3本以上の把持爪と、各把持爪を互いに独立して作動させる駆動源と、前記駆動源を支持する支持体と、を備えたロボットハンド装置であって、前記駆動源は、把持爪毎に配設されたサーボモータであり、前記支持体は、前記サーボモータの出力軸の回転運動を前記把持爪の直線運動に変換するチェビシェフリンク機構と連結され、前記チェビシェフリンク機構は、前記把持爪毎に配設されていることを特徴とするロボットハンド装置。前記支持体は、固定軸を介して回動可能な平行リンク機構を備え、前記チェビシェフリンク機構の出力端は、前記平行リンク機構の入力端と連結され、前記把持爪は前記平行リンク機構の出力端に設けられていることを特徴とする請求項1記載のロボットハンド装置。前記平行リンク機構および前記チェビシェフリンク機構は、前記固定軸の軸心方向に互いに重なるように配置されることを特徴とする請求項2記載のロボットハンド装置。前記平行リンク機構は、前記把持爪の移動距離を前記チェビシェフリンク機構の出力端の移動距離よりも大きく設定する複数のリンク部材を有することを特徴とする請求項2又は3記載のロボットハンド装置。しかしながら、特許文献1に開示されたロボットハンドは、ラックを案内するリニアガイドを基盤に設けた構成であるため、各指の移動距離を規定するリニアガイドに応じたサイズの基盤が必要となる。つまり、基盤のサイズは、各指の移動距離に応じて決定されるという問題がある。このため、例えば、指の移動距離と比較して小さな小型部品を各指により把持することが可能であっても、把持した小型部品の移動先が狭隘な空間に存在すると、基盤が障害となって多種部品対応ハンドにより部品を移動することができない。また、基盤のサイズを小さくするために各指の移動距離を小さく設定すると、大型の部品が把持不可能となり汎用性が低下する。本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、把持爪の移動距離を支持体のサイズの制約を受けることなく設定することが可能なロボットハンド装置の提供にある。上記の課題を解決するために、本発明は、3本以上の把持爪と、各把持爪を互いに独立して作動させる駆動源と、前記駆動源を支持する支持体と、を備えたロボットハンド装置であって、前記駆動源は、把持爪毎に配設されたサーボモータであり、前記支持体は、前記サーボモータの出力軸の回転運動を前記把持爪の直線運動に変換するチェビシェフリンク機構と連結され、前記チェビシェフリンク機構は、前記把持爪毎に配設されていることを特徴とする。本発明によれば、把持爪はチェビシェフリンク機構を介して支持体に支持され、把持爪の移動距離はチェビシェフリンク機構により規定される。このため、支持体の外側に把持爪を位置させることが可能であり、把持爪の移動距離を支持体のサイズの制約を受けることなく設定することができる。また、本発明は、上記のロボットハンド装置において、前記支持体は、固定軸を介して回動可能な平行リンク機構を備え、前記チェビシェフリンク機構の出力端は、前記平行リンク機構の入力端と連結され、前記把持爪は前記平行リンク機構の出力端に設けられている構成としてもよい。この場合、平行リンク機構を介してチェビシェフリンク機構と連結される把持爪の移動距離を、チェビシェフリンク機構のみで設定される把持爪の移動距離よりも大きく設定することができる。また、本発明は、上記のロボットハンド装置において、前記平行リンク機構および前記チェビシェフリンク機構は、前記固定軸の軸心方向に互いに重なるように配置される構成としてもよい。この場合、チェビシェフリンク機構と平行リンク機構は、固定軸の軸心方向に重なるように配置されることから、ロボットハンド装置の小型化を図ることができる。また、本発明は、上記のロボットハンド装置において、前記平行リンク機構は、前記把持爪の移動距離を前記チェビシェフリンク機構の出力端の移動距離よりも大きく設定する複数のリンク部材を有する構成としてもよい。この場合、平行リンク機構が把持爪の移動距離をさらに大きく設定することができ、相対的にチェビシェフリンク機構の寸法を抑制することができる。本発明によれば、把持爪の移動距離が把持爪を支持する支持体のサイズと制約を受けることなく設定することが可能なロボットハンド装置を提供することができる。第1の実施形態以下、第1の実施形態に係るロボットハンド装置について図面を参照して説明する。図1は、第1の実施形態のロボットハンド装置を備えた多関節ロボット10の概略側面図である。