"横方向に少なくとも1つのソーワイヤを走行させ、該ソーワイヤにワークを接触させて前記ワークを切断する、ワイヤーソーによるワークの切断方法において、互いに横方向に所定の間隔をおいた2つの位置において前記ソーワイヤに第1の砥粒スラリーを供給し、前記ソーワイヤ及び前記ワークの少なくとも一方を相対的に移動して、前記第1の砥粒スラリーが供給されている前記ソーワイヤの前記2つの位置の間において前記ソーワイヤに上方から前記ワークを接触させて前記ワークの切断を開始し、前記ソーワイヤが前記ワークに噛み合っている部分の一部に第2の砥粒スラリーを供給する、工程を有することを特徴とするワイヤーソーによるワークの切断方法。前記第2の砥粒スラリーの供給は、前記ソーワイヤが前記ワークに噛み合っている前記部分の一部を前記第2の砥粒スラリーに浸漬することにより行うことを特徴とする請求項1記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。容器内に前記第2の砥粒スラリーを溜め、前記容器内に溜められた前記第2の砥粒スラリーの砥液面内に前記ソーワイヤの前記ワークに噛み合っている前記部分の一部を浸漬することを特徴とする請求項2記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。前記第1の砥粒スラリーが供給される前記ソーワイヤの前記2つの位置は、前記容器に溜められた前記第2の砥粒スラリーの砥液面よりも上方に位置することを特徴とする請求項3記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。複数の前記ソーワイヤを互いに並列に所定の間隔を置いて配置し、前記複数のソーワイヤを前記横方向に走行させ、前記複数のソーワイヤに前記ワークを接触させて前記ワークを切断することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。前記複数のソーワイヤにおいて、前記ソーワイヤの前記2つの位置の一方に1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給し、前記ソーワイヤの前記2つの位置の他方に他の1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給することを特徴とする請求項5記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。前記複数のソーワイヤの各ソーワイヤおいて、前記ソーワイヤの前記2つの位置の一方に1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給し、前記ソーワイヤの前記2つの位置の他方に他の1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給することを特徴とする請求項5記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。前記第1の砥粒スラリーの供給はノズルからの噴射により行うことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。前記第1の砥粒スラリーが供給される前記ソーワイヤの前記2つの位置を、前記ワークの切断が進むにつれて変化させることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。前記第1及び第2の砥粒スラリーの温度を制御することを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか1項に記載のワイヤーソーによるワークの切断方法。近年、シリコンインゴットは大径化されており、大径のシリコンインゴットの精度良い切断技術が求められている。上記特許文献1の切断方法においては、ソーワイヤに付着しているノズルから供給された砥粒スラリーは、ワークの入側から出側にかけての、つまりソーワイヤの噛み合い部においてのソーワイヤの切断走行中に、消耗し、脱離して、減少してしまう。このため、450mmの大径のシリコンインゴットを切断する場合は、シリコンインゴットの側方両側においてノズルからソーワイヤへ砥粒スラリー供給するだけでは、ソーワイヤのワークの入側から出側までの切断走行に充分な砥粒スラリーを供給することができず、切断性能の低下や変動等が生じ、切断されて形成されたウェハにはうねりや反りなどの好ましくないウェハ性状が発現したり、ソーワイヤの断線等の問題が発生していた。例えば、図8に示すように、従来の切断方法においては、ソーワイヤの出側における切断しろ切り込み深さは、ソーワイヤの入側における切断しろより極めて小さくなっていた。