"ハウジングと、該ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトの周囲に設けられた磁気部材からなるロータと、該ロータを取り巻くように配されたステータと、を有し、前記ロータと前記ステータとの間に発生させた磁界によって前記ロータを回転させるモータであって、前記磁気部材と前記ステータとの間に配された隔壁と、該隔壁の端部を支持する支持体とからなる隔壁部材を備え、前記隔壁と前記支持体とは溶接構造をなすことを特徴とするモータ。前記隔壁部材は、第一隔壁部材および第二隔壁部材からなり、前記第一隔壁部材は、前記ステータの側面に沿って広がる第一支持体と、前記シャフトの軸方向に沿って広がり前記第一支持体に溶接された第一隔壁とを備え、前記ハウジングとの間で前記ステータを気密に封止し、前記第二隔壁部材は、前記磁気部材の側面に沿って広がる第二支持体と、前記シャフトの軸方向に沿って広がり前記第二支持体に溶接された第二隔壁とを備え、前記シャフトとの間で前記磁気部材を気密に封止することを特徴とする請求項1記載のモータ。前記隔壁には、屈曲防止用のリブが一体に形成されていることを特徴とする請求項1または2記載のモータ。前記隔壁は金属板であり、かつ前記隔壁と前記支持体とは互いに異なる材料からなることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載のモータ。前記支持体と前記ハウジングとの間を気密に封止するシール部材を更に備えたことを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載のモータ。前記磁気部材および前記ステータは、磁石または電磁コイルから構成されていることを特徴とする請求項1ないし5いずれか1項記載のモータ。しかしながら、チャンバ内に設置されたモータは、チャンバ内の減圧に伴って必然的に真空環境下に置かれることになる。モータの内部には、コイルや磁石などの磁気部材設けられており、こうしたコイルや磁石などは真空環境下に置かれるとガスが発生するという課題があった。即ち、磁石は一般的に多孔質材料であり、多数の空孔からガスが放出される。また、コイルは巻回した金属線をモールドしている接着剤やその溶媒がガス化して放出される。こうしたモータを構成するコイルや磁石などから放出されたガスがチャンバ内に拡散すると、被成膜物が汚染される懸念があった。本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、真空環境下でもガスが漏れ出ることがないモータを提供する。上記課題を解決するために、本発明は次のようなモータを提供する。即ち、本発明のモータは、ハウジングと、該ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトの周囲に設けられた磁気部材からなるロータと、該ロータを取り巻くように配されたステータと、を有し、前記ロータと前記ステータとの間に発生させた磁界によって前記ロータを回転させるモータであって、前記磁気部材と前記ステータとの間に配された隔壁と、該隔壁の端部を支持する支持体とからなる隔壁部材を備え、前記隔壁と前記支持体とは溶接構造をなすことを特徴とする。前記隔壁部材は、第一隔壁部材および第二隔壁部材からなり、前記第一隔壁部材は、前記ステータの側面に沿って広がる第一支持体と、前記シャフトの軸方向に沿って広がり前記第一支持体に溶接された第一隔壁とを備え、前記ハウジングとの間で前記ステータを気密に封止し、前記第二隔壁部材は、前記磁気部材の側面に沿って広がる第二支持体と、前記シャフトの軸方向に沿って広がり前記第二支持体に溶接された第二隔壁とを備え、前記シャフトとの間で前記磁気部材を気密に封止することを特徴とする。前記隔壁には、屈曲防止用のリブが一体に形成されていることを特徴とする。また、前記隔壁は金属板であり、かつ前記隔壁と前記支持体とは互いに異なる材料からなることを特徴とする。前記支持体と前記ハウジングとの間を気密に封止するシール部材を更に備えたことを特徴とする。また、前記磁気部材および前記ステータは、磁石または電磁コイルから構成されていることを特徴とする。本発明のモータによれば、真空環境下に設置したとしても、モータを構成するロータやステータから生じたガスが、ハウジングの外部に放出されることがない。