"蒸着対象体である基板を移送するように備わった基板移送ユニットと、前記基板に向けて蒸着源の蒸気を選択的に通過させるように備わったマスクユニットと、前記蒸着源を収容し、前記マスクユニットを貫通する循環経路に沿って進む複数のクルーシブルを含むクルーシブルユニットと、を含む薄膜蒸着装置。前記マスクユニットは、連続した囲い状であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。前記基板移送ユニットは、前記基板を支持し、前記マスクユニットの走行に連動して移送されるように備わったクランパと、前記クランパを摺動自在に支持するガイドレールと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。前記マスクユニットは、マスクパターンが形成された本体を有し、その本体の少なくとも一部が前記基板に密着するように備わったマスク部材と、前記マスク部材を走行させるための駆動部と、前記駆動部の動力を前記マスク部材に伝達するように備わった動力伝達部材と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。前記マスク部材の本体は、両端が開放された円筒形であることを特徴とする請求項4に記載の薄膜蒸着装置。前記動力伝達部材は、キャビティが形成されたリング型部材を含み、前記マスク部材は、前記リング型部材の内壁に隣接したキャビティに挿入され、前記リング型部材の外壁には、前記駆動部との動力連結のためのギア部が配されたことを特徴とする請求項5に記載の薄膜蒸着装置。前記マスク部材の本体は、複数の板状部材であり、前記動力伝達部材は、複数のリング型部材と、前記リング型部材の側壁における複数の支持片と、を含み、前記複数の板状部材は、互いに連結され、前記複数の支持片によって支持され、前記リング型部材の外壁には、前記駆動部との動力連結のためのギア部が形成されたことを特徴とする請求項4に記載の薄膜蒸着装置。前記駆動部は、前記動力伝達部材とギア結合されたクレードルホイールと、前記クレードルホイールを回転させるように、前記クレードルホイールに連結されたモータと、を含むことを特徴とする請求項4に記載の薄膜蒸着装置。前記マスク部材は、前記基板との接触面積が拡大するように弾力的に連結されたことを特徴とする請求項4に記載の薄膜蒸着装置。前記クルーシブルユニットは、前記循環経路を形成する循環レールと、前記蒸着源を収容し、前記循環レールに装着された複数のクルーシブルと、前記複数のクルーシブルを、前記循環レールに沿って移送させるように備わったクルーシブル移送部と、前記複数のクルーシブルに前記蒸着源を充填させるクルーシブル充填部と、前記蒸着源の蒸気を発生させるために、前記クルーシブルを加熱するように備わったクルーシブルヒーティング部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。前記クルーシブルユニットは、前記循環レールに、前記複数のクルーシブルを支持する複数のボールベアリングをさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。前記クルーシブルユニットは、前記循環レールに設けられ、前記複数のクルーシブルを、前記循環レールの壁に押し付けるように備わったスプリングをさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。前記クルーシブル移送部は、前記複数のクルーシブルを、前記循環経路の一方向に押し進めるように備わって回転する移送ホイールをさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。前記クルーシブル充填部は、前記蒸着源が装填された注入タンクと、前記注入タンク内の蒸着源を前記循環レール上の複数のクルーシブルに供給する注入ノズルと、を含むことを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。前記クルーシブルヒーティング部は、前記クルーシブル内に内蔵された熱線と、前記熱線に電圧を供給する電源と、前記電源と前記熱線とを連結するように、前記クルーシブルに設けられた接続パッドと、を具備することを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。前記クルーシブルユニットは、前記接続パッドと前記電源との間に介在されたボールベアリングをさらに含むことを特徴とする請求項15に記載の薄膜蒸着装置。前記接続パッドは、前記各クルーシブルに複数個設けられ、前記電源も、選択的な電圧印加が可能なように、前記複数個の接続パッドに対応して複数個設けられたことを特徴とする請求項15に記載の薄膜蒸着装置。