"真空排気機能部が形成されたロータを回転させて真空排気を行うポンプユニットと、前記ポンプユニットに分離可能に固定されて該ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットと、を備えた電源一体型真空ポンプにおいて、前記ポンプユニットは、データが記憶されたRFICタグを備え、前記コントロールユニットは、前記RFICタグに記憶されたデータを読み取る読み取り装置と、前記読み取り装置に電力を供給するバッテリと、前記読み取り装置によるデータの読み取りができなかった場合にポンプ分離情報が保持される保持部と、該コントロールユニットへの電源供給をオンオフする電源スイッチと、前記電源スイッチがオンされると前記保持部から前記ポンプ分離情報の読み出しを行い、前記ポンプ分離情報が保持されている場合に前記ポンプユニットの起動を禁止する禁止回路、とを備えたことを特徴とする電源一体型真空ポンプ。請求項1に記載の電源一体型真空ポンプにおいて、前記コントロールユニットに禁止解除指令が入力されると前記ポンプ分離情報を前記保持部に入力するリセット回路を、前記コントロールユニットに設けたことを特徴とする電源一体型真空ポンプ。請求項2に記載の電源一体型真空ポンプにおいて、前記データは前記ポンプユニット毎に異なり、前記コントロールユニットは、対応する前記ポンプユニットの前記データと同一のデータが参照用データとして記憶されている記憶部と、前記読み取り装置により読み取られたデータと前記記憶部に記憶されている参照用データとが一致するか否かを判定する判定部と、をさらに備え、前記判定部により一致しないと判定された場合に、前記保持部に前記ポンプ分離情報が保持されることを特徴とする電源一体型真空ポンプ。請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電源一体型真空ポンプにおいて、前記コントロールユニットは、電源投入時に前記保持部に前記ポンプ分離情報が保持されていると警報を発生する警報装置を備えたことを特徴とする電源一体型真空ポンプ。ところで、真空ポンプの分解および組み立て作業においては、特殊な工具等を必要としないため、ポンプ製造メーカや指定のメンテナンス業者以外の業者にメンテナンスを委託したり、使用者自身がメンテナンスを行ったりすることも可能である。しかしながら、メンテナンス作業が正しく行われないと、ポンプ性能が低下したりポンプ寿命を縮めたりするだけでなく、故障が発生したり安全性が損なわれたりするという問題がある。請求項1の発明は、真空排気機能部が形成されたロータを回転させて真空排気を行うポンプユニットと、ポンプユニットに分離可能に固定されてポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットと、を備えた電源一体型真空ポンプに適用され、ポンプユニットは、データが記憶されたRFICタグを備え、コントロールユニットは、RFICタグに記憶されたデータを読み取る読み取り装置と、読み取り装置に電力を供給するバッテリと、読み取り装置によるデータの読み取りができなかった場合にポンプ分離情報が保持される保持部と、コントロールユニットへの電源供給をオンオフする電源スイッチと、電源スイッチがオンされると保持部からポンプ分離情報の読み出しを行い、ポンプ分離情報が保持されている場合にポンプユニットの起動を禁止する禁止回路、とを備えたことを特徴とする。請求項2の発明は、請求項1に記載の電源一体型真空ポンプにおいて、コントロールユニットに禁止解除指令が入力されるとポンプ分離情報を保持部に入力するリセット回路を、コントロールユニットに設けたことを特徴とする。請求項3の発明は、請求項2に記載の電源一体型真空ポンプにおいて、データはポンプユニット毎に異なり、コントロールユニットは、対応するポンプユニットのデータと同一のデータが参照用データとして記憶されている記憶部と、読み取り装置により読み取られたデータと記憶部に記憶されている参照用データとが一致するか否かを判定する判定部と、をさらに備え、判定部により一致しないと判定された場合に、保持部にポンプ分離情報が保持されることを特徴とする。請求項4の発明は、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電源一体型真空ポンプにおいて、コントロールユニットは、電源投入時に保持部にポンプ分離情報が保持されていると警報を発生する警報装置を備えたものである。本発明によれば、ポンプ分離履歴を容易に検出することができ、真空ポンプを安全な状態に管理することが容易にできる。以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図1は本実施の形態のターボ分子ポンプ1の概略構成を示す図である。ターボ分子ポンプ1は磁気軸受式のターボ分子ポンプであり、図1に示すようにポンプユニット20とコントロールユニット30とがボルト固定された電源一体型のターボ分子ポンプである。