"軸線方向に伸びるスプライン溝を有する軸と、前記軸が軸線方向に直線運動するのを案内するスプラインナットと、モータのロータ部が設けられると共に、前記スプラインナットと一緒に回転する中空のロータと、モータのステータ部が設けられるハウジングと、前記ハウジングの軸線方向の端部に設けられ、前記中空のロータが軸線の回りを回転するのを案内する軸受と、を備え、前記モータが前記ロータを軸線の回りに回転させることによって、前記軸が軸線の回りを回転する直線運動案内機構付アクチュエータにおいて、前記ロータの、前記軸受に支持される軸線方向の端部を、前記ハウジングの内側から外側に向かって前記軸受から軸線方向に突出させ、センサによって、前記軸受から突出する前記ロータの端部の回転位置を検出することを可能とする直線運動案内機構付アクチュエータ。前記ロータは、前記スプラインナットの外周面の少なくとも一部を包むキャップを備え、前記ロータの端部は、前記キャップに形成されることを特徴とする請求項1に記載の直線運動案内機構付アクチュエータ。前記ロータの端部の周囲の一部のみが軸線方向に突出することを特徴とする請求項1又は2に記載の直線運動案内機構付アクチュエータ。前記ハウジングには、前記ロータ部のマグネットの磁界の方向又は大きさを計測する磁気センサが設けられ、前記磁気センサの出力信号を利用することによって、前記ロータの回転に伴いπ/2だけ位相がずれたA,B2相信号を得ることができ、前記磁気センサの出力信号及び前記センサとしての近接センサ又はリミットスイッチの出力信号を利用することによって、前記ロータの1回転で1回だけZ相信号を得ることができることを特徴とする請求項3に記載の直線運動案内機構付アクチュエータ。前記センサはロータリーエンコーダであり、前記ロータの端部の周囲の全周が軸線方向に突出し、前記ロータの端部の周囲には、前記センサと協働するスケールが取り付けられ、前記ロータリーエンコーダを利用することによって、前記ロータの回転に伴いπ/2だけ位相がずれたA,B2相信号、及び前記ロータの1回転で1回だけZ相信号を得ることができることを特徴とする請求項1又は2に記載の直線運動案内機構付アクチュエータ。近年、直線運動案内機構付アクチュエータの小型化の観点から、またセンサの取り付け易さの観点からセンサを直線運動案内機構付アクチュエータのハウジングの軸線方向の端部に設けることが要請されている。しかし、この要請からハウジングの軸線方向の端部にセンサを設けると、ハウジングの端部のセンサで軸の回転位置を検出する必要がある。直線運動案内機構付アクチュエータの軸は軸線方向にストロークするので、センサと協働するスケールの長さを軸のストローク以上に長くしなければならず、スケールが長くなるという新たな課題が生ずる。そこで、本発明は、ハウジングの軸線方向の端部に軸の回転位置を検出するセンサを設けることができ、また軸のストローク以上にスケールが長くなるのを防止できる直線運動案内機構付アクチュエータを提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明の一態様は、軸線方向に伸びるスプライン溝を有する軸と、前記軸が軸線方向に直線運動するのを案内するスプラインナットと、モータのロータ部が設けられると共に、前記スプラインナットと一緒に回転する中空のロータと、モータのステータ部が設けられるハウジングと、前記ハウジングの軸線方向の端部に設けられ、前記中空のロータが軸線の回りを回転するのを案内する軸受と、を備え、前記モータが前記ロータを軸線の回りに回転させることによって、前記軸が軸線の回りを回転する直線運動案内機構付アクチュエータにおいて、前記ロータの、前記軸受に支持される軸線方向の端部を、前記ハウジングの内側から外側に向かって前記軸受から軸線方向に突出させ、センサによって、前記軸受から突出する前記ロータの端部の回転位置を検出することを可能とする直線運動案内機構付アクチュエータである。