"電子部品の検査に用いられる検査治具に組み込まれて使用される接触子であって、導電性の接触針と、コイルばねと、導電性の中継部材とを備え、前記接触針は、検査対象電子部品の検査部位に接触する先端と、当該先端に続く軸状部分である突出部と、当該突出部に続き当該突出部よりも径の大きい軸状部分である大径部と、当該大径部に続き当該大径部よりも径の小さい軸状部分である中継部とを有しており、前記コイルばねは、前記中継部の外周に配置され、一端部が前記大径部の前記中継部側の面に当接し、前記中継部材は、前記中継部の外周に配置され、当該中継部に摺動可能に案内される円筒であり、一端部が前記コイルばねの他端部に当接し、他端部が斜め角度に切断されており、さらに切断されて成る部分が曲げられて、最端部が中心近傍に位置する接触子。電子部品の検査に用いられる検査治具に組み込まれて使用される接触子であって、導電性の接触針と、コイルばねと、導電性の中継部材とを備え、前記接触針は、検査対象電子部品の検査部位に接触する先端と、当該先端に続く軸状部分である突出部と、当該突出部に続く軸状部分である連結部と、当該連結部に続く軸状部分である中継部とを有しており、前記コイルばねは、前記中継部の外周に配置され、一端部が前記連結部に連結されており、前記中継部材は、前記中継部の外周に配置され、当該中継部に摺動可能に案内される円筒であり、一端部が前記コイルばねの他端部に当接し、他端部が斜め角度に切断されており、さらに切断されて成る部分が曲げられて、最端部が中心近傍に位置する接触子。前記コイルばねは、線材の断面が矩形の異形線の圧縮コイルばねである、請求項1又は2に記載の接触子。前記コイルばねの前記他端部は、前記中継部材の前記一端部と連結されている、請求項3に記載の接触子。前記コイルばねと、前記中継部材とは、円筒状に一体的に形成されたものである、請求項4に記載の接触子。電子部品の検査に用いられる検査治具であって、請求項1ないし5の何れかに記載の接触子と、当該接触子を保持する接触子保持体と、当該接触子保持体に連結された電極部とを備え、前記接触子保持体は、前記先端が露出するように前記接触針を軸方向に摺動可能に支持する案内部と、前記大径部の前記突出部側の面に当接するか、又は前記連結部に連結する前記コイルばねの前記一端部に当接することにより、前記先端の所定以上の突出を係止する係止部と、前記コイルばね及び前記中継部材を収納する筒状空洞部と、を含み、前記電極部は、前記接触子保持体に連結された電気絶縁性の電極板と、当該電極板を貫通するように当該電極板に固定され、一端面が前記中継部材の前記最端部に当接することにより、当該中継部材に電気的に接続されるとともに、前記コイルばねを付勢する軸状の導電性の電極と、を備える検査治具。前記電極板には、前記筒状空洞部と同径かつ同軸の貫通孔が形成されており、前記電極は前記接触子の最大径よりも径が小さく、当該貫通孔に挿入され、かつ接着剤により当該貫通孔に固定されている、請求項6に記載の検査治具。近年、プリント配線基板や電子部品の微細化と高密度化が進み、接触子の高品質で微細化高単価化すると検査点の増加とが相乗して、全体価格が騰貴し検査治具のコストが問題となっている。本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、製造容易として安価に製造できるだけでなく保守も容易であり、それと同時に、接触子と電極との導電接触を確実にするとともに、接触子の内部電気特性に関して低い直流抵抗と低いインダクタンス交流抵抗特性を保証できる、プリント配線板に通電する検査治具及び接触子を提供することを目的とする。本発明のうち第1の態様に係る検査治具は、プリンド配線板などの電子部品に備えられた検査端子に先端が接触される接触子、検査装置に接続する電極部を備えて、電極部は検査装置に接続されるコネクタ、そのコネクタから配線された電極を電極板の表面に中継部材と同軸に配設されてなり、接触子は導電性の接触針、コイルばね、中継部材からなり、接触針は先端、突出部、係止径部大径部又は連結部、中継部を有し、コイルばねは圧縮コイルばねからなり、中継部材は円筒の中継端、案内部、電極端からなり、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があり、中継部の外周にコイルばねと中継部材を直列に配置して接触子保持体に保持され、電極部に着脱可能に搭載され初期荷重を有し、電極の径は接触子の径より小さいものである。