"第1電気部品に接触する導電性の第1接触部材と、第2電気部品に接触する導電性の第2接触部材と、前記第1接触部材および前記第2接触部材の少なくとも一方が内部に移動自在に嵌合する導電性の筒体と、前記筒体内に配置され、前記第1接触部材と前記第2接触部材とを互いに離反する方向へ弾性的に付勢するスプリングとを備えたコンタクトプローブであって、前記筒体には、前記第1接触部材および前記第2接触部材の少なくとも一方に当接する板ばねが形成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。前記第1接触部材および前記筒体が一体に形成され、前記第2接触部材が前記筒体に移動自在に嵌合していることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。前記板ばねは、前記筒体の軸方向に沿って延びるように形成され、この板ばねに、前記第2接触部材に接触する当接部が前記筒体の中心に向けて突出するように形成されていることを特徴とする請求項2に記載のコンタクトプローブ。前記板ばねは、前記筒体の軸方向に沿って延びるように形成され、この板ばねの先端には、外側に向けて折曲され、前記第2接触部材が前記筒体に挿入されたときに当該第2接触部材に摺動するガイド部が形成されていることを特徴とする請求項2または3に記載のコンタクトプローブ。前記第2接触部材が細径部を有し、前記板ばねが前記細径部に係合することにより、前記筒体からの前記第2接触部材の突出量が規制されるように構成されていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のコンタクトプローブ。前記板ばねが複数であり、これらの板ばねが前記第2接触部材に当接した状態で、当該第2接触部材の軸心が前記筒体の軸心に略一致していることを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載のコンタクトプローブ。請求項1乃至6のいずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法であって、導電性を有する平板材に略U字状の切り込みを形成して前記板ばねを形成し、その後、前記平板材を筒状に曲げ加工することにより、前記コンタクトプローブの前記筒体を作製することを特徴とするコンタクトプローブの製造方法。しかしながら、このような従来のものにあっては、第1接触部材、第2接触部材が筒体に対して傾斜して接触する形で電路を形成するため、片端摺動型であると両端摺動型であるとを問わず、第1接触部材、第2接触部材と筒体との接触箇所において、その接触状態が不安定となり、内部短絡が必ずしも確実ではない。その結果、とりわけ高電流のデバイスのバーンイン試験に使用する場合には、コンタクトプローブを確実に内部短絡させたいという要望があった。そこで、この発明は、こうした要望に応えるべく、確実に内部短絡させることが可能なコンタクトプローブおよびその製造方法を提供することを課題としている。かかる課題を達成するために、請求項1に記載の発明は、第1電気部品に接触する導電性の第1接触部材と、第2電気部品に接触する導電性の第2接触部材と、前記第1接触部材および前記第2接触部材の少なくとも一方が内部に移動自在に嵌合する導電性の筒体と、前記筒体内に配置され、前記第1接触部材と前記第2接触部材とを互いに離反する方向へ弾性的に付勢するスプリングとを備えたコンタクトプローブであって、前記筒体には、前記第1接触部材および前記第2接触部材の少なくとも一方に当接する板ばねが形成されているコンタクトプローブとしたことを特徴とする。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の構成に加え、前記第1接触部材および前記筒体が一体に形成され、前記第2接触部材が前記筒体に移動自在に嵌合していることを特徴とする。請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の構成に加え、前記板ばねは、前記筒体の軸方向に沿って延びるように形成され、この板ばねに、前記第2接触部材に接触する当接部が前記筒体の中心に向けて突出するように形成されていることを特徴とする。請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載の構成に加え、前記板ばねは、前記筒体の軸方向に沿って延びるように形成され、この板ばねの先端には、外側に向けて折曲され、前記第2接触部材が前記筒体に挿入されたときに当該第2接触部材に摺動するガイド部が形成されていることを特徴とする。請求項5に記載の発明は、請求項2乃至4のいずれかに記載の構成に加え、前記第2接触部材が細径部を有し、前記板ばねが前記細径部に係合することにより、前記筒体からの前記第2接触部材の突出量が規制されるように構成されていることを特徴とする。請求項6に記載の発明は、請求項2乃至5のいずれかに記載の構成に加え、前記板ばねが複数であり、これらの板ばねが前記第2接触部材に当接した状態で、当該第2接触部材の軸心が前記筒体の軸心に略一致していることを特徴とする。請求項7に記載の発明は、請求項1乃至6のいずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法であって、導電性を有する平板材に略U字状の切り込みを形成して前記板ばねを形成し、その後、前記平板材を筒状に曲げ加工することにより、前記コンタクトプローブの前記筒体を作製するコンタクトプローブの製造方法としたことを特徴とする。