観察する物体の表面に液晶を被覆した観察試料を電子顕微鏡内に配置し、前記観察試料を加熱することにより前記液晶の膜厚を減少させるとともに、前記走査型電子顕微鏡により前記観察試料を観察することを特徴とする電子顕微鏡による物体観察方法。前記観察する物体は、非導電体又は非導電体で囲まれた物体であり、前記液晶はネマティック液晶であることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡による物体観察方法。前記観察試料は、常温から前記液晶の相転移温度まで加熱されることを特徴とする請求項1または2に記載の電子顕微鏡による物体観察方法。しかしながら特許文献に1に示したイオン液体を用いた観察方法では、塗布または浸漬させた後のイオン液体の膜厚制御が非常に難しいという問題点があった。すなわち、イオン液体の膜厚が薄すぎると導電性が保つことが困難であり、また濡れた観察する物体が真空暴露してしまい、干からびてしまうという。また、イオン液体の膜厚が厚すぎると、観察する物体自体ではなく、観察する物体を被覆したイオン液体の表面を観察してしまうことになる。本発明は、簡易にチャージアップの問題を解決するとともに、観察試料の作製が容易であって、観察する物体のありのままの形状等をSEMにより観察することを可能とする観察方法を提供することを目的とする。前述の目的を達成するために、本発明は、観察する物体の表面に液晶を被覆した観察試料を電子顕微鏡内に配置し、前記観察試料を加熱することにより前記液晶の膜厚を減少させるとともに、前記走査型電子顕微鏡により前記観察試料を観察するものである。本発明の走査型電子顕微鏡を用いれば、非導電性の物体もチャージアップなく観察可能で、さらにウエットな観察する物体も形態を変化させることなく非破壊で観察可能となる。図1に本発明の概念図を示す。本発明では、まず図1aに示すように、観察する物体を所望の大きさ、形状に切断させた後、試料台13の上に観察する物体12を配置し、常温において観察する物体12の表面に液晶11を塗布する。液晶11により観察する物体12を被覆することにより観察試料10とし、観察する物体12に見かけ上導電性を与えるとともに、次工程における真空加熱によって観察試料の表面の形態が変わるのを防ぐ。次に、走査型電子顕微鏡のチャンバー内に、液晶11により覆われた観察試料10をセットし加熱する。液晶および観察試料10を加熱するに従って、図1bに示すように、観察する物体の表面の余分な液晶は徐々に除去され、膜厚は減少する。この時の様子を、走査型電子顕微鏡で観察試料10を観察することにより、液晶の膜厚を変化させながら、各膜厚における観察試料の観察画像を得る。<観察する物体>本発明において観察する物体は、非導電性の物体、非導電体で覆われた物体、あるいは、観察する物体自体がウエットで、電子顕微鏡内に入れられないもの、また真空中で形態の変化してしまう物体に有効である。<液晶>本発明で用いる液晶は、ネマティック液晶、スメクティック液晶、コレステリック液晶など、導電性を有するものであれば使用することができる。特にネマティック液晶は、粘度が比較的低く、また価格、手に入り易さを考慮すると最も好適である。<電子顕微鏡の構成>図2は本実施例の電子顕微鏡の構成を示す断面図である。図中21は電子線を放出する電子銃である。22は電子銃から放出されたコンデンサレンズである。23はコンデンサレンズ22を通過した電子線を所定の方向に走査する走査レンズである。24は走査レンズ23で走査された電子線を観察試料10に集光させる対物レンズである。26は観察試料10から放出される二次電子を検出する二次電子検出器であり、25は二次電子検出器で検出された観察試料10の各位置における二次電子の放出量を表示する表示装置である。27は観察試料10を保持する試料支持棒であり、29は、試料加熱部30の温度を制御する温度コントローラである。図3は試料加熱部30の詳細を示した断面図である。加熱ホルダ31の上に、観察試料10を載置した試料台13が置かれている。加熱ホルダ31の内部にはヒート36と熱電対35が配置されており、コントローラ40の加熱電源37、温度検出器38m加熱温度制御機39により、ヒータ36の温度は制御されている。コントローラ40は、上限の温度及び温度上昇のステップを細かく設定できるようになっており、1°C刻みでセット可能である。<観察方法>次に、図2に示した走査型電子顕微鏡用による、観察試料12を観察する方法を図4を用いて説明する。まず図4aに示すように、観察する物体12をカーブンペースト53が塗られた試料台13に接着する。次に図4bに示すように、観察する物体12の上部から液晶11をスポイト等で少量垂らし観察試料10とする。この時、液晶11の量は、図4cに示すように、観察する物体12の表面を覆いかぶせる程度の量でよい。液晶11の塗布量が少なすぎると、観察する物体12の導電性が失われてしまうので、注意が必要である。次に、観察試料10を試料台13ごと加熱ホルダ31に載せ、図2に示した走査電子顕微鏡の試料加熱部に投入する。次に、走査電子顕微鏡の試料加熱部を真空にした後加熱する。加熱しながら電子銃21から電子線を観察試料10に照射し、二次電子検出器26を使って観察試料10の形状を観察する。