ハウジングと、前記ハウジングの内側に挿通された主軸と、前記主軸の一部で前記ハウジングの内側に配される部分に当該主軸と同心に固定され、外周面に複数のタービン羽根が形成された羽根車と、前記主軸及び前記羽根車を前記ハウジングに対して回転自在に支持するための軸受と、前記羽根車を周方向へ回転させるべく、圧縮空気を前記各タービン羽根に向けて噴出するための管状もしくは孔状の流路を有する少なくとも1つのノズル部とを備えたエアモータであって、前記ノズル部の流路の水力半径をrh、前記流路の路面の粘性摩擦係数をcf、前記圧縮空気の比熱比をkとするとともに、前記流路の入口における前記圧縮空気の流速をve、音速をa0としてM1=ve/a0とした場合、でLの値を算出し、前記ノズル部の流路は、その長さが前記Lの算出値以上の寸法に設定されていることを特徴とするエアモータ。前記ノズル部の流路は、その長さが前記Lの算出値の5倍以上の寸法に設定されていることを特徴とする請求項1に記載のエアモータ。前記軸受が静圧気体軸受であることを特徴とする請求項1に記載のエアモータ。前記軸受のうち、少なくとも一端側の軸受は、セラミック製の転がり軸受として構成されていることを特徴とする請求項1に記載のエアモータ。前記転がり軸受は、前記ハウジングに装着させる一方の軌道輪と、一方の軌道輪に対向してスピンドルに装着させる他方の軌道輪と、これら軌道輪間に沿って組み込まれる複数の転動体とを備えており、双方の軌道輪及び転動体のいずれか、或いは、その全てが、セラミックで形成されていることを特徴とする請求項4に記載のエアモータ。双方の軌道輪及び転動体のいずれか、或いは、その全てが非導電性セラミックで形成されていることを特徴とする請求項5に記載のエアモータ。双方の軌道輪及び転動体の全てが導電性セラミックで形成されていることを特徴とする請求項5に記載のエアモータ。請求項1~7のいずれかに記載のエアモータを備えたことを特徴とする静電塗装装置。上述したように、エアモータの駆動効率の向上を図るためには、チョーク状態でのノズル部における圧縮空気の入口流速を、音速近くまで上昇させればよい。すなわち、エアモータにおいて、そのノズル部の設計を行うに当たっては、当該エアモータに要求される最大トルクから計算される上記ノズル部の入口流速、当該ノズル部の径寸法、圧縮空気の供給源の条件あるいは供給流量に従って、数式によって算出される値以上の寸法にノズル部の長さを設定することが有効であるものと考えられる。しかしながら、エアモータの駆動効率の向上を図る上で、上記ノズル部における圧縮空気の入口流速、当該ノズル部の径寸法、圧縮空気の供給条件あるいは供給流量に基づいて、かかるノズル部の最適設計を行う技術は現時点において知られていない。本発明は、このような課題を解決するためになされており、その目的は、羽根車のタービン羽根へ吹き付けるための圧縮空気を供給するノズル部における圧縮空気の入口流速、当該ノズル部の径寸法、圧縮空気の供給条件に基づいて、ノズル部の長さを設定することで、駆動効率の向上を図ったエアモータを提供することにある。このような目的を達成するために、本発明のある実施形態のエアモータは、ハウジングと、上記ハウジングの内側に挿通された主軸と、上記主軸の一部で上記ハウジングの内側に配される部分に当該主軸と同心に固定され、外周面に複数のタービン羽根が形成された羽根車と、上記主軸及び上記羽根車を上記ハウジングに対して回転自在に支持するための軸受と、上記羽根車を周方向へ回転させるべく、圧縮空気を上記各タービン羽根に向けて噴出するための管状もしくは孔状の流路を有する少なくとも1つのノズル部とを備えている。かかるエアモータにおいて、上記ノズル部の流路の水力半径をrh、上記流路の路面の粘性摩擦係数をcf、上記圧縮空気の比熱比をkとするとともに、上記流路の入口における上記圧縮空気の流速をve、音速をa0としてM1=ve/a0とした場合、でLの値を算出し、上記ノズル部の流路は、その長さを上記Lの算出値以上の寸法に設定する。なお、上記ノズル部の流路は、その長さを上記Lの算出値以上の寸法に設定すればよいが、その際には、上記Lの算出値の5倍以上の所定寸法に設定することが好ましい。また、上記軸受は、静圧気体軸受であることが好ましい。また、上記軸受のうち、少なくとも一端側の軸受は、セラミック製の転がり軸受として構成されていることが好ましい。