"ワークを把持するための一対のチャック片を有するチャック機構部と、当該チャック機構部を、チャック機構支持部を介して支持するチャック機構支持部本体とを備えたワーク保持装置であって、前記一対のチャック片のうち少なくとも一方のチャック片は、相対向するチャック片に対して近接離間移動可能であり、当該一方のチャック片の離間移動範囲を規制する離間移動規制手段を備えていることを特徴とするワーク保持装置。前記一方のチャック片の近接離間移動方向は、上下方向であり、前記離間移動規制手段は、前記チャック機構支持部本体に設置されており、前記チャック機構部は、前記チャック機構支持部が備えている弾性部材を介して上下方向に揺動可能に支持されている請求項1に記載のワーク保持装置。前記弾性部材は、前記一対のチャック片が閉状態のとき、当該一対のチャック片を上下方向に揺動可能な状態に支持するものである請求項2に記載のワーク保持装置。前記チャック機構部を前記チャック機構支持部本体に対して位置決めするロック手段を備えている請求項2又は請求項3に記載のワーク保持装置。前記チャック機構支持部は、前記チャック機構支持部本体に設置された上下方向に延びる柱体と、当該柱体に外挿された前記弾性部材と、当該弾性部材上に配置された昇降体とを備えており、前記チャック機構部は、当該昇降体に取り付けられており、前記ロック手段は、前記昇降体を前記柱体に押しつけることによって、当該柱体に対して固定する押圧具を備えている請求項4に記載のワーク保持装置。前記一対のチャック片は、相対的に上側に配置された上チャック片と、下側に配置された下チャック片とを備えており、当該上チャック片及び下チャック片は、いずれも、相対向するチャック片に対して上下方向に近接離間移動可能であり、前記離間移動規制手段として、前記上チャック片の離間移動範囲を規制する上側規制部材と、前記下チャック片42の離間移動範囲を規制する下側規制部材とを有するものである請求項2から請求項5のいずれか一項に記載のワーク保持装置。前記チャック機構部は、前記一対のチャック片を上下方向に近接離間させてチャックを開閉させる開閉アクチュエータを備えている請求項6に記載のワーク保持装置。前記チャック機構支持部に隣接する隣接位置に設置されているか、又は当該隣接位置に移動可能に設置されたワーク載置部を備えており、前記一対のチャック片のワーク保持端は、前記ワーク載置部側に向いており、前記チャック機構支持部が設置された前記チャック機構支持部本体は、前記ワーク載置部に対して進退移動可能であり、当該チャック機構支持部本体を移動させるアクチュエータを更に備えている請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のワーク保持装置。複数のワーク処理ステージ間を移動する移動体を備えているワーク搬送装置であって、前記移動体の上に、ワークを保持する手段として、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のワーク保持装置が設置されていることを特徴とするワーク搬送装置。前記ワーク載置部に載置されたワークの大きさ及びワーク縁の高さを検知するワーク検知手段と、当該ワーク検知手段からのワーク情報信号に基づいて前記チャック機構支持部の進退移動位置を制御する進退移動制御部と、を備えている請求項9に記載のワーク搬送装置。複数のワーク処理ステージ間のワーク搬送に用いるコンベアを備えていると共に、当該コンベアに沿って移動する走行台車として請求項9又は請求項10に記載された移動体を備えるワーク搬送用トラバーサーであって、前記ワーク載置部は、前記コンベア上に設置されており、前記ワーク保持装置のチャック機構支持部の進退移動方向は、前記コンベア上のワーク載置部の移動方向に対して交差する方向であることを特徴とするワーク搬送用トラバーサー。前記コンベア上のワーク載置部上にワークが載置されているか否かを検知するワーク検知手段と、当該ワーク検知手段からのワーク載置信号に基づいて前記チャック機構支持部の進退移動及び前記チャック機構部の開閉を制御するトラバーサー制御部と、を備えている請求項11に記載のワーク搬送用トラバーサー。前記走行台車の走行位置を検知する走行位置検知手段を備えており、前記トラバーサー制御部は、前記走行位置検知手段からの走行台車位置信号に基づいて、前記チャック機構部の開閉を制御する請求項12に記載のワーク搬送用トラバーサー。ところが、上記搬送方法では、基板を押圧爪で上から押さえ込むようにして把持するので、基板、特に基板の、押圧爪が当接する部分に無理な力が加わりやすい。加熱直後の基板に力を加えると、その部分にクラックが入って割れやすくなるなど、歩留まりの低下を招きやすい。従って、加熱直後の基板を把持する場合、できるだけ基板に無理な力が加わらないように把持することが望ましい。本願発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、加熱等によって変形した基板等のワークを保持する際、ワークに傷や割れなどの不具合が生じることが防止されるワーク保持装置並びにこれを用いたワーク搬送装置及びワーク搬送用トラバーサーを提供することを課題とする。本願発明は、ワークを把持するための一対のチャック片を有するチャック機構部と、当該チャック機構部を、チャック機構支持部を介して支持するチャック機構支持部本体とを備えたワーク保持装置であって、前記一対のチャック片のうち少なくとも一方のチャック片は、相対向するチャック片に対して近接離間移動可能であり、当該一方のチャック片の離間移動範囲を規制する離間移動規制手段を備えているものである。このワーク保持装置によれば、加熱等によって変形した基板等のワークを保持する際、ワークを保持する一対のチャック片が、ワークの変形に追従するため、ワークに傷や割れなどの不具合が生じることを防止することができる。また、このワーク保持装置では、少なくとも一方のチャック片は、開状態になると、離間移動規制手段に移動を規制されるので開状態の位置が安定する。従って、ワークの縁を一対のチャック片の間に位置させる作業を容易に行うことができ、この作業の際にワークがチャック片に当たるなどして傷つくことが防止される。そして、前記一方のチャック片の近接離間移動方向は、上下方向であり、前記離間移動規制手段は、前記チャック機構支持部本体に設置されており、前記チャック機構部は、前記チャック機構支持部が備えている弾性部材を介して上下方向に揺動可能に支持されている。このような構成にすると、チャック機構部をいわゆるフローティング支持することができるので、把持されたワークの傷付きをより確実に防止することができる。また、前記弾性部材は、前記一対のチャック片が閉状態のとき、当該一対のチャック片を上下方向に揺動可能な状態に支持するものである。