フィルムロールから繰り出された成膜用フィルム上に真空中で成膜を行い、かつ、成膜された当該成膜用フィルムをロール状に巻き取る巻取式成膜装置であって、前記成膜用フィルムをフィルム支持ローラに巻き付けた状態で当該成膜用フィルム上に成膜を行う成膜領域と、成膜された前記成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するフィルム搬送機構とを有する巻取式成膜装置。前記フィルム搬送機構が、前記成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するテンデンシーローラを有する請求項1記載の巻取式成膜装置。前記フィルム搬送機構が、前記成膜用フィルムの成膜面の非成膜領域に対して保護フィルムを密着させる密着機構を有する請求項1又は2のいずれか1項記載の巻取式成膜装置。前記成膜用フィルムに第1の保護フィルムが積層された第1の積層フィルムを搬送して前記フィルム支持ローラに導く第1の搬送手段と、前記成膜用フィルムから前記第1の保護フィルムを剥離するとともに、当該成膜用フィルムを前記フィルム支持ローラに巻き付けるように構成されたフィルム剥離機構と、成膜された前記成膜用フィルムの成膜面に第2の保護フィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ機構と、前記成膜用フィルムの成膜面に前記第2の保護フィルムが貼り合わされた第2の積層フィルムを搬送する第2の搬送手段と、前記第2の積層フィルムをロール状に巻き取る巻取手段とを有する請求項1乃至3のいずれか1項記載の巻取式成膜装置。フィルムロールから繰り出された成膜用フィルム上に真空中で成膜を行った後、成膜された当該成膜用フィルムをロール状に巻き取る工程を有する巻取式成膜方法であって、成膜された前記成膜用フィルムの成膜面に保護フィルムを貼り合わせて搬送し、当該貼り合わされた積層フィルムをロール状に巻き取る工程を有する巻取式成膜方法。前記保護フィルムの前記成膜用フィルムの非成膜領域に対応する領域に、複数の突起が設けられている請求項5記載の巻取式成膜方法。本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、真空中で成膜用フィルム上に形成された薄膜に対してダメージを与えることなく、成膜用フィルムを搬送して巻き取ることができる技術を提供することにある。上記目的を達成するためになされた本発明は、フィルムロールから繰り出された成膜用フィルム上に真空中で成膜を行い、かつ、成膜された当該成膜用フィルムをロール状に巻き取る巻取式成膜装置であって、前記成膜用フィルムをフィルム支持ローラに巻き付けた状態で当該成膜用フィルム上に成膜を行う成膜領域と、成膜された前記成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するフィルム搬送機構とを有するものである。本発明では、前記フィルム搬送機構が、前記成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するテンデンシーローラを有する場合にも効果的である。本発明では、前記フィルム搬送機構が、前記成膜用フィルムの成膜面の非成膜領域に対して保護フィルムを密着させる密着機構を有する場合にも効果的である。本発明では、前記成膜用フィルムに第1の保護フィルムが積層された第1の積層フィルムを搬送して前記フィルム支持ローラに導く第1の搬送手段と、前記成膜用フィルムから前記第1の保護フィルムを剥離するとともに、当該成膜用フィルムを前記フィルム支持ローラに巻き付けるように構成されたフィルム剥離機構と、成膜された前記成膜用フィルムの成膜面に第2の保護フィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ機構と、前記成膜用フィルムの成膜面に前記第2の保護フィルムが貼り合わされた第2の積層フィルムを搬送する第2の搬送手段と、前記第2の積層フィルムをロール状に巻き取る巻取手段とを有する場合にも効果的である。