"分離膜を用いて分離膜よりも高硬度の粒子を含有する原水をろ過した後の分離膜モジュールの洗浄方法において、ろ過終了後、分離膜モジュール内の膜一次側の水を系外に排出した後に、逆圧洗浄を実施しながら分離膜モジュール内の逆圧洗浄排水を排出し、次いで、以下のいずれかの工程を実施し、その後、分離膜モジュール内の膜一次側の水を系外に排出する、分離膜モジュールの洗浄方法。a分離膜モジュール内の膜一次側を水で満たして空気洗浄を行う工程b分離膜モジュール内の膜一次側に水を給水しながら空気洗浄を行う工程前記aの工程では、逆圧洗浄水および/または原水で膜一次側を満たして空気洗浄を行う、請求項1に記載の分離膜モジュールの洗浄方法。前記bの工程では、逆圧洗浄水および/または原水を膜一次側に給水しながら空気洗浄を行う、請求項1に記載の分離膜モジュールの洗浄方法。ろ過終了後、分離膜モジュール内の膜一次側の水位が少なくとも分離膜長さの1/3以下になるまで分離膜モジュール内の膜一次側の水を系外に排出する、請求項1~3のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。ろ過終了後、分離膜モジュール内の膜一次側の水を全量系外に排出する、請求項1~3のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。逆圧洗浄を実施しながら分離膜モジュール内の逆圧洗浄排水を排出しているときに、分離膜モジュール内の膜一次側の水位が少なくとも分離膜長さの1/3以下を維持するように、逆洗流量を制御する、請求項1~5のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。逆圧洗浄と同時および/または逆圧洗浄後に、分離膜モジュール上部から分離膜モジュール内の膜一次側に水を供給する、請求項1~6のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。前記aまたはbの工程で使用する水に酸化剤を添加する、請求項1~7のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。分離膜を備えた分離膜モジュールにより、高硬度の粒子を含有する原水をろ過してろ過水を得る造水方法であって、ろ過時間[min]、ろ過水量[m3]、ろ過流量[m3/hr]、および膜ろ過差圧[kPa]の少なくともいずれかの値に基づいてろ過工程を一旦終了し、請求項1~8のいずれかに記載の方法により分離膜モジュールを洗浄し、その後、ろ過工程を再開する造水方法。分離膜よりも高硬度の粒子を含有する原水に凝集剤を添加する、請求項9に記載の造水方法。分離膜よりも高硬度の粒子が粉末活性炭である、請求項9または10に記載の造水方法。しかし、高硬度粒子、とりわけ粉末活性炭等の分離膜よりも硬い粒子を含有する原水をろ過した場合、空気洗浄を実施することにより膜表面から剥離した高硬度粒子が膜表面に衝突することで擦過してしまい、ろ過性能が劣化する問題があった。また、空気洗浄を実施せずに逆圧洗浄のみを実施した場合は、高硬度粒子が膜表面から十分に剥離しきれず、多量に蓄積していくので、高硬度粒子由来のケークろ過抵抗が上昇し、差圧が急上昇してしまう問題があった。さらに逆圧洗浄水に次亜塩素酸ナトリウムを添加したり、逆圧洗浄水にオゾン含有水を用いたりしても、高硬度粒子に粉末活性炭が含まれている場合には、粉末活性炭によってそれらの薬品が消費されてしまい、膜付着有機物を分解除去する効果が低下するという問題があった。そのため、本発明は、分離膜よりも高硬度の粒子を含有する原水をろ過した後の分離膜モジュールの洗浄方法において、空気洗浄時の高硬度粒子による膜外表面の擦過を効率的に低減し、引き続きろ過工程に供される際には、膜表面の高硬度粒子由来のケークろ過抵抗を抑制し、長期間にわたる低い膜ろ過差圧での安定運転を可能にすることを目的とする。加えて、酸化剤を用いた場合には膜付着有機物を効率的に分解除去することが可能な洗浄方法および造水方法を提供することにある。上記課題を解決するため、本発明の分離膜モジュールの洗浄方法、および造水装置は、次の特徴を有するものである。1分離膜を用いて分離膜よりも高硬度の粒子を含有する原水をろ過した後の分離膜モジュールの洗浄方法において、ろ過終了後、分離膜モジュール内の膜一次側の水を系外に排出した後に、逆圧洗浄を実施しながら分離膜モジュール内の逆圧洗浄排水を排出し、次いで、以下のいずれかの工程を実施し、その後、分離膜モジュール内の膜一次側の水を系外に排出する、分離膜モジュールの洗浄方法。a分離膜モジュール内の膜一次側を水で満たして空気洗浄を行う工程b分離膜モジュール内の膜一次側に水を給水しながら空気洗浄を行う工程2前記aの工程では、逆圧洗浄水および/または原水で膜一次側を満たして空気洗浄を行う、前記1に記載の分離膜モジュールの洗浄方法。3前記bの工程では、逆圧洗浄水および/または原水を膜一次側に給水しながら空気洗浄を行う、前記1に記載の分離膜モジュールの洗浄方法。4ろ過終了後、分離膜モジュール内の膜一次側の水位が少なくとも分離膜長さの1/3以下になるまで分離膜モジュール内の膜一次側の水を系外に排出する、前記1~3のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。5ろ過終了後、分離膜モジュール内の膜一次側の水を全量系外に排出する、前記1~3のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。6逆圧洗浄を実施しながら分離膜モジュール内の逆圧洗浄排水を排出しているときに、分離膜モジュール内の膜一次側の水位が少なくとも分離膜長さの1/3以下を維持するように、逆洗流量を制御する、前記1~5のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。