エキスパンドウエハ上の発光素子の検査装置であって、1複数個のウエハチャックを備えたウエハチャックステージと、前記各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の、基準位置に対する相対位置を測定して発光素子位置情報として記憶する位置測定装置とを備える位置測定部、2前記各ウエハチャックにロードされるエキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及び1又は2以上のプローブと、前記プローブの各々を独立してXYZ軸方向に移動させるプローブ移動ステージとを備える検査部、及び、3前記発光素子位置情報に基づいて各エキスパンドウエハ上の発光素子が順次対応する1又は2以上のプローブの下方に来るように前記ウエハチャックステージをXY軸方向に移動させる手段と、前記発光素子位置情報と各発光素子における電極位置情報に基づいて前記プローブ移動ステージを作動させ前記プローブのそれぞれが下方に位置する発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブをXY軸方向に移動させる手段と、前記プローブを前記ウエハチャックステージに対してZ軸方向に移動させて前記プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させる手段とを備える制御装置、を有している発光素子の検査装置。前記位置測定装置が、前記発光素子位置情報に加えて、各発光素子における電極の、基準位置に対する相対位置を測定して電極位置情報として記憶する位置測定装置である請求項1記載の発光素子の検査装置。前記検査部が、前記フォトディテクタの各々を、独立してXYZ軸方向に移動させるフォトディテクタ移動ステージと、対応する1又は2以上のプローブのいずれかと連動させてXYZ軸方向に移動させる手段とを有している請求項1又は2記載の発光素子の検査装置。1台の前記検査部に対して2台以上の前記位置測定部を備え、前記検査部と前記各位置測定部とはそれぞれ異なる位置にあり、前記制御装置は、前記検査部と前記各位置測定部との間で前記ウハチャックステージを移動させる手段と、前記検査部に他のウエハチャックステージが存在しないときに、前記位置測定装置による前記発光素子位置情報の記憶又は前記発光素子位置情報と前記電極位置情報の記憶が完了したウエハチャックステージを前記位置測定部から前記検査部へと移動させる手段と、前記検査部での検査が完了したウエハチャックステージを前記検査部から元の位置測定部へと移動させる手段とを備えている請求項1~3のいずれかに記載の発光素子の検査装置。エキスパンドウエハ上の発光素子の検査方法であって、aウエハチャックステージに備えられた複数個のウエハチャックのそれぞれにエキスパンドウエハをロードする工程、b前記各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の、基準位置に対する相対位置を測定して発光素子位置情報として記憶する工程、c前記発光素子位置情報に基づいて、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる発光素子が前記ウエハチャック上にロードされるエキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及び1又は2以上のプローブの下方に来るように前記ウエハチャックステージをXY軸方向に移動させる工程、d前記発光素子位置情報と各発光素子における電極位置情報に基づいて、前記プローブが下方に位置する発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブをXY軸方向に移動させる工程、e前記プローブを前記ウエハチャックステージに対してZ軸方向に移動させて前記プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させて発光素子の検査を行う工程、f各エキスパンドウエハ上の検査対象となる発光素子を変更して、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる全発光素子について上記cdeの工程を繰り返す工程、を含む発光素子の検査方法。前記b工程が、前記発光素子位置情報に加えて、各発光素子における電極の、基準位置に対する相対位置を測定して電極位置情報として記憶する工程である請求項5記載の発光素子の検査方法。前記d工程が、前記フォトディテクタを、対応するいずれかのプローブのXY軸方向への移動と連動させて、XY軸方向に移動させる工程を含んでいる請求項5又は6記載の発光素子の検査方法。前記e工程が、前記フォトディテクタを、対応するいずれかのプローブのZ軸方向への移動と連動させて、Z軸方向に移動させる工程を含んでいる請求項5~7のいずれかに記載の発光素子の検査方法。各エキスパンドウエハ上の検査対象となる全発光素子について行われる前記e工程のうち、少なくとも最初に行われる前記e工程が、前記フォトディテクタの各々を対応する前記プローブとは独立してXY軸方向に移動させ、検出される光量が最大となる位置に前記各フォトディテクタを位置決めする工程を含んでいる請求項5~8のいずれかに記載の発光素子の検査方法。2台以上の前記ウエハチャックステージを、それぞれの位置測定位置と共通する検査位置との間で移動させる発光素子の検査方法であって、前記各ウエハチャックステージについて、gその位置測定位置において、前記ab工程を行う工程、h前記位置測定位置から共通する検査位置へと移動させる工程、i前記共通する検査位置において、前記c~f工程を行う工程、j前記共通する検査位置から前記位置測定位置へと移動させる工程、及び、k前記位置測定位置において、複数個のウエハチャックのそれぞれからエキスパンドウエハをアンロードする工程、が行われ、かつ、1つの前記ウエハチャックステージについての前記i工程と、1つ以上の他の前記ウエハチャックステージについての前記g工程とが、少なくとも一部並行して同時に行われる請求項5~9のいずれかに記載の発光素子の検査方法。本発明は、上記従来技術の欠点を解決するために為されたもので、エキスパンドウエハ上の発光素子の光学特性の検査の効率化を高め、単位時間あたりの検査個数を増大させることができる発光素子の検査装置と検査方法を提供することを課題とする。