"接触走査式座標測定器1の動作の準備をする方法、特に、座標測定器1に配置されたプローブ3,8を用いて校正部品2,4を接触走査することにより座標測定器1の校正の準備をする方法であり、表面測定器21を用いて、座標測定器1のプローブ部品としての球の理想形状から逸脱した探針ボール3の表面を計測して、或いは校正標準器としての球の理想形状から逸脱した校正ボール2,4の表面を計測して、探針ボール又は校正ボール2,4の座標系における探針ボール又は校正ボール2,4の複数の実際の表面点の座標を決定する工程と、探針ボール3又は校正ボール2,4の基準指標14;15;16を探針ボール3又は校正ボール2,4の座標系と関連付ける工程と、接触走査式座標測定器1の測定領域内において接触走査式座標測定器1に探針ボール3を取り付ける、或いは校正ボール2,4を配置する工程と、探針ボール3又は校正ボール2,4の座標系を座標測定器1の座標系と関連付けて、それにより、座標測定器1の座標系における探針ボール3又は校正ボール2,4の実際の表面点の位置に関する情報が得られる、或いは決定可能となる工程と、を有する方法。座標測定器1の座標系における基準指標14;15;16の位置と向きを接触走査式座標測定器1の座標測定系を用いて決定する請求項1に記載の方法。当該の基準指標が、校正ボール2,4又は探針ボール3の形状指標或いは校正ボール2,4又は探針ボール3と固定的に連結された対象物の形状指標である請求項1又は2に記載の方法。校正標準器2,4の座標系を座標測定器1の座標系と関連付ける工程と、KMGに取り付けた探針ボール3を用いた校正標準器2,4の走査及び/又はKMGに取り付けた探針ボール3のシャフト8を用いた校正標準器2,4の走査により走査情報を取得する工程と、この走査情報を評価することにより、KMGの座標系における探針ボール3の基準指標14;15;16の位置と向きを検出する工程と、を更に有する請求項1から3までのいずれか一つに記載の方法。校正ボール2,4を用いて座標測定器1の探針ボール3を校正する方法であり、校正ボール2,4に関して請求項1から4までのいずれか一つに記載の方法の工程を実行し、更に、所定の、或いは算出した走査方向から探針ボール3を用いて校正ボール2,4を接触走査する工程と、この走査方向と、別個の一つの表面測定器21又は別個の複数の表面測定器を用いた探針ボール3及び校正ボール2,4の表面の計測結果とから、校正ボール2,4の走査時に探針ボール3が接触する少なくとも一つの接触点7の座標を算出する工程と、任意選択により、走査方向を変化させて、別の接触点を走査して算出する工程を繰り返す工程、即ち、それぞれ走査方向と、探針ボール3及び校正ボール2,4の実際の表面点の位置に関する情報とから、少なくとも一つの接触点の座標を算出する工程と、を有する方法。接触走査式座標測定器1により物体の座標を決定する方法であり、探針ボール3に関して請求項1から4までのいずれか一つに記載の方法の工程を実行し、更に、所定の走査方向から探針ボール3を用いて物体を走査するか、或いは探針ボール3を用いて物体を走査し、探針ボール3を用いて物体を走査した走査方向を算出する工程と、この走査方向と、別個の表面測定器21を用いた探針ボール3の表面の計測結果とから、走査時に探針ボール3が物体と接触する少なくとも一つの接触点7の座標を算出する工程と、を有する方法。請求項5に記載の方法に基づき探針ボール3を事前に校正する請求項6に記載の方法。検査ボールを用いて座標測定器1の探針ボール3を検査する時に検査値を補正する方法であり、検査ボールと探針ボール3を用いて請求項1から4までのいずれか一つに記載の方法の工程を実行し、更に、探針ボール3の複数の実際の表面点の座標を座標測定器1に保存する工程と、検査ボールの複数の実際の表面点の座標を座標測定器1に保存する工程と、所定の、或いは算出した走査方向から、探針ボール3を用いて検査ボールを走査する工程と、この走査方向と、探針ボール3及び検査ボールの実際の表面点の座標とから、検査ボールと探針ボール3の間の少なくとも一つの接触点7の座標を算出する工程と、任意選択により、走査方向を変化させて、少なくとも一つの別の接触点の座標を走査して算出する工程を繰り返す工程と、を有する方法。表面測定器21と接触走査式座標測定器1を備えたシステムであり、この座標測定器1が、走査部品として球の理想形状から逸脱した探針ボール3を有するか、或いは座標測定器1の測定領域に球の理想形状から逸脱した校正ボール2,4を校正標準器として配置しており、この座標測定器1の制御部5は、座標測定器1が探針ボール3を用いて物体2,4を接触走査するか、或いはプローブを用いて校正ボール2,4を接触走査して、それから得られた走査情報を評価し、それにより探針ボール3又は校正ボール2,4の座標系を座標測定器1の座標系と関連付ける形で座標測定器1の動作を制御するように構成されており、この座標測定器1の制御部5は、表面測定器21による探針ボール3又は校正ボール2,4の表面の計測から得られた理想的な球形状に関する測定値又はそれから得られたボール2,3,4の表面情報を探針ボール3又はプローブを用いて接触走査した物体、特に、校正ボール2,4の座標を取得するために使用するように構成されている、システム。本発明の課題は、曖昧さが小さい形で接触走査式KMGの動作の準備をすることである。本発明の基本的な考えは、表面測定器により校正ボール及び/又は探針ボールを別個に計測することと、その測定結果をKMGの測定結果に転換することとである。そのため、測定結果は、校正ボール及び/又は探針ボールを用いるKMGの動作時において、その他の点で従来通りの全体プロセスのために使用可能となる。そのようなプロセスは、特に、プローブの校正測定例えば、加工物の接触走査のためにプローブを使用する準備のための校正、例えば、所定の精度クラスの使用準備段階の機器としてKMGを認証することを目的とするKMGの検査、一つ以上の校正標準器の検査、KMGに順番に組み込む複数のプローブの比較、並びに一つ以上の加工物の座標を計測する時のプローブ部品として探針ボールを備えたプローブの所定通りの使用である。そのような一つ以上のボールの別個の計測によって、真円度偏差を高精度で決定でき、そのため、例えば、所定の表面点でのボールの半径を正確に知ることが可能となる。従って、ボールのその表面点とそれに対応してそれ以外の多数の表面点での許容誤差を別個の表面測定器の測定精度に応じて非常に小さい許容範囲に低減できる。そのため、特に、所謂マイクロプローブ、即ち、マイクロメートル範囲以下のプローブ部品を備えたプローブを用いて加工物を計測する分野で使用される。そのような分野では、探針ボールを別個に計測しないと、百分率で特に大きな許容誤差が生じる。しかし、マイクロプローブの分野では、校正ボールの表面トポグラフィ即ち、表面形状を正確に知ることも有利である。校正ボールの半径の許容誤差だけが既知である場合、校正ボールの接触走査によるマイクロプローブの校正測定時に許容誤差が直接マイクロプローブに送られる。特に、接触走査式座標測定器の動作の準備をする方法、特に、座標測定器に配置されたプローブを用いて校正部品を接触走査することにより座標測定器の校正の準備をする方法を提案し、その方法は、次の工程を有する。