"1次元方向に配列された複数の第1光電変換部を有する第1センサ列と、1次元方向に配列された複数の第2光電変換部を有する第2センサ列と、各前記第1光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第1水平転送部と、各前記第2光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第2水平転送部と、前記第1水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力し、前記第2水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する出力部とを備え、前記第1光電変換部は、光が入射する開口を有する光電変換部であり、前記第2光電変換部は、光が入射する開口が塞がれた光電変換部であり、各前記第2光電変換部は、各々対応する前記第1光電変換部に隣接して設けられ、前記第1センサ列と第2センサ列とが並列に設けられたリニアセンサ。前記第1水平転送部の終端部に、転送されてきた信号電荷を前記出力部に転送する第1接続転送部を有し、前記第2水平転送部の終端部に、転送されてきた信号電荷を前記出力部に転送する第2接続転送部を有し、前記第1水平転送部により転送された信号電荷、及び前記第2水平転送部により転送された信号電荷が一つの前記出力部により検出される請求項1に記載のリニアセンサ。前記第1接続転送部及び前記第2接続転送部の駆動タイミングは、前記第1光電変換部から読み出され前記第1水平転送部により転送されてきた信号電荷と、前記第1光電変換部に対応する前記第2光電変換部から読み出され前記第2水平転送部により転送されてきた信号電荷とが、時間的に分離されて順次前記出力部に転送される請求項2に記載のリニアセンサ。前記出力部は、前記第1水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する第1出力部と、前記第2水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する第2出力部と、を有する請求項1に記載のリニアセンサ。前記第1光電変換部から読み出された信号電荷に基づくダーク成分を含む像の信号から、前記第1光電変換部に対応する前記第2光電変換部から読み出された信号電荷に基づくダーク成分の信号を減算する減算部を備え、前記減算部により、ダーク成分が除去された像の信号が出力されるように構成した請求項1に記載のリニアセンサ。前記減算部は、前記第2光電変換部から読み出されて前記出力部から出力されたダーク成分の信号をプリチャージ相の信号とし、前記第1光電変換部から読み出されて前記出力部から出力されたダーク成分を含む像の信号をデータ相の信号として、相関二重サンプリングにより減算処理する請求項1に記載のリニアセンサ。リニアセンサと、前記リニアセンサを移動するセンサ駆動機構と、前記リニアセンサに制御信号を出力する制御部と、前記リニアセンサから出力される信号に基づいて画像データを生成する画像処理部とを備え、前記リニアセンサは、1次元方向に配列された複数の第1光電変換部を有する第1センサ列と、1次元方向に配列された複数の第2光電変換部を有する第2センサ列と、各前記第1光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第1水平転送部と、各前記第2光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第2水平転送部と、前記第1水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力し、前記第2水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する出力部とを備え、前記第1光電変換部は、光が入射する開口を有する光電変換部であり、前記第2光電変換部は、光が入射する開口が塞がれた光電変換部であり、各前記第2光電変換部は、各々対応する前記第1光電変換部に隣接して設けられ、前記第1センサ列と第2センサ列とが並列に設けられる画像読み取り装置。リニアセンサを用いた画像読み取り装置においては、読み取り速度の高速化が求められている。ここで、読み取り速度を高速化するには、全ての光電変換部91の電荷をいかに速く出力部95から出力できるかに依るところが大きい。速く出力するためには、水平転送部94の駆動周波数を高速化することや、出力部95の周波数特性をアップすることなどが考えられる。水平転送部94の駆動周波数を高速化する場合には、水平転送部自身の容量をC、駆動周波数をf、駆動パルスの振幅をVとしたときに、水平転送部は、P=CVVfの消費電力により発熱するため、高速化とともに発熱しやすくなる。また、出力部95の周波数特性をアップする場合には、出力回路の定数を大きくする必要等から回路自体が複雑化して出力部95の規模が大きくなり、消費電流が増加して発熱しやすくなる。センサ内で発熱が大きくなると、ダーク成分受光によって光電変換部に蓄積される電子以外の電子が大きくなり、またダーク成分がシェーディング強度分布を持つようになる。図18に、シェーディングを有するダーク成分が重畳した状態の出力信号の模式図を示す。図18において有効画素として示す領域が複数の光電変換部91を有するセンサ列92に相当する。この図からも理解されるように、ダーク成分やシェーディングが大きくなると、リニアセンサの出力信号に基づいて生成される画像の画質に影響を及ぼすことになる。読み取り対象をスキャンする前に基準黒画像をスキャニングするプレスキャンを行い、取得された基準黒画像をもとに本スキャン時の読み取り画像を補正するようにすれば、プレスキャン時の読み取り画像にもダーク成分が含まれるため発熱の影響を低減できる。しかしながら、この手法は読み取り対象をスキャンする工程に加えて基準黒画像をスキャンする工程が必要であるため、読み取り作業が繁雑であるとともに高速化の要求に反するという問題があった。本開示は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、仮にセンサ内での発熱が大きくなった場合でも、ダーク成分やシェーディングの影響を抑制でき、読み取り速度の高速化を実現可能なリニアセンサを提供することを目的とする。また、このようなリニアセンサを備えることにより高速で画像読み取りが可能な画像読み取り装置を提供することを目的とする。