"照射手段を介して測定対象面と参照面に波長の異なる複数の単色光を照射し、測定対象面と参照面の両方から反射して同一光路を戻る反射光によって生じる干渉縞の強度値に基づいて、測定対象面の表面高さと表面形状を求める表面形状測定方法において、前記照射手段が、広帯域な波長特性を有する照射光から、音響光学フィルタを用いて任意の波長の異なる単色光を複数抽出し、同時に混在して照射する照射手段からなることを特徴とする表面形状測定方法。請求項1に記載の表面形状測定方法において、事前に、測定対象面上に単色光の波長をスキャンしながら照射し、得られる各単色光の反射強度の測定結果を用いて、その測定対象面に対して最適な波長の単色光を複数選択し、それらを照射して、表面形状測定をおこなうことを特徴とする表面形状測定方法。照射手段を介して測定対象面と参照面に波長の異なる複数の単色光を照射し、測定対象面と参照面の両方から反射して同一光路を戻る反射光によって生じる干渉縞の強度値に基づいて、測定対象面の表面高さと表面形状を求める表面形状測定装置において、前記照射手段が、広帯域な波長特性を有する照射光から、音響光学フィルタを用いて任意の波長の異なる単色光を複数抽出し、同時に混在して照射する照射手段からなることを特徴とする表面形状測定装置。請求項3に記載の表面形状測定装置において、事前に、測定対象面上に単色光の波長をスキャンしながら照射し、得られる各単色光の反射強度の測定結果を用いて、その測定対象面に対して最適な波長の単色光を複数選択し、それらを照射して、表面形状測定をおこなうように構成したことを特徴とする表面形状測定装置。前記背景技術では、光源として単色光源から出力される単色光や波長の異なる複数の単色光が用いられていた。特に、単色光源から出力される単色光を用いる構成の特許文献1に記載の表面形状測定では、測定可能な段差最大値測定レンジが単色光の波長λの半分であるλ/2に制限されるため、測定レンジを幅広く取ることが困難であった。また、波長の異なる複数の単色光を用いる特許文献2に記載の表面形状測定では、異なる波長を出力する複数台の波長の異なる単色光源を用いる構成としても良いし、白色光源と白色光源から出力される光源のうち所定の波長の異なる複数の単色光を抽出する抽出手段を用いる光学手段から構成しても良いとしていた。しかし、上記構成の光源では、以下の課題を残している。前記の様に、複数台の光源を用いる場合、光源にかかる設備費用およびランニングコスト消耗品の補充、電力供給などが必要な個々の波長の光源の数量分を必要とする。また、単一の光源から波長の異なる複数の単色光を得ようとすると、光源から抽出する抽出手段を透過する必要が生じるが、抽出手段を透過する場合に光量の損失が生じ、強容量の光を効率良く照射することができない。さらには、波長の異なる複数の単色光の数が3波長以上の場合は、抽出手段が多段となり、益々損失が大きくなる。また、単色光の波長を変更する場合には、光源もしくはフィルタ自体の変更が余儀なくされる。さらに、単色光の波長の数を増やす場合には、光源もしくはフィルタや抽出手段を増設する必要が生じる。本願の第1の表面形状測定方法の発明は、照射手段を介して測定対象面と参照面に波長の異なる複数の単色光を照射し、測定対象面と参照面の両方から反射して同一光路を戻る反射光によって生じる干渉縞の強度値に基づいて、測定対象面の表面高さと表面形状を求める表面形状測定方法において、前記照射手段が、広帯域な波長特性を有する照射光から、音響光学フィルタを用いて任意の波長の異なる単色光を複数抽出し、同時に混在して照射する照射手段からなることを特徴とする。すなわち、前記の照射する光源に対する課題に対し、多波長干渉計測用の光源として、広域をカバーする波長特性、例えば、可視領域から近赤外領域波長400nm~1,000nm程度を含む光源具体的には、ハロゲンランプ光源または白色レーザ光源などと任意の波長の異なる複数帯域の単色光を透過可能な光学フィルタを組み合わせる手法を用いて、同時に混在させて照射し、前記多波長干渉計測用の画像をワンショットで撮像し、それを分解手段を用いて個々に分解して、測定対象物の表面形状を測定する方法を提供する。