"薄板状の被搬送物の周縁に当接可能な固定クランプ部材と、被搬送物の周縁に押接して固定クランプ部材との間に被搬送物を挟む可動クランプ部材とを設けたハンドを備える搬送ロボットにより、被搬送物を水平姿勢で搬送先に搬送した後、可動クランプ部材を被搬送物の周縁から離脱するアンクランプ位置に退動させた状態でハンドを下降させて、搬送先に設けた複数の支持ピン上に被搬送物を移載する搬送方法において、固定クランプ部材と可動クランプ部材との対向方向をX軸方向、可動クランプ部材から固定クランプ部材に向かう方向をX軸プラス方向として、支持ピン上に被搬送物を移載するためのハンド下降時に、ハンドを下降させつつX軸プラス方向に移動させることを特徴とする搬送方法。前記ハンド下降時に、ハンドをX軸プラス方向に移動させながら、X軸方向に振動させることを特徴とする請求項1記載の搬送方法。前記振動は、前記ハンドのX軸プラス方向への移動開始当初の加速度変化で与えられることを特徴とする請求項2記載の搬送方法。薄板状の被搬送物の周縁に当接可能な固定クランプ部材と、被搬送物の周縁に押接して固定クランプ部材との間に被搬送物を挟む可動クランプ部材とを設けたハンドを備える搬送ロボットにより、被搬送物を水平姿勢で搬送先まで搬送した後、可動クランプ部材を被搬送物の周縁から離脱するアンクランプ位置に退去させた状態でハンドを下降させて、搬送先に設けた複数の支持ピン上に被搬送物を移載する搬送方法において、固定クランプ部材と可動クランプ部材との対向方向をX軸方向、可動クランプ部材から固定クランプ部材に向かう方向をX軸プラス方向、固定クランプ部材から可動クランプ部材に向かう方向をX軸マイナス方向として、支持ピン上に被搬送物を移載するためのハンド下降時に、ハンドを下降させつつX軸プラス方向とX軸マイナス方向とに繰り返し往復動させることを特徴とする搬送方法。前記往復動は、前記ハンドを搬送先に移動させて停止させたときに発生する振動で与えられることを特徴とする請求項4記載の搬送方法。本発明は、以上の点に鑑み、固定クランプ部材にある程度の窪みを生じても、被搬送物を支障なく搬送先の支持ピン上に移載できるようにした搬送方法を提供することをその課題としている。上記課題を解決するために、本発明は、薄板状の被搬送物の周縁に当接可能な固定クランプ部材と、被搬送物の周縁に押接して固定クランプ部材との間に被搬送物を挟む可動クランプ部材とを設けたハンドを備える搬送ロボットにより、被搬送物を水平姿勢で搬送先まで搬送した後、可動クランプ部材を被搬送物の周縁から離脱するアンクランプ位置に退動させた状態でハンドを下降させて、搬送先に設けた複数の支持ピン上に被搬送物を移載する搬送方法において、固定クランプ部材と可動クランプ部材との対向方向をX軸方向、可動クランプ部材から固定クランプ部材に向かう方向をX軸プラス方向として、支持ピン上に被搬送物を移載するハンド下降時に、ハンドを下降させつつX軸プラス方向に移動させることを特徴とする。本発明によれば、ハンド下降時におけるハンドのX軸プラス方向への移動により、被搬送物が支持ピンに着座した後は、固定クランプ部材が被搬送物の周縁から離れる方向に動く。そのため、固定クランプ部材にある程度窪みを生じても、被搬送物の周縁部は窪みから速やかに抜け出ることになり、支持ピン上での被搬送物の揺れ動きが抑制され、揺れ動きに起因する被搬送物の位置ずれが防止される。従って、固定クランプ部材の頻繁な交換が不要になり、装置稼働率を向上させることができる。尚、ハンド下降時に、ハンドをX軸プラス方向に移動させながら、X軸方向に振動させれば、被搬送物の周縁部が固定クランプ部材の窪みから一層抜け出やすくなる。この場合、前記振動は、ハンドのX軸プラス方向への移動開始当初の加速度変化で与えることが望ましい。これによれば、ハンドを振動させるために、搬送ロボットを意図的に細かく動作させる必要がなく、有利である。ところで、被搬送物の中には下方や上方に反ったものがある。そして、被搬送物が支持ピンに着座する時点でのハンドの高さは被搬送物の反りにより変化する。そのため、ハンド下降時にハンドをX軸プラス方向に移動させると、被搬送物が支持ピンに着座する時点でのハンドのX軸方向位置も被搬送物の反りにより変化し、被搬送物が許容範囲から外れた位置で支持ピン上に移載される可能性がある。かかる不具合を解消するには、支持ピン上に被搬送物を移載するためのハンド下降時に、ハンドを下降させつつX軸プラス方向可動クランプ部材から固定クランプ部材に向かう方向とX軸マイナス方向固定クランプ部材から可動クランプ部材に向かう方向とに繰り返し往復動させればよい。