真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜するアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置において、内部を真空状態に減圧可能であって、天井壁に高周波電源に電気的に接続した複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配設され、上下方向へ移動可能な可動支持部材を備えたアンテナ支持機構と、前記可動支持部材に前記真空チャンバーの正面側から着脱可能にセットされ、少なくとも片側に鉛直状態の基板をセット可能な基板エリアが形成され、プラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給源と、を具備し、前記アレイアンテナユニットは、鉛直状態で同一平面上に前記幅方向に間隔を置いて配列され、上端部に対応関係にある前記天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極と、前記可動支持部材に着脱可能に支持され、前記幅方向へ延びてあって、開口部が前記幅方向に沿って形成され、前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容された梁部材と、前記梁部材に前記幅方向に沿って設けられ、前記梁部材に対する前記幅方向の変位が許容され、前記誘導結合型電極を前記梁部材の前記開口部を介して挿通した状態で支持する複数の支持孔が前記幅方向に沿って形成されたサポート部材とを備え、前記可動支持部材に前記アレイアンテナユニットをセットした状態で、前記可動支持部材を上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっていることを特徴とするアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記サポート部材は、前記幅方向に沿って分割されかつ前記梁部材に対する前記幅方向の変位が許容された複数の分割サポート部材からなることを特徴とする請求項1に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。各アンテナ側コネクタは、上端部側から、大形部と、前記大形部に連続しかつ横断面積が前記大形部よりも小さい小形部とを有してあって、前記アレイアンテナユニットは、前記梁部材に上下方向へ移動可能に設けられ、前記幅方向へ延びてあって、前記アンテナ側コネクタの前記大形部に嵌合可能な複数の嵌合孔が前記幅方向に沿って形成され、前記真空チャンバーの前記天井壁の一部に当接可能であって、付勢部材の付勢力によって上方向へ付勢され、複数の前記アンテナ側コネクタを整列する整列プレートと、を備え、前記整列プレートは、前記天井壁の一部に当接した状態で前記付勢部材の付勢力に抗しつつ前記梁部材に対して相対的に下方向へ移動すると、各嵌合孔が対応関係にある前記アンテナ側コネクタの前記大形部と嵌合した嵌合状態から、前記嵌合状態を解除した解除状態に切り替わるようになっていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記アンテナ支持機構は、前記真空チャンバーの前記天井壁の内壁に前記幅方向に離隔しかつ垂下して設けられた一対のガイド支柱、各カイド支柱に上下方向へ移動可能かつ着脱可能に設けられた前記可動支持部材、及び各ガイド支柱における前記可動支持部材の下側に着脱可能に螺合して設けられかつ手動操作によって前記可動支持部材を上下方向へ移動させる操作部材を備えていることを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記梁部材の両端部に対応関係にある前記ガイド支柱に上下方向へ移動可能に係合する切欠がそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項4に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記真空チャンバーの前記天井壁に複数のガイドブッシュが前記幅方向に間隔を置いて配設され、前記梁部材の上面に対応関係にある前記ガイドブッシュに係合する複数の位置決めピンが前記幅方向に間隔を置いて配設され、複数の前記位置決めピンのうちいずれかの前記位置決めピンは、係合状態にある前記ガイドブッシュに対して前記幅方向に移動不能であって、残りの前記位置決めピンは、係合状態にある前記ガイドブッシュに対する前記幅方向の変位が許容されるようになっていることを特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記真空チャンバーの内部に前記梁部材の上方向の移動を規制するストッパが設けられていることを特徴とする請求項1から請求項6のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。