"ショートアーク型の放電ランプ、およびこの放電ランプを取り囲むよう配置されたリフレクタよりなる複数の光源素子が一方向に並ぶように配置されてなる、それぞれ同方向に伸びる複数の光源素子列と、各光源素子に対応した光源素子収容部を有する光源素子支持枠体とを有してなるランプユニットであって、前記各光源素子は、その出射光の光軸が平行になるように、前記光源素子収容部に配列されており、前記光源素子列における複数の光源素子が配置された方向を第1の方向としたとき、前記複数の光源素子列は、前記第1の方向に直交する第2の方向に並んで配列されるとともに、一の光源素子列R1に係る光源素子における放電ランプの電極間中心点C1と、当該光源素子に最も接近する、他の光源素子列R2に係る光源素子における放電ランプの電極間中心点C2とを結ぶ直線が、前記第1の方向と斜交するように配置され、前記光源素子列の列数をNとし、各光源素子列における隣り合う光源素子の、放電ランプの電極間中心点の距離をAとしたとき、前記電極間中心点C1とC2の、前記第1の方向の距離がH=A/Nであり、前記光源素子支持枠の、前記光源素子列R1を収納した部分の前記第1の方向の端面と、前記光源素子列R2を収納した部分の前記第1の方向の端面は、前記第1の方向において前記Hの段差を有していることを特徴とするランプユニット。前記光源素子支持枠の各光源素子収容部間には隔壁が形成され、各光源素子は、該隔壁を隔てて隣り合って配置されることを特徴とする請求項1に記載のランプユニット。前記光源素子支持枠の光出射側の面にはガラスが設けられ、前記光源素子は、ランプの管軸が該ガラス面に対して垂直になるように配置され、該光源素子のリフレクタの光出射開口側の端面が前記ガラスに押し付けられるように、前記光源素子は弾性力によりガラス面側に付勢されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のランプユニット。請求項1,2または請求項3のランプユニットを、隣り合うランプユニットの前記段差を有する前記第1の方向の端面が接するように、前記第1の方向に連結したことを特徴とするランプユニット。請求項1,2,3または請求項4に記載のランプユニットからなる光出射部を有する光照射装置であって、前記光出射部からの光を線状に集光する、前記第1の方向に伸びる集光部材を備えることを特徴とする光照射装置上述したように、パターン化位相差フィルムの製造には、ロングアーク型の放電ランプを用いた光照射装置が用いることが考えられる。しかし、ロングアーク型の放電ランプは線光源であるため、光学系によって、放電ランプから放射される光を当該放電ランプの長手方向において互いに平行な平行光とすることができない。このため、図17に示すように、マスク95の透光部97を透過する光の一部が、マスク95にその面方向に対して斜交して入射されることにより、被照射物である光重合性液晶材料層92における遮光部96の縁部の直下に位置する領域に照射される結果、マスク95のパターンに忠実で解像度の高いパターンを有する液晶ポリマー層93を形成することが困難である。本発明は、上記事情に基づいてなされたものであって、本発明の目的は、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパタ一ンを形成することができ、均一な照度分布を有する光を照射することができるランプユニットおよび該ランプユニットを備えた光照射装置を提供することである。本発明では上記課題を次のように解決する。1ショートアーク型の放電ランプ、およびこの放電ランプを取り囲むよう配置されたリフレクタよりなる複数の光源素子が一方向に並ぶように配置されてなる、それぞれ同方向に伸びる複数の光源素子列と、各光源素子に対応した光源素子収容部を有する光源素子支持枠体とを有してなるランプユニットを以下のように構成する。前記各光源素子を、その出射光の光軸が平行になるように、前記光源素子収容部に配列し、前記光源素子列における複数の光源素子が配置された方向を第1の方向としたとき、前記複数の光源素子列は、前記第1の方向に直交する第2の方向に並んで配列する。さらに、一の光源素子列R1に係る光源素子における放電ランプの電極間中心点C1と、当該光源素子に最も接近する、他の光源素子列R2に係る光源素子における放電ランプの電極間中心点C2とを結ぶ直線が、前記第1の方向と斜交するように配置し、前記光源素子列の列数をNとし、各光源素子列における隣り合う光源素子の、放電ランプの電極間中心点の距離をAとしたとき、前記電極間中心点C1とC2の、前記第1の方向の距離がH=A/Nとなるようにする。