"被測定物を撮像する複数のカメラと、前記各カメラにより前記被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データを前記カメラのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて前記被測定物の三次元位置の測定を行う処理部とを有するステレオ撮像装置における前記各カメラのカメラパラメータを校正するカメラ校正方法において、複数の特徴点が設けられ前記各特徴点の相対位置が既知である校正器を、前記各カメラで撮像してそれぞれの校正用画像データを取得する撮像工程と、前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置を抽出する抽出工程と、前記抽出工程で得られた前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置および前記各特徴点の既知である相対位置から前記各カメラのカメラパラメータの初期値を算出する初期値算出工程と、ステレオ法により前記各カメラのカメラパラメータを用いて前記各校正用画像データにおける前記複数の特徴点のうち2つ以上の特徴点の三次元位置座標を算出する特徴点座標算出工程と、前記特徴点座標算出工程で算出された各特徴点の三次元位置座標から2つの特徴点の間の距離を算出する距離算出工程と、前記距離算出工程で算出された2つの特徴点の間の距離と、実際の2つの特徴点の間の距離との誤差を算出する誤差算出工程と、前記誤差算出工程で算出された誤差から前記各カメラのカメラパラメータの修正量を算出する修正量算出工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量の分、前記各カメラのカメラパラメータを修正するカメラパラメータ修正工程と、を備えたことを特徴とするカメラ校正方法。閾値を設定する閾値設定工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量と前記閾値設定工程で設定された閾値とを比較する比較工程と、を備え、前記比較工程による比較の結果、前記修正量算出工程で算出された修正量が前記閾値設定工程で設定された閾値を上回る場合、前記特徴点座標算出工程、前記距離算出工程、前記誤差算出工程、前記修正量算出工程及び前記カメラパラメータ修正工程を再度実行することを特徴とする請求項1に記載のカメラ校正方法。前記特徴点座標算出工程、前記距離算出工程、前記誤差算出工程、前記修正量算出工程及び前記カメラパラメータ修正工程の一連の工程を実行した数をカウントするカウント工程と、前記カウント工程におけるカウント数の上限を示すカウント数上限値を設定する上限値設定工程と、を備え、前記カウント工程におけるカウント数が、前記上限値設定工程で設定されたカウント数上限値に達するまで、前記一連の工程を繰り返し実行することを特徴とする請求項1に記載のカメラ校正方法。被測定物を撮像する複数のカメラと、前記各カメラにより前記被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データを前記カメラのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて前記被測定物の三次元位置の測定を行う処理部とを有するステレオ撮像装置における前記各カメラのカメラパラメータを校正するカメラ校正方法において、複数の特徴点が設けられ前記各特徴点の相対位置が既知である校正器を、前記各カメラで撮像してそれぞれの校正用画像データを取得する撮像工程と、前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置を抽出する抽出工程と、前記抽出工程で得られた前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置および前記各特徴点の既知である相対位置から前記各カメラのカメラパラメータの初期値を算出する初期値算出工程と、ステレオ法により前記各カメラのカメラパラメータを用いて前記各校正用画像データにおける前記複数の特徴点のうち2つ以上の特徴点の三次元位置座標を算出する特徴点座標算出工程と、前記特徴点座標算出工程で算出された各特徴点の三次元位置座標から2つの特徴点の間の距離を算出する距離算出工程と、前記距離算出工程で算出された前記2つの特徴点の間の距離と、実際の前記2つの特徴点の間の距離との誤差を算出する誤差算出工程と、閾値を設定する閾値設定工程と、前記誤差算出工程で算出された誤差と前記閾値設定工程で設定された閾値とを比較する比較工程と、前記比較工程による比較の結果、前記誤差算出工程で算出された誤差が、前記閾値設定工程で設定された閾値を上回る場合に、前記誤差算出工程で算出された誤差から前記各カメラのカメラパラメータの修正量を算出する修正量算出工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量の分、前記各カメラのカメラパラメータを修正するカメラパラメータ修正工程と、を備えたことを特徴とするカメラ校正方法。前記カメラパラメータ修正工程にて前記各カメラのカメラパラメータを修正した後、前記特徴点座標算出工程、前記距離算出工程、前記誤差算出工程及び前記比較工程を再度実行することを特徴とする請求項4に記載のカメラ校正方法。被測定物を撮像する複数のカメラと、前記各カメラにより前記被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データを前記カメラのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて前記被測定物の三次元位置の測定を行う処理部とを有するステレオ撮像装置における前記各カメラのカメラパラメータを校正するカメラ校正方法において、複数の特徴点が設けられ、前記複数の特徴点のうち少なくとも1つの特徴点の実際の三次元位置座標が既知である校正器を、前記各カメラで撮像してそれぞれの校正用画像データを取得する撮像工程と、前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置を抽出する抽出工程と、前記抽出工程で得られた前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置および前記各特徴点の既知である相対位置から前記各カメラのカメラパラメータの初期値を算出する初期値算出工程と、ステレオ法により前記各カメラのカメラパラメータを用いて前記各校正用画像データにおける実際の三次元位置座標が既知の特徴点の三次元位置座標を算出する特徴点座標算出工程と、前記特徴点座標算出工程で算出された特徴点の三次元位置座標と、実際の特徴点の三次元位置座標との誤差を算出する誤差算出工程と、前記誤差算出工程で算出された誤差から前記各カメラのカメラパラメータの修正量を算出する修正量算出工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量の分、前記各カメラのカメラパラメータを修正するカメラパラメータ修正工程と、を備えたことを特徴とするカメラ校正方法。