"連続的に送出される支持体と、連続的に送出される繊維基材との間に第1の樹脂組成物を供給し、前記支持体と前記繊維基材とを前記第1の樹脂組成物を介して圧着して積層シートを製造する積層シートの製造方法であって、前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかに液状の第1の樹脂組成物を供給する第1の工程と、前記支持体の前記一方の面と前記繊維基材の前記一方の面とを前記第1の樹脂組成物を介して圧着する第2の工程とを含み、前記第1の工程では、前記液状の第1の樹脂組成物を供給する供給手段の供給位置を調整した後、前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかに液状の第1の樹脂組成物を供給する積層シートの製造方法。請求項1に記載の積層シートの製造方法において、前記第1の工程では、前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかの面を選択し、選択した面に対し、液状の第1の樹脂組成物が供給されるように、前記供給手段の供給位置を調整する積層シートの製造方法。請求項2に記載の積層シートの製造方法において、前記第1の工程では、前記供給手段は、前記支持体の前記一方の面に向って前記第1の樹脂組成物を吐出するノズルと、前記繊維基材の前記一方の面に向って前記第1の樹脂組成物を吐出するノズルと、対向する前記支持体の一方の面と前記繊維基材の一方の面との間に形成された空間に向けて吐出するとともに、前記支持体の一方の面および前記繊維基材の一方の面の双方に向けて前記第1の樹脂組成物を吐出するノズルとで構成され、前記複数のノズルのうちから、前記第1の樹脂組成物を吐出する少なくとも1つのノズルを選択することで、前記供給手段の供給位置を調整し、前記液状の第1の樹脂組成物を供給する積層シートの製造方法。請求項1または2に記載の積層シートの製造方法において、前記第1の工程では、前記供給手段はノズルであり、このノズルの吐出口が、前記支持体の前記一方の面、前記繊維基材の前記一方の面の少なくとも1つに向くように、前記ノズルを変位させることで、前記供給手段の供給位置を調整し、前記第1の樹脂組成物を前記ノズルから吐出させる積層シートの製造方法。請求項1、2、4のいずれか1項に記載の積層シートの製造方法において、前記第1の工程では、前記供給手段であるノズルを変位させて、前記支持体の一方の面の支持体送出方向における前記供給手段の供給位置を調整し、もしくは、前記繊維基材の一方の面の繊維基材送出方向における前記供給手段の供給位置を調整した後、前記液状の第1の樹脂組成物を供給する積層シートの製造方法。請求項1乃至5のいずれか1項に記載の積層シートの製造方法において、前記第2の工程では、前記支持体をラミネートロールの円周の1/4以上の範囲で面接触するように、前記支持体を前記ラミネートロールの外周面に沿って連続的に搬送し、前記ラミネートロールと前記支持体とが接触している箇所で、前記支持体および前記第1の樹脂組成物を介して前記ラミネートロールに接触するように、前記繊維基材を前記ラミネートロールに向けて連続的に搬送することで、前記繊維基材と前記支持体とを前記第1の樹脂組成物を介して圧着する積層シートの製造方法。請求項1乃至6のいずれか1項に記載の積層シートの製造方法において、前記繊維基材の前記第1の樹脂組成物と反対側の面に液状の第2の樹脂組成物を供給する第3の工程を有する積層シートの製造方法。前記第2の樹脂組成物の供給は、該第2の樹脂組成物をノズルから吐出して行う請求項7に記載の積層シートの製造方法。一方の面側に第2の樹脂組成物で構成されたシート状の樹脂層を有し、連続的に供給されるシートを、前記繊維基材の前記第1の樹脂組成物と反対側の面に、前記シートの前記樹脂層を介して圧着する第3の工程を有する請求項1乃至8のいずれか1項に記載の積層シートの製造方法。前記第2の工程と前記第3の工程との間に、乾燥を行う工程を有する請求項9に記載の積層シートの製造方法。前記第1の樹脂組成物と前記第2の樹脂組成物とは、互いに組成が異なる請求項7ないし10のいずれか1項に記載の積層シートの製造方法。前記支持体は、金属箔または樹脂フィルムである請求項1ないし11のいずれか1項に記載の積層シートの製造方法。支持体を連続的に送出する手段と、繊維基材を連続的に送出する手段と、前記支持体と前記繊維基材との間に液状の第1の樹脂組成物を供給する供給手段と、前記第1の樹脂組成物を介して、前記支持体と前記繊維基材とを圧着する圧着手段とを備える積層シートの製造装置であって、前記供給手段による前記液状の第1の樹脂組成物の供給位置を調整する調整手段を備える積層シートの製造装置。請求項13に記載の積層シートの製造装置において、前記供給手段は、前記支持体の一方の面に向って前記第1の樹脂組成物を吐出するノズルと、前記繊維基材の一方の面に向って前記第1の樹脂組成物を吐出するノズルと、対向する前記支持体の一方の面と前記繊維基材の一方の面との間に形成された空間に向けて吐出するとともに、前記支持体の一方の面および前記繊維基材の一方の面の双方に向けて前記第1の樹脂組成物を吐出するノズルとで構成され、前記調整手段は、前記各ノズルに接続され、各ノズルの開閉を行なうバルブである積層シートの製造装置。請求項13に記載の積層シートの製造装置において、前記供給手段は、ノズルであり、前記調整手段は、ノズルを変位させることで、ノズルの吐出口が、前記支持体の前記一方の面、前記繊維基材の前記一方の面の少なくとも1つに向くように前記ノズルの吐出口を変位させる、あるいは、ノズルを変位させることで、前記支持体の一方の面の支持体送出方向における前記液状の前記供給手段の供給位置を調整し、もしくは、前記繊維基材の一方の面の繊維基材送出方向における前記供給手段の供給位置を調整する積層シートの製造装置。以下、本発明の積層シートの製造方法および積層シートを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。図1は、本発明の積層シートの実施形態を示す断面図、図2は、本発明の積層シートの実施形態における他の構成例を摸式的に示す断面図、図3~図5は、本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置の構成例を示す図である。まず、本発明の積層シートの実施形態について説明する。なお、積層シートを所定の寸法に切断すると、プリプレグが得られる。なお、以下の説明では、図1以下の各図において同様中の上側を上、下側を下として説明する。また、図1以下の各図において同様は、厚さ方向図中の上下方向に大きく誇張して示してある。図1に示す積層シート1は、その全体形状が帯状をなし、薄板状平板状の支持体5と、薄板状平板状の繊維基材2と、繊維基材2の一方の面上面側を被覆し、第1の樹脂組成物で構成される第1の樹脂層3と、繊維基材2の他方の面下面側を被覆し、第2の樹脂組成物で構成される第2の樹脂層4とを有する。支持体5と繊維基材2とは、第1の樹脂層3第1の樹脂組成物を介して接合されている。なお、この積層シート1は、所定の寸法に切断されて使用される。支持体5は、例えば、金属箔金属層または樹脂フィルムで構成されている。金属箔は、例えば、後で配線部回路等に加工される部分である。この金属箔を構成する金属材料としては、例えば、銅または銅系合金、アルミニウムまたはアルミニウム系合金、鉄または鉄系合金、ステンレス鋼等が挙げられる。そして、金属箔を構成する金属材料としては、これらの中でも、導電性に優れ、エッチングによる回路形成が容易であり、また、安価であることから、銅または銅系合金が好ましい。また、支持体5として、極薄金属箔たとえば、厚さ2~5μmを使用してもよい。ただし、ハンドリング性から支持体5として、前述した極薄金属箔をキャリア材上に設けたものを使用してもよい。