蒸着室において、蒸着源に備えられた蒸着材料収納部から放出された蒸着粒子を、基板上に蒸着させる蒸着装置であって、上記蒸着材料収納部から第1の方向に放出される蒸着粒子は、上記基板上に蒸着され、上記第1の方向とは異なる第2の方向に放出される蒸着粒子は、上記蒸着装置から取り外しできる第1の部材に蒸着され、上記第1の部材の少なくとも一部は、複数個の小片が連結されてなり、上記小片の各々には、上記小片同士を連結および分解できる連結部が備えられていることを特徴とする蒸着装置。所定期間においては、少なくとも上記蒸着材料収納部から第1の方向に放出される蒸着粒子は、上記蒸着材料収納部と上記基板との間に備えられ、且つ、上記蒸着装置から取り外しできる第2の部材に蒸着され、上記第2の部材の少なくとも一部は、複数個の上記小片が連結されてなることを特徴とする請求項1に記載の蒸着装置。上記第1の部材は、上記蒸着粒子によって上記蒸着室が汚染されるのを防止するための防着板であることを特徴とする請求項1または2に記載の蒸着装置。上記第1の部材は、上記蒸着材料収納部から蒸着粒子が放出される開口部と上記基板との間に備えられ、且つ、上記基板の法線方向に直交する方向に沿って、上記開口部を間に挟むように所定間隔で形成された複数の制御板であることを特徴とする請求項1または2に記載の蒸着装置。上記蒸着源は、上記小片が複数個格納された格納部材を格納可能に形成されていることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の蒸着装置。請求項1から4の何れか1項に記載の蒸着装置に備えられた上記小片が複数個格納された格納部材と、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方を加熱することによって、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させる昇華部と、上記昇華された蒸着粒子を捕捉する第1の捕捉部と、を備えた回収装置。請求項1から4の何れか1項に記載の蒸着装置と、上記蒸着装置に備えられた蒸着室において、蒸着粒子が蒸着された小片が複数個格納された格納部材と、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方を加熱することによって、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させる昇華部と、上記昇華された蒸着粒子を捕捉する第1の捕捉部と、を備えた回収装置。上記第1の捕捉部は、上記蒸着装置に備えられた蒸着材料収納部に連結されており、上記第1の捕捉部を捕捉した蒸着粒子の昇華温度以上で加熱することによって、上記蒸着材料収納部に上記捕捉した蒸着粒子を供給することを特徴とする請求項7に記載の回収装置。上記第1の捕捉部は、上記蒸着源であることを特徴とする請求項7に記載の回収装置。上記第1の捕捉部には、上記蒸着装置の蒸着源に備えられた蒸着材料収納部に格納できる蒸着材料回収容器が備えられており、上記蒸着材料回収容器に、上記捕捉した蒸着粒子が回収されることを特徴とする請求項6または7に記載の回収装置。上記小片および上記格納部材の少なくとも一方は、導電性材料で形成されており、通電によるジュール熱によって加熱を行い、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させることを特徴とする請求項6から10の何れか1項に記載の回収装置。上記小片および上記格納部材は、上記昇華部に配置され、上記昇華部の壁面を加熱することにより、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させることを特徴とする請求項6から10の何れか1項に記載の回収装置。上記小片には、少なくとも2種類の異なる蒸着粒子が蒸着されており、上記昇華部の壁面は、上記小片に蒸着された1種類の蒸着粒子のみが昇華される温度に加熱されていることを特徴とする請求項12に記載の回収装置。上記小片には、少なくとも2種類の異なる蒸着粒子が蒸着されており、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方は、上記小片に蒸着された1種類の蒸着粒子のみが昇華される温度に加熱されていることを特徴とする請求項6から11の何れか1項に記載の回収装置。上記小片には、少なくとも2種類の異なる蒸着粒子が蒸着されており、上記昇華部と上記第1の捕捉部との間には、分離部が備えられており、上記分離部は、上記昇華部において昇華された少なくとも2種類の異なる蒸着粒子と接する温度調整が可能な複数の内壁を有するとともに、上記内壁の温度は、上記昇華された少なくとも2種類の異なる蒸着粒子の昇華温度中、最も低い温度以上、2番目に低い温度未満で設定されており、上記昇華部において昇華された上記少なくとも2種類の異なる蒸着粒子は、上記分離部を介して、上記第1の捕捉部に供給されることを特徴とする請求項6から12の何れか1項に記載の回収装置。上記分離部の内壁に蒸着した蒸着粒子が1種類である場合には、上記内壁の温度を上記2番目に低い温度以上に設定することにより、上記分離部の内壁に蒸着した蒸着粒子は昇華され、上記第1の捕捉部とは異なる第2の捕捉部に供給されることを特徴とする請求項15に記載の回収装置。上記分離部の内壁に蒸着した蒸着粒子が、2種類以上である場合には、上記内壁の温度を、上記分離部の内壁に蒸着した2種類以上の蒸着粒子の昇華温度中、最も低い温度以上、2番目に低い温度未満に設定することにより、上記分離部の内壁に蒸着した上記2種類以上の蒸着粒子中、1種類の蒸着粒子のみが昇華され、上記第1の捕捉部とは異なる第2の捕捉部に供給されることを特徴とする請求項15に記載の回収装置。上記特許文献1および2に記載されている方法によれば、シャッタに付着した蒸着材料を回収し再利用することは可能であるが、その一方でチャンバ内でシャッタ以外の部分に付着した蒸着材料は回収し得ないという問題がある。量産工程では、蒸着速度が安定した後、基板への蒸着処理を多数枚連続的に処理する。したがって、チャンバへの基板の出し入れやシャドウマスクの基板への密着期間というわずかな時間を除いてはほとんど蒸着処理を行っており、換言すればシャッタはほとんどの期間開放状態にあることとなる。そのため、実際の量産工程ではシャッタ以外への蒸着材料の付着量が多く、シャッタに付着した蒸着材料だけの回収では、蒸着材料を効率的に回収、再利用することはできない。また、上記特許文献2では溶解した材料を蒸着源に完全に落とし込む処理重力に依存した滴下となり、加速できないが必要となり、このような処理を行うための時間を確保すると、装置のスループットが低下してしまうという問題が生じる。さらには、個々の蒸着源に対し、特許文献1の場合には、シャッタやシュラウドおよび収容部を、特許文献2の場合には、シャッタを作製する際、蒸着源の形状や大きさのまちまちによって、これらの部材についても個々にあった形状や大きさに設計しなければならない。したがって、これらの部材の汎用性は低くなってしまい、結果として装置コストの増大に繋がる。しかも加熱機能を有するシャッタや収容部などの構成物によっても装置コストは増大してしまう。さらに、上記特許文献2の方法の場合は、溶解状態を有する材料にしか適用できないという問題もある。また、上記特許文献3に記載されている方法によっては、遮断壁および被処理基板以外へ付着した材料はその量が減少したとしても回収は不可能になってしまうという問題がある。