"吸気弁および排気弁の開閉弁の位相を目標位相まで変更する可変動弁手段と、排気側から吸気側への排ガスの還流量を調節するEGR弁と、過給機の過給効率を制御する過給効率制御手段と、吸入空気量を調節するスロットル弁と、を有し、前記EGR弁、前記過給効率制御手段、前記スロットル弁のうち少なくとも2つをフィードバック制御し、前記可変動弁手段をフィードフォワード制御する内燃機関であって、前記フィードフォワード制御は、前記内燃機関の運転状態に基づいて前記可変動弁手段の前記目標位相を変化させ、かつ、前記EGR弁、前記過給効率制御手段、前記スロットル弁のうち少なくとも2つのフィードバック制御の収束状態に応じて前記目標位相の変化率を制限することを特徴とする内燃機関の制御装置。前記内燃機関は、前記EGR弁、および前記過給効率制御手段をフィードバック制御し、前記フィードフォワード制御は、前記EGR弁、および前記過給効率制御手段のフィードバック制御の収束状態に応じて前記目標位相の変化率を制限することを特徴とする請求項1記載の内燃機関の制御装置。前記内燃機関は、目標過給圧と実過給圧との偏差に比例して設定される過給効率フィードバック比例項、および前記過給効率フィードバック比例項による制御の学習値である過給効率フィードバック積分項に基づいて前記過給効率制御手段のフィードバック制御を実行し、前記フィードフォワード制御は、前記過給効率フィードバック比例項、または前記過給効率フィードバック積分項に応じて前記目標位相の変化率を制限することを特徴とする請求項2記載の内燃機関の制御装置。前記フィードフォワード制御は、前記過給効率フィードバック比例項が第1しきい値よりも大きく、かつ、前記過給効率フィードバック積分項が第2しきい値よりも小さい場合に、前記目標位相を変化させることを禁止することを特徴とする請求項3記載の内燃機関の制御装置。前記内燃機関は、目標EGR率と実EGR率との偏差に基づいて変化する基準開度に応じて前記EGR弁の実開度を変更するフィードバック制御を実行し、前記フィードフォワード制御は、目標EGR率と実EGR率との偏差、または前記EGR弁の基準開度と実開度との偏差に応じて前記目標位相の変化率を制限することを特徴とする請求項2記載の内燃機関の制御装置。前記フィードフォワード制御は、前記内燃機関の目標EGR率と実EGR率との偏差、または前記EGR弁の基準開度と実開度との偏差がより大きいほど、前記目標位相の変化率をより小さくすることを特徴とする請求項5記載の内燃機関の制御装置。内燃機関のF/B制御における制御入力が増加すると、制御処理の干渉を回避するための制御アルゴリズムが累乗的に複雑化するために、確認および適合に要する時間が大幅に増大する。また、確認パターンが不足した状態で制御アルゴリズムを作成すると、未確認の運転状態で制御処理の干渉が生じてハンチングやオーバーシュート、アンダーシュートが生じるためにF/B制御が収束できない可能性がある。このように、内燃機関のF/B制御項目が増加すると適切なF/B制御を実現することが困難になる。一方、内燃機関の出力に変動を生じさせる外乱を予測し、予測した外乱を前もって打ち消すように物理量を制御するフィードフォワード制御以下、F/F制御と略記するが知られている。このようなF/F制御は内燃機関の他の制御から影響を受けないことから、内燃機関のF/B制御の一部をF/F制御することで複数の制御処理を並行して実行することが可能になる。ここで、ターボチャージャの過給効率の制御は、内燃機関の燃焼に及ぼす寄与度が大きく応答性のバラツキも大きいためにF/B制御することが望ましい。しかしながら、ターボチャージャの過給効率の制御は、物理量が変化してから燃焼が改善するまでのタイムラグが他の制御よりも大きい。そのため、ターボチャージャの過給効率をF/B制御すると、例えば他の全ての制御項目をF/F制御した場合であっても制御処理の相互干渉が生じてしまい、それによって内燃機関の燃費やエミッションが悪化してしまう。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる内燃機関の制御装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明の内燃機関の制御装置は、吸気弁および排気弁の開閉弁の位相を目標位相まで変更する可変動弁手段と、排気側から吸気側への排ガスの還流量を調節するEGR弁と、過給機の過給効率を制御する過給効率制御手段と、吸入空気量を調節するスロットル弁と、を有し、前記EGR弁、前記過給効率制御手段、前記スロットル弁のうち少なくとも2つをフィードバック制御し、前記可変動弁手段をフィードフォワード制御する内燃機関であって、前記フィードフォワード制御が、前記内燃機関の運転状態に基づいて前記可変動弁手段の前記目標位相を変化させ、かつ、前記EGR弁、前記過給効率制御手段、前記スロットル弁のうち少なくとも2つのフィードバック制御の収束状態に応じて前記目標位相の変化率を制限することを特徴とする。可変動弁手段による吸気弁および排気弁の開閉弁の位相を変更する制御は、物理量が変化してから燃焼が改善するまでのタイムラグが他の制御よりも小さい。そのため、物理量の変化から燃焼改善までのタイムラグがより大きい他のフィードバック制御の収束状態に応じて可変動弁手段の目標位相の変化率を制限するフィードフォワード制御を実行することで、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。特に、本発明の内燃機関の制御装置は、前記内燃機関が、前記EGR弁、および前記過給効率制御手段をフィードバック制御し、前記フィードフォワード制御が、前記EGR弁、および前記過給効率制御手段のフィードバック制御の収束状態に応じて前記目標位相の変化率を制限する構成であってもよい。EGR弁による排ガス還流量の調節制御、および過給効率制御手段による過給効率の制御は、物理量が変化してから燃焼が改善するまでのタイムラグが他の制御よりも大きい。そのため、EGR弁、および過給効率制御手段のフィードバック制御の収束状態に応じて可変動弁手段の目標位相の変化率を制限するフィードフォワード制御を実行することで、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。