本発明によれば、ロータの端部をハウジングの軸線方向の端部に設けられる軸受から軸線方向に突出させ、ロータの端部の回転位置を検出するようにしたので、ハウジングの軸線方向の端部に軸の回転位置を検出するセンサを設けることができる。また軸のストローク以上にスケールが長くなるのを防止できる。添付図面に基づいて本発明の第一の実施形態における直線運動案内機構付アクチュエータを詳細に説明する。図1は本発明の第一の実施形態における直線運動案内機構付アクチュエータの軸1の軸線に沿った断面図を示す。この直線運動案内機構付アクチュエータは、軸1を直線運動可能に案内すると共に、当該軸1を軸線の回りに回転させる。軸1の一端には、図示しないリニアモータ等が接続される。軸1の軸線方向の移動量は図示しないリニアモータ等によって制御される。直線運動案内機構付アクチュエータの全体の構成は以下のとおりである。ハウジング2の軸線方向の中央には、ステータ部3及びロータ部8を備える回転モータ5が配置される。回転モータ5のステータ部3はコイル6を備え、ハウジング2に結合される。回転モータ5の中空のロータ部8はマグネット7を備える。ロータ部8の左右方向の両端部には、スプラインナット12a,12bを包む第一及び第二のキャップ10,9が一体的に結合される。ロータ4は、ロータ部8、一対の第一及び第二のキャップ10,9によって構成される。中空のロータ4の回転運動は、一対のスプラインナット12a,12bの外側でハウジング2の左右方向の両端部に設けられる一対の軸受14a,14bによって案内される。なお、実際には軸1は垂直方向に配置されることが多いが、説明の便宜上、軸1を水平方向に配置したと仮定し、水平方向を左右方向と定義する。左右一対のスプラインナット12a,12bには、軸1が軸線方向に直線運動可能に嵌められる。軸1の直線運動は一対のスプラインナット12a,12bによって案内される。回転モータ5が中空のロータ4を回転させると、中空のロータ4と一体化されたスプラインナット12a,12bが軸線の回りを中空のロータ4と一緒に回転する。スプラインナット12a,12bが回転すると、スプラインナット12a,12bに回転不能に係合する軸1が軸線の回りを回転する。スプラインナット12a,12bは軸1が軸線方向に直線運動するのを許容するので、軸1は直線運動可能な状態で軸線の回りを回転する。なお、中空のロータ4とスプラインナット12a,12bとは軸線の回りを一緒に回転すればよく、中空のロータ4に対してスプラインナット12a,12bが軸線方向に直線運動できるようにしてもよい。直線運動案内機構付アクチュエータの各部の詳細な構成は以下のとおりである。軸1は中空に形成される。軸1の外周面には軸線方向に伸びる複数本のスプライン溝1a図7参照が形成される。軸1のスプライン溝1aには、スプラインナット12a,12bに組み込まれる転動体としての多数のボールがスプライン溝1aに沿って転がり運動可能に嵌まる。軸1とスプラインナット12a,12bとは軸線の回りを回転不能に係合していて、スプラインナット12a,12bの回転に伴って軸1が軸線の回りを回転するようになっている。軸1の長手方向の両端部はハウジング2から突出する。軸1の一端部には吸着パッド、図示しない工具等の移動体が取り付けられ、軸1の他端部には図示しないリニアモータ等が連結される。ハウジング2は細長い直方体形状に形成される。ハウジング2の内部には軸線方向に細長い円筒状の空間が形成される。ハウジング2の空間の長さ方向の中央には回転モータ5が収容される。回転モータ5は中空モータである。ハウジング2には回転モータ5のステータ部3が結合される。ステータ部3は、ロータ部8の多数のマグネットに磁気的なすきまを空けて対向する円筒形状のヨークと、ヨークから半径方向の内側に突出する多数のコア21と、多数のコア21に巻かれる多数のコイル6と、を備える。コイル6はU,V,W相からなる三相コイルから構成される。コイル6に三相交流電流を流すと、ステータ部3に回転磁界が発生し、ステータ部3の回転磁界とマグネット7の磁界との相互作用によってロータ4が回転する。