第1、第2、第3、および第4のノードと、前記第1のノードと前記第2のノード間に接続された第1の抵抗要素と、前記第2のノードと前記第3のノード間に接続された第2の抵抗要素と、前記第1のノードと前記第4のノード間に接続された第1の感知素子と、前記第4のノードと前記第3のノード間に接続された第2の感知素子とを含むブリッジ回路と、前記第2のノードと前記第4のノード間の電圧差を示す第1の出力を供給する第1の処理部分と、前記第1のノードと前記第3のノード間の電圧を示す第2の出力を供給する第2の処理部分と、較正ガスの流量値を較正データでマッピングする較正データを含むルックアップテーブルであって、前記較正データが、前記較正データの前記較正ガスの前記流量値に対応する前記第1の出力の値と、前記第2の出力の値とに基づいた、ルックアップテーブルと、処理ガスが質量流量制御器によって制御される際に、前記ルックアップテーブルにアクセスし、前記較正データと、前記第1および第2の出力とに基づいて、前記処理ガスの流量値を計算するように構成された制御部分とを備える、質量流量制御器。前記ルックアップテーブルが、前記較正ガスの前記流量値を、前記較正ガスの特定の流量値それぞれについて、前記特定の流量値における前記第1の出力を示す値と、前記特定の流量値における前記第2の出力を示す値とを含む較正データでマッピングする、請求項1に記載の質量流量制御器。前記ルックアップテーブルが、特定の流量値それぞれについて、前記特定の流量値における前記第2の出力を示す調節された値と、前記特定の流量値における前記第1の出力を示す調節された値との比に基づいた較正比を含み、前記調節された値が、ゼロオフセット値を除去するように調節された値である、請求項2に記載の質量流量制御器。前記ルックアップテーブルが、特定の流量値それぞれについて、前記特定の流量値における前記第2の出力を示す調節された値と、前記特定の流量値における前記第1の出力を示す調節された値とによって定義される較正ベクトルの振幅を含み、前記調節された値が、ゼロオフセット値を除去するように調節された値である、請求項2に記載の質量流量制御器。前記処理部分がそれぞれ、増幅器と、アナログデジタル変換器とを含む、請求項1に記載の質量流量制御器。前記制御部分が、FPGA、プロセッサ、およびメモリからなる群から選択された構成要素を含む、請求項1に記載の質量流量制御器。ガス流量が変動するにつれてそれぞれ変動する第1の信号、および第2の信号を供給する熱式質量流量センサと、較正ガスの流量値を較正データにマッピングする較正データを含むルックアップテーブルであって、前記較正データが、較正ガスの流量値に対応する前記第1の信号値と、前記第2の信号値とに基づいた、ルックアップテーブルと、処理ガスが制御される際に、前記ルックアップテーブルにアクセスし、前記較正データと、前記第1および第2の信号とに基づいて、前記処理ガスの流量値を計算するように構成された制御部分とを備える、質量流量制御器。前記ルックアップテーブルが、複数のデータ組を含み、各データ組が、較正ガスの流量を示す流量値と、前記流量における前記熱式質量流量センサからの前記第1の信号を示す第1の値と、前記流量における前記熱式質量流量センサからの前記第2の信号を示す第2の値とを含む、請求項7に記載の質量流量制御器。各データ組が、ゼロオフセット電圧について補正されたときの前記第2の値と、ゼロオフセット電圧について補正されたときの前記第1の値との比に基づいた較正比を含む、請求項8に記載の質量流量制御器。各データ組が、ゼロオフセット電圧について補正されたときの前記第2の値と、ゼロオフセット電圧について補正されたときの前記第1の値とによって定義されるベクトルの大きさに基づいた振幅値を含む、請求項9に記載の質量流量制御器。前記熱式質量流量センサが、ブリッジ回路を含み、前記第1の信号が、前記ブリッジ回路の第2のノードと第4のノード間の差電圧であり、前記第2の信号が、前記ブリッジ回路の前記第1のノードと前記第3のノード間のトップ電圧である、請求項7に記載の質量流量制御器。