基板12を被覆するための真空チャンバ16と、前記基板12上に堆積されることとなる材料を加熱するために少なくともワイヤ部分14aを受けるように適合されたリアクタ22と、少なくとも1つの電気モータ1020を含む電動式ドライバ20と、前記リアクタ22内に少なくとも前記ワイヤ部分を送るおよび位置決めするように構成されたワイヤローラシステム324a、324bとを備え、前記電動式ドライバ20は、使用時に、前記リアクタ内に位置決めされた少なくとも前記ワイヤ部分が前記電動式ドライバにより調節可能な態様で張力印加され得るように、前記ワイヤローラシステム324a、324bに対して動作可能なように結合される、被覆装置10。前記被覆装置10は、熱ワイヤ化学気相成長被覆装置である、請求項1に記載の被覆装置。ワイヤ14により加熱された被覆材料で基板12を被覆するための真空チャンバ16と、前記被覆中に前記ワイヤ14に対して張力印加を行うように構成された、電動式ドライバ20を含むアクチュエータシステム18とを備える、被覆装置10。前記アクチュエータシステム18は、前記電動式ドライバにより生成されたトルクを前記ワイヤに対して結合することにより前記ワイヤ14に対して張力印加を行うように構成される、請求項3に記載の被覆装置。前記電動式ドライバ20は、サーボモータおよびステッパモータからなる群より選択される少なくとも1つの電気モータを含む、請求項3または4に記載の被覆装置。前記電動式ドライバにより生成されたトルクを制御するように構成され、前記被覆装置の作動中に前記ワイヤ14の張力が調節可能になるように、前記ワイヤ14に対して張力印加を行うために前記ワイヤ14に対して結合された、張力制御システム1002をさらに備える、請求項3ないし5のいずれか一項に記載の被覆装置。前記アクチュエータシステムが送出することのために構成されており、特に、リアクタ22内の被覆材料28が前記基板12上に前記被覆材料を堆積する前に新規のワイヤ部分14bで加熱され得るように、前記被覆装置の前記リアクタ22内にワイヤの前記新規部分14bを送出するために、前記システムが、前記電動式ドライバ20によって作動されるワイヤ送りシステム、いくつかの実施形態においてはワイヤローラシステム324a、324bをさらに含む、請求項3ないし6のいずれか一項に記載の被覆装置。前記アクチュエータシステム18に対して動作可能なように結合され、使用時に、前記新規のワイヤ部分が、被覆中に自動的に供給される、および/または前記新規のワイヤ部分が、所定の時間間隔で自動的に供給されるように構成された、送り制御システムをさらに備える、請求項7に記載の被覆装置。少なくとも1400°Cの温度まで少なくともワイヤ部分を加熱するように構成されたヒータをさらに備える、請求項3ないし8のいずれか一項に記載の被覆装置。前記被覆装置は、熱ワイヤ化学気相成長被覆装置である、請求項3ないし9のいずれか一項に記載の被覆装置。被覆基板12を製造する方法であって、前記方法は、電動式ドライバを含むアクチュエータシステム18によりワイヤ14に対して張力印加を行うことと、真空条件下において被覆材料28で前記基板12を被覆することとを含み、前記被覆することは、前記被覆材料が基板12上に堆積される前に前記被覆材料中の温度上昇を誘発するために、動作温度にまで前記ワイヤ14の少なくとも一部分14bを加熱することを含む、方法。非弾性結合システムを介して前記ワイヤに対して前記電動式ドライバにより生成されたトルクを結合することと、前記トルクにより前記ワイヤの少なくとも前記加熱された部分14aの張力を調節することとをさらに含む、請求項11に記載の方法。前記被覆材料28が、前記基板12上に前記被覆材料を堆積する前に新規のワイヤ部分14bで加熱され得るように、前記ワイヤ14の新規部分14bを送出するために前記アクチュエータシステム18を作動させることをさらに含む、請求項11または12に記載の方法。前記新規のワイヤ部分14bは、被覆材料28が基板12上に堆積されつつある間に、送出される、および/または前記新規のワイヤ部分14bは、所定の時間間隔で送出される、請求項13に記載の方法。少なくとも1400°Cの温度にまで少なくとも前記ワイヤ部分を加熱することをさらに含む、請求項10ないし14のいずれか一項に記載の方法。以下、様々な実施形態を詳細に参照する。これらの実施形態の1つまたは複数の例が、各図面において図示される。各例は、例示として提示されるものであり、限定としては意図されない。例えば、一実施形態の一部として図示または説明される特徴は、他の実施形態においてまたは他の実施形態と組み合わせて使用することにより、さらに他の実施形態を生み出すことが可能である。本開示は、かかる変更形態および変形形態を含むことが意図される。本明細書において説明される実施形態は、ワイヤにより加熱された被覆材料で基板を被覆するための真空チャンバを備える被覆装置を備える。特に、典型的な実施形態によれば、基板は、解離された前駆体である被覆材料で被覆される。典型的には、前駆体は、ワイヤ加熱により解離される。特に、この被覆装置は、iワイヤを受け例えば装置のリアクタ内に、iiワイヤまたはリアクタ内のそのワイヤの少なくとも一部分を加熱し、iii加熱されたワイヤと相互作用する被覆材料を加熱し、これにより被覆材料が化学的に反応および解離するように構成され得る。さらに、被覆装置は、電動式ドライバを有するアクチュエータシステムを備えてよい。このアクチュエータシステムは、被覆中にワイヤに対して張力印加を行うように構成される。電動式ドライバを備えるかかるアクチュエータシステムは、ワイヤの適切な張力印加を容易化する。さらに具体的には、本明細書の実施形態による被覆装置は、被覆プロセス中のワイヤの張力印加の調節を容易化する。本明細書の実施形態は、一般的に、張力印加システムを介してワイヤに対する過剰応力の発生を回避するのを容易化する。かかる過剰応力は、ワイヤの動作寿命を短縮させ得る。さらに、本明細書の実施形態による電動式ドライバを備えるアクチュエータシステムは、一般的に、単純化された張力印加機構を容易化する。例えば、本明細書の実施形態の少なくともいくつかは、ワイヤに対して張力印加を行うためにワイヤに対して結合されたばね張力印加システムを実装しない。本明細書において説明される他の実施形態と組み合わせることの可能なさらに他の実施形態によれば、アクチュエータシステムは、ワイヤが加熱される領域内にワイヤまたはワイヤの追加的部分を送出するために使用することも可能である。本明細書の実施形態による真空チャンバは、少なくともその一部分が、真空条件、すなわち10ミリバール未満の圧力、またはより具体的には10-3ミリバール未満の圧力を維持するように適合された、任意のチャンバであることが可能である。特に、化学気相成長CVD向けの実施形態については、真空チャンバは、1ミリバール~10-2ミリバールの圧力で作動されるように構成される。被覆という用語および堆積という用語は、本明細書においては同義的に使用される。典型的には、被覆は、基板上に被覆材料の薄膜を塗布するためのプロセスを指す。典型的な実施形態によれば、被覆は、被覆材料のCVDを含むか、または被覆材料のCVDからなる。代替的には、被覆は、被覆材料の物理気相成長PVDを含むか、または被覆材料の物理気相成長PVDからなる。被覆は、被覆材料のCVDおよびPVDの組合せを含んでもよい。典型的な実施形態によれば、被覆材料は、基板上に堆積されることとなる材料か、または基板上に堆積された材料である。被覆材料は、基板上に同時におよび/または連続的に堆積され得る複数の成分を含んでもよい。典型的な実施形態によれば、ワイヤは、被覆材料の加熱に適した材料を含む細長片またはフィラメント一般的には細長いおよび/またはストリング状のである。例えば、限定的ではないが、ワイヤは、電流の通過により適切な動作温度まで加熱され得る抵抗材料を含む可撓性フィラメントであってよい。例えば、限定的ではないが、ワイヤは、TaワイヤまたはWワイヤであってよい。本明細書の実施形態によるワイヤは、HWCVD用の装置において熱ワイヤを構築してよい。