また、上記転がり軸受は、上記ハウジングに装着させる一方の軌道輪と、一方の軌道輪に対向してスピンドルに装着させる他方の軌道輪と、これら軌道輪間に沿って組み込まれる複数の転動体とを備えており、双方の軌道輪及び転動体のいずれか、或いは、その全てが、セラミックで形成されていることが好ましい。また、上記双方の軌道輪及び転動体のいずれか、或いは、その全てが非導電性セラミックで形成されていることが好ましい。また、上記双方の軌道輪及び転動体の全てが導電性セラミックで形成されていることが好ましい。さらに、本発明の静電塗装装置は、上記のいずれかに記載のエアモータを備える。本発明によれば、羽根車のタービン羽根へ吹き付けるための圧縮空気を供給するノズル部における圧縮空気の入口流速、当該ノズル部の径寸法、圧縮空気の供給条件に基づいて、ノズル部の長さを設定することで、駆動効率の向上を図ったエアモータ及び静電塗装装置を実現することができる。以下、本発明のエアモータのある実施形態について、添付図面を参照して説明する。なお、本実施形態のエアモータは、例えば、静電塗装工程で使用されるスピンドル装置や、高速回転を必要とする小径工具を用いる工作機械の主軸系の駆動部などに対して搭載することを想定可能であるが、その搭載機器はこれらに限定されるものではない。また、本実施形態のエアモータは、かかるエアモータを構成するノズル部の長さを所定範囲の寸法に限定するものであり、当該エアモータのノズル部以外の基本的な構成は、既知のエアモータの構成であっても問題ない。したがって、本実施形態においては、上述したような静電塗装機の静電スプレーに搭載されるエアモータの構成をモータ構成の一例として想定し、かかるモータ構成を前提として説明する。本実施形態に係るエアモータは、ハウジング12と、上記ハウジング12の内側に挿通された主軸2と、上記主軸2の一部で上記ハウジング12の内側に配される部分に当該主軸2と同心に固定され、外周面に複数のタービン羽根10が形成された羽根車4と、上記主軸2及び上記羽根車4を上記ハウジング12に対して回転自在に支持するための静圧気体軸受と、上記羽根車4を周方向へ回転させるべく、圧縮空気を上記各タービン羽根10に向けて噴出するための管状もしくは孔状の流路を有する少なくとも1つのノズル部2834とを備えている。上述したように、本実施形態においては、図1及び図2に示すエアモータの構成を一例として想定しているが、ハウジング12、主軸2、羽根車4、静圧気体軸受については、図示構成に特に限定されるものではなく、エアモータの使用目的や使用条件などに応じて適宜、構成変更することが可能である。例えば、ハウジング12及び主軸2の形状、羽根車4の大きさや配設数、当該羽根車4の羽根車本体8に形成するタービン羽根10の形状や配設数、ラジアル静圧気体軸受14及びアキシアル静圧気体軸受16の配設位置や配設数などは、いずれもエアモータの使用目的や使用条件などに応じてそれぞれ任意に設定すればよい。図1及び図2に示す構成において、タービンエアノズル孔28は、その中心がいずれもハウジング12の中心軸と直交する同一の仮想平面内に位置付けられ、ハウジング12の径方向に対して同一角度で傾斜に対して前傾するように穿孔されている。この場合、タービンエアノズル孔28は、羽根車4の外周部へ開口する孔として、ハウジング12の基端側に穿孔されており、羽根車4を周方向へ回転させるべく、圧縮空気を各タービン羽根10に向けて噴出するための孔状の流路を有している。また、ブレーキエアノズル孔34は、その中心が上記タービンエアノズル孔形成平面と同一平面内に位置付けられ、ハウジング12の径方向に対してタービンエアノズル孔28とは反対方向へ所定角度で傾斜に対して前傾するように穿孔されている。この場合、ブレーキエアノズル孔34は、羽根車4の外周部へ開口する孔として、タービンエアノズル孔28と重ならないようにハウジング12の基端側へ穿孔されており、羽根車4を周方向へ回転させるべく、圧縮空気を各タービン羽根10に向けて噴出するための孔状の流路を有している。すなわち、これらのタービンエアノズル孔28及びブレーキエアノズル孔34は、いずれも、エアモータにおけるノズル部として構成されている。なお、ノズル部として構成されるタービンエアノズル孔28及びブレーキエアノズル孔34の配設位置や配設数、断面形状などは、任意に設定することが可能である。例えば、図1及び図2には、羽根車4の外周部へ向けてハウジング12の基端側に等間隔で、その中心が同一の上記タービンエアノズル孔形成平面内に位置付けられて開口するように、6つのタービンエアノズル孔28を穿孔したエアモータの一構成を例示しているが、複数のタービンエアノズル孔形成平面内にその中心が位置付けられるように、同一もしくは異なる数のタービンエアノズル孔28を穿孔した構成などとすることも想定可能である。