内部空間を有するケーシングと、前記ケーシング内に微粒子を含む排気を導入する排気導入管と、前記ケーシング内における前記排気導入管の開口部において、前記排気導入管の中心軸線上に回転可能に保持された回転体と、前記ケーシング内において、前記回転体を介して前記排気導入管の前記開口部に回転可能状態で正対配置されており、少なくとも表面側に微粒子捕集液を含んでいる無端ベルトとを備えており、前記無端ベルトの表面は、前記回転体に接触しており、前記無端ベルトが回転することによって前記回転体を回転させ、前記無端ベルトの前記表面側における前記微粒子捕集液が前記回転体の表面に塗布されることを特徴とする保護フィルター装置。前記ケーシング内の底部には、前記微粒子捕集液が貯留されており、貯留された前記微粒子捕集液を前記無端ベルトあるいは前記回転体に供給する微粒子捕集液供給装置が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の保護フィルター装置。前記ケーシング内の底部には、前記微粒子捕集液が貯留されており、前記無端ベルトの一部は、貯留された前記微粒子捕集液に浸漬或いは接触していることを特徴とする請求項1に記載の保護フィルター装置。前記微粒子捕集液は、高粘性低蒸気圧液であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の保護フィルター装置。近年の半導体をはじめとした単結晶材料の大口径化に伴い、単結晶製造装置を始めそれ以降の製造装置もますます大型化し、ラインの停止は企業に非常に大きな損害を与えてしまう。このような点は上記単結晶製造装置に留まらず、一般の減圧利用の製造装置、化学装置、環境機器などに言える事である。本発明はこのような問題点に鑑みなされたもので、製造装置から排出され、減圧ポンプの故障原因となる排気中の微粉体を効率よく除去し、できるかぎり減圧ポンプの損傷を回避し、その長寿命化を図ることをその目的とする。請求項1に記載した発明は、内部空間を有するケーシングと、前記ケーシング内に微粒子を含む排気を導入する排気導入管と、前記ケーシング内における前記排気導入管の開口部において、前記排気導入管の中心軸線上に回転可能に保持された回転体と、前記ケーシング内において、前記回転体を介して前記排気導入管の前記開口部に回転可能状態で正対配置されており、少なくとも表面側に微粒子捕集液を含んでいる無端ベルトとを備えており、前記無端ベルトの表面は、前記回転体に接触しており、前記無端ベルトが回転することによって前記回転体を回転させ、前記無端ベルトの前記表面側における前記微粒子捕集液が前記回転体の表面に塗布されることを特徴とする保護フィルター装置である。微粒子を含む排気が排気導入管を通って保護フィルター装置のケーシング内に導入されたとき、当該微粒子は、最も流速が速くなる排気導入管の中心軸線上に最も多く分布することになるが、回転体は、その表面が微粒子捕集液で濡れているので、排気中における多くの微粒子は回転体の表面に衝突して捕集されることになる。そして、この回転体は、その表面が接触している無端ベルトの回転に伴って回転されると同時に、当該無端ベルトの表面側に含まれた微粒子捕集液が連続的に表面に塗布されているので、回転体の表面に衝突し、当該微粒子捕集液に吸着捕集されて排気から除去された微粒子は、回転体とともに無端ベルトの表面まで回転した後、微粒子捕集液とともに当該無端ベルトの表面側に拭うようにして移される。そして、これと同時に回転体の表面には、無端ベルトから新たな微粒子捕集液が塗布され、かつ、回転して開口部側に向かい、再び排気中の微粒子が連続して吸着することになる。このように、表面側に微粒子捕集液を含む無端ベルトで回転体を回転させることにより、回転体の表面への微粒子捕集液の塗布、当該微粒子捕集液による微粒子の吸着、微粒子を含む微粒子捕集液の無端ベルトへの移動、そして再び微粒子捕集液の塗布といった手順が連続的に行われるので、回転体の表面の一部分に微粒子が不所望に堆積するのを回避できる。