"クリーンルーム用の自動倉庫であって、物品を収容する棚と、棚の間口へクリーンエアを送風する複数のファンフィルタユニットと、自動倉庫内で物品を搬送する倉庫内搬送装置と、前記ファンフィルタユニットと倉庫内搬送装置とを制御するコントローラとを備え、前記コントローラは前記棚を物品の入庫位置が属する清浄エリアと省エネエリアとに区分し、清浄エリアへのクリーンエアの送風量を省エネエリアに比べて大きくするように、前記複数のファンフィルタユニットを制御する機能を備えていることを特徴とする、クリーンルーム用の自動倉庫。物品の入庫位置の決定前に棚は清浄エリアと省エネエリアとに予め区分され、前記コントローラは物品の入庫位置を清浄エリアから決定する機能を備えていることを特徴とする、請求項1のクリーンルーム用の自動倉庫。前記棚は間口間を仕切る壁を備え、前記コントローラは前記壁を境に棚を清浄エリアと省エネエリアとに区分するように構成されていることを特徴とする、請求項2のクリーンルーム用の自動倉庫。前記倉庫内搬送装置はスタッカークレーンで、前記棚は上下方向に沿って複数の間口を備え、棚の上方の間口が清浄エリア、棚の下方の間口が省エネエリアとして区分されていることを特徴とする、請求項2のクリーンルーム用の自動倉庫。前記コントローラは、倉庫内搬送装置の移動開始位置から目的位置を含むエリアを清浄エリアとして区分することを特徴とする、請求項1のクリーンルーム用の自動倉庫。この発明の課題は、簡単な制御でファンフィルタユニットの消費電力を低減することにある。この発明は、クリーンルーム用の自動倉庫であって、物品を収容する棚と、棚の間口へクリーンエアを送風する複数のファンフィルタユニットと、自動倉庫内で物品を搬送する倉庫内搬送装置と、前記ファンフィルタユニットと倉庫内搬送装置とを制御するコントローラとを備え、前記コントローラは前記棚を物品の入庫位置が属する清浄エリアと省エネエリアとに区分し、清浄エリアへのクリーンエアの送風量を省エネエリアに比べて大きくするように、前記複数のファンフィルタユニットを制御する機能を備えていることを特徴とする。この発明では、物品の入庫位置が含まれるように清浄エリアを決定して、他の省エネエリアに比べ、ファンフィルタユニットからの送風量を増す。このようにしてエリア単位でファンフィルタユニットからの送風量を制御すると、必要なエリアに充分なクリーンエアを供給しながら、ファンフィルタユニットの消費電力を低減できる。またファンの回転数制御の応答性が低くても制御でき、さらにエリア単位なので制御が簡単である。好ましくは、物品の入庫位置の決定前に棚は清浄エリアと省エネエリアとに予め区分され、コントローラは物品の入庫位置を清浄エリアから決定する機能を備えている。このように棚を清浄エリアと省エネエリアとに予め区分しておき、清浄エリアから入庫位置を決定すると、クリーンエアの送風量を全体として少なくできる。好ましくは、前記棚は間口間を仕切る壁を備え、前記コントローラは前記壁を境に棚を清浄エリアと省エネエリアとに区分するように構成されている。清浄エリアと省エネエリア間の気流は壁により制限され、コントローラは壁により清浄エリアと省エネエリアとを区分するので、清浄エリアのクリーン度を高く保つことができる。壁は好ましくは複数設けて、清浄エリアと省エネエリアとの区分を3段階以上に変更できるようにすることが好ましい。例えば棚の2個所に壁を設けて棚を例えば3エリアに区分すると、常時清浄エリアとして区分するエリアと、物品の保管量が増す際に清浄エリアに区分を変更する第1の省エネエリアと、物品の保管量がさらに増す際に清浄エリアに区分を変更する第2の省エネエリアとを設けることができる。また好ましくは、倉庫内搬送装置はスタッカークレーンで、棚は上下方向に沿って複数の間口を備え、棚の上方の間口が清浄エリア、棚の下方の間口が省エネエリアとして区分されている。棚の下方の間口はスタッカークレーンが巻き上げる気流の影響を受けやすく、棚の上方の間口は巻き上げられた気流の影響を受けにくい。そこで棚の上方の間口を清浄エリアとすると、清浄エリアのクリーン度を容易に高く保つことができる。好ましくはコントローラは、倉庫内搬送装置の移動開始位置出発位置から目的位置を含むエリアを清浄エリアとして区分する。このようにするとファンフィルタユニットからの送風量を倉庫内搬送装置の位置に追随して変更することができなくても、必要なエリアへのクリーンエアの送風量を増すことができる。以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。図1~図8に、実施例とその変形とを示す。図1~図3は最初の実施例を示し、図において2はクリーンルーム用の自動倉庫で、例えば左右一対の棚4,4を備え、棚は自動倉庫2の長手方向と上下方向とに沿ってそれぞれ複数の間口6に仕切られている。例えば棚4,4の背面に通気スペース8が設けられて、ファンフィルタユニットFFU9が例えば間口6毎に設けられている。