電子を放出する陰極と、前記陰極から放出される電子が衝突されることによりX線を放出する陽極ターゲットと、前記陰極及び陽極ターゲットが収納配置された真空外囲器と、前記陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられる熱伝達面と、を有したX線管と、前記熱伝達面を含む前記X線管に連通され、前記熱伝達面から放出される熱が伝達される水系の冷却液を収容する循環流路と、前記循環流路に取付けられ、前記冷却液を循環させる循環ポンプと、前記循環流路に連通する冷却液充満空間と、ガス充満空間と、に隔て、前記冷却液の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズを有したベローズ機構と、前記ベローズ機構のガス充満空間に連通され、前記ガス充満空間のガスの圧力を調整可能な圧力調整機構と、を備えていることを特徴とするX線管装置。空気を除くガスが充満するガスリザーバをさらに備え、前記圧力調整機構は、前記ガスリザーバと、前記ガス充満空間との間で前記空気を除くガスを移動させることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記空気を除くガスは、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン及びSF6のうちの少なくとも1つを主構成ガスとすることを特徴とする請求項2に記載のX線管装置。前記圧力調整機構は、前記ガス充満空間のガスの圧力を大気圧又は正圧に調整可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載のX線管装置。前記圧力調整機構は、前記ガス充満空間のガスの圧力を大気圧又は負圧に調整可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載のX線管装置。前記圧力調整機構は、前記ガス充満空間のガスの圧力を正圧乃至負圧の範囲内で調整可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載のX線管装置。前記X線管を収納し、前記循環流路の一部を形成するハウジングをさらに備え、前記ベローズ機構は、前記ハウジングに取付けられていることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記X線管を収納し、前記循環流路の一部を形成するハウジングをさらに備え、前記ベローズ機構は、前記ハウジングと分離されていることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記循環流路に取付けられ、前記冷却液の熱を外部に放出する熱交換器をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記X線管は、前記循環流路に連通した冷却液取入れ口及び冷却液排出口を含む熱伝達チャンバをさらに有し、前記熱伝達面は、前記熱伝達チャンバの壁面であることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記熱伝達面の上流側の前記冷却液の温度を検出する第1温度検出器と、前記熱伝達面の下流側の前記冷却液の温度を検出する第2温度検出器と、をさらに備え、前記圧力調整機構は、前記第1温度検出器で検出した温度及び前記第2温度検出器で検出した温度に基づいて前記ガス充満空間のガスの圧力を調整可能であることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記冷却液の循環流量を調整可能な流量調整機構をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線管装置。前記流量調整機構は、前記循環ポンプを稼動させる電圧又は電流を制御し、前記熱伝達面での前記冷却液の循環流量を調整することを特徴とする請求項12に記載のX線管装置。前記循環ポンプは、遠心ポンプ又はギアポンプであり、前記流量調整機構は、前記循環ポンプの回転数を制御することを特徴とする請求項13に記載のX線管装置。前記循環ポンプに対して並列に前記循環流路に取付けられ、前記循環ポンプと合計吐出流量が異なり、前記冷却液を循環させる他の循環ポンプをさらに備え、前記流量調整機構は、稼動させる前記循環ポンプ及び他の循環ポンプの組合せを制御することを特徴とする請求項13又は14に記載のX線管装置。前記熱交換器の冷却液取り入れ側及び冷却液送り出し側にそれぞれ連結されたバイパスをさらに備え、前記流量調整機構は、前記X線管を流れる前記冷却液の流量に対する前記バイパスを流れる前記冷却液の流量の比率を制御することを特徴とする請求項13乃至15の何れか1項に記載のX線管装置。上記したX線管装置では、X線を放出させて使用する際、冷却液への熱伝達面ではサブクール沸騰状態となる。その場合の冷却液としては蒸発熱が大きい水系冷却液が好ましく、一般的に水又はグリコール水溶液が使用される。冷却液を含んだままでの装置の輸送を行う場合には、凍結を防ぐため、グリコール水溶液が使用される。いずれにしても、沸点は大気圧下で100°C以上となるため、熱伝達面近傍の冷却液温度は100°Cを超えることになる。冷却液が高温となり、陽極ターゲットの冷却特性が悪化した場合、X線管装置に、例えば以下に示すような悪影響を及ぼすことになる。1安全上の問題として、X線管装置の外表面温度が80°C以上とならない設計が求められる。しかし、冷却液の沸点が100°C以上である場合、長時間の熱負荷が継続されるとこの安全基準を満たすことが困難となるという大きな問題がある。2グリコールは冷却液中に酸素が存在すると、酸化されて最終的にはギ酸やグリコール酸が生成される。このため、冷却液としてグリコール水溶液を使用した場合、使用期間中に次第に酸性になり、冷却液に浸る金属の腐食を増大させる。その結果、腐食による真空破壊を引き起こしたり、腐食生成物がフィルタをつまらせて冷却液の循環流量を低下させたり、腐食生成物がスケールとして熱伝達面に堆積することにより熱伝達率が低下してX線管内部温度が上昇して故障を引き起こしたりする場合がある。このような腐食の進行悪化の速度は冷却液の温度が高いほど大きく、上記の100°Cを超える温度は好ましくない。冷却液の循環流路が密閉系である場合、予め冷却液を脱気しておくことにより初期的には冷却液中に溶存する酸素の量は少ない状態が保たれるが、長期間の使用に伴って、外気から非常に遅い速度で侵入してくる酸素ガスの累積的影響は無視できるレベルではない。冷却液の循環流路が開放系である場合にはより深刻な結果となる。3上記したように、腐食生成物がスケールとして熱伝達面に堆積してしまった場合、救済する手立てはなかった。熱伝達率が低下してX線管内部温度が上昇する結果引き起こされる故障が予期せず発生するため、X線の曝射が長期間中断されてしまうという恐れがある。