また、本願の第2の表面形状測定方法の発明は、事前に、測定対象面上に単色光の波長をスキャンしながら照射し、得られる各単色光の反射強度の測定結果を用いて、その測定対象面に対して最適な波長の異なる単色光を複数選択し、それらを照射して表面形状測定をおこなうことを特徴とする。すなわち、波長の異なる複数の単色光を照射する表面形状測定にあたっては、個々の測定対象物には、多くの光学特性を保有するものがあり、当初設定した波長のままでは、測定対象面の色によっては反射強度の低下を生じたり、また測定対象面に透明皮膜がある場合はその光学膜厚によっては反射強度の低下を生じる場合がある。その様な場合でも、的確に表面形状測定ができるように、第1の発明に記載の表面形状測定方法を用いて、波長の異なる複数の単色光を選択的に同時に抽出するにあたり、照明装置として音響光学フィルタを用いることにより、必要な波長の異なる複数の単色光を測定者が任意に設定することができるので、あらかじめ、単色光の波長をスキャンしながら照射し、得られる各単色光の反射強度の測定結果を用いて、その測定対象面に対して最適な波長の異なる複数の単色光を複数選択し、それを用いて表面形状測定をおこなう。また、本願の第3の表面形状測定装置の発明は、照射手段を介して測定対象面と参照面に波長の異なる複数の単色光を照射し、測定対象面と参照面の両方から反射して同一光路を戻る反射光によって生じる干渉縞の強度値に基づいて、測定対象面の表面高さと表面形状を求める表面形状測定装置において、前記照射手段が、広帯域な波長特性を有する照射光から、音響光学フィルタを用いて任意の波長の異なる単色光を複数抽出し、同時に混在して照射する照射手段からなることを特徴とする。すなわち、前記の照射する光源に対する課題に対し、多波長干渉計測用の光源として、広域をカバーする波長特性、例えば、可視領域から近赤外領域波長400nm~1,000nm程度を含む光源具体的には、ハロゲンランプ光源または白色レーザ光源などと任意の波長の異なる複数帯域の単色光を透過可能な音響光学フィルタを組み合わせる手段を用いて、同時に任意の波長の異なる複数の単色光を混在させて照射し、前記多波長干渉計測用の画像をワンショットで撮像し、該撮像画像データを用いて個々に分析して、測定対象物の表面形状を測定できる装置を提供することにある。また、本願の第4の表面形状測定装置の発明は、事前に、測定対象面上に単色光の波長をスキャンしながら照射し、得られる各単色光の反射強度の測定結果を用いて、その測定対象面に対して最適な波長の異なる単色光を複数選択し、それらを照射して、表面形状測定をおこなうように構成したことを特徴とする。すなわち、波長nお異なる複数の単色光を照射する表面形状測定にあたっては、個々の測定対象物には多くの光学特性を保有するものがあり、当初設定した波長のままでは、測定対象面の色によっては反射強度の低下を生じたり、また測定対象面に透明皮膜がある場合はその光学膜厚によっては反射強度の低下を生じるものがある。その様な場合でも、的確に表面形状測定ができるように、第3の発明に記載の表面形状測定装置を用いて、波長の異なる複数の単色光を選択的に同時に抽出するにあたり、照明装置として音響光学フィルタを用いることにより、必要な複数の単色光を測定者が任意に設定することができるので、あらかじめ、単色光の波長をスキャンしながら照射し、得られる各単色光の反射強度の測定結果を用いて、その測定対象面に対して最適な波長の異なる単色光を複数選択し、それを用いて表面形状測定をおこなう。また、音響光学フィルタを用いることにより、使用する波長の異なる複数の単色光を測定者が任意に設定することができるので、測定者は、照明装置の部材の交換を行わないで測定をおこなうことができる。上記手法および/または手段を用いれば、広帯域な波長特性を示す照射光から波長の異なる複数の単色光を選択する場合でも、照明装置の部材の台数は1台で済み、光源管理が容易になる。また、もし、必要な光源が複数となった場合においても、単色光の数だけ光源を準備するよりも光源の台数は1台で対応でき、光源管理が容易になる。