これによれば、往復動のストローク範囲内のX軸方向位置で被搬送物が支持ピン上に移載されることになる。そして、往復動のストロークを移載位置のずれの許容範囲内に設定することにより、被搬送物が許容範囲から外れた位置で支持ピン上に移載されることを防止できる。また、前記往復動は、ハンドを搬送先に移動させて停止させたときに発生する振動で与えることが望ましい。これによれば、ハンドを往復動させるための搬送ロボットによる動作を行わせる必要がなく、省エネルギー化を図ることができる。図1を参照して、1は半導体ウエハやガラス基板等の薄板状の被搬送物Sを搬送する搬送ロボットを示している。この搬送ロボット1は、昇降及び旋回自在なロボット本体2と、ロボット本体2上に設けた屈伸自在なロボットアーム3と、ロボットアーム3の先端部に連結したハンド4とを備えるスカラ型ロボットで構成されている。ハンド4は、ロボットアーム3に連結される基端部41aから二股状に分岐して先方にのびる一対のフィンガー部41b、41bを有するハンド本体41と、各フィンガー部41bの先端部上面に設けた固定クランプ部材42と、基端部41aに取付けたシリンダ43により進退される可動クランプ部材44と、各フィンガー部41bの先端部上面に固定クランプ部材42と一体化して設けた台座45と、各フィンガー部41bの基端部上面に設けた台座46とを備えている。固定クランプ部材42と可動クランプ部材44は、被搬送物Sよりも低硬度の材料、例えば、PEEKポリエーテルエーテルケトンで形成されている。被搬送物Sは、台座45,46を介してハンド本体41上に支持される。そして、可動クランプ部材44をシリンダ43により固定クランプ部材42側に前進させることにより、可動クランプ部材44が被搬送物Sの周縁に押接して、固定クランプ部材42と可動クランプ部材44との間に被搬送物Sが挟まれる。その後、被搬送物Sは、搬送ロボット1のロボット本体2とロボットアーム3との動作により搬送先に水平姿勢で搬送される。図2を参照して、搬送先には、ステージ5が設けられている。ステージ5には、昇降自在な複数本例えば、3本の支持ピン6が設けられている。そして、ハンド4をステージ5の上方位置まで移動させた後、可動クランプ部材44を被搬送物Sの周縁から離脱するアンクランプ位置に退動させた状態でハンド4を下降させ、上昇位置に存する支持ピン6上に被搬送物Sを移載する。次に、被搬送物Sの下方位置からハンド4を引き抜き、その後、支持ピン6を下降させて、ステージ5の上面に被搬送物Sを載置する。ここで、固定クランプ部材42は、被搬送物Sよりも低硬度の材料で形成されているため、ある程度使用すると、図3に示す如く、被搬送物Sとの接触部に摩耗による窪み42aを生ずる。この場合、ハンド4を真下に下降させたのでは、被搬送物Sが支持ピン6に着座した後、固定クランプ部材42の窪み42aに引っ掛かった被搬送物Sの周縁部が引き続くハンド4の下降で引き下げられて、反対側の周縁部が支持ピン6から浮き上がる。そして、固定クランプ部材42の窪み42aから被搬送物Sの周縁部が抜け出たところで、被搬送物Sが支持ピン6上で揺れ動いてしまい、支持ピン6に対する被搬送物Sの正規の移載位置からずれてしまうことがある。特に、能率化のため、支持ピン6への被搬送物Sの移載後に直ちにハンド4を引き抜くと、支持ピン6上で揺れ動いている被搬送物Sに固定クランプ部材42の上端が引っ掛かり、被搬送物Sが大きく位置ずれしてしまうことがある。そこで、本実施形態では、固定クランプ部材42と可動クランプ部材44との対向方向をX軸方向、可動クランプ部材44から固定クランプ部材42に向かう方向をX軸プラス方向、固定クランプ部材42から可動クランプ部材44に向かう方向をX軸マイナス方向として、支持ピン6上に被搬送物Sを移載するためのハンド下降時に、図2に矢印で示す如く、ハンド4を下降させつつX軸プラス方向に移動させるようにしている。これによれば、被搬送物Sが支持ピン6に着座した後は、ハンド4のX軸プラス方向への移動により、固定クランプ部材42が被搬送物Sの周縁から離れる方向に動く。そのため、被搬送物Sの周縁部が固定クランプ部材42の窪み42aから速やかに抜け出ることになり、支持ピン6上での被搬送物Sの揺れ動きが抑制され、揺れ動きに起因する被搬送物Sの位置ずれが防止される。ここで、窪み42aが無い初期状態に比べ、窪み42aが発生すると、被搬送物Sとの接触面積が拡大して、窪み42aのサイズ拡大速度が低下する。