加熱管10を冷却する熱交換器100であって、それぞれが前記加熱管10に熱的に接触するように構成されるように配置された少なくとも2本の冷却パイプ20と、前記少なくとも2本の冷却パイプ内にエアロゾルを提供するように構成されたエアロゾル生成手段50とを備える熱交換器。前記エアロゾル生成手段50が、少なくとも2本の毛細管30と、バルブ40、特にパルスバルブとを備える、請求項1に記載の熱交換器。前記バルブ40と前記少なくとも2本の毛細管30との間の導管60をさらに備える、請求項2に記載の熱交換器。前記エアロゾル生成手段50が、前記少なくとも2本の冷却パイプの入口側に設けられた少なくとも2つのバルブ45、特にパルスバルブを備える、請求項1から3のいずれか一項に記載の熱交換器。前記エアロゾル生成手段が振動要素を備える、請求項1に記載の熱交換器。前記エアロゾル生成手段と通信するコントローラ500をさらに備え、前記コントローラが、パルス周期620、パルス持続時間630、およびパルス遅延640のうちの少なくとも1つを調整するように構成される、請求項1から5のいずれか一項に記載の熱交換器。冷却パイプの数が、2~64、好ましくは18~24であり、かつ/または冷却パイプの内径が、12mm2~200mm2、好ましくは25~80mm2、より好ましくは約50mm2であり、かつ/または前記加熱管と接触している前記冷却パイプの各部分の長さが、20cm~100cm、好ましくは約40cmである、請求項1から6のいずれか一項に記載の熱交換器。蒸発器のための冷却された加熱管であって、請求項1から7のいずれか一項に記載の熱交換器を備え、前記熱交換器が前記加熱管に熱的に接触する、冷却された加熱管。前記加熱管上に配置された溝70をさらに備え、前記冷却パイプは、前記溝70内に少なくとも部分的に配置され、前記冷却管は、任意選択で、前記溝内へプレス嵌めされる、請求項8に記載の蒸発器のための冷却された加熱管。請求項8または9に記載の冷却された加熱管を備える蒸発器であって、任意選択で真空チャンバ内に配置される蒸発器。前記加熱管および/または前記冷却パイプの温度を測定する温度センサ80をさらに備え、前記センサが、前記コントローラに通信可能に結合される、請求項10に記載の蒸発器。蒸発器の加熱管を冷却する方法であって、前記加熱管に熱的に接触している少なくとも2本の冷却パイプ内へエアロゾルを注入することを含む、方法。前記加熱管の初期温度が、200°C以上、好ましくは300°C以上である、請求項12に記載の蒸発器の加熱管を冷却する方法。流体の注入が、パルス注入であり、少なくとも1つのパルスパラメータが任意選択で可変であり、前記少なくとも1つのパルスパラメータが、パルス周期620、パルス持続時間630、およびパルス遅延640のうちの少なくとも1つである、請求項12または13に記載の蒸発器の加熱管を冷却する方法。前記パルス持続時間630が、1ミリ秒~10ミリ秒、好ましくは2~4ミリ秒、より好ましくは約3ミリ秒である、請求項14に記載の蒸発器の加熱管を冷却する方法。本発明の様々な実施形態について、次に詳細に参照する。これらの実施形態の1つまたは複数の例を図に示す。以下の図面の説明では、同じ参照番号が同じ構成要素を指す。全体として、個々の実施形態に関する違いのみについて説明する。各例は、説明を目的として提供されるものであり、限定を意味するものではない。さらに、一実施形態の一部として図示または説明する特徴を、他の実施形態で、または他の実施形態とともに使用して、さらなる実施形態をもたらすことができる。本明細書には、そのような修正形態および変形形態が含まれることが意図されている。本明細書では、エアロゾルとは、小さい液滴、特に水滴または水を含む小滴の気体懸濁液を意味することが意図されている。本明細書では、毛細管とは、約0.5mm2~約7mm2もしくは約3mm2の内側断面積を有する任意選択で丸い管もしくはパイプ、または別法もしくは追加として、約0.5mm~約3mmもしくは約2mmの内側幅もしくは内径を有する任意選択で丸い管もしくはパイプを意味することが意図されている。本明細書では、熱容量とは、容積熱容量またはモル熱容量などを意味することができ、したがって熱容量は、一般に定義されるとおりの示量的性質とすることができ、または示強的性質とすることができるたとえば、水の標準的な状態における熱容量は、概して窒素の熱容量より高い。