平面上の異常形状を検出する異常形状検出装置であって、該平面に平行な面内の方向成分が異なる方向に電磁波を放出するように設置された、複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナと、送信信号及び受信信号を処理する送受信信号処理部と、を備え、各組の送信アンテナ及び受信アンテナは、送信アンテナから送信され、異常形状がない平面に反射された電磁波を受信アンテナが受信せず、送信アンテナから送信され、異常形状に反射された電磁波のみを受信アンテナが受信するように配置されており、該送受信信号処理部は、各組の送信アンテナに送る所定の周波数の電磁波をf1の周波数の疑似ランダム信号で変調し、各組の受信アンテナによって受信されたた信号をf1より小さいf2の周波数の疑似ランダム信号で復調することにより、該疑似ランダム信号の1周期の波数及びf1-f2によって定まる測定サイクルで、各組の測定サイクルが異なるタイミングで発生するようにしながら各組の受信アンテナによって受信された異常形状から反射された信号を処理するように構成された異常形状検出装置。少なくとも一つの組の送信及び受信アンテナが、放出される電磁波の前記平面に平行な面内の方向成分を変えることができるように構成された請求項1に記載の異常形状検出装置。平面上の異常形状を検出する異常形状検出方法であって、該平面に平行な面内の方向成分が異なる方向に電磁波を放出するように設置された、複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナと、送信信号及び受信信号を処理する送受信信号処理部と、を備え、各組の送信アンテナ及び受信アンテナは、送信アンテナから送信され、異常形状がない平面に反射された電磁波を受信アンテナが受信せず、送信アンテナから送信され、異常形状に反射された電磁波のみを受信アンテナが受信するように配置された異常形状検出装置を使用し、該送受信信号処理部が、各組の送信アンテナに送る所定の周波数の電磁波をf1の周波数の疑似ランダム信号で変調し、送信アンテナに送るステップと、各組の送信アンテナが電磁波を放出するステップと、各組の受信アンテナが、同じ組の送信アンテナから放出され、異常形状に反射された電磁波を受信するステップと、該送受信信号処理部が、異常形状の検出を行うように、各組の受信アンテナによって受信されたた信号をf1より小さいf2の周波数の疑似ランダム信号で復調することにより、該疑似ランダム信号の1周期の波数及びf1-f2によって定まる測定サイクルで、各組の測定サイクルが一致しないようにしながら各組の受信アンテナによって受信された異常形状から反射された信号を処理するステップと、を含む異常形状検出方法。前記送受信信号処理部が、前記複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナから得られる情報を組み合わせて、異常形状の形状についての情報を得る請求項3に記載の異常形状検出方法。前記送受信信号処理部が、所定数の連続する測定サイクルで異常形状を検出した場合に、異常形状が存在すると判断する請求項3または4に記載の異常形状検出方法。異常形状が前記平面上の凸部、または貫通孔及び窪みを含む前記平面上の凹部であり、前記平面上における該異常形状の位置を定める請求項3から5のいずれかに記載の異常形状検出方法。前記平面が導電性物質である請求項3から6のいずれかに記載の異常形状検出方法。前記平面が誘電体である請求項3から6のいずれかに記載の異常形状検出方法。平面上の異常形状を検出する異常形状検出装置であって、送信アンテナ及び受信アンテナと、送信信号及び受信信号を処理する送受信信号処理部と、を備え、該送信アンテナ及び該受信アンテナは、該送信アンテナから送信され、異常形状がない平面に反射された電磁波を該受信アンテナが受信せず、該送信アンテナから送信され、異常形状に反射された電磁波のみを該受信アンテナが受信するように配置されており、該送受信信号処理部は、該送信アンテナに送る所定の周波数の電磁波をf1の周波数の疑似ランダム信号で変調し、該受信アンテナによって受信されたた信号をf1より小さいf2の周波数の疑似ランダム信号で復調することにより、該疑似ランダム信号の1周期の波数及びf1-f2によって定まる測定サイクルで、該受信アンテナによって受信された異常形状から反射された信号を処理するように構成された異常形状検出装置。前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが、放出される電磁波の前記平面に平行な面内の方向成分を変えることができるように構成された請求項9に記載の異常形状検出装置。