先端から後方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに固定した耐熱絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該耐熱絶縁性チューブの外周に固定するか、スリーブに嵌合させた別の耐熱絶縁性チューブに内装し、前記プランジャーに固定した耐熱絶縁性チューブでコイルスプリングを押圧するように構成したことを特徴とする半導体パワーデバイス検査用コンタクトプローブ。先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに外嵌固定した耐熱絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該耐熱絶縁性チューブの外周に固定し、前記コイルスプリングの両端は、前記プランジャーに外嵌した耐熱絶縁性リングに接触している請求項1記載のコンタクトプローブ。前記コイルスプリングの後端に接触した耐熱絶縁性リングは、直接若しくはスリーブに外嵌した金属製リングを介して前記スリーブ先端に接触している請求項2記載のコンタクトプローブ。先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーの後端に耐熱絶縁性チューブを固定し、コイルスプリングは、スリーブに嵌合させた別の耐熱絶縁性チューブに内装し、前記プランジャーに固定した耐熱絶縁性チューブの後端開口に耐熱絶縁性部材を嵌合して、前記別の耐熱絶縁性チューブに摺動自在に嵌合し、該耐熱絶縁性部材でコイルスプリングを押圧する請求項1記載のコンタクトプローブ。前記耐熱絶縁性部材は、金属線状体に耐熱絶縁性チューブを外嵌し、該耐熱絶縁性チューブ後端を押し潰したものである請求項4記載のコンタクトプローブ。前記スリ割りの位置の内周に凸部を形成し、前記スリ割りの外周には、伸縮自在のバネ性リングを嵌合する請求項1~5のいずれかに記載のコンタクトプローブ。前記スリ割りの位置の外周を凹ませて、内周に凸部を形成する請求項1~5のいずれかに記載のコンタクトプローブ。前記凸部は、対向して若しくはリング状に形成されている請求項1~7のいずれかに記載のコンタクトプローブ。前記スリーブ後端には、耐熱絶縁体が嵌合装着され、コイルスプリングの後端は、該耐熱絶縁体に接触している請求項4~8のいずれかに記載のコンタクトプローブ。前記スリーブに細径部を形成して、スリーブの後部に段部を形成し、該段部が当接する位置決め用ストッパーを前記スリーブ内周に形成する請求項1~9のいずれかに記載のコンタクトプローブ。前記バネ性を有する部材が、銅とベリリウム合金のベリリウム銅材又はリン青銅材である請求項1~10のいずれかに記載のコンタクトプローブ。前記耐熱絶縁性チューブ、耐熱絶縁リング及び耐熱絶縁体は、耐熱絶縁性部材から形成されるが、該耐熱絶縁性部材は、耐熱性のポリイミド樹脂である請求項1~11のいずれかに記載のコンタクトプローブ。この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、コンタクト回数によって、抵抗値がほぼ一定であって支障なく半導体パワーデバイス用コンタクトプローブとして使用し得ると共に、支障なく多数回使用することができる使用寿命の長い半導体パワーデバイス用コンタクトプローブを提供することを目的とする。上記目的に沿う本発明の構成は、先端から後方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに固定した耐熱絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該耐熱絶縁性チューブの外周に固定するか、スリーブに嵌合させた別の耐熱絶縁性チューブに内装し、前記プランジャーに固定した耐熱絶縁性チューブで、コイルスプリングを押圧するように構成したことを特徴とする。