"筒形の鏡筒と、該鏡筒の内部に設けられた荷電粒子線光学系と、該鏡筒に設けられた試料ステージと、前記鏡筒を支持する支持装置と、を有する荷電粒子装置において、前記支持装置は、前記鏡筒の軸線方向に沿って設定された複数の支持点にて前記鏡筒を単純支持する単純支持構造を有し、前記鏡筒の支持点は、前記鏡筒を両端が自由端である梁と看做したときの梁の振動の節の位置に対応する位置に設けられていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項1記載の荷電粒子装置において、前記梁の振動が1次モードのときの2つの節の位置を順に点P1、P2とするとき、前記鏡筒の支持点は、該点P1、P2に対応する位置に設けられていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項1記載の荷電粒子装置において、前記梁の振動が1次モードのときの2つの節の位置を順に点P1、P2とし、前記振動が2次モードのときの3つの節の位置を順に点Q1、Q2、Q3とするとき、前記鏡筒の支持点は、該点P1と点Q1の間の第1の支持点と、該点P2と点Q3の間の第2の支持点として設けられていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項1記載の荷電粒子装置において、前記鏡筒の外周には前記支持点に対応する位置に突起が設けられ、前記支持装置は、床上に配置された4本の柱状部材と、該柱状部材を接続する支持部材とを有し、前記支持部材によって、前記鏡筒の突起が支持されていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項4記載の荷電粒子装置において、前記鏡筒の突起と前記支持部材の間に前記鏡筒を除振支持する除振マウントが設けられていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項4記載の荷電粒子装置において、前記支持部材は、前記鏡筒が貫通する孔を有する枠部材を有することを特徴とする荷電粒子装置。請求項1において、前記支持装置はカバーで覆われていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項1において、前記単純支持構造は、前記鏡筒に設けられたピンと、該ピン周りに回転可能な支持マウントとを有し、該支持マウントは前記支持装置に固定されていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項1において、前記単純支持構造は、前記鏡筒に設けられたピンと、該ピン周りに回転可能な支持マウントと、該支持マウントの下端部と前記支持装置の間に設けられたローラと、を有するローラ支持構造によって構成されていることを特徴とする荷電粒子装置。筒形の鏡筒と、該鏡筒の内部に設けられた荷電粒子線光学系と、該鏡筒に設けられた試料ステージと、前記鏡筒を支持する支持装置と、を有する荷電粒子装置において、前記支持装置は、前記鏡筒の軸線方向に沿って設定された複数の支持点にて前記鏡筒を単純支持する単純支持構造を有し、前記鏡筒の支持点は、前記鏡筒を両端が単純支持された梁と看做したときの梁の振動の節の位置に対応する位置に設けられていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項10記載の荷電粒子装置において、前記鏡筒の外周には前記支持点に対応する位置に突起が設けられ、前記支持装置は、床上に配置された4本の柱状部材と、該柱状部材を接続する支持部材とを有し、前記支持部材によって、前記鏡筒の突起が支持されていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項10記載の荷電粒子装置において、前記鏡筒の突起と前記支持部材の間に前記鏡筒を除振支持する除振マウントが設けられていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項10において、前記支持装置はカバーで覆われていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項10において、前記単純支持構造は、前記鏡筒に設けられたピンと、該ピン周りに回転可能な支持マウントとを有し、該支持マウントは前記支持装置に固定されていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項10において、前記単純支持構造は、前記鏡筒に設けられたピンと、該ピン周りに回転可能な支持マウントと、該支持マウントの下端部と前記支持装置の間に設けられたローラと、を有するローラ支持構造によって構成されていることを特徴とする荷電粒子装置。