非導電性のノズル孔形成部材表面に、撥液剤を形成した液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズル孔形成部材の液滴吐出面からノズル内壁面を介して流路形成面境界部まで導電性膜を成膜する工程と、金属または導電体である構造体と前記ノズル孔形成部材の流路形成側とを密着した状態で保持する工程と、前記撥液剤を微粒子化する工程と、前記撥液剤を帯電させる工程と、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。前記撥液剤の材料にシリコーン系樹脂を用いることを特徴とする請求項1記載のヘッドの製造方法。前記導電性膜の材料に導電性酸化膜を用いることを特徴とする請求項1または2記載のヘッドの製造方法。微粒子化された前記撥液剤の粒子径が20μm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のヘッドの製造方法。前記撥液剤を霧化装置にて微粒子化することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のヘッドの製造方法。前記撥水剤を微粒子化する霧化装置が、超音波を印加して微粒子化する霧化装置であることを特徴とする請求項5に記載のヘッドの製造方法。前記撥水剤を微粒子化する霧化装置が、2流体のエアスプレーにて微粒子化する霧化装置であることを特徴とする請求項5に記載のヘッドの製造方法。前記撥水剤を微粒子化する霧化装置が、1流体のエアレススプレーにて微粒子化する霧化装置であることを特徴とする請求項5に記載のヘッドの製造方法。前記撥液剤に1~120kVの高電圧を印加させることで、撥液剤を帯電させることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載のヘッドの製造方法。撥液剤が塗布されるノズル孔形成部材のノズル孔径が60μm以下であることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載のヘッドの製造方法。液滴を吐出する複数のノズルを形成した非導電性の液滴吐出ヘッドのノズル部材であって、ノズル孔形成部材の液滴吐出面からノズル内壁面を介して流路形成面境界部まで導電性膜を成膜する工程と、金属または導電体である構造体と前記ノズル孔形成部材の流路形成側とを密着した状態で保持する工程と、撥液剤を微粒子化する工程と、前記撥液剤を帯電させる工程と、を有する液滴吐出ヘッドの製造方法により製造され、前記液滴吐出面に前記撥液剤を形成したことを特徴とするノズル部材。しかしながら、特許文献1に開示の方法では、ノズル孔形成部材表面に撥液剤を微粒子化し、帯電させて塗布する方法が提案されている。しかしながら、このような方法においては、微粒子化した撥液剤がランダムにノズル孔内壁面に入り込んでしまうため、ノズル孔内壁面に撥液膜が形成されてしまう。これにより、ノズル孔内に撥液性のムラを起こし、インク滴の噴射方向曲がりや不吐出、あるいはインク充填性不良が発生するといった問題があった。また、電気的な塗装方法であるため樹脂プレート、Si基板などの非導電性部材のノズル板への転用ができない等の問題もある。また、特許文献2に開示の方法では、ノズル孔形成部材表面に撥液剤を塗布し膜を形成した後、酸素プラズマ処理により内壁面に入り込んだ撥液膜を除去する方法が提案されている。しかしながら、このような方法においては内壁面に入り込んだ撥液膜を完全に除去することは難しく、極微量に残存した撥液膜によりノズル孔内に撥水性のムラが生じ、吐出不良の原因になりうる。本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的としては、非導電性部材のノズル板において撥液層の端部位置精度が良く、滴吐出特性のばらつきが少ない液滴吐出ヘッドの製造方法及びノズル部材を提供することにある。かかる目的を達成するために、本発明は、以下の特徴を有することとする。本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、非導電性のノズル孔形成部材表面に、撥液剤を形成した液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズル孔形成部材の液滴吐出面からノズル内壁面を介して流路形成面境界部まで導電性膜を成膜する工程と、金属または導電体である構造体と前記ノズル孔形成部材の流路形成側とを密着した状態で保持する工程と、撥液剤を微粒子化する工程と、前記撥液剤を帯電させる工程と、を有することを特徴とする。本発明によれば、非導電性部材に微粒子化した撥液剤が選択的にノズル孔形成部材の吐出面側へ成膜され、ノズル孔形成部材のノズル孔内壁部及び液室形成側へ付着することを防ぐことで、撥液層の端部位置精度が良く、滴吐出特性のばらつきが小さく、またインク充填性および気泡排出性の良い液滴吐出ヘッドの製造方法を得ることができる。以下に、図面を参照して、本発明の一実施形態を詳細に説明する。図1は、一実施形態に係る液滴吐出ヘッドの概略図、図2は、一実施形態に係る液滴吐出ヘッドの分解斜視図、図3は、図1のA-A断面図、図4は、B-B断面図である。図1乃至図4に示すように、一実施形態に係る液滴吐出ヘッドは、フレーム部材10上に、振動板20、流路板30、ノズル板40を順次積層接合して構成されている。詳しくは、フレーム部材10は、金属あるいはセラミックスなどの高剛性材料で形成したベース基板13図3、図4と、ベース基板13に接合されている。フレーム部材10には、流路板30に備えた加圧液室31内の液体例えばインクを加圧するための圧力発生手段アクチュエータ手段である電気機械変換素子としての積層型圧電素子14図3、図4と、上述の加圧液室31と連通した共通液室11となる凹部と、この共通液室11に外部からインクを供給するためのインク供給穴12とが形成されている。このフレーム部材10は、例えばエポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成されている。積層型圧電素子14は、厚さ10~50μm/1層のチタン酸ジルコン酸鉛PZTの圧電層と、厚さ数μm/1層の銀パラジュームAgPdからなる内部電極層とを交互に積層したものである。