図1は、本明細書に記載の実施形態による2本の冷却パイプ20とエアロゾル生成手段50とを備える熱交換器100を示す。3本以上の冷却パイプも企図され、これらの冷却パイプは、加熱管10に熱的に接触するように構成され、加熱管10は、任意選択で真空チャンバ内に配置される蒸発器または蒸発被覆器とすることができる。エアロゾルが冷却パイプ内を流れるとき、加熱管は、窒素ガスエアロゾルを含まないによる冷却の場合より迅速に冷却される。たとえば、初期温度が350°Cの高温の加熱管上で、大気圧の窒素またはエアロゾルの流れを使用して冷却実験を行い、加熱管に熱的に接触する前の各熱交換媒体窒素またはエアロゾルの初期温度を室温付近とした。大気圧の窒素の場合、350°Cから200°Cへの温度の低下に約半時間を要したが、エアロゾルの場合は7分間であった。冷却速度異なる初期および最終温度、たとえば350°Cから100°Cへの冷却の他の比較では、さらなる時間の節約が得られ、たとえばエアロゾルを使用する15分間の冷却プロセスは、異なる熱交換媒体を使用する1時間に及ぶプロセスに匹敵することができる。エアロゾルの熱交換媒体を使用することで、望ましい高速の冷却速度が提供され、たとえば蒸発器のさらなる生産性を可能にすることができる。本明細書に記載の加熱管および/または蒸発器は、真空システム内に配置することができ、熱交換器は、加熱管および/または蒸発器を冷却するように構成される。真空中の作業では、大気圧で使用されることが最も多い液体の水に基づく熱交換器を使用できないことが多い。本明細書の熱交換器の実施形態では、加熱管および/または蒸発器などの高温および/または低圧装置の急速な冷却を可能にする。一実施形態では、加熱管は、メラミンなどのトリアジンなどの有機材料を被覆するために使用できる蒸発器の一部である。典型的には、蒸発器は、約350°C~400°Cまで上昇した電気加熱コイルによって加熱され、蒸発器および加熱管の内側に位置する有機材料は、300°C~400°Cで蒸発または昇華メラミンの場合は昇華によって気化する。有機蒸気は、典型的には、スリットなどの開口を通過し、基板上に層として堆積する。基板を被覆した後、加熱は止められ、冷却プロセスが始まる。多くの状況では、高温の被覆材料の反応性のため、冷却は、真空中で、すなわち部分的にさえ空気へ露出することなしに行わなければならない。たとえば、多くのトリアジンは、その一例はメラミンであるが、温度が約200°Cを超過したときに大気に露出されると分解することある。したがって、加熱管は、200°C以上、場合によっては300°C以上または350°C~400°Cの被覆温度から冷却される。一実施形態では、エアロゾルの液滴は水溶液であり、たとえば、水にプロピレングリコールまたはエチレングリコールなどの沸点上昇剤を混合させたものである。沸点上昇剤を使用することによって、エアロゾルの比熱容量を調整する、たとえば低くすることができ、また液滴の沸騰温度を調整する、たとえば高くすることができる。したがって、加熱管の冷却速度、および別法または追加として熱交換器の性能特性たとえば、熱伝達係数および熱伝達速度は、少なくともエアロゾルの組成および/またはたとえば流量の調整に基づいて調整することができる。エアロゾルの小滴は、比熱、気化熱、不燃性、および低コストのうちの少なくとも1つの理由で水が好ましいが、水以外の材料から構成することもできる。エアロゾル、特に水滴を含むエアロゾルの使用には、高圧が回避されるという利点があり、しかもエアロゾル化された水滴の高い熱容量および気化熱は、加熱管から熱を効率的に除去するすなわち、冷却するために利用される。一実施形態では、加熱管は、冷却プロセスが終了し、蒸発器を開くのに安全な温度に到達するまで、エアロゾルを使用して冷却される。さらに別の実施形態では、加熱管は、液体の水に基づく熱交換器を使用するのに安全な温度、たとえば100°C付近になるまで、エアロゾルを使用して冷却される。液体の水に基づく熱交換器はまた、加熱管に接触しており、任意選択で加熱管に熱的に接触する冷却パイプなどのいくつかの構成要素を共用する。任意選択で、エアロゾルを使用する熱交換器は、やはり加熱管に熱的に接触している液体の水に基づく熱交換器と、構成要素を共用しなくてもよい。たとえば、エアロゾルの熱交換媒体を使用することによって、加熱管を冷却する時間が、エアロゾル以外の熱交換媒体の場合の約60分に比べて、15分未満まで低減される。