"固体電解質体の両面に、一対の電極としてPt被膜が被覆された酸素センサ素子を備えた酸素センサの製造方法であって、前記固体電解質体の両面に、Pt被膜を被覆する工程と、該被覆されたPt被膜のうち少なくとも被測定ガスが曝される側に被覆されたPt被膜を、大気ガスよりも酸素ガス濃度が高いガス雰囲気下で加熱することにより、前記Pt被膜の結晶方位を001面に整列させる工程と、を少なくとも含むことを特徴とする酸素センサの製造方法。前記結晶方位を整列させる工程において、前記Pt被膜の加熱を、加熱温度1000°C~1300°Cの範囲内で、少なくとも加熱時間1時間以上の加熱条件で行うことを特徴とする請求項1または2に記載の酸素センサの製造方法。酸素ガスを50体積以上含むことを特徴とする請求項2に記載の酸素センサの製造方法。前記Pt被膜を被覆する工程を、無電解白金めっきにより行うことを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の酸素センサの製造方法。しかしながら、酸素センサ素子の出力電圧は、ガス濃度によらずリッチリーンの雰囲気が切り替わるのに追従して迅速に変化することが望ましいが、上述したような従来の酸素センサ素子ではこの追従性応答性が十分であるとはいえない。この理由を以下に説明する。上述したように、酸素センサは、被測定ガス雰囲気が変化したことを大気の酸素量を基準にして出力値として示す。ゆえに、被測定ガス側の電極を介して、固体電解質界面の酸素状態を速く変化させる能力が、出力電圧の追従性の良し悪しを決定する。ここで、高濃度ガス環境下では、酸素状態が迅速に変化するため、上述した応答性は特に問題にならない。しかし、被測定ガスの低濃度ガス環境下では、その酸素状態の変化に伴い、酸素センサ素子の反応時間が長くなる傾向にある。このため、被測定ガスの酸素濃度と酸素センサの出力電圧とに一時的にズレが生じることがある。これにより、空燃比制御の制御性が悪くなり、この結果、エミッションが低下することがある。一方、上述した酸素センサ素子では、生産した直後の制御値λと、ある程度使用した後の制御値λが変化してしまうことがある。この制御値λが変化してしまうと、当初設定した触媒装置の排ガス浄化能力がその後、不足するといった事態を招くおそれもありうる。この理由を以下に説明する。酸素センサの初期の造り込み状態に対して、車両で耐久された酸素センサの状態は、様々な熱履歴と排ガス環境に曝されるため、ガス反応部位である電極や電極界面の形態が変化する。その結果、ガスの反応性量拡散性等が変動し、酸素センサの出力が、不安定な出力を示す制御値λが変化することになる。本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、応答性に優れ、使用における経時的な出力変化の小さい酸素センサを製造することができる製造方法を提供することにある。発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、排ガス用の酸素センサのセンサ素子の表面に被覆させるPt被膜を、所定の熱処理により結晶方位を一定の方向に揃えることにより、O2およびNOxといったリーンガス低濃度ガスに対して、解離性および吸着性を高める検知感度を高めることができ、これにより、内燃機関のエミッションおよび低燃費を向上させることができるとの新たな知見を得た。本発明に係る酸素センサの製造方法は、固体電解質体の両面に、一対の電極としてPt被膜が被覆された酸素センサ素子を備えた酸素センサの製造方法であって、前記固体電解質体の両面に、Pt被膜を被覆する工程と、該被覆されたPt被膜のうち少なくとも被測定ガスが曝される側に被覆されたPt被膜を、大気ガスよりも酸素ガス濃度が高いガス雰囲気下で加熱することにより、前記Pt被膜の結晶方位を001面に整列させる工程と、を少なくとも含むことを特徴とする。