"カルボキシル基を分子中に含有する親水性樹脂A、エチレン性不飽和結合含有基xを分子中に含有するフタル酸エステル、トリメリット酸エステルおよびピロメリット酸エステルからなる群から選ばれる少なくとも1種のエステル化合物B、2個以上のメタアクリロイル基を分子中に含有するウレタンオリゴマーC、2個以上のメタアクリロイル基を分子中に含有する多官能メタアクリレートモノマーD並びに光重合開始剤Eを必須成分として含有することを特徴とするアルカリ現像可能な表示素子用フォトスペーサー形成用の感光性樹脂組成物。該エステル化合物B中のエチレン性不飽和結合含有基xが、メタアクリロイル基、ビニル基、1-プロペニル基およびアリル基からなる群から選ばれる少なくとも1種の置換基である請求項1記載の感光性樹脂組成物。該エステル化合物Bが、下記一般式1で示される化合物B1、下記一般式2で示される化合物B2、または下記一般式3で示される化合物B3である請求項1または2記載の感光性樹脂組成物。[式1~3中、R1~R9はそれぞれ独立にメタアクリロイル基、ビニル基、1-プロペニル基、アリル基、アルキル基または水素原子を表す。但し、式1中のR1~R2、式2中のR3~R5、および式3中のR6~R9の少なくとも1個は、メタアクリロイル基、ビニル基、1-プロペニル基またはアリル基である。]該多官能メタアクリレートモノマーDの官能基数が2~6個である請求項1~3記載の感光性樹脂組成物。さらに、下記一般式4で示されるポリシロキサン化合物Fを含有する請求項1~4いずれか記載の感光性樹脂組成物。[式4中、R10とR11はそれぞれ独立にアルキル基、メタアクリロイル基またはメタアクリロイロキシアルキル基である。n個のR12とn個のR13は、それぞれ独立にアルキル基、アルコキシ基、アリール基、メルカプトアルキル基、アミノアルキル基、メタアクリロイロキシアルコキシ基またはメタアクリロイロキシ基である。但し、n個のR12とn個のR13のうち、少なくとも1個はアルコキシ基である。nは2~20の整数である。]請求項1~5いずれか記載の感光性樹脂組成物を硬化させて表示素子上に形成されたフォトスペーサー。本発明は優れた弾性回復特性と密着性を両立できるフォトスペーサーを形成することが可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明者らは、上記の目的を達成するべく検討を行った結果、本発明に到達した。すなわち、本発明はカルボキシル基を分子中に含有する親水性樹脂A、エチレン性不飽和結合含有基xを分子中に含有するフタル酸エステル、トリメリット酸エステルおよびピロメリット酸エステルからなる群から選ばれる少なくとも1種のエステル化合物B、2個以上のメタアクリロイル基を分子中に含有するウレタンオリゴマーC、2個以上のメタアクリロイル基を分子中に含有する多官能メタアクリレートモノマーD並びに光重合開始剤Eを必須成分として含有することを特徴とするアルカリ現像可能な表示素子用フォトスペーサー形成用の感光性樹脂組成物;並びにこの感光性樹脂組成物を硬化させて表示素子上に形成されたフォトスペーサーである。本発明の感光性樹脂組成物は優れた弾性回復特性と密着性を両立することができるという効果を奏する。本発明の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基を分子中に含有する親水性樹脂A、特定の化学構造のエステル化合物B、2個以上のメタアクリロイル基を分子中に含有するウレタンオリゴマーC、2個以上のメタアクリロイル基を分子中に含有する多官能メタアクリレートモノマーD並びに光重合開始剤Eを必須成分として含有することを特徴とする。そして、このエステル化合物Bは、メタアクリロイル基、ビニル基、1-プロペニル基、アリル基などのエチレン性不飽和結合含有基xを分子中に含有するフタル酸エステル、トリメリット酸エステルまたはピロメリット酸エステルである。また本発明の感光性樹脂組成物を硬化させてえられる表示素子用フォトスペーサーは優れた弾性回復特性を有し、かつガラス基板などとの密着性に優れる。なお、本明細書において、メタアクリレートとはアクリレートまたはメタクリレートを、メタアクリル酸とはアクリル酸またはメタクリル酸を、メタアクリル樹脂とはアクリル樹脂またはメタクリル樹脂を、メタアクリロイル基とはアクリロイル基またはメタクリロイル基を、メタアクリロイロキシ基とはアクリロイロキシ基またはメタクリロイロキシ基を意味する。