"測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第1,第2の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第1,第2の電圧プローブと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出する制御部とを備え、4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられるとともに、上記各同軸ケーブルの外部導体同士が所定の導通手段を介して相互に接続されている回路基板検査装置において、少なくとも上記第1,第2の電圧プローブに用いられる各同軸ケーブルには、その内部導体と外部導体との間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子とスイッチとを含む直列回路が接続されており、上記制御部は、上記スイッチがオフであるときの上記内部導体と上記外部導体間の第1の電圧値と、上記スイッチがオンであるときの上記内部導体と上記外部導体間の第2の電圧値とに基づいて、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態の良否を判定することを特徴とする回路基板検査装置。上記制御部は、上記第1の電圧値と上記第2の電圧値とが実質的に等しい場合には、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態が良好であると判定し、上記第1の電圧値と上記第2の電圧値とが異なる場合には、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態が不良であると判定することを特徴とする請求項1に記載の回路基板検査装置。上記制御部は、上記測定信号源から出力される測定信号の特定周波数を境として、上記スイッチをオンからオフもしくはオフからオンに切り替えることを特徴とする請求項1または2に記載の回路基板検査装置。したがって、本発明の課題は、4端子対法による計測が行える回路基板検査装置において、プローブのコンタクトチェックのための専用回路が不要であり、また、測定中においても適宜コンタクトチェックが行えるようにすることにある。上記課題を解決するため、本発明は、測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第1,第2の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第1,第2の電圧プローブと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出する制御部とを備え、4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられるとともに、上記各同軸ケーブルの外部導体同士が所定の導通手段を介して相互に接続されている回路基板検査装置において、少なくとも上記第1,第2の電圧プローブに用いられる各同軸ケーブルには、その内部導体と外部導体との間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子とスイッチとを含む直列回路が接続されており、上記制御部は、上記スイッチがオフであるときの上記内部導体と上記外部導体間の第1の電圧値と、上記スイッチがオンであるときの上記内部導体と上記外部導体間の第2の電圧値とに基づいて、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態の良否を判定することを特徴としている。本発明において、上記制御部は、上記第1の電圧値と上記第2の電圧値とが実質的に等しい場合には、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態が良好であると判定し、上記第1の電圧値と上記第2の電圧値とが異なる場合には、上記被測定試料に対する上記第1,第2の電圧プローブの接触状態が不良であると判定する。また、上記制御部は、上記測定信号源から出力される測定信号の特定周波数を境として、上記スイッチをオンからオフもしくはオフからオンに切り替える。本発明によれば、高周波領域においても、測定経路に定在波が発生しないようにするため、少なくとも第1,第2の電圧プローブに用いられる各同軸ケーブルには、その内部導体と外部導体との間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子とスイッチとを含む直列回路が接続され、このスイッチは、高周波領域における特定の周波数を境にしてオンからオフもしくはオフからオンに切り替えられるが、その際、スイッチがオフであるときに得られる内部導体と外部導体間の第1の電圧値と、スイッチがオンであるときに得られる内部導体と外部導体間の第2の電圧値とに基づいて、各電圧プローブのコンタクトチェックを行うことができる。したがって、コンタクトチェックを行うための専用回路が不要であり、また、測定中においてもコンタクトチェックを行うことができる。次に、図1ないし図4により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。まず、図1aを参照して、本発明の回路基板検査装置の構成を概略的に説明すると、この回路基板検査装置は、X-Y型もしくはフライング型と呼ばれる検査装置で、基本的な構成として、制御部10と、測定部20と、一対の可動アーム31,32と、可動アームの移動機構41,42とを備える。制御部10には、例えばマイクロコンピュータが用いられ、その記憶部には、被検査回路基板A上に存在する被測定試料DUTについての検査プログラムや、良否判定用の基準データ等が設定される。また、制御部10は、測定部20からの測定信号に基づいて、被測定試料DUTのパラメータ例えば、インピーダンスを算出し、好ましくは、その良否判定等を行う。図2に示すように、測定部20は、先の図6で説明したのと同じく、4端子対法による測定を行うための測定信号源1、電圧検出手段としての電圧計2、電流検出手段としての電流計3およびヌルループ方式による帰還制御回路FC等を備え、この測定には、低電位Lp側の電圧プローブP4を仮想接地とする自動平衡ブリッジ法が適用される。可動アーム31,32は、それらの移動機構41,42によりX-Y-Z方向に駆動される。