"結晶化度分布Δρが3<Δρ≦15にあるポリエステルを、反応槽に供給して固相重合する固相重合工程と、前記固相重合されたポリエステルを、フィルム状に押出成形する押出成形工程と、を有するポリエステルフィルムの製造方法。前記ポリエステルの結晶化度分布Δρが5≦Δρ≦13にある請求項1に記載のポリエステルフィルムの製造方法。前記ポリエステルは、結晶子径分布ΔDが10以下である請求項1または請求項2に記載のポリエステルフィルムの製造方法。前記ポリエステルは、結晶子径分布ΔDが3~9である請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のポリエステルフィルムの製造方法。前記固相重合工程の前に、前記ポリエステルに温熱ガスを供給し、供給された前記温熱ガスによって前記ポリエステルを加熱して結晶化する請求項1~請求項4のいずれか1項に記載のポリエステルフィルムの製造方法。前記温熱ガスの供給量Nm3/Kgが、前記ポリエステル1kgに対して、0.1Nm3~1.5Nm3である請求項5に記載のポリエステルフィルムの製造方法。前記反応槽に入れるときの前記ポリエステルの温度が、180°C~220°Cである請求項1~請求項6のいずれか1項に記載のポリエステルフィルムの製造方法。前記固相重合の時間が、5時間~100時間である請求項1~請求項7のいずれか1項に記載のポリエステルフィルムの製造方法。前記固相重合前のポリエステルの結晶子径Dが80Å~120Åである請求項1~請求項8のいずれか1項に記載のポリエステルフィルムの製造方法。前記固相重合前のポリエステルの結晶化度ρが47~58である請求項1~請求項9のいずれか1項に記載のポリエステルフィルムの製造方法。請求項1~請求項10のいずれか1項に記載のポリエステルフィルムの製造方法により製造された太陽電池用ポリエステルフィルム。長尺状の形状を有すると共に、末端COOHを少なくとも含み、長手方向における前記末端COOHの量のバラツキが2eq/ton未満である請求項11に記載の太陽電池用ポリエステルフィルム。太陽光が入射する透明性の基板と、太陽電池素子と、該太陽電池素子の前記基板が配される側と反対側に設けられた請求項11または請求項12に記載の太陽電池用ポリエステルフィルムを備えた太陽電池発電モジュール。しかしながら、固相重合を用いて、低末端カルボキシ基量のポリエステル樹脂を合成することができても、特にポリエステルフィルムを製膜する際に、ポリエステルの分解が進行してしまい、結果的に、フィルムの末端カルボキシ基は、原料樹脂よりも高いことが、一般的である。また、製膜時の分解反応は、一様に起こるわけではないため、フィルムの長手方向で、末端カルボキシ基量が変動し、結果として、フィルムの耐候性にムラが生じてしまう。特に、特許文献1にあるような、末端カルボキシ基量が20当量/トン以下のフィルムでは、カルボキシ基量のわずかな変動でも、耐候性が大きく変化してしまうことが問題であった。この問題は、末端カルボキシ基量の低下と共に、耐候性が加速度的に向上することに付随した、新たな問題である。本発明は、従来のポリエステルフィルムの製造方法に比べて、耐加水分解性のバラツキが抑制されたポリエステルフィルムを得るポリエステルフィルムの製造方法、耐加水分解性のバラツキが抑制された太陽電池用ポリエステルフィルム、及び、長期に亘り安定的な発電性能が得られる太陽電池発電モジュールを提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。<1>結晶化度分布Δρが3<Δρ≦15にあるポリエステルを、反応槽に供給して固相重合する固相重合工程と、前記固相重合されたポリエステルを、フィルム状に押出成形する押出成形工程と、を有するポリエステルフィルムの製造方法である。<2>前記ポリエステルの結晶化度分布Δρが5≦Δρ≦13にある前記<1>に記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<3>前記ポリエステルは、結晶子径分布ΔDが10以下である前記<1>または前記<2>に記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<4>前記ポリエステルは、結晶子径分布ΔDが3~9である前記<1>~前記<3>のいずれか1つに記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<5>前記固相重合工程の前に、前記ポリエステルに温熱ガスを供給し、供給された前記温熱ガスによって前記ポリエステルを加熱して結晶化する前記<1>~前記<4>のいずれか1つに記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<6>前記温熱ガスの供給量Nm3/Kgが、前記ポリエステル1kgに対して、0.1Nm3~1.5Nm3である前記<5>に記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<7>前記反応槽に入れるときの前記ポリエステルの温度が、180°C~220°Cである前記<1>~前記<6>のいずれか1つに記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<8>前記固相重合の時間が、5時間~100時間である前記<1>~前記<7>のいずれか1つに記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<9>前記固相重合前のポリエステルの結晶子径Dが80Å~120Åである前記<1>~前記<8>のいずれか1つに記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<10>前記固相重合前のポリエステルの結晶化度ρが47~58である前記<1>~前記<9>のいずれか1つに記載のポリエステルフィルムの製造方法である。<11>前記<1>~前記<10>のいずれか1つに記載のポリエステルフィルムの製造方法により製造された太陽電池用ポリエステルフィルムである。<12>長尺状の形状を有すると共に、末端COOHを少なくとも含み、長手方向における前記末端COOHの量のバラツキが2eq/ton未満である前記<11>に記載の太陽電池用ポリエステルフィルムである。<13>太陽光が入射する透明性の基板と、太陽電池素子と、該太陽電池素子の前記基板が配される側と反対側に設けられた前記<11>または前記<12>に記載の太陽電池用ポリエステルフィルムを備えた太陽電池発電モジュールである。本発明によれば、従来のポリエステルフィルムの製造方法に比べて、耐加水分解性のバラツキが抑制されたポリエステルフィルムを得るポリエステルフィルムの製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、従来のポリエステルフィルムに比べて耐加水分解性のバラツキが抑制された太陽電池用ポリエステルフィルムを提供することができる。更に、本発明によれば、長期に亘り安定的な発電性能が得られる太陽電池発電モジュールを提供することができる。以下、本発明のポリエステルフィルムの製造方法、並びにこれを用いた太陽電池用ポリエステルフィルム及び太陽電池発電モジュールについて詳細に説明する。<ポリエステルフィルムの製造方法>本発明のポリエステルフィルムの製造方法は、結晶化度分布Δρが3<Δρ≦15にあるポリエステルを、反応槽に供給して固相重合する固相重合工程と、前記固相重合されたポリエステルを、フィルム状に押出成形する押出成形工程と、を有するように構成されたものである。本発明のポリエステルフィルムの製造方法は、必要に応じて、さらに他の工程を有して構成されてもよい。ポリエステルフィルムの製造方法を上記構成とすることで、耐加水分解性のバラツキが抑制されたポリエステルフィルムを得ることができる。ポリエステルは、ポリエステルが末端カルボキシ基末端COOHを有していることで、末端カルボキシ基末端COOHが触媒となって、加水分解を生じ易い。ポリエステルが有する末端COOHの量は、ポリエステルの末端COOH量AVの大きさにより確認することができ、末端COOH量が小さいポリエステルほど、耐加水分解性に優れるといえる。ポリエステルの末端COOH量は、押出成形時等において、ポリエステルを加熱し、溶融するときに大きくなり易い。これは、ポリエステルが過熱状態におかれることで熱分解を起こし、末端COOHが生成するためと考えられる。ポリエステルの過熱は、押出機内でポリエステルを押出す圧力が変動すること圧力変動により生じ易いと考えられる。ここで、このような押出機内での圧力変動は、押出機に投入するポリエステルの結晶化度ρの分布Δρが狭いときに発生し易く、結晶化度分布Δρが大きいときに、圧力変動を抑制し得ることを見出した。これは、滑剤による押出し負荷の低減効果と類似した現象と考えている。具体的には、結晶化度分布Δρが3<Δρ≦15にあるポリエステルを用いて押出成形をすることで、押出機内での圧力変動が抑制され、ポリエステルの末端COOH量AVが小さくなると共に、ポリエステルをフィルム状に成形したときに、フィルムの位置によって末端COOH量がばらつくことが抑制される。さらに、押出成形するポリエステルを固相重合することで、ポリエステルの末端COOH量酸価、結晶化度ρ、固有粘度InterisicViscosity;IV、含水率等を制御することができる。以下、本発明のポリエステルフィルムの製造方法について、詳細に説明する。固相重合工程固相重合工程では、結晶化度分布Δρが3<Δρ≦15にあるポリエステルを、反応槽に供給して固相重合する。ポリエステルまず、ポリエステルについて説明する。ポリエステルの種類は特に制限されない。ジカルボン酸成分と、ジオール成分とを用いて合成してもよいし、市販のポリエステルを用いてもよい。ポリエステルを合成する場合は、例えば、Aジカルボン酸成分と、Bジオール成分とを、周知の方法でエステル化反応及び/又はエステル交換反応させることによって得ることができる。Aジカルボン酸成分としては、例えば、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、ダイマー酸、エイコサンジオン酸、ピメリン酸、アゼライン酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸等の脂肪族ジカルボン酸類、アダマンタンジカルボン酸、ノルボルネンジカルボン酸、イソソルビド、シクロヘキサンジカルボン酸、デカリンジカルボン酸、などの脂環族ジカルボン酸、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、1,4-ナフタレンジカルボン酸、1,5-ナフタレンジカルボン酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、1,8-ナフタレンジカルボン酸、4,4’-ジフェニルジカルボン酸、4,4’-ジフェニルエーテルジカルボン酸、5-ナトリウムスルホイソフタル酸、フェニルエンダンジカルボン酸、アントラセンジカルボン酸、フェナントレンジカルボン、9,9’-ビス4-カルボキシフェニルフルオレン酸等の芳香族ジカルボン酸などのジカルボン酸もしくはそのエステル誘導体が挙げられる。Bジオール成分としては、例えば、エチレングリコール、1,2-プロパンジオール、1,3-プロパンジオール、1,4-ブタンジオール、1,2-ブタンジオール、1,3-ブタンジオール等の脂肪族ジオール類、シクロヘキサンジメタノール、スピログリコール、イソソルビドなどの脂環式ジオール類、ビスフェノールA、1,3―ベンゼンジメタノール,1,4-ベンセンジメタノール、9,9’-ビス4-ヒドロキシフェニルフルオレン、などの芳香族ジオール類等のジオール化合物が挙げられる。