チャック本体と、該チャック本体の先端側に配置されて、中空円筒の金属製のワークを保持する3個のチャック部材と、を備え、所定の位置に配置された前記ワークに対して、前記チャック部材を前記ワークの中心軸に対して径方向外側より内側に移動させて前記ワークを保持するチャック装置において、全ての前記チャック部材の前記ワークに当接する先端面は、それぞれ前記ワークを軸線方向から見た場合に、前記径方向内側への移動方向に対して同じ方向に傾斜していることを特徴とするチャック装置。前記ワークを軸線方向から見た場合に、前記3個のチャック部材の先端面によって三角形が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のチャック装置。前記ワークは、第1部材と第2部材とが接続された接続箇所を有し、前記チャック部材は前記接続箇所とは異なる箇所で前記ワークを保持することを特徴とする請求項1又は2に記載のチャック装置。前記ワークは、プロテクタを有するセンサであることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のチャック装置。しかしながら、上述した従来技術の場合には、チャック爪のワークに当接する面は、チャック爪の移動方向に対して垂直な平板形状又は垂直な平板の表面に凹凸が形成された形状であるので、3方向よりチャック爪でワークを挟むようにすると、不具合が生じることがあった。具体的には、例えば円筒形のワークに公差ずれ例えば径方向における寸法のずれ等があった場合や、チャック装置の軸ずれ即ち各チャック爪の中心軸への移動方向のずれがあった場合などには、2個のチャック爪でワークを保持することいわゆる2点保持があり、特にワークの搬送時に、この様な2点保持が起こると、ワークに力が均等に伝わらず、ワークが落下したり、ワークの搬送装置が止まることがあった。本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、確実に中空円筒のワークを保持することができるチャック装置を提供することにある。1本発明は、第1態様として、チャック本体と、該チャック本体の先端側に配置されて、中空円筒の金属製のワークを保持する3個のチャック部材と、を備え、所定の位置に配置された前記ワークに対して、前記チャック部材を前記ワークの中心軸に対して径方向外側より内側に移動させて前記ワークを保持するチャック装置において、全ての前記チャック部材の前記ワークに当接する先端面は、それぞれ前記ワークを軸線方向から見た場合に、前記径方向内側への移動方向に対して同じ方向に傾斜していることを特徴とする。本第1態様では、全てのチャック部材のワークに当接する先端面は、ワークを軸線方向から見た場合に、従来の様にチャック部材の移動方向に対して垂直ではなく、径方向内側への移動方向に対して同じ方向に傾斜している。なお、ここで、傾斜しているとは、移動方向に対して斜めに傾いていることをいい、移動方向に対して平行や垂直でないことをいう。また、同じ方向に傾斜しているとは、例えば図3に示す様に、チャック部材の先端面が、径方向内側への移動方向に対して、右側又は左側が同様に径方向内側に突出して傾斜していることをいう。従って、ワークを保持する際に、ワークに対してチャック部材を近づけた場合、ワークはチャック部材の先端面に押圧されて移動するが、チャック部材の先端面は径方向内側への移動方向に対して傾斜して形成されているので、ワークは最初に配置された所定の位置からワークの中心軸が移動方向からずれるように斜めに移動しようとする。このとき、3方向から同様にチャック部材でワークを押圧するので、結果として、押圧方向の力がバランスして、ワークは所定の位置にて保持されることになる。また、仮に、チャック本体やワークに寸法の誤差があった場合のように、2方向のチャック部材のみ先にワークに接触して、2方向のチャック部材でワークが保持されそうになったときでも、チャック部材の先端面は同じ方向に傾斜しているので、各チャック部材によってワークはその中心軸が移動方向からずれるように押圧され、2方向のチャック部材の間からワークは押し出される方向に移動し、もう一つのチャック部材に押圧されるようになる。