"制御対象である調節弁からフィードバックされてくる実開度値を第1のフィードバック値とし、この第1のフィードバック値と上位装置から送られてくる弁開度設定値との偏差を求め、この偏差に所定の演算を施して得られる電気信号を制御出力として出力する制御手段と、この制御手段からの制御出力を空気圧に変換し前記調節弁の駆動部へ出力する電空変換手段とを備えたポジショナにおいて、前記電空変換手段からの前記調節弁の駆動部への空気圧を検出する空気圧検出手段と、前記空気圧検出手段によって検出された空気圧の微分値を圧力微分値として第2のフィードバック値を算出する第2のフィードバック値算出手段と、前記調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値として第3のフィードバック値を算出する第3のフィードバック値算出手段と、前記算出された第2のフィードバック値と第3のフィードバック値との和をマイナー制御ループのフィードバック値として算出する加算手段と、前記制御手段からの制御出力をメジャー制御ループの制御出力とし、このメジャー制御ループの制御出力から前記加算手段によって算出されたマイナー制御ループのフィードバック値を減算して補正制御出力を求め、この補正制御出力を前記電空変換手段への制御出力として出力する補正制御出力演算手段とを備えることを特徴とするポジショナ。請求項1に記載されたポジショナにおいて、前記第2のフィードバック値算出手段は、前記圧力微分値に第1の定数を乗じた値を前記第2のフィードバック値とし、前記第3のフィードバック値算出手段は、前記弁開度微分値に第2の定数を乗じた値を前記第3のフィードバック値とすることを特徴とするポジショナ。請求項1に記載されたポジショナにおいて、前記電空変換手段は、前記調節弁の駆動部への空気圧の出力ポートとして第1のポートと第2のポートとを有し、前記調節弁を前記制御出力に対応した方向に駆動させる場合には前記第1のポートの空気圧を前記第2のポート空気圧よりも高くし、前記調節弁を前記制御出力に対して反対方向に駆動させる場合には前記第2のポートの空気圧を前記第1のポートの空気圧よりも高くし、前記空気圧検出手段は、前記電空変換手段の第1のポートの空気圧と第2のポートの空気圧との差圧を検出し、前記第2のフィードバック値算出手段は、前記空気圧検出手段によって検出された差圧の微分値を圧力微分値としこの圧力微分値に第1の定数を乗じた値を前記第2のフィードバック値として算出し、前記第3のフィードバック値算出手段は、前記調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値としこの弁開度微分値に第2の定数を乗じた値を前記第3のフィードバック値として算出することを特徴とするポジショナ。しかしながら、特許文献2に示された制御方式図4では、ムダ時間や時定数を縮めることによりバルブ開度制御の速応性の改善は望めるが、整定性の改善は難しい。また、特許文献3に示された制御方式図5では、圧力値そのものを見ているため、オーバシュートや整定時間など整定性の改善は望めるが、速応性の改善は難しい。本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立することが可能なポジショナを提供することにある。このような目的を達成するために本発明は、制御対象である調節弁からフィードバックされてくる実開度値を第1のフィードバック値とし、この第1のフィードバック値と上位装置から送られてくる弁開度設定値との偏差を求め、この偏差に所定の演算を施して得られる電気信号を制御出力として出力する制御手段と、この制御手段からの制御出力を空気圧に変換し調節弁の駆動部へ出力する電空変換手段とを備えたポジショナにおいて、電空変換手段からの調節弁の駆動部への空気圧を検出する空気圧検出手段と、空気圧検出手段によって検出された空気圧の微分値を圧力微分値として第2のフィードバック値を算出する第2のフィードバック値算出手段と、調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値として第3のフィードバック値を算出する第3のフィードバック値算出手段と、算出された第2のフィードバック値と第3のフィードバック値との和をマイナー制御ループのフィードバック値として算出する加算手段と、制御手段からの制御出力をメジャー制御ループの制御出力とし、このメジャー制御ループの制御出力から加算手段によって算出されたマイナー制御ループのフィードバック値を減算して補正制御出力を求め、この補正制御出力を電空変換手段への制御出力として出力する補正制御出力演算手段とを備えることを特徴とする。この発明によれば、電空変換手段からの調節弁の駆動部への空気圧が検出され、この検出された空気圧の微分値を圧力微分値として第2のフィードバック値が算出される。例えば、圧力微分値に第1の定数を乗じた値が第2のフィードバック値として算出される。また、調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値として第3のフィードバック値が算出される。例えば、弁開度微分値に第2の定数を乗じた値が第3のフィードバック値として算出される。