Aジカルボン酸成分として、芳香族ジカルボン酸の少なくとも1種が用いられる場合が好ましい。より好ましくは、ジカルボン酸成分のうち、芳香族ジカルボン酸を主成分として含有する。なお、主成分とは、ジカルボン酸成分に占める芳香族ジカルボン酸の割合が80以上であることをいう。芳香族ジカルボン酸以外のジカルボン酸成分を含んでもよい。このようなジカルボン酸成分としては、芳香族ジカルボン酸などのエステル誘導体等である。また、Bジオール成分として、脂肪族ジオールの少なくとも1種が用いられる場合が好ましい。脂肪族ジオールとして、エチレングリコールを含むことができ、好ましくはエチレングリコールを主成分として含有する。なお、主成分とは、ジオール成分に占めるエチレングリコールの割合が80以上であることをいう。脂肪族ジオール例えばエチレングリコールの使用量は、前記芳香族ジカルボン酸例えばテレフタル酸及び必要に応じそのエステル誘導体の1モルに対して、1.015モル~1.50モルの範囲であるのが好ましい。該使用量は、より好ましくは1.02モル~1.30モルの範囲であり、更に好ましくは1.025モル~1.10モルの範囲である。該使用量は、1.015以上の範囲であると、エステル化反応が良好に進行し、1.50モル以下の範囲であると、例えばエチレングリコールの2量化によるジエチレングリコールの副生が抑えられ、融点やガラス転移温度、結晶性、耐熱性、耐加水分解性、耐候性など多くの特性を良好に保つことができる。エステル化反応及び/又はエステル交換反応には、従来から公知の反応触媒を用いることができる。該反応触媒としては、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、亜鉛化合物、鉛化合物、マンガン化合物、コバルト化合物、アルミニウム化合物、アンチモン化合物、チタン化合物、リン化合物などを挙げることができる。通常、ポリエステルの製造方法が完結する以前の任意の段階において、重合触媒としてアンチモン化合物、ゲルマニウム化合物、チタン化合物を添加することが好ましい。このような方法としては、例えば、ゲルマニウム化合物を例に取ると、ゲルマニウム化合物粉体をそのまま添加することが好ましい。例えば、エステル化反応工程は、芳香族ジカルボン酸と脂肪族ジオールとを、チタン化合物を含有する触媒の存在下で重合する。このエステル化反応工程では、触媒であるチタン化合物として、有機酸を配位子とする有機キレートチタン錯体を用いると共に、工程中に少なくとも、有機キレートチタン錯体と、マグネシウム化合物と、置換基として芳香環を有しない5価のリン酸エステルとをこの順序で添加する過程を設けて構成される。まず初めに、芳香族ジカルボン酸及び脂肪族ジオールを、マグネシウム化合物及びリン化合物の添加に先立って、チタン化合物である有機キレートチタン錯体を含有する触媒と混合する。有機キレートチタン錯体等のチタン化合物は、エステル化反応に対しても高い触媒活性を持つので、エステル化反応を良好に行なわせることができる。このとき、ジカルボン酸成分及びジオール成分を混合した中にチタン化合物を加えてもよいし、ジカルボン酸成分又はジオール成分とチタン化合物を混合してからジオール成分又はジカルボン酸成分を混合してもよい。また、ジカルボン酸成分とジオール成分とチタン化合物とを同時に混合するようにしてもよい。混合は、その方法に特に制限はなく、従来公知の方法により行なうことが可能である。より好ましいポリエステルは、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレン-2,6-ナフタレートPENであり、さらに好ましいのはPETである。さらに、PETは、触媒成分としてゲルマニウムGe化合物Ge系触媒、アンチモンSb化合物Sb系触媒、アルミニウムAl化合物Al系触媒、及びチタンTi化合物Ti系触媒から選ばれる1種又は2種以上を用いて重合されるものが好ましく、より好ましくはチタン化合物但し、酸化チタンを除くである。前記チタン化合物は、反応活性が高く、重合温度を低くすることができる。そのため、特に重合反応中にポリエステルが熱分解し、COOHが発生するのを抑制することが可能である。すなわち、チタン化合物を用いることで、熱分解の原因となるポリエステルの末端カルボン酸の量を低減することができ、異物形成を抑制することができる。ポリエステルの末端カルボン酸の量を低減しておくことで、ポリエステルフィルムを製造した後に、ポリエステルフィルムが熱分解することを抑制することもできる。なお、チタン化合物の中でも、白色化剤として使用する酸化チタンではこのような効果は得られない。[チタン系触媒]触媒として用いられるチタン化合物、すなわち、チタン系触媒は、有機酸を配位子とする有機キレートチタン錯体の少なくとも1種であることが好ましい。有機酸としては、例えば、クエン酸、乳酸、トリメリット酸、リンゴ酸等を挙げることができる。中でも、クエン酸又はクエン酸塩を配位子とする有機キレート錯体が好ましい。例えばクエン酸を配位子とするキレートチタン錯体を用いた場合、微細粒子等の異物の発生が少なく、他のチタン化合物に比べ、重合活性と色調の良好なポリエステルが得られる。更に、クエン酸キレートチタン錯体を用いる場合でも、エステル化反応の段階で添加する方法により、エステル化反応後に添加する場合に比べ、重合活性と色調が良好で、末端カルボキシル基の少ないポリエステルが得られる。この点については、チタン系触媒はエステル化反応の触媒効果もあり、エステル化段階で添加することでエステル化反応終了時におけるオリゴマー酸価が低くなり、以降の重縮合反応がより効率的に行なわれ、またクエン酸を配位子とする錯体はチタンアルコキシド等に比べて加水分解耐性が高く、エステル化反応過程において加水分解せず、本来の活性を維持したままエステル化及び重縮合反応の触媒として効果的に機能するものと推定される。また、一般に、末端カルボキシル基量が多いほど耐加水分解性が悪化することが知られており、上記の添加方法によって末端カルボキシル基量が少なくなることで、耐加水分解性の向上が期待される。前記クエン酸キレートチタン錯体としては、例えば、ジョンソンマッセイ社製のVERTECAC-420など市販品として容易に入手可能である。芳香族ジカルボン酸と脂肪族ジオールは、これらが含まれたスラリーを調製し、これをエステル化反応工程に連続的に供給することにより導入することができる。また、チタン化合物としては、有機キレートチタン錯体以外には一般に、酸化物、水酸化物、アルコキシド、カルボン酸塩、炭酸塩、蓚酸塩、及びハロゲン化物等が挙げられる。本発明の効果を損なわない範囲であれば、有機キレートチタン錯体に加えて、他のチタン化合物を併用してもよい。このようなチタン化合物の例としては、テトラ-n-プロピルチタネート、テトラ-i-プロピルチタネート、テトラ-n-ブチルチタネート、テトラ-n-ブチルチタネートテトラマー、テトラ-t-ブチルチタネート、テトラシクロヘキシルチタネート、テトラフェニルチタネート、テトラベンジルチタネート等のチタンアルコキシド、チタンアルコキシドの加水分解により得られるチタン酸化物、チタンアルコキシドと珪素アルコキシドもしくはジルコニウムアルコキシドとの混合物の加水分解により得られるチタン-珪素もしくはジルコニウム複合酸化物、酢酸チタン、蓚酸チタン、蓚酸チタンカリウム、蓚酸チタンナトリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ナトリウム、チタン酸-水酸化アルミニウム混合物、塩化チタン、塩化チタン-塩化アルミニウム混合物、チタンアセチルアセトナート等が挙げられる。ポリエステルの重合する際には、チタン化合物チタン系触媒を含むを、チタン元素換算で、1ppm~50ppm、より好ましくは2ppm~30ppm、さらに好ましくは3ppm~15ppmの範囲で用いることが好ましい。この場合、原料ポリエステルには、1ppm~50ppmのチタン元素が含まれる。原料ポリエステルに含まれるチタン化合物チタン系触媒を含むの量が、チタン元素換算で1ppmよりも少ないと、ポリエステルの重量平均分子量Mwを上げることができず、熱分解し易いため、押出機内で異物が増加し易く、好ましくない。原料ポリエステルに含まれるチタン化合物チタン系触媒を含むの量がチタン元素換算で50ppmmを超えると、チタン化合物チタン系触媒を含むが異物となり、ポリエステルシートの延伸の際に、延伸むらを引き起こすため、好ましくない。本発明においては、芳香族ジカルボン酸と脂肪族ジオールとを、チタン化合物を含有する触媒の存在下で重合するとともに、チタン化合物の少なくとも一種が有機酸を配位子とする有機キレートチタン錯体であって、有機キレートチタン錯体とマグネシウム化合物と置換基として芳香環を有しない5価のリン酸エステルとをこの順序で添加する過程を少なくとも含むエステル化反応工程と、エステル化反応工程で生成されたエステル化反応生成物を重縮合反応させて重縮合物を生成する重縮合工程と、を設けて構成されているポリエステルの製造方法により作製されるのが好ましい。この場合、エステル化反応の過程において、チタン化合物として有機キレートチタン錯体を存在させた中に、マグネシウム化合物を添加し、次いで特定の5価のリン化合物を添加する添加順とすることで、チタン系触媒の反応活性を適度に高く保ち、マグネシウムによる静電印加特性を付与しつつ、かつ重縮合における分解反応を効果的に抑制することができるため、結果として着色が少なく、高い静電印加特性を有するとともに高温下に曝された際の黄変色が改善されたポリエステルが得られる。これにより、重合時の着色及びその後の溶融製膜時における着色が少なくなり、従来のアンチモンSb触媒系のポリエステルに比べて黄色味が軽減され、また、透明性の比較的高いゲルマニウム触媒系のポリエステルに比べて遜色のない色調、透明性を持ち、しかも耐熱性に優れたポリエステルを提供できる。また、コバルト化合物や色素などの色調調整材を用いずに高い透明性を有し、黄色味の少ないポリエステルが得られる。このポリエステルは、透明性に関する要求の高い用途例えば、光学用フィルム、工業用リス等に利用が可能であり、高価なゲルマニウム系触媒を用いる必要がないため、大幅なコスト低減が図れる。加えて、Sb触媒系で生じやすい触媒起因の異物の混入も回避されるため、製膜過程での故障の発生や品質不良が軽減され、得率向上による低コスト化も図ることができる。エステル化反応させるにあたり、チタン化合物である有機キレートチタン錯体と添加剤としてマグネシウム化合物と5価のリン化合物とをこの順に添加する過程を設ける。このとき、有機キレートチタン錯体の存在下、エステル化反応を進め、その後はマグネシウム化合物の添加を、リン化合物の添加前に開始する。[リン化合物]5価のリン化合物として、置換基として芳香環を有しない5価のリン酸エステルの少なくとも一種が用いられる。例えば、炭素数2以下の低級アルキル基を置換基として有するリン酸エステルOR3-P=O;R=炭素数1又は2のアルキル基が挙げられ、具体的には、リン酸トリメチル、リン酸トリエチルが特に好ましい。リン化合物の添加量としては、P元素換算値が50ppm~90ppmの範囲となる量が好まく、より好ましくは60ppm~80ppmとなる量であり、さらに好ましくは60ppm~75ppmとなる量である。[マグネシウム化合物]ポリエステルにマグネシウム化合物を含めることにより、ポリエステルの静電印加性が向上する。この場合に着色がおきやすいが、本発明においては、着色を抑え、優れた色調、耐熱性が得られる。マグネシウム化合物としては、例えば、酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム、マグネシウムアルコキシド、酢酸マグネシウム、炭酸マグネシウム等のマグネシウム塩が挙げられる。中でも、エチレングリコールへの溶解性の観点から、酢酸マグネシウムが最も好ましい。