以下において、本発明の感光性樹脂組成物の必須構成成分であるA~Eについて順に説明する。本発明の第1の必須成分であるカルボキシル基を分子中に含有する親水性樹脂Aは、その親水性樹脂の種類は特に限定されないが、具体的な例としては、分子内にカルボキシル基を有する親水性エポキシ樹脂A1、分子内にカルボキシル基を有する親水性メタアクリル樹脂A2などがあげられる。親水性エポキシ樹脂A1としては、原料となる市販のエポキシ樹脂a1にカルボキシル基を導入したエポキシ樹脂を使用することができる。市販のエポキシ樹脂a1としては、例えばエポトートYH-300、PG-202、PG-207いずれも東都化成社製やCY-179、CY-177、CY-175いずれも旭化成エポキシ社製やEOCN―102S日本化薬社製などを用いることができる。エポキシ樹脂a1にカルボキシル基を導入する方法としては、エポキシ樹脂a1中のグリシジル基にカルボン酸誘導体を付加させ、付加反応により生じた水酸基に多価カルボン酸または多価カルボン酸無水物を反応させることで導入することができる。親水性メタアクリル樹脂A2は既知の方法によりメタアクリル酸誘導体を重合させることで得ることができる。親水性メタアクリル樹脂A2の製造方法としてはラジカル重合が好ましく、溶液重合法が分子量を調節しやすいため好ましい。親水性メタアクリル樹脂A2を構成するモノマーa2としては、A2中にカルボキシル基を導入するためにメタアクリル酸a21、およびA2のガラス転移点や基材との密着性を調整するためにメタアクリル酸エステルa22を用いることができる。メタアクリル酸エステルa22としてはITO基板との密着性の観点から、メタアクリル酸メチルまたはヒドロキシエチルメタアクリレートが好ましい。親水性メタアクリル樹脂A2を構成するモノマーa2としては、上述のメタアクリル酸a21とメタアクリル酸エステルa22以外に、感光性樹脂組成物の鉛筆硬度の観点から、芳香環含有ビニル化合物a23を併用してもよい。このようなa23としてはスチレンなどが挙げられる。親水性メタアクリル樹脂A2は、さらにフォトスペーサーの弾性回復特性を向上させる目的で必要によりメタアクリロイル基を側鎖または末端に導入させることが好ましい。側鎖にメタアクリロイル基を導入する方法としては、例えば下記の1および2の方法が挙げられる。1メタアクリル酸エステルa22の一部にイソシアネート基と反応しうる基水酸基または1級もしくは2級アミノ基などを有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後メタアクリロイル基とイソシアネート基を有する化合物例えばメタアクリロイロキシエチルイソシアネート等を反応させる方法。2メタアクリル酸a21またはメタアクリル酸エステルa22のうちの少なくとも一部にエポキシ基と反応しうる基水酸基、カルボキシル基または1級もしくは2級アミノ基などを有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後メタアクリロイル基とエポキシ基を有する化合物グリシジルメタアクリレート等を反応させる方法。本発明のおける親水性樹脂A中に含有されるカルボキシル基の量は酸価AVにより表すことができる。ここで酸価とは樹脂1gを中和するために必要な水酸化カリウムのmg数をいう。本発明における酸価はアルカリ性滴定溶液を用いた指示薬滴定法により測定できる。酸価は、JISK0070に基づいて測定するが、その具体的な方法は以下の通りである。i親水性樹脂A約0.1~10gを精秤して三角フラスコに入れ、続いて中性メタノールアセトン混合溶媒[アセトンとメタノールを1:1容量比で混合したもの]を加え溶解する。iiフェノールフタレイン指示薬数滴を加え、0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液で滴定する。指示薬の微紅色が30秒続いたときを中和の終点とする。iii次式を用いて決定する。酸価mgKOH/g=A×f×5.61/Sただし、A:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液のmL数f:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液の力価S:親水性樹脂採取量g本発明における親水性樹脂Aの数平均分子量Mnは、フォトスペーサーの形成性と弾性回復特性の観点から、1,000~100,000であることが好ましく、さらに好ましくは2,000~50,000である。