オーステナイト系ステンレス鋼板から切り取ったブランクを、プレス金型での段階的な冷間曲げ加工により、目的とする曲率の翼断面形状に成形した腹板と、同じオーステナイト系ステンレス鋼板から切り取ったブランクを、やはりプレス金型での段階的な冷間曲げ加工により、上記腹板よりも大きな曲率の翼断面形状に成形すると共に、その前縁部に腹板との溶接用開先部を加工した背板と、上記腹板並びに背板よりも薄肉な同じオーステナイト系ステンレス鋼板から切り取ったブランクを、プレス金型での段階的な冷間曲げ加工により、中間部の凹曲面と切り離し両端部の凸曲面とから連続する断面ほぼ倒立W字形に成形すると共に、その凹曲面の中間部に上記腹板との溶接用プラグ穴を、長手方向への点在分布状態に切り抜き加工した板バネとを用意して、先ず、上記板バネをその中間部に点在分布する複数のプラグ穴において、上記腹板の対応的な中間部へプラグ溶接し、その後板バネが付属している腹板へ上記背板を、その背板によって板バネの両凸曲面が押し付け弾圧される付勢状態に被覆させた上、その背板と腹板との重なり合う後縁部同士を背板の存在方向からレーザービーム溶接する一方、同じく背板と腹板との鋭角に交叉する前縁部同士を、上記背板の開先部においてTIG溶接又は半自動溶接することにより、上記腹板と背板とから造形される断面弓形の空洞内を、上記板バネの介在によって前縁側水路と中間水路並びに後縁側水路との合計3個に仕切り細分し、その後、上記腹板と背板との表面並びに長手方向の両端部を滑らかに機械加工して、最後に上記空洞の中間水路に連通する第1水流入スリットの複数を背板へ、同じく空洞の前縁側水路又は/及び後縁側水路に連通する第2水流入スリットの複数を腹板へ、各々切り抜き加工することを特徴とする蒸気タービン用静翼の製造法。背板の長手方向に沿って点在分布する第1水流入スリットの複数につき、そのうちの翼根元側へ片寄った位置にある半分の個数と、翼先端側へ片寄った位置にある残り半分の個数とを、各々ほぼ平行に揃う配列状態として、放電加工機により各々一挙同時に2回切り抜き加工する一方、腹板の長手方向に沿って点在分布する第2水流入スリットの複数につき、そのうちの翼根元側へ片寄った位置にある半分の個数と、翼先端側へ片寄った位置にある残り半分の個数とを、各々ほぼ平行に揃う配列状態として、放電加工機により各々一挙同時に2回切り抜き加工することを特徴とする請求項1記載の蒸気タービン用静翼の製造法。ところが、翼形状が翼根リングからシュラウドにかけて三次元に捻れた複雑な中空AVN翼を対象として、その空洞の内部へ特許文献4に記載のような板バネを介挿設置することにより、その静翼の自励振動フラッタを抑制しようとする場合、特許文献1~3に記載の製造法を採用することは不可能である。必らず背板と腹板との2ピースから、プレス曲げ加工とその後の溶接を経て製造しなければならない。この点、特許文献1の図13~23に説示された従来技術の製造法では、背板と腹板を何れも熱間プレス曲げ加工しているため、その熱による歪み変形が特に上記三次元形状のAVN翼の場合、複雑になるばかりでなく、変形量も大きくなり、その修正困難である結果、安定高精度な翼プロフィルを得られない。又、特許文献2の製造法では特許文献1のそれを改良したことになっているが、これでも未だ熱間プレス成形を行っているため、その成形直後水槽に導入した冷却水と上方からの散水により、プレス機の下型を冷却して、上記熱による翼プロフィル精度の低下を防がなければならず、その下型を囲む水槽や散水の特殊設備、成形後のスケール除去作業などを要する問題がある。更に言えば、特許文献4の図20には蒸気タービン用静翼の実施例12が記載されているが、その最適な金属材料や製造法の詳細な説明はなされていない。