"クリーンルームに連通して加圧される少なくとも外部との間に開閉ドアを有する更衣室及び除塵装置を有する除塵室を備えたクリーンルームの除塵システムであって、前記除塵装置は、前記更衣室側に設けた前記クリーンルームの入室者に対して歩行状態で側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、該ジェット除塵部と連通するとともに、前記クリーンルームとも連通し前記入室者に対して歩行状態でエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すエアーシャワー部とを備えていることを特徴とするクリーンルームの除塵システム。前記更衣室は、クリーンスーツを清浄状態で保管するクリーンスーツ保管部を備えていることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの除塵システム。前記クリーンスーツ保管部は、前記クリーンスーツをハンガー掛けして保管し、保管している前記クリーンスーツの上部側を主に除塵するエアー除塵部を備え、前記ジェット除塵部は、前記クリーンスーツを着用した入室者の下肢部を主に除塵するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載のクリーンルームの除塵システム。前記除塵装置は、当該除塵装置を通過する入室者を事前に検出する通過センサを備え、該通過センサで入室者を検出したときに起動状態となり、前記通過センサで所定時間入室者を検出していないときに作動停止状態となることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のクリーンルームの除塵システム。しかしながら、上記特許文献1及び2に記載の従来例にあっては、少なくともクリーンルームの入口に開閉ドアが設けられている。このクリーンルーム開閉ドアは、一般的にクリーンルーム圧力と気密性の維持、又は隣接室間のクリーンエアーの流れ込み清浄度変化を抑制する意味で設けられる。このドアはクリーンルームの入室者が1人又は数名が通過する毎に開閉されるので、例えば出退勤時のようにクリーンルームの入室者が多数いる場合には、一定区人数毎に区画処理することと更にドアを開閉することで渋滞が発生し、スムーズな移動を行うことができないという未解決の課題がある。また、クリーンルームへの入室者がエアーシャワーを浴びる際に、所定時間立ち止まる必要があり、ここでも渋滞が生じるという未解決の課題がある。さらに、上記特許文献2に記載の従来例にあっては、エアーシャワーの後段にエアーシャワーを浴びるクリーンアップ室が設けられているので、塵埃除去率を高めることができるものであるが、エアーシャワー室及びクリーンアップ室間にもドアを配置するようにしており、クリーンルーム入室者のスムーズな移動を行うことができない。特に、多くの入場者を有する生産工場等では、クリーンルームへの全入室時間が非常に長くなるのが通例である。またドアの開閉により室間の圧力変動オーバーシュートによる突発流等の外乱発生リスクが高い。そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、クリーンルームへの入室者がスムーズに移動することができるクリーンルームの除塵システムを提供することを目的としている。上記目的を達成するために、本発明の一の形態に係るクリーンルームの除塵システムは、クリーンルームに連通して加圧される少なくとも外部との間に開閉ドアを有する更衣室及び除塵装置を有する除塵室を備えたクリーンルームの除塵システムであって、前記除塵装置は、前記更衣室側に設けた前記クリーンルームの入室者に対して歩行状態で側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、該ジェット除塵部と連通するとともに、前記クリーンルームとも連通し前記入室者に対して歩行状態でエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すエアーシャワー部とを備えていることを特徴としている。