加えて、排気導入管の開口部からケーシング内に排出された排気は、当該開口部に正対配置された無端ベルトに当たるので、上述のように、排気導入管の中心軸線上に分布する多くの微粒子が当該中心軸線上に配置された回転体の表面で吸着捕集されるのに加えて、当該回転体で吸着捕集しきれない、排気導入管の内壁近傍に分布する微粒子も、当該無端ベルトの表面側に含まれた微粒子捕集液に吸着捕集される。請求項2に記載した発明は、請求項1に記載の保護フィルター装置の改良に関し、前記ケーシング内の底部には、前記微粒子捕集液が貯留されており、貯留された前記微粒子捕集液を前記無端ベルトあるいは前記回転体に供給する微粒子捕集液供給装置が設けられていることを特徴とする。このように微粒子捕集液供給装置を設けることにより、ケーシング内の底部に貯留された微粒子捕集液を何度も再利用することが可能となり、加えて、無端ベルトを、貯留された微粒子捕集液から離間して配置することができ、装置のレイアウトの自由度を高めることができる。請求項3に記載した発明は、請求項1の保護フィルター装置の改良に関し、前記ケーシング内の底部には、前記微粒子捕集液が貯留されており、前記無端ベルトの一部は、貯留された前記微粒子捕集液に浸漬或いは接触していることを特徴とする。請求項3の保護フィルター装置によれば、無端ベルトの表面側に含まれる微粒子捕集液は、ケーシング内の底部に貯留された微粒子捕集液に浸漬或いは接触している当該無端ベルトの一部から供給補充されるようになっているので、無端ベルトに微粒子捕集液を供給するための専用の微粒子捕集液供給装置等を設ける必要がなくなり、装置構成をシンプルにすることができる。加えて、貯留された微粒子捕集液に無端ベルトの一部を浸漬或いは接触させたときに、微粒子捕集液に吸着捕集された微粒子を当該無端ベルトから、貯留された微粒子捕集液中に移すことができるので、より新しい微粒子の混入が少ない微粒子捕集液を回転体に塗布することができるようになる。請求項4に記載した発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載の保護フィルター装置に関し、前記微粒子捕集液は、高粘性低蒸気圧液であることを特徴とする。本発明に係るフィルター装置によれば、回転体の表面の一部分に微粒子が堆積することなく長時間連続的に排気中の微粒子を吸着捕集できるとともに、当該回転体で吸着捕集しきれない微粒子も無端ベルトで吸着捕集することによって微粒子の除去効率を極めて高くすることができるので、減圧ポンプ内部への微粒子の堆積や付着を長期間防止して、当該微粒子に起因するトラブルを解消することができた。以下、本発明の実施の形態を、シリコン融液から半導体シリコン単結晶を製造する場合を例として、図面に基づいて詳述するが、本発明はこれらに限定されるものではなく、対象装置が減圧を利用するものであって、その排気に微粒子が含まれるものであれば、すべての場合に適用することが出来ることは言うまでもない。図1は常圧法による単結晶製造装置に本発明にかかる減圧ポンプ用の保護フィルター装置を介して減圧ポンプを装着した例を表したフロー図であるもちろん、図示減圧ポンプの後段に、さらにドライポンプや油回転ポンプを直列に接続して運転してもよい。以下、このように複数のポンプを直列接続する場合も含めて、単に減圧ポンプという。。図1の単結晶製造装置はシリコン単結晶の引き上げ装置で、ここでは半導体ウエーハの最も一般的な材料である単結晶シリコンインゴットの製造を取り上げる。図1のチャンバー内に納められた石英ガラス製溶融坩堝に高純度多結晶のシリコン、目的に応じた各種ドーパントを入れ、Ar雰囲気中でこれらを溶かし、その表面に種子にあたる単結晶を浸して、次いでゆっくりとこれを引上げることによって、種子単結晶と同じ方位配列を持った単結晶を成長させ、大きな円柱状のインゴットにする。この過程で、結晶成長時に不活性のArガスを導入しつつチャンバー内を減圧ポンプで減圧し、融液の表面に発生する反応副生成物を排出させ、チャンバー内を常時清浄雰囲気とする。