"複数の光学素子から構成されている撮像光学系を通過している光の波面形状を測定し、上記波面形状から波面収差を抽出する波面収差抽出手段と、上記波面収差抽出手段により抽出された波面収差から上記撮像光学系の結像状態を把握して、上記複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要があるか否かを判定する補正要否判定手段と、上記補正要否判定手段により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、上記複数の光学素子における補正対象の光学素子の偏心感度を測定する偏心感度測定手段と、上記波面収差抽出手段により抽出された波面収差と上記偏心感度測定手段により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出手段と、上記駆動量算出手段により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる光学素子駆動手段とを備えた光学調整装置。駆動量算出手段は、補正対象の光学素子を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる駆動量を算出し、光学素子駆動手段は、上記駆動量算出手段により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させることを特徴とする請求項1記載の光学調整装置。偏心感度測定手段は、補正対象の光学素子を並進3軸及び傾き角度3軸の各方向に独立に偏心させながら、波面収差抽出手段により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開し、各方向の偏心量に対するゼルニケ多項式の係数の変化率を補正対象の光学素子の偏心感度として算出することを特徴とする請求項2記載の光学調整装置。駆動量算出手段は、波面収差抽出手段により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開し、上記ゼルニケ多項式の係数で表される係数ベクトルと、偏心感度測定手段により測定された偏心感度を示す行列とを用いて、補正対象の光学素子を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる駆動量を算出することを特徴とする請求項3記載の光学調整装置。駆動量算出手段は、波面収差抽出手段により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開し、上記ゼルニケ多項式の係数から撮像光学系における設計上のゼルニケ係数が減算されている係数ベクトルと、偏心感度測定手段により測定された偏心感度を示す行列とを用いて、補正対象の光学素子を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる駆動量を算出することを特徴とする請求項3記載の光学調整装置。駆動量算出手段は、補正対象の光学素子を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる駆動量を算出する際、各成分が重み係数によって調整されている偏心感度を示す行列を用いることを特徴とする請求項4または請求項5記載の光学調整装置。波面形状測定手段は、シャックハルトマンセンサを用いて、光の波面形状を測定することを特徴とする請求項1から請求項6のうちのいずれか1項記載の光学調整装置。撮像光学系の光路を分割するビームスプリッタが設置され、上記ビームスプリッタが、波面収差抽出手段と、上記撮像光学系を通過している光から画像を検出する画像検出手段とに対して、波長が異なる光を与えることを特徴とする請求項1から請求項7のうちのいずれか1項記載の光学調整装置。複数の光学素子から構成されている撮像光学系を通過している光の波面形状を測定し、上記波面形状から波面収差を抽出する波面収差抽出処理ステップと、上記波面収差抽出処理ステップで抽出された波面収差から上記撮像光学系の結像状態を把握して、上記複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要があるか否かを判定する補正要否判定処理ステップと、上記補正要否判定処理ステップで配置誤差を補正する必要があると判定された場合、上記複数の光学素子における補正対象の光学素子の偏心感度を測定する偏心感度測定処理ステップと、上記波面収差抽出処理ステップで抽出された波面収差と上記偏心感度測定処理ステップで測定された偏心感度から、補正対象の光学素子を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出処理ステップと、上記駆動量算出処理ステップで算出された駆動量だけ補正対象の光学素子を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる光学素子駆動処理ステップとを備えた光学調整方法。