典型的な実施形態によれば、アクチュエータシステムは、ワイヤの少なくとも一部分の張力印加および/または並進移動を実現するように構成された機構である。例えば、アクチュエータシステムは、ワイヤに対して張力印加を行うために、またはワイヤが加熱される領域内においてワイヤを並進移動させるために、ワイヤに対して力学的エネルギーを供給および伝達してよい。典型的な実施形態によれば、電動式ドライバは、少なくとも1つのモータを備えるドライバであり、このドライバは、ワイヤに対して結合されるように適合された1つまたは複数の要素を介してワイヤに対して張力印加を行うための1つまたは複数の力を発生させるように構成される。例えば、かかる力は、張力印加を行い、張力印加を調節し、および/またはワイヤの少なくとも一部分を並進移動させるために、アクチュエータシステムの要素を介して生成され得る。アクチュエータ要素は、1つまたは複数の回転可能要素を備えてもよく、この回転可能要素は、ワイヤに対する張力印加を実現するために電動式ドライバによる運動量またはトルクの生成によって作動され得る。このことに加えて、かかる運動量またはトルクは、被覆装置の反応区域またはリアクタの中に新規のワイヤ部分を導入するために生成され得る。図面の以下の説明の中で、同一の参照数字は、同一の構成要素を指す。概して、各実施形態に関して異なる部分のみが説明される。図1は、例示的な被覆装置10の概略断面図である。例示的な被覆装置10は、基板支持体図示せず上に基板12を受けるように構成された真空チャンバ16を備える。被覆装置10は、ワイヤ14を受けるようにさらに構成される。この例示的な実施形態においては、被覆装置10は、ワイヤ14の一部分14aを受けるように構成されたリアクタ22を備える。本明細書の実施形態によれば、リアクタ22は、被覆材料28を加熱するために被覆材料28がワイヤ14と相互作用するのを可能にするように構成された被覆装置のある特定の部分である。本明細書において説明される他の実施形態と組み合わせることの可能なさらなる実施形態によれば、ワイヤの部分14aは、チャンバ16内の反応領域内に設けることも可能である。本明細書の実施形態によれば、被覆装置10は、基板12上に被覆材料28を堆積する前に、ワイヤ14が被覆材料28と相互作用する例えば被覆材料28を加熱するためにように構成される。特に、リアクタ22は、i蒸気状態、ガス状態、または揮発状態の被覆材料28、ii蒸気状態、ガス状態、または揮発状態の被覆材料28を加熱するためのワイヤ部分14aを受けるように構成されたチャンバにより構築され得る。いくつかの実施形態によれば、被覆材料28は、基板12上へのCVDを実施するのに適した前駆体ガスであってよい。本明細書の実施形態による被覆装置は、リアクタ22中に配設された入口および/または通気口などのしかしこれらに限定されない、リアクタ22内に被覆材料28を導入するための手段を備えてよい。他の実施形態によれば、被覆材料28は、ワイヤ14に接する被覆材料28が電熱ワイヤ14により加熱され得るように、ワイヤ14に接するように供給され得る。本明細書の実施形態によれば、被覆材料28は、以下においてさらに詳細に説明されるように、被覆材料28の分解を実現するためにワイヤ14によって加熱される。リアクタ22は、ワイヤ14により加熱済みの被覆材料28が基板12上に堆積し得るようにするための出口42をさらに備えてよい。かかる実施形態においては、リアクタ22は、ワイヤ部分14aが本明細書の実施形態によるリアクタ22内に位置決めされ得るように、フィードスルー38、40を備えてよい。特に、フィードスルー38、40は、ワイヤ部分14aまたはワイヤ14の任意の他の部分がリアクタ22内に送り込まれ、リアクタ22から出ることが可能になるように構成されてよい。典型的な実施形態によれば、被覆装置10は、リアクタ22内に配設された少なくともワイヤ部分14aを加熱するための加熱システム32を備える。追加的または代替的には、ワイヤ14の他の部分が、加熱システム32により加熱され得る。これにより、リアクタ22内に位置決めされたワイヤ部分ワイヤ部分14aなどは、被覆材料28が基板12上に堆積する前に、被覆材料28の温度上昇を誘発することが可能となる。以下においてさらに詳細に説明されるいくつかの実施形態においては、ワイヤ14は、抵抗材料を含み、加熱システム32は、少なくとも部分ワイヤ14を介して電流を印加することによりこのワイヤ部分を加熱するための、電極システムを備える。代替的には、加熱システム32は、被覆材料28が基板12上に堆積する前にリアクタ22内において加熱され得るように、少なくとも部分ワイヤ14を加熱するのに適した、および典型的には加熱するように構成された、任意の加熱源を備えてよい。本明細書の少なくともいくつかの実施形態においては、加熱システム32は、真空チャンバ16内に、さらに具体的にはリアクタ22内に設けられる。代替的には、加熱システム32は、リアクタ22および/または真空チャンバ16の外部にてワイヤ14に対して結合されるように構成されてよい。典型的な実施形態によれば、被覆装置10は、少なくともワイヤ14の一部分に対して張力印加を行うためのワイヤ張力印加システムを備える。特に、被覆装置10は、電動式ドライバ20を備えるアクチュエータシステム18を備える。本明細書の実施形態によれば、電動式ドライバ20は、サーボモータおよびステッパモータからなる群より選択される少なくとも1つの電気モータを備える。特に、電動式ドライバ20は、サーボモータなどしかしこれに限定されないの電気モータを備えてよい。代替的には、またはサーボモータと組み合わせて、電動式ドライバ20は、ステッパモータを備えてよい。アクチュエータシステム18は、基板12の被覆中に、ワイヤ部分14aしかしこれに限定されないなどのワイヤ14の少なくとも一部分に対して張力印加を行うように構成される。典型的な実施形態によれば、アクチュエータシステム18は、電動式ドライバ20により線形力すなわち電動式ドライバの線形運動により生成される力および/または1つまたは複数の運動量もしくはトルクを生成することにより、ワイヤ14に対して張力印加を行うように構成される。この例示的な実施形態においては、アクチュエータシステム18は、牽引デバイス24aおよび固定手段24bを備える張力印加システム24を備える。牽引デバイス24aおよび固定手段24bは、典型的には、iリアクタ22内にワイヤ部分14aを位置決めし、ii少なくともワイヤ部分14aに対して張力印加を行うように、構成される。固定手段24bは、ワイヤ部分14aがリアクタ22内において張力印加され得るように、ワイヤ14の一部分を固定するための任意の適切なデバイスであってよい。例えば、限定的ではないが、固定手段24bは、真空チャンバ16の壁部のクランプであってよい。代替的には、固定手段24bは、牽引デバイス24aと同様の、しかし、ワイヤ部分が両牽引デバイス間におよび堆積前の被覆材料28を加熱するための区域リアクタ22など内に延在するように、リアクタ22の対向側に配置された、追加的な牽引デバイスであってよい。代替的には、固定手段24bは、以下においてさらに詳細に説明するように、iワイヤ14の一部分を保管し、iiリアクタ22内におけるワイヤ部分の張力印加を共同的に行うように構成された、ワイヤローラであってよい。例示的な実施形態および本明細書の他の実施形態において、牽引デバイス24aは、ワイヤ14が張力印加されるような位置36にワイヤ14を牽引するように構成されてよい。牽引デバイス24aは、ワイヤ14の張力印加を実現するために、電動式ドライバ20を備えてよく、または電動式ドライバ20に対して動作可能なように結合されてよい。牽引デバイス24aは、ワイヤ14が本明細書において説明されるように作動され得るように、ワイヤ14に対して張力26を印加するのに適した任意のデバイスであってよい。例えば、牽引デバイス24aは、運動量またはトルクの生成によりワイヤ14に対して張力印加を行うように構成されたアクチュエータであってよい。代替的には、またはアクチュエータと組み合わせて、牽引デバイス24aは、ワイヤ14に対して張力印加を行うために、ワイヤ14に対して線形力を結合するように構成されてよい。