"搭載ヘッドの吸着ノズルにより基板の所定位置に部品を装着し、第1方向に直交する第2方向に延在し、前記搭載ヘッドが装着されて基台上を前記第1方向に移動可能な移動ビームと、前記移動ビームを前記第1方向に移動させるリニアモータと、前記移動ビームの一端を、前記基台に対して前記第1方向に移動可能に保持する第1保持部と、前記移動ビームの他端を、前記基台に対して前記第1方向に移動可能に保持する第2保持部と、を備えた部品実装装置において、前記第1保持部は、前記基台に固定され前記第1方向に延在するガイドレールと、前記移動ビームの一端に固定され前記ガイドレールに摺動自在に嵌合するスライダとを備えるガイド機構により構成され、前記第2保持部は、前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に回動自在に連結されると共に、前記第2方向に摺動可能なように前記基台上に載置される転がり機構により構成されていることを特徴とする部品実装装置。前記転がり機構は、内輪が前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に固定され、外輪が回動自在な転がり軸受により構成することを特徴とする請求項1に記載の部品実装装置。前記転がり機構は、前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に回動自在に連結された円筒コロにより構成することを特徴とする請求項1に記載の部品実装装置。前記基台の表面における前記転がり機構の移動可能領域を潤滑する潤滑手段を備えることを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の部品実装装置。前記潤滑手段は、潤滑油を含浸させた潤滑部材を備え、前記潤滑部材は、前記移動可能領域内で前記基台の表面に接触配置するように、前記第2保持部に固定されていることを特徴とする請求項4に記載の部品実装装置。前記転がり機構は、内輪が前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に固定され、外輪が回動自在な転がり軸受により構成されており、前記潤滑手段は、潤滑油を含浸させた潤滑部材を備え、前記潤滑部材は、前記外輪の外周面の一部に接触配置するように、前記第2保持部に固定されていることを特徴とする請求項4に記載の部品実装装置。前記転がり機構は、前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に回動自在に連結された円筒コロにより構成されており、前記潤滑手段は、潤滑油を含浸させた潤滑部材を備え、前記潤滑部材は、前記円筒コロの外周面の一部に接触配置するように、前記第2保持部に固定されていることを特徴とする請求項4に記載の部品実装装置。前記潤滑部材を前記外周面側に付勢する付勢手段を備えることを特徴とする請求項6又は7に記載の部品実装装置。前記移動ビームの前記第1方向での位置を検出する位置検出手段を備え、前記位置検出手段は、前記基台上の、前記第1方向に平行で且つ前記第2方向に平行な平面内で、前記第1方向に沿って設置されたリニアスケールと、前記移動ビームに固定され、前記リニアスケールに対向配置されたリニアスケール読取りヘッドと、を備えることを特徴とする請求項1~8の何れか1項に記載の部品実装装置。前記位置検出手段の前記第2方向の側方近傍に配置され、前記リニアスケールを保護する保護カバーを備えることを特徴とする請求項9に記載の部品実装装置。前記ガイドレールは、前記第1方向に平行で且つ前記第2方向に垂直な平面内で、前記第1方向に延在していることを特徴とする請求項1~10の何れか1項に記載の部品実装装置。リニアモータを用いた直動機構は、高速動作高位置精度が特徴であり、リニアモータによって駆動される移動ビーム及び搭載ヘッドは、高加速度での発停を高頻度で行う。このリニアモータの駆動時には可動子が発熱し、この熱が移動ビームに伝わって、移動ビームがX方向に伸縮したり曲がったりする熱変形を起こす。上記従来の部品実装装置の直動機構にあっては、移動ビームの両端をスライダとガイドレールとを組み合わせたガイド機構によってガイドする構成であり、移動ビームのX方向の自由度がない。