また、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、例えば、フッ素系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂等が挙げられる。そして、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、これらの中でも、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。また、樹脂フィルムは、その樹脂フィルムの第1の樹脂層3側の面に剥離可能な処理が施されたものであることが好ましい。これにより、後で、支持体5と第1の樹脂層3とを容易に分離することができる。支持体5の平均厚さは、特に限定されないが、8~70μm程度であるのが好ましく、12~40μm程度であるのがより好ましい。繊維基材2は、積層シート1の機械的強度を向上する機能を有する。この繊維基材2としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維、全芳香族ポリアミド樹脂繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリイミド樹脂繊維、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材等が挙げられる。これらの中でも、繊維基材2は、ガラス繊維基材であるのが好ましい。かかるガラス繊維基材を用いることにより、積層シート1の機械的強度をより向上することができる。また、積層シート1の熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。このようなガラス繊維基材を構成するガラスとしては、例えば、Eガラス、Cガラス、Aガラス、Sガラス、Dガラス、NEガラス、Tガラス、Hガラス等が挙げられる。これらの中でも、ガラスは、Sガラス、または、Tガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート1をその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。繊維基材2の平均厚さは、特に限定されないが、100μm以下であるのが好ましく、50μm以下であるのがより好ましく、10~30μm程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材2を用いることにより、積層シート1の機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、積層シート1の加工性寸法安定性を向上することもできる。この繊維基材2の一方の面側には、第1の樹脂層3が設けられ、また、他方の面側には、第2の樹脂層4が設けられている。また、第1の樹脂層3は、第1の樹脂組成物で構成され、一方、第2の樹脂層4は、本実施形態では、前記第1の樹脂組成物と異なる組成の第2の樹脂組成物で構成されている。かかる構成により、各樹脂層に要求される特性に応じて、樹脂組成物の組成を適宜設定することができるようになる。なお、第1の樹脂組成物と第2の樹脂組成物とは、互いに組成が同一であってもよいことは、言うまでもない。本実施形態では、第1の樹脂層3上に配線部導体パターンが形成されるために、第1の樹脂組成物は、金属との密着性に優れるような組成に設定されている。また、積層シート1から得られたプリプレグの第2の樹脂層4に積層シート1から得られた他のプリプレグの配線部や他の繊維基材を確実に埋め込むために、第2の樹脂組成物は、第2の樹脂層4が第1の樹脂層3より可撓性柔軟性が高くなるような組成に設定されている。このような各樹脂組成物については、後に詳述する。図1に示すように、本実施形態では、繊維基材2の厚さ方向の一部に第1の樹脂組成物第1の樹脂層3が含浸され以下この部分を第1の含浸部31と言う、繊維基材2の第1の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第2の樹脂組成物第2の樹脂層4が含浸されている以下この部分を第2の含浸部41と言う。これにより、第1の樹脂層3の一部である第1の含浸部31と第2の樹脂層4の一部である第2の含浸部41とが繊維基材2内に位置する。そして、繊維基材2内において、第1の含浸部31第1の樹脂層3の下面と第2の含浸部41第2の樹脂層4の上面とが接触している。換言すれば、第1の樹脂組成物が、繊維基材2の上面側から、繊維基材2に含浸され、第2の樹脂組成物が、繊維基材2の下面側から、繊維基材2に含浸され、これらの樹脂組成物で繊維基材2内の空隙が充填されている。かかる構成により、繊維基材2を第1の樹脂層3および第2の樹脂層4で保護することができる。その結果、積層シート1に外部からの衝撃が加わった場合でも、繊維基材2自体が破壊するのを防止することができ、繊維基材2による積層シート1の機械的強度を向上する効果を確実に発揮させることができる。また、繊維基材2内部における第1の含浸部31と第2の含浸部41との界面20を微視的に見た場合、この界面20は、凹凸をなすのが好ましい図1中の拡大詳細図参照。これにより、各樹脂層の繊維基材2に対するアンカー効果のみならず、樹脂層同士の密着性が高まり、各樹脂層が繊維基材2から剥離するのをより確実に防止することができる。これにより、積層シート1の耐久性の向上を図ることができる。前述したように、第2の樹脂層4の可撓性は、第1の樹脂層3よりも高くなっている。このような大小関係を得る場合、第1の含浸部31の平均厚さta1[μm]が、第2の含浸部41の平均厚さtb1[μm]より大きくta1tb1設定するのが好ましい。これは、次のような理由による。第2の樹脂層4の可撓性を、第1の樹脂層3より高く設定した場合、第2の樹脂層4の熱膨張率線膨張係数は、第1の樹脂層3より大きくなる傾向がある。このため、ta1tb1とは反対の大小関係であるta1tb1とすれば、上記の不都合が生じるのを解消して、積層シート1に反りが発生するのを防止または抑制することが可能である。なお、第2の樹脂層4の線膨張係数が、第1の樹脂層3の線膨張係数よりも高いとは、25°C~300°Cにおける面方向および/または厚み方向の平均線膨張係数が高いことを意味する。具体的には、繊維基材2の最大厚さをT[μm]としたとき、前記平均厚さta1は、0.7T~0.95Tであるのが好ましく、0.8T~0.9Tであるのがより好ましい。平均厚さta1をかかる範囲に設定することにより、各樹脂層が繊維基材2から剥離するのを確実に防止しつつ、積層シート1に反りが発生するのをより確実に防止または抑制することができる。また、第1の樹脂層3の第1の含浸部31を除く部分第1の非含浸部32の平均厚さをta2[μm]とし、第2の樹脂層4の第2の含浸部41を除く部分第2の非含浸部42の平均厚さをtb2[μm]としたとき、ta2≦tb2なる関係を満足するのが好ましく、1.5×ta2tb2であってもよいし、ta2=tb2であってもよい。さて、上記の特性を有する第1の樹脂層3および第2の樹脂層4をそれぞれ得るために、第1の樹脂組成物および第2の樹脂組成物は、次のような組成とするのが好ましい。第1の樹脂組成物は、例えば、硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤例えば硬化剤、硬化促進剤等および無機充填材のうちの少なくとも1種を含んで構成される。配線部を構成する金属支持体5との密着性を向上させるには、金属との密着性に優れる硬化性樹脂を使用する方法、金属との密着性を向上させる硬化助剤例えば硬化剤、硬化促進剤等を使用する方法、無機充填材として酸に可溶なものを用いる方法、無機充填材と有機充填材とを併用する方法等が挙げられる。かかる硬化性樹脂には、例えば、ユリア尿素樹脂、メラミン樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂およびビスフェノールSとビスフェノールFとの共重合エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が好適に用いられる。