ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備えたウエハ部品供給装置がセットされ、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のウエハ部品を吸着する際に、前記ウエハ部品供給装置の前記突き上げポットを前記ダイシングシートの下面に当接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするウエハ部品の貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ウエハ部品の貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ウエハ部品を吸着して該ダイシングシートからピックアップして回路基板に実装する部品実装機において、前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポットの上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測するポット高さ位置計測手段と、前記ポット高さ位置計測手段で計測した前記突き上げポットの上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の前記吸着ノズルの下降位置を移動させるノズル下降位置移動手段とを備えていることを特徴とする部品実装機。前記ポット高さ位置計測手段は、生産開始前に前記ウエハパレットを前記突き上げポットの上方のウエハパレットセット位置にセットしない状態で、前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させて該突き上げポットの上面の高さ位置を計測することを特徴とする請求項1に記載の部品実装機。前記ポット高さ位置計測手段は、生産開始後に前記ウエハパレットを前記突き上げポットの上方のウエハパレットセット位置にセットした状態で、前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で前記ダイシングシート上のウエハ部品の上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測することで、該突き上げポットの上面の高さ位置を間接的に計測することを特徴とする請求項1に記載の部品実装機。前記ポット高さ位置計測手段は、前記突き上げポットの上面の高さ位置を複数箇所で計測し、それらの計測値を平均して該突き上げポットの上面の高さ位置を求めることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の部品実装機。前記ポット高さ位置計測手段は、前記吸着ノズルを保持する装着ヘッドに取り付けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の部品実装機。ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備えたウエハ部品供給装置がセットされ、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のウエハ部品を吸着する際に、前記ウエハ部品供給装置の前記突き上げポットを前記ダイシングシートの下面に当接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするウエハ部品の貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ウエハ部品の貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ウエハ部品を吸着して該ダイシングシートからピックアップして回路基板に実装する部品実装機において、前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポット内の前記突き上げピンを該突き上げポットの上面から突出させたときの該突き上げピンの上端の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測するピン高さ位置計測手段と、前記ピン高さ位置計測手段で計測した前記突き上げピンの上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の前記吸着ノズルの下降位置を移動させるノズル下降位置移動手段とを備えていることを特徴とする部品実装機。ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備えたウエハ部品供給装置がセットされ、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のウエハ部品を吸着する際に、前記ウエハ部品供給装置の前記突き上げポットを前記ダイシングシートの下面に当接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするウエハ部品の貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ウエハ部品の貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルで該ウエハ部品を吸着して該ダイシングシートからピックアップして回路基板に実装する部品実装機において、前記突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させた状態で、該突き上げポットの上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測した値、又は前記突き上げポット内の前記突き上げピンを該突き上げポットの上面から突出させたときの該突き上げピンの上端の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測した値を入力する高さ位置入力手段と、前記高さ位置入力手段で入力した前記突き上げポットの上面の高さ位置又は前記突き上げピンの上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の前記吸着ノズルの下降位置を移動させるノズル下降位置移動手段とを備えていることを特徴とする部品実装機。