また、本発明の内燃機関の制御装置は、前記内燃機関が、目標過給圧と実過給圧との偏差に比例して設定される過給効率フィードバック比例項、および前記過給効率フィードバック比例項による制御の学習値である過給効率フィードバック積分項に基づいて前記過給効率制御手段のフィードバック制御を実行し、前記フィードフォワード制御が、前記過給効率フィードバック比例項、または前記過給効率フィードバック積分項に応じて前記目標位相の変化率を制限する構成であってもよい。過給効率制御手段による過給効率の制御は、物理量が変化してから燃焼が改善するまでのタイムラグが他の制御よりも大きい。そのため、過給効率制御手段のフィードバック制御に直接用いられる比例項または積分項に応じて可変動弁手段のフィードフォワード制御を実行することで、フィードバック制御とフィードフォワード制御とを適切に協調させることができる。よって、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。そして、本発明の内燃機関の制御装置は、前記フィードフォワード制御が、前記過給効率フィードバック比例項が第1しきい値よりも大きく、かつ、前記過給効率フィードバック積分項が第2しきい値よりも小さい場合に、前記目標位相を変化させることを禁止する構成であってもよい。上記の構成により、過給効率制御手段のフィードバック制御の初期に生じる過給圧の応答遅れを考慮して可変動弁手段のフィードフォワード制御を実行することができる。よって、過給効率制御手段のフィードバック制御と可変動弁手段のフィードフォワード制御とをより適切に協調させることができることから、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。更に、本発明の内燃機関の制御装置は、前記内燃機関が、目標EGR率と実EGR率との偏差に基づいて変化する基準開度に応じて前記EGR弁の実開度を変更するフィードバック制御を実行し、前記フィードフォワード制御が、目標EGR率と実EGR率との偏差、または前記EGR弁の基準開度と実開度との偏差に応じて前記目標位相の変化率を制限する構成であってもよい。上記の構成により、物理量の変化から燃焼改善までのタイムラグがより大きいEGR弁のフィードバック制御と可変動弁手段のフィードフォワード制御とを適切に協調させることができる。よって、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。また、本発明の内燃機関の制御装置は、前記フィードフォワード制御が、前記内燃機関の目標EGR率と実EGR率との偏差、または前記EGR弁の基準開度と実開度との偏差がより大きいほど、前記目標位相の変化率をより小さくする構成であってもよい。上記の構成により、EGR弁の個体差や劣化による応答性のバラツキを考慮して可変動弁手段のフィードフォワード制御を実行することができる。よって、EGR弁のフィードバック制御と可変動弁手段のフィードフォワード制御とをより適切に協調させることができることから、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。本発明によれば、内燃機関における複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。以下、本発明を実施するための形態を図面と共に詳細に説明する。本発明の実施例について図面を参照しつつ説明する。図1は、本発明の内燃機関の制御装置を搭載したエンジンシステム1の一構成例を示した図である。なお、図1にはエンジンの一部の構成のみを示している。図1に示すエンジンシステム1は、動力源であるエンジン100を備えており、エンジン100の運転動作を統括的に制御するエンジンECUElectronicControlUnit10を備えている。また、エンジンシステム1は、エンジン100の吸気通路12にディーゼルスロットル19を備えている。そして、エンジンシステム1は、エンジン100の排気マニホルド13の下流側にターボチャージャ14を備えており、ターボチャージャ14の過給効率を制御する可変ノズルベーン機構141を備えている。更に、エンジンシステム1は、エンジン100の排気側と吸気側とを連通するEGR通路16と、EGR通路16を通じて還流されるEGR量を調節するEGRバルブ162とを備えている。また、エンジンシステム1は、エンジン100の吸気弁22および排気弁23のバルブタイミングを変更する電動VVT機構26および油圧VVT機構27を備えている。図2は、実施例のエンジン100の一気筒の構成例を示した断面図である。エンジン100は、車両に搭載される4気筒のディーゼルエンジンであって、各気筒は燃焼室を構成するピストンを備えている。各燃焼室のピストンは、エンジン100のシリンダに摺動自在に嵌合されており、それぞれコネクティングロッドを介して出力軸部材であるクランクシャフト21に連結されている。エンジンECU10は、エアフロメータ44からの吸入空気量、クランク角センサ41からのピストンの位置等の情報に基づき、燃料の噴射量および噴射タイミングを決定しインジェクタ17に信号を送る。インジェクタ17は、エンジンECU10の信号に従って、指示された燃料噴射量および噴射タイミングで燃焼室内に燃料を噴射する。インジェクタ17より噴射された燃料は、燃焼室内で霧化し、吸気弁の開弁に伴って燃焼室内へ流入する吸入空気と混合気を形成する。そして、混合気は、ピストンの上昇運動により燃焼室内で圧縮されて着火することで燃焼し、燃焼室内を膨張させてピストンを下降させる。この下降運動がコネクティングロッドを介してクランクシャフト21の軸回転に変更されることにより、エンジン100は動力を得る。この場合、エンジン100は、4気筒のディーゼルエンジンに限定されずに、多気筒のディーゼルエンジンを適用することができる。また、本実施例のエンジン100は軽油を燃料とするディーゼルエンジンであるが、それに限定されない。なお、エンジン100は、本発明の内燃機関の一構成例である。クランクシャフト21の軸の近傍には、クランク角センサ41が設けられている。クランク角センサ41は、クランクシャフト21軸の回転角度を検出するように構成されており、検出結果をエンジンECU10に送信する。