"制御用PCからのトリガ信号を受けて超音波励起用電気信号を発生させる超音波信号発生部、該超音波信号発生部で発生させた超音波信号を電気的に増幅する送信信号増幅部、該送信信号増幅部から送信された送信信号を超音波に変換し空気を介して非接触で薄板状被測定物に超音波を入射する空気超音波送信探触子、該薄板状被測定物からの超音波信号を空気を介して受信する空気超音波受信探触子、該超音波受信探触子で検出した信号を増幅する受信信号増幅部、該受信信号増幅部で増幅されたアナログ信号を高速A/D変換しそのデジタル信号の波形をデジタル収録する波形記憶部、該波形記憶部に記憶された波形の指定した時間範囲に対して高速フーリエ変換処理を施し指定した周波数範囲内のスペクトルを表示する波形処理表示部、及び上記薄板状被測定物を支持する支持部、前記制御用PCからの指令に基づいて上記薄板状被測定物に一定時間低周波振動を与える低周波加振機を備え、前記制御用PCからの指令に基づいて前記超音波信号発生部で発生させた超音波励起用電気信号を、前記送信信号増幅部により増幅し、前記空気超音波送信探触子から空気を介して被測定物に超音波を入射すると同時に、前期低周波加振機を用いて被測定物を振動させ、その低周波振動により変調された超音波信号を前記空気超音波受信探触子により受信し、該受信超音波信号を前記受信信号増幅部で増幅した後、前記高速A/D変換ボードでデジタル変換した波形を前記波形記憶部に収録し、該波形記憶部に記憶された波形の選択した時間範囲に対して高速フーリエ変換処理を施し、デジタルバンドパスフィルタ処理を施した後選択した周波数範囲内のスペクトルを表示し、該スペクトルの強度が予め設定した値を超えたときにアラームを発することにより、被測定物内部の微小欠陥あるいは不健全部を検出することを特徴とする検査方法。制御用PCからのトリガ信号を受けて超音波励起用電気信号を発生させる超音波信号発生部、該超音波信号発生部で発生させた超音波信号を電気的に増幅する送信信号増幅部、該送信信号増幅部から送信された送信信号を超音波に変換し空気を介して非接触で薄板状被測定物に超音波を入射する空気超音波送信探触子、該薄板状被測定物からの超音波信号を空気を介して受信する空気超音波受信探触子、該超音波受信探触子で検出した信号を増幅する受信信号増幅部、該受信信号増幅部で増幅されたアナログ信号を高速A/D変換しそのデジタル信号の波形をデジタル収録する波形記憶部、該波形記憶部に記憶された波形の指定した時間範囲に対して高速フーリエ変換処理を施し指定した周波数範囲内のスペクトルを表示する波形処理表示部、及び上記薄板状被測定物を支持する支持部、前記制御用PCからの指令に基づいて上記薄板状被測定物に一定時間低周波振動を与える低周波加振機を備え、前記制御用PCからの指令に基づいて前記超音波信号発生部で発生させた超音波励起用電気信号を、前記送信信号増幅部により増幅し、前記空気超音波送信探触子から空気を介して被測定物に超音波を入射すると同時に、前記低周波加振機を用いて被測定物を振動させ、その低周波振動により変調された超音波信号を前記空気超音波受信探触子により受信し、該超音波受信信号を前記受信信号増幅部で増幅した後、前記高速A/D変換ボードでデジタル変換した波形を前記波形記憶部に収録し、該波形記憶部に記憶された波形の指定した時間範囲に対して高速フーリエ変換処理を施し、デジタルバンドパスフィルタ処理を施した後指定した周波数範囲内のスペクトルを表示し、該スペクトルの強度が予め設定した値を超えたときにアラームを発することにより、被測定物内部の微小欠陥あるいは不健全部を検出することを特徴とする非破壊検査装置。前記空気超音波送信探触子及び空気超音波送信探触子が焦点型あるいは平面型であることを特徴とする請求項2記載の非破壊検査装置。前記空気超音波受信探触子に換えレーザードップラー振動計により超音波を受信することを特徴とする請求項2記載の非破壊検査装置。前記超音波信号発生部で発生させた超音波励起用電気信号がバースト波であることを特徴とする請求項2記載の非破壊検査装置。