エンジンの排気通路に設けられ、該排気通路を流れる排気ガスによって回転駆動される排気タービン、及び、前記エンジンの吸気通路に設けられ、前記排気タービンに連動して回転駆動することにより吸気を前記エンジンに圧縮供給するコンプレッサを有してなる過給機と、前記排気通路の前記排気タービンより上流側から、前記吸気通路の前記コンプレッサより下流側に排気ガスを導入する高圧EGR通路、及び、該高圧EGR通路を通過する排気ガス量を調整するための高圧EGR流量制御手段を有してなる高圧EGR手段と、前記排気通路の前記排気タービンより下流側から、前記吸気通路の前記コンプレッサより上流側に排気ガスを導入する低圧EGR通路、及び、該低圧EGR通路を通過する排気ガス量を調整するための低圧EGR流量制御手段を有してなる低圧EGR手段と、前記高圧EGR流量制御手段及び前記低圧EGR流量制御手段を制御することによって、前記吸気通路に還流する排気ガス量を調整するEGR量制御手段とを備えた排気ガス還流装置において、前記吸気通路のうち前記低圧EGR通路の連結部より上流側の吸入空気量を検出する吸気量検出手段と、前記吸気通路のうち前記高圧EGR通路の連結部より下流側の酸素濃度を検出するための第1の酸素濃度検出手段と、前記吸気通路のうち前記コンプレッサより下流側、且つ、前記高圧EGR通路の連結部より上流側の酸素濃度を検出するための第2の酸素濃度検出手段と、前記排気通路のうち前記排気タービンより下流側の酸素濃度を検出するための第3の酸素濃度検出手段と、前記第2の酸素濃度検出手段により、前記低圧EGR手段の故障判定を行うと共に、前記吸気量検出手段及び前記第1乃至第3の酸素濃度検出手段により、前記高圧EGR手段の故障判定を行う故障判定手段とを備えたことを特徴とする排気ガス還流装置。前記故障判定手段は、前記低圧EGR手段が故障していないと判定した場合に、前記高圧EGR手段の故障判定を行うことを特徴とする請求項1に記載の排気ガス還流装置。前記故障判定手段は、前記吸気量検出手段及び前記第2及び第3の酸素濃度検出手段の実測値に基づいて低圧EGR量を算出し、前記吸気量検出手段及び前記第1乃至第3の酸素濃度検出手段の実測値に基づいて高圧EGR量を算出し、前記低圧EGR量と前記高圧EGR量とに基づいて高圧EGR割合を算出し、予め記憶された正常時の高圧EGR割合と比較することにより、前記高圧EGR手段の故障判定を行うことを特徴とする請求項2に記載の排気ガス還流装置。前記故障判定手段は、前記低圧EGR手段が故障していると判定され、且つ、前記第2の酸素濃度検出手段の検出値が大気酸素濃度と等しい場合に、前記低圧EGR手段による還流量をゼロとして前記高圧EGR割合を算出することを特徴とする請求項2又は3に記載の排気ガス還流装置。特許文献1では高圧EGR装置と低圧EGR装置とを併用したシステムにおいて吸気温に基づいて故障検知できるとされている。しかしながら、特許文献1では故障検知自体は可能であっても、当該故障が高圧EGR装置と低圧EGR装置のいずれにおいて生じたのかについてまで判定することができない。高圧EGR装置と低圧EGR装置とを併用したシステムでは、いずれか一方のEGR装置が故障した場合であっても、他方のEGR装置によってEGRガスの供給量を調整カバーすることで、故障発生時においても排気ガスの悪化を抑制することが考えられる。しかしながら、このような制御は高圧EGRと低圧EGRのいずれに故障が生じたのかを判別できることが前提として必要であり、特許文献1の技術に基づいては実現が困難である。本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、高圧EGR装置と低圧EGR装置とを備えるエンジンにおいて、いずれのEGR装置において故障が生じたのかを正確に検知可能な排気ガス還流装置を提供することを目的とする。