筒形の鏡筒と、該鏡筒の内部に設けられた荷電粒子線光学系と、該鏡筒に設けられた試料ステージと、前記鏡筒を支持する支持装置と、を有する荷電粒子装置において、前記支持装置は、前記鏡筒の軸線方向に沿って設定された複数の支持点にて前記鏡筒を単純支持する単純支持構造を有し、前記鏡筒の支持点は、前記鏡筒を両端が自由端である梁と看做したときの梁の振動の節の位置に対応する位置に設けられ、前記鏡筒の外周には前記支持点に対応する位置に突起が設けられ、該鏡筒の突起を介して前記鏡筒は前記支持装置によって支持されていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項16記載の荷電粒子装置において、前記支持装置は、床上に配置された4本の柱状部材と、該柱状部材を接続する支持部材とを有し、前記支持部材によって、前記鏡筒の突起が支持されており、前記鏡筒の突起と前記支持部材の間に前記鏡筒を除振支持する除振マウントが設けられていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項16において、前記単純支持構造は、前記鏡筒の突起に設けられたピンと、該ピン周りに回転可能な支持マウントとを有し、該支持マウントは前記支持装置に固定されていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項16において、前記単純支持構造は、前記鏡筒の突起に設けられたピンと、該ピン周りに回転可能な支持マウントと、該支持マウントの下端部と前記支持装置の間に設けられたローラと、を有するローラ支持構造によって構成されていることを特徴とする荷電粒子装置。請求項16記載の荷電粒子装置において、前記支持装置はカバーで覆われていることを特徴とする荷電粒子装置。近年、荷電粒子装置の高機能化により鏡筒の軸長が増大する傾向にある。鏡筒の軸長が増大すると固有振動数が減少し、共振が起き易くなる。例えば鏡筒の軸長が40伸びた場合、固有振動数は約半分になる。固有振動数の減少を回避するには、鏡筒を補強する必要がある。鏡筒を補強するために、例えば、鏡筒の直径を約2倍に増加させたとする。この場合、軸長が伸びたことによる重量増と鏡筒の直径を増加させたことによる重量増で鏡筒の重量は元の56倍になる。鏡筒を補強するために、リブを鏡筒の四方に設置してもよい。この場合に、リブの高さは鏡筒の直径の15倍程度にする必要があり、構造物自体が巨大化する。また、重量は元の18倍になる。本発明の目的は、鏡筒自身の重量を増加させることなく、鏡筒を高剛性化し、鏡筒へ作用する振動を低減させる荷電粒子装置を提供することにある。本発明によると、荷電粒子装置は、筒形の鏡筒と、該鏡筒の内部に設けられた荷電粒子線光学系と、該鏡筒に設けられた試料ステージと、前記鏡筒を支持する支持装置と、を有する。本発明によると、支持装置は、鏡筒の軸線方向に沿って設定された複数の支持点にて鏡筒を単純支持する単純支持構造を有する。鏡筒の支持点は、鏡筒を両端が自由端である梁と看做したときの梁の振動の節の位置に対応する位置に設けられている。本発明によると、荷電粒子装置において、鏡筒自身の重量を増加させることなく、鏡筒を高剛性化し、鏡筒へ作用する振動を低減させることができる。図1を参照して荷電粒子装置の概略を説明する。荷電粒子装置は、走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡、走査透過電子顕微鏡、荷電粒子線FIB加工装置等を含むが、ここでは、透過型電子顕微鏡の構造を例として説明する。透過型電子顕微鏡はナノスケールの観察を行う装置である。透過型電子顕微鏡は、本体10、本体10を支持する荷重板18、荷重板18を支持する架台20、荷重板18と架台20の間に設けられた除振マウント19、制御装置14、ディスプレイ装置15、及び、操作卓16、を有する。本体10は、鏡筒102を有する。鏡筒102は円筒状の容器であり、光軸方向に延びた長い構造を有する。鏡筒102には、電子銃111、エミッタ112、コンデンサレンズ113、対物レンズ114、中間レンズ115、投影レンズ116、検出器117、蛍光板118及びカメラフィルム119が設けられている。