"頂板、底板および側板を備えた塗布室内で、被塗物に塗布剤を塗布器により塗布する方法であって、塗布室上部および下部にそれぞれ空気吸入口および排出口を形成し、前記塗布室の上部内に前記塗布器の少なくとも吐出孔を露出させ、前記底板側から前記塗布室内に露出して被塗物載置ユニットを設置して、前記塗布器と前記被塗物載置ユニットとの少なくとも一方を直線移動可能に構成し、前記塗布器と前記被塗物載置ユニットとの前記少なくとも一方を、前記塗布室外に設けられた駆動機構により移動させて前記塗布器を前記被塗物に対して位置決めして、前記塗布器により被塗物に塗布剤を塗布することを特徴とする塗布方法。前記塗布室は箱状であり、前記塗布室上部に前記空気吸入口を形成し、前記塗布室下部に前記排出口を形成し、前記頂板には第1直線方向に延びる第1の開口が形成され、そして前記底板には第1直線方向に直交する第2の直線方向に延びる第2の開口が形成されており、前記駆動機構は前記塗布室外で前記頂板上方に設けられ、前記塗布器を前記第1の直線方向に移動させるための第1駆動装置と、前記塗布室外で前記底板下方に設けられ、前記被塗物載置載置ユニットを前記第2の直線方向に移動させるための第2駆動装置とから成り、前記被塗物載置ユニットは前記底板の前記第2の開口を介して前記塗布室内に露出しており、前記第1駆動装置により前記第1の直線方向に移動する第1移動体と、前記第1移動体に設けられ前記頂板の前記第1の開口を貫通して前記塗布室内に延びる第1ブラケットと、前記頂板と前記第1ブラケットとの間に設けられ前記第1の開口を密閉する第1密閉手段と、前記塗布室内で前記第1ブラケットに取付けられた、前記塗布器を含む塗布器組立体と、前記底板と前記被塗物載置ユニットとの間に設けられ前記第2の開口を密閉する第2密閉手段と、前記塗布室外に設けられ、前記第1、第2駆動装置を制御するための制御装置と、から成り、前記塗布室内の前記被塗物載置ユニット上に被塗物を配置し且つ前記塗布室を前記空気吸入口及び前記排出口を除いて密閉して、前記制御装置により前記第1および第2駆動装置を制御して又はプログラムされた動作をもって前記塗布器を前記被塗物に対して位置決めして、前記塗布器により被塗物に塗布することを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。前記側板の少なくとも1つには塗布室内部にアクセスするための開閉用ドアが設けられ、前記被塗物載置ユニットは前記第2の駆動装置により前記第2の直線方向に移動される第2の移動体と、該第2移動体に設けられ前記底板の前記第2の開口を貫通して前記塗布室内に延びる第2ブラケットと、該第2ブラケットに取付けられた被塗物載置テーブルとを備え、前記開閉用ドアを介して前記塗布室内の前記被塗物載置ユニット上に被塗物を配置することを特徴とする請求項2に記載の塗布方法。前記被塗物載置ユニットは前記第2の駆動装置により前記第2の直線方向に移動されるベルトコンベアを含み、該ベルトコンベア上に被塗物を配置して前記塗布室内に被塗物を配置することを特徴とする請求項2に記載の塗布方法。前記塗布室外に配置された第2の駆動機構により前記塗布器を上下方向に移動させることを特徴とする請求項1から4の何れか一項に記載の塗布方法。前記塗布室は、前記頂板および前記側板とから成り下方に開いて固定配置された円筒形または多角形の箱状体を形成し、前記底板は前記箱状体の下側に配置され前記側板と接触又は非接触状態で、前記箱状体に対して第1の方向および該第1の方向に直交関係にある第2の方向に同じ高さで直線運動可能であり、前記頂板上方に配置され前記塗布室内に少なくとも吐出孔を露出させた塗布器を含み、前記被塗物載置ユニットはテーブルを含み、該テーブルは前記底板の中心開口全域を覆いかつ前記塗布室内に露出して該底板に固定配置され前記底板と共に移動し、前記塗布室外に設けられた第1駆動装置と第2駆動装置とによりそれぞれ前記第1の直線方向および第2の直線方向に移動されて、前記第1および第2駆動装置はプログラムされた動作を持って前記塗布器を前記被塗物に対して位置決めして、前記塗布器により被塗物に塗布することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の塗布方法。前記塗布室外に配置された第2の駆動機構により前記塗布器を上下方向に移動させることを特徴とする請求項6に記載の塗布方法。前記塗布剤がフォスファーリン光体とバインダーと溶剤からなるスラーリーであって、該スラーリーは二つ以上の小型容器間の差圧によって移動させ、又は及びポンプを用いて循環させ前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項1から4の何れか一項に記載の塗布方法。前記塗布剤がフォスファーリン光体とバインダーと溶剤からなるスラーリーであって、該スラーリーは二つ以上の小型容器間の差圧によって移動させ、又は及びポンプを用いて循環させ前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項5に記載の塗布方法前記塗布剤がフォスファーリン光体とバインダーと溶剤からなるスラーリーであって、該スラーリーは二つ以上の小型容器間の差圧によって移動させ、又は及びポンプを用いて循環させ前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項6に記載の塗布方法前記塗布剤がフォスファーリン光体とバインダーと溶剤からなるスラーリーであって、該スラーリーは二つ以上の小型容器間の差圧によって移動させ、又は及びポンプを用いて循環させ前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項7に記載の塗布方法一つの小型容器と塗布器と小型ポンプを連通させて循環回路を形成し、小型容器に充填され圧縮気体で加圧した前記スラーリーを循環させ、前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の塗布方法。一つの小型容器と塗布器と小型ポンプを連通させて循環回路を形成し、小型容器に充填され圧縮気体で加圧した前記スラーリーを循環させ、前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項5に記載の塗布方法。一つの小型容器と塗布器と小型ポンプを連通させて循環回路を形成し、小型容器に充填され圧縮気体で加圧した前記スラーリーを循環させ、前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項6に記載の塗布方法。