"少なくとも、基板上に隔壁により仕切られた複数の区画を形成する工程と、隔壁側面のインクに対する濡れ性を隔壁頂部近傍で低く基部にかけて高くなるように段階的若しくは連続的に変化させる工程と、インクを区画内に塗布し乾燥する工程と、を有することを特徴とする隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法。少なくとも、基板上に隔壁により仕切られた複数の区画を形成する工程と、インクに対する撥液性が隔壁の頂部近傍で高く親液性が隔壁基部で高くなるように、隔壁側面のインクに対する親和性を撥液性から親液性へと段階的若しくは連続的に変化させる工程と、インクを区画内に塗布し乾燥する工程と、を有することを特徴とする隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法。前記区画内底面のインクに対する濡れ性若しくは親液性が、隔壁基部のインクに対する濡れ性若しくは親液性に比較して高いことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法。前記隔壁側面のインクに対する濡れ性もしくは親和性を変更する手段がプラズマ照射もしくはフッ素系樹脂処理であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のインク皮膜の形成方法。請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法を使用したことを特徴とするカラーフィルタ基板。請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法を使用したことを特徴とする有機ELディスプレイ。そこで本発明は、基板上に隔壁を有する隔壁付基板の開口部にインクが塗布され隔壁内でインクが乾燥する際に、インクを平坦に固化させる手段を提供することを目的とした。上記課題を解決するための請求項1に係る発明としては、少なくとも、基板上に隔壁により仕切られた複数の区画を形成する工程と、隔壁側面のインクに対する濡れ性を隔壁頂部近傍で低く基部にかけて高くなるように段階的若しくは連続的に変化させる工程と、インクを区画内に塗布し乾燥する工程と、を有することを特徴とする隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法としたものである。請求項2に係る発明としては、少なくとも、基板上に隔壁により仕切られた複数の区画を形成する工程と、インクに対する撥液性が隔壁の頂部近傍で高く親液性が隔壁基部で高くなるように、隔壁側面のインクに対する親和性を撥液性から親液性へと段階的若しくは連続的に変化させる工程と、インクを区画内に塗布し乾燥する工程と、を有することを特徴とする隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法としたものである。請求項3に係る発明としては、前記区画内底面のインクに対する濡れ性若しくは親液性が、隔壁基部のインクに対する濡れ性若しくは親液性に比較して高いことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法としたものである。請求項4に係る発明としては、前記隔壁側面のインクに対する濡れ性もしくは親和性を変更する手段がプラズマ照射もしくはフッ素系樹脂処理であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のインク皮膜の形成方法としたものである。請求項5に係る発明としては、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法を使用したことを特徴とするカラーフィルタ基板としたものである。請求項6に係る発明としては、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の隔壁付基板に対するインク皮膜の形成方法を使用したことを特徴とする有機ELディスプレイとしたものである。本発明によれば、隔壁側面と底面のインクに対する濡れ性の制御により区画内のインクの平坦化が自発的に行われる。この自発的な平坦化によりインクの乾燥膜厚が区画内で均一になるので、機械的な振動、あるいは電気的な流動のような外力を利用することがない。したがって、これらの方法と比較して開口部以外の箇所をインクで汚染したり、他に悪影響を与えることが少ない。