鏡筒102の側面には、試料ステージ103、イオンポンプ104及び排気管105が設けられている。試料ステージ103の先端の試料ホルダーに、観察対象の試料を保持することができる。試料ホルダーは、水平方向及び垂直方向に沿って移動可能であり、更に、試料ステージ103の軸線周りに回転可能であり、試料を水平面に対して傾斜させることができる。イオンポンプ104及び排気管105は、鏡筒102の内部を真空排気する。透過型電子顕微鏡の撮像時には、電子銃111のエミッタ112で発生した電子ビームをコンデンサレンズ113によって集束させ、試料ステージ103の先端の試料に照射する。試料を透過した電子ビームは、対物レンズ114、中間レンズ115、及び、投影レンズ116によって拡大し、検出器117で検出し、蛍光板118及びカメラフィルム119に結像させる。以上の過程を経て観察像が得られる。操作卓16は透過型電子顕微鏡を操作する制御盤及び観察像を示すディスプレイ装置15を備えている。制御装置14は操作卓16からの命令を透過型電子顕微鏡の各要素に伝える。従来の荷電粒子装置では、鏡筒102は、荷重板18の上に支持されている。即ち、鏡筒102は、荷重板18によって片持ちで支持されている。荷重板18と架台20の間に除振マウント19を設けることによって、床からの振動が鏡筒102に伝達することが回避される。図2を参照して本発明の荷電粒子装置における鏡筒の支持装置の第1の例を説明する。鏡筒102は円筒状の軸長の長い構造をしており、側面に、試料ステージ103、イオンポンプ104及び排気管105が設けられている。鏡筒102の外周面に上部の突起120a、120b、120c、120d及び下部の突起121a、121b、121c、121dが設置されている。これら突起の軸線方向の位置については後に詳細に説明する。これらの突起は、十分な剛性を有するものであればどのような形状であってもよい。図示の例の突起は扇形であるが、単なる棒状であってもよい。本例の突起は、鏡筒の外周面上に円周方向に等間隔に4個設けられているが、単数又は任意の複数個であってよい。鏡筒102は支持装置に支持されている。支持装置は、4本の柱状部材201、202、203、204とそれらを接続する2個の支持部材211、212を有する。4本の柱状部材201、202、203、204は、鏡筒102の周囲に、互いに等間隔に配置されている。柱状部材201、202、203、204は、床の上に配置される。柱状部材201、202、203、204は、床に適当な方法によって固定される。例えば、柱状部材201、202、203、204を、アンカーボルトにより、床に固定してもよい。柱状部材201、202、203、204は、十分な剛性を有するならどのような構造であってもよい。柱状部材の断面は、円形、四角形等の任意の形状であってよい。柱状部材を、中空部材によって構成してもよいが、制振性能を高めるために、中実部材によって構成してもよい。例えば、中空部材に砂、コンクリート等を充填して、中実部材を形成してもよい。柱状部材201、202、203、204の高さは、鏡筒102と同程度であってよいが、鏡筒102より高くてもよい。柱状部材201、202、203、204には、図示しない転倒防止構造又は転倒防止機能が設けられてよい。このような転倒防止構造として、柱状部材に傾斜したフレーム部材を接続してもよいし、柱状部材の下端に末広がりの支持板を設けてもよい。支持部材211、212は、それぞれ、柱状部材に接続されている。支持部材211、212は、鏡筒102を囲むように配置されている。支持部材211、212は、十分な剛性を有するならどのような形状であってもよい。本例の支持部材211、212は四角形の枠部材である。鏡筒102の上部の突起120a、120b、120c、120dは、上部の支持部材211によって支持されている。鏡筒102の下部の突起121a、121b、121c、121dは、下部の支持部材212によって支持されている。鏡筒102を含む本体の荷重は、上部の支持部材211と下部の支持部材212によって均等に支持されている。鏡筒102の上部の突起120a、120b、120c、120dと上部の支持部材211の間に除振マウント130a、130b、130c、130dが、それぞれ設けられている。鏡筒102の下部の突起121a、121b、121c、121dと下部の支持部材212の間に、除振マウント131a、131b、131c、131dが、それぞれ設けられている。