頂板、底板および側板を備えた塗布室内で被塗物に塗布剤を塗布器により塗布する塗布装置であって、塗布室上部および下部にそれぞれ設けられた空気吸入口および排出口と、塗布室内に少なくとも吐出孔を露出させた前記塗布器と、前記底板側から前記塗布室内に露出して配置された被塗物載置ユニットと、前記塗布室外に設けられ、前記塗布器と前記被塗物載置ユニットとの少なくとも一方を移動させるための駆動機構とから成り、前記塗布器を前記被塗物に対して位置決めして、前記塗布器により被塗物に塗布することを特徴とする塗布装置。前記塗布室は箱状であり、前記頂板と当該頂板近傍のいずれかに前記空気吸入口を形成し、前記底板と当該底板近傍のいずれかに前記排出口を形成し、前記頂板には第1直線方向に延びる第1の開口が形成され、そして前記底面には第1直線方向に直交関係にある方向となる第2の直線方向に延びる第2の開口が形成されており、前記駆動機構は前記塗布室外で前記頂板上方に設けられ、前記塗布器を前記第1の直線方向に移動させるための第1駆動装置と、前記塗布室外で前記底板下方に設けられ、前記被塗物載置載置ユニットを前記第2の直線方向に移動させるための第2駆動装置とから成り、前記被塗物載置ユニットは前記底板の前記第2の開口を貫通して前記塗布室内に露出しており、前記第1駆動装置により前記第1の直線方向に移動する第1移動体と、前記第1移動体に設けられ前記頂板の前記第1の開口を貫通して前記塗布室内に延びる第1ブラケットと、前記頂板と前記第1ブラケットとの間に設けられ前記第1の開口を密閉する第1密閉手段と、前記塗布室内で前記第1ブラケットに取付けられた、前記塗布器を含む塗布器組立体と、前記底板と前記被塗物載置ユニットとの間に設けられ前記第2の開口を密閉する第2密閉手段と、前記塗布室外に設けられ、前記第1および第2駆動装置を制御するための制御装置と、から成り、前記塗布室内の前記被塗物載置ユニット上に被塗物を配置しかつ密閉して、前記塗布室を前記空気吸入口及び前記排出口を除いて密閉して、前記制御装置により前記第1および第2の駆動装置を制御して又はプログラム動作をさせて、前記塗布器を前記被塗物に位置決めして前記塗布器により被塗物に塗布することを特徴とする請求項15に記載の塗布装置。前記側板の少なくとも1つには塗布室内部にアクセスするための開閉用ドアが設けられ、前記被塗物載置ユニットは前記第2の駆動装置により前記第2の直線方向に移動される第2の移動体と、該第2移動体に設けられ前記底板の前記第2の開口を貫通して前記塗布室内に延びる第2ブラケットと、該第2ブラケットに取付けられた被塗物載置テーブルとを備え、前記開閉用ドアを介して前記塗布室内の前記被塗物載置ユニット上に被塗物を配置することを特徴とする請求項16に記載の塗布装置。前記被塗物載置ユニットは前記第2の駆動装置により前記第2の直線方向に移動されるベルトコンベアを含み、該ベルトコンベア上に被塗物を配置して前記塗布室内に被塗物を配置することを特徴とする請求項16に記載の塗布装置。前記塗布室外に配置された第2の駆動機構により前記塗布器を上下方向に移動させることを特徴とする請求項15から18の何れか一項に記載の塗布装置。前記塗布室は、前記頂板および前記側板とから成り下方に開いて固定配置された箱状体を形成し、前記底板は前記箱状体の下側に配置され前記側板と接触又は非接触状態で、前記箱状体に対して第1の水平方向および第2の水平方向に直線運動可能であり、前記塗布器は前記頂板上方に配置され前記塗布室内に吐出孔部分のみを露出させており、前記被塗物載置ユニットはテーブルを含み、該テーブルは前記底板に形成された開口全域を覆いかつ前記塗布室内に露出して前記底板に固設され前記底板と共に移動し、前記塗布室外に設けられた第1駆動装置と第2駆動装置とによりそれぞれ前記第1の直線方向および第2の直線方向に移動可能であることを特徴とする請求項15に記載の塗布装置。前記塗布室外に配置され、前記塗布器を上下方向に移動させる第2の駆動機構をさらに備えてなることを特徴とする請求項20に記載の塗布装置。前記塗布剤がフォスファーリン光体とバインダーと溶剤からなるスラーリーであって、該スラーリーは二つ以上の小型容器間の差圧によって移動させ、又は及びポンプを用いて循環させ前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項16から18のいずれか一項に記載の塗布装置。前記塗布剤がフォスファーリン光体とバインダーと溶剤からなるスラーリーであって、該スラーリーは二つ以上の小型容器間の差圧によって移動させ、又は及びポンプを用いて循環させ前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項19に記載の塗布装置。一つの小型容器と塗布器と小型ポンプを連通させて循環回路を形成し、小型容器に充填され圧縮気体で加圧した前記スラーリーを循環させ、前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項16に記載の塗布装置。一つの小型容器と塗布器と小型ポンプを連通させて循環回路を形成し、小型容器に充填され圧縮気体で加圧した前記スラーリーを循環させ、前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項19に記載の塗布方法。一つの小型容器と塗布器と小型ポンプを連通させて循環回路を形成し、小型容器に充填され圧縮気体で加圧した前記スラーリーを循環させ、前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することを特徴とする請求項20に記載の塗布装置。例えば、被塗物にポリマーなどの塗膜を得たい場合はポリマーなどを引火性のある芳香族系有機溶剤や炭化水素系有機溶剤などで溶解させた溶液などを作成してスプレイノズルなどで被塗物に塗布する。手作業でもできるが、通常再現性を求めるため小型の2軸或いは3軸駆動軸を備えた卓上ロボットのテーブルに被塗物を搭載し、スプレイ塗布を行う。その後、被塗物に残留した有機溶剤を自然乾燥あるいは乾燥機などで強制揮発させて被塗物に塗膜を形成させる。塗膜物質が熱硬化樹脂やUV硬化樹脂などのモノマー等の場合は、有機溶剤を揮発させた後、熱や紫外線などで硬化させる必要がある。また有機溶剤を含む接着剤の施与に関しても同様なことが行われている。しかしながら、たとえば大学の研究室等では溶液などの扱い量が少ないため小型装置を吸排気設備の整ったドラフトチャンバー内に置いて作業を行うので、揮発する有機溶剤が作業者に影響を与えることは無視できる。