"本体側流路が形成されたバルブ本体と、プレート側流路が形成されたバルブプレートとを有しており、前記バルブ本体の本体側摺動面を前記バルブプレートのプレート側摺動面に密着させると共に、前記バルブプレートを回転させることにより、前記本体側流路と前記プレート側流路の接続状態を切換えるロータリバルブであって、前記バルブプレートを、前記プレート側摺動面を有する樹脂製のバルブ摺動体と、該バルブ摺動体を収納する収納室が形成された非磁性材よりなるバルブプレート本体とを有する構成としたことを特徴とするロータリバルブ。前記バルブプレートは、前記バルブ摺動体の前記バルブプレート本体に対する回転を規制する回転規制部材を有することを特徴とする請求項1記載のロータリバルブ。前記バルブ摺動体は、前記バルブプレート本体に対して着脱可能な構成であることを特徴とする請求項1記載のロータリバルブ。前記バルブ本体は、磁性材料により形成されてなることを特徴とする請求項1記載のロータリバルブ。吸気口から吸入された冷媒ガスを圧縮して排出口に排出するする圧縮機と、前記冷媒ガスが供給されるシリンダと、該シリンダ内で往復移動して前記シリンダ内で圧縮された前記冷媒ガスを膨張させるディスプレーサと、前記ディスプレーサを前記シリンダ内で往復移動させる駆動装置と、請求項1記載のロータリバルブとを有しており、前記バルブ本体の前記本体側流路を、前記排出口に接続される第1の本体側流路と、前記シリンダに接続される第2の本体側流路とにより構成し、前記ロータリバルブの前記バルブプレートに形成されたプレート側流路を前記吸気口に接続するよう構成し、前記バルブプレートが回転することにより、前記第2の本体側流路が前記第1の本体側流路又は前記プレート側流路に選択的に接続するよう構成したことを特徴とするロータリバルブを用いた極低温冷凍機。しかしながら従来のロータリバルブ100では、上記のようにバルブプレート102に表面処理層108を形成すると共に、この表面処理層108を表面研磨する処理が必要となり作製が面倒で、これによりバルブプレート102が非常に高価になってしまうという問題点があった。また定期メンテ時においては、バルブ本体101及びバルブプレート102の両方を交換する必要があり、メンテナンスに要する交換部品コストも高価となるという問題点があった。本発明は、上述した従来技術の問題を解決する、改良された有用なロータリバルブ及びこれを用いた極低温冷凍機を提供することを総括的な目的とする。本発明のより詳細な目的は、低コスト化を図りうるロータリバルブ及びこれを用いた極低温冷凍機を提供することにある。この目的を達成するために、本発明は、本体側流路が形成されたバルブ本体と、プレート側流路が形成されたバルブプレートとを有しており、前記バルブ本体の本体側摺動面を前記バルブプレートのプレート側摺動面に密着させると共に、前記バルブプレートを回転させることにより、前記本体側流路と前記プレート側流路の接続状態を切換えるロータリバルブであって、前記バルブプレートを、前記プレート側摺動面を有する樹脂製のバルブ摺動体と、該バルブ摺動体を収納する収納室が形成された非磁性材よりなるバルブプレート本体とを有する構成としたことを特徴とするものである。また上記発明において、前記バルブプレートが、前記バルブ摺動体の前記バルブプレート本体に対する回転を規制する回転規制部材を有する構成としてもよい。また上記発明において、前記バルブ摺動体を前記バルブプレート本体に対して着脱可能な構成としてもよい。また上記発明において、前記バルブ本体を鋼により構成してもよい。また、上記の目的を達成するために、本発明は、吸気口から吸入された冷媒ガスを圧縮して排出口に排出するする圧縮機と、前記冷媒ガスが供給されるシリンダと、該シリンダ内で往復移動して前記シリンダ内で圧縮された前記冷媒ガスを膨張させるディスプレーサと、前記ディスプレーサを前記シリンダ内で往復移動させる駆動装置と、上記のロータリバルブとを有しており、前記バルブ本体の前記本体側流路を、前記排出口に接続される第1の本体側流路と、前記シリンダに接続される第2の本体側流路とにより構成し、前記ロータリバルブの前記バルブプレートに形成されたプレート側流路を前記吸気口に接続するよう構成し、前記バルブプレートが回転することにより、前記第2の本体側流路が前記第1の本体側流路又は前記プレート側流路に選択的に接続するよう構成したことを特徴とするものである。本発明によれば、バルブプレートをプレート側摺動面を有する樹脂製のバルブ摺動体と、このバルブ摺動体を収納する収納室が形成されたバルブプレート本体とを有する構成としたため、プレート側摺動面に従来のような表面研磨処理が不要となり、ロータリバルブ及び極低温冷凍機のコスト低減を図ることが可能となる。