サーチガスを検知する質量分析管と、ハウジング内に回転軸に装着された回転翼と固定翼とを交互に複数段有し、回転軸を回転駆動する駆動源を設けたターボ分子ポンプとを備え、当該ターボ分子ポンプの吸気ポートと試験体とを接続管を介して接続し、当該試験体内からサーチガスを質量分析管に導入して漏洩検知を行うリークディテクタにおいて、前記ハウジングのうち、最も高真空側に位置する回転翼に対向する壁面に、試験体に連通する吸気ポートと質量分析管が接続される接続ポートとを相互に離隔させて開設したことを特徴とするリークディテクタ。吸気ポートと接続ポートとの間のコンダクタンスが吸気ポートの実効排気速度の1/10以下となるように構成したことを特徴とする請求項1記載のリークディテクタ。本発明は、以上の点に鑑み、検出感度が高く、ヘリウムガスに対する反応速度も速いといった機能を損なうことなく、試験体の真空引き開始後に速やかにリークテストを開始し得る使い勝手の良いリークディテクタを提供することをその課題とするものである。上記課題を解決するために、本発明は、サーチガスを検知する質量分析管と、ハウジング内に回転軸に装着された回転翼と固定翼とを交互に複数段有し、回転軸を回転駆動する駆動源を設けたターボ分子ポンプとを備え、当該ターボ分子ポンプの吸気ポートと試験体とを接続管を介して接続し、当該試験体内からサーチガスを質量分析管に導入して漏洩検知を行うリークディテクタにおいて、前記ハウジングのうち、最も高真空側に位置する回転翼の対向する壁面に、試験体に連通する吸気ポートと質量分析管が接続される接続ポートとを相互に離隔させて開設したことを特徴とする。本発明によれば、リークテストの開始に先立って、例えば試験体のテストポートと、リークディテクタの吸気ポートまたは、吸気ポートから延びる主管路の端部とを接続管を介して接続する。次に、ターボ分子ポンプを稼働させ通常、ターボ分子ポンプの背圧側にフォアポンプが設けられ、このフォアポンプを介して試験体が粗真空引きされる。なお、試験体に真空ポンプが設けられている場合には当該真空ポンプを稼働させてもよい。、試験体を真空引きしていく。このとき、質量分析管もまた真空引きされる。ここで、本発明では、ターボ分子ポンプのハウジングのうち、最も高真空側の回転翼例えば、回転翼を構成する各羽根が回転軸の径方向外側に向かって設けられたものでは、駆動源から回転翼に向かう方向を上として、最上段に位置する回転翼の対向する壁面に吸気ポートと接続ポートとを離隔配置したため、当該壁面内側と最も高真空側の回転翼との間に存する空間のコンダクタンスにより、吸気ポートと接続ポートとの間に圧力差が生じるつまり、接続ポートが、吸気ポートより低い圧力となる。このため、質量分析管内の圧力が測定動作可能な圧力に到達すれば、吸気ポートの圧力、ひいては試験体内の圧力に関係なく、リークテストを開始することができる。例えば接続ポートに設けた真空計が所定値に達すると、リークテストを開始する。この場合、試験体外側からサーチガスたるヘリウムガスを局所的に吹き付けていき、リークが存すると、このヘリウムガスが試験体内に吸い込まれて接続管を経てターボ分子ポンプの吸気ポートへと導かれる。ここで、試験体内からターボ分子ポンプの吸気ポートへと導入された気体のうち、窒素や酸素といった大気中に多く含まれる成分は、上記壁面内側と最も高真空側の回転翼との間に存する上記空間での拡散性が低く、最も高真空側の回転翼により排気されてしまう。一方で、サーチガスとして一般に用いられるヘリウムガス等は、上記窒素や酸素と比較して軽く、上記空間に導入されたときの平均速度が速くなる。このため、サーチガスの当該空間での拡散性が高く、サーチガスが吸気ポートを経て質量分析管にも多く到達するようになる。その結果、検出感度が高く、ヘリウムガスに対する反応速度も速いといった機能を損なうことなく、確実にリーク検知を行うことができる。本発明においては、吸気ポートと接続ポートとの間のコンダクタンスが、吸気ポートの実効排気速度の1/10以下とすればよい。これによれば、吸気ポートと接続ポートとの間に少なくとも1桁以上の圧力差が生じさせることができ、試験体の真空引き開始後に速やかにリークテストを開始し得る。この場合、上記空間のコンダクタンスは、ターボ分子ポンプ自体の排気速度やガス種を考慮して、例えば当該空間の容積例えば、筐体内面と最上段の回転翼との間の距離、接続ポート及び吸気ポートの開口径や接続ポートと吸気ポートとの各孔軸間の距離を適宜設定して調節することができる。以下、図面を参照して、真空処理装置の真空チャンバを含む気密容器、配管やバルブ等の試験体TPから微小なリークの有無を検知する本発明の実施形態のリークディテクタを説明する。