また、前記光源素子支持枠の、前記光源素子列R1を収納した部分の前記第1の方向の端面と、前記光源素子列R2を収納した部分の前記第1の方向の端面は、前記第1の方向において前記Hの段差を有するように構成する。2上記1において、前記光源素子支持枠の各光源素子収容部間に隔壁を形成し、各光源素子を、該隔壁を隔てて隣り合って配置する。3上記1または2において、前記光源素子支持枠の光出射側の面にガラスを設け、前記光源素子を、ランプの管軸が該ガラス面に対して垂直になるように配置し、該光源素子のリフレクタの光出射開口側の端面が前記ガラスに押し付けられるように、前記光源素子は弾性力によりガラス面側に付勢する。4上記12または3のランプユニットを、隣り合うランプユニットの前記段差を有する前記第1の方向の端面が接するように前記第1の方向に連結して、ランプユニットを構成する。5上記123または4のランプユニットを、光出射部からの光を線状に集光する前記第1の方向に伸びる集光部材を備える光照射装置の光出射部として用い、光照射装置を構成する。本発明においては、以下の効果を得ることができる。1ショートアーク型の放電ランプとリフレクタよりなる複数の光源素子を、その出射光の光軸が平行になるように、一方向に並べて配列して光源素子列を形成し、この光源素子列を前記第1の方向に直交する第2の方向に複数並べてランプユニットを構成し、一の光源素子列R1に係る光源素子における放電ランプの電極間中心点C1と、当該光源素子に最も接近する、他の光源素子列R2に係る光源素子における放電ランプの電極間中心点C2とを結ぶ直線が、前記第1の方向と斜交するように配置し、前記光源素子列の列数をNとし、各光源素子列における隣り合う光源素子の、放電ランプの電極間中心点の距離をAとしたとき、前記電極間中心点C1とC2の、前記第1の方向の距離がH=A/Nとなるようにしたので、一の光源素子列R1における各光源素子の照度ピークの谷の部分が、他の光源素子列R2における各光源素子の照度ピークの山の部分によって補償され、光照射領域における照度分布を均一にすることができる。また、上記光源素子列を収納した光源素子支持枠の、前記光源素子列R1を収納した部分の前記第1の方向の端面と、前記光源素子列R2を収納した部分の前記第1の方向の端面を、前記第1の方向において前記Hの段差を有するように構成することにより、上記ランプユニットを上記第1の方向に連結して、同様の光学的性能を有する長いランプユニットを構成することができる。さらに、本発明のランプユニットを、光源素子が並ぶ一方向に伸びる多数の線状の遮光部を有するマスクを備える光照射装置に適用することで、一方向において平行な光をマスクを介して被照射物に照射することができる。このため、上記マスクが、上記線状方向に直交する多数の線状の遮光部を有するものであれば、マスクの遮光部の直下に位置する領域に光が照射されることが防止または抑制され、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができる。2光源素子列を光源素子支持枠の光源素子収容部に収納して、上記構成のランプユニットを構成したので、特定のランプが使用寿命を迎えた場合に、ランプユニット単位で、多数のランプを簡単に新品のものに交換することができ、ランプ交換に要する時間を著しく短縮することができる。また、全ての新品のランプの照度分布調整を事前に済ませておくことにより、現場で照度分布調整を行うことなく、速やかにランプユニットを交換することができる。さらに、ランプユニットは、各光源素子から出射する光の光軸が平行になるように構成されているので、各光源素子の光軸調整を行うことなく、そのまま光照射装置に取り付けることができる。3各光源素子を、光源素子支持枠の各光源素子収容部間に形成された隔壁を隔て、光源支持枠に収納しているので、各光源素子の位置決めが容易であり、また、隣接する放電ランプから受ける熱の影響を緩和することができる。また、漏れ光があっても、隣のランプに影響を与えることがない。4前記光源素子支持枠の光出射側の面にガラスを設け、前記光源素子を、ランプの管軸が該ガラス面に対して垂直になるように配置し、該光源素子のリフレクタの光出射開口側の端面が前記ガラスに押し付けられるように、前記光源素子は弾性力によりガラス面側に付勢しているので、前面ガラスの平面度を高くしておけば、格別の調整をすることなく、各光源素子12から出射する光を平行光にすることができる。5本発明のランプユニットを、光出射部からの光を線状に集光する集光部材を備える光照射装置に適用することで、該集光部材からの光をマスクを介して被照射物に照射する際、上記線状方向において平行な光をマスクを介して被照射物に照射することができる。