所定方向の共振モードを2つ有する光スキャナと、前記光スキャナを駆動する駆動装置とを備え、前記駆動装置は、2つの共振モードのいずれか一方を選択して、選択した共振モードで前記光スキャナを前記所定方向に駆動することを特徴とする、光走査装置。選択した共振モードの共振周波数に対して周波数追従制御を行うPLL回路部を備えることを特徴とする、請求項1に記載の光走査装置。前記光スキャナは、光を反射するミラー部を含む構造体からなり、前記光スキャナの駆動において、前記構造体への応力ひずみが小さい方の共振モードの共振周波数を駆動周波数とすることを特徴とする、請求項2に記載の光走査装置。所定の周波数に対して、より近い共振周波数をもつ共振モードを選択して、その共振周波数を駆動周波数とすることを特徴とする、請求項2に記載の光走査装置。前記光スキャナは、光を反射するミラー部および前記ミラー部を囲むミラー枠を有するとともに、前記ミラー部の動きを検出する第1歪みセンサーおよび前記ミラー枠の動きを検出する第2歪みセンサーを含み、前記光スキャナの駆動において、前記第1歪みセンサーからの出力と前記第2歪みセンサーからの出力とを比較することにより、駆動に利用する共振モードを選択することを特徴とする、請求項1~4のいずれか1項に記載の光走査装置。互いに異なる方向である第1方向および第2方向の2つの走査で2次元走査を行う光走査装置であって、前記光スキャナが、前記第1方向の共振モードを2つ有することを特徴とする、請求項1~5のいずれか1項に記載の光走査装置。ここで、共振駆動を適用する水平方向駆動においては、そのミラー変位は、共振周波数のばらつきとQ値のばらつきの影響を受ける。共振周波数がばらつくと、水平走査の周期がばらつく。一方、Q値がばらつくと、水平走査の振幅がばらつく。このため、従来の光スキャナの駆動においては、周期や振幅のばらつきによって、走査精度が低下するという問題点がある。なお、振幅ばらつきについては、駆動信号による振幅調整によって対応することが可能であるものの、この場合は、光スキャナの駆動走査を制御する制御部が大きくなるという問題点がある。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、光スキャナの走査精度を向上させることが可能な光走査装置を提供することである。この発明のもう1つの目的は、小型化を図りつつ、光スキャナの駆動を精度よく制御することが可能な光走査装置を提供することである。上記目的を達成するために、この発明の一の局面による光走査装置は、所定方向の共振モードを2つ有する光スキャナと、この光スキャナを駆動する駆動装置とを備える。駆動装置は、2つの共振モードのいずれか一方を選択して、選択した共振モードで光スキャナを所定方向に駆動する。この一の局面による光走査装置は、上記のように、所定方向の共振モードを2つ有する光スキャナを駆動する。光スキャナにおいては、所定方向の共振モードを2つ有することで、その方向の共振モードを1つ有する場合に比べて、各共振モードにおける共振周波数の周波数ばらつきおよびQ値のばらつきを低減することができる。ここで、光スキャナにおける共振周波数およびQ値のばらつきは、製造時の加工ばらつきに起因する。そのため、加工精度を向上させることによって、共振周波数およびQ値のばらつきを低減することが可能である。しかしながら、上記のように、水平方向の共振モードを2つ有する構成とすることで、加工精度を向上させることなく、共振周波数およびQ値のばらつきを低減することができる。すなわち、製造上の固体ばらつきを低減することができる。そして、共振周波数の周波数ばらつきおよびQ値のばらつきが低減された2つの共振モードのいずれか一方を選択して、選択した共振モード共振周波数で光スキャナを所定方向に駆動することによって、走査精度を向上させることができる。また、Q値のばらつきに起因する振幅ばらつきを抑制するために、駆動信号による振幅調整を行う必要がないため、駆動装置が大きくなることもない。そのため、小型化を図りつつ、光スキャナの駆動精度を向上させることができる。上記一の局面による光走査装置において、好ましくは、選択した共振モードの共振周波数に対して周波数追従制御を行うPLLPhaseLockedLoop回路部を備える。このように構成すれば、PLL回路部によって、駆動周波数を、選択した共振モードの共振周波数にロックをかけることができる。すなわち、PLL回路部によって、共振周波数に追従するように駆動周波数を制御することができる。これにより、固体ばらつきや環境温度によって共振周波数が異なる場合でも、常に、選択した共振モードの共振周波数で光スキャナを駆動させることができる。上記光スキャナは、光を反射するミラー部を含む構造体から構成することができる。また、2つの共振モードを有する場合、2つの共振モードのうち、高周波側の共振モードは構造体への応力ひずみが大きいという特徴を有する。そのため、光スキャナの駆動においては、構造体への応力ひずみが小さい方の共振モードの共振周波数を駆動周波数とするのが好ましい。すなわち、2つの共振モードのうち、低周波側の共振モードを選択して、その共振周波数を駆動周波数とするのが好ましい。このように構成すれば、容易に、システムのロバスト性を確保することができる。加えて、構造体にかかる応力ひずみが小さいため、システムの安定性を図ることもできる。また、上記PLL回路部を備えた構成において、好ましくは、所定の周波数に対して、より近い共振周波数をもつ共振モードを選択して、その共振周波数を駆動周波数とする。このように構成すれば、たとえば、設計値により近い共振周波数をもつ共振モードを選択することによって、設計値により近い共振周波数を駆動周波数とすることができる。そのため、駆動周波数の設計値からのずれ量をできるだけ小さく抑えることができる。