塗布される液状体により膜が形成される膜形成基板であって、基板と、前記液状体に対して撥液性を示し、前記基板の第1面側において、前記液状体が塗布される領域である塗布領域を囲んだ状態で設けられた第1隔壁と、前記第1隔壁よりも前記液状体に対して親液性を示し、前記第1隔壁に積層して設けられた第2隔壁と、を有する、ことを特徴とする膜形成基板。前記第2隔壁の前記第1隔壁との積層面側とは反対側の面に、前記第2隔壁よりも前記液状体に対して撥液性を示す撥液部を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の膜形成基板。請求項1又は2に記載の膜形成基板の前記塗布領域に前記液状体を塗布する塗布工程と、前記塗布領域に塗布された前記液状体を乾燥させることによって、前記基板の前記第1面側に膜を形成する膜化工程と、を含み、前記塗布工程では、前記膜化工程により形成された前記膜の表面の位置が前記第1隔壁隔壁と前記第2隔壁との境界に合う様に、前記液状体を塗布する、ことを特徴とする膜形成方法。ところで、上記特許文献1に記載された隔壁構成においては、隔壁内に塗布された液状体が撥液性隔壁と接しながら乾燥されることになるため、膜と隔壁が接している部分が凹んだ状態で膜化され、膜の平坦性を向上させることが困難であるという課題がある。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。[適用例1]塗布される液状体により膜が形成される膜形成基板であって、基板と、前記液状体に対して撥液性を示し、前記基板の第1面側において、前記液状体が塗布される領域である塗布領域を囲んだ状態で設けられた第1隔壁と、前記第1隔壁よりも前記液状体に対して親液性を示し、前記第1隔壁に積層して設けられた第2隔壁と、を有する、ことを特徴とする膜形成基板。この適用例の膜形成基板には、塗布される液状体に含まれる材料で膜が形成される。膜形成基板は、基板と、第1隔壁と、第2隔壁と、を有する。第1隔壁は、基板の第1面側において、液状体が塗布される領域である塗布領域を囲んだ状態で設けられている。第1隔壁は、液状体に対して撥液性を示す。第2隔壁は、第1隔壁に積層されている。第2隔壁は、第1隔壁よりも液状体に対して親液性を示す。この膜形成基板では、塗布領域に塗布された液状体を乾燥させることによって、液状体に含まれる材料で基板の第1面側に膜を形成することができる。このとき、乾燥後の膜の表面の高さ位置が第1隔壁と第2隔壁との境界となる様に液状体を塗布することによって、膜の表面の高さ位置をコントロールしやすくすることができる。ここで、第1隔壁よりも液状体に対して親液性を示す第2隔壁に液状体が引き付けられながら膜化が進むため、開口中央部へ過剰に固形分が集まらず平坦性が高い膜形状を得ることがきる。[適用例2]上記の膜形成基板であって、前記第2隔壁の前記第1隔壁との積層面側とは反対側に、前記第2隔壁よりも前記液状体に対して撥液性を示す撥液部を有する、ことを特徴とする膜形成基板。この適用例では、第2隔壁の第1隔壁側とは反対側に、第2隔壁よりも液状体に対して撥液性を示す撥液部があるので、液状体を塗布領域外に流出させにくくすることができる。[適用例3]上記の膜形成基板の前記塗布領域に前記液状体を塗布する塗布工程と、前記塗布領域に塗布された前記液状体を乾燥させることによって、前記基板の前記第1面側に膜を形成する膜化工程と、を含み、前記塗布工程では、前記膜化工程により形成された前記膜の表面位置が前記第1隔壁と前記第2隔壁との境界に合う様に、前記液状体を塗布する、ことを特徴とする膜形成方法。この適用例の膜形成方法は、膜形成基板の塗布領域に液状体を塗布する塗布工程と、塗布領域に塗布された液状体を乾燥させることによって、基板の第1面側に膜を形成する膜化工程と、を含む。膜形成基板は、基板と、第1隔壁と、第2隔壁と、を有する。第1隔壁は、基板の第1面側において、液状体が塗布される領域である塗布領域を囲んだ状態で設けられている。第1隔壁は、液状体に対して撥液性を示す。第2隔壁は、第1隔壁に積層されている。第2隔壁は、第1隔壁よりも液状体に対して親液性を示す。この膜形成方法では、塗布工程において、膜の表面の位置が第1隔壁と第2隔壁との境界に合う様に液状体を塗布するので、膜の表面位置をコントロールしやすくすることができる。ここで、第1隔壁よりも液状体に対して親液性を示す第2隔壁に液状体が引き付けられながら膜化が進むため、開口中央部へ過剰に固形分が集まらず平坦性が高い膜形状を得ることがきる。以下、膜形成基板および膜形成方法の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルター基板を製造する工程において、カラーフィルター膜を製造する方法を例に説明する。当該機能膜を製造する工程では、吐出ヘッドの一例としてインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いて機能膜の材料を含む機能液を基板上の所定の区画に配置する方法を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材または部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表現する場合がある。最初に、膜形成基板および膜形成方法の一実施形態について、説明する。本実施形態は、電気光学装置の一例である液晶表示装置のカラーフィルターを製造する工程において、機能膜の一例である色要素膜フィルター膜を形成する工程で用いられる膜形成方法を例に説明する。