"互いに直角のX軸とY軸とZ軸とを有するXYZ空間で定義される形状を有してかつ前記Z軸の周りの角速度を検出できる検出素子を備え、前記検出素子は、前記X軸の方向に延びる支持体と、前記支持体に接続された第1の端と、前記第1の端の反対側の第2の端とを有する第1のアームと、前記第1のアームの前記第2の端に接続された第1の錘と、を有し、前記第1のアームは、前記第1の端から前記Y軸の方向に第1の角部まで延びる第1のアーム部と、前記第1の角部から前記X軸の方向に第2の角部まで延びる第2のアーム部と、前記第2の角部から前記Y軸の方向に前記第2の端まで延びる第3のアーム部と、からなるJ字形状を実質的に有し、前記第1のアームの前記X軸の方向の長さは前記第1の錘の前記X軸の方向の長さよりも大きい、角速度センサ。前記第2のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第1のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さい、請求項1に記載の角速度センサ。前記第3のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第2のアーム部の前記Y軸の方向の幅よりも小さい、請求項1に記載の角速度センサ。前記第1の角部の曲率半径は前記第2の角部の曲率半径よりも大きい、請求項1に記載の角速度センサ。前記第1のアーム部に設けられて前記第1の錘を振動させる駆動部と、前記第2のアーム部に設けられて前記第1の錘の振動を検出する検出部と、をさらに備えた、請求項1に記載の角速度センサ。前記検出素子は、前記支持体に接続された第3の端と、前記第3の端の反対側の第4の端とを有する第2のアームと、前記第2のアームの前記第4の端に接続された第2の錘と、前記支持体に接続された第5の端と、前記第5の端の反対側の第6の端とを有する第3のアームと、前記第3のアームの前記第6の端に接続された第3の錘と、前記支持体に接続された第7の端と、前記第7の端の反対側の第8の端とを有する第4のアームと、前記第4のアームの前記第8の端に接続された第4の錘と、をさらに有し、前記第2のアームは、前記第3の端から前記Y軸の方向に第3の角部まで延びる第4のアーム部と、前記第3の角部から前記X軸の方向に第4の角部まで延びる第5のアーム部と、前記第4の角部から前記Y軸の方向に前記第4の端まで延びる第6のアーム部と、からなるJ字形状を実質的に有し、前記第3のアームは、前記第5の端から前記Y軸の方向に第5の角部まで延びる第7のアーム部と、前記第5の角部から前記X軸の方向に第6の角部まで延びる第8のアーム部と、前記第6の角部から前記Y軸の方向に前記第6の端まで延びる第9のアーム部と、からなるJ字形状を実質的に有し、前記第4のアームは、前記第7の端から前記Y軸の方向に第7の角部まで延びる第10のアーム部と、前記第7の角部から前記X軸の方向に第8の角部まで延びる第11のアーム部と、前記第8の角部から前記Y軸の方向に前記第8の端まで延びる第12のアーム部と、からなるJ字形状を実質的に有し、前記第2のアームの前記X軸の方向の長さは前記第2の錘の前記X軸の方向の長さよりも大きく、前記第3のアームの前記X軸の方向の長さは前記第3の錘の前記X軸の方向の長さよりも大きく、前記第4のアームの前記X軸の方向の長さは前記第4の錘の前記X軸の方向の長さよりも大きい、請求項1に記載の角速度センサ。前記Y軸の方向に延びる第1と第2の縦梁をさらに備え、前記支持体は前記X軸の方向に延びて、かつ前記第1と第2の縦梁の略中央部にそれぞれ接続された両端部を有する、請求項6に記載の角速度センサ。前記第1のアームと前記第1の錘とは第1の振動部を構成し、前記第2のアームと前記第2の錘とは第2の振動部を構成し、前記第1の振動部と前記第2の振動部は、前記支持体を通りかつ前記Y軸に平行な第1の中心軸に関して対称に設けられている、請求項6に記載の角速度センサ。前記第3のアームと前記第3の錘とは第3の振動部を構成し、前記第1の振動部と前記第3の振動部は、前記支持体を通りかつ前記X軸に平行な第2の中心軸に関して対称に設けられている、請求項8に記載の角速度センサ。