なお、この数平均分子量はゲル浸透クロマトグラフィーGPCにより測定することができる。本発明における親水性樹脂Aの親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。AのHLB値は、好ましくは4~19、さらに好ましくは5~18、特に好ましくは6~17である。4以上であればフォトスペーサー形成後の現像を行う際に、現像性が良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。ここでのHLBとは、親水性と親油性のバランスを示す指標であって、例えば界面活性剤入門2007年三洋化成工業株式会社発行、藤本武彦著212頁に記載されている小田法による計算値として知られているものであり、グリフィン法による計算値ではない。HLB値は有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。HLB=10×無機性/有機性HLBを導き出すための有機性の値および無機性の値については前記界面活性剤入門213頁に記載の表の値を用いて算出できる。また、親水性樹脂Aの溶解度パラメーター以下、SP値という。[単位はcal/cm31/2]は、好ましくは7~14、さらに好ましくは8~13、特に好ましくは9~13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。なお、本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。POLYMERENGINEERINGANDSCIENCE,February,1974,Vol.14,No.2,RobertF.Fedors147~154頁SP値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく分散性が高い、この数値が離れているものは混ざりにくい。本発明の感光性樹脂組成物中の親水性樹脂Aの含有量は、フォトスペーサーの形成性と弾性回復特性の観点から、A~Eの合計重量に基づいて、通常5~60重量、好ましくは15~50重量である。本発明の第2の必須成分であるエステル化合物Bとしてはフタル酸、トリメリット酸またはピロメリット酸のエステル化合物であり、エチレン性不飽和結合含有基xを分子中に有する上記のエステル化合物であれば特に限定されることなく使用することができる。エチレン性不飽和結合含有基xは1個以上であれば特にその個数は限定されない。エステル化合物Bが有するエチレン性不飽和結合含有基xとしては、メタアクリロイル基、ビニル基、1-プロペニル基およびアリル基が挙げられる。これらのうち硬化性の観点からメタアクリロイル基およびアリル基が好ましい。エステル化合物Bが1分子中に2個以上のxを有する場合、xの種類はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。エステル化合物Bは1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。エステル化合物Bのうち、さらに好ましいものとしては、下記一般式1で示されるフタル酸のエステル化合物B1、下記一般式2で示されるトリメリット酸のエステル化合物B2または下記一般式3で示されるピロメリット酸のエステル化合物B3が挙げられる。式1~3中、R1~R9はそれぞれ独立にメタアクリロイル基、ビニル基、1-プロペニル基、アリル基、アルキル基または水素原子を表す。但し、式1中のR1~R2、式2中のR3~R5、および式3中のR6~R9の少なくとも1個は、メタアクリロイル基、ビニル基、1-プロペニル基またはアリル基である。すなわち、すべてがアルキル基または水素原子であることはない。R1~R9に用いられるアルキル基としては、直鎖アルキル基および分岐アルキル基が挙げられる。直鎖アルキル基としてはメチル基、エチル基、ブチル基およびオクチル基などが挙げられ、分岐アルキル鎖としてはイソプロピル基、イソブチル基および2-エチルヘキシル基などが挙げられる。本発明で用いるエステル化合物Bは、市販の品を用いることができるほか、必要に応じ、有機溶剤中においてフタル酸、トリメリット酸またはピロメリット酸の酸と、エチレン性不飽和結合含有基xおよび水酸基またはハロゲン基の両方を有する化合物bとを、酸触媒パラトルエンスルホン酸等の存在下で反応させた後、有機溶剤を減圧留去することで得ることができる。