たとえば、熱交換器内でエアロゾルを使用することによって、総プロセス時間を180分から135分まで25低減させることができ、蒸発器の加熱、基板の被覆、蒸発器の冷却、および被覆材料の補充という複数のサイクルを伴うことがある蒸発プロセスの生産性および全体的なコストに対して、所望の影響を与えることができる。本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができるいくつかの実施形態によれば、冷却パイプは、6~10mm、好ましくは8mmの内径を有することができる。加熱管に熱的に接触するように構成された3本以上の冷却パイプ、たとえば2~64本、好ましくは18~24本が企図される。各冷却パイプは、概ね加熱管の長さ全体に沿って延びることができ、または加熱管の長さの一部のみ、たとえば加熱管の長さの約2分の1、3分の1、4分の1、または5分の1だけ延びていてもよい。別法または追加として、少なくとも1本またはすべての冷却パイプは、加熱管の軸の周りに延びることができる。一実施形態では、冷却パイプの長さは、概ねエアロゾルの小滴が蒸発する最小の長さであり、たとえば20~80cm、または20~60cm、または約40cmたとえば、35~45cmである。一実施形態では、冷却パイプの長さは、概ねエアロゾルの小滴が蒸発する長さである。たとえば、冷却プロセスの初めにたとえばその初期温度、たとえば約350°C~約400°Cの加熱管の場合、冷却パイプの長さは、30~45cm、または35~40cm、または約37cm、または約40cmとすることができる。一実施形態では、銅の冷却パイプが使用されるが、金属、たとえばアルミニウム、銅の合金、鋼鉄、およびステンレスなどの他の材料も企図される。銅などの高い熱伝導性を有する材料が好ましい。一実施形態では、エアロゾル生成手段は、毛細管と、バルブ、好ましくはパルスバルブとを備える。一実施形態では、エアロゾル生成手段は、振動要素、たとえば超音波周波数で振動する圧電要素、または振動膜、板、もしくはメッシュを備える。たとえば、エアロゾル生成手段、言い換えればエアロゾルジェネレータは、穿孔付きの振動板を含むことができ、この振動板は、穿孔で小滴が生じ、気体の流れによって運ばれるように構成される。一実施形態では、エアロゾル生成手段50は、バルブ40、特にパルスバルブと、少なくとも1本または2本の毛細管30とを備える。図3は、一実施形態によるエアロゾル生成手段を備える熱交換器100を示す。熱交換器100は、毛細管30およびバルブ40を備え、毛細管30は冷却パイプ20に接続されている。冷却パイプは、加熱管10に熱的に接触するように構成され、バルブ40は、たとえばパルスバルブである。図3に示す実施形態では、2本以上の毛細管および冷却パイプに対して1つのバルブ40を使用することができ、たとえば2本の毛細管30および2本の冷却パイプ20に対して1つのバルブ40を使用することができる。一実施形態では、導管60がバルブ40を毛細管30に接続し、毛細管30は、冷却パイプ20の入口にさらに接続される。第2のバルブに、たとえば、さらに2本の毛細管および冷却パイプを接続することも企図される。言い換えれば、各バルブに2本以上の毛細管および冷却パイプを接続することができる。図3は、毛細管30が冷却パイプ20の入口側に位置する一実施形態を示す。図4は、一実施形態による熱交換器を示す。この熱交換器は、加熱管10に熱的に接触するように構成された冷却パイプ20と、冷却パイプの入口側に位置するバルブ45とを備え、これらのバルブには導管60がつながっており、バルブはエアロゾル生成バルブ45とすることができる。一実施形態によれば、バルブまたはエアロゾル生成バルブは、入口から冷却パイプまで1~10cmのところに位置し、または冷却管20の入口に隣接している。エアロゾル生成手段は、バルブ45と、任意選択でバルブと冷却パイプ20との間に配置された毛細管とを備える。冷却パイプの入口付近にエアロゾル生成バルブを有する利点は、エアロゾルを冷却パイプへ搬送または輸送する導管または他の手段の壁の上でエアロゾル小滴の吸着、凝結、および/または凝集を低減させることである。図5は、一実施形態によるコントローラ500を有する熱交換器100を示す。コントローラは、エアロゾル生成手段50と通信しており、プロセッサおよびメモリを備えることができる。コントローラは、パルス周期620、パルス持続時間630、およびパルス遅延640のうちの少なくとも1つを調整するように構成される。