ファセットミラーデバイスであって、ファセット素子と、支持デバイスと、締付デバイスと、を備え、前記ファセット素子は第1支持部を備え、前記支持デバイスは、前記第1支持部に接触して前記ファセット素子を支持する第2支持部を備え、前記締付デバイスは緊張要素を備え、該緊張要素の第1端は前記ファセット素子に接続され、前記緊張要素の第2端はカウンタユニットに接続され、該カウンタユニットは第3支持部を備え、前記支持デバイスは、前記第3支持部に接触して前記カウンタユニットを支持する第4支持部を備え、前記緊張要素は、締付状態で、前記第1支持部及び前記第2支持部が締付方向に相互に押し合わさると共に前記第3支持部及び前記第4支持部が前記締付方向に相互に押し合わさって締付力により前記ファセット素子を所与の位置及び向きに締め付けるよう引張応力下にあり、前記第1支持部及び前記第2支持部は、前記第1支持部と前記第2支持部との間の相対運動の少なくとも第1回転軸を規定し、該第1回転軸は、前記締付方向を横断する第1平面内に延び、前記第3支持部及び前記第4支持部は、前記第3支持部と前記第4支持部との間の相対運動の第2回転軸を規定し、該第2回転軸は、前記締付方向を横断する第2平面内に延び、前記第1回転軸及び前記第2回転軸は少なくとも相互の近くに位置付けられるファセットミラーデバイス。請求項1に記載のファセットミラーデバイスにおいて、少なくとも、前記第1回転軸及び前記第2回転軸は実質的に一致するか、又は前記第1回転軸及び前記第2回転軸は実質的に平行であるファセットミラーデバイス。請求項1又は2に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記第1支持部及び前記第2支持部は、前記第1支持部と前記第2支持部との間の前記相対運動の第1回転中心を規定し、前記第3支持部及び前記第4支持部は、前記第3支持部と前記第4支持部との間の前記相対運動の第2回転中心を規定し、前記第1回転中心及び前記第2回転中心は、少なくとも相互の近くに位置付けられるファセットミラーデバイス。請求項3に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記第1回転中心及び前記第2回転中心は実質的に一致するファセットミラーデバイス。請求項1~4のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、少なくとも、前記第1支持部及び前記第2支持部の少なくとも一方は、湾曲接触面、特に球面状接触面を有し、前記湾曲接触面は前記第1回転軸を規定するか、又は前記第3支持部及び前記第4支持部の少なくとも一方は、湾曲接触面、特に球面状接触面を有し、前記湾曲接触面は前記第2回転軸を規定するファセットミラーデバイス。請求項1~5のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記ファセット素子は、第5支持部を形成するファセット本体と、前記第1支持部を形成する中間要素と、前記第5支持部に接触する第6支持部とを備え、前記カウンタユニットは、第7支持部を形成する第1カウンタ要素と、前記第3支持部を形成する第2カウンタ要素と、前記第7支持部に接触する第8支持部とを備え、前記緊張要素は、前記締付状態で、前記第5支持部及び前記第6支持部が前記締付方向に相互に押し合わさると共に前記第7支持部及び前記第8支持部が前記締付方向に相互に押し合わさって前記締付力により前記ファセット本体を所与の位置及び向きに締め付けるよう引張応力下にあるファセットミラーデバイス。請求項1~6のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、少なくとも、前記第5支持部及び前記第6支持部の少なくとも一方は、実質的に平面状の接触面を有するか、又は前記第7支持部及び前記第8支持部の少なくとも一方は、実質的に平面状の接触面を有するファセットミラーデバイス。請求項1~7のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記支持デバイスは、前記第2支持部及び前記第4支持部を接続するコネクタ部を備え、前記コネクタ部は前記緊張要素を収容し、前記コネクタ部は、特に実質的管状部であるファセットミラーデバイス。請求項8に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記コネクタ部は、前記緊張要素を収容し且つ実質的に流体密封のチャンバ壁を有するチャンバを形成し、該チャンバは、前記第1支持部及び前記第3支持部により閉じられるファセットミラーデバイス。請求項9に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記第1支持部、前記第3支持部、及び前記コネクタ部の少なくとも1つは、前記チャンバを加圧デバイスに接続する加圧コネクタを有し、前記加圧デバイスは、前記ファセットミラーデバイスの取付状態で、前記チャンバを加圧して前記第1支持部及び前記第2支持部並びに前記第3支持部及び前記第4支持部の少なくとも1つを前記締付力から解放するファセットミラーデバイス。請求項1~10のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記カウンタユニットは、前記締付力の少なくとも一部を発生させるばねデバイスを介して前記緊張要素に接続されるファセットミラーデバイス。請求項1~11のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記第2支持部は、少なくとも1つの連結要素を介して前記支持デバイスのベースユニットに可動に接続されるファセットミラーデバイス。請求項12に記載のファセットミラーデバイスにおいて、少なくとも、前記連結要素は可撓性要素を含むか、又は前記連結要素は、板ばね要素及び膜要素の一方を含むか、又は前記連結要素は、前記ベースユニットに回転可能に接続されるか、又は前記連結要素は、前記第2支持部及び前記ベースユニットの少なくとも一方に一体接続されるファセットミラーデバイス。請求項1~13のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記第1回転軸及び前記第2回転軸は、前記ファセット素子の光学面の少なくとも近くに位置付けられるファセットミラーデバイス。請求項1~14のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記ファセット素子は、少なくとも1つの曲率中心を規定する湾曲光学面を有し、前記第1回転軸及び前記第2回転軸は、前記光学面の前記曲率中心の少なくとも近くに位置付けられるファセットミラーデバイス。請求項1~15のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記ファセット素子は、ケイ素Si、炭化ケイ素SiC、石英SiO2、ニッケルめっき銅、アルミニウムAl、及び鋼からなる第1材料群から選択される第1材料でできており、前記支持デバイスは、炭化ケイ素SiC、ケイ素含浸炭化ケイ素SiSiC、炭化タングステンWC、銅Cu、アルミニウムAl、及び鋼からなる第2材料群から選択される第2材料でできているファセットミラーデバイス。ファセットミラーデバイスのファセット素子を支持する方法であって、ファセット素子、支持デバイス、及び締付デバイスを設けるステップであり、前記ファセット素子は第1支持部を備え、前記支持デバイスは前記第1支持部に接触して前記ファセット素子を支持する第2支持部を備えるステップと、前記締付デバイスの緊張要素の第1端を前記ファセット素子に接続し、前記緊張要素の第2端を前記締付デバイスのカウンタユニットに接続するステップであり、該カウンタユニットは、前記支持デバイスの第4支持部に接触する第3支持部を備えるステップと、締付ステップにおいて、前記第1支持部及び前記第2支持部が締付方向に相互に押し合わさると共に前記第3支持部及び前記第4支持部が前記締付方向に相互に押し合わさって締付力により前記ファセット素子をその位置及び向きに締め付けるよう、前記緊張要素に引張応力をかけるステップと、調整ステップにおいて、前記第1支持部及び前記第2支持部並びに前記第3支持部及び前記第4支持部の少なくとも1つを前記締付力から解放し、前記ファセット素子を所与の位置及び所与の向きに調整するステップとを含む方法。