光を生成して出射する光源と、前記光源から出射される光を基板にスキャンするスキャンミラーと、前記基板で蛍光された蛍光イメージを検出する蛍光イメージ検出部と、前記基板で散乱された散乱光イメージを検出する散乱光イメージ検出部と、を含むパターン欠陥検出装置。前記光源は、500~600nmの波長の光を生成して出射することを特徴とする請求項1に記載のパターン欠陥検出装置。前記光源は、594nmの波長の光を生成して出射することを特徴とする請求項1に記載のパターン欠陥検出装置。前記基板から反射された反射光イメージを検出する反射光イメージ検出部をさらに含む請求項1に記載のパターン欠陥検出装置。前記蛍光イメージ検出部で検出した蛍光イメージをデジタル蛍光イメージに変換して保存し、前記散乱光イメージ検出部で検出した散乱光イメージをデジタル散乱光イメージに変換して保存し、使用者の要求に応じて保存された蛍光イメージと散乱光イメージを表示する検出イメージ処理部をさらに含む請求項1に記載のパターン欠陥検出装置。前記検出イメージ処理部は、前記デジタル蛍光イメージと散乱光イメージを二値化して保存することを特徴とする請求項5に記載のパターン欠陥検出装置。前記検出イメージ処理部は、前記蛍光イメージ検出部で検出した蛍光イメージをデジタル蛍光イメージに変換する第1アナログデジタル変換器と、前記第1アナログデジタル変換器で変換された蛍光イメージを保存する第1メモリーと、前記散乱光イメージ検出部で検出した散乱光イメージをデジタル散乱光イメージに変換する第2アナログデジタル変換器と、前記第2アナログデジタル変換器で変換された散乱光イメージを保存する第2メモリーと、前記蛍光イメージと前記散乱光イメージとを表示する標示器と、使用者の要求に応じて前記第1メモリーに保存された蛍光イメージと前記第2メモリーに保存された散乱光イメージとを前記標示器に出力する制御器と、を含む請求項5に記載のパターン欠陥検出装置。前記光源から出射される光を前記スキャンミラーに向かうように通過させ、前記基板で生成された蛍光が前記スキャンミラーを介して入射されると、前記蛍光イメージ検出部に反射させるダイクロイックミラーをさらに含む請求項1に記載のパターン欠陥検出装置。前記蛍光イメージ検出部の前に位置し、前記基板で形成された蛍光を通過させる蛍光フィルターをさらに含む請求項1に記載のパターン欠陥検出装置。本発明は、上述のような問題点を解決するために導き出されたものであり、ドライフィルムが積層された基板の蛍光イメージと散乱光イメージ、そして反射光イメージをさらに検出して、露光工程で発生する様々な欠陥を容易に検出できるようにしたパターン欠陥検出装置を提供することを目的とする。上述のような本発明によると、光を生成して出射する光源と、前記光源から出射される光を基板にスキャンするスキャンミラーと、前記基板で蛍光された蛍光イメージを検出する蛍光イメージ検出部と、前記基板で散乱された散乱光イメージを検出する散乱光イメージ検出部と、を含む。また、本発明の前記光源は、500~600nmの波長の光を生成して出射することを特徴とする。また、本発明の前記光源は、594nmの波長の光を生成して出射することを特徴とする。また、本発明は、前記基板から反射された反射光イメージを検出する反射光イメージ検出部をさらに含む。また、本発明は、前記蛍光イメージ検出部で検出した蛍光イメージをデジタル蛍光イメージに変換して保存し、前記散乱光イメージ検出部で検出した散乱光イメージをデジタル散乱光イメージに変換して保存し、使用者の要求に応じて保存された蛍光イメージと散乱光イメージを表示する検出イメージ処理部をさらに含む。また、本発明の前記検出イメージ処理部は、前記デジタル蛍光イメージと散乱光イメージを二値化して保存することを特徴とする。また、本発明の前記検出イメージ処理部は、前記蛍光イメージ検出部で検出した蛍光イメージをデジタル蛍光イメージに変換する第1アナログデジタル変換器と、前記第1アナログデジタル変換器で変換された蛍光イメージを保存する第1メモリーと、前記散乱光イメージ検出部で検出した散乱光イメージをデジタル散乱光イメージに変換する第2アナログデジタル変換器と、前記第2アナログデジタル変換器で変換された散乱光イメージを保存する第2メモリーと、前記蛍光イメージと前記散乱光イメージとを表示する標示器と、使用者の要求に応じて前記第1メモリーに保存された蛍光イメージと前記第2メモリーに保存された散乱光イメージとを前記標示器に出力する制御器と、を含む。