本発明のうち第2の態様に係る接触子は、プリンド配線板などの電子部品に備えられた検査端子に先端が接触され、基端と検査装置に接続されている電極とを接触する接触子において、接触子は導電性の接触針、コイルばね、中継部材からなり、同軸に配置されて使用され、接触針は先端、当該先端に連続して軸状部分である突出部、径の大きい大径部、中継部からなり、コイルばねは大径部に当接する係止端とばね定数部からなり、中継部材は内径が中継部より大きい円筒であり、ばね定数部と当接する中継端と、当該中継端と連続して、中継部と摺動する案内部と、電極に接触する電極端からなり、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があり、電極と検査端子とに圧接されて導電接触するものである。本発明のうち第3の態様に係る接触子は、プリンド配線板などの電子部品に備えられた検査端子に先端が接触され、基端と検査装置に接続されている電極とを接触する接触子において、接触子は導電性の接触針、コイルばね、中継部材からなり、同軸に配置されて使用され、接触針は先端と、当該先端に連続して軸状部分である突出部、連結部、中継部からなり、コイルばねは連結部の外周と連結されて接触針と1体になる係止端とばね定数部からなり、中継部材は内径が中継部より大きい円筒であり、ばね定数部と当接する中継端と、中継端と連続して、中継部と摺動する案内部と、電極に接触する電極端からなり、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があり、電極と検査端子とに圧接されて導電接触するものである。本発明のうち第4の態様に係る接触子は、上述の接触子において、コイルばねは線材の断面が矩形の異形線の圧縮コイルばねである。本発明のうち第5の態様に係る接触子は、導電性の接触針と、当該接触針に同軸に配置して使用される導電性の中継部材とを備え、接触針は、検査対象物電子部品の検査端子に接触する先端と、当該先端に続く軸状部分である突出部と、当該突出部より径の大きい大径部と、当該大径部より径の小さい中継部とを有しており、中継部材は、中継部より内径が大きい円筒体であり、一端が大径部に当接する中継端と、当該中継端と連続して圧縮コイルばねのばね定数部と、中継部と摺動する案内部と、検査装置に接触する電極端とを有し、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があるものである。本発明のうち第6の態様に係る接触子は、導電性の接触針と、当該接触針に同軸に配置して使用される導電性の中継部材とを備え、接触針は、検査対象物電子部品の検査端子に接触する先端と、当該先端に続く軸状部分である突出部と、当該突出部と連続して連結部と中継部とを有しており、中継部材は、中継部より内径が大きい円筒体であり、一端が連結部の外周と連結されて接触針と一体となる中継端と、当該中継端と連続して圧縮コイルばねのばね定数部と、中継部と摺動する案内部と、検査装置に接触する電極端とを有し、電極端は斜め角度の断面であり、曲げられて中心近傍に基端があるものである。なお以上に述べた本発明の態様は、本発明を網羅したものとは限らず、さらに広い概念により本発明を把握し得ることを否定するものではない。本発明のうち第1の態様に係るものに依れば、円筒部材の電極端の基端が中心近傍にあるので、小さな電極や、位置ずれのある場合にも確実に導電接触できる。これは、電極部の製作において、細径のエナメル線などのリード線を電極とする場合、位置ずれは発生するが電極孔に挿入と接着の作業が容易なクリアランスを確保できる小さな線径のリード線を使用することができることを意味する。電極端が斜め角度の断面であるので、電流の流れが逆流することなく円錐端と同等の電気特性を有する。初期荷重を有するので接触子内部の導電接続を確保でき、多数の接触子を使用する場合、接続の信頼性を増す。案内板又は接触子保持体が外せるので、組立と保守も容易である。本発明のうち第2ないし第6の何れかの態様に係るものに依れば、接触針と中継部材が同軸に重合した構成で、容量結合し交流抵抗のリアクタンスが周波数に比例して小さくなり、高周波の接続に適合する。