基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片とを備え、前記検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でないことを特徴とする圧力センサー。基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有することを特徴とする圧力センサー。基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が前記均一厚領域から前記薄肉部の他端に向かい漸増する構成を有することを特徴とする圧力センサー。基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が少なくとも一つの段差部を有した階段状の構成を有することを特徴とする圧力センサー。前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有することを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の圧力センサー。前記検出片の薄肉部は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状であることを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の圧力センサー。前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有し、前記検出片の薄肉部は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状の構成を有することを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の圧力センサー。前記基台は、凹陥部と、該凹陥部の外周を包囲する外枠と、を有し、前記外枠の上面に前記検出片を支持することにより前記薄肉部と前記凹陥部との間に得られた微小ギャップと、を有することを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の圧力センサー。前記圧力センサーはタッチモード容量圧力センサーであることを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の圧力センサー。前記段差部は、薄肉部の基材上に金属層を付加することによって形成したものであることを特徴とする請求項4に記載の圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片とを備え、前記検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でないことを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が前記均一厚領域から前記薄肉部の他端に向かい漸増する構成を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が少なくとも一つの段差部を有した階段状の構成を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された圧電結晶材料から成る検出片とを備え、前記検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でないことを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された圧電結晶材料から成る検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された圧電結晶材料から成る検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が前記均一厚領域から前記薄肉部の他端に向かい漸増する構成を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の上面と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された圧電結晶材料から成る検出片とを備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が少なくとも一つの段差部を有した階段状の構成を有することを特徴とする圧力センサー。