研磨対象となる球状部品の外面に接触し、砥粒が配置された円弧状内面を有する少なくとも1本の転動溝を外周面に有し、回転可能に軸支されたローラ状の砥石と、前記砥石に対して間隙をおいて並列状態となるように回転可能に軸支されたバックアップローラと、前記砥石及び前記バックアップローラの少なくとも一方をその軸線方向に前後進させる運動機構と、前記間隙の近傍に配置され、前記転動溝内を転動する前記球状部品を前記砥石及び前記バックアップローラに押し止める押止部材とを備えた研磨装置。前記転動溝は、その形成方向全体にわたって前記円弧状内面を有している請求項1に記載の研磨装置。前記転動溝は、互いに独立した複数の転動溝である請求項1又は2に記載の研磨装置。前記転動溝は、その形成方向が前記砥石の軸線に対して垂直又は傾斜している請求項1~3のいずれか1項に記載の研磨装置。前記円弧状内面は、前記球状部品の狙い半径と略同一の半径を有している請求項1~4のいずれか1項に記載の研磨装置。前記間隙は、前記転動溝に対向する前記バックアップローラの表面との最大距離が前記球状部品の直径よりも小さい間隙である請求項1~5のいずれか1項に記載の研磨装置。前記運動機構は、前記バックアップローラに接続され、前記バックアップローラをその軸線方向に前後進させる請求項1~6のいずれか1項に記載の研磨装置。ローラ状の砥石の外周面に形成され、砥粒を有する転動溝内に配置された球状部品に前記砥石の回転方向の第1転動力及びこの回転方向と異なる方向の第2転動力を作用させて、前記球状部品を前記転動溝で研磨する工程を有する球状部品の製造方法。球状部品を準備する工程を有する請求項8に記載の球状部品の製造方法。この発明は、研磨精度の高い球状部品を高い研磨効率で研磨できる研磨装置及び球状部品の製造方法を提供することを、目的とする。前記課題を解決するための手段として、請求項1は、研磨対象となる球状部品の外面に接触し、砥粒が配置された円弧状内面を有する少なくとも1本の転動溝を外周面に有し、回転可能に軸支されたローラ状の砥石と、前記砥石に対して間隙をおいて並列状態となるように回転可能に軸支されたバックアップローラと、前記砥石及び前記バックアップローラの少なくとも一方をその軸線方向に前後進させる運動機構と、前記間隙の近傍に配置され、前記転動溝内を転動する前記球状部品を前記砥石及び前記バックアップローラに押し止める押止部材とを備えた研磨装置であり、請求項2は、前記転動溝はその形成方向全体にわたって前記円弧状内面を有している請求項1に記載の研磨装置であり、請求項3は、前記転動溝は互いに独立した複数の転動溝である請求項1又は2に記載の研磨装置であり、請求項4は、前記転動溝はその形成方向が前記砥石の軸線に対して垂直又は傾斜している請求項1~3のいずれか1項に記載の研磨装置であり、請求項5は、前記円弧状内面は前記球状部品の狙い半径と略同一の半径を有している請求項1~4のいずれか1項に記載の研磨装置であり、請求項6は、前記間隙は前記転動溝に対向する前記バックアップローラの表面との最大距離が前記球状部品の直径よりも小さい間隙である請求項1~5のいずれか1項に記載の研磨装置であり、請求項7は、前記運動機構は前記バックアップローラに接続され、前記バックアップローラをその軸線方向に前後進させる請求項1~6のいずれか1項に記載の研磨装置であり、請求項8は、ローラ状の砥石の外周面に形成され、砥粒を有する転動溝内に配置された球状部品に前記砥石の回転方向の第1転動力及びこの回転方向と異なる方向の第2転動力を作用させて、前記球状部品を前記転動溝で研磨する工程を有する球状部品の製造方法であり、請求項9は、球状部品を準備する工程を有する請求項8に記載の球状部品の製造方法である。