エチレン性不飽和結合含有基xと水酸基またはハロゲン基の両方を有する化合物bとしては、例えば、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルビニルエーテル、2-ヒドロキシエチルプロペニルエーテル、アリルアルコール、2-クロロエチルメタアクリレート、アリルクロライドなどが挙げられる。本発明の感光性樹脂組成物中のエステル化合物Bの含有量は、フォトスペーサーの弾性回復特性とガラス基板などとの密着性の観点から、A~Eの合計重量に基づいて、通常3~40重量、好ましくは5~30重量である。本発明の第3の必須成分であるウレタンオリゴマーCは、分子中に2個以上のメタアクリロイル基を含有するものであれば特に限定することなく使用することができる。本発明で用いるウレタンオリゴマーCの合成法としてはメタアクリロイル基を含有する活性水素成分c1と有機ポリイソシアネート成分c2を反応させる方法が挙げられる。ウレタンオリゴマーCの合成に用いるメタアクリロイル基を含有する活性水素成分c1としては、例えばヒドロキシエチルメタアクリレート、ヒドロキシプロピルメタアクリレート]、ペンタエリスリトールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタメタアクリレートが挙げられる。これらのうち感光性樹脂組成物の硬化性の観点からヒドロキシエチルメタアクリレートおよびペンタエリスリトールトリメタアクリレートが好ましい。ウレタンオリゴマーCの合成に用いるc2としては、例えばヘキサメチレンジイソシアネートなど脂肪族ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネートなど脂環式ジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネートなど芳香族式ジイソシアネート、およびキシリレンジイソシアネートなど芳香脂肪族ジイソシアネートが挙げられる。これらのうちフォトスペーサーの弾性回復特性の観点からヘキサメチレンジイソシアネートなど脂肪族ジイソシアネートが好ましく用いられる。本発明のウレタンオリゴマーCの数平均分子量Mnは、フォトスペーサーの形成性と弾性回復特性の観点から、通常300~2,000、好ましくは500~1,500である。本発明の感光性樹脂組成物中のエステル化合物Cの含有量は、フォトスペーサーの弾性回復特性とガラス基板などとの密着性の観点から、A~Eの合計重量に基づいて、通常5~60重量、好ましくは10~50重量である。本発明の第4の必須成分である多官能メタアクリレートモノマーDとしては、公知の多官能メタアクリレートモノマーであれば、とくに限定されずに用いられる。多官能メタアクリレートモノマーDの官能基数は2~6個が好ましく、さらに好ましくは3~5個である。このような多官能メタアクリレートモノマーDとしては、2官能メタアクリレートD1、3官能メタアクリレートD2および4~6官能メタアクリレートD3が挙げられる。2官能メタアクリレートD1としては、例えば、多価アルコールとメタアクリル酸のエステル化物[例えば、グリコールのジメタアクリレート、グリセリンのジメタアクリレート、トリメチロールプロパンのジメタアクリレート、3-ヒドロキシ-1,5-ペンタンジオールのジメタアクリレート、2-ヒドロキシ-2-エチル-1,3-プロパンジオールのジメタアクリレート];多価アルコールのアルキレンオキサイド付加物とメタアクリル酸のエステル化物[例えばトリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のジメタアクリレート、グリセリンのエチレンオキサイド付加物のジメタアクリレート];OH基含有両末端エポキシアクリレート;多価アルコールとメタアクリル酸とヒドロキシカルボン酸のエステル化物[例えばヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジメタアクリレート]等が挙げられる。3官能メタアクリレートD2としては、グリセリンのトリメタアクリレート、トリメチロールプロパンのトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールのトリメタアクリレート;及びトリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリメタアクリレート等が挙げられる。