"第一基板の一面上に、裏面電極層、光電変換層、透明電極層を順次積層して構成された光電変換部と、前記第一基板の他面上に形成された電極層を有する太陽電池セルが、前記第一基板面上で複数に分割されて太陽電池単位セルを形成し、隣接する前記太陽電池単位セルどうしが電気的に直列接続している太陽電池セル集合体と、第二基板の一面上に、第一電極層、半導体層、第二電極層を順次積層して構成されたダイオード部を有するダイオードが、該ダイオードが取り付けられる太陽電池単位セルの配列と整合する配列で複数に分割されてダイオード単位セルを形成しているダイオード集合体とを備え、前記ダイオード集合体の第一電極層及び/又は第二電極層が導電性酸化物で形成され、前記太陽電池セル集合体の第一基板の他面上に形成された電極層と、前記ダイオード集合体の電極層とが面接触して両者が電気的に接続しており、前記太陽電池セル集合体と前記ダイオード集合体とが、封止材で封止されて一体化していることを特徴とする太陽電池モジュール。前記ダイオード集合体の第二基板が、可撓性フィルム基板である請求項1に記載の太陽電池モジュール。前記ダイオード部の半導体層が、pin型アモルファスシリコン又はnip型アモルファスシリコンで構成されている請求項1又は2に記載の太陽電池モジュール。前記太陽電池セル集合体に取り付けられる前記ダイオード集合体の面積は、該太陽電池セル集合体の面積以下であり、該太陽電池セル集合体の外周からはみ出さないように配置されている、請求項1~3のいずれか1項に記載の太陽電池モジュール。前記ダイオード集合体は、第二基板の一面上に、第一電極層、半導体層、第二電極層の順に積層して構成されたダイオード部と、前記第二基板の他面上に形成された第三電極層とを有するダイオードが、前記第二基板面上で複数のダイオード単位セルに分割されており、前記第三電極層は、前記第二基板、前記第一電極層、前記半導体層を貫通する第一貫通孔を通り前記第一電極層と実質的に絶縁された導体により、前記第二電極層と接続されると共に、前記第二基板を貫通する第二貫通孔を通り前記第二電極層と実質的に絶縁された導体により、隣接するダイオード単位セルの前記第一電極層と接続されている、請求項1~4のいずれか1項に記載の太陽電池モジュール。前記太陽電池セル集合体は、該第一基板の一面上に、裏面電極層、光電変換層、透明電極層の順に積層して構成された光電変換部と、前記第一基板の他面上に形成された背面電極層とを有する太陽電池セルが、前記第一基板面上で複数の太陽電池単位セルに分割されており、前記背面電極層は、前記第一基板、前記裏面電極層、前記光電変換層を貫通する第一貫通孔を通り前記裏面電極層と実質的に絶縁された導体により、前記透明電極層と接続されると共に、前記第一基板を貫通する第二貫通孔を通り前記透明電極層と実質的に絶縁された導体により、隣接する太陽電池単位セルの前記裏面電極層と電気的に直列接続している、請求項1~5のいずれか1項に記載の太陽電池モジュール。特許文献1のダイオードは、アモルファスシリコン層を一対の金属電極で挟持してなるものであるが、AlやAg等の金属は、Siと相互拡散し易く、ダイオードとして機能するアモルファスシリコン層の膜厚が薄いため、アモルファスシリコン層上に金属電極を形成すると、アモルファスシリコン層に金属が拡散してリークパスが発生し易く、ダイオードとしての機能を果たさない可能性があった。また、ダイオードと太陽電池セルとの接合部分に電流が集中して発熱することがあり、太陽電池セルとダイオードとを覆う封止材が軟化ないし溶融して、膨れや変形等の外観不良が生じる可能性もあった。