そのため、移動ビームの熱変形が生じた場合、ガイド機構に大きな曲げモーメントが作用する。例えば、図14において、移動ビーム104がX方向紙面左右方向に伸縮すると、特に移動ビームの端部を水平姿勢で保持するY直動機構110のスライダ114及びガイドレール115に大きな負荷が作用する。上述したように、移動ビーム及び搭載ヘッドは高加速度での発停を高頻度で行うため、この現象は高頻度で発生する。このように、ガイド機構に高頻度で高負荷が作用すると、ガイド機構を構成する部品の寿命低下を招く。また、移動ビームの変形は、電子部品の搭載精度の悪化を招く原因にもなる。そこで、本発明は、リニアモータを用いた直動機構において、部品寿命の延長と部品搭載精度の悪化防止とを実現することができる部品実装装置を提供することを課題としている。上記課題を解決するために、請求項1に係る部品実装装置は、搭載ヘッドの吸着ノズルにより基板の所定位置に部品を装着し、第1方向に直交する第2方向に延在し、前記搭載ヘッドが装着されて基台上を前記第1方向に移動可能な移動ビームと、前記移動ビームを前記第1方向に移動させるリニアモータと、前記移動ビームの一端を、前記基台に対して前記第1方向に移動可能に保持する第1保持部と、前記移動ビームの他端を、前記基台に対して前記第1方向に移動可能に保持する第2保持部と、を備えた部品実装装置において、前記第1保持部は、前記基台に固定され前記第1方向に延在するガイドレールと、前記移動ビームの一端に固定され前記ガイドレールに摺動自在に嵌合するスライダとを備えるガイド機構により構成され、前記第2保持部は、前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に回動自在に連結されると共に、前記第2方向に摺動可能なように前記基台上に載置される転がり機構により構成されていることを特徴としている。このように、移動ビームの一端はガイド機構で拘束保持し、他端は第2方向に摺動可能なように基台上に載置される転がり機構で保持する。そのため、移動ビームに第2方向の自由度を持たせることができる。したがって、リニアモータの発熱により移動ビームが第2方向に伸縮したり曲がったりしたときには、第2保持部が第2方向に摺動することで上記伸縮や曲げを吸収し、第1保持部及び第2保持部に大きな曲げモーメントが負荷されるのを抑制することができる。その結果、第1保持部及び第2保持部の構成部品の寿命低下を抑制することができる。さらに、移動ビームに第2方向の自由度を持たせることで、移動ビームに熱変形が生じても、これを解消することができる。そのため、移動ビームが変形することに起因する電子部品の搭載精度の悪化を防止し、搭載精度の安定化を図ることができる。また、請求項2に係る部品実装装置は、請求項1に係る発明において、前記転がり機構は、内輪が前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に固定され、外輪が回動自在な転がり軸受により構成することを特徴としている。これにより、比較的簡易な構成で転がり機構を実現することができる。さらに、請求項3に係る部品実装装置は、請求項1に係る発明において、前記転がり機構は、前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に回動自在に連結された円筒コロにより構成することを特徴としている。これにより、比較的簡易な構成で転がり機構を実現することができる。また、請求項4に係る部品実装装置は、請求項1~3の何れかに係る発明において、前記基台の表面における前記転がり機構の移動可能領域を潤滑する潤滑手段を備えることを特徴としている。これにより、第2保持部の第1方向への移動および第2方向への摺動を円滑に行うことができるので、転がり機構と基台との接触面の摩耗の発生を低減して部品寿命の低下を抑制することができる。さらにまた、請求項5に係る部品実装装置は、請求項4に係る発明において、前記潤滑手段は、潤滑油を含浸させた潤滑部材を備え、前記潤滑部材は、前記移動可能領域内で前記基台の表面に接触配置するように、前記第2保持部に固定されていることを特徴としている。このように、基台の表面に直接潤滑部材を接触させるので、確実に基台の表面に潤滑油を塗布することができる。