光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍の際、前記第1レンズ群は像面に対して移動し、前記第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群との間隔は変化し、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群との間隔は変化し、次式の条件を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成されていることを特徴とする変倍光学系。6.500<f1/-f2<10.000ただし、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f2:前記第2レンズ群の焦点距離前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項1に記載の変倍光学系。前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率が1.30以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の変倍光学系。開口絞りを有し、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の変倍光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群内のレンズの像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載の変倍光学系。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群内のレンズの物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側レンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側レンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側レンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。前記反射防止膜が設けられた前記凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側レンズ面であることを特徴とする請求項7に記載の変倍光学系。次式の条件を満足することを特徴とする請求項1から11の何れか一項に記載の変倍光学系。0.500<f3/-f4<1.300ただし、f3:前記第3レンズ群の焦点距離f4:前記第4レンズ群の焦点距離次式の条件を満足することを特徴とする請求項1から12の何れか一項に記載の変倍光学系。3.900<f1/fw<11.000ただし、fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離次式の条件を満足することを特徴とする請求項1から13の何れか一項に記載の光学系。0.280<f1/ft<0.520ただし、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離次式の条件を満足することを特徴とする請求項1から14の何れか一項に記載の光学系。0.0300<-f2/ft<0.0700ただし、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f2:前記第2レンズ群の焦点距離次式の条件を満足することを特徴とする請求項1から15の何れか一項に記載の光学系。0.050<f3/ft<0.150ただし、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f3:前記第3レンズ群の焦点距離広角端状態から望遠端状態への変倍の際、前記第1レンズ群は、像面に対して物体側に移動することを特徴とする請求項1から16の何れか一項に記載の変倍光学系。広角端状態から望遠端状態への変倍の際、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群との間隔は増加し、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項1から17の何れか一項に記載の変倍光学系。広角端状態から望遠端状態への変倍の際、前記第3レンズ群と前記第5レンズ群とは像面に対して一体で移動することを特徴とする請求項1から18の何れか一項に記載の変倍光学系。前記第2レンズ群より像側に開口絞りを有することを特徴とする請求項1から19の何れか一項に記載の変倍光学系。前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間に前記開口絞りを有することを特徴とする請求項20に記載の変倍光学系。広角端状態から望遠端状態への変倍の際、前記開口絞りは、前記第3レンズ群と一体に移動することを特徴とする請求項21に記載の変倍光学系。請求項1から22の何れか一項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群と前記第4レンズ群と前記第5レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群は像面に対して移動し、前記第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群との間隔は変化し、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群との間隔は変化するように構成し、次式の条件を満足することを特徴とする変倍光学系の製造方法。6.500<f1/-f2<10.000ただし、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f2:前記第2レンズ群の焦点距離しかしながら、従来の変倍光学系をさらに高変倍化しようとすると、充分に高い光学性能を得ることが困難であった。それと同時に、このような変倍光学系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、ゴーストやフレアをより低減させ、充分に高い光学性能を備えた変倍光学系、当該変倍光学系を備えた光学装置、および当該変倍光学系の製造方法を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明に係る変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍の際、前記第1レンズ群は像面に対して移動し、前記第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群との間隔は変化し、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群との間隔は変化し、次式の条件を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成されていることを特徴とする。6.500<f1/-f2<10.000ただし、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f2:前記第2レンズ群の焦点距離また、本発明に係る光学装置は、上記変倍光学系を備えたことを特徴とする。また、本発明に係る変倍光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群と前記第4レンズ群と前記第5レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群は像面に対して移動し、前記第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群との間隔は変化し、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群との間隔は変化するように構成し、次式の条件を満足することを特徴とする。6.500<f1/-f2<10.000ただし、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f2:前記第2レンズ群の焦点距離本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、充分に高い光学性能を備えた変倍光学系、当該変倍光学系を備えた光学装置、および当該変倍光学系の製造方法を提供することができる。以下、本発明に係る変倍光学系および光学装置について説明する。まず、本発明に係る変倍光学系から説明する。本発明に係る変倍光学系は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群とを有し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少することで変倍可能な光学系を実現し、変倍に伴う歪曲収差の変動を抑えている。また、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群との間隔を変化させ、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群との間隔を変化させることにより、全系の高い変倍率を確保し、さらに歪曲収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。さらに、第1レンズ群は、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、像面に対して移動することが望ましい。このような構成とすることにより、広角端状態から望遠端状態への変倍時の非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。さらに、f1を第1レンズ群の焦点距離とし、f2を第2レンズ群の焦点距離としたとき、次の条件式1を満足することが望ましい。