また、波長の異なる任意の帯域の複数の単色光を透過可能な光学フィルタとして、音響光学フィルタを用いることにより、使用する波長の異なる複数の単色光を測定者が任意に設定することができるので、測定者は、照明装置の部材の交換を行わないで測定対象物に適合する最適の波長の単色光を用いることにより測定時にも反射率による感度低下などの影響を受けないで測定をおこなうことができる。使用する複数の単色光の波長の組み合わせを測定者が任意に設定できるので、測定時に波長の異なる複数の単色光の組み合わせを容易に最適化することが可能となり、測定条件の変更を容易に変更することができる。波長の異なる複数の単色光の数を増やす場合、使用する光源の帯域内で且つ音響光学フィルタの特性上可能な数の単色光の数現行用いている音響化学フィルタでは、6種類の単色光数まで得られるであれば、光源や音響光学フィルタの機能を追加しなくても対応可能である。ただし、撮像手段側の撮像装置に波長の異なる複数の単色光を分解できる分解手段を保持する構成を保有していることが必要となる。以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。なお、本実施例としては、表面が略平坦な測定対象物の表面高さおよび表面形状を干渉縞を利用して測定した事例を含めて、本願明細書に引用した先行技術文献に記載の表面形状測定装置を例に採って説明する。図1は、本発明の実施例に係る表面形状測定装置の概略構成を示す図である。この表面形状測定装置は、半導体ウエハ、液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、磁性体フィルム、ガラス基板または金属膜などの表面に微細な凹凸段差を有する略平坦な測定対象物30に複数の特定波長帯域の単色光を照射する光学系ユニット1と、光学系ユニット1を制御する制御系ユニット2と、測定対象物30を載置保持する保持テーブル40とを備える。光学系ユニット1は、測定対象面30Aおよび参照面15に向けて波長の異なる複数の単色光を出力する照明装置10と、各単色光を平行光にするコリメートレンズ11と、両単色光を測定対象物30の方向に反射する一方測定対象物30の方向からの光を通過させるハーフミラー13と、ハーフミラー13で反射されてきた波長の異なる複数の単色光を集光する対物レンズ14と、対物レンズ14を通過してきた単色光を参照面15へ反射させる参照光と測定対象面30Aへ通過させる測定光とに分けるとともに、参照面15で反射してきた参照光と測定対象面30Aで反射してきた測定光とを再びまとめて干渉縞を発生させるビームスプリッタ17と、参照光と測定光とがまとめられた波長の異なる複数の単色光を結像する結像レンズ18と、干渉縞とともに測定対象面30Aを撮像する撮像装置19とを備える。照明装置10は、広帯域な波長を有する照射光を照射する光源10Aおよび音響光学フィルタ10Bと導光路10Cから構成されている。本実施例の光源10Aとしては、例えば白熱電球やハロゲンランプからなる白色光源が利用される。音響光学フィルタ10Bを透過することで、任意の波長の異なる複数の単色光を同時混在した状態で波長の異なる複数の単色光を選択的に抽出する。光源を任意の波長の異なる複数の単色光を出力する。例えば、第1波長は波長λ1=470nm、第2波長は波長λ2=560nm、第3波長は波長λ3=600nmである。本実施例の音響光学フィルタ10Bは、図3に示すように二酸化テルル結晶101、吸音材102、トランスデューサ103および発振器104から構成されており、二酸化テルル単結晶101内を伝播する波長の異なる複数の単色光からなる横波超音波105によって生じる光の異方ブラッグ回折を利用したもので、広帯域な波長を有する光の中から任意の波長の異なる複数の単色光を高速に抽出し、導光路10Cを通じてコリメートレンズ11に照射することができる。ここで、導光路10Cは、図3に示した、音響光学フィルタ10Bを透過した後の波長の異なる複数の単色光を主走査方向に導光する略円柱状の導光体であり、透過して後コリメートレンズ11に速やかに該波長の異なる複数の単色光を送るために導入されている。なお、照明装置10は、本発明の照射手段に相当する。