受光面が光に対して不感なギャップを介して複数の領域に分割された光検出素子に対して、光源から放射された入射光を入射させ、前記光検出素子の各領域からの出力を増幅し、増幅された出力の変化に基づいて、前記光検出素子に対する前記入射光の相対的な変位を測定する光学式変位測定装置であって、前記光検出素子の各領域には、それぞれ前記入射光によって出力を生じない不感領域と、前記入射光によって出力を生じる感光領域とが形成され、前記光検出素子全体について、前記各領域に形成された不感領域は、前記各領域に形成された感光領域に囲まれていることを特徴とする光学式変位測定装置。前記光検出素子全体について、前記各領域に形成された不感領域は、前記入射光の変位の前後において、前記入射光が入射され続ける範囲内に形成されることを特徴とする請求項1に記載の光学式変位測定装置。前記光検出素子全体について、前記各領域に形成された不感領域の大きさは、前記入射光の変位の前後において、前記入射光が入射され続ける範囲の外縁から、前記入射光と前記光検出素子との初期位置のずれ分だけ縮小されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光学式変位測定装置。前記光検出素子全体について、前記各領域に形成された不感領域に、前記入射光を前記光源方向に反射するリフレクタ部を設けたことを特徴とする請求項1から請求項3までの何れか1項に記載の光学式変位測定装置。しかしながら、従来技術には、以下のような課題がある。スポット光の微小な変位を測定する場合、スポット光の変位の前後においてフォトダイオードから定常的に出力されるバイアス出力の大きさと比較して、フォトダイオードに対するスポット光の相対的な変位によって生じる変位出力の大きさは、極めて小さい。ここで、フォトダイオードからの出力信号を増幅する1段目増幅部では、バイアス出力と変位出力とがともに増幅される。そのため、バイアス出力によって1段目増幅部の出力制限に達してしまい、変位出力を十分に増幅することができない。そこで、2段目増幅部において、出力信号どうしの差をとる等の処理により、バイアス出力を打ち消してから増幅を行う必要があった。その結果、1段目増幅部において出力信号に重畳された雑音が、2段目以降の増幅部で増幅されてしまい、出力信号のS/Nが悪化するという問題がある。また、増幅器の段数が増加することにより、光学式変位測定装置の回路構成が大型化するという問題もある。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、光源から放射された入射光の微小な変位を測定するにあたり、出力信号のS/Nを向上させるとともに、回路構成を小型化することができる光学式変位測定装置を得ることを目的とする。この発明に係る光学式変位測定装置は、受光面が光に対して不感なギャップを介して複数の領域に分割された光検出素子に対して、光源から放射された入射光を入射させ、光検出素子の各領域からの出力を増幅し、増幅された出力の変化に基づいて、光検出素子に対する入射光の相対的な変位を測定する光学式変位測定装置であって、光検出素子の各領域には、それぞれ入射光によって出力を生じない不感領域と、入射光によって出力を生じる感光領域とが形成され、光検出素子全体について、各領域に形成された不感領域は、各領域に形成された感光領域に囲まれているものである。この発明に係る光学式変位測定装置によれば、光検出素子の各領域には、それぞれ入射光によって出力を生じない不感領域と、入射光によって出力を生じる感光領域とが形成され、光検出素子全体について、各領域に形成された不感領域は、各領域に形成された感光領域に囲まれている。これにより、入射光の変位の前後において光検出素子の各領域に入射している光量に応じたバイアス出力の、光検出素子の各領域からの全出力に対する割合が低減され、入射光の変位に応じた光検出素子の各領域からの変位出力の割合が増大する。そのため、光検出素子の各領域からの出力を増幅する際に、変位出力を十分に増幅することができる。したがって、光源から放射された入射光の微小な変位を測定するにあたり、出力信号のS/Nを向上させるとともに、回路構成を小型化することができる光学式変位測定装置を得ることができる。以下、この発明に係る光学式変位測定装置の好適な実施の形態につき図面を用いて説明するが、各図において同一、または相当する部分については、同一符号を付して説明する。この発明に係る光学式変位測定装置は、受光面が複数の領域に分割された光検出素子に対して、光源から放射された入射光を入射させ、光検出素子の各領域からの出力を増幅し、増幅された出力の変化に基づいて、光検出素子に対する入射光の相対的な変位を測定するものである。なお、この発明に係る光学式変位測定装置は、例えば微小ステージの変位を測定する場合に用いられる。また、この光学式変位測定装置の用途はこれに限定されず、他の用途に用いられてもよい。実施の形態1.