被検物を結像する対物レンズと、熱輸送部材を含み該対物レンズを囲うチャンバと、該チャンバの内部に温調空気を供給する温調器と、前記熱輸送部材と熱的に接続されて前記温調空気と熱交換を行う熱交換器と、を有することを特徴とする顕微鏡装置。前記温調空気の流速をu、前記対物レンズと前記熱交換器との距離をd、前記熱交換器の上流端と前記チャンバの下流端との該流速uの方向における距離をZ、とするとき、Z<C×u×d2但し、C=0.0489/ν×Pr2/3ν:温調空気の動粘性係数Pr:温調空気のプラントル数なる条件式を満たすことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。前記チャンバは、断熱部材を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の顕微鏡装置。前記熱輸送部材は、ヒートパイプまたは液冷管を含むこと特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。前記チャンバは、前記熱交換器よりも上流側において前記熱輸送部材と熱的に接続されたペルチェ素子を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。前記熱交換器は、前記チャンバの内壁に沿って複数配置されていることを特徴する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。請求項1乃至6のいずれか1項に記載の顕微鏡装置と、該顕微鏡装置で取得された前記被検物の画像を表示する表示装置と、を備えることを特徴とする顕微鏡システム。ここで、顕微鏡装置において高解像度の対物レンズを用いる場合、周囲環境の温度変動による影響を抑制するために、対物レンズに対する高精度な温度管理が要求される。しかし、液冷に用いる液体等と比較して空気は熱容量が小さいため、特許文献1の構成によって対物レンズの温調を行うためには大量の温調空気が必要となるので、装置全体の大型化およびコストアップを招いてしまう。そこで、本発明の例示的な目的は、装置全体の大型化を招くことなく、対物レンズを高精度に温調することができる顕微鏡装置を提供することである。上記目的を達成するために、本発明の一側面としての顕微鏡装置は、被検物を結像する対物レンズと、熱輸送部材を含み該対物レンズを囲うチャンバと、該チャンバの内部に温調空気を供給する温調器と、前記熱輸送部材と熱的に接続されて前記温調空気と熱交換を行う熱交換器と、を有することを特徴とする。本発明の更なる目的またはその他の特徴は、以下、添付の図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされる。本発明によれば、装置全体の大型化を招くことなく、対物レンズを高精度に温調することができる顕微鏡装置を提供することができる。以下、本発明の好ましい実施形態について図面を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る顕微鏡システム100の概略図である。顕微鏡システム100は、スライド30を撮像して画像を取得する顕微鏡装置1と、顕微鏡装置1で取得した画像を表示する表示装置3とを備える。この顕微鏡装置1は、スライド30を照明する照明ユニット10と、スライド30を結像する対物レンズ40と、スライド30を撮像する撮像ユニット50と、画像取得のための制御を行う制御系2と、を有する。照明ユニット10は、光源部不図示と、光源部からの光をスライド30へ導く照明光学系不図示とを含む。光源部の光源としては、白色光源またはLED光源などを用いることができる。本実施形態における光源は、RGBの各波長を持つLEDを備え、各波長の光が切り替え可能な構成としている。ここで、白色光源を用いる場合は、カラーフィルタとの組み合わせによりRGBの各波長の光を生成する構成としてもよい。スライドステージ20は、スライド30を保持する保持部不図示と、保持部をXY方向に移動するXYステージ22と、保持部をZ方向に移動するZステージ24を含む。このスライドステージ20により、スライド30の位置の調整を行うことができる。ここで、Z方向は、対物レンズ40の光軸方向に相当し、XY方向は、その光軸に垂直な方向に相当する。XYステージ22およびZステージ24には、照明ユニット10からの光を通過させるための開口が設けられている。