本発明はこのような課題の改良を目的としており、あくまでも蒸気タービン用静翼の製造法として、その目的を達成するために、請求項1ではオーステナイト系ステンレス鋼板から切り取ったブランクを、プレス金型での段階的な冷間曲げ加工により、目的とする曲率の翼断面形状に成形した腹板と、同じオーステナイト系ステンレス鋼板から切り取ったブランクを、やはりプレス金型での段階的な冷間曲げ加工により、上記腹板よりも大きな曲率の翼断面形状に成形すると共に、その前縁部に腹板との溶接用開先部を加工した背板と、上記腹板並びに背板よりも薄肉な同じオーステナイト系ステンレス鋼板から切り取ったブランクを、プレス金型での段階的な冷間曲げ加工により、中間部の凹曲面と切り離し両端部の凸曲面とから連続する断面ほぼ倒立W字形に成形すると共に、その凹曲面の中間部に上記腹板との溶接用プラグ穴を、長手方向への点在分布状態に切り抜き加工した板バネとを用意して、先ず、上記板バネをその中間部に点在分布する複数のプラグ穴において、上記腹板の対応的な中間部へプラグ溶接し、その後板バネが付属している腹板へ上記背板を、その背板によって板バネの両凸曲面が押し付け弾圧される付勢状態に被覆させた上、その背板と腹板との重なり合う後縁部同士を背板の存在方向からレーザービーム溶接する一方、同じく背板と腹板との鋭角に交叉する前縁部同士を、上記背板の開先部においてTIG溶接又は半自動溶接することにより、上記腹板と背板とから造形される断面弓形の空洞内を、上記板バネの介在によって前縁側水路と中間水路並びに後縁側水路との合計3個に仕切り細分し、その後、上記腹板と背板との表面並びに長手方向の両端部を滑らかに機械加工して、最後に上記空洞の中間水路に連通する第1水流入スリットの複数を背板へ、同じく空洞の前縁側水路又は/及び後縁側水路に連通する第2水流入スリットの複数を腹板へ、各々切り抜き加工することを特徴とする。又、上記請求項1に従属する請求項2では、背板の長手方向に沿って点在分布する第1水流入スリットの複数につき、そのうちの翼根元側へ片寄った位置にある半分の個数と、翼先端側へ片寄った位置にある残り半分の個数とを、各々ほぼ平行に揃う配列状態として、放電加工機により各々一挙同時に2回切り抜き加工する一方、腹板の長手方向に沿って点在分布する第2水流入スリットの複数につき、そのうちの翼根元側へ片寄った位置にある半分の個数と、翼先端側へ片寄った位置にある残り半分の個数とを、各々ほぼ平行に揃う配列状態として、放電加工機により各々一挙同時に2回切り抜き加工することを特徴とする。請求項1の製造法によれば、蒸気タービン用静翼を構成する腹板と背板との2ピースが、何れも優れた耐侵蝕性と強い加工硬化特性を有するオーステナイト系ステンレス鋼板SUS304Lから成り、しかもその2ピースを各々プレス金型での段階的な冷間曲げ加工によって、目的とする最終断面形状に成形するようになっているため、冒頭に述べた従来技術の熱間プレス加工による歪み変形とその変形量が少なくなり、又その熱間プレス成形直後の金型を冷却する特殊な設備やスケール除去の特別な作業などを必要とせず、特に翼形状が翼根元から翼先端にかけて三次元的に捻れた複雑な中空AVN翼であっても、これを高精度な翼プロフィルの製品として容易に製造できる効果がある。又、上記静翼の自励振動を抑制するために役立てる板バネも、上記腹板並びに背板より薄肉な同じオーステナイト系ステンレス鋼板SUS304Lから成り、やはりプレス金型での段階的な冷間曲げ加工によって、断面ほぼ倒立W字形に成形されている。そして、その板バネにおける中間部の凹曲面を先に腹板の対応的な中間部へ、点在分布状態にプラグ溶接した腹板と上記背板とを、その後組み立てるに当り、その腹板と背板との前縁部同士は鋭角に交叉する突き合わせ状態にあるため、ここを背板の開先部において容易にTIG溶接又は半自動溶接することができる。他方、上記腹板と背板との後縁部同士は重なり合う状態にあり、その板厚が倍加するも、ここを言わばピンスポット溶接として入熱量が少なく、且つ溶け込み深さの深いレーザービーム溶接によって、熱による歪み変形を抑制しつつも強固に安定良く接合一体化することができる。その場合、そのレーザービーム溶接は背板の存在方向から行うようになっているため、その背板と腹板の最終的な機械加工が、腹板の存在方向から切削加工として行われても、上記接合強度の爾後的に低下するおそれはない。