前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有することを特徴とする請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記検出片の薄肉部は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状であることを特徴とする請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有し、前記検出片の薄肉部は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状の構成を有することを特徴とする請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記基台は、凹陥部と、該凹陥部の外周を包囲する外枠と、を有し、前記外枠の上面に前記検出片を支持することにより前記薄肉部と前記凹陥部との間に得られた微小ギャップと、を有する請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。圧電結晶材料から成る前記基台と、該基台と同一種の圧電結晶材料から成る前記検出片と、を備え、前記検出片の結晶軸の方向と前記基台の結晶軸の方向とを一致させた状態で、前記検出片に対して前記基台を重ね合わせたことを特徴とする請求項15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記圧電結晶材料が水晶であることを特徴とする請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記検出片が水晶板から成り、該水晶板の主面に対する法線が水晶結晶軸Zに対して0°以外の角度を成しており、前記検出片が前記水晶板をウェットエッチングによって薄く加工した前記薄肉部を有することを特徴とする請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記検出片を構成する圧電結晶材料は、厚味すべりモードを有することを特徴とする請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記検出片を構成する圧電結晶材料は、ATカット水晶板であることを特徴とする請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記圧力センサーは、タッチモード容量圧力センサーであることを特徴とする請求項11、12、13、14、15、16、17又は18に記載の圧力センサー。前記段差部は、薄肉部の基材上に金属層を付加することによって形成したものであることを特徴とする請求項18に記載の圧力センサー。基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でないことを特徴とする圧力センサー。基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有することを特徴とする圧力センサー。基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が前記均一厚領域から前記薄肉部の他端に向かい漸増する構成を有することを特徴とする圧力センサー。基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が少なくとも一つの段差部を有した階段状の構成を有することを特徴とする圧力センサー。前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有することを特徴とする請求項30、31、32又は33に記載の圧力センサー。前記検出片は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状であることを特徴とする請求項30、31、32又は33に記載の圧力センサー。前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有し、前記検出片の薄肉部は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状の構成を有することを特徴とする請求項30、31、32又は33に記載の圧力センサー。前記基台は、凹陥部と、該凹陥部の外周を包囲する外枠と、を有し、前記外枠の上面に前記検出片を支持することにより前記薄肉部と前記凹陥部との間に得られた微小ギャップと、を有することを特徴とする請求項30、31、32又は33に記載の圧力センサー。前記圧力センサーはタッチモード容量圧力センサーであることを特徴とする請求項30、31、32又は33に記載の圧力センサー。