この発明に係る研磨装置は、研磨対象となる球状部品の外面に接触し、砥粒が配置された円弧状内面を有する少なくとも1本の転動溝を外周面に有し、回転可能に軸支されたローラ状の砥石と、前記砥石に対して間隙をおいて並列状態となるように回転可能に軸支されたバックアップローラと、前記砥石及び前記バックアップローラの少なくとも一方をその軸線方向に前後進させる運動機構と、前記間隙の近傍に配置され、前記転動溝内を転動する前記球状部品を前記砥石及び前記バックアップローラに押し止める押止部材とを備えているから、転動溝に配置された球状部品は、砥石の回転に伴う第1転動力と、砥石及び/又はバックアップローラの軸線方向の前後進に伴う第2転動力とによって、転動の回転軸を変化させながら転動溝で転動しながら研磨される。また、この発明に係る球状部品の製造方法は、ローラ状の砥石の外周面に形成され、砥粒を有する転動溝内に配置された球状部品に前記砥石の回転方向の第1転動力及びこの回転方向と異なる方向の第2転動力を作用させて、この球状部品を転動溝で研磨する工程を有しているから、球状部品は種々の回転軸を中心にして転動しつつ研磨される。したがって、この発明によれば、研磨精度の高い球状部品を高い研磨効率で研磨できる研磨装置及び球状部品の製造方法を提供できる。この発明に係る研磨装置は、研磨対象となる球状部品の外面に接触し、砥粒が配置された円弧状内面を有する少なくとも1本の転動溝を外周面に有し、回転可能に軸支されたローラ状の砥石と、この砥石に対して間隙をおいて並列状態となるように回転可能に軸支されたバックアップローラと、砥石及びバックアップローラの少なくとも一方をその軸線方向に前後進させる運動機構と、前記間隙の近傍に配置され、転動溝内を転動する球状部品を砥石及びバックアップローラに押し止める押止部材とを備えている。この発明に係る研磨装置は、転動溝に配置された球状部品に砥石の回転に伴う第1転動力と砥石及び/又はバックアップローラの軸線方向の前後進に伴う第2転動力とを作用させて、この球状部品の回転軸を変化させながら転動させて研磨することができるように、構成されている。したがって、球状部品は、金属製であっても樹脂製又はゴム製であっても、また研磨時間が短くてもその球面が均等すなわち均一に研磨されるので研磨精度が高くほぼ真球形状に研磨される。このように、この発明に係る研磨装置は、球状部品を研磨して研磨精度の高い部品を製造できるから、球状部品の製造装置と称することもできる。この発明に係る研磨装置は、ローラ状の砥石とバックアップローラとで挟むようにして球状部品を研磨するので、改良されたセンターレス研磨装置とも称することができ、ローラ状の砥石、バックアップローラ、運動機構及び押止部材以外の構成等は公知の研磨装置、例えば、センターレス研磨装置と同様に構成されることができ、また、例えば、以下に示す具体的な態様等に基づいて適宜に変更又は改良することもできる。この発明において、球状部品は、この発明に係る研磨装置及びこの発明に係る球状部品の製造方法において研磨対象となる部品を意味することもあり、またこの発明に係る研磨装置で研磨された部品及びこの発明に係る球状部品の製造方法によって製造された部品をも意味することもある。以下、理解を容易にするため、研磨対象となる部品を便宜上被研磨球状部品と称し、研磨又は製造された部品を便宜上真球部品と称する。なお、この発明において研磨は研削をも含む概念である。この発明に係る研磨装置及びこの発明に係る球状部品の製造方法において研磨対象となる被研磨球状部品としては、幾何学的に正確な球状で所定寸法を有する球状部品ではなく、形状整形又は寸法調整のため、研磨が必要な球状の部品であればよく、規格値よりも直径の大きな球状部品、わずかに真円度の低い略球状部品又は楕円球状部品、バリ等を有する球状部品又は表面平坦性の低い球状部品等が挙げられる。すなわち被研磨球状部品は転動しやすい形状を有していればよい。一方、この発明に係る研磨装置及びこの発明に係る球状部品の製造方法において研磨又は製造された真球部品は、ほぼ真球形状で所定寸法を有する球状部品である。ここで、ほぼ真球形状とは後述する測定方法における直径のばらつきが所定寸法の2以下である場合をいう。