アルカリ金属塩及びグリシンを含み、ポリマー材料をエッチングするための水溶液、を含む組成物。約5重量~約55重量のアルカリ金属塩及び約5重量~約30重量のグリシンを含む、請求項1に記載の組成物。約30重量~約45重量の前記アルカリ金属塩を含む、請求項1に記載の組成物。約10重量~約20重量の前記グリシンを含む、請求項1に記載の組成物。約42重量の前記アルカリ金属塩及び約18重量の前記グリシンを含む、請求項1に記載の組成物。約35重量の前記アルカリ金属塩及び約12重量の前記グリシンを含む、請求項1に記載の組成物。前記アルカリ金属塩が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、及び水酸化セシウムからなる群より選択される、請求項1に記載の組成物。エチレンジアミンを更に含む、請求項1に記載の組成物。約5重量~約55重量のアルカリ金属塩及び約5重量~約30重量のグリシン、並びに約2重量~約8重量のエチレンジアミンを含む、請求項8に記載の組成物。ポリマーフィルムを準備する工程と、前記ポリマーフィルムを、約5重量~約55重量のアルカリ金属塩と、約5重量~約30重量のグリシンと、を含む水溶液と接触させる工程と、を含むプロセス。前記水溶液が約30重量~約45重量の前記アルカリ金属塩を含む、請求項10に記載のプロセス。前記水溶液が約10重量~約20重量の前記グリシンを含む、請求項10に記載のプロセス。前記水溶液が約42重量の前記アルカリ金属塩及び約18重量の前記グリシンを含む、請求項10に記載のプロセス。前記水溶液が約35重量の前記アルカリ金属塩及び約12重量の前記グリシンを含む、請求項10に記載のプロセス。前記アルカリ金属塩が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、及び水酸化セシウムからなる群より選択される、請求項10に記載のプロセス。前記水溶液がエチレンジアミンを更に含む、請求項10に記載のプロセス。前記水溶液が、約5重量~約55重量のアルカリ金属塩及び約5重量~約30重量のグリシン、並びに約2重量~約8重量のエチレンジアミンを含む、請求項10に記載のプロセス。前記ポリマーフィルムが、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、及び液晶ポリマーからなる群より選択される、請求項10に記載のプロセス。前記ポリマーフィルムが、芳香族二無水物及び芳香族ジアミンからなる群より選択されるモノマーを含むポリイミドフィルムである、請求項10に記載のプロセス。前記ポリマーフィルムが、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物BBDA及びフェニルジアミンPDAからなる群より選択されるモノマーを含む、請求項10に記載のプロセス。本発明を以下の実施例によって更に説明するが、これらの実施例に記載される特定の材料及びそれらの量、並びに他の条件及び詳細は、本発明を不当に限定するものとして解釈されるべきではない。表1に示されるような異なる濃度の水性エッチング剤を調製した。エッチング剤を調製するための一般的な手順には、水酸化カリウムKOHを水H2Oに溶解することにより水酸化カリウムの表1に提供した異なる濃度をストック溶液として調製することを含めた。約80mlの異なる濃度のKOHの試料をビーカーに移し、異なる量の結晶性固体グリシンシグマアルドリッチ社SigmaAldrich米国、ミズーリ州セントルイスより販売されるもの及びエチレンジアミンEDシグマアルドリッチ社米国、ミズーリ州セントルイスより販売されるものを原液としてKOH溶液に加えることによって異なるエッチング剤溶液を調製した。グリシンは直接加えたところ、KOH溶液に直ちに溶解した。EDは原液として直接加えた。KOHとグリシンの混合液でエッチングしたポリマー試料の一部のものを約3重量のアルカリ性過マンガン酸カリウムPPM溶液で更に処理した。アルカリ性PPM溶液を調製するための一般的な手順には、1gのKOHを96gのH2Oに溶解した後、3gの過マンガン酸カリウムKMnO4を加えることが含まれる。KMnO4は、数分間の攪拌後にKOHに容易に溶解した。