7逆圧洗浄と同時および/または逆圧洗浄後に、分離膜モジュール上部から分離膜モジュール内の膜一次側に水を供給する、前記1~6のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。8前記aまたはbの工程で使用する水に酸化剤を添加する、前記1~7のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。9分離膜を備えた分離膜モジュールにより、高硬度の粒子を含有する原水をろ過してろ過水を得る造水方法であって、ろ過時間[min]、ろ過水量[m3]、ろ過流量[m3/hr]、および膜ろ過差圧[kPa]の少なくともいずれかの値に基づいてろ過工程を一旦終了し、前記1~8のいずれかに記載の方法により分離膜モジュールを洗浄し、その後、ろ過工程を再開する造水方法。10分離膜よりも高硬度の粒子を含有する原水に凝集剤を添加する、前記9に記載の造水方法。11分離膜よりも高硬度の粒子が粉末活性炭である、前記9または10に記載の造水方法。本発明の分離膜モジュールの洗浄方法においては、一旦、膜一次側の水を系外に排出して好ましくは分離膜モジュール内の膜一次側の水位が分離膜の下端よりも下となるように膜一次側の水を系外に排出して、膜1次側周囲が気体となった状態で逆圧洗浄を実施する。そのため、逆圧洗浄において、膜1次側に水圧がかかる膜1次側周囲が液体の状態よりも高硬度粒子が膜表面から剥離されやすく、また、該高硬度粒子がそのまま系外に排出されやすい。そして、その後に従来よりも短時間の空気洗浄を実施することによって、膜表面から剥離しきれなかった残りの高硬度粒子がほぼ完全に排出される。そのため、空気洗浄による高硬度粒子由来の膜擦過を大幅に低減することが可能である。また、引き続きろ過工程に供される際には、膜表面の高硬度粒子由来のケークろ過抵抗を抑制し、長期間にわたる低い膜ろ過差圧での安定運転が可能である。そして、上記aまたはbの工程で使用する水に酸化剤を添加する場合は、膜付着有機物を効率的に分解除去することが可能である。以下、図面に示す実施態様に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施態様に限定されるものではない。本発明の方法が実施される造水装置は、例えば、図1に示すように、粉末活性炭スラリーを貯留する活性炭スラリー貯槽1と、原水に粉末活性炭を供給するスラリー供給ポンプ2と、原水と粉末活性炭を混合撹拌する攪拌機3と、原水を貯留する原水貯留槽4と、原水を供給する原水供給ポンプ5と、原水供給時に開となる原水弁6と、原水をろ過するMF/UF膜モジュール7と、逆圧洗浄や空気洗浄する場合などに開となるエア抜き弁8と、膜ろ過時に開となるろ過水弁9と、MF/UF膜モジュール7によって得られた膜ろ過水を貯留するろ過水貯留槽10と、膜ろ過水をMF/UF膜モジュール7に供給して逆洗する逆洗ポンプ11と、逆洗する時に開となる逆洗弁12と、空気洗浄時に膜一次側を満たすことになる水すなわち原水、あるいは逆圧洗浄水として使用される膜ろ過水に酸化剤を供給する酸化剤供給ポンプ13と、酸化剤を貯留する酸化剤貯留槽14と、MF/UF膜モジュール7の上部から原水を供給する時に開となる原水バイパス弁15と、MF/UF膜モジュール7の空気洗浄の空気供給源であるエアブロワー16と、空気をMF/UF膜モジュール7の下部に供給し空気洗浄する場合に開となる空洗弁17と、MF/UF膜モジュール7の膜1次側の水を排出する場合に開となる排水弁18が設けられている。上述の膜ろ過造水装置においては、ろ過工程の際、活性炭スラリー貯槽1に貯留している粉末活性炭スラリーをスラリー供給ポンプ2で原水貯留槽4に供給する。攪拌機3で粉末活性炭と混合撹拌された原水は、原水供給ポンプ5を稼動し原水弁6を開にすることで、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側に供給される。さらにろ過水弁9を開にすることでMF/UF膜モジュール7の加圧ろ過が行われる。ろ過水は膜2次側からろ過水弁9を経てろ過水貯留槽10へと移送される。全量ろ過の場合、エア抜き弁8、逆洗弁12、原水バイパス弁15、空洗弁17、排水弁18はいずれも閉である。ろ過時間は原水水質や膜透過流束等に応じて適宜設定するのが好ましいが、定流量ろ過の場合は、所定の膜ろ過差圧やろ過水量[m3]、定圧ろ過の場合は、所定のろ過流量[m3/hr]やろ過水量[m3]に到達するまでろ過時間を継続させてもよい。なお、ろ過流量とは単位時間あたりのろ過水量のことである。上記のような造水装置において、本発明の洗浄方法は例えば次のように実施する。まず、原水弁6とろ過水弁9を閉にして、原水供給ポンプ5を停止してMF/UF膜モジュール7のろ過工程を停止する。その後、中空糸膜に付着した粉末活性炭を系外に排出するために、MF/UF膜モジュール7の洗浄を行う。このとき、まず、MF/UF膜モジュール7のエア抜き弁8と排水弁18を開く。MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水がMF/UF膜モジュール7下部の排水弁18から膜モジュール系外に排出されると、MF/UF膜モジュール7の水位が下がっていき、膜1次側周囲が気体となった状態となる。ここで、膜1次側とはろ過対象となる原水を供給する側のことであり、膜2次側とは原水を膜でろ過することが得られたろ過水が存在する側のことをいう。MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水は残っていてもかまわないが、少なくとも膜の半分が水面より上となり、気体に触れるようにする。