閾値を設定する閾値設定工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量と前記閾値設定工程で設定された閾値とを比較する比較工程と、を備え、前記比較工程による比較の結果、前記修正量算出工程で算出された修正量が前記閾値設定工程で設定された閾値を上回る場合、前記特徴点座標算出工程、前記誤差算出工程、前記修正量算出工程及び前記カメラパラメータ修正工程を再度実行することを特徴とする請求項6に記載のカメラ校正方法。前記特徴点座標算出工程、前記誤差算出工程、前記修正量算出工程及び前記カメラパラメータ修正工程の一連の工程を実行した数をカウントするカウント工程と、前記カウント工程におけるカウント数の上限を示すカウント数上限値を設定する上限値設定工程と、を備え、前記カウント工程におけるカウント数が、前記上限値設定工程で設定されたカウント数上限値に達するまで、前記一連の工程を繰り返し実行することを特徴とする請求項6に記載のカメラ校正方法。被測定物を撮像する複数のカメラと、前記各カメラにより前記被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データを前記カメラのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて前記被測定物の三次元位置の測定を行う処理部とを有するステレオ撮像装置における前記各カメラのカメラパラメータを校正するカメラ校正方法において、複数の特徴点が設けられ、前記複数の特徴点のうち少なくとも1つの特徴点の実際の三次元位置座標が既知である校正器を、前記各カメラで撮像してそれぞれの校正用画像データを取得する撮像工程と、前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置を抽出する抽出工程と、前記抽出工程で得られた前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置および前記各特徴点の既知である相対位置から前記各カメラのカメラパラメータの初期値を算出する初期値算出工程と、ステレオ法により前記各カメラのカメラパラメータを用いて前記各校正用画像データにおける実際の三次元位置座標が既知の特徴点の三次元位置座標を算出する特徴点座標算出工程と、前記特徴点座標算出工程で算出された特徴点の三次元位置座標と、実際の特徴点の三次元位置座標との誤差を算出する誤差算出工程と、閾値を設定する閾値設定工程と、前記誤差算出工程で算出された誤差と前記閾値設定工程で設定された閾値とを比較する比較工程と、前記比較工程による比較の結果、前記誤差算出工程で算出された誤差が、前記閾値設定工程で設定された閾値を上回る場合に、前記誤差算出工程で算出された誤差から前記各カメラのカメラパラメータの修正量を算出する修正量算出工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量の分、前記各カメラのカメラパラメータを修正するカメラパラメータ修正工程と、を備えたことを特徴とするカメラ校正方法。前記カメラパラメータ修正工程にて前記各カメラのカメラパラメータを修正した後、前記特徴点座標算出工程、前記誤差算出工程及び前記比較工程を再度実行することを特徴とする請求項9に記載のカメラ校正方法。ところで、2つ以上のカメラを有するステレオ撮像装置を用いた、ステレオ法による三次元測定では、カメラの内部パラメータにより各カメラをモデル化する。そして、各カメラの外部パラメータを用いて三角測量を行う。しかしながら、上述したカメラ校正方法により求めたカメラパラメータは、再投影誤差を基準としているため、ステレオ法を用いた三次元測定に対して最適であるとは言えない。すなわち、上述したカメラ校正方法により求めたカメラパラメータは、ステレオ法による三次元測定を想定したものではないので、そのまま三次元測定に用いたのでは測定誤差が大きく、三次元測定における測定精度の向上が望まれていた。そこで、本発明は、ステレオ法を用いた三次元測定に適したカメラパラメータの校正を行い、三次元測定における測定精度を向上させることができるカメラ校正方法を提供することを目的とするものである。本発明は、被測定物を撮像する複数のカメラと、前記各カメラにより前記被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データを前記カメラのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて前記被測定物の三次元位置の測定を行う処理部とを有するステレオ撮像装置における前記各カメラのカメラパラメータを校正するカメラ校正方法において、複数の特徴点が設けられ前記各特徴点の相対位置が既知である校正器を、前記各カメラで撮像してそれぞれの校正用画像データを取得する撮像工程と、前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置を抽出する抽出工程と、前記抽出工程で得られた前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置および前記各特徴点の既知である相対位置から前記各カメラのカメラパラメータの初期値を算出する初期値算出工程と、ステレオ法により前記各カメラのカメラパラメータを用いて前記各校正用画像データにおける前記複数の特徴点のうち2つ以上の特徴点の三次元位置座標を算出する特徴点座標算出工程と、前記特徴点座標算出工程で算出された各特徴点の三次元位置座標から2つの特徴点の間の距離を算出する距離算出工程と、前記距離算出工程で算出された2つの特徴点の間の距離と、実際の2つの特徴点の間の距離との誤差を算出する誤差算出工程と、前記誤差算出工程で算出された誤差から前記各カメラのカメラパラメータの修正量を算出する修正量算出工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量の分、前記各カメラのカメラパラメータを修正するカメラパラメータ修正工程と、を備えたことを特徴とする。また、本発明は、被測定物を撮像する複数のカメラと、前記各カメラにより前記被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データを前記カメラのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて前記被測定物の三次元位置の測定を行う処理部とを有するステレオ撮像装置における前記各カメラのカメラパラメータを校正するカメラ校正方法において、複数の特徴点が設けられ前記各特徴点の相対位置が既知である校正器を、前記各カメラで撮像してそれぞれの校正用画像データを取得する撮像工程と、前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置を抽出する抽出工程と、前記抽出工程で得られた前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置および前記各特徴点の既知である相対位置から前記各カメラのカメラパラメータの初期値を算出する初期値算出工程と、ステレオ法により前記各カメラのカメラパラメータを用いて前記各校正用画像データにおける前記複数の特徴点のうち2つ以上の特徴点の三次元位置座標を算出する特徴点座標算出工程と、前記特徴点座標算出工程で算出された各特徴点の三次元位置座標から2つの特徴点の間の距離を算出する距離算出工程と、前記距離算出工程で算出された前記2つの特徴点の間の距離と、実際の前記2つの特徴点の間の距離との誤差を算出する誤差算出工程と、閾値を設定する閾値設定工程と、前記誤差算出工程で算出された誤差と前記閾値設定工程で設定された閾値とを比較する比較工程と、前記比較工程による比較の結果、前記誤差算出工程で算出された誤差が、前記閾値設定工程で設定された閾値を上回る場合に、前記誤差算出工程で算出された誤差から前記各カメラのカメラパラメータの修正量を算出する修正量算出工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量の分、前記各カメラのカメラパラメータを修正するカメラパラメータ修正工程と、を備えたことを特徴とする。