したがって、周囲の環境の影響を受けにくく、高い精度で測定対象面の異常形状の検出を行うことができる異常形状検出装置及び異常形状検出方法に対するニーズがある。本発明の第1の態様による異常検出装置は、平面上の異常形状を検出する異常形状検出装置であって、該平面に平行な面内の方向成分が異なる方向に電磁波を放出するように設置された、複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナと、送信信号及び受信信号を処理する送受信信号処理部と、を備える。各組の送信アンテナ及び受信アンテナは、送信アンテナから送信され、異常形状がない平面に反射された電磁波を受信アンテナが受信せず、送信アンテナから送信され、異常形状に反射された電磁波のみを受信アンテナが受信するように配置されている。該送受信信号処理部は、各組の送信アンテナに送る所定の周波数の電磁波をf1周期の疑似ランダム信号で変調し、各組の受信アンテナによって受信されたた信号をf1より小さいf2の周期の疑似ランダム信号で復調することにより、該疑似ランダム信号の1周期の波数及びf1-f2によって定まる周期で測定を行い、各組の測定サイクルが一致しないようにしながら各組の受信アンテナによって受信された異常形状から反射された信号を処理するように構成されている。本態様によれば、電磁波の疑似ランダム信号を使用しているので、周囲の環境の影響を受けにくく、高い精度で異常形状の検出を行うことができる。また、各組の測定サイクルが一致しないようにしているので、相互に干渉を生じることがなく各組ごとに高精度で異常形状を検出することができる。また、電磁波の前記所定の周波数を変えることによって、検出可能な対象物のサイズを変えることができ、前記疑似ランダム信号の周波数を変えることによって検出分解能を変えることができる。本発明の第1の態様の第1の実施形態によれば、少なくとも一つの組の送信及び受信アンテナが、放出される電磁波の前記平面に平行な面内の方向成分を変えることができるように構成されている。本実施形態によれば、所定の方向の異常形状が生じやすい場合に、想定される異常形状の方向にしたがって電磁波を放出する方向を変えることにより、効率的に異常形状を検出することができる。本発明の第2の態様による異常形状検出方法は、平面上の異常形状を検出する異常形状検出方法であって、該平面に平行な面内の方向成分が異なる方向に電磁波を放出するように設置された、複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナと、送信信号及び受信信号を処理する送受信信号処理部と、を備え、各組の送信アンテナ及び受信アンテナは、送信アンテナから送信され、異常形状がない平面に反射された電磁波を受信アンテナが受信せず、送信アンテナから送信され、異常形状に反射された電磁波のみを受信アンテナが受信するように配置された異常形状検出装置を使用する。本態様による異常形状検出方法は、該送受信信号処理部が、各組の送信アンテナに送る所定の周波数の電磁波をf1周期の疑似ランダム信号で変調し、送信アンテナに送るステップと、各組の送信アンテナが電磁波を放出するステップと、各組の受信アンテナが、同じ組の送信アンテナから放出され、異常形状に反射された電磁波を受信するステップと、該送受信信号処理部が、各組の受信アンテナによって受信されたた信号をf1より小さいf2の周期の疑似ランダム信号で復調することにより、各組の測定サイクルが一致しないようにしながら、該疑似ランダム信号の1周期の波数及びf1-f2によって定まる周期で異常形状の検出を行うステップと、を含む。本態様によれば、電磁波の疑似ランダム信号を使用しているので、周囲の環境の影響を受けにくく、高い精度で異常形状の検出を行うことができる。また、各組の測定サイクルが一致しないようにしているので、相互に干渉を生じることがなく各組ごとに高精度で異常形状を検出することができる。また、電磁波の前記所定の周波数を変えることによって、検出可能な対象物のサイズを変えることができ、前記疑似ランダム信号の周波数を変えることによって検出分解能を変えることができる。本発明の第2の態様の第1の実施形態によれば、前記送受信信号処理部が、前記複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナから得られる情報を組み合わせて、異常形状の形状についての情報を得る。本実施形態によれば、平面に平行な面内の方向成分が異なる方向に放出された電磁波によって得られる情報から、異常形状の形状について詳細な情報を得ることができる。