更に、上記板バネの付属した腹板と背板との組立溶接により、断面弓形に造形された翼の空洞内は、その断面ほぼW字形をなす板バネの介在によって、前縁側水路と中間水路並びに後縁側水路との合計3個に仕切り細分されているが、その前縁側水路又は/及び後縁側水路に連通する第2水流入スリットの複数を、上記腹板の長手方向翼幅方向に沿って開口分布させているばかりでなく、中間水路に連通する第1水流入スリットの複数を、上記背板の長手方向翼幅方向に沿って開口分布させてもいるため、上記空洞内の合理的な仕切り細分とも相俟って、その内部からの水抜き効率と延いては蒸気タービンの効率をますます向上させることができ、その意味からも翼形状が三次元的に捻れた複雑な中空AVN翼にふさわしく有効な製造法であると言える。その場合、請求項2の構成を採用するならば、上記背板に対する第1水流入スリットの切り抜き加工と、腹板に対する第2水流入スリットの切り抜き加工とを、何れも放電加工機によりますます効率良く行え、量産効果の向上に役立つ。以下、図面に基いて本発明の実施形態を詳述すると、図1~5はその本発明の目的とする蒸気タービン用静翼、就中翼形状が図4の座標上における各位置から知得できるように、翼根リング翼根元からシュラウド翼先端にかけて三次元的に捻れた複雑な中空AVNAdvancedVortexNozzle翼Nの完成品を示している。これは大きな曲率の背板Bと小さな曲率の腹板Aとを組み合わせ、その前縁部同士と後縁部同士を各々溶接することにより、翼幅方向翼の平均反り線/骨格線と直交する方向C-Cに沿って延在する断面弓形の空洞Hを形成している。又、その空洞Hの内部には自励振動フラッタを抑制するための板バネSが介挿設置されており、これによって上記空洞Hの内部を前縁側水路10fと中間水路10m並びに後縁側水路10rとの合計3個に仕切り細分している。その場合、板バネSは断面ほぼ倒立W字形をなし、その凹曲面11の中間部において腹板Aと溶接されているが、切り離し両端部は背板Bとほぼ同じ曲率を備えた前後一対の凸曲面12f12rとして、その背板Bへ空洞H内から弾圧付勢された状態にある。そして、更に上記中間水路10mと連通する複数の第1水流入スリット13-113-213-313-413-513-6が背板Bに、上記後縁側水路10rのみか又はその後縁側水路10r並びに前縁側水路10fと各々連通する複数の第2水流入スリット14-114-214-314-414-514-6が腹板Aに、その何れも上記翼幅方向C-Cに沿う点在分布状態として切り抜かれており、その第1、2水流入スリット13-1~13-614-1~14-6から空洞H内の対応的な連通水路10m10f10rへ流入した水を、その翼Nの広幅な外側端部から翼根リング図示省略や、同じく翼Nの狭幅な内側端部からシュラウド図示省略に向けて排出し得るようになっている。Fは蒸気の流れ方向を示す矢印である。尚、上記背板Bの厚みと腹板Aの厚みはAVN翼Nの完成状態における一例として何れも約6mm、板バネSの厚みは同じく約3mm、上記翼幅方向C-Cに延在する翼の全体長さZは一例として約948mm、翼幅Wは外側となる翼根リングから内側となるシュラウドへ行く程狭くなるが、一例として約233mm~173mmの範囲である。図6~25は本発明の製造工程を示しており、その中空AVN翼Nを製造するに当っては、上記腹板A並びに背板Bの材料として、例えば約8mmの一定厚みを有するオーステナイト系ステンレス鋼板SUS304Lを用意すると共に、上記板バネSの材料として約3mmの一定厚みを備えた同じオーステナイト系ステンレス鋼板SUS304Lを用意する。茲に、オーステナイト系ステンレス鋼板SUS304Lは蒸気タービン用静翼としてふさわしく、優れた耐蝕性と強い加工硬化特性を発揮するため、翼プロフィル精度を長く維持することに役立つ。