一枚の透明基板上に複数の画面を面付けしたインセル方式のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法であって、少なくとも、1透明基板上に複数の画面のタッチパネル電極層を形成する、タッチパネル電極層形成工程と、2前記タッチパネル電極層が形成された前記透明基板上全面に、中間層をベタ形成する、中間層ベタ形成工程と、3前記中間層上全面に無機膜層をベタ形成する、無機膜層ベタ形成工程と、4前記無機膜層上に着色感光性樹脂組成物を塗布乾燥し、前記複数の画面に形成された前記タッチパネル電極層に対応する所定のマスクを介して露光し、現像し、焼成するカラーフィルタ層のパターンニング形成を、所望する色数に従って繰り返す、カラーフィルタ層形成工程と、5ドライエッチング耐性を有する感光性レジストを用いて、前記カラーフィルタ層上に前記ドライエッチング耐性膜を前記複数の画面に対応するパターンで形成する、ドライエッチング耐性膜形成工程と、6前記中間層と前記無機膜の、前記ドライエッチング耐性膜に被覆されていない部位をドライエッチング処理を行って除去する、ドライエッチング工程と、7前記カラーフィルタ層上の前記ドライエッチング耐性膜を剥離する、ドライエッチング耐性膜剥離工程と、をこの順で含むことを特徴とするタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法。前記中間層は透明有機材料からなる絶縁層であることを特徴とする請求項1に記載するタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法。前記ドライエッチング工程において、前記中間層及び前記無機膜を所定の形状にパターニングすることで、タッチパネル電極の配線電極の引き出し部を露出させることを特徴とする請求項1または2に記載するタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法。前記ドライエッチング工程において、前記中間層及び前記無機膜を所定の形状にパターニングすることで、前記複数の画面間に透明基板のガラス面を露出させることを特徴とする請求項1または2に記載するタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法。請求項1~4いずれか1項に記載するタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法により製造されたことを特徴とするタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板であって、透明基板の片側表面から順にタッチパネル電極層およびカラーフィルタ層が積層され、タッチパネル電極層とカラーフィルタ層との間に、両層を隔てる透明有機材料からなる中間層を有し、さらに、中間層とカラーフィルタ層との間に絶縁性透明膜からなる無機膜層を有するタッチパネル電極付カラーフィルタ基板。上記したインセル方式のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板は、透明基板上に、タッチパネル電極層、カラーフィルタ層をこの順に積層することにより形成される。この場合、液晶表示装置LCDの駆動などによる電気的ノイズを遮蔽するため、タッチパネル電極層とカラーフィルタ層の間にITO等の透明導電性材料からなるシールド層を形成する構成が一般的に考えられている。カラーフィルタ層のすぐ下にITOが設けられていると、その後のフォトリソグラフィー工程で、樹脂ブラックマトリックスやRGB着色層を形成する際に、ITO上にレジストに含まれる樹脂成分が残渣として開口部内や多面付け製造時のピース間に残こる問題が発生する場合がある。この残渣については、液晶駆動としての問題にはならないが、パネル透過率を低下させる原因となり、また、異物の原因として製品の品位が低下して歩留まりが悪くなる問題がある。これに対して、本出願人は、特願2011-085437において、カラーフィルタ層形成工程における残渣の発生を回避した構造として、透明基板の片側表面から順にタッチパネル電極層およびカラーフィルタ層が積層され、タッチパネル電極層とカラーフィルタ層との間に、両層を隔てる中間層を有し、さらに、中間層とカラーフィルタ層との間に絶縁性透明膜からなる無機膜層を有するタッチパネル電極層付きカラーフィルタを発明し提案している。また、シールド層を設ける代わりに、低誘電率材料の有機膜を設ける方式については、現行材料で誘電率4.0以下の有機膜材料を用いた場合、15~20μm程度の膜厚を確保することでタッチパネル電極が支障なく駆動する。有機膜で15~20μmの中間層を形成する場合、タッチパネル電極の引き出し電極箇所のパターニングにより引き出し電極を露出させる必要がある。また、一枚のガラス基板に多面付けでタッチパネル一体型カラーフィルタを製造する場合、ケミカルエッチングでの各ピースへの断裁対応のために、面付けされたピースとピース間はパターニングによりガラス面を露出させる必要がある。