本発明の第2の態様の第2の実施形態によれば、前記送受信信号処理部が、所定数の連続する測定サイクルで異常形状を検出した場合に、異常形状が存在すると判断する。本実施形態によれば、誤検出を防止し、高精度の検出を行うことができる。本発明の第2の態様の第3の実施形態によれば、異常形状が前記平面上の凸部、または貫通孔及び窪みを含む前記平面上の凹部であり、前記平面上における該異常形状の位置を定める。本実施形態によれば、凸部、または貫通孔及び窪みを含む凹部を含む、種々の異常形状の平面上の位置を定めることができる。本発明の第2の態様の第4の実施形態によれば、前記平面が導電性物質である。本発明の第2の態様の第5の実施形態によれば、前記平面が誘電体である。電波は金属以外に、樹脂及びプラスチックを含む誘電体にも反射する。その理由は以下の通りである。電波を誘電率の異なる物体の境界あるいは導体に照射すると、電波は反射する。反射率は、誘電率の差や電気抵抗、反射角によって異なる。導体の抵抗値が低い場合金属は、ほぼ100反射する。また電波を金属面に照射した時電界に従って自由電子が動き、その動き高周波電流によって電波が作られるため、反射すると考えられている。自由電子でなくとも、行動が自由な荷電粒子であれば、同様な働きをする。電流の伝わる速度は光速とほぼ同じで、自由電子の動く範囲はλ2と考えられており、λ2以下では反射する割合が減るとされている。従って反射には最低でもλ4以上の長さが必要だと考えられる。本発明の第3の態様による異常検出装置は、平面上の異常形状を検出する異常形状検出装置であって、送信アンテナ及び受信アンテナと、送信信号及び受信信号を処理する送受信信号処理部と、を備え、該送信アンテナ及び該受信アンテナは、該送信アンテナから送信され、異常形状がない平面に反射された電磁波を該受信アンテナが受信せず、該送信アンテナから送信され、異常形状に反射された電磁波のみを該受信アンテナが受信するように配置されており、該送受信信号処理部は、該送信アンテナに送る所定の周波数の電磁波をf1の周波数の疑似ランダム信号で変調し、該受信アンテナによって受信されたた信号をf1より小さいf2の周波数の疑似ランダム信号で復調することにより、該疑似ランダム信号の1周期の波数及びf1-f2によって定まる測定サイクルで、該受信アンテナによって受信された異常形状から反射された信号を処理するように構成されている。本態様によれば、電磁波の疑似ランダム信号を使用しているので、周囲の環境の影響を受けにくく、高い精度で異常形状の検出を行うことができる。また、電磁波の前記所定の周波数を変えることによって、検出可能な対象物のサイズを変えることができ、前記疑似ランダム信号の周波数を変えることによって検出分解能を変えることができる。本発明の第3の態様の第1の実施形態によれば、前記送信アンテナ及び前記受信アンテナが、放出される電磁波の前記平面に平行な面内の方向成分を変えることができるように構成されている。本実施形態によれば、所定の方向の異常形状が生じやすい場合に、想定される異常形状の方向にしたがって電磁波を放出する方向を変えることにより、効率的に異常形状を検出することができる。図1は、本発明の一実施形態による異常形状検出装置100の構成を示す図である。異常形状検出装置100は、複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナ101A、103A及び101B、103Bならびに送受信信号処理部105を備える。送受信信号処理部105は、複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナ101A、103A及び101B、103Bのそれぞれに対応する各組信号処理部1051A及び1051B及び全体信号処理部1053を含む。図1においては、2組の送信アンテナ及び受信アンテナのみが示されているが、異常形状検出装置100は、3以上の任意の数の組の送信アンテナ及び受信アンテナを備えていてもよい。図2は、本実施形態に使用される送信用アンテナ101A、101B及び受信用アンテナ103A、103Bの構成の一例を示す図である。本実施形態においてアンテナは角錐ホーンアンテナである。送信用アンテナ及び受信用アンテナは同一の形状を有する。送信アンテナから送信される電磁波の電界面は、開口面の短い方の辺長さAの辺に平行である。送信アンテナから送信される電磁波の磁界面は、開口面の長い方の辺長さBの辺に平行である。また、アンテナの指向性利得は、一例として25dBiである。