そして、先ず腹板Aとなる上記オーステナイト系ステンレス鋼板からレーザー加工機により姿切りしたブランクAmを、グラインダーによりバリ取り後、図6のようなプレス機約3000tの上型15と下型16を用いて、1次~3次の段階的に冷間曲げ加工し、その後レーザー加工機により基準穴の加工とトリム加工製品ラインでの切断を行い、更にプレス機の金型を用いてリスト加工決め押しし、図10~13のような成形状態の腹板Aを得る。他方、上記背板Bとなる同じオーステナイト系ステンレス鋼板からレーザー加工機により寸法切りしたブランクBmを、やはりグラインダーによりバリ取り後、図7のようなプレス機約3000tの上型17と下型18を使用して、1次~3次の段階的に冷間曲げ加工し、その後レーザー加工機により基準穴加工とトリム加工を行い、更にプレス機の金型によるリスト加工決め押しも行うほか、後述する腹板Aとの組み立て時その腹板Aの前縁部と鋭角に交叉することとなる背板Bの前縁部に、TIG溶接又は半自動溶接のための開先加工も施した図10~13のような成形状態の背板Bを得る。図8の符号19はそのグラインダーにより加工されたTIG溶接用の開先部を示している。尚、上記腹板Aと背板Bとの何れにあっても、その1次曲げ成形後のブランクAmBmを歪み取り応力除去のために、一旦真空炉にて溶体化し、引き続き冷間での2、3次曲げ成形を行うのである。更に、上記腹板Aと背板Bの材料よりも薄肉なオーステナイト系ステンレス鋼板から、やはりレーザー加工機により寸法切りした板バネSのブランクSmを、グラインダーによりバリ取りした後、図9のようなプレス機約3000tの上型20と下型21とを用いて、1、2次の段階的に冷間曲げ加工し、その後レーザー加工機によりプラグ穴22の加工とトリム加工を行い、更にプレス機の金型によるリスト加工決め押しも行って、図14~17のような断面ほぼ倒立W字形に成形された板バネSを得る。その場合、プラグ穴22は腹板Aとのプラグ溶接用として、その複数図例では合計8個が板バネSのほぼ倒立W字形をなす凹曲面11の中間部へ点在分布状態に切り抜かれている。上記中空AVN翼Nの構成部品である腹板Aと背板B並びに板バネSを、目的とする最終的な翼断面形状に成形できたならば、次に腹板Aと板バネSとを組み立てるために、その2ピースをアセトンなどにより洗浄して、その洗浄液の拭き取り後、傷や欠陥などの有無を目視検査する。それから腹板Aの罫書き部へ図18、19のように、上記板バネSのプラグ穴22が開口分布している凹曲面11の中間部を接合させて、その長手方向翼幅方向における両端部付近を万力などによって固定し、その両端部の2個所を仮止め溶接した後、上記プラグ穴22の複数をすべて埋める如く、その板バネSと腹板Aとをプラグ溶接する。Pはそのプラグ溶接部を示している。尚、その後のPT検査により欠陥があれば、補修のための溶接を行う。そして、上記板バネSが付属した腹板Aと上記背板Bとを、その背板Bにより板バネSが包み込み被覆される状態となるように組み立てるのである。そのために、先ず腹板Aと背板Bとを治具に固定したままで、その2ピースの前縁部f同士と後縁部r同士を仮付け溶接する。その仮付け溶接個所は図20に示唆する如く、前縁部f同士と後縁部r同士を何れも脚長5~10mm×溶接長さ20~40mm×100×150mmピッチ×6箇所として行い、長手方向翼幅方向における両端部e同士を脚長5~10mm×溶接長さ50~80mm×片端1個所づつとして行うことが好ましい。何れにしても、腹板Aと背板Bとを仮付け溶接した状態では、その腹板Aに付属の板バネSが背板Bによって押え付けられ、その板バネSの切り離し両端部をなす凸曲面12f12rが、内側から背板Bへ弾圧付勢される結果となり、その摩擦によって翼Nの弾性変形を減衰することができる。上記腹板Aと背板Bとを仮付け溶接し終えたならば、次にその組立状態にある翼Nを溶接治具にセットした後、その2ピースの重なり合った後縁部同士をレーザー溶接機によって、図21のように背板Bの存在方向から溶接する。