複数の前記天井側コネクタは、前記高周波電源の供給側に電気的に接続された複数の第1天井側コネクタと、前記高周波電源の接地側に電気的に接続された複数の第2天井側コネクタとからなり、前記第1天井側コネクタと前記第2天井側コネクタが前記幅方向に沿って交互に配設されてあって、各誘導結合型電極は、上端部に対応関係にある前記第1天井側コネクタに接続可能な第1アンテナ側コネクタが設けられた第1電極棒、前記第1電極棒に対して平行であってかつ上端部に対応関係にある前記第2天井側コネクタに接続可能な第2アンテナ側コネクタが設けられた第2電極棒、及び前記第1電極棒の下端部と前記第2電極棒の下端部の間に電気的に接続するように設けられた接続金具を備え、複数の前記支持孔は、複数の第1支持孔と複数の第2支持孔からなり、前記サポート部材に前記第1支持孔及び前記第2支持孔が前記幅方向に沿って交互に形成され、各第1支持孔は前記第1電極棒を挿通した状態で支持可能であって、各第2支持孔は前記第2電極棒を挿通した状態で支持可能であって、前記可動支持部材に前記アレイアンテナユニットをセットした状態で、前記可動支持部材を上方向へ移動させると、各第1アンテナ側コネクタが対応関係にある前記第1天井側コネクタに接続しかつ各第2アンテナ側コネクタが対応関係にある前記第2天井側コネクタに接続するようになっていることを特徴とする請求項1から請求項7のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。各第2電極棒がパイプ状を呈しており、各第2電極棒の内部が前記ガス供給源に接続されあって、外周面に材料ガスを噴出する複数の噴出孔が上下方向に沿って形成されてあって、各第2支持孔は、複数の前記噴出孔が前記基板エリア側に指向するように前記第2電極棒を回転位置決め可能になっていることを特徴とする請求項8に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。内部を真空状態に減圧可能であってかつ天井壁に高周波電源に電気的に接続した複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配設されかつ上下方向へ移動可能な可動支持部材を備えたアンテナ支持機構と、を具備してなるアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置に用いられ、前記可動支持部材に前記真空チャンバーの正面側から着脱可能にセットされかつプラズマを発生させるアレイアンテナユニットであって、鉛直状態で同一平面上にアレイ方向に間隔を置いて配列され、上端部に前記天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極と、前記アレイ方向へ延びてあって、開口部が前記アレイ方向に沿って形成された梁部材と、前記梁部材に前記アレイ方向に沿って設けられ、前記梁部材に対する前記アレイ方向の変位が許容され、前記誘導結合型電極を前記梁部材の前記開口部を介して挿通した状態で支持する複数の支持孔が前記幅方向に沿って形成されたサポート部材と、を備えたことを特徴とするアレイアンテナユニット。前記サポート部材は、前記アレイ方向に沿って分割されかつ前記梁部材に対する前記アレイ方向の変位が許容された複数の分割サポート部材からなることを特徴とする請求項10に記載のアレイアンテナユニット。各アンテナ側コネクタは、上端部側から、大形部と、前記大形部に連続しかつ横断面積が前記大形部よりも小さい小形部とを有してあって、前記梁部材に上下方向へ移動可能に設けられ、前記幅方向へ延びてあって、前記アンテナ側コネクタの前記大形部に嵌合可能な複数の嵌合孔が前記幅方向に沿って形成され、複数の前記アンテナ側コネクタを整列する整列プレートと、を具備し、前記整列プレートは、前記梁部材に対して相対的に下方向へ移動すると、各嵌合孔が対応関係にある前記アンテナ側コネクタの前記大形部と嵌合した嵌合状態から、前記嵌合状態を解除した解除状態に切り替わるようになっていることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載のアレイアンテナユニット。複数の前記天井側コネクタは、前記高周波電源の供給側に電気的に接続された複数の第1天井側コネクタと、前記高周波電源の接地側に電気的に接続された複数の第2天井側コネクタとからなり、複数の前記第1天井側コネクタと複数の前記第2天井側コネクタが前記幅方向に沿って交互に配設されてあって、各誘導結合型電極は、上端部に前記第1天井側コネクタに接続可能な第1アンテナ側コネクタが設けられた第1電極棒、前記第1電極棒に対して平行であってかつ上端部に前記第2天井側コネクタに接続可能な第2アンテナ側コネクタが設けられた第2電極棒、及び前記第1電極棒の下端部と前記第2電極棒の下端部の間に電気的に接続するように設けられた接続金具を備え、複数の前記支持孔は、複数の第1支持孔と複数の第2支持孔からなり、前記サポート部材に前記第1支持孔及び前記第2支持孔が前記アレイ方向に沿って交互に形成され、各第1支持孔は前記第1電極棒を挿通した状態で支持可能であって、各第2支持孔は前記第2電極棒を挿通した状態で支持可能であることを特徴とする請求項10から請求項12に記載のアレイアンテナユニット。