一方、本発明は、フィルムロールから繰り出された成膜用フィルム上に真空中で成膜を行った後、成膜された当該成膜用フィルムをロール状に巻き取る工程を有する巻取式成膜方法であって、成膜された前記成膜用フィルムの成膜面に保護フィルムを貼り合わせて搬送し、当該貼り合わされた積層フィルムをロール状に巻き取る工程を有するものである。本発明では、前記保護フィルムの前記成膜用フィルムの非成膜領域に対応する領域に、複数の突起が設けられている場合にも効果的である。本発明の場合、真空中でフィルム上に成膜を行う成膜装置において、成膜されたフィルムの成膜されていない面を支持して搬送するフィルム搬送機構を有することから、真空中で成膜用フィルム上の成膜された部分にダメージを与えることなく、連続的に成膜を行い巻き取ることができる。本発明において、フィルム搬送機構が、成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するテンデンシーローラを有する場合には、ベルトによって駆動される内側回転軸の駆動力が複数のボールベアリングにより速度の変化が緩和又は吸収されて外側回転軸に伝達されるため、メカニカルロスをより小さくすることが可能になる。本発明において、フィルム搬送機構が、成膜用フィルムの成膜面の非成膜領域に対して保護フィルムを密着させる密着機構を有する場合には、成膜用フィルムの成膜領域を保護することができるとともに、成膜用フィルムと保護フィルムとを密着させて安定して搬送することができる。本発明において、成膜用フィルムに第1の保護フィルムが積層された第1の積層フィルムを搬送して前記フィルム支持ローラに導く第1の搬送手段と、成膜用フィルムから第1の保護フィルムを剥離するとともに、当該成膜用フィルムをフィルム支持ローラに巻き付けるように構成されたフィルム剥離機構と、成膜された成膜用フィルムの成膜面に第2の保護フィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ機構と、成膜用フィルムに第2の保護フィルムが貼り合わされた第2の積層フィルムを搬送する第2の搬送手段と、第2の積層フィルムをロール状に巻き取る巻取手段とを有する場合には、成膜用フィルムは常に第1又は第2の保護フィルムによって保護されているので、成膜用フィルムの成膜面にダメージを与えることなく、連続的に成膜を行い巻き取ることができ、これにより装置構成の自由度を向上させることができる。一方、本発明において、保護フィルムの成膜用フィルムの非成膜領域に対応する領域に、複数の突起が設けられている場合には、成膜後の成膜用フィルムに保護フィルムを貼り合わせた場合であっても、成膜用フィルムの成膜領域にはダメージを与えることがない。本発明によれば、真空中で成膜用フィルム上に形成された薄膜に対してダメージを与えることなく、成膜用フィルムを搬送して巻き取ることができる。以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。図1は、本発明に係る巻取式成膜装置の実施の形態を示す概略構成図である。以下、図1に示す場合を例にとって部材間の上下関係を説明する。図1に示すように、本実施の形態の巻取式成膜装置1は、繰出巻取室2と、成膜室3とを有している。これら繰出巻取室2及び成膜室3は、それぞれ図示しない真空排気系に接続されている。繰出巻取室2内の例えば下部には、成膜用フィルム4が巻き付けられた成膜用フィルムロール40が設けられ、この成膜用フィルムロール40は、その回転軸40aが図示しない駆動機構に連結され、フィルム繰り出し方向に回転させるように構成されている。繰出巻取室2内の成膜用フィルムロール40の近傍には、固定ローラからなる繰出ローラ20が設けられ、さらに、繰出ローラ20のフィルム搬送方向下流側には、テンションローラからなる第1の搬送ローラ21が設けられている。この第1の搬送ローラ21は、図示しないアームの支軸を中心にして揺動自在に支持され、繰り出される成膜用フィルム4の張力を調整するように構成されている。第1の搬送ローラ21の例えば上方でフィルム搬送方向下流側には、固定ローラからなる第2の搬送ローラ22が設けられている。繰出巻取室2の第2の搬送ローラ22の近傍には、成膜用フィルム4を導出するための導出口図示せずが設けられている。