この発明において、球状部品すなわち被研磨球状部品及び真球部品は、例えば、ベアリングボール、乗物用シートベルトのプリテンションベルトに装着される機械装置用ボール、ゴルフボールの芯球体、球技用ボール例えば、卓球用ボール、パチンコ球等等が挙げられる。この発明に係る研磨装置を、図面を参照して、具体的に説明する。この発明に係る研磨装置の一例である研磨装置1は、図1及び図2に示されるように、ローラ状の砥石5と、バックアップローラ6と、運動機構7と、押止部材8とを備えている。砥石5は、軸体14を有するローラ形状又は筒状をなしており、軸体14の両端部を軸支する支持駆動部15で図示しない基板に水平に配置、固定されている。したがって、この砥石5はその軸線方向に前後進することなく、前記基板に固設されている。この砥石5は、少なくとも転動溝12の円弧状内面13に砥粒が配置されて被研磨球状部品3を研磨できるように構成されていればよく、円弧状内面13に加えて外周面11にも砥粒が配置されていてもよい。この砥石5は、その外周面11に、図示しない被研磨球状部品3の外面に接触する円弧状内面13を有する6本の転動溝12A~12Fこれらを合せて転動溝12と称する。を、等間隔で有している。このときの隣接する転動溝12同士の間隙すなわち間隔は、隣接する転動溝12に配置された被研磨球状部品3同士が接触しない間隙、すなわち被研磨球状部品3の直径よりも大きな間隙になっている。転動溝12それぞれは、その形成方向すなわち延在方向が砥石5の軸線に対して垂直で砥石5の周方向に一巡する輪環状に形成され、それぞれが互いに他の転動溝12に接続又は接することのない独立した溝になっている。転動溝12それぞれは、その形成方向全体にわたって同一形状及び同一寸法の円弧状内面13を有している。このように円弧状内面13が同一形状及び同一寸法を有していると被研磨球状部品3の加工精度が向上し、又は、砥石5の加工精度を確保しやすくなる。この円弧状内面13は被研磨球状部品3を受け入れて転動を案内すると共に被研磨球状部品3の球面を研磨する。したがって、円弧状内面13は、被研磨球状部品3を受け入れることのできる寸法を有していればよく、例えば、被研磨球状部品3の球面の大部分を被覆するような略C字状となる中心角が180°を越える円弧状の内面であってもよく、被研磨球状部品3の球面の略半分を被覆するような略U字状となる中心角が180°前後の半円弧状の内面であってもよく、また被研磨球状部品3の球面の一部を被覆するような略弓状となる中心角が180°未満の円弧状の内面であってもよい。この例においては、中心角が約150°の円弧状内面になっている。この円弧状内面13は、被研磨球状部品3の狙い半径、すなわち研磨後半径、さらにいうと真球部品の半径と略同一の半径を有し、被研磨球状部品3の球面を均等に研磨する。このように円弧状内面13がこの狙い半径と略同一の半径を有していると円弧状内面13に接触している被研磨球状部品3の球面を均等に研磨でき、すなわち、寸法の大きい箇所から砥石に接触するため、寸法の大きい箇所は研磨代が多く優先的に研磨され、高い寸法精度を実現できる。ここで、狙い半径と略同一の半径とは、例えば、狙い半径±0.5の半径を意味する。砥石5において、被研磨球状部品3を研磨する砥粒図1及び図2において図示しない。は少なくとも転動溝12の円弧状内面13に配置されていればよく、砥石5の転動溝12が形成されていない外周面に配置されていてもよい。このように円弧状内面13に砥粒が配置されているから、この円弧状内面13は砥粒に基づく凹凸又はこれと同等の効果を有する凹凸を有しており、所謂ヤスリになっている。砥粒は公知の結合材等を介して円弧状内面13等に強固に配置されている。このように砥石5は少なくとも円弧状内面13に砥粒を有する円筒体であり、円弧状内面13及び前記外周面以外は転動溝が配置可能であれば中実体であっても中空体であってもよく、また無端ベルト状であってもよい。