本開示に係るリニアセンサは、1次元方向に配列された複数の第1光電変換部を有する第1センサ列と、1次元方向に配列された複数の第2光電変換部を有する第2センサ列と、各第1光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第1水平転送部と、各第2光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第2水平転送部と、第1水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力し、第2水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する出力部とを備える。第1光電変換部は光が入射する開口を有する光電変換部であり、第2光電変換部は光が入射する開口が塞がれた光電変換部であり、各第2光電変換部は各々対応する第1光電変換部に隣接して設けられ、第1センサ列と第2センサ列とが並列に設けられて構成される。このような構成のリニアセンサでは、第1光電変換部から読み出された信号電荷に基づくダーク成分を含む像の信号と、各該第1光電変換部に隣接して設けられた対応する第2光電変換部から読み出された信号電荷に基づくダーク成分の信号とが、各々出力部から出力される。本開示に係る画像読み取り装置は、リニアセンサと、リニアセンサを移動するセンサ駆動機構と、リニアセンサに制御信号を出力する制御部と、リニアセンサから出力される信号に基づいて画像データを生成する画像処理部とを備える。リニアセンサは、1次元方向に配列された複数の第1光電変換部を有する第1センサ列と、1次元方向に配列された複数の第2光電変換部を有する第2センサ列と、各第1光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第1水平転送部と、各第2光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第2水平転送部と、第1水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力し、第2水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する出力部とを備える。第1光電変換部は光が入射する開口を有する光電変換部であり、第2光電変換部は光が入射する開口が塞がれた光電変換部であり、各第2光電変換部は各々対応する第1光電変換部に隣接して設けられ、第1センサ列と第2センサ列とが並列に設けられて構成される。この画像読み取り装置では、第1光電変換部から読み出された信号電荷に基づくダーク成分を含む像の信号と、各該第1光電変換部に隣接して設けられた対応する第2光電変換部から読み出された信号電荷に基づくダーク成分の信号とが、各々出力部から出力される。本開示に係るリニアセンサにおいては、複数の第1光電変換部の各々に対応し、開口部が塞がれた第2光電変換部が隣接して設けられており、第2光電変換部において検出される信号電荷は、各々対応する第1光電変換部のダーク成分に相当する電荷を検出する。すなわち、本開示に係るリニアセンサにおいては、各位置の第1光電変換部で検出されたダーク成分を含む像の信号と、隣接する第2光電変換部で検出されたダーク成分の信号とが、各々出力部から出力される。そのため、仮にセンサ内での発熱が大きくなり、第1光電変換部から読み出された信号にダーク成分やシェーディングが発生するようになっても、第2光電変換部から読み出された信号を用いて減算処理することにより、これらの影響を排除することができる。従って、本開示に係るリニアセンサによれば、仮にセンサ内での発熱が大きくなった場合でも、ダーク成分やシェーディングの影響を排除でき、読み取り速度の高速化を実現可能なリニアセンサを提供することができる。本開示に係る画像読み取り装置にあっては、リニアセンサにおける複数の第1光電変換部の各々に対応して第2光電変換部が隣接して設けられ、第2光電変換部において検出される信号電荷は、各々対応する第1光電変換部のダーク成分に相当する電荷を検出する。すなわち、本開示に係る画像読み取り装置においては、各位置の第1光電変換部で検出されたダーク成分を含む像の信号と、隣接する第2光電変換部で検出されたダーク成分の信号とが、各々出力部から出力される。そのため、仮にセンサ内での発熱が大きくなり、第1光電変換部から読み出された信号にダーク成分やシェーディングが発生するようになっても、第2光電変換部から読み出された信号を用いて減算処理する等により、これらの影響を排除することができる。従って、本開示の画像読み取り装置によれば、仮にセンサ内での発熱が大きくなった場合でも、ダーク成分やシェーディングの影響を排除でき、高速で画像読み取りが可能な画像読み取り装置を提供することができる。以下、発明を実施するための形態以下、実施形態とするについて説明する。なお、説明は以下の順序で行う。1.画像読み取り装置の構成の概要2.第1構成形態のリニアセンサ3.第2構成形態のリニアセンサ[1.画像読み取り装置の構成の概要]まず、本技術に係る画像読み取り装置について説明する。図1は本技術の適用例として示す画像読み取り装置の概略構成図、図2はリニアセンサによる画像読み取りのメカニズムを説明するための説明図である。なお、図1及び図2中に付記した座標系をもってX方向,Y方向,Z方向と称して説明する。図1に示すように、画像読み取り装置スキャナSは、リニアセンサモジュール1と、リニアセンサ駆動機構2と、ガラス台3と、画像処理部4と、インターフェイスI/F回路5と、制御部6とを備えている。また、図示しないが画像読み取り装置Sには、原稿8を連続的にガラス台3上に配置する自動給紙機構を備えている。画像読み取り装置Sには、パーソナルコンピュータPC7が接続ケーブルを介して接続されている。画像読み取り装置Sは、PC7からの要求に応じてガラス台3に載置された原稿8の読み取りを行う。I/F回路5は、PC7との接続を可能にするものである。本実施形態では、I/F回路5としては、画像読み取り装置SからPC7にデータを高速で転送するため、IEEE1394に対応したものが用いられる。ただし、I/F回路5としては、USBに対応したものなどを用いてもよい。PC7には、画像読み取り装置Sを制御するためのドライバソフトと、画像を表示するためのアプリケーションソフトが予めインストールされている。