第1樹脂を含む第1光学材料からなり、表面に回折格子を有する基体と、第2樹脂を含む第2光学材料からなり、前記基体の前記回折格子上に設けられた光学調整層と、を備え、前記基体の前記表面は、曲面形状に沿って前記回折格子が形成された第1領域と、前記第1領域を囲む略平面状の第2領域とを含み、前記光学調整層は、前記基体の前記第1領域および前記第2領域の少なくとも一部を覆っており、前記光学調整層の表面は前記第1領域と前記第2領域との境界近傍上において、フィレット形状を有している、回折光学素子。前記光学調整層の前記表面は金型成形されている請求項1に記載の回折光学素子。前記フィレット形状は、前記基体の光軸を含む断面において、0.05mm以上、0.3mmの曲率半径を有する部分を含む請求項1または2に記載の回折光学素子。前記光学調整層の表面は、前記基体の前記第1領域上において、前記回折格子が有する回折段差の先端を結ぶ包絡面と略同一形状を有している、請求項1から3のいずれかに記載の回折光学素子。前記光学調整層は、前記包絡面の法線方向に沿って0.03mm以下の厚さを有する請求項1から請求項4のいずれかに記載の回折光学素子。前記第1光学材料は、前記第2光学材料よりも低い屈折率および高い分散性を有する請求項1から5のいずれかに記載の回折光学素子。前記第1樹脂はポリカーボネートである、請求項1から6のいずれかに記載の回折光学素子。前記第2光学材料はさらに無機粒子を含み、前記第2光学材料は前記無機粒子が前記第2樹脂に分散しているコンポジット材料である請求項1から7のいずれかに記載の回折光学素子。前記無機粒子は、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、アルミナおよびシリカのうちの少なくとも1種類の酸化物を主成分とする請求項8に記載の回折光学素子。第1樹脂を含む第1光学材料からなり、表面に回折格子を有する基体と、第2樹脂を含む第2光学材料からなり、前記基体の前記回折格子上に設けられた光学調整層とを備えた回折光学素子の製造方法であって、前記回折格子の表面の形状を規定する曲面を備えた第1領域と、前記第1領域を囲む略平面状の第2領域とを有し、前記第1領域と前記第2領域との境界にフィレット形状が設けられた金型を用意する第1の工程と、前記第2光学材料の原料を前記金型の前記第1領域に配置する第2の工程と、前記第1領域に配置された前記第2光学材料の原料を、前記基体の前記回折格子を有する表面で押圧する第3の工程と、を包含する、回折光学素子の製造方法。前記フィレット形状は、前記回折格子の表面の形状を規定する曲面の中心軸を含む断面において、0.05mm以上、0.3mmの曲率半径を有する請求項10に記載の回折光学素子の製造方法。前記第2光学材料の原料は光硬化性を有し、光を照射して前記第2光学材料の原料を硬化させる工程をさらに包含する、請求項10または11のいずれかに記載の回折光学素子の製造方法。前記第2光学材料の原料は紫外線硬化性を有し、紫外線を照射して前記第2光学材料の原料を硬化させる、請求項12に記載の回折光学素子の製造方法。前記金型と前記基体とを直接押し付けたときに形成される前記成形面と前記回折格子の間の空間に前記光学調整層を形成する、請求項10から13のいずれかに記載の回折光学素子の製造方法。本願発明者は、従来の回折光学素子において、基体および光学調整層を異なる樹脂によって形成した場合、回折光学素子の製造時において光学調整層にクラックが発生し易いことを見出した。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、クラック発生が抑制された回折光学素子およびその製造方法を提供することを目的とする。本発明の回折光学素子は、第1樹脂を含む第1光学材料からなり、表面に回折格子を有する基体と、第2樹脂を含む第2光学材料からなり、前記基体の前記回折格子上に設けられた光学調整層とを備え、前記基体の前記表面は、曲面形状に沿って前記回折格子が形成された第1領域と、前記第1領域を囲む略平面状の第2領域とを含み、前記光学調整層は、前記基体の前記第1領域および前記第2領域の少なくとも一部を覆っており、前記光学調整層の表面は前記第1領域と前記第2領域との境界近傍上において、フィレット形状を有している。