液体材料を吐出するためのノズルを備える液体吐出機構と、前記ノズルの先端に対向配置された吐出対象物を拡大観察するための対物光学系と、当該対物光学系から得られる光学像を表示するための表示手段と、前記対物光学系の焦点位置を調整するための焦点位置調整機構と、前記対物光学系に対して、少なくとも前記対物光学系の光軸方向に前記ノズルを相対移動させるためのノズル位置調整機構と、前記液体吐出機構、前記焦点位置調整機構、および前記ノズル位置調整機構を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記対物光学系の焦点位置を前記ノズルの先端あるいはその鏡像に合わせる第1の焦点合わせ動作、および、前記対物光学系の焦点位置を前記吐出対象物の表面に合わせる第2の焦点合わせ動作を行い、前記第1および第2の各焦点合わせ動作の実施結果に基づき、前記ノズルの先端と前記吐出対象物の表面との距離を算出することを特徴とする観察用光学系付き液体吐出装置。請求項1において、前記吐出ノズルの先端に対向配置されたミラーに映った前記ノズルの先端の鏡像に前記対物光学系の焦点位置を合わせる前記第1の焦点合わせ動作、および、前記第2の焦点合わせ動作を行うと共に、前記ミラーの表面に形成された所定のパターンに前記対物光学系の焦点位置を合わせる第3の焦点合わせ動作を行い、前記第1、第2、第3の各焦点合わせ動作の実施結果に基づき、前記ノズルの先端と前記吐出対象物の表面との距離を算出することを特徴とする観察用光学系付き液体吐出装置。請求項1または2において、前記ノズルおよび前記対物光学系が同軸状に配置されていることを特徴とする観察用光学系付き液体吐出装置。請求項1または2において、前記ノズル位置調整機構は、前記対物光学系の光軸と直交する平面上の任意の方向に、前記ノズルを移動可能に構成されていることを特徴とする観察用光学系付き液体吐出装置。請求項1ないし4のいずれかの項において、前記液体吐出機構は、前記ノズルの先端開口内の液体にパルス電圧を印加するための電圧印加手段と、前記吐出対象物の背面側に配置した対向電極とを備え、前記電圧印加手段により、前記ノズルの先端開口内の液体を帯電させて前記対向電極に向かう静電吸引力を発生させ、当該静電吸引力により、前記ノズルの先端開口から液体を吐出させることを特徴とする観察用光学系付き液体吐出装置。請求項1ないし5のいずれかの項において、前記吐出対象物に対して、照明光、測定光、プロセス光の少なくともいずれかを照射するための照射手段を有し、当該照射手段は、前記対物光学系の光路を利用して照射を行うことを特徴とする観察用光学系付き液体吐出装置。特許文献1の構成では、対物光学系と吐出ノズルが一体になっており、これらをステージに対して上下動させるための機構は設けられていない。従って、吐出ノズルの交換や、基板の厚さ変更などがあった場合には、ノズル先端と基板表面との距離ギャップが変化してしまう。吐出ノズルからの液体材料の吐出精度はギャップの影響を受けるため、ギャップが変動することによって吐出精度が低下するおそれがある。特に、微少量の液体を吐出する吐出機構ではギャップの適正値は数十μm程度とされるため、わずかなギャップ変動でも吐出精度が低下してしまうおそれがある。また、基板表面の位置が変わると、基板表面のパターンに焦点が合わなくなって鮮明な観察像を得られなくなり、作業性が低下するおそれがある。また、特許文献1の構成では、基板を載せたステージの水平移動によって補修箇所の真上に吐出ノズルを位置決めすることはできるものの、対物光学系と吐出ノズルが一体になっているため、吐出ノズルだけを視野内で自由に動かすことができない。従って、複数個所の補修を行ったり、連続した欠陥箇所をノズルを動かしながら補修を行う場合の作業性が良好とはいえない。特許文献1の構成において吐出ノズルを対物光学系に対して水平方向に相対移動可能にするためには、対物光学系の欠損箇所を大きくしなければならないため、観察像が暗くなってしまう。