特に、牽引デバイス24aは、電動式ドライバ20により作動される回転ホイールを有するトルクデバイスであってよい。ワイヤ14の端部分が、位置36においてこの回転ホイールに対して装着されてよい。かかる回転ホイールは、ワイヤ14がこのホイールに対して結合される位置36においてホイール回転軸30に対してトルクを生成することが可能であってよい。他の実施形態によれば、牽引デバイス24aは、以下においてさらに詳細に論じるように、iワイヤ14のバッチを保管し、iiリアクタ22内にワイヤ14を送り込み、iii被覆中にワイヤ14の張力印加を共同的に行うように構成された、ワイヤローラであってよい。他の実施形態においては、牽引デバイス24aは、ワイヤ14の一部分が張力印加されるようにトルクを生成するために、電動式ドライバ20により移動可能な剛性ビームまたは屈曲部である。かかる剛性ビームまたは屈曲部は、ワイヤ14が剛性ビームまたは屈曲部に対して結合される箇所にてトルクを生成することが可能であってよい。かかるトルクは、剛性ビームまたは屈曲部の停止部分またはヒンジ固定部分に対して生成されてよい。いくつかの実施形態によれば、アクチュエータシステム18は、ワイヤ14に対して任意の適切な力を印加することによりワイヤ14に対して張力印加を行うように構成される。例えば、アクチュエータシステム18は、モータ内の要素の線形運動により生成される力を結合するように構成されてよい。特に、かかる線形力は、所定の並進移動軸に対して平行に並進移動可能な作動要素により生成されてよい。この線形作動要素は、例えば水圧アクチュエータなどであってよいが、水圧アクチュエータに限定されない。本明細書の任意の他の実施形態と組み合わされ得るいくつかの実施形態によれば、電動式ドライバ20、特に電動式ドライバ20の1つのモータまたは複数のモータは、トルク制御システムを使用することにより作動される。これにより、ワイヤ14または少なくともワイヤ14の一部分は、高い制御精度で直線位置に維持され得る。特に、これにより、ワイヤ14は、所定の張力にて、およびワイヤ14に対して過剰応力を生成することなく、リアクタ22内に適切に位置決めされ得る。電動式ドライバ20は、以下においてさらに詳細に説明されるように、例えばモータ制御システムなどにより、自動的に作動され得る。代替的には、電動式ドライバ20は、手動的に制御され得る。例えば、電動式ドライバ20は、被覆装置10を本明細書において説明されるように機能させ得るのに適した適切な張力までワイヤ14に対して張力印加を行うために、スイッチ、運動制御インターフェース、またはトルク制御インターフェースにより作動され得る。この例示的な実施形態においては、リアクタ22は、真空チャンバ16内に備えられる。代替的な実施形態においては、リアクタ22は、真空チャンバ16の外部に、しかし被覆材料28がワイヤ14との相互作用後に真空チャンバ16内に導入され得るように真空チャンバ16と連通状態に、配設される。いくつかの実施形態によれば、アクチュエータシステム18は、真空チャンバ16の外部に設けられてよい。他の実施形態によれば、アクチュエータシステム18は、真空チャンバ16内に設けられてよい。他の実施形態によれば、アクチュエータシステム18の第1の群の要素は、真空チャンバ16内に設けられてもよく、アクチュエータシステム18の第2の群の要素は、真空チャンバ16の外部に設けられてよい。例えば図1の実施形態および本明細書の他の実施形態においては、アクチュエータシステム18は、真空チャンバ16の外部に部分的に配設される。特に、電動式ドライバ20および牽引デバイス24aは、真空チャンバ16の外部に設けられてもよい一方で、固定手段24bは、真空チャンバ16内に設けられてもよい。この例示的な実施形態においては、ワイヤ14は、フィードスルー34を通して真空チャンバ16へと送られる。典型的には、フィードスルー34は、真空チャンバ16が真空条件に維持されている間に、真空チャンバ16内にワイヤ14を送るのを可能にするように構成される。他の実施形態においては、例えばアクチュエータシステムが真空チャンバ16内に設けられる場合には、真空チャンバ16は、真空チャンバ16内へのワイヤ14の位置決めを可能にするためのフィードスルーシステムフィードスルー34などを必要とはしない場合がある。図2は、例えば図1の例示的な被覆装置10または本明細書の実施形態による任意の他の被覆装置を作動することなどにより、被覆基板12を製造する例示的な一方法200を示す。例示的な方法200は、電動式ドライバ20を備えるアクチュエータシステム18によりワイヤ14に対して張力印加を行うこと202を含む。方法200は、真空条件下において被覆材料28で基板12を被覆すること204をさらに含む。被覆すること204は、ワイヤ14を加熱すること204aを含む。例えば、被覆すること204は、ワイヤ部分14aなどしかしワイヤ部分14aに限定されないの少なくともワイヤ14の一部分を動作温度にまで加熱することを含んでもよい。典型的には、この動作温度は、被覆材料28が所定の条件下において基板12上に堆積され得るように、被覆材料28の温度上昇を誘発するのに適した温度である。特に、動作温度は、リアクタ22内の被覆材料28が、所望の堆積を生じさせるために例えば基板12の表面における反応および/または分解などの化学プロセスを受け得るような、温度であってよい。典型的な実施形態によれば、被覆装置10は、ワイヤ14がアクチュエータシステム18により張力印加を受ける間に、ワイヤ14を加熱するように構成される。方法200は、張力印加を受けたワイヤ14をかように加熱することをさらに含んでもよい。代替的には、またはこのことと組み合わせて、被覆装置10は、張力非印加状態でワイヤ14を加熱するように構成されてよい。方法200は、張力非印加状態にあるワイヤ14をかように加熱することをさらに含んでよい。張力印加を行うこと202は、任意には、力、より具体的には電動式ドライバにより生成されたトルクを、非弾性結合システムによってワイヤへと結合することをさらに含んでもよい。例えば、被覆システム10は、ワイヤ14に対して張力印加を行うためにワイヤ14に対して直接的に結合されたばね張力印加システムを含まないアクチュエータシステムにより、ワイヤ14に対して張力印加を行うように構成されてよい。任意には、方法200は、被覆プロセス中に生成されたトルクを制御することにより少なくともワイヤ部分14aの張力を調節すること208をさらに含んでもよい。いくつかの実施形態によれば、アクチュエータシステム18は、ワイヤの新規部分を供給するために、電動式ドライバにより作動されるワイヤ送りデバイスをさらに備える。これにより、反応区域内のワイヤ部分が、新規のワイヤ部分によって置換され、このことにより、被覆材料は、この材料の堆積前に新規のワイヤ部分により加熱され得る。本明細書の実施形態によれば、新規のワイヤ部分という用語は、被覆材料の温度を上昇させるために使用されたか、または被覆材料の温度を上昇させるように適合された区域内に配置されていた別のワイヤ部分ワイヤ部分14aなどとは少なくとも部分的に異なるワイヤ部分を指す。特に、アクチュエータシステム18は、i被覆中にワイヤ14に対して張力印加を行い、iiリアクタ22またはシステムの他の反応区域内へと新規のワイヤ部分を送るように、構成されてよい。これにより、本明細書の少なくともいくつかの実施形態は、ワイヤ14の適切な張力印加を容易化するばかりでなく、被覆材料を加熱するように構成されたワイヤ部分の交換を容易化する、アクチュエータシステムを提供する。かかるアクチュエータシステムは、被覆装置のダウンタイムの短縮化を容易化するばかりでなく、張力印加およびワイヤ交換を可能にすることにより、本明細書の実施形態による被覆装置の設計の単純化を容易化する。図3は、ワイヤ送りデバイスを備える例示的な被覆装置300の概略断面図である。この例示的な実施形態においては、ワイヤ送りデバイスは、ワイヤローラシステムにより構築される。