少なくとも円弧状内面13に配置される砥粒は、被研磨球状部品3を研磨できるものであれば従来公知の砥粒を採用することができ、その材質砥材とも称する。として、例えば、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素CBN、炭化珪素、酸化アルミニウム等が挙げられる。なお、砥粒の形状及び寸法等は被研磨球状部品3の形状及び研磨量等に応じて適宜に決定される。砥石5としては、具体的には、前記砥材でローラ状に中実に形成された多孔質構造を有しない砥石、例えばダイヤモンド砥石、又は、前記砥材をローラ状に焼結した多孔質構造を有する焼結砥石例えば焼結ダイヤモンド砥石等に転動溝12を形成した砥石を用いることができる。また、砥石5としては、前記砥材で形成された砥粒をめっき層で砥石母材表面に固着した電着砥石、例えばダイヤモンド電着砥石、CBN電着砥石等を用いることができる。これらの砥石において、転動溝12を形成する方法として、例えば、砥粒を電着によりR曲面を有した砥石母材表面に固定した後にこの表面をCBN砥石等を用いて溝を仕上げ切削する方法、砥粒を結合材と混合して成型後に焼結する方法等が挙げられる。この発明においては、少なくとも円弧状内面13に砥粒が配置された砥石、具体的には、前記砥材でローラ状に中実に形成された砥石、焼結砥石又は電着砥石を用いるから、研磨精度よく球状部品を研磨できる。この発明においては、砥石5として多孔質構造を有しない砥石又は電着砥石を用いると、研磨効率が高いにもかかわらず、研磨精度及び寸法再現性により一層優れ、円弧状内面13の形状及び半径を精度よく維持できる。特に、砥石5は経時変化によって円弧状内面13の形状及び半径が変化したとしてもその形状及び寸法の調整が容易になるという効果を有する。この研磨装置1において、砥石5としては転動溝12を6本形成したダイヤモンド電着砥石が採用されている。このようなダイヤモンド電着砥石として、例えば、商品名SD80N100P1.5旭ダイヤモンド工業株式会社製、粒度:80、結合剤:硬質クロームめっき等が挙げられる。なお、軸体14は樹脂、金属、木材等の硬質材料で外周面11と同軸に形成されている。支持駆動部15は、砥石5の軸体14を支持すると共に軸体14を介して砥石5を、転動溝12に配置された被研磨球状部品3をバックアップローラ6との間隙上に存在するように、一方向すなわち時計方向に回転させる。この支持駆動部15は、例えば、図示しないモータ等の駆動源と、駆動源の回転軸に軸体14を接続する回転力伝達機構とを有している。バックアップローラ6は、被研磨球状部品3に接する平坦な外周面21と、軸体22を有しており、軸体22の両端部を軸支する支持駆動部23で、砥石5に対して間隙9をおいて並列状態となるように水平に図示しない基板に軸支されている。すなわち、砥石5及びバックアップローラ6は、互いに間隙をおいて並列配置されている。このとき、砥石5の軸線とバックアップローラ6の軸線とは例えば図2及び図5に示されるように同一平面内にあり、砥石5とバックアップローラ6との間隙9もこの平面内にある。この間隙9は、転動溝12に対向するバックアップローラ6の表面との最大距離すなわち円弧状内面13の最深部とアップローラ6の表面との距離が被研磨球状部品3の直径よりも小さい間隙になっている。この研磨装置1において、間隙9は前記最大距離を有していればよく、砥石5とバックアップローラ6とのローラ表面間距離間隙9の最小距離とも称する。は、例えば、研磨後の半径すなわち狙い半径-0.3mmに設定されている。したがって、例えば図5に示されるように転動溝12に収納された被研磨球状部品3は砥石5とバックアップローラ6とで間隙9よりも上方で支持される。このバックアップローラ6は、一方の支持駆動部23内に収納された後述する運動機構7によって、その軸線方向に前後進すなわち往復運動するように、支持されている。このように支持されたアップローラ6によって転動溝12に配置された被研磨球状部品3に前記軸線方向に転動させる転動力が伝達される。