ここで、指向性利得とは、放射が最大となる放射角におけるエネルギーの強さを、全ての方向に均等に電波を放射する仮想的な等方向性アイソトロピックアンテナを基準とするアンテナの利得として表したものである。図3は、1組の送信アンテナ及び受信アンテナ101A及び103Aと測定対象の平面200との位置関係を示す図である。図3は、測定対象の平面200に垂直な断面を示す図である。送信アンテナ101A及び受信アンテナ103Aは、それぞれの開口面が同一の平面に含まれるように隣接して配置される。送信アンテナ101A及び受信アンテナ103Aは、それらの開口面が、図3の紙面に垂直となるように配置される。図3において、電磁波は開口面に垂直な方向に進行し、測定対象の平面200に角度θで入射する。図4Aは、送信アンテナ101A及び受信アンテナ103A、送信アンテナ101B及び受信アンテナ103Bと測定対象の平面200との位置関係を示す図である。図4Aは、測定対象の平面200に平行な面を示す図である。図4Aにおいて、送信アンテナ101A及び受信アンテナ103A、送信アンテナ101B及び受信アンテナ103Bは、図を簡単にするために重ねて示している。図4Aに示した例において、測定対象の平面200は、矢印の方向に走行する金属ストリップの面である。送信アンテナ101A及び受信アンテナ103Aは、それらの開口面が金属ストリップの走行方向と平行となるように配置され、送信アンテナ101B及び受信アンテナ103Bは、それらの開口面がストリップの走行方向と垂直となるように配置される。また、測定対象の面200に平行な円形の軌道110を設け、少なくとも1組の送受信アンテナが軌道に沿って移動可能な構成としてもよい。図4Bは、送信アンテナ101A及び受信アンテナ103A、送信アンテナ101B及び受信アンテナ103B、送信アンテナ101C及び受信アンテナ103C、ならびに送信アンテナ101D及び受信アンテナ103Dと測定対象の平面200との位置関係を示す図である。図4Bは、測定対象の平面200に平行な面を示す図である。図4Bに示した例において、測定対象の平面200は、金属ストリップの面である。送信アンテナ101A及び受信アンテナ103Aならびに送信アンテナ101C及び受信アンテナ103Cは、それらの開口面が金属ストリップの長手方向と平行となるように配置され、送信アンテナ101B及び受信アンテナ103Bならびに送信アンテナ101D及び受信アンテナ103Dは、それらの開口面がストリップの長手方向と垂直となるように配置される。図4Bにおいて、異常形状は、点線の円形内に生じるとした。4組の送受信アンテナを使用することにより、異常形状についてより多くの情報を得ることができる。なお、4組の送受信アンテナの信号処理については後で説明する。図4Cは、1組の送信アンテナ及び受信アンテナ101A及び103Aと測定対象の平面200との位置関係を示す図である。図4Cは、測定対象の平面200に平行な面を示す図である。1組の送信アンテナ及び受信アンテナ101A及び103Aは、測定対象の面200に平行な円形の軌道110に沿って移動可能なように構成されている。あるいは、2組または4組の送受信アンテナを設けて、それぞれの組の送受信アンテナが限定された範囲において移動可能なように構成してもよい。図4Cにおいて、異常形状は、点線の円形内に生じるとした。このように、送受信アンテナを移動可能に構成することにより、異常形状についてより多くの情報を得ることができる。上記のような構成とすると、測定対象面200に対して所望の方向から電磁波を放出し異常形状の検出を行うことができる。たとえば、測定対象が所定の方向に移動している場合などは、移動する方向の傷など異常形状が生じやすい場合がある。あるいは、測定対象に加工を行うため、所定の方向の加工傷などの異常形状が生じやすい場合がある。このような場合に、想定される異常形状の方向にしたがって電磁波を放出する方向を変えることにより、効率的に異常形状を検出することができる。図5は、送受信信号処理部105の各組信号処理部1051Aの構成を示す図である。各組信号処理部1051Aは、電磁波信号処理部10511Aと、検出信号生成部10513Aと、を含む。電磁波信号処理部10511Aは、送信される電磁波の信号を生成し、送信アンテナ101Aに送る。また、受信アンテナ103Aによって受信された電磁波から基準信号、I信号及びQ信号を生成する。検出信号生成部10513Aは、電磁波信号処理部10511Aから基準信号、I信号及びQ信号を受け取り、これらの信号を使用して異常形状を有する対象物の検出信号及び該対象物までの距離データを生成する。電磁波信号処理部10511A及び検出信号生成部10513Aの詳細については後で説明する。