請求項17に記載の方法において、前記第1支持部及び前記第3支持部により画成されたチャンバを加圧して、前記第1支持部及び前記第2支持部並びに前記第3支持部及び前記第4支持部の少なくとも1つを前記締付力から解放する方法。請求項18に記載の方法において、前記チャンバを加圧するために、加圧流体を前記チャンバに供給し、少なくとも、第1隙間が前記第1支持部と前記第2支持部との間に形成されて前記第1支持部と前記第2支持部との間の実質的に無摩擦の相対運動を可能にするか、又は第2隙間が前記第3支持部と前記第4支持部との間に形成されて前記第3支持部と前記第4支持部との間の実質的に無摩擦の相対運動を可能にするように、前記加圧流体の圧力及び流量の少なくとも一方を選択し、前記加圧流体は、特に、前記チャンバから前記第1隙間及び前記第2隙間の少なくとも一方を通って漏れる方法。請求項17~19のいずれか1項に記載の方法において、前記調整ステップにおいて、少なくとも、マニピュレータを用いて前記調整を行い、前記マニピュレータは、前記ファセット素子の前面及び側面の少なくとも一方と相互作用するか、又はマニピュレータを用いて前記調整を行い、前記マニピュレータは、触覚マニピュレータ、圧電マニピュレータ、片持ちばねマニピュレータ、非接触音響マニピュレータ、及び非接触空気圧マニピュレータからなるマニピュレータ群から選択されるか、又は測定ユニットを用いて前記ファセット素子の実際の調整を表す信号を提供し、前記測定ユニットは、前記ファセット素子の表面に接触する触覚測定ユニット、前記ファセット素子と協働する非接触測定ユニット、及び前記ファセット素子の反射面部と協働する光学測定からなる測定ユニット群から選択される方法。ファセットミラーデバイスであって、ファセット素子と、支持デバイスと、締付デバイスとを備え、前記ファセット素子は第1支持部を備え、前記支持デバイスは、前記第1支持部に接触して前記ファセット素子を支持する第2支持部を備え、前記締付デバイスは緊張要素を備え、該緊張要素の第1端は前記ファセット素子に接続され、前記緊張要素の第2端はカウンタユニットに接続され、該カウンタユニットは第3支持部を備え、前記支持デバイスは、前記第3支持部に接触して前記カウンタユニットを支持する第4支持部を備え、前記緊張要素は、締付状態で、前記第1支持部及び前記第2支持部が相互に押し合わさると共に前記第3支持部及び前記第4支持部が相互に押し合わさって前記ファセット素子を所与の位置及び向きに締め付けるよう引張応力下にあり、前記第2支持部及び前記第4支持部の少なくとも一方は前記ファセット素子の回転軸を規定し、前記第2支持部及び前記第4支持部の少なくとも一方は、前記回転軸を中心とした前記ファセット素子の実質的に無摩擦の回転を可能にし、前記回転軸は、特に、前記ファセット素子の光学面の少なくとも近くに位置付けられるファセットミラーデバイス。請求項21に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記第2支持部及び前記第4支持部の少なくとも一方は、前記ファセット素子の回転中心を規定し、前記回転中心は、前記光学面の少なくとも近くに位置付けられるファセットミラーデバイス。請求項22に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記第2支持部及び前記第4支持部の少なくとも一方は複数の弾性要素を備え、該弾性要素は長手方向弾性要素軸を有し、前記長手方向弾性要素軸の交点が前記ファセット素子の前記回転軸を規定するファセットミラーデバイス。請求項23に記載のファセットミラーデバイスにおいて、前記複数の弾性要素は、板ばね要素及び弾性ロッド要素の少なくとも一方を含むファセットミラーデバイス。光学結像機構であって、パターンを受け取るよう構成したマスクユニットと、基板を受け取るよう構成した基板ユニットと、前記パターンを照明するよう構成した照明ユニットと、露光ステップにおいて前記パターンの像を前記基板に転写するよう構成した光学投影ユニットとを備え、前記照明ユニット及び前記光学投影ユニットの少なくとも一方は、請求項1~16又は21~24のいずれか1項に記載のファセットミラーデバイスを備える光学結像機構。請求項25に記載の光学結像機構において、調整デバイスが設けられ、該調整デバイスは、前記ファセットミラーデバイスのファセット素子の向き及び位置の少なくとも一方を調整するよう構成され、前記調整デバイスは、特に、連続露光ステップ間で前記ファセット素子の前記向き及び前記位置の少なくとも一方を調整するよう構成される光学結像機構。したがって、本発明の目的は、少なくともある程度は上記欠点を克服すること、及び特に摩擦力又は復帰力及び復帰モーメントにより引き起こされる望ましくない寄生力及び寄生モーメントを少なくとも概ね回避しつつ、支持要素に対して所望の位置及び向きへのファセット素子の明確な調整を可能にすることである。この目的及び他の目的は本発明に従って達成され、一方で本発明が基づく教示は、緊張要素の自由端を支持ユニットに支持させると共に、支持デバイスに対して規定される回転軸が支持デバイスに対するファセット素子の回転軸の少なくとも近くに位置付けられるよう配置されたカウンタユニットを導入した、締結機構が用いられる場合に、望ましくない寄生力及び寄生モーメントを少なくとも概ね回避する単純で確実且つ容易に調整可能な支持をファセットモーメントに提供することが可能であるというものである。この構成には、カウンタユニットの回転軸とファセット素子の回転軸との間の距離に応じてカウンタユニットがファセット素子の回転に従うことで、緊張要素の湾曲及び最終的にはばねデバイスの横方向のずれが少なくとも概ね回避されることにより、ファセット素子への望ましくない寄生力及び寄生モーメントの導入を少なくとも概ね回避することができるという利点がある。当然ながら、かかる構成は、例えば加圧流体を用いて締付相手を締付力から一時的に解放することにより、締付相手の少なくとも概ね無摩擦の相対調整運動を可能にするよう設計され得る。さらに、当然ながら、締め付けられたファセット素子自体の支持が、締め付けられたファセット素子の調整運動が明確な回転中心を提供しつつ少なくとも概ね無摩擦であるよう設計される場合、締付相手の少なくとも概ね無摩擦の明確な相対調整運動を達成することができる。したがって、本発明の第1態様によれば、ファセット素子と、支持デバイスと、締付デバイスとを備えたファセットミラーデバイスが提供される。ファセット素子は第1支持部を備え、支持デバイスは第1支持部に接触してファセット素子を支持する第2支持部を備える。締付デバイスは緊張要素を備え、緊張要素の第1端はファセット素子に接続され、緊張要素の第2端はカウンタユニットに接続される。カウンタユニットは第3支持部を備え、支持デバイスは、第3支持部に接触してカウンタユニットを支持する第4支持部を備える。緊張要素は、締付状態で、第1支持部及び第2支持部が締付方向に相互に押し合わさると共に第3支持部及び第4支持部が締付方向に相互に押し合わさって締付力によりファセット素子を所与の位置及び向きに締め付けるよう引張応力下にある。第1支持部及び第2支持部は、第1支持部と第2支持部との間の相対運動の少なくとも第1回転軸を規定し、第1回転軸は、締付方向を横断する第1平面内に延びる。第3支持部及び第4支持部は、第3支持部と第4支持部との間の相対運動の第2回転軸を規定し、第2回転軸は、締付方向を横断する第2平面内に延びる。第1回転軸及び第2回転軸は少なくとも相互の近くに位置付けられる。本発明の第2態様によれば、ファセットミラーデバイスのファセット素子を支持する方法であって、ファセット素子、支持デバイス、及び締付デバイスを設けるステップであり、ファセット素子は第1支持部を備え、支持デバイスは第1支持部に接触してファセット素子を支持する第2支持部を備えるステップを含む方法が提供される。