そして、上述したように、上記特許文献3に記載の構成においても、上記特許文献1および上記特許文献2の場合と同様に、蒸着材料回収具を個々の蒸着源に合わせて個別に設計する必要性に伴う装置コストの増大および蒸着材料回収具という新たな構成物の導入による装置コストの増大も生じてしまう。以上のように、従来の方法では、効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収することができなかった。本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収できる蒸着装置と、回収装置とを提供することを目的とする。本発明の蒸着装置は、上記の課題を解決するために、蒸着室において、蒸着源に備えられた蒸着材料収納部から放出された蒸着粒子を、基板上に蒸着させる蒸着装置であって、上記蒸着材料収納部から第1の方向に放出される蒸着粒子は、上記基板上に蒸着され、上記第1の方向とは異なる第2の方向に放出される蒸着粒子は、上記蒸着装置から取り外しできる第1の部材に蒸着され、上記第1の部材の少なくとも一部は、複数個の小片が連結されてなり、上記小片の各々には、上記小片同士を連結および分解できる連結部が備えられていることを特徴としている。上記の構成によれば、上記基板以外に蒸着される蒸着粒子は、上記蒸着装置から取り外しできる第1の部材に蒸着され、上記第1の部材の少なくとも一部は、複数個の小片が連結されてなり、上記小片の各々には、上記小片同士を連結および分解できる連結部が備えられている構成である。したがって、個々の蒸着装置の蒸着室や蒸着源の大きさ、形状に合わせて、第1の部材を個々に設計、作製する必要がなく、様々な蒸着装置の蒸着室や蒸着源に対して、汎用的な小片を連結して組み上げで第1の部材を作製することができる。また、上記第1の部材は、上記蒸着装置から取り外しでき、上記第1の部材を構成する小片同士も容易に分解できる。よって、効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収できる蒸着装置を実現できる。なお、上記第1の方向とは、上記蒸着材料収納部から放出された蒸着粒子が上記基板に向かう方向中、上記第1の部材によって、遮断されない方向を意味し、上記第2の方向とは、上記第1の方向以外の全ての方向を意味する。本発明の回収装置は、上記の課題を解決するために、上記蒸着装置に備えられた上記小片が複数個格納された格納部材と、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方を加熱することによって、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させる昇華部と、上記昇華された蒸着粒子を捕捉する第1の捕捉部と、を備えたことを特徴としている。上記の構成によれば、昇華部と第1の捕捉部とが備えられているため、昇華部における蒸着粒子の昇華工程と、上記第1の捕捉部における上記昇華された蒸着粒子を捕捉する工程を分離することができ、回収装置のスループットを向上することができる。本発明の回収装置においては、上記の課題を解決するために、上記蒸着装置と、上記蒸着装置に備えられた蒸着室において、蒸着粒子が蒸着された小片が複数個格納された格納部材と、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方を加熱することによって、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させる昇華部と、上記昇華された蒸着粒子を捕捉する第1の捕捉部と、を備えたことを特徴としている。上記構成によれば、上記蒸着装置が回収装置に備えられており、上記回収装置の内部で調達した蒸着材料が蒸着された小片を用いて、効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収することができる。本発明の蒸着装置は、以上のように、上記蒸着材料収納部から第1の方向に放出される蒸着粒子は、上記基板上に蒸着され、上記第1の方向とは異なる第2の方向に放出される蒸着粒子は、上記蒸着装置から取り外しできる第1の部材に蒸着され、上記第1の部材の少なくとも一部は、複数個の小片が連結されてなり、上記小片の各々には、上記小片同士を連結および分解できる連結部が備えられている構成である。また、本発明の回収装置は、以上のように、上記蒸着装置に備えられた小片が複数個格納された格納部材と、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方を加熱することによって、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させる昇華部と、上記昇華された蒸着粒子を捕捉する第1の捕捉部と、を備えた構成である。また、本発明の回収装置は、以上のように、上記蒸着装置と、上記蒸着装置に備えられた蒸着室において、蒸着粒子が蒸着された小片が複数個格納された格納部材と、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方を加熱することによって、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させる昇華部と、上記昇華された蒸着粒子を捕捉する第1の捕捉部と、を備えた構成である。それゆえ、効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収できる蒸着装置と、回収装置とを実現することができる。以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などはあくまで一実施形態に過ぎず、これらによってこの発明の範囲が限定解釈されるべきではない。実施の形態1図13は、有機EL表示装置の表示部を構成する有機EL素子の断面図を示したものである。薄膜トランジスタTFT100が形成された基板101上に、層間絶縁膜102、第一電極103およびエッジカバー104が形成されている。基板101としては、例えば、無アルカリガラスやプラスチックなどを用いることができるが、本実施の形態においては、板厚0.7mmの無アルカリガラスを使用した。そして、層間絶縁膜102およびエッジカバー104としては、既知の感光性樹脂を用いることができる。上記感光性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂やポリイミド樹脂などが挙げられる。なお、本実施の形態においては、層間絶縁膜102およびエッジカバー104として、感光性アクリル樹脂を用いた。また、第一電極103は、電極材料をスパッタ法などで形成した後、フォトリソグラフィ技術およびエッチングにより個々の画素に対応してパターン形成されている。第一電極103としては、様々な導電性材料を用いることができるが、基板側に光を放射するボトムエミッション型有機EL素子の場合、透明または半透明の必要がある。一方、基板とは反対側から光を放射するトップエミッション型有機EL素子の場合には、第二電極107が透明または半透明の必要がある。また、TFTは既知の方法にて作製される。なお、本実施の形態においては、TFTを各画素に形成したアクティブマトリクス型の有機EL表示装置の製造について述べるが、これに限らずTFTのないパッシブマトリクス型の有機EL表示装置についても、本発明は適用可能である。