"ホルダに保持され、加工対象である基板上を前記ホルダとともに相対的に往復移動させて基板に溝を形成するための溝加工ツールであって、前記ホルダに保持されるツール本体と、前記ツール本体の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端に形成された第1刃と、復動側の先端に形成された第2刃と、を有し、前記第1刃と前記第2刃とは連続して隣接している、刃先部と、を備えた基板の溝加工ツール。前記第1刃及び前記第2刃のそれぞれは、前記刃先部の移動方向の中心位置から移動方向の両側に向かって形成され、移動方向に対して同じ角度だけ前記ツール本体側に傾斜している、請求項1に記載の基板の溝加工ツール。前記ツール本体は、前記ホルダに揺動自在に支持された揺動部材に支持されるものであり、前記第1刃及び前記第2刃の傾斜角度は前記揺動部材の揺動角度に等しい、請求項2に記載の基板の溝加工ツール。前記刃先部は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面と復動側の側面とが傾斜しかつ対称に形成されている、請求項1から3のいずれかに記載の基板の溝加工ツール。前記刃先部は、移動方向と直交する方向の幅が、前記ツール本体の同方向の幅に比較して狭い、請求項1から4のいずれかに記載の基板の溝加工ツール。前記ツール本体の前記刃先部側の部分は、移動方向と直交する方向の幅が前記刃先部に近づくにしたがって狭くなっている、請求項5に記載の基板の溝加工ツール。従来の溝加工装置あるいは溝加工方法では、連続して複数の溝を加工する場合、1本の溝を加工した後に、ヘッドを上昇させ、加工開始位置まで移動させ、続いて次の溝を加工する、といった動作が繰り返される。このような従来の装置及び方法では、加工に時間がかかり、また先に調整されたツールの押圧力を再調整しなければならない場合がある。そこで、本件発明者らは、効率よく迅速に溝加工を行うことができる加工装置を開発し、既に出願している特願2010-082953。この加工装置は、ヘッドに上下移動可能にツールホルダが取り付けられており、さらに、このツールホルダに所定の角度範囲内で揺動部材が揺動可能に取り付けられている。揺動部材には溝加工ツールが保持されており、揺動部材は往動時の前進切削姿勢と復動時の後進切削姿勢とで反転させられる。溝加工ツールには、往動側及び復動側に対称的な前部刃先及び後部刃先が設けられている。そして、揺動部材が往動前進切削姿勢にあるときに前部刃先が太陽電池基板に接触し、復動後進切削姿勢にあるときに後部刃先が太陽電池基板に接触する。以上のような溝加工ツールを用いて溝加工を行うと、効率良く溝加工を行うことができる。しかし、ツール両端の刃先が摩耗してくると、刃の移動方向の幅が摩耗にしたがって広くなり、加工品質を長期にわたって良好に維持することができない。本発明の課題は、往復移動させて溝加工可能な溝加工ツールにおいて、摩耗による刃の幅の変化が少なく、長寿命化を図ることにある。第1発明に係る基板の溝加工ツールは、ホルダに保持され、加工対象である基板上をホルダとともに相対的に往復移動させて基板に溝を形成するためのツールであって、ホルダに保持されるツール本体と、刃先部と、を備えている。刃先部は、ツール本体の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端に形成された第1刃と、復動側の先端に形成された第2刃と、を有し、第1刃と第2刃とは連続して隣接している。ここでは、刃先部に形成された第1刃と第2刃とは隣接している。すなわち、第1刃と第2刃との間には、刃が形成されていない部分は存在しない。このため、第1刃が摩耗すると第2刃を削ることになり、また逆に第2刃が摩耗すると第1刃を削ることになる。したがって、第1刃及び第2刃が摩耗しても、各刃の幅が変化するのを抑えることができ、ツールの長寿命化を図ることができる。第2発明に係る基板の溝加工ツールは、第1発明の溝加工ツールにおいて、第1刃及び第2刃のそれぞれは、刃先部の移動方向の中心位置から移動方向の両側に向かって形成され、移動方向に対して同じ角度だけツール本体側に傾斜している。