"照射された光を反射するミラー部と、前記ミラー部を囲うように間隙を有して配置されたジンバル部と、前記ジンバル部を囲うように間隙を有して配置されたフレーム部と、前記ミラー部と前記ジンバル部とを接続する一対の第1トーションバー部と、前記ジンバル部と前記フレーム部とを接続する一対の第2トーションバー部と、を備え、前記一対の第2トーションバー部は、所定の材料から構成された第3トーションバー部と、前記所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第4トーションバー部と、をそれぞれ有して構成されていることを特徴とする2次元光偏向器。前記一対の第1トーションバー部は、一方の第1トーションバー部と他方の第1トーションバー部とが、前記ミラー部の重心を通る第1の回転軸方向に、前記重心に対して互いに点対称に配置されており、前記一対の第2トーションバー部は、一方の第2トーションバー部と他方の第2トーションバー部とが、前記ミラー部の重心を通り、かつ、前記第1の回転軸に直交する第2の回転軸方向に、前記重心に対して互いに点対称に配置されており、前記ミラー部を前記第1の回転軸回り及び前記第2の回転軸回りにそれぞれ回転駆動させる駆動手段をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載の2次元光偏向器。前記一対の第2トーションバー部は、前記第3トーションバー部がそれぞれミアンダ構造を有し、前記第4トーションバー部がそれぞれ直線形状の構造を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の2次元光偏向器。請求項2又は3に記載の2次元光偏向器と、前記2次元光偏向器のミラー部に向けて前記光を射出する光源と、前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、を備え、前記光は、前記ミラー部で反射されて、前記第1の回転軸を回転軸として水平方向に偏向されると共に、前記第2の回転軸を回転軸として垂直方向に偏向されることを特徴とする画像表示装置。前記光源は、入力される輝度変調信号に応じて射出する光の光量を制御し、前記駆動制御手段は、前記輝度変調信号に同期して前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項4記載の画像表示装置。2つの1次元光偏向器を用いる画像表示装置は、2つの1次元光偏向器を、水平方向及び垂直方向のそれぞれの走査周波数に適した構造、材料、及び駆動方式でそれぞれ作製することができるので、特に、水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対して適している。反面、それぞれの光偏向器のミラー部でレーザ光を水平方向と垂直方向に合計2回反射させるため、光量が減衰して画像が暗くなったり、水平方向と垂直方向の光軸調整等が必要になるので画像表示するためのシステムの構成が煩雑になるというデメリットを有する。一方、2次元光偏向器を用いる画像表示装置は、共通のミラー部により1回の反射でレーザ光を水平方向及び垂直方向に走査することができるので、2つの1次元光偏向器を用いる画像表示装置よりも光量の減衰が低減されるため、明るい画像、即ちダイナミックレンジの広い画像が得られ、水平方向と垂直方向の光軸調整等が不要になるので画像表示するためのシステムの構成が簡単になるというメリットを有する。反面、特に、水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対して次の課題を有する。数kHz~数十kHzの走査周波数でレーザ光を水平方向に走査する際、通常、その光偏向器の共振周波数を用いて低電力でミラー部を駆動させる。一方、数十Hzの走査周波数でレーザ光を垂直方向に走査する際、垂直方向の走査はリフレッシュレートで決定され、例えば60Hz程度の走査周波数となる。さらに画像信号と同期させるためには、垂直方向の走査周波数を電気的に制御する必要があるので、共振周波数を数百Hz程度に設定して直流駆動に近い状態で駆動させることになる。このように、共振周波数が数十kHzの構造と数百Hzの構造とを同一基板上、例えば同一シリコン基板上に形成するには、水平方向走査用のトーションバーに対して垂直方向走査用のトーションバーをより細く、及び/又はより長くする必要があり、垂直方向走査用のトーションバーの機械的強度が悪化して破損しやすくなり、扱いにくい光偏向器となってしまう。そこで、本発明は、水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供することを目的とする。