"ノズル孔に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の上に形成され、基面を有する振動板と、前記振動板の前記基面の上において、第1の方向に延び、かつ、前記第1の方向と直交する第2の方向において並設された複数の第1電極と、前記振動板上において、複数の前記第1電極をそれぞれ覆うように形成された複数の圧電体層と、前記第2の方向に延び、複数の前記圧電体層を連続して覆うように形成された第2電極と、前記第2電極の上において、前記第2の方向に延びるように形成された一対の導電層と、を含み、前記圧電体層は、前記第1電極と前記第2電極によって挟まれ、前記第1の方向に延びる駆動領域を有し、一対の前記導電層は、前記駆動領域の前記第1の方向に沿った両端をそれぞれ押さえるように配置され、前記基面の法線方向から見た場合に、前記導電層に前記第1電極の外周が交差する線を交差線としたとき、前記導電層は、前記交差線に沿って前記駆動領域の中央側に向かう突出部を備えた液体噴射ヘッド。請求項1において、前記法線方向から見た場合、前記突出部は、前記交差線に対して線対称な形状である、液体噴射ヘッド。請求項2において、前記法線方向から見た場合、前記突出部の外縁は、直線または曲線を含めて構成される、液体噴射ヘッド。請求項1から3のいずれか1項において、前記導電層の前記第1の方向における両側面のうち、前記駆動領域の中央側の側面と反対側の側面は、前記第2電極の前記第1の方向における側面と連続している、液体噴射ヘッド。請求項1から4のいずれか1項において、前記導電層は、金を含む、液体噴射ヘッド。請求項1から5のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドを有する、液体噴射装置。本発明の目的の1つは、せん断歪量を減少させ信頼性が向上した液体噴射ヘッドおよび前記液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置を提供することにある。1本発明に係る液体噴射ヘッドは、ノズル孔に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の上に形成され、基面を有する振動板と、前記振動板の前記基面の上において、第1の方向に延び、かつ、前記第1の方向と直交する第2の方向において並設された複数の第1電極と、前記振動板上において、複数の前記第1電極をそれぞれ覆うように形成された複数の圧電体層と、前記第2の方向に延び、複数の前記圧電体層を連続して覆うように形成された第2電極と、前記第2電極の上において、前記第2の方向に延びるように形成された一対の導電層と、を含み、前記圧電体層は、前記第1電極と前記第2電極によって挟まれ、前記第1の方向に延びる駆動領域を有し、一対の前記導電層は、前記駆動領域の前記第1の方向に沿った両端をそれぞれ押さえるように配置され、前記基面の法線方向から見た場合に、前記導電層に前記第1電極の外周が交差する線を交差線としたとき、前記導電層は、前記交差線に沿って前記駆動領域の中央側に向かう突出部を備える。なお、本発明に係る記載では、上方という文言を、例えば、特定のもの以下Aというの上方に他の特定のもの以下Bというを形成するなどと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、A上に直接Bを形成するような場合と、A上に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとして、上方という文言を用いている。同様に、下方という文言は、A下に直接Bを形成するような場合と、A下に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとする。本発明によれば、せん断歪を低減し信頼性が向上した液体噴射ヘッドを提供することができる。2本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記法線方向から見た場合、前記突出部は、前記交差線に対して線対称な形状であってもよい。3本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記法線方向から見た場合、前記突出部の外縁は、直線または曲線を含めて構成されてもよい。4本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記導電層の前記第1の方向における両側面のうち、前記駆動領域の中央側の側面と反対側の側面は、前記第2電極の前記第1の方向における側面と連続していてもよい。5本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記導電層は、金を含んでいてもよい。6本発明に係る液体噴射装置は、上記のいずれかの液体噴射ヘッドを有する。本発明によれば、信頼性の向上した液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置を提供することができる。