よって、本発明の目的は、封止材の膨れや変形等の外観不良が生じ難く、発電特性に優れた、バイパスダイオードを備えた太陽電池モジュールを提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の太陽電池モジュールは、第一基板の一面上に、裏面電極層、光電変換層、透明電極層を順次積層して構成された光電変換部と、前記第一基板の他面上に形成された電極層を有する太陽電池セルが、前記第一基板面上で複数に分割されて太陽電池単位セルを形成し、隣接する前記太陽電池単位セルどうしが電気的に直列接続している太陽電池セル集合体と、第二基板の一面上に、第一電極層、半導体層、第二電極層を順次積層して構成されたダイオード部を有するダイオードが、該ダイオードが取り付けられる太陽電池単位セルの配列と整合する配列で複数に分割されてダイオード単位セルを形成しているダイオード集合体とを備え、前記ダイオード集合体の第一電極層及び/又は第二電極層が導電性酸化物で形成され、前記太陽電池セル集合体の第一基板の他面上に形成された電極層と、前記ダイオード集合体の電極層とが面接触して両者が電気的に接続しており、前記太陽電池セル集合体と前記ダイオード集合体とが、封止材で封止されて一体化していることを特徴とする。本発明の太陽電池モジュールは、前記ダイオード集合体の第二基板が、可撓性フィルム基板であることが好ましい。本発明の太陽電池モジュールは、前記ダイオード部の半導体層が、pin型アモルファスシリコン又はnip型アモルファスシリコンで構成されていることが好ましい。本発明の太陽電池モジュールは、前記太陽電池セル集合体に取り付けられる前記ダイオード集合体の面積は、該太陽電池セル集合体の面積以下であり、該太陽電池セル集合体の外周からはみ出さないように配置されていることが好ましい。本発明の太陽電池モジュールの前記ダイオード集合体は、前記ダイオード集合体は、第二基板の一面上に、第一電極層、半導体層、第二電極層の順に積層して構成されたダイオード部と、前記第二基板の他面上に形成された第三電極層とを有するダイオードが、前記第二基板面上で複数のダイオード単位セルに分割されており、前記第三電極層は、前記第二基板、前記第一電極層、前記半導体層を貫通する第一貫通孔を通り前記第一電極層と実質的に絶縁された導体により、前記第二電極層と接続されると共に、前記第二基板を貫通する第二貫通孔を通り前記第二電極層と実質的に絶縁された導体により、隣接するダイオード単位セルの前記第一電極層と接続されていることが好ましい。本発明の太陽電池モジュールの前記太陽電池セル集合体は、第一基板と、該第一基板の一面上に、裏面電極層、光電変換層、透明電極層の順に積層して構成された光電変換部と、前記第一基板の他面上に形成された背面電極層とを有する太陽電池セルが、前記第一基板面上で複数の太陽電池単位セルに分割されており、前記背面電極層は、前記第一基板、前記裏面電極層、前記光電変換層を貫通する第一貫通孔を通り前記裏面電極層と実質的に絶縁された導体により、前記透明電極層と接続されると共に、前記第一基板を貫通する第二貫通孔を通り前記透明電極層と実質的に絶縁された導体により、隣接する太陽電池単位セルの前記裏面電極層と電気的に直列接続していることが好ましい。本発明の太陽電池モジュールは、ダイオード集合体の第一電極層及び/又は第二電極層が導電性酸化物で形成されているので、導電性酸化物は、Siとの相互拡散が低いため、ダイオード部でのリークパスを低減できる。また、導電性酸化物は、AlやAg等に比べて抵抗が大きいため、ダイオードの電極材料として導電性酸化物を使用すると、通電時にダイオードと太陽電池セルとの接点部分に電流が集中して発熱し易くなるが、本発明では、太陽電池セル集合体の第一基板の他面上に形成された電極層と、ダイオード集合体の電極層とが面接触して両者を電気的に接続しているので、通電時における電流の局所的な集中を防止でき、過度な温度上昇を抑えることができる。このため、封止材等の溶融や膨れ等の発生を防止できる。本発明の太陽電池モジュールの一実施形態について、図1~6を用いて説明する。図1,2に示されるように、この太陽電池モジュール10は、太陽電池セル集合体20とダイオード集合体40とで主に構成される。ダイオード集合体40は、太陽電池セル集合体20の非受光面側20bの電極層と、ダイオード集合体の電極層とが圧着されて面接触し、両者が接合している。そして、封止材80で全体が封止されて一体化している。封止材80としては、特に限定は無いが、封止樹脂と表面保護材とで構成されていることが好ましい。