4特許文献3のように液体金属を潤滑材とした軸受を介して熱伝達を行う場合には、軸受面の温度が高いと軸受面と液体金属との反応が促進され、次第に軸受面に反応物が堆積して軸受性能が低下する。このため軸受設計では使用時の軸受面温度を極力低くすることが要求される。冷却液の沸点が100°C以上であることは、熱伝達面の温度は110°C乃至160°Cとなることを意味し、これが上記の軸受設計上の障害となる場合がある。この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を提供することにある。一実施形態に係るX線管装置は、電子を放出する陰極と、前記陰極から放出される電子が衝突されることによりX線を放出する陽極ターゲットと、前記陰極及び陽極ターゲットが収納配置された真空外囲器と、前記陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられる熱伝達面と、を有したX線管と、前記熱伝達面を含む前記X線管に連通され、前記熱伝達面から放出される熱が伝達される水系の冷却液を収容する循環流路と、前記循環流路に取付けられ、前記冷却液を循環させる循環ポンプと、前記循環流路に連通する冷却液充満空間と、ガス充満空間と、に隔て、前記冷却液の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズを有したベローズ機構と、前記ベローズ機構のガス充満空間に連通され、前記ガス充満空間のガスの圧力を調整可能な圧力調整機構と、を備えていることを特徴としている。以下、図面を参照しながら第1の実施形態に係るX線管装置について詳細に説明する。図1に示すように、X線管装置は、例えばX線画像診断装置や非破壊検査装置に組み込まれ、対象物すなわち非検査対象に対して照射すべきX線を放射するものである。X線管装置は、ハウジング2と、ハウジング2に収容され、所定強度のX線を所定方向に向けて放射可能なX線管1と、冷却液3を循環させる冷却装置5とを備えている。X線管1は、電子を放出する陰極と、陰極から放出される電子が衝突されることによりX線を放出する陽極ターゲットと、陰極及び陽極ターゲットが収納配置された真空外囲器と、陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられる熱伝達面1sと、を有している。X線管1は、冷却液取入れ口1b及び冷却液排出口1cを含む熱伝達チャンバ1aをさらに有している。熱伝達面1sは、熱伝達チャンバ1aの壁面である。熱伝達面1sは、熱伝達率に優れた材料として、例えば銅等の金属で形成されている。熱伝達チャンバ1aは、陽極ターゲットに近接している。熱伝達チャンバ1aは、冷却液3が循環する領域である。熱伝達チャンバ1aを冷却液3が循環することで、X線管1、特に陽極ターゲットが冷却される。冷却液取入れ口1bは、ハウジング2に取付けられたソケット2aに気密に連通している。冷却液排出口1cは、ハウジング2に取付けられたソケット2bに気密に連通している。X線管装置は、第1温度検出器6及び第2温度検出器7をさらに備えている。第1温度検出器6は、熱伝達面1sの上流側の冷却液3の温度を検出する。第2温度検出器7は、熱伝達面1sの下流側の冷却液3の温度を検出する。ここで、上記X線管1の例として、実施例1及び実施例2のX線管1について説明する。始めに、実施例1のX線管1について説明する。図2乃至図4に示すように、X線管1は固定陽極型のX線管である。X線管1は、真空外囲器131を備えている。真空外囲器131は、真空容器132と、絶縁部材150とを備えている。この実施形態において、絶縁部材150は、高電圧絶縁部材として機能している。絶縁部材150には陰極136が取り付けられ、絶縁部材150は、真空外囲器131の一部を形成している。陽極ターゲット135は、真空外囲器131の一部を形成している。陽極ターゲット135は、真空外囲器131の外部に小さく開口し、ターゲット面135b近傍で膨らんだ壺形に形成されている。陽極ターゲット135、陰極136、集束電極109及び加速電極108は、真空外囲器131に収納されている。陽極ターゲット135には、電圧供給配線が接続されている。陽極ターゲット135及び加速電極108は接地電位に設定されている。陰極136及び集束電極109と対向した個所の真空容器132は筒状に形成されている。陰極136には、負の高電圧が印加される。集束電極109には、調整された負の高電圧が供給される。真空外囲器131の内部は真空状態である。金属表面部134は、X線放射窓131wの真空側の表面を含む真空容器132の内側に設けられ、接地電位に設定されている。また、X線管1は、管部141と、環部142とを備えている。管部141は、金属で形成されている。管部141の一端部は、陽極ターゲット135の内部に挿入されている。環部142は、陽極ターゲット135内に設けられている。環部142は、管部141の一端部の側面を囲むように管部141と一体に形成されている。環部142は陽極ターゲット135に隙間を置いて設けられている。管部141の他端部は、冷却液取入れ口1bを形成している。陽極ターゲット135の開口は、管部141との間に冷却液排出口1cを形成している。このため、ハウジング2内は、冷却液3で満たされる。ハウジング2は、X線放射窓131wに対向したX線放射窓2wを有している。ハウジング2にはソケット2a及びソケット2bが取付けられ、ソケット2aは、冷却液取入れ口1bに連通している。ハウジング2内には、偏向部170が収容されている。偏向部170は、磁気偏向部であり、真空容器132の外側で、電子ビームの軌道を取り囲む位置に設けられている。偏向部170は、陰極136から放出される電子ビームを偏向させ、焦点の位置をターゲット面135b上で移動させるものである。上記のように、実施例1のX線管1が形成されている。次に、実施例2のX線管1について説明する。図5に示すように、X線管1は、回転陽極型のX線管である。図5には、X線管1の他、磁界を発生させるコイルとしてのステータコイル202を備えている。図示しないが、ハウジング2は、X線管1及びステータコイル202を収容している。X線管1は、固定体としての固定シャフト210と、管部230と、陽極ターゲット250と、回転体260と、潤滑剤としての液体金属270と、陰極280と、真空外囲器290とを備えている。X線管1は動圧すべり軸受を使っている。固定シャフト210は、回転軸aに沿って延出して回転軸aを中心軸として筒状に形成され、一端部が閉塞されている。固定シャフト210は、上記一端部から外れた側面に軸受面210Sを有している。固定シャフト210は、Fe鉄合金やMoモリブデン合金等の材料で形成されている。固定シャフト210の内部は冷却液3で満たされている。固定シャフト210は、この内部に冷却液3が流れる流路が形成されている。