図1及び図2を参照して、リークディテクタLDは筐体1を備え、その内部には、質量分析管2と、ターボ分子ポンプ3と、その背圧側のフォアポンプ4とを備える。ターボ分子ポンプ3としては、ハウジング31内に、回転軸32に装着された回転翼33と固定翼34とを交互に複数段有し、回転軸32を回転駆動する駆動源35を設けたものが利用できる。以下においては、駆動源35から回転翼33に向かう方向を上図1中、上下方向として説明する。この場合、上記構成のターボ分子ポンプ3では、稼働時、最上段に位置する回転翼33a側が最も高真空側となる。なお、ターボ分子ポンプ3については、公知のものが利用できるが、後述のように、最上段に位置する回転翼33aと、これに対向するハウジング31の壁面31aとの間隔が所定値に設定される点で異なる。また、フォアポンプ4もまた特に制限はなく、ロータリポンプ等を用いることができる。ハウジング31のうち、最上段に位置する回転翼33aの対向する壁面最も高真空側に位置する回転翼33aに対向するハウジングの上面31aには回転軸32の軸線から径方向一側にずらして、所定の開口径で吸気ポート36が設けられている図2参照。吸気ポート36には、筐体1の上面に設けたフランジ付きのポート11に通じる主管路5が接続されている。主管路5には電磁開閉弁6aが介設され、また、電磁開閉弁6aとポート11との間で主管路5には副管路7が接続されている。副管路7には、他の電磁開閉弁6bが介設され、フォアポンプ4に接続されている。なお、図1中、6cは、ターボ分子ポンプ3とフォアポンプ4との間の経路を開閉する他の電磁開閉弁6cである。また、ハウジング31の壁面31aには、回転軸32の軸線に対して吸気ポート36と対称に接続ポート37が設けられている。そして、この接続ポート37に、質量分析管2が装着されている。ここで、質量分析管としては、例えば磁場偏向型のものが用いることができる。この場合、特に図示して説明しないが、質量分析管2は、フィラメントとグリッドを有して内部のガス成分をイオン化するイオンソースと、ヘリウムイオンを捕集するイオンコレクタと、イオンソースにて生成された正イオンのうちヘリウムイオンのみをイオンコレクタへと導くマグネットとを備える。そして、イオンコレクタに付設された図外の電流計にて、このイオンコレクタを流れるイオン電流が検出される。また、本実施形態の質量分析管2は、イオンソースの周囲に他のイオンコレクタが設けられ、当該質量分析管2内の全圧をも測定する電離真空計としての役割を果たすようになっている。なお、質量分析管2は、上記に限定されるものではなく、他の形態のものを用いることができ、また、真空計は別個設けるようにしてもよい。上記各部品の作動等の制御は、コンピュータやシーケンサ等を備えた図外の制御手段によって統括制御される。この場合、制御手段には、イオン電流からリーク値を算出するための算出表やリークテスト時のリークディテクタLDの制御プログラム作動シーケンス等が予め記憶されたROM等の記憶手段が付設されている。以下に、サーチガスとしてヘリウムを用いた、本実施形態のリークディテクタLDを用いた試験体TPに対するリークテストを説明する。先ず、開閉弁6cのみを開弁し、他の開閉弁6a、6bを閉弁した状態で、ターボ分子ポンプ3とフォアポンプ4を稼働し、リークディテクタLDをスタンバイ状態とする。この状態で、リークディテクタLDのポート11と試験体TPのテストポートTP1とを接続管8を介して接続する。次に、開閉弁6cを閉弁すると共に、開閉弁6bを開弁し、接続管8を介して試験体TPを粗真空引きする。そして、副管路7内の圧力を図外のピラニ真空計で測定し、所定圧力まで真空引きされると、開閉弁6c、6aを順次開弁し、主としてターボ分子ポンプ3にて試験体TPを真空引きする。ここで、本実施形態では、ターボ分子ポンプ3のハウジング31の壁面31aに吸気ポート36と、質量分析管2に通じる接続ポート37とを所定間隔を置いて離隔配置したため、壁面31aの内面と最上段の回転翼33aとの間に存する空間Sのコンダクタンスにより、吸気ポート36と接続ポート37との間には圧力差が生じるつまり、接続ポート37が、吸気ポート36より低い圧力となる。この場合、上記空間Sを通じた吸気ポート36と接続ポート37との間のコンダクタンスCが吸気ポート36における実効排気速度S’の1/10以下となるようにすれば、吸気ポート36と接続ポート37との間に少なくとも1桁以上の圧力差が生じさせることができる。