可撓性を有する配線シートであって、該配線シートの一方の面に設けられ、かつ第1の方向に間隔をおいて該第1の方向に交差する第2の方向に延びる複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える配線シートと、前記配線シートを支持する支持体と、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有する間隔維持部材であって、前記配線シートに取り付けられて、前記配線シートが膨張した状態に前記複数の配線相互の間隔を維持する間隔維持部材とを含む、プローブ装置。前記間隔維持部材は、前記配線シートに対向して前記配線を覆う平面を備え、かつ該平面において接着材により前記配線シートに接着されている、請求項1に記載のプローブ装置。前記間隔維持部材はガラス製の板状部材を備え、前記接着材は熱硬化性を有する、請求項2に記載のプローブ装置。前記間隔維持部材は、前記接触電極が設けられた領域に対応する前記配線シートの他方の面に取り付けられている、請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブ装置。前記間隔維持部材は前記配線シートの一方の面に取り付けられている、請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブ装置。前記配線シートは前記支持体から延びる延在部を備え、前記接触電極は前記延在部に設けられている、請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブ装置。さらに、前記支持体に取り付けられたストッパであって、前記配線シートの前記接触電極が被検査体の電極に押されたとき、前記配線シートの前記延在部の前記接触電極と反対側の部位が当接することを許すストッパを含む、請求項6に記載のプローブ装置。前記間隔維持部材は前記延在部に取り付けられている、請求項7に記載のプローブ装置。前記ストッパは、弾性を有する弾性部材と、前記配線シートが接触可能に前記弾性部材に設けられた表面層であって、前記表面層と前記配線シートとの間の摩擦を低減する表面層を備える、請求項8に記載のプローブ装置。前記配線シートは、さらに、前記配線に電気的に接続された集積回路チップを備える、請求項1から9のいずれか1項に記載のプローブ装置。可撓性を有する配線シートであって、該配線シートの一方の面に設けられ、かつ第1の方向に間隔をおいて該第1の方向に交差する第2の方向に延びる複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える配線シートを加熱膨張させて、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有する間隔維持部材であって、前記配線の間隔を維持する間隔維持部材を前記配線シートに取り付ける第1の工程と、前記配線シートを支持体に取り付ける第2の工程とを含む、プローブ装置の製造方法。前記第1の工程は、前記間隔維持部材を熱硬化性の接着材により前記配線シートに取り付けるべく、前記配線シートを加熱膨張させる熱により前記熱硬化性の接着材を硬化させることで前記間隔維持部材を前記配線シートに接着することを含む、請求項11に記載のプローブ装置の製造方法。前記第1の工程は、前記配線シートを加熱膨張させると同時に、前記配線シートを前記間隔維持部材に押圧することを含む、請求項11又は12に記載のプローブ装置の製造方法。前記第1の工程は、前記間隔維持部材を貼り付け治具に配置する第3の工程と、前記間隔維持部材の上に前記熱硬化性の接着材を配置する第4の工程と、前記間隔維持部材及び前記熱硬化性の接着材の上に前記配線シートを配置する第5の工程と、前記配線シートの上方から貼り付け装置により前記配線シート、前記熱硬化性の接着材及び前記間隔維持部材を加熱及び押圧する第6の工程とを含む、請求項12に記載のプローブ装置の製造方法。本発明は、プローブ装置の接触電極が被検査体の電極に対して位置ずれすることを防止することにある。本発明に係るプローブ装置は、可撓性を有する配線シートと、該配線シートを支持する支持体と、配線シートに取り付けられた間隔維持部材とを含む。前記配線シートは、該配線シートの一方の面に設けられ、かつ第1の方向に間隔をおいて該第1の方向に交差する第2の方向に延びる複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える。