"開口部を有する容器状のワークの前記開口部をシール部材にてシールしてリークテストを行うリークテスタに付設され、前記リークテストの前に前記ワークをドライ環境で掃除するリークテスト用掃除装置であって、前記ワークを送る搬送経路上に配置され、前記ワークと接触して前記ワークから微塵を離す接触体を有することを特徴とするリークテスト用掃除装置。前記接触体として、回転軸のまわりに回転するブラシを含むことを特徴とする請求項1に記載のリークテスト用掃除装置。前記回転軸が前記搬送経路に対し斜めになり、かつ前記ブラシの前記ワークとの接触部の回転方向が前記搬送経路の下流方向への成分を含む向きに前記ブラシが回転されることを特徴とする請求項2に記載のリークテスト用掃除装置。前記搬送経路が、下傾する第1スロープ部と、前記第1スロープ部の下端にく字状に曲がった転向部を介して連なるとともに下傾する第2スロープ部とを含み、前記第1スロープ部及び前記第2スロープ部のそれぞれ上方に前記接触体が配置されることを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載のリークテスト用掃除装置。前記接触体として、外周面が粘着性を有する一対の粘着ロールを含み、これら粘着ロールが、前記ワークを互いの間に挟んで前記搬送経路の下流側へ送るように回転されることを特徴とする請求項1~4の何れか1項に記載のリークテスト用掃除装置。前記搬送経路に前記接触体として粘着面を有する粘着部材が介在されており、前記粘着部材より上流側の搬送経路から前記ワークを取り出して該ワークの前記開口部側の面を前記粘着面に接触させ、その後、該ワークを剥離して前記粘着部材より下流側の搬送経路に移す移替手段を更に備えたことを特徴とする請求項1~5の何れか1項に記載のリークテスト用掃除装置。前記シール部材のシール面を掃除する掃除手段を更に備えたことを特徴とする請求項1~6の何れか1項に記載のリークテスト用掃除装置。前記搬送経路上のワークに清浄なガスを吹き出すノズルを含むことを特徴とする請求項1~7の何れか1項に記載のリークテスト用掃除装置。ワークの表面には微塵パーティクルが付着していることがある。その状態でワークをリークテスタに設置すると、微塵がシール部材に移る可能性がある。そのため、幾つものワークに対してリークテストを繰り返すと、シール部材上の微塵の堆積量が増えてシール性が悪くなる。ひいては、リークテストの精度が低下してしまう。上記目的を達成するために、本発明は、開口部を有する容器状のワークの前記開口部をシール部材にてシールしてリークテストを行うリークテスタに付設され、前記リークテストの前に前記ワークをドライ環境で掃除するリークテスト用掃除装置であって、前記ワークを送る搬送経路上に配置され、前記ワークと接触して前記ワークから微塵を離す接触体を有することを特徴とする。これによって、リークテスト前にワークの微塵を除去できる。この結果、リークテスタのシール性を良好に保つことができ、リークテストの精度を良好に維持できる。ここで、ドライ環境とは、洗浄液等の液体をワークに接触させてワークを掃除するウェット洗浄を含まない趣旨である。液体を用いたウェット洗浄では、液体がワークの開口部内に残留したり、更にはワークに欠陥があった場合には、その欠陥部に詰まったりしやすく、リークテストの精度を保つことが容易でない。前記接触体は、前記ワークと接触した後、前記ワークから容易に離れることができる物体又は気体であることが望ましい。前記接触体が、ワークから容易に剥離可能な粘着性を有していてもよい。前記接触体として、回転軸のまわりに回転するブラシを含むことが好ましい。これによって、ワークの微塵を確実に除去できる。前記回転軸が前記搬送経路に対し斜めになり、かつ前記ブラシの前記ワークとの接触部の回転方向が前記搬送経路の下流方向への成分を含む向きに前記ブラシが回転されることが好ましい。これによって、ワークを搬送経路の側壁に押し当てることでブラシがワーク上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、ワークを搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。