光変調装置100、特に時空間光変調結像システム200用の光変調装置であって、-変調器面112に配置されたミラー要素111のアレイであって、前記ミラー要素111の各々が、前記変調器面112に垂直な変調器光軸113に対して第1の傾斜角度θaと第2の傾斜角度θbをそれぞれ有する第1の傾斜状態111aと第2の傾斜状態111bの間で個々に切り替えることができる、ミラー要素のアレイと、-前記第1の状態111aの前記ミラー要素111と、前記変調器光軸113から外れた第1の光軸121との間で光を中継するよう配置された第1の光中継装置120と、を含み、-前記第1の光中継装置120は、前記変調器光軸113に垂直な平面光照射野114が前記第1の光軸121に垂直な第1の平面光照射野125に中継される形態で形成された、第1グループの結像要素122、123、124を含むものであることを特徴とする、光変調装置。-前記第2の傾斜状態111bの前記ミラー要素111と前記変調器光軸113から外れた第2の光軸131との間で光を中継するよう配置された第2の光中継装置130を、さらに含み、-前記第2の光中継装置130は、前記変調器光軸113に垂直な平面光照射野114が前記第2の光軸131に垂直な別の平面光照射野135へと中継される形態で形成された、第2グループの結像要素132、133、134を含むものである、請求項1に記載の光変調装置。前記第1グループと第2グループの結像要素122、123、124、132、133、134の中の少なくとも一方は、少なくとも1つの屈折コンポーネントおよび少なくとも1つの反射コンポーネントを含むものである、請求項1または2に記載の光変調装置。前記第1グループと第2グループの結像要素122、123、124、132、133、134の中の少なくとも一方は、球面鏡と、少なくとも1つの補正レンズ、好ましくは、前記第1と第2の光軸1221、131に対して傾斜された2つの補正レンズと、を含むものである、請求項3に記載の光変調装置。-前記第1の光軸121が前記変調器光軸113に平行である、-前記第2の光軸131が前記変調器光軸113に平行である、-少なくとも1つのビームダンプ装置140、141が、前記ミラー要素111において形成された残りの光を集めるよう配置されている、-前記光中継装置120および前記第2の光中継装置130が前記変調器光軸113に対して互いに対称に配置されている、-前記マイクロミラーデバイス110、前記第1の光中継装置120および前記第2の光中継装置130が、共通の支持板150上に配置されている、という複数の特徴の中の少なくとも1つの特徴を含む、請求項1乃至4のいずれかに記載の光変調装置。時空間光変調結像システム200、特に調べられる物体1の共焦点結像用の時空間光変調結像システムであって、-照明光を供給するように配置された光源装置210と、-前記照明光を前記物体1に集中させるよう配置された結像光学系220と、-前記照明光に応答して前記物体1に形成された検出光を集めるよう配置された少なくとも1つの検出器カメラ231、232を含む検出装置230と、-前記検出光が、少なくとも前記第1の光軸121に沿って前記検出装置230に向けて方向付けられる形態で配置された、請求項1乃至6のいずれかに記載の光変調装置100と、を含み、-前記少なくとも1つの検出器カメラ231、232は、前記検出光が垂直方向の入射で集められる形態で、配置されるものである、時空間光変調結像システム。前記光源装置210は、-第1の平行ビームの照明光を形成する第1の光源211と、-前記第1の平行ビームの照明光を、前記第1の光軸121および前記第1の光中継装置120に沿って前記マイクロミラーデバイス110に向けて方向付けるよう、前記第1の光軸121に配置された第1のダイクロイックミラー213と、を含むものである、請求項6に記載の結像システム200。前記光源装置210は、-第2の平行ビームの照明光を形成する第2の光源215と、-前記第2の平行ビームの照明光を、前記第2の光軸131および前記第2の光中継装置130に沿って前記マイクロミラーデバイス110に向けて方向付けるよう、前記第2の光軸131に配置された第2のダイクロイックミラー216と、を含むものである、請求項6または7に記載の結像システム200。