図1は、この発明の実施の形態1に係る光学式変位測定装置の光検出素子である4分割フォトダイオード10の受光面を抜粋して示す構成図である。図1において、4分割フォトダイオード10には、発光ダイオードLEDおよびピンホールキャップ等により構成された光源図示せずから、スポット光入射光21が入射されている。また、4分割フォトダイオード10の受光面は、同一面積の4つのフォトダイオード素子11A~11Dにより構成されている。すなわち、4分割フォトダイオード10は、受光面が4つの領域に分割されている。また、4つのフォトダイオード11A~11Dの境界は、光に対して不感なギャップと呼ばれる領域で区切られている。ここで、フォトダイオード11A~11Dの各領域には、それぞれスポット光によって出力を生じない不感領域と、スポット光によって出力を生じる感光領域とが形成されている。以下、フォトダイオード11A~11Dの各領域に形成された不感領域をまとめて不感領域12と表し、フォトダイオード11A~11Dの各領域に形成された感光領域をまとめて感光領域13と表す。不感領域12は、フォトダイオード11A~11Dの中央部に、感光領域13に囲まれて形成されている。この不感領域12は、不感領域12が形成されていない通常の多分割フォトダイオードの表面に、遮光材料でマスクを作成することにより形成されてもよいし、遮光材料を塗布することにより形成されてもよい。また、あらかじめ不感領域12が形成されるように、フォトダイオードを製造してもよい。また、この光学式変位測定装置の回路構成は、図8に示したものとほぼ同等の構成である。しかしながら、2段目増幅部は、必要があれば、1段目増幅部で増幅されたフォトダイオード11Aからの出力信号とフォトダイオード11Cからの出力信号との差、および1段目増幅部で増幅されたフォトダイオード11Dからの出力信号とフォトダイオード11Bからの出力信号との差をとった後、それぞれの出力信号を増幅する。ここで、フォトダイオード11A~11Dの中央にスポット光が入射している状態、およびそのときの各素子からの出力信号を図2に示す。図9に示した、不感領域12が形成されていないものと比較すると、各素子からの出力から、フォトダイオード11A~11D中央部の不感領域12の面積に相当するバイアス出力の分だけ出力が減少していることが分かる。次に、フォトダイオード11A~11Dに入射するスポット光が中央から右方向に変位した状態、およびそのときの各素子からの出力信号を図3に示す。図10に示した、不感領域12が形成されていないものと比較すると、フォトダイオード11A~11D中央部の不感領域12の面積に相当するバイアス出力の分だけ出力は減少しているものの、スポット光の変位によって変化した各素子の面積は同じなので、出力の変化の大きさは同じであることが分かる。このことから、フォトダイオード11A~11Dに不感領域12を形成することにより、フォトダイオード11A~11Dからの出力全体に対するスポット光の変位に応じた変位出力の割合を増大させることができる。そのため、1段目増幅部においてフォトダイオード11A~11Dのそれぞれからの出力を増幅する際に、変位出力に対して十分に大きな増幅をかけることができる。また、上述した従来の光学式変位測定装置では、3段目増幅部54までアナログ信号のまま演算処理を行っていたが、この発明の実施の形態1に係る光学式変位測定装置では、1段目増幅部で変位出力を十分に増幅することができるので、1段目増幅部での増幅後、すぐにデジタル信号に変換して演算処理を行うことができる。そのため、装置構成を簡略化することができる。なお、不感領域12の大きさについては、スポット光が測定を想定している範囲内を変位した場合に、不感領域12が常にスポット光の領域内に含まれる大きさに設定されることが望ましい。すなわち、不感領域12は、スポット光の変位の前後において、スポット光が入射され続ける範囲内に形成されることが望ましい。これは、スポット光の変位によって、不感領域12がスポット光の領域外に出ることがあれば、不感領域12が形成されている場合とされていない場合とで、フォトダイオード11A~11Dからの出力の変化量が異なることになるからである。このような場合には、スポット光の位置変化と変位出力との相関関係が崩れることとなる。特に、スポット光の変位によって出力が増加するフォトダイオードについては、不感領域12が形成されていないものと出力の増加分が変わらないのに対して、スポット光の変位によって出力が減少するフォトダイオードについては、スポット光からはみ出した不感領域12は、出力が変化しない。そのため、出力の増加と減少とのバランスが狂い、スポット光の変位に対する出力変化の直線性が悪化する。したがって、不感領域12を、スポット光の変位の前後において、スポット光が入射され続ける範囲内に形成することにより、スポット光の変位に対する出力変化の直線性を確保することができる。