それにより、エンジンECU10は、運転時のクランクシャフト21軸の回転数や回転角速度など、クランク角に関する情報を取得する。そして、エンジンECU10は、取得したクランクシャフト21軸の回転数や回転角速度に基づきエンジン回転数やエンジントルクを算出してエンジン100の出力を認識する。各燃焼室には複数の吸気弁、排気弁が設けられている。図2には吸気弁、排気弁をそれぞれ1つずつ示している。燃焼室の各吸気ポートには、それぞれ吸気弁22が配置されており、吸気弁22を開閉駆動させるための吸気カムシャフト24が配置されている。更に、燃焼室の各排気ポートには、それぞれ排気弁23が配置されており、排気弁23を開閉駆動させるための排気カムシャフト25が配置されている。吸気弁22および排気弁23はクランクシャフト21の回転が連結機構例えばタイミングベルト、タイミングチェーンなどにより伝達された吸気カムシャフト24および排気カムシャフト25の回転により開閉され、吸気ポートおよび排気ポートと燃焼室とを連通遮断する。なお、吸気弁22、および排気弁23の位相は、クランク角を基準にして表される。吸気カムシャフト24は可変動弁機構以下、VVT機構というである電動VVT機構26を有している。この電動VVT機構26はエンジンECU10の指示により電動モータで吸気カムシャフト24を回転させる。それにより吸気カムシャフト24のクランクシャフト21に対する回転位相が変更されることから、吸気弁22のバルブタイミングが変更される。この場合、吸気カムシャフト24の回転位相は、吸気カム角センサ42にて検出され、エンジンECU10へと出力される。それにより、エンジンECU10は、吸気カムシャフト24の位相を取得することができるとともに、吸気弁22の位相を取得することができる。また、吸気カムシャフト24の位相は、クランク角を基準にして表される。なお、電動VVT機構26は、本発明の可変動弁手段の一構成例である。排気カムシャフト25は油圧VVT機構27を有している。この油圧VVT機構27はエンジンECU10の指示によりオイルコントロールバルブ以下、OCVというで排気カムシャフト25を回転させる。それにより排気カムシャフト25のクランクシャフト21に対する回転位相が変更されることから、排気弁23のバルブタイミングが変更される。この場合、排気カムシャフト25の回転位相は、排気カム角センサ43にて検出され、エンジンECU10へと出力される。それにより、エンジンECU10は、排気カムシャフト25の位相を取得することができるとともに、排気弁23の位相を取得することができる。また、排気カムシャフト25の位相は、クランク角を基準にして表される。なお、油圧VVT機構27は、本発明の可変動弁手段の一構成例である。図1に戻り、エンジン100は、インジェクタ17、コモンレール18、低圧燃料ポンプ、高圧燃料ポンプ等より構成されるコモンレール式燃料噴射システムを備えている。燃料タンクより低圧燃料ポンプにより吸引された燃料は、高圧燃料ポンプにてコモンレール18へ高圧で吐出し蓄圧される。コモンレール18は、インジェクタ17に供給する高圧燃料を蓄圧する容器である。高圧燃料ポンプから圧送された燃料は、コモンレール18内で噴射に必要な圧力まで蓄圧され、高圧配管を通じて各燃焼室のインジェクタ17に供給される。また、コモンレール18にはレール圧センサおよび減圧弁が設けられている。エンジンECU10は、レール圧センサから出力されたコモンレール18内部の燃圧が規定値を超えた場合に、減圧弁を開放するように指示する。そして、減圧弁より燃料を排出することで、コモンレール圧が常に規定値以下になるよう調整する。減圧弁より排出された燃料は、リリーフ配管を通って燃料タンクへと戻される。各燃焼室には、それぞれインジェクタ17が装着されている。コモンレール18より高圧配管を通じて供給された燃料は、エンジンECU10の指示によりインジェクタ17にてエンジン気筒内の燃焼室に噴射供給される。エンジンECU10は、エアフロメータ44からの吸入空気量、およびクランク角センサ41からのピストンの位置の情報等に基づき、燃料噴射量と噴射タイミングを決定しインジェクタ17に信号を送る。インジェクタ17はエンジンECU10の信号に従って、指示された燃料噴射量噴射タイミングにて燃焼室内へ燃料を高圧噴射する。インジェクタ17のリーク燃料は、リリーフ配管を通じて燃料タンクへと戻される。この場合、インジェクタ17は、エンジン100の仕様に応じて燃焼室の任意の位置に装着することができる。エンジン100の各燃焼室には、それぞれの燃焼室と連通する吸気マニホルド11が接続されている。吸気マニホルド11は、吸気通路12によってエアフロメータ44、ディーゼルスロットル19、インタークーラ、ターボチャージャ14のコンプレッサを介してエアクリーナに連結されており、エンジン100の外部から取り込まれた吸入空気を各燃焼室内へ導入する。ディーゼルスロットル19にはスロットルポジションセンサ45が設けられている。エアフロメータ44およびスロットルポジションセンサ45は、それぞれ吸気通路12を通過する吸入空気量、およびディーゼルスロットル19の弁開度を検出し、検出結果をエンジンECU10に送信する。エンジンECU10は、送信された検出結果に基づいて吸気マニホルド11へ導入される吸入空気量を認識し、ディーゼルスロットル19の弁開度を調節することでエンジン100の運転に必要な吸入空気を燃焼室へ取り込む。ディーゼルスロットル19は、ステップモータを用いたスロットルバイワイヤ方式を適用することが好ましいが、ディーゼルスロットル19の弁開度を任意に変更可能なその他の機構を適用してもよい。なお、ディーゼルスロットル19は、本発明のスロットル弁の一構成例である。更に、エンジン100の各燃焼室には、それぞれの燃焼室と連通する排気マニホルド13が接続されている。排気マニホルド13は、排気通路15によってターボチャージャ14の排気タービンを介して排気浄化装置30に連結されており、燃焼後の排ガスをエンジン100の外部へと排出させる。ターボチャージャ14は、排ガスの運動エネルギを利用して排気タービンを回転させ、エアクリーナを通過した吸入空気を圧縮してインタークーラへと送り込む。