バックアップローラ6は、被研磨球状部品3に転動力を伝達できればよく、この例において、ゴム、樹脂、金属、木材等の各材料で形成され、平坦な外周面を有している。支持駆動部23は、バックアップローラ6の軸体22を支持すると共に軸体22を介してバックアップローラ6を、転動溝12に配置された被研磨球状部品3を砥石5との間隙9上に存在するように、一方向すなわち半時計方向に回転させる。すなわち、砥石5とバックアップローラ6とは互いに逆方向に回転する。この支持駆動部23は支持駆動部15と基本的に同様である。運動機構7は、図1に破線で示すように、一方の支持駆動部23内でバックアップローラ6に接続してバックアップローラ6をその軸線方向に前後進運動させる。この運動機構7としては、特に図示しないが、例えば、支持駆動部23の駆動源とは異なる駆動源例えばモータと、この駆動源の回転軸とバックアップローラ6の軸体22を接続する動力接続機構、例えば、軸体22の外表面に形成された螺旋溝に螺合する歯車を備えた所謂ラックアンドピニオンが挙げられる。押止部材8は、砥石5とバックアップローラ6との間隙9の近傍であって間隙9から転動溝12と外周面21とで被研磨球状部品3が支持される位置に向かう方向の延長線上すなわち上方に配置されている。押止部材8は、砥石5の回転方向上流側に配置されているということもできる。押止部材8が配置される位置は、転動溝12に配置された被研磨球状部品3の球面に当接する位置又はわずかなスペースを空けて臨む位置である。この研磨装置1において、押止部材8は被研磨球状部品の研磨の進捗度に応じて徐々に前記間隙に向かって前進するようになっていてもよく、押止部材8が最終的に配置される位置は、具体的には、被研磨球状部品が狙い半径となったときにこの被研磨球状部品に当接する位置であるのが好ましい。この押止部材8は、1枚の板状体又は棒状体であって砥石5及びバックアップローラ6の軸線方向にこれらの軸線方向全体にわたって位置している。センターレス研磨装置においては、被研磨球状部品が砥石及びバックアップローラの回転によって跳ね上げられて研磨できないことがあるが、押止部材8を備えていると、転動溝12内を転動する被研磨球状部品3は砥石5及びバックアップローラ6の回転等で跳ね上げられても、被研磨球状部品3は砥石5及びバックアップローラ6に押し止められる。また、この押止部材8は、被研磨球状部品3の寸法が転動溝12のそれよりも大きくても被研磨球状部品3を転動溝12に押圧して転動溝12内に押し込むこともある。したがって、この押止部材8は、被研磨球状部品3の押圧部材、規制部材とも称することができる。この押止部材8は、ゴム、樹脂、金属等で形成され、被研磨球状部品3を損傷させない材料で形成されるのが好ましく、摩擦係数の小さな材料例えばフッ素樹脂等で形成されるのが特に好ましい。研磨装置1において、砥石5及びバックアップローラ6等の各部材は被研磨球状部品3の寸法、研磨量等に応じて適宜の寸法に設計される。支持駆動部15は例えば周速15~120m/minの回転速度で砥石5を回転させ、支持駆動部23は例えば周速0.5~5m/minの回転速度でバックアップローラ6を回転させ、運動機構7は移動速度が研磨前製品直径mm×90~研磨前製品直径mm×800mm/minの範囲内となるように0.5~2sec毎に逆方向にバックアップローラ6を移動させる。このとき、砥石5及びバックアップローラ6の回転速度は同一であってもよく異なっていてもよい。この発明に係る研磨装置の別の一例である研磨装置2は、図3に示されるように、運動機構7が砥石5に接続されていること以外は研磨装置1と基本的に同様であり、具体的には、砥石5と、バックアップローラ6と、運動機構7と、押止部材8とを備えている。運動機構7は一方の支持駆動部16内に収納され、砥石5をその軸線方向に前後進すなわち往復運動させること以外は研磨装置1の運動機構7と基本的に同様である。