4~6官能メタアクリレートD3としては、ペンタエリスリトールのテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールのペンタメタアクリレート及びジペンタエリスリトールのヘキサメタアクリレート;ジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールのプロピレンオキサイド付加物のペンタメタアクリレート等が挙げられる。本発明の多官能メタアクリレートモノマーDの分子量は、フォトスペーサーの形成性と弾性回復特性の観点から、通常150~1,500、好ましくは300~1,000である。本発明の感光性樹脂組成物中の多官能メタアクリレートモノマーDの含有量は、フォトスペーサーの形成性と弾性回復特性の観点から、A~Eの合計重量に基づいて、通常20~80重量、好ましくは30~70重量である。本発明の第5の必須成分である光重合開始剤Eとしては公知の光ラジカル重合開始剤があげられる。光重合開始剤Eとしては、アセトフェノン誘導体E1、アシルフォスフィンオキサイド誘導体E2、チタノセン誘導体E3など、およびこれらの併用があげられる。アセトフェノン誘導体E1としては、例えば、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン、4-イソプロピル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン、2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルフォリノ-1-プロパノン、ジメチルベンジルケタール、メチルベンゾイルフォーメート、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタン-1-オン]が挙げられる。アシルフォスフィンオキサイド誘導体E2としては、例えば、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシドが挙げられる。チタノセン誘導体E3としては、例えば、ビスη5-2,4-シクロペンタジエンー1―イル-ビス2,6ージフルオロー3-1H-ピロール-1-イル-フェニルチタニウムが挙げられる。これらE1~E3のうち、2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルフォリノ-1-プロパノンおよび2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタン-1-オンがよく用いられ、反応性の観点から2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルフォリノ-1-プロパノンが好ましい。光ラジカル重合開始剤Eは、市販のものが容易に入手することができ、例えば2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルフォリノ-1-プロパノンとしては、イルガキュア907、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタン-1-オンとしては、イルガキュア369等が挙げられる。本発明の感光性樹脂組成物中の光重合開始剤Eの含有量は、A~Eの合計重量に基づいて、通常1~20重量、好ましくは5~15重量である。1重量未満では光硬化性が悪化するため好ましくなく、20重量を超えるとフォトスペーサーのガラス基板などに対する密着性が低下する。本発明の感光性樹脂組成物には、フォトスペーサーの弾性回復特性を向上させる目的で、分子内に少なくとも1個のアルコキシ基を含有する下記の一般式4で示されるポリシロキサン化合物Fをさらに含有させることが好ましい。アルコキシ基を含有しないポリシロキサン化合物の場合は、硬化が不十分となるためフォトスペーサーの十分な弾性回復特性を発現することができない。[式4中、R10とR11は、それぞれ独立にアルキル基、メタアクリロイル基、メタアクリロイロキシアルキル基である。R12とR13はそれぞれ独立にアルキル基、アルコキシ基、アリール基、メルカプトアルキル基、アミノアルキル基、メタアクリロイロキシアルコキシ基またはメタアクリロイロキシ基であり、繰り返し単位により1分子中にR12とR13が複数個含まれる場合はそれぞれ同一でも異なる基であってもよい。