本方法は、締付デバイスの緊張要素の第1端をファセット素子に接続し、緊張要素の第2端を締付デバイスのカウンタユニットに接続するステップであり、カウンタユニットは、支持デバイスの第4支持部に接触する第3支持部を備えるステップをさらに含む。本方法は、締付ステップにおいて、第1支持部及び第2支持部が締付方向に相互に押し合わさると共に第3支持部及び第4支持部が締付方向に相互に押し合わさって締付力によりファセット素子をその位置及び向きに締め付けるよう、緊張要素に引張応力をかけるステップをさらに含む。本方法は、調整ステップにおいて、第1支持部及び第2支持部並びに第3支持部及び第4支持部との少なくとも1つを締付力から解放し、ファセット素子を所与の位置及び所与の向きに調整するステップをさらに含む。本発明の第3態様によれば、ファセット素子と、支持デバイスと、締付デバイスとを備えたファセットミラーデバイスが提供される。ファセット素子は第1支持部を備え、支持デバイスは第1支持部に接触してファセット素子を支持する第2支持部を備える。締付デバイスは緊張要素を備え、緊張要素の第1端はファセット素子に接続され、緊張要素の第2端はカウンタユニットに接続される。カウンタユニットは第3支持部を備え、支持デバイスは、第3支持部に接触してカウンタユニットを支持する第4支持部を備える。緊張要素は、締付状態で、第1支持部及び第2支持部が相互に押し合わさると共に第3支持部及び第4支持部が相互に押し合わさってファセット素子を所与の位置及び所与の向きの少なくとも一方に締め付けるよう引張応力下にある。第2支持部及び第4支持部の少なくとも一方はファセット素子の回転軸を規定し、第2支持部及び第4支持部の少なくとも一方は、回転軸を中心としたファセット素子の実質的に無摩擦の回転をさらに可能にする。回転軸は、特に、ファセット素子の光学面の少なくとも近くに位置付けられる。本発明の第4態様によれば、パターンを受け取るよう構成したマスクユニットと、基板を受け取るよう構成した基板ユニットと、パターンを照明するよう構成した照明ユニットと、露光ステップにおいてパターンの像を基板に転写するよう構成した光学投影ユニットとを備えた光学結像機構が提供される。照明ユニット及び光学投影ユニットの少なくとも一方は、本発明によるファセットミラーデバイスを備える。本発明のさらに他の態様及び実施形態は、従属請求項及び添付図面を参照する以下の好適な実施形態の説明から明らかとなるであろう。開示される特徴の全ての組み合わせが、特許請求の範囲内の明記の有無を問わず本発明の範囲内にある。第1実施形態以下において、本発明による光学結像機構101の好適な第1実施形態を図1~図5を参照して説明する。下記の説明を容易にするために、xyz座標系を図に導入し、以下の説明を通して用いる。以下において、z方向は鉛直方向すなわち、重力の方向を示す。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、光学結像機構のこのxyz座標系及びコンポーネントの任意の他の空間的向きを選択することができる。図1は、半導体デバイスの製造中のマイクロリソグラフィプロセスで用いる投影露光装置101の形態の光学結像機構の一定の縮尺ではない概略図である。光学露光装置101は、照明系102と、露光プロセスにおいてマスクユニット104のマスク104.1に形成したパターンの像を基板ユニット105の基板105.1に転写するよう構成した光学投影ユニット103とを備える。この目的で、照明ユニット102はマスク104.1を照明する。光学投影ユニット103は、マスク104.1からの光を受け取り、マスク104.1に形成したパターンの像を基板105.1、例えばウェーハ等に投影する。照明ユニット102は、光学素子ユニット106.1等の複数の光学素子ユニットを含む光学素子系106図1には非常に簡略化して示すを備える。さらに詳細に後述するように、光学素子ユニット106.1は、本発明によるファセットミラーデバイスの好適な実施形態として形成される。光学投影ユニット103は、複数の光学素子ユニット107.1を含むさらに別の光学素子系107を備える。光学素子系106及び107の光学素子ユニットは、光学露光装置101の折り返し光軸101.1に沿って整列させる。図示の実施形態では、光学露光装置101は、5nm~20nmの波長、より正確には約13nmの波長のEUV域の光を用いて動作する。したがって、照明ユニット102及び光学投影ユニット103内で用いる光学素子は、反射光学素子のみである。しかし当然ながら、異なる波長で働く本発明の他の実施形態では、任意のタイプの光学素子屈折、反射、又は回折を単独で又は任意の組み合わせで用いることができる。光学素子系107は、本発明によるさらに別のファセットミラーデバイスを備え得る。図2及び図3から分かるように、ファセットミラーデバイス106.1は、複数のファセット素子109図3にはそのうち1つのみを示すを支持する支持ユニット108の形態の支持デバイスを備える。図示の実施形態では、900個のファセット素子109が支持ユニット108上に支持される。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、任意の他の数のファセット素子109を支持ユニット108が担持することができる。例えば、本発明の特定の好適な実施形態では、最高2000個又はそれ以上のファセット素子109が支持ユニット108上に支持される。好ましくは、照明光の均一化を得るためにできる限り多くのファセット素子109が支持ユニット108上に支持されることに留意されたい。最高4000個のファセット素子109、より好ましくは最高16000個のファセット素子109が実現され得る。図示の実施形態では、ファセット素子109は、0.05mm未満の小さな隙間が間に残るよう配置される。したがって、図2から特に分かるように、ファセット素子109の正四角形regularrectangular行列が支持ユニット108上に形成されて、最小量の放射パワー損失をもたらす。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、ファセットミラーデバイスを用いる結像デバイスの光学的需要に従って、ファセット素子の任意の他の配置を選択することができる。図2及び図3から、特に図2からさらに分かるように、各ファセット素子109は、上面図z軸に沿ったにおいて、実質的に矩形の、より正確には実質的に正方形の外輪郭を有する。しかしながら、本発明の他の実施形態では、例えば、任意の湾曲外輪郭、円形外輪郭、楕円形外輪郭、多角形外輪郭、又はこれらの任意の組み合せ等、この外輪郭の任意の他の幾何学形状を選択することができる。図示の実施形態では、各ファセット素子109は、実質的に平面状の前面109.1、凸状背面109.2、及び側面109.3を有する。前面109.1は、照明ユニット102が提供する照明光の均一化をもたらすために光学結像機構101の動作中に光学的に用いられる反射面である。反射面109.1は、通常は各波長で最大反射率を提供するために使用照明光の波長に適合させた前面109.1に施した反射コーティングにより提供され得る。本発明の特定の実施形態では、反射回折格子をファセット素子の前面に設けることができる。図示の実施形態では、前面109.1は平面である。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、ファセットミラーデバイスが行う光学的タスクに応じて、任意の他の形状の前面を用いることができる。したがって、かかる平面のほかに、球面及び非球面並びにそれらの任意の組み合わせを用いることができる。さらに、図3に破線輪郭で示すように凹状及び凸状の前面を用いることもできる。さらに、ファセット素子109の光学的に使用可能な前面109.1が任意の適当なサイズであり得ることに留意されたい。好ましくは、前面109.1のサイズは、10mm2~400mm2、特に50mm2~150mm2、より好ましくは90mm2~110mm2の範囲である。