表面測定器を用いて、座標測定器のプローブ部品としての球の理想形状から逸脱した探針ボールの表面を計測して、或いは校正部品としての球の理想形状から逸脱した探針ボールの表面を計測して、探針ボール又は校正ボールの座標系における探針ボール又は校正ボールの複数の実際の表面点の座標を決定する工程、探針ボール又は校正ボールの基準指標を探針ボール又は校正ボールの座標系と関連付ける工程、接触走査式座標測定器の測定領域内において接触走査式座標測定器に探針ボールを取り付ける、或いは校正ボールを配置する工程、及び探針ボール又は校正ボールの座標系を座標測定器の座標系と関連付けて、それにより、座標測定器の座標系における探針ボール又は校正ボールの実際の表面点の位置に関する情報が得られる、或いは決定可能となる工程。この関連付けるとは、二つの座標系短縮してKSにおいて、一方のKSの座標から他方のKSに関する座標を知る、或いは決定できることを意味する。この関連付けるとは、基準指標において、KSにおける基準指標の場所と向きに関する情報を取得する、或いは決定できることを意味する。従って、特に、座標測定器の座標系における基準指標の位置と向きを決定でき、その結果、座標測定器の座標系における実際の表面点の位置が分かる。この方法により、特に、理想的な球と比べた校正ボール又は探針ボールの表面点の半径誤差を検知することと、その偏差をプローブの校正特に、校正測定時又は探針ボールを用いた走査による加工物の計測時に考慮することとが可能である。それに代わって、或いはそれに追加して、異なる表面点を絶対的に、即ち、理想的な球の半径ではなく、例えば、理想的な球のKSに関連付ける、決定する、或いは考慮することができる。ボールの形状及び/又は形状誤差を決定するための別個の表面測定器は、特に、フィゾー位相干渉計である。同じく表面測定器として使用できる特別な干渉計は、ドイツ国ブラウンシュヴァイク市のフィジカリッシュテクニッシェンブンデスアンシュタルトPTB社の球干渉計である。本来は1nm以下の曖昧さによる正確な直径測定により球形の対象物の体積を決定することを構想していた。しかし、PTB社は、この球干渉計を用いて方向に依存する半径情報を決定できることに関しても既に報告している。ボールの幾つかの表面セグメントが、それらの形状に関して計測されており、それらの表面セグメントが部分的に重なり合っている。そのような表面セグメントから、球面の絶対的な形に数ナノメートルの精度で一致する、より大きい表面領域を構成している。より普遍的な形態では、表面測定器として、有利には、干渉計、即ち、第一の電磁測定ビームを用いて球面を走査して、第二の基準ビームと比較することによって、この第一の測定ビームが進んだ、表面点の具体的な半径に依存する経路の経路差を干渉方式で計測する機器が用いられている。同様に、それ以外の表面測定器、例えば、形状検査器を使用できる。形状検査器とは、所定の物体例えば、回転対称な物体の形状偏差を高い精度で検出して、評価できる接触走査式座標測定器であると解釈する。一つの形式の形状検査器は、回転テーブルを有し、その上には、検査する物体が機器の底部に対して相対的に回転可能な形で配置されている。その機器は、回転テーブルの異なる回転位置で接触走査により物体を計測する。別の形式の形状検査器では、その機器により検査物体を走査するためのプローブ部品は、その機器の別の可動部分に対して相対的に回転軸の周りを回転することが可能である。そのような機器は、回転スピンドル機器とも呼ばれれる。更に、加工物を計測するために、プローブ部品として探針ボールを用いた、或いは特に、プローブの校正測定又はKMGの検査認証を行なうために、その測定領域に校正ボールを配置した座標測定器所謂目標KMGを表面測定器として使用することが可能である。従って、その場合、追加の表面測定器は存在しない。しかし、その場合、探針ボール自体が場合によっては、校正ボール及び/又は検査ボールも、ボールの実際の表面形状を検出するために、KMGに取り付けた別のプローブによる走査によって接触走査される測定物体となる。それに代わって、或いはそれに追加して、基本的にKMGの光学センサにより探針ボールの表面を光学的に計測する方法も可能である。同様に、校正ボールの表面形状の計測に関して、目標KMGを使用できる。例えば、校正ボールの表面は、形状が非常に正確に分かっている、KMGに組み込まれたプローブを用いて接触走査される。一般的に、ボールの実際の表面形状を計測することを目的として目標KMGを用いる場合、KMGの動きが生じる自由度を制限するのが有利である。それによって、表面測定の精度を向上できる。特に、形状検査器による球面の計測は、形状検査器の座標系において、ボールの二つの異なる向きで行なわれる。そのようにして得られた球面の計測の少なくとも二つの異なる部分測定結果は、ここでは干渉計に基づき説明されている通り、ボールの表面に関する全体的な表面情報として組み合わせることができる。従って、要約すると、ボールの表面の計測が、特に、目標KMGとすることができる、特に精密に測定できる接触走査式KMGを用いて行なわれる場合、ボールの異なる表面領域を走査するために、一つの回転軸が存在し得る、即ち、加工物及び/又はプローブ部品が一つの回転軸の周りを回転できると結論付けることができる。特に、KMGの動きが生じる直線的な自由度は、通常回転運動の場合よりも大きな測定誤差を引き起こすので、そのような直線的な自由度を制限又は阻止することができる。表面測定器を用いた探針ボール又は校正ボールの表面の計測は、有利には、球セグメント測定として行なわれる。複数の球セグメントの表面は、例えば、間接的に測定器の座標系と関連して、或いは隣接する球セグメントの測定領域の重なり合いのベストフィット即ち、最適化計算によって、探針ボール又は校正ボールの一つの計測する表面領域又は探針ボール又は校正ボールの一つの完全な表面に組み合わせることができる。そのような二つの座標系の関連付けは、レジストレーションとも呼ばれており、特に、変換規則、例えば、一方の座標系から他方の座標系に座標を変換するための変換行列を与える。特に、探針ボール又は校正ボールの座標系における探針ボール及び/又は校正ボールの複数の実際の表面点の座標は、表面測定から決定される。一つの特別な実施構成では、実際の校正ボール又は探針ボールの球の理想形状からの偏差値が検出される。特に、表面測定により決定されたプローブ部品又は校正測定部品の複数の、特に、全ての実際の表面点は、同じ半径方向に存在する理想的な球の理想的な表面点と比較されて、実際の表面点と理想的な表面点の間隔が決定される。この実際の表面点と理想的な表面点の間隔は、偏差の方向を表すための正負符号を備えた偏差値である。本方法の一つの実施構成では、座標測定器の座標系における探針ボール及び/又は校正ボールの基準指標の位置及び向きが接触走査式座標測定器の測定システムを用いて決定される、例えば、校正ボールの基準指標が、KMGに配置された接触式基準プローブ即ち、形状と、例えば、曲げ剛性などの別の特性とに関して正確に既知であるプローブを用いて決定される。この場合、基準指標は、座標を接触式に決定可能とする一つ以上の基準点を有する。この基準指標は、別個の表面測定器の座標系の探針ボール又は校正ボールの座標系への空間的な関連付け及び/又は探針ボール又は校正ボールの座標系とKMGの座標系の間の空間的な関連付けに適した如何なる検出可能な指標とすることもできる。例えば、ボールが一つ以上の磁極対を有し、その位置と向きをKMGに配置された磁界センサを用いて検出できる。