本発明は、上記事情に鑑み、薄肉部品、特に自動車用薄板部品内部の微小な欠陥あるいは不健全部の有無を十秒程度の短時間内に非接触で検査することのできる非破壊検査装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明が採用した解決手段は、制御用PCからのトリガ信号を受けて超音波励起用電気信号を発生させる超音波信号発生部、該超音波信号発生部で発生させた超音波信号を電気的に増幅する送信信号増幅部、該超音波信号増幅部から送信された送信信号を超音波に変換し空気を介して非接触で薄板状被測定物に超音波を入射する空気超音波送信探触子、該薄板状被測定物からの超音波信号を空気を介して受信する空気超音波受信探触子、該超音波探触子で検出した信号を増幅する受信信号増幅部、該受信信号増幅部で増幅されたアナログ信号を高速A/D変換ボードによりデジタル信号に変換しそのデジタル信号波形をデジタル収録する波形記憶部、該波形記憶部に記憶された波形の選択した時間範囲に対して高速フーリエ変換処理を施し選択した周波数範囲内のスペクトルを表示する波形処理表示部、及び上記薄板状被測定物を支持する支持部、前記制御用PCからの指令に基づいて上記薄板状被測定物に一定時間低周波振動を与える低周波加振機を備え、前記制御用PCからの指令に基づいて前記超音波信号発生部で発生させた超音波励起用電気信号を、前記超音波信号増幅部により増幅し、前記空気超音波送信探触子から空気を介して被測定物に超音波を入射すると同時に、前期低周波加振機を用いて被測定物を振動させ、その低周波振動により変調された超音波信号を前記空気超音波受信探触子により受信し、該超音波受信信号を前記受信信号増幅部で増幅した後、前記高速A/D変換ボードでデジタル変換した波形を前記波形記憶部に収録し、該波形記憶部に記憶された波形について選択した時間範囲に対してデジタルバンドパスフィルタ処理を施した後高速フーリエ変換処理を施し、選択した周波数範囲内のスペクトルを表示し、該スペクトルの強度が予め設定した値を超えたときにアラームを発することにより、被測定物内部の微小欠陥あるいは不健全部を検出することを特徴とする検査方法と検査装置である。前記空気超音波送信探触子及び空気超音波送信探触子を焦点型あるいは平面型のいずれかを選択することのより、超音波照射域の面積を調整できる。前記空気超音波受信探触子に換え、レーザードップラー振動計により前記低周波振動により変調された超音波を受信することにより、空気超音波探触子を使用する場合より微細な欠陥の検出ができる。本発明により、従来の非破壊検査法で検出すことが困難であった薄板状被測定物内部に存在する微小欠陥あるいは不健全部を短時間に検出する手段が確立された。被測定物に含まれる予想欠陥位置に対して、低周波振動を与える加振機の位置、並びに送信及び受信空気超音波探触子の位置及び被測定物に対する方位を最適化することにより、被測定物内部の欠陥あるいは不健全部を非破壊的に検出する感度を向上させることができる。また、送信及び受信空気超音波探触子の公称周波数及び低周波加振機の周波数及び加振出力を非測定物の厚さに対して適切に設定することにより、欠陥あるいは不健全部を非破壊的に検出する感度を向上させることができる。さらに、上記の送信及び受信空気超音波探触子の公称周波数に対応してデジタルバンドパスフィルタの上限及び下限遮断周波数を適切に設定することにより、欠陥あるいは不健全部を非破壊的に検出する感度を向上させることができる。本発明では、支持台に置いた被測定物が低周波振動により支持台から分離しない程度の弱い力、例えば適当な質量の重しを置くことで検査が可能であり、検査時間を短縮できる。以下本発明の測定原理を説明した後、本発明に関わる装置の構成、作用、検査結果等について説明する。[測定原理]図1に示すように、内部にき裂状欠陥を含む板状被測定物に低周波加振により曲げ応力を付与しながら超音波を送受信すると、き裂面が開いたときには剛性が低下し、上段のように受信超音波振幅が低下する。一方、き裂面が閉じたとき剛性が高まり中段のように受信超音波振幅が増大する。このように受信超音波振幅は低周波振動により振幅変調を受ける。これにより、き裂状欠陥を含む板状被測定物について、低周波周波数Fによる振動と周波数fの超音波信号の重畳により、図1下段に示すように、f±nFn:整数の周波数を持つサイドバンドと呼ばれる超音波振動が励起される。