R-T-B系希土類合金R:希土類元素、T:FeまたはFeの一部をCoで置換の粉末を成形した後に、熱間塑性加工を行なってR-T-B系希土類磁石を製造する方法において、上記成形前に、熱間塑性加工温度よりも低温でRと共存して液相を生成する金属、または、熱間塑性加工温度よりも低温で液相を生成する合金を、上記R-T-B系希土類合金の粉末に混合することを特徴とするR-T-B系希土類磁石の製造方法。請求項1において、上記R-T-B系希土類合金はNd2Fe14Bであり、上記熱間塑性加工温度よりも低温でRと共に液相を生成する金属はCuまたはAlである、ことを特徴とする製造方法。請求項2において、上記CuおよびAlは粉末状であって、粉末粒径が100μm以下であることを特徴とする製造方法。請求項1において、上記熱間塑性加工温度よりも低温で液相を生成する合金はNdCu、NdAl、PrCu、DyCu、DyAl、DyCuAlのいずれか1種であることを特徴とする製造方法。請求項4において、上記NdCu、NdAl、NdMn、PrCu、DyCu、DyAl、DyCuAlは粉末状であって、粉末粒径が80μm以上であることを特徴とする製造方法。請求項1、2、4において、上記熱間塑性加工温度よりも低温でRと共存して液相を生成する金属、または、上記熱間塑性加工温度よりも低温で液相を生成する合金を、上記R-T-B系希土類合金の粉末に被覆した状態で上記混合を行なうことを特徴とする製造方法。本発明の方法の特徴は、熱間塑性加工による結晶すべりの際に、NdFeB等の希土類磁石合金の粉末に、熱間塑性加工温度において液相を生成する低融点の金属または合金を添加混合して成形バルク化後、熱間塑性加工することである。ただし、添加金属はそれ自体が低融点のものでなくとも、熱間塑性加工温度において希土類磁石合金の希土類元素Nd等と一部または全部が合金化した状態で液相を生成するものであればよい。例えば、希土類磁石合金としてNdリッチ相分率を持つNd2Fe14Bナノ結晶磁粉に、低融点合金としてNdCu、NdAl等を混合した混合粉末を、成形後、熱間塑性加工する。希土類磁石合金粉末への上記金属または合金の添加は、1希土類磁石合金粉末に上記金属または合金を粉末として混合するか、または、2希土類磁石合金粉末の粒子表面に上記金属または合金をスパッタリング等により被覆した後に混練する、ことによって行なう。<基本プロセス>図1を参照して説明する。成形バルク化>まず、上記混合粉末M′′を図11に示す熱間プレス等により成形してバルク体を形成する。すなわち、熱間プレス機のダイD1内に混合粉末M′′を充填し、加熱コイルK1で加熱しながら上下からポンチP1で力F1を負荷して混合粉末M′′を圧縮成形する。混合粉末M′′をバルク化する力F1は、多結晶体である粉末粒子同士を互いに密着させるのに必要な大きさであるが、粉末粒子を構成する個々の結晶粒自体の変形は無視できる程度である。バルク化のための成形は、減圧雰囲気あるいはAr雰囲気などの非酸化性雰囲気中にて、750°C未満の温度で熱間プレス等により行なう。成形温度が750°C以上になると、粒成長が起き易くなり、保磁力が低下する原因になる。更に、結晶粒が粗大化したバルク体は、後の熱間塑性加工において結晶粒の回転による配向異方化が進み難くなる。熱間塑性加工成形により得られたバルク体M′を、図12aに示す熱間鍛造機等により熱間塑性加工する。この場合、熱間鍛造機において、バルク体M′の周囲を拘束しない大きさのダイD2内に装入し、加熱コイルK2で加熱しながら上下からポンチP2で力F2を負荷して熱間塑性加工を行う。すなわち、加工度60~80あるいはそれ以上の大きな加工度で据え込み加工を行ない、図1bに示すように最終形状の希土類磁石Mを得る。図2に1熱間塑性加工前の結晶粒組織、2熱間塑性加工中または後の結晶組織、3熱間塑性加工中の結晶粒のすべり変形と液相の浸透を示す。