ところで、部品実装機の吸着ノズルを下降させてダイシングシート上のウエハ部品を吸着する際に、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット突き上げピンとの間隔が小さくなり過ぎると、部品実装機の吸着ノズルの下端がダイシングシート上のウエハ部品に強く当たり過ぎてウエハ部品が傷付いたり、割れたり、ウエハ部品の内部回路が損傷してしまう可能性があり、反対に、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット突き上げピンとの間隔が大きくなり過ぎると、部品実装機の吸着ノズルでウエハ部品を安定して吸着できない。従って、部品実装機の吸着ノズルでウエハ部品を傷付けずに安定して吸着するためには、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット突き上げピンとの間隔を厳重に管理する必要がある。しかし、部品実装機の吸着ノズルの下降位置は、部品実装機側の機械座標系で管理され、突き上げポット突き上げピンの突き上げ高さ位置は、ウエハ部品供給装置側の機械座標系で管理されるため、ウエハ部品供給装置の各部の機械的な寸法ばらつきや、部品実装機へのウエハ部品供給装置のセット位置のずれ等、例えば各々の部品実装機が設置される床のコンディションが異なることによって、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット突き上げピンとの間隔がばらつくことは避けられない。このため、部品実装機の吸着ノズルと突き上げポット突き上げピンとの間隔のばらつきによって、部品実装機の吸着ノズルでウエハ部品が傷付いたり、ウエハ部品を安定して吸着できない可能性がある。そこで、本発明が解決しようとする課題は、ウエハ部品供給装置をセットした部品実装機において、部品実装機の吸着ノズルでウエハ部品を傷付けずに安定して吸着できるようにする。上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、ウエハ部品が貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットとを備えたウエハ部品供給装置がセットされた部品実装機において、突き上げポットをシート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポットの上面の高さ位置を部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測するポット高さ位置計測手段と、前記ポット高さ位置計測手段で計測した前記突き上げポットの上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の前記吸着ノズルの下降位置を移動させるノズルの下降位置移動手段とを備えた構成としたものである。この構成によれば、突き上げポットをシート吸着位置まで上昇させた状態で、該突き上げポットの上面の高さ位置を部品実装機の基準高さ位置を基準にしてポット高さ位置計測手段により計測し、計測した突き上げポットの上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置を移動させるようにしたので、部品実装機にセットするウエハ部品供給装置を付け替えて突き上げポットの上面の高さ位置が変動しても、ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置と突き上げポットの上面の高さ位置との間隔を適正な間隔に自動的に修正することができ、部品実装機の吸着ノズルでダイシングシート上のウエハ部品を傷付けずに安定して吸着できる。最大の効果は、厳密に調整した最適設定を生産種変更時段取り替えによる着脱時にも再調整することなく再現できること、また、複数の装置間でも共通の設定値としてプログラム管理可能であることである。この場合、請求項2のように、ポット高さ位置計測手段は、生産開始前にウエハパレットを突き上げポットの上方のウエハパレットセット位置にセットしない状態で、突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させて該突き上げポットの上面の高さ位置を計測するようにしても良い。また、ウエハ部品とダイシングシートの両者の厚み寸法は、ウエハ部品の製品仕様により既知のデータとなっている。この点を考慮して、請求項3のように、ポット高さ位置計測手段は、生産開始後にウエハパレットを突き上げポットの上方のウエハパレットセット位置にセットした状態で、突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で前記ダイシングシート上のウエハ部品の上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測することで、該突き上げポットの上面の高さ位置を間接的に計測するようにしても良い。ダイシングシート上のウエハ部品の上面の高さ位置よりもウエハ部品とダイシングシートの合計厚み寸法だけ低い位置が突き上げポットの上面の高さ位置となる。また、請求項4のように、ポット高さ位置計測手段は、突き上げポットの上面の高さ位置を複数箇所で計測し、それらの計測値を平均して該突き上げポットの上面の高さ位置を求めるようにしても良い。このようにすれば、突き上げポットの上面が若干傾いていたとしても、突き上げポット上面の中央部付近吸着ノズルの吸着点付近の高さ位置を精度良く計測することができる。また、請求項5のように、ポット高さ位置計測手段は、吸着ノズルを保持する装着ヘッドに取り付けるようにしても良い。