"ミラー反射面を有するミラー部を両側からトーションバーにより支持し、該トーションバーを軸として揺動させ、前記ミラー反射面で反射する光を走査させる光走査装置であって、前記ミラー部は、前記ミラー反射面の中心を通り前記軸と垂直な垂直軸と前記ミラー反射面の端部との交点と前記トーションバーとの間に前記トーションバーのねじれ運動により発生する応力を緩和する応力緩和領域を有することを特徴とする光走査装置。前記応力緩和領域は、前記トーションバーから前記ミラー反射面に向かって末広がりの平面形状を有することを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。前記応力緩和領域の端部は角部を含まないことを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置。前記応力緩和領域は、スリットを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光走査装置。前記スリットは、前記軸に関して対称となるように配置されたことを特徴とする請求項4に記載の光走査装置。前記スリットは、複数であることを特徴とする請求項4又は5に記載の光走査装置。前記スリットは、偶数であることを特徴とする請求項6に記載の光走査装置。前記スリットは、円弧状の形状を有することを特徴とする請求項4乃至8のいずれか一項に記載の光走査装置。前記ミラー反射面の裏面には、リブが形成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光走査装置。前記スリットは、前記リブと離間して設けられたことを特徴とする請求項9に記載の光走査装置。前記トーションバーは、前記ミラー部の周囲に設けられ、前記ミラー部を前記軸周りに揺動させる駆動源を有する水平駆動梁に連結され、該水平駆動梁は、周囲を囲み、前記リブと同じ厚さを有する可動枠に連結され、該可動枠には、前記駆動梁と同じ厚さを有する肉抜き部が設けられたことを特徴とする請求項9又は10に記載の光走査装置。前記肉抜き部は、前記軸の延在方向と一致する領域にのみ設けられたことを特徴とする請求項11に記載の光走査装置。前記肉抜き部は窪みであり、前記可動枠に複数設けられたことを特徴とする請求項11又は12に記載の光走査装置。前記窪みは略三角形状であり、前記窪みが形成されない前記リブと同じ厚さを有する部分が前記可動枠に沿ってジグザグ形状をなすように、頂点の向きが前記可動枠に沿って交互に配置されたことを特徴とする請求項13に記載の光走査装置。前記可動枠は、前記可動枠を両側から支持し、前記可動枠を前記軸と垂直な前記垂直軸周りに揺動させる垂直駆動手段に連結され、該垂直駆動手段は、前記軸と平行に配置された複数の矩形の梁に各々駆動源が設けられた複数の垂直駆動梁を有し、該垂直駆動梁は、一端が内側にある該垂直駆動梁又は前記可動枠の一端に連結され、他端が外側にある該垂直駆動梁の一端又は前記垂直駆動手段を支持するフレームに連結されて全体として蛇行するように連結され、前記垂直駆動手段は、前記垂直駆動梁を偶数含むことを特徴とする請求項11乃至14のいずれか一項に記載の光走査装置。前記駆動源は、圧電素子であることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか一項に記載の光走査装置。しかしながら、上述の特許文献1に記載の構成では、反射面の歪みは補正できるものの、リブ構造の周辺に応力が集中して破損が生じ易くなるという問題があった。また、破損まで至らなくても、リブ構造の周辺に応力が繰り返し加わるため、材料疲労が生じて性能劣化を招くという問題があった。そこで、本発明は、ミラー部に加わる応力を緩和し、破損や材料疲労を低減させることができる光走査装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る光走査装置は、ミラー反射面10を有するミラー部40~43を両側からトーションバー50により支持し、該トーションバー50を軸Xとして揺動させ、前記ミラー反射面10で反射する光を走査させる光走査装置であって、前記ミラー部40~43は、前記ミラー反射面10の中心を通り前記軸Xと垂直な垂直軸Yと前記ミラー反射面10の端部との交点と前記トーションバー50との間に前記トーションバー50のねじれ運動により発生する応力を緩和する応力緩和領域20、22~24を有することを特徴とする。また、前記応力緩和領域20、22~24は、前記トーションバー50から前記ミラー反射面10に向かって末広がりの平面形状を有することが好ましい。また、前記応力緩和領域20、22~24の端部21は角部を含まないことが好ましい。