このアプリケーションソフトは、画像読み取り装置SからPC7に対して転送される画像データを記憶し、この画像データに基づき、画像を表示するためのソフトである。そして、画像読み取り装置Sを利用するユーザは、PC7を用いて次のように原稿8を画像読み取り装置Sによって読み取る。まず、画像読み取り装置Sが備える自動給紙機構に、画像を読み取る対象である原稿8を入れる。その後、PC7を制御して、PC7から画像読み取り装置Sへ制御信号を出力し、画像読み取り装置Sに読み取り動作を開始させる。画像読み取り装置Sの制御部6は、自動給紙機構を制御して、原稿台であるガラス台3上に原稿8を載置する。また、画像読み取り装置Sの制御部6は、リニアセンサモジュール1に転送パルスなどの制御信号を出力し、さらにリニアセンサ駆動機構2を動作させて、リニアセンサモジュール1を副走査方向であるX方向に移動させる。これにより、リニアセンサモジュール1からは主走査方向であるY方向のライン以下、水平ラインというの画像信号が出力される。リニアセンサモジュール1から出力された画像信号は、画像処理部4に順次入力される。画像処理部4は、入力された水平ライン毎の画像信号に基づいて、画像データを生成する。画像処理部4により生成された画像データは、I/F回路5を介してPC7へ入力される。なお、リニアセンサモジュール1から出力される水平ライン毎の画像信号は、1次元的な画像情報を時系列的な電気信号としたものであり、リニアセンサモジュール1の各光電変換部の信号電荷に応じた電圧信号である画素信号が1水平ライン分連続したものである。そして、リニアセンサモジュール1は、図2に示すように、副走査方向X方向にt1,t2,t3という様に移動しながら、水平ライン毎に信号電荷の蓄積、転送、出力という動作を繰り返して、原稿8全体の画像情報を取得する。なお、カラーの画像読み取り装置において、リニアセンサモジュール1は、RGBの各色に対応した3つのリニアセンサを有する。同時並列で読み込まれた各色の水平ラインの画像信号は、画像処理部4に対して出力され、画像処理部4においてカラーの画像データが生成される。このように、画像読み取り装置Sは、リニアセンサモジュール1を用いて原稿8の読み取りを行う。市場における画像読み取り装置に対する読み取り速度の高速化の要望は非常に強く、画像読み取り装置は高速化モデルへとシフトしている。画像読み取り装置の読み取り速度を高速化するためには、既述したように、全ての光電変換部の電荷をいかに速く出力部から出力できるかに依るところが大きい。読み取り速度を高速化する手段として、リニアセンサモジュール1の水平転送部の駆動周波数をアップして高速化することや、出力部の周波数特性をアップして高速化することが考えられる。しかし、水平転送部の駆動周波数アップは水平転送部の発熱によりダーク成分の増大を招き、出力部の周波数特性アップは水平転送部の終端に位置する出力部の発熱に伴うダーク成分のシェーディングを招く。原稿8をスキャンする以前に基準黒画像をスキャニングするプレスキャンの手法では、読み取り作業が繁雑であるとともに高速化の要求に反する。従って、読み取り速度の更なる高速化を実現するためには、仮にリニアセンサ内で発熱が大きくなった場合でも、ダーク成分やシェーディングの影響を排除し得る構成にする必要がある。本開示に係るリニアセンサモジュール1においては、画像を読み取る個々の光電変換部受光センサというに対応して、光が入射する開口部を塞いだ光電変換部遮光センサというを設けている。そして、受光センサより読み出されたダーク成分を含む像の信号から、遮光センサより読み出されたダーク成分の信号を減算することにより、ダーク成分やシェーディングの影響を排除する。これにより、読み取り速度の更なる高速化を実現可能としている。以下、リニアセンサモジュール11A,1Bの構成及び作用について説明する。[2.第1構成形態のリニアセンサ][2.1第1構成形態のリニアセンサの構成]まず、第1構成形態のリニアセンサの構成について説明する。図3にリニアセンサモジュール1Aの概略構成図を示す。リニアセンサモジュール1Aは、半導体基板上に、各々赤Red,緑Green,青Blueに分光感度を有する3つのリニアセンサR10,G10,B10が並列に形成されてパッケージ化されたものである。各リニアセンサR10,G10,B10は、各々、ダーク成分を含む像を検出して信号電荷を転送する受光センサ系列15aと、ダーク成分を検出して信号電荷を転送する遮光センサ系列15bと、出力信号を生成する出力部18とを有する。受光センサ系列15aは、受光センサ列12a、読み出しゲート13a及び第1水平転送部14aなどから構成される。遮光センサ系列15bは、遮光センサ列12b、読み出しゲート13b及び第2水平転送部14bなどから構成される。なお、3つのリニアセンサR10,G10,B10は、色域に対する分光感度を除いて基本的な構成は同一になっている。そこで、以降では、3つのリニアセンサを識別する場合を除いて識別子であるR,G,Bの接頭文字を削除し、リニアセンサ10と表記して説明する。図4にリニアセンサ10の概要構成図を示す。上述したように、リニアセンサ10は、ダーク成分を含む像を検出して信号電荷を転送する受光センサ系列15aと、ダーク成分を検出して信号電荷を転送する遮光センサ系列15bと、出力信号を生成する出力部18とを有する。すなわち、リニアセンサ10は、電荷の検出及び転送を行う2つのセンサ系列と、1つの出力部とを有する。受光センサ系列15aは、受光センサ列12a、読み出しゲート13a及び第1水平転送部14aなどから構成される。遮光センサ系列15bは、遮光センサ列12b、読み出しゲート13b及び第2水平転送部14bなどから構成される。受光センサ系列15aと遮光センサ系列15bとの基本的な相違は、受光センサ列12aを構成する受光センサ11aと、遮光センサ列12bを構成する遮光センサ11bとにある。受光センサ列12aには、光が入射する開口部を有する開口センサとして構成される複数の受光センサ11a,11a,11a...がY軸方向に1列に並んで配列されている。一方、遮光センサ列12bには、光が入射する開口部が塞がれた複数の遮光センサ11b,11b,11b...がY軸方向に1列に並んで配列されている。各遮光センサ11bは、それぞれ対応する受光センサ11aに隣接して形成されており、受光センサ列12a及び遮光センサ列12bが図4における上下に並んで並列に設けられる。図4中に付記したV-V矢視のリニアセンサ10の断面図を図5に示し、図4中に付記したVIの領域の部分拡大図を図6に示す。