尚、図8は、ソーワイヤの切断走行方向においてワークの左側の部分の切断面を拡大して示した図である。また、上記特許文献2の切断方法においては、砥粒スラリーがワークの切断部に過剰に供給され、切断溝においてソーワイヤが振動し、スライスされた部分が振動して、隣接するウェハ同士が互いに接触することによるウェハ割れが発生してしまう不都合があった。このように、従来のワイヤーソーによるワークの切断方法においては、例えば450mmの大径のシリコンインゴットを不都合なく切断することはできなかった。また、上記特許文献2の切断方法においては、ソーワイヤとシリコンインゴットが接触する全領域が、砥粒スラリー液に浸漬されているため、特に大口径ウェハの場合、砥粒スラリーの供給が過剰となる。このため、ソーワイヤがスライス部位を振動させることにより、また更に、ソーワイヤの往復運動に伴う振動が砥粒スラリーバス内の砥粒スラリー液を激しく振動することにより、砥粒スラリー液の振動の影響を受けて、スライスされた部位が振動する。これにより、切断面の平坦性などの品質が低下したり、場合によっては隣接するスライスされた部位同士が互いに接触することによってワレが発生してしまうなどの不都合があった。本発明の目的は、大径のワークを正確に効率良く破損等の不具合を生じることなく切断することができるワイヤーソーによるワークの切断方法を提供することにある。上記目的を達成するために、本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法は、横方向に少なくとも1つのソーワイヤを走行させ、該ソーワイヤにワークを接触させて前記ワークを切断する、ワイヤーソーによるワークの切断方法において、互いに横方向に所定の間隔をおいた2つの位置において前記ソーワイヤに第1の砥粒スラリーを供給し、前記ソーワイヤ及び前記ワークの少なくとも一方を相対的に移動して、前記第1の砥粒スラリーが供給されている前記ソーワイヤの前記2つの位置の間において前記ソーワイヤに上方から前記ワークを接触させて前記ワークの切断を開始し、前記ソーワイヤが前記ワークに噛み合っている部分の一部に第2の砥粒スラリーを供給する、工程を有することを特徴とする。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法において、前記第2の砥粒スラリーの供給は、前記ソーワイヤが前記ワークに噛み合っている前記部分の一部を前記第2の砥粒スラリーに浸漬することにより行う。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法においては、容器内に前記第2の砥粒スラリーを溜め、前記容器内に溜められた前記第2の砥粒スラリーの砥液面内に前記ソーワイヤの前記ワークに噛み合っている前記部分の一部を浸漬する。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法において、前記第1の砥粒スラリーが供給される前記ソーワイヤの前記2つの位置は、前記容器に溜められた前記第2の砥粒スラリーの砥液面よりも上方に位置する。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法においては、複数の前記ソーワイヤを互いに並列に所定の間隔を置いて配置し、前記複数のソーワイヤを前記横方向に走行させ、前記複数のソーワイヤに前記ワークを接触させて前記ワークを切断する。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法においては、前記複数のソーワイヤにおいて、前記ソーワイヤの前記2つの位置の一方に1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給し、前記ソーワイヤの前記2つの位置の他方に他の1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給する。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法においては、前記複数のソーワイヤの各ソーワイヤおいて、前記ソーワイヤの前記2つの位置の一方に1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給し、前記ソーワイヤの前記2つの位置の他方に他の1つの供給源から前記第1の砥粒スラリーを供給する。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法において、前記第1の砥粒スラリーの供給はノズルからの噴射により行う。