測定対象の物理量を可変コンデンサの静電容量の変化を利用して測定するものであって、前記可変コンデンサと該可変コンデンサの静電容量を測定するための基準となる基準電気素子とを含んで構成された一次測定回路と、十分に高い入力インピーダンスをもつインピーダンス変換素子を有し、前記一次測定回路に接続された二次測定回路と、前記各測定回路の一部又は全部が形成された基板とを具備し、前記可変コンデンサ及びインピーダンス変換素子の間に形成される高インピーダンス回路部分と前記基準電気素子とが、前記基板の内部に設けてあることを特徴とする静電容量型測定装置。前記基準電気素子が固定容量のコンデンサであることを特徴とする請求項1記載の静電容量型測定装置。前記測定対象の物理量が気体又は液体の圧力であって、周壁の一部を内部に導入される気体又は液体の圧力によって変位する可動壁で形成した測定室を具備するとともに、前記基板がその裏面を前記可動壁に対向させて設けてあり、前記基板の裏面に可変コンデンサの出力端である一方の電極、前記可動壁に該可変コンデンサの他方の電極が形成してあることを特徴とする請求項1又は2記載の静電容量型測定装置。基板が絶縁性薄板を積層して形成したものであり、一部又は全部の絶縁性薄板に設けられた孔乃至溝に導電体を充填することによって、前記高インピーダンス回路部分及び基準電気素子を形成していることを特徴とする請求項1乃至3いずれか記載の静電容量型測定装置。前記基板の表面に、前記可変コンデンサ、高インピーダンス回路部分及び基準電気素子を除く、他の測定回路が搭載してあることを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の静電容量型測定装置。測定対象の物理量を可変コンデンサの静電容量の変化を利用して測定するものであって、前記可変コンデンサを含んで構成された一次測定回路と、十分に高い入力インピーダンスをもつインピーダンス変換素子を有し、前記一次測定回路に接続された二次測定回路と、前記各測定回路の一部又は全部が形成された基板とを具備し、前記可変コンデンサ及びインピーダンス変換素子の間に形成される高インピーダンス回路部分が、前記基板の内部に設けてあることを特徴とする静電容量型測定装置。測定対象の物理量を可変コンデンサの静電容量の変化を利用して測定するものであって、前記可変コンデンサと該可変コンデンサの静電容量を測定するための基準となる基準電気素子を含んで構成された測定回路と、前記測定回路の一部又は全部が形成された基板とを具備し、前記基準電気素子が、前記基板の内部に設けてあることを特徴とする静電容量型測定装置。しかしながら、測定回路を構成する配線や電気素子が前記配線基板の表面に露出しているため、前述したような対策を施しても限度があり、測定精度の飛躍的な向上は望めない。また、電気素子は、ハンダ付けされて支持されているだけなので、不測の振動などで接触不良が発生する場合もある。もちろん、恒温室を設けるといった極端な環境安定化を図れば、あるいは測定精度を上げることは可能なのかもしれないが、大容量化や構造の複雑化を招く恐れがある。本発明は、かかる課題を鑑みてなされたものであって、この種の静電容量型測定装置において、大容量化や構造の複雑化を招くことなく、測定精度の飛躍的な向上を図ることをその主たる所期課題としたものである。すなわち、本発明に係る静電容量型測定装置は、測定対象の物理量を可変コンデンサの静電容量の変化を利用して測定するものであって、前記可変コンデンサ及び該可変コンデンサの静電容量を測定するための基準となる基準電気素子を含んで構成された一次測定回路と、十分に高い入力インピーダンスをもつインピーダンス変換素子を有し、前記一次測定回路に接続された二次測定回路と、前記各測定回路の一部又は全部が形成された基板とを具備し、前記可変コンデンサ及びインピーダンス変換素子の間に形成される高インピーダンス回路部分と前記基準電気素子とが、前記基板の表面と裏面との間の内部に埋めこまれて形成してあることを特徴とする。このようなものであれば、環境変化の影響を受けやすい高インピーダンス回路部分と基準電気素子とを、基板の内部という極めて安定な環境に置くことができるので、漏れ電流や浮遊容量、湿度等の問題を解消して、非常に測定精度が高く安定した性能を有する静電容量型測定装置を実現することができる。