内歯歯車と、前記内歯歯車と噛合する外歯歯車と、前記外歯歯車を前記内歯歯車中心軸線に対し所定の偏心量で公転可能に支持するクランク軸と、前記外歯歯車に備えた前記内歯歯車中心軸線に平行な貫通穴とキャリヤに固定された出力ピンを係合させて前記外歯歯車の自転運動と連動する前記キャリヤを備え、前記クランク軸を入力軸とし、前記内歯歯車と前記キャリヤのいずれかを出力軸として作動させる偏心搖動型減速機の製造方法において、前記貫通穴の内周表面を前記出力ピンより弾性限度値が小さな内周用部材で構成し、前記貫通穴の径が前記偏心量の2倍と前記出力ピンの外径の和より所定値だけ小さい前記外歯歯車を製造する第1の工程と、前記外歯歯車の前記貫通穴に前記出力ピンを全て挿入し、全ての前記出力ピンの少なくとも一方の端部を前記キャリヤに結合する第2の工程と、前記外歯歯車と前記出力ピンの軸心を平行に保ち、前記外歯歯車と前記キャリヤを前記外歯歯車の軸心に直交する面内で前記偏心量を半径とする相対公転運動をさせる第3の工程と、前記内歯歯車と前記外歯歯車を噛合させ、前記外歯歯車をクランク軸に挿入し、前記外歯歯車の前記貫通穴に前記出力ピンを前記第3の工程における前記貫通穴と前記出力ピンの組合せと同一の組合せで挿入し、前記キャリヤへの前記出力ピン取付位置を前記第3の工程における前記キャリヤへの前記出力ピン取付位置と同一として結合して前記偏心搖動型減速機を組み立てる第4の工程と、を備える減速機製造方法。前記内周用部材に加工硬化性を有する金属を用いる請求項1に記載の減速機製造方法。前記所定値を前記キャリヤの前記出力ピン位置決め誤差の2倍と、前記外歯歯車の前記貫通穴位置誤差の2倍と前記貫通穴の内径寸法誤差と、前記出力ピンの外径寸法誤差の和に所定の係数を乗じた値とする請求項1または請求項2に記載の減速機製造方法。前記第3の工程において、前記相対公転運動の半径を前記偏心量から前記所定値の1/2を減算した値の半径から開始し、徐々に増大し、前記偏心量を半径として終了する請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の減速機製造方法。内歯歯車と、前記内歯歯車と噛合する外歯歯車と、前記外歯歯車を前記内歯歯車中心軸線に対し所定の偏心量で公転可能に支持するクランク軸と、前記外歯歯車に備えた前記内歯歯車中心軸線に平行な貫通穴とキャリヤに固定された出力ピンを係合させて前記外歯歯車の自転運動と連動する前記キャリヤを備え、前記クランク軸を入力軸とし、前記内歯歯車と前記キャリヤのいずれかを出力軸として作動させる偏心搖動型減速機において、前記貫通穴の内周表面を前記出力ピンより弾性限度値が小さく加工硬化性を有する金属で構成し、前記貫通穴の径が、前記偏心量の2倍と前記出力ピンの外径の和より、前記キャリヤの前記出力ピン位置決め誤差の2倍と前記外歯歯車の前記貫通穴位置誤差の2倍と前記貫通穴の内径寸法誤差と前記出力ピンの外径寸法誤差の和に所定の係数を乗じた値だけ、小さい前記外歯歯車を製造する第1の工程と、前記外歯歯車の前記貫通穴に前記出力ピンを全て挿入し、全ての前記出力ピンの少なくとも一方の端部を前記キャリヤに結合する第2の工程と、前記外歯歯車と前記出力ピンの軸心を平行に保ち、前記外歯歯車と前記キャリヤを前記外歯歯車の軸心に直交する面内で前記偏心量を半径とする相対公転運動をさせる第3の工程と、前記内歯歯車と前記外歯歯車を噛合させ、前記外歯歯車をクランク軸に挿入し、前記外歯歯車の前記貫通穴に前記出力ピンを前記第3の工程における前記貫通穴と前記出力ピンの組合せと同一の組合せで挿入し、前記キャリヤへの前記出力ピン取付位置を前記第3の工程における前記キャリヤへの前記出力ピン取付位置と同一として結合して前記偏心搖動型減速機を組み立てる第4の工程、により製造される減速機。