本発明に係る排気ガス還流装置は上記課題を解決するために、エンジンの排気通路に設けられ、該排気通路を流れる排気ガスによって回転駆動される排気タービン、及び、前記エンジンの吸気通路に設けられ、前記排気タービンに連動して回転駆動することにより吸気を前記エンジンに圧縮供給するコンプレッサを有してなる過給機と、前記排気通路の前記排気タービンより上流側から、前記吸気通路の前記コンプレッサより下流側に排気ガスを導入する高圧EGR通路、及び、該高圧EGR通路を通過する排気ガス量を調整するための高圧EGR流量制御手段を有してなる高圧EGR手段と、前記排気通路の前記排気タービンより下流側から、前記吸気通路の前記コンプレッサより上流側に排気ガスを導入する低圧EGR通路、及び、該低圧EGR通路を通過する排気ガス量を調整するための低圧EGR流量制御手段を有してなる低圧EGR手段と、前記高圧EGR流量制御手段及び前記低圧EGR流量制御手段を制御することによって、前記吸気通路に還流する排気ガス量を調整するEGR量制御手段とを備えた排気ガス還流装置において、前記吸気通路のうち前記低圧EGR通路の連結部より上流側の吸入空気量を検出する吸気量検出手段と、前記吸気通路のうち前記高圧EGR通路の連結部より下流側の酸素濃度を検出するための第1の酸素濃度検出手段と、前記吸気通路のうち前記コンプレッサより下流側、且つ、前記高圧EGR通路の連結部より上流側の酸素濃度を検出するための第2の酸素濃度検出手段と、前記排気通路のうち前記排気タービンより下流側の酸素濃度を検出するための第3の酸素濃度検出手段と、前記第2の酸素濃度検出手段により、前記低圧EGR手段の故障判定を行うと共に、前記吸気量検出手段及び前記第1乃至第3の酸素濃度検出手段により、前記高圧EGR手段の故障判定を行う故障判定手段とを備えたことを特徴とする。本発明によれば、吸気量検出手段、及び、3つの酸素濃度検出手段の実測値又はその演算値を、予め記憶された正常値と比較することにより、高圧EGR手段又は前記低圧EGR手段のいずれに故障が生じているかを精度よく判定することができる。好ましくは、前記故障判定手段は、前記低圧EGR手段が故障していないと判定した場合に、前記高圧EGR手段の故障判定を行うとよい。高圧EGR手段は取り扱うEGRガスが低圧EGR手段に比べて高温高圧であるため、故障発生確率が高い。そのため、先に固着しにくい低圧EGR手段において故障判定を行い、その判定結果に基づいて高圧EGR手段の故障判定を行うことによって、それぞれのEGR手段における故障判定を精度よく行うことができる。更に好ましくは、前記故障判定手段は、前記吸気量検出手段及び前記第2及び第3の酸素濃度検出手段の実測値に基づいて低圧EGR量を算出し、前記吸気量検出手段及び前記第1乃至第3の酸素濃度検出手段の実測値に基づいて高圧EGR量を算出し、前記低圧EGR量と前記高圧EGR量とに基づいて高圧EGR割合を算出し、予め記憶された正常時の高圧EGR割合と比較することにより、前記高圧EGR手段の故障判定を行うとよい。これによれば、吸気量検出手段、及び、3つの酸素濃度検出手段により低圧EGR量と高圧EGR量を算出し、その演算値を予め記憶された正常値と比較することにより、高圧EGR手段の故障判定をより精度よく行うことができる。また、前記故障判定手段は、前記低圧EGR手段が故障していると判定され、且つ、前記第2の酸素濃度検出手段の検出値が大気酸素濃度と等しい場合に、前記低圧EGR手段による還流量をゼロとして高圧EGR割合を算出するとよい。これによれば、第2の酸素濃度検出手段の検出値が大気酸素濃度と等しいか否かを判定することによって、例えば低圧EGRバルブである低圧EGR量制御手段が完全に閉状態で固着しているか否かを判断することができる。そして、低圧EGR量制御手段が完全に閉状態で固着している場合には、低圧EGR手段による還流量をゼロとして、高圧EGR割合を算出することができる。本発明によれば、吸気量検出手段、及び、3つの酸素濃度検出手段の実測値又はその演算値を、予め記憶された正常値と比較することにより、高圧EGR手段又は前記低圧EGR手段のいずれに故障が生じているかを精度よく判定することができる。以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではない。本発明を車両に搭載されたディーゼルエンジン以下、適宜エンジンと称するに適用した実施形態を図1~図3を参照して説明する。図1は本実施形態に係るエンジンの全体構成を示すブロック図である。図1に示す本実施形態のエンジン10において、複数のシリンダブロック12が設けられ、各シリンダブロック12の上部にシリンダヘッド14が設けられている。各シリンダヘッド14の中央に燃料噴射装置16が設けられ、シリンダヘッド14の燃料噴射装置16の両側に、吸気導入部及び排気排出部が設けられている。該吸気導入部は、吸気マニホールド17を介して吸気通路18に接続され、該排気排出部は、排気マニホールド19を介して排気通路20に接続されている。吸気通路18及び排気通路20の途中には、吸気通路18に設けられたコンプレッサ及び排気通路20に設けられた排気タービンからなる過給機22が配置されている。過給機22より下流側の排気通路20には、ディーゼルパーティキュレートフィルタを備えた排ガス浄化装置24が設けられている。燃費性能及び排気浄化作用の促進のために、過給機22の上流側排気通路20と過給機22の下流側吸気通路18とを接続する高圧EGR通路26と、該高圧EGR通路26に介設され、EGRガスを浄化する触媒装置28と、高圧EGR通路26の出口部に設けられ、該高圧EGR通路26を流れるEGRガスの流量を調節可能な高圧EGRバルブ30とからなる高圧EGR装置32が設けられている。また、過給機22の下流側排気通路20と過給機22の上流側吸気通路18とを接続する低圧EGR通路34と、該低圧EGR通路34に介設された低圧EGRクーラ36と、低圧EGR通路34の出口部に設けられ、該低圧EGR通路34を流れるEGRガスの流量を調節可能な低圧EGRバルブ37とからなる低圧EGR装置38が設けられている。ここで図1に加え図2を参照して、吸排気系におけるセンサ類の配置レイアウトについて説明する。図2は吸排気系におけるセンサ類の配置レイアウトを模式的に示す概念図である。過給機22の下流側吸気通路18には、過給機22によって圧縮加熱された吸気を冷却するためのインタークーラ40が設けられている。吸気通路18の低圧EGRバルブ37より上流側吸気通路18のうち低圧EGR通路34の連結部より上流側には、吸気通路18への吸気量を検知するための吸気量センサ41エアフローセンサが設けられている。また、吸気通路18の高圧EGRバルブ30より下流側吸気通路18のうち高圧EGR通路26の連結部より下流側には、該吸気通路18を流れる吸気の酸素濃度を検出するための第1の酸素濃度センサ42が設けられている。また、吸気通路18の過給機22より下流側、且つ、高圧EGRバルブ30の上流側吸気通路18のうち高圧EGR通路26の連結部より上流側には、該吸気通路18の酸素濃度を検出するための第2の酸素濃度センサ43が設けられている。また、排気通路20のうち過給機22より下流側には、該排気通路20の酸素濃度を検出するための第3の酸素濃度センサ44が設けられている。尚、前記第3の酸素濃度センサ44は、過給機22の下流側排気通路20のうち、特に排ガス浄化装置24更に好ましくは排気ガス浄化装置24に含まれる触媒より上流側に設けると、酸素濃度をより精度よく検出できるため好ましい。これらセンサ類からの出力信号は、エンジン10の制御を統括するコントロールユニットであるECU50に送信され、該ECU50における演算結果に基づいて低圧EGR装置及び高圧EGR装置に制御信号が送信され、各種制御が行われるようになっている。ECU50は、CPUCentralProcessingUnit、ROMReadOnlyMemory及びRAMRandomAccessMemory等を備えて構成される電子制御ユニットであり、ROMに格納された制御プログラムに従って各種制御を実行するが、これらの各種の制御の物理的、機械的及び電気的な構成はこれに限定されるものではない。続いて、本実施形態におけるエンジン10の動作について簡潔に説明する。エンジン10が運転開始すると、排気eによって過給機22の排気タービンが駆動される。