また、図1及び図2には、ブレーキエアノズル孔34を1つだけ穿孔したエアモータの一構成を例示しているが、複数のブレーキエアノズル孔34を上述したいずれかのタービンエアノズル孔28と同様の態様で穿孔した構成とすることも想定可能である。加えて、図1及び図2には、断面形状が円形となる円孔として、タービンエアノズル孔28及びブレーキエアノズル孔34を穿孔したエアモータの一構成を例示しているが、これらを断面形状が角形となる角孔として、タービンエアノズル孔28及びブレーキエアノズル孔34を穿孔した構成などとすることも想定可能である。また、図1及び図2には、羽根車4を周方向へ回転させるべく、圧縮空気を各タービン羽根10に向けて噴出するための孔状の流路を有するノズル部の構成を一例として示しているが、ノズル部は、管状となる円管状や角管状などの流路を有する構成であっても構わない。かかるノズル部の流路は、その長さが、以下の数式で算出されるLの値以上の寸法に設定されている。なお、数式において、rhはノズル部の水力半径となる、cfはノズル部の壁面の粘性摩擦係数をそれぞれ示す。その際、粘性摩擦係数は、圧縮空気の流速をv、ノズル部の直径をD、動粘度をνとした場合において、レイノルズ数を用いて、cf=0.0576×Re-0.2と与えられる。ノズル部のノズル長は、数式によるLの算出値以上の寸法に設定されていれば、特に限定されず、エアモータの使用目的や使用条件などに応じて任意に設定することが可能である。一例として、本実施形態においては、ノズル部2834のノズル長LtLbが上記Lの算出値の5倍以上の所定寸法に設定されている場合を想定する。ノズル部2834のノズル長LtLbをこのような寸法設定とすることで、チョーク状態でのノズル部における圧縮空気の入口流速を、音速近くまで上昇させることが可能となる。すなわち、エアモータに要求される最大トルクから計算されるノズル部2834の入口流速、当該ノズル部2834の径寸法、圧縮空気の供給源の条件あるいは供給流量に従って、当該エアモータのノズル部2834の最適設計を行うことができる。このように、羽根車4のタービン羽根10へ吹き付けるための圧縮空気を供給するノズル部における上記圧縮空気の入口流速、かかるノズル部2834の径寸法、上記圧縮空気の供給条件あるいは供給流量に基づいてノズル部2834の長さを設定することで、エアモータの回転時及び停止時の双方の観点から駆動効率の向上を効果的に図ることが可能となる。なお、本実施形態においては、タービンエアノズル孔28及びブレーキエアノズル孔34をノズル部として、いずれのノズル長LtLbについても上記Lの算出値以上の寸法、一例として、Lの算出値の5倍以上の所定寸法に設定することを想定しているが、エアモータの回転効率に特化すれば、タービンエアノズル孔28のノズル長Ltのみを上記所定寸法に設定するだけでも特段問題はなく、必ずしもブレーキエアノズル孔34のノズル長Lbを上記所定寸法に設定しなくともよい。ここで、直径寸法が11mm、18mm及び25mmのノズル部に一定流量の圧縮空気を流動させた場合に設定すべきノズル長の具体例を以下に示す。図3に示すように、直径寸法が11mmのノズル部に、流量20NLminで圧縮空気を流動させる場合、数式によるLの算出値は034mmとなる。そして、ノズル長LtLbを上記Lの算出値の10倍から400倍の範囲で所定寸法に設定した場合、20NLminの圧縮空気の流量を確保するために必要な供給圧は、018MPaから024MPaの範囲となる。この場合の最低供給圧である018MPaを基準供給圧の場合に代表される供給圧とすれば、当該基準供給圧に対するノズル長LtLbの各設定寸法時における供給圧の比率は、ノズル長LtLbがLmm及び44Lmmの場合を除き、110よりも小さくなり、対基準供給圧の上昇率を10未満に抑えることができる。図4に示すように、直径寸法が11mmのノズル部に、流量50NLminで圧縮空気を流動させる場合、数式によるLの算出値は040mmとなる。そして、ノズル長LtLbを上記Lの算出値の10倍から400倍の範囲で所定寸法に設定した場合、50NLminの圧縮空気の流量を確保するために必要な供給圧は、044MPaから061MPaの範囲となる。