また、前記応力緩和領域20、22~24は、スリット30~38を有する構成であってもよい。また、前記スリット30~38は、前記軸Xに関して対称となるように配置されてもよい。また、前記スリット30~38は、複数であってもよい。また、前記スリット30~38は、偶数であってもよい。また、前記スリット30~38は、円弧状の形状を有してもよい。また、前記ミラー反射面10の裏面には、リブ11が形成されていることが好ましい。また、前記スリット30~38は、前記リブ11と離間して設けられていることが好ましい。また、前記トーションバー50は、前記ミラー部40~43の周囲に設けられ、前記ミラー部40~43を前記軸X周りに揺動させる駆動源71を有する水平駆動梁70に連結され、該水平駆動梁70は、周囲を囲み、前記リブ11と同じ厚さを有する可動枠80に連結され、該可動枠80には、前記水平駆動梁70と同じ厚さを有する肉抜き部81が設けられてもよい。また、前記肉抜き部81は、前記軸Xの延在方向と一致する領域にのみ設けられてもよい。また、前記肉抜き部81は窪みであり、前記可動枠80に複数設けられた構成であってもよい。また、前記窪みは略三角形状であり、前記窪みが形成されない前記リブ11と同じ厚さを有する部分82が前記可動枠80に沿ってジグザグ形状をなすように、頂点の向きが前記可動枠80に沿って交互に配置された構成であることが好ましい。また、前記可動枠80は、前記可動枠80を両側から支持し、前記可動枠80を前記軸Xと垂直な垂直軸Y周りに揺動させる垂直駆動手段110に連結され、該垂直駆動手段110は、前記軸Xと平行に配置された複数の矩形の梁に各々駆動源91が設けられた複数の垂直駆動梁90を有し、該垂直駆動梁90は、一端が内側にある該垂直駆動梁90又は前記可動枠80の一端に連結され、他端が外側にある該垂直駆動梁90の一端又は前記垂直駆動手段を支持するフレーム120に連結されて全体として蛇行するように連結され、前記垂直駆動手段110は、前記垂直駆動梁90を偶数含む構成であってもよい。また、前記駆動源71、81は、圧電素子であってもよい。本発明によれば、ミラー部に加わる応力を緩和し、破損や材料疲労を低減させることができる。以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。図1は、本発明の実施例1に係る光走査装置の一例を示した表面側の斜視図である。図1において、実施例1に係る光走査装置は、ミラー部40と、トーションバー50と、連結部60と、水平駆動梁70と、駆動源71と、可動枠80と、垂直駆動部110と、フレーム120と、端子130と、配線140とを有する。また、ミラー部40は、ミラー反射面10と、応力緩和領域20と、スリット30とを有し、垂直駆動部110は、垂直駆動梁90と、駆動源91と、連結部100とを有する。ミラー部40は、2本のトーションバー50により同一直線上の両外側から挟まれるように支持されている。ミラー部40は、中心にミラー反射面10を有し、ミラー反射面10とトーションバー50との間に応力緩和領域20を有する。各応力緩和領域20には、2つのスリットが形成されている。また、トーションバー50は、連結部60を介して水平駆動梁70の内側の角に連結されている。水平駆動梁70は、表面に駆動源71を備え、外側の辺が可動枠80に連結されている。可動枠80は、水平駆動梁70を介して連結部60、トーションバー50及びミラー部20を支持するとともに、これらの周囲を囲んでいる。可動枠80は、奥側の一端が垂直駆動梁90の一端に連結され、可動枠80に連結された垂直駆動梁90の他端は、自分よりも外側にある垂直駆動梁90の一端に連結されている。垂直駆動梁90は、可動枠80の両側に、可動枠80を挟むようにトーションバー50と平行に複数設けられ、可動枠80の各片側には4つの垂直駆動梁90が配置されている。4つの垂直駆動梁90は、その端部よりも外側にある連結部100により、隣接して配置された垂直駆動梁90に連結されているが、一端は内側の垂直駆動梁90の一端に連結され、他端は外側の垂直駆動梁90の一端に連結されている。最も内側にある可動枠80に隣接した垂直駆動梁90は、一端は可動枠80の一端に連結され、他端は外側の垂直駆動梁90の一端に連結されている。また、最も外側にあるフレーム120に隣接した垂直駆動梁90は、一端がフレーム120に連結され、他端が内側にある垂直駆動梁90の一端に連結されている。また、垂直駆動梁90には、駆動源91が備えられている。垂直駆動梁90は、片側4本で片側の垂直駆動部110を構成し、両側8本で全体の垂直駆動部110を構成する。