しかし、特に、KMGに組み込まれた接触式プローブを用いて走査できる基準指標としては、形状指標が有利である。探針ボール又は校正ボールの座標系は、例えば、デカルト座標系又は球座標系とすることができ、後者が有利である。探針ボール又は校正ボールの座標系の原点ゼロ点は、探針ボール又は校正ボールの中心に置くことができるが、それに限定されない。それに代わって、原点を探針ボール又は校正ボールのシャフト内に置くか、或いは基準指標の点とすることができる。探針ボール又は校正ボールの基準指標は、特に、形状指標、即ち、ボール及び/又はボールと固定的に連結された対象物特に、ボールを別の対象物に固定又は設置するためのシャフト、例えば、棒状のシャフトとすることができ、形状指標の所定の形状及び/又は位置と向きに基づき任意の座標系におけるボールの位置と向きを検出できるような形状に所定の手法で構成されている。従って、特に、形状指標に基づき、KMGの座標系におけるボールの位置と向きを検出できる。特に、この形状指標は、校正ボール又は探針ボールのシャフトにおける一つ以上の隆起又は窪みとして構成され、有利には、接触走査式座標測定器を用いて決定することが可能である。例えば、特に、探針ボールを備えたプローブピンの場合には、ボールのシャフトに、形状指標として平坦に研磨された面平らな面を形成することができる。この場合、有利には、この面の垂直二等分線は、シャフトの中心軸と直角に交差するような方向を向く。この場合、シャフトの中心軸この中心軸に関して、例えば、シャフトは、平坦に研磨された面を除いて対称的であるの延長線は、有利には、探針ボールの球中心点を通って延びる。この探針ボールは理想的な球形ではないので、球中心点は一義的に定義できない。しかし、実際には、理想的な球形である場合のように、シャフトの中心軸の延長線上の一つの点を球中心点として定義して、KMGの動作のために用いることができる。例えば、補正又は理想的な球形からの偏差をこの仮定した球中心点と関連付けることができる。特に、KMGの動作のために、球中心点から探針ボールが加工物又は校正ボールを走査する探針ボールの表面上の点までを指し示す走査ベクトルを従来技術で周知の通り定義することができる。一方のボールの座標系と他方の座標測定器の座標系の間を関連付ける場合、特に、前記の探針ボール又はそれ以外の探針ボールを用いたKMGの接触走査プロセスによって、平坦に研磨された面又はそれ以外の形状指標を走査して、それによりKMGの座標系における平坦に研磨された面の座標を検出できる。特に、平坦に研磨された面が探針ボールのシャフト自体に有る場合、形状指標を用いて校正標準器例えば、校正ボールを走査できる。それから、例えば、KMGの座標系における平坦に研磨された面の垂直二等分線とそのためボールの位置及び向きを又もや検出できる。平坦に研磨された面に代わって、或いはその面に追加して、特に、ボールのシャフトに別の形状指標を規定して、ボール及び/又はそのシャフトに構成することができる。特に、所定の形状を有するシャフト又はボール上の突起、シャフト内又はボール内のシャフト近傍の穴、複数の突起及び/又は穴や溝の配列例えば、三連球、即ち、互いに相対的な所定の位置に有る三つの球形の隆起が好適である。例えば、円筒形の縦軸が互いに平行に延びるか、或いは共通の単一点の方向に向かって互いに延びる三つの円筒形の突起を配置することもできる。例えば、校正ボールの形状指標の別の例は、周知のサイズのプローブを用いて複数の点を走査できる円錐形の窪みである。それから、例えば、円錐軸の位置と向きを、そのためKMGの座標系との関連を一義的に決定することができる。特別な実施形態では、本方法は、次の工程を有する。校正標準器例えば、校正ボールの座標系を座標測定器の座標系と関連付ける工程、KMGに取り付けた探針ボールを用いた校正標準器の走査及び/又はKMGに取り付けた探針ボールのシャフトを用いた校正ボールの走査によって、走査情報を取得し、その場合に、校正標準器は、特に、形状指標として構成された基準指標を用いても、或いは専らその基準指標を用いて走査される工程、走査情報を評価することによって、即ち、探針ボールの座標系をKMGの座標系と関連付けることでKMGの座標系における探針ボールの基準指標の位置と向きを算出する工程。より一般的な形で述べると、この実施形態では、KMGに取り付けた探針ボール自体が、二つの座標系の間の関連付けのために使用される。この場合、有利には、校正ボールは、探針ボールの形状指標として構成された基準指標を用いて走査され、それによって、KMGの座標系における探針ボールの基準指標の位置と向きに関する情報が得られる。それから、探針ボールの座標系とKMGの座標系の間を関連付ける。有利には、校正ボールは、先ずは表面測定器により計測され、次にKMGの測定領域内に配置される。次に、接触走査式座標測定器の測定系を用いて、座標測定器の座標系における校正ボールの基準指標の位置と向きを決定することができる。そのために、基準プローブ、例えば、形状が正確に既知である、特に、球形の基準プローブを使用できる。それによって、校正ボールの座標系を座標測定器の座標系と関連付けて、それにより、KMGの座標系における校正ボールの全ての表面点の正確な位置が分かるか、或いは少なくとも算出可能である。次に、探針ボールの基準指標の位置と向きを決定するために校正ボールを使用して、それにより探針ボールとKMGの座標系を関連付けることができる。この場合、特に、探針ボールの基準指標を用いて、校正ボールの球面も接触走査する一方、探針ボールをKMGに組み込む。有利には、基準指標は、前述した通りの形状指標である。探針ボールの形状指標は、探針ボール自体に、例えば、加工物の走査に使用されない探針ボールの表面の領域に配置することができる。それに代わって、探針ボールの形状指標は、例えば、隆起又は窪みの形の探針ボールと固定的に連結された対象物に、特に、探針ボールのシャフトに配置することができる。校正ボールは、前述した通り、KMG全体の精度又は機能性を検査するための検査ボールとすることができる。本明細書に記載された校正ボール又は校正測定ボールに関して述べた本方法の全ての工程は、検査ボールに対しても、或いは検査ボールに関して実行することができる。そのことは、特に、別個の表面測定器を用いた検査ボールの表面トポグラフィの計測に関して言える。プローブシャフト上の隆起又は平坦部の形の形状指標を検出するために、プローブシャフトを用いて校正ボール又はそれ以外の校正標準器を走査することができる。例えば、プローブシャフトを用いて、一方の形状指標、しかもシャフトの別の位置と他方の校正標準器の表面との間を持続的に接触させて校正標準器をなぞるスキャンすることができ、その結果形状指標の位置と向きが決定される。別の観点では、本発明は、校正ボールを用いた座標測定器の探針ボールの校正方法に関し、前述及び/又は後述する方法又はその実施形態の方法の工程が実行され、更に、次の工程が実行される。所定の、或いは算出した走査方向この算出は、走査中及び/又は走査後に行なうことができるから探針ボールを用いて校正ボールを接触走査する工程、前記の走査方向と、別個の一つ表面測定器又は別個の複数の表面測定器を用いた探針ボール及び校正ボールの表面の計測結果とから、走査時に探針ボールが校正ボールと接触する少なくとも一つの接触点の座標例えば、半径を計算する工程、任意選択により、走査方向を変更して別の接触点を走査して計算する工程を繰り返す、即ち、それぞれ走査方向と探針ボール及び校正ボールの実際の表面点の位置に関する情報とから少なくとも一つの接触点の座標を計算する工程。