"負荷に供給する高周波電力を出力する高周波電力発生部と、前記高周波電力発生部の出力側で制御対象とする高周波電力の平均値を検出して、検出した高周波電力の平均値を設定値に保つように前記高周波電力発生部を制御する制御部とを備え、前記制御部は、設定された制御周期Tc毎に到来するタイミングを検出タイミングとして前記制御対象とする高周波電力を求めるために検出対象とする必要がある高周波電力のレベルの検出データを得るとともに、直近のn個nは2以上の整数の検出タイミングでそれぞれ得られたn個の検出データから検出対象とする高周波電力の移動平均値を求めて、該移動平均値を検出対象とする高周波電力の平均値として前記制御対象とする高周波電力の平均値を検出する高周波電力検出部と、前記高周波電力発生部が出力する高周波電力のレベルを決定する変数の大きさを前記高周波電力発生部の操作量とし、前記高周波電力検出部により検出された制御対象とする高周波電力の平均値を設定値に保つために必要な前記操作量を演算する操作量演算部と、前記高周波電力発生部の操作量を前記操作量演算部により演算された操作量とするために前記高周波電力発生部に与える制御信号を前記制御周期毎に出力する制御信号出力部とを備えている高周波電源装置であって、前記負荷に他の高周波電源装置から与えられている高周波電力のレベルの周期的な変化に起因して前記高周波電力発生部の出力側で検出される高周波電力のレベル変動の周期を電力変動周期Tzとして検出する電力変動周期検出部と、前記電力変動周期検出部により検出された電力変動周期Tzに応じて前記制御周期Tcを適正値に設定する制御周期設定手段と、を具備している高周波電源装置。前記制御周期設定手段は、前記n個の検出データを用いて演算される高周波電力の移動平均値と該高周波電力の真の平均値との間に生じる誤差を許容範囲内に収めることができ、かつ前記n個の検出データを得るために必要な時間を前記高周波電力発生部の制御において許容される上限時間以下に収めることができる範囲の値に前記制御周期の適正値を設定するように構成されている請求項1に記載の高周波電源装置。前記制御周期設定手段は、前記高周波電力検出部が前記移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcを、前記n個の検出データを用いて演算される高周波電力の移動平均値と該高周波電力の真の平均値との間に生じる誤差を許容範囲内に収めることができる時間とするように、前記電力変動周期検出部により検出された電力変動周期に応じて前記制御周期の適正値を設定することを特徴とする請求項1に記載の高周波電源装置。前記制御周期設定手段は、前記高周波電力検出部が前記移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcと、前記電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを前記制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkkは1以上の整数サイクルのレベル変動の算術平均値を求めるために必要なデータ数ns個の検出データを得るのに要する時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を、前記n個の検出データを用いて演算される高周波電力の移動平均値と該高周波電力の真の平均値との間に生じる誤差を許容範囲内に収めることができる範囲の時間差とするように、前記制御周期の適正値を設定することを特徴とする請求項1に記載の高周波電源装置。前記制御周期設定手段は、前記高周波電力検出部が前記移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcと、前記電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを前記制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkサイクルkは1以上の整数のレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数ns個の検出データを得るために必要な時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を許容範囲内に収めるように、前記制御周期の適正値を設定することを特徴とする請求項1に記載の高周波電源装置。