即ち、ロータやステータは、ハウジングやシャフトと隔壁部材とで覆われる。しかも、隔壁部材を構成する隔壁と支持体とは、溶接部によって気密に溶接されている。また、支持体はハウジングに対して気密に取り付けられている。これによって、ロータやステータは、隔壁部材とハウジングやシャフトによって囲まれた空間内に気密に封止された状態となる。従って、ロータの磁気部材やステータが、磁石や、金属細線を巻回させて樹脂材料でモールドした電磁コイルなと、真空環境でガスが生じやすいものであっても、ロータの磁気部材やステータを隔壁部材で気密に覆うことによって、ロータやステータから発生したガスがモータの外部に漏れ出ることを防止できる。以下、本発明に係るモータについて、図面に基づき説明する。なお、本実施形態は発明の趣旨をより良く理解させるために、一例を挙げて説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。図1は、本発明の第一実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。例えば真空装置の基板搬送機構に用いられる真空モータモータ10は、ハウジング外装体11と、このハウジング11に収容されるロータ12、およびステータ13とを備えている。ロータ12は、シャフト21と、このシャフト21の周囲に形成された磁気部材22とを有している。ハウジングは、例えば、金属や樹脂等から構成され、シャフト21の軸方向Lに沿った2箇所に軸受14a,14bが形成される。軸受14a,14bは、例えばベアリングおよびベアリングを支持する受け部材などから構成されていればよい。シャフト21は、ハウジング11に取り付けられた軸受14a,14bによって回転軸方向に沿った2箇所で軸支される。これによってロータ12はハウジング11の内部で回転可能に支持される。シャフト21の周面に形成された磁気部材22は、例えば永久磁石から構成されている。具体的には、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、ネオジム磁石などが挙げられる。こうした永久磁石は、磁性体粒子を粉砕したものを成型し焼結することによって得られるものが多く、内部に微細な空洞があり、真空環境でガスが生じやすい。ステータ13はハウジング11に固着され、ロータ12に対して所定の間隔を開けてロータ12の周りを取り巻くように形成されている。ステータ13は、例えば電磁コイルから構成されている。電磁コイルは、例えば、銅などの細線を磁性体の周りに巻回させ、接着剤などの樹脂材料でモールドしたものからなる。こうした接着剤などの樹脂材料は、真空環境では樹脂の構成材料そのものや溶剤などが揮発してガス化し放出されやすい。真空モータモータ10は、ステータ13を構成する電磁コイルに外部から電力を供給することによって、ロータ12の磁気部材22と、ステータ13との間に磁界が生じ、シャフト21が磁気部材22とともに回転する。ロータ12の磁気部材22と、ステータ13との間には、隔壁部材15が配されている。本実施形態においては、隔壁部材15は、第一隔壁部材16と、第二隔壁部材17とから構成される。第一隔壁部材16は、第一隔壁16aと、この第一隔壁16aの端部に一体に形成された第一支持体支持体16bとからなる。第一隔壁16aは、シャフト21の軸方向Lに沿って広がり、ステータ13のロータ12側露出面を覆うように配されている。第一支持体16bは、ステータ13の両側面にそれぞれ沿って広がり、第一隔壁16aよりも厚みが厚くなるように形成されている。こうした第一支持体16bはハウジング11に取り付けられる。そして、第一隔壁16aの両端部は、第一支持体16bに対して溶接部Mでそれぞれ溶接によって気密に接合されている。また、第一支持体16bはハウジング11に対してシール部材25で気密に封止される。これによって、ハウジング11の内壁と、第一隔壁部材16によって囲まれたステータ13が気密に封止される。第一隔壁16aは、例えば、Fe、Al、Cu、SUSなど発塵やガス放出の少ない金属板から形成されていれば良い。また、第一支持体16bも、Fe、Al、Cu、SUSなどの金属から形成されていれば良い。第一隔壁16aは、例えば、厚みが0.1mm~2mm程度の金属板であれば良い。これら第一隔壁16aと第一支持体16bとは、互いに異なる部材から構成されるのが好ましいが、同じ部材であっても良く限定されるものではない。