従って、上記したランプユニットにおける各放電ランプからの放射光を、各リフレクタおよび集光部材によりX方向に伸びる線状に集光することが、有効照射幅d図4、図5参照の範囲内に光を集光させるために有効であり、これにより、マスクのパターンに忠実で高解像度のパターンを形成することができる。図1は本発明の光出射部以下、ランプユニットともいうを備えた光照射装置の概略構成を示す図であり、同図aは斜視図、同図bはランプユニットにおける各光源素子の配置を光出射側から見た図である。また、図2は、図1に示す光照射装置をYZ面で切断した断面図、図3は、この光照射装置をXZ面で切断した断面図である。本実施例の光照射装置は、前述したパターン化位相差フィルムを製造するために用いることができ、複数の光源素子12から構成されるランプユニット10と、このランプユニット10からの光を、光源素子12の並び方向第1の方向:X方向に伸びるように線状に集光する集光部材20と、この集光部材20からの光をストライプ状に整形するマスク30を備える。なお、上記集光部材20とマスク30の間に、必要に応じて図2、図3に示すように偏光素子35が設けられる。偏光素子35としては、例えばワイヤグリッド偏光素子等を用いることができる。なお、図1では偏光素子35は省略されている。被照射物W例えば前記パターン化位相差フィルムを形成するための配向膜を介して形成された光重合性液晶材料層を有するフィルム基材は、図2に示すように、搬送手段40のローラー41に接した状態で、マスク30の直下に搬送される。ランプユニット10は、図1に示すように、複数の光源素子12が一方向X方向に並ぶように配置された光源素子列11a,11bを有し、この光源素子列11a.11bは、上記X方向に直交する方向第2の方向:Y方向に並んで配列される。光源素子列11a,11bにおける光源素子12の各々は、図2に示すように、発光管14内にその管軸に沿って互いに対向するよう一対の電極図示省略が配置されてなるショートアーク型の放電ランプ13と、この放電ランプ13を取り囲むよう配置された、当該放電ランプ13からの光を反射するリフレクタ15とを有する。上記放電ランプ13としては、発光管14内に水銀、希ガスおよびハロゲンが封入された、例えば波長270~450nmの紫外光を高い効率で放射する超高圧水銀ランプを用いることができる。このような放電ランプ13において、一対の電極間の電極間距離が例えば0.5~2.0mm、水銀の封入量が例えば0.08~0.30mg/mm3である。光源素子列11aにおける光源素子12と、光源素子列11bにおける光源素子12は、上記X方向に対して斜め方向に配置されている。すなわち、各光源素子12は、光源素子列11aの光源素子12における放電ランプ13の電極間中心点と、当該光源素子12に最も接近する、他の光源素子列11bの光源素子12における放電ランプ13の電極間中心点とを結ぶ直線Tが、上記X方向に伸びる直線Xと斜交するように配置されている。そして、図1bに示すように、光源素子列11aの各光源素子12の中心位置A1放電ランプ13の電極間中心点と、当該光源素子12に最も接近する光源素子列11bの光源素子12の中心位置A2放電ランプ13の電極間中心点とのX方向の離間距離をHとすると、Hは、以下の式1によって表される。H=A/N...式1ここでHは上記離間距離、Aは、各光源素子のX方向における幅、Nは光源素子列の列数である。なお、ランプユニットの光源素子列の列数は2列以上であってもよく、図1に示すように光源素子列の列数が2の場合、上記離間距離HはA/2となる。各光源素子12のリフレクタ15は、その光軸Cを中心とする回転放物面状の光反射面を有するパラボラミラーにより構成されており、当該リフレクタ15は、その光軸Cが放電ランプ13における発光管14の管軸上に位置され、かつ、その焦点Fが放電ランプ13における電極間の輝点に位置するよう配置されている。また、各光源素子12は、図2、図3に示すように、その出射光の光軸がZ方向に平行になるように配列されており、各光源素子12から出射する光は、図2、図3に示すように平行光となり、集光部材20に入射する。集光部材20は、X方向に垂直な断面が放物線状の光反射面を有する、X方向に沿って伸びるシリンドリカルパラボラミラーにより構成されており、当該集光部材20は、ランプユニット10における各リフレクタ15の光軸Cに垂直な光出射面の前方において、その焦点fが被照射物Wの表面上に位置するよう配置されている。