前記搬送経路が、下傾する第1スロープ部と、前記第1スロープ部の下端にく字状に曲がった転向部を介して連なるとともに下傾する第2スロープ部とを含み、前記第1スロープ部及び前記第2スロープ部のそれぞれ上方に前記接触体が配置されることが好ましい。これによって、ワークの開口部側の面を、第1、第2スロープ部の何れかで確実に掃除できる。前記接触体として、外周面が粘着性を有する一対の粘着ロールを含み、これら粘着ロールが、前記ワークを互いの間に挟んで前記搬送経路の下流側へ送るように回転されるようになっていてもよい。これによって、ワークの両面を確実に掃除できる。前記粘着ロールの粘着性は、塵埃をワークから容易に転写でき、かつ当該粘着ロールがワークから容易に剥離できる程度であることが好ましい。前記搬送経路に前記接触体として粘着面を有する粘着部材が介在されており、前記粘着部材より上流側の搬送経路から前記ワークを取り出して該ワークの前記開口部側の面を前記粘着面に接触させ、その後、該ワークを剥離して前記粘着部材より下流側の搬送経路に移す移替手段を更に備えていてもよい。これによって、ワークの微塵を一層確実に除去できる。前記粘着面の粘着性は、塵埃をワークから容易に転写でき、かつ当該粘着ロールがワークから容易に剥離できる程度であることが好ましい。前記シール部材のシール面を掃除する掃除手段を更に備えていることが好ましい。これによって、リークテスタのシール性ひいては検査精度を一層確実に良好に保つことができる。前記搬送経路上のワークに清浄なガスを吹き出すノズルを含んでいてもよい。この清浄ガスを前記ワークに吹き付けることで、ワークから微塵を吹き飛ばすことができる。本発明によれば、リークテスト前にワークの微塵を除去できる。したがって、リークテストの精度を長期にわたって良好に維持できる。以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。図1は、ワーク9のヘリウムリークテストを行なうリークテストシステム1を示したものである。図2及び図3に示すように、ワーク9は、開口部9aを有する容器状になっている。ここで、ワーク9の開口部9aが形成された面をおもて表面とし、その反対側の面を裏面とする。ワーク9は、例えば数mmサイズの小型電子部品の筺体であるが、これに限定されるものではなく、機械部品であってもよい。図1に示すように、リークテストシステム1は、ヘリウムリークテスタ2と、掃除装置3,4,5を備えている。ヘリウムリークテスタ2は、搬送機構6搬送経路と、リークテスト部10を備えている。搬送機構6は、パーツフィーダー60と、ガイドレール61と、ピックアップ機構63を含む。ワーク9が、パーツフィーダー60、ガイドレール61、ピックアップ機構63の順にリークテスト部10へ向けて搬送される。図示は省略するが、パーツフィーダー60とガイドレール61との間には、ワーク9のおもて面を下に向ける向き制御機構が設けられている。ピックアップ機構63は、ワーク9を吸着する吸着ノズル65を含む。ピックアップ機構63は、リークテスト部10の近くの待機板66の上方とリークテスト部10との間を往復移動可能になっている図8参照。ピックアップ機構63によって、待機板66上のワーク9をピックアップしてリークテスト部10にセットしたり、検査後のワーク9をピックアップして検査結果ワーク9の良否に応じた指定場所に搬出したりすることができる。リークテスト部10は、台座11と、閉塞部材12を含む。閉塞部材12は、台座11上に退避可能に設置されている。閉塞部材12と台座11との間に密閉された検査空間10aが形成されている。検査空間10aにヘリウム導入路16と排気路17が連なっている。台座11の上面には、板状のシール部材13が設けられている。シール部材13は、ワーク9の開口部9aを気密に塞いでワーク9の内部空間を密封するためのものである。台座11には吸着路14が形成されている。吸着路14内のガスを吸引することで、シール部材13を台座11の上面に吸着して固定できる。吸着を解除することによって、シール部材13を台座11から容易に取り外して交換等を行なうことができる。シール部材13には検査孔13aが厚さ方向に貫通するように形成されている。ワーク9が、開口部9aを下にして、上記検査孔13aに被さるようにシール部材13上に載置される。