このような構成にすると、一対のチャック片が閉状態であるときにチャック機構部を確実にフローティング支持することができるので、把持されたワークの傷付きをより確実に防止することができる。また、前記チャック機構部を前記チャック機構支持部本体に対して位置決めするロック手段を備えている。ワークを把持した状態の一対のチャック片をロック手段で位置決めすると、チャック片の振動が防止され、チャック片に把持されたワークの傷付きが防止される。また、前記チャック機構支持部は、前記チャック機構支持部本体に設置された上下方向に延びる柱体と、当該柱体に外挿された前記弾性部材と、当該弾性部材上に配置された昇降体とを備えており、前記チャック機構部は、当該昇降体に取り付けられており、前記ロック手段は、前記昇降体を前記柱体に押しつけることによって、当該柱体に対して固定する押圧具を備えている。押圧具で昇降体を柱体に押し付けて位置決めするロック手段を用いることで、チャック片の振動がより確実に防止され、ワークの傷付きがより確実に防止される。また、前記一対のチャック片は、相対的に上側に配置された上チャック片と、下側に配置された下チャック片とを備えており、当該上チャック片及び下チャック片は、いずれも、相対向するチャック片に対して上下方向に近接離間移動可能であり、前記離間移動規制手段として、前記上チャック片の離間移動範囲を規制する上側規制部材と、前記下チャック片の離間移動範囲を規制する下側規制部材とを有するものである。このような構成にすると、一対のチャック片が開状態になると、弾性部材が圧縮状態になり、一対のチャック片の高さ位置が安定する。従って、ワークの縁を一対のチャック片の間に位置させる作業を容易に行うことができ、この作業の際にワークがチャック片に当たるなどして傷つくことがより確実に防止される。また、前記チャック機構部は、前記一対のチャック片を上下方向に近接離間させてチャックを開閉させる開閉アクチュエータを備えている。このような構成にすると、一対のチャック片を簡単、迅速且つ確実に上下方向に開閉させることができる。また、ワーク保持装置は、前記チャック機構支持部に隣接する隣接位置に設置されているか、又は当該隣接位置に移動可能に設置されたワーク載置部を備えており、前記一対のチャック片のワーク保持端は、前記ワーク載置部側に向いており、前記チャック機構支持部が設置された前記チャック機構支持部本体は、前記ワーク載置部に対して進退移動可能であり、当該チャック機構支持部本体を移動させるアクチュエータをワーク保持装置は更に備えていてもよい。このような構成にすると、チャック機構部をワークに対して、簡単、迅速且つ確実に進退移動させることができ、ワークの縁を一対のチャック片の間に簡単、迅速且つ確実に位置させることができる。そして、別の本願発明は、複数のワーク処理ステージ間を移動する移動体を備えているワーク搬送装置であって、前記移動体の上に、ワークを保持する手段として上述したようなワーク保持装置が設置されているものである。このようなワーク搬送装置では、ワークを、ワーク保持装置の一対のチャック片で把持できるので、ワークの傷付き等が最小限に抑制される。前記ワーク搬送装置は、前記ワーク載置部に載置されたワークの大きさ及びワーク縁の高さを検知するワーク検知手段と、当該ワーク検知手段からのワーク情報信号に基づいて前記チャック機構支持部の進退移動位置を制御する進退移動制御部と、を備えている。このような構成にすると、迅速且つ確実に、一対のチャック片の間にワークの縁を位置させることができ、安定した状態でワークを把持することができる。また、さらに別の本願発明は、複数のワーク処理ステージ間のワーク搬送に用いるコンベアを備えていると共に、当該コンベアに沿って移動する走行台車として上述したような移動体を備えるワーク搬送用トラバーサーであって、前記ワーク載置部は、前記コンベア上に設置されており、前記ワーク保持装置のチャック機構支持部の進退移動方向は、前記コンベア上のワーク載置部の移動方向に対して交差する方向であることを特徴とするものである。このようなワーク搬送用トラバーサーによれば、コンベアで搬送中のワークを、上記のようなワーク保持装置の一対のチャック片で把持することができるので、ワークへの傷付きが最小限に抑制される。そして、前記ワーク搬送用トラバーサーは、前記コンベア上のワーク載置部上にワークが載置されているか否かを検知するワーク検知手段と、当該ワーク検知手段からのワーク載置信号に基づいて前記チャック機構支持部の進退移動及び前記チャック機構部の開閉を制御するトラバーサー制御部と、を備えている。このような構成にすると、迅速且つ確実に、一対のチャック片の間にワークの縁を位置させることができ、安定した状態でワークを把持することができる。また、前記ワーク搬送用トラバーサーは、前記走行台車の走行位置を検知する走行位置検知手段を備えており、前記トラバーサー制御部は、前記走行位置検知手段からの走行台車位置信号に基づいて、前記チャック機構部の開閉を制御するものである。このような構成にすると、コンベアへのワークの載置が完了したとき、一対のチャック片によって迅速にコンベア上のワークを把持することができ、コンベアで搬送中のワークを搬送開始から終了まで確実に把持することができ、搬送終了後、迅速に把持状態を解除することができる。本願発明に係るワーク保持装置や当該ワーク保持装置を備えたワーク搬送装置及びワーク搬送用トラバーサーでは、加熱等によって変形した基板等のワークを保持する際、ワークを保持する一対のチャック片が、ワークの変形に追従するため、ワークに傷や割れなどの不具合が生じることを防止することができる。本願発明であるワーク保持装置は、板状のワークの縁を把持するときに、ワークに加わる把持力が最小限に抑制されるように把持する一対のチャック片と、これら一対のチャック片を上下に開閉自在に移動させる開閉用シリンダとを備えるチャック機構部を有すると共に、一対のチャック片のうち少なくとも一方のチャック片の離間移動範囲を規制する離間移動規制手段と、離間移動規制手段及びチャック機構部が設置された進退移動自在なチャック機構支持部本体と、離間移動規制手段及びチャック機構部を上方向に付勢するチャック機構支持部と、を備える構成とした。以下、本願発明のワーク保持装置の実施例について、図面を参照しつつ説明する。本願発明のワーク保持装置は、ガラス基板などの板状のワークを搬送するワーク搬送装置において、ワーク搬送装置に載置されたワークを保持する手段として用いられる。図1に示されるように、ワーク搬送装置10は、例えば、ガラス基板W図3a参照、以下、単に基板Wというを処理する加熱ユニットU1などの基板処理ユニットが複数設置された基板処理装置Uに隣接して設置される。ワーク搬送装置10は、基板処理装置Uに隣接して設置される水平に延びるレール11と、レール11上に移動可能に設置された移動体12とを備えている。