"基板に露光を行う露光装置において、前記基板を搭載するチャックと、前記チャックの位置決めを行う位置決め部と、前記基板にパターンを露光するためのマスクを把持し、前記基板に近接するマスクホルダと、前記マスクホルダの加速度を制御する制御部と、前記マスクに光を照射する露光部と、を有し前記制御部は、少なくとも第1の加速度と、前記第1の加速度よりも低い第2の加速度を用いて、前記マスクホルダの加速度を制御することを特徴とする露光装置。請求項1に記載の露光装置において、前記マスクホルダは、前記第1の加速度で加速し、前記第2の加速度で減速することを特徴とする露光装置。請求項2に記載の露光装置において、前記マスクホルダは、前記第1の加速度で加速した後に、前記第2の加速度で減速することを特徴とする露光装置。請求項1に記載の露光装置において、前記制御部は、前記第1の加速度、前記第2の加速度のうち少なくとも1つを変えることを特徴とする露光装置。請求項1に記載の露光装置において、空気よりも粘性の低い媒体を供給する供給部を有し、前記供給部は前記基板へ前記媒体を供給することを特徴とする露光装置。請求項1に記載の露光装置において、前記チャックは、前記マスクホルダの動作に対応して、前記基板の面に対して上方、及び下方の少なくとも一方に移動することを特徴とする露光装置。請求項1に記載の露光装置において、前記チャックと前記マスクホルダとの間の雰囲気を吸引する吸引部を有することを特徴とする露光装置。本発明が解決しようとする課題は、スループット向上を目的にした、狭ギャップ形成の高速化である。以下、本発明の課題について分かりやすく説明するが、本発明は以下の記載に限定されるものではない。スループットを向上させるためには、マスクを高速に基板に接近させ、かつ、マスクの変形を露光精度の許容範囲内に、早く抑えることが必須である。一方、マスクの移動速度を上げると、マスクと基板との隙間が狭いために、両者の間の空気が、空気の粘性によるせん断力により、排出され難くなり、その結果、空気の圧力が上昇して、その圧力によりマスクが変形するという現象が発生する可能性がある。マスクはマスクの周囲を、四角い窓枠の形状をしたマスクホルダにより、保持されている。マスクホルダは、金属でできており剛性が高いが、マスクは石英から作られているため、マスクと基板の間に発生した高圧空気は、マスクを変形させ、その空気が抜けるまで、マスクは変形したままの状態になる。マスクのような平板が、基板のような平板に近付くと、その間の空気が、両者の隙間から抜けにくくなり、両者の間の空気圧が上昇して、両者が近付きにくくなる現象は、スクイーズ効果として知られている。ここで、マスクホルダをマスクと基板の間の空気圧に抗して、近づけても、マスクホルダは基板に近接するが、肝心のマスクは、空気圧により変形してしまい、高圧空気が抜けて、マスクが平坦になるまで、時間を要し、その間、露光ができないという課題が発生する可能性がある。これは、マスクのギャップ形成速度を早くすればするほど顕著になる。また、マスクの大きさが大きくなればなるほど顕在化する。近年、液晶テレビの大型化に伴い、マスクサイズは大型化しており、この問題が、顕在化する傾向にある。また、ギャップが小さくなればなるほど、スクイーズ効果は顕在化する。さらに、テレビ画面の大型化に伴う高精細化により、マスクを用いた露光時の精度は、今まで以上の高精度化がもとめられており、高精度露光を実現するために、ギャップの間隔は狭小化される傾向にある。上述したように、スループットを向上させるためには、マスクのギャップ形成速度を向上させる必要があるが、速度を向上すればするほど、マスクと基板との間の空気圧は上昇して、マスク変形を誘起し、閉じ込められた空気が抜けて、マスク変形が無くなり、露光ができるまでに時間を有するという、課題がある。そして、この課題は、マスクサイズが大きくなればなるほど、両者間の空気が抜けにくくなり、顕在化してくる可能性がある。本発明は、狭ギャップ形成の速度を向上させても、空気の圧力上昇が小さく、その結果、マスクの変形量が小さくなり、狭ギャップ形成時間を短縮して、スループットを向上させようとするものである。本発明では、狭ギャップ形成を高速で実現するために、その高速化の阻害要因と推察される、狭ギャップ形成時中の加速度によるマスク変形量と、空気圧力によるマスクの変形量とに基づき、その変形量の大きさの比較から、空気圧によるマスク変形が、狭ギャップ形成時のマスク変形の主要因で有ることを見出した。本発明では、狭ギャップ形成時の空気圧力の上昇によるマスクの変形量は、マスクは剛体とした場合のマスク移動時の空気圧力上昇、及び、その空気圧力によるマスクの変形量を計算することで求められることを見出した。本発明では、狭ギャップ形成時の圧力上昇の大きさは、マスクの移動速度プロファイルにより、大きく異なることを見出した。本発明では、マスクの移動速度を遅くすればするほど、空気の最高圧力は小さくなることを見出した。ここで、マスクの移動速度を遅くすることは、狭ギャップ形成の高速化と反することになる。この点に配慮して、本発明では、マスクの移動開始から終了までの時間が同じでも、速度プロファイルを、非対称、すなわち加速時の加速度を減速時の加速度よりも大きくすることにより、速度加速時間と減速時間を同じにする、すなわち対称速度プロファイルの時の最大圧力上昇値に比べて、その最大圧力を小さくできることを見出した。換言すると、マスク移動速度が最大となる時点を、マスク移動全体時間の半分より前に早い時間になるような、非対称速度プロファイルにすると、対称速度プロファイルの最高圧力より小さくなることを見出した。一方、加速時の加速速度を小さくし、減速時の加速度を大きくする場合には、加速と減速の加速度が同じ場合に比べて、その最大圧力が大きくなることを見出した。上記の知見に基づくことで、狭ギャップ形成時の高速化の妨げになると推察される狭ギャップ形成時の圧力上昇が小さいマスク移動速度プロファイルでマスクを移動させることにより、狭ギャップ形成を高速化して、スループットを向上させることを見出した。