一列に並べられた複数の装置構成部材の装置設置側に配置され、隣り合う装置構成部材の一方の装置構成部材の流体通路出口と他方の装置構成部材の流体通路入口とを連通させるか、他機器の流体通路出口若しくは流体源から配管された外部導入管と流体制御装置の一端の装置構成部材の流体通路入口とを連通させるか、または制御流体必要機器へ配管された外部排出管と流体制御装置の他端の装置構成部材の流体通路出口とを連通させる流体制御装置用継手において、中央に凹溝が設けられかつ装置構成部材取付け用おねじ部材によって装置構成部材が固定される接続部材と、凹溝内に存在しかつ連通路が形成された連通部材より構成され、連通部材が耐食性のある素材よりなり、接続部材が連通部材より比重が軽い素材よりなる流体制御装置用継手。接続部材には、装置構成部材取付け用おねじ部材がねじ込まれるめねじ部品が埋入せられており、めねじ部品の素材および連通部材の素材が、ステンレス鋼またはステンレス合金であり、接続部材の素材が、アルミニウムであって、全体が溶湯鍛造法により鋳造せられている請求項1記載の流体制御装置用継手。さらに、接続部材の両側に、接続部材と連通部材に跨って段部付きボルト挿通孔があけられている請求項2記載の流体制御装置用継手。流体制御装置は、従来床の水平面に配置せられていたが、近時床面の有効利用のため、部屋の垂直壁面に配置せられるようになってきた。ところで、継手の連通路を流れる流体は一般に腐食性の強いものであるため、直方体状継手には耐食性のあるステンレス鋼が主として用いられている。ところが、ステンレス鋼は重量が大であるため、持ち運びに不便であるばかりか、人間が1人か2人で行う流体制御装置の垂直壁面への配置の作業性が悪かった。本発明の目的は、持ち運びが便利であり、しかも流体制御装置を垂直壁面へ配置する場合もその作業性が大幅に向上する軽量な流体制御装置用継手を提供することにある。請求項1の発明による流体制御装置用継手は、一列に並べられた複数の装置構成部材の装置設置側に配置され、隣り合う装置構成部材の一方の装置構成部材の流体通路出口と他方の装置構成部材の流体通路入口とを連通させるか、他機器の流体通路出口若しくは流体源から配管された外部導入管と流体制御装置の一端の装置構成部材の流体通路入口とを連通させるか、または制御流体必要機器へ配管された外部排出管と流体制御装置の他端の装置構成部材の流体通路出口とを連通させる流体制御装置用継手において、中央に凹溝が設けられかつ装置構成部材取付け用おねじ部材によって装置構成部材が固定される接続部材と、凹溝内に存在しかつ連通路が形成された連通部材より構成され、連通部材が耐食性のある素材よりなり、接続部材が連通部材より比重が軽い素材よりなるものである。請求項2の発明は、請求項1記載の流体制御装置用継手において、接続部材には、装置構成部材取付け用おねじ部材がねじ込まれるめねじ部品が埋入せられており、めねじ部品の素材および連通部材の素材が、ステンレス鋼またはステンレス合金であり、接続部材の素材が、アルミニウムであって、全体が溶湯鍛造法により鋳造せられているものである。請求項3の発明は、請求項2記載の流体制御装置用継手において、さらに、接続部材の両側に、接続部材と連通部材に跨って段部付きボルト挿通孔があけられているものである。本発明よる流体通路連通用継手は、中央に凹溝が設けられかつ装置構成部材取付け用おねじ部材によって装置構成部材が固定される接続部材と、凹溝内に存在しかつ連通路が形成された連通部材より構成され、連通部材が耐食性のある素材よりなり、接続部材が連通部材より比重が軽い素材よりなるものであるから、継手の大部分が従来の継手に使用されていたステンレス鋼より軽い素材で占められることになり、結果的にこの継手は全体がステンレス鋼よりなるものに較べて大幅に軽量化される。