この場合の最低供給圧である044MPaを基準供給圧の場合に代表される供給圧とすれば、供給圧比は、ノズル長LtLbがLmm及び45Lmmの場合を除き、110よりも小さくなり、対基準供給圧の上昇率を10未満に抑えることができる。図5に示すように、直径寸法が18mmのノズル部に、流量50NLminで圧縮空気を流動させる場合、数式によるLの算出値は059mmとなる。そして、ノズル長LtLbを上記Lの算出値の10倍から400倍の範囲で所定寸法に設定した場合、50NLminの圧縮空気の流量を確保するために必要な供給圧は、023MPaから016MPaの範囲となる。この場合の最低供給圧である016MPaを基準供給圧の場合に代表される供給圧とすれば、供給圧比は、ノズル長LtLbがLmm及び44Lmmの場合を除き、110よりも小さくなり、対基準供給圧の上昇率を10未満に抑えることができる。図6に示すように、直径寸法が18mmのノズル部に、流量150NLminで圧縮空気を流動させる場合、数式によるLの算出値は074mmとなる。そして、ノズル長LtLbを上記Lの算出値の10倍から400倍の範囲で所定寸法に設定した場合、150NLminの圧縮空気の流量を確保するために必要な供給圧は、068MPaから049MPaの範囲となる。この場合の最低供給圧である049MPaを基準供給圧の場合に代表される供給圧とすれば、供給圧比は、ノズル長LtLbがLmm及び45Lmmの場合を除き、110よりも小さくなり、対基準供給圧の上昇率を10未満に抑えることができる。図7に示すように、直径寸法が25mmのノズル部に、流量150NLminで圧縮空気を流動させる場合、数式によるLの算出値は100mmとなる。そして、ノズル長LtLbを上記Lの算出値の10倍から400倍の範囲で所定寸法に設定した場合、150NLminの圧縮空気の流量を確保するために必要な供給圧は、035MPaから026MPaの範囲となる。この場合の最低供給圧である026MPaを基準供給圧の場合に代表される供給圧とすれば、供給圧比は、ノズル長LtLbがLmm及び44Lmmの場合を除き、110よりも小さくなり、対基準供給圧の上昇率を10未満に抑えることができる。図8に示すように、直径寸法が25mmのノズル部に、流量300NLminで圧縮空気を流動させる場合、数式によるLの算出値は110mmとなる。そして、ノズル長LtLbを上記Lの算出値の10倍から400倍の範囲で所定寸法に設定した場合、300NLminの圧縮空気の流量を確保するために必要な供給圧は、051MPaから071MPaの範囲となる。この場合の最低供給圧である051MPaを基準供給圧の場合に代表される供給圧とすれば、供給圧比は、ノズル長LtLbがLmm及び45Lmmの場合を除き、110よりも小さくなり、対基準供給圧の上昇率を10未満に抑えることができる。以上を考慮すれば、ノズル部のノズル長は、数式によるLの算出値の5倍以上の所定寸法に設定することが好ましい。すなわち、このような設定とすることで、圧縮空気の供給圧を特段上昇させることなく、チョーク状態でのノズル部における圧縮空気の入口流速を、音速近くまで上昇させることが可能となる。なお、エアモータに要求される最大トルクから計算される上記ノズル部の入口流速、当該ノズル部2834の径寸法、圧縮空気の供給源の条件あるいは供給流量に基づいて、かかるノズル部2834のノズル長LbLtを設定する場合、当該ノズル長LbLtの寸法を大きくすると、それに伴って圧縮空気の圧損も増大する。このため、所定の流量を確保するためには、かかる圧縮空気の供給圧も高める必要がある。一方、上述した各具体例に示すように、ノズル長LbLtを数式によるLの算出値の16倍から17倍程度に設定すれば、圧縮空気の供給圧を最低値程度に抑えることが可能となり、供給圧を過度に上昇させずに済む。したがって、ノズル長LbLtは、数式によるLの算出値の16倍から17倍程度を上限値として所定寸法に設定することが好ましい。以上、本発明のある実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに、種々の変更、改良を行うことができる。例えば、他の実施形態のエアモータとして、使用目的や使用条件などに応じて上記静圧気体軸受の代わりに玉軸受を用いてもよい。以下、玉軸受を採用した本実施形態のエアモータを適用したスピンドル装置の一例について説明する。