加熱Hにより熱間塑性加工温度に保持し、上下からの力F2により据え込み加工を加える。結晶粒Gの周囲の結晶粒界Yには、添加金属と希土類金属との合金が、または添加合金が、液相Xとして存在する。この熱間塑性加工中に、添加金属と希土類金属との合金または添加合金の液相Xが生成し、多結晶体の結晶粒界Yと個々の結晶粒内のすべり面Sとに浸透し、結晶Gの回転および変形によりC軸磁化容易軸の配向据え込み方向に沿った配向を促進して図23a→c高い磁化を達成しながら、同時に、結晶粒界Yにおいてだけでなく個々の結晶粒内のすべり面Sにおいても磁気的分断効果を発揮して高い保磁力を確保する。特に、図23に示すように、単一の結晶粒Gは熱間塑性加工の進行に伴いすべり面Sにより複数のすべり領域G′に分断され、各すべり領域G′間のすべり面Sに浸透した液相Xが、すべり領域G′間を磁気的に分断する。すなわち、結晶粒間の磁気的分断だけでなく、更に、個々の結晶粒内のすべり領域間の磁気的分断も実現できる。従来は、熱間塑性加工で配向を向上させて大きな磁化を得ても、高い保磁力が得られなかったが、本発明により、大きな磁化を得ながら、高い保磁力を確保することが可能になった。熱間塑性加工は、減圧下またはAr等の不活性雰囲気中で、望ましくは600°C~800°Cで行なう。歪速度は、特に限定する必要はないが、0.1/sec以上、望ましくは1/sec以上である。600°C未満では、バルク体に割れが発生し易くなる。一方、800°Cを越えると、希土類元素Rがリッチな粒界相の軟化が顕著になり、粒界の変形や結晶粒の回転による変形が優先的に起きてしまい、すべり変形が起き難くなってしまい、すべり面への液相浸透による磁気的分断効果が得られ難くなる。更に、粒成長も顕著になり、配向が進まず磁化の向上が得られない。後処理:任意熱間塑性加工完了後は加工歪が残留しているため、保磁力低下によるバラツキが生ずる場合がある。そのような場合には、品質を安定させるために、歪解放の熱処理を行なうことができる。熱処理温度は、結晶粒界およびすべり面の低融点相主として添加成分の液相の凝固相が再溶融する温度以上、結晶粒の粗大化が起きる温度以下の範囲とする。結晶粒界およびすべり面で低融点相を再溶融させることで、歪が解放されると同時に、磁気的分断効果も向上するので安定して高い保磁力が得られる。550~700°Cの温度で3hr以内の時間が望ましい。ただし、本発明によれば、従来のように液相の浸透に長時間の熱処理は必要ないので、結晶粒の成長による保磁力の低下の虞はない。<材料組成>希土類合金本発明の対象とする組成は、R-T-B系希土類磁石である。Rは、希土類元素であり、典型的にはNd、Pr、Dy、Tb、Hoの一種以上であり、特にNdまたはNdの一部をPr、Dy、Tb、Hoの少なくとも一種で置換したものである。希土類元素としては、NdとPrの中間性生物であるDiも含まれるし、Dy等の重希土類金属も含まれる。本発明においては、保磁力と磁化残留磁束密度の両立と観点から、希土類合金中の希土類元素Rの含有量は27~33wtであることが望ましい。図3に、典型例としてNd2Fe14B希土類合金中のNd量に対する保磁力と残留磁束密度の変化を示す。Nd量が27wt未満であると、磁気的分断効果が不十分になり、ベースとなる保磁力が低下する。また、熱間塑性加工において割れが発生し易くなる。一方、Nd量が33wtを越えると、主相率が低下し、磁化が不十分になる。本発明において用いる希土類合金粉末の粒度は2mm以下程度でよいが、望ましくは200μm以下である。粉砕は、酸化を防止するために、Ar、N2のような不活性ガス雰囲気中で行なう。添加する金属および合金本発明の方法は、成形工程の前に、添加金属すなわち熱間塑性加工温度よりも低温でRと共存して液相を生成する金属および添加合金すなわち熱間塑性加工温度よりも低温で液相を生成する合金を上記の希土類磁石合金粉末に添加混合する。