"1つの面に電極が形成されている固定基板と、前記固定基板に対向するように配置された可動基板と、前記可動基板が移動し得るように前記可動基板を支持している支持部材とを備え、前記可動基板が、第1及び第2の主面を有するエレクトレットを有し、前記第1の主面が前記固定基板に対向しており、前記第1の主面に複数の凸部が設けられており、該複数の凸部が電荷がチャージされている帯電領域を構成している、発電装置。前記電極が、第1の電極部分を有する第1の電極と、第2の電極部分を有する第2の電極とを含み、前記第1の電極部分と前記第2の電極部分とが前記可動基板が移動する方向に沿って交互に配置されており、前記複数の凸部が、前記可動基板が移動する方向に沿って配置されており、かつ前記凸部の前記可動基板が移動する方向に沿う寸法を前記凸部の幅としたときに、前記凸部の幅が、前記第1の電極部分及び第2の電極部分の前記可動基板が移動する方向に沿う寸法である幅と同じ寸法とされている、請求項1に記載の発電装置。前記第1及び第2の電極が、それぞれ複数本の電極指を有する第1及び第2のくし歯電極であり、前記第1の電極部分である前記第1のくし歯電極の電極指と、前記第2の電極部分である前記第2のくし歯電極の電極指とが互いに間挿し合っている、請求項1または2に記載の発電装置。前記エレクトレットに設けられた複数の凸部が、互いに平行に配置されている複数本のストリップ状凸部である、請求項1~3のいずれか一項に記載の発電装置。前記エレクトレットの第1の主面の凸部が設けられている部分以外の主面部分が平坦面であり、前記凸部の横断面が矩形の形状を有し、該凸部の側面と前記エレクトレットの第1の主面部分とが直交している、請求項1~4のいずれか一項に記載の発電装置。前記第1及び第2の電極が、前記固定基板の前記可動基板側の面に形成されている、請求項1~5のいずれか一項に記載の発電装置。1つの面に電極が形成された固定基板を用意する工程と、第1及び第2の主面を有し、前記第1の主面に複数の凸部が形成されており、第1の主面側において該複数の凸部が電荷がチャージされている帯電領域とされているエレクトレットを有する可動基板を用意する工程と、前記固定基板に前記エレクトレットの第1の主面が対向するように可動基板を配置し、かつ前記可動基板が移動し得るように前記可動基板を支持する支持部材を前記可動基板に連結する工程とを備える、請求項1~6のいずれか一項に記載の発電装置の製造方法。前記可動基板を用意する工程において、両主面が平坦なエレクトレットの第1の主面にプレス成形により前記複数の凸部を形成する、請求項7に記載の発電装置の製造方法。前記エレクトレットの前記複数の凸部を帯電領域とするにあたり、前記エレクトレットの前記複数の凸部に対応する部分が開口部とされている導電性マスクを前記エレクトレットの第1の主面に該開口部が前記凸部に嵌まり合うように配置する工程と、前記導電性マスクの外側から前記エレクトレットに放電し、前記エレクトレットの凸部に電荷をチャージし、前記帯電領域を形成する工程と、前記帯電領域を形成した後に導電性マスクを取り外す工程とを備える、請求項7または8に記載の発電装置の製造方法。特許文献1に記載のエレクトレットフィルム102の帯電方法では、導電性部材103が、電気的接続部材104及び平板電極101を介してグラウンド電位に接続されている。そのため、導電性部材103は常にグラウンド電位となり、コロナ放電で発生した電荷は導電性部材103に優先的に流れ込むことになる。従って、エレクトレットフィルム102の帯電電位の絶対値が低下し、帯電領域と非帯電領域との電位差が小さくなる。従って、このような帯電方法で得られたエレクトレットフィルム102では、静電気力を機械的駆動力に変換する変換効率が低下するという問題がある。他方、コロナ放電処理では、印加する電圧は、エレクトレットフィルム102の絶縁破壊電圧より高いのが普通である。そのため、電気的接続部材104を設けないと、導電性部材103に電荷が溜まりすぎることになる。