前記段差部は、薄肉部の基材上に金属層を付加することによって形成したものであることを特徴とする請求項33に記載の圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でないことを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が前記均一厚領域から前記薄肉部の他端に向かい漸増する構成を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が少なくとも一つの段差部を有した階段状の構成を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された圧電結晶材料から成る検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でないことを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された圧電結晶材料から成る検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された圧電結晶材料から成る検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が前記均一厚領域から前記薄肉部の他端に向かい漸増する構成を有することを特徴とする圧力センサー。圧電結晶材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された圧電結晶材料から成る検出片と、前記下部電極膜と対向する位置関係となる前記薄肉部の少なくとも一部に形成した上部電極膜と、前記検出片の下面と前記誘電体膜との間に微小ギャップの空間と、を備え、前記検出片は、その一端から所定幅の範囲が均一な厚さである均一厚領域と、該均一厚領域から前記薄肉部の他端までの範囲が前記均一厚領域よりも厚肉である増厚領域と、を備えた全面に亘って均一でない前記薄肉部を有し、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚が少なくとも一つの段差部を有した階段状の構成を有することを特徴とする圧力センサー。前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有することを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記検出片は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状であることを特徴とする請求項40、41、42、43、44、46又は47に記載の圧力センサー。前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有し、前記検出片の薄肉部は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状の構成を有することを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記基台は、凹陥部と、該凹陥部の外周を包囲する外枠と、を有し、前記外枠の上面に前記検出片を支持することにより前記薄肉部と前記凹陥部との間に得られた微小ギャップと、を有することを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記圧力センサーはタッチモード容量圧力センサーであることを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。圧電結晶材料から成る前記基台と、該基台と同一種の圧電結晶材料から成る前記検出片と、を備え、前記検出片の結晶軸の方向と前記基台の結晶軸の方向とを一致させた状態で、前記検出片に対して前記基台を重ね合わせたことを特徴とする請求項44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記圧電結晶材料が水晶であることを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記検出片が水晶板から成り、該水晶板の主面に対する法線が水晶結晶軸Zに対して0°以外の角度を成しており、前記検出片が前記水晶板をウェットエッチングによって薄く加工した前記薄肉部を有することを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記検出片を構成する圧電結晶材料は、厚味すべりモードを有することを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記検出片を構成する圧電結晶材料は、ATカット水晶板であることを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記圧力センサーは、タッチモード容量圧力センサーであることを特徴とする請求項40、41、42、43、44、45、46又は47に記載の圧力センサー。前記段差部は、薄肉部の基材上に金属層を付加することによって形成したものであることを特徴とする請求項47に記載の圧力センサー。本発明は上記に鑑みてなされたものであり、測定する圧力が小さい段階では速やかに撓み変形する一方で、高圧力の状態では徐々に撓むようにダイヤフラムを構成することによって圧力感度特性の直線性を向上させ、一種類の圧力センサーによって低圧から高圧まで高感度にて測定することができる圧力センサーを提供することを目的とする。