請求項1に記載の発明によれば、筒体に形成された板ばねを、その弾性力を利用して第1接触部材および第2接触部材の少なくとも一方に機械的に当接させるようにしているため、第1接触部材および第2接触部材の少なくとも一方と筒体との接触状態を安定させ、コンタクトプローブを確実に内部短絡させることが可能となる。請求項2に記載の発明によれば、筒体に形成された板ばねを、その弾性力を利用して第2接触部材に機械的に当接させるようにしているため、第2接触部材と筒体との接触状態を安定させ、コンタクトプローブを確実に内部短絡させることが可能となる。請求項3に記載の発明によれば、筒体の中心に向けて板ばねに形成された当接部が第2接触部材に接触するため、コンタクトプローブの内部短絡をより確実なものとすることができる。請求項4に記載の発明によれば、コンタクトプローブの組付けに際して、筒体に対する第2接触部材の挿入が容易になるため、コンタクトプローブの生産性を高めることができる。請求項5に記載の発明によれば、第2接触部材が、その細径部に板ばねが係合して突出量が規制されるため、コンタクトプローブの使用時の全長を確保することが可能となる。請求項6に記載の発明によれば、第2接触部材の軸心が筒体の軸心に略一致しているため、筒体に対する第2接触部材の摺動抵抗が小さくなり、第2接触部材が筒体に対して円滑に上下動することができる。請求項7に記載の発明によれば、カーリングによって筒体を容易に作製することができるため、切削その他の作製方法に比べて、板ばねが形成されたコンタクトプローブを、その工程数を増加させることなく安価に製造することが可能となる。以下、この発明の実施の形態について説明する。[発明の実施の形態1]図1乃至図4には、この発明の実施の形態1を示す。まず、構成を説明すると、図1中符号11は、いわゆる片端摺動型のコンタクトプローブで、図3に示すように、複数のコンタクトプローブ11がソケット本体14に組み付けられて電気部品用ソケットであるICソケット15が構成された状態で、第2電気部品である配線基板13上に配設されるようになっており、第1電気部品であるICパッケージ12のバーンイン試験等を行うために、このICパッケージ12の球状端子12aと配線基板13との電気的接続を図るものである。このコンタクトプローブ11は、例えば、ベリリウム銅から形成されており、図1および図3cに示すように、ICパッケージ12の球状端子12aに接触する導電性のバレル16の第1接触部材である第1接触部16bと、配線基板13に接触する導電性の第2接触部材であるプランジャ17と、このプランジャ17が内部に移動自在に嵌合する導電性のバレル16の筒体であるバレル本体16aと、このバレル本体16a内に配置され、バレル16とプランジャ17とを互いに離反する方向図3c上下方向へ弾性的に付勢するスプリング18とを備えている。ここで、バレル16は、図1aに示すように、太径円筒状のバレル本体16aを有しており、バレル本体16aの一端部図3上側の端部には、細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されている。また、バレル本体16aには、プランジャ17に当接する3本の板ばね16cが、図1bに示すように、等角度間隔つまり、120°間隔で配置された形でバレル本体16aの軸方向図3上下方向に沿って延びるように形成されている。各板ばね16cにはそれぞれ、プランジャ17に接触する当接部16dがバレル本体16aの中心に向けて斜めに突出するように形成されていると共に、板ばね16cの先端プランジャ17側の端部に、外側バレル本体16aの中心から離れる向きに向けて斜めに折曲され、プランジャ17がバレル本体16aに挿入されたときにプランジャ17に摺動するガイド部16eが形成されている。また、プランジャ17は、図3aに示すように、ほぼ円柱状の第2接触部17aと、ほぼ円柱状の細径部17bと、ほぼ円錐状の太径部17cとが順に一体に連結されて構成されている。なお、細径部17bの直径は、第2接触部17aの直径より小さくなっており、太径部17cの最大直径円錐底面の直径は、第2接触部17aの直径と同程度になっている。そして、図2dに示すように、バレル16の3本の板ばね16cの当接部16dがプランジャ17の細径部17bに係合することにより、バレル本体16aからのプランジャ17の突出量L1が規制されるように構成されている。また、上述した通り、3本の板ばね16cは等角度間隔で配置されているため、これらの板ばね16cがプランジャ17に当接した状態では、プランジャ17の軸心CT1は、バレル本体16aの軸心CT2に略一致している。以上のような構成を有するコンタクトプローブ11においては、図2dに示すように、バレル16のバレル本体16aに形成された3本の板ばね16cの当接部16dが、板ばね16cの弾性力を利用してプランジャ17に機械的に当接しているため、プランジャ17とバレル16との接触状態を安定させ、コンタクトプローブ11を確実に内部短絡させることが可能となる。そして、このコンタクトプローブ11は、以下に説明する通り、カーリングによってバレル16を作製した後、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。まず、カーリングによってバレル16を作製すべく、図2aに示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材19を用意し、この平板材19に、略U字状の切り込み20を3つ形成して3本の板ばね16cを形成する。