"酸化剤流れと、燃料流れを供給して燃焼するバーナの燃焼方法であって、前記酸化剤流れは、前記燃料流れの周囲または前記燃料流れの近傍から噴出する1次酸化剤流れと、複数の2次酸化剤流れとからなり、前記1次酸化剤流れ、及び複数の前記2次酸化剤流れの流量の少なくとも一つを周期的に変化させるとともに、前記酸化剤流れ中の酸素濃度に周期的な変化を与え、前記酸化剤流れによって供給される供給酸素量を理論必要酸素量で除した酸素比に周期的変化を与え、前記酸素濃度と前記酸素比の周期的変化に差を設けることにより、燃焼状態が周期的な振動状態となることを特徴とするバーナの燃焼方法。複数の前記2次酸化剤流れが、前記燃料流れを中心とした対称な位置から噴出することを特徴とする請求項1に記載のバーナの燃焼方法。前記酸化剤流れの流量に対する前記1次酸化剤流れの流量比率が10以上70以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のバーナの燃焼方法。前記2次酸化剤流れの流量が周期的に変化することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法。前記2次酸化剤流れの流量の周期的変化の周波数が0.01Hz以上20Hz以下であることを特徴とする請求項4に記載のバーナの燃焼方法。周期的に変化する前記酸素比の上限と下限の差が0.2以上であり、1周期における前記酸素比の平均値が1.0以上であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法。前記酸素濃度及び前記酸素比の周期的変化が、同じ周波数であることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法。前記酸素濃度と前記酸素比の周期的変化の位相差がπ/2以上3π/2以下であることを特徴とする請求項7に記載のバーナの燃焼方法。前記燃料流れの流量が周期的に変化し、前記燃料流れの流量の周期的変化及び前記酸素比の周期的変化が、同じ周波数であり、前記燃料流れの流量と前記酸素比の周期的変化の位相差がπ/2以上3π/2以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法。前記酸化剤流体が酸素と空気から構成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法。前記酸化剤流体が酸素と燃焼排ガスから構成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法。前記酸素が実質的に純酸素であることを特徴とする請求項10または請求項11に記載のバーナの燃焼方法。しかしながら、本願発明者らが低減効果に関する追試験を実施したところ、NOX低減効果は認められたものの実用的に価値のある低減効果は得られず、更なる革新的な技術開発が必要であることが確認された。このような背景のもと、実用的に価値のあるNOX低減方法が望まれていたが、有効適切なものは提供されていないのが実情である。上記課題を解決するため、本願発明者らは、実用的に価値のあるNOX低減方法の開発に鋭意取り組んでいたところ、バーナに複数の酸化剤流れを供給し、燃料周囲から噴出される1次酸化剤流れ、及び、所望の距離離れた場所から噴出される2次酸化剤流れの流量の少なくとも一つに周期的変化をおこさせることによって、従来よりも大幅にNOX低減効果が発現することを見いだした。すなわち、請求項1に係る発明は、酸化剤流れと、燃料流れを供給して燃焼するバーナの燃焼方法であって、前記酸化剤流れは、前記燃料流れの周囲または前記燃料流れの近傍から噴出する1次酸化剤流れと、複数の2次酸化剤流れとからなり、前記1次酸化剤流れ、及び複数の前記2次酸化剤流れの流量の少なくとも一つを周期的に変化させるとともに、前記酸化剤流れ中の酸素濃度に周期的な変化を与え、前記酸化剤流れによって供給される供給酸素量を理論必要酸素量で除した酸素比に周期的変化を与え、前記酸素濃度と前記酸素比の周期的変化に差を設けることにより、燃焼状態が周期的な振動状態となることを特徴とするバーナの燃焼方法である。請求項2に係る発明は、複数の前記2次酸化剤流れが、前記燃料流れを中心とした対称な位置から噴出することを特徴とする請求項1に記載のバーナの燃焼方法である。請求項3に係る発明は、前記酸化剤流れの流量に対する前記1次酸化剤流れの流量比率が10以上70以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のバーナの燃焼方法である。