このため、たとえば、環境変化や経年変化などによって共振周波数が変化した場合でも、設計値により近い共振周波数で光スキャナを共振駆動させることができる。上記一の局面による光走査装置において、光スキャナは、光を反射するミラー部およびミラー部を囲むミラー枠を有する構成とすることができる。この場合、ミラー部の動きを検出する第1歪みセンサーに加えて、ミラー枠の動きを検出する第2歪みセンサーを有しているのが好ましい。また、このような光スキャナの駆動においては、第1歪みセンサーからの出力と第2歪みセンサーからの出力とを比較することにより、駆動に利用する共振モードを選択するのが好ましい。このように構成すれば、2つの共振モードの位相関係が複雑な場合でも、第1歪みセンサーからの出力と第2歪みセンサーからの出力とを比較することによって、2つの共振モードのどちらで駆動されているのかを検出することができる。たとえば、主要な共振モードは2つであるが、その他の小さな共振モード水平方向ではない共振モードが複雑に入り交じった場合でも、2つの共振モードを容易に検出することができる。そのため、たとえば、光スキャナが破損するような共振モードでの駆動を防止することができるので、システム故障につながる問題を回避することができる。また、上記光走査装置は、互いに異なる方向である第1方向および第2方向の2つの走査で2次元走査を行う光走査装置とすることができる。この場合、光スキャナが、第1方向の共振モードを2つ有する構成とされているのが好ましい。このように構成すれば、光スキャナの走査精度を向上させることが可能な2次元走査の光走査装置を容易に得ることができる。以上のように、本発明によれば、光スキャナの走査精度を向上させることが可能な光走査装置を容易に得ることができる。また、本発明によれば、小型化を図りつつ、光スキャナの駆動を精度よく制御することが可能な光走査装置を容易に得ることができる。以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態では、光走査装置の一例である画像投影装置に本発明を適用した例について説明する。第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態による光スキャナを模式的に示した斜視図である。図2は、図1の一部を拡大して示した斜視図である。図3は、光スキャナの駆動部圧電素子に印加する駆動信号を示す概略図である。図4は、2次元走査の光スキャナにより走査投影している様子を示した模式図である。図5~図9は、本発明の第1実施形態による光スキャナおよびその光スキャナを搭載した画像投影装置を示した図である。まず、図1~図9を参照して、本発明の第1実施形態による光スキャナ、画像投影装置および光スキャナを駆動する駆動システムについて説明する。第1実施形態による光スキャナ10は、図4に示すように、プロジェクター装置などの画像投影装置100に搭載されて、光源30からの光を走査する走査部として機能する。この画像投影装置100では、投影面200に向けて照射される光線のラスター走査を行うことにより、投影面200への2次元画像の表示が可能となっている。上記光源30は、光スキャナ10とともに画像投影装置100内に設けられており、光スキャナ10に向けて光線たとえばレーザー光LTを発する。光スキャナ10は、図1および図2に示すように、光源30図4参照からの光線LTを投影面200図4参照に向けて反射するミラー部11を有している。このミラー部11は、X軸に平行な第1軸水平トーションバーと、Y軸に平行で第1軸と略直角に交差する第2軸垂直トーションバーと、を中心とした回動が可能に構成されている。そして、ミラー部11が第1軸および第2軸において2次元的に回動することにより、ミラー部11で反射された光源30からの光線LTがラスター走査される。また、図5に示すように、画像投影装置100は、上記した光スキャナ10および光源30に加えて、光スキャナ10の駆動制御を行う光スキャナ制御部40と、光源30を駆動し、光線LTの変調が可能な光源駆動回路70と、光源駆動回路70を制御する画像信号制御部80とを有している。光スキャナ10は、後述するように、歪みセンサー18を有している。この歪みセンサー18は、ミラー部11の角度回動角度振れ角を検出する角度検出センサーとしてピエゾ抵抗素子を有している。光スキャナ制御部40は、ミラー部11に関するX軸周りの回動、つまり水平方向H方向の駆動を制御する水平駆動制御部駆動回路50と、ミラー部11に関するY軸周りの回動、つまり垂直方向V方向の駆動を制御する垂直駆動制御部60とを有している。なお、光スキャナ制御部40および水平駆動制御部50は、本発明の駆動装置の一例である。画像信号制御部80は、たとえば画像投影装置100の外部から入力された画像信号に基づき光源30を制御するための制御信号を生成する。そして、この制御信号に基づき、光源駆動回路70を介して光源30の制御たとえば点灯消灯の制御や発光強度の制御を行う。なお、上記光スキャナ制御部40には、ミラー部11の駆動のタイミングを画像信号と同期させるための同期信号が入力される。これにより、入力された画像信号に基づく適切な画像表示が投影面200図4参照で行われる。また、第1実施形態による光スキャナ10は、シリコン基板に対してエッチング処理などを施すことで得られる構造体MEMS構造体;ミラー部11を含む共振構造からなり、図6に示すように、ミラー部11に加えて、固定枠12、駆動部13およびミラー枠可動枠14などを一体的に有している。なお、以下の説明では、ミラー部11の中心を図6の縦方向に横切る軸映像画像をX方向左右方向に走査する軸をX軸とし、ミラー部11の中心を図6の横方向に横切る軸映像画像をY方向上下方向に走査する軸をY軸とする。