ところが工場などで頻繁に塗布作業を行う場合や、大量に溶液などを塗布する場合は、比較的大型の給排気装置を備えた箱で囲われたブースの中に塗布具、および塗布具移動装置及び/またはテーブル移動装置から成る塗布装置を設置して塗布作業が行われている。この場合の動力である駆動源として使用される動力モーター、例えばサーボモーターやステッピングモーター等は有機溶媒またはその蒸気に曝されるので耐圧防爆にする必要がある。ところが一般的に耐圧防爆モーターは寸法が大きいばかりか重量も2倍以上と重くなる為、設置には強度を増した大型のフレームが必要であった。更に直交2軸ロボットにする場合、片方の駆動軸が駆動源を支える軸の可搬重量に制限が生じていた。また通常耐圧防爆モーターは受注生産品の為、納期的に4乃至6か月を要し産業界が求める短納期に対応することは難しかった。この課題に対応するためモーター等の動力源を箱の中に入れ加圧エアを注入して箱内の気圧を高めて、溶媒蒸気の侵入を防ぐ方法が簡易的に採用されている。しかしながら、この方法は一般的には公的機関で実証検査して認可されているわけではないので自己責任としてのリスクが高かった。仮にそれらの簡易内圧式の装置が顧客の責任において便宜的に認められたとしても、動力源への配線は配管に収納する必要がある。2軸直交ロボットの様に動力源であるサーボモーターやステッピングモーターを移動させる必要が生じた場合それらを適用することはできなかった。防爆配線コネクターを使用して配線する方法が認められるケースもあるが、業界で通常ロボットに使用されるケーブルラックに配線を収納しても摺れなどによる配線被覆劣化が避けられずスパークの危険性がある。また配線の切断によるスパークや動力源の過負荷による異常発熱による溶媒蒸気への着火を避けるためにブース内の溶媒濃度を爆発下限界の2倍より遥かに多い室内などからの吸気と室外への排気を行う方法が提案されている。ところが風量が多いほど溶媒蒸気は希釈され全く着火しないレベルを維持することができるが、ブース内の風速が早くなるので、特にスプレイ塗布などを行う場合粒子が風に乗って逃げ、そのため塗着効率が極めて低くなる。例えば燃料電池電極形成に使用される白金触媒や青色発光ダイオードを被覆して白色発光させるLEDの被覆に使用されるYAGフォスファー燐光体などは非常に高価であるため、その方法はそれらの業界では受け入れてもらえていないのが現状である。本発明は前述の課題を解決するためになされたもので、本発明の目的は密閉性に優れた液体塗布方法および装置を提供することである。上記課題を解決するために本発明は、頂板、底板および側板を備えた塗布室内で、被塗物に塗布剤を塗布器により塗布する方法であって、塗布室上部および下部にそれぞれ空気吸入口および排出口を形成し、前記塗布室の上部内に前記塗布器の少なくとも吐出孔を露出させ、前記底板側から前記塗布室内に露出して被塗物載置ユニットを設置して、前記塗布器と前記被塗物載置ユニットとの少なくとも一方を直線移動可能に構成し、前記塗布器と前記被塗物載置ユニットとの前記少なくとも一方を、前記塗布室外に設けられた駆動機構により移動させて前記塗布器を前記被塗物に対して位置決めして、前記塗布器により被塗物に塗布剤を塗布することを特徴とする塗布方法を提供する。本発明の前記塗布方法において、前記塗布室は箱状であり、前記塗布室上部に前記空気吸入口を形成し、前記塗布室下部に前記排出口を形成し、前記頂板には第1直線方向に延びる第1の開口が形成され、そして前記底板には第1直線方向に直交する第2の直線方向に延びる第2の開口が形成されており、前記駆動機構は前記塗布室外で前記頂板上方に設けられ、前記塗布器を前記第1の直線方向に移動させるための第1駆動装置と、前記塗布室外で前記底板下方に設けられ、前記被塗物載置載置ユニットを前記第2の直線方向に移動させるための第2駆動装置とから成り、前記被塗物載置ユニットは前記底板の前記第2の開口を介して前記塗布室内に露出しており、前記第1駆動装置により前記第1の直線方向に移動する第1移動体と、前記第1移動体に設けられ前記頂板の前記第1の開口を貫通して前記塗布室内に延びる第1ブラケットと、前記頂板と前記第1ブラケットとの間に設けられ前記第1の開口を密閉する第1密閉手段と、前記塗布室内で前記第1ブラケットに取付けられた、前記塗布器を含む塗布器組立体と、前記底板と前記被塗物載置ユニットとの間に設けられ前記第2の開口を密閉する第2密閉手段と、前記塗布室外に設けられ、前記第1、第2駆動装置を制御するための制御装置と、から成り、前記塗布室内の前記被塗物載置ユニット上に被塗物を配置し且つ前記塗布室を前記空気吸入口及び前記排出口を除いて密閉して、前記制御装置により前記第1および第2駆動装置を制御して又はプログラムされた動作をもって前記塗布器を前記被塗物に対して位置決めして、前記塗布器により被塗物に塗布することが好ましい。本発明の方法において、前記側板の少なくとも1つには塗布室内部にアクセスするための開閉用ドアが設けられ、前記被塗物載置ユニットは前記第2の駆動装置により前記第2の直線方向に移動される第2の移動体と、該第2移動体に設けられ前記底板の前記第2の開口を貫通して前記塗布室内に延びる第2ブラケットと、該第2ブラケットに取付けられた被塗物載置テーブルとを備え、前記開閉用ドアを介して前記塗布室内の前記被塗物載置ユニット上に被塗物を配置することが好ましい。本発明の前記塗布方法において、前記被塗物載置ユニットは前記第2の駆動装置により前記第2の直線方向に移動されるベルトコンベアを含み、該ベルトコンベア上に被塗物を配置して前記塗布室内に被塗物を配置することが好ましい。また、上記課題を解決するために本発明の塗布方法において、前記塗布室は、前記頂板および前記側板とから成り下方に開いて固定配置された円筒形または多角形の箱状体を形成し、前記底板は前記箱状体の下側に配置され前記側板と接触又は非接触状態で、前記箱状体に対して第1の方向および該第1の方向に直交関係にある第2の方向に同じ高さで直線運動可能であり、前記頂板上方に配置され前記塗布室内に少なくとも吐出孔を露出させた塗布器を含み、前記被塗物載置ユニットはテーブルから成り、該テーブルは前記底板の中心開口全域を覆いかつ前記塗布室内に露出して該底板に固定配置され前記底板と共に移動し、前記塗布室外に設けられた第1駆動装置と第2駆動装置とによりそれぞれ前記第1の直線方向および第2の直線方向に移動されて、前記塗布器を前記被塗物に対して位置決めして、前記塗布器により被塗物に塗布することが好ましい。本発明の前記塗布方法において、前記塗布室外に配置された第2の駆動機構により前記塗布器を上下方向に移動させることが好ましい。