また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵システムは、前記更衣室は、クリーンスーツを清浄状態で保管するクリーンスーツ保管部を備えていることを特徴としている。また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵システムは、前記クリーンスーツ保管部は、前記クリーンスーツをハンガー掛けして保管し、保管している前記クリーンスーツの上部側を主に除塵するエアー除塵部を備え、前記ジェット除塵部は、前記クリーンスーツを着用した入室者の下肢部を主に除塵するように構成されていることを特徴としている。また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵システムは、前記除塵装置は、当該除塵装置を通過する入室者を事前に検出する通過センサを備え、該通過センサで入室者を検出したときに起動状態となり、前記通過センサで所定時間入室者を検出していないときに作動停止状態となることを特徴としている。本発明によれば、クリーンルームに連通して加圧される除塵室を備え、この除塵室内に少なくとも更衣室及び除塵装置を配置し、除塵装置に通過する入室者に側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、このジェット除塵部及びクリーンルームと連通して入室者に層流状態でエアーを流すエアーシャワー部とを設けることにより、除塵室の内部及びクリーンルームとの間に開閉ドアを設ける必要がないとともに、除塵装置でクリーンルームの入室者が長く立ち止まることなく通過するだけで、必要な除塵効果を得ることができ、渋滞が発生することを確実に防止することができるという効果が得られる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の一実施形態を示す全体構成図である。図中、1はクリーンルームであって、このクリーンルーム1の入口2に除塵室3が配置されている。この除塵室3は、クリーンルーム1にドアを介在させることなく連通している。除塵室3には、クリーンルーム1とは反対側における外部の更衣前室との間に開閉ドア4が配置され、この開閉ドア4の上部と天井との間に除塵室3内の圧力を調整する差圧ダンパー5が配置されている。また、除塵室3には開閉ドア4とクリーンルーム1の入口2との間に、クリーンスーツを清浄な状態で保管する開閉自在なクリーンスーツ保管室6を有する更衣室7と、靴の履き替えを行う靴履替領域8と除塵装置9とがこれらの順に配置されている。この除塵室3では、クリーンルーム1との間にドアが介在しないので、クリーンルーム1内を15Pa~30Paに加圧する加圧エアーがそのまま導入充填されて加圧状態となり、この加圧状態の圧力が差圧ダンパー5によって調整される。このため、クリーンルーム1からの加圧エアーが除塵装置9、靴履替領域8及び更衣室7を、この順に通って差圧ダンパー5から排気されることになり、除塵室3で浮遊する塵埃がクリーンルーム1に侵入することが防止されている。更衣室7に設けられたクリーンスーツ保管室6は、図2及び図3に示すように、例えば背中合わせに2つの保管部61及び62が所定空間を保って配置されている。各保管部61及び62のそれぞれは、前面を、上部側を除いて開放した筐体63を有し、この筐体63の前面に左右方向で例えば2枚のビニールカーテン64a及び64bが開閉可能に配置され、これらビニールカーテン64a及び64bが、その中央部に配設された磁石65で吸引されて開閉可能とされている。筐体63内には、天井部66の近傍に筐体の幅方向に延長して支持棒67が配置され、この支持棒67にハンガー68に掛けられたクリーンスーツ69が所定間隔例えば9cmで支持されている。この支持棒67の左右方向に所定距離離れた位置における天井部66にそれぞれクリーンスーツ69に対してクリーンエアーを吹き付けて除塵する除塵エアー噴出部71が形成されている。