すると、排気タービンに連動して過給機22のコンプレッサが回転駆動され、大気が吸気通路18に吸引される。また、エンジン10の運転中に派前記各センサ類から検出信号が随時ECU50に入力される。ECU50は、これらの検出信号を取得し、演算結果に応じて不図示の吸気スロットル弁、EGRバルブ30、36、燃料噴射装置16、及びインタークーラ40等を制御する。特に低圧EGR装置38及び高圧EGR装置32の制御内容の一例について言及すると、中低負荷時には、高圧EGR装置32で多量の排気を吸気通路18に再循環させ、排気中NOX量を低減する。高負荷時には、低圧EGR装置38から少量の排気を比較的高精度で吸気通路18に再循環させ、排気中NOX量を低減する。また、吸気量センサ41、酸素濃度センサ42~44により、シリンダに導入される吸気量及び酸素濃度を検出し、これら検出信号をECU50に入力する。ECU50は、これらの検出信号に応じて、過給圧、低圧EGR装置38及び高圧EGR装置32から導入されるEGRガス量、燃料噴射装置16の燃料噴射量、噴射時期を制御する。これによって、排気中のNOX量を最小限に抑えることができる。続いて図3を参照して、本実施形態に係るエンジン10の制御内容について具体的に説明する。図3は、本実施形態に係るエンジン10の制御内容を示すフローチャートである。まずECU50は、エンジン10を始動すると共に高圧EGR装置32及び低圧EGR装置38を始動し、EGRガスの供給を開始するステップS101。続いて、第2の酸素濃度センサ43から検出値CLAF2を取得すると共にステップS102、ECU50に内蔵されているメモリなどの記憶手段から基準値C1、C2を取得しステップS103、次式|C1-CLAF2|<C21を満たすか否かを判定するステップS104。ここで、基準値C1は、高圧EGR装置32及び低圧EGR装置38が正常である場合に第2の酸素濃度センサ43から得られるべき検出値として予め記憶されているものであり、基準値C2は第2の酸素濃度センサ43の実測値の正常値C1との差の絶対値について低圧EGR装置が正常であるか否かを判定するための閾値として予め記憶されているものである。すなわち、ステップS104では、第2の酸素濃度センサ43の実測値CLAF2の正常値C1との差の絶対値が、許容値C2以下であるか否かを判定することにより、低圧EGR装置38に故障があるか否かが判定される。そして、上式1を満足する場合ステップS104:YES、ECU50は低圧EGR装置38が正常であると判定するステップS105。続いて、ECU50は吸気量センサ41、第1の酸素濃度センサ42及び第3の酸素濃度センサ44から、それぞれ検出値ma、CLAFS1、CLAFS3を取得しステップS106、これらの検出値から高圧EGR割合システム全体のEGR供給量のうち高圧EGR装置32によるEGR供給量の割合Rを算出するステップS107。ここでステップS107における高圧EGR割合Rの算出方法について説明する。まず各検出値ma、CLAFS1、CLAFS2、CLAFS3を関係づける次式に、それぞれ各センサにおける検出値を代入し、連立して解くことにより、高圧EGR量me-H、低圧EGR量me-Lを算出する。そして、求めた高圧EGR量me-H、低圧EGR量me-Lを用いて、高圧EGR割合Rを次式により算出する。尚、上式2及び3の数値0.211は大気中の酸素濃度を表している。続いてECU50は、ECU50に内蔵されているメモリなどの記憶手段から基準値R1、R2を取得しステップS108、次式|R1-R|>R27を満たすか否かを判定するステップS109。ここで、基準値R1は、高圧EGR装置32及び低圧EGR装置38が正常である場合に得られるべき高圧EGR割合の算出値として予め記憶されているものであり、基準値R2は実測値に基づいて算出されたEGR割合Rの記憶値R1との差の絶対値について、高圧EGR装置32が正常とみなせる許容範囲を示す閾値として予め記憶されているものである。