請求項4に係る発明は、前記2次酸化剤流れの流量が周期的に変化することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法である。請求項5に係る発明は、前記2次酸化剤流れの流量の周期的変化の周波数が0.01Hz以上20Hz以下であることを特徴とする請求項4に記載のバーナの燃焼方法である。請求項6に係る発明は、周期的に変化する前記酸素比の上限と下限の差が0.2以上であり、1周期における前記酸素比の平均値が1.0以上であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法である。請求項7に係る発明は、前記酸素濃度及び前記酸素比の周期的変化が、同じ周波数であることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法である。請求項8に係る発明は、前記酸素濃度と前記酸素比の周期的変化の位相差がπ/2以上3π/2以下であることを特徴とする請求項7に記載のバーナの燃焼方法である。請求項9に係る発明は、前記燃料流れの流量が周期的に変化し、前記燃料流れの流量の周期的変化及び前記酸素比の周期的変化が、同じ周波数であり、前記燃料流れの流量と前記酸素比の周期的変化の位相差がπ/2以上3π/2以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法である。請求項10に係る発明は、前記酸化剤流体が酸素と空気から構成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法である。請求項11に係る発明は、前記酸化剤流体が酸素と燃焼排ガスから構成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載のバーナの燃焼方法である。請求項12に係る発明は、前記酸素が実質的に純酸素であることを特徴とする請求項10または請求項11に記載のバーナの燃焼方法である。本発明により、NOXを大幅かつ確実に低減できるバーナの燃焼方法を得ることができる。また、本発明は、新規燃焼器を設計する場合のみならず、既設燃焼器にも適用することが可能である。[第1の実施形態]以下、本発明を適用した第1の実施形態であるバーナの燃焼方法について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、特徴を分かり易くするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率が実際と同じであるとは限らない。本実施形態に用いられるバーナ1は、図1及び図2に示すように、燃料流れ燃料流体を噴出する燃料ノズル2と、1次酸化剤流れ1次酸化剤流体を噴出する1次酸化剤ノズル3と、2次酸化剤流れ2次酸化剤流体を噴出する複数の2次酸化剤ノズル4から概略構成されている。図1に示すように、燃料ノズル2と、1次酸化剤ノズル3と、2次酸化剤ノズル4は、いずれも筒状に形成されており、その長手方向が同一方向となるように形成されている。したがって、燃料ノズル2が燃料流れを噴出する方向と、1次酸化剤ノズル3が酸化剤流れを噴出する方向と、2次酸化剤ノズル4が酸化剤流れを噴出する方向は、いずれも同一方向となっている。また、燃料ノズル2の噴出口が設けられた噴出面2aと、1次酸化剤ノズル3の噴出口が設けられた噴出面3aと、2次酸化剤ノズル4の噴出口が設けられた噴出面4aは、全て同一平面上に形成されている。したがって、図1に示すように、バーナ1を側面から見た際には、燃料ノズル2の噴出面2aと、1次酸化剤ノズル3の噴出面3aと、2次酸化剤ノズル4の噴出面4aは一直線状に見える。また、1次酸化剤ノズル3は、燃料ノズル2の周囲または燃料ノズル2の近傍に設けられている。ここで、周囲または近傍に設けられているとは、1次酸化剤ノズル3と燃料ノズル2が、所望の距離内に配置されていることをいい、1次酸化剤ノズル3が、実質的に燃料ノズル2と隣接した位置に配置されていることをいう。これにより、燃料流れを噴出する位置と、実質的に隣接した位置から酸化剤流れを噴出することができる。また、本実施形態では、図2に示すように、燃料ノズル2と、1次酸化剤ノズル3が同軸上に形成されている。具体的には、燃料ノズル2は、円筒状に形成されており、1次酸化剤ノズル3は、燃料ノズル2の外周を囲むように形成されている。