化学気相合成法によって、基板表面にカーボンナノチューブ垂直配向膜を形成し、そのカーボンナノチューブ垂直配向膜からカーボンナノチューブ集合体を製造する方法において、前記カーボンナノチューブ垂直配向膜を形成した後に、気相エッチングによって、前記カーボンナノチューブ垂直配向膜の上部を除去することを特徴とするカーボンナノチューブ集合体の製造方法。前記気相エッチングの際に、前記基板上の前記カーボンナノチューブ垂直配向膜を下方、斜め下方、又は横方向に向けて配置することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。前記カーボンナノチューブ垂直配向膜を構成するカーボンナノチューブの先端を開口する程度に、前記気相エッチングを行うことを特徴とする請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。前記気相エッチングは、酸素プラズマによるエッチングであることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。前記カーボンナノチューブ集合体は、カーボンナノチューブ紡績糸又はカーボンナノチューブシートであることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。多数のカーボンナノチューブが密集した集合体であるカーボンナノチューブ集合体において、前記カーボンナノチューブは、軸方向の両端が開口した構造を有することを特徴とするカーボンナノチューブ集合体。前記カーボンナノチューブ集合体は、前記請求項3又は4に記載の製造方法により製造されたものであることを特徴とする請求項6に記載のカーボンナノチューブ集合体。前記カーボンナノチューブ集合体は、カーボンナノチューブ紡績糸又はカーボンナノチューブシートであることを特徴とする請求項6又は7に記載のカーボンナノチューブ集合体。しかしながら、上述した従来技術では、図10bに示す様に、CNTは合成初期には方向が乱れた状態で成長を開始し、その後、基板面には垂直方向しか自由度が無いため基板の垂直方向に成長するので、下記の様な問題があった。即ち、CNTが密集して成長したCNT垂直配向膜の上部図11a参照は、その中間部図11b参照に比べて、方向が乱れた結晶欠陥の多いCNTから構成されており、一部にはCNT先端成長により先端部に触媒金属を含んだもの、さらには、成長初期に基板から剥がれた触媒金属も付着している図11aの左下の写真参照。なお、図11は、倍率3万倍の電子顕微鏡写真であり、このうち、図11aの左下の写真は要部を30万倍に拡大した電子顕微鏡写真である。そのため、この様な構造のCNT垂直配向膜から製造したCNT紡績糸には、触媒金属が混ざるとともに欠陥の多いCNT部位を含んでおり、その結果、このCNT紡績糸で各種の製品例えばCNT紡績糸で編んだ織布などを製造した場合には、熱伝導性や電気伝導度が所望の特性とは異なるという問題や、機械的強度が低下するという問題があった。本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、触媒金属の含有を抑制し、結晶性の高い部位のCNTから構成されるCNT集合体及びその製造方法を提供することにある。1請求項1の発明は、化学気相合成法によって、基板表面にCNT垂直配向膜を形成し、そのCNT垂直配向膜からCNT集合体を製造する方法において、前記CNT垂直配向膜を形成した後に、気相エッチングによって、前記CNT垂直配向膜の上部を除去することを特徴とする。本発明は、基板上に形成したCNT垂直配向膜の上部を気相エッチングによって除去するので、CNT垂直配向膜の上部の結晶欠陥を多く含む部分のCNTや、先端に触媒金属を含む部分のCNT、さらには、CNT垂直配向膜の上部に付着した触媒金属を効果的に除去することができる。従って、この欠陥の多い上部が除去されたCNT垂直配向膜には、触媒金属が殆ど含まれず、しかもCNTの形状向きや太さが揃ったものとなるので、CNT垂直配向膜から例えばCNT紡績糸等のCNT集合体を製造すると、所望の熱伝導性や電気伝導度を得ることができるとともに、高い機械的強度も得ることができる。2請求項2の発明では、前記気相エッチングの際に、前記基板上の前記CNT垂直配向膜を下方、斜め下方、又は横方向に向けて配置することを特徴とする。本発明では、CNT垂直配向膜を下方や斜め下方や横方向に向けるので、CNT垂直配向膜の上部を気相エッチングによって除去した際に、除去した部分に付着していた触媒金属を、重力によって効果的に下方に脱落させることができる。これにより、気相エッチングの際に、触媒金属がCNT垂直配向膜に再付着することを防止できる。3請求項3の発明では、前記CNT垂直配向膜を構成するCNTの先端を開口する程度に、前記気相エッチングを行うことを特徴とする。CNTは中空の糸状体であるので、基板からCNTを分離する際には、CNTの基板側の端部が開口する。従って、本発明の様に、気相エッチングにより先端側を開口する場合には、基板からCNTを分離する際に、CNTの両側が開口した中空のパイプ状にすることができる。