第一の液体に懸濁された複数の被検体の反応を測定する測定デバイスであって、前記第一の液体を貯留するように構成された第一のキャビティと、複数の第二のキャビティとが設けられている基材と、前記第一のキャビティに貯留する前記第一の液体に定在波を発生させる振動発生部と、を備え、前記基材には、前記複数の第二のキャビティのそれぞれと前記第一のキャビティとを連通させる複数の貫通孔と、前記第一のキャビティを前記基材の外部に連通させる流入口と、前記複数の第二のキャビティを前記基材の外部にそれぞれ連通させる複数の連通口とが設けられており、前記複数の貫通孔は、前記第一のキャビティに開口してかつ前記複数の被検体を捕捉する複数の開口部をそれぞれ有する、測定デバイス。前記第一のキャビティの内壁面は、底面と、上面と、前記複数の貫通孔の前記複数の開口部が設けられた側面とを有し、前記複数の貫通孔の前記複数の開口部は、前記複数の開口部にそれぞれ捕捉された前記複数の被検体が前記第一のキャビティの前記底面と前記上面から離れるような位置に設けられている、請求項1に記載の測定デバイス。前記第一のキャビティの内壁面は、前記複数の貫通孔の前記複数の開口部が設けられて互いに平行に対向する第一の側面と第二の側面とを有する、請求項1に記載の測定デバイス。前記複数の貫通孔の前記複数の開口部は前記第一のキャビティを介して互いに対向している、請求項3に記載の測定デバイス。前記第一のキャビティの内壁面は、底面と、前記複数の貫通孔の前記複数の開口部が設けられて互いに対向する第一の側面と第二の側面とを有し、前記第一の側面は、平坦な複数の第一の平坦部を有し、前記第二の側面は、平坦な複数の第二の平坦部を有し、前記複数の第一の平坦部のそれぞれと前記複数の第二の平坦部のそれぞれとは、互いに平行に対向する第一の平坦部と第二の平坦部の複数の組を成し、前記複数の組の前記第一の平坦部と前記第二の平坦部との間の距離は互いに等しい、請求項1に記載の測定デバイス。前記第一のキャビティの内壁面は、底面と、前記複数の貫通孔の前記複数の開口部が設けられて互いに対向する第一の側面と第二の側面とを有し、前記第一の側面は、前記底面から見て円弧形状を有する第一の円弧形状部を有し、前記第二の側面は、前記底面から見て円弧形状を有する第二の円弧形状部を有し、前記第一の円弧形状部と前記複数の第二の円弧形状部とは、前記底面から見て1つの円上に位置する、請求項1に記載の測定デバイス。前記振動発生部は、前記定在波によって前記第一のキャビティ内で前記複数の被検体を所定の領域に位置させるように動作し、前記複数の被検体が前記所定の領域に位置している間に前記複数の第二のキャビティから前記第一の液体を吸引することで前記複数の被検体を前記複数の開口部にそれぞれ捕捉するように動作する、請求項1に記載の測定デバイス。前記所定の領域は、前記複数の貫通孔の前記複数の開口部より前記複数の被検体の径の1.5倍以上の距離だけ離れている、請求項7に記載の測定デバイス。前記複数の第二のキャビティはそれぞれ独立して第二の液体を貯留するように構成されており、前記第一の液体に接触するように構成された参照電極と、前記第二の液体にそれぞれ接触するように構成された複数の測定電極と、をさらに備えた、請求項1に記載の測定デバイス。前記基材は、第一の基板と、前記第一の基板の上面上に接合された第二の基板と、を有し、前記第一の基板の前記上面には、前記第一のキャビティと前記第二のキャビティとが設けられており、前記第一のキャビティと前記第二のキャビティは前記第二の基板で塞がれている、請求項1に記載の測定デバイス。図1は本発明の実施の形態における測定デバイス1001の上面斜視図である。図2は測定デバイス1001の基板11の上面斜視図である。図3は図2に示す測定デバイス1001の拡大斜視図である。測定デバイス1001は、基板11と、基板11の上面111に接合された基板12とを備える。基板11、12は基材51を構成する。基板12には、2つの複数の流入口13と、2つの複数の流出口14と、複数の連通口15A~15Fとが形成されている。基板11の上面111にはキャビティ16、19A~19Fが設けられている。2つの流入口13と複数の流出口14はキャビティ16に連通し、したがってキャビティ16を介して互いに連通している。流入口13から流入された溶液や薬液等の液体はキャビティ16を通り流出口14へ流出する。基板11は、キャビティ19A~19Cのそれぞれとキャビティ16との間に設けられた隔壁部17Aと、キャビティ19D~19Fのそれぞれとキャビティ16との間に設けられた隔壁部17Bとを有する。隔壁部17A、17Bはキャビティ16を介して互いに対向し、キャビティ16の互いに対向する側面117A、117Bをそれぞれ構成する。