エッジカバー104は第一電極103の端部で有機EL層が薄くなり、第二電極107との間で短絡するのを防止するために、第一電極103の端部を覆うように形成されており、エッジカバー104のない部分で第一電極103が露出している。この露出部分が各画素の発光部となる。第一電極103上に各有機EL層を形成する。有機EL層としては、例えば、正孔注入層および正孔輸送層105、発光層106R106G106B、図示してないが、第二電極107と同形状に形成される電子輸送層および電子注入層などが挙げられる。そして、図示してないが、必要に応じて正孔、電子といったキャリアの流れをせき止めるキャリアブロッキング層が挿入されていてもよい。また、一つの層が複数の機能を有していてもよく、例えば、正孔注入層と正孔輸送層とを兼ねた一つの層を形成してもよい。本実施の形態においては、第一電極103を陽極とし、第一電極103側より正孔注入層兼正孔輸送層105、発光層106R106G106B、電子輸送層未図示、電子注入層未図示、そして第二電極107を陰極とした順番で積層した。なお、第一電極103を陰極とする場合には、上記積層順は反転する。また、本実施の形態においては、ボトムエミッション型有機EL素子とし、第一電極103として、ITOインジウム-スズ酸化物を用いた。有機EL層の材料としては、既知の材料を用いることができる。また、発光層106R106G106Bとしては単一材料を用いたもの、あるいはある材料をホスト材料とし、他の材料をゲスト材料またはドーパントとして混ぜ込んだ混合型を用いることができるが、本実施の形態においては、発光層106R106G106Bを単一材料を用いたもので形成した。以下、図14および図15に基づいて、図13に示した第一電極103までが形成された基板101上に有機EL層を形成する方法について説明する。図14は真空蒸着法によって、基板上にパターン蒸着膜を形成する方法を示した模式図である。図示されているように、蒸着源120にて蒸着材料を加熱、昇華させる。昇華した蒸着粒子は、所望の位置に開口部110aを有するシャドウマスク110を介して図13に示した第一電極103までが形成された基板101に到達する。シャドウマスク110は基板101に密着されている。これによって、基板101の所望の位置に蒸着膜が形成される。図13における正孔注入層兼正孔輸送層105、電子輸送層、電子注入層および第二電極107の場合、表示部全面に製膜を行うため、表示部全面および製膜が必要な領域のみ開口しているオープンマスクをシャドウマスク110として用いて、製膜を行う。一方、同図において、発光層106R106G106Bの製膜を行う場合、当該箇所のみが開口したファインマスクをシャドウマスク110として用いて、製膜を行う。図15は有機EL表示装置の製造工程を示したものである。先ず、TFT基板上に第一電極103を形成した基板101を作製するS1。そして、基板101の上に正孔注入層兼正孔輸送層105を真空蒸着法により全面に形成するS2、S3。それから、ファインマスクをシャドウマスク110として用いて、発光層106R106G106Bを真空蒸着法により所定の箇所に形成するS4。その後、電子輸送層、電子注入層、第二電極107を順に真空蒸着法により形成するS5、S6、S7。以上のように、蒸着が完了した基板に対して、有機EL素子が大気中の水分や酸素にて劣化しないよう、有機EL素子の領域表示部の封止を行うS8。封止は、水分や酸素の透過しにくい膜をCVD法などで形成する方法、ガラス基板などを接着剤などにより貼り合わせる方法などがある。以上のような工程により、有機EL表示装置が作製され、外部に形成された駆動回路から、個々の画素にある有機EL素子に電流を流し発光させることで、所望の表示を行うことができる。以下、図1に基づいて、上述した図15に示す有機EL表示装置の製造工程において、TFT基板上に第一電極103を形成した基板101上に、有機EL層を形成する際に用いることのできる真空蒸着装置1について説明する。図1は、真空蒸着装置1の概略的な構成を示す図である。真空チャンバ5内には、蒸着源13に備えられた蒸着材料収納部2と、防着板3およびシャッタ4とが配置されている。蒸着材料収納部2は真空チャンバ5内に一つだけであり、防着板3はチャンバ5内の他の構成物が蒸着粒子の付着によって汚染されるのを防止する。また、シャッタ4は、蒸着が不必要な時例えば、安定な蒸着速度を得るまでの時間、基板101が存在しない間あるいは基板101とシャドウマスク110とを位置合わせし、密着させるまでの時間などに蒸着粒子が真空チャンバ5内に放出射出されるのを防止している。すなわち、防着板3の放出口6を開放または遮蔽する役目をもつ。防着板3およびシャッタ4は、形状が略四角形の小片3a3b4a4bの組み上げにて各々構成されている。小片3a3b4a4bの大きさは、一辺が略10cm、他辺が5~10cmであり、板厚が略1mmとなっている。これらの小片3a3b4a4bを複数枚用いて、所望の全体形状になるように組み上げられている。また、小片3a3b4a4b同士の間に空隙が生じて、その間を蒸着粒子が通って真空チャンバ5内の他の構成物を汚染しないよう、小片3a3b4a4b同士は空隙が生じないように組み上げされている。なお、本実施の形態においては、小片3a3b4a4bの材料としてはステンレス鋼SUSを用いた。また、本実施の形態においては、小片3a3b4a4bを下記図2に示す形状で形成したが、これに限らず、組み上げしやすく、後述するストッカに格納しやすい範囲内で自由な形状と大きさを取ることができる。また辺の幾つかが湾曲しているような物でもよい。図2は、本実施の形態で用いている方法であり、小片3a3b4a4bが略四角形であるが、角部に切り欠きがあり、八角形の形状を成している。図2のaに示すような孔連結部のあるメス部材と、図2のbに示すような突出部連結部のあるオス部材を図2のcのように噛み合わせることで、組み上げを行う。例えば、壁面状のチャンバ5内構成物である防着板3やシャッタ4を組み上げる場合、図2のdのようにメス部材とオス部材を2次元配列させることで実現することができる。この際、角部に切り欠きがあるので、小片3a3b4a4bを2次元配列しても部材同士が干渉することなく、構成物を組み上げることができる。さらに、メス部の孔とオス部の突出部が噛み合っているので、小片が自然に外れたり、構成物が小片に分解してしまうことがない。図2のdの手順を複数回繰り返すことで、任意の大きさの壁面状構成物を作製することができる。なお、本実施の形態においては、防着板3とともにシャッタ4が備えられた真空蒸着装置1を例に挙げて説明したが、シャッタ4が備えられてない構成にも本発明は適用可能である。また、本実施の形態においては、防着板3やシャッタ4の全体を小片3a3b4a4bで構成しているが、その一部のみを小片3a3b4a4bで構成してもよい。以上のように、小片3a3b4a4bの各々には、小片同士を連結および分解できる連結部が備えられている。図3は、本実施の形態で用いることができる小片の他の例を示している。図示されているように、各小片は四角形であり、四辺に折り返しがついている。折り返しは、図3のaに示すように、対向する二辺の折り返し側が同一であり、他二辺が逆側に折り返されている。この折り返しを図3のbのように噛み合わせることで、組み上げを行う。例えば、壁面状のチャンバ5内構成物を組み上げる場合、図3のcのように2次元配列させることで実現することができる。