この例示的な実施形態におけるワイヤローラシステムは、リアクタ22内にワイヤを送り込むように構成される。さらに、リアクタ22内のワイヤ部分は、典型的には、ワイヤローラシステムによりリアクタ内に位置決めされる。ワイヤローラシステムは、ワイヤローラ324aおよびワイヤローラ324bを備えてもよく、これらのワイヤローラ324a、324bは、アクチュエータシステム18の一部を形成する。ワイヤローラシステムは、ワイヤ部分ワイヤ部分14aなどがリアクタ22内に位置決めされるように、ワイヤローラ324a、324b間にワイヤ14を懸架するように構成されてよい。特に、両ワイヤローラ324a、324bは、本明細書の実施形態による張力印加機構24を構築してよい。各ワイヤローラ324a、324bは、ワイヤ14の別の部分が両ローラ間に延在するように、ワイヤ14の一部分例えばワイヤ14のバッチなどを保管するように構成されてよい。典型的には、ワイヤローラ324a、324b間に延在するワイヤ部分は、被覆材料28を加熱するために配設されたワイヤ部分を含む。ワイヤローラ324a、324bの一方が、必要とされる場合に電動式ドライバ20と共同してワイヤの一部分を巻き出すための巻出しローラとして構成されてよい。例えば、ワイヤローラ324aが、ワイヤ14を巻き出すために電動式サブドライバ20aに対して動作可能なように結合されてよい。ワイヤローラ324a、324bの他方が、必要とされる場合に電動式ドライバ20と共同してワイヤの一部分14aを巻き出すための巻出しローラとして構成されてよい。例えば、ワイヤローラ324bが、ワイヤ14を巻くための電動式サブドライバ20bに対して動作可能なように結合されてよい。これにより、図5および図6に示すように、被覆装置300は、リアクタ22へと新規のワイヤ部分14bを導入するように作動可能となり得る。このようにして、両ローラ間に延在するワイヤ14の部分が変更され得る。特に、これにより、ワイヤの新規部分が、被覆材料28と相互作用するように送られ得る。例示的な被覆装置300においては、ワイヤ送りデバイスは、矢印306の方向に新規のワイヤ部分を送るように構成される。一実施形態によれば、両ワイヤローラ324a、324bは、ワイヤローラ324a、324bの特定の状況に応じて、巻出しローラまたは巻付けローラとして区別なく作動されるように構成されてよい。特定の実施形態によれば、ワイヤローラ324a、324bは、巻出しローラおよび巻付けローラとして代わり得るものとして作動されるように構成されてよい。いくつかの実施形態によれば、ワイヤ送りデバイスは、ワイヤローラ324a、324bとして追加のローラを備えてよい。例えば、アクチュエータシステム18は、ガイドローラのセット図示せず、または被覆装置300を本明細書において開示されるように機能させ得るのに適した任意の他の種類のローラシステムを備えてよい。例えば、ワイヤ部分14aは、それぞれ各ワイヤローラ324a、324bに隣接して配設された2つのガイドローラ間に延在してよい。典型的な実施形態によれば、ワイヤ送りデバイスは、ワイヤ送りおよびワイヤ張力印加を実施するために電動式ドライバシステムに対して動作可能なように結合される。被覆装置300においては、ワイヤローラ324a、324bはそれぞれ、電動式サブドライバ20a、20bと共同して、i上記に示すように被覆材料28と相互作用するようにワイヤの新規部分を送り、ii被覆中にワイヤ14に対して張力印加を行う。特に、電動式サブドライバ20a、20bは、i必要とされる場合にリアクタ22内にワイヤの新規部分を送り、ii両ローラ間に延在するワイヤ部分の適切な張力を維持するために、ワイヤローラ324a、324bを作動させるように構成されてよい。特に、アクチュエータシステム18は、ワイヤ送り中に実質的に一定のワイヤ張力を維持するように構成されてよい。電動式サブドライバ20a、20bは、以下においてさらに論じるように、例えばモータ制御システムなどにより、同期的に作動されてよい。例示的な被覆装置300においては、ワイヤローラ324a、324bは、それぞれ、本明細書において説明されるようにワイヤ14の張力印加を生じさせるトルク326a、326bを発生させるために、電動式サブドライバ20a、20bに対して動作可能なように結合される。トルク326a、326bは、ワイヤローラ324a、324bの回転軸330a、330bに対するものと考えられる。特に、トルク326a、326bは、ワイヤローラ324a、324b内/外へのワイヤ14の進入箇所304a/退出箇所304bにて生成され得る。トルク326a、326bは、典型的には、被覆材料28と相互作用するように位置決めされたワイヤ14またはワイヤ14の少なくとも一部分が、適切な態様で張力印加され得るのを容易化する。さらに、ワイヤ14に対して張力印加を行うためのトルク326a、326bの生成は、典型的には、ワイヤ14の張力の調節にとって有利である。なぜならば、トルクは、ワイヤ14の張力印加を制御するための適切な手段をもたらし得るからである。いくつかの実施形態においては、図3に図示するように、ワイヤローラ324a、324bは、真空チャンバ16の外部に配設される。かかる実施形態においては、被覆装置300は、aフィードスルー例えばフィードスルー34aまたは34bの一方を通して真空チャンバ16内にワイヤ14を送り込み、b別のフィードスルー例えばフィードスルー34aまたは34bの一方を通して真空チャンバ16外へとワイヤ14を送り出すように、さらに構成されてよい。本明細書の実施形態による被覆装置は、リアクタ22内にワイヤ部分を送り込む前にこのワイヤ部分を処理するように適合されたワイヤ処理ユニットをさらに備えてよい。この処理されるワイヤ部分は、未使用ワイヤ部分であってよい。代替的には、この処理されるワイヤ部分は、被覆材料28を加熱するために以前に使用されたワイヤ部分であってよい。例えば、かかる処理ユニットは、本開示による被覆装置のワイヤ送りデバイスの一要素に対して結合されてよい。例えば、かかる処理デバイスは、ワイヤローラ324a、324bの少なくとも一方に対して結合されてよい。特に、ワイヤローラ324a、324bは、ワイヤ14の使用済み部分を処理するために、処理システム図示せずに関連付けられてもよく、これにより、この部分は、被覆材料を加熱するために再利用され得る。図4は、例えば図3の例示的な被覆装置300または本明細書の実施形態によるワイヤ送りデバイスを備える任意の他の被覆装置を作動させることなどにより被覆基板12を製造する例示的な一方法400を示す。例示的な方法400は、上述の張力印加ステップ202および被覆ステップ204と同様の張力印加ステップ402および被覆ステップ404を含む。被覆すること404は、被覆材料28をワイヤ部分14aと相互作用させることにより被覆材料28を加熱すること404aを含んでもよい。本明細書の少なくともいくつかの実施形態によれば、方法400は、新規のワイヤ部分14bが基板12上への堆積前に被覆材料28を加熱するために使用され得るように、ワイヤ14の新規部分14b図5および図6を参照を供給するすなわち送るために、アクチュエータシステム18を作動させること406をさらに含む。少なくともいくつかの実施形態によれば、方法400においては、新規のワイヤ部分14bは、被覆材料28が基板12上に堆積されつつある間に供給される。すなわち、ワイヤ14は、被覆材料28と相互作用するワイヤ部分が継続的にまたは非継続的に置換されるように、被覆中に継続的にまたは非継続的に送られ得る。ワイヤ14を非継続的に送ることにより、ワイヤ14は、ワイヤ14が静止状態に留まる所定の停止期間が後に続く、所定の送り期間中に、例えばリアクタ22内などに送られる。ワイヤ14は、10mm/sなど、0.1mm/s~1000mm/sの送り速度または平均送り速度で送られてよい。本明細書の他の実施形態と組み合わされ得るいくつかの実施形態によれば、新規のワイヤ部分14bは、所定の時間間隔で供給されるすなわち送られる。すなわち、ワイヤ14は、被覆プロセス全体または被覆プロセスの少なくとも一部分にわたり、静止状態に留まってよい。