上記課題を解決するため、請求項1の発明は、絶縁材料から成る基台と、該基台の面上に順次積層された下部電極膜及び誘電体膜と、該誘電体膜と対向する位置に薄肉部を備えるとともに基台の面上に固定された検出片と、該薄肉部の少なくとも一部に形成され且つ下部電極膜と対向する位置関係にある上部電極膜と、を備え、該検出片の下面と該誘電体膜との間に微小ギャップの気密空間を備えた圧力センサーにおいて、前記検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でないことを特徴とする。請求項2の発明は、請求項1において、前記薄肉部は、その一端から所定幅の範囲は均一厚領域であり、該均一厚領域から薄肉部の他端までの範囲は均一厚領域よりも厚肉の増厚領域となっていることを特徴とする。請求項3の発明は、請求項2において、前記増厚領域は、薄肉部の肉厚がテーパー状且つ直線的に漸増するか、或いは少なくとも一つの段差部を有した階段状の構成を有することを特徴とする。請求項4の発明は、請求項1、2、又は3において、前記検出片は、前記薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有することを特徴とする。請求項5の発明は、請求項1、2、3、又は4において、前記検出片の薄肉部は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状であることを特徴とする。請求項6の発明は、請求項5において、前記検出片の薄肉部の平坦面を、前記基台上の下部電極膜と対面するよう対向配置したことを特徴とする。請求項7の発明は、請求項1乃至6の何れか一項において、前記検出片と前記基台とが同一種の圧電結晶材料から成り、検出片の結晶軸と基台の結晶軸とを一致させた状態で、検出片に対して基台を重ね合わせたことを特徴とする。請求項8の発明は、請求項1乃至7の何れか一項において、前記基台は、凹陥部と、凹陥部外周を包囲する外枠とを有し、且つ凹陥部の内底面上に前記下部電極膜と誘電体膜を積層した構成を備え、基台の外枠上面により前記検出片の底面を支持することにより薄肉部と誘電体膜との間に前記微小ギャップを形成したことを特徴とする。請求項9の発明は、請求項1乃至8の何れか一項において、前記検出片が、水晶材料から構成されていることを特徴とする。請求項10の発明は、請求項9において、前記検出片は、水晶板から成り、該検出片の主面に対する放線が水晶結晶軸Zに対して0°以外の角度をなしており、前記検出片は、水晶板をウェットエッチングによって薄く加工した前記薄肉部を有することを特徴とする。請求項11の発明は、請求項9、又は10において、前記検出片を構成する水晶板は、厚味すべりモードを有することを特徴とする。請求項12の発明は、請求項9、10、又は11において、前記検出片を構成する水晶板は、ATカット水晶板であることを特徴とする。請求項13の発明は、請求項1乃至12に記載の圧力センサーは、タッチモード容量圧力センサーであることを特徴とする。請求項14の発明は、請求項3において、前記段差部は、薄肉部の基材上に金属層を付加することによって形成したものであることを特徴とする。請求項1の発明は、薄肉部の肉厚が全面に亘って均一厚ではなく、傾斜状に漸増したり、階段状に増大するように構成されており、また、請求項2の発明は、検出片の薄肉部の一端から所定幅の範囲を均一厚領域とし、該均一厚領域から薄肉部の他端に向かう範囲を均一厚領域よりも厚肉の増厚領域としているので、ダイヤフラムとしての薄肉部に厚味差部分が形成されることとなり、低圧力測定時には肉厚の薄い均一厚領域が機能し、高圧力測定時には肉厚の厚い増厚領域が機能し、トータルで圧力センサー感度の直線性を向上させることができる。請求項3の発明では、まず、増厚領域は、薄肉部の肉厚がテーパー状をなし且つ直線的に漸増するため、厚さが連続的な傾斜構造となり、高圧力測定時には薄肉部の腰の強さを維持し、圧力センサー感度の直線性を向上できる。また、増厚領域は少なくとも一つの段差部を有した階段状の構成を有するため、高圧力測定時には薄肉部の腰の強さを維持し、圧力センサー感度の直線性を向上できる。請求項4の発明では、検出片は、薄肉部の外周縁に厚肉環状部を一体化した構成を有するため、検出片の強度を高め、耐久性を向上することができる。請求項5、6の発明では、検出片の薄肉部は、一方の面が平坦面であり、他方の面が傾斜面、或いは階段状であるため、平坦面を底板上面と対向配置することによって、均一ギャップの気密空間を形成することが可能となり、圧力センサーの性能を安定させることができる。請求項7の発明では、前記検出片と前記基台とを同一種の圧電結晶材料から構成し、検出片の結晶軸と基台の結晶軸とを一致させたので、両者の熱膨張特性を厳密に一致させることができ、熱歪みによる影響を回避できる。