この導出口は、成膜時には閉じられるように構成され、繰出巻取室2内の真空雰囲気が維持されるようになっている。そして、成膜用フィルムロール40から繰り出された成膜用フィルム4は、上述した繰出ローラ20、第1の搬送ローラ21及び第2の搬送ローラ22に掛け渡され、繰出巻取室2の導出口から成膜室3に向って搬送されるように構成されている。一方、成膜室3の、繰出巻取室2の導出口と対向する部分には、フィルムを導入するための導入口図示せずが設けられている。この導入口は成膜時には、閉じられるように構成され、成膜室3内の真空雰囲気が維持されるようになっている。成膜室3内の導入口の近傍には、固定ローラからなる第3の搬送ローラ23が設けられている。第3の搬送ローラ23のフィルム搬送方向下流側には、それぞれ固定ローラからなる第4及び第5の搬送ローラ24、25が設けられている。本実施の形態では、これら第4及び第5の搬送ローラ24、25の間には、テンションローラからなる張力調整ローラ26が設けられている。この張力調整ローラ26は、図示しないアームの支軸を中心にして揺動自在に支持され、搬送されるフィルムの張力を調整するように構成されている。成膜室3内の第5の搬送ローラ25の下方には、成膜用フィルム4を支持するフィルム支持ローラ7が設けられている。このフィルム支持ローラ7は、その回転軸7aが図示しない駆動機構に連結され、フィルム搬送方向に回転させるように構成されている。そして、搬送された成膜用フィルム4が、フィルム支持ローラ7の上方からほぼ全周に渡って巻き付けられ例えば巻き付け角度が300度以上、成膜後の成膜用フィルム4が上方に向って送出されるようになっている。なお、本実施の形態では、フィルム支持ローラ7は接地されている。成膜室3内のフィルム支持ローラ7の周囲には、5個の隔壁部8a~8eによって仕切られた第1~第4の成膜領域31~34が設けられている。第1~第4の成膜領域31~34内には、フィルム支持ローラ7に巻き付けられた成膜用フィルム4の表面に対向するように第1~第4の成膜源例えばプラズマCVD用のシャワーヘッド31s~34sがそれぞれ配置されている。そして、本実施の形態においては、成膜用フィルム4の成膜されていない面を支持して搬送するフィルム搬送機構として、以下に説明する第1~第3の非接触搬送ローラ35~37並びに非接触搬送機構38が設けられている。すなわち、成膜室3内のフィルム支持ローラ7の上方には、第1の非接触搬送ローラ35が設けられており、この第1の非接触搬送ローラ35は、成膜後の成膜用フィルム4の成膜面4aと反対側の面、すなわち、成膜されていない面以下、非成膜面という。4bを支持して搬送するように構成されている。また、第1の非接触搬送ローラ35のやや上方でフィルム搬送方向下流側には、第2の非接触搬送ローラ36が設けられている。この第2の非接触搬送ローラ36は、第1の非接触搬送ローラ35と同様に、成膜された成膜用フィルム4の非成膜面4bを支持して搬送するように構成されている。成膜室3の第2の非接触搬送ローラ36の近傍には、成膜された成膜用フィルム4を導出するための導出口図示せずが設けられている。この導出口は成膜時には、閉じられるように構成され、成膜室3内の真空雰囲気が維持されるようになっている。一方、繰出巻取室2の、成膜室3の導出口と対向する部分には、成膜後の成膜用フィルム4を導入するための導入口図示せずが設けられている。この導入口は成膜時には、閉じられるように構成され、繰出巻取室2内の真空雰囲気が維持されるようになっている。そして、繰出巻取室2内の導入口の近傍には、固定ローラからなる第3の非接触搬送ローラ37が設けられている。第3の非接触搬送ローラ37は、第2の非接触搬送ローラ36とほぼ同一の高さ位置に配置され、第2の非接触搬送ローラ36と同様に、成膜された成膜用フィルム4の非成膜面4bを支持して搬送するように構成されている。本発明の場合、特に限定されることはないが、よりメカニカルロスを小さくする観点からは、第2及び第3の非接触搬送ローラ36、37について、テンデンシーローラ例えば、国際公開公報WO2004/059032に記載されたものを用いることが好ましい。