可動部材を変位させる駆動機構を駆動制御する制御装置であって、前記駆動機構を駆動するための電流を検出する電流検出手段と、前記駆動機構を駆動させる駆動速度に応じた目標電流を設定する速度制御手段と、前記目標電流および前記電流検出手段により検出された検出電流の偏差に、積分ゲインおよび比例ゲインをかけて前記駆動機構に出力する出力電流を設定する電流制御手段と、を具備し、前記電流制御手段は、前記駆動機構の駆動速度に応じて、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を切り替えることを特徴とする制御装置。請求項1に記載の制御装置において、前記電流制御手段は、前記駆動機構の駆動速度に応じて、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインの双方を切り替えることを特徴とする制御装置。請求項1または請求項2に記載の制御装置において、前記電流制御手段は、前記駆動機構の駆動速度が先に設定された駆動速度よりも増大した場合、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、先に設定されたゲインよりも小さいゲインに設定し、前記駆動機構の駆動速度が先に設定された駆動速度よりも減少した場合、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、先に設定されたゲインよりも大きいゲインに設定することを特徴とする制御装置。請求項1または請求項2に記載の制御装置において、前記電流制御手段は、前記駆動機構の駆動速度が停止する場合、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、先に設定されたゲインよりも小さいゲインに設定することを特徴とする制御装置。請求項1から請求項4のいずれかに記載の制御装置を備えた測定装置であって、前記可動部材は、被測定対象物に対して接触可能な測定子であることを特徴とする測定装置。請求項5に記載の測定装置であって、前記電流制御手段は、前記測定子により前記被測定対象物を測定する測定時に、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、測定用ゲインに切り替え、前記測定子を前記被測定対象物に対して相対移動させる高速移動時に、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、移動用ゲインに切り替え、前記測定子による測定処理、および前記測定子の移動を実施しない停止時に、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、停止用ゲインに切り替えることを特徴とする測定装置。ところで、上述のような従来の装置では、例えば駆動機構の高速駆動時、低速駆動時、停止時に関わらず、PI回路における比例ゲインおよび積分ゲインは一定の適正値に設定されている。しかしながら、駆動機構の駆動速度の変化、すなわち駆動機構を駆動させるための電流が変化する場合、上記適正値は異なる場合がある。したがって、従来の駆動機構では、あらゆる電流の変化を想定して一定の値となる適正値が設定されてはいるものの、十分な制御性能が得られていない場合があるという問題があった。本発明は、上記のような問題に鑑みて、制御性能を向上させる制御装置、および測定装置を提供することを目的とする。本発明の制御装置は、可動部材を変位させる駆動機構を駆動制御する制御装置であって、前記駆動機構を駆動するための電流を検出する電流検出手段と、前記駆動機構を駆動させる駆動速度に応じた目標電流を設定する速度制御手段と、前記目標電流および前記電流検出手段により検出された検出電流の偏差に、積分ゲインおよび比例ゲインをかけて前記駆動機構に出力する出力電流を設定する電流制御手段と、を具備し、前記電流制御手段は、前記駆動機構の駆動速度に応じて、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を切り替えることを特徴とする。