本発明の回折光学素子の製造方法は、第1樹脂を含む第1光学材料からなり、表面に回折格子を有する基体と、第2樹脂を含む第2光学材料からなり、前記基体の前記回折格子上に設けられた光学調整層とを備えた回折光学素子の製造方法であって、前記回折格子の表面の形状を規定する曲面を備えた第1領域と、前記第1領域を囲む略平面状の第2領域とを有し、前記第1領域と前記第2領域との境界にフィレット形状が設けられた金型を用意する第1の工程と、前記第2光学材料の原料を前記金型の前記第1領域に配置する第2の工程と、前記第1領域に配置された前記第2光学材料の原料を、前記基体の前記回折格子を有する表面で押圧する第3の工程とを包含する。ある好ましい実施形形態において、前記フィレット形状は、前記回折格子の表面の形状を規定する曲面の中心軸を含む断面において、0.05mm以上、0.3mmの曲率半径を有する。本発明によれば、光学調整層の表面にフィレット形状を設けることにより、光学調整層に発生する応力を緩和し、光学調整層にクラックが生じるのを抑制することができる。これにより、生産性に優れた回折光学素子が得られる。本願発明者は、基体および光学調整層が異なる樹脂によって構成される回折光学素子の光学調整層に生じるクラックについて詳細に検討した。通常、2つの異なる材料が接触あるいは被着した状態で構成される部品を製造する場合、2つの材料の熱収縮率をほぼ同一にすることにより、収縮率差による応力を抑制し、クラックを防止することが考えられる。しかし、本願発明者が検討したところ、基体と光学調整層との熱収縮率を同一にしても、光学調整層にはクラックが発生しやすいことを見出した。特に光学調整層としてコンポジット材料を用いる場合にクラックの発生が顕著であった。詳細な検討の結果、光学調整層が回折格子の表面を覆い、さらに回折格子が設けられた領域の周辺を覆っている場合、光学調整層にクラック発生しやすいことが分かった。本願発明者は、このような知見に基づき、本願発明者はクラックの発生が抑制される新規な構造を備えた回折光学素子を想到した。第1の実施形態以下、図面を参照しながら本発明による回折光学素子の実施形態を説明する。図1aは本発明による回折光学素子の一実施形態を示す断面図である。図1aに示す回折光学素子は、基体1と光学調整層5とを備えている。基体1には回折格子2が設けられている。基体1は、第1光学材料からなる。第1光学材料は第1樹脂を含むことが好ましい。樹脂を含む光学材料を基体1に用いることによって、基体1を金型成形によって製造する場合、ガラスを含む光学材料と比較して、金型の寿命が10倍程度長くなり、製造コストを低減できるからである。射出成形等の量産性の高い製造方法を用いることもできる。さらに、樹脂を含む材料は金型成形や他の加工法により微細加工を実施することが容易であるため、回折格子2のピッチを小さくすることによって回折光学素子の性能を向上させたり、回折光学素子の小型化が実現できる。さらに、回折光学素子の軽量化を図ることも可能である。図1bは基体1の平面および断面を示している。基体1は表面1aおよび1bを有している。本実施形態では、表面1bは平らであり、集光機能を備えていない。なお、表面1bは必ずしも平らである必要はなく、曲面形状を含んでいてもよい。一方、表面1aは、第1領域3および第2領域4を含む。表面1aの第1領域3は、曲面形状を有しており、曲面形状に沿って回折格子2が形成されている。曲面形状は、好ましくは非球面形状がよい。第2領域4は第1領域3を囲んでおり、略平面状である。略平面状とは、第2領域4の表面全体の曲率が小さいことを意味する。表面は平滑でなくてもよい。例えば、第2領域4における基体1と光学調整層5との接触面積が大きくなるように、凹凸が設けられていてもよい。図1aに示すように、光学調整層5は、回折格子2上に設けられており、光学調整層5の端部は表面1aの第2領域4にまで伸びている。つまり、光学調整層5は、表面1aにおいて第1領域3および第2領域4の少なくとも一部を覆っている。