前記第1のアームと前記第1の錘とは第1の振動部を構成し、前記第2のアームと前記第2の錘とは第2の振動部を構成し、前記第3のアームと前記第3の錘とは第3の振動部を構成し、前記第1の振動部と前記第3の振動部は、前記支持体を通りかつ前記X軸に平行な第2の中心軸に関して対称に設けられている、請求項6に記載の角速度センサ。前記第1のアームの前記第2のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第1のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さく、前記第2のアームの前記第5のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第4のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さく、前記第3のアームの前記第8のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第7のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さく、前記第4のアームの前記第11のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第10のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さい、請求項6に記載の角速度センサ。前記第1のアームの前記第3のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第2のアーム部の前記Y軸の幅よりも小さく、前記第2のアームの前記第6のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第5のアーム部の前記Y軸の幅よりも小さく、前記第3のアームの前記第9のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第8のアーム部の前記Y軸の幅よりも小さく、前記第4のアームの前記第12のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第11のアーム部の前記Y軸の幅よりも小さい、請求項6に記載の角速度センサ。前記第1のアームの前記第1の角部の曲率半径は前記第2の角部の曲率半径よりも大きく、前記第2のアームの前記第3の角部の曲率半径は前記第4の角部の曲率半径よりも大きく、前記第3のアームの前記第5の角部の曲率半径は前記第6の角部の曲率半径よりも大きく、前記第4のアームの前記第7の角部の曲率半径は前記第8の角部の曲率半径よりも大きい、請求項6に記載の角速度センサ。前記第1のアームの前記第1のアーム部に設けられて前記第1の錘を振動させる第1の駆動部と、前記第1のアームの前記第2のアーム部に設けられて前記第1の錘の振動を検出する第1の検出部と、前記第2のアームの前記第4のアーム部に設けられて前記第2の錘を振動させる第2の駆動部と、前記第2のアームの前記第5のアーム部に設けられて前記第2の錘の振動を検出する第2の検出部と、前記第3のアームの前記第7のアーム部に設けられて前記第3の錘を振動させる第3の駆動部と、前記第3のアームの前記第8のアーム部に設けられて前記第3の錘の振動を検出する第3の検出部と、前記第4のアームの前記第10のアーム部に設けられて前記第4の錘を振動させる第4の駆動部と、前記第4のアームの前記第11のアーム部に設けられて前記第4の錘の振動を検出する第4の検出部と、をさらに備えた、請求項6に記載の角速度センサ。実施の形態1図1は実施の形態1における角速度センサの検出素子1の上面図である。図1において互いに直角のX軸とY軸とZ軸とを定義する。角速度センサは、Z軸の周りの角速度を検出する検出素子1を備える。検出素子1はXYZ空間で定義される形状を有する。