前記基板に対する蒸着位置に、前記蒸着源の蒸気をガイドするシールド部材をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。前記シールド部材は、前記マスクユニット内で、前記クルーシブルユニットの上部に固定されることを特徴とする請求項18に記載の薄膜蒸着装置。前記シールド部材は、前記マスクユニットに固定され、前記マスクユニットと共に回転することを特徴とする請求項18に記載の薄膜蒸着装置。前記マスクユニットは、複数のマスクユニットを含み、前記クルーシブルユニットは、複数のクルーシブルユニットを含み、前記複数のマスクユニットと複数のクルーシブルユニットは、1つの基板移送ユニットに対応することを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。前記マスクユニットとクルーシブルユニットは、前記蒸着源の各色相を蒸着するように準備されることを特徴とする請求項21に記載の薄膜蒸着装置。前記マスクユニットに付着した蒸着源を除去するためのマスク洗浄部がさらに備わったことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。前記マスク洗浄部は、前記マスクユニットに超音波で振動を加える超音波発生器と、前記振動によって落ちる蒸着源を受容するバケットと、を含むことを特徴とする請求項23に記載の薄膜蒸着装置。マスクパターンが形成された無限軌道状の本体を有し、前記本体の少なくとも一部が蒸着対象体である基板に密着するように備わったマスク部材と、前記マスク部材を走行させるための駆動部と、前記駆動部の動力を前記マスク部材に伝達するように備わった動力伝達部材と、を含むマスクユニット。前記マスク部材の本体は、両端が開放された円筒形であることを特徴とする請求項25に記載のマスクユニット。前記動力伝達部材は、キャビティが形成されたリング型部材を含み、前記マスク部材は、前記リング型部材の内壁に隣接したキャビティに挿入され、前記リング型部材の外壁には、前記駆動部との動力連結のためのギア部が配されたことを特徴とする請求項26に記載のマスクユニット。前記マスク部材は、複数の板状部材であり、前記動力伝達部材は、複数のリング型部材、及び前記リング型部材の側壁に設けられた複数の支持片を含み、前記複数の板状部材は、互いに連結され、前記複数の支持片によって支持され、前記リング型部材の外壁には、前記駆動部との動力連結のためのギア部が形成されたことを特徴とする請求項25に記載のマスクユニット。前記駆動部は、前記動力伝達部材とギア結合されたクレードルホイールと、前記クレードルホイールを回転させるように、前記クレードルホイールに連結されたモータと、を含むことを特徴とする請求項25に記載のマスクユニット。前記マスク部材は、前記基板との接触面積が拡大するように弾力的に連結されたことを特徴とする請求項25に記載の薄膜蒸着装置。循環経路を形成する循環レールと、蒸着源を収容し、前記循環レールに装着された複数のクルーシブルと、前記複数のクルーシブルを、前記循環レールに沿って移送させるように備わったクルーシブル移送部と、前記複数のクルーシブルに前記蒸着源を充填させるクルーシブル充填部と、前記蒸着源の蒸気が発生するように、前記クルーシブルを加熱するように備わったクルーシブルヒーティング部と、を含むクルーシブルユニット。前記循環レールに、前記複数のクルーシブルを支持する複数のボールベアリングをさらに含むことを特徴とする請求項31に記載のクルーシブルユニット。前記循環レールに設けられ、前記複数のクルーシブルを、前記循環レールの壁に押し付けるように備わったスプリングをさらに含むことを特徴とする請求項31に記載のクルーシブルユニット。前記クルーシブル移送部は、前記複数のクルーシブルを、前記循環経路の一方向に押し進めるように備わって回転する移送ホイールをさらに含むことを特徴とする請求項31に記載のクルーシブルユニット。前記クルーシブル充填部は、前記蒸着源が装填された注入タンクと、前記注入タンク中の蒸着源を前記循環レール上の複数のクルーシブルに供給する注入ノズルと、を含むことを特徴とする請求項31に記載のクルーシブルユニット。前記クルーシブルヒーティング部は、前記クルーシブル内に内蔵された熱線と、前記熱線に電圧を供給する電源と、前記電源と前記熱線とを連結するように、前記クルーシブルに設けられた接続パッドと、を具備することを特徴とする請求項31に記載のクルーシブルユニット。前記接続パッドと前記電源との間に介在されたボールベアリングをさらに含むことを特徴とする請求項36に記載のクルーシブルユニット。前記接続パッドは、前記各クルーシブルに複数個設けられ、前記電源も、選択的な電圧印加が可能なように、前記複数個の接続パッドに対応して複数個設けられたことを特徴とする請求項36に記載のクルーシブルユニット。