図1では、ポンプユニット20は構造の断面を示し、コントロールユニット30においてはブロック図で示した。先ず、ポンプユニット20について説明する。ロータ2が取り付けられたシャフト3は、ベース4に設けられた電磁石51,52によって非接触支持されている。シャフト3の浮上位置は、ベース4に設けられたラジアル変位センサ71およびアキシャル変位センサ72によって検出される。ラジアル磁気軸受を構成する電磁石51と、アキシャル磁気軸受を構成する電磁石52と、変位センサ71,72とで5軸制御型磁気軸受が構成される。なお、磁気軸受が作動していない状態では、シャフト3はメカニカルベアリング27,28によって支持される。シャフト3の下端には円形のロータディスク41が設けられており、このロータディスク41を上下に挟むように電磁石52が設けられている。そして、電磁石52によりロータディスク41を吸引することによりシャフト3がアキシャル方向に浮上する。ロータディスク41はナット部材42によりシャフト3の下端部に固定されている。ベース4の底面には裏蓋43がボルト固定されている。裏蓋43とベース4との隙間はOリングにより密封されている。裏蓋43にはコントロールユニット30のコネクタ37bと接続されるコネクタ37aが設けられている。また、裏蓋43には、コントロールユニット30と対向する面にRFICタグ44が設けられている。ロータ2には、回転軸方向に複数段の回転翼8が形成されている。上下に並んだ回転翼8の間には固定翼9がそれぞれ配設されている。これらの回転翼8と固定翼9とにより、ポンプユニット20のタービン翼段が構成される。各固定翼9は、スペーサ10によって上下に挟持されるように保持されている。スペーサ10は、固定翼9を保持する機能とともに、固定翼9間のギャップを所定間隔に維持する機能を有している。さらに、固定翼9の後段図示下方にはドラッグポンプ段を構成するネジステータ11が設けられており、ネジステータ11の内周面とロータ2の円筒部12との間にはギャップが形成されている。ロータ2と、スペーサ10によって保持された固定翼9とは、吸気口13aが形成されたケーシング13内に納められている。ロータ2が取り付けられたシャフト3を電磁石51,52により非接触支持しつつモータ6により回転駆動すると、吸気口13a側のガスは背圧側に排気され、背圧側に排気されたガスは排気口26に接続された補助ポンプにより排出される。ポンプユニット20を駆動制御するコントロールユニット30には、主制御部31、磁気軸受駆動制御部32、モータ駆動制御部33、警報部34、ICタグ用のリーダ35、リーダ用のバッテリ36、入力部45等が設けられており、それらは、固定用フランジ38aが設けられたケース38内に収納されている。入力部45には電源スイッチ、ポンプスタートスイッチや、データを入力するための入力ボタン等が設けられている。磁気軸受駆動制御部32は、主制御部31の指令に基づいて、ポンプユニット20に設けられた磁気軸受を駆動制御する。モータ駆動制御部33は、主制御部31の指令に基づいて、ポンプユニット20のモータ6を駆動制御する。ポンプユニット20やコントロールユニット30に異常が発生した場合に警報を発する。そのため、警告音を発生するスピーカや警告を表示する表示装置などが設けられている。ところで、ポンプユニット20をオーバーホールする際には、ポンプユニット20とコントロールユニット30とを締結しているボルト40を外し、ポンプユニット20とコントロールユニット30とを分離する。その後、ポンプユニット20の裏蓋43を外し、ロータディスク41をシャフト3に固定しているナット部材42を外して、ロータディスク41をシャフト3から抜き取ることで、ロータ2およびシャフト3からなる回転体をポンプユニット20から取り外す。例えば、ロータ2に固着した生成物の除去作業の場合には、ロータ2をシャフト3から外して除去作業を行った後、ロータ2をシャフト3に組み付けた後にバランス取りを行い、上述した手順とは逆の手順で回転体をポンプユニット20に取り付ける。このような分解組み立て作業を行うには特殊な技能を必要とするため、通常は、メーカやメーカの指定するメンテナンス業者においてメンテナンス作業が行われる。ロータ2やシャフト3をポンプユニット20から取り外す作業には特殊な工具を必要としないため、ユーザ側において容易に分解組み立てを行うことが可能である。しかしながら、ユーザで組み立てた場合、回転体のバランスが崩れたり、部品間のクリアランスが保てない等によって、ポンプの信頼性低下を招くという問題がある。そこで、本実施の形態のターボ分子ポンプ1では、図1に示すようにポンプ分解が有ったことを検出するためのRFICタグ44およびリーダ35を設けて、ポンプ分解を行った際には、所定の手続きを経ない限り、再組み立て後のポンプ起動動作が行えないようにした。RFICタグ44には、データを記憶するためのICチップと、記憶されているデータを送信するためのアンテナが埋め込まれている。