このとき、これらの切り込み20を等間隔で配置する。次いで、これら3本の板ばね16cを同じ向き図2a紙面に直角な方向で手前向きに折り曲げて当接部16dを形成すると共に、これらの板ばね16cの先端を逆向き図2a紙面に直角な方向で向こう向きに折り曲げてガイド部16eを形成する図2b参照。これらの折曲加工は3本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を1本ずつ順に行う場合に比べて、3本の板ばね16cの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ11の生産性を高めることができる。その後、平板材19を筒状に曲げ加工カーリングする。このとき、板ばね16cの当接部16dが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体16aに細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されたバレル16が得られる。次に、図2bに示すように、このバレル16のバレル本体16a内にスプリング18を挿入した後、図2b~dに示すように、このバレル本体16aの下端部にプランジャ17を挿入していく。なお、図2e、fに示すように、プランジャ17が必要以上に挿入されたとしても、スプリング18の付勢力によって押し返される。そのため、プランジャ17は、図2dに示すように、バレル16の当接部16dが細径部17bの上端に当たったところで、安定して支持された状態となり、この状態で所定の突出量L1が確保される。このとき、バレル16の各板ばね16cは、上述した通り、バレル本体16aの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね16cの先端にガイド部16eが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体16aに対するプランジャ17の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ11の組付け性を高めることができる。また、プランジャ17は、上述した通り、ほぼ円柱状の第2接触部17aと、この第2接触部17aより小径のほぼ円柱状の細径部17bと、第2接触部17aとほぼ同じ直径のほぼ円錐状の太径部17cとが順に連結されているため、図4に示すように、バレル16の板ばね16cから受ける荷重が変化する。すなわち、バレル16の当接部16dがプランジャ17に当たる部位が、太径部17cの途中から円錐底面近傍に至るまで図2b~c参照は、この荷重が直線的に増加し、そこから細径部17bの上端に至るまで図2c~d参照は、この荷重が直線的に減少し、細径部17bの上端から下端に至るまで図2d~e参照は、この荷重が一定に保たれ、細径部17bの下端から第2接触部17aの上端に至るまで図2e~f参照は、この荷重が再び直線的に増加し、それ以降は、この荷重が一定に保たれる。なお、図4のグラフにおいて、横軸はバレル本体16aに対するプランジャ17の挿入量を表し、縦軸はプランジャ17が板ばね16cから受ける荷重を表す。ここで、コンタクトプローブ11が完成し、コンタクトプローブ11の製造が終了する。このように、このコンタクトプローブ11では、カーリングによってバレル16を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ11を安価に製造することが可能となる。次に、このコンタクトプローブ11の使用方法について、図3を用いて説明する。まず、図3aに示すように、上側プレート21および下側プレート22を備えたソケット本体14に、複数のコンタクトプローブ11を上下方向に組み付けて、ICソケット15を構成する。このICソケット15では、バレル16が上側プレート21の段付き挿通孔21aに上下動自在に嵌合すると共に、プランジャ17が下側プレート22の段付き挿通孔22aに上下動自在に嵌合しており、バレル16の第1接触部16bの上部が上側プレート21の上面21bから上方へ突出すると共に、プランジャ17の第2接触部17aの下部が下側プレート22の下面22bから下方へ突出した状態になっている。次いで、図3bに示すように、このICソケット15を配線基板13上に配設する。すると、各コンタクトプローブ11はそれぞれ、プランジャ17が配線基板13に押し上げられる形でスプリング18の付勢力に抗して上昇し、プランジャ17の第2接触部17aと配線基板13の図示省略の各電極とが所定の接圧で接触した状態となる。このとき、コンタクトプローブ11は、上述した通り、プランジャ17の軸心CT1がバレル本体16aの軸心CT2に略一致している。従って、バレル本体16aに対するプランジャ17の摺動抵抗が小さくなり、プランジャ17がバレル本体16aにして円滑に上下動することができる。この状態で、図3cに示すように、このICソケット15の上側にICパッケージ12を収容し、図示省略の押圧機構により、このICパッケージ12を下方に押圧する。すると、各コンタクトプローブ11はそれぞれ、バレル16がICパッケージ12に押し下げられる形でスプリング18の付勢力に抗して下降し、バレル16の第1接触部16bとICパッケージ12の各球状端子12aとが所定の接圧で接触した状態となる。その結果、ICパッケージ12の球状端子12aと配線基板13の電極とがコンタクトプローブ11を介して互いに導通した状態になる。