるものが95以上を占めることが好ましい。この構成によっても、第2光学部材211に光が入射した際の光の散乱を抑えることができる。また、第2光学部材211を第2回折格子15の単位周期構造即ち、凹部15aごとに光軸に平行な面で複数の領域11d,11d,...に分割した場合に、隣り合う2つの領域11d,11dにおいて、一方の領域11d中の前記微粒子18,18,...の平均径をv1、他方の領域11d中の前記微粒子18,18,...の平均径をv2とすると、以下の式5が成り立つことが好ましい。0.9×v2<v1<1.1×v25上記式4を満たすことにより、複数の領域11d,11d,...間での微粒子18,18,...のサイズのばらつき、ひいては、空隙部19,19,...のサイズのばらつきが小さくなる。次に、回折光学素子201の製造方法の一例について簡単に説明する。まず、第1回折格子14の反転形状が形成された金型を用意する。この金型に軟化したガラス材料を充填する。こうして、第1光学部材10を成形する。続いて、別の金型内に、第1光学部材10を第1回折格子14が金型の内方を向く状態で設置する。第2光学部材211の形成は、一般的なゾル-ゲル法を用いる。第1光学部材10が設置された金型内に樹脂材料微粒子を含んだゾル又はゲルを塗布する。ゾル又はゲルを塗布した状態で熱処理をすることにより内部に残された溶媒を取り除き、緻密化を促進させることによって、樹脂微粒子が積層し、内部に空隙部19,19,...が存在する第2光学部材211を得ることができる。この結果、第1回折格子14と重なり合う第2回折格子15を有する第2光学部材211が成形される。尚、この製造方法は一例であって、回折光学素子201を製造できる限りにおいては、任意の製造方法を適用することができる。《発明の実施形態3》続いて、実施形態3に係る回折光学素子301について説明する。図5は、実施形態3に係る回折光学素子301の概略断面図を示す。実施形態3に係る回折光学素子301は、第2光学部材311の構成が実施形態1の第2光学部材11と異なる。そこで、実施形態1と同様の構成は、同様の符号を付して説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。詳しくは、第2光学部材311は、樹脂層16と、樹脂層16中に分散された複数の中空シリカ微粒子20,20,...とを備える。中空シリカ微粒子20は、シリカで構成された略球形状の微粒子である。中空シリカ微粒子20は、内部に空孔が形成されて、中空状となっている。中空シリカ微粒子20は、内部に空隙部を有する微粒子の一例である。第2光学部材311に中空シリカ微粒子20,20,...を含有させることによって、第2光学部材311の内部に複数の空孔を形成することができる。第2光学部材311内に複数の空孔を形成することによって、実施形態1と同様に、第2光学部材311の光学定数を変化させることができる。詳しくは、第2光学部材311の実効屈折率を低下させることができる。ここで、第2光学部材311の光学定数は、シリカの存在も考慮する必要がある。そのため、第2光学部材に単純に空孔を形成する場合と比較して、シリカを含む分だけ、第2光学部材311の実効屈折率を低下させる効果は小さい。しかしながら、樹脂層16中への中空シリカ微粒子20,20,...の分散が容易であるため、容易に製造できる等のメリットがある。また、中空シリカ微粒子20中の空隙部の体積比率を大きくすることによって、実効屈折率が空気に近い中空シリカ微粒子20を構成することもできる。こうすることによって、実効屈折率を下げるという効果について、実施形態1や実施形態2と同様の効果が得ることもできる。ここで、第2光学部材311の実効屈折率を求めるためには、まず、中空シリカ微粒子20のシリカと空孔との体積比率から中空シリカ微粒子20の実効屈折率を求める。その後、樹脂層16に対する中空シリカ微粒子20,20,...の体積比率から第2光学部材311全体の実効屈折率を求める。尚、内部に空隙部を有する微粒子は、中空シリカ微粒子20に限らない。例えば、メソポーラスシリカなど、別の内部に空隙部を持つ微粒子でもよい。中空シリカ微粒子20の平均径は、回折光学素子301が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下であることが好ましい。例えば、回折光学素子301の対象波長が400~700nmであるとすると、中空シリカ微粒子20の平均径は、20nm以下であることが好ましい。このような構成にすることで、第2光学部材311に光が入射した際の光の散乱を抑えることができる。あるいは、第2光学部材311に含まれる中空シリカ微粒子20,20,...のうち、直径が回折光学素子301が対象とする入射光の波長域における最短波長の1/20以下であるものが95以上を占めることが好ましい。この構成によっても、第2光学部材311に光が入射した際の光の散乱を抑えることができる。次に、本実施形態に係る回折光学素子301の製造方法の一例について簡単に説明する。まず、第1回折格子14の反転形状が形成された金型を用意する。この金型に軟化したガラス材料を充填する。こうして、第1光学部材10を成形する。