"[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]不飽和性エチレン系モノマー、[C]下記化学式1のシルセスキオキサン系化合物、[D]光重合開始剤、および[E]溶媒を含んでなる、有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。式中、Rはアクリル基またはオキセタール基、R1は炭素数1~5のアルキル基または水素原子、R2は炭素数1~5のアルコキシ基、炭素数1~5のアルキル基または水素原子、mとnは1~10をそれぞれ示す。前記[C]シルセスキオキサン系化合物の分子量が1000~4000であることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[C]シルセスキオキサン系化合物が二官能性乃至三官能性であることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[C]シルセスキオキサン系化合物が組成物の全体含量に対して5重量~60重量含まれることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[A]アルカリ可溶性樹脂が、[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物との共重合体であることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[A]アルカリ可溶性樹脂が、[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a3]前記[a1]および[a2]以外のオレフィン系不飽和カルボン酸エステル化合物との共重合体;[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a4]前記[a1]、[a2]および[a3]以外のオレフィン系不飽和化合物の中から選ばれた1種以上の化合物との共重合体;または[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a3]前記[a1]および[a2]]以外のオレフィン系不飽和カルボン酸エステル化合物と、[a4]前記[a1]、[a2]および[a3]以外のオレフィン系不飽和化合物の中から選ばれた1種以上の化合物とをラジカル重合して得られた共重合体であることを特徴とする、請求項5に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[a1]:[a2]成分が1:1.3~2.5の重量比で含まれることを特徴とする、請求項5に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[a1]:[a2]成分は1:1.3~2.5の重量比で含まれ、[a3]および[a4]成分の中から選ばれた1種以上の化合物は[A]アルカリ可溶性樹脂の全体含量に対して35~65重量含まれることを特徴とする、請求項6に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[A]アルカリ可溶性樹脂が組成物の全体含量に対して5~50重量含まれることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[A]アルカリ可溶性樹脂は固形分の含量が10~70重量であることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。前記[B]不飽和性エチレン系モノマーは、2つ以上の不飽和性エチレン結合を有するアクリルモノマーであり、組成物の全体含量に対して5~60重量含まれることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。薄膜形成後の誘電定数が3.3以下であることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。粘度が3~30cpsであることを特徴とする、請求項1に記載の有機絶縁膜用感光性樹脂組成物。請求項1~13のいずれか1項による組成物を用いて製造された有機絶縁膜。請求項14による有機絶縁膜を含むディスプレイ装置。本発明は、平坦度、感度、耐熱性、透明性、密着性などに優れるうえ、低誘電率特性を有する有機絶縁膜として、露光工程中の硬化密度を高めて現像工程中のパターンの遺失および塗膜の損失を最小化する感光性樹脂組成物を提供しようとする。本発明の一具現例は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]不飽和性エチレン系モノマー、[C]下記化学式1のシルセスキオキサン系化合物、[D]光重合開始剤、および[E]溶媒を含んでなる、有機絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。式中、Rはアクリル基またはオキセタール基、R1は炭素数1~5のアルキル基または水素原子、R2は炭素数1~5のアルコキシ基、炭素数1~5のアルキル基または水素原子、mとnは1~10をそれぞれ示す。前記[C]シルセスキオキサン系化合物の分子量は1000~4000であってもよい。前記[C]シルセスキオキサン系化合物は二官能性乃至三官能性であってもよい。前記[C]シルセスキオキサン系化合物は組成物の全体含量に対して5重量~60重量含まれてもよい。