その場合、腹板Aと背板Bとの重なり合った後縁部同士は、約16mm約8mm×2の厚みを有するため、深い溶け込みを得られるレーザービーム溶接とし、しかもそのピンスポット溶接となるレーザービーム溶接の少ない入熱量延いては少ない変形量を活用して、オーステナイト系ステンレス鋼板が熱により大きく歪変形したり、この材料から成る三次元的に捻れた中空AVN翼Nのプロフィル精度が低下したりするおそれを防ぐのである。Lはそのレーザービーム溶接部を示している。又、上記レーザービーム溶接を背板Bの存在方向から行う理由は、追って最終的な機械加工を腹板Aの存在方向から行うため、その接合面積の減少するおそれを防ぎ、耐久強度を確保することにある。他方、上記腹板Aと背板Bとの後縁部同士をレーザービーム溶接することと相前後して、その2ピースの鋭角に交叉した前縁部同士をTIG溶接又は半自動溶接ガスシールドアーク溶接する。その溶接は上記背板Bの開先部19をグラインダーで成形し、欠陥のないことを確認後に、好ましくは層間温度を150°C以下として、第1~3層目まで行う。TはそのTIG溶接又は半自動溶接した部分を示している。そして、その前縁部同士の溶接を終えたならば、プレス機の金型を使用して、決め押し歪取りを行った後、上記組立溶接状態にある翼Nを治具にセットした上、その腹面と背面を各々マシニングセンターにより機械加工して、上記腹板A並びに背板Bの厚みを何れも約6mmに確保するほか、両端面もマシニングセンターによって円弧加工し、再度プレス機の金型による歪取りとバフ研磨による仕上げ加工とを行う。ここまでの仕上げ加工状態では、中空AVN翼Nの上記腹板Aと背板Bとから造形された断面弓形の空洞Hが、図21のように板バネSの介在によって、前縁側水路10fと中間水路10m並びに後縁側水路10rとの合計3個に仕切り細分されている。そこで、最後に上記翼Nを放電加工治具にセットして、放電加工機の使用により、その背板Bと腹板Aに対する第1、2水流入スリット13-113-213-313-413-513-614-114-214-314-414-514-6の切り抜き加工を行う。その場合、第1水流入スリット13-1~13-6が上記空洞H内の中間水路10mに連通する複数図例では合計6個として、背板Bの長手方向翼幅方向に沿って点在分布している一方、第2水流入スリット14-1~14-6は同じく空洞H内の後縁側水路10rに連通する複数図例では同じ合計6個として、腹板Aの長手方向翼幅方向に沿って点在分布しているが、その第1、2水流入スリット13-1~13-614-1~14-6の何れも翼根リング側の半分である3個づつは、図22、23のようにその平行な配列状態に延在しており、残るシュラウド側の半分である3個づつも、図24、25のようにその平行な配列状態に延在している。そのため、その第1水流入スリット13-1~13-6の翼根リング側に片寄った3個とシュラウド側に片寄った3個を、背板Bへ各々一挙同時に切り抜く加工の合計2回と、第2水流入スリット14-1~14-6の翼根リング側に片寄った3個とシュラウド側に片寄った3個を、腹板Aへ各々一挙同時に切り抜く加工の合計2回を行えば足り、そのスリット加工の効率と精度を向上させることができる。尚、上記腹板Aに切り抜き加工する第2水流入スリット14-1~14-6はこれを空洞H内の後縁側水路10rと連通する位置に代えて、同じく空洞H内の前縁側水路10fと連通する位置に切り抜き加工しても良く、又その前縁側水路10fに連通する位置と後縁側水路10rに連通する位置との双方へ、例えば合計6個づつ切り抜き加工してもさしつかえない。何れにしても、空洞Hの内部、殊更その中間水路10mに連通する第1水流入スリット13-1~13-6の複数が、背板Bの長手方向翼幅方向に沿う点在分布状態として切り抜き加工されているため、その背板Bからの円滑な水抜き作用により、湿り度の大きく、蒸気中で径大化した水滴流が、翼Nの背面に衝突し、ますます粗大となって吹きちぎられ、翼Nの侵蝕と蒸気タービンの性能低下を招くことを防止できる効果がある。