本発明は、連続蒸着が可能な薄膜蒸着装置、並びにその薄膜蒸着装置に使われるマスクユニット及びクルーシブルユニットを提供するものである。本発明の実施形態による薄膜蒸着装置は、蒸着対象体である基板を移送するように備わった基板移送ユニットと、前記基板に向けて蒸着源の蒸気を選択的に通過させるように備わったマスクユニットと、前記蒸着源を収容し、前記マスクユニットを貫通する循環経路に沿って進む複数のクルーシブルを含むクルーシブルユニットと、を含む。前記マスクユニットは、連続した囲い状でありうる。前記基板移送ユニットは、前記基板を支持し、前記マスクユニットの走行に連動して移送されるように備わったクランパと、前記クランパを摺動自在に支持するガイドレールと、を含むことができる。前記マスクユニットは、マスクパターンが形成された本体を有し、その本体の少なくとも一部が前記基板に密着するように備わったマスク部材と、前記マスク部材を走行させるための駆動部と、前記駆動部の動力を前記マスク部材に伝達するように備わった動力伝達部材と、を含むことができる。前記マスク部材の本体は、両端が開放された円筒形でありうる。前記動力伝達部材は、キャビティが形成されたリング型部材を含み、前記マスク部材は、前記リング型部材の内壁に隣接したキャビティに挿入され、前記リング型部材の外壁には、前記駆動部との動力連結のためのギア部が配されうる。前記マスク部材の本体は、複数の板状部材であり、前記動力伝達部材は、複数のリング型部材と、前記リング型部材の側壁における複数の支持片とを含み、前記複数の板状部材は、互いに連結され、前記複数の支持片によって支持され、前記リング型部材の外壁には、前記駆動部との動力連結のためのギア部が形成されうる。前記駆動部は、前記動力伝達部材とギア結合されたクレードルホイールと、前記クレードルホイールを回転させるように、前記クレードルホイールに連結されたモータと、を含むことができる。前記マスク部材は、前記基板との接触面積が拡大するように弾力的に連結されうる。前記クルーシブルユニットは、前記循環経路を形成する循環レールと、前記蒸着源を収容し、前記循環レールに装着された複数のクルーシブルと、前記複数のクルーシブルを、前記循環レールに沿って移送させるように備わったクルーシブル移送部と、前記複数のクルーシブルに前記蒸着源を充填させるクルーシブル充填部と、前記蒸着源の蒸気を発生させるために、前記クルーシブルを加熱するように備わったクルーシブルヒーティング部と、を含むことができる。前記クルーシブルユニットは、前記循環レールに、前記複数のクルーシブルを支持する複数のボールベアリングをさらに含むことができる。前記クルーシブルユニットは、前記循環レールに設けられ、前記複数のクルーシブルを、前記循環レールの壁に押し付けるように備わったスプリングをさらに含むことができる。前記クルーシブル移送部は、前記複数のクルーシブルを、前記循環経路の一方向に押し進めるように備わって回転する移送ホイールをさらに含むことができる。前記クルーシブル充填部は、前記蒸着源が装填された注入タンクと、前記注入タンク中の蒸着源を前記循環レール上の複数のクルーシブルに供給する注入ノズルと、を含むことができる。前記クルーシブルヒーティング部は、前記クルーシブル中に内蔵された熱線と、前記熱線に電圧を供給する電源と、前記電源と前記熱線とを連結するように、前記クルーシブルに設けられた接続パッドと、を含むことができる。前記クルーシブルユニットは、前記接続パッドと前記電源との間に介在されたボールベアリングをさらに含むことができる。前記接続パッドは、前記各クルーシブルに複数個設けられ、前記電源も、選択的な電圧印加が可能なように、前記複数個の接続パッドに対応して複数個設けられうる。前記基板に対する蒸着位置に、前記蒸着源の蒸気をガイドするシールド部材をさらに具備することができる。前記シールド部材は、前記マスクユニット内で、前記クルーシブルユニットの上部に固定されうる。前記シールド部材は、前記マスクユニットに固定され、前記マスクユニットと共に回転するものでありうる。前記マスクユニットは、複数のマスクユニットを含み、前記クルーシブルユニットは、複数のクルーシブルユニットを含み、前記複数のマスクユニットと複数のクルーシブルユニットは、1つの基板移送ユニットに対応するものでありうる。前記マスクユニットとクルーシブルユニットは、前記蒸着源の各色相を蒸着するように準備されるものでありうる。前記マスクユニットに付着した蒸着源を除去するためのマスク洗浄部がさらに備わりうる。前記マスク洗浄部は、前記マスクユニットに超音波で振動を加える超音波発生器と、前記振動によって落ちる蒸着源を受容するバケットと、を含むことができる。