また、マスクと基板の間の空間に、空気よりも粘性の低い気体を噴出する、低粘性噴出手段を設ける。これにより、マスクと基板の間の空気粘性を小さくできることを見出した。これにより、狭ギャップ形成時の圧力上昇を小さくできるので、狭ギャップ形成を高速化できることを見出した。さらに、マスクと基板の外縁の近傍に、負圧手段を設ける。この負圧手段により、狭ギャップ形成時に、マスクと基板の間から排出される空気の量と、早さを増加させることができることを見出した。これにより、狭ギャップ形成時の圧力上昇を小さくできるので、狭ギャップ形成を高速化できることを見出した。そして、本発明は以下の特徴を有する。本発明は、以下の特徴を独立して有する場合もあれば、複数の特徴を同時に有する場合もある。本発明は、マスクホルダが移動する際の加速度を制御する。本発明は、前記基板を搭載するチャックと、前記チャックの位置決めを行う位置決め部と、前記基板にパターンを露光するためのマスクを把持し、前記基板に近接するマスクホルダと、前記マスクホルダの加速度を制御する制御部と、前記マスクに光を照射する露光部と、を有し前記制御部は、少なくとも第1の加速度と、前記第1の加速度よりも低い第2の加速度を用いて、前記マスクホルダの加速度を制御することを特徴とする。本発明は、前記マスクホルダは、前記第1の加速度で加速し、前記第2の加速度で減速することを特徴とする。本発明は、前記マスクホルダは、前記第1の加速度で加速した後に、前記第2の加速度で減速することを特徴とする。本発明は、前記制御部は、前記第1の加速度、前記第2の加速度のうち少なくとも1つを変えることを特徴とする。本発明は、空気よりも粘性の低い媒体を供給する供給部を有し、前記供給部は前記基板へ前記媒体を供給することを特徴とする。本発明は、前記チャックは、前記マスクホルダの動作に対応して、前記基板の面に対して上方、及び下方の少なくとも一方に移動することを特徴とする。本発明は、前記チャックと前記マスクホルダとの間の雰囲気を吸引する吸引部を有することを特徴とする。本発明は以下の効果を奏する。本発明は以下の効果を独立して奏する場合もあれば、同時に奏する場合もある。1マスクを基板に近接する場合、すなわち狭ギャップを形成する場合でも装置の動作を高速化することができる。2マスク基板間の空気圧力上昇を小さくするマスク速度プロファイルを用いて、前記の空気圧力の最大圧を小さくすることにより、これによる、空気抵抗反力とマスク変形を小さくして、狭ギャップ形成を早くすることができる。3マスク速度プロファイルについては、通常良く用いられる、マスクが基板に向かって移動開始する時の加速時の加速度と、マスクが基板に近接した時目標に近接した時の減速時の加速度を同じにする、対称な速度プロファイルではなく、加速時の加速度を減速時の加速度より、大きくすることにより、マスク移動に伴う、空気圧力の最大圧力を小さくできる。これにより、マスクの変形量を小さくできるので、この空気圧に起因するマスク変形量が、露光可能な量まで、小さくなるまでの時間が短くなり、狭ギャップ形成時間を短縮することができる。換言すると、マスク変形は空気圧の上昇により発生しているため、最大空気圧が小さいと、マスクの変形量も小さく、また、空気がマスクと基板の間から抜ける時間も短くなり、このため、変形したマスクが平行になり、露光を開始できる時間を早くすることができる。つまり、これにより、狭ギャップ移動を早くすることができ、スループットを向上させることができる。また、マスクと基板の間の空気に、空気よりも粘性の小さい気体を注入することにより、空気の粘性を下げることにより、狭ギャップ形成時の最大圧力を下げて、マスクの変形量を小さくして、狭ギャップ移動の高速化が可能となる。4負圧手段により、狭ギャップ形成時にマスクと基板の間から排出される空気流速を早くできるので、結果的に流量を増やすことができ、狭ギャップ形成時の最大圧力を下げることが可能となる。その結果、マスクの変形量を小さくして、狭ギャップ移動の高速化が可能となる。以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。実施例1を図1から図8を用いて説明する。図1は、実施例1の露光装置の概略構成を示す図である。本実施の形態は、マスクと基板との間に微小な間隙プロキシミティギャップを設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式の露光装置の例を示している。露光装置は、ベース3,Xガイド4,Xステージ5,Yガイド6,Yステージ7,θステージ8,基板1の面に対して垂直方向に駆動するZ機構9,チャック10、及びマスクホルダ20を含んで構成されている。なお、露光装置は、これらの他に、露光用光源,チャック10へ基板1を供給する供給ユニット、チャック10から基板1を回収する回収ユニット、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えているが、本実施の形態では発明に直接関係しない部分は省略してある。図1において、チャック10は、基板1の受け渡しを行う受け渡し位置にある。受け渡し位置において、図示しない供給ユニットによって基板1がチャック10へ供給され、また図示しない回収ユニットによって基板1がチャック10から回収される。チャック10への基板1の搭載は、チャック10に設けた複数の突き上げピンを介して行われる。突き上げピンは、チャック10の表面より上昇して、基板1を供給ユニットのハンドリングアームから受け取った後、再び下降して、基板1をチャック10の基板保持面に載せる。基板1の露光を行う露光位置の上空には、マスクホルダ20によってマスク2が保持されている。また、マスクホルダ20は、Z機構9により支持されている。