本実施形態の多関節ロボット10は、コンベア11に搬送されたワークWを所定の位置および姿勢にて把持し、組み付け先等へのワークWの移動を行う。多関節ロボット10は、床面または設備上面に設けられた基台12を備えている。基台12は、第1アーム13の基端部と連結されており、第1アーム13は回動軸心C1を中心に基台に対して水平回動する。第1アーム13の先端部は、第2アーム14の基端部と連結されており、第2アーム14は回動軸心C2を中心に第1アーム13に対して回動自在である。第2アーム14の先端部には、第3アーム15の基端部が連結されており、第3アーム15は回動軸心C3を中心に第2アーム14に対して回動自在である。第3アーム15の先端部に、第4アーム16の基端部が連結されており、第4アーム16は回動軸心C4を中心に第3アーム15に対して回動自在である。第4アーム16の先端部にロボットハンド装置20が連結されており、ロボットハンド装置20は回動軸心C5を中心に第4アーム16に対して回動自在である。多関節ロボット10の第1アーム13~第4アーム16にはサーボモータ図示せずが夫々備えられており、第1アーム13~第4アーム16は対応するサーボモータにより駆動される。第1アーム13~第4アーム16が備えるサーボモータは、制御手段としてのロボットコントローラ図示せずにより制御される。また、ロボットコントローラは、次に説明するロボットハンド装置20が備えるサーボモータ24A~24Bの駆動を制御する。図2はロボットハンド装置20の斜視図であり、ロボットハンド装置20は回動軸17を介して第4アーム16と連結されている。回動軸17の軸心は回動軸心C5に相当する。ロボットハンド装置20は、3つのアーム部22A、22B、22Cを備えた支持体21を備えており、支持体21の一側面第4アーム16を臨む面の中心にはフランジ付きのボス23が固定されている。ロボットハンド装置20は、ボス23に回動軸17が固定されることにより、第4アーム16の先端部と連結されている。支持体21のアーム部22A、22B、22Cは、回動軸心C5の径方向外側へ向けて互いに120°の角度をなすように形成されている。アーム部22Aの先端の一側面にはサーボモータ24Aが設けられている。同様にアーム部22Bにはサーボモータ24Bが設けられ、アーム部22Cにはサーボモータ24Cが設けられている。サーボモータ24A~24Cは同じ構成であり、エンコーダ図示せずを備えておりロボットコントローラによりフィードバック制御により駆動される。本実施形態のサーボモータ24Aでは、出力軸25Aが正逆方向の半回転を行うように制御される。サーボモータ24Aが備える出力軸25Aは、アーム部22Aを貫通してアーム部22Aの下面側から突出している。サーボモータ24B、24Cについてもサーボモータ24Aと同様に対応する出力軸25B、25Cを備えている図4を参照。アーム部22Aの他側面第4アーム16側を臨む面と反対となる側の面にはチェビシェフリンク機構26Aと、チェビシェフリンク機構26Aに連結され、把持爪28Aを備える平行リンク機構27Aが設けられている。同様に、アーム部22Bには、チェビシェフリンク機構26Bおよび平行リンク機構27Bが設けられ、アーム部22Cには、チェビシェフリンク機構26Cおよび平行リンク機構27Cが設けられている図4を参照。チェビシェフリンク機構26A~26Cは、回転運動を近似直線運動に変換するチェビシェフリンクを用いた機構である。因みに、チェビシェフリンクはホーキンスリンクと称される場合もある。本実施形態のチェビシェフリンク機構26A~26Cを図2~図6に基づき説明する。図3は、アーム部22Aにおけるチェビシェフリンク機構26Aと平行リンク機構27Aを模式的に示す要部底面図である。図4は、ロボットハンド装置20の3個の把持爪28A~28Cによる把持可能な最大範囲を示しており、また、図5ではロボットハンド装置20の把持可能な最小範囲を示している。図4では把持対象であるワークWを大型の円板とし、図5ではワークWを小径の円柱体として示しており、各把持爪28A~28Cは回動軸17の回動軸心C5から等距離となる位置に存在する。一方、図6は、ワークWが十字架形であり、各把持爪28A~28Cの回動軸17の回動軸心C5からの距離はそれぞれ異なる。ここでは、アーム部22Aに設けたチェビシェフリンク機構26Aについて説明し、チェビシェフリンク機構26B、26Cについては、チェビシェフリンク機構26Aと同一構成であるため、チェビシェフリンク機構26Aの説明を援用する。