封止樹脂としては、例えば、エチレン酢酸ビニル共重合体EVA、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコン樹脂、アクリル樹脂、又はポリイソブチレン等の樹脂材料からなるフィルムで、ある程度の接着性を有しているものを用いることができる。表面保護材として、例えば、4フッ化エチレン-エチレン共重合体、フッ化ビニリデン樹脂、3フッ化塩化エチレン樹脂、ETFEethylenetetrafluoroethylene、アクリル樹脂、3フッ化塩化エチレン樹脂コートアクリル樹脂、又はポリエステル樹脂等の耐熱性、耐候性に優れた材料からなるフィルム等を用いることができる。太陽電池セル集合体20は、図3に示されるように、基板21の受光面側20aに、裏面電極層22、光電変換層23、透明電極層24を順次積層して構成された光電変換部25と、基板21の非受光面20bに形成された背面電極層26とを有する太陽電池セルが、複数の太陽電池単位セル200に分割され、隣接する太陽電池単位セル200どうしが、電気的に直列接続している。光電変換部25の両端部には、基板21上に裏面電極層22、光電変換層23が順次積層され、透明電極層24が設けられていない接続部25a,25aが設けられている。また、背面電極層26は、太陽電池単位セル200の光電変換部とほぼ同じ間隔で、かつ、隣接する一方の太陽電池単位セルの光電変換部側にずれて分割されている。図3~5を合わせて参照すると、各太陽電池単位セル200には、背面電極層26、基板21、裏面電極層22、光電変換層23、透明電極層24を貫通して形成された第一貫通孔27が、所定間隔で複数形成されている。図3に示すように、第一貫通孔27内において、透明電極層24と背面電極層26とが、導体層28により電気的に接続している。また、裏面電極層22は、光電変換層23で覆われて、透明電極層24、導体層28及び背面電極層26と絶縁されている。接続部25aには、背面電極層26、基板21、裏面電極層22、光電変換層23を貫通して形成された第二貫通孔29が形成されている。第二貫通孔29内において、背面電極層26と裏面電極層22とが、導体層30により電気的に接続している。光電変換部25での発電により生じた電流は、接続部25aへと移動し、第二貫通孔29を通って、太陽電池単位セル200の背面電極層26へと移動する。背面電極層26に移動した電流は、第一貫通孔27を通って、隣接する太陽電池単位セル200の透明電極層24へと移動する。このように、この太陽電池セル集合体20は、第一貫通孔27、第二貫通孔29を介して、それぞれの太陽電池単位セル200が直列接続している。このような構造は、SCAF構造と呼ばれており、各電極層と光電変換層の成膜と、各層のパターニングおよびそれらの組み合わせ手順により製造でき、例えば、特許第3237621号に記載の方法により製造することができる。この太陽電池セル集合体20の製造方法の一例を説明すると、第二貫通孔29が開けられた基板21の受光面側に裏面電極層22を形成し、非受光面側に背面電極層26を形成する。こうすることで、第二貫通孔29の内壁で、裏面電極層22と背面電極層26が電気的に接続する。次に、基板21、裏面電極層22及び背面電極層26を貫通する第一貫通孔27を開ける。次に、基板21の受光面側の全面に光電変換層23を形成する。そして、両端部にはマスクをかぶせ、透明電極層24を形成する。次に、基板21の背面電極層26上に、再度背面電極層を形成する。こうすることで、第一貫通孔27の内壁で、透明電極層24と背面電極層26とが電気的に接続する。そして、光電変換部25、背面電極層26を、所定の形状に分断することで、上記SCAF構造の太陽電池セル集合体が製造される。基板21は、耐熱性に優れるものが好ましく用いることができる。例えば、ガラス基板、表面に絶縁処理を施した金属基板、樹脂基板等が挙げられ、なかでも、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリエチレンテレフタレート、アラミドなどからなる可撓性フィルム基板が好ましく用いることができる。