本発明の課題は、この点に鑑みて、液体吐出ノズルおよびその吐出状況を拡大観察するための観察用光学系を備える液体吐出装置において、液体吐出ノズルの先端と吐出対象物との距離ギャップを正確に検出して調整することが可能な構成を提案することにある。また、本発明の他の課題は、上記の液体吐出装置において、観察用光学系による観察視野内の任意の位置にノズルを自由に動かして液体材料を吐出することが可能な構成を提案することにある。上記の課題を解決するために、本発明の観察用光学系付き液体吐出装置は、液体材料を吐出するためのノズルを備える液体吐出機構と、前記ノズルの先端に対向配置された吐出対象物を拡大観察するための対物光学系と、当該対物光学系から得られる光学像を表示するための表示手段と、前記対物光学系の焦点位置を調整するための焦点位置調整機構と、前記対物光学系に対して、少なくとも前記対物光学系の光軸方向に前記ノズルを相対移動させるためのノズル位置調整機構と、前記液体吐出機構、前記焦点位置調整機構、および前記ノズル位置調整機構を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記対物光学系の焦点位置を前記ノズルの先端あるいはその鏡像に合わせる第1の焦点合わせ動作、および、前記対物光学系の焦点位置を前記吐出対象物の表面に合わせる第2の焦点合わせ動作を行い、前記第1および第2の各焦点合わせ動作の実施結果に基づき、前記ノズルの先端と前記吐出対象物の表面との距離を算出することを特徴としている。本発明は、このように、対物光学系の焦点位置を調整できるため、吐出対象物に焦点が合った鮮明な観察像を得ることができる。また、対物光学系の光軸方向にノズルを移動させることができるため、吐出対象物の表面とノズルの先端との距離ギャップを調整でき、ギャップが変化した場合にはノズルの位置調整によって最適なギャップの状態にしてから吐出を行うことができる。特に、本発明では、対物光学系の焦点位置調整機構を利用して、吐出対象物の表面およびノズルの先端のそれぞれに対する焦点合わせを行い、その実施結果各焦点合わせ動作の完了時の焦点位置あるいはこれに対応する対物光学系の各部の位置、もしくは、これらの位置に換算可能な焦点位置調整機構の駆動量などに基づき、吐出対象物の表面とノズルの先端との距離を算出する。このようにすると、吐出対象物の表面とノズルの先端との距離を正確に算出できるため、最適なギャップを正確に実現できる。従って、焦点の合った観察像を見ながら精度良く吐出作業を行うことができる。この場合に、前記吐出ノズルの先端に対向配置されたミラーに映った前記ノズルの先端の鏡像に前記対物光学系の焦点位置を合わせる前記第1の焦点合わせ動作、および、前記第2の焦点合わせ動作を行うと共に、前記ミラーの表面に形成された所定のパターンに前記対物光学系の焦点位置を合わせる第3の焦点合わせ動作を行い、前記第1、第2、第3の各焦点合わせ動作の実施結果に基づき、前記ノズルの先端と前記吐出対象物の表面との距離を算出することもできる。ノズルの先端位置をミラーに映った鏡像に基づいて把握しようとする場合には、ミラー表面の位置吐出対象物の表面に対する相対位置を予め把握しておくか、あるいは、何らかの方法でこの位置を算出する必要がある。本発明では、上記のような第3の焦点合わせ動作ミラーの表面に形成したパターンに対する焦点合わせを行っているため、その実施結果と第1の焦点合わせ動作の実施結果を用いることにより、ノズルの先端からミラーの表面までの距離を算出できる。従って、ミラー表面の位置が不明であっても、吐出対象物の表面とノズルの先端との距離を算出できる。ここで、前記ノズルおよび前記対物光学系を同軸状に配置した場合には、ノズルを中心とした観察像を得ることができ、吐出状況を観察しやすくなる。