図2aは、テンデンシーローラの内部構成を示す断面図、図2bは、テンデンシーローラの外観構成を示す斜視図である。図2abに示すように、本発明に用いるテンデンシーローラ10は、例えば、真空槽図示せずの壁面に取り付けられる一対のボールベアリング11、12を有し、これらボールベアリング11、12に直線状の内側回転軸13が回転可能に装着されている。この内側回転軸13は、図示しない駆動機構に連結されたベルト14によって回転駆動されるように構成されている。そして、この内側回転軸13の周囲に一対のボールベアリング15、16が成膜用フィルム4の幅程度の間隔をおいて取り付けられ、これらボールベアリング15、16に円筒状の外側回転軸17が回転可能に装着されている。このような構成を有するテンデンシーローラ10では、ベルト14の駆動によって内側回転軸13を所定方向に回転させると、ボールベアリング15、16の摩擦抵抗によって外側回転軸17が同一方向に回転する。このように、第2及び第3の非接触搬送ローラ36、37として、テンデンシーローラ10を用いれば、ベルト14によって駆動される内側回転軸13の駆動力が一対のボールベアリング15、16により速度の変化が緩和又は吸収されて外側回転軸17に伝達されるため、メカニカルロスをより小さくすることが可能になる。さらに、第3の非接触搬送ローラ37のフィルム搬送方向下流側には、一対のローラとベルトからなる非接触搬送機構38が設けられている。この非接触搬送機構38は、ベルトの駆動により、成膜後の成膜用フィルム4の非成膜面4bを支持して搬送するように構成されている。さらに、非接触搬送機構38の下方でフィルム搬送方向下流側には、成膜された成膜用フィルム4を巻き取るための巻取軸9が設けられている。巻取軸9は、図示しない駆動機構によって回転駆動するように構成されている。このような構成を有する本実施の形態によれば、成膜された成膜用フィルム4の非成膜面4bを第1~第3の非接触搬送ローラ35~37及び非接触搬送機構38によって搬送するようにしたことから、成膜用フィルム4上に形成された薄膜成膜面4aに対してダメージを与えることなく、成膜用フィルム4を搬送して巻き取ることができる。図3は、本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図であり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。図3に示すように、本実施の形態の巻取式成膜装置1Aは、繰出巻取室2内に保護フィルム繰出機構50が設けられ、成膜された成膜用フィルム4に保護フィルム5を貼り合わせるようにしたものである。ここでは、繰出巻取室2内の例えば巻取軸9の近傍で、成膜された成膜用フィルム4の成膜面4a側の位置に、所定の保護フィルム5を巻き付けた保護フィルムロール51が設けられている。この保護フィルムロール51は、その回転軸50aが図示しない駆動機構に連結され、巻取軸9方向へ向って保護フィルム5を下方から繰り出す方向に回転させるように構成されている。そして、成膜用フィルム4を巻き取る際に、保護フィルムロール51から繰り出された保護フィルム5を、成膜用フィルム4の成膜面4a上に貼り合わせるように構成されている。このような構成を有する本実施の形態によれば、上記実施の形態と同様の効果に加え、保護フィルム5付きの成膜用フィルム4をロール状にして提供することができる。その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。図4は、本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図であり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。図4に示すように、本実施の形態の巻取式成膜装置1Bは、保護フィルム5を繰り出す保護フィルム繰出室2Bを有するものである。この保護フィルム繰出室2Bは、図示しない真空排気系に接続されており、保護フィルム繰出室2B内の例えば下部には、保護フィルム5が巻き付けられた保護フィルムロール51を有する保護フィルム繰出機構50が設けられている。