16.500<f1/-f2<10.000条件式1は、第2レンズ群の焦点距離に対する第1レンズ群の焦点距離の適切な範囲を規定し、充分な変倍比を確保しつつ、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する収差変動を抑え、変動範囲全体に亘って高い光学性能を実現するための条件式である。条件式1の対応値が下限値を下回った場合、第1レンズ群の屈折力が過度に強くなるため、変倍に伴う非点収差の変動を抑えることが困難になる。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式1の下限値を7.000にすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式1の下限値を7.300とすることが望ましい。条件式1の対応値が上限値を上回った場合、第2レンズ群の屈折力が相対的に強くなるため、変倍に伴う軸外収差変動、特に歪曲収差や非点収差の補正が困難になる。その結果、高い光学性能を実現できなくなり好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式1の上限値を9.000とすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式1の上限値を8.400とすることが望ましい。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んでいる。このように構成することで、本実施形態に係る変倍光学系は、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアをさらに低減することができ、高い結像性能を達成することができる。また、本実施形態に係る変倍光学系は、反射防止膜は多層膜であり、ウェットプロセスで形成された層は、多層膜を構成する膜のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能となり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系は、ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をndとしたとき、屈折率ndが1.30以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能となり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち反射防止膜が設けられた光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴースト光が発生しやすいため、このようにすればゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系では、第1レンズ群および第2レンズ群において反射防止膜が設けられた、開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴースト光が発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系では、第1レンズ群および第2レンズ群において反射防止膜が設けられた、開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状のレンズ面にゴースト光が発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち反射防止膜が設けられた光学面は、物体から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。このようにすれば、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち物体から見て凹形状のレンズ面にゴースト光が発生しやすいため、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち反射防止膜が設けられた、物体から見て凹形状のレンズ面は、第1レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、像面側レンズ面であることが好ましい。第1レンズ群における光学面のうち物体から見て凹形状のレンズ面にゴースト光が発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち反射防止膜が設けられた、物体から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に2番目のレンズの、物体側レンズ面であることが好ましい。第2レンズ群における光学面のうち物体側から見て凹形状のレンズ面にゴースト光が発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち反射防止膜が設けられた、物体から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に3番目のレンズの、像面側レンズ面であることが好ましい。第2レンズ群における光学面のうち物体から見て凹形状のレンズ面にゴースト光が発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系は、第1レンズ群および第2レンズ群における光学面のうち反射防止膜が設けられた、物体から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に4番目のレンズの、物体側レンズ面であることが好ましい。第2レンズ群における光学面のうち物体から見て凹形状のレンズ面にゴースト光が発生しやすいため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係る変倍光学系では、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なお、このとき、屈折率が1.30以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。また、本発明の変倍光学系は、次の条件式2を満足することが望ましい。20.500<f3/-f4<1.300ただし、f3:前記第3レンズ群の焦点距離f4:前記第4レンズ群の焦点距離条件式2は、第3レンズ群の焦点距離に対する第4レンズ群の焦点距離の適切な範囲を規定し、変倍範囲全体に亘って高い光学性能を実現するための条件式である。条件式2の対応値が下限値を下回ると、第3レンズ群の屈折力が第4レンズ群に対して相対的に大きくなりすぎ、広角端状態における第3レンズ群で発生する負の球面収差の補正が困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式2の下限値を0.600とすることが望ましい。条件式2の対応値が上限値を上回ると、第4レンズ群の屈折力が第3レンズ群に対して相対的に大きくなりすぎ、望遠端状態における第4レンズ群で発生する正の球面収差の補正が困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式2の上限値を1.200とすることが望ましい。また、本発明の変倍光学系は、次の条件式3を満足することが望ましい。33.900<f1/fw<11.000ただし、fw:広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離条件式3は、第1レンズ群の最適な焦点距離範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する軸外収差の変動を抑えて、高い光学性能を実現するための条件式である。条件式3の対応値が下限値を下回ると、第1レンズ群の屈折力が過度に強くなり、変倍に伴う軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式3の下限値を4.600にすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式3の下限値を5.200とすることが望ましい。条件式3の対応値が上限値を上回ると、第1レンズ群の屈折力が過度に弱くなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の像面に対する移動量を増やす必要が出てくる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して軸外光束の通る光軸からの高さの変動が大きくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式3の上限値を9.000にすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式3の上限値を7.000とすることが望ましい。また、本発明の変倍光学系は、次の条件式4を満足することが望ましい。40.280<f1/ft<0.520ただし、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f1:前記第1レンズ群の焦点距離条件式4は、第1レンズ群の最適な焦点距離範囲を規定し、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して発生する収差変動を抑えて高い光学性能を実現するための条件式である。条件式4の対応値が下限値を下回ると、第1レンズ群の屈折力が過度に強くなり、変倍に伴う球面収差の変動を抑えることが困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式4の下限値を0.310にすることが望ましい。条件式4の対応値が上限値を上回ると、第1レンズ群の屈折力が過度に弱くなるため、所定の変倍比を得るためには第1レンズ群の像面に対する移動量を増やす必要がある。そうすると、広角端状態から望遠端状態への変倍に際して軸外光束の通る光軸からの高さの変動が大きくなるため、軸外収差、特に非点収差の変動を抑えることが困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式4の上限値を0.480にすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式4の上限値を0.440にすることが望ましい。