図6は、電磁波信号処理部10511Aの構成を示す図である。電磁波信号処理部10511Aは、搬送波発振器501と、拡散符号発生器503及び505と、掛算器507、509、511、513及び515と、分配器517、518、519及び520と、ローパスフィルタ521、523及び524と、位相シフト器525及び527と、を含む。搬送波発振器501は、一例として、周波数24GHzの搬送波を生成する。拡散符号発生器503は、第1の疑似ランダム信号である第1のM系列信号を生成する。一例として、第1のM系列信号の周波数fM1は、500MHzであり、M系列の1周期の波数は、127=27-1である。一般的に1周期の波数は、nがシフトレジスタの段数であるとして、2n-1である。掛算器507によって搬送波発振器501によって生成された搬送波に、拡散符号発生器503によって生成された第1のM系列信号が乗じられ搬送波は第1のM系列信号によって拡散される。つぎに、第1のM系列信号によって拡散された搬送波は、分配器518によって2個の信号に分けられ、一方の信号は送信アンテナ101Aに送られ送信アンテナ101Aから放出される。他方の信号は、掛算器515に送られる。なお、本実施形態では疑似ランダム信号としてM系列信号を使用しているが、M系列の代わりにGold系列を使用してもよい。送信アンテナ101Aから放出され、測定対象物によって反射された、第1のM系列信号によって拡散された搬送波は、受信アンテナ103Aによってとらえられ、拡散符号発生器505によって生成された周波数fM2の第2のM系列信号が乗じられ、受信された電磁波の信号が逆拡散される。ここで、一例として、第2のM系列信号の周波数fM2は、499.6MHzであり、第1のM系列信号の周波数fM1よりもわずかに小さい。第2のM系列信号のM系列は、第1のM系列信号のM系列と同じであり、1周期の波数は、127=27-1である。逆拡散された信号は、分配器519によって2個の信号に分けられ、位相シフト器525及び527によって、90°の位相差の2個の信号が生成される。他方、搬送波発振器501によって生成された搬送波は、分配器517によって2個の信号に分けられ、掛算器511及び513によって、それぞれ、90°の位相差の2個の信号に乗じられ、それぞれ、ローパスフィルタ521及び523を通過させてI信号出力及びQ信号出力が生成される。なお、本実施形態では受信した信号に位相差をつけているが、送信する信号に位相差をつけてもよい。分配器518の出力である、第1のM系列信号によって拡散された搬送波の信号に、掛算器515によって拡散符号発生器505の出力が乗じられ、ローパスフィルタ524を通過させて基準信号が生成される。ここで、検出信号生成部10513Aについて説明する。上述のように、検出信号生成部10513Aは、電磁波信号処理部10511Aから基準信号、I信号及びQ信号を受け取り、これらの信号を使用して異常形状を有する対象物の検出信号及び該対象物までの距離データを生成する。図7は、検出信号生成部10513Aの構成を示す図である。検出信号生成部10513Aは、二乗器601、605、加算器603、角度演算器607、位相検出部613、最大値検出部609及び611、出力判定部615、時間測定部617、及び距離測定部618を含む。I信号及びQ信号は、それぞれ、二乗器601及び605によって二乗され、加算器603によって加算されて測定信号が生成される。また、角度演算器607及び位相検出器613によって、I信号及びQ信号から測定信号の位相が求められる。図8Aは、時間軸上における測定信号と基準信号とを示す図である。ここで、基準信号の最大値は、最大値検出部609によって求められ、測定信号の最大値は、最大値検出部611によって求められる。上記の基準信号が最大値となる周期をTBとすると、TB間に含まれる第1のM系列信号と第2のM系列信号の波数の差がちょうどM系列の1周期の波数Nになる。TBfM1=TBfM2Nこの式を整理して以下の式が得られる。TB=N/fM1-fM212つのM系列信号の周波数の差が小さいほど、基準信号が最大値となる周期TBは大きくなる。ここで、NはM系列の1周期の波数であり、以下の式によってあらわせる。N=2n-1=1272ここで、nは、上述のようにシフトレジスタの段数である。また、fM1-fM2は以下のとおりである。fM1-fM2=500MHz-499.6MHz=400kHzここで、基準信号が最大値となる時刻から、つぎに最大値となる時刻までの期間を測定サイクルと呼称する。Δfm=fM1-fM2とすると、式1は、以下のように表せる。