キャビティ16は側面117A、117Bに繋がる底面116を有する。隔壁部17A、17Bには複数の貫通孔18A~18Fが設けられている。貫通孔18A~18Cは側面117Aに開口部118A~118Cでそれぞれ開口し、貫通孔18D~18Fは側面117Bに開口部118D~118Fでそれぞれ開口する。細胞や生体由来の膜等からなる固形成分である被検体はキャビティ16内において開口部118A~118Fで捕捉される。複数の貫通孔18A~18Fはキャビティ19A~19Fにそれぞれ独立して繋がっている。キャビティ19A~19Fが独立して基板12に形成された複数の連通口15A~15Fとそれぞれ独立して繋がり、複数の連通口15A~15Fを介してそれぞれ独立して基板11、12すなわち基材51の外部環境と通じている。キャビティ16の側面117A、117Bあるいは底面116の反対側の基板11の面には超音波等の振動を基板11に発生させる振動発生部20が当接して設けられている。振動発生部20の振動によってキャビティ16内の側面117A、117B間に定在波を発生させることが可能である。振動発生部20としては、例えば振動アクチュエータを用いることができる。なお、振動発生部20の位置は、効率良くキャビティ16内に定在波を発生させる位置であれば良い。なお、このとき定在波を発生させるためには、キャビティ16の幅W16と振動の周波数f20とキャビティ16内に存在する液体での振動の伝わる音速v16が下記の関係を満たす必要がある。f20=n/2×v16/W16nは自然数上記式を満たす周波数f20の音響波がキャビティ16に照射されると、その音響波がキャビティ16の内部で反射を繰り返し、重なり合うことでキャビティ16の内部に定在波を発生させる。上記式を満足すると、次数に応じた数の定在波の節山が定在することとなり、固形成分である被検体は定在波の節に集中する。例えば、キャビティ16の側面117A、117B間の幅幅W16が200μmの場合において、振動発生部20の発生する振動の周波数を約3.5MHzにすると、定在波の節がキャビティ16の側面117A、117B間の中心部にできる。これにより、被検体を中心部に集中させることができる。このように、側面117A、117Bすなわち貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fから一定の距離この場合100μm付近に被検体を集中させることができる。キャビティ19A~19Fからキャビティ16内の液体を吸引すると、被検体は一定の圧力で貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fに向かって吸引される。これにより、被検体が開口部118A~118Fに到着する際には一定の速度で側面117A、117Bの開口部118A~118Fに接触する。測定デバイス1001を使用する際には、キャビティ16、19A~19F内には導電性を有する電解液等の液体が存在する。開口部118A~118Fで捕捉された被検体は開口部118A~118Fに密着して開口部118A~118Fを塞ぐ。これにより、キャビティ19A~19F内のそれぞれの液体とキャビティ16内の液体との間の電気抵抗が1GΩ以上の極めて高い値を有する状態であるギガシール状態が形成される。一定の速度で被検体を開口部118A~118Fに接触させることで、測定効率を上げることができる。すなわち、被検体の開口部118A~118Fに接触する際の速度がバラバラであると、大きい速度で開口部118A~118Fに接触した被検体は強い衝撃を受けて破壊される場合があり、その後の測定を不可能にする。小さい速度で開口部118A~118Fに接触した被検体は十分に吸引されず、開口部118A~118Fに密着せずにギガシール状態を形成できない場合がある。図8に示す従来の測定デバイス501では、貫通孔4の近傍に存在する被検体である細胞6が吸引される際には、細胞6の貫通孔4の開口部7への接触速度は小さい。したがって、細胞6が開口部7に密着できずにギガシール状態が形成されない現象が顕著に見られる。実施の形態による測定デバイス1001では、被検体は貫通孔18A~18Fの開口部118A~118F付近には存在しておらず、貫通孔18A~18Fから一定距離だけ離れたところに存在している被検体が吸引される。したがって上述のような小さい速度によるギガシール不良が発生する確率が少なくなる。例えば、一般的な細胞の径は10μm~20μmである。被検体として細胞を用いた場合、定在波により、少なくとも貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fに接触しない距離である30μm以上の距離だけ側面117A、117Bから離れた位置に細胞を存在させる。