本発明の他の特徴によるマスクユニットは、マスクパターンが形成された無限軌道状の本体を有し、前記本体の少なくとも一部が蒸着対象体である基板に密着するように備わったマスク部材と、前記マスク部材を走行させるための駆動部と、前記駆動部の動力を前記マスク部材に伝達するように備わった動力伝達部材と、を含むことができる。前記マスク部材の本体は、両端が開放された円筒形でありうる。前記動力伝達部材は、キャビティが形成されたリング型部材を含み、前記マスク部材は、前記リング型部材の内壁に隣接したキャビティに挿入され、前記リング型部材の外壁には、前記駆動部との動力連結のためのギア部が配されたものである。前記マスク部材は、複数の板状部材であり、前記動力伝達部材は、複数のリング型部材、及び前記リング型部材の側壁に設けられた複数の支持片を含み、前記複数の板状部材は、互いに連結され、前記複数の支持片によって支持され、前記リング型部材の外壁には、前記駆動部との動力連結のためのギア部が形成されたものである。前記駆動部は、前記動力伝達部材とギア結合されたクレードルホイールと、前記クレードルホイールを回転させるように、前記クレードルホイールに連結されたモータと、を含むことができる。前記マスク部材は、前記基板との接触面積が拡大するように弾力的に連結されたものである。本発明の一実施形態によるクルーシブルユニットは、循環経路を形成する循環レールと、蒸着源を収容し、前記循環レールに装着された複数のクルーシブルと、前記複数のクルーシブルを、前記循環レールに沿って移送させるように備わったクルーシブル移送部と、前記複数のクルーシブルに前記蒸着源を充填させるクルーシブル充填部と、前記蒸着源の蒸気が発生するように、前記クルーシブルを加熱するように備わったクルーシブルヒーティング部と、を含む。前記循環レールに、前記複数のクルーシブルを支持する複数のボールベアリングをさらに含むことができる。前記循環レールに設けられ、前記複数のクルーシブルを、前記循環レールの壁に押し付けるように備わったスプリングをさらに含むことができる。前記クルーシブル移送部は、前記複数のクルーシブルを、前記循環経路の一方向に押し進めるように備わって回転する移送ホイールをさらに含むことができる。前記クルーシブル充填部は、前記蒸着源が装填された注入タンクと、前記注入タンク中の蒸着源を前記循環レール上の複数のクルーシブルに供給する注入ノズルと、を含むことができる。前記クルーシブルヒーティング部は、前記クルーシブル中に内蔵された熱線と、前記熱線に電圧を供給する電源と、前記電源と前記熱線とを連結するように、前記クルーシブルに設けられた接続パッドと、を具備することができる。前記接続パッドと前記電源との間に介在されたボールベアリングをさらに含むことができる。前記接続パッドは、前記各クルーシブルに複数個設けられ、前記電源も、選択的な電圧印加が可能なように、前記複数個の接続パッドに対応して複数個設けられたものである。本発明による薄膜蒸着装置とマスクユニット及びクルーシブルユニットによれば、蒸着作業を連続して行うことができるために、作業速度が大きく向上しうる。また、マスクが対象体に密着された状態で蒸着が進むので、蒸着品質も良好に維持されうる。また、蒸着される瞬間にだけ基板とマスクユニットとが密着するために、シャドー効果なしに精密なパターン形成が可能であり、有機発光表示装置の発光層蒸着の場合にも、混色が起こらない。平面形マスクの反り現象によって、大面積基板に対して蒸着することができないという限界を克服し、大面積基板に対する適用がさらに容易になる。複数のクルーシブルそれぞれに蒸着源を少しずつ収容させて蒸着させた後、さらに充填させる方式であるから、チャンバ内部の清掃や、蒸着源充填のために薄膜蒸着装置の稼動を中止させる周期を短くすることができ、蒸着工程の生産性を向上させることができる。また、少量ずつ使用するので、蒸着源の浪費を減らすことができる。以下、添付された図面を参照しつつ、本発明の望ましい実施形態について詳細に説明すれば、次の通りである。まず、図1は、本発明の一実施形態による薄膜蒸着装置の原理を概略的に説明するための概略図である。水平に移動する基板10の下部に、マスクユニット200と、クルーシブルcrucibleユニット100とが備わる。マスクユニット200は、基板10の下部に位置するものであり、パネル状に備わったマスク部材210と、このマスク部材210に開口された複数のマスクパターン211とを具備し、マスク部材210は、このマスクパターン211が、基板10と接して動くように、無限軌道の形状になっている。さらに具体的には、前記マスク部材210は、Y軸方向の両端が開口されたドラム状に形成されうる。クルーシブルユニット100は、複数のクルーシブル110を含むが、このクルーシブル110は、閉ループclosedloopで循環するように配されうる。