この状態で、ICパッケージ12に電流を流してバーンイン試験等を行う。このとき、コンタクトプローブ11は、上述した通り、確実に内部短絡しているので、ICパッケージ12に高電流を流す場合であっても、このICパッケージ12のバーンイン試験等を適正に行うことが可能となる。また、コンタクトプローブ11は、上述した通り、バレル16の3本の板ばね16cがプランジャ17の細径部17bに係合することにより、バレル本体16aからのプランジャ17の突出量L1が規制されるように構成されている。その結果、コンタクトプローブ11の全長例えば、3mmを確保することができるため、ICパッケージ12のバーンイン試験等を支障なく行うことが可能となる。[発明の実施の形態2]図5および図6には、この発明の実施の形態2を示す。この実施の形態2は、バレル16の板ばね16cが3本ではなく4本である点を除き、上述した実施の形態1と同じ構成を有している。すなわち、このコンタクトプローブ11においては、図5に示すように、バレル16のバレル本体16aに4本の板ばね16cが、等角度間隔つまり、90°間隔で配置された形でバレル本体16aの軸方向図5紙面に直角な方向に沿って延びるように形成されている。その他の構成については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態2では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。また、このコンタクトプローブ11は、上述した実施の形態1と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル16を作製した後、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。まず、カーリングによってバレル16を作製すべく、図6aに示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材19を用意し、この平板材19に、略U字状の切り込み20を4つ形成して4本の板ばね16cを形成する。このとき、これらの切り込み20を等間隔で配置する。次いで、これら4本の板ばね16cを同じ向き図6a紙面に直角な方向で手前向きに折り曲げて当接部16dを形成すると共に、これらの板ばね16cの先端を逆向き図6a紙面に直角な方向で向こう向きに折り曲げてガイド部16eを形成する図6b参照。これらの折曲加工は4本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を1本ずつ順に行う場合に比べて、4本の板ばね16cの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ11の生産性を高めることができる。その後、平板材19を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね16cの当接部16dが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体16aに細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されたバレル16が得られる。次に、図6bに示すように、このバレル16のバレル本体16a内にスプリング18を挿入した後、図6b~dに示すように、このバレル本体16aの下端部にプランジャ17を挿入していく。なお、図6e、fに示すように、プランジャ17が必要以上に挿入されたとしても、スプリング18の付勢力によって押し返される。そのため、プランジャ17は、図6dに示すように、バレル16の当接部16dが細径部17bの上端に当たったところで、安定して支持された状態となり、この状態で所定の突出量L1が確保される。このとき、バレル16の各板ばね16cは、バレル本体16aの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね16cの先端にガイド部16eが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体16aに対するプランジャ17の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ11の組付け性を高めることができる。ここで、コンタクトプローブ11が完成し、コンタクトプローブ11の製造が終了する。このように、このコンタクトプローブ11では、カーリングによってバレル16を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ11を安価に製造することが可能となる。また、このコンタクトプローブ11の使用方法については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態2では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。[発明の実施の形態3]図7には、この発明の実施の形態3を示す。この実施の形態3は、バレル16の板ばね16cが3本ではなく1本であると共に、プランジャ17の軸心CT1がバレル本体16aの軸心CT2から偏心している点を除き、上述した実施の形態1と同じ構成を有している。すなわち、このコンタクトプローブ11においては、図7aに示すように、バレル16のバレル本体16aに1本の板ばね16cが、バレル本体16aの軸方向図7a紙面に直角な方向に沿って延びるように形成されている。