内部に搬送ロボットが設けられた第1移送モジュールと、内部に搬送ロボットが設けられた第2移送モジュールと、前記第1移送モジュールと前記第2移送モジュールとの間に配置され、これらの間で基板を移送するために設けられる第1バッファーステーションと、前記第1移送モジュール、前記第1バッファーステーション、前記第2移送モジュールが配置される方向である連結ラインを基準として、前記連結ラインの第1側に位置し、前記第1移送モジュールに結合される第1処理モジュールと、前記連結ラインの第2側に位置し、前記第2移送モジュールに結合される第2処理モジュールと、を含み、前記第1移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第2移送モジュールよりも前記第1側に向かってさらに突出するように設けられることを特徴とする基板処理システム。内部に前記搬送ロボットが設けられ、前記第2移送モジュールを基準として前記第1移送モジュールと反対側に位置した第3移送モジュールと、前記第2移送モジュールと前記第3移送モジュールとの間に配置され、これらの間で基板を移送するために設けられる第2バッファーステーションと、前記連結ラインの前記第1側に位置し、前記第3移送モジュールに結合される第3処理モジュールと、をさらに含み、前記第3移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第2移送モジュールよりも前記第1側に向かってさらに突出するように設けられることを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。前記第2移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第1移送モジュール及び前記第3移送モジュールよりも前記第2側に向かってさらに突出するように設けられることを特徴とする請求項2に記載の基板処理システム。前記第1移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第1バッファーステーションよりも前記第1側にさらに突出するように設けられ、前記第2移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第1バッファーステーション、前記第2バッファーステーション、前記第1移送モジュール、及び前記第3移送モジュールよりも前記連結ラインの前記第2側にさらに突出するように設けられることを特徴とする請求項2または3に記載の基板処理システム。前記第1移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記連結ラインの前記第2側に向かって前記第1バッファーステーション及び前記第2バッファーステーションとほぼ同一の距離で突出するように設けられ、前記第2移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第1側に向かって前記第1バッファーステーション及び前記第2バッファーステーションとほぼ同一の距離で突出するように設けられることを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載の基板処理システム。前記連結ラインの前記第2側に位置して前記第1移送モジュールに結合され、基板が収納された容器が置かれる1つ又は複数の第1ロードポートと、前記連結ラインの前記第2側に位置して前記第3移送モジュールに結合され、基板が収納された容器が置かれる1つ又は複数の第3ロードポートと、前記1つ又は複数の第1ロードポート、及び前記1つ又は複数の第3ロードポートと上下方向に対向するように配置され、これらの基板が収納される容器を搬送する搬送装置の移動を案内する第1ガイドレールと、をさらに含むことを特徴とする請求項2から5のいずれか一項に記載の基板処理システム。前記連結ラインの前記第1側に位置して前記第2移送モジュールに結合され、基板が収納された容器が置かれる1つ又は複数の第2ロードポートと、前記1つ又は複数の第2ロードポートと上下方向に対向するように配置され、これらの基板が収納される容器を搬送する搬送装置の移動を案内する第2ガイドレールと、をさらに含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の基板処理システム。前記連結ラインに平行な方向の前記第2処理モジュールの最大幅は、前記連結ラインに平行な方向の前記第2移送モジュールの幅よりも長く設けられることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の基板処理システム。前記第1移送モジュール、前記第2移送モジュール、及び前記第3移送モジュールは、ほぼ同一の大きさ及び形状で設けられ、前記第1処理モジュール、前記第2処理モジュール、及び前記第3処理モジュールは、ほぼ同一の大きさ及び形状で設けられることを特徴とする請求項2から8のいずれか一項に記載の基板処理システム。前記連結ラインに平行な方向の前記第2処理モジュールの最大幅の長さは、前記連結ラインに平行な方向の前記第2移送モジュールの幅、第1バッファーステーションの幅、及び第2バッファーステーションの幅の長さの和よりも長く設けられることを特徴とする請求項2から9のいずれか一項に記載の基板処理システム。本発明は、複数の工程設備を使用して工程を遂行する場合、工程を効率的に遂行できる基板処理システムを提供することを目的とする。本発明が解決しようとする課題は、ここに制限されず、言及されないその他の課題は、以下の記載から当業者に明確に理解される。本発明は、基板処理システムを提供する。一実施形態によると、基板処理システムは、内部に搬送ロボットが設けられた移送モジュール及び前記移送モジュールに連結される処理モジュールを各々有する複数の工程設備と、隣接する前記移送モジュール間に位置し、これらの間で基板を移送するために設けられるバッファーステーションと、を含む。前記複数の工程設備は、前記移送モジュールと、前記バッファーステーションが配置される方向に沿って設けられる連結ラインを基準として前記処理モジュールが前記連結ラインの第1側に位置する少なくとも1つの第1設備と、前記連結ラインを基準として前記処理モジュールが前記連結ラインの第2側に位置する少なくとも1つの第2設備と、を具備し、前記第1設備に設けられる前記移送モジュールは、前記第2設備に設けられる前記移送モジュールに比べて前記連結ラインを基準として前記第1側に向かってさらに突出するように設けられる。他の実施形態によると、基板処理システムは、内部に搬送ロボットが設けられた第1移送モジュールと、内部に搬送ロボットが設けられた第2移送モジュールと、前記第1移送モジュールと前記第2移送モジュールとの間に配置され、これらの間で基板を移送するために設けられるバッファーステーションと、前記第1移送モジュール、前記バッファーステーション、前記第2移送モジュールが配置される方向である連結ラインを基準として、前記連結ラインの第1側に位置し前記第1移送モジュールに結合される第1処理モジュールと、前記連結ラインの第2側に位置し前記第2移送モジュールに結合される第2処理モジュールと、を含み、前記第1移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第2移送モジュールよりも前記第1側に向かってさらに突出するように設けられる。本発明によると、工程設備の間で基板搬送が効率的に行われる。また、本発明によると、複数の工程設備が設置されたクリーンルームの制限された空間を効率的に使用することができる。以下、本発明による実施形態を添付された図面の図1乃至図29を参照してより詳細に説明する。本発明の実施形態は、様々な形態に変形され、本発明の範囲が以下の実施形態で限定されることとして解釈してはならない。本実施形態は、当業界で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供される。