チェビシェフリンク機構26Aは、サーボモータ24Aの出力軸25Aと連結される回転アーム30Aと、回転アーム30Aと連結される変換リンク31Aと、支持体21に支点を持ち、変換リンク31Aと連結される揺動アーム32Aを有する。回転アーム30Aの先端と変換リンク31Aの基端部は連結ピン33Aを介して互いに回動自在に連結されている。揺動アーム32Aの基端部は固定ピン34Aを介して支持体21に対して回動自在に連結されており、揺動アーム32Aの先端部と変換リンク31Aの中間部は連結ピン35Aを介して互いに回動自在に連結されている。チェビシェフリンク機構26Aの出力端としての変換リンク31Aの先端には、平行リンク機構27Aと連結する連結ピン36Aが備えられている。これらの連結ピン33A、35A、36Aと固定ピン34Aは、チェビシェフリンク機構26Aのリンク運動の支点軸に相当し、連結ピン33A、35A、36Aはリンク運動に伴い支持体21に対して変位可能な支点軸であり、固定ピン34Aは支持体21に対して変位しない支点軸である。連結ピン33A、35A、36Aと固定ピン34Aの軸方向は、第4アーム16の回動軸17および出力軸25Aの軸方向と同方向である。尚、サーボモータ24Aの出力軸25Aの回転軸心と揺動アーム32Aの基端部における固定ピン34Aの軸心とを結ぶように仮想線Lを設定する。サーボモータ24Aの出力軸25Aの軸心と揺動アーム32Aの基端部における固定ピン34Aの軸心との距離は、サーボモータ24Aの出力軸25Aの軸心と回転アーム30Aの連結ピン33Aの軸心との距離の2倍に設定されている。揺動アーム32Aの基端部における固定ピン34Aの軸心と変換リンク31Aの中間部における連結ピン35Aの軸心との距離は、出力軸25Aの軸心と連結ピン33Aの軸心との距離の2.5倍に設定されている。また、変換リンク31Aの基端部における連結ピン33Aの軸心と変換リンク31Aの中間部における連結ピン35Aの軸心との距離は、出力軸25Aの軸心と連結ピン33Aの軸心との距離の2.5倍に設定されている。さらに、変換リンク31Aの中間部における連結ピン35Aの軸心と変換リンク31Aの先端部における連結ピン36Aの軸心との距離は、出力軸25Aの軸心と連結ピン33Aの軸心との距離の2.5倍に設定されている。従って、揺動アーム32Aの基端部における固定ピン34Aの軸心と変換リンク31Aの中間部における連結ピン35Aの軸心との距離と、変換リンク31Aの基端部における連結ピン33Aの軸心と変換リンク31Aの中間部における連結ピン35Aの軸心との距離と、変換リンク31Aの中間部における連結ピン35Aの軸心と変換リンク31Aの先端部における連結ピン36Aの軸心との距離とは同じ距離である。このように、本実施形態のチェビシェフリンク機構26Aにおいてチェビシェフリンクが成立しており、チェビシェフリンク機構26Aは回転アーム30A、変換リンク31A、揺動アーム32A、連結ピン33A、35Aおよび固定ピン34Aとから構成されている。そして、サーボモータ24Aの駆動により回転アーム30Aが半回転すると、変換リンク31Aの先端部における連結ピン36Aの軸心は近似直線運動に基づく軌跡を描く。次に平行リンク機構27Aについて説明する。ここでは、チェビシェフリンク機構26Aに連結されている平行リンク機構27Aについて説明し、平行リンク機構27B、27Cについては平行リンク機構27Aと同一構成であるため、平行リンク機構27Aの説明を援用する。本実施形態の平行リンク機構27Aは複数のリンク部材を備えており、具体的にはチェビシェフリンク機構26Aと連結する連結リンク40Aと、連結リンク40Aと連結され、把持爪28Aを設けた把持爪リンク41Aである。また、平行リンク機構27Aは、支持体21に設けたブラケット42Aおよび連結リンク40Aと連結される短リンク43Aと、ブラケット42Aおよび把持爪リンク41Aに連結される長リンク44Aを有する。短リンク43Aおよび長リンク44Aもリンク部材に相当する。平行リンク機構27Aは、変換リンク31Aの先端部における連結ピン36Aの軸心の近似直線運動を把持爪28Aに伝達するとともに、把持爪28Aの軌跡を連結ピン36Aの軸心の軌跡よりも拡大する。連結リンク40Aの基端部と変換リンク31Aの先端部は連結ピン36Aを介して回動自在に連結されている。