その後、それら細胞を吸引して開口部118A~118Fに接触させることにより、速度不足によるギガシール不良が発生する確率を低減できる。測定デバイス1001では、被検体が開口部118A~118Fへ捕捉される際には常に一定の距離の位置から吸引される。したがって同じ吸引力で吸引されると被検体は同じ方向に同じ速度で開口部118A~118Fに安定的に捕捉される。隔壁部17Aはキャビティ19A~19Cのそれぞれとキャビティ16とを区切る。隔壁部17Bはキャビティ19D~19Fのそれぞれとキャビティ16とを区切る。隔壁部17A、17Bに設けられた貫通孔18A~18F以外にキャビティ19A~19Fのそれぞれとキャビティ16とが連通している部分はない。さらに、キャビティ19A~19Fは貫通孔18A~18Fとキャビティ16以外に連通している部分がなく、それぞれ互いに独立している。図4は測定デバイス1001の断面図である。図4に示すように、キャビティ16は内壁面516で囲まれている。キャビティ16の内壁面516は、側面117A、117Bと、底面116と、底面116に対向する上面216とを有する。キャビティ16は基板12の下面212で塞がれており、上面216は下面212の一部である。貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fは、開口部118A~118Fで捕捉された被検体21がキャビティ16の底面116と上面216に接触せずに離れるような位置に設けられている。例えば被検体21が約10~20μmの径を有する細胞である場合には、開口部118A~118Fは、好ましくは、被検体21の径より大きい距離だけキャビティ16の底面116及び上面216から離れた位置に設けられている。また、被検体21をキャビティ16内で捕捉する複数の貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fの径は被検体21の径よりも小さく設定されている。被検体21が約10~20μmの径を有する細胞である場合には、好ましくは、開口部118A~118Fの径は0.5μm~5.0μmである。なお、貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fの位置、長さ及び、径は、測定する被検体21に応じて適宜変更することができる。実施の形態による測定デバイス1001では、基板11の部材として例えば、シリコン、石英、ガラス等を用いることができる。さらに、基板12の部材として例えば、ポリジメチルシロキサンPDMS樹脂等のシリコン樹脂、ガラス、シリコン、石英等が用いられる。特にPDMS樹脂は成形を行いやすく、表面の活性度が高いので、基板11の部材であるシリコン、石英、ガラス等と接着剤を用いることなく強固に密着させることができる。次に、実施の形態における測定デバイス1001の一例である細胞電気生理センサでの測定方法について説明する。図4に示すように、流入口13図1参照から分注器を挿入し、キャビティ16内部全体に満たされるように電解液の細胞外液である液体916を注入する。次に、複数の連通口15A~15Fにそれぞれ分注器を挿入し、キャビティ19A~19F内部全体に満たされるように、電解液の細胞内液である液体919A~919Fをそれぞれ注入する。液体916である細胞外液とは例えば哺乳類筋細胞の場合、代表的にはKイオンが4mM程度、Naイオンが145mM程度、Cl-イオンが123mM程度添加された電解液である。液体919A~919Fである細胞内液とは、Kイオンが155mM、Naイオンが12mM程度、Cl-イオンが4.2mM程度添加された電解液である。液体916、919A~919Fの最適な化学組成は、測定の対象、目的によって適宜変更される。図5は測定デバイス1001の動作を説明するための概要図である。図6A~図6Cは測定デバイス1001の動作を示す基板11の上面図である。キャビティ16、19A~19Fを液体916、919A~919Fでそれぞれ満たした後、図5に示すように、流入口13あるいは流出口14に参照電極22を挿入し、液体916に参照電極22を接触させる。連通口15A~15Fには測定電極23A~23Fがそれぞれ挿入され、細胞内液である液体919A~919Fにそれぞれ接触する。キャビティ19A~19Fには吸引装置24が接続されている。貫通孔18A~18Fを介して細胞外液である液体916あるいは細胞内液である液体919A~919Fが浸透し、測定電極23A~23Fのそれぞれと参照電極22との間で電気回路が形成される。