チャック10は、θステージ8に搭載されており、θステージ8の下にはYステージ7及びXステージ5が設けられている。Xステージ5は、ベース3に設けられたXガイド4に沿ってX方向図面横方向へ移動する。Xステージ5のX方向への移動によって、チャック10は、受け渡し位置と露光位置との間を移動する。なお、駆動手段としてはリニアモータ等が用いられるが、図示は省略する。Yステージ7は、Xステージ5に設けられたYガイド6に沿ってY方向図面奥行き方向へ移動する。θステージ8は、チャック10をθ方向図面縦方向軸周りへ回転する。また、Z機構9は、マスクホルダをZ方向図面縦方向へ、つまり、基板方向へ接離及びチルト傾けるする。露光位置において、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、及びθステージ8のθ方向への回転によって、露光時の基板1の位置決めが行われる。また、Z機構9のZ方向への接離及びチルトによって、マスク2と基板1とのギャップ制御が行われる。なお、チャック10の下に設けられた、θステージ8等、全ての機構は、マスクホルダ20に取り付けても良い。また、逆に、Z機構9は、チャック10の下に設けても良い。図2は、マスクホルダ20の断面の概念図を示している。4角形状のマスク2は、枠窓型のマスクホルダ20により、その外縁を保持されている。この保持力はマスクホルダ20に、マスク2と接触する部分に、負圧口22を設けて、その負圧口に連接した配管図示せずを介して、外部に設けられた負圧ポンプ図示せずにより、空気を吸引することにより得られている。マスク2と反対側には、ガラス21が設けられている。これは、マスク2の自重による撓みを矯正するために設けられている。具体的には、マスクホルダ20に設けられた負圧配管23により、マスク2の背面の空間を減圧負圧して負圧空間24にすることにより、マスク2の自重による撓みが矯正されて、平行な面が得られる。これにより、大きなマスクであっても、チャック10に突起11で支持されている基板1に対して数百μmのギャップに近接し、保持することが可能となる。本実施例は、このZ機構9言い換えるならマスクホルダの加速度を制御する。具体的には、Z機構言い換えるならマスクホルダの加速時の加速度を減速時の加速度よりも大きくする。以降は、Z機構言い換えるならマスクホルダの加速度制御について詳細に説明する。図3は、マスク2の狭ギャップ形成動作概念図を示している。マスク2はチャック10に搭載された基板1がマスク2の下に移動してくるときに、基板1との接触を回避するために、05~1mm程度高い位置に退避している。この図3では、マスク2,基板1との間隔H90が、その退避間隔である。狭ギャップ形成動作とは、マスク2が間隔H90から矢印30の方向に移動して、基板から数百μmの狭い隙間狭ギャップG92まで移動して静止する動作を言う。この狭ギャップGを形成した後に、光源図示せずからの光により、基板1上にマスク2のパターンを転写露光する。この方法はプロキシミティ露光と呼ばれている。このプロキシミティ露光では、狭ギャップGを小さくすればするほど基本的に露光精度が上がるので、この観点からはなるべく近接させることが望ましい。一方、マスク2は高価であるために、マスクと基板1との接触は避けることが望ましい。また、装置のスループットを上げるためには、マスク2を早く基板1に近接させること、つまり狭ギャップG92の形成の高速化が必要である。上述した理由から、狭ギャップ形成のマスク2の移動速度プロファイルの決定が重要になる。図4に、狭ギャップ形成中のマスク変形予想図を示す。図41の、狭ギャップG形成前のマスクは変形のない平面であるが、図42の狭ギャップ形成中は、マスク2の移動に伴う1加速度と2マスク2と基板1の間にある空気が圧縮されて発生する空気圧による変形が予想される図42の31によるマスク変形。図43は、狭ギャップ形成後のマスク形状である。露光装置では、マスクが所定の狭ギャップG位置に設定され、その時のマスクの変形量が許容範囲内に入ったことを判定して露光する。このため、マスク2を所定の狭ギャプG位置に早く設定すると共に、マスク2の変形量を早く所定の変形量以下に抑えることが重要である。ここで、マスク2はマスクホルダ20によりその外縁周囲を保持されているので、マスク2の外縁はマスクホルダ20と共に、変形が発生しないので、早く、狭ギャップGに位置決めすることができる。具体的には、マスクホルダは、マスクホルダ20を基板に接離する方向マスク面に対して垂直方向に動かすモータ図示せずにより構成されたZ機構9に連結されており、このモータによりマスクホルダ20が基板1に接離してマスク2を基板1に接離させる。ここで、マスクホルダ20は、金属製で剛性が高く製作されているので、変形量は小さくモータの上下に応じた量だけマスクホルダ20と、それに保持されているマスク2の外縁周囲を、基板1に離接させることができる。一方、マスク2は、石英ガラスで、その厚さも薄いので、前述した、ギャップ形成時の加速度、あるいは空気圧により凸に変形しており、この変形量が露光可能な所定の変形量以下に収まる時間を短縮することが、実質的に狭ギャップGの形成時間を早くすることに繋がる。換言すれば、マスクホルダ20は、前記したモータにより、モータの移動量に応じて狭ギャップGの位置に位置決めできるが、マスク2は、前記の加速度と空気圧により変形しており、それらが所定の値以下になるまでに時間を要しており、これが狭ギャップGの形成時間を決めていることを本実施例では見出した。次に、マスク変形要因について説明する。図5に、狭ギャップ形成時の加速度によるマスク2の変形量の計算変形解析を示す。加速度は平行なマスクの全体に一様に掛かると仮定する。これは、図2で示したマスクホルダの負圧力を利用したマスクの自重による変形量を矯正する機能により、マスクが平行になっているためである。図51に、マスク全体の変形量を示す。曲線501,502によって、マスクの変形は表現される。