図9に示すように、本実施形態のエアモータを適用したスピンドル装置は、例えばハウジング102に対して回転可能に配置された主軸104と、主軸104に設けられたタービン駆動部106と、ハウジング102と主軸104との間に設けられ、ハウジング102に対して主軸104を回転可能に支持する複数の軸受108110とを備えている。そして、当該スピンドル装置は、例えば圧縮空気などの流体の運動エネルギをタービン駆動部106によって回転運動に変換することで、主軸104を所望の速度で回転させることができるようになっている。このようなスピンドル装置において、主軸104は、ハウジング102内に収容されており、その先端側がハウジング102を越えて当該主軸104の回転軸Lに沿って延出し、その基端側には、タービン駆動部106が構築されている。タービン駆動部106は、主軸104の回転軸Lを直交する方向に延在し、かつ当該回転軸Lと同心円状に形成された円板形状のタービン羽根車106aと、タービン羽根車106aの外周に沿って形成された複数の羽根106bとを備えている。また、ハウジング102には、タービン駆動部106の複数の羽根106bに向けて開口したタービン用気流噴出口112が形成されており、タービン用気流噴出口112には、ハウジング102に形成されたタービン用給気路114を介して圧縮空気供給源図示しないが接続されている。この場合、圧縮空気供給源から供給された圧縮空気を、タービン用給気路114を介してタービン用気流噴出口112から各羽根106bに吹き付けると、その気流が各羽根106bを周方向に押す圧力となって作用し、このときの押圧力がタービン羽根車106aを介して回転運動となって主軸104に伝達される。これにより、主軸104を、その回転軸Lを中心に所望の速度で回転させることができる。また、主軸104は、その先端側において、当該主軸104とハウジング102との間に設けられた複数の軸受108110によって回転可能に支持されている。図面では一例として、ハウジング102と主軸104との間の領域において、その一端側回転運動の出力側の軸受108と、その他端側回転運動の入力側の軸受110の2つの軸受によって主軸104を支持する構成が示されている。複数の軸受108110は、それぞれ、ハウジング102に装着させる一方の軌道輪108a110a外輪と、外輪108a110aに対向して主軸104に装着させる他方の軌道輪108b110b内輪と、これら外内輪間に沿って組み込まれる複数の転動体116118とを備えた転がり軸受として構成されている。この場合、転動体116118としては、玉やコロを適用することができるが、ここでは一例として、玉116118を想定する。また、図面では軸受108110の一例として、一方の溝肩108c110cが全部又は部分的に取り除かれた肩おとし内輪108b110bを適用した転がり軸受108110が示されているが、これに限定されることはなく、例えば、外内輪ともに一方の肩おとしがされたもの、或いは、外内輪ともに双方の溝肩を有するもの例えば、深溝玉軸受であってもよい。いずれにおいても、以下、複数の軸受108110として、外内輪間に複数の転動体玉116118が組み込まれた2つの玉軸受108110を想定する。なお、これら玉軸受108110は、ハウジング102と主軸104との間において、一端側の玉軸受108と他端側の玉軸受110とは、肩おとし内輪108b110bの背面108d110d同士が間座120を介して対向配置されている。そして、その状態において、主軸104の先端側からカバー部材122をハウジング102に例えばネジ124等によって締結すると、そのとき一端側の玉軸受108具体的には、外輪108aに作用した力が、当該玉軸受108の転動体玉116及び内輪108bから間座120を介して他端側の玉軸受110具体的には、内輪110bに伝達され、当該玉軸受110の転動体玉118及び外輪110aを押圧する。このとき、各玉軸受108110には、所定の予圧が与えられ、その結果、主軸104に作用するラジアル荷重と、両方向のアキシアル荷重とを受けることができる状態に維持される。これにより、主軸104は、これら玉軸受108110によってラジアル方向及びアキシアル方向に支持されることで、一定の回転軸Lを中心に回転することができる。また、本実施形態では、上記したスピンドル装置において、一端側及び他端側の玉軸受108110は、セラミック製の転がり軸受として構成されている。ここで、当該玉軸受108110をセラミック化する仕様としては、外輪108a110a、内輪108b110b、転動体玉116118のいずれか、或いは、その全てが、セラミックで形成されている場合がある。