台座11には検査孔13aに連なる検出路15が形成されている。検出路15がヘリウム検知器図示省略に連なっている。ヘリウムリークテストの際は、導入路16から検査空間10a内にヘリウムを導入する。このとき、初めに検査空間10a内のガスを排気路17から逃がすことで検査空間10a内のガスを充分にヘリウムに置換したうえで、排気路17を閉じることが好ましい。そして、ワーク9内のガスを検出路15を介して吸引してヘリウム検知器へ送る。ワーク9に欠陥があれば、その欠陥を通して検査空間10a内のヘリウムが検出路15へ洩れ、ヘリウム検知器によって検知される。これによって、ワーク9の良否を判定できる。複数個のワーク9を一度にシール部材13上に設置して、これら複数個のワーク9を一度に検査してもよく、1個のワーク9ごとに検査してもよい。一度に複数個のワーク9を検査する場合には、シール部材13には上記ワーク9の個数分の検査孔13aを設ける。また、ピックアップ機構63には上記ワーク9の個数分の吸着ノズル65を設ける。掃除装置3,4,5について説明する。図1に示すように、掃除装置3は、ヘリウムリークテスタ2の搬送機構6の前段に別付けされている。図1及び図10に示すように、掃除装置4は、搬送機構6に組み込まれている。これら掃除装置3,4は、リークテスト部10に搬入する前のワーク9を掃除する。図1及び図11に示すように、掃除装置5掃除手段は、リークテスト部10に組み込まれ、シール部材13の上面シール面を掃除する。掃除装置3,4,5について更に詳述する。図1に示すように、前段の掃除装置3は、ワーク9の搬送経路を画成する送り機構7と、搬送経路上に配置された掃除手段30,35とを備えている。送り機構7は、パーツフィーダー20と、ガイドレール21を含む。ガイドレール21は、第1スロープ部21aと、転向部21bと、第2スロープ部21cと、垂直部21dを含む。第1スロープ部21aの上端部がパーツフィーダー20に連なっている。第1スロープ部21aは、パーツフィーダー20から遠ざかるにしたがって下へ傾いている。第1スロープ部21aの下端部に転向部21bが連なっている。転向部21bは、第1スロープ部21aと同じ垂直面内においてく字状に曲がっている。転向部21bの下端部に第2スロープ部21cが連なっている。第2スロープ部21cは、転向部21bから遠ざかるしたがって下へ傾いている。第2スロープ部21cの下端部から垂直下方に垂直部21dが延びている。垂直部21dの下端部は開口されている。図2及び図3は、ガイドレール2121a~21dの断面を示したものである。図2に示すように、ガイドレール21は、底部22と、一対の側壁23,23と、蓋24を有し、断面が四角形の枠状になっている。このガイドレール21の内部にワーク9が通される。ガイドレール21内においてワーク9の縦揺れ、横揺れ、回転が制限ないしは阻止されるように、ガイドレール21の断面寸法底部22と蓋24の間隔及び一対の側壁23,23どうしの間隔が設定されている。蓋24の幅は、一対の側壁23,23どうしの間隔より短い。蓋24は、一方の側壁23の上端部に連結されるとともに、他方の側壁23に達することなく、側壁23,23どうし間の中間部で途切れている。蓋24と上記他方の側壁23の上端部との間に隙間25が形成されている。この隙間25を通して、ガイドレール21の内部を確認できる。ワーク9がガイドレール21内で詰まった場合には、隙間25を通してワーク9の姿勢を矯正でき、詰まりを容易に解除できる。図1、図3~図5に示すように、ガイドレール21のうちスロープ部21a,21cの中間部分には、蓋24が設けられていない。これによって、スロープ部21a,21cの内部が上方へ開放され、上面開放部26が構成されている。上面開放部26の長さは、ワーク9の寸法の例えば数倍である。図1に示すように、各スロープ部21a,21cの上面開放部26の上方に掃除手段30が配置されている。これら掃除手段30を互いに区別するときは、第1スロープ部21aに対応する掃除手段30を第1掃除手段30Aと表記し、第2スロープ部21cに対応する掃除手段30を第2掃除手段30Bと表記する。図4及び図5に示すように、各掃除手段30は、モータからなる駆動部34と、この駆動部34の回転軸33に取り付けられたブラシ31接触体を含む。