図2aは、被検物の一例であるスライド30の上面図であり、図2bは、スライド30の断面図である。スライド30は、スライドガラス303上に配置された試料302組織切片等の生体サンプルなどが、カバーガラス301および接着剤304で密封された構成となっている。スライドガラス303上には、例えばスライドガラス303の識別番号や、カバーガラス301の厚さなどの、スライド30試料302を管理するために必要な情報が記録されたラベルバーコード333が貼付されていてもよい。なお、本実施形態では観察対象となる被検物としてスライド30を例示したが、例えば外観検査異物の付着、キズの検査等を行う目的で、基板などを被検物としても良い。図3は、対物レンズ40の概略図である。対物レンズ40は、不図示の鏡筒により保持される光学素子レンズやミラーを含み、スライド30を所定の倍率で拡大して撮像ユニット50の撮像面上に結像するための結像光学系である。本実施形態においては、対物レンズ40は、スライド30の観察面物体面Aと撮像ユニット50の撮像面撮像面Bとが光学的に共役となるように配置されている。なお、対物レンズ40の物体面側の開口数NAは、0.7以上となるように設計することが好ましい。また、対物レンズ40の光学設計は、スライド30の観察を行う環境の温度を参考にして行われる。例えば、平均的な環境温度が20°Cのとき、20°Cを基準として設計される。この場合、光学性能が保障される対物レンズ40の温度は10°C~30°C程度であり、この温度範囲で画像取得を行うことが必要となる。図1に示した制御系2は、CPU、メモリ、ハードディスクなどを含むコンピュータによって構成される。制御系2は、顕微鏡装置1を制御して撮像を行うとともに、顕微鏡装置1で撮像したスライド30のデータを処理することで、デジタル画像を作成する。例えば、制御系2は、スライドステージ20をXY方向に移動しながら、スライド30を複数回撮像し、取得した複数の画像を合成することで、1枚の試料302の画像を作成する。また、光源部からのRGBの各波長の照明光を用いてスライド30の撮像を行う場合、制御系2によってそれぞれのデータを合成することで、試料302のカラー画像を作成することができる。次に、図4に示す要部断面図を用いて、顕微鏡装置1のキャリブレーションおよびフォーカス調整の方法について説明する。まず、スライド30をZステージ24によりZ方向に移動しながら複数回撮像する。そして、取得した画像を確認しながらフォーカス位置を求め、この時の対物レンズ40とスライド30との距離Z0を制御系2に記憶させておく。ここで、対物レンズ40に、例えば干渉レーザ変位計などのZセンサ401を備え、そのZセンサ401の位置に応じてZステージ24の上面にレーザ反射板不図示を設けることで、距離Z0を計測することができる。このようなキャリブレーションにより、フォーカス位置距離Z0を予め求めておき、それを基準としてZステージ24の位置を制御することで、スライド30とは異なる被検物を観察する際にも容易にフォーカス調整を行うことができる。なお、キャリブレーションの際には、スライド30とは別のテスト用のスライドを用いて距離Z0を求めてもよい。しかし、周囲環境の温度変動に伴って対物レンズ40の温度が変化すると、熱変形や屈折率変化により対物レンズ40の光学特性が変動してしまう。すなわち、フォーカスが合う時の対物レンズ40とスライド30との距離も、周囲環境の温度によって変動し、前述したフォーカス調整方法により求めた距離Z0に対してずれてしまう。例えば、図4bに示すように、環境温度が上昇すると、フォーカスが合う時の対物レンズ40とスライド30との距離が、距離Z0よりも小さい距離Z1となり、フォーカス位置が対物レンズ40側にずれてしまう。なお、図4bでは、スライド30側におけるフォーカス位置のずれを示しているが、撮像ユニット50の撮像面に対するスライド30の像のずれをフォーカス位置のずれとして考えてもよい。したがって、スライド30の撮像においては、フォーカス位置が周囲環境の温度変動に伴って変動しないように、対物レンズ40の温度を管理する必要がある。そこで、本実施形態に係る顕微鏡装置1では、熱輸送部材を含むチャンバで対物レンズ40を囲い、温調器によりチャンバ内の空気を温調するとともに、熱交換器によって熱輸送部材の熱を外部に放出する構成となっている。