フレーム120は、最も外側の垂直駆動梁90を介して垂直駆動部110を支持する。フレーム120の表面には端子130が設けられ、配線140が接続される。駆動源71、91は、例えば、電圧の印加により伸縮して駆動する圧電素子等の電力の供給により駆動する駆動源71、91が用いられてよく、駆動源71、91に電圧を供給するために配線140が設けられている。次に、個々の構成要素について、より詳細に説明する。ミラー部40は、ミラー反射面10を保持するための部材であり、ミラー反射面10を中心に備える。ミラー反射面10は、照射された光を反射するための面であり、例えば、銀、銅、アルミニウムのような反射率の高い金属箔が用いられてもよい。ミラー反射面10は、一般に、規格や仕様によりサイズや形状が定められており、形状は円である場合が多い。ミラー反射面10は、例えば、ミラー部40の中心に貼り付けられて形成されてもよい。応力緩和領域20は、トーションバー50の捻れ応力を緩和させ、ミラー反射面10に加わる応力を低減させるための領域である。応力緩和領域20についての詳細は後述するが、トーションバー50とミラー反射面10との間にスペース部を設けることにより、トーションバー50の捻れ運動で発生する応力を分散させ、ミラー反射面10に加わる応力を緩和することができる。スリット30は、応力緩和領域20内に設けられ、応力緩和領域20に印加された応力を分散させるための穴である。応力緩和領域20に更にスリット30を設けることにより、応力緩和領域20に印加された応力を更に分散させることができる。なお、スリット30についても、詳細は後述する。トーションバー50は、ミラー部40を両側から支持するとともに、ミラー部20を水平方向に揺動させるための手段である。ここで、水平方向とは、ミラー反射面10により反射される光が高速に走査して移動する方向であり、投影面の横方向を意味する。つまり、ミラー反射面10が横方向に揺動する方向であり、トーションバー50が軸となる方向である。トーションバー50は、左右に交互に捻れることにより、ミラー部40を水平方向に揺動させる。連結部60は、水平駆動梁70で発生した水平方向の駆動力をトーションバー50に伝達するための伝達手段である。水平駆動梁70は、ミラー部40を水平方向に揺動させ、ミラー反射面10により反射された光を投影面の水平方向に走査させるための駆動手段である。水平駆動梁70は、例えば表面に圧電素子等の駆動源71を備えてよく、圧電素子の薄膜が水平駆動梁70の表面上に形成されてもよい。圧電素子は、電圧の印加により伸縮する素子であり、ミラー部40の左右両側にある圧電素子に異なる位相の電圧を交互に印加することにより、左右の水平駆動梁70を交互に上方に反らせることができる。これにより、トーションバー50に捻れ力を与え、トーションバー50を軸とする水平方向軸周りにミラー部40を揺動させることができる。なお、圧電素子には、例えば、ピエゾ素子が用いられてもよい。また、水平駆動梁70による駆動は、例えば、共振駆動が用いられてよい。本実施例に係る光走査装置がプロジェクタ等に用いられる場合、一般に、水平方向は30kHz程度の高速スキャンが要求されるので、高速走査が可能なように、共振駆動によりミラー部40を駆動することが好ましい。なお、ミラー部40、トーションバー50、連結部60及び水平駆動梁70の殆どが、弾性を有するように薄く構成され、例えば、シリコン基板の薄板として構成されてもよい。可動枠80は、ミラー部40,トーションバー50、連結部60及び水平駆動梁70を外側から囲んで支持するとともに、トーションバー50と垂直な方向の垂直軸周りに揺動する際の揺動対象となる。可動枠80は、水平駆動梁70を固定支持することが求められるので、弾性をあまり有さないように、上述のトーションバー50、連結部60及び水平駆動梁70よりも厚く構成され、これらの数倍の厚さを有して構成される。例えば、トーションバー50、連結部60及び水平駆動梁70が同じ厚さで、50μm程度で構成された場合には、可動枠80は250μm以上の厚さで構成されてもよい。例えば、実施例1に係る光走査装置をSOISiliconOnInsulator基板から形成した場合には、活性層の薄板のシリコン基板の部分をトーションバー50等の弾性を要する箇所に用い、活性層と埋め込み酸化膜と支持基板が積層された部分全体を可動枠80等の厚い部分に用いればよい。垂直駆動部110は、矩形であり、トーションバー50がなす水平軸と平行に配置された複数の垂直駆動梁90を有する。垂直駆動梁90は、各々が駆動源91を備え、独立した位相で駆動することが可能となっている。