"螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ナットの内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成され、前記ボールを前記ボール転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路が、前記ボール転走路との接続部分である両端部と、前記両端部の間に配され前記両端部よりも溝深さが深い中間部と、からなるボールねじを製造するに際して、前記ナットの内周面のうち前記中間部に対応する部分を凹化させて凹部を形成した後に、前記ナットの内周面のうち前記両端部に対応する部分を鍛造により凹化させるとともに、前記凹部を鍛造によりさらに深く凹化させて、前記両端部の溝深さよりも前記中間部の溝深さの方が深くなっている前記凹溝からなる前記ボール循環路を形成することを特徴とするボールねじの製造方法。前記凹部の深さを、前記中間部の溝深さと前記両端部の溝深さとの差と同一とすることを特徴とする請求項1に記載のボールねじの製造方法。しかしながら、金型を用いた鍛造によりナットの内周面の一部を凹化させて凹溝を形成する場合には、深い溝を形成するためには除肉量が多くなるので、鍛造に大きなエネルギーが必要であった。よって、ボール循環路の形成に要するエネルギーが小さくなるよう、さらなる改良が望まれていた。そこで、本発明は、上記のような従来技術が有する問題点を解決し、鍛造に要するエネルギーが小さいボールねじの製造方法を提供することを課題とする。前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明のボールねじの製造方法は、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転走路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ナットの内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成され、前記ボールを前記ボール転走路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路が、前記ボール転走路との接続部分である両端部と、前記両端部の間に配され前記両端部よりも溝深さが深い中間部と、からなるボールねじを製造するに際して、前記ナットの内周面のうち前記中間部に対応する部分を凹化させて凹部を形成した後に、前記ナットの内周面のうち前記両端部に対応する部分を鍛造により凹化させるとともに、前記凹部を鍛造によりさらに深く凹化させて、前記両端部の溝深さよりも前記中間部の溝深さの方が深くなっている前記凹溝からなる前記ボール循環路を形成することを特徴とする。このような本発明のボールねじの製造方法においては、前記凹部の深さを、前記中間部の溝深さと前記両端部の溝深さとの差と同一とすることが好ましい。本発明のボールねじの製造方法は、ナットの内周面のうち中間部に対応する部分を凹化させて凹部を形成した後に、両端部に対応する部分及び凹部を鍛造により凹化させることにより、両端部の溝深さよりも中間部の溝深さの方が深くなっている凹溝からなるボール循環路を形成するので、鍛造に要するエネルギーが小さい。本発明に係るボールねじの製造方法の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態であるボールねじの断面図軸方向に沿う平面で切断した断面図である。図1に示すように、ボールねじ1は、螺旋状のねじ溝3aを外周面に有するねじ軸3と、ねじ軸3のねじ溝3aに対向する螺旋状のねじ溝5aを内周面に有するナット5と、両ねじ溝3a,5aにより形成される螺旋状のボール転走路7内に転動自在に装填された複数のボール9と、ボール9をボール転走路7の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路11と、を備えている。すなわち、ボール9は、ボール転走路7内を移動しつつねじ軸3の回りを回ってボール転走路7の終点に至り、そこでボール循環路11の一方の端部11aから掬い上げられてボール循環路11内を通り、ボール循環路11の他方の端部11aからボール転走路7の始点に戻されるようになっている。