クルーシブル110の循環経路は、マスクユニット200を通過するが、前述の両端が開口されたドラム状のマスク部材210の両端開口を貫通する。このとき、クルーシブル110から、マスク部材210に形成されたマスクパターン211に蒸着がなされる。このような本発明で、前記基板10は、マスクユニット200の上部で、水平面上でX軸方向に移動する。このとき、基板10の移動速度と同一に、マスク部材210が基板10と接触しつつ回転をする。そして、蒸着される物質が収納されたクルーシブル110が、Y軸方向に移動しつつ、マスクパターン211を介して基板10に蒸着を行う。前記のような薄膜蒸着装置は、図2から分かるような形態に具体化されうる。図2による薄膜蒸着装置は、蒸着対象体である基板10を、蒸着位置に移送する基板移送ユニット300と、蒸着するパターンに対応するマスクパターン211を提供するマスクユニット200と、蒸着源を連続して提供するクルーシブルユニット100と、を具備する。従って、基板移送ユニット300が基板10を支持して蒸着位置に移送すれば、クルーシブルユニット100で蒸着源の蒸気を発生させ、その蒸着源蒸気は、マスクユニット200のマスクパターン211を通して基板10に蒸着される。本薄膜蒸着装置の構成によれば、このような基板10に対する蒸着過程が連続して進められる。まず、基板移送ユニット300から詳細に説明する。基板移送ユニット300は、基板10をクランピングして支持するクランパ310と、このクランパ310を摺動自在に支持するガイドレール320と、を具備している。すなわち、基板10を把持したクランパ310が、ガイドレール320に沿って移動しつつ、蒸着位置を過ぎる。このようなクランパ310の移動は、後述するマスクユニット200の動きと連動するように構成されている。簡略に説明すれば、クランパ310の下面に設けられたギア面311が、マスクユニット200の動力伝達部材220に設けられたギア部222図3と結合されており、マスクユニット200の動力伝達部材220が回転すれば、クランパ310が連動しつつ、ガイドレール320に沿って移動するように構成されている。従って、このクランパ310に基板10を連続して支持させて供給すれば、複数基板10に対する蒸着作業を連続して続けて進めることが可能である。もちろん、クランパ310とガイドレール320との長さに限界があるために、限りなく連続作業を行うわけではないが、基本的には、複数枚の基板10に対する作業を連続して進めることができるので、1枚ずつローディングとアンローディングとを反復して作業を進めていた既存に比べては、作業性が大きく向上している。次に、図2及び図3を参照しつつ、前記マスクユニット200の構造について説明する。マスクユニット200は、前記のように移送される基板10と連動して動きつつ、連続したマスクパターン211を提供するものである。従って、例えば、無限軌道のように、連続した囲い状continuousperimetershapeからなっている。前記の一実施形態で、マスクパターン211が形成された円筒形のマスク部材210と、このマスク部材210の両端部が嵌め込まれるリング状の動力伝達部材220と、マスク部材210を回転させるための駆動部として、クレードルホイール230と、モータ240と、が備わっている。前記マスク部材210は、図3に図示されているように、動力伝達部材220の内壁221に隣接したキャビティに両端部が嵌め込まれて結合され、その動力伝達部材220の外壁では、動力連結のためのギア部222が形成されている。このギア部222の上部は、前記基板移送ユニット300のクランパ310と結合され、下部は、前記クレードルホイール230と結合される。従って、モータ240がクレードルホイール230を回せば、それと連結された動力伝達部材220及びマスク部材210が共に回転し、同時に、動力伝達部材220と連結されたクランパ310も、ガイドレール320に沿って動く。言い換えれば、マスク部材210と基板10とが連動して同時に動き、これによって、移送される基板10に、マスク部材210のマスクパターン211を連続して正確に提供することができる。このとき、マスク部材210と基板10は、2つの部材間で接する蒸着位置で、完全に密着された状態になることが望ましい。これは、蒸着位置で、マスク部材210と基板10との間に隙間ができれば、基板10上の正確な位置に蒸着されないためである。従って、本実施形態で、マスク部材210と基板10は、蒸着位置で密着状態となる。次に、図2、図4、図5A及び図5Bを参照しつつ、前記クルーシブルユニット100について説明する。