インク皮膜の乾燥膜厚が均一になる結果、この隔壁付基板を使用したLCD用カラーフィルタ、有機ELディスプレイは画像のボケが少ないシャープで高品質の画像表示が可能となる。本発明は、液晶ディスプレイLCD用カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンスELディスプレイ等で用いられる画素仕切り用の隔壁を有する隔壁付基板の開口部にインクを塗布した後、隔壁内で溶媒が蒸発しインク固形分が被膜化する際、できるだけ平坦に固化するように隔壁側面と底面を化学的に処理する方法に関するものである。そこで、先ず隔壁付基板上の開口部に塗布されたインクが平坦に固化する原因を図面を使って説明する。隔壁付基板の上面視の図および矢印Aと矢印Bの方向に垂直に切ったときの断面図を図1に示す。断面視の図は、中央の上面視図の右側と下側に記載してある。隔壁付基板10は、縦方向に走る隔壁12と横方向に走る隔壁12’、及びこれらにより区画されることで四方を隔壁に囲まれた開口部11で構成されている。インクは開口部11の底面に塗布されるか滴下される。隔壁12、12’は、隔壁の上端で最も撥液性が高く、開口部11に向かって徐々に親液性が高くなり、隔壁基部で最も親液性が高くなるような濡れ性親和力の傾斜構造を有している。このように、隔壁12、12’の上端から基部にかけて表面の濡れ性が撥液性から親液性へと徐々に変化する構造とすることで、図2に示すように開口部11の底面にインク15を塗布した際、隔壁側面13に接するインク15の接触線が隔壁基部の方向に引き付けられるように移動する。その結果、インク15が隔壁側面13を濡れ上がることがなくなる。この状態で乾燥固化するとインク15は平坦性に優れた皮膜16を形成する。皮膜16の平坦性が優れている場合、画素における色ムラのない、輪郭が明瞭な高品質の画像を得ることができる。加えて、例えば、図3に示すように開口部11内にインク15を塗布した際、開口部11の底面と一方の隔壁12Aに乗り上げた状態で片寄ってインク液滴が存在する場合、隔壁13の濡れ性の傾斜構造、および開口部11の親液性作用により、インク液滴はもう一方の側の隔壁12Bに向かって開口部11の底面を濡れ広がりながら移動するようになる。最終的にはインク15は開口部11の全体に広がり、かつ隔壁における濡れ性の傾斜構造によってインクが濡れ上がることがないため、結果として平坦性に優れた皮膜を形成することができる。一方、図4に示すように、隔壁側面に表面処理を行わなかった場合、開口部11にインク15を塗布すると、インク15は隔壁側面を濡れ上がる図4a。この状態でインク15を乾燥固化するとインク15は隔壁12により近い部分で厚くなり、開口部11の中央部で最も薄いような谷型となる図4b。皮膜16の平坦性が劣る場合、画素に色ムラが生じ輪郭がぼやけた画質となる。加えて、例えば、開口部11内にインク15を塗布した際、図5に示すように、開口部11の底面と一方の隔壁側面13に乗り上げた状態で片寄ってインク液滴が存在する場合、隔壁13の濡れ性の傾斜構造、および開口部11の親和性が無いため、インク液滴は移動することなく塗布された位置に拘束されたまま乾燥固化し、結果として不良な画素となる。このように、隔壁上端から基部にかけて表面の濡れ性親和力が撥液性から親液性へと徐々に変化するような傾斜構造を有することによって、隔壁側面に接するインク液滴の接触線が自発的に隔壁基部の方向に移動する。この状態でインクを乾燥固化すると、平坦性に優れた色ムラのない皮膜が得られる。したがって、LCD用カラーフィルタ、有機ELディスプレイ、無機ELディスプレイ等のパネルにおいて色ムラのない、明瞭な輪郭を有する高品質な画像を得ることができる。更には、開口部の底面をインクに対して親和性を持たせているため、底面に着地したインク液滴が濡れ広がり易くなっている。このためインクの拡散不良に起因する画素不良になり難く、しかも機械的な振動、あるいは電気的な流動のような外力を利用した方法と比較して開口部以外の箇所をインクで汚染することがない。以下、先ずカラーフィルタCFを製造する工程を一例として本発明を具体的に説明する。CF用隔壁付基板の開口部にはインクジェットIJ法を用いてカラーインクを塗布するものとする。