前記[A]アルカリ可溶性樹脂は、[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物との共重合体であってもよい。前記[A]アルカリ可溶性樹脂は、[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a3]前記[a1]および[a2]以外のオレフィン系不飽和カルボン酸エステル化合物との共重合体;[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a4]前記[a1]、[a2]および[a3]以外のオレフィン系不飽和化合物の中から選ばれた1種以上の化合物との共重合体;または[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a3]前記[a1]および[a2]以外のオレフィン系不飽和カルボン酸エステル化合物と、[a4]前記[a1]、[a2]および[a3]以外のオレフィン系不飽和化合物の中から選ばれた1種以上の化合物とをラジカル重合して得られたの共重合体であってもよい。前記[a1]:[a2]成分は1:1.3~2.5の重量比で含まれてもよい。前記[a1]:[a2]成分は1:1.3~2.5の重量比で含まれ、[a3]および[a4]成分の中から選ばれた1種以上の化合物は[A]アルカリ可溶性樹脂の全体含量に対して35~65重量含まれてもよい。前記[A]アルカリ可溶性樹脂は組成物の全体含量に対して5~50重量含まれてもよい。前記[A]アルカリ可溶性樹脂は固形分の含量が10~70重量であってもよい。前記[B]不飽和性エチレン系モノマーは、2つ以上の不飽和性エチレン結合を有するアクリルモノマーであり、組成物の全体含量に対して5~60重量含まれてもよい。薄膜形成後の誘電定数は3.3以下であってもよい。前記組成物の粘度は3~30cpsであってもよい。本発明の他の具現例は、前記組成物を用いて製造された有機絶縁膜を提供する。本発明の別の具現例は、前記有機絶縁膜を含むディスプレイ装置を提供する。本発明に係る感光性樹脂組成物は、現像工程中のパターンの遺失および過度な塗膜の損失がなく、低誘電率、平坦度、感度、耐熱性、透明性および密着性に優れるため、消費電力を低めることができるから、多様なディスプレイ工程の有機絶縁膜に適する。本発明の一具現例によれば、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]不飽和性エチレン系モノマー、[C]下記化学式1のシルセスキオキサン系化合物、[D]光重合開始剤、および[E]溶媒を含んでなる、有機絶縁膜用樹脂組成物を提供する。式中、Rはアクリル基またはオキセタール基、R1は炭素数1~5のアルキル基または水素原子、R2は炭素数1~5のアルコキシ基、炭素数1~5のアルキル基または水素原子、mとnは1~10をそれぞれ示す。以下、本発明の一具現例をより詳細に説明する。本発明の一具現例に係る有機絶縁膜用感光性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の化合物、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物、[a3]前記[a1]および[a2]以外のオレフィン系不飽和カルボン酸エステル化合物、および[a4]前記[a1]、[a2]および[a3]以外のオレフィン系不飽和化合物の中でも、[a1]と[a2]との共重合体、または[a3]および[a4]の中から選ばれた1種以上と[a1]と[a2]との共重合体、好ましくは下記化学式2のアルカリ可溶性樹脂、[B]不飽和性エチレン系モノマー、[C]下記化学式1のシルセスキオキサン系化合物、[D]光重合開始剤、および[E]溶媒を含んでなる。式中、Rはアクリル基またはオキセタール基、R1は炭素数1~5のアルキル基または水素原子、R2は炭素数1~5のアルコキシ基、炭素数1~5のアルキル基または水素原子、mとnは1~10をそれぞれ示す。式中、R1は炭素数1~5のアルキル基または水素原子、R2は炭素数1~5のアルキル基またはグリシジル基、Yは炭素数1~5のアルキル基またはシクロアルキル基、Zは炭素数1~5のアルキル基または不飽和基であり、x、y、zおよびrは0以上の整数であるが、x、y、zおよびrはいずれも0の場合は除く。本発明の一具現例に係る感光性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂5~50重量、[B]不飽和性エチレン系モノマー5~60重量、[C]下記化学式1のシルセスキオキサン系化合物5~60重量、[D]光重合開始剤0.5~20重量、[E]溶媒20~80重量、およびその他の添加剤を含んでもよい。本発明の一具現例に係る有機絶縁膜用感光性樹脂組成物は、ディスプレイ工程に適した低誘電率を提供することができるように薄膜形成後の誘電定数が3.3以下であってもよい。また、本発明の一具現例に係る有機絶縁膜用感光性樹脂組成物は粘度が3~30cpsであるが、これはコーティングの際に均一な塗膜を形成するためである。次に、本発明の一具現例に係る感光性樹脂組成物の各構成要素について具体的に説明する。