こうした第一隔壁16aと第一支持体16bとの溶接部Mは、例えば、アーク溶接、スポット溶接、シーム溶接、レーザ溶接、ガス溶接など各種溶接法による直接溶接によって溶接される。また、低融点のロウ材などを用いた間接溶接ロウ接であってもよい。第一隔壁16aの溶接部Mに隣接する部分、および中央付近には、リブ26が形成されている。リブ26は、例えばシャフト21の軸方向Lに沿って広がる第一隔壁16aを成す金属板の一部を、背骨状に屈曲させた部位である。第一隔壁16aにリブ26を形成することによって、厚みの薄い軽量な金属板を第一隔壁16aとして用いた場合であっても、第一隔壁16aが応力によって湾曲したり、座屈してしまうことを防止し、面広がり方向の強度を高めることができる。また、シール部材25は、シャフト21の軸心周りに延びるOリングであればよく、真空環境においても弾性が保持される弾性部材からなる。シール部材25を構成する弾性部材の具体例としては、フッ素樹脂、シリコン樹脂、ニトリル樹脂、アチレンプロピレンゴム、アクリルゴムなどが挙げられるが、真空環境中で構成材料のガスなどが発生しないものを選択することが好ましい。第二隔壁部材17は、第二隔壁17aと、この第二隔壁17aの端部に一体に形成された第二支持体支持体17bとからなる。第二隔壁17aは、シャフト21の軸方向Lに沿って広がり、磁気部材22のステータ13側露出面を覆うように配されている。第二支持体17bは、磁気材料22の両側面にそれぞれ沿って広がり、第二隔壁17aよりも厚みが厚くなるように形成されている。こうした第二支持体17bはシャフト21に取り付けられる。そして、第二隔壁17aの両端部は、第二支持体17bに対して溶接部Mでそれぞれ溶接によって気密に接合されている。また、第二支持体17bはシャフト21に対してシール部材28によって気密に封止される。これによって、シャフト21の周面と、第二隔壁部材17によって囲まれた磁気部材22が気密に封止される。そして、シャフト21の回転によって、磁気部材22とともに第二隔壁部材17も一体に回転する。第二隔壁17aは、例えば、Fe、Al、Cu、SUSなど発塵の少ない金属板から形成されていれば良い。また、第二支持体17bも、Fe、Al、Cu、SUSなどの金属から形成されていれば良い。第二隔壁17aは、例えば、厚みが0.1mm~2mm程度の金属板であれば良い。これら第二隔壁17aと第一支持体17bとは、互いに異なる部材から構成されるのが好ましいが、同じ部材であっても良く限定されるものではない。こうした第二隔壁17aと第二支持体17bとの溶接部Mは、例えば、アーク溶接、スポット溶接、シーム溶接、レーザ溶接、ガス溶接など各種溶接法による直接溶接によって溶接される。また、低融点のロウ材などを用いた間接溶接ロウ接であってもよい。第二隔壁17aの溶接部Mに隣接する部分、および中央付近には、第一隔壁16aと同様にリブ27が形成されている。リブ27は、例えばシャフト21の軸方向Lに沿って広がる第二隔壁17aを成す金属板の一部を、背骨状に屈曲させた部位である。第二隔壁17aにリブ27を形成することによって、厚みの薄い軽量な金属板を第二隔壁17aとして用いた場合であっても、第二隔壁17aが応力によって湾曲したり、座屈してしまうことを防止し、面広がり方向の強度を高めることができる。また、シール部材28は、シャフト21の軸心周りに延びるOリングであればよく、真空環境においても弾性が保持される弾性部材からなる。シール部材28を構成する弾性部材の具体例としては、フッ素樹脂、シリコン樹脂、ニトリル樹脂、アチレンプロピレンゴム、アクリルゴムなどが挙げられるが、真空環境中で構成材料のガスなどが発生しないものを選択することが好ましい。なお、シャフト21の一方の端側には、この真空モータモータ10の軸位置や回転数を検出するためのエンコーダ29がさらに形成されていることも好ましい。こうしたエンコーダは、例えば、指標が形成されシャフトと共に回転する回転板と、指標を検出するセンサなどから構成される。以上のような構成の本発明の一実施形態の真空モータモータ10によれば、例えばこの真空モータ10を真空装置における被成膜物基板を搬送するための搬送モータとして用い、真空環境となるチャンバ内に設置したとしても、ロータ12の磁気部材22から生じたガスやステータ13から生じたガスが、ハウジング11の外部に放出されることがない。