固定シャフト210は、この他端部側に冷却液3を外部に吐出す吐出し口210bを有している。なお、吐出し口210bは、冷却液排出口1cとして機能している。管部230は、固定シャフト210の内部に設けられ、固定シャフトとともに流路を形成している。管部230の一端部は、固定シャフト210の他端部に形成された開口部210aを通って固定シャフト210の外部に延出している。管部230は、開口部210aに密接に固定されている。管部230は、この内部に冷却液3を取り入れる取り入れ口230aと、冷却液3を固定シャフト210の内部に吐出す吐出し口230bとを有している。取り入れ口230aは、固定シャフト210の外部に位置し、冷却液取入れ口1bとして機能している。吐出し口230bは、固定シャフト210の一端部に隙間を置いて位置している。上記したことから、X線管1外部からの冷却液3は、取り入れ口230aから取り入れられ、管部230内部を通って固定シャフト210の内部に吐出され、固定シャフト210及び管部230の間を通り、吐出し口210bからX線管1外部に吐出される。陽極ターゲット250は、陽極251と、この陽極の外面の一部に設けられたターゲット層252とを有している。陽極251は、円盤状に形成され、固定シャフト210と同軸的に設けられている。陽極251は、Mo合金等の材料で形成されている。陽極251は、回転軸aに沿った方向に凹部251aを有している。凹部251aは、円盤状に窪めて形成されている。凹部251aには固定シャフト210の一端部が嵌合されている。凹部251aは、固定シャフト210の一端部に隙間を置いて形成されている。ターゲット層252は、Wタングステン合金等の材料で輪状に形成されている。ターゲット層252の表面は電子衝突面である。回転体260は、固定シャフト210より径の大きい筒状に形成されている。回転体260は、固定シャフト210及び陽極ターゲット250と同軸的に設けられている。回転体260は、固定シャフト210より短く形成されている。回転体260は、FeやMo等の材料で形成されている。より詳しくは、回転体260は、筒部261と、筒部261の一端部の側面を囲むように筒部と一体に形成された環部262と、筒部261の他端部に設けられたシール部263と、筒部264とを有している。筒部261は、固定シャフト210の側面を囲んでいる。筒部261は、内面に軸受面210Sに隙間を置いて対向した軸受面260Sを有している。回転体260の一端部、すなわち、筒部261の一端部及び環部262は陽極ターゲット250と接合されている。回転体260は、固定シャフト210を軸に陽極ターゲット250とともに回転可能に設けられている。シール部263は、軸受面260Sに対して環部262一端部の反対側に位置している。シール部263は、筒部261の他端部に接合されている。シール部263は、環状に形成され、固定シャフト210の側面全周に亘って隙間を置いて設けられている。筒部264は、筒部261の側面と接合され、筒部261に固定されている。筒部264は、例えばCu銅で形成されている。液体金属270は、固定シャフト210の一端部及び凹部251a間の隙間、並びに固定シャフト210軸受面210S及び筒部261軸受面260S間の隙間に充填されている。なお、これらの隙間は全て繋がっている。この実施の形態において、液体金属270は、ガリウムインジウム錫合金GaInSnである。回転軸aに直交した方向において、シール部263及び固定シャフト210間の隙間クリアランスは、回転体260の回転を維持するとともに液体金属270の漏洩を抑制できる値に設定されている。上記したことから、隙間はわずかであり、500μm以下である。このため、シール部263は、ラビリンスシールリングlabyrinthsealringとして機能する。また、シール部263は、内側を円形枠状に窪めてそれぞれ形成された複数の収容部を有している。上記収容部は、万一隙間から液体金属270が漏れた場合、漏れた液体金属270を収容する。陰極280は、陽極ターゲット250のターゲット層252に間隔を置いて対向配置されている。陰極280は、電子を放出するフィラメント281を有している。真空外囲器290は、固定シャフト210、管部230、陽極ターゲット250、回転体260、液体金属270及び陰極280を収容している。真空外囲器290は、X線透過窓290a及び開口部290bを有している。X線透過窓290aは、回転軸aに対して直交した方向にターゲット層252と対向している。固定シャフト210の他端部は、開口部290bを通って真空外囲器290の外部に露出されている。開口部290bは、固定シャフト210を密接に固定している。陰極280は、真空外囲器290の内壁に取付けられている。真空外囲器290は密閉されている。真空外囲器290の内部は真空状態に維持されている。ステータコイル202は、回転体260の側面、より詳しくは筒部264の側面に対向して真空外囲器290の外側を囲むように設けられている。ステータコイル202の形状は環状である。ここで、上記X線管1及びステータコイル202の動作状態について説明する。ステータコイル202は回転体260特に筒部264に与える磁界を発生するため、回転体は回転する。これにより、陽極ターゲット250も回転する。また、陰極280に負の電圧高電圧が印加され、陽極ターゲット250は接地電位に設定される。これにより、陰極280及び陽極ターゲット250間に電位差が生じる。このため、陰極280は、電子を放出すると、この電子は、加速され、ターゲット層252に衝突される。すなわち、陰極280は、ターゲット層252に電子ビームを照射する。これにより、ターゲット層252は、電子と衝突するときにX線を放出し、放出されたX線はX線透過窓290aを介して真空外囲器290外部、ひいてはハウジング外部に放出される。上記のように、実施例2のX線管1が形成されている。図1に示すように、冷却装置5は、循環流路10、循環ポンプ20、ベローズ機構としての空盆30、熱交換器40、圧力検出器50及び圧力調整機構60を有している。また、冷却装置5は、循環流路10、循環ポンプ20、空盆30及び熱交換器40を収容した筐体5aを有している。循環流路10は、導管10a、導管10b及び導管10cを有している。導管10aの一端には、プラグ11が気密に取付けられている。ソケット2b及びプラグ11は、着脱可能な連結器としてのカプラ8を形成している。導管10cの一端には、プラグ12が気密に取付けられている。ソケット2a及びプラグ12は、着脱可能な連結器としてのカプラ9を形成している。循環流路10は、熱伝達面1sを含むX線管1に連通されている。詳しくは、導管10aは、カプラ8を介して熱伝達チャンバ1aの冷却液排出口1cに連通している。導管10cは、カプラ9を介して熱伝達チャンバ1aの冷却液取入れ口1bに連通している。循環流路10は、熱伝達面1sから放出される熱沸騰熱が伝達される冷却液3を収容する。循環ポンプ20は循環流路10に気密に取付けられている。