"駆動電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮によって軸方向に振動する振動部材と、前記振動部材に所定の摩擦力で係合し、前記軸方向に移動可能な移動体と、前記電気機械変換素子に前記駆動電圧を与えて駆動する駆動回路とを備え、前記駆動回路が前記電気機械変換素子に伸張と縮小とを異なる速度で行わせることで、前記振動部材と前記移動体とを相対移動させる駆動装置において、前記移動体は、帯状の板金部品から成り、長手方向の一端側が折り曲げられてリブが形成され、そのリブと、リブが立ち上がる付近の基端部との2面で、前記振動部材に当接する本体と、板金部品から成り、一端側が前記本体に溶接またはろう付によって固定され、他端側が前記本体のリブおよび基端部側に前記振動部材を押圧し、摩擦係合させる板バネ部とを備えて構成されることを特徴とする駆動装置。前記本体は、0.05mm以上の板厚で、かつ、縦弾性係数が40GPa以上の材料から成ることを特徴とする請求項1記載の駆動装置。前記板バネ部は、縦弾性係数が90GPaから210GPaの材料から成ることを特徴とする請求項1または2記載の駆動装置。前記本体からのリブの立設角度をθ1とし、前記板バネ部の振動部材への当接部から、前記リブおよび基端部の振動部材への当接部までの角度をそれぞれθ2,θ3とするとき、θ2=θ3=180°θ1/2となるように、前記板バネ部の振動部材への当接位置が設定されることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の駆動装置。前記本体の幅方向に対して、前記溶接またはろう付されている箇所の長さが、前記溶接またはろう付されていない箇所の長さよりも短いことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の駆動装置。前記板バネ部は、その幅方向の両端部において、少なくとも前記溶接またはろう付箇所の延長線上の部分は、厚み方向に折り曲げられてリブが形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の駆動装置。前記板バネ部において、前記溶接またはろう付箇所における振動部材側の端縁に接する幅方向の延長線から、他端部までの長さが、前記延長線の長さ以下に形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の駆動装置。前記板バネ部は、前記他端側の幅が、一端側の幅以下に形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の駆動装置。前記本体の一端側の幅が、前記板バネ部の他端側の幅と等しく形成されていることを特徴とする請求項8記載の駆動装置。前記振動部材と平行に延びるガイド軸と、前記ガイド軸上を摺動自在に案内され、前記移動体に連結される被駆動部材とをさらに備え、前記移動体が前記振動部材上を移動することで、前記被駆動部材が前記ガイド軸上を案内されることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の駆動装置。ところが、前記板バネ部材905は、前述のように、1枚の帯状の薄板を折り返して形成されるので、前記係合部8032となる第1の部分9051を厚くして剛性を高めると、前記板バネ部8034となる第2の部分9052が撓まなくなる。したがって、第2の部分9052に弾発力を発揮させられるように薄くすると、第1の部分9051の剛性が不足し、ロッド802の振動に追従し、移動速度がばらつき、駆動性能が悪化するという問題がある。本発明の目的は、電気機械変換素子の伸縮によって振動部材が軸方向に振動し、その伸張と縮小とを異なる速度で行うことで移動体を駆動するようにした駆動装置において、小型化と組立易さとを実現するために、前記移動体の本体が前記振動部材に摩擦係合するように該振動部材に摺接して該振動部材を本体に押圧するためのキャップを廃止しても、駆動性能の低下を抑えることができる駆動装置を提供することである。