"液状の流体が流通する管路に配設されて、該管路を流通する前記流体の流量を調整するためのダイヤフラム弁において、弁の操作を行う弁操作部と、該弁操作部の操作に連動して弁本体内の流路を開閉するダイヤフラムとを備え、前記ダイヤフラムは、前記弁本体内の流路に露出して該流路を流通する流体に接触する導電性の接液シートと、該接液シートが前記流路に露出した面とは反対側の面に設けた緩衝部材と、該緩衝部材と前記接液シートとの間に介装し、互いに離隔させた2つの導電性の電極部材と、を有し、前記弁操作部は、前記ダイヤフラムの接液シートを前記流路内の対壁側に当接および離隔可能に変位させて、前記弁本体内の流路を開閉するものであり、前記電極部材間の電気抵抗を測定することにより、前記流体が前記緩衝部材側に漏れ出るような前記接液シートの破損を前記電気抵抗の変化から検出可能としたことを特徴とするダイヤフラム弁。前記電極部材は、板体または板状に広がる網状体であることを特徴とする請求項1に記載のダイヤフラム弁。前記電極部材と前記緩衝部材との間にさらに前記接液シートと同質の弁シートを介装したことを特徴とする請求項1または2に記載のダイヤフラム弁。液状の流体が流通する管路に配設されて、該管路を流通する前記流体の流量を調整するためのダイヤフラム弁のダイヤフラム破損検出方法であって、弁本体内の流路に露出して該流路を開閉するダイヤフラムの接液シートの前記流路側とは反対側に互いに離隔して配設した電極間の電気抵抗を測定し、前記電気抵抗の値が変化したときに、前記接液シートに破損が発生したと判断することを特徴とするダイヤフラム弁のダイヤフラム破損検出方法。液状の流体製品を生産する生産プロセスまたは製品を流体で処理する処理プロセスを有する生産プラントにおけるプロセス制御システムにおいて、前記生産プロセスまたは処理プロセスにおける前記流体が流通する流路に前記流体の流量を調整するための前記請求項1から3の何れか一項に記載されたダイヤフラム弁を備え、前記ダイヤフラム弁の前記電極部材の電気抵抗の変化を検出し、電気抵抗のデータをプロセス全体の流路制御の要素として加えることにより、大事に至る以前にダイヤフラム弁の破損を検知して、メンテナンスを含めた流路制御の集中管理を可能としたプロセス制御システム。しかしながら、特許文献1に開示された技術では、流路を流れる流体が気体であればダイヤフラムの破損の際に即座に検出できても、流体が液体である場合には、流体の粘性によっては、流体が孔を通過して外部に確実に漏洩するか否か分からず、また、液体が外部に確実に漏洩する程度の粘性であるとしても、外部に漏洩したときには破損が発生してからの時間経過によってダイヤフラムの破損が既に相当に大きくなっており、前記のようにダイヤフラムの破損による生産プロセス全体へのダメージが大きくなってしまっているという問題点がある。また、孔を設けるのでダイヤフラム弁の構造が複雑になり、それだけ製造コストが上がるという問題点もある。本発明は、このような従来のダイヤフラム弁が有する問題点に着目してなされたもので、液状の流体が流通するダイヤフラム弁のダイヤフラムに破損が発生したときに、その破損に起因して液状の流体が汚染されてしまう以前にダイヤフラムの破損を検知できるダイヤフラム弁を提供することを目的とする。かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。[1]液状の流体が流通する管路に配設されて、該管路を流通する前記流体の流量を調整するためのダイヤフラム弁1において、弁の操作を行う弁操作部20と、該弁操作部20の操作に連動して弁本体10内の流路11を開閉するダイヤフラム30とを備え、前記ダイヤフラム30は、前記弁本体10内の流路11に露出して該流路11を流通する流体に接触する導電性の接液シート31と、該接液シート31が前記流路11に露出した面とは反対側の面に設けた緩衝部材32と、該緩衝部材32と前記接液シート31との間に介装し、互いに離隔させた2つの導電性の電極部材33と、を有し、前記弁操作部20は、前記ダイヤフラム30の接液シート31を前記流路11内の対壁側に当接および離隔可能に変位させて、前記弁本体10内の流路11を開閉するものであり、前記電極部材33間の電気抵抗を測定することにより、前記流体が前記緩衝部材32側に漏れ出るような前記接液シート31の破損を前記電気抵抗の変化から検出可能としたことを特徴とするダイヤフラム弁1。