最初に、フィルター膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を精度よく配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱交換方式、静電吸引方式などが挙げられる。このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子圧電素子がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状の材料を貯留した空間に可撓性を有する材料で形成された部分を解して圧力を与え、この空間から液状材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状材料を加熱することがないため、材料の組成などへの影響が少なく、駆動電圧を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成になどに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、および液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。次に液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネルは、電気光学装置としての液晶装置の一例であり、機能膜としてのカラーフィルターの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルターを備える液晶表示パネルである。図1は、本実施形態におけるカラーフィルター基板の一部を示す平面図である。図2は、図1中のA-A線における断面図である。図1に示すように、カラーフィルター基板1は、隔壁2と、複数のフィルター膜3と、を有する。また、カラーフィルター基板1は、図2に示すように、基板4を有している。隔壁2及び複数のフィルター膜3は、基板4上に形成されている。基板4は、例えばガラスなどの光透過性を有する材料で構成されている。本実施形態では、隔壁2は、第1隔壁5と、第2隔壁6と、を有している。第1隔壁5は、基板4の基板面4aに設けられている。第1隔壁5は、光透過性が低い樹脂材料によって構成されており、格子状のパターンに形成されている。第2隔壁6は、第1隔壁5の基板4側とは反対側、すなわち第1隔壁5上に設けられている。このため、第2隔壁6は、第1隔壁5に沿って、格子状のパターンに形成されている。隔壁2は、図2に示すように、複数のフィルター膜3のそれぞれの領域を画素7として区画している。隔壁2によって区画された複数の画素7は、マトリクス状に配列している。複数のフィルター膜3には、赤色フィルター膜3R、緑色フィルター膜3G、及び青色フィルター膜3Bが含まれている。複数のフィルター膜3は、それぞれ、画素7ごとに形成されている。以下において、画素7を色ごとに区別する場合には、画素7R、画素7G及び画素7Bと表記される。画素7Rは、赤色フィルター膜3Rが形成される画素7である。画素7Gは、緑色フィルター膜3Gが形成される画素7である。画素7Bは、青色フィルター膜3Bが形成される画素7である。なお、本実施形態では、図1に示すように、複数の赤色フィルター膜3R、複数の緑色フィルター膜3G、及び複数の青色フィルター膜3Bのそれぞれが列状にならんだストライプ配列が採用されている。しかしながら、複数のフィルター膜3の配列はストライプ配列に限定されず、種々の配列が採用され得る。複数のフィルター膜3は、それぞれ例えば、フィルター膜3を構成する色材を含む機能液を画素7に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで形成され得る。カラーフィルター基板1の製造方法について、図3および図4を参照して説明する。図3は、カラーフィルター基板1の製造方法を示すフローチャートである。図4は、カラーフィルター基板1の製造方法を説明する断面図である。カラーフィルター基板1の製造方法は、図3に示すように、膜形成基板の形成工程S1と、フィルター膜3の形成工程S2と、を有する。膜形成基板の形成工程S1では、まず、図4aに示すように、基板4の基板面4a上に、第1隔壁5を格子状に形成する。第1隔壁5の形成には、例えば、フォトリソグラフィー技術が活用され得る。第1隔壁5の形成では、まず、第1隔壁5を構成する樹脂で基板面4aに樹脂膜を形成する。ここで、第1隔壁5を構成する樹脂には、機能液に対して撥液性を示す粒子が分散している。このような樹脂としては、例えば、撥液性を示す粒子が分散する感光性のアクリル樹脂やポリイミド樹脂などが採用され得る。なお、樹脂膜の形成には、例えば、スピンコート技術などが活用され得る。そして、基板面4aに形成された樹脂膜を、フォトリソグラフィー技術によって格子状にパターニングすることによって、図4aに示す第1隔壁5が形成され得る。このとき、フォトリソグラフィー技術における現像によってアクリル樹脂やポリイミド樹脂などの一部が除去される。このため、第1隔壁5の表面には、撥液性を示す粒子の一部が露出する。これによって、第1隔壁5は、機能液に対して撥液性を示す。なお、撥液性を示す粒子の材料としては、例えば、フッ素樹脂などが採用され得る。また、粒子の平均粒径は、0.5μmから2.0μmの範囲であることが好ましい。次に、図4bに示すように、基板4の基板面4a側に、第1隔壁5を覆う樹脂膜6aを形成する。