以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。図1は本発明の一実施形態である極低温冷凍機を示す断面図であり、図2乃至図4は本発明の一実施形態であるロータリバルブを説明するための図である。尚、本実施形態では、極低温冷凍機としてギフォードマクマホン型冷凍機以下、GM冷凍機というを例に挙げて説明するものとする。また本実施形態に係るGM冷凍機及びロータリバルブは、MRI等のように磁場中で磁場を乱すことを嫌う環境下で使用されるものであるとする。本実施形態によるGM型冷凍機は、ガス圧縮機1とコールドヘッド2とを有する。コールドヘッド2は、ハウジング23とシリンダ部10とを有する。ガス圧縮機1は、吸気口1aから冷媒ガスを吸い込み、圧縮して、吐出口1bから高圧の冷媒ガスとして吐出する。また、冷媒ガスとしては、ヘリウムガスを用いている。シリンダ部10は、第1段目シリンダ10Aと第2段目シリンダ10Bとの2段構成であり、第2段目シリンダ10Bは、第1段目シリンダ10Aよりも細く設定されている。また、第1段目シリンダ10Aの内部には第1段目ディスプレーサ3Aが、第2段目シリンダ10Bの内部には第2段目ディスプレーサ3Bが、各シリンダ10A,10Bの軸方向に往復運動可能に挿入されている。第1段目ディスプレーサ3Aと第2段目ディスプレーサ3Bは、図示を省略したジョイント機構により相互に連結されている。また、第1段目ディスプレーサ3Aの内部には蓄冷材4Aが設けられ、第2段目ディスプレーサ3Bには蓄冷材4Bが充填されている。更に、各第1段目ディスプレーサ3A,3Bには、冷媒ガスが通過するガス流路L1~L4が形成されている。第1段目シリンダ10A内の、第2段目シリンダ10B側の端部には第1段目膨張室11が形成され、他方の端部には上部室13が形成されている。また、第2段目シリンダ10Bの第1段目シリンダ10A側とは反対側の端部には、第2段目膨張室12が形成されている。上部室13と第1段目膨張室11とは、ガス流路L1、蓄冷材4が充填された第1段蓄冷材充填室、及びガス流路L2を介して接続されている。また、第1段目膨張室11と第2段目膨張室12とは、ガス流路L3、蓄冷材4Bが充填された第2段蓄冷材充填室、及びガス流路L4を介して接続されている。第1段目シリンダ10Aの外周面の内、第1段目膨張室11にほぼ対応する位置には冷却ステージ6が配設されている。また、第2段目シリンダ10Bの外周面の内、第2段目膨張室12にほぼ対応する位置には冷却ステージ7が配設されている。第1段目ディスプレーサ3Aの外周面のうち、上部室13側の端部近傍にシール材50が配置されている。このシール材50は、第1段目ディスプレーサ3Aの外周面とシリンダ10Aの内周面との間をシールする。第1段目ディスプレーサ3Aは、図示を省略した連結機構を介してスコッチヨーク22の出力軸22aに連結されている。スコッチヨーク22は、ハウジング23に固定された一対の摺動軸受17a,17bにより、第1段目ディスプレーサ3A,3Bの軸方向に移動可能に支持されている。摺動軸受17bにおいては、摺動部の気密性が保たれており、ハウジング23内の空間と上部室13とが気密に画成されている。また、スコッチヨーク22にはモータ15が接続されている。モータ15の回転運動は、クランク14及びスコッチヨーク22により往復運動に変換される。この往復運動は出力軸22a及び連結機構を介して第1段目ディスプレーサ3Aに伝達され、これにより第1段目ディスプレーサ3Aは第1段目シリンダ10A内で、また第2段目ディスプレーサ3Bは第2段目シリンダ10B内で往復移動を行う。このモータ15及びスコッチヨーク22出力軸22aを含むは、請求項に記載の駆動装置を構成する。各第1段目ディスプレーサ3A,3Bが図中上方に移動する時、上部室13の容積は減少し、逆に第1段目及び第2段目の膨張室11,12の容積は増加する。また反対に、各第1段目ディスプレーサ3A,3Bが図中下方に移動する時、上部室13の容積は増大し、第1段目及び第2段目の膨張室11,12の容積は減少する。この上部室13、膨張室11,12の容積の変動に伴い、冷媒ガスがガス流路L1~L4を通って移動する。また、冷媒ガスが各ディスプレーサ3A,3Bに充填された蓄冷材4A,4B内を通過する際、冷媒ガスと蓄冷材4A,4Bとの間で熱交換が行われる。これにより、蓄冷材4A,4Bは冷媒ガスにより冷却される。次に、ロータリバルブRVについて、図1に加えて図2乃至図4を用いて説明する。図2はロータリバルブRVの分解斜視図であり、図3はロータリバルブRVの分解した状態の断面図であり、図4はロータリバルブRVの組み立て状態の断面図である。ロータリバルブRVは、冷媒ガスの流路において圧縮機1の吸気口1a及び吐出口1bと上部室13との間に配置されている。