好ましくは、水位が分離膜の上下方向の長さの1/3以下になるまで、より好ましくは膜全体が水面よりも上となり、膜全体が気体に触れるように、水を排出する。その後、エア抜き弁8と排水弁18を開にしたまま逆洗弁12を開にして、逆洗ポンプ11を稼動させることで、ろ過水貯留槽10内の膜ろ過水を用いた逆圧洗浄を行う。このとき、分離膜モジュール内の逆圧洗浄排水は排出される。従来の逆圧洗浄は、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を水で満たした状態で実施しており、逆洗排水はエア抜き弁8を通って系外に排出されていたので、水圧が粉末活性炭の膜表面からの剥離を阻害していた。これに対し、本発明では、逆圧洗浄時に水圧による抵抗がなくなるため、粉末活性炭が膜表面から剥離しやすくなり、また、剥離した粉末活性炭が膜表面をしたたり落ちながら、MF/UF膜モジュール7の下部から排水弁18を経由してそのまま系外に排出される。分離膜モジュール内の逆圧洗浄排水を排出しながら逆圧洗浄を実施するとき、逆圧洗浄中に継続して膜1次側に水圧がかからないほうが、高硬度粒子の膜表面からの剥離効果が上がることから、分離膜モジュール内の膜一次側の水位が少なくとも分離膜長さの1/3以下を維持するように、逆洗流量[m3/hr]を制御することが好ましい。逆洗流量を高くするほど、高硬度粒子の膜表面からの剥離効果が上がるものの、MF/UF膜モジュール7の下部から自重で排出される排水流量はMF/UF膜モジュール7の排水口の大きさよって限界があり、膜一次側の水位が上昇して膜一次側に水圧がかかってしまうことがある。よってMF/UF膜モジュール7の構造に応じて逆洗流量を適宜制御することが好ましい。また、上記逆圧洗浄と同時および/または逆圧洗浄後に、原水バイパス弁15を開にして原水供給ポンプ5を稼動し、MF/UF膜モジュール7の上部から膜一次側に水を供給することは、粉末活性炭を膜表面からより剥離しやすくなるので好ましい。但し、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側が水で完全に満たされることのないように、膜一次側への供給水量を排水弁18から系外への排出水量より小さく設定する必要がある。その後、エア抜き弁8を開、原水バイパス弁15、排水弁18を閉にして、MF/UF膜モジュール7内の膜一次側に水を満たし、空洗弁17を開、エアブロワー16を稼動することで、MF/UF膜モジュール7の下方から気体を供給し、空気洗浄を行う。MF/UF膜モジュール7内の膜一次側に水を満たす方法としては、原水弁6を開にして原水供給ポンプ5を稼動して原水を供給してもよいし、逆洗弁12を開にして逆洗ポンプ11を稼動して膜ろ過水を逆圧洗浄水として供給してもよい。この時供給する原水あるいは膜ろ過水すなわち、空気洗浄時にMF/UF膜モジュール7内の膜一次側を満たすことになる水には酸化剤供給ポンプ13を稼動して酸化剤を添加したほうが、膜表面や膜細孔内に蓄積していた有機物を分解除去する効果があるので好ましい。従来の物理洗浄では、MF/UF膜モジュール7内の粉末活性炭が膜表面から充分に剥離していなかったため、原水や膜ろ過水に添加された酸化剤は膜表面や膜細孔内に蓄積していた有機物を分解除去する前に粉末活性炭にほとんど消費されてしまったのに対し、本発明では酸化剤を最大限活用することが可能である。空気洗浄は、予め分離膜モジュール内の膜一次側が水で満たされた状態で開始しても、分離膜モジュール内の膜一次側に水を供給しながらすなわち空気洗浄中にMF/UF膜モジュール7内に原水を供給したり、逆圧洗浄を行ったりしながら行ってもよい。ただし、水を供給しながら空気洗浄を行うほうが、洗浄効果が高まるので好ましい。その後、空洗弁17を閉にするとともにエアブロワー16を停止して空気洗浄を終了する。なお、空気洗浄中にMF/UF膜モジュール7内に原水を供給したり、逆洗を継続している場合には、原水弁6、逆洗弁12も閉にし、逆洗ポンプ11、酸化剤供給ポンプ13も停止して、原水供給や逆圧洗浄も終了する。次いで、排水弁18を開にすることで、膜面や膜細孔内から剥離してMF/UF膜モジュール7内で浮遊しているファウリング物質を系外に排出する。排水終了後には、排水弁18を閉、原水弁6を開とし、原水供給ポンプ5を稼動して給水を行い、MF/UF膜モジュール7の膜1次側を満水にする。その後、エア抜き弁8を閉、ろ過水弁9を開とすれば、分離膜モジュールはろ過工程に戻り、上記工程を繰り返すことで造水を継続することができる本発明の洗浄方法はろ過工程終了後に毎回行っても構わないし、別の洗浄方法と組み合わせて時々行ってもかまわない。逆圧洗浄を実施する前に、MF/UF膜モジュール7下部の排水弁18より排出された膜一次側の水は、MF/UF膜モジュール7に供給される原水として再び使用することが好ましい。ここで排出された水は、事前に逆圧洗浄や空気洗浄を行っていないため汚れが少なく、再び膜ろ過の原水として使用するのに支障がない。これにより、回収率ろ過水量/原水量が向上し、無駄となる廃水を大幅に減らすことが可能となる。さらに排水弁18から排水することで、膜表面に付着している活性炭の一部を取り除くことができる。この際に取り除かれた活性炭は、ろ過終了間際に添加された活性炭であるため、未だ吸着能を有している。再利用することができれば経済効率を高めることができる。原水として再使用するためには、原水貯留槽4に戻すか、あるいは前処理を行っている場合はその前処理の前段に戻して、再度膜ろ過の原水とすればよい。本発明において高硬度粒子とは、ろ過や洗浄に供される分離膜よりも硬い粒子のことを指す。このような高硬度粒子としては、粉末活性炭や金属粉、シルト粒子、砂、セラミックス粒子等が挙げられるが、吸着能力の観点から粉末活性炭が好ましく採用される。