また、プランジャ17は、その軸心CT1がバレル本体16aの軸心CT2から図7a下方に偏心している。その他の構成については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態3では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。これに加えて、この実施の形態3では、板ばね16cが1本であるため、板ばね16cが複数2本以上である場合に比べて、板ばね16cの寸法制御が容易になり、従って、コンタクトプローブ11の設計の自由度を高めることが可能となる。また、このコンタクトプローブ11は、上述した実施の形態1と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル16を作製した後、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。まず、カーリングによってバレル16を作製すべく、図7bに示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材19を用意し、この平板材19に、略U字状の切り込み20を1つ形成して1本の板ばね16cを形成する。次いで、この板ばね16cを図7b紙面に直角な方向で手前向きに折り曲げて当接部16dを形成すると共に、この板ばね16cの先端を逆向き図7b紙面に直角な方向で向こう向きに折り曲げてガイド部16eを形成する。その後、平板材19を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね16cの当接部16dが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体16aに細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されたバレル16が得られる。次に、このバレル16のバレル本体16a内にスプリング18を挿入した後、このバレル本体16aの下端部にプランジャ17を挿入していく。このとき、バレル16の板ばね16cは、バレル本体16aの軸方向に沿って延びるように形成され、板ばね16cの先端にガイド部16eが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体16aに対するプランジャ17の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ11の組付け性を高めることができる。ここで、コンタクトプローブ11が完成し、コンタクトプローブ11の製造が終了する。このように、このコンタクトプローブ11では、カーリングによってバレル16を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ11を安価に製造することが可能となる。また、このコンタクトプローブ11の使用方法については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態3では、プランジャ17の軸心CT1がバレル本体16aの軸心CT2に略一致していることによる作用効果を除いて、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。[発明の実施の形態4]図8には、この発明の実施の形態4を示す。この実施の形態4は、バレル16の板ばね16cが3本ではなく2本である点を除き、上述した実施の形態1と同じ構成を有している。すなわち、このコンタクトプローブ11においては、図8aに示すように、バレル16のバレル本体16aに2本の板ばね16cが、等角度間隔つまり、180°間隔で配置された形でバレル本体16aの軸方向図8a紙面に直角な方向に沿って延びるように形成されている。その他の構成については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態4では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。また、このコンタクトプローブ11は、上述した実施の形態1と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル16を作製した後、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。まず、カーリングによってバレル16を作製すべく、図8bに示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材19を用意し、この平板材19に、略U字状の切り込み20を2つ形成して2本の板ばね16cを形成する。次いで、これら2本の板ばね16cを同じ向き図8b紙面に直角な方向で手前向きに折り曲げて当接部16dを形成すると共に、これらの板ばね16cの先端を逆向き図8b紙面に直角な方向で向こう向きに折り曲げてガイド部16eを形成する。これらの折曲加工は2本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を1本ずつ順に行う場合に比べて、2本の板ばね16cの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ11の生産性を高めることができる。