支持片と、帯状の取付領域、該取付領域の先端から前方へ延びる前部領域、及び該前部領域から下方へ突出する先端針先を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記支持片の先端部下側に配置されたスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含み、左右方向に隣り合う少なくとも2つのプローブの前部領域の少なくとも一部は共通のスリットに受け入れられている、プローブ組立体。前記共通のスリットに受け入れられたプローブの少なくとも1つの前部領域は前記取付領域に対し左右方向及び前後方向に変形されている、請求項1に記載のプローブ組立体。各スリットは左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びている、請求項1及び2のいずれか1項に記載のプローブ組立体。各スリットは前後方向に延びている、請求項1及び2のいずれか1項に記載のプローブ組立体。前部領域の少なくとも一部が前記共通のスリットに受け入れられた少なくとも2つのプローブは、前後方向に間隔をおいた針先を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブ組立体。前部領域の少なくとも一部が前記共通のスリットに受け入れられた少なくとも2つのプローブは、前後方向及び左右方向に間隔をおいた針先を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブ組立体。前記共通の前記スリットに受け入れられたプローブの前部領域の少なくとも一部は、上下方向に間隔をおいている、請求項1から6のいずれか1項に記載のプローブ組立体。さらに、前記支持片の後端部下側に配置された第2のスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数の第2のスリットを備える第2のスリットバーを含み、各プローブは、さらに、前記取付領域の後端から後方へ延びる後部領域と、該後部領域から上方に突出する後端針先とを備え、前記複数のプローブは、前記後部領域の少なくとも一部が前記第2のスリットに受け入れられた複数の第1のプローブを備える第1のプローブ群と、左右方向に隣り合う前記第1のプローブの間に位置された複数の第2のプローブを備える第2のプローブ群とのいずれかに属しており、各第1のプローブは、さらに、前記後部領域から下方に突出する突部を備えており、また前記後部領域の少なくとも一部を前記第2のスリットに受け入れられており、各第2のプローブの前記後部領域は、該第2のプローブの左方及び右方に位置する第1のプローブの前記突部の間を延びている、請求項1から7のいずれか1項に記載のプローブ組立体。各第2のスリットは、前後方向に延びている、又は左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びている、請求項8に記載のプローブ組立体。前記第1及び第2のスリットのそれぞれは、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放している、請求項8及び9のいずれか1項に記載のプローブ組立体。さらに、前記第1及び第2のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びるバー部材と、該バー部材の長手方向の各端部を受け入れる板状のサイドカバーであって、前記支持片の側部に取り外し可能に組み付けられたサイドカバーとを含む、請求項9から10のいずれか1項に記載のプローブ組立体。各プローブの前記前部領域は、弾性変形により、前記取付領域に対し変形されている、請求項1から11のいずれか1項に記載のプローブ組立体。前記前部領域のうち、少なくともスリットに受け入れられた部分は電気的に絶縁されている、請求項1から12のいずれか1項に記載のプローブ組立体。本発明の目的は、スリットバーのスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。本発明に係るプローブ組立体は、支持片と、帯状の取付領域、該取付領域の先端から前方へ延びる前部領域、及び該前部領域から下方へ突出する先端針先を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記支持片の先端部下側に配置されたスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含む。左右方向に隣り合う少なくとも2つのプローブの前部領域の少なくとも一部は共通のスリットに受け入れられている。前記共通のスリットに受け入れられたプローブの少なくとも1つの前部領域は前記取付領域に対し左右方向及び前後方向に変形されていてもよい。