"被加工物に加工を施す加工領域と、該加工領域で加工が施される被加工物を複数収容可能な収容部を有するカセットと、該カセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台上に載置されたカセットに収容された被加工物を該加工領域へと搬送する搬送手段と、を備えた加工装置であって、該カセットは、該収容部を囲繞する右側壁と、左側壁と、該右側壁と該左側壁とを連結する連結部と、該収容部に収容された被加工物を出し入れする前面開口部とを含み、該カセット載置台は該カセットが載置される載置面上に、該カセット載置台上に載置された該カセットの該前面開口部の下端部が当接する前位置決め部材と、該右側壁の下端部が当接する右位置決め部材と、該左側壁の下端部が当接する左位置決め部材と、該カセットの背面下端部が当接する背面位置決め部材とからなるカセット固定部を有し、該前位置決め部材は該載置面上に固設されるとともに、該背面位置決め部材は載置されるカセットのサイズに応じて前後方向に移動可能に配設され、該右位置決め部材と該左位置決め部材とは載置されるカセットのサイズに応じて互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動可能に配設されていることを特徴とする加工装置。従来のカセット載置台では、固定部材を固定しているねじを緩めてからカセットのサイズに応じて固定部材の位置を変更し、その位置で再度固定部材をねじ止めしていたため、カセットのサイズに応じて固定部材の位置を変更するのに手間がかかるという問題がある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、カセットのサイズに応じて固定部材の位置を容易に変更可能な加工装置を提供することである。本発明によると、被加工物に加工を施す加工領域と、該加工領域で加工が施される被加工物を複数収容可能な収容部を有するカセットと、該カセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台上に載置されたカセットに収容された被加工物を該加工領域へと搬送する搬送手段と、を備えた加工装置であって、該カセットは、該収容部を囲繞する右側壁と、左側壁と、該右側壁と該左側壁とを連結する連結部と、該収容部に収容された被加工物を出し入れする前面開口部とを含み、該カセット載置台は該カセットが載置される載置面上に、該カセット載置台上に載置された該カセットの該前面開口部の下端部が当接する前位置決め部材と、該右側壁の下端部が当接する右位置決め部材と、該左側壁の下端部が当接する左位置決め部材と、該カセットの背面下端部が当接する背面位置決め部材とからなるカセット固定部を有し、該前位置決め部材は該載置面上に固設されるとともに、該背面位置決め部材は載置されるカセットのサイズに応じて前後方向に移動可能に配設され、該右位置決め部材と該左位置決め部材とは載置されるカセットのサイズに応じて互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動可能に配設されていることを特徴とする加工装置が提供される。本発明によると、背面位置決め部材が前後方向に移動可能に配設され、更に左右の位置決め部材が互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動可能に配設されているため、カセットのサイズに応じて固定部材の位置を容易に変更可能である。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、加工装置の一例としての切削装置2の斜視図が示されている。切削装置2の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル4が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像ユニットによって撮像された画像が表示されるCRT等の表示モニタ6が設けられている。切削装置2の切削対象である半導体ウエーハ11は、環状フレームFに装着されたダイシングテープTに貼着された後、図1に示したカセット8中に複数枚収容される。カセット8は上下動可能なカセットエレベータ9上に載置される。カセット8の後方には、カセット8から切削前のウエーハ11を搬出するとともに、切削後のウエーハをカセット8に搬入する搬出入ユニット10が配設されている。カセット8と搬出入ユニット10との間には、搬出入対象のウエーハ11が一時的に載置される領域である仮置き領域12が設けられており、仮置き領域12には、ウエーハ11を一定の位置に位置合わせする位置合わせ機構14が配設されている。仮置き領域12の近傍には、ウエーハ11を吸着して搬送する旋回アームを有する搬送ユニット16が配設されており、仮置き領域12に搬出されて位置合わせされたウエーハ11は、搬送ユニット16により吸着されてチャックテーブル18上に搬送され、このチャックテーブル18に吸引保持される。チャックテーブル18は、回転可能且つ図示しない加工送り機構によりX軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル18のX軸方向の移動経路の上方には、ウエーハ11の切削すべき領域を検出するアライメントユニット22が配設されている。20は環状フレームFをクランプするクランプである。アライメントユニット22は、ウエーハ11の表面を撮像する撮像ユニット24を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべき領域を検出することができる。撮像ユニット24によって取得された画像は、表示モニタ6に表示される。アライメントユニット22の左側には、チャックテーブル18に保持されたウエーハ11に対して切削加工を施す切削ユニット26が配設されている。切削ユニット26はアライメントユニット22と一体的に構成されており、両者が連動してY軸方向及びZ軸方向に移動する。