光学調整層5の表面5aは、回折格子2が有する回折段差の先端を結ぶ包絡面に等しい形状を有する。本実施形態では、回折格子2が設けられる基体1の表面1aは、第1領域3において、非球面形状を有しているため、第1領域3上の光学調整層5の表面5aも非球面形状を有する。好ましくは、光学調整層5は、包絡面の法線方向に沿って0.03mm以下の厚さを有する。光学調整層5は第2光学材料からなる。波長λにおける第1光学材料および第2光学材料の屈折率をそれぞれn1λおよびn1λとし、回折格子2の回折段差をdとし、回折次数をmとした場合、回折段差d、n1λおよびn1λは、回折光学素子が使用される光の波長領域全体で、以下の式1’を満たすことが好ましい。式1’は、回折光学素子のm次回折効率が、おおむね80となる条件を示している。回折効率が80以上あれば、回折光学素子が使用される光の波長領域全体で回折光学素子は十分優れた光学特性を示す。回折光学素子が使用される光の波長領域全体で、n1λおよびn1λが式1’を満たすためには、基体1の第1光学材料と光学調整層5の第2光学材料とは、屈折率の波長依存性が逆の傾向を示し、波長に対する屈折率の変化を互いに打ち消し合う特性を備えていることが好ましい。より具体的には、第1光学材料の屈折率は第2光学材料の屈折率より小さく、第1光学材料の屈折率の波長分散性は第2光学材料の屈折率の波長分散性より大きいことが好ましい。屈折率の波長分散性は、たとえば、アッベ数によって表わされる。アッベ数が大きいほど屈折率の波長分散性は小さい。したがって、第1光学材料の屈折率は第2光学材料の屈折率より小さく、かつ、第1光学材料のアッベ数は第2光学材料のアッベ数よりも小さいことが好ましい。第1光学材料および第2光学材料の屈折率の波長依存性は、それぞれに含まれる第1樹脂および第2樹脂の物性に依存する。光学調整層5の第2光学材料は第2樹脂を含む。好ましくは、第2光学材料は、第2樹脂に無機粒子が分散したコンポジット材料である。これにより、第2光学材料の屈折率およびアッベ数を調整することが可能となる。したがって、調整した適切な屈折率およびアッベ数を有する第2光学材料を光学調整層5に用いることにより、回折光学素子が用いられる光の波長帯域における回折効率を改善することができる。また、屈折率の高い無機粒子を樹脂に分散させることにより、樹脂単体では達成し得ない高い屈折率を第2光学材料は有することができる。このため、第1光学材料と第2光学材料との屈折率差を拡大することができ、式1’から明らかなように、回折格子2が有する回折段差の深さdを低減することが可能となる。この結果、基体1を成形により作製する場合、回折格子2の転写性が改善する。また、回折段差の深さを浅くできるため、段差の間隔を狭くしても転写が容易となる。したがって、回折格子2の狭ピッチ化による回折性能の向上を図ることができる。さらに、第2樹脂にも様々な物性を有する材料を使用することが可能となり、光学以外の特性と両立させることもより容易となる。一般に無機粒子は樹脂より高屈折率であることが多い。このため、基体1に第1樹脂を含む第1光学材料を用い、光学調整層5として、第2樹脂に無機粒子が分散した第2光学材料を用いる場合、上述したように第2光学材料は、第1光学材料よりも高屈折率低波長分散性を示すように調整すること可能である。第1材料および第2光学材料の屈折率および分散性が上述した関係を満たすためには、第2樹脂に分散させる無機粒子も、低波長分散性、すなわち高アッベ数の材料を主成分とすることが好ましい。たとえば、酸化ジルコニウムアッベ数:35、酸化イットリウムアッベ数:34、酸化ランタンアッベ数:35、酸化ハフニウムアッベ数32、酸化スカンジウムアッベ数:27、アルミナアッベ数:76およびシリカアッベ数:68からなる群より選ばれる少なくとも1つの酸化物を主成分とすることが特に好ましい。また、これらの複合酸化物を用いてもよい。回折光学素子が用いられる光の波長帯域において、式1を満たす限り、さらにこれらの無機粒子に加えて、たとえば酸化チタンや酸化亜鉛等に代表される高屈折率を示す無機粒子等を共存させてもよい。