なお、図中の小片上の数字は層番号を示しており、一番底辺を0層とし、紙面手前になるほど層番号が増える。図3のcのように小片を積層することで、各小片が干渉することなく、構成物を組み上げることができる。さらに、折り返し部が互いに噛み合っているので、小片が自然に外れたり、構成物が小片に分解してしまうことがない。図3のdにA-A’断面、図3のeにB-B’断面を示す。図中に示した番号は上述した層番号である。図3のcのように組み上げた時、図3のdに見られるように、第3層と第0層との間に空隙が生じる。但し、蒸着材料収納部から放出された蒸着材料の蒸着流がこの空隙を通過しないように配置すれば、空隙があっても問題はない。すなわち、図中に一点鎖線の矢印で示したような、空隙を通過し得る蒸着粒子の飛翔がないように空隙の位置および蒸着源の配置を工夫することで、蒸着材料は空隙を通過することなく、小片で組み上げられた構成物に捕捉される。また、この空隙は、小片の板厚、折り返しの長さによって調整することが可能である。例えば、小片の板厚を薄くすることで空隙の幅をより小さくしたり、あるいは、折り返しの長さを長くする噛み合う範囲を長くすることで、空隙への蒸着粒子の入射角をより制限することができる。図3のcの手順を複数回繰り返すことで、任意の大きさの壁面状構成物を作製することができる。図4は、本実施の形態で用いることができる小片のさらに他の例を示している。図示されているように、小片は四角形であり、四辺がL字型に折られている。但し、角部は図4のaおよび図4のbのようにL字部が省かれている。図4のcのように裏表を一対として噛み合わせることで、組み上げを行う。例えば、壁面状のチャンバ5内構成物を組み上げる場合、図4のdのように2次元配列させることで実現することができる。角部ではL字部が省かれているため、各小片が干渉することなく、構成物を組み上げることができると同時に、噛み合う部分および角部で各小片が重なり合うことで蒸着粒子が通過し得る空隙をなくしている。さらに、L字部が噛み合っているので、小片が自然に外れたり、構成物が小片に分解してしまうことがない。なお、L字型だけでは、小片が外れる虞がある場合には、突起や鉤型の構造をL字部に適宜追加することもできる。図4のdの手順を複数回繰り返すことで、任意の大きさの壁面状構成物を作製することができる。また、本実施の形態で用いることができる小片の組み上げ方法としては、ビスやナットによる小片の組み上げも無論可能である。但し、この場合、ビスやナットが蒸着材料で汚染されることや、構成物の組み上げ、分解に時間を要することから、上記の図2~図4で説明したような簡便な組み上げ方法を用いることが好ましい。さらに、本実施の形態においては、小片3a3b4a4bの材料としてSUSを用いたが、これに限らず、本発明が適用できる範囲内で任意の材料を選択できることは言うまでもない。なお、本実施の形態においては、図15に示す有機EL表示装置の各製造工程において、各々真空蒸着装置を準備し、小片3a3b4a4bを用いた防着板3およびシャッタ4は、正孔注入層兼正孔輸送層を形成する真空蒸着装置1にてのみ適用した。その他の真空蒸着装置のチャンバでは、防着板およびシャッタは、従来のように個々のチャンバ用に設計されたものを用いた。勿論、小片3a3b4a4bを用いた防着板3およびシャッタ4を、正孔注入層兼正孔輸送層を形成する真空蒸着装置1の真空チャンバ以外にも適用してもよい。上述した図15の手順で有機EL表示装置を作製した際、正孔注入層兼正孔輸送層を形成する真空チャンバ5においては、防着板3およびシャッタ4に蒸着材料である当該材料が堆積した。そして、正孔注入層兼正孔輸送層を形成する真空チャンバ5を大気開放し、当該蒸着材料が付着した防着板3およびシャッタ4を個々の小片3a3b4a4bに分解して取り出した。図5は、分解された複数の小片3a3b4a4bをストッカ7に配列格納した様子を示す図である。図示されているように、ストッカ7は、箱型であり、分解された複数の小片3a3b4a4bが差し込んで固定できるようになっている。本実施の形態においては、ストッカ7として、内寸は高さ10cm、幅10.5cm、長さ50cmであり、小片を3mmピッチで長さ方向に配列できるような溝が形成されているもの用いているが、これに限定されることはない。図6は、小片3a3b4a4bに付着した蒸着材料を回収する回収装置10の概略的な構成を示す図である。図示されているように、回収装置10は、再昇華室昇華部11、収容室12および図1に示す真空蒸着装置1に備えられた蒸着源13より構成されており、再昇華室11と収容室12、および収容室12と蒸着源13は開閉し得る配管1516にて接続されている。すなわち、図6においては、図1に示す真空蒸着装置1の蒸着源13のみを図示しているが、回収装置10は、真空蒸着装置1と一体的に形成されている。小片3a3b4a4bを格納したストッカ7は次に再昇華室11に入れられる。再昇華室11は真空度10-5Pa程度まで真空にすることができ、また当該材料が付着しない温度まで内壁の温度を調整できるようになっている。ストッカ7にはヒータ14が備え付けられ、再昇華室11を真空にした状態でヒータ14によってストッカ7および小片3a3b4a4bは加熱される。また、再昇華室11には、温度調整可能な収容室12が配管15を介して接続されており、さらに収容室12は蒸着源13に接続されている。各々の配管1516は開閉することができ、また温度調整することが可能である。また、収容室12の温度は小片3a3b4a4bから再度昇華された蒸着材料が収容室12の表面に再付着するような温度に調整されている。ヒータ14によって、ストッカ7および小片3a3b4a4bを加熱し、小片3a3b4a4bに付着した正孔注入層兼正孔輸送層材料が昇華する温度まで温度上昇させ、当該蒸着材料は再昇華室11の中で、再度昇華した。しかし、再昇華室11の内壁は当該蒸着材料が付着しない温度になっているので、当該蒸着材料は付着しなかった。次に、再昇華室11と収容室12の間の配管15を開放し、再昇華した当該蒸着材料を収容室12に誘導した。なお、昇華した蒸着材料を効率よく再昇華室11から収容室12へ誘導するために、図6に図示されているように、ガスフローによりキャリアガスを用いている。キャリアガスとしては、昇華した蒸着材料と反応しないよう、不活性ガスを用いている。例えば、Arガスなどである。またキャリアガスは循環させておいてもよい。それにより、収容室12で捕捉できずにキャリアガスと共に流れて去ってしまった蒸着材料を再度、収容室12に取り込むことができる。なお、キャリアガスがなくても、昇華した蒸着材料を再昇華室11から収容室12に十分誘導できるのであれば、ガスフローを用いる必要はない。本実施の形態においては、30sccmの流量でArガスを流した。収容室12の内壁は当該蒸着材料が付着する温度に調整されているので、収容室12内に当該蒸着材料が再度付着した。このようにして、全ての当該蒸着材料が小片3a3b4a4bから収容室12に移るようにした。次に再昇華室11と収容室12との間の配管15を閉じ、またストッカ7のヒータ14を切り、ストッカ7および小片3a3b4a4bの加熱を止めた。同じように、再昇華室11の温度調整も止めた。その後、収容室12と蒸着源13との間の配管16を開き、収容室12の内壁温度を当該蒸着材料の付着する温度よりも高くしたと同時に、蒸着源13に備えられた図示してない蒸着材料収納部の温度を当該蒸着材料が付着するような温度にした。