複数の属性値のうちいずれかの属性値が設定されているレシピを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されているレシピを編集、参照又は禁止する権限を設定するための権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピ及び該レシピに設定されている属性値を対応付けて一覧表示するレシピ一覧表示画面とを表示する表示手段とを有する基板処理装置。前記表示手段は、前記レシピ一覧表示画面に表示されるレシピの内いずれか一つのレシピを選択する操作を受け付け、選択されたレシピを編集する権限が設定されていたとき、選択されたレシピの内容を更新する更新手段をさらに有する請求項1の基板処理装置。前記表示手段は、前記レシピ一覧画面に表示されるレシピ内のいずれか一つのレシピが選択された場合、選択されたレシピ及び該レシピの内容を表示するステップ一覧画面をさらに表示するを有する基板処理装置。前記表示手段は、前記ステップ一覧画面に表示されるレシピに設定された権限に応じて、前記ステップ一覧画面に表示されるレシピの内容を編集又は保存する操作を受け付ける請求項3に記載の基板処理装置。複数の属性値のうちいずれかの属性値が設定されているレシピを記憶手段に記憶し、前記記憶されているレシピを編集、参照又は禁止する権限を設定するための権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピ及び該レシピに設定されている属性値を対応付けて一覧表示するレシピ一覧表示画面とを表示し、前記レシピ一覧表示画面に表示されるレシピの内いずれか一つのレシピを選択する操作を受け付け、選択されたレシピに編集する権限が設定されていたとき、この選択されたレシピの内容を更新する基板処理装置の制御方法。複数の属性値のうちいずれかの属性値が設定されているレシピを記憶手段に記憶し、前記記憶されているレシピを編集、参照又は禁止する権限を設定するための権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピ及び該レシピに設定されている属性値を対応付けて一覧表示するレシピ一覧表示画面とを表示し、前記レシピ一覧表示画面に表示されるレシピの内いずれか一つのレシピを選択する操作を受け付け、前記レシピ一覧表示画面に表示されるレシピの内いずれか一つのレシピが選択された場合、選択されたレシピ及び該レシピの内容を表示するステップ一覧表示画面をさらに表示する基板処理装置の表示方法。しかしながら、プロセスレシピである全てのファイルについて操作権限が設定されるので、不要なプロセスレシピのファイルが勝手に編集されるおそれがあった。誤った設定のプロセスレシピに基づいて基板の処理が実行され、基板が損失してしまうおそれがある。本発明は、記憶されている複数のファイルに対する操作権限を、より詳細に設定することができる基板処理装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理装置は、基板を処理する手順が記載され、複数の属性値のいずれかが設定されているレシピを記憶する記憶手段と、複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を設定するための権限設定画面を表示する表示手段と、前記表示手段により表示された権限設定画面を介して設定された作業者の権限に基づいて、前記記憶手段に記憶されているレシピの更新を制御する更新制御手段とを有する。また、本発明に係る基板処理装置の制御方法は、基板を処理する手順が記載され、複数の属性値のいずれかが設定されているレシピを記憶し、複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を設定するための権限設定画面を表示し、前記表示された権限設定画面を介して設定された作業者の権限に基づいて、前記記憶されているレシピの更新を制御する。本発明に係る基板処理装置によれば、記憶されている複数のファイルに対する操作権限を、より詳細に設定することができるので、必要なプロセスのみ実行され、不必要なプロセスレシピが実行されなくてすむ。従って、基板が、異なるレシピにより処理されなくなるため、基板の損失が抑えられる。図1は、本発明の実施形態に係る基板処理装置10を含む基板処理システム1の構成を示す図である。図1に示すように、基板処理システム1は、基板処理装置10及びホスト装置20を有する。基板処理装置10及びホスト装置20は、例えばLANなどのネットワーク12を介して接続されている。したがって、ホスト装置20からの指示は、基板処理装置10に対してネットワーク12を介して送信される。なお、基板処理システム1には、複数の基板処理装置10が含まれてもよい。基板処理装置10において、入出力装置16は、基板処理装置10と一体に、又はネットワーク12を介して接続して設けられており、操作画面18を有する。操作画面18には、ユーザオペレータにより所定のデータが入力される入力画面及び装置の状況等を示す表示画面が表示される。また、基板処理装置10内には、プロセスモジュールコントローラPMC:Processmodulecontroller14が設けられ、該PMC14により、基板処理装置10内の各装置が制御される。