その結果、導電性部材103からエレクトレットフィルム102を通じて平板電極101に電流が流れることとなる。この電流により、エレクトレットフィルム102の帯電させたくない領域まで帯電するおそれがある。従って、エレクトレットフィルム102において、帯電領域と非帯電領域との電位差が小さくなる。従って、上記のように、選択的に帯電しているエレクトレットフィルム102を用いて発電装置を構成した場合、大きな電力を取り出すことができなかった。本発明の目的は、選択的に帯電しているエレクトレットを用いた発電装置であって、より大きな発電量を得ることを可能とする発電装置及びその製造方法を提供することにある。本発明に係る発電装置は、1つの面に電極が形成されている固定基板と、固定基板に対向するように配置された可動基板と、可動基板が移動し得るように可動基板を支持している支持部材とを備える。本発明においては、可動基板が、第1及び第2の主面を有するエレクトレットを有し、第1の主面が固定基板に対向しており、第1の主面に複数の凸部が設けられており、複数の凸部が電荷がチャージされている帯電領域を構成している。本発明に係る発電装置のある特定の局面では、電極が、第1の電極部分を有する第1の電極と、第2の電極部分を有する第2の電極とを含み、第1の電極部分と第2の電極部分とが可動基板が移動する方向に沿って交互に配置されている。複数の凸部が、可動基板が移動する方向に沿って配置されており、かつ凸部の可動基板が移動する方向に沿う寸法を凸部の幅としたときに、凸部の幅が、第1の電極部分及び第2の電極部分の可動基板が移動する方向に沿う寸法である幅と同じ寸法とされている。本発明に係る発電装置のさらに他の特定の局面では、第1及び第2の電極が、それぞれ複数本の電極指を有する第1及び第2のくし歯電極であり、第1の電極部分である第1のくし歯電極の電極指と、第2の電極部分である第2のくし歯電極の電極指とが互いに間挿し合っている。この場合には、周知のくし歯電極の形成方法により、複数の第1及び第2の電極部分を容易に形成することができる。また、電極指ピッチを調整することにより、第1及び第2の電極部分のピッチを容易にコントロールすることができる。本発明に係る発電装置のさらに別の特定の局面では、エレクトレットに設けられた複数の凸部が、互いに平行に配置されている複数本のストリップ状凸部である。この場合には、プレス成形等により互いに平行に配置されている複数本のストリップ状凸部を容易に形成することができる。本発明に係る発電装置のさらに他の特定の局面では、エレクトレットの第1の主面の凸部が設けられている部分以外の主面部分が平坦面であり、凸部の横断面が矩形の形状を有し、該凸部の側面とエレクトレットの第1の主面部分とが直交している。この場合には、凸部にチャージされた電荷の凸部外への拡散を効果的に抑制することができる。従って、発電量を大きくすることができる。本発明に係る発電装置のさらに他の特定の局面では、第1及び第2の電極が、固定基板の可動基板側の面に形成されている。この場合には、第1及び第2の電極とエレクトレットの帯電領域との距離を近づけることができる。従って、発電量をより一層大きくすることができる。本発明に係る発電装置の製造方法は、1つの面に電極が形成された固定基板を用意する工程と、第1及び第2の主面を有し、第1の主面に複数の凸部が形成されており、第1の主面側において該複数の凸部が電荷がチャージされている帯電領域とされているエレクトレットを有する可動基板を用意する工程と、固定基板にエレクトレットの第1の主面が対向するように可動基板を配置し、かつ可動基板が移動し得るように可動基板を支持する支持部材を可動基板に連結する工程とを備える。本発明に係る発電装置の製造方法のある特定の局面では、可動基板を用意する工程において、両主面が平坦なエレクトレットの第1の主面にプレス成形により複数の凸部を形成する。この場合には、プレス成形により、複数の凸部を容易にかつ安価に形成することができる。