ハーフミラー13は、コリメートレンズ11からの波長の異なる複数の単色光からなる平行光を測定対象物30に向けて反射する一方、測定対象物30から戻ってきた反射光を通過させるものである。対物レンズ14は、入射してきた、波長の異なる複数の単色光を焦点とする測定対象面30Aに集光するレンズである。ビームスプリッタ17は、対物レンズ14で集光される波長の異なる複数の単色光を参照面15で反射させる参照光と、測定対象面30Aで反射させる測定光とに分離する。また、各面で反射して同一光路を戻る参照光と測定光とを再びまとめることによって、波長の異なる複数の単色光の波長ごとに干渉を発生させる。なお、ビームスプリッタ17は、本発明の分岐手段に相当する。参照面15は、表面が鏡面加工されており、波長の異なる複数の単色光からなる参照光の進行方向に対して前後斜め傾斜姿勢で取り付けられている。この参照面15によって反射された波長の異なる複数の単色光からなる参照光は、ビームスプリッタ17に達し、さらに、ビームスプリッタ17によって反射されるようになっている。なお、参照面15を波長の異なる複数の単色光からなる参照光の進行方向に対して前後斜め傾斜姿勢で取り付けることにより、波長の異なる複数の単色光からなる参照光の到達距離から複数の単色光からなる反射光が撮像装置19に到達するまでの距離が、反射面の位置によって変化する。これは参照面15を移動して、参照面15とビームスプリッタ17との間の距離L1を変動させるのと等価である。また、ビームスプリッタ17を通過した波長の異なる複数の単色光からなる測定光は、焦点に向けて集光され、測定対象面30Aで反射する。この反射した波長の異なる複数の単色光からなる測定光は、ビームスプリッタ17に達して、そのビームスプリッタ17を通過する。ビームスプリッタ17で、波長の異なる複数の単色光からなる参照光と同じく波長の異なる複数の単色光からなる測定光とが再びまとまる。このとき、参照面15とビームスプリッタ17との間の距離L1と、ビームスプリッタ17と測定対象面30Aとの間の距離L2との距離の差によって光路差が生じる。その光路差に応じて、波長の異なる複数の単色光からなる参照光と波長の異なる複数の単色光からなる測定光とは波長の異なる複数の単色光の波長ごとに干渉する。撮像装置19は、波長の異なる複数の単色光からなる測定光によって映し出される測定対象面30Aの画像を撮像する。このとき、参照面15が傾いていることにより、撮像された測定対象面30Aの画像には複数の単色光の波長ごとの干渉による輝度の空間的な変動である干渉縞が撮像される。ここで、観測手段としての撮像装置19は、各単色光の波長ごとの分解手段を保持しており、単色光の各波長ごとの干渉縞を分離した画像データが得られる。この撮像した画像データは、制御系ユニット2のメモリ21によって収集される。また、後述で明らかになるが、制御系ユニット2の駆動部24によって、所望する撮像箇所へ光学系ユニット1を図1中のx,y,z軸方向に移動するように構成されている。また、撮像装置19によって所定のサンプリングタイミングで測定対象面30Aおよび測定対象面の凸部凹部30Bの画像が撮像され、その画像データが制御系ユニット2によって収集される。なお、撮像装置19は、本発明の撮像手段に相当する。本実施例における撮像装置19としては、波長の異なる複数の単色光を分解できる分解手段を保持する構成であればよく、例えば、CCD固体撮像素子、MOSイメージセンサ、CMOSイメージセンサ、光電撮像管、アバランシェ電子倍増効果撮像管およびEB-CCDなどがある。制御系ユニット2は、表面形状測定装置の全体の統括的な制御や、所定の演算処理を行うためのCPU20と、CPU20によって逐次収集された画像データや演算結果などの各種のデータおよびプログラムなどを記憶するメモリ21と、サンプリングタイミングや撮像エリアなどその他の設定情報を入力するマウスやキーボードなどの入力部22と、測定対象面30Aの画像などを表示するモニタ23とを備える。また、CPU20の指示に応じて光学系ユニット1を上下左右に移動するように駆動させる、例えば、3軸駆動型のサーボモータなどの駆動機構で構成される駆動部24を備えるコンピュータシステムで構成されている。