本発明者らは上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、ウエハチャックステージに複数個のウエハチャックを装備するとともに、これら複数個のウエハチャックのそれぞれに対応させてプローブとフォトディテクタを配置することによって、ウエハチャックにロードされた複数枚のエキスパンドウエハ上の発光素子の光学特性を同時に検査することができ、単位時間あたりの検査個数を飛躍的に高めることができることを見出して本発明を完成した。すなわち、本発明は、エキスパンドウエハ上の発光素子の検査装置であって、1複数個のウエハチャックを備えたウエハチャックステージと、前記各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の、基準位置に対する相対位置を測定して発光素子位置情報として記憶する位置測定装置とを備える位置測定部、2前記各ウエハチャックにロードされるエキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及び1又は2以上のプローブと、前記プローブの各々を独立してXYZ軸方向に移動させるプローブ移動ステージとを備える検査部、及び、3前記発光素子位置情報に基づいて各エキスパンドウエハ上の発光素子が順次対応する1又は2以上のプローブの下方に来るように前記ウエハチャックステージをXY軸方向に移動させる手段と、前記発光素子位置情報と各発光素子における電極位置情報に基づいて前記プローブ移動ステージを作動させ前記プローブのそれぞれが下方に位置する発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブをXY軸方向に移動させる手段と、前記プローブを前記ウエハチャックステージに対してZ軸方向に移動させて前記プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させる手段とを備える制御装置、を有している発光素子の検査装置を提供することによって、上記の課題を解決するものである。本発明の上記検査装置によれば、複数個のウエハチャックにロードされた複数枚のエキスパンドウエハ上の発光素子について、その光学特性の検査を同時に行うことができるので、単位時間あたりの検査個数はウエハチャックの個数倍となり、単位時間あたりの検査個数を大幅に増大させることができる。本発明の検査装置の好適な一態様においては、前記位置測定装置は、前記発光素子位置情報に加えて、各発光素子における電極の、基準位置に対する相対位置を測定して電極位置情報として記憶する位置測定装置である。位置測定装置が、発光素子位置情報に加えて、電極位置情報を記憶している場合には、その電極位置情報に基づいて、各プローブが対応する電極と接触するように、各プローブをより正確に位置決めすることが可能となる。なお、各発光素子における電極位置が、例えばウエハ情報として別途提供される場合には、その提供された電極位置を、電極位置参考情報として前記位置測定装置に記憶させ、適宜利用するようにしても良い。さらに、本発明の検査装置は、その好適な一態様において、前記検査部が、前記フォトディテクタの各々を、独立してXYZ軸方向に移動させるフォトディテクタ移動ステージと、対応する1又は2以上のプローブのいずれかと連動させてXYZ軸方向に移動させる手段とを有している。本発明の検査装置が、フォトディテクタの各々を独立してXYZ軸方向に移動させることができる場合には、各フォトディテクタを検査対象となる発光素子の光学特性の検査に最適の位置に位置決めしたり、退避させたりすることができる。また、本発明の検査装置が、フォトディテクタの各々を対応する1又は2以上のプローブのいずれかと連動させてXYZ軸方向に移動させることができる場合には、個々のエキスパンドウエハに合わせて、或いは、検査対象となる個々の発光素子上の電極位置に合わせて、プローブの位置を変化させた場合でも、さらには、検査対象となる発光素子の電極と接触させるためにプローブをZ軸方向に移動させた場合でも、フォトディテクタとプローブとの相対的な位置関係を維持することができ、フォトディテクタを常に光学特性の検査に最適の位置に配置することが可能となる。さらに、本発明の検査装置は、その好適な一態様において、1つの前記検査部に対して2つ以上の前記位置測定部を備え、前記検査部と前記各位置測定部とはそれぞれ異なる位置にあり、前記制御装置は、前記検査部と前記各位置測定部との間で前記ウハチャックステージを移動させる手段と、前記検査部に他のウエハチャックステージが存在しないときに、前記位置測定装置による前記発光素子位置情報又は前記発光素子位置情報と前記電極位置情報の記憶が完了したウエハチャックステージを前記位置測定部から前記検査部へと移動させる手段と、前記検査部での検査が完了したウエハチャックステージを前記検査部から元の位置測定部へと移動させる手段とを備えている。本発明の検査装置が、上記のように1つの検査部に対して2つ以上の位置測定部を備え、検査部と各位置測定部との間で、ウエハチャックステージを移動させる手段を備えている場合には、1つのエキスパンドウエハ上の発光素子について光学特性の検査を行っている間に、他のエキスパンドウエハについて発光素子の位置の測定や、さらには電極の位置の測定を行うことができるので、トータルでの検査時間を大幅に短縮し、単位時間あたりの検査個数を飛躍的に増大させることが可能となる。本発明は、また、エキスパンドウエハ上の発光素子の検査方法であって、aウエハチャックステージに備えられた複数個のウエハチャックのそれぞれにエキスパンドウエハをロードする工程、b前記各ウエハチャックにロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の、基準位置に対する相対位置を測定して発光素子位置情報として記憶する工程、c前記発光素子位置情報に基づいて、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる発光素子が前記ウエハチャック上にロードされるエキスパンドウエハのそれぞれに対応して設けられたフォトディテクタ及び1又は2以上のプローブの下方に来るように前記ウエハチャックステージをXY軸方向に移動させる工程、d前記発光素子位置情報と各発光素子における電極位置情報に基づいて、前記プローブが下方に位置する発光素子の電極位置に対応する位置に来るように各プローブをXY軸方向に移動させる工程、e前記プローブを前記ウエハチャックステージに対してZ軸方向に移動させて前記プローブを対応するそれぞれの発光素子の電極と接触させて発光素子の検査を行う工程、f各エキスパンドウエハ上の検査対象となる発光素子を変更して、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる全発光素子について上記cdeの工程を繰り返す工程、を含む発光素子の検査方法を提供することによって、上記の課題を解決するものである。