よって、2方向のチャック部材でのワーク保持、いわゆる2点保持が発生し難く、必ず3方向のチャック部材で保持されるようになる。そのため、特にワークの搬送時に、この様な2点保持が起こることによる、ワークの落下や、ワークの搬送装置などの停止を効果的に防止することができる。なお、チャック部材の3方向の配置としては、ワークの所定の固定位置従ってチャック本体におけるチャック部材の取付側の表面における中心軸中心に対して、径方向に等間隔120°毎の配置することが、2点保持の防止の上から一層好適である。2本発明では、第2態様として、前記ワークを軸線方向から見た場合に、前記3個のチャック部材の先端面によって三角形が形成されていることを特徴とする。本第2態様では、各チャック部材の先端面が三角形をつくるようにしてワークを保持するので、常に確実にワークを保持することができる。なお、この三角形としては正三角形であると、ワークを保持する際にその中心軸がずれ難いので好適である。3本発明は、第3態様として、前記ワークは、第1部材と第2部材とが接続された接続箇所を有し、前記チャック部材は前記接続箇所とは異なる箇所で前記ワークを保持することを特徴とする。例えば溶接や加締めなどにより異なる部材が接続されている接続箇所、例えば自動車の排気管等に取り付けられるセンサのプロテクタを主体金具に溶接による接続箇所では、その接続箇所が盛り上がっていることがあり、ワークを確実に保持できないことがある。そのため、本第3態様では、そのような接続箇所を避けてワークを保持しているので、確実にワークを保持できるという利点がある。なお、ここで接続とは、溶接等による接合や加締め等による機械的結合を含むものである。4本発明は、第4態様として、前記ワークは、プロテクタを有するセンサであることを特徴とする。本第4態様では、ワークを例示しており、このワークとしては、プロテクタを有する酸素センサや温度センサが挙げられ、保持する箇所としては、センサのプロテクタが挙げられる。以下に、本発明の実施形態を図面と共に説明する。なお、以下に示す各実施形態では、ワークとして自動車用排気ガス中の空燃比等を求める酸素センサを保持するチャック装置を例に挙げて説明する。[実施形態]aまず、チャック装置の構成を説明する。図1に示す様に、本実施形態のチャック装置1は、その先端側図1下方にワークここでは酸素センサ3を保持する装置であり、主として、略円柱形状の金属製のチャック本体5と、チャック本体5の先端側にて径方向に移動可能に配置された3個のチャック部7と、チャック部7を空気圧で移動させる移動機構9とを備えている。以下、各構成について説明する。前記チャック本体5は、その先端側をワーク3が配置されている側図1下方に向けて、例えばロボットのアーム等の可動装置11図2参照に取り付けられており、これにより、上下左右方向に自由に移動が可能である。このチャック本体5の先端側には、案内用凹部13が形成されており、この案内用凹部13は、チャック部7を保持するとともに、チャック部7をチャック本体5の軸中心即ち中心軸に対して径方向に移動可能なように開けられた溝である。詳しくは、案内用凹部13は、チャック本体5の中心軸に対して120°の等間隔で放射状に形成されており、チャック本体5の先端面5aに放射状に切り込まれた第1凹部13aと第1凹部13aの後端側図1上方にて周方向両側に切り込まれた第2凹部13bとからなる。また、図2に示す様に、前記チャック部7は、直接にワーク3に接触して保持する例えばポリテトラフルオロエチレンPTFEからなるチャック部材15と、チャック部材15を自身の先端側図2下方にマウントしてチャック部材15と一体に径方向に移動する金属製の移動部材17とから構成されており、それらは一対のネジ18図1参照により一体に固定されている。このうち、移動部材17は、チャック本体5の案内用凹部13に嵌め込まれたブロック状の部材であり、前記第1凹部13a及び第2凹部13bに嵌合するように、先端側が突出する略凸状径方向から見た形状が凸形状の構成を有している。