"支持体と、帯状の振動梁と、圧電体層と、前記圧電体層を挟持する一対の電極と、を具備し、前記振動梁の第1の端部および第2の端部は、前記支持体に固定され、前記圧電体層および前記一対の電極が、前記振動梁の表面に配置され、前記振動梁は、振動していない状態で、一つの平面内に伸長し、前記支持体に固定された前記第1の端部から伸長する第1の部分と、前記支持体に固定された前記第2の端部から伸長する第2の部分と、前記第1の部分における前記第1の端部とは反対側の端部および前記第2の部分における前記第2の端部とは反対側の端部をつなぐ第3の部分と、を有し、および前記平面に垂直な方向から見て、前記第1の端部から前記第1の部分が伸長する第1の方向、および前記第2の端部から前記第2の部分が伸長する第2の方向が、それぞれ前記第2の端部および前記第1の端部に近づく方向であるとともに、前記第1の端部の中心と前記第2の端部の中心とを結ぶ直線に対して0°を超え90°未満の角度を有し、前記第3の部分が前記直線と1回交差する、形状を有する、圧電発電素子。前記第1の方向と前記第2の方向とが互いに平行である請求項1に記載の発電素子。前記振動梁が、前記平面に垂直な方向から見て点対称の形状を有する請求項1に記載の発電素子。前記一対の電極から選ばれる少なくとも1つの電極が、前記振動梁が伸長する方向に、分割して2以上配置されている請求項1に記載の発電素子。圧電発電素子を用いた発電方法であって、前記圧電発電素子を準備する工程、およびここで、前記圧電発電素子は、支持体と、帯状の振動梁と、圧電体層と、前記圧電体層を挟持する一対の電極と、を具備し、前記振動梁の第1の端部および第2の端部は、前記支持体に固定され、前記圧電体層および前記一対の電極が、前記振動梁の表面に配置され、前記振動梁は、振動していない状態で、一つの平面内に伸長し、前記支持体に固定された前記第1の端部から伸長する第1の部分と、前記支持体に固定された前記第2の端部から伸長する第2の部分と、前記第1の部分における前記第1の端部とは反対側の端部および前記第2の部分における前記第2の端部とは反対側の端部をつなぐ第3の部分と、を有し、および前記平面に垂直な方向から見て、前記第1の端部から前記第1の部分が伸長する第1の方向、および前記第2の端部から前記第2の部分が伸長する第2の方向が、それぞれ前記第2の端部および前記第1の端部に近づく方向であるとともに、前記第1の端部の中心と前記第2の端部の中心とを結ぶ直線に対して0°を超え90°未満の角度を有し、前記第3の部分が前記直線と1回交差する、形状を有し、前記圧電発電素子に振動を与えることにより、前記一対の電極間に電位差を生じさせる工程、を包含する、方法。前記第1の方向と前記第2の方向とが互いに平行である請求項5に記載の方法。前記振動梁が、前記平面に垂直な方向から見て点対称の形状を有する請求項5に記載の方法。前記一対の電極から選ばれる少なくとも1つの電極が、前記振動梁が伸長する方向に、分割して2以上配置されている請求項5に記載の方法。振動梁を予め屈曲させる手法は、振動梁の振幅量を増大させる。しかし、圧電発電素子の製造時に、振動梁の屈曲、双安定点のサーチ、振動梁の屈曲状態の調整ならびに調整した状態を保った振動梁の固定が必須となる。すなわち、圧電発電素子の製造工程が複雑である。従来、両持ち式の振動梁を具備し、発電量が大きく、製造が比較的容易な圧電発電素子は実現されていない。本発明は、外部振動に対して破損し難い両持ち式の振動梁を具備しながら、発電量が大きく、製造が比較的容易な圧電発電素子の提供を目的とする。また、本発明は、当該圧電発電素子を用いた発電方法の提供を目的とする。本発明の圧電発電素子は、支持体と、帯状の振動梁と、圧電体層と、前記圧電体層を挟持する一対の電極と、を具備する。前記振動梁の双方の端部第1の端部および第2の端部は、前記支持体に固定されている。前記圧電体層および前記一対の電極が、前記振動梁の表面に配置されている。前記振動梁は、振動していない状態で、一つの平面内に伸長する。前記振動梁は、前記支持体に固定された前記第1の端部から伸長する第1の部分と、前記支持体に固定された前記第2の端部から伸長する第2の部分と、前記第1の部分における前記第1の端部とは反対側の端部および前記第2の部分における前記第2の端部とは反対側の端部をつなぐ第3の部分と、を有する。前記振動梁は、前記平面に垂直な方向から見て、以下の1~3の形状を有する。1前記第1の端部から前記第1の部分が伸長する第1の方向、および前記第2の端部から前記第2の部分が伸長する第2の方向が、それぞれ前記第2の端部および前記第1の端部に近づく方向である。