これらの中でも、硬化性樹脂には、特に、シアネート樹脂シアネート樹脂のプレポリマーを含むを用いるのが好ましい。熱硬化性樹脂特に、シアネート樹脂を用いることにより、積層シート1の熱膨張係数を小さくすること以下、低熱膨張化と言うこともあるができる。さらに、積層シート1の電気特性低誘電率、低誘電正接等の向上を図ることもできる。かかるシアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類とを反応させ、必要に応じて、加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。具体的なシアネート樹脂としては、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールA型シアネート樹脂、ビスフェノールE型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールF型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂等を挙げることができる。これらの中でも、シアネート樹脂は、ノボラック型シアネート樹脂であるのが好ましい。ノボラック型シアネート樹脂を用いれば、後述する基板10図7参照を作製した後において、硬化後の第1の樹脂層3中において架橋密度が増加するので、硬化後の第1の樹脂層3得られる基板の耐熱性および難燃性の向上を図ることができる。ここで、耐熱性の向上は、ノボラック型シアネート樹脂が硬化反応後にトリアジン環を形成することに起因すると考えられる。また、難燃性の向上は、ノボラック型シアネート樹脂がその構造上ベンゼン環の割合が高いため、このベンゼン環が炭化グラファイト化し易く、硬化後の第1の樹脂層3中に炭化部分が生じることに起因すると考えられる。さらに、ノボラック型シアネート樹脂を用いれば、積層シート1を薄型化例えば、厚さ35μm以下した場合であっても、積層シート1に優れた剛性を付与することができる。また、その硬化物は、加熱時における剛性にも優れるので、得られる基板10は、半導体素子500図8参照を実装する際の信頼性にも優れる。具体的には、式Iで示されるノボラック型シアネート樹脂を用いることができる。式Iで示されるノボラック型シアネート樹脂において、その平均繰り返し単位数nは、特に限定されないが、1~10であるのが好ましく、2~7であるのがより好ましい。平均繰り返し単位数nが前記下限値未満であると、ノボラック型シアネート樹脂は、結晶化し易くなるため、汎用溶媒に対する溶解性が低下する。このため、ノボラック型シアネート樹脂の含有量等によっては、第1の樹脂組成物のワニスが取り扱い難くなる場合がある。また、積層シート1を作製した場合にタック性が生じ、積層シート1から得られたプリプレグ同士が接触したとき互いに付着したり、一方のプリプレグの第1の樹脂組成物が他方のプリプレグに移行する現象転写が生じたりする場合がある。一方、平均繰り返し単位数nが前記上限値を超えると、第1の樹脂組成物のワニスの粘度が高くなりすぎ、積層シート1を作製する際の効率第1の樹脂層3の成形性が低下する場合がある。また、後述する金属との密着性を向上させる硬化剤または硬化促進剤を併用する場合には、上述の硬化性樹脂以外に、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、未変性のレゾールフェノール樹脂、桐油、アマニ油、クルミ油等で変性した油変性レゾールフェノール樹脂等のレゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂等の他の熱硬化性樹脂を用いることもできる。さらに、硬化性樹脂には、熱硬化性樹脂の他、例えば、紫外線硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂等を用いることもできる。硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、第1の樹脂組成物全体の5~50重量であるのが好ましく、10~40重量であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、第1の樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、積層シート1を形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、積層シート1の機械的強度が低下する場合がある。上述の硬化助剤例えば硬化剤、硬化促進剤等としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン、ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン等の3級アミン類、2-エチル-4-エチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドルキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2,4-ジアミノ-6-2-メチルイミダゾリル-1-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-2-ウンデシルイミダゾリル-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-2-エチル-4-メチルイミダゾリル-1-エチル-s-トリアジン、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール等のイミダゾール化合物が挙げられる。これらの中でも、硬化助剤は、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヒドロキシアルキル基およびシアノアルキル基の中から選ばれる官能基を2個以上有しているイミダゾール化合物であるのが好ましく、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾールであるのがより好ましい。また、第1の樹脂組成物には、例えば、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルトII、トリスアセチルアセトナートコバルトIII等の有機金属塩、フェノール、ビスフェノールA、ノニルフェノール等のフェノール化合物、酢酸、安息香酸、サリチル酸、パラトルエンスルホン酸等の有機酸等を組み合わせて用いることができる。硬化助剤を用いる場合、その含有量は、第1の樹脂組成物全体の0.01~3重量であるのが好ましく、0.1~1重量であるのがより好ましい。また、第1の樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、積層シート1を薄型化例えば、厚さ35μm以下にしても、機械的強度に優れる積層シート1を得ることができる。さらに、積層シート1の低熱膨張化を向上することもできる。無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、無機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填剤は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ特に球状溶融シリカであるのがより好ましい。無機充填材の平均粒径は、0.01~5.0μmであるのが好ましく、0.2~2.0μmであるのがより好ましい。なお、この平均粒径は、例えば、粒度分布計HORIBA製LA-500により測定することができる。特に、無機充填材としては、平均粒径5.0μm以下の球状溶融シリカが好ましく、平均粒子径0.01~2.0μm特に、0.1~0.5μmの球状溶融シリカがより好ましい。