検出素子1は、X軸方向に延伸した支持体8と、支持体8の側面に接続された端3Aを有するアーム3と、端3Aの反対側のアーム3の端3Dに接続された錘4とを備える。アーム3は角部3B、3Cを有するJ字形状を実質的に有する。アーム3のX軸の方向の長さW1は錘4のX軸の方向の長さW2よりも大きい。実施の形態1における角速度センサでは、検出素子1の駆動振動の共振周波数とZ軸周りの角速度検出振動の共振周波数を近づけることが出来るので、検出素子1のZ軸周りの角速度の検出感度を向上させることができる。図11に示す従来の検出素子101においては、アーム103のX軸方向の長さW101が錘199のX軸方向の長さW102に比べて小さい。このような場合には、検出素子101の駆動振動の共振周波数とZ軸周りの角速度が加わった際の検出振動の共振周波数とが離れているので、検出素子101のZ軸周りの角速度の検出感度を向上させることが困難であることを発明者は見出した。実施の形態1における角速度センサの検出素子1の構成を詳細に説明する。支持体8は検出素子1を支持する固定部材である。支持体8は、検出素子1を格納するパッケージに別の支持部材や接着剤等を用いて固定される。アーム3は、支持体8の側面に端3Aから、錘4に接続された端3Dまで延びる。具体的には、アーム3は、Y軸の正方向Y1に端3Aから角部3Bまで延びるアーム部3Eと、X軸の正方向X1に角部3Bから角部3Cまで延びるアーム部3Fと、Y軸の負方向Y2に角部3Cから端3Dまで延びるアーム部3GとからなるJ字形状を実質的に有する。アーム3および錘4はX軸とY軸とを含むXY平面内で駆動振動させることが出来、かつ、Z軸方向に撓ませることが出来る。支持体8、アーム3及び錘4は、水晶、LiTaO3又はLiNbO3等の圧電材料を用いて形成しても良いし、シリコン、ダイアモンド、溶融石英、アルミナ又はGaAs等の非圧電材料を用いて形成しても良い。特に、シリコンを用いることにより、微細加工技術を用いて非常に小型に検出素子1を形成することが可能になるとともに、回路等のICと一体に形成することも可能となる。支持体8、アーム3及び錘4は、それぞれ異なる材料又は同一の材料から形成した後に組み立てて形成しても良いし、同一の材料を用いて一体に形成しても良い。同一の材料を用いて一体に形成する場合は、ドライエッチング又は、ウェットエッチングを用いることにより、支持体8、アーム3及び錘4を同一プロセスで形成することが出来るため、効率的に検出素子1を製造することができる。アーム3のアーム部3Eには、J字形状の内周側と外周側に位置する2つの駆動部5が設けられている。2つの駆動部5に互いに逆位相の電圧を印加することによって、アーム3と錘4をXY平面内に振動させることができる。実施の形態1においては、駆動部5にはチタン酸ジルコン酸鉛PZTよりなるピエゾ素子を用いた圧電方式を採用しているが、電極間の静電容量を利用した静電方式を用いることも出来る。図2は図1に示す検出素子1の線2-2における断面図であり、駆動部5を示す。駆動部5は、アーム3上に設けられた下部電極11Aと、下部電極11A上に設けられたピエゾ素子11Bと、ピエゾ素子11B上に設けられた上部電極11Cとを有し、ピエゾ素子11Bは下部電極11A及び上部電極11Cで挟まれている。下部電極11A及び上部電極11Cとして、白金Pt、金Au、アルミAl又はこれらを主成分とした合金又は酸化物を用いることが出来る。なお、下部電極11Aとして白金Ptを用いることが望ましい。これにより、PZTを一方向に配向させることができる。ここで、下部電極11Aに基準電位を印加する。上部電極11Cに互いに逆位相の交流の駆動電圧を印加することにより、アーム3をXY平面内で振動させることが出来る。なお、下部電極11Aに基準電位を印加せず、下部電極11A及び上部電極11Cにともに交流の駆動電圧を印加しても良い。これにより、大きい振幅でアーム3と錘4を振動させることができ、駆動効率を改善することが出来る。アーム3のアーム部3Fには、J字形状の内周側と外周側に位置する2つの検出部6が設けられている。