各第2電極棒がパイプ状を呈しており、各第2電極棒の内部が材料ガスを供給するガス供給源に接続可能であって、外周面に材料ガスを噴出する噴出孔が形成されてあって、各第2支持孔は、前記噴出孔が指定の向きを指向するように前記第2電極棒を回転位置決め可能になっていることを特徴とする請求項13に記載のアレイアンテナユニット。ところで、誘導結合型電極の表面に皮膜等が付着し易く、通常、誘導結合型電極のメンテナンスが定期的に行われており、誘導結合型電極のメンテナンスの際には、真空チャンバー真空チャンバー側に対する誘導結合型電極の着脱取付と取外しが1本ずつ行われている。そのため、複数本の誘導結合型電極の着脱作業を含む一連の誘導結合型電極のメンテナンス作業が煩雑化して、誘導結合型電極のメンテナンス時間が長くなると共に、アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置の停止によるスループットの低下量が大きくなるという問題がある。そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置及びアレイアンテナユニットを提供することを目的とする。本発明の第1の特徴は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜形成するアレイアンテナ式誘導結合型のCVDプラズマ装置において、内部を真空状態に減圧可能であって、天井壁に高周波電源に電気的に接続した複数の天井壁側コネクタが幅方向真空チャンバーの幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配設され、上下方向へ移動可能な可動支持部材を備えたアンテナ支持機構アンテナセット機構と、前記可動支持部材に前記真空チャンバーの正面側から着脱可能にセット支持され、鉛直状態で同一平面上に前記幅方向に間隔を置いて配列配設されかつ上端部に対応関係にある前記天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極アンテナ素子を備え、少なくとも片側に鉛直状態の基板をセット可能な基板エリアが形成され、プラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給源と、を具備し、前記アレイアンテナユニットは、鉛直状態で同一平面上に前記幅方向に間隔を置いて配列配設され、上端部に対応関係にある前記天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極アンテナ素子と、前記可動支持部材に着脱可能に支持され、前記幅方向へ延びてあって、開口部が前記幅方向に沿って形成され、前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容された梁部材と、前記梁部材に前記幅方向に沿って設けられ、前記梁部材に対する前記幅方向の変位が許容され、前記誘導結合型電極を前記梁部材の前記開口部を介して挿通した状態で支持する複数の支持孔電極支持部が前記幅方向に沿って形成されたサポート部材とを備え、前記可動支持部材に前記アレイアンテナユニットをセットした状態支持させた状態で、前記可動支持部材を上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっていることを要旨とする。なお、特許請求の範囲及び明細書において、設けられとは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、配設されとは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に配設されたことを含む意であって、支持されとは、直接的に支持されたことの他に、別部材を介して間接的に支持されたことを含む意である。第1の特徴による前記誘導結合型電極の着脱取付と取外しに関する作用前記真空チャンバーの外側において、前記サポート部材の各支持孔に前記誘導結合型電極を挿通させた状態で支持させることにより、複数本の前記誘導結合型電極を一括してまとめる。次に、前記アレイアンテナユニットを前記真空チャンバーの正面側から前記真空チャンバーの内部に挿入して、前記梁部材を前記可動支持部材に支持させることにより、前記アレイアンテナユニットを前記可動支持部材にセットする。