可撓性フィルム基板を用いることで、フレキシブルな太陽電池セル集合体とすることができる。基板21の膜厚は、特に限定はないが、柔軟性、強度、重量を考慮すると、15~200μm程度が好ましい。裏面電極層22としては、特に限定はなく、例えば、Ag、Ag合金、Ni、Ni合金、Al、Al合金などが挙げられる。光電変換層23としては、特に限定はなく、pin型、若しくはnip型のアモルファスシリコン系、微結晶シリコン系薄膜等が挙げられる。透明電極層24としては、特に限定はなく、ITO、SnO2、ZnOなどが挙げられる。背面電極層26としては、特に限定はなく、Ag、Ag合金、Ni、Ni合金、Al、Al合金などが挙げられる。ダイオード集合体40は、太陽電池セル集合体20の非受光面側20bに配設される。図1,2に示されるように、ダイオード集合体40の面積は、太陽電池セル集合体20の面積以下で、かつ、太陽電池セル集合体20の外周からはみ出さないように配設されていることが好ましい。ダイオード集合体40の面積が、太陽電池セル集合体20の面積よりも大きかったり、太陽電池セル集合体20の外周からはみ出していると、太陽電池モジュールの発電に寄与しない部分が増加することになるので、太陽電池モジュールの面積当たりの発電効率が低下する。図3に示されるように、ダイオード集合体40は、基板41の一面上に、第一電極層42、半導体層43、第二電極層44を順次積層して構成されたダイオード部45を有するダイオードが、該ダイオードが取り付けられる太陽電池単位セル200の配列と整合する配列で、複数のダイオード単位セル400に分割されている。ここで、ダイオードが取り付けられる太陽電池単位セルの配列と整合する配列とは、図6に示すように、各太陽電池単位セル201に対してそれぞれダイオード単位セル401を取り付ける場合太陽電池単位セル1個に対してダイオード単位セルを1個取り付ける場合は、ダイオード単位セル401の配列と、各太陽電池単位セル201の配列とが同期していることを意味し、図7に示すように、複数図7では2個の太陽電池単位セル202に対してダイオード単位セル402を1個取り付ける場合は、1個のダイオード単位セル402が取り付けられる一群の太陽電池単位セル202の配列と、ダイオード単位セル402の配列とが同期していることを意味する。なお、図6の場合、ダイオード単位セル401の幅寸法は、太陽電池単位セル201の幅寸法よりも小さいことが好ましい。ダイオード単位セル401の幅寸法は、太陽電池単位セル201の幅寸法と同じであってもよいが、両者の幅寸法が同じであると、位置合わせに精度を要することになるので取付け作業性が損なわれることがある。ダイオード単位セル401の幅寸法を、太陽電池単位セル201の幅寸法よりも小さくすることで、両者の位置合わせを容易に行うことができる。また、図7の場合、ダイオード単位セル402の幅寸法は、一群の太陽電池単位セル202の幅寸法よりも小さいことが好ましい。ダイオード単位セル402の幅寸法は、一群の太陽電池単位セル202の幅寸法と同じであってもよいが、ダイオード単位セル402の幅寸法を、一群の太陽電池単位セル202の幅寸法よりも小さくすることで、両者の位置合わせを容易に行うことができる。再び図3を参照すると、このダイオード集合体40は、上述した太陽電池セル集合体20と同じSCAF構造をなしている。すなわち、基板41の一方の面に、第一電極層42、半導体層43、第二電極層44の順に積層して構成されたダイオード部45と、基板41の他方の面に形成された第三電極層46とを有するダイオードが、複数のダイオード単位セル400に分割されている。各ダイオード部45の両端部には、第一電極層42、半導体層43の順に積層して形成され、第二電極層44が設けられていない接続部45a,45aが設けられている。また、第三電極層46は、ダイオード単位セル400のダイオード部とほぼ同じ間隔で、かつ、隣接する一方のダイオード単位セルのダイオード部側にずれて分割されている。