このため、タッチパネル電極上に15~20μmの中間層が存在した状態では、その上にカラーフィルタ層を形成する際に、例えばスピンコート法でレジストを塗布したときに、中間層の膜厚段差によってレジストの均一な広がりが妨げられる現象が発生し、レジスト膜厚がばらついてムラとなる不良箇所が発生して、カラーフィルタ層の品質を確保できない問題があった。本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、枚葉方式の多面付け生産での、残渣発生やムラ等の不良がない、安定した品質を維持できる量産性のあるインセル方式のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法と、それによって得られるムラないタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板を提供することを課題としている。本発明の請求項1に係る発明は、一枚の透明基板上に複数の画面を面付けしたインセル方式のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法であって、少なくとも、1透明基板上に複数の画面のタッチパネル電極層を形成する、タッチパネル電極層形成工程と、2前記タッチパネル電極層が形成された前記透明基板上全面に、中間層をベタ形成する、中間層ベタ形成工程と、3前記中間層上全面に無機膜層をベタ形成する、無機膜層ベタ形成工程と、4前記無機膜層上に着色感光性樹脂組成物を塗布乾燥し、前記複数の画面に形成された前記タッチパネル電極層に対応する所定のマスクを介して露光し、現像し、焼成するカラーフィルタ層のパターンニング形成を、所望する色数に従って繰り返す、カラーフィルタ層形成工程と、5ドライエッチング耐性を有する感光性レジストを用いて、前記カラーフィルタ層上に前記ドライエッチング耐性膜を前記複数の画面に対応するパターンで形成する、ドライエッチング耐性膜形成工程と、6前記中間層と前記無機膜の、前記ドライエッチング耐性膜に被覆されていない部位をドライエッチング処理を行って除去する、ドライエッチング工程と、7前記カラーフィルタ層上の前記ドライエッチング耐性膜を剥離する、ドライエッチング耐性膜剥離工程と、をこの順で含むことを特徴とするタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法である。また、本発明の請求項2に係る発明は、前記中間層は透明有機材料からなる絶縁層であることを特徴とする請求項1に記載するタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法である。また、本発明の請求項3に係る発明は、前記ドライエッチング工程において、前記中間層及び前記無機膜を所定の形状にパターニングすることで、タッチパネル電極の配線電極の引き出し部を露出させることを特徴とする請求項1または2に記載するタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法である。また、本発明の請求項4に係る発明は、前記ドライエッチング工程において、前記中間層及び前記無機膜を所定の形状にパターニングすることで、前記複数の画面間に透明基板のガラス面を露出させることを特徴とする請求項1または2に記載するタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法である。次に、本発明の請求項5に係る発明は、請求項1~4いずれか1項に記載するタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法により製造されたことを特徴とするタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板であって、透明基板の片側表面から順にタッチパネル電極層およびカラーフィルタ層が積層され、タッチパネル電極層とカラーフィルタ層との間に、両層を隔てる透明有機材料からなる中間層を有し、さらに、中間層とカラーフィルタ層との間に絶縁性透明膜からなる無機膜層を有するタッチパネル電極付カラーフィルタ基板である。本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法によれば、カラーフィルタ層形成工程以前の工程にて、タッチパネル電極層が形成された透明基板上全面に、中間層がベタ形成され、更にその中間層上全面に無機膜層がベタ形成されている。そのため、カラーフィルタ層形成対象基板全体としての平滑性が保たれ、スピンコート等でのカラーレジストの安定した塗布が可能となる。また、無機膜層によって着色感光性樹脂組成物やその現像液が中間層以下を侵すことなく、残渣等のない安定したカラーフィルタ層の形成が可能となる。