この集光部材20は、目的とする波長の紫外光のみを反射させ、不要な可視光および赤外光を透過させるコールドミラーコーティングが施されているものであってもよい。マスク30は、X方向に長尺な矩形の板状のものであって、集光部材20の下方において、当該集光部材20による反射光の光軸Lに対して垂直な平面に沿って配置されている。このマスク30は、それぞれX方向に垂直な方向であるZ方向図3において上下方向に伸びる線状の多数の遮光部および多数の透光部がX方向に交互に並ぶよう配置されてなるものである。図4は、マスク30の具体的な構成の一例を示す説明図であり、同図aは平面図、bは側面図である。このマスク30においては、例えば石英ガラスよりなる透光性基板31の一面に、例えばクロムよりなる多数の線状の遮光膜32が所要の間隔で離間して並ぶよう配置されており、遮光膜32が形成された領域によって線状の遮光部33が形成され、隣接する遮光膜32間の領域によって透光部34が形成されている。このマスク30には、図4aにおいて破線Lbで示すように、遮光部33および透光部34が並ぶX方向に伸びる帯状の光が入射される。なお、dは有効照射幅である。図5に上記搬送手段40のローラー41とマスク30近傍の拡大図を示す。搬送手段40は、被照射物Wに接して当該被照射物Wを搬送するローラー41を有する。具体的には、ローラー41は、被照射物Wに接する箇所がマスク30の直下位置に位置されるよう、当該ローラー41の回転軸図示省略が前記X方向に伸びる姿勢で配置されており、当該ローラー41が回転することにより、被照射物WがZ方向に搬送される。なお、ローラー41に水冷機構を設けることにより、被照射物Wに高照度の紫外光が照射された場合でも、被照射物Wに接したローラー41により被照射物Wを冷却することができるので、被照射物Wのシュリンクなどの変形を防止することができる。被照射物Wは、搬送手段40によってZ方向に搬送され、マスク30は被照射物Wに対してギャップGだけ離間して配置される。マスク30と被照射物Wとの間の最小ギャップGは、例えば50~1000μmである。なお、ローラー41の偏芯を少なくすることにより、マスク30と、ローラー41に接したフィルム状の被照射物Wとの間のギャップを一定に保つことができる。図5からわかるように、マスク30と被照射物Wとの間のギャップは、当該被照射物WがZ方向に搬送されるにつれて変動する。すなわち、被照射物Wが搬送されてマスク30の直下領域を通過する際には、被照射物Wとマスク30との間のギャップは、先ず、被照射物WがZ方向に移動するにつれて小さくなり、マスク30の中央位置の直下に到達した後には、被照射物WがZ方向に移動するにつれて大きくなる。このため、有効照射幅dが大きい程、ギャップの変動幅も大きくなり、マスク30のパターンに忠実で高解像度のパターンを形成することができない。そこで、マスク30における集光部材20からの光が入射される有効照射幅dを、マスク30と被照射物Wとの間のギャップの許容変動値や、ローラー41の半径を考慮して可能な範囲で小さく設定することが好ましい。具体的には、図5に示すようにマスク30と被照射物Wとの間のギャップの許容変動値をa、ローラー41の半径をrとしたとき、有効照射幅dは、d=√{r2-r-a2}×2により求めることができる。なお、理論上は、被照射物Wの厚みを勘案することが必要であるが、被照射物Wの厚みは、ローラー41の半径に比較して極めて小さいため、無視することができる。具体例をあげると、マスク30と被照射物Wとの間のギャップの許容変動値が50μm、ローラー41の半径rが300mmである場合には、有効照射幅dは約11mm以下であることが好ましい。図1、図2、図3に示す光照射装置において、ランプユニット10の各光源素子12の放電ランプ13から放射された光は、リフレクタ15の光反射面によって反射されて、リフレクタ15の光軸Cに沿った平行光とされて集光部材20に向かって出射される。このランプユニット10から出射する平行光は、集光部材20における光反射面により下方に向かって反射されて、X方向に伸びる線状に集光され、偏光素子35を介してマスク30に入射する。マスク30に入射される光は、X方向において互いに平行な平行光である。マスク30に入射した光は、マスク30の遮光部および透光部によってストライプ状に整形され、被照射物Wに照射されることにより、被照射物Wにおけるローラー41が接する箇所の表面には、マスク30における遮光部および透光部のパターンに対応するストライプ状の光照射領域が形成される。そして、被照射物Wが搬送手段40によってZ方向に搬送されることにより、当該被照射物Wに対して、所要の光照射処理が達成される。