内部電極を交互に端面の端面電極外部電極である個別電極、共通電極に電気的に接続し、これらの電極に、図3に示すFPCケーブル17を介して駆動信号を供給するようにしている。また、圧電素子14は、一方の面をベース基板13に接合されているが、他方の面は、振動板20に接合されている。この圧電常数がd23である圧電素子14の伸縮により、振動板20が撓むことにより、対応する加圧液室31を収縮、膨張させるようになっている。なお、圧電素子14に駆動信号が印加され、充電が行われると、圧電素子14は伸長する。また、圧電素子14に充電された電荷が放電すると、圧電素子14は反対方向に収縮する。また、図4に示すように、各圧電素子14の間には、加圧液室31、31間の隔壁部31aに対応して支柱部15が設けられている。ここでは、圧電素子部材にハーフカットのダイシングによるスリット加工を施すことで、櫛歯状に分割して、1つ毎に圧電素子14と支柱部15として形成されている。支柱部15の構成は、圧電素子14と同じであるが、駆動電圧を印加しないので単なる支柱としてのみ機能する。振動板20は、電鋳法により形成されており、その外周部20Aが、フレーム部材10に接着剤により接合されている。また、振動板20は、加圧液室31と連通してフレーム部材10の共通液室11から加圧液室31にインクを供給するためのインク供給口21を備えている図2、図3。振動板20は、3層構造のニッケルの金属プレート状に形成されたもので、例えば電鋳法で作製されているが、この他の金属板や樹脂板、或いは、金属と樹脂板との積層部材や、金属と金属の積層部材複層構造部材などを用いることもできる。流路板30は、例えば、ステンレス鋼材をプレート状に成形されたものである。例えば、プレス加工法にて加圧液室31、インク供給路21図3を形成し、ダンパ室32をウエットエッチング加工法にて加圧液室31よりも浅くハーフエッチングにより形成したものや、例えば、結晶面方位110の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液KOHなどのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、加圧液室31などの流路パターンを形成したもの単結晶シリコンに限らないなどを用いることもできる。なお、ダンパ室32は、ノズル板40と振動板20により、矩形の空間となるが大気連通管22図2を通して大気と連通することにより、エアダンパ効果を持たせる構造とされている。ノズル板40は、各加圧液室31に対応して、ノズル孔41が形成されている。このノズル板40は、非導電性部材をプレート状に形成したもので、部材がポリイミドなどの樹脂材の場合は、エキシマーレーザーによりノズル孔41が形成され、部材がシリコーン材では、異方性エッチングにより形成されている。次に、このようにして得られたノズル板に導電膜、撥液膜を形成する工程について、図5を参照して説明する。撥液膜には、液状シリコーン系樹脂を用いて説明するが、これに限るものではない。シリコーン系樹脂を有する撥液剤の場合、ノズル板40へ付着後に3次元架橋反応が発生するため、耐久性のよい、安定した撥液膜を得ることができる。撥液層の形成法は、静電塗布法を用いる。まず、ノズル板40には、導電性層49を撥液層47塗布面である液滴吐出面からノズル内壁面を介して流路形成面境界部まで、もしくは、流路形成全面に成膜がなされる。この導電性層49は、Au、Cu、Niなどの金属や、好ましくは酸化チタン、ITOなど金属酸化物をスパッタリング法、蒸着法により成膜がなされる。導電性酸化膜を用いることによって撥液膜との密着性が高い、耐久性のよい、安定した撥液膜を形成することができる。次に、塗布空間内に、ノズル板40とノズル板40の流路部材接合側に導電性を持った構造体42が、ノズル板40に密着して配置される。ノズル板40及び導電性構造体42は、グラウンドに設置される。次に、撥液剤45をエアスプレー43により微粒子化し、微粒子化した撥液剤45をアシストエアーにより噴霧する。微粒子化された撥液剤の粒子径が20μm以下であることが好ましい。このことによって、ノズル板40へ付着した際に平均膜粗さが±1.0μm以下の平面性の高い良好な撥液膜を形成することができる。ここで、撥液剤45を微粒子化する方法は、霧化装置を使用してエアスプレーにより霧化する方法を取っているが、霧化装置は超音波霧化でもよいし、2流体のエアレススプレーでもよいし、1流体のエアレススプレーでもよい。次に、電極針44に、電源装置48によって、例えば60kVの高電圧を印加することで、エアスプレー43とノズル板40との間に、高電界を発生させる。微粒子化された撥液剤45は、高電界領域内を通過することにより帯電する。撥液剤に1~120kVの高電圧を印加させることによって、撥液剤45を帯電することが可能となる。ここで、撥液剤45を帯電する方法は、電極針44から電界を発生させる方法を取っているが、例えば、電界をかけた導電性構造体42の間に撥液剤45を通すことで帯電させる方法でもよいし、予め撥液剤45に電荷をかけてから微粒子化する方法でもよい。帯電した撥液剤45は、クーロン力によりグラウンド状態のノズル板40に引き付けられ、ノズル板の吐出面側に衝突する。この際、ノズル板40のノズル孔開口部と導電性構造体42を密着させることによって、ノズル孔開口部以外を閉空間として形成された空間46は、ファラデーケージ効果により、電気力線が及ばない。このため、帯電した撥液剤45は、空間46に進入しない。この際、ノズル孔開口部直径は60μm以下と、短いほど望ましい。開口部を60μm以下にすることにより、空間46は擬似的に閉空間に近づき、ファラデーケージ効果が強く発生するため、ノズル孔内壁部に撥液剤45の付着がないノズル板40を形成できる。このようにして、ノズル板40の吐出側に撥液層47を成膜する。従来技術では、ノズル板流路側と導電性構造体42を密着保持しないため、ノズル孔開口部空間にファラデーケージが形成されない。このため微粒子化した撥液剤45がノズル孔内壁部に進入してしまい、ノズル孔内壁部及びノズル板流路側へ付着する。しかし、本発明は、上述のように、撥液膜を成膜することで、ノズル孔内壁部及びノズル板流路側への撥液剤45の付着を防止することができる。撥液膜の成膜後、ノズル板40を開放する。こうして、吐出不良が発生しない良好な吐出を可能とするノズル板40を実現することができる。