それにより、再昇華室11の小片3a3b4a4bから収容室12に当該蒸着材料が移ったのと同じように、収容室12から蒸着源13に備えられた上記蒸着材料収納部に当該蒸着材料が全て移った。最後に、収容室12と蒸着源13との間の配管16を閉じ、収容室12の温度調整を止めた。以上のような工程によって、防着板3およびシャッタ4に付着した正孔注入層兼正孔輸送層材料の回収および再利用をすることができた。このような工程によって回収および再利用を行う回収装置10を備えた有機EL蒸着装置を用いて、材料利用効率の高い有機EL表示装置の作製を行うことができた。なお、本実施の形態においては、正孔輸送層兼正孔注入層材料に関して、本発明の方法を適用したがこれに限らず、他の単一材料層に対しても用いることができる。また、第二電極107を構成するような金属材料にも適用することができるが、ストッカ7や小片3a3b4a4b、再昇華室11、配管1516、収容室12などを金属材料が昇華する温度にまで耐えられる材料にする必要があり、装置コストとして有利ではない。したがって、金属材料よりも昇華温度の低い有機材料に適用することが望ましい。また、本実施の形態においては、ストッカ7をヒータ14にて加熱したが、これに限らず、再昇華室11の内壁を加熱することによって、ストッカ7および小片3a3b4a4bを加熱してもよい。その場合、再昇華室11の温度は少なくとも昇華した蒸着材料が付着する温度よりも高くなるので、別途再昇華室11の温度を調整する必要がない。上記構成によれば、防着板3およびシャッタ4が形状および大きさが制限された小片3a3b4a4bにて構成されているので、真空チャンバ5の形状や大きさに制限されず、如何様な形状や大きさを有する防着板3およびシャッタ4も小片3a3b4a4bで構成することができる。すなわち、汎用性の高い小片3a3b4a4bを用いることで、例えば、有機ELの製造に用いられる真空蒸着装置1の製造コストが低減できる。なお、本実施の形態においては、防着板3とシャッタ4とを、小片3a3b4a4bにて構成したが、これに限らず、他の構成物にも適用できる。また、上記構成によれば、小片3a3b4a4bの大きさが制限されているので、共通のストッカ7を用いることができ、また、再昇華室11の大きさも真空チャンバ5の形状や大きさに依存せず、共通とすることができる。したがって、任意の形状や大きさの防着板やシャッタを用いた場合に比べて、例えば、有機ELの製造に用いられる真空蒸着装置1および回収装置10の製造コストが低減できる。また、上記構成によれば、蒸着源13と収容室12を繋ぐ配管16以外は新たな構成物を真空チャンバ5内に設置する必要がないので、同様に、例えば、有機ELの製造に用いられる真空蒸着装置1を備えた回収装置10の製造コストが低減できる。なお、本実施の形態においては、収容室12を設置したが、必ずしも収容室12を設置している必要はない。但し、収容室12を備えていることで、再昇華室11の稼働タイミングと蒸着源13の稼働タイミングを分けることができる。また、再昇華室11から収容室12への移し替えの速度と収容室12から蒸着源13への移し替えの速度とを変えられるために過熱による材料劣化を防止できる。さらには、再昇華室11から収容室12への蒸着材料の移し替えを複数回行うことによって、蒸着の時々によって小片3a3b4a4bに付着していた材料を収容室12で混合し、その特性バラツキを平均化できる。そして、再昇華室11にて蒸着材料と共に昇華していた不純物を収容室12で捕獲し、蒸着源13に届かないようにできる。上述したような利点があるため、収容室12は設けられていることが望ましい。変形例1上述した回収装置においては、小片3a3b4a4bを格納したストッカ7を設置する再昇華室11が収容室12を介してあるいは直接、真空蒸着装置1の蒸着源13に接続されている例を示したが、真空蒸着装置1の蒸着源13に接続されておらず、各々が独立していてもよい。すなわち、再昇華室11と収容室12を備えた回収装置昇華精製装置10aを真空蒸着装置1と独立して備えることも可能である。この場合にも、実施の形態1で示したような本発明の効果は得ることができる。図7は実施の形態1の変形例である回収装置10aを示している。図7は、図6において、再昇華室11と収容室12のみの構成と同一であるため、説明の便宜上、上記実施の形態1の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。従来の昇華精製装置においては、容器に詰められた粉体を加熱するので、材料の温度上昇は材料そのものの熱伝導性に依存する部分が多い。また容器の表面付近の材料が過度に加熱され、熱分解を起こす可能性があり、それを避けるためには、攪拌機などの余分な装置が必要となっていた。一方、本変形例のような回収装置昇華精製装置10aにおいては、小片3a3b4a4bの表面に薄く付着した蒸着粒子を小片3a3b4a4bからの熱伝導によって効率よく加熱できるので、材料そのものの熱伝導性に依存する部分が少なく、また攪拌機などの過熱防止装置を付与する必要が無い。そのため、回収装置昇華精製装置10aの構造を簡素化することができ、装置コストの低減や小型化が可能となる。そして、図7のような回収装置昇華精製装置10aにて回収された蒸着粒子は、蒸着源13に別途手動で補給される。なお、収容室12には、真空蒸着装置1の蒸着源13に備えられた蒸着材料収納部2に格納できる蒸着材料回収容器例えば、るつぼやボートなどが備えられていてもよい。このような構成によれば、蒸着材料が回収された蒸着材料回収容器を真空蒸着装置1に備えられた蒸着材料収納部2に格納して、そのまま使用することができる。実施の形態2次に、図8に基づいて、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施の形態においては、小片未図示およびストッカ7aの少なくとも一方は、導電性を有しており、通電することで加熱できるようになっている点において実施の形態1とは異なっており、その他の構成については実施の形態1において説明したとおりである。説明の便宜上、上記の実施の形態1の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。図8は、回収装置10bの概略的な構成を示す図である。本実施の形態においては、実施の形態1と同様に、正孔注入層兼正孔輸送層材料の製膜用真空蒸着装置の真空チャンバにおいて、防着板とシャッタを小片の組み上げにて作製した。小片の形状および大きさは実施の形態1と同様であるが、小片の素材は、本実施の形態においては、タンタルTaとした。当該材料が付着した防着板およびシャッタを小片に分解して、小片と同じタンタル素材で作られたストッカ7aに格納し、再昇華室11へ入れた。ストッカ7aおよび小片は真空チャンバ外部から通電できるように電源17に接続されている。再昇華室11を真空度10-5Paまで減圧した後、ストッカ7aに通電を行った。同時に、小片にも通電され、ジュール熱によりストッカ7aおよび小片の温度が、小片に付着している当該材料の昇華温度以上まで上昇した。それにより小片から蒸着材料が昇華、脱離した。その後は、実施の形態1と同様の方法によって、収容室12にて当該材料を捕集した。以上のような工程により、防着板やシャッタに付着した蒸着材料を回収、再利用できるので、有機EL製造装置として用いることができる材料利用効率の高い真空蒸着装置1および回収装置10bを実現でき、結果として、低コストの有機EL表示装置を実現できる。