図3から最もよく分かるように、ファセット素子109は、図示の実施形態では、ファセット素子109の光学前面109.1を形成するファセット本体109.4と、ファセット素子109の背面109.2を形成する別個の中間要素109.5とを備える。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、ファセット素子はモノリシックコンポーネントであり得る。同様に、他の実施形態では、ファセット素子は、ファセット本体及び中間要素以外にさらに他のコンポーネントを含み得る。図示の実施形態では、中間要素109.5の背面109.3は、支持ユニット108の隣接する第2支持部108.1に接触する第1支持部を形成する。さらに詳細に後述するように、ファセット素子109は、締付デバイス110を介して所定位置に保持される。この目的で、締付デバイス110は、第1端110.2でファセット素子本体109.4に接続固定される細長い緊張要素110.1を備える。緊張要素110.1は、締付状態図3に示すようなで、第1支持部109.2すなわち、ファセット素子109の背面を支持ユニット108の第2支持部108.1に対して第1締付方向すなわち、第1締付力FC1の方向に押し付ける第1締付力FC1を発生させることによりファセット素子109を所定位置に保持するよう引張応力下にある。緊張要素110.1は、図示の実施形態では、例えばばね鋼等の高弾性材料でできた細長い棒形である。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、結像機構101の動作中に予想される静荷重及び特に動荷重下でファセット素子を所定位置に保つのに十分な弾性及び十分に高い第1締付力FC1を提供する、任意の他の適当な所望のタイプの緊張要素を選択することができる。より正確には、弾性ワイヤ、ケーブル、及び板ばね、つる巻ばね等の任意の所望の弾性引張手段すなわち、引張応力を伝達可能だが圧縮応力は必ずしも伝達可能でない任意の手段を用いることができる。緊張要素110.1内で引張応力を発生させるために、緊張要素110.1の第2端110.3が締付デバイス110のカウンタユニット110.4に接続される。カウンタユニット110.4は、支持デバイス108の第4支持部108.2に接触する第3支持部110.5を形成する。第4支持部108.2は、第2支持部108.1及び第4支持部108.2を接続する支持デバイス108のコネクタ部108.3に形成される。したがって、締付状態で、緊張要素110.1は、第3支持部110.5及び第4支持部108.2も第2締付方向に作用する第2締付力FC2により相互に押し合わせられるよう引張応力がかけられる。当然ながら、図3に示すような締付状態では、第2締付力FC2がカウンタユニット110.4の第3支持部110.5と支持ユニット108の第4支持部108.2との間に作用しており、ファセット素子109のほかにカウンタユニット110.4も支持ユニット108に対して所定位置に保持されるようになる。さらに当然ながら、一般に、この締付機構のコンポーネントの弾性特性及び/又は寸法は、発生した各締付力FC1及びFC2を結像装置101の通常動作中に予想される静荷重及び特に動荷重に適合させるよう選択され、それにより、ファセット素子109が、結像装置101の通常動作中に予想されるこれらの荷重状況のいずれかにおいて調整された位置及び向きに保持されることを確実にする。本実施形態では、各締付力FC1、FC2は、第3支持部110.5と緊張要素110.1の第2端110.3に接続した力伝達要素110.7との間に配置されて作用するカウンタユニット110.4のばね要素110.6を介して調整することができる。本実施形態では、第2端110.3にはねじ部が設けられ、力伝達要素110.7が第2端110.3のこのねじ部に螺合される。したがって、単にねじ部に沿って力伝達要素110.7を前進又は後退させることによりばね要素110.6の圧縮度を変更することができ、それにより締付状態で加わる締付力FCが調整される。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、締付力FC1、FC2の調整を任意の他の適当な手段により達成することができる。例えば、スペーサ等を、ばね要素110.6と力伝達要素110.7及び第3支持部110.5のいずれかとの間に置いて、ばね要素110.6の圧縮、したがって締付力FC1、FC2を変更することができる。さらに、緊張要素110.1及び緊張要素110.1と機械的に平行に配置した任意のコンポーネント例えば、コネクタ部108.3及び第3支持部110.5等のいずれかの各締付方向の長さを変更する可能性を、適当な手段により例えば、適当な伸縮設計等によりもたらすことができる。図3から分かるように、本例では、第1支持部109.2及び第2支持部108.1の両方が湾曲接触面を画定し、こられがさらに、支持ユニット108に対するファセット素子109の相対運動の第1回転中心111を規定する。図示の実施形態では、第1支持部109.2及び第2支持部108.1の両方が、第1曲率半径R1を有する相互に一致した球面状接触面を画定し、第1回転中心111が各球面状接触面の中心に位置付けられる。したがって、第1支持部109.2及び第2支持部108.1は、球面軸受の様式で、任意の回転軸を中心としたファセット素子109と支持ユニット108との間の相対回転運動を可能にする。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、所与の空間的向きを有する特定の第1回転軸を第1支持部及び第2支持部により規定することができる。例えば、第1支持部及び第2支持部は、第1回転軸が各円筒状接触面の軸となるよう相互に一致した円筒状接触面を画定し得る第1回転中心は、このとき第1回転軸上の任意の点である。第1回転軸は、このとき第1締付方向を横断して延びる平面内に延びる。さらに当然ながら、本発明の他の実施形態では、対応の第1回転軸又は回転中心を規定するために、第1支持部及び第2支持部の一方のみが対応の曲面を画定し、他方が湾曲した相手方に接触する平面又は1つ又は複数の縁部を単に画定すれば十分であり得る。図3からさらに分かるように、本例では、単純な方法で、第3支持部110.5及び第4支持部108.2の両方も湾曲接触面を画定し、こられがさらに、支持ユニット108に対するカウンタユニット110の相対運動の第2回転中心112を規定する。図示の実施形態では、第3支持部110.5及び第4支持部108.2の両方が、第2曲率半径R2を有する相互に一致した球面状接触面を画定し、第2回転中心112が各球面状接触面の中心に位置付けられる。したがって、第3支持部110.5及び第4支持部108.2は、同じく球面軸受の様式で、任意の回転軸を中心としたカウンタユニット110と支持ユニット108との間の相対回転運動を可能にする。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、ここでも、所与の空間的向きを有する特定の第2回転軸を第3支持部及び第4支持部により規定することができる。例えば、第3支持部及び第4支持部は、第2回転軸が各円筒状接触面の軸となるよう相互に一致した円筒状接触面を画定し得る第2回転中心は、このとき第2回転軸上の任意の点である。第2回転軸は、このとき第2締付方向を横断して延びる平面内に延びる。さらに当然ながら、本発明の他の実施形態では、対応の第2回転軸又は回転中心を規定するために、第3支持部及び第4支持部の一方のみが対応の曲面を画定し、他方が湾曲した相手方に接触する平面又は1つ又は複数の縁部を単に画定すれば十分であり得る。図3から分かるように、ファセット素子109、支持ユニット108、及び締付デバイス110の寸法は、第1回転中心111及び第2回転中心112が実質的に一致するよう選択される。