ブラシ31は、円形になっている。ブラシ31の材質は、ワーク9から微塵パーティクルを除去できて、かつワーク9を傷めることのない適度な軟性を有するものであれば特に限定がなく、樹脂でもよく、ゴムでもよく、天然繊維でもよい。この実施形態では、ブラシ31を構成する一部又は全部の毛が導電性樹脂にて構成されている。各掃除手段30は、スロープ部21a,21cに対する位置及び角度を調節可能になっている。ひいては、回転軸33が、スロープ部21a,21cに対する角度を調節可能になっている。図4及び図5に示すように、第1掃除手段30Aの回転軸33は、第1スロープ部21aの底部22及び蓋24と平行な平面上に配置され、かつ第1スロープ部21aの延び方向に対して斜めになっている。図3及び図5に示すように、第1掃除手段30Aのブラシ31の外周部が、第1スロープ部21aの上面開放部26に差し入れられている。同様に、第2掃除手段30Bの回転軸33は、第2スロープ部21cの底部22及び蓋24と平行な平面上に配置され、かつ第2スロープ部21cの延び方向に対して斜めになっている。第2掃除手段30Bのブラシ31の外周部が、第2スロープ部21cの上面開放部26に差し入れられている。駆動部34によってブラシ31が回転される。図1及び図5の矢印aにて示すように、この回転の向きは、ブラシ31のガイドレール21と接する部分の移動方向が下向き成分を持つように設定されている。各ブラシ31に吸引ノズル32が添えられている。吸引ノズル32の先端部は、対応するブラシ31のガイドレール21と接する部分の回転方向の下流側の近傍に配置されている。図1及び図7に示すように、垂直部21dの下端部に第3掃除手段35が設けられている。第3掃除手段35は、一対の粘着ロール36,36と、各粘着ロール36に付設された転写ロール37とを有している。各粘着ロール36の外周面は、シリコンゴム等の粘着性の材料にて構成され、塵埃に対して優れた接着性と、ワーク9に対して容易剥離性と、適度な軟性を有している。一対の粘着ロール36,36が狭い間隔36aを介して対向している。間隙36aの厚さは、ワーク9の厚さとほぼ同じかそれより小さい。間隙36aの直上に垂直部21dの下端部が臨んでいる。粘着ロール36,36の下側には、一対の剥離部材38,38が配置されている。剥離部材38,38は、垂直な板状をなし、粘着ロール36,36と同じ方向に対向している。各剥離部材38の上端部は、対応する粘着ロール36の下側の外周面の近くに配置されている。剥離部材38,38どうしの間隔は、少なくともワーク9の長さ寸法より大きい。剥離部材38,38どうし間の空間の直下には、上面開口の箱状のワーク受け29が配置されている。各粘着ロール36の軸線は、垂直部21dの一対の側壁23,23どうしの対向方向図1及び図7の紙面と直交する方向に向けられている。粘着ロール36,36どうしの対向方向図1において左右は、垂直部21dの底部22と蓋24の対向方向と一致している。図1及び図7の矢印bにて示したように、一対の粘着ロール36,36は、間隙36aを形成する部分が下方へ移動するように互いに等速で回転される。図1において、左側の粘着ロール36は右回りに回転され、右側の粘着ロール36は左回りに回転される。各粘着ロール36の斜め上方に転写ロール37が設けられている。転写ロール37は、外周が粘着面になった粘着テープや粘着ロールにて構成されている。転写ロール37の粘着性は、粘着ロール36の粘着性より大きいことが好ましい。転写ロール37の外周面が、対応する粘着ロール36の外周面に接触している。転写ロール37は、対応する粘着ロール36とは反対方向に回転される。次に、掃除装置4について説明する。図1、図8~図10に示すように、掃除装置4は、板状の粘着部材40接触体と、移替部材42移替手段と、転写ロールユニット44を備えている。粘着部材40は、シリコンゴム等の粘着性の材料にて構成され、塵埃に対して優れた接着性を有し、ワーク9に対して容易剥離性を有している。粘着部材40は、水平をなして、搬送機構6のガイドレール61と待機板66との間に介在されている。粘着部材40に位置替機構41が接続されている。位置替機構41によって、粘着部材40が前後左右X-Y方向に移動可能になっている。