"測定対象体に検査用信号を供給する信号供給部と、当該検査用信号の供給時における前記測定対象体を流れる交流電流および当該交流電流の供給に起因して当該測定対象体の両端に発生する両端間電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備え、前記信号供給部は、前記検査用信号として交流信号を前記測定対象体に供給し、前記測定部は、前記交流電流および前記両端間電圧の少なくとも一方に含まれている前記検査信号の歪みを検出すると共に当該歪みが規定値以上のときに検出信号を出力する歪み検出部と、当該歪み検出部から前記検出信号が出力されているときに前記信号供給部を制御して前記交流信号の電圧値および電流値のいずれかを低下させる制御部とを備えているインピーダンス測定装置。測定対象体に検査用信号を供給する信号供給部と、当該検査用信号の供給時における前記測定対象体を流れる交流電流および当該交流電流の供給に起因して当該測定対象体の両端に発生する両端間電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備え、前記信号供給部は、前記検査用信号として直流信号が重畳された交流信号を前記測定対象体に供給し、前記測定部は、前記交流電流および前記両端間電圧の少なくとも一方に含まれている前記検査信号の歪みを検出すると共に当該歪みが規定値以上のときに検出信号を出力する歪み検出部と、当該歪み検出部から前記検出信号が出力されているときに前記信号供給部を制御して前記直流信号の電圧値および電流値のいずれかを増加させる制御部とを備えているインピーダンス測定装置。前記歪み検出部は、フーリエ変換演算によって前記検査信号の歪みを検出する請求項1または2記載のインピーダンス測定装置。前記歪み検出部は、バンドエリミネーションフィルタを備えて構成されて、当該バンドエリミネーションフィルタを通過した前記検査信号の高調波成分に基づいて当該検査信号の歪みを検出する請求項1または2記載のインピーダンス測定装置。ところが、出願人が既に開発した上記のインピーダンス測定装置には、以下の改善すべき点がある。すなわち、差動増幅回路の出力電圧が飽和して歪む場合としては、上記特許文献1において開示した例以外に、例えばダイオードのような非線形素子を測定対象体として、この測定対象体に対して適正な検査用信号を供給していないとき具体的には、過大な振幅の交流信号を検査用信号として供給しているときが挙げられる。この場合には、測定対象体に供給する検査用信号を適正な電圧に制御することにより、測定対象体についてインピーダンスの測定を続行することができるが、上記のインピーダンス測定装置では、検査用信号の電圧値を制御できないため、インピーダンス測定を続行することができず、この点の改善が望まれている。本発明は、かかる改善点に鑑みてなされたものであり、測定対象体から検出された電流や電圧に歪みが発生したときに誤測定を回避して正確なインピーダンスを測定し得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。上記目的を達成すべく請求項1記載のインピーダンス測定装置は、測定対象体に検査用信号を供給する信号供給部と、当該検査用信号の供給時における前記測定対象体を流れる交流電流および当該交流電流の供給に起因して当該測定対象体の両端に発生する両端間電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備え、前記信号供給部は、前記検査用信号として交流信号を前記測定対象体に供給し、前記測定部は、前記交流電流および前記両端間電圧の少なくとも一方に含まれている前記検査信号の歪みを検出すると共に当該歪みが規定値以上のときに検出信号を出力する歪み検出部と、当該歪み検出部から前記検出信号が出力されているときに前記信号供給部を制御して前記交流信号の電圧値および電流値のいずれかを低下させる制御部とを備えている。請求項2記載のインピーダンス測定装置は、測定対象体に検査用信号を供給する信号供給部と、当該検査用信号の供給時における前記測定対象体を流れる交流電流および当該交流電流の供給に起因して当該測定対象体の両端に発生する両端間電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備え、前記信号供給部は、前記検査用信号として直流信号が重畳された交流信号を前記測定対象体に供給し、前記測定部は、前記交流電流および前記両端間電圧の少なくとも一方に含まれている前記検査信号の歪みを検出すると共に当該歪みが規定値以上のときに検出信号を出力する歪み検出部と、当該歪み検出部から前記検出信号が出力されているときに前記信号供給部を制御して前記直流信号の電圧値および電流値のいずれかを増加させる制御部とを備えている。請求項3記載のインピーダンス測定装置は、請求項1または2記載のインピーダンス測定装置において、前記歪み検出部は、フーリエ変換演算によって前記検査信号の歪みを検出する。