ここで、高硬度粒子が分離膜よりも硬いかどうかの判定については、ISO145771計装化押し込み硬さに準拠した測定法で測定し、測定された硬度を比較して判定する。ただし、分離膜が中空状のものに関しては、膜を切り開き平膜状にしたものを測定する。粉末活性炭の原料としては、ヤシ殻やおが屑などの木質系や泥炭、亜炭、瀝青炭などの石炭系のいずれでも構わない。また、粉末活性炭の粒径は小さければ小さいほど比表面積が大きくなり、吸着能が高くなるので好ましい。但し、膜ろ過水に混入しないようMF/UF膜モジュール7の分離膜の孔径より大きくする必要がある。また、ろ過工程でMF/UF膜モジュール7の膜1次側に供給する原水には、有機系もしくは無機系の凝集剤を添加することも可能である。凝集剤を添加することで、膜ファウリングの抑制や膜ろ過中の有機物濃度を低減する効果がある。有機系凝集剤としては、ジメチルアミン系やポリアクリルアミド系のカチオン高分子凝集剤、などを使用することができる。一方、無機系凝集剤としては、ポリ塩化アルミニウムやポリ硫酸アルミニウム、塩化第二鉄、ポリ鉄、硫酸第二鉄、ポリシリカ鉄等を使用できる。MF/UF膜モジュール7としては、外圧式でも内圧式であっても差し支えはないが、前処理の簡便さの観点から外圧式が好ましい。また膜ろ過方式としては全量ろ過型モジュールでもクロスフローろ過型モジュールであっても差し支えはないが、エネルギー消費量が少ないという点から全量ろ過型モジュールが好ましい。さらに加圧型モジュールであっても浸漬型モジュールであっても差し支えはないが、高流束が可能であるという点から加圧型モジュールが好ましい。MF/UF膜モジュール7で使用される分離膜としては、多孔質であれば特に限定しないが、所望の処理水の水質や水量によって、MF膜精密ろ過膜を用いたり、UF膜限外ろ過膜を用いたり、あるいは両者を併用したりする。例えば、濁質成分、大腸菌、クリプトスポリジウム等を除去したい場合はMF膜でもUF膜のどちらを用いても構わないが、ウィルスや高分子有機物等も除去したい場合は、UF膜を用いるのが好ましい。分離膜の形状としては、中空糸膜、平膜、管状膜等があるが、いずれでも構わない。分離膜の材質としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアクリロニトリル、エチレン-テトラフルオロエチレン共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリビニルフルオライド、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、およびクロロトリフルオロエチレン-エチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリスルホン、酢酸セルロース、ポリビニルアルコールおよびポリエーテルスルホン等からなる群から選ばれる少なくとも1種類を含んでいると好ましく、さらに膜強度や耐薬品性の点からはポリフッ化ビニリデンPVDFがより好ましく、親水性が高く耐汚れ性が強いという点からはポリアクリロニトリルがより好ましい。なお、上述した有機高分子樹脂製の分離膜は、粉末活性炭などの本発明に係る高硬度粒子よりも硬度が低いため、本発明の分離膜モジュールの洗浄方法において、好ましく使用することができる。ろ過運転の制御方法としては、定流量ろ過であっても定圧ろ過であってもよいが、一定の処理水量が得られ、また、全体の制御が容易であるという点から定流量ろ過が好ましい。以上のような本発明によれば、空気洗浄時の高硬度粒子粉末活性炭等による膜表面の擦過を効率的に低減し、膜表面や膜細孔内に付着していた有機物を効果的に分解除去できる。そのため、膜ろ過差圧が従来技術よりも長期間安定する。ただし、有機物を完全には分解除去することは難しく、凝集剤由来のアルミニウムや鉄が付着したり、酸化剤によって酸化された鉄やマンガン等が膜面に徐々に析出したりすることがある。そのため、膜ろ過差圧がMF/UF膜モジュール7の耐圧限界近くまで到達した場合には、高濃度の薬品洗浄を実施することが好ましい。該洗浄に用いる薬品としては、膜が劣化しない程度の濃度および保持時間を適宜設定した上で選択することができるが、次亜塩素酸ナトリウム、二酸化塩素、過酸化水素、オゾン等を少なくとも1つ含有した方が、有機物に対して洗浄効果が高くなるので好ましい。また、塩酸、硫酸、硝酸、クエン酸、シュウ酸等を少なくとも1つ含有した方が、アルミニウム、鉄、マンガン等に対して洗浄効果が高くなるので好ましい。<膜ろ過差圧の評価方法>MF/UF膜モジュール7と接続する原水供給配管膜一次側と膜ろ過水配管膜二次側に圧力計を設置し、膜一次側の圧力から膜二次側の圧力を差し引いて算出した。<薬液洗浄による回復率>MF/UF膜モジュール7の運転開始前新品時および薬品洗浄後の純水透水性能m3/h、at50kPa、25°Cを測定する。新品時の純水透水性能をA、薬品洗浄後の純水透水性能をBとした場合、回復率は100×B/Aの数式で算出した。なお、純水透水性能は、水温25°Cの純水をろ過流量6m3/hで膜ろ過したときの膜ろ過差圧CkPaを測定した後、以下の式で算出した。純水透水性能m3/h、at50kPa、25°C=6×50/C<分離膜モジュール内の乾燥汚泥蓄積量>MF/UF膜モジュール7を解体後、純水の入った水槽内に膜を入れて、水槽内の懸濁物質濃度に変化がみられなくなるまで空気で曝気し続け、膜外表面の汚泥を純水で洗い落とした。膜外表面から洗い落とされた汚泥を100°Cで乾燥させて、水分を完全に揮発させた後、重量を測定した。<分離膜の表面状態の評価方法>MF/UF膜モジュール7を解体後、純水の入った水槽内に膜を入れて、水槽内の懸濁物質濃度に変化がみられなくなるまで空気で曝気し続け、膜外表面の汚泥を純水で洗い落とした。