図1に示すように、粘着部材40の上方に移替部材42が配置されている。移替部材42の下端部に一対の吸着ノズル43,43が設けられている。吸着ノズル43は、金属より軟質の材料にて構成され、好ましくはワーク9より軟質の材料にて構成されている。ここでは、吸着ノズル43は、ポリプロピレン等の樹脂にて構成されている。図9に示すように、吸着ノズル43の下端面は、僅かに斜めにカットされている。図8に示すように、移替部材42は、ガイドレール61と粘着部材40の上方に跨る第1位置図8aと、粘着部材40と待機板66の上方に跨る第2位置図8cとの間を往復移動可能になっている。図1及び図8aに示すように、移替部材42が第1位置のとき、一方図において右側の吸着ノズル43がガイドレール61の搬送方向の下流端図において左端のワーク9の真上に配置され、他方図において左側の吸着ノズル43が粘着部材40の真上に配置される。図8cに示すように、移替部材42が第2位置のとき、一方図において右の吸着ノズル43が粘着部材40の真上に配置され、他方図において左の吸着ノズル43が待機板66の真上に配置される。吸着ノズル43をワーク9の直上に配置して吸引を行なうことで、ワーク9を吸着ノズル43に吸着できる。吸着ノズル43の吸引を停止し、又は吸着ノズル43に正のガス圧を導入することで、ワーク9の吸着を解除できる。図1において、転写ロールユニット44は、移替部材42よりも図1の紙面奥側に配置されている。位置替機構41によって粘着部材40を図1の紙面奥側にスライドさせることで、図10に示すように、転写ロールユニット44が粘着部材40の上方に配置される。或いは、移替部材42を退避させ、転写ロールユニット44を図1の紙面手前に前進させることで、転写ロールユニット44が粘着部材40の上方に配置される。図10に示すように、転写ロールユニット44は、押当ロール45と、剥離ロール46を備えている。押当ロール45は、軸線を転写ロールユニット44の前進後退方向と直交する水平に向けて配置されている。剥離ロール46は、押当ロール45の前方図10において左に離れて、押当ロール45と平行に配置されている。剥離ロール46は、押当ロール45より小径になっている。剥離ロール46の下端部は、押当ロール45より上に位置している。転写ロールユニット44に粘着テープ47が巻き付けられている。粘着テープ47は、粘着面を下にして押当ロール45の下側の周面に巻き付けられている。粘着テープ47の粘着面は、塵埃を粘着部材40から転写可能、かつ粘着部材40からは容易に剥離可能な粘着性を有している。押当ロール45より後方図10において右の粘着テープ47は、ほぼ水平になっている。押当ロール45より前方図10において左の粘着テープ47が剥離ロール46の上側の周面に巻き付けられている。図10の白抜き矢印に示すように、転写ロールユニット44は、粘着部材40に対して上下及び前後図1の紙面直交方向、図10の左右方向に移動できる。転写ロールユニット44を下げることで、押当ロール45が粘着部材40に押し当てられ、ひいては粘着テープ47が粘着部材40の上面に貼り付けられる。転写ロールユニット44を図10において左方向に前進させることで、上記粘着テープ47の貼付部分が拡がる。転写ロールユニット44を図10において右方向に後退させると、剥離ロール46が上記粘着テープ47の貼付部分を剥がす。次に、掃除装置5について説明する。図1において、掃除装置5は、10よりも図1の紙面奥側に配置されている。閉塞部材12を台座11上から離して退避させたうえで、掃除装置5を図1の紙面手前へ前進させることで、掃除装置5が台座11ひいてはシール部材13の上方に配置される。台座11が動くことで掃除装置5の下方に配置されるようにしてもよい。図11に示すように、掃除装置5は、テープホルダ50を備えている。テープホルダ50に粘着テープ51が軸線を水平に向けて回転可能かつ着脱可能に取り付けられている。粘着テープ51は、粘着面を外側にしてロール状に巻かれている。粘着テープ51の粘着面は、塵埃をシール部材13から転写可能、かつシール部材13からは容易に剥離可能な粘着性を有している。