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法においては、前記第1の砥粒スラリーが供給される前記ソーワイヤの前記2つの位置を、前記ワークの切断が進むにつれて変化させる。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法においては、前記第1及び第2の砥粒スラリーの温度を制御する。本発明に係るワイヤーソーによるワークの切断方法によれば、ソーワイヤの噛み合い部の長さに拘らず、ソーワイヤの噛み合い部全体に亘って砥粒スラリーを均一に必要十分に供給することができ、切断の際にワーク内の切断部に不要な応力や熱が発生することを防止することができ、また、切断の際に振動が発生することを防止することができる。このため、大径のワークであっても、精度良くワークを切断することができ、また、切断された部位の破損を防止することができ、信頼性の高い加工性能を実現することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施の形態に係るワイヤーソーによるワークの切断方法を実行する切断装置を示す。図1に示すように、切断装置100は、3つのローラ2と、これら3つのローラ2の間に巻回されたソーワイヤ1と、ワークWを把持してソーワイヤ1によってワークWを切断するためにワークWを所定の位置に搬送して移動するワーク把持装置3とを備える。ローラ2は2つのローラ2a,2bが上方に、1つのローラ2cが下方に配設されており、上側の2つのローラ2a,2bは、鉛直方向矢印aの方向において同じ高さに水平方向矢印b方向に所定の間隔DRを開けて配置されており、下側のローラ2cは、上側のローラ2a,2bの下方において、例えば上側のローラ2a,2bの中間の位置に配置されている。ローラ2の少なくとも1つは図示しない駆動装置によって左右両方向に回転可能であり、これにより、ソーワイヤ1は上方の2つのローラ2a,2b間において矢印bに示すように左右両方向に走行可能になっている。ワーク把持装置3は、上側のローラ2a,2bの上方において鉛直方向矢印aの方向に移動可能である。図2に示すように、ローラ2は、ワークWの軸線la方向にワークWと略同じ長さだけ延びている。ローラ2の軸線la方向長さは、ワークWの軸線la方向の長さよりも短くても長くても良い。また、切断装置100は、上記ソーワイヤ1を複数有しており、複数のソーワイヤ1は、互いに軸線la方向に所定の間隔dをあけて互いに並列に軸線la方向に配設されている。互いに隣接するソーワイヤ1の所定の間隔dは、ワークWを切断して形成したいウェハの厚さに対応している。また、ソーワイヤ1の本数は、ワークWの長さに対応しており、つまり、ワークWから得られるウェハの数に対応している。また、切断装置100は、第1砥粒スラリー容器5と、第2砥粒スラリー容器7とを備え、第1砥粒スラリー容器5は、砥粒スラリー6を収拾するために設けられており、第2砥粒スラリー容器7はその内部に砥粒スラリー6を満たすために設けられている。第1砥粒スラリー容器5は、その大きさが第2砥粒スラリー容器7よりも大きく、第1砥粒スラリー容器5は、ローラ2が内部に収容されるように配置されている。第2砥粒スラリー容器7は、第1砥粒スラリー容器5内において、上方の2つのローラ2a,2b間に張架されたソーワイヤ1の張架部分1aの下方であって下方のローラ2cの上方に配置されており、軸線la方向に延びており、ワークWを内部に収容可能な大きさに形成されている。第1砥粒スラリー容器5の下部には内部に溜まった砥粒スラリー6を排出するための砥粒スラリー排出管11が接続されている。砥粒スラリー排出管11は、図示しない循環管路に接続されている。この循環管路にはワークの切り粉を含む砥粒スラリーを浄化する浄化装置が取り付けられていてもよい。砥粒スラリー排出管11は、循環管路に接続されていなくてもよく、砥粒スラリー排出管11を介して砥粒スラリー6が廃棄されるものであってもよい。また、第2砥粒スラリー容器7の下部には砥粒スラリー供給管10が接続されており、砥粒スラリー供給管10は、図示しない砥粒スラリー供給装置に接続されている。砥粒スラリー6は砥粒として例えば微粒のSiCを含んでいる。また、切断装置100は、ソーワイヤ1の張架部分1aに砥粒スラリー6を供給する、右側のノズル4rと左側のノズル4lとを有する一対のノズル4を複数備えている。ここで、図1において右側を右側、左側を左側とする。複数の一対のノズル4はソーワイヤ1に対応して軸線la方向に間隔dをあけて並列に配設されている。つまり、1つのソーワイヤ1に対応して1つの一対のノズル4が設けられており、一対のノズル4は、開口4aを対応するソーワイヤ1に向けてソーワイヤ1の上方に配置されている。