円筒状の外方部材と、外方部材の内周に挿入された軸と、外方部材の内周面と軸の外周面との間に介在する円筒状のフォイル部材とを具備し、フォイル部材に、ラジアル軸受隙間を形成する軸受面を設け、ラジアル軸受隙間に生じた流体膜で軸と外方部材の相対回転を支持するフォイル軸受において、一枚のフォイル部材に、軸受面と、軸受面を弾性的に支持するばね部とを設けたことを特徴とするフォイル軸受。フォイル部材に舌片部を形成し、舌片部を塑性変形させてばね部を構成した請求項1記載のフォイル軸受。舌片部を周方向の折り返し線で折り返して、ばね部と軸受面を半径方向でオーバーラップさせた請求項2記載のフォイル軸受。舌片部の前記折り返し線を軸受面の軸方向両側に設けた請求項3記載のフォイル軸受。ばね部と軸受面とを軸方向で異なる位置に形成した請求項1または2記載のフォイル軸受。ばね部を軸方向の複数個所に離隔形成すると共に、軸方向で隣接するばね部の間に軸受面を配置した請求項1~5何れか1項に記載のフォイル軸受。ばね部を軸方向の二箇所に形成した請求項6記載のフォイル軸受。ばね部を軸方向の三箇所に形成した請求項6記載のフォイル軸受。ばね部を円周方向の複数個所に設けた請求項1~8何れか1項に記載のフォイル軸受。フォイル部材を有端円筒状に形成し、フォイル部材の一端を外方部材に固定した請求項1~9何れか1項に記載のフォイル軸受。フォイル部材を有端円筒状に形成し、フォイル部材の一端を軸に固定した請求項1~9何れか1項に記載のフォイル軸受。ばね部を軸受面の外径側に配置して外方部材の内周面に摺動可能に接触させた請求項10記載のフォイル軸受。ばね部を軸受面の内径側に配置して軸の外周面に摺動可能に接触させた請求項11記載のフォイル軸受。軸受面に被膜を形成した請求項1~13何れか1項に記載のフォイル軸受。互いに摺動するばね部と外方材の内周面のうち、何れか一方又は双方に被膜を形成した請求項12記載のフォイル軸受。互いに摺動するばね部と軸の外周面のうち、何れか一方または相方に被膜を形成した請求項13記載のフォイル軸受。被膜が、表面を低摩擦化するものである請求項14~16何れか1項に記載のフォイル軸受。被膜を、DLC被膜、チタンアルミナイトライド被膜、二流化モリブデン被膜の何れかで形成した請求項17記載のフォイル軸受。ガスタービンのロータの支持に使用される請求項1~18何れか1項に記載のフォイル軸受。過給機のロータの支持に使用される請求項1~18何れか1項に記載のフォイル軸受。従来のフォイル軸受のうち、特許文献1~3に示すフォイル軸受では、トップフォイルとバックフォイルの二種類のフォイルが必要であり、部品点数が多くなる。また、組み立て工程も煩雑化しており、フォイル軸受のさらなる低コスト化を阻む要因になっている。特にバックフォイルは複雑な形状であることが多く、その製造工程が煩雑化する傾向にあることから、改善が要望されている。特許文献4~6に示すリーフ型のフォイル軸受では、複数のリーフを外方部材の内周にそれぞれ個別に取り付ける必要がある。そのため、煩雑な組み立て工程を要し、同様にコスト高となっている。そこで、本発明は、フォイル軸受の低コスト化を図ることを目的とする。上記目的を達成するため、本発明は、円筒状の外方部材と、外方部材の内周に挿入された軸と、外方部材の内周面と軸の外周面との間に介在する円筒状のフォイル部材とを具備し、フォイル部材に、ラジアル軸受隙間を形成する軸受面を設け、ラジアル軸受隙間に生じた流体膜で軸と外方部材の相対回転を支持するフォイル軸受において、一枚のフォイル部材に、軸受面と、軸受面を弾性的に支持するばね部とを設けたことを特徴とする。このように一枚のフォイル部材に軸受面と軸受面を弾性的に支持するばね部の双方を設けることにより、可撓性を有する軸受面を一枚のフォイル部材で形成することができる。そのため、部品点数の削減および組み立て工数の削減を通じて、フォイル軸受の低コスト化を図ることができる。ばね部は、フォイル部材に舌片部を形成し、舌片部を塑性変形させることで構成することができる。舌片部は、帯状フォイルにワイヤカット加工あるいはプレス加工を施すことで形成することができる。