"環境温度の検出結果に基づいて出力周波数を補正する発振装置において、水晶片に第1の電極を設けて構成した第1の水晶振動子と、水晶片に第2の電極を設けて構成した第2の水晶振動子と、第1の水晶振動子に接続され、当該第1の水晶振動子をオーバートーンで発振させる第1の発振回路と、第2の水晶振動子に接続され、当該第2の水晶振動子をオーバートーンで発振させる第2の発振回路と、第1の発振回路の発振周波数をf1、基準温度における第1の発振回路の発振周波数をf1r、第2の発振回路の発振周波数をf2、基準温度における第2の発振回路の発振周波数をf2rとすると、f1とf1rとの差分に対応する値と、f2とf2rとの差分に対応する値と、の差分値に対応する値を求める周波数差検出部と、この周波数差検出部にて検出された前記差分値に対応する値と、前記差分値に対応する値と第1の発振回路の発振周波数f1の周波数補正値と、の関係に基づいて、環境温度が基準温度と異なることに起因するf1の周波数補正値を取得する補正値取得部と、を備え、発振装置の出力は、前記第1の発振回路の出力を利用して生成され、前記補正値取得部にて求めた前記周波数補正値に基づいて前記出力周波数を補正するように構成したことを特徴とする発振装置。f1とf1rとの差分に対応する値と、f2とf2rとの差分に対応する値と、の差分値に対応する値は、{f2-f2r/f2r}-{f1-f1r/f1r}であることを特徴とする請求項1記載の発振装置。第1の発振回路で発振するオーバートーンの次数と第2の発振回路で発振するオーバートーンの次数とは同じであり、第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子は、電極の膜厚、電極の面積及び水晶片の厚さの少なくとも一つが異なることを特徴とする請求項1または2記載の発振装置。第1の発振回路で発振するオーバートーンの次数と第2の発振回路で発振するオーバートーンの次数とは互いに異なることを特徴とする請求項1または2記載の発振装置。第1の水晶振動子の水晶片と第2の水晶振動子の水晶片とは、共通化されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の発振装置。本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、出力周波数の温度補償を高精度に行うことができる発振装置を提供することにある。本発明は、環境温度の検出結果に基づいて出力周波数を補正する発振装置において、水晶片に第1の電極を設けて構成した第1の水晶振動子と、水晶片に第2の電極を設けて構成した第2の水晶振動子と、第1の水晶振動子に接続され、当該第1の水晶振動子をオーバートーンで発振させる第1の発振回路と、第2の水晶振動子に接続され、当該第2の水晶振動子をオーバートーンで発振させる第2の発振回路と、第1の発振回路の発振周波数をf1、基準温度における第1の発振回路の発振周波数をf1r、第2の発振回路の発振周波数をf2、基準温度における第2の発振回路の発振周波数をf2rとすると、f1とf1rとの差分に対応する値と、f2とf2rとの差分に対応する値と、の差分値に対応する値を求める周波数差検出部と、この周波数差検出部にて検出された前記差分値に対応する値と、前記差分値に対応する値と第1の発振回路の発振周波数f1の周波数補正値との関係と、に基づいて、環境温度が基準温度と異なることに起因するf1の周波数補正値を取得する補正値取得部と、を備え、発振装置の出力は、前記第1の発振回路の出力を利用して生成され、前記補正値取得部にて求めた前記周波数補正値に基づいて前記出力周波数を補正するように構成したことを特徴とする。f1とf1rとの差分に対応する値と、f2とf2rとの差分に対応する値と、の差分値に対応する値は、例えば{f2-f2r/f2r}-{f1-f1r/f1r}である。補正値取得部は、前記差分値に対応する値と第1の発振回路の発振周波数f1の周波数補正値との関係を規定した関係式に基づいて、f1の周波数補正値を演算により取得する構成とすることができる。