検出部6は、アーム3に角速度が加わった際の変形を検出することで錘4の振動を検出する。検出部6はピエゾ素子を用いた圧電方式を採用しているが、電極間の静電容量を利用した静電方式を用いることも出来る。ピエゾ素子を用いた圧電方式を採用する場合には、駆動部5と同様の構造の、ピエゾ素子を下部電極及び上部電極で挟んで形成することができる。以下、実施の形態1における角速度センサの動作について説明する。図3は検出素子1の駆動振動と検出振動を示す上面図である。外部の駆動回路から駆動部5に駆動振動の共振周波数の交流電圧が印加されると、アーム3と錘4が駆動振動方向D1に沿ってXY平面内で駆動振動する。このとき、Z軸の周りに角速度が加わると、駆動振動方向D1と直交した方向にコリオリ力が発生する。このコリオリ力によって、検出振動方向D2に駆動振動と同調した検出振動が錘4に発生する。検出振動により発生したアーム3の歪みを検出部6でアーム3の変形として検出することによって角速度を検出する。検出振動方向D2の検出振動共振周波数は、駆動振動方向D1の駆動振動共振周波数の近傍に設定することが望ましい。これは、角速度が加わった際に発生する検出振動は駆動振動と同調するので、検出振動の共振周波数が駆動振動の共振周波数に近ければ、それだけ検出振動が大きく励起されやすいためである。図3に示すように、駆動振動方向D1と検出振動方向D2は異なるので、一般的には駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけるのが困難である。例えば、図11に示す従来の検出素子101の駆動振動共振周波数を40kHz程度に設計すると、検出振動共振周波数は65kHz付近になり、互いの共振周波数が25kHzも離れてしまう。このため、従来の検出素子101ではZ軸周りの角速度に対する感度が低くなる。実施の形態1における検出素子1では、図1に示すように、アーム3のX軸方向の長さW1は、錘のX軸方向の長さW2よりも大きい。これによってアーム3の角部3C付近の剛性が小さくなる。角部3CにはZ軸周りの角速度の印加時の検出共振振動時に応力が集中しやすいので、角部3Cでの剛性を小さくすることで、Z軸周り角速度の印加時の検出共振振動の共振周波数を下げることが可能になる。実施の形態1における検出素子1では、駆動振動共振周波数40kHzに対して、検出振動共振周波数は45kHz程度の設計が可能になり、共振周波数の差を5kHz以内に収めることが出来る。これによって、従来の検出素子1に比べて約5倍のZ軸周りの角速度の感度が得られる。図1に示すように、アーム部3FのY軸の方向の幅WFは、アーム部3EのX軸の方向の幅WEよりも小さくすることが好ましい。この構成により、角部3C付近の剛性を下げることが出来るので、駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけることが出来る。また、アーム部3GのX軸の方向の幅WGは、アーム部3FのY軸方向の幅WFよりも小さくすることでも角部3C付近の剛性を下げることが出来るので、駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけることが出来る。また、角部3Bの内周の曲率半径を角部3Cの内周の曲率半径よりも大きくしてもよく、これによっても角部3C付近の剛性を下げることが出来るので、駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけることが出来る。これらの構成はそれぞれ単独でも効果が得られるが、組み合わせることによってさらに駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけることが出来、その結果、Z軸周りの角速度の感度をさらに高めることが出来る。なお、図3に示す駆動振動方向D1にアーム3と錘4とを駆動振動させた場合、アーム部3Eに歪みが集中しやすい。従って、アーム部3Eに駆動部5を設けることにより駆動効率を改善することができる。同様に、図3に示す検出振動方向D2にアーム3と錘4とを検出振動させた場合、アーム部3Fに歪みが集中しやすい。