すなわち、1次酸化剤ノズル3は、断面形状が所定幅hを有したリング状ドーナツ状に形成されており、燃料ノズル2は、リング状に形成された1次酸化剤ノズル3の内周内に配置されている。もっとも、燃料ノズル2と1次酸化剤ノズル3の配置位置については、上記形態に限定されず、必ずしも1次酸化剤ノズル3の断面形状はリング状である必要はなく、1次酸化剤ノズル3が、実質的に燃料ノズル2の周囲または近傍に配置されていればよい。2次酸化剤ノズル4は、燃料ノズル2を軸中心とした、対象な位置に複数配置されている。したがって、平面視した際には、図2に示すように、2次酸化剤ノズル4は、燃料ノズル2に対して点対称の位置に配置されている。もっとも、複数の2次酸化剤ノズル4の配置位置は、上記形態に限定されず、燃料流れや、1次酸化剤流れや、2次酸化剤流れの流速などを勘案して、燃料ノズル2から所望の距離の範囲内に配置されていればよい。なお、図1および図2においては、2次酸化剤ノズル4を2つ配置する場合について描かれているが、これに限定されず、3つ以上でも構わない。3つ以上の場合は、平面視した際に、各2次酸化剤ノズル4を頂点とする図形の重心の位置に、燃料ノズル2が配置されるようにするのが好ましい。以下では、2次酸化剤ノズル4を2つ設けた場合について説明する。次に、各ノズルに流体を供給する配管について説明する。燃料ノズル2には、図3に示すように、燃料流れを供給する燃料供給配管5が接続されている。なお、燃料流れとしては、典型的には天然ガスLNGを例示することができるが、重油などの液体燃料であっても構わない。また、燃料供給配管5には、燃料流れの流量に周期的変化を与える強制振動手段50が設けられている。この強制振動手段50とは、具体的には、燃料供給配管5に設けられた流量調節弁51と、流量調節弁51を制御する流量計52を含むコントロールユニットのことを指す。1次酸化剤ノズル3には、図4aに示すように、1次酸化剤流れを供給する1次酸化剤供給配管11が接続されている。そして、1次酸化剤供給配管11は、上流において空気を供給する1次空気供給配管6と、酸素を供給する1次酸素供給配管7とに分岐している。1次酸化剤流れは、空気と酸素の混合ガスであり、空気の替わりに窒素ガス炭酸ガス排ガスを用いても構わない。酸素としては、実質的な純酸素、例えば工業用純酸素を用いるのが好ましい。そして、1次空気供給配管6及び1次酸素供給配管7には、それぞれ空気の流量や酸素の流量に周期的変化を与える強制振動手段60,70が設けられている。この強制振動手段60,70とは、具体的には、1次空気供給配管6または1次酸素供給配管7に設けられた流量調節弁61,71と、流量調節弁61,71を制御する流量計62,72を含むコントロールユニットのことをそれぞれ指す。なお、1次酸化剤流れとして、酸素濃度が固定された酸化剤を用いる場合は、予め当該濃度に固定された酸化剤を供給すれば足りるので、1次酸化剤供給配管11は、上流で分岐する必要がなく、1次酸化剤供給配管11に、強制振動手段図示略を設ければよい。2次酸化剤ノズル4は、略1次酸化剤ノズル3と同様に制御されている。すなわち、2次酸化剤ノズル4には、図4bに示すように、2次酸化剤流れを供給する2次酸化剤供給配管12が接続されている。そして、2次酸化剤供給配管12は、上流において空気を供給する2次空気供給配管8と、酸素を供給する2次酸素供給配管9とに分岐している。2次酸化剤流れは、空気と酸素の混合ガスであり、空気の替わりに窒素ガス炭酸ガス排ガスを用いても構わない。酸素としては、実質的な純酸素、例えば工業用純酸素を用いるのが好ましい。そして、2次空気供給配管8及び2次酸素供給配管9には、それぞれ空気の流量や酸素の流量に周期的変化を与える強制振動手段80,90が設けられている。この強制振動手段80,90とは、具体的には、2次空気供給配管8または2次酸素供給配管9に設けられた流量調節弁81,91と、流量調節弁81,91を制御する流量計82,92を含むコントロールユニットのことをそれぞれ指す。なお、2次酸化剤流れとして、酸素濃度が固定された酸化剤を用いる場合は、予め当該濃度に固定された酸化剤を供給すれば足りるので、2次酸化剤供給配管12は、上流で分岐する必要がなく、1次酸化剤供給配管12に、強制振動手段図示略を設ければよい。また、2次酸化剤ノズル4は2つ設けられているので、図5に示すように、2次酸化剤供給配管12は、下流において2つに分岐しており、それぞれ2次酸化剤ノズル4に2次酸化剤流れを供給するように形成されている。