バックアップローラ6は支持駆動部24に回転可能に軸支され、図示しない基板に水平に固定されていること以外は研磨装置1のバックアップローラ6と基本的に同様である。この研磨装置2において、支持駆動部16は例えば周速15~120m/minの回転速度で砥石5を回転させ、支持駆動部24は例えば周速0.5~5m/minの回転速度でバックアップローラ6を回転させ、運動機構7は移動速度が研磨前製品直径mm×90~研磨前製品直径mm×800mm/minの範囲内となるように0.5~2sec毎逆方向に砥石5を移動させる。この発明に係る球状部品の製造方法は、ローラ状の砥石の外周面に形成され、砥粒を有する転動溝内に配置された被研磨球状部品に砥石の回転方向の第1転動力及びこの回転方向と異なる方向の第2転動力を作用させて、被研磨球状部品を転動溝で研磨する工程を有している。このように、この発明に係る球状部品の製造方法は、被研磨球状部品に第1転動力及び第2転動力を作用させて被研磨球状部品を種々の回転軸で転動させた状態で研磨できる。したがって、被研磨球状部品は、金属製であっても樹脂製又はゴム製であっても、また研磨時間が短くてもその球面が均等すなわち均一に研磨されるので研磨精度が高くほぼ真球形状に研磨される。この発明に係る球状部品の製造方法における研磨する工程は、被研磨球状部品を高い研磨精度で研磨できる被研磨球状部品の研磨方法と称することもでき、また、この発明に係る球状部品の製造方法における好適な研磨する工程は、ローラ状の砥石とバックアップローラとで挟むようにして被研磨球状部品を研磨する工程であるから、被研磨球状部品のセンターレス研磨方法と称することもできる。この発明に係る球状部品の製造方法を、図面を参照して、具体的に説明する。この発明に係る球状部品の製造方法の一例以下、一製造方法と称する。は、この発明に係る研磨装置、例えば研磨装置1を用いる方法であり、被研磨球状部品を準備する工程と、研磨する工程とを有している。一製造方法においては、まず、被研磨球状部品3を準備する工程を実施する。例えば、被研磨球状部品3は、ゴム組成物、樹脂組成物、金属等の材料を公知の方法で球状に整形して、準備する。具体的には、被研磨球状部品3をゴム組成物又は樹脂組成物で成形する場合には各種のゴム組成物例えばシリコーンゴム組成物又は樹脂組成物等を適宜の成形方法で成形し、被研磨球状部品3を金属で整形する場合には金属を切削等により整形する。一製造方法においては、研磨装置1を準備し、例えば温度10~35°C、相対湿度45~80の環境下に設置する。この研磨装置1は前記した通りであり、図4及び図5に示されるように砥石5とバックアップローラ6と運動機構7と押止部材8とを備えている。一製造方法においては、このようにして準備した被研磨球状部品3及び研磨装置1を用いて研磨する工程を実施する。具体的には、準備した6個の被研磨球状部品3それぞれを、図4及び図5に示されるように、間隙9の近傍であって研磨装置1の6本の転動溝12内に配置する。そうすると、図5に明確に示されるように、被研磨球状部品3はその一部が転動溝12内に収納され、残部が転動溝12の外側に突出してバックアップローラ6の外周面21に当接する。このようにして被研磨球状部品3は砥石5とバックアップローラ6とで間隙9の上方に支持配置される。一製造方法においては、次いで、支持駆動部15及び支持駆動部23を起動して砥石5及びバックアップローラ6を図5に示す矢印の方向に回転させる。このとき、砥石5は例えば周速15~120m/minの回転速度で、バックアップローラ6は例えば周速0.5~5m/minの回転速度で、それぞれ同一速度に回転される。一製造方法においては、砥石5及びバックアップローラ6の回転と同時又はその前後に、運動機構7を起動してバックアップローラ6をその軸線方向に前後進させる。このとき、バックアップローラ6は、移動速度が製品直径mm×90~製品直径mm×800mm/minの範囲内で0.5~2sec毎に逆方向に移動するように、往復運動する。