これにより、第1の樹脂組成物のワニスを繊維基材2内により確実に含浸させることができ、また、形成された第1の樹脂層3第1の含浸部31の繊維基材2の内部における面に凹凸をより確実に形成することができる。また、第1の樹脂層3と配線部との密着性を向上するために、無機充填材として、酸に可溶な無機充填材を用いてもよい。これにより、配線部導体層を第1の樹脂層3上にメッキ法で形成した場合に、その配線部の第1の樹脂層3に対する密着性メッキ密着性を向上することができる。この酸に可溶な無機充填材としては、例えば、炭酸カルシウム、酸化亜鉛、酸化鉄等の金属酸化物等が挙げられる。また、第1の樹脂層3と配線部との密着性を向上するために、無機充填材と有機充填材とを併用してもよい。この有機充填材としては、例えば、液晶ポリマー、ポリイミド等の樹脂系充填材が挙げられる。無機充填材を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、第1の樹脂組成物全体の20~70重量であるのが好ましく、30~60重量であるのがより好ましい。硬化性樹脂としてシアネート樹脂特に、ノボラック型シアネート樹脂を用いる場合には、エポキシ樹脂実質的にハロゲン原子を含まないを併用することが好ましい。このエポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの中でも、エポキシ樹脂は、アリールアルキレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の第1の樹脂層3得られる基板において、吸湿半田耐熱性吸湿後の半田耐熱性および難燃性を向上させることができる。アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に一つ以上のアリールアルキレン基を有するエポキシ樹脂をいい、例えば、キシリレン型エポキシ樹脂、ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの中でも、アリールアルキレン型エポキシ樹脂は、ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。具体的には、式IIで示されるビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂を用いることができる。式IIで示されるビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂の平均繰り返し単位数nは、特に限定されないが、1~10であるのが好ましく、2~5であるのがより好ましい。平均繰り返し単位数nが前記下限値未満であると、ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂は、結晶化し易くなるため、汎用溶媒に対する溶解性が低下する。このため、第1の樹脂層組成物のワニスが取り扱い難くなる場合がある。一方、平均繰り返し単位数nが前記上限値を超えると、用いる溶媒によっては、第1の樹脂組成物のワニスの粘度が上昇する恐れがある。この場合、第1の樹脂組成物を繊維基材2に十分に含浸できず、結果として、積層シート1の成形不良や機械的強度の低下の原因となることがある。エポキシ樹脂を併用する場合、その含有量は、特に限定されないが、第1の樹脂組成物全体の1~55重量であるのが好ましく、2~40重量であるのがより好ましい。さらに、第1の樹脂組成物には、金属との密着性が向上するような成分樹脂等を含むを添加してもよい。かかる成分としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、カップリング剤等が挙げられる。フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール骨格を有するフェノキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するフェノキシ樹脂、ビフェニル骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。また、これらの骨格を複数種有した構造のフェノキシ樹脂を用いることもできる。これらの中でも、フェノキシ樹脂には、ビフェニル骨格およびビスフェノールS骨格を有するフェノキシ樹脂を用いるのが好ましい。これにより、ビフェニル骨格が有する剛直性により、フェノキシ樹脂のガラス転移温度を高くすることができるとともに、ビスフェノールS骨格の存在により、フェノキシ樹脂の金属との密着性を向上させることができる。その結果、第1の樹脂層3の耐熱性の向上を図ることができるとともに、多層基板を製造する際に、第1の樹脂層3に対する配線部金属の密着性を向上させることができる。また、フェノキシ樹脂には、ビスフェノールA骨格およびビスフェノールF骨格を有するフェノキシ樹脂を用いるのも好ましい。これにより、多層基板の製造時に、配線部の第1の樹脂層3への密着性をさらに向上させることができる。フェノキシ樹脂の分子量は、特に限定されないが、重量平均分子量が5,000~70,000であるのが好ましく、10,000~60,000であるのがより好ましい。フェノキシ樹脂を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、第1の樹脂組成物全体の1~40重量であるのが好ましく、5~30重量であるのがより好ましい。カップリング剤には、例えば、エポキシシランカップリング剤、チタネート系カップリング剤、アミノシランカップリング剤およびシリコーンオイル型カップリング剤の中から選ばれる1種以上を用いるのが好ましい。カップリング剤を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、無機充填材100重量部に対して0.05~3重量部であるのが好ましく、0.1~2重量部であるのがより好ましい。また、第1の樹脂組成物は、以上に説明した成分のほか、必要に応じて消泡剤、レベリング剤、顔料、酸化防止剤等の添加剤を含有することができる。第2の樹脂組成物は、第1の樹脂組成物と異なる組成、具体的には、第2の樹脂層4が第1の樹脂層3より可撓性が高くなるような組成に設定されている。なお、組成が異なるとは、第1の樹脂組成物と、第2の樹脂組成物とが同じ樹脂組成物で構成されていないことをいい、たとえば、第1の樹脂組成物を構成する成分の少なくとも一つが、第2の樹脂組成物と異なる場合、第1の樹脂組成物を構成する成分の含有量が第2の樹脂組成物と異なる場合等がある。より具体的には、樹脂や充填材等の種類および含有量、樹脂の分子量平均繰り返し単位数等の少なくとも1つを異ならせることにより、第2の樹脂組成物の組成は、第1の樹脂組成物と異なっている。その結果、第2の樹脂層4は、第1の樹脂層3と異なる特性を有している。この第2の樹脂層4の面方向、すなわち、積層シート1の長手方向X方向および幅方向Y方向の熱膨張係数は、特に限定されないが、20ppm/°C以下であるのが好ましく、5~16ppm/°Cであるのがより好ましい。第2の樹脂層4の熱膨張係数が前記範囲内であると、積層シート1は、高い接続信頼性を有すことができ、得られる基板は、半導体素子等の実装信頼性に優れたものとなる。また、積層シート1全体の面方向の熱膨張係数は、特に限定されないが、16ppm/°C以下であるのが好ましく、12ppm/°C以下であるのがより好ましく、5~10ppm/°Cであるのがさらに好ましい。積層シート1の熱膨張係数が前記範囲内であると、得られる基板において、繰り返しの熱衝撃に対する耐クラック性が向上する。面方向の熱膨張係数は、例えば、TMA装置TAインスツルメント社製を用いて、10°C/分で昇温して評価することができる。なお、この積層シート1では、第2の樹脂層4の繊維基材2と反対側の面に、例えば、図示しない樹脂フィルム等が設けられていてもよい。この場合、積層シート1は、その樹脂フィルムを剥離して使用される。