したがって、各2次酸化剤ノズル4に供給する2次酸化剤流れの流量および酸素濃度を周期的に変化させる場合は、ともに同周期で変化することになる。以上の配管5,11、12を介して、各ノズル2,3,4には、燃料流れないし酸化剤流れが供給される。そして、各強制振動手段50,60,70,80,90を制御することで、各ノズル2,3,4から噴出される流体の流量が制御される。<流量の制御>次に、各ノズル2,3,4から供給される流体の流量の制御について説明する。なお、以下の説明においては、便宜上、1次酸素供給配管7および2次酸素供給配管9からは純酸素が、1次空気供給配管6および2次空気供給配管8からは空気酸素濃度は約21、燃料供給配管5からは、液化天然ガスLNGが供給されるものとする。まず、酸化剤流れの流量及び酸化剤流れ中の酸素濃度の関係について、1次酸化剤流れを例に説明する。なお、2次酸化剤流れも同様な関係にある。1次酸化剤流れを構成する空気と純酸素の流量は、それぞれ強制振動手段60及び強制振動手段70によって、変化させることができる。1次酸化剤流れの流量を一定とする場合、純酸素と空気の流量をともに一定とすれば、酸素濃度は一定となる。一方、1次酸化剤流れの流量を一定としながらも、例えば図6に示すように、純酸素の流量及び空気の流量の周期的変化を同波形、同変動幅にし、位相差をπとすれば、酸素濃度を周期的に変化させることもできる。このように構成すれば、純酸素の流量と空気の流量の増減は相殺されるので、1次酸化剤流れの流量自体は一定に制御される。この場合、純酸素及び空気の流量の最小値を、いずれも0となるように制御することによって、1次酸化剤流れ中の酸素濃度を約21~100の範囲で変化させることが可能となる。すなわち、純酸素の流量が0の場合、1次酸化剤流れの酸素濃度は空気の酸素濃度と等しくなり、酸素濃度は約21となる。逆に、空気の流量が0の場合は、1次酸化剤流れは純酸素のみから構成されることとなり、酸素濃度は100となる。また、1次酸化剤流れの流量を周期的に変化させる場合は、例えば図7に示すように、空気を一定量で供給しながら、純酸素の流量を定期的に変化させればよい。この場合は、純酸素の流量が最大となるときに、酸素濃度は最大となり、純酸素の流量が最小となるときに、酸素濃度は最小となる。例えば、純酸素の流量の最大値を、空気の流量と同じになるようにし、最小値を0となるように制御すれば、酸素濃度は、約21~約61の範囲で周期的に変化することとなる。すなわち、純酸素の流量が最大のときは、純酸素と空気の流量比が1対1となり、1次酸化剤流れ中の酸素濃度は約61となる。また、純酸素の流量が最小となるときは、1次酸化剤流体は空気のみで構成されることとなり、酸素濃度は約21となる。なお、1次酸化剤流れの流量を周期的に変化させる方法として、空気の流量を一定とし、純酸素の流量を定期的に変化させる方法について説明したが、純酸素の流量を一定として、空気の流量を周期的に変化させてもよく、また、両方の流量を周期的に変化させても構わない。以上のようにして、酸化剤流れの流量と、酸素濃度を制御する。なお、ここで酸素比について説明する。酸素比とは、酸化剤流れとしてバーナ3およびバーナ4に供給される供給酸素量を、バーナ2に供給される燃料流体を燃焼させるのに必要とされる理論必要酸素量で除した値をいう。したがって、理論的には、酸素比1.0の状態が、酸素を過不足なく用いて完全燃焼することが可能な状態といえる。LNGの燃焼における理論必要酸素量は、LNG組成にもよるが、モル比にして、おおよそLNGの2.3倍である。次に、本実施形態の燃料流れ、1次酸化剤流れ、及び2次酸化剤流れの制御について説明する。本実施形態では、燃料流れの流量を一定とし、1次酸化剤流れと2次酸化剤流れの流量のうち、少なくとも1つを周期的に変化させる。また、1次酸化剤流れと2次酸化剤流れからなる酸化剤流れ中の酸素濃度が周期的に変化するように制御するとともに、酸素比にも周期的変化を与える。そして、この酸素濃度の周期的変化と酸素比の周期的変化に差を設けるように制御する。特に、低酸素比かつ高酸素濃度の状態と、高酸素比かつ低酸素濃度の状態とが周期的に生じるように制御するのが好ましい。なお、ここで周期的変化に差を設けるとは、波形、周波数、位相が完全に一致する場合以外という意味である。例えば、酸素比及び酸素濃度の波形がともに正弦波であり、同一周波数であったとしても、位相に差が生じているのであれば、周期的変化に差を設けたこととなる。