イオンビームを走査するための磁気偏向システムであって、ヨーク機構と、第1極部材と、第2極部材と、第1コイルと、第2コイルとを備え、上記ヨーク機構は、入口側端部と、出口側端部と、上記入口側端部と上記出口側端部との間に延伸する、当該ヨーク機構の内面によって略放射状に境界されたビーム経路領域とを有し、上記第1極部材および上記第2極部材は、上記ヨーク機構から上記ビーム経路領域および他方の極部材に向かう方向に延伸しており、かつ、当該第1極部材と当該第2極部材との間の上記ビーム経路領域に近接する位置に極間領域を規定しており、上記第1コイルは上記第1極部材の周囲に巻き付けられ、上記第2コイルは上記第2極部材の周囲に巻き付けられており、かつ、上記第1コイルおよび上記第2コイルは、当該第1コイルおよび当該第2コイルに時間変化する電流を流すことにより当該第1コイルおよび当該第2コイルによって上記極間領域に振動的に時間変化する磁界を生成させるための電流源に接続されており、上記ヨーク機構の内面よりも内側、かつ上記ビーム経路領域の外側に、少なくとも1つの磁束圧縮部材が配置されていることを特徴とする磁気偏向システム。少なくとも1つの上記磁束圧縮部材は、固定電圧源に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気偏向システム。上記第1コイルおよび上記第2コイルは、寝台形状を有していることを特徴とする請求項1に記載の磁気偏向システム。少なくとも1つの上記磁束圧縮部材は、アルミニウム、銅、銀、金、プラチナ、あるいはそれらの組み合わせのうちの少なくとも1つを含んでいることを特徴とする請求項1に記載の磁気偏向システム。上記磁束圧縮部材を能動的に冷却することを特徴とする請求項1に記載の磁気偏向システム。少なくとも1つの上記磁束圧縮部材は、上記ビーム経路領域の第1側面側に配置された第1導電体と、上記ビーム経路領域における上記第1側面とは反対側の側面である第2側面側に配置された第2導電体とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の磁気偏向システム。上記第1導電体および上記第2導電体は、上記ビーム経路領域の周囲に連続する電気回路を互いに協同して形成しないことを特徴とする請求項6に記載の磁気偏向システム。上記第1導電体および上記第2導電体は、それぞれ略楔形形状を有しており、上記第1導電体および上記第2導電体における上記楔形形状の幅が広い側は、上記ヨーク機構における上記入口側端部の近傍に配置され、上記第1導電体および上記第2導電体における上記楔形形状の幅が狭い側は、上記ヨーク機構における上記出口側端部の近傍に配置されていることを特徴とする請求項6に記載の磁気偏向システム。上記第1導電体および上記第2導電体は、実質的に中実であることを特徴とする請求項6に記載の磁気偏向システム。上記第1導電体および上記第2導電体は、それぞれ、当該導電体内に1または複数の空洞部を有する外殻構造からなることを特徴とする請求項6に記載の磁気偏向システム。上記第1導電体および上記第2導電体は、固定電圧源に接続されていることを特徴とする請求項6に記載の磁気偏向システム。ビーム経路に沿ったイオンビームを生成するイオン源と、上記イオン源の下流側に配置された、上記イオンビームの質量解析を行う質量分析部と、上記質量分析部の上流側または下流側に配置された磁気偏向システムとを備えたイオン注入システムであって、上記磁気偏向システムは、ヨーク機構と、第1極部材と、第2極部材と、第1コイルと、第2コイルとを備え、上記ヨーク機構は、入口側端部と出口側端部とを備え、上記入口側端部および上記出口側端部を通って延伸した、当該ヨーク機構の内面によって略放射状に境界されたビーム経路領域とを有し、上記第1極部材および上記第2極部材は、上記ヨーク機構から当該ヨーク機構内の上記ビーム経路領域に向かう方向に延伸しており、上記第1コイルは上記第1極部材の周囲に巻き付けられ、上記第2コイルは上記第2極部材の周囲に巻き付けられており、かつ、上記第1コイルおよび上記第2コイルは、当該第1コイルおよび当該第2コイルに時間変化する電流を流すことにより当該第1コイルおよび当該第2コイルによって上記ヨーク機構内のビーム経路中に振動的に時間変化する磁界を生成させるための電流源に接続されており、上記ヨーク機構の内面よりも内側、かつ上記ビーム経路領域の外側に、少なくとも1つの磁束圧縮部材が配置されていることを特徴とするイオン注入システム。走査されたイオンビームを主軸方向に方向転換させることによって平行化されたイオンビームを生成するための、磁気走査装置の下流側に配置された平行化部と、上記平行化部の下流側に配置された、平行化された上記イオンビームを受け取る終端部とを備えていることを特徴とする請求項12に記載のイオン注入システム。少なくとも1つの上記磁束圧縮部材は、固定電圧源に接続されていることを特徴とする請求項12に記載のイオン注入システム。少なくとも1つの上記磁束圧縮部材を能動的に冷却することを特徴とする請求項12に記載のイオン注入システム。上記ビーム経路の第1側面側に配置された第1導電体と、上記ビーム経路における上記第1側面とは反対側の側面である第2側面側に配置された第2導電体とを備えていることを特徴とする請求項12に記載のイオン注入システム。上記第1導電体および上記第2導電体は、上記ビーム経路の周囲に連続する電気回路を互いに協同して形成しないことを特徴とする請求項16に記載のイオン注入システム。少なくとも1つの上記磁束圧縮部材は、アルミニウム、金、銀、プラチナ、銅、あるいはそれらを合金あるいは被覆されたバルク金属の形態で組み合わせた構成のうちの少なくとも1つを含んでいることを特徴とする請求項16に記載のイオン注入システム。少なくとも1つの上記磁束圧縮部材は、実質的に中実であることを特徴とする請求項12に記載のイオン注入システム。少なくとも1つの上記磁束圧縮部材は、当該少なくとも1つの磁束圧縮部材内に1または複数の空洞部が規定された外殻構造を有していることを特徴とする請求項12に記載のイオン注入システム。振動的に時間変動する磁束を互いに協同してビーム経路領域に導く第1極部材および第2極部材と、上記ビーム経路領域に近接する位置に配置され、上記第1極部材および上記第2極部材によって生成された磁束を圧縮する磁束圧縮手段とを備えていることを特徴とする磁気走査装置。上記磁束圧縮手段は、アルミニウム、銅、銀、金、プラチナ、あるいはそれらを合金または被覆されたバルク金属の形態で組み合わせたもののうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項21に記載のイオン注入システム。