上記の課題を解決するために、本発明は次の2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。1照射された光を反射するミラー部2と、前記ミラー部2を囲うように間隙3を有して配置されたジンバル部4と、前記ジンバル部4を囲うように間隙5を有して配置されたフレーム部6と、前記ミラー部2と前記ジンバル部4とを接続する一対の第1トーションバー部7a,7bと、前記ジンバル部4と前記フレーム部6とを接続する一対の第2トーションバー部8a~8d,9a,9bと、を備え、前記一対の第2トーションバー部8a~8d,9a,9bは、所定の材料から構成された第3トーションバー部8a~8dと、前記所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第4トーションバー部9a,9bと、をそれぞれ有して構成されていることを特徴とする2次元光偏向器1。2前記一対の第1トーションバー部7a,7bは、一方の第1トーションバー部と7a他方の第1トーションバー部7bとが、前記ミラー部2の重心Oaを通る第1の回転軸Ya方向に、前記重心Oaに対して互いに点対称に配置されており、前記一対の第2トーションバー部8a~8d,9a,9bは、一方の第2トーションバー部8a,8b,9aと他方の第2トーションバー部8c,8d,9bとが、前記ミラー部2の重心Oaを通り、かつ、前記第1の回転軸Yaに直交する第2の回転軸Xa方向に、前記重心Oaに対して互いに点対称に配置されており、前記ミラー部2を前記第1の回転軸Ya回り及び前記第2の回転軸Xa回りにそれぞれ回転駆動させる駆動手段をさらに備えていることを特徴とする1記載の2次元光偏向器1。3前記一対の第2トーションバー部9a,9b,31a~31dは、前記第3トーションバー部31a~31dがそれぞれミアンダ構造を有し、前記第4トーションバー部9a,9bがそれぞれ直線形状の構造を有することを特徴とする1又は2に記載の2次元光偏向器30。42又は3に記載の2次元光偏向器と、前記2次元光偏向器のミラー部に向けて前記光Lを射出する光源41と、前記駆動手段を制御する駆動制御手段42と、を備え、前記光Lは、前記ミラー部2で反射されて、前記第1の回転軸Yを回転軸として水平方向に偏向されると共に、前記第2の回転軸Xを回転軸として垂直方向に偏向されることを特徴とする画像表示装置40。5前記光源41は、入力される輝度変調信号に応じて射出する光Lの光量を制御し、前記駆動制御手段42は、前記輝度変調信号に同期して前記駆動手段を制御することを特徴とする4記載の画像表示装置40。本発明によれば、水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくいという効果を奏する。本発明の好ましい実施の形態を、図1~図4を用いて説明する。<第1の実施の形態>図1に示すように、2次元光偏向器1は、照射されたレーザ光を反射するミラー部2と、ミラー部2を囲うように間隙3を有して配置されたジンバル部4と、ジンバル部4を囲うように間隙5を有して配置されたフレーム部6と、ミラー部2とジンバル部4とを接続する一対のトーションバー部7a,7bと、ジンバル部4とフレーム部6とを接続する一対のトーションバー部8a,8b,9a、8c,8d,9bと、を備えている。トーションバー部7aとトーションバー部7bとは、ミラー部2の重心Oaを通る回転軸水平走査軸Ya方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部8a,8bとトーションバー部8c,8bとは、ミラー部2の重心Oaを通り、かつ、回転軸Yaに直交する回転軸垂直走査軸Xa方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部9aとトーションバー部9bとは、回転軸Xa方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部7a,7b,8a~8d,9a,9bはそれぞれ捩じればね性を有している。ミラー部2、ジンバル部4、フレーム部6、及びトーションバー部7a,7b,8a~8dは、例えばSOISilicononInsulator等のシリコンSiウエハを周知の半導体プロセスを用いて加工することにより、一体に形成されている。ジンバル部4及びフレーム部6は、たわみ変形等を防止するために、ミラー部2及びトーションバー部7a,7b,8a~8dよりも厚く形成されている。ところで、トーションバー部7a,7b,8a~8dは、それぞれシリコンで形成されており、シリコンは脆性破壊材料であるため、最大ひずみ応力を超えた応力が作用した場合に簡単に破損してしまう。