このようにすれば、ポット高さ位置計測手段の位置が突き上げポットの真上位置からずれている場合は、装着ヘッドをXY方向に移動させてポット高さ位置計測手段の位置を突き上げポットの真上位置まで移動させることが可能となり、突き上げポットの真上位置から突き上げポットの上面の高さ位置を精度良く計測することができる利点がある。ところで、突き上げポットの上面からの突き上げピンの突出量ダイシングシートの突き上げ量は、ウエハ部品供給装置の製品仕様で決められた一定値であるため、突き上げポットの上面の高さ位置を計測すれば、突き上げポットの上面から突出した突き上げピンの上端の高さ位置が判明する。従って、突き上げポットの上面の高さ位置を基準にして、突き上げピンの突出量ダイシングシートの突き上げ量とダイシングシートとウエハ部品の合計厚み寸法を考慮して、ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置を移動させることができる。また、突き上げピンの上端の高さ位置を計測すれば、その高さ位置を基準にしてダイシングシートとウエハ部品の合計厚み寸法を考慮して、ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置を移動させることができる。そこで、請求項6のように、突き上げポットを前記シート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポット内の前記突き上げピンを該突き上げポットの上面から突出させたときの該突き上げピンの上端の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にしてピン高さ位置計測手段により計測し、計測した突き上げピンの上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置をノズル下降位置移動手段により移動させるようにしても良い。このようにしても、前記請求項1に係る発明と同様の効果を得ることができる。上述した請求項1~6に係る発明は、いずれも、突き上げポット上面又は突き上げピン上端の高さ位置を計測するポット高さ位置計測手段又はピン高さ位置計測手段を部品実装機に設けた構成としたが、部品実装機が高さ位置計測手段を持たない場合は、作業者がダイヤルゲージ等を用いて突き上げポット上面又は突き上げピン上端の高さ位置を部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測するようにしても良い。部品実装機が高さ位置計測手段を持たない場合は、請求項7のように、突き上げポットをシート吸着位置まで上昇させた状態で、該突き上げポットの上面の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測した値、又は、突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から突出させたときの該突き上げピンの上端の高さ位置を該部品実装機の基準高さ位置を基準にして計測した値を入力する高さ位置入力手段を設け、この高さ位置入力手段で入力した突き上げポットの上面の高さ位置又は前記突き上げピンの上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズルの下降位置をノズル下降位置移動手段により移動させるようにしても良い。このようにしても、前記請求項1に係る発明と同様の効果を得ることができる。以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。図1に示すように、本実施例の部品供給装置11ウエハ部品供給装置は、マガジン保持部12トレイタワー、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18図2参照、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。この部品供給装置11は、図3に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。部品供給装置11のマガジン保持部12内に上下動可能に収納されたマガジン図示せずには、ウエハ部品21ダイを載せたウエハパレット22と、トレイ部品を載せたトレイパレット図示せずとを多段に混載できるようになっている。図4及び図5に示すように、ウエハパレット22は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したウエハ部品21を貼着した伸縮可能なダイシングシート36を、円形の開口部を有するウエハ装着板23にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板23をパレット本体28にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシート36のエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシート36を下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板23に装着すれば良い。パレット引き出し機構14は、生産プログラム生産ジョブに従って、ウエハパレット22とトレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部12内のマガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出すものであり、パレット上の部品42やウエハ部品21を部品実装機25図3参照の吸着ノズル30図4参照でピックアップする位置以下部品実装機用引き出し位置というと、マガジンに近い引き出し位置以下サブロボット用引き出し位置というとのいずれの位置にもパレット22を引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル13の前端の位置マガジンから最も離れた位置であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット15の吸着ノズル図示せずでウエハパレット22のダイシングシート36上のウエハ部品21を吸着可能な位置である。