なお、樹脂フィルムとしては、支持体5の樹脂フィルムとして説明したものと同様のものを用いることができる。次に、積層シートの他の構成例について説明する。なお、前述した積層シート1との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。図2aに示すように、積層シート1Aでは、繊維基材2の厚さ方向に、第1の樹脂組成物第1の樹脂層3および第2の樹脂組成物第2の樹脂層4がいずれも含浸していない。たとえば、第1の樹脂組成物を供給する位置を調整することで、第1の樹脂組成物を乾燥させて、図2aのような第1の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることも可能である。また、ワニス状の第2の樹脂組成物の粘度を非常に高いものとする、あるいは、図5に示すように貼り合わせ装置65で加熱した際の、シート状の第2の樹脂組成物の溶融粘度を非常に高いものとすることで、図2aのような第2の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることができる。図2bに示すように、積層シート1Bでは、繊維基材2の厚さ方向の全体に第1の樹脂組成物が含浸し、第2の樹脂組成物は含浸していない。図2cに示すように、積層シート1Cでは、繊維基材2の厚さ方向の全体に第2の樹脂組成物が含浸し、第1の樹脂組成物は含浸していない。たとえば、第1の樹脂組成物を供給する位置を調整することで、第1の樹脂組成物を乾燥させて、図2cのような第1の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることも可能である。図2dに示すように、積層シート1Dでは、繊維基材2の厚さ方向の一部に第1の樹脂組成物が含浸し、第2の樹脂組成物は含浸していない。図2eに示すように、積層シート1Eでは、繊維基材2の厚さ方向の一部に第2の樹脂組成物が含浸し、第1の樹脂組成物は含浸していない。たとえば、第1の樹脂組成物を供給する位置を調整することで、第1の樹脂組成物を乾燥させて、図2eのような第1の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることも可能である。図2fに示すように、積層シート1Fでは、第2の樹脂層第2の樹脂組成物が省略されている。また、図示の構成では、繊維基材2の厚さ方向に、第1の樹脂組成物は含浸していない。たとえば、第1の樹脂組成物を供給する位置を調整することで、第1の樹脂組成物を乾燥させて、図2fのような第1の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることも可能である。なお、この他、繊維基材2の厚さ方向の全体に第1の樹脂組成物が含浸しているものや、繊維基材2の厚さ方向の一部に第1の樹脂組成物が含浸しているもの等が挙げられる。以上説明した積層シート1A~1Eでも前述した積層シート1と同様に、第1の樹脂組成物と第2の樹脂組成物とは、互いに組成が異なるものでもよく、また、互いに組成が同一のものでもよい。次に、本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置、すなわち、積層シートの製造に用いる積層シート製造装置の構成例について説明する。図3~図5を参照して説明する。本発明の製造装置の概要は、以下の通りである。製造装置は、支持体5を連続的に送出する手段621と、繊維基材2を連続的に送出する手段623と、前記支持体5と前記繊維基材2との間に液状の第1の樹脂組成物を供給する供給手段611~613あるいは611と、第1の樹脂組成物を介して、前記支持体5と前記繊維基材2とを圧着する圧着手段625とを備える。そして、製造装置は、前記供給手段による前記液状の第1の樹脂組成物の供給位置を調整する調整手段661~663あるいは供給手段611を変位させる手段を備える。図3に示す積層シート製造装置6、図4に示す積層シート製造装置6a、図5に示す積層シート製造装置6bは、それぞれ、積層シートを連続的に製造する装置である。そして、積層シート製造装置6および6aは、後述する積層シートの製造方法の第1実施形態および第2実施形態に対応することができるものである。また、積層シート製造装置6bは、後述する積層シートの製造方法の第3実施形態および第4実施形態に対応することができるものである。積層シート製造装置6まず、積層シート製造装置6について説明する。図3に示すように、積層シート製造装置6は、ローラロール621~628と、ノズルダイコータ611~614と、乾燥装置64とを有している。ローラ621は、対象物を送り出す巻き出す手段であり、そのローラ621には、支持体5が巻き付けられている。ローラ621は、図示しないモータ駆動源により、回転するように構成されており、そのローラ621が回転すると、ローラ621から支持体5が送り出される連続的に供給される。また、ローラ623は、対象物を送り出す手段であり、そのローラ623には、繊維基材2が巻き付けられている。ローラ623は、図示しないモータにより、回転するように構成されており、そのローラ623が回転すると、ローラ623から繊維基材2が送り出される連続的に供給される。また、ローラ622は、支持体5の移動方向を規制する手段であり、ローラ621の後段に設置されている。また、ローラ624は、繊維基材2の移動方向を規制する手段であり、ローラ622の後段に設置されている。また、ローラ625は、対象物の移動方向を規制するとともに、対象物同士、すなわち、支持体5と繊維基材2とを貼り合せる手段であり、ローラ622および624の後段に設置されている。このローラ625の外周面に沿って、前記外周面に直接接触するように、支持体5が搬送される。このとき、支持体5は、ローラ625の円周の1/4以上に面接触する。また、繊維基材2もローラ625の外周面に沿って、前記外周面に接触するように、搬送される。繊維基材2は、ローラ625が支持体5と接触している箇所で、支持体5を介してローラ625と接触することとなる。ただし、繊維基材2とローラ625との接触面積は、支持体5とローラ625との接触面積よりも小さい。具体的には支持体5は、ローラ625の円周の1/4~1/2で面接触するのに対し、繊維基材2はローラ625の円周の1/6~1/4で面接触している。これにより、繊維基材2にかかる張力を低くすることができ、繊維基材2の変形を抑制できる。さらに、詳しくは後述するが、繊維基材2および支持体5は、送出方向に引っ張られ、これらには張力がかかっている。このようにすることで、ローラ625の外周面を利用して、支持体5と繊維基材2とを第1の樹脂組成物を介して圧着することができる。なお、本実施形態では、ローラ625に対して対向配置され、支持体5と繊維基材2とを圧着するためのローラは配置されていない。ここで、ローラ625は、少なくとも表面が金属で構成される金属ローラである。このような金属ローラは、表面の平滑性が高く、安定的に支持体5、第1の樹脂組成物および繊維基材2を支持できる。そのため、第1の樹脂組成物の繊維基材2幅方向の重量分布を均一なものとすることができる。また、ローラ626およびローラ627は、それぞれ、対象物の移動方向を規制する手段であり、ローラ625の後段に、その順序で設置されている。また、ローラ628は、対象物、すなわち、積層シート1を巻き取る手段である。ローラ628は、図示しないモータにより、回転するように構成されており、そのローラ628が回転すると、ローラ628に積層シート1が巻き取られる。ノズル611~613は、それぞれ、常温25°Cで液状ワニス状の第1の樹脂組成物を吐出供給する手段例えば、ダイコータである。この供給手段においては、液状の第1の樹脂組成物の供給位置を調整することができる。すなわち、この供給手段では、支持体5の一方の面、繊維基材2の一方の面、支持体5の一方の面と繊維基材2の一方の面との間のうち、少なくともいずれか1箇所を選択し、液状の第1の樹脂組成物を供給できる。