また、本発明の前記光源から出射される光を前記スキャンミラーに向かうように通過させ、前記基板で生成された蛍光が前記スキャンミラーを介して入射されると、前記蛍光イメージ検出部に反射させるダイクロイックミラーをさらに含む。また、本発明は、前記蛍光イメージ検出部の前に位置し、前記基板で形成された蛍光を通過させる蛍光フィルターをさらに含む。本発明の特徴及び利点は、添付図面に基づいた以下の詳細な説明によってさらに明らかになるであろう。本発明の詳細な説明に先立ち、本明細書及び特許請求の範囲に用いられた用語や単語は、通常的かつ辞書的な意味に解釈されてはならず、発明者が自らの発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に従って本発明の技術的思想にかなう意味と概念に解釈されるべきである。上述のような本発明によると、反射度の変化が大きくない露光回路パターンフィルムに対して良質のイメージ測定が可能になる。また、本発明によると、反射度の変化が大きくない露光回路パターンフィルムイメージを高速で測定することが可能になる。また、本発明によると、露光回路パターンでドライフィルムの下層にある銅メッキ層の欠陥状態を測定することが可能になる。また、本発明によると、三つの光検出器を同時に用いて、蛍光イメージ、散乱光イメージ及び反射光イメージを同時に測定することが可能になる。また、本発明によると、反射度の差が大きくなく、散乱光が大きくて反射イメージの測定が難しい物質に対するイメージ測定が可能になる。本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、本発明を説明するにあたり、係わる公知技術についての具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にする可能性があると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。以下、添付の図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施例によるパターン欠陥検出装置の構成図である。図1を参照すると、本発明の第1実施例によるパターン欠陥検出装置は、光源11と、自動焦点調節部12と、ダイクロイックミラー13と、スキャンミラー14と、第1集光レンズ15と、蛍光フィルター16と、蛍光イメージ検出部17と、第2集光レンズ18と、散乱光イメージ検出部19と、検出イメージ処理部30と、を備えている。前記光源11は、レーザー光源であり、例えば、He-Neなどの半導体レーザー光が用いられ、波長が500~700nmであるものが好ましく、もっとも好ましくは、594nmであるものが良い。一般的に露光工程で用いられる光源は、略350nm~400nm波長帯のUV光源であり、UV光源に露出されたドライフィルムは、図2に図示されたように600nm領域で吸光度が大きく増加する。これは、UV光源によって色変化が起こるようにフィルムに化学物質がドーピングされているためである。従って、本発明では、光源11に露光前後の吸光度変化が大きい領域帯である600nm近傍のレーザーを用いる。次に、前記自動焦点調節部12は、少なくとも二つ以上のレンズからなっており、光源11に向かって備えられたレンズが移動したり光源11から備えられたレンズが遠くなるように移動し、スキャンミラー14によって基板20にスキャンされるスキャン光の焦点を調節して、良質の映像が蛍光イメージ検出部17や散乱光イメージ検出部19に検出されるようにする。このような自動焦点調節部12は、自動焦点調節制御装置不図示によって駆動されて焦点調節がなされる。そして、前記ダイクロイックミラー13は、前記光源11から出射されて入射される入射光を基板20側に通過させ、前記基板20から入射される蛍光を含んだ反射光を蛍光イメージ検出部17に反射させる。