サブロボット15は、マガジン保持部12の背面部サブロボット用引き出し位置側の面のうちのパレット引き出しテーブル13の上方に位置して設けられ、XZ方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及び上下方向に移動するように構成されている。尚、サブロボット15の移動方向をX方向のみとし、ウエハパレット22に対するサブロボット15のY方向パレット引き出し方向の相対的位置は、パレット引き出し機構14によってウエハパレット22をY方向に徐々に引き出すことで制御するようにしている。このサブロボット15には、1本又は複数本の吸着ノズル図示せずが下向きに設けられ、ピックアップするウエハ部品21のサイズ等に応じてノズルチェンジャー20で吸着ノズルを交換できるようになっている。サブロボット15には、カメラ24が設けられ、このカメラ24の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるウエハ部品21の位置又はウエハ部品21の吸着姿勢を確認できるようになっている。シャトル機構16は、サブロボット15の吸着ノズルでピックアップされた部品をシャトルノズル26で受け取って部品実装機25の吸着ノズル30でピックアップ可能な位置まで移送する。反転ユニット17は、サブロボット15から受け取るウエハ部品21を必要に応じて上下反転させるものである。ウエハ部品21の種類によっては、ウエハパレット22のダイシングシート36に上下反対に貼着されたウエハ部品例えばフリップチップ等が存在するためである。突き上げユニット18図2参照は、パレット引き出しテーブル13に設けられて、ウエハパレット22のダイシングシート36下方の空間領域をXY方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及びその直角水平方向に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット22を引き出した場合でも、ダイシングシート36のうちのピックアップしようとするウエハ部品21の貼着部分をその下方から突き上げポット27の突き上げピン29図4参照で局所的に突き上げることで、当該ウエハ部品21の貼着部分をダイシングシート36から部分的に剥離させてウエハ部品21をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げユニット18は、ウエハ部品21のサイズ等に応じて突き上げポット27を選択できるようにするために、複数種類例えば4種類の突き上げポット27が所定角度ピッチ図2の例では90°ピッチで放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げポット27が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。この突き上げユニット18は、サーボモータ37図5参照を駆動源として突き上げユニット18全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット18が上昇して突き上げポット27の上面がウエハパレット22のダイシングシート36に接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構図示せずによって突き上げユニット18の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット27の上面から突き上げピン29図4参照が上方に突出して、ダイシングシート36のうちの吸着しようとするウエハ部品21の貼着部分吸着ノズル30の吸着点を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータ37の回転量を調整することで、突き上げピン29の突き上げ高さを調整できるようになっている。尚、NGコンベア19は、不良部品や吸着不良のウエハ部品21を排出するコンベアである。以上のように構成した部品供給装置11の制御装置32は、図3に示すように、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置33と、液晶ディスプレイ等の表示装置34等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、生産プログラムに従って部品実装機25に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構14、サブロボット15及びシャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18、部品実装機25の吸着ノズル30等の動作を次のように制御する。1小さいウエハ部品21の場合小さいウエハ部品21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品実装機25の吸着ノズル30へのウエハ部品21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウエハパレット22を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット22のダイシングシート36上のウエハ部品21を部品実装機25の吸着ノズル30で直接ピックアップする。2上記以外のサイズのウエハ部品21の場合ウエハ部品21のつかみ替えが可能なサイズのウエハ部品21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15の吸着ノズルで当該ウエハパレット22のダイシングシート36上のウエハ部品21をピックアップし、当該ウエハ部品21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からウエハ部品21を部品実装機25の吸着ノズル30でピックアップする。