パルスパラメータを図6に示す。図6は、一実施形態によって、時間軸600および振幅軸610、パルス周期620、パルス持続時間630、ならびにパルス遅延640を示す。たとえば、コントローラは、パルス周期620を低減させること、または言い換えればパルス周波数を増大させることによって、エアロゾルの密度を増大させることができる。一実施形態では、パルスパラメータパルス周期、持続時間、および遅延は数ミリ秒程度であり、たとえば各パルスパラメータは、約1ms~約1000msまたは約1ms~約100msである。別の例では、パルス周期は2msであり、パルス持続時間は1msであり、パルス遅延は1msである。パルスパラメータは、たとえばエアロゾルの密度を調整することによって冷却速度に影響を与え、それによってエアロゾルの熱容量に影響を与える。一実施形態では、使用者は、パルスパラメータを調整することができ、別の実施形態では、パルスパラメータは、コンピュータ可読媒体から読み取ったコンピュータプログラムによって選択される。別法または追加として、コントローラは、ハードウェアまたはソフトウェアを通じて、熱交換器、加熱管、および/または蒸発被覆器の他の構成要素にインターフェース接続することができる。コントローラは、パルスパラメータを調整することによって、少なくともエアロゾルの密度を調整する結果、冷却速度を調整することができる。一実施形態では、冷却パイプまたは熱交換器を通る熱交換媒体エアロゾルを含むの流量は、別法または追加として、コントローラまたは第2のコントローラによって調整することができる。一実施形態では、冷却パイプおよび/または加熱管の温度が100°C未満に到達したとき、バルブ複数可、特にパルスバルブ複数可は開いたまま維持することができ、その結果、場合によってはパルシングが止まり、液体の水が冷却パイプ複数可を通って流れることができる。図7は、一実施形態による加熱管10に熱的に接触するように構成された冷却パイプ20の横断面図を示す。図7は、6本の冷却パイプ20を横断面図に示すが、2~64本、好ましくは18~24本などの他の本数も企図される。一実施形態では、冷却パイプは、図7に示す横断面図に合致するように、加熱管の軸すなわち、対称軸、もしくは最大対称軸、または長軸に対して平行に位置することができる。一実施形態では、冷却パイプ20は、加熱管10の軸に対して平行に配置され、冷却パイプは、360/s度ずつ隔置される。ここでs=冷却パイプの数であり、sは3~30とすることができる。図8は、一実施形態による12本の冷却パイプ20の横断面図を示す。一実施形態では、冷却パイプ対は、360/t度ずつ隔置される。ここでtは冷却パイプ対の数であり、たとえばt=2、3、4、5、6、...16~32である図8は、t=6の場合を示す。たとえば、2本の冷却管につながる2本の毛細管に1つのバルブが接続されている図3に示す実施形態の場合、これらの毛細管および冷却パイプは、対に分けることができる。図9は、一実施形態によって加熱管10に熱的に接触するように構成された冷却パイプ20を示し、各冷却パイプは、加熱管の長さの一部分、たとえば1/2、1/3図示、1/4、1/5などにわたって延びる。一実施形態では、加熱管の長さの各部分は、複数の冷却パイプを含む。したがって、加熱管10はM個の区間に分割され、各区間はN本の冷却パイプ20を備えたとえば、図9に示すようにM=3およびN=2、合計M×N本の冷却パイプとすることができることが企図される。たとえば、Mは1~6とすることができ、Nは2~16とすることができる。図10は、一実施形態による加熱管10に熱的に接触する冷却パイプ20の横断面図を示し、冷却パイプ20が加熱パイプ10上の溝70内に配置される。これらの溝の利点は、冷却パイプ20と加熱管10のより大きい熱的接触を可能にすることができることである。一実施形態では、冷却パイプは、冷却パイプ20と加熱管10との間のより大きい熱的接触を提供することなどのために、溝内へプレス嵌めされる。冷却パイプは、別法または追加として、少なくとも1つの締め具図示せずによって定位置で保持することができる。図11は、加熱管10に熱的に接触する冷却パイプ20の横断面図を示し、冷却パイプ20は、締め具700によって加熱管に締め付けられる。締め具700は、任意選択で、タイトナ710を含む。締め具は、ばねクリップ、ホースクランプなどとすることができる。