また、バンドパスあるいはハイパスフィルタを用いて、き裂状欠陥を含む板状被測定物について、周波数fの整数倍周波数を持つ高調波を抽出するとmf±nFm、n:整数のサイドバンドが観察されることも知られている。一方、欠陥を含まない板状被測定物についてはサイドバンドが発生しない、あるいはごく低強度のサイドバンドピークしか観察されないことが知られている。次に、上記測定原理を応用した非破壊検査装置について説明する。図2は、超音波送信及び受信に空気超音波探触子を用いた板状被測定物内の欠陥検査装置の構成を示す。板状被測定物10は支持部13の上に置かれ、低周波加振機13のヘッド部と接するように被測定物高さが調整される。適当な重量の重しにより、加振により被測定物が支持部から離れないよう保持する。超音波信号発生部2からの電気信号を送信信号増幅部3により増幅後、空気超音波送信探触子11を励起し被測定物に空気を介して超音波を入射する。この状態で低周波加振機14により一定時間被測定物を振動させ、その低周波振動で変調された超音波を空気超音波受信探触子12により受信し、受信信号増幅部4にて増幅後、A/D変換して波形記憶部5に記憶する。記憶した波形を図3上段の波形表示ウインドウに表示する。空気超音波探触子間伝搬時間及び被測定物内伝搬時間を考慮して、高速フーリエ変換FFTの対象とする時間範囲を設定する。さらに波形処理部に含まれるバンドパスフィルタの上限及び下限遮断周波数を設定することにより、図3左下の周波数スペクトルが表示される。図4の太い白横線で示すように、監視すべき周波数範囲を設定する。被測定物に欠陥あるいは不健全部が含まれると図4右に示すように、監視周波数域のスペクトル強度が大きく表示される。ちなみに、図4左は無欠陥の被測定物に対するスペクトルである。図4右の細い水平線で示すようにスペクトル強度の監視レベルを予め設定しておくと、そのレベルを超える強度が現れたとき、図3下段右上のFFTアラームがONとなりランプが点灯する。これによって欠陥あるいは不健全部の有無を検査できる。図2に示した非破壊検査装置を用いて、厚さ3mmのステンレス板溶接部に溝状欠陥を導入した被測定物及び欠陥を持たない被測定物に対する周波数スペクトルを図4右と左に示す。用いた加振機の設定できる振動周波数範囲は2kHzから20kHzであり、この測定では加振周波数を15kHzに設定した。公称周波数200kHzの空気超音波探触子を用い、バンドパスフィルタの下限周波数を500kHz、上限を900kHzに設定した。無欠陥の被測定物における上記周波数範囲のスペクトルの正規化振幅強度は0.1程度であるが欠陥を含む被測定物の正規化振幅は0.6に達する。このように、欠陥の有無により正規化スペクトルには有意な差が現れることが確認できた。共振周波数が60kHzである低周波加振機を用い、空気超音波探触子の送信周波数を220kHzに設定したときの上記と同一の無欠陥及び欠陥を含む被測定物のスペクトルを図5の左と右に示す。欠陥を含むスペクトルには80kHz及び360kHz,すなわち220±2×70kHzのサイドパンドが明瞭に観察される。図2に示した非破壊検査装置を用いて、厚さ1.5mmのアルミニウム合金板溶接部に溝状欠陥を導入した被測定物及び欠陥を持たない被測定物に対する周波数スペクトルを図6右と左に示す。無欠陥の被測定物の評価周波数範囲の正規化スペクトル振幅は0.2以下であるが、欠陥を含む被測定物のその振幅は0.6を超える。これにより欠陥の有無を識別できる。図2に示した非破壊検査装置の空気超音波受信探触子に換えて、レーザードップラー振動計を用いれば、より微細な欠陥を検出できる。図2に示した非破壊検査装置の空気超音波送信及び受信探触子は、想定欠陥位置を挟むように配置されているが、これ以外の位置にそれらを配置しても欠陥を検出できる。図2に示した非破壊検査装置の空気超音波送信及び受信探触子を、被測定物の片側に配置して、曲げモードの板波を送受信することにより欠陥を検出することができる。図2に示す薄平板状被測定物に対する非破壊検査装置の構成に換えて、曲面薄板状被測定物に対しては3点支持の支持部を用いることにより欠陥を検出することができる。"