"第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されてフレーム部材に支持されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から、前記第1接着シートを剥離する剥離装置であって、前記第2接着シートの他方の面側に接する支持面で前記第2接着シートを支持する第2シート支持手段と、前記第2シート支持手段を前記板状部材の第1面と平行な方向に移動可能な移動手段と、前記第1接着シートに前記板状部材から離間する方向に剥離力を付与可能な剥離力付与手段と、を備え、前記剥離力付与手段は、前記移動手段により移動中の前記第2シート支持手段に支持された前記第2接着シートと前記フレーム部材との間に入り込み、前記フレーム部材を前記第2接着シートから離間させることにより前記第1接着シートに剥離力を付与可能に設けられていることを特徴とする剥離装置。前記剥離力付与手段は、前記フレーム部材を前記板状部材から離間する方向に変位させる変位手段を有していることを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。前記剥離力付与手段は、前記フレーム部材を前記板状部材から徐々に離れる方向に搬送する第1搬送手段を有していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の剥離装置。前記剥離力付与手段は、前記第2接着シートを前記板状部材の移動方向と同じ方向に搬送する第2搬送手段を有していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の剥離装置。第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から、前記第1接着シートを剥離する剥離方法であって、前記板状部材は、前記第1接着シートを介してフレーム部材に支持され、前記第2接着シートの他方の面側から前記第2接着シートを支持する工程と、前記第2接着シートを前記板状部材の第1面と平行な方向に移動する工程と、前記移動中の第2接着シートと前記フレーム部材との間に剥離力付与手段を入り込ませることにより、前記第1接着シートに前記板状部材から離間する方向に剥離力を付与する工程と、を備えることを特徴とする剥離方法。しかしながら、特許文献1に記載の装置では、チップに第2UVテープを貼付した後、さらに第1フレームと第2フレームとの上下を入れ替え、その場で第1UVテープを剥離するため、単位時間あたりに第1UVテープを剥離する処理能力が向上せず、結果として半導体装置の製造効率を向上させることができなくなるという問題がある。本発明の目的は、簡単な構成で処理能力を向上できる剥離装置および剥離方法を提供することにある。前記目的を達成するために、本発明の剥離装置は、第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されてフレーム部材に支持されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から、前記第1接着シートを剥離する剥離装置であって、前記第2接着シートの他方の面側に接する支持面で前記第2接着シートを支持する第2シート支持手段と、前記第2シート支持手段を前記板状部材の第1面と平行な方向に移動可能な移動手段と、前記第1接着シートに前記板状部材から離間する方向に剥離力を付与可能な剥離力付与手段と、を備え、前記剥離力付与手段は、前記移動手段により移動中の前記第2シート支持手段に支持された前記第2接着シートと前記フレーム部材との間に入り込み、前記フレーム部材を前記第2接着シートから離間させることにより前記第1接着シートに剥離力を付与可能に設けられている、という構成を採用している。この際、本発明の剥離装置では、前記剥離力付与手段は、前記フレーム部材を前記板状部材から離間する方向に変位させる変位手段を有している、ことが好ましい。また、本発明の剥離装置では、前記剥離力付与手段は、前記フレーム部材を前記板状部材から徐々に離れる方向に搬送する第1搬送手段を有している、ことが好ましい。さらに、本発明の剥離装置では、前記剥離力付与手段は、前記第2接着シートを前記板状部材の移動方向と同じ方向に搬送する第2搬送手段を有している、ことが好ましい。一方、本発明の剥離方法は、第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から、前記第1接着シートを剥離する剥離方法であって、前記板状部材は、前記第1接着シートを介してフレーム部材に支持され、前記第2接着シートの他方の面側から前記第2接着シートを支持する工程と、前記第2接着シートを前記板状部材の第1面と平行な方向に移動する工程と、前記移動中の第2接着シートと前記フレーム部材との間に剥離力付与手段を入り込ませることにより、前記第1接着シートに前記板状部材から離間する方向に剥離力を付与する工程と、を備える、という構成を採用している。以上のような本発明によれば、剥離力付与手段は、移動手段により移動中の第2接着シートとフレーム部材との間に入り込み、フレーム部材を第2接着シートから離間させるので、板状部材が工程間を移動する間に、板状部材から第1接着シートを剥離することができる。すなわち、板状部材の移動と第1接着シートの剥離を同時に行えるので、第1接着シートを剥離するために、板状部材を停止させておく必要がなく、単位時間あたりに第1接着シートを剥離する処理能力を向上させることができ、結果として半導体装置の製造効率を向上させることができる。また、剥離力付与手段を板状部材の移動経路中に設置し、第2接着シートとフレーム部材との間に入り込むよう設ければ、簡単な構成で剥離を行え、装置の大型化や、制御の複雑化を抑制することができる。この際、剥離力付与手段が、変位手段を有していれば、フレーム部材をより大きく離間することができる。