以下に、本発明を適用した実施形態の一例について図面を参照して説明する。ただし、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。本発明は、以下の実施形態およびその変形例を自由に組み合わせたものを含むものとする。1.液体噴射ヘッド以下、図面を参照して、本実施形態に係る液体噴射ヘッドについて説明する。図1は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド600の要部である圧電素子100を模式的に示す平面図であり、図2Aおよび図2Bは、液体噴射ヘッド600の要部を模式的に示す断面図である。なお、図1は、後述される振動板1の基面2の法線方向から見た場合の平面図である。図1~図2Bに示すように、本実施形態に係る液体噴射ヘッド600は、圧力発生室622を有する流路形成板620と、流路形成板620の上方に形成された振動板1と、振動板1の上方に形成された圧電素子100と、流路形成板620の下方に形成されたノズル板610と、を含む。振動板1は、図2Aおよび図2Bに示すように、ノズル孔612に連通する圧力発生室622の上に形成される。振動板1は、プレート状の部材であって、後述する圧電素子100が形成される基面2と、流路形成板620側の裏面3とを有する。振動板1の構造及び材料は、特に限定されない。例えば、振動板1は、図2Aおよび図2Bに示すように、複数の膜の積層体で形成されていてもよい。このとき、振動板1は、例えば、酸化ジルコニウムや酸化シリコンなどの絶縁膜、ニッケルなどの金属膜、ポリイミドなどの高分子材料膜、からなる複数の膜の積層体であってもよい。例えば、第1の層1aと、第2の層1bとの積層体であってもよい。ここで、例えば、第1の層1aは、酸化ジルコニウムからなり、第2の層1bは、酸化シリコンからなっていてもよい。振動板1は、振動部を構成する。言い換えれば、後述される圧電素子100が変位することによって振動変位することができる。これにより、下方に形成された圧力発生室622の体積を変化させることができる。本実施形態に係る液体噴射ヘッド600の圧電素子100は、図2Aおよび図2Bに示すように、振動板1の基面2の上において形成される。図1、図2A、および図2Bに示すように、圧電素子100は、振動板1の基面2の上において、第1の方向Aに延びる第1電極10と、振動板1上において、第1電極10を覆うように形成された圧電体層20と、第1の方向Aと直交する第2の方向Bに延び、圧電体層20を覆うように形成された第2電極30と、第2電極30の上において、第2の方向Bに延びるように形成された一対の導電層40と、を含み、圧電体層20は、第1電極10と第2電極30によって挟まれ、第1の方向Aに延びる駆動領域25を有する。図1、図2A、および図2Bに示すように、圧電素子100のうち、少なくとも駆動領域25は、圧力発生室622の上方に配置される。図2Bに示すように、圧電素子100の数は特に限定されず、複数形成されていてよい。なお、圧電素子100が複数形成される場合は、後述される第2電極30が共通電極となる。圧電素子100が複数形成される場合、第1電極10は、基面2の上において、第1の方向Aに延び、かつ、第1の方向Aと直交する第2の方向Bにおいて複数並設されていてもよい。また、圧電体層20は、複数の第1電極10をそれぞれ覆うように形成されていてもよい。また、第2電極30は、第2の方向Bに延び、複数の圧電体層20を連続して覆うように形成されていてもよい。以下、圧電素子100の詳細について説明する。第1電極10は、図2Aに示すように、第1の方向Aに延びるように形成される。ここで、第1の方向Aに対して実質的に直交した方向を第2の方向Bとする。第1の方向Aおよび第2の方向Bは、基面2に沿った面内方向である。図1および図2Aに示すように、第1電極10は、第1の方向Aにおける一方の端部11を有する。第1電極10の配置は、少なくとも一部が圧力発生室622の上方に設けられる限り、特に限定されない。図2Aに示すように、第1電極10は、後述されるリード配線60との電気的接続部12を有する。電気的接続部12の位置は、圧力発生室622の上方以外であれば特に限定されない。電気的接続部12は、例えば、駆動領域25を挟んで端部11とは反対側に位置していてもよい。第1電極10は、圧電素子100において下部電極第2電極30と対になる電極を構成する。第1電極10の構造及び材料は、特に限定されない。例えば、第1電極10は、単層で形成されていてもよい。あるいは、第1電極10は、複数の膜の積層体で形成されていてもよい。第1電極10の材質は、導電性を有する物質である限り特に限定されない。第1電極10の材質として、例えば、Ni、Ir、Au、Pt、W、Ti、Ta、Mo、Crなどの各種の金属およびこれらの金属の合金、それらの導電性酸化物例えば酸化イリジウムなど、SrとRuの複合酸化物、LaとNiの複合酸化物などを用いることができる。図2Aに示すように、基面2の上には、導電層15が設けられていてもよい図1には図示せず。導電層15は、第1電極10を所望の形状にパターニングされる際に、同じ材料でもって同時に形成されてもよい。