質量流量制御器を較正する方法であって、前記質量流量制御器の弁を第1の位置まで開けて、較正ガスを前記質量流量制御器を通して流すことを可能とするステップと、前記弁が前記第1の位置にあるときの、質量流量制御器を通る較正ガスの流量を測定するステップと、前記弁が前記第1の位置にあるときの、前記質量流量制御器の熱式質量流量センサのブリッジ回路の2つのノード間の電圧を示す第1の測定値を得るステップと、前記質量流量制御器の前記熱式質量流量センサの前記ブリッジ回路の他の2つのノード間の電圧を示す第2の測定値を得るステップと、前記測定した流量、前記第1の測定値、および前記第2の測定値を示す情報を、前記質量流量制御器のメモリ内に記憶し、それによって前記第1のノードにおける前記電圧、前記2つのノード間の前記電圧、および前記較正ガスの前記流量に関する記憶した情報を供給するステップとを含む、方法。前記第1の測定値を得るステップが、前記ブリッジ回路の第2のノードと第4のノードとの間における電圧測定値を得るステップを含み、前記第2の測定値を得るステップが、前記ブリッジ回路の第1のノードと第3のノード間の電圧測定値を得るステップを含む、請求項12に記載の方法。前記第1の測定値を示す前記情報が電圧値であり、前記第2の測定値を示す前記情報が別の電圧値である、請求項12に記載の方法。いかなるゼロオフセットについても前記第1および第2測定値を補正するステップと、前記補正した第2の測定値と、前記補正した第1の測定値との比に基づいた較正比値を記憶するステップとを含む、請求項12に記載の方法。質量流量制御器を動作させる方法であって、未知の流量において、ブリッジ回路の第2のノードと第4のノード間の差電圧と、前記ブリッジ回路の第1のノードと第3のノード間のトップ電圧とを示すデータを得るステップと、ゼロオフセットトップ電圧と、前記差電圧との比に基づいた動作比Rを求めるステップと、前記動作比Rに対応する較正比Rcを有する較正データにおいて、流量値fcalを識別し、前記較正比Rcが、較正トップ電圧と較正差電圧との比に基づくステップと、飽和係数SFを得、前記飽和係数SFが、較正ベクトルVcalと動作ベクトルVとの振幅比によって、SF=absVcal/absVとなるように定義され、前記較正ベクトルの方向が、前記較正比Rcによって定義され、前記動作ベクトルの方向が、前記動作比Rによって定義されるステップと、前記未知の流量f=fcal/SFを計算するステップとを含む、方法。図面に示される本発明の例示的な実施形態について、以下で要約する。前記およびその他の実施形態について、発明を実施するための形態の項でより完全に説明する。しかし、本発明を、この発明の概要、または発明を実施するための形態に記載の形態に限定する意図はないことを理解されたい。数多くの改変形態、等価物、および代替構成が、特許請求の範囲に記載の本発明の趣旨および範囲内に含まれることが、当業者には認識できよう。一実施形態では、本発明は、第1、第2、第3、および第4のノードを含むブリッジ回路を備える質量流量制御器として特徴付けることができる。この実施形態では、第1の抵抗要素が、第1のノードと第2のノード間に接続され、第2の抵抗要素が、第2のノードと第3のノード間に接続され、第1の感知素子が、第1のノードと第4のノード間に接続され、第2の感知素子が、第4のノードと第3のノード間に接続されている。さらに、第1の処理部分が、第2のノードと第4のノード間の電圧差を示す第1の出力を供給し、第2の処理部分が、第1のノードと第3のノード間の電圧を示す第2の出力を供給する。ルックアップテーブルが、較正ガスの流量値を較正データでマッピングする較正データを含み、この較正データは、較正データの較正ガスの流量値に対応する第1の出力値と、第2の出力値とに基づき、また、制御部分が、処理ガスが質量流量制御器によって制御される際に、ルックアップテーブルにアクセスし、較正データと、第1および第2の出力とに基づいて処理ガスの流量値を計算するように構成される。別の例示的な実施形態は、ガス流量が変動するにつれてそれぞれ変動する第1の電圧および第2の電圧を供給する熱式質量流量センサと、較正ガスの流量値を較正データにマッピングする較正データを含むルックアップテーブルであって、この較正データは、較正ガスの流量値に対応する第1の信号値と、第2の信号値とに基づいた、ルックアップテーブルと、処理ガスが制御される際に、ルックアップテーブルにアクセスし、較正データと、第1および第2の信号とに基づいて、処理ガスの流量値を計算するように構成された制御部分とを備える、質量流量制御器を含む。