移動体12は、レール11の延在方向に沿って移動するものであり、複数の基板処理ユニットU1,U2...に沿って又はユニット間を移動可能になっている。また、移動体12は、各基板処理ユニットに対して処理対象の基板Wを搬入出するためのものであり、基板Wを載置することが可能になっている。つまり、移動体12は、基板処理ユニット間における基板Wの搬送や各基板処理ユニットに対する基板Wの搬入出に用いられる。本願発明のワーク保持装置20図2参照は、この移動体12に設置されているので、ここでは、移動体12の構成について説明する。なお、本願発明のワーク保持装置20が設置されているワーク搬送装置10の基本構成は周知の構成であるので、ここでは、ワーク保持装置20に関係する部分についてのみ詳細に説明し、その他の点については詳細な説明を省略する。図2a,図2bに示されるように、ワーク搬送装置10の移動体12は、レール11上を移動するベース部材13と、ベース部材13上に支持板スライド機構14を介して取り付けられた支持板15と、支持板15に取り付けられた複数のフォーク16と、支持板15上に設置された本願発明のワーク保持装置20とを備えている。ベース部材13は、レール11上に移動可能に設置されており、レール11の延在方向に移動可能である。支持板スライド機構14は、ベース部材13上に配置された自走式のスライド体14aを備える。ベース部材13の両側部図2bでは上下側部には、ガイド溝13aが形成されている図2aに一方のガイド溝のみ図示。スライド体14aの両端部には、ガイド溝13aに係合するための係合部14bが取り付けられており、ガイド溝13aと係合部14bとの係合により、スライド体14aは、ガイド溝13aの延在方向に沿ってスライド移動可能になっている。なお、自走式のスライド体の移動機構は周知の移動機構であるので、ここではその詳細な説明を省略する。また、ガイド溝13aの延在方向は、レール11の延在方向と直交する水平の方向以下、基板搬入出方向Aという:図2b参照である。従って、図1に示されるように、ある基板処理ユニット例えばU1に移動された移動体12のスライド体14aは、基板処理ユニットU1の基板搬入出口U1aに対して近接離間移動可能である。支持板15は、支持板スライド機構14のスライド体14aの上に設置されており、スライド体14aと一体的に移動する。従って、支持板15は、ベース部材13に対して基板搬入出方向Aにスライド移動可能であり、基板処理ユニットU1の基板搬入出口U1aに対して近接離間移動可能である。各フォークワーク載置部16は、その基端側が支持板15に固定されている。従って、フォーク16はベース部材13に対して基板搬入出方向Aにスライド移動可能である。そして、各フォーク16は、断面四角形の棒状の部材であり、基板搬入出方向Aに延在する状態で設置されている。実施例では4本のフォーク16が支持板15上に設置されている。これらのフォーク16によって、搬送対象の基板Wが載置される載置台が構成されている。そして、各フォーク16の上面には、複数のパッド17が設置されている。このパッド17は、滑り止め部材であり、主に、加熱前の基板Wなど平坦な状態の基板Wがフォーク16上から落下することを防止するものである。実施例では5つのゴム製のパッド17が各フォーク16に設置されている。このようなパッド17を設置すると、搬送中の基板Wがフォーク16から滑り落ちるようなことがより確実に防止され、基板Wをより安全且つ確実に搬送することができる。図3aに示されるように、ワーク保持装置20は、支持板15上に設置されたガイドレール21と、ガイドレール21上を移動するスライダチャック機構支持部本体22と、スライダ22をスライドさせるための進退用シリンダアクチュエータ23と、スライダ22上にチャック機構支持部30を介して設置されたチャック機構部40と、チャック機構部40に備わる後述の一対のチャック片41,42の開動作範囲を規制するチャック開閉規制部材離間移動規制手段51,52と、チャック機構部40を所定の高さ位置に固定するために用いられる固定機構ロック手段60と、各シリンダの動作制御を行うシリンダ制御部進退移動制御部、不図示と、を備えている。ガイドレール21は、基板搬入出方向Aに延在する状態で設置されており、ガイドレール21上のスライダ22は、基板搬入出方向Aに移動可能である。進退用シリンダ23は、シリンダ制御部によって動作制御されるものである。従って、進退用シリンダ23を作動させることで、スライダ22を、基板搬入出方向Aに進退移動させることができる。そして、これらのガイドレール21、スライダ22及び進退用シリンダ23によってチャックスライド機構が構成されている。チャック機構支持部30は、スライダ22に固定して設けられた柱体31と、柱体31に外挿巻装された伸縮自在なコイルばね弾性部材32と、コイルばね32の上部に当接する状態で柱体31に外挿外嵌された昇降部材33とを備えている図3b参照。これらのうち柱体31は、上下方向に延在する状態で立設されたものである。コイルばね32は、伸縮可能な状態で柱体31に外挿されている。従って、コイルばね32は、上下方向にのみ伸縮可能であり、昇降部材33は上下方向にのみ揺動可能である。また、コイルばね32は、チャック機構部40の総重量によって生ずる荷重よりも大きい荷重を支持することが可能な付勢力を有するものである。従って、チャック機構部40を支持するコイルばね32は、無負荷状態における長さ自由長と、完全に圧縮された状態における長さ圧縮長との間の長さであって、チャック機構部40からコイルばね32に加わる下向きの力チャック機構部40の荷重とバランスする上向きの反発力が生ずる長さ以下、バランス長さの状態でチャック機構部40を支持することになる。このバランス長さとは、後述の固定機構60が固定解除状態であり且つ一対のチャック片41,42が閉状態すなわち両チャック片が相互に最接近した状態であると共に基板Wを把持していない状態無負荷状態のときに、当該一対のチャック片41,42が対応する規制部材51,52に当接せず、しかもチャック機構部40がコイルばね32の伸縮によって上下動可能上下方向に揺動可能な状態になる長さであるということができる。つまり、チャック機構支持部30は、チャック機構部40をいわゆるフローティング状態で支持することができる。昇降部材33は、図3bに示すように、柱体31に外挿外嵌されたリニアブッシュ33aと、リニアブッシュ33aを取り囲むように当該リニアブッシュ33aに固定された連結ブロック33bとで構成されている。そして、この昇降部材33の連結ブロック33bは、チャック機構部40の側面に取り付けられたものでもある。つまり、昇降部材33は、後述するチャック機構部本体40aの側面に片持ち支持される。