先端から後方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに外嵌固定した耐熱絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該耐熱絶縁性チューブの外周に固定し、前記コイルスプリングの両端は、前記プランジャーに外嵌した耐熱絶縁性リングに接触させるようにするのが良い請求項2。前記コイルスプリングの後端に接触した絶縁性リングは、直接若しくはスリーブに外嵌した金属製リングを介して前記スリーブ先端に接触している請求項3。先端から後方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成したスリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーの後端に耐熱絶縁性チューブを固定し、コイルスプリングは、スリーブに嵌合させた別の耐熱絶縁性チューブに内装し、前記プランジャーに固定した耐熱絶縁性チューブの後端開口に耐熱絶縁性部材を嵌合して、前記別の耐熱絶縁性チューブに摺動自在に嵌合し、該耐熱絶縁性部材でコイルスプリングを押圧するように構成しても良い請求項4。前記耐熱絶縁性部材は、金属線状体に絶縁性チューブを外嵌し、該絶縁性チューブ後端を押し潰したものであるのが好ましい請求項5。前記スリ割りの位置の内周に凸部を形成し、前記スリ割りの外周には、伸縮自在のバネ性リングを嵌合するのが好ましい請求項6。前記スリ割りの位置の外周を凹ませて、内周に凸部を形成すれば、バネ性リングを不要とすることができる請求項7。前記凸部は、対向して若しくはリング状に形成するのが好ましい請求項8。前記スリーブ後端には、耐熱絶縁体が嵌合装着され、コイルスプリングの後端は、該耐熱絶縁体に接触するようにするのが良い請求項9。前記スリーブに細径部を形成して、スリーブの後部に段部を形成し、該段部が当接する位置決め用ストッパーを前記スリーブ内周に形成するのが好ましい請求項10。前記バネ性を有する部材が、銅とベリリウム合金のベリリウム銅材又はリン青銅材であるのが好ましい請求項11。前記耐熱絶縁性チューブ、耐熱絶縁リング及び耐熱絶縁体は、耐熱絶縁性部材から形成されるが、該耐熱絶縁性部材は、耐熱性のポリイミド樹脂を使用するのが好ましい請求項12。本発明によれば、スリーブを、先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸b部を有するバネ性を有する部材から形成することによって、コンタクト回数によって、抵抗値をほぼ一定とすることができ、パワーデバイス用コンタクトプローブとして支障なく使用することができる。また、コイルスプリングに絶縁性部材を被覆しないで、コイルスプリングに接する部材を絶縁性チューブで形成することによって、著しく長寿命のコンタクトプローブとすることができる。以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付図面に基づいて詳細に説明する。図2は、本発明のコンタクトプローブの一実施例を示す断面図であり、スリーブ1 ́内にプランジャー2 ́が摺動自在に嵌合し、スリーブ1 ́後端には、耐熱絶縁体17が嵌合装着されている。スリーブ1 ́内後部には、耐熱性の絶縁材から形成された耐熱絶縁性チューブ5が内嵌し、一端が耐熱絶縁体17に接触し、他端がスリーブ1 ́の段部に当接している。プランジャー2 ́後端には、耐熱絶縁性チューブ6が連設し、該耐熱絶縁性チューブ6は、耐熱絶縁性チューブ5に摺動自在に内嵌している。耐熱絶縁性チューブ6の後部開口には、耐熱絶縁体7が内嵌し、耐熱絶縁性チューブ5には、コイルスプリング3 ́が内装されている。耐熱絶縁体7は、後端を先細とした金属線状体8に耐熱絶縁性チューブ9が外嵌し、チューブ9の後端は押し潰して、線状体8を完全に覆っている。耐熱絶縁体7は、全体を耐熱性の絶縁材から形成しても、耐熱性の絶縁材をコーティングしても良いが、コストの点と高寿命という点から、耐熱絶縁性チューブ9を外嵌させるのが好ましい。図3に示すように、スリーブ1 ́の先端から下方に向けてスリ割り10が形成され、該スリ割り10の位置の内周にリング状凸条11が形成され、該スリ割り10の外周には、伸縮自在のバネ性リング12が嵌合している。