これにより、細胞内液である液体919A~919Fと電気的に接続された測定電極23A~23Fのそれぞれと細胞外液である液体916と電気的に接続された参照電極22との間では100kΩ~20MΩ程度の導通抵抗値が観測される。次に、図6Aに示すように、流入口13から分注器を介して細胞外液である液体916に懸濁された被検体21を投入する。その後、振動発生部20を所定の周波数で振動させると、振動はキャビティ16内に伝わり、図6Bに示すようにキャビティ16内の側面117A、117B間に定在波SW1が発生する。定在波SW1は側面117A、117B間にただ1つの節N11を発生させる基本波である。定在波SW1が発生すると、固形成分である被検体21は定在波SW1の節N1が発生する領域R11に集まる。結果、開口部118A~118Fのそれぞれと定在波SW1の節N11との間であり定在波SW1の腹には被検体21が存在しない領域R21、R22が側面117A、117Bにそれぞれ沿って延びて発生する。側面117A117Bと直角の方向における領域R21の幅W21は開口部118A~118Cから被検体21が集まる領域R11までの距離である。同様に、側面117A117Bと直角の方向における領域R22の幅W22は開口部118D~118Fから領域R11までの距離である。次に、共通の吸引装置24から圧力伝達チューブを介してキャビティ19A~19F内を減圧する。これにより、被検体21は、キャビティ16の側面を構成する隔壁部17A、17Bの側面117A、117Bに形成された開口部118A~118Fに引き付けられ、被検体21が開口部118A~118Fで捕捉される。領域R21、R22の幅W21、W22は、好ましくは30μm以上である。幅W21、W22が過度に小さく被検体21が開口部118A~118Fに近すぎて存在する場合には、貫通孔18A~18Fから吸引を始めても被検体21が吸引されて移動する速度が十分大きくならない。これにより、被検体21が開口部118A~118Fに接触した際に十分大きい圧力で付着せず、開口部118A~118Fに密着することが困難となり、結果としてギガシール状態の形成に失敗する確率が高くなる。一度ギガシール状態の形成に失敗した被検体21について、その後吸引力を強めても開口部118A~118Fに付着する圧力は強くならないので、ギガシール状態を形成することができず測定が失敗する。このような測定の失敗が多いことは、従来のこの種の測定装置であるパッチクランプ装置で明らかである。よって、適切な距離、好ましくは30μm以上離れたところから吸引が始まるように、被検体21が存在しない領域R21、R22を形成することが望ましい。このように、開口部118A~118Eで捕捉される被検体21は測定のたびに同じ領域R11から吸引されるので、捕捉の際の速度は常に一定となり、被検体21の受ける衝撃度が測定のたびに安定する。また、振動発生部20による振動の所定の周波数を2倍にすると、図6Cに示すように、2つの節N21、N22を有する定在波SW2が発生する。2つの節N21、N22がそれぞれ発生する2つの領域R31、R32に被検体21を集めることができる。この場合は図6Bに示す基本波である定在波SW1に比べて、被検体21を開口部118A~118Fへより近い位置に集めることができる。これにより、キャビティ19A~19Fからの吸引力を弱めた場合でも、被検体21を吸引し開口部118A~118Fで捕捉することができる。なお、振動発生部20による振動の周波数を3倍、4倍等の整数倍で増やすことで、被検体21を開口部118A~118Fにより近い位置に集めることができる。ただし、この場合も、開口部118A~118Fが設けられた側面117A、117Bに沿って適度な幅で、被検体21が存在しない領域を設定する必要がある。例えば、側面117A、117B間の幅W16が200μmであるキャビティ16を、基本波の周波数3.5MHzの倍である約7MHzで振動させると、被検体21が集まる領域と側面117A、117Bのそれぞれとの間に側面117A、117Bと平行に、被検体21が集まらない2つの領域が形成される。この例では、キャビティ16の側面117A、117Bから50μmの距離だけ離れた領域に被検体21が集中する。この距離は被検体21が一般的な径10μm~20μmを有する細胞である場合に、被検体21が貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fに接触しない十分な距離である。また、過度に大きい吸引力で被検体21を吸引すると、被検体21の種類によっては開口部118A~118Fでの捕捉の衝撃によって被検体21が破損する場合がある。したがって、被検体21が耐えることのできる衝撃の範囲となるよう、吸引前に被検体21が集まり浮遊する領域を決める。