受光センサ11aは、N型シリコン基板110のPウェル領域111上に形成されたN型の不純物拡散領域であるN型拡散領域121と、このN型拡散領域121上に形成されたP型の不純物拡散領域であるP型拡散領域122とを基本的な構成要素とする。そして、このようなPNPN接合のフォトダイオード構造によってHADセンサHoleAccumulationDiodeSensorを構成する。Pウェル領域111上には、読み出しゲート13aを構成するP型拡散領域123を挟んで、第1水平転送部14aを構成するP型拡散領域124及びN型拡散領域125が形成される。そして、P型拡散領域123及びN型拡散領域125の上に、ゲート絶縁膜を挟んで多結晶シリコンからなる読み出し/転送電極126a,126bが形成され、受光センサ系列15aの読み出しゲート13a及び第1水平転送部14aが構成される。また、受光センサ11a、読み出しゲート13a及び第1水平転送部14aを覆って、光透過性を有する層間絶縁膜127が積層される。層間絶縁膜127の上には、P型拡散領域123の上方に開口部128aを有し、読み出しゲート13a及び第1水平転送部14aを覆う遮光膜例えばAl蒸着膜128が形成され、最上層には基板全面を覆って表面保護層不図示が形成される。遮光センサ11bは、遮光膜128に開口部が形成されない点を除いて、受光センサ11aと同一構成になっている。すなわち、遮光センサ11bは、N型シリコン基板110のPウェル領域111上に形成されたN型拡散領域121と、このN型拡散領域121上に形成されたP型拡散領域122とを基本的な構成要素とする。Pウェル領域111上には、読み出しゲート13bを構成するP型拡散領域123を挟んで、第2水平転送部14bを構成するP型拡散領域124及びN型拡散領域125が形成される。また、受光センサ11aのP型拡散領域123と、遮光センサ11bのP型拡散領域123との間には、画素分離部16を構成するP型拡散領域129が形成される。画素分離部16は、互いに隣接する受光センサ11aの相互間、互いに隣接する遮光センサ11bの相互間、及び互いに隣接する受光センサ11aと遮光センサ11bとの間を分離する領域である。そして、P型拡散領域123及びN型拡散領域125の上に、ゲート絶縁膜を挟んで多結晶シリコンからなる読み出し/転送電極126a,126bが形成され、遮光センサ系列15bの読み出しゲート13b及び第2水平転送部14bが構成される。また、前述した受光センサ11a、読み出しゲート13a及び第1水平転送部14aを含み、遮光センサ系列15bの遮光センサ11b、読み出しゲート13b及び第2水平転送部14bを覆う全面に、光透過性の層間絶縁膜127が積層される。層間絶縁膜127の上には、遮光センサのP型拡散領域123、読み出しゲート13b及び第2水平転送部14bの上方を含み、開口部128aを除く基板上面を覆う遮光膜128が形成され、最上層には基板全面を覆う表面保護層不図示が形成される。このように、受光センサ系列15aと遮光センサ系列15bとの相違は、受光センサ11aは入射する開口部128aを有するのに対し、遮光センサ11bは開口部を持たない点にあり、他の構成要素は基本的に同一構成になっている。受光センサ11aでは、開口部128aを通って入射した光がフォトダイオードのP型拡散領域122及びN型拡散領域121において光電変換され、発生した電子がN型拡散領域121に蓄積される。また、周囲の発熱等に起因して励起された電子ダーク成分の電子がN型拡散領域121に蓄積される。すなわち、受光センサ11aのN型拡散領域121には、像の信号電荷とダーク成分の信号電荷とが蓄積される。遮光センサ11bでは、フォトダイオードの領域が遮光膜128により覆われており開口部を持たないため光が入射しない。そのため遮光センサ11bにおいては、周囲の発熱等に起因して励起された電子ダーク成分の電子がN型拡散領域121に蓄積される。すなわち、遮光センサ11bのN型拡散領域121には、ダーク成分の信号電荷のみが蓄積される。受光センサ11aのN型拡散領域121に蓄積された信号電荷は、読み出しゲート13aを介して第1水平転送部14aに読み出され、第1水平転送部14aにより出力部18に向けて転送される。遮光センサ11bのN型拡散領域121に蓄積された信号電荷は、読み出しゲート13bを介して第2水平転送部14bに読み出され、第2水平転送部14bにより出力部18に向けて転送される。なお、本構成形態では、第1,第2水平転送部14a,14bをP型拡散領域124及びN型拡散領域125からなる複層構成とし、1層目の転送電極126a及び2層目の読み出し/転送電極126bを設けた場合を例示した。しかし、第1,第2水平転送部をN型拡散領域125からなる単層構成とし、図6に対応する部分拡大図を図7に示すように、読み出し/転送電極126bを設ける構成としても良い。第1水平転送部14aの終端部には、受光センサ11a及び読み出しゲート13aを備えず、上流側から転送されてきた信号電荷を出力部18に転送する第1接続転送部14axが設けられている。また、第2水平転送部14bの終端部には、遮光センサ11b及び読み出しゲート13bを備えず、転送されてきた信号電荷を出力部18に転送する第2接続転送部14bxが設けられている。すなわち、本構成形態のリニアセンサ10においては、第1水平転送部14aにより転送された信号電荷と、第2水平転送部14bにより転送された信号電荷とが、一つの出力部18により検出されるようになっている。第1,第2水平転送部14a,14bと出力部18との接続部分の概要構成図を図8に示す。出力部18は、第1,第2接続転送部が接続される出力ゲート181、電荷検出部FDアンプ182、電荷検出部182に隣設されたリセットゲート183及びリセットドレイン184、出力回路部185などから構成される。第1,第2水平転送部14a,14bにより転送された信号電荷は、電荷検出部182により検出されて信号電圧に変換され、出力回路部185から出力される。[2.2リニアセンサの駆動方法]次に、リニアセンサ10の駆動方法について図9を参照して説明する。図9a及びbはリニアセンサ10に印加される各制御信号のタイミングチャート、図9cは出力回路部185から出力される出力信号の様子を示すタイミングチャートである。図9において、φROGは読み出しゲート13bの駆動パルス、φRSはリセットゲート183の駆動パルス、φ1,φ2は読み出し/転送電極126a,126bの駆動パルス、φL1,φL2は第1,第2接続転送部の最終転送電極の駆動パルスである。