それに対して、トーションバー部9a,9bは、展延性材料で構成されており、かつ、ジンバル部4が動作する範囲内でのひずみ変形が、その材料の弾性領域内となるように寸法や材料を設計している。トーションバー部9a,9bを構成する展延性材料として、例えばポリイミド等の高分子材料が挙げられる。このような展延性材料は脆性破壊を起こしにくい。また、ポリイミド等の高分子材料は、一般的にシリコンと比較して弾性率が極めて小さいので、トーションバー部9a,9bをより太く、及び/またはより短く設計することが可能になる。トーションバー部9aは、例えば、トーションバー部9aとその一端側に形成されたパッド部10aとその他端側に形成されたパッド部10bとが一体になった構造体を作製し、パッド部10aをジンバル部4に接着等によって固定し、パッド部10bをフレーム部6に接着等によって固定することにより、間隙5の回転軸垂直走査軸Xa上に配置される。同様に、トーションバー部9bは、例えばトーションバー部9bとその一端側に形成されたパッド部10cとその他端側に形成されたパッド部10dとが一体になった構造体を作製し、パッド部10cをジンバル部4に接着等によって固定し、パッド部10dをフレーム部6に接着等によって固定することにより、間隙5の回転軸垂直走査軸Xa上に配置される。次に、上述した2次元光偏向器1のミラー部2の駆動方法について説明する。まず、Yaを回転軸とする、ミラー部2の水平方向図1における左右方向の駆動について同じく図1を用いて説明する。ミラー部2は、ミラー部2及びトーションバー部7a,7bの構造設計により決定される共振周波数の駆動力を、Yaが回転軸となるようにミラー部2に印加することによって、水平方向図1における左右方向に駆動する。上述の駆動力は、例えばミラー部2における、レーザ光を反射する反射面とは反対側の裏面に形成された電磁コイルに電流を供給し、外部磁界によるローレンツ力を用いることによって発生させることができる。上述の駆動力を発生させる他の方法として、ジンバル部4に電磁力、静電力、又は圧電力等の偶力の振動を与え、その振動をトーションバー部7a,7bを介してミラー部2に伝達させる方法がある。上述したように、ミラー部2をその構造体の共振周波数で駆動するため、高い共振周波数であっても少ない駆動電力で、ミラー部2を水平方向図1における左右方向に大きな偏向角を有して駆動させることができる。そして、ミラー部2が水平方向に駆動している状態でミラー部2にレーザ光を照射することによって、レーザ光を水平方向に大きな偏向角を有して走査することができる。次に、Xaを回転軸とする、ミラー部2の垂直方向図1における上下方向の駆動について同じく図1を用いて説明する。ミラー部2は、Xaが回転軸となるようにジンバル部4に偶力の駆動力を印加することによって、ジンバル部4と共に垂直方向図1における上下方向に駆動する。上述の駆動力は、ジンバル部4に電磁力、静電力、又は圧電力等の偶力を印加することによって発生させることができる。そして、ミラー部2が垂直方向に駆動している状態でミラー部2にレーザ光を照射することによって、レーザ光を垂直方向に走査することができる。垂直方向の走査の画像リフレッシュレートに相当する周波数60Hz程度でレーザ光をラスタースキャンできるように、ジンバル部4に駆動力を印加する。垂直方向の走査は非共振駆動させることが望ましい。そのため、ジンバル部4に大きな駆動力を印加可能な手段を用いる。また、駆動力が大きくても変位が小さい駆動では大きな偏向角が得られないので、圧電力を用いた駆動よりも電磁力を用いた駆動の方が好ましい。このような電磁力を用いた駆動は、例えばジンバル部4に形成された電磁コイルに電流を供給し、外部磁界によるローレンツ力を用いることによって行うことができる。なお、正弦波駆動で画像を表示することも可能であるが、正弦波ではその非直線領域では上下の画像が縮んでしまう。そのため、非直線領域では画像信号をカットする必要があり、高い解像度を得ることが難しい。また、機械的な往復振動での偏向動作では完全なラスタースキャンは難しい。そこで、駆動周波数に対して共振周波数を高めに設定し、共振振動をカットできるフィルタ回路を用いる等によって、よりラスタースキャンに近い動作が可能にすることによって、より解像度の高い画像を得ることができる。上述したように、ミラー部2を、Yaを回転軸として水平方向に駆動する場合は、軽いミラー部2のみを駆動すればよいので、その構造体の共振周波数例えば数kHz~数十kHzの範囲で駆動することが好ましく、その結果、高い共振周波数であっても少ない駆動電力で、ミラー部2を水平方向図1における左右方向に大きな偏向角を有して駆動させることができる。