前記検出装置230は2つの検出器カメラ231、232を含み、各検出器カメラは、前記第1と第2の光軸121、131のいずれか一方に前記検出光が垂直方向に入射する形態で配置されているものである、請求項6乃至8のいずれかに記載の結像システム200。-前記第1と第2の光軸121、131を、共通の検出器経路242上で合成するよう配置された像合成反射器241、を含む像合成装置240、をさらに含み、-前記少なくとも1つの検出器カメラ231、232は、前記共通の検出器経路242に前記検出光が垂直方向に入射する形態で配置されているものである、請求項6乃至9のいずれかに記載の結像システム200。前記像合成反射器241は、前記第1と第2の光軸121、131に沿って進む前記検出光の各部分が、前記共通の検出器経路242に沿って5度未満の角度で、特に3度の角度で、互いに交差するような形態で、配置されているものである、請求項10に記載の結像システム200。前記像合成装置240は、前記変調器光軸113、前記第1の光軸121および前記第2の光軸131を含む第1の平面201からの検出光を、前記共通の検出器経路242を含む第2の平面および前記検出装置230へと偏向させるよう配置されているものである、請求項10または11に記載の結像システム200。前記光変調装置100は、-前記第1の傾斜状態111aの前記ミラー要素111が、前記変調器光軸113に沿って前記物体1の共役位置へと集中される所定のパターンシーケンスの照明スポットによって前記物体1を照明するよう、また、前記共役位置から前記変調器光軸113に沿って前記第1の光軸121へと進む前記検出光を、前記検出装置230に向けて反射して、共役像Icを形成するよう適合化され、-前記第2の傾斜状態111aの前記ミラー要素111が、非共役位置から前記変調器光軸113に沿って前記第2の光軸121へと進む前記検出光を、前記検出装置230へ向けて反射して、非共役像Incを形成するよう適合化される形態で配置されるものである、請求項6乃至12のいずれかに記載の結像システム200。請求項6乃至13のいずれかに記載の結像システム200を用いる共焦点光学的結像方法であって、-前記光源装置210を用いて照明光を供給するステップと、-前記結像光学系220を用いて、調べられる前記物体1に前記照明光を集中させるステップと、-前記照明光に応答して、前記物体1に形成された検出光を前記少なくとも1つの検出器カメラ231、232を用いて集めるステップと、を含み、-前記検出光は、少なくとも前記第1の光軸に沿って前記検出装置230に向けて方向付けられ、前記少なくとも1つの検出器カメラ231、232によって垂直方向の入射形態で受け取られるものである、方法。請求項1乃至6のいずれかに記載の光変調装置100を用いて、物体の共焦点光学的結像を行う、または蛍光抑制または光活性顕微鏡法を行う方法。発明の好ましい実施形態本発明の好ましい実施形態の以下の説明は、プログラム可能な共焦点顕微鏡におけるモジュールとしての光変調装置の適用例を例示的な形態で参照する。光変調装置の使用は、その顕微鏡の適用例に限定されるものではなく、例えば通常の非共焦点顕微鏡のようなその他の時空間光変調spatiotemporallylightmodulated結像システムでの対応する形態でも実現可能であることを、強調しておく。好ましい実施形態を、時空間光変調結像システムの光変調装置および光学的設計の各特徴を具体的に参照して説明する。共焦点顕微鏡の操作の詳細は、例えばEP911667A1およびEP916981A1で知られているようにして、実現できる。特に、マイクロミラーデバイスは、通常知られている照明スポットのパターンシーケンスまたは各パターンシーケンスの照明スポットで動作させることができる。さらに、検出装置で集光された共焦点および/または非共焦点像画像を評価することができ、通常の顕微鏡法技術で知られているように、場合によってさらに処理することができる。特に、発明による時空間光変調結像システムは、例えば、単分子活性/局在、基底状態または励起状態抑制、励起状態寿命持続時間および励起および/または放出偏光、ハイパースペクトルおよび励起および/または放出マイクロオプティクス光学系またはマイクロレンズアレイに基づく光照射野技術、に基づく、超解像蛍光を含む、光活性、光変換および結像モードを用いる通常の技術に適合する。