[A]アルカリ可溶性樹脂本発明の一具現例に使用される[A]アルカリ可溶性樹脂は、[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物との共重合体;[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a3]前記[a1]および[a2]以外のオレフィン系不飽和カルボン酸エステル化合物との共重合体;[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a4]前記[a1]、[a2]および[a3]以外のオレフィン系不飽和化合物の中から選ばれた1種以上の化合物との共重合体;または[a1]不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物の中から選ばれた単独または2種以上の混合物と、[a2]エポキシ基含有不飽和化合物と、[a3]前記[a1]および[a2]以外のオレフィン系不飽和カルボン酸エステル化合物と、[a4]前記[a1]、[a2]および[a3]以外のオレフィン系不飽和化合物の中から選ばれた1種以上の化合物とをラジカル重合して得られた共重合体であってもよい。まず、[a1]形態の不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物としては、アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、およびこれらのジカルボン酸の無水物を単独で或いは組み合わせて使用することができる。これらの中でも、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸などが共重合反応性、耐熱性および入手の容易さから好ましく使用される。前記[a2]エポキシ基含有不飽和化合物としては、アクリル酸グリシジルエステル、メタクリル酸グリシジルエーテル、α-エチルアクリル酸グリシジルエステル、α-n-プロピルアクリル酸グリシジルエステル、α-n-ブチルアクリル酸グリシジルエステル、アクリル酸-3,4-エポキシブチルエステル、メタクリル酸-3,4-エポキシブチルエステル、アクリル酸-6,7-エポキシヘプチルエステル、メタクリル酸-6,7-エポキシヘプチルエステル、α-エチルアクリル酸-6,7-エポキシヘプチルエステル、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテルなどが共重合反応性および得られる薄膜の耐熱性、硬度を高めるという点で好ましく使用される。このような化合物[a2]は単独で或いは組み合わせて使用される。前記化合物[a3]としては、例えば、メチルアクリレート、イソプロピルアクリレート、アクリル酸アルキルエステル、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n-ブチルメタクリレート、sec-ブチルメタクリレート、t-ブチルメタクリレートなどのメタクリル酸アルキルエステル;メチルアクリレート、イソプロピルアクリレートなどのアクリル酸アルキルエステル;シクロヘキシルメタクリレート、2-メチルシクロヘキシルメタクリレート、ジシクロペンテニルメタクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート、イソボルニルメタクリレートなどのメタクリル酸シクロアルキルエステル;シクロヘキシルアクリレート、2-メチルシクロヘキシルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレートなどのアクリル酸シクロアルキルエステル;ペンチルメタクリレート、ベンジルメタクリレートなどのメタクリル酸アリールエステル;ペンチルアクリレート、ベンジルアクリレートなどのアクリル酸アリールエステル;マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどのジカルボン酸ジエステル;2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレートなどのヒドロキシアルキルエステルなどが使用できる。前記化合物[a4]としては、例えばスチレン、o-メチルスチレン、m-メチルスチレン、p-メチルスチレン、ビニルトルエン、p-メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3-ブタジエン、イソプレン、2,3-ジメチル-1,3-ブタジエンなどを挙げることができる。本発明の一具現例に使用された共重合体[A]は、組成物の全体含量に対して5~50重量含むことができるが、ここで、[a1]:[a2]成分は1:1.3~3.5の重量比で含まれ、[a3]および[a4]の中から選ばれた成分を含む場合、[a3]および[a4]の中から選ばれた成分は[A]アルカリ可溶性樹脂の全体含量に対して35~65重量含まれてもよい。このような[A]アルカリ可溶性樹脂は、固形分の含量が[A]成分に対して10~70重量、さらに好ましくは20~50重量含有できる。固形分の含量が10重量未満の場合は、共重合体[A]の保存安全性および[a1]~[a4]の構成要素を全て含む重合体の製造の際に重合調節がうまく行われず固体化する傾向があり、70重量を超過する場合は、共重合体[A]の現像性、耐熱性および表面硬度などが低下する傾向がある。前記共重合体[A]の合成に使用された溶媒としては、メタノール、エタノールなどのアルコール類;テトラヒドロフラン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエーテルなのエーテル類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類などが好ましい。前記共重合体[A]の合成に使用された重合開始剤としては、一般に、ラジカル重合開始剤として知られているものを使用することができる。