"非磁性材料で形成された第1の可動板と、前記第1の可動板に固定され、前記第1の可動板の主面と略平行な方向に磁化した永久磁石と、を有する第1の可動部と、前記第1の可動部の周縁を囲むように形成された第1の枠体と、前記第1の枠体と前記第1の可動板とを接続し、前記第1の可動部を、前記第1の枠体に対し、前記第1の可動板の主面と略平行かつ前記永久磁石の磁化方向と略垂直な第1の軸の回りに揺動可能に支持する第1の一対の梁部と、ヨークと、前記ヨークを磁化させるコイルと、を有する第1の駆動部と、を備え、前記ヨークは、前記永久磁石の近傍に配置された第1の端部を有する第1のヨーク部と、前記永久磁石の一方の磁極に対して前記第1の端部の反対側に配置された第2の端部を有する第2のヨーク部と、を備え、前記第1の端部と前記第2の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第1の可動部を同一の揺動方向に駆動する、ことを特徴とする磁気力型駆動装置。前記ヨークは、前記永久磁石の他方の磁極に対して前記第1の端部の略反対側に配置された第3の端部を有する第3のヨーク部を更に備え、前記第1の端部と前記第3の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第1の可動部を同一の揺動方向に駆動する、ことを特徴とする請求項1に記載の磁気力型駆動装置。前記第1及び第2の端部の少なくとも一方は、前記永久磁石に向けて鋭角に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の磁気力型駆動装置。前記第1、第2、及び第3の端部の少なくとも1つは、前記永久磁石に向けて鋭角に形成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の磁気力型駆動装置。前記第1の端部は、複数の突起を有して形成されている、ことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の磁気力型駆動装置。前記第1の可動板には、前記永久磁石が配置される空孔部が形成され、前記永久磁石は、前記第1の可動部の重心が前記第1の軸と略一致するように、前記空孔部に配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の磁気力型駆動装置。前記第1の端部と前記第1の可動部との間には、非磁性材料で形成され、前記第1の可動部の揺動を所定の角度で規制する板状のストッパが配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の磁気力型駆動装置。請求項1乃至7の何れか1項に記載の磁気力型駆動装置と、前記第1の可動部に設けられ、入射した光を反射するミラーと、を備える、ことを特徴とする光走査装置。前記第1の可動部は、非磁性材料で形成された第2の可動板を有する第2の可動部と、前記第1の可動板に固定され、前記第2の可動部の周縁を囲むように形成された第2の枠体と、前記第2の枠体と前記第2の可動板とを接続し、前記第2の可動部を、前記第2の枠体に対し、前記第1の軸と略垂直かつ前記第2の可動板の主面と略平行な第2の軸の回りに揺動可能に支持する第2の一対の梁部と、を更に備え、前記ミラーは、前記第2の可動部に設けられている、ことを特徴とする請求項8に記載の光走査装置。変調された光束を生成する光束生成装置と、前記光束を反射及び走査する請求項8又は9に記載の光走査装置と、を備える、ことを特徴とする画像表示装置。特許文献1及び2の光走査装置では、光走査ミラーに加わる駆動力を大きくするためには、コイルに流す電流を大きくするか、あるいはコイルの巻数を大きくする必要がある。しかし、コイルに流す電流を大きくすると、コイルの発熱により、光走査ミラーの光学的な性能が劣化するという問題がある。また、コイルの巻数には光走査ミラーのサイズに応じた限界があり、例えば、1mm角程度のミラーに100ターン程度以上のコイルを搭載することは難しい。そのため、光走査ミラーに加わる駆動力を大きくすることは難しい。また、特許文献3の光走査装置では、光走査ミラーが傾斜した状態でも永久磁石に十分な磁場を印加できるように、永久磁石の下方に配置された2つのコイルを傾斜させて配置する等の工夫がなされている。しかしながら、2つのコイルの端部の間隔が大きいために、永久磁石に印加される磁場を大きくすることは難しく、例えば100[Oe]程度以上とすることは難しい。そのため、光走査ミラーに加わる駆動力を大きくすることは難しい。また、特許文献4に記載された光走査装置では、永久磁石を挟むようにヨークを配置することにより、永久磁石に印加される磁場を比較的大きくすることができる。しかしながら、光走査ミラーの下方に配置された支柱は、非磁性体であるため、光走査ミラーに加わる駆動力に寄与することができない。また、駆動力を大きくするためには、コイルをヨークの内部だけでなく外部にも配置する必要がある。そのため、光走査装置のサイズを抑制しながら、光走査ミラーに加わる駆動力を大きくすることは難しい。すなわち、従来の磁気力型駆動装置では、駆動力を増大し、可動部の振れ角を増大することが困難であった。