反りを有した板状物をチャックテーブルで吸引保持する板状物の保持方法であって、板状物より大きい面積の保持面を有する保持部と、一端が該保持部に連通し他端が吸引源に選択的に接続される吸引路とを備えたチャックテーブルを準備するチャックテーブル準備ステップと、該チャックテーブル準備ステップを実施する前又は後に、該チャックテーブルの該保持面の面積以上の面積を有する粘着テープ上に板状物を貼着する貼着ステップと、該粘着テープに貼着された板状物を該粘着テープを介して該チャックテーブル上に載置して該粘着テープで該保持面の全面を被覆する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該吸引源を作動させて該粘着テープを介して板状物を吸引保持する保持ステップと、を具備したことを特徴とする板状物の保持方法。請求項1記載の保持方法でチャックテーブルに保持された板状物を加工する板状物の加工方法であって、前記チャックテーブルの前記保持面に対して垂直なスピンドルの先端に装着されたバイト工具を円軌道で回転させながら、該チャックテーブルを所定の加工送り速度で直線移動させて前記粘着テープを介して該チャックテーブルに保持された板状物の表面を該バイト工具によって旋削する旋削ステップを備えた板状物の加工方法。しかし、板状物には反りを有するものがあり、特にバンプ付きウエーハにアンダーフィル材やACFAnisotropicConductiveFilm材が被覆されたウエーハやWL-CSPWaferLevel-ChipSizePackageウエーハ等、異なる材質が積層されたウエーハで大きな反りを有するものがある。反りを有した板状物をチャックテーブルで吸引保持しようとしてもチャックテーブルの保持面に板状物が密接していない部分から負圧がリークし、板状物を吸引保持できないという問題がある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、反りを有した板状物でも確実に吸引保持することのできる板状物の保持方法を提供することである。請求項1記載の発明によると、反りを有した板状物をチャックテーブルで吸引保持する板状物の保持方法であって、板状物より大きい面積の保持面を有する保持部と、一端が該保持部に連通し他端が吸引源に選択的に接続される吸引路とを備えたチャックテーブルを準備するチャックテーブル準備ステップと、該チャックテーブル準備ステップを実施する前又は後に、該チャックテーブルの該保持面の面積以上の面積を有する粘着テープ上に板状物を貼着する貼着ステップと、該粘着テープに貼着された板状物を該粘着テープを介して該チャックテーブル上に載置して該粘着テープで該保持面の全面を被覆する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該吸引源を作動させて該粘着テープを介して板状物を吸引保持する保持ステップと、を具備したことを特徴とする板状物の保持方法が提供される。請求項2記載の発明によると、請求項1記載の保持方法でチャックテーブルに保持された板状物を加工する板状物の加工方法であって、前記チャックテーブルの前記保持面に対して垂直なスピンドルの先端に装着されたバイト工具を円軌道で回転させながら、該チャックテーブルを所定の加工送り速度で直線移動させて前記粘着テープを介して該チャックテーブルに保持された板状物の表面を該バイト工具によって旋削する旋削ステップを備えた板状物の加工方法が提供される。本発明の板状物の保持方法によると、板状物はチャックテーブルの保持面よりも大きい面積を有する粘着テープに貼着され、粘着テープでチャックテーブルの保持面の全面を被覆するようにしたため、負圧がリークすることなく、チャックテーブルで粘着テープを介して板状物を確実に吸引保持することができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明実施形態の板状物の保持方法を実施するのに適したチャックテーブル2の斜視図が示されている。チャックテーブル2は、保持すべき板状物板状加工物より大きい面積の多孔質セラミックス等から形成された吸引保持部4を有しており、吸引保持部4はステンレス孔等の金属材料によって形成されたチャックテーブル本体6の嵌合凹部7図4参照中に嵌合されている。吸引保持部4の保持面4aはチャックテーブル本体6の上面と面一に形成されている。