図1は、本発明による時空間光変調結像システムまたは時空間光変調撮像システム200のコンポーネント構成要素として設けられた本発明による光変調装置100の第1の実施形態を示している。結像システム200は、例えば共焦点顕微鏡を含み、それは、光源装置210、結像光学系220、検出装置230、像合成装置240および制御装置250を含んでいる。光変調装置100任意選択的に、光源装置210を有するものには、共通のプラットフォーム上の共通平面に図1、図4および5参照、または互いに垂直方向に変位した異なる平面上に図6参照、像合成装置240および検出装置230を設けることができる。時空間光変調結像システム200の光学的設定配置は、光源装置210から光変調装置100および結像光学系220を経由して調査対象の物体1へと伸びる照明光路と概略的に実線で示されている、物体1から、結像光学系220、光変調装置100および像合成装置240を経由して検出装置230へと伸びる検出光路と、を含んでいる。検出光路は、光変調装置100によって、第1の光中継装置120を経由して第1の光軸121に沿って像合成装置240へと伸びる第1の光路破線で示されていると、第2の光中継装置130および第2の光軸131を経由して像合成装置240へと伸びる第2の光路太い点線で示されているとに分割される。実線、破線および太い点線は、例示のみを目的として示されているに過ぎないことを強調しておく。実際には、全ての光路の主軸が互いに一致し、その一方で、各光照射野は、第1の光路中に細い点線で示されているように或る横方向の広がりを有する。本発明の第1の独立した観点を表す光変調装置100は、マイクロミラーデバイス110および第1の光中継装置120、並びに任意選択的に第2の光中継装置130およびビームダンプ装置140を含んでいる。通常の顕微鏡法では、第2の光中継装置130およびビームダンプ装置140を省略することができる。さらに、第2の光源が設けられる図4参照場合には、別のビームダンプ装置を光変調装置100上に配置することができる。マイクロミラーデバイス110は、共通の変調器面平面112に配置された1つのアレイ配列をなすミラー要素111を含んでいる。変調器光軸変調光軸113照明光路と検出光路の共通部分は、変調器面112に垂直であり、即ち変調器面112上の垂直方向法線は変調器光軸113と一致する。マイクロミラーデバイス110は、特にDMDに含まれるようなマイクロメカニカルミラーアレイを含み、例えば、1920×1080のミラー要素111のアレイを有するTI社のDMDディスカバリ1080p製造業者:テキサスインスツメンツ社TexasInstruments。マイクロメカニカルミラーアレイは、マイクロミラー装置110の全帯域幅例えば、25kHzのストリームの2進画像の使用を可能にする電子およびソフトウェアモジュールと組み合わされる。従って、非常に高速のフレームレート周波数の光学切片像を、共役および非共役像とその組み合わせを光学切片像とするリアルタイム表示で、得ることができる。画像捕捉のレート周波数、速度は、例えば、照明の強度照度、照明パターン生成の2進シーケンス順序の長さ、検出装置の性能パラメータ、および物体の性質のような、結像条件に応じて決まる。図2には、マイクロミラーデバイス110の2つの例示的なミラー要素111の拡大図が示されている。ミラー要素111は、ミラー要素111が変調器光軸113変調器面112の法線または垂線に対して第1の角度θa、例えば12°だけ傾斜した第1の状態111aと、ミラー要素111が変調器光軸113に対して第2の角度θb、例えば-12°を有する第2の状態111bと、の間で切り替えることができる。その結果、第1の状態111aでは、照明光は、角度2×θa、例えば24°でマイクロミラーバイス110上へと向けられて、その光がミラー要素111によって変調器光軸113に沿って結像光学系220へと反射されるようにされる。それと同時に、物体1の焦点面平面における各共役位置からの検出光は、結像光学系220から変調器光軸113に沿って第1の光中継装置120に向けて方向付けられる。逆に、第2の状態111bのミラー要素111は、照明光を別の方向へと方向付け、ビームダンプで集められる集光される図1参照。