Arガスを流すと共にチャンバー内圧を103~104Pa15~20トールTorrに調整することで、融液から僅かではあるが生成されるSiO微粉又は煙状体主体はSiOの微粉の除去を、窒素あるいはアルゴンガスをキャリアガスとして用いて炉外への排出を容易にし、これによって単結晶インゴットの製造能力を飛躍的に高める。換言すれば、溶融シリコンが石英坩堝内で溶融している間は、単結晶製造装置からの排気中に僅かながらSiOが含まれている。特に、SiOは排気系の内面に付着堆積するため、これらが運転開始時の炉内排気時や運転中に剥離又は遊離して減圧ポンプ内に入り込むと、減圧ポンプの可動部分を損傷することになる。本実施例の保護フィルター装置は、図2及び図3に示すように、大略、ケーシングと、排気導入管と、回転体と、微粒子を吸着させる無端ベルトと、排気排出管とで構成されている。ケーシングは、気密された内部空間を有しており、本実施例では、両端にフランジを有する筒状の本体部と、当該本体部の両フランジに取り付けられた一対の側板と、本体部を支持する脚部とで構成されているが、もちろん当該態様に限定されるものではない。また、ケーシングの材質としては、排気に含まれている腐食成分等や内部空間に貯留する微粒子捕集液に冒されない材質であればどのようなものでも使用できるもちろん、内部空間を臨む面に耐食性ライニングを施してもよい。。微粒子捕集液は、水を使用することもできるが、フッ素系オイル、シリコン系オイル或いは鉱物オイルなどの高粘性低蒸気圧性油、さらにはこのような油だけでなく、植物から抽出した低蒸気圧特性を持つグリセリンのような液体を使用することが好適である。高粘性低蒸気圧性液であれば、無端ベルトを構成する繊維の隙間を埋めるように薄い膜を形成したり、多数の糸を引くように無端ベルトの表面上を流れるため、単なる通常の水のようなものと異なり、気-液接触のチャンスが遥かに大きくしかも微粒子の付着性が非常に高いため高効率で除去することが出来るからである。しかも、低蒸気圧特性を有しているので、減圧下で使用される装置側にその蒸気が逆流するようなことがなく、装置を汚染するようなことがない。そして、捕集された微粒子は高粘性の微粒子捕集液内に巻き込まれてしまい、微粒子同士が微粒子捕集液によって隔離されてしまうため、発火の連鎖が防止されて粉塵爆発のようなものを起こすこともない。加えて、グリセリンであれば使用後に水で希釈してSiOを沈殿させた上澄み液を下水処理することが出来、環境にやさしいという利点もある。なお、本実施例の保護フィルター装置において、SiOやSiO2の微粉体を捕集した微粒子捕集液は、Cp15000程度まで使用でき、粘性がこれ以上高くなれば、新液または使用済み再生液体と一部交換して使用を継続する。使用済み微粒子捕集液の再生は沈殿法或いは遠心分離法などを応用して行うこともできる。排気導入管は、外部例えば単結晶製造装置から、ケーシングの内部空間に微粒子を含む排気を導入する管部と、ケーシングの内側の先端部に挿設されたライナーとを含んでいる。本実施例では、排気導入管は、フランジを介して、ケーシングの本体部の頂部から鉛直下向きに接続されているが、その接続方向は、これに限られるものではない。ライナーは、排気導入管の一部を構成し、排気導入管の管部の内径よりやや小さい外径を有する筒状本体と、当該筒状本体の下方端に取り付けられた傘状のフードとで構成されている。もちろん、筒状本体を省略し、フードを排気導入管の管部に直接接続してもよい。フードの内側には、回転体を排気導入管の中心軸線上において回転可能に保持する回転体保持部が設けられている。本実施例の場合、回転体に当接する円盤状のローラーと、一端がフードの内面に固定され、他端がローラーに軸着されることによって当該ローラーを回転可能の保持するサポート部材36とで構成された回転体保持部が中心軸線を中心にして90°間隔で4セットもちろん、3つ以上であればその数は限定されない。設けられており、4つのローラーによって球状の回転体が回転可能に保持されている。