成型ウエハ15の樹脂硬化温度TH以下にある第1の温度T1で、成型ウエハ15を第1の保持手段5、50上に保持し、第1の保持手段5、50上に保持された成型ウエハ15を、第1の温度T1より高く前記硬化温度TH以上である第2の温度T2に加熱し、第1の保持手段5、50の保持を終了し、第2の温度T2に加熱された前記成型ウエハ15を第1の保持手段5、50から第2の保持手段9、90へ実質的に非接触で搬送し、前記加熱された成型ウエハ15を第2の保持手段9、90上に保持し、第2の保持手段9、90上に保持された前記成型ウエハ15を第2の温度T2より低く前記硬化温度TH以下である第3の温度T4まで冷却し、第2の保持手段9、90の保持を終了する、ステップを有する、成型ウエハ15の熱処理方法。前記加熱された成型ウエハ15の非接触搬送は、気体クッション搬送手段7により行われる、請求項1記載の方法。第1の保持手段5、50、第2の保持手段9、90、及び前記気体クッション搬送手段7によって同一平面Oが形成される、請求項2記載の方法。前記加熱された成型ウエハ15に非接触搬送は、ベルヌーイ保持手段20’により行われる、請求項1記載の方法。前記第1の保持手段5、50は、前記搬送を開始するための、搬送方向TRに指向した噴出ノズル5bを備える、請求項1から3のいずれか1つに記載の方法。第1の保持手段5、50、第2の保持手段9、90、及び前記気体クッション搬送手段7は、前記搬送を開始するため、搬送方向TRに沿って一体に傾けられる、請求項2記載の方法。前記成型ウエハ15は、第1の温度T1のときには熱剥離フィルム16によってキャリア基板17に接合されており、前記キャリア基板17と前記熱剥離フィルム16とは、第2の温度T2のときに当該成型ウエハ15から除去される、請求項1から6のいずれか1つに記載の方法。前記成型ウエハ15は、第3の保持手段20により第1の保持手段5、50上に載置され、前記キャリア基板17の除去は第2の温度T2での前記フィルム16の熱剥離後に第3の保持手段20により持ち上げられることで行われる、請求項7記載の方法。第1の保持手段5、50上及び/または第2の保持手段9、90上での前記保持は、吸入ノズル5a、9aによる吸着により行われる、請求項1から8のいずれか1つに記載の方法。第2の保持手段9、90上における成型ウエハ15の所定の到達地点への到達はセンサ手段30により検知され、当該センサ手段30の検知に対応する出力信号SIGによって前記第2の保持手段9、90上に前記加熱された成型ウエハ15の保持を開始する、請求項1から9のいずれか1つに記載の方法。前記成型ウエハ15は搬送プレート14と結合し、当該成型ウエハ15は当該搬送プレート14を介して第1の保持手段5、50と第2の保持手段9、90との上に保持され、当該成型ウエハ15は当該搬送プレート14を介して第1の保持手段5、50から第2の保持手段9、90への搬送がなされる、請求項1から10のいずれか1つに記載の方法。成型ウエハ15の樹脂硬化温度TH以下にある第1の温度T1で、成型ウエハ15を保持し、保持した成型ウエハ15を前記硬化温度以上の第2の温度T2まで加熱するよう構成された、加熱可能な第1の保持手段5、50と、加熱された成型ウエハ15を保持し、前記第2の温度T2より低く、前記硬化温度TH以下である第3の温度T4まで冷却するよう構成された、冷却可能な第2の保持手段9、90と、加熱された前記成型ウエハ15を第1の保持手段5、50から第2の保持手段9、90へ非接触で搬送するよう構成された搬送手段7、20’と、を備える、成型ウエハ15の熱処理装置。前記搬送手段7、20は気体クッション搬送手段7、20である、請求項12記載の装置。第1の保持手段5、50、第2の保持手段9、90、及び前記気体クッション搬送手段7によって同一平面Oが形成される、請求項13記載の装置。前記搬送手段7、20はベルヌーイ保持手段20’を備える、請求項12記載の装置。第1の保持手段5、50は、搬送方向TRに指向した噴出ノズル5bを備える、請求項12から14のいずれか1つに記載の装置。第1の保持手段5、50、第2の保持手段9、90、及び前記気体クッション搬送手段7は、前記搬送を開始するため、前記搬送方向TRに沿って一体に傾け可能である、請求項14記載の装置。