前記制御周期設定手段は、前記高周波電力検出部が前記移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcと、前記電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを前記制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkサイクルkは1以上の整数のレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数ns個の検出データを得るために必要な時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を最小とするように、前記制御周期の適正値を設定することを特徴とする請求項1に記載の高周波電源装置。前記制御周期設定手段は、検出された電力変動周期と制御周期との関係を与えるマップを用いて前記制御周期の適正値を演算するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし6の何れかに記載の高周波電源装置。前記制御周期設定手段は、前記高周波電力発生部の出力制御において前記制御周期がとり得る値の範囲内で前記制御周期の適正値を設定することを特徴とする請求項1ないし7の何れかに記載の高周波電源装置。前記制御周期設定手段は、前記制御周期がとり得る値の範囲内に前記制御周期の適正値が存在しないときに、前記制御周期がとり得る値の範囲内で前記制御周期を時間の経過に伴って変化させるように構成されている請求項1ないし6の何れかに記載の高周波電源装置。前記kサイクルkは1以上の整数のレベル変動波形に対して取得する必要がある検出データの数nsは、式ns=k×{Tz/|mTz-Tc|}但しmは1以上の整数で、mTz≠Tcとする。により演算されることを特徴とする請求項4,5又は6に記載の高周波電源装置。図7に示したように、第1の高周波電源装置Aと第2の高周波電源装置Bとを設けて、これらの高周波電源装置からプラズマ負荷Cに同時に電力を供給するシステムにおいては、図8Aに示したように、出力周波数がf1例えばf1=3.2MHzで、電圧V1が連続波形無変調の波形を呈するほぼ一定レベルの高周波電力を第1の高周波電源装置Aからプラズマ負荷Cに供給し、図8Bに示すように、出力周波数がf2例えばf2=60MHzで、周波数f3例えばf3=10kHz~90kHzのパルス波形で変調されているために、電圧V2のレベルが周期T3=1/f3毎に変化する高周波電力を第2の高周波電源装置Bからプラズマ負荷Cに供給した場合に、連続波形の高周波電力を出力する第1の高周波電源装置Aの出力の平均値にゆらぎ低周波数のゆっくりとしたレベル変動が生じることがあった。また図7に示された電力供給システムにおいて、第1の高周波電源装置Aから連続波形無変調の波形の高周波電力をプラズマ負荷Cに供給し、第2の高周波電源装置Bからパルス変調された高周波電力をプラズマ負荷Cに供給する場合に、第2の高周波電源装置Bからプラズマ負荷Cに与える高周波電力の変調周波数が変更されると、第1の高周波電源装置Aの出力の平均値を設定値に保つ出力制御の精度が低下することがあった。半導体等の微細な加工を高精度で行うためには、プラズマ負荷に供給する高周波電力の平均値を設定値に保つ制御を高精度で行わせることが必要であり、負荷に供給される高周波電力平均値が変動したり、出力制御の精度が低下したりすることは極力避ける必要がある。本発明が対象とする高周波電源装置は、図7に示されたように、負荷Cに同時に高周波電力を供給する複数の高周波電源装置のうち、連続波形無変調の波形の高周波電力を発生する高周波電源装置である。本発明の目的は、出力側で検出される高周波電力を制御対象として、制御対象とする高周波電力の平均値を一定に保つ出力制御を行うことにより、平均値が一定な連続波形の高周波電力を負荷に供給する高周波電源装置において、他の高周波電源装置から負荷にパルス波形等により変調された高周波電力が供給されている場合に、制御対象とする高周波電力の平均値にゆらぎが生じたり、出力制御の精度が低下したりするのを防ぐことにある。本発明は、負荷に供給する高周波電力を出力する高周波電力発生部と、高周波電力発生部の出力側で制御対象とする高周波電力の平均値を検出して、検出した高周波電力の平均値を設定値に保つ制御を行う制御部とを備えた高周波電源装置を対象とする。