マグネシウム化合物の添加量としては、高い静電印加性を付与するためには、Mg元素換算値が50ppm以上となる量が好ましく、50ppm~100ppmの範囲となる量がより好ましい。マグネシウム化合物の添加量は、静電印加性の付与の点で、好ましくは60ppm~90ppmの範囲となる量であり、さらに好ましくは70ppm~80ppmの範囲となる量である。エステル化反応工程においては、触媒成分である前記チタン化合物と、添加剤である前記マグネシウム化合物及びリン化合物とを、下記式iから算出される値Zが下記の関係式iiを満たすように、添加して溶融重合させる場合が特に好ましい。ここで、P含有量は芳香環を有しない5価のリン酸エステルを含むリン化合物全体に由来するリン量であり、Ti含有量は、有機キレートチタン錯体を含むTi化合物全体に由来するチタン量である。このように、チタン化合物を含む触媒系でのマグネシウム化合物及びリン化合物の併用を選択し、その添加タイミング及び添加割合を制御することによって、チタン化合物の触媒活性を適度に高く維持しつつも、黄色味の少ない色調が得られ、重合反応時やその後の製膜時溶融時などで高温下に曝されても黄着色を生じ難い耐熱性を付与することができる。iZ=5×P含有量[ppm]/P原子量-2×Mg含有量[ppm]/Mg原子量-4×Ti含有量[ppm]/Ti原子量ii0≦Z≦5.0これは、リン化合物はチタンに作用のみならずマグネシウム化合物とも相互作用することから、3者のバランスを定量的に表現する指標となるものである。前記式iは、反応可能な全リン量から、マグネシウムに作用するリン分を除き、チタンに作用可能なリンの量を表現したものである。値Zが正の場合は、チタンを阻害するリンが余剰な状況にあり、逆に負の場合はチタンを阻害するために必要なリンが不足する状況にあるといえる。反応においては、Ti、Mg、Pの各原子1個は等価ではないことから、式中の各々のモル数に価数を乗じて重み付けを施してある。本発明においては、特殊な合成等が不要であり、安価でかつ容易に入手可能なチタン化合物、リン化合物、マグネシウム化合物を用いて、反応に必要とされる反応活性を持ちながら、色調及び熱に対する着色耐性に優れたポリエステルを得ることができる。前記式iiにおいて、重合反応性を保った状態で、色調及び熱に対する着色耐性をより高める観点から、1.0≦Z≦4.0を満たす場合が好ましく、1.5≦Z≦3.0を満たす場合がより好ましい。本発明における好ましい態様として、エステル化反応が終了する前に、芳香族ジカルボン酸及び脂肪族ジオールに、1ppm~30ppmのクエン酸又はクエン酸塩を配位子とするキレートチタン錯体を添加後、該キレートチタン錯体の存在下に、60ppm~90ppmより好ましくは70ppm~80ppmの弱酸のマグネシウム塩を添加し、該添加後にさらに、50ppm~90ppmより好ましくは60ppm~75ppmの、芳香環を置換基として有しない5価のリン酸エステルを添加する態様が挙げられる。エステル化反応は、少なくとも2個の反応器を直列に連結した多段式装置を用いて、エチレングリコールが還流する条件下で、反応によって生成した水又はアルコールを系外に除去しながら実施することができる。また、上記したエステル化反応は、一段階で行なってもよいし、多段階に分けて行なうようにしてもよい。エステル化反応を一段階で行なう場合、エステル化反応温度は230°C~260°Cが好ましく、240°C~250°Cがより好ましい。エステル化反応を多段階に分けて行なう場合、第一反応槽のエステル化反応の温度は230°C~260°Cが好ましく、より好ましくは240°C~250°Cであり、圧力は1.0kg/cm2~5.0kg/cm2が好ましく、より好ましくは2.0kg/cm2~3.0kg/cm2である。第二反応槽のエステル化反応の温度は230°C~260°Cが好ましく、より好ましくは245°C~255°Cであり、圧力は0.5kg/cm2~5.0kg/cm2、より好ましくは1.0kg/cm2~3.0kg/cm2である。さらに3段階以上に分けて実施する場合は、中間段階のエステル化反応の条件は、前記第一反応槽と最終反応槽の間の条件に設定するのが好ましい。-重縮合-重縮合は、エステル化反応で生成されたエステル化反応生成物を重縮合反応させて重縮合物を生成する。重縮合反応は、1段階で行なってもよいし、多段階に分けて行なうようにしてもよい。エステル化反応で生成したオリゴマー等のエステル化反応生成物は、引き続いて重縮合反応に供される。この重縮合反応は、多段階の重縮合反応槽に供給することにより好適に行なうことが可能である。例えば、3段階の反応槽で行なう場合の重縮合反応条件は、第一反応槽は、反応温度が255°C~280°C、より好ましくは265°C~275°Cであり、圧力が100torr~10torr13.3×10-3MPa~1.3×10-3MPa、より好ましくは50torr~20torr6.67×10-3MPa~2.67×10-3MPaであって、第二反応槽は、反応温度が265°C~285°C、より好ましくは270°C~280°Cであり、圧力が20torr~1torr2.67×10-3MPa~1.33×10-4MPa、より好ましくは10torr~3torr1.33×10-3MPa~4.0×10-4MPaであって、最終反応槽内における第三反応槽は、反応温度が270°C~290°C、より好ましくは275°C~285°Cであり、圧力が10torr~0.1torr1.33×10-3MPa~1.33×10-5MPa、より好ましくは5torr~0.5torr6.67×10-4MPa~6.67×10-5MPaである態様が好ましい。上記のようにして合成されたポリエステルには、光安定化剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、易滑剤微粒子、核剤結晶化剤、結晶化阻害剤などの添加剤を更に含有させてもよい。結晶化固相重合工程では、上記のようにして合成されたポリエステル、または市販のポリエステルのうち、結晶化度分布Δρが3<Δρ≦15であるポリエステルを用いる。結晶化度分布Δρは、以下のようにして算出することができる。1反応槽に供給する直前のポリエステルを100粒、無造作に取り出す。2取り出したポリエステル1粒ずつの比重を密度勾配法にて測定し、下記式aにより各ポリエステルの結晶化度を算出する。式a結晶化度={d-dA/dC-dA}×100前記式a中、dAはポリエステルの完全非晶時の密度、dCは完全結晶時の密度、dはポリエステルの密度であり、dA=1.335、dC=1.501として算出すればよい。3取り出したポリエステル100粒について算出した結晶化度ρの平均値を算出する。また、ポリエステル100粒について算出した結晶化度ρの最大値ρmaxと最小値ρminとの差から、下記b式によって結晶化度のバラツキである結晶化度分布Δρを求める。式bΔρ=[|ρmax-ρmin|/ρの平均値]×100ポリエステルの結晶化は、一般に、ポリエステルを加熱することにより行うことができる。加熱方法としては、例えば、ポリエステルを金属に接触させたり、ポリエステルに温熱ガスを供給し熱交換すること等が挙げられる。金属に接触させる方法は、具体的には、加熱したスクリュー状の金属板にポリエステルの粒子を投与し、スクリューを回転させることでポリエステルを加熱する方法トーラスディスク法である。しかしながら、ポリエステルを金属に接触させる上記の加熱方法では、金属とポリエステルとの接触、またはポリエステル同士の接触により、摩擦が生じ、ポリエステルの粉くずが発生することがあった。また、かかる金属に接触させる方法による結晶化では、ポリエステルの結晶化度ρが、例えば、39~42結晶化度分布Δρが3の範囲に収まり、分布が狭くなり易い。もっとも、結晶化度分布Δρが広いポリエステルを得るために、トーラスディスク法により種々の結晶化度のポリエステルを用意し、混合して3<Δρ≦15のポリエステルを用意してもよい。一方、温熱ガスによってポリエステルを加熱する熱方法によれば、間接加熱による加熱のため,温度ムラが起こり易く、結晶化度分布Δρが広いポリエステルを得易い。かかる温熱ガスによる加熱方法によれば、例えば、エステルの結晶化度ρが33~44結晶化度分布Δρが11の範囲におよび、分布が広くなる。温熱ガスを用いたポリエステルの加熱方法結晶化方法について、図1を用いて、具体的に説明する。図1は、ポリエステルを加熱する結晶化装置の構成例を示す概略断面図である。図1には、結晶化装置100が示されている。結晶化装置100は、壁面に温熱ガス例えば、窒素ガスを内部に供給可能な温熱ガス供給口4、6、及び温熱ガス排出口12、14を有する。図1では、温熱ガス供給口が2つ示されているが、1つのみであってもよいし、3つ以上であってもよい。さらに、結晶化装置100は、上部にポリエステルを投入するための開口部8を有し、下部に、加熱したポリエステルを排出可能な開口部10を有している。また、結晶化装置100の内部壁面には、複数の棒がその1つが棒2が取り付けられている。棒の少なくとも一部は、温熱ガス供給口6よりも上側に設置される。棒は、図1では、断面が三角形の三角柱であり、軸方向が重力方向とほぼ垂直になるように取り付けられている。隣接する棒は、ポリエステルが通過可能な程度の間隔を空けて、配置されている。結晶化装置100の上部の開口部8から投入されたポリエステルは、棒に当たることにより飛散し、温熱ガス供給口より供給された温熱ガスがポリエステルに当たり易い。すなわち、複数の棒が結晶化装置100の空間に配置されていることにより、結晶化装置100の上部の開口部8より投入されるポリエステルが、一塊となって結晶化装置100内に入っても、棒により当たって減速すると共にバラバラに分けられ、温熱ガスとの接触時間が長くなるため、ポリエステルが加熱され易くなる。また、温熱ガスの熱を受け易いように、ポリエステルは、ペレットのような粒子状ポリエステル粒子であることが好ましい。なお、棒2は、温熱ガスの熱をポリエステルに供給し易くするための手段の一つにすぎない。従って、図1では、断面が三角形の三角柱であるが、断面形状は円形でも、四角形、六角形等の多角形でもよいし、また、篩のような網を有する板や、格子のようなスリットを有する板を、数段重ねて用いてもよい。例えば、三角柱のスリットを有するスリット板を5段重ねて用いてもよい。この際、隣接する板において、三角柱間の空間の位置が重ならないように、上側の三角柱間の空間の下に、下側の三角柱が位置するように、スリットの位置を調整することが好ましい。温熱ガスを用いたポリエステルの結晶化装置としては、ビューラー社製のルーフ型乾燥機として入手することもでき、かかる装置を用いてポリエステルを結晶化してもよい。また、温熱ガスにより加熱されたポリエステルは、図示しない循環装置により、結晶化装置100の上部の開口部8の上部まで戻し、開口部8から再度投入することにより加熱を繰り返すことが好ましい。結晶化装置100での加熱完了後は、結晶化装置100の下部の開口部10から排出される。上記の温熱ガスによる加熱により、結晶化度分布Δρが、3<Δρ≦15のポリエステルを、容易に得ることができる。結晶化度分布Δρが、3<Δρ≦15であるということは、ポリエステルの結晶化度ρが広範囲にばらついていることを示し、ポリエステルの結晶化度ρがばらつくのは、ポリエステルの加熱時間にバラツキがあることを意味すると考えられる。すなわち、温熱ガスによる加熱は、金属接触による加熱よりも均一に加熱し難いと考えられる。一方、加熱結晶化により得られるポリエステルの結晶子径Dのバラツキ結晶子径分布ΔDは、小さい方が好ましく、ΔDは10以下であることが好ましい。なお、結晶子径とは、結晶を構成する最小結晶単位の大きさ最大径であり、一般に、X線回折装置を用いて測定することができる。