ロータリバルブRVは、冷媒ガスの流路を切換える機能を奏する。具体的には、ロータリバルブRVは、ガス圧縮機1の吐出口1bから吐出された冷媒ガスを上部室13内に導く第1の態様と、上部室13内の冷媒ガスをガス圧縮機1の吸気口1aに導く第2の態様との切換え処理を行う。ロータリバルブRVは、バルブ本体8及びバルブプレート9とを有する。また、バルブプレート9は、バルブプレート本体30とバルブ摺動部材31とにより構成されているこれについては後に詳述する。バルブプレート9は、回転軸受16により、ハウジング23内に回転可能に支持されている。スコッチヨーク22を駆動するクランク14の偏心ピン14aが回転軸を中心として公転することにより、バルブプレート9が回転する。バルブ本体8は、コイルバネ20によりバルブプレート9に押し付けられ、またピン19により回転しないように固定されている。コイルバネ20は、排気側の圧力が給気側の圧力より大きくなってしまった場合に、バルブ本体8がバルブプレート9から離れてしまわないようにバルブ本体8を押圧するために設けられた押圧手段である。作動時にバルブ本体8をバルブプレート9に押圧する力は、冷媒ガスの給気側の圧力と排気側の圧力の差圧がバルブ本体8に作用することにより生じるようになっている。バルブ本体8は、円柱状を有している。このバルブ本体8のバルブプレート9と対向する面は平坦な摺動面8aが形成されており、この摺動面8aがバルブプレート9を構成するバルブ摺動部材31の摺動面31aと面接触する。第1のガス流路8b第1の本体側流路は、バルブ本体8の中心軸に沿ってバルブ本体8を貫通して形成されている。この第1のガス流路8bの一端は、摺動面8aに開口している。また第1のガス流路8bの他端は、図1に示したガス圧縮機1の吐出口1bに接続されている。またバルブ本体8の摺動面8aには、バルブ本体8の中心軸を中心とした円弧に沿った溝8cが形成されている。更に、バルブ本体8には、側面視で逆L字形状を有した第2のガス流路8d第2の本体側流路が形成されている。この第2のガス流路8dの一端は溝8cの底面に開口すると共に、その他端はバルブ本体8の外周面に開口している。このバルブ本体8の外周面に開口した第1のガス流路8bの端部は、図1に示すハウジング23に形成されたガス流路21を経由して上部室13に連通している。バルブプレート9バルブ摺動部材31の摺動面31aには、その中心から半径方向に伸びる溝31dが形成されている。バルブプレート9が回転し、溝31aの外周側の端部が溝8cに部分的に重なった時、第1のガス流路8bと第2のガス流路8dとが溝31aを介して連通する。プレート側ガス流路9bガス流路30b,31bとにより構成されるは、バルブプレート9バルブプレート本体30及びバルブ摺動部材31を貫通して回転軸に平行な方向に延在している。プレート側ガス流路9bの一端部は、摺動面31aに開口している。このプレート側ガス流路9bの端部は、摺動面31a内の摺動面8aに形成された溝8cと対応する位置に開口している。よって、バルブプレート9が回転し、プレート側ガス流路9bの開口部バルブ本体8側の端部が溝8cに部分的に重なると、第2のガス流路8dとプレート側ガス流路9bとが連通した状態となる。プレート側ガス流路9bの他端は、図1に示したハウジング23内の空洞を介してガス圧縮機1の吸気口1aに連通している。よって、第1のガス流路8bとガス流路8dとが溝8cを介して連通している時、圧縮機1から送られる冷媒ガスはロータリバルブRVを介して上部室13内に送り込まれる。一方、第2のガス流路8dとプレート側ガス流路9bとが連通している時、上部室13内の冷媒ガスがガス圧縮機1に回収される。従って、バルブプレート9を回転させると、上部室13への冷媒ガスの導入給気と、上部室13からの冷媒ガスの回収排気が繰り返され実施される。ここで、バルブ本体8及びバルブプレート9について、更に詳細に説明する。本実施形態では、ステータ固定側となるバルブ本体8は、焼入れ鋼等の金属により形成されている。このような磁性材料である金属によりバルブ本体8を形成しても、バルブ本体8は回転しない構成であるため、極低温冷凍機及びロータリバルブRVをMRI等に適用しても、その磁場中で磁場が極低温冷凍機及びロータリバルブRVに起因して乱れるようなことはない。尚、バルブ本体8の材料は磁性材料に限定されるものではなく、アルミニウムの表面をアルマイト処理したもの等の非磁性材料を用いることも可能である。また、バルブプレート9は、バルブプレート本体30とバルブ摺動部材31とにより構成されている。バルブプレート本体30は、非磁性金属材であるステンレスにより形成されている。