また、請求項6に係る部品実装装置は、請求項4に係る発明において、前記転がり機構は、内輪が前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に固定され、外輪が回動自在な転がり軸受により構成されており、前記潤滑手段は、潤滑油を含浸させた潤滑部材を備え、前記潤滑部材は、前記外輪の外周面の一部に接触配置するように、前記第2保持部に固定されていることを特徴としている。このように、転がり機構を構成する外輪の外周面に潤滑部材を接触させ、当該外周面に潤滑油を塗布するので、上記外輪から基台の表面に潤滑油を塗布することができる。すなわち、基台の表面に直接潤滑部材を接触させることなく、基台の表面に潤滑油を塗布することができる。したがって、基台の表面に直接潤滑部材を接触させる場合と比較して、基台の表面に接触する部品を減らすことができ、その分、部品寿命の低下を抑制することができる。さらにまた、請求項7に係る部品実装装置は、請求項4に係る発明において、前記転がり機構は、前記第2方向に軸線を一致して前記移動ビームの他端に回動自在に連結された円筒コロにより構成されており、前記潤滑手段は、潤滑油を含浸させた潤滑部材を備え、前記潤滑部材は、前記円筒コロの外周面の一部に接触配置するように、前記第2保持部に固定されていることを特徴としている。このように、転がり機構を構成する円筒コロの外周面に潤滑部材を接触させ、当該外周面に潤滑油を塗布するので、上記円筒コロから基台の表面に潤滑油を塗布することができる。すなわち、基台の表面に直接潤滑部材を接触させることなく、基台の表面に潤滑油を塗布することができる。したがって、基台の表面に直接潤滑部材を接触させる場合と比較して、基台の表面に接触する部品を減らすことができ、その分、部品寿命の低下を抑制することができる。また、請求項8に係る部品実装装置は、請求項6又は7に係る発明において、前記潤滑部材を前記外周面側に付勢する付勢手段を備えることを特徴としている。これにより、潤滑部材を転がり機構を構成する外輪又は円筒コロの外周面に当接させることができるので、より確実に潤滑油を上記外周面に塗布することができる。さらに、請求項9に係る部品実装装置は、請求項1~8の何れかに係る発明において、前記移動ビームの前記第1方向での位置を検出する位置検出手段を備え、前記位置検出手段は、前記基台上の、前記第1方向に平行で且つ前記第2方向に平行な平面内で、前記第1方向に沿って設置されたリニアスケールと、前記移動ビームに固定され、前記リニアスケールに対向配置されたリニアスケール読取りヘッドと、を備えることを特徴としている。このように、移動ビームに熱変形が生じて第2方向に伸縮したときのリニアスケールとリニアスケール読取りヘッドとの干渉を防止する配置とすることができる。また、請求項10に係る部品実装装置は、請求項9に係る発明において、前記位置検出手段の前記第2方向の側方近傍に配置され、前記リニアスケールを保護する保護カバーを備えることを特徴としている。これにより、周辺部品との干渉からリニアスケールを保護することができる。また、位置検出手段を潤滑部品の近傍に配置した場合には、当該保護カバーによって、例えば基板等に潤滑油が飛散されるのを防止することができる。また、請求項11に係る部品実装装置は、請求項1~10の何れかに係る発明において、前記ガイドレールは、前記第1方向に平行で且つ前記第2方向に垂直な平面内で、前記第1方向に延在していることを特徴としている。これにより、移動ビームの加減速時の慣性力による曲げモーメントを、ガイド機構のスライダに対してモーメント負荷能力が高い方向に作用させることができ、部品寿命を延長することができる。本発明によれば、移動ビームの一端をガイド機構により拘束保持し、他端を転がり機構により第2方向に自由度を持たせて保持するので、リニアモータの発熱により移動ビームが伸縮したり曲がったりした場合であってもこれを吸収することができる。したがって、移動ビームの両端保持部に大きな曲げモーメントが作用するのを防止し、当該保持部の構成部品の寿命を延長することができる。また、移動ビームに熱による曲げ変形が生じても、これを解消することができるので、部品搭載精度の悪化を防止することができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。