ポリエステルの結晶子径Dは、ポリエステルの加熱温度がばらつくことで、ばらつき易いと考えられることから、温熱ガスの温度は、一定に保つことが好ましい。ここで、温熱ガスの温度は、175°C~215°Cとすることが好ましく、185°C~205°Cとすることがより好ましい。温熱ガスは、不活性ガスであることが好ましく、例えば、窒素N2ガス、アルゴンArガス,二酸化炭素CO2ガス等が挙げられる。また、ポリエステルの加熱時間は、3時間~10時間であることが好ましく、3時間~8時間であることがより好ましい。3時間以上であると、加熱時間にバラツキが生じ、結晶化度分布Δρを大きくし易い。10時間以下であると、ポリエステルの過熱や過熱による熱分解を抑制することができる。また、温熱ガスの供給量と、ポリエステルの投入量との割合を制御することでも、ポリエステルの結晶化度ρをばらつかせることができる。具体的には、温熱ガスの供給量Nm3/Kgは、ポリエステル1kgに対して、0.1Nm3~1.5Nm3とすることが好ましい。ポリエステルの結晶化装置100への投入量と、温熱ガスの供給量とを、上記割合とすることで、結晶化度分布Δρが3<Δρ≦15のポリエステルを得易い。温熱ガスの供給量は、ポリエステル1kgに対して、0.3Nm3~1.0Nm3とすることがより好ましい。ポリエステルの供給量が一定であるときは、上記温熱ガスの供給量との比は、反応槽内を通過する温熱ガスの風速空塔速度にて調整することができる。例えば、ポリエステルの投入量を、300kg/hrで一定にして装置に投入し、温熱ガスを200Nm3/hrで供給する場合は、温熱ガスの風速空塔速度を、0.3m/sec~10m/sec好ましくは、0.5m/sec~5.0m/secの範囲とすることで、ポリエステル1kgに対する温熱ガスの供給量を0.1Nm3~1.5Nm3とすることができる。加熱結晶化により得るポリエステルの結晶化度分布Δρは、5~13であることが好ましく、8~9であることが特に好ましい。また、加熱結晶化により得るポリエステルの結晶子径Dは、80Å~120Åであることが好ましく、90Å~100Åであることがより好ましい。ポリエステルの結晶子径Dと結晶子径分布ΔDは次のようにして求めることができる。1反応槽に供給する直前のポリエステルを100粒、無造作に取り出す。2そのポリエステル1粒を乳鉢にて紛体とし、下記方法にて結晶子径Dを求める。Cu-Kα1線を用いたX線回折解析を行う。その後、2θ=4deg~70degの範囲において、最大強度を示すピークか、あるいは近接するピークと分離可能な十分に大きな強度を示すピークの半値幅を測定し、下記のSherrerの式により、結晶子径を算出する:D=K×λ/β×cosθScherrerの式D:結晶子径Å、結晶子の大きさ、λ:測定X線波長Å、β:結晶の大きさによる回折線の広がりラジアン、θ:回折線のブラッグ角ラジアン、K:定数βとDの定数で異なる3ポリエステル100粒について結晶子径Dを測定し,それらの値から,反応槽に供給するポリエステルの結晶子径Dの平均値を求め,また結晶子径Dの最大値と最小値の差を結晶子径Dの平均値で除すことによって,結晶子径Dのバラツキ結晶子径分布ΔDを求める。結晶子径分布ΔDは、好ましくは3~9である。固相重合固相重合工程では、結晶化度分布Δρが、3<Δρ≦15のポリエステルを、反応槽に供給して固相重合する。ポリエステルの固相重合は、連続法タワーの中に樹脂を充満させ、これを加熱しながらゆっくり所定の時間滞流させた後、順次送り出す方法でもよく、バッチ法容器の中に樹脂を投入し、所定の時間加熱する方法でもよい。固相重合の温度は、170°C~240°Cが好ましく、より好ましくは180°C~230°Cであり、さらに好ましくは190°C~220°Cである。温度が上記範囲内であると、ポリエステルの末端COOH量AVがより大きく低減することの点で好ましい。また、固相重合時間は、5時間~100時間が好ましく、より好ましくは10時間~75時間であり、さらに好ましくは15時間~50時間である。時間が上記範囲内であると、ポリエステルの末端COOH量AVと固有粘度IVの本発明の好ましい範囲に容易に制御できる点で好ましい。固相重合は、真空中あるいは窒素雰囲気下で行なうことが好ましい。また、反応槽に入れるときのポリエステルの温度は、180°C~220°Cであることが好ましい。固相重合前に、予めポリエステルを上記温度範囲に加熱しておくことで、反応槽でのペレット温度を180°C~220°Cにすることができる。反応槽に入れるときのポリエステルの温度は、190°C~210°Cであることがより好ましい。エステル化反応によりポリエステルを重合した後に、さらに固相重合することにより、ポリエステルの含水率、結晶化度、ポリエステルの酸価、すなわち、ポリエステルの末端COOHの濃度AV、固有粘度IVを制御することができる。ポリエステルの固有粘度IV単位dl/g]は、0.7~0.9であることが好ましい。固有粘度が0.7以上であると、ポリエステルの分子運動が阻害されて結晶化しにくくすることができ、0.9以下であると、押出機内の剪断発熱によるポリエステルの熱分解が起こり過ぎず、結晶化を抑制し、また、末端COOH量AVを低く抑えることができる。IVは、0.70~0.85であることがより好ましく、0.73~0.80であることが特に好ましい。特に、エステル化反応において、チタンTi系触媒を使用し、さらに固相重合して、ポリエステルの固有粘度IVを、0.7~0.9とすることで、後述する押出成形工程における溶融樹脂の冷却において、ポリエステルが結晶化することを抑制し易い。なお、固有粘度IVは、溶液粘度ηと溶媒粘度η0の比ηr=ηη0;相対粘度から1を引いた比粘度ηsp=ηr-1濃度で割った値を濃度がゼロの状態に外挿した値である。IVは、ウベローデ型粘度計を用い、ポリエステルを1,1,2,2-テトラクロルエタン/フェノール=2/3質量比混合溶媒に溶解させ、25°Cの溶液粘度から求められる。また、末端COOH量AVは、HAPohlAnalChem262145に記載の方法にしたがって、滴定法にて測定することができる。具体的には、ポリエステルを、ベンジルアルコールに205°Cで溶解し、フェノールレッド指示薬を加え、水酸化ナトリウムの水/メタノール/ベンジルアルコール溶液で滴定し、その適定量から算出する。ポリエステルの固相重合に用いるポリエステルは、既述のエステル化反応により重合し、結晶化したポリエステル又は市販のポリエステルを、ペレット状などの小片形状にしたものを、出発物質として用いればよい。押出成形工程押出成形工程では、固相重合されたポリエステルを、フィルム状に押出成形する。具体的には、固相重合されたポリエステルを、押出機を用いて溶融混練し、口金押出ダイから押出すことにより、ポリエステルフィルムを成形する。ポリエステルフィルムの厚みは250μm~500μmとすることが好ましい。押出成形工程をより細かく分けると、固相重合されたポリエステルを溶融混練し、口金から押出す溶融混練押出工程と、未延伸ポリエステルフィルムを冷却固化する冷却固化工程と、冷却固化後の未延伸フィルムを延伸する延伸工程と、により構成される。~溶融混練押出工程~ポリエステルの溶融は、ポリエステルを乾燥し、残留水分を100ppm以下にした後、押出機を用いて溶融することができる。溶融温度は、250°C~320°Cが好ましく、260°C~310°Cがより好ましく、270°C~300°Cがさらに好ましい。押出機は、1軸でも多軸でもよい。熱分解による末端COOHの発生をより抑制できる点で、押出機内を窒素置換して行なうのがより好ましい。溶融された溶融樹脂メルトは、ギアポンプ、濾過器等を通して、押出ダイから押出す。このとき、単層で押出してもよいし、多層で押出してもよい。~冷却固化工程~押出ダイから押出されたメルトは、チルロール冷却ロールを用いて固化することができる。このとき、チルロールの温度は、10°C~80°Cが好ましく、より好ましくは15°C~70°C、さらに好ましくは20°C~60°Cである。さらに、メルトとチルロールとの間で密着性を高め、冷却効率を上げる観点からは、チルロールにメルトが接触する前に静電気を印加しておくことが好ましい。さらに、チルロール反対面から冷風を当てたり、冷却ロールを接触させ、冷却を促すことも好ましい。これにより、厚手フィルム具体的には、延伸後の厚みが250μm以上のフィルムであっても、効果的に冷却が行なえる。なお、冷却が不充分な場合には、球晶が発生しやすく、これが延伸ムラを引き起こし、厚みムラを発生させることがある。~延伸工程~上記工程の後には、作製された押出フィルム未延伸フィルムを2軸延伸することにより本発明のポリエステルフィルムを好適に作製することができる。具体的には、未延伸のポリエステルフィルムを、70°C~140°Cの温度に加熱されたロール群に導き、長手方向縦方向、すなわちフィルムの進行方向に3倍~5倍の延伸率で延伸し、20°C~50°Cの温度のロール群で冷却することが好ましい。続いて、フィルムの両端をクリップで把持しながらテンターに導き、80°C~150°Cの温度に加熱された雰囲気中で、長手方向に直角な方向幅方向に3倍~5倍の延伸率で延伸する。延伸率は、長手方向と幅方向それぞれ3倍~5倍とするのが好ましい。また、その面積倍率縦延伸倍率×横延伸倍率は、9倍~15倍であることが好ましい。面積倍率が9倍以上であると、得られる二軸延伸積層フィルムの反射率や隠蔽性、フィルム強度が良好であり、また面積倍率が15倍以下であると、延伸時の破れを回避することができる。二軸延伸する方法としては、上述のように、長手方向と幅方向の延伸とを分離して行なう逐次二軸延伸方法のほか、長手方向と幅方向の延伸を同時に行なう同時二軸延伸方法のいずれであってもよい。得られた二軸延伸フィルムの結晶配向を完了させて、平面性と寸法安定性を付与するために、引き続きテンター内にて、好ましくは原料となる樹脂のガラス転移温度Tg以上融点Tm未満の温度で1秒~30秒の熱処理を行ない、均一に徐冷後、室温まで冷却する。一般に、熱処理温度Tsが低いとフィルムの熱収縮が大きいため、高い熱寸法安定性を付与するためには、熱処理温度は高い方が好ましい。しかしながら、熱処理温度を高くし過ぎると配向結晶性が低下し、その結果形成されたフィルムが耐加水分解性に劣ることがある。そのため、本発明のポリエステルフィルムの熱処理温度Tsとしては、40°C≦Tm-Ts≦90°Cであるのが好ましい。より好ましくは、熱処理温度Tsを50°C≦Tm-Ts≦80°C、更に好ましくは55°C≦Tm-Ts≦75°Cとすることが好ましい。更には、本発明のポリエステルフィルムは、太陽電池発電モジュールを構成するバックシートとして用いることができるが、モジュール使用時には雰囲気温度が100°C程度まで上昇することがあるため、熱処理温度Tsとしては、160°C以上Tm-40°C但し、Tm-40°C>160°C以下であるのが好ましい。より好ましくは170°C以上Tm-50°C但し、Tm-50°C>170°C以下、更に好ましくはTsが180°C以上Tm-55°C但し、Tm-55°C>180°C以下である。また必要に応じて、幅方向あるいは長手方向に3~12の弛緩処理を施してもよい。弛緩処理における弛緩の割合3~12は、弛緩前のポリエステルフィルムの長さをLa、弛緩後のポリエステルフィルムの長さをLbとしたとき、下記式cにより算出される。式c100×La-Lb/Laなお、ポリエステルフィルムの幅方向のLaおよびLb、並びに、ポリエステルフィルムの長手方向のLaおよびLbは、次のように定義する。[幅方向]テンターでポリエステルフィルムに緊張を与えて延伸したときの、延伸時におけるポリエステルフィルムの最大の幅を、弛緩前のポリエステルフィルムの長さLaとする。また、緊張を解いて弛緩してポリエステルフィルムをテンターから取り出すときのポリエステルフィルムの幅の長さを、弛緩後のポリエステルフィルムの長さLbとする。