あるいは、前記ノズル位置調整機構は、前記対物光学系の光軸と直交する平面上の任意の方向に、前記ノズルを移動可能に構成されていることが望ましい。このようにすると、観察視野範囲を固定にしたままで、吐出ノズルだけを視野内で自由に動かすことができる。このため、複数個所に吐出を行ったり、ノズルを動かしながら連続して吐出を行う場合などの作業性を高めることができる。また、視野内から吐出ノズルを退避させることも可能になるため、吐出箇所基板上の配線パターンの欠陥箇所などの観察や焦点合わせが容易になる。更に、ノズルの水平位置を連続的に、あるいは、微小ピッチで調整できるように構成した場合には、吐出対象物の水平位置を微調整する必要がない。従って、吐出対象物を載せるステージワーク台に高精度な位置調整機構を設ける必要がなく、低コストなステージを用いることができる。よって、高精度な吐出作業を行うための装置コストを削減できる。本発明において、前記液体吐出機構は、前記ノズルの先端開口内の液体にパルス電圧を印加するための電圧印加手段と、前記吐出対象物の背面側に配置した対向電極とを備え、前記電圧印加手段により、前記ノズルの先端開口内の液体を帯電させて前記対向電極に向かう静電吸引力を発生させ、当該静電吸引力により、前記ノズルの先端開口から液体を吐出させる構成であることが望ましい。このように、液体吐出機構として静電吐出機構を用いた場合には、通常のインクジェット式の吐出機構と比べて吐出ノズル部分を小型化できるため、対物レンズと吐出対象物との間のスペースが狭い場合においても、このスペースに吐出ノズル部分を収めることが可能となる。また、本発明において、前記吐出対象物に対して、照明光、測定光、プロセス光の少なくともいずれかを照射するための照射手段を有し、当該照射手段は、前記対物光学系の光路を利用して照射を行うことができる。このようにすると、吐出箇所に対物光学系から照明光、測定光、プロセス光を必要に応じて照射でき、これらをミックスして照射することもできるため、吐出状況を十分な明るさで観察でき、作業性が向上する。また、液体材料を乾燥あるいは硬化させる処理や、オートフォーカス光による焦点合わせを行うこともできる。本発明によれば、対物光学系の焦点位置を調整できるため、吐出対象物に焦点が合った鮮明な観察像を得ることができる。また、対物光学系の光軸方向にノズルを移動させることができるため、吐出対象物の表面とノズルの先端との距離ギャップを調整でき、ギャップが変化した場合にはノズルの位置調整によって最適なギャップの状態にしてから吐出を行うことができる。特に、対物光学系の焦点位置調整機構を利用して、吐出対象物の表面とノズルの先端との距離を正確に算出できるため、最適なギャップを正確に実現できる。従って、焦点の合った観察像を見ながら精度良く吐出作業を行うことができる。以下に、図面を参照して、本発明を適用した液体吐出装置の実施形態を説明する。全体構成図1は本発明を適用した液体吐出装置の主要部分の概略構成図である。液体吐出装置1は、カラーフィルタ基板や半導体基板などの基板2吐出対象物の表面に形成した配線パターン等の欠陥を補修するために用いられるものであり、液体状の配線材料液体材料を吐出するためのノズルユニット10液体吐出機構と、ノズルユニット10の背面側ノズルの吐出方向に対して逆の側に配置された観察用光学ユニット20と、ノズルユニット10および観察用光学ユニット20を支持する支持機構30を備えている。液体吐出装置1による基板2の欠陥補修作業を行う際には、基板2を載せる水平なワーク台3を準備し、このワーク台3に対して支持機構30を動かないように設置し、ワーク台3上の基板2にノズルユニット10の液体吐出ノズル11を対峙させ、その上方に観察用光学ユニット20が配置された状態とする。なお、ワーク台3における載置面3aの部分を水平方向に移動可能な移動ステージとして、この移動ステージを駆動制御することにより、基板2の水平方向の位置決めを行うこともできる。