もちろん、回転体保持部の態様はこれに限られるものではなく、例えば、図2のbに示すように、球状の回転体の直径よりも小さいリングと、当該リングを排気導入管の中心軸線上に保持するリングサポート部材とで構成してもよい。なお、後述するように図4、円柱状の回転体を使用する場合には、フードの対向する内面間で当該回転体を回転可能に軸支する軸部材が回転体保持部となる。回転体は、上述のように、回転体保持部により、ケーシング内における排気導入管の開口部において本明細書全体を通じて、排気導入管の開口部とは、排気導入管の開口の近傍を意味しており、開口の近傍であれば当該排気導入管の内側だけでなく、外側をも含む概念である。例えば、本実施例では、回転体はフード内[=排気導入管の内側]に配置されている。、排気導入管の中心軸線上に回転可能に保持された球状体であり、材質としては、ケーシングと同様に、排気に含まれている腐食成分等や内部空間に貯留する微粒子捕集液に冒されない材質例えば、金属や樹脂が考えられる。無端ベルトは、ケーシング内に配設され、回転体を介して排気導入管の開口部に正対配置されており、その表面が回転体に接触している帯状体である。また、無端ベルトの材質としては、少なくとも表面側に微粒子捕集液を含むようにするため、樹脂製等の繊維を押し固めて不織布状メッシュ状にしたもので、通気抵抗が小さく、かつ、比表面積が大きいものが好適に使用される。無端ベルトを構成する材質の一例としては、サラン登録商標繊維を不織布状に加工し、サランラテックスで被覆結合させたサランロック登録商標が考えられる。また、この無端ベルトの表面には、プラズマ表面改質処理が施されており、当該無端ベルトを構成する繊維表面の表面エネルギーや分子構造、或いは物理的な凹凸を変化させることによって表面の微粒子捕集液に対する濡れ性を向上させている。また、上述のように、無端ベルトの表面は回転体に接触しているので、無端ベルトが走行することによって回転体も回転するとともに、無端ベルトの表面側における微粒子捕集液が回転体の表面に塗布される。なお、不織布状メッシュ状の表面では回転体が空回りして回転させ難い場合には、無端ベルトの表面における幅方向中央部すなわち、回転体が接触する部分に、より摩擦抵抗が大きくかつ微粒子捕集液を含み易い素材例えばスポンジを取り付ける不織布状材料の表面に重ねてもよいし、不織布状材料で挟むようにしてもよいのが好適である。回転体の表面に微粒子捕集液を塗布するメカニズムについて詳細に説明すると、保護フィルター装置には、無端ベルトを走行させるための無端ベルト回転機構が設けられており、本実施例の場合、無端ベルト回転機構は、1本の駆動軸と、3本の従動軸と、1本の絞りローラーとを有しており、これらの軸及びローラーが、ケーシングの内側空間において、一方の側板と他方の側板との間に水平に架け渡されている。駆動軸の一方端にはモーターが直接、或いはギアやプーリー等の減速器を介して接続されており、当該モーターからの回転力を受けた駆動軸が無端ベルトを回転させる。なお、無端ベルトに接する駆動軸の表面には複数のピンが突設されており、当該ピンが無端ベルトの裏面回転体に接触するのとは反対の面に食い込むことで、駆動軸が無端ベルトに対して空転するのを防止している。また、駆動軸は、ケーシングの内部空間の底部に貯留された微粒子捕集液の液面よりもやや低い位置に配置されており、3本の従動軸は、駆動軸の上方であって、無端ベルトを回転体に接触させることのできる第1の位置、当該第1の位置と同じ高さで、かつ、排気導入管の中心軸線をはさんだ反対側の第2の位置、および第1の位置と第2の位置との間で、かつ、両位置よりも低い第3の位置に配設されている。駆動軸および従動軸がこのように配置されているので、無端ベルトは、その表面が回転体に接触する部分を含む水平移動部分図2における右側と、その端部が貯留された微粒子捕集液に浸漬される垂直移動部分図2における左側とで構成され、その断面がL字状になっている。