第1樹脂としては、一般に光学素子の基体として使用される透光性の樹脂材料の中から、回折光学素子の設計次数における回折効率の波長依存性を低減可能な屈折率特性と波長分散性を有する樹脂を選択する。たとえば、第1樹脂として、ポリカーボネート系樹脂、ポリメチルメタクリレートPMMA、脂環式アクリル樹脂等のアクリル系樹脂、脂環式オレフィン樹脂等を選択することが、透光性が優れているという点で好ましい。これらの樹脂に対し、成形性や機械特性等を向上させる目的で他の樹脂と共重合させたり、他の樹脂とのアロイ化を行ったり、他の樹脂をブレンドしてもよい。このように第1樹脂は単一の樹脂のみを含んでいてもよいし、2以上の樹脂を含んでいてもよい。第2樹脂としては、ポリメタクリル酸メチル等のメタクリル樹脂、エポキシ樹脂;ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートおよびポリカプロラクトン等のポリエステル樹脂;ポリスチレン等のポリスチレン樹脂;ポリプロピレン等のオレフィン樹脂;ナイロン等のポリアミド樹脂;ポリイミドやポリエーテルイミド等のポリイミド樹脂;ポリビニルアルコール;ブチラール樹脂;酢酸ビニル樹脂;脂環式ポリオレフィン樹脂を用いることができる。また、ポリカーボネート、液晶ポリマー、ポリフェニレンエーテル、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、非晶性ポリオレフィン等のエンジニアリングプラスチックを用いてもよい。また、これらの樹脂の混合体や共重合体を用いてもよい。また、これらの樹脂を変性したものを用いてもよい。以下において説明するように特に第2樹脂として、熱硬化性樹脂やエネルギー線硬化樹脂を使用すると、生産性に優れるためより好ましい。第2光学材料として無機粒子が分散したコンポジット材料を用いる場合、第2光学材料中の樹脂成分が減少することから第2光学材料の靭性が低下する。これにより内部応力差が発生した場合にクラックが発生しやすくなると考えられる。しかし、本実施形態の回折格子によれば、以下において説明する構造を有するため、クラックの発生が抑制される。図1cは、図1bにおいてAで示す部分を拡大して示している。図1cに示すように、本実施形態の回折光学素子において、光学調整層5の表面5aは第1領域3と第2領域4との境界近傍上において、フィレット形状6を有している。フィレット形状6は回折光学素子の光学的有効領域7の外側に位置している。図2は、光学調整層5の表面5aに設けられたフィレット形状6近傍の拡大断面図である。本願明細書においてフィレットとは、2つの面が交わってできる曲線または直線を稜とする空間の角を丸めることおよび丸められた部分をいう。図2に示すように、本実施形態では、光学調整層5の表面5aのうち、第1領域3上にある表面形状3と、第2領域4上にある表面形状4との境界である曲線5bを稜とする角を丸めるように、斜線で示す肉厚部が曲線5bに沿って設けられ、フィレット形状6が構成されている。フィレット形状6は、基体1の光軸を含む断面、つまり、半径方向の断面において、凹形の部分円弧を含む。この部分円弧の曲率半径Rは、0.05mm以上、0.3mm以下であることが好ましい。通常、製造誤差によって境界が丸みを帯びた場合、境界の角の曲率半径は0.05mmよりも小さい。このため、製造誤差によって境界が丸みを帯びた程度では、クラックを抑制する効果は十分には得られない。なお、光学調整層5内の膜応力を均一に近づけるためには、光学調整層5は、基体1の第1領域3上と第2領域4上において、光軸方向に略同一の膜厚を有していることが好ましい。第1領域3と第2領域4において、膜厚を略同一にすることを考えると、図2で示した曲線5bは、ちょうど基体の第1領域3と第2領域4との境界上に存在することになる。上述のとおり、この曲線5bを稜とする角を丸めるようにフィレット形状6が設けられる。つまり、フィレット形状6は、第1領域3と第2領域4との境界及びその周辺の領域上に、曲率半径Rに応じた幅で形成されることになる。本願発明者の検討の結果、従来の回折光学素子の光学調整層は、回折格子が設けられた領域とその周囲の領域との境界において、薄くなりやすく、また、応力が集中し易いことが分かった。