したがって、図面での要素の形状は、より明確な説明を強調するために誇張されている。図1は、本発明の一実施形態による基板処理システム1000を概略的に示す斜視図である。図1を参照すると、基板処理システム1000は、複数の工程設備1200と複数のバッファーステーション1400とを有する。各々の工程設備1200は、ロードポート1220、移送モジュール1240、及び処理モジュール1260を有する。1つの工程設備1200のロードポート1220、移送モジュール1240、及び処理モジュール1260は、同一直線上に順次配置されるように設けられる。他の工程設備1200に属する移送モジュール1240は、互いに同一直線上に配置されるように位置する。バッファーステーション1400は、隣接する工程設備1200の移送モジュール1240の間に配置される。上から見ると、1つの工程設備1200のロードポート1220、移送モジュール1240、及び処理モジュール1260が配置される方向は、移送モジュール1240及びバッファーステーション1400が配置される方向と垂直に設けられる。以下、移送モジュール1240及びバッファーステーション1400が配置される方向を第1方向10と称し、1つの工程設備1200のロードポート1220、移送モジュール1240、及び処理モジュール1260が配置される方向を第2方向20と称する。ロードポート1220には、複数の基板が収納される容器30が置かれる。容器30は、オーバーヘッドトランスファーoverheadtransferのような搬送装置40によってロードポート1220にローディング又はアンローディングされる。容器30は、任意に自動案内車輌automaticguidedvehicle、レール案内車輌railguidedvehicle、又は作業者によってロードポート1220にローディング又はアンローディングされる。容器30には、密閉式容器である前面開放一体式ポッドfrontopenunifiedpodが使用される。各々の工程設備1200のロードポート1220は、1つ又は複数個が設けられる。ロードポート1220が複数個設けられる場合、ロードポート1220は、第1方向10に沿って一列に設けられる。ロードポート1220は、互いに密接して位置するように設けられる。図1では、各々の工程設備1200に2つのロードポート1220が設けられるように図示した。しかし、各々の工程設備1200に設けられるロードポート1220の数は、これと異なってもよい。また、工程設備1200は、互いに異なる数のロードポート1220を有することができる。移送モジュール1240は、ハウジング1250と搬送ロボット1242とを有する。ハウジング1250は、ほぼ直方体の形状を有する。ハウジング1250は、上面図2の符号1251、底面図2の符号1252、第1側面1253、第2側面1254、第3側面1255、及び第4側面1256を有する。第1側面1253と第3側面1255とは、互いに対向するように設けられ、第2側面1254と第4側面1256とは、互いに対向するように設けられる。また、第1側面1253は、第2側面1254に対して垂直に設けられる。第1側面1253は、ロードポート1220に対向し、第3側面1255は、処理モジュール1260に対向する。ハウジング1250の第1側面1253には、容器30内に基板が出入するための開口図示せず、及びこれを開閉するドア図示せずが設けられる。ハウジング1250の第3側面1255には、処理モジュール1260へ基板が出入するための開口図示せず及びこれを開閉するドア図示せずが設けられる。また、ハウジング1250の第2側面1254又は/及び第4側面1256には、各々バッファーステーション1400へ基板が出入するための開口図2の符号1257が形成される。また、ハウジング1250内には、容器30のドアを開放するためのドアオープナー図示せずが設けられる。ハウジング1250は、その内部が外部から隔離されるように設けられる。ハウジング1250の上面には、ファンフィルターユニット図示せずが設けられ、ハウジング1250内で整流された空気が上から下方向に流れるように案内することができる。これによって、ハウジング1250の内部は、外部よりさらに清浄に維持される。搬送ロボット1242は、ロードポート1220に置かれた容器30、処理モジュール1260、及びバッファーステーション1400の間で基板を搬送する。搬送ロボット1242は、ハウジング1250内の中央に位置する。搬送ロボット1242は、上下移動できるように設けられる。搬送ロボット1242のハンド1244は、水平面上で前進、後進、及び回転等が可能となるように設けられる。ハンド1244は、1つ、又は複数個が設けられる。図1では、2つのハンド1244を有する搬送ロボット1242が図示されている。処理モジュール1260は、ロードロックチャンバーloadlockchamber1262、トランスファーチャンバーtransferchamber1264、及び工程チャンバーprocesschamber1266を有する。上から見ると、トランスファーチャンバー1264は、ほぼ多角形の形状を有する。図1では、トランスファーチャンバー1264を上から見ると、六角形の形状を有するように図示した。しかしトランスファーチャンバー1264の形状は、多様に変更できる。トランスファーチャンバー1264の内部には、搬送ロボット1268が設けられる。搬送ロボット1268は、上下移動できるように設けられる。搬送ロボット1268のハンド1269は、水平面上で前進、後進及び回転等が可能となるように設けられる。ハンド1269は、1つ又は複数個が設けられる。図1では、2つのハンド1269を有する搬送ロボット1268が図示されている。トランスファーチャンバー1264の周辺には、ロードロックチャンバー1262と工程チャンバー1266とが設けられる。ロードロックチャンバー1262は、トランスファーチャンバー1264の側部のうち移送モジュール1240と隣接する側部に位置し、工程チャンバー1266は、トランスファーチャンバー1264の他の側部に位置する。ロードロックチャンバー1262は、1つ又は複数個が設けられる。一例によると、ロードロックチャンバー1262は、2個が設けられる。2つのロードロックチャンバー1262のうち、1つには工程を進行するために処理モジュール1260に搬入される基板が一時的に留まり、他の1つには工程が完了して処理モジュール1260から搬出される基板が一時的に留まる。これと異なり、ロードロックチャンバー1262は、1つ又は複数個が設けられ、各々のロードロックチャンバー1262には、工程処理前の基板及び工程が完了した基板が全て留まる。トランスファーチャンバー1264及び工程チャンバー1266の内部は、第1圧力で維持され、移送モジュール1240の内部は、第2圧力で維持され、ロードロックチャンバー1262の内部は、第1圧力及び第2圧力に切り換えできる。第1圧力は、第2圧力より低い圧力である。例えば、第1圧力は真空圧であり、第2圧力は大気圧である。工程チャンバー1266は、基板に対して所定の工程を遂行する。例えば、工程チャンバー1266は、洗浄、アッシング、蒸着、エッチング、又は測定等のような工程を遂行できる。工程チャンバー1266は、トランスファーチャンバー1264の側部に1つ又は複数個が設けられる。工程チャンバー1266は、ロードロックチャンバー1262が設けられたトランスファーチャンバー1264の側部以外の他の側部各々に設けられる、或いはこれらのうち一部の側部のみに設けられる。工程チャンバー1266が複数個設けられる場合、工程チャンバー1266は、基板に対して互いに同一の工程を遂行できる。工程チャンバー1266は、任意に互いに異なる工程を遂行できる。工程チャンバー1266は、真空圧で基板に対して工程を遂行する構造を有することができる。工程チャンバー1266は、任意に大気圧で基板に対して工程を遂行する構造を有することができる。バッファーステーション1400は、隣接する移送モジュール1240a、1240bの間に各々設けられる。