上記構成によれば、ストッカ7aおよび小片が導電性であるので、通電によるジュール熱で直接加熱することができ、効率よく小片の温度を上昇させることができる。そのため、より少ないエネルギーで蒸着材料を回収し、再利用することができ、結果として、有機EL表示装置の製造原価を下げることに寄与し得る。なお、本実施の形態においては、ストッカ7aおよび小片が導電性であったが、これに限らず、ストッカ7aのみが導電性であってもよい。その場合、ストッカ7aは通電によるジュール熱で加熱され、小片は伝熱にて加熱される。また、小片のみが導電性であってもよい。その場合、小片に直接通電できるように各小片に電気的接続を行っておく必要がある。電気的接続の容易性や小片の温度上昇のエネルギー効率を考えれば、ストッカ7aおよび小片の両方が導電性であることが好ましい。また本実施の形態においては、ストッカ7aおよび小片の素材をタンタルTaとしたがこれに限らず、通電によりジュール熱を発生し、それにより小片に付着した蒸着材料を昇華し得る機能を有する限り、様々な素材を用いることができる。実施の形態3次に、図9および図10に基づいて、本発明の第3の実施形態について説明する。本実施の形態においては、混合された蒸着材料を分離、回収し得る機構が回収装置内に設けられている点において実施の形態1および2とは異なっており、その他の構成については実施の形態1および2において説明したとおりである。説明の便宜上、上記の実施の形態1および2の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。図9は、真空蒸着装置1aの概略的な構成を示す図である。発光層用の真空蒸着装置1aの真空チャンバ5a内には、蒸着源13aに備えられた蒸着材料収納部2aおよび蒸着源13bに備えられた蒸着材料収納部2bが配置されており、それぞれに防着板3およびシャッタ4が配置されている。また実施の形態1および2と同様に、真空チャンバ5a内全体に対する防着板3も備えている。上記の防着板3およびシャッタ4は、上述したような小片3a3b4a4bの組み上げにて構成されている。図9に図示されているように、真空蒸着装置1aを用いて、基板101上に発光層を製膜した。具体的には、正孔注入層兼正孔輸送層を製膜するための図1に示す真空蒸着装置1の真空チャンバ5にて当該材料をTFT基板上に製膜した。その後、発光層の製膜用真空蒸着装置1aの真空チャンバ5aにて、ホスト材料およびゲスト材料の2種類からなる発光層を製膜した。蒸着材料収納部2aからホスト材料を、蒸着材料収納部2bからゲスト材料を各々昇華させ、同期間に両蒸着材料収納部2a2bに対するシャッタ4を開放することで、基板101上に当該材料2種類が混合されて成る膜を作製した。なお、ゲスト材料は、ホスト材料からエネルギーを受け取ることで、高効率で発光することができる。さらに、電子輸送層、電子注入層および第二電極をその他の真空蒸着装置の真空チャンバにて製膜し、封止することで有機EL表示装置を作製した。上記のような手順にて有機EL表示装置を作製した時、発光層用の真空チャンバ5aにおいて、防着板3およびシャッタ4の表面には単独ないし混合した蒸着材料が堆積した。図10は、回収装置10cの概略的な構成を示す図である。真空チャンバ5aを開放し、防着板3およびシャッタ4を小片3a3b4a4bに分解して取り出し、ストッカ7に格納した上で、図10に示すような再昇華室11へ入れた。ストッカ7および再昇華室11は実施の形態1と同じであり、収容室12a12bは蒸着源13aに備えられた蒸着材料収納部2aおよび蒸着源13bに備えられた蒸着材料収納部2bに対して各々設けられている。また、再昇華室11と収容室12の間には、図示されているように、内部に複数の内壁18aがてれこ状態で備えられた分離室18が設けられている。分離室18は、その内壁18aが少なくとも蒸着材料が昇華し得る温度まで調整できるようになっている。混合された蒸着材料を次のような手順で分離、回収した。先ず、ストッカ7内の小片3a3b4a4bを2種類の蒸着材料が共に昇華する温度まで上昇させた。この時、再昇華室11の内壁温度は、両材料が付着しない温度に保たれている。同時に再昇華室11と分離室18を繋ぐ配管20を開放し、昇華した材料を分離室18に誘導した。分離室18内の複数の内壁18aは昇華温度の高い方の材料は付着し、他方は付着しないような温度に保たれている。本実施の形態においては、ゲスト材料の方がホスト材料と比較して昇華温度が高いため、分離室18の内壁18aには、ゲスト材料は付着するがホスト材料は付着しない。このような状態で分離室18と収容室12aとを繋ぐ配管19aを開放した分離室18と収容室12bとを繋ぐ配管19bは閉じている。ホスト材料は分離室18の内壁18aに付着しないため、そのまま分離室18を通過し、収容室12aに流入する。収容室12aはホスト材料が付着するような温度に設定されているため、結局ホスト材料は収容室12aにて捕集された。次に、全てのホスト材料が収容室12aにて捕集された後、分離室18と収容室12aとの間の配管19aを閉じた。もし、再昇華室11から分離室18へのゲスト材料の移し替えが完了していれば、再昇華室11と分離室18とを繋ぐ配管20も閉じる。そして、分離室18の内壁18aの温度をゲスト材料が昇華する温度まで上昇させた。同時に、分離室18と収容室12bとを繋ぐ配管19bを開放した。これにより、昇華したゲスト材料は収容室12bへ流入する。収容室12bの温度はゲスト材料が付着する温度に設定されているため、収容室12bにてゲスト材料が捕集された。上記のような工程によって、収容室12aおよび収容室12bにホスト材料およびゲスト材料をそれぞれ分離して捕集することができた。上記捕集したホスト材料およびゲスト材料の収容室12a12bから図9に示す真空蒸着装置1aの蒸着源13a13bに備えられた蒸着材料収納部2a2bへの供給は実施の形態1および2と同様であるため、説明を省略する。上記構成によれば、防着板3やシャッタ4を構成していた小片3a3b4a4bに2種類の材料が混合して付着していたとしても、昇華温度の違いを利用し、効率的に分離して回収、再利用することができる。したがって、単独の材料のみが付着している小片に対し、回収、再利用する場合に比べて、より一層、材料利用効率を向上することができる。なお、本実施の形態においては、2種類の材料が混合して小片3a3b4a4bに付着している場合を示したが、これに限らず、3種類以上の材料が混合して小片に付着していても、本発明の方法を適用することができる。各蒸着材料に対して、各々収容室を設けて分離室に接続しておき、各蒸着材料の昇華温度の違いを利用して、分離室の内壁に付着しない材料が1種類のみになるように分離室の内壁の温度を調整にすることで、分離室から1種類の蒸着材料を取り出して特定の収容室に誘導、捕集することができる。この手順を順次繰り返すことで、3種類以上の混合状態に対しても、対応が可能である。なお、本実施の形態においては、分離室18に複数の内壁18aをてれこ状態に配置したが、これに限らず、分離室の構造は様々なものとすることができる。例えば、分離室内に網目状のフィルタを多数配置し、付着するべき材料をそれらのフィルタに付着させてもよい。但し、分離室の大きさを可能な限り小さくし、効率よく材料を分離室内にて分離させるためには、分離室内に表面積が大きくなるような構造物を形成するほうがよい。