本発明に係る発電装置のさらに他の特定の局面では、エレクトレットの複数の凸部を帯電領域とするにあたり、エレクトレットの複数の凸部に対向する部分が開口部とされている導電性マスクをエレクトレットの第1の主面に該開口部が凸部に嵌まり合うように配置する工程と、導電性マスクの外側からエレクトレットに放電し、エレクトレットの凸部に電荷をチャージし、帯電領域を形成する工程と、帯電領域を形成した後に導電性マスクを取り外す工程とを備える。この場合には、エレクトレットの凸部のみを確実にかつ容易に選択的に帯電させることができる。加えて、チャージ中に電荷が凸部から凸部外へ拡散することを効果的に抑制することができる。従って、発電量をより一層大きくすることができる。本発明に係る発電装置によれば、可動基板のエレクトレットの第1の主面に設けられた複数の凸部が帯電領域を構成しているため、凸部と凸部以外の部分との電位差を大きくすることができる。また、凸部にチャージされた電荷の凸部外への拡散を効果的に抑制することができる。加えて、帯電領域と固定基板に設けられた電極との距離が近づけられる。従って、従来の発電装置に比べて、発電量を大きくすることができる。本発明に係る発電装置の製造方法は、発電量を効果的に高め得る本発明の発電装置を提供することができる。また、凸部を帯電領域とするようにエレクトレットを帯電させればよいため、エレクトレットの帯電も容易に行うことができる。以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。図1aは、本発明の第1の実施形態としての発電装置1を示す模式的断面図である。また、図2は、本実施形態の発電装置1の固定基板を取り除いた状態を示す模式的平面図である。なお、図1aは、図2のX-X線に沿う部分に相当する断面を示す。発電装置1は、筐体2を有する。筐体2は、上方に開いた開口を有し、かつその平面形状は矩形である。筐体2の上方の開口縁に、固定基板3が接合されている。それによって、筐体2の上方の開口が封止されている。筐体2は、アルミナなどの絶縁性セラミックスまたは合成樹脂などの適宜の絶縁性材料により形成することができる。なお、筐体2は、金属により形成されていてもよい。上記固定基板3は、アルミナなどの絶縁性セラミックスまたは合成樹脂からなる。機械的強度を高めるためには、固定基板3は、アルミナなどの絶縁性セラミックスからなることが好ましい。軽量化を図るためには、固定基板3は、合成樹脂からなることが望ましい。固定基板3の筐体2と接合されている側の面下面には、電極4が形成されている。図2は、固定基板3を取り除いた発電装置1の模式的平面図であり、ここでは、固定基板3のみを省略し、電極4は模式的に図示している。図2に示すように、電極4は、複数本の電極指を有する第1のくし歯電極5と複数本の電極指を有する第2のくし歯電極6とを有する。第1のくし歯電極5の電極指と、第2のくし歯電極6の電極指とが互いに間挿し合っている。第1のくし歯電極5は第1の電極に相当し、第2のくし歯電極6は、第2の電極に相当する。また、第1のくし歯電極5の電極指は第1の電極部分に相当し、第2のくし歯電極6の電極指は第2の電極部分に相当する。第1のくし歯電極5には、第1の引き出し電極7aを介して第1の端子電極7bが接続されている。同様に、第2のくし歯電極6には、第2の引き出し電極8aを介して第2の端子電極8bが接続されている。これらの第1,第2の引き出し電極7a,8a及び第1,第2の端子電極7b,8bも、前述した固定基板3の下面に形成されている。上記第1,第2のくし歯電極5,6、第1,第2の引き出し電極7a,8a及び第1,第2の端子電極7b,8bは、Al、Cu、Ag、Au、またはこれらの合金などの適宜の金属もしくはこれらの金属を主体とする合金により形成することができる。図1aに示すように、上記筐体2と上記固定基板3とで封止されている空間内に、可動基板9が配置されている。可動基板9は、金属基板10と、金属基板10の上面に積層されたエレクトレット11とを有する。