各スリットは、左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びていてもよい。前部領域の少なくとも一部が前記共通のスリットに受け入れられた少なくとも2つのプローブは、前後方向に間隔をおいた針先を有していてもよいし、前後方向及び左右方向の両方向に間隔をおいた針先を有していてもよい。前記共通の前記スリットに受け入れられたプローブの前部領域の少なくとも一部は、上下方向に間隔をおいていてもよい。プローブ組立体は、さらに、前記支持片の後端部下側に配置された第2のスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数の第2のスリットを備える第2のスリットバーを含むことができる。この場合、各プローブは、さらに、前記取付領域の後端から後方へ延びる後部領域と、該後部領域から上方に突出する後端針先とを備えることができ、前記複数のプローブは、前記後部領域の少なくとも一部が前記第2のスリットに受け入れられた複数の第1のプローブを備える第1のプローブ群と、左右方向に隣り合う前記第1のプローブの間に位置された複数の第2のプローブを備える第2のプローブ群とのいずれかに属することができる。各第1のプローブは、さらに、前記後部領域から下方に突出する突部を備えることができ、また前記後部領域の少なくとも一部を前記第2のスリットに受け入れられていてもよい。各第2のプローブの前記後部領域は、該第2のプローブの左方及び右方に位置する第1のプローブの前記突部の間を延びていてもよい。各第2のスリットは、前後方向に延びている、又は左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びていてもよい。前記第1及び第2のスリットのそれぞれは、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放していてもよい。プローブ組立体は、さらに、前記第1及び第2のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びるバー部材と、該バー部材の長手方向の各端部を受け入れる板状のサイドカバーであって、前記支持片の側部に取り外し可能に組み付けられたサイドカバーとを含むことができる。各プローブの前記前部領域は、弾性変形により、前記取付領域に対し変形されていてもよい。前記前部領域のうち、少なくともスリットに受け入れられた部分は電気的に絶縁されていてもよい。本発明に係るプローブ組立体においては、左右方向に隣り合う少なくとも2つのプローブの前部領域の少なくとも一部は同じスリットに受け入れられているから、総プローブ数の2分の1以下のスリットをスリットバーに設ければよく、スリットの間の壁の数が少なくなる。したがって、その分スリットのピッチを小さくすることができ、その結果従来に比べプローブを狭ピッチで配置することができる。前記同じスリットに受け入れられたプローブの少なくとも1つの前部領域が前記取付領域に対し左右方向及び前後方向に変形されていると、そのプローブの前部領域がスリットの間の壁に押圧される。その結果、スリットバーに対するそのプローブの前部領域の先端針先の位置が一定に維持される。各スリットが左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びていると、各プローブの前部領域も、左右方向及び前後方向に対するスリットの角度に応じて取付領域に対し左右方向及び前後方向に対して湾曲されて延びている。このように前部領域が取付領域に対し弾性変形により湾曲されていると、前部領域を同じスリットに受け入れられたプローブのうち、1つのプローブは前部領域をスリットの間の壁に押圧され、他のプローブは前部領域を前記1つのプローブの前部領域に押圧される。その結果、スリットバーと前部領域との間に遊びが存在していても、スリットバーに対する各前部領域の先端針先の位置が一定に維持される。[用語について]本発明においては、図1において、上下方向を上下方向又はZ方向といい、左右方向をプローブの前部領域の側を前方とする前後方向又はY方向といい、紙背方向を左右方向又はX方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。それゆえに、プローブユニット及びプローブ組立体は、本発明でいう上下方向Z方向が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。[プローブユニットの実施例]図1を参照するに、プローブユニット10は、一部を図1及び図5に示す被検査体12の点灯検査に用いられる。