基板を処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入する保持具と、前記保持具が前記処理室への搬入に待機する待機室と、前記待機室内に気体を循環させる循環路と、前記循環路の途中に設けられ、前記気体を前記待機室から外部に排気する排気路と、を備えている基板処理装置。前記循環路から前記気体を排気する排気ファンが前記排気路に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。前記待機室内の前記気体を吸い込むバッファダクトが前記循環路の吸込口前段に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。前記待機室内の前記気体をそれぞれ吸い込むリアバッファダクトおよびフロントバッファダクトが前記循環路の吹出口に対向する前記待機室内側面の両端部にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。大気モード時に圧力を調整する排気ファンが前記排気路に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。窒素ガスを待機室に循環させる熱処理装置においては、窒素ガスが待機室の片側通例、前側から循環するので、待機室内の窒素ガス流が同一でなくなり、その結果、熱処理に悪影響を及ぼすという問題点があった。そこで、クリーンエア清浄空気をクリーンユニットから待機室内に吹き出して、待機室の片側通例、後ろ側の排気口から排気させるモード以下、大気モードというを使用することが考えられる。しかしながら、大気モードの運用方法においても、クリーンユニットから待機室へ供給されるクリーンエアの一部は、循環路を経由することによって温度が上がったクリーンエアになるので、待機室内を新鮮なクリーンエアによって満たすことができない。他方、ボートおよびウエハ移載装置のパーティクルを抑制したり、ボート周辺およびウエハ移載装置周辺の温度を下げたりするために、循環路の吸込口はボート近傍およびウエハ移載装置近傍にそれぞれ配置される。しかしながら、循環路の吸込口がボート近傍およびウエハ移載装置の近傍にそれぞれ配置された場合には、広範囲に動くボートおよびウエハ移載装置のパーティクルを抑制することができないので、移動速度を上げることができない。本発明の目的は、待機室内の流れを統一し、パーティクルや有機物の汚染を防止することができる基板処理装置を提供することにある。前記した課題を解決するための基板処理装置は、基板を処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入する保持具と、前記保持具が前記処理室への搬入に待機する待機室と、前記待機室内に気体を循環させる循環路と、前記循環路の途中に設けられ、前記気体を前記待機室から外部に排気する排気路と、を備えている。前記した手段によれば、待機室内の流れを統一し、パーティクルや有機物の汚染を防止することができる。以下、本発明の一実施形態を図面に即して説明する。本実施形態において、本発明に係る基板処理装置は、熱処理装置10として図1~図6に示されているように構成されている。本実施形態において、基板としてのウエハを収容して搬送するためのキャリア搬送治具には、一つの面が開口された略立方体の箱形状に形成され開口面にキャップが着脱自在に装着されているキャリアである、FOUPfrontopeningunifiedpodが使用されている。ウエハのキャリアとしてFOUP以下、ポッドというが使用される場合には、ウエハが密閉された状態で搬送されることになるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしてもウエハの清浄度クリーン度は維持することができる。熱処理装置10は筐体11を備えており、筐体11はフレームやパネルが組み合わされて、大気圧程度の気密性能を有する気密構造に構築されている。筐体11は複数枚のウエハを保持する保持具が処理室への搬入に対して待機する待機室12を構成する。筐体11の正面壁にはウエハ1をローディングおよびアンローディング搬入搬出するためのポート以下、ウエハローディングポートという14が、上下で一対開設されている。ウエハローディングポート14、14に対応する位置には、ポッド2のキャップ図示せずを着脱してポッド2を開閉するポッドオープナ15が設置されている。待機室12の前側の空間にはウエハ移載装置wafertransferequipment17を昇降させる移載エレベータ18が設置されている。