詳しくは、循環ポンプ20は、導管10a及び導管10b間に気密に取付けられている。循環ポンプ20は、導管10bに冷却液3を吐き出し、導管10aから冷却液3を取り込む。循環ポンプ20は冷却液3を循環させることができ、冷却液3は、導管10b、導管10c、熱伝達チャンバ1a及び導管10a等を循環する。空盆30は、循環流路10に気密に連通されている。空盆30は、開口部31aを有したケース31を有している。開口部31aは、循環流路10の導管10aに気密に連通されている。空盆30は、ケース31内を開口部31aと繋がった冷却液充満空間33と、ガス充満空間34と、に隔てるベローズ32を有している。ベローズ32は、ケース31に液密に取付けられている。ここでは、ベローズ32はゴムで形成されている。ベローズ32は、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収し、伸縮自在である。このため、ベローズ32は、冷却液3の体積の膨張及び収縮を吸収することができる。熱交換器40は、循環流路10に取付けられ、冷却液3の熱を外部に放出する。詳しくは、熱交換器40は、ラジエータ41、ファン42及びファン43を有している。ラジエータ41は、導管10b及び導管10cに気密に取付けられている。熱交換器40は、ファン42及びファン43により、ラジエータ41に空気を吹き付けることにより、冷却液3の熱を外部へ放出させ、冷却液3を冷却するものである。なお、熱交換器40及び循環ポンプ20も循環流路10の一部を形成している。圧力検出器50は、ケース31の開口部36に気密に取付けられている。圧力検出器50は、ガス充満空間34の圧力を検出するものである。筐体5aの外側からガス充満空間34の圧力を検出可能とするため、圧力検出器50は筐体5aの外側に位置している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34に連通され、ガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。圧力調整機構60は、ポンプ61、第1吸気バルブ62a、第2吸気バルブ62b、第1排気バルブ63a、第2排気バルブ63b、リークバルブ64、導管65a、導管65b及び導管65cを有している。導管65aは、ポンプ61の吸気ポート61aに気密に取付けられている。導管65aの一端側は二股に形成され、一方が第1吸気バルブ62aに繋がって、他方が第2吸気バルブ62bに繋がっている。導管65bは、ポンプ61の排気ポート61bに気密に取付けられている。導管65bの一端側は二股に形成され、一方が第1排気バルブ63aに繋がって、他方が第2排気バルブ63bに繋がっている。導管65cは、ケース31の通気口37に気密に取付けられている。導管65cの一端側は二股に形成され、一方が第1吸気バルブ62aに繋がって、他方が第1排気バルブ63aに繋がっている。リークバルブ64は、導管65cに繋がっている。上記のことから、第1吸気バルブ62a及び第1排気バルブ63aは、一方がポンプ61に連通し、他方がガス充満空間34に連通している。第2吸気バルブ62b及び第2排気バルブ63bは、一方がポンプ61に連通し、他方が大気に開放されている。リークバルブ64は、一方がガス充満空間34に連通し、他方が大気に開放されている。リークバルブ64を開状態に切替えることにより、ガス充満空間34の圧力を大気圧に調整することができる。第1吸気バルブ62a、第2吸気バルブ62b、第1排気バルブ63a、第2排気バルブ63b及びリークバルブ64のそれぞれの開閉調整部は、筐体5aの外側から開閉可能とするため、筐体5aの外側に位置している。この実施形態において、圧力調整機構60は、ガス充満空間34のガスの圧力を、大気圧に比べて圧力の高い正圧、乃至大気圧に比べて圧力の低い負圧の範囲内で調整可能である。圧力調整機構60が、ガス充満空間34のガスの圧力を正圧に調整する場合、第2吸気バルブ62b及び第1排気バルブ63aを開状態に切替え、第1吸気バルブ62a、第2排気バルブ63b及びリークバルブ64を閉状態に切替え、ポンプ61を加圧ポンプとして稼動させる。これにより、ポンプ61は、第2吸気バルブ62bを介して取り入れた空気ガスを第1排気バルブ63aを介してガス充満空間34に吐出すため、ガス充満空間34のガスの圧力を正圧に調整することができる。一方、圧力調整機構60が、ガス充満空間34のガスの圧力を負圧に調整する場合、第1吸気バルブ62a及び第2排気バルブ63bを開状態に切替え、第2吸気バルブ62b、第1排気バルブ63a及びリークバルブ64を閉状態に切替え、ポンプ61を減圧ポンプとして稼動させる。これにより、ポンプ61は、第1吸気バルブ62aを介して取り入れたガス充満空間34の空気ガスを第2排気バルブ63bを介して大気に吐出すため、ガス充満空間34のガスの圧力を負圧に調整することができる。上記のようにX線管装置が形成されている。ここで、本願発明者等は、冷却液3の温度に対する飽和蒸気圧の変化について調査した。冷却液3としては、水系の冷却液水系冷却液を利用し、水100の冷却液を使用した場合と、PG50水溶液プロピレングリコール50、水50の冷却液を使用した場合とについてそれぞれ調査した。調査した結果を図6及び図7に示す。なお、100kPaは、概ね1気圧大気圧であり、50kPaは、概ね0.5気圧であり、200kPaは、概ね2気圧である。図6及び図7に示すように、水100の温度が17°C、PG50水溶液の温度が25°Cの場合に飽和蒸気圧は1.9192kPaであった。すなわち、1.9192kPaの環境では、水100は17°C、PG50水溶液は25°Cでそれぞれ沸点に達することが分かる。水100の温度が37°C、PG50水溶液の温度が45°Cの場合に飽和蒸気圧は6.2282kPaであった。水100の温度が57°C、PG50水溶液の温度が65°Cの場合に飽和蒸気圧は17.202kPaであった。水100の温度が77°C、PG50水溶液の温度が85°Cの場合に飽和蒸気圧は41.647kPaであった。水100の温度が97°C、PG50水溶液の温度が105°Cの場合に飽和蒸気圧は62.139kPaであった。水100の温度が107°C、PG50水溶液の温度が115°Cの場合に飽和蒸気圧は128.74kPaであった。水100の温度が117°C、PG50水溶液の温度が125°Cの場合に飽和蒸気圧は179.48kPaであった。上記のことから、100kPaの環境では、水100は100°C、PG50水溶液は108°Cで沸点に達するものと推測することができる。200kPaの環境では、水100は120°C、PG50水溶液は128°Cで沸点に達するものと推測することができる。50kPaの環境では、水100は82°C、PG50水溶液は90°Cで沸点に達するものと推測することができる。次いで、本願発明者等は、温度差ΔT熱伝達面1sの温度と、冷却液3の温度との差に対する熱流速の変化について調査した。