これら除塵エアー噴出部71は、天井部66に形成された送風ファン部72とこの送風ファン部72のエアー吐出部に配置された高性能フィルタで構成されるフィルタ部73とで構成されるフィルタ付送風機としてのファンフィルタユニット74を備えている。このファンフィルタユニット74のフィルタ部73の下方側に圧力室75が形成され、この圧力室75に支持棒67を挟むように2列の可動ルーバー76a及び76bが配置されている。これら可動ルーバー76a及び76bは、図4に拡大図示するように、左右方向の両端部が可動可能に支持された支持軸77によって支持された下端部が円弧状に形成された断面V字形状の樋状部78と、この樋状部78の円弧状部に摺接してシールするシール部79とを備えている。樋状部78には、支持棒67にハンガー掛けされたクリーンスーツ69に対して個別に加圧エアーを噴射するエアー噴射孔80が形成されている。そして、可動ルーバー76a及び76bの支持軸77が、図4に示すように、リンク機構81で連結されている。このリンク機構81には中央リンク82の中央位置に上下方向に延長する長孔83を有する案内板84が固定され、この案内板84の長孔83に電動モータ85の回転軸に固定された円板86に突出形成された係合ピン87が係合されている。したがって、電動モータ85を一定方向に回転駆動することにより、中央リンク82が奥行き方向に往復動し、これによって可動ルーバー76a及び76bが同期して同一傾斜角で回動される。これら可動ルーバー76a及び76bから噴射される加圧エアーの噴射範囲は、図3における左側に示すように、両者が同期してクリーンスーツ69の肩口から腰下位置までの範囲に移動しながら吹き付けて除塵する。噴出された加圧エアーは筐体63の下部の床部に配置された脱臭機構91で脱臭されてからエアー還流路88を通って上方のファンフィルタユニット74に戻される。ここで、脱臭機構91としては、例えば発泡セラミックに酸化チタンを担持させた光触媒フィルタや、この光触媒フィルタと例えばブラックライトなどの紫外線ランプとを組にした光触媒カートリッジ等を適用することができる。この他、オゾンを使用した脱臭機構等任意の脱臭機構を適用することができる。さらに、エアー循環路88の流路面積を利用し臭い因子との接触効果を上げる処方もある。また、筐体63内には、イオナイザ90が幅方向に延長して配置され、このイオナイザ90によってクリーンスーツ69に帯電した静電気を除電する。なお、ファンフィルタユニット74の送風量はインバータ機能により高低風量に可変調整が出来る構成とされ、クリーンスーツ69の保管数とその塵埃付着量に応じて任意の風量設定を可能とする為、運用場面に応じた省エネルギー管理をする事が出来る。例えば、図示しないタイマによって出退勤時間帯特に始業時ではクリーンスーツ69への着替えが頻繁に行われるので高風量動作に制御され、その他は低風量動作に切り換えられる。また、出退勤時間帯で、ビニールカーテン64a及び64bを開放している状態では、可動ルーバー76a及び76bを、エアー噴射孔80を下方に向けた状態で固定することにより、外部汚染空気の誘引つまり濃度変動が大きい更衣室内の塵埃と更衣入退室者自身の持込み塵埃誘引を抑える事ができるので、好ましい。一方、除塵装置9は、図5及び図6に示すように、靴履替領域8側に配置されたジェット除塵部10と、このジェット除塵部10に一端が連通し、他端がクリーンルーム1の入口2に連通するエアーシャワー部30とを備えている。ジェット除塵部10は、図5~図7に示すように、クリーンルーム1への入室者が通過する歩行通路11に沿って3つのジェット気流噴射領域12a~12cが形成されている。各ジェット気流噴射領域12a~12cのそれぞれは、図7に示すように、歩行通路11を挟む左右両側にジェット気流噴射機構13が左右対称的に設けられている。このジェット気流噴射機構13は、図5に示すように、前後2列で上下方向に4個のジェット気流を噴射するパンカルーバー14a~14dが前後方向に所定間隔を保って2列配列されている。これらパンカルーバー14a~14dのうち最上部のパンカルーバー14aは、図7に示すように、歩行者の腕部から腰部にかけてジェット気流を吹き付けるように垂直面から例えば45°の噴射角でジェット気流を噴射する。