この場合、ばね部は、平面状、曲面状、円筒面状の何れかの形状に形成することができる。さらには、舌片部を軸方向の折り曲げ線で複数回折り返すことでばね部を形成することもできる。舌片部を周方向の折り返し線で折り返すことにより、ばね部と軸受面を半径方向でオーバーラップさせることができる。この場合、軸受面の背後にばね部が配置された形になって、軸受面が半径方向の弾性力で直接支持される。そのため、軸受面の許容変形量が大きくなり、ラジアル軸受隙間幅の自己調整能力が強化されて振動の減衰効果が高まる。舌片部を周方向の折り返し線で折り返した場合、この折り返し線が軸受面の軸方向一方側だけに存在すると、折り返し線で弾性力が生じるため、軸受面に僅かな傾きミスアライメントを生じるおそれがある。この傾きは、舌片部の前記折り返し線を軸受面の軸方向両側に設けることで解消することができる。ばね部と軸受面は、上記のように半径方向でオーバーラップさせる他、軸方向で異なる位置に形成してもよい。ばね部を軸方向の複数個所に離隔形成すると共に、軸方向で隣接するばね部の間に軸受面を配置することにより、軸受面の軸方向両側を弾性的に支持することができ、軸受面の撓み変形が安定化する。特にばね部を軸方向の二箇所に形成すれば単列のフォイル軸受を構成することができる。また、ばね部を軸方向の三箇所に形成すれば複列のフォイル軸受を構成することができ、モーメント荷重に対する軸受剛性の向上を図ることができる。ばね部を円周方向の複数個所に設けることで、軸受面に作用する弾性支持力を円周方向で均一化することができる。フォイル部材は有端の円筒状に形成することができる。フォイル部材の一端部は外方部材もしくは軸に固定する。前者の場合、ばね部を軸受面の外径側に配置して外方部材の内周面に摺動可能に接触させ、後者の場合、ばね部を軸受面の内径側に配置して軸の外周面に摺動可能に接触させるのが望ましい。これにより、軸受面の可撓性が高まり、フォイル部材による振動の減衰作用を強化することができる。フォイル部材の軸受面には、起動直後や停止直後の低速回転状態では、ラジアル軸受隙間を介して軸受面と対向する部材が摺接する。軸受面に被膜を形成することで、軸受面を保護し、摺接時における軸受面の摩耗を抑制することができる。上記のように、ばね部を軸受面の外径側に配置して外方部材の内周面に摺動可能に接触させた場合、互いに摺動するばね部と外方材の内周面のうち、何れか一方又は双方に被膜を形成するのが望ましい。この摺動部の摩擦特性はフォイル部材による振動減衰性を左右する。そのため、被膜を形成することで摺動部において最適な大きさの摩擦力を得ることができる。ばね部を軸受面の内径側に配置して軸の外周面に摺動可能に接触させた場合には、同様の理由から、互いに摺動するばね部と軸の外周面のうち、何れか一方または相方に被膜を形成するのが望ましい。上記の各被膜、特に軸受面の被膜としては、表面を低摩擦化するものを使用するのが望ましい。これにより起動直後や停止直後の摩擦トルクを減じて低トルク化を図ることができる。低摩擦の被膜として、DLC被膜、チタンアルミナイトライド被膜、二流化モリブデン被膜の何れかを使用することができる。DLC被膜やチタンアルミナイトライド被膜は硬質被膜であるため、これらを使用すれば、低摩擦化のみならず、耐摩耗性の向上による軸受寿命の増大を図ることもできる。以上に述べたフォイル軸受は、ガスタービンのロータの支持や、過給機のロータの支持に使用することができる。本発明によれば、部品点数を削減し、部品コストや組み立てコストの低廉化を通じてフォイル軸受の低コスト化を図ることができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1に、マイクロガスタービンと呼ばれるガスタービン装置の構成を概念的に示す。このマイクロガスタービンは、翼列を形成したタービン1および圧縮機2と、発電機3と、燃焼器4と、再生器5とを主に備える。タービン1、圧縮機2、および発電機3には、水平方向に延びる共通の軸6が設けられ、この軸6と、タービン1および圧縮機2とで一体回転可能のロータが構成される。