2前記第1の方向および前記第2の方向が、それぞれ、前記第1の端部の中心と前記第2の端部の中心とを結ぶ直線に対して0°を超え90°未満の角度を有する。3前記第3の部分が前記直線と1回交差する。本発明の方法は、圧電発電素子を用いた発電方法であって、前記圧電発電素子を準備する工程と、以下の工程Aとを包含する。ここで、前記圧電発電素子は、支持体と、帯状の振動梁と、圧電体層と、前記圧電体層を挟持する一対の電極と、を具備する。前記振動梁の双方の端部第1の端部および第2の端部は、前記支持体に固定されている。前記圧電体層および前記一対の電極が、前記振動梁の表面に配置されている。前記振動梁は、振動していない状態で、一つの平面内に伸長する。前記振動梁は、前記支持体に固定された前記第1の端部から伸長する第1の部分と、前記支持体に固定された前記第2の端部から伸長する第2の部分と、前記第1の部分における前記第1の端部とは反対側の端部および前記第2の部分における前記第2の端部とは反対側の端部をつなぐ第3の部分と、を有する。前記振動梁は、前記平面に垂直な方向から見て、以下の1~3の形状を有する。1前記第1の端部から前記第1の部分が伸長する第1の方向、および前記第2の端部から前記第2の部分が伸長する第2の方向が、それぞれ前記第2の端部および前記第1の端部に近づく方向である。2前記第1の方向および前記第2の方向が、それぞれ、前記第1の端部の中心と前記第2の端部の中心とを結ぶ直線に対して0°を超え90°未満の角度を有する。3前記第3の部分が前記直線と1回交差する。工程Aは、前記圧電発電素子に振動を与えることにより、前記一対の電極間に電位差を生じさせる工程である。本発明の発電素子は、特定の形状を有する振動梁を具備する。これにより、外部振動に対して破損し難く、発電量が大きく、製造が比較的容易な圧電発電素子が実現する。本発明の圧電発電素子は、当該素子の周囲環境に存在する振動から、大きな電力を捕捉しうる。本発明の圧電発電素子の使用により、頑強で、生産性に優れる、小型の自立発電機が実現する。以下、本発明の実施の形態が説明される。以下の説明において、同一の部材に同一の符号が与えられる。これにより、重複する説明が省略される。[圧電発電素子]図1は、本発明の圧電発電素子の一例を示す。図1に示される圧電発電素子1は、帯状の振動梁2を具備する。振動梁2の双方の端部第1の端部4および第2の端部6は、支持体土台3に固定されている。振動梁2の当該端部固定端以外の部分振動部は、外部振動に応じて振動しうる。すなわち、振動梁2は、両持ち式である。このため、振動梁2は、外部振動に対して破損し難い。振動梁2は、振動部が当該梁の厚さ方向に振動しうるように、支持体3に固定されている。振動梁2は、当該梁が振動していない状態で、一つの平面内に伸長している。すなわち、素子1の製造時に、振動梁の屈曲、双安定点のサーチ、振動梁の屈曲状態の調整ならびに調整した状態を保った振動梁の固定は不要である。このため、素子1は、製造が比較的容易である。振動梁2が伸長する平面に垂直な方向と、振動梁2の主面に垂直な方向とは同一である。振動梁2は、支持体3に固定された第1の端部4から伸長する第1の部分5と、支持体3に固定された第2の端部6から伸長する第2の部分7と、第1の部分5における端部4とは反対側の端部および第2の部分7における端部6とは反対側の端部を接続する第3の部分10と、を有する。図2は、図1に示される素子1を、振動梁2が伸長する平面に垂直な方向から見た平面図である。図2に示されるように、振動梁2が伸長する平面に垂直な方向から見て、振動梁2の第1の端部4から第1の部分5が伸長する第1の方向11は、振動梁2の第2の端部6に近づく方向である。振動梁2の第2の端部6から第2の部分7が伸長する第2の方向12は、振動梁2の第1の端部4に近づく方向である。第1の方向11および第2の方向12は、振動梁2の第1の端部4の中心8と、第2の端部6の中心9とを結ぶ直線13に対して、0°を超え90°未満の角度で交わる。第3の部分10は、直線13と1回交差する。振動梁2の表面に、圧電体層および当該圧電層を挟持する一対の電極を具備する発電層14が配置されている。帯状の振動梁2の厚さ方向と、圧電体層の厚さ方向とは同一である。振動梁2を具備する素子1は、外部振動による発電量が大きい。図12に示される従来の圧電発電素子は、両持ち式の振動梁201を具備する。しかし、振動梁201では、その一方の端部202から梁201が伸長する方向と、他方の端部203から梁201が伸長する方向とが同一である。