本発明の駆動装置は、駆動電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮によって軸方向に振動する振動部材と、前記振動部材に所定の摩擦力で係合し、前記軸方向に移動可能な移動体と、前記電気機械変換素子に前記駆動電圧を与えて駆動する駆動回路とを備え、前記駆動回路が前記電気機械変換素子に伸張と縮小とを異なる速度で行わせることで、前記振動部材と前記移動体との係合部分に、相対的に鋸歯状の変位振動を生じさせ、それらを相対移動させる駆動装置において、前記移動体は、帯状の板金部品から成り、長手方向の一端側が折り曲げられてリブが形成され、そのリブと、リブが立ち上がる付近の基端部との2面で、前記振動部材に当接する本体と、板金部品から成り、一端側が前記本体に溶接またはろう付半田を含むによって固定され、他端側が前記本体のリブおよび基端部側に前記振動部材を押圧し、摩擦係合させる板バネ部とを備えて構成されることを特徴とする。上記の構成によれば、圧電素子などの電気機械変換素子の伸縮を振動部材に伝え、その振動部材に、所定の摩擦力で係合されている移動体を、前記電気機械変換素子の伸張時と縮小時との速度差を利用して移動させる超音波リニアアクチュエータなどとして実現される駆動装置において、駆動回路から、前記振動部材と移動体との係合部分に、前記の速度差を生じさせることができる擬似鋸歯状の変位振動を生じさせ、前記振動部材と移動体とを相対移動させるにあたって、以下の構成を採用する。すなわち、先ず前記移動体を、剛性を有する本体と、弾発性を有する板バネ部との板金2部品から構成する。そして、前記本体は、帯状体の長手方向の一端側を折り曲げて成り、その折り曲げによるリブと、リブが立ち上がる付近の基端部との2面で、前記振動部材に当接させる。また、前記板バネ部は、一端側が前記本体に溶接またはろう付半田を含むによって固定される。これによって、前記板バネ部の他端側と本体の一端側との間に前記振動部材を挟み込み、前記板バネ部の他端側が本体のリブおよび基端部側に前記振動部材を押圧し、摩擦係合させる。したがって、小型化と組立易さとを実現するために、移動体において、本体が振動部材に摩擦係合するように該振動部材に摺接して該振動部材を本体に押圧するための微細で取付けの難しいキャップを廃止し、板バネ部で直接に振動部材を押圧するようにしても、該板バネ部と本体とを個別の板金部品で構成し、本体は板厚を厚くして所定の剛性を持たせ、板バネ部は板厚を薄くして所定の弾発性を持たせることで、駆動性能が低下しないようにすることができる。また、本発明の駆動装置では、前記本体は、0.05mm以上の板厚で、かつ、縦弾性係数が40GPa以上の材料から成ることを特徴とする。上記の構成によれば、移動体の本体が振動部材の振動に追従しない、すなわち駆動性能が低下しないようにすることができる。さらにまた、本発明の駆動装置では、前記板バネ部は、縦弾性係数が90GPaから210GPaの材料から成ることを特徴とする。上記の構成によれば、剛性を必要とする本体は、厚くすれば剛性を確保することができ、前記0.05mmの板厚では、前記40GPa以上の縦弾性係数を備えていればよく、たとえば70GPa程度のアルミなどの低弾性係数材料も使用可能である。一方、板バネ部はバネとして作用させるために、曲げ剛性は本体よりも低く設定する必要があるが、バネとしてたわんでも塑性変形しないようにバネ限界値応力は高い材料であることが必要である。その高いバネ限界応力値を持たせるために、バネ部材として弾性係数が前記90~210GPa、すなわち通常のバネ性を持った金属を用いて、厚さを本体の1/2以下とした場合、曲げ剛性は厚さの3乗に比例することから、バネ部の曲げ剛性は本体よりも低く、バネ限界応力値は高くしておくことができる。また、本発明の駆動装置では、前記本体からのリブの立設角度をθ1とし、前記板バネ部の振動部材への当接部から、前記リブおよび基端部の振動部材への当接部までの角度をそれぞれθ2,θ3とするとき、θ2=θ3=180°θ1/2となるように、前記板バネ部の振動部材への当接位置が設定されることを特徴とする。上記の構成によれば、前記の本体のリブおよび基端部との2面に対して、板バネ部は、振動部材を略均等に押圧することができる。さらにまた、本発明の駆動装置では、前記本体の幅方向に対して、前記溶接またはろう付されている箇所の長さが、前記溶接またはろう付されていない箇所の長さよりも短いことを特徴とする。