上記のように測定が安定すると、被検体21が貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fに大きい密着力で複数回の測定の度に安定して吸着する。したがって、液体919A~919F細胞内液のそれぞれと液体916細胞外液との間の電気抵抗が1GΩ以上の極めて高いギガシール状態を高い確率で得ることができる。ギガシール状態においては被検体21の電気生理活動によって細胞内外の電位変化や電流通過はノイズの少ない状態で高精度に測定できることになる。従って、毎回の測定を無駄にすることなく、安定的に測定が可能になる。ギガシール状態で、流入口13から分注器を介してキャビティ16に薬液を注入して被検体21を刺激する。被検体21を刺激する方法としては、薬液などの化学的刺激を被検体21に与える方法の他に、測定電極23A~23Fのそれぞれと参照電極22との間で印加される電気信号などの物理的刺激を与える方法でも良い。そしてこれらの化学的あるいは物理的刺激によって、被検体21が物理化学的反応を発した場合は、その反応を測定電極23A~23Fのそれぞれと参照電極22との間における電位差あるいは電流値変化や抵抗値変化によって検出することができる。さらに、この時、2つの流入口13から、異なる溶液をそれぞれ流入させて、異なる溶液をキャビティ16の側面117A、117Bに沿ってそれぞれ流すことができる。これにより、開口部118A~118Cに捕捉された被検体21と、開口部118D~118Fに捕捉された被検体21へ互いに異なる溶液に対した反応させることができる。異なる溶液に対して被検体21が物理化学的反応を発した場合の反応を測定電極23A~23Fのそれぞれと参照電極22との間における電位差あるいは電流値変化や抵抗値変化によって検出することができる。ただし、流入口13および流出口14の数は複数である必要はなく、1つであっても同様の効果を奏することができる。また、複数の貫通孔18A~18Fは、キャビティ16の側面117A、117Bにおいて対向するが、側面117A、117Bのうちの一方に設けられたのみでも、同様の効果を奏することができる。実施の形態における測定デバイス1001では測定安定度を向上させることができる。振動発生部20により発生する定在波により被検体21が常に一定の領域に浮遊して開口部118A~118Fに吸引されて捕捉され、被検体21が貫通孔18A~18Fに過度に近くには位置しない。また、図8に示す従来の測定デバイス501では被検体である細胞8が最初にキャビティ2内に投入された位置のばらつきによって測定のたびに違った距離からの細胞8が吸引、捕捉される。しかし、実施の形態における測定デバイス1001では、被検体21が開口部118A~118Fに捕捉される際に側面117A、117Bに当接する速度を一定にすることができ、側面117A、117Bから受ける衝撃の大きさを常に一定に保つことができる。したがって、安定して被検体21を捕捉でき、ギガシール状態を容易に実現することができ、測定成功率が安定する。さらに、実施の形態における測定デバイス1001では、被検体21を貫通孔18A~18Fに吸引、密着させる前に、開口部118A~118Fから一定の適切な距離だけ離れた位置に一旦整列させる。その適切な距離から被検体21を吸引、密着することによって、吸引時の接触速度をコントロールし、開口部118A~118Fへの密着率を向上させることができる。なお、適切な距離とは、被検体21の径の1.5倍以上であることが望ましい。さらに、実施の形態における測定デバイス1001では開口部118A~118Fは、開口部118A~118Fで捕捉された被検体21がキャビティ16の底面116及び上面216に接触しないように設けられている。例えば被検体21が細胞である場合には、通常、被検体21は細胞外液である液体916中を浮遊している。浮遊している被検体21はキャビティ16内の側面117A、117Bよりキャビティ16の中央部に密度の高い状態で存在している。したがって、開口部118A~118Fがキャビティ16の底面116より高く、上面216よりも低い位置にあることで浮遊している被検体21を容易に捕捉することができる。さらに、被検体21の径よりも大きい距離だけ底面116と上面216から離れて開口部118A~118Fが位置することで、被検体21を底面116や上面216に当接させずに捕捉することができる。なお、実施の形態における測定デバイス1001では、基板12の部材として、光透過性の高い樹脂であるPDMS樹脂を用いることができる。この場合は、開口部118A~118Fに被検体21以外の単なるごみが捕捉されているか否かをそれぞれ独立で視覚的に判断することができる。