なお、CPU20は、本発明における演算手段に相当する。CPU20は、いわゆる中央演算処理装置であって、撮像装置19、メモリ21および駆動部24を制御するとともに、撮像装置19で撮像した波長の異なる複数の単色光ごとの干渉縞を含む測定対象面30Aの画像データに基づいて、当該測定対象物30の表面高さを求める演算処理を行う位相算出部25や、後述する符号判定部26および求めた複数個の表面高さのデータから表面形状を求める画像データ作成部27を備えている。当該CPU20における位相算出部25や画像データ作成部27の処理については後述する。さらに、CPU20には、モニタ23とキーボードやマウスなどの入力部22とが接続されており、操作者は、モニタ23に表示される操作画面を観察しながら、入力部22から各種の設定情報の入力を行う。また、モニタ23には、測定対象面30Aの表面画像や凹凸形状などが数値や画像として表示される。駆動部24は、所望する撮像箇所へ例えば光学系ユニット1を図1中に記載のx,y,z軸方向に移動させる装置である。当該駆動部24は、CPU20からの指示によって光学系ユニット1をx,y,z軸方向に駆動する、例えば、3軸駆動型のサーボモータを備える駆動機構で構成されている。なお、本実施例では、光学系ユニット1を動作させるが、例えば測定対象物30が載置される保持テーブル40を直交3軸方向に変動させるようにしてもよい。また、移動軸は2軸以下や存在しなくても良い。以下、本実施例の特徴部分である表面形状測定装置全体で行なわれる処理を図2に示すフローチャートに従って説明する。なお、本実施例では、参照面15を、図1に示すように傾けた場合を例に採って説明する。この場合、撮影画像は図4に示すようになる。なお、本実施例では、説明の簡素化のためにx軸方向の場合を例に採って説明する。<ステップS1>測定データの取得CPU20は、図示しないステッピングモータなどの駆動系を駆動させて駆動部24が光学ユニット1の測定対象物30の撮像領域に移動させる。撮像位置が決定すると、光学系ユニット1は、照明装置10の光源10Aから照射された光を音響光学フィルタ10Bを通じて波長の異なる複数の単色光λ1、λ2およびλ3を同時に出力する。この複数の単色光は、導光路10Cでまとめられてハーフミラー13に向う。波長の異なる複数の単色光の出力に連動して撮像装置19が作動し、例えば、事例として図1に示す測定対象面の凸部凹部30Bを有する測定対象面30Aの撮像を1回行う。この撮像によって取得された測定対象面30Aの複数の単色光ごとの干渉縞の画像データがメモリ21に記憶される。つまり、メモリ21には傾斜姿勢の参照面15での複数の単色光からなる参照光と、測定対象面30Aで反射して戻る複数の単色光からなる反射光とによって生じる複数の単色光ごとの干渉縞の画像データが単色光の異なる波長ごとに記憶される。このとき参照面15で反射する複数の単色光の伝播距離L1の2倍は、参照面15での反射位置に基づいて規則的に変動する。したがって、測定対象面30A内の平坦な部分では、測定対象面30Aからの複数の単色光からなる反射光の伝播距離L2の2倍は、測定箇所における変動は無いので、撮像装置19によって撮像される画像における複数の単色光からなる干渉縞は参照面15の傾きの向きと角度に応じて撮像面内に空間的に規則的に現れる。この複数の単色光の波長ごとの干渉縞は参照面15からの複数の単色光からなる参照光の伝播距離L1の2倍と測定対象面30Aからの複数の単色光からなる反射光の伝播距離L2の2倍の差がλ1/2=235nm、λ2/2=280nmおよびλ3/2=300nmなるごとに1周期分現れる。一方、図1に示されるように、測定対象面30Aの高さあるいは窪みが変動する箇所すなわち、測定対象面の凸部凹部30Bでは、複数の単色光の波長ごとの干渉縞がずれた不規則な縞模様として現れる。<ステップS2>干渉光強度値の取得CPU20は、メモリ21に記憶した各画素の強度値、すなわち、測定対象面30Aの波長の異なる複数の単色光ごとの干渉光強度値を画像データから取り込む。