基板の位置を調整する基板のアラインメント方法であって、複数のフリーボールベアリングで前記基板を裏面側から支持する工程と、前記複数のフリーボールベアリングで支持された前記基板の縁部に対して接触部材を押し当てて前記基板を目標位置に動かす工程と、を含む基板のアラインメント方法。前記接触部材は直線的に延びる直線部を有し、前記動かす工程で前記接触部材の前記直線部を前記基板の前記縁部に押し当てる、請求項1に記載のアラインメント方法。前記動かす工程で前記基板を前記目標位置に動かした後に前記基板の移動を阻止する工程を更に含む、請求項1又は2に記載のアラインメント方法。前記阻止する工程で移動が阻止された前記基板の支持を、前記複数のフリーボールベアリングによる支持から同一方向に回転軸線が向いた複数のローラによる支持へ切り替える工程を更に含む、請求項3に記載のアラインメント方法。基板の位置を調整する基板のアラインメント装置であって、前記基板を裏面側から支持する複数のフリーボールベアリングと、前記基板の縁部に押し当てられる接触部材と、前記複数のフリーボールベアリングで支持された前記基板の前記縁部に前記接触部材が押し当てられて前記基板が目標位置に動かされるように前記接触部材を駆動する駆動部と、を含む基板のアラインメント装置。前記接触部材と前記駆動部との間に介在する緩衝部材を更に含む請求項5に記載のアラインメント装置。特許文献1の装置は円柱状の幅寄せ部材を基板の縁部に押し当てながら基板を動かしてその位置を調整する。幅寄せ部材を押し当てて基板を動かす方向はコンベアの搬送方向と異なるので、基板を動かす際にコンベアのローラが回転せずに基板とローラとの間で摩擦する。そのため、基板とローラとの摩擦によって基板に傷が生じるおそれがある。基板が大きくなるほど重量が増加して基板とローラとの間の摩擦力が大きくなるので基板に傷が生じやすくなる。そこで、本発明は、基板の位置調整に伴う傷の発生を防止できる基板のアラインメント方法及び装置を提供することを目的とする。本発明のアラインメント方法は、基板Sの位置を調整する基板のアラインメント方法であって、複数のフリーボールベアリング15で前記基板を裏面側から支持する工程図5dと、前記複数のフリーボールベアリングで支持された前記基板の縁部eに対して接触部材28、32を押し当てて前記基板を目標位置に動かす工程図5dと、を含むものである請求項1。このアラインメント方法によれば、複数のフリーボールベアリングにて基板が支持された状態で基板の縁部に接触部材を押し当てて基板を動かすので、基板の移動方向に拘らずにその移動に伴ってフリーボールベアリングのボールが回転する。従って、ローラで支持された状態で基板を動かす場合のように基板とローラとが摩擦することがないので、基板の位置調整に伴う傷の発生を防止できる。本発明のアラインメント方法の一態様として、前記接触部材は直線的に延びる直線部28a、32aを有し、前記動かす工程で前記接触部材の前記直線部を前記基板の前記縁部に押し当ててもよい請求項2。この態様によれば、接触部材の直線部が基板に押し当てられるので、基板と接触部材との接触が線接触となる。そのため、接触部材を基板に押し当てることによって基板に入力される力が一点に集中せずに分散するので、基板に生じる歪みを低減できる。本発明のアラインメント方法の一態様として、前記動かす工程で前記基板を前記目標位置に動かした後に前記基板の移動を阻止する工程図5eを更に含んでもよい請求項3。この態様によれば、基板を目標位置に動かした後に基板の移動を阻止することができる。これにより、基板の位置調整後に基板が位置ずれすることを防止できる。この態様においては、前記阻止する工程で移動が阻止された前記基板の支持を、前記複数のフリーボールベアリングによる支持から同一方向に回転軸線が向いた複数のローラによる支持へ切り替える工程図5fを更に含んでもよい請求項4。この場合は、基板の移動が阻止された状態で基板の支持方法が切り替えられる。従って、基板の支持方法の切り替えによって、位置調整が行われた基板に位置ずれが生じることを防止できる。本発明の基板のアラインメント装置は、基板Sの位置を調整する基板のアラインメント装置1であって、前記基板を裏面側から支持する複数のフリーボールベアリング15と、前記基板の縁部eに押し当てられる接触部材28、32と、前記複数のフリーボールベアリングで支持された前記基板の前記縁部に前記接触部材が押し当てられて前記基板が目標位置に動かされるように前記接触部材を駆動する駆動部30、34と、を含むものである請求項5。