なお、ねじ溝3a,5aの断面形状長手方向に直交する平面で切断した場合の断面の形状は、円弧状単一円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。また、ねじ軸3,ナット5,及びボール9の材質は特に限定されるものではなく、一般的な材料を使用可能である。例えば、金属鋼等,焼結合金,セラミック,樹脂があげられる。このようなボールねじ1は、ボール9を介してねじ軸3に螺合されているナット5とねじ軸3とを相対回転運動させると、ボール9の転動を介してねじ軸3とナット5とが軸方向に相対移動するようになっている。そして、ボール転走路7とボール循環路11により無端状のボール通路が形成されており、ボール転走路7内を転動するボール9が無端状のボール通路内を無限に循環するようになっているため、ねじ軸3とナット5とは継続的に相対移動することができる。ここで、ボール循環路11について、図2~4を参照しながら詳細に説明する。ボール循環路11は、ナット5の内周面に一体的に形成されている。詳述すると、ナット5の円柱面状の内周面の一部を凹化させて形成した凹溝22を、ボール循環路11としている。よって、チューブ式,コマ式等のボール循環形式の場合とは異なり、ボール循環路を構成する別部材は取り付けられていない。そして、別部材が用いられていないので、別部材が用いられた場合に境界部分に生じる、エッジ部を有する段差が生じるおそれはない。また、図4に示すように、ボール循環路11凹溝22は、ボール転走路7ねじ溝5aとの接続部分である両端部11a,11aが直線状となっており、両端部11a,11aの間に位置する中間部11bが曲線状となっている。この中間部11bの両端と両端部11a,11aとが滑らかに接続されていて、図2のA矢視方向から見たボール循環路11凹溝22の全体形状は略S字状をなしている。ただし、ボール循環路11の全体形状は、図4に示すような略S字状に限定されるものではない。さらに、図2に示すように、ボール循環路11凹溝22は、両端部11a,11aの溝深さよりも中間部11bの溝深さの方が深くなっている。このようなボール循環路11を備えていることから、図3に示すように、ボール転走路7の終点に転動してきたボール9は、ボール循環路11の一方の端部11aから掬い上げられてナット5の内部径方向外方側に沈み込む。そして、ボール循環路11の中間部11b内を通ってねじ軸3のランド部3bねじ溝3aのねじ山を乗り越えて、ボール循環路11の他方の端部11aからボール転走路7の始点に戻される。なお、ボール循環路11の断面形状長手方向に直交する平面で切断した場合の断面の形状は、円弧状単一円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。直線状の端部11aによりボール9の導入部が形成されており、ボール転走路7からボール循環路11に入ってきたボール9は、導入部を通って中間部11bの湾曲部分に突き当たることにより案内されて、進行方向を変える。よって、この導入部は、ボール9が激しく衝突する部分である。なお、ボール循環路11とボール転走路7とは、滑らかに接続されている。すなわち、ボール9と凹溝22の内面との接点の軌跡と、ボール9とねじ溝5aの内面との接点の軌跡とが、滑らかに連続するように接続されている。その結果、ボール9が滑らかに循環する。このような本実施形態のボールねじ1の用途は特に限定されるものではないが、自動車部品,位置決め装置等に好適に使用可能である。次に、本実施形態のボールねじ1の製造方法の一例を、図2,4~7を参照しながら説明する。まず、円柱状の鋼製素材20を冷間鍛造等の塑性加工により加工し、ナット5と略同一形状略円筒形状のブランク21を得た粗成形工程。このとき、塑性加工により、ブランク21の外周面にはフランジ13も形成される。次に、図6に示すように、ブランク21の円柱面状の内周面のうち中間部11bに対応する部分を凹化させて、凹部24を形成した。なお、図6の右側の図は、ブランク21の断面図図2に相当する図であり、左側の図は、ブランク21の内周面を径方向中心側から見た図図4に相当する図である。凹部24を形成する方法は特に限定されるものではないが、鍛造等の塑性加工、切削加工、研削加工があげられる。