続いて、別の金型内に、第1光学部材10を第1回折格子14が金型の内方を向く状態で設置する。そして、第1光学部材10が設置された金型内に、中空シリカ微粒子20,20,...を混合した紫外線硬化樹脂材料を充填する。空隙部は中空シリカ微粒子20中に含まれているため、紫外線硬化樹脂材料中に中空シリカ微粒子20,20,...を均等に分散させればよい。次に、紫外線硬化樹脂材料に紫外線を照射し、硬化させる。これによって材料中に多数の空隙部が存在する第2光学部材311が第1光学部材10の第1回折格子14上に積層される。この結果、第1回折格子14と重なり合う第2回折格子15を有する第2光学部材311が成形される。尚、この製造方法は一例であって、回折光学素子301を製造できる限りにおいては、任意の製造方法を適用することができる。本実施例では、様々な材料の組合せで構成された回折光学素子のモデルを作製し、その回折効率をシミュレーションにより求めた。まず、回折光学素子の回折効率の求め方について説明する。図6は、模式的な回折格子の断面図である。図6に示すような回折格子13について考える。このとき、下記式6、7が成り立つ。φλ=h/λ×{n1λcosθm-n2λcosθi}6n2λsinθm=n1λsinθimλ/P7ここで、φλ:位相差h:格子高[μm]λ:波長[μm]m:回折次数n1λ:第1光学部材の波長λに対する屈折率n2λ:第2光学部材の波長λに対する屈折率θi:入射角[°]θm:m次回折角[°]P:周期格子ピッチ[μm]である。この位相差φλを用いて、波長λの入射光に対するm次回折光の回折効率ηmλを下記式8により求めることができる。ηmλ=sinc2φλ-m8ここでは、光軸と平行な方向に入射する光に対する1次回折光の回折効率を求めるため、θi=0、m=1とする。また、通常、P≫λとなる。そのため、式7より、θm=0となる。その結果、式6、8はそれぞれ、φλ=h/λ×{n1λ-n2λ}9η1λ=sinc2φλ-110となる。すなわち、式9に基づいて、波長λを可視波長域で変化させることによって、可視波長域の各波長λに対する位相差φλを求めることができる。さらに、その位相差を式10に代入することによって、可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率η1λを求めることができる。そして、求められた回折効率η1λを可視波長域に亘って平均することによって、可視波長域における1次回折光の回折効率η1λの平均値である可視平均回折効率ηを求めることができる。ただし、式9は、波長λだけでなく、格子高hの関数でもある。格子高hは、ブレーズ波長λbによって決まる。つまり、ブレーズ波長λbのときは回折効率ηmλが1即ち、100となるため、式8より、φλb-m=0となる。ここでは、1次回折光を対象としているため、m=1とすると、φλb=1となる。これを式9に代入して整理すると、h=λb/{n1λb-n2λb}11となる。ここで、d線に対する屈折率nd及びアッベ数νdが既知の材料については、各波長λ[μm]に対する屈折率nλは、以下に示すヘルツベルガーの式12~14に基づいて算出することができる。Aλ=0088927×λ2-1294878037349/λ2-00350005799/λ2-0035212Bλ=0001255-0007058×λ20001071/λ2-0035-0000218/λ2-0035213nλ=1nd-1×{1BλAλ/νd}14したがって、まず、ブレーズ波長λbと第1及び第2光学部材10、11の材料即ち、第1光学部材10のd線に対する屈折率n1λd及びアッベ数νd1と、第2光学部材11のd線に対する屈折率n2λd及びアッベ数νd2を決める。次に、式12~14に基づいて、ブレーズ波長λbに対する、第1光学部材10の屈折率n1λbと第2光学部材11の屈折率n2λbとを求め、それらを式11に代入して格子高hを求める。求めた格子高hを式9に代入すると共に、波長λを可視波長域で変化させながら、式10によって各波長λに対する1次回折光の回折効率η1λを求める。このとき、各波長λに対する、第1光学部材10の屈折率n1λと第2光学部材11の屈折率n2λは、式12~14に基づいて求める。最終的に、各波長λに対する1次回折光の回折効率η1λを可視波長域に亘って平均して可視平均回折効率ηを求める。本実施例では第2光学部材11の内部に空隙部を設けているために実効屈折率が変化する。その値はLorentzLorenzの式に基づいた以下の式15で求められる。以下、図2に示した実施形態1に係る回折光学素子1を例にして説明する。ここで、npは第2光学部材11の実効屈折率、nbは樹脂層16の屈折率、Vpは空孔17の体積比率である。尚、式15は、図4に示した実施形態2の構成でも同様の式が適用できる。このとき、nbは樹脂からなる微粒子18の屈折率、Vpは空隙19の体積比率である。また、式15は、図5示した実施形態3の中空シリカ微粒子20の実効屈折率を求める場合にも適用できる。このとき、npは中空シリカ微粒子20の実効屈折率、nbはシリカの屈折率、Vpはシリカ内部の空隙の体積比率である。なお、図5に示した実施形態3の構成での第2光学部材11の実効屈折率は、以下の式で求められる。