また、分離室内で付着して分離されるべき蒸着粒子が分離室内の構造物に衝突することなく収容室へ入り込むことのないように、分離室内において再昇華室からの配管口と収容室への配管口とを結ぶ直線が必ず構造物と交差するような条件にしていることが望ましい。本実施の形態において、用いている図示しているようなてれこ状態に複数の内壁18aを構成する方法は、上記の条件を簡便に実現する上で有効である。なお、本実施の形態においては、分離室18を設けて混合した蒸着材料を分離したが、これに限らず、分離室18の機能を再昇華室11やストッカ7に付与することで、分離室18を設けないことも可能である。その場合、再昇華室11あるいはストッカ7、または、その両方の温度調整を行うことで、1種類の蒸着材料のみが昇華している状態を発生させ、その昇華している材料を特定の収容室にて捕集してやればよい。但し、再昇華室11やストッカ7には上述したような分離室18内の複雑な構造を付与させることは、装置コストや利便性の面で不利であることを考えれば、分離室18を別途設けることが好ましい。なお、昇華温度の非常に近い材料が混合している場合、一方を分離室18の内壁18aに付着させ、他方を付着させないという制御は困難であり、上記構成においては、分離、回収ができない可能性が高い。しかしながら、このような場合、混合した材料を一つの蒸着源にて加熱しても、混合比に近い状態で放出されることは容易に推察される。したがって、必ずしも分離する必要はなく、混合材料を昇華させる専用の蒸着源、あるいはそれに接続された収容室に混合したまま回収し、再利用してもよく、実施の形態1および2の構成を適用することができる。また、防着板3やシャッタ4に付着した混合材料の混合比はその構成物の設置位置や機能によって、まちまちであると推測されるため、それらを構成していた小片を混在してストッカ7に格納し、再昇華室11にて昇華させた場合、得られた回収物の混合比は、基板の蒸着時に行っていた混合比と異なる可能性がある。したがって、複数の材料が混合したまま回収された回収物を一つの混合材料用蒸着源から放出し、基板に製膜したとしても、所望の混合比を得られない可能性がある。そのような場合には、別途単独材料を放出する蒸着源を用意し、混合材料用蒸着源からの放出に合わせて放出量を調整し、共蒸着を行うことで、所望の混合比を有する蒸着膜を基板上に形成できる。以上のように、いずれの方法に至ったとしても、本実施の形態の構成によれば、混合した蒸着材料を回収し、再利用することができる。実施の形態4次に、図11に基づいて、本発明の第4の実施形態について説明する。本実施の形態においては、外部から接続された再昇華室を有しておらず、代わりにストッカ7を格納できる蒸着源13cを有している点において実施の形態1から3とは異なっており、その他の構成については実施の形態1から3において説明したとおりである。説明の便宜上、上記の実施の形態1から3の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。図11は、真空蒸着装置1bの概略的な構成を示す図である。図示されているように、真空蒸着装置1bにおいては、ストッカ7を格納できる蒸着源13cを有している。蒸着材料収納部2cにはノズル口21が設けられており、ノズル口21から被成膜基板101に向けて蒸着材料が放出される。上記と同様にして、蒸着材料が付着した防着板3およびシャッタ4を小片3a3b4a4bに分解し、ストッカ7に格納する。そして、そのストッカ7は蒸着源13c内に設置される。蒸着材料収納部2cをヒータ未図示で加熱すると、ストッカ7および小片3a3b4a4bが加熱され、蒸着材料収納部2c内で昇華した蒸着材料はノズル口21を通過して真空チャンバ5内に放出される。一般的な蒸着源においては、容器に詰められた粉体を加熱するので、材料の温度上昇は材料そのものの熱伝導性に依存する部分が多い。また、容器の表面付近の材料が過度に加熱され、熱分解を起こす可能性があり、それを避けるため加熱温度を高くすることができなかった。したがって、加熱温度が高くなるほど蒸着速度も速くなるが、上述した理由から加熱温度を高くできないので、高速の蒸着速度を得ることは困難であった。一方、本実施の形態の構成によれば、小片3a3b4a4bの表面に薄く付着した材料を小片3a3b4a4bからの熱伝導によって効率よく加熱できるので、材料そのものの熱伝導性に依存する部分が少なく、また加熱温度も高くすることができる。そのため、蒸着速度をより高めることができる。また、同時に、蒸着材料の熱分解の発生をより抑制することができる。また、本実施の形態においては、実施の形態1から3で示したような再昇華室や回収室などを余分に設ける必要が無い。そのため、装置構成をより簡素化することができる。本実施の形態においては、ノズル口21を一つ有する蒸着材料収納部2cを用いたがこれに限らず、多数のノズル口が配置されていたり、または、スリット口を有する蒸着材料収納部であってもよい。但し、これらの構造においては、小片から昇華する蒸着材料の量のバラツキ等の影響により、各ノズル口やスリット口内の位置によって放出量が異ならないようにする必要がある。一例としては、ノズル口やスリット口と小片との間にメッシュ状の構造物を配置することによって、蒸着材料収納部内で昇華し、各ノズル口やスリット口を介して放出される材料の量を均一化する方法が挙げられる。本実施の形態の構成によれは、蒸着材料の回収と再利用を分離することなく、同時に実施することができる。実施の形態5次に、図12に基づいて、本発明の第5の実施形態について説明する。本実施の形態においては、真空蒸着装置1cに備えられた制御板22が小片22a22bで形成されている例を示しており、その他の構成については実施の形態1から3において説明したとおりである。説明の便宜上、上記の実施の形態1から3の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。図12は、制御板22が小片22a22bで形成されている真空蒸着装置1cの概略的な構成を示す図である。図示されているように、真空蒸着装置1cにおいては、蒸着材料収納部2dと蒸着マスク110との間に設けられた複数の制御板22が、制御板間空間23に入射した蒸着粒子を、その入射角度に応じて選択的に捕捉するので、マスク110の開口部には、所定の入射角度以下の蒸着粒子のみが入射されるようになっている。これにより、蒸着粒子の基板101に対する最大入射角度が小さくなるので、ホルダ120に保持された基板101に形成される被膜の端縁に生じるボヤケを抑制することができる。本実施の形態においては、制御板22を実施の形態1において用いた小片22a22bでの組み上げにて形成した。なお、図示されてないが、真空蒸着装置1cに備えられた防着板およびシャッタについても、例えば、実施の形態1において用いた小片での組み上げにて形成してもよい。これらの小片に付着した蒸着材料は、既に上述した方法で回収することができ、効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収できる真空蒸着装置1cを実現できる。上記実施の形態1から5においては、一例として、有機EL表示装置の真空蒸着法による製造装置に関して詳述した。しかしながら、内容から明らかなように、本発明の方法は、真空蒸着法を用い、真空チャンバ内の構成物に付着した蒸着材料を効率よく簡便に回収、再利用する目的を有する様々な他の製造装置、およびそれを用いた製造物に対して適用することができる。