そして、この磁気力型駆動装置を用いた光走査装置では、可動部に搭載された光走査ミラーの振れ角を増大することが困難であった。また、この光走査装置を用いた画像表示装置では、光の走査範囲を拡大し、薄型化や大画面化を実現することが困難であった。上記課題に鑑み、本発明は、可動部の振れ角が大きな磁気力型駆動装置を提供すると共に、これを備える光走査装置及び画像表示装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係る磁気力型駆動装置は、非磁性材料で形成された第1の可動板と、前記第1の可動板に固定され、前記第1の可動板の主面と略平行な方向に磁化した永久磁石と、を有する第1の可動部と、前記第1の可動部の周縁を囲むように形成された第1の枠体と、前記第1の枠体と前記第1の可動板とを接続し、前記第1の可動部を、前記第1の枠体に対し、前記第1の可動板の主面と略平行かつ前記永久磁石の磁化方向と略垂直な第1の軸の回りに揺動可能に支持する第1の一対の梁部と、ヨークと、前記ヨークを磁化させるコイルと、を有する第1の駆動部と、を備え、前記ヨークは、前記永久磁石の近傍に配置された第1の端部を有する第1のヨーク部と、前記永久磁石の一方の磁極に対して前記第1の端部の反対側に配置された第2の端部を有する第2のヨーク部と、を備え、前記第1の端部と前記第2の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第1の可動部を同一の揺動方向に駆動する、ことを特徴とする。また、本発明の第2の観点に係る光走査装置は、上述の磁気力型駆動装置と、前記第1の可動部に設けられ、入射した光を反射するミラーと、を備える、ことを特徴とする。また、本発明の第3の観点に係る画像表示装置は、変調された光束を生成する光束生成装置と、前記光束を反射及び走査する上述の光走査装置と、を備える、ことを特徴とする。本発明によれば、可動部の振れ角が大きな磁気力型駆動装置を提供すると共に、これを備える光走査装置及び画像表示装置を提供することができる。以下、本発明を実施するための形態を、図面を用いて説明する。第1の実施形態始めに、図1を参照して、第1の実施形態に係る画像表示装置1について説明する。なお、画像表示装置1は、後述する磁気力型駆動装置7図2参照から構成された非共振タイプの光走査装置5を備え、外部機器8から入力される画像信号S1に基づいて、変調された赤色R、緑色G、青色Bの光束を生成、合成、及び走査することにより、スクリーン9に映像を表示させるものである。画像表示装置1は、光束生成装置10と、コリメート光学系20と、合成光学系30と、水平走査部40と、垂直走査部50と、から構成されている。光束生成装置10は、主に、信号処理回路11と、赤色レーザ12と、緑色レーザ13と、青色レーザ14と、赤色レーザ駆動回路15と、緑色レーザ駆動回路16と、青色レーザ駆動回路17と、から構成されている。信号処理回路11は、外部機器8から入力される画像信号S1に応じて変調された赤色、緑色、青色の光束を生成するための赤色、緑色、青色映像信号S2R,S2G,S2Bをそれぞれ生成し、赤色、緑色、青色レーザ駆動回路15,16,17にそれぞれ出力する。また、信号処理回路11は、水平、垂直走査部40,50の動作と光束生成装置10の動作とを同期させるための水平、垂直同期信号SH,SVをそれぞれ生成し、後述する水平、垂直同期回路45,55にそれぞれ出力する。赤色、緑色、青色レーザ駆動回路15,16,17は、それぞれ、信号処理回路11から入力される赤色、緑色、青色映像信号S2R,S2G,S2Bに応じて、赤色、緑色、青色レーザ12,13,14を駆動する。赤色、緑色、青色レーザ12,13,14は、例えば、半導体レーザ、高調波発生機構SHG付き固体レーザ等から構成されており、それぞれ、赤色、緑色、青色映像信号S2R,S2G,S2Bに応じて変調された赤色、緑色、青色の光束を生成し、コリメート光学系20に出射する。コリメート光学系20は、3つのコリメータレンズ21,22,23から構成されており、光束生成装置10から入射した赤色、緑色、青色の光束をそれぞれ平行光化し、合成光学系30に出射する。合成光学系30は、光束を波長選択的に反射又は透過する3つのダイクロイックミラー31,32,33から構成されており、コリメート光学系20から入射した赤色、緑色、青色の光束を合成し、水平走査部40の後述する光走査ミラー41に出射する。水平走査部40は、合成光学系30から入射した光束を水平方向に走査するための光走査ミラー41を有する共振タイプの光走査装置4と、光走査装置4を駆動するための水平走査駆動回路42と、光走査装置4の共振周波数を調整するための共振周波数調整回路43と、から構成されている。垂直走査部50は、水平走査部40から入射した光束を垂直方向に走査するための光走査ミラー以下、ミラー51を有する非共振タイプの光走査装置5と、光走査装置5を駆動するための垂直走査駆動回路52と、から構成されている。水平同期回路45は、信号処理回路11から入力された水平同期信号SHに基づいて、水平走査部40の動作が光束生成装置10の動作と同期するように、水平走査駆動回路42及び共振周波数調整回路43を制御する。