ここでも、第1発明と同様に、第1刃及び第2刃が摩耗しても、当初設定された刃の幅が変化するのを抑えることができる。第3発明に係る基板の溝加工ツールは、第2発明の溝加工ツールにおいて、ツール本体は、ホルダに揺動自在に支持された揺動部材に支持されるものである。そして、第1刃及び第2刃の傾斜角度は揺動部材の揺動角度に等しい。ここでは、往動時及び復動時のそれぞれにおいて、各刃の幅全体が基板に接することになり、効率良く加工を行うことができる。第4発明に係る基板の溝加工ツールは、第1から第3発明の溝加工ツールにおいて、刃先部は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面と復動側の側面とが傾斜しかつ対称に形成されている。ここで、刃先部の移動方向の幅は、すべて同じであることが望ましい。この場合は、第1刃及び第2刃が摩耗しても、互いの刃を削ることになるので、移動方向の幅は変わらない。しかし、通常、刃先部の幅は非常に小さく、小さい幅の刃先部を長くすると、強度が低下し、加工中に破損する可能性が高くなる。そこで、この第4発明では、刃先部は先端が細く、先端から離れるにしたがって太くなるように形成されている。このため、強度の低下を抑えるとともに、摩耗による幅変化を抑えて長寿命化を図ることができる。第5発明に係る基板の溝加工ツールは、第1から第4発明の溝加工ツールにおいて、刃先部は、移動方向と直交する方向の幅が、ツール本体の同方向の幅に比較して狭い。刃先部の移動方向と直交する方向の幅は、加工する溝の幅寸法に応じて設定する必要がある。そして、一般的に溝幅寸法は非常に狭い。一方で、ツール本体はホルダに装着されるために、また強度を確保するために、所定の幅が必要である。そこで、この溝加工ルールでは、刃先部の移動方向と直交する方向の幅を狭くし、一方でツール本体の同方向の幅を太くしている。第6発明に係る基板の溝加工ツールは、第5発明の溝加工ツールにおいて、ツール本体の刃先部側の部分は、移動方向と直交する方向の幅が刃先部に近づくにしたがって狭くなっている。以上のような本発明では、往復移動させて溝加工可能な溝加工ツールにおいて、摩耗による刃の幅の変化を少なくでき、長寿命化を図ることができる。本発明の一実施形態による溝加工ツールが装着された集積型薄膜太陽電池用溝加工装置の外観斜視図を図1に示す。[溝加工装置の全体構成]この装置は、太陽電池基板Wが載置されるテーブル1と、溝加工ツール以下、単にツールと記す2が装着されたヘッド3と、それぞれ2つのカメラ4及びモニタ5と、を備えている。テーブル1は水平面内において図1のY方向に移動可能である。また、テーブル1は水平面内で任意の角度に回転可能である。なお、図1では、ヘッド3の概略の外観を示しており、ヘッド3の詳細は後述する。ヘッド3は、移動支持機構6によって、テーブル1の上方においてX,Y方向に移動可能である。なお、X方向は、図1に示すように、水平面内でY方向に直交する方向である。移動支持機構6は、1対の支持柱7a,7bと、1対の支持柱7a,7b間にわたって設けられたガイドバー8と、ガイドバー8に形成されたガイド9を駆動するモータ10と、を有している。ヘッド3は、ガイド9に沿って、前述のようにX方向に移動可能である。2つのカメラ4はそれぞれ台座12に固定されている。各台座12は支持台13に設けられたX方向に延びるガイド14に沿って移動可能である。2つのカメラ4は上下動が可能であり、各カメラ4で撮影された画像が対応するモニタ5に表示される。[ヘッド]図2にヘッド3を抽出して示している。ヘッド3は、板状のベース16と、ホルダ17と、揺動部材18と、エアシリンダ19と、を有している。ホルダ17は、図示しないレールを介して、ベース16に対して上下方向にスライド自在に支持されている。ホルダ17は、ホルダ本体22と、ホルダ本体22の表面に固定された支持部材23と、を有している。ホルダ本体22は、板状に形成され、上部に開口22aを有している。支持部材23は横方向に長い矩形状の部材であり、内部に揺動部材18が挿通する貫通孔23aが形成されている。