除振マウント130a~130d及び131a~131dは、振動を吸収し減衰させるように機能するなら、どのような構造であってもよい。本例の防振マウントは、バネとダンパを直列又は並列に接続した構造を有するものであってよい。除振マウント130a~130d及び131a~131dは、鏡筒の水平方向及び垂直方向の振動を除振する機構を備えている。床からの振動は柱状部材201、202、203、204を介して支持部材211、212に伝達される。しかしながら、支持部材211、212の振動は、除振マウント130a、130b、130c、130dによって減衰し、鏡筒の突起に伝達されることが回避される。空中の音波は鏡筒に伝達される。しかしながら、鏡筒の振動は、除振マウント130a、130b、130c、130dによって減衰し、支持部材211、212及び柱状部材201、202、203、204に伝達されることが回避される。本例では、柱状部材201の各々は、上部201a、中央部201b、及び、下部201cの3つの部分からなる。これらの3つの部分は別個の部材から形成されてよいが単一の部材によって形成されてもよい。上部の支持部材211と下部の支持部材212は、柱状部材201、202、203、204とは別個の部材によって形成されてよいが、同一の部材によって形成してもよい。例えば、4つの柱状部材201の下部201cの上に、下部の支持部材212を接続し、その上に、4つの柱状部材201の中央部201bを接続し、その上に、上部の支持部材211を接続し、その上に、4つの柱状部材201の上部201aをそれぞれ接続してもよい。図3を参照して本発明による荷電粒子装置における鏡筒の支持装置の第2の例を説明する。本例の支持装置は、4本の柱状部材301、302、303、304とそれらを接続する2個の支持部材311、312を有する。4本の柱状部材301、302、303、304は、鏡筒102の周囲に、互いに等間隔に配置されている。支持部材311、312は、それぞれ、柱状部材に接続されている。支持部材311、312は、鏡筒102を囲むように配置されている。本例の支持部材311、312は四角形の枠部材とそれより内方に延びた内方突起を有する。内方突起は、枠部材の対角線に沿って延びている。鏡筒102の上部の突起120a、120b、120c、120dは、上部の支持部材311の内方突起311a、311b、311c、311dによって支持されている。鏡筒102の下部の突起121a、121b、121c、121dは、下部の支持部材312の内方突起312a、312b、312c、312dによって支持されている。鏡筒102を含む本体の荷重は、上部の支持部材311と下部の支持部材312によって均等に支持されている。鏡筒102の上部の突起120a、120b、120c、120dと上部の支持部材311の内方突起の間に除振マウント130a、130b、130c、130dが、それぞれ設けられている。鏡筒102の下部の突起121a、121b、121c、121dと下部の支持部材312の内方突起の間に、除振マウント131a、131b、131c、131dが、それぞれ設けられている。本例の支持装置は、図2に示した第1の例と比較して、支持部材311、312の構造が異なり、それ以外の構成は同一であってよい。本例では、柱状部材301の各々は、上部301a、中央部301b、及び、下部301cの3つの部分からなる。これらの3つの部分は別個の部材から形成されてよいが単一の部材によって形成されてもよい。上部の支持部材311と下部の支持部材312は、柱状部材301、302、303、304とは別個の部材によって形成されてよいが、同一の部材によって形成してもよい。例えば、4つの柱状部材301の下部301cの上に、下部の支持部材312を接続し、その上に、4つの柱状部材301の中央部301bを接続し、その上に、上部の支持部材311を接続し、その上に、4つの柱状部材301の上部301aをそれぞれ接続してもよい。図4を参照して本発明による荷電粒子装置における鏡筒の支持装置の第3の例を説明する。本例の支持装置は、カバー部材220を有する。本例の支持装置は、図2の第1の例又は図3の第2の例に、カバー部材220を付加した構造を有する。従って、本例の支持装置は、4本の柱状部材とそれらを接続する2個の支持部材を有するが、それらの説明は省略する。カバー部材220は、側面カバー222及び上面カバー221を有する。カバー部材220は、鏡筒102の全体を覆うように4本の柱状部材に装着されている。カバー部材220のうちの1つの側面は、開閉可能であってよい。