上記の構成によれば、前記本体の幅方向の長さをAとし、前記溶接またはろう付されている箇所が、たとえば2箇所として、その前記本体の幅方向の長さがB,Cとするとき、A-BC≧BCとする。したがって、前記溶接またはろう付の熱により、最大応力値が小さくなり、力量が低下してしまうことを防止することができる。また、本発明の駆動装置では、前記板バネ部は、その幅方向の両端部において、少なくとも前記溶接またはろう付箇所の延長線上の部分は、厚み方向に折り曲げられてリブが形成されていることを特徴とする。上記の構成によれば、前記溶接またはろう付の熱により、最大応力値が小さくなり、力量が低下してしまうことを防止することができる。さらにまた、本発明の駆動装置では、前記板バネ部において、前記溶接またはろう付箇所における振動部材側の端縁に接する幅方向の延長線から、他端部までの長さが、前記延長線の長さ以下に形成されていることを特徴とする。上記の構成によれば、前記板バネ部において、前記溶接またはろう付箇所における振動部材側の端縁に接する幅方向の延長線から、他端部までの長さ、すなわち前記板バネ部の変形する根元から先端までの長さをDとし、前記延長線の長さ、すなわち一端部側の幅をEとするとき、D≦Eとする。したがって、板バネが過度に細長くならず、ねじり変形を抑えることができる。また、本発明の駆動装置では、前記板バネ部は、前記他端側の幅が、一端側の幅以下に形成されていることを特徴とする。上記の構成によれば、前記板バネ部の一端、すなわち基端側の幅を前記Eとし、他端、すなわち先端側の幅をFとするとき、F≦Eとする。したがって、板バネ部の根元側に大きな曲げ応力が加わるところ、F>Eとなっていると、根元側の撓み変形が大きくなってバネ限界応力を超え易く、設計上不利になり、また振動部材との係合幅が大きくなり、該振動部材の軸長が長くなって大型化してしまうのに対して、F≦Eとすることで、そのような不具合を小さくすることができる。さらにまた、本発明の駆動装置では、前記本体の一端側の幅が、前記板バネ部の他端側の幅と等しく形成されていることを特徴とする。上記の構成によれば、本体の振動部材との係合幅が小さくなり、該振動部材の軸長を短くし、小型化することができる。また、本発明の駆動装置では、前記振動部材と平行に延びるガイド軸と、前記ガイド軸上を摺動自在に案内され、前記移動体に連結される被駆動部材とをさらに備え、前記移動体が前記振動部材上を移動することで、前記被駆動部材が前記ガイド軸上を案内されることを特徴とする。上記の構成によれば、前記振動部材と平行に延びるガイド軸を設け、そのガイド軸によって被駆動部材を摺動自在に案内するとともに、こうして少なくとも2軸になった振動部材とガイド軸とにおいて、それらにそれぞれ案内される移動体と被駆動部材とを連結する。したがって、前記振動部材をガイド軸として共用せず、被駆動部材の荷重の多くを別途に設けたそのガイド軸によって支持させ、該被駆動部材の重量増加大型化に対応するとともに、耐衝撃性を向上することができる。本発明の駆動装置は、以上のように、圧電素子などの電気機械変換素子の伸縮を振動部材に伝え、その振動部材に所定の摩擦力で係合されている移動体を、前記電気機械変換素子の伸張時と縮小時との速度差を利用して移動させる超音波リニアアクチュエータなどとして実現される駆動装置において、前記移動体を、剛性を有する本体と、弾発性を有する板バネ部との板金2部品から構成し、前記本体は、帯状体の長手方向の一端側を折り曲げ、その折り曲げによるリブと、リブが立ち上がる付近の基端部との2面で前記振動部材に当接させ、前記板バネ部は、一端側を前記本体に溶接またはろう付によって固定し、他端側で前記振動部材を押圧する。それゆえ、小型化と組立易さとを実現するために、移動体において、本体が振動部材に摩擦係合するように該振動部材に摺接して該振動部材を本体に押圧するためのキャップを廃止し、板バネ部で直接に振動部材を押圧するようにしても、該板バネ部と本体とを個別の板金部品で構成し、本体は板厚を厚くして所定の剛性を持たせ、板バネ部は板厚を薄くして所定の弾発性を持たせることで、駆動性能が低下しないようにすることができる。実施の形態1図1は本発明の実施の第1の形態に係る駆動装置であるSIDM超音波リニアアクチュエータ100を用いる投影装置プロジェクタ200の構造を示す斜視図であり、図2aはその平面図であり、図2bは側面図である。