本発明の前記塗布方法において、前記塗布剤がフォスファーリン光体とバインダーと溶剤からなるスラーリーであって、該スラーリーは二つ以上の小型容器間の差圧によって移動させ、又は及びポンプを用いて循環させ前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することが好ましい。本発明の前記塗布方法において、一つの小型容器と塗布器と小型ポンプを連通させて循環回路を形成し、小型容器に充填され圧縮気体で加圧した前記スラーリーを循環させ、前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することが好ましい。さらにまた、上記課題を解決するために本発明は、頂板、底板および側板を備えた塗布室内で被塗物に塗布剤を塗布器により塗布する塗布装置であって、塗布室上部および下部にそれぞれ設けられた空気吸入口および排出口と、塗布室内に少なくとも吐出孔を露出させた前記塗布器と、前記底板側から前記塗布室内に露出して配置された被塗物載置ユニットと、前記塗布室外に設けられ、前記塗布器と前記被塗物載置ユニットとの少なくとも一方を移動させるための駆動機構とから成り、前記塗布器を前記被塗物に対して位置決めして、前記塗布器により被塗物に塗布することを特徴とする塗布装置を提供する。本発明の上記塗布装置において、前記塗布室は箱状であり、前記頂板と当該頂板近傍のいずれかに前記空気吸入口を形成し、前記底板と当該底板近傍のいずれかに前記排出口を形成し、前記頂板には第1直線方向に延びる第1の開口が形成され、そして前記底面には第1直線方向に直交関係にある方向となる第2の直線方向に延びる第2の開口が形成されており、前記駆動機構は前記塗布室外で前記頂板上方に設けられ、前記塗布器を前記第1の直線方向に移動させるための第1駆動装置と、前記塗布室外で前記底板下方に設けられ、前記被塗物載置載置ユニットを前記第2の直線方向に移動させるための第2駆動装置とから成り、前記被塗物載置ユニットは前記底板の前記第2の開口を介して前記塗布室内に露出しており、前記第1駆動装置により前記第1の直線方向に移動する第1移動体と、前記第1移動体に設けられ前記頂板の前記第1の開口を貫通して前記塗布室内に延びる第1ブラケットと、前記頂板と前記第1ブラケットとの間に設けられ前記第1の開口を密閉する第1密閉手段と、前記塗布室内で前記第1ブラケットに取付けられた、前記塗布器を含む塗布器組立体と、前記底板と前記被塗物載置ユニットとの間に設けられ前記第2の開口を密閉する第2密閉手段と、前記塗布室外に設けられ、前記第1および第2駆動装置を制御するための制御装置と、から成り、前記塗布室内の前記被塗物載置ユニット上に被塗物を配置しかつ密閉して、前記塗布室を前記空気吸入口及び前記排出口を除いて密閉して、前記制御装置により前記第1および第2の駆動装置を制御して又はプログラム動作をさせて、前記塗布器を前記被塗物に位置決めして前記塗布器により被塗物に塗布することが好ましい。本発明の上記塗布装置において、前記側板の少なくとも1つには塗布室内部にアクセスするための開閉用ドアが設けられ、前記被塗物載置ユニットは前記第2の駆動装置により前記第2の直線方向に移動される第2の移動体と、該第2移動体に設けられ前記底板の前記第2の開口を貫通して前記塗布室内に延びる第2ブラケットと、該第2ブラケットに取付けられた被塗物載置テーブルとを備え、前記開閉用ドアを介して前記塗布室内の前記被塗物載置ユニット上に被塗物を配置することを特徴とするが好ましい。さらにまた、本発明の前記塗布装置において前記被塗物載置ユニットは前記第2の駆動装置により前記第2の直線方向に移動されるベルトコンベアを含み、該ベルトコンベア上に被塗物を配置して前記塗布室内に被塗物を配置することが好ましい。また、本発明の前記塗布装置において、前記塗布室は、前記頂板および前記側板とから成り下方に開いて固定配置された箱状体を形成し、前記底板は前記箱状体の下側に配置され前記側板と接触又は非接触状態で、前記箱状体に対して第1の水平方向および第2の水平方向に直線運動可能であり、前記塗布器は前記頂板上方に配置され前記塗布室内に吐出孔部分のみを露出させており、前記被塗物載置ユニットはテーブルを含み、該テーブルは前記底板に形成された開口全域を覆いかつ前記塗布室内に露出して前記底板に固設され前記底板と共に移動し、前記塗布室外に設けられた第1駆動装置と第2駆動装置とによりそれぞれ前記第1の直線方向および第2の直線方向に移動可能であることが好ましい。本発明の前記塗布装置において、前記塗布室外に配置され、前記塗布器を上下方向に移動させる第2の駆動機構をさらに備えてなることが好ましい。本発明の前記塗布装置において、前記塗布剤がフォスファーリン光体とバインダーと溶剤からなるスラーリーであって、該スラーリーは二つ以上の小型容器間の差圧によって移動させ、又は及びポンプを用いて循環させ前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することが好ましい。本発明の前記塗布装置において、一つの小型容器と塗布器と小型ポンプを連通させて循環回路を形成し、小型容器に充填され圧縮気体で加圧した前記スラーリーを循環させ、前記塗布器で該スラーリーを連続的に又はパルス的に、温度制御された被塗物搭載ユニットに搭載されたLEDに塗布することが好ましい。本発明の方法または装置によれば、X方向およびY方向の駆動用モータのみならずX方向およびY方向の動力伝達機構をも塗布室の外側に設置し、塗布室内には被駆動の塗布器組立体および被塗物載置用ユニットのみを設置すればよいため、塗布室内に電気配線および電気機器を設置する必要がなく、優れた密閉構造が得られる。本発明の好ましい態様において、X方向およびY方向の駆動用モータおよびX方向およびY方向の動力伝達機構のみならず、塗布器組立体をも塗布室の外に設置し、塗布器組立体に設けた吐出ノズルの開口部のみを塗布室内に露出するよう構成する場合、塗布器組立体の構成要素の弁として通常ブース内では非防爆の為使用できないインクジェットや電磁弁直接駆動の塗布ガンを採用することが出来、例えば高速の電磁弁と特殊コントローラーを併用して、50~1000Hzといった高速パルス塗布を行うことが出来る。以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について説明する。なお、以下の実施形態は、発明の理解を容易にするための一例に過ぎず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において当業者により実施可能な付加置換変形等を施すことを排除するものではない。図面は本発明の好適な実施の形態を概略的に示している。