添加金属添加する金属は、希土類元素Rとの共存下において一部または全部が合金化した状態、熱間塑性加工温度で、望ましくは700°C以下で、液相を生成する金属である。添加金属は、Cu、Al、Ni、Co、Mn、Zn、Al、Ga、In、Mgから選択した1種以上である。添加金属を粉末で添加する場合は、希土類磁石合金粉末と混合し易くするために、望ましくは添加金属粉末は平均粒径100μm以下とする。添加合金希土類元素Rと上記添加金属との合金であり、熱間塑性加工温度で、望ましくは670°C以下で、液相を生成する金属である。ここで、添加合金の希土類元素Rは、希土類合金磁石の希土類元素Rと同種であっても良いし、異種であっても良く、単一元素であってもよいし、複数元素であってもよい。希土類磁石合金の希土類元素Rについて上述した元素種類の範囲から選択する。添加合金を粉末で添加する場合は、酸化され難くするために、望ましくは添加合金粉末は平均粒径80μm以上とする。ただし、粒径が大きくなり過ぎると、混合した際に不均一になりやすいため、1mm以下とすることが望ましい。添加金属または添加合金の添加量希土類磁石合金への添加金属または添加合金の添加量は、本発明による液相浸透の効果が得られ、磁石の磁性に悪影響の無い範囲で選定すればよく、望ましくは0.3~5wt、更に望ましくは0.5~5wtである。添加量については実施例2において詳細に説明する。実施例1希土類磁石原料を、合金組成質量:31Nd-3Co-1B-0.4Ga-残部Feに対応して所定量配合し、Ar雰囲気中で溶解し、溶湯をオリフィスから回転ロールクロムめっき銅製ロールに射出して急冷し、合金薄片を製造した。この合金薄片をAr雰囲気中でカッターミルにて粉砕および篩分けし、粒径2mm以下の希土類合金粉末を得た平均粒径100μm。この粉末粒子の結晶粒径は100nm程度で、酸素量は800ppmであった。上記の希土類合金粉末に、表1に示すように、平均粒径が約10μm以下の金属粉末および平均粒径80μm以上の各合金粉末を表1に示す添加量で混合し、混合粉末を準備した。添加合金の組成は下記のとおりであった。NdCu:Nd-15wtCuNdAl:Nd-3wtAlNdMn:Nd-15wtMnPrCu:Pr-18wtCuDyCu:Dy-14wtCuDyAl:Dy-4wtAlDyCuAl:Dy-14wtCu-4wtAl混合粉末を、φ10mm、高さ17mmの容積を持つ超硬合金製ダイに充填し、上下を超硬合金ポンチで封止した。このダイ/ポンチアセンブリを真空チャンバ内にセットし、10-2Paに減圧し、高周波コイルで加熱し、600°Cに達したらすぐに100MPaでプレス加工した。プレス加工後30秒保持した後、ダイ/ポンチアセンブリからバルク体を取り出した。このバルク体の高さは10mm径はφ10mmであった。次に、別のφ20mmの超硬合金ダイに装入し、ダイ/ポンチアセンブリをチャンバ内にセットし、10-2Paに減圧し、高周波コイルで加熱し、720°Cに達したらすぐに加工率60で熱間据え込み加工を行なった。熱間塑性加工後に、添加成分にCuを含むサンプルは580°Cにて、添加成分にAlを含むサンプルは650°Cにて、それぞれ歪解放熱処理を10分間行なった。バルク化後および熱間塑性加工後について、保磁力および磁化残留磁束密度を測定した結果を表1に併せて示した。いずれも、熱間塑性加工によってバルク体よりも磁化はもちろん保磁力が大きく向上している。この保磁力向上には、粒界およびすべり面の添加成分液相の凝固層による主相Nd2Fe14Bの磁気的分断効果が有効に働いたためであると考えら。<添加成分の粒度の影響>添加合金NdCuについて、平均粒径を30、50、80、1000、3000μmに変化させて、保磁力に及ぼす影響を調べた。