言い換えると、X軸とY軸とが直交する点をミラー部11の中心とする。固定枠12は、光スキャナ10の外縁に相当する部分であって、他の部分ミラー部11、駆動部13およびミラー枠14などを取り囲んでいる。駆動部13は、X軸方向において固定枠12と連結され、Y軸方向において固定枠12と分離されている。さらに、駆動部13は4つのユニモルフ構造を含んでいるとともに、その4つのユニモルフ構造がX軸およびY軸のそれぞれを対称軸として対称となり、かつ、互いに離間した状態となるように配置されている。また、駆動部13としてのユニモルフ構造は、図7に示すように、圧電素子13aたとえば、PZTなどを原料とした焼結体を分極処理したものを一対の電極13bで挟持し、それをシリコン基板の駆動部13となる領域上に貼り付けることによって形成されている。このような駆動部13では、一対の電極13bに、分極反転分極外れを起こさない範囲で±の電圧交流電圧が印加されると、一対の電極13bに挟持された圧電素子13aが伸長または収縮する。そして、それに応じて、シリコン基板の駆動部13となる領域が変形撓み変形/曲げ変形する。すなわち、駆動部13は、電力が供給されることで駆動する。図6に示すように、ミラー枠14は、駆動部13の内側に位置する略ひし形形状の枠である。また、ミラー枠14と固定枠12との間には、Y軸方向に沿って延びる一対の垂直トーションバー15が設けられている。この一対の垂直トーションバー15は、Y軸と重なり、かつ、X軸に対して対称となるように配置されている。さらに、一対の垂直トーションバー15のそれぞれの一方端は、固定枠12のY軸上の端部に連結されている。そして、ミラー枠14は、一対の垂直トーションバー15の他方端の間に配置されており、その他方端一対の垂直トーションバー15によって支持挟持されている。このため、ミラー枠14は、垂直トーションバー15を回動軸中心軸としてY軸周りに回動可能とされている。ミラー枠14は、ミラー部11を囲む枠であり、その内側には、ミラー部11に加えて、X軸方向に沿って延びる一対の水平トーションバー16が設けられている。この一対の水平トーションバー16は、X軸と重なり、かつ、X軸に対して対称となるように配置されている。さらに、一対の水平トーションバー16のそれぞれの一方端は、ミラー枠14のX軸上の端部に連結されている。そして、ミラー部11は、一対の水平トーションバー16の他方端の間に配置されており、その他方端一対の水平トーションバー16によって支持挟持されている。このため、ミラー部11は、ミラー枠14とともにY軸周りに回動され、水平トーションバー16を回動軸中心軸としてX軸周りにも回動される。また、上記ミラー部11は、たとえば略円形状に形成されており、金やアルミニウムなどからなる反射膜をシリコン基板のミラー部11となる領域上に貼り付けることで得ている。なお、これ以外に、たとえば、シリコン基板の一部に金やアルミニウム等の反射膜を蒸着やスパッタ法にて形成することで得ることもできる。また、金やアルミニウムの上に誘電体多層膜を形成して反射率を向上させることも可能である。また、4つの駆動部13は、その一部が連結部17によって垂直トーションバー15と連結されている。この連結部17は、シリコン基板の駆動部13となる領域および垂直トーションバー15と一体的に形成されている。さらに、垂直トーションバー15の近傍には、この垂直トーションバー15の捩れ角度を検出するための歪みセンサー18a18が設けられている。同様に、水平トーションバー16の近傍には、この水平トーションバー16の捩れ角度を検出するための歪みセンサー18b18が設けられている。歪みセンサー18aおよび18bは、それぞれ、ピエゾ抵抗素子20を有しており、垂直トーションバー15および水平トーションバー16の変形時に生じるせん断応力を抵抗値で検出する。このピエゾ抵抗素子20歪みセンサー18a、18bは、シリコン基板に対して、ボロンやヒ素などの不純物を部分的にドーピングすることで生成されている。そして、歪みセンサー18aからの出力に基づいて、垂直トーションバー15によるY軸周りのミラー部11ミラー枠14の角度振れ角を検出するとともに、歪みセンサー18bからの出力に基づいて、水平トーションバー16によるX軸周りのミラー部11の角度振れ角を検出する。また、歪みセンサー18aは、垂直トーションバー15の軸上Y軸上垂直トーションバー15の根元部分に配置されており、歪みセンサー18bは、水平トーションバー16の軸上X軸上水平トーションバー16の根元部分に配置されている。なお、軸上とは、垂直トーションバー15上および水平トーションバー16上のみならず、垂直トーションバー15の延長線上および水平トーションバー16の延長線上をも含む。光スキャナ10の走査動作駆動制御は、4つの駆動部13を駆動伸縮させるタイミングを調整し、ミラー部11をX軸周りおよびY軸周りに振動させることによって行われる。たとえば、Y軸周りに振動させるときの周波数は60Hzに設定され、X軸周りに振動させるときの周波数は30kHzに設定される。すなわち、垂直方向V図4参照には60Hz設計値で駆動され、水平方向H図4参照には30kHz設計値で駆動される。また、垂直方向はDC駆動され、水平方向は共振駆動される。なお、垂直方向、水平方向ともに、ミラー部11の動きは上記歪みセンサー18によって検出される。また、水平方向Hは、本発明の所定方向および第1方向の一例であり、垂直方向Vは、本発明の第2方向の一例である。4つの駆動部13のそれぞれに13-1~13-4の符号を付して具体的に説明する。ミラー部11をY軸周りに振動させる際には、駆動部13-1および13-3を一方の組とするとともに、駆動部13-2および13-4を他方の組とし、一方の組および他方の組のそれぞれに印加する電圧の正負を反転させる。