これに加えて、これらの方向と、梁201の双方の端部の中心とを結ぶ直線は平行である。すなわち、これらの方向と当該直線とがなす角度が0°である。このような直線のブリッジ形状を有する振動梁201は、剛直である。振動梁201は、振動時にとりうる振幅量が小さい。これに対して、第1の方向11および第2の方向12が直線13に対して0°を超える角度で交わる形状に基づいて、振動梁2は、より柔軟である。したがって、振動梁2は、振動時にとりうる振幅量が大きい。しかし、振動梁がとりうる振幅量が大きいだけでは、発電量は大きくならない。圧電発電素子では、振動梁が伸長する平面に垂直な方向振動梁および圧電体層の厚さ方向、例えば、図2に示されるz方向の振動により、発電が行われるからである。これを考慮し、振動梁2は、上述した形状を有する。素子1に対して、振動梁2が伸長する平面に垂直な方向図2に示されるz方向に外部から機械的振動が加わると、振動梁2がz方向に振動して、発電が行われる。その他の方向の振動、例えば、図2に示されるy方向の振動は、発電に寄与しない。しかし、外部振動がz方向の成分のみからなることは希である。外部振動は、通常、z方向以外の方向の成分を含む。素子1では、y方向の成分が外部振動に含まれる場合、振動梁2におけるy方向の振動が抑制される。抑制されたy方向の振動は、z方向の振動に集約され、発電に寄与する。これにより、素子1の発電量が大きくなる。振動梁に屈曲部または湾曲部を設けることにより、振動梁がとりうる振幅量が大きくなる。しかし、振動梁が上述した形状を満たさない場合、振動梁においてy方向の振動が抑制される程度が小さくなる。すなわち、y方向の振動がz方向の振動に集約される量が減少し、発電量が小さくなる。屈曲部または湾曲部を有するが、上述した形状を満たさない振動梁の一例が図3に示される。図3に示される振動梁301は、振動していない状態で、一つの平面内に伸長している。図3は、振動梁301が伸長する平面に垂直な方向から見た平面図である。振動梁301は、支持体302に固定された一方の端部303から伸長する部分305と、支持体302に固定された他方の端部304から伸長する部分306と、を有する。振動梁301は、部分305と部分306との間に、屈曲部309および屈曲部310を有する。屈曲部309,310は、振動梁301がとりうる振幅量の増大に寄与する。しかし、振動梁301が伸長する平面に垂直な方向から見て、端部303から部分305が伸長する方向307と、端部304から部分306が伸長する方向308とは、端部303の中心311と端部304の中心312とを結ぶ直線313と平行である。すなわち、方向307,308と直線313とがなす角度は0°である。y方向の成分を含む振動が振動梁301に加わると、振動梁301はy方向に振動する。すなわち、振動梁301では、y方向の振動がz方向の振動に集約される量が減少し、発電量が小さくなる。図1および図2に示される振動梁2において、第1の部分5が伸長する第1の方向11は、第2の部分7が支持体3に固定されている第2の端部6に近づく方向である。第2の部分7が伸長する第2の方向12は、第1の部分5が支持体3に固定されている第1の端部4に近づく方向である。仮に、方向11および方向12が、それぞれ第2の端部6および第1の端部4から遠ざかる方向である場合、第1の部分5と第2の部分7とを接続する第3の部分10の長さが長く、形状が複雑になる。さらに、第1の方向11および第2の方向12は、第1の端部4の中心8と第2の端部6の中心9とを結ぶ直線13に対して90°未満の角度で交わる。仮に、方向11および方向12が、直線13に対して90°以上の角度で交わる場合、第3の部分10の長さが長く、形状が複雑になる。さらに、第3の部分10は直線13と1回交差する。仮に、交差が2回以上とすると、第3の部分10の長さが長く、形状が複雑になる。すなわち、振動梁2の形状は、振幅量を増やしながら、第1の部分5と第2の部分7とを接続する第3の部分10の長さを短くし、形状を過度に複雑にしない技術的思想に基づく。第3の部分の長さが長い、または第3の部分の形状が複雑であると、振動梁が、z方向以外の方向に振動しやすくなる。すなわち、発電量が低下する。振動による振動梁の振幅量は、振動梁の固定端支持体に固定されている端部近傍において最も大きい。振幅量が大きいほど、発電量が多くなる。すなわち、第1の部分、第2の部分および第3の部分では、発電量に対する第3の部分の寄与が相対的に小さい。よって、第3の部分の長さを短くしたとしても、z方向に振動が集約する効果によって、発電量が増大する。