垂直同期回路55は、信号処理回路11から入力された垂直同期信号SVに基づいて、垂直走査部50の動作が光束生成装置10の動作と同期するように、垂直走査駆動回路52を制御する。次に、図2及び図3を参照して、上述の光走査装置5について詳細に説明する。光走査装置5は、図2a及び図2bに示すように、入射した光を反射するための上述のミラー51と、ミラー51を駆動するための磁気力型駆動装置7と、から構成されている。磁気力型駆動装置7は、第1の可動板111と、第1の枠体112と、第1の一対の梁部113図2a参照と、永久磁石120図2b参照と、ヨーク210と、コイル220と、から構成されている。なお、図2bに示すように、第1の可動板111、永久磁石120、及びミラー51は、第1の可動部100を構成する。また、ヨーク210及びコイル220は、第1の駆動部200を構成する。図2aに示す第1の可動板111、第1の枠体112、及び第1の一対の梁部113は、例えば単結晶シリコン基板やステンレスその他の金属基板等、適度な剛性を有する非磁性材料基板で、相互に一体に形成されている。第1の可動板111は、所定の幅、奥行き、及び厚みを有する矩形板状に形成されている。第1の枠体112は、第1の可動板111の周縁を囲むように矩形枠状に形成され、後述する支持部230に支持されている。第1の一対の梁部113は、第1の可動板111の平面上面及び下面と略平行なY軸第1の軸に沿って延在し、第1の可動板111と第1の枠体112とを接続している。図2bに示す永久磁石120は、例えばサマリウムコバルト磁石やネオジム磁石等から構成されており、第1の可動板111と略同一の幅及び奥行きを有する矩形板状に形成され、接着剤等により第1の可動板111の下面に固定されている。そして、永久磁石120は、矢印Mにより示すように、第1の可動板111の平面上面及び下面と略平行かつY軸と略垂直な方向に磁化している。ミラー51は、例えば銀合金やアルミニウム合金等で、第1の可動板111と略同一の幅及び奥行きを有する矩形板状に形成されており、第1の可動板111の上面に接着剤等により固定されている。なお、ミラー51は、例えば、スパッタ法等を用いて、第1の可動板111の上面に薄膜状に形成されていても良い。そして、ミラー51の上面は、入射する光に対して十分な反射率を有するように、十分に平坦に形成されている。ヨーク210は、例えば鉄系材料、フェライト材料、又はパーマロイ材料等を含む磁性材料で形成されており、第1のヨーク部211と、第2のヨーク部212と、第3のヨーク部213と、第4のヨーク部214と、から構成されている。第1のヨーク部211は、永久磁石120の下面と対向して配置された一端部以下、第1の端部211aを有する。第2のヨーク部212は、第1の端部211aの反対側において永久磁石120のN極と対向して配置された一端部以下、第2の端部212aを有する。第3のヨーク部213は、第1の端部211aの反対側において永久磁石120のS極と対向して配置された一端部以下、第3の端部213aを有する。第4のヨーク部214は、第1のヨーク部211の他端部211bと、第2のヨーク部212の他端部212bと、第3のヨーク部213の他端部213bと、を磁気的に結合している。すなわち、第1~第4のヨーク部211~214は、相互に磁気的に結合されて、一つの磁気回路を構成している。なお、第4のヨーク部214には、上述の第1の枠体112を支持する一対の支持部230が設けられている。コイル220は、第1のヨーク部211に巻回されており、幅方向及び厚み方向においてはヨーク210の内側に配置されている。コイル220に電流を流すと、ヨーク210が磁化し、第1の端部211aと、第2の端部212aと、第3の端部213aと、にそれぞれ磁極が現れる。このとき、第1の端部211aに現れる磁極は、第2の端部212a及び第3の端部213aに現れる磁極に対して、異なる極性を有する。次に、上述の光走査装置5の動作について説明する。図2aにおいて、コイル220に右回りの電流を流すと、図3aに示すように、第1のヨーク211から第2のヨーク212及び第3のヨーク213に向かう磁力線が発生し、第1の端部211aにS極が現れ、第2の端部212a及び第3の端部213aにN極が現れる。そして、第1の端部211aと第2の端部212aとの間に発生する磁場が永久磁石120のN極に作用すると共に、第1の端部211aと第3の端部213aとの間に発生する磁場が永久磁石120のS極に作用することにより、第1の可動部100は、第1の一対の梁部103のねじれを伴いながら、Y軸を中心として左に傾斜する左偏向状態。また、図2aにおいて、コイル220に左回りの電流を流すと、図3bに示すように、第2のヨーク212及び第3のヨーク213から第1のヨーク211に向かう磁力線が発生し、第1の端部211aにN極が現れ、第2の端部212a及び第3の端部213aにS極が現れる。そして、第1の端部211aと第2の端部212aとの間に発生する磁場が永久磁石120のN極に作用すると共に、第1の端部211aと第3の端部213aとの間に発生する磁場が永久磁石120のS極に作用することにより、第1の可動部100は、第1の一対の梁部103のねじれを伴いながら、Y軸を中心として右に傾斜する右偏向状態。