[2]前記電極部材33は、板体または板状に広がる網状体であることを特徴とする項[1]に記載のダイヤフラム弁1。[3]前記電極部材33と前記緩衝部材32との間にさらに前記接液シート31と同質の弁シートを介装したことを特徴とする項[1]または[2]に記載のダイヤフラム弁1。[4]液状の流体が流通する管路に配設されて、該管路を流通する前記流体の流量を調整するためのダイヤフラム弁のダイヤフラム破損検出方法であって、弁本体10内の流路11に露出して該流路11を開閉するダイヤフラム30の接液シート31の前記流路側とは反対側に互いに離隔して配設した電極間の電気抵抗を測定し、前記電気抵抗の値が変化したときに、前記接液シート31に破損が発生したと判断することを特徴とするダイヤフラム弁1のダイヤフラム破損検出方法。[5]液状の流体製品を生産する生産プロセスまたは製品を流体で処理する処理プロセスを有する生産プラントにおけるプロセス制御システム100において、前記生産プロセスまたは処理プロセスにおける前記流体が流通する流路111に前記流体の流量を調整するための前記項[1]から[3]の何れか一項に記載されたダイヤフラム弁1を備え、前記ダイヤフラム弁1の前記電極部材33の電気抵抗の変化を検出し、電気抵抗のデータをプロセス全体の流路制御の要素として加えることにより、大事に至る以前にダイヤフラム弁1の破損を検知して、メンテナンスを含めた流路制御の集中管理を可能としたプロセス制御システム100。前記本発明は次のように作用する。ダイヤフラム弁1は、液状の流体が流通する管路に配設されており、ダイヤフラム弁を通過する流体の流量は、弁操作部20を操作することによって行う。弁操作部20を操作すると、弁本体10内の流路11に露出しているダイヤフラム30が連動して弁本体10内の流路11に出没して流路11を開閉することができる。これにより、弁本体10内の流路11を通過する流体の流量を調節することができる。ダイヤフラム30は、弁本体10内の流路11側に露出して該流路11を流通する流体に接触する接液シート31と、該接液シート31が流路11に露出した面とは反対側の面に設けた緩衝部材32と、該緩衝部材32と接液シート31との間に介装し、互いに離隔させた2つの導電性の電極部材33とから成っている。接液シート31は、サニタリー性に優れた素材から作られているので、接触する流体が接液シート31側の汚染物によって汚染されることはない。ダイヤフラム30は、接液シート31、電極部材33および緩衝部材32が一体になって弁操作部20の操作に連動して変位する。弁操作部20を操作してダイヤフラム30の接液シート31を流路11内の対壁側に当接させると流路11が遮断され、離隔させると流路11が開く。このような弁の開閉操作の繰り返しを長期間に亘って行うと、やがてダイヤフラム30に破損が生じる。その破損が接液シート31で発生するとその破損部分から流路11を流れる流体がダイヤフラム30内に浸潤してくる。この状態では流体が緩衝部材32に接触して緩衝部材32の汚染物質によって汚染されると言うことはないが、破損した状態で弁の開閉がさらに繰り返されると破損が大きくなる。すると流路11を流れる流体が破損部分からダイヤフラム30内に浸入して緩衝部材32に接触し、再び流路11に戻るようになる。こうなると緩衝部材32との接触によって汚染された流体が流通してしまう。本発明に係るダイヤフラム弁1では、ダイヤフラム30がこのような状態まで破損が進む以前に、破損が発生したことを検知してダイヤフラム30の交換等の対策を施すことができる。