クルーシブルユニット100は、前記マスクユニット200のキャビティを貫通する循環経路を形成する循環レール120と、循環レール120に装着された複数のクルーシブル110と、このクルーシブル110を循環レール120に沿って移送させるクルーシブル移送部160と、各クルーシブル110に蒸着源を充填させるクルーシブル充填部150と、蒸着源の蒸気が発生するようにクルーシブル110を加熱するクルーシブルヒーティング部130と、を具備する。まず、前記循環レール120は、前記マスクユニット200のマスク部材210と、動力伝達部材220の空洞部とを通過するように配される。従って、循環レール120に装着されたクルーシブル110は、この空洞部内を通過し、この空洞部中、すなわち、基板10の下方を過ぎるときに蒸着源の蒸気が発生して基板10に蒸着される。そして、循環レール120内には、複数のボールベアリング140図5Aが設けられており、クルーシブル110の移動をソフトに支持している。この循環レール120の経路は、図4に示されているように、フィーディングゾーンfeedingzone、ツーリングゾーンtoolingzone、デポジットゾーンdepositingzone、及びクーリングゾーンcoolingzoneに分けることができる。フィーディングゾーンは、クルーシブル充填部150によって、各クルーシブル110内部が蒸着源で充填される区間であり、ツーリングゾーンは、蒸着源を予熱するために、クルーシブル110を加熱し始める区間である。そして、デポジットゾーンは、前記マスクユニット200のマスク部材210の空洞部内を通過する区間であり、蒸着が進められる区間であり、クーリングゾーンは、蒸着後にクルーシブル110が冷却される区間である。前記複数のクルーシブル110は、この循環レール120の区間を連続して進む。すなわち、本発明の一実施形態で、蒸着源が、一つまたはそれ以上のクルーシブル110にフィーディングされる間、前記予熱が他の一つまたはそれ以上のクルーシブル110で行われ、さらに他の一つまたはそれ以上のクルーシブル110を利用して蒸着が進められ、さらに他の一つまたはそれ以上のクルーシブル110が冷却される。このように、4区間の作業が各クルーシブル110の移動と共に同時に連続して行われる。前記クルーシブル移送部160は、このように、クルーシブル110を循環レール120に沿って移送させるユニットであり、モータ162によって回転する移送ホイール161を具備している。この移送ホイール161は、循環レール120に形成された開口120a図2を介してクルーシブル110の本体に当接し、回転時にクルーシブル110を循環レール120の一方向、すなわち、循環方向に押しやる。それにより、移送ホイール161によって押されたクルーシブル110が、先行するクルーシブル110を押し、この力が伝えられて、循環レール120上のクルーシブル110が循環方向に一斉に移動する。もちろん、前述の通り、ボールベアリング140が循環レール120に設けられており、ソフトな移動が可能になる。前記クルーシブル充填部150は、その言葉通り、クルーシブル110に蒸着源を充填するユニットであり、蒸着源が装填された注入タンク152と、その注入タンク152内の蒸着源をクルーシブル110に供給する注入ノズル151と、を具備している。従って、デポジットゾーンで蒸着源が使い尽くされたクルーシブル110が、フィーディングゾーンに入れば、この注入ノズル151が、注入タンク152に保存された蒸着源を補充する。本発明の一実施形態によるクルーシブルヒーティング部130は、図5A及び図5Bに図示されているように、クルーシブル110に内蔵された熱線131と、外部電源図示せずに連結された電源供給パッド134a,134bと、前記電源供給パッド134a,134bと熱線131を連結するようにクルーシブル110に設けられた第1接続パッド132aと、を具備する。前記電源供給パッド134a,134bは、循環レール120に設けられるが、互いに異なる電圧が印加されている第1電源供給パッド134aと第2電源供給パッド134bとを含む。図5A及び図5Bから分かるように、クルーシブル110の外面には、第1接続パッド132aが形成されているが、この第1接続パッド132aは、第1電源供給パッド134aに対応する位置に形成されており、第1電源供給パッド134aから電源が供給され、第2電源供給パッド134bは、クルーシブル110に電圧を提供しない。このように、第1電源供給パッド134aから供給された電圧が、ボールベアリング140と第1接続パッド132aとを経由して熱線131に印加されれば、熱線131に抵抗熱が発生しつつ、クルーシブル110が加熱される。参照符号132cで示された接続パッドは、熱線131の一端を接地させ、前記電源供給パッド134a,134bから印加される電圧に対する基準電圧を形成する役割を果たす。かようなクルーシブル110加熱のための電源連結構造は、循環レール120上のツーリングゾーンからデポジットゾーンまで設けられる。