保護フィルム繰出機構50の保護フィルムロール51は、その回転軸50aが図示しない駆動機構に連結され、フィルム繰り出し方向に回転させるように構成されている。保護フィルム繰出室2B内の保護フィルムロール51の近傍には、固定ローラからなる繰出ローラ53が設けられ、さらに、繰出ローラ53の保護フィルム搬送方向下流側には、テンションローラからなる張力調整ローラ54が設けられている。この張力調整ローラ54は、図示しないアームの支軸を中心にして揺動自在に支持され、繰り出されるフィルムの張力を調整するように構成されている。そして、張力調整ローラ54の例えば上方で保護フィルム搬送方向下流側には、固定ローラからなる導出ローラ55が設けられている。保護フィルム繰出室2Bの導出ローラ55の近傍には、保護フィルムを導出するための導出口図示せずが設けられている。この導出口は、成膜時には閉じられるように構成され、保護フィルム繰出室2B内の真空雰囲気が維持されるようになっている。そして、保護フィルムロール51から繰り出された保護フィルム5が、上述した繰出ローラ53、張力調整ローラ54、導出ローラ55に掛け渡され、保護フィルム繰出室2Bの導出口から成膜室3に向って搬送されるように構成されている。一方、成膜室3の、保護フィルム繰出室2Bの導出口と対向する部分には、保護フィルム5を導入するための導入口図示せずが設けられている。この導入口は、成膜時には閉じられるように構成され、成膜室3内の真空雰囲気が維持されるようになっている。成膜室3内の導入口の近傍には、固定ローラからなる導入ローラ56が設けられている。導入ローラ56の保護フィルム搬送方向下流側には、それぞれ固定ローラからなる第1、第2及び第3の搬送ローラ57、58、59が順次設けられている。さらに、成膜室3内の第3の搬送ローラ59の保護フィルム搬送方向下流側には、成膜用フィルム4と保護フィルム5を密着させる密着機構60が設けられている。図5は、本実施の形態に用いる成膜用フィルムと保護フィルムとの関係を示す断面図、図6a~cは、本実施の形態に用いる密着機構の例を示す概略構成図である。図5に示すように、本実施の形態では、成膜用フィルム4上に形成された薄膜層4Aの表面即ち成膜面4aに、保護フィルム5を密着させて貼り合わせる。本実施の形態の場合、保護フィルム5には、例えばエンボス加工により、成膜用フィルム4の成膜領域以外の領域に、保護フィルム5の長手方向及び幅方向に、複数の突起5aが設けられ、これらの突起5aのみが成膜用フィルム4の薄膜層4Aと接触するようになっている。そして、このような構成により、成膜後の成膜用フィルム4に保護フィルム5を貼り合わせた場合であっても、成膜用フィルム4の成膜領域にはダメージが与えられないようになっている。一方、図6aに示す密着機構60Aは、ガイドローラ61Aと、押圧ローラ62Aとから構成されている。ここで、ガイドローラ61Aは、断面円形形状のローラ本体63を有し、このローラ本体63に、例えばシリコーンゴムからなり、ローラ本体63より外径の大きい断面円形形状のガイド部65を、成膜用フィルム4及び保護フィルム5の両縁部が載置されるように、所定の間隔をおいて二つ設けたものである。一方、押圧ローラ62Aは、断面円形形状でガイドローラ61Aの回転軸と平行な回転軸を有するローラ本体64に、ローラ本体64より外径の大きい断面円形形状のガイド部66を、ガイドローラ61Aのガイド部65と同程度の間隔をおいて二つ設けたものである。そして、このようなガイドローラ61Aと押圧ローラ62Aとの間に成膜用フィルム4と保護フィルム5とを挿入し、図示しない押圧機構によって押圧ローラ62Aをガイドローラ61A側に押圧することにより、成膜用フィルム4の成膜面4aに対して保護フィルム5を密着させるようになっている。図6bに示す密着機構60Bは、上述したガイドローラ61Aと、押圧機構62Bとから構成されている。ここで、押圧機構62Bは、ガイドローラ61Aの回転軸と平行な回転支軸68を中心として回転可能な押圧ローラ66が本体部69に取り付けられているもので、本例では、ガイドローラ61Aのガイド部65と同程度の間隔をおいて押圧機構62Bを二つ設けて構成されている。