"振動源側と支持側の一方に取り付けられる筒状の第1取付具と、前記第1取付具の軸芯部に配されて振動源側と支持側の他方に取り付けられる第2取付具と、前記第1取付具と第2取付具との間に介設されたゴム状弾性体からなる防振基体と、前記第1取付具に取付けられて前記防振基体との間に液体封入室を形成するゴム状弾性体からなるダイヤフラムと、前記第1取付具の内側に設けられて前記液体封入室を前記防振基体側の主液室と前記ダイヤフラム側の副液室とに仕切る仕切り体と、前記仕切り体の外周部において周方向に延びて前記主液室と副液室を連結するオリフィス流路と、を備えた液封入式防振装置において、前記仕切り体は、前記オリフィス流路の主液室側開口の開口方向に対して略直交する弁体を前記オリフィス流路内に備え、前記弁体は、前記オリフィス流路を前記主液室側開口の近傍において、前記周方向に延びる主流路と、前記主流路よりも主液室側において主流路とは周方向で逆向きに液体を流す副流路とに区画する隔壁状をなしており、前記主流路と副流路が前記弁体の先端側で折り返し状に接続されることで前記主液室側開口近傍のオリフィス流路部分が形成されており、前記弁体は、前記主液室側開口から前記副流路に流れ込む液体により前記主流路を塞ぐ方向に撓み変形可能に設けられたことを特徴とする液封入式防振装置。前記弁体は、前記主液室の液圧上昇に伴い前記主液室側開口から前記副流路に流れ込む液体の流速が所定以上になったときに、前記主流路を塞ぐ方向に撓み変形して、前記主液室から前記副液室への液体の流れを制限することを特徴とする請求項1記載の液封入式防振装置。前記主液室側開口が前記主液室の径方向内方に向けて開口し、前記副流路が前記弁体を介して前記主流路の内周側に設けられており、前記主液室側開口から前記副流路に流れ込む液体により前記弁体が外周側の前記主液室を塞ぐ方向に撓み変形可能に設けられたことを特徴とする請求項1又は2記載の液封入式防振装置。前記弁体が板ばねにより構成されており、該弁体の撓み変形における支点が、前記主液室側開口の周方向位置に関し前記主流路の流れ方向で副液室側に設定されるとともに、前記板ばねの前記仕切り体に対する固定端が、前記主液室側開口の周方向位置に関し前記主流路の流れ方向で前記支点とは反対側に設けられたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の液封入式防振装置。前記弁体の支点において、前記板ばねと該板ばねが当接する仕切り体には、互いに嵌合することで位置ずれを防止するための凹凸嵌合部が設けられたことを特徴とする請求項4記載の液封入式防振装置。上記特許文献に記載の構成によれば、キャビテーションが発生するような過大な振幅の振動が入力されて、主液室の液圧が上昇する際に、弁体が作動してオリフィス流路が閉塞もしくは狭窄されるので、弁体の作動後には主液室から副液室への液体の流れが制限され、これにより主液室の正圧が大きくなる。そのため、その後に主液室の液圧が下降する方向の荷重が入力されても、主液室の負圧は大きくならず、従って、キャビテーションの発生を抑えることができる。しかしながら、上記特許文献1,2及び特許文献3の第2の実施形態の構成では、主液室と副液室との圧力差により弁体が作動し、オリフィス流路での液流動を制限する。すなわち、主液室側開口付近の液体の流れが弁体を回避迂回した流れであるため、弁体を作動させる力即ち、作動力は圧力差のみとなる。そのため、弁体をより低振幅側から作動させる場合、弁体の剛性を下げる必要があり、弁体の信頼性を低下させるおそれがある。また、特許文献3の第1の実施形態の構成では、オリフィス流路内に弁体と当接部とによる縮流部を持つため、圧力損失の増大によりオリフィス流路本来の減衰性能の低下を招くおそれがある。本発明は、上記の点に鑑み、キャビテーションの発生を効果的に抑制することができる液封入式防振装置を提供することを目的とする。