あるいは、鋳造によって、内周面に凹部24を有するブランク21を製造してもよい。そして、凹部24を形成した後に、ブランク21の円柱面状の内周面のうち、両端部11a,11aに対応する部分を鍛造により凹化させるとともに、凹部24が形成されている部分を鍛造によりさらに深く凹化させて、両端部11a,11aの溝深さよりも中間部11bの溝深さの方が深くなっている凹溝22を形成したボール循環路形成工程。このようにして、図2に示すような凹溝22を形成することができる。なお、図6においては、凹部24を形成した後の鍛造により形成された凹溝22が点線で示されている。当初形成する凹部24の深さDは、中間部11bの溝深さと端部11aの溝深さとの差と略同一とすることが好ましい。すなわち、凹部24の底面から凹溝22形成後の中間部11bの底面までの溝深さ方向距離Xと、凹溝22形成前のブランク21の円柱面状の内周面から凹溝22形成後の端部11aの底面までの溝深さ方向距離Yとが、略同一であることが好ましい。そうすれば、凹部24形成後の鍛造によって凹化された深さが、ボール循環路11の長手方向の全体にわたって一定となるので、鍛造がより容易となる。また、前記溝深さ方向距離Xは、凹溝22の機能上、少なくともボール9の半径程度の大きさである必要がある。凹溝22を鍛造により形成する方法としては、金型を用いる方法が好ましい。すなわち、凹溝22に対応する形状の凸部を有する金型図示せずをブランク21内に挿入し、ブランク21の内周面に金型の凸部を接触させ、ブランク21の内周面に向かって金型を強く押圧することにより塑性加工して、凹溝22を形成することができる。なお、両端部11a,11aに対応する部分の鍛造と、凹部24が形成されている部分の鍛造とを1つの金型で同時に行うことが好ましいが、別々の金型でそれぞれ行うことも可能である。このように、凹部24を形成することで予め除肉を行うことにより、その後の鍛造における除肉量加工量を低減したため、冷間鍛造が容易となり、また、鍛造に要するエネルギーが小さくなる。特に、凹溝22の最深部である中間部11bに対応する部分を予め除肉したので、その後の鍛造における除肉量加工量が大幅に低減されて、鍛造に要するエネルギーが大幅に小さくなる。よって、ボールねじ1の製造に際して必要なエネルギーが小さい。さらに、鍛造に際して金型に負荷する荷重を、予め除肉を行わず鍛造のみで凹溝22を形成する場合よりも小さくすることができるので、金型への負担が少なくなり、金型のメンテナンスを行う頻度を少なくすることができるとともに、金型の寿命が長くなる。さらに、予め除肉を行わず鍛造のみで凹溝22を形成する場合よりも、除肉量が少ないため、ワークフローが少なくなる。その結果、ナット5の真円度が崩れるなどの形状崩れ変形が生じにくい。さらに、凹溝22の形成を鍛造によって行うので、切削加工や研削加工で凹溝22を形成する場合と比べて、加工に要する時間が短いことに加えて、凹溝22の内面の粗度も良好となる。そのため、凹溝22の形成後に、その内面の粗度を整える必要はない。金型を用いて凹溝22を形成する方法の具体例としては、カムドライバ図示せずと、凹溝22に対応する形状の凸部を有するカムスライダ図示せずと、を有するカム機構の金型を用いる方法があげられる。詳述すると、ブランク21内にカムドライバとカムスライダを挿入し、そのときカムスライダは、ブランク21とカムドライバとの間に配置するとともに、その凸部をブランク21の内周面に向けて配置する。ブランク21内に配されたカムスライダとカムドライバは、ブランク21の略軸方向ブランク21の軸方向から若干傾斜した方向に延びる傾斜面で相互に接触しており、両傾斜面が金型のカム機構を構成している。ここで、カムドライバをブランク21の軸方向に沿って移動させると、両傾斜面で構成されるカム機構くさびの作用によりカムスライダがブランク21の径方向外方に移動する。すなわち、カムドライバの傾斜面からカムスライダの傾斜面に力が伝達され、カムドライバの軸方向の力がカムスライダを径方向外方へ動かす力に変換される。その結果、カムスライダの凸部がブランク21の内周面を強く押圧することとなるので、塑性加工によりブランク21の内周面に凹溝22が形成される。次に、凹溝22が形成されたブランク21の内周面に、慣用の切削加工により、ボール循環路11凹溝22の最端部と接続するようにねじ溝5aを形成したねじ溝形成工程。