"インクを吐出するノズルと、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室に圧力を加える圧電素子と、前記圧電素子に電圧を印可して駆動する駆動回路と、を有するインクジェット装置であって、前記駆動回路は、同一の圧電素子に少なくとも二つの駆動回路が接続されており、それぞれの駆動回路の駆動電圧が異なると共に、駆動電圧の低い駆動回路の信号が先に印加されること、を特徴とするインクジェット装置。前記駆動電圧の低い駆動回路は、複数の圧電素子によって共有されている、請求項1記載のインクジェット装置。しかしながら、駆動電圧全体を抵抗素子R1,抵抗素子R2,抵抗素子R3で分割するので後述する本発明のインクジェット装置に比べて発熱が大きい。また、それぞれの回路部品に印加される電圧も、後述する本発明のインクジェット装置に比べて高くなる。これらの理由によって、インクジェット装置は経年劣化し信頼性が低いという問題があった。そこで本願は、上記従来の問題を鑑み、その対策を提供するもので、発熱などによる経年劣化が抑制された信頼性が高いインクジェット装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明のインクジェット装置は、インクを吐出するノズル、ノズルに連通する圧力室、圧力室に圧力を加える圧電素子、圧電素子に電圧を印加して駆動する駆動回路を有するインクジェット装置であって、前記駆動回路は、同一の圧電素子に少なくとも二つの駆動回路が接続されており、更に、それぞれの駆動回路の駆動電圧が異なり、駆動電圧の低い駆動回路の信号が先に印可されるよう構成することを特徴とする。このような構成により、前振動の駆動電圧は低いので、吐出量を制御するための回路からの発熱を抑制できる。その結果、駆動回路の負担が小さく信頼性を高めることを可能とする。以上のように、本発明によれば、吐出量を制御するための回路からの発熱を抑制できるので、装置信頼性が高いインクジェット装置を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。実施の形態1図7は、本発明の実施の形態における駆動回路の構成原理図である。図7において、130は圧電素子、120は共通電極、121は個別電極である。圧電素子は各ノズルに対応している。共通電極は接地されている。また、520は選択スイッチである。530は前振動電圧を分割する抵抗ユニットである。端子521は圧電素子に接続されている。端子522,端子523,端子524,端子525は、抵抗ユニットに接続されている。前振動に関しては後述する。また、540は前振動電圧を供給するための電圧源であり、550は主振動電圧を供給するための電圧源である。主振動に関しては後述する。561,562は前振動のタイミングスイッチである。571,572は主振動のタイミングスイッチである。次に、本発明のインクジェット装置の動作について説明する。図8は、本発明において、ノズルから一滴のインクを吐出する際、圧電素子に印加される駆動波形を表す。図8において横軸は時間、縦軸は個別電極121に印加する電圧である。本発明のインクジェット装置において、個別電極に2回の電圧を印加する。先に印可する電圧V1を前振動駆動電圧と呼ぶことにする。電圧V1は0~50Vである。後から印可する電圧V2を主振動駆動電圧と呼ぶことにする。電圧V2は20~100Vである。前振動駆動電圧を印可すると、圧電素子130が変形し、図4のノズル100において、インクメニスカスが振動する。これを前振動と呼ぶ。前振動は、インクがノズルから吐出しない程度に行われる。前振動の後に主振動駆動電圧を印加して圧電素子を変形させることにより、ノズルからインクを吐出させる。前振動を発生させて後、主振動によりインクを吐出させると、前振動の分だけインクを押し出す力を補助することができる。よって、前振動の大きさを変えることで、吐出させるインクの液滴量を変化させることができる。電圧V1は0~50V、電圧V2は20~100Vで制御することで、4~20plの液滴量制御が可能である。図9は、各ノズル毎のばらつきを抑制するために調整された駆動波形を表す。図9a、図9bの駆動波形で比較すると、前振動駆動電電圧の大きい図9bの駆動波形の方が吐出させたインクの液滴の量が大きい。次に、図7のインクジェット装置の駆動回路において、図8の駆動波形を生成する方法について述べる。まず、端子521と端子522,端子523,端子524,端子525のいずれかをスイッチで結ぶ。スイッチ522,スイッチ523,スイッチ524,スイッチ525の順に前振動波形の電圧は高くなる。