本発明に係る液封入式防振装置は、振動源側と支持側の一方に取り付けられる筒状の第1取付具と、前記第1取付具の軸芯部に配されて振動源側と支持側の他方に取り付けられる第2取付具と、前記第1取付具と第2取付具との間に介設されたゴム状弾性体からなる防振基体と、前記第1取付具に取付けられて前記防振基体との間に液体封入室を形成するゴム状弾性体からなるダイヤフラムと、前記第1取付具の内側に設けられて前記液体封入室を前記防振基体側の主液室と前記ダイヤフラム側の副液室とに仕切る仕切り体と、前記仕切り体の外周部において周方向に延びて前記主液室と副液室を連結するオリフィス流路と、を備える。前記仕切り体は、前記オリフィス流路の主液室側開口の開口方向に対して略直交する弁体を前記オリフィス流路内に備え、前記弁体は、前記オリフィス流路を前記主液室側開口の近傍において、前記周方向に延びる主流路と、前記主流路よりも主液室側において主流路とは周方向で逆向きに液体を流す副流路とに区画する隔壁状をなしており、前記主流路と副流路が前記弁体の先端側で折り返し状に接続されることで前記主液室側開口近傍のオリフィス流路部分が形成されており、前記弁体は、前記主液室側開口から前記副流路に流れ込む液体により前記主流路を塞ぐ方向に撓み変形可能に設けられている。本発明の好ましい態様において、前記弁体は、前記主液室の液圧上昇に伴い前記主液室側開口から前記副流路に流れ込む液体の流速が所定以上になったときに、前記主流路を塞ぐ方向に撓み変形して、前記主液室から前記副液室への液体の流れを制限することが好ましい。また、他の好ましい態様において、前記主液室側開口が前記主液室の径方向内方に向けて開口し、前記副流路が前記弁体を介して前記主流路の内周側に設けられており、前記主液室側開口から前記副流路に流れ込む液体により前記弁体が外周側の前記主液室を塞ぐ方向に撓み変形可能に設けられてもよい。また、他の好ましい態様において、前記弁体が板ばねからなり、該弁体の撓み変形における支点が、前記主液室側開口の周方向位置に関し前記主流路の流れ方向で副液室側に設定されるとともに、前記弁体の前記仕切り体に対する固定端が、前記主液室側開口の周方向位置に関し前記主流路の流れ方向で前記支点とは反対側に設けられてもよい。また、この場合、前記弁体の支点において、前記弁体と該弁体が当接する仕切り体には、互いに嵌合することで位置ずれを防止するための凹凸嵌合部が設けられてもよい。なお、これらの好ましい各態様は適宜に組み合わせることができる。本発明に係る液封入式防振装置であると、所定振幅以上の大振幅振動入力に対して、主液室の液圧上昇に伴い、主液室側開口からオリフィス流路に流れ込む液体の流速が所定以上になったときには、弁体が主流路を塞ぐ方向に撓み変形して、主液室から副液室への液体の流れが制限される。これにより、主液室内の正圧が大きくなるので、続けて主液室の液圧が下降する方向の荷重が入力されたときに、主液室内の過度な負圧状態を抑制して、キャビテーションの発生を抑えることができる。また、その際、上記構成の弁体であると、液室間の圧力差のみならず、オリフィス流路での液体の流れが噴流効果として弁体に作用するため、より大きい作動力を得ることができる。そのため、圧力差のみで弁体を作動させる場合に比べて、弁体の剛性を低下させることなく従って、信頼性を損なうことなく、より低振幅側から弁体を作動させることができる。また、上記弁体であれば、内部に縮流部を形成せずにオリフィス流路を形成することが可能であるため、所定振幅未満の振動入力に対して、オリフィス流路本来の減衰性能を発揮することができる。また、本来のオリフィス流路である主流路に対して副流路を折り返し状に形成したことにより、副流路を設けない場合に比べて、その分オリフィス流路を長く設定することができ、そのため、減衰性能の向上を実現する設計も可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。