かかる構成には、第1支持部109.2及び第2支持部108.1並びに第3支持部110.5及び第4支持部108.2が緊張要素110.1の締付力FC1、FC2から解放される調整状況において、ファセット素子109及びカウンタユニット110.4が、実質的に一致する第1回転中心111及び第2回転中心112並びに実質的に一致する第1回転軸及び第2回転軸を中心とした同期回転運動を実行して、特にx軸及び/又はy軸を中心としてファセット素子109の向きを調整することができるという大きな利点がある。一致する第1回転中心111及び第2回転中心112並びに実質的に一致する第1回転軸及び第2回転軸を中心としたかかる同期回転運動は、第1締付方向と第2締付方向との間又は第1締付力FC1と第2締付力FC2との間の傾きの発生を回避する。換言すれば、このようにして、第1締付力FC1及び第2締付力FC2を図3に示すように実質的に同一直線上に保つことができる。実質的に同一直線上配置での第1締付力FC1及び第2締付力FC2の維持には、本来なら実施された調整運動に対抗する傾向があると共にファセット素子に望ましくない寄生力又は寄生モーメントを導入するであろう復帰力も復帰モーメントも発生させないという利点がある。図示の実施形態では、かかる復帰力及び復帰モーメントは、緊張要素110.1の長手方向軸110.8を横断して延びる曲げ軸に関する緊張要素110.1の曲げ変形から得られる。しかしながら、同期回転運動により、第1締付力FC1及び第2締付力FC2が実質的に同一直線上配置に維持されるので、特に、x軸及び/又はy軸を中心としたファセット素子109の向きのかかる調整においてファセット素子への望ましくない寄生力又は寄生モーメントの導入につながる緊張要素110.1のこうした曲げが生じ得ない。当然ながら、本発明の他の実施形態では、第1回転中心の場所と第2回転中心の場所との間のわずかなずれが設けられ得るか又は許容され得る。特に円筒状接触面を有する実施形態に関連して上述したようにかかる特定の回転軸が設けられる場合、同じことが第1回転軸及び第2回転軸の場所及び/又は向き特に、同一直線上の又は少なくとも平行の配置についても言える。当然ながら、各ずれの程度から、寄生力及び寄生モーメントがファセット素子に導入される程度も定められる。図3からさらに分かるように、ファセット本体は、中間要素109.5の第6支持部109.7の対応する実質的に平面状の接触面に接触する実質的に平面状の接触面を有する第5支持部109.6を形成する。同様に、カウンタユニット110.4は、第7支持部110.10を形成する第1カウンタ要素110.9と、第3支持部110.5を形成する第2カウンタ要素110.11と、第7支持部110.10の対応する実質的に平面状の接触面に接触する実質的に平面状の接触面を有する第8支持部110.12とを備える。したがって、上述のように締付状態で引張張力下にある緊張要素110.1は、第5支持部109.6及び第6支持部109.7が相互に押し合わさってファセット本体109.4を所与の位置及び向きに締め付けるようにもする。同様のことが、第7支持部110.10及び第8支持部110.12についても言える。第5支持部109.6、第6支持部109.7、第7支持部110.10、及び第8支持部110.12の接触面は、これらが緊張要素110.1の締付力FC1、FC2から解放される上述の調整状況において、ファセット本体109.4及び第1カウンタ要素110.9が支持ユニット108に対して同期平行並進運動を実行できるよう実質的に平行に配置される。かかる構成には、第1支持部~第8支持部が締付力FC1、FC2から解放される調整状況において、ファセット本体109.4及び第1カウンタ要素110.9が特にx軸及び/又はy軸に沿った平行の同期並進運動を実行し、第1締付方向と第2締付方向との間又は第1締付力FC1と第2締付力FC2との間の傾きの発生も回避するという大きな利点がある。換言すれば、このようにして、特に、x軸及び/又はy軸に沿ったファセット本体109.4の位置を調整すると同時に、第1締付力FC1及び第2締付力FC2を図3に示すように実質的に同一直線上配置に保つことができる。したがって、特に、x軸及び/又はy軸に沿ったファセット本体109.4の位置の調整時に、緊張要素110.1の長手方向軸110.8を横断して延びる曲げ軸に関する緊張要素110.1の曲げ変形から得られる復帰力又は復帰モーメントを回避することができる。好ましくは、第5支持部109.6、第6支持部109.7、第7支持部110.10、及び第8支持部110.12の接触面は、緊張要素110.1の長手方向軸110.8に対して実質的に垂直に配置される。このようにして、各接触平面で作用して相手部品を特に動荷重下で変位させる傾向のある剪断力を回避することができる。さらに当然ながら、他の実施形態では、ファセット本体の、特にファセット本体の光学面の位置を緊張要素の長手方向軸に沿ってすなわちz方向に調整することを可能にするために、緊張要素の長手方向軸に対して90°からずれた第5支持部~第8支持部の特定の傾きを選択することができる。さらに当然ながら、この目的で、ファセット素子及びカウンタユニットのさらに他の別個のコンポーネントを設けて、かかる向きを有する対応の接触面対を提供することができる。さらに当然ながら、緊張要素の長手方向のすなわち、図3におけるz方向の光学面109.1の位置の調整を、この方向に異なる寸法を有する中間要素109.5を介して、又は中間要素109.5とファセット本体109.4との間に挿入したさらに他のスペーサ要素異なる寸法を有するを介して行うこともできる。さらに当然ながら、この場合も、本発明の他の実施形態では、第5支持部109.6、第6支持部109.7、第7支持部110.10、及び第8支持部110.12の接触面の向き間のわずかなずれが設けられ得るか又は許容され得る。当然ながら、各ずれの程度から、寄生力及び寄生モーメントがファセット素子に導入される程度も定められる。当然ながら、本発明では、第1回転中心111及び第2回転中心112並びに第1回転軸及び第2回転軸を任意の所望の位置に置くことができる。これは、達成すべき向き調整の機能として行われ得る。例えば、図3に示す実施形態では、第1回転中心111及び第2回転中心112は、光学面109.1の平面内に位置付けられる。これには、第1回転中心111及び第2回転中心112を中心とした調整運動を行う際に、x軸、y軸、及びz軸に沿った光学面109.1の位置が変わらないという利点がある。したがって、光学面109.1の向きの排他的な調整すなわち、x軸、y軸、及びz軸を中心とした回転を達成することができる。しかしながら、本発明の特定の実施形態では、第1回転中心及び第2回転中心並びに第1回転軸及び第2回転軸が、ファセット素子の光学面から特定の距離に位置付けられるようにすることもできる。こうした場合、ファセット素子の向きの調整から、通常は多少目立つ光学面の位置の変更が得られる。しかしながら、第1回転中心及び第2回転中心並びに第1回転軸及び第2回転軸が一定の曲率を有するファセット素子の湾曲状光学面の曲率中心と一致するようなある特別な場合すなわち、球面状又は円筒状の光学面の場合、光学面の位置は光学面の製造精度に応じて実質的に一定のままである。さらに当然ながら、第1回転中心及び第2回転中心並びに第1回転軸及び第2回転軸は、図3に示すように第1接触部及び第2接触部のうちカウンタユニットに面しない側に位置付ける必要がない。これらは任意の所望の点に位置付けることができる。特に、これらは、図3に破線輪郭113で示すように第1接触部と第2接触部との間及び第3接触部と第4接触部との間の点に位置付けることができる。この場合、図3に示すように、ファセット本体109.4と中間要素109.5との間の接触面に第3曲率半径R3を設けることができる一方で、第3接触部及び第4接触部に第4曲率半径R4が設けられる。さらに当然ながら、達成すべき調整運動に応じて、第1回転中心及び第2回転中心並びに第1回転軸及び第2回転軸を、第3接触部及び第4接触部のうちファセット素子に面しない側に位置付けることも実現可能である。図3から分かるように、第2支持部108.1は、本実施形態では連結要素108.4により支持ユニット108のベースユニット108.5に回転可能に接続して形成される。この目的で、連結要素108.4は、第2支持部108.1を形成する円筒状の内側連結部品108.6を含む。