図3~5を合わせて参照すると、各ダイオード単位セル400には、第三電極層46、基板41、第一電極層42、半導体層43、第二電極層44を貫通して形成された第一貫通孔47が、所定間隔で複数形成されている。第一貫通孔47内において、第二電極層44と第三電極層46とが、導体層48により電気的に接続している。また、第一電極層42は、半導体層43で覆われて、第二電極層44、導体層48及び第三電極層46と絶縁されている。接続部45aには、第三電極層46、基板41、第一電極層42、半導体層43を貫通して形成された第二貫通孔49が形成されている。第二貫通孔49内において、第三電極層46と第一電極層42とが、導体層50により電気的に接続している。ダイオード集合体40は、太陽電池セル集合体20の非受光面側20bに接合している。そして、ダイオード単位セル400は、太陽電池単位セル200に対して並列で、かつ反対極性の方向に電気的に接続している。この実施形態では、ダイオード集合体40の第二電極層44と、太陽電池セル集合体の対応する背面電極層26とが圧着されて面接触し、両者が接合している。ダイオード集合体40の電極層と、太陽電池セル集合体の電極層を面接触させて接合することで、通電時における電流の局所的な集中を防止でき、過度な温度上昇を抑えることができる。なお、ダイオード集合体40の第二電極層44と、太陽電池セル集合体の対応する背面電極層26とを圧着して面接触する際、必要に応じて粘着テープなどで仮止めしてから行ってもよい。仮止めしたテープは両者を圧着した後に剥離してもよく、太陽電池セル集合体などと共に封止材で封止してもよい。基板41は、耐熱性に優れるものが好ましく用いることができる。例えば、ガラス基板、表面に絶縁処理を施した金属基板、樹脂基板等が挙げられ、太陽電池セル集合体20の基板21と同じ材質のものを選択することが好ましい。なかでも、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリエチレンテレフタレート、アラミドなどからなる可撓性フィルム基板が好ましく用いることができる。可撓性フィルム基板を用いることで、柔軟性に優れたダイオード集合体の柔軟性を良好にでき、太陽電池セル集合体の柔軟性を損なうことがない。また、太陽電池セル集合体20の基板21と同じ材質のものを選択することで、太陽電池セル集合体20とバイパスダイオード集合体40との熱膨張率がほぼ等しくなり、両者の界面における剥離や変形を少なくできる。基板41の膜厚は、特に限定はないが、柔軟性、強度、重量を考慮すると、15~200μm程度が好ましい。第一電極層42、第二電極層44、第三電極層46としては、特に限定はない。例えば、ITO、SnO2、ZnOなどの導電性酸化物や、Ag、Ag合金、Ni、Ni合金、Al、Al合金などの金属材料が用いられる。このうち、本発明では、第一電極層42及び/又は第二電極層44が、導電性酸化物で形成されている。導電性酸化物は、Siとの相互拡散が低いため、導電性酸化物を用いて第一電極層42及び/又は第二電極層44を形成することで、ダイオード45部のリークパスの発生を抑制できる。半導体層43としては、特に限定はない。例えば、pin型アモルファスシリコン、nip型アモルファスシリコン、微結晶シリコン系薄膜等が挙げられる。好ましくは、起動電圧OnVoltageが小さく優れた整流特性が得られ易いという理由から、pin型アモルファスシリコン、nip型アモルファスシリコンである。ダイオード単位セル400は、太陽電池単位セル200に対して並列でかつ反対極性の方向に接続しているので、ダイオード単位セル400が取り付けられた太陽電池単位セル200が発電している間は、ダイオード単位セル400には電流が流れない。一方、一部の太陽電池単位セル200が、例えば日影に入って発電しなくなった時は、隣接する一方の太陽電池単位セル200の背面電極層26から、電子が対応するダイオード単位セル400の第三電極層46へと移動する。対応するダイオード単位セル400の第三電極層46に移動した電流は、第二貫通孔49を通って第一電極層42へと移動する。