別の例示的な実施形態は、質量流量制御器を較正する方法であって、質量流量制御器の弁を第1の位置まで開けて、較正ガスを質量流量制御器中に流すことを可能とするステップと、弁が第1の位置にあるときの、質量流量制御器中の較正ガスの流量を測定するステップと、弁が第1の位置にあるときの、質量流量制御器の熱式質量流量センサのブリッジ回路の第1のノードにおける電圧を示す第1の測定値を得るステップと、質量流量制御器の熱式質量流量センサのブリッジ回路の他の2つのノード間の電圧を示す第2の測定値を得るステップと、測定した流量、第1の測定値、および第2の測定値を示す情報を、質量流量制御器のメモリ内に記憶し、それによって第1のノードにおける電圧、2つのノード間の電圧、および較正ガスの流量に関して記憶した情報を供給するステップとを含む、方法である。上記およびその他の実施形態について、本明細書においてさらに詳細に説明する。本発明の様々な目的および利点、ならびにより完全な理解が、以下の発明を実施するための形態、および添付の特許請求の範囲を、添付の図面と併せて参照することによって、明白となり、より容易に理解されよう。次に、図面を参照すると、いくつかの図を通して、適切な場合には、同じまたは類似の要素が同じ参照符号によって示され、特に図1を参照すると、本発明の例示的な実施形態によるMFC100の機能ブロック図である。これらの構成要素の例示された配置は論理的なものであり、実際のハードウェア図を意味するものではない。したがって、これらの構成要素は、実際の実装において組み合わせることができ、さらには分離、削除、および/または補足することができる。当業者には理解されるように、図1に示す構成要素は、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア、またはそれらのいかなる組合せでも実施することができる。さらに、本明細書に照らして、個々の構成要素の構造は、当業者には周知である。図示のように、本実施形態では、MFC100のベース105は、ガスが中を流れるバイパス110を含む。バイパス110は、主要経路115およびセンサ管120に一定比率のガスを送る。したがってセンサ管120を通る流体例えば、ガスまたは液体の流量は、MFC100の主要経路中を流れる流体の流量を示す。この実施形態では、センサ管120は、MFC100の熱式質量流量センサ123の一部である小径管である。また、図示のように、感知素子125および130が、センサ管120の外側に結合されている例えば、巻き回されている。例示的な一実施形態では、感知素子125および130は、抵抗温度計素子例えば、導線コイルであるが、その他の種類のセンサ例えば、抵抗温度検出器RTDおよび熱電対もやはり使用することができる。図示のように、感知素子125および130は、感知素子回路135に電気的に接続されている。一般に、感知素子回路135は、感知素子125、130からの信号146、148に応答して2つの出力信号150、152を供給するように構成され、これらの信号はそれぞれ、別個にかつ/またはともに、センサ管120中の流量を示し、したがってMFC100の主要経路115中の流量を示す。例えば、較正ガスが処理ガスと同じである多くの実装形態では、流量が第1の範囲内にあるとき、第1の出力信号150が、MFC100中のより正確な流量指示を供給し、流量が第2の範囲内にあるとき、第2の出力信号152が、MFC100中のより正確な流量指示を供給する。例えば、一実施形態では、流量が低範囲例えば、0から2.0sccm標準立法センチメートル毎分にある場合、第1の出力信号150は、第2の信号152よりも正確な流量指示を供給し、流量が高範囲例えば、2.0sccmから20.0sccmにある場合、第2の出力信号152は、第1の出力信号150よりも正確な流量指示を供給する。高流量では、信号150、152は、実質的に、MFC100によって制御される処理ガスの種類に、より依存することが判明している。より具体的には、処理ガスが較正ガスすなわち、MFC100を較正するために使用されるガスとは異なる場合、信号150、152は、追加の処理なしでは、正確な流量指示を供給しないことがしばしばある。