被検査体12は、液晶を封入した液晶表示パネルであり、長方形の形状を有しており、また複数の電極14を少なくとも長方形の2つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極14は、これが配置された縁部と直交するX方向又はY方向へ延びる帯状の形状を有している。プローブユニット10は、試験装置の本体フレーム図示せずに取り付けられる板状のプローブベース16と、プローブベース16の前端部上側に左右方向へ延びる状態に配置された支持台18と、支持台18に左右方向に間隔をおいて載置された複数のプローブ装置20図1においては、1つを示す。と、プローブベース16の上に配置された板状の中継ベース22と、中継ベース22の上に配置された中継基板24とを含む。プローブベース16は、被検査体12の電極14が配置された1つの縁部の長手方向図示の例では、左右方向へ延びかつ厚さ方向が上下方向となる状態に、上記した本体フレームに直接又は板状ベースのような適宜な部材を介して取り付けられる。支持台18は、左右方向へ延びる板状の主体部18aと、主体部18aの左右方向における端部から下方へ延びる一対の脚部18b、18bとにより、門型に形成されている。これにより、支持台18は、前方、後方及び下方に開放する空間26図1参照を有する。支持台18は、プローブベース16の左右方向に離間した箇所を下方から上方に貫通して、脚部18b、18bに螺合された一対のねじ部材図示せずにより、プローブベース16の上に取り付けられている。図示の例では、支持台18は、複数のプローブ装置20で共通とされている。したがって、プローブ装置20は、左右方向に離間して、主体部18aの上に取り付けられている。しかし、1つ、2つ又は3つのプローブ装置20毎に支持台18を設けてもよい。各プローブ装置20は、プローブ組立体30と、プローブ組立体30を支持する支持ブロック32と、支持ブロック32を支持する連結ブロック34と、支持ブロック32の下側に支持されて、プローブ組立体30を支持ブロック32に組み付ける結合ブロック36と、支持ブロック32と結合ブロック36の間に配置されて、支持ブロック32の下側に取り付けられた接続ブロック38とを含む。図2から図4に示すように、プローブ組立体30は、導電性材料により板状に製作された複数の第1のプローブ40及び複数の第2のプローブ42を、ブロック状の支持片44の下側に前後方向に間隔をおいて組み付けられた第1及び第2のスリットバー46及び48に、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる状態に、交互に配置している。第1及び第2のプローブ40及び42には、少なくとも外周面が電気的絶縁性を有するバー部材50、52が貫通状態に挿通されている。第1及び第2のプローブ40及び42は、バー部材50及び52と、それらバー部材50及び52の各端部を受け入れている板状のサイドカバー54と、サイドカバー54の外側に位置された板状の他のサイドカバー56とにより支持片44に組み付けられている。各第1のプローブ40は、図13Bに示すように、矩形をした板状の針主体部、すなわち取付領域40aと、取付領域40aの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる前部領域40bと、取付領域40aの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後部領域40cと、前部領域40bの先端から下方へ一体的に延びる先端針先40dと、後部領域40cの後端から上方へ一体的に延びる後端針先40eと、後部領域40cから下方へ突出すると共に前後方向へ延びる舌片状の突部40fと備える。各第2のプローブ42は、図13Cに示すように、矩形をした板状の針主体部、すなわち取付領域42aと、取付領域42aの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる前部領域42bと、取付領域42aの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後部領域42cと、前部領域42bの先端から下方へ一体的に延びる先端針先42dと、後部領域42cの後端から上方へ一体的に延びる後端針先42eとを備えるブレードタイプの針とされている。しかし、各第2のプローブ42は、第1のプローブ40の突部40fに対応する突部を備えていない。前部領域40b、42bと後部領域40c、42cとは、取付領域40a、42aの幅寸法より小さい幅寸法を有しており、また取付領域40a、42aの対応する先端下部又は後端中央部から片持ち梁状に延びている。先端針先40d、42d及び後端針先40e、42eは、三角形に形成されて、先鋭にされている。第1のプローブ40及び第2のプローブ42のそれぞれは、バー部材50が貫通する円形の貫通穴40g又は42gを取付領域40a又は42aの中央部に有すると共に、バー部材52が貫通しかつ貫通穴40g、42gより小さい円形の貫通穴40h又は42hを取付領域40a又は42aの前部に有する。