このように、前記ダイクロイックミラー13は、前記光源11から入射される入射光と前記基板20から入射される蛍光を含んだ反射光に対して相違するように機能し、蛍光を含んだ反射光が前記光源11でなく蛍光イメージ検出部17に向かうように変化させる。一方、スキャンミラー14は、前記光源11から出射されて入射される入射光を前記基板20にスキャンする。この際、前記スキャンミラー14は、前記光源11から出射されて入射される入射光をジグザグのラスタ方式でスキャンする。このようなスキャンミラー14は、ガルバノミラー、ポリゴンミラー、共振ミラー、AODacousticopticdeflector、EODelectricopticdeflectorなどを用いることができる。そして、前記第1集光レンズ15は、スキャンミラー14と基板20との間に位置し、前記光源11から出射される光を対象基板20に集光する。このような第1集光レンズ15は通常的に両面が凸状である凸レンズが用いられる。次に、蛍光フィルター16は、前記基板20から入射される蛍光を含んだ反射光から反射光を遮断し、蛍光を通過させるためのものであり、蛍光イメージ検出部17の前側に位置する。従って、前記蛍光フィルター16を除去すると、前記ダイクロイックミラー13を介して前記蛍光イメージ検出部17に反射光イメージが結像され、前記蛍光イメージ検出部17は反射光イメージを検出することができる。一方、第2集光レンズ18は、前記光源11から出射されて前記基板20で散乱された散乱光が散乱光イメージ検出部19に集光されるようにする。前記散乱光イメージ検出部19は、前記第2集光レンズ18を介して入射される散乱光から散乱光イメージを検出して出力する。このような散乱光イメージ検出部19は、前記基板20に対して斜めに位置しており、これにより、前記基板20のドライフィルムのパターンによって形成される段差によって発生する散乱光を容易に認識することができる。上述のようなパターン欠陥検出装置に利用される基板20は、プリント基板やセラミックス基板などである。このようなプリント基板やセラミックス基板は、絶縁層に銅メッキによって銅メッキ層を一定の高さまで形成し、ドライフィルムを積層した後、露光と現像工程を通じてドライフィルムの一部を除去して、オープンされた部分の銅メッキ層をエッチングした状態の基板である。従って、前記蛍光イメージ検出部17は、図3Aに図示されたように、前記基板20のドライフィルムで前記入射光によって生成された蛍光の蛍光イメージを検出して出力し、前記散乱光イメージ検出部19は、図3Bに図示されたように、前記基板20のドライフィルムに形成されたパターンの段差によって入射光が散乱された散乱光から散乱光イメージを検出して出力する。このように検出された前記図3Aの蛍光イメージでは、ドライフィルムの欠陥を検出することができ、前記図3Bの散乱光イメージでは、ドライフィルムの内側の異物を検出することができる。一方、検出イメージ処理部30は、前記蛍光イメージ検出部17と散乱光イメージ検出部19で検出したアナログ蛍光イメージとアナログ散乱光イメージをデジタル蛍光イメージとデジタル散乱光イメージに変換し、二値化した後、保存する。そして、前記検出イメージ処理部30は、必要に応じて、使用者が保存された蛍光イメージや散乱光イメージを見ることを希望する場合は、保存された蛍光イメージや散乱光イメージを表示する。上述の蛍光検出を用いるパターンの検出は、ドライフィルム上にエッチング残留物などの異物がある時に優れる効果を示す。しかし、回路パターンの上層の欠陥を検出する時には、反射光による検出を併用することによって、より高い性能のパターン検出が可能である。図4は、本発明の好ましい第2実施例によるパターン欠陥検出装置の構成図である。図4を参照すると、本発明の好ましい第2実施例によるパターン欠陥検出装置は、光源11と、自動焦点調節部12と、ダイクロイックミラー13と、スキャンミラー14と、第1集光レンズ15と、蛍光フィルター16と、蛍光イメージ検出部17と、第2集光レンズ18と、散乱光イメージ検出部19と、半透過性反射膜21と、反射光イメージ検出部22と、検出イメージ処理部30と、を備えている。