このとき、測定対象面30Aと測定対象面の凸部凹部30Bの高さが変動する図5に示す画素番号255と355近辺で、複数の単色光の波長ごとの干渉縞の空間的な位相が例えば図5の本実施例ではX軸方向にずれた不規則な縞模様として現れる。<ステップS3>各波長の画素単位での位相φ1、φ2およびφ3の算出CPU20の位相算出部25は、測定対象面30Aの算出対象の画素における位相を、その画素と当該画素に隣接する画素本実施例ではX軸方向に隣接する画素の複数の単色光の波長ごとそれぞれの干渉縞の光強度値を用いて予め決定した計算アルゴリズムを利用して求めてゆく。具体的には、算出対象の画素および当該画素に隣接する画素における干渉縞の光の強度値を干渉縞波形を求める表現式にあてはめてフィッティング位相を求める。まず、算出対象の画素における干渉縞の光の強度値は次式1のように記載される。gx=axbxcos2πfxφx1ここで、xは算出対象の画素の位置座標、axは干渉縞波形に含まれる直流成分、bxは干渉縞波形に含まれる交流成分振動成分の振幅であって、以下、適宜に交流振幅という、fは干渉縞gxの空間周波数成分、φxは測定対象面30Aの所定画素に対応する算出すべき位相である。なお、算出対象の画素の位置座標はx、yの2次元で現されるが、本実施例では説明を簡素化するためy座標を省略して記載する。次に、隣接する画素については、算出対象の画素からx軸方向に微小距離Δxずれているので、その干渉縞の光の強度値は次式2のように表現される。gxΔx=axΔxbxΔxcos2πfxΔxφxΔx2ここで、本実施例では、算出対象の画素と隣接する画素とのピッチが微小距離であるので、各画素にまたがる干渉縞に含まれる直流成分、交流振幅、および位相を等しいと仮定し、次式3~5の関係式を利用する。ax=axΔx=a3bx=bxΔx=b4φx=φxΔx=φ5ここで、a、b、φは定数である。上記3~5の関係式のように仮定することにより、式1および式2は、以下の式1aおよび式2aのように置き直すことができる。gx=abcos2πfxφ1agxΔx=abcos{2πfxΔxφ}2a次に、式1aおよび式2aを変形し、次式6、7を作成する。Gx=gx-a=bcos{2πfxφ}6GxΔx=gxΔx-a=bcos{2πfxΔxφ}7次に、加法定理により式6、7を次式8、9のように変形する。Gx=bcos2πfxφ=b{cos2πfxcosφ-sin2πfxsinφ}8GxΔx=bcos{2πfxΔxφ}=bcos{2πfxΔx}cosφ-sin2πfxΔxsinφ9次に、これら式8、9を行列式10で表わす。なお、Aは、次のように表される。ここで、行列10の左辺からAの逆行列を掛けて展開することにより、次式11、12を求める。これら上記式11、12を利用し、次式13を得ることができる。なお、ここで、上記bsinφおよびbcosφのそれぞれをbsinφ=Sおよびbcosφ=Cとし、さらにtanφ=S/Cとすると、φ=arctan{S/C}n’π13となる。なお、n’は、整数である。ここで、CPU20は、さらに符号判定部26を備え、この符号判定部26がsinφとcosφの符号情報を参照する。この符号情報を用いると、sinφとcosφの符号の組み合わせから、φの存在範囲をπから2πに拡張できることになる。図6は、式13に示されるような、sinφとcosφの符号情報を参照してφの範囲を特定するための具体的な図である。よって、sinφとcosφの符号情報を用いれば式13は次式14で表わすことができる。φ=arctan{S/C}2nπ14となる。なお、nは、整数である。よって、Gxと干渉縞波形の空間周波数fが既知であるならば式14によって位相φを求めることができる。Gxは画素の輝度情報gxおよびgxΔxと干渉縞波形の直流成分aからなるので、結局gxおよびgxΔx、干渉縞波形の直流成分a、干渉縞波形の空間周波数fが既知であるならば式14によってφを求めることができる。すなわち、波長λ1、λ2およびλ3の場合のそれぞれの位相φ1、φ2およびφ3を上記演算式を利用して求める。gxおよびgxΔxは撮像装置19の画素の輝度情報として得ることができる。