上記空間Sのコンダクタンスは、ターボ分子ポンプ3自体の排気速度やガス種を考慮して、例えば当該空間の容積ハウジング31内面と最上段の回転翼33aとの間の間隔Dを、好ましくは5mm以下に設定、吸気ポート36及び接続ポート37の夫々の開口径例えば排気速度が70L/sのものでは、例えば、7mm以上に設定、または、吸気ポート36と接続ポート37との各孔軸間の距離L上記と同じ排気速度の場合、好ましくは50mm以上等を適宜設定することで所望に調節することができる。具体的には、排気速度Sが70L/sのターボ分子ポンプにて、吸気ポート36及び接続ポート37の開口径をφ7mm、孔軸間距離Lを50mm、間隔Dを2mmに設定した場合、上記空間Sを通じた吸気ポート36と接続ポート37との間におけるコンダクタンスCは、薄い平行2面の分子流コンダクタンスCtのモデルとして考えた場合、0.2L/s程度と見積もられる。そして、吸気ポート36における実効排気速度をS’を、コンダクタンスCの合成式1/S’=1/S1/Cから算出すると、10L/s以上と見積もられる。よって、コンダクタンスCは、吸気ポートの実効排気速度S’の2以下となり、結果として、接続ポート37の圧力は、吸気ポート36の圧力の2以下、即ち、1/50以下の圧力に維持できる。言い換えると、質量分析管2の動作圧力の50倍以上の圧力で気体を導入することができる。また、上記から、試験体TPのリークテスト開始時期を早めるには、コンダクタンスを可能な限り小さくすればよいことが判る。次に、質量分析管2にて測定した圧力が所定値に達するとこの場合、吸気ポート36の圧力は、接続ポート37の圧力より1桁以上高い、試験体TPの外側からスプレーガン等によってヘリウムガスを吹き付けていく。このとき、試験体TPにリークが存すると、その漏洩箇所からヘリウムガスが試験体TP内に吸い込まれ、接続管8及び主管路5を経て吸気ポート36からターボ分子ポンプ3へと引き込まれる。ここで、試験体TP内からターボ分子ポンプ3の吸気ポート36へと導入された気体のうち、窒素や酸素といった大気中に多く含まれる成分は、空間Sでの拡散性が低く、最上段の回転翼33aにより排気される。一方で、サーチガスたるヘリウムガスは、上記窒素や酸素と比較して軽く、上記空間Sに導入されたときの平均速度が速くなり、拡散性が高く、接続ポート37を経て質量分析管2にも多く到達するようになる。その結果、検出感度が高く、ヘリウムガスに対する反応速度も速いといった機能を損なうことなく、確実にリーク検知を行うことができる。以上説明したように、本実施形態によれば、質量分析管2内の圧力が測定動作可能な圧力に到達すれば、吸気ポート36の圧力、ひいては試験体TP内の圧力に関係なく、リークテストを開始することができ、結果として、上記従来例のものと比較して、試験体の真空引き開始後に速やかにリークテストを開始し得る。しかも、検出感度が高く、ヘリウムガスに対する反応速度も速いといった機能は損なわれず、確実にリーク検知を行うことができる。次に、吸気ポート36と接続ポート37との間に圧力差が生じることを確認する実験を行った。ターボ分子ポンプとして窒素ガスの排気速度が70Ls、吸気ポートと接続ポートの間の距離を35mm、ハウジングの壁面と回転翼との間隔を1mmとしたものを備えた、図1に示すリークディテクタを用い発明品、吸気ポート及び質量分析管の圧力を夫々測定した。比較実験として、ターボ分子ポンプとして窒素ガスの排気速度が70Lsのものを備えた、図4に示すリークディテクタを用い従来品、吸気ポート及び質量分析管の圧力を夫々測定した。図3は、吸気ポート及び質量分析管の圧力の関係を示すグラフである。なお、図3中、■が従来品であり、○が発明品である。これによれば、従来品では、質量分析管と吸気ポートとが連通していることで両者間には圧力差が殆ど生じないことが確認された。それに対して、発明品では、質量分析管の圧力は、吸気ポートの圧力より約1/100になり、効果的に吸気ポート36と接続ポート37との間には圧力差を生じさせることができることが確認できた。以上、本発明の実施形態のリークディテクタについて説明したが、本発明は、上記形態のものに限定されるものではない。例えば、吸気ポートと接続ポートは対称に設ける必要がなく、所望のコンダクタンスが得られる範囲で任意に変更できる。また、本実施形態では、ターボ分子ポンプとして、回転翼を構成する各羽根が筒状の回転軸の径方向外側に向かって設けられたものを例に説明しているが、回転翼を構成する羽根が筒状の回転軸の母線方向に沿って設けられたようなものにも、本発明は適用できる。この場合もまた、ターボ分子ポンプのハウジングのうち、最も高真空側に位置する壁面に、吸気ポートと接続ポートとを相互に離隔させて開設すればよい。さらに、本実施形態では、筐体内に各部品を一体に内蔵したものを例としたが、リークディテクタの形態はこれに限定されない。