所与の機械的振幅と組み合わせて振動の特性周波数を有する共振器構造であって、前記機械的振幅の設定は、前記共振器構造基板の所与のポイントに配置された係留点Aでの係留を通して、第1の要素1と、第2の要素2とを前記共振器構造内に有することにより達成され、前記第1の要素1及び前記第2の要素2は、前記第1及び第2の要素のうちの少なくとも一方が、前記係留点Aに関して同期して振動するように構成されるように振動的に適合されること、並びに前記係留点の位置が実質的に、前記第1の要素1及び前記第2の要素2の寸法により画定される結合突出部1、2内にあるように選択されることを特徴とする、共振器構造。前記1種類の前記1つの第1の要素が、少なくとも1つの支持梁を備えることを特徴とする、請求項1に記載の共振器構造。前記第1の要素は複数の樹状突起Dを備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載の共振器構造。前記樹状突起Dが複数の梁様分岐を備えることを特徴とする、請求項3に記載の共振器構造。前記第1の要素1及び/又は前記第2の要素2のうちの少なくとも一方の特性寸法d1、d2が、前記機械的特性振動の周波数を所与の値に設定するように事前に決定されることを特徴とする、請求項1~4のうちいずれか一項に記載の共振器構造。前記複数の樹状突起のうちの樹状突起Dの前記第1の要素1の特性寸法d2が、前記機械的特性振動を所与の値に設定するように事前に決定されることを特徴とする、請求項1~5のうちいずれか一項に記載の共振器構造。同じ周波数の機械的特性振動を有する複数の樹状突起Dを備えることを特徴とする、請求項1~6のうちいずれか一項に記載の共振器構造。所与の規則下で互いに異なるように調整された機械的特性振動周波数を有するような前記複数の樹状突起Dを備えることを特徴とする、請求項1~6のうちいずれか一項に記載の共振器構造。樹状突起Dの特性周波数が、前記樹状突起の前記機械的特性寸法d2及び/又は質量m2により事前に決定されることを特徴とする、請求項8に記載の共振器構造。前記第1の要素1及び前記第2の要素2のうちの少なくとも特定の要素が、異なる向きの接続要素を用いて前記支持梁に取り付けられた梁様分岐を備えることを特徴とする、請求項1~9のうちいずれか一項に記載の共振器構造。Eの形状を有する複数の共振器を備え、前記共振器のうちの少なくとも1つが、文字形状の共振器構造として実質的に実施されることを特徴とする、請求項1に記載の共振器構造。前記文字形状の要素のうちの1つが、文字A、B、C、E、F、H、I、K、L、M、N、S、T、U、V、W、X、Y、Zを含む群から選択される形状を実質的に有することを特徴とする、請求項1に記載の共振器構造。前記係留点Aが、所与の機械的寸法d1、d2の所与の特性周波数で所与の機械的調和振動を励起させるように選択されることを特徴とする、請求項12に記載の共振器構造。前記係留点Aが、所与の機械的寸法の所与の特性周波数で所与の機械的調和振動を抑制するように選択されることを特徴とする、請求項12に記載の共振器構造。前記梁様分岐PH1の間で、前記構造が、励起枠構造を実施するように互いに入り込む他の梁PH2を備えることを特徴とする、請求項1~14のうちいずれか一項に記載の共振器構造。フラクタル様構造を備えることを特徴とする、請求項1~15のうちいずれか一項に記載の共振器構造。折り畳み式音叉構造を備えることを特徴とする、請求項1~16のうちいずれか一項に記載の共振器構造。T字形構造を備えることを特徴とする、請求項1~17のうちいずれか一項に記載の共振器構造。前記第1の要素1及び前記第2の要素2のうちの少なくとも一方が、湾曲形状を有するように構成されることを特徴とする、請求項1~18のうちいずれか一項に記載の共振器構造。前記係留点Aが、前記第1の要素1及び前記第2の要素2の振動の特性周波数を設定する所与の寸法が所与の平均律音程の周波数比率になるように選択されることを特徴とする、請求項1~19のうちいずれか一項に記載の共振器構造。本発明の目的は、干渉の影響を受けにくいが、高容量と組み合わせられた小型サイズに役立ち、信頼性の高い周波数基準として機能することが可能な、微小電気機械システムMEMS共振器のそのような改良された設計構造を提供することである。本発明の第1の態様によれば、本発明による共振器構造は、所与の機械的振幅と組み合わせて振動の特性周波数を有し、それにより、上記機械的振幅の設定は、共振器構造基板の所与のポイントに配置された係留点での係留を通して、第1の要素と、第2の要素とを共振器構造内に有することにより達成され、第1の要素及び第2の要素は、上記第1の要素及び上記第2の要素のうちの少なくとも一方が、上記係留点に関して同期して振動するように構成されるように振動的に適合され、それにより、上記係留点の位置が実質的に、上記第1の要素及び上記第2の要素の寸法により画定される結合突出部内にあるように選択される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造は、少なくとも1つの支持梁を備えるそのような1種類の上記1つの第1の要素を備える。それにより、支持梁には、上記第1の要素と同様の複数の他のバネ要素を取り付けることができ、他のバネ要素は必ずしも同じ特性寸法を有する必要はない。