可動アーム31,32の移動制御信号は、制御部10から移動機構41,42に与えられる。図示しないが、可動アーム31,32のほかに、別の可動アーム例えば、ガードプローブ用の可動アーム等が設けられてもよい。なお、X-Y方向とは、可動アーム31,32が図1に示す被検査回路基板Aの基板面と平行な面に沿って動く方向図1の紙面左右方向を例えばX方向とすれば、図1の紙面と直交する方向がY方向であり、Z方向とは、被検査回路基板Aの基板面と直交する垂直方向図1において上下方向である。検査プローブには、図1bに示す4端子対法による4本のプローブP1~P4が用いられる。このうち、先の図6で説明したのと同じく、P1,P2が被測定試料DUTに対する測定電流径路に含まれる電流プローブで、P3,P4が被測定試料DUTの電圧検出径路に含まれる電圧プローブである。電流プローブP1,P2,電圧プローブP3,P4には、同じ構造のプローブが用いられてよい。なお、説明するうえで、これらの各プローブを区別する必要がない場合には、単にプローブということがある。プローブP1,P2,P3およびP4は、それぞれ同軸ケーブルC1,C2,C3およびC4の各内部導体ILを介して測定部20に接続される。電流プローブP1,P2のうち、電流プローブP1が高電位Hi側で測定信号源1のHc端子に接続され、電流プローブP2は低電位Low側として電流検出系のLc端子側に接続される。同様に、電圧プローブP3,P4のうち、電圧プローブP3が高電位側で電圧計2のHp端子に接続され、電圧プローブP4は低電位側として電圧検出系のLp端子側に接続される。同軸ケーブルC1~C4の各内部導体ILは、その各一端がプローブP1~P4の基端b側に接続され、各他端が測定部20に接続されるが、各同軸ケーブルC1~C4の外部導体シールド被覆線S同士は、プローブP1~P4の基端b側付近において例えばリード線5により相互に接続される。プローブP1~P4のうち、好ましくは、高電位側の電流プローブP1および高電位側の電圧プローブP3が一方の可動アーム32側のプローブ保持部32aに支持され、低電位側の電流プローブP2および低電位側の電圧プローブP4が他方の可動アーム31側のプローブ保持部31aに支持される。この場合、可動アーム31,32は、電圧プローブP3,P4間に架け渡されているリード線5の長さ以下の間隔を保って移動する。ところで、測定周波数が例えば数10MHz帯と高くなると、測定経路長と信号波長との関係から、ある条件下では測定経路内に定在波が発生し、ブリッジ回路のバランスがくずれ、完全な4端子測定ではなくなるため、4端子測定時には無視できたプローブの接触抵抗の影響を受けることがある。そこで、本発明では、図2に示すように、電流プローブP1のHc端子および電流プローブP2のLc端子の各々に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子R0とスイッチSW1の並列回路21を接続する。また、電圧プローブP3のHp端子および電圧プローブP4のLp端子については、その内部導体ILと外部導体Sとの間に、インピーダンスマッチング用の抵抗素子R0とスイッチSW2の直列回路22を接続するようにしている。これによれば、測定周波数や測定経路長にかかわらず、信号の反射による定在波の発生が抑えられ、測定信号を送電端から受電端に正確に伝えることが可能となり、高周波領域においても、高確度な測定を行うことができる。この種の測定装置としては、アジレントテクノロジー社の110MHzプレシジョンインピーダンスアナライザ4294Aが知られている。その説明書によれば、各抵抗素子R0の抵抗値は50Ωであり、ケーブル延長なしの場合で15MHz,1m/2mケーブル延長時には5MHz以上でスイッチSW1をオフ、スイッチSW2をオンとし、それ以下の周波数では、スイッチSW1をオン、スイッチSW2をオフとすることが記載されている。本発明では、電圧プローブP3,P4のコンタクトチェックをインピーダンスマッチング用の直列回路22に含まれているスイッチSW2を利用して行う。これについて、図3に示されている高電位Hp側の電圧プローブP3により説明する。同図において、R1は電圧プローブP3の接触抵抗で、V0は被測定試料DUTに印加される検査電圧である。スイッチSW2がオフでインピーダンスマッチングが行われないとき、実質的にR0=∞であるから、電圧計2の指示値VはV0を示す。これに対して、スイッチSW2がオンでインピーダンスマッチングが行われたとき、電圧計2の指示値Vは、V={R0/R0R1×V0となる。ここで、接触抵抗R1=0ΩもしくはR1≒0Ωであれば、電圧計2の指示値Vは、V=V0もしくはV≒V0となるが、接触抵抗R1≫0Ωのときには、電圧計2の指示値Vは、V≠V0となり、指示値Vに誤差が生ずる。したがって、測定信号が低周波領域から高周波領域に入って、例えば15MHzもしくは5MHz以上の時点でインピーダンスマッチングが行われ、スイッチSW2がオフからオンに転じられた際、接触抵抗R1がほぼ0Ωで、電圧計2の指示値VがV=V0もしくはV≒V0あれば、図4aに示すように、被測定試料DUTのインピーダンスZは、インピーダンスマッチングの前後において連続した波形となる。これに対して、接触抵抗R1がR1≫0Ωの場合には、電圧計2の指示値VがV≠V0となることから、図4bに示すように、被測定試料DUTのインピーダンスZは、インピーダンスマッチングの前後において不連続の波形となる。なお、図4a,bに示す波形は、被測定試料DUTをコンデンサとした場合のものである。ちなみに、被測定試料DUTのインピーダンスZは、電流計3により測定される電流をIとして、Z=V/Iにより求められることから、スイッチSW2がオンされた時点でVが変化すると、それに応じてZも変化する。電圧プローブP4のLp端子側も同様に、その内部導体ILと外部導体Sとの間における電圧を図示しない電圧測定手段にて測定し、スイッチSW2がオフからオンもしくはオンからオフに転じた時点での電圧を監視することにより、コンタクトチェックを行うことができる。インピーダンスマッチングを行う周波数はあらかじめ分かっているため、被測定試料DUTのインピーダンスZの波形を監視し、インピーダンスマッチング周波数において、その波形が不連続である場合には、接触不良の可能性が高いため、コンタクトエラー接触不良と判定する。なお、Hp端子およびLp端子の内部導体ILと外部導体S間の電圧を監視するようにしてもよい。"