第1及び第2のプローブ40及び42は、同じ厚さ寸法を有しており、また電気絶縁膜を左右方向の各面に有する。少なくとも前部領域40b、42b及び後部領域40c、42cは、対応する取付領域40a又は42aに対し弾性変形可能である。図2から図4、図9から図11等に示すように、支持片44は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により製作されており、また下方、左方及び右方に開放する溝、すなわち凹所64を後端部下側に有する。第1及び第2のスリットバー46及び48は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により製作されている。前方に位置する第1のスリットバー46及び後方に位置する第2のスリットバー48は、それぞれ、支持片44の先端部下側及び後端部下側に、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。第1のスリットバー46は、その前端部上面から上方に突出して左右方向へ延びる当接部66図2、図9及び図10参照を有しており、当接部66を支持片44の前面下部に当接されている。これにより、第1のスリットバー46と支持片44とは、前後方向における位置決めをされる。第2のスリットバー48は、その後端部上面から上方に突出して左右方向へ延びる当接部68図2、図9及び図10参照を有しており、当接部68が支持片44の凹所64に挿入されて、当接部68を凹所64を形成する前向き面に当接されている。これにより、第2のスリットバー48と支持片44とは、前後方向における位置決めをされる。図5から図11等に示すように、第1のスリットバー46は、左右方向に間隔をおいて前後方向及び左右方向に対して角度を有して斜めに延びる複数の第1のスリット60図11B参照を備える。第2のスリットバー48は、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第2のスリット62図11C参照を備える。第1及び第2のスリット60及び62のそれぞれは、前後方向両側及び下方に開放された溝とされている。各第1のスリット60は第1及び第2のプローブ40及び42の前部領域40b及び42bを上下方向に変位させた状態で受け入れることができるように、第1及び第2のプローブ40及び42の前部領域40b及び42bの厚さ寸法とほぼ同じ、左右方向における幅寸法を有する。各第2のスリット62は第1のプローブ40の後部領域40cを受け入れることができるように、第1のプローブ40の後部領域40cの左右後方における厚さ寸法とほぼ同じ、左右方向における幅寸法を有する。第1及び第2のスリット60及び62は、同じピッチで対応するスリットバー46又は48に形成されている。バー部材50及び52は、図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性材料により形成されている。しかし、それらのバー部材50、52は、導電性材料を電気絶縁性材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。後者の場合、それらのバー部材が貫通する各プローブ及び各サイドカバーの貫通穴もそれらバーブ部材の断面形状と同じ形状を有する。バー部材50は、プローブ40及び42の貫通穴40g、42gに挿通されていると共に、各端部を内側のサイドカバー54に設けられた穴54a図2参照に受け入れられて、そのサイドカバー54に支持されている。バー部材52も、プローブ40及び42の貫通穴40h、42hに挿通されていると共に、各端部を内側のサイドカバー52に設けられた穴54b図2参照に受け入れられて、そのサイドカバー54に支持されている。第1及び第2のプローブ40及び42は、取付領域40a及び42aの厚さ方向が左右方向となりかつ左右方向に交互に位置する状態に、第1及び第2のスリットバー46及び48に並列的に配置されている。各第1のスリット60は、図5、図6A、図7に示すように、1組の第1及び第2のプローブ40及び42の前部領域40b及び42bの一部を上下方向に離間させた状態に受け入れている。各第2のスリット62は、1つの第1のプローブ40の後部領域40cの一部を受け入れている。各第2のプローブ42の後部領域42cは、隣り合う両第1のプローブ40の突部40fの間を延びている。各第1のプローブ40の前部領域40bは、第1のスリット60内を左右方向及び前後方向に対し角度を有して延びている。各第1のプローブ40の後部領域40cは、第2のスリット62内を前後方向に延びている。各第1のプローブ40の先端針先40dは、第1のスリット60より前方の位置を下方へ延びている。