前記発振装置において、例えば第1の発振回路で発振するオーバートーンの次数と第2の発振回路で発振するオーバートーンの次数とは同じであり、第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子は、電極の膜厚、電極の面積及び水晶片の厚さの少なくとも一つが異なるかあるいは、第1の発振回路で発振するオーバートーンの次数と第2の発振回路で発振するオーバートーンの次数とは互いに異なる。また、例えば第1の水晶振動子の水晶片と第2の水晶振動子の水晶片とは、共通化されている。本発明は、環境温度の検出結果に基づいて出力周波数を補正する発振装置において、第1及び第2の発振回路の発振出力をf1、f2とし、基準温度における第1及び第2の発振回路の発振周波数を夫々f1r、f2rとすると、f1とf1rとの差分に対応する値と、f2とf2rとの差分に対応する値と、の差分値に対応する値をそのときの温度として取り扱うと共に、f1、f2は各水晶振動子のオーバートーンを用いている。オーバートーンは、C0C1で表される容量比が大きく、温度変化に対して安定していることから、温度特性を変化させた2つのオーバートーン発振を用いることで正確な値温度を求めることができる。また、前記差分値に対応する値と温度との相関度が極めて良好であることから、出力周波数の温度補償を高精度に行うことができる。図1は本発明の発振装置の実施形態の全体を示すブロック図である。この発振装置はTCXOであり、設定された周波数の周波数信号を出力する周波数シンセサイザとして構成され、水晶振動子を用いた電圧制御発振器100と、この電圧制御発振器100におけるPLLを構成する制御回路部200と、この制御回路部200に入力される基準クロックの温度補償を行う温度補償部と、を備えている。温度補償部については符号を付していないが、図1における制御回路部200よりも左側部分に相当する。この制御回路部200は、DDSDirectDigitalSynthesizer回路部201から出力される鋸波に基づいて参照用クロックを形成している。そして電圧制御発振器100の出力を分周器204で分周した出力信号と前記参照用クロックとの位相を位相比較部205にて比較し、その比較結果をループフィルタ206にて積分した値に基づいて電圧制御発振器100の制御電圧を調整するように構成している。ここでDDS回路部201は、後述の第1の発振回路1から出力される周波数信号を基準クロックとして用い、目的とする周波数の鋸波を出力するための制御電圧が入力されている。しかし前記基準クロックの周波数が温度特性をもっているため、この温度特性をキャンセルするためにDDS回路部201に入力される前記制御電圧を後述の周波数補正値に対応する信号に加算している。図1ではこの構成については略記してあるが、DDS回路部201に入力される制御電圧を補正することで、基準クロックの温度特性変動分に基づくDDS回路部201の出力周波数の温度変動分がキャンセルされ、結果として温度変動に対して参照用クロックの周波数が安定し、以って電圧制御発振器100からの出力周波数が安定することになる。温度補償部は、第1の水晶振動子10及び第2の水晶振動子20を備えており、これら第1の水晶振動子10及び第2の水晶振動子20は、共通の水晶片Xbを用いて構成されている。即ち例えば短冊状の水晶片Xbの領域を長さ方向に2分割し、各分割領域振動領域の表裏両面に励振用の電極を設ける。従って一方の分割領域と一対の電極11、12とにより第1の水晶振動子10が構成され、他方の分割領域と一対の電極21、22とにより第2の水晶振動子20が構成される。このため第1の水晶振動子10及び第2の水晶振動子20は熱的に結合されたものということができる。第1の水晶振動子10及び第2の水晶振動子20には夫々第1の発振回路1及び第2の発振回路2が接続されている。これら発振回路1、2の出力発振周波数は、水晶振動子10、20の例えば3次のオーバートーン高調波である。第1の水晶振動子10の電極11、12の厚さと第2の水晶振動子の電極21、22との厚さとは互いに異なるように構成され、それによって第1の発振回路1、第2の発振回路2から夫々出力される周波数が互いにずれるように構成されている。