第3の部分と、振動梁における両端部の中心間を結ぶ直線と、の交差が0回の場合、振動梁は、当該梁が伸長する平面において、当該直線によって分割される一方の平面のみに存在する。この形状の場合、振動梁の長さに関係なく、振動梁がz方向以外の方向に振動しやすくなる。すなわち、発電量が低下する。本発明の圧電発電素子では、第3の部分と、当該直線との交差回数は1回である。この場合、振動梁は、当該梁が伸長する平面において、当該直線によって分割される双方の平面に存在する。図1および図2に示される振動梁2の振動部の幅振動梁2が伸長する平面に垂直な方向から見た幅は、均一である。第1の部分5および第2の部分7は、当該平面に垂直な方向から見て、台形である。第3の部分10は、当該平面に垂直な方向から見て、平行四辺形である。振動梁2は、2つの、直角の屈曲部を有する。一方の屈曲部は、第1の部分5と第3の部分10との接続部に位置する。他方の屈曲部は、第2の部分7と第3の部分10との接続部に位置する。図1および図2に示される振動梁2は、当該平面に垂直な方向から見て、クランク状である。振動梁の端部の中心とは、以下の点である。図1および図2に示される振動梁2のように、当該梁の側面において支持体に固定されている場合図4A参照、振動梁21が伸長する平面に垂直な方向から見て、振動梁21における支持体22に接する側面の端点A,Bを結ぶ線分ABの中点Cである。振動梁が、当該梁の表面主面において支持体に固定されている場合図4B参照、振動梁21が伸長する平面に垂直な方向から見て、振動梁21が支持体22と重複しない部分すなわち振動部23の端を端部として、その端点A,Bを結ぶ線分ABの中点Cである。第1の部分および第2の部分が伸長する方向とは、当該部分の中心線帯状の振動梁の長さ方向の中心線が伸びる方向である。第1の部分および第2の部分の中心線は直線である。第3の部分が直線と交差する、とは、第3の部分の中心線帯状の振動梁の長さ方向の中心線が、当該直線と交差することを意味する。本発明の圧電発電素子において、第1の部分および第2の部分の形状は、以下の条件を満たす限り限定されない。双方の端部第1の端部および第2の端部が支持体に固定されている。第1の部分および第2の部分が、それぞれ、第1の端部および第2の端部から伸長している。第1の部分および第2の部分が、振動していない状態で、一つの平面内に伸長している。振動梁が伸長する平面に垂直な方向から見て、第1の部分および第2の部分が上記各端部から伸長する方向第1の方向および第2の方向は、それぞれ、第2の端部および第1の端部に近づく方向である。振動梁が伸長する平面に垂直な方向から見て、第1の方向および第2の方向は、当該端部の中心間を結ぶ直線に対して0°を超え90°未満の角度を有する。第3の部分の形状は、第1の部分と第2の部分とを、当該各部分の端部において接続し、第1の部分および第2の部分が伸長する平面と同一平面内に伸長し、上記直線と1回交差する限り、限定されない。第3の部分は、振動梁が伸長する平面に垂直な方向から見て、湾曲部および/または屈曲部を有しうる。振動梁において、第1の方向と第2の方向とが互いに平行であることが好ましい。この場合、z方向以外の方向の振動が、z方向の振動に集約される量が増大する。振動梁は、当該梁が伸長する平面に垂直な方向から見て、点対称の形状を有することが好ましい。この場合、z方向以外の方向の振動が、z方向の振動に集約される量が増大する。図1および図2に示される振動梁2は、その中心線15上の点16を基準に、点対称の形状を有する。点16は、中心線15において、第1の端部4と第2の端部6との間の中間点に位置する。本発明の圧電発電素子において、振動梁の表面に、錘が配置されうる。錘の配置により、圧電発電素子における応答周波数の調整および捕捉振動のレベル調整がなされうる。図1および図2に示されるように、本発明の圧電発電素子において、振動梁2の表面に発電層14が配置される。発電層14は、圧電体層と、圧電体層を挟持する一対の電極と、を具備する。発電層14は、振動梁2の少なくとも一部の表面に配置される。発電層14が配置されていない振動梁2の表面が存在しうる。発電層14は、振動梁2の双方の表面主面に配置されうる。発電層14は、振動梁2における支持体3に固定されている部分ならびに支持体3の表面に、さらに配置されうる。図1および図2において、発電層14の厚さが表現されていない。しかし、実際は、発電層14は厚さを有する。圧電体層を構成する材料は、圧電性能を有する。具体的な当該材料は、例えば、PbZr,TiO3のような鉛を含む強誘電体;BaTiO3、Bi,NaTiO3およびK,NaNbO3のような強誘電体;および高分子圧電材料である。