この投影装置200でも、前記超音波リニアアクチュエータ100は、フォーカスレンズ201を保持する保持部材206の駆動機構に用いられる。これらの図1および図2では、前述の図11~図13で示す投影装置700における光源702、偏光ビームスプリッタ704およびLCOS705等は省略している。ここで、解像度や収差など、該投影装置200に要求される性能が高まり、前記フォーカスレンズ201保持部材206の重量増加大型化に対応するために、および/または耐衝撃性を向上するために、前記フォーカスレンズ201保持部材206の荷重の多くは、前記超音波リニアアクチュエータ100とは別途に設けたガイド軸210によって支持するようになっている。このガイド軸210は、本体フレーム211において、軸方向に間隔を開けて配置される一対の支持片212,213によって支持されており、そのガイド軸210によって、保持部材206の一端側に設けられた一対のガイド片214,215が摺動自在に案内されることで、前記のように該保持部材206の荷重の多くが支持される。ところで、前述の投影装置700では、ロッド802、ガイド軸710、フォーカスレンズ701およびピン719が、略同一平面上に並列に配置されているのに対して、この投影装置200では、ロッド102およびガイド軸210が、前記平面に対して垂直に積層され、狭幅に構成されている。したがって、前記軸線Xに対する交差方向Yは、この積層方向となる。なお、図1および図2では、相対的にロッド102が図の下方側、ガイド軸210が上方側に配置されているけれども、保持部材206の重心と、保持部材206のそれらのロッド102およびガイド軸210への取付き後述するガイド片214,215の位置や形状となどに応じて、ロッド102が上方側、ガイド軸210が下方側に配置されたり、それらの間隔が適宜変更されてもよい。そして、前記ガイド軸210には、前記保持部材206の一端側において、軸方向に間隔を開けて配置される一対のガイド片214,215が摺動自在に支持されるとともに、それらのガイド片214,215間に、前記ロッド102に摩擦係合している移動体103が嵌り込む。一方、前記保持部材206の他端側にはガイド片216が設けられ、本体フレーム211に設けられる一対の支持片217,218によって支持されているピン219によって回転止めが行われている点は、前述の投影装置700と同様である。図3は、本実施の一形態の超音波リニアアクチュエータ100を説明するための図であり、aは正面図図1および図2に対応させると側面図、bおよびcは側面図である。この超音波リニアアクチュエータ100は、電気機械変換素子である圧電素子101と、振動部材であるロッド102と、前記移動体103とを備えて構成される。本実施の形態の超音波リニアアクチュエータ100では、圧電素子101の振動方向の一方の面には、振動部材として機能するロッド102が固着されるが、他方の面には、錘は設けられておらず、代わって、該圧電素子101の振動方向とは直交する面が、前記本体フレーム211に形成されたスロット221に嵌り込んで固着される。ロッド102の先端は、前記本体フレーム211に立設された前記支持片212の支持孔に摺動自在に嵌り込む。こうして、前記ロッド102は、前記ガイド軸210と平行に配置される。前記移動体103は、本体111と、板バネ部112とを備えて構成される。図4aは前記本体111の正面図であり、図4bおよびcは側面図である。本体111は、板金部品から成り、幅広部1111と狭幅部1112との2種類の幅を有する帯状の板の長手方向の一端側狭幅部1112の先端が折り曲げられてリブ1113が形成されて成る。そして、図3bで示すように、そのリブ1113と、狭幅部1112の基端部1114との2面で、ロッド102に当接する。図5aは前記板バネ部112の正面図であり、図5bは側面図である。前記板バネ部112は、板金部品から成り、一端側の固定部1121が前記本体111の幅広部1111に、溶接またはろう付半田を含む113図3参照によって固定され、他端側のバネ部1122が前記本体111のリブ1113および基端部1114側に前記ロッド102を押圧し、摩擦係合させる。図1および図2において、移動体103の下端側は、前述のようにロッド102に摩擦係合しており、上端側は、保持部材206における前記ガイド片214,215間の側面220と前記ガイド軸210との間の隙間に嵌り込んでいる。