IJ法を用いた開口部の塗布は本発明を説明するための一例に過ぎず、その他、スクリーンコート法、グラビアコート法、ダイコート法、スピンコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、エアナイフコート法、ロールブラッシュ法等の従来公知の塗布方法を使用することができる。実施例1まず、基板上に遮光性を有する黒色レジストを塗布した。レジストの材料としては、カルド樹脂やアクリル樹脂にモノマー、重合開始剤、顔料を添加したものが使用できる。レジストの塗布としては、スクリーンコート法、グラビアコート法、ダイコート法、スピンコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、エアナイフコート法、IJ法、ロールブラッシュ法等の従来公知の塗布方法を使用することができる。続いて、格子状のマスクで基板を覆って露光した後、現像を行い、基板上にレジストからなる格子状の隔壁および隔壁により区分けされた開口部11を備える隔壁付基板10を得た。前記工程の終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMEAを隔壁レジスト表面に滴下して液滴の静的接触角を測定したところ5°程度と低く、親液性であった。次に、前記工程で得られた隔壁付基板を微細な貫通孔を有するマスクで覆い、CF4プラズマを照射して隔壁側面を撥液処理した。マスク貫通孔の区画内の分布に関しては、図6のドットの濃淡で示すようになっている。濃く見える部分は貫通孔黒丸部分の密度が高い部分であり、隔壁基部になるほど貫通孔密度は低くなっている。したがって、図6の濃淡は、貫通孔密度が隔壁側面の上端ほど高く基部にかけて段階的に低くなっているマスクで被覆してプラズマ照射した後の照射面積に比例するものである。貫通孔に対応する隔壁側面がプラズマ処理されて撥液性を付与される。貫通孔数が多いと親液性から撥液性に変わる部分の面積が広くなる。続いて、隔壁12領域を遮蔽して開口部11の底面領域は開口しているマスクで隔壁付基板10を覆い、プラズマ処理によって開口部11の底面を親液処理し、本発明になる隔壁付基板を得た。プラズマ処理に関しては、真空容器内にブタジエン、および酸素をガス供給系別にかつ同時に導入して行った。プラズマ処理としては、熱印加法、電子ビーム照射法,プラズマCVD法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、大気圧プラズマ法等の従来公知の方法を使用できる。上記の隔壁付基板10の開口部11にIJ法を用いてカラーインクを吐出し、開口部11にインクを塗布したところ、四方の隔壁側面13に接したインクの接触線が隔壁基部方向に移動し、インクは隔壁側面13を濡れ上がらなかった。このときの様子はマイクロスコープによって観察確認した。続いて、カラーインクが隔壁側面13を濡れ上がっていない状態で隔壁付基板10を加熱して、カラーインクを蒸発乾燥させて固化した。皮膜の形状を透過型電子顕微鏡TEMで断面観察したところ、平坦であることが確認された。このカラーフィルタを用いてLCDにパネル化にしたところ、画素における色ムラのない、輪郭が明瞭な高品質の画像を得ることができた。実施例2実施例1と同様の手順で隔壁12および開口部11の底面の濡れ性を制御する前の隔壁付基板10を得た。前記工程の終了後、PGMEAをレジスト表面に滴下して液滴の静的接触角を測定したところ5°程度と低く、親液性であった。次に、前記の隔壁付基板の隔壁12の一領域13A以外をマスクで覆い、フッ素含有撥液剤フロロサーフFS-6110株式会社フロロテクノロジー製を純水で10重量に希釈したものをスプレーコート法で塗布乾燥させ、隔壁12の隔壁の一領域12A表面をフッ素系樹脂で撥液処理した図7を参照のこと。続いて、隔壁付基板の隔壁12の隔壁の一領域13B以外をマスクで覆い、フッ素含有撥液剤フロロサーフFS-6110株式会社フロロテクノロジー製を純水で5重量に希釈したものをスプレーコート法で塗布乾燥させ、隔壁12の隔壁の一領域12B表面をフッ素系樹脂で撥液処理した。続いて、隔壁付基板の隔壁12の隔壁の一領域13C以外をマスクで覆い、フッ素含有撥液剤フロロサーフFS-6110株式会社フロロテクノロジー製を純水で2重量に希釈したものをスプレーコート法で塗布乾燥させ、隔壁12の隔壁の一領域13C表面をフッ素系樹脂で撥液処理した。続いて、隔壁付基板の隔壁12の隔壁の一領域12D以外をマスクで覆い、フッ素含有撥液剤フロロサーフFS-6110株式会社フロロテクノロジー製を純水で1重量に希釈したものをスプレーコート法で塗布乾燥させ、隔壁12の隔壁の一領域13D表面をフッ素系樹脂で撥液処理した。