図2は、移送モジュール1240a、1240bの間に設けられたバッファーステーション1400の一例を示す図面であり、図3は、図2のバッファー部材1440を示す斜視図である。図2と図3とを参照すると、バッファーステーション1400は、ハウジング1420とバッファー部材1440とを有する。ハウジング1420は、内部に空間が設けられた直方体の筒状で設けられる。ハウジング1420の一端は、第1移送モジュール1240aに結合され、ハウジング1420の他端は、第2移送モジュール1240bに結合される。ハウジング1420の一端及び他端は、第1方向10に沿って離間し、互いに対向する面である。バッファー部材1440は、ハウジング1420内に固定して設置できる。バッファー部材1440は、本体1442と複数個のバッファー1444とを有することができる。本体1442は、ほぼ直方体の筒状を有し、第1方向10と垂直な面は、開口される。バッファー1444は、本体1442の内部に設けられる。バッファー1444は、上下方向に離間するように設けられる。各々のバッファー1444は、基板のエッジ部分を支持する2つのプレート1444a、1444bを有する。プレート1444a、1444bは、互いに第2方向20に沿って離間するように設けられる。搬送ロボット1242のハンド1244は、プレート1444a、1444bの間の隔離された空間に沿って上下方向に移動する。バッファーステーション1400の両側に位置する移送モジュール1240a、1240bの搬送ロボット1242は、全てのバッファー1444に基板をローディング及びアンローディングできるように設けられる。上述したことと異なり、バッファー部材1440は、図4のように1つのバッファー1445を有することができる。再び、図2を参照すると、移送モジュール1240a、1240bのハウジング1250内には、バッファーステーション1400に対向する面に形成された開口1257を開閉するドア1258が設けられる。工程設備1200のうちいずれか1つにエラーが発生した場合、ドア1258で開口1257を閉鎖し、各々の工程設備1200を他の工程設備1200に対して分離させて独立して使用することができる。この場合、工程設備1200の間における基板の移送は、基板を容器30に収納した状態でオーバーヘッドトランスファー40を通じて行われる。基板が収納された容器30は、任意に工程設備1200の間で自動案内車輌AGV、レール案内車輌RGV、又は作業者によって運送される。図5は、バッファーステーション1401の他の例を示す図面である。図5のバッファーステーション1401では、その内部を示すためにハウジング1421を除去した。図5を参照すると、バッファーステーション1401は、ハウジング1421、バッファー部材1441、及びバッファー駆動部材1460を有する。図5のハウジング1421及びバッファー部材1441は、図2及び図3のハウジング1420及びバッファー部材1440とほぼ類似の構造を有する。但し、図5のハウジング1421は、図2のハウジング1420に比べて第1方向10に沿ってより長い長さを有する。バッファー駆動部材1460は、バッファー部材1441をハウジング1421内で第1方向10に沿って第1位置及び第2位置の間で移動させる。第1位置は、バッファーステーション1401の一側に位置した移送モジュール1240a以下、第1移送モジュールと隣接する位置であり、第2位置は、バッファーステーション1401の他側に位置した他の移送モジュール1240b以下、第2移送モジュールと隣接する位置である。バッファー駆動部材1460は、案内レール1461及びベース1462を有する。案内レール1461は、ハウジング1421内においてその横方向が第1方向10と平行に配置され、第1位置から第2位置まで延在するように設けられる。ベース1462は、駆動器図示せずによって案内レール1461に沿って移動できるように案内レール1461に結合される。バッファー部材1441は、ベース1462に固定して結合されて、ベース1462と共に移動する。図5のバッファーステーション1401は、隣接する移送モジュール1240a、1240bの間の距離が比較的長い場合に使用される。図6は、バッファーステーション1402のその他の例を概略的に示す平面図である。図6を参照すると、バッファーステーション1402は、ハウジング1422、第1バッファー部材1442a、第2バッファー部材1442b、及び搬送部材1480を有する。図6のハウジング1422は、図2のハウジング1420と類似の構造を有し、図6の第1バッファー部材1442aと第2バッファー部材1442bとは、全て図3のバッファー部材1440とほぼ類似の構造を有することができる。但し、図6のハウジング1422は、図2のハウジング1420に比べ第1方向10に沿ってより長い長さを有する。第1バッファー部材1442aは、バッファーステーション1402の一側に位置した第1移送モジュール1240aと隣接するように位置し、第2バッファー部材1442bは、バッファーステーション1402の他側に位置した第2移送モジュール1240bに隣接するように位置する。搬送部材1480は、第1バッファー部材1442aと第2バッファー部材1442bとの間で基板を移動させる。搬送部材1480は、案内レール1481及び搬送ロボット1482を有する。案内レール1481は、ハウジング1422内にその横方向が第1方向10と平行に配置され、第1バッファー部材1442aと隣接する位置から第2バッファー部材1442bと隣接する位置まで延在するように設けられる。搬送ロボット1482は、駆動器図示せずによって案内レール1481に沿って移動できるように案内レール1481に結合される。搬送ロボット1482は、第1バッファー部材1442aから第2バッファー部材1442bに基板を搬送する。搬送ロボット1482は、1つ又は複数のハンド1483を有する。例えば、搬送ロボット1482は、2つのハンドを有する、或いは第1バッファー部材1442aに積載できる基板の数と同一の数のハンドを有することができる。図6のバッファーステーション1402は、隣接する移送モジュール1240a、1240bの間の距離が比較的長い場合に使用される。再び、図1を参照すると、バッファーステーション1400は、移送モジュール1240と一体に設けられる。バッファーステーション1400は、移送モジュール1240に任意に脱着できるように設けられる。基板処理システム1000は、次のように設置できる。工程設備1200とバッファーステーション1400とを順次に交互して設置し、最後に工程設備1200を設置できる。バッファーステーション1400を設置するときには、前に設置した工程設備1200の移送モジュール1240に直接密着するように設置し、工程設備1200を設置するときには移送モジュール1240が前に設置したバッファーステーション1400に直接密着するように設置する。以後、移送モジュール1240とバッファーステーション1400とをスクリュー等のような締結部材図示せずを利用して固定する。基板処理システム1000は、任意に次のように設置できる。先ず、複数の移送モジュール1240が一定の間隔で離間するように位置するように工程設備1200を設置する。以後、複数の移送モジュール1240の間の各々にバッファーステーション1400を設置する。この場合、バッファーステーション1400は、第1方向10に沿う長さを変更できるように設けられる。バッファーステーション1400を複数の移送モジュール1240の間に位置させた後、バッファーステーション1400の長さを伸長させてバッファーステーション1400と移送モジュール1240とを密着させる。以後バッファーステーション1400と移送モジュール1240とをスクリュー等のような締結部材図示せずを利用して固定する。図7は、長さの変更が可能なバッファーステーション1403の一例が図示された斜視図である。