前記間隔維持部材は、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有し、前記配意線シートに取り付けられて、前記配線シートが膨張した状態で前記複数の配線相互の間隔を維持する。前記間隔維持部材は、前記配線シートに対向して前記配線を覆う平面を備え、かつ該平面において接着材により前記配線シートに接着されていてもよい。また、前記間隔維持部材はガラス製の板状部材を備えることができ、前記接着材は熱硬化性とすることができる。前記間隔維持部材は、前記接触電極が設けられた領域に対応する前記配線シートの他方の面に取り付けられていてもよく、前記配線シートの一方の面に取り付けられていてもよい。前記配線シートは前記支持体から延びる延在部を備えていてもよく、前記接触電極は前記延在部に設けられていてもよい。前記プローブ装置は、さらに、前記支持体に取り付けられたストッパを含むことができる。該ストッパは、前記配線シートの前記接触電極が被検査体の電極に押されたとき、前記配線シートの前記延在部の前記接触電極と反対側の部位が当接することを許す。前記ストッパは、弾性を有する弾性部材と、前記配線シートが接触可能に前記弾性部材に設けられた表面層であって、該表面層と前記配線シートとの間の摩擦を低減する表面層とを備えていてもよい。前記配線シートは、さらに、前記配線に電気的に接続された集積回路チップを備えることができる。本発明に係るプローブ装置の製造方法は、可撓性を有する配線シートを加熱膨張させて、間隔維持部材を前記配線シートに取り付ける第1の工程と、前記配線シートを支持体に取り付ける第2の工程とを含む。前記配線シートは、該配線シートの一方の面に設けられ、かつ第1の方向に間隔をおいて該第1の方向に交差する第2の方向に延びる複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える。前記間隔維持部材は、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有し、前記配線の間隔を維持する。前記第1の工程は、前記間隔維持部材を熱硬化性の接着材により前記配線シートに取り付けるべく、前記配線シートを加熱膨張させる熱により前記熱硬化性の接着材を硬化させることで前記間隔維持部材を前記配線シートに接着することを含むことができる。前記第1の工程は、さらに、前記配線シートを加熱膨張させると同時に、前記配線シートを前記間隔維持部材に押圧することを含むことができる。前記第1の工程は、前記間隔維持部材を貼り付け治具に配置する第3の工程と、前記間隔維持部材の上に前記熱硬化性の接着材を配置する第4の工程と、前記間隔維持部材及び前記熱硬化性の接着材の上に前記配線シートを配置する第5の工程と、前記配線シートの上方から貼り付け装置により前記配線シート、前記熱硬化性の接着材及び前記間隔維持部材を加熱及び押圧する第6の工程とを含むことができる。本発明においては、配線シートの複数の配線及びこれに設けられた複数の接触電極の間隔が所定の間隔すなわち、被検査体の電極間隔に対応した間隔となるように配線シートが熱膨張された状態で、間隔維持部材が配線シートに取り付けられる。しかし、間隔維持部材の吸熱量が支持体のそれより小さいから、間隔維持部材の吸熱を考慮して配線及び接触電極の間隔を所定の間隔に調整するように加熱する作業は容易である。配線シートより高い剛性及び低い熱膨張係数を有する間隔維持部材が配線シートに取り付けられることにより、配線シートの温度が常温に低下した後においても、配線シートの配線の相互の間隔及び接触電極の相互の間隔は配線シートが加熱膨張された時の値に維持される。このため、間隔維持部材を取り付けた後の配線シートにおいて、配線シートの加熱により接触電極の間隔が所定の間隔から変化することはない。これにより、熱効硬化性接着材を硬化すべく配線シートが支持体に取り付けられるときに、又はプローブ装置が高温環境下におかれるときに配線シートが加熱されても、接触電極の間隔は所定の間隔に維持されている。したがって、本発明に係るプローブ装置においては、配線シートが加熱されることにより、被検査体の電極に対する接触電極の位置ずれが生ずることはない。用語の説明本発明においては、図4において、上下方向を上下方向又はZ方向といい、左右方向をプローブ装置の被検査体側を前方とする前後方向又はY方向といい、紙背方向を左右方向又はX方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。したがって、プローブ装置及びプローブブロックは、本発明でいう上下方向Z方向が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。