なお、出力ゲート181は任意の固定バイアスであり、φL1,φL2がオフした時に電荷検出部182へ電荷が転送される。画像読み取り装置Sによる原稿8の読み取り作動が始まり、リニアセンサ駆動機構2によりリニアセンサモジュール1が所定の読み取り位置に移動されると、制御部6は読み出しゲート13bの駆動パルス読み出しゲートパルスというφROGをHiにする。このとき、受光センサ系列15aの各受光センサ11aN型拡散領域121に蓄積されていた電荷は、その大きさ電子数とするが図10に15~12の数値で示すようであったとする。また、遮光センサ系列15bの各遮光センサ11bN型拡散領域121に蓄積されていた電荷は、その大きさ電子数が図10に5~2の数値で示すようであったとする。読み出しゲートパルスφROGがHiになり、読み出しゲート13aのポテンシャルが下がると、受光センサ系列15aの受光センサ11a,11a...に蓄積された電子数15~12の電荷が、そのまま信号電荷として第1水平転送部14aに移動する。すなわち、受光センサ11a,11a...の信号電荷が第1水平転送部14aに読み出される。また、遮光センサ系列15bの遮光センサ11b,11b...に蓄積された電子数5~2の電荷が、そのまま信号電荷として第2水平転送部14bに移動する。すなわち、遮光センサ11b,11b...の信号電荷が第2水平転送部14bに読み出される。受光センサ11a,11a...の信号電荷及び遮光センサ11b,11b...の信号電荷が、各々第1水平転送部14a及び第2水平転送部14bに読み出されると、制御部6は読み出しゲートパルスφROGをLowにする。次いで、制御部6は、図9bに示すように、リセットゲート駆動パルスリセットパルスというφRS、転送電極駆動パルス転送パルスというφ1,φ2、及び最終転送電極駆動パルス最終転送パルスというφL1,φL2を制御する。転送パルスφ1,φ2は、Hi-Lowが反転されたパルスであり、これを時系列で繰り返すことにより、第1,第2水平転送部14a,14bに読み出された信号電荷が、順次各水平転送部の第1,第2接続転送部14ax,14bxに向けて転送される。時刻t1では、図10における最も左側の受光センサ11aから読み出された電子数15の信号電荷Cj1が第1接続転送部14axの終端部、最も左側の遮光センサ11bから読み出された電子数5の信号電荷Cd1が第2接続転送部14bxの終端部まで送られている。このとき、転送パルスφ2はLow、最終転送パルスφL1及びφL2はHiであり、電子数15の信号電荷Cj1は第1接続転送部14axにおけるφL1の電極領域、電子数5の信号電荷Cd1は第2接続転送部14bxにおけるφL2の電極領域に保持されている。時刻t2では、最終転送パルスφL2がLowになる。そのため、φL2の電極領域のポテンシャルが高くなり、この領域に位置していた電子数5の信号電荷Cd1が出力ゲート181を通って電荷検出部182のフローティングディフュージョンFDに流れ込む。電荷検出部182では、電子数5の信号電荷Cd1が、その大きさに応じた大きさの信号電圧Vd1に変換され、出力回路部185に出力される。時刻t3には、リセットパルスφRSが所定時間Hiになる。そのため、フローティングディフュージョンFDに隣接するリセットゲートが開き、フローティングディフュージョンFDに転送された信号電荷Cd1がリセットドレイン184に掃き捨てられる。この時刻t2から時刻t3までの期間図9においてT1で示す期間が、第2水平転送部14bにより転送されてきた遮光センサ11bからの信号電荷の電荷転送時間である。次いで、時刻t5には、最終転送パルスφL1がLowになる。そのため、φL1の電極領域のポテンシャルが高くなり、この領域に位置していた電子数15の信号電荷Cj1が出力ゲート181を通って電荷検出部182のフローティングディフュージョンFDに流れ込む。電荷検出部182では、電子数15の信号電荷Cj1が、その大きさに応じた大きさの信号電圧Vj1に変換され、出力回路部185に出力される。時刻t6には、転送パルスφ1がLow,φ2がHiになる。すなわち、φ1の電極領域のポテンシャルが高く、φL2の電極領域のポテンシャルが高くなる。そのため、図10における左端から2番目の受光センサから読み出された電子数14の信号電荷Cj2が第1接続転送部14axの終端部、左端から2番目の遮光センサ11bから読み出された電子数4の信号電荷Cd2が第2接続転送部14bxの終端部に送られてくる。時刻t7には、リセットパルスφRSが所定時間Hiになる。そのため、フローティングディフュージョンFDに隣接するリセットゲートが開き、フローティングディフュージョンFDに転送された電子数15の信号電荷Cj1がリセットドレイン184に掃き捨てられる。時刻t5から時刻t7までの期間図9においてT2で示す期間が、第1水平転送部14aにより転送されてきた受光センサ11aからの信号電荷の電荷転送時間である。図示する構成例においては、電荷転送時間をT1<T2としている。第2水平転送部14bにより転送されてくる遮光センサ11bからの信号電荷は、第1水平転送部14aにより転送されてくる受光センサ11aからの信号電荷よりも少ないため、転送時間が短くて済むためである。なお、電荷転送時間を受光センサ11aからの信号電荷の電荷転送時間に合わせてT1=T2としても良い。この場合、リセットパルスφRSを一定周期のクロックパルスとすることができる。また、時刻t7には、最終転送パルスφL1及びφL2がともにHiになる。そのため、時刻t6~t7の期間に第1接続転送部14axの終端部に転送されてきた電子数14の信号電荷Cj2がφL1の電極領域、第2接続転送部14bxの終端部に送られてきた電子数4の信号電荷Cd2がφL2の電極領域に保持される。以降は、時刻t1~t7のスパンについて説明した事項が繰り返し実行される。すなわち、以上の第1スパンにおいて、図10における左端の遮光センサ11b及び受光センサ11aの信号電荷が電荷検出部182に順次読み出され、各信号電荷に応じた大きさ5の信号電圧Vd1及び大きさ15の信号電圧Vj1が出力回路部185から出力される。第2スパンにおいては図10における左端から2番目の遮光センサ11b及び受光センサ11aの信号電荷が電荷検出部182に順次読み出され、各信号電荷に応じた大きさ4の信号電圧Vd2及び大きさ14の信号電圧Vj2が出力回路部185から出力される。