各第1のプローブ40の後端針先40e及び突部40fは、それぞれ、第2のスリット62から後方及び下方へ突出されている。各第2のプローブ42の前部領域42bは、その先端針先42dが第1のスリット60の前後方向における途中から前方へ突出した状態に第1のスリット60内にあって第1のプローブ40の前部領域40bの高さ位置より下側を前後方向へ延びている。各第2のプローブ42の後部領域42cは、後端針先42eが第2のスリット62から後方へ突出して上方へ延びるように、隣り合う第1のプローブ40の突部40iの間を前後方向へ延びている。第1のプローブ40の先端針先40d及び後端針先40eの位置は、それぞれ、第2のプローブ42の先端端針先42d及び後端針先42eより前方に位置されている。このため、第1のプローブ40の先端針先40d及び後端針先40eと、第2のプローブ42の先端針先42d及び後端針先42eとは、前後方向に間隔をおいているが、第1及び第2のプローブ40及び42の前後方向における長さ寸法、特に有効電気的長さを同じとすることができる。第1及び第2のプローブ40及び42の先端針先40d及び42dは、先端針先40dが前後方向に対する第1のスリット60の角度θ図11B参照と同じ角度で前後方向に対し斜めに延びていることと、先端針先40dが先端針先42dより前方に位置することから、左右方向にも間隔をおいている。サイドカバー54、56は、電気絶縁材料又は導電性材料で板状に製作されている。図2に示すように、内側に位置された各サイドカバー54は、プローブの貫通穴40g、42g及び40h、42hに通されたバー部材50及び52の端部を貫通穴54a及び54bに受け入れて、プローブ40、42を変位可能に支持している。サイドカバー54、56は、それらサイドカバー54、56の前後方向に間隔をおいた箇所を貫通して、支持片44に螺合されたボルトのようなピン状の複数のねじ部材65図1及び図2参照により、支持片44の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。サイドカバー54は、また、サイドカバー54及び支持片44に前後方向に間隔をおいて設けられた複数の貫通穴70図2参照を貫通して、他方側のサイドカバー54に前後方向に間隔をおいて設けられた他の複数の貫通穴70図2参照に達する位置決めピン72図1参照により、支持片44に対して位置決められている。上記の結果、第1及び第2のプローブ40及び42は、バー部材50及び52、サイドカバー54及び56、ねじ部材65、位置決めピン72等により、支持片44に分離可能に組み付けられて、左右方向及び前後方向の位置を決められている。各プローブは、バー部材50及び52がサイドカバー54及び56に組み付けられ、第1及び第2のスリットバー46及び48が支持片44に組み付けられ、サイドカバー54、56が支持片44に組み付けられることにより、支持片44に組み付けられて、保持される。図においては、隣り合うプローブが左右方向に大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブの配列ピッチは小さい。プローブの数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバーのスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。プローブ組立体30は、第1及び第2のプローブ40及び42を上記した状態にスリットバー46及び48に取り付け、これと並行して又はこれの前後に両スリットバー46、48を上記した状態に支持片44に取り付け、その後サイドカバー54、56をねじ部材75で支持片44に上記した状態に取り付けることにより、組み立てることができる。再度図1を参照するに、支持ブロック32は、板状の2つ支持部32a及び32bによりL字状の断面形状に製作されている。連結ブロック34は、支持台18に取り付けられる主体部34aと、主体部34aの上部から前方へ延びる延長部34bとにより、逆L字状の形状を有する。結合ブロック36は支持ブロック32の支持部32bの下側に適宜な結合具78に取り付けられており、プローブ組立体30が結合ブロック36を上方から下方に貫通して支持片44に螺合されたねじ部材のような適宜な結合具図示せずにより結合ブロック36の下側に組み付けられている。結合具78は、図示の例では、例えば特願2009-174248に記載されたものであるとして示しているが、支持ブロック32の支持部32bを上下方向に貫通して結合ブロック36に螺合されたねじ部材であってもよい。