本発明の上記検査方法によれば、複数個のウエハチャックにロードされた複数枚のエキスパンドウエハ上の発光素子について、その光学特性の検査を同時に行うことができるので、単位時間あたりの検査個数を大幅に増大させることができる。本発明の検査方法は、その好適な一態様において、前記b工程が、前記発光素子位置情報に加えて、各発光素子における電極の、基準位置に対する相対位置を測定して電極位置情報として記憶する工程である。前記b工程が、発光素子位置情報に加えて、電極位置情報を測定して記憶する工程である場合には、その電極位置情報に基づいて、各プローブが対応する電極と接触するように、各プローブをより正確に位置決めすることが可能となる。なお、各発光素子における電極位置が、例えばウエハ情報として別途提供される場合には、その提供された電極位置を、電極位置参考情報として記憶し、適宜利用するようにしても良い。本発明の検査方法は、その好適な一態様において、前記d工程が、対応する1又は2以上のプローブのいずれかのXY軸方向への移動と連動させて、対応する前記フォトディテクタをXY軸方向に移動させる工程を含んでいる。d工程が前記のような工程を含んでいる場合には、個々のエキスパンドウエハに合わせて、或いは、検査対象となる個々の発光素子上の電極位置に合わせて、プローブの位置を変化させた場合でも、フォトディテクタとプローブとの相対的な位置関係を維持して、フォトディテクタを常に検査に最適な位置に配置することが可能となる。さらに、本発明の検査方法は、その好適な一態様において、前記e工程が、前記フォトディテクタを、対応するいずれかのプローブのZ軸方向への移動と連動させて、Z軸方向に移動させる工程を含んでいる。e工程がこのような工程を含んでいる場合には、e工程において、検査対象となる発光素子の電極と接触させるためにプローブをZ軸方向に移動させた場合でも、フォトディテクタとプローブとの相対的な位置関係を維持することができ、フォトディテクタを常に光学特性の検査に最適の位置に配置することが可能となる。さらに、本発明の検査方法は、その好適な一態様において、各エキスパンドウエハ上の検査対象となる全発光素子について行われる前記e工程のうち、少なくとも最初に行われる前記e工程が、前記フォトディテクタの各々を対応するプローブとは独立してXY軸方向に移動させ、検出される光量が最大となる位置に前記各フォトディテクタを位置決めする工程を含んでいる。e工程が前記のような工程を含んでいる場合には、フォトディテクタを、光学特性の検査に最適の位置に位置決めすることが可能となる。さらに、本発明の検査方法は、その好適な一態様において、2台以上の前記ウエハチャックステージを、それぞれの位置測定位置と共通する検査位置との間で移動させる発光素子の検査方法であって、前記各ウエハチャックステージについて、gその位置測定位置において、前記ab工程を行う工程、h前記位置測定位置から共通する検査位置へと移動させる工程、i前記共通する検査位置において、前記c~f工程を行う工程、j前記共通する検査位置から前記位置測定位置へと移動させる工程、及び、k前記位置測定位置において、複数個のウエハチャックのそれぞれからエキスパンドウエハをアンロードする工程、が行われ、かつ、1つの前記ウエハチャックステージについての前記i工程と、1つ以上の他の前記ウエハチャックステージについての前記g工程とが、少なくとも一部並行して同時に行われる発光素子の検査方法である。本発明の検査方法が、上記のように2台以上のウエハチャックステージを、それぞれの位置測定位置と共通する検査位置との間で移動させて、前記g~k工程を備える場合には、1つのエキスパンドウエハ上の発光素子についての位置情報の測定と、他のエキスパンドウエハ上の発光素子についての光学特性の検査とを同時並行して行うことができ、トータルでの検査時間を大幅に短縮し、単位時間あたりの検査個数を飛躍的に増大させることが可能となる。なお、本発明の検査装置及び検査方法が対象とする発光素子は、典型的にはLED素子であるが、ウエハ上に形成され、外部からの電力の供給を受けて発光する素子であればどんな素子であっても良く、LED素子に限られるものではない。また、本発明の検査装置及び検査方法が対象とする光学特性としては、例えば、輝度、色度、発光波長などが挙げられるが、これらに限られるものではなく、フォトディテクタによって検査することができる光学特性であればどのような光学特性であっても良い。さらに、本発明の検査装置及び検査方法は、主として、発光素子の光学特性の検査を対象とするものであるが、本発明の検査装置及び検査方法によって、光学特性の検査に加えて、発光素子のDC特性やESD印加テストなどの電気的特性の検査を行っても良いことは勿論である。本発明の発光素子の検査装置及び検査方法によれば、複数枚のエキスパンドウエハ上の発光素子について、その光学特性の検査を同時に行うことができるので、単位時間あたりの検査個数を飛躍的に増大させることができるという利点が得られる。また、本発明の発光素子の検査装置及び検査方法が、2つ以上の位置測定部又は2台以上のウエハチャックステージを用いて、エキスパンドウエハ上の発光素子や電極についての位置の測定と、プロービングによる光学特性の検査とを異なる場所で行う場合には、1つのエキスパンドウエハ上の発光素子について光学特性の検査を行っている間に、他のエキスパンドウエハについて発光素子や電極についての位置の測定を行うことができるので、トータルでの検査時間を大幅に短縮し、単位時間あたりの検査個数をさらに増大させることができるという利点が得られる。