したがって、図5~13を参照しながら本明細書でさらに説明する他の実施形態では、MFC100は、較正データが、処理ガスとは異なる較正ガスに基づく場合であっても、MFC100の正確な流量指示が得られるように、MFC100によって、較正データ例えば、単一の較正ガスに基づいた較正データを、第1の出力信号150および第2の出力信号152とともに利用することを可能とする新規な方法を利用している。さらに、MFC100が、図5~13を参照しながら説明する方法に従って動作する場合、動作範囲の大部分、または動作範囲全体にわたって両信号を同時に用いて、正確な流量指示を得ることができる。したがって、一般に、MFC100は、熱センサからの単一の流量信号を処理する典型的な従来技術によるMFCよりも広い流量範囲にわたって、流量を正確に測定し、かつ制御することが可能となる。図1に示すように、出力信号150、152は、処理部分160、160’によって処理して、第1および第2の出力信号150、152の処理済表示150’、152’を生成することができる。例えば、処理済表示150’、152’は、出力信号150、152それぞれのデジタル表示でよい。より具体的には、処理部分160、160’は、アナログデジタル変換器を用いて、出力信号150、152を増幅し、出力信号150、152のデジタル表示に変換することができる。当業者には容易に認識されるように、処理部分160、160’はまた、MFC100の物理的特性、および/またはMFC100中を流れる流体例えば、ガスの特性に基づいて、例えば、信号それぞれを所定の較正係数によって調節することによって信号150、152それぞれを調節することができる。この実施形態の制御論理170は一般に、出力信号150、152の一方、または両方に基づいて、制御弁140の位置を制御するように構成される。いくつかの実施形態例えば、図5~13を参照しながら説明する実施形態では、制御論理170は、信号150、152の両方を同時に利用して、質量流量制御器100の流量を制御することができる。他の実施形態例えば、較正ガスが処理ガスと同じである場合では、制御論理170は、MFC100が第1の範囲内の質量流量を供給する例えば、設定点信号に応答するときには、例えば、第1の出力信号の処理済表示150’に応答することによって第1の出力信号150を利用し、MFC100が第2の範囲内の質量流量を供給するときには、例えば、第2の出力信号の処理済表示152’に応答することによって第2の出力信号152を利用するように構成される。必ずしもそうである必要はないが、第1の信号150が低流量に関して使用され、第2の信号152が高流量に関して使用される実施形態例えば、較正ガスと処理ガスとが同じである実施形態の多くの変形形態では、制御論理170が、第1の出力信号150を利用する範囲と、第2の出力信号152を利用する範囲とは、重なり合う。したがって、これらの実施形態では、以下の3つの流量範囲、すなわち1第1の出力信号だけが利用される流量範囲、2第1および第2の出力信号の両方が同時に利用される流量範囲例えば、第1の出力信号に関連する流量範囲と、第2の出力信号に関連する流量範囲とが重なり合う、3第2の出力信号だけが利用される別の流量範囲、が存在し得る。例えば、フルスケール流量において、第1の出力信号150が、第2の出力信号152よりも正確な流量指示を与える第1の範囲が、フルスケール流量の0から25をカバーし、第2の出力信号152が、第1の出力信号150よりも正確な流量指示を供給する第2の範囲が、フルスケール流量の15から100をカバーすることができる。上記範囲は単なる例示にすぎず、低範囲、高範囲、および重なり合う範囲は、感知素子回路の構成architectureを含めて、いくつかの要因に依存して変動し得ることを認識されたい。引き続きこの例を参照すると、制御論理170は、設定点信号がフルスケールの15未満を要求している場合は、第1の出力信号150例えば、処理済表示150’だけを用いて弁140を制御し、設定点信号がフルスケールの25超を要求している場合は、第2の出力信号152例えば、処理済表示152’を用いて弁140を制御するように構成することができる。また、設定点信号が15から25の間両端を含むの流量を要求している場合には、両出力信号150、152を同時に利用する。また、いくつかの変形形態では、重なり合う範囲例えば、15から25が低範囲から高範囲へと移行するにつれて、第1の出力信号150の使用は徐々に減少する一方、第2の出力信号152の使用は徐々に増大する。