そして、このような電源供給パッド134a,134bと接続パッド132a,132bとの電気的連結は、循環レール120に設けられたボールベアリング140を介在してなされるが、このボールベアリング140は、クルーシブル110が循環レール120上のある1つの位置にあるとき、接続パッド132a,132bにいくつかのボールベアリング140が当接するように稠密に設けることが望ましい。これは、クルーシブル110移送中に電源連結が途絶されないためである。そして、参照符号141は、クルーシブル110を循環レール120の一側壁側に押し付けるためのスプリングを示し、このスプリング141の弾性力によって、クルーシブル110が循環レール120内でしっかりと支持されて移動する。図6A及び図6Bは、本発明の他の一実施形態によるクルーシブルヒーティング部130’を示したものであり、クルーシブル110’が、第2電源供給パッド134bに対応する位置に、第2接続パッド132bを具備している。従って、この場合には、クルーシブル110’内の熱線131は、第2電源供給パッド134bから電圧が印加される。図5A及び図5Bのクルーシブル110と、図6A及び図6Bのクルーシブル110’とを順次に配させ、それぞれ互いに異なる物質を収納させる場合、基板10には、互いに異なる物質が連続して蒸着されうる。例えば、ホストとドーパントとを基板10に共に蒸着させようとするならば、前記複数のクルーシブル110に、ホストとドーパントとを交互に充填させて循環させる。このとき、ホストとドーパントは、蒸気を形成する温度が互いに異なるために、同じ電圧を印加しては、円滑な蒸着が進められない。従って、図5A及び図5Bのクルーシブル110には、ホストを充填させ、第1電源供給パッド134aと第1接続パッド132aとを連結し、図6A及び図6Bのクルーシブル110’には、ドーパントを充填させ、第2電源供給パッド134bと第2接続パッド132bとを連結するような方式で制御すれば、異種蒸着源についても、円滑な蒸着作業を共に進めることができる。図7は、本発明のさらに他の一実施形態によるクルーシブルヒーティング部130を図示したものであり、クルーシブル110が、第1接続パッド132a及び第2接続パッド132bをいずれも具備している。第1電源133aと第1電源供給パッド134aとの間には、第1スイッチS1が、第2電源133bと第2電源供給パッド134bとの間には、第2スイッチS2がそれぞれ介在され、クルーシブル110に選択的な電圧印加が可能であるように構成されている。すなわち、第1電源133aが、第1接続パッド132aに電圧を印加するときには、第2電源133bと第2電源供給パッド134bとの連結が切断され、反対に、第2電源133bが第2接続パッド132bに電圧を印加するときには、第1電源133aと第1電源供給パッド134aとの連結が切断される。また、図2による本発明の一実施形態の薄膜蒸着装置は、マスク部材210に付着した蒸着源残留物を除去するためのマスク洗浄部400を含む。前記マスク洗浄部400は、マスク部材210に超音波で振動を加える超音波発生器410と、その振動によって落ちる蒸着源残留物を受容するバケット420と、を具備する。また、図2による本発明の一実施形態の薄膜蒸着装置は、蒸着作業が進められるマスク部材210の空洞部内で、クルーシブル110上方に固設されるシールド部材700を含む。前記シールド部材700は、蒸着源の蒸気が基板10に対する蒸着位置に良好に届くようにガイドすべく形成される。以上で説明したような薄膜蒸着装置の作動過程について、図2ないし図8を参照しつつ説明すれば、次の通りである。いったん蒸着が開始されれば、クルーシブルユニット100のクルーシブル110は、循環レール120に乗って循環走行を始め、マスクユニット200のマスク部材210並びに基板10も駆動を始める。注入ノズル151によって蒸着源が充填されたクルーシブル110は、循環レール120のツーリングゾーンを通過してから、前記クルーシブルヒーティング部130によって徐々に加熱され始め、マスク部材210の空洞部を過ぎるデポジットゾーンに入りつつ、蒸気を発生させ始める。このように生成された蒸着源の蒸気は、マスク部材210のパターン211を介して基板10に蒸着され、このような作業は、基板10、マスク部材210及びクルーシブル110が走行しつつ連続してなされる。そして、蒸着作業が進むにつれて、マスク部材210に付着して累積する蒸着源残留物は、前記マスク洗浄部400の超音波発生器410によって落とされ、バケット420に収容される。従って、作業速度が相当に速くなり、またマスク部材210と基板10とが密着された状態で蒸着がなされるために、蒸着品質も安定して維持されうる。以下、前記の実施形態の薄膜蒸着装置で、一部変形が可能な構成を例示する。