請求項8の発明では、基台は、凹陥部と、凹陥部外周を包囲する外枠とを有しており、この場合には外枠をスペーサとして検出片を搭載することができる。請求項9の発明では、検出片が水晶材料から構成されているので、経年変化が少なく、機械変形による再現性が高いヒステリシスが少ない。また、ダイヤフラムとしての薄肉部の肉厚を厳密に管理することが容易であり、個片毎に薄肉部の肉厚差のない均一板厚のダイヤフラムを得ることができる。請求項10の発明では、水晶から成る検出片の主面に対する放線が水晶結晶軸Zに対して0°以外の角度をなしており、水晶板をウェットエッチングによって薄く加工した薄肉部を有するので、異方性エッチングを実現するための、検出片の材料を特定することができる。これにより、ウェットエッチングする際に、容易に薄肉部に傾斜面を形成することができる。請求項11の発明では、検出片を構成する水晶板は、厚味すべりモードを有するので、厚さ管理が容易となる。請求項12の発明では、検出片を構成する水晶板は、ATカット水晶板であるので、請求項9、10、11と同等の効果を得ることができる。請求項13の発明では、圧力センサーがタッチモード容量圧力センサーであるため、強い圧力が加わる環境での使用が可能となる。請求項14の発明では、段差部は、薄肉部の基材上に金属層を付加することによって形成できるので、製造が容易である。以下、本発明を図面に示した実施の形態により詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態に係るタッチモード容量型圧力センサーの構成を示す縦断面図であり、ab及びcはダイヤフラムの変化状態を示している。このタッチモード容量型圧力センサー以下、圧力センサー、という1は、底板2と、底板2上に組み付けられた検出片10と、底板2上面と検出片10の下面との間に微小ギャップの気密空間Sを介在させた状態で両者を接合する接合部材20と、から概略構成されている。底板2は、水晶、ガラス、セラミック等の絶縁材料から成る基台3と、基台3上に順次形成した下部電極膜4、誘電体膜5と、を備えている。検出片10は、例えば水晶板から構成されており、下部電極膜4上の誘電体膜5と対面する薄肉部ダイヤフラム11と、薄肉部11の外周を一体的に包囲する厚肉環状部12と、から構成されている。薄肉部11の下面には、下部電極膜4と対向するように上部電極膜13が形成されている。圧力センサー1は、自動車等の車両のタイヤ内の適所にトランスポンダーに組み付けられた状態で固定配置されて使用される。トランスポンダーは、アンテナコイルを備え、車両側のアンテナから出力された電磁波によってアンテナコイルに誘起される電流によって圧力センサーを作動させ、測定された圧力情報を電磁波として車両側へ出力する。タイヤ内の空気圧は、圧力センサー1の薄肉部11に加わり、大気圧に設定された気密空間S内の圧力を越えた圧力が加わった場合に薄肉部11を撓み変形させる。即ち、外部気圧が気密空間S内の気圧を上回った場合に、薄肉部1が下方に撓んで上部電極膜13の下面が誘電体膜5に接触したときの上部電極膜13と誘電体膜5との接触面積の変化を容量値として検出して外部圧力をセンシングすることが可能となる。この圧力センサー1をタイヤ内に組み込んだ場合には、主としてタイヤ内の空気圧の減少状態をモニタするために使用される。空気圧が許容値を下回ったことをリアルタイムに検出し、ドライバー等に対して速やかに警告表示させるためには、圧力感度特性の直線性が重要である。接合部材20は、接着手段、及びスペーサを兼ねており、薄肉部11の下面と底板2の上面との間に基準圧力を得るための気密空間Sを形成している。本発明の圧力センサー1の特徴的な構成は、検出片の薄肉部11の厚さが全面に亘って均一ではなく、薄肉部11の一端から所定幅の範囲は均一厚領域11aであり、均一厚領域11aから他端に向かう範囲は薄肉部の肉厚が均一厚領域よりも大きい増厚領域11bとなっている。この例では、増厚領域11bは、厚さが直線的に漸増するテーパー状の断面形状を有している。即ち、この実施形態の圧力センサー1における増厚領域11bは、気密空間S側の主面が平坦底板上面と平行であり、気密空間と反対側の主面がテーパー状、且つ直線的な傾斜面となっている。即ち、均一厚領域11aの終端部Aから薄肉部の他端部Bに至る範囲では、板厚が傾斜状に漸増するように構成されている。つまり、均一厚領域11aでは、上下の主面が平行であるが、増厚領域11bでは下側の主面に対して上側の主面が非平行であり、テーパー状に拡開するように延びている。このように構成することにより、高圧測定においても圧力感度特性の直線性を、測定可能な圧力の限界値まで、十分に維持することが可能となる。また、測定が不能となる飽和圧力値まで、直線性を有した圧力検出が可能となるため、空気圧が異なる種類のタイヤ、例えば乗用車のタイヤ空気圧は2kg/cm2と、トラックのタイヤ空気圧は8kg/cm2に対して同一構造の圧力センサーを使用することが可能となる。