この場合、ハウジング102と主軸104との間の絶縁が必要な場合、及び、ハウジング102と主軸104との間の導通が必要な場合を想定する必要がある。[構成例1:ハウジングとスピンドルとの間の絶縁が必要な場合]ハウジング102と主軸104との間の絶縁が必要な場合には、外輪108a110a、内輪108b110b、転動体玉116118のいずれか、或いは、その全てを非導電性絶縁性セラミックで形成すればよい。ここで、非導電性絶縁性セラミックとしては、例えば、アルミナ、ジルコニアなどの酸化物や、窒素珪素などの電気抵抗の高い絶縁材料を適用することができる。この場合、例えば、各転動体玉116118を上記したような非導電性絶縁性セラミックで形成した場合には、外輪108a110aと内輪108b110bの材質については、特に制限はされず、例えば高炭素クロム軸受鋼や特殊鋼ステンレス鋼などを適用することができる。なお、例えば、外輪108a110aを上記したような非導電性絶縁性セラミックで形成した場合、内輪108b110b及び転動体玉116118を例えば高炭素クロム軸受鋼や特殊鋼ステンレス鋼で形成すればよい。これに対して、例えば、内輪108b110bを上記したような非導電性絶縁性セラミックで形成した場合、外輪108a110a及び転動体玉116118を例えば高炭素クロム軸受鋼や特殊鋼ステンレス鋼で形成すればよい。また、当該玉軸受108110に封入する潤滑剤としては、例えば高速用グリースを適用することが好ましい。なお、高速用グリースとしては、例えばエステル油を基油として添加したものを適用することができる。[構成例2:ハウジングとスピンドルとの間の導通が必要な場合]ハウジング102と主軸104との間の導通が必要な場合には、外輪108a110a、内輪108b110b、転動体玉116118の全てを導電性セラミックで形成すればよい。ここで、導電性セラミックとしては、例えば、酸化アルミニウムアルミナ、二酸化ジルコニウムジルコニアなどの酸化物に導電性セラミックス粒子を微細に分散した電気抵抗の低いセラミック材料を適用することができる。この場合、当該玉軸受108110に封入する潤滑剤としては、例えば導電性グリースを適用することが好ましい。また、導電性グリースとしては、例えばカーボンブラック、金属粉、金属酸化物などを充填剤として添加したものを適用することができる。なお、導通とは、電流が流れる状態、即ち、通電可能な状態を指す。以上、本実施形態によれば、上記したセラミック製の玉軸受108110は、それ自体の剛性軸受剛性が高いため、ハウジング102に対して主軸104を堅牢に支持することができる。このため、スピンドル装置の稼働中におけるタービン駆動部106の旋回負荷の影響を受けることなく、主軸104の回転軸Lを一定に維持することができ、当該主軸104を一定の回転軸Lを中心に回転させることができる。この結果、スピンドル装置の稼働中に、例えば主軸104が変位してハウジング102と接触するようなことはない。この場合、主軸104の回転状態回転速度を一定に保つことができるため、主軸104の回転速度を常に所望の速度に安定化させることができる。これにより、スピンドル装置が例えば静電塗装機に用いられている場合には、塗装対象物に対する塗装ムラを発生させることなく、当該塗装対象物を均一に塗装することができる。また、上記した空気軸受では、その軸受サイズ大きさによって剛性や負荷容量が決定されるため、スピンドル装置を大型化する必要があるが、当該空気軸受に代えて、それ自体の剛性軸受剛性が高いセラミック製の玉軸受108110を適用することにより、スピンドル装置のコンパクト化を実現することができる。これにより、空気軸受を適用した場合に比べて、スピンドル装置の稼働に要するコストを大幅に低減することができる。また、空気軸受を適用した場合に比べて、玉軸受108110の個数を少なくすることができるため、スピンドル装置全体の部品点数を大幅に削減することが可能となり、その結果、スピンドル装置の製造に要するコストを大幅に低減することができる。更に、セラミック製の玉軸受108110は、空気軸受に比べて、その回転性能を高めることができるため、スピンドル装置に要求されている高速回転化例えば、1分間で60000回転rpmの高速回転化への対応を可能にすることができる。なお、本発明は、上記した実施形態に限定されることはなく、以下の各変形例に係る技術思想も本発明の技術的範囲に含まれる。