この場合、一方の組である駆動部13-1および13-3が伸長する方向に変形すると、他方の組である駆動部13-2および13-4が収縮する方向に変形する。また、一方の組である駆動部13-1および13-3が収縮する方向に変形すると、他方の組である駆動部13-2および13-4が伸長する方向に変形する。これにより、ミラー部11がミラー枠14とともにY軸周りに振動し、ミラー部11の傾き角度がY軸周りに変動する。また、ミラー部11をX軸周りに振動させる際には、駆動部13-1および13-2を一方の組とするとともに、駆動部13-3および13-4を他方の組とし、一方の組および他方の組のそれぞれに印加する電圧の正負を反転させる。この場合、一方の組である駆動部13-1および13-2が伸長する方向に変形すると、他方の組である駆動部13-3および13-4が収縮する方向に変形する。また、一方の組である駆動部13-1および13-2が収縮する方向に変形すると、他方の組である駆動部13-3および13-4が伸長する方向に変形する。これにより、ミラー部11がミラー枠14とともにX軸周りに振動し、ミラー部11の傾き角度がX軸周りに変動する。このとき、駆動部13を変形させることのみでミラー部11をX軸周りに回動させようとすると、ミラー部11のX軸周りの傾き角度の変動は小さくなってしまう。このため、実際に走査動作を行う際には、駆動部13に印加される電圧の周波数によってミラー部11が共振するように、駆動部13への印加電圧の周波数が設定される。上記のようにミラー部11を動作させることで、互いに直交している2軸周りにミラー部11を回動させることができ、1つのミラー部11で2次元走査することが可能となる。ここで、図3に示すように、水平走査駆動信号と垂直走査駆動信号とを重畳した電圧を4つの駆動部13圧電素子13aに加えることによって、上記のように水平トーションバー16を支点にした水平方向の共振駆動と、ミラー枠14全体を駆動させる垂直方向の駆動DC駆動とが実現される。なお、垂直駆動信号は60Hzの三角波であり、水平駆動信号は正弦波である。また、水平駆動信号の周波数はミラー部11の水平方向の共振周波数である。このため、後述するように、水平方向の駆動周波数は、水平方向の共振周波数となるように、駆動信号と水平方向の歪みセンサー検出信号との位相差を検出してPLLをかけている。これにより、環境温度などで共振周波数がずれた場合でも、PLLにより追従制御できるように構成されている。このような光スキャナ10が搭載された画像投影装置100では、図4に示すように、垂直方向V方向は60Hzの三角波走査が行われ、水平方向H方向は共振周波数で正弦波走査が行われる。垂直方向はDC駆動であるため、走査角度は駆動信号により決まる。一方、垂直方向は共振駆動であるため、単位時間当たりの走査本数と走査角度は変動する。そのため、走査角度は、歪みセンサー出力を基に、駆動信号の振幅調整を行うことで対応している。ここで、共振駆動を適用する水平方向駆動においては、そのミラー変位は、共振周波数のばらつきとQ値のばらつきの影響を受ける。共振周波数がばらつくと、水平走査の周期がばらつく。一方、Q値がばらつくと、水平走査の振幅がばらつく。また、光スキャナにおける共振周波数およびQ値のばらつきは、製造時の加工ばらつきに起因する。そこで、本願発明者らが、この加工ばらつきによる影響を小さくするために、シミュレーションによるTMTaguchiMethods評価を行った。その結果、ミラー水平方向に共振モードを2つ作ることが望ましいことが判明した。すなわち、水平方向に共振モードを2つもつことで、製造上のロバスト性を向上させることが可能となることを見出した。そのため、第1実施形態では、上記光スキャナ10が水平方向に共振モードを2つ有するように構成されている。水平方向に共振モードを2つ有する構成とするためには、水平トーションバー16図2および図6参照に加えて、ミラー枠14図2および図6参照も水平方向水平走査方向に捩れるように構成すればよい。これにより、水平トーションバー16を基準としてなされる振動による共振モードと、ミラー枠14を基準としてなされる振動による共振モードとの2つの共振モードが得られる。なお、光スキャナ10の共振周波数は、基体シリコン基板におけるヤング率、ポアソン比、密度、さらには、ミラー部11の形状、固定条件、圧電素子の圧電定数等の条件が明らかになっていれば、市販のシミュレーションソフトによって算出可能である。そのため、シミュレーションによって、水平方向に共振モードを2つ有する構成が容易に得られる。この場合、たとえば、図8および図9に示すように、駆動部13からミラー枠14までの距離L図8参照を短くするとともに、垂直トーションバー15に設けられた変位拡大部21の幅W図19参照を長くするとよい。なお、変位拡大部21はDC駆動時の変位を拡大する機能を有している。そして、この距離Lと幅Wとを調整することにより、駆動部13とミラー枠14との間の部分の剛性を調整することができる。これにより、容易に、ミラー部11駆動体を共振駆動させる共振モードを2つ以上発生させることができ、かつ、2つの共振モードが近づく図4のΔfが小さくなるように調整することができる。なお、上記はこの部分の剛性を変えることで共振モードを調整することが可能となる1つの例であり、共振モードを調整するための手法は上記以外であってもよい。上述したように、光スキャナ10はX軸およびY軸に対して対称であるため、図8では光スキャナ10の一部分だけを示している。また、図8では、駆動部13シリコン基板の駆動部13となる領域および垂直トーションバー15に変位拡大部21を形成した構成としている。このように構成すれば、駆動部13シリコン基板の駆動部13となる領域の変形撓み変形等をねじれ変形回転トルクに変化させて垂直トーションバー15に変位を拡大して伝達させることが可能となるため好ましい。