以下、図面を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明が図示のものに限られないことは勿論である。図1は、本発明の発光素子の検査装置の一例を示す平面図である。図1において、1は本発明の発光素子の検査装置を示し、2は位置測定部、3は検査部である。測定部2はウエハチャックステージ4を備えており、ウエハチャックステージ4は、後述するとおり、水平な面内で直交するXY軸方向に移動可能なXYステージ上に設置されている。ウエハチャックステージ4には、3個のウエハチャック5a、5b、5cが設けられている。3個のウエハチャック5a、5b、5cは、図示しないそれぞれのθステージ上に設置されており、それぞれ独立して、各中心を通る軸の回りにθ回転することができる。ウエハチャック5a~5cは、ウエハチャック5a、5b、5cの面上にエキスパンドウエハを一時的に固定することができるものであれば、どのような機構のものであっても良いが、通常は、吸引負圧によって、エキスパンドウエハをウエハチャックステージ4の上面に吸着固定するものが好ましい。6は位置測定部2に設けられた位置測定用のカメラである。カメラ6は、図中横方向のガイド7xに沿ってX軸方向に、また、図中縦方向のガイド7yに沿ってY軸方向に、それぞれ移動可能である。8は、ウエハチャックステージ4のウエハチャック5a~5cに対して、エキスパンドウエハをロード又はアンロードするウエハ移載装置である。ウエハ移載装置8としては適宜のものを用いれば良い。また、r、rはY軸レールであり、後述するように、ウエハチャックステージ4を、位置測定部2から検査部3へと、またその逆へと移動させるときの移動ガイドとなるものである。9は位置測定部2に設けられた位置測定装置である。位置測定装置9は、図示しない駆動機構を作動させて、カメラ6をガイド7x及び7yに沿ってXY軸方向に移動させ、ウエハチャックステージ4にロードされているエキスパンドウエハの上面をくまなく撮影する。位置測定装置9は、その撮像データを画像処理することによって、エキスパンドウエハ上の全ての発光素子について、その基準位置に対する相対位置を測定する機能を備えている。測定された発光素子の相対位置についての情報は発光素子位置情報として位置測定装置9に記憶される。発光素子の相対位置を測定する際の基準位置としては、位置測定部2のハードウエアと固定的な一定の位置関係を維持する限り、任意の位置を選択することが可能である。例えば、カメラ6のガイド7x及び7yに沿ったXY軸方向の移動原点を基準位置とすることができる。この場合には、カメラ6のXY軸方向の移動距離をそのまま発光素子の相対位置情報として記憶することができるので便利である。また、カメラ6によって撮影された撮像データには、各発光素子における電極の画像データも含まれているので、位置測定装置9は、上記撮像データを画像処理することによって、上述した発光素子位置情報に加えて、各発光素子における電極の、基準位置に対する相対位置を測定することもできる。測定された電極の、基準位置に対する相対位置は、電極位置情報として、位置測定装置9に記憶される。なお、電極の相対位置を測定する際の基準位置としても、任意の位置を選択することが可能であるが、例えば、発光素子位置情報における基準位置と同じくカメラ6のXY軸方向の移動原点を基準位置としても良いし、或いは、既に求められている各発光素子の相対位置を基準位置としても良い。また、各発光素子上の電極位置についての情報が、例えばウエハ情報として外部から供給される場合には、位置測定装置9は、その供給された電極位置についての情報を電極位置参考情報として記憶し、適宜利用するようにしても良い。なお、図示の例では、位置測定装置9は後述する制御装置13とは別に独立した存在として設けられているが、制御装置13の機能の一部として存在していても良い。また、図示の例では、ウエハチャックステージ4にエキスパンドウエハがロード又はアンロードされる位置と、ロードされたエキスパンドウエハ上の発光素子の位置をカメラ6によって測定する位置とは同じであるが、両位置は異なっていても良い。すなわち、ウエハチャックステージ4にエキスパンドウエハがロードされた後に、ウエハチャックステージ4をカメラ6で撮影可能な位置へと移動させるようにしても良い。一方、検査部3は、プローブPa1~Pc2と、フォトディテクタ11a~11cを備えている。プローブPa1、Pa2とフォトディテクタ11aはウエハチャック5aにロードされるエキスパンドウエハに、プローブPb1、Pb2とフォトディテクタ11bはウエハチャック5bにロードされるエキスパンドウエハに、そして、プローブPc1、Pc2とフォトディテクタ11cはウエハチャック5cにロードされるエキスパンドウエハに、それぞれ対応して設けられている。本例においては、1枚のエキスパンドウエハに対応して各2本のプローブが設けられているが、エキスパンドウエハ1枚あたりのプローブの数は2本に限られず、検査対象となる発光素子の電極の数に対応して、適宜の本数のプローブを設ければ良い。また、本例において、フォトディテクタ11a~11cは、後述するとおり、光入力ポートと光検出器を備えた積分球であるが、発光素子の光学特性を検査することができる限り、フォトディテクタ11a~11cの種類には特段の制限はない。プローブPa1、Pa2、Pb1、Pb2、Pc1、Pc2には、それぞれを独立してXYZ軸方向に移動させるプローブ移動ステージ10a1、10a2、10b1、10b2、10c1、10c2が設けられている。また、フォトディテクタ11a、11b、11cには、それぞれを独立してXYZ軸方向に移動させるフォトディテクタ移動ステージ12a、12b、12cが設けられている。このように、プローブPa1~Pc2と、フォトディテクタ11a~11cには、それぞれ別の移動ステージが設けられているので、各プローブPa1~Pc2と、各フォトディテクタ11a~11cとは、それぞれ独立にXYZ軸方向に移動することが可能である。しかし、場合によっては、移動モードを切り替えることによって、フォトディテクタ11a、11b、及び11cを、それぞれ、対応するプローブPa1又はPa2のいずれか一方、プローブPb1又はPb2のいずれか一方、及びプローブPc1又はPc2のいずれか一方と、それぞれ連動してXYZ軸方向に移動させるようにしても良い。