[長手方向]テンターでポリエステルフィルムに緊張を与えて延伸したときの、延伸時におけるポリエステルフィルムに、長手方向に2点の印をつけ、その2点間の距離を弛緩前のポリエステルフィルムの長さLaとする。また、緊張を解いて弛緩してテンターから取り出した後の前記2点間の距離を弛緩後のポリエステルフィルムの長さLbとする。ポリエステルフィルムの物性本発明のポリエステルフィルムの製造方法により製造されたポリエステルフィルムは、上記固相重合を経ることにより、固有粘度IVと末端COOH量AVが制御される。ポリエステルフィルムの固有粘度IV単位dl/gは、0.7~0.9の範囲であるのが好ましく、より好ましくは0.7~0.85、特に好ましくは0.73~0.80である。IVが0.7以上であると、ポリエステルの分子量を所望範囲に保て、ポリエステルフィルムを多層構成とした際において、他層との密着界面で凝集破壊なく良好な密着を得ることができる。また、IVが0.9以下であると、製膜中における溶融粘度が良好であり、剪断発熱によるポリエステルの熱分解が抑制され、末端COOH量AVを低く抑えることができる。さらに、本発明のポリエステルフィルムの製造方法により製造されたポリエステルフィルムは、特に長手方向での末端COOH量AVがバラツキ難くすることができる。一般に、フィルムまたはシートの製膜時には、一定のフィルム厚みを得るために、一定の吐出量で、溶融押出しすることが望まれ、特にPETの製膜時では、単軸のタンデム押出しや、ギアポンプアシスト型の二軸押出機が好まれて使用される。しかし、上記装置で、一定厚みのフィルムを得ることは出来るが、その際には、押出機のスクリュー回転数が変動してしまい、その結果、押出機内でのPETの熱分解末端COOHの増加が、スクリュー回転数の変動に対応して、起こってしまう。よって、フィルムの長手方向における、末端COOHの変動が起き、長手方向での耐加水分解性の不均一が生じてしまうと推察される。一方、本発明を用いると、一定のスクリュー回転で、ポリエステルの溶融押出しをした時の、吐出量の変動が小さくなり、その結果、一定のフィルム厚みが得られながら、熱分解の変動による末端COOHの変動を抑えることができる。これは、滑剤による押出し負荷の低減効果と類似した現象と考えている。本発明のポリエステルフィルムの製造方法により製造されたポリエステルフィルムの末端COOH量のバラツキを評価する方法の一例を、図2を用いて説明する。図2は、ポリエステルフィルムの末端COOH量のバラツキの評価方法を説明するための長尺状の形状を有するポリエステルフィルムの模式図である。図2には、ポリエステルフィルム20が示され、ポリエステルフィルム20には、任意の点P1、P2、P3、Pn1、Pnこれらを点Pと総称するが示されている。点Pは、ポリエステルフィルム20の長手方向MD;MachineDirectionに100m間隔に並んでいる。点P3と点Pn1との間には、更に図示しない点を有していてもよいし、有していなくてもよい。また、点Pは、ポリエステルフィルム20の幅方向TD;TransverseDirectionの中心に位置する。点Pは、ポリエステルフィルムの末端COOH量を測定する位置であり、ポリエステルフィルムの末端COOH量のバラツキは、n個の点Pにおける末端COOH量を測定して算出する。具体的には、点Pが中心となるように、例えば長方形図2に示す破線枠の試料片を裁断し、得られたn個の試料片について末端COOH量を測定し、末端COOH量の平均値、末端COOH量の最大値、及び末端COOH量の最小値を調べる。測定された末端COOH量の平均値、最大値、及び最小値から末端COOH量のバラツキを評価する。なお、ポリエステルフィルムの末端COOH量を測定する位置の数nは、20点である。ポリエステルフィルムの末端COOH量は、ポリエステルが有する末端COOHについて、フィルムの長手方向における前記末端COOHの量のバラツキが2eq/ton未満であることが好ましい。末端COOHの量のバラツキが2eq/ton未満とは、末端COOH量の最大値と最小値の差が、2eq/ton未満の範囲内にあることを意味する。ポリエステルフィルムの長手方向における前記末端COOHの量のバラツキは1eq/ton以下であることがより好ましい。なお、本明細書中において、eq/tonは1トンあたりのモル当量を表す。また、本発明のポリエステルフィルムの製造方法により得られたポリエステルフィルムは、温度120°C、相対湿度100の雰囲気下で保存した場合において、保存後の破断伸度が保存前の破断伸度に対して50となる保存時間破断伸度半減時間が、70時間以上であることが好ましい。破断伸度半減時間は、より好ましくは100時間以上、更に好ましくは、120時間以上である。ポリエステルフィルムの耐加水分解性は、前記破断伸度半減時間により評価することが可能である。これは、強制的に加熱処理サーモ処理することで加水分解を促進させた際の破断伸度の低下から求められる。具体的な測定方法を以下に示す。破断伸度は、ポリエステルフィルムから、1cm×20cmの大きさのサンプル片を切り出し、このサンプル片をチャック間5cm、20/分にて引っ張って求められる値である。ポリエステルフィルムは、一般に、厚みが増すに伴なって耐加水分解性が悪化し、例えば、風雨や直射日光に曝されるような過酷な使用環境下おける長期使用に耐えない傾向にある。一方、本発明のポリエステルフィルムの製造方法により得られたポリエステルフィルムは、優れた耐加水分解性を有し、さらに、ポリエステルフィルムの長手方向における末端COOHの量のバラツキが小さい。ポリエステルフィルムの長手方向における末端COOHの量のバラツキが小さいことで、ポリエステルフィルムの破断伸度半減時間のバラツキも小さくすることができ、ポリエステルフィルムの破断伸度半減時間にバラツキが生じ難い結果、長期経時で、フィルムの機能性にバラツキが生じ難い。したがって、本発明のポリエステルフィルムの製造方法により得られたポリエステルフィルムは、例えば、太陽電池発電モジュールとして構成した場合において、所望の発電性能を長期に亘って安定的に得ることができる。なお、本発明のポリエステルフィルムの製造方法により製造されるポリエステルフィルムは、延伸完了後の厚みが250μm~500μmであることが好ましい。機能性層本発明のポリエステルフィルムの製造方法により得られるポリエステルフィルムは、易接着性層、UV吸収層、白色層などの機能性層を少なくとも1層設けて構成することができる。例えば、1軸延伸後及び/又は2軸延伸後のポリエステルフィルムに下記の機能性層を塗設してもよい。塗設には、ロールコート法、ナイフエッジコート法、グラビアコート法、カーテンコート法等の公知の塗布技術を用いることができる。また、これらの塗設前に表面処理火炎処理、コロナ処理、プラズマ処理、紫外線処理等を実施してもよい。さらに、粘着剤を用いて貼り合わせることも好ましい。-易接着性層-ポリエステルフィルムは、太陽電池発電モジュールを構成する場合に、太陽電池素子が封止剤で封止された電池側基板の該封止材と向き合う側に、易接着性層を有していることが好ましい。易接着性層を設けることにより、バックシートと封止材との間を強固に接着することができる。具体的には、易接着性層は、特に封止材として用いられるEVAエチレン-酢酸ビニル共重合体との接着力が10N/cm以上、好ましくは20N/cm以上であることが好ましい。さらに、易接着性層は、太陽電池発電モジュールの使用中にバックシートの剥離が起こらないことが必要であり、そのために易接着性層は高い耐湿熱性を有することが望ましい。1バインダー易接着性層はバインダーの少なくとも1種を含有することができる。バインダーとしては、例えば、ポリエステル、ポリウレタン、アクリル樹脂、ポリオレフィン等を用いることができる。中でも、耐久性の観点から、アクリル樹脂、ポリオレフィンが、バインダーとして好ましい。また、アクリル樹脂として、アクリルとシリコーンとの複合樹脂も好ましい。好ましいバインダーの例として、以下のものを挙げることができる。ポリオレフィンの例として、ケミパールS-120、同S-75Nともに三井化学株製が挙げられる。前記アクリル樹脂の例として、ジュリマーET-410、同SEK-301ともに日本純薬工業株製が挙げられる。また、アクリルとシリコーンとの複合樹脂の例として、セラネートWSA1060、同WSA1070ともにDIC株製、及びH7620、H7630、H7650ともに旭化成ケミカルズ株製が挙げられる。易接着性層中のバインダーの量は、0.05g/m2~5g/m2の範囲が好ましく、0.08g/m2~3g/m2の範囲が特に好ましい。バインダー量は、0.05g/m2以上であることでより良好な接着力が得られ、5g/m2以下であることでより良好な面状が得られる。2微粒子易接着性層は、微粒子の少なくとも1種を含有することができる。易接着性層は、微粒子を層全体の質量に対して5以上含有することが好ましい。微粒子としては、シリカ、炭酸カルシウム、酸化マグネシウム、炭酸マグネシウム、酸化錫等の無機微粒子が好適に挙げられる。特にこの中でも、湿熱雰囲気に曝されたときの接着性の低下が小さい点で、酸化錫、シリカの微粒子が好ましい。微粒子の粒径は、塗設後のフィルムの断面を走査型電子顕微鏡で観察することで測定することができ、10nm~700nm程度が好ましく、より好ましくは20nm~300nm程度である。粒径が前記範囲の微粒子を用いることにより、良好な易接着性を得ることができる。微粒子の形状には特に制限はなく、球形、不定形、針状形等のものを用いることができる。微粒子の易接着性層中における添加量としては、易接着性層中のバインダー当たり5~400質量が好ましく、より好ましくは50~300質量である。微粒子の添加量は、5以上であると、湿熱雰囲気に曝されたときの接着性に優れており、400質量以下であると、易接着性層の面状がより良好である。3架橋剤易接着性層は、架橋剤の少なくとも1種を含有することができる。架橋剤の例としては、エポキシ系、イソシアネート系、メラミン系、カルボジイミド系、オキサゾリン系等の架橋剤を挙げることができる。湿熱経時後の接着性を確保する観点から、これらの中でも特にオキサゾリン系架橋剤が好ましい。オキサゾリン系架橋剤の具体例として、2-ビニル-2-オキサゾリン、2-ビニル-4-メチル-2-オキサゾリン、2-ビニル-5-メチル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-4-メチル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-5-エチル-2-オキサゾリン、2,2’-ビス-2-オキサゾリン、2,2’-メチレン-ビス-2-オキサゾリン、2,2’-エチレン-ビス-2-オキサゾリン、2,2’-トリメチレン-ビス-2-オキサゾリン、2,2’-テトラメチレン-ビス-2-オキサゾリン、2、2’-ヘキサメチレン-ビス-2-オキサゾリン、2,2’-オクタメチレン-ビス-2-オキサゾリン、2,2’-エチレン-ビス-4,4’-ジメチル-2-オキサゾリン、2,2’-p-フェニレン-ビス-2-オキサゾリン、2,2’-m-フェニレン-ビス-2-オキサゾリン、2,2’-m-フェニレン-ビス-4,4’-ジメチル-2-オキサゾリン、ビス-2-オキサゾリニルシクロヘキサンスルフィド、ビス-2-オキサゾリニルノルボルナンスルフィド等が挙げられる。さらに、これらの化合物の共重合体も好ましく利用することができる。また、オキサゾリン基を有する化合物として、エポクロスK2010E、同K2020E、同K2030E、同WS500、同WS700いずれも日本触媒化学工業株製等も用いることができる。易接着性層中における架橋剤の好ましい添加量は、易接着性層のバインダー当たり5~50質量が好ましく、より好ましくは20~40質量である。