切削工具を軸心方向に超音波振動させながら回転させる振動切削装置であって、ハウジングと、このハウジングに支持機構を介して支持された筐体と、この筐体に収容されたモータと、このモータによって回転駆動され先端に前記切削工具が取り付けられる主軸と、前記筐体を軸心方向に振動させる加振部とを具備し、前記支持機構は、前記筐体が軸心方向に振動する動作を利用して当該筐体の回転位相を変化させる動作変換部を有し、この動作変換部において前記加振部からの振動を軸心方向と円周方向とに分波することを特徴とする振動切削装置。動作変換部が、捻り部材の捻りを利用して軸心方向の振動の一部を円周方向の振動に分波するものである請求項1記載の振動切削装置。捻り部材が軸心まわりの略等角位置に複数配置されている請求項2記載の振動切削装置。捻り部材が径方向に沿ってハウジングから筐体に近づくにつれて曲斜する翼形状をなすものである請求項3記載の振動切削装置。しかしながら、特許文献1のものは、筐体の軸方向の振動が軸受の内輪と外輪の間に相対動作として作用するため、軸受に常時必要以上の好ましくない負荷が掛かる。このため、軸受の劣化が起こり易く、メンテナンス性を低下させる要因になるという問題がある。また、加振部は複数の圧電素子によって軸方向、ねじれ方向もしくは曲げ方向に振動するように構成されるため、圧電素子の構造やこれを制御する制御装置が複雑になり、大型化やコスト増を招くという問題もある。本発明は、このような課題に着目し、構造簡単、コンパクトかつ廉価に構成できて信頼性や耐久性を有効に向上させることが可能な振動切削装置を提供することを目的としている。本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。すなわち、本発明の振動切削装置は、先端側に取り付けた切削工具を軸心方向に超音波振動させながら回転させるものであって、ハウジングと、このハウジングに支持機構を介して支持された筐体と、この筐体に収容されたモータと、このモータによって回転駆動され先端に前記切削工具が取り付けられる主軸と、前記筐体を軸心方向に振動させる加振部とを具備し、前記支持機構は、前記筐体が軸心方向に振動する動作を利用して当該筐体の回転位相を変化させる動作変換部を有し、この動作変換部において前記加振部からの振動を軸心方向と円周方向とに分波することを特徴とする。このように構成すると、筐体の軸心方向の振動がモータを含めて筐体全体に作用し、モータ内部の軸受負荷を大きく増大させることがないので、軸受の劣化を防いでメンテナンス性を有効に向上させることができる。また、加振部で軸心方向の振動のみを発生させ、その一部を円周方向の振動に分波するので、加振部を構成する圧電素子等の構造やこれを制御する制御装置の構成が簡素となり、小型化やコストダウンにも資するものとなる。構造の更なる簡素化を図るためには、動作変換部が、捻り部材の捻りを利用して軸心方向の振動の一部を円周方向の振動に分波するものであることが有効である。特に、工具径の補正を不要とするためには、捻り部材が軸心まわりの略等角位置に複数配置されていることが望ましい。好ましい実施の態様としては、捻り部材が径方向に沿ってハウジングから筐体に近づくにつれて曲斜する翼形状をなすものが挙げられる。本発明は、以上説明した構成であるから、構造簡単、コンパクトかつ廉価に構成できて信頼性や耐久性を有効に向上させた、新規有用な振動切削装置を提供することができる。以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。図1~図3に示す本実施形態の振動切削装置超音波切削装置は、超音波駆動源となる加振部1を取り付けた筐体2を、支持機構3を介してハウジング4に支持させてなる。ハウジング4は筐体2を据え付ける台座としての役割を担っており、適用対象に応じて適宜の形態をとることができる。