上記のような連動は、例えば、フォトディテクタ11a~11c、又はフォトディテクタ移動ステージ12a~12cを、それぞれ対応するプローブPa1~Pc2のいずれか又はプローブ移動ステージ10a1~10c2のいずれかと機械的に連結することによって行うことも可能であるが、ソフト的に行うことも可能である。すなわち、例えば、フォトディテクタ11a、11b、11cを、それぞれプローブPa1、Pb1、Pc1と連動させる場合には、後述する制御装置13によって、プローブPa1、Pb1、Pc1のプローブ移動ステージ10a1、10b1、10c1にそれぞれ与えられるのと同じ量のXYZ軸方向の移動命令を、連動対象であるそれぞれのフォトディテクタ移動ステージ12a、12b、12cに与えるようにすれば良い。フォトディテクタ11a、11b、11cを、それぞれプローブPa2、Pb2、Pc2と連動させる場合も同様である。13は制御装置である。制御装置13は、プローブ移動ステージ10a1~10c2及びフォトディテクタ移動ステージ12a~12cを介して、プローブPa1~Pc2及びフォトディテクタ11a~11cのXYZ軸方向の移動を制御するとともに、図示しない駆動機構を介して、位置測定部2と検査部3間でのウエハチャックステージ4の移動、並びに後述するXYステージを介してウエハチャックステージ4のXY軸方向の移動を制御するとともに、各θステージを介してウエハチャック5a、5b、5cのθ回転を制御し、さらには、位置測定装置9を介して、発光素子位置情報及び電極位置情報を取得、管理するとともに、検査部3で行われる光学特性、及び電気的特性の検査全体を制御する。図2は、図1の検査装置1の右側面図であり、図1と同じ部材には同じ符号を付してある。便宜上、ウエハ移載装置8は省略して示してある。図2において、14はウエハチャックステージ4を載置するXYステージである。15cは、フォトディテクタ11cの光入力ポート、16cはフォトディテクタ11cの光検出器である。なお、図2には表れないフォトディテクタ11a、11bにも、それぞれ、光入力ポート15a、15b、及び光検出器16a、16bが設けられていることはいうまでもない。次に図3~図8を用いて、本発明の検査装置1を用いる本発明の検査方法について説明する。先ず図3及び図4に示すように、ウエハ移載装置8によって、検査対象であるエキスパンドウエハUa~Ucを、それぞれ、ウエハチャックステージ4上のウエハチャック5a~5cにロードする。これが本発明の検査方法におけるa工程に相当する。エキスパンドウエハUa~Ucのロードが完了すると、位置測定装置9が作動して、カメラ6をガイド7x及び7yに沿ってXY軸方向に移動させ、エキスパンドウエハUa~Ucの上面をくまなく撮影し、その撮像データに基づいて、エキスパンドウエハUa~Uc上の発光素子の相対位置を測定して、発光素子位置情報として、位置測定装置9に記憶する。これが本発明の検査方法におけるb工程に相当する。このとき、必要であれば、位置測定装置9は、エキスパンドウエハUa~Uc上の発光素子の相対位置に加えて、各発光素子上の電極の相対位置を測定して、電極位置情報として位置測定装置9に記憶する。また、エキスパンドウエハUa~Uc上の発光素子の相対位置の測定時に、カメラ6のガイド7x、7yのX軸及び/又はY軸の方向と、エキスパンドウエハUa~Ucにおける発光素子の整列方向とが一定角度以上ずれている場合には、制御装置13は、ウエハチャック5a、5b、5cの各θステージによって、ウエハチャック5a、5b、5cをそれぞれθ方向に回転させて、カメラ6のガイド7x、7yのX軸及び/又はY軸方向に、エキスパンドウエハUa~Ucにおける発光素子の整列方向を一定角度以内で一致させ、その後に、位置測定装置9がエキスパンドウエハUa~Uc上の発光素子の相対位置を測定し、記憶する。なお、ウエハ移載装置8にプリアライメント機能がある場合には、ウエハチャック5a~5cにロードされた時点で、カメラ6のガイド7x、7yのX軸及び/又はY軸方向と、エキスパンドウエハUa~Ucにおける発光素子の整列方向とは一定角度以内に一致しているので、ウエハチャック5a、5b、5cをθ方向に回転させる必要はない。エキスパンドウエハUa~Ucのロードと、発光素子位置情報の測定、記憶と、必要に応じて電極位置情報の測定、記憶が完了すると、次に、制御装置13は、図示しない駆動機構を作動させて、図5及び図6に示すとおり、ウエハチャックステージ4をそのXYステージ14とともに、検査部3へと移動させる。なお、本例の検査装置1においては、位置測定部2と検査部3とが別位置に設けられているので、位置測定後に、ウエハチャックステージ4を位置測定部2から検査部3へと移動させる必要があるが、位置測定部2と検査部3とが同じ位置に設けられている場合には、特段、ウエハチャックステージ4を移動させる必要はない。ウエハチャックステージ4の検査部3への移動が完了すると、制御装置13は、位置測定装置9に記憶されている発光素子位置情報に基づいて、XYステージ14を作動させ、最初の検査対象となる発光素子が、対応するプローブPa1~Pc2及びフォトディテクタ11a~11cの下方に来るように、ウエハチャックステージ4をXY軸方向に移動させる。これがc本発明の検査方法における工程に相当する。ウエハチャックステージ4のこのときの移動は、いずれか1枚のエキスパンドウエハ、例えばエキスパンドウエハUaにおける最初の検査対象となる発光素子の位置に基づいて、その発光素子が対応するプローブPa1、Pa2、及びフォトディテクタ11aの下方に来るように、ウエハチャックステージ4をXY軸方向に移動させることによって行っても良いし、エキスパンドウエハUa~Ucのうち、2枚若しくは3枚のエキスパンドウエハにおける各最初の検査対象発光素子の位置に基づいて、各最初の検査対象発光素子と、対応するプローブPa1~Pc2との位置のずれが最小となるように、ウエハチャックステージ4をXY軸方向に移動させることによって行うようにしても良い。図7は、以上のようにして、各エキスパンドウエハUa~Uc上の最初の検査対象となる発光素子が、対応するプローブの下方に来た状態を示している。図7において、Ea1、Ea2、Ea3、Eb1、Eb2、Eb3、及びEc1、Ec2、Ec3は、それぞれ、エキスパンドウエハUa、Ub、及びUc上の検査対象となる発光素子を示している。