a誘電材料のプラテン体と、bプラテン体の体積当り約25~約150の量で誘電材料の中に拡散した導電性材料の粒子とを含む静電ウェハクランプ装置のためのプラテン。誘電材料がAl2O3を含む請求項1に記載のプラテン。導電性材料の粒子が、炭素化遷移金属、窒素化遷移金属および炭素化粒子からなる群から選択される請求項1に記載のプラテン。誘電材料がAl2O3を含み、導電性材料の粒子がTiCを含む請求項1に記載のプラテン。TiCがプラテン体の体積当り約50の量で存在する請求項1に記載のプラテン。a所定の厚みをもつ誘電材料のプラテン体と、b誘電材料の中に拡散した導電性材料の粒子とを含む静電ウェハクランプ装置のためのプラテンであって、cプラテンが導電性粒子の拡散により比較的大きな静電容量をもち、その結果としてプラテンが周囲湿度にかかわらず増加したクランプ力を与えることを含むプラテン。減少した大きさの印加電圧で同量のクランプ力を与えるのに十分な量だけプラテン体の厚みを減少させた請求項6に記載のプラテン。プラテン上の残留電圧を除去するのに十分な量だけプラテン体の厚みを減少させた請求項6に記載のプラテン。ウェハの解除の速度を増加させるのに十分な量だけプラテン体の厚みを減少させた請求項6に記載のプラテン。Al2O3誘電材料のプラテン体であってその中に拡散した導電性TiCの粒子を含む静電ウェハクランプ装置のためのプラテン。TiCの粒子がプラテン体の体積当り約5の量で存在する請求項10に記載のプラテン。プラテン体が約03mmの厚みをもつ請求項10に記載のプラテン。プラテン体が約01mmの厚みをもつ請求項10に記載のプラテン。a誘電セラミック材料と導電性セラミック材料とを溶媒中で混合し、b生成混合物を乾燥し、c生成混合物をプラテンの形状に成形し、およびd成形品を焼結することを含む静電ウェハクランプ装置のためのプラテンを製造する方法。誘電セラミック材料がアルミナセラミック粉末を含み、導電性セラミック材料が炭化チタンセラミック粉末を含む請求項14に記載の方法。溶媒がエタノールである請求項15に記載の方法。焼結を約1600°Cの温度で行う請求項15に記載の方法。焼結後の生成品を研削および研磨することをさらに含む請求項15に記載の方法。