図7を参照すると、バッファーステーション1403のハウジング1423は、ボディー1423a、ベローズ1423b、及び締結プレート1423cを有する。ボディー1423aは、第1方向10に沿う長さが変化しない構造又は材質で設けられる。ベローズ1423bは、ボディー1423aから延在し、第1方向10に沿って伸縮させて長さを変更できるように設けられる。締結プレート1423cは、ボディー1423aの終端及びベローズ1423bの終端に各々設けられる。バッファーステーション1403と移送モジュール1240とを結合するために、最初に、ベローズ1423bを収縮した状態でバッファーステーション1403を複数の移送モジュール1240の間に位置させる。この時、ボディー1423aに結合された締結プレート1423cが移送モジュール1240に密着するようにし、締結部材図示せずでこれらを結合させる。以後、ベローズ1423bに結合された締結プレート1423cが他の移送モジュール1240に密着するようにベローズ1423bの長さを伸長させ、この後、締結部材図示せずでこれらを結合させる。図7と異なり、ハウジングは、任意にボディーの両側に各々ベローズを有することができる。また、ハウジングは、任意にその全体がベローズで設けられる。図8は、長さが変更できるバッファーステーション1404の他の例が図示された斜視図である。図8を参照すると、ハウジング1424は、第1ボディー1424a、第2ボディー1424b、及び締結プレート1424cを有する。第2ボディー1424bは、第1方向10に沿って第1ボディー1424aから突出且つ第1ボディー1424aに挿入できるように第1ボディー1424aに結合される。即ち、ハウジング1424は、テレスコープtelescope方式によって第1方向10に沿って長さを変更できる。第1ボディー1424aの終端及び第2ボディー1424bの終端には、各々締結プレート1424cが設けられる。バッファーステーション1404と移送モジュール1240とを結合するために、最初に、第2ボディー1424bが第1ボディー1424aに挿入された状態でバッファーステーション1404を複数の移送モジュール1240の間に位置させる。この時、第1ボディー1424aに結合された締結プレート1424cが移送モジュール1240に密着するようにし、締結部材図示せずでこれらを結合させる。以後、第2ボディー1424bに結合された締結プレート1424cが他の移送モジュール1240に密着するように第2ボディー1424bを第1ボディー1424aから突出させた後、締結部材図示せずでこれらを結合させる。図7と図8との締結プレート1423c又は1424cと移送モジュール1240との接触面には、移送モジュール1240の内部及びバッファーステーション1403又は1404のハウジング1423又は1424の内部が外部から隔離されるようにシーリング部材図示せずが設けられる。再び、図1を参照すると、工程設備1200は、全て同一の構造を有することができる。また、互いに連結された複数の移送モジュール1240と複数のバッファーステーション1400とは、全て1つの仮想ラインに沿って配置される。以下、上述した仮想ラインを連結ライン50と称する。連結ライン50は、図1のように一直線に設けられる。連結ラインは、任意にアルファベット大文字‘L’やアルファベット大文字‘T’等のような多様な態様で設けられる。一例によると、工程設備1200の処理モジュール1260は、順次に連結ライン50の第1側及び第2側に交互に位置する。連結ライン50の第1側及び第2側の各々には、ロードポート1220に上下に対向するようにガイドレール42が設けられ、オーバーヘッドトランスファー40のような搬送装置がガイドレール42に沿って移動する。連結ライン50の第1側に設けられたガイドレール42と連結ライン50の第2側に設けられたガイドレール42とは、互いに独立して設けられる。連結ライン50の第1側に設けられたガイドレール42と連結ライン50の第2側に設けられたガイドレール42とは、任意に1つのレールとして設けられる。図9は、図1において設けられた3つの工程設備1200a、1200b及びこれらの間に配置されたバッファーステーション1400を拡大して示す図面である。図9の説明を容易にするために、図9における連結ライン50を基準として処理モジュールが連結ライン50の第1側に設けられた工程設備を第1設備1200aと称し、第1設備1200aに設けられたロードポート、移送モジュール、及び処理モジュールを各々第1ロードポート1220a、第1移送モジュール1240a、及び第1処理モジュール1260aと称する。また、図9における連結ライン50を基準として処理モジュールが連結ライン50の第2側に設けられた工程設備を第2設備1200bと称し、第2設備1200bに設けられたロードポート、移送モジュール、及び処理モジュールを各々第2ロードポート1220b、第2移送モジュール1240b、及び第2処理モジュール1260bと称する。上述したように、第1移送モジュール1240aの第3側壁1255aには、第1処理モジュール1260aが結合され、第2移送モジュール1240bの第3側壁1255bには、第2処理モジュール1260bが結合される。第1移送モジュール1240aの第3側壁1255aは、第2移送モジュール1240bの第1側壁1253bに比べて、第1処理モジュール1260aが結合される方向において連結ライン50からさらに遠方に突出する。また、第2移送モジュール1240bの第3側壁1255bは、第1移送モジュール1240aの第1側壁1253aに比べて、第2処理モジュール1260bが結合される方向において連結ライン50からさらに遠方に突出する。また、第1移送モジュール1240aと第2移送モジュール1240bとの間に位置したバッファーステーション1400は、第1側壁1453、第2側壁1454、第3側壁1455、及び第4側壁1456を有する。第1側壁1453と第3側壁1455とは互いに対向し、第2側壁1454と第4側壁1456とは互いに対向する。第1側壁1453と第2側壁1454とは、ほぼ垂直に設けられる。第2側壁1454と第4側壁1456とは、第1移送モジュール1240a又は第2移送モジュール1240bに各々結合される。第1側壁1453は、ほぼ第1移送モジュール1240aの第1側壁1253aから延長された平面上に位置する。第3側壁1455は、ほぼ第2移送モジュール1240bの第1側壁1253bから延長された平面上に位置する。このため、第1移送モジュール1240aから突出した部分1700a、第2ロードポート1220b、及びこれらの間に位置したバッファーステーション1400によって囲まれた第1サービス空間1800aが設けられる。第1サービス空間1800aは、第1移送モジュール1240a、第1処理モジュール1260aのロードロックチャンバー1262a、バッファーステーション1400、及び第2ロードポート1220bのメンテナンスmaintenanceを必要とする場合、作業者が位置する空間として設けられる。また、第2移送モジュール1240bから突出した部分1700b、第1ロードポート1220a、及びこれらの間に位置したバッファーステーション1400によって囲まれた第2サービス空間1800bが設けられる。第2サービス空間1800bは、第2移送モジュール1240b、第2処理モジュール1260bのロードロックチャンバー1262b、バッファーステーション1400、及び第1ロードポート1220aのメンテナンスを必要とする場合、作業者が位置する空間として設けられる。また、工程設備1200a、1200bは、ほぼ同一の大きさ及び形状を有することができる。第1処理モジュール1260aの第1方向10と平行な方向の幅のうち最大幅L1は、第1移送モジュール1240aの第1方向10と平行な幅L2より大きく設けられる。一例によると、第1処理モジュール1260aの第1方向10と平行な方向の幅のうち最大幅の長さL1は、第1方向10と平行な方向の移送モジュール1240aの幅とその両側に位置したバッファーステーション1400との幅の長さの和L3より大きく設けられる。