本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法、及びそれによって得られるタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板を、一実施形態に基いて以下に詳細に説明する。なお、以下の説明において、視認方向と反対の透明基板の内側を表側として説明する。一般に、タッチパネル式液晶表示装置は、表示パネル、パネル駆動部、タッチ位置検出部等から構成され、表示パネルはアレイ基板と対向基板および液晶層からなる。本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板は、複数の画素部とタッチ位置を感知するための信号ラインとが形成されたタッチパネル電極層とカラーフィルタ層が対向基板の内側の同一面に形成され、アレイ基板との中間に液晶層を挟持する形で用いられる。図1は、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法によって得られたカラーフィルタ基板の一実施形態での構成を部分断面で示した模式図である。図1に示すように、このタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板は、透明基板1の片側表面から順にタッチパネル電極層2およびカラーフィルタ層3が積層され、タッチパネル電極層2とカラーフィルタ層3との間に、両層を隔てる中間層4を有し、さらに、中間層とカラーフィルタ層との間に絶縁性透明膜からなる無機膜層5を有している。上記した本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板は、少なくとも以下の工程を経ることで得られる。図2は、本発明の、タッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造法の一実施形態を部分断面で説明する模式図である。図2aに示すように、無アルカリガラス等の透明基板上1に複数の画面に面付けされた状態で静電容量型のタッチパネル電極層2を形成する。ちなみに、400mm×500mm×0.5tmmサイズの強化ガラス基板に、多面付けで、公知の方法にてタッチパネル電極の形成を行った。個別のタッチパネル電極の構造は、平面図示しないが、透明基板1の表面の同一レイヤーに、X軸方向及びこれと直交するY軸方向に間欠的に配列される複数の第1の透光性電極とX軸方向及びY軸方向に配列されると共に各々が第1の透光性電極の行間及び列間に配置される複数の第2の透光性電極とを備え、第1の透光性電極と第2の透光性電極とは透明絶縁膜によって互いに絶縁され、X軸方向に整列する第1の透光性電極の各々は第1の透光性電極上の透明絶縁膜のコンタクトホールを通じてX軸方向及びY軸方向に配列される導電性材料からなる複数のジャンパーによって相互に電気的に接続される。また、第1の透光性電極と第2の透光性電極とのそれぞれのパネル端部には電気信号を検出するための図示しない検出器に接続されている金属電極を備え、これは最終的に配線電極の引き出し部21として露出される。さらに、その上に感光性透明樹脂で形成される保護膜を備える。なお、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板の製造方法は、タッチパネル電極の個別の構成に制限されるものではない。透明基板1は、可視光に対して80以上の透過率を有するものを用いることができ、好ましくは95以上の透過率を有するものを用いることができる。一般に液晶表示装置に用いられているものでよく、ガラス等の無機透明基板、またはポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、環状オレフィンコポリマー等の透明樹脂基板が使用可能である。本発明に係るタッチパネル機能は静電容量型であるため、従来のタッチスクリーン方式のように外力による歪みの必要は無く、適用する表示パネルの仕様によって材質及び厚みは適宜選択できるが、工程での耐熱性を考慮するとガラス基板が最適である。一般的には厚さ0.7mmのガラス基板が用いられるが、本発明においては、0.5mm厚の強化ガラスが使用可能である。ジャンパーは、導電性材料から形成され、透明基板1の表面にX軸方向及びY軸方向に行列状に配列されている。ジャンパーの各々は、X軸方向に整列する第1の透光性電極をX軸方向に接続するためのものであり、両端部がX軸方向に隣接する1対の第1の透光性電極の各々と重なり合うような位置及び寸法で、且つ、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタ基板表示面を垂直方向から見たときにカラーフィルタ層3のブラックマトリックスと重なる所定の位置に形成されることが好ましい。ジャンパーは、例えば、メタルMAM、APCその他やITOIndiumTinOxide:酸化インジウムすず、PEDOTポリエチレンジオキシチオフェン等の導電性高分子で形成することができる。