図に示す例では、発光素子Ea1、Eb1、及びEc1が、各エキスパンドウエハ上で最初の検査対象となる発光素子であり、XYステージ14によるウエハチャックステージ4の移動によって、それぞれ対応するプローブPa1及びPa2、Pb1及びPb2、Pc1及びPc2の下方に位置している。なお、図7においてフォトディテクタ11a~11cは図示していないけれども、発光素子Ea1、Eb1、及びEc1は、それぞれ、対応するフォトディテクタ11a~11cの下方にも位置している。図8は、エキスパンドウエハUa上の発光素子Ea1の電極Ea1-d1及びEa1-d2に対して対応するプローブPa1及びPa2を位置合わせする状態を示す図である。すなわち、上述したように、ウエハチャックステージ4のXY軸方向の移動によって、最初に検査対象となる発光素子Ea1が対応するプローブPa1及びPa2の下方に位置すると、次に、制御装置13は、位置測定装置9に記憶されている電極位置情報に基づいて、プローブ移動ステージ10a1及び10a2を作動させて、プローブPa1及びPa2をXY軸方向に移動させ、図8に示すとおり、それぞれ対応する電極Ea1-d1及びEa1-d2に対応する位置へと移動させる。これが本発明の検査方法におけるd工程に相当する。なお、電極Ea1-d1及びEa1-d2に対応する位置とは、プローブPa1及びPa2をウエハチャックステージ4に対してZ軸方向に移動させて両者を接近させたときに、プローブPa1及びPa2が、それぞれ対応する電極Ea1-d1及びEa1-d2と接触する位置である。また、図8においては、便宜上、発光素子Ea1の電極Ea1-d1及びEa1-d2だけしか示していないけれども、同時に検査される他の発光素子Eb1、Ec1の電極Eb1-d1及びEb1-d2、Ec1-d1及びEc1-d2に対して、それぞれ対応するプローブPb1及びPb2、Pc1及びPc2を位置合わせする場合も同様である。上記のようにして、各エキスパンドウエハ上の最初に検査対象となる発光素子における電極に対する対応するプローブの位置合わせが完了すると、制御装置13は、プローブ移動ステージ10a1~10c2を作動させて、プローブPa1~Pc2を、ウエハチャックステージ4上のエキスパンドウエハUa~Ucに向かってZ軸方向に移動させ、各プローブPa1~Pc2を、それぞれ対応する電極Ea1-d1及びEa1-d2、Eb1-d1及びEb1-d2、及びEc1-d1及びEc1-d2と接触させる。なお、Eb1-d1及びEb1-d2は、エキスパンドウエハUbにおける発光素子Eb1の電極であり、Ec1-d1及びEc1-d2は、エキスパンドウエハUcにおける発光素子Ec1の電極である。また、プローブPa1~Pc2のエキスパンドウエハUa~Ucに対するZ軸方向の移動は相対的で良く、前述したように各プローブPa1~Pc2をウエハチャックステージ4上のエキスパンドウエハUa~Ucに向かって下降させる代わりに、ウエハチャックステージ4上のエキスパンドウエハUa~Ucを各プローブPa1~Pc2に向かって上昇させても良い。しかし、ウエハチャックステージ4には、本例の場合で3個のウエハチャック5a~5cが装備されており、ウエハチャックステージ4の重量が大きいので、ウエハチャックステージ4をZ軸方向に移動させるよりは、各プローブPa1~Pc2をZ軸方向に移動させる方が好ましい。各プローブPa1~Pc2、及び、電極Ea1-d1~Ec1-d2を介して、テスト信号が各発光素子Ea1、Eb1、及びEc1に供給され、各発光素子Ea1、Eb1、及びEc1によって発せられた光がフォトディテクタ11a~11cで検出され、発光素子Ea1、Eb1、及びEc1についての光学特性の検査が行われる。これが本発明の検査方法におけるe工程に相当する。なお、制御装置13は、光学特性の検査に先立って、フォトディテクタ11a~11cを検査に最適な位置に位置決めすることができる。すなわち、制御装置13は、各発光素子Ea1、Eb1、及びEc1に各プローブPa1~Pc2を介してテスト信号が供給された段階で、フォトディテクタ移動ステージ12a、12b、12cを介して、フォトディテクタ11a~11cを、各フォトディテクタで検出される光量が最大となるように、それぞれ独立に、少なくともXY軸方向に、好ましくはXYZ軸方向に移動させ、光量が最大となる位置にフォトディテクタ11a~11cを位置決めすることができる。制御装置13は、この検出される光量が最大となる位置を、フォトディテクタ11aについては対応するプローブPa1又はPa2のいずれか、フォトディテクタ11bについては対応するプローブPb1又はPb2のいずれか、そして、フォトディテクタ11cについては対応するプローブPc1又はPc2のいずれかに対する相対位置として、それぞれ記憶する。なお、上記のようなフォトディテクタ11a~11cの検出光量最大位置への位置決めは、検査対象となるエキスパンドウエハ上の少なくとも最初の発光素子についての上記e工程において行われるのが好ましいが、その後も適宜の検査個数ごとに行っても良く、極端な場合には、検査対象となる全発光素子についての上記e工程において行っても良い。前記検出光量が最大となる位置にフォトディテクタ11a~11cを位置決めした後に、制御装置13は、各フォトディテクタ11a~11cによる測定データに基づいて、各発光素子Ea1、Eb1、及びEc1についての光学特性の検査を行う。検査結果乃至は測定された光学データは、制御装置13の記憶装置に記憶され、適宜利用される。なお、このとき、各発光素子Ea1、Eb1、及びEc1について、その電気的特性の検査を併せて行っても良いことは勿論である。以上のようにして、最初の発光素子Ea1、Eb1、及びEc1についての検査が終了すると、制御装置13は、再びプローブ移動ステージ10a1~10c2を作動させて、プローブPa1~Pc2をZ軸方向に上昇させる。制御装置13は、続いて、XYステージ14を介してウエハチャックステージ4をXY軸方向に移動して、2番目に検査対象となる発光素子Ea2、Eb2、及びEc2を、対応するプローブPa1~Pc2及びフォトディテクタ11a~11cの下方に位置させ、上記と同様に、各発光素子Ea2、Eb2、及びEc2における電極に対する対応するプローブの位置合わせと、プローブPa1~Pc2のZ軸方向への下降と、各発光素子Ea2、Eb2、及びEc2についての光学特性の検査が行われ、以下、同様にして、検査対象となる発光素子を、例えば図7に矢印で示すように、Ea1→Ea2→Ea3→と順次切り替えて、エキスパンドウエハUa~Uc上の検査対象となる全ての発光素子について検査が行われる。