熱流速は、熱伝達面1sを介して冷却液3に伝わる熱量を示すものである。調査した結果を図8に示す。ここでは、冷却液3としてPG50水溶液の冷却液を使用し、冷却液3の温度は80°Cに設定固定されるものとして説明する。図8に示すように、データD1は、大気圧の環境におけるPG50水溶液沸点:108°Cに関するデータである。データD2は、約150kPaの環境加圧状態におけるPG50水溶液沸点:118°Cに関するデータである。データD3は、約75kPaの環境減圧状態におけるPG50水溶液沸点:98°Cに関するデータである。データD1、D2、D3に共通の事項であるが、温度差ΔTの変化に伴い、熱流速が途中から急激に増加していることが分かる。これは、冷却液3の沸騰によるものであり、熱伝達面1sから冷却液3への熱伝達の量が増加することを意味している。そして、温度差ΔTの上昇に伴い、始めにデータD3減圧状態の冷却液3の熱流速が急激に増加し、次に、データD1大気圧の環境の冷却液3の熱流速が急激に増加し、最後に、データD2加圧状態の冷却液3の熱流速が急激に増加することが分かる。なお、図8に示していないが、温度差ΔTの上昇がさらに続くと、バーンアウトが発生し、熱流速の低下を招くこととなる。すなわち、熱伝達面1s付近の冷却液3中に気泡が発生し、熱伝達面1s付近が気泡で充満し、熱伝達面1sから冷却液3への熱伝達が悪くなるためである。このため、バーンアウトの発生を回避するよう対処することが望ましい。バーンアウトの発生を回避する手法としては、例えば、ガス充満空間34をより加圧状態に調整し、冷却液3の置かれる環境をより加圧状態に設定し、冷却液3の沸点を上昇させることが挙げられる。上記のことから、一定のX線管入力パワーで連続入力する場合、冷却液3の温度上昇とともに空盆30のガス充満空間34の圧力を徐々に高くすることが好ましい。次に、一定のX線管入力パワーで連続入力する場合に好ましいX線管装置の稼動方法について説明する。図9に示すように、X線管装置の稼動を開始した直後の初期状態など、冷却液3の温度が十分に低い状態では、熱流速を上昇させるため、圧力調整機構60は、ガス充満空間34の圧力Pを負圧P<大気圧に調整し、冷却液3の沸点を下げる。さらにX線管装置の稼動が続き、熱伝達面1sの温度が上昇すると、冷却液3の温度も上昇する。このため、冷却液3の温度上昇とともに、圧力調整機構60は、ガス充満空間34の圧力Pを大気圧P=大気圧に調整し、冷却液3の沸点を上昇させ、さらには、ガス充満空間34の圧力Pを正圧P>大気圧に調整し、冷却液3の沸点をさらに上昇させる。これにより、バーンアウトの発生を回避しつつ、十分な熱流速を得ることができるため、一定のX線管入力パワーでの連続入力を可能とすることができる。冷却液3の温度は、第1温度検出器6のみを用いて、又は第1温度検出器6及び第2温度検出器7の両方を用いて常時検出することができ、検出した値に応じてガス充満空間34の圧力を調整することにより、温度に依存した冷却液3の最適な沸点を選択することができる。一般的には、冷却液3の温度の上昇に伴ってガス充満空間34の圧力を高くし、冷却液3の沸点を上昇させればよいが、これに限らず、例えば、予め使用するX線管毎に温度シミュレーション計算や実験を行い、指針となるグラフを作成し、グラフに基づいたガス充満空間34の加圧又は減圧を行うこともできる。上記のように構成された第1の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。ガス充満空間34の圧力を調整することにより、冷却液3の最適な沸点を選択することができるため、熱伝達面1s陽極ターゲット135、250を効率よく冷却することができる。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を負圧に調整することができるため、次に挙げる効果を得ることができる。X線管装置の稼動初期状態など、冷却液3の温度が十分に低い状態であっても、優れた熱流速を得ることができる。すなわち、冷却液3の温度が100°Cを超えなくとも、優れた熱流速を得ることができる。X線管装置の外表面温度を上がり難くすることができるため、長時間の熱負荷が継続される場合であっても、X線管装置の外表面温度が80°C以上とならない設計に貢献することができる。上記のように優れた熱流速を得ることができるため、冷却液3の温度の上昇を抑制することができ、冷却液3に浸る金属の腐食を低減することができる。冷却液3に金属部分が接触し、金属部分が腐食し易い銅を主成分とする材料で形成されている場合であっても、腐食の発生を抑制することができる。すなわち、冷却液3によるX線管装置の内部腐食を低減することができる。熱伝達チャンバ1aや、循環流路10に穴が形成される等の腐食によって生じる不良を低減できるため、長期にわたって信頼性が高く、製品寿命の長いX線管装置を得ることができる。腐食生成物がスケールとして熱伝達面1sに堆積してしまった場合でもそれを救済することができる。例えば、熱伝達面1sが銅を主成分とする金属で形成され、熱伝達面1sの腐食に伴い、冷却液3中に溶け出した銅イオンは金属銅または銅化合物として熱伝達面1sに堆積する。熱伝達面1sに比べてスケールの熱伝達率は低いため冷却効率が低下し、また、スケールにより熱伝達チャンバ1aや、フィルタにつまりが生じるため冷却液3の流量が低下し、これにより、熱伝達面1sの冷却不足を招く恐れがある。しかしながら、冷却液3の沸点を下げて熱伝達面1sから放出される熱沸騰熱を冷却液3に積極的に伝達することができるため、熱伝達面1sの冷却不足を解消することができる。液体金属270を潤滑材とした軸受を介して陽極ターゲット250から熱伝達面1sに熱伝達を行う場合図5であっても、上記のように優れた熱流速を得ることができるため、軸受面210S、260Sと、液体金属270との反応を低減することができる。また、圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を正圧に調整することができるため、次に挙げる効果を得ることができる。冷却液3の沸点を上げることができるため、冷却液3の温度が上がった場合に発生する恐れのあるバーンアウトを防止することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第2の実施形態に係るX線管装置について説明する。この実施形態において、他の構成は上述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。図10に示すように、ラジエータ41熱交換器40は、導管10a及び導管10b間に気密に取付けられている。循環ポンプ20は、導管10b及び導管10cに気密に取付けられている。冷却装置5は、流量調整機構70をさらに備えている。流量調整機構70は、X線管1の稼動中に循環ポンプ20を制御し、冷却液3の循環流量を調整するものである。