TB=2n-1/Δfm2’つぎに、送信アンテナ101Aから放出され、測定対象物によって反射された、第1のM系列信号によって拡散された搬送波が受信されるまでの時間をτとし、測定信号が発生する時刻を、基準信号のパルス状信号発生時刻から計測した時間差をTDとすると、TD間に発生する第2のM系列信号の波数は、TD間に発生する第1のM系列信号の波数より、時間τに発生する第1のM系列信号の波数だけ少ないので、次式が成立する。TDfM2=TDfM1-τfM1上式を整理するとTDは次の以下の式で与えられる。TD=τfM1/fM1-fM23すなわち、伝播時間τは、fM1/fM1-fM2倍だけ時間的に拡大され、あるいは低速化されたTDとして測定される。出力判定部615によって、測定信号の最大値と閾値が比較される。測定信号の最大値が閾値より小さければ、検出信号は出力されず、距離測定も行われない。ここで、距離測定について説明する。伝播時間τは、電磁波の伝播速度をc、対象物までの距離をlとするとτ=2l/cであるから以下の式が得られる。l=fM1-fM2cTD/2fM1=ΔfmcTD/2fM14式3により時間差TDを測定することにより、距離lを求めることができる。時間差の測定は、時間測定部617によって行われる。また、位相検出部618によって求めた位相と時間測定部617によって求めた時間差とを組み合わせて、より高い精度で距離を求めることもできる。位相を使用した精密距離測定は、たとえば、特開200998097公報に開示されている。つぎに、本実施形態による異常形状検出装置の検出分解能、すなわち、識別可能な2個の異常形状の間の距離について説明する。式においてTD=1としたときのlをl’とすると、以下の式が成立する。l’=c/2Δfm/fM15式5より、検出分解能widthは、widthl’1/Δfm2=c/fM1したがって、検出分解能は、M系列周波数に依存する。fM1=500MHzとすると、検出分解能は600mmである。図8Bは、検出分解能を説明するための図である。このように、本発明の異常形状検出装置によれば、M系列周波数を変更することによって検出分解能を変更することができる。ここで、本実施形態による異常形状検出装置は、複数の組の送信アンテナ及び受信アンテナならびに、該複数の組と同数の各組信号処理部を備える。複数の組のうちのそれぞれの組の送信アンテナ及び受信アンテナは、それぞれ、1個の各組信号処理部と対応している。一例として、2個の各組信号処理部1051A及び1051Bが備わるとする。各組信号処理部1051Aは、第1の拡散符号発生器503A及び第2の拡散符号発生器505Aを備える。各組信号処理部1051Bは、第1の拡散符号発生器503B及び第2の拡散符号発生器505Bを備える。ここで、各組信号処理部1051A及び各組信号処理部1051Bを、それぞれの測定サイクルが異なるタイミングで生成されるように構成する。具体的に、基準信号の生成タイミングをずらすようにしてもよい。この結果、複数の組の送受信信号の干渉を防止することができ、複数の組の送受信信号により、高い精度で複数のデータを得ることができる。また、他の実施形態として、fM1及びfM2の一方の値を変えて、fM1-fM2が相互に異なるように定めてもよい。表1は、本実施形態による異常形状検出装置の仕様を示す表である。図9は、図3に示した角度θと出力信号レベルとの関係を示す図である。ここで、測定対象面は、アルミニウムの平面である。図9の横軸は、角度θを表し、図9の縦軸は出力信号レベルを表す。図9において、角度θが65度より大きい場合に出力信号レベルが大きくなっている理由は、受信アンテナが、測定対象の平面200によって反射される信号を検出するためである。したがって、受信アンテナが、測定対象の平面200によって反射される信号を検出しないようにするために角度θは65度以下であることが好ましい。他方、異常形状に相当するものとして直径1.0mm以上の棒状の対象物を測定対象の平面200上に配置して反射される信号を測定すると、角度θが40度以上の場合に出力信号のレベルが十分な大きさとなる。したがって、測定対象の平面200上の異常形状を高精度で検出するには、角度θが40度以上であることが好ましい。このように角度θは、40度以上で65度以下であることが好ましい。図9のデータは、送受信アンテナの開口面と対象物との間の距離が500mm、750mm、1000mm及び1200mmの場合のものである。送受信アンテナの開口面と対象物との間の距離については、後で説明する。図10は、測定対象の平面200上に配置した棒状の対象物201と送受信アンテナ101A及び103Aとの位置関係を示す図である。