上記のような制御の一例として、1次酸化剤流れに供給する空気の流量と純酸素の流量をともに一定とし、2次酸化剤流れに供給する純酸素の流量を一定として、2次酸化剤流れに供給する空気の流量に周期的変化を与えるように制御することが挙げられる。この場合、1次酸化剤流れの流量は一定だが、2次酸化剤流れの流量は周期的に変化をしている。また、酸化剤流れ全体としてみると、1次酸化剤流れに供給される空気と純酸素、及び2次酸化剤流れに供給される純酸素の流量は一定だが、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が周期的に変化するので、酸素濃度も周期的に変化する。具体的には、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最大のときに、酸素濃度は最小となり、逆に2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最小のときに、酸素濃度は最大となる。また、燃料流れの流量が一定なので、理論必要酸素量は一定となる。そして、酸化剤流れ全体としてみると、供給される酸素の絶対量は、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最大のときに、酸素量は最大となり、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最小のときに、酸素量は最小となる。したがって、供給酸素量を理論必要酸素量で除した酸素比は、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最大のときに、酸素比は最大となり、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最小のときに、酸素比は最小となる。すなわち、上記制御の例によると、酸素濃度が最小のときに酸素比は最大となり、酸素濃度が最大のときに酸素比は最小となり、酸素濃度と酸素比の周期的変化には差が生じることとなる。なお、上記制御は一例であり、このような制御に限定されるものではなく、適宜1次酸化剤流れに供給される空気と純酸素および2次酸化剤流れに供給される空気と純酸素の流量を所望の範囲で制御すればよい。特に、2次酸化剤流れの流量を周期的に変化することが好ましく、その際は周波数が0.01Hz以上20Hz以下であることが好ましく、0.02Hz以上2Hz以下であることがより好ましい。また、酸化剤流れの流量に占める1次酸化剤流れの流量は、時間平均で10以上70以下であることが好ましく、10以上50以下であることがより好ましい。逆に述べると、酸化剤流れの流量に占める2次酸化剤流れの流量は、時間平均で30以上90以下であることが好ましく、50以上90以下であることがより好ましい。また、酸化剤流れ中の酸素濃度は、5以上100以下であることが好ましく、21以上100以下であることがより好ましい。酸素比については、周期的に変化するように制御するが、酸素比の上限と下限の差すなわち、酸素比の振幅が、0.2以上であることが好ましい。また、酸素比の時間平均で1.0以上であることが好ましく、1.05以上であることがより好ましい。また、酸素比と酸素濃度の周期的変化は、同じ周波数であることが好ましく、その際は位相差がπ/2以上3π/2以下であることすなわち、酸素比と酸素濃度の位相差の絶対値がπ/2以上であることが好ましく、位相差がπであることがより好ましい。本実施形態のバーナの燃焼方法によれば、酸化剤流れが、燃料流れの周囲または近傍から噴出する1次酸化剤流れと、複数の2次酸化剤流れとからなるので、従来のように1つの酸化剤流れによって燃焼する場合と比較して、酸化剤流れの供給の仕方が異なる。加えて、酸素濃度および酸素比を周期的に変化させ、それらの周期的変化に差を設けることで、NOXを大幅かつ確実に低減することができる。また、バーナによる燃焼は、主として溶解炉や加熱炉等の熱利用設備や装置での利用が想定されているところ、当然のことながら省エネルギーの観点から熱利用効率の向上も至上命題であり、また、炭酸ガスの排出抑制も要求されるところ、本実施形態のバーナの燃焼方法によれば、これらの要望も満足することができる。更に、本実施形態のバーナの燃焼方法は、新規に燃焼器を設計する場合のみならず、既設の燃焼器におけるバーナにも適用することが可能である。[第2の実施形態]次に、本発明を適用した第2の実施形態であるバーナの燃焼方法について、説明する。なお、本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については説明を省略する。