そして、本実施形態によれば、固定クランプ部材42にある程度の窪み42aを生じても、被搬送物Sの位置ずれを防止できるため、固定クランプ部材42を長期間使用することができる。従って、固定クランプ部材42の交換頻度を著しく低減することができ、装置稼働率が飛躍的に向上する。尚、ハンド下降時に、ハンド4をX軸プラス方向に移動させながら、X軸方向に振動させるようにしてもよい。これによれば、被搬送物Sの周縁部が固定クランプ部材42の窪み42aから抜け出やすくなり、被搬送物Sの位置ずれを一層確実に防止できる。ここで、ハンド4のX軸方向振動は、ロボットアーム3を意図的に細かく屈伸動作させることで与えることができる。また、ハンド4やロボットアーム3の重量や剛性によっては、加速度変化によりロボットアーム3が振動するから、ハンド4のX軸プラス方向への移動開始当初の加速度変化を所定量以上にして、ハンド4のX軸方向振動を与えることができる。具体的には、ハンド4をX軸プラス方向に急加速してから減速或いは定速移動に切り替えることでX軸方向振動を発生させる。このようにハンド4のX軸プラス方向への移動開始当初の加速度変化でX軸方向振動を与えれば、ロボットアーム3を意図的に細かく屈伸動作させる必要がなく、有利である。尚、ハンド下降前にハンド4をロボットアーム3の動作でX軸方向に振動させ、この振動が収まらないうちに、ハンド4を下降させつつX軸プラス方向に移動させるようにしてもよい。ところで、ハンド下降前の被搬送物Sの下面と支持ピン6の上端との間の高低差をH、ハンド下降時の鉛直方向に対するハンド移動方向の傾斜角をθとして、ハンド4は、支持ピン6に対する被搬送物Sの正規の移載位置よりもHtanθだけX軸マイナス方向にオフセットした位置から下降させつつX軸方向プラス方向に移動させ、被搬送物Sが支持ピン6に着座した時点で被搬送物Sが正規の移載位置に到達するようにしている。然し、被搬送物Sの中には下方や上方に反ったものがある。被搬送物Sが支持ピンに着座する時点でのハンド4の高さは、被搬送物Sが下方に反っている場合、比較的高くなり、被搬送物Sが上方に反っている場合、比較的低くなる。そのため、ハンド下降時にハンド4をX軸プラス方向に移動させると、被搬送物Sが支持ピン6に着座する時点でのハンド4のX軸方向位置も被搬送物Sの反りにより変化し、被搬送物Sが許容範囲から外れた位置で支持ピン6上に移載される可能性がある。そこで、図4に示す第2実施形態では、支持ピン6上に被搬送物Sを移載するためのハンド下降時に、ハンド4を下降させつつX軸プラス方向とX軸マイナス方向とに繰り返し往復動させるようにしている。この場合、被搬送物Sが支持ピン6に着座してからのハンド4のX軸プラス方向への往動時に、被搬送物Sの周縁部が固定クランプ部材42の窪み42aから抜け出て、被搬送物Sの位置ずれが防止される。そして、ハンド4の往復動のストローク範囲内のX軸方向位置で被搬送物Sが支持ピン6上に移載されることになる。従って、往復動のストロークを移載位置のずれの許容範囲内に設定することにより、被搬送物Sが反っていても、被搬送物Sが許容範囲から外れた位置で支持ピン6上に移載されることを防止できる。ここで、ハンド4のX軸プラス方向とX軸マイナス方向とへの往復動は、ハンド下降時にロボットハンド3を屈伸動作させることで与えることができる。また、ハンド4やロボットアーム3の重量や剛性によっては、ハンド4を搬送先に移動させて停止させたときにロボットアーム3が振動して、ハンド4がX軸方向に振動する。従って、振動が収まらないうちにハンド4を下降させ、この振動によってハンド4のX軸プラス方向とX軸マイナス方向とへの往復動を与えることができる。このようにハンド4の移動停止時に発生する振動で往復動を与えれば、ハンド4を往復動させるためにロボットアーム3を屈伸動作させる必要がなく、省エネルギー化を図ることができる。尚、ハンド下降前にハンド4をロボットアーム3の動作でX軸方向に振動させ、この振動が収まらないうちにハンド4を下降させるようにしてもよい。以上、本発明の実施形態について図面を参照して説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、上記実施形態のハンド4は、その先端側に固定クランプ部材42、基端側に可動クランプ部材44を設けたものであるが、先端側に可動クランプ部材、基端側に固定クランプ部材を設けたものであってもよい。また、支持ピン6は、昇降しない固定式のものであってもよい。"