なお、バックアップローラ6の1回の移動距離は特に限定されず、例えば、製品外周距離の25~100程度に設定できる。一製造方法においては、被研磨球状部品3を転動溝12内に配置し、支持駆動部15及び支持駆動部23を起動し、次いで、運動機構7を起動する間、又は、その後に、押止部材8が転動溝12内に配置された被研磨球状部品3に接触又は非接触で間隙9と共に被研磨球状部品3を挟むように配置される。このときの押止部材8が配置される位置及び最終的に配置される位置は前記した通りである。一製造方法において、このようにして、砥石5及びバックアップローラ6を回転させ、かつバックアップローラ6を前後進運動させると、各転動溝12内に配置された被研磨球状部品3には、砥石5及びバックアップローラ6の回転による回転方向の第1転動力と、バックアップローラ6の前後進運動による前記回転方向と異なる方向、例えば、バックアップローラ6の軸線方向又はバックアップローラ6の軸線と被研磨球状部品3の中心とを結ぶ仮想線方向の第2転動力が同時に作用する。そうすると、被研磨球状部品3は、第1転動力によって砥石5の軸線方向を回転軸とする回転と、第2転動力によってバックアップローラ6の軸線と被研磨球状部品3の中心とを結ぶ仮想線に垂直な方向を回転軸とする回転とが生じて、転動溝12内で転動する被研磨球状部品3の回転軸が変化して種々の回転軸を中心にして転動する。このように回転軸を刻々と変化させながら転動する被研磨球状部品3はその球面がほぼ均等に転動溝12の円弧状内面13に接して研磨される。一製造方法において、砥石5及びバックアップローラ6の回転及びバックアップローラ6の前後進運動によって砥石5とバックアップローラ6とで支持配置された被研磨球状部品3が跳ね上げられても、押止部材8によって被研磨球状部品3は砥石5及びバックアップローラ6に押し止められるから、第1転動力及び第2転動力が効率よく伝達されると共に円弧状内面13に接触する。このようにして研磨する工程が実施される一製造方法においては、第1転動力及び第2転動力が効率よく伝達された被研磨球状部品3は回転軸が変化させながら転動して研磨される。したがって、被研磨球状部品3は金属製であっても樹脂製又はゴム製であっても、また研磨時間が短くてもその球面が均等すなわち均一に研磨されて高い研磨精度でほぼ真球形状になる。また、一製造方法においては、被研磨球状部品3を転動溝12内で転動させつつ研磨するから、円弧状内面13の表面に結合材等を介して配置された砥粒に被研磨球状部品3が満遍なく接触又は圧接して砥粒の偏磨耗を抑えることができる。この発明に係る研磨装置は、前記した例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。例えば、研磨装置1及び2はいずれも6本の転動溝12を有する砥石5を備えているが、この発明において、研磨装置は少なくとも1本の転動溝を有する砥石5を備えていればよく、研磨効率等を勘案して形成される転動溝数が決定される。研磨装置1及び2はいずれも転動溝が砥石5の軸線に対して垂直な方向に沿って形成されているが、この発明において転動溝は砥石の軸線に対して傾斜する方向に沿って形成されていてもよい。また、研磨装置1及び2はいずれも6本の転動溝が互いに独立に形成されているが、この発明において転動溝は独立している必要はなく、例えば1本の螺旋状に形成されていてもよい。研磨装置1及び2はいずれもバックアップローラ6がゴム、樹脂、金属、木材等の各材料で形成され、平坦な外周面を有しているが、この発明において、バックアップローラは砥石で形成されていてもよく、また、その外周面に被研磨球状部品に転動力を伝達する輪環状又は螺旋状の突条を有していてもよい。研磨装置1及び2はいずれも枚の板状体又は棒状体の押止部材8を備えているが、この発明において、押止部材は、櫛状に形成され、各櫛歯が転動溝近傍に配置されていてもよく、転動溝それぞれの近傍に配置される独立した複数の棒状体であってもよい。