本発明に係るダイヤフラム弁1では、接液シート31が破損して流路11を流れる流体がダイヤフラム30内に浸潤してくると、電極部材33間に流体が存在することにより電極部材33間の電気抵抗値が変化する。したがって、この電気抵抗値の変化を検出することにより、ダイヤフラム30の破損が流路11を流れる流体の汚染に至ってしまう以前の軽微な破損が発生した段階でその破損を発見することができる。この段階で生産プロセスの停止を短時間だけ行ってダイヤフラム30の交換等の対処をするだけで、流路11を流れる流体に汚染が発生することなく、生産に大きな影響を与えずに生産プロセスを継続することができる。なお、電極部材33は、板体または板状に広がる網状体とすることにより、厚さを薄くできるので、ダイヤフラム30としてより好適である。なお、流路11に露出している接液シート31と同質の弁シートをさらに電極部材33と緩衝部材32との間に介装したものでは、破損の拡大の速度が速くて破損を検知してから対処するまでの間に破損が大きくなっても、流路11を流れる流体のサニタリー性の維持をより高めることができる。また、接液シート31はPTFE系の素材とし、電極部材33は導電性のものであり、且つ、流路11を流れる流体に接触しても不活性である性質を有する素材であることがより好ましい。このように、本発明に係るダイヤフラム弁1は、弁を流れる液状の流体に接する接液シート31が破損した場合に、その破損が小さいうちに検出して、生産プラントの機能を損なうまでに至ることなく保全管理することができるようにしたものである。本発明にかかるダイヤフラム弁によれば、液状の流体に接する接液シートが破損したときに、その破損が小さいうちに検出できるので、短時間で容易にできる接液シートの交換をするだけでよい。このため、ダイヤフラム弁を備える生産プラントの機能が接液シートの破損に起因する液状の流体の汚染等によって大きく損なわれてしまうことを防止でき、以て生産プラントの保守管理が容易になる。また、接液シートの破損を接液シートと緩衝部材との間に介装した電極部材間の電気抵抗の変化によって検出するので、構造が簡単で安価にでき、また、破損の検出に高い信頼性を得ることができる。以下、図面に基づき本発明の好適な一実施の形態を説明する。各図は本発明の一実施の形態を示している。図1は、本発明の一実施の形態に係るダイヤフラム弁の流路を閉じた状態を示す説明図であり、図2は、図1のダイヤフラム弁の流路を開いた状態を示す説明図である。また、図3は、図1のダイヤフラム弁のダイヤフラムを側面方向から見たときの構造を示す説明図であり、流路を閉じているときの状態が示されている。図4は、ダイヤフラムの平面図である。図1および図2に示したように、ダイヤフラム弁1は、弁本体10と該弁本体10内の流路11を開閉するための操作を行う弁操作部20と、該弁操作部20の操作に連動して弁本体10内の流路11を開閉するダイヤフラム30と、から成っている。弁本体10の側面には弁座が設けられており、弁座を設けた部分の中央には弁本体10内を臨む開口12が穿設されている。この開口12を完全に覆い、弁本体10の内側を外側から完全に遮断するようにダイヤフラム30が配設されている。弁本体10の内部には、開口12に相対する内壁以下、対壁と記す。側から開口12に向かって突出した凸部13が形成されている。この凸部13は、対壁側から頂部13aに向かって幅が狭くなる形状をなしている。凸部13は、頂部13aが開口12の直径方向に弁本体10内の流路を横断するように延びている。頂部13aは、開口12の直径方向上の両縁部まで延びている。その両縁部間は、緩やかな円弧状に湾曲しており、頂部13aは、開口12が形成された弁座の開口面までは至っていない。すなわち、頂部13aと開口面までは空間が存在している。開口12の外側には、ダイヤフラム30を挟むように弁操作部20が装着されている。弁操作部20は、ダイヤフラム30を流路11内の前記凸部13の頂部13aに当接および離隔可能に変位させて、弁本体10内の流路11を開閉するものである。