ただし、n個のR12とn個のR13のうち、少なくとも1個はアルコキシ基である。nは2~20の整数である。]式4中、R10とR11は、それぞれ独立にアルキル基、メタアクリロイル基またはメタアクリロイロキシアルキル基である。R10とR11に用いられるアルキル基としては直鎖アルキル基および分岐アルキル基が挙げられる。直鎖アルキル基としてはメチル基、エチル基、ブチル基およびオクチル基などが挙げられ、分岐アルキル基としてはイソプロピル基、イソブチル基、2-エチルヘキシル基などが挙げられる。R10とR11に用いられるメタアクリロイル基としてはアクリロイル基およびメタクリロイル基が挙げられる。R10とR11に用いられるメタアクリロイロキシアルキル基としては1-アクリロイロキシプロピル基、1-メタクリロイロキシプロピル基などが挙げられる。式4中、R12とR13はそれぞれ独立にアルキル基、アルコキシ基、アリール基、メルカプトアルキル基、アミノアルキル基、メタアクリロイル基、メタアクリロイロキシアルキル基、メタアクリロイロキシアルコキシ基またはメタアクリロイロキシ基であり、繰り返し単位により1分子中にR12とR13が複数個含まれる場合はそれぞれ同一でも異なる基であってもよい。ただし、n個のR12とn個のR13のうち、少なくとも1個はアルコキシ基である。R12とR13に用いられるアルキル基、メタアクリロイル基およびメタアクリロイロキシアルキル基は、上記のR10とR11で説明したものと同じである。R12とR13に用いられるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、オクトキシ基などが挙げられる。これらのうち硬化性の観点からメトキシ基が好ましく用いられる。R12とR13に用いられるアリール基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基などが挙げられる。R12とR13に用いられるメルカプトアルキル基としてはメルカプトメチル基、メルカプトエチル基、メルカプトプロピル基が挙げられる。R12とR13に用いられるアミノアルキル基としてはアミノメチル基、アミノエチル基、アミノブチル基などが挙げられる。R12とR13に用いられるメタアクリロイロキシ基としてはアクリロイロキシ基とメタクリロイロキシ基が挙げられる。R12とR13に用いられるメタアクリロイロキシアルコキシ基としては1-アクリロイロキシプロポキシ基と1-メタクリロイロキシプロポキシ基が挙げられる。ポリシロキサン化合物Fの繰り返し単位nとしては、化合物の反応性と保存安定性の観点から2~20であり、3~15が好ましい。感光性樹脂組成物の硬化性の観点から、ポリシロキサン化合物F中にはメタアクリロイロキシ基またはメタアクリロイロキシアルコキシ基が含有されていることが好ましい。特に、式4中のR10とR11の少なくとも1個がメタアクリロイル基またはメタアクリロイロキシアルキル基であることが好ましく、また、R12とR13の少なくとも1個がメタアクリロイル基、メタアクリロイロキシアルキル基、メタアクリロイロキシアルコキシ基またはメタアクリロイロキシ基であることが好ましい。本発明において用いられるポリシロキサン化合物Fは、シラン化合物を有機酸などの触媒と水の存在下で縮合反応させることで得ることができる。本発明の感光性樹脂組成物中にポリシロキサン化合物Fを含有する場合の含有量は、フォトスペーサーの形成性と弾性回復特性の観点から、A~Fの合計重量に基づいて、通常1~40重量、好ましくは5~30重量である。本発明にかかる感光性樹脂組成物は、必要によりさらにその他の成分を含有していてもよい。その他の成分としては、無機微粒子、増感剤、重合禁止剤、溶剤、増粘剤、表面調整剤、およびその他の添加剤例えば、シランカップリング剤、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤および消臭剤等が挙げられる。以下、実施例および比較例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下、特に定めない限り、は重量、部は重量部を示す。