こうして、移動体103のロッド102回りの回転が阻止されるとともに、該移動体103で発生したトルクを被駆動部材である保持部材206に伝達することが可能になっている。ここで、前記本体111は、0.05mm以上の板厚で、かつ、縦弾性係数が40GPa以上の材料から成る。表1および表2には、本件発明者の実験結果を示す。表1は、前記本体111を、相互に厚みの異なるSUSによって形成して、それぞれの駆動性能を確認した結果である。この表1から、本体111の板厚には、前記0.05mm以上必要と判断する。また、表2は、前記本体111を、相互に異なる材質で、同じ厚みの0.3mmに形成して、それぞれの縦弾性係数と駆動性能とを確認した結果である。この表2から、本体111の材質には、液晶ポリマーなどを不適とし、縦弾性係数の高い金属材料を使用することとする。縦弾性係数の目安は、許容される範囲で厚くすれば剛性を確保することができるので、前記0.05mmの板厚では、前記40GPa以上とする。これらの表1および表2の結果から、前記本体111に使用可能な材料の厚さおよび縦弾性係数の関係を、図6に示す。図6において、網掛けをして示す領域が、使用可能な材料の厚さおよび縦弾性係数の範囲となる。このような範囲の厚さおよび縦弾性係数の材料を本体111に選ぶことで、該本体111がロッド102の振動に追従しない、すなわち駆動性能が低下しないようにすることができる。一方、前記板バネ部112は、縦弾性係数が90GPaから210GPaの材料から成る。これは、剛性を必要とする前記本体111は、上述のように許容される範囲で厚くすれば剛性を確保することができ、前記0.05mmの板厚では、前記40GPa以上の縦弾性係数を備えていればよいのに対して、板バネ部112には、本体111より剛性が低く、高いバネ限界応力を持たせるためにより高い値の縦弾性係数の材料が必要になるためである。厚さにもよるが、剛性は厚さの3乗に比例することから、該板バネ部112の厚さを本体112の1/2以下とした場合で、該板バネ部112の縦弾性係数は、前記90~210GPaでよい。そのような材料の例を、表3に示す。すなわち、表3から明らかなように、前記板バネ部112の材料としては、通常のバネ性を持った金属材料で対応することができる。そして、剛性縦弾性係数を調整する場合や、該剛性縦弾性係数として要求される値に対して、使用する材料の値が不足する場合などには、ロッド102の係合部バネ部1122付近にリブを形成したり、折り畳むなどして、剛性縦弾性係数を調整アップするようにしてもよい。また、前記板バネ部112は、板状体がくの字に折り曲げられて成り、その折り曲げ部より一端側の固定部1121が前記本体111の幅広部1111に密着し、他端側のバネ部1122は前記本体111から離反してゆき、その離反した本体側の面1122aと、前記本体111のリブ1113および基端部1114との3面で、前記ロッド102を挟み込む。さらに、図3で示すように、前記基端部1114からのリブ1113の立設角度をθ1とし、前記板バネ部112の振動部材への当接部から、前記リブ1113および基端部1114のロッド102への当接部までの角度をそれぞれθ2,θ3とするとき、θ2=θ3=180°θ1/2となるように、前記板バネ部112のロッド102への当接位置が設定される。これは、前記リブ1113の立設角度をθ1とするとき、前記リブ1113および基端部1114のロッド102への当接部間の角度θ1’は、θ1’=360°―90°×2―θ1であるので、θ2=θ3=360°―θ1’/2=360°―360°―90°×2―θ1/2からである。これによって、板バネ部112が加える押圧力Fで、前記本体111のリブ1113および基端部1114の2面に対して、ロッド102を略均等に押圧することができる。また、前記本体111の狭幅部1112の基端部1114からリブ1113にかけて、スリット1115が形成されている。そして、ロッド102には、前記基端部1114およびリブ1113のそれぞれにおいて、このスリット1115の両側の部分が2点で当接する。これによって、前記基端部1114およびリブ1113と、ロッド102との間のガタツキを無くすことができる。