従って、アーム部3Fに検出部6を設けることにより、検出効率を改善することができる。アーム3の端3Dは錘4のY軸の方向の幅の実質的に中央に接続されている。また、アーム3の端3Dは錘4のX軸の正方向X1の端に接続されている。この構成により錘4がアーム3のJ字形状の内側に収まるので、小型の検出素子1が得られる。実施の形態2図4は実施の形態2における角速度センサの検出素子10の上面図である。図4において図1から図3に示す検出素子1と同じ部分には同じ参照番号を付す。実施の形態2における角速度センサは、角速度を検出する検出素子10を備える。検出素子10は、Y軸の方向に延びる2つの縦梁7と、X軸の方向に延伸する横梁である支持体8と、支持体8からY軸の正方向Y1に位置する振動部9A、9Bと、支持体8からY軸の負方向Y2に位置する振動部9C、9Dとを備える。支持体8の両端部8A、8Bは2つの縦梁7の略中央部にそれぞれ接続されている。振動部9Bは、図1~図3に示す実施の形態1における検出素子1と同様に、支持体8の側面に接続されたアーム3と、アーム3の端3Dに接続された錘4とを備える。実施の形態1と同様に、アーム3のX軸の方向の長さは、錘4のX軸の方向の長さよりも大きい。振動部9Aは、支持体8に接続されたアーム53と、アーム53に接続された錘54とを備える。振動部9Cは、支持体8に接続されたアーム63と、アーム63に接続された錘64とを備える。振動部9Dは、支持体8に接続されたアーム73と、アーム73に接続された錘74とを備える。アーム53、63、73は図1に示す実施の形態1におけるアーム3と同様の形状を有している。アーム3、53、63、73は支持体8の中央に位置する中間部8Cに接続されている。錘54、64、74は図1に示す実施の形態1における錘4と同様の形状を有している。すなわち、アーム53は、支持体8の中間部8Cに接続された端53Aと、端53Aの反対側の端53Dとを有する。錘54はアーム53の端53Dに接続されている。アーム53は、端53AからY軸の正方向Y1に角部53Bまで延びるアーム部53Eと、角部53BからX軸の負方向X2に角部53Cまで延びるアーム部53Fと、角部53CからY軸の負方向Y2に端53Dまで延びるアーム部53GとからなるJ字形状を実質的に有する。アーム53のX軸の方向の長さは錘54のX軸の方向の長さよりも大きい。アーム部53FのY軸の方向の幅はアーム部53EのX軸の方向の幅よりも小さい。アーム部53GのX軸の方向の幅はアーム部53FのY軸の幅よりも小さい。角部53Bの内周の曲率半径は角部53Cの内周の曲率半径よりも大きい。同様に、アーム63は、支持体8の中間部8Cに接続された端63Aと、端63Aの反対側の端63Dとを有する。錘64はアーム63の端63Dに接続されている。アーム63は、端63AからY軸の負方向Y2に角部63Bまで延びるアーム部63Eと、角部63BからX軸の負方向X2に角部63Cまで延びるアーム部63Fと、角部63CからY軸の正方向Y1に端63Dまで延びるアーム部63GとからなるJ字形状を実質的に有する。アーム63のX軸の方向の長さは錘64のX軸の方向の長さよりも大きい。アーム部63FのY軸の方向の幅はアーム部63EのX軸の方向の幅よりも小さい。アーム部63GのX軸の方向の幅はアーム部63FのY軸の幅よりも小さい。角部63Bの内周の曲率半径は角部63Cの内周の曲率半径よりも大きい。同様に、アーム73は、支持体8の中間部8Cに接続された端73Aと、端73Aの反対側の端73Dとを有する。錘74はアーム73の端73Dに接続されている。アーム73は、端73AからY軸の負方向Y2に角部73Bまで延びるアーム部73Eと、角部73BからX軸の正方向X1に角部73Cまで延びるアーム部73Fと、角部73CからY軸の正方向Y1に端73Dまで延びるアーム部73GとからなるJ字形状を実質的に有する。アーム73のX軸の方向の長さは錘74のX軸の方向の長さよりも大きい。アーム部73FのY軸の方向の幅はアーム部73EのX軸の方向の幅よりも小さい。