このような光照射装置においては、光配向膜用材料を用い、以下のようにしてパターン化位相差フィルムを製造することができる。先ず、図6aに示すように、フィルム基材51上に、液状の光配向膜用材料を塗布して乾燥または硬化することによって光配向膜用材料層55Aを形成する。次いで、光配向膜用材料層55Aに対して、上記の光照射装置によって直線偏光光による選択的露光処理を行うことにより、図6bに示すように、フィルム基材51上にストライプ状にパターニングされた第1の光配向膜55を形成する。更に、適宜の光照射装置によって、上記図6bで照射した偏光光と90°偏光方向が異なる直線偏光光により全面露光処理を行うことにより、図6cに示すように隣接する第1の光配向膜55間に第2の光配向膜56を形成する。次いで、図6dに示すように、第1の光配向膜55および第2の光配向膜56の表面上に、適宜の光照射装置によって全面露光処理を行って、当該光重合性液晶材料層57Aを硬化させることにより、図6eに示すように、第1の光配向膜55上に形成された第1の液晶ポリマー層部分57およびこの第1の液晶ポリマー層部分57とは液晶の配光状態が異なる第2の液晶ポリマー層部分58がストライプ状にパターン化されてなる液晶ポリマー層59が形成され、以て、パターン化位相差フィルムが得られる。図1、図2、図3に示す光照射装置では、点光源であるショートアーク型の放電ランプ13と回転放物面状の光反射面を有するリフレクタ15とよりなる複数の光源素子12を一方向X方向に沿って並ぶよう配置されてなる光源素子列11a,11bによって、ランプユニット10が構成されている。したがって、当該光源素子列11を構成する光源素子12の各々における放電ランプ13から放射される光が、当該光源素子12の各々におけるリフレクタ15によって、光源素子12が並ぶ一方向において互いに平行な平行光とされ、これにより、集光部材20からの光は、図7に示すように、マスク30の透光部34にその面方向に対して直交若しくは略直交して入射して当該透光部34を透過する。従って、被照射物Wにおけるマスク30の遮光部33の直下に位置する領域に光が照射されることが防止または抑制され、マスク30のパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができる。また、上記ランプユニットの2つの光源素子列11a,11bは、一方の光源素子列11aに係る光源素子12における放電ランプ13の電極間中心点A1と、当該光源素子12に最も接近する、他方の光源素子列11bに係る光源素子12における放電ランプ13の電極間中心点A2とを結ぶ直線Tが、X方向に伸びる直線Xと斜交するよう配置されている。このため、被照射領域において、均一な照度分布が得られる。図8は、光照射領域におけるX方向の照度分布を示す曲線図である。この図において、縦軸は相対照度、横軸はX方向における相対的な位置を示し、実線は一方の光源素子列11aからの光による光照射領域の照度分布曲線、点線は他方の光源素子列11bからの光による光照射領域の照度分布曲線を示す。同図に示すように、一の光源素子列11aに係る光源素子12からの光の照射領域の照度のボトム位置に対して、当該光源素子に最も接近する、他の光源素子列11bに係る光源素子12からの光の照射領域の照度のピーク位置が重畳すると共に、光源素子列11bに係る光源素子12からの光の照射領域の照度のボトム位置に対して、光源素子列11aに係る光源素子12からの光の照射領域のピーク位置が重畳する結果、均一な照度分布が得られる。上記ランプユニット10によれば、集光部材20により集光された光照射領域では、各光源素子列11a,11bにおける各光源素子12からの出射光の照度ピークの山および谷が、各光源素子列毎に、光源素子12が並ぶ一方向において前述したA/2ずつ異なる位置に表れる。従って、一の光源素子列11aにおける各光源素子12の照度ピークの谷の部分が、他の光源素子列11bにおける各光源素子12の照度ピークの山の部分によって補償される。即ち、一の光源素子列11aにおける各光源素子12の照度ピークの山および谷と、他の光源素子列11bにおける各光源素子12の照度ピークの山および谷とが、相補的な関係となるように、各光源素子12からの集光光が重畳する。以上により、本発明のランプユニットを備える光照射装置は、照度分布が均一になる。ところで、放電ランプは、初期の照度に比して照度が所定の割合以上に低下することにより使用寿命を迎えた場合に、新品のものに交換することが必要である。