その後、平板材19を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね16cの当接部16dが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体16aに細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されたバレル16が得られる。次に、このバレル16のバレル本体16a内にスプリング18を挿入した後、このバレル本体16aの下端部にプランジャ17を挿入していく。このとき、バレル16の各板ばね16cは、バレル本体16aの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね16cの先端にガイド部16eが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体16aに対するプランジャ17の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ11の組付け性を高めることができる。ここで、コンタクトプローブ11が完成し、コンタクトプローブ11の製造が終了する。このように、このコンタクトプローブ11では、カーリングによってバレル16を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ11を安価に製造することが可能となる。また、このコンタクトプローブ11の使用方法については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態4では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。[発明の実施の形態5]図9および図10には、この発明の実施の形態5を示す。この実施の形態5は、カーリングではなく切削によってバレル16を作製したものである点を除き、上述した実施の形態2と基本的に同じ構成を有している。すなわち、このコンタクトプローブ11においては、図9,図10bに示すように、バレル16の第1接触部16bがバレル本体16aと同じ外径に形成されていると共に、バレル本体16aの上部に、バレル16を上側プレート21に係止するためのリング状の突起16fが周設されており、さらに、板ばね16cの当接部16dおよびガイド部16eが折り曲げられることなく下向きにまっすぐ形成されている。その他の構成については、上述した実施の形態2と同様である。従って、この実施の形態5では、上述した実施の形態2と同じ作用効果を奏する。また、このコンタクトプローブ11は、切削によってバレル16を作製した後、図10a~dに示すように、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。このように、このコンタクトプローブ11では、バレル16が切削によって作製されたものであるため、カーリングに比べて、バレル16を寸法通り高精度に作製することができる。また、このコンタクトプローブ11の使用方法については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態5では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。[発明のその他の実施の形態]なお、上記実施の形態1、2、3、4では、バレル16の板ばね16cがそれぞれ3本、4本、1本、2本である場合について説明したが、この板ばね16cの本数は、1本以上であれば特に限定されるわけではない。板ばね16cが複数2本以上である場合、通常は、上述した通り、これらの板ばね16cを等角度間隔で配設し、プランジャ17をその軸心CT1がバレル16のバレル本体16aの軸心CT2に略一致した状態で支持するのが、バレル本体16aに対するプランジャ17の上下動を円滑にする点で望ましい。但し、コンタクトプローブ11の用途その他の状況によっては、複数の板ばね16cを不等角度間隔で配設したり、それぞれの板ばね16cの押圧力を適宜調整したりすることにより、プランジャ17をその軸心CT1がバレル16のバレル本体16aの軸心CT2から偏心した状態で支持することも可能である。また、上記実施の形態1~5では、ほぼ円柱状の第2接触部17aと、この第2接触部17aより小径のほぼ円柱状の細径部17bと、第2接触部17aとほぼ同じ直径のほぼ円錐状の太径部17cとを有するプランジャ17、つまり、軸方向に沿って直径が不均一なプランジャ17を用いる場合について説明したが、軸方向の全長にわたって直径が均一なストレート形状のプランジャ17、つまり、円柱状のプランジャ17を代用することもできる。また、上記実施の形態1~5では、いわゆる片端摺動型のコンタクトプローブ11について説明したが、いわゆる両端摺動型のコンタクトプローブ11にもこの発明を同様に適用することができる。また、上記実施の形態1~5では、ベリリウム銅からなるコンタクトプローブ11について説明したが、ベリリウム銅以外の材質例えば、真ちゅう、リン青銅などからなるコンタクトプローブ11にもこの発明を同様に適用することができる。さらに、上記実施の形態1~5では、コンタクトプローブ11を電気部品用ソケットとしてのICソケット15に適用したが、これに限らず、他の電気部品用ソケットにコンタクトプローブ11を適用することも勿論できる。この電気部品用ソケットとしては、いわゆるオープントップタイプあるいはクラムシェルタイプのICソケット、あるいは電気部品を押圧するプッシャーが自動機側に設けられたもの等であっても構わない。"