金属基板10は、ステンレスまたは銅、鉄などの適宜の金属からなる。可動基板9が金属基板10を有するため、可動基板9はたわみ難い。従って、可動基板9と固定基板3との接触、特に固定基板3の下面に設けられた電極4との接触を確実に防止することができる。上記金属基板10は、好ましくは、密度が5g/cm3以上の金属からなる。このような金属としては、ステンレス、銅、鉄などを挙げることができる。密度が5g/cm3以上である場合、共振周波数を低めることができる。従って、人の歩行のように日常生活で発生する振動、すなわち10Hz以下の低周波の振動によっても共振させることができる。それによって、大きな発電出力を得ることができる。本実施形態の発電装置1では、エレクトレット11が、金属基板10の上面に積層されている。すなわち、図1aに示す電極4が形成されている領域と対向する領域にエレクトレット11が配置されている。エレクトレット11は、合成樹脂または無機材料からなる。合成樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレンPTFEのようなフッ素樹脂を挙げることができる。無機材料としては、SiO2などを挙げることができる。図1bに、可動基板9の一部の模式的断面を示す。本実施形態の特徴は、図1aでは略図的に示されているが、図1bに示すように、エレクトレット11の第1の主面11a上に複数の凸部11cが設けられていることにある。すなわち、エレクトレット11は、第1の主面11aと、第2の主面11bとを有する板状部材からなる。エレクトレット11は、第2の主面11b側から金属基板10の上面に積層されている。そして、第1の主面11aにおいて、複数の凸部11cが設けられており、各凸部11cに電荷がチャージされている。本実施形態では、図1bに示すように、複数の凸部11cのそれぞれに負の電荷がチャージされている。それによって、複数の凸部11cが負の電荷がチャージされている帯電領域とされている。第1の主面11aにおける凸部11c以外の部分である第1の主面部分11dは、非帯電領域とされている。図3は、上記エレクトレット11の模式的平面図である。図3に示すように、複数の凸部11cは、複数本のストリップ状凸部とされている。この複数の凸部11cは、互いに平行に延ばされている。複数の凸部11cの延びる方向は、前述した第1,第2のくし歯電極5,6の複数本の電極指の延びる方向に平行とされている。第1のくし歯電極5の電極指の中心と、該電極指と隣り合う第2のくし歯電極6の電極指の中心との間の距離は、互いに隣り合う凸部11cの中心間の距離の1/2とされている。例えば、凸部11cの幅を500μm、凸部11c間の間隔を600μmとした場合、互いに隣り合う凸部11cの中心間の距離は1100μmである。この場合には、第1のくし歯電極5の電極指の中心と、該電極指と隣り合う第2のくし歯電極6の電極指の中心との間の距離は550μmとすればよい。例えば、第1,第2のくし歯電極5,6の電極指幅を500μm、電極指間の間隔を50μmとすればよい。後述するように、本実施形態の発電装置1では、エレクトレット11が、上記帯電領域とされている複数の凸部11cを有するため、発電量を効果的に増大させることができる。なお、図1aに示すように、金属基板10の上面には、複数の凹部10aが形成されている。この凹部10aは、図2に示すように正方形の平面形状を有する。上記凹部10a内に、回転体14が配置されている。回転体14は、本実施形態では、金属からなる球体により構成されている。もっとも、回転体14は、金属以外のセラミックスなどにより形成されていてもよい。回転体14の一部が凹部10a内に入り込むようにして、回転体14が回転可能に凹部10a内に支持されている。回転体14の上端は、本実施形態では、固定基板3の下面に当接している。従って、回転体14により、固定基板3の下面と可動基板9の上面との間隔を一定にすることが可能とされている。なお、図2に示すように、上記回転体14は、電極4を囲む複数箇所に配置されている。