架橋剤の添加量は、5質量以上であることで良好な架橋効果が得られ、反射層の強度低下や接着不良が起こりにくく、50質量以下であることで塗布液のポットライフをより長く保てる。4その他の添加剤易接着性層には、必要に応じて、更にポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、シリカ等の公知のマット剤、アニオン系やノニオン系などの公知の界面活性剤などを添加してもよい。5易接着性層の形成方法易接着性層の形成方法としては、易接着性を有するポリマーシートをポリエステルフィルムに貼合する方法や塗布による方法がある。塗布による方法は、簡便でかつ均一性の高い薄膜での形成が可能である点で好ましい。塗布方法としては、例えば、グラビアコーターやバーコーターなどの公知の方法を利用することができる。塗布に用いる塗布液の溶媒としては、水でもよいし、トルエンやメチルエチルケトンのような有機溶媒でもよい。溶媒は、1種類を単独で用いてもよいし、2種類以上を混合して用いてもよい。6物性易接着性層の厚みには特に制限はないが、通常は0.05μm~8μmが好ましく、より好ましくは0.1μm~5μmの範囲である。易接着性層の厚みは、0.05μm以上であることで必要とする易接着性が得られやすく、8μm以下であることで面状をより良好に維持することができる。また、易接着性層は、ポリエステルフィルムとの間に着色層特に反射層が配置された場合の該着色層の効果を損なわない観点から、透明性を有していることが好ましい。-紫外線吸収層-ポリエステルフィルムには、紫外線吸収剤を含む紫外線吸収層が設けられてもよい。紫外線吸収層は、ポリエステルフィルム上の任意の位置に配置することができる。紫外線吸収剤は、アイオノマー樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリアミド樹脂、酢酸ビニル樹脂、セルロースエステル樹脂等とともに、溶解、分散させて用いることが好ましく、400nm以下の光の透過率を20以下にするのが好ましい。-着色層-ポリエステルフィルムには、着色層を設けることができる。着色層は、ポリエステルフィルムの表面に接触させて、あるいは他の層を介して配置される層であり、顔料やバインダーを用いて構成することができる。着色層の第一の機能は、入射光のうち太陽電池セルで発電に使われずにバックシートに到達した光を反射させて太陽電池セルに戻すことにより、太陽電池発電モジュールの発電効率を上げることにある。第二の機能は、太陽電池発電モジュールをオモテ面側から見た場合の外観の装飾性を向上することにある。一般に太陽電池発電モジュールをオモテ面側から見ると、太陽電池セルの周囲にバックシートが見えており、バックシートに着色層を設けることにより装飾性を向上させることができる。1顔料着色層は、顔料の少なくとも1種を含有することができる。顔料は、2.5g/m2~8.5g/m2の範囲で含有されるのが好ましい。より好ましい顔料含有量は、4.5g/m2~7.5g/m2の範囲である。顔料の含有量が2.5g/m2以上であることで、必要な着色が得られやすく、光の反射率や装飾性をより優れたものに調整することができる。顔料の含有量が8.5g/m2以下であることで、着色層の面状をより良好に維持することができる。顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、カオリン、タルク、群青、紺青、カーボンブラック等の無機顔料、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン等の有機顔料が挙げられる。これら顔料のうち、入射する太陽光を反射する反射層として着色層を構成する観点からは、白色顔料が好ましい。白色顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、カオリン、タルクなどが好ましい。顔料の平均粒径としては、0.03μm~0.8μmが好ましく、より好ましくは0.15μm~0.5μm程度が好ましい。平均粒径が前記範囲内であると、光の反射効率が良好である。入射した太陽光を反射する反射層として着色層を構成する場合、顔料の反射層中における好ましい添加量は、用いる顔料の種類や平均粒径により変化するため一概には言えないが、1.5g/m2~15g/m2が好ましく、より好ましくは3g/m2~10g/m2程度である。添加量は、1.5g/m2以上であることで必要な反射率が得られやすく、15g/m2以下であることで反射層の強度をより一層高く維持することができる。2バインダー着色層は、少なくとも1種のバインダーを含有することができる。バインダーを含む場合の量としては、前記顔料に対して、15質量~200質量の範囲が好ましく、17質量~100質量の範囲がより好ましい。バインダーの量は、15質量以上であることで着色層の強度を一層良好に維持することができ、200質量以下であることで反射率や装飾性が低下するのを防止する。着色層に好適なバインダーとしては、例えば、ポリエステル、ポリウレタン、アクリル樹脂、ポリオレフィン等を用いることができる。バインダーは、耐久性の観点から、アクリル樹脂、ポリオレフィンが好ましい。また、アクリル樹脂として、アクリルとシリコーンとの複合樹脂も好ましい。好ましいバインダーの例として、以下のものが挙げられる。前記ポリオレフィンの例としては、ケミパールS-120、同S-75Nともに三井化学株製などが挙げられる。前記アクリル樹脂の例としては、ジュリマーET-410、SEK-301ともに日本純薬工業株製などが挙げられる。前記アクリルとシリコーンとの複合樹脂の例としては、セラネートWSA1060、WSA1070ともにDIC株製、H7620、H7630、H7650ともに旭化成ケミカルズ株製等を挙げることができる。3添加剤着色層には、バインダー及び顔料以外に、必要に応じて、さらに架橋剤、界面活性剤、フィラー等を添加してもよい。架橋剤としては、エポキシ系、イソシアネート系、メラミン系、カルボジイミド系、オキサゾリン系等の架橋剤を挙げることができる。架橋剤の着色剤中における添加量は、着色層のバインダーあたり5質量~50質量が好ましく、より好ましくは10質量~40質量である。架橋剤の添加量は、5質量以上であることで良好な架橋効果が得られ、着色層の強度や接着性を高く維持することができ、また50質量以下であることで、塗布液のポットライフをより長く維持することができる。界面活性剤としては、アニオン系やノニオン系等の公知の界面活性剤を利用することができる。界面活性剤の添加量は、0.1mg/m2~15mg/m2が好ましく、より好ましくは0.5mg/m2~5mg/m2が好ましい。界面活性剤の添加量は、0.1mg/m2以上であることでハジキの発生が効果的に抑制され、また、15mg/m2以下であることで接着性に優れる。さらに、着色層には、上記の顔料とは別に、シリカ等のフィラーなどを添加してもよい。フィラーの添加量は、着色層のバインダー当たり20質量以下が好ましく、より好ましくは15質量以下である。フィラーを含むことにより、着色層の強度を高めることができる。また、フィラーの添加量が20質量以下であることで、顔料の比率が保てるため、良好な光反射性反射率や装飾性が得られる。4着色層の形成方法着色層の形成方法としては、顔料を含有するポリマーシートをポリエステルフィルムに貼合する方法、ポリエステルフィルム成形時に着色層を共押出しする方法、塗布による方法等がある。このうち、塗布による方法は、簡便でかつ均一性の高い薄膜での形成が可能である点で好ましい。塗布方法としては、例えば、グラビアコーターやバーコーターなどの公知の方法を利用することができる。塗布に用いられる塗布液の溶媒としては、水でもよいし、トルエンやメチルエチルケトンのような有機溶媒でもよい。しかし、環境負荷の観点から、水を溶媒とすることが好ましい。溶媒は、1種類を単独で用いてもよいし、2種類以上を混合して用いてもよい。5物性着色層は、白色顔料を含有して反射層として構成されることが好ましい。反射層である場合の550nmの光反射率としては、75質量以上であるのが好ましい。反射率が75以上であると、太陽電池セルを素通りして発電に使用されなかった太陽光をセルに戻すことができ、発電効率を上げる効果が高い。反射層の厚みは、1μm~20μmが好ましく、より好ましくは1.5μm~10μm程度である。膜厚が1μm以上である場合、必要な装飾性や反射率が得られやすく、20μm以下であると面状が悪化する場合がある。-下塗り層-ポリエステルフィルムには、下塗り層を設けることができる。下塗り層は、例えば、着色層が設けられるときには、着色層とポリエステルフィルムとの間に下塗り層を設けてもよい。下塗り層は、バインダー、架橋剤、界面活性剤等を用いて構成することができる。下塗り層中に含有するバインダーとしては、ポリエステル、ポリウレタン、アクリル樹脂、ポリオレフィン等が挙げられる。下塗り層には、バインダー以外にエポキシ系、イソシアネート系、メラミン系、カルボジイミド系、オキサゾリン系等の架橋剤、アニオン系やノニオン系等の界面活性剤、シリカ等のフィラーなどを添加してもよい。下塗り層を塗布形成するための方法や用いる塗布液の溶媒には、特に制限はない。塗布方法としては、例えば、グラビアコーターやバーコーターを利用することができる。前記溶媒は、水でもよいし、トルエンやメチルエチルケトンのような有機溶媒でもよい。溶媒は、1種類を単独で用いてもよいし、2種類以上を混合して用いてもよい。塗布は、2軸延伸した後のポリエステルフィルムに塗布してもよいし、1軸延伸後のポリエステルフィルムに塗布してもよい。この場合、塗布後に初めの延伸と異なる方向に更に延伸してフィルムとしてもよい。さらに、延伸前のポリエステルフィルムに塗布した後に、2方向に延伸してもよい。下塗り層の厚みは、0.05μm~2μmが好ましく、より好ましくは0.1μm~1.5μm程度の範囲が好ましい。膜厚が0.05μm以上であることで必要な接着性が得られやすく、2μm以下であることで、面状を良好に維持することができる。-フッ素系樹脂層Si系樹脂層-ポリエステルフィルムには、フッ素系樹脂層及びSi系樹脂層の少なくとも一方を設けることが好ましい。フッ素系樹脂層やSi系樹脂層を設けることで、ポリエステル表面の汚れ防止、耐候性向上が図れる。具体的には、特開2007-35694号公報、特開2008-28294号公報、WO2007/063698明細書に記載のフッ素樹脂系塗布層を有していることが好ましい。また、テドラーDuPont社製等のフッ素系樹脂フィルムを張り合わせることも好ましい。フッ素系樹脂層及びSi系樹脂層の厚みは、各々、1μm~50μmの範囲が好ましく、より好ましくは3μm~40μmの範囲である。-無機層-ポリエステルフィルムには、無機層が設けられることも好ましい。無機層を設けることで、ポリエステルへの水やガスの浸入を防止する、防湿層やガスバリア層として機能を与えることができる。無機層は、ポリエステルフィルムの表裏いずれに設けてもよいが、防水、防湿等の観点から、ポリエステルフィルムの電池側基板と対向する側着色層や易接着層の形成面側とは反対側に好適に設けられる。無機層の水蒸気透過量透湿度は、100g/m2d~10-6g/m2dが好ましく、より好ましくは101g/m2d~10-5g/m2dであり、さらに好ましくは102g/m2d~10-4g/m2dである。このような透湿度を有する無機層を形成するには、以下のような乾式法が好ましく用いられる。乾式法によりガスバリア性の無機層以下、ガスバリア層ともいう。を形成する方法としては、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、誘導加熱蒸着、及びこれらにプラズマやイオンビームによるアシスト法などの真空蒸着法、反応性スパッタリング法、イオンビームスパッタリング法、ECR電子サイクロトロンスパッタリング法などのスパッタリング法、イオンプレーティング法などの物理的気相成長法PVD法、熱や光、プラズマなどを利用した化学的気相成長法CVD法などが挙げられる。