第3スパンにおいては図10における左端から3番目の遮光センサ11b及び受光センサ11aの信号電荷が電荷検出部182に順次読み出され、各信号電荷に応じた大きさ3の信号電圧Vd3及び大きさ13の信号電圧Vj3が出力回路部185から出力される。第4スパン以降も同様である。図9cは、このようにして出力回路部185から出力される出力信号、すなわち出力部18から出力される出力信号の時系列変化を示したものである。出力信号は、各々リセットパルスを挟んでVd1,Vj1,Vd2,Vj2,Vd3,Vj3,Vd4,Vj4...の順に並んだ時系列データとなる。このように、出力部18から出力される出力信号は、遮光センサ11bの信号電荷に基づくダーク成分の信号電圧と、受光センサ11aの信号電荷に基づくダーク成分を含む像の信号電圧とが、時間的に分離された状態で、時系列で出力される電気信号である。ここで、図11は、出力部から出力されたダーク成分を含む像の信号電圧の測定データである。図における横軸は時間、縦軸は電圧であり、上記Vj1,Vj2,Vj3,Vj4...の時系列波形に相当する。なお、本測定データにおいて、受光センサ列12aを構成する受光センサ11aの数画素数は約5000である。この測定データから、ダーク成分のシェーディングダークシェーディングは14mVであった。同じリニアセンサにおいて、受光センサ列12aを構成する複数の受光センサ11aについて基準黒画像を読み込んでダーク成分ダークノイズを計測し、プロットしたデータを図12に示す。図における横軸は受光センサのアドレス、縦軸は電圧である。この測定データから、ダーク成分が大きい受光センサでのダーク成分の信号電圧は4.1mVであった。また、計測されたダーク成分の信号電圧のばらつきσは0.26mVであった。これらの測定データから、ダークシェーディングの絶対値は、ダークノイズの絶対値より大きく、またダークノイズのばらつきよりも大きいことが理解される。従って、出力部18から出力された時系列の信号電圧に基づき、各スパンごとに、ダーク成分を含む像の信号電圧Vjからダーク成分の信号電圧Vdを減算することによって、ダーク成分を除いた像本来の信号電圧Vrを求められることが分かる。具体的には、減算部19において、第1スパンの信号電圧Vj1から信号電圧Vd1を減算することによって、図10における左端の受光センサ位置のダーク成分を除いた像本来の信号電圧Vr1を求めることができる。上記設例においては、信号電圧Vj1=15、信号電圧Vd1=5である。従って、左端の受光センサ位置でのダーク成分を除いた像本来の信号電圧Vr1は、Vr1=Vj1-Vd1=15-5=10、と求めることができる。同様に、左端から2番目の受光センサ位置のダーク成分を除いた像本来の信号電圧Vr2は、第2スパンにおける信号電圧Vj2=14、Vd2=4より、Vr2=Vj2-Vd2=14-4=10と求めることができる。左端から3番目の受光センサ位置のダーク成分を除いた像本来の信号電圧Vr3は、第3スパンにおけるVj3=13、Vd3=3より、Vr3=Vj3-Vd3=13-3=10、と求めることができる。以下同様に、Vr4=Vj4-Vd4=12-2=10、Vr5=Vj5-Vd5=12-2=10、と求めることができる。すなわち、ダーク成分を含む像の信号電圧Vj1,Vj2,Vj3,Vj4...は、15,14,13,12...であり、ダーク成分の信号電圧Vd1,Vd2,Vd3,Vd4...は、5,4,3,2...である。これより、ダーク成分を除いた像本来の信号電圧Vr1,Vr2,Vr3,Vr4...は、10,10,10,10...、と求められる。ダーク成分の信号電圧は5,4,3,2...2,2のように変化している。これが、ダーク成分のシェーディングである。図13は、この様子を模式的に示した説明図である。図13aはダーク成分を含む像の信号電圧Vj1,Vj2,Vj3,Vj4...からなる信号波形、図13bはダーク成分の信号電圧Vd1,Vd2,Vd3,Vd4...からなる信号波形、図13cは減算処理後の信号電圧Vr1,Vr2,Vr3,Vr4...からなる信号波形である。そして、このようにして求められた像本来の信号電圧VrVr1,Vr2,Vr3,Vr4...が、画像処理部4において画像信号として処理され、1ラインの画像が生成される。なお、以上では、遮光センサ11bにより検出されたダーク成分の信号電荷CdnCd1,Cd2,Cd3,Cd4...を先に転送し、次いで受光センサ11aにより検出されたダーク成分を含む像の信号電荷CjnCj1,Cj2,Cj3,Cj4...を転送する構成を例示した。しかし、以上の説明からも明らかなように、電荷検出部182への信号電荷の転送順序は上記と逆であっても良い。すなわち、受光センサ11aにより検出されたダーク成分を含む像の信号電荷Cjnを先に転送し、次いで遮光センサ11bにより検出されたダーク成分の信号電荷Cdnを転送するようにしても良い。この場合、出力部18からの出力信号は、各々リセットパルスを挟んでVj1,Vd1,Vj2,Vd2,Vj3,Vd3,Vj4,Vd4...の順に並んだ時系列データとなる。また、以上では、画像処理部4に減算部19を設けて減算処理する構成を説明したが、従来から画像処理部4において行われているCCDアナログ信号の処理プロセスを利用することができる。すなわち、遮光センサ11bから読み出されて出力部18から出力されたダーク成分の信号Vdnをプリチャージ相の信号とし、受光センサ11aから読み出されて出力部18から出力されたダーク成分を含む像の信号Vjnをデータ相の信号として、相関2重サンプリングCDS:CorrelatedDoubleSamplingによって減算処理するように構成することができる。一方、減算部19をリニアセンサの出力部18に設け、減算処理後の画像信号を画像処理部4に出力するように構成しても良い。このような構成によれば、画像処理部4における処理プロセスを簡明化することができる。以上説明したリニアセンサ10においては、受光センサ列12aに設けられた複数の受光センサ11aの各々に隣接して、各受光センサ11a対応する遮光センサ11bが設けられており、各遮光センサ11bにおいて対応する受光センサ11aのダーク成分に相当する電荷が検出される。そして、出力部18から、受光センサ列12aの各受光センサ11aで検出されたダーク成分を含む像の信号と、遮光センサ列12bの各遮光センサ11bで検出されたダーク成分の信号とが出力される。