例えば、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス-2,4-ジメチルバレロニトリル、2,2’-アゾビス-4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリルなどのアゾ化合物、ベンゾイルペルオキシド、t-ブチルペルオキシピバレート、1,1’-ビス-t-ブチルペルオキシシクロヘキサンなどの有機過酸化物、および過酸化水素を挙げることができる。ラジカル重合開始剤として過酸化物を用いた場合は、過酸化物を還元剤と共に用いてレドックス開始剤として使用してもよい。[B]不飽和性エチレン系モノマー本発明の一具体例に使用された不飽和性エチレン系モノマーは、1つ以上の不飽和性エチレン結合を有する単官能性または多官能性アクリルモノマーであって、単官能、二官能、または三官能以上のメタアクリルレートが良好な重合性を有し、得られる保護膜の耐熱性および表面硬度が向上するという観点から好ましい。前記単官能メタアクリレートとしては、例えば、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、カルビトールメタアクリレート、イソボルニルメタアクリレート、3-メトキシブチルメタアクリレート、2-メタアクリロイルオキシエチル2-ヒドロキシプロピルフタレートなどを挙げることができる。前記二官能メタアクリレートとしては、例えば、エチレングリコールメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールメタアクリレート、1,9-ノナンジオールメタアクリレート、プロピレングリコールメタアクリレート、テトラエチレングリコールメタアクリレート、ビスフェノキシエチルアルコールフルオレンジアクリレートなどを挙げることができる。前記三官能以上のメタアクリレートとしては、例えば、トリスヒドロキシエチルイソシアヌレートトリメタアクリレート、トリメチルプロパントリメタアクリレート、ペンタエリトリトールトリメタアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタアクリレートなどを挙げることができる。このような単官能、二官能または三官能以上のメタアクリレートは単独または組み合わせて使用される。[C]シルセスキオキサン系化合物既存に使用されたエポキシ基を有するシルセスキオキサン系化合物は、露光工程中の硬化に関与しないため、後続の現像工程でパターンが遺失し或いは多くの損失が発生する。本発明の一具現例に使用されたシルセスキオキサン系化合物は、アクリル基またはオキセタール基を有するもので、露光工程中の硬化密度を高めて現像工程中のパターン遺失および塗膜の損失を最小化し、保護膜の耐熱性に優れるうえ、透明性、硬度および誘電率の観点から好ましい。また、使用されたシルセスキオキサンは、組成物の全体含量に対して5~60重量含有できる。この構成単位が5重量未満の場合は耐熱性、透明性、硬度および誘電率が低下し、60重量を超える場合は現像工程で現像が行われない傾向がある。前記シルセスキオキサン系化合物の具体的な例は、下記化学式1で表わされる。式中、Rはアクリル基またはオキセタール基、R1は炭素数1~5のアルキル基または水素原子、R2は炭素数1~5のアルコキシ基、炭素数1~5のアルキル基または水素原子、mとnは1~10をそれぞれ示す。[D]光重合開始剤本発明における光重合開始剤とは、露光によって分解または結合を起こし、前記[B]不飽和性エチレン系モノマーの重合を開始することが可能な活性種、例えばラジカル、陰イオン、陽イオンなどを発生させる化合物を意味する。本発明の光硬化型樹脂組成物は、全体組成中の0.5~20重量となるように光重合開始剤を含む。その含量が0.5重量未満であれば、保護膜の感度が十分でないため現像工程で保護膜が遺失し易く、現像工程で保護膜が維持されるとしても、十分に高い架橋密度を有する保護膜を得難い。光重合開始剤の含量が20重量超過であれば、保護膜の耐熱性や平坦化性などが低下し易い。このような光重合開始剤としては、チオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、チオキサントン-4-スルホン酸、ベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、アセトフェノン、p-ジメチルアミノアセトフェノン、α,α’-ジメトキシアセトキシベンゾェノン、2,2’-ジメトキシ-2-フェチルアセトフェノン、p-メトキシアセトフェノン、2-メチル[4-メチルチオフェニル]-2-モルホリノ-1-プロファノン、2-ベンジル-2-ジエチルアミノ-1-4-モルホリノフェニル-ブタン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、4-2-ヒドロキシエトキシフェニル-2-ヒドロキシ-2-プロピルケトン、1-ヒドロキシシクロヘキルフェニルケトンなどのケトン類、アントラキノン、1,4-ナフトキノンなどのキノン類、1,3,5-トリストリクロロメチル-s-トリアジン、1,3-ビストリクロロメチル-5-2-クロロフェニル-s-トリアジン、1,3-ビストリクロロフェニル-s-トリアジン、フェナシルクロライド、トリブロモメチルフェニルスルホン、トリストリクロロメチル-s-トリアジンなどのハロゲン化合物、ジ-t-ブチルペルオキシドなどの過酸化物、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどのアシルホスフィンオキサイド類を挙げることができる。