また、本発明の変倍光学系は、次の条件式5を満足することが望ましい。50.0300<-f2/ft<0.0700ただし、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f2:前記第2レンズ群の焦点距離条件式5は、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群で発生した収差変動を補正しつつ、第2レンズ群で発生する収差変動を抑え、高い光学性能を実現するための条件式である。条件式5の対応値が下限値を下回ると、第2レンズ群の屈折力が過度に強くなる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に伴う球面収差や非点収差の変動を抑えることが困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式5の下限値を0.0360とすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式5の下限値を0.0410とすることが望ましい。条件式5の対応値が上限値を上回ると、第2レンズ群の屈折力が過度に弱くなり、第2レンズ群の移動量が増大する。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍の際、第1レンズ群で発生する球面収差や非点収差の変動を抑えることが困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式5の上限値を0.0630にすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式5の上限値を0.0570にすることが望ましい。また、本発明の変倍光学系は、次の条件式6を満足することが望ましい。60.050<f3/ft<0.150ただし、ft:望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離f3:前記第3レンズ群の焦点距離条件式6は、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群で発生した収差変動を補正しつつ、第3レンズ群で発生する収差変動を抑え、高い光学性能を実現するための条件式である。条件式6の対応値が下限値を下回ると、第3レンズ群の屈折力が過度に強くなる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に伴う球面収差の変動を抑えることが困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式6の下限値を0.065とすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式6の下限値を0.075とすることが望ましい。条件式6の対応値が上限値を上回ると、第3レンズ群の屈折力が過度に弱くなる。すると、広角端状態から望遠端状態への変倍に伴う、第1レンズ群で発生する球面収差変動を抑えることが困難となってしまう。その結果、高い光学性能を実現できなくなり、好ましくない。なお、本発明の効果を確実にするために、条件式6の上限値を0.130にすることが望ましい。また、本発明の効果をさらに確実にするために、条件式6の上限値を0.110にすることが望ましい。また、本発明の変倍光学系は、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群は、像面に対して物体側へ移動することが望ましい。このような構成とすることにより、第1レンズ群の屈折力を弱くすることが可能となり、広角端状態から望遠端状態への変倍の際の非点収差の変動を抑えて高い光学性能を実現することができる。また、本発明の変倍光学系は、広角端状態から望遠端状態への変倍の際、第3レンズ群と第4レンズ群との間隔は増加し、第4レンズ群と第5レンズ群との間隔は減少することが望ましい。このような構成とすることにより、広角端状態より望遠端状態の方が、第3レンズ群から第5レンズ群の合成の主点位置を物体側に移動できるため、効率的に変倍することが可能となる。その分各レンズ群の屈折力あるいは移動量を抑えることが可能となり、高い性能の変倍光学系を実現できる。また、本発明の変倍光学系は、広角端状態から望遠端状態への変倍の際、第3レンズ群と第5レンズ群とは像面に対して一体で移動することが望ましい。このような構成とすることにより、第3レンズ群と第5レンズ群とは一体で構成できるようになり、製造誤差による第3レンズ群から第5レンズ群間の相互偏心量を抑え、第3レンズ群から第5レンズ群間で発生する偏心コマ収差の発生を抑えることが可能となる。さらに変倍時に非点収差の変動を少なくすることができ、高い光学性能を実現できる。また、本発明の変倍光学系は、第2レンズ群より像側に開口絞りを有することが望ましい。このような構成とすることにより、広角端状態から望遠端状態への変倍に伴う歪曲収差の変動を抑えて高い光学性能を実現できる。また、本発明の変倍光学系は、第2レンズ群と第3レンズ群との間に開口絞りを有することが望ましい。このような構成とすることにより、広角端状態から望遠端状態への変倍に伴う歪曲収差の変動を抑えて、高い光学性能を実現できる。また、本発明の変倍光学系は、広角端状態から望遠端状態への変倍の際、開口絞りは、第3レンズ群と一体に移動するように配置することが望ましい。このような構成とすることにより、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第3レンズ群を通る軸外光線の変化を抑え、コマ収差や像面湾曲、非点収差の変動を抑えることが可能となり、高い光学性能を実現できる。また、本発明の光学装置は、上述した構成の変倍光学系を有することを特徴とする。これにより、充分に高い光学性能を備えた光学装置を実現することができる。また、本発明の変倍光学系の製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成し、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群と前記第3レンズ群と前記第4レンズ群と前記第5レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第1レンズ群は像面に対して移動し、前記第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、前記第2レンズ群と前記第3レンズ群との間隔は減少し、前記第3レンズ群と前記第4レンズ群との間隔は変化し、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群との間隔は変化するように構成し、次の条件式1を満足することを特徴とする。16.500<f1/-f2<10.000ただし、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f2:前記第2レンズ群の焦点距離斯かる変倍光学系の製造方法により、充分に高い光学性能を備えた変倍光学系を製造することができる。数値実施例以下、本発明の数値実施例に係る変倍光学系を添付図面に基づいて説明する。第1実施例図1は、本発明の第1実施例に係る変倍光学系ZL1のレンズ構成を示す断面図である。図1に示すように、本実施例に係る変倍光学系ZL1は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成される。本実施例に係る変倍光学系ZL1は、広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との間隔は増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との間隔は減少する。また、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は物体側へ移動し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4と第5レンズ群G5とは単調に物体側へ移動する。また、第3レンズ群G3と第5レンズ群G5とは、像面Iに対して一体で移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第3レンズ群G3と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、両凸形状の正レンズL13とから構成される。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成され、第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成される。第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成され、第4レンズ群G4の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第5レンズ群G5は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成され、第5レンズ群G5の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズであり、L54レンズから射出した光線は像面Iに結像する。本第1実施例に係る変倍光学系ZL1は、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の像面側レンズ面面番号8と、両凹形状の負レンズL22の物体側レンズ面面番号9に、後述する反射防止膜が形成されている。以下の表1に、本発明の第1実施例に係る変倍光学系ZL1の諸元値を掲げる。表1中の[全体諸元]において、fは変倍光学系全体の焦点距離、FNOはFナンバー、ωは半画角単位:度、Yは像高、TLは無限遠合焦状態における第1レンズ群G1の最も物体側の面から像面Iまでのレンズ全長をそれぞれ示している。Wは広角端状態、Mは中間焦点距離状態、Tは望遠端状態の各焦点距離状態をそれぞれ示す。