第1の実施形態図1は、本発明における部品実装装置を示す平面図である。この図1において、上下方向がY方向第1方向であり、左右方向がX方向第2方向であり、紙面垂直方向がZ方向である。図中、符号1は部品実装装置である。この部品実装装置1は、基台10の上面にX方向に延在する一対の搬送レール11を備える。この搬送レール11は、回路基板5の両側辺部を支持し、搬送用モータ図示せずにより駆動されることで回路基板5をX方向に搬送する。また、部品実装装置1は搭載ヘッド12を備える。この搭載ヘッド12は、X方向に延在する移動ビーム13に装着されている。搭載ヘッド12は、図2に示すように、複数の単位搭載ヘッド12aを備えたマルチタイプの搭載ヘッドであり、各単位搭載ヘッド12aの先端下部に設けられた吸着ノズル12bによって電子部品を吸着保持する。また、図1に示すように、基台10のX方向の左右端部には、それぞれY方向に延在するフレーム14a及び14bが配設されている。フレーム14aの材質としては、例えばS50Cの炭素鋼、フレーム14aの熱処理としては、後述するベアリング35との当接面に、例えば硬度58HRC~62HRCの高周波焼入れを適用する。これらフレーム14a及び14bには、フレーム14a及び14bに沿って移動可能なY直動機構30及び40が配設されている。これらY直動機構30及び40は移動ビーム13の両端を保持しており、Y直動機構30及び40を駆動することで、移動ビーム13をY方向に移動するようになっている。また、移動ビーム13は、当該移動ビーム13に沿って移動可能なX直動機構不図示を内蔵している。そして、このX直動機構によって搭載ヘッド12を保持し、X直動機構を駆動することで、搭載ヘッド12をX方向に移動するようになっている。このように、搭載ヘッド12は、基台10上をXY方向に水平移動可能に構成されている。この部品実装装置1には、搬送レール11のY方向両側に、テープフィーダ等により電子部品を供給する部品供給装置15が装着される。そして、部品供給装置15から供給された電子部品は、搭載ヘッド12の吸着ノズル12bによって真空吸着され、回路基板5上に実装搭載される。また、部品実装装置1には、吸着する部品のサイズや形状に応じて、吸着ノズル12bを交換するためのノズル交換機16が設けられている。このノズル交換機16内には複数種のノズルが保管、管理されている。さらに、部品供給装置15と回路基板5との間には、CCDカメラ等からなる部品認識カメラ21を配置する。この部品認識カメラ21は、電子部品の吸着ノズルの中心位置と吸着した部品の中心位置とのずれや、吸着角度ずれである傾きを検出するために、吸着ノズルで吸着した電子部品を撮像するものである。また、搭載ヘッド12には、CCDカメラ等からなる基板認識カメラ22が設けられている。この基板認識カメラ22は、搭載ヘッド12と一体的に移動して、回路基板5の位置を認識するものである。次に、Y直動機構30及び40の構成について具体的に説明する。Y直動機構30は、図2に示すように、移動ビーム13のX方向左端の下面に水平姿勢で固定されたプレート31を備える。プレート31の下面中央部にはリニアモータ可動子32が装着されており、フレーム14aの上面には、リニアモータ可動子32と対向配置するようにリニアモータ固定子33が装着されている。また、プレート31の下面には、リニアモータ可動子32のX方向両側に、それぞれ一対のベアリングガイド34が複数組突設されている。これらベアリングガイド34はベアリング35を支持するものである。ベアリング35の内輪は、軸線をX方向に一致させたベアリングシャフト36に固定されており、ベアリングシャフト36の両端はベアリングガイド34に固定されている。すなわち、ベアリング35の内輪がX方向に軸線を一致して移動ビーム13のX方向の左端に固定され、ベアリング35の外輪が回動自在な構造となっている。このように、移動ビーム13のX方向の左端をY方向に移動可能に保持するY直動機構30は、X方向に軸線を一致して移動ビーム13のX方向の左端に回動自在に連結される転がり機構を備える。なお、一対のベアリングガイド34と、ベアリング35と、ベアリングシャフト36とで転がり機構を構成している。本実施形態では、図3に示すように、当該転がり機構をプレート31の下面四隅に設ける。図4は、転がり機構を示す分解斜視図である。