この発明では、電流制御手段は、駆動機構の駆動速度、すなわち可動部材の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、目標電流に応じた最適な適正値に切り替える。このため、可動部材を駆動させるための目標電流に応じた最適なゲイン制御を実施することができ、制御性能を向上させることができる。本発明の制御装置では、前記電流制御手段は、前記駆動機構の駆動速度に応じて、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインの双方を切り替えることが好ましい。本発明では、電流制御手段は、駆動機構の駆動速度に応じて、比例ゲインおよび積分ゲインの双方を切り替える。比例ゲインを目標電流に応じて、適正値に切り替え設定することで、駆動機構の応答性を向上させることができ、積分ゲインを向上させることで、駆動機構の追従性を向上させることができる。制御装置における制御性能を向上させるためには、これらの比例ゲインおよび積分ゲインのうちいずれか一方のみを適正値に切り替えるだけでもよいが、本発明のように、比例ゲインおよび積分ゲインの双方を切り替えることで、駆動機構の応答性および追従性の双方を向上させることができ、より良好な制御性能を得ることができる。本発明の制御装置では、前記電流制御手段は、前記駆動機構の駆動速度が先に設定された駆動速度よりも増大した場合、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、先に設定されたゲインよりも小さいゲインに設定し、前記駆動機構の駆動速度が先に設定された駆動速度よりも減少した場合、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、先に設定されたゲインよりも大きいゲインに設定することが好ましい。この発明によれば、駆動機構における駆動速度が増大する場合、電流制御手段は、積分ゲインおよび比例ゲインの少なくともいずれか一方を小さくする。一般に駆動速度が増大すると、駆動機構に発振が発生しやすくなり、比例ゲインや積分ゲインが高い場合、発振がより発生しやすくなる。したがって、駆動速度が小さい状態で、駆動機構に発振が発生しない範囲内の最大の比例ゲインおよび積分ゲインが設定されている場合、ゲインを切り替えず駆動速度を増大させると、駆動機構の発振が生じ、正常な制御が困難となる。これに対して、本発明では、駆動速度が増大した場合には、より小さいゲインに切り替えることで、駆動機構の発振を抑えることができ、駆動機構の発振を抑えて、制御性能の向上を図ることができる。一方、駆動速度が低下する場合、比例ゲインや積分ゲインの値が小さいと、駆動機構の応答性や追従性が悪化し、制御性能が低下する場合がある。これに対して、本発明では、駆動機構の駆動速度が低下する場合では、比例ゲインや積分ゲインの値を大きくし、応答性や追従性を向上させ、制御性能を向上させることができる。また、本発明の制御装置では、前記電流制御手段は、前記駆動機構の駆動速度が停止する場合、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、先に設定されたゲインよりも小さいゲインに設定することが好ましい。この発明では、この発明では、駆動速度が0となり、駆動を停止させる場合、比例ゲインおよび積分ゲインをさらに小さい値に設定する。例えば、駆動停止させるために駆動機構をあらかじめ設定された停止位置で待機させる場合においても、駆動機構に電流が出力される場合がある。このような場合、比例ゲインおよび積分ゲインの少なくともいずれか一方を小さい値に設定することで、省電力化を図ることができる。本発明の測定装置は、上述のような制御装置を備えた測定装置であって、前記可動部材は、被測定対象物に対して接触可能な測定子であることを特徴とする。この発明では、測定装置における測定子の移動制御性能を向上させることができ、精度の高い測定処理を実施することができる。