また、本発明は、被測定物を撮像する複数のカメラと、前記各カメラにより前記被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データを前記カメラのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて前記被測定物の三次元位置の測定を行う処理部とを有するステレオ撮像装置における前記各カメラのカメラパラメータを校正するカメラ校正方法において、複数の特徴点が設けられ、前記複数の特徴点のうち少なくとも1つの特徴点の実際の三次元位置座標が既知である校正器を、前記各カメラで撮像してそれぞれの校正用画像データを取得する撮像工程と、前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置を抽出する抽出工程と、前記抽出工程で得られた前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置および前記各特徴点の既知である相対位置から前記各カメラのカメラパラメータの初期値を算出する初期値算出工程と、ステレオ法により前記各カメラのカメラパラメータを用いて前記各校正用画像データにおける実際の三次元位置座標が既知の特徴点の三次元位置座標を算出する特徴点座標算出工程と、前記特徴点座標算出工程で算出された特徴点の三次元位置座標と、実際の特徴点の三次元位置座標との誤差を算出する誤差算出工程と、前記誤差算出工程で算出された誤差から前記各カメラのカメラパラメータの修正量を算出する修正量算出工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量の分、前記各カメラのカメラパラメータを修正するカメラパラメータ修正工程と、を備えたことを特徴とする。また、本発明は、被測定物を撮像する複数のカメラと、前記各カメラにより前記被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データを前記カメラのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて前記被測定物の三次元位置の測定を行う処理部とを有するステレオ撮像装置における前記各カメラのカメラパラメータを校正するカメラ校正方法において、複数の特徴点が設けられ、前記複数の特徴点のうち少なくとも1つの特徴点の実際の三次元位置座標が既知である校正器を、前記各カメラで撮像してそれぞれの校正用画像データを取得する撮像工程と、前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置を抽出する抽出工程と、前記抽出工程で得られた前記各校正用画像データにおける前記各特徴点の画像上の位置および前記各特徴点の既知である相対位置から前記各カメラのカメラパラメータの初期値を算出する初期値算出工程と、ステレオ法により前記各カメラのカメラパラメータを用いて前記各校正用画像データにおける実際の三次元位置座標が既知の特徴点の三次元位置座標を算出する特徴点座標算出工程と、前記特徴点座標算出工程で算出された特徴点の三次元位置座標と、実際の特徴点の三次元位置座標との誤差を算出する誤差算出工程と、閾値を設定する閾値設定工程と、前記誤差算出工程で算出された誤差と前記閾値設定工程で設定された閾値とを比較する比較工程と、前記比較工程による比較の結果、前記誤差算出工程で算出された誤差が、前記閾値設定工程で設定された閾値を上回る場合に、前記誤差算出工程で算出された誤差から前記各カメラのカメラパラメータの修正量を算出する修正量算出工程と、前記修正量算出工程で算出された修正量の分、前記各カメラのカメラパラメータを修正するカメラパラメータ修正工程と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、ステレオ法による特徴点の三次元位置座標の算出結果を用いてカメラパラメータの校正を行うため、三次元位置の測定精度を向上させることができる。また、カメラパラメータの初期値を算出するための撮像作業が、それに続くカメラパラメータの校正のための撮像作業も兼ねるので、撮像作業を簡略化することができる。以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。[第1実施形態]図1は、本発明の第1実施形態に係るステレオ撮像装置の概略構成を示す説明図である。ステレオ撮像装置100は、被測定物を撮像する複数本第1実施形態では2台のカメラ1Lとカメラ1Rが接続された制御装置2と、制御装置2に接続された入力装置3とを備えている。制御装置2は、CPU2a及び記憶部2b等を備えたコンピュータであり、装置全体を制御するものである。そして、制御装置2は、被測定物の三次元位置を測定する測定モードと、各カメラ1L,1Rのカメラパラメータ内部パラメータ及び外部パラメータを校正する校正モードとに切り替え可能に構成されている。制御装置2は、測定モードでは、各カメラ1L,1Rにより被測定物を撮像して得られたそれぞれの画像データをカメラ1L,1Rのカメラパラメータを用いて補正し、補正後の各画像データを用いて被測定物の三次元位置の測定を行う処理部として機能する。入力装置3は、キーボードやタッチパネル等で構成され、制御装置2に接続されており、オペレータの操作に応じた入力信号を制御装置2に送出する。制御装置2は、入力装置3からの入力信号を入力して、各種設定等を行う。本第1実施形態では、校正モードにて各カメラ1L,1Rのカメラパラメータを校正するための校正用のプログラムが、制御装置2の記憶部2bに記憶されている。制御装置2のCPU2aは、校正モードに設定された場合に校正用のプログラムを読み出して、校正処理を実行する。本第1実施形態では、各カメラ1L,1Rのカメラパラメータを校正する際に、図1に示す校正器C1を使用する。この校正器C1は、平面プレートに黒白の市松模様が印刷されて構成されており、黒白の正方形の辺の長さ、つまり黒白の正方形の頂点間の長さが既知のものである。本第1実施形態では、黒白の正方形の各頂点を特徴点P1~P12としている。つまり、各特徴点P1~P12の相対位置が既知であり、予め、各特徴点の相対位置が記憶部2bに記憶されている。図2はカメラ校正を実行するために校正器C1を5種類の姿勢で撮像した様子を示しており、以下、図2a~図2eに示した各撮像により得た画像データをそれぞれ校正用画像データI1~I5と呼ぶ。図2においては、簡単のため、2台のカメラ1L,1Rが、同一水平面上に光軸があり、かつその光軸が平行になる構成とした。なお、実際のカメラ1L,1Rの構成は、測定対象を撮像することができればどのような構成でも良い。