圧電体層を構成する材料は、公知の圧電材料でありうる。電極は、導電性を有する材料から構成される。当該材料は限定されない。振動梁、圧電体層および電極の厚さ、発電層の構成および支持体の形状は、当業者であれば、適宜調整しうる。図1および図2に示される素子1では、支持体3は、振動梁2が伸長する平面に垂直な方向から見て、振動梁2を囲むU字状である。本発明の圧電発電素子は、当業者であれば、公知の方法を応用して製造しうる。以下、本発明の圧電発電素子がとりうるバリエーションが述べられる。図5Aおよび図5Bは、本発明の圧電発電素子の別の一例を示す。図5Bは、図5Aに示される圧電発電素子31を、当該素子31が具備する振動梁32の中心線33に沿って切断した断面を示す。図5Aおよび図5Bに示される圧電発電素子31は、圧電体層33を挟持する一対の電極下部電極32および上部電極34から選ばれる一方の電極上部電極34が、振動梁2が伸長する方向に、分割して2以上上部電極34a,34b,34c配置されている以外、図1および図2に示される圧電発電素子1と同一である。上部電極34aは、下部電極32および圧電体層33を介して、振動梁2における第1の部分5の表面に配置されている。上部電極34bは、下部電極32および圧電体層33を介して、振動梁2における第3の部分10の表面に配置されている。上部電極34cは、下部電極32および圧電体層33を介して、振動梁2における第2の部分7の表面に配置されている。z方向の外部振動に対して、振動梁2の全体は同じ方向に変位する。一方、振動梁2の表面に発生する面内応力、すなわち振動梁2の表面に配置された圧電体層33に加わる応力は、第1の部分5および第2の部分7と、第3の部分10と、の間で異なる。具体的には、第1の部分5および第2の部分7は、その一方の端部が支持体3に固定されている固定端を有する。一方、第3の部分10は、双方の端部が振動しうる。したがって、第1の部分5および第2の部分7に圧縮応力が加わるとき、第3の部分10に引っ張り応力が加わる。第1の部分5および第2の部分7に引っ張り応力が加わるとき、第3の部分10に圧縮応力が加わる。圧縮応力と引っ張り応力とは、振動に応じて、周期的かつ交互に、各部分に加わる。すなわち、圧電体層のうち、第1の部分5および第2の部分7に対応する部分に生じる電界の向きと、第3の部分10に対応する部分に生じる電界の向きとが逆になる図5B参照。圧電体層33における矢印は、ある瞬間における、当該層33内に生じた電界の向きを指し示す。このため、圧電体層33を挟持する一対の電極を、分割することなく、第1の部分5、第2の部分7および第3の部分10に共通して配置すると、圧電体層のうち、第1の部分5および第2の部分7に対応する部分における発電と、第3の部分10に対応する部分における発電とが打ち消し合う。これは、圧電発電素子に、発電量の低下をもたらす。これに対して、図5Aおよび図5Bに示される素子31では、上部電極34が、3つに分割されている。これにより、圧電体層33における発電が打ち消し合う程度が軽減されうる。すなわち、本発明の圧電発電素子では、圧電体層を挟持する一対の電極から選ばれる少なくとも1つの電極が、振動梁が伸長する方向に、分割して2以上配置されていることが好ましい。当該少なくとも1つの電極が分割される具体的な状態は特に限定されない。分割の状態ならびに発電により生じた電力を取り出す配線の状態によっては、圧電体層における発電の打ち消し合いは、ほぼ抑えられる。図5Aおよび図5Bに示される例では、上部電極34が、第1の部分5、第2の部分7および第3の部分10のそれぞれに対応する3つの電極34a,34bおよび34cに分割されている。図5Bに示されるように、この場合、下部電極32を介して、圧電体層における第1の部分5に対応する部分と、圧電体層における第2の部分7に対応する部分と、が電気的に並列に接続されている。これに加えて、下部電極32を介して、圧電体層における第1の部分5に対応する部分および第2の部分7に対応する部分と、圧電体層における第3の部分10に対応する部分と、が電気的に直列に接続されている。この構成によれば、発電の打ち消し合いがほぼ抑えられ、大きな電力量が取り出されうる。上述したように、振動梁の固定端に近い部分で発電量が大きいため、第3の部分の表面に配置された電極34bは省略されうる。