本発明の測定装置では、前記電流制御手段は、前記測定子により前記被測定対象物を測定する測定時に、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、測定用ゲインに切り替え、前記測定子を前記被測定対象物に対して相対移動させる高速移動時に、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、移動用ゲインに切り替え、前記測定子による測定処理、および前記測定子の移動を実施しない停止時に、前記積分ゲインおよび前記比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、停止用ゲインに切り替えることが好ましい。この発明では、電流制御手段は、比例ゲインや積分ゲインを、測定時に測定用ゲインに切り替え、高速移動時に移動用ゲインに切り替え、停止時には停止用ゲインに切り替える。このような発明では、電流制御手段は、測定装置の状態に応じて、すなわち測定時、高速移動時、および停止時に応じて、比例ゲインや積分ゲインの値を、予め設定されたゲインに切り替えるだけであるため、ゲインの設定処理が容易にでき、かつ、各状態に応じた適切なゲインを設定することができる。本発明では、制御装置は、駆動機構の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を、最適な適正値に設定するため、最適なゲイン制御を実施することができ、駆動機構の制御性能を向上させることができる。[第一実施形態]以下、本発明に係る第一実施形態の三次元測定機測定装置について、図面に基づい図1は、本発明に係る第一実施形態の産業機械である三次元測定機の概略構成を示す図である。図2は、本実施形態の装置本体に組み込まれた制御回路基板の概略構成を示すブロック図である。この三次元測定機1測定装置は、被測定対象物10に接触される本発明の可動部材である測定子211を備えたプローブ21と、プローブ21を変位させる移動機構22と、プローブ21の変位量を検出する変位検出センサ26図2参照と、移動機構22を駆動させるための駆動電流を検出する電流検出センサ27電流検出手段:図2参照と、駆動機構25の駆動を制御する駆動機構の制御装置としての駆動制御回路3図2参照とを備えて構成されている。移動機構22は、プローブ21の基端側を保持するとともに、プローブ21のスライド移動を可能とするスライド機構24と、スライド機構24を駆動することでプローブ21を移動させる駆動機構25とを備える。スライド機構24は、ベース23におけるX軸方向の両端からZ軸方向に延出し、Y軸方向に沿って設けられるガイド231に、Y軸方向に沿ってスライド移動可能に設けられるコラム241と、コラム241にて支持され、X軸方向に沿って延出するビーム242と、Z軸方向に沿って延出する筒状に形成され、ビーム242上をX軸方向に沿ってスライド移動可能に設けられるスライダ243と、スライダ243の内部に挿入されるとともに、スライダ243の内部をZ軸方向に沿ってスライド移動可能に設けられるラム244とを備える。スライド機構24は、プローブ21の位置を検出する変位検出センサ26図2参照を備えている。この変位検出センサ26は、コラム241に対して設けられるY座標変位検出センサ、スライダ243に対して設けられるX座標変位検出センサ、およびラム244に対して設けられるZ座標変位検出センサを備えている。この変位検出センサ26としては、例えば、Y軸、X軸、Z軸の各軸に対してそれぞれ設けられたスケールの変位量を検出するリニアエンコーダであってもよく、各駆動モーターの駆動軸の回転数を検出するロータリエンコーダであってもよい。駆動機構25は、プローブ21を保持するスライダ機構をXYZ軸方向に沿って移動させる駆動モーターM図4参照を備えている。具体的には、駆動モーターMは、コラム241をY軸方向に沿ってスライド移動させるY軸駆動モーター、スライダ243をビーム242に沿ってX軸方向に沿って移動させるX軸駆動モーター、およびラム244をZ軸方向に沿って移動させるZ軸駆動モーターを備える。また、駆動機構25は、それぞれ、駆動モーターMから供給される駆動力をスライド機構24に伝達する駆動伝達機構を備えており、駆動モーターの駆動力により、コラム241、スライダ243、ラム244をスライド移動させる。電流検出センサ27は、駆動モーターMを駆動させるために、駆動モーターに流れる駆動電流を検出する。この電流検出手段も、各軸駆動モーター対して、それぞれ設けられている。