まず、図9に図示されているように、マスク部材210と基板10との密着力をさらに増大させ、マスク部材210がさらに圧着されるように構成する。これにより、マスク部材210と基板10との接触面積がさらに広くなり、すなわち蒸着が起こる面積がさらに広く確保されうる。従って、蒸着源の蒸気を蒸着位置にガイドするシールド部材700’もさらに広い開口を有するように形成することができる。次に、図10A及び図10Bは、マスクユニット200’の変形可能な構造を図示したものである。前述の実施形態のマスクユニット200では、マスク部材210が円筒状になっていたが、本発明の他の実施形態によるマスクユニット200’は、連続した囲い状例えば、無限軌道状で連結された複数個の板状部材250を含む。一般的に、マスクとして使われる部材は、厚さが非常に薄いために、完全な円筒状に設ける場合、自重によって中央部が下に反る可能性がある。従って、分割された板状部材250を無限軌道状に連結すれば、マスク部材が反る現象を抑制することができる。このために、動力伝達部材260の内側壁には、支持片261が形成されており、複数の板状部材250は、図10Bに図示されているように、この支持片261に弾力的に支えられつつ、無限軌道状に連結される。かように変形されたマスクユニット200’を利用した蒸着作業は、図11に図示されているように進められる。クルーシブルユニット100のクルーシブル110の充填、循環及び加熱、そして板状部材250から構成されたマスク部材及び基板10の駆動は、前述の実施形態と同一に進められる。すなわち、マスク部材の形状のみ変わっただけであり、蒸着過程は、前述の図2から図8の実施形態と同一に進められる。ただし、前記マスクユニット200’には、板状部材250の連結によってマスク部材が形成されているために、マスク部材が完全な円形状でないので、基板10と接触することができる領域が狭まる。すなわち、支持片261がある付近は、板状部材250と基板10との接触が良好に行われない。従って、その場合には、マスクユニット200’とクルーシブルユニット100とを複数個配し、接触領域が狭まったことを補償すればよい。これについては、次の実施形態について説明しつつ言及する。図12A及び図12Bは、本発明のさらに他の実施形態によるマスクユニット200を図示したものである。図12A及び図12Bを参照すれば、図2のシールド部材700を使用する代わりに、板状部材250の支持片機能を兼ねる複数のシールド部材271をマスクユニット200に固設したものである。このシールド部材271は、マスク部材をなす板状部材250を弾力的に支え、同時に2つの動力伝達部材270間を横切って配され、各シールド部材271間の隙間を介して蒸着源の蒸気をガイドする。図13は、このように変形されたシールド部材271を有した薄膜蒸着装置の作動過程を図示したものである。すなわち、板状部材250に連結されたマスク部材が、基板10に密着されて回転し、このとき、クルーシブル110に充填された蒸着源の蒸気がシールド部材271間の隙間にガイドされて基板10に蒸着される。ただし、この場合には、蒸着が起こる領域がシールド部材271間の間に限定されるので、図面のように、マスクユニット200とクルーシブルユニット100とをいくつか設け、蒸着領域が狭くなったところを補償すればよい。同様に、前記図11で説明した構造も、このように、マスクユニット200’とクルーシブルユニット100とをいくつか設けて蒸着領域が狭くなったところを補償すればよい。一方、図14は、前記マスクユニット200とクルーシブルユニット100とを色相別に1セットずつ設けて運用する例を示したものである。すなわち、さまざまな色相を蒸着しなければならない場合には、色相ごとに、マスクユニット200とクルーシブルユニット100とを1セットずつ設け、連続して蒸着を行わせることができる。もちろん、色相ごとに、さらにマスクユニット200とクルーシブルユニット100とを数セットずつ設けることも可能である。以上で説明したような薄膜蒸着装置によれば、蒸着源の供給及び消尽、基板とマスクとアレンジ、マスクに残留された蒸着源の除去などがいずれも連続して進められるために、作業速度が相当に速くなり、また基板とマスクとが密着された状態で蒸着が進められるので、良好な蒸着品質も維持されうる。本発明は、図面に図示された実施形態を参考にして説明したが、それらは例示的なものに過ぎず、当技術分野における当業者であるならば、それらから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解するであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によってのみ決まるものである。"