なお、第1の可動部100の慣性モーメントを低減し、これにより第1の可動部100の振れ角を増大するために、永久磁石120の厚みは1mm程度以下に設計されていることが望ましい。また、コイル220に流す電流が所定の周波数例えば60Hzを有する場合に、第1の可動部100に共振モードが励起されることを防止するため、第1の一対の梁部113は、第1の可動部100の共振周波数が1kHz程度となるように設計されていることが望ましい。上記構成の磁気力型駆動装置7によれば、ヨーク210の第1の端部211aと第2の端部212aとを、永久磁石120の一方の磁極N極を挟んで対向するように配置すると共に、互いに異なる磁極を有するように磁化させることにより、従来の磁気力型駆動装置と比較して、永久磁石120に印加される磁場を増大することができる。従って、第1の可動部100に加わる駆動力を増大し、第1の可動部100の振れ角を増大することができる。さらに、ヨーク210の第1の端部211aと第3の端部213aとを、永久磁石の他方の磁極S極を挟んで対向するように配置すると共に、互いに異なる磁極を有するように磁化させることにより、永久磁石120に印加される磁場をより増大することができる。従って、第1の可動部100に加わる駆動力をより増大し、第1の可動部100の振れ角をより増大することができる。また、永久磁石120を挟んで対向する第1の端部211aと第2の端部212aとの間隙、及び第1の端部211aと第3の端部213aとの間隙を、容易に小さくすることができる。これにより、永久磁石120に印加される磁場が増大し、第1の可動部100に加わる駆動力が増大することから、第1の可動部100の振れ角を容易に増大することができる。また、第1の可動部100の振れ角に余裕がある場合には、さらに、磁気力型駆動装置7を小型化することや、磁気力型駆動装置7の消費電力を抑制することもできる。また、第1~第3のヨーク211~213を相互に磁気的に結合し、一つの磁気回路を構成することにより、第1の駆動部200をより簡単に構成することができる。具体的には、第1のヨーク211にのみコイル220を巻回し、コイル220に流す電流の大きさ及び方向を制御することにより、第1の可動部100を駆動することができる。また、コイル220がヨーク210の内側にのみ配置された構成とすることで、駆動部200のサイズを抑制し、磁気力型駆動装置7を小型化することができる。また、磁気力型駆動装置7の第1の可動部100にミラー51を搭載することにより、ミラー51の振れ角が大きい、すなわち光の走査範囲が大きい光走査装置5を構成することができる。そして、光走査装置5を備える画像表示装置1によれば、光の走査範囲が大きいことから、省スペース化小型化、薄型化及び大画面化等を実現することができる。以下、上述の第1の実施形態に係る光走査装置5について、実施例に基づいて、より詳細に説明する。光走査装置5の第1の可動部100については、例えば、以下のように構成することができる。第1の可動板111は、単結晶シリコンで形成し、その幅、奥行き、厚みを、それぞれ2[mm]、6[mm]、100[μm]とした。永久磁石120は、ネオジム磁石とし、その幅、奥行き、厚みを、それぞれ2[mm]、6[mm]、300[μm]とした。ミラー51の幅、奥行き、厚みを、それぞれ2[mm]、6[mm]、50[μm]とした。なお、ミラー51は、第1の可動板111の上面に接着剤により固定した。第1の一対の梁部113は、単結晶シリコンで形成し、その寸法は、第1の可動部100の共振周波数が800[Hz]程度となるように、第1の可動部を構成する第1の可動板111、永久磁石120、及びミラー51の寸法に従って決定した。また、光走査装置5の第1の駆動部200については、例えば、以下のように構成することができる。ヨーク210の第1の端部211aと第2の端部212aとの間隙、及びヨーク210の第1の端部211aと第3の端部213aとの間隙を、2[mm]とした。コイル220の巻数を200とした。また、コイル220に流す電流を200[mA]とした。コイル220の巻数をN、コイル220に流す電流をI[A]、ヨーク210の磁極間のギャップをg[m]とすると、ヨーク210の磁極間に発生する磁場H[A/m]は、概ね、以下の4式で与えられる。H=NI/g4本実施例では、4式により、ヨーク210の第1の端部211aと第2の端部212aとの間、及びヨーク210の第1の端部211aと第3の端部213aとの間に発生する磁場Hは、概ね、2×104[A/m]≒250[Oe]となる。また、第1の可動部100第1の可動板111、永久磁石120、及びミラー51の慣性モーメントをI、永久磁石120に印加される磁場をHt簡単のため、一様とする、第1の可動部100の磁気モーメントをM水平左向き、第1の一対の梁部113のねじり弾性係数をKθ、磁場Ht上向きが鉛直方向と成す角度をθ0時計回り、第1の可動部100の静止位置水平からの傾きをθt時計回りとすると、第1の可動部100の運動方程式は、以下の式5で与えられる。Id2/dt2θtKθθt-MHtcosθ0-θt=05本実施例では、5式により、第1の可動部100の振れ角θは、概ね、±20[°]となる。従って、光の走査範囲は、概ね、±40[°]となる。