第1の保持手段5、50及び/または第2の保持手段9、90は成型ウエハ15の吸着のための吸入ノズル5a、9aを備えている請求項12から17のいずれか1つに記載の装置。第2の保持手段9、90上における成型ウエハ15の所定の到達地点への到達を検知し、当該検知に対応する出力信号SIGを発信して第2の保持手段による保持を開始させるためのセンサ手段30を備えている、請求項12から18のいずれか1つに記載の装置。前記成型ウエハ15は、搬送プレート14と結合されており、当該成型ウエハ15は当該搬送プレート14を介して第1の保持手段5、50と第2の保持手段9、90の上に保持されることが可能であり、当該成型ウエハ15は当該搬送プレート14を介して第1の保持手段5、50から第2の保持手段9、90へと搬送されることが可能である、請求項12から19のいずれか1つに記載の装置。前記センサ手段30は非接触光学式センサである、請求項19記載の装置。前記搬送手段7、20’及び第2の保持手段9、90の上方に設けられた赤外線ヒータ手段100を備え、当該ヒータ手段の温度T3が第2の温度T2以上にある、請求項12から21のいずれか1つに記載の装置。前記気体クッション搬送手段7は、前記成型ウエハ15に第2の温度T2の気流を供給可能に構成されている、請求項13記載の装置。第1の保持手段5、50上に前記成型ウエハ15を設置するための第3の保持手段20が設けられ、当該第3の保持手段は前記第2の温度T2に加熱可能である、請求項12から23のいずれか1つに記載の装置。例えば、剥離を行うには、T1まで予熱して、さらにT2まで加熱し、T2で剥離させて、室温まで冷却する。しかしながら、成型ウエハに用いられているプラスチックの熱伝導率は低く、異なる熱膨張係数を持つSiチップが組み込まれているために、この上記遷移域UBでの冷却による凝固応力が生じ、その結果成型ウエハに曲げ歪みが生じ、その後の成型ウエハの取り回しや加工をより困難なものとしたり不可能なものとしたりする。本発明の目的は、熱処理後における曲げを減少若しくは生じなくさせ、または意図的に曲げを制御可能にした、プラスチックディスク、特に成型ウエハの熱処理を行うことができる、プラスチックディスク、特に成型ウエハの熱処理方法及び装置を提供することである。請求項1の発明に係る方法及びこれに対応する請求項12に係る装置は、薄いプラスチックディスクが曲がる歪むという問題なく熱処理できるという効果を奏する。基礎となる第1の発明の概念は、第1の保持手段から第2の保持手段へと、例えばエアクッション等により、加熱されたプラスチックディスクを実質的に非接触で搬送することで、主として熱交換を回避することができる。その後、充分に制御された冷却工程が実行され、不測の曲げが生じることはない。本発明に関する本質的事項の有効な改良及び改善は、下位の請求項に示されている。好ましい改良としては、加熱されたプラスチックディスクの非接触搬送は、気体クッション搬送手段により行われる。さらに好ましい改良としては、第1の保持手段、第2の保持手段、及び気体クッションによって同一平面が形成される。より好ましい改良としては、加熱されたプラスチックディスクの非接触搬送は、ベルヌーイ保持手段により実行される。さらに好ましい構成としては、第1の保持手段は、搬送を開始するための、搬送方向に指向した噴出ノズルを備える。さらに好ましい改良としては、第1の保持手段、第2の保持手段、及び気体クッション搬送手段は、搬送を開始するため、搬送方向に沿って一体に傾けられる。さらに好ましい改良としては、プラスチックディスクは成型ウエハであり、当該成型ウエハは第1の温度のときには熱剥離フィルムによってキャリア基板に接合されており、キャリア基板と前記熱剥離フィルムとは、第2の温度のときに当該成型ウエハから除去される。さらに好ましい改良としては、プラスチックディスクは、第3の保持手段により第1の保持手段上に載置され、キャリア基板の除去は第2の温度でのフィルムの熱剥離後に第3の保持手段により持ち上げられることで行われる。さらに好ましい改良としては、第1の保持手段上及び/または第2の保持手段上での保持は吸入ノズルによる吸着により行われる。さらに好ましい改良としては、第2の保持手段上におけるプラスチックディスクの所定の到達地点への到達はセンサ手段により検知され、当該センサ手段の検知に対応する出力信号によって第2の保持手段上に前記加熱されたプラスチックディスクの保持を開始する。