ベアリング35は、内輪35a、外輪35b、及び内輪35aと外輪35bとの間に転動自在に介装された複数の転動体不図示を備える。転がり機構をプレート31に組み付ける際には、先ずベアリングシャフト36をベアリング35の内輪35aに挿入し固定する。次に、ベアリングシャフト36の両端をそれぞれベアリングガイド34に固定する。これにより、ベアリング35の内輪35aがベアリングガイド34に固定され、ベアリング35の外輪35bが回動自在な構造となる。この状態で、図5に示すように、ベアリングシャフト36の軸線がX方向に一致するように、ベアリングガイド34の上面をプレート31の下面四隅に固定する。Y直動機構30は、図6に示すように、移動フレーム30のX方向の左端を保持した状態でフレーム14a上に載置される。このとき、ベアリング35の外輪35bの外周面がフレーム14aの上面に当接する。ここで、フレーム14aの外輪35bとの当接面は平らな面であり、そのX方向の幅は、外輪35bの幅よりも広く設定されている。すなわち、移動ビーム13のX方向の左端は、X方向に摺動可能なようにフレーム14a上に載置された転がり機構により保持されていることになる。このような構成により、Y直動機構30のリニアモータ32,33を駆動したとき、ベアリング35の外輪35bの回転により移動ビーム13のX方向の左端がY方向に移動可能となる。Y直動機構30の駆動時には、リニアモータ可動子32とリニアモータ固定子33との間に発生する吸引力と、移動ビーム13の重量とにより、ベアリング35はフレーム14aの上面に押し付けられた状態となる。したがって、Y直動機構30は、移動ビーム13を安定してY方向に移動させることができる。図2に戻って、移動ビーム13のX方向の右端をY方向に移動可能に保持するY直動機構40は、移動ビーム13のX方向の右端の側面に垂直姿勢で固定されたプレート41を備える。プレート41の外側側面の中央部にはリニアモータ可動子42が装着されており、フレーム14bの内側側面には、リニアモータ可動子42と対向配置するようにリニアモータ固定子43が装着されている。また、プレート41の外側側面には、上下方向Z方向に所定間隔を設けて、リニアモータ可動子42を挟むように2個のスライダ44が配設されている。フレーム14bの内側側面にはY方向に沿って延在する2本のガイドレール45が配設されており、このガイドレール45にスライダ44が摺動自在に嵌合するようになっている。このように、移動ビーム13のX方向の右端をY方向に移動可能に保持するY直動機構40は、基台10のフレーム14bに固定されY方向に延在するガイドレール45と、移動ビーム13のX方向の右端に固定されガイドレール45に摺動自在に嵌合するスライダ44とから構成されるガイド機構を備える。以上のように、移動ビーム13のX方向の右端はスライダ44及びガイドレール45から構成されるガイド機構によってY方向に移動可能にガイドされ、移動ビーム13のX方向の左端は転がり機構を構成するベアリング35の外輪35bの回転によりY方向に移動可能となる。したがって、Y直動機構30及びY直動機構40のリニアモータを駆動すると、移動ビーム13はY方向に円滑に移動する。なお、Y直動機構40のプレート41、スライダ44及びガイドレール45が第1保持部に対応し、Y直動機構30のプレート31、ベアリングガイド34、ベアリング35及びベアリングシャフト36が第2保持部に対応している。本実施形態のY直動機構30及び40並びにX直動機構のようにリニアモータを用いた直動機構は、高速動作高位置精度を特徴としており、リニアモータは、搭載ヘッド12及び移動ビーム13を高加速度で発停させるべく駆動される。このような駆動を高頻度で行うと、リニアモータの可動子が発熱し、その熱が移動ビーム13へ伝わる。すると、移動ビーム13の温度が上昇し、移動ビーム13がX方向に伸縮したり曲がったりする熱変形が生じる。リニアモータを用いたY直動機構によって移動ビームをY方向に駆動する場合、移動ビームの両端は、それぞれスライダとガイドレールとで構成されるガイド機構で保持するのが一般的である。しかしながら、移動ビームの両端をガイド機構で保持する構成では、移動ビームのX方向の自由度がないため、上述したようにリニアモータの発熱により移動ビームがX方向に伸縮した場合、ガイド機構に大きな曲げモーメントが作用し、ガイド機構を構成する部品の寿命低下を招いてしまう。