駆動制御回路3は、図2に示すように、位置制御部31と、位置制御部31から入力された速度指令値に基づいて駆動機構25の駆動速度を制御する速度制御部32速度制御手段と、速度制御部32から入力された電流指令値に基づいて駆動機構25の駆動モーターMに流す電流を制御する電流制御部33電流制御部と、を備えている。位置制御部31は、例えば図示略の操作コントーローラーから入力された操作指令信号に基づいて、プローブ21を所望の座標位置に移動させる制御をしたり、プローブ21の座標位置の検出を行ったりする。位置制御部31に入力される操作指令信号としては、測定子211を移動させる方向や移動量を示す変位量の他、測定子211を被測定対象物10に向かって高速移動させる旨の移動指令コマンドや、測定子211を用いて被測定対象物10を測定する旨の測定指令コマンドや、測定子211を停止させ、待機状態とする旨の停止指令コマンドなどの指令コマンドが含まれる。そして、位置制御部31は、入力された操作指令信号に基づいて、駆動機構25の駆動モードを切り替えて、各駆動モードに応じた速度指令値を速度制御部32に出力する。ここで、本実施形態では、位置制御部31は、各駆動モードに対して、駆動機構25を駆動させる駆動速度が予め設定されており、駆動モードが切り替わるたびに、この予め設定された駆動速度を速度指令値として速度制御部32に出力する。例えば、移動指令コマンドが入力された場合では、位置制御部31は、300mm/sの駆動速度で駆動機構25を駆動させるための速度指令値目標駆動速度を速度制御部32に出力し、測定指令コマンドが入力された場合では、位置制御部31は、3mm/sの駆動速度で駆動機構25を駆動させるための速度指令値目標駆動速度を生成し、速度制御部32に出力する。図3は、速度制御部32のループブロック図である。速度制御部32は、図3に示すように、速度指令値の信号を整える目標速度算出回路321と、実速度を算出する実速度算出回路322と、目標速度および実速度を比較して差速度偏差を算出する速度比較器323と、速度比較器323からの信号値に積分ゲインおよび比例ゲインをかける速度ゲイン制御回路324と、速度ゲイン制御回路324からの信号値にフィルタをかけて信号を整える速度ループ出力フィルタ回路325と、速度ループ出力フィルタ回路325からの信号値に基づいて、電流指令値を算出する電流指令リミット回路326とを備えている。目標速度算出回路321は、速度入力フィルタ回路321Aと、速度指令正規化回路321Bとを備えている。速度入力フィルタ回路321Aは、位置制御部31から入力される速度指令値に対して、速度入力フィルタをかけて信号波形を整える。そして、速度指令正規化回路321Bは、速度入力フィルタ回路321Aから出力された信号を正規化して、速度比較器323に出力する。実速度算出回路322は、変位検出センサ26から出力された変位信号から測定子211の実際の駆動速度を算出する。具体的には、実速度算出回路322は、速度変化算出部322Aと、速度フィードバック正規化回路322Bと、速度フィードバックフィルタ回路322Cとを備えている。速度変化算出部322Aは、変位検出センサ26から出力された変位信号の信号値と、図示略の変位信号カウンタでラッチされた前回の変位信号との信号値との差を算出し、算出された差を微分することで、プローブ21の実際の駆動速度実速度を算出する。速度フィードバック正規化回路322Bは、速度変化算出部322Aで算出された信号値に、算出された実速度を正規化する係数をかける。また、速度フィードバックフィルタ回路322Cは、速度フィードバック正規化回路322Bからの信号にフィルタをかけて信号波形を整え、速度比較器323に出力する。速度比較器323は、目標速度算出回路321から入力された速度指令値と、実速度算出回路322から入力された実速度値とを比較して、この差速度偏差を算出し、速度ゲイン制御回路324に出力する。速度ゲイン制御回路324は、速度比較器323から入力された信号速度偏差に対して、積分ゲインをかける速度ループ積分ゲイン回路324Aと、速度比較器323から入力された信号速度偏差に対して、比例ゲインをかける速度ループ比例ゲイン回路324Bとを備えている。