ここで、スポット光が半径Rの円形で、スポット光の定格変位量が横方向および縦方向ともに±Δdである場合に、フォトダイオードからのバイアス出力を最も削減することができる不感領域12が形成された4分割フォトダイオード10の受光面を図4に示す。図4において、不感領域12は、スポット光がフォトダイオード11A~11Dの中央から定格変位量変位した場合であっても、スポット光の領域外に出ることがないという条件下で最大化されている。不感領域12の形状や大きさを、スポット光が定格変位量のぎりぎりまで変位した場合の形状や大きさに合わせて設計することにより、フォトダイオードからのバイアス出力を最も小さくすることができる。しかしながら、実際には、スポット光と4分割フォトダイオード10との初期位置が、不感領域12やフォトダイオード11A~11Dの中心位置と一致せず、ある程度のずれをもって設置されることが考えられる。このような場合に、不感領域12がスポット光の領域外に出ることを防止するためには、想定されうる初期位置のずれ分だけ、不感領域12を小さめに設定しておく必要がある。このことは、不感領域12の大きさを、スポット光の定格変位量から算出されるぎりぎりの大きさに設定していた場合に、スポット光と4分割フォトダイオード10との初期位置がずれたことにより、不感領域12が予想外にスポット光の領域外に出てしまい、スポット光の変位に対する出力変化の直線性が悪化することを防止するためである。以上のように、実施の形態1によれば、光検出素子の各領域には、それぞれ入射光によって出力を生じない不感領域と、入射光によって出力を生じる感光領域とが形成され、光検出素子全体について、各領域に形成された不感領域は、各領域に形成された感光領域に囲まれている。これにより、入射光の変位の前後において光検出素子の各領域に入射している光量に応じたバイアス出力の、光検出素子の各領域からの全出力に対する割合が低減され、入射光の変位に応じた光検出素子の各領域からの変位出力の割合が増大する。そのため、光検出素子の各領域からの出力を増幅する際に、変位出力を十分に増幅することができる。したがって、光源から放射された入射光の微小な変位を測定するにあたり、出力信号のS/Nを向上させるとともに、回路構成を小型化することができる光学式変位測定装置を得ることができる。実施の形態2.上記実施の形態1では、フォトダイオード11A~11Dの中央部に、スポット光によって出力を生じない不感領域12が形成されると説明した。この実施の形態2では、不感領域を単にマスクするだけでなく、この領域に入射したスポット光を光源方向に反射するように、不感領域にリフレクタ部14を設ける場合について説明する。図5は、この発明の実施の形態2に係る光学式変位測定装置の4分割フォトダイオード10の受光面を抜粋して示す構成図である。図5において、図1に示した不感領域12に対応する部分には、光を反射するリフレクタ部14が設けられている。リフレクタ部14を設けたことにより、光源から放射されたスポット光入射光22は、リフレクタ部14で反射して光源に戻され反射光23、光源で反射されることによって、再び4分割フォトダイオード10に入射される。スポット光の反射を繰り返すことにより、不感領域に入射されたスポット光を感光領域に導くことで、光源から放射されたスポット光を有効に利用し、光源の変位によってフォトダイオード11A~11Dからの出力が変化する領域における単位面積あたりの光量を増加させることができる。そのため、光源からのスポット光の光量が同一であっても、スポット光の変位に対する出力変化を増加させることができ、出力信号のS/Nを向上させることができる。なお、リフレクタ部14によってスポット光が乱反射し、反射したスポット光が光源にそのまま戻ることなく、周囲で再び反射して4分割フォトダイオード10に戻ってくる場合が考えられる。このような場合に、光源からのスポット光が、もともと入射しているフォトダイオード以外の領域のフォトダイオードに戻ってくると、スポット光の位置にかかわらず、迷光として一定の出力を生じさせることになる。そのため、スポット光の変位に対する出力の感度が低下する恐れがある。したがって、リフレクタ部14は、光を乱反射させず、光源方向に真っ直ぐに光を反射させることが望ましい。また、上記実施の形態1、2では、光検出素子として4分割フォトダイオード10を例に挙げて説明したが、これに限定されず、光検出素子は、受光面が2つの領域に分割された2分割フォトダイオードであっても、同様の効果を得ることができる。また、分割された複数の領域の各素子のある頂点が、全てある領域に集中しており、各素子に対して同時にスポット光を入射させることができるような多分割の光検出素子に対しても、同様の効果を得ることができる。さらに、上記実施の形態1、2では、光検出素子としてフォトダイオードを用いているが、これに限定されず、フォトダイオードと同様に、光の入射によって出力を得ることができる光検出素子であれば、同様の効果を得ることができる。