観察試料10を加熱することにより、図4dに示すように液晶11は徐々に除去され、液晶11の膜厚は徐々に減っていく。ため、加熱しながら観察することにより、観測に最も適した液晶膜厚での観察が可能となる。なお、予め使用する液晶が液晶相から液体相へ変わる温度である相転移温度等方性液体になる温度を調べておくことにより、より効率的な観察が可能となる。主剤、重合性高分子前駆体の2-ヒドロキシメチルメタクリレートからなる高分子ポリマーボール非導電性の形態を、フィールドエミッション型走査型電子顕微鏡S5000H日立製を使って、前述の観察方法により観察した。まず、2-ヒドロキシメチルメタクリレートからなる高分子ポリマーボールの集合体を、接着性を有し導電性に優れているカーボンテープ53を介して、試料台13に載せた。次に、ネマティック型液晶E7メルク社製をピペットで観察する物体12の表面に約0.01ml滴下し、高分子ポリマーボール集合体に染み込ませ、観察試料とした。次にネマティック型液晶を染み込ませた観察試料を、走査電子顕微鏡のチャンバーに投入し、真空引きをした。試料加熱部の真空度は6.0-E6torrとした。電子銃21の加速電圧は20kVとした。ネマティック型液晶E7メルク社製の相転移温度は95°C近辺である。そこで、観察試料を加熱し、温度が、20°C、50°C、80°C、90°C、95°C、100°Cの時の二次電子像を観察した。各温度での観察結果を、図5a~fに示す。20°Cにおける観察画像を図5aに示す。この時の観察画像は、液晶の表面と観察したいポリマーの頭だけが見えている状態である。従ってポリマーの全容を観察することはできなかった。これは、液晶の膜厚が厚すぎたためだと思われる。ただし、全体的に白くなったり、ハレーションが発生したり、ノイズがはいったり、サンプルドリフトがあったりなどが無いためチャージアップはないことが分かる。次に、50°Cにおける観察画像を図5bに示す。この時の観察画像は、図5aの温度20°Cの時に比べると若干液晶の表面が落ち込んでおり、液晶膜厚が薄くなっていることが分かる。これにより、ポリマーの表面の一部の形状は確認できるが、ポリマーの全容を観察することはできなかった。次に、80°Cにおける観察画像を図5cに示す。この時の観察画像は、図5bの温度50°Cの時に比べてさらに液晶の膜厚が薄くなっていることが分かる。これにより、ポリマーの表面の形状は確認できるが、ポリマーの全容を観察するには至っていない。次に、90°Cにおける観察画像を図5dに示す。この時の観察画像は、図5cの温度80°Cの時と比べてさらに液晶の膜厚が減っており、ポリマー全容がほぼ観察可能となっている。次に、95°Cにおける観察画像を図5eに示す。この時の観察画像は、ポリマーの全容が完全に観察可能であった。なおここで観察可能とは、粒径約0.5μmの粒子が確認できることを言う。次に、100°Cにおける観察画像を図5fに示す。この時の観察画像は、全体的に白く表示されており、ポリマーの全容を観察することができなかった。これは、液晶の膜厚が薄すぎるため、観察試料の表面がチャージアップされていると思われる。図5a~fからかわるように、実施例1においては、相転移温度である95°Cにおいて、最も良好にポリマーの形状を計測することが可能であった。すなわち、本実施例で用いた走査型電子顕微鏡を用いることにより、液晶の転移温度付近であれば、非導電性の観察試料の形状が高分解能で観察可能であった。なお、通常ネマティック型液晶は、相転移温度が低温であり相転移温度域が広いため、観察する温度を徐々に上げることで、相転移温度域の中での最適な温度を見つけることが可能となる。また、本実施例では、相転移温度である95°Cが最適な温度としている。しかしながら観察する目的が、ポリマーの全容を完全に観察することではなく、ポリマーの表面の形態を確認する等であれば、相転移温度域まで加熱せず、たとえば50°Cにおける観察で十分な場合もある。非導電性のすりガラス旭硝子社を3mm角にサンプリングした。サンプリングしたすりガラスの表面にネマティック液晶MLC-6608を染み込ませ観察試料とした。ネマティック液晶MLC-6608の相転移温度は90°Cである。ネマティック液晶をピペットで観察試料の表面に約0.01ml滴下し、すりガラスの表面に染み込ませた。観察試料をフィールドエミッション型走査電子顕微鏡S900日立製を使って、実施例1と同様の観察方法により観察した。観察試料を加熱し、温度が20°C、30°C、40°C、50°C、60°C、80°C、90°C、100°Cの時の二次電子像を観察した。各温度での観察結果を、図6a~hに示す。図6における倍率は2000倍である。20°Cにおける観察画像を図6aに示す。この時の観察画像は、液晶の表面と、観察したいポリマーの頭だけが見えている状態である。従ってポリマーの全容を観察することはできなかった。これは、液晶の膜厚が厚すぎたためだと思われる。次に、30°Cにおける観察画像を図6bに示す。この時の観察画像は、図6aの温度20°Cの時に比べると若干液晶の表面が落ち込んでおり、液晶膜厚が薄くなって見える。