ここで、本発明でいうPt被膜の結晶方位を001面に整列させるとは、Pt被膜の少なくとも表面に存在するPtの結晶方位を001面に配向するように、その結晶方位を001面に揃えることをいう。発明によれば、上述した加熱条件でPt被膜を加熱することにより、被測定ガスが曝される側の電極Pt被膜の結晶方位が変化し、その電極は、酸素の解離吸着の有利な001面の割合が高まった電極構造となる。これにより、電極における酸素の解離吸着がこれまでに比べて向上するので、この酸素センサ素子を内蔵した酸素センサは、排ガス中の極低濃度のリーンガスに対する反応性感度を向上させることができる。このような結果、排ガスの雰囲気変化を早期にフィードバックでき、安定したエンジンシステム制御を実現できる。このようにして、従来の酸素センサと比較して、内燃機関の低燃費および低エミッション化が可能となる。さらには、前記熱処理により電極および電極/固体電解質体の界面の構造がなまされて組織が安定化する。この結果、電極は活性状態で安定化するセンサ使用温度において状態変化し難くなるため、センサ特性の経時変化が従来のものに比べて低減される。より好ましい態様としては、前記結晶方位を整列させる工程において、前記Pt被膜の加熱を、加熱温度1000°C~1300°Cの範囲内で、少なくとも加熱時間1時間以上の加熱条件で行う。この態様によれば、結晶方位を整列させる工程において、前記加熱条件で行うことにより、電極であるPt被膜の001面の割合をより高めることができる。すなわち、加熱温度が1000°C未満の場合、または加熱時間が1時間未満の場合には、上述したPt被膜の整列される001面の割合が充分であると言えず、加熱温度が1300°Cを超えた場合には、Pt凝集の進行により、電極の劣化を加速するおそれがある。ここで、前記結晶方位を整列させる工程において、大気ガスよりも酸素ガス濃度が高いガス雰囲気下として、大気ガスよりも酸素分圧を高めたガス雰囲気、あるいは、大気ガスに、さらに酸化性の強いオゾンガスを共存させたガス雰囲気下などを挙げることができ、上述した熱処理時にPt被膜の結晶方位を整列することができるのであれば、そのガス雰囲気は、限定されるものではない。しかしながら、より好ましい態様としては、前記結晶方位を整列させる工程において、酸素ガスを50体積以上含む。この態様によれば、加熱時間が1時間程度で、結晶方位が変化し、001面の割合が高まった電極構造を得ることができる。また、固体電解質体の表面に対するPt被膜の被覆方法としては、ペースト状のPt被膜を被覆する方法、PVDまたはCVDを利用してPt被膜を被覆する方法、またはめっきによりPt被膜を被覆する方法などの挙げることができ、固体電解質体の表面にPt被膜を被覆することができるのであれば、特にその方法は限定されるものではない。しかしながら、より好ましくは、前記Pt被膜を被覆する工程を、無電解白金めっきにより行う。この態様によれば、たとえば、固体電解質体の形状が有底円筒状の形状など複雑な形状である場合に、Pt被膜を内側面にも容易に被覆することができる。さらに、無電解白金めっきにより形成されたPt被膜の結晶粒の結晶方位はランダムまたは[111]方向への成長が予測されるところ、このような方法でPt被膜を被覆した場合であっても、上述した熱処理により、結晶方位を、酸素の解離吸着の有利な001面に容易に整列させることができる。本発明によれば、応答性に優れ、使用における経時的な出力変化の小さい酸素センサを製造することができる。以下の本実施形態に係る酸素センサの製造方法を実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る酸素センサと該酸素センサに内蔵された酸素センサ素子の模式的断面図である。図1に示すように、本実施形態に係る酸素センサ1は、内燃機関の排気管に設置されるものであり、内燃機関の排ガス中の酸素濃度または未燃ガス濃度を検出し、該酸素濃度または未燃ガス濃度から内燃機関の燃焼室の空燃比を検出するものである。