より詳細に説明すると、供給手段は、ノズル611~613を有し、ノズル611は、支持体5の一方の面に液状の第1の樹脂組成物を吐出し、ノズル612は、繊維基材2の一方の面に第1の樹脂組成物を吐出し、ノズル613は、支持体5の一方の面と繊維基材2の一方の面との間に液状の第1の樹脂組成物を吐出する。また、積層シート1の製造の際は、ノズル611~613のうちから第1の樹脂組成物を吐出する少なくとも1つのノズルが選択される。これにより、供給手段の供給位置、すなわち、吐出口の位置が調整されることとなる。この選択は、ノズル611~613の下流側の流路に設けられたそれぞれのバルブ調整手段661~663を開閉することにより行われる。なお、液状とは、液体に限らず、流動性を有するものを含む概念である。また、ノズル614は、支持体5の第1の樹脂組成物と反対側の面に、常温25°Cで液状ワニス状の第2の樹脂組成物を吐出供給する手段例えば、ダイコータである。乾燥装置64は、ノズル614ローラ625とローラ626との間に設置されている。乾燥装置64としては、本実施形態では、対象物第2の樹脂組成物、繊維基材2、第1の樹脂組成物、支持体5を水平に搬送しながら乾燥を行うものが用いられている。これにより、繊維基材2へ加わる張力を比較的小さくすることができ、内部ひずみを防止または抑制することができる。なお、乾燥装置64は、前記対象物に対し、加熱を行なうことで、前記対象物を乾燥するものである。乾燥後の積層シートにおいて、第1の樹脂層3、第2の樹脂層4はいずれもBステージ状態であり、シート状となる。積層シート製造装置6a次に、積層シート製造装置6aについて説明する。なお、前述した積層シート製造装置6との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。図4に示すように、積層シート製造装置6aでは、積層シート製造装置6に対して、ノズル612、613が省略され、液状の第1の樹脂組成物の供給手段であるノズル611が図示しないアクチュエータ調整手段により変位可能に設置されている。すなわち、ノズル611は、その吐出口が、支持体5の一方の面、繊維基材2の一方の面、支持体5と繊維基材2との間のうちのいずれか一か所に向くように、移動または姿勢変更ができるようになっている。積層シート1の製造の際は、前記ノズル611の吐出口の位置および向きが選択され、支持体5の一方の面、繊維基材2の一方の面、支持体5と繊維基材2との間のうちの少なくとも1つに第2の樹脂組成物が吐出される。より具体的に説明すると、ノズル611からは、支持体5の一方の面に液状の第1の樹脂組成物が供給される。さらに、ノズル611から、繊維基材2の一方の面に液状の第1の樹脂組成物を供給する際には、ローラ624に支持された箇所に向けて液状の第1の樹脂組成物が供給される。このようにすることで、繊維基材2への第1の樹脂組成物の含浸の程度を高めることができる。また、ノズル611から、支持体5と繊維基材2との間に向けて、液状の第1の樹脂組成物を供給する際には、繊維基材2と支持体5とではさまれた空間に向けて第1の樹脂組成物が供給される。より詳細に説明すると、ローラ625に接触した支持体5と、この支持体5と対向するとともに、ローラ625に対し離間した状態の繊維基材2との間に向けてノズル611から液状の第1の樹脂組成物が供給され、本実施形態では、第1の樹脂組成物は、ローラ625に支持された支持体5に供給されることとなる。また、ノズル611は、その位置を変位させることで、支持体5の一方の面における供給位置であり、支持体5の送出方向に沿った第1の樹脂組成物の供給位置を調整することができる。同様に、ノズル611は、その位置を変位させることで、繊維基材2の一方の面における供給位置であり、繊維基材2の送出方向における第1の樹脂組成物の供給位置を調整することができる。積層シート製造装置6b次に、積層シート製造装置6bについて説明する。なお、前述した積層シート製造装置6との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。図5に示すように、積層シート製造装置6bでは、積層シート製造装置6に対して、ノズル614が省略され、貼り合せ装置65およびローラ629が設けられている。貼り合せ装置65は、ローラ627とローラ629との間に設置されている。貼り合せ装置65は、対向配置された1対のローラ651および652と、ローラ651および652を加熱する図示しない加熱部とを有し、ローラ651とローラ652との間で対象物を挟み、その対象物を加圧するとともに加熱するように構成されている。ローラ629は、貼り合せ装置65の前段に設置されている。ローラ629は、対象物を送り出す手段であり、そのローラ629には、後述するシート7が巻き付けられている。ローラ629は、図示しないモータにより、回転するように構成されており、そのローラ629が回転すると、ローラ629からシート7が送り出される連続的に供給される。はじめに、以下の実施形態の積層シートの製造方法の概要について説明する。積層シート1の製造方法は、連続的に送出される支持体5と、連続的に送出される繊維基材2との間に第1の樹脂組成物を供給し、支持体5と繊維基材2とを前記第1の樹脂組成物を介して圧着して積層シートを製造する方法である。そして、積層シートの製造方法は、支持体5の一方の面、繊維基材2の一方の面の少なくともいずれかに液状の第1の樹脂組成物を供給する第1の工程と、支持体5の前記一方の面と前記繊維基材2の前記一方の面とを前記第1の樹脂組成物を介して圧着する第2の工程とを含む。第1の工程では、前記液状の第1の樹脂組成物を供給する供給手段の供給位置を調整した後、支持体5の一方の面、繊維基材2の一方の面の少なくともいずれかに液状の第1の樹脂組成物を供給する。次に、本発明の積層シートの製造方法の第1実施形態について説明する。なお、第1実施形態では、積層シート製造装置6を用いる。第1の工程図3に示すように、積層シート製造装置6のローラ621を回転させ、そのローラ621から支持体5を送り出し連続的に供給し、また、ローラ623を回転させ、そのローラ623から繊維基材2を送り出す連続的に供給するとともに、ローラ628を回転させ、そのローラ628に支持体5および繊維基材2を含んだ積層シートを巻き取る。ローラ621から送りだされる支持体5およびローラ623から送りだされる繊維基材2はローラ625の外周面に向けて供給され、繊維基材2および支持体5間の距離は、ローラ625に向けて狭まる。また、ノズル611~613のうちから少なくとも1つのノズルを選択し、その選択したノズルから液状の第1の樹脂組成物を吐出する。これにより、供給手段の第1の樹脂組成物を供給する位置吐出位置が調整されることとなる。なお、このノズルの選択は、ノズル611~613のうちのいずれか1つの場合と、2つの場合と、3つの場合とのいずれであってもよい。なお、第1の樹脂組成物を厚く塗布したい場合は、複数のノズルを選択することができる。ノズル611を選択した場合は、そのノズル611から支持体5の一方の面に向って第1の樹脂組成物が吐出される供給される。ここでは、支持体5のうち、ローラ625に接触していない箇所に向けてノズル611から液状の第1の樹脂組成物が供給される。また、ノズル612を選択した場合は、そのノズル612から繊維基材2の一方の面に向って第1の樹脂組成物が吐出される。ここでは、繊維基材2のうち、ローラ624に支持された箇所に向けてノズル612から液状の第1の樹脂組成物が供給される。このようにすることで、繊維基材2への第1の樹脂組成物の含浸の程度を高めることができる。また、ノズル613を選択した場合は、そのノズル613から支持体5と繊維基材2との間に向って第1の樹脂組成物が吐出される。繊維基材2と支持体5とではさまれた空間に向けてノズル613からは、第1の樹脂組成物が供給される。より詳細に説明すると、ローラ625に接触した支持体5と、この支持体5と対向するとともにローラ625に対し離間した状態の繊維基材2との間に形成される空間に向けてノズル613から液状の第1の樹脂組成物が供給される。