この弁操作部20は、そのハウジングHがボルトによって弁本体10の弁座に着脱可能に固定されている。この弁操作部20は、弁本体10に固定された状態で開口12の外側に外部から密閉された空間50を形成する空間形成部14を有している。ハウジングHには、ネジスピンドル21が貫通している。このネジスピンドル21は、弁本体10の開口12へ向かう方向に進退可能に取り付けられている。また、ハウジングHの上部には、ネジスピンドル21の進退を操作するためのハンドル22が配設されている。このハンドル22にはネジスピンドル21の基端側が連結されている。ハンドル22は、一方向にねじる様に回転させるとネジスピンドル21が開口12に向かって進み、反対方向に回転させるとネジスピンドル21が開口12から離れる方向に退くようになっている。ネジスピンドル21の先端側には弁本体10の開口12に向かって球面状に膨らんだ形状の押え治具23が取り付けられている。さらにネジスピンドル21の先端側には、この押え治具23の先端にほぼ接する位置にダイヤフラム30が着脱可能に取り付けられている。押え治具23の先端の中央には、後述するダイヤフラム30の取付ピンPを着脱可能に受けるピン受け部が設けられている。押え治具23は、ダイヤフラム30で弁本体10内の流路11を閉じるときにダイヤフラム30を前記凸部13の頂部13aに押圧するためのものである。このため、押え治具23は硬質の素材によって作られている。図3から図4までに示したように、ダイヤフラム30は、弁本体10の開口12から内側の流路11に露出して該流路11を流通する液状のプロセス流体に接触する導電性の接液シート31と、該接液シート31が流路11に露出した面とは反対側の面に設けた弾性のあるシート状の緩衝部材32と、該緩衝部材32と接液シート31との間に介装した2つの互いに離隔させた導電性の電極部材33と、を有して成る。例えば醗酵製品、食品、半導体、医薬品、化粧品等の生産プロセスでは高いサニタリー性が要求されるので、これらのような生産プロセスではプロセス系全体を加熱殺菌したり、純水等による洗浄を行ったりする。したがって、これらの生産プロセスで使用されるダイヤフラム30も高いサニタリー性が要求されるとともに、加熱殺菌や純水等による洗浄に適するものであることが必要である。そのためには、ダイヤフラム30の素材としては略-20°C~143°Cの温度範囲で耐寒性、耐熱性を有するものが好ましい。例えば接液シート31にはPTFE系の素材等が使用され、緩衝部材32にはEPDN系ゴム材が使用される。接液シート31は、弁操作部20のネジスピンドル21に面する側の中央に取付部34を有している。この取付部34は、ネジスピンドル21に向かって突起しており、内部に空間が形成されている。取付部34には、ネジスピンドル21に連結される取付ピンPが取付部34から脱落せず、且つ取付ピンP自身の軸心を中心にした自転が可能に取付部34を貫通して取り付けられている。この取付ピンPは、緩衝部材32の中央部も貫通している。取付ピンPの先端は、ネジスピンドル21の先端の押え治具23に着脱可能に取り付けられる。例えば、押え治具23に取付ピンPの頭部の輪郭と略同一形状で同一の大きさの開口を形成し、開口の奥に取付ピンPの頭部が回転できるような空間を形成しておけばよい。接液シート31と緩衝部材32との間に介装され、互いに離隔するように配置される電極部材33は、例えばカーボン、ステンレス、白金等を素材とし、これらを薄板状あるいは網状に形成したものである。電極部材33の素材としては、例示したものに限らず、導電性があり、且つ化学的に不活性なものであれば良い。電極部材33は、取付部34を中心にしてその両側に離隔して2つ配置されている。2つの電極部材33,33は、ダイヤフラム弁1の使用状態においては、導電性のある接液シート31に常に接触した状態が維持されている。また、2つの電極部材33,33はそれぞれ、ダイヤフラム弁1の使用状態において、ダイヤフラム弁1のハウジングHよりも外側に出ている端部に電気抵抗を測定するための測定用端子33aが設けられている。