そして、速度ゲイン制御回路324は、速度ループ積分ゲイン回路324Aで積分ゲインをかけた信号値と、速度ループ比例ゲイン回路324Bで比例ゲインをかけた信号値とを加算し、速度ループ出力フィルタ回路325に出力する。この速度ゲイン制御回路324における積分ゲインおよび比例ゲインの値は、予め設定された最適値が設定されており、例えば、三次元測定機1の製造時において予め適正値試験を行うことにより決定されている。速度ループ出力フィルタ回路325は、速度ゲイン制御回路324からの信号値に対して出力フィルタをかけて信号波形を整え、電流指令リミット回路326に出力する。電流指令リミット回路326は、速度ループ出力フィルタ回路325から入力された信号値駆動速度値から、駆動モーターMに流す目標電流値を算出し、電流指令値として電流制御部33に出力する。図4は、電流制御部33のループブロック図である。電流制御部33は、図4に示すように、検出電流算出回路331と、電流比較器332と、電流ゲイン制御回路333と、を備えている。検出電流算出回路331は、電流検出センサ27で検出された検出電流値と、オフセット値との差分を算出する差分算出回路331Aと、差分算出回路331Aからの信号を正規化する電流検出正規化回路331Bとを備えている。電流比較器332は、検出電流算出回路331からの検出電流値と、速度制御部32からの電流指令値とを比較し、その差分電流偏差を算出する。電流ゲイン制御回路333は、電流比較器332から入力された信号値に対して積分ゲインをかける電流ループ積分ゲイン回路333Aと、電流比較器332から入力された信号値に対して比例ゲインをかける電流ループ比例ゲイン回路333Bと、を備えている。ここで、電流ループ積分ゲイン回路333Aにおける積分ゲイン、および電流ループ比例ゲイン回路333Bにおける比例ゲインの値は、それぞれ、駆動機構25の実速度によって切り替えられる。つまり、位置制御部31に入力される指令コマンドにより、駆動機構25の駆動モードが切り替わると、電流ゲイン制御回路333における積分ゲインおよび比例ゲインは、各駆動モードにおける駆動機構25の駆動速度に対して最適な適正値に切り替えられる。ここで、これらの積分ゲインおよび比例ゲインは、例えば三次元測定機1の製造時などにおいて、予め試験を行うことにより決定される。本実施形態では、位置制御部31に移動指令コマンドが入力された場合では、目標駆動速度が300mm/sに設定され、測定コマンドが入力された場合では、目標駆動速度が3mm/sに設定される。したがって、予め駆動機構25を300mm/sで駆動させた状態において、駆動機構25に発振が生じない範囲で積分ゲインおよび比例ゲインが最大となる値を実験的に求め、その値をそれぞれ移動指令コマンドが入力された際の移動用ゲイン移動用積分ゲイン、移動用比例ゲインと設定する。また、予め駆動機構25を3mm/sで駆動させた状態において、駆動機構25に発振が生じない範囲で積分ゲインおよび比例ゲインが最大となる値を実験的に求め、その値をそれぞれ測定指令コマンドが入力された際の測定用ゲイン測定用積分ゲイン、測定用比例ゲインと設定する。一般に、駆動速度が大きくなるほど、値の大きいゲインをかけることで発振が発生しやすくなるため、移動用ゲインは、測定用ゲインよりも小さくなる。また、三次元測定機1では、駆動機構25の停止時においても、待機電流が駆動モーターMに流れる。この場合、プローブ21の動作に応答性や追従性は特に要求されないため、積分ゲインおよび比例ゲインをほぼ0となる最小値停止用ゲインに設定する。図5は、駆動機構25の駆動モードを停止状態、高速移動状態、測定状態に切り替えた場合の電流ゲイン制御回路333において設定されるゲインの変化を示す図である。図5のように、本実施形態では、駆動モード位置制御部31に入力される指令コマンドが切り替わり、目標駆動速度が切り替わると、その目標駆動速度に応じて駆動機構25が駆動される。これにより、実速度算出回路322で算出された実速度も変化し、これにより、電流ゲイン制御回路333における積分ゲインおよび比例ゲインが切り替わる。そして、電流ゲイン制御回路333で、上述のような積分ゲインおよび比例ゲインがかけられた信号は、出力電流として駆動モーターMに出力される。次に、上記のような三次元測定機1における電流制御処理について、図6に基づいて説明する。