ここで、MAMは、Moモリブデン/Alアルミニウム/Moの略称で3層構造の導電材料である。また、APCは銀/パラジウム/銅の合金である。絶縁膜は、透光性の絶縁材料をジャンパー及び透明基板1の表面全体を覆うように積層することにより形成される。第1の透光性電極とジャンパーとが重なり合う部分の絶縁膜には、ジャンパーの表面にまで達するスルーホールが設けられる次に、ITO等インジウム、スズ、ガリウム、亜鉛などの金属酸化物の複合酸化物の透光性導電材料を用いて、蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等の真空成膜手法を用いた同一工程で、上記した絶縁膜とジャンパーを有する透明基板の上全面に透明導電膜を形成する。その後、この透明導電膜を公知の手法でパターニングして、所定形状の第1の透光性電極と第2の透光性電極を形成する。X軸方向に整列する第1の透光性電極の各々は、絶縁膜上においてはX軸方向及びY軸方向のいずれにも相互に接続されていないが、スルーホールを介して透明基板上のジャンパーに電気的に接続された状態となる。一方、第2の透光性電極の各々は、X軸方向及びY軸方向に配列されると共に各々が第1の透光性電極の行間及び列間に配置され、ジャンパー部の絶縁膜上において、第2の透光性電極と同時にパターニングされる接続部を介してY軸方向に相互に連結されている。上記したタッチパネル電極層2の最表面には、感光性樹脂で形成される保護膜を備えることが好ましい。この保護膜の形成に用いて好適な感光性樹脂は、可視光領域の400~700nmの全波長領域において透過率が好ましくは80以上、より好ましくは95以上である透明樹脂である。この透明樹脂には、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、および感光性樹脂が含まれる。透明樹脂には、必要に応じて、その前駆体である、放射線照射により硬化して透明樹脂を生成するモノマーもしくはオリゴマーを単独で、または2種以上混合して用いることができる。タッチパネル電極層2の表面に、上記した感光性樹脂で形成される保護膜を形成する方法としては、まず透明樹脂組成物を必要に応じて有機溶剤を含有するワニスとして塗布し、その後溶剤を乾燥する。塗布する手段はスピンコート、スリットアンドスピンコートなどが通常用いられるが、タッチパネル電極が形成された透明基板上に均一な膜厚で塗布可能な方法ならばこれらに限定されるものではない。感光性組成物を塗布し透明樹脂層を形成した基板に露光を行う。光源には通常の高圧水銀灯などを用いればよい。また、必要に応じて、ポストベークを行ってもよい。次に、図2bに示すように、その上にカラーフィルタ層3を積層する上記タッチパネル電極層2の表面には、タッチパネル電極層2とカラーフィルタ層3との両層を隔てる中間層4をベタで設ける。中間層4は例えば、タッチパネル電極層2側から順に透明有機材料からなる絶縁層及びITOで代表される透明導電材料からなるシールド層の積層体とすることも可能であるが、前述したように、シールド層を設ける代わりに、低誘電率材料の有機膜を設ける方式について、誘電率4.0以下の有機膜材料を用いた場合、15~20μm程度の膜厚を確保することでタッチパネル電極が支障なく駆動することがわかっている。そこで、本発明においては、中間層4を、透明有機材料からなる厚さ15~20μmの絶縁層を適用することが可能であり好ましい。そこで、誘電率4.0以下のアクリル系透明材料を使用して。タッチパネル電極層2が形成された前記透明基板1上全面に、誘電率4.0以下のアクリル系透明材料を厚さ15~20μm程度ベタ形成して中間層4とした。なお、前記した保護膜を、タッチパネル電極とカラーフィルタ層との両層を隔てる中間層の一部の絶縁層として適用することも可能である。次に、図2cに示すように、中間層4上全面に、中間層4の上層でありカラ-フィルタ層3の下層となる位置に、絶縁性透明膜からなる無機膜層5を形成する。無機膜層5としては、カラーフィルタ層を形成するためのカラーレジストの現像液でエッチングされない保護膜として、窒化珪素SiNが好ましく使用できる。窒化珪素の焼結体をターゲットとしたスパッタリング法や、シリコンをターゲットとした反応性スパッタリング法、あるいは、CVDChemicalVaporDeposition方式を用いた窒化珪素SiNが好ましく使用できる。無機膜層5としては、窒化珪素以外にもSiO2等が使用でき、真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法、溶液法等で適用可能である。無機膜層5の厚さは、用いられる無機化合物の種類構成により最適条件が異なるが、300~800nmの範囲が好ましく、その値は適宜選択される。より好ましくは、400~600nmの範囲である。次に、図2dに示すように、その下層にタッチパネル電極層2が形成された複数の画面にパターン形成された多面付け透明基板1上の無機膜層5上に、公知のフォトリソ法を用いて、カラーフィルタ層3を形成する。