また、本実施例では、必要となる磁場の大きさが250[Oe]程度と比較的小さいことから、コイル220の消費電力が比較的小さい。コイル220に流す電流が所定の周波数例えば60[Hz]を有する場合、コイル220には、配線抵抗に加えてインダクタンスLに応じたインピーダンスが発生するが、本実施例では、コイル220に発生するインピーダンスは1[Ω]程度である。従って、コイル220に流す電流を200[mA]とした場合、コイル220の消費電力は、40[mW]程度と、比較的小さくなる。以上説明したように、本実施例によれば、ヨーク210の第1の端部211aと第2、第3の端部212a,213aとの間隙をmmスケールに小さくすることができるため、これらの間隙に生成される磁場が増大し、第1の可動部100に搭載された永久磁石120とヨーク210との磁気的相互作用が増大する。従って、第1の可動部100に加わる駆動力を増大し、第1の可動部100に搭載されたミラー51の振れ角を増大することができる。第2の実施形態次に、第2の実施形態に係る画像表示装置及び光走査装置5Aについて説明する。第2の実施形態の画像表示装置は、基本的構成については第1の実施形態の画像表示装置1と同様であるが、光走査装置5Aの構成において第1の実施形態の画像表示装置1と異なる。従って、本実施形態では、光走査装置5Aについて説明し、画像表示装置についての説明を省略する。また、第1の実施形態の光走査装置5と共通する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。図4aに示すように、光走査装置5Aは、第1のヨーク部211と永久磁石120との間に配置されたストッパ231Aと、ストッパ230Aと第1の枠体112との間に配置されたスペーサ232Aと、を備える点において、第1の実施形態の光走査装置5と異なる。ストッパ231Aは、非磁性材料で形成されており、図4bに示すように、円孔231aを有する矩形板状に形成されている。ストッパ231Aは、図4aに示すように、第1のヨーク部211に支持されると共に、接着剤等により第1のヨーク部211に固定されており、第1の可動部100の揺動を所定の角度で強制的に止める役割を果たす。なお、ストッパ231Aは、非磁性材料で形成されているため、永久磁石120に印加される磁場の大きさには影響しない。なお、円孔231aは、光走査装置5Aの動作不良が発生した際に、永久磁石120が第1の可動板111に正常に接着されているか否かを目視にて確認するために形成されている。スペーサ232Aは、非磁性材料で形成されており、図4cに示すように、矩形枠状に形成されている。スペーサ232Aは、図4aに示すように、ストッパ231Aに支持され、接着剤又はねじ等によりストッパ231Aに固定されており、第1の枠体112を支持する役割を果たしている。第1の枠体112は、スペーサ232Aに支持され、接着剤又はねじ等によりストッパ231Aに固定されている。従って、本実施形態の光走査装置5Aでは、第1の実施形態の光走査装置5に設けられていた支持部230は、省略されている。なお、ミラー51及び第1の一対の梁部103等の損傷を防止するため、第1の可動部100第1の可動板111、永久磁石120、ミラー51、第1の枠体112、及び第1の一対の梁部103は、スペーサ232A及びストッパ231Aと一体に組み立てられた後に、第1の駆動部200に装着されることが望ましい。上記構成の光走査装置5Aによれば、ストッパ231Aを設けることにより、可動部100が過大に振れることを防止し、第1の一対の梁部113が破壊されること等を防止することができる。従って、光走査装置5Aの信頼性を向上することができる。第1の可動板111の幅、奥行き、厚みは、例えば、2[mm]、6[mm]、100[μm]とすることができる。また、永久磁石120の幅、奥行き、厚みは、例えば、2[mm]、6[mm]、300[μm]とすることができる。また、ミラー51の幅、奥行き、厚みは、例えば、2[mm]、6[mm]、50[μm]とすることができる。そして、スペーサ232Aの厚みは、例えば、500[μm]とすることができる。これにより、第1の可動部100の傾斜を、概ね、±10[°]の位置で止めることができる。第3の実施形態次に、第3の実施形態に係る画像表示装置及び光走査装置5Bについて説明する。第3の実施形態の画像表示装置は、基本的構成については第1の実施形態の画像表示装置1と同様であるが、光走査装置5Bの構成において第1の実施形態の画像表示装置1と異なる。従って、本実施形態では、光走査装置5Bについて説明し、画像表示装置についての説明を省略する。また、第1及び第2の実施形態の光走査装置5,5Aと共通する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。図5aに示すように、光走査装置5Bは、主に、第1の可動板111Bと永久磁石120とが嵌合している点において、第2の実施形態の光走査装置5Aと異なる。図5bに示すように、第1の可動板111Bは、空孔部111aを有して矩形枠状に形成されている。図5aに示すように、永久磁石120は、第1の可動板111Bの空孔部111aに嵌入し、接着剤等により固定されている。また、ミラー51は、永久磁石120の上面に、接着剤等により固定されている。