しかし、放電ランプ毎に使用寿命は異なるので、光出射部における特定のランプのみが、その照度が他の放電ランプの照度に比べて早期に著しく低下することによって使用寿命を迎えることもある。この場合、当該特定のランプのみを新品のものに交換すると、交換した新品のランプの照度とそれ以外のランプの照度とが異なるため、照射領域における照度分布が不均一になる。そのため、上記のように、特定のランプが使用寿命を早期に迎えた場合、光出射部を構成する全てのランプを一括して新品のものに交換する必要がある。また、上記の光照射装置における光源素子列の一方向の全長は、被照射物の大きさに応じて変動する。光源素子列の一方向の全長が500~1500mmである場合は、通常、8×8灯計16灯~24×24灯計48灯のランプを含む光源素子を使用する。つまり、上記のように特定のランプが使用寿命を迎えた場合は、多数のランプを一括して新品のものに交換することが必要である。しかしながら、このように多数のランプを一括して新品のものに交換する作業は、容易ではなく、長時間を要していた。特に、光源素子列が一方向に全長が長い、即ち光源素子の個数が多い場合は、全てのランプを取外すとともに新品のランプを装着するだけでも長時間を要する。また、各放電ランプの照度は個別に異なるため、全てのランプを交換した際には、照度分布調整が必要になる。この照度分布調整は、全てのランプを一斉点灯させ、照度分布を測定することによって行う。その際、他の放電ランプに比べ照度が極端に高いものや低いものを除外し、平均的な照度を有するランプを選択する等の作業が必要になる。そのため、照度分布調整は光源素子の個数が多いほど長時間を要する。仮に、光照射装置が設置されたユーザーの工場において、かかる照度分布調整の作業を行った場合、長時間に亘り光照射装置を停止させる必要があるため、生産効率を低下させ、ユーザーに多大な迷惑をかけることになりかねない。したがって、ランプが使用寿命を迎えた場合に、ランプユニットを構成する全てのランプを速やかに交換することが必要である。また、光照射装置のユーザーの工場において照度分布調整を行う必要がないように、新品のランプを組み込んでなるランプユニットの照度分布調整を予め済ませておくことが好ましい。上記のように、ショートアーク型の放電ランプを一方向に並べて配置してなる複数の光源素子列を有するランプユニットを備えた光照射装置においては、ランプユニットが使用寿命を迎えた場合、ランプユニット単位で交換することとなる。以下、上述した、光出射部から出射される光を線状に集光する集光部材を備え、該集光部材により第1の方向に線状に集光した光を被照射物に照射する光照射装置に用いられ、上記光出射部を構成するランプユニットであって、ショートアーク型の放電ランプ、およびこの放電ランプを取り囲むよう配置されたリフレクタよりなる複数の光源素子が、上記第1の方向に並ぶように配置され、それぞれ同方向に伸びる複数の光源素子列と、各光源素子に対応した光源素子収容部を有する光源素子支持枠体とを有し、ランプユニット単位で交換可能なランプユニットにおいて、均一な照度分布を得ることができ、ランプユニット単位で交換することが可能で、必要に応じて長いランプユニットを構成することができる本発明のランプユニットの具体的な構成例について説明する。図9は、本発明の実施例のランプユニットの具体的な構成例を示す斜視図である。なお、図9に示すランプユニットは単一でも使用できるが、後述するように複数のランプユニットを光源素子の並び方向前記X方向に連結することにより、より長いランプユニットを構成することができる。本実施例のランプユニット10は、前記したようにショートアーク型の放電ランプ13とリフレクタ15よりなるそれぞれ8つの光源素子12を、一方向前記X方向に並べて配置して光源素子列11a,11bを構成し、この2つの光源素子列1a,11bを上記一方向に直交する方向前記Y方向に並べたものであり、各光源素子12は、光源素子収容部を有するハニカム構造体光源素子支持枠体16に収納されている。つまり、ランプユニット10は合計16個の光源素子12から構成され、一方向における全長は約500mmである。各光源素子12の放電ランプからリード線12aが引き出され端子12bが接続されている。ハニカム構造体16は、図10に示すように、光源素子12の個数と同数の光源素子収容部16aを有し、各光源素子収容部16aの間には隔壁16bが設けられる。ハニカム構造体16の各光源素子収容部16aは、光源素子列11aの8個の光源素子12と、光源素子列11bの8個の光源素子12が収納できるように2列の収容部から構成される。ハニカム構造体16の各光源素子収容部16aに収納される各光源素子12の光出射側前面には、図9に示すように、前面ガラス18が設けられ、前面ガラス18はガラス固定金具18aで固定される。