中継部材は円筒部材からなるので製作は容易であり、電極端は斜め断面であり、曲げられて中心近傍に基端が形成されているので、円筒と円錐端の両機能を有し高品質でコスト低減することができる。電極端は斜め断面であるので、基端をプレス等で曲げて中心近傍に容易に形成することが出来る。本発明のうち第4、第5又は第6の態様に係るものに依れば、コイルばねの断面が矩形の異形線からなるので、コイルばねは円筒部材と同じ外径と内径にすることもでき体積比が高くなり、接触子の外径が明確になる。線厚が薄いと細巻が容易であり、線幅圧縮方向が大きいとばね定数は高くなり、細径の接触子として好都合である。円形線コイルばねと同じ内径で外径を細くできる。本発明のうち第1、第3又は第6の態様に係るものに依れば、部品を接合して係止部を形成することで、接触針は棒状部材の両端を加工して形成できるので、コストが低減される。本発明のうち第5又は第6の態様に係るものに依れば、接触子は2個の部品からなるのでコストが低減される。そして、信頼性も向上する。本発明のうち第6の態様に係ものに依れば、接触子が1体化されているので、組立と保守が格段に容易なものとなる。本発明のうち各々の態様に係るものの効果は、共通の手段として中継部材は円筒であり、電極部が斜め角度に切断されて、次に曲げられて最端部の基端が中心近傍に位置しているので、他の態様に係るものの効果になることがある。本発明の目的、特徴、局面、及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。接触子10と電極41を確実に導電接触させる目的を、円筒部材を使用して製作容易に実現した。以下、本発明の実施形態に係る検査治具1及び接触子10について添付図面を参照しながら説明する。本発明の接触子10を使用する検査治具1は、図1に示すように、複数の接触子10が接触子保持体30に保持されて、電極板42に着脱可能に装着されている。電極板42には図2に示す電極41が接触子10の中継部材13と同軸に配設されて支持体43に固着されている。支持体43はコネクタ45と共に治具ベース板46に固着されている。電極41とコネクタ45はリード線44で配線されて電極部40を形成している。検査治具1が検査装置に搭載されて、コネクタ45を介して電気的に接続される。接触子10の先端111が被検査プリント配線板の検査端子に圧接して電気特性を測定することができることになる。図2を参照しつつ、内部の構成を説明する。接触子10は接触針11、コイルばね12、中継部材13を同軸に配置されている。導電性金属の接触針11は先端111、突出部112、大径部113、中継部114からなる。先端111は導電接触を確実にするために60度の円錐となっている。突出部112は接触子保持体30の案内板31の案内孔311から伸縮可能に突出して被検査プリント配線板の検査端子との圧接を確保している。大径部113は接触子保持体30に保持されるために案内孔311より大きい径で軸方向に1mm程度の長さでコイルばね12も係止している。なお、案内孔311は、本発明の案内部の一具体例に相当する。また、大径部113の上面が当接する案内孔311の下端縁部は、本発明の係止部の一具体例に相当する。中継部114は外径がコイルばね12、中継部材13の内径より少し小さく、突出部112と反対方向に大径部113から延設して、コイルばね12と中継部材13の内側を同軸に案内している。圧接時、中継部材13の電極端133と干渉しない長さで90度の円錐の端末となっている。材質はSK4、表面処理は金めっきとしているが、先端形状と合わせて使用条件により各々を変更しても良い。案内板31には先端111を被検査プリント配線板の検査端子に案内し、大径部113を係止する案内孔311と、大径部113が軸方向に移動可能な径の案内貫通孔312を反対方向から加工し通孔されて係止の位置としている。コイルばね保持板32にはコイルばね12が伸縮可能な径のコイルばね保持孔321が案内貫通孔312と同軸に通孔されている。中継部材保持板33には同様に中継部材保持孔331が通孔されている。中継部材保持板33をコイルばね保持板32に重ねて整合して螺子止めし、次に案内板31をコイルばね保持板32に重ねて整合して螺子止めし絶縁性の接触子保持体30を形成している。