これにより、第1の可動板111Bと永久磁石120とミラー51とを、第1の可動部100の重心がその揺動軸であるY軸と略一致するように、配置することができる。上記構成の光走査装置5Bによれば、第1の可動部100の重心をその揺動軸であるY軸と略一致させることにより、第1の可動部100の慣性モーメントを低減することができる。従って、第1の一対の梁部103のねじり弾性係数を低減することができると共に、ミラー51の振れ角をより増大することができる。第4の実施形態次に、第4の実施形態に係る画像表示装置及び光走査装置5C~5Fについて説明する。第4の実施形態の画像表示装置は、基本的構成については第1の実施形態の画像表示装置1と同様であるが、光走査装置5C~5Fの構成において第1の実施形態の画像表示装置1と異なる。従って、本実施形態では、光走査装置5C~5Fについて説明し、画像表示装置についての説明を省略する。また、第1~第3の実施形態の光走査装置5,5A,5Bと共通する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。図6~図9に示すように、光走査装置5C~5Fは、ヨーク210C~210Fの第1、第2、第3の端部211a,212a,213aの少なくとも1つが鋭角化されている点において、第2の実施形態の光走査装置5Aと異なる。図6に示す光走査装置5Cでは、ヨーク210Cの第2及び第3の端部212a,213aが、それぞれ永久磁石120の一方及び他方の磁極N極及びS極に向けて、鋭角化されている。図7に示す光走査装置5Dでは、ヨーク210Dの第1の端部211aが、永久磁石120の一方及び他方の磁極の略中央に向けて、鋭角化されている。図8に示す光走査装置5Eでは、ヨーク210Eの第1の端部211aに、2つの鋭角の突起211c、211dが、それぞれ永久磁石120の一方、他方の磁極N極,S極に向けて、形成されている。図9に示す光走査装置5Fでは、ヨーク210Fの第1~第3の端部211a~213aがそれぞれ鋭角化されている。なお、図6~図9に示す光走査装置5D~5Fでは、ヨーク210D~210Fの第1の端部211aが鋭角に形成されているため、ストッパ231を支持するために、第1の実施形態において示された支持部230が設けられている。上記構成の光走査装置5C~5Fによれば、ヨーク210C~210Fの第1、第2、第3の端部211a,212a,213aの少なくとも一つを鋭角化することで、その端部の磁束密度を増大し、永久磁石120の磁極に印加される磁場を増大することができる。その結果、第1の可動部100に加わる駆動力を増大し、ミラー51の振れ角をより増大することができる。なお、第4の実施形態では、第1、第2、第3の端部211a,212a,213aの何れかが鋭角状の断面を有して形成されていたが、本発明の第1、第2、第3の端部はこれに限定されず、永久磁石に向けて断面積が縮小されるならば、例えば凹凸状の断面を有して形成されていても良い。第5の実施形態次に、第5の実施形態に係る画像表示装置及び光走査装置5Gについて説明する。第1の実施形態の画像表示装置1は、水平、垂直走査部40,50に設けられた光走査装置4,5を備えていたが、第5の実施形態の画像表示装置は、画像表示装置1の光走査装置4,5に代えて、単一の2軸タイプの光走査装置5Gを備える点において、第1の実施形態の画像表示装置1と異なる。従って、本実施形態では、光走査装置5Gについて説明し、画像表示装置についての説明を省略する。また、第1~第4の実施形態の光走査装置5,5~5Fと共通する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。図10aに示すように、光走査装置5Gは、第1の可動部100Gを除く構成については、第4の実施形態の光走査装置5Cと同様である。第1の可動部100Gは、第1の可動板111Gと、永久磁石120と、第2の可動部300Gと、第2の駆動部400Gと、を備える。第2の可動部300Gは、図10bに示すように、第2の可動板311Gと、ミラー51Gと、から構成されている。また、第1の可動部100Gは、第2の枠体312Gと、第2の一対の梁部313Gと、をさらに備える。第2の可動板311G、第2の枠体312G、及び第2の一対の梁部313Gは、例えば単結晶シリコン基板等、微細加工が可能で適度な剛性を有する非磁性材料基板で形成されており、相互に一体に形成されている。また、これらの構造体は、単結晶シリコン基板に代えて、ステンレス等の金属基板で形成することもできる。第2の可動板311Gは、所定の長辺及び短辺を有する楕円板状に形成されている。第2の枠体312Gは、第2の可動板311Gの周縁を囲むように矩形枠状に形成されている。第2の一対の梁部313Gは、第2の可動板311Gの平面上面及び下面と略平行かつY軸と略垂直なX軸第2の軸に沿って延在し、第2の可動板311Gと第2の枠体312Gとを接続している。そして、第2の枠体312Gは、図10cに示すように、第1の可動板111Gの上面に積層されている。なお、第1の可動板111Gは、第2の可動部300の揺動を許容するように、矩形枠状に形成されている。