この場合には、移動ステージを移動可能に支持している支持台の部分ワーク台3の固定部分に液体吐出装置1の支持機構30を設置する。ノズルユニット10は、微小な径の液体吐出ノズル11と、液体吐出ノズル11に液体材料を供給するための液体材料供給路12を備えている。液体吐出ノズル11は、その中心軸線Aをワーク台3の載置面3aに対して垂直にして、先端開口11aを下向きにした姿勢で配置されている。液体吐出ノズル11の後端から横向きに延びる液体材料供給路12は、不図示の液体材料供給源に連通している。また、ノズルユニット10は、液体吐出ノズル11に高電圧のパルス電圧を印加するためのノズル側電極13および高圧アンプ14電圧印加手段:図2参照と、液体吐出ノズル11の先端開口11aに対向配置された接地電極15対向電極を備えている。接地電極15はワーク台3における先端開口11aと対峙する部分に配置されている。観察用光学ユニット20は、対物光学系21、結像光学系22、CCDカメラユニット23表示手段を備えており、これらを下から上に垂直に重ねて配置した構成となっている。対物光学系21は円筒状のレンズ筒の内部に対物レンズを保持させたユニットであり、結像光学系22は円筒状の鏡筒の内部に結像用のレンズを保持させたユニットである。対物光学系21および結像光学系22は、その光軸Bが液体吐出ノズル11の中心軸線Aと一致するように配置されているため、対物光学系21による視野範囲の中央に液体吐出ノズル11が位置している。ワーク台3および液体吐出ノズル11の側から対物レンズに入射した光は、対物光学系21内の光路を通って結像光学系22に入射した後、結像レンズによって光学像が結像する。この光学像がCCDカメラユニット23の撮像素子列に入力されると、撮像素子列からのアナログ信号がCCDカメラユニット23のA/D変換回路によってデジタル信号に変換される。これにより、対物光学系21からの光学像が画像データとなり、CCDカメラユニット23の表示画面上に表示される。支持機構30は、ワーク台3に設置されるメインフレーム31を備えており、観察用光学ユニット20の結像光学系22およびCCDカメラユニット23は、このメインフレーム31に固定されている。また、支持機構30は、対物光学系21をその光軸Bの方向に上下動させて対物光学系21の焦点合わせを行うための焦点位置調整機構32と、液体吐出ノズル11をその中心軸線Aの方向光軸Bと一致する方向に上下動させて液体吐出ノズルの位置調整を行うためのノズル位置調整機構35を備えている。焦点位置調整機構32は、例えば、光軸Bと平行に延びておりメインフレーム31に支持されるガイド軸33と、このガイド軸33にスライド可能に取り付けられ、且つ、対物光学系21を保持しているサブフレーム34と、サブフレーム34をガイド軸33に沿って移動させるための駆動機構および駆動モータ図示省略などから構成することができる。このような焦点位置調整機構32により、ワーク台3に対して対物光学系21を上下動させ、対物光学系21の焦点合わせを行うことが可能となっている。なお、対物光学系21および結像光学系22の接続部は、焦点位置調整機構32による対物光学系21の上下動を許容する構成となっている。また、対物光学系21内の光路を通った光は平行光線となって結像光学系22に入射するため、対物光学系21の上下動によって対物光学系21から得られる光学像が影響をうけない構成となっている。ノズル位置調整機構35は、液体吐出ノズル11の中心軸線Aと平行に延びておりメインフレーム31に支持されるガイド軸36と、このガイド軸36にスライド可能に取り付けられ、且つ、液体吐出ノズル11を保持しているノズルフレーム37と、ノズルフレーム37をガイド軸36に沿って移動させるための駆動機構および駆動モータ図示省略などから構成される上下位置調整機構である。