さらにまた、前記本体111の幅方向の長さに対して、溶接またはろう付113の箇所の長さが、前記溶接またはろう付113されていない箇所の長さよりも短く形成される。具体的には、図3で示すように、前記本体111の幅方向の長さをAとし、前記溶接またはろう付113されている箇所が、たとえばこの図3のように2箇所として、その前記幅方向の長さがB,Cとするとき、A-BC≧BCとなるように、前記溶接またはろう付113を行う。したがって、前記溶接またはろう付113の熱により、最大応力値が小さくなり、力量が低下してしまうことを防止することができる。以上のように、本実施の形態の移動体103によれば、SIDM超音波リニアアクチュエータ100に用いられる移動体103において、剛性を有する本体111と、弾発性を有する板バネ部112との板金2部品から構成し、さらに前記本体111は、帯状体の長手方向の一端側を折り曲げ、その折り曲げによるリブ1113と、リブ1113が立ち上がる付近の基端部1114との2面でロッド102に当接させ、前記板バネ部112は、一端側を前記本体111に溶接またはろう付113によって固定し、他端側で前記ロッド102を押圧する。これによって、前記SIDM超音波リニアアクチュエータ100に用いられる移動体において、小型化と組立易さとを実現するために、本体111がロッド102に摩擦係合するように該ロッド102に摺接して該ロッド102を本体111に押圧するための微細で取付けの難しいキャップを廃止し、板バネ部112で直接にロッド102を押圧するようにしても、該板バネ部112と本体111とを個別の板金部品で構成し、本体111は板厚を厚くして所定の剛性を持たせ、板バネ部112は板厚を薄くして所定の弾発性を持たせることで、駆動性能が低下しないようにすることができる。また、前記ロッド102と平行に延びるガイド軸210を設け、そのガイド軸210によって被駆動部材であるフォーカスレンズ201保持部材206を摺動自在に案内することで、ロッド102をガイド軸として共用せず、該被駆動部材の重量増加大型化に対応するとともに、耐衝撃性を向上することができる。実施の形態2図7aは本発明の実施の第2の形態に係る駆動装置であるSIDM超音波リニアアクチュエータにおける板バネ部112’の正面図であり、図7bおよびcは、その側面図である。この板バネ部112’は、前述の図5に示す板バネ部112に類似し、対応する部分には同一の参照符号を付して示し、その説明を省略する。注目すべきは、この板バネ部112’では、固定部1121’の幅方向の両端部において、少なくとも前記溶接またはろう付113の箇所の延長線上の部分Wは、厚み方向に折り曲げられてリブ1125が形成されていることである。このように構成することで、前記溶接またはろう付113の熱により、最大応力値が小さくなり、力量が低下してしまうことを防止することができる。実施の形態3図8は、本実施の第3の形態に係る駆動装置であるSIDM超音波リニアアクチュエータ300を説明するための図であり、aは正面図図1および図2に対応させると側面図、bは側面図である。この超音波リニアアクチュエータ300では、電気機械変換素子である圧電素子101と、振動部材であるロッド102とは、前述の図3等と同様である。注目すべきは、移動体303は、1枚の帯状の板が板金加工されて、本体3031および板バネ部材3032を構成していることである。すなわち、前記1枚の帯状の板が、2つの屈曲部3033,3034において、略120°ずつ折り曲げられ、前記本体3031と、板バネ部材3032の2つの部分3032a,3032bとの3面が、ロッド102の軸方向から見て、略正三角形を形成するように折り曲げられ、その略正三角形内に前記ロッド102が内包される。そして、図8aで示す前記帯状の板の幅L1および図8bで示す前記板バネ部材3032の2つの部分3032a,3032bの当接部間の距離L2などによって決定される板バネ部材3032の前記軸方向の撓み量をL3とし、圧電素子101ロッド102の振幅をL4とするとき、L3<L4となるように、前記幅L1および距離L2が設定される。たとえば、圧電素子101の振幅L4が50nmとするとき、前記軸方向の撓み量L3をそれより小さくする。表4に、本件発明者の実験結果を示す。