請求項4記載のインピーダンス測定装置は、請求項1または2記載のインピーダンス測定装置において、前記歪み検出部は、バンドエリミネーションフィルタを備えて構成されて、当該バンドエリミネーションフィルタを通過した前記検査信号の高調波成分に基づいて当該検査信号の歪みを検出する。請求項1のインピーダンス測定装置では、信号供給部が検査用信号として交流信号を測定対象体に供給している状態において、歪み検出部が測定対象体を流れている交流電流およびその両端間電圧の少なくとも一方に含まれている検査信号の歪みを検出すると共にこの歪みが規定値以上のときに検出信号を出力し、制御部が、歪み検出部から検出信号が出力されている間、信号供給部を制御して交流信号の電圧値および電流値のいずれかを低下させる。したがって、このインピーダンス測定装置によれば、測定対象体がダイオードのような非線形素子の場合において交流信号の電圧値が所定値以上となったときであっても、測定対象体を流れる交流電流およびその両端間電圧の各波形に含まれている検査信号の歪みが規定値以下となるまで交流信号の電圧値および電流値のいずれかを自動的に低下させつつ、インピーダンスの測定を続行することができるため、誤測定を回避しつつインピーダンスを正確に測定することができる。また、請求項2記載のインピーダンス測定装置によれば、信号供給部が検査用信号として交流信号を測定対象体に供給している状態において、歪み検出部が測定対象体を流れている交流電流およびその両端間電圧の少なくとも一方に含まれている検査信号の歪みを検出すると共にこの歪みが規定値以上のときに検出信号を出力し、制御部が、歪み検出部から検出信号が出力されている間、信号供給部を制御して直流電圧の電圧値および電流値のいずれかを増加させる。したがって、このインピーダンス測定装置によれば、測定対象体がダイオードのような非線形素子の場合において交流信号の電圧値が所定値以上となったときであっても、測定対象体を流れる交流電流およびその両端間電圧の各波形に含まれている検査信号の歪みが規定値以下となるまで直流信号の電圧値および電流値のいずれかを自動的に増加させつつ、インピーダンスの測定を続行することができるため、誤測定を回避しつつインピーダンスを正確に測定することができる。請求項3のインピーダンス測定装置によれば、歪み検出部がフーリエ変換演算によって検査信号の歪みを検出することにより、検査信号の歪みを正確に算出することができる。請求項4記載のインピーダンス測定装置によれば、歪み検出部がバンドエリミネーションフィルタを通過した検査信号の高調波成分に基づいて検査信号の歪みを検出することにより、この歪みを簡易な構成で算出することができる。以下、添付図面を参照して、本発明に係るインピーダンス測定装置の最良の形態について説明する。最初に、インピーダンス測定装置1の構成について、図面を参照して説明する。インピーダンス測定装置1は、図1に示すように、信号供給部2、電流検出部3、電圧検出部4、歪み検出部5、演算制御部6および表示部7を備えて構成されて、測定対象体11のインピーダンスZを測定する。信号供給部2は、正弦波信号である交流信号Vsを検査用信号として生成する。また信号供給部2は、電流供給プローブ12以下、プローブ12ともいうを介して測定対象体11の一端側に接続可能に構成されて、生成した交流信号Vsを測定対象体11に供給する。また、信号供給部2は、交流信号Vsの電圧値振幅値を変更する機能を備えている。この場合、信号供給部2は、演算制御部6の制御に従って交流信号Vsの電圧値の変更を実行する。電流検出部3は、電流/電圧変換器以下、I/V変換器ともいう31、フィルタ32およびA/D変換器33を備え、電圧検出部4、歪み検出部5および演算制御部6と共に本発明における測定部MEを構成する。また、電流検出部3は、電流検出プローブ13以下、プローブ13ともいうを介して測定対象体11の他端側に接続可能に構成されて、測定対象体11を流れる交流電流I1を検出する。具体的には、I/V変換器31が、プローブ13を介して入力した交流電流I1測定対象体11を流れる電流を、交流電流I1の電圧値に比例してその電圧値が変化する電圧信号S1に電流-電圧変換して出力する。フィルタ32は、低域通過型フィルタに構成されて、入力した電圧信号S1に含まれているノイズ成分を除去して電圧信号S2として出力する。A/D変換器33は、入力した電圧信号S2を所定のサンプリング周期でサンプリングすることにより、電圧信号S2の電圧値を示すディジタルデータDiを出力する。電圧検出部4は、差動増幅器41、フィルタ42およびA/D変換器43を備えている。また、電圧検出部4は、一対の電圧検出プローブ14,15以下、プローブ14,15ともいうを介して測定対象体11の各端部に接続可能に構成されて、交流電流I1の供給に起因して測定対象体11の両端間に発生する電圧本発明における両端間電圧V1を検出する。