さらに好ましい改良としては、プラスチックディスクは搬送プレートと結合し、当該プラスチックディスクは当該搬送プレートを介して第1の保持手段と第2の保持手段との上に保持され、当該プラスチックディスクは当該搬送プレートを介して第1の保持手段から第2の保持手段への搬送がなされる。さらに好ましい改良としては、センサ手段は非接触の光学式センサとする。本発明の好ましい実施形態について、図面を参照しつつ、以下詳しく説明する。図面において参照符号が同一であるものは、同一物または機能的に同等の構成要素を示している。図1a、bは、本発明の第1実施形態に係る成型ウエハの熱剥離のための装置の概略図であり、図1aでは詳細な側面図、図1bでは上面視図を示している。図1a、bにおいて、参照符号1は、例えばアルミニウムにより作製された基台を示している。上面O’を持つ準備作業台presentationplatform3は、立設脚部3aを介して基台1に取り付けられている。準備作業台3は加熱可能であり、本実施形態の場合は図9に対応して温度T1=110°Cに加熱されている。参照符号15は成型ウエハを示しており、既知の方法によりシリコンチップ15aが埋め込まれ、成型ウエハの上面は平坦になっている。キャリア基板17は、例えば鋼材からなり、熱剥離フィルム16を介して成型ウエハに接合されている。これは成型ウエハの製造工程の結果このようになったもので、成型ウエハ内にはシリコンチップ15aが熱剥離フィルム16に接して配置されており、樹脂組成物を封止して対応した形状に成型ウエハ15を形成する工程は、この後に行われる。参照符号20は保持具チャックを示しており、当該保持具は熱剥離フィルム及びキャリア基板17のアセンブリの一部をなす成型ウエハ15を保持するため吸入ノズルvacuumnozzles20aを備えている。そして、当該保持具20はロボットアーム21により三次元的に移動可能である。また、図1a、bの装置には、加熱用の保持台5も示されており、これは高さ調整可能な立設脚部50aに取り付けられている。立設脚部50aは、立設脚部80を介して基台1上に設けられた横架材crossstrut8に取り付けられている。保持台5は、図9の例に対応して温度T2に加熱されており、温度T2は180°Cに設定され、成型ウエハ15の樹脂硬化温度TH=140°C以上であり、且つ熱剥離フィルム16の接着剤の熱分解温度以上である。参照符号5aは保持台5の吸入ノズルであり、参照符号5bは、詳しくは後述するが、搬送方向TRに向けられた、保持台5の噴出ノズルblastingnozzlesである。エアクッション搬送機7と冷却用の保持台9は、保持台5に直接隣り合うよう並べられており、これらは共通の同一平坦面Oを形成している。エアクッション搬送機7は、噴出ノズル7aを備えており、同ノズル7aは保持台5から保持台9へと非接触の搬送を行うため、成型ウエハ15の下において温度T3=180°Cのエアクッションを形成するように適合されている。冷却用の保持台9も同様に吸入ノズル9aを備え、温度T4=20°C図9の例の室温RTに対応に管理され、後述する工程の終了時に成型ウエハ15は、温度T4まで冷却される。また、保持具9の立設脚部90aも高さ調節可能である。エアクッション搬送機7は断熱立設脚部10、12を介して横架材8に取り付けられている。このような構成により、各保持台及び搬送機5、7、9の熱膨張が異なることによる影響の抑制または回避することを容易に可能とする。つまり、各保持台5、9は、独立してお互いの高さを調節することができ、これにより共通の平坦面Oを形成可能である。図1bから明らかなように、エアクッション搬送機7の側縁には側面ガイド70a、70bが取り付けられており、上記保持台の上を非接触で搬送される成型ウエハ15が横にすべり落ちることを防ぐ役割をなす。成型ウエハ15の側端は、下面及び上面と比較してずっと面積が小さくなるため、このような案内は、エアクッション搬送機7の噴出ノズル7aにより生じる高温のエアクッションを考慮すれば成型ウエハ15の非接触搬送には支障を与えない。なお、図1bでは、全体の明瞭性を考慮し、噴出ノズル7aは1つだけ記載している。最後に、図1aの参照符号30は、光学式センサを示しており、当該センサは制御装置Cに信号SIGを送るものである。