それと同時に、物体1における各非共役位置からの検出光は、非共役像を集光するように第2の光中継装置130へ向けられる。図3には、マイクロミラーデバイス110および第1の光中継装置120を含む光変調装置100の別の詳細が示されている。第1の光中継装置120は、球面鏡122、例えば軸外し放物面鏡offaxisparabolicmirrorと、2つの傾斜補正レンズ123、124とを含んでいる。変調器光軸113に沿って進む光照射野は、第1の状態のミラー要素111aによって球面鏡122へ向けて反射され、また、球面鏡122によって第1の光軸121へと反射される。変調器光軸113に垂直な平面光照射野像114は、マイクロミラーデバイス110での反射によって傾斜される115の概略的図示参照。この歪みは、第1光軸121に垂直な第1の平面光照射野125が得られるように、ミラー鏡とレンズの組合せ122、123、124の結像特性によって補償される。平面光照射野125は、第1の光軸121に沿って進み、そこで別の結像光学系に向けられる。一例として、球面鏡122および2つの傾斜補正レンズ123、124は、次の特性を有する。球面鏡122は、ガラスで形成され、好ましくは、例えば50mmの半径を有し、例えば500mmの放物線パラボラの曲率を有する広帯域反射被覆コーティングを有するものである。補正レンズ123、124は、ガラスで形成され、好ましくは、例えばN-SF6-HTまたはN-FK5ガラスのような蛍光体非含有のガラスで形成され、例えば24mmの半径を有し、それぞれ4または4.3mmの厚さを有し、それぞれ140.4mmおよび134.2mm/それぞれ47.7mmおよび47.3mmの前面曲率および背面曲率を有するものである。マイクロミラーデバイス110および第1の光中継装置120は、共通の支持板図6の150参照上に配置される。第2の光中継装置130図1参照は、第1の光中継装置120と同様に、第1の光中継装置120の結像要素112、123、124に対して鏡面対称関係にある結像要素132、133、134を有するように設計される。第2の光中継装置130は、第2の状態111bのミラー要素111によって第2光軸131に向けて反射された検出光に対して同様の効果を有していて、第2の平面光照射野135が、第2の光軸131に沿って進むように形成される。再び図1を参照すると、光源装置210は、第1の光源211、第1のダイクロイック励起フィルタ213、および第1のコリメート平行化光学系214を含んでいる。第1の光源211は、例えば、単一のレーザ線または複数のレーザ線を放出する単一のレーザ装置、各々が少なくとも1つのレーザ線を放出する複数のレーザ装置、少なくとも1つの発光ダイオードLED、または広い波長帯域の白色灯を含んでいる。第1の光源211は、350nm乃至850nmの範囲の照明光を発生することが好ましい。好ましい例として、選択可能な発光波長例えば、タイプPhlatLight、製造業者:ルミナスデバイス社LuminusDevicesIncを有するLEDアレイ光源、または例えば170nm乃至800nmの範囲で発光する広い波長帯域のレーザ-プラズマ光源例えば、タイプEQ-99、製造業者:エナジェティック社Energetiqが使用される。励起フィルタ213は、光源211で形成された照明光の波長特性を整形するために設けられる任意選択的な機能である。光源が単一ラインレーザのみを含む場合、励起フィルタは省略することができる。コリメート光学系214は、平行ビームの照明光216を形成し、それビームが、ダイクロイックミラー212、第1の光中継装置120、空間ミラー鏡110、および結像光学系220を経由して、調査中の物体1へと向けられる。結像光学系220は、顕微鏡対物光学系レンズ221および顕微鏡中継光学系222を含んでいる。顕微鏡対物光学系レンズ221は、物体1内の所定の焦点面平面に照明光を集中または収束するように設けられている。焦点面に形成された検出光照射野は、顕微鏡像面平面223に結像され、それが顕微鏡中継光学系222でマイクロミラーデバイス110に結像される。顕微鏡中継光学系222は、顕微鏡像面223のテレセントリックtelecentric像をマイクロミラーデバイス110上に形成する。