"位置の基準となる基準台に対向する方向へ一定の振動を行なうカンチレバーが、変位した際に該変位を検出するカンチレバーの変位検出機構であって、前記カンチレバーの振動の変化に基づく該カンチレバーと前記基準台との間に生じる静電容量変化検出手段を備え、前記カンチレバーの変位を、前記静電容量の変化に基づいて評価することを特徴とするカンチレバーの変位検出機構。前記静電容量検出手段が、静電容量センサーである請求項1に記載のカンチレバーの変位検出機構。前記静電容量検出手段が、該静電容量の変化に基づく前記カンチレバーの振動周波数及び/又は振動振幅検出手段と、当該振動周波数及び/又は振動振幅に基づく電気信号検出手段とからなり、前記静電容量の変化に基づく前記カンチレバーの振動周波数及び/又は振動振幅を認知し、更に、そのカンチレバーの振動周波数及び/又は振動振幅に基づく電気信号として前記カンチレバーの変位を評価する請求項1に記載のカンチレバーの変位検出機構。前記振動周波数及び/又は振動振幅検出手段が、前記カンチレバーと電気的に接続されたLC共振器であり、前記静電容量の変化に基づく該LC共振器の共振周波数を検出する請求項3に記載のカンチレバーの変位検出機構。前記電気信号検出手段が、前記振動周波数検出手段と電気的に接続されたFV変換器またはFM復調器のいずれかであり、前記振動周波数及び/又は振動振幅に基づく電圧として検出する請求項3又は4に記載のカンチレバーの変位検出機構。先端に探針を有するカンチレバーと、前記カンチレバーを振動させるレバー加振手段と、前記探針の先端に対向する位置に備わる試料を載置する試料台と、前記試料表面と前記探針とを相対的にXY及びZ方向へ駆動させるXY駆動機構及びZ駆動機構と、前記カンチレバーの変位を検出するカンチレバー変位検出部と、当該カンチレバー変位検出部が検出したカンチレバーの変位情報から前記試料表面の形状データや物性データを採取する制御部と、を備えた走査型プローブ顕微鏡であって、前記カンチレバー変位検出部が、請求項1~5のいずれかに記載のカンチレバーの変位検出機構を備え、前記カンチレバーの変位により生じる振動の変化に伴う、前記カンチレバーと前記試料の表面との間の静電容量の変化に基づいて前記カンチレバーの変位を評価することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。請求項6に記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバー変位検出部が、前記カンチレバーの振動振幅と振動周波数と位相を検出するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項6又は7に記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバー変位検出部が、前記レバー加振手段により振動するカンチレバーの、前記レバー加振手段と同一周波数成分の振動振幅を検出するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項6から8のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバー変位検出部が、前記レバー加振手段により振動するカンチレバーの、前記レバー加振手段との位相差を検出するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項6から9のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバー変位検出部が、前記試料表面と前記探針との間に印加した交流電場により振動するカンチレバーの振動振幅と位相を検出するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項10に記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバー変位検出部が、前記試料表面と前記探針との間に印加した交流電場により振動するカンチレバーの、前記交流電場と同一の周波数成分の振動振幅を検出するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項10又は11に記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバー変位検出部が、前記試料表面と前記探針との間に印加した交流電場により振動するカンチレバーの、前記交流電場との位相差を検出するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項10から12のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバー変位検出部が、前記試料表面と前記探針との間に印加した交流電場により振動するカンチレバーの、前記交流電場の少なくとも2倍以上の周波数成分の振動振幅と位相を検出することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。請求項6から13のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記試料表面及び/又は探針に光を照射するための照明装置を有するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項14に記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記照明装置から照射される光のオンとオフによる、試料表面の形状と物性情報の違いを検出するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項14又は15のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記照明装置から照射される光の周波数の違いによる、試料表面の形状と物性情報の違いを検出するものである走査型プローブ顕微鏡。