金属基板上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンを形成するステップと、前記反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、電気鋳造により前記金属基板の前記反転レジストパターンを除く場所に金属を電着し、レジスト補強部を形成するステップと、を含むことを特徴とする転写金型の製造方法。金属基板の上部表面に粗面層を形成するステップと、前記金属基板上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンをパターン形成するステップと、前記反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、電気鋳造により前記金属基板の前記反転レジストパターンを除く場所に金属を電着し、レジスト補強部を形成するステップと、を含むことを特徴とする転写金型の製造方法。金属基板に、レジスト補強溝を形成するステップと、前記レジスト補強溝上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンを形成するステップと、前記反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、を含むことを特徴とする転写金型の製造方法。請求項1又は2に記載の転写金型の製造方法において、部品が形成される場所を除く前記レジスト補強部上に絶縁層を形成するステップをさらに含むことを特徴とする転写金型の製造方法。請求項3に記載の転写金型の製造方法において、部品が形成される場所と前記反転レジストパターン上を除く前記金属基板上に絶縁層を形成するステップをさらに含むことを特徴とする転写金型の製造方法。請求項1乃至5のいずれかに記載の転写金型の製造方法により作製されたことを特徴とする転写金型。請求項6に記載の転写金型を用いて電気鋳造により転写製造された部品。本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、電鋳により部品を形成するための、作業性が良く、耐久性に富んだ転写金型の製造方法及びその転写金型を提供することにある。本発明の転写金型の第1実施例の製造方法は、金属基板上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンを形成するステップと、反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、電気鋳造により金属基板の反転レジストパターンを除く場所に金属を電着し、レジスト補強部を形成するステップと、を含むことを特徴とする。本願発明の転写金型の第2実施例の製造方法は、金属基板の上部表面に粗面層を形成するステップと、金属基板上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンをパターン形成するステップと、反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、電気鋳造により金属基板の反転レジストパターンを除く場所に金属を電着し、レジスト補強部を形成するステップと、を含むことを特徴とする。本願発明の転写金型の第3実施例の製造方法は、金属基板に、レジスト補強溝を形成するステップと、レジスト補強溝上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンを形成するステップと、反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、を含むことを特徴とする。本願発明の転写金型の第1又は第2実施例の製造方法において、部品が形成される場所を除くレジスト補強部上に絶縁層を形成するステップをさらに含むことを特徴とする。本願発明の転写金型の第3実施例の製造方法において、部品が形成される場所と反転レジストパターン上を除く金属基板上に絶縁層を形成するステップをさらに含むことを特徴とする。本発明の転写金型は、上記記載の転写金型の製造方法により作製されたことを特徴とする。本発明の部品は、上記記載の転写金型を用いて電気鋳造により転写製造されたことを特徴とする。本発明によれば、電気鋳造により部品を形成するための、作業性が良く、耐久性に富んだ転写金型を提供することができる。本発明による転写金型の製造工程について、図を用いて説明する。図1は、第1の実施例による転写金型の構造図である。図1において、部品50を形成するため、金属基板10上に、フォトワークによりフォトレジスト20に部品形状の反転パターンがその側壁に所望の傾斜角度αを有してパターン形成される。次に、フォトレジスト20を熱硬化し、固体化した絶縁層とするための熱処理が行われる。この両側壁の傾斜角度αは、塗布されたフォトレジスト20の材料や、膜厚、フォトマスク図示せずを介して照射される露光条件により、任意に決定することが可能である。続いて、レジスト補強部30を形成するため、電鋳により金属が金属基板10に電着される。次に、部品が形成される場所を除いたレジスト補強部30上にSiO2等の絶縁層35を形成する絶縁層処理が行なわれ部品パターン以外の部分が電気的に絶縁されて、転写金型が完成する。この転写金型は、部品形状を構成するフォトレジスト20の剥離を防止するためのレジスト補強部30が形成されることにより、フォトレジスト20のエッジの剥がれが防止され、作業性が良く、耐久性に富んだ転写金型を提供することができる。図2は、本発明の第2の実施例による転写金型の構造図である。図2において、フォトレジスト20による部品形状の反転パターンの形成前に金属基板10の上部表面に粗面層40を形成するための粗面化処理が行なわれる。この粗面層40は、金属基板10の表面を直接塩酸処理等により、導電性を有する程度に粗面化して形成しても良いし、また、フォトワークにより、金属基板10の表面が導電性を維持できる程度のストライプ状、格子状等の粗面化に適したフォトパターン層として形成しても良い。次に、部品50を形成するため、図1と同様に金属基板10上に、フォトワークによりフォトレジスト20に部品形状の反転パターンがパターン形成される。次いで、フォトレジスト20を熱硬化し、固体化した絶縁層とするための熱処理が行われる。続いて、レジスト補強部30を形成するため、電鋳により金属が金属基板10に電着される。次に、部品が形成される場所を除いたレジスト補強部30上にSiO2等の絶縁層35を形成する絶縁層処理が行なわれ部品パターン以外の部分が電気的に絶縁されて、転写金型が完成する。この転写金型は、部品形状を構成するフォトレジスト20及びレジスト補強部30との密着性を強化する粗面層40を有し、且つ、フォトレジスト20の剥離を防止するためのレジスト補強部30が形成されているため、作業性が良く、耐久性に富んだ転写金型を提供することができる。図3は、本発明の第3の実施例による転写金型の製造工程図である。図3において、金属基板10に、レジスト補強溝15を形成するための補強溝形成処理が行われる。この補強溝形成処理は、フォトワークによりレジスト補強溝15の反転パターンをフォトレジストで形成し、この反転パターンをマスクとして、ケミカルエッチング等により化学的に、又は、ビームエッチング等により物理的に加工条件を制御して、レジスト補強溝15を形成しても良いし、電気的なビーム又は機械的な切削工具による切削手段の操作により、直接形成しても良い。次に、図1と同様に、レジスト補強溝15上に、フォトワークにより、側壁が所望の傾斜角度αを有した部品50形状の反転パターンを形成し、このパターン化されたフォトレジスト20を熱硬化し、転写金型が完成する。この転写金型は、フォトレジスト20の剥離を防止するためのレジスト補強溝15が形成されているため、フォトレジスト20のエッジの剥がれが防止され、作業性が良く、耐久性に富んだ転写金型を提供することができる。なお、第1、第2の実施例と同様に、部品が形成される場所とフォトレジスト20上を除く金属基板10の表面に絶縁層を形成しても良い。このように上記いずれの転写金型においても、作業性が良く、耐久性に富んだ転写金型を提供することができる。また剥離に対して強くなることから、側壁の傾斜角度αを、従来の45°より急峻にすることが可能となり、より高密度のパターン形成が可能となる。金属基板10は、SUS、Ni、Cuなどの金属板であっても良い。絶縁層35は、SiO2等の無機質酸化膜の他に、有機系又は無機系のレジストであっても良い。部品50の電鋳材料は、Ag、Cu、Ni、Au、Sn、Pb、Fe、Cr、Pt、Pdおよびこれらの合金であっても良い。また、図1~3において、電鋳により作製される部品50は、図4bと同様に接着剤60を介して部品基板70に移植されても良いし、グリーンシート図示せずにより移植されても良い。この場合、グリーンシートは移植後、熱処理されて硬化されるが、硬化前は部品50が埋め込まれる程度に柔らかいため、接着剤60を必要としない。