[第1実施形態]図1に示された実施形態に係る液封入式防振装置10は、自動車のエンジンを支承するエンジンマウントであり、支持側の車体に取り付けられる筒状をなす下側の第1取付具12と、振動源であるエンジン側に取り付けられる上側の第2取付具14と、これら両取付具12,14の間に介設されて両者を連結するゴム弾性体からなる防振基体16と、第1取付具12に取り付けられて防振基体16との間に液体封入室18を形成する可撓性ゴム膜からダイヤフラム20とを備えてなる。第2取付具14は、第1取付具12の軸心部上方に配されたボス金具であり、上端面にはボルト穴22が設けられ、不図示のボルトを介してエンジン側に取り付けられるよう構成されている。第1取付具12は、上端部がやや大径とされた段付き円筒状の金具であり、不図示の筒状ホルダー内に圧入されて車体側に取り付けられるように構成されている。防振基体16は傘状に形成され、その上端部に第2取付具14が埋設された状態に加硫接着され、下端外周部が第1取付具12の上端開口部に加硫接着されている。防振基体16の下端部には、第1取付具12の内周面を覆うゴム膜状のシール壁部24が連なっている。ダイヤフラム20は、防振基体16の下面に対して軸方向Xに対向配置されて、当該下面との間に液体封入室18を形成する。ダイヤフラム20は、その外周部に環状の補強金具26が埋設一体化され、この補強金具26が第1取付具12の下端部12Aにかしめ固定されている。液体封入室18は、第1取付具12の内側において、防振基体16の下面とダイヤフラム20との間に形成されており、水やエチレングリコール、シリコーンオイル等の液体が封入されている。液体封入室18は、仕切り体28によって、防振基体16側、即ち防振基体16が室壁の一部をなす上側の主液室30と、ダイヤフラム20側、即ちダイヤフラム20が室壁の一部をなす下側の副液室32とに仕切られている。主液室30と副液室32は、仕切り体28の外周部に設けられたオリフィス流路34により互いに連通されている。仕切り体28は、平面視円形状をなして第1取付具12の周壁部の内側にシール壁部24を介して嵌着されている。仕切り体28は、上記補強金具26のかしめ固定により、その外周部がシール壁部24の段部24Aと補強金具26との間で軸方向Xに挟まれた状態に保持されている。この例では、仕切り体28は、図1,2に示すように、外周部を構成する環状のオリフィス形成部材36と、その内側で主液室30と副液室32を軸方向Xに区画するゴム膜からなる弾性壁38とで構成されている。オリフィス形成部材36は、金属や樹脂などの剛性材料からなり、外向きに開かれた凹溝部40を有し、シール壁部24を介して第1取付具12の内周面に嵌合されることにより、当該内周面と凹溝部40との間で周方向C図3参照に沿って延びる上記オリフィス流路34を形成する。弾性壁38は、オリフィス形成部材36の内周部に設けられた内向きのフランジ部41に一体に加硫成形された円板状のゴム膜部であり、オリフィス流路34のチューニング周波数よりも高周波数域の微振幅振動に対し、弾性変形することで両液室30,32間の液圧変動を吸収して、低動ばね特性を発揮する。オリフィス流路34は、この例では車両走行時のシェイク振動を減衰するために、シェイク振動に対応した低周波数域例えば、5~15Hz程度にチューニングされたシェイクオリフィスである。すなわち、オリフィス流路34を通じて流動する液体の共振作用に基づく減衰効果がシェイク振動の入力時に有効に発揮されるように、流路の断面積及び長さを調整することによってチューニングされている。オリフィス流路34は、図1,3に示されるように、周方向Cの一端に、主液室30に対して開口する主液室側開口42を備えるとともに、周方向Cの他端に、副液室32に対して開口する副液室側開口44を備える。主液室側開口42は、オリフィス形成部材36の周壁部に矩形状の貫通穴を設けることにより、主液室30の径方向内方に向けて開口して設けられており、この例では、図4に示すように開口形状が矩形状をなしている。