請求項14から16のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡において、前記照明装置から照射される光の強度の違いによる、試料表面の形状と物性情報の違いを検出するものである走査型プローブ顕微鏡。AFMではカンチレバーの変位を検出するのに光テコ方式を利用するのが一般的である。しかしながら、光が試料にも照射されるため物性測定する際にその光の影響を受ける場合がある。特に試料表面の電位や電流などを計測する際には、試料そのものが光励起などにより物性値に変化をきたしてしまい正確な物性情報を測定できないことがある。また、同様の理由により、試料に光を照射し、その光の有無による試料の物性情報の変化を測定することも困難となることがある。一方、ピエゾ抵抗型自己検知カンチレバーによる方法は、カンチレバーの変位計測に光を使用していないため上述したような影響は無い。しかしながら、KFMなどの電気物性を測定する際に様々な制限が生じる。例えば、使用するカンチレバーは、ピエゾ抵抗体を備える必要があり複雑な構造や特別な製造過程が必要とされる。当然のことながら市販されている一般的なカンチレバーを使用することはできない。また、電気物性測定では探針に金属がコートされた導電性カンチレバーを使用するのが一般的であるが、探針が金属コートされたピエゾ抵抗型自己検知カンチレバーはさらに複雑な構造や製造過程が必要とされ、それを作製すること自体に困難性がある。また、KFMやEFMなど試料と探針間に交流電場を印加するような測定では、印加している交流電場がピエゾ抵抗センサーにも印加されてしまい、それによりピエゾ抵抗体に発生した変位電流が、レバーの変位信号に対するノイズとして混入し正確な測定ができなくなる。この点については、探針と試料間に作用する交流電場とピエゾ抵抗センサーに作用する交流電場との位相差を利用したKFMの測定例が報告されているが、装置構成が複雑であり分解能も悪い非特許文献2参照。本発明の走査型プローブ顕微鏡は、上述したような問題を解決するものであり、従来の光てこ方式あるいは自己検知型のカンチレバーの変位検出方法とは異なる、新たな変位検出機構ならびにそれを用いた走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。本発明のカンチレバーの変位検出機構は、位置の基準となる基準台に対向する方向へ一定の振動を行なうカンチレバーが、変位した際に該変位を検出するカンチレバーの変位検出機構であって、カンチレバーの振動の変化に基づく該カンチレバーと基準台との間に生じる静電容量変化検出手段を備え、カンチレバーの変位を、静電容量の変化に基づいて評価することを特徴とする。このようにすることで、光てこ方式や自己検知式の欠点を排除可能となる。また、本発明では、静電容量変化検出手段として、静電容量センサーを用いた。また、本発明では、別途の静電容量変化検出手段として、LC共振器とF-V変換器、またはLC共振器とFM復調器による、静電容量変化に基づくLC共振器の共振周波数の変化を電圧変化として評価するものとした。また、本発明では、走査型プローブ顕微鏡において、上記の変位検出機構を利用した変位検出部を備えたものとした。また、本発明では、上記の変位検出機構を利用した変位検出部を備えた走査型プローブ顕微鏡において、該変位検出部にカンチレバーの振動振幅と位相を検出可能とした。このようにすることで、異なる測定モードの走査型プローブ顕微鏡への利用が可能となる。また、本発明では、光を遮断した状態で形状測定や物性測定が可能となり、光励起の影響を受けないことから、光の有無による試料の形状や物性情報の変化を比較可能とした。本発明による走査型プローブ顕微鏡によれば、カンチレバーの変位をカンチレバーのレバー部と試料間の静電容量の変化として検出することが可能となる。このようにすることで、光てこ方式のように光を使用していないため、それによる影響を受けることが無く、測定試料の真の物性情報を取得することが可能であり、また、光の有無による試料の物性情報の変化や、光の強度の違いや光の周波数の違いによる試料の物性情報の変化を観察することが可能となる。また、自己検知型におけるピエゾ抵抗センサーをカンチレバーに備える必要が無く、市販されている汎用的なカンチレバー導電性カンチレバーを含むを使用することが可能となる。更に、カンチレバーに対して電場がかかる場合でも、ピエゾ抵抗センサーを有さないため影響を受ける要因が無く、KFMやEFMなどの電気物性測定も容易に行うことが可能となる。本発明の走査型プローブ顕微鏡について、図を用いて説明する。図1には、本発明に第一の実施例に係わる走査型プローブ顕微鏡の構成の一例を示す。本発明の走査型プローブ顕微鏡においては、試料台12の上に設置された試料の試料表面Sに対し針先が向かうように配置されるとともに、試料表面Sに平行なX,Y方向の走査と該試料表面Sに垂直なZ方向の移動とを該試料表面Sに対して相対的に行える探針2を有するカンチレバー1と、該カンチレバー1を振動させることが可能なレバー加振手段4と、カンチレバー1の変位を検出するカンチレバー変位検出部7とを備えている。