この回転体14の配置については特に限定されず、複数個の回転体14、好ましくは3個以上の回転体14が電極4を囲む部分に均一に配置されていることが望ましい。それによって上記間隔を一定に保つことができる。上記凹部10aは、金属板をプレス加工する方法により容易に形式し得る。あるいは、凹部10aが形成されている部分に相当する貫通孔を有する金属板と平板状の金属板とを貼り合わせることにより金属基板10を形成してもよい。また、厚い金属板を切削加工することにより凹部10aを形成してもよい。回転体14は、金属により形成されていることが好ましい。その場合には、例えば固定基板3の下面にグラウンド電位に接続される電極を形成し、該電極に回転体14の上端を接触させることが望ましい。それによって、金属基板10をグラウンド電位に一定に保つことができる。なお、回転体14をグラウンド電位に接続する構成は上記に限定されるものではない。例えば、固定基板3を金属板により構成し、該金属板からなる固定基板3の下面に図示しない絶縁層を介して上記電極4を形成してもよい。その場合には、固定基板3をグラウンド電位に接続することにより、金属基板10をグラウンド電位に保つことができる。また、図2に示すように、可動基板9は、支持部材としてのバネ15,16により筐体2に支持されている。すなわち、コイルバネからなるバネ15,16の一端が金属基板10の側面に固定されており、他端が筐体2に固定されている。複数のバネ15,16により、可動基板9は、筐体2内の空間において図2の横方向すなわち電極4の電極指が延びている方向と直交する方向に移動可能とされている。なお、本実施形態では、固定基板3の下面に電極4が形成されている。電極4は、固定基板3の下面に形成されていることが望ましい。それによって、電極4と、エレクトレット11の帯電領域である複数の凸部11cとを近接させることができる。従って、発電量を高めることができる。もっとも、電極4は、固定基板3の上面に形成されていてもよい。前述したように、エレクトレット11は、帯電領域である複数の凸部11cと、非帯電領域である第1の主面部分11dとを有する。このようにエレクトレット11を帯電する方法を図4a及びbを参照して説明する。図4aに示すように、金属基板10の上面に、上記エレクトレット11が積層されている。このエレクトレット11は、前述した複数の凸部11cを有する。次に、図4aに示すように、凸部11cに対応する部分が開口部21aとされている金属マスク21を用意する。この金属マスク21を、開口部21aが凸部11cに嵌まり合うように、エレクトレット11の第1の主面11a側に積層する。この状態で、第1の主面11aをコロナ放電下に晒す。すなわち、放電電極を第1の主面11aの上方に配置し、エレクトレット11にコロナ放電する。その結果、凸部11cに図4aに示すように負の電荷がチャージされ、凸部11cが帯電領域とされる。また、金属マスク21にも負の電荷がチャージされる。もっとも、エレクトレット11の金属マスク21で覆われている部分すなわち凸部11c以外の部分には、負の電荷がチャージされない。従って、金属マスク21を除去すると、図4bに示すように、選択的に凸部11cのみが帯電領域とされたエレクトレット11を得ることができる。この場合、金属マスク21の下面とエレクトレット11の第1の主面11aとが密着する。従って、上記エレクトレット11に選択的に電荷をチャージするに際し、電荷が金属マスク21の下面に回り込み難い。よって、凸部11cと、第1の主面11aにおける凸部11c以外の部分である第1の主面部分11dとの表面電位差を大きくすることができる。それによっても、発電装置1の発電量を高めることができる。なお、上記凸部11cが形成されているエレクトレット11では、第1の主面11a側において、さらに保護層を形成してもよい。このような保護層を形成する材料としては、SiN、AlNまたはAl2O3などの無機材料を挙げることができる。