内側連結部品108.6は、フレクシャ部品108.8を介して同心状の外側連結部品108.7に接続される。フレクシャ部品108.8は、膜要素又は複数の別個のフレクシャ例えば、複数の板ばね要素等により形成され得る。図3に示す初期状態では、内側連結部品108.6及び外側連結部品108.7の長手方向軸は、緊張要素110.1の長手方向軸110.8と同一直線上にある。支持要素108.4とベースユニット108.5との間の接続は、連結要素108.4が外側支持部品108.7の軸を中心に回転できるようなものである。したがって、基本的に、上述のようにファセット素子109の位置及び向きが第1支持部~第8支持部を介して調整された後に、ファセット素子109の向きは、ベースユニット108.5に対して連結要素108.4を回転させることにより依然として微調整することができる。さらに、フレクシャ部品108.8の弾性特性は、光学面109.1の位置及び/又は向きの最大6自由度全部のさらなる微調整を行うことを可能にする。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、光学面109.1の位置及び/又は向きのかかる微調整を行う可能性を6自由度の少なくともいくつかで省くことができる。例えば、実質的に剛性又は一体の接続を連結要素とベース板要素との間に設けることができる。特に、かかる別個の連結要素を省いて、第2支持部108.1とベースユニット108.5との間に実質的な剛接続を提供することもできる。しかしながら、連結要素108.4を介した最大6自由度のかかる微調整が行われる場合、ファセット素子109が調整された位置及び向きに実質的に係止されるようにすることもできる。係止は、容易に解除可能な方法又は容易に解除可能でない方法で、すなわちファセット素子109及び/又はコネクタ部108.3とベースユニット108.5との間及び最終的には連結要素108.4とベースユニット108.5との間の適当な結合技法により提供することができる。かかる接合技法を単独で又は任意の組み合わせで用いて、ファセット素子と支持ユニットとの間に適切な接続及び相対的固定を提供することができる。かかる適当な結合技法として、例えば、接着、はんだ付け、レーザはんだ付け、溶接、拡散接合等が挙げられる。さらに、容易に解除可能な係止は、例えば締付接続により提供することができ、これがさらにファセット素子109の微調整の変更を可能にする。図3及び図4を参照して以下で説明するように、個々のファセット素子109の光学面109.1の位置及び向きの調整は、本発明によるファセット素子を支持する方法の好適な実施形態を用いて行われる。第1ステップ114.1において、上述したような支持ユニット108、ファセット素子109、及び締付デバイス110を設ける。図示の実施形態では、ファセット素子はケイ素Siでできており、支持要素は炭化ケイ素SiCでできている。かかる材料の組み合わせにより、ファセット素子109からの有益な熱伝達通常は、結像機構101の動作中に100°C~150°Cの温度に達するを得ることができる。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、ファセット素子は、炭化ケイ素SiC、石英SiO2、ケイ素アルミニウムSiAl、Zerodur登録商標SCHOTTAG独国マインツが製造したガラスセラミック、ULE商標CorningIncorporated米国ニューヨーク州14831コーニングが製造した超低膨張チタンケイ酸ガラス、他のガラスセラミック、並びにN1P及び複合MoSi層でコーティングした銅Cu又はアルミニウムAlでできていてもよく、支持要素は、ステンレス鋼、銅Cu、アルミニウムAl、反応焼結ケイ素含浸炭化ケイ素reactionbondedsiliconinfiltratedsiliconcarbideSiSiC、Zerodur登録商標、ULE登録商標超低膨張ガラス、又は他のガラスセラミックでできていてもよい。好ましくは、ファセット素子及び支持要素の熱膨張率CTEを一致させることに留意されたい。支持ステップ114.2の取り付けステップ114.3において、支持ユニット108、ファセット素子109、及び締付デバイス110を図3に示す構成を提供するように取り付ける。支持ステップ114.2の調整ステップ114.4において、各ファセット素子109の位置及び/又は向きを以下で説明するように提供する。図3から分かるように、コネクタ部108.3は、実質的に管状の要素、例えば概ね中空の円筒状要素として形成され、締結要素110.1を収容するチャンバ108.10を形成する。コネクタ部108.3は、各端がファセット素子109及びカウンタユニット110.4でそれぞれ閉じられた実質的に流体密封のチャンバを有する。本例では、コネクタ部108.3は、チャンバ108.10を加圧デバイス115に接続する加圧コネクタ108.11を有する。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、加圧コネクタをファセット素子109又はカウンタユニット110.4に形成することにより、チャンバ108.10の加圧を可能にすることもできる。図3に示す本実施形態の取付状態では、調整ステップ114.3において、加圧デバイス115は、制御デバイス116の制御下で加圧媒体又は流体すなわち、液体又はガスをチャンバ108.10に供給してチャンバ108.10を加圧する。結果として、チャンバ108.10内の圧力上昇が、ファセット本体109.4に作用する第1解除力FR1と、緊張要素110.3の長手方向軸110.8に沿って作用するカウンタユニット110.4の力伝達要素110.7に作用する第2解除力FR2とを発生させる。これに関連して、当然ながら、カウンタユニット110.4は、第1カウンタ要素110.9と力伝達要素110.7とをシール接続するベローズ110.13等の可撓性のシール要素を備えることで、加圧媒体がこの領域で逃げることができないようにする。緊張要素110.3は、ファセット本体109.4及び力伝達要素110.7の両方に接続されるので、第1解除力FR1及び第2解錠力FR2が締付力FC1及びCR2に対抗することにより、解放状態で第1支持部~第8支持部すなわち、コンポーネント109.2、108.1、110.5、108.2、109.6、109.7、110.10、110.12を締付力FC1及びFC2から少なくともある程度解放する。この解放状態に達したら、すなわち、締付ユニット110により提供された締付接続が少なくともある程度解除されたら、上述したようなファセット素子の向き及び/又は位置の調整を行うことができる。当然ながら、締付力からの必要な解放度は変わり得る。しかしながら、明らかに、第1支持部~第8支持部すなわち、コンポーネント109.2、108.1、110.5、108.2、109.6、109.7、110.10、110.12の対応対間に作用する接触力が小さいほど、調整プロセスにおける各相対運動中に生じる摩擦力が小さくなる。かかる摩擦力が、対応コンポーネントに、したがってファセット素子109にも導入され得る望ましくない寄生応力を通常は発生させることを理解されたい。したがって、チャンバ108.10内の圧力を第1支持部~第8支持部すなわち、コンポーネント109.2、108.1、110.5、108.2、109.6、109.7、110.10、110.12の対応対間に隙間が形成される程度まで上昇させることで、特定の量の加圧媒体がこれらの隙間から逃げるか又は漏れるようにすることが好ましい。その状況で、摩擦相対運動、及び結果として特にファセット素子109への望ましくない寄生応力の導入を少なくとも概ね回避する、実質的に無摩擦の相対調整運動を達成することができる。調整ステップ114.4において、支持ユニット108に対するファセット素子109の位置及び/又は向きを、結像機構101のその後の動作中のファセットミラーデバイス106.1の光学的要件に従って調整する。