連結リンク40Aの基端部は平行リンク機構27Aの入力端に相当する。連結リンク40Aの先端部と把持爪リンク41Aの基端部は連結ピン45Aを介して回動自在に連結されており、把持爪リンク41Aの先端部には、把持爪リンク41Aの他面側から突出するように、棒状の把持爪28Aが取り付けられている。把持爪28Aは表面をセレーション加工した金属棒であり、セレーション加工により表面に凹凸が形成されており、ワークWを把持しやすい構造である。短リンク43Aの基端部とブラケット42Aを連結するとともに、長リンク44Aの基端部とブラケット42Aとを連結する固定ピン46Aが設けられ、短リンク43Aおよび長リンク44Aはブラケット42Aに対して回動自在である。連結リンク40Aの基端部と先端部との間の中間部と、短リンク43Aの先端部は連結ピン47Aを介して回動自在に連結されている。把持爪リンク41Aの基端部と先端部との間の中間部と長リンク44Aの先端部は連結ピン48Aを介して回動自在に連結されている。従って、平行リンク機構27Aは固定ピン46Aを中心として支持体21に対して回動可能であり、固定ピン46Aは平行リンク機構27Aの固定軸として機能する。本実施形態の平行リンク機構27Aでは、連結リンク40Aの中間部における連結ピン47Aの軸心と先端部の連結ピン45Aの軸心との距離と、長リンク44Aの基端部における固定ピン46Aの軸心と把持爪リンク41Aの中間部における連結ピン48Aの軸心との距離が同じである。また、連結リンク40Aの中間部における連結ピン47Aの軸心と短リンク43Aの基端部における固定ピン46Aの軸心との距離と、把持爪リンク41Aの基端部における連結ピン45Aの軸心と把持爪リンク41Aの中間部における連結ピン48Aの軸心との距離が同じである。短リンク43Aと長リンク44Aとの寸法比は1:2であり、連結リンク40Aにおける連結ピン36A、47Aの軸心間の距離と、連結ピン45A、47Aの軸心間の距離との比も1:2である。また、把持爪リンク41Aにおける連結ピン45A、48Aの軸心間の距離と、連結ピン48Aと把持爪28Aの軸心間の距離との比も1:2に設定されている。これらの寸法比および距離比によって、変換リンク31Aの先端部における連結ピン36Aの近似直線運動の軌跡に対する把持爪28Aの軌跡の拡大度が規定される。これらの寸法比および距離比が大きくなるほど把持爪28Aの軌跡は連結ピン36Aの軌跡と比較してより拡大される。本実施形態では連結ピン36Aの軌跡を1とすると把持爪28Aの軌跡は連結ピン36Aの軌跡の2倍に拡大される。これらの連結ピン45A、47A、48Aと固定ピン46Aは、平行リンク機構27Aのリンク運動の支点軸に相当し、連結ピン45A、47A、48Aはリンク運動に伴い支持体21に対して変位可能な支点軸であり、固定ピン46Aは支持体21に対して変位しない支点軸である。連結ピン45A、47A、48Aと固定ピン46Aの軸方向はチェビシェフリンク機構26Aの連結ピン33A、35A、36A、固定ピン34Aの軸方向と平行である。また、平行リンク機構27Aは、チェビシェフリンク機構26Aの他側面に配置されている。このため、平行リンク機構27Aの各リンク40A、41A、43A、44Aは、チェビシェフリンク機構26Aの他側面において固定ピン46Aを中心に変位する。従って、平行リンク機構27Aはチェビシェフリンク機構26Aと衝突することはない。図3に示すように、チェビシェフリンク機構26Aの出力端である変換リンク31Aの先端部の連結ピン36Aは距離D1の範囲にて往復移動が可能である。図3では、把持爪28Aが最大に開く状態に近い位置に位置するときのチェビシェフリンク機構26Aおよび平行リンク機構27Aを実線にて示し、把持爪28Aがその他の位置に位置するときのチェビシェフリンク機構26Aおよび平行リンク機構27Aを二点鎖線により示す。距離D1は出力軸25Aの軸心と連結ピン33Aの軸心との距離の4倍の距離である。また、連結ピン36Aが設けられる平行リンク機構27Aの連結リンク40Aの基端部は、平行リンク機構27Aの入力端に相当する。そして、平行リンク機構27Aの出力端である把持爪リンク41Aの先端部の把持爪28Aは距離D2の範囲にて往復移動が可能である。距離D2は、平行リンク機構27Aの各リンク40A、41A、43A、44Aの寸法設定により距離D1の2倍となるように設定されている。