次に、前振動タイミングスイッチ561,562をonにし、所定の時間をおいて、offすることにより、前振動駆動波形を生成する。次に、主振動タイミングスイッチ571,572をonにし、所定の時間をおいて、offすることにより、主振動駆動波形を生成する。その際、前振動によるノズルメニスカス振動に同期させて、主振動でノズルメニスカス振動をさらに増幅させるために、主振動タイミングスイッチ571,572のon/offそれぞれの切り替えを行うとより効果的である。以上のようにして図8の駆動波形を生成する。前振動の電圧は、吐出検査により、決定される。すなわち、製品となる基板に塗布する前に、インクを各ノズルより吐出させ各ノズルからの吐出量を測定する。そして、その測定値に応じて、前振動駆動波形の電圧をスイッチの切り替えで選択する。例えば、吐出量が少ないノズルの圧電素子に対しては、高電圧側のスイッチを選択し、吐出量が多いノズルの圧電素子に対しては、低電圧側のスイッチを選択する。このようにして、すべてのノズルからの吐出量を均一にすることができるので、ムラのにない高品位な有機ELパネルを製造することができる。本発明においては、各ノズルからの液滴量の制御を、前振動専用の駆動回路選択スイッチ520,抵抗ユニット530,前振動電圧源540で構成で制御している。前振動の電圧は低いので抵抗ユニット530電圧制御部に流れる電流は小さく、発熱が小さい。このことにより、駆動回路系の経年劣化を抑制し信頼性の高いインクジェット装置を提供することができる。また、主振動におけるon/offスイッチ切り替えタイミングを調整することによって、各ノズルからの吐出量を調整することもできる。例えば、前振動によるノズルメニスカス振動に同期させて主振動を駆動すると吐出量を多くすることができ、振動周期や位相を意図的にずらして主振動を駆動すると吐出量を少なくすることができる。なお、以上の説明で使用したスイッチや電圧制御部の構成部品とし、トランジスタやダイオードやデジタル信号処理用のICを使用できることは言うまでもない。実施の形態2図10は、本発明の実施の形態2の駆動回路の原理構成図である。図10において、図7と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。なお、実施の形態2は、複数の圧電素子が前振動駆動回路を共有している点が、実施の形態1と異なる。前振動タイミングスイッチ561,562は個別に設けられるが、選択スイッチ520切り換えスイッチと電圧を分割する抵抗ユニット530と前振動電圧電源を共有している。この構成は、各ノズルが同時の吐出するタイミングが発生しない構成において可能となる。図11は、実施の形態2におけるノズルヘッド配置図を表す。例えば、図11に示すようにノズルヘッド50を基板1の相対移動方向に対して傾斜させて、ノズルヘッドと基板を相対移動させ、塗布領域31に対して順次吐出する構成をとる場合、各ノズル100が同時の吐出するタイミングが発生しない。図10に示される駆動回路は次のように動作する。塗布領域31に到達したノズルに対して、1まず、端子521と端子522,端子523,端子524,端子525のいずれかをスイッチで結ぶ。2スイッチ522,スイッチ523,スイッチ524,スイッチ525の順に前振動波形の電圧は高くなる。3次に、前振動タイミングスイッチ561をonにし、所定の時間をおいて、offにすることにより、前振動駆動波形を生成する。4次に、主振動タイミングスイッチ571をonにし、所定の時間をおいて、offにすることにより、主振動駆動波形を生成する。このように、塗布領域に到達したノズルからインクが吐出される。次に、ノズルに引き続き塗布領域に到達したノズルに対して同様の動作1から4を実施し、ノズルからインクを吐出させる。すべてのノズルに対して一つの前振動駆動回路を使用するのではなく、同時に吐出しない複数のノズル群に対して一つの前振動駆動回路を使用してもよい。このような実施の形態2の駆動回路構成によると、各ノズルからの液滴量の制御を、前振動専用の駆動回路で制御している。前振動の電圧は低いので電圧制御部に流れる電流は小さく、発熱が小さい。このことにより、駆動回路系の経年劣化を抑制し信頼性の高いインクジェット装置を提供することができる。加えて、実施の形態2の構成では、前振動駆動回路の数を減らせるので、駆動回路の間隔を実施の形態1よりも広く取った配置が可能になり、放熱を促進することができる。このことによって、さらに発熱による経年劣化を抑制できるので、インクジェット装置の信頼性を向上することができる。なお、以上の説明で使用したスイッチや電圧制御部の構成部品とし、トランジスタやダイオードやデジタル信号処理用のICを使用できることは言うまでもない。"