切削ユニット26は、回転可能なスピンドル28の先端に外周に切刃を有する切削ブレード30が装着されて構成され、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード30は撮像ユニット24のX軸方向の延長線上に位置している。切削ユニット26のY軸方向の移動は図示しない割り出し送り機構により達成される。34は切削加工の終了したウエーハ11を洗浄するスピンナ洗浄ユニットであり、切削加工の終了したウエーハ11は搬送ユニット32によりスピンナ洗浄ユニット34まで搬送され、スピンナ洗浄ユニット34でスピン洗浄及びスピン乾燥される。図2を参照すると、カセット8の一例の斜視図が示されている。カセット8は、右側壁36と、左側壁38が対向して配設されており、右側壁36と左側壁38は天板40及び底部連結板42により連結されて四角形状に形成されている。右側壁36と、左側壁38と天板40により収容部8aが画成されている。カセット8は被加工物をカセット8に出し入れするための前面開口部8bを有している。本実施形態では、カセット8の後面も開口している。右側壁30の内側には前後方向に伸びる複数段の棚44が形成されている。同様に、左側壁38の内側にも前後方向に伸びる複数段の棚46が形成されている。右側壁36の棚44と左側壁38の棚46とは、各段毎にそれぞれ対応して対峙するように形成されている。カセット8の背面開口部には、右側壁36の棚44及び左側壁38の棚46とを直交する方向に伸長するストッパー48が配設されており、このストッパー48によってカセット8内に収容されている板状被加工物50が背面側から脱落しないようになっている。被加工物50は、本実施形態では、図1に示すようにダイシングテープTを介して環状フレームFに支持された半導体ウエーハ11であり、環状フレームFが右側壁36の棚44及び左側壁38の棚46に支持されて、カセット8の収容部8a内に水平状態で複数枚収容される。天板40には取っ手52が取り付けられており、オペレータは取っ手52を把持してカセット8を運搬できるようになっている。図3を参照すると、本発明実施形態に係るカセットエレベータ9の背面側斜視図が示されている。カセットエレベータ9のベース54には、ブラケット56が垂直に立設されており、このブラケット56とベース54に渡りボールねじ58が垂直に配設されている。ボールねじ58の一端はベース54上に配設されたパルスモータ60に連結されている。ボールねじ58はスライドブロック64に内蔵されたナットに螺合されており、パルスモータ60を駆動してボールねじ58が回転されると、スライドブロック64が垂直方向に伸長する一対のガイドレール66に沿って垂直方向に移動する。70はカセット載置台であり、カセット載置台70はそれぞれ下端がスライドブロック64に固定された一対の支持部材68により水平状態で支持されている。よって、パルスモータ60の駆動によりボールねじ58を介してスライドブロック64が上下方向に移動すると、カセット載置台70も上下方向に移動する。カセット載置台70の載置面70a上には、カセット載置台70上に載置されたカセット8の前面開口部8bの下端部が当接する前位置決め部材72が固定されている。載置面70a上には更に、右側壁36の下端部が当接する右位置決め部材74及び左側壁38の下端部が当接する左位置決め部材76が左右方向に同時に移動可能に配設されており、カセット8の背面下端部が当接する背面位置決め部材78が前後方向に移動可能に配設されている。載置台70の平面図を示す図4を参照して更に説明すると、載置面70a上に配設された右位置決め部材74及び左位置決め部材76は矢印Aで示す互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動するようにカセット載置台70に取り付けられている。この移動機構は特に図示しないが、例えば複写機等に採用されているコピー用紙を使用するカセットトレイにおいて、コピー用紙のサイズA4、B4等に応じて互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動するサイド位置決め機構を採用することができる。背面位置決め部材78は、矢印Bで示す前後方向に移動可能であり、右位置決め部材74及び左位置決め部材76を互いに近づく方向に移動し、背面位置決め部材78を前面側に移動することにより、6インチカセット載置領域80Aを画成することができ、右位置決め部材74及び左位置決め部材76を互いに遠ざかる方向に移動し、背面位置決め部材78を後方側に移動することにより、8インチカセット載置領域80Bを画成することができる。図5Aを参照すると、図4の5-5線断面図が示されている。この図から明らかなように、右位置決め部材74でカセット8の右側壁36の下端部が位置決めされ、左位置決め部材76でカセット8の左側壁38の下端部が位置決めされる。図5Bは、図4の5-5線断面図の他の実施形態を示している。本実施形態のように、右位置決め部材74が内側傾斜面74aを有し、左位置決め部材76が内側傾斜面76aを有していることにより、カセット8の載置や取り出しが容易となる。前面位置決め部材72及び背面位置決め部材78にも同様な内側傾斜面を形成するようにしてもよい。上述した実施形態では、右位置決め部材74及び左位置決め部材76を互いに近づく方向に同時に移動して所定位置で係止し、更に背面位置決め部材78を前面側に移動して所定位置で係止することにより、6インチカセット載置領域80Aを画成することができ、右位置決め部材74及び左位置決め部材76を互いに遠ざかる方向に同時に移動して所定位置で係止し、背面位置決め部材78を後方側に移動して所定位置で係止することにより、8インチカセット載置領域80Bを画成することができる。よって、カセットのサイズに応じて位置決め部材74,76,78の位置を容易に変更可能であり、異なるサイズの板状被加工物を収容した異なるサイズのカセットをカセット載置台70上に載置することができる。上述した実施形態では、本発明のカセット載置台70を切削装置に適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、バイト切削装置等の他の加工装置のカセット載置台にも同様に適用することができる。"