したがって、第1接着シートに、剥離力付与手段が第2接着シートとフレーム部材との間に入り込むことによる離間で生じる剥離力だけでなく、変位手段による離間で生じる剥離力も加えることができるので、第1接着シートの剥離をより確実に行うことができる。また、剥離力付与手段が第1搬送手段を有していれば、剥離力付与手段が第2接着シートとフレーム部材との間に入り込むことで生じる摩擦を低減し、スムーズに第1接着シートの剥離を行うことができる。さらに、剥離力付与手段が、第2搬送手段を有していれば、第2接着シートが板状部材の移動方向と同じ方向に移動する状態を維持できるので、第2接着シートに貼付された板状部材が第1接着シートの剥離力の付与方向に変位してしまうことがない。したがって、フレーム部材の離間を確実に行うことができ、第1接着シートの剥離を確実に行うことができる。以下、本発明の第一実施形態を図面に基づいて説明する。また、本実施形態では、特に明示しない限り、上、下、左、右といった方位を示す用語は、図1を基準として用いる。図1において、剥離装置1は、第1面W1が第1接着シートS1の一方の面上面に貼付されてフレーム部材としての第1リングフレームRL1に支持されるとともに、第2面W2が第2接着シートS2の一方の面下面に貼付された板状部材としてのウェハWから第1接着シートS1を剥離するものであり、第2接着シートS2の他方の面上面側に接する支持面21で第2接着シートS2を支持する第2シート支持手段2と、第2シート支持手段2をウェハWの第1面W1と平行な方向に移動可能な移動手段3と、第1接着シートS1にウェハWから離間する方向に剥離力を付与可能な剥離力付与手段5と、第1接着シートS1が剥離されたウェハWを回収する回収手段6と、を備えている。なお、第1接着シートS1の一方の面には、接着剤層AD1が設けられており、当該接着剤層AD1にウェハWおよび第1リングフレームRL1が貼付されるとともに、第2接着シートS2の一方の面には、接着剤層AD2が設けられており、当該接着剤層AD2にウェハWおよび第2リングフレームRL2が貼付されている。第2シート支持手段2は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段により、平面状の支持面21に設けられた図示しない吸引孔を介して第2接着シートS2を吸引支持可能に構成されている。移動手段3は、駆動機器であるリニアモータ31を備え、そのスライダ32に第2シート支持手段2が支持されている。剥離力付与手段5は、図示しないフレームにより支持され、図2に示すように、第1リングフレームRL1の内径Rと略同じ寸法を隔てて2つ設けられている。剥離力付与手段5は、図1において、第2接着シートS2の移動方向に向かって右から左に向かって厚みが増すくさび型のくさび部51と、くさび部51の左側に一体的に設けられ、右から左に向かって厚さが変わらない平板部52とを備えている。そして、剥離力付与手段5は、移動手段3により移動中の第2リングフレームRL2と第1リングフレームRL1との間に入り込み、くさび部51の傾斜面512で第1リングフレームRL1を第2リングフレームRL2から離間する方向に案内することにより、第1接着シートS1にウェハWからの剥離力を付与する。回収手段6は、図示しないフレームに支持されて剥離力付与手段5の左側に設けられ、駆動機器である回動モータ61と、回動モータ61の出力軸に取り付けられた回転軸62と、支持部材63を介して回転軸62に支持された保持アーム64と、保持アーム64の両端に設けられた駆動機器であるリニアモータ65の出力軸66に支持され、図示しない吸引ポンプ等の吸引手段に連通された吸着パッド67と、保持アーム64の下方に設けられた載置テーブル68と、を備えている。以上の剥離装置1において、ウェハWから第1接着シートS1を剥離する手順としては、図1に示すように、第2シート支持手段2により第2接着シートS2を支持面21に吸引保持させる。すると第1リングフレームRL1の自重により、当該第1リングフレームRL1と第2リングフレームRL2との間に隙間が形成される。なお、この隙間が形成されないときは、第1リングフレームRL1を吸引したり把持したりして下方に引き下げ、強制的に第1リングフレームRL1と第2リングフレームRL2との間に隙間を形成する強制隙間形成手段を採用してもよい図示省略。ついで、リニアモータ31の駆動によりスライダ32に固定された第2シート支持手段2の移動方向の先端が図1中2Aで示した位置まで移動すると、図3Aに示すように、剥離力付与手段5の先端511が、移動中の第2リングフレームRL2と第1リングフレームRL1との間に入り込む。そして、第2シート支持手段2の移動が継続され、その移動方向の先端が図1中2Bで示した位置まで移動すると、図3Bに示すように、剥離力付与手段5の傾斜面512に沿って第1リングフレームRL1が徐々に第2リングフレームRL2から離間する方向に移動する。この離間に伴って、第1接着シートS1が、下方向に引っ張られ、これが剥離力となって、ウェハWからの剥離が開始される。そして、第2シート支持手段2の移動方向の先端がくさび部51を通過して、図1中2Cで示したように平板部52に到達すると、図3Cに示すように、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離が完了し、第1リングフレームRL1と第1接着シートS1が図示しない回収手段で回収される。なお、図3ABCは剥離装置1を第2シート支持手段2の移動方向上流側から下流側に向かって見た図である。その後さらに、リニアモータ31の駆動が継続し、第2シート支持手段2が回収手段6の上方に到達すると、リニアモータ65の駆動により吸着パッド67が上昇して第2リングフレームRL2に当接し、吸引を開始するとともに、第2シート支持手段2の吸引保持を解除する。そして、第2シート支持手段2を初期位置に戻した後、回動モータ61の駆動により、ウェハWを180度回転させ、吸着パッド67を下方に移動させて吸着を解除する。