本発明が対象とする高周波電源装置においては、上記制御部が、設定された制御周期Tc毎に到来するタイミングを検出タイミングとして前記制御対象とする高周波電力を求めるために検出対象とする必要がある高周波電力のレベルの検出データを得るとともに、直近のn個nは2以上の整数の検出タイミングでそれぞれ得られたn個の検出データから検出対象とする高周波電力の移動平均値を求めて、該移動平均値を検出対象とする高周波電力の平均値として制御対象とする高周波電力の平均値を検出する高周波電力検出部と、高周波電力発生部が出力する高周波電力のレベルを決定する変数の大きさを高周波電力発生部の操作量とし、高周波電力検出部により検出された制御対象とする高周波電力の平均値を設定値に保つために必要な操作量を演算する操作量演算部と、高周波電力発生部の操作量を操作量演算部により演算された操作量とするために高周波電力発生部に与える制御信号を制御周期毎に出力する制御信号出力部とを備えている。本発明においては、負荷に他の高周波電源装置から与えられている高周波電力のレベルの周期的な変化に起因して高周波電力発生部の出力側で検出される高周波電力のレベル変動の周期を電力変動周期Tzとして検出する電力変動周期検出部と、電力変動周期検出部により検出された電力変動周期Tzに応じて制御周期Tcを適正値に設定する制御周期設定手段とが設けられる。本発明において、制御対象とする高周波電力は、進行波電力でもよく、進行波電力から反射波電力を減算して求めた有効電力であってもよい。検出対象とする高周波電力は、制御対象とする高周波電力の如何により決まる。有効電力を制御対象とする場合には、進行波電力及び反射波電力の双方を検出対象とし、進行波電力を制御対象とする場合には、進行波電力のみを検出対象とすればよい。高周波電源装置から連続波形を有する高周波電力を負荷に供給する場合に、パルス波形などにより変調されているためにレベルが周期的に変化する高周波電力が他の高周波電源装置から負荷に印加されていると、連続波形を有する高周波電力を出力する高周波電源装置の出力側で検出される高周波電力に周期的なレベル変動が生じる。このように、高周波電源装置の出力側で検出される高周波電力に周期的なレベル変動が生じているときには、そのレベル変動の周期でレベルが変動している高周波電力のレベルを制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkkは1以上の整数サイクルのレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数ns個の検出データを得るのに要する時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を、n個の検出データを用いて演算される高周波電力の移動平均値と該高周波電力の真の平均値との間に生じる誤差を許容範囲内に収めることができる範囲の時間差とするように、制御周期の適正値を設定する。本発明の更に他の態様では、制御周期設定手段が、高周波電力検出部が移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcと、電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを前記制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkサイクルkは1以上の整数のレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数ns個の検出データを得るために必要な時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を許容範囲内に収めるように、制御周期の適正値を設定する。本発明の更に他の態様では、制御周期設定手段が、高周波電力検出部が移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcと、電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを前記制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkサイクルkは1以上の整数のレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数ns個の検出データを得るために必要な時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を最小とするように、制御周期Tcの適正値を設定する。上記の各態様に示されたように制御周期設定手段を構成して、電力変動周期に対して制御周期の適正値を設定するようにすると、高周波電力検出部が検出する高周波電力の移動平均値と真の平均値との間の誤差を少なくすることができるため、検出される高周波電力の移動平均値が真の平均値の上側又は下側に偏った変化を示す状態が生じて高周波電力発生部の出力にゆらぎが生じたり、高周波電力検出部が検出する移動平均値と真の平均値との誤差が大きくなって出力制御の精度が低下したりするのを防ぐことができる。