また、移動ビームに熱変形が生じた状態で電子部品の実装処理を行うと、部品搭載精度が悪化する。これに対して、本実施形態では、移動ビーム13の一端をガイド機構で保持し、他端をX方向に摺動可能なようにフレーム14a上に載置された転がり機構により保持する。これにより、移動ビーム13にX方向の自由度を持たせることができる。そのため、直動機構を構成するリニアモータの発熱により移動ビーム13に熱変形が生じた場合には、転がり機構のX方向への摺動により、これを吸収することができる。例えば、熱変形により移動ビーム13がX方向に伸びた場合には、ベアリング35がフレーム14a上を図2における左方向に摺動する。すなわち、Y直動機構30の構成部品一体が、移動ビーム13が伸びた分だけ図2における左方向に移動する。逆に、熱変形により移動ビーム13がX方向に縮んだ場合には、ベアリング35がフレーム14a上を図2における右方向に摺動する。すなわち、Y直動機構30の構成部品一体が、移動ビーム13が縮んだ分だけ図2における右方向に移動する。したがって、移動ビーム13がX方向に伸縮したときには、移動ビーム13のX方向の左端を保持する転がり機構や移動ビーム13のX方向の右端を保持するガイド機構に大きな曲げモーメントが作用するのを抑制することができる。そのため、当該曲げモーメントが作用することに起因する転がり機構及びガイド機構の構成部品の寿命低下を防止することができる。その結果、両端をガイド機構で保持する場合と比較して、移動ビーム13の両端を保持する保持部の耐久性を大幅に向上させることができる。さらに、移動ビーム13にX方向の自由度を持たせることで、移動ビーム13に熱による曲げ変形が生じても、これを解消することができるので、移動ビーム13が変形した状態で部品実装処理を行う事態を回避することができ、電子部品の搭載精度の悪化を防止することができる。また、転がり機構を、内輪35aがX方向に軸線を一致して移動ビーム13端部に固定され、外輪35bが回動自在なベアリング35により構成し、ベアリング35をX方向に摺動可能なようにフレーム14a上に載置するので、比較的簡易な構成で移動ビーム13にX方向の自由度を持たせることができる。さらに、移動ビーム13の一方の端部はスライダとガイドレールとで構成されるガイド機構により拘束保持するので、移動ビーム13の熱変形によるX方向の変位を、移動ビーム13の他方の端部を保持する転がり機構により適切に吸収することができる。また、ガイド機構を構成するガイドレールを、Y方向に平行で且つX方向に垂直な平面内でY方向に延在させるので、Y方向の曲げモーメントに対する耐久性を向上させることができる。そのため、ガイド機構を構成する部品の寿命を延長することができる。第2の実施形態次に、本発明の第2の実施形態について説明する。この第2の実施形態は、上述した第1の実施形態において、転がり機構が走行するフレーム14aの上面を潤滑する潤滑部品を設けるようにしたものである。図7は、潤滑部品を備えるY直動機構30の組立状態を示す図である。この図7に示すように、ベアリングガイド34のY方向端部に潤滑部品37が固定されている。なお、ここでは図示されていないが、潤滑部品37は、ベアリングガイド34のY方向の両端部に固定されているものとする。潤滑部品37は、潤滑油を含浸させた後述する潤滑部材を備え、潤滑部材の平らな下面がフレーム14aの上面に接触するような位置で固定される。図8は、潤滑部品37を示す分解斜視図である。図中、符号37aは潤滑油を含浸させた潤滑部材である。この潤滑部材37aは、一対の保持部品37bで狭持された状態で、2つのネジ部品37cによってベアリングガイド34の端面にネジ止めされる。このとき、潤滑部材37aと保持部品37bとは、潤滑部材37aの下部が保持部品37bよりも下方に飛び出すような位置関係で固定するものとする。このような構成により、Y直動機構30がY方向へ移動すると、それに伴って潤滑部材37aがフレーム14a上を摺動し、当該フレーム14aの上面に潤滑油を塗布することができる。すなわち、潤滑部品37によって、フレーム14aの上面における転がり機構の移動可能領域を潤滑することができる。