このような光重合開始剤は単独で或いは組み合わせて使用することができる。[E]溶媒本発明の一具現例に使用される溶媒は、共重合体[A]の製造の際に組成物の固形分および粘度を維持させることが可能な溶媒であって、次のような物質が使用できる。具体的には、メタノール、エタノールなどのアルコール類;テトラヒドロフラン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどのエーテル類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類などを挙げることができる。このような溶媒の中でも、溶解性、各成分との反応性、および塗膜形成の便利性の観点から、ジエチルグリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルなどのエーテル類、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペンタナンなどのケトン類、酢酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステルなどのエステル類;2-ヒドロキシプロピオン酸のエチルエステル、メチルエステル;2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸のエチルエステル;ヒドロキシ酢酸のメチルエステル、エチルエステルおよびブチルエステル;乳酸エチル、乳酸プロピルおよび乳酸ブチル;メトキシ酢酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステル;プロポキシ酢酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステル;ブトキシ酢酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステル;2-メトキシプロピオン酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステル;2-エトキシプロピオン酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステル;2-ブトキシプロピオン酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステル;3-メトキシプロパンのメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステル;3-エトキシプロピオン酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステル;3-ブトキシプロピオン酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステルおよびブチルエステルなどのエステル類を挙げることができる。また、前記溶媒と共に高沸点溶媒を併用してもよい。併用可能な高沸点溶媒としては、例えば、N-メチルホルムアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N-メチルアセトアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテルなどを挙げることができる。この他に添加できるその他の添加剤としては、塗布性を向上させるための界面活性剤を挙げることができる。界面活性剤としては、フッ素およびシリコーン系界面活性剤を挙げることができるが、例えば、3M社のFC-129、FC-170C,FC-430、DIC社のF-172、F-173、F-183、F-470、F-475、信越シリコーン社のKP322、KP323、KP340、KP341などを挙げることができる。このような界面活性剤は、共重合体[A]100重量部に対して、好ましくは5重量部以下、より好ましくは2重量部以下の量で使用される。界面活性剤の量が5重量部を超える場合は、塗布の際に泡が発生し易くなる。また、気体との密着性を向上させるために、接着助剤を使用することも可能である。このような接着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好ましく使用されるが、例えば、トリメトキシシリル安息香酸、γ-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシランなどを挙げることができる。このような接着助剤は、共重合体[A]100重量部に対して、好ましくは20重量部以下、より好ましくは10重量部以下の量で使用される。接着助剤の量が20重量部を超える場合は、耐熱性が低下し易い。以下、本発明の好適な実施例および比較例を説明する。ところが、これらの実施例は本発明の好適な一実施例に過ぎず、本発明を限定するものではない。アルカリ可溶性樹脂Aの製造冷却管と攪拌器を備えた反応容器に光重合開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル10重量部を溶媒のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部に溶かした。続いて、スチレン65重量部、メタクリル酸15重量部、メタクリル酸グリシジル20重量部を投入し、窒素置換した後、柔らかく攪拌を開始した。