"第1枠体と、前記第1枠体に対して第1方向に移動可能に支持された第2枠体と、前記第2枠体に対して前記第1方向と交差する第2方向に移動可能に支持された第3枠体と、前記第1枠体と前記第2枠体とを前記第1方向に相対移動させる第1駆動機構と、前記第2枠体と前記第3枠体とを前記第2方向に相対移動させる第2駆動機構と、を備え、前記第1駆動機構と前記第2駆動機構とのそれぞれは、圧電素子により駆動を発生させる駆動発生部と、前記駆動発生部に対して相対的に押圧され、前記駆動発生部により発生した駆動を受ける駆動受部とを有し、前記第1駆動機構と前記第2駆動機構とのそれぞれが有する駆動発生部と駆動受部とは、前記第1方向および前記第2方向に平行な同一平面上に配置され、前記第1駆動機構において前記駆動発生部が前記駆動受部に作用する方向は、前記第2駆動機構において前記駆動発生部が前記駆動受部に作用する方向と前記同一平面上において交差し、かつ、前記第1方向と垂直であり、前記第2駆動機構において前記駆動発生部が前記駆動受部に作用する方向は、前記第2方向と垂直であり、前記第1駆動機構の前記駆動受部は、前記第1方向に延び前記第1駆動機構の前記駆動発生部により前記第1方向に駆動される第1主軸を有しており、前記第2駆動機構の前記駆動受部は、前記第2方向に延び前記第2駆動機構の前記駆動発生部により前記第2方向に駆動される第2主軸を有しており、前記第1主軸は、前記第2主軸と同一平面上に配置されている、駆動装置。前記第1駆動機構の前記駆動受部は、前記第1枠体に支持されており、前記第1駆動機構の前記駆動発生部は、前記第2枠体に支持されており、前記第2駆動機構の前記駆動受部は、前記第2枠体に支持されており、前記第2駆動機構の前記駆動発生部は、前記第3枠体に支持されている、請求項1に記載の駆動装置。前記第1主軸は、前記第1枠体に装着されており、前記第2主軸は、前記第2枠体に装着されている、請求項1または2に記載の駆動装置。前記第1方向に延び前記第2枠体に装着された第1副軸と、前記第2方向に延び前記第2枠体に装着された第2副軸と、をさらに備え、前記第1副軸は、前記第2枠体に対して前記第1枠体を前記第1方向に案内するように設けられており、前記第2枠体において前記第1主軸が設けられている側とは前記第2方向反対側に配置されており、前記第2副軸は、前記第2枠体に対して前記第3枠体を前記第2方向に案内するように設けられており、前記第2枠体において前記第2主軸が設けられている側とは前記第1方向反対側に配置されている、請求項1から3のいずれかに記載の駆動装置。前記第1駆動機構は、前記第2方向において前記第2枠体の側方に配置されており、前記第2駆動機構は、前記第1方向において前記第2枠体の側方に配置されている、請求項1から4のいずれかに記載の駆動装置。前記第1駆動機構の前記駆動発生部および前記駆動受部は、前記第2方向において互いに対向して配置されており、前記第2駆動機構の前記駆動発生部および前記駆動受部は、前記第1方向において互いに対向して配置されている、請求項1から5のいずれかに記載の駆動装置。前記駆動発生部は、縦振動と屈曲振動の合成により前記圧電素子に定在波を発生させて前記駆動受部を相対的に駆動させる、請求項1から6のいずれかに記載の駆動装置。前記第3枠体には、光学部品が配置されている、請求項1から7のいずれかに記載の駆動装置。以上に説明した駆動装置では、さらなる装置の小型化が求められている。具体的には、図12に示す駆動装置では、振動アクチュエータ104,105および付勢部材104b、105bがそれぞれの支持台101および第1の移動体102上に固定されているため、大型化しやすい。また、第1の移動体102と第2の移動体103とに対して付勢部材104b,105bを用いて加圧しているため、レール101a,102aや溝部102b,103aに対して摩擦負荷が発生しやすく、剛性を高める必要から装置全体の厚み方向または厚み方向に直交する方向に大型化してしまうという問題がある。また、図13に示す駆動装置では、電磁力を高める為、コイル237x,237yの巻数を増加させたり、マグネット239x,239yを大きくする必要がある。また、位置検出センサーにホール素子238x,238yを使用している。このため、位置に対する磁束密度変化の直線性を確保する必要から、磁石が大型化するといった問題がある。この結果、駆動装置全体が、厚み方向または厚み方向に直交する方向に大型化してしまうという問題がある。そこで本発明では、厚み方向の小型化を実現する駆動装置を提供することを課題とする。本発明に係る駆動装置は、第1枠体と、第2枠体と、第3枠体と、第1駆動機構と、第2駆動機構とを備えている。第2枠体は、第1枠体に対して第1方向に移動可能に支持されている。