図10は、基板処理システム2000の他の例を概略的に示す図面である。図10を参照すると、基板処理システム2000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール2240を具備する工程設備2200及び隣接する移送モジュール2240の間に設けられたバッファーステーション2400を有する。図10の基板処理システム2000の移送モジュール2240のハウジング2250内には、第1方向10と平行にガイドレール2246が設けられる。搬送ロボット2242は、ガイドレール2246に沿って直線移動するようにガイドレール2246に装着される。図11は、基板処理システム3000のその他の例を概略的に示す図面である。図11を参照すると、基板処理システム3000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール3240を具備する工程設備3200、3201及び隣接する移送モジュール3240の間に設けられたバッファーステーション3400を有する。但し、一部の工程設備3201は、ロードポート3220がなく、2つの処理モジュール3262、3264を有する。以下、説明を容易にするために図11の処理モジュールのうち1つを第1処理モジュール3262と称し、他の1つを第2処理モジュール3264と称する。第1処理モジュール3262と第2処理モジュール3264とは、ほぼ図1の処理モジュール1260と類似の構造を有することができる。第1処理モジュール3262と第2処理モジュール3264とは、1つの移送モジュール3240を共有する。第1処理モジュール3262、移送モジュール3240、及び第2処理モジュール3264は、順次に第2方向20に沿って一列に設けられる。第1処理モジュール3262と第2処理モジュール3264とは、移送モジュール3240を基準として対称になるように設けられる。図11では、第1処理モジュール3262と第2処理モジュール3264とが同一の構造を有するように図示している。しかし、第1処理モジュール3262と第2処理モジュール3264とは、任意に互いに異なる構造で設けられる。第1処理モジュール3262と第2処理モジュール3264とは、基板に対して同一の工程を遂行するように設けられる。第1処理モジュール3262と第2処理モジュール3264とは、任意に基板に対して異なる工程を遂行するように設けられる。図12は、基板処理システム4000のその他の例を概略的に示す図面である。図12を参照すると、基板処理システム4000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール4240を具備する工程設備4201、4202、4203、及び4204、及び隣接する移送モジュール4240の間に設けられたバッファーステーション4400を有する。但し、工程設備4201、4202、4203、及び4204の処理モジュール4261、4262、4263、及び4264は、互いに異なる構造を有する。工程設備のうち一部の工程設備4201の処理モジュール4261は、上述した図1の処理モジュール1260のようにロードロックチャンバー4261a、多角形のトランスファーチャンバー4261b、及び複数の工程チャンバー4261cを有する。工程設備のうち他の一部の工程設備4202の処理モジュール4262は、1つのロードロックチャンバー4262aと1つの工程チャンバー4262cとがトランスファーチャンバー4262bに結合された構造を有し、ロードロックチャンバー4262a、トランスファーチャンバー4262b、及び工程チャンバー4262cが第2方向20に沿って順次に一列に設けられる。また、工程設備のうち、その他の一部の工程設備4203の処理モジュール4263は、長方形の形状のトランスファーチャンバー4263bとその周囲にロードロックチャンバー4263a及び2つの工程チャンバー4263cが結合された構造を有する。また、工程設備の中で、その他の一部の工程設備4204の処理モジュール4264は、ロードロックチャンバーがなく、多角形のトランスファーチャンバー4264b及びその周囲に配置された複数の工程チャンバー4264cを有し、トランスファーチャンバー4264bが移送モジュール4244に直接結合される。図12に示した処理モジュール4261、4262、4263、及び4264の構造は、一例を示し、処理モジュールは、これと異なる多様な構造を有することができる。図12の場合、工程設備のうち一部の工程設備4201、4202、及び4203は、真空状態で基板に対して工程を遂行し、他の一部の工程設備4204は、常圧状態で基板に対して工程を遂行できる。図12では、処理モジュール4261、4262、4263、及び4264がバッファーステーション4400及び移送モジュール4240、4244が配置された連結ライン50を基準としてその両側に設けられるように図示したが、これと異なり、図10のように処理モジュール4261、4262、4263、及び4264は、前記連結ライン50を基準として同一側に設けられる。図13は、基板処理システム5000のその他の例を概略的に示す図面である。図13を参照すると、基板処理システム5000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール5240を具備する工程設備5200、5201及び隣接する移送モジュール5240の間に設けられたバッファーステーション5400を有する。但し、工程設備のうち一部の工程設備5201は、ロードポート5220がなく、移送モジュール5240と処理モジュール5260とを有する。図14は、基板処理システム6000のその他の例を概略的に示す図面である。図14を参照すると、基板処理システム6000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール6240を具備する工程設備6201、6202及び隣接する移送モジュール6240の間に設けられたバッファーステーション6400を有する。但し、移送モジュール6240とバッファーステーション6400とが配置された連結ライン50を基準として第1側に処理モジュール6260が設けられた工程設備6201には、ロードポート6220が設けられるが、第2側に処理モジュール6260が設けられた工程設備6202には、ロードポートが設けられない。この場合、オーバーヘッドトランスファー40及びこの移動を案内するガイドレール42は、前記連結ライン50の第2側のみに設けられる。図13と図14とでは、処理モジュール5200、5201、6201、及び6202が全て同一の構造を有するとして説明した。しかし、これと異なり、処理モジュール5200、5201、6201、及び6202は、図11のように異なる構造で設けられる。図14の連結ライン50を基準として同一側に位置した処理モジュールは、任意に全て同一の構造で設けられ、連結ライン50を基準として第1側に設けられた処理モジュール6201と第2側に設けられた処理モジュール6202とは、互いに異なる構造で設けられる。図15は、基板処理システム7000のその他の例を概略的に示す図面である。図15を参照すると、基板処理システム7000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール7240を具備する工程設備7200、7201及び隣接する移送モジュール7240の間に設けられたバッファーステーション7400を有する。基板処理システム7000は、工程処理装置7800をさらに具備する。工程処理装置7800は、一部の工程設備7201のロードポート7220に結合されるように設けられる。連結ライン50を基準として工程処理装置7800が結合される工程設備7201の処理モジュール7260と工程処理装置7800とは、互いに反対側に位置する。工程処理装置7800は、2つの工程設備7201のロードポート7220に同時に結合される。