このように、チャック機構支持部30は、弾性部材であるコイルばね32を介してチャック機構部40を上下方向にフローティング支持するものである。別言すれば、チャック機構部40は、チャック機構支持部30を介してスライダ22に設置されており、スライダ22に対して上下動可能ないわゆるフローティング支持状態で設置されている。また、コイルばね32には、その内部応力として常時、圧縮力の反作用である上向きの弾発力復元力が生じている圧縮コイルばねの状態である。そして、コイルばね32は、チャック機構部40の高さ位置が固定機構60によって固定されていない状態では、下向きの圧縮力と等しい大きさの弾発力が生ずるバランス長さに保たれる。なお、別言すれば、昇降部材33を介してチャック機構部40は、コイルばね32によって、常時上方向に付勢されている。チャック機構部40は、チャック機構部本体40aと、上下に開閉する一対のチャック片41,42と、一対のチャック片41,42を上下に開閉させる開閉アクチュエータ例えば、ロータリーシリンダや慣用のエアシリンダなど:以下、開閉用シリンダという43とを備えている。これらのうち一対のチャック片41,42は、搬送対象の基板Wの縁などの把持対象物を把持する表裏から挟み込むものであり、チャック機構部本体40aに取り付けられている。なお、本実施例では、2つのチャック片がチャック機構部本体40aに取り付けられている。詳細には、一対のチャック片41,42は、基板Wを上下から挟み込むものであり、上側に配置された上側チャック片41と、下側に配置された下側チャック片42とで構成されている。各チャック片41,42は、チャック機構部本体40a側の棒状の元部と、元部の先端側に一体に形成されたU字形の先部とを備えており、先部の先端に、基板の縁などの把持対象物に当接する先端部41a,42aが形成されている。本実施例では各先端部41a,42aの先端形状は凸状の曲面半球面になっている。そして、各チャック片41,42は、各チャック片41,42の先端部41a,42aが相対向する状態になるように配置されている。一対のチャック片41,42は、いずれも上下動可能であり、上下動により相互に近接離間移動可能である。つまり、一対のチャック片41,42は、上下方向に開閉する。そして、一対のチャック片41,42は、その先端側が基板Wの載置台を構成するフォーク16側に向けられた状態で取り付けられている。従って、チャック機構部40が設置されているスライダ22を進退移動させることによって、一対のチャック片41,42をフォーク16上に載置された基板Wに対して近接離間移動させることができる。また、開閉用シリンダ43は、チャック機構部本体40a内に設置されている。そして、開閉用シリンダ43は、シリンダ制御部によって動作制御される。従って、開閉用シリンダ43を作動させることによって、一対のチャック片41,42を開閉自在に動作させることができ、この開閉動作によって基板Wの縁を把持し、あるいは把持状態を解除することができる。なお、開閉用シリンダ43は、一対のチャック片41,42による把持力の大きさが一定以上になると、自動的に閉動作を停止するようになっており、これにより、基板Wの縁などの把持対象物を把持したとき、把持対象物に傷や割れが発生することが最小限に防止される。チャック開閉規制部材50は、一対のチャック片41,42の開動作範囲離間移動範囲を規制するものであり、上側チャック片41の開動作範囲を規制する上側規制部材51と、下側チャック片42の開動作範囲を規制する下側規制部材52とを備えている。このように、上側チャック片41の開動作範囲及び下側チャック片42の開動作範囲をそれぞれ規制し、一対のチャック片41,42の開動作範囲が規制される。なお、両規制部材51,52は、いずれもスライダ22上に設置されている。上側規制部材51は、左右一対の脚部図3aでは一方のみ図示51a,51aと、一対の脚部51a,51aによって支持される規制部51b図3cを参照と、を有する。規制部51b及び一対の脚部51a,51aによって構成される上側規制部材51の全体は略逆U字形状であり、規制部51bは上側チャック片41を跨ぐように設置されている。従って、上側チャック片41の上方移動の限界位置は、上側規制部材51規制部51bに当接する上方移動限度位置である。なお、上側チャック片41の上方移動はチャック片の開動作に対応するので、上側規制部材51は、上側チャック片41の開動作範囲を規制する部材であるということができる。下側規制部材52は、下側チャック片42の下方位置に設置された部材であり、脚部と、一対の脚部52a,52aによって支持される規制部52b図3cを参照と、を有する。規制部52b及び一対の脚部52a,52aによって構成される下側規制部材52の全体は略逆U字形状であり、規制部52bは下側チャック片42の下方位置に下側チャック片42と交差するように設置されている。従って、下側チャック片42の下方移動の限界位置は、下側規制部材52規制部52bに当接する下方移動限度位置である。なお、下側チャック片42の下方移動は下側チャック片42の開動作に対応するので、下側規制部材52は、下側チャック片42の開動作範囲を規制する部材であるということができる。このような一対のチャック片41,42の閉動作は、一対のチャック片41,42が相互に近接移動する動作である。そして、一対のチャック片41,42の間に基板Wの縁が介在しているときに、閉動作を実行した場合、最終的には一対のチャック片41,42が基板Wの縁を把持した状態以下、把持状態と称することがあるになり、一対のチャック片41,42の閉動作が停止する。他方、一対のチャック片41,42の間に何も存在しないときに閉動作を実行した場合、最終的には、一対のチャック片41,42の先端部41a,42aが当接する状態以下、閉状態と称することがあるになり、一対のチャック片41,42の閉動作が停止する。また、一対のチャック片41,42における開動作は、一対のチャック片41,42が相互に離間移動する動作である。この開動作では、一対のチャック片41,42のうちの上側チャック片41が先に上側規制部材51に当接する。これは、上側チャック片41よりも下側チャック片42の方に、より大きなコイルばね32の付勢力チャック閉方向への力が働いているためである。例えば、開動作において、上側チャック片41が先に上側規制部材51に当接した場合、これにより、上側チャック片41のスライダ22に対する位置が上方移動限度位置になって上方移動が停止する。その後、さらに一対のチャック片41,42の開動作が続行されると、上側チャック片41はチャック機構部本体40aに対して上方に移動しようとするが、上側規制部材51による規制により上方移動できない。従って、チャック機構部本体40a及び昇降部材33は、スライダ22との関係では下方に移動する。