導電層15の形成される領域は、第1電極10と電気的に絶縁されている限り特に限定されない。圧電体層20は、図2Aおよび図2Bに示されるように、第1電極10と第2電極30との間に配置されている。図2Aおよび図2Bに示すように、圧電体層20は、第1電極10および基面2の上に形成される。例えば、圧電体層20は、基面2の上において、第1電極10を覆うように形成されていてもよい。図1に示すように、圧電体層20は、圧力発生室622の上方において、第1の方向Aに延びるように形成されていてもよい。図2Bに示すように、圧電体層20は、後述される第2電極30が形成される上面21第1電極10側の面とは反対側の面と、テーパー状の側面22と、を有する。側面22は、圧電体層20の第1電極10側の面と、上面21と、を連続させる面である。図1および図2Bに示すように、圧電素子100が複数形成される場合、側面22が形成する開口部によって、それぞれのセグメント間における圧電体層20を離間させていてもよい。圧電体層20は、第1電極10と後述される第2電極に挟まれた駆動領域25を有する。ここで、図2Aに示すように、駆動領域25の第1の方向Aおける中央部に位置する断面を中央面Cとする。また、駆動領域25の第1の方向Aにおける端面を端面Dとする。圧電体層20の材質としては、一般式ABO3で示されるペロブスカイト型酸化物が好適に用いられる。このような材質の具体的な例としては、チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,TiO3、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛PbZr,Ti,NbO3、チタン酸バリウムBaTiO3、ニオブ酸カリウムナトリウムK,NaNbO3などが挙げられる。圧電体層20は、図1および図2Aに示すように、第1電極10の電気的接続部12の上において、第1電極10の一部が露出するような開口部26が形成される。開口部26の位置は、電気的接続部12の上であって、後述される第2電極30に離間していればよく、特に限定されない。開口部26の形状は、第2導電部である第1電極10を露出させることができればよく、特に限定されない。第2電極30は、図2Aに示すように、圧電体層20の上に形成される。第2電極30は、第1電極10と、圧電体層20を挟むように配置される。図2Bに示すように、第2電極30は、第2の方向Bにおいて、圧電体層20の一方の側面22から上面21を経由し、他方の側面22を連続して覆うように形成されていてもよい。また、複数の圧電素子100が設けられる場合、複数の圧電体層20を連続して覆うように形成されていてもよい。図1に示すように、第2電極30は、第1の方向Aにおける一方の端部31を圧力発生室622の上方において有していてもよい。これにより、図2Aに示すように、駆動領域25の一方の端面Dが規定されてもよい。図1に示すように、第2電極30は、第1の方向Aにおける他方の端部32を圧力発生室622の上方において有していてもよい。これにより、図2Aに示すように、駆動領域25の他方の端面Dが規定されてもよい。端部32は、図1に示すように、開口部32を形成していてもよい。開口部32は、第1電極10の端部11の上方における圧電体層20を露出させるように配置されていてもよい。また、図示はされないが、隣り合う複数の圧電素子100のセグメント間で端部32が連続していてもよい。第2電極30は、圧電素子100において上部電極第1電極10と対になる電極を構成する。第2電極30の構造及び材料は、特に限定されない。例えば、第2電極30は、単層で形成されていてもよい。あるいは、第2電極30は、複数の膜の積層体で形成されていてもよい。第2電極30の材質は、導電性を有する物質である限り特に限定されない。第2電極30の材質として、例えば、Ni、Ir、Au、Pt、W、Ti、Ta、Mo、Crなどの各種の金属およびこれらの金属の合金、それらの導電性酸化物例えば酸化イリジウムなど、SrとRuの複合酸化物、LaとNiの複合酸化物などを用いることができる。図2Aに示すように、圧電体層20の上には、導電層35および導電層36が形成されていてもよい。導電層35は、図1に示すように、第2電極30と連続する部分であって、圧力発生室622の上方以外の領域に設けられる部分であってもよい。導電層36は、第1電極10の電気的接続部12と、後述されるリード配線60との間に設けられていてもよい。導電層36は、開口部26を覆うように設けられていてもよい。図1、図2Aおよび図2Bに示すように、第2電極30の上に一対の導電層40が形成される。一対の導電層40は、駆動領域25の第1の方向Aに沿った両端をそれぞれ押さえるように配置される。以下に詳細を説明する。導電層40は、第2電極30の上において、第2の方向Bに延びるように形成される。図1および図2Aに示すように、導電層40は、駆動領域25の上方であって、駆動領域の第1の方向Aにおける中央面Cよりも、駆動領域の第1の方向Aにおける端面D側に位置する。