この時、工程処理装置7800が結合される2つの工程設備7201の移送モジュール7240の間には、バッファーステーション7400が設けられないことがある。また、2つの工程設備7201は、互いに隣接する工程設備である。工程処理装置7800は、複数の基板に対して同時に工程を遂行するバッチ式工程装置である。例えば、工程処理装置7800で遂行される工程は、洗浄cleaning工程、又はストリップstrip工程である。一例によると、工程処理装置7800は、図16のように特許文献2の図12に開示された装置と同一又は類似の構造の装置が設けられる。工程処理装置7800の内部構造にしたがって、工程処理装置7800には、基板が収納された容器30を回転させる回転部材7820が設けられる。オーバーヘッドトランスファー40は、容器30の開口が移送モジュール7240に向かうように容器30をロードポート7220の上に載置させる。工程処理装置7800は、容器30をその内部に移送し、容器30を180°回転させた後、容器30から基板をアンローディングできる。容器30を回転させる回転部材は、任意にロードポート7220、又はオーバーヘッドトランスファー40に設けられる。容器30は、工程設備7201のロードポート7220に置かれた状態で工程処理装置7800へ移動し、以後に工程処理装置7800で工程が完了すると、容器30は、他の工程設備7201のロードポート7200へ移動する。容器30は、任意にロードポート7220に置かれた状態で基板が直接工程処理装置7800内へ搬送される。図17は、基板処理システム8000のその他の例を概略的に示す図面である。図17の基板処理システム8000は、図15の基板処理システム7000とほぼ類似の移送モジュール8240を具備する工程設備8200、8201、及び隣接する移送モジュール8240の間に設けられたバッファーステーション8400、8401、及び工程処理装置8800を有する。基板処理システム8000の工程処理装置8800が結合された工程設備8201の移送モジュール8240の間には、バッファーステーション8401が設けられる。この時、バッファーステーション8401は、図5又は図6のバッファーステーション1401又は1402と類似の構造を有することができる。図18は、基板処理システム9000のその他の例を概略的に示す図面である。基板処理システム9000は、図15の基板処理システム7000とほぼ類似の移送モジュール9240を具備する工程設備9200、9201、及び隣接する移送モジュール9240の間に設けられたバッファーステーション9400、及び工程処理装置9800、9801を有する。但し、基板処理システム9000の工程処理装置9801は、他の工程設備9201が間に位置している工程設備9200のロードポート9220に結合される。図19は、基板処理システム10000のその他の例を概略的に示す図面である。基板処理システム10000は、図15の基板処理システム7000とほぼ類似の移送モジュール10240を具備する工程設備10200、及び隣接する移送モジュール10240の間に設けられたバッファーステーション10400、及び工程処理装置10800を有する。基板処理システム10000の工程処理装置10800は、1つの工程設備10200のロードポート10220に結合される。工程処理装置10800は、拡散工程を遂行する装置である。例えば、工程処理装置10800は、図20のように特許文献2の図4と同一又は類似の構造の装置である。工程処理装置10800には、その内部構造にしたがって基板が収納される容器30を回転させる回転部材10820が設けられる。回転部材10820は、容器30の開口方向が180°変更されるように容器30を回転させる。回転部材は、任意にロードポート10200、又はオーバーヘッドトランスファー40に設けられる。図21は、基板処理システム11000のその他の例を概略的に示す図面である。基板処理システム11000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール11241、11242を具備する工程設備11201、11202、及び隣接する移送モジュール11241、11242の間に設けられたバッファーステーション11400、11401を有する。但し、基板処理システム11000の一部の移送モジュール11241、11242とバッファーステーション11401とは、図1の移送モジュール1240及びバッファーステーション1400と異なる結合構造を有する。工程設備11201、11202は、各々移送モジュール11241、11242と処理モジュール11261、11262とを有する。工程設備11201の移送モジュール10241と処理モジュール10261とは、第2方向20に沿って設けられる。他の工程設備11202の移送モジュール11242と処理モジュール11262とは、第1方向10に沿って設けられる。以下、説明を容易にするために、図21の移送モジュール10241を第1移送モジュールと称し、移送モジュール10242を第2移送モジュールと称する。バッファーステーション11401は、ハウジング11420及びバッファー部材11440を有する。バッファー部材11440は、図2のバッファー部材1440又は図3のバッファー部材1440と同一又は類似の構造を有することができる。ハウジング11420は、上面図示せず、下面図示せず、第1側面11423、第2側面11424、第3側面11425、及び第4側面11426を具備し、ほぼ直方体又は立方体の形状を有する。第1側面11423と第3側面11425とは、互いに対向する面であり、第2側面11424と第4側面11426とは、互いに対向する面であり、第1側面11423と第2側面11424とは、ほぼ垂直に設けられる。第1側面11423及び第2側面11424には、基板が出入する開口図示せず及びこれを開閉するドア図示せずが設けられる。第1側面11423には、第1移送モジュール11241が結合され、第2側面11424には、第2移送モジュール11242が結合される。このような構造によって、ほぼ垂直に配置された第1移送モジュール11241と第2移送モジュール11242との間での基板の移送は、これらの間に配置されたバッファーステーション11401を通じてなされる。図22は、基板処理システム12000のその他の例を概略的に示す図面である。図22を参照すると、基板処理システム12000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール12241、12242を具備する工程設備12200、及び隣接する移送モジュール12241、12242の間に設けられたバッファーステーション12400を有する。但し、ロードポート12260は、上述した連結ラインに沿って設けられた移送モジュール12241、12242のうち両端に位置した移送モジュール12241の第2側壁12254又は第4側壁12256に結合される。これによって、基板処理システム12000の両端には、各々ロードポート12260が設けられ、ロードポート12260の間に移送モジュール12241、12242とバッファーステーション12400とが順次に交互に設けられる。また、ロードポート12260に対向するようにロードポート12260の上部を通るガイドレール42が設けられ、容器を搬送するオーバーヘッドトランスファー40のような搬送装置がガイドレール42に沿って移動する。図22において、連結ラインは図示しないが、ガイドレール42と重なっている。図23は、基板処理システム13000の他の例を概略的に示す図面である。図23を参照すると、基板処理システム13000は、図1の基板処理システム1000とほぼ類似の移送モジュール13240を具備する工程設備13200、及び隣接する移送モジュール13240の間に設けられたバッファーステーション13400を有する。また、処理モジュール13260は、連結ライン50の第1側及び第2側に交互に配置される。移送モジュール13240は、連結ライン50に沿って互いに整列するように設けられる。