アーム部73GのX軸の方向の幅はアーム部73FのY軸の幅よりも小さい。角部73Bの内周の曲率半径は角部73Cの内周の曲率半径よりも大きい。アーム3の端3Dは錘4のY軸の方向の幅の実質的に中央に接続されている。同様に、アーム53、63、73は錘54、64、74のY軸の方向の幅の実質的に中央にそれぞれ接続されている。アーム53のアーム部53Eとアーム部53Fには、図1と図2に示す実施の形態1における駆動部5と検出部6と同様の駆動部55と検出部56とがそれぞれ設けられている。駆動部55はアーム53を駆動してアーム53と錘54をXY平面内で振動させる。検出部56はアーム53の振動を検出して錘54の振動を検出する。アーム63のアーム部63Eとアーム部63Fには、図1と図2に示す実施の形態1における駆動部5と検出部6と同様の駆動部65と検出部66とがそれぞれ設けられている。駆動部65はアーム63を駆動してアーム63と錘64をXY平面内で振動させる。検出部66はアーム63の振動を検出して錘64の振動を検出する。アーム73のアーム部73Eとアーム部73Fには、図1と図2に示す実施の形態1における駆動部5と検出部6と同様の駆動部75と検出部76とがそれぞれ設けられている。駆動部75はアーム73を駆動してアーム73と錘74をXY平面内で振動させる。検出部76はアーム73の振動を検出して錘74の振動を検出する。4つの振動部9A、9B、9C、9DはX軸、Y軸について対称に作られている。すなわち、振動部9A、9Bは支持体8の中間部8Cを通ってY軸に平行な中心軸AYに関して互いに対称に設けられている。振動部9C、9Dは中心軸AYに関して互いに対称に設けられている。また、振動部9A、9Cは支持体8の中間部8Cを通りX軸に平行な中心軸AXに関して互いに対称に設けられている。振動部9B、9Dは中心軸AXに関して互いに対称に設けられている。2本の縦梁7は検出素子10を支持する固定部材であり、検出素子10を格納するパッケージに別の支持部材や接着剤等を用いて固定される。図4に示すように、検出素子10は、2つ縦梁7の端にそれぞれ接続された2つの横梁57を有していてもよい。2つの縦梁7と2つの横梁57は枠形状の固定部材を構成する。アーム3、73は錘4、74のX軸の正方向X1の端にそれぞれ接続されている。また、アーム53、63は錘54、64のX軸の負方向X2の端にそれぞれ接続されている。この構成により錘4、54,64、74がアーム3、53、63、73のJ字形状の内側に収まるので、2つの縦梁7と2つの横梁57からなる枠形状を小さくすることができ、小型の検出素子10が得られる。支持体8は縦梁7と振動部9A~9Dを接続し、対称性の観点から、縦梁7の中央部に接続されるのが望ましい。縦梁7及び支持体8は、実施の形態1と同様に、振動部9A~9Dと同一の材料を用いて一体に形成すると、効率的に製造することができる。図5は検出素子10の駆動振動を示す上面図である。検出素子10の振動部9A~9Dでは、駆動部5、55、65、75に交流信号を印加することでアーム3、53、63、73を駆動振動方向D1に駆動振動させることにより錘4、54、64、74をXY平面内で駆動振動方向D1に振動させることができる。図5に示すように、4つの振動部9A~9Dの振動はXY平面内で互いに打ち消しあい、検出素子10の外部に漏れる振動を低減させることができる。特に、振動部9A~9D、縦梁7及び支持体8を中心軸AX、AY軸に関して対称に設計することで、原理上完全に漏れ振動をなくすことができる。これによって、漏れ振動による駆動振動のQ値の低減も防ぐことが出来るうえに、検出部6で不要な信号を拾うことを防ぐことが出来る。以上のように4つの振動部9A~9Dを有する検出素子10は、振動のQ値の低減を防ぐことが出来るので駆動効率が高く、かつ、不要な信号を拾いにくい精度の高い角速度センサを実現することができる。実施の形態3図6は実施の形態3における角速度センサの検出素子110の上面図である。図6において、図1に示す実施の形態1における検出素子1と同じ部分には同じ参照番号を付す。