そのため、第1実施形態による光スキャナ10においても、このような構成が適用されているのが好ましい。ただし、このような変位拡大部21を形成しない構成とすることも可能である。また、上記変位拡大部21は、保持部19および垂直トーションバー15のいずれか一方に形成されていてもよい。また、2つの共振モードは、いずれも、共振周波数の周波数ばらつきが低減されている。なお、水平方向とは、上記のように、共振駆動により走査される方向であり、水平トーションバー16第1軸を中心軸として回動する方向でもある。そして、第1実施形態では、光スキャナ制御部40水平駆動制御部50図5参照によって、2つの共振モードのいずれか一方が選択されて、選択した共振モードで光スキャナ10が水平方向に駆動される。次に、第1実施形態の光スキャナ制御部40水平駆動制御部50による光スキャナ10の水平方向の駆動について説明する。なお、第1実施形態の光スキャナ制御部40による駆動水平方向に2つの共振モードを有する光スキャナ10の駆動の説明をする前に、1つの共振モードを有する比較例による光スキャナの駆動について先に説明する。図10~図13は、1つの共振モードを有する比較例による光スキャナの水平方向駆動を説明するための図である。図10のAに示すように、比較例による光スキャナは、共振モードが1つ存在する2次遅れ系である。なお、図10では、1つの共振モードをmode0として示している。また、比較例による水平方向の駆動は、この共振周波数により行う。2次遅れ系では、図10のBに示すように、共振周波数で、駆動信号とミラーの変位との位相差が90度となる。共振周波数は固体ばらつきや環境温度により異なるため、常に共振周波数で駆動させるためには、PLL制御を行うのが好ましい。また、比較例による光スキャナを駆動制御する光スキャナ制御部540は、図11に示すように、歪みセンサー1818aからの信号を検出する検出回路51、共振周波数に対して周波数追従制御を行うPLL回路部150、振幅制御回路52および水平駆動回路53を有している。PLL回路部150は、位相比較回路151、ループフィルター152、電圧制御発振器VCO153により構成されている。このように構成された比較例による光スキャナの水平方向駆動では、水平方向の歪みセンサー18b18により、ミラー水平方向の変位動作を検出する。そして、歪みセンサー18bの検出信号とVCO153から出力される駆動信号の位相差が90度になるように、VCO153の出力信号を制御する。この動作により、MEMS500光スキャナのミラー部を水平方向に駆動する駆動信号が共振周波数に追従することになる。なお、ミラー部の水平方向の振り角度は共振のQ値に依存する。このQ値もばらつきをもっているため、所定のミラー振り角度を得るために、歪みセンサー18bからの出力値を基に振幅制御回路52で駆動信号の振幅制御を行っている。また、図12にPLL回路部150の具体例が示されている。この具体例では、歪みセンサー18b図11参照からの検出信号と駆動信号との位相差を比較する位相比較回路151図11参照は、ExOR回路151aで構成されている。このExOR回路151aからは、位相差に応じたパルス列が出力される。また、ループフィルター152図11参照は、ローパスフィルターLPF152aから構成されており、ExOR回路151aから出力されたパルス列がLPF152aで平滑化される。そして、LPF出力値に基づいて、駆動周波数を上げるか下げるかの判別制御が行われる。駆動周波数を上げるか下げるかの判別制御について、図13を参照して具体的に説明する。図13は、比較する2つの信号の位相差とLPF出力値の関係を示している。図13に示すように、比較する2つの信号の位相差が0度のときは、LPF出力値は0になる。位相差が180度のときは、LPF出力値はVccとなる。位相差が0度~180度までのLPF出力値は線形であるため、位相差が90度のときのLPF出力値はVcc/2となる。そのため、位相差90度でロックをかける場合、LPF出力値の目標値はVcc/2となる。そして、LPF出力値がVcc/2よりも小さいときは、駆動周波数を上げるように制御する。一方、LPF出力値がVcc/2よりも大きいときは、駆動周波数を挙げるように制御する。このようにして、比較例による光スキャナの水平方向駆動が行われる。図14~図16は、本発明の第1実施形態による光スキャナの水平方向駆動を説明するための図である。続いて、図6、図12および図14~図16を参照して、第1実施形態の光スキャナ制御部40水平駆動制御部50による駆動水平方向に2つの共振モードを有する光スキャナ10の駆動について説明する。図14のAに示すように、第1実施形態による光スキャナ10は、2つの共振モードを有している。図14では、2つの共振モードを、それぞれ、Mode1およびMode2として示している。また、Mode1の共振モードは、水平トーションバー16図6参照を基準としてなされる振動による共振モードである。一方、Mode2の共振モードは、ミラー枠14図6参照を基準としてなされる振動による共振モードである。なお、Mode1の周波数をfmode1、Mode2の周波数をfmode2とした場合、Mode1とMode2との関係は、以下の1式および2式を満たしているのが好ましい。fmode1<fmode21fmode10.2×fmode1≧fmode22また、図14に示すように、Mode1では、駆動信号と歪みセンサー18b図6参照の検出信号との位相差は90度となる。Mode2では、駆動信号と歪みセンサー18b図6参照の検出信号との位相差は270度となる。第1実施形態では、比較する2つの信号の位相差とLPF出力値との関係は図15のようになる。