ミラー51Gは、例えば銀合金やアルミニウム合金等で形成されており、図10bに示すように、第2の可動板311Gと略同一の長辺及び短辺を有する楕円板状に形成され、第2の可動板311Gの上面に接着剤等により固定されている。なお、ミラー51Gは、例えば、スパッタ法等を用いて、第2の可動板311Gの上面に薄膜状に形成されていても良い。そして、ミラー51Gの上面は、入射する光に対して十分な反射率を有するように、十分に平坦に形成されている。第2の可動部300G第2の可動板311G、ミラー51Gと、第2の一対の梁部313Gとは、第2の可動部300Gが所定の共振周波数を有するように、設計されている。第2の駆動部400Gは、図10cに示すように、下部電極410Gと、圧電素子420Gと、上部電極420Gと、の積層体から構成されており、図略の酸化膜を介して第2の枠体312Gの上面に形成されている。圧電素子420Gは、電圧の印加により、X軸と略平行な方向に歪むように配向されている。なお、上部電極430Gの上面には、例えばAlアルミニウム薄膜からなる図略の電極パッドが形成されている。電極パッドは、例えば、スパッタ法等を用いてマスク成膜されている。また、下部電極410Gは、圧電素子420Gが積層されない部分図示せずを有して形成されており、その上面には、上部電極430Gと同様に、図略の電極パッドが形成されている。なお、電極パッドは、十分な密着性と、シリコン基板との導通が得られるならば、Alに限られず、例えばPt白金等の他の材料から成膜しても良い。また、スパッタ法に限らず、他の方法で成膜しても良い。次に、光走査装置5Gの動作について説明する。下部電極410Gと上部電極430Gとの間に電極パッドを介して交流電圧を印加すると、圧電素子420Gは、X軸と略平行な方向に振動を生じる。そして、圧電素子420Gは、その形状及び配置等が適当に設計されることにより、第2の一対の梁部313Gにねじれ振動を誘起する。これにより、第2の可動部300Gを、X軸の回りに振動させることができる。さらに、交流電圧の周波数駆動周波数を第2の可動部300Gの共振周波数と一致させることにより、第2の可動部300Gに共振モードを誘起し、第2の可動部300Gの振れ角を大きくすることができる。また、第2の可動部300Gが搭載された第1の可動部100Gは、第1の実施形態と同様に、第1の駆動部200のコイル220に電流を流すことにより、Y軸の回りに駆動することができる。上記構成の光走査装置5Gによれば、ミラー51Gが搭載された第2の可動部300Gを、互いに垂直なX軸とY軸との回りに、それぞれ駆動することができる。従って、単一のミラー51Gにより、光を2次元的に走査することができる。そして、光走査装置5Gを備える画像表示装置は、2つの光走査装置4,5を備える第1実施形態の画像表示装置1と比較して、小型化及び低コスト化することができる。なお、第2の駆動部400Gは、圧電素子420Gの圧電効果を利用して第2の可動部300Gを駆動するように構成されていたが、本発明の第2の駆動部はこれに限定されず、例えば、電磁力又は静電力を利用して第2の可動部300Gを駆動するように構成されていても良い。本発明は上記各実施形態及び実施例に限定されるものではなく、各実施形態及び実施例が本発明の技術的思想の範囲内において適宜変更され得ることは明らかである。上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載され得るが、以下には限られない。付記1非磁性材料で形成された第1の可動板と、前記第1の可動板に固定され、前記第1の可動板の主面と略平行な方向に磁化した永久磁石と、を有する第1の可動部と、前記第1の可動部の周縁を囲むように形成された第1の枠体と、前記第1の枠体と前記第1の可動板とを接続し、前記第1の可動部を、前記第1の枠体に対し、前記第1の可動板の主面と略平行かつ前記永久磁石の磁化方向と略垂直な第1の軸の回りに揺動可能に支持する第1の一対の梁部と、ヨークと、前記ヨークを磁化させるコイルと、を有する第1の駆動部と、を備え、前記ヨークは、前記永久磁石の近傍に配置された第1の端部を有する第1のヨーク部と、前記永久磁石の一方の磁極に対して前記第1の端部の反対側に配置された第2の端部を有する第2のヨーク部と、を備え、前記第1の端部と前記第2の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第1の可動部を同一の揺動方向に駆動する、ことを特徴とする磁気力型駆動装置。付記2前記ヨークは、前記永久磁石の他方の磁極に対して前記第1の端部の略反対側に配置された第3の端部を有する第3のヨーク部を更に備え、前記第1の端部と前記第3の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第1の可動部を同一の揺動方向に駆動する、ことを特徴とする付記1に記載の磁気力型駆動装置。付記3前記第1及び第2のヨーク部は、相互に磁気的に結合されて磁気回路を構成する、ことを特徴とする付記1に記載の磁気力型駆動装置。付記4前記第1、第2、及び第3のヨーク部は、相互に磁気的に結合されて磁気回路を構成する、ことを特徴とする付記2に記載の磁気力型駆動装置。