このバルブプレート本体30は、回転軸受16によりハウジング23に回転可能に支持される。よって、バルブプレート本体30の前面側バルブ本体8と対向する側には、回転軸受16と係合する鍔部30eが形成されている。また、バルブプレート本体30のバルブ本体8と対向する面には、バルブ摺動部材31を収納するための収納室30aが形成されている。この収納室30aは窪んだ形状とされており、その底面には回り止めピン30c請求項に記載の回転規制部材に相当するが形成されている。この回り止めピン30cは、バルブプレート本体30に形成された回り止め凹部30f及びバルブ摺動部材31に形成された回り止め凹部31cと係合することにより、バルブプレート本体30に対するバルブ摺動部材31の回転を規制する。しかしながら、回り止めピン30cはバルブ摺動部材31を完全にバルブプレート本体30に固定するものではなく、回転を規制するのみの機能を奏するものである。よって、バルブ摺動部材31はバルブプレート本体30に対して装着脱可能回転軸方向に装着脱可能な構成となっている。更に、バルブプレート本体30には、プレート側ガス流路9bの一部を構成するガス流路30bが形成されている。このガス流路30bは、バルブプレート本体30の収納室30aの底板部を貫通して形成されている。よって、ガス流路30bの一端は収納室30aの底面に開口し、他端は前記のようにハウジング23内の空洞を介してガス圧縮機1の吸気口1aに連通している。一方、バルブ摺動部材31は樹脂により形成されており、円盤形状を有している。バルブ摺動部材31に用いる樹脂としては、例えば四フッ化エチレン例えば、NTN社製のベアリーFL3000により形成されている。このバルブ摺動部材31はバルブ本体8と密着する摺動面31aに、前記の溝31dが形成されている。また、バルブ摺動部材31にはプレート側ガス流路9bを構成するガス流路31bが貫通形成されている。このガス流路31bは、バルブ摺動部材31をバルブプレート本体30の収納室30aに装着した際、バルブプレート本体30に形成されたガス流路30bと連通することによりプレート側ガス流路9bを形成する。従って、バルブ摺動部材31が装着された状態でバルブプレート本体30が駆動手段により回転されると、回り止めピン30cによりバルブプレート本体30に回転規制された状態で装着されているバルブ摺動部材31も回転を開始する。このようにバルブ本体8に対してバルブプレート9バルブプレート本体30,バルブ摺動部材31が回転すると、上記のように第1のガス流路8bと第2のガス流路8dを溝31dにより接続する状態と、第2のガス流路8dをバルブプレート9に接続する状態との間で切換えが行われる。この際、前記のようにバルブプレート本体30はステンレス等の非磁性金属材により形成されおり、またバルブ摺動部材31も非磁性である樹脂により形成されている。このため、本実施形態に係る極低温冷凍機及びロータリバルブRVを磁場の変動を嫌う環境下で使用しても、バルブプレート本体30及びバルブ摺動部材31の回転により磁場が乱されるようなことはない。また本実施形態では、バルブプレート9の摺動面31aは樹脂製のバルブ摺動部材31に形成されている。よって、従来のアルミニウム製のバルブプレート102では必要であったアルマイト処理を不要とすることができ、バルブプレート9のコスト低減を図ることができる。更に、ロータリバルブRVに対してメンテナンスを行う場合、従来では摺動面101a及び摺動面102aが共に消耗部分であったため、バルブ本体101及びバルブプレート102を共に交換することが行われていた図5参照。しかしながら、本実施形態に係るロータリバルブRVでは、バルブプレート本体30に消耗部分は存在せず、かつバルブ摺動部材31がバルブプレート本体30に対して着脱可能な構成であるため、メンテナンス時にはバルブ本体8バルブ摺動部材31の交換を行うだけで済む。バルブプレート本体30はステンレスに収納室30a,ガス流路30b,回り止めピン30c等を設ける必要があるため、バルブ摺動部材31に対して高価である。よってメンテナンス時には、バルブプレート本体30に対して低価格であるバルブ摺動部材31及びバルブ本体8を交換すればよいため、メンテナンス時における交換部品のコストダウンも図ることができる。以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上記した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形変更が可能なものである。本国際出願は2010年4月19日に出願された日本国特許出願2010-095921号に基づく優先権を主張するものであり、日本国特許出願2010-095921号の全内容をここに本国際出願に援用する。"