もちろん、駆動軸の位置や微粒子捕集液の液面位置を調整して、無端ベルトの垂直移動部分の下端が微粒子捕集液の液面に接触するようにしてもよい。また、図示しないが、水平移動部分の一部を下方に突出させ、当該突出部が貯留された微粒子捕集液に浸漬あるいは接触するようにしてもよい。絞りローラーは、駆動軸と同じ高さで、かつ、その表面と駆動軸の表面との間隔が無端ベルトの厚さよりも狭くなる位置であって、駆動軸の送り側に配設されている。駆動軸の送り側とは、駆動軸によって回転する無端ベルトが貯留された微粒子捕集液の液面から上がっていく側図2では、駆動軸の右側を意味しており、当該送り側に絞りローラーを設けることにより、微粒子捕集液に浸漬された無端ベルトに含まれる余剰の微粒子捕集液を絞り落として、適切な含浸率にすることができる。排気排出管は、ケーシングの内部空間から、微粒子が除去された排気を下流側の減圧ポンプに排出するためのパイプである。本実施例では、排気排出管は、ケーシングの本体部の側部から水平に接続されており、内部空間における無端ベルトの下方には、微粒子が除去された排気を排気排出管に導く排出ガイドが設けられている。排出ガイドは、金属或いは樹脂製の板材を組み合わせて形成されており、少なくとも、無端ベルトの水平移動部分の直下において上側の断面が広く形成された漏斗部と、排気排出管に向かう排気の流れを下向き液面方向に蛇行させるバッフル部とを有している。この排出ガイドを設けることにより、回転体や無端ベルトの表面で微粒子が除去されて無端ベルトを通過してきた排気を漏斗部で広く集めることができるとともに、集められた排気をバッフル部で下向き液面方向に蛇行させることによって無端ベルトから離れた微粒子捕集液の液滴や排気中に残存する微粒子を液面に向けて遠心分離することができるようになり、排出ガイドを設けない場合にくらべて、よりクリーンな排気を排気排出管に導くことができるようになる。本実施例の保護フィルター装置を用いて排気から微粒子を除去する手順について説明する。最初に、保護フィルター装置の図示しないスイッチをオンにしてモーターを起動し、駆動軸および無端ベルトを回転させる。そして、少なくとも無端ベルトがひと回りして無端ベルトの表面側全体に微粒子捕集液を含ませた後、単結晶引上装置および減圧ポンプを稼動させる。単結晶引上装置および減圧ポンプを稼動させると、排気導入管を通って微粒子を含む排気がケーシング内に流入する。このとき、当該微粒子は、最も流速が速くなる排気導入管の中心軸線上に最も多く分布することになるが、上述のように、回転体は、排気導入管の開口部における当該排気導入管の中心軸線上において、回転体保持部によって回転可能に保持されていることから、排気中における多くの微粒子は回転体の表面に衝突することになる。この回転体は、その表面が接触している無端ベルトの回転に伴って回転されると同時に、当該無端ベルトの表面側に含まれた微粒子捕集液が連続的に表面に塗布されるようになっているので、回転体の表面に衝突し、当該表面に塗布された微粒子捕集液に吸着捕集されることによって排気から除去された微粒子は、回転体とともに無端ベルトの表面まで回転した後、微粒子捕集液とともに当該無端ベルトの表面側に移されることになる。微粒子を含む微粒子捕集液が無端ベルト側に移った後の回転体の表面には、新たな微粒子捕集液が塗布され、再び排気中の微粒子が吸着することになる。このように、表面側に微粒子捕集液を含む無端ベルトで回転体を回転させることにより、回転体の表面への微粒子捕集液の塗布、当該微粒子捕集液による微粒子の吸着、微粒子を含む微粒子捕集液の無端ベルトへの移動、そして再び微粒子捕集液の塗布といった手順を連続的に行うことができるので、回転体の表面の一部分に微粒子が不所望に堆積するのを回避できる。また、排気導入管の開口部からケーシング内に排出された排気は、当該開口部に正対配置された無端ベルトに当たるので、上述のように、排気導入管の中心軸線上に分布する多くの微粒子が当該中心軸線上に配置された回転体の表面で吸着捕集されるのに加えて、当該回転体で吸着捕集しきれない、排気導入管の内壁近傍に分布する微粒子も、排気が無端ベルトを通過する際に当該無端ベルトの表面側に含まれた微粒子捕集液に吸着捕集される。