カバー部材220として、図示の形状以外の形状も可能である。例えば、カバー部材220を円筒容器によって構成してもよい。本例の支持装置は、カバー部材220を設けることにより、周囲からの音響振動が直接鏡筒へ作用することが回避される。従って、鏡筒へ作用する周囲からの音響による音圧を低減させることができる。本例の支持装置では、カバー部材220を設けることにより、4本の柱状部材の剛性を増加させることができる。図5A、図5Bの図5Cを参照して本発明による荷電粒子装置における鏡筒の支持装置の支持部材の例を説明する。図5Aの支持部材211は、四角形の枠部材によって形成され、中心に四角形の孔211Aを有する。孔211Aを鏡筒102が貫通する。鏡筒102の突起は、枠部材によって支持される。図5Aの支持部材211は、図2の第1の例に用いられる。図5Bの支持部材311は、四角形の枠部材とそれより内方に延びる内方突起311a、311b、311c、311dによって形成され、中心に円形の孔311Aが形成される。孔311Aを鏡筒102が貫通する。鏡筒102の突起は、内方突起によって支持される。図5Bの支持部材311は、図3の第2の例に用いられる。図5Cの支持部材411は、四角形の枠部材によって形成され、中心に円形の孔411Aを有する。孔411Aを鏡筒102が貫通する。鏡筒102の突起は、枠部材によって支持される。図6を参照して本発明による荷電粒子装置における鏡筒102の突起の位置について説明する。図6は、本発明による荷電粒子装置における鏡筒102と支持装置を模式化した図である。支持装置は柱状部材201、202と上部の支持部材211と下部の支持部材212を有する。柱状部材201、202は、床上に配置されている。鏡筒102の外周には、上部の突起120a、120cと下部の突起121a、121cが設けられている。鏡筒102の上部の突起120a、120cは、除振マウント130a、130cを介して、支持装置の上部の支持部材211によって支持されている。鏡筒102の下部の突起121a、121cは、除振マウント131a、131cを介して、支持装置の下部の支持部材212によって支持されている。図示のように鏡筒102の下端を原点x=0とする1次元座標を設定する。鏡筒102の上端における座標をx=1とする。鏡筒102の上部の突起120a、120cと下部の突起121a、121cの座標をそれぞれx=x2、x=x1とする。本発明によると、突起の位置座標x1、x2は、鏡筒102の両端が自由端のとき振動1次モード又は2次モードの節の位置に対応している。即ち、鏡筒102の両端が自由端の場合の振動1次モード又は2次モードの節の位置に突起120a、120c、121a、121cを設け、この突起を、支持装置の支持部材によって支持する。振動の節の位置では、鏡筒102の変位はゼロである。振動の節の位置にて鏡筒102を支持することによって、床の振動が鏡筒102に伝達されても、共振が起きることはない。更に、本発明によると、鏡筒102を単純支持構造によって単純支持するため、従来の荷電粒子装置のように鏡筒102を片持ち支持する場合と比較して、固有振動数が高くなり、共振を抑制することができる。これについては後に詳細に説明する。図7A及び図7Bを参照して、本発明による鏡筒の支持点の構造の例を説明する。ここでは、鏡筒102の上部の突起120aにおける支持点を説明するが、下部の突起121aの支持点の構造は、上部の突起における支持点の構造と同一構造であってよい。本発明によると、鏡筒は支持点において単純支持する単純支持構造を用いる。単純支持構造は、片持ち支持構造とは異なり、支持点における梁の変位を拘束するが梁の傾斜を許す。図7Aに示す例では、単純支持構造を用いる。単純支持構造は、鏡筒102の突起120aと支持装置の支持部材211の間に設けられている。単純支持構造は、鏡筒102の突起120aに設けられたピン145と、ピン145周りに回転可能な支持マウント140を有する。支持マウント140は支持部材211に固定されている。単純支持構造は、鏡筒102の突起120aがピン145周りに回転変位することを許すが、鏡筒102の突起120aが支持マウント140に対して水平方向及び垂直方向に変位することを許さない。従って、単純支持構造は、鏡筒102の傾斜のみを許し、鏡筒102の水平方向及び垂直方向の変位を阻止する。図7Bに示す例では、ローラ支持構造を用いる。ローラ支持構造は、単純支持構造の一種である。