特許文献1の技術は構成部品の加工誤差の影響をある程度は緩和できるが、本質的には所定の誤差以内で構成部品を製作する必要があることは変わらず、構成部品の加工誤差によるバックラッシの発生を完全に除去することは困難である。さらに、ピンと内ローラ間の力の伝達が内ローラの両端部のみでなされるため、局部的な摩耗の進行が早く寿命が短くなる恐れがある。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、バックラッシを除去でき、局部的な摩耗の生じない減速機を提供することを目的とする。上記の課題を解決するため、請求項1に係る発明の特徴は、内歯歯車と、前記内歯歯車と噛合する外歯歯車と、前記外歯歯車を前記内歯歯車中心軸線に対し所定の偏心量で公転可能に支持するクランク軸と、前記外歯歯車に備えた前記内歯歯車中心軸線に平行な貫通穴とキャリヤに固定された出力ピンを係合させて前記外歯歯車の自転運動と連動する前記キャリヤを備え、前記クランク軸を入力軸とし、前記内歯歯車と前記キャリヤのいずれかを出力軸として作動させる偏心搖動型減速機の製造方法において、前記貫通穴の内周表面を前記出力ピンより弾性限度値が小さな内周用部材で構成し、前記貫通穴の径が前記偏心量の2倍と前記出力ピンの外径の和より所定値だけ小さい前記外歯歯車を製造する第1の工程と、前記外歯歯車の前記貫通穴に前記出力ピンを全て挿入し、全ての前記出力ピンの少なくとも一方の端部を前記キャリヤに結合する第2の工程と、前記外歯歯車と前記出力ピンの軸心を平行に保ち、前記外歯歯車と前記キャリヤを前記外歯歯車の軸心に直交する面内で前記偏心量を半径とする相対公転運動をさせる第3の工程と、前記内歯歯車と前記外歯歯車を噛合させ、前記外歯歯車をクランク軸に挿入し、前記外歯歯車の前記貫通穴に前記出力ピンを前記第3の工程における前記貫通穴と前記出力ピンの組合せと同一の組合せで挿入し、前記キャリヤへの前記出力ピン取付位置を前記第3の工程における前記キャリヤへの前記出力ピン取付位置と同一として結合して前記偏心搖動型減速機を組み立てる第4の工程と、を備えることである。請求項2に係る発明の特徴は、請求項1に係る発明において、前記内周用部材に加工硬化性を有する金属を用いることである。請求項3に係る発明の特徴は、請求項1または請求項2に係る発明において、前記所定値を前記キャリヤの前記出力ピン位置決め誤差の2倍と、前記外歯歯車の前記貫通穴位置誤差の2倍と前記貫通穴の内径寸法誤差と、前記出力ピンの外径寸法誤差の和に所定の係数を乗じた値とすることである。請求項4に係る発明の特徴は、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に係る発明において、前記第3の工程における前記相対公転運動の半径を前記偏心量から前記所定値の1/2を減算した値の半径から開始し、徐々に増大し、前記偏心量を半径として終了することである。