[面データ]において、面番号は物体側から数えたレンズ面の順番、rはレンズ面の曲率半径、dはレンズ面の間隔、ndはd線波長λ=587.6nmに対する屈折率、νdはd線波長λ=587.6nmに対するアッベ数をそれぞれ示している。また、物面は物体面、絞りは開口絞りS、像面は像面Iをそれぞれ示している。なお、曲率半径r=∞は平面を示し、空気の屈折率d=1.00000の記載は省略している。また、レンズ面が非球面である場合には面番号に印を付して曲率半径rの欄には近軸曲率半径を示している。[非球面データ]には、[面データ]に示した非球面について、その形状を次式で表した場合の近軸曲率半径r、円錐定数κ、および非球面係数A4~A10を示す。x=h2/r/[1{1-κh/r2}1/2]A4h4A6h6A8h8A10h10ここで、xは、面の頂点を基準としたときの光軸からの高さhの位置での光軸方向の変位である。また、E-nは×10-nを示し、例えば、1.234E-05は、1.234×10-5を示す。[可変間隔データ]には、焦点距離f、可変間隔、および開口絞り径φの値を示す。[レンズ群データ]には、各レンズ群の始面番号と焦点距離を示す。[条件式対応値]は各条件式の対応値をそれぞれ示す。ここで、表1に記載されている焦点距離fや曲率半径r、およびその他長さの単位は一般にmmが使われる。しかしながら光学系は、比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるため、これに限られるものではない。なお、以上に述べた表1の符号は、後述する各実施例の表においても同様に用いるものとする。表1第1実施例[全体諸元]WMTf18560801041554629157422FNO3605605872ω77911491542Y142014201420TL163296922255951025297281[面データ]面番号rdndνd物面∞∞1205091802000001882997407626752420907190145600091203-3614271001000047010040686700160300165465-24708379068476870015000155389038097739375012000018348074272817036706469709-4948220100000181600046621052140600150001131614905450801761820265612-444482011935013-2513580100000181600046621464503602421901808090227915-1665431016∞1000001763102203491301593190678718-50221500100001958682602722001487490704120-121434500100002148643204104201487490704122-34500801000001808090227923-2051599024-6696860100000169350153202526571202158101761820265626633384047873027-24704101000001729157546628-748636029-569794203960901589130611630-23535000100003137148505006001487490704132-451969017164033-10703630100000188299740763423362104501601548141457935-63755850像面∞[非球面データ]面番号:6κ10000A4=361880E-06A6=-610680E-09A8=-467380E-12A10=577660E-14面番号:24κ10000A4=381940E-06A6=-172450E-09A8=000000E00A10=000000E00面番号:29κ10000A4=-163630E-05A6=894380E-09A8=-298150E-11A10=287630E-14[可変間隔データ]WMTf18560801041554629157422D521467055860308053690D1534338301146250200000D2333875010669301183690D28944940216760100000BF391524270612808277641φ162018001990[レンズ群データ]始面焦点距離G1112210406G26-1586654G3162656694G424-2400147G5293381791[各条件式対応値]1f1/-f2=76962f3/-f4=11073f1/fw=65794f1/ft=04195-f2/ft=005446f3/ft=00911図2は、第1実施例に係る変倍光学系ZL1の無限遠合焦時における諸収差図であり、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示している。各収差図において、FNOはFナンバーを、Aは半画角単位:度をそれぞれ示している。また、図中のdはd線波長λ=587.6nmでの収差曲線を示し、gはg線波長λ=435.8nmでの収差曲線を示し、記載のないものはd線での収差曲線を示す。非点収差を示す収差図において実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示している。コマ収差を示す収差図は、各半画角において、d線およびg線に対するメリディオナルコマ収差を表している。なお、以下に示す各実施例の諸収差図においても、本実施例と同様の符号を用いる。各収差図から明らかなように、第1実施例に係る変倍光学系ZL1は、広角端状態から望遠端状態に亘って諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有することがわかる。図3において、物体側からの光線BMが図示のように変倍光学系に入射すると、両凹形状の負レンズL22における物体側のレンズ面第1番目のゴースト発生面であり、その面番号は9で反射し、その反射光は負メニスカスレンズL21における像側のレンズ面第2番目のゴースト発生面であり、その面番号は8で再度反射して像面Iに到達し、ゴーストを発生させてしまう。なお、第1番目のゴースト発生面9は、物体から見て凹形状のレンズ面、第2番目のゴースト発生面8は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストを効果的に低減させることができる。第2実施例図4は、本発明の第2実施例に係る変倍光学系ZL2のレンズ構成を示す断面図である。図4に示すように、本実施例に係る変倍光学系ZL2は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成される。本実施例に係る変倍光学系ZL2は、広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との間隔は増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との間隔は減少する。また、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は物体側へ移動し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4と第5レンズ群G5とは単調に物体側へ移動する。また、第3レンズ群G3と第5レンズ群G5とは、像面Iに対して一体で移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第3レンズ群G3と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成される。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成され、第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成される。第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成され、第4レンズ群G4の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第5レンズ群G5は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成され、第5レンズ群G5の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズであり、L54レンズから射出した光線は像面Iに結像する。本第2実施例に係る変倍光学系ZL2は、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の物体側レンズ面面番号4と、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の像面側のレンズ面面番号12に、後述する反射防止膜が形成されている。以下の表2に、本発明の第2実施例に係る変倍光学系ZL2の諸元値を掲げる。