本実施形態は、第1の実施形態と比較すると、燃料流れの流量を周期的に変化させるように制御した点が異なり、その他のバーナの構成とは同一である。本実施形態の燃料流れの流量は周期的に変化しており、燃料流れの流量の周期的変化と酸素比の周期的変化が、同じ周波数に制御されている。また、燃料流れの流量と酸素比の周期的変化の位相差はπ/2以上3π/2以下すなわち、燃料流れの流量と酸素比の周期的変化の位相差の絶対値がπ/2以上に制御されており、この位相差はπであることが好ましい。このような制御の一例として、1次酸化剤流れに供給する1次空気の流量と1次酸素の流量をともに一定とし、2次酸化剤流れに供給する純酸素の流量を一定として、2次酸化剤流れに供給する空気の流量に周期的変化を与え、この周期的変化と位相差がπとなるように、燃料流れの流量を制御することが挙げられる。この場合、1次酸化剤流れの流量は一定だが、2次酸化剤流れの流量は周期的に変化をしている。また、2次酸化剤流れの流量が周期的に変化するので、酸素濃度も周期的に変化し、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最大のときに、酸素濃度は最小となり、逆に2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最小のときに、酸素濃度は最大となる。酸化剤流れ全体としてみると、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最大のときに、酸素量は最大となり、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最小のときに、酸素量は最小となる。一方で、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最大のときに、燃料流れの流量は最小となり、理論必要酸素量は最も小さくなる。これに対し、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最小のときに、燃料流れの流量は最大となり、理論必要酸素量は最大となる。したがって、供給酸素量を理論必要酸素量で除した酸素比は、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最大のときに、酸素比は最大となり、2次酸化剤流れに供給される空気の流量が最小のときに、酸素比は最小となる。すなわち、上記制御の例によると、酸素濃度が最小のときに、酸素比は最大で、かつ燃料流れの流量は最小となり、酸素濃度が最大のときに、酸素比は最小で、かつ燃料流れの流量は最小となるように、酸素濃度、酸素比、及び燃料流れの流量の周期的変化が制御される。なお、上記制御は一例であり、このような制御に限定されるものではなく、適宜燃料流れ、1次酸化剤流れに供給される空気と純酸素、および2次酸化剤流れに供給される空気と純酸素の流量を所望の範囲で制御すればよい。本実施形態のバーナの燃焼方法も、第1の実施形態と同様に、従来のように1つの酸化剤流れによって燃焼する場合と比較して、酸化剤流れの供給の仕方が異なることから、NOXを大幅かつ確実に低減することができる。以上、本発明を実施形態に基づき説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、燃料流れの流量や、1次酸化剤流れ及び2次酸化剤流れを構成する空気や酸素の流量を周期的に変化させる際は、正弦波を示す周期的変化だけでなく、流量変化が矩形波や三角波となるような供給パターンでも構わない。以下、2次酸化剤流れの流量を周期的に変化させてバーナを燃焼した際の、NOX低減効果について、実施例を示して説明する。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。実施例1実施例1では、図1及び図2に示すように、1次酸化剤ノズル3が、燃料ノズル2の外周を囲むように配置され、2つの2次酸化剤ノズル4が、同一平面上で、燃料ノズル2を軸中心として左右対称な位置に配置されたバーナ1を用いて実験を行った。なお、2つの2次酸化剤ノズル4の間の距離lを50cmとし、2次酸化剤ノズル4から噴出する2次酸化剤流れの流速を100m/sとした。燃料にはLNGを使用し、燃料流れの流量は一定とし、時間平均での酸素比を1.05、時間平均での酸化剤流れ1次酸化剤流れと2次酸化剤流れの合計中の酸素濃度は、一般に排ガス量の低減が期待できる40とした。