残りの3つのパンカルーバー14b~14dは、最上部のパンカルーバー14aから下方に離れた位置に上下方向の距離を短くして配置され、図7に示すように、噴射するジェット気流が互いに重なって歩行者の下肢に集中的に噴射されるように例えば垂直面から45°の角度でジェット気流を噴射する。また、ジェット気流噴射機構13は、シロッコファン等で構成される加圧気体を送風する送風機15を有し、この送風機15の送風出口側に塵埃除去率の高い高性能フィルタHEPA:HighEfficiencyParticulateAirFilter16を介して加圧気体を2列のパンカルーバー14a~14dに分配する圧力室17が配置されている。さらに、ジェット除塵部10の床11には、パンカルーバー14a~14dによって吹き付けられたジェット気流を通過させるグレーチング床18が配置されている。そして、グレーチング床18の下端側から送風機15の入口までの間にジェット気流を還流させるエアー還流路19が形成されている。また、ジェット除塵部10は、図5に示すように、隣接するジェット気流噴射領域12a~12cにおけるジェット気流噴射機構13のクリーンルーム1側に静電気を除電するイオナイザ20が上下方向に延長して配置されている。一方、エアーシャワー部30は、図5及び図6に示すように、歩行者通路31の天井側に4台のフィルタ付送風機としてのファンフィルタユニット32a~32dが歩行者通路31に沿って配設されている。これらファンフィルタユニット32a~32dのそれぞれは、上部側に吸引口が配設された送風ファン部33と、この送風ファン部33の下方側のエアー吹出し口に配置された高性能フィルタHEPAで構成されるフィルタ部34とで構成されている。そして、ファンフィルタユニット32a~32cについてはフィルタ部34が歩行者通路31側に設置されて、フィルタ部34を通じて除塵されたクリーンエアーが下方に向けて層流状態で送風される。これに対して、ファンフィルタユニット32dについてはフィルタ部34の下方にエアーカーテンを形成するエアーカーテン用カバー35が配設され、このエアーカーテン用カバー35のクリーンルーム1の入口2とは反対側の吐出口35aから送風されるクリーンエアーが床方向へのダウンフローを形成し、且つグレーチング床37の下側からこのダウンフローを吸引する構成となっている。これにより、上方向から下方向への一方向性流、つまりプッシュプル方式の気流を形成することが出来る。言い換えると、外乱に強いエアーバリア的流線を得たエアーカーテン36が形成される。また、エアーシャワー部30でも、ジェット除塵部10と同様に、床に、ファンフィルタユニット32a~32dから吹き出されたクリーンエアーを通過させるグレーチング床37が配置されている。そして、図8に示すように、グレーチング床37の下端側から天井のファンフィルタユニット32a~32dの送風ファンの吸気口までの間に左右の側壁内を通ってエアーを還流させるエアー還流路38が形成されている。そして、前述したジェット除塵部10のジェット気流噴射機構13及びエアーシャワー部30のファンフィルタユニット32dを除く3つのファンフィルタユニット32a~32cは、図1に示すように、例えば靴履替領域8の除塵装置9側に配置された入室用通過センサ39i及びクリーンルーム1の入口2近傍に配置された退室用通過センサ39oの検出信号が制御盤40に供給されて動作する。この制御盤40では、通過センサ39i及び39oによって入室者及び退出者の通過が検出されたときにジェット気流噴射機構13及びファンフィルタユニット32a~32cを作動状態に制御し、通過センサ39i及び39oで入退室者の通過を検知しなくなって所定時間が経過したときにジェット気流噴射機構13及びファンフィルタユニット32a~32cを非作動状態に制御する。ここで、通過センサ39i及び39oとしては、歩行者通路を挟んで対向する発光素子及び受光素子で構成され、発光素子の発光が通過者に遮られることにより、通過者の検知を行う。