ここで、光源11乃至散乱光イメージ検出部19は、第1実施例と同様であるため、その詳細な説明は省略し、半透過性反射膜21、反射光イメージ検出部22及び検出イメージ処理部30に対して詳細に説明する。前記半透過性反射膜21は、前記光源から前記基板20に入射されて反射される蛍光を含んだ反射光の一部は通過させ、一部は反射させる。一方、前記反射光イメージ検出部22は、前記半透過性反射膜21から反射された反射光から、反射光イメージを検出して出力する。勿論、前記蛍光フィルター16を除去して蛍光イメージ検出部17が反射光イメージを検出するようにすることもできるが、半透過性反射膜21と反射光イメージ検出部22とを備えると、蛍光イメージとともに反射光イメージもさらに検出することができるため、便利である。このように本発明の好ましい第2実施例によるパターン欠陥検出装置が、反射光イメージ検出部22をさらに備えると、前記検出イメージ処理部30は、前記反射光イメージ検出部22で検出したアナログ反射光イメージをデジタル反射光イメージに変換し、二値化した後、保存する。そして、前記検出イメージ処理部30は、使用者の要求がある場合、保存された反射光イメージを表示する。図5は、図1及び図3の検出イメージ処理部の詳細ブロック構成図である。図5を参照すると、図1及び図3の検出イメージ処理部は、第1乃至第3アナログデジタル変換器31~33と、第1乃至第3二値化器34~36と、第1乃至第3メモリー37~39と、制御器40と、標示器41と、を含んでいる。前記第1アナログデジタル変換器31は、前記蛍光イメージ検出部17で検出されたアナログ蛍光イメージをデジタル蛍光イメージに変換して出力する。そして、前記第2アナログデジタル変換器32は、前記散乱光イメージ検出部19で検出されたアナログ散乱光イメージをデジタル散乱光イメージに変換して出力する。また、前記第3アナログデジタル変換器33は、前記反射光イメージ検出部22で検出されたアナログ反射光イメージを、デジタル反射光イメージに変換して出力する。次に、前記第1二値化器34は、前記第1アナログデジタル変換器31で変換された蛍光イメージを二値化して出力する。そして、前記第2二値化器35は、前記第2アナログデジタル変換器32で変換された散乱光イメージを二値化して出力する。次に、前記第3二値化器36は、前記第3アナログデジタル変換器33で変化された反射光イメージを二値化して出力する。上述したように、蛍光イメージ、散乱光イメージまたは反射光イメージに対して二値化を行うと、黒白を明確に確認することができ、データの量を最小化することができ、データ処理が容易になる。一方、前記第1メモリー37は、前記第1二値化器34で二値化された蛍光イメージを保存する。そして、前記第2メモリー38は、前記第2二値化器35で二値化された散乱光イメージを保存する。次に、前記第3メモリー39は、前記第3二値化器36で二値化された反射光イメージを保存する。勿論、前記第1乃至第3メモリー37~39を上述のように別個のメモリーにせず、一つのメモリーに形成してもよい。前記制御器40は、前記検出イメージ処理部の内部構成要素を制御し、使用者の要求に応じて、前記第1乃至第3メモリー37~39に保存されているイメージを読み出して標示器41に出力する。そして、前記標示器41は、前記制御器40から出力される二値化されて保存された蛍光イメージ、散乱光イメージまたは反射光イメージを表示する。このように、検出イメージ処理部30で、二値化器34~36を利用してデータを二値化するようにしたが、前記二値化器34~36を備えず、カラー映像でデータが処理されるようにしてもよい。以上、本発明の好ましい実施例に対して図示及び説明したが、本発明は、上述の特定実施例に限定されず、特許請求の範囲にて請求する本発明の旨を外れずに、当該発明が属する技術分野において通常の知識を有する者により多様な変形実施が可能であることは明らかであり、このような変形実施は、本発明の技術的思想から個別的に理解されてはならないであろう。