ノズル613からの液状の第1の樹脂組成物は、支持体5と繊維基材2との双方に供給されることとなる。ノズル613からの支持体5への液状の第1の樹脂組成物の供給箇所は、ノズル611から供給される液状の第1の樹脂組成物の供給箇所よりも、支持体5供給方向ローラ621からの送出方向先端側にある。同様に、ノズル613からの繊維基材2への液状の第1の樹脂組成物の供給箇所は、ノズル612から供給される液状の第1の樹脂組成物の供給箇所よりも、繊維基材2供給方向ローラ623からの送出方向先端側にある。なお、ノズル611~613から吐出する第1の樹脂組成物の組成は、本実施形態では、互いに同一であるが、これに限らず、異なっていてもよい。第2の工程次に、ローラ625において、支持体5と繊維基材2とが第1の樹脂組成物を介して圧着される。はじめに、ローラ625の外周面に支持体5が接触する。このとき、繊維基材2は支持体5の外周面には接触しておらず、繊維基材2と支持体5との間に空間が形成される。その後、繊維基材2は支持体5および液状の第1の樹脂組成物を介して、ローラ625の外周面に接触し、これにより、繊維基材2と支持体5とが圧着されることとなる。このときの支持体5と繊維基材2とのなす角の角度貼り合わせ角度:ローラ625に接した支持体5と、この支持体5と対向し支持体5から離間している繊維基材2とがなす角度θは、鋭角であることが好ましい。これにより、繊維基材2に歪みが生じることを防止または抑制することができる。また、繊維基材2側の張力は、支持体5側の張力よりも小さいことが好ましい。具体的には、繊維基材2側の張力は、30N以下であることが好ましく、15~25N程度であることがより好ましい。これにより、繊維基材2の寸法変化や内部歪を防止または抑制することができる。第3の工程次に、ノズル614から液状の第2の樹脂組成物を吐出し、繊維基材2の第1の樹脂組成物と反対側の面にその第2の樹脂組成物を供給する。第1の樹脂組成物と第2の樹脂組成物とは、互いに組成が異なる。これにより、第1の樹脂層3、第2の樹脂層4に要求される特性に応じて、それぞれ、樹脂組成物の組成を適宜設定することができる。なお、第2の樹脂組成物を厚く塗布したい場合は、例えば、第2の樹脂組成物を吐出するノズルを複数箇所に設けることができる。第4の工程乾燥工程次に、乾燥装置64により、第1の樹脂組成物および第2の樹脂組成物を乾燥させる。これにより、積層シート1が得られる。その積層シート1は、ローラ628に巻き取られる。乾燥条件としては、特に限定されず、第1の樹脂組成物および第2の樹脂組成物の組成や諸条件に応じて適宜設定されるが、第1の樹脂組成物および第2の樹脂組成物中の揮発成分が樹脂に対してそれぞれ1.5wt以下になるように設定することが好ましく、0.8~1.0wt程度になるように設定することがより好ましい。具体的には、乾燥温度は、60~180°C程度であることが好ましく、80~150°C程度であることがより好ましい。また、乾燥時間は、2~10分程度であることが好ましく、2~5分程度であることがより好ましい。以上のような本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。本実施形態では、液状の第1の樹脂組成物を供給する際、ノズル611~613の少なくともいずれかを選択している。たとえば、ノズル613から支持体5の一方の面に液状の第1の樹脂組成物を供給した場合、繊維基材2と支持体5とが圧着されるまでに、液状の第1の樹脂組成物を乾燥させて、繊維基材2への含浸の程度を比較的少ないものとすることができる。一方で、ノズル612から繊維基材2の一方の面に液状の第1の樹脂組成物を供給した場合、繊維基材2と支持体5とが圧着されるまでに、液状の第1の樹脂組成物を含浸させて、繊維基材2への含浸の程度を比較的大きいものとすることができる。さらに、ノズル611から液状の第1の樹脂組成物を繊維基材2および支持体5へ供給した場合には、ノズル613から供給した場合と、ノズル612から供給した場合の間の繊維基材2への含浸の程度とすることが可能となる。このように、繊維基材2への第1の樹脂組成物の含浸の程度を調整することができる。そのため、第2の樹脂組成物と、第1の樹脂組成物との含浸の割合を調整することができ、所望のプリプレグを製造することができる。さらに、本実施形態では、ローラ625を使用して、繊維基材2と支持体5との圧着を行なっている。一対のローラにより、繊維基材2および支持体5を挟圧する場合には、繊維基材2から第1の樹脂組成物が染み出してしまう可能性があるが、本実施形態のように、ローラ625を使用するとともに、繊維基材2がローラ625に接触する面積を調整し、比較的小さくすることで、繊維基材2から第1の樹脂組成物が染み出してしまうことを抑制できる。この第1実施形態では、前述した積層シート1、1A、1B、1C、1D、1Eのいずれも製造することができる。後述する第2実施形態~第4実施形態でも同様である。本実施形態では、図4に示す積層シート製造装置6aを用いる。この場合は、ノズル611を変位させ、ノズル611が第1の樹脂組成物を供給する位置吐出位置を調整し、そのノズル611から、支持体5の一方の面、繊維基材2の一方の面、支持体5と繊維基材2との間のうちの少なくとも1つに第1の樹脂組成物を吐出する。このようにすることで、ノズルの数を低減させることができる。また、後述する第3実施形態においても、図5に示す積層シート製造装置6bのノズルの構成を変更して、同様に行なってもよい。まず、第一実施形態と同様に、ローラ621から支持体5を送り出し、ローラ623から繊維基材2を送り出す。次に、ノズル611の位置を調整して、ノズル611からの第1の樹脂組成物の供給位置を調整する。たとえば、ノズル611を図4右側に変位させて、ローラ622に支持された支持体5上に液状の第1の樹脂組成物を供給する。また、ノズル611を図4左側に変位させて、ローラ624に支持された繊維基材2上に液状の第1の樹脂組成物を供給してもよい。さらには、ローラ625に支持された支持体5上に液状の第1の樹脂組成物を供給してもよい。また、ノズルの位置を調整して、支持体5の一方の面における供給箇所であり、支持体5の送出方向に沿った第1の樹脂組成物の供給箇所を調整してもよい。同様に、ノズル611の位置を調整して、繊維基材2の一方の面における供給位置であり、繊維基材2の送出方向における第1の樹脂組成物の供給位置を調整してもよい。このようにすることで、繊維基材2への第1の樹脂組成物の含浸の程度を高度に制御することができる。その後の工程は、第一実施形態と同様である。具体的には、ローラ625において、支持体5と繊維基材2とを液状の第1の樹脂組成物を介して圧着し、ノズル614から液状の第2の樹脂組成物を吐出し、乾燥装置64により、第1の樹脂組成物および第2の樹脂組成物を乾燥させる。さらに、積層シート1をローラ628に巻き取る。このような本実施形態によれば、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。次に、本発明の積層シートの製造方法の第3実施形態について説明する。なお、第3実施形態については、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。第3実施形態では、積層シート製造装置6または6aを用いる。そして、第2実施形態では、第1の樹脂組成物と第2の樹脂組成物とは、互いに組成が同一であること以外は前記第1実施形態と同様である。次に、本発明の積層シートの製造方法の第4実施形態について説明する。なお、第4実施形態については、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。第4実施形態では、積層シート製造装置6bを用いる。この積層シート製造装置6bにおける第1の工程および第2の工程は、第1実施形態と同様である。