そして、前記可動支持部材を上方向へ移動させることにより、前記アレイアンテナユニットを上方向へ移動させて、各アンテナ側コネクタを対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続せる。これにより、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井壁側に一括して取付けることができる。また、前述の動作と反対の動作を行うことにより、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井側から一括して取外すことができる。要するに、前記可動支持部材に前記梁部材が前記真空チャンバーの正面側から着脱可能に支持され、前記梁部材に前記サポート部材が前記幅方向に沿って設けられ、前記サポート部材に前記誘導結合型電極を挿通した状態で支持する複数の前記支持孔が前記幅方向に沿って形成され、前記可動支持部材に前記アレイアンテナユニットをセットした状態で、前記可動支持部材を上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっているため、前述のように、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井壁側に対して一括して着脱取付と取外しすることができる。第1の特徴による成膜処理に関する作用前記真空チャンバーの内部を真空状態に減圧して、前記基板エリアに基板をセットする。また、前記ガス供給源によって前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給する。そして、前記高周波電源によって複数本の前記誘導結合型電極に高周波波電力を供給することにより、前記アレイアンテナユニットの周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させる。これにより、基板の表面に薄膜を成膜形成することができる。なお、前記基板エリアに基板をセットした状態で、前記真空チャンバーの内部を真空状態に減圧しても構わない。ここで、前記梁部材は前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容され、前記サポート部材は前記梁部材に対する前記幅方向の変位が許容されているため、成膜処理中に、前記梁部材及び前記サポート部材の前記幅方向の膨張を構造的に逃がすことができる。本発明の第2の特徴は、内部を真空状態に減圧可能であってかつ天井壁に高周波電源に電気的に接続した複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配設されかつ上下方向へ移動可能な可動支持部材を備えたアンテナ支持機構アンテナセット機構と、を具備してなるアレイアンテナ式誘導結合型のCVDプラズマ装置に用いられ、前記可動支持部材に前記真空チャンバーの正面側から着脱可能にセット支持されかつプラズマを発生させるアレイアンテナユニットであって、鉛直状態で同一平面上にアレイ方向配列方向に間隔を置いて配列配設され、上端部に前記天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極アンテナ素子と、前記アレイ方向へ延びてあって、開口部が前記アレイ方向に沿って形成された梁部材と、前記梁部材に前記アレイ方向に沿って設けられ、前記梁部材に対する前記アレイ方向の変位が許容され、前記誘導結合型電極を前記梁部材の前記開口部を介して挿通した状態で支持可能な複数の支持孔電極支持部が前記幅方向に沿って形成されたサポート部材と、を備えたことを要旨とする。第2の特徴からなる前記アレイアンテナユニットを前記アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置に用いた場合に、第1の特徴からなる作用と同様の作用を奏する。本発明によれば、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井壁側に対して一括して着脱できるため、複数本の前記誘導結合型電極の着脱作業を含む一連の前記誘導結合型電極のメンテナンス作業を簡略化して、前記誘導結合型電極のメンテナンス時間を大幅に短縮すると共に、前記アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置の停止によるスループットの低下量を極力小さくすることができる。また、成膜処理中に、前記梁部材及び前記サポート部材の前記幅方向の熱膨張を構造的に逃がすことができるため、前記梁部材及び前記サポート部材に過度の応力が働くことを抑えて、前記アレイアンテナユニットの耐久性を十分に確保することができる。本発明の実施形態について図1から図10abを参照して説明する。なお、図面中、FFは前方向、FRは後方向、Lは左方向、Rは右方向、Uは上方向、Dは下方向をそれぞれ指してある。