この目的で、制御デバイス116により制御される第1マニピュレータ117の形態の第1調整デバイスを用いて、図3に示すようにカウンタユニット110.4の調整インタフェース110.14に対する対応の調整力及び/又はモーメントを発生させる。当然ながら、本発明の特定の実施形態では、第2マニピュレータ118の形態の第2調整デバイスを設けることができる。このさらなるマニピュレータ118は、制御デバイス116の制御下でファセット素子109に好ましくはマニピュレータ117と同期して作用して調整プロセスを支援することができる。さらに当然ながら、第1マニピュレータ及び第2マニピュレータを本発明の他の実施形態では省くことができる。光学面109.1の調整の評価が、測定デバイス119の測定結果を用いて行われる。本実施例では、測定デバイス119は、光学面109.1に向けて測定光ビーム119.2を放出するエミッタ119.1を備えた光学デバイスである。測定光ビーム119.2は、光学面109.1で反射して測定デバイス119のセンサ119.3に届く。図示の実施形態では、エミッタは、633nmの波長の測定光を用いる従来のエミッタである。したがって、測定光のこの波長に適合させた反射コーティングを有する測定部を光学面109.1に設ける必要があり得る露光光に適合させた前面109.1の反射コーティングが測定光波長で十分な反射を提供しない場合。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、他の波長を測定光に用いて、最終的にこうした追加測定部が必要ないようにすることができる。センサ119.3の信号は制御デバイス116へ送られ、制御デバイス116はさらに、これらの信号を用いて光学面109.1の調整の評価を行う。当然ながら、制御デバイス116は、センサ119.3の信号に応じて、光学面109.1の迅速且つ適切な調整を行うようマニピュレータ117及び118を制御する。当然ながら、調整ステップ114.4の第1部分において、上述の第1支持部~第8支持部すなわち、コンポーネント109.2、108.1、110.5、108.2、109.6、109.7、110.10、110.12及び加圧デバイス115を介して提供される調整可能性を用いて、ファセット素子の位置及び/又は向きの第1粗調整を行うことができる。この第1調整が完了したら、緊張要素110.1により提供された締付力FC1及びFC2が作用するようチャンバ108.10内の圧力を低減することにより、ファセット素子を第2支持部109.2に対するその調整した位置及び向きに締め付けることができる。その後、調整ステップ114.4の第2部分において、センサデバイス119の信号に応じて制御デバイス116により制御されるマニピュレータ117及び118を用いて、第2微調整を実行することができる。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、かかる第2調整部分を省くことができ、特に、ファセット素子109の位置及び/又は向きの微調整を調整ステップの第1部分でのみ行うことができる。当然ながら、図示の実施形態では、光学面109.1の向きは100μrad未満の角度精度で調整され、光学面109.1の位置は100μm未満の位置精度で調整される。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、結像機構101のその後の動作中の光学的要件に応じて、任意の他の角度精度を選択することができる。上記のように、各精度は、結像機構の特定の用途に応じて、また結像機構内のファセットミラーデバイスの場所及び/又は機能に応じて決まる。さらに、静的精度例えば周囲温度での初期調整で達成すべきと熱的動的精度すなわち、静的状態と動作中に維持される高い動作温度に達した後の実質的な静止状態との間の最大偏差であり、通常は30秒後にこのような静止状況に達するとの間で差異が生じる。例えば、本発明の好適な実施形態では、150μm未満、好ましくは100μm未満、より好ましくは20μm~30μm未満の静的位置精度が視野ファセットミラーデバイスに選択される一方で、瞳ファセットミラーデバイスには、100μm未満、好ましくは50μm未満、より好ましくは20μm~30μm未満のより厳しい静的位置精度が選択される。当然ながら、位置精度は並進自由度に応じても変わり得る。通常、厳しい位置精度要件がx方向及び/又はy方向に適用される一方で、z方向にはより緩い要件が適用される。同様のことが角度精度についても言える。例えば、本発明の好適な実施形態では、1000μrad未満、好ましくは500μrad未満、より好ましくは100μrad~300μrad未満の静的角度精度が視野ファセットミラーデバイスに選択される一方で、瞳ファセットミラーデバイスには、1000μrad未満、好ましくは500μrad未満、より好ましくは50μrad~150μrad未満のより厳しい角度精度が選択される。当然ながら、角度精度は回転自由度に応じても変わり得る。通常、x方向及び/又はy方向に適用される角度精度要件の方が厳しい一方で、z方向に適用される要件の方が緩い。熱的動的位置精度に関する限り、本発明の好適な実施形態では、5μm未満、好ましくは3μm未満、より好ましくは0.2μm~0.4μm未満の動的位置精度が、視野ファセットミラーデバイス及び瞳ファセットミラーデバイスの両方に選択される。当然ながら、位置精度は並進自由度に応じても変わり得る。通常、この場合も、x方向及び/又はy方向に適用される位置精度要件の方が厳しい一方で、z方向に適用される要件の方が緩い。同様のことが角度精度についても言える。例えば、本発明の好適な実施形態では、15μrad未満、好ましくは1μrad未満、より好ましくは0.2μrad~0.4μrad未満の動的角度精度が、視野ファセットミラーデバイス及び瞳ファセットミラーデバイスの両方に選択される。当然ながら、角度精度は回転自由度に応じても変わり得る。通常、この場合も、x方向及び/又はy方向に適用される角度精度要件の方が厳しい一方で、z方向に適用される要件の方が緩い。ファセット素子109の調整が完了したら、支持ステップ114.2のファセット固定ステップ114.5において、上述したようにファセット素子109を所定位置に永久的又は解除可能に係止又は固定する。ステップ114.6において、さらなるファセット素子を支持すべきか否かを確認する。支持すべき場合、支持ステップ114.2を繰り返す。そうでなければ方法はステップ114.7において終了する。図3から分かるように、ベースユニット108.5は、ベース板108.9及び隣接する冷却体108.10を備え、これら両方がコネクタ部108.3を収容するレセプタクル108.12を形成する。ベース板10.9及び冷却体108.10のいずれにも、冷却媒体を循環させる冷却導管120.1を設けることができる。本発明の特定の実施形態では、フレクシャ部品108.8は流体密封コンポーネントとして設計され得る。例えば、これは、フレクシャ部品108.8に膜要素を用いることにより行うことができる。この場合、破線輪郭120.2で示すようなシールユニットを、カウンタユニット110.4の領域で冷却体108.10に接続することができ、冷却媒体をレセプタクル108.12に循環させてファセット素子109の冷却を改善することもできる。当然ながら、シールユニット120.2は、冷却体108.10の背面のより大きな面積最大で冷却体108.10の背面全体を覆うことができる。本発明の特定の実施形態では、締付力FC1及びFC2が漏れを回避するのに十分なほど大きいか、又は結像装置101の動作中に漏れても問題ない冷却媒体が用いられる場合、冷却媒体をチャンバ108.10に導入すること好ましくは循環させることさえもできる。第2実施形態以下において、本発明によるファセットミラーデバイス206.1の第2実施形態を図1、図2、図4、及び図5を参照して説明する。ファセットミラーデバイス206.1は、その基本的な設計及び機能がファセットミラーデバイス106.1に概ね対応し、図1の光学結像デバイス101のファセットミラーデバイス106.1の代わりとなることができる。