配線の状態は、以下の状態でありうる:電極34aと下部電極32とを利用して、圧電体層のうち、第1の部分5に対応する部分において発生した電力を取りだす;電極34bと下部電極32とを利用して、圧電体層のうち、第2の部分7に対応する部分において発生した電力を取りだす;電極34cと下部電極32とを利用して、圧電体層のうち、第3の部分10に対応する部分において発生した電力を取り出す。すなわち、第1の部分5に対応する部分で発生した電力と、第2の部分7に対応する部分で発生した電力と、第3の部分10に対応する部分で発生した電力とを、個別に取り出す。図6Aおよび図6Bは、少なくとも1つの電極が、振動梁が伸長する方向に分割して2以上配置された別の例を示す。図6Bは、図6Aに示される圧電発電素子41を、当該素子41が具備する振動梁2の中心線15に沿って切断した断面を示す。図6Aおよび図6Bに示される圧電発電素子41は、圧電体層43を挟持する一対の電極下部電極42および上部電極44のそれぞれが、振動梁2が伸長する方向に、分割して2以上下部電極42a42bおよび上部電極44a,44b配置されている以外、図1および図2に示される圧電発電素子1と同一である。上部電極44aは、下部電極42aおよび圧電体層43を介して、振動梁2における第1の部分5の表面に配置されている。上部電極44bは、下部電極42aおよび圧電体層43を介して、振動梁2における第2の部分7の表面に、ならびに下部電極42bおよび圧電体層43を介して、振動梁2における第3の部分10の表面に配置されている。下部電極42aは、振動梁2における第1の部分5および第2の部分7の表面に配置されている。下部電極42bは、振動梁2における第3の部分10の表面に配置されている。下部電極42aと下部電極42bとの間には、双方の電極42a,42bを電気的に絶縁する絶縁ギャップ45が配置されている。絶縁ギャップ45は、空隙または絶縁物から構成されうる。図6Aおよび図6Bに示される素子41では、圧電体層における、第1の部分5に対応する部分、第2の部分7に対応する部分および第3の部分10に対応する部分が、電気的に直列に接続されている。素子41において、上述した打ち消し合いがほぼ抑えられ、大きな電力量が取り出されうる。これに加えて素子41では、電力を取り出す電極が、振動梁2の固定端の近傍に配置されている。このため、素子41と外部回路との接続が容易となる。図1に示されるように、本発明の圧電発電素子が具備する振動梁は、屈曲部を有しうる。図1に示される素子1が具備する振動梁2は、2つの、直角の屈曲部を有する。本発明の圧電発電素子において、振動梁が屈曲部を有する場合、屈曲部の角度は鋭角または鈍角でありうる。図7Aは、振動梁の屈曲部の角度が鋭角である素子の例を示す。図7Aに示される素子が具備する振動梁51は、2つの、鋭角の屈曲部を有する。屈曲部の角度が鋭角である場合、振動梁51が収容される、支持体3に囲まれた空間の使用効率が増大しうる。すなわち、素子の単位面積あたりの発電量が増大しうる。図7Bは、振動梁の屈曲部の角度が鈍角である例を示す。図7Bに示される素子が具備する振動梁53は、2つの、鈍角の屈曲部を有する。図7Cは、振動梁54が、2つの、鋭角の屈曲部を有するが、当該屈曲部に丸みが与えられた例を示す。振動梁に角部があると、繰り返し加えられる振動によって、当該角部を起点として亀裂が生じることがある。図7Bおよび図7Cに示される例では、このような亀裂の発生が抑制されうる。すなわち、素子の破損頻度が減少し、より頑強な素子が実現しうる。図7A~図7Cに示される例では、いずれも、上部電極が、振動梁51,53または54が伸長する方向に、分割して2以上配置されている上部電極52a,52bおよび52c。図7A~図7Cに示される例における第1の部分5および第2の部分7は、振動梁の中心線15が直線の部分である。振動梁51,53または54における残る部分は、第3の部分10である。図8Aは、図5Aに示される素子における、振動梁の固定端の近傍を拡幅した例を示す。図8Bは、図7Aに示される素子における、振動梁の固定端の近傍を拡幅した例を示す。図8Cは、図7Bに示される素子における、振動梁の固定端の近傍を拡幅した例を示す。図8Dは、図7Cに示される素子における、振動梁の固定端の近傍を拡幅した例を示す。これらの例に示されるように、固定端の近傍を拡幅すると、圧電発電素子の発電効率が向上する。これに加えて、振動梁が収容される、支持体3に囲まれた空間の使用効率が増大しうる。すなわち、素子の単位面積あたりの発電量が増大しうる。拡幅は、好ましくは、固定端に近づくにつれて振動梁の幅が大きくなる形態を有する。本発明の圧電発電素子は、本発明の効果が得られる限り、上述した以外の任意の部材を具備しうる。