従来の光学調整装置は以上のように構成されているので、光学系内の瞳付近に配置されている一つの光学素子を光軸方向と傾き角度2方向に駆動させれば、焦点位置の誤差と偏心収差を補償できる可能性がある。しかし、どの方向に光学素子を駆動させれば、焦点位置の誤差と偏心収差を補償できるかは分からないため、ユーザが試行錯誤的に光学素子を駆動させる必要があり、最悪の場合、光学素子を見当違いな方向に駆動して、更に結像性能が劣化することがある課題があった。この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、複数の光学素子間の配置誤差による結像性能の劣化を効率的かつ高精度に補正することができる光学調整装置及び光学調整方法を得ることを目的とする。この発明に係る光学調整装置は、複数の光学素子から構成されている撮像光学系を通過している光の波面形状を測定し、その波面形状から波面収差を抽出する波面収差抽出手段と、波面収差抽出手段により抽出された波面収差から撮像光学系の結像状態を把握して、複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要があるか否かを判定する補正要否判定手段と、補正要否判定手段により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子の偏心感度を測定する偏心感度測定手段と、波面収差抽出手段により抽出された波面収差と偏心感度測定手段により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出手段とを設け、光学素子駆動手段が駆動量算出手段により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子を並進方向及び傾き角度方向に偏心させるようにしたものである。この発明によれば、複数の光学素子から構成されている撮像光学系を通過している光の波面形状を測定し、その波面形状から波面収差を抽出する波面収差抽出手段と、波面収差抽出手段により抽出された波面収差から撮像光学系の結像状態を把握して、複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要があるか否かを判定する補正要否判定手段と、補正要否判定手段により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子の偏心感度を測定する偏心感度測定手段と、波面収差抽出手段により抽出された波面収差と偏心感度測定手段により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出手段とを設け、光学素子駆動手段が駆動量算出手段により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子を並進方向及び傾き角度方向に偏心させるように構成したので、複数の光学素子間の配置誤差による結像性能の劣化を効率的かつ高精度に補正することができる効果がある。実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による光学調整装置を示す構成図である。図1の光学調整装置が適用する撮像光学系は、複数の光学素子から構成されているものであれば、屈折光学系でもよいし、反射光学系でもよい。また、屈折光学系と反射系光学系が組み合わされているカタディオプトリック光学系でもよい。図1において、波面収差抽出部1は例えば干渉計、あるいは、シャックハルトマンセンサなどから構成されており、複数の光学素子から構成されている撮像光学系を通過している光の波面形状を測定し、その波面形状から波面収差を抽出する処理を実施する。波面収差抽出部1がシャックハルトマンセンサを用いて構成されている場合、干渉計を用いて構成されている場合よりも、小型で高速測定が可能である。また、撮像光学系で振動が発生しても安定した測定が可能であるなどのメリットもある。なお、波面収差抽出部1は波面収差抽出手段を構成している。補正要否判定部2は例えばCPUを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、波面収差抽出部1により抽出された波面収差から撮像光学系の結像状態を把握して、複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要があるか否かを判定する処理を実施する。なお、補正要否判定部2は補正要否判定手段を構成している。偏心感度測定部3は例えばCPUを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、補正要否判定部2により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子の偏心感度を測定する処理を実施する。