KMGが別個の一つ表面測定器又は別個の複数の表面測定器を用いた探針ボール及び校正ボールの表面の計測結果にアクセスできるようにするために、探針ボール及び/又は校正ボールの表面トポグラフィに関する情報を座標測定器によるアクセスのために保存することができる。更に、任意選択により、探針ボール又は校正ボールの座標系からKMGの座標系への座標変換のための変換情報をKMGによるアクセスのために保存することができる。そして、KMGは、探針ボール又は校正ボールの表面トポグラフィに関する情報をKMGの座標系に変換することができる。許容誤差無しで、或いは小さい許容誤差により、探針ボール及び校正ボールの表面の計測に基づき接触点が計算されるので、特に、このようにして、より精密に探針ボールの校正プロセスを実行することができる。接触走査式KMGの探針ボールの球中心点の位置に関する情報を用いて、球中心点から見て探針ボールにより物体を走査する走査方向を定義することは、従来技術により既に知られている。探針ボールにより走査される物体の点の座標を計算するためには、多くの場合走査ベクトルの知見又はそれと同等の情報が必要である。走査ベクトルは、探針ボールの球中心点から出発して、走査方向に探針ボールが物体と接触する探針ボールの表面上の点にまで延びる。例えば、KMGが探針ボールを介して物体に加える走査力、物体の走査時のプローブの例えば、探針ボールを備えたプローブピンの自由端における偏位及び/又は走査する物体に関する予め既知の情報からKMGの形式毎に走査方向を決定することが知られている。本発明でも、走査方向を周知の手法により決定することができる。ここで、例えば、表面測定器を用いた探針ボールの事前の計測及び/又は校正標準器の走査、例えば、校正ボールの走査による探針ボールの校正によって正確な球面トポグラフィが分かっている場合、球中心点の位置と走査方向が分かると、走査ベクトルの長さ又はそれに対応する同等の情報例えば、走査が行なわれたボールの表面点の位置を決定することができる。このようにして、走査ベクトルが決定された場合、従来技術により周知の通り、物体の走査された表面点の座標を決定する更に別の方法を実行することができる。従って、ここで述べた本発明の実施例では、探針ボールの各表面点に関して有効な走査ベクトルの一定の長さを出発点とするのではなく、特に、走査方向毎に走査ベクトルの長さ又はそれと同等の球面トポグラフィに関する情報を計算している。理想形状から逸脱したボールの場合、最早中心点を一義的に定義できないので、前述した実施構成のために中心点を定義し、そのため走査ベクトルを決定するために走査ベクトルの初期点を確定することができる。別個の表面測定器によりボールの表面を計測する場合、ボールの座標系と関連する表面測定の結果が保存された時に漸く球中心点を定義することができる。例えば、ボールの座標系の原点が凡そボールの重心の領域内に有る場合場合により重心を決定する場合、例えば、シャフトを固定するためのボール内の溝が無視される、その原点を球中心点として確定することが可能である。しかし、座標系の原点は、ボール外のシャフト内に置くこともでき、例えば、球中心点をボール内部のシャフトの対称軸の延長線内に定義することができる。探針ボールの複数の実際の表面点の座標と校正ボールの複数の実際の表面点の座標は、例えば、KMGの制御部に、例えば、ファイルの形で保存することができる。特別な実施構成では、校正測定部品/プローブ部品の算出された実際の表面点に関して、校正測定部品の実際の表面点とそれと隣接する理想的な球形状の校正測定部品/プローブ部品の理想的な表面点との間隔を計算して、それらの間隔を補正値として座標測定器に保存することも可能である。更に一つの観点では、本発明は、接触走査式座標測定器、即ち、KMGの所定通りの動作により物体の座標を計測する方法に関し、本発明又は前述及び/又は後述の探針ボールに関する実施形態による方法の工程が実行され、更に、探針ボールを用いて所定の走査方向から物体を走査するか、或いは探針ボールを用いて物体を走査して、探針ボールを用いて物体を走査する走査方向を算出する工程と、この走査方向と、別個の表面測定器による探針ボールの表面の計測結果とから、走査時に探針ボールが物体と接触する少なくとも一つの接触点の座標を計算する工程と、が実行される。KMGが別個の表面測定器を用いて探針ボールの表面の計測結果にアクセスできるように、特に、探針ボールの表面トポグラフィに関する情報を座標測定器によるサクセスのために保存することができる。更に、任意選択により、探針ボールの座標系からKMGの座標系への座標変換のための変換情報をKMGによるアクセスのために保存することができる。そして、KMGは、探針ボールの表面トポグラフィに関する情報をKMGの座標に変換することができる。本発明のこの観点は、探針ボールの表面トポグラフィを別個の表面測定器を用いて計測でき、幾つかの表面点に関して半径即ち、球中心点からの間隔が存在し得る許容誤差が、全ての表面点に関して規定される許容誤差よりも非常に小さいとの考えに基づいている。従って、これらの表面トポグラフィに関する情報をKMG又は加工物の座標系に移行した後、それに対応して低下した曖昧さで加工物の表面上の走査点、即ち、接触点を算出することができる。有利には、本方法では、事前に探針ボールを用いた校正測定が、前述した通り実行される。以下において、既に述べた方法と独立して、或いはそれに追加して実行できる本発明の別の観点を説明する。本発明と関連して、校正標準器の走査によるプローブの校正測定を実行する場合、その校正測定は、有利には、再現可能な誤差成分と再現不可能な誤差成分を特定し、そのため互いに分離できるように、それと異なる従来の校正測定と比べて、明らかに増加した数の表面点により実行される。高精度なKMGと形状を補正した、或いはほぼ理想的な校正ボールを用いて、表面測定器を用いた計測の代わりに、校正測定とも呼ばれる校正によって、探針ボールの形状誤差を検出することができる。この場合、校正ボールの走査による補正すべき探針ボールの校正測定時に、例えば、ボールの形状偏差値として、探針ボールの形状誤差を検出して、KMGに記憶しておくことができる。本発明の目的に適うこととして、この形状偏差値の検出は、走査時における運動の自由度の数を非常に限定した形で実行される。例えば、そうしなければ可能であったプローブ及び/又はKMGの動きが、例えば、機械的な挟持によって阻止される。それにより、高精度なKMGを用いて、ボールの短い波形の形状誤差も検出することができる。この前に、短い波形の形状誤差との用語を使用した。それは、理想的な球形と比べたボールの形状偏差が表面に渡って固定的に分布した形では起こらないとの知見に基づく。むしろ、それぞれ関連する表面領域は、球中心点に対して間隔を大きくしてゆく即ち、半径が大きくなってゆくか、或いは小さくなってゆく即ち、半径が小さくなってゆく形で存在する。この場合、当然のことながら関連する表面領域内の個々の表面点の間隔も同じく変化する可能性が有る。短い波形の形状誤差とは、特に、例えば、立体的な極座標、即ち、球座標で観察して方位角及び/又は極角の数度の角度範囲に渡って変化する、特に、ほぼ周期的に変化する、そのような理想的な球形からの形状偏差であると解釈する。