続いて、隔壁付基板の開口部11の底面以外をマスクで覆い、含フッ素系界面活性剤サーフロンS-221AGCセイミケミカル株式会社製を純水で0.1重量に希釈したものをスプレーコート法で塗布乾燥させることによって親液処理し、本発明に係る隔壁付基板10を得た。上記の隔壁付基板10の開口部11にIJ法を用いてカラーインクを吐出し、開口部11にインクを塗布したところ、四方の隔壁側面13に接したインクの接触線が隔壁基部方向に移動し、インクは隔壁側面13を濡れ上がらなかった。このときの様子はマイクロスコープによって観察確認した。続いて、カラーインクが隔壁側面13を濡れ上がっていない状態で隔壁付基板10を加熱して、カラーインクを蒸発乾燥させて固化した。皮膜の形状をTEMで断面観察したところ、平坦であることが確認された。このカラーフィルタを用いてLCDにパネル化にしたところ、画素における色ムラのない、輪郭が明瞭な高品質の画像を得ることができた。比較例1実施例1と同様に隔壁12および開口部11の底面の濡れ性を制御する前の隔壁付基板を得た。前記工程の終了後、PGMEAをレジスト表面に滴下して液滴の静的接触角を測定したところ5°程度と低く、親液性であった。上記の隔壁付基板10の開口部11にIJ法を用いてカラーインクを吐出し、開口部11にインクを塗布したところ、四方の隔壁側面13に接したインクの接触線が隔壁側面13を濡れ上がった。濡れ上がりの様子はマイクロスコープによって観察確認した。続いて、カラーインクが隔壁側面13を濡れ上がっている状態で隔壁付基板10を加熱して、カラーインクを蒸発乾燥させて固化した。皮膜の形状をTEMで断面観察したところ、隔壁12により近い部分で厚くなり、開口部11の中央部で最も薄いような谷型であることが確認された。このカラーフィルタを用いてLCDにパネル化にしたところ、画素に色ムラが生じているため、輪郭がぼやけた画質となった。本発明の実施例1および2では、隔壁の側面においては濡れ性が異なる領域を4つとしたが、領域の分割数は4に限るものではない。一般に、分割数が多いほど隔壁側面のインク液滴の接触線は隔壁基部方向へより円滑に移動するが、目的に合った分割数として構わない。次に,有機ELパネルを製造する工程を一例として本発明を具体的に説明する.有機ELパネルの基板にはTFT基板を使用し,TFT基板の開口部にはIJ法を用いて正孔注入層および発光層を塗布するものとする.IJ法を用いた開口部の塗布は本発明を説明するための一例に過ぎず、その他、スクリーンコート法、グラビアコート法、ダイコート法、スピンコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、エアナイフコート法、ロールブラッシュ法等の従来公知の塗布方法を使用することができる。実施例3まず,TFT基板の開口部11以外をマスクで覆い,スパッタリング法によりITO薄膜の陽極層を形成した.ITO層の形成には,熱印加法、電子ビーム照射法,プラズマCVD法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、大気圧プラズマ法等のプラズマ処理方法,あるいはスクリーンコート法、グラビアコート法、ダイコート法、スピンコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、エアナイフコート法、IJ法、ロールブラッシュ法等の塗布方法のような従来公知の処理方法を使用することができる。次に、前記工程で得られたTFT基板を微細な貫通孔を有するマスクで覆い、CF4プラズマを照射して隔壁側面を撥液処理した。マスク貫通孔の区画内の分布に関しては、図9のドットの濃淡で示すようになっている。濃く見える部分は貫通孔黒丸部分の密度が高い部分であり、隔壁基部になるほど貫通孔密度は低くなっている。したがって、図9の濃淡は、貫通孔密度が隔壁側面の上端ほど高く基部にかけて段階的に低くなっているマスクで被覆してプラズマ照射した後の照射面積に比例するものである。貫通孔に対応する隔壁側面がプラズマ処理されて撥液性を付与される。貫通孔数が多いと親液性から撥液性に変わる部分の面積が広くなる。続いて、隔壁12領域を遮蔽して開口部11の底面領域は開口しているマスクでTFT基板10を覆い、プラズマ処理によって開口部11の底面を親液処理し、本発明になる隔壁付基板を得た。