図1から図3に示すように、本発明の実施形態に係るアレイアンテナ方式誘導結合型のCVDプラズマ装置1は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板Wの表面に付着させることにより、基板Wの表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜図示省略を成膜形成する装置である。アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置1は、箱型の真空チャンバー3を具備しており、この真空チャンバー3は、真空圧を発生させる真空ポンプ等の真空圧発生源5に接続されてあって、内部を真空状態に減圧可能である。また、真空チャンバー3は、チャンバー本体7を備えており、このチャンバー本体7は、正面側前側にフロント開口部7a、背面側後側にリア開口部7b、両側面側左側面側及び右側面側にサイド開口部7cをそれぞれ有している。更に、チャンバー本体7の正面部前部には、フロント開口部7aを開閉可能なフロント壁9が設けられており、チャンバー本体7の背面部後部には、リア開口部7bを開閉可能なリア壁11が設けられている。そして、チャンバー本体7の両側部左側部及び右側部には、サイド開口部7cを開閉可能なサイド壁ゲートバルブを含む13がそれぞれ設けられており、チャンバー本体7の上部には、天井壁15が設けられている。真空チャンバー3の天井壁15には、第1天井側コネクタ17と第2天井側コネクタ19が真空チャンバー3の幅方向左右方向に交互に配設されており、換言すれば、真空チャンバー3の天井壁15には、複数の天井側コネクタ複数の第1天井側コネクタ17と複数の第2天井側コネクタ19が左右方向に間隔を置いて配設されている。ここで、各第1天井側コネクタ17は、高周波電力を供給する高周波電源21の供給側非接地側に電気的に接続されており、各第2天井側コネクタ19は、高周波電源21の接地側に電気的に接続されている。真空チャンバー3の天井壁15の内壁面における左右方向の中央部には、センターガイドブッシュ23が設けられており、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面における左部及び右部には、サイドガイドブッシュ25がそれぞれ設けられている。換言すれば、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面には、複数のガイドブッシュセンターガイドブッシュ23と一対のサイドガイドブッシュ25が左右方向に間隔を置いて配設されている。真空チャンバー3の内部には、アンテナ支持機構アンテナセット機構27が配設されている。具体的には、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面には、一対のガイド支柱29が左右方向に離隔しかつ垂下して設けられており、各ガイド支柱29の上部には、段差部29aが形成されている。また、各ガイド支柱29には、可動支持部材31が嵌挿して設けられており、各可動支持部材は、ガイド支柱29に対して上下方向へ移動可能かつ着脱可能である。更に、各ガイド支柱29における可動支持部材31の下側には、手動操作回転操作によって可動支持部材31を上下方向へ移動させる操作ナット操作部材の一例33が螺合して設けられており、各操作ナット33は、ガイド支柱29に対して着脱可能である。アンテナ支持機構27における一対の可動支持部材31には、プラズマを発生させるアレイアンテナユニット35が架け渡すようにセット支持されており、このアレイアンテナユニット35は、一対の可動支持部材31に対して真空チャンバー3の正面側からチャンバー本体7のフロント開口部7aを介して着脱可能である。また、アレイアンテナユニット35の前後両側前側及び後側には、鉛直状態の基板Wをセット可能な基板エリアAがそれぞれ形成されている。真空チャンバー3の内部の床面には、左右方向へ延びた一対のガイドレール37が設けられており、一対のガイドレール37には、台車39が左右方向へ移動可能に設けられている。換言すれば、真空チャンバー3の内部の床面には、台車39が一対のガイドレール37を介して左右方向へ移動可能に設けられている。また、台車39は、チャンバー本体7のサイド開口部7cを介して真空チャンバー3の内部に送り出し及び引き出し可能である。そして、台車39には、鉛直状態の基板Wを保持する枠状の一対の基板ホルダ41が前後に離隔して立設されてある。なお、台車39を真空チャンバー3の内部における基準の台車送り出し位置図1に実線で示す台車39の位置に送り出すことによって各基板エリアAに基板Wがセットされるようになっている。なお、本発明の実施形態にあっては、基板エリアAに基板Wをセットするために台車39等を用いているが、別のセット手段を用いて基板エリアAに基板Wをセットするようにしても構わない。