[第1の実施例]図1を参照するに、試験装置10は、液晶表示パネルのような平板状の被検査体12の点灯検査に用いられる。被検査体12は、その一部のみを示されているが、実際は、長方形の形状を有しており、また長方形の少なくとも2つの辺に対応する縁部のそれぞれに複数の電極14図8参照を所定の間隔で形成している。各電極14は、これが配置された縁部と直交するX方向又はY方向へ延びる帯状の形状を有している。試験装置10は、本体フレーム図示せずに左右方向に延びる状態に取り付けられる長い板状のプローブベース16と、プローブベース16に左右方向に間隔をおいて載置された複数のプローブ装置18図1においては、3つを示す。と、プローブベース16の上に配置された複数の中継ベース20と、各中継ベース20の上に配置された中継基板22とを含む。図1においては、被検査体12の電極14が配置された1つの辺に対応するプローブ装置18を示しているにすぎないが、実際には被検査体12の電極14が配置された各辺に対応して少なくとも1つのプローブ装置18が配置されている。中継ベース20及び中継基板22の組は、プローブ装置18に対応されてプローブ装置18と同数設けられている。各中継ベース20は、プローブベース16の幅方向前後方向に間隔をおいて左右方向に平行に延びる状態にプローブベース16の上面に取り付けられた一対の棒状部材を備える。中継基板22は、それら棒状部材の上に載置されている。中継基板22は、試験信号を発生する電気回路図示せずに接続される。試験信号は、そのような電気回路からプローブ装置18を介して被検査体12に供給されて、被検査体12を駆動点灯させる。図2~4を参照するに、各プローブ装置18は、プローブベース16に載置されかつ連結された連結ブロック24と、連結ブロック24に支持された支持ブロック26と、支持ブロックに結合された結合ブロック28と、結合ブロック28に支持されたプローブブロック30と、プローブブロック30を中継基板22に電気的に接続する接続回路32とを含む。接続回路32は、フレキシブル印刷配線回路FPC:FlexiblePrintedCircuitsのような可撓性を有するシート状配線回路である。連結ブロック24は、プローブベース16から立ち上がるようにプローブベース16に連結された主体部24aと、主体部24aの上部から前方に延びる延長部24bとにより、逆L字状の断面形状を有する。連結ブロック24は、主体部24aを上方から下方に貫通してプローブベース16に螺合された複数のボルト34図3参照によりプローブベース16に取り外し可能に結合されている。支持ブロック26は、直方体状の主体部26aと、主体部26aの下部から前方に延びる延長部26bとによりL字状の断面形状を有する。支持ブロック26は、一組のガイド36及びガイドレール38により上下方向に移動可能に連結ブロック24の主体部24aの前面に主体部26aの後面において連結されていると共に、ボルト40図3及び4参照により上下方向の位置を調整可能に連結ブロック24の延長部24bの下側に支持されている。ボルト40は、連結ブロック24の延長部24bを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック26に形成されたねじ穴図示しないに螺合されている。支持ブロック26は、左右方向に間隔をおいて連結ブロック24の延長部24bと支持ブロック26との間に配置された一対の圧縮コイルバネ41図2参照により下方に付勢されている。これにより、支持ブロック26へのボルト40のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック26、ひいては支持ブロック26に結合ブロック28を介して支持されたプローブブロック30の高さ位置を調整することができる。結合ブロック28は、左右方向に長い板状部材であり、その中央領域において支持ブロック26の下側に結合されている。結合ブロック28と支持ブロック26とは、支持ブロック26の主体部26aを上方から下方に貫通して結合ブロック28に螺合されたボルト42図2及び3参照により結合されている。プローブブロック30は、配線シート44と、配線シート44を下側に支持する支持体46と、配線シート44に取り付けられた間隔維持部材48とを含む。プローブブロック30は、左右方向に間隔をおいて結合ブロック28を上方から下方に貫通して支持体46に螺合された一対のボルト50により、結合ブロック28に結合されている。