本発明の更に他の態様では、制御周期設定手段が、検出された電力変動周期と制御周期との関係を与えるマップを用いて前記制御周期の適正値を演算するように構成される。本発明の更に他の態様では、制御周期設定手段が、高周波電力発生部の出力制御において制御周期がとり得る値の範囲内で制御周期の適正値を設定するように構成される。本発明の更に他の態様では、制御周期がとり得る値の範囲内に制御周期の適正値が存在しないときに、制御周期がとり得る値の範囲内で制御周期を時間の経過に伴って変化させるように制御周期設定手段が構成される。上記のように、設定された範囲内に制御周期の適正値が存在しないときに、設定された範囲内で制御周期を時間の経過に伴って変化させるようにすると、高周波電力検出部が移動平均値の演算に用いるn個の検出データが高周波電力のkサイクルのレベル変動波形の一部のレベルのみを検出したデータ群からなる状態が生じるのを防ぐことができ、kサイクルのレベル変動波形の各部のレベルを満遍なく検出した検出データを得ることができるため、高周波電力検出部が検出する移動平均値と真の平均値との誤差を少なくすることができる。本発明の更に他の態様では、高周波電力のkサイクルkは1以上の整数のレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数nsを、式ns=k×{Tz/|mTz-Tc|}但しmは1以上の整数で、Tc≠Tzとする。により演算する。以上のように、本発明においては、他の高周波電源装置から負荷に与えられている高周波電力の周期的なレベル変化に起因して、連続波形の高周波電力を出力する高周波電力発生部の出力端で検出される高周波電力に生じるレベル変動の周期を電力変動周期として検出して、検出された電力変動周期に対して制御周期Tcの適正値を設定するようにしたので、出力制御を行うために高周波電力検出部により検出される移動平均値が真の平均値の上側に偏った値を示す状態と真の平均値の下側に偏った値を示す状態とが交互に繰り返される状態が生じることがないように制御周期の値を設定して、連続波形を有する高周波電力を出力する高周波電力発生装置の出力にゆらぎが生じるのを防ぐことができる。また本発明によれば、高周波電力検出部により検出される移動平均値と真の平均値との誤差を小さくするように制御周期を設定することができるため、出力制御の精度が低下するのを防ぐことができる。図1は本発明に係わる高周波電源装置の一実施形態の構成を概略的に示したものである。同図において、1は商用電源、2は商用電源1の出力を直流出力に変換する出力レベルが可変な直流電源部、3は直流電源部2から得られる直流電圧を電源電圧として、負荷に供給する高周波電力の周波数に等しい周波数を有する高周波信号を増幅することにより高周波電力を出力する高周波電力増幅部である。直流電源部2と高周波電力増幅部3とにより、負荷に供給する高周波電力を発生する高周波電力発生部4が構成されている。図示の直流電源部2は、商用電源1から得られる交流電圧を整流する整流回路201と、整流回路201の出力を交流出力に変換するインバータ202と、インバータ202の出力を整流平滑する整流平滑回路203とを備えたDC/DCコンバータにより構成されている。インバータ202は、例えば図3に示されているように、一端が共通接続されたオンオフ制御が可能な半導体スイッチ素子Su及びSvと、スイッチ素子Su及びSvにそれぞれ逆並列接続された帰還ダイオードDu及びDvとによりブリッジの上段を構成し、スイッチ素子Su及びSvの他端にそれぞれ一端が接続されるとともに他端が共通接続されたスイッチ素子Sx及びSyと、これらのスイッチ素子Sx及びSyにそれぞれ逆並列接続された帰還ダイオードDx及びDyとによりブリッジの下段を構成したフルブリッジ型のスイッチ回路と、スイッチ素子SuとSxとの接続点及びスイッチ素子SvとSyとの接続点からそれぞれ導出されたスイッチ回路の交流出力端2u,2v間に一次コイルが接続された出力トランスTRとを備えている。図示のインバータにおいては、スイッチ素子Su,Svの共通接続点及びスイッチ素子Sx,Syの共通接続点からそれぞれ入力端子2a及び2bが導出され、これらの入力端子間に整流回路201から出力される直流電圧Vdcが入力されている。図3に示されたインバータ202は、対角位置にあるスイッチ素子Su,Sy及びSv,Sxを交互にオン状態にすることにより、直流電圧Vdcを交流電圧に変換する。