具体的には、差動増幅器41が、各プローブ14,15を介して検出した電圧V1を増幅して電圧信号S3として出力する。フィルタ42は、低域通過型フィルタに構成されて、入力した電圧信号S3に含まれているノイズ成分を除去して電圧信号S4として出力する。A/D変換器43は、入力した電圧信号S4を所定のサンプリング周期でサンプリングすることにより、電圧信号S4の電圧値を示すディジタルデータDvを出力する。歪み検出部5は、一例としてDSPで構成されて、入力した電圧信号S2および電圧信号S4の少なくとも一方の波形に発生している歪みを検出する。また、歪み検出部5は、検出した歪みが予め設定された規定値以上のときに検出信号S5を出力する。本例では、歪み検出部5は、例えば、電圧信号S2,S4についての各波形交流信号Vsの基本波成分に対する高調波成分の比率本発明における歪みであって、以下、歪み率ともいうをFFT本発明におけるフーリエ変換の一例としての高速フーリエ変換演算によって算出して、この比率が規定値以上のときに検出信号S5を出力する。なお、FFT演算に代えてDFT離散フーリエ変換演算によって上記の歪み率を算出することもできる。このようにフーリエ変換演算を用いることで歪み率を正確に算出することができる。また、バンドエリミネーションフィルタを備えて歪み検出部5を構成することもできる。この構成では、歪み検出部5は、バンドエリミネーションフィルタを通過した電圧信号S2,S4の高調波成分に基づいて、この電圧信号S2,S4の歪み率を検出する。具体的には、歪み検出部5は、電圧信号S2,S4についての各波形交流信号Vsの高調波成分をバンドエリミネーションフィルタを通過させ、電圧信号S2,S4についての各波形交流信号Vsの基本波成分に対する通過させた高調波成分の比率を算出して、この歪み率が規定値以上のときに検出信号S5を出力する。このようにバンドエリミネーションフィルタを用いて構成することで、歪み率を簡易な構成で算出することができる。また、前述した従来例と同様にして、信号の波形が飽和しているか否かを検出して、飽和しているときに検出信号S5を出力する構成を採用することもできる。演算制御部6は、CPUおよび内部メモリいずれも図示せずを備え、本発明における制御部として構成されて、ディジタルデータDiおよびディジタルデータDvに基づくインピーダンス演算処理、および算出したインピーダンスなどを表示部7に表示させる表示処理を実行する。また、演算制御部6は、検出信号S5を入力したときには、制御信号S6を出力して信号供給部2の動作制御を実行する。表示部7は、LCDなどで構成されて、演算制御部6の制御下で、算出されたインピーダンスZなどを表示する。次に、このインピーダンス測定装置1の測定動作について説明する。なお、測定対象体11として、ダイオードのインピーダンスを測定する例について説明する。まず、測定対象体11に各プローブ12,13,14,15を接続する。次いで、その状態でインピーダンス測定装置1による測定を開始させる。この際には、信号供給部2、電流検出部3、電圧検出部4、歪み検出部5および演算制御部6がそれぞれの動作を開始する。信号供給部2は、予め設定された初期電圧値で交流信号Vsを生成して出力する。これにより、プローブ12を介して交流信号Vsが測定対象体11に供給されるため、測定対象体11には交流電流I1が流れ始める。この状態において、電流検出部3では、I/V変換器31がプローブ13を介して入力した交流電流I1を電圧信号S1に変換して出力し、フィルタ32が電圧信号S1に含まれているノイズ成分を除去して電圧信号S2として出力し、A/D変換器33が電圧信号S2をディジタルデータDiに変換して出力する。また、電圧検出部4では、差動増幅器41が各プローブ14,15を介して検出した電圧V1を増幅して電圧信号S3として出力し、フィルタ42が電圧信号S3に含まれているノイズ成分を除去して電圧信号S4として出力し、A/D変換器43が電圧信号S4をディジタルデータDvに変換して出力する。また、歪み検出部5は、電圧信号S2,S4について、それぞれの波形の歪みを検出すると共に、検出した歪み率が規定値以上であるか否かを検出する。また、演算制御部6は、ディジタルデータDiおよびディジタルデータDvに基づいてインピーダンス演算処理を実行してインピーダンスZを算出し、表示処理を実行して、算出したインピーダンスZを表示部7に表示させる。ところで、本例では、測定対象体11が非線形素子のダイオードであるため、適正な電圧値振幅値の交流信号Vsが信号供給部2から測定対象体11に対して供給されていないときには、交流電流I1および電圧V1の少なくとも一方の波形に規定値以上の歪みが発生して、正しいインピーダンスZの測定が行えないことがある。この場合、歪み検出部5は、検出した波形の歪み率が規定値以上であることを検出して検出信号S5を出力する。演算制御部6は、この検出信号S5を入力したときには、検出信号S5を入力している間検出信号S5の入力が停止するまで、表示処理において表示部7に誤測定の可能性のある旨を表示させると共に、制御信号S6を出力して信号供給部2を制御することにより、交流信号Vsの電圧値を徐々に低下させる。