具体的には、酸素センサ1は、酸素センサ素子11を内蔵しており、酸素センサ素子11は、ハウジング10に挿通固定されている。酸素センサ素子11の先端側は、二重構造の被測定ガス用カバー12によって保護されている。また、被測定ガス用カバー12には、被測定ガス排ガスを導入する導入口12aが設けられている。これにより、後述する被測定ガス用カバー12内に配置される内側電極24に、被測定ガスを導入することができる。酸素センサ素子11は、例えば、有底円筒状の固体電解質体21と、該固体電解質体21の両面に一対の電極23、24と、を備えている。酸素センサ素子11の電極は、酸素センサ1のハウジング10に取り付けたときに被測定ガス用カバー12内に位置する。より具体的には、固体電解質体21の外表面には外側電極23となるPt被膜が被覆されており、外側電極23を覆う多孔質保護層または拡散抵抗層25が形成されている。一方、酸素センサ素子11の内表面側には、大気を導入する大気室22が形成されており、固体電解質体21の内表面には、内側電極24が被覆されている。このようにして、この酸素センサ素子11は、上述した一対の電極23,24の外側電極一方の電極23は被測定ガスに曝され、内側電極他方の電極24は基準ガス大気に曝されるよう構成されている。なお、ここでは、酸素センサ素子として一般的に知られる、イットリア安定化ジルコニアYSZを挙げることができるが、イオン伝導性を有し、耐熱性に優れた材料であれば特に限定されるものではない。このようにして得られた酸素センサ1を内燃機関の排気管に取り付ける。このとき、大気に曝された内側電極24が基準電極となって、排ガスに曝された外側電極23が測定電極となって、外側電極23と内側電極24との間で、酸素濃度の差により濃淡電池が形成され、このときの電極間の電位差電圧を測定することにより、酸素濃度を測定することができる。例えば、排ガスがリッチガスに変化した場合には、排ガスと大気ガスとの酸素濃度差が大きくなり、酸素センサの出力電圧が増加する。一方、排ガスがリーンに変化した場合には、排ガスと大気ガスとの酸素濃度差が小さくなり、酸素センサの出力電圧が減少する。上述した酸素センサ素子11は、以下に示すようにして、製造される。まず、大気室22が形成された有底筒状のイットリア安定化ジルコニアYSZからなる固体電解質体21を成形する。次に、固体電解質体21の外表面に無電解白金めっき法により外側電極23としてPt被膜を被覆する。具体的には、白金水溶液をめっき液とし、これを所定の液温まで加熱、還元剤等の添加剤を投入し、所定の揺動速度で固体電解質体および/またはこれを把持した治具を揺動させ、固体電解質体の外側表面に白金を析出させる。その後水洗乾燥することで、膜厚1~2μmの外側電極Pt被膜23が形成される。次に、この外側電極23を大気雰囲気下で、所定の加熱温度焼成温度1000~1200°Cで1時間加熱し、外側電極23の白金の焼成を行う。次に、この外側電極23を保護するため、スピネルMgAl2O4からなる多孔質保護層をプラズマ溶射法により形成する。さらに、固体電解質体素子の内表面に無電解白金めっき法で内側電極24を形成する。最後に、外側電極23および内側電極24が形成された酸素センサ素子11を、大気ガスよりも酸素ガス濃度が高いガス雰囲気下で好ましくは、酸素濃度50体積以上の雰囲気、またはオゾンガスを含む雰囲気下で、さらに、前述した外側電極23の焼成温度よりも高い所定の加熱温度1100~1300°Cで1時間以上加熱するPt被膜をエージングすることにより、少なくとも外側電極23のPt被膜の結晶方位を001面に整列させる。このような酸素センサ素子11を、図1に示すようにハウジング10に組み込んで、被測定ガス用カバー12を取り付けることにより、酸素センサ1を得ることができる。