配線シート44は、図4に示すように接続回路32を介して中継基板22に電気的に接続されている。図5及び6を参照するに、プローブブロック30の支持体46は、前後方向に長い矩形の断面形状を有する本体部46aと、本体部46aの前端部下面から前方及び下方に斜めに突出する三角形の断面形状を有する補助部46bとを含む。配線シート44は、本体部46aの下面であって前後方向及び左右方向に延びる水平の下面と、補助部46bの下面であって本体部46aの前記水平の下面から前方及び下方に斜めに延びる傾斜した下面に熱硬化性の接着材52により接着されている。配線シート44は、可撓性のシート状部材54と、その一方の面に設けられた複数の配線56と、各配線56の一端部下面に設けられた接触電極58とを備える図5B参照。図示の例では、配線シート44は、シート状部材54に複数の配線56を形成した、いわゆるFPCのような可撓性を有するシート状配線回路の各配線56の前端部に接触電極58を形成している。シート状部材54は、ポリイミドのような高い熱膨張係数と電気絶縁性とを有する材料で製作されている。配線56は、シート状部材54の一方の面に設けられており、また第1の方向すなわち、左右方向に間隔をおいて第2の方向すなわち、前後方向に延びている。配線56を備えたシート状部材54としてFPCを用いれば、配線56の配置形状、すなわち配置パターンは、FPCの従来の設計及び製造方法で様々な形状とすることができる。接触電極58は、図示の例では直方体の形状を有するが、円錐、角錐等の先鋭の形状を有していてもよいし、半球状の形状を有していてもよい。接触電極58は、配線シート44の配線56にメッキ法、蒸着法等の体積技術により形成することができる。接触電極58は、試験時に、被検査体12の電極14に押圧される。配線シート44は、さらに、被検査体12を駆動する駆動信号を生成する集積回路チップ60と、左右方向に間隔をおいて集積回路チップ60から後方に延びる複数の配線62とを備える。複数の配線56及び複数の配線62は、それぞれ、それらの後端部及び前端部において集積回路チップ60の出力端子及び入力端子に電気的に接続されている。本実施例において、配線シート44は、集積回路チップ60が実装されたチップオンフィルムCOF:ChipOnFilmとされている。間隔維持部材48は、左右方向に延びる矩形の板状部材であり、また配線シート44に比べ小さい熱膨張係数と高い剛性とを有する。図示の例では、間隔維持部材48はガラスで製作されている。間隔維持部材48は、配線シート44の接触電極58の近傍に配置されており、間隔維持部材48の一方の面を配線シート44に対向させて各配線56の一部を覆うように、接着材64図6参照により配線シート44に接着されている。接着材64は、接着材シートのようなシート状の接着材であってもよいし、ゲル状若しくは液状の接着材であってもよい。接着材64は、熱硬化性、乾燥硬化性、2液反応硬化性等の接着材であってもよい。接着材64として、異方性導電フィルムACF:anisotropicconductivefilmのような導電性フィラーを含む接着材フィルムを用いてもよい。ACFは、これが導電性フィラーを含んでいても、その導電性を有する方向を配線56の配列方向としない限り、隣り合う配線56を導通させることはない。したがって、接着材64としてACFを用いても、配線シート44が配線56間の短絡により所定の機能を達成しなくなることはない。間隔維持部材48は、後に説明するように、熱硬化性の接着材64が加熱されることにより配線シート44に取り付けられ、その後、配線シート44及び接着材64と共に常温まで冷却される。接着材64が加熱されると、配線シート44及び間隔維持部材48も加熱される。しかし、間隔維持部材48の熱膨張率が配線シート44のそれより小さいから、配線シート44と間隔維持部材48とは、配線シート44が間隔維持部材48より大きく熱膨張して、配線56のピッチ、すなわち間隔を広げられた状態に接着される。また、間隔維持部材48の熱収縮量が配線シート44のそれより少なく、しかも間隔維持部材48が配線シート44より高い剛性を有するから、配線シート44、間隔維持部材48及び接着材54が冷却されると、配線56の間隔は、間隔維持部材48が配線シート44及び接着材64と共に加熱される前の状態、すなわち配線シート44及び間隔維持部材48が接着される前の状態よりも広い状態に維持される。上記の結果、間隔維持部材48は、常温状態に冷却された後においても、配線シート44が加熱されて配線56の間隔が広げられた状態に、熱硬化性の接着材64により配線シート44に取り付けられている。