図2,3に示すように、仕切り体28には、オリフィス流路34の主液室側開口42の開口方向Kに対して略直交する隔壁状の弁体46が、オリフィス流路34内に設けられている。すなわち、弁体46は、主液室側開口42の径方向外方側において、当該主液室側開口42に対して間隔をあけて対向して設けられており、この例では金属製の板ばねからなる。弁体46は、その板面が、主液室側開口42の開口方向K即ち、開口面に垂直な方向であり、該開口42を通過する液体の流れ方向に等しい。に対して直交する姿勢即ち、開口面に対して平行な姿勢にて、仕切り体28に取り付けられている。なお、上記開口方向Kに対して弁体46のなす角度は概ね直角であれば、必ずしも厳密に直角の場合には限定されず、例えば90度±30度の範囲内で傾斜していても、後述する噴流効果が得られることから、略直交していると言える。弁体46は、オリフィス流路34を、主液室側開口42の近傍において、主流路48と副流路50とに区画する隔壁状をなしている。主流路48は、仕切り体28の外周部において略全周にわたって周方向Cに延びて設けられた本来の流路部分である。副流路50は、主流路48よりもオリフィス流路34の流れ方向における主液室30側で、該主流路48とは周方向Cで逆向きに液体を流す流路部分である。この例では、副流路50は、弁体46を介して主流路48の内周側に設けられている。詳細には、図3に示すように、仕切り体28は、主液室側開口42を含むその近傍において、オリフィス流路34が径方向内方に向けて張り出した形状に形成されている。すなわち、オリフィス形成部材36の周壁部が、径方向内方に張り出し形成されており、該張り出し部において、オリフィス流路34が外周側の主流路48と内周側の副流路50との内外二重に設けられており、両者を区切る仕切り壁として上記弁体46が設けられている。図4,5に示すように、弁体46は、主液室側開口42の周方向位置に関して、主流路48の流れ方向で副液室32側に固定端46Aを有し、該固定端46Aにおいて固定手段52を介して仕切り体28に固定されている。ここでは、弁体46に設けた貫通穴に仕切り体28の取付け面に設けた凸部52を圧入することにより、弁体46は仕切り体28に固定されており、該貫通穴と凸部52との嵌合が固定手段となっている。かかる固定手段に代えて、リベットなどを用いることもできる。このようにして固定された弁体46は、固定端46Aから主流路48の流れ方向で主液室30側に延びており、図5に示すように主流路48の内周面に沿う湾曲板状に形成されている。そして、内周側の副流路50と外周側の主流路48とが弁体46の先端46B側で折り返し状に接続されており、これにより主液室側開口42近傍のオリフィス流路部分が上記の通り内外二重に形成されている。主流路48と副流路50は、より詳細には、弁体46の先端後述する撓み変形する部分の先端46Bと主流路48の閉塞部54との間の空間部により、連結されている。ここで、閉塞部54は、主流路48を周方向Cにおいて塞いで、主液室側開口42と副液室側開口44との短絡を防止するために、オリフィス形成部材36に設けられた縦壁部である。なお、主流路48と副流路50は断面積が同一に設定されている。この例では、図1に示すように、略矩形状の断面形状を持つ副流路50に対し、主流路48は軸方向Xに細長い矩形状の断面形状を有しており、副流路50は、主流路48の内周面における軸方向Xの一部ここでは上部側を径方向内方側に突出させることで、径方向外方側に開かれた窪み状に形成されている。そして、この窪み部を含む主流路48の軸方向Xの略全体を、窪み部の外周側から上記弁体46によって覆うことにより、副流路50と主流路48が内外に仕切られている。弁体46は、図5に示すように、主流路48の内周面に沿う湾曲面状となるように、オリフィス形成部材36の凹溝部40の底面に当接する方向に付勢されている。このように配設することで、弁体46は、図6に示すように、主液室側開口42から副流路50に流れ込む液体により主流路48を塞ぐ方向に撓み変形可能に構成されている。