[親水性樹脂の製造]製造例1カルボキシル基を分子中に含有する親水性樹脂A-1の製造加熱冷却攪拌装置、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂EOCN―102S日本化薬株製エポキシ当量200200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート245部を仕込み、110°Cまで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸76部1.07モル部、トリフェニルホスフィン2部及びp-メトキシフェノール0.2部を仕込み、110°Cにて10時間反応させた。反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸91部0.60モル部を仕込み、90°Cにて5時間反応させ、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで親水性樹脂含有量が50重量となるように希釈して、本発明のアクリロイル基とカルボキシル基を有する親水性樹脂として、カルボキシル基含有クレゾールノボラック型エポキシ樹脂の50溶液A-1を得た。この樹脂の純分換算した酸価は88.4であった。GPCによる数平均分子量Mnは2,200であった。なお、SP値は11.3、HLB値は6.4である。製造例2[4~6個のアクリロイル基を分子中に含有するウレタンオリゴマーC-1の製造]撹拌機、空気窒素混合気体の導入管、冷却管および温度計を備えたガラス製コルベンに、酢酸ブチル568部、ヘキサメチレンジイソシアネート168部、p-メトキシフェノール1.2部およびジブチル錫ジアセテート1.2部を仕込み、空気と窒素の混合気流下で70°Cに昇温した後、温度を70±10°Cに維持しながらライトアクリレートPE3A[共栄社化学株製:ペンタエリスリトールジアクリレートとペンタエリスリトールトリアクリレートとペンタエリスリトールテトラアクリレートの混合物重量比は約5:60:35]795部を1時間かけて滴下した。滴下終了後、上記の気流下のまま70°Cで3時間反応させた後、酢酸ブチルを減圧下に留去して、本発明のウレタンオリゴマーC-1Mn:850を得た。製造例3[2個のアクリロイル基を分子中に含有するウレタンオリゴマーC-2の製造]ライトアクリレートPE3Aを2-ヒドロキシエチルアクリレート243.6部に変更する以外は製造例2と同様にして、本発明のウレタンオリゴマーC-2Mn:420を得た。製造例4[2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン化合物F-1の製造]加熱冷却攪拌装置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、3-アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン46部0.2モル部、ジフェニルジメトキシシラン160部0.65モル部とイオン交換水45g2.5モル部と、シュウ酸0.1部0.001モル部を仕込み、60°C、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを減圧下で2時間かけて除去し、本発明のアクリル変性ポリシロキサンF-1Mn:2100を得た。[感光性樹脂組成物の製造]実施例1~6および比較例1~5表1の配合部数に従い、ガラス製の容器に各成分と溶剤プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを仕込み、均一になるまで攪拌して、実施例1~6の感光性樹脂組成物、および比較例1~6の感光性樹脂組成物を得た。なお、表1中の略称、市販品名の化学品の詳細は以下の通りである。TRIAM705B-2:トリメリット酸トリアリル;和光純薬工業株社製TRIAM805B-3:ピロメリット酸テトラアリル;和光純薬工業株ネオアリルP-30B’-1:ペンタエリスリトールトリアリルエーテル;ダイソー株社製ネオマーDA-600D-1:ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物;三洋化成工業株社製分子量:580ネオマーEA-300D-2:ペンタエリスリトールテトラアクリレート;三洋化成工業株社製分子量:350イルガキュア907E-1:2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルフォリノ-1-プロパノン;チバスペシャルティケミカルズ株社製以下に性能評価の方法を説明する。[フォトスペーサーの作製]10cm×10cm四方のガラス基板上にスピンコーターにより塗布し、5μmの塗膜を形成した。