駆動源91は、例えば、ピエゾ素子等の圧電素子が用いられてもよく、この場合には、隣接する垂直駆動梁90に異なる位相の電圧が印加されるようにすれば、可動枠80を手前側又は奥側に傾くように揺動傾動させることができる。なお、ミラー部40は、可動枠80に支持されているので、可動枠80の揺動に従い、同じように垂直方向に揺動することになる。なお、垂直駆動部110は、例えば、非共振駆動により可動枠80を揺動させてもよい。垂直駆動では、水平駆動と比較して高速駆動は要求されず、例えば、60Hz程度の周波数でよい場合が多い。また、垂直駆動梁90は複数設けられているため、変位の蓄積により非共振駆動によって要求される速度を満たすことができる場合が多いからである。なお、垂直駆動部110の構成についても、詳細は後述するが、本実施例に係る光走査装置においては、垂直駆動梁90が偶数個設けられている。これにより、手前側と奥側への揺動に作用する垂直駆動梁90を常に同数とすることができ、手前側と奥側で均等な揺動を行うことができる。フレーム120は、垂直駆動部110及び可動枠80を支持するための固定支持部材であり、最も外側の垂直駆動梁90を介して垂直駆動部110を支持し、更に垂直駆動部110を介して可動枠80を支持している。垂直駆動梁90及び連結部100は、弾性を有するように薄板として構成されるが、フレーム120は、弾性を有しない厚板として構成される。端子130は、フレーム120上に設けられ、配線140に電力を供給している。これにより、駆動源71、91に電力が供給され、水平方向及び垂直方向に揺動駆動を行うことができる。図2は、本発明の実施例1に係る光走査装置の一例の裏面側を示した斜視図である。図2において、図1と同様の構成要素には、同一の参照符号を付している。図2において、ミラー反射面10の裏面に、リブ11が設けられている。リブ11は、駆動中におけるミラー反射面10の歪みが発生するのを抑制することができ、ミラー反射面10を平坦に保つことができる。リブ11は、ミラー反射面10の形状とほぼ外形が一致するように形成される。これにより、ミラー反射面10を全体に亘って平坦にすることができる。スリット30は、リブ11とトーションバー50との間の応力緩和領域20内に設けられている。これにより、トーションバー50から伝達される応力を、応力緩和領域20内で分散させ、リブ11にまで応力が伝達することを防ぐことができる。可動枠80には、肉抜き部81が設けられている。肉抜き部81は、可動枠80を軽量化するために形成された窪みである。可動枠80は、水平駆動梁70を支持する役割を有するため、厚肉部で構成されるが、自らも垂直方向に揺動する駆動対象であるため、重量が大きいと、同じ電圧を印加しても変位が小さくなり、感度が低下してしまう。よって、可動枠に肉抜き部を設け、軽量化することにより、感度を向上させることができる。また、可動枠80が例えば60Hzで駆動される場合、60Hzの倍数120Hz、180Hz、240Hzに不要な共振周波数が存在すると、ノイズが大きくなってしまう。つまり、振動特性として、駆動周波数の倍数付近に不要な共振周波数が存在しないことが好ましい。軽量化により、不要な共振周波数を高周波数化することができ、駆動周波数の倍数付近から不要な共振周波数を遠ざけることができる。また、不要な共振周波数が駆動周波数の倍数であった場合でも、60Hzから離れた周波数、つまり高周波数側である方が影響は少ない。つまり、可動枠80の軽量化により、不要な共振周波数を高周波数化することができ、ノイズを減少させることができる。なお、肉抜き部81の形状、配置等の詳細については後述するものとする。可動枠80及びフレーム120の他、垂直駆動部110の垂直駆動梁90同士の連結部100の裏面にも、リブ101が形成されている。かかるリブ101により、垂直駆動梁90同士の連結を補強し、剛性を高めている。図3は、実施例1に係る光走査装置の応力緩和構造についてより詳細に説明するための図である。図3Aは、実施例1に係る光走査装置のミラー部周辺の表面側の構成を示した図であり、図3Bは、実施例1に係る光走査装置のミラー部周辺の裏面側の構成を示した図である。図3Aに示すように、表面側については、ミラー部40は、円形のミラー反射面10とトーションバー50との間に応力緩和領域20を有する。また、図3Aにおいて、回転揺動軸Xに垂直な垂直軸とミラー部40との交点が示され、交点とトーションバー50との間に応力緩和領域20が設けられている。また、各応力緩和領域20には、回転揺動軸Xに対称に円弧状のスリット30が2つ形成されている。図3Bに示すように、裏面側については、ミラー反射面10の円形に対応して、ミラー反射面10とほぼ同様のエリアに格子状のリブ11が形成されている。