図3は、本発明の第1実施形態に係るステレオ撮像装置の制御装置による各カメラのカメラ校正の処理動作を示すフローチャートである。まず、制御装置2のCPU2aは、予めオペレータの操作による入力装置3の指示により、後述する比較工程で比較するために用いられるカメラパラメータの修正量に対する閾値を設定するS1:閾値設定工程。ここで、閾値を設定するとは、閾値を示すデータをCPU2aが閾値として読み出し可能な状態で記憶部2bに記憶させることである。この閾値を示すデータは、例えば入力装置3から得られる。なお、この閾値設定の動作は、校正モードに切り替えられた際に毎回行うようにしてもよいし、校正モードに切り替えられた最初の1回だけ行うようにしてもよい。また、オペレータが随時閾値設定を行えるように構成してもよい。また、記憶部2bに校正用のプログラムを記憶させる際に、閾値のデータを校正用のプログラムと共に記憶部2bに記憶させるようにしてもよい。CPU2aは、各カメラ1L,1Rに校正器C1を撮像させて、それぞれの校正用画像データを取得するS2:撮像工程。本第1実施形態では、1つの平面状の校正器C1を撮像しているため、各カメラ1L,1Rにより撮像する校正器C1の姿勢は、3種類以上である。なお、校正器が立体のものであれば、撮像する校正器C1の姿勢は、1種類以上であればよい。次に、CPU2aは、各校正用画像データにおける各特徴点P1~P12の画像上の位置を画像処理により抽出するS3:抽出工程。例えば、図2に示すように、各カメラ1L,1Rにて校正器C1を5種類の姿勢で撮像した場合、カメラ1Lによる撮像により得られる校正用画像データをI1L~I5Lとし、カメラ1Rによる撮像により得られる校正用画像データをI1R~I5Rとする。CPU2aは、カメラ1Lによる撮像により得られた校正用画像データI1L~I5Lにおける各特徴点P1~P12の画像上の位置を画像処理により抽出する。同様に、CPU2aは、カメラ1Rによる撮像により得られた校正用画像データI1R~I5Rにおける各特徴点P1~P12の画像上の位置を画像処理により抽出する。次に、CPU2aは、各校正用画像データにおける各特徴点P1~P12の画像上の位置および記憶2bに記憶されている各特徴点の相対位置から各カメラ1L,1Rのカメラパラメータの初期値を算出するS4:初期値算出工程。ここでは、例えば非特許文献1に示されているような公知の方法により、各カメラ1L,1Rのカメラパラメータの初期値を算出する。具体的には、CPU2aは、各校正用画像データI1L~I5Lにおける各特徴点P1~P12の画像上の位置からカメラ1Lの内部パラメータの初期値を算出する。同様に、CPU2aは、各校正用画像データI1R~I5Rにおける各特徴点P1~P12の画像上の位置からカメラ1Rの内部パラメータの初期値を算出する。また、各校正用画像データI1L~I5L、I1R~I5Rにおける各特徴点P1~P12の画像上の位置からカメラ1L,1Rの外部パラメータの初期値を算出する。ここで、これのカメラパラメータの初期値を算出するには、少なくとも3種類の位置姿勢の校正器を撮像した画像データが必要であるため、本第1実施形態では、撮像する校正器C1の位置姿勢を5種類としている。なお、内部パラメータについては、各カメラ別々に撮像を行い、別途算出しておいてもよい。算出されたカメラ1L,1Rのカメラパラメータのうち内部パラメータをカメラ行列AL、ARとして以下の数1及び数2に示す。なお、fLは、カメラ1Lの焦点距離を示す内部パラメータ、fRは、カメラ1Rの焦点距離を示す内部パラメータである。また、kuLは、カメラ1Lにおけるスケールを示す内部パラメータ、kuRは、カメラ1Rにより撮像された画像におけるスケールを示す内部パラメータである。また、カメラパラメータのうち各カメラ1L,1Rの相対位置カメラ1Lを基準としたカメラ1Rの位置を表わす外部パラメータTを以下の数3に示す。なお、ここでは簡単のため、内部パラメータにおいてスキューを考慮していないが、実際は考慮してもよい。ここで、CPU2aは、ステップS4の処理において、内部パラメータとしてレンズ歪みを表わす放射状歪み係数k1,k2を算出している。そして、CPU2aは、以下の数4及び数5で表される関係式に算出した係数k1,k2を適用して、各校正用画像データにおいて、歪みのあるカメラ座標x’,y’を歪みのないカメラ座標x,yに補正しておく。次に、CPU2aは、補正された各校正用画像データにおいて、各カメラ1L,1Rのカメラパラメータを用いて、検出済みである画像上の複数の特徴点のうち2つ以上の特徴点についてステレオ法により三次元位置の測定を行うS5:特徴点座標算出工程。例えば、CPU2aは、補正された校正用画像データI4L,I4Rにおいて、各カメラ1L,1Rのカメラパラメータを用いて、検出済みである画像上の特徴点P1,P4,P9,P12についてステレオ法により三次元位置の測定を行う。同様に、CPU2aは、補正された校正用画像データI5L,I5Rにおいて、各カメラ1L,1Rのカメラパラメータを用いて、検出済みである画像上の特徴点P1,P4,P9,P12についてステレオ法により三次元位置の測定を行う。ここでは、三次元測定を行う座標系は、いずれか1つのカメラ例えばカメラ1Lのカメラ座標系とする。だたし、座標系の設定は座標系設定用のポイントを測定することで行ってもよく、この限りではない。以下、特徴点座標算出工程の処理について具体的に説明する。校正用画像データI4L,I4Rにおける特徴点P1の画像座標をそれぞれu4Lp1,v4Lp1,u4Rp1,v4Rp1とする。特徴点P1の三次元位置座標X4p1x4p1,y4p1,z4p1Tは以下の数6及び数7のように表される。CPU2aは、ステップS5において、数6及び数7の右辺の差の大きさが最小になるように、係数k,lを算出する。そして、CPU2aは、算出した係数k,lを数6及び数7に代入してそれぞれ求めたX4p1の中点として、校正用画像データI4L,I4Rにおける特徴点P1の三次元位置座標X4p1が求まる。同様に、校正用画像データI4L,I4Rにおける特徴点P4,P9,P12の三次元位置座標X4p4,X4p9,X4p12も求まる。また同様に、校正用画像データI5L,I5Rにおける特徴点P1,P4,P9,P12の三次元位置座標X5p1,X5p4,X5p9,X5p12も求まる。このように、本実施形態では、ステップS4においてカメラパラメータの初期値を算出するための特徴点と、ステップS5においてステレオ法を用いた三次元座標を算出するための特徴点を同一の特徴点としている。したがって、校正器において、高精度に製作もしくは印刷しなければならない特徴点の数や種類を削減することができる。次に、CPU2aは、ステップS5で算出した各特徴点の三次元位置座標から2つの特徴点の間の距離を算出するS6:距離算出工程。例えば、校正用画像データI4L,I4Rにおいて、三次元位置座標X4p1,X4p4,X4p9,X4p12から2つの特徴点P1,P4の間の距離L4p1-4と、2つの特徴点P9,P12の間の距離L4p9-12とを算出する。同様に、校正用画像データI5L,I5Rにおいて、三次元位置座標X5p1,X5p4,X5p9,X5p12から2つの特徴点P1,P4の間の距離L5p1-4と、2つの特徴点P9,P12の間の距離L5p9-12とを算出する。