各一対のノズル4は砥粒スラリー供給管8に接続されており、一対のノズル4の各々において、各ノズル4r,4lは、ソーワイヤ1の張架部分1aの上方に、水平方向に所定の間隔DNを開けて配置されている。この所定の間隔DNは、後述するように、切断工程において、ワークWに噛み合っているソーワイヤ1の部分の外側の部分であって、第2砥粒スラリー容器7内の砥粒スラリー6の砥液面の上側のソーワイヤ1の部分である2つの被供給部分P所定の間隔をおいた2つの位置に砥粒スラリー6が噴射されるような間隔である。ノズル4は、砥粒スラリー供給管8を介して供給される砥粒スラリー6をソーワイヤ1の張架部分1aに噴射することができる。また、切断装置100は、第2砥粒スラリー容器7の内部に取り付けられた温度センサ9を備えている。温度センサ9は、第2砥粒スラリー容器7内の砥粒スラリー6の温度を検出し、この検出される砥粒スラリー6の温度に基づいて、図示しない温度制御装置が第2砥粒スラリー容器7に供給される砥粒スラリー6の温度を所望の温度に調節する。切断装置100においてワークWの切断処理の際に、ワークWとソーワイヤ1とは後述するように相対的に移動して互いに接触する。本実施の形態においては、ワークの切断処理において、ソーワイヤ1が図1,2の矢印a方向において上方ワーク側に移動し、また、ワーク把持装置3が矢印a方向において下方ソーワイヤ側にワークWを移動し、ワークWをソーワイヤ1に接触させる。ソーワイヤ1を移動可能にするために、ソーワイヤ1が巻回されたローラ2は、図示しない駆動装置によって、上下方向矢印a方向に移動可能に構成されている。また、ワークWの切断の際に、ワーク把持装置3が上下方向に移動し、ローラ2が上下方向に移動してソーワイヤ1が上下方向に移動し、これにより、第2砥粒スラリー容器7内に溜められた砥粒スラリー6の砥液面に対するワークWの位置が後述する位置となるように調整される。本実施の形態においては、図2に示すように、全てのソーワイヤ1は3つのローラ2a,2b,2cに巻回されているが、ローラ2の形態はこれに限るものではない。例えば、各ソーワイヤ1に対して、3つのローラ2a,2b,2cを配置するような形態であってもよい。また、本実施の形態においては、複数の一対のノズル4の各々が各ソーワイヤ1に夫々対応するようにソーワイヤ1の上方に設けられているとしたが、ノズル4の形態はこれに限るものではない。例えば、一対のノズル4は、ソーワイヤ1の下方や斜め上方又は下方、側方に配置されていてもよい。つまり、ノズル4r,4lの開口4aがソーワイヤ1に対して下方や斜め上方又は下方、側方に配置されていてもよい。また、切断装置100が1つの一対のノズル4のみを有するようにしてもよい。この場合、全ソーワイヤ1の2つの被供給部分Pに夫々1つのノズル4r、4lから砥粒スラリー6が噴出される。また、切断装置100は複数の一対のノズル4を有するが、一対のノズル4の数がソーワイヤ1の数よりも少なくてもよい。この場合、各一対のノズル4から所定のグループ本数のソーワイヤ1に砥粒スラリー6が供給される。更に、一対のノズル4において、各ノズル4r,4lがその間隔DNを可変に構成されていてもよい。この場合、例えば図示しない駆動装置によってノズル4r,4lが互いに近づく方向に又は互いに遠ざかる方向に移動される。また、本実施の形態においては、砥粒スラリー供給管8が複数の一対のノズル4に対して1つのみ設けられているが、砥粒スラリー供給管8は複数設けられていてもよい。例えば、複数の砥粒スラリー供給管8が設けられており、1つの砥粒スラリー供給管8が1つの一対のノズル4に接続されていてもよく、また、1つの砥粒スラリー供給管8が複数の一対のノズル4に接続されていてもよい。また、本実施の形態において、ワークWの切断処理の際に、ワーク把持装置3及びソーワイヤ1は互いに相対的に移動してワークWをソーワイヤ1に接触させるものとしたが、ワークWとソーワイヤ1との相対移動は他の形態によってなされてもよい。例えば、ワークWの切断の際に、ソーワイヤ1及びワーク把持装置3の一方が移動するものであってもよい。また、本実施の形態において、図示しない駆動装置によって、第2砥粒スラリー容器7が上下方向図1,2の矢印a方向に移動され、第2砥粒スラリー容器7内に溜められた砥粒スラリー6の砥液面の位置を後述する位置とするようにしてもよい。以下、上述の構成を有する切断装置100において実行される、本発明の実施の形態に係るワイヤーソーによるワークの切断方法を説明する。先ず、図示しない砥粒スラリー供給装置から砥粒スラリー6を砥粒スラリー供給管10を介して第2砥粒スラリー容器7内に供給し、第2砥粒スラリー容器7内を砥粒スラリー6によって満たす。