宇部興産株式会社日本、東京よりUpilexSN及びUpilexSの商品名でそれぞれ販売される厚さ0.5ミル及び1ミル0.013mm及び0.025mmの試料をエッチング実験において使用した。コロンインダストリーズ社KolonIndustriesInc韓国、京畿道、果川市よりKP-2150の商品名で販売される水性フォトレジストをエッチングマスクとして使用して一方の面からエッチングを行った。ポリイミドフィルムのエッチングに使用した異なるエッチング剤の組成を表1に示す。実施例1~8宇部興産株式会社日本、東京よりUpilexSの商品名で販売される厚さ1ミル0.025mmのポリイミドフィルムの試料を、コロンインダストリーズ社KolonIndustriesInc韓国、京畿道、果川市よりKP-2150の商品名で販売される水性フォトレジストをエッチングマスクとして使用して一方の面からエッチングした。エッチングは、94°Cの水浴中に入れたビーカー中のKOH/グリシンエッチング剤にポリイミドフィルムを浸漬し、ビーカー中のエッチング剤を一定の攪拌状態で行った。エッチングされた試料からフォトレジストを除去した後、試料の一部のものを上記に述べたアルカリ性PPM溶液に50°Cで2分間、更に曝露した。溶液を恒温水浴中に維持し、試料をエッチング剤溶液に浸漬した。その試料について、エッチング剤組成、エッチング条件、及び側壁のエッチング品質を表2に示す。実施例9~11宇部興産株式会社日本、東京よりUpilexSの商品名で販売される厚さ1ミル0.025mmのポリイミドフィルムの試料を、コロンインダストリーズ社KolonIndustriesInc韓国、京畿道、果川市よりKP-2150の商品名で販売される水性フォトレジストをエッチングマスクとして使用して一方の面からエッチングした。エッチングは、異なる温度の水浴中に入れたビーカー中のエッチング剤により、エッチング剤溶液の一定の攪拌状態で行った。エッチングの終了後、フォトレジストを除去し、一定の攪拌状態にあるPPM溶液中に試料を浸漬することにより、50°Cで2分間、PPM溶液によって更なるエッチングを行った。エッチング温度及び時間並びに側壁のエッチング品質を、エッチング剤の有害作用にフォトレジストがどの程度耐えたか残ったかの表示とともに、表3に示す。実施例12~29宇部興産株式会社日本、東京よりUpilexSの商品名で販売される厚さ1ミル0.025mmのポリイミドフィルムの試料を、コロンインダストリーズ社KolonIndustriesInc韓国、京畿道、果川市よりKP-2150の商品名で販売される水性フォトレジストをエッチングマスクとして使用して一方の面からエッチングした。エッチングは、94°Cの水浴中に入れたビーカー中のエッチング剤により、エッチング剤溶液の一定の攪拌状態で行った。エッチングの終了後、フォトレジストを除去し、一定の攪拌状態であるPPM溶液中に試料を浸漬することにより、50°Cで2分間、PPM溶液によって更なるエッチングを行った。エッチング時間、側壁のエッチング品質、側壁の傾きすなわちポリイミド層の上面から下面までの側壁の長さ。側壁の傾きの角度は約9°~約13°の範囲で変化を、エッチング剤の有害作用にフォトレジストがどの程度耐えたか残ったかの表示とともに、表4に示す。実施例30~32宇部興産株式会社日本、東京よりUpilexSNの商品名で販売される厚さ0.5ミル0.013mmのポリイミドフィルムの試料を、コロンインダストリーズ社KolonIndustriesInc韓国、京畿道、果川市よりKP-2150の商品名で販売される水性フォトレジストをエッチングマスクとして使用して一方の面からエッチングした。エッチングは、94°Cの水浴中に入れたビーカー中のエッチング剤により、エッチング剤溶液の一定の攪拌状態で行った。これらの試料はPPMで更に処理を行わなかった。各試料について、エッチング時間、側壁のエッチング品質を、エッチング剤の有害作用にフォトレジストがどの程度耐えたか残ったかの評価とともに、表5に示す。ストリッピングは、フォトレジストの一部又は破片が基板から分離することを意味する。本発明の範囲及び趣旨から逸脱することなく本発明に様々な改変及び変更を行いうることが当業者には明らかであろう。また、本発明は、本明細書に記載された例示的な実施形態に不当に限定されるものではないことは理解されるべきである。