その結果、大量の温調空気を供給する大型な温調機構を用いることなく、対物レンズ40を高精度に温調することができるため、周囲環境の温度変動に伴うフォーカス位置のずれの発生を抑制することができる。以下、本実施形態に係る対物レンズ40の温調機構について、各実施例において詳細に説明する。[実施例1]図5は、顕微鏡装置1における対物レンズ40を囲うチャンバ501の概略断面図であり、熱回路網法を利用して熱の流れを示したものである。熱回路網法とは、伝熱経路を電気回路に見立てる伝熱解析の手法である。本実施例では、対物レンズ40の温度分布を小さいものと想定し、対物レンズ40の平均温度を1個の温度節点4としてモデル化している。同様に、周囲環境、断熱部材501a、熱輸送部材501b、熱交換器503詳細は後述についても、それぞれ温度節点1、2、3、5としてモデル化する。また、温調器502詳細は後述から供給される温調空気は、温度が均一と見なせる領域ごとに1個の温度節点でモデル化している。図5に示すように、温調空気の上流、中流、下流、チャンバ出口の各領域に対して、それぞれ温度節点6、7、8、9が割り振られている。ここで、隣接する温度節点間の温度差をΔT[°C]、隣接する温度節点間の熱抵抗をR[K/W]、隣接する温度節点間を流れる熱量をQ[W]とすると、各温度節点における温度は、ΔT=R×Qなる式およびそれぞれの境界条件に基づいて算出される。なお、熱抵抗Rは、温度節点間の部材の熱伝導率や形状、あるいは空気の流速を考慮して算出される。以下、本実施例に係る温調機構の構成について詳細に説明する。本実施例に係るチャンバ501は、熱伝導性の低い材料からなる断熱部材501aと、熱伝導性が高い熱輸送部材501bとを含み、熱輸送部材501bの外側に断熱部材501aが配置された構成になっている。断熱部材501aによれば、周囲環境節点1の温度変動に対する断熱効果を向上させ、周囲環境の温度変動による対物レンズ40節点4への影響を低減することができる。断熱部材501aの材料としては、例えば硬質ウレタン樹脂などを用いることができ、その熱伝導率は10W/mK以下であることが好ましい。また、熱輸送部材501bは、例えば銅部材およびヒートパイプによりZ方向の熱伝導性を高める構成とすることができ、その等価熱伝導率は150W/mK以上であることが好ましい。熱輸送部材501bは、例えば、厚さが5mm程度で、直径が対物レンズ40を囲むことができる大きさである円柱形の銅部材の内部に、ヒートパイプ直径は3mm程度をZ方向に数本~数十本程度配置することにより形成される。なお、チャンバ501の上部および下部には、照明光の光路を遮らないように開口が設けられている。温調器502は、熱輸送部材501bと対物レンズ40との間に形成される流路に、温調した空気を供給することで、チャンバ501内の温度を調節する。本実施例では、温調空気を、チャンバ501の上方から供給し、チャンバ501の下方節点9から流出させている。例えば、回収機構不図示として、チャンバ501を含む顕微鏡装置1を覆うケースと、ケースおよび温調器502を接続するダクトとを備えることにより、チャンバ501内の空気を循環させることができる。熱交換器503は、熱輸送部材501bと熱的に接続しており、熱輸送部材501bおよびチャンバ501内の温調空気と熱交換を行う。本実施例における熱交換器503は、熱輸送部材501bの内壁に沿って対物レンズ40を囲むように、複数配置されている。熱交換器503としては、例えばアルミや銅などの熱伝導性の高い金属で形成され、複数のフィンを有するヒートシンクを用いることができる。なお、熱交換器503と熱輸送部材501bとの間に、熱伝導グリスや熱伝導シート不図示などを貼付することで、それぞれの間の接触熱抵抗を下げ、熱伝導性を高めることができる。また、熱交換器503に用いるヒートシンクの個数、サイズ、フィンの形状および個数は、それが必要とする熱抵抗と、温調器502から供給される温調空気の流速とによって適宜決定される。ここで、本実施例に係る熱交換器503は、対物レンズ40と熱交換器503との距離d[m]に対して、熱交換器503の上端上流端とチャンバ501の下端下流端との距離Z[m]が、下記の条件式1を満たすように配置されている。Z<C×u×d21なお、u[m/s]はチャンバ501の内部の温調空気の流速対物レンズ40の鏡筒の外壁に沿う方向を、Cは定数0.0489/ν×Pr2/3を示している。