また、本実施形態では、可動基板9は、金属基板10と、金属基板10の上面に積層されたエレクトレット11とを有する。もっとも、金属基板10に代えて、絶縁性基板上に金属膜が形成された構造を用いてもよい。すなわち、該金属膜上に上記エレクトレット11を積層してもよい。このように可動基板を構成する材料は、絶縁性材料に限定されるものではない。次に、本実施形態の発電装置1による発電メカニズムを図5a~cを参照して説明する。図5a~cに示すように、第1,第2のくし歯電極5,6には負荷抵抗Rが接続されている。図5aに示すように、第1のくし歯電極5の電極指が凸部11cの上方に位置している場合、第1のくし歯電極5の電極指がエレクトレット11の負の電荷がチャージされている帯電領域である凸部11cに向かい合うことになり、静電誘導により第1のくし歯電極5に正の電荷が誘起される。次に、発電装置1に外力が加わることで、可動基板9が固定基板3に対して図面上左側に移動したとする。そして、図5bに示すように、第2のくし歯電極6の電極指が凸部11cの上方に位置したとする。この場合、第2のくし歯電極6の電極指がエレクトレット11の帯電領域である凸部11cに向かい合うことになり、静電誘導により第2のくし歯電極6に正の電荷が誘起されることになる。可動基板9が固定基板3に対して図面上左側にさらに移動し、第1のくし歯電極5の電極指が凸部11cの上方に位置すると、図5cに示すように、第1のくし歯電極5の電極指が凸部11cに再び向かい合うことになり、静電誘導により第1のくし歯電極5に正の電荷が誘起されることになる。すなわち、図5a~cに示すように可動基板9が移動し、凸部11cと相対する第1のくし歯電極5並びに第2のくし歯電極6に次々に正の電荷が誘起されることにより、第1,第2のくし歯電極5,6に接続されている負荷抵抗Rには交流の電流が流れる。このようにして、本実施形態の発電装置1により電力を取り出すことができる。なお、第1,第2のくし歯電極5,6には、整流回路を接続してもよい。さらに、整流回路に蓄電回路を接続し、発生した電力を蓄えることも可能である。図5a~cから明らかなように、本実施形態では、凸部11cが帯電領域とされている。従って、帯電領域である凸部11cと固定基板3の第1,第2の電極5,6との間の距離を短くすることができる。従って、それによっても、発電量を高めることができる。もっとも、前述したように、固定基板に設けられた電極は、固定基板の上面側に形成されていてもよい。また、エレクトレット11においては、帯電領域のみが厚くされている。すなわち、凸部11cが帯電領域とされているため、帯電領域の厚みが、非帯電領域の厚みに比べて厚くされている。一般に、エレクトレットでは、帯電領域が厚い程、表面電位は大きくなる。従って、本実施形態では、前述したように、帯電領域と非帯電領域との表面電位差を大きくすることができる。それによっても、発電量を大きくすることができる。加えて、図6に模式的断面図で示すように、凸部11cは、その横断面が矩形の形状を有する。すなわち、前述したストリップ状の凸部11cの幅方向に沿う断面形状は矩形形状とされている。従って、図6の下方に拡大して示すように、凸部11cの幅方向端部においては、側面11c1が、第1の主面部分11dに対して直交している。よって、凸部11c内の負の電荷が、凸部11cから破線で示す矢印Bで示すように拡散することが発生し難い。それによっても、帯電領域と非帯電領域との表面電位差を大きくすることができる。また、帯電領域である凸部11cと、第1,第2のくし歯電極5,6との間の距離が、非帯電領域である第1の主面部分11dと、第1,第2のくし歯電極5,6との間の距離よりも短くなる。従って、それによっても、発電量を増大させることができる。さらに、図7に模式的断面図で示すように、上記エレクトレット11を帯電させるに際し、凸部11cに負の電荷がチャージされる。この場合においても、上記凸部11cから凸部11c外への負の電荷の拡散を抑制することができる。