そして、ミラー部2が水平方向に駆動している状態でミラー部2にレーザ光を照射することによって、レーザ光を水平方向に大きな偏向角を有して走査することができる。一方、ミラー部2を、Xaを回転軸として垂直方向に駆動する場合は、重いジンバル部4と共に駆動しなければならないので、かつ、垂直方向の走査の画像リフレッシュレートに相当する周波数60Hz程度で駆動しなければならないので、のこぎり波状の波形駆動をすることが好ましい。そのため、ミラー部2ジンバル部4を、共振駆動ではなくて非共振で駆動させることが望ましく、垂直方向の共振周波数としては数百Hz程度に設定する必要がある。垂直方向の共振周波数を数百Hz程度に設定する場合、例えばシリコンからなるトーションバー部8a~8dのみの構成で設計すると、トーションバー部8a~8dの形状は細く、及び/または長くなるため、シリコンの脆性により、トーションバー部8a~8dに瞬間的に大きな力が加わると、容易に破損してしまう。通常の動作のときには、シリコンのせん断応力よりも低い範囲で動作させるように設計しているので破損しにくい。しかしながら、例えば製造過程のハンドリング等で瞬間的に大きな力が加わってしまった場合には破損してしまうことがあり、製造歩留まり等を悪化させる要因となる。そこで、本発明に係る実施の形態では、ミラー部2を、Xaを回転軸として垂直方向に駆動する場合に、トーションバー部8a~8dに加えて、展延性材料で構成され、かつ、ジンバル部4が動作する範囲内でのひずみ変形が、その材料の弾性領域内となるように寸法や材料が設計されたトーションバー部9a,9bを用いた構成としている。例えばポリイミド等の高分子材料からなる展延性材料は脆性破壊を起こしにくいので、トーションバー部9a,9bを、例えばシリコンからなるトーションバー部8a~8dと併用して用いることにより、垂直方向の駆動共振周波数の設計の自由度が向上する。詳しくは、例えばシリコンからなるトーションバー部8a~8dの幅及び長さ、並びに、例えばポリイミド等の脆性破壊を起こしにくい展延性材料からなるトーションバー部9a,9bの幅及び長さをそれぞれ設定することにより、垂直方向の駆動共振周波数を設定することができる。また、トーションバー部9a,9bは、ポリイミド等の、トーションバー部8a~8dよりも弾性率の低い材料を用いることにより、トーションバー部8a~8dよりも太く、及び/または短く設計することができる。その結果、Xaを回転軸として垂直方向に駆動する場合のトーションバー部8a~8dの機械的強度をトーションバー部9a,9bによって補強することができるので、トーションバー部8a~8dに瞬間的に加わる大きな力に対しての破損を抑制することができると共に、たわみ防止についての効果を有する。<第2の実施の形態>第2の実施の形態における2次元光偏向器20は、第1の実施の形態における2次元光偏向器1と比較して、ジンバル部4とフレーム部6とを接続する低弾性率のトーションバー部の構成及びその固定方法が相違し、それ以外は第1の実施の形態と同じなので、説明を分かりやすくするために第1の実施の形態と同じ構成部には同じ符号を付して説明する。図2に示すように、2次元光偏向器20は、照射されたレーザ光を反射するミラー部2と、ミラー部2を囲うように間隙3を有して配置されたジンバル部4と、ジンバル部4を囲うように間隙5を有して配置されたフレーム部6と、ミラー部2とジンバル部4とを接続する一対のトーションバー部7a,7bと、ジンバル部4とフレーム部6とを接続する一対のトーションバー部8a,8b,22a、8c,8d,22bと、を備えている。トーションバー部7aとトーションバー部7bとは、ミラー部2の重心Oaを通る回転軸水平走査軸Yb方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部8a,8bとトーションバー部8c,8bとは、ミラー部2の重心Oaを通り、かつ、回転軸Ybに直交する回転軸垂直走査軸Xb方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部22aとトーションバー部22bとは、回転軸Xb方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部7a,7b,8a,8b,22a、8c,8d,22bはそれぞれ捩じればね性を有している。ミラー部2、ジンバル部4、フレーム部6、及びトーションバー部7a,7b,8a~8dは、例えばSOISilicononInsulator等のシリコンSiウエハを周知の半導体プロセスを用いて加工することにより、一体に形成されている。ジンバル部4及びフレーム部6は、たわみ変形等を防止するために、ミラー部2及びトーションバー部7a,7b,8a~8dよりも厚く形成されている。