第一電極層42に移動した電流は、半導体層43を通って第二電極層44へと移動し、第一貫通孔47へと移動する。そして、第一貫通孔47を通って、隣接するダイオード単位セル400の第三電極層46へと移動し、反対側に隣接する太陽電池単位セル200の背面電極層26へと電流が移動する。このように、太陽電池モジュールの一部が日影に入るなどして、一部の太陽電池単位セル200への太陽光が遮光されたとしても、発電していない太陽電池単位セル200を迂回して、次の太陽電池単位セル200に電流が流れるので、安定した太陽電池特性を得ることができる。本発明の太陽電池モジュールは、ダイオード集合体40が、太陽電池セル集合体20の非受光面側に配設されているので、太陽電池単位セル200の発電性能を損なうことなく、一部の太陽電池単位セル200への太陽光が遮光されても、安定した太陽電池特性を得ることができる。また、ダイオード集合体40として、フィルム状のもの、すなわち基板41として可撓性フィルム基板を用いてなるダイオード集合体を用いる場合においては、ダイオード集合体40が薄膜で、かつ、柔軟性を有しているので、太陽電池モジュール全体の厚み、重量がそれほど増大することがない。更には、太陽電池セル集合体20が柔軟性を有する場合であっても、その柔軟性を損なうことがない。また、このダイオード集合体40は、ダイオード部45が、ダイオード単位セル400が取り付けられる太陽電池単位セル200の配列と整合する配列で基板上に形成されているので、ダイオード単位セル400と、ダイオード単位セル400を取り付けるべき目的の太陽電池単位セル200との位置合わせが容易で、目的の太陽電池単位セル200に対してダイオード単位セル400を、確実かつ作業性よく取り付けることができる。そして、ダイオード集合体40の第二電極層44と、太陽電池セル集合体の対応する背面電極層26とが面接触して、両者が電気的に接続しているので、通電時における電流の局所的な集中を防止でき、過度な温度上昇を抑えることができ、封止材等の溶融や膨れ等の発生を防止できる。また、この実施形態では、太陽電池セル集合体20及びダイオード集合体40は、いずれもSCAF構造をなすものを用いたが、いずれか一方のみがSCAF構造をなすものを用いてもよく、いずれもSCAF構造以外のものを用いてもよい。太陽電池セル集合体20とダイオード集合体40の両者を同じ構造、例えば両者を同じSCAF構造とした場合、太陽電池セル集合体20とダイオード集合体40とを、同一の製造工程で製造することが可能となり、製造装置の有効利用が可能となる。SCAF構造以外の太陽電池セル集合体としては、例えば、基板の受光面側に太陽電池単位セルが複数形成され、個々の太陽電池単位セルが結線されて直列接続してなるもの、導電性基板上に、光電変換層、透明電極層等が形成され、更に、透明電極層上の一部に集電電極が所定間隔で複数設けられてなる構造、また基板自体が光電変換層の一部になっており、受光面の反対側に電極層が形成されている構造体が複数直列に接続されている構造等が挙げられる。また、SCAF構造以外のダイオード集合体としては、例えば、基板の一面上にダイオード単位セルが複数形成され、個々のダイオード単位セルが結線されて直列接続してなるもの等が挙げられる。また、この実施形態では、光電変換部25は、基板上に、裏面電極層、光電変換層層、透明電極層の順に積層してなる、サブストレート構造であるが、透明基板上に、透明電極層、光電変換層、電極層の順に積層してなる、スーパーストレート構造であってもよい。なお、スーパーストレート構造の太陽電池セルの場合、透明基板側が受光面となり、電極層側が非受光面にとなり、電極層上に、バイパスダイオード集合体40が配設される。また、この実施形態では、太陽電池単位セル200の背面電極層26と、ダイオード単位セル400の第二電極層44とを面接触して両者を接合したが、太陽電池単位セル200の背面電極層26と、ダイオード単位セル400の第三電極層46とを面接触して両者を接合してもよい。だたし、ダイオード単位セル400は、太陽電池単位セル200に対して並列でかつ反対極性の方向に接続する必要がある。"