即ち、全ての移送モジュール13240は、連結ライン50の第1側及び第2側に向かって突出した長さが全て等しくなるように設けられる。また、第2方向20と平行な方向の移送モジュール13240の幅TLは、バッファーステーション13400の幅BLより長く設けられる。これによって、移送モジュール13240は、バッファーステーション13400に比べ連結ライン50の第1側及び第2側に各々さらに長く突出する。上述した図11乃至図15、図17乃至図19、図21乃至図23に示した基板処理システムでの移送モジュールの各々に設けられた搬送ロボットは、ロードポートに置かれた容器及びバッファーステーションとの距離にしたがって、図10の基板処理システムに記載された移送モジュールの搬送ロボットのように第1方向に沿って移動できるように設けられる。上述した基板処理システムでは、全ての工程設備がバッファーステーション又は基板処理装置を通じて互いに連結されるとして説明した。しかし、これと異なり、工程設備は、複数個でグループになり、各グループに属する工程設備同士がバッファーステーションに連結される。一例によると、図24のように工程設備1200は、第1グループ1000aと第2グループ1000bとにグループ化されている。第1グループ1000aに属する工程設備1200は、互いにバッファーステーション1400を通じて連結され、第2グループ1000bに属する工程設備1200は、互いにバッファーステーション1400を通じて連結される。また、基板が収納された容器は、第1グループ1000aに属する工程設備1200の間、第2グループ1000bに属する工程設備1200の間、及び第1グループ1000aの工程設備1200と第2グループ1000bの工程設備1200との間にオーバーヘッドトランスファーOHT、自動案内車輌AGV、レール案内車輌RGV等のような搬送装置や作業者によって搬送される。また、図25のように第1グループ1000aと第2グループ1000bとの間には、バッファーステーションが連結されない1つ又は複数の工程設備1209が独立して設けられる。また、図26のように図1又は図24のような基板処理システムは、複数個が設けられ、これらは、第2方向20に沿って互いに離間し、平行に設けられる。上述した図24乃至図26では、図1に示した実施形態のような構造の基板処理システムを図示したが、これと異なり、他の実施形態に示した基板処理システムが図24乃至図26のような配置で設けられる。次に、図27乃至図29を参照して、バッファーステーションを具備する基板処理システムを利用して基板に対して工程を遂行する方法の一例を説明する。以下、説明を容易にするために、図27乃至図29に示した工程設備を各々左側から順次に第1工程設備14201、15201、16201、第2工程設備14202、15202、16202、及び第3工程設備14203、15203、16203と称する。また、第1工程設備14201、15201、16201の移送モジュールに設けられた搬送ロボット及び第1工程設備14201、15201、16201の処理モジュールを各々第1搬送ロボット14271、15271、16271、及び第1処理モジュール14261、15261、16261と称し、第2工程設備14202、15202、16202の移送モジュールに設けられた搬送ロボット及び第2工程設備14202、15202、16202の処理モジュールを各々第2搬送ロボット14272、15272、16272、及び第2処理モジュール14262、15262、16262と称し、第3工程設備14203、15203、16203の移送モジュールに設けられた搬送ロボット及び第3工程設備14203、15203、16203の処理モジュールを各々第3搬送ロボット14273、15273、16273、及び第3処理モジュール14263、15263、16263と称する。また、図28に示したバッファーステーションを左側から順次に第1バッファーステーション14401、15401、16401と第2バッファーステーション14402、15402、16402と称する。また、図29における最も右に示した工程設備は、第4工程設備16204と称し、第4工程設備16204に設けられた搬送ロボット及び第4工程設備16204の処理モジュールを各々第4搬送ロボット16274及び第4処理モジュール16264と称する。また、図29における最も右側に示したバッファーステーションを第3バッファーステーション16403と称する。また、以下の例では、1つの容器30に25枚の基板が収納された場合を例として説明する。容器30に収納された25枚の基板を順次に第1基板、第2基板、、第25基板と称する。図27は、同一の工程を遂行する工程設備14201、14202、14203がバッファーステーション14401、14402を通じて連結された基板処理システム14000において基板が移動する経路を示す。第1工程設備14201、第2工程設備14202、及び第3工程設備14203には、各々4つの工程チャンバー14266が設けられ、これらの4つの工程チャンバー14266は、全て同一の工程を遂行する。したがって、基板処理システム14000には、同一の工程を遂行する工程チャンバー14266が12個設けられる。25枚の基板のうち、第1基板乃至第4基板、第13基板乃至第16基板、及び第25基板は、第1処理モジュール14261で工程が遂行され、第5基板乃至第8基板、第17乃至第20基板は、第2処理モジュール14262で工程が遂行され、第9基板乃至第12基板、及び第21基板乃至第24基板は、第3処理モジュール14263で工程が遂行される。図27のa1、a2、a3、及びa4は、第1処理モジュール14261で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示し、b1、b2、b3、及びb4は、第2処理モジュール14262で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示し、c1、c2、c3、及びc4は、第3処理モジュール14263で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示す。最初に、オーバーヘッドトランスファー40によって基板が収納された容器30が第1工程設備14201のロードポート14221に置かれる。第1搬送ロボット14271は、第1処理モジュール14261で工程が遂行される基板を容器30から第1処理モジュール14261へ搬送し、第2処理モジュール14262及び第3処理モジュール14263で工程が遂行される基板を容器30から第1バッファーステーション14401へ搬送する。また、第1搬送ロボット14271は、第1処理モジュール14261で工程が完了した基板を第1バッファーステーション14401へ搬送する。容器30から基板が全て取り出されると、容器30は、第3工程設備14203のロードポート14223へ移送される。第2搬送ロボット14272は、第2処理モジュール14262で工程が遂行される基板を第1バッファーステーション14401から第2処理モジュール14262へ搬送し、第3処理モジュール14263で工程が遂行される基板を第1バッファーステーション14401から第2バッファーステーション14402へ搬送する。また、第2搬送ロボット14272は、第1処理モジュール14261で工程が完了した基板を第1バッファーステーション14401から第2バッファーステーション14402へ搬送し、第2処理モジュール14262で工程が完了した基板を第2処理モジュール14262から第2バッファーステーション14402へ搬送する。第3搬送ロボット14273は、第3処理モジュール14263で工程が遂行される基板を第2バッファーステーション14402から第3処理モジュール14263へ搬送する。また、第3搬送ロボット14273は、第1処理モジュール14261及び第2処理モジュール14262で工程が完了した基板を第2バッファーステーション14402から第3工程設備14203のロードポート14223に置かれた容器30へ搬送する。