再び先の例を引き続き参照すると、MFCが、フルスケール流量の20で動作する場合、各信号の50を使用することができる例えば、各信号150、152または表示150’、152’に50を乗じ、次いで互いに加算して制御弁用の制御信号を生成する。また、設定点信号がフルスケールの17である場合、第1の出力信号150の80と、第2の出力信号の20とを互いに合算して制御弁140用の制御信号を生成することができる。こうした百分率は、MFC100の潜在的な動作特性の単なる例示にすぎないことを認識されたい。感知素子回路135は、様々な回路構成によって実現することができる。例えば図2を参照すると、図1を参照しながら説明した感知素子回路135を実現するために使用することができる例示的な感知素子回路235を含むMFC例えば、MFC100の一部分200の機能ブロック図である。図示のように、電流源205が、4つのノード230、213、240、および223を含むブリッジ回路に実質的に一定の電流を供給し、これらのノード間に素子が接続されている。上記素子のうち、2つは固定抵抗素子210および215それぞれR1およびR2である。例示的な一実施形態では、固定抵抗素子210および215はどちらも、10キロオームの高精度抵抗器である。この実施形態においてブリッジ回路の脚を形成する抵抗220および225S1およびS2は、感知素子125および130にそれぞれ対応する温度依存型の抵抗例えば、コイルである。感知素子125と130とは、共通の1つのノード、すなわちノード223を有することが当業者には理解されよう。この実施形態の電流源205は、感知素子220および225に実質的に一定の電流を供給し、その結果センサ管120が加熱することになる。ガスの流動によって温度差が生じ、このガス流動のためセンサの平均温度が低減するので、第2のノード213と第4のノード223間の第1の出力電圧と、第1のノード230と第3のノード240間の第2の出力電圧252とに変動が生じる。出力電圧250は、感知素子220と225間の温度差に概ね比例して変動し、電圧252は、平均温度に基づいて、非線形に変動する。図示のように、出力電圧250、252は、処理要素に送って処理する例えば、差動増幅器に送って、デジタル化、較正、正規化することができ、それによって制御論理が、第1および第2の出力信号250、252を利用して制御弁を制御することができる。例えば、図11、12、13A、および13Bを参照しながら本明細書でさらに論じるように、メモリ280は、較正データをルックアップテーブルの形で含むことができ、このルックアップテーブルは、2つの信号250、252の処理済表示に基づいたデータを、較正ガスの流量値にマッピングするものであり、動作中、処理ガスを制御する際に、このルックアップテーブルにアクセスして、実際の流量値を求める。この例示的な実施形態では、流量が低流量範囲例えば、0から2sccm内にあるとき、第1の出力信号250が、MFC100中の正確な流量指示となる。また、本出願人は、流量が高流量範囲例えば2から20sccm内にあるとき、第2の出力信号252が、MFC100中のより正確な流量指示となることを見出した。次に、図3を参照すると、図1を参照しながら説明した感知素子回路135を実現するために使用することができる別の実施形態の感知素子回路335を含むMFCの一部分300の機能ブロック図である。図示のように、可変電流源305が、抵抗360を介して、4つのノード330、313、340、および333を含むブリッジ回路に電流を供給し、これらのノード間に素子が接続されている。この実施形態では、トップ電圧330が監視され、トップ電圧330が実質的に一定のまま維持されるように電流源305が調節される。この実施形態の電流源305は、抵抗素子360を介して感知素子320および325に可変電流を供給し、その結果センサ管120が加熱することになる。センサ管120を通るガスの流動によって、熱が上流の感知素子125から下流の感知素子130へと伝達されることになる。この温度差による抵抗の変動によって、第2のノード313と第4のノード323間で測定可能な第1の出力電圧と、抵抗360の両端間の電圧降下を示す第2の出力電圧352とが生じる。