表2第2実施例[全体諸元]WMTf18523631045214329121725FNO3615695902ω77781484542Y142014201420TL164744202254886025139424[面データ]面番号rdndνd物面∞∞1186599602200001834000371726908900880000149782082563-494445450100004734022264500015931906787520167116068485000010000155389038097740219212000018348104272817097476950009-3797970100000181600046631077671270150001136265575300001784720256812-362655708000013-2569642100000181600046631466083002050001808090227915-6667036616∞1000001768307273400001593190678718-47995960100001968523672450001487490704520-136983920100002146526714200001487490704522-36164001000001808090227923-2029532824-55098400200001553890380925-5724715090000169680055522628151002150001728250284627877085643500028-26698771000001729160546629-764770730-333895004650001589130611831-24643950100003231196255850001487490704533-433888714500034-10971645100000188300040773520299205300001548140457936-80881321像面∞[非球面データ]面番号:6κ10000A4=313350E-06A6=473080E-10A8=-340500E-11A10=116620E-13面番号:24κ10000A4=524030E-06A6=-200730E-09A8=000000E00A10=000000E00面番号:30κ10000A4=-154020E-05A6=169500E-09A8=134490E-11A10=-207220E-13[可変間隔データ]WMTf18523631045214329121725D521570053256507694960D1533801401131350200000D2334565011601701304330D291058680244160100000BF394425071575308310134φ158017501960[レンズ群データ]始面焦点距離G1111896910G26-1562542G3162717463G424-2541506G5303439022[各条件式対応値]1f1/-f2=76142f3/-f4=10693f1/fw=64234f1/ft=04095-f2/ft=005376f3/ft=00933図5は、第2実施例に係る変倍光学系ZL2の無限遠合焦時における諸収差図であり、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示している。各収差図から明らかなように、第2実施例に係る変倍光学系ZL2は、広角端状態から望遠端状態に亘って諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有することがわかる。第3実施例図6は、本発明の第3実施例に係る変倍光学系ZL3のレンズ構成を示す断面図である。図6に示すように、本実施例に係る変倍光学系ZL3は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成される。本実施例に係る変倍光学系ZL3は、広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との間隔は増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との間隔は減少する。また、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は物体側へ移動し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4と第5レンズ群G5とは単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第3レンズ群G3と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成される。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成され、第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成される。第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成され、第4レンズ群G4の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第5レンズ群G5は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成され、第5レンズ群G5の最も物体側に位置する両凸形状の正レンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズであり、L54レンズから射出した光線は像面Iに結像する。本第3実施例に係る変倍光学系ZL3は、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL12の像面側レンズ面面番号3と、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の像面側レンズ面面番号12とに、後述する反射防止膜が形成されている。以下の表3に、本発明の第3実施例に係る変倍光学系ZL3の諸元値を掲げる。表3第3実施例[全体諸元]WMTf18560601046515029142454FNO3585625812ω77601488544Y142014201420TL164764352252889925061470[面データ]面番号rdndνd物面∞∞1175605602200001834000371626743020880000149782082523-587784800100004722710064500015931906787518261388068476870010000155389038097739375012000018348074272817187306950009-3698220100000181600046621077926300150001136634605300001784723256812-366346008000013-2619910100000181600046621463739602050001808090227915-6432706016∞1000001765836503400001593190678718-50154600100001965681702450001487490704120-154974300100002146733304200001487490704122-35783301000001808090227923-1919318024-57296600200001553890380925-5972500090000169679755522628510002150001728250284627919976041402028-32895401000001729157546629-14433150306427191904650001589130611831-27381800100003231477605850001487490704133-437539014500034-11358970100000188299740763520348105300001548141457936-70914530像面∞[非球面データ]面番号:6κ10000A4=288220E-06A6=-229350E-11A8=-235280E-11A10=921570E-14面番号:24κ10000A4=432780E-06A6=188460E-09A8=000000E00A10=000000E00面番号:30κ10000A4=-136170E-05A6=-355860E-10A8=183080E-11A10=-186790E-13[可変間隔データ]WMTf18560601046515029142454D521570053010007625220D1533363601130360200000D23346820964300962460D291183830266290100000BF388470573579298664770φ158017501960[レンズ群データ]始面焦点距離G1111772937G26-1560945G3162735473G424-2650041G5303520423[各条件式対応値]1f1/-f2=75422f3/-f4=10323f1/fw=63434f1/ft=04045-f2/ft=005366f3/ft=00939図7は、第3実施例に係る変倍光学系ZL3の無限遠合焦時における諸収差図であり、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示している各収差図から明らかなように、第3実施例に係る変倍光学系ZL3は、広角端状態から望遠端状態に亘って諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有することがわかる。第4実施例図8は、本発明の第4実施例に係る変倍光学系ZL4のレンズ構成を示す断面図である。図8に示すように、本実施例に係る変倍光学系ZL4は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5とから構成される。本実施例に係る変倍光学系ZL4は、広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との間隔は増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との間隔は減少する。また、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は一旦物体側へ移動した後、像側へ移動し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4と第5レンズ群G5とは単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第3レンズ群G3と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成される。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成され、第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と両凹形状の負レンズL34との接合レンズとから構成される。