基板処理装置10は、一例として、半導体装置ICの製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やCVD処理などを行なう縦型の装置を適用した実施例について述べる。図2は、本発明の実施形態に係る基板処理装置10の斜視図を示す。また、図3は、図2に示す基板処理装置10の側面透視図を示す。図2及び図3に示されているように、シリコン等からなるウエハ基板200を収納したウエハキャリアとしてフープ基板収容器。以下ポッドという。110が使用されている本発明の実施形態に係る基板処理装置10は、筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口103が開設され、この正面メンテナンス口103を開閉する正面メンテナンス扉104、104がそれぞれ建て付けられている。筐体111の正面壁111aにはポッド搬入搬出口基板収容器搬入搬出口112が筐体111の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口112はフロントシャッタ基板収容器搬入搬出口開閉機構113によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口112の正面前方側にはロードポート基板収容器受渡し台114が設置されており、ロードポート114はポッド110を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド110はロードポート114上に工程内搬送装置図示せずによって搬入され、かつまた、ロードポート114上から搬出されるようになっている。筐体111内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚基板収容器載置棚105が設置されており、回転式ポッド棚105は複数個のポッド110を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚105は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱116と、支柱116に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板基板収容器載置台117とを備えており、複数枚の棚板117はポッド110を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。筐体111内におけるロードポート114と回転式ポッド棚105との間には、ポッド搬送装置基板収容器搬送装置118が設置されており、ポッド搬送装置118は、ポッド110を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ基板収容器昇降機構118aと搬送機構としてのポッド搬送機構基板収容器搬送機構118bとで構成されており、ポッド搬送装置118はポッドエレベータ118aとポッド搬送機構118bとの連続動作により、ロードポート114、回転式ポッド棚105、ポッドオープナ基板収容器蓋体開閉機構121との間でポッド110を搬送するように構成されている。筐体111内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体119が後端にわたって構築されている。サブ筐体119の正面壁119aにはウエハ200をサブ筐体119内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口基板搬入搬出口120が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口120、120には一対のポッドオープナ121、121がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ121はポッド110を載置する載置台122、122と、ポッド110のキャップ蓋体を着脱するキャップ着脱機構蓋体着脱機構123、123とを備えている。ポッドオープナ121は載置台122に載置されたポッド110のキャップをキャップ着脱機構123によって着脱することにより、ポッド110のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。サブ筐体119はポッド搬送装置118や回転式ポッド棚105の設置空間から流体的に隔絶された移載室124を構成している。移載室124の前側領域にはウエハ移載機構基板移載機構125が設置されており、ウエハ移載機構125は、ウエハ200を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置基板移載装置125a及びウエハ移載装置125aを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ基板移載装置昇降機構125bとで構成されている。