この塗膜をホットプレート上で80°C、3分間加熱し、溶剤を完全に除去した。得られた塗膜に対し、1cm2あたり10000個、直径7、8、9および10μmの異なる径の開口部を有する複数のフォトスペーサー形成用のマスクを通して超高圧水銀灯の光を60mJ/cm2照射したi線換算で照度22mW/cm2。なお、マスクと基板の間隔露光ギャップは100μmで露光した。その後0.05KOH水溶液を用いてアルカリ現像した。水洗したのち、230°Cで30分間ポストベークを行い、ガラス基板上に1cm2あたり10,000個のフォトスペーサーを形成した。なお、マスク開口径を調整することにより所望の下底径を有するフォトスペーサーを形成することができる。[密着性の評価]LCDの小型化高精細化に伴い、基板上に作製されるフォトスペーサーのサイズに10μmあるいはそれ以下のサイズが要求されるようになってきた。ところが、基板とフォトスペーサーとの接地面積が小さいほど、高い密着性が必要となる。すなわち密着性が高いフォトスペーサーほど、スペーサーの下底径が小さくなっても、擦りなどによって剥がれにくくなる性能に優れる。そこで密着性は、スペーサーの下底径を直径8μmに設定し、以下の綿棒こすり試験によって評価することとした。上記の直径7、8、9および10μmの開口部を有する複数のフォトスペーサー形成用のマスクを用いて作製したフォトスペーサーから下底径が直径8μmとなったマスクだけを選定し、下記の密着性試験を行った。1フォトスペーサーを形成したガラス基板の裏側に油性ペンで縦1cm、横1cmの十文字の印を付ける。2アセトンをしみ込ませた綿棒で、十文字の印の付いたガラス基板の表側の表面を、まず縦線の上から下方向に毎秒2cmの速度で10回擦りつける。次に横線の左から右方向に10回擦りつける。3上記2において擦った部分が交差する点を光学顕微鏡で剥離せずに残存するフォトスペーサーの数を数える。なお、1個も剥がれがない場合はガラス基板上には1mm2あたり100個10個×10個のスペーサーが存在する。上記密着性試験後の残存スペーサー数で評価し、90個以上残ったものを密着性良好と判断した。[弾性回復特性の評価]フォトスペーサーの弾性回復特性は、下記数式1で定義された一定の圧力がかかった時の弾性回復率によって評価することができる。弾性回復率の値の高い方が弾性回復特性に優れる。弾性回復特性は0.5mN/μm2の圧力条件下での弾性回復率を測定して評価した。1ガラス基板上に形成したフォトスペーサーのうち任意に選択した1個のフォトスペーサーに対し、微小硬度計フィッシャーインストルメンツ社製;フィッシャースコープH-100と断面が正方形の平面圧子50μm×50μmを用いて、荷重をかけたときと戻したときの変形量を測定した。この際に、0.017mN/μm2秒の負荷速度で、30秒かけて0.5mN/μm2まで荷重をかけ、5秒間保持した。荷重がかかった状態でのフォトスペーサーの初期位置からの変形量を測定した。このときの変化量を総変形量T0μmとする。2次に、0.017mN/μm2秒の除荷速度で30秒かけて荷重を0まで解除し、その状態で5秒間保持した。この時のフォトスペーサーの変形量を塑性変形量T1μmとする。3上記のようにして測定したT0とT1から、下記数式1を用いて弾性回復率を算出した。弾性回復率=[T0-T1/T0]×1001弾性回復率の値から下記の判定基準により、弾性回復特性を以下のように判定した。◎:80以上○:70以上80未満△:60以上70未満×:60未満本発明の実施例1~6の感光性樹脂組成物は、表1に示す通り密着性および弾性回復特性に優れている。特にアクリル変性ポリシロキサン化合物Fを含有する実施例6の感光性樹脂組成物は弾性回復特性においてさらに優れている。その一方で、本発明の必須構成要素であるエチレン性不飽和結合含有基xを含有するエステル化合物Bを含有しない比較例1、およびBの代わりにエチレン性不飽和結合含有基xを含有しないエステル化合物B’を用いた比較例2と3は密着性と弾性回復特性の両方において不十分である。またアクリロイル基を有するウレタンオリゴマーCを含有しない比較例4は密着性が著しく不十分である。多官能メタアクリレートモノマーDを含有しないもの比較例5と、Dの代わりに単官能メタアクリレートモノマーD’を用いた比較例6は弾性回復特性を満足しない。また、多官能アクリレートモノマーの部数が50重量固形分換算を超える比較例7は高弾性ではあるが、密着性は満足しない。"