ウエハ移載装置17は移載エレベータ18によって昇降されることにより、ウエハローディングポート14とボート保持具21との間でウエハ1を搬送してポッド2およびボート21に受け渡すようになっている。待機室12の後側の空間には、ボートエレベータ19が垂直に設置されており、ボートエレベータ19は保持具としてのボート21を支持したシールキャップ20を垂直方向に昇降させるように構成されている。シールキャップ20は円盤形状に形成されており、シールキャップ20の中心線上にはボート21が垂直に立脚されている。ボート21は基板としてのウエハ1を多数枚、中心を揃えて水平に配置した状態で保持するように構成されている。筐体11の後端部における上部にはヒータユニット22が同心円に配されており、ヒータユニット22は筐体11に支持されている。ヒータユニット22内にはアウタチューブ23およびインナチューブ24が同心円に設置されている。アウタチューブ23は石英または炭化シリコン等の耐熱性材料から形成されており、内径がインナチューブ24の外径よりも大きく上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。インナチューブ24は石英または炭化シリコン等の耐熱性材料から形成されており、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。インナチューブ24の筒中空部には処理室25が形成されており、処理室25はボート21を収容可能に構成されている。アウタチューブ23の下方には、アウタチューブ23と同心円状にマニホールド26が配設されている。マニホールド26はステンレス等から形成されており、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド26はアウタチューブ23とインナチューブ24とに係合しており、これらを支持するように構成されている。マニホールド26の下端部開口炉口はシャッタ27によって開閉されるようになっている。マニホールド26の側壁部には処理室25を排気するための排気管28が、アウタチューブ23とインナチューブ24との間の空間に連通するように接続されている。シールキャップ20にはガス導入部としてのガス供給管29が処理室25内に連通するように接続されている。筐体11には待機室12に気体を循環させる循環路31が全体的に敷設されている。循環路31は吸込口33を有する吸込ダクト32を備えている。吸込ダクト32は待機室12における一方の側面以下、右側面とするに、移載エレベータ18およびボートエレベータ19を待機室12から隔離するように、かつ、略全体面にわたって垂直に延在するように敷設されている。吸込ダクト32には吸込口33がボートエレベータ19のアーム19aおよび移載エレベータ18のアーム18aの昇降移動範囲にそれぞれ開設されており、各吸込口33には両方のアーム19a、18aが昇降可能にそれぞれ挿通されている。吸込ダクト32は待機室12の気体窒素ガスまたはクリーンエアを吸い込むので、待機室12の気体を排出する排出部を相対的に構成する。循環路31は集合ダクト34を備えており、集合ダクト34はポッドオープナ15の下方に水平に敷設されている。待機室12の底面上には第一連絡ダクト35および第二連絡ダクト36がそれぞれ敷設されている。第一連絡ダクト35の一端は集合ダクト34の待機室12に面する側壁に接続されており、他端は吸込ダクト32の下端部における前端部に接続されている。第二連絡ダクト36の一端は第一連絡ダクト35の中間部に接続されており、他端はリアバッファダクト後述するに接続されている。循環路31は吹出口38が略全面にわたって開設された吹出ダクト39を備えている。吹出ダクト39は待機室12における吸込ダクト32の反対側である左側面に垂直に敷設されている。吹出ダクト39の下端部には集合ダクト34の吹出端が接続されている。集合ダクト34と吹出ダクト39との接続部位には、集合ダクト34と吹出ダクト39との流通を遮断する遮断弁37が設置されている。吹出ダクト39の吹出口38には、窒素ガス30およびクリーンエア40を供給するクリーンユニット41が建て込まれている。クリーンユニット41はパーティクルを捕集するフィルタ42と、清浄化した窒素ガス30およびクリーンエア40を送風する複数の送風機43とを備えており、フィルタ42が待機室12に露出し、かつ、送風機43群の下流側になるように構成されている。図1および図3に示されているように、吹出ダクト39のクリーンユニット41よりも上流側には、新鮮なクリーンエア40を供給する新鮮エア供給管44が接続されており、新鮮エア供給管44には開閉弁としてのダンパ45が介設されている。