したがって、流体制御装置を床の水平面に配置しようと垂直壁面へ配置しようと、これの組み立てのための継手の持ち運びが楽であるばかりか、この継手が用いられた流体制御装置を垂直壁面へ配置する場合はその作業性が大幅に向上する。しかも、腐食性の強い流体が通過する連通路を備えた連通部材は、耐食性を有するから、耐食性に関しては、全体がステンレス鋼よりなる従来の継手と異ならない。本発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図1の左を前、同図の右を後、同図の上を上、同図の下を下という。図1は、本発明の継手が用いられている半導体製造装置用流体制御装置Eが、ボックスBに収められて垂直壁面Wにその長さ方向を垂直にして配置せられた状態を示す。図示は略したが、同じ流体制御装置Eが複数その長さ方向を垂直にしかつ並列状に配置せられている。この流体制御装置Eは、マスフローコントローラの下の流体通路入口側に上から順に2ポート開閉弁、3ポート開閉弁、圧力計、圧力調整器、フィルターおよび手動弁を一列に備えており、同上の流体通路出口側に2ポート開閉弁を備えている以下これらを単に装置構成部材~という。装置構成部材の流体通路入口側と流体通路出口側には、直方体状張出部が、他の装置構成部材~の各下端には、方形のフランジ部がそれぞれ設けられており、これらの後面はすべて面一とされている。装置構成部材~それぞれは、入口および出口が流体制御装置Eの長さ方向すなわちガス状流体の流れ方向である下から上の方向に並んでいる流体通路を有している。垂直壁面Wに取り付けられたボックスBの底壁に固定せられた基板と、間隔をおいて一列に並べられた8つの装置構成部材~との間に、内部に形成せられたU字状連通路により各隣り合う2つの装置構成部材、、、、およびの一方の装置構成部材の流体通路出口と他方の装置構成部材の流体通路入口とをそれぞれステンレス鋼製シール材を介して接続する第1直方体状継手ならびに内部に形成せられたL字状連通路により外部導入管と流体制御装置Eの下端の装置構成部材の流体通路入口とを、また流体制御装置Eの上端の装置構成部材の流体通路出口と外部排出管とをそれぞれステンレス鋼製シール材を介して接続する第2直方体状継手が、第1直方体状継手とともに、前面がすべて面一となされて介在せられている。上記流体制御装置に使用した本発明による3種類の第1直方体状継手のうちの1つの第1直方体状継手部材の詳細を図2ないし図6に示す。第1直方体状継手は、流体の流れ方向すなわち垂直方向にのびた凹溝が長さの中央に横断状に設けられ、かつ凹溝の両側に継手を基板に取付ける継手取付け用ボルトの六角孔付き頭を継手から突出しないように受ける段部付きボルト挿通孔および装置構成部材取付け用おねじ部材がねじ込まれるめねじ部がそれぞれ設けられた凹字状接続部材と、接続部材の凹溝に嵌め込まれかつ連通路のみを有する扁平直方体状連通部材とに全体が2分割せられ、連通部材がステンレス鋼よりなり、接続部材がステンレス鋼より比重の軽い素材であるポリアミド6よりなるものである。なお、おねじ部材も六角孔付き頭を有している。ボルト挿通孔は、凹溝の長さの中央部分を介してその両側に凹溝に近接して位置している。1対のめねじ部は、U字状連通路の入口を介して、他の1対のめねじ部は、U字状連通路の出口を介してそれぞれ存在し、後者の各めねじ部がそれぞれ接続部材の隅にあるのに対し、前者の各めねじ部はそれぞれ接続部材の隅から離れて凹溝寄りにある。このように両者に間隔の差があるのは、第1直方体状継手に取付けられる連通路の入口側の装置構成部材の幅と連通路の出口側の装置構成部材の幅とに相違があるからである。