第1実施の形態図1から図5は、本発明の第1実施の形態にかかる塗布装置を示しており、図1は該塗布装置の正面図、図2は該塗布装置の背面図、図3は該塗布装置を正面から見た断面図、図4は該塗布装置を左側から見た断面図、図5は該塗布装置を右側から見た断面図である。本実施形態の説明中、図1において紙面に対して前後方向をY方向、そして左右方向をX方向とする。本実施形態の塗布装置は、全体として上下に長い概ね立方体形状の装置本体1からなり、該装置本体は前面部3、背板5、左側板7、右側板9、底部11および頂部から成る。装置本体1は上下方向に大きく3つに区画され、上下方向中央に塗布ブース設置室13、塗布ブース設置室13の上側に上部室15、塗布ブース設置室の下側に下部室17を形成しており、塗布ブース設置室13内の塗布ブース19は上部室15、下部室17および周囲から密閉構造により隔離されている。本明細書中、密閉構造とは、塗布ブース19又は後述する塗布室23内の引火性のあるガスが塗布ブース19又は塗布室23外に爆発を起こすほどには漏洩しない程度の気密性を有することを意味するものとする。塗布ブース19は前後左右上下の6面体から成る箱体であり、塗布ブース19は下部に形成された排気室21と、その上に形成された密閉性の塗布室23とに区画されている。密閉性の塗布室23の前側は両側に開く2つのドア25,26が設けてあり、外部からアクセス可能である。塗布ブース19の後側の背板部材27には透明のガラス窓27aが形成されている。図7に点線で示すように、塗布ブース19の頂部、即ち塗布室23の頂部を形成する頂板部材29は前後方向Y方向中央部分においてX方向に所定長にわたって延びかつ全長にわたって同一幅の開口31が形成されている。頂板部材29は中央開口31の両側でパンチングプレート等の多孔板33であり、その室内側にフィルタ35が取り外し可能に張設されている図4参照。フィルタ35としては、外気に含まれるゴミ、塵埃などを取り除くためクリーンルームなどで使用されるエアフィルタ、例えばHEPAフィルタが好ましい。こうして、頂板部材29は中央の開口31の両側に吸気部を形成している。塗布ブース19において、図4に示すように、塗布室23と排気室21との間には、金属多孔板37が張設されており、その下側にはフィルタ39が取り外し可能に張設されている。金属多孔板37としてはパンチングプレートが好ましく、フィルタ39としては、使用される引火性溶剤を考慮してガラス繊維等の不燃フィルタや難燃アラミド製の耐火フェルトウエブ等が好ましい。塗布室23下部の金属多孔板37のX方向中央にはY方向に延びて所定幅の開口41図6A、図9参照が形成されている。このY方向開口41については、後述する。排気室21の後部において背板部材27には左右2つの排気口43a,43b図2参照が形成されて排気装置図示なしが接続される。<上部X方向移動体構造>装置本体1の上部室15内には、図7に示すように、頂板部材29の開口31にほぼ対向する上方位置からずれた位置に左右側板7,9間にわたってX方向に延びるX方向駆動装置45が設けてある。X方向駆動装置45は駆動モータ47と、駆動モータ47の回転をX方向の往復直線運動に変える変換機構とから成る。この変換機構は駆動モータ47に回転駆動され、左右方向に延びるボールネジ軸49と、該ボールネジ軸49に係合しX方向に移動するナットを取付けた移動体51とから成る。図3に示すように、移動体51は塗布室頂板部材29のX方向開口31の真上位置に対向して延びた部分を有し、該部分において上部室15から塗布室23内に上下方向に延びる上方ブラケット53が固設してある。上方ブラケット53は塗布室23内上下方向ほぼ中央部分に延びておりその下端部分に塗布器組立体55を取付けている。このような構造であるので、X方向駆動装置45の作用により塗布器組立体55および吐出ノズル57等の塗布器は塗布室23内をX方向に移動可能である。塗布器組立体55の詳細については後述する。また、塗布室23内と上部室15とは互いに密閉構造により隔離されており、そのため上方ブラケット53は頂板部材29に対してX方向には可動に、かつ気密に接触している構造としているが、この構造の詳細については後述する。<下部Y方向移動体構造>装置本体1の下部室17内には、塗布室23と排気室21とを仕切る金属多孔板部材37のY方向開口41に対向する位置に所定長にわたってY方向に延びてY方向駆動装置58が設けてある図8参照。Y方向駆動装置58は駆動モータ59と、該駆動モータ59の回転をY方向の往復直線運動に変える変換機構とから成る。この変換機構は該駆動モータ59に回転駆動されY方向に延びるボールネジ軸61と、該ボールネジ軸61に係合しY方向に移動するナットを取付けた移動体63とから成る。Y方向移動体63には塗布室23の底板部材である金属多孔板37のY方向開口41を介して上方に延び塗布室23内下部に上端を有する下方ブラケット65が固定されている図6A参照。下方ブラケット65の上端にはY方向開口41よりも幅の広いテーブル支持用の箱状体67が固設されており、箱状体67の上に被塗布物載置ユニットを構成する被塗布物載置用テーブル69が取付けてある。このような構造であるので、Y方向駆動装置58の作用により被塗布物載置用テーブル69は塗布室23内下部をY方向に移動可能である。被塗布物載置用テーブル69は熱媒体循環用コード71を介して温度調節可能のものである。コード71は下部室17の熱源に案内されている。なお、被塗物載置ユニットとしてブース外に駆動源を設置したベルトコンベアを用いても良い。コンベアは前記ブース内下部を僅かな隙間の出入口を介してY方向に通過し、装置の底部を経由して循環させることができる。例えばフィルムなどの連続して移動するウエブにコーティングを行う場合、コンベアとフィルムをほぼ同スピードで十分接触させると塗剤がフィルムの裏に付着することがない。塗布室23内と排気室21とは互いに密閉構造で隔離されており、そのためY方向ブラケット65は塗布室23の底板部材である金属多孔板37に対してY方向には可動に、かつ気密に接触しているが、この構造の詳細については後述する。図1に示すように、本実施形態において、装置本体1の左側板7にはコントロールボックス73が取付けてあり、その前面には表示部および電源スイッチ等が設けてあるとともに、内部にCPU等を含む制御回路が設けてあり、X方向およびY方向の二つの駆動装置45,58に対し予めプログラミングされた制御を行うようにしている。そのため、X方向駆動モータ47およびY方向駆動モータ59はそれぞれケーブルを介してコントロールボックスの制御回路に接続されているが、繁雑になるため図示を省略する。