npnbnsVs16ここでnpは第2光学部材11の実効屈折率、nbは樹脂材料16の屈折率、nsは中空シリカ20の実効屈折率式15で求めたnp:中空シリカ微粒子20の実効屈折率、Vsは中空シリカ微粒子20の第2光学部材11中の体積比率である。これらの式から第2光学部材11の実効屈折率を求め、所望の材料間の傾きMを得られる材料を選択し、式8から可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率を求めた。以下、回折光学素子の実施例について説明する。比較例1比較例1では、第1光学部材10を、d線に対する屈折率n1λdが1.697、アッベ数νd1が48.5のガラス住田光学ガラス製K-LaFn2とし、第2光学部材11を、d線に対する屈折率n2λdが1.6293、アッベ数νd2が23.5の紫外線硬化樹脂とした。格子高は、8.68[μm]とした。式8を用いて、可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率を計算した。図7に示すように回折効率は、可視波長域全域で良好であった。しかし、第1光学部材10に用いたK-LaFn2の成形温度は比較的高い。具体的には、金型に形成された回折形状を転写できる温度が650°C以上必要となる。その結果、K-LaFn2を成形するための金型材料が制限されるため回折光学素子の生産は容易ではない。実施例1-1そこで、実施例1-1は、第2光学部材11内に空隙部を備える回折光学素子とした。第2光学部材11内の空孔17,17,...の体積比率を8とした。これにより、第2光学部材11の、d線に対する実効屈折率n2λdは1.5678、実効アッベ数νd2は24.2となった。次に、実効屈折率が低下した第2光学部材11に対応する第1光学部材10として、d線に対する屈折率n1λdが1.62374、アッベ数νd1が47.1のガラス住田光学ガラス製K-BaF8を選んだ。格子高は10.61μmとした。図8に示すように、実施例1-1の可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率は、比較例1の回折効率と同様に良好である。第1光学部材10に用いたK-BaF8は金型に形成された回折形状を550°C以下で転写できるので、比較例1に用いたK‐LaFn2と比較して製造しやすい。実施例1-2さらに、実施例1-2として、実施例1-1の第2光学部材11内の空隙部を増やした回折光学素子のモデルを作成した。具体的には、第2光学部材11内の空孔17,17,...の体積比率を19.5にした。これにより、第2光学部材11の、d線に対する実効屈折率n2λdは1.4841、実効アッベ数νd2は25.1となる。第1光学部材10は、d線に対する屈折率n1λdが1.5425、アッベ数νd1が62.9のガラス住田光学ガラス製K-PG375を選んだ。格子高は10.07μmとした。図9に示すように、実施例1-2の可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率は、比較例1の回折効率と同様に良好である。第1光学部材10に用いたK‐PG375は、金型に形成された回折形状を400°C以下で転写できるので、実施例1-1のK‐BaF8と比較してより製造しやすい。実施例1-1及び1-2のように、第2光学部材11の空隙部の体積比率を変化させて実効屈折率を調整することによって、その実効屈折率に対応した第1光学部材10の光学材料として、調整前とは異なる光学材料を選択することができる。つまり、成形の難易やコスト等で有利な材料を選択することができる。実施例2実施例2では、第1光学部材10を、d線に対する屈折率n1λdが1.61035、アッベ数νd1が57.9のガラス住田光学ガラス製K-VC79とし、第2光学部材211を、d線に対する屈折率n2λdが1.5980、アッベ数νd2が28.0の紫外線硬化樹脂とした。本来、本実施例の材料の組み合わせは、材料間の傾きMが上記式4を満たさないので、可視波長域全域で回折効率が良好な回折光学素子を作製することができない。そこで、第2光学部材211内に空隙部を形成した。第2光学部材11内に体積比率5の空隙部を設けた。これにより、第2光学部材211の、d線に対する実効屈折率n2λdが1.5616、実効アッベ数νd2が28.5となる。格子高は12.18μmとした。式8を用いて可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率を計算すると、図10のように可視波長域全域で良好な回折効率を得られた。実施例3実施例3では、第1光学部材10を、d線に対する屈折率n1λdが1.49、アッベ数νd1が58.0のPMMAとし、第2光学部材11を、d線に対する屈折率n2λdが1.5980、アッベ数νd2が28.0の紫外線硬化樹脂とした。本来、本実施例の材料の組み合わせは、材料間の傾きMが上記式4を満たさないので、可視波長域全域で回折効率が良好な回折光学素子を作製することができない。そこで第2光学部材11内に空隙部を形成した。本実施例では、第2光学部材11内に体積比率20.5の空隙部を設けた。