図2に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ125bは耐圧筐体111右側端部とサブ筐体119の移載室124前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ125b及びウエハ移載装置125aの連続動作により、ウエハ移載装置125aのツイーザ基板保持体125cをウエハ200の載置部として、ボート基板保持具217に対してウエハ200を装填チャージング及び脱装ディスチャージングするように構成されている。移載室124の後側領域には、ボート217を収容して待機させる待機部126が構成されている。待機部126の上方には、処理炉202が設けられている。処理炉202の下端部は、炉口シャッタ炉口開閉機構147により開閉されるように構成されている。図2に模式的に示されているように、耐圧筐体111右側端部とサブ筐体119の待機部126右端部との間にはボート217を昇降させるためのボートエレベータ基板保持具昇降機構115が設置されている。ボートエレベータ115の昇降台に連結された連結具としてのアーム128には蓋体としてのシールキャップ219が水平に据え付けられており、シールキャップ219はボート217を垂直に支持し、処理炉202の下端部を閉塞可能なように構成されている。ボート217は複数本の保持部材を備えており、複数枚例えば、50~125枚程度のウエハ200をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。図2に模式的に示されているように移載室124のウエハ移載装置エレベータ125b側及びボートエレベータ115側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア133を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット134が設置されており、ウエハ移載装置125aとクリーンユニット134との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置135が設置されている。クリーンユニット134から吹き出されたクリーンエア133は、ノッチ合わせ装置135及びウエハ移載装置125a、待機部126にあるボート217に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体111の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット134の吸い込み側である一次側供給側にまで循環され、再びクリーンユニット134によって、移載室124内に吹き出されるように構成されている。次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置10の動作について説明する。図2及び図3に示されているように、ポッド110がロードポット114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ロードポート114の上のポッド110はポッド搬送装置118によって筐体111の内部へポッド搬入搬出口112から搬入される。搬入されたポッド110は回転式ポッド棚105の指定された棚板117へポッド搬送装置118によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板117から一方のポッドオープナ121に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板117から一方のポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載される。この際、ポッドオープナ121のウエハ搬入搬出口120はキャップ着脱機構123によって閉じられており、移載室124にはクリーンエア133が流通され、充満されている。例えば、移載室124にはクリーンエア133として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が20ppm以下と、筐体111の内部大気雰囲気の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。載置台122に載置されたポッド110はその開口側端面がサブ筐体119の正面壁119aにおけるウエハ搬入搬出口120の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構123によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。ポッド110がポッドオープナ121によって開放されると、ウエハ200はポッド110からウエハ移載装置125aのツイーザ125cによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置135にてウエハを整合した後、移載室124の後方にある待機部126へ搬入され、ボート217に装填チャージングされる。ボート217にウエハ200を受け渡したウエハ移載装置125aはポッド110に戻り、次のウエハ110をボート217に装填する。