本実施形態および後述の第2および第3の実施形態において、塗布装置は、被塗物にはポリマーなどを塗布するに好適であり、ポリマーなどを引火性のある芳香族系有機溶剤や炭化水素系有機溶剤などで溶解させた溶液等を塗布するに好適なものであり、塗布器組立体55は、例えば特開2003-300000公報に開示される如き、2つのシリンジ状容器75a,75b図6A参照と、これら容器を連通させる流通路75c、75dと、該流通路を流れる液体の流量を調節する流量調整手段75e,75fと、該流通路からスラリーをパルス的又は連続的に吐出する吐出ノズル57とを備えている。スラリーは、例えば、青色発光ダイオード等を白色発光させるために被覆するリン光体粒子及びポリマー若しくはモノマーと溶媒とからなるバインダー溶液との混合体であり、2つのシリンジ状容器75a,75bに充填される。これら2つのシリンジ状容器75a,75bに圧力差が与えられて流通路にスラリーの流れを作り吐出ノズル57からパルス的又は連続的に吐出される。この時LED等の被塗物は、被塗物載置用テーブル69図6Aにより適宜加温されている。本実施形態において、塗布装置の制御および駆動は全て圧縮空気により行われ、そのためシリンジ状容器、吐出開閉手段および吐出ノズル等はそれぞれの空気源に配管図示なしを介して接続されている。配管は、好ましくは上方ブラケット53と共に塗布室外へ導かれている。なお、2つのシリンジによる循環だけでなく、1つのシリンジなどの小型容器と小型ポンプを用いて塗布器組立体までチューブなどで配管し、循環させる構成としても良い。例えば、塗布器組立体55に代えて、図6Bに示す如き塗布器組立体155を用いる。塗布器組立体155は、スラリーを充填するための小型容器157と、吐出ノズル159と、ポンプ161とをチューブで接続してスラリーの循環回路を形成し、エア源163により加圧された小型容器157内のスラリーをポンプ161により循環回路内に流して吐出ノズル159からパルス的又は連続的に吐出する。この時LED等の被塗物は、被塗物載置用テーブル69図6Aにより適宜加温されている。以下に、特に図6Aないし図13を参照して、本第1実施形態における塗布室23と可動部であるX方向移動のための上方ブラケット53との間の密閉構造について詳説する。<上部X方向移動体密閉構造>図6Aを参照して、塗布室頂板部材29のX方向開口31において、上述したX方向移動のための上方ブラケット53には塗布室23の頂板部材29に形成されたX方向開口31に沿ってX方向左右に移動する移動体ユニット75が設けてある。本第1実施形態においては、上方ブラケット53の上下運動はないため移動体ユニット75は上方ブラケット53に気密に固定されて密閉構造にしてある。塗布室23内で頂板部材29の内側にはX方向開口31の縁部分に沿って、図12に拡大して示す如き断面形状の、X方向に延びるレール部材77が左右両側板7、9間にわたって橋架されている。図12には開口31の右側のみの一部が示されている。各レール部材77は、2つのX字を横並びにした断面形状を有し、X方向に左右両側板7,9間にわたって延びて塗布室23に固定されている。各レール部材77はX方向開口31に離れた側となる一方の断面X字状部上側で頂板部材29内面に接触しており、他方の断面X字状部はX方向開口31に露出して上下面にそれぞれX方向に開口全長にわたって延びる軌道溝77a,77bを形成している。一方、図6Aに示すように、塗布室頂板部材29のX方向開口31の左右両端部には、該開口31の幅方向に延びるガイドローラ79a,79bがそれぞれ配設されており、これらガイドローラ79a,79bを跨ってX方向に延びX方向に移動可能に左右のベルト81a,81bがそれぞれ配設されている。図7に示すように、各ベルト81a、81bはX方向開口31の幅Y方向サイズよりも幅Y方向サイズが大きく、幅方向両側において頂板部材29の両開口縁辺にそれぞれ接触していてX方向開口31の上部を覆っている。ベルトはスチールベルトや樹脂ベルト等が好ましく、材質種類を特に限定するものではないが、発塵しにくく静電気対策上導電性材質のものが好ましい。図6Aを参照して、上部室15から塗布室23内に延びるX方向移動のための上方ブラケット53は両ベルト81a,81bの上端部とそれぞれ固定用部材83を介して固定されている。このため固定用部材83は4隅でベルト上端部にネジ固定された4角形状で中央に上方ブラケット53を上下に貫通させる開口84を有し図11参照、該開口84の両側部で上方ブラケット53に沿って上向きに伸びる部分を有し、この部分で上方ブラケット53に固定されている。固定用部材83と上方ブラケット53との間は密閉手段で密封されている。図10に示すように、固定用部材83の上部にはベルト幅方向両側にそれぞれX方向に離間した2つのローラ85a、85bが回転自在に支持されており、図11に示すように、これらローラ85a、85bは左右の対応する上側軌道溝77aに係合している。固定用部材83の下部においてベルト幅方向両側でX方向中央部にはそれぞれ1つのローラ85c図10参照が回転自在に支持されており、左右の対応する軌道溝77b図12参照に係合している。図3,図6Aに示すように、左右のベルト81a,81bのそれぞれ左端と右端とは塗布ブース19の左右側板に沿って下方に延び、それぞれ端部で引っ張りばね、あるいは適当な錘87a、87bにより移動体ユニット75のX方向の往復移動に拘わらずベルトがたるまないように引っ張られている。このようにして、塗布室23は上部室15から密封されている。このような構造であるので、X方向開口31は移動体ユニット75の移動にも拘わらずベルト81a,81bにより塞がれて密閉構造にされており、しかも移動体ユニット75のX方向の移動はレール部材77により安定したものとなる。従来の塗布装置では、強制排気により開口部から自然吸気するため、塗布装置がクリーンルームでない雰囲気に設置されると、ゴミなどの異物が吸入され被塗物に付着する可能性が極めて高くなり、その結果塗布物の品質低下を起こす可能性が極めて高くなる。また、開口部からの吸気の流れは被塗物付近で乱流を起こし、塗布器がスプレイの場合は致命的欠点となる。この点、本実施形態にかかる塗布装置は、ベルト81a,81bにより開口部を密閉できるため、このような問題を解決することができる。<下部Y方向移動体密閉構造>図8により詳しく示すように、装置本体1の下部室17内にY方向移動体63に固定され塗布室23内に上向きに延びる下方ブラケット65には、塗布室23と排気室21とを仕切る金属多孔板37に形成されたY方向開口部分41の上側においてY方向に長い箱状体67の底部が固設されている図13。箱状体67の底部は仕切り板である金属多孔板37に対して僅かな隙間を有している。