真空チャンバー3の外側の適宜位置には、真空チャンバー3の内部具体的には基板エリアAへ材料ガスを供給するガス供給ボンベ等のガス供給源43が配設されている。続いて、本発明の実施形態の要部であるアレイアンテナユニット35の構成の詳細について説明する。図3、図4、及び図6に示すように、アレイアンテナユニット35は、鉛直状態で同一平面上に左右方向真空チャンバー3の幅方向又はアレイアンテナユニット35のアレイ方向に間隔を置いて配列配設された複数本の誘導結合型電極45を備えており、各誘導結合型電極45は、U字形状を呈したアンテナ素子である。また、各誘導結合型電極45は、上端部基端部に対応関係にある第1天井側コネクタ17に接続可能な第1アンテナ側コネクタ47が設けられた第1電極棒49、第1電極棒49に対して平行であってかつ上端部基端部に対応関係にある第2天井側コネクタ19に接続可能な第2アンテナ側コネクタ51が設けられたパイプ状の第2電極棒53、及び第1電極棒49の下端部先端部と第2電極棒53の下端部先端部の間に電気的に接続するように設けられた接続金具55を備えている。更に、各第2電極棒53の外周面には、材料ガスを噴出する噴出孔59が形成されている。なお、複数本の第1電極棒49の下端部及び複数本の第2電極棒53の下端部には、左右方向へ延びた連結棒61が連結されている。ここで、各第1アンテナ側コネクタ47は、上端部側から、大径部大形部の一例47aと、この大径部47aに連続しかつ横断面積が大径部47aよりも小さい小径部小形部の一例47bとを有してあって、同様に、各第2アンテナ側コネクタ51は、上端部側から、大径部51aと、この大径部51aに連続しかつ横断面積が大径部51aよりも小さい小径部51bとを有している。図1、図4から図8に示すように、アンテナ支持機構27における一対の可動支持部材31には、断面コ字形状の梁部材63が着脱可能に支持セットされており、梁部材63は、左右方向へ延びてあって、梁部材63には、スリット開口部63aが左右方向に沿って形成されている。また、梁部材63の両端部左端部及び右端部には、対応関係にあるガイド支柱29に上下方向へ移動可能に係合する切欠凹部63bがそれぞれ形成されており、梁部材63の両端部は、対応関係にあるガイド支柱29の段差部29aに下方向から当接可能であって、換言すれば、一対のガイド支柱29の段差部29aが梁部材63の上方向の移動を規制するストッパとしての機能を有している。梁部材63の上面における左右方向の中央部には、センターガイドブッシュ23に下方向から係合するセンター位置決めピン65が設けられており、梁部材63の上面における左部及び右部には、対応関係にあるサイドガイドブッシュ25に下方向から係合するサイド位置決めピン67がそれぞれ設けられている。換言すれば、梁部材63の上面には、複数の位置決めピンセンター位置決めピン65と一対のサイド位置決めピン67が左右方向に間隔を置いて配設されている。ここで、センター位置決めピン65は、係合状態にあるセンターガイドブッシュ23に対して左右方向に移動不能であって、センターガイドブッシュ23に対する前後方向の変位が許容されている。また、サイド位置決めピン67は、係合状態にあるサイドガイドブッシュ25に対して前後方向に移動不能であって、係合状態にあるサイドガイドブッシュ25に対する左右方向の変位が許容されるようになっている。換言すれば、梁部材63は、真空チャンバー3の天井壁15に対して左右方向の変位が許容されるようになっている。梁部材63の下面には、断面コ字形状のサポート部材69が取付ボルト71を介して左右方向に沿って設けられており、このサポート部材69は、左右方向に沿って分割された複数の分割サポート部材69Sからなり、各分割サポート部材69Sは、長穴73を介して梁部材63に対する左右方向の変位が許容されるようになっている。また、各分割サポート部材69Sには、第1電極棒49第1アンテナ側コネクタ47を梁部材63のスリット開口部63aを介して挿通した状態で支持する第1支持孔第1電極支持部75、及び第2電極棒53第2アンテナ側コネクタ51を梁部材63のスリット開口部63aを介して挿通した状態で支持する第2支持孔第2電極支持部77が交互に形成されている。換言すれば、サポート部材69には、複数の支持孔複数の第1支持孔75及び複数の第2支持孔77が左右方向に沿って形成されている。更に、各第2支持孔77は、第2電極棒53の複数の噴出孔59が基板エリアA側を指向するように位置決めピン等によって第2電極棒53第2アンテナ側コネクタ51を軸心周りに位置決め可能になっている。そして、アンテナ支持機構27における一対の可動支持部材31にアレイアンテナユニット35をセットした状態支持させた状態で、一対の可動支持部材31を上方向へ移動させると、各第1アンテナ側コネクタ47が対応関係にある第1天井側コネクタ17に接続しかつ各第2アンテナ側コネクタ51が対応関係にある第2天井側コネクタ19に接続するようになっている。