研磨装置1及び2において、運動機構7は、例えば、支持駆動部23の駆動源とは異なる駆動源と、この駆動源の回転軸とバックアップローラ6の軸体22を接続する動力接続機構とを有しているが、この発明において、運動機構は手動であってもよい。この発明に係る球状部品の製造方法は、前記した例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。例えば、一製造方法は研磨装置1を用いているが、この発明に係る球状部品の製造方法おいて、この発明に係る研磨装置を用いることができる。また、この発明に係る球状部品の製造方法おいて、研磨する工程の後に真球部品を洗浄する洗浄工程を実施してもよい。実施例1研磨装置1及び被研磨球状部品3を準備した。この研磨装置1において、砥石5はダイヤモンド電着砥石を用いた。このダイヤモンド電着砥石は、外周面11の軸線方向長さ150mm、外径125mmの中実のローラ状砥石母材をS45Cで形成し、その外周面11に13.4mmの等間隔で、半径が5.4mmで中心角が約150°の11本の転動溝12を軸線に垂直に一巡するように形成し、これら転動溝12の円弧状内面13上に硬質クロームめっきを結合材としてダイヤモンド製の砥粒粒度80番を電着により固定して、ダイヤモンド電着砥石を製造した。バックアップローラ6は、SUS製で、軸線方向長さ170mm、外径25mmのローラ状をなし、間隙9の最小距離が5.1mmで最大距離が9.3mmとなるように、砥石5と並列に配列されていた。押止部材8は、砥石5とバックアップローラ6との間隙9の上方に配置され、間隙9に向けて被研磨球状部品3が狙い半径の5.40mmとなったときにこの被研磨球状部品3に当接する位置まで前進可能になっている。シリコーンゴム組成物商品名KE-7055U、信越化学工業株式会社製を成形して直径約10.90mmのシリコーンゴム製の被研磨球状部品3を準備した。この被研磨球状部品3の直径を拡大倍率20倍の投影機を透過照明で10点測定したところ最大測定値と最小測定値との差分は0.3mmであった。このようにして準備した研磨装置1の転動溝12に被研磨球状部品3を配置した後に、支持駆動部15を起動して200rpm周速75m/minの回転速度で砥石5を回転させ、一方、支持駆動部23を起動して40rpm周速3m/minの回転速度でバックアップローラ6を回転させると共に、運動機構7を起動してバックアップローラ6を移動速度が研磨前製品直径mm×90~800mm/minの範囲内で0.5sec毎に逆方向に移動するように往復運動させた。間隙9の上方に配置された押止部材8を狙い半径となったときの被研磨球状部品3に当接する位置まで徐々に間隙9に向かって前進させつつ、この砥石5の回転並びにバックアップローラ6の回転及び往復運動を30秒実施して、直径が10.80mmとなるように被研磨球状部品3を研磨した。このようにして得られた真球部品の直径を、拡大倍率20倍の投影機を用いて透過照明下で、10点測定したところ最大測定値と最小測定値との差分は0.18mmで直径のばらつきが10.80mmの1.7であった。比較例1砥石5に代えて転動溝12を有していないローラ状の砥石を用いたこと以外は実施例1と基本的に同様にして被研磨球状部品3を研磨した。得られた真球部品は平面を持つ歪な形状に研磨されており、その直径における前記差分は1~1.5mmで直径のばらつきが10.80mmの9.3~13.9であった。比較例2バックアップローラをその軸線方向に前後進運動させなかったこと以外は実施例1と基本的に同様にして被研磨球状部品3を研磨した。比較例2において、被研磨球状部品3は、研磨する工程において転動の回転軸がほとんど変化していので、研磨装置を停止したときに砥石5の軸線方向に沿う長径とこの長径に垂直な短径とを有する平面視略楕円形のラグビーボール様形状に研磨されていた。得られた真球部品の直径における前記差分は0.48mmで直径のばらつきが10.80mmの4.4であった。