箱状体67の上には被塗物載置用テーブル69が固設されている。この箱状体67内には、図13に示す如くY方向に略等間隔で3個のローラ93a,93b,93cが軸線をX方向にして回転自在に並んで配置されている。中央のローラ93bは両側のローラ93a,93cより若干上にあり、両側のローラ93a,93cの周面下端は箱状体の底部の下面と略同一平面にある。一方、塗布室23と排気室21とを仕切る金属多孔板37の上側にはY方向開口を十分に覆う大きさの柔軟なベルト95が張設され、Y方向両端で金属多孔板37に固定されている。このベルト95は箱状体67の底部において両側のローラ93a,93cの下方に形成されている2つの開口を通り箱状体67内に入り中央ローラ93bの上に掛け渡されている。箱状体67はY方向開口41内をY方向に可動であり、その時Y方向開口41はベルト95により塞がれて密閉構造にされている。この密閉構造をより完全なものとするためには、箱状体67両側面または被塗物載置用テーブル69の下側にカバー図示なしを取り付け、該カバーの下部を金属多孔板37もしくはベルト95に接触させて箱状体67を密封するようにすると良い。本実施の形態によれば、上記構造により、X方向およびY方向の駆動用モータ47、59のみならずX方向およびY方向の動力伝達機構49、51:61、63をも塗布室23の外側に設置し、塗布室23内には被駆動の塗布器組立体55および被塗物載置用テーブル69のみを含む被塗物載置ユニットを設置すればよいため、塗布室23内に電気配線および電気機器を設置する必要がなく、優れた密閉構造が得られる。第2実施の形態次に図14および図15を参照して、本発明の第2実施の形態について説明する。第2実施に形態において、図14は前方から見た塗布装置内部の模式的断面図、図15は側方から見た塗布装置内部の模式的断面図である。第2実施の形態において、塗布装置は、全体として上下に長い概ね立方体形状の装置本体101からなり、該装置本体101は前面部、背板、左側板、右側板、底部、および頂部から成る。装置本体は上下方向に大きく4つに区画され、上から上部室103、塗布室設置室105、その下側のXY駆動部設置室107、および下部室109とからなる。なお、XY駆動部設置室と下部室を一つの部屋から構成しても良く、開放空間としても良い。本第2実施の形態において、塗布室設置室105内には該設置室105よりも縦横高さ全体が小さい箱状の塗布室111が、塗布室設置室105とXY駆動部設置室107との仕切り床板部材119上に固定的に配置されている。塗布室111の頂部を形成する頂板部材113は中央部分に略円形の開口114が形成されており、該開口114の周縁から中心かつ下方に向かって集束する円錐形状の蛇腹部材115が固定されている。蛇腹部材115の中心部には円環部材117が固設してあり、該円環部材117を上下に貫通して塗布室内から上方の上部室103内に延びる長尺板状のブラケット118が設けてある。ブラケット118上部は装置本体の頂板部材114および上部室103と塗布室設置室105との仕切り板121に固設されている。塗布室111内においてブラケット118下端部には、第1実施の形態におけると同様な塗布器組立体126が取り付けてある。上部室103には上下方向Z方向駆動用のモータ131および該モータ駆動を上下方向の往復動に変える駆動機構133が設けてあり、塗布器組立体126はブラケット118を介して上下方向Z方向に往復動可能である。なお、蛇腹部材115は伸縮自在なエラストマー的材料でも良い。また、ブラケット118が上下できるように、蛇腹部材115に代えて、ブラケット118との間にわずかな隙間をもった穴を頂板部材113に設けても良く、隙間にシールを設けても良い。図15に示すように、塗布室111の頂板部材113は、第1実施の形態におけると同様、多孔板の外側層113aと内側のフィルタ層113bとから成り、吸気部を形成している。なお、吸気は、本願発明の属する技術分野で多く採用されている風量調整を兼用した手動開閉ダンパー付のダクトを塗装室111に設置しても良く、また上流に吸気ファンを設けてプッシュプル構成にしても良い。本第2実施の形態において、塗布室111の左右側板の下方部分にはそれぞれフィルタを設けた排気口125が形成されており、排気口125を介して排気装置128が接続されている。塗布室111の底部を構成する床板部材127の中央部分には被塗物載置ユニットを構成する四角形の被塗物載置用テーブル板129が固定され、このテーブル板129と床板部材127との間は密閉構造にされている。床板部材127は塗布室111の側板に対し前後および左右に移動可能になっている。そのため床板部材127は一方に移動しても他方側で塗布室111の底部を構成できるに十分な大きさであり、またテーブル板129の縁とこれに対応する側の塗布室前側部、背側板及び側板との間には床板部材127の移動を許す十分な大きさとされている。塗布室設置室105とXY駆動部設置室107と床板部材119は、塗布室111内の被塗物載置テーブル板129を下から支持するXY移動体のXおよびY方向の移動を許すに十分な大きさの開口131が形成されている。被塗物載置テーブル板129は下面がこの開口を介してXY駆動部設置室107に露出している。XY駆動部設置室107の床部材137中央にはY方向駆動モータとこのY方向駆動モータの回転をY方向の往復直線運動に変換する、例えばボールねじ機構等の、駆動力変換伝達機構132が設けてある。このY方向駆動力変換伝達機構132によりY方向に移動される移動部材には、X方向駆動モータとその回転をX方向の往復直線運動に変換する、例えばボールねじ機構等の、駆動力変換伝達機構134が取り付け支持されている。このX方向駆動力変換伝達機構134によりX方向に移動されるX方向移動部材135の上端は、XY方向移動体であり被塗物載置テーブル板129の下面を固設支持している。このように、本第2実施の形態においても、塗布室111内に電気配線および電気機器を設置する必要がなく、X方向、Y方向およびZ方向の駆動用モータのみならずX方向、Y方向およびZ方向の動力伝達機構をも塗布室111の外側に設置し、塗布室内111には被駆動の塗布器組立体および被塗物載置用テーブルのみを設置すればよいため、優れた密閉構造が得られる。また、テーブル下面は塗布室内に露出されないため、第1実施形態における如く熱媒循環により加熱する必要が無く、図示しないカートリッジ等の電気ヒーターを温度センサーとともにテーブル内に組み込み、テーブルを任意の温度に温度制御し加熱しても良い。従来の塗布装置では、強制排気により開口部から自然吸気するため、塗布装置がクリーンルームでない雰囲気に設置されると、ゴミなどの異物が吸入され被塗物に付着する可能性が極めて高くなり、その結果塗布物の品質低下を起こす可能性が極めて高くなる。