図6は、一実施形態に係る液滴吐出ヘッドを適用したインクカートリッジを示す図である。図6に示すインクカートリッジは、ノズル孔41等を有する上記各実施形態のいずれかの液滴吐出ヘッド1と、この液滴吐出ヘッド1に対してインクを供給するインクタンク50とを一体化したものである。このように、インクタンク一体型の液滴吐出ヘッド1の場合、液滴吐出ヘッドの歩留まり不良は直ちにインクカートリッジ全体の不良につながるので、上述したように液滴吐出特性の向上は、液滴吐出ヘッド一体型インクカートリッジの信頼性向上化を図れる。図7は、一実施形態に係る液滴吐出ヘッドを採用した液滴吐出記録装置の一例を示す斜視説明図、図8は、同記録装置の機構部の側面説明図である。この液滴吐出記録装置は、記録装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施した液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部82等を収納し、装置本体81の下方部には、前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイでもよい。84を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができ、給紙カセット84或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。印字機構部82は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ93には、イエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドからなるヘッド94を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ93には、ヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95を交換可能に装着している。インクカートリッジ95は、上方に大気と連通する大気口、下方には液滴吐出ヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液滴吐出ヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは、各色のヘッド94を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。ここで、キャリッジ93は、後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド92に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、主走査モータで回転駆動される駆動プーリと従動プーリとの間にタイミングベルトを張装し、このタイミングベルトをキャリッジ93に固定しており、主走査モータの正逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。一方、給紙カセット84にセットした用紙83をヘッド94の下方側に搬送するために、給紙カセット84から用紙83を分離給装する給紙ローラ101及びフリクションパッド102と、用紙83を案内するガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ104と、この搬送ローラ104の周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ104からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ106とを設けている。搬送ローラ104は、副走査モータによってギヤ列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ104から送り出された用紙83を記録ヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材109が設けられている。この印写受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111、拍車112を設け、更に用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ113及び拍車114と、排紙経路を形成するガイド部材115、116とが配設されている。記録時には、キャリッジ93を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド94を駆動することにより、停止している用紙83にインクを吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ、用紙83を排紙する。また、キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置117が配置されている。回復装置117は、キャップ手段と吸引手段とクリーニング手段とを有している。キャリッジ93は、印字待機中にはこの回復装置117側に移動されてキャッピング手段でヘッド94をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド94の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等は、クリーニング手段により除去され、吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜不図示に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを適用することで、接合剥れの少ない安価な液滴吐出記録装置を実現できる。なお、液滴吐出記録装置としてインクジェットプリンタを例として説明したが、インクジェットコピー、インクジェットファックス、あるいはそれらの複合型記録装置にも適用できる。また、インクジェット記録装置以外にも、インクジェット技術を用いたカラーフィルタ製造装置、金属配線製造装置、捺染装置、DNAチップ製造装置などの工業用製造装置にも適用できる。