即ち、偏心感度測定部3は光学素子駆動部5を制御することで、補正対象の光学素子を並進3軸及び傾き角度3軸の各方向に独立に微小偏心させながら、波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開し、各方向の微小偏心量に対するゼルニケ多項式の係数の変化率を補正対象の光学素子の偏心感度として算出する処理を実施する。なお、偏心感度測定部3は偏心感度測定手段を構成している。駆動量算出部4は例えばCPUを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、波面収差抽出部1により抽出された波面収差と偏心感度測定部3により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる駆動量を算出する処理を実施する。なお、駆動量算出部4は駆動量算出手段を構成している。光学素子駆動部5は補正対象の光学素子を駆動させるアクチュエータであり、駆動量算出部4により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる処理を実施する。なお、光学素子駆動部5は光学素子駆動手段を構成している。図1では、光学調整装置の構成要素である波面収差抽出部1、補正要否判定部2、偏心感度測定部3、駆動量算出部4及び光学素子駆動部5のそれぞれが専用のハードウェアで構成されている例を示しているが、光学調整装置の全部又は一部がコンピュータで構成されていてもよい。この場合、波面収差抽出部1、補正要否判定部2、偏心感度測定部3、駆動量算出部4及び光学素子駆動部5の処理内容を示すプログラムの全部又は一部をコンピュータのメモリに格納し、当該コンピュータのCPUが当該メモリに格納されているプログラムを実行するようにすればよい。図2はこの発明の実施の形態1による光学調整装置の処理内容を示すフローチャートである。図3は図1の光学調整装置が適用される撮像光学系屈折光学系の一例を示す構成図であり、図4は図1の光学調整装置が適用される撮像光学系反射光学系の一例を示す構成図である。図3及び図4において、図1と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。光学素子11は撮像光学系を構成している複数の光学素子の中の補正対象の光学素子である。画像検出部12は撮像光学系を通過している光から画像を検出して、その画像を画像表示部13に出力する処理を実施する。なお、画像検出部12は画像検出手段を構成している。画像表示部13はディスプレイなどから構成されており、画像検出部12から出力された画像をディスプレイに表示する処理を実施する。図3及び図4の例では、波面収差抽出部1と画像検出部12が若干異なる像高に配置されている。なお、図3及び図4では、波面収差抽出部1、補正要否判定部2、偏心感度測定部3、駆動量算出部4及び光学素子駆動部5間の接続関係の詳細は省略している。次に動作について説明する。複数の光学素子から構成されている撮像光学系では、設計上、複数の光学素子の光軸が撮像光学系の光軸と一致しているが、現実の配置では、撮像光学系の光軸と一致せずに、各々独立の配置誤差を生じることがある。図5は撮像光学系を構成している1つの光学素子で配置誤差が発生している様子を示す説明図である。配置誤差は、光学素子の並進方向や傾き角度方向など、あらゆる方向に生じるが、配置誤差の成分は、図5に示すように、直交座標x,y,zと、x,y,z軸周りの傾き角度成分a,b,cで表すことができる。配置誤差による撮像光学系の結像性能の劣化は、配置誤差の方向と量に依存するため、補正対象の光学素子11を結像性能の劣化を打ち消す方向に駆動させる必要がある。このため、並進3軸x,y,z及び傾き角度3軸a,b,cの各方向において、補正対象の光学素子11の駆動量を適正に設定すれば、他の光学素子との間の配置誤差による結像性能の劣化を補正することができる。まず、波面収差抽出部1は、被写体の特定の1点から射出して、撮像光学系を通過している光の波面形状を測定する。波面収差抽出部1は、光の波面形状を測定すると、例えば、その波面形状の測定結果を数値解析することで、焦点位置の誤差、球面収差、コマ収差、非点収差などの結像性能を劣化させる波面収差を抽出する図2のステップST1。なお、波面収差は、設計上の波面と、実際の波面とのずれを表すものである。補正要否判定部2は、波面収差抽出部1が波面収差を抽出すると、その波面収差から撮像光学系の結像状態を把握して、複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要があるか否かを判定するステップST2。即ち、補正要否判定部2は、波面収差抽出部1により抽出された波面収差が所定の閾値以上であれば、複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要があると判定し、その波面収差が所定の閾値未満であれば、複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要がないと判定する。