無端ベルトを通過して微粒子が除去された排気は、当該無端ベルトの水平移動部分の直下に配置された、排出ガイドの漏斗部で集められ、バッフル部において下向き液面方向に蛇行した後、排気排出管を通って減圧ポンプに導入される。このように、本実施例の保護フィルター装置によれば、回転体の表面の一部分に微粒子が堆積することなく長時間連続的に排気中の微粒子を吸着捕集できるとともに、当該回転体で吸着捕集しきれない微粒子も無端ベルトで吸着捕集することによって微粒子の除去効率を極めて高くすることができるので、減圧ポンプ内部への微粒子の堆積や付着を長期間防止して、当該微粒子に起因するトラブルを解消することができる。なお、上記実施例では、回転体として球状体を使用していたが、これに替えて、図4に示すように、円柱状の回転体を使用してもよい排気導入管の中心軸線上に円柱の中心軸がくるように配置される。。この場合、上述したように、フードの対向する内面間で円柱状の回転体を回転可能に軸支する軸部材が回転体保持部となる。また、ケーシングの底部における微粒子捕集液の貯留部に、内部に冷却水を通流させる冷却水管を取り付けてもよい。これにより、高温の排気を取り扱うことによってケーシングの内部温度が上昇し、貯留された微粒子捕集液の温度が必要以上に上昇するのを防止して、当該微粒子捕集液が不所望に気化するのを回避することができる。さらに、図5に示すように、無端ベルトをL字状に配置せず、水平移動部分だけで構成してもよい。ただし、この場合は、ケーシングの底部に貯留された微粒子捕集液を上方にある無端ベルトや回転体に供給する微粒子捕集液供給装置が必要となる。微粒子捕集液供給装置は、大略、微粒子捕集液回収配管と、微粒子捕集液回収タンクと、微粒子捕集液供給配管と、回収ポンプと、送液ポンプとで構成されている。微粒子捕集液回収配管は、一端がケーシングの底面すなわち、本体部の底面に接続され、他端が微粒子捕集液回収タンクの頂部に接続されたパイプであり、必要なバルブが適宜取り付けられている微粒子捕集液供給配管も同じ。。微粒子捕集液回収タンクは、回収された微粒子捕集液が一時的に溜められる容器である。微粒子捕集液供給配管は、一端が微粒子捕集液回収タンクの底部に接続され、他端がケーシングの内部空間における無端ベルトの上側、或いは排気導入管内に配置されたパイプであり、その他端には必要に応じてノズルが取り付けられる。回収ポンプは、微粒子捕集液回収配管に取り付けられており、ケーシングの底部に貯留された微粒子捕集液を微粒子捕集液回収タンクに送るものである。送液ポンプは、微粒子捕集液供給配管に取り付けられており、微粒子捕集液回収タンク内の微粒子捕集液を、ケーシング内において、無端ベルトの表面或いは回転体に向けて供給するものである。この実施例によれば、微粒子捕集液供給装置から供給された微粒子捕集液は、回転体の表面或いは無端ベルトの表面で微粒子を取り込んだ後、ケーシングの底部に落下し、再び微粒子捕集液供給装置によってケーシング内に供給される。もちろん、この微粒子捕集液供給装置を、図2及び図3に示すL字状の無端ベルトを用いた保護フィルター装置に適用できることは言うまでもない。また、図6に示すように、無端ベルトの水平移動部分における下側の無端ベルトに球を載置してもよいもちろん、球に替えて円柱状のローラーでもよい。。球の数は特に限定されるものではないが、数が多い程、球の全表面積が大きくなり、後述するように、排気中の微粒子を吸着捕集する確率が高くなる点で好適である。球を載置することにより、無端ベルトの回転とともに当該無端ベルトの裏面に接触する球が回転し、回転体と同様のメカニズムによって無端ベルトの裏面から微粒子捕集液が当該球の表面に塗布され、上側の無端ベルトを通過してきた排気が球に衝突したときに、当該排気に残存する微粒子が球の表面の微粒子捕集液に吸着捕集される。したがって、微粒子の除去効率を高めることができる。