従って、この両端が開口したCNTを用いて例えばCNT紡績糸の様なCNT集合体を製造する場合には、CNT集合体の有効に利用できる表面積を大きくすることができる。なお、この有効に利用できる表面積とは、例えばCNT集合体を吸着剤やキャパシタ電極として利用する場合の様に、CNTの内側や外側に気体や液体を導入して反応を行う場合に、実質的に導入や排出される気体や液体に接触できる表面積である。つまり、一方のみが開口しているCNTの場合には、細径なチューブの内側に気体や液体は殆ど流れ込まないので、実質的には、CNTの外側表面が有効に利用できる表面積となる。また、CNTの先端が開口する程度としては、CNT垂直配向膜の表面からCNT直径長さ以上除去すればよく、この程度除去すれば、CNT垂直配向膜における各CNTの上部は、通常、80以上開口する。なお、開口の程度としては、多いほど良いが、90以上が好ましい。4請求項4の発明では、前記気相エッチングは、酸素プラズマによるエッチングであることを特徴とする。本発明は、好ましい気相エッチングを例示したものである。本発明者らの実験によれば、酸素プラズマによるエッチングでCNT垂直配向膜集合体の上部を除去したものから、好適にCNT紡績糸を製造することができた。なお、酸素プラズマによるエッチング以外の方法としては、例えば酸素雰囲気下での紫外線照射やレーザー光線による切断が考えられる。5請求項5の発明では、前記CNT集合体は、CNT紡績糸又はCNTシートであることを特徴とする。本発明は、CNT集合体を例示したものである。なお、CNT紡績糸から織布などを製造することができる。6請求項6の発明は、多数のCNTが密集した集合体であるCNT集合体において、前記CNTは、軸方向の両端が開口した構造を有することを特徴とする。本発明のCNT集合体は、両端が開口したCNTが集合したものであるので、その有効に利用できる表面積は、従来の先端側が閉塞したCNTからなるCNT集合体より大きい。従って、この様な構造のCNT集合体は、有効な表面積が多いので、気体の吸着や電荷の蓄積が増大する効果がある。ここで、CNT集合体を構成するCNTは、全てのCNTの両端が開口していることが望ましいが、両端が開口しているCNTの割合は、少なくとも80以上、更に好ましくは90以上であればよい。なお、このCNT集合体として、CNTの軸方向が所定方向特に一定方向に揃ったものが好ましい。例えばCNT紡績糸においては、各CNTは螺旋方向に撚る方向が揃っており、CNT紡績糸全体としては、軸方向に揃っている。7請求項7の発明では、前記CNT集合体は、前記請求項3又は4に記載の製造方法により製造されたものであることを特徴とする。8請求項8の発明では、前記CNT集合体は、CNT紡績糸又はCNTシートであることを特徴とする。本発明は、CNT集合体を例示したものである。次に、本発明のCNT集合体及びその製造方法ついて、図面に基づいて説明する。ここでは、CNTが多数集合したCNT集合体としてCNT紡績糸を例に挙げて説明する。a以下に、本実施例のCNT紡績糸の製造方法について説明する。<CNTを形成するための基板を作製する工程>まず、直径6インチ、厚さ650μmのP型シリコン基板を熱酸化して、その表面に厚さ100nmの酸化膜を形成した。酸化膜の厚みは、走査型電子顕微鏡を用いて測定した。次に、スパッタリング装置を用いて、基板の表面熱酸化膜上に、Fe-Alからなる触媒金属層を形成した。例えば、組成比Fe/Al=0.58のFe-Al合金からなる膜厚が3.0nmの触媒金属層を形成した。なお、この触媒金属層の形成の際には、特願2010-164118号に開示されているように、例えばAlのターゲットの上にFeのターゲットを乗せ、それらの面積比を変えることにより、Fe-Al層の組成比を調整した。また、膜厚は、スパッタリングの実施時間により調整した。<触媒金属層を形成した基板上にCNTを形成する工程>まず、触媒金属層を形成した基板を電気炉図示せずに挿入し、電気炉内に、水蒸気、アルゴン、及び水素を流した。アルゴンの流量は300cc/minとし、水素の流量は50cc/minとし、水蒸気の流量は、電気炉から出たArガス中に占める水蒸気濃度が60ppmとなる量とした。その状態で電気炉内を昇温してゆき、CNT合成温度700°Cに達した後、電気炉内にエチレンガスを10cc/minの流量で流し、基板上にCNTを合成した。合成時間は10分間とした。合成終了後、電子顕微鏡で基板上を観察したところ、基板上にて全面にわたりCNTが合成され、CNT垂直配向膜が形成されていることが確認できた。つまり、合成されたCNTは、その一端が基板に固定されており、基板に対して垂直方向に均一に配向して、全体として膜状となっていた。また、個々のCNTの直径は10~30nm程度であり、CNTの長さはほぼ揃っており平均で約200μmであった。なお、CNTの長さは、約100~800μmの範囲で、合成時間等により適宜調節が可能である。このCNT垂直配向膜は、前記図11aの写真及び図1aに模式的に示す様に、その上部のCNTの方向は乱れており、上部の各所に触媒金属が含まれていた。<CNT垂直配向膜のエッチングの工程>次に、上述した様にして形成されたCNT垂直配向膜の上部を、酸素プラズマエッチング気相エッチング:ドライエッチングにより除去した。