このとき、第2砥粒スラリー容器7内において砥液面が所定の高さとなるように砥粒スラリー6を第2砥粒スラリー容器7に供給する。次いで、ロータ2を駆動してソーワイヤ1を走行させ、砥粒スラリー供給装置から砥粒スラリー6を砥粒スラリー供給管8を介して各一対のノズル4に供給し、各ノズル4r,4lから左右に走行するソーワイヤ1の張設部分1aの被供給部分に砥粒スラリー6を噴射する。その後、ワーク把持装置3によってワークWを保持し、ワークWをソーワイヤ1の張設部分1aの上方の所定の位置に搬送する。ワークWは、例えば、シリコン単結晶から成るシリコンインゴットである。上述の砥粒スラリー6の供給、ローラ2の駆動、ワークWの搬送の順序は一例であり、その処理順は上述の順序に限るものではなく、他の順序であってもよい。次いで、ソーワイヤ1とワーク把持装置3とを鉛直方向図1,2の矢印a方向において互いに近接するように相対的に移動させ、ワークWを張設部分1aにおいてソーワイヤ1に上方から押し付ける。各ソーワイヤ1には、ワークWの左右両側方の被供給部分Pにおいてノズル4l,4rから砥粒スラリー6が供給されており、ソーワイヤ1のワークWとの接触部にも砥粒スラリー6は供給されている。このため、ソーワイヤ1とワークWとの間の砥粒による研削が開始され、切断が開始される。このとき、図1に示すように、ソーワイヤ1は下方に凸に撓む。ワークWにおいて、水平方向における所定の幅が切断されるまで、つまり、ワークWのソーワイヤ1との噛み合い部分M図3参照の長さが所定の長さになるまで、噛み合い部分Mへの砥粒スラリー6の供給は一対のノズル4からの供給のみとする。次いで、噛み合い部分Mの長さが所定の長さになると、図3に示すように、噛み合い部分Mの一部Mpが第2砥粒スラリー容器7内の砥粒スラリー6に浸漬される。つまり、噛み合い部分の一部Mpが第2砥粒スラリー容器7内の砥粒スラリー6の砥液面内に浸漬される。各ノズル4r,4lのから砥粒スラリー6が供給されるソーワイヤ1の被供給部分Pは、噛み合い部分Mの外側であって砥液面の上方となるような位置である。以降の切断処理は上述の位置関係を保ってワークWが完全に切断されるまで行われる。つまり、以下の位置関係を保って切断が行われる。ワークの切断の際には、図3に示すように、ソーワイヤ1は、噛み合い部分Mの両端である入出部Aにおいて、砥粒スラリー6の砥液面の上方に位置しており、入出部Aにおいて砥粒スラリー6内に浸漬されていない。また、砥粒スラリー6の砥液面がソーワイヤの入出部Aと、ソーワイヤ1のワーク押し付け方向に向かって最も変位している最大撓み部Bとの間に位置するように、ソーワイヤ1及びワークWは砥粒スラリー6内に浸漬されている。さらに、各ノズル4r,4lは、ソーワイヤ1の入出部Aの外側に砥粒スラリー6が供給される被噴射位置Pが位置するように位置している。ワークWの切断の際に、上述の位置関係を保つように、ソーワイヤ1及びワーク把持装置3が上下方向に駆動される。また、この際、第2砥粒スラリー容器7も上下方向に駆動されるようにしてもよい。また、切断の際にこの位置関係を取ることができるようにするための形態は他の形態をであってもよい。例えば、ソーワイヤ1又はワーク把持装置3のいずれか一方のみを移動させ、また、第2砥粒スラリー容器7を上下方向に移動させるようにしてもよい。また、ワーク把持装置3のみを移動させるようにしてもよい。この場合、ソーワイヤ1、駆動ローラ2、及び第2砥粒スラリー容器7等は上記位置関係を取ることができるような位置に固定されている。また、各ノズル4r,4lは固定されておらず、可動に構成されていてもよい。切断の進行に伴って変化する噛み合い部分Mの幅に応じて2つのノズル4r,4l間の所定の距離DNを変更可能にしてもよい。具体的には、ノズル4r,4lから砥粒スラリー6が供給されるソーワイヤ1の位置被供給位置Pと入出部Aとの間の位置が一定若しくは所定の範囲内となるように、ノズル4r,4lを水平方向に移動させてもよい。上述の切断処理により、ワークWの切断開始時において多量の砥粒スラリー6がワークWとソーワイヤ1との間に供給されることがなく、適切な量の砥粒スラリー6が供給され、ソーワイヤ1がワークWの表面上で振れる等の不具合を防止することができ、良好に切断を開始することができる。また、切断開始後においても、適切な量の砥粒スラリー6を噛み合い部分Mに供給することができ、良好な切断を可能にすることができる。ワークWの切断面から排出された砥粒スラリー6は、そのままワークWの下方に設けられた第1砥粒スラリー容器5内に滴下して蓄積される。蓄積された砥粒スラリー6には砥粒と共にワークWの切り粉Siが混在している。