膜を30°Cで乾燥後、電子顕微鏡を用いて倍率10,000倍で膜外表面を観察した。実施例1外圧式PVDF限外中空糸膜モジュールHFU-2020東レ株製を1本使用した図1に示す装置にて、原水弁6とろ過水弁9を開いて、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、原水貯留槽4内で粉末活性炭含有濃度50mg/lに調整した河川水を膜ろ過流束1.5m3/m2dで定流量ろ過した。定流量ろ過開始から30分間後に原水弁6とろ過水弁9を閉じ、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を停止した後、エア抜き弁8と排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、エア抜き弁8と排水弁18を開けたまま、逆洗弁12を開、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。その後、逆洗弁12と排水弁18を閉じ、逆洗ポンプ11を停止すると同時に原水弁6を開き、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を、粉末活性炭の含有していない塩素濃度10mg/lの原水で満たした。原水で満たした後、原水弁6を閉じ、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を停止すると同時に空洗弁17を開き、エアブロワー16を稼動して、エア流量100L/minの空気洗浄を15秒間実施した。その後、空洗弁17を閉じ、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返した。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、1年後も83kPaと安定運転を行うことができた。また、1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比85に回復していた。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には2kgの乾燥汚泥しか蓄積しておらず、膜外表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の9割が平滑であり、擦過状態がほとんどみられなかった。実施例2外圧式PVDF限外中空糸膜モジュールHFU-2020東レ株製を1本使用した図1に示す装置にて、原水弁6とろ過水弁9を開いて、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、原水貯留槽4内で粉末活性炭含有濃度50mg/lに調整した河川水を膜ろ過流束1.5m3/m2dで定流量ろ過した。定流量ろ過開始から30分間後に原水弁6とろ過水弁9を閉じ、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を停止した後、エア抜き弁8と排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、エア抜き弁8と排水弁18を開けたまま、逆洗弁12を開、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。その後、逆洗弁12と排水弁18を閉じ、逆洗ポンプ11を停止すると同時に原水弁6、空洗弁17を開き、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13とエアブロワー16を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側に粉末活性炭を含有していない塩素濃度10mg/lの原水を供給するのと同時に、エア流量100L/minの空気洗浄を15秒間実施した。その後、原水弁6と空洗弁17を閉じ、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13とエアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、1年後も79kPaと安定運転を行うことができた。また、1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比87に回復していた。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には1.5kgの乾燥汚泥しか蓄積しておらず、膜外表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の9割が平滑であり、擦過状態がほとんどみられなかった。実施例3外圧式PVDF限外中空糸膜モジュールHFU-2020東レ株製を1本使用した図1に示す装置にて、原水弁6とろ過水弁9を開いて、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、原水貯留槽4内で粉末活性炭含有濃度50mg/lに調整した河川水を膜ろ過流束1.5m3/m2dで定流量ろ過した。定流量ろ過開始から30分間後に原水弁6とろ過水弁9を閉じ、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を停止した後、エア抜き弁8と排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、エア抜き弁8と排水弁18を開けたまま、逆洗弁12、原水バイパス弁15を開き、原水供給ポンプ5と逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄および膜モジュール上部への流量20L/minの原水供給を30秒間実施した。