なお、コイルばね保持孔321及び中継部材保持孔331は、本発明の筒状空洞部の一具体例に相当する。コイルばね12はピアノ線などの導電性の金属の圧縮コイルばねで、内径は中継部114より少し大きく、大径部113に係止される係止端121、圧縮コイルばねのばね特性を有するばね定数部122からなる。両端の端末処理はクローズドエンドの無研磨としている。コイルばね12は、接触針11を付勢してコイルばね保持板32に保持されている。コイルばね12の表面処理は接触針11と中継部材13に導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。電極41は電極板42に中継部材保持孔331と同軸の電極孔411にエナメル線などのリード線44が挿入されて接着剤411aで固定されて平面加工されている。図2において中継部材13と電極41とが同軸の中心近傍で導電接触している。電極41の表面処理も導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。電極41の製作において、細径のリード線44と電極孔411とのクリアランスを大きくすると挿入と接着は容易になるが電極41の位置ずれは大きくなる。この製作法は製作に適正なクリアランスに相当する位置ずれが発生するが、電極41として個別部品は要らず電極間隔を小さくできる。電極間隔は電極孔411の径と絶縁間隔との和となる。接触子10を垂直に保持すると電極孔411が最小の検査間隔を決めることになる。接触子保持体30に保持されて接触子10は電極部40に搭載されているので、コイルばね12に付勢が掛けられて圧接の前に初期荷重を有する。これは、内部接触の大径部113、中継部114、係止端121、ばね定数部122、中継端131、案内部132、基端133a図3A参照、電極41が導電接触している状態にあり、多数の接触子10の確実な導電接触を確保することができる。本発明の中継部材13について、図3A~図3Cを参照しつつ説明する。図3Aは中継部材13の正面図で円筒部材から形成されて、コイルばね11を係止する中継端131、接触針11の中継部114を内部に収容する案内部132、斜めに切断され中心に曲げられた電極端133、中心近傍で電極41に接触する基端133aからなる。図3Bはその側面図である。図3Cは円筒部材が切断された側面図である。斜め角度cの-60度で切断され、円筒部材を90度回転し斜め角度dの60度で切断し、円筒部材を180度回転し斜め角度dで切断した状態の図である。基端133aが形成された状態となる。略正面図は図3Aに近い。次に基端133aを中心に曲げる。円筒部材を図3Cの状態に固定する。方向eから凸型の当接工具を円筒部材の内面に当接する。そして、方向fから基端133aには当接しない凹型の押圧工具を所定位置まで圧接し各工具を元に戻す。これで、円筒部材は図3Bの状態となり中継部材13となる。材質は基端133aに接触圧が集中するので硬度が高いことが好ましく、加工性の良いベリリウム銅としている。表面処理は導電接触を確実にするため金めっきとしている。圧接時、中継部材13の案内部132と接触針11の中継部114は摺動し案内するので導電接触し、対向面積が最大となり容量結合交流結合もするので接触抵抗とコイルばねのインダクタンス交流抵抗特性の影響が小さくなる。先端111から入った電気は抵抗コイルばねを通ることなく中継部材13に流動し基端133aに集中して電極41と導電接触して検査装置に帰る。電極端133は斜めに切断されているので電気の流動に反転がなく流動し、基端133aは中心近傍にあるので円錐端と同様に電極41が小さく、位置ずれがあっても導電接触することができる。組立、保守の手順を図1、2を参照して説明する。コイルばね保持板32に中継部材保持板33を整合して重ねて螺子止めする。そして接着剤411aによるリード線44の固定も含めて組立完了した電極部40の電極板42に整合して螺子で固定する。先ず基端133aを前方に向けて、中継部材13の全体をコイルばね保持孔321に挿入する。次に、コイルばね12を挿入する。最後に接触針11の中継部114を前方に挿入する。そして、案内板31を整合して重ねて螺子でコイルばね保持板32に固定する。これで組立は完了する。不良の接触子10の交換は、案内板31を取り外して接触針11、コイルばね12、中継部材13を取り出し、良品に交換する。