別法または追加として、冷却パイプ20は、加熱管に溶接することができる。締め具の利点は、冷却パイプと加熱管との間のより強固な熱的接触をもたらすことである。さらに、締め具により、多くの加熱および冷却サイクル後でも強固な熱的接触を可能にすることができるが、締め具がない場合には、加熱および冷却に関連する膨張と収縮のサイクルによって冷却パイプが加熱パイプから多少後退するそして熱的接触が低減する傾向になり得る。複数の締め具、たとえば各冷却パイプに接触して2個、3個、4個、またはさらにそれ以上の締め具の使用が企図される。たとえば、締め具は、各冷却パイプの長さに沿って約5~10cmまたはさらに15、20、25、50cm、もしくはその間の値など、それ以上ごとに配置される。図12は、一実施形態により、加熱管10に熱的に接触するように構成された冷却パイプ20と、エアロゾル生成手段と通信し、任意選択で温度センサ80とも通信するコントローラ500とを有する熱交換器100を示す。一実施形態では、温度センサ80は、使用者および/またはコントローラ500に対して、加熱管10の温度を示す。したがって、冷却プロセスは、加熱管10の所望の温度に到達したときに終了することができる。所望の温度は、たとえば、熱交換媒体の沸騰温度、熱交換媒体の液滴の沸騰温度、および水のエアロゾルの場合は約100°Cである。別法または追加として、所望の温度、たとえば100°Cで、エアロゾルに基づく熱交換器を用いた冷却を、液体の水に基づく熱交換器を用いた冷却によって強化するまたは置き換えることができる。温度センサ80のいくつかの可能な利点は、使用者に加熱管10の温度を通知することが可能であること、いつ冷却を終了させたら安全かを示すことができること、エアロゾルに基づく冷却を液体の水に基づく冷却などの別のタイプの冷却で強化することもしくは置き換えることをいつ行えば安全かを示すことができること、および/またはコントローラに対して、冷却速度を調整できるパルスパラメータを調整するために使用されるデータを示すことができることである。一実施形態では、1つまたは複数の温度センサは、冷却パイプに熱的に接触することができ、別法または追加として、1つまたは複数の温度センサは、加熱管に熱的に接触することができる。一実施形態では、冷却パイプの温度が100°C未満に到達したとき、パルスバルブ複数可などのバルブ複数可を恒久的に開くことができ、それによって、パルス動作の場合より多くの水を冷却パイプ複数可に流すことが可能になり、たとえばその結果、冷却パイプ複数可および/または加熱管の温度が100°C未満であるときに液体の水が冷却パイプ複数可を通って流れる。図13は、一実施形態によって、加熱管10に熱的に接触するように構成された冷却パイプ20と、冷却パイプ20に接続された排出口99とを有する熱交換器100を示す。排出口により、冷却パイプ20からの排出物を収集することが可能になる。図14は、一実施形態により、ループ部分24およびネック部分26を備える冷却パイプ20を示し、冷却パイプ20は、たとえば図1の実施形態の冷却パイプ20のように加熱管に対して平行ではなく、加熱管10の周りに径方向に配置することができる。図14の実施形態によれば、冷却パイプ20は、加熱管に熱的に接触するように構成され、すなわちループ部分24は加熱管に熱的に接触し、ネック部分26は加熱管から離れる方を向く。ネック部分26は、2つの端部を有し、すなわちエアロゾルを受け取る入口と、たとえば反対側で排出マニホルドにつながる排出口とを有する。図14に示すような冷却パイプの実施形態を使用する熱交換器はまた、ネック部分26の2つの端部を締め合わせるネッククランプを備えることができ、ネッククランプは、ループ部分24と加熱管とを熱的に接触させるのを助けることができる。ネッククランプは、加熱および冷却サイクル中に冷却パイプの膨張および収縮に対応するように可撓性を有することができる。任意選択で、図14に示す冷却パイプが、溝70を有する加熱管に組み合わされたとき、これらの溝は、冷却パイプ20を収容するように加熱管の周りにすなわち、径方向に配置される。上記は本発明の実施形態を対象とするが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく、本発明の他のさらなる実施形態を考案することもでき、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって決定される。