筐体2は、図4に示すように、ステンレス鋼やチタン合金等の単一の部材を加工することによって形成された中空体状の円筒部21と、この円筒部21に適宜の手段で一体的に取り付けた後端部22とを備え、加振部1は電極11を一対の圧電素子12、12で挟んで構成されるもので、この加振部1を当該筐体2の後端部22と前記加振部1の更に後方に配置した押さえ部材23との間に挟持するように配置し、押さえ部材23に挿入した締め付けねじ51によってこれらの圧電素子12、12を電極11とともに筐体2の後端部22に共締めしている。電極11には圧電素子12を超音波駆動するための図示しない給電線が接続され、圧電素子12の振動方向は筐体2の軸心mに沿った方向である。この実施形態の圧電素子12は筐体2ともども次に述べるモータ6の回転とは縁が切れているため、ブラシ等の電気的摺動部は不要である。筐体2の内部には、モータ6が組み込まれている。この実施形態のモータ6は、後端部に図3及び図4に示すように給気口61と排気口62を有し、給気口61に圧空を送り込むことによって先端の主軸63が回転駆動される、いわゆるエアモータである。給気口61および排気口62は筐体2に設けた切欠部2aを介して図示しない外部配管の着脱が容易な位置に持ち出されている。エアモータ自身の原理や構造については種々のものが既知であるため、ここでの説明は省略する。主軸63の軸端部には、圧入等によってチャック7が取り付けられている。このチャック7は、先端に取付孔71を有し、この取付孔71にエンドミル等の切削工具8が焼き嵌め等により一体回転可能に取り付けられる。切削工具8の材質としては、超硬合金、焼結材料、ダイヤモンド、研削砥石等を挙げることができる。ハウジング4は、アルミダイキャスト等によって構成されるもので、振動の減衰が影響しない程度のウェイトが付与してあり、全体は図3等に示すように直方体状をなし、対向2面の一部に板状の切欠部41を有するとともに、これらの切欠部41、41間を貫通する位置に貫通孔42が形成されている。一方、支持機構3は、前記ハウジング4の切欠部41に対応する厚み及び外形を有しハウジング4の対向2面にねじvにより固定される矩形状の枠体31と、前記筐体2を支持する筐体支持部32と、筐体支持部32に作用する筐体2からの負荷を枠体31に伝える位置に配置されて軸心m方向の振動の一部を異なる方向に分波する振動変換部ALとから構成される。筐体支持部32は、筐体2の外形よりも僅かに大きく形成された部分円環状の挟持部32aと、この挟持部32aの両端からほぼ径方向に延びるアーム部32bとを一体に形成したもので、アーム部32b、32b間には所定の隙間が形成され、その隙間を狭める方向にアーム部32b、32bが付勢されることで挟持部32aが縮径し、付勢力を取り除くことでアーム部32b、32b間が開いて挟持部32aが元の形状に拡径する弾性を有する。アーム部32b、32bの先端部間は閉じている。図5は図3におけるA部を拡大したものである。振動変換部ALの主体となる曲斜翼33は、板材の一端側と他端側の間を捻った捻り部材であり、筐体2の径方向放射方向に沿って筐体支持部32aと枠体31とを接続する位置に取り付けられる。この曲斜翼33は径方向と直交する断面である横断面が軸心mに近い基端側図5における破線s1参照では軸心mに対して曲斜し、枠体31付近図5における破線s2参照では軸心mに対して略平行すなわちハウジング4の対向2面から直立するような状態で取り付けられる。この実施形態では、2つの曲斜翼33が先端を軸心mに平行な姿勢で枠体31のコーナー部付近に溶接等により取り付けられ、残り1つの曲斜翼33が枠体31の底辺部に溶接等により取り付けられている。すなわち、筐体支持部32の円環状をなす挟持部32aおよび前記ハウジング4の貫通孔42に筐体2を挿通し、軸心m方向の2箇所において筐体支持部32のアーム部32b、32b間をその隙間が狭まる方向にねじ30により締め付けることによって、筐体2は図1及び図2に示すように軸心m方向の2箇所において、同じ方向に同様に捻られた曲斜翼33を主体とする動作変換部ALを介して枠体31の内周かつハウジング4の両対向面から浮いた状態で支持される。