電極部41に不具合のある場合は、検査治具1を90度に設置して接触子保持体30を取り外し中継部材保持板33を上側にして、先端111を少し浮かして設置して修正処置する。各板を整合する場合、図には示していないが、複数の位置合わせピンと位置合わせ孔を整合すると機械的な位置が決まる構成になっている。接触子10の挿入された接触子保持体30を単体で取り扱う場合、中継部材13を下側にすると全ての接触子10が落下するので注意を要するが、作業は容易である。図4を参照しつつ説明する。接触針11aは0.1mmから0.2mmの棒状部材から形成されて同じ外径で突出部111、連結部115,中継部114が棒状部材の外周にある。コイルばね12aは線材の断面が矩形の異形線のコイルばね12aとなっている。材質はベリリウム銅としている。コイルばね12aの内径は棒状部材より少し大きく、両端の端面処理はオープンループの研磨で軸方向と直角の断面になっている。大径部113の位置に該当する位置にある連結部115にコイルばね12aの係止端121を挿入し溶接等で接合されることにより、係止端121が接触子保持体30に係止される機能を果たしている。ばね定数部122は荷重を受けると中継部114に案内されて伸縮しばね荷重を発生させている。なお、案内孔311は、本発明の案内部の一具体例に相当する。また、係止端121が当接する案内孔311の下端縁部は、本発明の係止部の一具体例に相当する。線材が軸方向の幅より直角方向の厚さが小さい図4の様な異形線のコイルばね12aは細巻きが容易でばね荷重特性は円形線と比較して高いので細径の接触子に好都合である。接触針11aは両端の端面加工だけで加工が簡素となる。図6を参照しつつ説明する。接触針11aは実施例2と同じである。中継部材13bは、内径が接触針11aより少し大きい導電性の円筒部材であって、連続して中継端131b、ばね定数部122b、案内部132b、電極端133、基端133aからなる。ばね定数部122bは円筒部材の中間に連続して形成されている。電極端133は実施例1と同様の加工で基端133aを形成している。中継端131bは接触針10aの連結部115の位置に溶接などで接合されて、実施例2と同様に接触子保持体30に係止されて保持される。本実施例では、接触針11aと中継部材13bとを接合するので1体化した接触子10bとなっている。中継部材13bの製造方法は、異形線のコイルばね12aと中継部材13図4参照との接合も可能であるが、円筒部材からの切削、エッチング又は電鋳電鋳プローブに関し、先行技術:特開2010-281607参照による形成などで一体に製造することが好ましい。材質はベリリウム銅、銅又はニッケル等の金属が好ましい。表面処理は金めっきとしている。連結部115との接合は、円筒であるので圧着カシメ加工が簡易であり好ましい。接触子10bの部品の構成が接触針11aと中継部材13bの2個となり、コスト低減する。そして、電気接続の信頼性も向上する。一体の接触子10bとなっているので、保守において、案内板31を取り外すと、不良の接触子10bの交換が容易にできる。また組立も同様に容易になる。実施例3では、接触子保持体30との係止を連結部115に中継端131bを接合して実現したが、実施例1の突出部111より径の大きい大径部113を有する接触針11を使用しても良い。図示しないが、図2において、コイルばね12と中継部材13とを圧縮コイルばねの機能を有する中継部材13b図6参照に置き換えたものである。また中継端131bをクロースドエンド円筒としたがオープンエンドでも良い。その他の実施例として、実施例2では、接触針11aと異形線のコイルばね12aとを接合したが、円形線のコイルばね12と接合しても良い。各部品の製作が容易である。係止端121を縮径しておくと接触針11aに挿入時に大径部113aを握着するので接合が容易になる。本発明の特定の実施形態についての上述の説明は、例示を目的として提示したものである。それらは、網羅的であったり、記載した形態そのままに本発明を制限したりすることを意図したものではない。数多くの変形や変更が、上述の記載内容に照らして可能であることは当業者に自明である。本出願は、2010年9月21日に日本国に本出願人により出願された特願2010-210682号に基づくものであり、その全内容は参照により本出願に組み込まれる。"