第3枠体は、第2枠体に対して第1方向と交差する第2方向に移動可能に支持されている。第1駆動機構は、第1枠体と第2枠体とを第1方向に相対移動させる。第2駆動機構は、第2枠体と第3枠体とを第2方向に相対移動させる。第1駆動機構と第2駆動機構とのそれぞれは、圧電素子により駆動を発生させる駆動発生部と、駆動発生部に対して相対的に押圧され、駆動発生部により発生した駆動を受ける駆動受部とを有する。第1駆動機構と第2駆動機構とのそれぞれが有する駆動発生部と駆動受部とは、第1方向および第2方向に平行な同一平面上に配置され、第1駆動機構において駆動発生部が駆動受部に作用する方向は、第2駆動機構において駆動発生部が駆動受部に作用する方向と同一平面上において交差し、かつ、第1方向と垂直である。第2駆動機構において駆動発生部が駆動受部に作用する方向は、第2方向と垂直である。第1駆動機構の駆動受部は、第1方向に延び第1駆動機構の駆動発生部により第1方向に駆動される第1主軸を有している。第2駆動機構の駆動受部は、第2方向に延び第2駆動機構の駆動発生部により第2方向に駆動される第2主軸を有している。第1主軸は、第2主軸と同一平面上に配置されている。本発明により、厚み方向の小型化を実現する駆動装置を提供することが可能となる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。第1実施形態本発明の第1実施形態である駆動装置について説明する。図1は駆動装置50の分解斜視図、図2は駆動装置50の背面側の分解斜視図である。駆動装置50駆動装置50は、デジタルスチールカメラ、デジタルビデオカメラなどの光学機器に搭載される装置であり、CCDやCMOSなどの撮像素子やレンズといった光学部品を光軸に直交な2方向に駆動し、光学像の像ぶれ補正を行うために用いられる装置である。図1に示す駆動装置50は、特に上面側に撮像素子などを搭載し駆動する装置である。図1に示すように、駆動装置50は、第1枠体51と、第2枠体52と、第3枠体53と、第1駆動機構54と、第2駆動機構55とを備えている。第2枠体52は、第1枠体51に対して第1方向Aに移動可能に支持されている。第3枠体53は、第2枠体52に対して第1方向Aと直交する第2方向Bに移動可能に支持されている。第1駆動機構54は、第1枠体51と第2枠体52との間に設けられ、第1枠体51と第2枠体52とを相対移動させる。具体的には、第1駆動機構54は、第2枠体52を第1枠体51および第1枠体51が固定される光学機器図示せずに対して第1方向Aに沿って駆動する。第2駆動機構55は、第2枠体52と第3枠体53との間に設けられ、第2枠体52と第3枠体53とを相対移動させる。具体的には、第2駆動機構55は、第3枠体53を第2枠体52に対して第2方向Bに沿って駆動する。第2駆動機構55は、第1駆動機構54に対して、第1方向Aおよび第2方向Bに直交する第3方向C回りに90度回転した位置に配置されている。第1駆動機構54と第2駆動機構55とのそれぞれは、駆動発生部21と、駆動受部22と、軸受部23と、付勢部24とを含んでいる。駆動発生部21は、圧電素子1により駆動を発生させる。駆動受部22は、駆動発生部21に対して相対的に押圧され、駆動発生部21により発生した駆動を受ける。軸受部23は、駆動受部22を挟んで駆動発生部21と対向して配置され、駆動受部22において駆動発生部21が作用する箇所の駆動発生部21側とは反対側への駆動受部22の変位を規制する。付勢部24は、駆動発生部21と軸受部23とをお互いに近づける方向に付勢する。第1枠体51には、第1駆動機構54の駆動受部22が固定されているとともに、駆動受部22を支持する軸受部23および付勢部24が設けられている。第2枠体52には、第1駆動機構54の駆動発生部21が弾性的に固定されているとともに、第2駆動機構55の駆動受部22および駆動受部22を支持する軸受部23および付勢部24が設けられている。第3枠体53には、第2駆動機構55の駆動発生部21が弾性的に固定されている。第1駆動機構54および第2駆動機構55は、上述のごとく第1枠体51~第3枠体53に配置されており、第1駆動機構54において駆動発生部21が駆動受部22に作用する作用方向C1は、第2駆動機構55において駆動発生部21が駆動受部22に作用する作用方向C2の平行かつ逆向きの方向である。詳しくは、第1駆動機構54の駆動発生部21と駆動受部22との位置関係は、第2駆動機構55の駆動発生部21と駆動受部22との位置関係と逆になっている。すなわち、第1駆動機構54では、駆動発生部21と駆動受部22とは、第3方向Cに対向して配置されるとともに、駆動発生部21は駆動受部22の第3方向Cの上側に配置されている。