ここでいう周波数がずれるとは、より具体的には各水晶振動子の絶対周波数がずれて後述のように例えばf1が81.9MHz、f2が76.69MHzになることと、後述の図8で示すように各水晶振動子の温度特性のカーブが回転するようにずれることとを意味している。温度特性のカーブが回転するとは次の意味である。温度を基準温度例えば25°Cで規格化し、ある温度における周波数fと基準温度における周波数frとの差分ffrをfrで除した周波数変化比率ffr/frと規格化した温度との関係データである。概略的には3次曲線が膜厚を変えることにより、基準温度の周波数を中心として回転するという意味である。このため両特性の差分値は、温度値に対して感度が大きいということが言える。なお、このように各水晶振動子の電極の膜厚が異なるように構成する代わりに、各水晶振動子10、20を構成する電極の面積が異なるか、または各水晶振動子10、20を構成する水晶片Xbの厚さが異なるように構成することで、第1の発振回路1、第2の発振回路2の出力周波数を互いにずらしてもよい。なお、このようなオーバートーンの出力を得る場合には、例えば水晶振動子と増幅器とからなる発振ループ内にオーバートーンの同調回路を設けて、発振ループをオーバートーンで発振させてもよい。あるいは発振ループについては基本波で発振させ、発振段の後段、例えばコルピッツ回路の一部である増幅器の後段にC級増幅器を設けてこのC級増幅器により基本波を歪ませると共にC級増幅器の後段にオーバートーンに同調する同調回路を設けて、結果として発振回路1、2からいずれも例えば3次オーバートーンの発振周波数を出力するようにしてもよい。ここで便宜上、第1の発振回路1から周波数f1の周波数信号が出力され、第2の発振回路2から周波数f2の周波数信号が出力されるものとすると、周波数f1の周波数信号は、前記制御回路部200に基準クロックとして供給される。3は周波数差検出部であり、この周波数差検出部3は概略的な言い方をすれば、f1とf2との差分と、Δfrとの差分である、ΔF=f2-f1-Δfrを取り出すための回路部である。Δfrは、基準温度例えば25°Cにおけるf1とf2との差分である。f1とf2との差分の一例を挙げれば、例えば数MHzである。本発明は、周波数差検出部3により前記ΔFを計算することにより成り立つが、この実施形態の場合、より詳しく言えば、周波数差検出部3は後述のOSC2-OSC1={f2-f2r/f2r}-{f1-f1r/f1r}を計算する。しかしながらこの段階では周波数差検出部3の動作及び実施形態の全体の流れの理解を容易にするために、周波数差検出部3はΔF=f2-f1-Δfrを取り出す回路として説明を進めることとし、また図面中もこのような表示で統一する。図2は、周波数差検出部3の具体例を示している。31はフリップフロップ回路F/F回路であり、このフリップフロップ回路31の一方の入力端に第1の発振回路1からの周波数f1の周波数信号が入力され、他方の入力端に第2の発振回路2から周波数f2の周波数信号が入力され、第1の発振回路1からの周波数f1の周波数信号により第2の発振回路2からの周波数f2の周波数信号をラッチする。以下において記載の冗長を避けるために、f1、f2は、周波数あるいは周波数信号そのものを表しているとして取り扱う。フリップフロップ回路31は、f1とf2との周波数差の周波数をもつデューティ比が50のパルス信号を出力するように構成されている。フリップフロップ回路31の後段には、ワンショット回路32が設けられ、ワンショット回路32では、フリップフロップ回路31から得られたパルス信号における立ち上がりにてワンショットのパルスを出力する。図3a~dはここまでの一連の信号を示したタイムチャートである。ワンショット回路32の後段にはPLLPhaseLockedLoopが設けられ、このPLLは、ラッチ回路33、積分機能を有するループフィルタ34、加算部35及びDDS回路部36により構成されている。ラッチ回路33はDDS回路部36から出力された鋸波をワンショット回路32から出力されるパルスによりラッチするためのものであり、ラッチ回路33の出力は、前記パルスが出力されるタイミングにおける前記鋸波の信号レベルである。ループフィルタ34は、この信号レベルである直流電圧を積分し、加算部35はこの直流電圧とΔfrに対応する直流電圧と加算する。