"被処理物を収容する加熱炉と、一端に装置外部の空気に開放された吸引口を有すると共に他端が前記加熱炉内に連通し、前記吸引口を通じて吸引される装置外部の空気が流通して前記加熱炉内に至るように構成された空気路と、前記空気路に配され、前記空気路内に熱気を生成する熱気生成手段と、前記空気路における前記熱気生成手段が配された位置よりも下流に配され、前記空気路を流通する空気の流れを生成する気流生成手段と、加熱炉側から吸引口側への気流の逆流を生じた場合に、前記気流が前記吸引口から装置外部へ漏洩するのを防止する漏洩防止機構を備える乾燥装置。前記漏洩防止機構が、前記空気路の上流端で吸引口に対する内側に設けられた逆止弁である、請求項1に記載の乾燥装置。前記加熱炉内の雰囲気が前記空気路を逆流するのを防止する逆流防止機構をさらに備える、請求項1または2に記載の乾燥装置。前記逆流防止機構が、前記空気路における前記熱気生成手段が配された位置よりも下流に設けられ、前記気流生成手段の動作状態で開動作し、前記気流生成手段の非動作状態で閉動作するように前記気流生成手段と連動して動作する電磁弁または電動弁である、請求項3に記載の乾燥装置。前記熱気生成手段が前記空気路に接続される熱風発生機である、請求項1~4のいずれかに記載の乾燥装置。しかし、装置外部の空気をファン140により吸引しているため、停電やその他の何らかの想定外の事情によりファン140が非常停止すると配管内圧力が装置外部の気圧よりも大きくなり、熱風発生機160により供給される熱風が吸引口1211より装置外部へ漏洩したり、爆発性ガスを含んだ炉内雰囲気が高温のヒータ150や熱風発生機160に逆流する危険性があった。また、配管内の雰囲気温度が高くなっているため、吸引口1211の設置高さが配管よりも高い位置にあると気体比重差により熱風や炉内雰囲気が漏洩する畏れがあり、これを防ぐために吸引口1211を装置に対して相対的に低い位置に設けるなどの対策が必要となり、配管121~123の配管スペースが大きくなるなどして、加熱装置の設置場所も制限されるなどの問題があった。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、装置の非常時に、熱風発生機により供給される熱風や爆発性ガスを含んだ炉内雰囲気が装置外部へ漏洩するのを防止するとともに、配管スペースが大きくなるなどによる装置の大型化を防ぐことが出来る乾燥装置を提供することを目的とする。本発明の乾燥装置は、加熱炉、空気路、熱気生成手段、気流生成手段および漏洩防止機構を備える。加熱炉は被処理物を収容する。空気路は一端に装置外部の空気に開放された吸引口を有すると共に他端が前記加熱炉内に連通し、前記吸引口を通じて吸引される装置外部の空気が流通して前記加熱炉内に至るように構成される。熱気生成手段は前記空気路に配され、前記空気路内に熱気を生成する。気流生成手段は前記空気路の前記熱気生成手段よりも下流に配され、前記空気路を流通する空気の流れを生成する。漏洩防止機構は加熱炉側から吸引口側への気流の逆流を生じた場合に、前記気流が前記吸引口から装置外部へ漏洩するのを防止する。前記漏洩防止機構としては、例えば、前記空気路の上流端で吸引口に対する内側に設けられた逆止弁を採用することが出来る。これによれば、機械的要素のみで漏洩防止機構を構成することが出来るため、停電時でも確実に漏洩防止機構を動作させることが出来る。前記熱気生成手段としては、例えば、前記空気路に接続される熱風発生機を採用することが出来る。これによれば、乾燥装置の使用者側で別途用意した熱風発生機を熱気生成手段としてオプション的に取付けて利用できる。したがって、大規模な加熱炉を備える乾燥装置や効率性を重視した乾燥装置を実現出来る。さらに、前記加熱炉内の雰囲気が前記空気路を逆流するのを防止する逆流防止機構を備えると、爆発性ガスを含んだ炉内雰囲気が高温の熱気生成手段に逆流することを防ぐことが出来、炉内雰囲気の漏洩をより確実に防止することが出来、非常時の安全性が向上する。前記逆流防止機構としては、例えば、前記空気路の前記熱気生成手段よりも下流に設けられ、前記気流生成手段の動作状態で開動作し、前記気流生成手段の非動作状態で閉動作するように前記気流生成手段と連動して動作する電磁弁または電動弁を採用することが出来る。