図1に示す実施の形態1における検出素子1では、アーム3の端3Dは錘4のY軸の方向の幅の実質的に中央に接続されている。図6に示す実施の形態3における検出素子110では、アーム3の端3Dは錘4のY軸の負方向Y2の端に接続されている。この構造により、角部3Cから端3Dまで延びるアーム部3GのY軸の方向の長さを錘4のY軸の方向の幅の1/2以上にすることができ。これにより駆動振動の共振周波数と検出振動の共振周波数とをより近づけることができ、検出振動の振幅が大きくなり角速度センサのZ軸の周りの角速度に対する感度を高くすることができる。図7は実施の形態3における角速度センサの他の検出素子210の上面図である。図7において、図6に示す検出素子110と同じ部分には同じ参照番号を付す。図7に示す検出素子210は、図6に示す検出素子110の駆動部5と検出部6の代わりに駆動部185、285、385、485と検出部186、286、486を備え、モニタ部386をさらに備える。駆動部185、285、385、485と検出部186、286、486とモニタ部386は図2に示す実施の形態1における駆動部5と同様の構造を有する。駆動部185、285はアーム3の端3Aの近傍からアーム部3Eを経て角部3Bを越えてアーム部3Fまでアーム3に沿って延びている。駆動部185はアーム3のJ字形状の外周側に設けられている。駆動部185に比べて駆動部285はJ字形状の内周側に位置している。検出部186、286はアーム3の端3Dの近傍からアーム部3Gを経て角部3Cを越えてアーム部3Fまでアーム3に沿って延びている。検出部186はアーム3のJ字形状の外周側に設けられている。検出部186に比べて検出部286はJ字形状の内周側に位置している。駆動部385、485はアーム部3Fに沿ってアーム部3Fに設けられている。駆動部385はアーム3のJ字形状の外周側に設けられている。駆動部385に比べて駆動部485はJ字形状の内周側に位置している。モニタ部386と検出部486はアーム部3Fに沿ってアーム部3Fに設けられている。モニタ部386はアーム3のJ字形状の外周側に設けられている。モニタ部386に比べて検出部486はJ字形状の内周側に位置している。駆動部385とモニタ部386は駆動部185と検出部186の間に位置し、駆動部485と検出部486は駆動部285と検出部286の間に位置している。モニタ部386は駆動部185と駆動部385の間に位置し、検出部486は駆動部285と駆動部485の間に位置している。駆動部185、285、385、485は図1に示す駆動部5と同様に動作する。検出部186、286、486は図1に示す検出部6と同様に動作する。モニタ部386は錘4の駆動振動に同期する信号を出力する。錘4が一定の振幅と周波数で駆動振動するように、駆動回路はその信号に応じて駆動部185、285、385、485に印加する交流電圧を制御する。検出素子210は、Z軸の周りの角速度をさらに高感度で安定に検出することができる。実施の形態4図8は実施の形態4における角速度センサの検出素子310の上面図である。図8において、図4に示す実施の形態2における検出素子10と同じ部分には同じ参照番号を付す。図8に示す検出素子310は、図4に示す実施の形態2における検出素子10の錘4、54、64、74の代わりに錘104、154、164、174を備える。錘104、154、164、174は、錘104、154、164、174のX軸の方向の中央部でアーム3、53、63、73の端3D、53D、63D、73Dにそれぞれ接続されている。アーム353、63、73のX軸の方向の長さW1は錘104154、164、174のX軸の方向の長さW102よりも大きい。アーム53、3、63、73と錘154、104、164、174は振動部109A、109B、109C、109Dをそれぞれ構成する。4つの振動部109A、109B、109C、109DはX軸、Y軸について対称に作られている。すなわち、振動部109A、109Bは支持体8の中間部8Cを通ってY軸に平行な中心軸AYに関して互いに対称に設けられている。振動部109C、109Dは中心軸AYに関して互いに対称に設けられている。