図1および図2Aに示すように、第2電極の上において、一対の導電層40が形成され、一対の導電層40は、駆動領域25の両端面Dの上方にそれぞれ設けられていてもよい。図1および図2Bに示すように、複数の圧電素子100が設けられる場合、導電層40は、連続して設けられてもよい。前述のように、導電層40は、駆動領域25の長手方向における端部の上方に設けられる。これにより、長手方向の端部周辺における圧電素子100のせん断歪を抑制することができる。したがって、圧電素子100の変位量、長手方向の端部周辺のせん断歪量などを考慮して、配置、厚み、幅など適宜設計することができる。導電層40の構造及び材料は、特に限定されない。例えば、導電層40は、単層で形成されていてもよい。あるいは、導電層40は、複数の膜の積層体で形成されていてもよい。導電層40は、導電性を有した層からなっていてもよい。導電層40は、例えば、金Au、ニッケル-クロム合金Ni-Cr、白金Pt、イリジウムIrなどを含む金属層であってもよい。導電層40は、好適には、金を用いて形成されてもよい。ここで、導電層40は、基面2の法線方向から見た場合に、導電層40に第1電極10の外周が交差する線を交差線図示の例では仮想線Fで示すとしたとき、導電層40は、交差線図示の例では仮想線Fで示すに沿って駆動領域25の中央側に向かう突出部45を有する。以下に詳細を説明する。図1に示すように、導電層40の第1の方向Aにおける両側面41、42のうち、駆動領域25の中央面C側の側面42は、第1の方向Aにおいて突出した突出部45を有する。ここで、突出部45が突出する長さは、抑制したいせん断歪量により適宜決定される事項である。図1に示すように、突出部45は、駆動領域25の第2の方向Bにおける端面Eの上方に位置する。図1に示すように、駆動領域25の一方の端部において、突出部45は2つ設けられていてもよい。突出部45の形状は、第1の方向Aにおいて突出した形状であれば特に限定されない。基面2の法線方向から見たときの突出部45の形状は、駆動領域25の端面Eの上方の仮想線を線Fとした場合に、実質的に、線Fを対称軸とした線対称な形状であってもよい。これによれば、圧電素子100の変位量の分布をより均一に保つことができ、圧電素子100の信頼性を向上させることができる。図1に示すように、突出部45は、矩形形状であってもよい。ここで、図3Aおよび図3Bは、突出部45の変形例を示す平面図である。図3Aに示すように、突出部45は略円弧形状であってもよい。また、図3Bに示すように、突出部45の形状は、突出する方向において、徐々に第2の方向Bにおける幅が小さくなるように形成されていてもよい。言い換えれば、突出部45の外縁は、直線および/または曲線で構成されていてもよい。図2Cは導電層40の変形例を示す断面図である。図2Cに示すように、導電層40の第1の方向Aにおける両側面41、42のうち、中央面C側の側面42とは反対側の側面41は、第2電極30の第1の方向Aにおける端部31、32開口部32と連続していてもよい。これによれば、より効果的に、駆動領域25の端面D周辺の端部におけるせん断歪を抑制することができる。また、図2Cに示すように、導電層35の上に、導電層40と同じ材料からなる導電層46が形成されていてもよい。図示はされないが、導電層46は、導電層40と連続して形成され、電気的に接続していてもよい。導電層46は、図2Aには図示されないが、図2Aに係る形態においても形成されていてもよい。リード配線60は、図2Aに示すように、第1電極10の電気的接続部12と電気的に接続される。リード配線60の形状および構造は、電気的接続部12と電気的に接続される限り特に限定されない。図示はされないが、導電層36が形成されず、開口部12内の電気的接続部12に直接リード配線60が接続されていてもよい。リード配線60は、導電性を有した層からなり、圧電素子100において第1電極10へのリード線を構成する。リード配線60は、例えば、金Au、ニッケル-クロム合金Ni-Cr、白金Pt、イリジウムIrなどを含む金属層であってもよい。リード配線60は、導電層40と同じ材料からなり、同時に形成されていてもよい。これによれば、製造工程を簡便化することができる。図示はされないが、リード配線60は、外部駆動回路と接続されていてもよい。これによって、第1電極10が、リード配線60を介して、例えば外部駆動回路と電気的に接続されることができる。図4は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド600の要部を模式的に示す分解斜視図である。液滴噴射ヘッド600は、図2Aに示すように、ノズル孔612を有するノズル板610と、圧力発生室622を形成するための流路形成板620と、圧電素子100と、を含む。さらに、液滴噴射ヘッド600は、図4に示すように、筐体630を有することができる。なお、図4では、圧電素子100を簡略化して図示している。ノズル板610は、図2Aおよび図4に示すように、ノズル孔612を有する。