新規のワイヤ部分は、所定のワイヤ使用期間が経過した後に送られ得る。例えば、ワイヤの新規部分は、少なくとも10時間のワイヤ使用時間が経過した後に、またはより具体的には少なくとも8時間後に、またはさらにより具体的には少なくとも6時間後に、送られ得る例えばリアクタ22内に。本明細書の実施形態によれば、ワイヤ使用時間は、ワイヤ14の特定の部分ワイヤ部分14aなどが、被覆材料28を加熱するために使用された時間を指す。本明細書の実施形態による被覆装置は、少なくともワイヤ部分図面におけるワイヤ部分14aなどを加熱するように構成されたヒータを備えてよい。特に、かかるヒータは、ワイヤまたはワイヤの少なくとも一部分を、少なくとも1500°Cの温度まで、またはより具体的には少なくとも2800°Cまで加熱するように構成されてよい。特に、ワイヤ部分は、1500°C~2800°Cの温度で加熱されてよい。少なくともいくつかの実施形態においては、被覆装置は、抵抗ワイヤを受けるように構成されてよい。かかる実施形態においては、被覆装置は、温度上昇が堆積されることとなる被覆材料例えば被覆材料28において誘発され得るように、ワイヤ部分が加熱されるように電流を印加するために構成された電極システムを備えてよい。本明細書の少なくともいくつかの実施形態による被覆装置は、ワイヤ14を抵抗加熱するためのコンタクト電極を実装してよい。このコンタクト電極は、アクチュエータシステム18によるワイヤ14の適切な張力印加および/または送りが、これらのコンタクト電極により損なわれないように、移動可能である。特に、かかる電極システムは、iワイヤに対して電流を印加し、ii本明細書の実施形態によるアクチュエータシステムによるワイヤの張力印加を容易化するように構成された、クランプ電極を備えてよい。さらに、かかるクランプ電極は、iii本明細書の実施形態にしたがったアクチュエータシステムによる新規のワイヤ部分の送りを容易化するように、さらに構成されてよい。かかるクランプ電極は、ワイヤの移動を少なくとも一方向に例えばワイヤ張力印加方向または矢印306の方向などのワイヤ送り方向に制限することなく、ワイヤに接触するように適合された、非能動ドライバによって構築されてよい。例えば、かかるクランプ電極は、平坦電極、ブラシ電極、自由転動するように構成された回転可能ローラ電極、または、ワイヤに接触するのに適するおよびワイヤに接触するように構成された、ならびにアクチュエータシステムによるワイヤの張力印加および並進移動を可能にする、任意の他のタイプの電極により、構築されてよい。代替的には、またはこれらと組み合わせて、クランプ電極は、iアクチュエータシステムにより調整されるクランプ電極の移動例えば転動によりワイヤに対して適切に張力印加を行い、および/またはiiアクチュエータシステムのワイヤ送りデバイスワイヤローラ324a、324bなどにより調整されるクランプ電極の移動例えば転動によりワイヤの新規部分を送るのを可能にするために、本明細書の実施形態によるアクチュエータシステムの電動式ドライバ20に対して動作可能なように結合される可動要素クランプローラなどを有してよい。図7は、例示的な被覆装置700の概略断面図を示す。例示的な被覆装置700は、第1の電極カプリング702および第2の電極カプリング704を備える。電極カプリング702、704および電極カプリング702、704の要素は、図1~図6および図8~図10に図示される実施形態などの、本明細書の実施形態の任意の他のものにおいて実装されてよい。第1の電極カプリング702および第2の電極カプリング704は、ワイヤ14の少なくとも一部分に電流を印加するように構成されてよい。典型的には、ワイヤ14のこの部分は、被覆材料28と相互作用するように構成されたワイヤ部分14aである。これにより、ワイヤ部分14aは、電極カプリング702、704を介して印加された電流により動作温度にまで加熱され得る。第1の電極カプリング702および/または第2の電極カプリング704は、少なくとも1つのローラを備えてもよく、このローラは、ローラを作動させるために電動式ドライバに対して動作可能なように結合される。これにより、ワイヤ部分14aは、電極カプリング702、704がワイヤ14と接触状態にある間に、アクチュエータシステム18の作動により適切に張力印加され、送られ、および/または別のワイヤ部分によって置換され得る。第1の電極カプリング702は、ワイヤ14を協働的にクランプ固定するように構成された少なくとも一対のクランプローラ706、708を備えてよい。これにより、第1の電極カプリング702は、iワイヤ14に対して所定の電圧を印加し、および/またはiiアクチュエータシステム18によりワイヤ14を作動させることが可能となり得る。また、第2の電極カプリング404は、ワイヤ14を協働的にクランプ固定するように構成された少なくとも一対のクランプローラ710、712をやはり備えてよい。これにより、第2の電極カプリング704は、iワイヤ14に対して別の所定の電圧を印加し、および/またはiiアクチュエータシステム18によりワイヤ14を作動させることを可能にし得る。これらの所定の電圧は、所定の電流がワイヤ14に対して、より具体的には電極カプリング702、704間においてクランプ固定されたワイヤ14の部分例えば限定的ではないがワイヤ部分14aに対して印加され得るような、電圧であってよい。特に、電極カプリング702、704は、電気接続部720、722を介して電圧源718へと電気的に接続されてよい。いくつかの実施形態によれば、電極カプリング702、704は、電動式サブドライバ20c、20dを作動させるために、電動式サブドライバ20c、20dに対してそれぞれ結合される。他の実施形態によれば、電極カプリング702、704は、単一の電動式ドライバにより同時に作動される。本明細書の実施形態によれば、電極カプリング702、704に対して動作可能なように結合された電動式ドライバシステムは、以下においてさらに論じるように、モータ制御システムにより作動される。本明細書の他の実施形態と組み合わされ得る一実施形態によれば、加熱システム32は、アクチュエータシステム18の要素において実装され得る。例えば、ワイヤ14と接触状態になるように適合されたアクチュエータシステム18の要素は、本明細書において説明されるように電極カプリングとして使用されるようにさらに適合されてよい。特に、ワイヤ14と接触状態になるように適合されたアクチュエータシステム18の要素は、ワイヤ14の少なくとも一部分に対して電流を印加するために、電圧源718に対して電気的に接続されてよい。かかる要素は、例えばワイヤローラ324a、324bなどであってよいが、ワイヤローラ324a、324bに限定されない。代替的には、追加の電極要素ブラシ電極などが、ワイヤローラ324a、324b内へのワイヤ14の進入箇所304a、304bに近いワイヤ部分に対して電圧を印加するために、ワイヤローラ324a、324bの付近に設けられてよい。図7に図示する例示的な実施形態においては、電極カプリング702、704は、真空チャンバ16内に配設される。代替的な実施形態によれば、第1の電極カプリング702および第2の電極カプリング704の少なくとも一方が、真空チャンバ16の外部に配設されてよい。例えば、電極カプリング702、704は、真空チャンバ16内に配設されてよい。同様に、電極カプリング702、704は、リアクタ22の中または外に実装されてよい。図8および図9は、被覆装置例えば被覆装置800または被覆装置900が複数のワイヤ14を実装するように構成され、ワイヤのそれぞれが、基板12上に堆積される被覆材料を加熱するためのものである、本明細書の他の実施形態と組み合わされ得る例示的な実施形態を示す。図8の例示的な実施形態によれば、被覆装置800は、ワイヤ810、812、814、816のそれぞれに対して張力印加を個別に行うように構成されたアクチュエータシステム18を備える。これにより、複数のワイヤの少なくとも一部分が、リアクタ22内において適切に張力印加され得る。