このため、第1領域3と第2領域4との境界近傍上において、光学調整層5の表面5aにフィレット形状6を設けることにより、光学調整層5を形成する際、屈曲した形状の境界に蓄積される光学調整層5内の応力が緩和され、光学調整層5にクラックが発生するのを抑制することができる。したがって、安定した光学調整層5を形成するプロセスが実現できる。さらに、回折光学素子が完成した後も、光学調整層5内における応力が緩和されているため、回折光学素子が大きな温度差が生じるような環境で使用されたり、高温の環境で使用される場合でも、光学調整層5内の応力が抑制される。したがって、信頼性の高い回折光学素子を実現することができる。図3は、回折格子が設けられた基体に光学調整層を形成する場合の、フィレット形成部に蓄積される膜応力とフィレットサイズの関係を計算し求めた結果を示している。図3において、縦軸が膜応力単位はMPaを示し、横軸が図1cで示した前記フィレット形状6の曲率半径R単位はμmを示している。丸印および四角印は、回折格子が設けられる基体の曲面形状の曲率がそれぞれ1.9mmおよび30mmである場合の結果を示している。R=0がフィレットを形成しない比較対象となる形態であり、100μmまでは、ほぼ10μm間隔で膜応力との関係を計算した。図3から、膜応力はフィレット形状6が大きくなるに従い低下することが分かる。また、曲率半径が50μm0.05mmまでは急峻な変化を示すが、50μmを越えると膜応力の変化は小さくなる。また、基体の曲面形状の曲率が1.9mmおよび30mmである場合の結果を比較すると、基体の曲面形状の曲率が小さいほど、特にフィレットの曲率半径Rが小さい領域において、膜応力が大きくなることが分かる。しかし、基体の曲面形状の曲率が、1.9mmであっても30mmであっても、フィレットの曲率半径Rが50μm以上になると、膜応力の変化は小さくなる。これらの結果から、フィレットの曲率半径Rは、基体の曲面形状に関わらず50μm以上であることが好ましいことが分かる。一方、フィレット形状6のサイズの上限は、光学的有効領域に緩衝しないサイズであれば性能上は問題ない。ただし、フィレット形状6が大きくなり過ぎると、図1cに示すように、フィレット形状6が光学的有効領域7に達し、回折光学素子の光学的特性に影響し得る。また、光学調整層5の第2領域4における平坦部分が小さくなり、回折光学素子を鏡筒などの光学系に組み込んだ場合において、安定にかつ精度良く回折光学素子を保持することが困難となる場合がある。また、第2領域4から、光学調整層5の剥離が生じやすくなる。これらの点を考慮し、フィレットの曲率半径Rは300μm0.3mm以下であることが好ましい。第2の実施形態本発明による回折光学素子の製造法の一実施形態を説明する。まず、図4aからcを参照して、表面にフィレット形状が設けられた光学調整層5を形成するための金型を説明する。図4aは金型10の断面を模式的に示している。金型10は、光学調整層5の表面形状を規定する曲面11を備えた第1領域3’と、第1領域3’を囲んでおり、平面形状12を有する第2領域4’と、レンズ当接部14を有する第3領域25を含む。曲面11は、回折格子2の頂点を結ぶ包絡面である非球面形状とほぼ同一の形状を有する。レンズ当接部14と平面形状12との高さの差は、光学調整層5の第2領域4における厚さを規定する。図4bは、図4a中、Bで示す部分を拡大して示している。図4bに示すように、第2領域4’の平面形状12と第1領域3’の曲面11との境界にフィレット形状15が設けられ、角が丸められている。このフィレット形状15は、光学調整層5のフィレット形状6を反転させた形状である。より具体的には、フィレット形状15は、曲面11の中心軸を含む断面において、0.05mm以上、0.3mmの曲率半径を有する。図4cは、フィレット形状15の形状の規定の仕方を説明する図である。平面形状12と曲面11の接線16とのなす角度の1/2の角度θ1=θ2で中心線17を決定する。中心線17を基準とし、上述した範囲の曲率半径18の円弧が平面形状12および接線16と接するように中心線17上に円弧の中心を配置する。