これによれば、前記気流生成手段への通電が遮断されたときに電磁弁または電動弁が閉となり、停電など緊急性の高い非常事態の対処として逆流防止機構を動作させることが可能となる。本発明によると、装置の非常時に、熱風発生機により供給される熱風や爆発性ガスを含んだ炉内雰囲気が装置外部へ漏洩するのを防止することが可能となる。また、配管スペースが大きくなるなどによる装置の大型化を防ぐことも出来る。以下に、この発明の実施の形態に係る乾燥装置の構成を図面を参照して説明する。図1はこの発明の第1の実施形態に係る乾燥装置の概略構成を示す模式図である。この実施の形態の乾燥装置1は、粘着材、剥離剤、接着材、各種処理剤等の塗工液が塗布されたワークWの表面に、熱風ノズル30から吹き出す熱風を当てて塗工液を乾燥して塗布膜を形成する装置である。乾燥装置1は、加熱炉10、空気路20、熱風ノズル30、ファン40、ヒータ50、熱風発生機60、漏洩防止機構70および逆流防止機構80を備える。加熱炉10は耐熱性の容器であり、加熱炉10内にワークWが収容される。本実施の形態ではワークWは加熱炉10内に設置されたステージ11上に載置されている。なお、ワークWを搬送ローラ等により加熱炉10内を通過するように搬送し、連続的にワークWを処理するようにしても構わない。ワークWの例としてはウエハ、箔などが挙げられる。空気路20は吸引口721と熱風ノズル30との間に形成される。空気路20は、一端に装置外部の空気に開放された吸引口721を有すると共に他端が加熱炉20内に設置された熱風ノズル30に連通する。これにより、空気路20は、吸引口721を通じて吸引される装置外部の空気が流通して熱風ノズル30に至るように構成されている。空気路20は加熱炉10の内部から加熱炉10外部に延びて配管される。空気路20は、ヒータ50に接続される配管21と、ヒータ50とファン40との間に設けられる配管22と、ファン40と熱風ノズル30との間に設けられる配管23と、から構成されている。熱風ノズル30は加熱炉10内で、熱風の吹出口不図示がワークWの塗布表面に対向するように配置されている。熱風ノズル30には空気路20の配管23が接続され、空気路20を熱風が図1の矢印のように流れて熱風ノズル30内に導入される。これにより、熱風ノズル30の吹出口からワークWの塗布表面に向けて熱風が吹き出され、塗工液が乾燥されて塗膜が形成される。ファン40は配管22と配管23との間に配設される。ファン40は空気路20において熱気生成手段である熱風発生機60およびヒータ50の下流に配置されている。ファン40には例えば遠心ファンが挙げられる。ファン40はファンモータMにより回転駆動される。ファン40は図1に矢印で示すような空気路20を流通する空気の流れを生成する気流生成手段を構成する。ヒータ50は空気路20を流通する空気を加熱し、熱気を生成する。ヒータ50は空気路20内に熱気を生成する熱気生成手段を構成する。ヒータ50の例として熱交換器や電熱線ヒータが挙げられる。ヒータ50は配管21と配管22との間に設けられる。なお、後述する熱風発生機60からワークWを処理するのに十分な熱量を持った熱風が空気路20に供給される場合は必ずしもヒータ50は必要ではない。熱風発生機60は熱風を発生し、空気路20に供給する。熱風発生機60は上記ヒータ50とともに空気路20内に熱気を生成する熱気生成手段を構成する。熱風発生機60は配管21に接続されている。乾燥装置1は、後述する漏洩防止機構70および逆流防止機構80を備えることにより、停電などでファン40に非常停止を生じた場合や、その他の想定外の事情により乾燥装置1が非常停止する非常時にも、炉内の雰囲気が外部に漏洩することを防止することが出来る。以下にその構成および動作を説明する。なお、以下の説明では、ファン40が停電などで非常停止した場合を例にして説明する。漏洩防止機構70は配管21から吸引口721を通って装置外部へ気流が漏洩することを防止するべく設けられる。本実施形態では、配管21は水平方向に配管されており、漏洩防止機構70はこの配管21の末端に取付けられた逆止弁スイングチャッキバルブなどで構成されている。概略的には、漏洩防止機構70は吸引口721を有する弁箱72に、吸引口721をチャックする弁体ジスク71がヒンジピン73で吊設された構成である。