干渉縞波形の直流成分aは例えば、撮像装置19で観測された全画素の輝度の平均値とする方法、位相算出対象画素の近傍画素の平均値とする方法、あるいは予め反射率を測定する方法等で求めることができる。また、干渉縞波形の空間周波数fは例えば、参照面15の設置角度から求める方法、予め測定対象物30として平坦面を観察した場合の干渉縞波形の画面内の干渉縞本数から求める方法等で求めることができる。<ステップS4>各波長の画素単位での表面高さz1、z2およびz3算出CPU20は、上記式14から波長λ1、λ2およびλ3ごとに算出された算出対象の画素の位相φ1x、φ2xおよびφ3xを式15に代入してそれぞれの高さz1x、z2xおよびz3xを求める。zx=[φx/4π]λz015なお、z0は測定対象物30の基準高さである。ここで、波長をλとした場合、λ/2の範囲ごとに次数nの異なる表面高さの解の候補値群が存在する。したがって、本実施例のように3波長λ1、λ2およびλ3を利用したときの表面高さの解の候補値群は、両候補値群のλ1/2、λ2/2およびλ3/2の最小公倍数の範囲ごとに周期的に存在する。求めるべき表面高さは1つだけなので、全候補値群から共通する高さを実高さとして求める。すなわち、各候補値群で求めた表面高さの解の候補値のうち、互いに最も近い高さを実高さとする。例えば、周期的に存在する波長λ1の解の候補値群が図7aに、波長λ2の解の候補値群が図7bにおよび波長λ3の解候補値群が図7cのようになる。ここで、図1に示す測定対象物30の低部である測定対象面30Aに相当する部分がX軸画素番号の0~254までと、356~512までとなり、測定対象面の凸部凹部30Bが中央のX軸画素番号255~355までとなる。そこで、画素ごとに両候補値群を比較し、表面高さが略一致するものを抽出して行く。すなわち、一方の低部である測定対象面30Aは、波長λ1の次数n1=0の高さz1と波長λ2の次数n2=0の高さz2および波長λ3の次数n3=0の高さz3とが一致するので、この値を実高さとする。他方の測定対象面の凸部凹部30Bは、波長λ1の次数n1=16の高さz1と波長λ2の次数n2=13の高さz2および波長λ3の次数n3=12の高さz3とが略一致するので、この値を実高さとする。すなわち、この原理に基づいて波長λ1、λ2およびλ3で測定した位相φ1x、φ2xおよびφ3xから、次式15a、15bおよび15cによりそれぞれの表面高さを求める。z1x=φ1x/2πn1λ1/215az2x=φ2x/2πn2λ2/215bz3x=φ3x/2πn3λ3/215c<ステップS5>画素単位の実高さZを算出さらに、上記3式を利用して、z1、z2とz3とのお互いの差が最小になるn1、n2およびn3とを求め、それを上記3式に代入して求まるz1、z2とz3のいずれかを実高さZとする。または、z1,z2とZ3との平均値を実高さZとしても良い。<ステップS6>全画素について算出終了CPU20は、全ての画素について位相と高さの算出が終了するまで、ステップS3~S6の処理を繰り返し行い、位相と表面高さを求める。<ステップS7>表面形状の表示CPU20の画像データ作成部27は、算出された実表面高さの情報から測定対象面30A、測定対象面の凸部凹部30Bの表示画像を作成する。そして、CPU20は、この画像データ作成部27によって作成された情報に基づいて、図8に示すように、モニタ23に測定対象物30の表面高さの情報を表示したり、それら各特定箇所の高さの情報に基づいた3次元または2次元の画像を表示したりする。操作者は、これらの表示を観察することで、測定対象面30Aの表面にある測定対象面の凸部凹部30Bの形状を把握することができる。以上により、測定対象面30Aの表面形状の測定処理が終了する。上述のように、撮像装置19で撮像した画像データから画素ごとの干渉縞の光の強度値と、その近傍の複数画素の強度値を算出する過程で、各画素の干渉縞波形に含まれる直流成分ax、交流振幅bx、および位相φxのそれぞれが各画素について等しいと仮定して連立比較することにより、各画素における干渉縞の直流成分と交流振幅をキャンセルすることができる。