そして、この第2のフィードバック値と第3のフィードバック値との和がマイナー制御ループのフィードバック値とされ、このマイナー制御ループのフィードバック値をメジャー制御ループの制御出力から減算して補正制御出力が求められ、この求められた補正制御出力が電空変換手段への制御出力とされる。この発明において、第2のフィードバック値と第3のフィードバック値との和は、例えば上述した第1の定数や第2の定数として適正な値を与えることによって、電空変換手段から出力される空気の流量に相当する量とすることが可能である。この場合、電空変換手段から出力される空気の流量に相当する量がメジャー制御ループの制御出力から減算されるものとなり、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善が両立されるものとなる。本発明によれば、調節弁の駆動部への空気圧の微分値を圧力微分値として第2のフィードバック値を算出し、調節弁からフィードバックされてくる実開度値の微分値を弁開度微分値として第3のフィードバック値を算出し、この算出された第2のフィードバック値と第2のフィードバック値との和をマイナー制御ループのフィードバック値とするようにしたので、電空変換手段から出力される空気の流量に相当する量をメジャー制御ループの制御出力から減算するようにして、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立することが可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。実施の形態1:単動型ポジショナ図1はこの発明に係るポジショナの一実施の形態実施の形態1の要部の構成を示す図である。同図において、図5と同一符号は図5を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。このポジショナ1Dでは、調節弁2からフィードバックされてくる実開度値Xpvの微分値Xpv/dtを弁開度微分値とし、この弁開度微分値dXpv/dtに定数Knを乗じた値KndXpv/dtを第3のフィードバック値とし、第2のフィードバック値KmdPo/dtと第3のフィードバック値KndXpv/dtとの和FBを求めFB=KmdPo/dtKndXpv/dt、この第2のフィードバック値と第3のフィードバック値との和FBをマイナー制御ループのフィードバック値としている。そして、制御部11からの制御出力MVをメジャー制御ループの制御出力とし、このメジャー制御ループの制御出力MVからマイナー制御ループのフィードバック値FBを減算して補正制御出力MV’を求め、この補正制御出力MV’を電空変換器12への制御出力としている。なお、弁開度微分値dXpv/dtの算出およびこの弁開度微分値dXpv/dtに対する定数Knの乗算は乗算部第3のフィードバック値算出部20で行い、第2のフィードバック値KmdPo/dtと第3のフィードバック値KndXpv/dtとの和FBの算出は加算部21で行う。また、メジャー制御ループの制御出力MVからのマイナー制御ループのフィードバック値FBの減算は減算部補正制御出力演算部22で行う。このポジショナ1Dにおいて、圧力センサ17は、パイロットリレー13からの調節弁2の駆動部2aへの空気圧Poを検出する。乗算部第2のフィードバック値算出部18は、圧力センサ17によって検出された空気圧Poの微分値dPo/dtを圧力微分値として算出し、この圧力微分値dPo/dtに定数Km第1の定数を乗じた値KmdPo/dtを第2のフィードバック値として出力する。乗算部第3のフィードバック値算出部20は、開度センサ3からの実開度値Xpvを分岐して入力し、この実開度値Xpvの微分値dXpv/dtを弁開度微分値として算出し、この弁開度微分値dXpv/dtに定数Kn第2の定数を乗じた値KndXpv/dtを第3のフィードバック値として出力する。加算部21は、乗算部18からの第2のフィードバック値KmdPo/dtと乗算部20からの第3のフィードバック値KndXpv/dtとを加算し、その加算値をマイナー制御ループのフィードバック値FBとして減算部補正制御出力演算部22へ送る。減算部補正制御出力演算部22は、制御部11からの制御出力MVをメジャー制御ループの制御出力として入力し、このメジャー制御ループの制御出力MVからマイナー制御ループのフィードバック値FBを減算して補正制御出力MV’を求め、この補正制御出力MV’を電空変換器12への制御出力とする。このポジショナ1Dにおいて、第2のフィードバック値KmdPo/dtと第3のフィードバック値KndXpv/dtとの和は、第1の定数Kmおよび第2の定数Knを適正な値とすることによって、パイロットリレー13から出力される空気の流量に相当する量としている。これにより、パイロットリレー13から出力される空気の流量に相当する量をメジャー制御ループの制御出力MVから減算するようにして、すなわちマイナー制御ループのフィードバック値FBを流量等価物理量として、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立させている。流量等価物理量の導出以下、マイナー制御ループのフィードバック値FBとして得られるKmdPo/dtKndXpv/dtがパイロットリレー13から出力される空気の流量に相当する量流量等価物理量であることについて、その理論的な裏付けを説明する。