出力電圧350は、感知素子320と325間の温度差に概ね比例して変動し、電圧352は、非線形に変動する。動作に際しては、トップ電圧330は、実質的に一定に維持され、その結果、電流源305によって供給される電流が変動するにつれて、電圧352も変動する。図示のように、出力電圧350、352は、処理要素に送って処理する例えば、増幅、デジタル化、較正、および正規化することができ、それによって制御論理が、第1および第2の出力信号350、352を利用して制御弁を制御することができる。この例示的な実施形態では、流量が低流量範囲例えば、0から2sccm内にあるとき、第1の出力信号350が、MFC100を通るより正確な流量指示を供給する。また、本出願人は、流量が高流量範囲例えば2から20sccm内にあるとき、第2の出力信号352が、MFC100中のより正確な流量指示となることを見出した。図4は、本発明の例示的な一実施形態による、MFC内の流体例えば、ガスまたは液体の流量を測定し、制御する方法の流れ図である。図示のように、この方法は、質量流量制御器例えば、MFC100の熱式質量流量センサ例えば、熱式質量流量センサ123から、第1の入力例えば、第1の出力信号150またはその表示150’を受け取るステップブロック405と、熱式質量流量センサ例えば、熱式質量流量センサ123から、第2の、別個の入力例えば、第2の出力信号152またはその表示152’を受け取るステップブロック410とを含む。図示のように、質量流量制御器の弁の位置は、ガス流量が第1の流量範囲内にあるとき、第1の入力に応答して制御されブロック415、ガス流量が第2の流量範囲内にあるとき、第2の入力に応答して制御されるブロック420。先に論じたように、多くの実施形態では、第1の信号を用いて弁を制御する範囲は、第2の信号を用いて弁を制御する範囲と重なり合う。したがって、いくつかの動作モードでは、両入力信号を同時に用いて、制御弁を制御することができる。再度図2を簡単に参照すると、第2のノード213と第4のノード223間の差電圧は、質量流量制御器を通る熱流を示す。質量流量のより正確な測定値を得るために、一定のガス圧力における熱容量Cpを利用する。多くの実施形態では、センサ235は、あるガス例えば、窒素で較正され、較正ガスの熱容量と、動作ガスの熱容量との比例えば、CpN2/Cpガスを導出することができ、この比はコンバージョンファクタCFと呼ばれる。コンバージョンファクタCFは、例えば、周知の熱容量の比として分析的に導出することができ、または実際のガス試験livegastestingから得ることもできる。次に、図5A、5B、6A、6B、および7を参照すると、図5Aは、CFで調節していない差電圧250対流量を示し、図5Bは、CFで調節していない第1のノード230におけるトップ電圧対流量を示し、図6Aは、差電圧250対流量/CFの商を示し、図6Bは、第1のノード230におけるトップ電圧対流量/CFを示し、図7は、第1のノード230におけるトップ電圧飽和係数SFによってスケーリング済対差電圧250SFによってスケーリング済を示す。図6Aに示すように、グラフのx軸は流量/CFであり、図示のように、流量/CFに関して、低流量例えば、0から2sccm、または0から3sccmでは、異なるガスで同様の傾斜を有している。したがって、電圧を読み取り、図6Aの較正曲線を用いて流量/CF値を得、次いでその流量/CF値にコンバージョンファクタCFを乗じることによって実際の流量を得ることによって、質量流量をより正確に示すように差電圧例えば、出力電圧250を変換することができる。しかし、より高い流量範囲では、図6Aに示す較正曲線は非線形になり、その非線形性は異なるガスによって少なくとも部分的に異なり、その理由は、こうした非線形性は、ガスの熱伝導率、センサ管、およびセンサの種類例えば、コイルの構成および幾何形状に依存するからである。したがって、比較的予測可能であり、対象となる大部分のガスで周知の熱容量とは異なり、熱伝導率は予測不可能である。また、多くのガスについて、より高い流量での較正曲線を得るための本明細書に開示のシステムおよび方法以外の実行可能な既知の唯一の方策は、実際のガス試験を実施することであるが、これにはコストがかかり、典型的には実際的でない。しかし、本出願人は、比較的高い流量において、複数のガス種について正確な質量流量の読取りを実現する実行可能な技術を見出した。