この一方上段又は下段のポッドオープナ121におけるウエハ移載機構125によるウエハのボート217への装填作業中に、他方下段又は上段のポッドオープナ121には回転式ポッド棚105から別のポッド110がポッド搬送装置118によって搬送されて移載され、ポッドオープナ121によるポッド110の開放作業が同時進行される。予め指定された枚数のウエハ200がボート217に装填されると、炉口シャッタ147によって閉じられていた処理炉202の下端部が、炉口シャッタ147によって、開放される。続いて、ウエハ200群を保持したボート217はシールキャップ219がボートエレベータ115によって上昇されることにより、処理炉202内へ搬入ローディングされて行く。ローディング後は、処理炉202にてウエハ200に任意の処理が実施される。処理後は、図示しないノッチ合わせ装置135でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ200及びポッド110は筐体の外部へ払出される。次に、基板処理装置10の構成要素を制御するPMC14について説明する。図4は、PMC14を中心としたハードウェア構成を示す。PMC14は、CPU140、ROMreadonlymemory142、RAMrandomaccessmemory144、入出力装置16との間でのデータの送受信を行う送受信処理部146、温度制御部150、ガス制御部152、圧力制御部154、搬送制御部図示せず、及び温度制御部150等とのI/O制御を行うI/O制御部148を有する。CPU140は、上述した入出力装置16の操作画面18で作成又は編集され、RAM144等に記憶されているレシピに基づいて、基板を処理するための制御データ制御指示を、温度制御部150、ガス制御部152及び圧力制御部154に対して出力する。なお、CPU140は、図示しない搬送制御部に対しても同様に制御指示を出力する。ROM142及びRAM144には、シーケンスプログラム、複数のレシピ、入出力装置16より入力される入力データ入力指示、レシピのコマンド及びレシピの履歴データ等が格納される。なお、PMC14には、ハードディスクドライブHDD等により実現される記憶装置不図示が含まれてもよく、この場合、該記憶装置には、RAM144に格納されるデータと同様のデータが格納される。入出力装置16は、操作画面18からのオペレータユーザの入力データ入力指示を受け付ける入力部160、RAM144等に格納されているデータ等を表示する表示部162、入力部160に受け付けられた入力データが後述する表示制御部164により送受信処理部146に送信されるまでの間記憶する一時記憶部166、入力部160からの入力データ入力指示を受け付け、該入力データを表示部162もしくは送受信処理部146に送信する表示制御部164を有する。なお、後述するように、表示制御部164は、送受信処理部146を介してCPU140によるROM142又はRAM144に格納された複数のレシピのうち任意のレシピを実行させる指示実行指示を受け付けるようになっており、また表示部162は、表示制御部164からの指示により指示された任意のレシピを操作画面18に表示するようになっている。さらに表示部162は、後述するように、オペレータユーザの権限を設定するための権限設定画面を表示して、表示手段を構成する。温度制御部150は、上述した処理炉202の外周部に設けられたヒータ338により該処理室202内の温度を制御する。ガス制御部152は、処理炉202のガス配管340に設けられたMFCマスフローコントローラ342からの出力値に基づいて処理炉202内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。圧力制御部154は、処理炉202の排気配管344に設けられた圧力センサ346の出力値に基づいてバルブ348を開閉することにより処理炉202内の圧力を制御する。このように、温度制御部150等は、CPU140からの制御指示に基づいて基板処理装置10の各部ヒータ338、MFC342及びバルブ348等の制御を行う。例えば、入出力装置16の入力部160により、レシピを設定する為のデータが入力されると、該入力データ入力指示は、記憶部166に格納されると共に表示制御部164を介して表示部162に表示され、さらに表示制御部164によりPMC14の送受信処理部146に送信される。CPU140は、該入力データをRAM144に格納し、例えばROM142に格納されたレシピの設定入力を確定させる。CPU140は、シーケンスプログラムを起動し、該シーケンスプログラムに従って、例えばRAM144に格納されたレシピのコマンドを呼び込み実行することで、ステップが逐次実行され、I/O制御部148を介して温度制御部150、ガス制御部152、圧力制御部154、及び搬送制御部に対して基板を処理するための制御指示が送信される。温度制御部150等は、主制御指示からの制御指示に従って基板処理装置10内の各部ヒータ338、MFC342及びバルブ348等の制御を行う。これにより、上述したウエハ200の処理が行われる。次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置10に格納されているレシピに対するユーザの操作権限の管理方法を詳述する。