そのようにして検出した探針ボールの形状誤差は、本発明の明細書で説明した全ての方法において考慮及び/又は補正することができ、この形状誤差は、有利には、表面測定器を用いて検出した形状誤差に代わって考慮される。この形状誤差は、KMGに、例えば、KMG制御部にファイルとして保存することができる。一般的に、KMGに情報を例えば、KMGの制御部がアクセスするデータメモリに相応のデジタルデータフォーマットで保存する代わりに、KMGから分離されたメモリに保存し、そして、KMGがその動作のためにこのメモリにアクセスできることは、本発明のこの観点に関してだけ成り立つことではない。更に、全ての場合に、形状誤差ではなく、ボールの個々の表面点の座標又はそれと同等の位置に関する情報を直接保存することが可能である。一つの座標系と関連した表面点の座標又はそれと同等の情報の保存を別の座標系一方の別個の表面測定器の座標系と他方のKMG又はボールの座標系と関連付けることを考える場合、目標の座標系で座標を保存する代わりに、元の座標系から目標の座標系に座標を変換するための情報を保存することができる。そのような情報をボール、例えば、探針ボールと関連付ける場合、その情報を別のボールに関する情報と共に、例えば、共通のデータベースに記憶することができる。例えば、インターネット又はそれ以外のデータ伝送接続を介して、KMGからデータベースにアクセスすることができる。それに代わって、或いはそれに追加して、ボール又は校正標準器は、識別指標、例えば、コンピュータ読取可能なチップ、光学読取機により検出可能なバーコード又は電磁界を用いて非接触式に読取可能な識別データを格納した所謂タグを備えることができる。そのようなタグは、特に、所謂RFIDタグとして知られている。従って、KMGの制御部は、特に、識別指標を用いてプローブ及び/又は校正標準器を識別して、プローブ及び/又は校正標準器の形状及び/又は形状誤差に関する付属情報を入手する、特に、中央データベースから読み出すことができる。ボールの表面が別個の表面測定器では、或いはそれだけでは決定できず、例えば、座標測定器の測定領域内での探針ボールを備えたプローブの校正測定により決定される場合、例えば、ボールの表面形状のモデル例えば、本明細書の別の箇所で言及する楕円モデルを使用して、そのモデル内の特徴的な点、例えば、楕円の三つの主軸の交点を球中心点として定義することができる。このモデルのパラメータが校正測定により即ち、校正により検出された後、球中心点の位置も確定される。KMGの動作の現状において、加工物又はそれ以外の物体例えば、校正ボールを加工物又は物体の座標系で走査する時には、多くの場合走査ベクトルが算出される。この走査ベクトルが未だ探針ボールの球表面トポグラフィに関する追加情報に関して補正されていない場合、例えば、従来技術により周知の通り算出した近似走査ベクトルを探針ボールの座標系に変換することができる。この場合、先ずはKMGの座標系への変換とKMGの座標系から探針ボールの座標系への新たな変換を行なうことができる。探針ボールの座標系では、球表面トポグラフィに関する追加情報が既知であり、そのため、走査ベクトルを補正することができる。それに代わって、加工物又は物体の座標系において、走査方向と走査ベクトルが延びる直線上の一つの点だけを知って、この点の位置とこの直線又はベクトルの方向を探針ボールの座標系に変換することができる。この位置は、例えば、加工物又は物体の表面上を走査した表面点の位置である。特に、探針ボール又は校正ボールの座標系における球表面トポグラフィに関する追加情報を立体的な極座標で規定して、更なる用途のために記憶することができる。従って、位置が既知であるボールの表面上の点は、方位角及び極角とボールの半径に対応する球中心点までの間隔とによって定義される。校正測定の場所では、再現可能なKMG残留誤差がプローブの校正測定を劣化させる可能性が有る。KMGの再現可能な位置に依存する誤差は、以下で述べる通り、仮想的なボールを用いて規定できる。この仮想的なボールがKMGの座標系で定義されるか、或いは少なくともKMGの座標系に変換するための情報が既知である。そのようなKMGの再現可能な誤差は、例えば、KMGの部分例えば、アームの重量と回転モーメントとの意味のモーメントに起因する。例えば、KMGのアームがその最終位置にまで動かされて、そのアームが、例えば、水平方向に延ばされた場合、加工物の走査時の測定結果を再現可能な形で劣化させる曲げモーメントが発生する。従って、仮想的なボール上の少なくとも幾つかの点に関して、仮想的なボールの理想的な球形状からの如何なる偏差がKMGの再現可能な誤差に相当するのかを校正によって確認する。しかし、例えば、KMGのアームがKMGの制御部により制御される形でKMGの座標系で目標位置に動かされた場合、その目標位置には存在せず、別の位置において、目標位置から実際の位置を指し示すベクトルが、KMGの動作中に加工物又はそれ以外の物体を走査する時に実行できる補正分を定義することとなる。特に、KMGが加工物を接触走査するためのプローブの校正測定時に、そのような再現可能な誤差を考慮することができる。校正測定時には、例えば、校正ボール又は別の校正標準器がプローブを用いて走査される。KMGの再現可能な誤差は、そのような校正測定を劣化させる。この校正標準器が校正ボールである場合、KMGの目標位置例えば、プローブの探針ボールの球中心点の目標位置は、校正ボールの球中心点の周囲における仮想的なボールの球面上に有る。従って、KMGの再現可能な位置に依存する誤差は、校正ボールの球面のその理想的な形状からの偏差として看做すことができる。従って、KMGの再現可能な位置に依存する誤差の補正は、校正ボールの実際の球面の理想的な球面からの偏差に基づく補正と同じ手法で実行することができる。更に、そのような実際の球面の理想的な形状からの偏差に関する情報が得られた一般的な場合、球面トポグラフィに関する情報が得られた場合、KMGの再現可能な位置に依存する誤差を考慮するとともに、それに対応して校正ボールの球面トポグラフィを変化させるための補正値を考慮することができる。それは、校正ボールの理想的な球形に対応する簡単な場合に成り立つ。そのため、仮想的な球面が得られ、それを考慮して、校正ボールの球面を走査することによるプローブの校正測定プロセス中にKMGの再現可能な位置に依存する誤差が補正される。KMGの再現可能な位置に依存する誤差は、本発明の明細書で述べた全ての方法において考慮又は補正することができる。そのために、再現可能な位置に依存する誤差をKMGに、例えば、ファイルとしてKMG制御部に保存することができる。再現可能な位置に依存する誤差を考慮/補正する方法では、校正ボールの場所におけるKMGと、形状を補正した、或いは正確な校正ボールの所における形状を補正した、或いは正確に製造した探針ボールとを用いて校正測定を実行することができ、これらのボールの任意の組合せを採用することができる。再現可能な位置に依存する誤差の補正は、KMGの誘導誤差の補正と関連させることができる。有利には、再現可能な位置に依存する誤差の補正は、例えば、レーザ校正又は直角度補正値の変更によって、その誤差を変更して、有利には、位置に依存する誤差を新たに決定した場合には省略できる。本発明の全ての方法は、球形ではなく、例えば、球や円筒形などのそれ以外の形状を有するプローブ、校正測定部品又は検査部品を用いても実行可能である。