梁部材63の上面には、複数の第1アンテナ側コネクタ47及び複数の第2アンテナ側コネクタ51を整列する整列プレート79が一対のガイド部材ガイドボルト81を介して上下方向へ移動可能に設けられており、この整列プレート79は、左右方向へ延びてある。また、整列プレート79には、第1アンテナ側コネクタ47の大径部47aに嵌合可能な第1嵌合孔83及び第2アンテナ側コネクタ51の大径部51aに嵌合可能な第2嵌合孔85が交互に形成されており、換言すれば、整列プレート79には、複数の嵌合孔複数の第1嵌合孔83及び複数の第2嵌合孔85が左右方向に沿って形成されている。更に、整列プレート79は、センターガイドブッシュ23の端面及びサイドガイドブッシュ25の端面真空チャンバー3の天井壁15の一部に当接可能であって、各ガイド部材81の外周側に弾装されたスプリング87によって上方向へ付勢されている。そして、整列プレート79は、センターガイドブッシュ23の端面及びサイドガイドブッシュ25の端面に当接した状態でスプリング87の付勢力に抗しつつ梁部材63に対して相対的に下方向へ移動すると、嵌合状態から解除状態に切り替わるようになっている。ここで、嵌合状態とは、図6及び図8に実線で示されるように、各第1嵌合孔83が対応関係にある第1アンテナ側コネクタ47の大径部47aに嵌合しかつ各第2嵌合孔85が対応関係にある第2アンテナ側コネクタ51の大径部51aに嵌合した状態のことをいい、解除状態とは、図8に仮想線で示されるように、嵌合状態を解除した状態であって、各第1嵌合孔83が対応関係にある第1アンテナ側コネクタ47の小径部47bに遊嵌しかつ各第2嵌合孔85が対応関係にある第2アンテナ側コネクタ51の小径部51bに遊嵌した状態のことをいう。なお、整列プレート79に対する各位置決めピン6567の相対位置を決定するため、整列プレート79には、各位置決めピン6567を挿通可能な長穴79h図5及び図6に1つのみ図示がそれぞれ形成されている。続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。作業者による誘導結合型電極45の着脱取付と取外しに関する作用真空チャンバー3の外側において、整列プレート79の第1嵌合孔83を第1アンテナ側コネクタ47の大径部47aを嵌合させつつ、各分割サポート部材69Sの各第1支持孔75に第1電極棒49第1アンテナ側コネクタ47を挿通した状態で支持させる。同様に、整列プレート79の第2嵌合孔85を第2アンテナ側コネクタ51の大径部51aを嵌合させつつ、各分割サポート部材69Sの各第2支持孔77に第2電極棒53第2アンテナ側コネクタ51を挿通した状態で支持させる。これにより、図3に示すように、複数本の誘導結合型電極45を一括してまとめて、アレイアンテナユニット35を形成することできる。複数本の誘導結合型電極45を一括してまとめた後に、図9aに示すように、真空チャンバー3の正面側からアレイアンテナユニット35を真空チャンバー3の内部に挿入して、ガイド支柱29の下側に位置させる。次に、図9bに示すように、アレイアンテナユニット35を上方向へ移動させることにより、梁部材63の各切欠63bを対応関係にあるガイド支柱29に下方向から係合させると共に、各位置決めピン6567を対応関係にあるガイドブッシュ2325に下方向から係合させる。そして、各ガイド支柱29に可動支持部材31を下方向から嵌挿させて、各ガイド支柱29における可動支持部材31の下側に操作ナット33を螺合させる締め付けることにより、一対の可動支持部材31に梁部材63の両端部を支持させる。これにより、アレイアンテナユニット35を真空チャンバー3の正面側から一対の可動支持部材31にセットすることができる。なお、一対の可動支持部材31に梁部材63の両端部を支持させた後に、各位置決めピン6567を対応関係にあるガイドブッシュ2325に下方向から係合させても構わない。アレイアンテナユニット35を一対の可動支持部材31にセットした後に、図10aに示すように、操作ナット33の回転操作によって一対の可動支持部材31を上方向へ移動させることにより、アレイアンテナユニット35を上方向へ移動させて、整列プレート79をセンターガイドブッシュ23の端面及び一対のサイドガイドブッシュ25の端面に当接させる。更に、操作ナット33の回転操作によって一対の可動支持部材31を上方向へ移動させることにより、梁部材63を上方向へ移動させて、梁部材63の両端部を対応関係にあるガイド支柱29の段差部29aに下方向から当接させる。これにより、複数の第1アンテナ側コネクタ47及び複数の第2アンテナ側コネクタ51の整列状態を保ちつつ、各第1アンテナ側コネクタ47を対応関係にある第1天井側コネクタ17に接続させかつ各第2アンテナ側コネクタ51を対応関係にある第2天井側コネクタ19に接続させることができる。