漏洩防止機構70の弁体71は空気路20の上流端で吸引口721に対する内側に位置している。図2は、漏洩防止機構70の動作を説明する図である。図2Aは乾燥装置1の稼働時の状態を示しており、乾燥装置1の稼働時はファン40図1参照。の吸引力によって熱風発生機60図1参照。からファン40までの配管21,22内の圧力が装置外部の気圧よりも小さくなり、吸引口721に取付けた弁体71が開き、装置外部の空気が吸引される。一方、停電などによりファン40が非常停止した場合は、熱風発生機60からファン40までの配管21,22内の圧力が装置外部の気圧よりも大きくなり、図2Bに示すように、弁体71が配管内の空気に押され吸引口721が閉鎖される。これにより、熱気生成手段ヒータ50、熱風発生機60により生成される熱気が装置外部に漏洩することが防止される。なお、漏洩防止機構70は上記の構成に限定されず、リフトチャッキバルブなど他の逆止弁で構成しても良いし、緊急遮断弁通電状態で閉動作し、非通電状態で開動作する弁で構成することも可能である。本実施の形態によると、吸引口721を必ずしも装置に対して相対的に低い位置に設けなくても熱気が装置外部に漏洩することを防止出来る。すなわち、本実施の形態によると、吸引口721を設置する高さ位置に関わらず、空気路20内の熱気と装置外部の空気との間の気体比重差で動く熱気の流れによる熱風の逆流が発生しても、逆流する熱気により吸引口721が閉鎖されるので、熱気の装置外部への漏洩を防止出来る。これにより、熱気の装置外部への漏洩防止の配慮に伴う吸引口721の配置の制約を受けることがなく、配管21~23の設置スペースの縮小や設置の自由度を高めることが出来る。逆流防止機構80は、空気路20の途中であって、熱気生成手段ヒータ50、熱風発生機60の下流に設けられる。本実施の形態では、配管22がL字形の2つの管を縦に繋ぎ合わせた構造であり、逆流防止機構80はその継ぎ目にあたる配管22の連絡口221を開閉する電磁弁または電動弁で構成されている。本実施の形態では、電磁弁または電動弁として、通電状態で開動作し、非通電状態では閉動作する弁を用いている。概略的には、逆流防止機構80は電磁式または電動式に移動する弁体81をロッドを介してシリンダ82に沿って移動自在に設けた構成である。図3は、逆流防止機構80の動作を説明する図である。図3Aは乾燥装置1の稼働時の状態を示しており、乾燥装置1の稼働時は電磁弁また電動弁へ通電され、弁体81のロッドがシリンダ82内に挿入されて連絡口221が開放され、空気路20が開通して熱風が熱風ノズル30図1参照。に導入される。一方、停電などによりファン40が非常停止した場合は、電磁弁または電動弁への通電も遮断されるため、図3Bに示すように、弁体81がシリンダ82から伸びて連絡口221が閉鎖される。これにより、爆発性ガスを含んだ加熱炉10図1参照。内の雰囲気が逆流して高温の熱気生成手段ヒータ50、熱風発生機60へ逆流することを防ぐことが出来、より安全性を高めることが出来る。このような逆流防止機構80はファン40と熱風発生機60が同時に停止したときに特に有効である。なお、逆流防止機構80は上記の構成に限定されず、逆止弁スイングチャッキバルブ、リフトチャッキバルブなどや緊急遮断弁通電状態で閉動作し、非通電状態で開動作する弁で構成することも可能である。図4は本発明の第2の実施形態に係る乾燥装置1の概略構成を示す模式図である。本実施の形態では、上記第1の実施形態に係る乾燥装置1図1参照。と比較し、熱風発生機60と逆流防止機構80を省略した構成となっている。小規模な加熱炉10を備えるものや処理効率を要求されない加熱装置1では、ファン40によって吸引される装置外部の空気をヒータ50によって加熱することでワークWの処理に必要な熱量を得ることが可能である。このように簡略な構成としても、ファン40の非常停止時は漏洩防止機構70が動作することで熱気生成手段ヒータ50から発生する熱気が逆流して吸引口721から漏洩するのを防止することが出来る。上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、この発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"