これが本発明の検査方法におけるf工程に相当する。検査対象となる発光素子の切り換えは、位置測定装置9に記憶されている発光素子位置情報に基づいて、次に検査対象となる各発光素子が、それぞれ対応するプローブPa1~Pc2及びフォトディテクタ11a~11cの下方に位置するように、ウエハチャックステージ4をX軸及び/又はY軸方向に移動、すなわち、ピッチ送りすることによって行われる。このように、本発明の検査装置及び検査方法においては、ウエハチャックステージ4のピッチ送りによって行われる検査対象発光素子の切り換えが、位置測定部2において予め測定された発光素子位置情報に基づいて行われるので、各エキスパンドウエハ上の発光素子の間隔がまちまちであっても、検査対象となる発光素子を常に対応するプローブ及びフォトディテクタの下方に正確に位置させることができる。なお、検査対象となる各発光素子における電極に対する対応するプローブの位置合わせに際して、制御装置13は、移動モードを切り替えて、フォトディテクタ11a~11cを、それぞれ対応するプローブPa1~Pc2のいずれかと連動させて、連動対象となるプローブと同じ量だけXY軸及び/又はZ軸方向に移動させることができる。これにより、フォトディテクタ11a~11cが、対応するプローブPa1~Pc2との相対的な位置関係で最適位置に位置決めされている場合には、各発光素子ごとにプローブPa1~Pc2の位置が変わっても、フォトディテクタ11a~11cとプローブPa1~Pc2との相対的な位置関係は維持されるので、フォトディテクタ11a~11cは、プローブPa1~Pc2に対して、常に検出される光量が最大となる最適位置に配置されることになる。また、プロービング時に、プローブPa1~Pc2をウエハチャックステージ4上のエキスパンドウエハUa~Ucに向かって下降又は上昇させるに際して、制御装置13は、移動モードを切り替えて、フォトディテクタ11a~11cを、それぞれ対応するプローブPa1~Pc2のいずれかと連動させて、連動対象となるプローブと同じ量だけZ軸方向に移動させるのが好ましい。これにより、プローブPa1~Pc2とフォトディテクタ11a~11cとの相対的な位置関係を保った状態で、プロービングを行うことが可能となる。上記のようにして、エキスパンドウエハUa~Uc上の全発光素子について、その光学特性の検査が完了すると、制御装置13は、図5及び図6に矢印で示したのとは逆に、ウエハチャックステージ4を検査部3から位置測定部2へと移動させる。ウエハチャックステージ4が位置測定部2に戻ると、ウエハ移載装置8が作動して、検査済みのエキスパンドウエハUa~Ucをウエハチャック5a~5cからアンロードする。空になったウエハチャック5a~5cには、引き続き、次のエキスパンドウエハUd~Ufがロードされ、同様の検査が行われる。なお、上記の例では、ウエハチャックステージ4に装備されているウエハチャック5a~5cの数は3個であるが、ウエハチャックステージ4に装備されるウエハチャックの数は複数個であれば良く、2個であっても良いし、4個以上であっても良い。いずれにせよ、本発明の検査装置及び検査方法によれば、複数枚のエキスパンドウエハ上の発光素子の光学特性を同時に検査することができるので、単位時間あたりの検査個数は、ウエハチャックステージに装備されているウエハチャックの個数倍となり、大幅な検査個数の増大を実現することができる。また、上記の例では、ウエハチャック5a~5cにロードされるエキスパンドウエハUa~Uc上の全発光素子を検査するようにしているが、もしもエキスパンドウエハUa~Uc上に検査が不要、若しくは検査ができない発光素子が存在する場合には、その発光素子に対応するプローブ及びフォトディテクタをZ軸方向に上昇させて、ウエハチャックステージ4がプローブPa1~Pc2に対して相対的に上昇しても当該発光素子とは接触しない位置に退避させておくことができる。図9は本発明の検査装置1の他の一例を示す平面図であり、図10はその右側面図である。図9及び図10に示す検査装置1においては、1つの検査部3に対して、位置測定部2-1と位置測定部2-2という2つの位置測定部が設けられている点が、先に示した検査装置1と異なっている。位置測定部2-1及び2-2は、図1及び図2に示した位置測定部2と基本的に同じものであり、位置測定部2-1及び2-2には、それぞれ、ウエハチャックステージ4-1及び4-2、カメラ6-1及び6-2、位置測定装置9-1及び9-2が設けられている。また、ウエハチャックステージ4-1及び4-2には、それぞれ3個ずつのウエハチャック5a-1、5b-1、5c-1と、5a-2、5b-2、5c-2が装備されている。なお、8-1、8-2は適宜のウエハ移載装置である。また、位置測定部2-1と検査部3との間にY軸レールrが敷かれているのと同様に、位置測定部2-2と検査部3との間にもY軸レールrが敷かれており、ウエハチャックステージ4-1が位置測定部2-1と検査部3の間を移動することができるのと同様に、ウエハチャックステージ4-2は、位置測定部2-2と検査部3との間を移動することができるようになっている。位置測定部2-1及び2-2において、カメラ6-1又は6-2によってエキスパンドウエハ上の発光素子の位置の測定が行われるウエハチャックステージ4-1及び4-2の位置を位置測定位置と呼び、検査部3においてエキスパンドウエハ上の発光素子について光学特性の検査が行われるウエハチャックステージ4-1又は4-2の位置を検査位置と呼ぶことにする。したがって、各ウエハチャックステージ4-1及び4-2は、それぞれの位置測定位置と、共通する検査位置との間を移動可能であるということになる。上記のような検査装置1を用いて行われる本発明の検査方法の他の例を説明する。まず、図9は、ウエハチャックステージ4-1と4-2は、それぞれの位置測定位置にあり、また、それぞれのウエハチャックにはエキスパンドウエハがロードされていない状態を示しているが、この状態から、位置測定部2-1の位置測定位置にあるウエハチャックステージ4-1に対して、先に説明した本発明の検査方法におけると同様にab工程が行われる。