即ち、電磁コイルなどから構成されるステータ13は、ハウジング11の内壁面と第一隔壁部材16によって覆われる。しかも、第一隔壁部材16を構成する第一隔壁16aと第一支持体16bとは、溶接部Mによって気密に溶接されている。また、第一支持体16bはハウジング11に対してシール部材25によって気密に取り付けられている。これによって、ステータ13は、第一隔壁部材16とハウジング11によって囲まれた空間内に気密に封止された状態となる。ステータ13を構成する電磁コイルは、例えば、銅などの細線を巻回させ、接着剤などの樹脂材料でモールドしたものからなり、真空環境ではモールドした樹脂そのものや溶剤などが揮発してガス化しやすいが、ステータ13全体を第一隔壁部材16とハウジング11で区画された領域内で気密に覆うことによって、ステータ13からガスが発生したとしても、真空モータ10の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。一方、ロータ12の磁気部材22は、シャフト21の周面と第二隔壁部材17によって覆われる。しかも第二隔壁部材17を構成する第二隔壁17aと第二支持体17bとは、溶接部Mによって気密に溶接されている。また、第二支持体17bはシャフト21に対してシール部材28によって気密に取り付けられている。これによって、磁気材料22は、シャフト21の周面と第二隔壁部材17によって囲まれた空間内に気密に封止された状態となる。磁気部材22は、例えば、永久磁石から構成されており、こうした永久磁石のうち、特に焼結体は内部に微細な空洞があり、真空環境でガスが生じやすいが、磁気材料22全体を第二隔壁部材17とシャフト21の周面の間で気密に覆うことによって、磁気部材22からガスが発生したとしても、真空モータ10の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。従って、本実施形態の真空モータ10を真空装置のチャンバ内など真空環境になるところに設置しても、真空モータ10のロータ12やステータ13で生じたガスがチャンバ内に放出されることがなく、成膜不良や被成膜物の不純物汚染といった不具合を防止することが可能になる。また、第一隔壁部材16や第二隔壁部材17は、第一隔壁16aや第二隔壁17aの端部を支える第一支持体16b、第二支持体17bだけを第一隔壁16aや第二隔壁17aよりも厚みを厚くし、それ以外のステータ13や磁気部材22を覆う第一隔壁16aや第二隔壁17aは厚みの薄くしている。これによって、ハウジング11の内部に第一隔壁部材16や第二隔壁部材17を設けても、真空モータ10のサイズが大幅に大きくなることを防止し、不純物ガスを放出せず、かつコンパクトな真空モータ10を実現できる。上述した実施形態では、ロータ12の磁気部材22を永久磁石、ステータ13を電磁コイルから構成しているが、逆にロータの磁気部材を電磁コイル、ステータを永久磁石で構成してもよい。また、上述した実施形態では、ロータ12とステータ13との間に、第一隔壁部材16と第二隔壁部材17の2つの隔壁部材15を形成している。しかし、例えば一方の永久磁石に真空環境においてもガスの発生が少ないものを用いることによって、ロータの磁気材料、あるいはステータのいずれか一方だけを気密に封止する1つの隔壁部材から構成してもよい。また、上述した実施形態では、第一隔壁部材16の第一支持体16bはハウジング11とは別体で形成され、ハウジング11に対してシール部材25を介して気密に接合している。しかしながら、こうした第一支持体16bをハウジング11の一部として一体に形成し、こうしたハウジング11の一部である第一支持体16bに対して第一隔壁16aを溶接する構成であってもよい。同様に、第二隔壁部材17の第二支持体17bはシャフト21とは別体で形成され、シャフト21に対してシール部材28を介して気密に接合している。しかしながら、こうした第二支持体17bをシャフト21の一部例えば周方向外側に飛び出た壁面として一体に形成し、こうしたシャフト21の一部である第二支持体17bに対して第二隔壁17aを溶接する構成であってもよい。なお、本発明のモータは、モータの種類に限定されず、各種方式のモータに適用可能である。表1に、本発明の構成を適用可能なモータの種類、およびそのステータ、ロータの組み合わせを例示する。"