制御装置Cは装置全体の制御を行い、特に成型ウエハ15の搬送及び上記各保持台5、9の温度調整制御を行う。この場合、センサ30は、エアクッション搬送機7により保持台5から保持台9へと搬送される成型ウエハ15が、その到達地点である保持台9に完全に到達したかどうかを光学的に検知する。そして、その検知に応じて保持台9の吸入ノズル9aによる吸着が開始される。図2は、本発明の第2実施形態として図1の装置により成型ウエハを熱剥離する方法を示したフロー図である。なお、成型ウエハ15のプラスチックは図9の例のように示される引張強度の温度依存性を持っているとここでは仮定する。ステップS1では、熱剥離フィルム16及びキャリア基板17のアセンブリの一部としての成型ウエハ15が、保持具20によりカートリッジ図示せずから取り出され、成型ウエハ15が準備作業台3の上面O’と当接するように載置される。ステップS2では、成型ウエハ15が温度T1=110°Cとなるよう予備加熱予熱される。次のステップS3では、保持具20が熱剥離フィルム16とキャリア基板17を有するアセンブリの一部としての成型ウエハを、約110°Cに予熱された状態で、準備作業台3から持ち上げて、温度T2=180°Cの加熱用の保持台5に搬送する。その後、アセンブリ状態の成型ウエハ15は、吸入ノズル5aによって保持台5上に保持される。また同時に、保持台20も同様に180°Cまで加熱される。ステップS4では、熱剥離フィルム16の接着剤がその熱分解温度である180°Cに達するとすぐに、保持台20が上方へと動かされ、その結果キャリア基板17が成型ウエハから剥がされる。ステップS5において、熱剥離フィルム16が適切な手段図示せずにより成型ウエハ15の上面から除去される。以下のステップS6では、まず保持台5の上にある成型ウエハ15の吸着が遮断される。そして、噴出ノズル5bの方に圧縮空気が供給され、成型ウエハ15は搬送方向TRへの移動開始の力を受ける。そして、成型ウエハ15はエアクッション搬送機7により保持台9へと非接触で滑っていく。このとき、エアクッション搬送機7の空気流はT3=180°Cに予熱されており、熱損失は抑えられることから、成型ウエハ15は熱エネルギーを大きく失うことなく保持台9に到達する。ステップ6の終了時すなわち、センサ30により成型ウエハ15が完全に保持台9上に到達したことを検知した時、そこでの吸入ノズル9aによる吸着が自動的に開始され、成型ウエハ15は保持台9上にしっかりと保持される。続くステップS7では、温度T2=180°Cから温度T4=20°Cまで成型ウエハ15が冷却される。ここでは保持された状態で冷却処理が行われるため、図9の例における遷移域UBでの成型ウエハ15の熱処理における曲げを回避することができる。成型ウエハ15が保持台9上にて完全に冷却された後は、保持具20によりカートリッジ図示せずに搬送される。この保持具20は、そのときすでにアセンブリの一部としての次の成型ウエハ15を準備作業台3上に載置しており、このようにして時間の無駄が削減される。図3は、本発明の第3実施形態に係る成型ウエハからの熱剥離のための装置の概略側面図である。図3に示す第3実施形態の場合、加熱用の保持台5は噴出ノズル5bを備えておらず、吸入ノズル5aのみを備えている。そして、エアクッション搬送機7による保持台5から保持台9への成型ウエハ15の搬送を開始するため、保持台5、エアクッション搬送機7、及び保持台9からなるアセンブリは、矢印Kによって示すように、搬送方向に沿って回転軸D回りに傾けることができる。このため、ストラット800がさらに備えられ、このストラット800は、基台1上のスタンド1aに設けられた回転軸D回りに回転可能である。また、横架台8の立設脚部80は、この追加ストラット800に設けられている。この傾き運動は、制御装置Cの制御の下、スラストロッド40を介して追加ストラットに接続されているリニアアクチュエータ4により行われる。図4は本発明の第4実施形態において用いられる第2の保持手段を示している。第4実施形態にて用いられる冷却用の保持台90第1~3実施形態の場合の保持台9に相当は、圧力P、P’、Pをお互い独立して調整可能な、各吸着サーキット90a、90b、90cを備えている。