さらに、ジェット除塵部10及びエアーシャワー部30のグレーチング床37の下面には、図6に示すようにクリーンルーム1への入室者の歩行速度に応じた点滅を行う表示灯41が入室者を歩行させたい歩行経路に合わせて所定数配置されている。そして、各表示灯41の近傍には、歩行者の靴先が着地する位置及び歩行者の体の向きを表す表示部42が形成されている。ここで、表示部42は、先頭から第2番目のジェット気流噴射領域12a及び12bまでは入室者の歩行に合わせた片足分の足型表示42aとされ、第3番目のジェット気流噴射領域では、表示灯41を挟む位置に両足分の足型表示42bとされている。両足分の足型表示42bは、例えば手前側では背中を左側のジェット気流噴射機構13に向ける姿勢となる足型表示とされ、クリーンルーム1側の奥側の表示灯41を挟む位置では、背中側を右側のジェット気流噴射機構13側に向ける姿勢となる足型表示とされている。さらに、エアーシャワー部30では、1つ置きの表示灯41に対してそれぞれ左右交互の足型表示42cが描かれている。表示灯41は、ランプの点灯速度を変えることで、入室者の歩行速度を指示することができる。また、特定のランプを所望の時間だけ点灯もしくは消灯することで、歩行者へ特定のランプがある場所に所望の時間だけ滞在するよう指示することができる。表示灯41の取り付け位置により、入室者の歩行経路を指示してもよい。たとえば、表示灯41を蛇行して取り付けることで、入室者を蛇行して歩行させられ、ジェット除塵部10およびエアーシャワー部30での入室者の滞在時間をコントロールできる。表示部42は、足型表示に限定されるものではなく、たとえば矢印表示としてもよく、この矢印の向きを使って、歩行者の身体の向きをコントロールしてもよい。以上のような表示灯41または表示部42を、単独もしくは組み合わせて使うことで、入室者の歩行速度や歩行経路、身体の向き、滞在時間を制御でき、入室待ち渋滞を解消するよう制御したり、入室者の付着塵埃を低減し、清浄度を高めたりすることができる。次に、上記実施形態の動作について説明する。今、出退勤時間帯ではない時間帯では、除塵室3内のクリーンスーツ保管室6はビニールカーテン64a及び64bが閉じられた閉状態となっており、この閉状態が磁石65の吸引力によって保持されている。このクリーンスーツ保管室6内では、ファンフィルタユニット74が低風量動作されて、内部の支持棒67にハンガー68で掛けられているクリーンスーツ69の肩口から腰下にかけて可動ルーバー76a及び76bから噴射される加圧エアーが吹き付けられて、付着した塵埃が吹き飛ばされて除塵される。このとき、加圧エアーは、筐体63の下部側からエアー還流路88を通って上方のファンフィルタユニット74に戻される。この際、加圧エアーは床下に配設された脱臭機構91を通ってエアー還流路88に向かう。このため、脱臭機構91で光触媒等による加圧エアーの脱臭が行われる。本発明者等の実験では人体及び着用後のクリーンスーツからの臭い因子としては、アセトアルデヒド、オクタナール、デカナール等が確認されている。本クリーンスーツ保管室6では、アセトアルデヒド、オクタナール、デカナール等の臭い因子が脱臭された加圧エアーがクリーンスーツ保管室6内を循環するので、クリーンスーツ69の脱臭を確実に行うことができる。この場合、脱臭機構91として光触媒フィルタと紫外線ランプとを組み合わせた光触媒カートリッジを使用することにより、より確実な脱臭を行うことができる。これと同時に、クリーンスーツ69に帯電した静電気がイオナイザ90によって除電されて、吹き飛ばされた塵埃がクリーンスーツ69に再付着することを防止している。この除塵の際に、可動ルーバー76a及び76bが互いに同期してスイングされるので、クリーンスーツ69に付着した塵埃を効率よく吹き飛ばすことができる。このため、塵埃残留率を低下させることができる。しかも、可動ルーバー76a及び76bが支持軸77で回動可能に支持されたV字形状の樋状部78と、この樋状部78に摺接するシール部79とで構成される簡易な構成とされている。そして、樋状部78でファンフィルタユニット74から噴出される加圧エアーを集約して底部に形成されたエアー噴射孔80から加圧エアーをクリーンスーツ69に個別に吹き付ける。