位相差が0度~180度までのLPF出力値は線形であるため、位相差が90度のときのLPF出力値はVcc/2となる。また、位相差が180度~360度までのLPF出力値も線形であるため、位相差が270度のときのLPF出力値はVcc/2となる。なお、位相差が0度~180度までのLPF出力値の傾きと、位相差が180度~360度までのLPF出力値の傾きとは、互いに逆になっている。ここで、Mode1の共振周波数を駆動周波数として用いる場合、LPF出力値の目標値をVcc/2とし、出力値がVcc/2より小さいときは駆動周波数を上げるように制御する。逆に、出力値がVcc/2より大きいときは駆動周波数を下げるように制御する。一方、Mode2の共振周波数を駆動周波数として用いる場合、LPF出力値の目標値をVcc/2とし、出力値がVcc/2より小さいときは駆動周波数を下げるように制御する。逆に、出力値がVcc/2より大きいときは駆動周波数を上げるように制御する。駆動周波数として、どちらの共振モードを利用するかは選択可能であり、選択したモードに対する論理でPLLをかける。2つの共振モードを比較すると、高周波側の共振モードは、MEMS構造体への応力ひずみの影響が大きいという特徴を有している。そのため、システムのロバスト性を向上させるためには、MEMS構造体への応力ひずみの影響が小さい低周波側の共振モードMode1を利用するのが好ましい。すなわち、低周波側の共振モードMode1を選択して、その共振周波数を駆動周波数とするのが好ましい。また、第1実施形態による光スキャナ10を駆動制御する光スキャナ制御部40水平駆動制御部50は、図16に示すように、歪みセンサー18bからの信号を検出する検出回路51、共振周波数に対して周波数追従制御を行うPLL回路部150および水平駆動回路53を有している。また、PLL回路部150は、位相比較回路151および周波数制御回路154を含む。なお、ループフィルター、電圧制御発振器VCOは、たとえば、周波数制御回路154に含まれている。また、図12に示した比較例と同様、位相比較回路151はExOR回路から構成されており、ループフィルターはLPFから構成されている。ただし、第1実施形態では、比較例とは異なり、振幅制御回路52図11参照を備えない構成とされている。上記周波数制御回路154は、Mode1の共振モードまたはMode2の共振モードのいずれかにPLLをかける論理が予め設定されている。すなわち、第1実施形態の周波数制御回路154では、Mode1にロックをかけるモード1ロック用か、Mode2にロックをかけるモード2ロック用にPLL論理が設定されている。上述したように、2つの共振モードを比較すると、低周波側の共振モードMode1の方が、MEMS構造体にかかる応力ひずみが小さい。そのため、システムの安定性を考慮すると、Mode1で駆動することが好ましい。このため、第1実施形態では、周波数制御回路154は、Mode1の共振モードにPLLをかけるように論理が設定されている。ただし、周波数制御回路154は、Mode2の共振モードにPLLをかけるように論理を設定することもできる。なお、第1実施形態による光スキャナ10の水平方向駆動のその他の動作は、上記した比較例と同様である。このようにして、第1実施形態の光スキャナ制御部40水平駆動制御部50による光スキャナ10の水平方向駆動が行われる。第1実施形態では、上記のように、水平方向の共振モードを2つ有する光スキャナ10を駆動する。光スキャナ10においては、水平方向の共振モードを2つ有することで、水平方向の共振モードを1つ有する場合に比べて、各共振モードにおける共振周波数の周波数ばらつきおよびQ値のばらつきを低減することができる。また、上記したように、共振周波数およびQ値のばらつきは、光スキャナ10の製造時の加工ばらつきに起因する。そのため、加工精度を向上させることによって、共振周波数およびQ値のばらつきを低減することが可能である。しかしながら、上記のように、光スキャナ10を、水平方向の共振モードを2つ有する構成とすることで、加工精度を向上させることなく、共振周波数およびQ値のばらつきを低減することができる。すなわち、製造上の固体ばらつきを低減することができる。そして、光スキャナ制御部40水平駆動制御部50により、共振周波数の周波数ばらつきおよびQ値のばらつきが低減された2つの共振モードのいずれか一方を選択して、選択した共振モード共振周波数で光スキャナ10ミラー部11を水平方向に駆動することによって、走査精度を向上させることができる。また、Q値のばらつきに起因する振幅ばらつきを抑制するために、駆動信号による振幅調整を行う必要がないため、振幅制御回路が不要となる。そのため、制御部駆動装置が大きくなることもない。これにより、小型化を図りつつ、光スキャナ10の駆動精度を向上させることができる。また、第1実施形態では、光スキャナ制御部40水平駆動制御部50が、選択した共振モードの共振周波数に対して周波数追従制御を行うPLL回路部150を備えることによって、PLL回路部150により、駆動周波数を、選択した共振モードの共振周波数にロックをかけることができる。すなわち、PLL回路部150によって、共振周波数に追従するように駆動周波数を制御することができる。これにより、固体ばらつきや環境温度によって共振周波数が異なる場合でも、常に、選択した共振モードの共振周波数で光スキャナを駆動させることができる。また、第1実施形態では、上記のように、光スキャナ制御部40水平駆動制御部50により、MEMS構造体への応力ひずみが小さい方の共振モードMode1の共振周波数を駆動周波数として、光スキャナ10ミラー部11を水平駆動させることによって、容易に、システムのロバスト性を確保することができる。加えて、構造体にかかる応力ひずみが小さいため、システムの安定性を図ることもできる。