圧縮された吸入空気は、インタークーラで冷却された後に吸気マニホルド11へと導入される。ターボチャージャ14は、可変ノズル式ターボチャージャVariableNozzleTurbo,以下、VNTと略記するであって、排気タービン側に可変ノズルベーン機構141が設けられている。この可変ノズルベーン機構141の開度を調整することにより、タービンインペラ翼への排ガスの流入角度を制御して、吸気マニホルド11へ導入する吸入空気の過給圧を調節する。例えば、可変ノズルベーン機構141の開度をより小さくすると、より多くの排ガスがタービンインペラ翼に流入するために排ガスのエネルギ利用率が高くなって過給効率が向上する。また、可変ノズルベーン機構141の開度をより大きくすると、タービンインペラ翼に流入する排ガス量がより少なくなるために排ガスのエネルギ利用率が低くなって過給効率が低下する。この場合、ターボチャージャ14はVNTに限られず、ウェイストゲートによって過給圧の調節排ガスのエネルギ利用率の制御を行う構成であってもよい。なお、ターボチャージャ14は、本発明の過給機の一構成例である。また、可変ノズルベーン機構141は、本発明の過給効率制御手段の一構成例である。排気浄化装置30は、エンジン100の排ガスを浄化するものであって、排ガス中のNOx、HCおよびCOを浄化する浄化触媒31と、煤などの粒子状物質PMを捕集するDPF32とを有している。この場合、排気浄化装置30は、パティキュレートフィルタにNOx吸蔵還元触媒を組み合わせたDPNRDieselParticlateNOxReductionsystemを適用してもよい。排気浄化装置30の上流側の排気通路15には、エンジン100の空燃比を検出するA/Fセンサ46が設けられている。これによって、エンジンECU10は、様々な負荷状態におけるエンジン100の空燃比を認識することができる。排気マニホルド13は、EGR通路16によって吸気マニホルド11と連通されている。EGR通路16へと流入した排ガスは、EGRクーラ161にて冷却された後にEGRバルブ162で流量を調節されつつ吸気マニホルド11へ進み、吸入空気とともに燃焼室内へ導入される。EGRバルブ162は、エンジンECU10の指令に従ってバルブ開度を調節することで、吸気マニホルド11への排ガスの還流量を適切な量へと調節する。このように、運転状態に応じた適切な量のEGRガスを吸気マニホルド11に還流供給することにより、エンジン100の燃焼温度を低下させてNOx排出量の低減を図ることができる。なお、EGRバルブ162は、本発明のEGR弁の一構成例である。エンジンECU10は、演算処理を行うCPUCentralProcessingUnitと、プログラム等を記憶するROMReadOnlyMemoryと、データ等を記憶するRAMRandomAccessMemoryやNVRAMNonVolatileRAMと、を備えるコンピュータである。エンジンECU10は、エンジン100の各部に備えられた複数のセンサの検出結果を読み込み、それら検出結果に基づいてエンジン100の運転動作を統括的に制御する。特に、エンジンECU10は、エンジン100の燃焼に影響を及ぼす物理量を運転状態に応じた適切な値目標値に近づけるよう制御するF/B制御を実行する。具体的には、エンジンECU10は、ディーゼルスロットル19、可変ノズルベーン機構141、EGRバルブ162をF/B制御する。また、エンジンECU10は、エンジン100の出力に変動を生じさせる外乱を予測し、予測した外乱を前もって打ち消すように物理量を制御するF/F制御を実行する。具体的には、エンジンECU10は、電動VVT機構26および油圧VVT機構27をF/F制御する。このように、エンジン100のF/B制御の一部をF/F制御することで、複数の制御処理が干渉することで生じるハンチングやオーバーシュート、アンダーシュートを抑制することができる。そして、エンジンECU10は、可変ノズルベーン機構141およびEGRバルブ162のF/B制御の収束状態に応じて、電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御を実行する。以下に、エンジンECU10が実行するF/B制御およびF/F制御について説明する。まず、本実施例のエンジンシステム1における可変ノズルベーン機構141のF/B制御、電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御について説明する。図3は、可変ノズルベーン機構141のF/B制御に応じた電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御の一例を示している。エンジンECU10は、車両の加速時や登坂時など、エンジン100の出力の変更要求があると、要求出力に応じて燃料噴射量、過給圧、吸気弁22および排気弁23のバルブタイミングの目標値を算出する。つづいて、エンジンECU10は、算出したそれぞれの目標値に基づきインジェクタ17、可変ノズルベーン機構141、電動VVT機構26および油圧VVT機構27を制御する。本実施例では、比例項Proportinalと積分項Integralを用いたPI制御によって可変ノズルベーン機構141の開度を調節することで、エンジン100の過給圧を目標値に近づけるF/B制御を実行する。まず、エンジンECU10は、エンジン100の出力の変更要求があると、目標過給圧と実過給圧との偏差に比例した比例項以下、過給効率フィードバック比例項というを設定する。つづいて、エンジンECU10は、設定した過給効率フィードバック比例項に応じて可変ノズルベーン機構141の開度を調節し、ターボチャージャ14の過給効率を調節することで過給圧を制御する。エンジンECU10は、制御の開始から所定時間毎例えば8ミリ秒毎に過給効率フィードバック比例項を更新し、更新した過給効率フィードバック比例項に応じて可変ノズルベーン機構141の開度を調節する。過給効率フィードバック比例項に基づく制御の間、エンジンECU10は、過給効率フィードバック比例項による制御の学習値、すなわち、可変ノズルベーン機構141の開度の制御量と目標制御量との残留偏差を時間的に累積した積分項以下、過給効率フィードバック積分項というを算出する。