また、高インピーダンス回路部分や基準電気素子が基板内に埋めこまれるため、コンパクト化や構造の簡単化にも寄与し得るうえ、振動などの不測の外力によっても接触不良が生じにくくなり、堅牢性を向上できる。なお、十分に高い入力インピーダンスをもつインピーダンス変換素子とは、このインピーダンス変換素子に接続される出力素子例えば可変コンデンサの出力特性に実質的な影響を与えない程度の入力インピーダンスを有するもののことである。前記測定対象の物理量が気体又は液体の圧力であって、周壁の一部を内部に導入される気体又は液体の圧力によって変位する可動壁で形成した測定室を具備するとともに、前記基板がその裏面を前記可動壁に対向させて設けてあり、前記基板の裏面に可変コンデンサの出力端である一方の電極、前記可動壁に該可変コンデンサの他方の電極が形成してあるものであれば、配線基板の裏面が、そのまま可変コンデンサの電極として機能するため、可変コンデンサと配線基板とを接続する配線やコネクタ等を不要にでき、コンパクト化や低コスト化を図れる。製造の簡単化やコンパクト化等に寄与し得る具体的態様としては、基板が絶縁性薄板を積層して形成したものであり、一部又は全部の絶縁性薄板に設けられた孔乃至溝に導電体を充填することによって、前記高インピーダンス回路部分及び基準電気素子を形成しているものを挙げることができる。全ての測定回路を基板内に埋めこむと無駄が発生して却って製造が困難になったりコスト高を招く。こういった不具合を回避するには、前記基板の表面に、前記可変コンデンサ、高インピーダンス回路部分及び基準電気素子を除く、他の測定回路が搭載してあるものが望ましい。基準電気素子と高インピーダンス回路部分を双方基板内に埋めこむ必要はなく、要求される測定精度や設置環境によっては、高インピーダンス回路部分のみ、あるいは、基準電気素子のみを基板に埋めこんでも構わない。このように構成した本発明によれば、環境変化の影響を受けやすい高インピーダンス回路部分や基準電気素子を、基板の内部という極めて安定な環境に置くことができるので、漏れ電流や浮遊容量、湿度等の問題を解消して、非常に測定精度が高く安定した性能を有する静電容量型測定装置を実現することができる。また、高インピーダンス回路部分と基準電気素子とが基板内に埋めこまれるため、コンパクト化や構造の簡単化にも寄与し得るうえ、振動などの不測の外力によっても接触不良が生じにくくなり、堅牢性を向上できる。以下、本発明の一実施形態に係る静電容量型測定装置たる圧力センサ100について、図面を参照して説明する。この圧力センサ100は、測定対象である気体や液体の圧力を計測するものであり、図1に示すように、導電性を有する金属製の筐体1と、この筐体1に取り付けた配線基板2とを有するものである。筐体1は、内部に気体又は液体が導入される測定室11を設けた中空のものであって、その底面には、測定室11に気体又は液体を導入するための導入ポート図示しないが設けられている。この測定室11の頂壁には、気体又は液体の圧力に応じて該頂壁の厚み方向に変位する可動壁たるダイヤフラム部11aが形成してある。なお、このダイヤフラム部11aは、電気的には、後述するマイナスコモングランドと同電位に保たれている。配線基板2は、図2に示すように、絶縁性を有するセラミック薄板21を積層して形成した板状をなすものであり、該配線基板2の裏面外周縁部からは、筒状をなすスペーサ3が一体に突出させてある。そして、このスペーサ3を測定室11の頂壁外周縁部に例えばロウ付けすることによって、当該配線基板2の裏面が前記ダイヤフラム部11aの外表面から所定距離離間して対向するように配置してある。なお、このスペーサ3は、円環状の前記セラミック薄板21を積層して形成したものである。そして、当該配線基板2の裏面に金属板4を貼り付け、この金属板4を一方の電極51とし、前記ダイヤフラム部11aを他方の電極52として、これらによって可変コンデンサ5を形成している。このような構成によれば、測定室11内の圧力に応じて、ダイヤフラム部11aが変位して金属板4との距離が変動し、可変コンデンサ5の静電容量が変化するため、この可変コンデンサ5の静電容量を測定することによって、測定室11内の気体又は液体の圧力を計測することができる。その圧力を測定するための測定回路6は、その電気回路図を図3に示すように、一次測定回路61と二次測定回路62とを具備したものである。