プラズマ処理に関しては、真空容器内にブタジエン、および酸素をガス供給系別にかつ同時に導入して行った。プラズマ処理としては、熱印加法、電子ビーム照射法,プラズマCVD法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、大気圧プラズマ法等の従来公知の方法を使用できる。上記隔壁付基板10の開口部11にIJ法を用いて正孔注入層材料であるポリチオフェン-ポリスチレンスルホン酸PEDOT-PSSを水に分散させた溶液を吐出し、開口部11に溶液を塗布したところ、四方の隔壁側面13に接した溶液の接触線が隔壁基部方向に移動し、溶液は隔壁側面13を濡れ上がらなかった。このときの様子はマイクロスコープによって観察確認した。上記PEDOT-PSS溶液が隔壁側面13を濡れ上がっていない状態で隔壁付基板10を加熱して、溶液を蒸発乾燥させて固化した。続いて,上記隔壁付基板10の開口部11にIJ法を用いて発光層材料である芳香族ポリマーをメチルエチルケトン溶媒に分散させたインクを吐出し、開口部11にインクを塗布したところ、四方の隔壁側面13に接した溶液の接触線が隔壁基部方向に移動し、溶液は隔壁側面13を濡れ上がらなかった。このときの様子はマイクロスコープによって観察確認した。続いて、インクが隔壁側面13を濡れ上がっていない状態で隔壁付基板10を加熱して、インクを蒸発乾燥させて固化した。皮膜の形状をTEMで断面観察したところ、正孔注入層,および発光層ともに平坦であることが確認された。上記隔壁付基板10の発光層上にAlLi薄膜の陰極層をスパッタリング法により形成し,更に陰極層の上部に乾燥材を挿入し,最後にガラス板で全体を封止して有機ELパネルを得た.このパネルを発光させたところ、画素における色ムラのない、輪郭が明瞭な高品質の画像を得ることができた。比較例2実施例2と同様に隔壁12および開口部11の底面の濡れ性を制御する前の隔壁付基板を得た。上記の隔壁付基板10の開口部11にIJ法を用いて正孔注入層材料であるPEDOT-PSSを水に分散させた溶液を吐出し、開口部11に溶液を塗布したところ、四方の隔壁側面13に接した溶液の接触線が隔壁側面13を濡れ上がった。濡れ上がりの様子はマイクロスコープによって観察確認した。上記PEDOT-PSS溶液が隔壁側面13を濡れ上がっている状態で隔壁付基板10を加熱して、溶液を蒸発乾燥させて固化した。上記隔壁付基板10の開口部11にIJ法を用いて発光層材料である芳香族ポリマーをメチルエチルケトン溶媒に分散させたインクを吐出し、開口部11にインクを塗布したところ、四方の隔壁側面13に接したインクの接触線が隔壁側面13を濡れ上がった。濡れ上がりの様子はマイクロスコープによって観察確認した。続いて、インクが隔壁側面13を濡れ上がっている状態で隔壁付基板10を加熱して、インクを蒸発乾燥させて固化した。皮膜の形状をTEMで断面観察したところ、正孔注入層,および発光層ともに隔壁12により近い部分で厚くなり、開口部11の中央部で最も薄いような谷型であることが確認された。上記隔壁付基板10の発光層上にAlLi薄膜の陰極層をスパッタリング法により形成し,更に陰極層の上部に乾燥材を挿入し,最後にガラス板で全体を封止して有機ELパネルを得た.このパネルを発光させたところ、画素に色ムラが生じているため、輪郭がぼやけた画質となった。本発明の実施例3では、隔壁の側面においては濡れ性が異なる領域を5つとしたが、領域の分割数は5に限るものではない。一般に、分割数が多いほど隔壁側面のインク液滴の接触線は隔壁基部方向へより円滑に移動するが、目的に合った分割数として構わない。本発明においては、隔壁付基板の隔壁上端で最も撥液性が高く、開口部に向かって隔壁基部に至るまでに徐々に親液性が高くなり、ついに隔壁基部で最も親液性が高くなるような濡れ性の傾斜構造とすることにより、開口部に塗布されたインクの隔壁との接触線が隔壁基部の方向に移動するので、インクが隔壁を濡れ上がることがない。この状態でインクを乾燥固化すると、平坦性に優れた色ムラのない皮膜を得ることができる。加えて、本発明の隔壁付基板は、開口部に塗布されたインクが開口部全体に自発的に濡れ広がるため、機械的な振動、あるいは電気的な流動のような外力を利用した方法を必要としないことから開口部以外の箇所をインクで汚染することがない。したがって、本発明により、LCD用カラーフィルタ、有機ELディスプレイ、無機ELディスプレイ等の微細な隔壁付基板を用いた製品の印刷品質を向上することが可能になる。"