特に、本出願人は、ブリッジ回路の第2のノード213と第4のノード223間の電圧差を含む第1の測定チャネルと、ブリッジ回路の第1のノード230の電圧本明細書ではトップ電位とも呼ばれるを含む第2の測定チャネルとの間に明確に規定された関係が存在することを発見した。具体的には、本出願人は、2つのいかなる任意のガスガス1およびガス2についても、差電圧250と、ブリッジの第1のノード230における電圧とが、広い流量範囲にわたって以下の式を満たすことを見出した。D1f=D2SFf/SF式1T1f-T10=T2SFf-T20/SF式2式中、fは流量であり、D1およびD2は、ガス1およびガス2それぞれの差電圧関数であり例えば、D1はガス1のノード213と223間の電圧差であり、D2はガス2のノード213と223間の電圧差である、T1およびT2は、ガス1およびガス2それぞれのトップ電圧関数第1のノード230における電位であり、T0は、流量ゼロ時の第1のノード230におけるトップ電圧であり、SFは、ガス1およびガス2の熱伝導率の関数である飽和係数である。上記式は、グラフの流量軸と電圧軸との両方を、ガス特有の係数である飽和係数SFすなわち、SFは各ガスによって異なるによってスケーリングすることによって視覚的に表すことができる。例えば、図8、9、および10は、図6A、6B、および7のグラフを式1および式2に従ってスケーリングした版をそれぞれ示す。図示のように、SFによってスケーリングすると、データを、較正例えば、窒素データと整合するようにスケーリングすることができる。図11を参照すると、広い動作範囲にわたって熱式質量流量センサを使用する方法を示す流れ図である。図示のように、センサは、例えば、センサがエンドユーザに提供される前に較正ガス例えば、窒素を用いて較正されるブロック1102。多くの動作モードにおいて、較正データは、流量fcalただし、添字calは較正ガスによる較正データであることを示す。以下同じ。の関数として、差電圧Dcalfcal例えば、電圧250と、ブリッジの第1のノード例えば、ノード230におけるトップ電圧Tcalfcalとに基づいたデータを含む。例えば、多くの実装形態における較正データは、各流量値について、差電圧250およびトップ電圧230の両方を示すデータを含む。こうしたデータは、ルックアップテーブルの形でメモリ例えばメモリ280内に記憶することができる。例えば図13Aを簡単に参照すると、較正データは、N個のデータ組に編成することができ、各データ組は、流量値、その流量値における差電圧を示す値、およびその流量値におけるトップ電圧を示す値を含むことができる。較正データは、ブリッジ回路からの2つの信号に依存するものの、異なる形を取ることができることが確実に企図され、したがって図13Aおよび図13Bの特定のデータ形式は、本発明の範囲から逸脱することなく変えることができることを認識されたい。図示のように、較正データは、ルックアップテーブルの形でメモリ例えば、メモリ280内に配置することができ、このルックアップテーブルは、較正ガスの流量値を、熱式質量流量センサ例えば、センサ123からの2つの出力値例えば、出力150、152、または出力250、252に基づいた較正データでマッピングするものである。さらに、N個のデータ組はそれぞれ、トップ電圧と差電圧との比に基づいた較正比を含むことができる。図13Aに図示するように、この較正比は、トップ電圧のゼロオフセット電圧について補正することができ、したがって特定の流量値fcalでは、較正比は、Tcalfcal-Tcal0/Dcalfcalとして定義される。説明を簡単にするために図13Aには示していないが、差電圧に基づいた値もやはり、差電圧のゼロオフセット電圧について補正することができることが企図される。必ずしもそうする必要はないが、図13Aに示すように、sqrt[Tcalfcal-Tcal02Dcalfcal2]として定義される振幅値もやはり、計算するかつ、動作前に記憶しておくことができる。代替実施形態では、振幅値は、質量流量制御器が動作してから計算することができ、こうした代替実施形態では、較正データに振幅値を含める必要はない。