揺動部材18は、ホルダ本体22及び支持部材23に揺動自在に支持されている。揺動部材18は、下部のツール装着部24と、ツール装着部24から上方に延びて形成された延長部25と、を有している。ツール装着部24には溝が形成され、この溝にツール2が挿入され、さらに固定プレート24aによってツール2が溝内に固定されている。延長部25の下部には、水平方向で、かつ溝形成方向と直交する方向に貫通する孔25aが形成されている。そして、この孔25aを貫通するピン26を中心に揺動部材18は揺動自在となっている。ピン26はホルダ本体22と支持部材23によって支持されている。延長部25の上端部25bの左右両側には、1対の規制部材27a,27bが設けられている。各規制部材27a,27bは、図4に示すように、ホルダ本体22に固定された筒状部材28a,28bと、筒状部材28a,28bの内部に挿入されたスプリング29a,29bと、を有している。そして、各スプリング29a,29bの先端が延長部25の上端部25bに当接することにより、揺動部材18は図2及び図4bに示すような中立位置に維持されている。また、揺動部材18が揺動していずれかのスプリング29a,29bを押し、延長部25の上端部25bが筒状部材28a,28bに当接することにより、揺動角度が規制されるようになっている。この実施形態では、±3°の角度範囲で揺動部材18の揺動角度が規制されるように設定されているが、±5°以内で規制されることが好ましい。エアシリンダ19はシリンダ支持部材30の上面に固定されている。シリンダ支持部材30は、ホルダ17の上部に配置され、ベース16に固定されている。シリンダ支持部材30には上下方向に貫通する孔が形成されており、エアシリンダ19のピストンロッド図示せずがこの貫通孔を貫通し、ロッド先端がホルダ17に連結されている。また、ベース16の上部にはスプリング支持部材31が設けられている。スプリング支持部材31とホルダ17との間にはスプリング32が設けられており、スプリング32によってホルダ17は上方に付勢されている。このスプリング32によって、ホルダ17の自重をほぼキャンセルすることができる。ホルダ17の左右両側には、1対のエア供給部34a,34bが設けられている。1対のエア供給部34a,34bはともに同じ構成であり、それぞれジョイント35とエアノズル36とを有している。[ツール]図3にツール2の詳細を示している。図3aはツール2の側面図であり、同図bはその正面図、同図cは刃先部の一部拡大図である。図3cにツール2の移動方向Mを示している。ツール2は、ホルダ17に保持されるツール本体36と、ツール本体36の先端部に形成された刃先部37と、を有している。刃先部37は、ツール本体36の先端部において、高さh図3b参照の範囲に形成されている。刃先部37の先端において、移動方向の両側には第1刃38a及び第2刃38bが形成されている。ここでは、第1刃38aが往動時に溝加工をするための刃であり、第2刃38bが復動時に溝加工をするための刃である。ツール本体36の刃先部37側の部分と刃先部37とは、図3bから明らかなように、正面視で連続して形成されている。そして、これらの移動方向の幅は先端に行くにしたがって狭くなっている刃の先端の幅はW1。すなわち、刃先部37の対向する往動側の側面37aと復動側の側面37bとが傾斜し、かつ対称に形成されており、両側面37a,37bは上方に向かって角度D1で開いている。また、図3aで示すように、刃先部37において、移動方向と直交する方向の幅W2はツール本体36の同方向の幅に比較して狭く形成されている。この方向の刃先部37の幅は全長にわたって同じ幅W2である。さらに、ツール本体36の刃先部37側の部分は、図3aから明らかなように、移動方向と直交する方向の幅が刃先部37に近づくにしたがって狭くなるように、角度D2で傾斜している。図3cに示すように、第1刃38aはツール2の移動方向の中心Cから移動方向一方側往動側:Mに向かって形成されている。また、第2刃38bは、ツール2の移動方向の中心Cから移動方向他方側復動側:-Mに向かって形成されている。