また、図1に示されているように、吹出ダクト39には循環路31に不活性ガスとしての窒素ガスを供給する窒素ガス供給管46が接続されており、窒素ガス供給管46には流量制御弁としてのダンパ47が介設されている。図3に示されているように、吹出ダクト39の下端部には冷却器48が前後方向に延在するように敷設されており、冷却器48は集合ダクト34から吹出ダクト39に回収された気体を冷却するように構成されている。本実施形態において、冷却器48は水冷式熱交換器によって構成されている。図2および図4に示されているように、吸込ダクト32の後端部には、リアバッファダクト51が隣接して垂直に敷設されており、リアバッファダクト51の下端には第二連絡ダクト36が接続されている。リアバッファダクト51には吸込口52が縦長に開設されており、吸込口52は待機室12の後側右隅においてクリーンユニット41に臨んでいる。待機室12の前側右隅にはフロントバッファダクト53が垂直に敷設されている。フロントバッファダクト53の待機室12に面する側壁は、後方広がりに45度に傾斜されており、傾斜側壁には吹込口54が縦長に開設されている。吹込口54はクリーンユニット41の中央部に向いている。フロントバッファダクト53の下端部には第三連絡ダクト55の一端が接続されており、第三連絡ダクト55の他端は集合ダクト34に接続されている。第三連絡ダクト55は待機室12の底面上において左右方向に第一連絡ダクト35と横切るように敷設されており、第一連絡ダクト35と連通しないように跨設されている。図4に示されているように、第一連絡ダクト35および第三連絡ダクト55の集合ダクト34側端には第一循環ファン56および第二循環ファン57がそれぞれ設置されている。第一循環ファン56および第二循環ファン57は第一連絡ダクト35および第三連絡ダクト55側から集合ダクト34側への流れを形成するように構成されている。図1、図4および図5に示されているように、集合ダクト34には排気路をそれぞれ形成する第一排気ダクト61および第二排気ダクト62の一端が互いに隣り合わせにそれぞれ接続されている。第一排気ダクト61および第二排気ダクト62は第一連絡ダクト35および第三連絡ダクト55を挟んで吹出ダクト39から離れた位置にそれぞれ敷設されており、第一排気ダクト61および第二排気ダクト62の他端は第三排気ダクト63の一端にそれぞれ接続されている。第三排気ダクト63は筐体11の前方近傍に敷設されており、第三排気ダクト63の他端吹出端はクリーンルームのグレーチング下方空間図示せずに接続されている。図4に示されているように、第一排気ダクト61および第二排気ダクト62には第一排気ファン64および第二排気ファン65がそれぞれ介設されている。第一排気ファン64および第二排気ファン65は集合ダクト34側から第三排気ダクト63側への流れを形成するようにそれぞれ構成されている。第三排気ダクト63には、その流路を開閉する排気弁63Aが介設されている。図1に示されているように、筐体11の上には待機室12内の圧力を自動的に調整する調圧装置66が設置されている。図8に示されているように、調圧装置66は、待機室12内とクリーンルーム内とを連通させる弁口67と、弁軸68に摺動自在に支持されて弁口67を開閉する弁体69とを備えている。弁体69の重量は、ウエイト69aの数や重さを変更することにより、増減することができる。この調圧装置66は待機室12内の圧力を、弁体69に予め設定された重量に対応する圧力に自己制御セルフアライメント的に調整することができる。図1に示されているように、熱処理装置10はコントローラ70を備えており、コントローラ70は通信配線71を経由して遮断弁37、各循環ファン56、57および各排気ファン64、65等々を制御するように構成されている。すなわち、コントローラ70は、クリーンユニット41から待機室12に窒素ガス30が供給される際には、遮断弁37によって弁口37a図5参照を開くとともに、循環ファン56、57を作動させる。また、クリーンユニット41から待機室12にクリーンエア40が供給される際には、遮断弁37によって弁口37aを閉じるとともに、循環ファン56、57および排気ファン64、65を作動させる。次に、前記構成に係る熱処理装置の作用を説明する。ウエハ搬入ステップでは、ポッドオープナ15の載置台に移載されたポッド2は、ポッドオープナ15によってキャップを外されることにより開放される。ポッド2が開放されると、ポッド2に収納された複数枚のウエハ1は、ウエハ移載装置17によってボート21に移載されて、装填チャージングされる。