基板処理装置10では、プロセスレシピ、システムレシピ等のレシピはそれぞれ、ファイルとして格納され、管理されている。ファイルのそれぞれには、例えば編集タイプと称される属性が埋め込まれている。編集タイプには、例えば、プロダクト、メンテナンス、テスト等の複数の属性値のいずれかが設定される。なお、属性値の数は限定されず、属性値の名称も任意に設定される。基板処理装置10には、編集タイプの各属性値に対するユーザの権限が格納され、管理されている。ユーザの権限は管理者により管理され、管理者だけがユーザの権限を設定することができる。図5は、本発明の実施形態に係る基板処理装置10に記憶されているユーザの権限ユーザ権限情報を例示する図である。図5に例示するように、ユーザ権限情報には、ユーザ名と、当該ユーザに対応するパスワードと、プロダクト、メンテナンス、テスト等の各属性値に対する当該ユーザの権限とが含まれる。なお、ユーザ権限情報には、ユーザを一意に識別する例えば社員番号からなる識別子IDが含まれてもよい。また、リザーブ1、リザーブ2及びリザーブ3は、予備としての属性値であって、必要に応じて名称を変更されて用いられる。ユーザ権限情報において、ユーザ名は、ユーザの名称を表し、パスワードは、例えば英数字からなる文字列である。権限は、複数の属性値のそれぞれに対して設定されており、例えば、編集参照及び禁止のいずれかである。ここで、編集は、ファイルの参照及び編集を行うことができる権限であり、参照は、ファイルの参照だけを行うことができる権限であり、禁止は、ファイルの参照及び編集を行うことができない権限である。なお、権限として、これらの設定値以外のものが設定されてもよい。例えば、ユーザ1は、編集タイプ属性にプロダクト属性値が設定されているプロセスレシピファイルの参照及び編集を行うことでき、編集タイプにメンテナンスが設定されているプロセスレシピの参照を行うことができる。一方、ユーザ1は、編集タイプにメンテナンスが設定されているプロセスレシピの編集を行うことができず、編集タイプにテストが設定されているプロセスレシピの参照及び編集を行うことができない。図6は、基板処理装置10の入出力装置16に操作画面18として表示され、管理者により操作されるユーザ一覧画面50を例示する図である。図6に例示するように、ユーザ一覧画面50には、それぞれのユーザのユーザ名500と、当該ユーザのパスワード502と、当該ユーザの権限を設定するための権限設定ボタン504とが含まれる。ユーザ名500及びパスワード502は、基板処理装置10に格納されているユーザ権限情報のものである。権限設定ボタン504は、当該ボタンに対応するユーザの権限を設定するための権限設定画面に移行するためのボタンである。例えば、ユーザ1に対応する権限設定ボタン504が押下されると、ユーザ1の権限を設定するための権限設定画面が、入出力装置16に表示される。なお、以降の画面もまた、ユーザ一覧画面50と同様に、基板処理装置10の入出力装置16に操作画面18として表示される。図7は、複数の属性値のそれぞれに対するユーザの権限を設定するための権限設定画面52を例示する図である。図7に例示するように、権限設定画面52には、対象のユーザ名520と、編集タイプに設定される複数の属性値522と、この属性値522のファイルに対する当該ユーザの権限524とが含まれる。ユーザ名520、編集タイプの属性値522及び権限524は、基板処理装置10に格納されているユーザ権限情報のものである。権限524は、例えばポップダウンメニューとして実現され、権限524の表示領域が押下されると、編集参照及び禁止のいずれかを選択できるように表示される。また、権限524は、例えばボタンとして実現されてもよく、この場合、当該ボタンが押下されると、編集等の設定値を設定できるウインドウが新たに表示されて、設定値が管理者により設定される。管理者がユーザの権限を設定すると、設定された権限は基板処理装置10に格納される。管理者は、このような権限設定画面52を介して各ユーザの権限を設定し、管理する。ユーザは、プロセスレシピ一覧画面を介して、それぞれのプロセスレシピの参照及び編集を行う。図8は、基板処理装置10に格納されているプロセスレシピの一覧を表示するプロセスレシピ一覧画面54を例示する図である。図8に例示するように、プロセスレシピ一覧画面54には、プロセスレシピ名称540と、プロセスレシピの編集タイプに設定されている属性値548と、プロセスレシピを選択するためのカーソル550と、このカーソル550により選択されたプロセスレシピを参照するための開くボタン542と、表示されている複数のプロセスレシピを並び替えるための並び替えボタン544と、表示されるプロセスレシピを限定するための編集タイプボタン546とが含まれる。プロセスレシピ一覧画面54において、ユーザが編集タイプボタン546を押下し、編集タイプをプロダクト、メンテナンス、テスト、オール等から選択して、並び替えボタン544を押下すると、編集タイプが当該選択された属性値であるプロセスレシピだけが、プロセスレシピ一覧画面54に表示される。なお、オールが選択された場合、全てのプロセスレシピが表示される。ユーザは、プロセスレシピ一覧画面54において、複数のプロセスレシピ及び各プロセスレシピの編集タイプを確認する。