次に、本実施形態に係るロボットハンド装置20によるワークWの把持について説明する。まず、ロボットハンド装置20が図4に示すワークWを把持する場合について説明する。予め、ワークWはコンベア11上において所定の位置および姿勢にて載置されているとする。ロボットコントローラはワークWの把持および移載を行うよう多関節ロボット10を制御する。多関節ロボット10の第1アーム13~第4アーム16の駆動により、ロボットハンド装置20はワークWの上方に位置する。ロボットハンド装置20がワークWの上方に位置する時点では、把持爪28A~28Cの間隔が互いに最大となるように、サーボモータ24A~24Cが正方向への半回転となるように駆動されている。把持爪28A~28C毎に対応するサーボモータ24A~24Cが駆動されることにより、把持爪28A~28Cは互いに独立して作動される。把持爪28A~28Cの間隔が互いに最大となる状態では、把持爪28A~28Cは支持体21のアーム部22から外側へ離れた位置にあり、把持爪28A~28Cは最大に開いた状態である。把持爪28A~28Cが最大に開いた状態のまま、ロボットハンド装置20をワークWへ臨ませ、把持爪28A~28CがワークWを把持できる位置に達したとき、サーボモータ24A~24Cを逆方向へ回転させるように駆動する。サーボモータ24A~24Cの駆動により、把持爪28A~28Cが閉じるように変位され、把持爪28A~28CはワークWの側面と当接して押圧する。把持爪28A~28CがワークWの側面を押圧することによりワークWは把持爪28A~28Cに把持された状態となる。この場合、ワークWのサイズが比較的大きいため、ワークWを把持する把持爪28A~28Cは支持体21から外側にはみ出た位置となる。ワークWを把持したロボットハンド装置20は、第1アーム13~第4アーム16の駆動により、ワークWを所定の位置および姿勢により移載先へ移動する。移載先において、サーボモータ24A~24Cの駆動することにより、把持爪28A~28CによるワークWの把持を解除する。次に、ロボットハンド装置20が図5に示すワークWを把持する場合について説明する。図5に示すワークWは、図4に示すワークWと比較してサイズが著しく小さいワークである。ワークWはコンベア11上において所定の位置および姿勢にて載置される。多関節ロボット10の第1アーム13~第4アーム16の駆動により、ロボットハンド装置20はワークWの上方に位置させる。ロボットハンド装置20がワークWの上方に位置する時点では、把持爪28A~28Cの間隔が最大となる状態となるように、サーボモータ24A~24Cが正方向への半回転となるように駆動されている。ロボットハンド装置20をワークWへ臨ませ、把持爪28A~28CがワークWを把持できる位置に達したとき、サーボモータ24A~24Cを逆方向へ回転させるように駆動する。サーボモータ24A~24Cの駆動により、把持爪28A~28Cが閉じるように変位され、把持爪28A~28CはワークWの側面と当接して押圧する。把持爪28A~28CがワークWの側面を押圧することによりワークWは把持爪28A~28Cに把持された状態となる。この場合、ワークWのサイズが図4のワークと比較して著しく小さいことから、ワークWを把持する把持爪28A~28Cは支持体21の中心に近い位置となる。移載先への移載および把持の解除は図4のワークの場合と同じである。次に、ロボットハンド装置20が図6に示すワークWを把持する場合について説明する。図6に示すワークWは十字架状の形状であり、図4、図5に示すワークWと比較して複雑な形状のワークである。ワークWはコンベア11上において所定の位置および姿勢にて載置される。多関節ロボット10の第1アーム13~第4アーム16の駆動により、ロボットハンド装置20はワークWの上方に位置させる。ロボットハンド装置20がワークWの上方に位置する時点では、把持爪28A~28Cの間隔が互いに最大となるように、サーボモータ24A~24Cが正方向への半回転となるように駆動されている。ロボットハンド装置20をワークWへ臨ませ、把持爪28A~28CがワークWを把持できる位置に達したとき、サーボモータ24A~24Cを逆方向へ回転させるように駆動する。サーボモータ24A~24Cの駆動により、把持爪28A~28Cが閉じるように変位され、把持爪28A~28CはワークWの側面と当接して押圧する。把持爪28A~28CがワークWの側面を押圧することによりワークWは把持爪28A~28Cに把持された状態となる。