このような構成において、ガイドローラ61Aと押圧機構62Bの押圧ローラ66との間に成膜用フィルム4と保護フィルム5とを挿入し、押圧機構62Bの押圧ローラ66をガイドローラ61A側に押圧することにより、成膜用フィルム4の成膜面4aに対して保護フィルム5を密着させるようになっている。図6cに示す密着機構60Cは、ガイドローラ61Cと、上述した押圧機構62Bとから構成されている。本例では、上述したローラ本体63に、ローラ本体63より外径の大きい断面円形形状のガイド部65を、成膜用フィルム4及び保護フィルム5の中央部及び両縁部が載置されように、所定の間隔をおいて三つ設けたものである。さらに、図6bに示す押圧機構62Bを、ガイドローラ61Cのガイド部65と同程度の間隔をおいて押圧機構62Bを三つ設けている。このような構成において、ガイドローラ61Cと各押圧機構62Bの押圧ローラ66との間に成膜用フィルム4と保護フィルム5とを挿入し、押圧機構62Bの押圧ローラ66をガイドローラ61C側に押圧することにより、成膜用フィルム4の成膜面4aに対して保護フィルム5を密着させるようになっている。上述した密着機構60A~60Cによれば、成膜用フィルム4の成膜領域を保護することができるとともに、成膜用フィルム4と保護フィルム5とを密着させて安定して搬送することができる。図7は、本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図であり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。図7に示すように、本実施の形態の巻取式成膜装置1Cは、成膜室3の一方の側部側に、第1の繰出巻取室2Cが設けられ、成膜室3の他方の側部側に、第2の繰出巻取室2Dが設けられている。第1及び第2の繰出巻取室2C、2Dは、それぞれ図示しない真空排気系に接続されている。第1の繰出巻取室2C内の例えば上部には、上述した成膜用フィルム4上に第1の保護フィルム5Aが積層された第1の積層フィルム71を巻回した第1のフィルムロール70が設けられている。この第1のフィルムロール70は、その回転軸70aが図示しない駆動機構に連結されている。第1の繰出巻取室2C内には、以下の構成を有する第1の搬送手段が設けられている。すなわち、第1の繰出巻取室2Cの第1のフィルムロール70の上方近傍には、一対の固定ローラと、一対の固定ローラに掛け渡されたベルトによって構成された繰出機構72が設けられ、この繰出機構72によって第1の積層フィルム71を斜め上方に繰り出すようになっている。繰出機構72の下方には、テンションローラからなる搬送ローラ73が設けられ、搬送ローラ73のフィルム搬送方向下流側には、導出ローラ74が設けられている。第1の繰出巻取室2Cの導出ローラ74の近傍には、第1の積層フィルム71を導出するための上述した導出口図示せずが設けられている。そして、第1のフィルムロール70から繰り出された第1の積層フィルム71が、搬送ローラ73及び導出ローラ74に掛け渡され、第1の繰出巻取室2Cの導出口から成膜室3に向って搬送されるように構成されている。一方、成膜室3の、第1の繰出巻取室2Cの導出口と対向する部分には、第1の積層フィルム71を導入するための上述した導入口図示せずが設けられている。成膜室3内の上部には、固定ローラからなる第1及び第2の搬送ローラ75、76が設けられ、さらに、フィルム支持ローラ7の上方近傍には、第1の積層フィルム71から第1の保護フィルム5Aを剥離するための剥離機構図示せずを有する剥離ローラフィルム剥離機構77が設けられている。この剥離ローラ77は、テンションローラからなるものである。なお、第1の積層フィルム71から第1の保護フィルム5Aが剥離された成膜用フィルム4は、フィルム支持ローラ7に巻き付けられるように構成されている。成膜室3内の剥離ローラ77の第1の繰出巻取室2C側には、剥離された第1の保護フィルム5Aを第1の繰出巻取室2C側に戻すための第1及び第2の戻しローラ78、79が順次設けられている。