したがって、ローパスフィルタを利用することなしに測定対象面30Aの表面高さを測定することができるので、図8に示すように、測定対象面30Aの急峻なエッジ部分の表面高さを精度よく求めることができる。その結果、測定対象面30Aの表面形状を精度よく測定することができる。また、求めた位相から測定対象物30の表面高さの候補値群を波長の異なる複数の単色光ごとに求め、さらに各候補群から共通する高さを実際の高さとして求めるので、単一の位相から表面高さを求めるよりも広い候補範囲から実高さを求めることになるので、より精度良く求めることができる。また、使用する波長の組み合わせによって測定できる高さの上限を高くできる。例えば、波長λ1、λ2およびλ3の差を小さくすれば、より高い凹凸段差を検出することができる。また、位相から測定対象物30の表面高さを求めるので、表面の凹凸状態の判別もできる。さらに、同時に出力した波長の異なる複数の単色光からなる反射光を同時に検出して測定対象物30の表面高さと表面形状を測定することができるので、作業効率の向上を図ることができる。以上で、図2の表面形状測定装置における処理を示すフローチャートの説明を完了する。次に、本発明では上述した実施例のものに限らず、次のように変形実施することもできる。一つには、上記実施例では、照明装置10の光源10Aからの白色光を音響光学フィルタ10Bに入射することで波長の異なる複数の単色光を抽出し、導光路10Cに入射しているが、これを光源10Aからの白色光を直接導光路10Cに入射し、白色光の参照光と白色光の測定光とがまとめられた白色光の干渉光が撮像装置19に入射する光路上に音響光学フィルタ10Bを設置して波長の異なる複数の単色光からなる干渉光を複数の単色光ごとに抽出する光学手段を配備してもよい。ところで、上述の図2の表面形状測定装置を用いた処理を示すフローチャートの説明では、測定対象面30Aに対し、照明装置10の光源10Aからの白色光を音響光学フィルタ10Bおよび導光路10Cを通して照射しているが、本願での特徴である音響光学フィルタ10Bを用いることによる各用いる波長の異なる複数の単色光の波長を任意に設定可能であるという機能を活用した事例を以下に説明する。表面形状測定をおこなう測定対象物30には、多くの光学特性を保有するものがある。例えば、測定対象面30Aに照明装置10を用いて照射し、撮像装置19を用いて撮像する段階で、当該測定対象面30Aの色によっては、当該測定対象面30Aが特定波長の単色光の照射光を吸収してしまう特性を有する場合があり、測定に用いる単色光の波長を最適の波長に変更したい場合を生じる。また他の例として、測定対象面30Aに透明薄膜がある場合はその光学膜厚によっては、特定波長の単色光の照射光を吸収してしまう特性を有する場合があり、測定で照射に用いる単色光の波長を最適の波長に変更したい場合を生じる。それらの場合、表面測定の開始前に、測定対象面30Aに対し、事前にあらかじめ単色光の波長をスキャンしながら照射し、得られる各単色光の反射強度の測定結果を用いて、その測定対象面30Aに対して最適な波長の異なる単色光を複数選択し、表面形状測定をおこなう。この時、当該波長の切り替えについては、音響光学フィルタ10Bを採用したことによって、容易に変更することができる。具体的には、測定対象面30Aに透明薄膜がある場合、図9に示すように、照射光の波長の変化に伴い、反射率が変動する現象がある。従い、上述の様に、照射すべき単色光の波長は、反射率の高い単色光の波長を選択する必要がある。例えば、前記図2のフローチャートの説明に沿って選択した、3種の単色光の波長前述の場合、λ1=470nm、λ2=560nmおよびλ3=600nmを選択した。の場合も測定対象面30Aによっては、図9のグラフの縦軸の反射率が低い箇所の波長であった場合、上記λ1、λ2あるいはλ3の波長を該反射率の高い部分になるように単色光の波長をずらせて測定した方が精度良い表面形状測定ができる。その様な、事こまかな対応について、図1に示す照明装置10に用いる単色光の波長が自在に変更できる音響光学フィルタ10Bを適用した本願発明の構成の表面形状測定装置では可能である。"