すなわち、第1刃38aと第2刃38bとは連続して隣接しており、これらの刃38a,38bの間には、刃でない部分は存在していない。そして、第1刃38a及び第2刃38bは、共に移動方向に沿った直線中心線Cに直交する直線Hに対して同じ角度D3だけ傾斜している。なお、以下に、一実施例としての刃先部37の各諸元を示しておく。W1:0.05mm~0.20mmW2:0.02mm~0.10mm溝幅によって設定D1:30°~50°D2:20°~60°D3:2°~15°[溝加工動作]以上のような装置を用いて薄膜太陽電池基板に溝加工を行う場合は、移動機構6によりヘッド3を移動させるとともにテーブル1を移動させ、カメラ4及びモニタ5を用いてツール2を溝を形成する予定ライン上に位置させる。以上のような位置合わせを行った後、エアシリンダ19を駆動してホルダ17及び揺動部材18を下降させて、ツール2の先端を薄膜に当てる。このときの、ツール2の薄膜に対する加圧力は、エアシリンダ19に供給されるエア圧によって調整される。次にモータ10を駆動して、ヘッド3を溝加工予定ラインに沿って走査する。このときの揺動部材18及びツール2の姿勢を、図4及び図5に模式的に示している。往動時図4において右側への移動時は、図4a及び図5aに示すように、第1刃38aと基板上の薄膜との接触抵抗によって、揺動部材18はピン26を中心に時計回りに揺動する。この揺動は、揺動部材18の上端部25bが右側の筒状部材28aに当接することによって、規制される。したがって、ツール2は図4aに示すような傾斜姿勢のまま、第1刃38aが基板上の薄膜に当接し、第2刃38bが基板の表面に当接していない状態でM方向に移動され、溝が形成される。この後、ヘッド3を基板に対して相対的に移動させて、ツール2を次に下降すべき溝加工予定ライン上に移動させる。そして、前記同様に、ツール2を基板上の薄膜に押し付けて、前記とは逆方向にヘッド3を移動させる。この復動時図4において左側への移動時においては、図4c及び図5bに示すように、第2刃38bと基板上の薄膜との接触抵抗によって、揺動部材18はピン26を中心に反時計回りに揺動する。この揺動は、揺動部材18の上端部25bが左側の筒状部材28bに当接することによって、規制される。したがって、ツール2は図4cに示すような傾斜姿勢のまま、第2刃38bが基板上の薄膜に当接し、第1刃38aが基板の表面に当接していない状態で-M方向に移動され、溝が形成される。なお、溝加工中あるいは溝加工終了時において、各エア供給部34a,34bのエアノズル36からエアが噴出され、基板から剥離された膜が除去される。[特徴]1以上のような溝加工時においては、第1刃38a及び第2刃38bはほぼ均等に摩耗していく。そして、第1刃38a及び第2刃38bは幅方向の中心Cを境に両側に隣接して形成されているために、一方が摩耗すると他方も摩耗し、各刃38a,38bの移動方向の幅は大きく変化しない。この様子を、図5cに示している。図5cにおいて、左側のツール2は初期状態を示している。また、中央のツール2は摩耗がある程度進んだ状態を示し、右側のツール2はさらに摩耗が進んだ状態を示している。中央及び右側の図において、斜線で示した部分が摩耗した部分である。これらの図から明らかなように、摩耗が進んでも各刃38a,38bの移動方向の幅はあまり変化していない。このため、従来のツールに比較して長寿命化を図ることができる。2揺動部材の揺動角度と各刃先38a,38bの傾斜角度D3とを同じにしているので、ツール2の往動時及び復動時のそれぞれにおいて、各刃38a,38bの幅全体が基板に接する。このため、効率良く加工を行うことができる。3刃先部37の移動方向の幅を、先端に行くにしたがって狭くなるように形成しているために、刃先部37の強度の低下を抑えて、長寿命化を図ることができる。[他の実施形態]本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。刃先部の諸元の一例を挙げたが、これは一例であって、種々の変更が可能である。例えば、幅が数mm程度の溝を形成するために、刃先の幅W2をツール本体の幅と同じ、あるいはツール本体より長くすることとしてもよい。"