表3は、前記帯状の板は、材質がSUS301-CSP-H、板厚が0.1mmで共通であり、0.8mm径のロッド102に対して、板バネ部材3032の発揮する摩擦力は20gf、当接部間の距離L2は1.38mmの一定で、板の幅L1を変化させた場合の撓み量L3の測定結果を示すものである。したがって、表4からは、前述の条件撓み量L3が50nmより小さいを満足するのは、太枠で示す板の幅L1が1.4mm以上の場合である。このように移動体303の板バネ部材3032の形状を、該板バネ部材3032が駆動方向の摩擦力の加重を受けた時、ロッド102の駆動振動の振幅L4以下のたわみ量L3となる形状とすることで、その駆動振動に追従しないようにすることができ、該移動体303を確実に移動させることができるすなわち、追従振動すると、移動体303は、その場で停まってしまう。実施の形態4図9a~dは、本発明の実施の第4の形態に係る駆動装置であるSIDM超音波リニアアクチュエータにおける板バネ部112a,112b,112c,112dの正面図である。これらの板バネ部112a,112b,112c,112dは、前述の図3および図5に示す板バネ部112に類似し、対応する部分には同一の参照符号を付して示し、その説明を省略する。これらの板バネ部112a,112b,112c,112dも、固定部1121とバネ部1122とを備えて構成されるが、各板バネ部112a,112b,112c,112dで、バネ部1122における両側部の切れ込み形状が異なる。詳しくは、板バネ部112a,112bは、固定部1121側で曲率が大きく、バネ部1122側で曲率が小さくなる曲線で、バネ部1122の両側部の幅が狭くなってゆくように切れ込まれている。その内、板バネ部112aでは、ロッド102の係合部分は、両側部が相互に平行となっている。また、板バネ部112c,112dは、直線と円弧との組合せで切れ込まれており、板バネ部112cでは固定部1121との境界から大きな曲率の円弧で切れ込まれ、板バネ部112dでは固定部1121との境界において直線で切れ込まれ、小さな円弧に連なっている。前記円弧は、この円弧部分での幅が最も狭くなることの無いよう、90°以内であり、板バネ部112c,112dでは、共に90°である。板バネ部112c,112dでは、バネ部1122のロッド102側は、前記板バネ部112aと同様に、両側部が相互に平行に形成されている。注目すべきは、これらの板バネ部112a,112b,112c,112dでは、固定部1121において、前記溶接またはろう付113の箇所におけるロッド102側の端縁に接する幅方向の延長線1128から、バネ部1122の端部までの長さ、すなわち該板バネ部112a,112b,112c,112dにおいて、変形する部分の根元から先端までの長さをDとし、前記延長線1128の長さ、すなわち固定部1121側の幅をEとするとき、D≦Eに形成されていることである。図9の例では、前記溶接またはろう付113は、参照符号113a,113b,113cの3箇所で行われており、前記延長線1128は、最もロッド102側のろう付113bの箇所の端縁に接し、幅方向、すなわちロッド102と平行に延びる線である。このように構成することで、板バネ部112a,112b,112c,112dが過度に細長くならず、ねじり変形を抑えることができる。また、注目すべきは、これらの板バネ部112a,112b,112c,112dでは、その一端、すなわち前記固定部1121側の幅をEとし、他端、すなわち前記バネ部1122の先端側の幅をFとするとき、F≦Eに形成されていることである。ここで、板バネ部112a,112b,112c,112dの根元側に大きな曲げ応力が加わるところ、F>Eとなっていると、根元側の撓み変形が大きくなってバネ限界応力を超え易く、設計上不利になり、またロッド102との係合幅が大きくなり、該ロッド102の軸長が長くなって大型化してしまう。これに対して、上述のようにF≦Eとすることで、そのような不具合を小さくすることができる。また、これに対応して、図10の超音波リニアアクチュエータ100’のように、本体111’の一端側の幅が、前記板バネ部112aの他端、すなわち先端側の幅Fと等しく形成されることが好ましい。このように構成することで、本体111’のロッド102との係合幅が小さくなり、該ロッド102の軸長を短くし、小型化することができる。"