ところで、トーションバー部7a,7b,8a~8dは、それぞれシリコンで形成されており、シリコンは脆性破壊材料であるため、最大ひずみ応力を超えた応力が作用した場合に簡単に破損してしまう。それに対して、トーションバー部22a,22bは、展延性材料で構成されており、かつ、ジンバル部4が動作する範囲内でのひずみ変形が、その材料の弾性領域内となるように寸法や材料を設計している。トーションバー部22a,22bを構成する展延性材料として、例えばサスペンションワイヤー等の金属材料が挙げられる。このような展延性材料は脆性破壊を起こしにくい。なお、サスペンションワイヤー等の金属材料は、一般的にシリコンと比較して弾性率にそれほど差がないので、ばね定数としての寸法はポリイミドのような低い弾性率のトーションバー部よりも細く、及び/または長く設計する必要があるものの、延性を有しているので、瞬間的に大きな力が加わっても破損しにくい。また、金属材料は塑性変形を起こすが、ジンバル部4の動作の範囲がそのときのトーションバー部22a,22bに加わるねじれ応力の最大値が弾性変形の範囲内になるように、トーションバー部22a,22bの寸法を設計すれば、通常の使用における塑性変形や金属疲労変形を起こしにくく、かつ、瞬間的に大きな力が加わったときに脆性破壊を起こしにくいので、第1の実施の形態と同様、シリコンで形成されたトーションバー部7a,7b,8a~8dの破損をトーションバー部22a,22bで抑制することができる。ジンバル部4には、トーションバー部22a,22bの一端側を位置決めするための溝部21a,21cが形成されている。フレーム部6には、トーションバー部22a,22bの他端側を位置決めするための溝部21b,21dが形成されている。トーションバー部22aは、その一端側が溝部21aに収容されて位置決めされ、例えば溝部21aを埋める接着剤23によってジンバル部4に固定されている。また、トーションバー部22aは、その他端側が溝部21bに収容されて位置決めされ、溝部21bを埋める接着剤23によってフレーム部6に固定されている。トーションバー部22bは、その一端側が溝部21cに収容されて位置決めされ、例えば溝部21cを埋める接着剤23によってジンバル部4に固定されている。また、トーションバー部22bは、その他端側が溝部21dに収容されて位置決めされ、溝部21dを埋める接着剤23によってフレーム部6に固定されている。これにより、トーションバー部22a,22bは、重心Oaを点対称として、間隙5における回転軸垂直走査軸Xb上に配置される。上述した2次元光偏向器20のミラー部2の駆動方法は、前述した第1の実施の形態における2次元光偏向器1のミラー部2の駆動方法と同じであるため、その説明を省略する。<第3の実施の形態>第3の実施の形態における2次元光偏向器30は、第1の実施の形態における2次元光偏向器1におけるトーションバー部8a~8dを折り返しのミアンダ構造にしたものであり、それ以外は第1の実施の形態と同じなので、説明を分かりやすくするために第1の実施の形態と同じ構成部には同じ符号を付して説明する。図3に示すように、2次元光偏向器30は、照射されたレーザ光を反射するミラー部2と、ミラー部2を囲うように間隙3を有して配置されたジンバル部4と、ジンバル部4を囲うように間隙5を有して配置されたフレーム部6と、ミラー部2とジンバル部4とを接続する一対のトーションバー部7a,7bと、ジンバル部4とフレーム部6とを接続する一対のトーションバー部31a,31b,9a、31c,31d,9bと、を備えている。トーションバー部7aとトーションバー部7bとは、ミラー部2の重心Oaを通る回転軸水平走査軸Yc方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部31a,31bとトーションバー部31c,31bとは、ミラー部2の重心Oaを通り、かつ、回転軸Ycに直交する回転軸垂直走査軸Xc方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部9aとトーションバー部9bとは、回転軸Xc方向に、重心Oaに対して点対称に配置されている。トーションバー部7a,7b,31a~31d,9a,9bはそれぞれ捩じればね性を有している。ミラー部2、ジンバル部4、フレーム部6、及びトーションバー部7a,7b,31a~31dは、例えばSOISilicononInsulator等のシリコンSiウエハを周知の半導体プロセスを用いて加工することにより、一体に形成されている。ジンバル部4及びフレーム部6は、たわみ変形等を防止するために、ミラー部2及びトーションバー部7a,7b,31a~31dよりも厚く形成されている。トーションバー部31a~31dは、折り返しのミアンダ構造を有する。