ユーザは、入出力装置16の入力部160を介してカーソル550を例えば上下に移動させてプロセスレシピを選択し、開くボタン542を押下することにより、選択されたプロセスレシピの参照を行う。ユーザが開くボタン542を押下すると、当該ユーザの権限情報図5がPMC14により確認される。PMC14は、選択されたプロレスレシピに設定されている編集タイプの属性値に対する当該ユーザの権限に基づいて、プロセスレシピに対する操作参照、編集などを制御する。例えば、当該ユーザの権限が編集又は参照である場合、PMC14は、当該ユーザが当該プロセスレシピの参照を行うことを許可し、後述するプロセスレシピステップ一覧画面を表示する。また例えば、当該ユーザの権限が禁止である場合、PMC14は、当該ユーザが当該プロセスレシピの参照を行うことを許可せず、操作を実行する権限がありません等の警告を表示する。さらに、ユーザが開くボタン542を押下すると、PMC14は、当該ユーザのパスワードの入力をユーザに対して求める。PMC14は、当該ユーザのパスワード等が正しく入力された場合、プロセスレシピの参照を許可し、当該ユーザのパスワード等が正しく入力されなかった場合、プロセスレシピの参照を許可せず、例えばパスワードが正しくありません等の警告を表示する。なお、PMC14は、パスワードに加えてユーザ名の入力を求めてもよい。図9は、プロセスレシピ一覧画面54において選択されたプロセスレシピの手順を表示するプロセスレシピステップ一覧画面56以下、ステップ一覧画面ともいうを例示する図である。図9に例示するように、ステップ一覧画面56には、表示されているプロセスレシピの名称560と、このプロセスレシピの編集タイプに設定されている属性値562と、このプロセスレシピのステップ、処理時間及び処理内容などを含むプロセスレシピの手順の詳細な内容564と、このプロセスレシピの手順を編集するための編集ボタン群566と、編集されたプロセスレシピを保存するための保存ボタン568とが含まれる。ステップ一覧画面56において、ユーザは、編集ボタンボタン群566を操作してプロセスレシピに記述されている手順の内容564を編集し、保存ボタン568を押下することにより、プロセスレシピの更新を行う。PMC14は、当該プロレスレシピに設定されている編集タイプの属性値に対する当該ユーザの権限に基づいて、プロセスレシピの更新を制御する。例えば、PMC14は、当該ユーザの権限が編集である場合、当該ユーザが当該プロセスレシピの更新を行うことを許可し、記憶されているプロセスレシピの手順を、編集されたものに更新する。また例えば、PMC14は、当該ユーザの権限が参照又は禁止である場合、当該ユーザが当該プロセスレシピの更新を行うことを許可せず、操作を実行する権限がありません等の警告を表示する。さらに、PMC14は、ユーザが保存ボタン568を押下すると、当該ユーザのパスワードの入力をユーザに対して求める。PMC14は、当該ユーザのパスワード等が正しく入力された場合、プロセスレシピの更新を許可し、当該ユーザのパスワード等が正しく入力されなかった場合、プロセスレシピの更新を許可せず、例えばパスワードが正しくありません等の警告を表示する。なお、PMC14は、パスワードに加えてユーザ名の入力を求めてもよい。次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置10の制御方法を実現する制御プログラム40を説明する。図10は、基板処理装置10のPMC14上で動作する制御プログラム40の構成を示す図である。図10に示すように、制御プログラム40は、ユーザインタフェースUI部400、権限設定部402、レシピ表示部404、更新制御部406、権限記憶部408及びレシピ記憶部410を有する。制御プログラム40は、例えば、ネットワーク12を介してホスト装置20からPMC14に供給され、RAM144にロードされて、図示しないOS上でCPU140により実行される。なお、制御プログラム40は、FD、CD又はDVDなどの記録媒体を介して供給されてもよいし、入出力装置16を介して入力されてもよい。制御プログラム40において、権限記憶部408は、プロセスレシピの編集タイプに設定される複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を記憶する。具体的には、権限記憶部408は、図5に示されるユーザ権限情報を記憶する。権限記憶部408は、RAM144及び図示しないHDDの少なくともいずれかにより実現される。レシピ記憶部410は、基板を処理する手順が記載され、複数の属性値のいずれかが設定されているプロセスレシピを記憶する。プロセスレシピは、ファイルとして実現されており、各ファイルには属性としての編集タイプが設定されている。レシピ記憶部410は、権限記憶部408と同様にして実現される。このようにして、レシピ記憶部410は、プロセスレシピ記憶手段を構成する。UI部400は、入出力装置16に対するユーザの操作を受け入れ、制御プログラム40の各構成部分に対して出力する。UI部202は、制御プログラム40の各構成部分により作成された情報データ及び各構成部分の処理内容などを、入出力装置16に対して出力する。