ローラ支持構造は、鏡筒102の突起120aと支持装置の支持部材211の間に設けられている。ローラ支持構造は、鏡筒102の突起120aに設けられたピン145と、ピン145周りに回転可能な支持マウント140と、支持マウント140の下端部と支持部材211の間に配置されたローラ146を有する。ローラ支持構造は、鏡筒102の突起120aがピン145周りに回転変位することを許すが、鏡筒102の突起120aが支持マウント140に対して水平方向及び垂直方向に変位することを許さない。しかしながら、支持マウント140はローラ146を介して、支持部材211に対して水平方向に可動である。従って、ローラ支持構造は、鏡筒102の傾斜と水平方向の移動を許し、鏡筒102の垂直方向の変位を阻止する。図7A及び図7Bの例では、上述の除振マウント130aの図示を省略している。支持マウント140に、上述の除振マウントを組み込んでもよいし、支持マウント140に上述の除振マウントを直列に設けてもよい。図8A、図8B及び図8Cを参照して、本発明による鏡筒102の支持点について説明する。図8Aの例では、支持装置の上部及び下部において、鏡筒102はそれぞれ3点で支持されている。各支持点には、それぞれ3つの支持マウント140、141が装着されている。3つの支持マウントのうち1つは軸線方向に沿って鏡筒102を支持し、2つは軸線方向に垂直な方向に沿って鏡筒102を支持する。図8Bの例では、支持装置の上部の及び下部において、鏡筒102はそれぞれ2点で支持されている。各支持点には、それぞれ2つの支持マウント140、141が装着されている。これらの支持マウントは、軸線方向に垂直な方向から鏡筒102を支持する。図8Cの例では、支持装置の上部及び下部において、鏡筒102はそれぞれ1点で支持されている。各支持点には、1つの支持マウント140、141が装着されている。この支持マウントは、軸線方向に沿って鏡筒102を支持する。尚、軸線方向に沿って鏡筒102を支持する場合、鏡筒102を下方から支持してもよいが、上方から鏡筒102を吊り下げるように支持してもよい。図9A及び図9Bを参照して、従来の荷電粒子装置における鏡筒の支持構造と本発明による鏡筒の支持構造の振動モード及び固有振動数を比較する。ここでは、鏡筒を断面積及び材質が均一な棒とみなす。軸に対して横方向に棒が振動する場合は、梁の横振動と称され、4回の微分方程式によって表わされる。梁の両端における境界条件を用いると、4階の微分方程式を解くことができる。こうして、振動曲線が得られる。振動は1次モード、2次モード、3次モード等が可能である。固有振動数は式1で表される。ここで,Eは鏡筒のヤング率、Iは鏡筒の断面2次モーメント、ρは鏡筒の軸密度、Aは鏡筒の断面積、lは鏡筒の長さを表わす。λは、梁の支持方式、及び、振動の次数によって決まる係数である。鏡筒の断面2次モーメントIは式2で表される。図9Aは、片持ち支持された梁の振動モードを示す。従来の荷電粒子装置では、鏡筒は荷重板上に支持されている。従って、鏡筒を片持ち支持された梁によって近似することができる。固定端を原点x=0とし、自由端をx=1とする1次元座標を設定する。固定端x=0における変位及び傾斜がゼロ、自由端x=1におけるモーメント及びせん断力がゼロという境界条件を用いて、4階の微分方程式を解くと、図示のような振動曲線が得られる。1次モードでは、梁の自由端にて最も大きな振幅が現れる。2次モードでは、x=0.774の点にて節変位がゼロが生じ、自由端にて大きな振幅が現れる。図9Aに示す片持ち支持構造の場合の式1の係数λを求めると、振動が1次モードでは、λc1=1875、2次モードでは、λc2=4694である。これらの値を、それぞれ式1のλに代入することによって、片持ち支持された梁の固有振動数が求められる。図9Bは、両端が自由端である梁の振動モードを示す。左側の自由端を原点x=0とし、右側の自由端をx=1とする1次元座標を設定する。自由端x=0、1におけるモーメント及びせん断力がゼロという境界条件を用いて、4階の微分方程式を解くと、図示のような振動曲線が得られる。1次モードでは、梁の中央部と両端の自由端にて最も大きな振幅が現れる。x=0.224、及び、x=0.776の点にて節変位がゼロが生じる。2次モードでは、x=0.132、x=0.500、x=0.868の点にて節が生じる。節の中間、及び、両端の自由端にて、振幅が大きくなる。本発明によると、鏡筒が振動するときの節の位置を、鏡筒の支持点とする。従って、床の振動が鏡筒102に伝達されても、共振が起きることはない。