これは、ミラー反射面10の平坦性を確保するためであり、格子状のリブパターンでミラー反射面10全体を補強している。但し、リブ11は重量物となり、ミラー部40の振れ角感度の低下を引き起こすため、可能な範囲で肉抜きを行っている。その結果、図3Bに示すように、格子状のリブ11が形成されている。図3Bにおいて、ミラー部40については、回転軸Xと直交する方向の外形寸法は、ミラー反射面10の寸法とほぼ同じとなっている。具体的には、ミラー反射部10の中心Cを含む上下に直径の2/3以内の範囲では、ミラー部40の外形寸法は、ミラー反射面10の寸法とほぼ同様である。つまり、応力緩和領域20は、回転軸Xと直交する方向の、少なくともミラー反射面10の中心Cを通る部分には形成されていない。これは、回転軸Xから離れた場所に重量があると、慣性モーメントの働きでミラー反射面10の感度低下が発生するからである。一方、回転軸Xに近い箇所の重量は、回転軸Xから離れた箇所ほどの影響は無いため、回転軸方向のミラー部40の外形寸法をミラー反射面10よりも大きくし、応力緩和領域20としてスペースを設けている。かかる応力緩和領域20を設けることにより、応力が発生するトーションバー50からリブ11までの距離を離すことになり、リブ11への応力を緩和することができ、リブ11の破壊を防止することができる。なお、図3A、Bに示すように、応力緩和領域20の平面形状は、トーションバー50からミラー反射面10に向かって末広がりの形状であることが好ましい。応力緩和領域20は、トーションバー50で発生した応力を緩和させるため、ある程度広いスペースが必要とされるが、トーションバー50から急激に横に広げた長方形のような形状としても、応力自体が横方向に伝達しないし、上述の慣性モーメントの発生により回転揺動にも悪影響を与えるからである。図3A、Bに示すようは末広がりの形状であれば、応力を分散させることができるとともに、揺動にも悪影響を与えない。また、図3A、Bに示すように、応力緩和領域20の端部21の平面形状は、曲線であることが好ましい。トーションバー50は、捻れ運動を行うため、端部21にも応力が発生するが、角を有する端部形状を含むと、角部分に応力が集中し易く、破損を招き易い。よって、応力緩和領域20の端部21をR形状とすることにより、そのような応力の集中による破損を防ぐことができる。なお、応力緩和領域20の端部21は、角部を含んでさえいなければ、直線部分を含んでもよい。直線部分が角部を構成しなければ、そこに応力が集中することはないからである。図4は、実施例1に係る光走査装置のミラー部40のミラー反射面10と応力緩和領域20との寸法関係を示した図である。図4において、ミラー反射面10の寸法を縦MV、横MHとし、ミラー部40の寸法を縦DV、横DHとすると、MH≒DH、MV<DVとなる。つまり、横方向についてはミラー反射面10とミラー部40の外形はほぼ等しく、縦方向についてはミラー反射面10の外形よりもミラー部40の外形が大きい。なお、図4に示すように、ミラー反射面10の外形は円であるが、ミラー部40の外形は楕円に近似したものとなる。また、応力緩和領域20のMV以上~DV以下の範囲には、スリット30が設けられている。スリット30を設けることにより、応力緩和領域20に伝達した応力を更に分散させることができるが、この点について以下説明する。図5は、実施例1に係る光走査装置の応力緩和領域20に設けられたスリット30による応力緩和効果を説明するための図である。図5A~Dにおいて、トーションバー50から応力緩和部20及びリブ11に加わる応力の強度分布が示されている。ミラー反射面10のリブ11は、ミラー反射面10の反りを低減する効果があるが、その半面、リブ11の付け根のL字状の部分は形状的に応力が集中し易くなる。特に、本実施例に係る光走査装置をMEMSMicroElectroMechanicalSystem構造体として構成する場合には、絶縁酸化膜一般にSiO2の両側にシリコン基板を貼り合わせたSOIウェハーを用いて作製する場合が多い。この場合、上述のL字部分が絶縁酸化膜とシリコン基板の貼り合わせ部分に相当するため、ミラー反射面10に垂直な力成分が加わることにより、この貼り合わせ部分から剥離が発生及び進行し、破損に至る場合が多い。そこで、本実施例に係る光走査装置においては、回転軸X方向におけるミラー部40の外形とリブ11との距離を離間させ、応力緩和領域20を設けることによりトーションバー50で発生する力がリブ11のL字状部分に及ぶのを低減させているが、更にスリット30を応力緩和領域20に設けることにより、上述のL字状部分に及ぶ垂直方向の力成分を複数箇所に分散させている。