予め指定された枚数のウエハ1が装填されると、ボート21はボートエレベータ19によって上昇されることにより、処理室25に搬入ボートローディングされる。ボート21が上限に達すると、ボート21を保持したシールキャップ20がマニホールド26下面にシール状態に当接するために、処理室25は気密に閉じられた状態になる。処理室25は気密に閉じられた状態で、所定の真空度に排気管28によって真空排気されるとともに、ヒータユニット22によって所定の温度に加熱される。次いで、所定の処理ガスが処理室25にガス供給管29から供給される。これにより、所望の熱処理がウエハ1に施される熱処理ステップ。このウエハ搬入ステップに先立って、待機室12および循環路31を窒素ガス30雰囲気に置換しておく。その後、ウエハ搬入ステップおよび熱処理中に、窒素ガス30が待機室12に循環路31によって循環される。すなわち、窒素ガス供給管46から循環路31に供給された窒素ガス30は、図6に示されているように、循環路31における吹出ダクト39に建て込まれたクリーンユニット41から待機室12に吹き出し、循環路31の一部である待機室12を流通して吸込口33から吸込ダクト32に吸い込まれるとともに、吸込口52、54からリアバッファダクト51およびフロントバッファダクト53に吸い込まれる。各吸込ダクト32、51、53に吸い込まれた窒素ガス30は、第一連絡ダクト35、第二連絡ダクト36、第三連絡ダクト55および集合ダクト34を経由して吹出ダクト39に戻り、クリーンユニット41から待機室12に再び吹き出す。このとき、排気弁63Aは閉じられているので、窒素ガス30は排気ダクト61、62、63には流れない。以降、窒素ガス30は以上の流れを繰り返すことにより、待機室12と循環路31とを循環する。この際、循環路31すなわち待機室12内の圧力は一定圧力に調圧装置66によって自動的に調整される。そして、予め設定された処理時間が経過すると、ボート21がボートエレベータ19によって下降されることにより、処理済みウエハ1を保持したボート21が待機室12における元の待機位置に搬出ボートアンローディングされる。ボート21が処理室25から搬出されると、処理室25はシャッタ27によって閉じられる。待機室12を流通する間に、窒素ガス30は熱処理されて高温になったウエハ1群およびこれを保持したボート21に接触して熱交換することにより、これらを冷却する。高温になったウエハ1に接触するのは不活性ガスである窒素ガス30であるので、ウエハ1の表面に自然酸化膜が生成されることはない。待機室12に搬出されたボート21の処理済みウエハ1は、ボート21からウエハ移載装置17によってピックアップされて、ウエハローディングポート14に予め搬送されてキャップ3を外されて開放された空のポッド2に収納される。ポッド2が処理済みウエハ1によって満たされると、ポッド2はポッドオープナ15によってキャップ3を装着されて閉じられた後に、ウエハローディングポート14から他の場所へ移送される。以降、前述した作用が繰り返されることにより、ウエハ1が熱処理装置10によってバッチ処理されて行く。ところで、自然酸化膜の抑制が不要な場合においては、循環しない一方向の流れを待機室12内にクリーンエア40によって創出することが、熱影響の観点等から望ましい。この場合以下、大気モードということがあるには、クリーンユニット41からクリーンエア40をボート21に対して水平に流れるように吹き出させて、パーティクルや有機物が待機室12内に澱みや滞留を発生する現象を防止することが好ましい。待機室12内に澱みや滞留が発生しないようにクリーンエア40の一方向の流れを形成するためには、大流量のクリーンエア40を待機室12内に流通させる必要がある。そこで、本実施形態に係る熱処理装置10においては、大気モードには、図7に示されているように、コントローラ70の制御により、排気弁63Aが開かれるとともに、遮断弁37が閉じられ、循環ファン56、57および排気ファン64、65が作動される。ダンパ45図1参照が開かれて新鮮エア供給管44から吹出ダクト39に供給された新鮮なエアは、クリーンユニット41を通って清浄化されて、クリーンエア40となって待機室12に水平に吹き出し、待機室12内を水平一方向に流れて吸込ダクト32内、リアバッファダクト51内、フロントバッファダクト53内、に吸い込まれる。各ダクト32、51、53内に吸い込まれたクリーンエア40は、図7に示されているように、第一連絡ダクト35、第二連絡ダクト36、第三連絡ダクト55および集合ダクト34を通じて第一排気ダクト61、第二排気ダクト62および第三排気ダクト63に、第一循環ファン56、第二循環ファン57、第一排気ファン64および第二排気ファン65の排気力をもって強制的に排出される。