ただし、ν[m2/s]は温調空気の動粘性係数27°Cの時1.583×10-6、Prはプラントル数27°Cの時0.717である。また、前記の距離dは、対物レンズ40の鏡筒の外壁と熱交換器503における熱交換を行う端部本実施例ではヒートシンクにおけるフィンの先端との距離を示している。さらに、前記の距離Zは、熱交換器503における熱交換を行う部分の上流端とチャンバ501の下流端との流速uの方向における距離を示している。例えば本実施例のように、熱交換器503としてヒートシンクを用いる場合は、複数のフィンのうち一番上流側にあるフィンの上端部が上流端となる。また、本実施例における流速uの方向は対物レンズ40の光軸方向Z方向に一致しているため、距離ZはZ方向の距離を示している。以下、図6を用いて条件式1について説明する。図6aは、熱交換器503から放熱される熱の影響により温度境界層504が発達していく様子を示すものである。ここでの温度境界層504とは、温調空気の流れの中で壁面近傍の温度が急変する領域のことである。温度境界層504は、熱交換器503の前縁503aから後縁503bに向けて発達し、熱輸送部材501b側に流れる。ここで、図6aに示すように、熱交換器503から測った時の温度境界層504の厚さの最大値をδとする。すると、温度境界層504が対物レンズ40と接触しないようにして、熱交換器503から対物レンズ40に伝わる熱量を低減させるためには、下記の条件式2を満たせば良いことがわかる。δ<d2このδの大きさを評価するために、図6bに示す平板510を温調空気の流れの中に配置した場合を考える。この平板510を、熱交換器503と同じ温度で均一に加熱すると、温度境界層は前縁から後縁に向かって発達する。ここで、平板510の前縁からの距離Zの位置における温度境界層の厚さをδ0とすると、図6aにおける熱交換器503からの温度境界層504の厚さの最大値δに対して、δ<δ03なる条件式が成り立つ。これは、図6aに示すように、温度境界層504は熱交換器503の後縁503bから熱輸送部材501bに向かって流れるため、δがδ0以上に発達することはないからである。また、図6bで示したような平板510に対する温度境界層は、伝熱工学の分野でよく知られており、δvを速度境界層の厚さとすると、δ0/δv=1/1.026×Pr-1/34δv/Z=4.64/Re1/25なる式で与えられる。ただし、Reはレイノルズ数Re=u×Z/νである。この式4および5と、条件式2および3とにより、前述した条件式1が得られる。したがって、条件式1を満たすように熱交換器503を配置することにより、熱交換器503で発達した温度境界層504が対物レンズ40に接触することを抑制し、熱交換器503から対物レンズ40への伝熱量を低減することができる。次に、本実施例に係る温調機構の作用および効果について説明する。まず、温調器502からチャンバ501内部に温調空気を供給することにより、管理温度を目標として対物レンズ40を温調する。この管理温度は、対物レンズ40の光学設計時に想定した基準温度や、キャリブレーション時の周囲温度などに基づいて決定される。しかし、周囲温度節点1は顕微鏡装置1の使用環境に応じて変動するため、チャンバ501内部との間に温度差が生じて熱の流れが生じる。例えば、周囲温度節点1が上昇して、チャンバ501内部の温度よりも相対的に高くなった場合を考える。この場合、節点1からの熱は、まずチャンバ501の外側である断熱部材501a節点2に流入する。この断熱部材501aは、周囲環境に対して完全な断熱性を有するわけではないため、節点2からの熱は、熱伝導によりチャンバ501の内側である熱輸送部材501b節点3に伝わる。ここで、仮に、熱輸送部材501bが本実施例のような高い熱伝導性を有する部材でない場合を想定すると、節点3からの熱の大半は温調空気節点7に流入することになる。すると、空気の単位体積あたりの熱容量は小さいので、温調空気節点7の温度は上昇し、対物レンズ40節点4の温度変動を引き起こしてしまう。一方、本実施例に係る熱輸送部材501bは、銅部材およびヒートパイプから構成され、Z方向の熱伝導性が高いので、熱輸送部材501b節点3に流入した熱の大半は熱交換器503節点5に移動する。よって、熱輸送部材501b節点3と対物レンズ40節点4との間にある温調空気節点7には、周囲環境からの熱はほとんど流入しない。