更に、表面測定器と接触走査式座標測定器を備えたシステムが本発明の範囲に属し、この座標測定器が、プローブ部品として球の理想形状から逸脱した探針ボールを備えているか、或いは座標測定器の測定領域に、球の理想形状から逸脱した校正ボールが校正標準器として配置されており、この座標測定器の制御部は、座標測定器が探針ボールを用いて物体を接触走査するか、或いはプローブを用いて校正ボールを接触走査して、それから得られた走査情報を評価し、それによって、探針ボール又は校正ボールの座標系を座標測定器の座標系と関連付ける形で座標測定器の動作を制御するように構成されており、この座標測定器の制御部は、表面測定器による探針ボール又は校正ボールの表面の計測から得られた実際の球形に関する測定値又はそれから得られたボールの表面情報を探針ボール又はプローブを用いて接触走査した物体、特に、校正ボールの座標を得るために使用するように構成されている。上述した通り、表面測定器は、球面の形状を決定するための表面測定器として用いられる別個の機器又はKMG自体とすることができる。以下において、実施例に基づき本発明を説明する。図1は、検査ボール2、探針ボール3、校正測定ボール4及びKMGの動作を制御する制御部5を備えた座標測定器KMG1を模式的に図示している。この探針ボール3は、プローブピンシャフト8を介してスピンドル30に、そのため移動可能なブリッジ31に取り付けられている。この検査ボール2と校正測定ボール4は、KMGの測定領域内の基板32上に取り付けられている。KMG1に組み込まれた特に、プローブピンの通常の部分と同様に、KMGに組み込んで取り外すことができる探針ボール3を用いて、KMG1は、制御部5により制御される形でKMG1の測定領域内の物体を接触走査することができる。そのことは、特に、図1に図示された検査ボール2と校正測定ボール4に関して言える。図1の左上には、干渉計として実現された表面測定器21が模式的に図示されている。光源Qから測定光線が図面の右方向に照射されて、半透明のミラーSに当たり、そのミラーは、測定光線が上方向に反射された、ボールKを走査する本来の測定光線と、右方向に更に進む基準光線とに分割する。本来の測定光線が球面によって再び下方向に反射されて、半透明のミラーSを通過して検出器Dに当たる一方、基準光線は、右のミラーMによって反射されて、反射された光線の一部が再び半透明のミラーSによって下方向に検出器Dに向かって反射される。この検出器Dは、両方の光線一方のボールKにより反射された測定光線と他方の基準光線が干渉した結果から、ボールKの表面上の測定光線が反射された箇所の正確な位置を検出する。従って、この測定構成に関するボールKの球中心点の位置が分かると、例えば、測定光線が反射された表面点の正確な半径球中心点からの間隔を決定することができる。このボールKの球面の計測結果は、図1において二重線の矢印で表示されている通りKMGに提供される。ボールKを探針ボール3、検査ボール2又は校正測定ボール4とすることができる。干渉計21により、前記のボールの中の複数をボールの表面トポグラフィに関して即ち、形状誤差に関して順番に計測することもできる。当然のことながら、複数の別個の表面測定器を使用することも可能である。また、これらの表面測定器は、KMG1と同じ空間領域内に有る必要はない。特に、表面測定器21は、認証機関又はKMG製造業者によって動作することができるとともに、KMGは、エンドユーザ、例えば、KMG製造業者の顧客の所に置くことができる。図3は、検査ボール2、探針ボール3又は校正測定ボール4の理想的でない球形状の表面を誇張した図面で図示している。このボールは、基準指標10例えば、平坦に研磨された表面領域を備えたシャフト8に固定されている。このシャフトの中心軸は、符号9で表示されている。表面測定器例えば、図1の符号21を用いて、ボールの実際の表面点の座標を決定する。表面測定器を用いて、絶対座標又は理想的な球形状からの偏差値を決定できる。表面測定器による偏差値の検出は、典型的には、球セグメント測定として行なわれる。そのようにして計測した球セグメントS1~Snは、各セグメントの表面測定器の座標系との関連付け又は、より有利には、測定領域オーバーラップのベストフィットによって、セグメントのKMG測定に十分な表面領域全体に組み合わされる。図3は、破線により互いに分離された表面セグメントS1,...Snの中の複数を図示している。しかし、これらのセグメントSの計測中に、破線によって区切られた領域を跨がって測定され、その結果、重なり合った測定領域が生じる、即ち、隣接するセグメントの計測時に複数回測定され、そのためセグメントを一つの表面領域全体に組み合わせるための情報として利用可能な領域が得られる。例えば、セグメントS1とS2では、最早オーバーラップ領域には属さない、点線により縁取られた領域が図示されている。図4には、検査ボール2、探針ボール3又は校正測定ボール4の表面点の位置が検査ボール2、探針ボール3又は校正測定ボール4の座標系で図示されている。この位置は、立体的な極座標で表されており、探針ボール3の場合には、極角αと方位角βの角度対が特に、探針ボールのシャフトの中心軸9例えば、シャフトの円筒軸の延長線上に有る探針ボール3の中心点11に対して相対的な探針ボール上の点7の座標を表し、校正ボール2又は4の場合には、極角γと方位角δの角度対が特に、校正ボールのシャフトの円筒軸9の延長線上に有る校正ボール2又は4の中心点12に対して相対的な校正ボール上の点7の座標を表す。これらの中心点11,12は、例えば、基準プローブを用いた少なくとも三つの表面点での球面の走査により確定することもできる。そのため、表面測定器を用いた計測によって、多数の角度対α,β又はγ,δの中心点11,12に関して、表面点例えば、点7等の半径及び/又は理想的な球形の半径からの偏差、即ち、表面点と仮定した理想的な球のそれぞれ最も近くに有る表面点との偏差を検出することができる。この半径は、理想的な球形状に対して変更可能な表面点の第三の座標である。それに対して、理想的な球形状では、半径は一定である。ここで述べた実施例に関してだけでなく、半径又は偏差値は、表又は、有利には、表面の数学的な記述例えば、スプラインラスタとして規定される。そのため、数学的な記述の場合、その数学的な記述に対応するボールの一つの表面領域内で表面上の任意の点の半径を計算することが可能である。表の場合、半径及び/又は偏差値は、角度対α,β又はγ,δ又は相応の座標を別の座標系にマッピングして、KMGによる自動的なアクセスのために保存即ち、記憶されるとともに、例えば、制御ソフトウェアの実行時にKMGの制御部5がアクセスするデータメモリに記憶される。半径又は補正値を測定していない、及び/又は保存していない前記の角度対により定義される立体角は、例えば、補間例えば、スプライン又は線形補間によって、最も近くに有るサンプリング点から計算することができる。特に、このようにして、ボールの表面上の接触点に関して、正確な半径を読み出す、或いは検出して、座標測定器の動作の更なる準備のため、或いは座標測定器の所定通りの使用のために用いることができる。図2は、探針ボール3を用いた校正ボール2又は4の走査を図示している。所謂能動的に測定するセンサ即ち、探針ボール自体を用いた物体の走査時にKMGを更に動作させること無く、物体の表面に探針ボールを押し付ける測定力を生成するセンサを用いた接触走査の場合、走査方向6は、測定力コイルの電流ベクトルから測定面に対して直角であることが分かる。