この機構により、液体吐出ノズル11を対物光学系21とは独立に上下動させ、液体吐出ノズル11の先端開口11aと基板2との距離Dギャップを調整することが可能となっている。制御系図2は液体吐出装置1の制御系を示すブロック図である。液体吐出装置1の各部を統括制御する制御部40は、上位装置等からの命令に基づき、焦点位置調整機構32およびノズル位置調整機構35の各駆動モータを駆動するための制御信号を出力すると共に、ノズルユニット10の高圧アンプ14に対して、パルス電圧を発生させるための制御信号を出力する。これにより、制御部40は、対物光学系21および液体吐出ノズル11の各位置を独立に調整し、対物光学系21の焦点合わせおよび液体吐出ノズル11の位置決めギャップ調整を行う。また、制御部40は、パルス電圧によって液体吐出ノズル11内の液体材料を帯電させて接地電極15に向かう静電吸引力を発生させ、先端開口11aから基板2に向けて液体材料を吐出させる。また、制御部40は、対物光学系21の焦点合わせを行うにあたって、対物光学系21から得られる観測対象物の光学像、すなわち、CCDカメラユニット23で撮影した画像データを取り込み、この画像データに基づいて焦点位置調整機構32を制御して、対物光学系21の自動焦点合わせを行う。例えば、制御部40は、画像データの各部のコントラストの高低を判断する。そして、目的の部位例えば、基板2の表面の配線パターンのコントラストが最も高くなるまで、言い換えれば、目的の部位に焦点が合うまで対物光学系21をその光軸Bの方向に移動させることにより、目的の部位に焦点を合わせることができる。あるいは、CCDカメラユニット23にオートフォーカス光を照射するための機構を設けておき、結像光学系22および対物光学系21内の光路を利用して基板2などの観測対象物にオートフォーカス光を照射し、自動焦点合わせを行うこともできる。液体吐出ノズルの先端と基板とのギャップ測定液体吐出装置1の制御部40は、基板2への液体材料吐出動作を行うにあたって、基板2の表面と液体吐出ノズル11の先端開口11aとの間の距離Dギャップ:図3ab参照を測定する。このギャップ測定を行うにあたって、まず、上述したように、ワーク台3上に液体吐出装置1を設置して、ワーク台3上の基板2とノズルユニット10の液体吐出ノズル11とを対峙させ、液体吐出ノズル11および対物光学系21を、その光軸Bおよび中心軸線Aの方向における初期位置に位置決めする。初期位置は、予め設定しておいてもよいし、前回の吐出作業時の位置としてもよい。図3はギャップ測定方法の説明図であり、図3aは第1の焦点合わせ動作の説明図、図3bは第2の焦点合わせ動作の説明図である。本実施形態のギャップ測定方法は、液体吐出ノズル11を動かすことなく、この液体吐出ノズル11の先端の鏡像に対物光学系21の焦点を合わせる第1の焦点合わせ動作と、基板2の表面に焦点を合わせる第2の焦点合わせ動作を行い、対物光学系21の初期位置および焦点位置調整機構32の調整量に基づいて各焦点合わせ動作が完了したときの各焦点位置を把握し、これに基づいて距離Dを算出するものである。図3aに示すように、本実施形態では液体吐出ノズル11と対物光学系21を同軸状に配置しているため、液体吐出ノズル11の先端を基板2の上に置いた薄型のミラー4に映し、ミラー4に映ったノズル先端の鏡像に対する焦点合わせ動作第1の焦点合わせ動作を行う。この場合には、焦点合わせが完了したときの対物光学系21の焦点位置F1は、実際の液体吐出ノズル11の先端位置F0に対し、ミラー4を基準として対称な位置関係となっている。一方、図3bに示すように、基板2の表面は対物光学系21によって直接観察可能であるため、ミラー4を用いることなく、基板2の表面に対する焦点合わせ動作第2の焦点合わせ動作を行う。従って、焦点合わせ動作が完了したときの対物光学系21の焦点位置F2は、基板2の表面となっている。