図52は、図51のA-A′断面の変形量を示している。図51より、マスク2の中央での変形量が最も大きい。この最大変形量をDとする。ここで、図52において、変形量が概略ゼロの領域があるが、これはマスクホルダ20によりマスク2の外縁周囲が把持されており、マスクホルダの剛性が高いためである。次に、狭ギャップ形成時の圧力によるマスクの変形量について説明する。本実施例では、マスクの変形が無いと仮定し、空気圧力を外力とする。図6に、狭ギャップ形成時の圧力上昇の時間変位を示す。図61はマスク速度プロファイルを、図62はマスク中央の圧力を示している。両図とも無次元で表記している。図61の速度プロファイル40は、加速時間と減速時間が共に005Tで、その時の加速度はaの速度プロファイル最高速度Vを示している。また、速度プロファイル41は、加速時間と減速時間が共に05Tで、その時の加速度は01aの速度プロファイル最高速度01Vを示している。ここで、速度プロファイル40は、速度プロファイル41に比較して、最高速度で10倍早く、また、速度プロファイルの時間は、1/10と短い。このように、速度プロファイル40と速度プロファイル41は、大きく異なるが、マスクの移動距離は、同じである。つまり、マスクの移動距離は同じでも、速度プロファイルの組み合わせは多数あることとなる。次に、速度プロファイルについて説明する。先ずは、速度プロファイルによりどのような圧力が発生しているのか説明する。なお、ここでのマスクの移動は、図41のHから図43のG狭ギャップ形成時のため、マスクの移動距離は、H-Gである。図62に、速度プロファイル40と速度プロファイル41に対する圧力変動を圧力変動50と51として示す。圧力変動は、圧力の最も高いマスク中央の圧力を示している。なお、本実施例では、狭ギャップ形成時の圧力上昇は、マスクが4画で対称であることから、マスクは1/4モデルとしている。また、マスクサイズは比較的大きく、一方、狭ギャップGは数百μmと狭いので、横長のメッシュとしている。また、マスク周りのメッシュサイズは小さくして、さらに、マスクは移動するため、移動境界条件として説明する。また、空気は常温とし、圧縮性を考慮理想気体で等温して説明する。一方、マスクは前述したように剛体と仮定して説明する。なお、圧力の計算を行う場合は、市販の流体解析コードを用いれば良い。図62の圧力変動50から、マスク速度の増加に伴って圧力が上昇し、その最大値はPに到達し、その後、マスクが減速にするに従い小さくなることが分かる。また、最大圧力は、マスクが最大速度となる005Tよりも遅れて約0075T後になることが分かる。また、マスク速度は、01T後にゼロ0になるが、圧力は暫く遅れてゼロになることが分かる。圧力変動51も同様で、マスク速度の増加にともない圧力が上昇し、マスク速度の低下に伴い圧力も小さくなる。ここで、本実施例では、最大圧力となるのがマスクが最大速度となる05T時間後ではなく、約08T後になることを見出した。つまり、本実施例では、速度が最大になる時間に圧力が最大になるのではなく、今回の加速と減速が同じ対称の速度プロファイでは、減速中に最大の圧力上昇になることを見出した。また、圧力変動50と圧力変動51の最大値を比較してみると、その値は約1/10=01P/Pになっている。これは、最大速度が1/1001V/Vになっていることと対応している。これは、マスクの移動速度を遅くすることが、圧力上昇を小さく抑えることに有効であることが示している。しかし、マスクの移動速度を遅くすると、圧力上昇の最大値は抑えられるが、狭ギャップ移動の時間そのものを大きくしてしまう。つまり、マスク移動速度を遅くすることは、狭ギャップ移動速度プロファイルの全体の時間を短縮するという目的とは相反する要求となってしまう。そこで、本実施例では、速度プロファイルの全体の時間を延ばさないで、圧力上昇の最大値を抑えることができるような速度プロファイルを設定すれば、圧力上昇によるマスクの変形量を低減できるので、狭ギャップ移動の時間を短縮でき、その結果スループットを向上できることを見出した。次に、これらの圧力上昇が、マスク変形に及ぼす影響を説明する。具体的には、速度プロファイル40の時に発生する最大圧力Pの半分の圧力P/2が、マスク2に均等に加わると仮定してマスクの変形量について説明する。ここで、Pは、マスク移動速度V,移動距離H-G,時間T等により変化するが、可能性のある最大値Pについて説明する。図7にP/2の空気圧が加わった時のマスクの変形量を示す。図71から、マスクの最大変位はマスクの中央にあることが分かる。また、その大きさDpは、図72に示すように、加速度による変形量Daに比べて大きくDp>Da、圧力による変形が支配的であることを示している。なお、図72の測定距離は、図71のAからA′に向かって測定した場合の測定距離である。マスクの外縁周囲は、マスクホルダにより把持されているために、変形量が概略ゼロになっている領域も存在する。この変形量は、図71から分かるように、基板1と反対方向に凸となるために、マスク2と基板が接触することはない。また、このことは、マスクホルダ20が狭ギャップ形成のために、基板から数百μmの位置まで近接しても、マスク2の中央部では、空気圧のために、基板と反対方向に凸に変形することを示している。狭ギャップ形成時の空気圧Pによるマスク変形量Dpは、狭ギャップGに対して、無視できない値であり、この変形量を小さくすることが、狭ギャップ形成の高速化に寄与することを本実施例では見出した。また、この変形は、空気圧によるものであるから、空気が瞬時に排出される場合には、この変形が無くなり、平坦に戻るまでに時間を必要としない。しかし、空気圧により、マスクの中央が大きく膨れて空気を閉じ込めており、一方、その周囲は外縁はマスクホルダにより基板に近接しているので、空気の出口は狭められているために、マスク中央の空気が外に排出されないで、長い時間マスクの変形が維持されることとなる。