一方、コントロールユニット30側には、RFICタグ44に記憶されているデータを読み取るリーダ35が設けられている。RFICタグ44は、リーダ35の発生する電波から電力を得て、記憶されているデータをアンテナにより送信する。リーダ35は、RFICタグ44からの電波を受信することにより、RFICタグ44に記憶されているデータを離れた位置で読み取ることができる。リーダ35に電力を供給するバッテリ36には充電式の二次電池が用いられ、コントロールユニット30内にはバッテリ36を充電するための充電器39が設けられている。バッテリ36は、コントロールユニット30がオンの時に充電器39により充電される。そのため、コントロールユニット30が電源オフの状態であっても、リーダ35によるRFICタグ44の読み取りを行うことができる。一体型のターボ分子ポンプ1では、通常はポンプユニット20とコントロールユニット30とは一体とされており、リーダ35はRFICタグ44のデータを検出できる状態になっている。リーダ35は、所定時間間隔で読み出し動作を行っている。図1に示すようにRFICタグ44のデータを磁気的に読み取り可能な状態にある場合には、リーダ35はデータ読み取り状態データ検出状態となっており、リーダ35には分離フラグが立っていない。コントロールユニット30の主制御部31のCPUは、リーダ35に分離フラグが立っているか否かでポンプユニット20の分離があったか否かを判断する。すなわち、分離フラグの状態で分離履歴を認識することができる。図2は、リーダ35の処理を示すフローチャートである。リーダ35は、バッテリ36からの電力供給が開始されると、図2に示す分離検出処理を所定時間間隔で繰り返し実行する。ステップS101では、リーダ35はRFICタグ44のデータ読み取り処理を行う。ステップS102では、データ読み取りに成功したか否かを判定する。リーダ35に設けられた記憶部35aには、RFICタグ44に記録されているデータと同一のデータが参照データとして予め記憶されており、読み込んだデータと参照データとが一致すると読み取り成功と判定する。ステップS102で読み取り成功と判定されると一連の処理を終了する。一方、ステップS102で読み取り不成功と判定されると、ステップS103へ進んで分離フラグをON状態にして、一連の処理を終了する。この分離フラグ情報は記憶部35aに記憶される。記憶部35aは、前記参照データが記憶されるROMや、分離フラグが記憶される不揮発性RAM等で構成されている。上述した図2の処理は、リーダ35に電力が供給されている限り繰り返し実行される。そのため、メンテナンス等でポンプユニット20とコントロールユニット30とが分離され、リーダ35によるRFICタグ44の磁気的な読み出しができなくなると、リーダ35の記憶部35aに分離フラグONの情報が記憶される。そして、再びポンプユニット20にコントロールユニット30を組み付けて一体にしても、記憶部35aの分離フラグ情報はONに維持されたままとされる。この分離フラグ情報を用いた分離履歴判定は、コントロールユニット30に電源が投入された際に主制御部31において実行される。図3は、主制御部31において実行されるメイン処理の一例を示したものである。入力部45に設けられた電源スイッチがオンされてコントロールユニット30に電源が投入されると図2の処理がスタートし、電源スイッチがオフされると終了する。ステップS10では、分離履歴判定処理が実行される。ステップS10の分離判定処理が終了すると、ステップS20に進んで通常運転モードとなる。図4は、図3のステップS10の分離履歴判定処理の一例を示すフローチャートである。ステップS201では、リーダ35からフラグ情報を読み取る。ステップS202では、読み取ったフラグ情報から、分離フラグがONか否かを判定する。ステップS202で分離フラグ=ONと判定されると、ステップS203へ進み、警報部34に警報を発報するよう指令を送る。警報部34はポンプが分解されたことを表示装置等により表示する。ステップS204では、主制御部31はポンプ起動不可状態にする。すなわち、入力部45のポンプスタートスイッチがオンされても、モータ駆動制御部33によるモータ6の回転駆動を禁止する。また、磁気軸受によるロータ2の浮上を禁止するとともに、モータ6の回転駆動を禁止するようにしてもよい。一方、ステップS202で分離フラグ=OFFと判定されると、一連の分離履歴判定処理を終了し、図3へ戻る。このように、本実施の形態では、分離履歴が無い場合には通常通りポンプ起動が可能とされ、分離履歴があった場合にはポンプ起動が禁止される。そのため、正規以外のメンテナンス業者により分解作業が行われた場合にはポンプ運転を行うことができず、ポンプ運転における安全性が確保される。なお、分離履歴があった場合でも、それが正規のメンテナンス業者による分解作業であった場合には、安全性は確保されている。