また、開口部からの吸気の流れは被塗物付近で乱流を起こし、塗布器がスプレイの場合は致命的欠点となる。この点、本実施形態にかかる塗布装置は、優れた密閉構造を得られるため、このような問題を解決することができる。第2実施形態において、塗布室111内への被塗物出入れ等のアクセスは塗布室111の前側部にドアを設けて開閉可能としても良いが、塗布室111を形成する頂部、前側部、背板及び左右側板からなる箱状体を床板部材127に対して離脱自在に構成して、この箱状体をモータ131により上方に移動させても良い。第3実施の形態次に図16および図17を参照して、本発明の第3実施の形態について説明する。第3実施に形態において、図16は前方から見た塗布装置内部の模式的断面図、図17は側方から見た塗布装置内部の模式的断面図である。第3実施の形態において、塗布装置は、全体として上下に長い概ね立方体形状の装置本体201からなり、該装置本体201は前面部、背板、左側板、右側板、底部、および頂部から成る。装置本体は上下方向に大きく4つに区画され、上から上部室203、塗布室設置室205、その下側のXY駆動部設置室207、および下部室209とからなる。なお、XY駆動部設置室と下部室を一つの部屋から構成しても良く、開放空間としても良い。本第3実施の形態において、塗布室設置室205内には該設置室205よりも縦横高さ全体が小さい箱状の塗布室211が、塗布室設置室205とXY駆動部設置室207とを仕切る床板部材219上に固定的に配置されている。塗布室211の頂部を形成する頂板部材213は中央部分に略円形の開口が形成されており、該開口周縁から中心かつ下方に向かって集束する円錐形状の蛇腹部材215が固定されている。蛇腹部材215の中心部には円環部材217が固設してある。本第3実施の形態において、該円環部材217を上下に貫通して吐出ノズル221aの先端部のみが塗布室211内部に露出するように構成されている。吐出ノズル221aの先端部を除くノズル本体部およびノズル本体部を支持する塗布器組立体221は塗布室外にあるようにして塗布室上方の上部室203内に延びる長尺板状のブラケット218に支持されている。ブラケット218上部は装置本体の頂板部材214および上部室203と塗布室設置室205との床板部材219に支持部材230を介して上下動自在に支持されている。上部室203には上下方向Z方向駆動用のモータ231および該モータ駆動を上下方向の往復動に変える駆動機構233が設けてあり、ブラケット218は駆動機構233に駆動され、塗布器組立体221を上下方向Z方向に往復動可能である。塗布室211の頂板部材213は、多孔板の外側層213aと内側のフィルタ層213bとから成り、吸気部を形成している。なお、吸気は、本願発明の属する技術分野で多く採用されている風量調整を兼用した手動開閉ダンパー付のダクトを塗装室211に設置しても良く、また上流に吸気ファンを設けてプッシュプル構成にしても良い。本第3実施の形態において、塗布室211の左右側板の下方部分にはそれぞれフィルタを設けた排気口225が形成されており、排気口225を介して排気装置228が接続されている。塗布室211の底部を構成する床板部材227の中央部分には被塗物載置ユニットを構成する四角形の被塗物載置用テーブル板229が固定され、このテーブル板229と床板部材227との間は密閉構造にされている。床板部材227は塗布室211を形成する前面部、背板及び側板に対し前後および左右に移動可能になっている。そのため底板部材227は一方に移動しても他方側で塗布室211の底部を構成できるに十分な大きさであり、またテーブル板229の縁と対応する側の側板との間には底板部材227の移動を許す十分な大きさとされている。塗布室設置室205とXY駆動部設置室207とを仕切る床板部材219には、被塗物載置テーブル板229を下から支持するXY移動体のXおよびY方向の移動を許すに十分な大きさの開口231が形成されている。被塗物載置テーブル板229は下面がこの開口231を介してXY駆動部設置室207に露出している。XY駆動部設置室207の床部材237中央にはY方向駆動モータとこのY方向駆動モータの回転をY方向の往復直線運動に変換する、例えばボールねじ機構等の、駆動力変換伝達機構232が設けてある。このY方向駆動力変換伝達機構232によりY方向に移動される移動部材には、X方向駆動モータとその回転をX方向の往復直線運動に変換する、例えばボールねじ機構等の、駆動力変換伝達機構234が取り付け支持されている。このX方向駆動力変換伝達機構234によりX方向に移動されるX方向移動部材の上端はXY移動体235を構成し、被塗物載置テーブル板229の下面を固設支持している。第3実施形態において、塗布室211内への被塗物出入れ等のアクセスは塗布室211の前側部にドアを設けて開閉可能としても良いが、塗布室211を形成する頂部、前側部、背板及び左右側板からなる箱状体を床板部材227に対して離脱自在に構成して、この箱状体をモータ231により上方に移動させても良い。このように、本第3実施の形態においては、塗布室211内に電気配線および電気機器を設置する必要がなく、X方向、Y方向およびZ方向の駆動用モータのみならずX方向、Y方向およびZ方向の動力伝達機構をも塗布室の外側に設置し、塗布室内には被駆動の塗布器組立体および被塗物載置用テーブルのみを設置すればよいため、優れた密閉構造が得られる。また、テーブル下面は塗布室内に露出されないため、第1実施形態における如く熱媒循環により加熱する必要が無く、図示しないカートリッジ等の電気ヒーターを温度センサーとともにテーブル内に組み込み、テーブルを任意の温度に温度制御し加熱しても良い。従来の塗布装置では、強制排気により開口部から自然吸気するため、塗布装置がクリーンルームでない雰囲気に設置されると、ゴミなどの異物が吸入され被塗物に付着する可能性が極めて高くなり、その結果塗布物の品質低下を起こす可能性が極めて高くなる。また、開口部からの吸気の流れは被塗物付近で乱流を起こし、塗布器がスプレイの場合は致命的欠点となる。この点、本実施形態にかかる塗布装置は、優れた密閉構造を得られるため、このような問題を解決することができる。加えて、本第3実施の形態においては、吐出ノズル先端開口部のみが、塗布室内に露出し、塗布器組立体は塗布室の外に設置されるため、塗布器組立体の構成要素の弁として電磁ガンを採用することが出来る。したがって、本第3実施形態によれば、高速電磁弁と特殊コントローラーとの併用で、例えば50~1000Hzといった高速塗布を行うことが出来る。"