次に、CPU2aは、ステップS6で算出した2つの特徴点の間の距離と、実際の2つの特徴点記憶部2bに記憶された相対位置の間の距離真値との誤差を算出するS7:誤差算出工程。例えば、算出した距離L4p1-4、L5p1-4、L4p9-12、L5p9-12と予め記憶部2bに記憶された距離Lp1-4、Lp9-12との誤差ΔL4p1-4、ΔL5p1-4、ΔL4p9-12、ΔL5p9-12を算出する。次に、CPU2aは、ステップS7で算出した誤差から各カメラ1L,1Rのカメラパラメータの修正量を算出するS8:修正量算出工程。例えば、CPU2aは、カメラパラメータとしての内部パラメータfL,fR及び外部パラメータbの修正量ΔfL,ΔfR,Δbを算出する。このカメラパラメータの修正量の算出手法としては、1次収束となる最小二乗法、ヘッセ行列を用いたニュートン法、レーベンバーグマーカート法などの各種手法が考えられるが、以下、最小二乗法を例に説明する。以下、修正量算出工程における修正量算出動作について具体的に説明する。まず、CPU2aは、以下の数8で表されるように、算出した距離L4p1-4,L5p1-4,L4p9-12,L5p9-12のカメラパラメータfL,fR,bに対する勾配を表わす行列Gを算出する。そして、CPU2aは、この行列Gについての一般化逆行列と、算出した距離と真値との誤差ΔL4p1-4、ΔL5p1-4、ΔL4p9-12、ΔL5p9-12と、を用いて、以下の数9に表す数式に基づき、修正量ΔfL,ΔfR,Δbを算出する。以上のCPU2aの演算処理により修正量ΔfL,ΔfR,Δbが算出される。次に、CPU2aは、ステップS8で算出された修正量ΔfL,ΔfR,Δbの分、各カメラパラメータに加算処理を行うことで、各カメラパラメータfL,fR,bを更新修正するS9:カメラパラメータ修正工程。これにより、各カメラパラメータfL,fR,bが校正されたこととなる。なお、修正量ΔfL,ΔfR,Δbが負の値の場合は、カメラパラメータに負の値の修正量を加算することとなる。このように、ステレオ法による特徴点の三次元位置座標の算出結果を用いてカメラパラメータfL,fR,bの校正を行うため、三次元位置の測定における測定精度を向上させることができる。また、カメラパラメータfL,fR,bの初期値を算出するための撮像作業が、それに続くカメラパラメータfL,fR,bの校正のための撮像作業も兼ねるので、撮像作業を簡略化することができる。ここで、このカメラパラメータfL,fR,bの修正動作を1回だけ行ってもよいが、本第1実施形態では、これらカメラパラメータの修正量がそれぞれの閾値以下となるまで繰り返すことで、カメラ校正を行うようにしている。つまり、CPU2aは、ステップS9のカメラパラメータ修正工程における修正処理を終了した後、ステップS8で算出した修正量とステップS1で設定した閾値とを比較するS10:比較工程。そして、CPU2aは、ステップS10における比較の結果、ステップS8で算出した修正量がステップS1で設定された閾値を上回る場合S10:No、ステップS5の処理に戻り、ステップS5~S9の処理を再度実行する。具体的には、CPU2aは、カメラパラメータの修正量が一つでも閾値を上回る場合S10:Noには、再度、カメラ校正を実施し、全てのカメラパラメータの修正量が閾値以下となった場合S10:Yesに、カメラ校正を終了する。例えば、カメラパラメータfLの修正量|ΔfL|に対しては、ステップS1で閾値th1が設定される。また、カメラパラメータfRの修正量|ΔfR|に対しては、ステップS1で閾値th2が設定される。また、カメラパラメータbの修正量|Δb|に対しては、ステップS1で閾値th3が設定される。そして、CPU2aは、修正量|ΔfL|と閾値th1とを、修正量|ΔfR|と閾値th2とを、修正量|Δb|と閾値th3とをそれぞれ比較し、全ての修正量が閾値以下となった場合に、カメラ校正を終了する。なお、これら閾値th1,th2,th3の値については、以下のようにして定めている。まず、ステレオカメラを用いる用途において必要となる校正精度を求め、この校正精度の数分の1の値を校正のバラツキ許容値とする。そして、各カメラパラメータの変動が校正のバラツキに及ぼす影響を算出しておき、この影響がバラツキ許容値以下となる各カメラパラメータの変動値を閾値とする。なお、この閾値の設定値については、これに限定するものではなく、バラツキ許容値の0.1以下の値などの共通の値にしてもよく、オペレータが任意に設定できる値である。このように、各修正量が閾値以下となるまで各カメラパラメータの修正を行うことで、1回のみ各カメラパラメータを修正する場合よりも、更に三次元位置の測定における測定精度が向上する。なお、本実施形態では、内部パラメータfL,fRと外部パラメータbの3パラメータを校正したが、その他にもスケールkvL,kuL,kvR,kuRや画像中心u0L,v0L,u0R,v0Rも含めたりしてもよく、校正するパラメータはこの限りでない。さらに、ピント合わせをした時は内部パラメータのみを校正したり、カメラの取り付けを変更した場合は外部パラメータのみを校正したりと、校正するパラメータの選択は状況に応じて選択できる。また、本実施形態では、画像の歪みを数4及び数5のように表しているが、放射状歪み係数κを用いて、以下の数10及び数11のように表してもよい。その他にも、近似の次数を上げたり、接線方向の歪みを考慮したりしても良い。また、本実施形態では、1つの画像中での校正器の特徴点間の距離について計測値と真値の比較を行った。これに対し、撮像データI2と撮像データI3について、校正器を高精度ステージで移動させ、その移動量に計測値と真値の比較を行うなど、校正器の移動量を用いて校正を行ってもよい。[第2実施形態]次に、本発明の第2実施形態に係るステレオ撮像装置におけるカメラ校正方法について説明する。図4は、本発明の第2実施形態に係るステレオ撮像装置の制御装置による各カメラのカメラ校正の処理動作を示すフローチャートである。なお、本第2実施形態のステレオ撮像装置では、上記第1実施形態のステレオ撮像装置と同様の構成であり、また、校正器も同一の構成であるので、各構成については上記第1実施形態と同様の符号を用いて説明する。また、図4のフローチャートの各ステップの説明において、図3のフローチャートのステップと同様の処理を行うものについては、同一符号を付してその詳細な説明を省略する。CPU2aは、予めオペレータの操作による入力装置3の指示により、カウント数Nの上限を示すカウント数上限値N0を設定するS21:上限値設定工程。カウント数Nは、カメラパラメータの修正回数を示している。ここで、カウント数上限値N0を設定するとは、カウント数上限値N0を示すデータをCPU2aがカウント数上限値N0として読み出し可能な状態で記憶部2bに記憶させることである。なお、このカウント数上限値N0の設定の動作は、校正モードに切り替えられた際に毎回行うようにしてもよいし、校正モードに切り替えられた最初の1回だけ行うようにしてもよい。また、オペレータが随時、カウント数上限値N0の設定を行えるように構成してもよい。また、記憶部2bに校正用のプログラムを記憶させる際に、カウント数上限値N0のデータを校正用のプログラムと共に記憶部2bに記憶させるようにしてもよい。次に、CPU2aは、カウント数Nを初期化N=0するS22。そして、CPU2aは、上記第1実施形態と同様に、ステップS2~S9の処理を実行し、ステップS9でカメラパラメータを修正した後、カウント数Nを1インクリメントするS23。