吸気口7から吸入された空気は、圧縮機2で圧縮され、再生器5で加熱された上で燃焼器4に送り込まれる。この圧縮空気に燃料を混合して燃焼させ、高温、高圧のガスでタービン1を回転させる。タービン1の回転力が軸6を介して発電機3に伝達され、発電機3が回転することにより発電し、この電力がインバータ8を介して出力される。タービン1を回転させた後のガスは比較的高温であるため、このガスを再生器5に送り込んで燃焼前の圧縮空気との間で熱交換を行うことで、燃焼後のガスの熱を再利用する。再生器5で熱交換を終えたガスは、排熱回収装置9を通ってから排ガスとして排出される。図2に、上記マイクロガスタービンにおけるロータの支持構造の一例を示す。この支持構造では、軸方向の2箇所にラジアル軸受10を配置し、軸6のフランジ部6bの軸方向両側にスラスト軸受20、20を配置することにより、軸6がラジアル方向及び両スラスト方向に支持されている。この支持構造において、タービン1と圧縮機2の間の領域は、高温、高圧のガスで回転されるタービン1に隣接しているために高温雰囲気となる。この高温雰囲気では、潤滑油やグリース等からなる潤滑剤が変質蒸発してしまうため、これらの潤滑剤を使用する通常の軸受転がり軸受等を適用することは難しい。そのため、この種の支持構造で使用される軸受10、20としては、空気動圧軸受、特にフォイル軸受が適合する。以下、上記マイクロガスタービン用のラジアル軸受10に適合するフォイル軸受10の構成を図3~17に基づいて説明する。このフォイル軸受10は、図3に示すように、図示しないハウジングの内周に固定される円筒状の外方部材11と、外方部材11の内周に挿入された軸6と、外方部材11の内周面と軸6の外周面との間に介在させた有端円筒状のフォイル部材13とで構成される。図4に示すように、一枚のフォイル部材13に軸受面15とばね部16とが一体に形成される。軸受面15はフォイル部材13の内周面に形成され、孔や段差のない平滑な円筒面状をなす。ばね部16は、フォイル部材13を部分的に塑性変形させて設けられた半径方向に弾性変形可能な領域であり、図示例では、軸受面15の外径側に突出させた切り起こしでばね部16が構成されている。ばね部16は、円周方向の複数個所に等ピッチで設けられ、かつ軸受面15の軸方向両側に配設されている。フォイル部材13は、ばね性に富み、かつ加工性のよい金属、例えば鋼材料や銅合金からなる厚さ20μm~200μm程度の帯状フォイルで形成される。本実施形態のように流体膜として空気を用いる空気動圧軸受では、雰囲気に潤滑油が存在しないため、油による防錆効果は期待できない。鋼材料や銅合金の代表例として、炭素鋼や黄銅を挙げることができるが、一般的な炭素鋼では錆による腐食が発生し易く、黄銅では加工ひずみによる置き割れを生じることがある黄銅中のZnの含有量が多いほどこの傾向が強まる。そのため、帯状フォイルとしては、ステンレス鋼もしくは青銅製のものを使用するのが好ましい。以下、図4に示すフォイル部材13の製作手順を説明する。なお、以下で述べる軸方向、半径方向、および周方向の用語は、製作後のフォイル部材13を外方部材11の内周に組み込んだ状態での軸方向、半径方向、および周方向を意味する。具体的には、帯状フォイル30の短辺に沿う方向が軸方向となり、長辺に沿う方向が周方向となり、厚さ方向が半径方向となる。図5に示すように、上記金属製の帯状フォイル30を準備し、その両側縁の複数個所にワイヤカット加工やプレス加工等でL字型の切り込み31を形成する。この切り込み31は、軸方向の切り込み31a、および該切り込み31aの終端につながった周方向の切り込み31bで構成される。この切り込み31により、帯状フォイル30の軸方向両側にフラップ状をなす複数の舌片部60が形成される。次に、各舌片部60を、その根元の軸方向の折り曲げ線破線で示すで折り曲げて半径方向に起立させ、図6aに示すように、各舌片部60で切起こしを形成する。その後、各舌片部60を外径側にして帯状フォイル30を円筒状にローリングさせることで、図4に示すフォイル部材13が得られる。