これにより、すりガラスの表面の凹凸形状は確認できるが、表面の凹凸の全容を観察することはできなかった。次に、40°Cにおける観察画像を図6cに示す。この時の観察画像は、図6bの温度30°Cの時に比べると、液晶膜厚がさらに薄くなっている。これにより、すりガラスの表面の凹凸形状はより明確に確認できるが、表面の凹凸の全容を観察することはできなかった。次に、50°Cにおける観察画像を図6dに示す。この時の観察画像は、図6cの温度40°Cの時に比べると、液晶膜厚がさらに薄くなっている。これにより、すりガラスの表面の凹凸形状は観察できるが、表面の凹凸の全容を観察することはできなかった。次に、60°Cにおける観察画像を図6eに示す。この時の観察画像は、図6dの温度50°Cの時と比べてさらに液晶の膜厚が減っており、すりガラスの表面の凹凸形態をさらに明確に観察可能となっている。次に、80°Cにおける観察画像を図6fに示す。この時の観察画像は、図6eの温度60°Cの時と比べてさらに液晶の膜厚が減っており、すりガラスの表面の凹凸形態を観察可能となっている。次に、90°Cにおける観察画像を図6gに示す。この時の観察画像は、すりガラスの表面の凹凸の形態が完全に観察可能となった。次に、100°Cにおける観察画像を図6hに示す。この時の観察画像は、全体的に白く表示されており、ポリマーの全容を観察することができなかった。これは、液晶の膜厚が薄すぎるため、観察試料の表面がチャージアップされていると思われる。図6a~hからかわるように、実施例2においては、相転移温度である90°Cにおいて、最も良好にポリマーの形状を計測することが可能であった。すなわち、本実施例で用いた走査型電子顕微鏡を用いることにより、液晶の転移温度付近であれば、非導電性の観察試料の形状が高分解能で観察可能であった。なお、通常ネマティック型液晶は、相転移温度が低温であり相転移温度域が広いため、観察する温度を徐々に上げることで、相転移温度域の中での最適な温度を見つけることが可能となる。また、本実施例では、相転移温度である90°Cが最適な温度としている。しかしながら観察する目的が、すりガラスの全容を完全に観察することではなく、すりガラスの表面の形態を確認する等であれば、相転移温度域まで加熱せず、たとえば30°Cにおける観察で十分な場合もある。プラスチック樹脂PETを3mm角にサンプリングした。サンプリングしたすりプラスチック樹脂の表面にネマティック液晶5CB4-シアノ-4’-ベンチルビフェニルを染み込ませ観察試料とした。PETは、熱に弱い試料であるので、本実施例では相転移温度は34°Cであるネマティック液晶5CB4-シアノ-4’-ベンチルビフェニルを使用した。ネマティック液晶をピペットでプラスチック樹脂の表面に約0.01ml滴下し、その表面に染み込ませた。観察試料をフィールドエミッション型走査電子顕微鏡S900日立製を使って、実施例1と同様の観察方法により観察した。観察試料を加熱し、温度が20°C、30°C、35°Cの時の二次電子像を観察した。各温度での観察結果を、図7a~cに示す。図10における倍率は2000倍である。20°Cにおける観察画像を図7aに示す。この時の観察画像は、液晶の表面と、観察したいポリマーの頭だけが見えている状態である。従ってポリマーの全容を観察することはできなかった。これは、液晶の膜厚が厚すぎたためだと思われる。次に、30°Cにおける観察画像を図7bに示す。この時の観察画像は、図7aの温度20°Cの時と比べて液晶の膜厚が減っており、観察したいプラスチック樹脂の表面の凹凸が観察できるようになっている。次に、35°Cにおける観察画像を図7cに示す。この時の観察画像は、30°Cの時の像からさらに液晶の膜厚が減っている。しかしながら全体的に白く表示されており、ポリマーの全容を観察することができなかった。これは、液晶の膜厚が薄すぎるため、観察試料の表面がチャージアップされていると思われる。[比較例]すりガラス旭硝子社カバーガラスを3mm角にサンプリングした。サンプリングしたすりガラスにイオン液体を塗布し観察試料とした。イオン液体は、親水性のであるテトラフルオロホウ酸1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムBMI-BF4にエタノールを混合したものである。イオン液体をピペットで観察試料の表面に約0.01ml滴下し、すりガラスの表面に染み込ませた。観察試料をフィールドエミッション型走査電子顕微鏡S5000H日立製を使って、実施例1と同様の観察方法により観察した。観察試料を加熱し、温度が20°C、40°C、60°C、80°C、100°C、120°C、の時の二次電子像を観察した。各温度での観察結果を、図8a~fに示す。図8における倍率は2000倍である。図8a~fから分かるように、20°C~120°Cの範囲では、いずれもすりガラスの表面の凹凸形状を観察することができない。これは、加熱してもイオン液体の膜厚に変化がなく、イオン液体に観察する物体であるすりガラスが埋もれていると思われる。なお、前述イオン液体蒸発する温度は300°C以上である。しかしながら、300°C以上に加熱すると、観察する物体であるすりガラスのダメージが大きく観察することができない。