つまり、このカウント数Nは、カメラパラメータの修正回数を示しているので、カメラパラメータを修正する度にカウント数Nを1インクリメントする。次に、CPU2aは、カウント数Nがカウント数上限値N0に達したか否かを判断するS24。CPU2aは、カウント数Nがカウント数上限値N0に達していないと判断した場合S24:Noは、ステップS5の処理に戻り、ステップS5~S9の一連の工程を実行する。これにより、カウント数Nがカウント数上限値N0に達するまで、ステップS5~S9一連の工程を繰り返し実行されることとなる。そして、CPU2aは、カウント数Nがカウント数上限値N0に達したと判断した場合S24:Yesは、カメラ校正を終了する。以上、本第2実施形態では、予め設定された値N0の数の分、カメラパラメータを修正することとなり、更に三次元位置の測定における測定精度が向上する。[第3実施形態]次に、本発明の第3実施形態に係るステレオ撮像装置におけるカメラ校正方法について説明する。図5は、本発明の第3実施形態に係るステレオ撮像装置の制御装置による各カメラのカメラ校正の処理動作を示すフローチャートである。なお、本第3実施形態のステレオ撮像装置では、上記第1実施形態のステレオ撮像装置と同様の構成であり、また、校正器も同一の構成であるので、各構成については上記第1実施形態と同様の符号を用いて説明する。また、図5のフローチャートの各ステップの説明において、図3のフローチャートのステップと同様の処理を行うものについては、同一符号を付してその詳細な説明を省略する。まず、CPU2aは、上記第1実施形態と同様に、予めオペレータの操作による入力装置3の指示により、後述する比較工程で比較するために用いられる閾値を設定するS31:閾値設定工程。この閾値設定の動作は、上記第1実施形態と同様であるが、設定される閾値のデータが異なる。上記第1実施形態では、カメラパラメータの修正量に対する閾値を設定したが、本第3実施形態では、特徴点間の距離の誤差に対する閾値を設定する。例えば、誤差ΔL4p1-4,ΔL5p1-4,ΔL4p9-12,ΔL5p9-12に対して閾値tha,thb,thc,thdが設定される。ここで、閾値tha~thdの値については、ステレオカメラを用いる用途において、ここでいう誤差と、測定対象に対して行う画像処理による追加の誤差との和が、必要となる精度よりも小さくなるようにオペレータが設定すればよい。次いで、CPU2aは、上記第1実施形態と同様に、ステップS2~S7の処理を実行する。そして、CPU2aは、ステップS7で誤差ΔL4p1-4,ΔL5p1-4,ΔL4p9-12,ΔL5p9-12を算出した後、当該誤差と、ステップS1で設定された閾値tha,thb,thc,thdとを比較するS32:比較工程。CPU2aは、ステップS32における比較の結果、ステップS7で算出した誤差が、ステップS31で設定された閾値を上回る場合S32:Noに、上記第1実施形態と同様のステップS8修正量算出工程の処理を実行する。次いで、CPU2aは、上記第1実施形態と同様にステップS9カメラパラメータ修正工程の処理を実行する。つまり、誤差ΔL4p1-4,ΔL5p1-4,ΔL4p9-12,ΔL5p9-12のうち、1つでも閾値を上回るものがあれば、カメラパラメータの修正処理を実行する。なお、CPU2aは、ステップS32における比較の結果、ステップS7で算出した誤差が、ステップS31で設定された閾値以下の場合S32:Yesには、カメラパラメータを修正する必要がないので、カメラ校正を終了する。つまり、算出された全ての誤差ΔL4p1-4,ΔL5p1-4,ΔL4p9-12,ΔL5p9-12が閾値以下であれば、カメラ校正を終了する。ここで、本第3実施形態では、各誤差が閾値以下となるまで、カメラパラメータの修正動作を行う。具体的には、CPU2aは、ステップS9の処理にて各カメラ1のカメラパラメータを修正した後、ステップS5,S6,S7,S32の処理を再度実行する。そして、再度、ステップS32の比較処理で誤差が閾値を上回ると判断した場合S32:No、再度、ステップS8の修正量算出工程の処理及びステップS9のカメラパラメータ修正工程の処理が実行される。以上、本第3実施形態では、算出した誤差が閾値以下となるまでカメラパラメータが修正され、誤差が閾値以下となったら、カメラパラメータの修正の処理を終了させている。したがって、カメラパラメータの過剰な修正動作が抑制され、更に三次元位置の測定における測定精度が向上する。また、誤差が閾値以下にならないことが懸念される場合は、無限に演算されることを避けるために、第2実施形態で述べたように繰り返し回数による上限も決めておいてもよい。[第4実施形態]次に、本発明の第4実施形態に係るステレオ撮像装置におけるカメラ校正方法について説明する。図6は、カメラ校正を実行するために校正器を撮像している様子を示す模式図である。上記第1~第3実施形態では、平面状の校正器C1を用いたが、本第4実施形態では、姿勢の異なる3面の平面を有する校正器C2を用いている。なお、本第4実施形態のステレオ撮像装置では、上記第1実施形態のステレオ撮像装置と同様の構成であり、各構成については上記第1実施形態と同様の符号を用いて説明する。本第4実施形態では、校正器C2の各面に、格子状に等間隔に配置した丸形状の複数9つの特徴点第1の特徴点Qが印刷されている。本第4実施形態では、カメラ1L,1Rを使用して三次元位置測定を行う座標系は、図6に示したXYZ座標系、即ち校正器C2の座標系校正器座標系とする。そして、校正器C2のXYZ軸のそれぞれの軸上には、特徴点第2の特徴点T1,T2,T3が印刷されている。各特徴点T1,T2,T3は、校正器座標系における三次元位置座標が既知ものであり、予め、その実際の三次元位置座標が記憶部2bに記憶されている。つまり、校正器C2には、三次元位置座標が既知の特徴点T1,T2,T3が設けられている。図7は、本発明の第4実施形態に係るステレオ撮像装置の制御装置による各カメラのカメラ校正の処理動作を示すフローチャートである。まず、CPU2aは、上記第1実施形態と同様に、カメラパラメータの修正量に対する閾値を設定するS41:閾値設定工程。次に、CPU2aは、各カメラ1L,1Rに校正器C2を撮像させて、それぞれの校正用画像データを取得するS42:撮像工程。本第4実施形態では、校正器C2が立体形状のものであるため、撮像する校正器C2の姿勢は、1種類以上であればよい。なお、校正器が1つの平面状のものである場合は、各カメラ1L,1Rにより撮像する校正器の姿勢は、3種類以上である。次に、CPU2aは、各校正用画像データにおける各特徴点Q,T1,T2,T3の画像上の位置を画像処理により抽出するS43:抽出工程。例えば、校正器C2を撮像した際の姿勢が1種類である場合、カメラ1Lにより撮像されて得られる校正用画像データをIL、カメラ1Rにより撮像されて得られる校正用画像データをIRとする。CPU2aは、校正用画像データILにおける各特徴点Q,T1,T2,T3の画像上の位置を抽出する。同様に、CPU2aは、校正用画像データIRにおける各特徴点Q,T1,T2,T3の画像上の位置を抽出する。次に、CPU2aは、各校正用画像データにおける各特徴点Qの画像上の位置および記憶2bに記憶されている各特徴点の位置から各カメラ1L,1Rのカメラパラメータの初期値を算出するS44:初期値算出工程。