このとき、可動ルーバー76a及び76bに突起類が存在しないので、カルマン渦の発生を抑制してクリーンスーツ69毎に的確な除塵を行うことができる。このように、クリーンスーツ69はクリーンスーツ保管室6で保管する際に、塵埃の除塵及び静電気の除電を行うので、少なくとも上半身側の塵埃を払い落とした状態で保管される。このようにクリーンルーム1への入退室がない時間帯では、エアーシャワー部30におけるファンフィルタユニット32dを除くジェット除塵部10及びエアーシャワー部30の動作が停止されて省エネルギー化されている。この状態では、クリーンルーム1内の加圧エアーがエアーカーテン36を通じてエアーシャワー部30に入り、その後ジェット除塵部10を通り、靴履替え領域8及び更衣室7を通って差圧ダンパー5から外部に排気される。このため、除塵装置9に塵埃が浮遊していたとしても、この塵埃がクリーンルーム1内に侵入することは確実に阻止される。しかも、ファンフィルタユニット32dによって常時エアーカーテン36が形成されているので、このエアーカーテン36によって塵埃のクリーンルーム1側への侵入が確実に阻止される。なお、ファンフィルタユニット32dによって形成されるエアーカーテン36は、他のファンフィルタユニット32a~cと同じタイミング、すなわち入室者がいない場合は動作を停止し、入室者がいる場合は作動状態に制御されることで、さらに省エネルギー化を図ることもできる。入室者が通過したあと、ジェット除塵部10およびエアーシャワー部30での空気置換が終われば、ジェット除塵部10およびエアーシャワー部30は清浄化されているので、ファンフィルタユニット32dは常時エアーカーテン36を形成しなくてもよいためである。また、クリーンルーム1を加圧制御しているので、入室者がいない場合にファンフィルタユニット32dの作動を停止しても、更衣室7側からクリーンルーム1側へ塵埃が流れ込む恐れが小さいためである。また、出退勤時間帯では、クリーンスーツ保管室6のビニールカーテン64a及び64bを開放しておく。クリーンルーム1への入室者は、開閉ドア4から除塵室3内に入り、更衣室8で外着を脱ぎ、クリーンスーツ保管室6からクリーンスーツ69を取り出して着用する。次いで、靴履替え領域8で靴を履き替えてから除塵装置9に入る。このとき、通過センサ39iで入室者の通過が検出されるので、その検出信号が制御盤40に送られてジェット除塵部10のジェット気流噴射機構13及びエアーシャワー部30のファンフィルタユニット32a~32cが作動状態に制御される。このため、入室者がジェット除塵部10に入ると、図7に示すように、左右のジェット気流噴射機構13のパンカルーバー14a~14dからジェット気流が通過者の体側に噴射される。このとき、パンカルーバー14aによって通過者の腕部及び腰部の塵埃が吹き飛ばされ、パンカルーバー14b~14dによって通過者の下肢部の塵埃が吹き飛ばされる。吹き飛ばされた塵埃はジェット気流とともにグレーチング床18を通過し、その下部に設けられたエアー還流路19を通じて左右側部のジェット気流噴射機構13の送風機15の吸気口に還流され、この送風機15から吹き出されるジェット気流が高性能フィルタHEPA16を通過することにより、除塵されてクリーンエアーとして通過者にジェット噴射される。このように、ジェット除塵部10では、ジェット気流によって通過者のクリーンスーツに付着している塵埃を下方のグレーチング床18に向かって吹き飛ばし、このグレーチング床18の下方に設けられたエアー還流路19を通じてジェット気流噴射機構13に還流されるので、吹き飛ばされた塵埃がジェット除塵部10で浮遊することがなく、確実に回収される。このとき、クリーンスーツ69はクリーンスーツ保管室6で保管している間に少なくとも上半部については除塵された状態で保管されている。このため、ジェット除塵部10ではクリーンスーツ69の下肢部分を集中的に除塵することにより、クリーンスーツ69の除塵を完全に行うことができる。