図2では、1間口毎に1個のFFU9が設けられているように示すが、間口6当たりに複数個のFFU9を設けても良く、あるいは複数の間口6に対し1個のFFU9を設けても良い。間口6の背面からカセット18等の物品の出し入れを行う場合、FFU9は例えば間口の側面、上面等に設ける。各間口6に棚受20が設けられ、カセット18の底面を支持する。なお棚受20はカセット18の底面の一部のみを覆い、棚4の上下の間口6,6間を気流が通過できる。なお棚4を1個のみ設けても良い。棚4,4の間のスペースが走行スペース10で、スタッカークレーン12が走行し、14はその走行用のレールである。スタッカークレーン12は昇降台16を備えて、フラットパネルディスプレイの基板を収容したカセット18などの物品を搬送する。なお搬送する物品の種類は任意で、たとえは半導体ウェハー、レチクル等を収容したカセット、医薬品等を搬送しても良い。また昇降台16には、スライドフォークあるいはスカラアーム等の図示しない移載装置が設けられている。スタッカークレーン12は倉庫内搬送装置の例で、これに限るものではない。棚4,4を間口6の単位で高さ方向に区切ったものを段と呼ぶと、棚4,4の段毎にレールを設けて、段毎に搬送用の台車を走行させても良い。図1~図3の実施例では、棚4,4は例えば上下2段から成り、上側の段が清浄エリア22で、下側の段が省エネエリア24と区分されている。なお棚4,4が3段以上の場合、例えば上側の2段もしくは1段等を清浄エリアとし、下側の1段もしくは2段等を省エネエリアとする。清浄エリア22と省エネエリア24との区分は固定的なものである必要はなく、自動倉庫2でのカセット18の保管個数が増すと、省エネエリア24のうちの一部もしくは全体を清浄エリア22としてもよい。またカセット18の保管個数が減ると、清浄エリア22のうちの一部を省エネエリア24としてもよい。省エネエリア24の棚受20は塵埃で汚染されていることがあるが、清浄エリア22に変更し、所定時間以上FFU9からクリーンエアを多量に供給すると、塵埃は除去される。実施例では、基板を収容したカセット実カセットも空カセットも共に清浄エリア22を入庫位置とするように制御するが、実カセットのみを清浄エリア22に入庫し、空カセットは省エネエリア24に入庫するようにしても良い。この場合、省エネエリア24に置かれた空カセットは塵埃で汚染されることがあるが、物品を収容する前に清浄エリア22に移して所定時間以上保管し、クリーンエアにより塵埃を除くことが好ましい。26はコントローラで自動倉庫2を制御し、特にクレーン制御部27によりスタッカークレーン12を制御すると共に、ファンフィルタユニット制御部28によりFFU9を制御する。そして清浄エリア22と省エネエリア24との区分では、棚4の上段の間口は清浄エリア22として指定され、下段にカセット18を収容する必要がない場合は、下段全体を省エネエリア24とし、下段にカセット18を収容する必要性が生じると、省エネエリア24の一部あるいは全部を清浄エリア22に変更する。コントローラ26は、棚4のどの間口6にどのカセット18が保管されているかの在庫ファイルを備えている。コントローラ26は、自動倉庫2の外部からカセット18を入庫する場合、あるいは自動倉庫2の内部でカセット18の位置を変える場合、カセットの入庫位置を清浄エリア22から決定する。そしてファンフィルタユニット制御部28は、清浄エリア22へのクリーンエアの送風量を省エネエリア24での送風量よりも多くする。極端な場合、省エネエリア24でのクリーンエアの送風量は0としても良い。以上のようにすると、清浄エリア22をクリーンに保てばよいので、クリーンエアの送風量と消費電力とを低減しながら、カセット18をクリーンな環境に保管できる。またFFU9からの送風量はエリア22,24単位で制御するので、制御が簡単である。特にスタッカークレーン12の位置と走行速度などに追随して、FFU9からの送風量を変更する必要がない。従ってFFU9の送風量の制御への応答性が低くても良い。図4,図5は第2の実施例のクリーンルーム用の自動倉庫32を示し、特に指摘した点以外は図1~図3の実施例と同様で、同じ符号は同じものを表す。34は通気性のない壁で、鉛直方向に沿って設けられており、走行スペース10を除いて、図4,図5での自動倉庫32内の左右方向の気流を遮断する。そして壁34により、棚4,4は清浄エリア36と省エネエリア38とに区分される。例えば図4,図5の場合、棚4,4が2個あり、棚4当たりで2枚の壁34,34を設けると、全体として棚4,4は6個のエリアに区分され、例えばそのうち2個のエリアが清浄エリア36とされ、他のエリアが省エネエリア38とされている。なお図4,図5では、清浄エリア36,36を向かい合うように設けたが、必ずしもその必要はない。