ノズル孔612からは、インクなどの液体等液体のみならず、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したもの、又は、メタルフレーク等を含むものなどを含む。以下同じ。を液滴として吐出されることができる。ノズル板610には、例えば、多数のノズル孔612が一列に設けられている。ノズル板620の材質としては、例えば、シリコン、ステンレス鋼SUSなどを挙げることができる。流路形成板620は、ノズル板610上図4の例では下に設けられている。流路形成板620の材質としては、例えば、シリコンなどを例示することができる。流路形成板620がノズル板610と振動板1との間の空間を区画することにより、図4に示すように、リザーバー液体貯留部624と、リザーバー624と連通する供給口626と、供給口626と連通する圧力発生室622と、が設けられている。この例では、リザーバー624と、供給口626と、圧力発生室622とを区別して説明するが、これらはいずれも液体等の流路であって、このような流路はどのように設計されても構わない。また例えば、供給口626は、図示の例では流路の一部が狭窄された形状を有しているが、設計にしたがって任意に形成することができ、必ずしも必須の構成ではない。リザーバー624、供給口626および圧力発生室622は、ノズル板610と流路形成板620と振動板1とによって区画されている。リザーバー624は、外部例えばインクカートリッジから、流路形成板620と振動板1との間に設けられた貫通孔628を通じて供給されるインクを一時貯留することができる。リザーバー624内のインクは、供給口626を介して、圧力発生室622に供給されることができる。圧力発生室622は、振動板1の変形により容積が変化する。圧力発生室622はノズル孔612と連通しており、圧力発生室622の容積が変化することによって、ノズル孔612から液体等が吐出される。圧電素子100は、流路形成板620上図4の例では下に設けられている。圧電素子100は、圧電素子駆動回路図示せずに電気的に接続され、圧電素子駆動回路の信号に基づいて動作振動、変形することができる。振動板1は、積層構造圧電体層20の動作によって変形し、圧力発生室622の内部圧力を適宜変化させることができる。封止板630は、図4に示すように、ノズル板610、流路形成板620および圧電素子100を収納することができる。封止板630の材質としては、例えば、樹脂、金属などを挙げることができる。なお、ここでは、液滴噴射ヘッド600がインクジェット式記録ヘッドである場合について説明した。しかしながら、本発明の液滴噴射ヘッドは、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED面発光ディスプレイ等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどとして用いられることもできる。以上のいずれかの構成により、圧電素子100を備える液体噴射ヘッドの構成とすることができる。本実施形態に係る液体噴射ヘッド600は、図1に示すように、第2電極30の上に突出部45を備えた導電層40を有する。これによれば、駆動領域25の長手方向の端部周辺において、過剰なせん断歪の発生を抑制することができる圧電素子100を備える液体噴射ヘッド600を提供することができる。詳細は後述される。2.実施例以下、本発明に係る液体噴射ヘッドの実施例と比較例を、図面を参照しながら説明する。図5Aは、比較例に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す平面図であり、図5Bは、実施例に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す平面図である。図6は、比較例および実施例に係るせん断歪量の変化量を示すグラフである。2.1比較例本比較例においては、図5Aに示すように、導電層40に、上述された突出部45が形成されていない形態において発生するせん断歪量を、コンピューターによるシミュレーションによって算出した。導電層40の厚みは650nm、1300nm、2600nmとし、せん断歪量測定ポイントGは、図5Aに示すように、駆動領域25の第2の方向Bにおける端面Eの上方に位置する仮想線Fとの交点とした。測定ポイントGにおける導電層40のヤング率を80[GPa]とした。2.2実施例実施例においては、図5Bに示すように、突出部45を設けた形態において発生するせん断歪量を、コンピューターによるシミュレーションによって算出した。突出部45の第1の方向Aにおける長さL1は8.5umとし、第2の方向Bにおける長さL2は8.35umとした。実施例における測定ポイントGは、図5Bに示すように、導電層40の側面42における直線と、仮想線Fとの交点とした。突出部45を設けたこと以外は、比較例と同じ条件でシミュレーションを行った。2.3せん断歪量の比較図6に示すように、導電層40の厚みは650nm、1300nm、2600nmとしたすべての場合において、実施例のほうが比較例と比べてせん断歪量が約25低減されていることがわかった。