ガラス固定金具18aは、光源素子12の個数と同数の開口を有する板状体であり、各ランプユニット毎に一体成形されてなり、ハニカム構造体16の光出射側端面にネジ止めされている。ガラス固定金具18aの各開口の大きさは、前面ガラス18が抜け落ちることのないよう、各光源素子12における前面ガラス18よりもやや小さくなっている。なお、ハニカム構造体16に収納される各光源素子12は、前記図1bに示したように光源素子列11aの各光源素子12の中心位置A1と、当該光源素子12に最も接近する他の光源素子列11bの光源素子12の中心位置A2との、X方向における離間距離をH、各光源素子12のX方向における幅をAとすると、Hは、H=A/Nを満たすように、設定される。このため、ハニカム構造体16の光源素子列11aを収納した部分の光源素子12の並び方向前記X方向の端面16dと、前記光源素子列11bを収納した部分の光源素子12の並び方向前記X方向の端面16eは、図1b、図9、図10に示すように、光源素子12の並び方向前記X方向において前記H光源素子列が2列の場合A/2の段差を有することになる。図11にハニカム構造体における光源素子収容部の断面図を示す。同図に示すように、ハニカム構造体16の光出射側の端面には、ガラス固定金具18aで固定された前面ガラス18が設けられ、また、ハニカム構造体16の上記光出射側の反対側の面には、ランプ固定用の底蓋16cが設けられている。各光源素子12は、図11に示すようにしてハニカム構造体16の各光源素子収容部16aに固定される。まず、前面ガラス18をガラス固定金具18aに取付ける。次に、放電ランプ13の管軸が前面ガラス18と直交するよう光源素子12をハニカム構造体16の光源素子収容部16aに配置する。光源素子12は、放電ランプ13とリフレクタ15とリフレクタベース17から構成され、これらが接着剤等により、固定されている。前記したようにハニカム構造体16の光源素子収容部16aは隔壁16bにより仕切られており、各光源素子12は隔壁16bにより互いに隔てられて各光源素子収容部16aに収納される。なお、図11に示すものにおいては、四角形状の光源素子収容部16aに、光出射側から見た形状が円形のリフレクタ15を有する光源素子12を収納するため、リフレクタ15の一部を切り欠いており、図11に示す曲線15aは切り欠かれたリフレクタ15の端部を示している。そして、同図に示すように、スプリング19を上記リフレクタベース17と底蓋16cの間に介挿させ、スプリング19により、光源素子12のリフレクタ15の光出射開口側の端面が前面ガラス18に押し付けられるように、光源素子12をガラス面側に付勢する。これにより、前面ガラス18の前端面はガラス固定用金具18aのエッジ部の光源素子側の内面に押し付けられ、光源素子12のリフレクタ15の光出射開口側の端面が前面ガラス18の光源素子12側の面に押し付けられることにより、ハニカム構造体16に固定される。上記のように構成することで、各光源素子12のリフレクタ15の光出射開口側の端面を光源素子12から出射する光の光軸に対して垂直になるように設定しておき、また、前面ガラスの平面度を高くしておけば、光源素子12を下からスプリング19で押し上げるだけで、格別の調整をすることなく、各光源素子12から出射する光を平行光にすることができる。また、各光源素子12は隔壁16bを隔ててハニカム構造体16に収納されているので、各光源素子12の位置決めが容易であり、また、隣接する放電ランプから受ける熱の影響を緩和することができる。また、漏れ光があっても、隣のランプに影響を与えることがない。上記ランプユニット10は、各ランプ毎に照度にバラツキがあるため、予め照度分布が調整されている。照度分布の調整は、例えばランプを一斉点灯させて照度分布を測定し、照度分布が均一であるかを確認し、照度分布が不均一である場合は次のようにして調整を行う。他のランプに比して照度が極端に高いか或いは低い為に照度分布を乱す原因となる特定のランプを突き止め、当該特定のランプを除外して他のものに交換し、再度照度分布を測定して照度分布が均一になるかを確認する。かかる一連の手順を、前記図8に示すように、一の光源素子列に係る光源素子の照射領域の照度のボトム位置に対し、他の光源素子列に係る光源素子の照射領域の照度のピーク位置が重畳することによって均一な照度分布が得られるまで繰返し行う。以上のように照度分布が調整されたランプユニットを用意しておくことにより、前述した光照射装置において、ランプユニット10のランプが使用寿命を迎えた場合に、照度分布調整を行うことなく、ユーザの工場などで速やかにランプユニットを交換することができる。