これにより、第2光学部材11の、d線に対する実効屈折率n2λdが1.4548、実効アッベ数νd2が29.9となる。格子高は16.88μmとした。式8を用いて可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率を計算すると、図11のように可視波長域全域で良好な回折効率を得られた。実施例4実施例4では、第1光学部材10を、d線に対する屈折率n1λdが1.81、アッベ数νd1が41.0のガラス住田光学ガラス製K-VC89とし、第2光学部材11を、d線に対する屈折率n2λdが2.14352、アッベ数νd2が17.8のガラス住田光学ガラス製K-PSFn214とした。本来、本実施例の材料の組み合わせは、材料間の傾きMが上記式4を満たさないので、可視波長域全域で回折効率が良好な回折光学素子を作製することができない。そこで第2光学部材11内に空隙部を形成した。本実施例では、第2光学部材11内に体積比率26.5の空隙部を設けた。これにより、第2光学部材11は、d線に対する実効屈折率n2λdが1.7336、実効アッベ数νd2が21.9となる。格子高は7.77μmとした。式8を用いて可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率を計算すると、図11のように可視波長域全域で良好な回折効率を得られた。実施例5実施例5では、第1光学部材10を、d線に対する屈折率n1λdが1.48563、アッベ数νd1が85.2のガラス住田光学ガラス製K-PFK85とし、第2光学部材11を、d線に対する屈折率n2λdが1.6293、アッベ数νd2が23.5の仮想樹脂とした。本来、本実施例の材料の組み合わせは、材料間の傾きMが上記式4を満たさないので、可視波長域全域で回折効率が良好な回折光学素子を作製することができない。そこで第2光学部材11内に空隙部を形成した。本実施例では、空隙部の体積比率が50のシリカ微粒子を用いた。シリカ微粒子の、d線に対する実効屈折率nsλdが1.21、実効アッベ数νdsが74.5である。ただし、シリカの、d線に対する屈折率nbλdは1.45、アッベ数νdbは68である。本実施例では、このシリカ微粒子を第2光学部材311内に体積比率が47.0となるよう混合した。これにより、第2光学部材311は、d線に対する実効屈折率n2λdが1.43、実効アッベ数νd2が27.9となる。格子高は11.23μmとした。式8を用いて可視波長域の各波長λに対する1次回折光の回折効率を計算すると、図12のように可視波長域全域で良好な回折効率を得られた。《その他の実施形態》本発明は、前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。すなわち、前記実施形態では、回折光学素子1,201,301は、交換レンズ200に採用しているが、これに限られるものではない。回折光学素子1,201,301をカメラ100内のレンズ素子として適用してもよい。また、回折光学素子1,201,301は、レンズとして機能させる場合に限られず、それ以外の用途に適用してもよい。前記実施形態では、第1光学部材10をガラス材料で構成し、第2光学部材11211,311を樹脂材料で構成しているが、これに限られるものではない。第1光学部材10を樹脂材料で、第2光学部材11211,311をガラス材料で構成してもよいし、第1及び第2光学部材10、11211,311の両方をガラス材料又は樹脂材料で構成してもよい。また、第1及び第2光学部材10、11211,311は、ガラスや樹脂に限らず、透明セラミクス等の使用する波長域で透過性を有する材料で構成してもよい。また、前記実施形態では、回折光学素子1,201,301は、2層構造に限られない。回折光学素子1,201,301が3層以上の構造の場合には、少なくとも、複数の層のうちの、回折格子を挟んで隣接する2つの層において、一方の層に空隙部が形成されていればよい。また、前記実施形態では、第2光学部材11211,311に空隙部が形成されているが、これに限られるものではない。例えば、第2光学部材11211,311の代わりに第1光学部材10の内部に空隙部を形成してもよいし、第1及び第2光学部材10,11211,311の両方に空隙部を形成してもよい。ただし、積層させる2つの光学部材の屈折率差を大きくするためには、屈折率が相対的に小さい方の光学部材に空隙部を設けることが好ましい。このとき、屈折率が相対的に大きい方の光学部材に微粒子を混合させたナノコンポジットを用いてもよい。尚、屈折率差を小さくさせる場合には、屈折率が相対的に大きい方の光学部材に空隙部を設けてもよい。また、空隙部の形成方法は前記実施形態の方法に限られるものではない。光学材料中に空隙部を形成できる方法であれば、任意の方法を採用することができる。尚、ガラス材料や樹脂材料自体が、多孔性を有する材料であってもよい。尚、図14に示すように格子高がばらついている場合には、光軸に平行な線に対する、隣り合う一方の斜面との交点と、他方の斜面との交点との距離を格子高hとする。尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。"