制御部40は、これらの2回の焦点合わせ動作を行い、対物光学系21の初期位置、および各焦点合わせ動作における焦点位置調整機構32の駆動量に基づいて焦点位置F1、F2の座標対物光学系21の光軸Bの方向の座標を算出する。そして、得られた焦点位置F1、F2と、予め測定しておいたミラー4の厚さdに基づき、基板2の表面と液体吐出ノズル11の先端開口11aとの間の距離Dギャップを以下の式1によって算出する。なお、各焦点合わせ動作の実施結果をその都度焦点位置F1、F2の座標値に変換することなく、対物光学系21の各部対物レンズなどの初期位置および焦点合わせ動作によるその移動量などに基づき、距離Dを算出してもよい。D=F1-F22d1なお、図3aの例では基板2の上にミラー4を重ねて焦点位置F1を測定していたが、基板2と同一厚さのミラー4を用意しておき、基板2をミラー4と交換して焦点位置F1を求めることもできる。この場合には、以下の式2によって距離Dを算出できる。D=F1-F22制御部40は、算出した距離Dに基づき、液体吐出ノズル11の位置調整の要否、言い換えれば、先端開口11aと基板2の表面とのギャップ調整の要否を判定することができる。例えば、予め設定した基準ギャップ寸法と距離Dとの比較判定を行う。そして、基準ギャップ寸法と距離Dが一致しない場合には、ノズル位置調整機構35を駆動制御して、距離Dを基準ギャップ寸法に一致させる。そして、ギャップ調整が完了した後に、必要に応じて基板2の表面に対する対物光学系21の焦点合わせを行い、対物光学系21からの光学像をCCDカメラユニット23の表示画面に表示する。以上のように、本実施形態では、液体吐出装置1を用いて基板2の配線パターンの欠陥箇所の補修作業を行うにあたって、補修作業の開始前に、液体吐出ノズル11の先端と基板2との距離Dギャップを精度良く測定することができる。そして、測定結果に基づいてギャップ調整を行うことができ、最適なギャップ寸法の状態を正確に実現できる。これにより、精度良く液体材料を吐出することができ、高精度な補修作業を行うことができる。このような構成では、液体吐出ノズル11の交換や、基板2の厚さ変更などに起因する距離Dの変動をその都度精度良く測定してギャップ調整を行うことができるため、様々な種類の基板2の補修作業にその場で対応できる。また、ノズル交換後の調整作業も容易である。また、本実施形態では、対物光学系21の焦点位置調整機構32を備えており、これを利用してギャップ測定を行うことができるため、専用のギャップ測定機構などを設ける必要がない。また、焦点位置調整機構32により、基板2の表面に確実に焦点合わせを行うことができるため、焦点の合った鮮明な観察像によって吐出状況を観察でき、吐出後の液体材料の濡れ広がり状況なども鮮明な画像で確認できる。よって、高精度な補修作業を行うことができる。更に、本実施形態では、ノズルユニット10を静電式の液体吐出機構としている。このため、対物光学系21の視野範囲内に設置される機構を液体吐出ノズル11およびノズル側電極13等の小型の部品のみとすることができる。これにより、インクジェット式の液体吐出機構では困難とされていた対物光学系21と基板2との間の狭いスペースに液体吐出機構を収めることが可能になると共に、対物光学系21の視野範囲内における液体吐出機構による遮蔽領域を小さくすることができる。改変例1上記実施形態では、対物光学系21と同軸状に液体吐出ノズル11を配置して、液体吐出ノズル11をその中心軸線Aの方向光軸Bの方向と同一方向にのみ移動可能に構成していたが、ノズル位置調整機構35として、液体吐出ノズル11を中心軸線Aの方向に上下動可能にし、且つ、中心軸線Aの方向と直交する平面内の任意の方向に移動可能にして、液体吐出ノズルの水平方向への位置調整を可能にしたものを用いることもできる。