支持ブロック32は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる一対のガイドレール80と、両ガイドレール80の間を上下方向へ延びるガイド82とにより連結ブロック34の主体部34aの前面に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト84により連結ブロック34の延長部34bに上下方向の位置を調整可能に連結されている。両ガイドレール80及びガイド82は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール80は、支持ブロック32の支持部32aの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド82は、両ガイドレール80がガイド82に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール80の間に配置されており、また連結ブロック34の主体部34aの前端面に取り付けられている。ボルト84は、連結ブロック34の延長部34bを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック32に形成されたねじ穴86に螺合されている。支持ブロック32は、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね88図1においては、その1つを示すにより下方に付勢されている。各圧縮コイルばね88は、連結ブロック34の延長部34bの上に複数のねじ部材90図1においては、その1つを示すにより取り付けられた板状のばね押え92と、支持ブロック32の支持部32aとの間に配置されている。これにより、連結ブロック34の延長部34bへのボルト84のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック32ひいてはプローブ組立体30の高さ位置を調整することができる。ばね押え92は、ドライバーのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト84の回転量を調整する貫通穴92aを有する。これにより、ばね押え92を連結ブロック34から取り外すことなく、支持ブロック32ひいてはプローブ組立体30の高さ位置の調整を行うことができるから、そのような高さ位置の調整作業が容易になる。連結ブロック34は、連結ブロック34の主体部34aを上方から下方に貫通して支持台18の主体部18aに螺合された複数のボルト94図1においては、1つを示すにより支持台18に取り外し可能に取り付けられている。中継ベース22は、厚さ方向を上下方向とした状態に、図示しない複数のねじ部材によりプローブベース16の上に配置されている。中継基板24は、それぞれがプローブ装置20のプローブに対応された複数の配線図示せずを有する配線基板である。中継基板24の配線は、プローブ装置20毎に備えられたシート状の電気的接続具100により、対応するプローブに電気的に接続されている。接続ブロック38は、支持ブロック32の下側を左右方向へ延びており、また結合ブロック36の後端部上側と支持ブロック32の後端部下側との間に配置されている。接続ブロック38は、左右方向に間隔をおいた複数のねじ部材図示せずにより支持ブロック32の下側に分離可能に取り付けられている。電気的接続具100は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置20から後方へ延びるシート状の第1の配線領域102と、第1の配線領域102から後方へ延びるシート状の第2の配線領域104とを含む。第1及び第2の配線領域102及び104は、それぞれ、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第1の配線図示せず及び複数の第2の配線図示せずを有する。第1の配線領域102は、フレキシブル印刷配線回路FPC、タブTAB、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされている。第2の配線領域は、フレキシブル印刷配線回路FPCとされている。第1の配線領域102は、結合ブロック36の下側に位置されており、また被検査体12を駆動する集積回路図示せずを中間領域に配置しており、さらに結合ブロック36の下側を後方に延びている。図1に示すように、第1の配線領域102の前端部は、第1の配線の先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック36の下面に維持されている。これにより、プローブ装置20が組み立てられた状態において、各プローブの後端針先eは、第1の配線の先端部に押圧されて電気的に接続される図5参照。