本発明の蒸着装置は、所定期間においては、少なくとも上記蒸着材料収納部から第1の方向に放出される蒸着粒子は、上記蒸着材料収納部と上記基板との間に備えられ、且つ、上記蒸着装置から取り外しできる第2の部材に蒸着され、上記第2の部材の少なくとも一部は、複数個の上記小片が連結されてなることが好ましい。上記構成によれば、上記第2の部材、例えば、シャッタ部の少なくとも一部も、複数個の上記小片を連結して形成している。上記第2の部材は、上記蒸着装置から取り外しでき、上記第2の部材を構成する小片同士も容易に分解できる。したがって、さらに効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収できる蒸着装置を実現できる。本発明の蒸着装置においては、上記第1の部材は、上記蒸着粒子によって上記蒸着室が汚染されるのを防止するための防着板であってもよい。本発明の蒸着装置においては、上記第1の部材は、上記蒸着材料収納部から蒸着粒子が放出される開口部と上記基板との間に備えられ、且つ、上記基板の法線方向に直交する方向に沿って、上記開口部を間に挟むように所定間隔で形成された複数の制御板であってもよい。上記構成によれば、上記蒸着粒子が比較的大量に蒸着されると想定される防着板や制御板の少なくとも一部を、複数個の上記小片を連結して形成している。そして、上記小片同士は容易に分解できる。したがって、さらに効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収できる蒸着装置を実現できる。本発明の蒸着装置においては、上記蒸着源は、上記小片が複数個格納された格納部材を格納可能に形成されていることが好ましい。上記の構成によれば、上記格納部材にて多量の蒸着材料が蒸着された複数の小片を一度に加熱することができ、回収および再利用する蒸着材料を簡便に再昇華することができる。また、上記蒸着装置に備えられた蒸着源は、蒸着材料が蒸着された小片が複数個格納された格納部材を格納可能に形成されているので、材料回収と再利用を同時に行うことができる。本発明の回収装置においては、上記第1の捕捉部は、上記蒸着装置に備えられた蒸着材料収納部に連結されており、上記第1の捕捉部を捕捉した蒸着粒子の昇華温度以上で加熱することによって、上記蒸着材料収納部に上記捕捉した蒸着粒子を供給することが好ましい。上記構成によれば、昇華部と第1の捕捉部とが備えられており、上記第1の捕捉部は、上記蒸着材料収納部に連結されているため、昇華部における蒸着粒子の昇華工程と、上記第1の捕捉部における上記昇華された蒸着粒子を捕捉する工程並びに、上記第1の捕捉部において捕捉された蒸着粒子を上記蒸着材料収納部へ供給する工程を分離することができ、回収装置のスループットを向上することができる。また、上記構成によれば、上記第1の捕捉部で捕捉した蒸着粒子を上記蒸着装置に備えられた蒸着材料収納部にそのまま供給できるので、効率よく、且つ、低コストで蒸着材料を回収できる回収装置を実現できる。本発明の回収装置においては、上記第1の捕捉部は、上記蒸着源であってもよい。上記構成によれば、上記第1の捕捉部から上記蒸着源に上記捕捉した蒸着粒子を供給する工程時間を省くことができるので、回収装置のスループットをさらに向上することができる。本発明の回収装置においては、上記第1の捕捉部には、上記蒸着装置の蒸着源に備えられた蒸着材料収納部に格納できる蒸着材料回収容器が備えられており、上記蒸着材料回収容器に、上記捕捉した蒸着粒子が回収されることが好ましい。上記構成によれば、上記第1の捕捉部においては、上記蒸着材料収納部に格納できる蒸着材料回収容器が備えられており、上記蒸着材料回収容器に、上記捕捉した蒸着粒子が回収されるようになっている。したがって、蒸着材料が回収された蒸着材料回収容器を上記蒸着装置に備えられた上記蒸着材料収納部に格納して、そのまま使用することができるので、回収装置のスループットを向上することができる。本発明の回収装置においては、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方は、導電性材料で形成されており、通電によるジュール熱によって加熱を行い、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させることが好ましい。上記構成によれば、上記小片に蒸着した蒸着材料を効率よく加熱することが可能である。本発明の回収装置においては、上記小片および上記格納部材は、上記昇華部内に配置され、上記昇華部の壁面を加熱することにより、上記小片に蒸着された蒸着粒子を昇華させることが好ましい。上記構成によれば、上記昇華部そのもので上記小片および上記格納部材の加熱を行うため、上記小片および上記格納部材に別途加熱装置を設ける必要がない。本発明の回収装置においては、上記小片には、少なくとも2種類の異なる蒸着粒子が蒸着されており、上記昇華部の壁面は、上記小片に蒸着された1種類の蒸着粒子のみが昇華される温度に加熱されていることが好ましい。本発明の回収装置においては、上記小片には、少なくとも2種類の異なる蒸着粒子が蒸着されており、上記小片および上記格納部材の少なくとも一方は、上記小片に蒸着された1種類の蒸着粒子のみが昇華される温度に加熱されていることが好ましい。上記構成によれば、上記小片に蒸着された1種類の蒸着粒子のみが昇華されるので、上記小片に少なくとも2種類の異なる蒸着粒子が混合して蒸着した場合でも分離回収を行うことができる。本発明の回収装置においては、上記小片には、少なくとも2種類の異なる蒸着粒子が蒸着されており、上記昇華部と上記第1の捕捉部との間には、分離部が備えられており、上記分離部は、上記昇華部において昇華された少なくとも2種類の異なる蒸着粒子と接する温度調整が可能な複数の内壁を有するとともに、上記内壁の温度は、上記昇華された少なくとも2種類の異なる蒸着粒子の昇華温度中、最も低い温度以上、2番目に低い温度未満で設定されており、上記昇華部において昇華された上記少なくとも2種類の異なる蒸着粒子は、上記分離部を介して、上記第1の捕捉部に供給されることが好ましい。上記構成によれば、上記昇華室にて複数種類の蒸着粒子が昇華している状態においても、上記分離部を利用して、効果的に蒸着粒子を分離回収することができる。本発明の回収装置においては、上記分離部の内壁に蒸着した蒸着粒子が1種類である場合には、上記内壁の温度を上記2番目に低い温度以上に設定することにより、上記分離部の内壁に蒸着した蒸着粒子は昇華され、上記第1の捕捉部とは異なる第2の捕捉部に供給されることが好ましい。本発明の回収装置においては、上記分離部の内壁に蒸着した蒸着粒子が、2種類以上である場合には、上記内壁の温度を、上記分離部の内壁に蒸着した2種類以上の蒸着粒子の昇華温度中、最も低い温度以上、2番目に低い温度未満に設定することにより、上記分離部の内壁に蒸着した上記2種類以上の蒸着粒子中、1種類の蒸着粒子のみが昇華され、上記第1の捕捉部とは異なる第2の捕捉部に供給されることが好ましい。上記構成によれば、上記分離部に蒸着された蒸着粒子を効果的に分離回収することができる。本発明は上記した各実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施の形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施の形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。