併せて、整列プレート79をスプリング87の付勢力に抗しつつ梁部材63に対して相対的に下方向へ移動させて、各第1アンテナ側コネクタ47及び各第2アンテナ側コネクタ51の接続完了と略同時に、嵌合状態から解除状態に切り替えることができる。以上により、複数本の誘導結合型電極45を真空チャンバー3の天井壁15側に一括して取付けることができる。また、前述の動作と反対の動作を行うことにより、複数本の誘導結合型電極45を真空チャンバー3の天井壁15側から一括して取外して、真空チャンバー3から取り出すことができる。要するに、一対の可動支持部材31に梁部材63の両端部が着脱可能に支持され、梁部材63にサポート部材69複数の分割サポート部材69Sが左右方向に沿って設けられ、分割サポート部材69Sに第1電極棒49を挿通した状態で支持する複数の第1支持孔75及び第2電極棒53を挿通した状態で支持する複数の第2支持孔77が左右方向に沿って形成され、一対の可動支持部材31にアレイアンテナユニット35をセットした状態で、一対の可動支持部材31を上方向へ移動させると、各第1アンテナ側コネクタ47が対応関係にある第1天井側コネクタ17に接続しかつ各第2アンテナ側コネクタ51が対応関係にある第2天井側コネクタ19に接続するようになっているため、前述のように、複数本の誘導結合型電極45を真空チャンバー3の天井壁15側に対して一括して着脱取付と取外しすることができる。また、梁部材63の上面に整列プレート79が上下方向へ移動可能に設けられ、整列プレート79に第1アンテナ側コネクタ47の大径部47aに嵌合可能な第1嵌合孔83及び第2アンテナ側コネクタ51の大径部51aに嵌合可能な第2嵌合孔85が左右方向に沿って形成されているため、前述のように、複数の第1アンテナ側コネクタ47及び複数の第2アンテナ側コネクタ51の整列状態を保ちつつ、第1アンテナ側コネクタ47と第1天井側コネクタ17との接続及び第2アンテナ側コネクタ51と第2天井側コネクタ19との接続を確実に行うことができる。成膜処理に関する作用まず、真空圧発生源5によって真空チャンバー3の内部を真空状態に減圧する。次に、台車39を真空チャンバー3の内部における基準の台車送り出し位置に送り出すことにより、各基板エリアAに基板Wをセットする。また、ガス供給源43によって真空チャンバー3の内部側へ材料ガスを供給することにより、各第2電極棒53の噴出孔59から材料ガスを噴射する。そして、高周波電源21によって複数本の誘導結合型電極45に高周波波電力を供給することにより、アレイアンテナユニット35の周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を2枚の基板Wの表面に付着させる。これにより、2枚の基板Wの表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜を成膜形成することができる。ここで、梁部材63は真空チャンバー3に対する左右方向の変位が許容され、各分割サポート部材69Sサポート部材69は梁部材63に対する左右方向の変位が許容され、整列プレート79が嵌合状態から解除状態に切り替わっているため、成膜処理中に、梁部材63、各分割サポート部材69S、及び整列プレート79の左右方向の熱膨張を構造的に逃がすことができる。本発明の実施形態の効果複数本の誘導結合型電極45を真空チャンバー3の天井壁15側に対して一括して着脱できるため、複数本の誘導結合型電極45の着脱作業を含む一連の誘導結合型電極45のメンテナンス作業を簡略化して、誘導結合型電極45のメンテナンス時間を大幅に短縮すると共に、アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置1の停止によるスループットの低下量を極力小さくすることができる。特に、複数の第1アンテナ側コネクタ47及び複数の第2アンテナ側コネクタ51の整列状態を保ちつつ、第1アンテナ側コネクタ47と第1天井側コネクタ17との接続及び第2アンテナ側コネクタ51と第2天井側コネクタ19との接続を確実に行うことができるため、複数本の誘導結合型電極45の取付作業の繁雑化を抑えて、前述の効果をより高めることができる。また、成膜処理中に、梁部材63、各分割サポート部材69S、及び整列プレート79の左右方向の熱膨張を構造的に逃がすことができるため、梁部材63、分割サポート部材69S、及び整列プレート79に過度の応力が働くことを抑えて、アレイアンテナユニット35の耐久性を十分に確保することができる。なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、例えば、アレイアンテナユニット37にU字形状の複数本の誘導結合型電極47を用いる代わりに、I字形状の複数本の誘導結合型電極を用いる等、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。