したがって、間隔維持部材48が接着される配線シート44の配線56の中央部分56a及び中央部分56aより前方の前部分56bは、中央部56aより後方の配線56の後部分56cに比較して、配線56の間隔が広い状態とされている。間隔維持部材48は配線シート44に比較して高い剛性を有するから、間隔維持部材48が熱膨張した状態で配線シート44に接着されることにより、その後、配線シート44が常温まで冷却されても、中央部56aにおいて、複数の配線56の間隔は、配線シート44が熱膨張したときの状態に維持される。また、間隔維持部材48は、配線シート44に比較して低い熱膨張係数を有するから、間隔維持部材48が取り付けられた配線シート44が加熱されても、中央部56aにおいて、複数の配線56の間隔は間隔維持部材48が取り付けられたときの状態に維持される。したがって、配線シート44と支持体46とが熱硬化性の接着材52により接着されるべく配線シート44が加熱されて接着されるとき、又は配線シート44が取り付けられたプローブ装置が高温環境下に置かれるときに、中央部56aにおける配線56の間隔は、配線シート44が熱膨張したときの状態に維持される。間隔維持部材48が配線シート44の接触電極58の近傍に位置しているから、接触電極58が設けられた配線56の前部分56bは、間隔維持部材48が接着される配線56の中央部分56aの近傍となる。したがって、前部分56bにおける配線間隔は、中央部56aにおける配線間隔と概ね同一となる。これにより、プローブ装置18の製作において、配線シート44が加熱されても、配線56の前部分56bに設けられた複数の接触電極58の間隔が所定の間隔に維持される。したがって、複数の接触電極58の間隔を被検査体12の電極14の間隔、すなわち所定の間隔とした状態で間隔維持部材48を配線シート44に取り付けることにより、接触電極58が被検査体12の電極14に対して位置ずれすることがない。本実施例において、間隔維持部材48はガラス製としたが、配線シート44に比較して低い熱膨張係数及び高い剛性を備えるセラミックのような他の材料で製作されていてもよい。しかし、間隔維持部材48を透明なガラス製とすることにより、間隔維持部材48を通して配線56の間隔を確認することができる。間隔維持部材48は、間隔維持部材48を貫通して支持体46に螺合する複数のねじ部材により配線シート44及び支持体46に取り付けられていてもよい。しかし、間隔維持部材48を接着材64により配線シート44に接着すれば、配線シート44の配線56の間隔を配線シート44と間隔維持部材48との接着面全体で均一に維持することができるし、配線シート44が支持体46に熱硬化性の接着材52で接着された後においては、配線56の間隔を広げられた状態に支持体46と間隔維持部材48とにより確実に維持される。配線シート44は、さらに、配線56を覆う第2のシート状部材図示しない、いわゆるカバーフィルムを備えていてもよい。そのような第2のシート状部材は、シート状部材54と同様にポリイミドのような電気絶縁性の材料製とすることができ、それにより配線56が保護されると共に、配線56相互の電気的絶縁状態が確実に維持される。配線シート44は、また、第2のシート状部材を備えることで剛性が増すから、間隔維持部材48を取り付ける作業が容易になる。プローブブロック30は、さらに、支持体46に取り付けられたストッパ66を含む。ストッパ66は、楔型の断面形状を有しており、また支持体46の前方及び下方に斜めに延びる斜め上向き面に楔の先端を下方の側とした状態に取り付けられている。ストッパ66は、弾性を有する弾性部材67と、弾性部材67の表面の一部を覆う表面層68とを備える。表面層68は、少なくとも弾性部材67の配線シート44の延在部44bに対応する部分を覆っている。表面層68は、配線シート44と弾性部材67との間に潤滑性を提供するように、フッ素コーティングされたテープのような低摩擦の材料を弾性部材67に貼り付けること又は塗布することにより形成される。配線シート44は、熱硬化性の接着材52により支持体46の下面及び該下面の前端部に続く斜め後向きの下面に貼り付けられた本体部44aと、支持体46の補助部46bから前方に延びる延在部44bとを備える。ストッパ66は、楔型の先端部が配線シート44の延在部44bの上方に間隔をおいて位置するように、支持体46の補助部46bの前端に取り付けられている。被検査体12の試験に先駆けて、被検査体12とプローブ装置18とが相寄るように相対的に移動される。これにより、配線シート44の接触電極58が被検査体12の電極14に接触する。