一方、第2駆動機構55では、駆動発生部21と駆動受部22とは、第3方向Cに対向して配置されるとともに、駆動発生部21は駆動受部22の第3方向Cの下側に配置されている。このように、第1駆動機構54および第2駆動機構55において、駆動発生部21が駆動受部22に作用する方向を第3方向Cに沿った方向とすることで、第3方向Cから見た駆動装置50の大きさ投影面積を小さくすることが可能となる。さらに、第1駆動機構54における作用方向C1と第2駆動機構55における作用方向C2とを第3方向Cに沿った方向かつ逆向きとすることで、駆動装置50の第3方向Cへの厚みを小さくすることが可能となる。回り止め機構図2に示すように、第1枠体51には、第1方向Aに沿って第1駆動機構54の駆動受部22のシャフト5後述の両端が固定されている。さらに、第2枠体52には、第2方向Bに沿って第2駆動機構55の駆動受部22のシャフト5後述の両端が固定されている。第1枠体51と第2枠体52との間には、第1駆動機構54が設けられる位置と第2方向B反対側に第1回り止め機構57が設けられている。第1回り止め機構57は、第1駆動機構54のシャフト5回りに第1枠体51と第2枠体52とが相対回転することを防止するための機構である。第1回り止め機構57は、第1枠体51に形成されたコの字型の回り止め4fと、第2枠体52のシャフト保持部24aに圧入または接着により固定され、回り止め4fに係合するシャフト15とから構成されている。第1回り止め機構57のシャフト15は、第1方向Aに沿って延びている。第2枠体52と第3枠体53との間には、第2駆動機構55が設けられる位置と第1方向A反対側に第2回り止め機構58が設けられている。第2回り止め機構58は、第2駆動機構55のシャフト5回りに第2枠体52と第3枠体53とが相対回転することを防止するための機構である。第2回り止め機構58は、第3枠体53に形成されたコの字型の回り止め4fと、第2枠体52のシャフト保持部24bに圧入または接着により固定され、回り止め4fに係合するシャフト15とから構成されている。第2回り止め機構58のシャフト15は、第2方向Bに沿って延びている。上述のように、第2枠体52を第1方向Aに沿って駆動する第1駆動機構54の駆動発生部21は、駆動装置50において第1方向Aに沿って設けられた2本のシャフト5,15のうち、第1駆動機構54のシャフト5に作用する。すなわち、駆動発生部21からの駆動は、第1方向Aへの第2枠体52の運動をより正確に規制する主軸である、第1駆動機構54の駆動受部22に対して作用する。このため、モーメントの発生を抑え、第2枠体52を第1方向Aに沿ってより正確に直線的に駆動することが可能となる。また、第3枠体53を第2方向Bに沿って駆動する第2駆動機構55の駆動発生部21は、駆動装置50において第2方向Bに沿って設けられた2本のシャフト5,15のうち、第2駆動機構55のシャフト5に作用する。すなわち、駆動発生部21からの駆動は、第2方向Bへの第3枠体53の運動をより正確に規制する主軸である、第2駆動機構55の駆動受部22に対して作用する。このため、モーメントの発生を抑え、第3枠体53を第2方向Bに沿ってより正確に直線的に駆動することが可能となり、駆動性能が向上する。駆動機構ここで、図面を参照しながら、第1駆動機構54および第2駆動機構55について説明する。なお、それぞれの駆動機構を構成する駆動発生部21、駆動受部22、軸受部23、付勢部24の構成はほぼ同様であるため、以下では、第2駆動機構55について詳しく説明し、第1駆動機構54については、その説明を省略する。図3は、本発明の第2駆動機構55の分解斜視図である。第2駆動機構55は、上述のように、駆動発生部21と、駆動受部22と、軸受部23と、付勢部24とを含む。駆動発生部21は、例えば圧電素子などの電気機械変換素子により駆動を発生させる。駆動受部22は、駆動発生部21により発生した駆動を受け、駆動発生部21に対して相対的に駆動される。軸受部23は、駆動受部22を挟んで駆動発生部21と対向して配置され、駆動受部22において駆動発生部21が作用する箇所の駆動発生部21側とは反対側への駆動受部22の変位を規制する。付勢部24は、駆動発生部21と軸受部23とをお互いに近づける方向に付勢する。このような駆動発生部21は、第3枠体53により支持され、第3枠体53は、駆動発生部21が発生する駆動により、駆動受部22に対して相対的に駆動される。以下、上述の各構成について、より詳細に説明を加える。駆動発生部21図4は、第2駆動機構55が備える駆動発生部21の斜視図である。駆動発生部21は、振動アクチュエータ1と、弾性体2a~2cと、アクチュエータケース3とから主に構成されている。