つまり、開状態になった上側チャック片41は、上側規制部材51に当接する状態になると、下向きの力圧縮力を受け、この力をコイルばね32に付与してコイルばね32を圧縮する。この力によって、コイルばね32がバランス長さの状態よりもさらに圧縮された状態になると、コイルばね32から上側チャック片41に上記圧縮力の反作用の力として上向きの反発力が付与される。つまり、上側チャック片41は、上側規制部材51からの下向きの圧縮力とコイルばね32からの上向きの反発力とで挟まれた状態になり、上側規制部材51に当接する上方移動限度位置に固定された状態になる。その後、上側チャック片41と同様のメカニズムで、下側チャック片42が下側規制部材52に当接し、下側規制部材52に当接する下方移動限度位置に固定された状態になる。チャック機構部40が一対のチャック片41,42を介して開動作規制部材50に固定された状態になると、チャック機構部40に小さな上下方向の外力が加わった程度では、チャック機構部40がスライダ22に対して上下動することはない。このとき、一対のチャック片41,42もスライダ22に対して上下動することはない。対照的に、一対のチャック片41,42が閉状態の場合など両方のチャック片41,42が対応する規制部材51,52に当接していない場合、チャック機構部40は、実質的にはコイルばね32によってスライダ22上にフローティング支持された状態であるので、チャック機構部40に小さい上下方向の外力が加わると、簡単に上下動することになる。また、一対のチャック片41,42が開状態のとき、両チャック片41,42の位置が安定するので、両チャック片41,42を基板Wの縁の上下に位置決めさせる際、基板Wの縁とチャック片41,42とが誤ってぶつかるようなことをより簡単且つ確実に防止することができ、当該作業を、簡単、迅速且つ確実に行うことができる。次に閉動作について説明する図4参照。開状態の一対のチャック片41,42を閉じる閉動作では、開動作の場合とは逆の動きになり、まず、下側チャック片42がコイルばね32の付勢により、下側規制部材52から離間して上方に移動する。その後、上側チャック片41が上側規制部材51に当接した状態を維持しつつ、チャック機構部本体40aがスライダ22に対して上昇する。このとき、開動作中の上側チャック片41には、コイルばね32からの上方の反発力が作用しているので、上側チャック片41が上側規制部材51に当接している状態上昇限度位置に位置する状態が維持されつつ、チャック機構部本体40aが上昇する。そして、さらに閉動作が進むと、コイルばね32がバランス長さまで伸長する状態になり、上側チャック片41が下方に移動し、上側規制部材51から離間した状態になる。これにより、両チャック片41,42が対応する両規制部材51,52から離間した状態になる。このように、把持状態や閉状態など、両チャック片41,42が対応する規制部材51,52に当接していない状態になると、一対のチャック片41,42を含むチャック機構部40は、コイルばね32を介して支持された状態になり、いわゆるフローティング支持状態になる。そして、その後引き続き閉動作を行うことで、一対のチャック片41,42によって基板Wの縁が把持される。つまり、実施例のワーク保持装置20では、フローティング支持状態の一対のチャック片41,42によって、基板Wの縁などの把持対象物を把持することができる。ここで、例えば固定状態非フローティング状態のチャック片41,42で基板Wの縁を把持すると、湾曲した基板Wに無理な力がかかってしまい、基板Wに傷や割れを生じさせやすい。一方、本実施例のワーク保持装置20のように、一対のチャック片41,42がフローティング状態であれば、一対のチャック片41,42によって基板Wの縁を把持するとき、基板Wの湾曲、傾きに追従してチャック片41,42全体が傾く。その結果、基板Wの反発力とチャック片41,42のクランプ力とが釣りあった状態で基板Wを把持することができ、チャック片41,42が基板Wに無理な力を与えるおそれがなくなる。基板Wの把持動作では、上側チャック片41によって基板Wを上側から押さえ込むことは好ましくない。そこで、本実施例のワーク保持装置20では、閉動作の開始当初、上側チャック片41は下方に移動させることなく、下側チャック片42のみを先に基板Wに当接させる。下側チャック片42と基板Wとの間では、下側チャック片42による基板Wへの押圧力と、基板Wによる下側チャック片42への反作用の力自重などの力とが生じる。その後、下側チャック片42の上方への移動に伴って、コイルばね32の上方向への復元力弾発力は徐々に弱まり、基板Wに対する下側チャック片42による上方向への押圧力は徐々に小さくなり、双方の力押圧力と反作用の力の均衡がとれた位置保持位置で下側チャック片42は停止される。その後、上側チャック片41が基板Wに対して上から当接される。このとき、上側チャック片41は、下側チャック片42による基板Wの保持位置に倣うように当接される。つまり、基板Wの湾曲した状態を無理に姿勢変更させるのではなく、基板Wの湾曲した位置にチャック片41,42が倣うように接近し、湾曲した状態のままの基板Wは、フローティング支持されたチャック片41,42にて把持される。このため、基板把持時に、基板Wに無理な力が加わらず、基板Wにおける傷や割れの発生が防止される。下側チャック片42の先端部42aが基板Wの縁に当接した後、上側チャック片41の先端部41aが基板Wの縁に当接すると、フォーク16上の基板Wが一対のチャック片41,42によって把持された状態になる。その後、後述する固定機構60によって一対のチャック片41,42がスライダ22に対して固定された状態で、フォーク16上の基板Wが搬送される。この搬送の際、ワーク搬送装置10の振動の影響で、チャック片41,42や基板Wが振動すると、基板Wの把持位置に無理な力が加わることになる。ところが、上述のようにしてフローティング支持された一対のチャック片41,42により基板Wを把持すれば、把持動作や搬送時の振動によって基板Wに無理な力が加わることはなくなることから基板Wに傷や割れが生じることが最小限に抑制される。固定機構60は、チャック機構部40を所定の高さ位置に固定するものであり、スライダ上22の台座61の上に設置された固定用シリンダ62押圧具を備えている。固定用シリンダ62は、昇降部材33を柱体31に押し付けるためのピストン部63を備えている。ピストン部63は昇降部材33側に向けて進退移動する状態になるように向けられており、固定用シリンダ62は、進出移動したピストン部63の先端が昇降部材33に当接する高さ位置に設置されている。また、固定用シリンダ62は、シリンダ制御部によって動作制御されるようになっている。そして、固定用シリンダ62のピストン部63が進出位置図4d参照まで進出移動すると、昇降部材33に当接して、当該昇降部材33が柱体31に押圧される状態になる。