具体的には、CNT垂直配向膜が形成された基板を、図2に示す様に、酸素プラズマエッチング装置日立ハイテクノジーズ製プラズマクリーナM10201の反応室3内に入れた。このとき、CNT垂直配向膜が下方に向く様に配置した。そして、酸素プラズマエッチング装置1の反応室3内を真空状態とした後に、アルゴンで20体積に希釈した酸素を流し、真空度を10mtorrとした後、13.56MHzの周波数で、300Wのマイクロ波を投入し、4分間エッチングを行った。この酸素プラズマエッチングによって、CNTの上部先端部分では、CNTを構成するカーボンと酸素とが反応してCOやCO2の気体となって揮散する。これにより、図1bに模式的に示す様に、CNT垂直配向膜の上部が20μm程度除去された。このCNT垂直配向膜の上部を上方から撮影した写真を図3に示すが、CNT垂直配向膜の上部のCNTの乱れた部分欠陥部分がきれいに除去されていた。なお、図3は倍率5千倍の電子顕微鏡写真であり、このうち、図3の左下の写真は要部を10万倍に拡大した電子顕微鏡写真である。そして、このCNTの上部の揮散によって、CNTに保持されていた触媒金属は脱落することになるが、上述した様に、CNT垂直配向膜は下方に向いているので、触媒金属は重力によって下方に落下して、CNT垂直配向膜から好適に取り除かれる。また、各CNTは、図4aに示す様に、先端が閉じた中空の糸状体であるので、その先端が酸素プラズマエッチングによって除去されることにより、図4bに示す様に、先端が開口した状態となる。なお、後述する様に、CNTが基板から分離することにより、図4cに示す様に、CNTは、先端側と後端側の両側が開口したパイプ状となる。<CNT紡績糸の形成工程>次に、図5及び図6に示すように、基板上のCNT垂直配向膜の端部基板に沿った帯状の端部に粘着テープを貼り付けて、CNTを基板表面に沿って引き出すとともに、1方向に回転させることにより、図7に示す様な多数のCNTが撚りあわされたCNT紡績糸を作製した。なお、図5は、倍率1万倍の電子顕微鏡写真である。この様にして作製されたCNT紡績糸においては、各CNTは同様な方向捻られながら螺旋状に伸びている方向に伸びているので、その両端の開口も同様な方向に沿って開口していることになる。その後、特許第4003476号公報に記載の様に、CNT紡績糸の形態を安定化する処理を行った。具体的には、CNT紡績糸に、例えばエタノール等の有機溶媒を加えた後に、自然乾燥させた。これによって、形態が安定したCNT紡績糸が得られた。bこの様に、本実施例では、基板上に形成したCNT垂直配向膜の上部を気相エッチングによって除去するので、CNT垂直配向膜の上部の結晶欠陥を多く含むCNT部分や、CNT垂直配向膜の上部に付着した触媒金属を効果的に除去することができる。従って、この上部が除去されたCNT垂直配向膜には、触媒金属が殆ど含まれず、しかも結晶性の良いCNTからなるので、CNT垂直配向膜からCNT紡績糸を製造すると、所望の熱伝導性や電気伝導度を得ることができるとともに、高い機械的強度も得ることができる。また、本実施例では、酸素プラズマエッチングの際に、基板をCNT垂直配向膜を下方に向けて配置するので、CNT垂直配向膜の上部に付着していた触媒金属を効果的に下方に脱落させることができる。これにより、触媒金属がCNT垂直配向膜に再付着することを防止できる。更に、本実施例では、酸素プラズマエッチングによって、CNT垂直配向膜の上部を除去することにより、各CNTの先端を開口するので、CNT垂直配向膜からCNTを分離する際に、CNTの両側が開口したパイプ状にすることができる。従って、この両端が開口したパイプ状のCNTを用いてCNT紡績糸を製造する場合には、CNT紡績糸の有効に利用できる表面積を大きくすることができる。この有効な表面積が大きなCNT紡績糸を用いて例えば織布等の製品を製造すると、ガス吸着量や電荷の蓄積量を増大できる利点がある。次に、実施例2について説明するが、前記実施例1と同様な内容の説明は省略する。本実施例は、CNT集合体としてCNTシートを製造する方法に関するものである。本実施例では、基板上にCNT垂直配向膜を形成するまでは、前記実施例1と同様である。その後、図8aに示す様に、基板上のCNT垂直配向膜の端部に粘着テープを貼り付けて、CNTを基板表面に沿ってシート状に引き出し、CNTシートを作製した。更に、図8bに示す様に、CNTシートの一方の側に基板フィルムを貼り付けて、CNT積層シートを作製した。本実施例でも、前記実施例1と同様な効果を奏する。尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。1例えば、前記実施例では、反応室内において、CNT垂直配向膜を下方に向くように配置したが、図9aに示す様に、CNT垂直配向膜を横方向水平方向に向くように配置してもよい。また、図9bに示す様に、CNT垂直配向膜を斜め下方に向くように配置してよい。2前記実施例では、気相エッチングとして、酸素プラズマエッチングを例に挙げたが、それ以外に、例えば酸素を含む雰囲気下で紫外線による酸化を用いてもよいし、レーザー光線を用いて切断しても良い。