ここでは、例えば非特許文献2に示されているような公知の方法により、各カメラ1L,1Rのカメラパラメータの初期値を算出する。本第4実施形態では、この初期値算出工程の処理では、各第1の特徴点Qの画像上の位置からカメラパラメータの初期値を算出する。つまり、第1の特徴点Qは、このステップS44における初期値算出工程の処理でカメラパラメータの初期値を算出するために設けられたものである。具体的には、CPU2aは、校正用画像データILにおける各特徴点Qの画像上の位置からカメラ1Lの内部パラメータの初期値を算出する。同様に、CPU2aは、校正用画像データIRにおける各特徴点Qの画像上の位置からカメラ1Rの内部パラメータの初期値を算出する。また、各校正用画像データIL、IRにおける各特徴点Qの画像上の位置からカメラ1L、1Rの外部パラメータの初期値を算出する。ここで、このカメラパラメータの初期値を算出するには、平面の校正器であれば少なくとも3種類の位置姿勢の校正器を撮像した画像データが必要であるが、本第4実施形態では、3面の校正器C2を撮像しているため、校正器C2の位置姿勢は1種類でよい。なお、内部パラメータについては、各カメラ別々に撮像を行い、別途算出しておいてもよい。算出されたカメラ1L,1Rのカメラパラメータのうち内部パラメータをカメラ行列AL、ARとして以下の数12及び数13に示す。なお、p1~p12は、カメラパラメータのうちの内部パラメータである。また、カメラパラメータのうち各カメラ1L,1Rの校正器座標系を基準とした位置及び姿勢を表わすベクトルTL,TRを以下の数14及び数15に示す。なお、p12~p23はカメラパラメータのうちの外部パラメータである。ここで、CPU2aは、ステップS44の処理において、内部パラメータとしてレンズ歪みを表わす放射状歪み係数p24,p25,p26及び偏心歪み係数をp27,p28を算出する。そして、CPU2aは、以下の数16及び数17で表される関係式に算出した係数p24~p28を適用して、各校正用画像データにおいて、歪みのあるカメラ座標x’,y’を歪みのないカメラ座標x,yに補正しておく。なお、この数16及び数17においてrはx2y2の平方根を表わす。次に、CPU2aは、各校正用画像データにおいて、各カメラ1L,1Rのカメラパラメータを用いて、検出済みである画像上の複数の特徴点のうち第2の特徴点T1,T2,T3についてステレオ法により三次元位置の測定を行うS45:特徴点座標算出工程。ここで、三次元測定を行う座標系は校正器座標系であり、本第4実施形態では、第2の特徴点T1,T2,T3の実際の三次元位置座標が既知であるので、ステレオ法によりこれら特徴点T1~T3の三次元位置測定を行う。なお、校正器座標系で三次元位置座標が既知であれば、特徴点Qを用いてもよく、また、それらの数は3つに限定されるものではなく、少なくとも1つあればよい。以下、特徴点座標算出工程の処理について具体的に説明する。校正用画像データIL,IRにおける特徴点T1の画像座標をそれぞれuLt1,vLt1、uRt1,vRt1とする。特徴点T1の三次元位置座標Xt1xt1,yt1,zt1Tは以下の数18及び数19のように表される。この数18及び数19に示した式において、RotL、RotRは数14及び数15に示す外部パラメータを示すベクトルTL、TRより算出した、カメラ1L、1Rの校正器座標系に対する回転行列である。また、TransL、TransRは、外部パラメータを示すベクトルTL、TRより算出した、カメラ1L、1Rの校正器座標系に対する平行移動行列である。この数18より求めた座標Xt1と数19より求めた座標Xt1との差の大きさが最小になるように、係数g,hを算出し、その係数g,hよりそれぞれ求めた座標Xt1の中点として、特徴点T1の三次元位置座標Xt1が求まる。同様にして、特徴点T2、T3の三次元位置座標Xt2、Xt3も求まる。次に、CPU2aは、ステップS45で算出した特徴点T1~T3の三次元位置座標と、実際の特徴点T1~T3の三次元位置座標真値との誤差を算出するS46:誤差算出工程。つまり、CPU2aは、算出した三次元位置座標Xt1、Xt2、Xt3と記憶部2bに記憶された真値との誤差ΔXt1、ΔXt2、ΔXt3を算出する。次に、CPU2aは、ステップS46で算出した誤差ΔXt1、ΔXt2、ΔXt3から各カメラ1L,1Rのカメラパラメータの修正量を算出するS47:修正量算出工程。以下、修正量算出工程における修正量算出動作について具体的に説明する。まず、CPU2aは、以下の数20で表される誤差の二乗和を求める。以下、この二乗和が最小になるようにカメラ校正を行うが、最小化する対象は、以下の数21で表わすようにX方向とY方向とZ方向にそれぞれ重みづけを行ったものとするなど、この限りでない。CPU2aは、このeにおいて、以下の数22及び数23に示す勾配∇eとヘッセ行列Hを算出する。次いで、CPU2aは、ニュートン法を用いて、以下の数24に示すカメラパラメータP=p1,...,p28Tの修正量ΔP=Δp1,...,Δp28Tを算出する。次に、CPU2aは、ステップS47で算出された修正量ΔPの分加算処理を行うことで、各カメラパラメータPを更新修正するS48:カメラパラメータ修正工程。これにより、各カメラパラメータp1,...,p28が校正されたこととなる。なお、修正量Δp1,...,Δp28が負の値の場合は、カメラパラメータに負の値の修正量を加算することとなる。このように、ステレオ法による特徴点の三次元位置座標の算出結果を用いてカメラパラメータp1,...,p28の校正を行うため、三次元位置の測定における測定精度を向上させることができる。また、カメラパラメータp1,...,p28の初期値を算出するための撮像作業が、それに続くカメラパラメータp1,...,p28の校正のための撮像作業も兼ねるので、撮像作業を簡略化することができる。ここで、このカメラパラメータp1,...,p28の修正動作を1回だけ行ってもよいが、本第4実施形態では、これらカメラパラメータの修正量がそれぞれの閾値以下となるまで繰り返すことで、カメラ校正を行うようにしている。つまり、CPU2aは、ステップS48のカメラパラメータ修正工程における修正処理を終了した後、ステップS47で算出した修正量とステップS41で設定した閾値とを比較するS49:比較工程。そして、CPU2aは、ステップS49における比較の結果、ステップS47で算出した修正量がステップS41で設定された閾値を上回る場合S49:No、ステップS45の処理に戻り、ステップS45~S48の処理を再度実行する。つまり、CPU2aは、カメラパラメータの修正量が一つでも閾値を上回る場合S49:Noには、再度、カメラ校正を実施し、全てのカメラパラメータの修正量が閾値以下となった場合S49:Yesに、カメラ校正を終了する。具体的には、カメラパラメータp1~p28の修正量|Δp1|~|Δp28|に対しては、ステップS41で閾値th1~th28が設定される。そして、CPU2aは、修正量|Δf1|~|Δp28|と閾値th1~th28とをそれぞれ比較し、全ての修正量が閾値以下となった場合に、カメラ校正を終了する。なお、これら閾値th1~th28の値の設定については、以下のようにしている。まず、ステレオカメラを用いる用途において必要となる校正精度を求め、この校正精度の数分の1の値を校正のバラツキ許容値とする。