そのため、仮にセンサ内での発熱が大きくなり、受光センサ11aから読み出された信号にダーク成分やシェーディングが発生するようになっても、遮光センサ11bから読み出された信号を用いて減算処理することにより、これらの影響を排除することができる。また、リニアセンサ10では、第1水平転送部14aにより転送されてきた信号電荷Cjと、第2水平転送部14bにより転送されてきた信号電荷Cdとが、同じ電荷検出部182によって検出され、出力回路部185から出力される。すなわち一つの出力部18により検出されて出力される。このため、受光センサ系列15a及び遮光センサ系列15bの各々に出力部を設けた構成と比較して、リニアセンサの構成を簡明化でき、またセンサ全体の発熱量を低減することができる。さらに、第1水平転送部14aにより転送されてきた信号電荷Cjnと、第2水平転送部14bにより転送されてきた信号電荷Cdnとが、近接したタイミングで順次電荷検出部182に転送され、ダーク成分を含む像の信号とダーク成分の信号とが分離された状態で、時系列に並んで出力される。このため、ダーク成分を含む像の信号からダーク成分の信号を減算する処理を、時系列に沿って高速に行うことができる。従って、以上説明したリニアセンサ10によれば、仮にセンサ内での発熱が大きくなった場合でも、ダーク成分やシェーディングの影響を排除でき、読み取り速度の高速化を実現可能なリニアセンサを提供することができる。[2.3第1構成形態のリニアセンサの変更例]次に、リニアセンサ10の変更例について説明する。図14に変更例のリニアセンサ20の概要構成図を示す。なお、既述したリニアセンサ10と同一の構成部分には同一番号を付している。図4と図14とを対比して明らかなように、リニアセンサ20では、ともに1次元方向に配列された受光センサ11aと遮光センサ11bとが、Y軸方向にオフセットされて互い違いのスタガードstaggered配置になっている。すなわち、図示する変更例ではリニアセンサ20では、受光センサ列12aが遮光センサ列12bに対して幾分右方にオフセットされて受光センサ系列25aが形成されている。または、遮光センサ列12bが受光センサ列12aに対して幾分左方にオフセットされて遮光センサ系列15bが成されている。オフセット方向は左右何れであっても良い。受光センサ11aと遮光センサ11bとのオフセット量はセンサピッチの1/2以内である。このように、受光センサ11aと遮光センサ11bとがY軸方向に完全に同一位置でなくても、各遮光センサ11bは対応する隣接位置にある受光センサ11aのダーク成分に近似したダーク成分を検出することができる。従って、本構成例のリニアセンサにおいても、前述したリニアセンサ10と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。この場合において、第1水平転送部24aは、第1接続転送部14axに隣接する転送電極の幅をオフセット量に応じて拡大することにより、前述したリニアセンサ10と同一の駆動方法で駆動できる。一方、オフセットにより第1水平転送部24aが延長された部分に、新たなP型拡散領域124及びN型拡散領域125を形成して転送電極を付加し、第1接続転送部24axに転送される信号電荷Cjと、第2接続転送部24bxに転送される信号電荷Cdとが、交互に転送されるように構成しても良い。この場合には、第1接続転送部24ax及び第2接続転送部24bxに、最終転送電極φL1,φL2を設けることなくφ1,φ2が逆の駆動電極で構成することができる。[3.第2構成形態のリニアセンサ]次に、第2構成形態のリニアセンサについて説明する。図15にリニアセンサモジュール1Bの概略構成図を示す。リニアセンサモジュール1Bは、半導体基板上に、各々赤Red,緑Green,青Blueに分光感度を有する3つのリニアセンサR30,G30,B30が並列に形成されてパッケージ化されたものである。既述したリニアセンサモジュール1Aにおける3つのリニアセンサR10,G10,B10と同様に、リニアセンサモジュール1Aにおける3つのリニアセンサR30,G30,B30は、色域に対する分光感度を除いて基本的な構成は同一になっている。そこで、以降では同様に、3つのリニアセンサを識別する場合を除いて識別子であるR,G,Bの接頭文字を削除し、リニアセンサ30と表記して説明する。また、リニアセンサ10と同じ構成要素には同一番号を付して重複説明を省略する。図16にリニアセンサ30の概要構成図を示す。リニアセンサ30は、ダーク成分を含む像を検出して信号電荷を転送する受光センサ系列15aと、ダーク成分を検出して信号電荷を転送する遮光センサ系列15bと、受光センサ系列15aの出力信号を生成する第1出力部18aと、遮光センサ系列15bの出力信号を生成する第2出力部18bとを有する。すなわち、リニアセンサ30は、受光センサ系列15a及び遮光センサ系列15bの2つの電荷検出転送系列と、系列ごとに設けられた2つの出力部18a,18bとを有する。受光センサ系列15aは、受光センサ列12a、読み出しゲート13a及び第1水平転送部34aなどから構成される。遮光センサ系列15bは、遮光センサ列12b、読み出しゲート13b及び第2水平転送部34bなどから構成される。受光センサ系列15aはダーク成分を含む像を検出して信号電荷を転送する電荷検出転送系列であり、遮光センサ系列15bはダーク成分を検出して信号電荷を転送する電荷検出転送系列である。そして、本構成形態のリニアセンサ30では、受光センサ系列15aに第1出力部18a、遮光センサ系列15bに第2出力部18bが設けられている。そのため、リニアセンサ30においては、ダーク成分を含む像の信号電圧VjVj1,Vj2,Vj3,Vj4...が第1出力部18aから出力され、ダーク成分の信号電圧VdVd1,Vd2,Vd3,Vd4...が第2出力部18bから出力される。すなわち、リニアセンサ30においては、ダーク成分を含む像の信号電圧VjVj1,Vj2,Vj3,Vj4...と、ダーク成分の信号電圧VdVd1,Vd2,Vd3,Vd4...とが、異なる出力部から出力される。そのため、第1出力部18aから出力された信号電圧VjnVj1,Vj2,Vj3,Vj4...から、第1出力部18aから出力された信号電圧VdnVd1,Vd2,Vd3,Vd4...を減算部19で減算処理することにより、ダーク成分を除いた像の信号電圧VrnVr1,Vr2,Vr3,Vr4...を得ることができる。リニアセンサ30においては、ダーク成分を含む像の信号電荷CjnCj1,Cj2,Cj3,Cj4...