すなわち、ウエハ移載装置8-1が作動して、ウエハチャックステージ4-1に装備されているウエハチャック5a-1~5c-1のそれぞれにエキスパンドウエハUa~Ucをロードする。ウエハチャック5a-1~5c-1にエキスパンドウエハUa~Ucがロードされると、位置測定装置9-1が作動して、カメラ6-1をガイド7x及び7yに沿ってXY軸方向に移動させ、エキスパンドウエハUa~Uc上の発光素子の基準位置に対する相対的な位置を測定し、発光素子位置情報として位置測定装置9-1に記憶する。このとき、各発光素子上の電極位置を併せて測定して、電極位置情報として位置測定装置9-1に記憶しても良いことは先に説明した本発明の例におけると同様である。また、必要に応じて、ウエハチャック5a-1~5c-1をθ軸方向に回転させて、カメラ6-1のガイド7x、7yのX軸及び/又はY軸方向に、エキスパンドウエハUa~Uc上の発光素子の配列方向を一致させることも、先に説明した本発明の例におけると同様である。発光素子の位置測定が終わると、制御装置13が作動して、位置測定位置にあったウエハチャックステージ4-1を検査部3の共通する検査位置へと移動させる。図11は、この状態を示す平面図である。図11に示すとおり、エキスパンドウエハUa~Ucがロードされたウエハチャックステージ4-1は検査位置へと移動しており、その位置で、先に説明した例におけると同様に、cdefの工程が行われる。同時並行的に、位置測定部2-2の位置測定位置にあるウエハチャックステージ4-2に対して、ウエハチャックステージ4-1に対して行われたのと同様に、先に説明した本発明の検査方法におけるab工程が行われる。すなわち、位置測定部2-2におけるウエハ移載装置8-2が作動して、図11に示すとおり、ウエハチャックステージ4-2に装備されているウエハチャック5a-2~5c-2のそれぞれにエキスパンドウエハUd~Ufをロードする。ウエハチャック5a-2~5c-2にエキスパンドウエハUd~Ufがロードされると、位置測定装置9-2が作動して、カメラ6-2をガイド7x及び7yに沿ってXY軸方向に移動させ、エキスパンドウエハUd~Uf上の発光素子の基準位置に対する相対的な位置を測定し、発光素子位置情報として位置測定装置9-2に記憶する。このとき、各発光素子上の電極位置を併せて測定して、電極位置情報として位置測定装置9-2に記憶しても良いことは先に説明した本発明の例におけると同様である。また、必要に応じて、ウエハチャック5a-2~5c-2をθ軸方向に回転させて、カメラ6-2のガイド7x、7yのX軸及び/又はY軸方向に、エキスパンドウエハUd~Uf上の発光素子の配列方向を一致させることも、先に説明した本発明の例におけると同様である。次に、検査部3の検査位置にあるウエハチャックステージ4-1について前記cdefの工程が完了し、エキスパンドウエハUa~Uc上の検査対象となるすべての発光素子についての検査が終了すると、制御装置13は、図12に示すように、ウエハチャックステージ4-1を検査位置から位置測定部2-1にある元の位置測定値位置へと移動させる。次いで、ウエハ移載装置8-1が作動して、ウエハチャックステージ4-1から検査が終了したエキスパンドウエハUa~Ucをアンロードする。制御装置13は、検査部3の検査位置にウエハチャックステージ4-1が存在しないことを確認すると、位置測定部2-2の位置測定位置にあるウエハチャックステージ4-2を、図12の矢印で示すように、検査部3の検査位置へと移動させる。検査部3の検査位置へと移動したウエハチャックステージ4-2については、ウエハチャックステージ4-1についてと同様に、前記cdefの工程が行われ、ロードされているエキスパンドウエハUd~Uf上の検査対象となるすべての発光素子について検査が行われる。なお、検査部3の検査位置にウエハチャックステージ4-1が存在しないことの確認は、検査位置にウエハチャックステージ4-1が存在しないことを電気的、光電的、或いは電磁的に検知することによって行っても良いし、位置測定部2-1の位置測定位置にウエハチャックステージ4-1が存在することを同様の手段で検知することによって行っても良い。ウエハチャックステージ4-2が検査部3の検査位置に存在しないことの確認についても同様である。ウエハチャックステージ4-2について前記cdefの工程が行われているのと同時並行的に、ウエハチャックステージ4-1には、次の検査対象となるエキスパンドウエハUg~Uiがウエハ移載装置8-1によってロードされ、以下、同様にして発光素子の検査が連続して行われることになる。以上のとおり、本例における検査方法によれば、一方のウエハチャックステージにロードされているエキスパンドウエハについてその発光素子の検査が行われている間に、他方のウエハチャックステージにロードされているエキスパンドウエハについて、その発光素子、好ましくは発光素子と各発光素子における電極の位置を測定することができ、一方のウエハチャックステージにロードされているエキスパンドウエハについての検査が終了すると、直ちに、他方のウエハチャックステージを検査部3の検査位置に移動させて検査を開始することができるので、検査部3を遊ばせておく時間を最小限に留め、結果として、単位時間あたりの検査個数を大幅に増大させることができる。なお、一方のウエハチャックステージについて行われる前記cdef工程と、他方のウエハチャックステージについて行われる前記ab工程とは、少なくともその一部が時間的に重なっていれば良いが、その全体若しくは大部分が時間的に重なっていることが望ましく、少なくともエキスパンドウエハ上の発光素子の位置測定が行われる前記b工程と、エキスパンドウエハ上の発光素子について光学特性の検査が行われる前記cdef工程とが時間的に重なっているのが望ましい。以上の例では、1つの検査部3に対して、2つの位置測定部2-1及び2-2が設けられているが、1つの検査部3に対して設けられる位置測定部2の数は2個に限られず、例えば、4つの位置測定部2-1~2-4を、1つの検査部3に対して、平面上で互いに90度離れた位置に配置するようにしても良い。この例は、検査に要する時間に比べて位置測定に要する時間が比較的長い場合に有利である。