また同インバータのブリッジの上段を構成するスイッチ素子Su,Sv及びブリッジの下段を構成するスイッチ素子Sx,Syを所定のデューティ比でオンオフ制御することにより、インバータ202の出力をPWM制御する。このPWM制御のデューティ比を操作量として変化させることにより、インバータ202の出力を適宜に変化させることができる。整流平滑回路203は、例えば図3に示されているように、トランスTRの二次側に得られるインバータの交流出力を整流する整流器Recと、整流器Recの出力端子間にチョークコイルLcを通して接続された平滑用コンデンサCsとからなっていて、平滑用コンデンサCsの両端に直流電圧Vdcvを出力する。この直流電圧Vdcvは、インバータ202をPWM制御する際のデューティ比を操作量として変化させることにより適宜に調整することができる。高周波電力増幅部3は、パワーMOSFETや、バイポーラ型のパワートランジスタを増幅素子とした増幅回路からなっていて、負荷に供給する高周波電力の周波数に等しい高周波信号を発生する図示しない高周波信号源から得られる高周波信号を増幅して所定の周波数を有する高周波電力を出力する。本実施形態では、インバータ202のPWM制御のデューティ比を操作量として変化させて直流電源部2の出力電圧高周波電力増幅部3の電源電圧を調節することにより、高周波電力発生部4から出力する高周波電力の出力値を変化させるようにしている。高周波電力発生部4から出力される高周波電力は、高周波電力の基本周波数成分のみを通過させる図示しないローパスフィルタと、方向性結合器5と、インピーダンス整合器6と、50Ωの特性インピーダンスを有する伝送線路とを通してプラズマ負荷等の負荷7に供給される。方向性結合器5は、高周波電力発生部4から負荷7に供給される進行波電力の一部Pf′と、インピーダンス整合器6でインピーダンスの整合をとりきれないときに負荷7で反射して戻ってくる反射波電力の一部Pr′とを分岐して出力する。高周波電力発生部4の出力を制御するため、制御部8が設けられている。図示の制御部8は、高周波電力検出部801と、デューティ比演算部を、設定された制御周期毎に出力する。本実施形態では、直流電源部2の出力電圧を決定するインバータ202のPWM制御のデューティ比を高周波電力発生部の操作量とし、進行波電力Pfから反射波電力Prを減じることにより求めた有効電力を制御対象とする高周波電力としている。従って、高周波電力検出部801は、進行波電力Pfと反射波電力Prとの双方を検出対象として、制御周期毎にそれぞれの移動平均値を検出し、進行波電力Pfの移動平均値から反射波電力の移動平均値を減算することにより、制御対象とする有効電力の移動平均値を求める。制御信号出力部803は、直流電源部2のインバータ202の出力を、演算されたデューティ比でPWM制御するべく、演算されたデューティ比で断続する制御信号をインバータ202のブリッジの上段のスイッチ素子Su,Sv及び下段のスイッチ素子Sx,Syの制御端子に与える。これにより、直流電源部2の出力電圧を調節して、高周波電力増幅部3から設定値に等しい平均値を有する高周波電力を出力させる。なお高周波電力発生部4から負荷に与えられる進行波電力Pfを制御の対象とする場合には、高周波電力検出部801で反射波電力Prの検出を行う必要はない。タイミングコントローラ804は、制御周期を設定された周期とするように、高周波電力検出部801が検出動作を行うタイミング及び制御信号出力部803が制御信号を出力するタイミングを制御する。本発明者は、図7に示したように、第1の高周波電源装置Aと第2の高周波電源装置Bとを設けて、これらの高周波電源装置からプラズマ負荷Cに同時に電力を供給する電力供給システムについて種々の分析を行った結果、下記の点を明らかにした。a第1の高周波電源装置Aから負荷Cに平均値がほぼ一定な連続波形の高周波電力を供給するに際して、第2の高周波電源装置Bから負荷Cにパルス波形等により変調されているためにレベルが周期的に変化する高周波電力が供給されていると、第2の高周波電源装置Bから負荷Cに与えられている高周波電力のレベルの周期的な変化に起因して、第1の高周波電源装置Aの高周波電力検出部で検出される進行波電力及び反射波電力に周期的なレベル変動が生じること。bこのレベル変動の周期と第1の高周波電源装置Aの出力制御の制御周期との差が微差であると、電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを制御周期Tc毎に検出して得た検出データから高周波電力の平均値を演算する場合に、第1の高周波電源装置Aの出力側で検出される高周波電力の1サイクルのレベル変動の算術平均値真の平均値を正しく演算するために必要とされる検出データの個数nsが、第1の高周波電源装置Aの高周波電力検出部で移動平均値の演算に用いる検出データの個数nこのnは予め設定されている。