と、ダーク成分の信号電荷CdnCd1,Cd2,Cd3,Cd4...とが、各々異なる出力部において検出される。このため、第1水平転送部34aにより転送されてきた信号電荷Cjnと、第2水平転送部34bにより転送されてきた信号電荷Cdnとを同時に転送しても、出力部で信号電荷が合成されるようなことがない。そのため、第1水平転送部34a及び第2水平転送部34bに、第1水平転送部14a及び第2水平転送部14bのような最終転送電極φL1,φL2を設ける必要がない。従って、リニアセンサの構成及び駆動制御を簡明化することができる。このように、リニアセンサ30においても、受光センサ列12aに設けられた複数の受光センサ11aの各々に隣接して、各受光センサ11a対応する遮光センサ11bが設けられており、各遮光センサ11bにおいて対応する受光センサ11aのダーク成分に相当する電荷が検出される。そして、出力部18aから、受光センサ列12aの各受光センサ11aで検出されたダーク成分を含む像の信号が出力され、出力部18bから遮光センサ列12bの各遮光センサ11bで検出されたダーク成分の信号が出力される。そのため、仮にセンサ内での発熱が大きくなり、受光センサ11aから読み出された信号にダーク成分やシェーディングが発生するようになっても、遮光センサ11bから読み出された信号を用いて減算処理することにより、これらの影響を排除することができる。また、リニアセンサ30では、第1水平転送部14aにより転送されてきた信号電荷Cjと、第2水平転送部14bにより転送されてきた信号電荷Cdとが、異なる出力部で検出され、各々独立して出力される。そのため、第1水平転送部34a及び第2水平転送部34bの構成、及びリニアセンサの駆動制御を簡明化することができる。以上、リニアセンサ10,20,30、及び画像読み取り装置Sの実施形態について説明してきたが、本技術は以下のように構成することもできる。11次元方向に配列された複数の第1光電変換部を有する第1センサ列と、1次元方向に配列された複数の第2光電変換部を有する第2センサ列と、各前記第1光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第1水平転送部と、各前記第2光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第2水平転送部と、前記第1水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力し、前記第2水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する出力部とを備え、前記第1光電変換部は、光が入射する開口を有する光電変換部であり、前記第2光電変換部は、光が入射する開口が塞がれた光電変換部であり、各前記第2光電変換部は、各々対応する前記第1光電変換部に隣接して設けられ、前記第1センサ列と第2センサ列とが並列に設けられたリニアセンサ。2前記第1水平転送部の終端部に、転送されてきた信号電荷を前記出力部に転送する第1接続転送部を有し、前記第2水平転送部の終端部に、転送されてきた信号電荷を前記出力部に転送する第2接続転送部を有し、前記第1水平転送部により転送された信号電荷、及び前記第2水平転送部により転送された信号電荷が一つの前記出力部により検出される1に記載のリニアセンサ。3前記第1接続転送部及び前記第2接続転送部の駆動タイミングは、前記第1光電変換部から読み出され前記第1水平転送部により転送されてきた信号電荷と、前記第1光電変換部に対応する前記第2光電変換部から読み出され前記第2水平転送部により転送されてきた信号電荷とが、時間的に分離されて順次前記出力部に転送される2に記載のリニアセンサ。4前記出力部は、前記第1水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する第1出力部と、前記第2水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する第2出力部と、を有する1に記載のリニアセンサ。5前記第1光電変換部から読み出された信号電荷に基づくダーク成分を含む像の信号から、前記第1光電変換部に対応する前記第2光電変換部から読み出された信号電荷に基づくダーク成分の信号を減算する減算部を備え、前記減算部により、ダーク成分が除去された像の信号が出力されるように構成した1~4のいずれかに記載のリニアセンサ。6前記減算部は、前記第2光電変換部から読み出されて前記出力部から出力されたダーク成分の信号をプリチャージ相の信号とし、前記第1光電変換部から読み出されて前記出力部から出力されたダーク成分を含む像の信号をデータ相の信号として、相関二重サンプリングにより減算処理する1~5のいずれかに記載のリニアセンサ。7リニアセンサと、前記リニアセンサを移動するセンサ駆動機構と、前記リニアセンサに制御信号を出力する制御部と、前記リニアセンサから出力される信号に基づいて画像データを生成する画像処理部とを備え、前記リニアセンサは、1次元方向に配列された複数の第1光電変換部を有する第1センサ列と、1次元方向に配列された複数の第2光電変換部を有する第2センサ列と、各前記第1光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第1水平転送部と、各前記第2光電変換部から信号電荷を読み出して列方向に転送する第2水平転送部と、前記第1水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力し、前記第2水平転送部により転送された信号電荷を検出して出力する出力部とを備え、前記第1光電変換部は、光が入射する開口を有する光電変換部であり、前記第2光電変換部は、光が入射する開口が塞がれた光電変換部であり、各前記第2光電変換部は、各々対応する前記第1光電変換部に隣接して設けられ、前記第1センサ列と第2センサ列とが並列に設けられる画像読み取り装置。以上に開示した各構成形態の説明は本技術の一例であり、本技術は上述の実施の形態に限定されることはない。このため、上述した各実施の形態以外であっても、本技術に係る技術的思想を逸脱しない範囲であれば、設計等に応じて種々の変更が可能であることは勿論である。例えば、本技術は、CMOScomplementarymetaloxidesemiconductor型のセンサにおいても適用可能である。"