振動アクチュエータ1は、直方体形状をした圧電素子1a、圧電素子1aの最も広い面積を有する面以下、主面というの長辺側の側面に配置され、駆動受部22に対して摩擦接触する2つの駆動子1b,1c、主面に形成された4つの電極1d~1gとから主に構成されている。圧電素子1aは、主にセラミックスなどの材料により構成される部材である。圧電素子1aは、対角に位置する2対の電極1d,1gおよび電極1e,1fにそれぞれ位相が異なる交流電圧を印加することで、縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させ、駆動力を発生させる。なお、電圧印加は、電極1d~1gに接続されたフレキシブルプリント基板図示せずを用いて行われている。駆動子1b,1cは、駆動受部22と接触する頭部が半球状に形成された、例えばセラミックス材料で構成された部材である。駆動子1b,1cは、圧電素子1aに固定され、圧電素子1aに発生した駆動力を駆動受部22に伝える。なお、駆動子1b,1cの頭部の形状は、図示した半球状に限らず、他の曲面状に形成されていてもよく、駆動効率を高める形状であれば、どのような形状でも構わない。弾性体2a,2bは、圧電素子1aの主面の短辺側側面を両側から弾性支持する。弾性体2cは、圧電素子1aの主面の長辺側側面を駆動受部22側に弾性支持する。弾性体2a~2cは、ゴムやフェルトなどで構成されており、弾性変形することにより、付勢力を発生する。弾性体2a~2cは、駆動受部22に対する振動アクチュエータ1の姿勢を維持し、振動アクチュエータ1が駆動受部22を駆動する際の駆動効率を高める役割を果たす。なお、弾性体2cは、後述する加圧バネ11とともに、駆動発生部21と軸受部23とをお互いに近づける方向に付勢する付勢部24図3参照を構成する。アクチュエータケース3は、振動アクチュエータ1および弾性体2a~2cを一体的に保持する。具体的には、振動アクチュエータ1は、弾性体2a~2cを介して、アクチュエータケース3の内部に固定されている。アクチュエータケース3には、圧電素子1aの主面の反対側の面と対向する面において、厚さ方向に貫通する貫通孔3aが形成されている図3参照。アクチュエータケース3は、貫通孔3aに、後述する第3枠体53の平面部4cに形成された突起4dを嵌め合わせることにより、平面部4cと対向して配置される。これにより、アクチュエータケース3の内部に固定された振動アクチュエータ1および弾性体2a~2cは、第3枠体53および第3枠体53に配置される部材に対して位置決めされる。具体的には、後述する駆動受部22のシャフト5、コの字型ベース6およびセラミックス板7に対して、振動アクチュエータ1の駆動子1b、1cが接触するように配置される。この時、弾性体2cは、ある程度収縮するため、振動アクチュエータ1の駆動子1b、1cは、セラミックス板7を押圧しつつ接触する。なお、アクチュエータケース3には貫通孔3aを形成せず、突起4dを設けない平面部4cに対して接着固定してもよい。駆動受部22駆動受部22図3参照は、ステンレスからなるシャフト5と、シャフト5に固定されるコの字型ベース6と、コの字型ベース6の駆動発生部21と対向する面に貼り付けられたセラミックス板7とから主に構成されている。シャフト5は、後述する第3枠体53の挿通孔4a,4bに対して挿通され、第3枠体53に対して、シャフト5の軸方向符号Aで示す方向に相対的に駆動される。コの字型ベース6は、挿通孔4a,4bに挿通されたシャフト5の挿通孔4aと挿通孔4bとの中間位置において接着剤によって接着固定、あるいは異種材料同士の化学的接合により固定されている。駆動子1b,1cの頭部は、それぞれ半球状に形成されている。このため、駆動受部22を効率よく駆動させるためには、円柱状のシャフト5に駆動子1b,1cが直接当接するよりも、シャフト5に固定された平面状のセラミックス板7に駆動子1b,1cが直接当接する方が好ましい。また、平面状のセラミックス板7を介して、駆動子1b,1cと駆動受部22とを当接させる方が、組み立ても容易となる。なお、駆動子1b,1cが摺動方向シャフト5の軸方向に曲率を有する形状である場合には、駆動子1b,1cを、円柱状のシャフト5の円弧部分に当接させても駆動効率はそれほど低下しない。しかし、駆動発生部21は、高周波の駆動を発生させるとともに、駆動発生部21から駆動受部22への駆動の伝達は、摩擦による伝達であるため、セラミックス材料で形成された駆動子1b,1cと、金属材料で形成されたシャフト5とを直接接触させると、接触部の摩耗が激しくなる。ここで、駆動装置50が、シャフト5が磨耗されることによる粉塵や駆動効率の低下等を許容できる装置に搭載されるものである場合には、駆動子1b,1cと円柱状のシャフト5とを直接当接させる、あるいはシャフト5にDカットを施し、その平面部を駆動子1b,1cと直接当接させるなどといった構成を採用することも可能である。