これにより、Y直動機構30のY方向への移動時におけるベアリング35のY方向への回転移動、及び移動ビーム13のX方向への伸縮時におけるベアリング35のX方向への摺動を円滑に行うことができる。したがって、転がり機構のベアリング35とフレーム14aとの接触面の摩耗の発生を低減し、部品寿命の低下を抑制することができる。また、本実施形態の部品実装装置1は、図7に示すように、移動ビーム13のY方向における位置を検出するためのリニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bを備える。リニアスケール38aは、フレーム14aの上面におけるX方向内側端部に、Y方向に沿って敷設されている。また、リニアスケール読取りヘッド38bは、リニアスケール38aの上方に配置されるようにプレート31に固定されている。そして、リニアスケール読取りヘッド38bによってリニアスケール38aの磁気目盛を読み取ることで、移動ビーム13のY方向の位置が検出可能となっている。したがって、リニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bによって検出した移動ビーム13のY方向位置を用いて、適切に移動ビーム13の移動量を制御することができる。ところで、リニアスケール38aをフレーム14aの内側側面に垂直姿勢で設置し、そのさらに内側にリニアスケール読取りヘッド38bを対向配置しても、移動ビーム13のY方向の位置検出は可能である。しかしながら、この場合、移動ビーム13がX方向へ伸びてリニアスケール読取りヘッド38bのX方向位置がX方向外側にずれた場合、リニアスケール読取りヘッド38bがリニアスケール38aに干渉するおそれがある。これに対して、本実施形態では、移動ビーム13の熱変形を考慮して、リニアスケール38aをフレーム14aの上面に水平姿勢で設置し、その上方にリニアスケール読取りヘッド38bを対向配置する。そのため、移動ビーム13がX方向へ伸びてリニアスケール読取りヘッド38bのX方向位置がX方向外側にずれた場合であっても、リニアスケール読取りヘッド38bとリニアスケール38aとが干渉することはない。また、リニアスケール読取りヘッド38bには、所定の読取り可能範囲が設定されているため、移動ビーム13のX方向の伸縮によってリニアスケール読取りヘッド38bのX方向位置がリニアスケール38aのX方向位置に対して若干ずれたとしても、位置検出精度には影響しない。なお、図7において、潤滑部品37が潤滑手段に対応し、リニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bが位置検出手段に対応している。第3の実施形態次に、本発明の第3の実施形態について説明する。この第3の実施形態は、上述した第2の実施形態において、潤滑部材37aをフレーム14aの上面に直接接触させて潤滑油を塗布しているのに対し、ベアリング35の外輪35bの外周面に潤滑油を塗布することで、間接的にフレーム14aの上面に潤滑油を塗布するようにしたものである。すなわち、第3の実施形態におけるY直動機構30は、図7における潤滑部品37の構成が異なることを除いては、上述した第2の実施形態と同様の構成を有する。図9は、第3の実施形態の潤滑部品37の組立状態を示す図である。この図9に示すように、潤滑部品37は、潤滑油を含浸させた潤滑部材37dと、この潤滑部材37dを保持する保持部品37eとを備え、第2の実施形態と同様にベアリングガイド34の端面に保持部品37bを介してネジ部品37cによってネジ止めされる。この組立状態において、潤滑部材37dは、外輪35bの外周面の一部に接触するよう配置されており、ベアリング35の回転時に外輪35bの外周面に潤滑油を塗布するようになっている。図10は、第3の実施形態の潤滑部品37を示す分解斜視図である。この潤滑部品37は、潤滑部材37d及び保持部品37eの他に、板ばねで構成されるバネ部品37fを備える。潤滑部品37を組立てる際には、先ずバネ部品37fを保持部品37eの凹部に配置し、次いで潤滑部材37dをバネ部品37f側から保持部品37eに嵌め込む。このとき、潤滑部材37dの上下に形成された嵌合部37gが保持部品37eと嵌合することで、潤滑部材37dは保持部品37eに保持される。