偏心感度測定部3は、補正要否判定部2により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、補正対象の光学素子11の偏心感度を測定するステップST3。即ち、偏心感度測定部3は、光学素子駆動部5を制御することで、補正対象の光学素子11を並進3軸及び傾き角度3軸の各方向に独立に微小偏心させ、補正対象の光学素子11が微小偏心している状態のときに、波面収差抽出部1により光の波面形状が測定されて、その波面形状から抽出された波面収差を公知のゼルニケ多項式に展開する。偏心感度測定部3は、ある方向に補正対象の光学素子11を微小偏心させて、波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開すると、一旦、光学素子11を元の位置に戻してから、先と違う方向に補正対象の光学素子11を微小偏心させて、波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開する処理を繰り返すことで、並進3軸及び傾き角度3軸の各方向に対応する波面収差をゼルニケ多項式に展開する。偏心感度測定部3は、各方向に対応する波面収差をゼルニケ多項式に展開すると、各方向の微小偏心量に対するゼルニケ多項式の係数の変化率を補正対象の光学素子11の偏心感度として算出する。なお、補正対象の光学素子11の偏心感度を算出することで、後述する光学素子駆動部5が補正対象の光学素子11を偏心させたときに、撮像光学系の波面収差撮像光学系の結像性能がどの様に変化するかを把握することができる。駆動量算出部4は、偏心感度測定部3が偏心感度を測定すると、その偏心感度と波面収差抽出部1により抽出された波面収差から、補正対象の光学素子11を並進3軸x,y,z及び傾き角度3軸a,b,cの各方向に偏心させる駆動量を算出するステップST4。以下、駆動量算出部4による各方向に偏心させる駆動量の算出処理を具体的に説明する。まず、駆動量算出部4は、波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開し、そのゼルニケ多項式の係数で表される係数ベクトルZを求める。設計上の残存収差がほぼゼロとみなせる撮像光学系を構成する複数の光学素子の間に配置誤差が発生している場合、各方向に対応する波面収差をゼルニケ多項式に展開したときのゼルニケ多項式の係数で表される係数ベクトルZは、下記の式1のようになる。Z=z4z5zk1次に、駆動量算出部4は、偏心感度測定部3により測定された偏心感度を取得する。この偏心感度は、下記の式2に示す行列Aで表される。ここで、式1に示す係数ベクトルZは、複数の光学素子間の配置誤差により発生している波面収差の成分を表しており、この波面収差を補正する際に必要な補正対象の光学素子11の駆動量を表す駆動量ベクトルrを下記の式3とする。r=dxdydzdadbdc3このとき、係数ベクトルZと、行列Aと、駆動量ベクトルrとは、下記の式4で関係付けられる。Z=Ar4そこで、駆動量算出部4は、式4を下記の式5のように変形し、係数ベクトルZと、行列Aの逆行列A-1の積を求めることで、補正対象の光学素子11の駆動量を表す駆動量ベクトルrを算出する。r=A-1Z5光学素子駆動部5は、駆動量算出部4が補正対象の光学素子11の駆動量を表す駆動量ベクトルrを算出すると、その駆動量ベクトルrが示す駆動量だけ補正対象の光学素子11を並進3軸x,y,z及び傾き角度3軸a,b,cの各方向に偏心させるステップST5。これにより、複数の光学素子間の配置誤差により生じている結像性能の劣化が補正される。以上で明らかなように、この実施の形態1によれば、複数の光学素子から構成されている撮像光学系を通過している光の波面形状を測定し、その波面形状から波面収差を抽出する波面収差抽出部1と、波面収差抽出部1により抽出された波面収差から撮像光学系の結像状態を把握して、複数の光学素子間の配置誤差を補正する必要があるか否かを判定する補正要否判定部2と、補正要否判定部2により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子11の偏心感度を測定する偏心感度測定部3と、波面収差抽出部1により抽出された波面収差と偏心感度測定部3により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子11を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出部4とを設け、光学素子駆動部5が駆動量算出部4により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子11を並進方向及び傾き角度方向に偏心させるように構成したので、複数の光学素子間の配置誤差による結像性能の劣化を効率的かつ高精度に補正することができる効果を奏する。