また、例えば被検体21が細胞である場合に、被検体21に蛍光剤によってラベリングしておくことによって、開口部118A~118Fに被検体21以外の単なるごみが捕捉されているか否かをさらに容易に視覚的に判断することができる。実施の形態における測定デバイス1001では、キャビティ19A~19Fが互いに独立しており、測定電極23A~23Fも互いに独立している。これにより、被検体21ではないゴミで塞がれた開口部に繋がる測定電極を、被検体21で適切に塞がれた開口部に繋がる測定電極から切り離すことができ、ゴミで塞がれた開口部が存在しても良好に被検体21の反応を効率的に高精度に測定することができる。このように、1つのキャビティ16に複数の貫通孔18A~18Fを介して複数のキャビティ19A~19Fがそれぞれ連通することで、キャビティ19A~19Fのうち被検体21によって適切にギガシール状態で塞がれている貫通孔に繋がるキャビティの測定電極のみから反応を測定し、被検体21によって適切にギガシール状態で塞がれていない貫通孔に繋がるキャビティの測定電極からは測定しない。これにより、貫通孔18A~18Fのいくつかがゴミで塞がれていても被検体21の吸引を再度行うことなく被検体21の反応を測定できる。したがって、測定デバイス1001は高効率で被検体21の反応を測定できる。図7Aは実施の形態における他の測定デバイス1002の基板611の上面図である。図7Aにおいて、図6Bに示す測定デバイス1001と同じ部分には同じ参照番号を付す。測定デバイス1002は図6Bに示す測定デバイス1001の基板11の代わりに、上面1611を有する基板611を備える。基板611の上面1611には、図6Bに示す測定デバイス1001のキャビティ16の代わりにキャビティ616が形成されている。キャビティ616は、キャビティ616を介して互いに対向する側面617A、617Bを有する。貫通孔18A~18Cの開口部118A~118Cは側面617Aに開口する。貫通孔18D~18Fの開口部118D~118Fは側面617Bに開口する。図6Bに示す測定デバイス1001ではキャビティ16の側面117A、117Bのそれぞれは1つの平坦な平面であり、側面117A、117Bは互いに平行である。図7Aに示す測定デバイス1002では、側面617Aは平坦な複数の平坦部657A、757A、857Aを有し、側面617Bは平坦な複数の平坦部657B、757B、857Bを有する。平坦部657A、857Bは互いに平行に対向している。平坦部757A、757Bは互いに平行に対向している。平坦部857A、657Bは互いに平行に対向している。平坦部657Aから平坦部857Bまで延びる直線L11は平坦部657A、857Bと直角に交わる。平坦部757Aから平坦部757Bまで延びる直線L12は平坦部757A、757Bと直角に交わる。平坦部857Aから平坦部657Bまで延びる直線L13は平坦部857A、657Bと直角に交わる。直線L11、L12、L13は直線L11、L12、L13の中点である1つの点P1で交わる。平坦部657A、857B間の距離である直線L11の長さと、平坦部757A、757B間の距離である直線L12の長さと、平坦部857A、657B間の距離である直線L13の長さは等しい。測定デバイス1002では、複数の平坦部657A、657B、757A、757B、857A、857Bは、底面116から見て多角形1002Aの複数の辺を構成する。多角形1002Aは偶数個8つの辺よりなる正多角形である。測定デバイス1002の動作について説明する。振動発振部20図4参照で基板611を適切な周波数で振動させると、キャビティ616を満たす液体916を波が伝播する。互いに平行に対向する複数の組の平坦部間の距離は互いに等しいので、平坦部657A、857B間で定在波が発生し、平坦部757A、757B間で定在波が発生し、平坦部857A、657B間で定在波が発生する。それらの定在波は重畳して点P1に節を発生させる。これにより、液体916に懸濁された複数の被検体21は節が発生している点P1に集まる。貫通孔18A、18Dの開口部118A、118Dは、直線L12が平坦部757A、757Bと交わる位置でそれぞれ開口している。測定デバイス1002では図6Bに示す測定デバイス1001に比べて、より狭い範囲に複数の被検体21を集めることができるので、より効率よく一定の速度で被検体21を開口部118A、118Dに接触させて、開口部118A、118Dで安定に捕捉することができる。同様に、より効率よく一定の速度で被検体21を開口部118B、118C、118E、118Fに接触させて、開口部118B、118C、118E、118Fで安定に捕捉することができる。図7Bは実施の形態におけるさらに他の測定デバイス1003の基板611の上面図である。