したがって、第1直方体状継手の両側の装置構成部材の幅がこの場合と逆になる場合、第1直方体状継手はその上下を逆にして用いられる。接続部材は、上記のようにポリアミド6よりなるものであるから、めねじが設けられない。そこで、図4および図5に示すように、めねじ部が、接続部材に埋入せられたステンレス鋼製めねじ部品により形成せられている。すなわち、めねじ部品は、めねじを備えたステンレス鋼製円柱体状のもので、溝付き頭を有しており、接続部材の前後方向にあけられた頭受け段部付き貫通孔に密に嵌め入れられている。そして、接続部材の上面、左側面または右側面から頭を貫通している有底孔に固定ピンが打ち込まれることにより、めねじ部品が接続部材に固定され、おねじ部材との共回りが防がれる。頭の溝は、頭の孔と接続部材の孔とを一致せしめるのにめねじ部品を回動調整するドライバー先端を係合させるためのものである。接続部材に嵌め合わされた連通部材は、凹溝の長さ方向にずれないようになっている。すなわち、接続部材の凹溝の両側面それぞれに第1位置決め用凸部がボルト挿通孔の段部の一部を含むように凸円弧状に設けられ、連通部材の両側面それぞれに第1位置決め用凹部が凹円弧状に設けられて両者が嵌合せられている。また、接続部材の凹溝の底面に第2位置決め用凸部が設けられ、連通部材の底面に第2位置決め用凹部が設けられて両者が嵌合せられている。なお、第2位置決め用凸部および第2位置決め用凹部は、第1位置決め用凸部および第1位置決め用凹部がない場合は必要であるが、この場合は必ずしも必要としない。第1直方体状継手と継手幅およびU字状連通路の入口側の1対のめねじ部の位置が異なるだけで、他はこれと異ならない他の第1直方体状継手の詳細を図7および図8に示す。後者の第1直方体状継手は、前者の第1直方体状継手より幅が広く、U字状連通路の入口側の各めねじ部の位置が同出口側の1対のめねじ部の位置と同様接続部材の隅にある点で前者の第1直方体状継手と異なる。後者の第1直方体状継手は、これに取付けられる連通路の入口側の装置構成部材の幅と連通路の出口側の装置構成部材の幅とが同じでかつ前者の第1直方体状継手に取付けられる両側の装置構成部材の幅より幅の広い装置構成部材を接続するのに用いられる。さらに他の第1直方体状継手の詳細図示は略したが、これは上記第1直方体状継手より幅が狭いだけのものであり、その他は上記第1直方体状継手と異ならないものである。要するに、内部に形成せられたU字状連通路により隣り合う2つの装置構成部材の一方の装置構成部材の流体通路出口と他方の装置構成部材の流体通路入口とを接続する第1直方体状継手の幅は、2つの装置構成部材の幅に広狭のある場合、幅の広い方に対応できるように決められ、U字状連通路の流体通路入口側の1対のめねじ部の間隔は、この部分に接続せられる一方の装置構成部材の幅に対応せしめられ、同流体通路出口側の1対のめねじ部の間隔は、この部分に接続せられる他方の装置構成部材の幅に対応せしめられる。上記流体制御装置Eに使用した本発明による第2直方体状継手部材の詳細を図9および図10に示す。同図に示す第2直方体状継手は、流体制御装置Eの下端の装置構成部材の流体通路入口と外部導入管とをそれぞれ接続するものであり、連通部材の下面に外部導入管との接続用突出短筒状入口が設けられている。第2直方体状継手を第1直方体状継手と対比してその他これと異なるのは、ボルト挿通孔が凹溝の下端寄り部分を介してその両側に近接して位置している点および1対のめねじ部のみがL字状連通路の出口を介して存在し、各めねじ部がそれぞれ接続部材の隅にある点である。L字状連通路により外部排出管と流体制御装置Eの上端の装置構成部材の流体通路出口とを接続する場合は、図示の第2直方体状継手の上下が逆にせられる。