このアラインメント装置によれば、上述した作用効果を発揮するアラインメント方法を実施することができる。本発明のアラインメント装置の一態様において、前記接触部材と前記駆動部との間に介在する緩衝部材35を更に含んでもよい請求項6。この態様によれば、駆動部が接触部材を基板に押し付ける際に過剰な力が働いてもその力は緩衝部材によって吸収されて基板に伝達しない。このため、接触部材が基板に押し付けられた際に基板に過剰な力が作用することを防止できる。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。以上説明したように、本発明のアラインメント方法及び装置によれば、複数のフリーボールベアリングにて基板が支持された状態で基板の縁部に接触部材を押し当てて基板を動かすので、基板の位置調整に伴う傷の発生を防止できる。図1に示すように、アラインメント装置1は基板Sの搬送経路R内に設置されている。基板Sはカラーフィルタ用のガラス製の基板である。基板Sは搬送経路Rの各所でレジスト膜の塗布や乾燥等の所定処理が施される。アラインメント装置1は、上流側セクションSC1で処理された基板Sを下流側セクションSC2へ搬送する過程で基板Sを正しい位置に調整する。図示の搬送経路Rは複数のローラ3を備えたコンベア2にて構成されている。コンベア2の各ローラ3は、基板Sの搬送方向Rdと直交する方向に延びる回転軸線Axを中心として回転可能な状態でフレーム4に取り付けられ、かつ不図示の駆動装置にて回転駆動される。図2にも示すように、アラインメント装置1は基板Sの位置調整の際にその支持方法を変更する基板支持機構5を有している。基板支持機構5は基板Sの裏面側を支持する複数の支持部10と、各支持部10の基部が固定される保持枠11と、保持枠11を鉛直方向に昇降させる昇降機構12と、基板Sの移動を阻止するための固定手段である吸着パット13と、基板Sの四隅に配置され基板Sを目標位置に移動させる幅寄せ機構14とを備える。各支持部10は棒状に延びている。図3に示したが、各支持部10の先端部にはフリーボールベアリング15が取り付けられている。フリーボールベアリング15は任意の方向に回転可能なボール16を有する周知の装置である。図示を略したが、保持枠11は各支持部10の配列に従って格子状に形成されている。昇降機構12は不図示の電動モータを駆動源として備えている。昇降機構12はその電動モータの回転運動を矢印の鉛直方法に保持枠11を昇降させる運動に変換する。これにより、保持枠11に設けられた各支持部10が上昇し、ローラ3による基板Sの支持から各支持部10による基板Sの支持に切り替えられる。図1に示したように、吸着パット13は基板Sの対角位置の2箇所に配置されている。図3に示したように、各吸着パット13は、パット部13aの圧力を大気圧から真空ないし負圧に切り替えることによって基板Sを吸い付けることができる。その構造や機能の詳細は周知のものと同じであるので説明を省略する。各吸着パット13は支持部10に取り付けられていて支持部10と一緒に昇降できる。更に、各吸着パット13は、図3に実線で示された待避位置と、図3に想像線で示された吸着位置との間で位置を切り替え可能な駆動機構25を有している。図1及び図4に示したように、各幅寄せ機構14は、基板Sを搬送方向Rdに押す第1機構14Aと、基板Sを搬送方向Rdと直交する方向に押す第2機構14Bとを含む。各機構14A、14Bはフレーム4に取り付けられている。第1機構14Aは基板Sの縁部eに押し付けられる接触部材28と、接触部材28を保持するアーム29と、アーム29を搬送方向Rdに移動させる駆動部30とを有する。駆動部30はシリンダ装置として構成されており、図4に実線で示された待避位置と、想像線で示された押し出し位置との間で位置を切り替えることができる。一方、第2機構14Bは基板Sの縁部eに押し付けられる接触部材32と、接触部材32を保持するアーム33と、アーム33を搬送方向Rdと直交する方向に移動させる駆動部34とを有する。この駆動部34も第1機構14Aのものと同様にシリンダ装置として構成されており、図4に実線で示された待避位置と、想像線で示された押し出し位置との間で位置を切り替えることができる。