3トレイ部品の場合トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上の部品を部品実装機25の吸着ノズル30で直接ピックアップする。ところで、部品実装機25の吸着ノズル30でウエハパレット22のダイシングシート36上のウエハ部品21を吸着する際に、突き上げポット27突き上げピン29と吸着ノズル30との間隔が小さくなり過ぎると、吸着ノズル30の下端がダイシングシート36上のウエハ部品21に強く当たり過ぎてウエハ部品21が傷付いたり、割れたり、ウエハ部品21の内部回路が損傷してしまう可能性があり、反対に、突き上げポット27突き上げピン29と吸着ノズル30との間隔が大きくなり過ぎると、吸着ノズル30でウエハ部品21を安定して吸着できない。従って、部品実装機25の吸着ノズル30でウエハ部品21を傷付けずに安定して吸着するためには、部品実装機25の吸着ノズル30と突き上げポット27突き上げピン29との間隔を厳重に管理する必要がある。しかし、部品実装機25の吸着ノズル30の下降位置は、部品実装機25側の機械座標系で管理され、突き上げポット27の上昇高さ位置や突き上げピン29の突き上げ高さ位置は、部品供給装置11側の機械座標系で管理されるため、部品供給装置11の各部の機械的な寸法ばらつきや、部品実装機25への部品供給装置11のセット位置のずれ等、例えば各々の部品実装機が設置される床のコンディションが異なることによって、部品実装機25の吸着ノズル30と突き上げポット27突き上げピン29との間隔がばらつくことは避けられない。このため、部品実装機25の吸着ノズル30と突き上げポット27突き上げピン29との間隔のばらつきによって、部品実装機25の吸着ノズル30でウエハ部品21が傷付いたり、ウエハ部品21を安定して吸着できない可能性がある。この対策として、本実施例では、突き上げポット27をシート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポット27の上面の高さ位置を部品実装機25の基準高さ位置を基準にして計測するポット高さ位置計測手段として、高さセンサ38図5参照が部品実装機25の吸着ノズル30を保持する装着ヘッド図示せずに下向きに取り付けられている。この高さセンサ38としては、例えば、レーザ式、超音波式、LED式等の非接触式の高さセンサを用いれば良い。或は、タッチセンサ等の接触式のセンサを装着ヘッドに取り付けて、計測対象物突き上げポット27の上面に接触式のセンサが接触するまで装着ヘッドを下降させて、その下降量を装着ヘッド移動装置のZ軸方向上下方向の駆動モータであるZ軸モータ39のエンコーダのカウント値によって計測するようにしても良い。或は、計測対象物に吸着ノズル30の下端が接触するまで装着ヘッドを下降させて、装着ヘッド移動装置のZ軸モータ39のトルク変化を検出することで、計測対象物に吸着ノズル30の下端が接触する高さ位置を検出し、その高さ位置を装着ヘッド移動装置のZ軸モータ39のエンコーダのカウント値によって計測するようにしても良い。部品実装機25の制御装置40は、生産開始前にウエハパレット22を突き上げポット27の上方のウエハパレットセット位置である部品実装機用引き出し位置にセットしない状態で、突き上げポット27をダイシングシート36の下面に接触するシート吸着位置まで上昇させて該突き上げポット27の上面の高さ位置を部品実装機25の基準高さ位置を基準にして高さセンサ38により計測し、計測した突き上げポット27の上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル30の下降位置を移動させるノズル下降位置移動手段として機能する。ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル30の下降位置は、突き上げポット27の上面の高さ位置Aを用いて次式により求められる。吸着ノズル30の下降位置=ABCDE......1突き上げピン29の突き上げ高さ位置上端の高さ位置=AB......2A:突き上げポット27の上面の高さ位置B:突き上げピン29の突き上げ量C:ダイシングシート36の厚み寸法D:ウエハ部品21の厚み寸法高さ寸法E:吸着ノズル30の適正な押し込み量ここで、突き上げピン29の突き上げ量Bは部品供給装置11の製品仕様により既知のデータであり、ダイシングシート36の厚み寸法Cとウエハ部品21の厚み寸法Dは、ウエハ部品21の製品仕様により既知のデータであり、吸着ノズル30の適正な押し込み量Eは、吸着ノズル30を下方に付勢するばねの適正な圧縮量であり、部品実装機25の製品仕様により既知のデータである。従って、突き上げポット27の上面の高さ位置Aを計測すれば、上記1式により吸着ノズル30の下降位置を算出できる。更に、本実施例では、突き上げポット27の上面の高さ位置を高さセンサ38により複数箇所で計測し、それらの計測値を平均して該突き上げポット27の上面の高さ位置を求めるようにしている。このようにすれば、突き上げポット27の上面が若干傾いていたとしても、突き上げポット26上面の中央部付近吸着ノズル30の吸着点付近の高さ位置を精度良く計測することができる。但し、本発明は、突き上げポット27の上面の高さ位置を1箇所のみで計測するようにしても良いことは言うまでもない。以上説明した本実施例では、高さセンサ38により計測した突き上げポット27の上面の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル30の下降位置を移動させるようにしたので、部品実装機25にセットする部品供給装置11を付け替えて突き上げポット27の上面の高さ位置が変動しても、ウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル30の下降位置と突き上げポット27の上面の高さ位置との間隔を適正な間隔に自動的に修正することができ、部品実装機25の吸着ノズル30でダイシングシート36上のウエハ部品21を傷付けずに安定して吸着できる。