本実施の形態では、θ1を約75°として上述した曲率半径のフィレット形状を形成している。ただし、θ1およびθ2は75°に限られず、円弧が平面形状12および接線16と接すればよい。次に、図5aからdを参照しながら、この金型10を用いた回折光学素子の製造方法を説明する。まず、上述したように金型10を用意し、図5aに示すように、たとえば、第2光学材料の原料5’を第1領域3’の曲面11のほぼ中央に所定量滴下する。その後、回折格子2が設けられた基体1を回折格子2が曲面11内の原料5’と接するようにフェースダウンで基体1を金型10に対向させ、回折格子2が設けられた基体1で原料5’を押圧する。これにより、基体1の第2領域4の平坦部分が金型10のレンズ当接部14と当接する。また、原料52は、基体1の表面と金型10の曲面11および平面形状12によって挟まれた空間に閉じ込められ、フィレット形状を有する光学調整層5の形に成形される。なお、本実施形態では、基体1を金型10にフェースダウンで配置するが逆であってもよい。また、原料5’は基体1の回折格子2上に滴下してもよい。次に成形された原料5’を硬化させる。図5cに示すように、基体1の回折格子2が設けられていない側から原料5’に紫外線36を照射し、原料5’を硬化させる。本実施形態では、原料5’は光硬化性を有するため、紫外線によって硬化させるが、原料5’の性質に応じたエネルギを与えることによって原料5’を硬化させる。たとえば、原料5’が熱硬化性樹脂原料であれば、熱を加える。原料5’が硬化した後、金型10を基体1からはずすことによって、基体1と、基体1の回折格子2上に設けられた光学調整層5とを備えた回折光学素子が得られる。この光学調整層5の表面5aには、上述したように、所定の位置にフィレット形状6が形成されている。また、金型10にフィレット形状が設けられているため、金型10の離型の際、光学調整層5に応力が掛かりにくい。実験例第1の実施形態の回折光学素子を作製し、フィレット形状によるクラック抑制の効果を確認した。基体1を構成する第1光学材料の第1樹脂として、ポリカーボネート樹脂d線屈折率1.585、アッベ数28を用い、第1光学材料を射出成形することにより、回折格子の先端の包絡面が非球面形状であり、深さ39μmの輪帯状を有する回折格子2が片面に設けられた基体1を作製した。レンズ部の有効半径は1.445mmであり、輪帯数は24本であり、最小輪帯ピッチは30μmであり、回折面の近軸R曲率半径は-1.433mmである。また、この回折光学素子の焦点距離は1.109mmである。光学調整層5の第2樹脂の原料として、アクリレート樹脂d線屈折率1.600、アッベ数33を基体1上にディスペンサーを用いて2.8μL滴下し、金型ステンレス系合金表面にニッケルめっき膜形成に設置し、基体1の裏面コンポジット材料を滴下した面と反対の面から、紫外線照度107mW/cm2、積算光量3000mJ/cm2を照射しアクリレート樹脂を硬化させた。その後、金型から離型し光学調整層5として成形した。光学調整層5の表面形状は、回折格子2の先端の包絡面形状に沿った非球面形状から法線方向に15μmの厚さを有していた。使用した金型には50μmのフィレット形状が設けられているため、光学調整層5にも、第1の実施形態で説明した位置に50μmの曲率半径を有するフィレット形状が設けられている。比較例として、フィレット形状が設けられていない金型を用い、同様にして回折光学素子を作製した。図6は、作製した回折光学素子にクラックが発生しているか否かを確認した結果を、回折光学素子を作製した順で示している。×はクラックが発生したことを示し、○はクラックが発生しなかったことを示している。また、R=0μm型は、フィレット形状が設けられていない比較例の回折光学素子を示し、R=50μm型は、フィレット形状が設けられた実施例の回折光学素子を示している。図6から分かるように、比較例の回折光学素子にはすべてクラックが発生していたのに対し、本実施例の回折光学素子にはクラックは発生しなかった。この結果からフィレット形状を設けることにより、クラックの発生が効果的に抑制できることが分かった。