そのような相対的移動がさらに進むと、被検査体12の電極が配線シート44、特に配線56を下方から押す。これにより、配線シート44の前端部が上方に屈曲されて配線シート44の延在部44bがストッパ66に接触する。被検査体12とプローブ装置18とが相寄る方向へさらに移動されると、配線シート44の延在部44bがストッパ66の先端部に当接される。このとき、弾性部材67が適切な弾性を有するから、配線シート44の接触電極58は被検査体12の電極14に適切な力で押圧接触される。図示の例では、表面層68が低摩擦の材料製であるから、ストッパ66と配線シート44の延在部44bとが押圧されると、配線シート44の延在部44bとストッパ66の表面層68との接触面において相対的な滑りが生じる。これにより、ストッパ66と配線シート44との接触に起因して生じる配線シート44の損傷を防止することができる。再び図4を参照するに、プローブブロック30の配線シート44は、接続回路32を介して中継基板22に電気的に接続されている。接続回路32は、配線シート44の後端から後方に延びており、プローブベース16を上下方向に貫通する貫通穴74を下方から上方に通って中継基板22に接続されている。中継基板22と接続回路32とはコネクタのような接続手段70により電気的に接続されている。同様に、接続回路32と配線シート44とは、コネクタのような接続手段72により電気的に接続されている。しかし、これらの接続は、ACFにより行われてもよい。接続回路32は、それぞれが配線シート44の配線62に対応された複数の配線図示せずを有するFPCである。中継基板22の配線は、試験信号を発生する電気回路図示せずに接続される。試験信号は、そのような電気回路から、接続回路32及び配線シート44を介して被検査体12に供給される。配線シート44は集積回路チップ60を備えるから、試験信号は、その一部が集積回路チップで駆動信号に変換されて被検査体12を駆動点灯させる。[プローブ装置の製造方法]次に図7に示す本発明に係るプローブ装置の製造方法の一部、すなわち配線シート44への間隔維持部材48の取り付け工程について説明する。先ず、配線シート44への間隔維持部材48の貼り付けにおいて、図7Aに示すように、間隔維持部材48が貼り付け治具100に配置される。貼り付け治具100は間隔維持部材48が受け入れられる第1の逃げ穴102を備え、第1の逃げ穴102は間隔維持部材48の厚さ寸法と同程度の深さ寸法を有する。貼り付け治具100は、板状部材の表面に機械加工、化学加工等により逃げ穴を形成することにより製作される。間隔維持部材48は第1の逃げ穴102に配置される。次いで、図7Bに示すように、シート状の接着材64が間隔維持部材48の上に配置される。図示の例では、接着材64は間隔維持部材48の寸法とほぼ同じ寸法を有する。しかし、前後方向及び左右方向における接着材64の寸法は、同方向における間隔維持部材48より小さくてもよい。そのようにすれば、接着材64が間隔維持部材48からはみ出して、接着材64が貼り付け治具100へ付着することを防止できる。次いで、図7Cに示すように、配線シート44が接着材64の上に配置される。配線シート44は集積回路チップ60を実装されたCOFであり、貼り付け治具100は集積回路チップ60を受け入れる第2の逃げ穴104を備える。次いで、図7Dに示すように、配線シート44、接着材64及び間隔維持部材48が上方から貼り付け装置106により加熱及び押圧される。図示の例では、貼り付け装置106が、配線シート44の間隔維持部材48に対応する部分のみを押圧しているが、配線シート44の全体を押圧してもよい。貼り付け治具100が第2の逃げ穴104を備えるから、配線シート44の全体が押圧されても集積回路チップ60は圧力を受けない。したがって、集積回路チップ60が押圧力により破壊されることがない。図示の例では、一組の配線シート44及び間隔維持部材48の貼り付けを行っているが、貼り付け治具100に複数の第1及び第2の逃げ穴102及び104を設けて、複数組みの間隔維持部材48及び配線シート44の貼り付けを同時に行ってもよい。そのような場合、貼り付け装置106は、複数の配線シート44の全体を同時に押圧する大型のプレス装置とすることができる。これにより、複数の配線56の間隔が等しい複数の配線シート44を同時に製作することができる。図7Dに示すように、間隔維持部材48と配線シート44とは同時に加熱される。したがって、接着材64に熱硬化性の接着材を用いることにより配線シート44を熱膨張させた状態で間隔維持部材48を貼り付ける作業が容易になる。