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、上記第1の要素は複数の樹状突起を備える。それにより、各樹状突起は、樹状突起の個々の共振周波数を設定し、且つ/又は上記第1の要素の特性周波数を設定する、断面積、長さ、幅、厚さ、及び/又は質量であり得る個々の特性寸法を有することができる。本発明の実施形態では、樹状突起は、センサ構造及び/又は励起枠構造のいずれかの実施形態での容量用途で電極エリアを提供するために利用することもできる。それにより、支持点の適切な選択により、より小さな振幅の機械的振動の利用が可能になり、その結果、小さな電極間隙により、より高い容量が提供されるため、より小型のサイズも提供する。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、樹状突起は複数の梁様分岐を備える。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、上記第1及び上記第2の要素のうちの少なくとも一方の特性寸法は、上記機械的特性振動の周波数を所与の値に設定するように事前に決定される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、第1の要素において、複数の樹状突起内の樹状突起のうちの少なくとも1つでは、少なくとも1つの特性寸法は、上記機械的特性振動の周波数を所与の値に設定するように事前に決定される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造は、同じ機械的特性振動周波数を有する複数の樹状突起を備える。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造は、所与の規則下で互いに異なるように調整された機械的特性振動周波数を有するそのような複数の樹状突起を備える。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、樹状突起の特性周波数は、樹状突起の機械的特性寸法及び/又は質量により事前に決定される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、上記第1及び上記第2の要素のうちの少なくとも特定の要素は、異なる向きの接続要素を用いて支持梁に取り付けられた梁様分岐を備える。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造は、Eの形状を有する複数の共振器を備え、上記共振器のうちの少なくとも1つは、文字形状の共振器構造として実施される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、上記文字形状の要素のうちの少なくとも1つは、文字A、B、C、E、F、H、I、K、L、M、N、S、T、U、V、W、X、Y、Zを含む群から選択される形状を有する。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、係留点は、所与の機械的寸法の所与の特性周波数で所与の機械的調和振動を励起させるように選択される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、係留点は、所与の機械的寸法の所与の特性周波数で所与の機械的調和振動を抑制するように選択される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造は、梁様分岐の間で、励起枠構造を実施するように互いに入り込む梁を備える。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造は、フラクタル様構造を備える。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造は、折り畳み式音叉構造を備える。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造は、T字形構造を備える。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、上記第1及び上記第2の要素のうちの少なくとも一方は、湾曲形状を有するように構成される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、上記係留点は、上記第1及び上記第2の要素の振動の特性周波数を設定する所与の寸法が所与の平均律音程の周波数比率になるように選択される。本発明の実施形態によれば、本発明の第1の態様による共振器構造では、上記第1の要素、第2の要素、樹状突起、及び支持梁のうちの少なくとも1つは特に、製造での寸法のばらつきに対する共振器の共振周波数変更の受けやすさ、すなわち、dΔω0/ω0/dδがゼロであるか、又はゼロに近づくような寸法を有する。本発明の実施形態によれば、微小機械共振器のバネ構造において、特性寸法と樹状突起の対応する寸法との比率は、最大で10であり、有利には7以下であり、さらにより有利には5以下である。