複数の電極からなる四重極マスフィルタと、特定の質量電荷比を有するイオンを選択的に該四重極マスフィルタを通過させるために該複数の電極に対してそれぞれ電圧を印加する手段であって、質量電荷比に応じた直流電圧±Uを生成する直流電圧生成部、質量電荷比に応じた高周波電圧±Vcosω1tを生成する高周波電圧生成部、前記高周波電圧よりも周波数が低く振幅も小さい小振幅交流電圧±acosω2tを生成する交流電圧生成部、並びに、前記直流電圧±U、前記高周波電圧±Vcosω1t及び前記小振幅交流電圧±acosω2tを重畳する電圧重畳部、を含む四重極駆動手段と、を具備する四重極型質量分析装置において、前記直流電圧生成部の電圧出力端と前記電圧重畳部との間の信号経路に、該電圧重畳部を経て前記直流電圧生成部側へと漏れ込む前記小振幅交流電圧±acosω2tと同じ周波数である交流電圧成分を相殺するように、該小振幅交流電圧±acosω2tと同じ周波数で且つ位相及び振幅がそれぞれ調整された電圧を加算する補償手段、を備えることを特徴とする四重極型質量分析装置。請求項1に記載の四重極型質量分析装置であって、前記補償手段は、前記直流電圧生成部の電圧出力端と前記電圧重畳部との間に挿入された双方向ローパスフィルタと、前記交流電圧生成部から出力される小振幅交流電圧±acosω2tの振幅を減衰させるとともに位相を調整する調整手段とを含み、該調整手段により振幅及び位相が調整された交流電圧を前記双方向ローパスフィルタと前記直流電圧生成部の電圧出力端との間の信号経路に加えることを特徴とする四重極型質量分析装置。本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、四重極マスフィルタを構成する電極に電圧を印加する四重極駆動回路において、スキャン速度が高速である場合でも、直流電圧生成部で生成される直流電圧に対する交流電圧成分の干渉を抑え、高精度の電圧を四重極マスフィルタに印加することができる四重極型質量分析装置を提供することである。上記課題を解決するために成された本発明は、複数の電極からなる四重極マスフィルタと、特定の質量電荷比を有するイオンを選択的に該四重極マスフィルタを通過させるために該複数の電極に対してそれぞれ電圧を印加する手段であって、質量電荷比に応じた直流電圧±Uを生成する直流電圧生成部、質量電荷比に応じた高周波電圧±Vcosω1tを生成する高周波電圧生成部、前記高周波電圧よりも周波数が低く振幅も小さい小振幅交流電圧±acosω2tを生成する交流電圧生成部、並びに、前記直流電圧±U、前記高周波電圧±Vcosω1t及び前記小振幅交流電圧±acosω2tを重畳する電圧重畳部、を含む四重極駆動手段と、を具備する四重極型質量分析装置において、前記直流電圧生成部の電圧出力端と前記電圧重畳部との間の信号経路に、該電圧重畳部を経て前記直流電圧生成部側へと漏れ込む前記小振幅交流電圧±acosω2tと同じ周波数である交流電圧成分を相殺するように、該小振幅交流電圧±acosω2tと同じ周波数で且つ位相及び振幅がそれぞれ調整された電圧を加算する補償手段、を備えることを特徴としている。ここで、直流電圧±U及び高周波電圧±Vcosω1tは原理的に四重極マスフィルタを通過し得るイオンの質量電荷比を決める電圧であり、小振幅交流電圧±acosω2tはその直流電圧±U及び高周波電圧±Vcosω1tにより四重極マスフィルタの内部空間に形成される電場を補正するために印加される電圧である。本発明に係る四重極型質量分析装置の具体的な態様として、前記補償手段は、前記直流電圧生成部の電圧出力端と前記電圧重畳部との間に挿入された双方向ローパスフィルタと、前記交流電圧生成部から出力される小振幅交流電圧±acosω2tの振幅を減衰させるとともに位相を調整する調整手段とを含み、該調整手段により振幅及び位相が調整された交流電圧を前記双方向ローパスフィルタと前記直流電圧生成部の電圧出力端との間の信号経路に加える構成とすることができる。なお、前述したとおり、一般に四重極マスフィルタを構成する4本の電極の中で、イオン光軸を挟んで対向する2本の電極に印加される小振幅交流電圧と周方向にそれに隣接する他の2本の電極に印加される小振幅交流電圧とは逆極性であって、交流電圧生成部は互いに極性が逆である正転側小振幅交流電圧acosω2tと反転側小振幅交流電圧-acosω2tとを生成し、それらはそれぞれ別の電圧重畳部により直流電圧U、-Uに重畳される。