第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、両凹形状の負レンズL43とから構成され、第4レンズ群G4の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第5レンズ群G5は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成され、第5レンズ群G5の最も物体側に位置する両凸形状の正レンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズであり、L54レンズから射出した光線は像面Iに結像する。本第4実施形態に係る変倍光学系ZL4は、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の像面側レンズ面面番号8と、両凹形状の負レンズL22の物体側レンズ面面番号9とに、後述する反射防止膜が形成されている。以下の表4に、本発明の第4実施例に係る変倍光学系ZL4の諸元値を掲げる。表4第4実施例[全体諸元]WMTf18539901049989029097220FNO3636535762ω78031512550Y142014201420TL148479752234549824347962[面データ]面番号rdndνd物面∞∞1123687362000001850260323526401149749242149782082523-65450843010000462716065566141593190678753382169068610262015000155389038097741741610000018348074272814606715868429-3584059100000181600046621056140270100001130622374141271761820265612-342748210455713-2110387100000181600046621452828112373191808090227915-1755849516∞1000001747134203046381593190678718-88127400100001945400892990491487490704120-120668450100002134574983895241487490704122-497019810000018080902279232239029824-7373632100000169350153202528670602329161761820265626744388138368227-1420352910000017291575466286110071129180268562016081589130611630-89357550100003138359304600541487490704132-370637701000033-7714520100000188299740763426691124677281548141457935-6334628像面∞[非球面データ]面番号:6κ10000A4=823380E-06A6=-761930E-09A8=-162910E-11A10=310500E-13面番号:24κ10000A4=255060E-06A6=847220E-09A8=000000E00A10=000000E00面番号:29κ10000A4=-175960E-05A6=257870E-09A8=-164390E-10A10=418260E-13[可変間隔データ]WMTf18539901049989029097220D521000042815066617464D152913697915693200000D23371917341648287636D28989485231118150000BF38999751011263210629961φ164016401940[レンズ群データ]始面焦点距離G1110182826G26-1257853G3162611926G424-4123076G5294944213[各条件式対応値]1f1/-f2=80952f3/-f4=06333f1/fw=54924f1/ft=03505-f2/ft=004326f3/ft=00898図9は、第4実施例に係る変倍光学系ZL4の無限遠合焦時における諸収差図であり、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示している各収差図から明らかなように、第4実施例に係る変倍光学系ZL4は、広角端状態から望遠端状態に亘って諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有することがわかる。第5実施例図10は、本発明の第5実施例に係る変倍光学系ZL5のレンズ構成を示す断面図である。図10に示すように、本実施例に係る変倍光学系ZL5は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、負の屈折力を有する第4レンズ群G4と、正の屈折力を有する第5レンズ群G5と、負の屈折力を有する第6レンズ群G6とから構成される。本実施例に係る変倍光学系ZL5は、広角端状態Wから望遠端状態Tへの変倍に際し、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔は増大し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔は減少し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との間隔は増大し、第4レンズ群G4と第5レンズ群G5との間隔は減少し、第5レンズ群G5と第6レンズ群G6との間隔は増大する。また、像面Iに対して、第1レンズ群G1は単調に物体側へ移動し、第2レンズ群G2は物体側へ移動し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4と第5レンズ群G5と第6レンズ群G6とは単調に物体側へ移動する。開口絞りSは、第2レンズ群G2の像側にある第3レンズ群G3の最も物体側に配置され、第3レンズ群G3と一体で構成される。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸形状の正レンズL12との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とから構成される。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL21と、両凹形状の負レンズL22と、両凸形状の正レンズL23と、両凹形状の負レンズL24と両凸形状の正レンズL25との接合レンズとから構成され、第2レンズ群G2の最も物体側に位置する負メニスカスレンズL21は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズL31と、両凸形状の正レンズL32と、両凸形状の正レンズL33と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL34との接合レンズとから構成される。第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側から順に、両凹形状の負レンズL41と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL42との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL43とから構成され、第4レンズ群G4の最も物体側に位置する両凹形状の負レンズL41は、物体側のレンズ面に樹脂層を設けて非球面を形成した複合型非球面レンズである。第5レンズ群G5は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL51と、両凸形状の正レンズL52と、両凹形状の負レンズL53と両凸形状の正レンズL54との接合レンズとから構成され、第5レンズ群G5の最も物体側に位置する正メニスカスレンズL51は、物体側のレンズ面を非球面形状としたガラスモールド非球面レンズである。第6レンズ群G6は、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL61から構成され、L61から射出した光線は像面Iに結像する。本第5実施例に係る変倍光学系ZL5は、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の像面側レンズ面面番号5と、両凹形状の負レンズL24の物体側レンズ面面番号13とに、後述する反射防止膜が形成されている。以下の表5に、本発明の第5実施例ZL5に係る変倍光学系の諸元値を掲げる。表5第5実施例[全体諸元]WMTf18543041045368629120646FNO3625695892ω3885742271Y142014201420TL165552542262258525175712[面データ]面番号rdndνd物面∞∞1183812802200001834000371626869030880000149782082523-504738400100004730606064500015931906787520003232068476870010000155389038097739375012000018348074272817062006950009-3793160100000181600046621077231800150001136296705300001784723256812-362967008000013-2570960100000181600046621466954602050001808090227915-5899831016∞1000001767922203400001593190678718-48855600100001969845902450001487490704120-136550100100002147365104200001487490704122-36089601000001808090227923-2007347024-53535600200001553890380925-5564520090000169679755522628777502150001728250284627942002043184028-27432101000001