中でも、真空下で蒸着法により膜形成する真空蒸着法が好ましい。ここで、ガスバリア層を形成する材料が無機酸化物、無機窒化物、無機酸窒化物、無機ハロゲン化物、無機硫化物などを主たる構成成分とする場合は、形成するガスバリア層の組成と同一の材料を直接揮発させて基材などに堆積させることも可能であるが、この方法で行なう場合には、揮発中に組成が変化し、その結果、形成された膜が均一な特性を呈さない場合がある。そのため、1揮発源として形成するバリア層と同一組成の材料を用い、無機酸化物の場合は酸素ガスを、無機窒化物の場合は窒素ガスを、無機酸窒化物の場合は酸素ガスと窒素ガスの混合ガスを、無機ハロゲン化物の場合はハロゲン系ガスを、無機硫化物の場合は硫黄系ガスを、それぞれ系内に補助的に導入しながら揮発させる方法、2揮発源として無機物群を用い、これを揮発させながら、無機酸化物の場合は酸素ガスを、無機窒化物の場合は窒素ガスを、無機酸窒化物の場合は酸素ガスと窒素ガスの混合ガスを、無機ハロゲン化物の場合はハロゲン系ガスを、無機硫化物の場合は硫黄系ガスを、それぞれ系内に導入し、無機物と導入したガスを反応させながら基材表面に堆積させる方法、3揮発源として無機物群を用い、これを揮発させて、無機物群の層を形成させた後、それを無機酸化物の場合は酸素ガス雰囲気下、無機窒化物の場合は窒素ガス雰囲気下、無機酸窒化物の場合は酸素ガスと窒素ガスの混合ガス雰囲気下、無機ハロゲン化物の場合はハロゲン系ガス雰囲気下、無機硫化物の場合は硫黄系ガス雰囲気下で保持することにより無機物層と導入したガスを反応させる方法、等が挙げられる。これらのうち、揮発源から揮発させることが容易であるという点で、2又は3がより好ましく用いられる。さらには、膜質の制御が容易である点で2の方法が更に好ましく用いられる。また、バリア層が無機酸化物の場合は、揮発源として無機物群を用い、これを揮発させて、無機物群の層を形成させた後、空気中で放置することで、無機物群を自然酸化させる方法も、形成が容易であるという点で好ましい。また、アルミ箔を貼り合わせてバリア層として使用することも好ましい。厚みは、1μm~30μmが好ましい。厚みは、1μm以上であると、経時サーモ中にポリエステルフィルム中に水が浸透し難くなって加水分解を生じ難く、30μm以下であると、バリア層の厚みが厚くなり過ぎず、バリア層の応力でフィルムにベコが発生することもない。上記において、本発明のポリエステル樹脂組成物は、特に、耐候性が求められる屋外用途のポリエステルフィルム又はポリエステルシートとして好適に用いられる。屋外用途のポリエステルフィルム又はポリエステルシートとしては、例えば、太陽電池発電モジュールに備えられるバックシート太陽光が入射する側と反対側に配されて太陽電池素子を保護する裏面保護用のシート、照明用フィルム、農業用シートなどが挙げられ、特に太陽電池発電モジュールに備えられるバックシートとして好適である。<太陽電池発電モジュール>本発明の太陽電池発電モジュールは、既述の本発明のポリエステルフィルムの製造方法により得られたポリエステルフィルムバックシートを含むを備えたものである。好ましくは更に、太陽光が入射する側の透明性の基板例:ガラス基板など、太陽光の光エネルギーを電気エネルギーに変換する太陽電池素子、太陽電池素子を封止する封止剤などを用いて構成される。本発明のポリエステルフィルムの製造方法により得られたポリエステルフィルムをバックシートに適用するときは、バックシートは、太陽電池素子の表面のうち、透明性の基板が配される側と反対側に設けられる。太陽電池素子としては、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコンなどのシリコン系、銅-インジウム-ガリウム-セレン、銅-インジウム-セレン、カドミウム-テルル、ガリウム-砒素などのIII-V族やII-VI族化合物半導体系など、各種公知の太陽電池素子を適用することができる。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、部およびは質量基準である。実施例11.ポリエステルの製造固相重合工程-重合エステル化反応-[工程A]第一エステル化反応槽に、高純度テレフタル酸4.7トンとエチレングリコール1.8トンを90分かけて混合してスラリー形成させ、3800kg/hの流量で連続的に第一エステル化反応槽に供給した。更にクエン酸がTi金属に配位したクエン酸キレートチタン錯体VERTECAC-420、ジョンソンマッセイ社製のエチレングリコール溶液を連続的に供給し、反応槽内温度250°C、攪拌下で平均滞留時間を約4.3時間として反応を行なった。このとき、クエン酸キレートチタン錯体は、Ti添加量が元素換算値で9ppmとなるように連続的に添加した。このとき、得られたオリゴマーの酸価は600eq/トンであった。この反応物を第二エステル化反応槽に移送し、攪拌下、反応槽内温度250°Cで、平均滞留時間で1.2時間反応させ、酸価が200eq/tonのオリゴマーを得た。第二エステル化反応槽は内部が3ゾーンに仕切られており、第2ゾーンから酢酸マグネシウムのエチレングリコール溶液を、Mg添加量が元素換算値で75ppmになるように連続的に供給し、続いて第3ゾーンから、リン酸トリメチルのエチレングリコール溶液を、P添加量が元素換算値で65ppmになるように連続的に供給した。以上により、エステル化反応生成物を得た。このとき、Ti/PTi及びPの元素含有量比は、0.14であった。なお、リン酸トリメチルのエチレングリコール溶液は、25°Cのエチレングリコール液に、25°Cのリン酸トリメチル液を加え、25°Cで2時間攪拌することにより調製した溶液中のリン化合物含有量:3.8。[工程B]工程Aで得られたエステル化反応生成物を連続的に第一重縮合反応槽に供給し、攪拌下、反応温度270°C、反応槽内圧力20torr2.67×10-3MPaで、平均滞留時間を約1.8時間として重縮合エステル交換反応させた。更に、この反応物を、第一重縮合反応槽から第二重縮合反応槽に移送し、この反応槽において攪拌下、反応槽内温度276°C、反応槽内圧力5torr6.67×10-4MPaで滞留時間を約1.2時間の条件として反応エステル交換反応させた。次いで、この反応物を、第二重縮合反応槽から更に第三重縮合反応槽に移送し、この反応槽では、反応槽内温度278°C、反応槽内圧力1.5torr2.0×10-4MPaで、滞留時間1.5時間の条件で反応エステル交換反応させ、重縮合物ポリエチレンテレフタレートPETを得た。次に、得られた重縮合物PETを冷水にストランド状に吐出し、直ちにカッティングしてPETペレット1断面:長径約4mm、短径約2.4mm、長さ:約3mmとした。PETペレット1について、末端COOH量AVeq/tonと、固有粘度IVdlgを測定した。末端COOH量は、HAPohlAnalChem262145に記載の方法にしたがって、滴定法にて末端COOH量を測定した。具体的には、PETペレット1をベンジルアルコールに205°Cで溶解し、フェノールレッド指示薬を加え、水酸化ナトリウムの水/メタノール/ベンジルアルコール溶液で滴定し、その適定量から末端COOH量を算出した。PETペレット1のdl/gは、PETペレット1を、1,1,2,2-テトラクロルエタン/フェノール=2/3質量比混合溶媒に溶解し、混合溶媒中の30°Cでの溶液粘度から求めた。固相重合前のPETペレット1の固有粘度と末端COOH量を表1の固相重合前樹脂IV欄及びAV欄に示す。-加熱結晶化-図2に示す構成の結晶化装置を用意し、結晶化装置上部の開口部開口部8から、PETペレット1を、投入量300kg/hrで投入すると共に、結晶化装置に180°Cの窒素ガスを、供給量200Nm3/hrで供給した。また、窒素ガスの風速空塔速度は、1.0m/secとした。結晶化装置の下部に落下したPETペレット1は、結晶化装置が内蔵する循環装置によって、繰り返し開口部開口部8まで持ち上げ、落下させることで、4時間かけて加熱結晶化した。結晶化されたPETペレット1を100粒用意し、それぞれについて、結晶化度ρを既述の計算式結晶化度ρ={d-dA/dC-dA}×100により算出した。得られた結晶化度ρの平均値を、表1の結晶化後の樹脂ρ欄に示す。また、得られた結晶化度ρの分布ΔρをΔρ欄に示した。また、結晶化されたPETペレット1、100粒について、Cu-Kα1線を用いたX線回折解析により、既述のScherrerの式を用いて、結晶子径Dを測定した。X線回折解析装置は、リガク社製ULTIMAIVを用いた。得られた結晶子径Dの平均値を、表1の結晶化後の樹脂D欄に示した。また、得られた結晶子径Dの分布ΔDをΔD欄に示した。-固相重合-結晶化されたPETペレット1を用いて、回転型真空重合装置を用いて、50Paの減圧下、180°Cで60時間の加熱処理を行なった。このとき、固有粘度が0.1上昇した際の末端COOH濃度の減少量は、1.5eq/tonであった。なお、測定は、以下に示す方法により行なった。その後、真空重合装置内に25°Cの窒素ガスを流し、PETペレット1を25°Cまで冷却し、固相重合されたPETペレット1を得た。2.ポリエステルフィルムの製造押出成形工程-押出成形-上記のように固相重合を終えたPETペレット1を、含水率20ppm以下に乾燥させた後、直径50mmの1軸混練押出し基のホッパーに投入し、270°Cで溶融して押出した。押出機内の圧力変動を観察したところ、0.8であった。結果を表1の押出成形押出機の圧力変動欄に示した。PETペレット1の溶融体メルトをギアポンプ、濾過器孔径20μmを通した後、ダイから20°Cの冷却ロールに押出し、厚み3500μmの非晶性シートを得た。なお、押出されたメルトは、静電印加法を用い冷却ロールに密着させた。-延伸-上記方法で冷却ロール上に押出し、固化した未延伸フィルムに対し、以下の方法で逐次2軸延伸を施し、厚み250μmのポリエステルフィルムを得た。a縦延伸未延伸フィルムを周速の異なる2対のニップロールの間に通し、縦方向搬送方向に延伸した。なお、予熱温度を95°C、延伸温度を95°C、延伸倍率を3.5倍、延伸速度を3000/秒として実施した。b横延伸縦延伸した前記フィルムに対し、テンターを用いて下記条件にて横延伸した。予熱温度:110°C延伸温度:120°C延伸倍率:3.9倍延伸速度:70/秒-熱固定熱緩和-続いて、縦延伸及び横延伸を終えた後の延伸フィルムを下記条件で熱固定した。さらに、熱固定した後、テンター幅を縮め下記条件で熱緩和した。熱固定温度:215°C熱固定時間:2秒熱緩和温度:210°C熱緩和率:2-巻き取り-熱固定及び熱緩和の後、両端を10cmずつトリミングした。その後、両端に幅10mmで押出し加工ナーリングを行なった後、張力25kg/mで巻き取った。なお、幅は1.5m、巻長は2000mであった。以上のようにして、ポリエステルフィルム1を作製した。3.ポリエステルフィルム評価上記のように得られたポリエステルフィルム1について、固有粘度IV、末端COOH量酸価、AV、及び破断伸度半減時間hrを以下に示す方法により測定した。測定結果を下記表1に示す。a末端COOH量AVeq/ton得られたポリエステルフィルム1について、HAPohlAnalChem262145に記載の方法にしたがって、滴定法にて末端COOH量を測定した。具体的には、図2に示す要領で、得られたポリエステルフィルム1の長手方向に、20個の測定位置点Pをマークし点P同士の間隔は、100m、点Pが中心となるようにポリエステルフィルム1を裁断して、1cm×20cmの試料片を20枚得た。