なお、この実施の形態1では、補正対象の光学素子11自身が配置誤差を生じている場合や、補正対象の光学素子11の駆動軸が撮像光学系の設計上の直交座標軸と一致していない場合でも、結像性能の補正が可能である。また、光学素子の配置誤差だけでなく、光学素子の変形による結像性能の劣化に対しても、その劣化が最小となるように補正対象の光学素子11を偏心させることができる。実施の形態2.上記実施の形態1では、駆動量算出部4が波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開し、そのゼルニケ多項式の係数で表される係数ベクトルZと、偏心感度測定部3により測定された偏心感度を示す行列Aとを用いて、補正対象の光学素子11を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる駆動量を算出するものを示したが、設計上の残存収差がほぼゼロとみなせる撮像光学系を適用対象としており、撮像光学系が設計上の残存収差を有する場合には、その残存収差の全てを補正することができない。そこで、この実施の形態2では、撮像光学系が設計上の残存収差を有する場合、その残存収差の補正を行わず、配置誤差によって生じている結像性能の劣化のみを補正して、撮像光学系の設計上の結像性能に近づけるようにしている。以下、この実施の形態2の具体的な内容を説明する。駆動量算出部4は、偏心感度測定部3が偏心感度を測定すると、上記実施の形態1と同様に、その偏心感度と波面収差抽出部1により抽出された波面収差から、補正対象の光学素子11を並進3軸x,y,z及び傾き角度3軸a,b,cの各方向に偏心させる駆動量を算出するが、撮像光学系が設計上の残存収差を有する場合、その残存収差の補正を行わず、配置誤差によって生じている結像性能の劣化のみを補正するために、駆動量の算出に用いる係数ベクトルZを、ゼルニケ多項式の係数z4,z5,,zkと、撮像光学系における設計上のゼルニケ係数zo4,zo5,,zokとの差分値で表すようにする。Z=z4-zo4z5-zo5zk-zok6駆動量算出部4は、ゼルニケ多項式の係数z4,z5,,zkと、撮像光学系における設計上のゼルニケ係数zo4,zo5,,zokとの差分値で表す係数ベクトルZを求めると、上記の式5に示すように、その係数ベクトルZと行列Aの逆行列A-1の積を求めることで、補正対象の光学素子11の駆動量を表す駆動量ベクトルrを算出する。以上で明らかなように、この実施の形態2によれば、駆動量算出部4が、波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開し、そのゼルニケ多項式の係数から撮像光学系における設計上のゼルニケ係数が減算されている係数ベクトルZと、偏心感度測定部3により測定された偏心感度を示す行列Aとを用いて、補正対象の光学素子11を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる駆動量を算出するように構成したので、撮像光学系が設計上の残存収差を有する場合、その残存収差の補正を行わず、配置誤差によって生じている結像性能の劣化のみを補正するようになり、撮像光学系の設計上の結像性能に近づけることができる効果を奏する。実施の形態3.上記実施の形態1,2では、波面収差抽出部1が、被写体の特定の1点から射出して、撮像光学系を通過している光の波面形状を測定して、その波面形状から波面収差を抽出することで、1点の結像成分について、補正対象の光学素子11の偏心感度とゼルニケ多項式の係数を求めているが、結像面の全域で、偏心感度とゼルニケ多項式の係数が全く同じになることはない。像高が異なる波面収差抽出部1と画像検出部12では、結像状態が異なり、配置誤差による結像性能の劣化具合も異なるからである。したがって、上記実施の形態1,2では、駆動量算出部4により算出される駆動量が、波面収差抽出部1が設置されている像高における結像性能の劣化を補正するのに必要な光学素子11の駆動量になり、画像検出部12が設置されている像高では、結像性能の劣化が十分に補正されない可能性がある。そこで、この実施の形態3では、画像検出部12が設置されている像高での結像性能の劣化を高精度に補正できるようにするため、駆動量算出部4が、各成分が重み係数によって調整されている偏心感度を示す行列A’を用いて、駆動量を算出するようにする。以下、この実施の形態3の具体的な内容を説明する。偏心感度測定部3は、補正要否判定部2により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、上記実施の形態1,2と同様に、補正対象の光学素子11の偏心感度を測定する。即ち、偏心感度測定部3は、光学素子駆動部5を制御することで、補正対象の光学素子11を並進3軸及び傾き角度3軸の各方向に独立に微小偏心させ、補正対象の光学素子11が微小偏心している状態のときに、波面収差抽出部1により光の波面形状が測定されて、その波面形状から抽出された波面収差を公知のゼルニケ多項式に展開する。