図9Bに示す両端が自由端の場合の式1の係数λを求めると、振動が1次モードでは、λf1=473、2次モードでは、λf2=7853である。これらのλの値を、それぞれ式1に代入することによって、両端が自由端である梁の固有振動数が求められる。式1に示すように固有振動数は、係数λの二乗に比例する。図8Bに示す両端が自由端の場合の固有振動数は、図8Aに示す片持ち支持構造の場合の固有振動数の6倍以上になる。また、図示していないが、両端を単純支持とする支持構造についても、同様な考察ができる。左側の単純支持点を原点x=0とし、右側の単純支持点をx=1とする1次元座標を設定する。単純支持点x=0、1における変位及びモーメントがゼロという境界条件を用いて、4階の微分方程式を解くと、梁の振動曲線が得られる。1次モードでは、梁の中央部にて最も大きな振幅が現れる。この場合、鏡筒の両端が支持点となる。2次モードでは、梁の中央部にて節が生じ、中央の節と両端の単純支持点の間に、それぞれ最も大きな振幅が現れる。この場合、鏡筒の両端と中央の3点が支持点となる。この場合、式1の係数λを求めると、振動が1次モードでは、λs1=π、2次モードでは、λs2=2πである。これらのλの値を、それぞれ式1に代入することによって、両端を単純支持とする梁の固有振動数が求められる。この場合の固有振動数は、図8Aに示す片持ち支持構造の場合の固有振動数の2倍以上になる。更に、左端を単純支持、右端を自由端とする支持構造についても、同様な考察ができる。左側の単純支持点を原点x=0とし、右側の自由端をx=1とする1次元座標を設定する。単純支持点x=0における変位及びモーメントがゼロ、自由端x=1におけるモーメント及びせん断力がゼロという境界条件を用いて、4階の微分方程式を解くと、梁の振動曲線が得られる。式1の係数λを求めると、振動が1次モードでは、λfs1=3927、2次モードでは、λfs2=7069である。これらのλの値を、それぞれ式1に代入することによって、一端が単純支持、他端が自由端の梁の固有振動数が求められる。この場合の固有振動数は、図8Aに示す片持ち支持構造の場合の固有振動数の4倍以上になる。本発明によると、両端が自由端である梁の振動の節に対応する位置に、鏡筒の支持点を設定する。又は、本発明によると、両端を単純支持とする梁の振動の節に対応する位置に、鏡筒の支持点を設定してもよい。更に、一端を単純支持とし他端を自由端とする梁の振動の節に対応する位置に、鏡筒の支持点を設定してもよい。本発明によると、片持ち支持構造の代わりに、単純支持構造を用いるから、従来の荷電粒子装置と比較して、鏡筒の固有振動数を大きくすることができる。そのため、鏡筒の共振を防止することができる。更に、本発明によると、梁の振動の節に対応する位置に、鏡筒の支持点を設定するから、外部から鏡筒に振動が伝達されても、鏡筒の共振を回避することができる。図10を参照して鏡筒の支持点の位置について説明する。図10は、鏡筒の下端を原点x=0とし、鏡筒の上端の座標をx=1とする1次元座標を表わす。点P1、P2は、両端が自由端である梁の振動が1次モードの場合の振動の節の位置である。点P1の座標はx=0.224、P2の座標はx=0.776である。点Q1、Q2、Q3は、両端が自由端である梁の振動が2次モードの場合の振動の節の位置である。点Q1の座標はx=0.132、点Q2の座標はx=0.500、点Q3の座標はx=0.868である。振動の1次モードに着目すると、点P1、P2を、鏡筒の支持点としてよい。振動の2次モードに着目すると、点Q1、Q2、Q3を、鏡筒の支持点としてよい。更に、振動の1次モード及び2次モードの両者に着目すると、点P1と点Q1の間に、第1の支持点を設定し、点P2と点Q3の間に、第2の支持点を設定してもよい。第1の支持点を点P1と点Q1の真ん中に配置し、第2の支持点を点P2と点Q3の真ん中に配置してもよい。本発明によると、鏡筒の支持点を、振動の節の位置に設定してもよいが、振動の節の位置の近傍に設定してもよい。鏡筒の支持点を、振動の節の位置の近傍に設定しても、鏡筒の共振を防止することができる。本発明によれば、鏡筒自身の重量を増加させることなく、鏡筒を高剛性化し、鏡筒自身の振動や鏡筒へ作用する振動を低減させることができる。以上本発明の例を説明したが本発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲にて様々な変更が可能であることは、当業者によって容易に理解されよう。"