付記5前記第1及び第2の端部の少なくとも一方は、前記永久磁石に向けて鋭角に形成されている、ことを特徴とする付記1又は3に記載の磁気力型駆動装置。付記6前記第1、第2、及び第3の端部の少なくとも1つは、前記永久磁石に向けて鋭角に形成されている、ことを特徴とする付記2又は4に記載の磁気力型駆動装置。付記7前記第1の端部は、複数の突起を有して形成されている、ことを特徴とする付記1乃至6の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記8前記第1の可動板には、前記永久磁石が配置される空孔部が形成され、前記永久磁石は、前記第1の可動部の重心が前記第1の軸と略一致するように、前記空孔部に配置されている、ことを特徴とする付記1乃至7の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記9前記第1の端部と前記第1の可動部との間には、非磁性材料で形成され、前記第1の可動部の揺動を所定の角度で規制する板状のストッパが配置されている、ことを特徴とする付記1乃至8の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記10前記ストッパと前記第1の枠体との間には、非磁性材料で形成されたスペーサが配置されている、ことを特徴とする付記9に記載の磁気力型駆動装置。付記11前記コイルは、前記第1のヨーク部にのみ巻回されている、ことを特徴とする付記1乃至10の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記12前記第1の可動板と前記第1の枠体と前記第1の一対の梁部とは、単結晶シリコン基板で一体形成されている、ことを特徴とする付記1乃至11の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記13前記第1の可動板と前記第1の枠体と前記第1の一対の梁部とは、金属基板で一体形成されている、ことを特徴とする付記1乃至11の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記14前記第1の可動板と前記第1の枠体と前記第1の一対の梁部とは、ステンレス基板で一体形成されている、ことを特徴とする付記1乃至11の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記15前記永久磁石の厚さは、1mm以下である、ことを特徴とする付記1乃至14の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記16前記永久磁石は、サマリウムコバルト磁石から構成されている、ことを特徴とする付記1乃至15の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記17前記永久磁石は、ネオジム磁石から構成されている、ことを特徴とする付記1乃至15の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記18前記ヨークは、鉄系材料を含んで形成されている、ことを特徴とする付記1乃至17の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記19前記ヨークは、フェライト材料を含んで形成されている、ことを特徴とする付記1乃至17の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記20前記ヨークは、パーマロイ材料を含んで形成されている、ことを特徴とする1乃至17の何れかに記載の磁気力型駆動装置。付記21付記1乃至20の何れかに記載の磁気力型駆動装置と、前記第1の可動部に設けられ、入射した光を反射するミラーと、を備える、ことを特徴とする光走査装置。付記22前記第1の可動部は、非磁性材料で形成された第2の可動板を有する第2の可動部と、前記第1の可動板に固定され、前記第2の可動部の周縁を囲むように形成された第2の枠体と、前記第2の枠体と前記第2の可動板とを接続し、前記第2の可動部を、前記第2の枠体に対し、前記第1の軸と略垂直かつ前記第2の可動板の主面と略平行な第2の軸の回りに揺動可能に支持する第2の一対の梁部と、を更に備え、前記ミラーは、前記第2の可動部に設けられている、ことを特徴とする付記21に記載の光走査装置。付記23前記第2の一対の梁部に接続され、前記第2の可動部を駆動する第2の駆動部を更に備える、ことを特徴とする付記22に記載の光走査装置。付記24前記第2の駆動部は、圧電材料を備える、ことを特徴とする付記23に記載の光走査装置。付記25前記ミラーは、銀合金で形成されている、ことを特徴とする付記21乃至24の何れかに記載の光走査装置。付記26前記ミラーは、アルミニウム合金で形成されている、ことを特徴とする付記21乃至24の何れかに記載の光走査装置。付記27変調された光束を生成する光束生成装置と、前記光束を反射及び走査する付記21乃至26の何れかに記載の光走査装置と、を備える、ことを特徴とする画像表示装置。本出願は、2010年3月24日に出願された日本国特許出願2010-067877号に基づく。本明細書中に、それらの明細書、特許請求の範囲、図面全体を参照として取り込むものとする。"