すなわち、ステップS109では、ステップS107の算出値Rの正常値R1との差の絶対値が、許容値R2以下であるか否かを判定することにより、高圧EGR装置32に故障があるか否かを判定する。ECU50は上式7を満足する場合にタイマカウントを開始しステップS110、ステップS109の判定結果が所定期間T1以上継続するか否かを判定するステップS111。つまり、ステップS111では判定結果が所定期間T1以上継続することによって、過渡的な誤判定が行われないように確認を行い、判定精度を向上させている。そして、ステップS109の判定結果が所定期間T1以上継続している場合にはステップS111:YES、ECU50は、高圧EGR装置32に故障があるものと判定するステップS112。このように判定された高圧EGR装置32の故障は、警告音の発信やディスプレイ上の表示などの報知手段によって、その旨が警報されるステップS113。一方、ステップS104において上式1を満足しない場合ステップS104:NO、ECU50はタイマカウントを開始しステップS114、ステップS104の判定結果が所定期間T2以上継続するか否かを判定するステップS115。つまり、ステップS115では判定結果が所定期間T2継続することによって、過渡的な誤判定が行われないように確認を行い、判定精度を向上させている。そして、ステップS104の判定結果が所定期間T2以上継続している場合には、ECU50は、低圧EGR装置38に故障があるものと判定するステップS116。続いてECU50は第2の酸素濃度センサ43の検出値CLAFS2が、図1において不図示の大気酸素濃度センサから取得した大気酸素濃度と等しいか否かを判定するステップS117。ここでステップS117における判定は基準とする大気酸素濃度と第2の酸素濃度センサ43の検出値との差が所定値以内であるか否かで判定してもよい。第2の酸素濃度センサ43の検出値CLAFS2が大気酸素濃度と等しい場合ステップS117:YES、低圧EGRバルブ37が完全に閉状態で固着しており機能していないことを示している図1を参照。そのため、ECU50は計算上、低圧EGR量me-Lをゼロに設定しステップS118、処理をステップS106に戻して、ステップS107以降の処理を実施することにより、高圧EGR割合Rを算出して高圧EGR装置32における故障の有無を判定する。この場合、ECU50は低圧EGR装置38と高圧EGR装置32の両者が故障していることを判定することができる。尚、ステップS113において警告を行う際には、低圧EGR装置38と高圧EGR装置32のどちらが正常で、どちらが故障しているのかを判別可能なように、報知することが好ましい。また、本実施形態では故障判定結果を警告するに留めているが、その判定結果を用いてその他の制御を実行するようにしてもよいことは言うまでも無い。一方、第2の酸素濃度センサ43の検出値CLAFS2が大気酸素濃度と等しい場合ステップS117:NO、処理をステップS113に進め、高圧EGR装置のみが故障している旨警告を行う。以上説明したように、本発明によれば、3箇所に配置された酸素濃度センサ42、43、44の実測値又はその演算値を予め記憶された正常値と比較することにより、高圧EGR装置又は低圧EGR装置のいずれに故障が生じているかを精度よく判定できる。また、上記実施形態では、低圧EGR量me-Lと高圧EGR量me-Hを算出し、低圧EGR量me-Lと高圧EGR量me-Hとに基づいて高圧EGR割合Rを算出し、予め記憶された正常時の高圧EGR割合正常値R1と比較することにより高圧EGR装置32の故障判定を行っている。このため、EGRシステム全体の中で、高圧EGR装置の異常をより精度よく判定できる。さらに、高圧EGR割合Rを算出することで、低圧EGR量や高圧EGR量me-Hの変化に起因する吸気マニホールドの温度変化を、温度センサを用いることなく容易に判断することができる。尚、上記実施形態では、高圧EGR割合を算出して故障判定を行ったが、高圧EGR量の算出結果を予め記憶された正常時の高圧EGR量と比較することにより高圧EGR装置32の故障判定を行ってもよい。その場合、ECU50の演算負荷を軽減することができる。