偏心感度測定部3は、ある方向に補正対象の光学素子11を微小偏心させて、波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開すると、一旦、光学素子11を元の位置に戻してから、先と違う方向に補正対象の光学素子11を微小偏心させて、波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開する処理を繰り返すことで、並進3軸及び傾き角度3軸の各方向に対応する波面収差をゼルニケ多項式に展開する。偏心感度測定部3は、各方向に対応する波面収差をゼルニケ多項式に展開すると、各方向の微小偏心量に対するゼルニケ多項式の係数の変化率を補正対象の光学素子11の偏心感度として算出する。ただし、偏心感度は線形を想定しているが、特定の偏心感度が極めて大きいなどの場合には、非線形成分によって補正対象の光学素子11の駆動量を算出することができない可能性がある。そこで、式2の行列Aにおける偏心感度の各成分に対して、減衰重み付け係数を付加することで、大きな変動をあらかじめ抑制するようにする。駆動量算出部4は、偏心感度測定部3が偏心感度を測定すると、上記実施の形態1,2と同様に、その偏心感度と波面収差抽出部1により抽出された波面収差から、補正対象の光学素子11を並進3軸x,y,z及び傾き角度3軸a,b,cの各方向に偏心させる駆動量を算出する。以下、駆動量算出部4による各方向に偏心させる駆動量の算出処理を具体的に説明する。まず、駆動量算出部4は、波面収差抽出部1により抽出された波面収差をゼルニケ多項式に展開し、そのゼルニケ多項式の係数で表される係数ベクトルZを求める。撮像光学系を構成する複数の光学素子の間に配置誤差が発生している場合、各方向に対応する波面収差をゼルニケ多項式に展開したときのゼルニケ多項式の係数で表される係数ベクトルZは、上記の式1のようになる。次に、駆動量算出部4は、偏心感度測定部3により測定された偏心感度を取得する。この偏心感度は、各成分が重み係数によって調整されている行列A’で表される偏心感度である。ここで、式1に示す係数ベクトルZは、複数の光学素子間の配置誤差により発生している波面収差の成分を表しており、この波面収差を補正する際に必要な補正対象の光学素子11の駆動量を表す駆動量ベクトルrは、上記の式3となる。このとき、式1に示す係数ベクトルZと、式7に示す行列A’と、式3に示す駆動量ベクトルrとは、下記の式8で関係付けられる。Z=A’r8そこで、駆動量算出部4は、式8を下記の式9のように変形し、係数ベクトルZと、行列A’の逆行列A’-1の積を求めることで、補正対象の光学素子11の駆動量を表す駆動量ベクトルrを算出する。r=A’-1Z9光学素子駆動部5は、駆動量算出部4が補正対象の光学素子11の駆動量を表す駆動量ベクトルrを算出すると、上記実施の形態1,2と同様に、その駆動量ベクトルrが示す駆動量だけ補正対象の光学素子11を並進3軸x,y,z及び傾き角度3軸a,b,cの各方向に偏心させる。これにより、画像検出部12が設置されている像高での結像性能の劣化が補正される。以上で明らかなように、この実施の形態3によれば、駆動量算出部4が、補正対象の光学素子11を並進3軸方向及び傾き角度3軸方向に偏心させる駆動量を算出する際、各成分が重み係数によって調整されている偏心感度を示す行列A’を用いるように構成したので、画像検出部12が設置されている像高での結像性能の劣化を高精度に補正することができる効果を奏する。実施の形態4.上記実施の形態1~3では、波面収差抽出部1と画像検出部12が異なる像高に配置されているため、波面収差抽出部1と画像検出部12における結像特性が異なる。そのため、上記実施の形態3では、各成分が重み係数によって調整されている偏心感度を示す行列A’を用いて、補正対象の光学素子11の駆動量を算出するようにしているが、波面収差抽出部1と画像検出部12の像高の差が大きいために、波面収差抽出部1と画像検出部12における結像特性の差が大きくなると、各成分が重み係数によって調整されている偏心感度を示す行列A’を用いても、画像検出部12が設置されている像高での結像性能の劣化を十分に補正することができない可能性がある。そこで、この実施の形態4では、波面収差抽出部1と画像検出部12がほぼ同じ像高に配置することができるようにしている。即ち、この実施の形態4では、図6に示すように、撮像光学系の光路を分割するビームスプリッタ14を設置し、そのビームスプリッタ14が、波面収差抽出部1と画像検出部12に対して、撮像光学系を通過している光を与えるようにしている。ただし、ビームスプリッタ14として、ハーフミラーを使用する場合、迷光や光量ロスによるS/N比の低下が懸念されるため、ビームスプリッタ14として、ダイクロイックミラーを使用し、波面収差抽出部1と画像検出部12に対して、波長が異なる光を与えるようにしている。そのため、図6の撮像光学系は、色収差がない反射光学系としている。なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。"