すなわち、図7の下方に拡大して示すように、凸部11c内の負の電荷が、凸部11cの側面11c1から破線で示す矢印Bで示すように拡散することが、電荷のチャージ段階においても発生し難い。また、電荷が金属マスク21の下面側に回り込むことも確実に抑制される。従って、それによっても、帯電領域と非帯電領域との表面電位差を大きくすることができる。上記のように、本実施形態の発電装置1では、エレクトレット11の第1の主面11aに設けられた凸部11cが帯電領域とされているため、帯電領域と非帯電領域との間の表面電位差を飛躍的に高めることができる。加えて、帯電領域と第1,第2の電極5,6との間の距離を短くすることができる。従って、発電装置1の発電量を飛躍的に大きくすることができる。なお、上記のような凸部11cを有するエレクトレット11の形成は、適宜の方法により行い得る。図9a~cは、上記エレクトレット11及び金属基板10を含む可動基板9の製造工程の一例を示す。図9aに示すように、金属基板10上に、上面が平坦なエレクトレットシート11Aを積層した構造を用意する。次に、エレクトレットシート11Aの上面に、金型31を積層する。金型31の下面には複数の凹部31aが形成されている。この凹部31aは、凸部11cを反転させた形状を有する。金型31の上面にプレート32を積層する。そして、エレクトレットシート11Aが軟化する温度以上にエレクトレットシート11Aを加熱し、その状態で、矢印で示す方向に加圧する。エレクトレットシート11Aとして、PTFEなどの合成樹脂からなるものを用いる場合には、該合成樹脂のガラス転移温度以上の温度に加熱すればよい。その結果、エレクトレットシート11Aが変形する。すなわち、図9bに示すように、金型31の凹部31aの形状が転写され、凸部11cを有するエレクトレット11を得ることができる。しかる後、金型31を取り外す。それによって、図9cに示すように、金属基板10上に、凸部11cを有するエレクトレット11が積層されている構造を得ることができる。図10は、凸部11cの形成方法の他の例を説明するための模式的正面断面図である。この方法では、図10aに示すように、金属基板10上に、上面が平坦なエレクトレットシート11Aを積層した構造を用意する。次に、エレクトレットシート11Aの上面に、金属マスク21を積層する。金属マスク21は、前述したエレクトレット11の帯電に用いられているものと同一のものである。次に、金属マスク21の上面に、プレート32を積層する。そして、エレクトレットシート11Aが軟化する温度以上にエレクトレットシート11Aを加熱し、その状態で、矢印で示す方向に加圧する。その結果、エレクトレットシート11Aが変形する。すなわち、図10bに示すように、金属マスク21の開口部21aに臨む部分が凸部11cとされているエレクトレット11を得ることができる。このように、前述したエレクトレット11の帯電に用いる金属マスク21を用い、プレス成形法により凸部11cを形成してもよい。この場合には、図10bに示す状態から、ただちに前述した帯電方法に従って金属マスク21を用いてエレクトレット11の凸部11cを選択的に帯電させることができる。なお、図9及び図10に示した加工方法では、プレス成形により、凸部11cを形成したが、他の方法により凸部11cを形成してもよい。例えば、エレクトレットシート11Aを用意した後、選択的にエッチングすることにより、複数の凸部11cを形成してもよい。あるいは、エレクトレットシート11A上に、エレクトレットシート11Aと同じ材料からなるストリップ状部分を貼り合わせることにより、凸部11cを形成してもよい。上記のように、本発明の発電装置1では、凸部11cと、凸部11c外の領域との表面電位差を高め、発電量を効果的に高めることができる。従って、本発明の特徴は、上記のようなエレクトレット11を用いたことにあり、可動基板、固定基板の他の構造及び筐体2の構造等については種々変形することができ、図示の実施形態に限定されるものではないことを指摘しておく。"