Δfrに対応する直流電圧に対応するデータは図2に示すメモリ30に格納されている。この例では加算部35における符号は、Δfrに対応する直流電圧の入力側がであり、ループフィルタ34の出力電圧の入力側が-となっている。DDS回路部には、加算部35にて演算された直流電圧、即ちΔfrに対応する直流電圧からループフィルタ34の出力電圧を差し引いた電圧が入力され、この電圧値に応じた周波数の鋸波が出力される。PLLの動作の理解を容易にするために図4に極めて模式的に各部の出力の様子を示しておく。装置の立ち上げ時には、Δfrに対応する直流電圧が加算部35を通じてDDS回路部36に入力され、例えばΔfrが5MHzであるとすると、この周波数に応じた周波数の鋸波がDDS36から出力される。前記鋸波がラッチ回路33によりf2-f1に対応する周波数のパルスでラッチされるが、f2-f1が例えば6MHzであるとすると、鋸波よりもラッチ用のパルスの周期が短いことから、鋸波のラッチポイントは図4aに示すように徐々に下がっていき、ラッチ回路33の出力及びループフィルタ34の出力は図4b、cに示すように-側に徐々に下がっていく。加算部35におけるループフィルタ34の出力側の符号が-であることから、加算部35からDDS回路部36に入力される直流電圧が上昇する。このためDDS回路部36から出力される鋸波の周波数が高くなり、DDS回路部36に6MHzに対応する直流電圧が入力されたときに、鋸波の周波数が6MHzとなって図5a~cに示すようにPLLがロックされる。このときにループフィルタ34から出力される直流電圧は、Δfr-f2-f1=-1MHzに対応した値となる。つまりループフィルタ34の積分値は、5MHzから6MHzへ鋸波が変化するときの1MHzの変化分の積分値に相当するということができる。この例とは逆に、Δfrが6MHz、f2-f1が5MHzの場合には、鋸波よりもラッチ用のパルスの周期が長いために、図4aに示すラッチポイントは徐々に高くなり、これに伴い、ラッチ回路33の出力及びループフィルタ34の出力も上昇する。このため加算部35において差し引かれる値が大きくなるので、鋸波の周波数が徐々に下がり、やがてf2-f1と同じ5MHzとなったときにPLLがロックされる。このときにループフィルタ34から出力される直流電圧は、Δfr-f2-f1=1MHzに対応した値となる。なお、f1とf2との周波数差f2-f1が40ppmである場合において、実際の回路に組み込まれたラッチ回路33及びループフィルタ34の出力値を図6に示しておく。この例では時刻t0にてPLLがロックしている。またフリップフロップ31においてf2をf1によりラッチする動作は非同期であることから、メタステーブル入力データをクロックのエッジでラッチする際、ラッチするエッジの前後一定時間は入力データを保持する必要があるが、クロックと入力データとがほぼ同時に変化することで出力が不安定になる状態など不定区間が生じる可能性もあり、ループフィルタ34の出力には瞬間誤差が含まれる可能性がある。上記のPLLではループフィルタ34の出力を、温度に対応する値であるΔfrとf2-f1との差分として取り扱っていることから、ループフィルタ34の出力側に、予め設定した時間における入力値の移動平均を求める平均化回路37を設け、前記瞬間誤差が生じても取り除くようにしている。平均化回路37を設けることにより、最終的に変動温度分の周波数ずれ情報を高精度に取得することができる。PLLのループフィルタ34にて得られた変動温度分の周波数ずれ情報、この例ではΔfr-f2-f1は、図1に示す補正値取得部である補正値演算部4に入力され、ここで周波数の補正値が演算される。補正値演算部4に関して述べる前に図7から図10を参照して周波数ずれ情報と周波数補正値とについて説明する。図7は、f1及びf2を基準温度で正規化し、温度と周波数との関係を示す特性図である。ここでいう正規化とは、例えば25°Cを基準温度とし、温度と周波数との関係について基準温度における周波数をゼロとし、基準温度における周波数からの周波数のずれ分と温度との関係を求めることを意味している。