舌片部60は、図6aに示すように小さい角度θで折り曲げる他、同図bに示すように90°を越える大きな角度θで折り曲げてもよい。あるいは同図cに示すように、舌片部60を円弧状に折り曲げたり、同図dに示すように円形に丸めたりしてもよい。図6aおよびbの舌片部60であれば平面状のばね部16を形成することができ、同図cの舌片部60であれば曲面状のばね部16を形成することができ、同図dの舌片部60であれば円筒面状のばね部16を形成することができる。このように舌片部60の折り曲げ角度θを調整し、あるいは舌片部60の折り曲げ形態を変更することで、ばね部16のばね定数を最適値に調整することができる。このフォイル部材13は、外方部材11の内径側に配置した状態で、その一端を外方部材11の内周に取り付けることにより、外方部材11に固定される。例えば上述したフォイル部材13の製作工程で、帯状フォイル30の一端部に外径方向に起立する取り付け部13aを形成し、この取り付け部13aを外方部材11の内周に形成した嵌合溝11aに嵌合固定することで、フォイル部材13を外方部材11に固定することができる。嵌合溝11aへの取り付け部13aの固定方法は任意で、接着や溶接で固定することもできる。その後、フォイル部材13の内周に軸6を挿入することで、図3に示すフォイル軸受が完成する。フォイル部材13の他端部は、取り付け部13aの近接位置まで延びており、この他端部と取り付け部13aとの間には周方向の隙間tが存在する。また、図3に示すように、各ばね部16の先端が何れも外方部材11の内周面11bに弾性的に接触している。各ばね部16は板ばねとして機能し、これにより軸受面15がばね部16を介して外方部材11に弾性的に支持される。各ばね部16の先端部16aは外方部材11の内周面11bに固定されておらず、内周面11b上を摺動可能である。以上の構成において、軸6を図3の矢印の向きに回転させると、フォイル部材13の軸受面15と軸6の外周面6aとの間に空気膜が形成される。これにより、軸6の周囲に環状のラジアル軸受隙間Cが形成され、軸6がフォイル部材13に対して非接触の状態でラジアル方向に回転自在に支持される。なお、実際のラジアル軸受隙間7の幅は数十μm程度の微小なものであるが、図3ではその幅を誇張して描いている。フォイル部材13のうち、ばね部16の円周方向列を形成した領域の内径側では、舌片部60の折り曲げに伴って生じた隙間から空気が漏れるので、該領域の内径側で圧力を生じることはない。そのため、この領域でのフォイル部材13の内周面は、軸受面15としては機能しない。また、フォイル部材13が有する可撓性により、軸受面15が荷重や軸6の回転速度、周囲温度等の運転条件に応じて任意に変形するため、ラジアル軸受隙間Cは運転条件に応じた適切幅に自動調整される。加えて、軸受面15がばね部16によって弾性支持されていること、フォイル部材13の両端部間に隙間tが存在しており、フォイル部材13の拡縮変形が可能であること、さらにばね部16の先端部6aが外方部材11の内周面1bに対して摺動可能であること、等の個々のもしくはこれらを組み合わせた理由からラジアル軸受隙間幅の自己調整能力が強化され、かつ振動の減衰効果も得られる。そのため、高温高速回転といった過酷な運転条件でもラジアル軸受隙間を最適幅に管理することができ、軸6を安定して支持することが可能となる。特に上記フォイル軸受10では、一枚のフォイル部材13だけで上記各機能を得ることができる。そのため、部品コストや組み立てコストを削減することができ、フォイル軸受の低コスト化を図ることができる。フォイル軸受10では、軸6の停止直前や起動直後の低速回転時に、軸受面15や軸6の外周面6aの表面粗さ以上の厚さの空気膜の形成が期待できない。そのため、フォイル部材13と軸6の外周面6aとの間で金属接触を生じ、トルクの増大を招く。この時の摩擦力を減じてトルク低減を図るため、軸受面15には低摩擦の被膜を形成するのが望ましい。この種の被膜としては、例えばDLC膜、チタンアルミナイトライド膜、あるいは二硫化モリブデン膜を使用することができる。DLC膜、チタンやアルミナイトライド膜はCVDやPVDで形成することができ、二硫化モリブデン膜はスプレーで簡単に形成することができる。