また、時間平均で、1次酸化剤流れに含まれる酸素の流量と2次酸化剤流れに含まれる酸素の流量の合計量すなわち、バーナ1に供給される酸素量に対する、1次酸化剤流れに含まれる酸素の流量を30とし、2次酸化剤流れに含まれる酸素の流量を70とした。言い換えれば、1次酸化剤流れからは理論必要酸素量の31.5の酸素が供給され、2次酸化剤流れからは時間平均で理論必要酸素量の73.5が供給されるようにした。1次酸化剤流れの流量は一定とし、2次酸化剤流れの酸素と空気の流量を周期的に変化させるようにした。酸素濃度は21以上100以下となるようにし、酸素比は0.6以上1.5以下として、その周期を0.017Hz~100Hzの範囲で変えて試験を行い、NOX排出量、CO濃度、伝熱効率を測定した。NOX排出量の結果を図8に、CO濃度の結果を図9に、伝熱効率の結果を図10に示す。なお、試験結果の解析にあたり、従来技術として、燃料ノズルの周囲に酸化剤ノズルが配置された構造のバーナを用いて、酸素濃度を40に固定し、通常燃焼させた場合のNOX排出量、CO濃度、及び伝熱効率を測定した。この値をそれぞれ基準値NOXref、基準値COref、基準値伝熱効率refとした。図8ないし図10においては、横軸は、周波数を表しており、縦軸は、基準値NOXrefを用いて規格化したNOX排出量NOX/NOXref、または基準値COrefを用いて規格化したCO濃度CO/COref、または基準値伝熱効率refを用いて規格化した伝熱効率伝熱効率/伝熱効率refを表している。図8から明らかなように、2次酸化剤流れを用い、その流量を周期的に変化させることで、NOX排出量を大幅に低減することができた。また、2次酸化剤流れの流量の周波数が20Hzのところで、NOX排出量が急激に増加する傾向にあり、周波数は20Hz以下にするのが好ましいことが分かる。また、図9から明らかなように、2次酸化剤流れを用いるか否か、及びその流量の周期的変化の周波数は、CO濃度にあまり影響を与えない傾向にある。また、図10から明らかなように、2次酸化剤流れの流量を周期的に変化させることで、伝熱効率を向上させることができた。また、伝熱効率は、2次酸化剤流れの周波数にはあまり影響を受けない傾向にある。実施例2次に、実施例2では、2つの2次酸化剤ノズル4間の距離lを変えて、NOX排出量への影響を調べた。具体的には、2つの2次酸化剤ノズル4の間の距離lを、10,20,30,40,50cmの5つの条件について、2次酸化剤流れの周波数を0.017Hz~100Hzの範囲で変化させた。他の条件は、実施例1と同じ条件で行った。NOX排出量を測定した結果を図11に示す。なお、図11において、横軸は、周波数を表しており、縦軸は、実施例1における基準値NOXrefによって規格化されたNOX排出量を表している。図11から明らかなように、2次酸化剤ノズル間4の距離lを大きくすることにより、NOX排出量は減少する。また、2次酸化剤流れの流量の周波数が20Hzのところで、急激にNOX排出量が増加する傾向にあるので、周波数は20Hz以下にするのが好ましいことが分かる。なお、実施例2においてもCO濃度を測定したこところ、ノズル間の距離は、CO濃度にあまり影響を与えない傾向にあった。また、実施例2においても伝熱効率を測定したが、ノズル間の距離は、伝熱効率にあまり影響を与えない傾向にあった。実施例3次に、実施例3では、ノズル径を変更することで2次酸化剤流れの流速を変えて、NOX排出量への影響を調べた。具体的には、2次酸化剤流れの流速が、10m/s,20m/s,30m/s,60m/s,100m/s,200m/s,300m/sの7つの条件について、2次酸化剤流れの周波数を、0.017Hz~100Hzの範囲で変化させた。他の条件は、実施例1と同じ条件で行った。NOX排出量を測定した結果を図12に示す。なお、図12において、横軸は、周波数を表しており、縦軸は、実施例1における基準値NOXrefをもとに規格化されたNOX排出量を表している。図12から明らかなように、2次酸化剤流れの流速を上昇させると、NOX排出量が減少する傾向にある。特に、流速が20m/s以上であることが好ましく、60m/s以上であることがより好ましいことが分かる。なお、実施例3においてもCO濃度を測定したこところ、2次酸化剤流れの流速は、CO濃度にあまり影響を与えない傾向にあった。また、実施例3においても伝熱効率を測定したが、2次酸化剤流れの流速は、伝熱効率にあまり影響を与えない傾向にあった。"