その後、逆洗弁12と原水バイパス弁15と排水弁18を閉じ、原水供給ポンプ5と逆洗ポンプ11を停止すると同時に原水弁6を開き、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を粉末活性炭の含有していない塩素濃度10mg/lの原水で満たした。原水で満たした後、原水弁6を閉じ、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を停止すると同時に空洗弁17を開き、エアブロワー16を稼動して、エア流量100L/minの空気洗浄を15秒間実施した。その後、空洗弁17を閉じ、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、1年後も45kPaと安定運転を行うことができた。また、1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比94に回復していた。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には1kgの乾燥汚泥しか蓄積しておらず、膜外表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の9割が平滑であり、擦過状態がほとんどみられなかった。実施例4外圧式PVDF限外中空糸膜モジュールHFU-2020東レ株製を1本使用した図1に示す装置にて、原水弁6とろ過水弁9を開いて、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、原水貯留槽4内で粉末活性炭含有濃度50mg/lに調整した河川水を膜ろ過流束1.5m3/m2dで定流量ろ過した。定流量ろ過開始から30分間後に原水弁6とろ過水弁9を閉じ、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を停止した後、エア抜き弁8と排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、エア抜き弁8と排水弁18を開けたまま、逆洗弁12を開、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。その後、排水弁18を閉じると同時に空洗弁17を開き、酸化剤供給ポンプ13とエアブロワー16を稼動して、塩素濃度10mg/lの逆圧洗浄とエア流量100L/minの空気洗浄を15秒間同時に実施した。その後、逆洗弁12と空洗弁17を閉じ、逆洗ポンプ11、酸化剤供給ポンプ13、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、1年後も77kPaと安定運転を行うことができた。また、1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比86に回復していた。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には1.5kgの乾燥汚泥しか蓄積しておらず、膜外表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の9割が平滑であり、擦過状態がほとんどみられなかった。実施例5外圧式PVDF限外中空糸膜モジュールHFU-2020東レ株製を1本使用した図1に示す装置にて、原水弁6とろ過水弁9を開いて、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、原水貯留槽4内で粉末活性炭含有濃度50mg/lに調整した河川水をろ過流束1.5m3/m2dで定流量ろ過した。定流量ろ過開始から30分間後に原水弁6とろ過水弁9を閉じ、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を停止した後、エア抜き弁8と排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜一次側水位が分離膜長さの1/3になるまで、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を排出した。その後、エア抜き弁8と排水弁18を開けたまま、逆洗弁12を開、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。その後、逆洗弁12と排水弁18を閉じ、逆洗ポンプ11を停止すると同時に原水弁6を開き、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を粉末活性炭の含有していない塩素濃度10mg/lの原水で満たした。原水で満たした後、原水弁6を閉じ、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を停止すると同時に空洗弁17を開き、エアブロワー16を稼動して、エア流量100L/minの空気洗浄を15秒間実施した。その後、空洗弁17を閉じ、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、1年後も115kPaと安定運転を行うことができた。また、1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比79に回復していた。