したがって、第1実施形態による光スキャナ10を光スキャナ制御部40水平駆動制御部50で駆動させることにより、走査精度を向上させることができる。第2実施形態図17は、本発明の第2実施形態による光スキャナ制御部水平駆動制御部の構成を示したブロック図モード選択可能なシステムのブロック図である。次に、図17を参照して、本発明の第2実施形態による駆動システムについて説明する。なお、図17において、対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明は適宜省略する。この第2実施形態のシステムでは、上記第1実施形態とは異なり、2つの共振モードのうち、Mode1の共振モードで駆動するか、Mode2の共振モードで駆動するかを常に選択する。また、第2実施形態では、上記第1実施形態の構成において、周波数判別回路54をさらに備えている。周波数判別回路54は、周波数制御回路154と接続されており、周波数制御回路154からの信号が入力される。また、周波数判別回路54は2つの共振モードのうちどちらの共振モードの共振周波数が設計値により近いかを所定のタイミングで判別し、その結果に基づいて周波数制御回路154の共振周波数追従の設定を変更する。すなわち、第2実施形態では、周波数判別回路54により、2つの共振モードのうちどちらの共振モード共振周波数が駆動周波数の設計値により近いかを判別し、周波数制御回路154の設定を設計値により近い共振モードに切り替える。そして、駆動周波数の設計値に近い方の共振モード共振周波数でミラー水平方向の駆動を行う。第2実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。第2実施形態では、上記のように、駆動周波数の設計値に対してより近い共振周波数をもつ共振モードを選択して、その共振周波数を駆動周波数とすることによって、駆動周波数の設計値からのずれ量をできるだけ小さく抑えることができる。そのため、たとえば、環境変化や経年変化などによって共振周波数が変化した場合でも、設計値により近い共振周波数で光スキャナを共振駆動させることができる。なお、水平走査の共振周波数が変わる設計値からずれると、単位時間あたりに走査する走査線の数走査線密度が変わる。走査線密度の影響は、画像処理によって調整することが可能であるものの、この場合処理が煩雑になる。そのため、上記のように構成することにより、処理が煩雑になるのを抑制しながら、走査線密度の影響を低減することができる。第2実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。第3実施形態図18および図19は、本発明の第3実施形態による光スキャナの要部構成を示した図である。図20は、本発明の第3実施形態における光スキャナ制御部水平駆動制御部の構成を示したブロック図駆動システムのブロック図である。次に、図18~図20を参照して、本発明の第3実施形態による駆動システムについて説明する。なお、各図において、対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明は適宜省略する。この第3実施形態では、図18および図19に示すように、光スキャナ10が、ミラー枠14の動きをモニターするための歪みセンサー18c18をさらに備えている。具体的には、この第3実施形態では、ミラー部11の垂直方向の動きと水平方向の動きとをモニターするための歪みセンサー18a、18bに加えて、ミラー枠14の動きをモニターするための歪みセンサー18cが追加されている。また、追加された歪みセンサー18cは、歪みセンサー18aおよび18bと同様、ピエゾ抵抗素子20を有しており、シリコンに対してボロンやヒ素などの不純物が部分的にドーピングされることにより生成されている。このプロセスは、生成する歪みセンサーの個数には依存しない歪みセンサー生成のコストは歪みセンサーの個数に関係しないため、歪みセンサーの個数を増やした場合でもコストアップにはならない。なお、上記歪みセンサー18cは、たとえば、ミラー枠14における垂直トーションバー15の延長線上Y軸上に配置されている。また、上記歪みセンサー18cは、ミラー枠14の水平方向への捩れ角度を検出する。光スキャナ10が2つの共振モードを有する場合、上記したように、2つの共振モードの一方はミラー枠14を基準としてなされる振動による共振モードである。すなわち、ミラー枠14が水平方向に捩れることで生じる共振モードである。このため、上記歪みセンサー18cを設けることによって、2つの共振モードの一方の共振モードが生じるミラー枠14の捩れ動きが検出される。そして、ミラー部11の動きを検出する歪みセンサー18bミラー用歪みセンサー18bと、ミラー枠14の動きを検出する歪みセンサー18cミラー枠用歪みセンサー18cとの位相差情報によって、2つの共振モードのどちらで駆動されているのかを検出することが可能となる。なお、歪みセンサー18bミラー用歪みセンサー18bは、本発明の第1歪みセンサーの一例であり、歪みセンサー18cミラー枠用歪みセンサー18cは、本発明の第2歪みセンサーの一例である。また、第3実施形態では、図20に示すように、上記第1実施形態の構成において、共振モード判別回路55をさらに備えている。この共振モード判別回路55には、ミラー用歪みセンサー18bからの検出信号とミラー枠用歪みセンサー18cからの検出信号とが入力される。そして、この共振モード判別回路55は、入力されたミラー用歪みセンサー出力とミラー枠用歪みセンサー出力との位相差判別を行うことにより、2つの共振モードのどちらで水平方向の共振駆動が行われているかを検出する。なお、光スキャナ10図19参照がMode1の共振モードで駆動されているときは、2つの検出信号の位相は同相となり、位相差はほぼ0となる。