第1の発振回路1における25°Cのときの周波数をf1r、第2の発振回路2における25°Cのときの周波数をf2rとすると、つまり25°Cにおけるf1、f2の値を夫々f1r、f2rとすると、図7の縦軸の値はf1-f1r及びf2-f2rということになる。また図8は、図7に示した各温度の周波数について、基準温度25°Cにおける周波数に対する変化率を表わしている。従って図8の縦軸の値は、f1-f1r/f1r及びf2-f2r/f2rであり、これらの値を夫々OSC1及びOSC2で表わすこととする。なお図8の縦軸の値の単位はppmである。ここで周波数差検出部3の説明に戻ると、既述のようにこの実施形態では周波数差検出部3は、f2-f2r-f1-f1r=f2-f1-Δfr、そのもの値ではなく、OSC2-OSC1を求める演算を行っている。つまり、各周波数が基準温度からどのくらいの比率で外れているかを示す比率の値について、f2における比率とf1における比率との差分を求めているということである。ラッチ回路33にはf2-f1に対応する周波数信号が入力されるが、PLLループの中には鋸波が入ってくることから、このような計算を行うように回路を組むことができる。周波数差検出部3の出力が34ビットのディジタル値であるとすると、例えば1ビット当たり0.058ppbの値を割り当てており、OSC2-OSC1の値は、0.058ppbまでの精度が得られていることになる。なお1ビット当たり0.058ppbの値に設定できる根拠は、後述の2~4式に基づく。この段階で図6の説明をすると、図6はf1とf2との周波数差正確には周波数の変化率の差OSC2-OSC1が40ppmである場合において、実際の回路に組み込まれたラッチ回路33及びループフィルタ34の出力値である。図9は、OSC1と温度との関係図8と同じである、及びOSC2-OSC1と温度との関係を示しており、OSC2-OSC1が温度に対して直線関係にあることが分かる。従ってOSC2-OSC1は基準温度からの温度変動ずれ分に対応していることが分かる。そして一般的には水晶振動子の周波数温度特性は3次関数で表わされると言われていることから、この3次関数による周波数変動分を相殺する周波数補正値とOSC2-OSC1との関係を求めておけば、OSC2-OSC1の検出値に基づいて周波数補正値が求まることになる。この実施形態の発振装置は、既述のように第1の発振回路1から得られる周波数信号f1を図1に示す制御回路部200の基準クロックとして用いており、この基準クロックに周波数温度特性が存在することから、基準クロックの周波数に対して温度補正を行おうとしている。このため先ず基準温度で正規化した、温度とf1との関係を示す関数を予め求めておき、この関数によるf1の周波数変動分を相殺するための関数を図10のように求めておく。従って図10の縦軸は-OSC1である。この例では温度補正を高精度に行うために前記関数を例えば9次関数として定めている。既述のように温度とOSC2-OSC1とが直線関係にあることから、図10の横軸は、OSC2-OSC1の値としているが、OSC2-OSC1の値をそのまま用いると、この値を特定するためのデータ量が多くなることから、次のようにしてOSC2-OSC1の値を正規化している。即ち、発振装置が実際に使用されるであろう上限温度及び下限温度を定めておき、上限温度のときのOSC2-OSC1の値を1、下限温度のときのOSC2-OSC1の値を-1として取り扱っている。この例では図10に示すように-30ppmを1とし、30ppmを-1としている。水晶振動子における温度に対する周波数特性は、この例では9次の多項近似式として取り扱っている。具体的には、水晶振動子の生産時にOSC2-OSC1と温度との関係を実測により取得し、この実測データから、温度に対する周波数変動分を相殺する、温度と-OSC1との関係を示す補正周波数曲線を導き出し、最小二乗法により9次の多項近似式係数を導き出している。そして多項近似式係数を予めメモリ30図1参照に記憶しておき、補正値演算部4は、これら多項近似式係数を用いて1式の演算処理を行う。Y=P1X9P2X8P3X7P4X6P5X5P6X4P7X3P8X2P9X.........11式においてXは周波数差検出情報、Yは補正データ、P1~P9は多項近似式係数である。