この場合、最初に把持爪28CがワークWに当接し、その後に把持爪28A、28BがワークWに当接する。把持爪28A、28BがワークWと当接する位置は、回動軸心C5に近い位置である。一方、把持爪28AがワークWと当接する位置は、把持爪28Cの開度が最大となる位置に近い位置である。サーボモータ24A~24Cが独立して駆動されることから、把持爪28A、28Bの回動軸心C5からの距離と、把持爪28Cの回動軸心C5からの距離とは異なっている。移載先への移載および把持の解除は図3のワークの場合と同じである。本実施形態に係るロボットハンド装置20は、以下の作用効果を奏する。1把持爪28Aの移動距離はチェビシェフリンク機構26Aにより規定されることから、支持体21の外側に把持爪28Aを位置させることが可能であり、把持爪28Aの移動距離は把持爪28Aを支持する支持体21のサイズと制約を受けることなく設定することができる。把持爪28B、28Cの移動距離についても把持爪28Aと同様に設定することができる。これにより、ロボットハンド装置の小型化や軽量化を図ることができるほか、ワークWの移載時に支持体21が他物体と接触するなどの邪魔をする可能性は小さくなる。2各把持爪28A~28Cを独立して作動させるサーボモータ24A~24Cが設けられていることにより、チェビシェフリンク機構26A~26Cによる把持爪の移動距離と相俟って、ワークを把持可能とする把持爪28A~28Cの範囲を拡大することができるほか、把持前のワークWが所定の位置や姿勢にて載置されていない場合でも把持することが可能である。また、様々なサイズや形状のワークWを把持することができる。3把持爪28Aは、平行リンク機構27Aを介してチェビシェフリンク機構26Aと連結されているから、把持爪28Aの移動距離を、チェビシェフリンク機構26Aのみで設定される把持爪28Aの移動距離よりも大きく設定することができる。また、平行リンク機構27Aを設けることにより、チェビシェフリンク機構26Aのリンク運動は回動軸17の軸心方向と直角の方向へのリンク運動となる。これにより、サーボモータ24Aを支持体21の一側面に設けることができ、ロボットハンド装置20の回動軸17の径方向への寸法拡大を抑制することができる。把持爪28B、28Cの移動距離についても把持爪28Aと同様に設定することができる。4チェビシェフリンク機構26Aと平行リンク機構27Cは、固定軸を構成する固定ピン46Aの軸方向に重なるように配置されることから、ロボットハンド装置20の回動軸17の径方向への寸法拡大がさらに抑制され、ロボットハンド装置20の一層の小型化を図ることができる。5各把持爪28A~28Cは対応するサーボモータ24A~24Cにより作動されるほか、互いに120°の角度を保って支持体21の中心回動軸心C5へ向けて移動することから、把持されるワークWは3方向からそれぞれの把持爪28A~28Cにより押圧される。その結果、確実にワークWを把持することができ、安定したワークWの把持を行うことができる。6平行リンク機構27Aは、把持爪28Aの移動距離をチェビシェフリンク機構26Aの出力端の移動距離よりも大きく設定する連結リンク40A、把持爪リンク41A、短リンク43A、長リンク44Aを有する。このため、平行リンク機構27Aが把持爪28Aの移動距離をさらに大きく設定することができ、相対的にチェビシェフリンク機構26Aの寸法を抑制することができる。平行リンク機構27B、27Cについても平行リンク機構27Aと同様である。第2の実施形態次に、第2の実施形態に係るロボットハンド装置について図7、図8を参照して説明する。本実施形態のロボットハンド装置は、第1の実施形態の多関節ロボットと同じ構成の多関節ロボットに備えられるが、チェビシェフリンク機構を備え、平行リンク機構を備えずない構成である。多関節ロボットの構成については第1の実施形態と同じ符号を用いる。なお、図8では、把持爪が最大に開く状態のロボットハンド装置を実線により示し、把持爪が最小に閉じる状態のロボットハンド装置を二点鎖線により示す。図7に示すように、ロボットハンド装置50は、回動軸17を介して多関節ロボットの第4アーム図示せずと接続されている。ロボットハンド装置50は、3つのアーム部52A、52B、52Cを備えた支持体51を備えている。ロボットハンド装置50は、支持体51の一側面第4アーム16を臨む面の中心に回動軸17が固定されることにより、第4アーム16の先端部と連結されている。