すると、ボルト挿通孔が凹溝の上端寄り部分を介してその両側に近接して位置し、1対のめねじ部がL字状連通路の入口を介して存在し、連通部材の上面に外部排出管との接続用突出短筒状出口が設けられていることになる。3ポート開閉弁である装置構成部材には、上下の第1直方体状継手に挟まれるとともに、並列配置の隣の流体制御装置に接続せられかつL字状連通路を有する直方体状継手が、左右2つのおねじ部材により装置構成部材のフランジ部に連結せられている。この直方体状継手はその幅が、L字状連通路を確保し得るだけの狭いものであるから、従来と同様全体がステンレス鋼製であって本発明の対象外である。おねじ部材をねじ込むめねじは、ステンレス鋼製直方体状継手にL字状連通路に達しないよう直接設けられている。上記実施形態において、めねじ部品は、めねじを備えたステンレス鋼製円柱体状のもので、円形貫通孔に密に嵌め込まれているが、めねじ部品を四角または六角等の角柱状のものとし、これを角形貫通孔に密に嵌め込むようにすれば、おねじ部材との共回りを防ぐことができ、固定ピンが不要となる。図11に示す第1直方体状継手は、図7および図8に示す第1直方体状継手の変形例を示すものである。この第1直方体状継手は、長さの中央に凹溝が設けられかつ凹溝の両側に装置構成部材取付け用おねじ部材がねじ込まれるめねじ部がそれぞれ2つ隅に設けられたアルミニウム製接続部材と、凹溝内全体に存在しかつU字状連通路が形成されたステンレス鋼製連通部材とで構成され、接続部材の凹溝の両側に、接続部材と連通部材に跨って段部付きボルト挿通孔が2つあけられ図11の鎖線部分にあけられる、めねじ部が、接続部材に埋入せられたステンレス鋼製円柱状めねじ部品により形成せられているものである。上記第1直方体状継手は、溶湯鍛造法により、つぎのようにして鋳造せられる。すなわち、平板部材に連通部材の垂直断面と同じ断面でこれより若干背の高い1本の横長角棒状ステンレス鋼を置き、これを介してその両側にめねじ部品と同じ水平断面でこれより若干背の高い数本の円柱状ステンレス鋼を所定間隔をおいて各1列に配置し、ともに平板部材に小ねじで止める。つぎに、平板部材の周囲に方形枠状の鋳型を嵌めた後、角棒状ステンレス鋼と円柱状ステンレス鋼を埋め金として鋳型内にアルミニウム溶湯を流し込み、圧力を加えて鋳ぐるみ成形する。その後、鋳型を除き、これを連通部材相当の大きさの1つの扁平直方体と4つの円柱体を有する第1直方体状継手相当の大きさになるように複数箇所で切断するとともにに、小ねじのある部分の上方位置から下部分を平板部材もろとも旋盤等で切断除去し、所定の直方体状鋳塊を複数得る。各直方体状鋳塊をひっくり返し、扁平直方体部分にU字状連通路を加工形成してステンレス鋼製連通部材となすとともに、各円柱体部分にめねじを加工形成してステンレス鋼製円柱状めねじ部品が埋入せられたアルミニウム製接続部材となす。そして、接続部材の中央両側に、一体となった接続部材と連通部材に跨って段部付きボルト挿通孔を2つあけることにより第1直方体状継手を得る。第1直方体状継手は、図7および図8に示す第1直方体状継手の変形例であるが、これと同じ要領で図2ないし図6に示す第1直方体状継手、第1直方体状継手より幅が狭いだけの第1直方体状継手および図9および図10に示す第2直方体状継手の各変形例を溶湯鍛造法により得ることができる。上記実施形態では、連通路がU字状であるが、これはV字状でもよい。上記実施形態は、本発明の継手が用いられている半導体製造装置用流体制御装置が、垂直壁面にその長さ方向を垂直にして配置せられたものであるが、半導体製造装置用流体制御装置は、垂直壁面にその長さ方向を水平にして配置せられることもあり、場合によっては、これが床の水平面に配置せられることもある。上記実施形態の流体制御装置Eは、半導体製造装置用のものであるが、半導体製造装置以外にも用い得る。