受動的に測定するセンサ即ち、探針ボールがセンサに統合されていないKMGの駆動部によって物体の表面に押し付けられるセンサでは、走査方向は、プローブの偏位から検出することができる。探針ボール3の球中心点11と校正ボールの中心点12の座標が分かると、又もやこの走査方向から、両方のボールの接触点7を計算することができ、探針ボールと校正ボールの接触点7の半径は、接触点7の座標を決定するために使用される。通常球中心点11,12の座標は、ボールが理想的な球形状から逸脱した実際のボールであるので、及び/又は座標測定器の座標系における中心点の位置が近似的に決定されるので、大まかにしか、或いは良好な近似でしか分からない。従って、走査方向のみからは、接触点の位置を近似的にしか決定できない。しかし、先ずは接触点の位置を近似的に決定した後、半径を考慮して補正することは可能である。特に、この補正値は、探針ボールの形状偏差と校正ボールの形状偏差の合計から得られる。座標測定器の所定通りの使用時、即ち、加工物の走査時に、探針ボール3の形状偏差だけを補正する。しかし、両方の場合に、両方の半径又は探針ボールの半径を考慮して、走査方向から直接接触点の位置を算出することもできる。接触点の位置の補正値の計算又は直接検出は、有利には、KMG制御部5で各測定点に関してリアルタイムに行なわれる。即ち、スキャンモードでも、検査ボール2、探針ボール3又は校正測定ボール4の実際の形状を考慮することができる。前述した通り、検査ボール2、探針ボール3又は校正測定ボール4の形状に関する情報は、KMGによるアクセスのために保存することができる。例えば、検査ボール、探針ボールを備えたプローブ及び/又は校正測定ボール4の交換を行なうために、そのようなアクセスが必要な場合、KMGは、例えば、制御部5により制御される形でボールの識別指標例えば、チップ、RFID又はバーコードなどに基づき、如何なるプローブ又はボールを実際に使用しているのかを確認できる。そのような情報に基づき、KMGは、それに対応する形状情報にアクセスして使用することができる。プローブの校正プロセスKMGによる校正測定時には、ボール形状に関する情報が考慮されるので、例えば、力を作用させた場合のプローブの曲がりを補正するためのパラメータなどの校正測定時に検出された別のプローブ中心点以外の校正パラメータが、より正確に決定される。それは、例えば、ISO10360に基づくボール仕様MPEP及びMPEthpを改善することに加えて、それ以外の仕様MPErontリングケージ形状偏差とMPEe絶対質量オフセットも改善する。図5aは、ボール、特に、探針ボール3のシャフト8におけるシャフトの一部に取り付けた部分的に突き出たボール14の形の基準指標を図示している。図5bは、ボール、特に、探針ボール3のシャフト8におけるシャフトの一部に取り付けた部分的に突き出た円筒15の形の基準指標を図示している。図5cは、ボール、特に、探針ボール3のシャフト8におけるボール形状の窪み16の形の基準指標を図示している。これらの基準指標は、有利には、シャフトの中心軸9の方向を向いている、即ち、図5aによる突き出たボールセグメントは、シャフトの中心軸に対して直角に交差する回転対称軸を有し、図5bによる突き出た円筒セグメントは、シャフトの中心軸9に対して平行に延びるか、或いはシャフトの中心軸9に対して直角に交差する回転対称軸を有し、図5cによる窪み16の回転対称軸は、シャフトの中心軸9に対して直角に交差する。形状指標が校正ボールにおける窪み、特に、球形の穴16として実現されている場合図5cを参照、例えば、形状に関して正確に分かっているプローブを用いて、その窪み16を走査することができる。球形の穴の場合、自動的に中心を検知する走査を行なうことができる、即ち、走査時に穴の中心ボールの先端の方向が自動的に検知される。ここで、それから、校正ボールの形状指標の位置と向きを、そのため校正ボール自体の位置と向きも検出することができる。例えば、校正ボールにおいて、形状指標が、ボール14により、或いは図5aに図示されている通り、盛り上がったボールセグメントにより実現されている場合、形状に関して正確に分かっているプローブを用いて、盛り上がった形状指標の少なくとも三つの表面点を走査することによって、盛り上がった形状指標の球中心点を周知の手法で検出することができる。ここで、シャフトの中心軸9と関連して、形状指標の位置と向きを一義的に決定することができる。図6aと6bには、KMGに取り付けた探針ボール3のシャフト8を用いて、二つの異なる視点から校正ボール17を走査することが図示されている。図6aでは、図面の平面が、例えば、デカルト座標系X-Y-Z、例えば、KMGの座標系のX-Y平面内に有る。図6bでは、図面の平面が、例えば、デカルト座標系X-Y-ZのX-Z平面内に有る。校正ボール17は、プローブの形状指標18例えば、プローブのシャフト8の突起とそれ以外の表面領域を用いて走査される。この走査プロセスは、特に、スキャンKMGによる球面に沿った動きと座標測定値の連続又はほぼ連続した記録として行なわれる。有利には、ボールの表面上での閉じた円形の線、例えば、真円、即ち、ボールの赤道の長さの円に沿ってスキャンする。この実施例では、X-Y平面内を真円に沿ってスキャンしている。図7には、その結果得られた、探針ボール3の球中心点又は探針ボール3のシャフトの中心軸上の点がスキャン時に校正ボール17の周りを移動したX-Y平面内の線19が図示されている。この実施例では、形状指標18が円筒形状又はボール形状の突起を有するので、この線19は、この突起が校正ボール17の表面に対する間隔を大きくしたために生じた、それに対応した形状の出っ張り20を有する。しかし、探針ボール3のシャフト又は探針ボール3自体が傾斜部を有する場合でも、それに応じて動かすことができる。この場合、そのような傾斜部は、校正ボール17の球面との間隔を減少させてゆく。ここで、校正ボール17のスキャンから得られた線19又はそれに対応するKMGの測定情報を評価することによって、KMGの座標系における形状指標の位置と向き又は直接探針ボール3の位置と向きを検出することができる。この場合、探針ボール3の座標系における形状指標の位置と向きに関して得られた情報が考慮される。以下において、別個の表面測定器によってではなく、或いは別個の表面測定器だけによってではなく、探針ボールを備えたプローブの校正測定によって、座標測定器の測定領域においてボールの表面を決定する実施例を説明する。このボールの表面形状のモデルを使用して、楕円を用いた6つの自由度に関する補正を説明する。補正するボールは、楕円として見做される。この楕円は、三つの主軸a,b及びcの長さを用いて周知の手法で記述できる。それは楕円であるので、例えば、デカルト座標系X-Y-Zでx,y,zにより座標が表される表面の全ての点は、次の式を満たさなければならない。実際のボールの形状に関する情報を後で考慮するために、楕円の記述は、例えば、3x3の対称行列で行なわれる。楕円の中心点に関する表面点の有効半径wrは、次の通り、楕円の行列Qを走査方向ベクトルdと乗算して、その積の絶対値演算によって算出できる。例えば、a=1.6mm、b=1.5mm及びc=1.4mmの楕円に関して、これらの主軸がKMGのデカルト座標系の座標軸に対して平行な方向を向いている場合には、次の対角行列が得られる。