に比べて極端に多くなるため、当該高周波電力検出部で移動平均値の演算に用いるn個の検出データに、高周波電力のレベル変動の1周期の波形の一部についての検出データしか含ませることができない状態が生じて、高周波電力検出部が制御周期毎に検出する高周波電力の移動平均値が真の平均値の上側に偏った状態と、下側に偏った状態とが低い周波数で繰り返されること。c上記のように,第1の高周波電源装置Aの高周波電力検出部が制御周期毎に検出する高周波電力の移動平均値が真の平均値の上側に偏った状態と、下側に偏った状態とが低い周波数で繰り返されると、第1の高周波電源装置Aの高周波電力発生部の出力の平均値に低い周波数のレベル変動ゆらぎが生じること。式により演算した必要データ数nsが移動平均値の演算に用いる検出データ数nに一致しているn=nsであるか、またはnとnsとの差ができるだけ小さいことが好ましい。また移動平均値を演算するのに要する時間はn×Tcであり、必要データ数ns個の検出データを得るために必要な時間はns×Tcであるので、移動平均値と真の平均値との誤差を小さくするためには、n×Tc=ns×Tcとなるか、またはn×Tcとns×Tcとの差ができるだけ小さくなるように制御周期が設定されていることが好ましい。ns>nns×Tc>n×Tcであると、移動平均値に用いるn個の検出データに、高周波電力のレベル変動の1サイクルの波形のレベル情報をむら無く検出したデータを含ませることができないため、移動平均値と真の平均値との誤差が大きくなる。またns<nns×Tc<n×Tcであると、移動平均値に用いるn個の検出データの中に、高周波電力の平均値を正しく演算する上では余分なデータが含まれることになるため、同様に、移動平均値と真の平均値との誤差が大きくなる。1式から明らかなように、高周波電力の平均値を正しく演算するために、高周波電力のレベル変動の1サイクルの波形に対して電圧変動周期Tzの期間に取得する必要がある必要データ数nsは制御周期Tcと電力変動周期Tzとの関数であるため、n×Tc=ns×Tcの式を満足する制御周期の値は、電力変動周期Tzの値の変化に応じて変化する。従って、移動平均値と真の平均値との誤差を小さくするためには、制御周期Tcの値を電力変動周期Tzの値に応じて適正値適正な範囲の値に設定する必要がある。また制御周期Tcは、高周波電力発生部の出力の平均値を設定値に保つ出力制御の制御特性に影響を与えるので、出力制御において許容される範囲内の値に設定する必要がある。上記のことから、制御周期設定手段11は、以下の考え方で制御周期Tcを設定するように構成することができる。An個の検出データを用いて演算される高周波電力の移動平均値と該高周波電力の真の平均値との間に生じる誤差を許容範囲内に収めることができ、かつn個の検出データを得るために必要な時間を高周波電力発生部の制御において許容される上限時間以下に収めることができる範囲の値に制御周期の適正値を設定する。B高周波電力検出部が移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcを、n個の検出データを用いて演算される高周波電力の移動平均値と該高周波電力の真の平均値との間に生じる誤差を許容範囲内に収めることができる時間とするように、電力変動周期検出部により検出された電力変動周期に応じて制御周期の適正値を設定する。C高周波電力検出部が移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcと、電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkkは1以上の整数サイクルのレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数ns個の検出データを得るのに要する時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を、n個の検出データを用いて演算される高周波電力の移動平均値と該高周波電力の真の平均値との間に生じる誤差を許容範囲内に収めることができる範囲の時間差とするように、制御周期の適正値を設定する。D高周波電力検出部が移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcと、電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを前記制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkサイクルkは1以上の整数のレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数ns個の検出データを得るために必要な時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を許容範囲内に収めるように、制御周期の適正値を設定する。