このように形成することによって、スリーブ1 ́とプランジャー2 ́とは、常時密接するので、コンタクト回数によって、抵抗値が殆ど変化しないから、パワーデバイス半導体を検査するコンタクトプローブとして、好適に使用し得ることが、実験により判明した。プランジャー2 ́の中央部は、若干細く形成されているので、後部との間に段部が形成され、該段部に位置決め用ストッパー4 ́が当たるようになっている。図4は、本発明の他の実施例を示すものであり、スリーブ1 ́内にプランジャー2 ́が摺動自在に嵌合し、プランジャー2 ́の前部には、耐熱絶縁性チューブ13が外嵌し、耐熱絶縁性チューブ13には、コイルスプリング3 ́が外嵌している。耐熱絶縁性チューブ13先端のプランジャー2 ́は、大径に形成され、耐熱絶縁性チューブ13先端は、プランジャー2 ́に外嵌した絶縁リング14に接触し、耐熱絶縁性チューブ13後端は、耐熱絶縁リング15に接触している。絶縁性チューブ13後端が接触する耐熱絶縁リング15は、プランジャー2 ́に外嵌した金属リング16を介してスリーブ1 ́先端に接触している。コイルスプリング3 ́両端は、耐熱絶縁リング14及び15にそれぞれ接触している。尚、金属リング16とスリーブ1 ́とは、固定されていない。耐熱絶縁リング15が、ある程度硬い材料で形成する場合は、金属リング16を不要とすることができる。スリーブ1 ́の先端から下方に向けてスリ割り10が形成され、該スリ割り10の位置の内周にリング状凸条11が形成されている。リング状凸条11は、スリ割りの位置の外周をリング上に凹ませて、内周に形成している。このように形成すれば、バネ性リング12を不要とすることができる。このように形成することによって、スリーブ1 ́とプランジャー2 ́とは、常時密接するので、コンタクト回数によって、抵抗値が殆ど変化しない。本発明のスリーブは、バネ性が良く、電気抵抗が小さい金属で形成するのが良いが、このようなものとしては、銅とベリリウム合金のベリリウム銅材又はリン青銅材であるのが好ましい。上記実施例においては、スリーブ1 ́内の凸部は、リング状凸部としたが、これは必ずしもこのようでなくともよく、多数の凸部をリング状に配置しても、対向する凸部としても差し支えない。上記図4に示すコンタクトプローブは、図2に示すコンタクトプローブよりも製造が容易であるので、製造コストを低減することができる。また、前記耐熱絶縁性チューブ56913、耐熱絶縁リング1415及び耐熱絶縁体7、17は、耐熱絶縁性材料から形成されるが、該耐熱絶縁性材料として、耐熱性のポリイミド樹脂を使用するのが好ましい。図2及び図3に示すφ1.5mmのコンタクトプローブの接触抵抗を測定した。測定は、コンタクトプローブに所定の電流を流し、所定のコンタクト回数毎に抵抗値を測定することにより行った。試験には、大電流測定器として、高砂製作所製のGP035-50Rを、大電流耐久試験測定器として、ジェイシーエム社製の測定器を使用した。1図1に示す従来のコンタクトプローブ使用し、下記測定条件で抵抗値の測定試験を行った。測定電流:10A、測定電圧:15V、コンタクト時間:1秒、押し込み量:0.1mm:放電時間:1秒、測定間隔:1秒、試験回数:100回:室内温度:22°C結果を次表1及び図5に示す。上記表1及び図5に示す結果から明らかな如く、抵抗値自体は小さいが、コンタクト回数によって抵抗値が大きく異なる。これでは、どの抵抗値も基準とできないので、パワーデバイス用コンタクトプローブとしては、産業上使用し得ない。2図2に示す本発明のコンタクトプローブ使用し、下記測定条件で抵抗値の測定試験を行った。測定電流:13A、測定電圧:15V、コンタクト時間:1秒、押し込み量:2.0mm:放電時間:1秒、測定間隔:1秒、試験回数:100回:室内温度:22°C結果を次表2及び図6に示す。上記表2及び図6に示す結果から明らかな如く、コンタクト回数によって抵抗値が変わらず、ほぼ一定という驚くべき結果が得られた。しかも、抵抗値自体もかなり小さい。パワーデバイス用スプリングコンタクトプローブとして、初めて産業上使用し得るプローブが得られた。