このようにして、通常、イットリア安定化ジルコニアなどの多結晶セラミックスへの被膜の形成においては、Pt被膜の結晶粒の結晶方位はランダムまたは[111]方向への成長が予測される。しかしながら、大気ガスよりも酸素ガス濃度が高いガス雰囲気下で高温熱処理することで、結晶方位が変化し、酸素の解離吸着の有利な001面の割合が高まった電極構造となる。また、無電解白金めっきにより形成されたPt被膜は、微細なPt粒子群により形成されるため、上述したエージング処理条件で溶融し、その後、再結晶化するので、Pt被膜の結晶方位を001面に整列させ易い。このようにして得られた酸素センサは、排ガス中の極低濃度のリーンガスに対する反応性感度を向上させることができるので、排ガス中の雰囲気変化を早期にフィードバックでき、安定したエンジンシステム制御を実現できる。これにより、従来の酸素センサと比較して内燃機関の低燃費および低エミッション化が可能となる。また、上述した方法では、触媒貴金属Ptの低減に繋がり、コスト面でのメリットも非常に大きい。Pt被膜のエージングにより、電極および電極/固体電解質体の界面の構造がなまされ組織が安定化する。この結果、電極は活性状態で安定化するセンサ使用温度において状態変化し難くなるため、センサ特性の経時変化が従来のものに比べて低減される。実施例1以下に示すようにして、酸素センサを製作した。具体的には、有底筒状のイットリア安定化ジルコニアYSZ酸化イットリウム5molからなる固体電解質体を成形した。次に、固体電解質体の外表面に無電解白金めっきにより、Pt被膜からなる外側電極を被覆した。具体的には、ジニトロジアミン白金の水溶液2g/lをめっき液とし,めっき液を50°Cまで加熱した。次に、めっき液に、還元剤として、80質量ヒドラジン水溶液、4g/l安定化剤、アンモニア水pH11~12の範囲に調整し、所定の揺動速度1回/Sにて固体電解質体を把持した治具を上下させ、固体電解質体の外側表面に白金を析出させた。その後水洗乾燥することで、膜厚2μmの外側電極Pt被膜を形成した。この外側電極を大気雰囲気下で、1000°Cで1時間、ヒータで加熱し、Ptの焼成を行った。さらに、この外側電極に、スピネルMgAl2O4からなる多孔質保護層をプラズマ溶射法により、厚さ200μm形成した。さらに、外側電極の形成と同じ方法無電解白金めっき法で、固体電解質体素子の内表面に内側電極を形成した。外側電極および内側電極が形成された酸素センサ素子を窒素ガスに酸素濃度50体積を混合したガス雰囲気下で、加熱温度1100°Cで1時間、ヒータで加熱するエージングをすることにより、外側および内側電極のPtの再結晶化を利用して、Pt被膜の結晶方位を001面に整列させた。このようにして得られた酸素センサ素子をハウジングに組み込み、酸素センサを得た。実施例2実施例1と同じように、酸素センサを作製した。実施例1と相違する点は、Pt被膜の結晶方位を001面に整列させる際に、窒素ガスに酸素濃度30体積を混合したガス雰囲気下で、外側電極および内側電極が形成された酸素センサ素子を加熱した点である。比較例1実施例1と同じように、酸素センサを作製した。実施例1と相違する点は、外側電極および内側電極が形成された酸素センサ素子に対して上述したエージング処理を行っていない点である。比較例2実施例1と同じように、酸素センサを作製した。実施例1と相違する点は、外側電極および内側電極が形成された酸素センサ素子に対して上述したエージング処理を行っていない点であり、比較例1と同様の方法である。<Pt被膜の方位の測定>電子後方散乱回折像解析EBSD法により、実施例1および2の外側電極のPt被膜、比較例1の外側電極のPt被膜に電子線を照射し、この時に発生する電子後方散乱回折パターンを捕らえ、これにより、電子線の照射領域の結晶方位を測定した。図2は、実施例1と比較例1に係るPt被膜のEBSD解析における逆極点図である。