また、熱交換器503節点5は、温調空気節点8に熱を放出するが、前述の条件式1を満たすように配置されているので、節点8からの熱は、対物レンズ40に影響を与えずにチャンバ501の下方節点9から外部に放出される。したがって、周囲環境の温度変動に伴う温調空気の温度変動を抑制でき、対物レンズ40の管理温度を安定して維持することができる。以上、本実施例に係る顕微鏡装置1は、温調機構として、内側に熱輸送部材501bを含むチャンバ501と、チャンバ501内部の流路の出口に配置される熱交換器503と、を備えている。これにより、チャンバ501内部の温調空気の流量を減らしても、周囲環境と対物レンズ40との間の熱の流れを低減することができる。すなわち、周囲環境の温度変動が生じる場合でも、装置全体の大型化を招くことなく、対物レンズ40を高精度に温調することができる。[実施例2]以下、図7を参照して、本発明の別の実施例について説明する。なお、以下の説明において、実施例1と同一または同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。図7は、顕微鏡装置1における対物レンズ40を囲うチャンバ601の概略断面図であり、熱回路網法を利用して熱の流れを示したものである。本実施例に係るチャンバ601は、実施例1と同様に、熱伝導性の低い材料からなる断熱部材601bと、熱伝導性が高い熱輸送部材601aとを含んでいるが、断熱部材601bの外側に熱輸送部材601aが配置されている点で、実施例1と異なる。ここで、断熱部材601bがチャンバ601の内側として配置された場合、その材料によっては、表面の経年変化などによりパーティクルが生じ、それがスライド30上に落下して撮像画像に影響を及ぼす恐れがある。そこで、断熱部材601bの材料として、例えばセラミックス部材などを用いることで、パーティクルの発生を抑止することができる。また、熱交換器603は、実施例1と同様に、熱輸送部材601aと熱的に接続され、条件式1を満たすように配置されている。本実施例に係る顕微鏡装置1において、周囲温度節点1が上昇した場合、節点1からの熱は、まずチャンバ601の外側である熱輸送部材601a節点2に流入する。節点2からの熱は、熱伝導によりチャンバ601の内側である断熱部材601b節点3に伝わる。そして、節点2からの熱は、熱交換器603節点5に移動し、節点5から温調空気節点8に放出される。本実施例においても、熱交換器603は条件式1を満たすように配置されているので、節点8に放出された熱は、対物レンズ40節点4に影響を与えずにチャンバ601の下方節点9から外部に放出される。また、実施例1に係る熱輸送部材501bがチャンバ501の内側に配置されているのに対して、本実施例では、チャンバ601の内側を熱伝導性の低い断熱部材601b節点3で構成している。すなわち、熱輸送部材601aは温調空気と接しないため、節点2からの熱が節点7へ放出されるのを防ぐことができる。よって、本実施例のチャンバ601によれば、熱輸送部材601aと温調空気との間の断熱性を高めることができ、実施例1よりも高い効果を得ることができる。したがって、周囲温度節点1から温調空気節点7への伝熱量を低減させることができ、対物レンズ40節点4の管理温度を安定して維持することができる。以上、本実施例に係る顕微鏡装置1は、温調機構として、外側に熱輸送部材601aを含むチャンバ601と、チャンバ601内部の流路の出口に配置される熱交換器603と、を備えている。これにより、チャンバ601内部の温調空気の流量を減らしても、周囲環境と対物レンズ40との間の熱の流れを低減することができる。すなわち、周囲環境の温度変動が生じる場合でも、装置全体の大型化を招くことなく、対物レンズ40を高精度に温調することができる。[実施例3]以下、図8を参照して、本発明の別の実施例について説明する。なお、以下の説明において、上述した他の実施例と同一または同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。図8は、顕微鏡装置1における対物レンズ40を囲うチャンバ701の概略断面図であり、熱回路網法を利用して熱の流れを示したものである。本実施例に係るチャンバ701は、外側の熱輸送部材701aと、内側の熱輸送部材701bと、ペルチェ素子704と、温度センサ705と、を含んでいる。