測定用端子33a,33aは、電気抵抗を測定可能な回路装置に接続されている。これにより、2つの電極部材33,33間の電気抵抗を測定することができる。接液シート31に破損が無い状態では、電極部材33,33間の電気抵抗は、両電極部材33,33間に存在する気体および接液シート31ならびに緩衝部材32の表面抵抗となり、略一定の電気抵抗値を示す。しかしながら、例えば接液シート31に微小のひびが入って流路11を流れるプロセス流体が接液シート31と緩衝部材32との間に浸潤すると電極部材33,33間の電気抵抗に明確な有意の変化が現れる。このため、この電気抵抗の変化を検出することによって接液シート31に破損が発生したことを知ることができる。したがって、生産プロセスにおいて、2つの電極部材33,33間に一定の電圧を加えて電気伝導度を測定することにより、接液シート31の破損が大きくなって生産プロセスにおけるプロセス流体が汚染されるような事態に至る前にそのような事態の発生を事前に予測することができる。これにより、生産プロセスの運転管理の質をより高めることができる。次に、本実施の形態に係るダイヤフラム弁1の作用について説明する。ダイヤフラム弁1は、大きく弁本体10と弁操作部20とダイヤフラム30とに分解できる。ダイヤフラム弁1を組み立てるときは、先ず、接液シート31、緩衝部材32、電極部材33を組み付けたダイヤフラム30の取付ピンPを弁操作部20の押え治具23に設けられたピン受け部に装着する。次に、弁操作部20を弁本体10の弁座にボルトで固定する。このとき、ダイヤフラム30は弁操作部20のハウジングHと弁本体10の弁座との間に挟まれて固定される。これにより、弁本体10の開口12は、ダイヤフラム30の接液シート31によって密閉される。ダイヤフラム30は、電極部材33,33の測定用端子33a,33aを電気抵抗の測定が可能な回路装置あるいはダイヤフラム弁1が装着されている生産プロセスを管理する管理装置側に接続する。プロセス流体が流通する管路に配設されたダイヤフラム弁1は、弁本体10内の流路11を通過するプロセス流体の流量を弁操作部20のハンドル22を操作することによって調節することができる。ハンドル22を回す方向によってネジスピンドル21が開口12に向かう方向に進退する。このネジスピンドル21の進退の量はハンドル22の回転量に比例する。ダイヤフラム30は、接液シート31、電極部材33および緩衝部材32が一体になって弁操作部20の操作に連動して変位する。弁操作部20を操作してダイヤフラム30の接液シート31を対壁側から流路11内に突出している凸部13の頂部13aに当接させると、頂部13aの湾曲に接液シート31が密接して流路11が遮断され、接液シート31を頂部13aから離隔させると流路11が開く。図2に示したように、弁本体10の流路11を完全に開いた状態では、ネジスピンドル21が弁本体10の開口12から離れる方向図面上の上方に退いている。このときダイヤフラム30は、周縁部が弁座に固定されている一方、ネジスピンドル21の先端に連結された取付部34が開口12から離れる方向に引っ張られている。これにより、ダイヤフラム30は流路11から退いており、流路11は完全に開いた状態にある。一方、図1に示したように弁本体10の流路11を完全に閉じた状態では、ネジスピンドル21は弁本体10の開口12に最も近づいた位置まで進んでいる。このときダイヤフラム30は、接液シート31が弁本体10内の凸部13の頂部13aに対して押圧されている。ダイヤフラム30を頂部13aに押圧している押え治具23は、前記のように開口12に向かって球面状に膨らんだ形状であるので、押え治具23に押圧されたダイヤフラム30の接液シート31は、緩やかな円弧状に凹んだ頂部13aの全長に亘って押圧されており、頂部13aに密接している。これにより、流路11は完全に塞がれている。このようにハンドル22を回すことにより、弁本体10内の流路11を通過するプロセス流体の流量を調節することができる。