そして、このジェット除塵部10では、図6に示すように、通過者は床がグレーチング床18であるので、このグレーチング床18を視認しながら歩行することになる。このグレーチング床18の下面に表示灯41が配設され、この表示灯41が歩行速度及び前進誘導を教示するように点滅している。このため、通過者は表示灯41で教示される歩行速度例えば90cm/sec程度で歩行する。また、通過者は表示灯41の近傍に足型表示42a及び42bが描かれているので、この足型表示42a及び42bにしたがって歩行する。このため、ジェット気流噴射領域12a及び12bでは、歩行通路11の略中央部を、前を向いて歩行する。これに対してジェット気流噴射領域12cでは、一瞬両足を揃えて背中を進行方向左側のジェット気流噴射機構13に向け、次いで一歩進んでから同様に一瞬両足を揃えて背中を進行方向右側のジェット気流噴射機構13に向けることにより、クリーンスーツの前後の塵埃を吹き飛ばす。このように、通過者を表示灯41及び足型表示42a,42bで誘導することにより、適正な速度で歩行し、且つクリーンスーツの各部に隈なくジェット気流を浴びることにより、確実に除塵することができる。しかも、ジェット気流噴射領域12a~12cの隣接位置にはイオナイザ20が配置されているので、このイオナイザ20によってクリーンスーツ69に帯電した静電気の除電が行われ、浮遊する塵埃がクリーンスーツ69に再付着することを確実に防止することができる。その後、入室者がジェット除塵部10を通過すると、エアーシャワー部30に入る。このエアーシャワー部30では、同様に、表示灯41及び足型表示42cによって案内されて所定速度で歩行し、ファンフィルタユニット32a~32cから下方に向けて吹き出される層流状態のクリーンエアーによって再度塵埃の払い落としが行われる。このエアーシャワー部30でも、ファンフィルタユニット32a~32cから吹き出される層流状態のクリーンエアーはグレーチング床37を通過して、その下部に配設されたエアー還流路38によって上方のファンフィルタユニット32a~32cの送風ファン部33に還流される。そして、この送風ファン部33の吹き出し側に設けたフィルタ部34によって除塵されてクリーンエアーとして吹き出される。入室者は最後にファンフィルタユニット32dで形成されるエアーカーテン36を通過してクリーンルーム1の入口2からクリーンルーム1内に入る。一方、クリーンルーム1からの退室者は、入口2の近傍の退室用通過センサ39oを通過することにより、除塵装置9のジェット除塵部10及びエアーシャワー部30が動作状態となる。このため、エアーカーテン36を通過してエアーシャワー部30で層流状態のエアーによって塵埃を払い落とし、次いでジェット除塵部10でジェット気流によってクリーンスーツ69の下肢部を中心に除塵する。次いで、靴履替領域8で靴を履き替えてから更衣室7に移動する。この場合も、クリーンスーツ保管室6のビニールカーテン64a及び64bは開かれている。ここで、退出者はクリーンスーツ69を脱いでハンガー68に掛けてから、ハンガー68をクリーンスーツ保管室6の支持棒67の所定装着位置に掛ける。その後、一般着に着替えてから開閉ドア4から外部に退室する。このように、退室者が順次クリーンスーツ69を脱いでハンガー68に掛けてからハンガー68をクリーンスーツ保管室6の支持棒67に掛ける。そして、最後の退室者が退室する際に、クリーンスーツ保管室6のビニールカーテン64a及び64bを閉じる。これによって、ハンガー68に掛けられたクリーンスーツ69に対して可動ルーバー76a及び76bによって加圧エアーが噴射されて、クリーンスーツ69の上半部が除塵されるとともに、イオナイザ90によってクリーンスーツ69に帯電した静電気が除電される。そして、出退勤時間帯が過ぎると、クリーンスーツ保管室6のファンフィルタユニット74が低風量運転状態となり、省エネルギー状態で、クリーンスーツ69の除塵及び除電を継続する。このように、上記実施形態によると、除塵装置9で、クリーンルーム1の入室者に対して、ジェット除塵部10でジェット気流によって塵埃を確実に吹き飛ばし、エアーシャワー部30で残留する塵埃を払い落とし、最後にエアーカーテン36によって最終的な払い落としを行うことができる。