権限設定部402は、権限記憶部408に記憶されているユーザ権限情報に基づいて、複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を設定するための権限設定画面52図7を表示し、この権限設定画面52を介した入力を受け付けて、当該入力に基づいて権限記憶部408に記憶されているユーザ権限情報を更新する。具体的には、権限設定部402は、ユーザ一覧画面50図6において所定のユーザに対応する権限設定ボタン50が押下されたことをUI部400から受け付けると、権限記憶部408を参照して当該ユーザに関するユーザ権限情報を検索する。権限設定部402は、当該検索結果データに基づいて権限設定画面52を生成し、生成した画面データをUI部400に対して出力して入出力装置16に表示させる。また、権限設定部402は、権限設定画面52において権限524のボタンが押下されたことによって権限が更新された旨をUI部400から受け付けると、権限記憶部408に記憶されているユーザ権限情報を、当該受け付けた権限に更新する。レシピ表示部404は、レシピ記憶部410に記憶されているプロセスレシピを参照してプロセスレシピ一覧画面54図8を生成し、生成した画面データをUI部400に対して出力して入出力装置16に表示させる。また、レシピ表示部404は、プロセスレシピ一覧画面54において開くボタン542が押下されたことをUI部400から受け付けると、権限記憶部408に記憶されている当該ユーザのユーザ権限情報に基づいて、レシピ記憶部410に記憶されているプロセスレシピの当該ユーザによる参照を制御する。より具体的には、ユーザの権限が、選択されたプロセスレシピに設定されている属性値に関して例えば編集及び参照のいずれかである場合、レシピ表示部404は、当該ユーザによるプロセスレシピの参照を許可する。この場合、レシピ表示部404は、当該プロセスレシピのステップ一覧画面56を生成し、生成した画面データをUI部400に対して出力して入出力装置16に表示させる。さらに、レシピ表示部404は、入力されたパスワード及びユーザ名をUI部400を介して受け付け、権限記憶部408に記憶されているパスワードを確認し、入力されたパスワードが正しいか否かを判定する。レシピ表示部404は、判定結果に基づいて、当該ユーザによるプロセスレシピの参照を許可するか否かを決定する。更新制御部406は、ステップ一覧画面56において保存ボタン568が押下されたことをUI部400から受け付けると、権限記憶部408に記憶されている当該ユーザのユーザ権限情報に基づいて、レシピ記憶部410に記憶されているプロセスレシピの当該ユーザによる更新を制御する。より具体的には、ユーザの権限が、選択されたプロセスレシピに設定されている属性値に関して例えば編集である場合、更新制御部406は、当該ユーザによるプロセスレシピの更新を許可する。さらに、更新制御部406は、入力されたパスワード等をUI部400を介して受け付け、権限記憶部408に記憶されているパスワードを確認し、入力されたパスワードが正しいか否かを判定し、判定結果に基づいて、当該ユーザによるプロセスレシピの更新を許可するか否かを決定する。なお、更新制御部406は、FD、CD、DVD等の記録媒体に記憶されたプロセスレシピがPMC14に格納される場合、上記の制御方法と同様にして、記録媒体に記憶されたプロセスレシピがレシピ記憶部410に格納されるか否かを判定してもよい。次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置10の制御処理を説明する。図11は、本発明の実施形態に係る基板処理装置10によるプロセスレシピ一覧画面54からステップ一覧画面56への画面遷移処理S10を示すフローチャートである。図11に示すように、ステップ100S100において、PMC14上で動作する制御プログラム40のレシピ表示部404は、レシピ記憶部410に記憶されているプロセスレシピ及びその属性編集タイプを参照してプロセスレシピ一覧画面54を入出力装置16に表示させる。入出力装置16においては、表示部162及び表示制御部164が、PMC14から画面データを受け付けて、プロセスレシピ一覧画面54を表示する。ステップ102S102において、レシピ表示部404は、プロセスレシピ一覧画面54においてプロセスレシピが選択されて開くボタン542が押下されたか否かを判定する。レシピ表示部404は、開くボタン542が押下された場合にはS104の処理に進み、そうでない場合にはS102の処理に戻る。ステップ104S104において、レシピ表示部404は、権限記憶部408に記憶されている当該ユーザの権限が、選択されたプロセスレシピの編集タイプに設定されている属性値に関して編集及び参照のいずれかであるか否かを判定する。レシピ表示部404は、当該ユーザの権限が編集及び参照のいずれかである場合にはS108の処理に進み、そうでない場合にはS106の処理に進む。ステップ106S106において、レシピ表示部404は、第1の警告例えば、操作する権限がありませんを入出力装置16に表示させ、S102の処理に戻る。ステップ108S108において、レシピ表示部404は、パスワードの入力を求め、ユーザが入出力装置16を介して入力したパスワードを受け付ける。