例えば、走査方向がX-Y平面内でX方向及びY方向に対して45°である場合、走査方向ベクトルは、次の通りとなる。そのため、式1により、有効半径は、wr=1.55mmとなる。KMGの軸に対して楕円の軸がそれ以外の方向を向いている場合、それに対応して3x3の対称行列が得られる。例えば、KMGの制御部で動作するコンピュータソフトウェアにより実装する形で、前述した方法を次の通り実現できる。探針ボールの半径と探針ボールの球中心点の位置を球関数を用いて計算するプローブの校正測定時の従来技術から周知の手法を楕円ベストフィット計算で置き換える、即ち、探針ボールを用いた校正測定時にKMGにより検出した走査情報を楕円モデルに適合させる。そのために、周知の計算方法を用いることができる。そのようにして得られた探針ボールの実際のボール形状に関する情報を後で使用するために、理想的な球のプローブ半径の代わりに、そのため3x3行列の新しい値を有する半径行列を記憶する。それは楕円を表す。この行列の固有ベクトルは、楕円の軸に対応する。制御部例えば、ソフトウェアにおいて、プローブ半径の各照会が、入力変数として走査方向を有し、従来技術により従来の通り、対応する接触点での探針ボールの半径を返す関数で置き換えられ、この関数は、前述した式1に基づく行列演算を実行する。理想的な球では、楕円は球形態を採る。そのため、主軸は、同じ長さであり、対角線以外の行列値が零と等しい。従って、この関数は、全ての走査方向に関して同じ半径を返す。楕円形に近い探針ボールでは、前述した方法によって、システム誤差が生じる。多くの場合、探針ボールと物体の間の接触点を決定するために、探針ボールの半径を負の走査方向と乗算して、この計算工程の結果を接触点の位置ベクトルに対してベクトル加算する。しかし、この場合、探針ボールの表面点に存在する表面の延び具合の曲がりは考慮されていない。従って、先の述べた記述に代わって、有効なプローブ半径wrではなく、半径行列と負の走査方向のベクトルとの乗算結果を直接返して使用することができる。要約すると、探針ボールを楕円として看做すことによって、理想的な球形状からの形状偏差の一部を補正できることが確認される。この簡単な方法の多数の表面測定点の考慮と比べた利点は、少数の自由度だけを必要とすることである。それによって、特に、KMGに取り付けた探針ボールの校正測定によって、形状偏差を決定することが可能である。図8のフローチャートは、第一の可能な方法のフローを図示している。工程S1で、一つの表面測定器又は複数の表面測定器を用いて、少なくとも一つの探針ボール及び校正ボールの表面トポグラフィに関する情報を取得する。しかし、同じ手法で、少なくとも一つの表面測定器により、複数の探針ボール及び/又は複数の校正ボールを計測することもできる。次の工程S2で、工程S1で取得した測定値及び/又はそれから導き出したボールの表面トポグラフィに関する情報が、特に各ボールに関して別個に記憶されて、少なくとも後でKMGによる記憶した情報へのアクセスを可能としている。工程S5で、工程S1で計測した校正ボールを校正測定ボールとしてKMGの測定領域に持って行き、更に、同じく工程S1で計測した例えば、プローブピンのプローブ部品である探針ボールをKMGに組み込み、それにより、探針ボールが、物体を接触走査するためのKMGのプローブ部品として使用することが可能となる。ここで、この探針ボールを校正測定ボールの接触走査により校正測定する。任意選択により、この工程で、KMG、プローブ及び/又はプローブ部品として探針ボールを組み込んだプローブヘッドの別の校正パラメータは、探針ボールにより校正ボールを走査する形態の校正によって取得できる。如何なる場合でも、工程S5で、探針ボールが校正ボールの表面と接触する接触点を改善された精度で決定するために、探針ボールの表面トポグラフィに関する情報と校正ボールの表面トポグラフィに関する情報を使用する。この改善されたとは、球の理想形状を出発点として、ボール半径に関する許容誤差だけを表すのではなく、接触点での半径の球の理想形状からの偏差及び/又は少なくとも一つの接触点の座標例えば、各球中心点に関する半径を球面トポグラフィに関する情報から決定することを意味する。一回、或いは例えば、一年の長い時間間隔で繰り返し実行できる工程S7に基づき、KMGを検査するために、場合によっては、相応の検査認証を行なうために、工程S1で計測した検査ボールが、KMGの測定領域に配置されて、工程S1で計測した少なくとも一つの探針ボールを用いて、座標測定器により接触走査される。KMGに組み込まれたプローブを用いて、即ち、プローブ部品としての探針ボールを用いて加工物を走査する場合、工程S1での探針ボールの表面トポグラフィに関する情報が、探針ボールと加工物の間の接触点の座標を決定するために使用される工程S8。図9は、図8に対して修正されたフローチャートを図示しているが、工程S1、S2、S7及びS8は、図8に基づき説明したのと同じ工程で含まれる。しかし、工程S2の後、図8と異なり、任意選択により、KMGの再現可能な場所に依存する誤差を考慮することができる。そのために、工程S5でもプローブ例えば、プローブ部品として探針ボールを備えたプローブを使用し、更に、校正測定ボールとして校正ボールを使用する。既に前に述べた通り、KMGの再現可能な場所に依存する誤差を理想的な球形状からの仮想的な偏差として検出して、例えば、次の工程S4で記憶して、それにより、KMGが記憶した情報にアクセスできるようにする。その次の工程S5aで、プローブの本来の校正測定を行ない、この工程は、図8のフローチャートの工程S5と同様に実行できるが、任意選択により、プローブ部品と校正測定ボールの間の接触点の座標を決定することを目的としてKMGの再現可能な場所に依存する誤差を考慮するために、工程S3で取得した情報を考慮することができる。工程S7とS8は、工程S1及びS2と同様に、図8に基づき述べたのと同じ手法で実行することができる。図10に図示した方法のフローでは、図8に基づき述べた通りの工程S1とS2は、修正された形で実行され、工程S7とS8は、図8に基づき述べた通りに実行される。工程S1とS2と比べた工程S1aとS2aの修正点は、工程S7及び/又は工程S8でKMGが接触走査式プローブとして使用した少なくとも一つのプローブを工程S1で表面測定器により計測しないか、或いは少なくともそのような表面計測により検出したプローブのプローブ部品に関する情報を工程S7及び/又はS8で使用しないか、或いは次の工程S5bで取得する情報と共にしか使用しないことである。工程S5bで、KMGに組み込んだ探針ボールを校正測定ボールの球面を接触走査するプローブ部品として使用することによって、プローブの探針ボールの実際の球面に関する表面情報を取得する。この場合、工程S1aで校正測定ボールを計測して、工程S2aで、それに対応する表面トポグラフィに関する情報をKMGによるアクセスのために保存する。しかし、それに代わって、校正測定ボールを球の理想形状から僅かにしか逸脱していない所謂マイスター部分とすることもできる。特に、工程S5bで、探針ボールを用いて校正測定ボールの表面を複数の場所で走査し、その場合に、探針ボールの表面上の接触点の位置も変化させて、それによって、探針ボールの実際の球面に関する情報を取得する。工程S6で、この情報及び/又はそれから導き出した情報をKMGによるアクセスのために記憶する。"