請求項5に係る発明の特徴は、内歯歯車と、前記内歯歯車と噛合する外歯歯車と、前記外歯歯車を前記内歯歯車中心軸線に対し所定の偏心量で公転可能に支持するクランク軸と、前記外歯歯車に備えた前記内歯歯車中心軸線に平行な貫通穴とキャリヤに固定された出力ピンを係合させて前記外歯歯車の自転運動と連動する前記キャリヤを備え、前記クランク軸を入力軸とし、前記内歯歯車と前記キャリヤのいずれかを出力軸として作動させる偏心搖動型減速機において、前記貫通穴の内周表面を前記出力ピンより弾性限度値が小さく加工硬化性を有する金属で構成し、前記貫通穴の径が、前記偏心量の2倍と前記出力ピンの外径の和より、前記キャリヤの前記出力ピン位置決め誤差の2倍と前記外歯歯車の前記貫通穴位置誤差の2倍と前記貫通穴の内径寸法誤差と前記出力ピンの外径寸法誤差の和だけ、小さい前記外歯歯車を製造する第1の工程と、前記外歯歯車の前記貫通穴に前記出力ピンを全て挿入し、全ての前記出力ピンの少なくとも一方の端部を前記キャリヤに結合する第2の工程と、前記外歯歯車と前記出力ピンの軸心を平行に保ち、前記外歯歯車と前記キャリヤを前記外歯歯車の軸心に直交する面内で前記偏心量を半径とする相対公転運動をさせる第3の工程と、前記内歯歯車と前記外歯歯車を噛合させ、前記外歯歯車をクランク軸に挿入し、前記外歯歯車の前記貫通穴に前記出力ピンを前記第3の工程における前記貫通穴と前記出力ピンの組合せと同一の組合せで挿入し、前記キャリヤへの前記出力ピン取付位置を前記第3の工程における前記キャリヤへの前記出力ピン取付位置と同一として結合して、前記偏心搖動型減速機を組み立てる第4の工程、により製造されることである。請求項1に係る発明によれば、全ての外歯歯車の貫通穴と出力ピンが隙間無しに接触して相対的な公転運動が可能となる。このため、外歯歯車の自転運動をバックラッシ無しで伝達できる。また、全ての出力ピンが同様に回転トルクを伝達するので、特定の出力ピンに負荷が集中することが無く、不均一な摩耗が生じない。結果として、ガタやバックラッシが少なく長寿命の減速機を製造できる。請求項2に係る発明によれば、貫通穴の内周面が容易に製造でき、使用時には加工硬化により内周面の強度が増し長寿命の減速機を製造できる。請求項3に係る発明によれば、どのような組合せのキャリヤ、出力ピン、外歯歯車を用いても、貫通穴の内周面と出力ピンが隙間無しに接触して相対的な公転運動が可能な減速機を製造できる。請求項4に係る発明によれば、過大な負荷を生じることなく、貫通穴の内周面を徐々に拡大することができ、製造装置を過剰に高強度、大型化する必要がない。請求項5に係る発明によれば、どのような組合せのキャリヤ、出力ピン、外歯歯車を用いても、全て外歯歯車の貫通穴と出力ピンが隙間無しに接触して相対的な公転運動が可能となる。このため、外歯歯車の自転運動をバックラッシ無しで伝達できる。また、全ての出力ピンが同様に回転トルクを伝達するので、特定の出力ピンに負荷が集中することが無く、不均一な摩耗が生じない。結果として、ガタやバックラッシが少なく長寿命の減速機を実現できる。以下、本発明の実施の形態を図1~図3に示す外歯歯車を1枚備えた事例に基づき説明する。図1に示すように、本減速機1はハウジング2の中心部に、ハウジング2で保持された軸受9と、軸受12を介してハウジング2により回転自在に支持された側板7で保持された軸受13を介して回転自在に支持されたクランク軸3を備えている。クランク軸3は円筒状の偏心カム部31を備えている。偏心カム部31の外周に軸受11を介して回転自在に支持される外歯歯車5を備えている。側板6は軸受10を介してクランク軸3により回転自在に支持されている。側板6の外歯歯車5と対向した面にクランク軸3の回転軸心に同心位置で軸線がクランク軸3の回転軸心と平行になるように配置された出力ピン8を複数備え、出力ピン8は外歯歯車5に設けられた穴52を貫通して側板7と結合している。側板6と側板7によりキャリヤを構成している。