729157546629-779613030-362459004650001589130611831-24871700100003231187505850001487490704133-433507014500034-10950450100000188299740763520357605300001548141457936-5929568037-685036101200001487490704138-186791160像面∞[非球面データ]面番号:6κ10000A4=314000E-06A6=515000E-10A8=-339000E-11A10=115000E-13面番号:24κ10000A4=516000E-06A6=-144000E-09A8=000000E00A10=000000E00面番号:30κ10000A4=-153000E-05A6=953000E-10A8=181000E-11A10=-221000E-13[可変間隔データ]WMTf18543041045368629120646D521570053008607640530D1533962501143850200000D2334770011575601301220D291053510243660100000D361000005004901010370BF379525466293257276752φ158017501960[レンズ群データ]始面焦点距離G1111823472G26-1562566G3162750442G424-2594244G5303427114G637-221977745[各条件式対応値]1f1/-f2=75672f3/-f4=10603f1/fw=63764f1/ft=04065-f2/ft=005376f3/ft=00944図11は、第5実施例に係る変倍光学系ZL5の無限遠合焦時における諸収差図であり、aは広角端状態、bは中間焦点距離状態、cは望遠端状態をそれぞれ示している各収差図から明らかなように、第5実施例に係る変倍光学系ZL5は、広角端状態から望遠端状態に亘って諸収差が良好に補正され、高い光学性能を有することがわかる。ここで、本願の変倍光学系に用いられる反射防止膜多層広帯域反射防止膜とも言う。について説明する。図14は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜101は7層からなり、レンズ等の光学部材102の光学面に形成される。第1層101aは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第1層101aの上にさらに真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムとの混合物からなる第2相101bが形成される。さらに、この第2層101bの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第3層101cが形成され、この第3層101cの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムとの混合物からなる第4層101dが形成される。また、さらに、この第4層101dの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第5層101eが形成され、この第5層101eの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムとの混合物からなる第6層101fが形成される。そしてこのように形成された第6層101fの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカとの混合物からなる第7層101gが形成されて本実施形態の反射防止膜101が形成される。第7層101gの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル-ゲル法を用いている。ゾル-ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を精製することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル-ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしても良い。このように、反射防止膜101の第1層101a~第6層101fまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第7層101gは、フッ酸/酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面上述の光学部材102の光学面に真空蒸着装置を用いて第1層101aとなる酸化アルミニウム層、第2相101bとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第3層101cとなる酸化アルミニウム層、第4層101dとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第5層101eとなる酸化アルミニウム層、第6層101fとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材102を取り出した後、フッ酸/酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第7層101gとなるフッ化マグネシウムとシリカとの混合物からなる層を形成する。フッ酸/酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式aに示す。a2HFMgCH3COO2→MgF22CH3COOHこの成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで140°C、24時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材102は、第7層101gの成膜終了後、大気中で160°C、1時間加熱処理して完成される。このようなゾル-ゲル法を用いることにより、大きさが数nmから数十nmの粒子が空隙を残して堆積することにより第7層101gが形成される。このようにして形成された反射防止膜101を有する光学部材の光学的性能について図15に示す分光特性を用いて説明する。本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材レンズは、以下の表6に示す条件で形成されている。ここで表6は、基準波長をλとし、基板の屈折率光学部材が1.62、1.74および1.85について反射防止膜101の各層101a第1層~101g第7層の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表6では、酸化アルミニウムをAl203、酸化チタンと酸化ジルコニウムとの混合物をZr02Ti02、フッ化マグネシウムとシリカとの混合物をMgF2Si02とそれぞれ表している。表6物質屈折率光学膜厚光学膜厚光学膜厚媒質空気1第7層MgF2Si021260268λ0271λ0269λ第6層Zr02Ti022120057λ0054λ0059λ第5層Al2031650171λ0178λ0162λ第4層Zr02Ti022120127λ013λ0158λ第3層Al2031650122λ0107λ008λ第2層Zr02Ti022120059λ0075λ0105λ第1層Al2031650257λ003λ003λ基板の屈折率162174185図15は、表6において基準波長λを550nmとして反射防止膜101の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射するときの分光特性を表している。図15から、基準波長λを550nmで設計した反射防止膜101を有する光学部材は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率を0.2以下に抑えられることがわかる。また、表6において基準波長λをd線波長587.6nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜101を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図15に示す基準波長λが550nmの場合とほぼ同等の分光特性を有する。次に、本反射防止幕の変形例について説明する。この反射防止膜は5層からなり、表6と同様、以下の表7で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、5層の形成に前述のゾル-ゲル法を用いている。表7物質屈折率光学膜厚光学膜厚媒質空気1第5層MgF2Si021260275λ0269λ第4層Zr02Ti022120045λ0043λ第3層Al2031650212λ0217λ第2層Zr02Ti022120077λ0066λ第1層Al2031650288λ0290λ基板の屈折率146152図16は、表7において、基板の屈折率が1.52および基準波長λを550nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射するときの分光特性を示している。図16から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率が0.2以下に抑えられることがわかる。なお、表7において基準波長λをd線587.6nmとして各光学膜厚を設計した反射防止幕を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図16に示す分光特性とほぼ同等の特性を有する。図17は、図16に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図16、図17には表7に示す基板の屈折率が1.46の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が1.52とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。