図10は、測定対象の平面200に平行な面を示す図である。図10において、送信アンテナ101A及び受信アンテナ103Aは、図を簡単にするために重ねて示している。図10において、棒状の対象物201は、送受信アンテナ101A及び103Aの開口面と平行となるように配置されている。この場合に、送信アンテナ101Aから放出された電磁波の進行方向と棒状の対象物201長手方向とは90°の角度をなす。このときの棒状の対象物201の向きを基準として、測定対象の平面200上で棒状の対象物201を回転させ、基準の向きからの角度をφとする。図11Aは、棒状の対象物201の向きと異常形状検出装置100の出力信号レベルとの関係を示す図である。図11Aの横軸は、図10における角度Φを表し、図11Aの縦軸は出力信号レベルを表す。棒状の対象物201の材質は、アルミニウムであり、直径は、3.0mmである。なお、実験によれば、直径0.6mmまでの棒状の対象物の検出が可能であった。異常形状検出装置100の出力信号レベルは、棒状の対象物201が基準の向きの場合に最大であり、基準の向きからの角度が増加するにしたがって減少する。図11Aによれば、有効な出力信号レベルが得られるのは、基準の向きからの角度が15度以下の場合である。図11Aのデータは、送受信アンテナの開口面と対象物との間の距離が1000mmの場合のものである。送受信アンテナの開口面と対象物との間の距離については、後で説明する。ここで、本実施形態による異常形状検出装置が検出可能な異常形状の大きさについて説明する。図10に示すφ=0の配置で、測定対象の平面200上の異常形状201を検出する場合に、検出可能な異常形状を有する対象物の長さdは、搬送波の波長をλとして、d≧λ/4である。本実施形態では、搬送波の周波数が24GHzであるので、λ=12.5mmであり、検出可能な対象物の長さは、約3mm以上である。搬送波の周波数を増加させることによって検出可能な対象物の長さをさらに減少させることができる。ここで、異常形状は、測定対象の平面200上の突起物であってもよい。突起物の場合には、突起物の側面によって電磁波が反射され受信アンテナによって検出される。あるいは、異常形状は、測定対象の平面200上の貫通孔や窪みを含む凹部であってもよい。貫通孔の場合には、穴の内側の側面の部分によって電磁波が反射され受信アンテナによって検出される。窪みの場合には、窪みの内側の斜面によって電磁波が反射され受信アンテナによって検出される。図11B及び図11Cは、異常形状検出装置100によって検出可能な貫通孔または窪みの大きさを説明するための図である。ここで、貫通孔または窪みは円形とする。図11Cに示す弧は、貫通孔の周囲の円の一部である。弧の中心点の接線に対して約15度以下の傾きを有するのは、接線方向の長さが直径の半分の長さの弧の部分である。したがって、貫通孔を有効に検出するには、直径の半分の長さがλ/4以上、すなわち、直径の長さがλ/2以上であることが必要である。図12は、測定対象の平面200上に配置した棒状の対象物201と送受信アンテナ101A及び103Aとの位置関係を示す図である。図12は、測定対象の平面200に垂直な断面を示す図である。図12において、送受信アンテナ101A及び103Aの開口面と棒状の対象物との距離をlで表す。図12において、測定された対象物201までの距離をlとし、測定対象の平面200からアンテナまでの距離をLとして、測定対象の平面200上の対象物201の位置を以下の式から求めることができる。図13は、棒状の対象物201の位置と異常形状検出装置100の出力信号レベルとの関係を示す図である。図13は、送受信アンテナの開口面と対象物との間の距離、すなわち、図12のlが、500mm、750mm、1000mm及び1200mmの場合の上記の関係を示す。図13の横軸は、棒状の対象物201の位置を表し、図13の縦軸は、異常形状検出装置100の出力信号レベルを表す。図12において、棒状の対象物201を測定対象の面200上で移動させ、異常形状検出装置100の出力信号レベルが最も高い位置、あるいは出力信号レベルが最も高い範囲の中心を定め、その位置を基準点とする。図13の横軸において基準点は0で示した。図13によれば、検出に有効な出力信号レベルが得られる範囲は、l=500mmの場合には、約450mmであり、l=1200mmの場合に約650mmである。このように、本発明の異常形状検出装置によれば、上述の検出可能範囲のいずれの場所であっても、また、どのような形状であっても異常形状を検出することができる。また、測定対象物は、金属を含む導電性物質であってもプラスチックや食品を含む誘電体であってもよい。