詳細には、主液室30の液圧上昇に伴い、主液室側開口42から副流路50に流れ込む液体の流速が所定の流速以上になったときに、弁体46が径方向外方に撓み変形して、外周側の主流路48を塞ぐようになっている。これにより、主液室30から副液室32への液体の流れが制限される。ここで、弁体46は、必ずしも主流路48、即ちオリフィス流路34を完全に閉塞する必要はなく、狭窄することで流量を制限するものであってもよい。一方、該流速が所定未満の状態では、弁体46は、その剛性により、図5に示すように主流路48の内周面に沿った形状を維持し、オリフィス流路34における本来の液体の流れを許容する。なお、上記のように弁体46が撓み変形する際の所定の流速については、主液室30内にキャビテーションが発生するような急激な圧力変動を生じるときの液体の流速値に基づいて設定することができ、例えば、弁体46の厚さや素材等を変更してその剛性を調整することにより設定可能である。また、この例では、弁体46の撓み変形における支点即ち、弁体46が可動する際の支点は、上記固定端46Aと共通しており、すなわち、支点は、主液室側開口42の周方向位置に関し、主流路48の流れ方向で副液室32側に設定されている。以上よりなる液封入式防振装置10であると、車両走行時においてシェイク振動のような所定振幅未満の振動入力に対しては、主液室側開口42からオリフィス流路34に流れ込む液体の流速が小さいので、弁体46は作動せず、図5に示すように、オリフィス流路34本来の液体の流れが可能であるため、オリフィス流路34内での液流動による本来の減衰性能を発揮することができる。一方、所定振幅以上の大荷重振動入力例えば、路面の段差を乗り越えたとき等のような瞬間的に大きな荷重の入力に対し、主液室30の液圧上昇に伴い、主液室側開口42からオリフィス流路34に流れ込む液体の流速が所定以上になったときには、図6に示すように、弁体46が主流路48を塞ぐように撓み変形して、主液室30から副液室32への液体の流れが制限される。これにより、主液室30内の正圧が大きくなる。その後、主液室30の液圧が下降する方向の荷重が入力されたときには、弁体46は、その弾性力により図5に示す元の状態に復帰して、副液室32側から主液室30側への液体の流れが許容される。このように大振幅振動入力時にオリフィス流路34の流れを制限することにより主液室30内の正圧を高めることができるので、続けて主液室30の液圧が下降する方向の荷重が入力されたときに主液室30内の過度な負圧状態を抑制して、キャビテーションの発生を抑えることができる。また、その際、上記構成の弁体46であると、主液室30と副液室32との圧力差のみならず、オリフィス流路34での液体の流れが噴流効果として弁体46に作用するため、より大きい作動力を得ることができる。そのため、圧力差のみで弁体を作動させる場合に比べて、弁体46の剛性を低下させることなく、従って信頼性を損なうことなく、より低振幅側から弁体46を作動させることができる。また、本実施形態であると、弁体46を設けてもオリフィス流路34に縮流部が形成されていないので、圧力損失の増大を伴わず、そのため、シェイク振動に対してオリフィス流路34本来の減衰性能を発揮することができる。また、本実施形態であると、本来のオリフィス流路である主流路48に対して副流路50を折り返し状に形成したことにより、副流路を設けない場合に比べて、その分オリフィス流路34を長く設定することができる。そのため、減衰性能の向上を実現することができる。また、本実施形態であると、図6に示すように、弁体46が半径方向外側に撓み変形して主流路48を塞ぐ際に、主流路48の外周面はゴム状弾性体からなるシール壁部24により形成されているので、弁体46が主流路48を塞ぐ際の衝撃を緩和して異音の発生を抑えることができる。[第2実施形態]第2実施形態に係る液封入式防振装置は、弁体46の構成が上述した第1実施形態とは異なる。