溶液の温度を70°Cに上昇させ、この温度を4時間維持することにより、共重合体を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分の濃度は35重量であった。これをアルカリ可溶性樹脂Aとした。アルカリ可溶性樹脂Bの製造製造例1と同様の方法で重合体溶液を製造するが、但し、スチレン65重量部の代わりに45重量部、およびジシクロペンチルアクリレート20重量部を使用した。得られた重合体溶液の固形分の濃度は33であった。これをアルカリ可溶性樹脂Bとした。感光性物質としてアルカリ可溶性樹脂AおよびBと、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと、不飽和性エチレン結合を有するモノマージペンタエリトリトールヘキサメタアクリレートとを配合し、ここにシルセスキオキサン系化合物を下記表1に示すように含有量を変化させながら配合し、感光性樹脂を製造した。註1含量単位は重量である。2[C]シルセスキオキサン系化合物は本発明に係る化学式1で表わされる化合物であって、Rはアクリル基、R1およびR2はメトキシ基、mは3、nは5である。3[F]エポキシ作用基を有するシルセスキオキサン系化合物は、通常使用される化合物であって、HQ504である。実施例および比較例で製造された組成物に対して、次のように物性評価を行った。結果を下記表2に示す。1粘度粘度は25°Cでブルックフィールド粘度計によって測定した。2残膜率製造されたそれぞれの感光性樹脂組成物をガラスにスピンコートし、ホットプレートで100°C、120秒の条件で予備乾燥させ、膜厚3μmのフォトレジスト膜を形成した。このような膜が形成されたガラスを露光させた後、2.38TMAH水溶液に60秒間現像し、さらに220°C、1時間強い熱処理を施した。予備乾燥時の膜厚と後硬化による溶媒除去後の形成された膜の厚さを測定し、比率測定によって残膜率を測定した。3平坦性カラーレジストがパターニングされたガラスに、製造されたそれぞれの感光性樹脂組成物をスピンコートし、ホットプレートで100°C、120秒の条件で予備乾燥させ、膜厚3μmのフォトレジスト膜を形成した。このような膜の形成されたガラスを露光させた後、2.38TMAH水溶液に60秒間現像し、さらに220°C、1時間強い熱処理を施した。ここで得られた乾燥塗膜の5pointの厚さを測定して平坦性を測定した。前記平坦性の測定結果、厚さ偏差が0.025μmの場合は◎、0.026μm~0.05μmの場合は○、0.06μm~0.1μmの場合は△、0.1μm超過の場合はXとそれぞれ示した。4感度製造されたそれぞれの感光性樹脂組成物をガラスにスピン800rpmにてコートし、ホットプレートで100°C、120秒の条件で予備乾燥させ、露光量60、70、80、90、100、150、200mJ/cm2の条件でそれぞれ露光を行った後、2.38TMAH水溶液に60秒間現像し、さらに220°C、1時間強い熱処理を施した。この際、得られた塗膜の厚さを測定した。前記厚さを測定し、200mJ/cm2で得られた塗膜の厚さに比べて90以上を得たものを各組成において感度として選択した。5耐熱性前記感度の測定で形成されたパターン膜の上下左右の幅を測定した。この際、角の変化率がミッドベーク100°C、2分前を基準に0~10の場合を◎、11~20の場合を○、21~40の場合を△、40超過の場合をXとそれぞれ示した。6密着性製造されたそれぞれの感光性樹脂組成物をガラスにスピンコートし、ホットプレートで100°C、120秒の条件で予備乾燥させ、露光量60、70、80、90、100、150、200mJ/cm2の条件でそれぞれ露光を行った後、2.38TMAH水溶液に60秒間現像し、さらに220°C、1時間強い熱処理を施した。得られた塗膜を100等分にカットした後、3M社のスコッチマジックテープを用いて付着させ、しかる後に、脱着を行った。この際、残っている塗膜の個数を数えた。前記測定で残っている塗膜が100の場合を◎、90~99の場合を○、80~89の場合を△、80未満の場合をXとそれぞれ示した。7誘電率誘電率はキャパシタの静電容量を測定し、下記の式によって求めた。誘電体薄膜を一定の厚さにコートした後、インピーダンスアナライザによって静電容量を測定し、下記計算式1によってそれぞれの誘電定数を計算した。[計算式1]C静電容量=ε0真空誘電率εr誘電体薄膜の比誘電率A有効面積/d誘電体薄膜の厚さ前記誘電定数を計算して2.8~3.0の場合を◎、3.1~3.3の場合を○、3.4~3.6の場合を△、3.7以上の場合をXとそれぞれ示した。8透過率透過度は分光光度計を用いて400nmでの透過率を測定した。9解像度製造されたそれぞれの感光性樹脂組成物をガラスにスピン800rpmにてコートし、ホットプレートで100°C、120秒の条件で予備乾燥させ、パターンサイズ別4μm~100μmにマスクを使用し、露光量100mJ/cm2で露光させた後、2.38TMAH水溶液に60秒間現像し、さらに220°C、1時間強い熱処理を施した。この際、得られた塗膜のパターンサイズを測定した。表2より、本発明によって実施例1~5で製造した感光性樹脂組成物は、耐熱性、密着性、残膜率および透過率に優れるうえ、誘電率が低いことにより、消費電力を低めることができ、パターンの遺失なしに微細なパターンの実現が可能であって様々なディスプレイ工程で有機絶縁膜に有効かつ適切に適用することができることが分かる。本発明の単純な変形又は変更はいずれも当該分野における通常の知識を有する者によって容易に実施でき、それらの変形又は変更はいずれも本発明の領域に含まれるものと理解できる。"