その場合、正規のメンテナンス業者はフラグ解除方法をメーカから知らされており、図1の入力部45を操作してフラグ解除操作を行い、リーダ35の記憶部35aの分離フラグをOFFにする。なお、この解除方法はメーカから正規のメンテナンス業者にのみ知らされるものである。ステップS205では、解除操作があったか否かを判定し、解除操作があったと判定されるとステップS206へ進む。ステップS206では、警報部34による警報を解除するとともにポンプ起動を許可する。上述のように、正規のメンテナンス業者であれば、予め知らされている解除操作により分離フラグをOFFとすることができる。一方、ユーザには解除操作は知らされていないので解除することができず、不適切な方法で分解組み立てされたおそれのあるポンプが、安全性が確保されない状態で使用されるのを防止することができる。なお、ポンプユニット20におけるRFICタグ44の取り付け位置は、リーダ35による磁気的読み取りが可能な場所であれば、いずれの位置であっても構わない。ただし、非分離時において見えない位置、例えば、図1に示すようなコントロールユニット30との対向面や、ポンプユニット20の内部等に配置するのが好ましい。このように、分離検出機能が設けられていることをユーザに容易に分からない構成とし、分離検出機能を無効にされる可能性を小さくすることが、不正な分解作業を防止する上で好ましい。ところで、ターボ分子ポンプの場合には、ポンプユニット20毎に軸受制御パラメータが設定されているので、一般的にポンプユニット20とコントロールユニット30とは一対一の関係になっている。しかし、ポンプユニット20に、それに対応した本来のコントロールユニット30とは異なるコントロールユニットを組み付けた場合でも、ポンプを起動し回転させることは可能である。しかし、安全性の面から、組み合わせが異なる状態でターボ分子ポンプを使用するのは好ましくない。そこで、RFICタグ44に記憶されているデータを各ポンプに固有の値たとえば、製造番号とし、図4のフローチャートに代えて図5のフローチャートを採用することにより、ポンプ組み間違えを防止することができる。図5では、ステップS206の処理が実行されたならば、ステップS201へ戻る。すなわち、ステップS201で再びリーダ35からフラグ情報を読み取り、ステップS202で分離フラグがONか否かを判定する。ポンプユニット20とコントロールユニット30との組み合わせが正しければ、解除操作による分離フラグ=OFFの状態が維持されているので、ステップS202でNOと判定されて、図5の分離履歴判定処理を終了する。一方、ポンプユニット20とコントロールユニット30との組み合わせが正しくない場合には、読み取ったデータとリーダ35に記憶されている参照データとが一致せず、図2のステップS102の処理により読み取り不成功と判定される。その結果、再び警報が発せられるとともにポンプ起動禁止状態とされる。このように、RFICタグ44に記憶されているデータを各ポンプに固有の値とするとともに、図5のような分離履歴判定処理を行うことにより、不正なポンプ分解後のポンプ運転を防止され、さらに、ポンプ組み間違えを防止することができる。以上説明したように、本実施の形態では、ポンプユニット20とコントロールユニット30とが分離可能に固定されている電源一体型真空ポンプにおいて、リーダ35によるRFICタグ44のデータが読み取れなかった場合には、記憶部35aに分離フラグONが分離情報として保持される。そして、コントロールユニット30に電源が投入された際に、記憶部35aに分離フラグONが保持されているときは、主制御部31はポンプ起動禁止状態とする。その結果、不正な分解作業が行われた場合には起動が禁止され、ポンプの安全性が確保される。また、RFICタグ44のデータをポンプユニット20毎に異なる値とし、ポンプユニット20対応したコントロールユニット30のリーダ35には、RFICタグ44のデータと同一のデータが参照データとして記憶されているので、ポンプユニット20とコントロールユニット30との対応関係が正しくない場合には、ポンプユニット20は起動禁止とされる。そのため、ポンプユニット20とコントロールユニット30との組み間違えを防止することができる。特に、電源一体型真空ポンプの場合には、ボルト締結作業があるため分離または結合の作業に手間がかかる。しかし、RFICタグを用いる場合には、ボルト締結前にコントロールユニット30に電源投入を試みるだけで組み合わせが正しいか否かを確認することができ、間違えたときの組み替え作業が簡素化される。なお、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。例えば、上述した実施の形態では、磁気軸受式のターボ分子ポンプを例に説明したが、磁気軸受式でなくても本発明は適用可能である。さらには、ターボ分子ポンプに限らず電源一体型の真空ポンプであれば、ドラッグポンプのような真空ポンプにも同様に適用することができる。"