[圧電発電素子を用いた発電方法]上述した本発明の圧電発電素子に振動を与えることにより、圧電体層を挟持する一対の電極間に電位差が生じる。これにより、当該電極を介して電力が得られる。上述した圧電発電素子の好ましい形態は、本発明の発電方法に使用する圧電発電素子においても、好ましい。外部から圧電発電素子に機械的振動が与えられると、当該素子が具備する振動梁が振動する。当該振動が、圧電効果による起電力を圧電体層に発生させる。このようにして、圧電体層を挟持する一対の電極上部電極および下部電極の間に電位差が発生する。本発明の発電方法では、大きな発電量が実現しうる。以下、実施例により、本発明が、より詳細に説明される。本発明は、以下の実施例に限定されない。実施例1実施例1では、シリコンSi基板を微細加工して、支持体と、当該支持体に固定された振動梁とが形成された。2種類の振動梁が形成された。一つは、図12に示される直線ブリッジ状の振動梁であった。もう一つは、図1に示されるクランク状の振動梁であった。形成した振動梁の表面には、ペロブスカイト型強誘電体PbZr,TiO3以下、PZTから構成される圧電体層、ならびに当該圧電体層を挟持する一対の電極上部電極および下部電極が配置された。これにより、本発明の圧電発電素子振動梁が図1に示される形状と、比較用の圧電発電素子振動梁が図12に示される形状とが形成された。具体的な形成方法が、以下に示される。最初に、Si基板上に、ドライエッチング後に下部電極となる厚さ100nmのイリジウムIr層が、スパッタリングにより形成された。次に、Ir層上に、ドライエッチング後に圧電体層となる厚さ3.6μmのPZT薄膜が、スパッタリングにより形成された。PZT薄膜は、基板温度600°Cの条件下で、形成された。次に、Si基板/Ir層/PZT薄膜の積層体が、フォトリソグラフィにより、図1に示される形状にパターニングされた。これとは別に、Si基板/Ir層/PZT薄膜の別の積層体が、フォトリソグラフィにより、図12に示される形状にパターニングされた。パターニングにおいて、振動梁の幅振動梁が伸長する平面に垂直な方向から見た幅は、振動梁全体で均一であり、2mmであった。支持体の形状は、図1および図12に示される形状U字状であった。U字の平行に向かい合った辺の間隔は10mmであった。図1に示される形状において、振動梁2の第3の部分10の長さは、当該部分の中心線15の長さにして、4mmであった。次に、ドライエッチング後に上部電極となる厚さ100nmの金Au層が、スパッタリングにより形成された。PZT薄膜とAu層との間には、密着層としてチタンTi層が配置された。Au層は、振動梁の固定端となる部分に接するように形成された。次に、全体が、振動梁の厚さが80μmとなるようにドライエッチングされた。これにより、図1に示される形状を有する圧電発電素子と、図12に示される形状を有する圧電発電素子とが形成された。このように形成された2種類の圧電発電素子が、それぞれ、振動試験機に設置された。次に、振動試験機により、素子の振動梁の主面に垂直な方向z方向に振動が加えられた。その際、振動梁の一方の固定端における上部電極および下部電極が負荷抵抗に接続され、素子において発生した発電量が見積もられた。図9は、2GG:重力加速度の最大加速度を有する、周波数800Hzの外部振動を素子に与えた際の、無負荷時の発生電圧上部電極-下部電極間に発生した電位差の時間依存性を示す。白マークは、図12に示される形状を有する圧電発電素子が出力する電位差に対応する。黒マークは、図1に示される形状を有する圧電発電素子が出力する電位差に対応する。図9に示されるように、図1に示される形状を有する素子が出力するピーク間電圧は2.8Vであった。これは、図12に示される形状を有する素子が出力するピーク間電圧の2倍以上であった。次に、負荷の接続により、各素子の平均発生電力が見積もられた。双方の素子ともに、5kΩキロオームの負荷抵抗を接続した際に、最大の発電量が示された。図12に示される形状を有する素子の最大発電量は、電力実効値にして8μWであった。一方、図1に示される形状を有する素子の最大発電量は、電力実効値にして50μWであった。次に、素子に加える外部振動の最大加速度を増加させた。図12に示される形状を有する素子の最大発電量は10μWで飽和した。これは、振動梁における振幅量の限界が低いためと考えられた。一方、図1に示される形状を有する素子の最大発電量は、加速度の増加に応じて増大した。図1に示される形状を有する素子において、最大加速度2Gの外部振動に対する瞬間的な最大発生電力は、400μWに達することが確認された。