次いで、得られた試料片それぞれについて、試料片をベンジルアルコールに205°Cで溶解し、フェノールレッド指示薬を加え、水酸化ナトリウムの水/メタノール/ベンジルアルコール溶液で滴定し、その適定量から末端COOH量eq/ton;=AVを算出した。算出された末端COOH量の平均値を、表1のフィルムAV平均欄に示す。また、算出された末端COOH量の平均値、最大値、及び最小値から、末端COOH量のバラツキを算出し、AVバラツキ欄に示した。bIVdlg得られたポリエステルフィルム1について、1,1,2,2-テトラクロルエタン/フェノール=2/3質量比混合溶媒中の30°Cでの溶液粘度から求めた。c破断伸度半減時間[hr]末端COOH量AVの測定と同様にして、20枚の1cm×20cmの試料片を用意した。破断伸度半減時間は、用意した20枚の試料片それぞれに対して、120°C、相対湿度100の条件で保存処理加熱処理を行ない、保存後の試料片が示す破断伸度[]が、保存前の試料片が示す破断伸度[]に対して50となる保存時間破断伸度保持時間を測定することにより評価した。破断伸度は、試料片をチャック間5cm、20/分にて引っ張って求めた。破断伸度半減時間が長い程、ポリエステルフィルムの耐加水分解性に優れていることを示す。20枚の試料片について測定した破断伸度半減時間の平均値を、表1のフィルム破断伸度半減時間平均欄に示す。また、20枚の試料片について測定した破断伸度半減時間の最大値、及び最小値から、20枚の試料片の破断伸度半減時間のバラツキを算出し、破断伸度半減時間バラツキ欄に示した。実施例2、実施例3実施例1において、PETペレット1の結晶化における窒素ガスの温度を180°Cから表1に示す温度に変更し、PETペレットの固相重合条件を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にして、ポリエステルフィルム2、3を作製し、物性の評価を行なった。評価の結果は、下記表1に示す。実施例4実施例2において、PETペレット1に代えて固相重合前におけるIV及びAVが異なるPETペレット2を用い、押出成形工程の押出機の圧力変動を表1に示すように変更した他は同様にして、ポリエステルフィルム4を作製し、物性の評価を行なった。評価の結果は、下記表1に示す。PETペレット2は、次のようにして得た。-PETペレット2の製造-PETペレット1の製造において、実施例1の1.ポリエステルの製造工程Bにおける第一重縮合反応槽、第二重縮合反応槽、及び第三重縮合反応槽の各温度を5°C下げたこと以外は同様にして、PETペレット2を作成した。得られたPETペレット2の固相重合前における固有粘度IVと末端COOH量AVは、固相重合前のPETペレット1のIV、AV測定と同様にして行なった。実施例5~実施例7、及び比較例5実施例2において、PETペレット1の加熱結晶化における窒素ガスの空塔速度を表1に示す速度に代え、押出成形工程における押出機の圧力変動を表1に示すように変更した他は同様にして、ポリエステルフィルム5~7実施例5~実施例7、及びポリエステルフィルム105比較例5を作製し、物性を評価した。評価の結果は、下記表1に示す。実施例8実施例3において、PETペレット1の加熱結晶化をホソカワミクロン社製、トーラスディスクプレヒーターを用いた金属接触による方法で行ない、PETペレットの固相重合条件を表1に示すように変更した他は、同様にして、実施例8のポリエステルフィルム8を製造した。なお、金属接触による加熱温度及び加熱時間は、表1に示した。得られたポリエステルフィルム8について、実施例1のポリエステルフィルム1と同様にして測定、評価を行なった。測定、評価の結果は、下記表1に示す。比較例1~比較例4実施例1~実施例4において、PETペレットの加熱結晶化をホソカワミクロン社製、トーラスディスクプレヒーターを用いた金属接触による方法で行ない、PETペレットの固相重合条件および押出成形工程における押出機の圧力変動を表1に示すように変更した他は、同様にして、それぞれ、比較例1~比較例4のポリエステルフィルム101~104を製造した。なお、金属接触による加熱温度及び加熱時間は、表1に示した。得られたポリエステルフィルム101~104について、実施例1のポリエステルフィルム1と同様にして測定、評価を行なった。測定、評価の結果は、下記表1に示す。実施例9実施例2において、PETペレット1に代えて、ポリブチレンテレフタレートPBTペレットを用いた他は同様にして、実施例9のポリエステルフィルム9を作製し、物性の評価を行なった。評価の結果は、下記表1に示す。PBTペレットは、次のようにして得た。-PBTペレットの製造-PETペレット1の製造において、実施例1の1.ポリエステルの製造工程Aで用いた原料のうち、ジオール成分を、エチレングリコールから、1,4-ブタンジオールに変更したこと以外は同様にして、エステル化反応を進め、PBTポリブチレンテレフタレートペレットを得た。得られたPBTペレットの固相重合前における固有粘度IVと末端COOH量AVは、固相重合前のPETペレット1のIV、AV測定と同様にして行なった。表1中、固相重合樹脂種に示すPET1は、ペレットとしてPETペレット1を用いていることを示し、PET2は、ペレットとしてPETペレット2を用いていることを示し、PBTは、ペレットとしてPBTペレットを用いていることを示す。前記表1に示すように、実施例では、比較例に比べて、結晶化後のポリエステルの結晶化度分布Δρが大きく、押出機内での圧力変動が小さく、得られたポリエステルフィルムの末端COOH量のバラツキや破断伸度半減時間のバラツキが小さくなっている。従って、結晶化後のポリエステルの結晶化度分布Δρが大きい方が、押出機内での圧力変動を抑制し、ポリエステルの末端COOH量を小さくすると共に、末端COOH量のバラツキや破断伸度半減時間のバラツキを抑制していることがわかった。実施例104.太陽電池用ポリエステルフィルム太陽電池用バックシートの作製上記で作製した実施例1~実施例9のポリエステルフィルム1~9、および比較例1~比較例5のポリエステルフィルム101~105を用い、太陽電池に備えられるバックシート1~9、及び101~105を作製した。具体的には、以下の通りである。上記で作製したポリエステルフィルムの片面に、下記のi反射層とii易接着性層とをこの順で塗設した。i反射層着色層まず初めに、下記組成の諸成分を混合し、ダイノミル型分散機により1時間分散処理して顔料分散物を調製した。二酸化チタン39.9部タイペークR-780-2、石原産業株製、固形分100ポリビニルアルコール8.0部PVA-105、株クラレ製、固形分10界面活性剤デモールEP、花王株製、固形分:250.5部蒸留水51.6部次いで、得られた顔料分散物を用い、下記組成の諸成分を混合することにより反射層形成用塗布液を調製した。上記の顔料分散物71.4部ポリアクリル樹脂水分散液17.1部バインダー:ジュリマーET410、日本純薬工業株製、固形分:30ポリオキシアルキレンアルキルエーテル2.7部ナロアクティーCL95、三洋化成工業株製、固形分:1オキサゾリン化合物架橋剤1.8部エポクロスWS-700、日本触媒株製、固形分:25蒸留水7.0部上記より得られた反射層形成用塗布液をサンプルフィルムにバーコーターにより塗布し、180°Cで1分間乾燥して、二酸化チタン塗布量が6.5g/m2の反射層白色層を形成した。ii易接着性層下記組成の諸成分を混合して易接着性層用塗布液を調製し、これをバインダー塗布量が0.09g/m2になるように反射層の上に塗布した。その後、180°Cで1分間乾燥させ、易接着性層を形成した。ポリオレフィン樹脂水分散液5.2部バインダー:ケミパールS75N、三井化学株製、固形分:24ポリオキシアルキレンアルキルエーテル7.8部ナロアクティーCL95、三洋化成工業株製、固形分:1オキサゾリン化合物0.8部エポクロスWS-700、日本触媒株製、固形分25シリカ微粒子水分散物2.9部アエロジルOX-50、日本アエロジル株製、固形分:10蒸留水83.3部次に、ポリエステルフィルムの反射層及び易接着性層が形成されている側と反対側の面に、下記のiii下塗り層、ivバリア層、及びv防汚層をポリエステルフィルム側から順次、塗設した。iii下塗り層下記組成の諸成分を混合して下塗り層用塗布液を調製し、この塗布液をポリエステルフィルムに塗布し、180°Cで1分間乾燥させ、下塗り層乾燥塗設量:約0.1g/m2を形成した。ポリエステル樹脂1.7部バイロナールMD-1200、東洋紡株製、固形分:17ポリエステル樹脂3.8部ペスレジンA520、高松油脂株製、固形分:30ポリオキシアルキレンアルキルエーテル1.5部ナロアクティーCL95、三洋化成工業株製、固形分:1カルボジイミド化合物1.3部カルボジライトV-02-L2、日清紡株製、固形分:10蒸留水91.7部ivバリア層続いて、形成された下塗り層の表面に下記の蒸着条件にて厚み800Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し、バリア層とした。反応ガス混合比単位:slm:ヘキサメチルジシロキサン/酸素ガス/ヘリウム=1/10/10真空チャンバー内の真空度:5.0×10-6mbar蒸着チャンバー内の真空度:6.0×10-2mbar冷却電極ドラム供給電力:20kWフィルムの搬送速度:80m/分v防汚層以下に示すように、第1及び第2防汚層を形成するための塗布液を調製し、バリア層の上に第1防汚層用塗布液、第2防汚層用塗布液の順に塗布し、2層構造の防汚層を塗設した。<第1防汚層>-第1防汚層用塗布液の調製-下記組成中の成分を混合し、第1防汚層用塗布液を調製した。セラネートWSA1070DIC株製45.9部オキサゾリン化合物架橋剤7.7部エポクロスWS-700、日本触媒株製、固形分:25ポリオキシアルキレンアルキルエーテル2.0部ナロアクティーCL95、三洋化成工業株製、固形分:1反射層で用いた顔料分散物33.0部蒸留水11.4部-第1防汚層の形成-得られた塗布液を、バインダー塗布量が3.0g/m2になるように、バリア層の上に塗布し、180°Cで1分間乾燥させて第1防汚層を形成した。-第2防汚層用塗布液の調製-下記組成中の成分を混合し、第2防汚層用塗布液を調製した。フッ素系バインダー:オブリガードAGCコーテック株製45.9部オキサゾリン化合物7.7部エポクロスWS-700、日本触媒株製、固形分:25;架橋剤ポリオキシアルキレンアルキルエーテル2.0部ナロアクティーCL95、三洋化成工業株製、固形分:1前記反射層用に調製した前記顔料分散物33.0部蒸留水11.4部-第2防汚層の形成-調製した第2防汚層用塗布液を、バインダー塗布量が2.0g/m2になるように、バリア層上に形成された第1防汚層の上に塗布し、180°Cで1分間乾燥させて第2防汚層を形成した。以上のようにして、ポリエステルフィルムの一方の側に反射層及び易接着層を有し、他方の側に下塗り層、バリア層、及び防汚層を有するバックシートを作製した。実施例の太陽電池用バックシート1~9は、破断伸度半減時間のバラツキが小さい実施例のポリエステルフィルム1~9を用いて構成されるため、比較例の太陽電池用バックシート101~105に比べ、均一な耐加水分解性を示した。実施例115.太陽電池発電モジュールの作製上記のようにして作製したバックシート1~9及びバックシート101~105を用い、特開2009-158952号公報の図1に示す構造になるように透明充填剤に貼り合わせ、太陽電池発電モジュール1~9及び101~105を作製した。このとき、バックシートの易接着性層が、太陽電池素子を包埋する透明充填剤に接するように貼り付けた。実施例の太陽電池発電モジュール1~9は、破断伸度半減時間のバラツキが小さい実施例のポリエステルフィルム1~9を用いて構成されるため、比較例の太陽電池発電モジュール101~105に比べ、発電性能を長期に亘って安定的に得ることができた。"