また比較のため、図18に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図18は、表7と同じ基板の屈折率1.52に以下の表8で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図19は、図18に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。表8物質屈折率光学膜厚媒質空気1第7層MgF21390243λ第6層Zr02Ti022120119λ第5層Al2031650057λ第4層Zr02Ti022120220λ第3層Al2031650064λ第2層Zr02Ti022120057λ第1層Al2031650193λ基板の屈折率152図15~図17で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図18および図19で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を示し、しかもより広い帯域を有することが良くわかる。次に、本願の第1実施例から第5実施例に、上記表6および表7に示す反射防止膜を適用した例について説明する。本第1実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表1に示すように、nd=1.834807であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22の屈折率は、nd=1.816000であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表6参照を用い、両凹形状の負レンズL22の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第2実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表2に示すように、nd=1.593190であり、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の屈折率は、nd=1.784720であるため、正メニスカスレンズL13における物体側のレンズ面に基板の屈折率が1.62に対応する反射防止膜101表6参照を用い、両凸形状の正レンズL23の像面側のレンズ面に、基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第3実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の両凸形状の正レンズL12の屈折率は、表3に示すように、nd=1.497820であり、第2レンズ群G2の両凸形状の正レンズL23の屈折率は、nd=1.784723であるため、両凸形状の正レンズL12における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.52に対応する反射防止膜101表7参照を用い、両凸形状の正レンズL23の像面側のレンズ面に、基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第4実施例の変倍光学系において、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表4に示すように、nd=1.834807であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL22の屈折率は、nd=1.816000であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表6参照を用い、両凹形状の負レンズL22の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。本第5実施例の変倍光学系において、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL13の屈折率は、表5に示すように、nd=1.593190であり、第2レンズ群G2の両凹形状の負レンズL24の屈折率は、nd=1.816000であるため、正メニスカスレンズL13における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.62に対応する反射防止膜101表6参照を用い、両凹形状の負レンズL24の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。以上説明したように、上記各実施例によれば、高い光学性能を有する変倍光学系を実現することができる。ここで、上記各実施例は本発明の一具体例を示しているものであり、本発明はこれらに限定されるものではない。以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用することが可能である。本発明の変倍光学系の数値実施例として5群または6群構成のものを示したが、本発明はこれに限られず、他の群構成例えば7群等の変倍光学系を構成することも可能である。具体的には、本発明の変倍光学系の最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。なお、レンズ群とは、空気間隔で分離された少なくとも1枚のレンズを有する部分を示す。また、本発明の変倍光学系は、無限遠物体から近距離物体への合焦を行うために、レンズ群の一部、1つのレンズ群全体、あるいは複数のレンズ群を合焦レンズ群として光軸方向へ移動させる構成としても良い。合焦レンズ群は、オートフォーカスに適用することも可能であり、オートフォーカス用のモータ、例えば超音波モータ等による駆動にも適している。特に第2レンズ群の少なくとも一部を合焦レンズ群とすることが好ましい。また、本発明の変倍光学系において、何れかのレンズ群全体またはその一部を、防振レンズ群として光軸に直交する方向の成分を含むように移動させ、または光軸を含む面内方向へ回転移動揺動させることで、手ブレによって生じる像ブレを補正する構成とすることもできる。特に、第4レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とすることが好ましい。また、本発明の変倍光学系を構成するレンズのレンズ面は、球面または平面としても良く、あるいは非球面としても良い。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工および組立調整が容易になり、レンズ加工および組立調整の誤差による光学性能の劣化を防止することができるため好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないため好ましい。レンズ面が非球面の場合、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に成型したガラスモールド非球面、またはガラス表面に設けた樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも良い。また、レンズ面は回折面としても良く、レンズを屈折率分布型レンズGRINレンズあるいはプラスチックレンズとしても良い。また、本発明の変倍光学系の開口絞りSは第3レンズ群近傍に配置されることが好ましいが、開口絞りとして部材を設けずにレンズ枠でその役割を代用しても良い。次に、本発明の変倍光学系ZLを備えた光学装置について説明する。図12は、本発明の変倍光学系を備えたデジタル一眼レフカメラの概略を示す断面図である。図12に示すデジタル一眼レフカメラ1において、図示しない物体被写体からの光は、変倍光学系ZLで集光されて、クイックリターンミラー3を介して集点板5に結像される。そして、集点板5に結像された光は、ペンタプリズム7中で複数回反射されて接眼レンズ9へと導かれる。これにより、撮影者は、物体被写体像を接眼レンズ9を介して正立像として観察することができる。また、撮影者によって図示しないレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー3が光路外へ退避し、変倍光学系ZLで集光された物体被写体の光は撮像素子11上に被写体像を形成する。これにより、物体からの光は、撮像素子11により撮像され、物体画像としてメモリ図示省略に記憶される。このようにして、撮影者はカメラ1による物体の撮影を行うことができる。以上の構成により、本発明に係る変倍光学系ZLを備えたデジタル一眼レフカメラ1は、諸収差を良好に補正し、高い光学性能を実現することができる。なお、図11のカメラ1は、撮影レンズを着脱可能に保持するものでも良く、撮影レンズと一体に成形されるものでも良い。また、カメラは、一眼レフカメラでも良く、クイックリターンミラー等を有さないカメラでも良い。次に、本発明の変倍光学系ZLの製造方法について説明する。図13は、本発明に係る変倍光学系ZLの製造方法の概略を示す図である。本発明の変倍光学系ZLの製造方法は、光軸に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、正の屈折力を有する第5レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、図13に示すように、以下の各ステップS1~S3を含むものである。ステップS1:第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むように構成する。ステップS2:第1レンズ群と第2レンズ群と第3レンズ群と第4レンズ群と第5レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、第1レンズ群は像面に対して移動し、第1レンズ群と第2レンズ群との間隔は増大し、第2レンズ群と第3レンズ群との間隔は減少し、第3レンズ群と第4レンズ群との間隔は変化し、第4レンズ群と第5レンズ群との間隔は変化するように構成する。ステップS3:次の条件式1を満足するようにする16.500<f1/-f2<10.000ただし、f1:前記第1レンズ群の焦点距離f2:前記第2レンズ群の焦点距離斯かる本発明の変倍光学系の製造方法によれば、ゴーストやフレアを低減させ、高い光学性能を備えた変倍光学系を製造することができる。