この状態になると、昇降部材33は、柱体31との間に生ずる摩擦力によって、柱体31との当接位置に固定される。他方、固定用シリンダ62のピストン部63が後退位置図4b参照まで後退移動すると、昇降部材33から離間し、昇降部材33の柱体31への押圧が解除され、チャック機構部40はフローティング支持状態になる。ところで、柱体31と昇降部材33との間の摩擦力によって、昇降部材33のスライダ22に対する位置が固定されると、一対のチャック片41,42を含むチャック機構部40のスライダ22に対する高さ位置が固定される。そして、チャック機構部40はチャック開閉規制部材50に対しても相対的な高さ位置が固定される。そして、昇降部材33を下側から支えるコイルばね32が圧縮された状態で、昇降部材33の高さ位置が固定機構60によって固定された場合、コイルばね32は、昇降部材33を上方向に付勢する状態でロックされる。このように、固定機構60は、チャック機構部40をスライダ22に対して固定する固定状態と、固定が解除された解除状態とで動作可能になっている。上述したように、一対のチャック片41,42で基板Wの縁などを把持する際には、一対のチャック片41,42はフローティング支持されている状態が好ましいが、フローティング支持の状態で基板Wを搬送すると、搬送時に生ずる振動の影響で、一対のチャック片41,42が上下動し、把持した基板Wの状態が却って不安定になるおそれがある。このようなことから、固定機構60は、主に、基板Wを把持した状態のチャック機構部40をスライダ22に対して固定する際に用いられる。基板Wを把持したチャック機構部40を固定機構60で固定すると、一対のチャック片41,42が搬送時の振動の影響で上下動するようなことが防止され、振動の影響で一対のチャック片41,42から基板Wに無理な力が加わるようなことが最小限に抑制される。これにより、基板Wをより安全且つ確実に搬送することができる。なお、柱体31の外周面と、当該外周面に当接される昇降部材33のリニアブッシュ33aの内周面のうちの少なくとも一方の面にゴムなどの滑り止め部材摩擦力を向上させる部材を取り付けて、昇降部材33が柱体31に対してより確実に固定されるようにしてもよい。シリンダ制御部は、ワーク保持装置20で用いられている進退用シリンダ23、開閉用シリンダ43及び固定用シリンダ62の動作制御を行うものである。なお、シリンダ制御部は、ワーク保持装置20が設置されているワーク搬送装置の制御部の一部として設けてもよい。次に、上記実施例のワーク保持装置20の動作を説明する。ここでは、加熱処理ユニットU1図1の最も左側の加熱ユニットにおいて基板処理が終了した時点を起点として、ワーク保持装置20の動作説明を行う。加熱処理ユニットU1図1参照において基板処理が終了すると、あらかじめ加熱処理ユニットU1に隣接する位置に移動されていた移動体12の支持板スライド機構14がワーク搬送装置10の制御部によって作動され、支持板15が進出移動される。これにより、支持板15に固定されたフォーク16が加熱処理ユニットU1の搬入出口U1aからユニット内に挿入され、フォーク16上に加熱処理済の基板Wが載置される。その後、支持板スライド機構14によって支持板15が後退移動され、加熱処理済の基板Wが載置された状態のフォーク16が加熱処理ユニットU1の搬入出口U1aから取り出される。図3aに示されるように、加熱処理ユニットU1内から取り出されたフォーク16上の加熱処理済み基板Wは、少なくともフォーク16の基端側図3a中では右側の縁部が上方に反り返って湾曲した状態になっている。フォーク16上に載置された湾曲状態の基板Wに、次に、基板Wの縁を把持する把持動作が実行される。湾曲状態の基板Wを把持するのは、当該基板Wが搬送時にフォーク16から落下することを防止するためである。なお、把持動作開始時、ワーク保持装置20のスライダ22は後退位置図3a参照に位置されており、チャック機構部40を固定するための固定用シリンダ62のピストン部63は後退位置に位置されている。また、一対のチャック片41,42は対応する規制部材51,52に当接する開状態になっている。把持動作では、まず、進退用シリンダ23が作動されて、後退位置のスライダ22が進出位置に向けて基板搬入出方向Aに前進移動する。これにより、スライダ22上の一対のチャック片41,42がフォーク16上に載置された基板Wの縁に向けて前進移動し、基板Wの縁の上下位置に、一対のチャック片41,42の先端部41a,42aを位置させる状態にする図4a参照。開状態である一対のチャック片41,42は、上側規制部材51及び下側規制部材52によってスライダ22に対して固定されているので、スライダ22を進退移動させたとき、上下振動することがない。従って、一対のチャック片41,42の間に基板Wの縁を位置させる作業を簡単に行うことができる。このように、上側規制部材51及び下側規制部材52は、一対のチャック片41,42の上下方向のぶれを防止する部材としての役割も備えている。その後、開閉用シリンダ43を作動させて、一対のチャック片41,42に閉動作を実行させる。閉動作が開始されると、下側チャック片42が上方に移動して下側規制部材52から離間した後、上側チャック片41が下方に移動して上側規制部材51から離間した状態になる。この状態になると、チャック機構部40は、チャック機構支持部30で支持された、いわゆるフローティング支持状態になる。さらに、閉動作が進むと、まず、下側チャック片42の先端部42aが、縁部が上方に反り返った状態に湾曲した基板Wの縁に当接される。そして、その後、上側チャック片41の先端部41aが基板Wの縁に当接すると、一対のチャック片41,42によって基板Wの縁を保持する状態になる図4c参照。この両チャック片41,42で基板Wを保持把持したとき、チャック機構部40はフローティング支持状態であるため、チャック機構部40全体両チャック片41,42が基板Wの湾曲状態に追従し、その保持姿勢を変更する傾動する。この状態で、開閉用シリンダ43の動作が停止され、把持動作が終了する。把持動作が終了すると、次に、固定動作が実行される。固定動作では、まず、固定用シリンダ62が作動され、後退位置にあったピストン部63図3c参照が進出移動する。進出移動されたピストン部63は、昇降部材33の連結ブロック33bに当接し、昇降部材33のリニアブッシュ33aを柱体31に押しつける図4d参照。すると、リニアブッシュ33aと柱体31との間の摩擦力によって昇降部材33の上下動が規制され、昇降部材33の柱体31に対する高さ位置が固定される。これにより、チャック機構支持部30で支持するチャック機構部40のスライダ22に対する高さ位置が固定され、基板Wの縁を把持する一対のチャック片41,42がスライダ22に固定される。