成膜室3の第2の戻しローラ79の近傍には、第1の保護フィルム5Aを導出するための上述した導出口図示せずが設けられている。一方、第1の繰出巻取室2Cの、成膜室3の導出口と対向する部分には、第1の保護フィルム5Aを導入するための上述した導入口図示せずが設けられている。また、第1の繰出巻取室2C内の下部には、第1の保護フィルム5Aを巻き取るための巻取軸80が設けられている。そして、第1の繰出巻取室2Cの導入口から巻取軸80に向って第3~5の戻しローラ81~83と、一対の固定ローラとベルトから構成された戻し機構84が設けられ、これら第3~5の戻しローラ81~83と、戻し機構84を介して第1の保護フィルム5Aを巻取軸80に導くように構成されている。一方、第2の繰出巻取室2D内の例えば下部には、第2の保護フィルム5Bが巻き付けられ、その回転軸90aが図示しない駆動機構に連結された保護フィルムロール90が設けられている。第2の繰出巻取室2D内の保護フィルムロール90の上方近傍には、一対の固定ローラと、一対の固定ローラに掛け渡されたベルトによって構成された繰出機構91が設けられ、この繰出機構91によって第2の保護フィルム5Bを斜め上方に繰り出すようになっている。第2の繰出巻取室2D内の繰出機構91の成膜室3側には、第1及び第2の搬送ローラ92、93及び導出ローラ94が順次設けられ、これら第1及び第2の搬送ローラ92、93及び導出ローラ94と第2の保護フィルム5Bを成膜室3に向って搬送した後、上述した導出口を介して第2の保護フィルム5Bを成膜室3に向って導出するように構成されている。成膜室3の、第2の繰出巻取室2Dの導出口と対向する部分には、第2の保護フィルム5Bを導入するための上述した導入口図示せずが設けられ、さらに、この導入口の近傍には、第2の保護フィルム5Bを成膜室3内に導入するための第1及び第2の導入ローラ95、96が順次設けられている。そして、成膜室3内のフィルム支持ローラ7の上方近傍には、成膜が行われた成膜用フィルム4と第2の保護フィルム5Bを貼り合わせるための貼り合わせローラフィルム貼り合わせ機構97が設けられている。なお、貼り合わせローラ97は、テンションローラからなるものである。さらに、成膜室3内の貼り合わせローラ97の上方には、貼り合わされた第2の積層フィルム98を第2の繰出巻取室2Dに向って搬送するための第1及び第2の戻しローラ第2の搬送手段99、100が設けられている。そして、第1及び第2の戻しローラ99、100によって搬送された第2の積層フィルム98は、成膜室3に設けられた導出口図示せずを介して第2の繰出巻取室2Dに向って導出され、さらに、第2の繰出巻取室2Dに設けられた導入口図示せずを介して第2の繰出巻取室2D内に導入されるように構成されている。また、第2の繰出巻取室2D内の上部には、第2の積層フィルム98を巻き取るための巻取軸101が設けられている。そして、第2の繰出巻取室2Dの導入口から巻取軸101に向って第3及び第4の戻しローラ102、103と、一対の固定ローラとベルトから構成された戻し機構104が設けられ、これら第3及び第4の戻しローラ102、103と、戻し機構104を介して第2の積層フィルム98を巻取軸101に導くように構成されている。なお、第4の戻しローラ103は、テンションローラからなるものである。このような構成を有する本実施の形態によれば、上述した効果に加え、成膜用フィルム4は常に第1又は第2の保護フィルム5A、5Bによって保護されているので、成膜用フィルム4の成膜面4aにダメージを与えることなく、連続的に成膜を行い巻き取ることができ、これにより装置構成の自由度を向上させることができる。その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。例えば、上記実施の形態においては、成膜源として、プラズマCVD用のシャワーヘッドを設けた場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、例えば、第1~第4の成膜領域31~34内に電極を設けて放電を行うように構成することもできる。また、本発明は、プラズマCVDのみならず、真空蒸着やスパッタリングによって成膜を行う場合にも適用することができる。