循環ポンプ20を制御する際、流量調整機構70は、例えば循環ポンプ20を稼動させる電圧又は電流を制御し、熱伝達面1sでも冷却液3の循環流量を調整している。X線管装置の稼動中において、準備期間、X線曝射期間、X線曝射休止期間、待機期間において、流量調整機構70は、冷却液3の循環流量を調整することができる。流量調整機構70は、陽極ターゲットに衝突する電子ビームのパワー情報を基に、X線曝射期間及びX線曝射休止期間の長さと、冷却液3の循環流量の値とを設定することができる。ここで、冷却液3の流量と、熱伝達面1sから冷却液3への熱伝達率とについて説明する。上記流量をF、上記熱伝達率をK、第1温度検出器6で検出した冷却液3の温度をT1、第2温度検出器7で検出した冷却液3の温度をT2、とする。とする。すると、X線管入力パワー=C比例定数KFT2-T1の関係が成り立つ。これにより、少なくとも定期的に一定入力パワーをX線管1に入力させながら温度T1、T2を計測することにより、流量F、熱伝達率Kの劣化を予想することができる。流量F、熱伝達率Kが劣化していた場合、流量Fをさらに計測するか、又はフィルタのつまりの有無を確認すれば熱伝達率K自体が劣化しているかどうかを知ることができる。フィルタの清掃が可能な構造であれば、つまりを除去すれば良い。結果的に熱伝達率Kが劣化している場合、熱伝達面1sへのスケール付着が予想される。この場合、それまでの使用時に比べて、より冷却液3の沸点を下げるように条件変更例えば、減圧することにより、寿命を延ばすことが可能である。上記のように構成された第2の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。このため、上述した第1の実施形態と同一の効果を得ることができる。流量調整機構70は、冷却液3の循環流量を調整することができる。例えば、冷却液3の温度が低く、入力パワーが小さい場合、流量調整機構70は、冷却液3の循環流量を抑制するように循環ポンプ20を制御する。これにより、循環ポンプ20の発熱のために生じる冷却液3の温度上昇や、循環ポンプ20の寿命の低下を抑制することができる。冷却液3の温度が高く、入力パワーが大きい場合、流量調整機構70は、冷却液3の循環流量が多くなるように循環ポンプ20を制御する。これにより、陽極ターゲットの発生する熱を冷却液3を介して外部に効率良く放出することができるため、放熱特性を向上させることができる。流量調整機構70は、陽極ターゲットに衝突する電子ビームのパワー情報を基に、循環ポンプ20を制御することができる。このため、陽極ターゲットの発生する熱を冷却液3を介して外部に効率良く放出することができ、X線曝射を複数回行う場合であっても、効率良くX線曝射を行うことができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第3の実施形態に係るX線管装置について説明する。この実施形態において、他の構成は上述した第2の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。図11に示すように、循環流路10は、バイパスとしての導管10dをさらに有している。導管10dは、熱交換器40の冷却液取り入れ側及び冷却液送り出し側にそれぞれ連結されている。この実施形態において、導管10dは、導管10a及び導管10bにそれぞれ連結されている。冷却装置5は、バイパスバルブ80をさらに備えている。バイパスバルブ80は、導管10dに取付けられている。バイパスバルブ80は、導管10dの開閉を切換え可能である。流量調整機構70は、バイパスバルブ80の開閉を制御し、冷却液3の循環流量を調整するものである。流量調整機構70は、X線管1熱伝達チャンバ1aを流れる冷却液3の流量に対する導管10dを流れる冷却液3の流量の比率を制御することができる。ここでは、バイパスバルブ80を流量調整機構70にて自動操作し、導管10dの開閉を切替えているが、手動操作にて導管10dの開閉を切替えるよう形成しても良い。上記のように構成された第3の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。このため、上述した第2の実施形態と同一の効果を得ることができる。流量調整機構70は、冷却液3の循環流量を調整することができる。例えば、冷却液3の温度が低く、入力パワーが小さい場合、流量調整機構70は、バイパスバルブ80を閉状態に切替えることにより、熱伝達面1s陽極ターゲットを効率よく冷却することができる。冷却液3の温度が高く、入力パワーが大きい場合、流量調整機構70は、バイパスバルブ80を開状態に切替えることにより、熱伝達面1s陽極ターゲットを効率よく冷却することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第4の実施形態に係るX線管装置について説明する。この実施形態において、他の構成は上述した第2の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。図12に示すように、冷却装置5は、他の循環ポンプとしての循環ポンプ90をさらに備えている。循環ポンプ90は、冷却液3を循環させるものである。循環ポンプ90は、循環ポンプ20と合計吐出流量が異なる。ここで、合計吐出流量は、流量と循環時間との積で求められる。導管10bの一端側は二股に形成され、一方が循環ポンプ20に繋がって、他方が循環ポンプ90に繋がっている。導管10cの一端側は二股に形成され、一方が循環ポンプ20に繋がって、他方が循環ポンプ90に繋がっている。循環ポンプ90は、循環ポンプ20に対して並列に循環流路10に接続されている。流量調整機構70は、稼動させる循環ポンプ20及び循環ポンプ90の組合せを制御するものである。これにより、流量調整機構70は、冷却液3の循環流量を切替えることができる。上記のように構成された第4の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。このため、上述した第2の実施形態と同一の効果を得ることができる。流量調整機構70は、冷却液3の循環流量を調整することができる。例えば、冷却液3の温度が低く、入力パワーが小さい場合、流量調整機構70は、循環ポンプ20のみを稼動させることにより、熱伝達面1s陽極ターゲットを効率よく冷却することができる。冷却液3の温度が高く、入力パワーが大きい場合、流量調整機構70は、循環ポンプ20及び循環ポンプ90の両方を稼動させることにより、熱伝達面1s陽極ターゲットを効率よく冷却することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第5の実施形態に係るX線管装置について説明する。この実施形態において、他の構成は上述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。