そして、エンジンECU10は、算出した過給効率フィードバック積分項が所定の大きさ以上となると、過給効率フィードバック積分項に応じて可変ノズルベーン機構141の開度を調節する。このように、エンジン100の目標過給圧と実過給圧との偏差が大きいときは過給効率フィードバック比例項に応じて可変ノズルベーン機構141の開度を調節することで、実過給圧をより早く目標過給圧に近づけることができる。また、エンジン100の目標過給圧と実過給圧との偏差が小さいときは過給効率フィードバック積分項に応じて可変ノズルベーン機構141の開度を調節することで、実過給圧を適切に目標過給圧に収束させることができる。上記のF/B制御と並行して、エンジンECU10は、過給効率フィードバック比例項および過給効率フィードバック積分項に応じて電動VVT機構26および油圧VVT機構27の目標位相の変化率を制限するF/F制御を実行する。なお、本実施例における目標位相の変化率とは、所定時間あたりの吸気弁22および排気弁23の目標位相の変化量すなわち、変化速度のことをいう。エンジンECU10は、エンジン100の回転数と燃料噴射量とに応じて吸気弁22および排気弁23のバルブタイミングの目標値基本目標位相を算出する。そして、エンジンECU10は、算出した基本目標位相に到達するまでの所定時間あたりの目標位相の変化量を、過給効率フィードバック比例項および過給効率フィードバック積分項に応じて求めた目標位相の変化量に制限する。図4は、比例項と積分項に基づく電動VVT機構26および油圧VVT機構27の目標位相の変化率制限マップを示している。エンジンECU10は、制御の開始から所定時間毎例えば8ミリ秒毎に過給効率フィードバック比例項および過給効率フィードバック積分項を確認する。そして、エンジンECU10は、確認した比例項および積分項に応じて所定時間例えば8ミリ秒あたりの吸気弁22および排気弁23の目標位相の変化量変化速度を更新する。具体的には、エンジンECU10は、過給効率フィードバック比例項がより大きいときは所定時間あたりの目標位相の変化量をより小さくし、過給効率フィードバック積分項がより大きくなるほど所定時間あたりの目標位相の変化量をより大きくする。図3に戻り、エンジンECU10は、求めた目標位相に応じて電動VVT機構26および油圧VVT機構27にバルブタイミングの変更を指令することで、吸気弁22および排気弁23の開閉弁の位相を目標位相まで変更する。エンジンECU10は、可変ノズルベーン機構141のF/B制御が収束するまで所定時間毎に目標位相の変化量を更新し、バルブタイミングを基本目標位相まで変更する。エンジンECU10は、エンジン100の運転が終了するまで上記の処理を繰り返す。可変ノズルベーン機構141による過給効率の制御は、物理量が変化してから燃焼が改善するまでのタイムラグが他の制御よりも大きい。一方、電動VVT機構26および油圧VVT機構27によるバルブタイミングの制御は、物理量が変化してから燃焼が改善するまでのタイムラグが他の制御よりも小さい。そのため、両制御を並行して実行すると、それぞれの制御が燃焼へ寄与するまでのタイムラグの差分が大きいために過給圧と圧縮比との適切な関係性が崩れてしまう。すなわち、可変ノズルベーン機構141のF/B制御と電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御とが相互に干渉し、それによってエンジン100のエミッションが悪化してしまう。そこで、本実施例のエンジンシステム1では、可変ノズルベーン機構141のF/B制御の収束状態に応じて、電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御を実行する。これによって、燃焼へ寄与するまでのタイムラグの差分が大きい可変ノズルベーン機構141のF/B制御と電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御との相互干渉を抑制することができる。この場合、可変ノズルベーン機構141のF/B制御に直接用いられる比例項、または積分項に応じて電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御を実行することで、F/B制御とF/F制御とを適切に協調させることができる。また、比例項と積分項との両方を考慮したF/F制御を実行することで、F/B制御とF/F制御との相互干渉によるハンチング等をより適切に抑制することができる。なお、本実施例では可変ノズルベーン機構141のF/B制御に用いられる比例項と積分項の両方を考慮したF/F制御を実行するが、比例項と積分項のいずれか一方を考慮したF/F制御を実行してもよい。そして、エンジンECU10は、過給効率フィードバック比例項が所定の第1しきい値よりも大きく、かつ、過給効率フィードバック積分項が所定の第2しきい値よりも小さい間は、吸気弁22および排気弁23の目標位相を変化させることを禁止する。ここで、比例項の第1しきい値および積分項の第2しきい値とは、ターボチャージャ14による過給圧の応答遅れが生じている可能性が高いと判断できるしきい値であって、予め台上試験で確認した任意の値を適用することができる。可変ノズルベーン機構141のF/B制御の初期には、ターボチャージャ14による過給圧の応答遅れが生じている。そのため、過給圧の応答遅れが生じている間、すなわち過給効率フィードバック比例項が所定の第1しきい値よりも大きく、かつ、過給効率フィードバック積分項が所定の第2しきい値よりも小さい間は、目標位相を変化させることを禁止する。これによって、可変ノズルベーン機構141のF/B制御の初期に生じる過給圧の応答遅れを考慮して電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御を実行することができる。よって、F/B制御とF/F制御とをより適切に協調させることができることから、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。更に、エンジンECU10は、可変ノズルベーン機構141のF/B制御が収束した後に電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御が収束するよう目標位相を変化させる。