図6は、本実施形態の三次元測定機1の電流制御処理を示すフローチャートである。位置制御部31に指令コマンドが入力され、位置制御部31から速度制御部32に速度指令値が入力されると、その速度指令値に応じた電流が電流制御部33から駆動モーターMに出力される。この時、速度制御部32の実速度算出回路322は、変位検出センサの変化量sから実速度V=s/tを算出するステップS1。そして、電流制御部33の電流ゲイン制御回路333は、このステップS1において算出された実速度Vと、予め設定された測定用駆動速度V1=3mm/sとを比較するステップS2。このステップS2において、実速度VがV≦V1である場合図6中、ステップS2のNの場合、積分ゲインおよび比例ゲインとして停止用ゲインを設定するステップS3。これにより、位置制御部31に停止指令コマンドが入力された場合に、省電力化が図れる。一方、ステップS2において、実速度VがV≧V1である場合図6中、ステップS2のYの場合、さらに、ステップS1において算出された実速度Vと、予め設定された移動用駆動速度V2=300mm/sとを比較するステップS4。このステップS4において、実速度VがV≧V2である場合図6中、ステップS4のYの場合、積分ゲインおよび比例ゲインとして移動用ゲインを設定するステップS5。これにより、位置制御部31に移動指令コマンドが入力され、駆動機構25が300mm/sで移動された場合でも、駆動機構25に発振が生じず、かつ高い応答性、追従性が得られる。また、ステップS4において、実速度VがV≦V2である場合図6中、ステップS4のNの場合、積分ゲインおよび比例ゲインとして測定用ゲインを設定するステップS6。これにより、位置制御部31に測定指令コマンドが入力され、測定子211を被測定対象物10に接触させて倣い運転させる場合に、駆動機構25を高い応答性、追従性で駆動させることができる。第一実施形態の作用効果上述したように、上記第一実施形態の三次元測定機1では、駆動機構25の駆動モーターMに流す電流を制御する駆動制御回路3は、速度制御部32から入力された電流指令値およびフィードバック電流値検出電流の電流偏差に、駆動機構25の駆動速度に積分ゲイン、比例ゲインをかける電流ゲイン制御回路333が設けられている。そして、この電流ゲイン制御回路333は、駆動機構25の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインの適正値を切り替えている。このため、駆動速度が変化する駆動機構25に対し、電流偏差に1種の積分ゲインおよび比例ゲインをかけて駆動モーターMに出力する電流値を設定する場合に比べて、駆動速度に応じたゲインをかけることで、駆動機構25の応答性および追従性をより向上させることができ、駆動機構25の制御性能をより向上させることができる。また、電流ゲイン制御回路333では、駆動機構25の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインの双方を切り替えている。このため、例えば積分ゲインのみを切り替える場合や、比例ゲインのみを切り替える場合に比べて、より制御性能を向上させることができる。そして、本実施形態の三次元測定機1では、指令コマンドとして、停止指令コマンドが入力されて停止モードになった場合には、電流ゲイン制御回路333は、積分ゲインおよび比例ゲインとして停止用ゲイン停止用積分ゲイン、停止用比例ゲインを設定し、移動指令コマンドが入力されて駆動機構25が移動用駆動速度V2=300mm/sで駆動される場合には、移動用ゲイン移動用積分ゲイン、移動用比例ゲインを設定し、測定指令コマンドが入力されて駆動機構25が測定用駆動速度V1=3mm/sで駆動される場合には、測定用ゲイン測定用積分ゲイン、測定用比例ゲインを設定する。このように、駆動機構25の駆動速度の状態に応じて、ゲインを切り替え制御することで、簡単な回路構成で容易にゲインを設定することができる。また、測定用駆動速度V1=3mm/sから移動用駆動速度V2=300mm/sに駆動速度を増大させる場合、測定用ゲインから、より小さい値の移動用ゲインに設定される。