図5Aは、スリット30を応力緩和領域20に設けない場合の応力強度分布を示した図である。図5Aにおいて、トーションバー50で発生した応力は、トーションバー50から離れる程小さくなり、リブ11に到達する応力はトーションバー50で発生した応力よりも小さくなっている。これは、応力緩和領域20で応力が緩和されたためである。しかしながら、リブ11に到達した応力は、トーションバー50の延長線上にある回転軸X図5においては図示せず上に集中している。図5Bは、スリット30を応力緩和領域20に設けた場合の応力強度分布を示した図である。図5Bにおいて、2つのスリット30を回転軸Xに対称に、リブ11から距離を離間させて設けたことにより、応力緩和領域20内の応力が分散され、リブ11に到達した応力は、2つのスリット30の間の回転軸X上の部分と、各スリット30よりも外側の2つの部分となり、3つに分散されている。その結果、リブ11に到達する1つの応力大きさは低減されて小さくなり、リブ11の特定箇所に強い応力が加わるのを防ぐことができる。なお、スリット30がリブ11に接近して設けられていると、スリット30で応力をブロックする効果が働かず、応力がそのままリブ11に加わってしまう。よって、スリット30は、リブ11からある程度距離を離して設けることが好ましい。図5Cは、スリット30を応力緩和領域20に設けない場合の鉛直方向の応力強度分布を示した図である。図5Cに示すように、スリット30が存在しない場合には、リブ11の2箇所に応力が集中する。なお、図5Aと異なり、2箇所の応力集中箇所が示されているのは、応力成分を鉛直方向に限定して示したことにより、揺動のプラスとマイナスで各々応力集中箇所が示されているからである。図5Dは、スリット30を応力緩和領域20に設けた場合の鉛直方向の応力強度分布を示した図である。図5Dに示すように、スリット30が存在する場合には、スリット30の存在しない箇所に応力が分散され、4箇所に応力集中箇所が分散されていることが分かる。これにより、分散された各応力の大きさは小さくなるので、リブ11に加わる応力を低減させることができ、破損を回避することができる。なお、スリット30の形状は、ミラー反射面10の外形に近くなるように円弧状としてあるが、直線状やその他の形状であっても、応力分散の効果は得ることができるので、用途に応じてスリット30の形状は変更してもよい。このように、応力緩和領域20及びスリット30をミラー部40に設けることにより、ミラー部40の破損を回避することができるとともに、光走査装置の寿命を向上させることができる。次に、図6及び図7を用いて、可動枠80の軽量化についてより詳細に説明する。図6は、実施例1に係る光走査装置の軸の配置を示した図である。図6に示すように、実施例1に係る光走査装置は、トーションバー50を通る水平回転軸Xと、トーションバー50に垂直であり、ミラー反射面10の中心Cを通る垂直回転軸Yの2軸を有する2軸の光走査装置として構成される。かかる2軸の光走査装置の可動枠80は、可動枠80の内側に配置された水平駆動梁70が高速に振動するのを支える役割を有するとともに、可動枠80の外側に配置された垂直駆動部110にとっては、感度を低下させる重量物となる。ここで、重量物が垂直回転軸Yから離れれば離れる程動きを阻害する慣性モーメントが大きくなるため、リブ状の可動枠80を肉抜きする可動枠80の軽量化は、垂直回転軸周りの駆動感度の改善に効果がある。図7は、実施例1に係る光走査装置の可動枠の拡大斜視図である。図7に示すように、可動枠80の内側にミラー部40の水平駆動部が構成される。ここで、水平駆動部とは、ミラー部40を水平駆動するための水平駆動梁70、駆動源71、連結部60及びトーションバー50を意味する。水平駆動部を駆動することで、ミラー反射面10は水平回転軸Xを中心として揺動する。可動枠80の外側には、図1、2及び6に示したように、垂直駆動梁90がジャバラ状に蛇行して配置され、垂直駆動部110を駆動することにより可動枠80ごと垂直回転軸周りに振動する。この、垂直駆動部110にとって重量物となる可動枠80を軽量化するため、垂直回転軸Yから遠い枠部を肉抜きする。よって、図7に示すように、垂直回転軸Yから離れた可動枠80の上辺と下辺の部分に複数の肉抜き部81が形成されている。肉抜き部81は、可動枠80を貫通させずに、途中で止めて窪み状にしている。また、肉抜き部81は、三角形とされ、可動枠80の延在方向に沿って三角形の頂点が交互に外側を向くように配置されている。これにより、可動枠80が残された厚肉部82が可動枠80に沿ったジグザグ形状となり、可動枠80に沿ったいずれの部分にも厚肉部82を残すことができるともに、幅方向にも均一に厚肉部82が残るので、肉抜き部81が形成された領域の強度を強く保ち、剛性を保つことが可能となる。