これは、エアクッション搬送機7による搬送後に成型ウエハに僅かに曲げが生じたとき、固まる前にこの僅かな曲げを修正するよう保持台90による吸着と保持の場所を調整することができるという利点を持つ。図5は本発明の第5実施形態において用いられる第1の保持手段を示している。第5実施形態の場合、保持台50第1~4実施形態の場合の保持台5に相当が、温度T2、T2’、T2に対応した加熱範囲50a、50b、50cからなる3つの異なった加熱サーキットを備える。このように範囲を分けた加熱が可能となることで、冷却中に生じた成型ウエハ15の曲がりの微調整をすることもできる。図6は本発明の第6実施形態に係る成型ウエハからの熱剥離のための装置の概略側面図である。図6に示す第6実施形態の場合、加熱用の保持台5から冷却用の保持台9へ加熱された成型ウエハ15を実質的に非接触で搬送するエアクッション搬送機7を備えず、その代わりに、三次元的に移動可能なロボットアーム21’に固定されたベルヌーイ保持具20’を備える。ベルヌーイ保持具20’は噴出ノズル20a’を備えており、当該ノズルから180°Cに設定された空気流STを下方へ噴出し、成型ウエハ15と保持具20’の表面との間に空気流STを生じさせる。下方に噴出された空気流は中央部分で吸着力Kを生じさせるため、ベルヌーイ保持具20’により成型ウエハ15を非接触で搬送することができるようになる。図7は本発明の第7実施形態に係る成型ウエハからの熱剥離のための装置の概略側面図である。図7に示す第7実施形態の場合、温度T3=180°Cとなる追加の赤外線ヒータ装置100をエアクッション搬送機7及び保持台9の上方に設け、いかなる熱損失もなく成型ウエハ15を保持台5から保持台9上の到達位置へと搬送することをより確実にしている。この赤外線ヒータ装置100は、保持台9の冷却運転が開始されるとすぐに、スイッチオフされるか、プロセス制御に従い徐々に消されていく。図8は、本発明の第8実施形態に係る成型ウエハからの熱剥離のための装置の概略側面図である。図8に示す第8実施形態の場合、温度T3=180°C及び温度T3’=185°Cのそれぞれに対応して照射範囲が分割されている赤外線ヒータ装置100’が保持台9の上方に設けられている。このように異なる範囲に分割して、成型ウエハ15の上面を照射することで、生じうる僅かな曲げの可能性を解消することができる。さらに図8に示す実施形態の場合、成型ウエハ15の底面に搬送プレート14が設けられている。成型ウエハ15の底面は保持台5、9に対向しており、例えば薄い成型ウエハでは、さらに薄い金属プレートがより有効である。この場合、保持台5または9上での保持は、搬送プレート14を介して行われる。また、エアクッション搬送機7による保持台5から保持台9への搬送も搬送プレート14を介して行われ、その後に搬送プレート14上で冷却が行われる。以上で本発明の好ましい実施形態についての説明を終えるが、これに制限されることはなく、種々の変更が可能である。本発明について上記では成型ウエハに基づいて説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、厚さが50μmから3mm、直径が100mm~500mmの薄いプラスチックディスクにも通常適用することができる。特に本発明は円板状のプラスチックディスクに限られるものでもなく、所望の形状のものに適用できる。また、プラスチックディスクは、均一構造でも不均一構造でも構わない。上記実施形態では気体クッションか、またはベルヌーイ保持具が用いられているが、本発明にはどのような非接触搬送手段を適用しても構わない。この種の非接触搬送手段としては、例えば超音波搬送機がある。重要なことは、実質的に非接触で搬送することにより成型ウエハまたはプラスチックディスクに大きな熱損失を生じさせないことである。上記実施形態では特定の温度関係が示されているが、本発明はこれに限られるものでなく、他の引張強度と温度の関係にあるプラスチックディスクにでも適用できる。上記実施形態では、主に成型ウエハの曲げを回避することを目的としているが、本発明は例えば僅かな角度の範囲でプロセス制御の下に、意図的に曲げることを目的として用いることもできる。また当然に全ての実施形態の特徴をそれぞれ結合することもできる。上記実施形態において、連なった2つの保持台について説明したが、中間的な温度をなす2台以上の保持台をさらに連ならせることも可能である。