第三排気ダクト63に排出されたクリーンエア40はクリーンルームのグレーチング下方空間に排出される。この大気モードにおいて、クリーンエア40の水平一方向の流れは、複数のファン56、57、64、65の排気力によって充分に高められていることにより、大流量かつ層流状態になるので、ボート21上のウエハ1群はきわめて効果的に冷却される。しかも、吸込口33と同様、リアバッファダクト51の吸込口52、フロントバッファダクト53の吸込口54が上下方向に開設されていることにより、クリーンエア40を上下方向に均一に排出させることができるので、待機室12内におけるクリーンエア40の水平一方向の流れをも上下方向において均一に形成させることができる。したがって、ボート21上のウエハ1群を上下方向にわたって均等に冷却することができる。待機室12内を窒素ガス30によって充填した場合と異なり、クリーンエア40を待機室12に水平一方向に流した場合には、ボート21上のウエハ1群の熱を素早く奪うことができるが、この際に過陽圧になると、待機室12内の温度が上昇し易くなってしまい、熱を奪い難くなるとともに、ウエハ1が酸化される危惧がある。しかし、本実施形態においては、複数のファン56、57、64、65によってクリーンエア40を強制的に排気することにより、待機室12内が過陽圧になるのを防止することができるので、このような弊害が発生するのを未然に防止することができる。ところで、排気路を設けずに集合ダクト34内でクリーンエアを待機室外に排気して大気モードを実施する方法が考えられる。しかし、この方法においては、次のような欠点がある。排気量を確保するために、集合ダクト34内に設ける排気弁が大きくなってしまう。待機室内の圧力調整を排気弁によって実施する必要があるために、排気弁が複雑な構造になってしまう。この圧力調整を循環ファン56、57によって実施することもできるが、この場合には、大気モードの流れエアフローが循環モードの流れエアフローと同一でなくなってしまう。そこで、本実施形態においては、排気路を構成する排気ダクトに排気ファンを設けることにより、大気モード時の圧力調整を排気ファンによって実施する。例えば、第一排気ファン64の排気量回転数を固定とし、第二排気ファン65の排気量回転数を可変とすることにより、大気モード時の圧力を容易に調整することができる。本実施形態によれば、次の効果が得られる。1クリーンユニットから窒素ガスを待機室に供給し、吸込ダクト、リアバッファダクトおよびフロントバッファダクトによって待機室内の窒素ガスを吸い込み、吸込ダクト、リアバッファダクトおよびフロントバッファダクトに接続した連絡ダクトを経由して吹出ダクトに戻すことにより、窒素ガスを待機室内に循環パージモードさせることができるので、待機室内の酸化し易いウエハであっても、自然酸化膜の発生を確実に防止することができる。2排気路を循環路の途中に接続することにより、クリーンユニットから待機室に吹き出したクリーンエアを吸込ダクトによって吸い込み、連絡ダクトを経由して集合ダクトに集合させて、排気路に排気させることができるので、待機室内にクリーンエアの水平一方向の流れを層流状態で形成させて、待機室内に澱みや滞留が発生するのを防止することができ、その結果、パーティクルや有機物による汚染を防止することができる。3前記2により、自然酸化膜がある程度ついても気にならない熱処理等においては、窒素ガス等の不活性ガスの使用を抑制ないし抑止することができるので、ランニングコストを低減することができる。4前記1および2により、同一の熱処理装置において窒素ガス循環パージモードとクリーンエアの一方向流れ大気モードとを両立させることができ、しかも、大気モードの流れエアフローをパージモードの流れエアフローと同一に形成することができる。5排気路を構成する排気ダクトを筐体前方のポッドオープナの下方に敷設することにより、熱処理装置のフットプリントの増加を回避することができる。6排気路に排気ファンを設けることにより、大気モード時に圧力調整を排気ファンによって実施することができる。さらに、排気路に複数の排気ファンを設けるとともに、一つの排気ファンの排気量回転数を可変に構成することにより、大気モード時の圧力調整を簡単な構成をもって実施することができる。7循環路および排気路に循環ファンおよび排気ファンを複数設けることにより、大流量のクリーンエアを流すことができるので、待機室内に澱みや滞留が発生するのをより一層確実に防止することができ、その結果、パーティクルや有機物による汚染をより一層確実に防止することができる。