また、配線シート44を加熱すると同時に押圧することで配線シート44が、熱膨張に加えて圧力により伸張するから、配線シート44の伸張、すなわち配線56の間隔の調整が容易になる。次に、図8を参照して、配線シート44の配線62の間隔及び接触電極58の間隔について説明する。先ず、図8Aに示すように、間隔維持部材48が取り付けられる以前の配線シート44は、配線56の前部分56bの間隔及び接触電極58の間隔が被検査体12の電極14の間隔よりも小さい状態に製作されている。配線56の間隔及び接触電極58の間隔は、FPCを用いた配線シート44の設計により自由に調整できる。次いで、図8Bに示すように、間隔維持部材48が取り付けられた後の配線シート44は、中央部分56a及び前部分56bにおける配線56の間隔並びに接触電極58の間隔が被検査体12の電極14の間隔と同じ間隔とされている。すなわち、図7Dに示すように、貼り付け装置106が配線シート44を加熱することにより、配線56の間隔が被検査体12の電極14の間隔と同じ間隔まで広げられる。そのような状態で、間隔維持部材48が配線シート44に接着されることにより、配線56は、中央部分56a及び前部分56bにおける間隔すなわち、ピッチが広げられた状態に維持される。接触電極58は各配線56の前部分56bに設けられているから、接触電極58の間隔すなわち、ピッチも電極14の間隔すなわち、ピッチと同じ間隔すなわち、ピッチに維持される。間隔維持部材48は板状であるから、間隔維持部材48の吸熱量は支持体46に比べ小さい。したがって、間隔維持部材48の吸熱を考慮して配線56及び接触電極58の間隔を所定の間隔に調整するように加熱する作業は容易である。間隔維持部材48は、吸熱量が大きくなければ、棒状、箱状等の他の形状であってもよい。また、間隔維持部材48は、セラミックのような高い剛性を有する材料で形成されているから、間隔維持部材48が配線シート44に取り付けられることにより、配線シート44の複数の配線56及び複数の接触電極58の間隔が所定の間隔に維持される。さらに、間隔維持部材48が低い熱膨張率を有するから、間隔維持部材48を取り付けた後の配線シート44において、加熱により複数の接触電極58の間隔が変化することがない。これにより、例えば、配線シート44が支持体46に取り付けられるときに、熱効硬化性の接着材52を硬化すべく配線シート44が加熱されても、又は、プローブ装置18が試験条件により高温下におかれて配線シート44が加熱されても、複数の接触電極58の間隔は維持される。したがって、配線シート44が支持体46に取り付けられることにより、被検査体12の電極14に対する接触電極58の位置ずれが生ずることはない。[第2の実施例]図9を参照するに、本発明に係るプローブ装置の第2の実施例は、プローブブロック30に代えて、プローブブロック130を含む。プローブブロック130は、配線シート144と、配線シート144を支持する支持体46と、配線シート144に取り付けられた間隔維持部材48と、配線シート144に電気的に接続された配線基板180を含む。配線基板180は、被検査体12を駆動する集積回路チップ60を備えるチップオンボードCOB:ChipOnBoardのようなシート状の配線回路である。プローブブロック130は、集積回路チップ60が、配線シート144に実装されておらず、配線基板180に実装されており、また配線基板180が配線シート144に電気的に接続されている。試験時に、被検査体12は、配線基板180に実装された集積回路チップから配線シート144を介して駆動信号を受けて駆動される。[第3の実施例]図10を参照するに、本発明に係るプローブ装置の第3の実施例において、プローブブロック230は、配線シート44の接触電極58の設けられた面と反対の面に接着材264により接着された間隔維持部材248を含む。間隔維持部材248は、接触電極58が設けられた領域に対応する位置に配置されている。間隔維持部材248の置かれる位置を除いて、本実施例に係るプローブ装置は、第1の実施例に係るプローブ装置と同様である。本実施例においては、試験時に、ストッパ66が間隔維持部材48を介して配線シート44を下方に押圧する。これにより、間隔維持部材48が高い剛性を有するから、間隔維持部材48が配線シート44をストッパ66の圧力から保護して、配線シート44が損傷することを防止することができる。また、間隔維持部材48を介して配線シート44を押圧すれば、配線シート44に作用する圧力を均一にすることができる。これにより、被検査体12の電極14に接触電極58を正確な圧力で接触させることができる。