図1に示すように、ハウジング2の長さ方向の両端部には、中空のロータ4が回転するのを案内する一対の軸受14a,14bが設けられる。一対の軸受は、一対のスプラインナット12a,12bの軸線方向の外側に配置される。軸受14a,14bは、内輪、外輪、及び内輪と外輪との間に介在される転動体としてボールを備える。軸受をハウジング2に軸線方向に位置決めできるように、軸受14a,14bの外輪にはフランジが形成される。図2に示すように、ロータ4は、多数のマグネットが設けられる中央の円筒状のロータ部8と、ロータ部8の左右の両端部に結合される一対の第二のキャップ9と、一対の第二のキャップ9の左右の外側に結合される一対の第一のキャップ10と、を備える。ロータ部8に結合される第一のキャップ10及び第二のキャップ9はスプラインナット12a,12bを包む。ロータ部8を挟んで左右に配置される一対のスプラインナット12a,12b並びに一対の第一及び第二のキャップ10,9は左右対称である。図3はロータ部8の斜視図を示す。ロータ部8は円筒形状に形成される。ロータ部8には軸線方向の両端部を除いてロータ部8の軸線方向に細長い複数の例えば8個のマグネット7が貼り付けられる。ロータ部8の両端部には、ロータ部8に対して第二のキャップ9を回転方向に位置決めするための基準凹部8aが形成される。第一のキャップ10と第二のキャップ9とは回転方向に位置決めされているので、ロータ部8と第一のキャップ10とが回転方向に位置決めされている。詳しくは後述するが、ロータ部8のマグネット7と第一のキャップ10のセンサードグ10c-2図5参照の両方を利用してZ相信号を出力するので、ロータ部8と第一のキャップ10を回転方向に位置決めする必要がある。図4のロータ部8の断面図に示すように、ロータ部本体8bの外周面には周方向に交互にN極及びS極が形成されるように多数のマグネット7が貼り付けられる。マグネット7は、半径方向に着磁、すなわち外周側がN極及びS極の一方に着磁され、内周側がN極及びS極の他方に着磁される。図1に示すように、マグネット7の軸線方向の端部はステータ部3から軸線方向に突出している。ハウジング2のステータ部3の近傍には、マグネット7のステータ部3から突出した部分の磁界を計測する磁気センサ26が設けられる。磁気センサ26は、ロータ部8のマグネット7の磁界の方向磁気ベクトルの方向又は磁界の大きさを計測する磁気抵抗素子を有する。ロータ部8のマグネット7をスケールとして利用し、π/2だけ位相がずれた正弦波状及び余弦波状の電圧信号を出力する。マグネット7からいえば、マグネット7はロータ4を回転させるためのトルクを発生させる駆動用のマグネットとして機能すると共に、ロータ4の回転角度を検出するためのスケールとして機能する。ロータ4の第一のキャップ10は、スプラインナット12bを囲む筒状の周壁部10a、この周壁部10aの一端を塞ぐ底壁部10b、及び底壁部10bから周壁部10aとは反対側に突出し、周壁部10aよりも小径の筒状の突出部10cを有する。ロータ4の端部となる突出部10cが軸受14a,14bに回転可能に支持される。突出部10cは、ハウジング2の内側から外側に向かって軸受14a,14bから軸線方向に突出するセンサードグ10c-2を有する。図5の斜視図に示すように、突出部10cの周囲の一部のみが軸線方向に突出してセンサードグ10c-2を構成する。突出部10cは、軸受14a,14bから外側に円筒状に突出するガイド部10c-1と、センサードグ10c-2と、を有する。ガイド部10c-1は突出部10cの軸受14a,14bに支持される部分よりも外径が僅かに小さく設定される。ガイド部10c-1は、軸受14a,14bを第一のキャップ10に挿入するときに軸受14a,14bを案内する機能を持つ。センサードグ10c-2は、ガイド部10c-1の周囲の一部から軸線方向に突出する。