図1に示すように、第1の配線領域102の後端部は、第1の配線領域102が結合ブロック36の後端部において上方及び前方に横U字状に折り返されていることにより、第1の配線領域102の第1の配線の後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック36の上面に維持されている。図1に示すように、第2の配線領域104の先端部は、第1の配線領域102の折り返し部の上方に位置する状態に、及び第2の配線領域104の第2の配線の先端部が下方となる状態に、接続ブロック38の下面に維持されている。これにより、プローブ装置20が組み立てられた状態において、第1の配線領域102の第1の配線の後端部と第2の配線領域104の第2の配線の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。第2の配線領域104は、接続ブロック38の後端とプローブベース16の前端との間から、プローブベース16の上側に導かれ、また支持台18の空間26に通され、さらにプローブベース16の上を後方に延びている。第2の配線領域104は、その後端に設けられたコネクタ図示せずにより、中継基板24に結合されている。このコネクタは、電気的接続具100の配線を介して、対応するプローブ装置20のプローブに接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板24の前記した配線に接続される。中継基板24の配線は、試験信号を発生する電気回路図示せずに接続される。試験信号は、そのような電気回路から電気的接続具96を介してプローブに供給されて、被検査体12を駆動点灯させる。プローブ組立体30においては、左右方向に隣り合う2つのプローブ40、42の前部領域40b、42bの少なくとも一部を先端針先40d及び42dが前後方向に間隔をおく状態に、左右方向及び前後方向に対し斜めに延びる第1のスリット60に、受け入れているから、総プローブ数の2分の1以下の第1のスリット60を第1のスリットバー46に設ければよい。このため、第1のスリット60の間の壁の数が少なくなり、したがってその分第1のスリット60のピッチを小さくすることができる。同様に、各第2のプローブ42の後部領域42dを隣りの2つのプローブ40の凸部40fの間に位置させているから、総プローブ数の2分の1以下の第2のスリット62を第2のスリットバー48に設ければよい。このため、第2のスリット62の間の壁の数が少なくなり、したがってその分第2のスリット62のピッチを小さくすることができる。上記の結果、プローブ組立体30によれば、従来に比べ、スリットのピッチを小さくすることなく、プローブ40、42を狭ピッチで配置することができる。プローブ組立体30においては、また、各第1のスリット60が左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びているから、プローブ40、42の前部領域40b、42bも、取付領域40a、42aに対し左右方向及び前後方向に対し弾性変形されて湾曲されて延びている。このため、前部領域40b、42bの少なくとも一部を同じ第1のスリット60に受け入れられたプローブ40、42の先端針先40d、d2dは、これら先端針先40d、d2dが前後方向に間隔をおいていることと相まって、左右方向に離間される。前部領域40b、42bが取付領域40a、42aに対し弾性変形により湾曲されていると、前部領域を同じ第1のスリット60に受け入れられたプローブ40、42のうち、1つのプローブは前部領域を第1のスリット60の間の壁に押圧され、他のプローブは前部領域を前記1つのプローブの前部領域に押圧される。その結果、第1のスリットバー46と前部領域との間に遊びが存在していても、第1のスリットバー46に対する各前部領域の先端針先の位置が一定に維持される。前後方向に対する第1のスリット60の角度θ図11を参照が小さすぎると、取付領域に対する前部領域の弾性変形量が少なく、第1のスリット60の間の壁への1つのプローブの前部領域の押圧力、及び該1つのプローブの前部領域への他のプローブの前部領域の押圧力が小さくなりすぎる。その結果、第1のスリットバー46に対する各先端針先の位置が不安定になる。逆に、角度θが大きすぎると、取付領域に対する前部領域の変形量が大きくなりすぎ、前部領域が折損するおそれがある。その結果、前後方向に対する第1のスリット60の角度θは、3度から60度、好ましくは5度から30度とすることができる。しかし、角度θは、左右方向及び前後方向のそれぞれにおける先端針先40d及び42dの目標位置、ひいては左右方向及び前後方向のそれぞれにおける被検査体の電極の位置により定まる。プローブ組立体30においては、左右方向に隣り合うプローブの電気的絶縁性は、各プローブが電気絶縁膜を有することにより維持される。