すなわち、ターボチャージャ14による実過給圧が目標過給圧に収束した後に吸気弁22および排気弁23の位相の変更が終了するよう目標位相を変化させる。ターボチャージャ14は、個体差や劣化による応答性のバラツキがあり、バラツキの影響が特に大きくなる高過給圧領域において他の制御との相互干渉によるハンチング等が生じる可能性がある。そのため、電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御の収束タイミングをF/B制御よりも遅らせることで、高過給領域におけるF/B制御とF/F制御の相互干渉を抑制することができる。このように、ターボチャージャ14の個体差や劣化による応答性のバラツキを考慮したF/F制御の実行が可能になる。以上のように、本実施例のエンジンシステム1は、可変ノズルベーン機構141のF/B制御に用いられる比例項および積分項に応じて、吸気弁22および排気弁23の目標位相の変化率を制限するF/F制御を実行する。これによって、可変ノズルベーン機構141のF/B制御と電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御との相互干渉を適切に抑制することができる。つぎに、本実施例のエンジンシステム1におけるEGRバルブ162のF/B制御、電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御について説明する。図5は、EGRバルブ162のF/B制御に応じた電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御の一例を示している。エンジンECU10は、車両の加速時や登坂時など、エンジン100の出力の変更要求があると、要求出力に応じて燃料噴射量、EGR率、吸気弁22および排気弁23のバルブタイミングの目標値を算出する。つづいて、エンジンECU10は、算出したそれぞれの目標値に基づきインジェクタ17、EGRバルブ162、電動VVT機構26および油圧VVT機構27を制御する。本実施例では、EGR率の目標値目標EGR率と実際の値実EGR率との偏差に基づいてEGRバルブ162の開度を調節することで、エンジン100のEGR率を目標値に近づけるF/B制御を実行する。まず、エンジンECU10は、エンジン100の出力の変更要求があると、目標EGR率と実EGR率との偏差に基づいてEGRバルブ162の目標開度以下、基準開度というを設定する。つづいて、エンジンECU10は、設定した基準開度になるようEGRバルブ162の開度を調節し、EGR量を制御する。エンジンECU10は、制御の開始から所定時間毎例えば8ミリ秒毎に目標EGR率と実EGR率との偏差から基準開度を更新し、更新した基準開度に応じてEGRバルブ162の開度を調節する。この場合、可変ノズルベーン機構141のF/B制御と同様に、比例項と積分項を用いたPI制御によってEGRバルブ162の開度を調節するF/B制御を実行してもよい。上記のF/B制御と並行して、エンジンECU10は、EGRバルブ162の目標EGR率と実EGR率との偏差制御偏差および基準開度と実開度との偏差開度偏差に応じて電動VVT機構26および油圧VVT機構27の目標位相の変化率を制限するF/F制御を実行する。エンジンECU10は、エンジン100の回転数と燃料噴射量とに応じて吸気弁22および排気弁23のバルブタイミングの目標値基本目標位相を算出する。そして、エンジンECU10は、算出した基本目標位相に到達するまでの所定時間あたりの目標位相の変化量を、EGRバルブ162の制御偏差および開度偏差に応じて求めた目標位相の変化量に制限する。図6は、EGRバルブ162の制御偏差と開度偏差に基づく電動VVT機構26および油圧VVT機構27の目標位相の変化率制限マップを示している。エンジンECU10は、制御の開始から所定時間毎例えば8ミリ秒毎にEGRバルブ162の制御偏差および開度偏差を確認する。そして、エンジンECU10は、確認したEGRバルブ162の制御偏差および開度偏差に応じて所定時間例えば8ミリ秒あたりの吸気弁22および排気弁23の目標位相の変化量変化速度を更新する。具体的には、エンジンECU10は、EGRバルブ162の制御偏差および開度偏差がより大きいときは所定時間あたりの目標位相の変化量をより小さくし、EGRバルブ162の制御偏差および開度偏差がより小さくなるほど所定時間あたりの目標位相の変化量をより大きくする。図5に戻り、エンジンECU10は、求めた目標位相に応じて電動VVT機構26および油圧VVT機構27にバルブタイミングの変更を指令することで、吸気弁22および排気弁23の開閉弁の位相を目標位相まで変更する。エンジンECU10は、EGRバルブ162のF/B制御が収束するまで所定時間毎に目標位相の変化量を更新し、バルブタイミングを基本目標位相まで変更する。エンジンECU10は、エンジン100の運転が終了するまで上記の処理を繰り返す。EGRバルブ162によるEGR率の制御は、物理量が変化してから燃焼が改善するまでのタイムラグが電動VVT機構26および油圧VVT機構27によるバルブタイミングの制御よりも大きい。そのため、両制御を並行して実行すると、それぞれの制御が燃焼へ寄与するまでのタイムラグの差分が大きいために酸素濃度と圧縮比との適切な関係性が崩れてしまう。すなわち、EGRバルブ162のF/B制御と電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御とが相互に干渉し、それによってエンジン100のエミッションが悪化してしまう。そこで、本実施例のエンジンシステム1では、EGRバルブ162のF/B制御の収束状態に応じて、電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御を実行する。これによって、燃焼へ寄与するまでのタイムラグの差分が大きいEGRバルブ162のF/B制御と電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御との相互干渉を抑制することができる。また、EGRバルブ162のF/B制御の応答性遅れは可変ノズルベーン機構141のF/B制御の応答性遅れよりも小さい。