しかし、駆動装置50が、シャフト5が磨耗されることによる粉塵や駆動効率の低下等を許容できない装置に搭載されるものである場合には、接触部を磨耗しにくい材料で構成することが求められる。一方、シャフト5をセラミックス材料で構成しようとしても、高硬度材料であるセラミックス材料を精度良く円柱形に研磨することは困難であり、高コストの要因となる。このため、第2駆動機構55では、容易に精度良く研磨することが可能でコストなどの問題がない金属材料でシャフト5を構成しつつ、シャフト5に対してセラミックス板7を固定する構成を採用している。なお、コの字型ベース6をセラミックス材料で構成する場合には、セラミックス板7は設けなくてもよい。また、コの字型ベース6は、正確にコの字型で無くとも良く、シャフト5に合わせて円弧状C字状の断面を有していてもよい。軸受部23軸受部23図3参照は、シャフト5を挟んで駆動発生部21と対向して配置され、駆動発生部21の駆動によるシャフト5の撓みを規制する部材である。軸受部23は、シャフト5に当接し、シャフト5に対する軸受部23の摺動抵抗を低下させる役割を果たす球状の4個の転動体8と、それぞれの転動体8を保持する転動体保持器9と、転動体8および転動体保持器9を案内するガイドレール10とを含む。図5と図6とを用いて、軸受部23の構成について詳細に説明する。図5は、軸受部23の拡大図であり、軸受部23からガイドレール10を取り外した状態を示している。図6は、軸受部23を下側駆動発生部21側から見た斜視図である。転動体8は、鋼球で構成されており、軸受部23には、4個配置される。なお、軸受部23の安定性から考えると転動体8は4個配置されていれば十分であるが、それよりも多くても構わない。尚、転動体8は、鋼球で構成されていなくてもよく、安定性、摺動負荷が低減できるのであれば、それ以外の材料で構成されていても構わない。転動体保持器9は、略直方体状の部材であり、摺動性の高い樹脂、例えば、ポリアセタールPOMやポリフェニレンスルフィドPPSで構成されている。転動体保持器9は、その4隅において、転動体8を保持する円形の開口部を有している。開口部は、転動体保持器9の厚さ方向に貫通するとともに、長辺側の側面において開放する。転動体8は、各開口部の内側に配置され、転動体保持器9の厚さ方向に直交する方向への移動が規制されている。また、転動体8の一部は、転動体保持器9の長辺側の側面から突出する。転動体保持器9は、転動体8を各貫通孔に保持した状態で、シャフト5に対向して配置される。この時、転動体保持器9は、短辺方向に並ぶ転動体8が、シャフト5の軸心に対して概略90度の開き角度に配置されるように、転動体8を保持する。ガイドレール10は、転動体8を保持した状態の転動体保持器9をシャフト5とは反対側から覆うように配置されるコの字型の部材である。ガイドレール10は、天面10aおよび天面10aの対向する2辺から天面10aに略直交して延びる2つの側面10b,10cを有している。転動体保持器9により保持された各転動体8は、ガイドレール10の天面10aおよび側面10b、あるいは天面10aおよび側面10cに接触し、転動する。このため、シャフト5からの反力は、転動体8を介して天面10a、側面10b,10cに均等に伝わり、摺動負荷が著しく低減する。転動体保持器9のシャフト5側の面とガイドレール10側の面には、シャフト5あるいはガイドレール10との摺動抵抗を低減するために突起9a,9bが形成されている。突起9a図5参照は、転動体保持器9のガイドレール10側の面において、シャフト5の軸方向に沿って延びる突起である。また、突起9aは、シャフト5の軸方向に直交する方向に並んで複数、例えば2本形成されている。突起9b図6参照は、転動体保持器9のシャフト5側の面において形成されている。具体的には、突起9bは、シャフト5の軸方向に沿って並ぶ開口部の中間位置において、シャフト5の軸方向に直交する方向に沿って延びる突起である。また、突起9bは、シャフト5の軸方向に並んで複数、例えば2本形成されている。突起9aは、転動体保持器9とガイドレール10とが摺動する際の摺動方向と平行な方向に形成されているため、接触面積が少なくなり、摺動抵抗を低減させることが可能となる。また、突起9bは、転動体保持器9とシャフト5とが摺動する際の摺動方向と直交する方向に形成されているため、接触面積が少なくなり、摺動抵抗を低減させることが可能となる。以上により、軸受部23の総合的な摺動特性が向上する。図5に示すように、ガイドレール10の天面10aの4隅には、側面10b,10c側に突出して延びる4つの係合片10dが形成されている。