一般的に、測定対象物に対する電磁波の反射率は、測定対象物の誘電率や電気抵抗によって異なる。たとえば、樹脂の反射率は、金属の対象物の反射率の30以下である。さらに、上述にように、搬送波の周波数を変更することによって、検出可能な対象物のサイズを変更することができる。つぎに、本実施形態による異常形状検出装置の測定周期について説明する。式1及び2から、TB=127/400kHz=3.175x10-4秒である。一例として、測定対象が走行するストリップであり、ストリップ走行速度が1000m/分であるとして、上記の測定周期の間の走行距離は、5.3mmである。同様にストリップ走行速度が100m/分であるとして、上記の測定周期の間の走行距離は、0.53mmである。他方、本実施形態による異常形状検出装置の検出範囲は、上述のように450mm乃至650mmであるので、この走行距離は無視しうる大きさである。図14は、異常形状検出装置による異常形状対象物までの距離測定の結果を示す図である。測定は、図12に示す状態で行った。図14の横軸は、対象物の移動距離を表し、図14の縦軸は検出距離及び検出距離と理論距離との偏差右側の目盛りを表す。検出距離の理論距離に対する偏差は、最大約5mmである。たとえば、特開200998097公報に開示されている補正を行うことによって偏差は1mm以内とすることができる。図15は、本実施形態による異常形状検出装置100の全体信号処理部1053の動作を説明するための流れ図である。図15のステップS010において、全体信号処理部1053は、いずれかの組の送受信アンテナが、所定の時間連続して異常形状を検出したかどうか判断する。いずれかの組の送受信アンテナが、所定の時間連続して異常形状を検出した場合には、ステップS020へ進む。所定の時間連続して検出することを条件とするのは誤検出を防止し、高精度の検出を行うためである。本実施形態において、測定周期は、3.175x10-4秒であるので、上記の所定の時間を1ミリ秒とすると、3回連続して異常形状を検出した場合に異常形状を検出したと判断される。他方、上述のように、ストリップ走行速度が1000m/分であるとして、1ミリ秒の間の走行距離は、16.7mmである。この走行距離は、上述の検出範囲に比較して十分に小さい。図15のステップS020において、全体信号処理部1053は、異常形状を検出した組に識別フラグを立てる。図16は、各組信号処理部による検出信号の出力状態を示す図である。図の水平方向は、時間の推移を示す。点線で区切られた区間は1ミリ秒である。区間の丸印は、フラグが立っていることを示す。たとえば、第1の組の検出信号について、ある区間に丸印があることは、第1の組の信号処理部がその区間において検出信号を出力していいたことを示す。図15のステップS030において、全体信号処理部1053は、識別フラグが立っている組のデータを収集し、異常形状の判定を行う。一例として、図4に示すように互いに直交する方向に配置された2組の送受信アンテナ101A、103A及び101B及び103Bによって異常が検出された場合には、広がりをもった異常形状であると判定する。また、1組の送受信アンテナによってのみ異常が検出された場合には、送受信アンテナの開口面とほぼ平行なほぼ線状の異常形状であると判定する。一例として、全体信号処理部1053は、図16において第1及び第2の組の検出信号に丸印が付されている区間に全体の検出信号のフラグを立てる。全体信号処理部1053は、たとえば、全体の検出信号のフラグが立っている区間において広がりをもった異常形状が存在すると判断し、広がりをもった異常形状の検出信号を出力する。図15のステップS040において、異常形状検出装置100は、所定の条件に基づいて検出を継続するかどうか判断する。所定の条件は、たとえば、測定対象の面200が存在すること、及び検出モードに設定されていることなどである。検出を継続すると判断した場合には、ステップS010に戻る。検出を継続しないと判断した場合には、処理を終了する。本発明の異常形状検出装置は、疑似ランダム信号を使用するので、周囲の環境の影響を受けることなく、また、複数の組の測定が相互に干渉することなく高い精度で異常形状を検出することができる。さらに、本発明の異常形状検出装置によれば、検出可能範囲のいずれの場所であっても、またどのような形状であっても異常形状を検出することができる。また、測定対象物は、金属を含む導電性物質であってもプラスチックや食品を含む誘電体であってもよい。さらに、搬送波の周波数を変更することによって、検出可能な対象物のサイズを変更し、M系列周波数を変更することによって検出分解能を変更することができる。