この組立状態では、バネ部品37fは、潤滑部材37dを保持部品37eとは反対側、即ちベアリング35側外輪35bの外周面側に付勢する。このような構成により、潤滑部材37dはベアリング35の外輪35bの外周面の一部に当接される。そのため、この状態でY直動機構30がY方向へ移動してベアリング35が回転すると、外輪35bの外周面に確実に潤滑油を塗布することができる。そして、Y直動機構30のY方向への移動に伴ってベアリング35がフレーム14aの上面を回転しながら移動すれば、外輪35bの外周面に塗布された潤滑油をフレーム14aの上面に塗布することができる。このように、潤滑部材37dからフレーム14aの上面に、潤滑油を間接的に塗布する構成であるため、潤滑部材を直接フレーム14aに接触させる必要がない。そのため、上述した第2の実施形態と比較して、フレーム14aの上面とY直動機構30との接触面積を小さくすることができ、Y直動機構30のY方向への移動時の抵抗やフレーム14aの上面の摩耗を低減させることができる。なお、バネ部品37fが付勢手段に対応している。第4の実施形態次に、本発明の第4の実施形態について説明する。この第4の実施形態は、上述した第2及び第3の実施形態において、リニアスケール38aを保護する保護カバーを設けるようにしたものである。図11は、保護カバーを備えるY直動機構30の組立状態を示す図である。図中、符号39は保護カバーである。この保護カバー39は、リニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bのX方向の側方近傍に配置されるものであり、ここでは、リニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bよりもX方向内側に配置されるように、フレーム14aの内側側面に固定されている。すなわち、図12に示すように、保護カバー39は、リニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bと所定間隔を設けて、これらのX方向内側に配置されている。また、保護カバー39は、フレーム14aの上面からの高さが、リニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bの高さと同等以上となるような形状となっている。このような構成により、移動ビーム13がX方向に縮んでY直動機構30がX方向内側図12の右側に摺動したときに、リニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bが、これらの内側に配置されている周辺部品と干渉してしまうのを防止することができる。さらに、保護カバー39をフレーム14aのX方向の内側端部に設ける構成であるため、潤滑部品37によってフレーム14aの上面に塗布された潤滑油が回路基板5等に飛散するのを防止することができる。このように、保護カバー39によって、リニアスケール38a及びリニアスケール読取りヘッド38bの周辺部品からの保護と、回路基板5等の潤滑油からの保護とを実現することができる。変形例なお、上記各実施形態においては、ベアリング35を用いた転がり機構を採用する場合について説明したが、円筒コロを用いた転がり機構を採用することもできる。この場合、ベアリング35及びベアリングシャフト36の代わりに円筒コロを用い、軸線をX方向に一致した円筒コロをベアリングガイド34に回動可能に連結するようにすればよい。また、上記各実施形態においては、移動ビーム13の両端部にリニアモータを配置する場合について説明したが、何れか一方にのみ配置する構成であってもよい。さらに、上記各実施形態においては、転がり機構をプレート31の下面四隅に設ける場合について説明したが、プレート31の下面外側に配置する転がり機構の数を、プレート31の下面内側に配置する転がり機構の数よりも多くするようにしてもよい。例えば、図13に示すように、1つのプレート31に設ける転がり機構を6個とし、外側に4個、内側に2個設けるようにしてもよい。なお、図13では、構成を解り易くするために、ベアリングガイド34を取り外した状態を示している。このように、外側の転がり機構の数を増やすことで、荷重条件の厳しい外側転がり機構の負荷荷重を軽減することができ、フレーム14a及び転がり機構の摩耗を抑制することができる。"