また、移動部材17の先端側には径方向と垂直に溝19が形成してある。そして、この溝19に後述するチャック部材15の後端側の凸部21が嵌め込まれて、チャック部材15と移動部材17とがずれないように位置決めされ、ネジ18によってチャック部材15と一体に固定されている。図3に示す様に、3個のチャック部7従ってチャック部材15は、ワーク3の固定位置であるチャック本体5の中心軸Oを中心にして、径方向に放射状に120°の角度で等間隔に配置されており、その径方向即ち中心軸Oに向かう放射ラインAに沿って前後に移動可能である。特に本実施形態では、全てのチャック部材15のワーク3を保持する面である先端面23は、チャック部材15の移動方向即ち放射ラインAに対して、所定角度α例えば60°だけ傾斜している。また、全てのチャック部材15の先端面23は、径方向内側への移動方向に対して同じ方向に傾斜している。詳しくは、全てのチャック部材15の先端面23の傾斜方向は、チャック本体5の先端面5a側即ち図3の手前側から見た場合に、それぞれ径方向内側への移動方向に対して右側が中心軸O側に突出するように即ち右上がりに設定されている。なお、この逆に、全ての先端面23が右下がりに設定されていてもよい。なお、この所定角度αとしては、例えば60°±10°の範囲が挙げられる。従って、3個のチャック部材15の先端面23及びその延長面により三角形ここでは正三角形が構成されており、その三角形の中心内接円の中心がワーク3の固定位置、即ちチャック本体5及びワーク3の中心軸Oに一致する。ここで、チャック部材15の形状について更に詳しく説明する。図4及び図5に示す様に、チャック部材15は、板状の部材であり、略直方体形状の本体部25と、本体部25からワーク3に当接する側図5の右側に突出する略三角柱状の突出部27とを備えており、突出部27のワーク3側の表面が平板状の先端面23とされている。また、本体部25の中央の移動部材17側図4の上方には、移動部材17の溝19に嵌り込む凸部21が、本体部25の幅方向にわたって形成されている。更に、本体部25のうち、凸部21の両側には、本体部25を高さ方向図4の上下方向に貫通する様に、チャック部材15を移動部材17に固定するための前記ネジ18がネジ込まれる一対のネジ孔29が形成されている。また、チャック部材15の突出部27の先端側図4の下方は、ワーク3に当接した場合にワーク3を傷つけないように、斜めにカットした面取り部31が設けられている。なお、前記図1~図3に示す様に、チャック本体5の側面には、空気圧による移動機構9として、各チャック部7をチャック本体5の中心軸側に移動させるように、チャック本体5内に空気を供給する第1空気管33と、チャック部7をチャック本体5の中心軸から遠ざかる側に移動させるように、チャック本体5内に空気を供給する第2空気管33とが接続されている。なお、移動させるためのチャック本体5内部の空気の流路等は、従来と同じであるので、その説明は省略する。b次に、チャック装置1の動作について、図6~図10に基づいて説明する。まず、図8に示す様に、本実施形態のチャック装置1で保持するワーク3は、酸素濃度を検出する酸素センサ3であり、この酸素センサ3は、円筒形状の金属製の主体金具39と、主体金具39の内部に固定されるとともにその先端側ガス測定側:図8の上方より突出する検出素子図示せずと、検出素子の先端側を覆うように被せられた中空円筒の金属製例えばSUS310S製のプロテクタ41と、主体金具39の後端側より延びる外筒43などを備えている。このプロテクタ41は、先端側が閉塞された有底で薄肉例えば厚み0.5mmの筒状部材であり、主体金具39の先端側の所定位置Xにて、溶接によって全周を接合されている。次に、酸素センサ3を保持して移送する手順を説明する。図6aに示す様に、まず、基台45に、酸素センサ3を、その先端側のプロテクタ41が上方になるように配置する。一方、チャック装置1は、酸素センサ3の上方にて、チャック本体5の先端面5aを下方に向けて配置する。なお、チャック本体5と酸素センサ3の中心軸を合わせるように、チャック装置1を配置する。