このような固定動作が終了すると、次に、搬送動作が実行される。搬送動作では、レール11に沿って移動体12が移動される。搬送移動時、ワーク搬送装置10では振動が発生し、フォーク16上に載置された湾曲状態の基板Wにも振動が伝達されるが、当該基板Wは一対のチャック片41,42によって把持されているので、当該基板Wを安定した状態で搬送することができる。また、搬送動作時には、基板Wを把持する一対のチャック片41,42にも振動が伝達されるが、当該一対のチャック片41,42はチャック開閉規制部材50及び固定機構60によってスライド22に対して固定された状態であるので、振動を受けても上下動するようなことはない。基板Wの上下動が防止されれば、基板Wに不要な負荷がかかることが防止されるので、一対のチャック片41,42によって把持された基板Wを安定した状態で搬送することができる。そして、移動体12が搬送先に達すると、移動が停止され、その後、まず固定解除動作が実行され、次に把持解除動作が実行される。把持解除動作では、まず一対のチャック片41,42の開動作が実行され、その後、スライダ22の後退動作が実行される。これらの動作は、先に説明した固定動作や把持動作の各工程を逆の順番で実行する動作であるので、ここではその詳細な説明を省略する。このようにして、把持解除動作が終了すると、基板Wは、単にフォーク16上に載置された状態になる。この状態になると、その後、支持板スライド機構14によって支持板15が進出移動され、フォーク16上に載置された基板Wが搬送先の基板処理ユニット例えば図1のユニットU2の搬入出口U2aからユニットU2内に搬入される。そして、搬入された基板WがユニットU2内に取り込まれると、支持板スライド機構15によって支持板15が後退移動され、フォーク16がベース部材13上に位置する状態になる図1参照。以上のように、本願発明のワーク保持装置20によれば、基板Wの縁などの保持対象を把持する際の傷や割れの発生をより確実に防止することができ、しかも把持状態で搬送する基板W等の搬送物における傷や割れの発生もより確実に防止することができる。また、フォーク16上に載置された基板Wの縁の進退位置方向の位置を検出する基板縁位置検出センサをスライダ22に設置し、検出した基板縁位置情報をシリンダ制御部に出力させ、検出した基板縁位置に基づいて進退用シリンダ23の動作制御を行うようにしてもよい。これにより、基板Wの縁をより確実に把持することができる位置に一対のチャック片41,42が位置するよう、スライダ22の前進移動位置を制御することができる。また、上記実施例では、下側規制部材52がなくても、上側規制部材51があれば、一対のチャック片41,42を開状態にしたとき、チャック機構部40のスライダ22に対する高さ位置は安定する。つまり、上側チャック片41を上側規制部材51に当接させれば、コイルばね32がバランス長さよりも圧縮された状態になるので、チャック機構部40は上下に揺動しにくい状態になり、チャック機構部40のスライダ22に対する高さ位置が安定する。ただし、下側規制部材52があれば、開状態になった一対のチャック片41,42がスライダ22に対してより確実に固定される。つまり、下側チャック片42が当接する下側規制部材52があれば、当該下側規制部材52と、上側チャック片41が当接する上側規制部材51との協働により、開状態になった一対のチャック片41,42がスライダ22に対して固定される。なお、下側規制部材52は、一対のチャック片41,42が開状態から閉状態に動作する際、下側チャック片42が先に下側規制部材52から離間し、その後上側チャック片41が上側規制部材51から離間することになる位置に設置されていることが好ましい。次に、本願発明のワーク保持装置を用いたワーク搬送用トラバーサーの実施例について、図面を参照しつつ説明する。なお、ワーク搬送用トラバーサーの基本構成は周知のものである。従って、ここでは、ワーク搬送用トラバーサーについては、その詳細な説明を省略することがある。また、本実施例で示すワーク保持装置20aの基本構成は、先に説明したワーク搬送装置におけるワーク保持装置20と同様である。従って、ワーク保持装置については、先に説明した構成に追加された構成について詳細に説明し、その他の構成部分については、その詳細な説明を省略することがある。図5に示されるように、ワーク搬送装置70は、基板Wを加熱処理する加熱炉を備える加熱処理ユニットU1とその下流側の基板処理ユニットU2との間における基板搬送に用いられるベルトコンベア71以下、コンベアを備えている。つまり、コンベア71上がワーク載置部である。コンベア71は、基板Wの両端を下面から支持する2本のベルト71a,71aが平行に掛け渡されてなるものである。なお、図示していないが、2本のベルト71a,71aの間には送風機が設置されており、搬送する基板Wに向けて、その下面から送風することができるようになっている。このようにして基板Wに風を当てることによって冷却が促進される。そして、コンベア71に隣接する位置に、コンベア71と同速で走行する走行台車81を備えるワーク搬送用トラバーサー80以下、トラバーサーが設置されている。トラバーサー80は、コンベア71で搬送される基板Wの端部を保持する走行台車81と、当該走行台車81を循環的に走行させるための循環走行路82とを備えている。これらのうち、循環走行路82は、コンベア71に隣接して平行に延在する往路82aと、コンベア71から離れた位置に設置された復路82bとを備えている。循環走行路82のうち、往路82aは基板搬送時に走行台車81が走行する部分であり、復路82bは、搬送終了後の戻りの走行台車81が走行する部分である。また、循環走行路82の往路82aの部分には走行台車81の走行の制御に用いられるドグ標識82x,82yが設置されている。なお、ドグ82x,82yについては、走行台車81の動作制御の説明のところで説明する。走行台車81は、図6に示すように、その進行方向前側図5中では左側に設置された距離センサ83と、走行台車81の下部に設置された近接センサ84と、走行台車81を走行させるための複数の車輪85と、コンベア71で搬送される基板Wの端部を把持するためのワーク保持装置とを備えている。そして、後述するように、ワーク保持装置として図6に示すワーク保持装置20aが用いられている。距離センサ83は、走行方向前方を走行する走行台車以下、前車との衝突を避けるためのものであり、走行台車81と前車との離間距離が所定距離例えば10センチになったことを検知するようになっている。そして、当該離間距離が所定距離になったことが検知されると、その検知信号に基づいて、トラバーサー80の制御部以下トラバーサー制御部という、不図示は、当該離間距離が所定距離より短くならないように、走行台車81の走行速度を制御するようになっている。