"少なくとも1方向に延伸を行うテンターを用いて二軸延伸ポリエステルフィルムを製造する方法において、テンター内の200°C以下のゾーンのオリゴマー濃度を0.2mg/m3以下にする二軸延伸ポリエステルフィルムの製造方法。テンター内において、200°Cよりも高い温度のゾーンと200°C以下のゾーンの間にエアーナイフを導入することを特徴とする請求項1記載の二軸延伸ポリエステルフィルムの製造方法。本発明の課題は、二軸延伸ポリエステルフィルムを製造するために使用するテンター内でフィルムを熱処理するに際して、フィルムから揮散したオリゴマーを他ゾーンにおいてフィルムへ付着することを低減させるとともに、生産コストを抑えた二軸延伸ポリエステルフィルムの製造方法を提供することにある。本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、200°Cよりも高い温度のゾーンではオリゴマーの発生量が多く、200°C以下のゾーンではオリゴマーがほとんど発生しないことを利用して、テンター全体にオリゴマー対策を施工する必要なく、200°Cよりも高い温度のゾーンで発生したオリゴマーを200°C以下のゾーンに流出しないようにして、200°C以下のオリゴマー濃度を0.2mg/m3以下にすることで、オリゴマーのフィルムへの付着を効率的に軽減できることを突き止め、本発明に到達した。すなわち、本発明は、第一に、少なくとも1方向に延伸を行うテンターを用いて二軸延伸ポリエステルフィルムを製造する方法において、テンター内の200°C以下のゾーンのオリゴマー濃度を0.2mg/m3以下にする二軸延伸ポリエステルフィルムの製造方法であり、第二には、テンター内において、200°Cよりも高い温度のゾーンと200°C以下のゾーンの間にエアーナイフを導入することを特徴とする前記二軸延伸ポリエステルフィルムの製造方法である。本発明によれば、効率的に、オリゴマーのフィルムへの付着を低減させることができる。特に、触媒のような短期間で更新する必要がなく、既存のテンターのにおいて部分的な改造だけで済むので工業的に有利である。さらに、エアーナイフを導入することによって、他ゾーンへオリゴマーを流出を抑制してオリゴマー濃度の制御を行うと、よりいっそう効果的にオリゴマーのフィルムへの付着を抑制することができる。本発明の二軸延伸ポリエステルフィルムの製造方法は、少なくとも1方向に延伸を行うテンターを用いて二軸延伸ポリエステルフィルムを製造する方法において、200°C以下のゾーンのオリゴマー濃度は、0.2mg/m3以下とする必要があり、好ましくは0.1mg/m3以下、より好ましくは0.05mg/m3以下にする。テンター内の200°Cよりも高い温度のゾーンにおいて、オリゴマーはガス状態で存在するため、フィルムに付着も問題にならない。しかし、テンター内の200°C以下のゾーンの雰囲気下でオリゴマーガス濃度が0.2mg/m3以上となると、ガス状態のオリゴマーが凝集固化して、フィルムに付着しやすいことを突き止めた。オリゴマー濃度の下限は特に制限されないが、0.05mg/m3以下に低減する必要はない。オリゴマー濃度を0.05mg/m3以下に低減させても、フィルムへのオリゴマーの影響が小さい。また、0.05mg/m3以下の薄い濃度を正確に測定することには技術的な困難性をともなうことがある。本発明において、200°C以下のゾーンのオリゴマー濃度を所定の範囲にするための手段は特に限定されるものではないが、特に、エアーナイフを設置することが好ましい。従来から各ゾーン間にフィルム近傍まで区切るような遮蔽板が取り付けてゾーン間の区画をしている。遮蔽板の存在により、ゾーン間の温度管理は十分になされている。しかしながら、本発明者の観察により、200°Cよりも高い温度のゾーンで発生したオリゴマーは、走行フィルムの随伴流によって200°C以下のゾーンに流出していることがわかった。そこで、エアーナイフと呼ばれるエアー配管のスリットから高圧エアー吹き付ける装置を導入するエアーナイフを設置することで、オリゴマーのゾーン間の流出を防止できることを見出した。すなわち、本発明においては、テンター内の200°C以下のゾーンのオリゴマー濃度を低減するために、テンター内の200°Cよりも高い温度のゾーンと200°C以下ゾーンの間にエアーナイフを導入することが好ましい。上記エアーナイフは、フィルムの上面側と下面側に1基ずつ設置して1セットとする。1セットのみとすることも可能だが、フィルム長手方向に近接して2セット以上設置することが好ましい。また、上記エアーナイフの風向きは、テンター内の200°Cよりも高い温度のゾーンに向ける方向に調節する必要があり、例えば、200°Cよりも高い温度のゾーンの熱処理ゾーンと熱処理ゾーン後の200°C以下の冷却ゾーンの間に設置する場合は、フィルム流れ方向に逆らう方向になる。角度は厳密に決められていないが、水平に対して30°~60°の範囲に調節する。また、エアーナイフの風速は、オリゴマー含有熱風が200°C以下のゾーンに極力流入しない風速であれば特に限定されないが、具体的には、およそ風速5~30m/分の範囲になる。また、エアーナイフの風の給気元は、熱風循環経路から分岐したオリゴマー含有熱風でも良いが、オリゴマー成分を含まない外気を再加熱した熱風を用いる方が好ましい。本発明において、熱処理ゾーンの一部の熱風をテンター外に排出し、系外のオリゴマーを含有しない外気を再加加熱してテンター内に戻す給排気機構を併用することができる。