したがって、上記補償手段も、正転側小振幅交流電圧の信号経路と反転側小振幅交流電圧の信号経路のそれぞれに設けられる。また、四重極駆動手段の回路構成が同一である限り、電圧重畳部を経て直流電圧生成部側へと漏れ込む交流電圧成分の振幅や位相の経時的な変化は殆どない。したがって、通常、上記調整手段における振幅の減衰量や位相の調整量は変更する必要はなく、その調整量は例えば装置の設計時点で定めることができる。本発明に係る四重極型質量分析装置によれば、四重極駆動手段において、電圧重畳部を経て直流電圧生成部側へと漏れ込む小振幅交流電圧に起因する交流電圧成分を補償手段により打ち消し、その影響を軽減することができる。それにより、直流電圧生成部から電圧重畳部に与えられる出力直流電圧が選択目的である質量電荷比に応じた高精度の値となり、四重極マスフィルタにおいて選択されるイオンの質量精度を向上させることができる。また、スキャン測定のスキャン速度を上げることで直流電圧生成部に必要とされる周波数帯域が広がることを許容できるので、スキャン測定の高速化を図ることができる。さらにまた、直流電圧生成部の出力インピーダンスを高くすることができるので、該直流電圧生成部の動作電流を抑えることができ、省電力化にも有利である。以下、本発明の一実施例による四重極型質量分析装置について添付図面を参照して説明する。図1は本実施例の四重極型質量分析装置の概略全体構成図、図2は図1中の四重極マスフィルタ及び四重極駆動部の要部の構成図である。試料中の各種成分はイオン源1においてイオン化され、イオンレンズ、イオンガイド等のイオン輸送光学系2を経て四重極マスフィルタ3に導入される。四重極マスフィルタ3を通り抜けた特定の質量電荷比mzを持つイオンは検出器4に到達し、検出器4は到達したイオンの量に応じた検出信号を時間経過に伴って出力する。この検出信号は図示しないA/D変換部においてデジタルデータに変換されてデータ処理部5に送られ、データ処理部5は例えば或る一つの質量電荷比に対する複数の検出データを積算して信号強度データを求め、該データを利用した定量分析、定性分析等を実行する。四重極マスフィルタ3に駆動電圧を印加する四重極駆動部10は、直流DC電圧生成部11、高周波RF電圧生成部12、交流AC電圧生成部13、電圧重畳部14を含み、各電圧生成部11、12、13で生成される電圧の電圧値振幅値は制御部20により指示される。例えば高周波電圧生成部12は、図示しないクロック生成回路で生成された基準クロック信号CLKを適宜の分周比で分周し、この分周信号CLK2をローパスフィルタに通すことにより、矩形波信号のエッジを鈍らせた擬似正弦波信号を生成する。この擬似正弦波信号の振幅を制御部20からの指示信号に基づいたゲインで以て増幅し、電圧重畳部14図2では141、142を通して、さらに四重極マスフィルタ3の各ロッド電極31~34を含む図示しないLC共振回路で共振させることにより振幅を増大させて高周波電圧Vcosω1tとして各ロッド電極31~34に印加する。一方、交流電圧生成部13は高周波電圧生成部12から上記分周信号CLK2を受け取り、該分周信号CLK2をさらに所定の分周比で分周し、この分周信号をローパスフィルタに通すことにより矩形波信号のエッジを鈍らせた擬似正弦波信号を生成する。そして、この擬似正弦波信号の振幅を適宜のゲインで以て増幅し、小振幅交流電圧acosω2tとして電圧重畳部14を通して四重極マスフィルタ3の各ロッド電極31~34に印加する。上述したように、小振幅交流電圧acosω2tの周波数ω2は高周波電圧Vcosω1tの周波数ω1に比べ十分に低く、小振幅交流電圧acosω2tの振幅aは高周波電圧Vcosω1tの振幅Vに比べて十分に小さい。直流電圧生成部11図2中の直流正電圧生成部111、直流負電圧生成部112は制御部20からの指示信号に基づいた電圧値の直流電圧を発生し、この直流電圧±Uは電圧重畳部14を通して四重極マスフィルタ3の各ロッド電極に印加される。