そして、EGRバルブ162のF/B制御は、可変ノズルベーン機構141のF/B制御よりも低過給圧領域で実行される。そのため、EGRバルブ162のF/B制御と他の制御とが相互干渉する可能性は、可変ノズルベーン機構141のF/B制御と他の制御とが相互干渉する可能性よりも低い。よって、EGRバルブ162のF/B制御の収束にあわせてF/F制御を収束させることで、F/B制御とF/F制御とを適切に協調させることができる。また、EGRバルブ162の制御偏差と開度偏差との両方を考慮したF/F制御を実行することで、EGR弁の個体差や劣化による応答性のバラツキを考慮したF/F制御を実行することが可能になる。よって、EGRバルブ162のF/B制御と電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御とをより適切に協調させることができることから、複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。なお、本実施例ではEGRバルブ162の制御偏差と開度偏差の両方を考慮したF/F制御を実行するが、制御偏差と開度偏差のいずれか一方を考慮したF/F制御を実行してもよい。つづいて、本実施例のエンジンシステム1における可変ノズルベーン機構141、EGRバルブ162のF/B制御、電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御について説明する。図7は、可変ノズルベーン機構141およびEGRバルブ162のF/B制御に応じた電動VVT機構26および油圧VVT機構27のF/F制御の一例を示している。エンジンECU10は、車両の加速時や登坂時など、エンジン100の出力の変更要求があると、要求出力に応じて燃料噴射量、過給圧、EGR率、吸気弁22および排気弁23のバルブタイミングの目標値を算出する。つづいて、エンジンECU10は、算出したそれぞれの目標値に基づきインジェクタ17、可変ノズルベーン機構141、EGRバルブ162、電動VVT機構26および油圧VVT機構27を制御する。上記の可変ノズルベーン機構141およびEGRバルブ162のF/B制御と並行して、エンジンECU10は、電動VVT機構26および油圧VVT機構27の目標位相の変化率を制限するF/F制御を実行する。なお、可変ノズルベーン機構141およびEGRバルブ162のF/B制御については前述したためにその説明は省略する。エンジンECU10は、エンジン100の要求出力に応じて吸気弁22および排気弁23のバルブタイミングの目標値基本目標位相を算出する。そして、エンジンECU10は、算出した基本目標位相に到達するまでの所定時間あたりの目標位相の変化量を、過給効率フィードバック比例項および過給効率フィードバック積分項、またはEGRバルブ162の制御偏差および開度偏差に応じて求めた目標位相の変化量に制限する。具体的には、エンジンECU10は、可変ノズルベーン機構141のF/B制御に用いる比例項および積分項から目標位相の変化量を求める図4参照。また、エンジンECU10は、EGRバルブ162の制御偏差および開度偏差に応じて目標位相の変化量を求める図6参照。そして、エンジンECU10は、求めたそれぞれの目標位相の変化量のうち、より小さい方を吸気弁22および排気弁23の目標位相の変化率制限値として採用する図7参照。エンジンECU10は、求めた目標位相の変化率制限値に応じて電動VVT機構26および油圧VVT機構27にバルブタイミングの変更を指令することで、吸気弁22および排気弁23の開閉弁の位相を目標位相まで変更する。エンジンECU10は、可変ノズルベーン機構141およびEGRバルブ162のF/B制御が収束するまで所定時間毎に目標位相の変化率制限値を更新し、バルブタイミングを基本目標位相まで変更する。エンジンECU10は、エンジン100の運転が終了するまで上記の処理を繰り返す。図8は、従来技術における車両の加速時のエンジン制御を示している。車両の加速要求がある前は、エンジンの過給圧はより低く、酸素濃度はより高く、燃焼室の圧縮比はより高く制御されている。そして、車両の加速要求があると、エンジンの過給圧がより高く、酸素濃度がより低く、燃焼室の圧縮比がより低くなるよう可変ノズルベーン機構、EGRバルブ、電動VVT機構および油圧VVT機構が並行して制御される。ここで、電動VVT機構および油圧VVT機構が制御されると直ぐに燃焼室の圧縮比が変化する。一方で、可変ノズルベーン機構およびEGRバルブが制御されてからエンジンの過給圧および酸素濃度が変化するまでは所定のタイムラグがある。このように、エンジンの各制御が実行されてから燃焼に影響を及ぼすまでのタイムラグに差があるために、従来技術のエンジン制御では車両の加速途中に制御処理の相互干渉が生じてしまい、それによってエミッションが悪化してしまう。一方、本実施例のエンジンシステム1は、物理量が変化してから燃焼が改善するまでのタイムラグが他の制御よりも小さい吸気弁22および排気弁23のバルブタイミングのF/F制御を、他のF/B制御の収束状態に応じて制限する。これによって、燃焼に寄与するまでのタイムラグが異なる複数の制御処理を並行して実行しても、制御処理が相互に干渉してハンチング等が生じることを抑制することができる。つづいて、エンジンECU10の制御の流れに沿って、エンジンシステム1の動作を説明する。図9は、エンジンECU10の処理の一例を示すフローチャートである。本実施例のエンジンシステム1は、可変ノズルベーン機構141およびEGRバルブ162のF/B制御の収束状態に応じて吸気弁22および排気弁23の目標位相の変化率を制限するF/F制御をエンジンECU10が実行する。なお、本フローチャートにおいては吸気弁22のバルブタイミング制御について説明するが、吸気弁22のバルブタイミング制御についても同様である。エンジンECU10の制御は、イグニッションスイッチがONされてエンジン100が始動されると開始し、エンジン100の運転中の所定時間毎例えば8ミリ秒毎に以下の制御の処理を繰り返す。まず、エンジンECU10はステップS1で、エンジン100の回転数と燃料噴射量とに応じて吸気弁22のバルブタイミングの目標値基本目標位相IVCBSEを算出する。