図11の白抜き矢印に示すように、テープホルダ50は、台座11及びシール部材13に対して上下及び前後図1の紙面直交方向、図11の左右方向に移動できる。テープホルダ50を下げることで、粘着テープ51がシール部材13の上面に押し当てられる。そして、テープホルダ50を前後動させることで、粘着テープ51がシール部材13上を転動する。上記構成のリークテストシステム1の動作を、掃除装置3,4,5による掃除動作を中心に説明する。ワーク9は、ヘリウムリークテスタ2に供給する前に、前段の掃除装置3にて掃除され、次いで、ヘリウムリークテスタ2の搬送機構6にて搬送中に掃除装置4にて掃除される。更に、リークテスト部10のシール部材13が掃除装置5にて掃除される。詳述すると、先ず、ワーク9を掃除装置3のパーツフィーダー20に導入する。パーツフィーダー20は、ワーク9を1個ずつガイドレール21に送る。このとき、ワーク9の表裏判別は行なわない。したがって、ワーク9のおもて面が上向きでガイドレール21に導入されることもあり、下向きでガイドレール21に導入されることもある。ワーク9は、重力によってガイドレール21を下降する。途中で、ワーク9が第1スロープ部21aの上面開放部26を通過する。上記ワーク9の搬送と併行して、掃除手段30A,30Bの駆動部34を駆動し、各ブラシ31を回転軸33の周りに回転させる。同時に、各吸引ノズル32による吸引を行なう。図3~図5に示すように、第1掃除手段30Aのブラシ31は、回転しながら、第1スロープ部21aの上面開放部26を通過中のワーク9と接触し、ワーク9の上側を向く露出面を掃く。これによって、上記露出面から微塵を離して飛ばすことができる。上記露出面は、ワーク9のおもて面であることもあり図5、裏面であることもある図6。ブラシ9の一部又は全部の毛を導電性樹脂にて構成することによって、ワーク9に静電気がたまるのを防止できる。ワーク9から離れた微塵は、第1掃除手段30Aの吸引ノズル32によって吸引して収集できる。図4に示すように、回転軸33を第1スロープ部21aに対して斜めにすることで、ブラシ31から上面開放部26内のワーク9に斜め方向の力が働く。この斜め方向の力のうち、第1スロープ部21aと直交する分力によって、ワーク9が片側の側壁23に押し当てられて摩擦抵抗が生じ、ワーク9の速度が小さくなる。これによって、ブラシ31がワーク9上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、上記斜めの力のうち、第1スロープ部21aと平行な分力搬送経路の下流方向への力成分によって、ワーク9を搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。これによって、ワーク9を第1スロープ部21aの上面開放部26より下方の送り機構7へ確実に送ることができる。図5及び図6において二点鎖線にて示すように、その後、ワーク9は、転向部21bを通過することで、それまで上方を向いていた面が下になり、下方を向いていた面が上になる。その後、ワーク9は、第2スロープ部21cに導入され、第2スロープ部21cの上面開放部26を通過する。この第2スロープ部21cの上面開放部26において、第2掃除手段30Bのブラシ31がワーク9と接触し、ワーク9の上側を向く露出面を掃いて上記露出面から微塵を離して飛ばす。この露出面は、第1スロープ部21aで掃除した面とは反対側の面である。すなわち、図5に示すように、第1スロープ部21aにおいて、ワーク9のおもて面を掃除したときは、第2スロープ部21cにおいて、当該ワーク9の裏面を掃除できる。図6に示すように、第1スロープ部21aにおいて、ワーク9の裏面を掃除したときは、第2スロープ部21cにおいて、当該ワーク9のおもて面を掃除できる。したがって、ワーク9をパーツフィーダー20からガイドレール21に導入する際のワーク9の向きに拘わらず、ワーク9の両面を掃除でき、おもて面を確実に掃除できる。よって、ガイドレール21への導入時におけるワーク9の表裏判定及び表裏制御は不要である。第2スロープ部21cにおいてワーク9から離れた微塵は、第2掃除手段30Bの吸引ノズル32によって吸引して回収できる。第2掃除手段30Bにおいても、第1掃除手段30Aと同様に、回転軸33が第2スロープ部21cに対し斜めになることで、ブラシ31からワーク9に斜め方向の力が働く。