このように流量調節の度に開閉操作が繰り返されるダイヤフラム弁1は、長期間に亘って使用し続けると、凸部13の頂部13aに繰り返し押圧されることによって接液シート31が変形を起こす。そして、疲労や経時変化による材質の劣化などと相まって破損が生じることもある。接液シート31に破損が発生すると、流路11を流れるプロセス流体が破損部分からダイヤフラム30内に浸潤してくる。破損がまだ小さいひびのようなときは、浸潤したプロセス流体が接液シート31に重ねられた緩衝部材32に接触しても破損部分から流路11内に戻ることはない。したがって、破損が小さいうちはプロセス流体が緩衝部材32の汚染物質によって汚染されることはない。しかし、破損に気がつかずに弁の開閉がさらに繰り返されると破損が大きくなる。すると流路11を流れるプロセス流体が破損部分からダイヤフラム30内に浸入して緩衝部材32に接触し、再び流路11に戻るようになる。このような状態になると、緩衝部材32に接触したプロセス流体に緩衝部材32の表面に付着していた汚染物質が混入してしまう。こうなるとダイヤフラム30の交換だけでなくプロセス系を洗浄したり、滅菌したりする操作が必要となって生産プロセスの長時間に及ぶ停止を余儀なくされるので、生産性に大きな支障をきたしてしまう。しかしながら、従来は、ダイヤフラムの破損を前記のような小さいうちに発見することができなかった。本発明に係るダイヤフラム弁1では、ダイヤフラム30に微小なひびのような破損が発生し、そこからプロセス流体が緩衝部材32側まで浸潤した段階で破損を検知することができる。破損の検知は、前記の電極部材33,33間の電気抵抗値を測定することによって行うが、ダイヤフラム30に破損が無く正常の状態では、電極部材33,33間の電気抵抗値は一定の値を示す。一方、ダイヤフラム弁1の接液シート31に小さなひび程度の破損が発生すると、流路11を流れるプロセス流体は、破損箇所からダイヤフラム30内の接液シート31と緩衝部材32との間に浸潤してくる。この浸潤によってプロセス流体が両電極部材33,33間に亘ると、電極部材33,33間の電気抵抗値が変化する。したがって、この電気抵抗値の変化を検出することにより、ダイヤフラム30の破損を軽微な段階で発見することができる。この段階では、緩衝部材32に接触したプロセス流体が流路11に戻ることはないので、流路11を流れるプロセス流体が汚染されるようになる以前にその破損を検知することができる。破損が検知されたら生産プロセスを停止させてダイヤフラム30の交換をすればよい。ダイヤフラム30の交換は短時間で済むので、生産プロセスの停止も短時間で済む。このため、流路11を流れるプロセス流体が汚染されることなく、生産に大きな影響を与えずに生産プロセスを継続することができる。なお、流路11に露出している接液シート31と同質の弁シートを電極部材33と緩衝部材32との間にさらに介装することにより、接液シート31の破損の態様に関わらず、破損に対処することができる。すなわち、接液シート31の破損の拡大の速度が速くて破損を検知してから対処するまでの間に破損が大きくなってしまった場合であっても、接液シート31と緩衝部材32との間に介装した弁シートによってプロセス流体が緩衝部材32に接触することを防止できる。これにより、緩衝部材32の表面の汚染物質がプロセス流体中に混入してしまうことを防止することができる。したがって、流路11を流れるプロセス流体のサニタリー性の維持をより高めることができる。以上、本発明の実施の形態を図面によって説明してきたが、具体的な構成は前述した実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。例えば、本実施の形態においては、前記の弁シートを接液シート31と同質のものであるとしたが、弁シートは、繰り返しの圧力曲げに対し、耐久性の高いしかもサニタリー性に優れた材質のものであれば接液シート31とは異なる材質のものでもよい。