このように、肉抜き部81を、可動枠80に沿って頂点が交互に入れ替わる複数の三角形の窪みとすることにより、ジグザグ状の厚肉部82を残しつつ肉抜きを行うことができ、強度を保ちつつ軽量化を行うことができる。なお、肉抜き部81は、数学的に正確な三角形でなくてもよく、角が丸まっていたり、辺が曲線的であったりする略三角形であってもよい。この場合にも、厚肉部82は略ジグザグ形状となり、可動枠80の延在方向と幅方向のいずれの箇所にもほぼ均一に厚肉部82を残すことができるので、軽量化を図りつつ剛性を保つことができる。また、肉抜き部81は、本実施例においては、水平回転軸Xの延在方向と一致する領域である可動枠80の上辺と下辺にのみ設けた例を挙げて説明したが、更なる軽量化を行う場合には、その他の領域にも肉抜き部81を設けてもよく、例えば、可動枠80の全周に亘って肉抜き部81を設けるようにしてもよい。このように、肉抜き部81は、用途に応じて種々の形状及び配置構成で設けることができる。次に、図8を用いて、垂直駆動部110の構成についてより詳細に説明する。図8は、実施例1に係る光走査装置の垂直駆動部110の構成を説明するための図である。図8において、実施例1に係る光走査装置の平面図が示されているが、垂直駆動部110は、片側に4本、両側で合計8本の垂直駆動梁92~99を有している。垂直駆動梁92~99のうち、ある駆動タイミングにおいて正転電圧が印加された垂直駆動梁93、94、97、99には○印、正転電圧を上下反転した波形で形成される反転電圧が印加された垂直駆動梁92、94、96、98には△印が付されている。正転電圧は、ゼロ電圧と最大値電圧Vmaxとの範囲で生成される、例えば正弦波やのこぎり波等の波形により形成される駆動波形である。反転電圧とは、最大値電圧Vmaxの半分Vmax2の電圧で、前記正転電圧波形を上下反転した波形により形成される駆動波形である。尚、水平軸の駆動に駆動波形として正弦波を使用する場合には、正転波形の位相を180°ずらすことによって反転電圧を得るようにしてもよい。ここで、○印が付された左側の駆動梁93、95と右側の駆動梁97、99はミラー反射面10及び可動枠80について対称であり、同様に、△印が付された左側の駆動梁92、94と右側の駆動梁96、98もミラー反射面10及び可動枠80について対称となっている。そして、○印が付されたプラス側の駆動梁93、95、97、98は、可動枠80より左側に2本、右側に2本の同数となっており、同様に、△印が付されたマイナス側の駆動梁92、94、96、98も、可動枠80より左側に2本、右側に2本の同数となっている。よって、○印の駆動梁93、95、97、99に反転電圧が印加され、△印の駆動梁92、94、96、98に正転電圧が印加された場合も、可動枠80の左側と右側で、上下反転した電圧が印加された駆動梁92~99は2本ずつとなり、常に可動枠80に同じ傾き量の変位が与えられる。このように、駆動梁92~99の数を偶数とすることにより、可動枠80の手前側への傾き量と、奥側への傾き量を同量にすることができる。一般に、光走査装置は、携帯電話等の小さな製品に組み込まれる場合が多く、スペース等との関係から、垂直駆動梁92~99の数を奇数として構成される場合もある。この場合、可動枠80の手前側と奥側の傾き量が異なるので、投影面のサイズが異なる場合には、投影面のサイズ毎に投影中心がオフセットされることになり、光走査装置の設置に細かな調整が必要な場合も出てくる。しかしながら、本実施例に係る光走査装置においては、垂直駆動梁92~99を偶数本にしているので、投影面のサイズが異なっても、投影中心を常に一定にすることができ、種々の用途や投影面のサイズに用いられる場合であっても、光走査装置を容易に設置することができる。このように、実施例1に係る光走査装置によれば、ミラー反射面10とトーションバー50との間に応力緩和領域20を設けることにより、トーションバー50で発生する応力のミラー反射面10への影響を低減することができる。また、必要に応じて、応力緩和領域20にスリット30を設けることにより、応力を分散させ、ミラー反射面10への影響を更に低減させることができる。また、可動枠80の肉抜きを行うことにより、可動枠80を軽量化して感度を向上させるとともに、ノイズを低減させることができる。更に、垂直駆動梁90の本数を偶数とすることにより、プラス側とマイナス側の揺動量を同量とし、光走査装置の設置を容易にすることができる。図9は、本発明の実施例2に係る光走査装置の一例を示した図である。図9において、ミラー反射面10と、ミラー部41と、トーションバー50が示されている。