図7Bにおいて、図7Aに示す測定デバイス1002と同じ部分には同じ参照番号を付す。図7Bに示す測定デバイス1003の基板611の上面1611に設けられたキャビティ616は、キャビティ616を介して互いに対向する側面717A、717Bを有する。貫通孔18A、18Bの開口部118A、118Bは側面717Aに開口する。貫通孔18D、18Eの開口部118D、118Eは側面717Bに開口する。図7Bに示す測定デバイス1003では、側面717Aは平坦な複数の平坦部667A、767Aを有し、側面717Bは平坦な複数の平坦部667B、767Bを有する。平坦部667A、767Bは互いに平行に対向している。平坦部767A、667Bは互いに平行に対向している。平坦部667Aから平坦部767Bまで延びる直線L21は平坦部667A、767Bと直角に交わる。平坦部767Aから平坦部667Bまで延びる直線L22は平坦部767A、667Bと直角に交わる。直線L21、L22は直線L21、L22の中点である1つの点P2で交わる。平坦部667A、767B間の距離である直線L21の長さと、平坦部767A、667B間の距離である直線L22の長さは等しい。測定デバイス1003では、複数の平坦部667A、667B、767A、767Bは、底面116から見て多角形1003Aの複数の辺を構成する。多角形1003Aは偶数個6つの辺よりなる正多角形である。測定デバイス1003の動作について説明する。振動発振部20図4参照で基板611を適切な周波数で振動させると、キャビティ616を満たす液体916を波が伝播する。互いに平行に対向する複数の組の平坦部間の距離は互いに等しいので、平坦部667A、767B間で定在波が発生し、平坦部767A、667B間で定在波が発生する。それらの定在波は重畳して点P2に節を発生させる。これにより、液体916に懸濁された複数の被検体21は節が発生している点P2に集まる。貫通孔18A、18Eの開口部118A、118Eは、直線L21が平坦部667A、767Bと交わる位置でそれぞれ開口している。貫通孔18B、18Dの開口部118B、118Dは、直線L22が平坦部767A、667Bと交わる位置でそれぞれ開口している。測定デバイス1003では図6Bに示す測定デバイス1001に比べて、より狭い範囲に複数の被検体21を集めることができるので、より効率よく一定の速度で被検体21を開口部118A、118B、118D、118Eで安定に捕捉することができる。図7Bに示すように、測定デバイス1003のキャビティ616の側面717A、717Bは3つの正六角形である多角形1003Aの辺を構成する複数の平坦部を含む。上記の説明では、底面116から見て1つの多角形1003Aの複数の辺を構成する平坦部667A、667B、767A、767Bに開口部118A、118B、118D、118Eが開口し、キャビティ19A、19B、19D、19Eが貫通孔18A、18B、18D、18Eを介してキャビティ616に連通する。同様に、底面116から見て他の2つの多角形1003Aの複数の辺を構成する複数の平坦部に複数の貫通孔の開口部が開口し、複数のキャビティが複数の貫通孔を介してキャビティ616に連通する。図7Cは実施の形態におけるさらに他の測定デバイス1004の基板611の上面図である。図7Cにおいて、図7Aに示す測定デバイス1002と同じ部分には同じ参照番号を付す。図7Cに示す測定デバイス1004の基板611の上面1611に設けられたキャビティ616は、キャビティ616を介して互いに対向する側面817A、817Bを有する。貫通孔18A~18Cの開口部118A~118Cは側面817Aに開口する。貫通孔18D~18Fの開口部118D~118Fは側面817Bに開口する。図7Cに示す測定デバイス1004では、側面817Aは、底面116から見て円弧形状を有する円弧形状部877Aを有する。側面717Bは、底面116から見て円弧形状を有する円弧形状部877Bを有する。円弧形状部877A、877Bは、底面116から見て円1004A上に位置する。円1004Aの中心は点P3である。測定デバイス1004の動作について説明する。振動発振部20図4参照で基板611を適切な周波数で振動させると、キャビティ616を満たす液体916を波が伝播する。その波は互いに対向する円弧形状部877A、877B間で反射を繰り返して定在波を発生させ、円1004Aの中心である点P3に節を発生させる。これにより、液体916に懸濁された複数の被検体21は節が発生している点P3に集まる。貫通孔18A、18Dの開口部118A、118Dは、円弧形状部877A、877Bにそれぞれ開口している。