特に、第1実施形態に関して上述したようなファセットミラー素子を支持する方法図4を、このファセットミラーデバイス206.1に関連しても実行することができる。したがって、ここでは主に上記説明を参照し、ファセットミラーデバイス106.1に対する相違点のみをより詳細に後述する。特に、同様の部品には同じ参照符号に100を足して示し、以下で明確に記載しない限りこれらの部品に関しては第1実施形態に関連して上記した説明を参照する。ファセットミラーデバイス106.1に対する1つの相違点は、支持ユニット208へのファセット素子209の接続の設計にある。より正確には、図5から分かるように、連結要素208.4は、第1連結要素であり、この場合も第2支持部208.1ファセット素子209の第1支持部209.2に接触するを形成する円筒状の第1内側連結部品208.6を備える。第1内側連結部品208.6は、第1フレクシャ部品208.8を介して同心状の第1外側連結部品208.7に接続される。この場合も、第1連結要素208.4は、本実施形態では、支持ユニット208のベースユニット208.5に回転可能に接続される。さらに、この場合も、図5に示す初期状態で、第1内側連結部品208.6及び第1外側連結部品208.7の長手方向軸は、緊張要素210.1の長手方向軸210.8と同一直線上にある。しかしながら、本実施形態では、第1フレクシャ部品208.8は複数の弾性第1フレクシャ要素208.13例えば、複数の板ばね要素又は弾性支柱により形成される。図5に示す実施形態では、第1弾性支柱208.13の形態の複数の3つ以上の第1フレクシャ要素が設けられる。第1弾性支柱208.13は、内側連結部品208.6の円周に均一に分配されることが好ましい。第1弾性支柱208.13は、それらの長手方向軸208.14がファセット素子209の第1回転中心を規定し表す実質的に1つの共通交点211で交わるよう配置される。したがって、第1弾性支柱208.13は、球面軸受の様式で、その弾性変形により任意の回転軸を中心としたファセット素子209と支持ユニット208との間の相対回転運動を可能にする。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、所与の空間的向きを有する特定の第1回転軸を第1フレクシャ要素により規定することができる。例えば、第1フレクシャ部品は、この指定の第1回転軸を形成する規定の交線で交わる平面208.14を有する、板ばねの形態の2つの第1フレクシャ要素208.13により形成されてもよいその場合、第1回転中心211はこの第1回転軸上の任意の点にある。図5からさらに分かるように、本例では、同様に、コネクタ部208.3が第2連結要素208.15を備える。第2連結要素208.15は、第4支持部208.2カレンダユニット210.4の第3支持部210.5に接触するを形成する円筒状の第2内側連結部品208.16を備える。第2内側連結部品208.16は、第2フレクシャ部品208.18を介して同心状の第2外側連結部品208.17に接続される。ここでもまた、第2連結要素208.4は、本実施形態では、支持ユニット208のベースユニット208.5に回転可能に接続される。さらに、この場合も、図5に示す初期状態では、第2内側連結部品208.16及び第2外側連結部品208.17の長手方向軸は、緊張要素210.1の長手方向軸210.8と同一直線上にある。第2フレクシャ部品208.18は複数の弾性第2フレクシャ要素208.19例えば、複数の板ばね要素又は弾性支柱により形成される。図5に示す実施形態では、第2弾性支柱208.19の形態の複数の3つ以上の第2フレクシャ要素が設けられる。第2弾性支柱208.19は、内側連結部品208.16の円周に均一に分配されることが好ましい。第2弾性支柱208.19は、それらの長手方向軸208.20がファセット素子209の第2回転中心を規定し表す実質的に1つの共通交点212で交わるよう配置される。したがって、第2弾性支柱208.19は、球面軸受の様式で、その弾性変形により任意の回転軸を中心としたファセット素子209と支持ユニット208との間の相対回転運動を可能にする。しかし当然ながら、本発明の他の実施形態では、所与の空間的向きを有する特定の第2回転軸を第2フレクシャ要素により規定することができる。例えば、第2フレクシャ部品は、この指定の第2回転軸を形成する規定の交線で交わる平面208.20を有する、板ばねの形態の2つの第1フレクシャ要素208.19により形成されてもよいその場合、第2回転中心211はこの第2回転軸上の任意の点にある。図5から分かるように、ファセット素子209、支持ユニット208、及び締付デバイス210の寸法は、第1回転中心211及び第2回転中心212が実質的に一致するよう選択される。かかる構成には、調整状況において、緊張要素210.1の締付力FC1、FC2の有無に関係なくファセット素子209及びカウンタユニット210.4が、実質的に一致する第1回転中心211及び第2回転中心212並びんに実質的に一致する第1回転軸及び第2回転軸を中心とした無摩擦の同期回転運動を実行して、特にx軸及び/又はy軸を中心としてファセット素子109の向きを調整することができるという大きな利点がある。一致する第1回転中心211及び第2回転中心212並びに実質的に一致する第1回転軸及び第2回転軸を中心としたかかる同期回転運動は、本来ならファセット素子209に導入され得る望ましくない寄生応力の発生を回避する。当然ながら、第1実施形態と同様に、達成すべき調整運動の機能に応じて回転中心211、212の任意の所望の場所を選択することができる。図5からさらに分かるように、緊張要素210.1の長手方向軸210.8の方向でコネクタ部208.3の両端が第1内側連結部品208.6及び第2内側連結部品208.16に当接して、第1フレクシャ部品208.8及び第2フレクシャ部品208.18が締付力FC1、FC2から少なくとも大きく解放されるようにする。したがって、各第1回転中心211及び第2回転中心212の場所に影響し得る第1フレクシャ部品208.8及び第1フレクシャ部品208.18のいかなる変形も回避することができる。当然ながら、本発明の他の実施形態では、ファセット素子209に対する所望の回転中心211及び212を提供するのに一方で十分であり得るので、第1連結要素208.4及び第2連結要素208.15より正確には、支持ユニット208.5に対する各内側連結部品の接続のいずれかを省いてもよい。さらに当然ながら、上述のものと同様に、チャンバ208.10の加圧を用いて第1支持部209.2及び第2支持部208.1並びに第3支持部210.5及び第4支持部208.2を締付力FC1、FC2から解放してすなわち、締付デバイス210の締付接続を解除して、同じくx方向及びy方向のファセット素子の位置の実質的に無摩擦の調整を可能にすることができる。この場合も、ファセット本体209.4及びカウンタユニット210.4の力伝達要素210.7の同期並進運動が、実質的に同一直線上配置での第1締付力FC1及び第2締付力FC2の維持を可能にする。これにもまた、本来なら実施された調整運動に対抗する傾向があると共にファセット素子209に望ましくない寄生力又は寄生モーメントを導入するであろう復帰力も復帰モーメントも発生させないという利点がある。当然ながら、ここでもまた、第1連結要素208.4及び第2連結要素208.16をシール要素、例えばベローズ221及び222によりシールして、レセプタクル208.12内の冷却媒体を循環可能にすることができる。上記において、本発明による光学モジュールが照明ユニットで用いられる実施形態に関連して本発明を説明した。しかし当然ながら、本発明による光学モジュールは、光学投影ユニットでもその有益な効果を提供することができる。上記において、本発明をEUV域で働く実施形態に関連して説明した。しかし当然ながら、本発明は、任意の他の波長の露光光で、例えば193nm等で働くシステムで用いることもできる。最後に、上記において、本発明をマイクロリソグラフィシステムのみに関連して説明した。しかし当然ながら、ファセットミラーデバイスを用いた任意の他の光学デバイスに関連して本発明を用いることもできる。