具体的には、狭ギャップ形成により、マスクの中央は空気圧で凸に膨らんでいる。一方、空気が排出されるマスクの周囲は、数百μmまで基板に近接して空気の出口をふさいでいるため、空気がマスク外に抜けにくく、この空気が排出されるまでに時間を要する。そのために、マスクが所定の変形量以下になるまでに時間を有し、その結果として、狭ギャップ形成に時間が掛かっていることとなる。このために、この狭ギャップ形成時に発生する圧力を小さくすることが、マスク変形量を小さくして、その結果として、狭ギャップ形成の高速化に寄与することを本実施例では見出した。以上のことから、マスク移動速度を遅くすると圧力上昇が小さくなり、マスク変形量も小さくなるが、マスクを狭ギャップ位置に移動するのに時間を要するので速度プロファイルの終了時間が長くなるので、狭ギャップ移動を早くすることと相反する。一方、速度を早くすると、マスク周辺外縁は、狭ギャップ位置に早く到達するが速度プロファイルの終了時間は短くなるが、マスクは空気圧力の上昇により大きく変形し、その変形量が所定の値以下になるまでには、時間を要し、結果的に、狭ギャップ形成を高速化できない。このため、速度プロファイルの終了時間を長くしないで、空気圧力の最大圧力を小さくすることが可能な速度プロファイルを設定すれば、狭ギャップ形成の高速化が可能になることを本実施例では見出した。図81は、時間Tとマスク移動速度Vとの関係において、加速時の加速度と減速時の加速度を変えた場合を説明する図である。図82は、加速度を変えた場合の最大圧力変動を説明する図である。具体的には、図81では、加速と減速の時間が同じつまり、加速時の加速度と減速時の加速度が同じ05T、対称速度プロファイル70と、マスク速度が05Tよりも遅く最高速度に達する後半最高速度プロファイル71加速時間075T,減速時間025T、そして、マスク速度が05Tよりも早く最高速度に達する、前半最高速度プロファイル72加速時間025T,減速時間075Tを記載している。そして、図82にはそれらの最大圧力変動を示している。ここで、対称速度プロファイル70を基準プロファイルと呼ぶ。なお、ここでも、狭ギャップ形成は、Hの位置から、G露光ギャップの位置まで、T時間で移動する速度プロファイルについて説明する。図81の基準プロファイル70に対する圧力変動は、図82の圧力変動80である。両図の比較から、マスクが最高速度に到達する時間は、移動開始後05Tであるが、最大圧力になるのは、それより遅い約075T後である。いま、その最大圧力値をPとする。次に、基準速度プロファイルの対称なプロファイルから、図81の後半最高速度プロファイル71に変更すると、図82の後半最高速度プロファイルの圧力変動81のように、その最大圧力は14P約14倍に増加して、また、その到達時間も約08Tと後ろにシフトする。一方、図81の前半最高速度プロファイル72にすると、その最大圧力は、図82の前半最高速度プロファイルの圧力変動82となり、最大圧力は、基準プロファイルの圧力Pから、約08Pと減少し、また、その到達時間は075Tより前になる。つまり、狭ギャップ形成時のマスク形成速度のプロファイルを、対称速度プロファイル70から、加速時の加速度を減速時の加速度より大きくする、つまり、前半最高速度プロファイル72となるような速度プロファイルにすると、その最大圧力を小さくすることができることを本実施例では見出した。一方、後半最高速度プロファイル71となるような速度プロファイルにすると、その最大圧力が、増大するということも本実施例では見出した。これらの速度プロファイルは、その開始から終了までの時間が同じであるために、これにより、マスク移動が遅くなることは無い。また、最大圧力のみを小さくできるので、マスクの変形量を小さく抑えることが可能となり、そのため、マスク移動時の圧力上昇により発生したマスクの変形が無くなる所定の値以下になる迄の時間が短縮でき、その結果、狭ギャップ形成時間を短縮できる。さらに、図81の速度プロファイルの加速時間を、0125Tから最大速度V、図示せず005T最大速度V、図示せずへと短縮して、最高速度に達するまでの時間を短くした速度プロファイルにおける圧力変動を、図82の圧力変動83,圧力変動84に示す。同図から、基準プロファイル圧力変動80に比べて、その最大圧力は、圧力変動82にすると小さくなり、さらに、最高速度に到達するまでの時間を短くすると、圧力変動83,圧力変動84に示すように、その最大圧力は、さらに小さくなる。但し、その最大圧力の低減の効果量は、小さくなっていることがわかる。このことから、加速度をむやみに大きくしても、具体的には、加速度を無限にして、マスク速度を瞬時に最高速度のVにした場合にも、加速時間005Tの最大圧力に比べて、その最大圧力を著しく低減することはできない。もちろん、理想的には理論的には、加速度を無限にしたL字型直角三角形の速度プロファイルが望ましい。しかし、現実的には、チルト機構9のモータの最高加速度で、L字型に近い速度プロファイルを目指すことが現実的実用的には望ましい。以上のことから、速度プロファイルを、加速と減速の時間が同じ、対称速度プロファイルから、前半に最高速度となる、前半加速プロファイルにすることが、最大圧力上昇を低減することに有効である。最大速度となる時間を、速度プロファイルの中心から前方にシフトさせればさせるほど、その最大圧力は小さくなる。しかし、その低減効果は小さくなる。上述の現象、つまり、速度プロファイルを、加速時と減速時が対称の速度プロファイル基準から、速度プロファイルの中心中間時間よりも前に早い時点で最高速度となる非対象な速度プロファイルでマスクを動かせば、その最大圧力を小さくすることができることは、マスクの大きさ、狭ギャップ形成の開始位置H,停止位置G露光位置、それの所要時間Tマスク移動速度が変わっても、基本的な傾向は変わらない。