センサードグ10c-2の断面形状は円弧であり、円弧の中心角は360°/マグネットの磁極の極数以下、この実施形態では360°/8極4極対=45°以下に設定される。図6に示すように、センサードグ10c-2の回転位置はセンサとしての近接センサ27によって検出される。近接センサ27はハウジング2の軸線方向の端部にブラケット28等の取付け部材を介して取り付けられる。センサードグ10c-2にはスケールは取り付けられていない。近接センサ27はセンサードグ10c-2が近づくと、センサードグ10c-2に非接触でセンサードグ10c-2の有無を検出する。近接センサ27はハウジング2の軸線方向の端部に設けられる。なお、近接センサ27の替わりにリミットスイッチを用いることも可能である。図1に示すように、第一のキャップ10の周壁部10a内には、スプラインナット12a,12b及びシール31a,31bが収容される。樹脂製のシール31a,31bはスプラインナット12a,12b内に異物が浸入するのを防止する。周壁部10aにスプラインナット12a,12b及びシール31a,31bを収納した後、スプラインナット12a,12bは接着剤によって周壁部10aに固定される。周壁部10aには周方向に均等間隔を空けて複数の貫通孔32が半径方向に空けられる図5参照。周壁部10aの外側から貫通孔32を介して内側に接着剤が注入される。スプラインナット12a,12bの外周面には周方向に伸びる溝33が形成される図7参照。この溝33は周壁部10aの貫通孔32に繋がっていて、接着剤がスプラインナット12a,12bの周囲に行き渡る。周壁部10aと突出部10cを繋ぐ底壁部10bは円環状に形成される。底壁部10bと突出部との間には軸受14a,14bの内輪に突き当てられる肩部10b-1が形成される。肩部10b-1を一対の軸受14a,14bの内輪に突き当てることによって、一対の軸受14a,14b間にロータ4が位置決めされる。第二のキャップ9は蓋のようにスプラインナット12bが収容された第一のキャップ10に嵌められる。第二のキャップ9は、第一のキャップ10の周壁部10aの内側に嵌まる嵌合凸部9aと、第一のキャップ10の周壁部10aの軸線方向の端面に突き当てられる突当て部9bと、ロータ部8が嵌められる嵌合凹部9cを備える。上述したように、ロータ部8と第二のキャップ9とは回転方向に位置決めされている。図7はスプラインナット12a,12b及び軸1の斜視図一部スプラインナット12a,12bの断面図を示す。軸1の外周面には、長手方向に伸びるスプライン溝1aが形成される。スプラインナット12a,12bには、軸1のスプライン溝に対向する転動体転走溝34を含む循環路が形成される。スプラインナット12a,12bは、中央の円筒状のナット本体35と、ナット本体35の軸線方向の両端部に設けられる一対の蓋部材36を備える。ナット本体35には、上記転動体転走溝34及び上記転動体転走溝34と平行な無負荷戻し路37が形成される。蓋部材36には転動体転走溝34と無負荷戻し路37とを接続するU字状の方転換路が形成される。転動体転走溝34、無負荷戻し路37及び一対の方向転換路によってサーキット状の循環路が形成される。循環路には転動体として多数のボール38が配列される。スプラインナット12a,12bに対して軸1が軸線方向に直線運動すると、多数のボール38が軸1とスプラインナット12a,12bとの間を転がると共に、循環路を循環する。上記直線運動案内機構付アクチュエータの組み立て方法は下記のとおりである。まず図2に示すように、中空のロータ4のロータ部8の軸線方向の両端部に第二のキャップ9を嵌め合う。次に、第一のキャップ10にスプラインナット12a,12bを収容した状態で、第二のキャップ9の嵌合凸部9aに第一のキャップ10の周壁部10aを嵌め合う。ロータ4にスプラインナット12a,12bを結合一体化させた後、スプラインナット12a,12bに軸1を通す。次に、図1に示すように、ハウジング2に回転モータ5のステータ部3を結合する。ハウジング2の中空空間に組み立てたロータ4及び軸1を挿入し、ハウジング2の軸線方向の両端部に軸受14a,14bを嵌め込む。