その他の構成要素については、実施例1と同様であるので、その図示及び説明を省略する。また、図9において、実施例1と同様の構成要素については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。図9において、ミラー部41は、ミラー反射面10と、応力緩和領域22と、スリット31とを有するが、スリット31が、1つの応力緩和領域22に1つだけ設けられている点で、実施例1に係る光走査装置と異なっている。このように、スリット31は、1つだけとしてもよい。この場合においても、トーションバー50から発生した応力は、スリット31の両外側に分散されるので、応力分散の効果を有する。また、実施例2に係る光走査装置においても、スリット31は、水平回転軸Xについて対称に配置されることが好ましいので、スリット31の中心が水平回転軸X上にあるように配置することが好ましい。なお、スリット31がリブ11図9には図示せずから距離を置いて配置された方がよい点や、スリット31の形状が必ずしも円弧状でなくてもよい点は、実施例1と同様である。実施例2に係る光走査装置によれば、簡素なスリット形状で、トーションバー50から発生する応力を分散させ、リブ11の破損を防ぐことができる。図10は、本発明の実施例3に係る光走査装置の一例を示した図である。図10において、ミラー反射面10と、ミラー部42と、トーションバー50が示されているが、その他の構成要素については、実施例1と同様であるので、その図示及び説明を省略する。また、図10において、実施例1と同様の構成要素については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。実施例3に係る光走査装置においては、ミラー部42の各応力緩和領域23が、3つのスリット32、33、34を有する点で、実施例1及び2に係る光走査装置と異なっている。このように、スリット32~34を増加させて3つとし、更なる応力の分散を図るようにしてもよい。実施例3に係る光走査装置においては、スリット33が水平回転軸X上にあり、スリット32とスリット34が水平回転軸Xに関して線対称な配置となっている。これにより、略均一に応力を分散させることができる。なお、トーションバー50で発生した応力は、スリット32~34により、4つに分散されることになる。なお、スリット32~34がリブ11図10には図示せずから距離を置いて配置された方がよい点や、スリット32~34の形状が必ずしも円弧状でなくてもよい点は、実施例1及び2と同様である。図11は、本発明の実施例4に係る光走査装置の一例を示した図である。図11において、ミラー反射面10と、ミラー部43と、トーションバー50が示されているが、その他の構成要素については、実施例1と同様であるので、その図示及び説明を省略する。また、図11において、実施例1と同様の構成要素については、同一の参照符号を付してその説明を省略する。実施例4に係る光走査装置においては、ミラー部43の各応力緩和領域24が、4つのスリット35、36、37、38を有する点で、実施例1乃至3に係る光走査装置と異なっている。また、水平回転軸X上にスリット35~38が存在しない点で、実施例2及び3に係る光走査装置と更に異なっている。このように、スリット35~38を更に増加させて4つにするとともに、水平回転軸X上にはスリット35~38を配置しない構成としてもよい。水平回転軸X上にはスリット35~38を配置しないことにより、トーションバー50の水平回転軸周りの回転力を確実にミラー反射面10に伝達することができる。実施例4に係る光走査装置においては、4つのスリット35~38により、トーションバー50で発生した応力を5つに分散することができる。また、スリット35とスリット38、スリット36とスリット37は水平回転軸Xに関して線対称に配置されているので、応力の分散をほぼ均一に行うことができる。また、スリット35~38を偶数とすることにより、水平回転軸X上にスリット35~38は配置されないので、水平回転軸周りの回転力については、減少させることなく直接的にミラー反射面10に伝達させ、感度を高感度に保つことができる。なお、スリット35~38がリブ11図10には図示せずから距離を置いて配置された方がよい点や、スリット35~38の形状が必ずしも円弧状でなくてもよい点は、実施例1及び2と同様である。実施例4に係る光走査装置によれば、感度を高感度に保ちつつ、応力を細かく分散させることができ、光走査装置を長寿命化することができる。以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。"