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には3kgの乾燥汚泥しか蓄積しておらず、膜外表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の8割が平滑であり、膜孔の一部が擦過により閉塞していることを確認した。実施例6外圧式PVDF限外中空糸膜モジュールHFU-2020東レ株製を1本使用した図1に示す装置にて、原水弁6とろ過水弁9を開いて、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、原水貯留槽4内で粉末活性炭含有濃度50mg/lに調整した河川水を膜ろ過流束1.5m3/m2dで定流量ろ過した。定流量ろ過開始から30分間後に原水弁6とろ過水弁9を閉じ、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を停止した後、エア抜き弁8と排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の水位が分離膜長さの1/2になるまでMF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を排出した。その後、エア抜き弁8と排水弁18を開けたまま、逆洗弁12を開、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。その後、逆洗弁12と排水弁18を閉じ、逆洗ポンプ11を停止すると同時に原水弁6を開き、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を粉末活性炭の含有していない塩素濃度10mg/lの原水で満たした。原水で満たした後、原水弁6を閉じ、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を停止すると同時に空洗弁17を開き、エアブロワー16を稼動して、エア流量100L/minの空気洗浄を15秒間実施した。その後、空洗弁17を閉じ、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、8ヶ月後には120kPaに急上昇し、次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄回数は1年間の運転期間で1.5回必要となった。また1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比68に回復していた。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には5kgの乾燥汚泥が蓄積していた。膜外表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の6割が平滑であり、膜孔の一部が擦過により閉塞していることを確認した。比較例1実施例1~6と同装置および同条件でのろ過終了後、排水弁18を開けた状態でエア抜き弁8と逆洗弁12を開き、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。このときMF/UF膜モジュール7内の膜一次側の水位は分離膜長さの1/2以上であった。その後、逆洗弁12を閉じ、逆洗ポンプ11を停止すると同時に排水弁18を開き、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、2日後には120kPaに急上昇し、次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄回数は1年間の運転期間で180回必要となった。また1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比90まで回復した。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には10kgの乾燥汚泥が蓄積していた。膜外表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の9割が平滑であり、擦過状態がほとんどみられなかった。比較例2実施例1~6と同装置および同条件でのろ過終了後、排水弁18を閉じたままの状態でエア抜き弁8と逆洗弁12を開き、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。その後、逆洗弁12を閉じ、逆洗ポンプ11を停止すると同時に排水弁18を開き、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、原水弁6を開き、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を粉末活性炭の含有していない塩素濃度10mg/lの原水で満たした。原水で満たした後、原水弁6を閉じ、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を停止すると同時に空洗弁17を開き、エアブロワー16を稼動して、エア流量100L/minの空気洗浄を60秒間実施した。その後、空洗弁17を閉じ、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、2ヶ月後には120kPaに急上昇し、次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄回数は1年間の運転期間で6回必要となった。また1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比37にしか回復しなかった。