軸受14a,14bは第一のキャップ10の外側に嵌められる。最後に軸受14a,14bが脱落しないようにハウジング2の両端部に軸受14a,14bを押さえる蓋40a,40bを取り付ける。図8は直線運動案内機構付きアクチュエータの制御装置の構成図を示す。制御装置51は、回転モータ5を制御するのに適した形態をした電力を供給するPWMインバータなどの電力変換器53と、ロータ4の磁界を計測する磁気センサ26が出力する信号を内挿処理するインターポレータ54と、指令器55からの情報により電力変換器53を制御する制御器52と、を備える。近接センサ27のオン信号は制御器52に入力される。制御器52は、ロータ4の回転位置が指令器55からの指令値に一致するように回転モータ5を制御する。磁気センサ26は、ロータ4の磁界の方向磁気ベクトルの方向の変化を検出し、π/2位相がずれた正弦波状及び余弦波状の電圧信号を出力する。磁気センサ26が出力する電圧信号は、インターポレータ54に出力される。インターポレータ54は、正弦波状及び余弦波状の電圧信号に基づいて、ロータ4の角度情報を算出する。図9は、インターポレータ54の構成図を示す。磁気センサ26が出力する正弦波状信号及び余弦波状信号は、インターポレータ54に取り込まれる。インターポレータ54は、90°位相が異なる正弦波状信号及び余弦波状信号にディジタル的な内挿処理を加えて高分解能の位相角データを出力する。ロータ4のマグネット7を磁気スケールとして利用するにあたり、磁気センサ26が出力する正弦波状信号及び余弦波状信号を細分化し、分解能を上げる必要がある。ロータ4のマグネット7の磁極ピッチは磁気スケールの磁極ピッチよりも粗いからである。90°位相が異なる正弦波状信号及び余弦波状信号それぞれは、A/D変換器61,62に入力される。A/D変換器61,62は、正弦波状信号及び余弦波状信号それぞれを所定の周期でディジタルデータDA,DBにサンプリングする。信号処理部63は、ディジタルデータDA,DBからパルス状のA相信号、B相信号を出力する。信号処理部63の信号処理方法は下記のとおりである。図10に示すように、予めルックアップテーブルメモリ64には、逆正接関数TAN1を用いた数1に基づいて作成されたルックアップテーブルデータが記録されている。数1u=TAN1DB/DA図10には、8ビット×8ビットのアドレス空間に1周期1000分割の位相角データを持たせたルックアップテーブルメモリのメモリ構成が示されている。信号処理部63は、ディジタルデータDA,DBをそれぞれx,yアドレスとしてルックアップテーブルデータを検索し、x,yアドレスに対応した位相角データuを得る。これにより、1波長0から2πまでの区間内を分割内挿することが可能になる。なお、ルックアップテーブルメモリを用いる替わりに、u=TAN1DB/DAの演算をして、位相角データuを算出することにより、1波長0から2πまでの区間内を分割内挿してもよい。図9に示す信号処理部63は、位相角データuからパルス状のA相信号、B相信号を出力する。また、信号処理部63は、磁気センサ26が出力する正弦波状信号及び余弦波状信号のゼロクロスを利用してZ相信号を出力する。Z相信号は、回転モータのロータ部8の極数と等しい個数出力される。例えば、マグネット7の極数が8極だと8個のZ相信号が出力される。しかし、軸1の回転位置を位置決めするためには、ロータ4の1回転で1回だけZ相信号を得る必要がある。磁気センサ26からロータ4の1回転で1回だけZ相信号ゼロ信号とも呼ばれるを得ようとすると、1周に1個だけZ相信号を出力するスケールが別個に必要になってしまう。そこで、既に得られた8個のZ相信号のうちの一つを特定することとする。8個のZ相信号のうちの一つを特定し、ロータ4の1回転で1回だけZ相信号を得るために、ハウジング2の端部に設けられる近接センサ27の出力信号を付加的に利用する。