また、この現象は、マスクが大きければ大きいほど、また、マスク移動速度が速くなればなるほど、また、停止位置G露光位置が小さくなればなるほど顕著になるため、本実施例の方法はより有効である。本実施例では、狭ギャップ形成時のマスク移動速度プロファイルを、その最高速度に到達する時間が、その速度プロファイル全体開始から停止までの中心時間よりも前早い時間、開始に近い時点で、最高速度となるように制御する。これにより、速度プロファイルの全体時間を同じにしたまま、圧力変動の、最大圧力を小さくできるので、その結果として、空気圧による、マスク変形量を小さくできる。このため、マスクが空気圧により変形し、それが、平坦に戻るまでの時間を短縮できるので、その結果として、狭ギャップ形成時間を短縮できる。このため、スループットを向上させ、露光装置の性能を向上させることが可能となる。なお、本実施例においては、マスクホルダをマスク方向に接離させるチルト機構のモータの速度プロファイルを、上記のように変更すれば良いので、既存の露光装置にも適用することができる。もちろん、上述した制御を行うために新たなコントロールシステム機構を追加しても良い。図9に、本発明の実施例2を示す。本実施例2と実施例1の違いは、マスクホルダ20に設けていたZ機構9を、マスクホルダに対して基板1挟んで反対側、言い換えるなら基板の下側裏面側に設けたことである。具体的には、本実施例のZ機構9は、例えばチャック10とθステージ8の間に配置される。Z機構9を、マスクホルダ20から、チャック10の下に設けたことにより、マスクホルダ20を上下させる機構が不要になり、マスクホルダ20周りの機構が簡略化され、マスクホルダ20のトップフレーム図示せずへの取り付け精度を向上させることが可能となり、その結果マスクの並行度平面度が実現し易くなる。さらに、マスクを静止させて、基板1をマスクに接離させるために、マスク2を真空で把持するための吸引力負圧力を小さくすることができ、負圧ポンプを小さなものにすることができるので、装置コストの低減につながる。また、実施例1では、マスク2を高速で上下するためには、その加速度に耐えうるようにマスク2を離さないように、マスクホルダ20の負圧口22の吸引力を強くしなければならない場合も考えられる。特に、マスク2の自重をマスクホルダ20の吸引力のみで支えているので、負圧力の向上が必須となる。さらに、マスク2を上下に高速で動かそうとすればするほど、その加速度により、マスク2の変形量が大きくなる。一方、実施例2では、チャック10を上下させて、その結果、その上に搭載されている基板1を上下に動かすことになる。ここで、チャック10の剛性は高いので、チャック10の上下加速度による変形量は小さく、その結果、それに搭載されている基板の変形は小さい。このため、狭ギャップ形成の加速度を大きくすることが可能となり、その結果、狭ギャップ形成の高速化が可能となる。繰り返しになるが、実施例2では、マスク2は静止しているので、加速度による変形を考慮する必要がなく、加速度を増大させて、狭ギャップ形成の速度を上げることができる。ここで、チャック10をマスク2に接離する速度、つまり、Z機構9による、チャック10の速度は、実施例1と同じように、狭ギャップ形成時の、マスク速度プロファイルにおいて、加速時の加速度が、減速時の加速度より大きく、換言すると、最高速度に到達する時間が、前記速度プロファイルの時間中心よりも前にあるような短い時間で到達するような、速度プロファイルになっている。このため、狭ギャップ形成時の圧力上昇の最大値を、小さくすることが可能となり、これにより、圧力によるマスク変形量が小さくなり、その結果として、マスク変形が無くなり露光開始時間を早められる。このため、本第二実施例においても、第一実施例と同様に、狭ギャップ形成速度を上げることが可能となり、スループットを向上できる。図10に実施例3を示す。本実施例3においては、実施例1の速度プロファイルと同じようにつまり、図8の前半最高速度プロファイル72のように、最高速度になる位置時間を、速度プロファイルの中央から前方に持ってくる点は同じである。実施例3と実施例1との違いは、本実施例の加速度が可変であり、速度プロファイルが、図10の速度プロファイル103のように、曲線の速度プロファイルとなっている点である。具体的には、実施例3では、加速時の速度プロファイルを凸型曲線に、減速時の速度プロファイルを凹型曲線に可変とする。このような速度プロファイルとすることにより、実施例1と同じように、最大圧力上昇を小さくできる。さらに、加速度を可変にすることにより、マスク移動速度の加速から減速への移り変わりの速度変化を小さくし、また、減速して、静止するまでの速度変動を小さくすることができるので、マスクホルダ20の振動を抑えることができる。また、その結果、マスクの振動も抑えることができる。このため、露光までの時間を短縮し、狭ギャップ形成速度をより高速化することが可能になると考える。ここでは、曲線の速度プロファイルを示したが、曲線でなくても、多角形の速度プロファイルでもよい。つまり、図10の基準速度プロファイル70では、加速と減速の切換わりの、05Tを中心に左右の面積移動距離が同じである。一方、本実施例の速度プロファイルでは、05Tより早い側時間0に近い側の面積移動距離が大きいことが特徴である。つまり、速度プロファイルの中央の時点時間よりも、前の面積移動距離を大きくすればするほど、圧力上昇は小さくなる。このため、速度プロファイルが、直線、或いは、曲線であろうが、05Tより前半の面積を大きくなることが望ましい。また、繰り返しになるが、理想的には、モータマスクホルダの加速度が無限であれば、時間0でマスク速度がVに達し、その後、時間Tで速度ゼロ0になる速度プロファイルが、圧力上昇低減の観点からは望ましい。しかし、モータの加速度は有限であるため、モータの加速度特性に基づいて速度プロファイルを制御することが望ましい。図11に、本発明の実施例4を示す。