E高周波電力検出部が移動平均値の演算に用いる直近のn個の検出データを得るために要する時間n×Tcと、電力変動周期Tzでレベルが変動している高周波電力のレベルを制御周期Tc毎に検出して得た検出データを用いて該高周波電力のkサイクルkは1以上の整数のレベル変動の算術平均値を演算するために必要なデータ数ns個の検出データを得るために必要な時間ns×Tcとの時間差ΔT=Tc×|n-ns|を最小とするように、制御周期Tcの適正値を設定する。上記の各態様で電力変動周期Tzに対して制御周期Tcの適正値を設定するようにすると、高周波電力検出部801が検出する高周波電力の移動平均値と真の平均値との間の誤差を少なくすることができるため、検出される高周波電力の移動平均値が真の平均値の上側又は下側に偏った変化を示す状態が生じて高周波電力発生部の出力にゆらぎが生じたり、高周波電力検出部が検出する移動平均値と真の平均値との誤差が大きくなって出力制御の精度が低下したりするのを防ぐことができる。なお制御周期Tcの適正値は、高周波電力の制御に支障を来さないように予め設定された範囲で、高周波電力検出部801が制御周期毎に検出する高周波電力のレベルPxと該高周波電力の真の平均値Poとの差分ΔPxの時間積分値の絶対値を最小とする値に設定するようにしてもよい。ここで、差分ΔPxの時間積分値は、一定の時間Tの間に検出される一連の検出データP1,P2,...,Pnと高周波電力の真の平均値Poとの差分ΔP1,ΔP2,...,ΔPnの合計値である。各差分は、検出される高周波電力のレベルPxが真の平均値Poよりも高いか低いかを正負の符号により区別して演算するものとする。上記のように制御周期Tcを設定すると、高周波電力検出部801が検出する高周波電力の移動平均値が、他の高周波電源装置Bから負荷Cに供給されている高周波電力のレベル変動の影響を受け難くなり、高周波電力発生部4の出力端で検出される高周波電力の真の平均値Poにほぼ等しくなるため、高周波電力検出部801が検出する高周波電力の移動平均値が、他の高周波電源装置から負荷に共有される高周波電力のレベル変動の影響を受けて変動するのを抑制することができる。上記制御周期設定手段11は、電力変動周期検出部10により検出された負荷変動周期Tzと制御周期Tcの適正値との関係を与える制御周期演算用マップを用いて、高周波電力の制御に支障を来さないように予め設定された範囲の値をとる制御周期の適正値を演算するように構成することが好ましい。この場合に用いる制御周期演算用マップは、他の高周波電源装置が出力する高周波電力の各変調周波数に対して、出力制御の制御周期を種々変更しながら、高周波電力発生部の出力の変動量を測定する実験の結果に基づいて作成することができる。他の高周波電源装置からパルス変調された高周波電力が負荷に供給されている状態は、高周波電力発生部4の出力側で、高周波電力にパルス変調波形の周波数と同じ周波数の疑似信号を重畳することによりシュミレーションすることができる。例えば、図2に示すように、方向性結合器5の進行波電力Pf′を出力する出力ポートと反射波電力Pr′を出力するポートとに疑似信号発生器30を接続して、方向性結合器5により検出される進行波電力Pf′及び反射波電力Pr′に、他の高周波電源装置から負荷に与えられている高周波電力のパルス変調波形の周波数と同じ周波数の疑似信号を重畳することにより模擬することができる。一例として、他の高周波電源装置Bからパルス変調された60MHzの高周波電力が与えられているプラズマ負荷Cに、3.2MHzの連続波形の高周波電力を供給する場合を例にとって、他の高周波電源装置から負荷に与えられる高周波電力のパルス変調波形の周波数に等しい周波数を有する正弦波形の疑似信号を方向性結合器5から出力される進行波電力Pf′及び反射波電力Pr′に重畳して制御特性を調べる実験を行った。プラズマ負荷Cにプラズマを発生させるために他の高周波電源装置Bから負荷Cに供給する60MHzの高周波電力をパルス変調する場合、パルス変調波形の周波数は例えば10kHzないし90kHzの範囲で変化させられる。