測定デバイス1004では図6Bに示す測定デバイス1001に比べて、より狭い範囲に複数の被検体21を集めることができるので、より効率よく一定の速度で被検体21を開口部118A、118Dで安定に捕捉することができる。なお、測定デバイス1001において、キャビティ16の幅W16は、被検体21の径の少なくとも二倍より広いことが好ましい。これにより、開口部118A~118Fの互いに対向する開口部のうちの一方に捕捉された被検体21が、他方の開口部に捕捉された他の被検体21の測定に影響を及ぼすことを阻止することができる。また、貫通孔18A~18Fの開口部118A~118Fは少なくとも被検体21の径以上の間隔で配置されていることが好ましく、これにより確実に被検体21を捕捉することができる。なお、被検体21が細胞である場合は、開口部118A~118Fを塞いでいる被検体21の細胞膜に穴を開けて、被検体21をホールセルにする必要がある。その場合は、キャビティ19A~19Fのうちギガシール状態が形成されていることが確認できたキャビティの連通口からナイスタチンなどの薬剤を注入することでホールセルを形成できる。あるいは、キャビティ19A~19Fのうちギガシール状態が形成されていることが確認できたキャビティから吸引することで、そのキャビティに繋がる開口部を塞いでいる細胞膜に穴を開けることができる。なお、図5においては、キャビティ19A~19Fにそれぞれ連通している連通口15A~15Fに1つの共通の吸引装置24が接続されている。実施の形態による測定デバイス1001では、複数の吸引装置が連通口15A~15Fにそれぞれ独立して接続されていてもよい。独立した複数の吸引装置により、キャビティ19A~19Fを互いに独立に吸引することが可能となる。しかし、連通口15A~15Bに1つの共通の吸引装置24を接続することで、キャビティ19A~19Fの吸引を同時に制御でき、利便性にも優れるので、共通の吸引装置24を用いることが望ましい。以上述べたように、測定デバイス1001は、液体916に懸濁された複数の被検体21の反応を測定する。基材51には、液体916を貯留するように構成されたキャビティ16と、複数のキャビティ19A~19Fとが設けられている。振動発生部20は、キャビティ16に貯留する液体916に定在波を発生させる。基材51には複数の貫通孔18A~18Fと流入口13と複数の連通口15A~15Fとが設けられている。複数の貫通孔18A~18Fは複数のキャビティ19A~19Fのそれぞれとキャビティ16とを連通させる。流入口13は、キャビティ16を基材51の外部に連通させる。複数の連通口15A~15Fは、複数のキャビティ19A~19Fを基材51の外部に連通させる。複数の貫通孔18A~18Fは、キャビティ16に開口してかつ複数の被検体21を捕捉する複数の開口部118A~118Fをそれぞれ有する。キャビティ16の内壁面516は、底面116と、上面216と、複数の開口部118A~118Fが設けられた側面117A、117Bとを有する。複数の開口部118A~118Fは、複数の開口部118A~118Fにそれぞれ捕捉された複数の被検体21がキャビティ16の底面116と上面216から離れるような位置に設けられている。側面117A、117Bは互いに平行に対向していてもよい。複数の開口部118A、118Dはキャビティ16を介して互いに対向している。複数の開口部118B、118Eはキャビティ16を介して互いに対向している。複数の開口部118C、118Fはキャビティ16を介して互いに対向していてもよい。振動発生部20は、定在波によってキャビティ16内で複数の被検体21を所定の領域R11に位置させるように動作する。複数の被検体21が所定の領域R11に位置している時に複数のキャビティ19A~19Fから液体916を吸引することで複数の被検体21を複数の開口部118A~118Fにそれぞれ捕捉するように動作する。所定の領域R11は、複数の開口部118A~118Fより複数の被検体21の径の1.5倍以上の距離だけ離れている。複数のキャビティ19A~19Fはそれぞれ独立して液体919A~919Fを貯留するように構成されている。参照電極22は液体916に接触するように構成されている。複数の測定電極23A~23Fは液体919A~919Fにそれぞれ接触するように構成されている。基材51は、基板11と、基板11の上面111上に接合された基板12とを有する。基板11の上面111にはキャビティ16、19A~19Fが設けられている。キャビティ16、19A~19Fは基板12で塞がれている。なお、実施の形態において、上面下面底面等の方向を示唆する用語は、基板11、12等の測定デバイス1001の構成部品の相対的な位置関係にのみ依存する相対的な方向を示し、鉛直方向等の絶対的な方向を示すものではない。