このように、本発明に係るダイヤフラム弁1は、弁を流れる流体に接する接液シート31が破損した場合に、その破損が小さいうちに検出することができ、また、破損が大きくなってもプロセス流体が汚染される以前に破損を検出することができるので、本発明に係るダイヤフラム弁1を使用した生産プラント110は、ダイヤフラム弁1の破損が発生したときでも生産プロセスが損なわれることなく保全管理をすることができる。なお、図5に簡略して示したように、醗酵製品、食品、半導体、医薬品、化粧品等に係る流体の製品を生産する生産プロセスまたは製品を流体で処理する処理プロセスを有する生産プラント110における流体が流入口Iから排出口Oまで流通する流路111に本発明に係るダイヤフラム弁1を配設し、該生産プラント110を集中管理装置によって制御するプロセス制御システム100において、ダイヤフラム弁1からの電気抵抗のデータをプロセス全体の流路制御の要素として加えることにより、大事に至る以前にダイヤフラム弁1の破損を検知して、メンテナンスを含めた流路制御の集中管理をすることができる。1.緒言ダイヤフラム弁のテフロンデュポン社の登録商標シート部分の破損のカンチのための弁改良に関する研究を行った。1弁内に液体を保有しない場合2弁内に脱イオン水を保有する場合3弁内に1MKCl水溶液を保有する場合に弁内のテフロンシートを2枚とし、新たに配置した2枚のチタンメッシュ電極間の電気抵抗および静電気容量をテフロンシートに変化がない場合と、破損状態にある場合について測定した。その結果、原理的には新たな弁内の2電極間の電気抵抗を測定することにより弁内のテフロンシートの破損を早期に検知する可能性を認めた。2.実験方法1ダイヤフラム弁A:BWZA17CFナット長B:BWZA17DFナット短2弁内の構造チタンメッシュ電極:25mm×40mm電極間距離:15mm3試料液脱イオン水1MKCl水溶液比伝導率κ:0.1113/Ωcm25°C3.結果1各シート1枚の上に2枚のチタンメッシュ電極の距離を15mmに配置した場合の測定結果電極を短絡抵抗Rs110-35mΩRp110-39mΩ静電容量Cs15-11mFCp1.4mF-150μF測定値は、シート表面および雰囲気によるものと考えられる。2弁に液体を保有しない場合弁が閉じた場合11回目2回目Rs1.4MΩ1.2MΩRp1.6MΩ1.4MΩCs200pF300pFCp50pF30pF21回目2回目Rs1.2MΩ1.2MΩRp1.4MΩ1.3MΩCs300pF400pFCp30pF20pF3弁内のテフロン膜破損、脱イオン水を保有する場合弁を開いた場合Rs172.260kΩRp200.170kΩCs45.9nFCp16.30pF2時間後Rs257kΩRp255kΩCs17nFCp22pF弁を閉じた場合Rs1.2MΩRp2.8MΩCs110pFCp48pF2時間後Rs1.2MΩRp2.8MΩCs120pFCp65pF4弁内のテフロンシート破損、1MKCl水溶液を保有する場合1弁を開くRs34ΩRp49ΩCs7.0μFCp2.1μF弁を閉じるRs32kΩRp32kΩCs130μFCp200pF22時間後弁を開くRs40ΩRp54ΩCs6.8μFCp1.7μF34時間後弁が開いたままRs43ΩRp57ΩCs6.7μFCp1.6μF弁を閉じるRs24kΩRp24kΩCs1.2μFCp30μF4.考察32の結果と33および34の結果から、弁内の2枚のテフロンシートの間に2つの電極をセットし、電極間の電気抵抗を測定することにより、テフロンシートの破損を検知できる可能性があると考えられる。例えばa弁が閉じた状態では電極間のRsは約1.2MΩb弁が破損した状態で脱イオン水が混入した状態では、Rsは約260kΩとなり、直流抵抗は約22に減少する。c弁が破損しており、1MKCl水溶液が混入した状態では、Rsは約40kΩとなり、直流抵抗は約4に減少する。dしたがって、RsまたはRpを測定することにより、弁内のテフロンシートの破損を感知することができる。"