このとき、凹溝22ボール循環路11の最端部は球面状をなしているので、ねじ溝5aとの境界部分の段差にコマ式ボールねじの場合のようなエッジ部は発生せず、滑らかな段差となる。その結果、境界部分をボール9が通過しても、異音や作動トルク変動が生じにくく、また寿命低下も生じにくい。最後に、所望の条件で浸炭,浸炭窒化,焼入れ,焼戻し,高周波焼入れ等の熱処理をブランク21に施して、ナット5が得られた。熱処理が浸炭又は浸炭窒化である場合は、ナット5の材質は、炭素の含有量が0.10~0.25質量のクロム鋼又はクロムモリブデン鋼例えばSCM420であることが好ましく、熱処理が高周波焼入れである場合は、炭素の含有量が0.4~0.6質量の炭素鋼例えばS53C,SAE4150であることが好ましい。このようにして製造されたナット5と、慣用の方法により製造されたねじ軸3及びボール9とを組み合わせて、ボールねじ1を製造した。なお、前述の粗成形工程及びボール循環路形成工程を鍛造のような塑性加工で行ったので、このボールねじ1の製造方法は、材料歩留まりが高いことに加えて、高精度のボールねじを安価に製造することができる。また、塑性加工により製造するため、鋼製素材20が有するメタルフロー鍛流線がほとんど切断されないので、高強度のナット5が得られる。鍛造の種類は特に限定されるものではないが、冷間鍛造が好ましい。熱間鍛造を採用することも可能であるが、冷間鍛造は熱間鍛造に比べて高精度な仕上げが可能であるので、後加工を施さなくても十分に高精度なナット5を得ることができる。よって、ボールねじ1を安価に製造することができる。粗成形工程及びボール循環路形成工程における加工方法を冷間鍛造とすることが好ましいが、いずれか1つの工程における加工方法を冷間鍛造としてもよい。なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態のボールねじにおいては、ブランク21の円柱面状の内周面のうち中間部11bに対応する部分を凹化させて凹部24を形成したが、凹部24の大きさや形状はこれに限定されるものではなく、例えば図8に示すように、中間部11bに対応する部分よりも広い範囲を凹化させて凹部24を形成してもよい。この場合は、凹部24を略S字状に形成する必要がない。よって、加工に特別な工具を必要とせず、高精度の加工も不要なので、加工が容易である。また、この場合の凹部24の形状は、図8に示すように略長円形としてもよいし、図9に示すように略矩形としてもよい。さらに、略矩形の凹部24は、図10に示すように、ナット5の軸方向両端にまで直線状に延びていてもよい。このようなナット5の軸方向両端まで直線状に延びる溝状の凹部24は、複数の凹溝22を同位相に有するナット5を製造する場合に好適である。すなわち、各凹溝22の形成に用いる凹部24が、1つの溝状の凹部24であるため図11を参照、一度の加工で全ての凹溝22のための凹部24を形成することができる。ただし、溝状の凹部24の底部と凹溝22の最深部との位相が略一致するようにすることが好ましい。溝状の凹部24を形成する方法は特に限定されるものではなく、鍛造等の塑性加工、切削加工、研削加工があげられる。あるいは、内周面に溝状の凹部24を有するブランク21を鋳造によって製造して用いてもよい。複数の凹溝22を異なる位相に有するナット5を製造する場合には、各凹溝22の形成に用いる前記溝状の凹部24を、各凹溝22の位相に合わせてそれぞれ形成する。このような場合には、前記溝状の凹部24とねじ溝5aとが重なり合う部分が生じるが、ねじ溝5aの底部の深さと前記溝状の凹部24の底部の深さとの差Zナット5の中心Oからの距離で表すと、中心Oからねじ溝5aの底部までの距離R1と、中心Oから前記溝状の凹部24の底部までの距離R2との差Zが、ボール9の半径の50以上100以下であれば、ねじ溝5aの機能が損なわれることはない図12を参照。さらに、ボール9をボール転走路7の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路11をナット5に形成したナット循環方式のボールねじを例示したが、本発明は、ボール循環路11に相当するものをねじ軸に形成したねじ軸循環方式のボールねじにも適用可能である。"