したがって、本実施形態に係る液体噴射ヘッドによれば、駆動領域25の長手方向の端部周辺において、過剰なせん断歪の発生を抑制することができる。つまりは、せん断歪量の増加による物理的な破壊等の発生の可能性を低減することができ、信頼性の高い液体噴射ヘッドを提供することができる。3.液体噴射ヘッドの製造方法以下、図面を参照して、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法について説明する。図7~図11は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド600の製造方法を模式的に示す断面図である。なお、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、流路形成板620、ノズル板610を形成するために用いられる材質が単結晶シリコン等を用いる場合と、ステンレス等を用いる場合とによって異なる。以下において、単結晶シリコンを用いた場合の液体噴射ヘッドの製造方法を一例として記載する。本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、特に以下の製造方法に限定されず、ニッケルやステンレス鋼、ステンレス等を材料として用いる場合は、公知の電鋳法等の工程を含んでいてもよい。また、各工程の先後は、以下に記載の製造方法に限定されるものではない。図7に示すように、準備された単結晶シリコンからなり、加工されて流路形成板620となる基板620aの上に、振動板1を形成する。振動板1は、公知の成膜技術によって形成される。例えば、振動板1は、酸化シリコンからなる第2の層1bを熱処理法などにより形成した後、酸化ジルコニウムからなる第1の層1aをスパッタリング法等によって形成してもよい。振動板1を形成した後に、図7に示すように、振動板1の基面2上に第1電極10を形成する。ここで、第1電極10の詳細な構成は、前述されているため、省略する。第1電極10は、公知の成膜技術によって形成されてもよい。例えば、白金、イリジウム等をスパッタリング法等によって積層することによって導電層図示せずを形成し、導電層を所定の形状にエッチングすることによって第1電極10を形成してもよい。このとき、第1電極10をパターニングする際に、導電層15を形成してもよい。ここで、図示はされないが、第1電極10を形成するための導電層がエッチングによってパターニングされる前に、該導電層の上に圧電体層20と同じ材料からなる膜を形成してもよい。該膜は、少なくとも、所望の形状にパターニングされる第1電極10が形成される領域に形成されてもよい。これによれば、第1電極10をパターニングするエッチング工程において、使用されるエッチャントによる化学的なダメージから第1電極10と圧電体層20との結晶配向の低下を保護することができる。次に、図8に示すように、第1電極10を覆うように圧電体層20を形成する。ここで、圧電体層20の詳細な構成は、前述されているため、省略する。圧電体層20は、塗布法などにより成膜された圧電体層膜をパターニングすることによって形成される。具体的には、圧電体層膜は、例えば、公知の圧電材料である前駆体を基面2の上に塗布して加熱処理されて形成されてもよい。用いられる前駆体としては、加熱処理によって焼成した後、分極処理され、圧電特性を発生させるものであれば特に限定されず、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛等の前駆体を用いてもよい。ここで、例えば圧電体層20をチタン酸ジルコン酸鉛によって形成する場合、図示はされないが、チタンからなる中間チタン層を基面2の上の全面に形成した後に、圧電材料である前駆体を塗布したりしてもよい。これによれば、前駆体を加熱処理によって、圧電体層20を結晶成長させる際、基面2上での結晶大粒の発生を抑制できる。なお、中間チタン層は加熱処理時に圧電体層20の結晶内に取り込まれることができる。次に、図9に示すように、第2電極30を圧電体層20の上に形成する。ここで、第2電極30の詳細な構成は、前述されているため、省略する。図9に示すように、第2電極30をパターニングにより形成する際、導電層35、36を形成してもよい。第2電極30は、公知の成膜技術によって形成されてもよい。第2電極30は、例えば、白金、イリジウム等をスパッタリング法等によって積層することによって形成してもよい。次に、図10に示すように、導電層40を第2電極30の上に形成する。ここで、導電層40の詳細な構成は、前述されているため、省略する。導電層40は、公知の成膜技術によって成膜された導電層を所望の形状にパターニングすることによって形成される。ここで、導電層40をパターニングする際、リード配線60を同時に形成してもよい。また、ここで、図示はされないが、導電層35の上に導電層46を形成してもよい。以上の説明では、第2電極30をパターニングした後に、導電層40のパターニングを行ったが、これに限定されず、第2電極30と導電層40を共通のレジストを用いて、同時にパターニングを行って製造してもよい。図11に示すように、封止板630を圧電素子100の上方より搭載する。