この斜め方向の力のうち、第2スロープ部21cと直交する分力によって、ワーク9が片側の側壁23に押し当てられ、摩擦によってワーク9の速度が小さくなり、ブラシ31がワーク9上を掃く時間を長くでき、微塵を充分に除去することができる。かつ、上記斜めの力のうち、第2スロープ部21cと平行な分力搬送経路の下流方向への力成分によって、ワーク9を搬送方向の下流側へ押し動かすことができる。これによって、ワーク9を第2スロープ部21cの上面開放部26より下流側の送り機構7へ確実に送ることができる。その後、ワーク9は、第2スロープ部21cから垂直部21dに導かれて、垂直部21dを下降する。そして、垂直部21dの下端から出て、第3掃除手段35の一対の粘着ロール36,36間の間隙36aに導入される。図7に示すように、一対の粘着ロール36,36は、互いに同期して回転し、ワーク9を両側から挟み付ける。これによって、ワーク9の表裏両面に残留した微塵を粘着ロール36に移すことができる。ワーク9のおもて面の向きに拘わらず、一対の粘着ロール36,36の何れかによってワーク9のおもて面を確実に掃除することができる。一対の粘着ロール36,36は、ワーク9を掃除しながら下方搬送経路の下流側へ送る。粘着ロール36,36は、送り機構7の要素を兼ねる。粘着ロール36の外周部の各箇所は、ワーク9から離れた後、転写ロール37と接触する。これによって、ワーク9から粘着ロール36の外周面に移った微塵が、更に転写ロール37に移される。したがって、粘着ロール36の外周部を清浄な状態にしてワーク9と接触させることができる。図1に示すように、粘着ロール36,36どうしの間隙36aを通過したワーク9は、下方のワーク受け29に落下して収容される。図7の仮想線に示すように、ワーク9が間隙36aを通過後、何れか一方の粘着ロール36にくっ付いたままの状態になった場合、まもなくワーク9は上記一方の粘着ロール36の下側の剥離部材37に当たる。この剥離部材37によって、ワーク9を粘着ロール36から剥離させてワーク受け29に落とすことができる。ワーク受け29内には、複数のワーク受け29が不規則な姿勢で蓄えられる。これらワーク9はおもて面だけでなく裏面も掃除されているため、ワーク受け29内で互いに接触しても、一方のワーク9の裏面から他のワーク9のおもて面に塵埃が移るのを防止できる。ワーク受け29に溜まった掃除済みのワーク9をヘリウムリークテスタ2のパーツフィーダー60に移す。この作業は、自動機械によって自動で行ってもよく、人手によって行ってもよい。パーツフィーダー60は、ワーク9を1個ずつガイドレール61へ供出する。このとき、パーツフィーダー60に付設した向き制御機構によって、ワーク9のおもて面を下に向ける。ガイドレール61から下流の搬送経路上のワーク9は、すべておもて面が下を向いている。ガイドレール61は、ワーク9を少しずつ搬送経路の下流側へ移す。ここで、図8aに示すように、移替部材42を第1位置に位置させる。そして、ガイドレール61の下流端のワーク9を吸着ノズル43に吸着して取り出す。次に、図8bに示すように、移替部材42を第2位置に向けて移動させる。そして、図8cに示すように、移替部材42を第2位置に位置させ、上記吸着を解除することで、ワーク9を粘着部材40上に載置する。このとき、図9に示すように、ワーク9のおもて面が粘着部材40の上面粘着面に接触して粘着する。これによって、ワーク9のおもて面に微塵が残っていた場合には、これを粘着部材40に移すことができる。したがって、ワーク9のおもて面を一層確実に清浄にすることができる。図8aに示すように、第1位置における移替部材42のもう1つ同図において左側の吸着ノズル43は、粘着部材40上のワーク9の真上に位置する。上述したガイドレール61の下流端のワーク9を右側の吸着ノズル43で吸着するとき、これと同時に粘着部材40上のワーク9をも左側の吸着ノズル43で吸着する。このとき、図9の二点鎖線に示すように、移替部材42を下げて吸着ノズル43をワーク9に押し付けるとよい。この押し付け力によってワーク9を吸着ノズル43の下面に添うように傾けることができ、ワーク9を粘着部材40から容易に剥離することができる。