しかし、電気絶縁膜を各プローブの厚さ方向における両面に設ける代わりに、電気絶縁シートを隣り合うプローブの間に配置してもよいし、隣り合うプローブが接触する範囲、例えば前部領域、後部領域及び突部にのみ電気絶縁膜を設けてもよい。上記実施例では、2つのプローブ40、42の前部領域40b、42bを各第1のスリット60に配置しているが、1つのプローブの前部領域を1つの第1のスリットに配置してもよいし、第1、第2、第1のプローブ、第1、第2、第1、第2のプローブのように、3以上のプローブの前部領域を各第1のスリットに配置してもよい。各第2のプローブ42の後部領域42cを突部40fの間に通す代わりに、各第2のプローブ42の後部領域42cの一部を対応する第2のスリット62に位置させてもよい。第2のスリット62も第1のスリット60と同様に左右方向及び前後方向に対して角度を有するように延在させてもよい。図14から図18を参照するに、プローブ組立体110は、図13Cに示す複数の第2のプローブ42と、図15に示す複数の第3のプローブ112とを用いている。各第3のプローブ112は、前部領域112bに逆U字状の湾曲部112iを設けた点を除いて、図13Bに示す第1のプローブ40と同じように形成されている。このため、各第3のプローブ112は、矩形をした板状の針主体部、すなわち取付領域112aと、取付領域112aの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる前部領域112bと、取付領域112aの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後部領域112cと、前部領域112bの先端から下方へ一体的に延びる先端針先112dと、後部領域112cの後端から上方へ一体的に延びる後端針先112eと、後部領域112cから下方へ突出すると共に前後方向へ延びる舌片状の突部112fと、貫通穴112g、112hと、電気絶縁膜図示せずとを備える。プローブ組立体110は、第2及び第3のプローブ42及び112の前部領域42d及び112dが第1のスリット60内を左右方向及び前後方向に対し角度を有して延びていること、及び前部領域112dが湾曲部112iより先端側において前部領域42dの上方を延びていることを除いて、第1及び第2のプローブ40及び42を用いるプローブ組立体30と同じ構造とされている。先端針先112d及び後端針先112eの位置は、それぞれ、先端端針先42d及び後端針先42eより前方に位置されている。このため、先端針先42d及び後端針先42eと、先端針先11d及び後端針先112eとは、前後方向に間隔をおいている。プローブ組立体110によっても、プローブ組立体30と同様に、従来に比べ、スリットのピッチを小さくすることなく、プローブ40、42を狭ピッチで配置することができ、また第2及び第3のプローブ42及び112の前後方向における長さ寸法、特に有効電気的長さを同じとすることができる。上記の実施例は、いずれも、第1のスリット60が左右方向及び前後方向に対して角度を有しているが、図19及び図20に示すプローブ組立体120のように、第1のスリット60を単に前後方向に延びる構造としてもよい。プローブ組立体120においては、第1のプローブ40の前部領域40bを取付領域40aに対して弾性変形させて、隣りの第2のプローブ42の前部領域42bと共に同じ第1のスリット60に配置している。また、上記の実施例は、いずれも、2つのプローブ40、42又は42、112の前部領域40b、42b又は42b、112bを同じ第1のスリット60図21及び図22に示すプローブ組立体130のように、3以上のプローブ132、134、136の前部領域132b、134b、136bを同じ第1のスリット60に配置してもよい。図21及び図22に示すローブ組立体130において、プローブ132、134及び136は、前部領域132b及び134b並びに後部領域132c及び134cにおいて弾性変形されて、前部領域132b、134b及び136bが同じ第1のスリット60に受け入れられ、かつ後部領域132c、134c及び136cが同じ第2のスリットに受け入れられた状態に配置されている。前部領域132b、134b及び136bは、それぞれ、上段、中断及び下段に位置されており、後部領域132c、134c及び136cは、それぞれ、上段、中断及び下段に位置されている。先端針先132d及び134dはそれぞれ先端針先134d及び136dより前方に位置されており、後端針先132e及び134eはそれぞれ後端針先134e及び136eより後方に位置されている。プローブ組立体120及び130によっても、プローブ組立体30、110と同様に、従来に比べ、スリットのピッチを小さくすることなく、プローブ40、42を狭ピッチで配置することができ、また第2及び第3のプローブ42及び112の前後方向における長さ寸法、特に有効電気的長さを同じとすることができる。