また、ランプユニットは、各光源素子12から出射する光の光軸が平行になるように構成されているので、各光源素子の光軸調整を行うことなく、そのまま光照射装置に取り付けることができる。図12に示すランプユニットは、図9に示すランプユニット10a、10bの2つを、板状の連結用金具16fを用いてネジ止めすることによって連結したものである。ランプユニット10a、10bの連結は、ランプユニット10aの光源素子12の並び方向の端面16dと16eが、それぞれランプユニット10bの端面16eと16dに接するように合わせて、連結金具16fで連結する。各光源素子12の放電ランプからリード線12aが引き出され端子12bが接続されている。上記のように連結されたランプユニットは、合計32個の光源素子から構成され、一方向における全長は約1000mmである。上記のように構成されたランプユニットも、前記図9のものと同様、一の光源素子列の各光源素子12の中心位置A1と、当該光源素子12に最も接近する他の光源素子列の光源素子12の中心位置A2結ぶ直線が、上記光源素子の並び方向前記X方向に伸びる直線と斜交するように配置され、中心位置A1とA2の上記並び方向の距離Hは、H=A/2である。図13は、図12に示したランプユニットを光照射装置に組み込む様子を示す図であり、同図aは斜視図、bはランプユニットを光出射側から見た図である。なお、図13では2のランプユニットを連結して構成したものを光照射装置に組み込む場合を示しているが、図9に示した単一のランプユニットも同様に光照射装置に組み込むことができる。図13aに示すように、光照射装置の装置本体60側には、ランプユニット10を着脱するための複数のランプユニットレール62が設けられている。各レール62は、ランプユニット10の各光源素子列の光源素子12の並び方向と直交する方向に伸びるように、各ランプユニットの長手方向の両端付近にそれぞれ形成される。ランプユニット10に係るハニカム構造体16の底面には、上記装置本体60のランプユニットレール62に対応して、各ハニカム構造体16の長手方向の両端付近に、それぞれ上記レール62と同方向に伸びる脚部61が形成される。また、装置本体60には、ランプユニット10を当接させ位置決めを行うための位置決め用ブロック63が、ランプユニット10の両端部のそれぞれと中央部とに対応する箇所に設けられている。ランプユニット10は、ハニカム構造体16の底面に設けられた各脚部61を、上記装置本体60に設けられた各レール62に対して上記光源素子列の光源素子12の並び方向と直交する方向にスライドさせ、図13bに示すように、ハニカム構造体16の両端部の端面を上記位置決め用ブロック63に当接させることによって装置本体60に装着される。図13に示したものは、2つのランプユニットをその長手方向に連結したものであるが、光照射装置に組み込まれるランプユニットの個数は、被処理物の全長との関係で適宜調整することができる。同図の例は、被処理物に照射される線状の集光光による光照射領域の、光源素子が並ぶ一方向における全長が1000mmの場合を示す。該光照射領域の全長が例えば500mm程度と短い場合は、ランプユニットの個数は1つでも良い。尚、複数のランプユニットを連結する場合は、個々のランプユニットの形状は同一であることが好ましい。即ち、複数のランプユニットを連結する場合、図9等に示したように、各光源素子がそれぞれ一方向に配列された複数個例えば8個の光源素子からなるランプユニットの複数を、該一方向において連結することが好ましい。このようにすることで、各ランプユニットの連結部分の直下の光照射領域において、照度ムラが発生することなく、均一な照度分布を得ることができる。図14は、ランプユニットの上記以外の実施例を示す。図14abに示すように、ランプユニット10は、複数の光源素子12が一方向に並んで形成される光源素子列11を3列以上有するものであっても良い。光源素子列11の列数が多いほど照度分布の均一度が向上する。図14abに示すランプユニットによれば、前記集光部材20により集光された光照射領域では、各光源素子列における各光源素子12からの出射光の照度ピークの山および谷が、各光源素子列毎に、光源素子が並ぶ一方向においてA/3ずつ異なる位置に表れる。従って、各光源素子の照度ピークの谷の部分が、各光源素子の山の部分によって補償される。即ち、各光源素子の照度ピークにおける山および谷が相補的な関係となるように、各光源素子からの集光光が重畳するため、照度分布が均一になる。"