図8に示す制御器52は、インターポレータ54から入力される8つのZ相信号のうち、近接センサ27が同時にオン信号を出力するときのZ相信号を特定する。そして、インターポレータ54から入力されるA、B2相信号、及び特定したZ相信号に基づいて、回転モータ5の回転位置を知り、回転モータ5の回転位置が指令値に一致するように電力変換器53を制御する。本実施形態によれば、以下の効果を奏する。ロータ4の端部をハウジング2の軸線方向の端部に設けられる軸受14a,14bから軸線方向に突出させ、ロータ4の端部の回転位置を検出するようにしたので、ハウジング2の軸線方向の端部に軸1の回転位置を検出する近接センサ27を設けることができる。また、軸1のストローク以上にスケールが長くなるのを防止できる。軸1から突出するセンサードグ10c-2ロータ4の端部をスプラインナット12a,12bを包む第一のキャップ10に形成したので、直線運動案内機構付きアクチュエータをコンパクトにすることができる。第一のキャップ10のセンサードグ10c-2を周囲の一部から軸線方向に突出するように形成し、近接センサ27でセンサードグ10c-2を検出するようにしたので、ロータ4の1回転に1回だけ出力信号を容易に出力することができる。磁気センサ26と近接センサ27とを併用することで、ロータ4の1回転に1回だけのZ相信号を特定することができる。図11は本発明の第二の実施形態における直線運動案内機構付きアクチュエータを示す。軸1、ハウジング2、回転モータ5、一対のスプラインナット12a,12b、一対の軸受14a,14b,ロータ4を構成するロータ部8、第二のキャップ9の構成は上記第一の実施形態の直線運動案内機構付きアクチュエータと同一なので同一の符号を附してその説明を省略する。この実施形態では、上記第一の実施形態と異なりロータ4の端部としての第一のキャップ70の円筒状の突出部70cの周囲の全周を軸受14a,14bから軸線方向に突出させている。図12の拡大断面図に示すように、第一のキャップ70の突出部70cには、全周に渡ってリング状の磁気スケール72が取り付けられる。磁気スケール72の目盛りは、A,B2相信号を出力するための目盛りと、Z相信号を出力するための目盛りと、を備える。磁気スケール72の磁界はロータリーエンコーダ73によって計測される。ロータリーエンコーダ73は、ハウジング2の軸線方向の端部に取り付けられる。ハウジング2の軸線方向の端部には、ロータリーエンコーダ73が収容される蓋部74が取り付けられる図11参照。ロータリーエンコーダ73の出力信号を信号処理することによって、ロータ4の回転に伴いπ/2だけ位相がずれたA,B2相信号、及びロータ4の1回転で1回だけZ相信号を得ることができる。なお、ロータリーエンコーダ73には光学式のものを用いてもよい。本実施形態によれば、ロータ4の回転に伴ってπ/2だけ位相がずれたA,B2相信号、及びロータ4の1回転で1回だけZ相信号を得ることができる。第一の実施形態の直線運動案内機構付きアクチュエータと異なり、ハウジング2の内部には磁気スケールが設けられていないので、直線運動案内機構付きアクチュエータをさらに小型化することができる。なお、本発明は上記実施形態に具現化されるのに限られることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲で様々に変更可能である。例えば、上記実施形態の直線運動案内機構付アクチュエータはチップマウンタに限られることはなく、広くロボットの直線運動案内機構付アクチュエータとして用いることができる。上記実施形態の直線運動案内機構付アクチュエータは一軸のみで使用してもよいし、軸が平行になるように複数の直線運動案内機構付アクチュエータを組み合わせて多軸で使用してもよい。スプラインナット及び軸受の個数及びレイアウトは上記実施形態に限られることなく、スプラインナット及び軸受を一つずつ設けてもよい。ハウジング、ロータ、第一及び第二のキャップの形状は一例であり、本発明の要旨を変更しない範囲で様々に変更できる。"