したがって、これらの測定用ゲインおよび移動用ゲインは、駆動機構25の発振が生じない範囲内の最大ゲインが設定されているため、駆動機構25の応答性、追従性が良好となり、制御性能が向上する。一方、測定用駆動速度V1=3mm/sから停止状態駆動速度=0mm/sに切り替える場合、測定用ゲインから、さらに小さい値である停止用ゲインに設定される。これにより、停止時における電流消費を抑制することができ、省電力化を測ることができる。[第二実施形態]次に本発明の第二実施形態について説明する。第二実施形態の三次元測定機は、第一実施形態と同様の構成を有するものであり、電流ゲイン制御回路333における設定ゲインのみが相違する。すなわち、第二実施形態の電流ゲイン制御回路333では、駆動機構25の駆動速度に応じて、駆動速度が増大すると、積分ゲインおよび比例ゲインの値を減少させ、駆動機構25の駆動速度が低下すると、積分ゲインおよび比例ゲインの値を増大させる。したがって、駆動機構25の駆動速度が測定用駆動速度V1=3mm/sに設定されている状態から、移動用駆動速度V2=300mm/sに増大させると、電流ゲイン制御回路333は、第一実施形態と同様、測定用ゲイン測定用積分ゲイン、測定用比例ゲインより小さい移動用ゲイン移動用積分ゲイン、移動用比例ゲインを設定する。一方、駆動機構25の駆動速度が、測定用駆動速度V1=3mm/sに設定されている状態から、停止状態駆動速度=0に切り替わり、駆動速度が減少した場合、電流ゲイン制御回路333は、測定用ゲイン測定用積分ゲイン、測定用比例ゲインより大きい積分ゲインおよび比例ゲインを設定する。第二実施形態の作用効果この第二実施形態の三次元測定機では、上述したように、電流ゲイン制御回路333は、駆動機構25の駆動速度が増大すると、積分ゲインおよび比例ゲインを減少させ、駆動機構25の駆動速度が減少すると、積分ゲインおよび比例ゲインを増大させる。このような構成とすることで、停止状態においても、応答性を良好にすることができ、例えば、駆動機構25が停止している待機状態から、測定に復帰させる場合に、良好な応答性で駆動機構25を駆動させることができる。[変形例]なお、本発明は、上述した一実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。例えば、上記第二実施形態では、電流ゲイン制御回路333は、予め設定されたゲイン移動用ゲイン、測定用ゲイン、停止時のゲインなどに繰り替えてゲイン制御を実施したが、連続的に変化する駆動速度に応じて、ゲインを連続的に変化させる構成などとしてもよい。上記実施形態では、電流制御部33の電流ゲイン制御回路333は、駆動機構25の駆動速度として、実速度算出回路322から入力された実速度に基づいて、ゲインを切り替えたが、これに限定されない。例えば、電流ゲイン制御回路333は、位置制御部31が出力する速度指令値目標駆動速度に基づいて、ゲインを切り替えてもよい。また、電流ゲイン制御回路333は、駆動機構25の駆動速度が切り替わると、積分ゲインおよび比例ゲインの双方の値を切り替えたが、例えば、積分ゲインのみを切り替えてもよく、比例ゲインのみを切り替えてもよい。このような場合であっても、1種のゲインのみを用いる場合に比べて、制御性能を良好にすることができる。また、上記において、三次元測定機1測定装置の駆動機構25の制御装置として、本発明を適用する例を示したが、これに限定されない。例えば、ロボットアーム等の可動部材によりワークと加工する加工装置など、可動部材を可動させる装置で、可動部材の速度が可変する産業機械であれば、可動部材の電流を制御する制御装置として用いることができる。また、上記実施形態では、三次元測定機のプローブ21の動作モードを、高速移動時、測定時、停止時の3つの駆動状態に分け、これらの駆動状態を切り替える際に、電流ゲイン制御回路333のゲインを切り替える構成としたが、4つ以上の駆動状態を切り替える構成としてもよい。この場合であっても、それぞれの駆動状態の駆動機構25の駆動速度に応じて、適切な積分ゲイン、比例ゲインを設定することで、上記実施形態と同様に、駆動機構25の制御性能を向上させることができる。その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。