特にDLC膜やチタンアルミナイトライド膜は硬質であるので、これらの被膜を形成することで、軸受面15の耐摩耗性をも向上させることができ、軸受寿命を増大させることができる。このような被膜形成は、フォイル部材13が一枚のみで構成されていることもあり、効率よく行うことができる。軸受の運転中は、ばね部16の先端部16aと外方部材11の内周面11bとの間でも微小摺動が生じるため、この摺動部分、すなわちばね部16の先端部16aやこれと接触する外方部材11の内周面11bにも上記の被膜を形成することにより、耐摩耗性の向上を図ってもよい。なお、振動の減衰作用を向上させるためには、この摺動部である程度の摩擦力が存在する方が好都合な場合もあるので、この部分の被膜にはそれほど低摩擦性は要求されない。従って、この部分の被膜としては、DLC膜やチタンやアルミナイトライド膜を使用するのが好ましい。図7に本発明の他の実施形態を示す。この実施形態は、フォイル部材13の軸方向三箇所にばね部16を離隔形成し、軸方向で隣り合うばね部16の間に軸受面15を形成することで、複列の軸受面15を有する複列フォイル軸受10を構成した例である。このようにフォイル軸受10を複列化することで、モーメント荷重に対する軸受剛性を向上させることができ、フォイル軸受の用途拡大を図ることができる。例えば、図2に示すマイクロガスタービンでは、2つのラジアル軸受10を1個の軸受に置き換えることが可能となる。本発明の構成であれば、一枚のフォイル部材13で複列軸受を構成することができ、複列化に伴って部品点数や組み立て工数が増えることもなく、複列フォイル軸受の高コスト化を防止することができる。なお、フォイル部材13を製作する際、図5に示す帯状フォイル30への切り込み31の形成をワイヤカット加工で行うと、工数大となって高コスト化するので、切り込み31はプレス加工で形成するのが望ましい。以上の実施形態では、軸受面15とばね部16とを軸方向で別位置に形成したフォイル部材13を例示したが、軸受面15とばね部16を半径方向でオーバーラップさせることもできる。以下、図8~図10に基づいて、この種のフォイル部材13の製作工程を説明する。図8に示すように、先ず金属製帯状フォイル30の一方の側縁部にL字型の複数の切り込み31図5と同様に、軸方向の切り込み31aおよび周方向の切り込み31bで形成されるを形成し、舌片部60を構成する。この時、切り込みを有しない帯状部分32の幅寸法Waと舌片部60の幅寸法Wbとは等しくするWa=Wb。次いで、切り込み31で形成された各舌片部60を軸方向の折り返し線で複数回折り返し、図9に示すように折り畳み状態の舌片部60を形成する。図8では、各舌片部60における山折り線を破線で示し、谷折り線を二点鎖線で示している。また、帯状部分32の一端を折り曲げて取り付け部13aを形成する。次いで、図9の矢印で示すように、折り畳み状態の舌片部60をその根元の周方向の折り返し線33で折り曲げ、舌片部60を裏側に折り返して、図10に示すように、折り畳み状態の舌片部60を帯状部分32の背後に重ねる。その後、各舌片部60を外径側にして帯状フォイル30を円筒状にローリングさせる。これにより、帯状部分32の表面内周面を軸受面15とし、その外径側に折り畳み状態の舌片部60からなるばね部16を一体に有するフォイル部材13が得られる。図11に示すように、このフォイル部材13を外方部材11の内周に配置し、取り付け部13aを外方部材11の嵌合溝11aに嵌合固定し、さらにフォイル部材13の内周に軸6を挿入することでフォイル軸受10が完成する。この構成でも、ばね部16の先端部16aは外方部材11の内周面11bに摺動可能に接触する。図11に示すフォイル軸受10では、軸受面15と、その外径側のばね部16とが半径方向で完全にオーバーラップしている。この場合、軸受面15が半径方向の弾性力で直接支持されるため、軸受面の許容変形量が大きくなる。そのため、ラジアル軸受隙間幅の自己調整能力を強化することができ、振動の減衰効果をより高めることが可能となる。