そして自動倉庫32に収容するカセット18の数に応じて、省エネエリア38と清浄エリア36との区分を壁34で仕切られたエリア単位で変更する。このようにするとカセット18の収容数に応じて、清浄エリア36と省エネエリア38とに区分でき、清浄エリア36のみを集中的に清浄にすればよい。各実施例では、清浄エリア22,36と省エネエリア24,38との区分によりFFU9からの送風量を決定し、スタッカークレーン12の位置及び速度等を送風量の制御には反映させなかった。これは、FFU9の送風量は急速には切り換えられないことと、制御を単純化することのためである。スタッカークレーン12の速度に応じて、FFU9からの送風量を変えるようにした変形例を図6に示す。クレーン制御部27によりスタッカークレーン12の走行を開始させる前に、コントローラ26は清浄エリアと省エネエリアの双方に対し、送風量Qを増加させる。そして送風量Qが増加した後にスタッカークレーン12の走行を開始させ、スタッカークレーン12が停止させた後も、走行により巻き上げられた空気が図示しない排気口から排気されるまで遅延時間を置いて、FFU9からの送風量Qを低下させる。この制御ではスタッカークレーン12の位置と速度自体は送風量制御に反映していないので、スタッカークレーンの位置等に追随しながら送風量Qを変える必要はない。従って簡単な制御でクリーン度を高く保つことができる。しかしながらスタッカークレーン12の走行を開始する前に、FFU9の送風量Qが増加するのを待つ必要があるため、遅れが発生する。図7,図8は第3の実施例のクリーンルーム用の自動倉庫42を示し、特に指摘した点以外は図1~図3の実施例と同様で、同じ符号は同じものを表す。図1~図3の実施例では、棚4,4,を上層と下層とに分け、上層を清浄エリア22,下層を省エネエリア24とした。これに対して図7,図8の実施例では、スタッカークレーン12の移動開始位置From位置から目的位置を含むエリアを清浄エリア44とし、それ以外のエリアを省エネエリア46とする。移動開始位置と目的位置はスタッカークレーン12の1回の移動毎に定め、スタッカークレーン12が走行せずに昇降台16が昇降のみを行う場合、移動開始位置と目的位置とは同じ位置とする。そして移動開始位置と目的位置とに対し、図7の左右方向、即ちスタッカークレーン12の走行方向に沿って、所定のマージン、ここでは1間口分のマージンを加えたものを、清浄エリア44とする。走行方向前方のマージンと後方のマージンは同じである必要はない。図8の実線で清浄エリア44でのFFU9の送風量Qを示し、破線で省エネエリアでの送風量を示し、この送風量は一定である。清浄エリア44と省エネエリア46は、最初はいずれも送風量が少なく、スタッカークレーン12が起動する前に清浄エリアでの送風量を増加させ、この間に例えば10~20秒程度が必要である。清浄エリアでFFU9の送風量が所定値まで増加すると、スタッカークレーンを起動し、スタッカークレーンが目的位置Toで停止した後、走行風が収まるまでの遅延時間を待って、清浄エリア44での送風量を低下させる。自動倉庫42での汚染の原因の1つはスタッカークレーン12の走行であり、図7,図8の実施例ではその影響が及ぶ範囲を局所的に清浄エリア44として集中的にクリーンエアを供給する。FFU9は送風量の変更に時間がかかるので、スタッカークレーン12の起動前に送風量を所定値まで増加させ、スタッカークレーン12が停止した後も巻き上げられた空気が残るので、これが排除されるまで送風量を高い値に保つ。実施例では棚4を上下に区分する例、棚4を壁34で左右に区分する例、スタッカークレーン12の走行範囲を基準として棚4を区分する例の3通りを示したが、これらの区分を組み合わせても良い。例えば図4,図5の実施例において、壁34で仕切られた所定の範囲の上層の間口を清浄エリアとしても良い。また図1~図3の実施例において、上層の間口のうちで、スタッカークレーン12の移動開始位置Fromと目的位置Toとを含む所定の範囲を清浄エリアとしてもよい。実施例では以下の効果が得られる。清浄エリア22,36,44に対し集中的にクリーンエアを供給するので、FFU9の消費電力を低減できる。図1~図5の各実施例のように、清浄エリア22,36をスタッカークレーン12の移動範囲と無関係に設定すると、FFU9の送風量変更に時間がかかっても良い。このためスタッカークレーン12の位置あるいは速度などに応じて絶えず送風量を変更する場合に比べ、簡単な制御で確実な効果が得られる。スタッカークレーン12の移動範囲に基づいて清浄エリア44を定めると、簡単な制御で良く、かつFFU9の送風量変更に時間がかかっても良い。の場合で、スタッカークレーン12の起動前に送風量を増すと、送風量変更に時間がかかるFFU9でも汚染が生じにくい。またスタッカークレーンの停止後も遅延時間の間送風量を高い値に保つと、スタッカークレーン12の走行で巻き上げられた空気の影響を避けることができる。"