この場合、制御信号S6を出力して信号供給部2を制御することにより、交流信号Vsの電流値を徐々に低下させてもよい。この場合、測定対象体11としてのダイオードは、供給される交流信号Vsの電圧値が所定の電圧値以下ダイオードによって異なるが、例えば600mV以下となったときには、直流的には順方向および逆方向のいずれについても非導通状態となる一方で、交流的には双方向で導通状態となり、交流信号Vsに対して電流がほぼ線形に変化する線形特性を示すようになる。このため、この状態では、交流電流I1および電圧V1の波形歪みが減少して、電圧信号S2,S4の各波形歪み率も規定値未満となる結果、歪み検出部5は検出信号S5の出力を停止する。したがって、演算制御部6は、表示処理において、算出したインピーダンスZの表示を続行しつつ、誤測定の可能性のある旨の表示については停止する。このように、このインピーダンス測定装置1では、信号供給部2が検査用信号として交流信号Vsを測定対象体11に供給している状態において、歪み検出部5が測定対象体11を流れている交流電流I1およびその両端間の電圧V1の各波形に含まれている交流信号Ssの歪みを検出すると共に歪み率が規定値以上のときに検出信号S5を出力し、演算制御部6は、歪み検出部5から検出信号S5が出力されている間、信号供給部2を制御して交流信号Vsの電圧値および電流値のいずれかを低下させる。したがって、このインピーダンス測定装置1によれば、測定対象体11がダイオードのような非線形素子の場合において交流信号Vsの電圧値が所定値以上となったときであっても、測定対象体11を流れる交流電流I1およびその両端間の電圧V1の各波形に含まれている交流信号Ssの歪み率が規定値以下となるまで交流信号Vsの電圧値および電流値のいずれかを自動的に低下させつつ、誤測定の可能性のある旨を表示部7に表示させると共にインピーダンスZの測定を続行することができるため、誤測定を回避しつつインピーダンスZを正確に測定することができる。なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、信号供給部2が検査用信号として交流信号Vsを出力する例について上記したが、検査用信号として直流電圧Vdが重畳された交流信号Vsを測定対象体11に供給する構成を採用することもできる。また、この構成を採用したインピーダンス測定装置1では、演算制御部6は、歪み検出部5が検出信号S5を出力している間、算出したインピーダンスZと共に誤測定の可能性のある旨を表示部7に表示させつつ、信号供給部2を制御して直流電圧Vdの電圧値および電流値のいずれかを増加させる。測定対象体11であるダイオードは、順方向電圧が所定値以上例えば0.7ボルト以上のときには、電圧-電流特性がほぼ線形となる。したがって、この構成を採用したインピーダンス測定装置1においても、測定対象体11がダイオードのような非線形素子の場合において、測定対象体11を流れる交流電流I1およびその両端間の電圧V1の各波形に含まれている交流信号Ssの歪み率が規定値以下となるまで直流電圧Vdの電圧値および電流値のいずれかを自動的に増加させつつ、誤測定の可能性のある旨を表示部7に表示させると共にインピーダンスZの測定を続行することができるため、誤測定を回避しつつ正しいインピーダンスZを測定することができる。また、歪み検出部5および演算制御部6を別体に構成した例について上記したが、演算制御部6が、入力したディジタルデータDiとディジタルデータDvとに基づいて、交流電流I1および電圧V1の各波形に規定以上の歪みが発生しているか否かを検出する構成、つまり演算制御部6が歪み検出部5としても機能する構成を採用することもできる。また、検出信号S5を入力している間、算出したインピーダンスZと共に誤測定の可能性のある旨をLCDで構成された表示部7に表示させる例について上記したが、検出信号S5を入力している間だけ、表示部としてのLEDやランプなどを点灯させる構成を採用することもできる。また、測定対象体11としてのダイオードのインピーダンスZを測定算出する例について上記したが、非線形な電圧-電流特性を示す電子部品であれば、ダイオード以外のものインピーダンスZをインピーダンス測定装置1で測定できるのは勿論である。また、上記した交流信号Vsの電圧値を低下させる機能、および直流電圧Vdを交流信号Vsに重畳させると共に直流電圧Vdの電圧値を増加させる機能の双方を備えて信号供給部2を構成することもできる。この構成によれば、演算制御部6が交流信号Vsの電圧値の低下および直流電圧Vdの電圧値の増加のいずれかを自動的に切り替えることで、上記した2種類のインピーダンスZ直流電圧Vdの印加によってダイオードがオン状態となっている作動領域とオン状態となっていない作動領域でのインピーダンスを自動的に測定することができる。"