その後、検出光照射野は、第1の光軸121および像合成装置240を経由して検出装置230へと中継される。像合成装置240は複数の像反射器241を含み、それらの像反射器241は、第1と第2の光軸121、131を組み合わせまたは結合させて共通の検出器軸242を形成する。像合成反射器合成器反射器241は、例えば図示されたような平面鏡および/または中央のプリズムのような複数の平面反射面を含んでいる。代替形態として、その像合成反射器は、結像のために湾曲させることができる。さらに、像合成装置240は、蛍光フィルタまたは吸収フィルタemissionfilter243、光学的絞り244および結像レンズ245を含んでいる。蛍光フィルタ243は、例えば物体1からの蛍光蛍光発光のような検出光のみの波長の光を透過し、その一方で、例えば照明波長のようなその他の波長を遮断するために、設けられる。結像レンズ245は、第1と第2の光軸121、131からの光照射野のテレセントリック結像telecentricimagingを、検出装置230の検出器カメラ231、232上に形成する。図1に示されているように、像合成反射器合成器反射器241は、第1と第2の光軸121、131からの各光照射野が共通の検出器経路242において互いに交差するように配置される。その交差位置は、テレセントリック結像のために配置された絞りダイアフラム244の位置に配置される。代替形態として、像合成反射器241は、第1と第2の光軸121、131からの光照射野が交差することなく互いに隣接して配置されるように、配置することができる。その両方の場合において、入射角度は、0°より僅かに大きく、例えば0°~5°の範囲の角度、例えば2°である。図1によれば、制御装置250が設けられ、制御装置250は、特に、光源装置210、マイクロミラーデバイス110、結像光学系220および検出装置230に接続される。制御装置250は、本発明による共焦点光学的結像の方法の各ステップを制御するよう配置構成され、特に、上述の各コンポーネントを制御し、検出装置230から画像データのような電気信号を収集するように配置構成されている。制御装置250の特定の機能は、適合化された制御回路と共にパーソナルコンピュータによって実装することができ、共焦点顕微鏡の特定のタイプに応じて決定される。制御装置250は、共役および非共役画像データをリアルタイムで処理するための高速グラフィックカードを含んでいることが好ましい。図4は時空間光変調結像システム200の代替実施形態を示しており、時空間光変調結像システム200は、光源装置210、光変調装置100、結像光学系220および検出器カメラ231、232を含み、図1の実施形態と同様の設計を有する。相違点は、第2の光源215、第2のビームダンプ141を設けた点、および像合成装置を省略した点に関する。さらに、図1の実施形態とは逆に、検出装置の2つの検出器カメラ231、232が、互いに離して光軸121、131に直接配置される。図4の実施形態は、本発明による時空間光変調結像システム200を用いて、例えば抑制顕微鏡観察方法depletionmicroscopymethodsのような、蛍光体の互いに異なる電子状態間を切り替えるための2つの異なる光源を必要とする顕微鏡法を実現するのに特に有用である。図5は、2つの光源211、215を用いて物体を照明するように適合化された時空間光変調結像システム200の各光学コンポーネント部品の概略的な斜視図を示している。図5の時空間光変調結像システムは、基本的に、図1を参照して上述したように構成される。図5は、さらに、光変調装置の全ての光学コンポーネント110、120、130、像合成装置240、および検出装置230が、モニタ光軸113および第1と第2の光軸121、131を含む共通の平面201に配置されていること、を示している。図6に示されている代替実施形態では、像合成装置240は、共通の検出器経路242が、光軸113、121および131の平面201に対して垂直方向に移動シフトされた平面202に配置されるように、変形することができる。以上の説明、図面および特許請求の範囲に開示された発明の各特徴は、個々にもまたはその組合せた形でも、本発明をその相異なる実施形態として実現するために、等しく重要であり得る。