最大の効果は、厳密に調整した最適設定を生産種変更時段取り替えによる着脱時にも再調整することなく再現できること、また、複数の装置間でも共通の突き上げ量、ノズルストロークの設定値としてプログラム管理可能であることである。しかも、本実施例では、高さセンサ38を部品実装機25の装着ヘッドに取り付けるようにしたので、高さセンサ38の位置が突き上げポット27の真上位置からずれている場合は、装着ヘッドをXY方向に移動させて高さセンサ38の位置を突き上げポット27の真上位置まで移動させることができ、突き上げポット27の真上位置から突き上げポット27の上面の高さ位置を精度良く計測することができる利点がある。但し、高さセンサ38ポット高さ位置計測手段を取り付ける位置は、部品実装機25の装着ヘッドに限定されず、例えば、部品実装機25のうちのウエハパレットセット位置部品実装機用引き出し位置の上方に位置する部位に取り付けるようにしても良い。部品実装機25に取り付けた高さセンサ38の位置が突き上げポット27の真上位置からずれている場合には、突き上げポット27をXY方向に移動させて突き上げポット27の位置を高さセンサ38の真下位置まで移動させるようにすれば良い。このようにしても、突き上げポット27の真上位置から突き上げポット27の上面の高さ位置を精度良く計測することができる。本実施例では、生産開始前にウエハパレット22を突き上げポット22の上方のウエハパレットセット位置部品実装機用引き出し位置にセットしない状態で、突き上げポット27をシート吸着位置まで上昇させて該突き上げポット27の上面の高さ位置を高さセンサ38により計測するようにしたが、ウエハ部品21とダイシングシート36の両者の厚み寸法は、ウエハ部品21の製品仕様により既知のデータであることを考慮して、生産開始後にウエハパレット22を突き上げポット27の上方のウエハパレットセット位置部品実装機用引き出し位置にセットした状態で、突き上げポット27をシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシート36を該突き上げポット27の上面に吸着した状態で、ダイシングシート36上のウエハ部品21の上面の高さ位置を該部品実装機25の基準高さ位置を基準にして高さセンサ38により計測することで、該突き上げポット27の上面の高さ位置を間接的に計測するようにしても良い。ダイシングシート36上のウエハ部品21の上面の高さ位置よりもウエハ部品21とダイシングシート36の合計厚み寸法だけ低い位置が突き上げポット27の上面の高さ位置となる。また、突き上げポット27の上面の高さ位置に代えて、突き上げポット27の上面から突出させたときの突き上げピン29の上端の高さ位置を計測するようにしても良い。例えば、生産開始前にウエハパレット22を突き上げポット22の上方のウエハパレットセット位置部品実装機用引き出し位置にセットしない状態で、突き上げポット27をシート吸着位置まで上昇させた状態で該突き上げポット27内の突き上げピン29を該突き上げポット27の上面から突出させたときの該突き上げピン29の上端の高さ位置を該部品実装機25の基準高さ位置を基準にして高さセンサピン高さ位置計測手段により計測し、計測した突き上げピン29の上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル30の下降位置を移動させるようにしても良い。この場合も、高さセンサピン高さ位置計測手段は、部品実装機25の装着ヘッドに取り付けても良いし、部品実装機25のうちのウエハパレットセット位置部品実装機用引き出し位置の上方に位置する部位に取り付けるようにしても良く、いずれの構成でも、高さセンサピン高さ位置計測手段の位置が突き上げピン29の真上位置からずれている場合は、装着ヘッド又は突き上げポット27をXY方向に移動させて、高さセンサピン高さ位置計測手段の位置と突き上げピン29の真上位置とを位置合わせするようにすれば良い。尚、ポット高さ位置計測手段高さセンサ38やピン高さ位置計測手段は、突き上げポット27や突き上げピン29の上方から高さ位置を計測するものに限定されず、突き上げポット27や突き上げピン29の側方から高さ位置を計測するようにしても良い。例えば、部品実装機25に固定したカメラを用いて、突き上げポット27や突き上げピン29をその側方から撮像して、その撮像画像を画像処理して突き上げポット27の上面の高さ位置や突き上げピン29の上端の高さ位置を計測するようにしても良い。また、前記実施例では、突き上げポット27上面又は突き上げピン29上端の高さ位置を計測するポット高さ位置計測手段又はピン高さ位置計測手段を部品実装機25に設けるようにしたが、高さ位置計測手段を持たない部品実装機では、作業者がダイヤルゲージ等を用いて突き上げポット27上面又は突き上げピン29上端の高さ位置を部品実装機25の基準高さ位置を基準にして計測するようにしても良い。部品実装機25が高さ位置計測手段を持たない場合は、突き上げポット27をシート吸着位置まで上昇させた状態で、作業者がダイヤルゲージ等を用いて、突き上げポット27の上面の高さ位置を部品実装機25の基準高さ位置を基準にして計測した値、又は、突き上げポット27内の突き上げピン29を該突き上げポット27の上面から突出させたときの該突き上げピン29の上端の高さ位置を該部品実装機25の基準高さ位置を基準にして計測した値を入力する高さ位置入力手段キーボード、マウス、タッチパネル等を設け、この高さ位置入力手段で入力した突き上げポット27の上面の高さ位置又は突き上げピン29の上端の高さ位置に応じてウエハ部品吸着動作時の吸着ノズル30の下降位置をノズル下降位置移動手段により移動させるようにしても良い。このようにしても、前記実施例と同様の効果を得ることができる。尚、前記実施例では、ウエハパレット22とトレイパレットとを混載した部品供給装置11を部品実装機25にセットするようにしたが、ウエハパレット22のみを積載したウエハ部品供給装置を部品実装機25にセットした構成に本発明を適用して実施ても良い等、本発明は種々変更して実施できる。