試料台12あるいはその上部に載置した試料Sは、カンチレバー1の位置の基準となり、この試料台12あるいは試料Sの表面と該カンチレバー1との間の静電容量が重要となる。試料台12は、三次元アクチュエータ11に取付けられており、探針2と試料表面Sとを前記X,YおよびZ方向の相対的に移動させることが可能である。三次元アクチュエータ11には、三次元アクチュエータ11を駆動して試料表面SをX,Y,Z方向に走査させるXY駆動機構9とZ駆動機構10が接続されている。また、XY駆動機構9とZ駆動機構10は制御部8に接続されており、それによって制御されている。カンチレバー変位検出部7は、LC共振器5とF-V変換器6とから構成されている。カンチレバー1が変位すると、該カンチレバー1と試料表面Sとの間の静電容量またはカンチレバー1と試料台12との間の静電容量が変化する。この静電容量の変化を検出することでカンチレバー1の変位を検出している。具体的には、LC共振器5はカンチレバー1と接続されており、前記静電容量の変化を検出認知するとLC共振器5の共振周波数の変化として検出する。この共振周波数の変化はF-V変換器6により検出認知され、電圧の変化として検出変換され、制御部8へと送られる。つまり、カンチレバーの変位、静電容量の変化、共振周波数の変化、電圧の変化と順次変換することによりカンチレバーの変位を検出している。次に、カンチレバーと試料表面との間の静電容量の変化量について算出方法を説明する。図2aに示したようなカンチレバーと試料表面とを、図2に示すような平行平板コンデンサであると仮定すると、その静電容量は以下の数1で表される。ここで、レバーの長さをL、レバーの幅をb、レバーの傾きをΘ、探針の長さをtとしている。一般的なカンチレバーを想定して、L=450μm、b=30μm、Θ=13°、t=12.5μmとして、カンチレバーの変位として傾きθが0.01°変位したときの静電容量の変化は約5x1019Fである。LC共振器5とF-V変換器6から構成される変位検出部7は特許文献1に記載されているSNDMとほぼ同じ構成であるが、一般的なSNDMによる静電容量の検出感度は1x1021Fから1022Fに達する。そのため、本発明によるカンチレバーの変位検出感度は十分に実現できるものである。上述のようにカンチレバー変位検出部7により検出されたカンチレバーの変位情報は制御部8へと送られる。制御部8では、送られてきた信号を元に、試料表面の形状測定を行うことが可能である。例えば、カンチレバーの振動振幅を検出し一定に保つように探針と試料との間の距離を制御することで一般的なDFM測定が可能である。また、探針と試料間に交流電場を印加するとケルビンフォースによりカンチレバーが振動するが、この振動を前記カンチレバー変位検出手段7により検出することでKFM測定やEFM測定が可能である。また、カンチレバー変位検出部7により検出されたカンチレバーの変位情報を、例えば、RMS-DC実効値直流変換により振幅を検出してもよく、またロックインアンプにより任意の周波数成分を同期検波しても良い。前者のRMS-DC変換は主にDFM測定に利用され、後者のロックインアンプはKFMやEFM測定に利用されることが多い。なお、本実施形態において、周波数を電圧に変換するのにF-V変換器6としたが、これに限らず例えばFM復調器を用いても良い。また、本実施形態において、静電容量の変化を検出する方法としてLC共振器5とF-V変換器6としたが、これに限らず、静電容量センサーなど静電容量を検出可能な検出器を用いても良い。図3には、本発明の第二の実施例に係わる走査型プローブ顕微鏡の構成の一例を示す。試料台12は、探針と試料間に交流電場を印加する信号発生器15が接続されている。また、カンチレバー変位検出部7が検出したカンチレバーの変位情報をロックインアンプ14に送られ、信号発生器15と同じ周波数成分、または2倍以上周波数成分の振幅と位相を同期検出することができる。ここで検出した振幅や位相成分は、交流電場による探針と試料間に働く静電気力に起因したカンチレバーの振動振幅や位相成分であり、これらの信号がEFM測定により得られる情報となる。また、ロックインアンプ14により検出した振幅がゼロになるように、フィードバック回路16により直流バイアスを試料台12に印加することでKFM測定が可能となる。図4には、本発明に第三の実施例に係わる走査型プローブ顕微鏡の構成の一例を示す。当該顕微鏡は、物性照明装置17により試料または/および探針に光Lを照射できるようにした。このようにすることで、光Lを照射しない状態でEFM測定やKFM測定を行い、その後、光Lを照射した状態でEFM測定やKFM測定を行うことで、光の有無による試料表面の形状情報や物性情報を取得することが可能となる。また、照明装置17により光Lの強度を変化させることにより、該強度値あるいは差分によるKFM測定やEFM測定の結果の違いを観察することが可能となる。このようにすることで、試料表面の形状情報や物性情報の光強度依存性を測定することが可能となる。また、照明装置17により光の周波数を変化させることにより、その周波数の値あるいは差分によるKFM測定やEFM測定結果の違いを観察することが可能である。これにより試料表面の形状情報や物性情報の光周波数依存性を測定することが可能となる。なお、ここではEFM測定やKFM測定としたが、これに限らず、形状測定、電流測定及びMFM測定など他の測定モードによる形状測定や物性測定を行うことも可能である。なお、本発明による走査型プローブ顕微鏡では、カンチレバー変位検出部7によりカンチレバーの変位を検出しているが、従来の光テコ方式と組み合わせることも可能である。例えば、光テコ方式により形状測定を行い、カンチレバー変位検出部7によりEFMやKFM測定を行っても良い。"