この実施形態では、弁体46は、図7に示す板ばね56により構成されている。板ばね56は、長手方向の一端部に弁体46の撓み変形における支点46Aが設けられるとともに、長手方向の他端部に仕切り体28に対する固定端60が設けられた比較的細長い矩形枠状をなし、主流路48と副流路50との隔壁をなす弁体46が、枠状部の内側において、支点46A側を付け根部として固定端60側に向かって延びる舌状に形成されている。そして、この弁体46の先端46Bと固定端60との間の開口部58が、主流路48と副流路50を連結する連通部となっている図8参照。図8に示すように、板ばね56は、上記支点46Aが、主液室側開口42の周方向位置に関し、主流路48の流れ方向で副液室32側に設定されるとともに、上記固定端60が、主液室側開口42の周方向位置に関し、主流路48の流れ方向で上記支点46Aとは反対側に設定されるように、仕切り体28に設置されている。板ばね56は、該固定端60において固定手段62第1実施形態と同様の貫通穴と凸部との嵌合を介して仕切り体28に固定されている。また、支点46Aには、仕切り体28ここではオリフィス形成部材36に設けられた嵌合凹部64に嵌合する位置ずれ防止用の嵌合凸部66が設けられている。第2実施形態でも、第1実施形態と同様、所定振幅以上の大荷重振動入力時に、主液室側開口42からオリフィス流路34に流れ込む液体の流速が所定以上になったときには、図9に示すように、弁体46が主流路48を塞ぐように撓み変形して、主液室30から副液室32への液体の流れが制限され、主液室30内の正圧を高くすることができる。そのため、続けて主液室30の液圧が下降する方向の荷重が入力されたときに主液室30内の過度な負圧状態を抑制して、キャビテーションの発生を抑えることができる。第2実施形態では、特に、弁体46を構成する板ばね56の固定端60を、支点46Aに対して逆側に設けたので、板ばね56の撓み変形による歪み箇所と、板ばね56の仕切り体28への固定による組み付け歪み箇所とを、周方向Cで分離させることが可能となり、弁体46の信頼性を更に向上することができる。また、固定されていない弁体46の支点46A側において、板ばね56と該板ばね56が当接する仕切り体28表面とに、互いに嵌合することで位置ずれを防止するための嵌合凸部66と嵌合凹部64凹凸嵌合部に相当する。を設けたので、弁体46の撓み変形により支点46Aがずれるおそれを排除することができ、非固定の支点46Aでありながら作動を確実なものにすることができる。第2実施形態について、その他の構成および作用効果については第1実施形態と同様であり、説明は省略する。[その他の実施形態]上記実施形態では、副流路50を主流路48の内周側に設けたが、副流路は主流路の上側に設けてもよい。すなわち、主流路と副流路は上下2層軸方向Xにおいて二重に設けてもよい。詳細には、オリフィス流路の主液室側開口が、上記実施形態のように主液室の半径方向内方に向けて設けられた場合に代えて、軸方向において上方即ち、防振基体側に向けて開口して設けられた場合、該主液室側開口に対して下方に弁体が対向配置されるので、主流路の上方に弁体を介して副流路が形成されることになる。このように主流路と副流路を上下2層に設ける場合についても、主液室側開口から流れ込む液体により弁体を下方に撓み変形させて主流路を塞ぐことにより、上記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。また、上記実施形態では、液室として主液室30と単一の副液室32とからなる場合について説明したが、主液室とともに複数の副液室を持ち、これらの液室間がオリフィス流路を介して連結された様々な液封入式防振装置にも同様に適用することができる。その他、一々列挙しないが、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変更が可能である。"