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には12kgの乾燥汚泥が蓄積しており、膜表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の2割しか平滑ではなく、膜孔の多くが擦過により閉塞していることを確認した。比較例3実施例1~6と同装置および同条件でのろ過終了後、排水弁18を閉じたままの状態でエア抜き弁8と逆洗弁12と空洗弁17を開き、酸化剤供給ポンプ13とエアブロワー16を稼動して、塩素濃度10mg/l、流束2m3/m2dの逆圧洗浄とエア流量100L/minの空気洗浄を60秒間同時に実施した。その後、逆洗弁12と空洗弁17を閉じ、逆洗ポンプ11、酸化剤供給ポンプ13、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、6ヶ月後には120kPaに急上昇し、次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄回数は1年間の運転期間で2回必要となった。また1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比21にしか回復しなかった。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には6kgの乾燥汚泥が蓄積しており、膜表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の1割しか平滑ではなく、膜孔の多くが擦過により閉塞していることを確認した。比較例4実施例1~6と同装置および同条件でのろ過終了後、排水弁18を開けた状態でエア抜き弁8と逆洗弁12を開き、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。このときMF/UF膜モジュール7内の水位は分離膜長さの1/2以上であった。その後、逆洗弁12と排水弁18を閉じ、逆洗ポンプ11を停止すると同時に、原水弁6を開き、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を粉末活性炭の含有していない塩素濃度10mg/lの原水で満たした後、原水弁6を閉じ、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を停止すると同時に空洗弁17を開き、エアブロワー16を稼動して、エア流量100L/minの空気洗浄を60秒間実施した。その後、空洗弁17を閉じ、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、3ヶ月後には120kPaに急上昇し、次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄回数は1年間の運転期間で4回必要となった。また1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比31にしか回復しなかった。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には8kgの乾燥汚泥が蓄積しており、膜表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の2割しか平滑ではなく、膜孔の多くが擦過により閉塞していることを確認した。比較例5実施例1~6と同装置および同条件でのろ過終了後、原水弁6とろ過水弁9を閉じ、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を停止した後、エア抜き弁8と排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じて、逆洗弁12を開き、逆洗ポンプ11を稼動し、流束2m3/m2dの逆圧洗浄を30秒間実施した。その後、逆洗弁12を閉じ、逆洗ポンプ11を停止すると同時に排水弁18を開き、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、原水弁6を開き、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を粉末活性炭の含有していない塩素濃度10mg/lの原水で満たした。原水で満たした後、原水弁6を閉じ、原水供給ポンプ5と酸化剤供給ポンプ13を停止すると同時に空洗弁17を開き、エアブロワー16を稼動して、エア流量100L/minの空気洗浄を60秒間実施した。その後、空洗弁17を閉じ、エアブロワー16を停止すると同時に、排水弁18を開け、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側の水を全量排出した。その後、排水弁18を閉じると同時に、原水弁6を開き、スラリー供給ポンプ2と原水供給ポンプ5を稼動して、MF/UF膜モジュール7内の膜1次側を原水で満たした後、ろ過水弁9を開き、エア抜き弁8を閉じて、ろ過工程に戻り、上記工程を繰り返していった。その結果、MF/UF膜モジュール7の膜ろ過差圧は運転開始直後15kPaに対し、4ヶ月後には120kPaに急上昇し、次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄回数は1年間の運転期間で3回必要となった。また1年間運転後に次亜塩素酸とクエン酸による薬品洗浄を実施した結果、MF/UF膜モジュール7の純水透水性能は新品時比33にしか回復しなかった。MF/UF膜モジュール7を解体したところ、膜モジュール内には7kgの乾燥汚泥が蓄積しており、膜表面を電子顕微鏡で観察したところ、膜外表面の2割しか平滑ではなく、膜孔の多くが擦過により閉塞していることを確認した。なお、各実施例比較例の条件評価結果を表1、表2に示す。"