熱輸送部材701aおよび701bは、上述した他の実施例と同様に銅部材およびヒートパイプを含み、Z方向の熱伝導性を高める構成となっている。また、熱交換器703が、外側の熱輸送部材701aと熱的に接続され、条件式1を満たすように配置されているが、内側の熱輸送部材701bとは熱的に分離している。ペルチェ素子704は、熱交換器703よりも上流側において、外側の熱輸送部材701aと内側の熱輸送部材701bとの間で強固に固定されており、放熱面704aおよび吸熱面704bにおいてそれぞれと熱的に接触している。また、放熱面704aおよび吸熱面704bに、熱伝導グリスや熱伝導シート不図示などを貼付することで、熱輸送部材701aおよび701bとの間の接触熱抵抗を下げることができる。なお、ペルチェ素子704の個数は、その性能と、熱輸送部材701aおよび701bの熱輸送性能熱抵抗などによって、適宜決定される。温度センサ705は、内側の熱輸送部材701bに設けられており、図1で説明した制御系2は、温度センサ705の計測値に基づいて、ペルチェ素子704の電流値を制御することで、内側の熱輸送部材701bの温度を制御する。本実施例に係る顕微鏡装置1において、ペルチェ素子704の、外側の熱輸送部材701aとの放熱面704aは、外側の熱輸送部材701aを介して、熱交換器703と熱的に接続している。そして、熱交換器703は、温調器502から供給される温調空気節点8と熱交換するので、上流側にあるペルチェ素子704の放熱面704aの温度を安定させることができる。よって、ペルチェ素子704の電流値制御を容易に行うことができ、ペルチェ素子704の吸熱面704bを精度良く所望の温度に管理できる。すなわち、ペルチェ素子704および温度センサ705によって、内側の熱輸送部材701bの温度を制御することができる。また、本実施例に係る熱輸送部材701bの構成は高い均熱性を有するので、少ない数のペルチェ素子704で熱輸送部材701bを均一に温度制御することができる。したがって、周囲環境節点1の温度が変動しても、熱輸送部材701b節点3の温度を管理することで、温調空気節点7および対物レンズ40節点4の管理温度を安定して維持することができる。なお、他の実施例と同様に、節点8において熱交換された温調空気は、対物レンズ40節点4に影響を与えずにチャンバ701の下方節点9から外部に放出される。以上、本実施例に係る顕微鏡装置1は、温調機構として、熱輸送部材701aおよび701bと、ペルチェ素子704と、温度センサ705と、を含むチャンバ701と、チャンバ701内部の流路の出口に配置される熱交換器703と、を備えている。これにより、チャンバ701内部の温調空気の流量を減らしても、周囲環境と対物レンズ40との間の熱の流れを低減することができる。すなわち、周囲環境の温度変動が生じる場合でも、装置全体の大型化を招くことなく、対物レンズ40を高精度に温調することができる。[その他の実施例]以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことは言うまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。例えば、上述した各実施例における熱輸送部材は、円柱形の銅部材の内部にヒートパイプを配置した構成であるが、ヒートパイプの代わりに、銅部材の内部に液冷管を配置してもよい。この場合、液冷管の液体を小型ポンプで循環させるので、ヒートパイプを用いる場合よりも熱輸送性能を向上させることができる。なお、液冷管は、円柱形の銅部材の内部に沿ってろう付けしてもよい。また、銅部材の代わりに、アルミなどの熱伝導性の高い金属部材を用いてもよい。すなわち、金属部材の材料や、ヒートパイプおよび液冷管の配置方法は、本発明を限定するものではない。また、実施例1および2における各チャンバは、熱輸送部材と断熱部材とにより構成される2層構造であるが、熱輸送部材を断熱部材で挟み込んだ3層構造としてとしてもよい。さらに、実施例3における熱輸送部材701aの外側に断熱部材を設ける構成として、周囲温度に対する断熱性を高めてもよい。さらに、各実施例において、チャンバ、熱交換器、温調器などを含む温調機構の位置を上下逆さにして配置することにより、温調空気を下から上へ流す構成としてもよい。その場合、熱交換器の下端上流端とチャンバ501の上端下流端との距離Zが条件式1を満たすように、熱交換器を配置すればよい。