この砥粒スラリー6は、砥粒スラリー排出管11を介して排出され、図示しない循環管路において浄化装置により切り粉が分離されて浄化され、スラリー供給装置に戻される。また、この砥粒スラリー6は、砥粒スラリー排出管11を介して廃棄されてもよい。上記切断処理を繰り返し行うことにより、シリコンインゴットをスライスしてウェハを形成することができる。上述の切断処理においては、温度センサ9によって第2砥粒スラリー容器7内の砥粒スラリー6の温度を検出し、この検出された砥粒スラリー6の温度に基づいて、図示しない温度制御装置によって、第2砥粒スラリー容器7に供給される砥粒スラリー6の温度を所望の温度に調節するようにしてもよい。これにより、良好な切断が可能となる。以下、本発明の実施例を説明する。上述の切断装置100を用いて、本発明の実施の形態に係るワイヤーソーによるワークの切断方法を行い、以下の切断条件において、ワークWとしてのシリコンインゴットを切断してウェハを製造した実施例1。切断条件:シリコンウェハの直径450mmシリコンウェハの厚さ840μmスライス枚数:280枚ソーワイヤ速度:500mm/分ソーワイヤテンション:2.5kgfソーワイヤ線径:0.14mm砥粒:GC1500SiCスラリー:水溶性クーラント切断時間:8時間砥粒スラリー供給量砥粒スラリー供給管8:80リットル/分砥粒スラリー供給量砥粒スラリー供給管10:80リットル/分切断時間:8時間砥粒スラリー温度:25°C±0.5°Cに制御する。また、上述の切断条件において、図4に示す従来の切断方法によって、ワークWとしてのシリコンインゴットを切断してウェハを製造した比較例1。比較例1においては、実施例1とは異なり、ソーワイヤ1への砥粒スラリー6の供給を一対のノズル4のみによって行うものであり、噛み合い部分Mの砥粒スラリーへの浸漬を行うものではない。また、上述の切断条件において、図5,6に示す切断方法によってワークWとしてのシリコンインゴットを切断してウェハを製造した比較例2,3。比較例2においては、図5に示すように、ソーワイヤ1の入出部Aが第2砥粒スラリー容器7内の砥粒スラリー6の砥液面と一致するように、ソーワイヤ1及びワークWが砥液スラリー6へ浸漬されている点において実施例1とは異なる。比較例3においては、図6に示すように、ワークWが、ソーワイヤ1の入出部Aが共に第2砥粒スラリー容器7内の砥粒スラリー6の砥粒面より下となるように、砥粒スラリー6内に浸漬されている点で実施例1とは異なる。つまり、ソーワイヤ1は、入出部Aから外側に所定の間隔離れた点Cにおいて砥粒スラリー6の砥液面に接しており、この点Cより外側において砥粒スラリー6に浸漬されていない。実施例1、比較例1~3によって切断されたウェハの切断面をレーザー顕微鏡で観察した。比較例1~3では、図8に示すようにソーワイヤの出側における切断しろは、ソーワイヤの入側における切断しろより極めて小さくなっていた。一方、実施例1では図7に示すように、ソーワイヤ1の入側と出側の切断しろはほぼ同じであった。尚、図7,8は、ソーワイヤの切断走行方向においてワークの左側の部分の切断面を拡大して示した図である。また、実施例1及び比較例1~3における切断速度を測定し、実施例1及び比較例1~3による切断面をレーザー顕微鏡で観察し、切断面のクラック、ワープ、TTVtotalthicknessvariation、及びナノトポロジーについて評価した。この測定結果及び切断面の評価結果を以下の表1に示す。上記表1の評価において、◎は比較例1に対して40以上の改善を示し、○は比較例1に対して20~40の改善を示し、-は比較例1と同等のレベルを示す。上記表1から分かるように、実施例1は比較例1に比べて切断速度が40以上上昇しており、加工効率が向上されている。また、実施例1は比較例1~3に比べて切断面の品質が良好である。つまり、実施例1によれば、ソーワイヤ1の噛み合い部分の長さに拘らず、即ちワークWの直径の大きさに拘らず、ソーワイヤ1の噛み合い部全体に亘って砥粒スラリー6を均一に必要十分に供給することができ、切断の際にワークW内の切断部に不要な応力や熱が発生することを防止することができ、また、切断の際に振動が発生することを防止することができる。このため、大径のワークWであっても、精度良くワークWを切断することができ、また、切断された部位の破損を防止することができ、信頼性の高い加工性能を実現することができることが分かる。このように、本発明によれば、大径のワークWを切断する場合であっても、切断されるウェハの切断面の品質を改善しつつ、切断速度を向上させることができる。また、精度良くワークWを切断することができ、切断された部位の破損を防止することができ、信頼性の高い加工性能を実現することができる。"