特に、アクチュエータシステム18は、複数のアクチュエータサブシステムを備え、サブシステムのそれぞれが、対応するワイヤの少なくとも一部分で張力印加を行うように適合されてよい。例えば、この例示的な実施形態においては、アクチュエータシステム18は、ワイヤ810に対して少なくとも部分的に張力印加を行うように適合された第1の作動サブシステム802を備える。第1の作動サブシステム802は、前述の実施形態におけるアクチュエータシステムと同様の態様で作動し得る。さらに、第1の作動サブシステム802は、前述と同様の態様でワイヤの新規部分を送るように適合され得る。第1の作動サブシステム802は、前述のように、ワイヤの張力印加、および任意にはワイヤの送りを実現するための要素802a、802bを備えてよい。例えば、限定的ではないが、各要素802a、802bは、本明細書の実施形態にしたがってワイヤ810を作動させるために電動式ドライバ図示せずに対して動作可能なように結合されたワイヤローラ図示せずを備えてよい。例示的な被覆装置800は、要素804aおよび804b、806aおよび806b、808aおよび808bをそれぞれ備える、第2のアクチュエータサブシステム804、第3のアクチュエータサブシステム806、および第4のアクチュエータサブシステム808をさらに備えてよい。これらのアクチュエータサブシステムはそれぞれ、各ワイヤ812、814、816を作動させるように構成されてよい。この例示的な実施形態におけるアクチュエータサブシステムおよびワイヤの個数は、限定的なものではない。これらのアクチュエータサブシステムは、その自動制御または手動制御を可能にするために共通制御システムに対して結合されてよい。代替的には、各アクチュエータサブシステムが、自動的または手動的な各サブシステムの個別制御を可能にするために、個別の制御システムに対して結合されてよい。図9の例示的な実施形態によれば、被覆装置900は、ワイヤ910、912、914、916に対して同時に張力印加を行うように構成されたアクチュエータシステム18を備える。例えば、アクチュエータシステム18は、本明細書の他の実施形態の場合と同様の態様で複数のワイヤに対してワイヤ張力印加を、および任意にはワイヤ送りを実現するために、要素902a、902bを備えてよい。例えば、限定的ではないが、要素802a、802bのそれぞれは、ワイヤローラを備え、ローラのそれぞれが、複数のワイヤのそれぞれのバッチを保管するように構成されてよい。さらに、各要素902a、902bは、本明細書の実施形態にしたがって複数のワイヤを作動させるためにワイヤローラに対して動作可能なように結合された電動式ドライバ図示せずをさらに備えてよい。本明細書の実施形態による被覆装置は、そのある特定の用途に適した任意の個数のワイヤを作動させるように適合されてよい。例えば、被覆装置800は、少なくとも20個のワイヤを、またはより具体的には少なくとも30個のワイヤを、またはより具体的には少なくとも40個のワイヤを作動させるように適合されてよい。本明細書においてワイヤを指す実施形態は、1つまたは複数のワイヤを一般的に含む。本明細書の実施形態による被覆装置は、被覆基板が本開示にしたがって製造され得るように、被覆システムを制御するように適合された制御システムをさらに備えてよい。例えば、かかる制御システムは、図2および図4に関連して上述した方法ステップを実施するように適合されてよい。図10は、本明細書の実施形態による被覆装置を作動させるように適合された制御システム1000の概略図を示す。特に、制御システム1000は、被覆中にワイヤに対して張力印加を行うためにアクチュエータシステム18を制御するように適合されてよい。特に、制御システム1000は、電動式ドライバにより生成されたトルクを制御するように構成され、被覆装置の作動中にワイヤ14の張力が調節可能となるようにワイヤ14に対して結合された、張力制御システム1002を備えてよい。制御システム1000は、接続部1006を介して電動式ドライバ20を作動させるように構成されたモータ制御システム1004をさらに備えてよい。上述のように、電動式ドライバ20は、アクチュエータシステム18の様々な要素を作動させるために、少なくとも1つの電動式サブドライバ20a、20b、20c、20dを備えてよい。特に、電動式ドライバ20は、少なくとも1つの電気モータ1020を備えてよい。モータ制御システム1004は、電動式ドライバ20の複数のサブドライバを個別に作動させるように構成されてよい。特に、モータ制御システム1004は、電動式ドライバ20の各サブドライバを制御するために制御サブシステム図示せずを備えてよい。代替的には、モータ制御システム1004は、電動式ドライバ20の複数のサブドライバを同時に作動させるように構成されてよい。張力制御システム1002は、ワイヤ14の張力を調節するためにモータ制御システム1004に対して動作可能なように結合されてよい。特に、張力制御システム1002は、電動式ドライバ20により生成されたトルクを制御するように構成され、被覆装置の作動中にワイヤ14の張力が調節され得るようにワイヤ14に対して結合されてよい。例えば、張力制御システム1002は、電動式ドライバ20の1つのモータまたは複数のモータにより所定のトルクを発生させるために電動式ドライバ20を例えばモータ制御システム1004を介して制御するように構成されてよい。典型的には、電動式ドライバ20内の少なくとも1つのモータのトルク制御により、所定の張力がワイヤ14に対して過剰応力を発生させることなくワイヤ14に対して印加されるのを保証することが容易になる。これにより、ワイヤ14の動作寿命を延ばすことが一般的に容易になる。本明細書の他の実施形態と組み合わされ得る一実施形態によれば、電動式ドライバ20は、少なくとも1つの電気モータを備える。いくつかの実施形態によれば、少なくとも1つの電気モータは、サーボモータである。例えば、図1の例示的な実施形態においては、電動式ドライバ20は、牽引デバイス24aを作動させるために1つの電気モータを備えてよい。この電気モータは、トルク制御を利用してモータ制御システム1004により制御されるサーボモータであってよい。代替的には、この少なくとも1つの電気モータは、ステッパモータである。例えば、被覆装置10の電動式ドライバ20は、ステッパモータを備えてよい。電動式ドライバ20が1つまたは複数のサーボモータを備える場合には、モータ制御システム1004は、サーボモータを作動させるように構成された運動制御デバイスを備えてよい。電動式ドライバ20が1つまたは複数のステッパモータを備える場合には、モータ制御システム1004は、ステッパモータを作動させるように構成された運動制御デバイス例えば1つまたは複数のステッパ電源を備えてよい。少なくとも1つのサーボモータを備える電動式ドライバ20は、より良好な精度で所定のワイヤ張力を維持することを容易化し得る。例えば、少なくとも1つのサーボモータを備える電動式ドライバは、少なくとも15の、またはより具体的には10の、またはさらにより具体的には5の張力精度でワイヤ14の張力を調節するように構成されてよい。代替的には、電動式ドライバ20は特にドライバ20が少なくとも1つのステッパモータを備える場合には、少なくとも60の、またはより具体的には50の、またはさらにより具体的には40の張力精度でワイヤ14の張力を調節するように構成されてよい。少なくとも1つのサーボモータを備える電動式ドライバ20は、張力リップルを最小限に抑えるのを容易にする。例えば、少なくとも1つのサーボモータを備える電動式ドライバは、少なくとも4の、またはより具体的には2の、またはさらにより具体的には1の張力リップルでワイヤ14の張力を調節するように構成されてよい。少なくとも1つのステッパモータを備える電動式ドライバ20は、iシステムコストの削減、iiシステム作動性の強化、および/またはiii本明細書の実施形態による被覆装置において電動式ドライバ20を実装するのに必要な空間の削減の中の少なくとも1つを容易にし得る。本明細書の他の実施形態と組み合わされ得る一実施によれば、電動式ドライバ20は、図3の例示的な被覆装置300において示されるように2つの電動式サブドライバ20a、20bを備える。