即ち、四重極マスフィルタ3の各ロッド電極31~34には、直流電圧±Uと高周波電圧Vcosω1tと小振幅交流電圧acosω2tとが重畳された電圧が印加される。図2に示すように、本実施例の四重極型質量分析装置における特徴的な構成として、直流正電圧生成部111と電圧重畳部141との間の信号経路上、及び、直流負電圧生成部112と電圧重畳部142との間の信号経路上には、それぞれ双方向ローパスフィルタ151、152が設けられている。さらに、直流正電圧生成部111と双方向ローパスフィルタ151との間の信号経路には、交流電圧生成部13から出力される負極性小振幅交流電圧-acosω2tの振幅及び位相を振幅位相調整回路161により調整した電圧が加算され、同様に、直流負電圧生成部112と双方向ローパスフィルタ152との間の信号経路には、交流電圧生成部13から出力される正極性小振幅交流電圧acosω2tの振幅及び位相を振幅位相調整回路162により調整した電圧が加算されている。双方向ローパスフィルタ151、152は小振幅交流電圧±acosω2tを双方向で減衰させ、且つ、スキャン測定の際に時間経過に伴って変化する直流電圧±U擬似的な交流信号を減衰なしで通過させる周波数特性を有するフィルタである。一方、振幅位相調整回路161、162は、小振幅交流電圧の振幅aを例えば抵抗分割等により減衰させる回路と遅延素子などを用いて位相をシフトさせる回路とを組み合わせたものである。この双方向ローパスフィルタ151、152及び振幅位相調整回路161、162が本発明における補償手段に相当する。図3は上記回路による交流電圧干渉の抑制動作の説明図である。図3において、交流電圧生成部13から出力される正極性小振幅交流電圧acosω2tは電圧重畳部141において直流電圧Uと重畳されるが、その際に正極性小振幅交流電圧は直流電圧を供給する信号経路に漏れ込む。当然のことながら、その際に振幅は減衰し、位相もずれる。漏れ込んだ交流電圧はさらに双方向ローパスフィルタ151を通過する際に減衰するが、完全にはゼロにはならず、正極性小振幅交流電圧acosω2tに由来する交流電圧成分acosω2tΔが直流正電圧生成部111と双方向ローパスフィルタ151との間の信号経路に漏れ込む。なお、Δは電圧重畳部141と双方向ローパスフィルタ151とによる位相変化量である。一方、振幅位相調整回路161は、正極性小振幅交流電圧acosω2tとは位相が180°異なる負極性小振幅交流電圧-acosω2tの振幅を減衰させ、位相をずらすことにより、交流電圧-acosω2tΔを生成する。これは上記交流電圧成分acosω2tΔに対しちょうど位相が180°ずれた電圧であるから、この交流電圧-acosω2tΔが直流正電圧生成部111と双方向ローパスフィルタ151との間の信号経路に注入されることで、該信号経路上で両者は打ち消し合うことになる。その結果、直流正電圧生成部111に交流電圧成分acosω2tΔの影響が及ぶことを防止することができる。直流負電圧生成部112についても同様である。直流電圧生成部111、112と双方向ローパスフィルタ151、152との間の信号経路に漏れ込む交流電圧成分acosω2tΔの振幅や位相は、電圧重畳部141、142や双方向ローパスフィルタ151、152などの回路構成にほぼ依存する。したがって、振幅位相調整回路161、162において必要とされる振幅減衰量や位相変化量は装置を設計する段階でシミュレーション計算や実験などにより求めることが可能であり、それによって振幅位相調整回路161、162に含まれる回路素子の値例えば抵抗分割を行うための抵抗器の抵抗値などを決めることができる。以上説明したように、上記実施例の四重極型質量分析装置では、直流電圧生成部11が小振幅交流電圧の干渉の影響を受けないので、その出力電圧が安定し、四重極マスフィルタ3で選択したい質量電荷比に対応した高精度の直流電圧をロッド電極31~34に印加することができる。それにより、四重極マスフィルタ3で選択されるイオンの質量精度が向上する。なお、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜変形、修正及び追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。