実施例4と実施例1との違いは、本実施例では、チャック10の周辺例えば両端に、空気の粘性よりも粘性の小さい気体を、基板1の上に噴出するための、低粘性気体噴出ノズル100を設けた点である。具体的には、マスク2が基板1に近接する際に望ましくは直前、前記ノズル100から、粘性の低い気体を基板とマスクの間に噴出することを特徴としている。この効果としては、狭ギャップ形成時の空気圧の上昇は、空気の粘性により大きくなることから、空気よりも粘性の低い気体を、狭ギャップ形成時に噴出することにより、圧力上昇を小さくすることができる。具体的には、空気の粘性は、184μPasであるが、例えば、水素のそれは、89μPasである。このため、マスク2と基板1の間の空気を、水素に置換できればその粘性が約1/2であることから、圧力上昇を空気に比べて約1/2に減少することが可能である。その他の構成は、第一実施例と同じであるため、第一実施例と同様な効果が得られるとともに、粘性の小さい気体を用いることにより、さらに圧力の上昇を低下できるので、マスク変形量を小さくでき、狭ギャップ形成の高速化を行うことができる。図12に、本発明の実施例5を示す。実施例5と実施例1との違いは、マスクホルダ20に設けていたZ機構9の他に、2つ目のZ機構9をマスクホルダに対して基板1を挟んで反対側、言い換えるなら基板の下側裏面側に設けたことである。具体的には、本実施例5の2つ目のZ機構9は、例えばチャック10とθステージ8の間に配置される。この2つ目のZ機構9は、マスクホルダ20に設けていたZ機構9の動作に対応して、基板1の面に対して垂直方向に駆動する。これにより、マスク2とステージ1の両方が、接離するように、動くことが可能となる。ここで、本実施例5では、両者の相対的な動き、つまり、速度プロファイルが、実施例1と同じであり、例えば、実施例1の前半最高速度プロファイル72のようになっている。このため、マスク2と基板1の圧力上昇が小さくなり、第一実施例と同様に、狭ギャップ形成の高速化ができる。また、本実施例では、マスク2と基板1の両方が動くので、狭ギャップ形成開始時の加速度を、早くすることが可能となり、理想的な直角三角形L時型のの速度プロファイルに、より近づけることができる。このため、両者の間の圧力上昇を小さくでき、第一実施例よりも早い狭ギャップ形成が期待できる。マスクを基板に近接させて露光を行うプロキシミティ露光装置に置いては、実施例5を用いることにより、狭ギャップ形成時のマスクと基板間の最大空気圧を低減できるので、マスク変形が小さくなり、ギャップ形成時間を短縮できる。その結果、装置のスループットを向上させることが可能となる。図13に、本発明の実施例6を示す。本実施例6と、実施例1との違いは、本実施例6では、基板1言い換えるならチャック10とマスク2の外縁に、雰囲気を吸引する負圧手段200を設けている点である。具体的には、図131のように、チャック10に置かれた基板1の外縁に、吸気口201を持つノズル202とそれをチャック10に固定する固定部203と、ノズル202から吸引した空気をチャック10の外に出す配管204から構成されている負圧手段200が設けられている。吸気口201は、傾斜しており、吸気口201の少なくとも一部は、マスク2と基板1の間に存在するようになっている。傾斜させることにより、ノズルの挿入にも拘わらず、マスク2を基板1に近接することが可能となり、また、両者の間に吸気口の一部を挿入することにより、効果的に、空気を排出できる。配管204の他端には、負圧力吸引量と吸引時間をコントロールする制御手段を設けた負圧ポンプ605が設けられている。この負圧手段200は、少なくとも1つ以上、例えば、基板1の外縁に沿って、基板1の全周に複数設けられている。この負圧手段200は、図132に示すように、狭ギャップ形成のためにマスク2が基板1に近接する時に両者の間に発生する空気流205マスク2中心からマスク2外縁に向かって流れる空気流を、吸気孔201で吸引して、マスク2と基板1の間の外に出す機能がある。つまり、負圧手段200により、狭ギャップ形成時に基板1とマスク2間に発生する高圧空気を、短時間で、両者の間から外に流出するために、高圧空気によるマスク2の変形量を低減することが可能となる。これにより、狭ギャップ形成時の高圧空気によりマスク2の変形を小さくできるので、狭ギャップ形成時間を短縮することが可能になる。ここで、負圧手段200による吸引の開始と停止は、マスク2が狭ギャップ形成を開始し始めてから高さHから、小さくなり始めたら、吸引を開始し、マスク2が高さGに到達したら、吸引を停止する。また、ここで、吸引量は、マスクが高さHからGに移動することにより排出される空気量に相当する吸引量である。つまり、吸引量Qは、Q=マスク面積x高さH-高さGである。つまり、マスク2が、狭ギャップ形成により、高さHから高さGになるまでの空気量を吸引してやれば、空気の圧力が上がり、マスク2の変形を誘起することが無くなり、狭ギャップ形成を高速化することが可能となる。ここで、負圧手段200としては、シリンジポンプのような、つまり、注射器状のシリンダーポンプを用いて、このポンプの流量を、前記の流量Qと同じにすることにより、流量Qを管理することが容易になる。つまり、狭ギャップ移動が開始するのに合わせて、シリンジポンプを引き始め、狭ギャップ移動が終了すると同時に、引き終わるように調整することにより所定の流量Qを、マスク2の移動に合わせてマスク2と基板1から容易に抜き出すことが可能となる。マスク2が狭ギャップの高さGに到達したら、負圧手段200により、吸引を停止するのは、負圧手段200を稼働させたままにしておくと、マスク2と基板1間の空気が、排出されて、真空大気圧より低い値となり、マスク2が下に引っ張られて撓むためである。つまり、負圧手段200により、狭ギャップ形成後にも稼働すると、マスク2が変形して狭ギャップ形成の障害となるために、これは、避けなければならない。