なお、図2bに示すように、均一厚領域11aを設けず、増厚領域11bのみを備えた薄肉部11の構成としてもよい。即ち、薄肉部の一端縁から他端縁に向けて肉厚が傾斜状に漸増したり、階段状に増大するようにした構成であってもよい。次に、図1abcに基づいて本発明の圧力センサの動作を説明する。まず、外部タイヤ内の圧力が気密空間S内の圧力と同等の場合にはaに示すように薄肉部11は変形していないが、測定圧力が低い状態ではbに示すように薄肉部11の均一厚領域11aの腰保形力がいち早くなくなって折れ曲がり、底板上面誘電体膜5と接触する。一方、薄肉部の増厚領域11bは、十分な腰を有しているため、測定圧力が高くなるに連れて、徐々に底板側に押し付けられる。本実施形態では、増厚領域11bの断面形状が、傾斜テーパー形状となるように厚み差が設けられているため、図1bの状態以降において、測定圧力が一定の変化を示す場合に、薄肉部の動作をよりスムーズ且つ定量的に制御することが可能となる。また、この実施形態では、基台3の上面に設けた下部電極膜4から図示しない下部引き出し電極を基台の外縁部へ向けて延長形成する一方で、薄肉部11の下面に形成した上部電極13からも図示しない上部引き出し電極を検出片の外縁部へ延長形成する。両引き出し電極から通電し、気密空間及び誘電体膜5を介して対向配置された各電極膜4、13間の容量値Cの変化にもとづいて外部の圧力を算出することが可能となる。即ち、各電極膜4、13間に形成されるコンデンサの容量値Cは、C=εS/dε:誘電体の誘電率、S:電極の面積、d:電極の間隔で表される。つまり、電極膜4、13間の間隔dを狭く広く設定すると、容量値Cが大きく小さくなる。一方、対向する2つの電極膜の対向面積を大きくすると、容量値Cが大きく小さくなるという性質を有する。上記のごとき構成を備えた圧力センサ1を大気中に配置すると、気密空間S内は大気圧と同様の気圧に設定されている。外部の気圧が気密空間S内の気圧と同じ場合には、図1aに示すように、気密空間内の気圧は外気と釣合っているため薄肉部11は変形しない。一方、外部の気圧が気密空間内気圧よりも高くなった場合には、図1bcに示すように薄肉部11は変形して誘電体膜5に近接接触する。図2bcは、外部圧力の多寡に応じて、薄肉部11と誘電体膜5との接触面積Sが変化する状態を示しており、bに示した接触面積S1の時と、cに示した接触面積S2の時S1<S2の容量値C1、C2とを比較すると、接触面積がS1の場合には、C1=εS1/dとなり、接触面積がS2の場合には、C2=εS2/dとなる。このように外部圧力が、気密空間Sの圧力大気圧よりも大きくなると、薄肉部が変形し、上部電極膜13が誘電体膜5と接触するので、このときの上部電極膜13と誘電体膜5との接触面積の変化を容量値として検出して圧力をセンシングすることが可能となる。次に、図2aは本発明の圧力センサの他の実施形態を示す断面図であり、この圧力センサ1は、検出片10が厚肉環状部12を有していない点において、図1の実施形態と異なっている。この実施形態は、検出片10の最大厚さを小さくできるので、圧力センサを薄型化する上で有効である。図2bは図2aの変形例であり、基台3が、凹陥部3aと、凹陥部外周を包囲する外枠3bとを有し、且つ凹陥部3aの内底面上に下部電極膜4と誘電体膜5を積層した構成を備えている。そして、基台の外枠3bの上面により検出片10の底面を支持することにより薄肉部11と誘電体膜5との間に微小ギャップを形成している。この検出片10は、aの検出片と異なり、均一厚領域を有しておらず、薄肉部全体が増厚領域11bとなっている。次に、図3abは本発明の他の実施形態に係る圧力センサーの断面図であり、この圧力センサー1は、薄肉部11の増厚領域11bが、少なくとも一つの段差部15を有して、階段状に肉厚が漸増する構成を有している。以上の構成において、外部タイヤ内の圧力が気密空間S内の圧力と同等の場合には図3aに示すように薄肉部11は変形していないが、測定圧力が低い状態では図3bに示すように薄肉部11の均一厚領域11aの腰保形力がいち早くなくなって折れ曲がり、底板上面誘電体膜5と接触する。一方、薄肉部の増厚領域11bは、均一厚領域11aよりも厚肉であり、十分な腰を有しているため、測定圧力が高くなるに連れて、徐々に底板側に押し付けられる。本実施形態では、増厚領域11bの断面形状が、均一厚領域11aよりも厚く、且つ均一厚となるように設定されているため、bの状態以降において測定圧力が一定の変化を示す場合に、薄肉部の動作をよりスムーズ且つ定量的に制御することが可能となる。従って、誤差の少ない高精度の圧力測定が可能となる。更に、図4の圧力センサーは、増厚領域11bが複数の段差部15a、15bを有した階段状であり、段差部15aよりも、段差部15bの厚さが厚くなるように設定されているため、均一厚領域11aが底板上面に接した段階以降に測定圧力が高くなるに連れて、薄肉部の動作をよりスムーズ且つ定量的に制御することが可能となる。