図3に示すように、それぞれの係合片10dは、後述する第3枠体53の係合部4hに係合し、ガイドレール10の姿勢を維持する。具体的には、ガイドレール10では、4隅に形成された係合片10dが係合部4hにより支持されることで、シャフト5回りの回転が規制される。これにより、ガイドレール10に当接する転動体8および転動体保持器9のシャフト5回りの回転を規制することも可能となる。付勢部24付勢部24図3参照は、加圧バネ11と、弾性体2cとを含んでいる。弾性体2cについては、既に説明したため、詳しい説明は省略する。図3に示すように、加圧バネ11は、ガイドレール10の天面10aと対向し、ガイドレール10をシャフト5側に押圧する矩形状の主面11eと、主面11eの2つの長辺の両端からシャフト5側に延びる4つの延伸部11a,11b,11c,11dとから主に構成されている。さらに、図3に示すように、加圧バネ11は、延伸部11a~11dの先端に形成された爪が後述する第3枠体53の突起部4gに係合することにより、第3枠体53に固定される。なお、ここでは、加圧バネ11は、ガイドレール10をシャフト5側に押圧すると記載したが、加圧バネ11は少なくともガイドレール10のシャフト5側とは反対側への移動を規制するもので有ればよい。また、加圧バネ11は、ガイドレール10を直接押圧するように取り付けると説明したが、弾性部材図示せずを加圧バネ11とガイドレール10との間に挟み込んでもよい。ここで、図3をさらに参照して、ガイドレール10および加圧バネ11の取り付けについて説明する。上述のように、ガイドレール10には、4つの係合片10dが設けられている。ガイドレール10を第3枠体53へ取り付ける際には、各係合片10dを、受け部となる各係合部4hに配置する。ガイドレール10の各係合片10dと第3枠体53の係合部4hとの間に隙間がある場合、加圧バネ11を取り付ける際にガイドレール10が多少傾くことになるが、この場合でも各係合片10dが各係合部4hと接触するため、ガイドレール10が大きく回転することが防止できる。すなわち、シャフト5に対して転動体8を介して対向して配置されるために、シャフト5の軸回りに回転しやすいガイドレール10に対して、各係合片10dを設けることで、ガイドレール10の取り付けが容易となる。さらには、加圧バネ11をガイドレール10を覆うように配置するとともに、延伸部11a~11dの先端の爪を第3枠体53の突起部4gに係合させるだけで加圧バネ11を第3枠体53に取り付けることができるため、組み立てが容易となる。付勢部24図3参照は、軸受部23をシャフト5側に押圧する加圧バネ11と、駆動発生部21をシャフト5側に押圧する弾性体2cとを含んでおり、駆動発生部21と軸受部23とをお互いに近づける方向に付勢する。弾性体2cは、例えば、シリコンゴムにより構成されており、収縮により弾性力を発生させ、駆動発生部21をシャフト5側に付勢する。これにより、シャフト5は、振動アクチュエータ1から軸に直交する方向への付勢力を受ける。シャフト5は、挿通孔4a,4bに挿通されている。このため、シャフト5が駆動発生部21とは反対側から支持されていなければ、挿通孔4a,4bにおいてシャフト5を支持する支持力が発生し、シャフト5が撓む。しかし、シャフト5の駆動発生部21とは反対側には、加圧バネ11により付勢された軸受部23が配置されている。このため、シャフト5は、駆動発生部21と反対側から支持されており、挿通孔4a,4bにおいてシャフト5に対して加わる支持力は軽減または相殺される。これにより、シャフト5の変形が抑制され、挿通孔4a,4bとシャフト5との摺動抵抗が低減され、駆動効率が向上する。第3枠体53第3枠体53図3参照は、枠体4と、枠体4の側面に設けられ、シャフト5を支持するとともに軸受部23が固定される支持部4iと、駆動発生部21が固定される固定部4jとから主に構成されている。枠体4は、中心部に撮像素子などの光学部品を固定する板状部材である。支持部4iには、板状の枠体4の面に平行な一方向一辺に沿った方向にシャフト5を挿通して支持するように、挿通孔4aおよび4bが形成されている。また、支持部4iには、ガイドレール10の外周に形成された係合片10dと係合する係合部4hが形成されているとともに、加圧バネ11の延伸部11a~11dの先端の爪が係止される突起部4gが形成されている。固定部4jは、主にアクチュエータケース3と対向して配置される平面部4cと、平面部4cの一端に形成され、アクチュエータケース3をシャフト5側に支持する受け部4eとから構成されている。さらに、第3枠体53には、枠体4を挟んで支持部4iに対向する位置に、回り止め4fが形成されている。