トーションバー部31a~31dを、間隙5の空きスペースを有効利用した、折り返しのミアンダ構造とすることにより、2次元光偏向器30の外形サイズを大きくすることなく、トーションバー部31a~31dの長さを、前述したトーションバー部8a~8dの長さよりも長くすることができるので、その分、トーションバー部31a~31dを太くすることができたり、設計の自由度が向上する。そのため、水平方向の駆動共振周波数が数十kHzと高くても、水平方向駆動用のトーションバー部7a,7bと一体に形成されている垂直方向駆動用のトーションバー部31a~31dの共振周波数を数百Hzまで下げることが容易となる。上述した2次元光偏向器30のミラー部2の駆動方法は、前述した第1の実施の形態における2次元光偏向器1のミラー部2の駆動方法と同じであるため、その説明を省略する。一般的に、ミアンダ構造のトーションバー部を有する光偏向器では、MEMS構造体のチップサイズを大きくすること無く、トーションバー部の実質的な長さをより長くできるので、その分、トーションバー部の幅をより太く設計することが可能となり、結果として破損しにくい構造にすることができる。一方、ミアンダ構造のトーションバー部が撓み振動の影響を受けて回転軸図3においてはXcが安定せずに振れてしまう場合がある。そこで、本発明に係る実施の形態では、ミアンダ構造を有さない直線形状のトーションバー部9a,9bによって、ジンバル部4とフレーム部6との間に張力が作用した状態が維持されているので、ミアンダ構造のトーションバー部に係る撓み振動の影響を抑制することができる。トーションバー部9a,9bの材料に例えばポリイミド等の高分子材料を用いれば、弾性率が低いため、直線形状のトーションバー部としてもばね定数はあまり大きくならないので、トーションバー部9a,9bが延在する方向の回転軸図3においてはXcのばね定数が大きくなり過ぎることは無く、設計の余裕度が向上する。そのため、本発明に係る実施の形態では、ミラー部2をジンバル部4と共に安定した回転軸Xcで回転駆動させることができる。また、トーションバー部9a,9bに例えばサスペンションワイヤー等の金属材料を用いた場合は、そのトーションバー部が直線状としてばね定数を小さくするためには、より細く設計しなければならないが、金属材料は脆性破壊を起こしにくいため、細くても取り扱いが容易であり、製造過程における破損等を起こしにくい。次に、第1~第3の実施の形態として説明した2次元光偏向器1,20,30を用いた画像表示装置40について、図4を用いて説明する。なお、図4では、第1の実施の形態で説明した2次元光偏向器1を示しているが、この2次元光偏向器1に替えて、第2の実施の形態で説明した2次元光偏向器20または第3の実施の形態で説明した2次元光偏向器30を用いてもよいことは言うまでもない。図4に示すように、画像表示装置40は、前述した2次元光偏向器120,30と、2次元光偏向器120,30のミラー部2に向けてレーザ光Lを射出すると共に、入力される輝度変調信号に応じてレーザ光Lの光量を制御する光源41と、上記の輝度変調信号に同期して2次元光偏向器120,30のミラー部2を水平方向図4における左右方向及び垂直方向図4における上下方向にそれぞれ駆動制御する駆動制御部42と、を備えている。ミラー部2に照射されたレーザ光Lは、それぞれ所定の偏向角を有して水平方向及び垂直方向にそれぞれ走査され、スクリーン43等に画像として表示される。なお、図4では、ラスタースキャン方式により画像が表示される様子を模式的に示している。また、図4では、単色の画像を表示する例として示しているが、本発明に係る画像表示装置は上記の構成に限定されるものではない。例えば、赤R色レーザ光、緑G色レーザ光、及び青B色レーザ光をそれぞれ射出する3つの光源と、各光源にそれぞれ対応する3つの2次元光偏向器と、を備えた構成とすることにより、3つの2次元光偏向器でそれぞれ走査された各色光をスクリーン上で重畳させることによって、フルカラー画像が得られる。また、赤R色レーザ光、緑G色レーザ光、及び青B色レーザ光をそれぞれ射出する3つの光源と、各光源から射出されるレーザ光の射出タイミングをずらして共通の2次元光偏向器ミラー部で各色光を走査し、スクリーン上で重畳させることによって、フルカラー画像を得るようにしてもよい。また、共通の光源から、赤R色レーザ光、緑G色レーザ光、及び青B色レーザ光を射出タイミングをずらして射出し、共通の2次元光偏向器ミラー部で各色光を走査し、スクリーン上で重畳させることによって、フルカラー画像を得るようにしてもよい。本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。"