続いて、図8b~図8cに示すように、移替部材42を第2位置に移動させて吸着を解除することによって、掃除済みのワーク9を粘着部材40から待機板66に移すことができる。その後、ピックアップ機構63によって、ワーク9を待機板66からリークテスト部10のシール部材13上に移し、ヘリウムリークテストを行なう。移替部材42によって1個のワーク9を粘着部材40からピックアップするごとに、位置替機構41によって上記粘着部材40の位置を少しずらす。例えば、粘着部材40を前後左右X-Y方向にジグザグな軌跡になるように上記ピックアップの度に少しずつずらしていく。1回にずらす距離はワーク9の寸法より若干大きい程度が好ましい。これによって、ワーク9を常に粘着部材40の上面粘着面の清浄な箇所に接触させて掃除することができる。粘着部材40の上面粘着面のほぼ全域をワーク9との接触すなわち掃除に使用した後は、移替部材42を粘着部材40上から退避させ、又は粘着部材40を移替部材42の下方から退避させる。そして、図10に示すように、転写ロールユニット44の押当ロール45を粘着部材40に押し当て、かつ転写ロールユニット44を粘着部材40の一端から他端まで図10の左方向に前進させる。これによって、粘着テープ47が粘着部材40の上面の全域に貼り付けられ、粘着部材40の上面の塵埃を粘着テープ47に移すことができる。次に、転写ロールユニット44を図10の右方向に後退させる。このとき、剥離ロール46が粘着テープ47を粘着部材40から剥がしながら移動する。これによって、粘着部材40の上面をきれいな状態に戻すことができる。粘着テープ47の使用済みの部分は、転写ロールユニット44の巻き取りロール図示省略にて巻き取る。このように、リークテストシステム1においては、ワーク9のヘリウムリークテストを行なう前に、掃除装置3,4によってワーク9を掃除することで、ワーク9から微塵を確実に除去することができる。したがって、シール部材13のシール面上面に微塵が付着して堆積するのを防止又は抑制できる。この結果、シール部材13のシール性能を良好に維持でき、ひいてはリークテストの精度を高く維持することができる。更に、図11に示すように、ワーク9のリークテストをある程度の回数行った時点で、掃除装置5を作動してシール部材13の上面を掃除する。具体的には、閉塞部材12を退避させたうえで、掃除装置5のテープホルダ50を下げて、粘着テープ51をシール部材13の上面に押し当てる。そして、テープホルダ50をシール部材13の全長にわたって図11の左右方向に移動させる。これによって、シール部材13の上面に塵埃が付着していた場合には、この塵埃を粘着テープ51に転写でき、シール部材13の上面をきれいな状態に戻すことができる。したがって、シール部材13のシール性能を確実に良好に保つことができ、ひいてはリークテストの精度を確実に高く維持することができる。粘着テープ51は、使用の都度、使用済みの部分を切り取る。本発明は、上記実施形態に限定されず、発明の要旨を変更しない限りにおいて種々の改変をなすことができる。掃除装置3,4に加えて、又は掃除装置3,4に代えて、図12に示すように、ガス吹出ノズル70からクリーンエアや窒素ガス等の清浄ガス71を吹き出してワーク9に接触させることで、ワーク9を掃除することにしてもよい。この場合、好ましくは、ノズル70をワーク9のおもて面開口部9a側の面に向ける。ノズル70は、ワークの搬送経路上に設けてもよく、搬送経路とは別個に設けてもよい。上記清浄ガスはワークと接触してワークから微塵を離す接触体を構成する。掃除装置3と掃除装置4のうち何れかを省略してもよい。掃除装置3の掃除手段30と第3掃除手段35のうち何れかを省略してもよい。パーツフィーダー20にワーク9の表裏の向きを制御する機構を付設してもよく、第1掃除手段30Aと第2掃除手段30Bのうち何れかを省略してもよい。回転軸33が、ガイドレール21に対し直交し、又はガイドレール21と平行になっていてもよい。ワーク受け29を省略し、ヘリウムリークテスタ2のパーツフィーダー60を粘着ロール36,36間の間隙36aの直下に配置してもよい。パーツフィーダー60がワーク受け29を兼ねていてもよい。リークテスト部10は、ヘリウムリークテスタに代えて、エアリークテスタであってもよい。"