このときは、酸素センサ3を保持する前であるので、図7に示す様に、第2空気管35に空気を送ることにより、各移動部材17従って各チャック部材15を、径方向の外側に移動させて、各チャック部材15の中央の空間プロテクタ41が挿入される空間47を確保する。即ち、各チャック部材15を開いた状態とする。次に、図6bに示す様に、各チャック部材15を開いた状態で、チャック装置1を下降させて、各チャック部材15の中央の空間47にプロテクタ41を配置する。このとき、図8に示す様に、チャック装置1は、各チャック部材15の先端面23が、プロテクタ41が接合される所定位置Xより上方に位置するように配置される。次に、図6cに示す様に、第1空気管33に空気を送ることにより、各チャック部材15を、径方向の内側に移動させて、3個のチャック部材15によってプロテクタ41を3方向より保持する。詳しくは、図9に示す様に、各チャック部材15を、中心軸Oに向かって、径方向の内側に移動させ、各チャック部材15の先端面23で、プロテクタ41の外周面を押圧し、プロテクタ41を掴んで保持する。このとき、図10に示す様に、各チャック部材15の先端面23は、プロテクタ41が接合される所定位置Xより上方に当接している。次に、図6dに示す様に、チャック部材15でプロテクタ41従って酸素センサ3を保持した状態で、チャック装置1を上方に移動させて、所定の方向例えば左右方向に酸素センサ3を搬送する。c次に、本実施形態のチャック装置1による効果を説明する。本実施形態のチャック装置1は、全てのチャック部材15の酸素センサ3のプロテクタ41に当接する先端面23は、従来の様にチャック部材15の移動方向に対して垂直ではなく、プロテクタ41を軸線方向例えば図3の手前側から見た場合に、径方向内側への移動方向に対して同じ方向に傾斜している。従って、プロテクタ41を保持する際に、プロテクタ41に対してチャック部材15を近づけた場合、プロテクタ41はチャック部材15の先端面23に押圧されて移動するが、先端面23が移動方向に対して斜めに形成されているので、プロテクタ41は最初に配置された所定の固定位置即ちチャック本体の中心軸Oからやや斜めに移動しようとする。このとき、3方向から同様にチャック部材15でプロテクタ41を押圧するので、結果として、押圧方向の力がバランスして、プロテクタ41は所定の固定位置にて保持されることになる。また、仮に、チャック本体5やチャック部7や酸素センサ3に寸法の誤差があった場合のように、2方向のチャック部材15のみ先にプロテクタ41に接触して、2方向のチャック部材15でプロテクタ41が保持されそうになったときでも、チャック部材15の先端面23は同じ方向に傾斜しているので、2方向のチャック部材15の間からプロテクタ41は押し出される方向に移動し、もう一つのチャック部材15に押圧されるようになる。よって、2方向のチャック部材15のみによる保持、いわゆる2点保持が発生し難く、必ず3方向のチャック部材15で保持されるようになる。つまり、本実施形態では、3個のチャック部材15の先端面23が三角形特に正三角形をつくるようにしてプロテクタ41を保持するので、常に確実にプロテクタ41従って酸素センサ3を保持することができる。そのため、特に酸素センサ3の搬送時にこの様な2点保持が起こることによる、酸素センサ3の落下や、酸素センサ3の搬送装置などの停止を効果的に防止することができる。また、本実施形態では、従来の様に、プロテクタ41を移動方向に垂直な面で押圧しないので、たとえプロテクタ41が薄肉の金属板で形成されている場合でも、プロテクタ41が破損しにくいという利点がある。更に、本実施形態では、チャック部材15は、プロテクタ41が主体金具39に溶接された凹凸のある接続箇所所定箇所X以外で、プロテクタ41を保持しているので、この点からも、確実に酸素センサ3を保持できるという利点がある。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、様々な態様にて実施することが可能である。例えばワークとしては、酸素センサだけでなく、温度センサなど、保持する位置が中空円筒の部材プロテクタ等を有する各種センサが挙げられる。