このように構成して、電極11に通電を行い、圧電素子12を軸心m方向に例えば40kHz程度の超音波領域で振動させると、径方向ラジアル方向に対しては前記振動変換部ALの主体をなす曲斜翼33が筐体2の中心を常時一定の軸心m上に位置規制し、円周方向に対しては筐体2が軸心m方向に往復運動するに伴い曲斜側靭性塑性に依り揺動することで主軸63ひいては切削工具8に周方向の位相差を発生させる。例えば、静止時に筐体2上のある点が図6aにおけるMの位置にあり、この横断面が同図bであったとすると、これが超音波振動とともに図6aにおける矢印X方向に振動することによって、ある点がMの位置からAの位置へ移動したときに同図cに示すように筐体2は一方向に位相変位を引き起こし、ある点がMの位置からBの位置へ移動したときに同図dに示すように筐体2は他方向に位相変位を引き起こす。このような位相変化が超音波振動数と同じ周期で起こり、これと同時に、図4に示すエアモータ6が主軸63を所定回転数で高速回転させるため、主軸63に取り付けた切削工具8は所定回転数で回りながら、超音波振動数で軸心m方向に往復運動し、同時に円周方向に対して進み側、遅れ側へツイスト運動を引き起こす。このため、この振動切削装置を用いれば、加工対象物が結晶粒界を持つもの、例えばガラスやセラミックのような割れ易い被削材、炭素鋼やステンレス鋼、焼入れ鋼のような超高硬度の被削材等に対して、結晶粒破壊を効果的に促進しつつ、切削加工を行うことが可能となる。以上のように、本実施形態の振動切削装置は、先端側に取り付けた切削工具8を軸心m方向に超音波振動させながら回転させるものであって、ハウジング4と、このハウジング4に支持機構3を介して支持された筐体2と、この筐体2に収容されたモータ6と、このモータ6によって回転駆動され先端に前記切削工具が取り付けられる主軸63と、前記筐体2を軸心m方向に振動させる加振部1とを具備し、前記支持機構3は、前記筐体2が軸心m方向に振動する動作を利用して当該筐体2の回転位相を変化させる動作変換部ALを有し、この動作変換部ALにおいて加振部1からの振動を軸心m方向と円周方向とに分波するようにしたものである。このように構成することで、筐体2の軸心m方向の振動がモータ6を含めて筐体2の全体に作用し、モータ6の内部の軸受負荷を大きく増大させることがなくなるので、軸受の劣化を防いでメンテナンス性を有効に向上させることができる。また、加振部1で軸心m方向の振動のみを発生させ、その一部を円周方向の振動に分波するので、加振部1を構成する圧電素子12等の構造やこれを制御する制御装置の構成が簡素となり、小型化やコストダウンにも資するものとなる。また、動作変換部ALが、捻り部材である曲斜翼33の捻りを利用して軸心方向の振動の一部を円周方向の振動に分波するものであって、ころがり動作や滑り動作を伴わず、ガイド溝等も不要になるため、構造を更に簡素なものにすることができる。特に、捻り部材である曲斜翼33を軸心mまわりの略等角位置に複数配置し、各捻り部材に同一の捻り動作を行わせるようにしているので、筐体2を常時軸心位置に保持することができる。このため、筐体2ひいては切削工具8の径方向への移動を無くして、工具径の補正を不要とすることができる。さらに、捻り部材である曲斜翼33は、径方向に沿ってハウジング4から筐体2に近づくにつれて曲斜する形状をなしているので、簡単に構成することができて、筐体2付近で有効な捻り動作を発現するものとなる。なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、捻り部材を筐体の軸心回りの等角3箇所に配置したが、等角2箇所でもよいし、等角4箇所以上であっても構わない。また、捻り部材の形状も、分波する動作を行うことができるものであれば図示例の構成に限定されない。その他、主軸や工具の取付構造等も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。