今回行った実験においては、他の高周波電源装置から負荷に与えられる60MHzの高周波電力のパルス変調波形の周波数を10kHz,40kHz及び70kHzとする場合を想定して、これらの周波数を有する疑似信号を疑似信号発生器30から方向性結合器5の進行波電力Pf′を出力するポートと反射波電力Pr′を出力するポートとに注入し、直流電源部2のインバータ202の出力をPWM制御する際のデューティ比を最大50まで変化させることにより、高周波電力発生部4から出力する高周波電力のレベルを設定値に保つ制御を行った。上記の実験において、疑似信号の周波数を10kHz,40kHz及び70kHzとした場合に測定された高周波電力発生部4の出力レベルの時間的な変化をそれぞれ図5のAないしCに示した。これらの図において、縦軸は電力値[W]を示し、横軸は時間[msec]を示している。これらの図から明らかなように、従来の高周波電源装置においては、他の高周波電源装置から負荷にパルス変調された高周波電力が供給されていると、そのパルス変調波形の影響を受けて、出力レベルが低い周波数で変動する。また本発明の実施形態において、高周波電力発生部4の出力側で検出される高周波電力のレベル変動を高周波電力検出部801により検出する際に、制御周期Tc毎に検出される高周波電力のレベル瞬時値Pxと真の平均値Poとの差分が、真の平均値Poの上側または下側に偏らないように、制御周期Tcを許容される範囲で電力レベルの電力変動周期Tzに対して十分に長く設定して、上記と同様の実験を行ったところ、疑似信号の周波数を10kHz,40kHz及び70kHzとした場合に観測された高周波電力発生部4の出力レベルの時間的な変化はそれぞれ図6のAないしCに示す通りであった。これらの結果から明らかなように、本発明によれば、他の高周波電源装置から負荷にパルス波形等により変調された高周波電力が供給されている場合であっても、その変調波形のレベル変化の影響を受けることなく、高周波電力発生部4から出力する高周波電力の平均値を一定に保つように制御することができ、他の高周波電源装置Bから負荷Cに与えられている高周波電力のレベル変化の影響を受けて出力の平均値に低周波数の変動が生じるのを防ぐことができる。なお制御上許容される範囲内に制御周期Tcの適正値が存在しない場合には、設定された範囲内で制御周期Tcを時間の経過に伴って変化させるように、制御周期設定手段11を構成することにより、他の高周波電源装置Bの出力の変動に起因する出力変動を抑制することができる。設定された範囲内に制御周期の適正値が存在しないときに、設定された範囲内で制御周期を時間の経過に伴って変化させるようにすると、高周波電力検出部801が高周波電力を検出する位相を適宜に変化させて、高周波電力検出部801が移動平均値の演算に用いるn個の検出データが高周波電力のkサイクルのレベル変動波形の特定の部分のレベルのみを検出したデータ群からなる状態が生じるのを防ぐことができるため、高周波電力検出部が検出する移動平均値と真の平均値との誤差を少なくすることができる。上記の実施形態では、直流電源部2の出力電圧を制御することにより、高周波電力発生部4から出力される高周波電力のレベルを設定値に保つ制御を行わせるようにしたが、直流電源部2の出力電圧を一定として、高周波電力増幅部3を制御することにより、高周波電力発生部4から出力される高周波電力のレベルを設定値に保つ制御を行わせる場合、例えば、高周波電力増幅部3のゲインを操作量として、高周波電力発生部4から出力される高周波電力のレベルを設定値に保つ制御を行わせる場合にも本発明を適用することができる。また高周波電力発生部4を、周波数指令及び振幅指令により指令された通りの周波数及び振幅とを有する高周波信号を発生するDDSDirectDigitalSynthesizerと、このDDSの出力を増幅する増幅器とにより構成する場合には、DDSに与える振幅指令を操作量として高周波電力発生部4の出力を制御することができる。上記の説明では、他の高周波電源装置Bから負荷Cに、周期的にレベル変動が生じる高周波電力が供給されている状態を模擬するために、方向性結合器5の進行波電力Pf′を出力するポートと反射波電力Pr′を出力するポートとの双方に疑似信号を注入するとしたが、方向性結合器5の進行波電力Pf′を出力するポート及び反射波電力Pr′を出力するポートの何れか一方、例えば反射波電力Pr′を出力するポートのみに疑似信号を注入するようにしてもよい。上記の実施形態では、制御部8が制御の対象とする高周波電力進行波電力又は有効電力の平均値を設定値に保つ制御のみを行うようにしたが、更に他の制御、例えば電力増幅部を構成する半導体素子を保護するために、進行波電力と反射波電力との合計値を許容上限値以下に制限する制御や、電力増幅部3で生じる損失を最小にするように直流電源部2の出力を制御する損失低減制御等を行う場合にも本発明を適用することができる。"