図13に示すように、冷却装置5は、ガスが充満するガスリザーバ66と、第3吸気バルブ62cと、第3排気バルブ63cとをさらに備えている。第3吸気バルブ62c及び第3排気バルブ63cは、ガスリザーバ66に気密に取付けられている。ガスリザーバ66に充満するガスは、空気大気を除くどんなガスでも使用可能である。酸素を含まないガスを使用することにより、ベローズ32を通して酸素が徐々に冷却液3内に拡散して溶存されることを防止でき、その結果、冷却液3中の金属の腐食溶解を低減することができる。ガスリザーバ66に充満するガスとして、不活性ガスを挙げることができる。ここで、不活性ガスについて説明する。まず、20°Cでの1気圧の各種ガスの水への溶解度ml水mlを以下に示す。SF6:0.005He:0.009Ne:0.010N2:0.016空気:0.018O2:0.031Ar:0.035上述した実施形態で使用するガスは不活性ガスである、窒素N2、ヘリウムHe、ネオンNe、アルゴンAr又は電気絶縁ガスであるSF6が好ましい。このため、上記ガスは、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン及びSF6のうちの少なくとも1つを主構成ガスとすることが好ましい。但し、水への溶解度が空気より小さいSF6、He、Ne、N2がより好ましい。なぜならば、一般的には温度が上昇したときにガスの溶解度が下がるため、ガスが気泡となって発生してきてしまうためである。Heだけは、30°Cまでは温度の上昇とともに溶解度が下がるものの、30°C以上では逆に上昇してくるという特異な性質を有している20°Cでの溶解度と50°Cでの溶解度がほぼ同じ。このため、最も好ましいガスはHeである。コストを重視するとN2である。この実施形態において、ガスリザーバ66に充満するガスは窒素ガスである。ガスリザーバ66内を窒素ガスで充満させる際、第3吸気バルブ62c及び第3排気バルブ63cを開状態に切替え、図示しない窒素ガスボンベ不活性ガスボンベから第3吸気バルブ62cを通してガスリザーバ66内に窒素ガスを流し、ガスリザーバ66内に存在する空気を第3排気バルブ63cを通して外側に排気する。その後、第3吸気バルブ62c及び第3排気バルブ63cを閉状態に切替えることにより、ガスリザーバ66内を窒素ガスで充満させることができる。圧力調整機構60は、ガスリザーバ66と、空盆30のガス充満空間34との間でガス窒素ガスを移動させ、ガス充満空間34のガスの圧力を調整する。圧力調整機構60が、ガス充満空間34のガスの圧力を正圧に調整する場合、第2吸気バルブ62b及び第1排気バルブ63aを開状態に切替え、第1吸気バルブ62a、第2排気バルブ63b及びリークバルブ64を閉状態に切替え、ポンプ61を加圧ポンプとして稼動させる。これにより、ポンプ61は、第2吸気バルブ62bを介してガスリザーバ66から取り入れた窒素ガスを第1排気バルブ63aを介してガス充満空間34に吐出すため、ガス充満空間34のガスの圧力を正圧に調整することができる。一方、圧力調整機構60が、ガス充満空間34のガスの圧力を負圧に調整する場合、第1吸気バルブ62a及び第2排気バルブ63bを開状態に切替え、第2吸気バルブ62b、第1排気バルブ63a及びリークバルブ64を閉状態に切替え、ポンプ61を減圧ポンプとして稼動させる。これにより、ポンプ61は、第1吸気バルブ62aを介して取り入れたガス充満空間34の窒素ガスを第2排気バルブ63bを介してガスリザーバ66内に吐出すため、ガス充満空間34のガスの圧力を負圧に調整することができる。上記のように構成された第5の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。このため、上述した第1の実施形態と同一の効果を得ることができる。ガス充満空間34のガスは、空気ではなく、窒素ガスである。ベローズ32を通して酸素が徐々に冷却液3内に拡散して溶存されることを防止できるため、冷却液3中の金属の腐食溶解を低減することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第6の実施形態に係るX線管装置について説明する。この実施形態において、他の構成は上述した第2の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。図14に示すように、上述した第5の実施形態と同様、冷却装置5は、ガスが充満するガスリザーバ66と、第3吸気バルブ62cと、第3排気バルブ63cとをさらに備えている。上記のように構成された第6の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。このため、上述した第2の実施形態と同一の効果を得ることができる。ガス充満空間34のガスは、空気ではなく、窒素ガスである。ベローズ32を通して酸素が徐々に冷却液3内に拡散して溶存されることを防止できるため、冷却液3中の金属の腐食溶解を低減することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第7の実施形態に係るX線管装置について説明する。この実施形態において、他の構成は上述した第3の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。図15に示すように、上述した第5の実施形態と同様、冷却装置5は、ガスが充満するガスリザーバ66と、第3吸気バルブ62cと、第3排気バルブ63cとをさらに備えている。上記のように構成された第7の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。このため、上述した第3の実施形態と同一の効果を得ることができる。ガス充満空間34のガスは、空気ではなく、窒素ガスである。ベローズ32を通して酸素が徐々に冷却液3内に拡散して溶存されることを防止できるため、冷却液3中の金属の腐食溶解を低減することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第8の実施形態に係るX線管装置について説明する。この実施形態において、他の構成は上述した第4の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。図16に示すように、上述した第5の実施形態と同様、冷却装置5は、ガスが充満するガスリザーバ66と、第3吸気バルブ62cと、第3排気バルブ63cとをさらに備えている。上記のように構成された第8の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。このため、上述した第4の実施形態と同一の効果を得ることができる。ガス充満空間34のガスは、空気ではなく、窒素ガスである。