その際には、熱処理ゾーンの熱風を排出し、テンター内に戻すオリゴマーを含有しない熱風は、200°C以下のゾーンに戻すのが好ましい。二軸延伸フィルム本発明において、二軸延伸ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、およびこれらの混合物などが挙げられる。前記ポリエステル樹脂からなるフィルムは、優れた成形性、加工性、力学特性、ガスバリア性などの優れた性能を有している。フィルムの厚みは特に限定されないが、5~500μmの範囲が好ましい。本発明の製造方法において、二軸延伸処理を施す前の未延伸フィルムは、公知の方法で得ることができる。例えば上述のポリエステル樹脂を押出機で加熱、溶融してTダイより押出し、冷却ロールなどにより冷却固化させて未延伸フィルムを得るか、もしくは円形ダイより押出して水冷あるいは空冷により固化させて未延伸フィルムを得る。また、延伸処理を行うには、未延伸フィルムを一旦巻き取った後、または未延伸フィルム製造から連続して、同時二軸延伸法または逐次二軸延伸法により延伸する方法が好ましい。フィルムの機械的特性や厚み均一性などの性能面からは、Tダイによるフラット式製膜法とテンター延伸法を組み合わせる方法が好ましい。以下、実施例に基づき本発明をより詳細に説明する。実施例および比較例における測定方法は次の通りである。オリゴマー欠点数の評価二軸延伸フィルムを光学式異物検査装置ヒューテック製MaxEye.next80に通して、幅方向に1m、長手方向に10,000mの面積10,000m2の範囲を検査した。この検査範囲において検知された面積平均径0.2mmφ以上の全ての異物について、顕微ATR法にてATRクリスタルと異物を接触させ赤外スペクトルを測定し、得られた赤外線吸収スペクトルにおいて1690cm-1のカルボン酸C=O起因の吸収と1720cm-1のエステル結合C=O起因の吸収が見られる異物をオリゴマー欠点とし、計数した。オリゴマー濃度測定オリゴマーガス濃度測定は、以下の1~5に示す手順にて行った。1所定のテンターゾーンの壁に穴を空け、その中にステンレスパイプを通した。そのステンレスパイプの一端を熱風循環系内に入れ、他端はテンター外に設置したガス洗浄瓶ムエンケ式に接続した。ガス洗浄瓶には、オリゴマー成分を溶解するためのエチレングリコールで満たした。2流量計付き吸引ポンプを用いて、ガス洗浄瓶内にテンターゾーン内のオリゴマー含有空気を流入させ、エチレングリコールにオリゴマー成分を溶解した。3採取ガス量を10m3捕集後、洗浄瓶内のエチレングリコールを回収し、また、ガス洗浄瓶ならびにステンレスパイプの内壁面についたオリゴマー成分もエチレングリコールにて回収した。4回収したオリゴマー成分を溶解したエチレングリコールは、HPLC用アセトニトリルでメスアプを行い、孔径0.45μmのディスクフィルターでろ過し、測定溶液とした。5測定溶液は、表1の条件に従ってHPLC測定に供した。得られた全てのスペクトルの合計ピークエリアを、ジメチルテレフタレートDMTの検量線を用いてDMT濃度に換算し、これをオリゴマー濃度とした。実施例1極限粘度0.69dl/gのポリエチレンテレフタレートを押出機にて溶融したのち、Tダイより押し出し、表面温度を20°Cに温調した冷却ドラム上に静電印加法で密着させて急冷して厚さ500μmの未延伸フィルムを得た。続いて90°Cに温調した予熱ロール群で予熱した後、90°Cに温調した延伸ロール間で周速を変化させて4.0倍に縦延伸し、厚さ125μmの縦延伸フィルムを得た。続いて縦延伸フィルムをテンター式延伸機に導き、予熱温度90°C、延伸温度120°Cで5倍に横延伸し、続いて245°Cで熱処理を行い、200°Cで横方向に3の弛緩処理を行った。テンターから出たフィルムは、フィルム速度150m/minで巻き取った。こうして厚さ25μmの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。テンター内において、エアーナイフは、熱処理ゾーン温度245°Cと熱処理ゾーン後の200°C以下となるゾーンの区画の間に1基設置した。オリゴマーガス濃度を熱処理ゾーン後の200°C以下になるゾーンで測定した。得られた二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムについて、オリゴマー欠点数を測定した。実施例2実施例1記載の熱処理ゾーンにおいて給排気を積極的に実施したことを除いて、実施例1と同様に二軸配向ポリエチレンテレフタレートフィルムを得た。その際、実施例1同様にオリゴマーガス濃度を熱処理ゾーン後の200°C以下になるゾーンで測定した。比較例1実施例1において、エアーナイフを取外したことを除いて、実施例1と同様に二軸配向ポリエチレンテレフタレートフィルムを得た。その際、実施例1同様にオリゴマーガス濃度を熱処理ゾーン後の200°C以下になるゾーンで測定した。比較例2実施例1記載のエアーナイフを取外して、かつ、熱処理ゾーンにおいて給排気を積極的に実施したことを除いて、実施例1と同様に二軸配向ポリエチレンテレフタレートフィルムを得た。その際、実施例1同様にオリゴマーガス濃度を熱処理ゾーン後の200°C以下になるゾーンで測定した。実施例1、2および比較例1、2におけるオリゴマー濃度とオリゴマー欠点数を表2に示した。"