基板上に層システムを塗布するための装置1と、前記層システムを形成するために液体物質を塗布するための密閉されたチャンバー2とを有する、パターニングされた基板を製造するための装置であって、前記チャンバー2は、基板のための回転するホルダー3と、前記回転するホルダー3を取り囲み、前記液体物質を塗布するためのチャンバー内に配置され前記基板から遠心分離された液体物質を収集するための収集装置4とを有している、パターニングされた基板を製造するための装置において、前記収集装置4が複数の除去手段5を有しており、前記複数の除去手段5を用いて収集された液体物質が個別に又は所定量だけ選択的に収集可能であり、前記収集装置4は、前記チャンバー内で前記ホルダー3を環状に取り囲み、複数の分離部材7によって相互に分離され、遠心分離された液体物質を収集するための複数の収集領域9を有しており、さらに、前記収集装置4は、前記ホルダー3に対応している側に壁状の複数の分離部材7を有しており、前記複数の分離部材7は、前記複数の収集領域9として環状の複数の流路9を形成し、1つ若しくは複数の除去手段5を備えていることを特徴とするパターニングされた基板を製造するための装置。前記収集装置4は、前記ホルダー3に対応している側に壁状の複数の分離部材7を有しており、前記複数の分離部材7は、前記複数の収集領域9として断面が楔形の環状の複数の流路9を形成し、前記複数の分離部材7は1つ若しくは複数の除去手段5を備えている、請求項1記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記収集装置4は、前記ホルダー3に対して相対的にシフト可能に構成され、それによって、前記シフトに依存して、異なる収集領域9が遠心分離された液体物質の収集に効力を発揮する、請求項1または2記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記収集装置4は、環状でかつ断面が楔形に形成され前記収集領域9を形成している複数の流路9を備え、シフト可能に構成されている、請求項2または3記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記環状の複数の流路9は、専ら壁状の複数の分離部材7と前記収集装置4の共通の壁部8とによって形成されている、請求項1から4いずれか1項記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記共通の壁部8は、中空円筒状若しくは中空円錐状の形態を有している、請求項5記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記壁状の複数の分離部材7は、実質的に相互に平行である、請求項1から6いずれか1項記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記液体物質を塗布するためのチャンバーは、とりわけV4A鋼若しくはガラスからなるハウジング6によって気密に取り囲まれている、請求項1から7いずれか1項記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記液体物質を塗布するためのチャンバーは、不活性ガス、とりわけ脱湿された不活性ガスが充填されている、請求項1から8いずれか1項記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記収集装置4内に収集された液体物質を除去手段5を介して選択的に別個の複数の保管容器11に供給する除去装置10が、前記液体物質を塗布するためのチャンバーから離間して設けられており、前記複数の保管容器11は、特に脱気処理及び/又は脱湿処理された液体物質、とりわけフォトポリマー溶液の保管に適している、請求項1から9いずれか1項記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記保管容器11は、V4A鋼若しくはガラスから形成され、さらに気密な搬送管路12を介して前記収集装置4と除去装置10に接続されている、請求項10記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記液体物質を塗布するためのチャンバーに液体物質を供給する少なくとも1つの供給部13が設けられており、前記少なくとも1つの供給部13及び/又は除去装置10は、複数の保管容器11と、少なくとも1つの脱気装置14と、とりわけ少なくとも1つの脱湿装置15とを備えている、請求項1から11いずれか1項記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記脱気装置14は、不活性ガス、とりわけ窒素分子及び/又は希ガス、特にヘリウム、ネオン、アルゴンのための供給管路16と、前記保管容器11の底部領域に配置されたシーブとを有しており、その開口部を不活性ガス、とりわけ乾燥されたガスが、液体物質、とりわけフォトポリマー溶液の脱気、特に脱湿のために通流する、請求項12記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記供給管路12は、通流する不活性ガスの脱湿のために、二酸化マンガン若しくは褐鉄鉱フィルターか又はモレキュラーシーブ17を備えている、請求項13記載のパターニングされた基板を製造するための装置。前記収容装置4の下流側に、粒子フィルタリングのためのフィルター18が設けられている、請求項1から14いずれか1項記載のパターニングされた基板を製造するための装置。異なる保管容器11における液体物質を、その構成要素、特に水、溶媒、液体、とりわけフォトポリマー溶液内で蒸留によって分離させ、分離した構成要素を気密な貯蔵容器19へ移送する真空蒸留装置20が設けられており、特に不活性ガスからなる雰囲気が設けられている、請求項10から15いずれか1項記載のパターニングされた基板を製造するための装置。