本発明の実施形態によれば、バネ構造は、音叉構造の一部に係留することにより適合される。本発明の実施形態によれば、上記音叉構造は折り畳み式音叉構造である。それにより、係留点は、音叉のシャフトに適合され、そのシャフトは、音叉構造の叉の間に配置される。本発明の実施形態によれば、それにより、折り畳み式音叉構造は、E字幾何学的形状を有するように構成される。本発明の別の実施形態によれば、それにより、折り畳み式音叉構造はT字幾何学的形状を有するように構成される。本発明の実施形態によれば、それにより、折り畳み式音叉構造はE字並びにT字の幾何学的形状を有するように構成される。本発明の実施形態によれば、係留点は、折り畳み式音叉構造のシャフトを、所与の特性周波数を有する特性寸法に分割し、結果として、音程の周波数比率になるように選択される。本発明の実施形態によれば、シャフトの一部は、励起枠構造を実施し、且つ/又はシャフトの別の部分に関して所与の振動位相を維持する個々の樹状突起を有する。位相の維持は、例えば、静電信号を用いて達成することができる。本発明の実施形態によれば、樹状突起の共振周波数は、以下のように樹状突起の幅、密度、長さ、及びユング係数を用いて表すことができる。本発明の実施形態によれば、微小機械共振器構造は、励起枠構造を実施するアクチュエータ手段を有する。変形実施形態によれば、上記手段は静電的である。本発明の実施形態によれば、電極間隙は、振動の振幅の最大で3倍、有利には2倍の大きさであるように選択される。本発明の実施形態によれば、共振器構造は、励起枠構造内に、振幅を電気的に減衰させ、且つ/又は共振器構造及びその部分の機械的な力により誘発される運動を完全に結合する部分として静電ダンパーを有する。図面リスト従来技術の考察中、図1A~図1C及び図2を参照したが、次に、本発明の実施形態の例示について、以下の説明のうちの部分としての図3~図9を参照することにより説明する。示される実施形態では、いくつかの発振器の振動方向は概略的に説明されるが、示される例示の実施形態に示される方向のみに、基板又は土台に関して発生する振動の方向を限定しない。共振器は、タイミング用途又は周波数基準用途で鍵となる構成要素である。タイミング用途で1つの一般に使用される共振器構造は、図1C及び図2に示される音叉の共振器構造である。ここでは、音叉の2つの叉が逆位相で振動し、それにより、共通点での正味運動はゼロになる。これは、係留点での損失が最小に抑えられるため、有利である。図3では、共振器それ自体の音叉型の基本構造が説明される。構造の一端部は係留点で固定されるため、加速により、かなり高いトルクが生まれ、このトルクが共振器を作動させる。かなり高い加速の結果として、共振器の叉は基板又はケースに接触さえし得る。図4では、音叉の叉端部の近傍に複数の電極を有するシリコン微小機械音叉共振器が示される。共振器は、共振器電極の近くに配置された対電極を用いて静電的に励起/作動させることができる。図5では、図4に示された音叉共振器の機能が説明される。共振器アンカー及び電極アンカーは構造の遠位端部に配置されるため、装置は、加速又は外力により生まれる基板の寸法の歪みの影響を受けやすい。共振器電極と対電極との電極間隙は、例えば、基板の変形により影響を受け得る。図6では、新規のタイプの音叉共振器が説明される。係留点本明細書では、アンカーという用語は各電極の係留点を指すを折り畳み式音叉の叉1、2内部に配置することにより、係留点Aを共振器の重心近くにすることができる。この構成は、外力からの加速により生じる運動の振幅を大幅に抑制することができる。図7には、共振器及びアンカーの両方を音叉の叉内部に有する改良された共振器構造が示される。アンカーが共振器の重心の近くに配置され、さらに、互いに近いアンカーを有するため、装置は、加速又は外力により生じる基板の寸法の歪みの影響を受けにくい。図8には、図7の改良された共振器構造内に接点エリアを構成する1つの可能な技法が示される。ここでは、2つの追加のアンカーが共振器構造外部に配置され、電気接点はこれらの電極に接合される。外側のアンカーは、可撓性梁構造を用いて共振器及び電極に電気的に接続される。電気接点の可撓性により、共振器基板又はケースが変形を受ける場合、又は外側のアンカーが変位する場合であっても、共振器及び電極は変位しない。図9には、アンカーが右側、音叉の叉の外側、アクチュエータ電極の中心に移動した本発明のそのような実施形態が示される。係留点を適切に選択することにより、共振器の機械的振動の振幅を低減することができ、それにより、機械的運動は、例えば、電極間隙での寸法が小さいほど高速になり、したがって、大きな寸法の使用に関してより高い容量を達成する。実施形態によれば、係留点の適切な選択及び共振器の振動部分の長さ又は他の何らかの特性寸法の調整により、振動の特定の周波数成分を共振器の特定の部分にリンクすることができる。それにより、共振器の部分間で位相シフトを生成することができる。その結果、特に、別の電極枠構造が、共振器の特性部分の寸法によって決まる周波数で逆位相の振動を生成/取り込むために利用される場合、少なくとも理論的に、共振器で発生する特定の調和振動数成分をなくすか、又は抑制することが可能であり、それにより、振動は、上記周波数で、共振器固有の振動位相とは逆位相で動作する。