ここで、Xは図1に示す周波数差検出部3により得られた値、即ち図2に示す平均化回路37により得られた値OSC2-OSC1である。補正値演算部4にて演算を実行するためのブロック図の一例を図11に示す。図11中、401~409は1式の各項の演算を行う演算部、400は加算部、410は丸め処理を行う回路である。なお、補正値演算部4は、例えば1個の掛け算部を用い、この掛け算部にて9乗項の値を求め、次に当該掛け算部にて8乗項の値を求めるといった具合に、当該掛け算部をいわば使いまわして最終的に各乗項の値を加算するようにしてもよい。また補正値の演算式は9次の多項近似式を用いることに限定されるものではなく、要求される精度に応じた次数の近似式を用いてもよい。次に上述の実施の形態の全体の動作についてまとめる。第1の発振回路1から出力される周波数信号は、電圧制御発振器100の制御回路部200にクロック信号として供給され、本実施形態の冒頭に述べたように制御回路部200における制御動作により電圧制御発振器100から目的とする周波数の周波数信号が出力される。一方第1の発振回路1及び第2の発振回路2から夫々出力される周波数信号f1、f2は、周波数差検出部3に入力され、既に詳述した動作によりこの例では周波数差検出部3の出力であるPLLの出力が{Δfr-f2-f1}に対応する値になったときにロックする。そしてこの値が補正値演算部4に入力され、1式の演算が実行されて温度補正データである周波数補正分が得られる。1式の演算は、例えば図10に示す特性図において、周波数差検出部3の出力値に基づいて得られた値に対応する補正周波数曲線の縦軸の値を求める処理である。図1に示すように第1の水晶振動子10及び第2の水晶振動子20は共通の水晶片Xbを用いて構成され、互いに熱的に結合されていることから、発振回路11、12の周波数差は、環境温度に極めて正確に対応した値であり、従って周波数差検出部3の出力は、環境温度と基準温度この例では25°Cとの温度差情報である。第1の発振回路11の出力される周波数信号f1は制御回路部200のメインクロックとして使用されるものであることから、補正値演算部4にて得られた補正値は、温度が25°Cからずれたことによるf1の周波数ずれ分に基づく制御回路部200の動作への影響を相殺するために制御回路部200の動作を補償するための信号として用いられる。この結果、本実施形態の発振装置の出力である電圧制御発振器100の出力周波数が温度変動にかかわらず安定したものとなる。以上のように上述実施の形態によれば、動作クロック自身が温度変動しているにもかかわらず変動温度分に対応した正確な周波数ずれ情報を得ることができ、この結果高安定、高精度の発振装置を実現することができる。またf1とf1rとの差分に対応する値と、f2とf2rとの差分に対応する値と、の差分値を周波数差検出情報変動温度分の周波数ずれ情報としているため、特許文献1のようにf1≒f2に調整する煩わしい作業を必要とせず、また水晶振動子の歩留まりが低くなるという問題もない。そして、f1、f2は、各水晶振動子のオーバートーンを用いている。温度に対する周波数の変動分は基本波よりもオーバートーンの方が大きく、また前記差分値に対応する値と温度との相関度が極めて良好であることから、出力周波数の温度補償を高精度に行うことができる。そして周波数差検出情報を求めるために、f1とf2との差分周波数のパルスを作成し、DDS回路部36から出力された鋸波信号を前記パルスによりラッチ回路33でラッチし、ラッチされた信号値を積分してその積分値を前記周波数差として出力すると共に、この出力とf1rとf2rとの差分に対応する値との差分を取り出して、前記DDS回路部36に入力してPLLを構成している。特許文献1のようにf1、f2をカウントしてその差分を取得する場合には、カウント時間が検出精度に直接影響するが、このような構成では、このような問題がないため検出精度が高い。実際に両者の方式をシミュレーションにより比較し、周波数をカウントする方式においては200msのカウント時間を設定したところ、検出精度について本実施形態の方式の方が約50倍高いという結果を得た。