結果を図4に示す。この結果から、添加合金粉末の平均粒径は80μm以上にする必要があることが分かる。NdCuのように希土類金属との合金は、細かくし過ぎると、たとえ不活性ガス雰囲気中で粉砕しても、ガス中の僅かな酸素と結合して酸化してしまうと考えられる。一方、CuやAlは、粒界相と合金化し易くするために、できるだけ細かく、望ましくは数μm~数十μm例えば37μm程度にしておく必要がある。<熱間塑性加工温度の影響>添加合金NdMnを用いた場合について、熱間塑性加工後の保磁力に及ぼす熱間塑性加工温度の影響を調べた。結果を表2および図5に示す。図5には、バルク体の保磁力15.8kOeに対する熱間塑性加工後の保磁力の増分ΔHを示した。NdMnNd-15wtMnは共晶合金であり、融点は700°Cである。上記結果に示されるように、NdMnの融点近傍においてΔHcが急激に大きくなっている。これはNdMnの溶融により、結晶粒界およびすべり面を覆って、結晶粒単位およびすべり領域単位での磁気的分断効果が顕著になったためであると考えられる。<添加成分の形態による影響>表1に示した添加成分Cu、NdCuの他、Nd、NdCuを用いて、保磁力に及ぼす添加成分の形態の影響を調べた。結果を表3に示す。Cu単独で添加した場合、無添加の場合表1の添加成分の欄無しの場合に対する保磁力向上代ΔHcは2.2kOeである。これはNdCu添加の場合のΔHc6.5に比べて小さい表1のNdAlに対するAl単独の場合も同じ。一方、Nd単独で添加3wtした場合、ΔHcは更に小さく0.4であり、添加の効果は極めて限定的である。更に、NdCu合金と同じ添加量合計3wtでNd粉末とCu粉末を単に混合した場合は、ΔHcは同様に小さく0.6であった。各添加成分の形態について以下に考察する。《Cu単独:ΔHc=2.2kOe》添加されたCuはNdリッチ成分が多結晶体である磁粉の粒界で磁石合金のNdと反応して一部が低融点のNdCu合金を形成し、液相を形成可能とする。このNdCu合金が形成した粒界の部位では、その分だけNd濃度が低下したことと、低融点化により溶融することによって、粒界近傍の歪が解放され、主相の磁気的性質が発揮し易くなった。ただし、添加するCuの量に対して、粒界に存在するNd成分の絶対量が少ないため、ΔHcは上記の程度だった。《Nd単独:ΔHc=0.4kOe》Ndの融点は1021°Cと熱間塑性加工温度に比べて遥かに高い。また、添加したNdと合金化して低融点相を形成できる元素も限られているのでここでは粒界部分のCoとFeがそれに該当する、Nd単独の効果は非常に限定的になる。《NdCu合金:ΔHc=6.5kOe》Nd-15wtCu合金は共晶合金であり融点が520°Cであり、熱間塑性加工温度720°C以下で全体が液相化する。形成した液相が熱間塑性加工時に結晶粒界およびすべり面を十分に濡らすことにより、磁気的分断効果が顕著になり、大きな効果が得られた。《NdCu:ΔHc=0.6kOe》上記のCu単独およびNd単独の場合と同じ理由により、効果は非常に限定的であり、NdCu合金と同量の添加をしても殆ど意味が無い。実施例2本実施例では、添加成分の添加量の影響について調べた。希土類磁石原料を、合金組成質量:31Nd-3Co-1B-0.4Ga-残部Feに対応して所定量配合し、Ar雰囲気中で溶解し、溶湯をオリフィスから回転ロールクロムめっき銅製ロールに射出して急冷し、合金薄片を製造した。この合金薄片をAr雰囲気中でカッターミルにて粉砕および篩分けし、粒径2mm以下の希土類合金粉末を得た平均粒径100μm。この粉末粒子の結晶粒径は100nm程度で、酸素量は800ppmであった。上記の希土類合金粉末に、平均粒径80μmのNd-15wtCu粉末またはNd-96wtAl粉末を添加量0~10wtで混合し、混合粉末を準備した。