4つの幅寄せ機構14の各機構14A、14Bのうち、図1の右側に配置された2つの第1機構14A及び図1の上側に配置された2つの第2機構14Bには、コイルばね等の緩衝部材35設けられている。この緩衝部材35は各駆動部30、34と接触部材28、32との間に介在して、それによって各機構14A、14Bが押し出し位置に切り替えられた場合に基板Sに過剰な力が作用しないようになっている。各機構14A、14Bの接触部材28、32はそれぞれ直線的に延びる直線部28a、32aを有する。これらの直線部28a、32aは各機構14A、14Bが押し出し位置の際に基板Sの縁部eに接触するように向きが調整されている。各接触部材28、32は基板Sの素材よりも柔軟な素材にて形成される。この素材としては、例えば超高分子量ポリエチレンUPEやポリエーテルエーテルケトン樹脂PEEK等の合成樹脂を選択することができる。次に、図5を参照してアラインメント装置1を使用したアラインメント方法の一例を説明する。工程aにおいては、上流側セクションSC1で処理された基板Sを、コンベア2を駆動してアラインメント装置1に受け入れる。基板Sをアラインメント装置1の所定位置に受け入れたら、コンベア2の駆動を停止する。工程bにおいては、吸着パット13を吸着位置に切り替えた状態で昇降機構12にて各支持部10を上昇させて、基板Sを吸着パット13にて固定する。これにより、基板Sの移動は阻止される。工程cにおいては、各支持部10を更に上昇させて基板Sの支持をローラ3による支持から各支持部10による支持へ切り替える。工程dにおいては、吸着パット13による基板Sの固定を解除しつつ退避位置へ切り替えて、基板Sが複数のフリーボールベアリング15にて支持された状態とする。そして、各幅寄せ機構14を押し出し位置に切り替えて基板Sを目標位置に動かす。なお、目標位置は各幅寄せ機構14の押し出し位置を調整することによって設定される。図4に示したが、各幅寄せ機構14が押し出し位置に切り替えられた際には、各接触部材28、32の直線部28a、32aが基板Sの縁部eに押し当てられる。そのため、基板Sと各接触部材28、32との接触が線接触となる。そのため、各接触部材28、32を基板Sに押し当てることによって基板Sに入力される力が一点に集中せずに分散するので、基板Sに生じる歪みを低減できる。図5の工程dは、本発明に係る基板を支持する工程及び基板を目標位置へ動かす工程に相当する。工程eにおいては、各幅寄せ機構14を押し出し位置に保持したまま、吸着パット13を吸着位置に切り替えて基板Sを固定して移動を阻止する。これにより、目標位置に調整された基板Sが位置ずれすることを防止できる。工程eは本発明に係る基板の移動を阻止する工程に相当する。工程fにおいては、吸着パット13で基板Sを固定したまま昇降機構12にて各支持部10を下降させる。これにより、吸着パット13で移動が阻止された基板Sの支持を複数のフリーボールベアリング15による支持からローラ3による支持へ切り替えられる。基板Sの移動が阻止された状態で支持方法の切り替えが行われるので位置調整が行われた基板Sに位置ずれが生じることを防止できる。工程fは本発明に係る複数のローラによる支持へ切り替える工程に相当する。工程gにおいては、吸着パット13による基板Sの固定を解除し、コンベア2を駆動することにより、基板Sをアラインメント装置1から下流側セクションSC2へ移送する。以上説明したように、本形態のアライメント装置1によれば、基板Sの位置調整を複数のフリーボールベアリング15にて支持した状態で行うので、ローラ3で支持された状態で基板Sを動かす場合のように基板Sとローラ3とが摩擦することがないので、基板Sの位置調整に伴う傷の発生を防止できる。本発明は上記形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内において種々の形態にて実施できる。上記形態のように、棒状に延びる支持部の先端に設けられたフリーボールベアリングによる支持の他、平坦なステージの上面側にボールが臨むようにして複数のフリーボールベアリングをステージに取り付けて基板を支持する形態で本発明を実施することも可能である。本発明の適用対象となる基板の形状は平板状であればよく、必ずしも矩形状である必要はない。従って、円形状等の矩形状以外の形状を持つ基板に対しても本発明を適用することができる。