一次測定回路61は、前記可変コンデンサ5と該可変コンデンサ5の静電容量を測定するための基準となる基準電気素子とを含んで構成されたものである。二次測定回路62は、十分に高い入力インピーダンスをもつインピーダンス変換素子を有し、前記一次測定回路61に接続されたものである。前記基準電気素子は、ここでは固定容量のコンデンサ9であり、プラスコモン電源電位とマイナスコモングランド電位との間に、当該コンデンサ9と前記可変コンデンサ5とが、可変コンデンサ5がマイナスコモン側となるように、直列に接続されて配設されている。前記インピーダンス変換素子は、例えばオペアンプ7であり、増幅器乃至バッファとして機能するように構成してある。すなわち、このオペアンプ7のプラス入力端子には、可変コンデンサ5の出力端である一方の電極51コンデンサ9に接続された電極が接続してあり、オペアンプ7のマイナス端子は当該オペアンプ7の出力端子に接続してある。しかしてこの実施形態では、前記可変コンデンサ5とオペアンプ7のプラス入力端子との間の高インピーダンス回路部分である接続線8と、コンデンサ9とを、前記配線基板2内に埋めこむように形成している。なお、図3中、破線で囲まれた部分が、配線基板2内に埋めこまれる部分である。具体的には、図2に斜視断面図を示すように、配線基板2を構成するセラミック薄板21に貫通孔21a乃至貫通溝21bを設けておき、この貫通孔21a乃至貫通溝21bに導電体である金属を充填することによって、前記接続線8を配線基板2の内部に形成するようにしている。例えば、前記接続線8を厚み方向に延ばす場合は、積層する複数のセラミック薄板21の同位置に貫通孔21aを設けてそれら貫通孔21aが連続して厚み方向に延びるようにし、前記接続線8を面と平行に延ばすには、1枚のセラミック薄板21に有底又は貫通溝21bを形成すればよい。また、コンデンサ9を形成する場合は、例えば、所定の大きさの貫通孔21cを積層する複数のセラミック薄板21の同位置に設けておき、その上下2枚のセラミック簿板21に金属を膜状に形成することによって、それら一対の金属膜によってコンデンサ9が形成するようにすればよい。なお、その他の電気素子、例えば抵抗やインダクタも、孔や溝の形状を調整したり、充填する導電体の素材を調整したりすることによって形成することができる。このように構成した本実施形態によれば、環境変化の影響を受けやすい高インピーダンス回路部分8と基準電気素子たるコンデンサ9とを、セラミックの内部という極めて安定な環境に置くことができるので、漏れ電流や浮遊容量、湿度等の問題を解消して、非常に測定精度が高く安定した性能を有する圧力センサ100を実現することができる。また、配線基板2の裏面が、そのまま可変コンデンサ5の電極として機能するため、可変コンデンサ5と配線基板2とを接続する配線やコネクタ等を不要にでき、コンパクト化と低コスト化を図れる。さらに、配線基板2とスペーサ3とが、セラミック薄板21を積層することで一挙に構成できるため、製造の容易化にも寄与し得る。加えて、高インピーダンス回路部分8やコンデンサ9が配線基板2内に埋めこまれるため、振動などの不測の外力によっても接触不良が生じにくくなり、堅牢性を向上できる。また、スペーサ3が前記セラミック薄板21を積層して形成したものであり、このスペーサの高さギャップをセラミック薄板21の積層枚数で容易にコントロールできるため、これを調整することで、可変コンデンサ5の容量をコントロールして、測定する圧力レンジにあったセンサを任意にかつ簡単に作成することができる。なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、測定回路6は、図4~図6に例示するように、種々の変形が可能である。これら図4~図6において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付している。基準電気素子9は図4、図6からも明らかなように、コンデンサに限られず、抵抗やインダクタでも構わない。また、圧力センサのみならず、静電容量の変化を利用して測定対象の物理量を測定する種々の測定装置に本発明を適用して同様の作用効果を奏し得る。その他、本発明は前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。