樹脂膜6aの材料としては、例えば、感光性のアクリルやポリイミドなどの樹脂を採用することができる。また、樹脂膜6aは、例えば、スピンコート技術などを活用することによって形成され得る。次に、樹脂膜6aを第1隔壁5のパターンに沿って格子状にパターニングすることによって、図4cに示すように、第1隔壁5に積層された第2隔壁6が形成され得る。樹脂膜6aのパターニングは、例えば、フォトリソグラフィー技術を活用することによって形成され得る。次いで、図5aに示すように、第2隔壁6側から基板4に酸素プラズマ処理を施す。これにより、第2隔壁6に、酸素プラズマ処理前よりも機能液に対する親液性が付与される。次いで、図5bに示すように、転写法を活用して、第2隔壁6の表面に、機能液に対して撥液性を示す撥液材8を転写する。撥液材8の材料としては、例えば、フッ素樹脂などが採用され得る。転写法では、撥液材8が塗布されたフィルム9を第2隔壁6に押し付けることによって、撥液材8が第2隔壁6の第1隔壁5側とは反対側に転写される。このようなフィルム9としては、例えば、PETポリエチレンテレフタレートのフィルムに撥液材8をコーティングしたものが採用され得る。撥液材8の転写をもって第2隔壁6が形成される。そして、第2隔壁6の形成をもって隔壁2が設けられる。これにより、図5cに示すように、基板4と隔壁2とを有する膜形成基板10が形成される。膜形成基板10では、隔壁2によって複数の画素7が区画されている。なお、撥液材8の転写工程は必要に応じて実施するものであり、省略することもできる。フィルター膜3の形成工程S2では、まず、図6aに示すように、各画素7の領域内にフィルター膜3を構成する材料を含む機能液11を配置する。機能液11の配置には、液滴吐出ヘッド12が用いられる。液滴吐出ヘッド12は、機能液11を液滴13として吐出する。以下において、赤色フィルター膜3Rを構成する材料を含む機能液11は、機能液11Rと表記される。また、緑色フィルター膜3Gを構成する材料を含む機能液11は、機能液11Rと表記される。同様に、青色フィルター膜3Bを構成する材料を含む機能液11は、機能液11Bと表記される。また、機能液11Rを吐出する液滴吐出ヘッド12は、液滴吐出ヘッド12Rと表記される。また、機能液11Gを吐出する液滴吐出ヘッド12は、液滴吐出ヘッド12Gと表記される。同様に、機能液11Bを吐出する液滴吐出ヘッド12は、液滴吐出ヘッド12Bと表記される。そして、液滴吐出ヘッド12Rが吐出する液滴13は、液滴13Rと表記される。また、液滴吐出ヘッド12Gが吐出する液滴13は、液滴13Gと表記される。同様に、液滴吐出ヘッド12Bが吐出する液滴13は、液滴13Bと表記される。画素7へ配置する機能液11の量は、液滴吐出ヘッド12から吐出される液滴13のドロップ数でコントロールされる。画素7へ配置する機能液11は、図6aに示すように、第2隔壁6の高さを越える量にコントロールされる。次に、図6bに示したように、機能液11を仮焼成する。この仮焼成の過程において、機能液11は、液体成分が第2隔壁6に引きつけられながら、徐々にフィルター膜3として膜化していく。次に、図6cに示したように、膜化したフィルター膜3を焼成する。仮焼成によって膜化したフィルター膜をさらに焼成することによって、フィルター膜3を十分に硬化させることができる。これにより、フィルター膜3形成され得る。上記により、カラーフィルター基板1が製造され得る。なお、画素7へ配置する機能液11の量は、フィルター膜3の表面の位置が第1隔壁5と第2隔壁6との境界に合う様に、にコントロールされる。このような機能液11の量のコントロールは、予備実験などにより把握され得る。本実施形態において、フィルター膜3が膜に対応し、基板面4aが第1面に対応し、画素7が塗布領域に対応し、撥液材8が撥液部に対応している。本実施形態では、フィルター膜3の表面位置基板面4aからの高さ位置を第1隔壁5と第2隔壁6との境界に合わせやすくすることができる。これにより、フィルター膜3の基板面4aからの高さ位置を、複数のフィルター膜3間でそろえやすくすることができる。この結果、液晶表示パネルにおいて、画素7単位での輝度を複数の画素7間でそろえやすくすることができる。これにより、液晶表示パネルの表示品位を向上させやすくすることができる。また、本実施形態では、機能液11の液体成分が第2隔壁6に引きつけられながら、フィルター膜3が膜化していくので、フィルター膜3の平坦性を高めやすくすることができる。ここで、図7aに示すように、機能液11に対して撥液性を示す隔壁21だけで隔壁を構成すると、フィルター膜3の平坦性を向上させることが困難である。これは、図7bに示すように、機能液11の液体成分が隔壁21から画素7の中央部に向かって盛り上げられながら、すなわち機能液11の液体成分が基板4とは反対側に向かって凸状に盛り上げられながら、フィルター膜3の膜化が進むためと考えられる。機能液11の液体成分が基板4とは反対側に向かって凸状に盛り上がった状態でフィルター膜3の膜化が進むと、フィルター膜3を構成する固形分が画素7の中央部に集まりやすくなるためと考えられる。これに対して、本実施形態では、機能液11の液体成分が第2隔壁6に引きつけられながら、フィルター膜3が膜化していくので、機能液11の液体成分が基板4とは反対側に向かって凸状に盛り上がることを抑えやすくすることができる。これにより、フィルター膜3を構成する固形分が画素7の中央部に集まることを抑えやすくすることができるので、フィルター膜3の平坦性を高めやすくすることができる。