一方、光スキャナ10図19参照がMode2の共振モードで駆動されているときは、2つの検出信号の位相は、同相と逆相との中間の値となる。また、共振モード判別回路55は、ミラー用歪みセンサー出力とミラー枠用歪みセンサー出力との位相差判別を駆動周波数制御に適用するために、その結果を周波数制御回路154に出力する。周波数制御回路154は、共振モード判別回路55から出力された位相差判別の結果に基づいて、駆動に利用する共振モードを選択変更し、その共振モードの共振周波数で光スキャナ10のミラー部11を水平方向に駆動する。第3実施形態のその他の構成は、上記第1または第2実施形態と同様である。第3実施形態では、上記のように、歪みセンサー18bミラー用歪みセンサー18bからの出力検出信号と歪みセンサー18cミラー枠用歪みセンサー18cからの出力検出信号との位相差判別を行うことにより、2つの共振モードのどちらで駆動されているのかを検出することができる。このため、検出された位相差判別の結果に基づいて駆動に利用する共振モードを選択することにより、周波数特性が複雑になった場合でも、Mode1またはMode2のいずれかの共振モードで光スキャナ10のミラー部11を駆動させることができる。たとえば、主要な共振モードは2つであるが、その他の小さな共振モード水平方向ではない共振モードが複雑に入り交じっている場合、その小さな共振モードによって位相遅れが生じるため、駆動信号と歪みセンサー18bミラー用歪みセンサー18bとの位相差判別では共振モードの識別が困難になることも考えられる。その場合、MEMS構造体が破損するような共振モードで駆動をしてしまうと、システム故障につながるおそれもある。しかしながら、上記のように構成することにより、周波数特性が複雑になった場合でも、2つの共振モードを容易に検出して、Mode1またはMode2のいずれかの共振モードで光スキャナ10のミラー部11を駆動させることができる。そのため、MEMS構造体が破損するような共振モードでの駆動が抑制されるので、システム故障が生じるのを抑制することができる。第3実施形態のその他の効果は、上記第1または第2実施形態と同様である。第4実施形態図21~図23は、本発明の第4実施形態による光スキャナ制御部駆動回路の構成を示した図である。なお、図21は、光スキャナの駆動部圧電素子に印加する駆動信号駆動波形を示す概略図である。また、図22は、垂直走査駆動信号垂直駆動電圧を生成するための回路構成V駆動構成を示す図であり、図23は、水平走査駆動信号水平駆動電圧を生成するための回路構成H駆動構成を示す図である。次に、図21~図23を参照して、この第4実施形態では、駆動電圧を生成する駆動回路生成回路の回路構成について説明する。図21に示すように、垂直駆動電圧V、V-はDC駆動電圧である。DC駆動電圧により、ミラー部11を垂直方向に駆動するためには、DC駆動電圧はある程度の高圧振幅を必要とする。また、マイナス電圧が圧電素子抗電界を超過するのを防ぐために、プラス側へのオフセット駆動が必要となる。ここで、VおよびV-は、ともに振幅70Vp-pの同じ波形であるため、共通の信号電圧を入力するのが簡便である。しかしながら、この場合には、上記したように、マイナス電圧が圧電素子抗電界を超過するため、分極外れという不具合が生じる。そのため、分極外れが生じるのを防ぐために、プラス側は50V~-20V、マイナス側は20V~-50Vとなるように、DCレベルにオフセットを持たせた信号が光スキャナ10の駆動部13に入力される。また、そのような電圧信号は、図22に示す回路によって生成される。具体的には、アンプによって、基本信号3.3V~0Vから-35V~35Vの高圧信号を作り、それを50V~-20Vの信号Vと20V~-50Vの信号V-にレベル変換する。なお、基本信号は、反転増幅回路によって、位相が180度変化して出力される。また、-35V~35Vの高圧信号は、ツェナーダイオードと定電流ダイオードとが直列接続された定電流回路によって、レベル変換される。水平駆動電圧H1、H2は、図23に示す回路によって生成される。具体的には、水平駆動電圧H1は、基本信号がアンプによって増幅されることにより生成される。一方、水平駆動電圧H2は、基本信号が反転増幅回路によって位相が180度変化されて増幅されることにより生成される。これにより、水平駆動電圧H1に対して逆位相の信号である水平駆動電圧H2が生成される。そして、図21に示すように、垂直駆動電圧V、V-と水平駆動電圧H1、H2とが重畳された電圧が各駆動部13圧電素子に印加される。なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。たとえば、上記第1~第4実施形態では、垂直トーションバーの近傍、水平トーションバーの近傍、ミラー枠に歪みセンサーを1つずつ設けた例を示したが、本発明はこれに限らず、歪みセンサーをそれぞれ複数個設けることもできる。また、上記第1~第3実施形態では、ユニモルフ構造の駆動部を用いた例を示したが、このような圧電方式の駆動部は、ユニモルフに限らず、たとえばバイモルフであってもよい。また、上記第1~第3実施形態では、光スキャナの一例として2次元走査が可能な光スキャナの例を示したが、本発明はこれに限らず、たとえば1次元光スキャナであってもよい。また、上記第1~第3実施形態では、ミラー部を駆動させる駆動部を、圧電素子を含む圧電駆動方式に構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、ミラー部を駆動させる駆動アクチュエーターは、圧電駆動方式以外であってもよい。たとえば、静電式であってもよいし、電磁式であってもよい。なお、本発明の光走査装置は、画像投影装置以外にたとえばコピー機やプリンタ等の画像形成装置などに適用することができる。