そして、各カメラパラメータの変動が校正のバラツキに及ぼす影響を算出しておき、この影響がバラツキ許容値以下となる各カメラパラメータの変動値を閾値とする。なお、この閾値の設定値については、これに限定するものではなく、バラツキ許容値の0.1以下の値などの共通の値にしてもよく、オペレータが任意に設定できる値である。このように、各修正量が閾値以下となるまで各カメラパラメータの修正を行うことで、1回のみ各カメラパラメータを修正する場合よりも、更に三次元位置の測定における測定精度が向上する。[第5実施形態]次に、本発明の第5実施形態に係るステレオ撮像装置におけるカメラ校正方法について説明する。図8は、本発明の第5実施形態に係るステレオ撮像装置の制御装置による各カメラのカメラ校正の処理動作を示すフローチャートである。なお、本第5実施形態のステレオ撮像装置では、上記第1及び第4実施形態のステレオ撮像装置と同様の構成であり、各構成については上記第1実施形態と同様の符号を用いて説明する。また、校正器も上記第4実施形態と同一の構成であるので、上記第4実施形態と同様の符号を用いて説明する。また、図8のフローチャートの各ステップの説明において、図7のフローチャートのステップと同様の処理を行うものについては、同一符号を付してその詳細な説明を省略する。CPU2aは、予めオペレータの操作による入力装置3の指示により、カウント数Nの上限を示すカウント数上限値N0を設定するS51:上限値設定工程。カウント数Nは、カメラパラメータの修正回数を示している。ここで、カウント数上限値N0を設定するとは、カウント数上限値N0を示すデータをCPU2aがカウント数上限値N0として読み出し可能な状態で記憶部2bに記憶させることである。なお、このカウント数上限値N0の設定の動作は、校正モードに切り替えられた際に毎回行うようにしてもよいし、校正モードに切り替えられた最初の1回だけ行うようにしてもよい。また、オペレータが随時、カウント数上限値N0の設定を行えるように構成してもよい。また、記憶部2bに校正用のプログラムを記憶させる際に、カウント数上限値N0のデータを校正用のプログラムと共に記憶部2bに記憶させるようにしてもよい。次に、CPU2aは、カウント数Nを初期化N=0するS52。そして、CPU2aは、上記第4実施形態と同様に、ステップS42~S48の処理を実行し、ステップS48でカメラパラメータを修正した後、カウント数Nを1インクリメントするS53。つまり、このカウント数Nは、カメラパラメータの修正回数を示しているので、カメラパラメータを修正する度にカウント数Nを1インクリメントする。次に、CPU2aは、カウント数Nがカウント数上限値N0に達したか否かを判断するS54。CPU2aは、カウント数Nがカウント数上限値N0に達していないと判断した場合S54:Noは、ステップS45の処理に戻り、ステップS45~S48の一連の工程を実行する。これにより、カウント数Nがカウント数上限値N0に達するまで、ステップS45~S48の一連の工程を繰り返し実行されることとなる。そして、CPU2aは、カウント数Nがカウント数上限値N0に達したと判断した場合S54:Yesは、カメラ校正を終了する。以上、本第5実施形態では、予め設定された値N0の数の分、カメラパラメータを修正することとなり、更に三次元位置の測定における測定精度が向上する。[第6実施形態]次に、本発明の第6実施形態に係るステレオ撮像装置におけるカメラ校正方法について説明する。図9は、本発明の第6実施形態に係るステレオ撮像装置の制御装置による各カメラのカメラ校正の処理動作を示すフローチャートである。なお、本第6実施形態のステレオ撮像装置では、上記第1及び第4実施形態のステレオ撮像装置と同様の構成であるので、各構成については上記第1実施形態と同様の符号を用いて説明する。また、校正器も上記第4実施形態と同一の構成であるので、上記第4実施形態と同様の符号を用いて説明する。また、図9のフローチャートの各ステップの説明において、図7のフローチャートのステップと同様の処理を行うものについては、同一符号を付してその詳細な説明を省略する。まず、CPU2aは、上記第4実施形態と同様に、予めオペレータの操作による入力装置3の指示により、後述する比較工程で比較するために用いられる閾値を設定するS61:閾値設定工程。この閾値設定の動作は、上記第4実施形態と同様であるが、設定される閾値のデータが異なる。上記第4実施形態では、カメラパラメータの修正量に対する閾値を設定したが、本第6実施形態では、特徴点の三次元位置座標の誤差に対する閾値を設定する。例えば、誤差ΔXt1,ΔXt2,ΔXt3に対して閾値tht1,tht2,tht3が設定される。ここで、閾値tht1~tht3の値については、ステレオカメラを用いる用途において、ここでいう誤差と、測定対象に対して行う画像処理による追加の誤差との和が、必要となる精度よりも小さくなるようにオペレータが設定すればよい。次いで、CPU2aは、上記第4実施形態と同様に、ステップS42~S46の処理を実行する。そして、CPU2aは、ステップS46で誤差ΔXt1,ΔXt2,ΔXt3を算出した後、当該誤差と、ステップS61で設定された閾値tht1,tht2,tht3とを比較するS62:比較工程。CPU2aは、ステップS62における比較の結果、ステップS46で算出した誤差が、ステップS61で設定された閾値を上回る場合S62:Noに、上記第4実施形態と同様のステップS47修正量算出工程の処理を実行する。次いで、CPU2aは、上記第4実施形態と同様にステップS48カメラパラメータ修正工程の処理を実行する。つまり、誤差ΔXt1,ΔXt2,ΔXt3のうち、1つでも閾値を上回るものがあれば、カメラパラメータの修正処理を実行する。なお、CPU2aは、ステップS62における比較の結果、ステップS46で算出した誤差が、ステップS61で設定された閾値以下の場合S62:Yesには、カメラパラメータを修正する必要がないので、カメラ校正を終了する。つまり、算出された全ての誤差ΔXt1,ΔXt2,ΔXt3が閾値以下であれば、カメラ校正を終了する。ここで、本第6実施形態では、各誤差が閾値以下となるまで、カメラパラメータの修正動作を行う。具体的には、CPU2aは、ステップS48の処理にて各カメラ1のカメラパラメータを修正した後、ステップS45,S46,S62の処理を再度実行する。そして、再度、ステップS62の比較処理で誤差が閾値を上回ると判断した場合S62:No、再度、ステップS47の修正量算出工程の処理及びステップS48のカメラパラメータ修正工程の処理が実行される。以上、本第6実施形態では、算出した誤差が閾値以下となるまでカメラパラメータが修正され、誤差が閾値以下となったら、カメラパラメータの修正の処理を終了させている。したがって、カメラパラメータの過剰な修正動作が抑制され、更に三次元位置の測定における測定精度が向上する。また、誤差が閾値以下にならないことが懸念される場合は、無限に演算されることを避けるために、第2実施形態で述べたように繰り返し回数による上限も決めておいてもよい。なお、上記第1~第6実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。校正器としては、上記第1~第6実施形態において例示した校正器C1,C2に限定されるものではなく、特徴点を抽出できるものであれば、特徴点はいかなる形状であってもよい。"