回り止め4fは、シャフト5が固定される部材などに実質的に固定されるシャフト15と係合し、第3枠体53のシャフト5回りの回転を規制する。また、上述の例では、枠体4の面に平行な一方向に沿って第3枠体53が駆動される場合について説明した。すなわち、枠体4の中心部に配置される撮像素子に入射する光の光軸方向に直交する方向に沿って第3枠体53が駆動される場合について説明した。この場合、駆動装置50は、撮像素子を駆動させて像ぶれの補正を行う装置として利用可能である。その他1枠体4に配置される光学部品は、撮像素子に限らず、レンズなど他の光学部品であってもよい。これについて、図7を用いて説明する。図7は、図1に示す駆動装置50と同様の構成を採用しつつ、第3枠体53に設けた開口に光学レンズ16を配置した駆動装置50である。駆動装置50は、第3方向Cに沿って入射する光の光軸40に対して、第1方向Aおよび第2方向Bに光学レンズ16を駆動し、後段において配置される撮像素子の受像のぶれを補正する。この駆動装置50、その後段において配置される撮像素子、光学レンズ16の位置を検知する位置センサおよび位置センサの出力により駆動装置50を駆動する制御部などにより、像ぶれ補正装置が構成される。駆動装置50では、第1枠体51、第2枠体52および第3枠体53には、光学レンズ16から入射した光軸40を通過させるために厚さ方向に貫通する開口が設けられている。なお、光学レンズ16は、1枚のレンズに限らず、複数のレンズからなるレンズ群であってもよい。図13を用いて説明した電磁式の像振れ補正装置の場合には、例えば重力の影響を受けるピッチ方向図13のY方向に像振れ補正を行わない場合にも、アクチュエータに電流を流して正規の位置を保持する必要がある。しかし、本発明のように、アクチュエータを摩擦駆動し、かつ駆動発生部21が駆動受部22に対して付勢力を与える場合には、電流を流さなくとも光学レンズ16の位置を保持することが可能である。すなわち、本発明の駆動装置50を用いた像ぶれ補正装置では、電流を流さなくとも光軸40の中央近傍に光学レンズ16を位置決めして保持することが可能である。この結果、本発明では、消費電力を低減することが可能となる。2上述の構成には、振動アクチュエータ1の駆動効率をさらに向上させるために、振動アクチュエータ1を付勢する部材を配置することが可能である。これについて、図1、図7~図9を用いて具体的に説明する。図1や図7に示すように、第1駆動機構54および第2駆動機構55は、振動アクチュエータ1の主面に垂直な方向で、アクチュエータケース3側とは反対側への移動を規制する規制部材14と、振動アクチュエータ1の主面と規制部材14との間に配置され、振動アクチュエータ1をアクチュエータケース3側に付勢するとともに、規制部材14の寸法のバラツキを吸収する弾性体13とを有している。第1駆動機構54の規制部材14は、第2方向Bへの振動アクチュエータ1の移動を規制する。第2駆動機構55の規制部材14は、第1方向Aへの振動アクチュエータ1の移動を規制する。それぞれの振動アクチュエータ1は、弾性体2c図3参照により駆動受部22に対して押圧されつつ、電圧が印加される時には、微小な振動を繰り返している。もし振動アクチュエータ1のアクチュエータケース3側とは反対側への移動が規制されていなければ、この微小な振動により駆動受部22に対する振動アクチュエータ1の姿勢が時間とともに変化する。この姿勢の変化は、駆動効率の低下につながる。一方、第1駆動機構54および第2駆動機構55が規制部材14および弾性体13を有し、振動アクチュエータ1の移動を規制している場合には、駆動受部22の駆動効率の低下が防止可能となる。また、図8と図9とに示すように、図1と図7とに示す第1駆動機構54および第2駆動機構55は、加圧バネ11に代えてガイドレール10をシャフト5側に押圧する押圧部材12を有していてもよい。押圧部材12は、ガイドレール10の天面10a上に係止される爪を先端に有する略コの字状の部材であり、それぞれの駆動発生部21全体を覆うように駆動発生部21側から取り付けられ、ガイドレール10をシャフト5側に引き寄せるように作用する。第2実施形態本発明の第2実施形態である駆動装置について説明する。なお、第1実施形態で説明したのと同様の構成に対しては同じ符号を付してそれらの説明を省略する。駆動装置60図10に示す駆動装置60は、デジタルスチールカメラ、デジタルビデオカメラなどの光学機器に搭載される装置であり、CCDやCMOSなどの撮像素子やレンズといった光学部品を光軸に直交な2方向に駆動し、光学像の像ぶれ補正を行うために用いられる装置である。図10に示す駆動装置60は、特に上面側に撮像素子などを搭載し駆動する装置である。