上述した吸引制御は、基板1とマスク2間に発生する高圧空気の圧力、つまりマスクホルダの移動に対応していると表現することができる。その他の表現としては、基板1とマスク2間に発生する高圧空気の圧力が大きくなるにつれて負圧手段200の負圧も大きく、基板1とマスク2間に発生する高圧空気の圧力が小さくなるにつれて負圧手段200の負圧も小さくなるように制御されると表現することができる。なお、本実施例でも実施例1と、同じ効果を期待することができる。図14に、本発明の実施例7を示す。本実施例7と実施例6との違いは、本実施例7では、負圧手段210が、マスクホルダ20に、マスク2に隣接して設けられている点である。図141に示すように、負圧手段210には、吸気口211が、基板1と対向して設けられており、また、吸気口211が設けられている基板1との対向面212,213は、その面高さが、マスク2の基板1との対向面215と同じ高さに設定されている。本実施例7について、図142を用いて、説明する。本実施例7では、負圧手段210の、基板1対向面が、マスク2のそれと同じ高さに設けられているので、以下の効果を奏することができる。1負圧手段210が有っても、マスク2を基板1に、負圧手段210が無い時と同様に、近接させることができる。2負圧手段210が、マスクホルダ20に設けられているので、基板1がマスク2より大きく、基板1の位置を移動させながら、露光させる場合にも、負圧手段210を取り換える必要が無くなり、容易に行うことができる。3負圧手段210の基板対向面の、マスク2側の幅W2に対して、外側の幅W1を、大きくすることにより、吸気口211から吸引する空気流217のうち、マスク2中心からの空気流216を、外部からの空気流218よりも、流量的に沢山吸引することが可能となり、より効率的に、マスク2と基板1との間の空気を、マスク2の外に排出することが可能となる。特に、W1を広くすればするほど、外部から、吸気口217に入ってくる空気流218は、その流路抵抗が増加するために大きくなり、その結果として、空気流218の流量は小さくなる。その結果、前述したように、マスク2からの空気流216を、効果的に、マスク2と基板1の間から、排出することが可能となる。その結果、第6実施例と同様な効果を期待することができる。図15に、実施例8を示す。本実施例8と実施例6との違いは、基板1とマスク2の間の気圧を大気圧より小さくすることである。これにより、狭ギャップ形成時に障害となっていた空気の圧力上昇を小さくすることが可能となり、狭ギャップ形成の速度を向上させることが可能となる。具体的には、図151に示すように、負圧手段220により、マスク2と基板1の空気を空気流225として、両者の間から常にマスク外に流出させている。このため、マスク動作に合わせて負圧手段を調整する必要がなく制御が簡単になり、製作が容易になる利点もある。負圧手段220は、前述した負圧手段200と基本的に同じ構成で、吸気口221を持つノズル222とそれをチャック10に固定する固定部223,ノズル222に連接され、空気流を運ぶための配管224から構成されている。また、配管224の他端には、負圧ポンプが連接されている図示せず。負圧手段220により、基板1とマスク2の間の気圧P1は、露光装置の雰囲気圧大気圧P0より小さいP1<P0。ここで、P1は小さければ小さいほどマスク2が狭ギャップ移動する時の空気抵抗空気の圧力上昇が小さくなる。このため、空気圧力上昇の低減の観点からは、小さくすることが望ましいが、負圧ポンプの大型化高性能化が必要となる。また、マスク2と基板1との間の圧力をP1と小さくすると、マスク2も負圧力に引っ張られて、基板1の方向に凸となる。このため、図152に示すように、マスクとマスクの自重による撓み補正手段の、マスク2とガラス21の間の空間24も、マスク2の基板1対向面とほぼ同じ気圧P1になるように減圧する必要がある。但し、マスクの表裏で同じP1にすると、マスクの自重分だけマスク2が基板1の方に凸になるので、この自重による撓み量を補正する分だけ、さらに気圧を小さくすることが必要である。具体的には、マスク2の自重による負圧力気圧をΔPとすると、空間24の気圧はP1-ΔPに、減圧する必要がある。図153に、マスク2が、狭ギャップを形成隙間Gしている時の状態を示している。この時の基板1とマスク2の圧力はP1である。つまり、狭ギャップ形成の前後に拘わらず、常に、マスク2と基板1の間の圧力を、大気圧P0よりも小さく保持することにより、マスク2の狭ギャップ形成時にも、その空気圧力の上昇を小さくできるので、狭ギャップ形成の高速化が可能である。極端な例として、概略ゼロ気圧に近い気圧が実現できたとすれば、その空気抵抗空気圧上昇は、略ゼロとなり、マスクが、狭ギャップ形成時の圧力上昇により変形することはなくなる。これにより、高速な狭ギャップ形成が可能となる。以上に述べたように、狭ギャップ形成の高速化の要因となっている理由が、マスク2が基板1に近接する時に発生する空気の高圧化によるマスク変形であることを本実施例では説明した。そして、同じ時間長さのマスク速度プロファイルでも、その最大速度に到達する時間Tmaxを、速度プロファイルの全体の時間Tの1/2より短くすることTmax<T/2により、空気の最大圧を低減可能であることを説明した。そして、そのマスク速度プロファイルを用いることにより、狭ギャップ形成の高速化が可能であることを説明した。また、狭ギャップ形成時の圧力上昇を低減する他の方法として、粘性の低い気体をマスク2と基板1間の空気に混入することにより空気の粘性を低下させ、圧力上昇を低下させて、狭ギャップ形成の高速化が可能であることを説明した。さらに、負圧手段により、狭ギャップ形成時にマスクと基板の間から排出される空気流速を早くできるので、狭ギャップ形成時の最大圧力を下げることが可能であることを説明した。その結果、マスクの変形量を小さくして、狭ギャップ移動の高速化が可能となることを説明した。"