図3、図4に示した如き段差部15、15a、15bを有した薄肉部11を製造する際には、均一厚の薄肉部の主面上に、金属膜を成膜することによって増厚領域11bを形成するようにしてもよい。次に、検出片10と基台3を構成する材料として、同一種の圧電結晶材料を選定した場合には、検出片の結晶軸と基台の結晶軸とを一致させた状態で、検出片に対して基台を重ね合わせることが好ましい。このように構成することにより、検出片と基台の熱膨張特性が一致し、熱歪みによる悪影響を無くする利点があるので、耐久性を高め、性能を安定させることができる。次に、検出片10を構成する材料としては、水晶材料を使用することが好ましい。即ち、検出片10の材料として、従来使用されていたシリコンに代えて水晶を使用することにより、次のような優位性を得ることができる。即ち、水晶はシリコンに比べて物性的に安定した素材であり、経年変化が少なく、機械変形による再現性が高いヒステリシスが少ない。また、水晶によれば、ダイヤフラムとしての薄肉部の肉厚を厳密に管理することが容易であり、個片毎に薄肉部の肉厚差のない均一板厚のダイヤフラムを得ることができる。即ち、薄肉部11を目標肉厚に加工するためには、まず水晶板に対するエッチングによって薄肉部11を形成した後で、薄肉部11に電極を付着させて通電して薄肉部の固有周波数を測定することにより目標周波数目標肉厚と比較する。目標周波数と一致しない場合には、目標周波数に達するまで微調エッチングを行う。その結果、個片毎に薄肉部の肉厚差のない均一板厚の薄肉部を得ることができる。なお、水晶等の圧電材料の薄肉部10aの肉厚を微調整するためにその固有周波数を測定する技術は、例えば特開平06-021740号公報に開示されているように、本出願人による超薄板圧電振動子の加工技術として周知であり、この技術をそのまま応用することができる。使用する水晶材料としては、厚味すべりモードを有する材料、例えばATカット水晶板が好ましい。次に、上記各実施形態に示した如き薄肉部を備えた検出片を製造する場合には、ウェットエッチングによる方法が好ましい。ガスエッチング等のドライエッチング法によっても製造は可能であるが、生産性を考慮した場合にはウェットエッチングが有効である。この場合、ウェットエッチングによるエッチング速度に対して異方性を有する材料を使用することが好ましい。このような異方性を有する材料としては、水晶材料、特にATカット水晶板を使用することが好ましい。即ち、水晶は、温度変化に対して安定した物質である一方で、ウェットエッチングによるエッチング速度に対して異方性を有しているため、図1、図2に示した如き均一厚領域11aと増厚領域11bを備えた薄肉部11を容易に製造することができる。特に、水晶板面の法線と、水晶結晶のZ軸とのなす角度θがθ≠0°である場合には、異方性に起因してエッチング面に傾斜面を形成し易いという利点があり、所望の傾斜面を得ることができる。即ち、検出片10を水晶板から構成する場合には、検出片の主面に対する放線が水晶結晶軸Zに対して0°以外の角度をなすように構成するのが好ましい。更に、検出片を、ATカット水晶板等の厚味すべりモードを有する材料にて構成する場合には、異方性による利点に加えて、厚味を周波数換算してモニタリングすることが可能であるため、薄肉部を精度良く加工することができる。また、エッチングにより肉厚が漸増する増厚領域11bを形成する場合には、図1に示すように検出片の上面中央部のみをエッチングして凹陥部を形成し、下面をフラット形状に保つ。そして、フラットな下面を底板2の上面に対向させるように組み付けることが好ましい。このようにすることにより、気密空間Sのギャップが均一化するため、測定精度を高めることが可能となる。なお、ガスエッチングによって、図1、図2、図3に示した如き構造の検出片を加工する場合には、エッチング面を覆うマスクの位置をずらすことにより、各部のエッチング時間を異ならせる作業を行う必要がある。次に、図5abは均一厚の薄肉部を有したシリコンから成る検出片を使用した従来のタッチモード式圧力センサーと、ATカット水晶から成る検出片を使用した図1に示す本発明のタッチモード式圧力センサーの圧力-容量特性を比較する図である。何れの圧力センサーも、容量が80pFとなった時点で飽和する点では同じであるが、本発明の圧力センサーは、飽和状態に達するまでの過程における圧力感度の直線性に優れると共に、より高圧側まで圧力を計測できるポテンシャルを備えている。従来例の圧力センサーは測定圧力が5kg/cm2になった段階で飽和に近い状態に達しているのに対して、本発明の圧力センサーは10kg/cm2に達するまで直線性を維持している。従って、本発明では、同一の圧力センサーを空気圧力の異なるタイヤに共用することができる。つまり、空気圧力の異なるタイヤごとに異なった圧力センサーを製造し、適用する必要が無くなる。本発明の圧力センサーは、タイヤ等の閉空間内の気体の圧力変化を測定する以外にも、流体一般の圧力測定に適用することができる。