8待機室内において循環路の吸込口前段にバッファダクトを設けることにより、窒素ガスまたはクリーンエアを大流量かつ層流状態で流すことができるので、待機室内に澱みや滞留が発生するのをより一層確実に防止することができ、その結果、パーティクルや有機物による汚染をより一層確実に防止することができる。9待機室内のクリーンユニット吹出口に対向する側面の両端部にリアバッファダクトおよびフロントバッファダクトをそれぞれ設けることにより、窒素ガスまたはクリーンエアを大流量かつ層流状態で流すことができるので、待機室内に澱みや滞留が発生するのをより一層確実に防止することができ、その結果、パーティクルや有機物による汚染をより一層確実に防止することができる。10待機室内の圧力を自動的に調整する調圧装置を設けることにより、パージモード時に待機室内の圧力をクリーンルームの圧力変動に関わらず一定に維持することができる。11調圧装置は集合ダクト側と吹出ダクト側とを連通させる弁口と、弁軸に摺動自在に支持されて弁口を開閉する弁体とによって構成し、弁体重量をウエイトの数や重さを変更することによって増減可能に構成することにより、待機室内の圧力を、弁体に予め設定した重量に対応する圧力に自己制御的に調整することができる。図10および図11は本発明の他の実施形態を示している。本実施形態が前記実施形態と異なる点は、循環路の圧力を検知して循環ファンまたは/および排気ファンの異常を監視するように構成した点、である。すなわち、循環路31にはリア圧力検知装置72を備えたリア圧力検知配管以下、リア配管という74と、フロント圧力検知装置73を備えたフロント圧力検知配管以下、フロント配管という75とがそれぞれ配管されている。図10に示されているように、リア配管74は待機室12の床に敷設されており、吸込口74aがリアバッファダクト51内の吸込口52付近に配置されているとともに、中間部が待機室12の床を略U字形状に引き回されて、吹出口74bが筐体11の背面壁において外部に引き出されている。フロント配管75も待機室12の床に敷設されており、吸込口75aがフロントバッファダクト53内の吸込口54付近に配置されているとともに、中間部が待機室12の床を略L字形状に引き回されて、吹出口75bが筐体11の背面壁において外部に引き出されている。図11に示されているように、筐体11外に引き出されたリア配管74の吹出口74bにはリア圧力検知装置72が接続されているとともに、筐体11外に引き出されたフロント配管75の吹出口75bにはフロント圧力検知装置73が接続されている。リア圧力検知装置72およびフロント圧力検知装置73は、ダクト内圧力を基準として大気圧との差圧を測定する差圧計によってそれぞれ構成されており、検知結果をコントローラ70へ通信配線71によってそれぞれ送信するようになっている。リア配管74は吸込口74aがリアバッファダクト51内の吸込口52付近に配置され、フロント配管75は吸込口75aがフロントバッファダクト53内の吸込口54付近に配置されているので、第一循環ファン56、第二循環ファン57、第一排気ファン61および第二排気ファン62の回転時には、リア圧力検知装置72およびフロント圧力検知装置73は大気圧に対して負圧となる。次に、循環ファンおよび排気ファンの異常を監視する作用を説明する。本実施形態においては、循環ファンおよび排気ファンが回転停止検知機能および回転数検知機能を具備しないので、循環ファンおよび排気ファンの回転停止や回転数低下を検知することができない。その結果、パージモードおよび大気モードの異常状況が継続することにより、エアフローの変化、パーティクルや汚染の増加および待機室内室圧力の変化等のウエハに対する悪影響が発生する可能性がある。しかし、本実施形態においては、循環路の圧力を検知して循環ファンおよび排気ファンの異常を監視しているので、パージモードおよび大気モードの異常状況の継続を防止することができる。例えば、第一循環ファン56が停止した場合には、フロントバッファダクト53内圧力は待機室室12内圧力と略同じになる。待機室12は微陽圧に維持されているので、フロント圧力検知装置73の測定値は負の値になる。また、大気モードにおいて、第一排気ファン64もしくは第二排気ファン65が停止した場合または両者が停止した場合には、待機室12内が過陽圧になり、リアバッファダクト51およびフロントバッファダクト53は陽圧になる。したがって、リア圧力検知装置72およびフロント圧力検知装置73の測定値は負の値になる。