ベローズ32を通して酸素が徐々に冷却液3内に拡散して溶存されることを防止できるため、冷却液3中の金属の腐食溶解を低減することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。次に、第9の実施形態に係るX線管装置について説明する。図17に示すように、X線管装置は、CT装置300に使用されている。CT装置300は、X線管装置と、架台302と、X線検出器303とを備えている。X線管装置は、X線管1と、ハウジング2と、冷却装置5とを備えている。冷却装置5としては、上述した第1乃至第8の実施形態の何れかの冷却装置を利用することができる。X線管1としては、例えば図2乃至図4に示すものや、図5に示すものを利用することができる。架台302は筒状に形成されている。X線管1はハウジング2に収容されている。X線管1は、所定強度のX線を所定方向に向けて放射可能である。冷却装置5は、冷却液3を放熱及び循環させるものである。CT装置300は、被検体を導入する導入口301を有している。架台302は、導入口301を囲むように回転可能に設けられている。X線管1ハウジング2、冷却装置5及びX線検出器303等は、ガントリーと呼ばれる架台302に取り付けられ、固定されている。ここでは、X線管1は、X線を、ガントリー中心架台302の回転軸302aに向けて放射するように設けられている。X線検出器303は、導入口301に対してX線管1の反対側に位置している。被検体のX線画像を取得する場合、導入口301内に被検体を導入し、架台302を回転させる。この際、ハウジング2X線管1に遠心力が働く。そして、X線管1より被検体にX線を曝射し、被検体を透過したX線をX線検出器303で検出することにより、X線画像が取得される。図17及び図18に示すように、ここで、ガントリー中心302aからハウジング2内面までの最短の距離をR1とする。ガントリー中心302aから空盆30のベローズ32の位置までの距離をR2とする。すると、本願発明者等は、距離R1、距離R2を変化させた場合、ガントリー回転による遠心力により、ハウジング2内にキャビテーショントリチェリの真空が出来ないかどうかを調査した。冷却液3の密度をρとする。冷却液3の温度は80°Cとする。冷却液3は水100であり、密度ρは1000kg/m3である。架台302は、1秒間に4回転するものとする。このため、周期Tは0.25sである。回転数fは4/sである。ガントリー角速度ωは25.13274/sである。ベローズ32距離R2の位置にかかる遠心力差による内圧成分p2は、次の式で表される。p2=0.5ρω2R2R1R2-R1ベローズ32距離R2の位置にかかる全内圧P2は、80°Cのときの水の飽和蒸気圧をp2’=0.471気圧=47724Paとすると、次の式で表される。P2=p2p2’この全内圧力P2が空盆のガス充満空間のガス圧値よりも大きくなると、空盆30のベローズ32が大気側に押し出されることとなりベローズ32がガス充満空間34側に膨張し、ハウジング2内に真空部分精確には約0.471気圧の水蒸気で満たされた部分ができることとなる。そして、真空部分は、ガントリー中心302a側のハウジング2内にできるため、次に挙げるような問題が生じることとなる。ガントリー中心302a側に位置するX線放射窓2wの冷却ができない。真空部分でX線が透過し易くなり、強度分布が不均一のX線を放射することとなる。そこで、本願発明者等は、空盆30の圧力を大気圧に一致させる場合の距離R1、距離R2の関係について計算した。計算した結果を図19に示す。図19に示すように、曲線よりも下側であればキャビテーションは発生しない。例えば、距離R1が0.625mである場合に、空盆30の距離R2を0.748m以下に設定すればよいことが分かる。CT装置300の具体例に着目すると、距離R1は0.55m乃至0.70mの範囲内である。架台302の回転速度が4rpsの場合、高低差R2-R1が12cm程度より大きくなると、ハウジング2内に真空部分が発生してしまう。架台302の回転速度がより速くなったり、ガス充満空間34が減圧されたり、冷却液3の温度がより高くなる場合、上記高低差はより小さくなるものである。例えば、架台302の回転速度が4rpsで、ガス充満空間34が0.5気圧に減圧するとした場合、図20に示すように、キャビテーションが発生しないための上記高低差は1cm以下となる。上記のように構成された第9の実施形態に係るX線管装置によれば、X線管装置は、熱伝達面1sを有したX線管1と、熱伝達面1sから放出される熱が伝達される冷却液3を収容する循環流路10と、循環ポンプ20と、空盆30と、圧力調整機構60とを備えている。空盆30は、冷却液充満空間33と、ガス充満空間34とに隔て、冷却液3の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ32を有している。圧力調整機構60は、空盆30のガス充満空間34のガスの圧力を調整可能である。冷却装置5は、上述した第1乃至第8の実施形態の何れかの冷却装置を利用することができるため、冷却装置5に関連して、上述した第1乃至第8の実施形態と同一の効果を得ることができる。上記の効果は、X線管装置をCT装置300に使用した場合であっても、距離R1及び距離R2を調整することにより、得ることができるものである。そして、ガントリー中心302a側のハウジング2内にキャビテーション真空部分が発生しないように距離R1及び距離R2を調整することにより、X線放射窓2w図18の冷却を良好に行うことができ、また、強度分布が均一のX線を放射することができる。上記のことから、陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いX線管装置を得ることができる。なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。例えば、圧力調整機構60は、ガス充満空間34のガスの圧力を、大気圧又は正圧に調整可能に形成されていてもよい。また、圧力調整機構60は、ガス充満空間34のガスの圧力を、大気圧又は負圧に調整可能に形成されていてもよい。ハウジング2がX線管1を収納し、循環流路の一部を形成する場合、空盆30は、ハウジング2に取付けられていてもよい。また、空盆30は、ハウジング2と分離して設けたり、筐体5aの外部の循環流路10に設けたりしてもよい。循環ポンプ20、90としては、遠心ポンプや、ギアポンプを利用することができ、流量調整機構70は循環ポンプの回転数を制御することにより、冷却液3の循環流量を調整することができる。圧力調整機構60は、筐体5aの内部に位置しているが、これに限らず筐体5aの外部に位置していてもよい。X線管装置は、少なくとも、陰極、陽極ターゲット、真空外囲器及び熱伝達面1sを有したX線管1と、循環流路10と、循環ポンプ20と、ベローズ機構空盆30と、圧力調整機構60と、を備えていればよい。本発明は、上述したX線管装置に限定されるものではなく、各種のX線管装置に適用可能である。