エンジンECU10は、ステップS1の処理を終えると、次のステップS2へ進む。ステップS2で、エンジンECU10は、ステップS1で算出した吸気弁22の基本目標位相と前回算出した目標位相IVCTOとの差分から目標位相の変化量IVCDLTを求める。エンジンECU10は、ステップS2の処理を終えると、次のステップS3へ進む。ステップS3で、エンジンECU10は、可変ノズルベーン機構141のF/B制御に用いる比例項および積分項から目標位相の変化量IVCVNを求める図4参照。エンジンECU10は、ステップS3の処理を終えると、次のステップS4へ進む。ステップS4で、エンジンECU10は、EGRバルブ162のF/B制御における制御偏差および開度偏差に応じて目標位相の変化量IVCEGRを求める図6参照。エンジンECU10は、ステップS4の処理を終えると、次のステップS5へ進む。ステップS5で、エンジンECU10は、ステップS2で算出した目標位相の変化量IVCDLTが、ステップS3で求めた目標位相の変化量IVCVNとステップS4で求めた目標位相の変化量IVCEGRの小さい方よりも小さいか否かを判断する。IVCDLTがIVCVN,IVCEGRよりも小さくない場合ステップS5/NO、エンジンECU10は、吸気弁22の目標位相の変化率を制限する必要があると判断し、ステップS7へ進む。IVCDLTがIVCVN,IVCEGRよりも小さい場合ステップS5/YESは、エンジンECU10は、吸気弁22の目標位相の変化率を制限する必要がないと判断し、次のステップS6へ進む。ステップS6で、エンジンECU10は、IVCDLTとIVCTOとの和すなわちIVCBSEを吸気弁22の目標位相IVCTとして設定する。エンジンECU10は、ステップS6の処理を終えると、ステップS10へ進む。ステップS5の判断結果がNOの場合、エンジンECU10はステップS7へ進む。ステップS7で、エンジンECU10は、ステップS3で求めた目標位相の変化量IVCVNがステップS4で求めた目標位相の変化量IVCEGRよりも大きいか否かを判断する。IVCVNがIVCEGRよりも大きくない場合ステップS7/NO、エンジンECU10はステップS9へ進む。IVCVNがIVCEGRよりも大きい場合ステップS7/YESは、エンジンECU10は、次のステップS8へ進む。ステップS8で、エンジンECU10は、IVCEGRとIVCTOとの和を吸気弁22の目標位相IVCTとして設定する。すなわち、吸気弁22の目標位相の変化率をIVCEGRに制限する。エンジンECU10は、ステップS8の処理を終えると、ステップS10へ進む。ステップS7の判断結果がNOの場合、エンジンECU10はステップS9へ進む。ステップS9で、エンジンECU10は、IVCVNとIVCTOとの和を吸気弁22の目標位相IVCTとして設定する。すなわち、吸気弁22の目標位相の変化率をIVCVNに制限する。エンジンECU10は、ステップS9の処理を終えると、次のステップS10へ進む。ステップS6、ステップS8、ステップS9の処理を終えると、エンジンECU10はステップS10へ進む。ステップS10で、エンジンECU10は、ステップS6、ステップS8、ステップS9のいずれかにおいて設定された目標位相IVCTまで吸気弁22の開閉弁の位相を変更するように電動VVT機構26に指令する。エンジンECU10は、ステップS10の処理を終えると、制御の処理を終了する。上記の制御を実行することにより、エンジン100の各制御の燃焼に寄与するまでのタイムラグを考慮したF/B制御およびF/F制御を実現することができる。よって、エンジン100における複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。なお、エンジンECU10は、ステップS3とステップS4の処理について、いずれを先に実行してもよし、同時に実行してもよい。以上のように、本実施例のエンジンシステムは、エンジンの吸気弁および排気弁の開閉弁の位相を目標位相まで変更する電動VVT機構および油圧VVT機構と、排気側から吸気側への排ガスの還流量を調節するEGRバルブと、ターボチャージャの過給効率を制御する可変ノズルベーン機構と、を有し、EGRバルブ、可変ノズルベーン機構をF/B制御し、電動VVT機構および油圧VVT機構をF/F制御するエンジンを有する。そして、エンジンECUが、エンジンの運転状態に基づいて電動VVT機構および油圧VVT機構の目標位相を変化させ、かつ、EGRバルブ、可変ノズルベーン機構のF/B制御の収束状態に応じて目標位相の変化率を制限するF/F制御を実行する。これによって、エンジンにおける複数の制御処理の相互干渉を抑制することができる。また、本実施例のエンジンシステムは、可変ノズルベーン機構141のF/B制御に用いる比例項および積分項、EGRバルブ162のF/B制御における制御偏差および開度偏差に応じて目標位相の変化率を制限するF/F制御を実行する。これによって、これによって、エンジンの各制御の燃焼に寄与するまでのタイムラグを考慮したF/B制御およびF/F制御を実現することができる。更に、本実施例のエンジンシステムは、過給効率フィードバック比例項が第1しきい値よりも大きく、かつ、過給効率フィードバック積分項が第2しきい値よりも小さい場合に、目標位相を変化させることを禁止する。そして、本実施例のエンジンシステムは、エンジンの目標EGR率と実EGR率との偏差、またはEGRバルブの基準開度と実開度との偏差がより大きいほど、目標位相の変化率をより小さくするF/F制御を実行する。これによって、エンジンの各F/B制御とF/F制御とをより適切に協調させることができる。上記実施例は本発明を実施するための一例にすぎない。よって本発明はこれらに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形変更が可能である。例えば、ディーゼルスロットル19のF/B制御の収束状態に応じて吸気弁22および排気弁23の目標位相の変化率を制限するF/F制御を実行してもよい。また、エンジン100のその他のF/B制御の収束状態に応じて吸気弁22および排気弁23の目標位相の変化率を制限するF/F制御を実行してもよい。"