具体的には、添加量は0.2、0.3、0.5、1、2、3、5、10wtであった。混合粉末を、φ10mm、高さ17mmの容積を持つ超硬合金製ダイに充填し、上下を超硬合金ポンチで封止した。このダイ/ポンチアセンブリを真空チャンバ内にセットし、10-2Paに減圧し、高周波コイルで加熱し、600°Cに達したらすぐに100MPaでプレス加工した。プレス加工後30秒保持した後、ダイ/ポンチアセンブリからバルク体を取り出した。このバルク体の高さは10mm径はφ10mmであった。次に、別のφ20mmの超硬合金ダイに装入し、ダイ/ポンチアセンブリをチャンバ内にセットし、10-2Paに減圧し、高周波コイルで加熱し、680°Cに達したらすぐに加工率60で熱間据え込み加工を行なった。熱間塑性加工後に、添加成分にCuを含むサンプルは580°Cにて、添加成分にAlを含むサンプルは650°Cにて、それぞれ歪解放熱処理を10分間行なった。得られた各サンプルについて、保磁力と磁化残留磁束密度を測定した。結果を図6に示す。保磁力Hcついては、添加量0.2wtでは殆ど効果は認められず、添加量0.3wt以上で明瞭に効果が認められ、添加量0.5wt以上で更に明瞭に効果が認められる。Hcは、添加量の増加に伴い徐々に増加し、添加量5wtまでは顕著な添加効果が認められる。一方、磁化残留磁束密度Brは、添加量の増加に伴い単調に低下し、添加量10wtになると低下が顕著になる。これは、磁気的分断による保磁力向上には添加量が多いほど好ましいが、一方で、添加量が多すぎると磁石の主相率が低下して磁化が低下するためである。したがって、添加量は0.3wt~5wtが望ましい。実施例3本実施例では、希土類磁石合金の粉末粒子に添加成分を被覆することに添加する例を説明する。希土類磁石原料を、合金組成質量:31Nd-3Co-1B-0.4Ga-残部Feに対応して所定量配合し、Ar雰囲気中で溶解し、溶湯をオリフィスから回転ロールクロムめっき銅製ロールに射出して急冷し、合金薄片を製造した。この合金薄片をAr雰囲気中でカッターミルにて粉砕および篩分けし、粒径2mm以下の希土類合金粉末を得た平均粒径100μm。この粉末粒子の結晶粒径は100nm程度で、酸素量は800ppmであった。上記の希土類合金粉末に、純CuまたはNd-15wtCu合金をターゲットとして平均膜厚0.5μmを狙ってスパッタリングを行なった。図7に、用いた装置の模式図を示す。上記スパッタリングにより粒子表面に添加成分を被覆した被覆希土類合金粉末を、φ10mm、高さ17mmの容積を持つ超硬合金製ダイに充填し、上下を超硬合金ポンチで封止した。このダイ/ポンチアセンブリを真空チャンバ内にセットし、10-2Paに減圧し、高周波コイルで加熱し、600°Cに達したらすぐに100MPaでプレス加工した。プレス加工後30秒保持した後、ダイ/ポンチアセンブリからバルク体を取り出した。このバルク体の高さは10mm径はφ10mmであった。次に、別のφ20mmの超硬合金ダイに充填し、ダイ/ポンチアセンブリをチャンバ内にセットし、10-2Paに減圧し、高周波コイルで加熱し、680°Cに達したらすぐに加工率60で熱間据え込み加工を行なった。熱間塑性加工後に、580°Cにて歪解放熱処理を10分間行なった。得られた希土類磁石サンプルについて、保磁力および磁化残留磁束密度を測定した。結果を表4に示す。Cu単独添加およびNdCu合金添加のいずれの場合も、実施例1における粉末状態で混合した場合とほぼ等しい結果が得られている。ただし、この結果には現れていないが、粉末状態で混合する場合に比べて、粉末粒子に被覆する形態で添加する場合の方が均一添加が可能なので、品質のバラツキは小さく抑えることができると考えられる。一方、スパッタリングは真空中でバッチ処理を行なうので、生産性およびコストの面では粉末混合の方が有利であろう。