以上のように、リア圧力検知装置72およびフロント圧力検知装置73における測定値の低下により、第一循環ファン56、第二循環ファン57、第一排気ファン64および第二排気ファン65の停止または回転数の低下を検知することができるので、パージモードおよび大気モードの異常状況の発生または継続を防止することができる。例えば、パージモードにおいては、リア圧力検知装置72またはフロント圧力検知装置73の測定値が1Paパスカル以下である場合を異常と設定し、大気モードにおいては、リア圧力検知装置72またはフロント圧力検知装置73の測定値が30Pa以下である場合を異常と設定し、インタロック信号を発生させ、第一循環ファン56、第二循環ファン57、第一排気ファン64および第二排気ファン65をコントローラ70によって停止させる。第一排気ファン64の排気吹出側と第二排気ファン65の排気吹出側は第三ダクト63を介して連通されているので、同一閉空間になる。第一排気ファン64の排気側と第二排気ファン65の排気側に圧力検知装置を設置した場合には、第一排気ファン64および第二排気ファン65相互の影響を受けるために、圧力検知装置は精度よく圧力を測定することができない可能性がある。第一排気ファン64の吸気吸込側と第二排気ファン65の排気吹出側は集合ダクト34に連通されているので、第一循環ファン56および第二循環ファン57の排気側と同一閉空間になっている。第一排気ファン64の吸気側、第二排気ファン65の排気側または集合ダクト34に圧力検知装置を設置した場合には、第一循環ファン56、第二循環ファン57、第一排気ファン64および第二排気ファン65相互の影響を受けるために、圧力検知装置は精度よく圧力を測定することができない可能性がある。本実施形態においては、リア配管74の吸込口74aがリアバッファダクト51内に配置されており、フロント配管75の吸込口75aがフロントバッファダクト53内に配置されていることにより、第一循環ファン56、第二循環ファン57、第一排気ファン64および第二排気ファン65相互の影響を受けないので、リア圧力検知装置72およびフロント圧力検知装置73は精度よく圧力を測定することができる。しかも、リア配管74の吸込口74aがリアバッファダクト51内の吸込口52付近に配置されており、フロント配管75の吸込口75aがフロントバッファダクト53内の吸込口54付近に配置されていることにより、リア配管74およびフロント配管75の配管作業性が良好になる。本実施形態によれば、次の効果が得られる。1循環路にリア圧力検知装置を備えたリア配管と、フロント圧力検知装置を備えたフロント配管とをそれぞれ配管することにより、循環路の圧力を検知して循環ファンおよび排気ファンの異常を監視することができるので、パージモードおよび大気モードの異常状況の発生ないし継続を防止することができる。2パージモードおよび大気モードの異常状況の発生ないし継続を防止することにより、エアフローの変化、パーティクルや汚染の増加および待機室内室圧力の変化等のウエハに対する悪影響が発生するのを未然に防止することができる。3循環路の圧力を検知して循環ファンおよび排気ファンの異常を監視することにより、循環ファンおよび排気ファンに回転停止検知機能および回転数検知機能能を具備しない、例えばAC交流ファンを使用することができるので、省スペースにて充分な風量を確保することができるとともに、コストを低減することができる。4リア配管の吸込口をリアバッファダクト内に配置し、フロント配管の吸込口をフロントバッファダクト内に配置することにより、第一循環ファン、第二循環ファン、第一排気ファンおよび第二排気ファン相互の影響を回避することができるので、リア圧力検知装置およびフロント圧力検知装置の圧力測定精度を向上させることができる。5リア配管の吸込口をリアバッファダクト内の吸込口付近に配置し、フロント配管の吸込口をフロントバッファダクト内の吸込口付近に配置することにより、リア配管およびフロント配管の配管作業性を向上させることができる。図12および図13は本発明の第三実施形態を示している。本実施形態においては、フロントバッファダクト53Aがウエハ移載装置17近傍において移載エレベータ18に沿って敷設されており、吸込口54Aが移載エレベータ18のアーム18aの移動路に移行するように開設されている。ここで、ウエハ処理枚数が増加すると、ウエハ移載装置17は上下方向の移動量が増加するので、移載エレベータ18はより高速に駆動することになる。移載エレベータ18が高速に駆動すると、塵埃の発生量が増加する。