各電動式サブドライバ20a、20bは、少なくとも1つの電気モータを備えてよい。例えば、各電動式サブドライバ20a、20bは、トルク制御を利用してモータ制御システム1004により制御される1つのサーボモータを備えてよい。これにより、ワイヤ14の張力は、高い精度で維持され得る。代替的には、電動式サブドライバ20a、20bの少なくとも一方が、1つのステッパモータを備えてよい。本明細書の他の実施形態と組み合わされ得る別の実施形態によれば、電動式ドライバ20は、図7の例示的な被覆装置700におけるように、4つの電動式サブドライバ20a、20b、20c、および20dを備える。各電動式サブドライバ20a、20b、20c、20dは、少なくとも1つの電気モータを備えてよい。一実施形態においては、i被覆装置700の各電動式サブドライバ20a、20bは、トルク制御を利用してモータ制御システム1004により制御される1つのサーボモータを備え、ii各電動式サブドライバ20c、20dは、1つのサーボモータを備え、電動式サブドライバ20c、20dのサーボモータの少なくとも一方が、速度制御を利用してモータ制御システム1004により動作可能なように制御される。速度制御は、例えば、ゼロ速度設定点、ワイヤ14の張力を調節するサブドライバにより生成されるトルクの2倍または3倍であるトルクを利用し、ワイヤ搬送のための位置制御を利用することなどにより、実装され得る。他の電動式サブドライバ20c、20dは、トルク制御を利用することにより制御され得る。これにより、ワイヤ14の張力は、高い精度で維持され得る。代替的には、被覆装置700においては、i被覆装置700の各電動式サブドライバ20a、20bは、低速パルスを利用してモータ制御システム1004により制御される1つのステッパモータを備えてもよく、ii各電動式サブドライバ20c、20dは、1つのステッパモータを備えてもよく、電動式サブドライバ20c、20dのこれらのステッパモータの少なくとも一方が、低速パルスを利用してモータ制御システム1004により制御される。他の電動式サブドライバ20c、20dは、パルスを用いずに、しかし例えばゼロ速度設定点、任意にはワイヤ14の張力を調節するサブドライバにより生成されるトルクの2倍または3倍であるトルクを利用して、および任意にはワイヤ搬送のための位置制御を利用して、制御され得る。これにより、ワイヤ14の張力は、高い精度で維持され得る。本明細書の実施形態によれば、電動式ドライバ20のステッパモータは、低速パルスを利用して制御され得る。本明細書の実施形態によれば、低速パルスは、パルスあたり0.225度以下など、0.125度~1.8度の回転を生じさせ得る。本明細書の実施形態によれば、アクチュエータシステム18は、被覆中にワイヤ14の張力を所定の張力値に維持するように特に張力制御システム1002との関連において構成されてよい。かかる所定の値は、1Nなど、約0.5N~1.5Nの範囲に及ぶ張力値であってよい。この所定の値は、本明細書の実施形態による被覆装置により被覆材料が基板上に適切に堆積されるように調製され得るような、任意の張力値であってよい。典型的には、張力値は、ワイヤに対する過剰応力の生成が回避されるように、ワイヤの機械特性を考慮してあらかじめ決定される。本明細書の実施形態によれば、制御システム1000は、被覆材料28が上述のように新規のワイヤ部分により加熱され得るように、ワイヤの新規部分を送出するためのワイヤ送りデバイス上述のワイヤ送りデバイスなどに対して動作可能なように結合されたワイヤ送り制御システム1008をさらに備えてよい。典型的には、ワイヤ送り制御システム1008は、電動式ドライバ20の作動により新規のワイヤ部分を送出するために、モータ制御システム1002に対して動作可能なように結合される。特に、ワイヤ送り制御システム1008は、i被覆中に新規のワイヤ部分を自動的に供給しすなわち送り、および/またはii上述のように所定の時間間隔で新規のワイヤ部分を自動的に供給するように、構成されてよい。本明細書の実施形態による被覆装置は、張力、機械応力、弾性、ワイヤ温度、またはワイヤ14の任意の他のパラメータなどのしかしこれらに限定されない、ワイヤ14の少なくとも1つのパラメータを測定するように構成されたセンサシステム1010を備えてよい。特に、センサシステム1010は、ワイヤ14の張力を測定するためにアクチュエータシステム18に実装された張力トランスデューサを備えてよい。特に、張力トランスデューサは、牽引デバイス24a、ワイヤローラ324a、および/またはワイヤローラ324bなどのしかしこれらに限定されない、ワイヤ14に対してトルクを印加するアクチュエータシステム18の要素において実装されてよい。被覆装置は、測定された少なくとも1つのワイヤパラメータにしたがって電動式ドライバ20を作動させるように構成されてよい。例えば、限定的ではないが、張力制御システム1002は、ワイヤ張力を実質的に一定の所定の値に維持するために、閉ループ制御を利用して電動式ドライバ20により生成された1つのトルクまたは複数のトルクを制御するようにさらに構成されてよい。閉ループ制御についての制御変数は、例えば測定されたワイヤ張力などであってよい。機械応力、弾性、ワイヤ温度、またはワイヤ14の任意の他の適切なパラメータなどの、他の測定されたワイヤ14のパラメータが、ワイヤ14の張力を調節するために使用されてよい。本明細書で議論された任意の実施形態と組み合わされ得る一実施形態によれば、ワイヤ14の新規部分は、ワイヤ14の1つの測定された特性が所定の値または所定の値域に達した場合に、本明細書の実施形態にしたがって送られてよい。これを目的として、継続的な加熱および/または被覆材料との相互作用により引き起こされるワイヤ14の過剰摩耗を示唆するパラメータが使用されてよい。例えば、本明細書の実施形態による被覆装置は、ワイヤ弾性がワイヤ部分の過剰摩耗を示唆する所定の値を超過する場合に、新規のワイヤ部分を送るように構成されてよい。制御システム1000は、上述のように閉ループ制御を実装するためにセンサ制御システム1012を備えてよい。センサ制御システム1012は、接続部1014を介してセンサシステム1010に対して協働的に結合されてよい。典型的には、センサ制御システム1012は、センサシステム1010からの情報を処理するように、および作動システムの閉ループ制御を可能にするように構成される。例えば、センサ制御システム1012は、張力制御システム1002およびモータ制御システム1004を介して電動式ドライバ20の閉ループ制御を実装するために、レギュレータ1016に関連付けられてよい。かかる閉ループ制御は、被覆装置を本明細書において説明されるように機能させ得るのに適した任意の制御方式を実装してよい。例えば、閉ループ制御は、論理制御もしくはシーケンス制御、フィードバック制御もしくは線形制御、またはこれらの組合せに基づく制御方式を実装してよい。特に、かかる閉ループ制御は、PIDベース制御方式を実装してよい。本明細書の実施形態によれば、制御システム1000は、本明細書の実施形態による加熱システム32を制御するための加熱制御システム1018を備えてよい。加熱制御システム1018は、接続部1022を介して加熱システム32に対して動作可能なように結合されてよい。加熱制御システム1018は、本明細書において説明されるように被覆を実施するために、ワイヤ14に対して印加される電流を制御するように構成されてよい。一実施形態によれば、加熱制御システム1018は、センサシステム1010により測定されたワイヤパラメータを利用することによってワイヤ14またはワイヤ14の少なくとも一部分の温度を制御するために、センサ制御システム1012に対して動作可能なように結合される。例えば、限定的ではないが、加熱制御システム1018は、実際のワイヤ温度値などのしかし実際のワイヤ温度値に限定されない、センサシステム1010により測定されるパラメータを利用することによってワイヤ14の温度を調整してよい。