また本実施形態のPLLの場合には、従来のDDS回路部のように正弦波ROMテーブルを持たないため、メモリ容量を小さくできる利点があり、装置の規模を小さくできる。また変動温度分の周波数ずれ情報に基づいて周波数の補正値を演算処理により求めているため、容量の大きなメモリが不要であり、この点からも装置の規模を小さくでき、コストを抑えることができる。このように補正値演算部4にて得られた補正値に基づいて、DDS回路部201を含むと共にPLLを構成する制御回路部200が、電圧制御発振器100を制御するが、このPLLのダイナミックレンジは、電圧制御発振器100の温度特性を含む電圧制御発振器100の偏差を許容できることが必要である。また、上記の発振装置において、例えば電圧制御発振器100は水晶振動子により構成され、分周器204は可変分周器として構成される。そのような構成とすることで、温度補償部、制御回路部200の回路構成を変えることなく、分周器204の分周数及び電圧制御発振器100を構成する水晶振動子を変更するだけで任意の周波数を出力する発振装置を製造することができる。従って、各出力周波数に対応した発振装置の製造が容易であるという利点がある。第1の水晶振動子10及び第2の水晶振動子20は1枚の水晶片Xbにより構成されているため、同じ環境に置かれる結果として前記周波数差検出情報であるΔf-f2-f1が精度高く算出することができる。また、この実施形態において、周波数差検出部3、補正値演算部4、DDS回路部201及び制御回路部200を構成する分周器204、位相比較回路205及びループフィルタ206が、ディジタル信号により制御されるように発振装置を構成することができ、そのようにすれば、さらに発振装置を高精度に制御することができる。そして、このようにディジタル信号により各回路を制御する場合であっても、上記の発振装置はPLLによるVCXO制御を実施するために位相雑音特性に優れる。また、上記の発振装置は、例えばOCXO並の周波数精度を実現できるが、オーブンを必要としないため、OCXOに比べて消費電力が小さいという利点がある。さらに、この実施形態では、第1の水晶振動子10、第2の水晶振動子20の周波数差を検出するために、これら各水晶振動子10、20の発振周波数を厳密に合わせ込む必要が無いことや、背景技術の項目で述べた製造ラインにおいて恒温槽を使用し、厳密に温度管理を行った上で周波数を測定する必要が無いことから生産が容易であるという利点がある。また、電圧制御発振器100を構成する水晶振動子も、例えば特別な加工を行うこと無く、通常のものを用いることができるので、生産上の負荷を増やすことがないという利点がある。ここで図2の回路を用いて周波数差検出部3の出力である周波数差情報と時間との関係を調べた結果を図12に示しておく。ここでは、第1の水晶振動子10の電極の膜厚と、第2の水晶振動子20の電極の膜厚とを異なるように構成し、第1の水晶振動子10の基本波が27.3MHzで、第2の水晶振動子20の基本波が25.56MHzになるように設定している。そして、第1の発振回路1、第2の発振回路2からはこれら基本波の3倍のオーバートーンが出力され、f1が81.9MHz、f2が76.69MHzである。また、この場合、周波数差情報はOSC2-OSC1となるように設定されており、この値は50ppmである。繰り返しの説明になるが、この実施形態ではf1とf1rとの差分に対応する値とは、{f1-f1r/f1r}=OSC1であり、f2とf2rとの差分に対応する値とは{f2-f2r/f2r}=OSC2であり、f1とf1rとの差分に対応する値と、f2とf2rとの差分に対応する値と、の差分値に対応する値とは、OSC2-OSC1である。しかしながら周波数差検出部3は、f1とf1rとの差分に対応する値と、f2とf2rとの差分に対応する値と、の差分値に対応する値として、f1-f1rとf2-f2rとの差分値そのものを用いてもよく、この場合には、図7のグラフが活用されて温度が求められることになる。上述の実施形態において、図8から図10の説明では、周波数の変化分をppm単位で表示しているが、実際のデジタル回路では全て2進数での扱いとなるため、DDS回路36の周波数設定精度は構成ビット数で計算され、例えば34ビットである。