図12に、図8~図10の製作手順で製作したフォイル部材13の展開図を示す。このフォイル部材13では、折り畳み状態の舌片部60を周方向の折り返し線33で折り返しているため、折返し線33の周辺領域Sで弾性力を生じる。折り返し線33はフォイル部材13の軸方向一方側に偏在しているため、フォイル部材13を外方部材11に組み込んだ状態では、軸受面15に僅かなミスアライメントを生じるおそれがある。このミスアライメントが問題となる場合には、図10に示すフォイル部材13の製作工程において、図13に示すように、帯状フォイル30の帯状部分32の軸方向両側に舌片部60を形成するのが望ましい。その後、折り畳み状態の舌片部60を周方向の折り返し線33で折り返して帯状フォイル30をローリングさせると、図14に示すように、フォイル部材13の軸方向両側で周方向の折り返し線33の数が同じになるもしくは数の差が小さくなる。そのため、折り返し線33の周辺領域で生じる弾性力を軸方向両側で相殺し、軸受面15のミスアライメントを防止することができる。図13および図14の実施形態では、各舌片部60の周方向位置を軸方向両側で一致させ、かつ各舌片部60の幅寸法Wbを帯状部分32軸受面15の幅寸法Waの1/2とした場合Wb=Wa/2を例示している。同様の作用効果は、図15に示すように、各舌片部60の周方向位置を軸方向両側でずらした場合にも得ることができる。この場合、図16に示すように、帯状部分32軸受面15の幅寸法Waと各舌片部60の幅寸法Wbは等しくすることができる。以上の説明では、軸6を回転側部材とし、外方部材11を固定側部材とした場合を例示したが、これとは逆に軸6を固定側部材とし、外方部材11を回転側部材とした場合にも上記各実施形態の構成をそのまま適用することもできる。但し、この場合はフォイル部材13が回転側部材となるので、遠心力によるフォイル部材13全体の変形を加味してフォイル部材13の設計を行う必要がある。また、以上に述べた各実施形態では、フォイル部材13のばね部16を外径側に突出させてその先端部16aを外方部材11の内周面11bに接触させているが、図17に示すように、フォイル部材13のばね部16を軸受面15の内径側に突出させ、その先端部16aを軸6の外周面6aに接触させてもよい。この場合、軸受面15はフォイル部材13の外周面に形成され、この軸受面15と外方部材11の内周面11bとの間にラジアル軸受隙間Cが形成される。フォイル部材13の一端部の取り付け部13aは軸受面15の内径側に突出させ、例えば軸6に設けた嵌合溝6bに嵌合固定する。取り付け部3aはこれ以外にも接着や溶接で軸6に固定しても構わない。図17では外方部材11を回転側としているが、外方部材11を固定側としてもよい。但し、外方部材11を固定側とすると、フォイル部材13が回転側となるので、フォイル部材13の設計時には遠心力によるフォイル部材13の変形を考慮する必要がある。以上の構成でも上記各実施形態と同様の作用効果を得ることができる。本発明にかかるフォイル軸受10の適用対象は、上述したマイクロガスタービンに限られず、例えば過給機のロータを支持する軸受としても使用することができる。過給機は、図18に示すように、エンジン53で生じた排気ガスでタービン51を駆動し、その駆動力で圧縮機52を回転させて吸入エアを圧縮し、エンジン53のトルクアップや効率改善を図るものである。タービン51、圧縮機52、および軸6でロータが構成され、軸6を支持するラジアル軸受10として、上記各実施形態のフォイル軸受10を使用することができる。本発明にかかるフォイル軸受は、マイクロタービンや過給機に限らず、潤滑油などの液体による潤滑が困難である、エネルギー効率の観点から潤滑油循環系の補機を別途設けることが困難である、あるいは液体のせん断による抵抗が問題になる等の制限下で使用される自動車等の車両用軸受、さらには産業機器用の軸受として広く使用することが可能である。なお、以上に述べたフォイル軸受は、圧力発生流体として空気を使用した空気動圧軸受のみならず、圧力発生流体として潤滑油を使用した油動圧軸受としても使用することができる。