調節弁2の駆動部2aのダイアフラム室へ流入もしくは流出する流量と弁開度および出力空気圧との関係式を求める。なお、ここでは、Pをダイアフラム室の圧力、Vをダイアフラム室の体積、θをダイアフラム室の温度、Aをダイアフラム室の有効面積、Xを弁開度、Wをダイアフラム室の気体の物質量、Rを気体定数とする。先ず、ダイアフラム室内について、気体の状態方程式を用いて考える。今、ダイアフラム室内の空気について、状態方程式は下記1式で表される。PV=WRθ1バルブ動作時は等温変化であると仮定し、上記1式を全微分すると、Pdv/dtVdP/dt=RθdW/dt2質量流量Gは、Wの時間変化で表されるため、2式をdW/dtについて整理すると、G=dW/dt=1/RθPdv/dtVdP/dt3ここで、ダイアフラム室の体積変化は、弁開度Xで下記4式のように表される。dv/dt=AdX/dt44式を3式に代入し、質量流量Gと圧力微分値および弁開度微分値の関係として次式を得る。G=dW/dt=1/RθVdP/dtPAdX/dt=KmdP/dtKndX/dt5以上より、圧力微分値dP/dtおよび弁開度微分値dX/dtをセンシングし、適当な定数KmおよびKnを与えれれば、KmdP/dtKndX/dtが調節弁2の駆動部2aのダイアフラム室への流量に相当する量流量等価物理量として得られることが分かる。実施の形態2:複動型ポジショナ図2はこの発明に係るポジショナの他の実施の形態実施の形態2の要部の構成を示す図である。同図において、図1と同一符号は図1を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。このポジショナ1Eにおいて、パイロットリレー13は、空気圧の出力ポートを2つ有しており、第1のポートから空気圧Po1を出力し、第2のポートから空気圧Po2を出力する。このポジショナ1Eにおいて、調節弁2を正動作制御出力MVに対応した方向に駆動させる場合には第1のポートの空気圧Po1を第2のポートの空気圧Po2よりも高くし、調節弁2を逆動作制御出力MVに対して反対の方向に駆動させる場合には第2のポートの空気圧Po2を第1のポートの空気圧Po1よりも高くする。このような動作形式のポジショナを複動型ポジショナと呼んでいる。このポジショナ1Eでは、図1に示した圧力センサ17に代えて差圧センサ23を設け、調節弁2の駆動部2aへの第1のポートの空気圧Po1と第2のポートの空気圧Po2との差圧ΔPoΔPo=Po1-Po2を検出し、この検出した差圧ΔPoを乗算部第2のフィードバック値算出部18へ送るようにしている。そして、乗算部第2のフィードバック値算出部18において、差圧センサ23からの差圧ΔPoの微分値dΔPo/dtを圧力微分値として算出し、この圧力微分値dΔPo/dtに定数Km第1の定数を乗じた値KmdΔPo/dtを第2のフィードバック値として加算部21へ出力するようにしている。加算部21は、乗算部18からの第2のフィードバック値KmdΔPo/dtと乗算部20からの第3のフィードバック値KndXpv/dtとを加算し、その加算値をマイナー制御ループのフィードバック値FBとして減算部補正制御出力演算部22へ送る。減算部補正制御出力演算部22は、制御部11からの制御出力MVをメジャー制御ループの制御出力として入力し、このメジャー制御ループの制御出力MVからマイナー制御ループのフィードバック値FBを減算して補正制御出力MV’を求め、この補正制御出力MV’を電空変換器12への制御出力とする。このポジショナ1Eにおいて、第2のフィードバック値KmdΔPo/dtと第3のフィードバック値KndXpv/dtとの和は、第1の定数Kmおよび第2の定数Knを適正な値とすることによって、パイロットリレー13から出力される空気の流量に相当する量としている。これにより、パイロットリレー13から出力される空気の流量に相当する量をメジャー制御ループの制御出力MVから減算するようにして、すなわちマイナー制御ループのフィードバック値FBを流量等価物理量として、バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立させている。なお、この実施の形態2では、差圧センサ23によって調節弁2の駆動部2aへの第1のポートの空気圧Po1と第2のポートの空気圧Po2との差圧ΔPoを検出するようにしたが、第1のポートの空気圧Po1と第2のポートの空気圧Po2を個別に検出し、その検出した空気圧Po1とPo2との差として差圧ΔPoを求めるようにしてもよい。また、上述した実施の形態1,2では、制御部11において、弁開度設定値Xspと開度センサ3からの実開度値Xpvとの偏差eにPID制御演算を施すようにしているが、偏差eに施す演算はPID制御演算に限られるものではない。また、PID制御演算部11bに実開度Xpvを分岐して与え、実開度Xpvに対して先に微分を行うようにする微分先行型のPID制御演算を偏差eに対して施すようにしてもよい。また、上述した実施の形態1,2では、電空変換器12とパイロットリレー13との組み合わせが本発明でいう電空変換手段に相当する。また、上述した実施の形態1,2において、開度センサ3はポジショナ1Dの外側に設けられているものとしているが、ポジショナ1Dの内部に設けられていてもよい。"