これにより、第2接着シートS2を介して第2リングフレームRL2に支持されたウェハWは、載置テーブル68上に載置されることとなる。以上のような実施形態によれば、移動中の第2リングフレームRL2と第1リングフレームRL1との間に剥離力付与手段5が入り込み、第1接着シートS1に剥離力を付与するので、ウェハWの移動と第1接着シートS1の剥離を同時に行うことができ、単位時間あたりに第1接着シートS1を剥離する処理能力を向上させることができる。また、剥離力付与手段5をウェハWの移動経路中に設置し、第2リングフレームRL2と第1リングフレームRL1との間に入り込むよう設けたので、装置が簡単な構成であり、大型化せず、制御も複雑化しない。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、剥離力付与手段5Aを図4、図5に示すように、くさび部51と、このくさび部51の左側に配置された変位手段53Aとで構成してもよい。変位手段53Aは、直動モータ531Aと、直動モータ531Aの出力軸532Aに支持される変位部材533Aと、を備えている。そして、剥離力付与手段5Aは、くさび部51により第2リングフレームRL2から第1リングフレームRL1を離間させた後、図4中二点鎖線で示すように、直動モータ531Aにより変位部材533Aを下方に移動し、第1リングフレームRL1を強制的に下方に変位させて、第2リングフレームRL2から第1リングフレームRL1をさらに大きく離間させる。また、剥離力付与手段5Bを図6に示すように、くさび部51よりも長さ寸法の小さいくさび部51Bと、このくさび部51Bの左側に設けられた第1搬送手段54Bと、この第1搬送手段54Bの上側に設けられた第2搬送手段55Bとで構成してもよい。第1搬送手段54Bは、第1リングフレームRL1をウェハWから徐々に離れる方向に搬送するものであり、くさび部51Bに隣接するプーリ541Bと、このプーリ541Bの左側に配置されたプーリ542Bと、これらのプーリ541B,542Bに巻回された無端ベルト543Bと、プーリ542Bを回転駆動する駆動機器である回動モータ544Bと、を有して構成されている。無端ベルト543Bで形成される図6中下側の傾斜面545Bは、くさび部51Bの傾斜面512Bの延長方向に沿って設けられている。なお、プーリ542Bを第2リングフレームRL2から離間する方向に変位させる変位部材56Bを設けてもよい。変位部材56Bは、回転軸561Bと、回転軸561Bに支持されたリニアモータ562Bとを備え、リニアモータ562Bの出力軸563Bが回動モータ544Bに連結されている。第2搬送手段55Bは、第2リングフレームRL2をウェハWの移動方向と同じ方向に搬送するものであり、くさび部51Bに隣接するプーリ551Bと、このプーリ551Bの左側に配置されたプーリ552Bと、これらのプーリ551B,552Bに巻回された無端ベルト553Bと、プーリ552Bを回転駆動する駆動機器である回動モータ554Bと、を有して構成されている。無端ベルト553Bで形成される図6中上側の支持面555Bは、くさび部51Bの上面513Bの延長方向に沿って設けられている。剥離力付与手段5Bは、図7Aに示すように、第2搬送手段55Bは、くさび部51Bにより第1リングフレームRL1が離間された第2リングフレームRL2を、第2シート支持手段2の移動に伴って、順次、支持面555Bにより支持して、支持面555Bと第2シート支持手段2の支持面21とで挟み込むようにして、プーリ551Bからプーリ552Bに向かって搬送する。一方、第1搬送手段54Bは、くさび部51Bにより第2リングフレームRL2から第1リングフレームRL1を離間させた後、図7Bに示すように、第1搬送手段55Aの無端ベルト543Bにより傾斜面545Bに沿って第1リングフレームRL1をウェハWから徐々に離れる方向に搬送する。そして、図7Cに示すように、第1リングフレームRL1をプーリ542Bの下方まで搬送すると、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離が完了するとともに、第1リングフレームRL1の搬送を終了する。このとき、変位部材56Bは、リニアモータ562Bを駆動してプーリ542Bを下方に押し出すように変位させることができ、第1リングフレームRL1が第2リングフレームRL2からさらに大きく離間されるので、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離が確実に行えるようになる。また、前記実施形態では、第2リングフレームRL2を設けたが、第2リングフレームRL2を設けなくてもよい。さらに、第2シート支持手段2を停止させておき、剥離力付与手段5,5A,5Bを移動させたり、第2シート支持手段2と剥離力付与手段5,5A,5Bとの両方を移動させたりすることで、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離を行うようにしてもよい。また、板状部材はダイシングされていないウェハWであってもよい。さらに、本発明における第1,第2接着シートS1,S2の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートと接着剤層AD1,AD2との間に中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよい。また、第1,第2接着シートS1,S2は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シートなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、板状部材としては、光ディスク、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。"