図10に示すように、駆動装置60は、第1枠体61と、第2枠体62と、第3枠体63と、第1駆動機構64と、第2駆動機構65とを備えている。第2枠体62は、第1枠体61に対して第1方向Aに移動可能に支持されている。第3枠体63は、第2枠体62に対して第1方向Aと直交する第2方向Bに移動可能に支持されている。第1駆動機構64は、第1枠体61と第2枠体62との間に設けられ、第1枠体61と第2枠体62とを相対移動させる。具体的には、第1駆動機構64は、第2枠体62を第1枠体61および第1枠体61が固定される光学機器図示せずに対して第1方向Aに沿って駆動する。第2駆動機構65は、第2枠体62と第3枠体63との間に設けられ、第2枠体62と第3枠体63とを相対移動させる。具体的には、第2駆動機構65は、第3枠体63を第2枠体62に対して第2方向Bに沿って駆動する。第2駆動機構65は、第1駆動機構64に対して、第1方向Aおよび第2方向Bに直交する第3方向C回りに90度回転した位置に配置されている。第1駆動機構64と第2駆動機構65とのそれぞれは、第1実施形態で説明した第1駆動機構54と第2駆動機構55と同様に、駆動発生部21と、駆動受部22と、軸受部23と、付勢部24とを含んでいる。第1駆動機構64では、駆動発生部21と駆動受部22と軸受部23とは、第2方向Bに沿って配置されており、それぞれの第3方向Cの位置は、ほぼ同じである。第2駆動機構65では、駆動発生部21と駆動受部22と軸受部23とは、第1方向Aに沿って配置されており、それぞれの第3方向Cの位置は、ほぼ同じである。さらに、第1駆動機構64と第2駆動機構65とのそれぞれの第3方向Cの位置は、ほぼ同じであり、それぞれの駆動受部22に平行な同一平面上に配置されている。第1枠体61には、第1駆動機構64の駆動受部22が固定されているとともに、駆動受部22を支持する軸受部23および付勢部24が設けられている。第2枠体62には、第1駆動機構64の駆動発生部21が弾性的に固定されているとともに、第2駆動機構65の駆動受部22および駆動受部22を支持する軸受部23および付勢部24が設けられている。第3枠体63には、第2駆動機構65の駆動発生部21が弾性的に固定されている。第1駆動機構64および第2駆動機構65は、上述のごとく第1枠体61~第3枠体63に配置されており、第1駆動機構64において駆動発生部21が駆動受部22に作用する作用方向B1は、第2駆動機構65において駆動発生部21が駆動受部22に作用する作用方向A1と直交する方向である。このように、第1駆動機構64と第2駆動機構65とをほぼ同じ高さに配置することで、駆動装置60の第3方向Cへの厚みを小さくすることが可能となる。また、第1駆動機構64および第2駆動機構65を構成する部材を第3方向Cと直交する方向第1方向Aや第2方向Bに沿って配置することで、第3方向Cへの厚みを小さくすることが可能となる。また、駆動装置60には、第1実施形態で説明した第1回り止め機構57と第2回り止め機構58と同様の回り止め機構第1回り止め機構67と第2回り止め機構68が設けられている。その他第3枠体63に配置される光学部品は、撮像素子に限らず、レンズなど他の光学部品であってもよい。これについて、図11を用いて説明する。図11は、図10に示す駆動装置60と同様の構成を採用しつつ、第3枠体63に設けた開口に光学レンズ16を配置した駆動装置60である。駆動装置60は、第3方向Cに沿って入射する光の光軸40に対して、第1方向Aおよび第2方向Bに光学レンズ16を駆動し、後段において配置される撮像素子の受像のぶれを補正する。この駆動装置60、その後段において配置される撮像素子、光学レンズ16の位置を検知する位置センサおよび位置センサの出力により駆動装置60を駆動する制御部などにより、像ぶれ補正装置が構成される。駆動装置60では、第1枠体61、第2枠体62および第3枠体63には、光学レンズ16から入射した光軸40を通過させるために厚さ方向に貫通する開口が設けられている。なお、光学レンズ16は、1枚のレンズに限らず、複数のレンズからなるレンズ群であってもよい。図13を用いて説明した電磁式の像振れ補正装置の場合には、例えば重力の影響を受けるピッチ方向図13のY方向に像振れ補正を行わない場合にも、アクチュエータに電流を流して正規の位置を保持する必要がある。しかし、本発明のように、アクチュエータを摩擦駆動し、かつ駆動発生部21が駆動受部22に対して付勢力を与える場合には、電流を流さなくとも光学レンズ16の位置を保持することが可能である。すなわち、本発明の駆動装置60を用いた像ぶれ補正装置では、電流を流さなくとも光軸40の中央近傍に光学レンズ16を位置決めして保持することが可能である。この結果、本発明では、消費電力を低減することが可能となる。"