ここで、圧電素子100は、封止領域内に封止されることができる。封止板630は、例えば、接着剤によって圧電素子100を封止してもよい。次に、図11に示すように、流路形成板620aを所定の厚みに薄くし、圧力発生室622などを区画する。例えば、所定の厚みを有した基板620aに対し、所望の形状にパターニングされるようにマスク図示せずを、振動板1が形成された面と反対の面に形成し、エッチング処理することによって、圧力発生室622、供給路および連通路626、およびリザーバー624を区画する図4参照。以上によって、振動板1の下方に圧力発生室622を有した流路形成板620を形成することができる。流路形成板620を形成した後、図11に示すように、ノズル孔612を有したノズル板610を、例えば接着剤等により所定の位置に接合する。これによって、ノズル孔612は、圧力発生室622と連通する。以上のいずれかの方法により、液体噴射ヘッド600を製造することができる。なお、前述の通り、液体噴射ヘッド600の製造方法は、上述の製造方法に限定されずに、流路形成板620およびノズル板610を、電鋳法等を用いて一体形成してもよい。4.液体噴射装置次に、本実施形態にかかる液体噴射装置について、図面を参照しながら説明する。図12は、本実施形態にかかる液体噴射装置700を模式的に示す斜視図である。液体噴射装置700は、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。以下では、本発明に係る液体噴射ヘッドとして、液体噴射ヘッド600を用いた例について説明する。液体噴射装置700は、図12に示すように、ヘッドユニット730と、駆動部710と、制御部760と、を含む。液体噴射装置700は、装置本体720と、給紙部750と、記録用紙Pを設置するトレイ721と、記録用紙Pを排出する排出口722と、装置本体720の上面に配置された操作パネル770と、を含むことができる。ヘッドユニット730は、上述した液体噴射ヘッド600から構成されるインクジェット式記録ヘッド以下単にヘッドともいうを有する。ヘッドユニット730は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ731と、ヘッドおよびインクカートリッジ731を搭載した運搬部キャリッジ732と、を備える。駆動部710は、ヘッドユニット730を往復動させることができる。駆動部710は、ヘッドユニット730の駆動源となるキャリッジモーター741と、キャリッジモーター741の回転を受けて、ヘッドユニット730を往復動させる往復動機構742と、を有する。往復動機構742は、その両端がフレーム図示せずに支持されたキャリッジガイド軸744と、キャリッジガイド軸744と平行に延在するタイミングベルト743と、を備える。キャリッジガイド軸744は、キャリッジ732が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ732を支持している。さらに、キャリッジ732は、タイミングベルト743の一部に固定されている。キャリッジモーター741の作動により、タイミングベルト743を走行させると、キャリッジガイド軸744に導かれて、ヘッドユニット730が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Pへの印刷が行われる。なお、本実施形態では、液体噴射ヘッド600および記録用紙Pがいずれも移動しながら印刷が行われる液体噴射装置の例を示しているが、本発明の液体噴射装置は、液体噴射ヘッド600および記録用紙Pが互いに相対的に位置を変えて記録用紙Pに印刷される機構であればよい。また、本実施形態では、記録用紙Pに印刷が行われる例を示しているが、本発明の液体噴射装置によって印刷を施すことができる記録媒体としては、紙に限定されず、布、フィルム、金属など、広範な媒体を挙げることができ、適宜構成を変更することができる。制御部760は、ヘッドユニット730、駆動部710および給紙部750を制御することができる。給紙部750は、記録用紙Pをトレイ721からヘッドユニット730側へ送り込むことができる。給紙部750は、その駆動源となる給紙モーター751と、給紙モーター751の作動により回転する給紙ローラー752と、を備える。給紙ローラー752は、記録用紙Pの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラー752aおよび駆動ローラー752bを備える。駆動ローラー752bは、給紙モーター751に連結されている。制御部760によって供紙部750が駆動されると、記録用紙Pは、ヘッドユニット730の下方を通過するように送られる。ヘッドユニット730、駆動部710、制御部760および給紙部750は、装置本体720の内部に設けられている。液体噴射装置700によれば、信頼性が向上した液体噴射ヘッド600を有することができる。上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。"