しかし、本実施形態においては、フロントバッファダクト53Aの吸込口54Aが移載エレベータ18近傍に配設されているので、発生した塵埃を直ちに吸い込むことができるので、周囲への飛散を抑止ないしは抑制することができる。見方を代えれば、フロントバッファダクト53Aの風量の増強を抑えつつ、発生した塵埃の周囲への飛散を防止することができる。また、本実施形態においては、リアバッファダクト51の上部に炉口ダクト51Aが接続されており、炉口ダクト51Aの吸込口52Aがマニホールド26の下端部開口炉口26aに対向されている。ここで、成膜後に、ボート21が待機室12に搬出される際には、炉口26aからの熱やボート21からの熱が待機室12に放出され、また、これらの熱は上方へと逃げる。しかし、本実施形態においては、炉口ダクト51Aの吸込口52Aが炉口26aに対向していることにより、これらの熱を直ちに吸い込むことができるので、相対的に、ウエハの冷却速度を向上させることができる。図14は本発明の第四実施形態を示している。本実施形態においては、第二循環ファン57の排気側吹出口下流側にはファン排気ダクト58が敷設されており、ファン排気ダクト58の途中には流れを切り替えるダンパ59が設置されている。窒素ガスが待機室内に循環されるパージモードにおいては、図14aに示されているように、ダンパ59はファン排気ダクト58の流れを許容した状態になる。他方、クリーンエアがクリーンユニットから待機室内に吹き出されて、待機室の排気口から排気される大気モードにおいては、図14bに示されているように、ダンパ59はファン排気ダクト58の流通を阻止した状態になる。これにより、ダンパ59によってパージモードと大気モードとを切り替えることができるので、本実施形態によれば、切り替えシステムを第一循環ファン56、第二循環ファン57、排気弁63Aおよびダンパ59によって構成することができる。図15は本発明の第五実施形態を示している。本実施形態においては、待機室12内圧力を自動的に調整する調圧装置66Aは、待機室12内とクリーンルーム内とを連通させる弁口67と、弁軸68に摺動自在に支持されて弁口67を開閉する弁体69と、弁体69の重量を増減するウエイト69aと、弁軸68を伸縮させる第一シリンダ装置S1と、弁体69の位置を規制する第二シリンダ装置S2と、を備えている。通常運用時には、第一シリンダ装置S1が伸びた状態になり、第二シリンダ装置S2が縮んだ状態になる。このとき、弁体69は待機室12内の圧力に応じて動くので、待機室12内の圧力を予め設定された所定圧力に自動的に調整することができる。待機室12内が大気の状態から窒素ガスによって充填された状態に移行させる時には、図15bに示されているように、第二シリンダ装置S2が伸ばされて、弁体69が動かない状態にされる。これにより、待機室12内の圧力が上昇し、より一層密閉された空間とすることができるので、窒素ガスの逃げが無くなることで、置換速度を早くすることができる。待機室12内が窒素ガスによって充填された状態から、大気状態に移行される時には、図15cに示されているように、第一シリンダ装置S1が短縮される。これにより、弁口67が最大になるので、最大の流量を排気することができ、置換速度を早くすることができる。待機室12内が調圧される時にウエイト69aが多く載せられた場合には、排気時に弁体69が浮かなくなるので、弁口67が狭くなることにより、置換速度は遅くなる。なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。例えば、連絡ダクトは待機室内の床面上に敷設するに限らず、図9に示されているように、筐体11に溶接された補強パイプ80を使用して構成してもよい。補強パイプ80は連絡ダクト35、36に限らず、排気ダクト61、62、63に使用してもよい。連絡ダクトまたは/および排気ダクトに補強パイプを使用することにより、循環路または/および排気路を簡素化し待機室内の狭い空間を有効利用することができ、また、循環路または/および排気路の断面積を増加することができる。循環ファンまたは/および排気ファン等は、省略してもよい。排気路はクリーンルームのグレーチング下方空間に接続するに限らず、ユーティリティボックス内等に接続してもよい。クリーンユニットに設置するフィルタは、パーティクルを除去し、清浄化するタイプであればよいが、好ましくは、パーティクルを除去するタイプと有機物を除去するタイプとの両方を設置するようにするとよい。不活性ガスとしては、窒素ガスを使用するに限らない。前記実施の形態ではバッチ式縦形熱処理装置の場合について説明したが、本発明はこれに限らず、バッチ式縦形拡散装置等の基板処理装置全般に適用することができる。