これに加えて、最大加速度10Gの外部振動に対しても、当該素子は破損せず、発電が続いた。実施例2実施例1と同様の材料および手法を用いて、図1に示される形状を有する圧電発電素子および図3に示される形状を有する圧電発電素子が形成された。双方の素子ともに、振動梁の幅は、振動梁全体で均一であり、2mmであった。支持体の形状は、図1および図3に示される形状U字状であった。U字の平行に向かい合った辺の間隔は10mmであった。図1に示される形状において、振動梁2の第3の部分10の長さは、当該部分の中心線15の長さにして、4mmであった。双方の素子ともに、上部電極は、振動梁の固定端から3mm程度の長さで形成した。双方の素子ともに、振動梁の中央の点16図1に示される形状を有する素子および点320図3に示される形状を有する素子に、振動梁の共振周波数が800Hz前後となるように、錘が設置された。このように形成された2種類の圧電発電素子が、それぞれ、振動試験機に設置された。次に、振動試験機により、素子の振動梁の主面に垂直な方向z方向に、最大加速度3Gの外部振動が加えられた。その際の最大発電量が、実施例1と同様に見積もられた。双方の素子ともに、110μWの電力実効値が得られた。次に、振動試験機により、z方向と完全に同一ではなく、y方向に45度傾いた、すなわち、z方向およびy方向の双方の成分を含む外部振動が、双方の素子に加えられた。図3に示される形状を有する素子では、最大発電量が、電力実効値にして70μWであった。一方、図1に示される形状を有する素子では、最大発電量が、電力実効値にして100μWであった。図1に示される形状を有する素子では、y方向の振動がz方向の振動に集約された。すなわち、図1に示される形状を有する素子では、z方向だけではなくy方向の振動が発電に寄与する、非常に発電効率が高い圧電発電素子の構成が実現された。実施例3実施例1と同様の材料および手法を用いて、図10に示される形状を有する圧電発電素子が形成された。支持体3の形状は、U字状であった。U字の平行に向かい合った辺の間隔は10mmであった。振動梁65の幅は、第3の部分振動梁65における第1の部分5および第2の部分7以外の部分において、2mm均一であった。振動梁65の幅は、第1の部分5および第2の部分7における固定端において4mmであった。振動梁65の幅は、第1の部分5および第2の部分7における第3の部分との接続端において2mmであった。すなわち、振動梁65の幅は、固定端に近づくほど、大きかった。振動梁65の中央振動梁の中心線15における、一方の固定端から他方の固定端への中央部に位置する点16に、振動梁の共振周波数が800Hz前後となるように、錘が設置された。図面を分かり易くするために、第3の部分の図示は省略する。当該素子において、第1の部分5上に形成された上部電極52aと、第2の部分7上に形成された上部電極52cとは、第3の部分上の上部電極52bの傍らに設けられた引き出し配線61により、電気的に接続されている。上部電極52aは、支持体3上に形成された電極端子62へと引き出されている。第3の部分上に形成された上部電極52bは、上部電極52aの傍らに設けられた引き出し配線63により引き出され、電極端子64に電気的に接続されている。この構造により、電極端子62と電極端子64との間には、第1の部分5、第2の部分7および第3の部分の上に配置された圧電体層66で発生した電力が、直列で接続されている。すなわち、当該素子では、図5Bに示される電気的接続が実現している。これにより、効率的な発電量の確保が期待された。このように形成された圧電発電素子が、振動試験機に設置された。次に、振動試験機により、素子の振動梁の主面に垂直な方向z方向に、最大加速度2Gの外部振動が加えられた。その際の最大発電量が、実施例1と同様に見積もられた。当該素子では、負荷抵抗2kΩを接続した際に、最大発電量電力実効値にして1.5mWが得られた。これに加えて、瞬間的な最大発生電力が10mWに達した。当該素子は、支持体によって囲まれる空間に空隙が少ない振動梁の形状を有する。このため、単位面積振動梁の伸長する平面に垂直な方向から素子を見たときの単位面積あたりの実効発電量は、2mW/cm2もの大きな値に達した。本発明は、その意図および本質的な特徴から逸脱しない限り、他の実施形態に適用しうる。この明細書に開示されている実施形態は、あらゆる点で説明的なものであってこれに限定されない。本発明の範囲は、上記説明ではなく添付したクレームによって示されており、クレームと均等な意味および範囲にあるすべての変更はそれに含まれる。"