この過程を、所謂洗濯機に例えると、ジェット除塵部10が洗いに相当し、エアーシャワー部30が濯ぎに相当し、エアーカーテン36が仕上げに相当し、3段階でクリーンスーツから塵埃を確実に払い落とすことができる。しかも、入室者が歩きながら除塵を行うことができるとともに、ジェット除塵部10及びエアーシャワー部30がクリーンルーム1にドアを介することなく連通している。このため、ドアの開閉による渋滞が生じることがなく、クリーンルーム1への入室をスムーズに行うことができる。加えて、ジェット除塵部10では、ジェット気流で塵埃をグレーチング床18に向かって吹き飛ばし、エアー還流路19を通じてジェット気流噴射機構に還流されるので、歩行により塵埃が誘引再付着することを低減できる。そして、エアーシャワー室30では、層流で塵埃をグレーチング床37に向かって移動し、エアー還流路38を通じて送風ファン部33に還流されるので、歩行により塵埃が誘引再付着することを低減できる。また、クリーンスーツ保管室6では、可動ルーバー76a及び76bから噴出される加圧エアーによって常時クリーンスーツ69の除塵が行われるとともに、イオナイザ90によって帯電した静電気の除電が行われ、クリーンスーツ69の少なくとも上半部の除塵が確実に行われる。そして、クリーンスーツ69の下肢部については、入室者が着用した状態で、ジェット除塵部10を通過することにより、パンカルーバー14b~14dによって下肢部に集中的にジェット気流を吹き付けて除塵するので、クリーンスーツ69の全体を確実に除塵することができる。因みに、図9に示すように、通過者の身長に合わせて、パンカルーバー14a~14dを肩から腰下にかけて均等配置した場合には、通過者の下肢部に対する一番下側のパンカルーバー14dからの距離が一番遠くなり、下肢部に到達するジェット気流の流速が遅くなって効果的な除塵を行うことができない。しかしながら、本実施形態では、上述したように通過者の下肢部に集中的にジェット気流を噴射するので、下肢部での除塵を効果的に行うことができる。また、エアーシャワー部30のクリーンルーム1の入口2に近い位置に、エアーカーテン36を形成するようにしたので、除塵装置9とクリーンルーム1とをエアーカーテン36で遮断することができ、浮遊する塵埃がクリーンルーム1に達することを確実に防止することができる。この場合、エアーカーテン36の形成位置は、クリーンルーム1の入口2の直前に設けるよりは、入口2から離した位置に形成した方が、エアーカーテン36を形成する気流がクリーンルーム1内に影響することを抑制することができる。また、除塵装置9を通過センサで所定時間以上入退室者がいないことを検出した場合に、作動停止状態とし、入退室者を検出した場合に、作動状態とするので、省エネルギー運転を行うことができる。なお、上記実施形態においては、クリーンスーツ保管室6で可動ルーバー76a及び76bを使用して加圧ガスを噴射する場合について説明したが、可動ルーバー76a及び76bを省略して、ファンフィルタユニット74から直接エアーをクリーンスーツ69に吹き掛けるようにしてもよい。また、上記実施形態では、クリーンスーツ保管室6の開閉をビニールカーテン64a及び64bで行うようにした場合について説明したが、塵埃の発生が少ないものであれば、他の任意の開閉器具を使用することができる。また、上記実施形態では、除塵装置9のジェット除塵部10に3つのジェット気流噴射領域12a~12cを形成した場合について説明したが、ジェット気流噴射領域の配置数はクリーンスーツへの塵埃付着量に応じて任意の配置数に設定することができる。同様に、エアーシャワー部30に設けるファンフィルタユニットの配置数もジェット除塵部10での残留塵埃量に応じて任意の配置数とすることができる。また、上記実施形態においては、ジェット除塵部10及びエアーシャワー部30を直線状に形成した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、平面から見てC字状やU字状等の任意の形状に形成することができる。"