また、乾燥工程は、第2の工程と後述する第3の工程との間に行う他は、第1実施形態と同様である。第3の工程積層シート製造装置6bのローラ629を回転させ、そのローラ629からシート7を送り出す連続的に供給する。シート7は、図5に示すように、樹脂フィルム8と、この樹脂フィルム8の一方の面に設けられ、固形または半固形の第2の樹脂組成物で構成された第2の樹脂層樹脂層4とを有している。第2の樹脂層4は、シート状に加工された状態となっており、Bステージ状態となっている。樹脂フィルム8としては、支持体5の樹脂フィルムとして説明したものと同様のものを用いることができる。本工程では、シート7と、繊維基材2と支持体5との積層体とが、貼り合せ装置65のローラ651とローラ652との間を通過し、その際、シート7と、繊維基材2と支持体5との積層体とは、その貼り合せ装置65により、加圧されるとともに加熱される。これにより、シート7は、繊維基材2の第1の樹脂組成物と反対側の面に、第2の樹脂層4を介して圧着され、積層シート1が得られる。その積層シート1は、ローラ628に巻き取られる。前記圧着時の条件としては、特に限定されず、第2の樹脂層4の第2の樹脂組成物の組成や諸条件に応じて適宜設定されるが、圧力は、0.1~1.0MPa/cm2程度であることが好ましく、0.3~0.5MPa/cm2程度であることがより好ましい。また、加熱温度は、40~100°C程度であることが好ましく、60~80°C程度であることがより好ましい。この第4実施形態では、一方の面側に固形または半固形の第2の樹脂組成物で構成された第2の樹脂層4を有するシート7を用いるので、繊維基材2の厚さ方向に、第2の樹脂組成物を含浸させない場合に適している。このような第4実施形態では、第1実施形態と同様の効果を奏することができるうえ、以下の効果を奏することができる。シート状に加工された第2の樹脂層4を有するシート7を用いることで、繊維基材2内部で第1の樹脂組成物と、第2の樹脂組成物とが混合してしまうことが防止される。これにより、所望の特性を有するプリプレグを確実に得ることができる。特に、第1の樹脂組成物を乾燥装置64により乾燥した後に、第2の樹脂層4をはり合わせているので、第1の樹脂組成物と、第2の樹脂組成物とが混合してしまうことが確実に防止される。次に、本発明の積層シートを用いて製造した基板について、図6を参照しつつ説明する。この図6に示す基板10は、第2の樹脂層4同士を内側にして配置された2つのプリプレグ1gと、第2の樹脂層4同士間で挟持された内層回路基板13とを備える。なお、プリプレグ1gは、積層シート1を所定の寸法に切断したものである。内層回路基板13には、前述した繊維基材2と同様のものを用いることができる。また、本実施形態では、第2の樹脂層4は、前述したような特性可撓性を有するため、内層回路基板13の少なくとも一部は、第2の樹脂層4に確実に埋め込まれる埋設される。一対の第2の樹脂層4は、繊維基材13の表裏面をそれぞれ被覆するとともに、一対の第2の樹脂層4が繊維基材13内部で互いに接触し、繊維基材13内部が一対の第2の樹脂層4により完全に埋め込まれていてもよい。また、一対の第2の樹脂層4は、繊維基材2の表裏面をそれぞれ被覆するとともに、一対の第2の樹脂層4間に隙間が形成され、繊維基材13内部に空隙が形成されていてもよい。各第1の樹脂層3の繊維基材2と反対側の面に設けられた金属層12は、それぞれ、支持体5を金属箔で構成した場合のものである。本実施形態では、第1の樹脂層3は、前述したような特性を有するため、高い密着性で金属層12を保持することができるとともに、高い加工精度で金属層12を配線部に形成することができるようになっている。金属層12と第1の樹脂層3とのピール強度は、0.5kN/m以上であるのが好ましく、0.6kN/m以上であるのがより好ましい。これにより、金属層12を配線部に加工し、得られる半導体装置100図7参照における接続信頼性をより向上させることができる。このような基板10は、プリプレグ1gを2つ用意し、これらのプリプレグ1gで内層回路基板13を挟持した状態で、例えば、真空ラミネート法、真空プレス法等を用いて製造することができる。なお、基板10は、内層回路基板13が省略され、2つのプリプレグ1gが第2の樹脂層4同士を直接接合してなる積層体を含むものであってもよく、金属層12が省略されたものであってもよい。次に、本発明の積層シートを用いて製造した半導体装置について、図7を参照しつつ説明する。なお、図7中では、繊維基材2、13を省略して示し、第1の樹脂層3および第2の樹脂層4を一体として示してある。図7に示す半導体装置100は、上面にパッド部300を有し、下面に配線部400を有する多層基板200と、パッド部300にバンプ501を接続することにより、多層基板200上に搭載された半導体素子500とを備えている。多層基板200は、コア基板として設けられた基板10と、この基板10の上側に設けられた3つのプリプレグ1a、1b、1cと、基板10の下側に設けられた3つのプリプレグ1d、1e、1fとを備えている。プリプレグ1a~1fは、それぞれ、積層シート1を所定の寸法に切断したものである。また、プリプレグ1a~1cをそれぞれ構成する繊維基材2、第1の樹脂層3、第2の樹脂層4の基板10からの配置順番と、プリプレグ1d~1fをそれぞれ構成する繊維基材2、第1の樹脂層3、第2の樹脂層4の基板10からの配置順番とは、同じとなっている。すなわち、プリプレグ1a~1cとプリプレグ1d~1fとは、互いに上下反転したもの同士となっている。なお、前記パッド部300は、プリプレグ1cの金属箔で構成された支持体5を所定のパターンに加工したものであり、また、前記配線部400は、プリプレグ1fの金属箔で構成された支持体5を所定のパターンに加工したものである。また、プリプレグ1a、1bの上面側に配置された回路部201a、201bは、それぞれ、金属箔で構成された支持体5を所定のパターンに加工したものであり、また、プリプレグ1d、1eの下面側に配置された回路部201d、201eは、それぞれ、金属箔で構成された支持体5を所定のパターンに加工したものである。また、多層基板200は、各プリプレグ1a~1fをそれぞれ貫通して設けられ、隣接する回路部同士や、回路部とパッド部とを電気的に接続する導体部202とを備えている。また、基板10の各金属層12は、それぞれ、所定のパターンに加工され、当該加工された金属層12同士は、基板10を貫通して設けられた導体部203により電気的に接続されている。なお、半導体装置100多層基板200は、基板10の片面側に、4つ以上のプリプレグを設けるようにしてもよい。さらに、半導体装置100は、前述した積層シートから得られたプリプレグ以外のプリプレグを含んでいてもよい。なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。以上、本発明の積層シートの製造方法および積層シートを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や工程が付加されていてもよい。たとえば、図8に示すように、装置6において、吸引手段67を設けてもよい。この吸引手段67は、繊維基材2に第1の樹脂組成物を含浸させるためのものである。吸引手段67で空気を吸引することで、第1の樹脂組成物が引っ張られ、繊維基材2への含浸の程度を確実に調整することができる。装置6a、6bにおいても、同様に吸引手段67を設けてもよい。また、第二実施形態においては、ノズル611からの第1の樹脂組成物の供給位置を、支持体5や繊維基材2の送出方向に沿って調整したが、これに限られるものではない。たとえば、支持体5や繊維基材2の幅方向送り出し方向と直交する方向における供給位置を調整してもよい。これによれば、繊維基材2の幅方向における第1の樹脂組成物の含浸量を調整することが可能となる。この出願は、2010年9月1日に出願された日本特許出願特願2010-195494を基礎とする優先権を主張し、その開示をすべてここに取り込む。"