なお、レシピ表示部404は、パスワードに加えてユーザ名の入力を求めてもよい。ステップ110S110において、レシピ表示部404は、権限記憶部408に記憶されているパスワードに基づいて、入力されたパスワードが正しいか否かを判定する。レシピ表示部404は、入力されたパスワードが正しい場合にはS114の処理に進み、そうでない場合にはS112の処理に進む。ステップ112S112において、レシピ表示部404は、第2の警告例えば、パスワードが正しくありませんを入出力装置16に表示させ、S102の処理に戻る。ステップ114S114において、レシピ表示部404は、当該ユーザによるプロセスレシピの参照を許可し、レシピ記憶部410に記憶されているプロセスレシピであってユーザにより選択されたもののファイルを参照してステップ一覧画面56を入出力装置16に表示させる。入出力装置16においては、表示制御部164等が、PMC14から画面データを受け付けて、ステップ一覧画面56を表示する。図12は、本発明の実施形態に係る基板処理装置10によるプロセスレシピの更新に関する許否判定処理S20を示すフローチャートである。なお、図12に示された各処理のうち、図11に示された処理と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。図12に示すように、ステップ200S200において、PMC14上で動作する制御プログラム40の更新制御部406は、ステップ一覧画面56の編集ボタン群566を介したユーザによる編集操作を受け付ける。ステップ202S202において、更新制御部406は、ステップ一覧画面56においてプロセスレシピが編集されて保存ボタン568が押下されたか否かを判定する。更新制御部406は、保存ボタン568が押下された場合にはS204の処理に進み、そうでない場合にはS200の処理に戻る。ステップ204S204において、更新制御部406は、権限記憶部408に記憶されている当該ユーザの権限が、選択されたプロセスレシピの編集タイプに設定されている属性値に関して編集であるか否かを判定する。当該ユーザの権限が編集ではない場合、更新制御部406は、S106の処理で第1の警告を表示させてS200の処理に戻る。当該ユーザの権限が編集である場合、更新制御部406はS110の処理に進み、パスワードの入力を求める。入力されたパスワードが正しいものであるか否かがS110の処理で判定され、パスワードが正しくないと判定された場合、更新制御部406は、S112の処理で第2の警告を表示させてS200の処理に戻る。パスワードが正しいと判定された場合、ステップ208S208において、更新制御部406は、当該ユーザによるプロセスレシピの更新を許可し、ユーザにより編集されたプロセスレシピの手順に基づいて、レシピ記憶部410に記憶されている当該プロセスレシピを更新する。なお、本実施形態と異なる形態として、編集権限がないプロセスレシピを表示しないようにすることができる。したがって、本発明に係る基板処理装置によれば、記憶されている複数のファイルプロセスレシピに対する操作権限が、属性編集タイプとして複数の属性値のいずれかに設定されているので、その属性値毎に管理される。編集タイプは、それぞれのファイルに埋め込まれ、基板処理装置10に格納されているので、編集タイプはファイル毎に表示されることができる。このため、ユーザは、全てのプロセスファイルファイルの編集タイプを容易に確認することができる。プロセスレシピ一覧画面には、編集タイプボタン546及び並び替えボタン544が含まれるので、基板処理装置10は、ユーザが選択した編集タイプのファイルだけを表示することができる。このため、ユーザは、プロセスレシピ数が増えた場合においても、必要なプロセスレシピの確認及び選択を容易に行うことができる。基板処理装置10は、プロセスレシピファイルの参照及び編集を受け付ける際には少なくともパスワードの入力を求める。さらに、本実施形態によれば、プロセスレシピの編集タイプ毎に操作権限が設定される。これにより、プロセスレシピがいつの間にか更新されて、当該プロセスレシピが実行され、基板が無駄に処理されてしまうことを防止することができる。なお、本発明に係る基板処理装置は、半導体製造装置だけではなく、LCD装置などのガラス基板を処理する装置にも適用されうる。また、本発明に係る基板処理装置は、炉内の処理を限定せず、CVD、PVD、酸化膜、窒化散を形成する処理、及び金属を含む膜を形成する処理を含む成膜処理を行うことができる。また、本発明に係る基板処理装置は、縦型装置だけでなく、枚葉装置にも適用されうる。また、ユーザの権限の設定、ファイルの参照及び編集は、ホスト装置20に表示される操作画面を介してなされてもよい。この場合、設定、参照及び編集のためのデータは、ホスト装置20からネットワーク12を介して基板処理装置10に対して送信され、画面データは、基板処理装置10からホスト装置20に対して送信される。さらに、本実施形態においては、プロセスレシピについて記載されているが、システムレシピ及びその他制御情報のファイルについても適用される。この場合においても、それぞれのファイルには、編集タイプが設定される。