<性能評価1>実施例1および2、比較例1に係る酸素センサを内燃機関実機に搭載し、A/F14.6ストイキ近傍でガス環境がリッチからリーンになるよう実機ベンチを徐変スイープ制御し、Nox濃度と、そのときの各酸素センサの出力とを測定した。この結果を図3に示す。なお、図3に示すNox濃度は、所定の濃度ppmで正規化した値である。<性能評価2>実施例1および2、比較例1および2に係る酸素センサを内燃機関実機の搭載し、3万km7万km10万kmの走行距離耐久距離に相当する運転を行った。そして、モデルガス特性評価装置にて数百ppm程度のリッチガスに暴露中、任意のタイミングで数百ppmのリーンガスに矩形切替を行い、切替時間から所定のセンサ電圧を示すまでの時間応答時間を測定した。この結果を図4に示す。[結果1]図2aは実施例1、図2bは比較例1の酸素センサ素子に形成された電極Pt被膜のEBSD解析の結果である。図2a,bのA部に示すように、実施例1および2の酸素センサのPt被膜は、比較例1のものに比べて、Pt被膜の001面の割合が高かった。また、比較例1の酸素センサのPt被膜は、実施例1のPt被膜に比べて、図2bのB部に示すように111面の割合が高かった。また、実施例1のPt被膜は、実施例2のものに比べて、Pt被膜の001面の割合が高かった。[結果2]図3に示すように、NOxの変化に対して、実施例1、実施例2、比較例1の順に酸素センサの応答性が高くなった。[結果3]図4に示すように、実施例1および2の酸素センサのほうが、比較例1および2の酸素センサに比べて、耐久距離に対して、センサ出力の変動が小さかった。さらに、実施例1の酸素センサは、耐久距離にかかわらず、酸素センサのセンサ出力は安定していた。また、比較例1および2は、同じ製造方法で製造したにもかかわらずばらつきが大きかった。[考察1]Ptのようなf.c.c.の結晶構造となる金属は111面の表面エネルギーが低く、[111]方向に成長することが予測される。従って、結果1および2から比較例1の酸素センサの電極のように、もともと[111]方向あるいはランダムにPt粒子が成長していたが、実施例1および2の如く、酸素ガスに曝されたPt粒子の結晶方位は、酸素の解離吸着にエネルギー的に有利な001面の割合が高まるように変化し、これにより、図2aに示すように、逆極点図に示すような電極構造となったと推測される。さらに、実施例2に比べて実施例1の如く、酸素濃度をより高めた酸素ガスを50体積含む雰囲気で高温熱処理することで、Pt被膜の001面の割合が高まったといえる。従って、酸素ガスを50体積以上、実施例1の如くPt被膜の001面の割合を高めることができる。なお、Pt被膜のエージング時の加熱温度では、オゾンガスが酸素ガスに分解されることから、例えば、オゾンガスの分解時に大気ガスよりも高い酸素ガス濃度となるように、エージング前にオゾンガスを導入しても、実施例1および2の如き結果となることが想定される。[考察2]さらに、結果3から、比較例1のエージング処理なしの酸素センサでは、使用環境で電極状態は酸素に対して活性化しきれず、実施例1および2の酸素センサは、エージングにより電極および電極/固体電解質界面の構造がなまされ、組織が安定化することで、センサ使用温度において状態変化しにくくなったと考えられる。また、実施例2の場合、エージングにおける加熱時間は、1時間であったが、より長い加熱時間とすることにより、実施例1の如き特性を得られると考えられる。以上、本発明の実施の形態を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更があっても、それらは本発明に含まれるものである。本実施形態では、無電解めっきによりPt被膜からなる外側電極、内側電極を形成したが、外側電極、内側電極2形成することができるのであれば、スパッタリング、イオンプレーティング、またはプラズマCVDなどにより電極となるPt被膜を固体電解質体の表面に被覆してもよく、白金ペーストを用いて電極となるPt被膜を被覆してもよい。"