また、第3搬送ロボット14273は、第3処理モジュール14263で工程が完了した基板を第3処理モジュール14263から第3工程設備14203のロードポート14223に置かれた容器30へ搬送する。容器30から第1バッファーステーション14401への基板搬送の時と、第1バッファーステーション14401から第2バッファーステーション14402への基板搬送の時と、第2バッファーステーション14402から容器30への基板搬送の時と、において、第1搬送ロボット14271、第2搬送ロボット14272、及び第3搬送ロボット14273の各々は、複数枚の基板を同時に搬送することができる。図27の基板処理方法によると、複数の工程設備14201、14202、14203で1つの容器30に収納された複数の基板を分けて同時に工程を遂行できるので、1つの容器30に収納された複数の基板全体に対する工程所要時間を短縮できる。図28は、異なる工程を遂行する工程設備15201、15202、15203がバッファーステーション15401、15402を通じて連結された基板処理システム15000において基板が移動する経路を示す。第1工程設備15201、第2工程設備15202、及び第3工程設備15203は、1つの基板に対して順次に工程を遂行するように設けられる。図28のd1、d2、d3、d4、d5、及びd6は順次に基板が移動する経路を示す。図28の基板処理システム15000の容器30に設けられた基板は、全て第1処理モジュール15261、第2処理モジュール15262、及び第3処理モジュール15263で順次に工程が遂行される。最初に、オーバーヘッドトランスファー40によって基板が収納された容器30が第1工程設備15201のロードポート15221に置かれる。第1搬送ロボット15271は、容器30から基板を第1処理モジュール15261へ搬送する。容器30内の基板が全て第1処理モジュール15261へ搬送されると、オーバーヘッドトランスファー40によって容器30は、第3工程設備15203のロードポート15223へ移送される。第1処理モジュール15261で工程が完了した基板は、他の基板より先に、第1搬送ロボット15271によって第1バッファーステーション15401へ搬送される。第2搬送ロボット15272は、第1バッファーステーション15401から基板を第2処理モジュール15262へ搬送する。第2処理モジュール15262で工程が完了した基板は、他の基板より先に第2バッファーステーション15402へ搬送される。第3搬送ロボット15273は、第2バッファーステーション15402から基板を第3処理モジュール15263へ搬送する。第3処理モジュール15263で工程が完了した基板は、他の基板より先に容器30へ搬送される。図28の基板処理方法によると、バッファーステーション15401、15402を利用して基板が直接工程設備15201、15202、15203の間で移動できるので、各基板が容器30内の他の全ての基板に対して特定の工程が完了するまで待機する必要が無く、即座に他の工程を遂行できる。また、基板をバッファーステーション15401、15402を通じて工程設備15201、15202、15203の間で直接搬送できるので、オーバーヘッドトランスファー40を利用して工程設備15201、15202、15203の間で基板を搬送するときに比べ搬送時間を短縮できる。図29は、同一の工程を遂行する工程設備と異なる工程を遂行する工程設備とがバッファーステーション16401、16402、16403を通じて連結された基板処理システム16000において基板が移動する経路の一例を示す。第1工程設備16201と第3工程設備16203とは、基板に対して同一の工程を遂行し、第2工程設備16202と第4工程設備16204とは、基板に対して同一の工程を遂行する。また、第2工程設備16202は、基板に対して第1工程設備16201で行われた工程の後続の工程を遂行する。第1工程設備16201と第3工程設備16203とには、各々4つの工程チャンバー16266が設けられ、第2工程設備16202と第4工程設備16204とには、各々2つの工程チャンバー16267が設けられる。この場合、第2工程設備16202の工程チャンバー16267で1つの基板に対して必要となる工程時間は、第1工程設備16201の工程チャンバー16266で1つの基板に対して必要となる工程時間より短くなる。25枚の基板のうち、第1基板乃至第4基板、第9基板乃至第12基板、第17基板乃至第20基板、及び第25基板は、第1処理モジュール16261及び第2処理モジュール16262で順次に工程が遂行され、第5基板乃至第8基板、第13乃至第16基板、第21基板乃至第24基板は、第3処理モジュール16263及び第4処理モジュール16264で順次に工程が遂行される。図20のe1、e2、e3、e4、e5、及びe6は、第1処理モジュール16261及び第2処理モジュール16262で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示し、f1、f2、f3、f4、f5、及びf6は、第3処理モジュール16263及び第4処理モジュール16264で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示す。最初に、オーバーヘッドトランスファー40によって基板が収納された容器30が第1工程設備16201のロードポート16221に置かれる。第1搬送ロボット16271は、第1処理モジュール16261及び第2処理モジュール16262で工程が遂行される基板を容器30から第1処理モジュール16261へ搬送し、第3処理モジュール16263及び第4処理モジュール16264で工程が遂行される基板を容器30から第1バッファーステーション16401へ搬送する。また、第1搬送ロボット16271は、第1処理モジュール16261で工程が完了した基板を第1バッファーステーション16401へ搬送する。容器30から基板が全て取り出されると、容器30は、第4工程設備16204のロードポート16224へ移送される。第2搬送ロボット16272は、第3処理モジュール16263及び第4処理モジュール16264で工程が遂行される基板を第1バッファーステーション16401から第2バッファーステーション16402へ搬送する。また、第2搬送ロボット16272は、第1処理モジュール16261で工程が遂行された基板を第1バッファーステーション16401から第2処理モジュール16262へ搬送する。また、第2搬送ロボット16272は、第2処理モジュール16262で工程が完了した基板を第2処理モジュール16262から第3バッファーステーション16403へ搬送する。第3搬送ロボット16273は、第3処理モジュール16263及び第4処理モジュール16264で工程が遂行される基板を第2バッファーステーション16402から第3処理モジュール16263へ搬送する。また、第3搬送ロボット16273は、第2処理モジュール16262で工程が遂行された基板を第2バッファーステーション16402から第3バッファーステーション16403へ搬送する。また、第3搬送ロボット16273は、第3処理モジュール16263で工程が遂行された基板を第3バッファーステーション16403へ搬送する。第4搬送ロボット16274は、第3処理モジュール16263で工程が遂行された基板を第3バッファーステーション16403から第4処理モジュール16264へ搬送する。また、第4搬送ロボット16274は、第4処理モジュール16264で工程が遂行された基板を第4処理モジュール16264から第4工程設備16204のロードポート16224に置かれた容器30へ搬送する。また、第4搬送ロボット16274は、第2処理モジュール16262で工程が遂行された基板を第3バッファーステーション16403から第4工程設備16204のロードポート16224に置かれた容器30へ搬送する。