センサシステム1010は、デュアルチャネル赤外線パイロメータなどのしかしデュアルチャネル赤外線パイロメータに限定されない、ワイヤ温度を測定するのに適したセンサを備えてよい。本明細書の実施形態によれば、制御システム1000は、リアルタイムコントローラである。本開示の実施形態によれば、かかるリアルタイムコントローラは、例えば、とりわけマイクロ制御システム、特定用途向け集積回路ASIC、縮小命令セット回路RISC、論理回路、および/またはこれらに加えて本明細書において説明される機能を実行することが可能な任意の他の回路もしくはプロセッサを備えるコンピュータシステムなどの、任意の適切なプロセッサベースシステムまたはマイクロプロセッサベースシステムを備えてよい。いくつかの実施形態においては、制御システム1000は、例えば2MビットROMおよび64KビットRAMを有する32ビットマイクロコンピュータなどの、リードオンリーメモリROMおよび/またはランダムアクセスメモリRAMを備えるマイクロプロセッサである。リアルタイムという用語は、入力の変化が結果に影響を及ぼした後の実質的に短期間に生じる結果を指し、この期間は、結果の重要性および/または結果を生成するために入力を処理するシステムの能力に基づき選択され得る、設計パラメータである。本明細書の実施形態によれば、ワイヤ14は、非剛性ワイヤであってよい。本明細書の実施形態によれば、非剛性という用語は、自己支持型ではないワイヤを指す。ワイヤ14は、可撓性ワイヤであってよい。本明細書の実施形態によれば、ワイヤ14は、Ta、W、または炭素しかしこれらに限定されないなどの本明細書において説明されるようにワイヤを機能させ得るのに適した任意の他の材料を含むかまたはこれらから構成されてよい。いくつかの実施形態によれば、ワイヤ14は、約0.1mm~約0.6mmの、またはより具体的には約0.2mm~約0.5mmの、またはさらにより具体的には約0.3mm~約0.4mmの範囲に及ぶ太さを有してよい。代替的には、ワイヤ14は、0.2~2mmの太さなどのしかしこれに限定されない任意の適切な太さを有してよい。本明細書の実施形態によるワイヤは、例えば、円筒状断面または平坦状断面を有してよいが、これらに限定されない。一般的には、本明細書の実施形態によるワイヤは、被覆装置を本明細書において説明されるように作動させ得るのに適した任意の断面を有してよい。本明細書の実施形態による被覆装置は、熱ワイヤ化学気相成長HWCVD被覆装置であってよい。特に、この被覆装置は、被覆材料28が被覆装置の高温区域例えばリアクタ22においてワイヤ部分と相互作用することにより化学反応を受けるように、構成されてよい。例えば、この被覆装置は、リアクタ22または被覆装置の任意の他の種類の高温区域内に揮発性前駆体として被覆材料28を導入するように構成されてよい。この被覆装置は、加熱されたワイヤ部分ワイヤ部分14aなどとの相互作用により揮発性前駆体の反応を誘発するように構成されてよい。この被覆装置は、例えばリアクタ22を通るガス流を実装することなどにより、プロセスの副生成物を除去するようにさらに構成されてよい。本明細書の実施形態によるHWCVDは、単結晶形態、多結晶形態、アモルファス形態、エピタキシャル形態、およびこれらの組合せなどのしかしこれらに限定されない所定の形態で基板12上に材料を堆積するように構成されてよい。本明細書の実施形態によるHWCVDは、シリコン、炭素繊維、炭素ナノ繊維、炭素ナノチューブ、酸化ケイ素SiO2などしかしSiO2に限定されない、シリコン-ゲルマニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、窒化チタン、高誘電率誘電体、アモルファスSi、微結晶Si、P型ドープされたSi、および/またはN型ドープされたSiなどのしかしこれらに限定されない、異なるタイプの材料またはこれらの組合せを堆積するように構成されてよい。本明細書の実施形態によれば、基板12は、電子デバイスを製造するためのリジッド基板またはフレキシブル基板であってよい。例えば、限定的ではないが、基板12は、タッチパネル、DRAM、またはフラッシュメモリを製造するための基板であってよい。特に、本明細書の実施形態による被覆装置は、タッチパネル、DRAM、またはフラッシュメモリを少なくとも部分的に作製するように構成されてよい。本明細書の実施形態は、これらのデバイスの中の1つを製造するための本明細書において説明されるような被覆装置を備えるモジュール式製造システムを予期する。また、本明細書の実施形態は、上述の方法の中の少なくとも1つを実装する、これらのデバイスの中の1つを製造するための方法を予期する。例えば、本明細書の実施形態による被覆装置は、上記のデバイスの中の1つについてアモルファスSi、微結晶Si、P型ドープされたSiおよびN型ドープされたSi、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素の層を製造するように適合されてよい。また、本開示は、これらの層を製造する方法を予期する。基板を製造するためのシステムおよび方法の例示的な実施形態が、上記において詳細に説明される。これらのシステムおよび方法は、本明細書において説明される特定の実施形態に限定されず、むしろ、これらのシステムの構成要素および/またはこれらの方法のステップは、本明細書において説明される他の構成要素および/またはステップとは独立的にならびに別個に使用されてよい。例えば、本明細書の実施形態による被覆装置は、上述の結合システムなどの非弾性結合システム例えば牽引デバイス24aまたはワイヤローラ324a、324bを介して、電動式ドライバにより生成されたトルクをワイヤ14に対して結合するように構成されてよい。特に、アクチュエータシステム18は、ワイヤ14に対して張力印加を行うためにばね結合システムを介在することなくワイヤ14を作動させてよい。本明細書の実施形態によるかかる非弾性結合システムは、ワイヤ14に対して張力印加を行うためのばね結合システムに比べて、ワイヤ14に対する張力印加をより容易に行うことを容易化する点に留意されたい。かかるばね結合システムは、通常は事前張力印加処置を必要とするが、この処置は、複雑および/または不正確なものとなる場合がある。また、別の例としては、本開示は、i基板を被覆するための真空チャンバ、ii基板上に堆積されることとなる材料を加熱するために少なくともワイヤ部分を受けるように適合されたリアクタ、iii少なくとも1つの電気モータを備える電動式ドライバ、ならびにivリアクタ内に少なくともそのワイヤ部分を送るおよび位置決めするように構成されたワイヤローラシステム例えば本明細書において説明されるワイヤローラ324a、324bを備えるシステムを備える、被覆装置を予期する。この実施形態においては、電動式ドライバは、使用時に、少なくともリアクタ内に位置決めされるワイヤ部分が電動式ドライバにより調節可能な態様で張力印加され得るように、ワイヤローラシステムに対して動作可能なように結合される。本発明の様々な実施形態の特定の特徴が、いくつかの図面に示され、他の図面においては示されない場合があるが、これは、専ら便宜上の理由によるものである。本発明の原理によれば、図面の任意の特徴が、任意の他の図面の任意の特徴との組合せにおいて参照および/または特許請求されてよい。この明細書は、最良の態様を含む本発明を開示するために、ならびに、任意のデバイスまたはシステムを作製および使用し、任意の組み込まれる方法を実施することを含め、当業者が本発明を実施するのを可能にするために、例を使用する。前述において様々な具体的な実施形態を開示したが、特許請求の範囲の趣旨および範囲は同様に有効な変更形態を許容する点が、当業者には理解されよう。特に、上述の実施形態の相互に非排他的な特徴は、相互に組み合わされてよい。本発明の特許性を有する範囲は、特許請求の範囲により規定され、当業者には想起される他の例を含み得る。かかる他の例は、特許請求の範囲の文言と相違がない構造要素を有する場合には、または特許請求の範囲の文言から実質的には異ならない均等な構造要素を備える場合には、特許請求の範囲内に含まれるように意図される。