この場合には、例えば、上記の実施形態においてガイド軸36にスライド可能に取り付けられたノズルフレーム37に、液体吐出ノズル11をその中心軸線Aと直交する平面内の任意の方向に移動させるためのX軸方向移動機構およびY軸方向移動機構を設けた構成とすることができる。このようにすると、液体吐出ノズル11を、その中心軸線Aと直交する平面内で位置調整することが可能になるため、基板2を動かすことなく、基板2上の任意の位置の真上に液体吐出ノズル11を位置決めできる。従って、観察範囲を固定にしたままで複数の欠陥箇所に液体材料を吐出できる。また、液体吐出ノズル11を動かしながら連続的に吐出を行うことも可能になるため、欠陥箇所が複数あるいは連続して形成されている場合の作業性を高めることができる。加えて、液体吐出ノズル11を光軸B上から退避させることができるため、視野範囲の中心部分を観察することが可能になる。この場合、X軸方向移動機構およびY軸方向移動機構水平位置調整機構として、連続的に、あるいは、微小ピッチで位置調整を行うことが可能な構成のものを用いることが望ましい。上述したように、ワーク台3における載置面3aの部分を水平方向に移動可能な移動ステージとして、この移動ステージを駆動制御することによって基板2と液体吐出ノズル11を水平方向に相対移動させて位置決めを行うこともできるが、上記のようにノズル位置調整機構35側に液体吐出ノズル11の水平位置を微調整できる機構を設けた場合には、移動ステージ側で基板2の水平位置の微調整を行う必要がなくなる。従って、ワーク台3の側に設けられた移動ステージの調整ピッチが大きい、あるいは、調整精度が低い場合においても、高精度な補修を行うことができる。よって、低コストなワーク台3を補修に使用でき、高精度な補修を行うための装置コストを削減できる。2上記実施形態では、対物光学系21を保持しているサブフレーム34、および、液体吐出ノズル11を保持しているノズルフレーム37のそれぞれをメインフレーム31に対して上下動可能に取り付けて独立に動くように構成していたが、液体吐出ノズル11を対物光学系21と共にサブフレーム34に搭載し、同軸光学系付きノズルユニットとして一体化した構成にすることもできる。図4は改変例の同軸光学系付きノズルユニットの説明図である。図4aに示すように、対物光学系21をサブフレーム34に固定する一方、液体吐出ノズル11をガイド軸36およびノズルフレーム37を備えるノズル位置調整機構35によってサブフレーム34に対して相対移動可能に取り付けることにより、対物光学系21に対して液体吐出ノズル11を相対移動させることができる。この場合には、焦点位置調整機構32とノズル位置調整機構35を同期させて逆方向に駆動することにより、対物光学系21のみを動かすことが可能である。また、図4bに示すように、対物光学系21を液体吐出ノズル11と共にノズルフレーム37に搭載し、対物光学系21をガイド軸33およびサブフレーム34を備える焦点位置調整機構32により、ノズルフレーム37に対して相対移動可能に取り付ける構成とすることもできる。この場合には、対物光学系21のみを動かすときは焦点位置調整機構32のみを駆動し、液体吐出ノズル11のみを動かすときは、焦点位置調整機構32とノズル位置調整機構35を同期させて逆方向に駆動すればよい。3上記実施形態における観察用光学ユニット20において、対物光学系21からCCDカメラユニット23に向かう光路を、対物光学系21による観察対象物基板2などに向けて照明光を照射するための光路として用いることができる。例えば、CCDカメラユニット23に光源および光源からの光を光路内に入射させるための部材を搭載しておき、撮影時に照明光を照射させることができる。あるいは、この光路の途中位置にハーフミラーなどを設けて、他の光源からの照明光を合流させることができる。また、この光路を用いてプロセス光を照射することもできる。例えば、液体材料を乾燥させるための赤外光を基板2に照射したり、UV硬化性の液体材料を硬化させるためのUV光を照射することができる。