図11に示すように、センサ例えば、センサ123を一旦較正し、流量なしで使用し、第1のノード例えば、ノード230におけるトップ電圧T0、ならびに差電圧D0例えば、電圧250を例えば、オペレータの要求によって、または周期的な形で自動的に測定してゼロオフセットデータを得るブロック1104。D0およびT0は、温度に依存し、どちらも温度変化に伴って大幅にドリフトすることがある。D0に関して、ゼロに等しいことが好ましいが、温度のためゼロでないことがあり、したがって実際の値を測定し、以下に示すD値全てから減じることができるしかし、分かりやすいように、この減算は以下には示さない。T0もやはり、温度とともにドリフトし、したがって下記に示すようにトップ電圧Tから減算される。動作に際しては、未知のガス流量fについて、差電圧Dfと、第1のノードにおけるトップ電圧Tfとを測定しブロック1106、トップ電圧と差電圧との比に基づいて動作比operationalratioRを計算し、したがって動作比は、R=Tf-T0/Dfとして定義されるブロック1108。図13Bを簡単に参照すると、例えば、測定した差電圧Dfおよびトップ電圧Tfをメモリに記憶することができ、制御部分制御論理270を含めてを用いて動作比Rを得ることができる。図示のように、動作比Rが得られると、Rcal=Tcalfcal-Tcal0/Dcalfcalによって定義される同じ較正比を有する較正データの流量fcalが、例えば、メモリ内のルックアップテーブルから、較正データを検索し、取得することによって得られるブロック1110。言い換えれば、較正データにアクセスし、動作比Rに等しい、対応する較正比RcalRcal=Rを有する流量値fcalを識別し、次いで、飽和係数SF、すなわちSF=振幅/sqrt[Tf-T02Df2]を計算しブロック1112、未知の流量f、すなわちf=fcal/SFを計算するブロック1114。したがって、処理ガスが質量流量制御器によって制御される際に、制御部分例えば、制御論理270を含めては、予め生成された較正データと、2つの動作出力例えば、出力150、152、または出力250、252とに基づいて、処理ガスの流量値を計算することができる。図12を参照すると、図11に示す方法のグラフ表示が示されている。図示のように、差電圧Dと、第1のノード230におけるトップ電圧Tとを有する測定流量fが、流量ゼロ点を原点としてベクトルVによって表されている。動作比R=T-T0/Dは、ベクトルVの方向を表す。図示のように、ベクトルVcalも、同じ原点および方向を有し、動作比Rと同じ比Rcの較正点に向いている。ベクトルVcalとベクトルVとの振幅比は、飽和係数、すなわちSF=absVcal/absVであり、流量fが、f=fcal/SFによって判明する。したがって、本明細書に開示の構造および方法によって、未知の熱伝導率を有する未知のガスについて、広い流量範囲にわたって流量を有効に測定することが可能となる。この例はまた、飽和点を上回る流量を測定する可能性も示している。低流量では、雑音、およびトップ電圧差Tf-T0の値が非常に小さいため生じるエラーを低減させるために、差電圧だけを用いる標準の技術を使用して流量を計算することができる。他の変形形態では、流量が増大していても、第1のノード例えば、ノード230における電圧を用いて計算することができる。高レベルの流量で、飽和係数SFを非常に正確に測定することができるので、高流量で得られたSF値を記憶し、次いでその値を低流量における計算に使用することが可能である。さらに、SFは、今後の測定のための基準開始値として、不揮発性メモリ内に記憶することができる。また、時間にわたるSFのいかなる有意な変化も、ガス構成またはセンサ動作の問題を示すものとなり得る。さらに、いくつかの実施形態では、図11および12を参照しながら説明した方法に、いくつかの経験的補正をさらに適用して、非常に高い流量での精度を高めることができる。結論として、本発明は、とりわけ、質量流量制御器内のガスを測定する方法および装置を提供する。本明細書に記載の実施形態によって実現される結果と実質的に同じ結果を実現するために、本発明、その使用、およびその構成に数多くの変形および置換えを行うことができることが、当業者には容易に認識できよう。したがって、本発明は、開示の例示的な形態に限定する意図はない。数多くの変形形態、改変形態、および代替構成が、特許請求の範囲に記載の開示の発明の範囲および趣旨に含まれる。