無機膜層5上全面に着色感光性樹脂組成物を塗布乾燥し、複数の画面に面付け形成されたタッチパネル電極層2に対応する所定のマスクを介して露光し、現像し、焼成するカラーフィルタ層3のパターンニング形成を行った。この工程をBM31、R32、G33、B34等所望する色数に従って繰り返すことで着色層を形成した。その後、この基板に公知の方法にて共通電極としてのITO等の透明導電膜35の形成を行い、更に、必要に応じて、図示しないフォトスペーサPSをBM31の上に、透明導電膜35を介して形成する。まず、無機膜層5の上に、画素部に対応する開口領域を画定するブラックマトリックスBM31を形成する。この場合、前記したタッチパネル電極のジャンパーが、基板表示面を垂直方向から見たときに、このブラックマトリックスと重なる所定の位置となるようにブラックマトリックスのピッチ及び形状を設計する。本発明においては、このジャンパーとブラックマトリックスの位置の条件を満たす範囲であれば、第1の透光性電極3と第2の透光性電極4のそれぞれのピッチは、例えば、赤色画素R32、緑色画素G33、青色画素B34で構成される単位画素毎にも、あるいは、所定個数の単位画素毎にも形成することができ、その形状も矩形以外の各種形状を選択することが可能である。ブラックマトリックス31は、黒色樹脂を用いて形成され、液晶表示装置のコントラストアップのために各画素間に形成する細い遮光パターンである。ブラックマトリックスを形成する方法としては、黒色感光性樹脂を用いフォトリソグラフィー法によってマトリックス状に形成する方法がある。黒色の色材としては、カーボンブラックや複数の有機顔料を用いることができる。次に、開口領域に赤色画素R32、緑色画素33、青色画素B34等複数色の着色画素を形成する。着色画素を形成する方法としては顔料分散法が主流となっている。顔料分散法は、有機顔料などの色材を分散した着色感光性樹脂の塗布層を公知のフォトリソグラフィー法によってパターニングすることにより、カラーフィルタを複数の着色層赤色、緑色、青色などの画素に形成する方法である。複数の着色層の入色順を限定するものでないが、アライメントの都合からブラックマトリクスのパターン形成後に着色層の塗布、露光、現像等により着色画素赤色画素、緑色画素、青色画素などを順次形成することが望ましい。ブラックマトリックス及び着色画素の形成に用いる黒色感光性樹脂及び着色感光性樹脂は、例えば、樹脂バインダに顔料を、分散剤を用いて分散させ、この分散液にモノマー、開始剤、増感剤、溶剤などを添加して調製される。なお、この工程において、下地の形状にもとづく塗布ムラや、面付け間の開口面でのレジスト残渣の発生等の不良現象は発生していない。カラーフィルタ層の上部には更にITO等の透明導電膜35からなる共通電極を設ける。なお、適用する液晶の駆動タイプによっては共通電極を必要としない場合がある。以上のようにして、タッチパネル電極層2とカラーフィルタ層3が積層一体化される。次に、図4eに示すように、ドライエッチング耐性を有する感光性レジストを用いて、公知のフォトリソ法を用いて、カラーフィルタ層上にドライエッチング耐性膜6を、複数の画面面付けに対応した所定のパターン形状にてパターン成膜する。その後、図2fに示すように、公知の活性ガスのプラズマを用いたプラズマエッチング等の方式を用いてドライエッチング処理を行い、ドライエッチング耐性膜6に被覆されていない部位の無機膜層5およびその下地の中間層4をエッチング処理を行って除去する。この時、タッチパネル電極層2の配線電極の引き出し部21を露出させる。また、複数の画面面付け間に透明基板1のガラス面を露出させる。次いで、図2gに示すように、カラーフィルタ層3上のドライエッチング耐性膜6を剥離する。以上の工程を経ることで、一枚のガラス基板に複数の画面が面付けされたタッチパネル電極付カラーフィルタ基板が得られる。最後に、この多面付け基板をケミカルエッチング法等で各画面ピースへと断裁して、前述した図1に示すように、本発明のタッチパネル電極付カラーフィルタ基板が得られる。すなわち、透明基板1の片側表面から順にタッチパネル電極層2およびカラーフィルタ層3が積層され、タッチパネル電極層2とカラーフィルタ層3との間に、両層を隔てる透明有機材料からなる中間層4を有し、さらに、中間層4とカラーフィルタ層3との間に絶縁性透明膜からなる無機膜層5を有するタッチパネル電極付カラーフィルタ基板である。以上説明したように、本発明の製造方法では、カラーフィルタ層形成工程以前の工程にて、タッチパネル電極層が形成された透明基板上全面に、中間層がベタ形成され、更にその中間層上全面に無機膜層が形成されている。そのため、カラーフィルタ層形成対象基板全体としての平滑性が保たれ、スピンコート等でのカラーレジストの安定した塗布が可能となる。また、無機膜層によって着色感光性樹脂組成物やその現像液が中間層以下を侵すことなく、残渣等のない安定したカラーフィルタ層の形成が可能となった。