また、上述したオートフォーカス光を含め、各種の測定光を基板2に向かって照射することができる。4上記実施形態において、CCDカメラユニット23で撮影した画像を自動解析するプログラムを制御部40に記憶させておき、解析結果に基づいてノズルユニット10、焦点位置調整機構32、ノズル位置調整機構35などを制御することができる。例えば、吐出した液体材料の濡れ広がり状況を画像解析によって判定し、液体材料の吐出量が不足している場合には追加で吐出を行うことができる。また、上記のプロセス光による液体材料の硬化状況や乾燥状況を画像解析によって判定し、判定結果に基づいてプロセス光の照射強度や照射時間を自動制御することができる。5上記実施形態では、ミラー4に映った液体吐出ノズル11の鏡像に対して焦点合わせを行っているが、ノズル先端が、その一部分でも対物光学系21によって観察可能な形状となっている場合には、ミラー4を用いることなく、ノズル先端に対して直接焦点合わせを行うことが可能である。また、液体吐出ノズル11の中心軸線Aを光軸Bに対して傾けるように配置した場合には、ノズル先端を容易に観察可能となるため、この場合にもミラー4を用いずに直接焦点合わせを行うことができる。6上記実施形態では、ミラー4に映った鏡像への焦点合わせの結果に基づいてノズル先端と基板2の表面との距離を算出するために、予め、ミラー4の厚さdを把握しておくか、もしくは、基板2と同一厚さのミラー4を準備する必要があったが、以下の方法を用いれば、ミラー4の厚さや基板2の厚さが不明であっても、ノズル先端と基板2の表面との距離Dギャップを正確に算出することができる。図5は、改変例のギャップ測定方法の説明図である。この方法では、表面に所定のパターンCが形成されたパターン付きミラー4Aを用いる。例えば、板材の表面に鏡面となる蒸着膜を形成し、パターンCの部分だけ蒸着膜を剥がしたものを用いる。図5aは第3の焦点合わせ動作の説明図、図5bは第1の焦点合わせ動作の説明図、図5cは第2の焦点合わせ動作の説明図、図5dはパターン付きミラーの平面図である。図5bcに示す第1、第2の焦点合わせ動作は上記実施形態の図3abと同様に行えばよいため、説明は省略する。図5aに示す第3の焦点合わせ動作では、パターン付きミラー4Aの表面に見えるパターンCに対する焦点合わせを行う。制御部40は、これらの3回の焦点合わせ動作を行い、対物光学系21の初期位置、および各焦点合わせ動作における焦点位置調整機構32の駆動量に基づいて焦点位置F3、F1、F2の座標対物光学系21の光軸Bの方向の座標を算出する。そして、第3および第1の焦点合わせ動作によって得られた焦点位置F3およびF1に基づき、パターン付きミラー4Aの表面と液体吐出ノズル11の先端開口11aとの距離D ́ギャップを以下の式3によって算出する。D ́=F1-F33続いて、制御部40は、得られた距離D ́と、第2の焦点合わせ動作によって得られた焦点位置F2に基づき、基板2の表面と液体吐出ノズル11の先端開口11aとの間の距離Dギャップを以下の式45によって算出する。式5は、式4のD ́に式3の右項を代入することによって得られたものである。D=D ́F2-F34D=F1F2-2F35なお、図5abに示した例では、ワーク台3に載せた基板2の上にパターン付きミラー4Aを重ねて置き、この状態で焦点位置F1、F3を求めるための焦点合わせを行うようにしているが、基板2を置かずにワーク台3の上に直接パターン付きミラー4Aを置いて第1、第3の焦点合わせを行い、その後にパターン付きミラー4Aを基板2に交換して第2の焦点合わせを行うようにしても良い。他の実施形態上記実施形態は、基板表面の配線パターン等の補修作業に用いる液体材料を吐出するための液体吐出装置1に本発明を適用したものであったが、他の用途で用いる装置に本発明を適用可能であることは勿論である。