例えば、前車が停止していれば後続車である走行台車81を停止させ、前車が低速で走行している場合は後続車である走行台車81の走行速度を徐行速度にするなど、前車の速度以下にするような制御が行われる。近接センサ84は、循環走行路82に設置されたドグ82x,82yを検出し、検出した信号を後述する走行台車81の制御部やワーク保持装置20aのシリンダ制御部に出力するものである。循環走行路82には、上流側の加熱処理ユニットU1炉に隣接する位置に設置された台車待機指示用ドグ82xと、下流側基板処理ユニットU2に隣接する位置に設置された把持解除指示用ドグ82yとが設置されている。台車待機指示用ドグ82xは、より詳細には、循環走行路82の往路82a上であって加熱処理ユニットU1に近い上流側の台車待機位置に設置されている。近接センサ84は、この台車待機指示用ドグ82xを検出すると、台車待機指示用ドグ検出信号をトラバーサー80の制御部に出力する。当該信号を受信した制御部は、後述の基板検出センサ25が基板Wを検出していない状態であれば、走行台車81を台車待機位置に停止させる。つまり、加熱処理ユニットU1から加熱処理済みの基板Wが排出されるまで、走行台車81の走行を停止させ、台車待機位置に待機させる。他方、基板検出センサ25が基板Wを検出している状態であれば、トラバーサー80の制御部は、走行台車81を停止させることなく下流側基板処理ユニットU2に向けて走行させる。また、把持解除指示用ドグ82yは、より詳細には、循環走行路82の往路82a上であって下流側基板処理ユニットU2に近い下流側の把持解除位置に設置されている。従って、近接センサ84がこの把持解除指示用ドグ82yを検出すると、走行台車81が下流側基板処理ユニットU2に近づいたことになる。従って、近接センサ84は、この把持解除指示用ドグ82yを検出すると、把持解除指示用ドグ検出信号をシリンダ制御部に出力する。シリンダ制御部は、当該信号を受信すると、一対のチャック片41,42に把持解除動作を実行させ、スライダ22を後退移動させる。車輪85は、走行台車81の下部に設置されており、図示しない車輪駆動部とトラバーサー80の制御部によって動作制御される。なお、基板Wを把持した状態の走行台車81の走行速度は、自動的にコンベア71の速度と同速になるように設定されている。ワーク保持装置20aは、本願発明のワーク保持装置であり、基本構成は、先に説明したワーク搬送装置で用いられているワーク保持装置20と同様である。そこで、ここでは、先に説明したワーク保持装置20に追加された構成について説明し、その他の構成部分については、その詳細な説明を省略する。本実施例のトラバーサー80で用いられているワーク保持装置20aは、先に説明したワーク保持装置20とは異なり、走行台車81上に設置されており、先のワーク保持装置20の構成に加えて、スライダ22の前部に設置された基板検出センサ25を備えている。基板検出センサ25は、コンベア71上の基板Wの有無を検出するものである。ここでは、基板検出センサ25として、いわゆる反射型センサが用いられている。このは、コンベア71側に向けて基板Wを検出するための検出波を出射し、その反射波に基づいて基板Wを検出するものであり、基板Wを検出すると、基板検出センサ25から基板検出信号が出力される。シリンダ制御部は、このセンサからの信号に基づいて進退用シリンダ23を作動させるようになっており、基板検出信号を受信すると、進退用シリンダ23を作動させてスライダ22を前進移動させ、一対のチャック片41,42によって基板Wを把持できる状態にするようになっている。このようなワーク搬送用トラバーサー80の動作について説明する。加熱処理ユニットU1図5参照から加熱処理済みの基板Wが排出される直前の状態で、ワーク搬送用トラバーサー80では、循環走行路82上の台車待機位置に走行台車81が停止している。この状態で、加熱処理ユニットU1から加熱処理済みの基板Wが排出されると、走行台車81上のワーク保持装置20aの基板検出センサ25によってコンベア71上の基板Wが検出され、基板検出信号がトラバーサー80の制御部及びシリンダ制御部に出力される。このときトラバーサー80の制御部は、台車待機指示用ドグ検出信号を受信済みであるので、基板検出信号を受信すると、走行台車81の走行を開始させる。このとき、走行台車81の走行速度は、コンベア71の搬送速度と同速である。また、走行開始と同時に、基板検出信号を受信したシリンダ制御部は、ワーク保持装置20aに把持動作を実行させる。これにより、ワーク保持装置20aによってコンベア71上の基板Wが把持される。なお、ワーク保持装置20aによる把持動作は、既にワーク搬送装置のところで説明しているので、ここではその説明を省略する。このように、ワーク搬送用トラバーサー80を用いれば、コンベア71上の基板Wを安定した状態で搬送することができる。また、本願発明のワーク保持装置20aを用いているので、基板Wの縁を把持する際に傷や割れが発生することや、把持状態で搬送中の基板Wに傷や割れが発生することをより確実に防止することができる。その後、走行台車81が把持解除位置に達すると、近接センサ84が把持解除指示用ドグ82yを検出し、把持解除指示用ドグ検出信号をシリンダ制御部に出力する。シリンダ制御部は、当該信号を受信すると、一対のチャック片41,42に把持解除動作を実行させ、スライダ22を後退移動させる。これにより、コンベア71上の基板Wは、次の下流側基板処理ユニットU2内にスムーズに搬入される。なお、ここまで説明したワーク保持装置の把持動作及び把持解除動作、走行台車81の走行及び停止の制御で用いられる信号、その他の構成は、一例にすぎない。これらについては、上記の実施例に限定されるものでなく、本願発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の構成が考えられる。また、本実施例においては、ワーク保持装置20を搭載するものとしてトラバーサー80を例に挙げて説明を行ったが、トラバーサーに限定するものではない。例えば、コンベア71と同速で走行する別のコンベアを用い、そのコンベアに、等間隔でワーク保持装置20の搭載部例えば、パレットを設けたものであってもよい。各パレットは、パレットを載置するコンベアに対して、着脱自在固定固定解除自在に設けてもよい。例えば、走行台車において、走行台車の停止状態が一定時間経過したとき例えば速度0m/hの状態で1分間が経過したときに、走行台車の電源が自動的に切れるようにすると共に、基板検出センサが基板検出したときや、前車との離間距離が一定距離以上になったとき例えば離間距離が10cm以上になったときに、走行台車の電源が入るようにしてもよい。このようになっていると、走行台車の電源のオンオフを自動的に行うことができる。"