支持体21のアーム部52A、52B、52Cは、支持体51の中心である回動軸心C5の径方向外側へ向けて互いに120°の角度となるように形成されている。アーム部52Aの他側面第4アーム16側を臨む面と反対となる側の面には、断面L字形のブラケット53Aが固定されている。ブラケット53Aは、アーム部52Aに固定されるプレート部54Aと、プレート部54Aから延在され、アーム部52Aの他側面と直角な面を有するプレート部55Aを備えている。プレート部55Aには駆動源としてのサーボモータ56Aが設けられている。同様にアーム部52Bにはブラケット53Bを介してサーボモータ56Bが設けられ、アーム部52Cにはブラケット53Cを介してサーボモータ56Cが設けられている。サーボモータ56A~56Cは同じ構成であり、エンコーダ図示せずを備えておりロボットコントローラ図示せずによりフィードバック制御により駆動される。本実施形態のサーボモータ56A~56Cでは、出力軸57Aサーボモータ56B、56Cの出力軸は図示せずが正逆方向の半回転を行うように制御される。サーボモータ56Aが備える出力軸57Aは、プレート部55Aを貫通してアーム部52Aの下面側に突出している。アーム部52Aの他側面にはチェビシェフリンク機構58Aが設けられている。同様に、アーム部52Bには、チェビシェフリンク機構58Bが設けられ、アーム部22Cには、チェビシェフリンク機構58Cが設けられている。これらのチェビシェフリンク機構58A~58Cは、回転運動を近似直線運動に変換するチェビシェフリンクを用いた機構である。本実施形態のチェビシェフリンク機構58Aを図8に基づき説明する。ここでは、アーム部52Aに設けたチェビシェフリンク機構58Aについて説明し、チェビシェフリンク機構58B、58Cについては、チェビシェフリンク機構58Aと同一構成であるため、チェビシェフリンク機構58Aの説明を援用する。チェビシェフリンク機構58Aは、サーボモータ56Aの出力軸57Aと連結される回転アーム60Aと、回転アーム60Aと連結される変換リンク61Aと、変換リンク61Aと連結される揺動アーム62Aを有する。回転アーム60Aの先端と変換リンク61Aの基端部は連結ピン63Aを介して互いに回動自在に連結されている。ブラケット53Aのプレート部54Aにはアームベース59Aが固定されており、揺動アーム62Aの基端部は固定ピン64Aを介してアームベース59Aに対して回動自在に連結されている。揺動アーム62Aの先端部と変換リンク61Aの中間部は連結ピン65Aを介して互いに回動自在に連結されている。変換リンク61Aの先端は連結ピン66Aを介して把持爪ベース67Aと連結され、把持爪ベース67Aは変換リンク61Aに対して回動自在である。変換リンク61Aの先端はチェビシェフリンク機構58Aの出力端に相当する。把持爪ベース67Aは回動軸心C5と平行な軸心を有する把持爪68Aを備えている。なお、本実施形態では、揺動アーム62A、把持爪ベース67Aの両側に変換リンク61Aがそれぞれ配設されている。サーボモータ56Aの出力軸57Aの軸心と揺動アーム62Aの基端部における固定ピン64Aの軸心との距離は、サーボモータ56Aの出力軸57Aの軸心と回転アーム60Aの連結ピン63Aの軸心との距離の2倍に設定されている。揺動アーム62Aの基端部における固定ピン64Aの軸心と変換リンク61Aの中間部における連結ピン65Aの軸心との距離は、出力軸57Aの軸心と連結ピン63Aの軸心との距離の2.5倍に設定されている。また、出力軸57Aの軸心と連結ピン63Aの軸心と変換リンク61Aの中間部における連結ピン65Aの軸心との距離は、出力軸57Aの軸心と連結ピン63Aの軸心との距離の2.5倍に設定されている。また、変換リンク61Aの中間部における連結ピン65Aの軸心と変換リンク61Aの先端部における連結ピン66Aの軸心との距離は、出力軸57Aの軸心と連結ピン63Aの軸心との距離の2.5倍に設定されている。このように、本実施形態のチェビシェフリンク機構58Aにおいてチェビシェフリンクが成立しており、チェビシェフリンク機構58Aは回転アーム60A、変換リンク61A、揺動アーム62Aおよび連結ピン63A~66Aとから構成されている。本実施形態では、把持爪ベース67Aは補助リンク機構70Aと連結されている。補助リンク機構70Aは、把持爪ベース67Aの姿勢を変化させずに移動させるための機構である。