外歯歯車5はハウジング2の内周面に設けられた内歯21と1箇所で噛合するような歯車のピッチ円径を備えている。クランク軸3の回転に伴い外歯歯車5は内歯21と噛合しながらクランクカムの偏心量eを半径とする公転運動をするが、穴52の穴径dは出力ピン8の外径をDとするとd=2eDに設定されており、穴52は出力ピン8の外周に常に内接して回転する。ここで、穴52の表面は銅合金層51を備えており、鉄合金製の出力ピン8より、弾性限度値が低く設定されている。以下、この減速機の詳細な作動について図1に基づき説明する。図1に示すように、クランク軸3が回転すると外歯歯車5はハウジング2の内周面に設けられた内歯車21と噛合しながら公転する。このとき、外歯歯車5の歯数をZ1、内歯車21の歯数をZ2とすると、外歯歯車5はクランク軸3の1回転当りZ2-Z1の歯数だけ相対回転をする。つまり、外歯歯車5はハウジング2に対して偏心eを半径とする1回転の公転運動と、Z2-Z1/Z2回転の自転運動をする。この自転運動は穴52と出力ピン8の接触部を介して出力軸である側板6、7で構成されるキャリヤに伝達される。以下、搖動成形機について図2、図3に基づき説明する。図2に示すように、搖動成形機は出力ピン8を組み立てた側板6、7を固定できる冶具40を備えている。搖動アーム41は図示されない駆動装置により駆動され、出力ピン8の軸方向に直交する面内で所望の半径の公転運動が可能である。図3に示すように、搖動アーム41の先端は外歯歯車5の外周を保持できる機能を備えている。以下に、減速機1の製造方法を工程図4に基づき説明する。外歯歯車5に直径d=2eDKEの穴52を加工する。ここでeはクランク軸3の偏心カム部31の偏心量、Dは出力ピン8の直径、Eは側板6、7の出力ピン8の位置決め誤差の2倍と外歯歯車5の穴52の位置誤差の2倍と穴52の内径寸法誤差と出力ピン8の外径寸法誤差の各最大値の和であり、Kは所望の係数で2~4が好適であるSTP1。外歯歯車5の穴52の表面に厚さKE/2の銅合金を溶射するSTP2。出力ピン8を外歯歯車5の穴52に貫通させた後、両端を側板6、7に固定したサブアッシを組立てるSTP3。搖動成形機の搖動アーム41で外歯歯車5を保持し、側板6、7を搖動成形機の冶具40に固定するSTP4。搖動アーム41を半径r=r0=e-KE/2、回転速度nmin-1で公転するSTP5。搖動アーム41を半径r=rΔr、回転速度nmin-1で公転する、ここでΔrはKE/2を所望の整数値で等分した量とするSTP6。公転半径rがr=eか否かの判定をする、r≧eならSTP8へ、r<eならSTP6へ移動STP7。搖動成形機からサブアッシを取り外すSTP8。穴52と出力ピン8と側板6、7への取付がサブアッシと同じ組合せとなるように減速機1を組立てるSTP9。上記の方法で製造した減速機1はその作動時に、側板6、7と出力ピン8の加工精度に無関係に、出力ピン8と穴52が常に接触しながら相対公転運動をする。このため、外歯歯車の自転力をガタやバックラッシ無しに出力可能で、高精度の減速機を製作できる。本事例では、外歯歯車を1枚備えた例について説明したが、外歯歯車を2枚備えた減速機としてもよい。また、歯形はインボリュート歯型、トロコイド歯型など特に限定する必要は無く、内歯歯車と外歯歯車が噛合回転できればよい。また、穴52の表面は溶射した銅合金層51の例について説明したが、表面はメッキ、円環の焼ばめ等で形成してもよい。穴52の内周に円周方向の溝を構成して、搖動成形機による穴52の成形を容易にしもよい。