基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離装置であって、少なくともシート体の一つの辺を掬い上げるための引っ掛け爪部材と、この引っ掛け爪部材をシート体の外側から前記一つの辺に向かって前進させてシート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げさせるとともに、この一つの辺側から外側へ引っ掛け爪部材を後退させる爪部材駆動機構と、シート体を吸着する吸着ヘッドを有する吸着機構と、一つの辺側とこの辺と相対向する対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動、および吸着ヘッドの上下動を許容するスライド上下動機構とを備えたことを特徴とする剥離装置。引っ掛け爪部材を、シート体の一つの辺に沿って所定ピッチで複数個配設したことを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。引っ掛け爪部材を、相対向する一対の各辺側にそれぞれ配設したことを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。引っ掛け爪部材を、相対向する一対の各辺側にそれぞれ所定ピッチで複数個配設したことを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げた状態で、掬い上げ部位に流体を吹き付けるブロー機構を備えたことを特徴とする請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の剥離装置。基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離方法であって、引っ掛け爪部材をシート体の外側からこのシート体の一つの辺に向かって前進させてこの一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させつつ、この上昇に伴って吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動させながらシート体を基板から剥離していくことを特徴とする剥離方法。シート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げた状態で、この掬い上げ部の流体を吹き付けることを特徴とする請求項6に記載の剥離方法。しかしながら、特許文献1に記載のものでは、押圧ブロックにてシート体を上方から押圧するものであって、基板として弾性体を対象とし、基板が鉄板等の剛体のものを対称としていない。また、押圧ブロックの押圧によって、シート体の端部を浮かす必要があり、安定した動作を得にくいものとなっている。さらに、押圧ブロックを上下動させるとともに、この押圧ブロックを水平方向に沿って移動させる必要がある。このため、装置全体として大型化するとともに複雑化して高コスト化していた。また、図6に示す剥離装置では、シート体の端部の引っ掛けを引っ掛け爪の撓みによって行うものであり、この引っ掛け動作が不安定である。また端部を剥がした状態で、吸着ヘッドで吸着しているシート体を、上下動基板を上昇させて一気に剥がすようにするもとになり、この際、シート体が破れたり、ちぎれたりして、剥離作業が安定しない。そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、シート体が破れたり、ちぎれたりすることなく、安定して剥離することができる剥離装置および剥離方法を提供するものである。本発明の剥離装置は、基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離装置であって、少なくともシート体の一つの辺を掬い上げるための引っ掛け爪部材と、この引っ掛け爪部材をシート体の外側から前記一つの辺に向かって前進させてシート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げさせるとともに、この一つの辺側から外側へ引っ掛け爪部材を後退させる爪部材駆動機構と、シート体を吸着する吸着ヘッドと、一つの辺側とこの辺と相対向する対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動、および吸着ヘッドの上下動を許容するスライド上下動機構とを備えたものである。本発明の剥離装置によれば、引っ掛け爪部材をシート体の外側から一つの辺に向かって前進させれば、シート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げることができる。また、吸着ヘッドにてシート体を吸着できる。さらに、一つの辺側と対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動が可能であるので、引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺端部を掬い上げるとともに、吸着ヘッドにてシート体を吸着した状態で、吸着ヘッドを上昇させていけば、この上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことになる。これによって、シート体を剥離していくことができる。このため、シート体を吸着している吸着ヘッド、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、また、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。引っ掛け爪部材を、シート体の一つの辺に沿って所定ピッチで複数個配設したものであっても、相対向する一対の各辺側にそれぞれ配設したものであっても、相対向する一対の各辺側にそれぞれ所定ピッチで複数個配設したものであってもよい。このように、複数個の引っ掛け爪部材を備えたものでは、一の引っ掛け爪部材による掬い上げを失敗しても他の引っ掛け爪部材でシート体の端部を掬い上げることができる。このため、剥離作業の精度を上げることができる。引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げた状態で、掬い上げ部位に流体を吹き付けるブロー機構を備えたものとできる。本発明の剥離方法は、基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離方法であって、引っ掛け爪部材をシート体の外側からこのシート体の一つの辺に向かって前進させてこの一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させつつ、この上昇に伴って吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺側に向かって移動させながらシート体を基板から剥離していくものである。本発明の剥離方法によれば、引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させれば、吸着ヘッドの上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことになる。これによって、シート体を剥離することができる。このため、シート体を吸着している吸着ヘッド、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、また、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。本発明では、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。このため、剥離途中で、シート体が破れたり、ちぎれたりすることなく、安定して剥離することができる。しかも、基板が剛体であっても剥離することができる。さらに、シート体を吸着している吸着ヘッドを、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、しかも、シート体全体を一度に剥離するものではないので、吸着ヘッドはあまり大きな吸着力を必要としない。このため、装置として簡略化、コンパクト化、および低コスト化を図ることができる。複数個の引っ掛け爪部材を備えたものでは、剥離作業の精度を上げることができ、作業性の向上を図ることができる。掬い上げ部位に流体を吹き付けるものでは、引っ掛け爪部材による救い上げによるシート体の一つの辺端部の基板からの引き離しを安定して行うことができる。