補助リンク機構70Aは、アームベース59Aに連結される補助揺動アーム72Aと、補助揺動アーム72Aと把持爪ベース67Aに連結される補助把持爪リンク73Aと、揺動アーム62Aと補助揺動アーム72Aに連結される連結リンク71Aを備える。補助揺動アーム72Aの基端部は固定ピン74Aを介してアームベース59Aに対して回動自在に連結されている。補助揺動アーム72Aの先端部は連結ピン75Aを介して補助把持爪リンク73Aの先端部に対して回動自在に連結されている。補助把持爪リンク73Aの基端部は、連結ピン76Aを介して把持爪ベース67Aに対して回動自在に連結されている。連結リンク71Aの一端は連結ピン65Aを介して揺動アーム62Aに対して回動自在に連結されている一方、他端は連結ピン75Aを介して補助揺動アーム72Aに対して回動自在に連結されている。補助リンク機構70Aにおける固定ピン74Aと連結ピン75Aの軸心間の距離は、チェビシェフリンク機構58Aの固定ピン64Aと連結ピン65Aの軸心間の距離と同じであり、補助揺動アーム72Aと揺動アーム62Aは互いに平行に配設されている。また、補助リンク機構70Aにおける連結ピン75A、76Aの軸心間の距離は、チェビシェフリンク機構58Aの連結ピン65A、66Aの軸心間の距離と同じであり、補助把持爪リンク73Aと変換リンク61Aは互いに平行に配設されている。このため、サーボモータ56Aの駆動により回転アーム60Aが半回転すると把持爪ベース67Aは、姿勢を変えることなく支持体51の中心回動軸心C5へ向けて移動する。サーボモータ56Aの駆動により出力軸57Aは正逆方向へ交互に半回転されるから、把持爪68Aは、把持爪ベース67Aおよび把持爪68Aは近似直線運動に基づく軌跡を描き、距離D3の範囲にて往復移動が可能である。距離D3は出力軸57Aの軸心と連結ピン63Aの軸心との距離の4倍である。チェビシェフリンク機構58Aおよび補助リンク機構70Aが備える連結ピン63A、65A、66A、75A、76A、固定ピン64A、74Aは、チェビシェフリンク機構26Aのリンク運動の支点軸に相当し、連結ピン63A、65A、66A、75A、76Aはリンク運動に伴い支持体51に対して変位可能な支点軸であり、固定ピン64A、74Aは支持体51に対して変位しない支点軸である。連結ピン63A、65A、66A、75A、76A、固定ピン64A、74Aの軸方向は、回動軸17の回動軸心C5と直角方向であって、出力軸57Aの軸方向と同方向である。アーム部52B53Cには、アーム部Aと同様に、ブラケット53B53C、サーボモータ56B56C、チェビシェフリンク機構58B58C、補助リンク機構70B70C、把持爪ベース67B67C、把持爪68B68Cが設けられている。本実施形態のロボットハンド装置50によれば、第1の実施形態の作用効果1、2、5と同等の作用効果を奏する。また、本実施形態のロボットハンド装置50は、平行リンク機構を備えないため構造が簡単となる。なお、上記の実施形態は、本発明の一実施形態を示すものであり、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、下記のように発明の趣旨の範囲内で種々の変更が可能である。○上記の実施形態では、把持爪を3本持つロボットハンド装置としたが、把持爪は3本に限定されない。把持爪は3本以上とすればよく、例えば、5本の把持爪を持つロボットハンド装置としてもよい。○上記の実施形態では、ロボットハンド装置が5軸の自由度を持つ多関節ロボットに装備されたが、例えば、2軸の自由度を持つ多関節ロボットに設けてもよく、多関節ロボットの自由度は2軸以上であれば特に制限されない。○第1の実施形態では、平行リンク機構における出力端の移動距離がチェビシェフリンク機構における出力端の移動距離の2倍となるように平行リンク機構が構成されたが、チェビシェフリンク機構における出力端の移動距離に対する平行リンク機構における出力端の移動距離の倍率は、少なくとも1倍を超えるようにすればよく、実用的には約2倍以上とすることが好ましい。○第1の実施形態では、把持爪を金属棒としたが把持爪は棒状だけでなく板状や直方体としてもよい。また、把持爪はワークを把持しやすくするためにセレーション加工が表面に施されたが、ワークを把持しやすくする工夫はセレーション加工に限定されない。また、ワークが傷つき易い場合には、ゴム系材料や樹脂を把持爪の表面に形成してもよい。