図4に示すように、チャックテーブル2のチャックテーブル本体6は、一端が吸引保持部4に連通し他端が負圧吸引源10に図示しない切替弁を介して選択的に接続される吸引路8を有している。吸引保持部4は特許文献2に開示されたようなピンチャックから構成されてもよい。本発明実施形態の板状物の保持方法では、上述したような構成を有するチャックテーブル2を準備する。そして、図2に示すように、チャックテーブル2の面積以上の面積を有する粘着テープ13を用意し、この粘着テープ13上に板状物板状加工物11を貼着する貼着ステップを実施する。次いで、13及び図4Aに示すように、粘着テープ13に貼着された板状物11を粘着テープ13を介してチャックテーブル2上に載置して粘着テープ13で保持面4aの全面を被覆する載置ステップ。載置ステップを実施した後、図4Bに示すように、吸引源10を作動させることにより吸引路8を介して負圧吸引部4に負圧を作用させ、粘着テープ13を介して板状物11を吸引保持する保持ステップを実施する。本実施形態の板状物の保持方法では、粘着テープ13でチャックテーブル2の保持面4aの全面を被覆するようにしたため、保持面4aから負圧がリークすることなく、粘着テープ13を介して板状物11をチャックテーブル2上に確実に吸引保持することができる。このように板状物11をチャックテーブル2で吸引保持した後、例えば図5に示すようなバイト切削装置12で板状物13を旋削加工する。図5において、14はバイト切削装置12のベースであり、ベース14の後方にはコラム16が立設されている。コラム16には、上下方向に伸びる一対のガイドレール一本のみ図示18が固定されている。この一対のガイドレール18に沿ってバイト切削ユニット20が上下方向に移動可能に装着されている。バイト切削ユニット20は、そのハウジング30が一対のガイドレール18に沿って上下方向に移動する移動基台22に取り付けられている。バイト切削ユニット20は、ハウジング30と、ハウジング30中に回転可能に収容されたスピンドル32図4参照と、スピンドル32の先端に固定されたマウント34と、マウント34に着脱可能に装着されたバイトホイール35とを含んでいる。バイトホイール35にはバイト工具36が着脱可能に取り付けられている。バイト切削ユニット20は、バイト切削ユニット20を一対の案内レール18に沿って上下方向に移動するボールねじ24とパルスモータ26とから構成されるバイト切削ユニット送り機構28を備えている。パルスモータ26をパルス駆動すると、ボールねじ24が回転し、移動基台22が上下方向に移動される。ベース14の中間部分にはチャックテーブル2を有するチャックテーブル機構38が配設されており、チャックテーブル2は図示しないチャックテーブル移動機構によりY軸方向に移動される。43は蛇腹であり、チャックテーブル機構38をカバーする。スピンドル32はチャックテーブル2の保持面4aに対して垂直な軸心を有している。ベース14の前側部分には、第1のウエーハカセット42と、第2のウエーハカセット44と、ウエーハ搬送用ロボット46と、複数の位置決めピン50を有する位置決め機構48と、ウエーハ搬入機構ローディングアーム52と、ウエーハ搬出機構アンローディングアーム54と、スピンナ洗浄ユニット56が配設されている。また、ベース14の概略中央部には、チャックテーブル2を洗浄する洗浄水噴射ノズル58が設けられている。この洗浄水噴射ノズル58は、チャックテーブル2が装置手前側のウエーハ搬入搬出領域に位置づけられた状態において、チャックテーブル2に向かって洗浄水を噴射する。バイト切削装置12のチャックテーブル2で粘着テープ13を介して板状物11を吸引保持し、図6に示すように、スピンドル32を回転してバイト工具32を円軌道で回転させながら、チャックテーブル2に保持された板状物11の表面に所定深さ切り込み、チャックテーブル2を矢印Y方向に所定の加工送り速度で直線的に加工送りして、チャックテーブル2に保持された板状物11の表面をバイト工具36によって旋削する旋削ステップを実施して、板状物11の表面を平坦に加工する。上述した実施形態の板状物の保持方法によると、反りを有する板状物11でも粘着テープ13を介してチャックテーブル2で吸引保持できるため、例えば反りを有するバンプ付きウエーハのアンダーフィル材やWL-CSPウエーハ等をバイト工具36により旋削加工することができる。