また、振動部109A、109Cは支持体8の中間部8Cを通りX軸に平行な中心軸AXに関して互いに対称に設けられている。振動部109B、109Dは中心軸AXに関して互いに対称に設けられている。検出素子310は実施の形態2における検出素子と、Z軸の周りの角速度に対する感度に関して同様の効果を有する。図9は実施の形態4における他の角速度センサの検出素子410の上面図である。図9において、図4に示す実施の形態2における検出素子10と同じ部分には同じ参照番号を付す。図9に示す検出素子410は、図4に示す検出素子10の支持体8の代わりに支持体208を備えており、図4に示す検出素子10の2つの縦梁7と2つの横梁57とを備えていない。図4に示す検出素子10は、2つの縦梁7と2つの横梁57で構成される枠形状の固定部材で支持される。図9に示す検出素子410は、支持体208が固定部材と支持されることで検出素子410を支持する。アーム3、53、63、73は支持体208の中間部208Cに接続されている。図9に示す支持体208のY軸の方向の幅は図4に示す支持体8のそれより大きい。これにより4つのアーム3、53、63、73と4つの錘4、54、64、74とを備える検出素子410を強固に支持することができる。図10は実施の形態4におけるさらに他の角速度センサの検出素子510の上面図である。図10において、図4に示す実施の形態2における検出素子10と同じ部分には同じ参照番号を付す。図4に示す検出素子10では、アーム3、53、63、73の端3A、53A、63A、73Aは支持体8の中間部8Cに接続されている。図10に示す検出素子510では、アーム部53、63の端53A、63Aは支持体8の縦梁7に接続されている端部8Aに接続され、アーム部3、73の端3A、73Aは支持体8の縦梁7に接続されている端部8Bに接続されている。図10に示す検出素子510では、アーム3、53、63、73のJ字形状が、図4に示す検出素子10のそれの裏返しになっている。すなわち、アーム53は、端53AからY軸の正方向Y1に角部53Bまで延びるアーム部53Eと、角部53BからX軸の正方向X1に角部53Cまで延びるアーム部53Fと、角部53CからY軸の負方向Y2に端53Dまで延びるアーム部53GとからなるJ字形状を実質的に有する。アーム3は、端3AからY軸の正方向Y1に角部3Bまで延びるアーム部3Eと、角部3BからX軸の負方向X2に角部53Cまで延びるアーム部3Fと、角部3CからY軸の負方向Y2に端3Dまで延びるアーム部3GとからなるJ字形状を実質的に有する。アーム63は、端63AからY軸の負方向Y2に角部63Bまで延びるアーム部63Eと、角部63BからX軸の正方向X1に角部63Cまで延びるアーム部63Fと、角部63CからY軸の正方向Y1に端63Dまで延びるアーム部63GとからなるJ字形状を実質的に有する。アーム73は、端73AからY軸の負方向Y2に角部73Bまで延びるアーム部73Eと、角部73BからX軸の負方向X2に角部73Cまで延びるアーム部73Fと、角部73CからY軸の正方向Y1に端73Dまで延びるアーム部73GとからなるJ字形状を実質的に有する。検出素子510の振動部9A~9Dでは、駆動部に交流信号を印加することでアーム3、53、63、73を駆動振動方向D301に駆動振動させることにより錘4、54、64、74をXY平面内で駆動振動方向D1に振動させることができる。図10に示すように、4つの振動部9A~9Dの振動はXY平面内で互いに打ち消しあい、検出素子10の外部に漏れる振動を低減させることができる。特に、振動部9A~9D、縦梁7及び支持体8を中心軸AX、AY軸に関して対称に設計することで、原理上完全に漏れ振動をなくすことができる。これによって、漏れ振動による駆動振動のQ値の低減も防ぐことが出来るうえに、検出部で不要な信号を拾うことを防ぐことが出来る。以上のように、図10に示す検出素子510は、図4に示す検出素子10と同様に振動のQ値の低減を防ぐことが出来るので駆動効率が高く、かつ、不要な信号を拾いにくい精度の高い角速度センサを実現することができる。"