一例を挙げると、図1に示す制御回路部200に含まれるDDS回路部201に10MHzのクロックを供給する場合においてこのクロックの変動周波数が100Hzの場合変動比率計算100Hz/10MHz=0.00001ppm換算0.000011e6=10ppmDDS設定精度換算0.000012^34≒171,799ratio-34bit仮称となる。上記の構成の場合、前記周波数設定精度は次の2式で表わされる。1×ratio-34bit=10MHz/2^34≒0.58mHz/bit......2従って100Hz/0.58mHz/bit≒171,799bitratio-34bitとなる。また、0.58mHzは10MHzに対して、次の3式のように計算できる。0.58mHz/10MHz1e9≒0.058ppb...3従って2、3式から、4式の関係が成り立つ。1e9/2^34=0.058ppb/ratio-34bit...4即ちDDS回路36で処理した周波数は消え、ビット数のみの関係となる。更にまた上述の例では第1の水晶振動子10及び第2の水晶振動子20とは共通の水晶片Xbを用いているが、水晶片Xbが共通化されていなくてもよい。この場合、例えば共通の筐体の中に第1の水晶振動子10及び第2の水晶振動子20を配置する例を挙げることができる。このような構成によれば、実質同一の温度環境下に置かれるため、同様の効果が得られる。このように個別の水晶片を用いる場合には、各水晶振動子間で電極膜の厚さや、電極膜の面積、水晶片の厚さを互いに変えたりする他にも、水晶片に異なる面取り加工を行うことによりf1、f2を互いにずらすことができる。また、上記の例ではf1と、f2とが夫々水晶振動子10、20の3次のオーバートーンであるが、f1、f2が互いに異なる次数のオーバートーンであってもよく、例えばf1が水晶振動子10の3次のオーバートーンであり、f2が水晶振動子20の5次のオーバートーンであってもよい。周波数差検出部3のDDS回路部36の出力信号は、鋸波に限ることなく、時間と共に信号値が増加、減少を繰り返す周波数信号であればよく、例えば正弦波であってもよい。また周波数差検出部3としては、f1とf2とをカウンタによりカウントし、そのカウント値の差分値からΔfrに相当する値を差し引いて、得られたカウント値に対応する値を出力するようにしてもよい。補正値演算部4にて求めた補正値は、上述の実施形態のように用いることに限定されるものではなく、発振装置の出力周波数が温度で変動する場合に、補正値を用いて出力周波数の変動分を相殺できるように補償できる構成であれば他の手法で補正してもよい。例えば図13に示すTCXOにおいて、温度検出器94の出力に代えて周波数差検出部3で得られた周波数差情報を用い、この情報に基づいて周波数補正量に見合う制御電圧の補償分を求め、制御電圧発生部93にて前記補償分と基準温度における周波数を出力するための基準電圧とを加算して制御電圧としてもよい。周波数差情報から周波数補正量を求める手法は、先の実施形態のように多項近似式に限らず、メモリに予め周波数差情報と周波数補正量との関係を示すテーブルを格納して、このテーブルを参照する手法であってもよい。以上の実施の形態では、第1の水晶振動子10と第2の水晶振動子20との周波数差をいわば温度計測値として用い、この温度計測値に基づいて第1の水晶振動子10の温度変動に対する周波数補正値を求めている。しかし本発明は、周波数補正の対象となる水晶振動子と、いわば温度計を構成する2つの水晶振動子の一方とを共通化しない構成を取った場合にも特許請求の技術的範囲に含まれる。この場合の前記補正値取得部は、周波数差検出部にて検出された前記差分値に対応する値と、前記差分値に対応する値と第1の発振回路の発振周波数f1の周波数補正値と、の関係に基づいて、f1の周波数補正値を取得することに代えて、周波数差検出部にて検出された前記差分値に対応する値と、前記差分値に対応する値と第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子とは異なる他の水晶振動子を発振させる他の発振回路の発振周波数f0の周波数補正値と、の関係に基づいて、f0の周波数補正値を取得するものであるということができる。"