例えば図11に示すように、上記した構成例12において、各玉軸受108110にシール構造を施すようにしてもよい。図面ではシール構造の一例として、各玉軸受108110には、転動体玉116118の両側に、外輪108a110aと内輪108b110bとの間に区画される軸受内部空間を軸受外部から密封するための密封板126が設けられている。ここで、密封板126としては、例えば金属板をプレス加工した環状のシールドや、心金入りのゴム製を成すシールを適用することができる。なお、図面では一例として、基端が外輪108a110aの内周に固定され、先端が内輪108b110bに向けて延出した密封板126を適用した構成が示されているが、これとは逆に、基端が内輪108b110bの外周に固定され、先端が外輪108a110aに向けて延出した密封板126を適用して構成してもよい。この場合、密封板126としてシールを適用した場合には、当該シール126の先端を、相手側軌道輪即ち、外輪108a110a、内輪108b110bに対して接触させてもよいし、或いは、接触させずに狭い隙間が保たれるようにしてもよい。以上、本変形例によれば、上記した実施形態に係る効果に加えて、更に、各玉軸受108110に密封板126を適用したことにより、当該玉軸受108110の軸受内部空間に封入された潤滑剤具体的には、上記した構成例1では高速用グリース、上記した構成例2では導電性グリースが、軸受外部へ漏洩したり、飛散したりすることを確実に防止することができる。これにより、当該玉軸受108110の回転性能や潤滑性能を長期に亘って一定に維持することができるため、スピンドル装置の長寿命化を図ることができる。また、例えば図10に示すように、少なくとも一端側の玉軸受108をセラミック製の転がり軸受として構成するようにしてもよい。なお、図面では一例として、当該玉軸受108は、内輪108bの背面108dがハウジング102に当て付けられるように、ハウジング102と主軸104との間に設けられているが、これにより、本発明の技術範囲が限定されるものではない。この場合、他端側の軸受としては、その種類は特に制限されないが、図面では一例として、空気軸受が適用されており、かかる空気軸受は、ハウジング102に対して主軸104をラジアル方向に支持するラジアル空気軸受128と、当該主軸104をアキシアル方向に支持するアキシアル空気軸受130とを備えて構成されている。ラジアル空気軸受128は、主軸104の外周を覆うように回転軸Lと同心円状に配置された中空円筒状の多孔質部材128aを備えており、一方、アキシアル空気軸受130は、タービン駆動部106のタービン羽根車106aの片側回転軸Lに沿った方向の片側に沿って対向配置された環状の多孔質部材130aを備えている。また、ハウジング102には、各多孔質部材128a130aに圧縮空気を供給するための圧縮空気給気路132が構築されており、当該圧縮空気給気路132には、図示しない圧縮空気供給源が接続されている。このような空気軸受によれば、圧縮空気供給源から圧縮空気給気路132に圧縮空気等の気流を供給すると、その気流は、各多孔質部材128a130aを通って主軸104の外周及びタービン羽根車106aの片側に向けて吹き付けられる。このとき、主軸104と多孔質部材128aとの間が非接触状態に保持されると共に、タービン駆動部106のタービン羽根車106aの片側と多孔質部材130aとの間が非接触状態に保持される。ここで、一端側の玉軸受108は、それ単体で主軸104をラジアル方向及びアキシアル方向に支持することができるため、アキシアル空気軸受130の多孔質部材130aは、タービン駆動部106のタービン羽根車106aを挟むように両側に設ける必要はなく、片側のみで足りる。これにより、タービン駆動部106を含めて主軸104の全体が、一端側の玉軸受108によってハウジング102に対して支持されると共に、他端側の空気軸受128130によってハウジング102から浮上支持される。以上、本変形例によれば、上記した実施形態に係る効果に加えて、更に、一端側の玉軸受108をセラミック製の転がり軸受とし、他端側の軸受のみを空気軸受128130としたことにより、従来のスピンドル装置に比べて、空気軸受128130の配置個数を大幅に削減することができる。これにより、空気軸受128130に使用する空気流量を大幅に低減することができるため、スピンドル装置の稼働に要するコストを大幅に低減することができる。