内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤として尿素水を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出しないときよりも、前記供給装置から供給される尿素水からアンモニアに至るまでの中間生成物の生成量を少なくする制御部と、を備える内燃機関の排気浄化装置。前記制御部は、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出しないときよりも、尿素水の供給量を少なくする請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記制御部は、尿素水の供給量を少なくする時間を、前記PMセンサにより粒子状物質の量の検出を開始する前の規定時間以下とする請求項2に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記PMセンサよりも上流の排気通路に設けられ排気中の粒子状物質を捕集するフィルタを備え、前記制御部は、前記フィルタの故障判定時に、前記中間生成物の生成量を少なくする請求項1から3の何れか1項に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記PMセンサによる粒子状物質の検出は、前記選択還元型NOx触媒が吸着しているアンモニアの量が所定量以下のときに開始し、該所定量は、前記内燃機関の前回の運転時において得た前記選択還元型NOx触媒の劣化の度合いに基づいて算出される該選択還元型NOx触媒が吸着可能なアンモニア量の上限値と、前記PMセンサによる粒子状物質の検出中に前記選択還元型NOx触媒が吸着するアンモニア量と、に基づいて算出される請求項1から4の何れか1項に記載の内燃機関の排気浄化装置。本発明は、上記したような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、PMセンサの検出精度の低下により、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制することにある。上記課題を達成するために本発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤として尿素水を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出しないときよりも、前記供給装置から供給される尿素水からアンモニアに至るまでの中間生成物の生成量を少なくする制御部と、を備える。ここで、供給装置から排気中に供給される尿素水は、アンモニアNH3に変化する。しかし、排気や選択還元型NOx触媒の状態によっては、供給装置から供給される尿素水から最終的に生成されるアンモニアに至るまでの中間生成物が選択還元型NOx触媒を通り抜けてPMセンサに付着することがある。PMセンサに中間生成物が付着すると、該PMセンサの出力値が変化してしまい、PMを正確に検出することが困難となる。これに対し制御部は、PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、中間生成物の生成量を少なくする。例えば中間生成物の生成量が少なくなるように、内燃機関を制御する。これにより、PMセンサの検出値が中間生成物により変化することを抑制できるため、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制できる。また、本発明においては、前記制御部は、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出しないときよりも、尿素水の供給量を少なくすることができる。尿素水の供給量を少なくすることにより、中間生成物の生成量が少なくなるので、PMセンサに中間生成物が付着することを抑制できる。なお、尿素水の供給量を少なくすることには、尿素水の供給を停止することも含む。また、本発明においては、前記制御部は、尿素水の供給量を少なくする時間を、前記PMセンサにより粒子状物質の量の検出を開始する前の規定時間以下とすることができる。ここで、尿素水の供給量を少なくすることにより、選択還元型NOx触媒において還元剤が不足して、NOx浄化率が低下する虞がある。これに対し、供給する尿素水の量を少なくする時間を規定時間以下とすることで、NOx浄化率が低下する期間が長くなることを抑制できる。規定時間は、NOx排出量の平均値が許容範囲内となる時間としてもよい。また、本発明においては、前記PMセンサよりも上流の排気通路に設けられ排気中の粒子状物質を捕集するフィルタを備え、前記制御部は、前記フィルタの故障判定時に、前記中間生成物の生成量を少なくすることができる。そうすると、PMセンサの検出精度が高い状態でフィルタの故障判定を行うことができるため、故障判定の精度を高くすることができる。また、本発明においては、前記PMセンサによる粒子状物質の検出は、前記選択還元型NOx触媒が吸着しているアンモニアの量が所定量以下のときに開始し、該所定量は、前記内燃機関の前回の運転時において得た前記選択還元型NOx触媒の劣化の度合いに基づいて算出される該選択還元型NOx触媒が吸着可能なアンモニア量の上限値と、前記PMセンサによる粒子状物質の検出中に前記選択還元型NOx触媒が吸着するアンモニア量と、に基づいて算出してもよい。ここで、PMセンサにある程度のPMが付着するまではPM量を正確に検出することが困難である。このため、PMセンサよりPM量を検出するには時間がかかる。この間に、中間生成物がPMセンサに付着すると、該PMセンサの検出値が中間生成物からの影響を受けて変化してしまう。したがって、PM量を検出しているときに、中間生成物が選択還元型NOx触媒から流出しないようにすれば、PMセンサの検出精度を高くすることができる。ところで、選択還元型NOx触媒が吸着可能なNH3量には限度ある。この限度を超えると、選択還元型NOx触媒がNH3を吸着することができなくなり、下流へ中間生成物が流出する。したがって、PM量を検出するときに選択還元型NOx触媒が吸着しているNH3量が限度を超えないようにすれば、PMセンサの検出精度を高くすることができる。すなわち、選択還元型NOx触媒が吸着しているNH3量が比較的少ないときに、PM量を検出すればよい。このため、PMセンサによるPMの検出を、選択還元型NOx触媒が吸着しているNH3量が所定量以下のときに開始する。この所定量は、その後に選択還元型NOx触媒がNH3を吸着しても、吸着しているNH3量が上限値に達することのない吸着量として設定される。なお、選択還元型NOx触媒が吸着可能なNH3量の上限値は、該選択還元型NOx触媒の劣化の進行と共に小さくなる。したがって、所定量は、選択還元型NOx触媒の劣化の度合いに応じて決定してもよい。また、PMセンサにある程度のPMが付着するまでの間に、選択還元型NOx触媒が吸着するNH3量は、内燃機関の運転状態によって変わる。すなわち、内燃機関からの排出されるNOxの量により、選択還元型NOx触媒が吸着しているNH3量が変化する。このため、所定量は、PMを検出中に選択還元型NOx触媒が吸着するNH3量に応じて決定するとよい。このNH3量は、例えば、PMセンサにある程度のPMが付着するまでの間に内燃機関から排出されるNOx量と、NOx浄化率と、に基づいて算出することができる。なお、選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度を高くしたり、排気の流量を少なくしたり、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量を少なくしたりして、中間生成物の生成量を少なくしてもよい。本発明によれば、PMセンサの検出精度の低下により、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制できる。以下、本発明に係る内燃機関の排気浄化装置の具体的な実施態様について図面に基づいて説明する。図1は、本実施例に係る内燃機関の排気浄化装置の概略構成を示す図である。図1に示す内燃機関1は、ディーゼル機関であるが、ガソリン機関であってもよい。内燃機関1には、吸気通路2及び排気通路3が接続されている。吸気通路2には、該吸気通路2を流通する吸気の量を検出するエアフローメータ11が設けられている。一方、排気通路3には、排気の流れ方向の上流側から順に、酸化触媒4、フィルタ5、噴射弁6、選択還元型NOx触媒7以下、NOx触媒7という。が設けられている。酸化触媒4は、酸化能を有する触媒であればよく、たとえば三元触媒であってもよい。酸化触媒4は、フィルタ5に担持されていてもよい。フィルタ5は、排気中のPMを捕集する。なお、フィルタ5には、触媒が担持されていてもよい。フィルタ5によってPMが捕集されることで、該フィルタ5にPMが徐々に堆積する。そして、フィルタ5の温度を強制的に上昇させる、所謂フィルタ5の再生処理を実行することで、該フィルタ5に堆積したPMを酸化させて除去することができる。たとえば、酸化触媒4にHCを供給することでフィルタ5の温度を上昇させることができる。また、酸化触媒4を備えずに、フィルタ5の温度を上昇させる他の装置を備えていてもよい。さらに、内燃機関1から高温のガスを排出させることでフィルタ5の温度を上昇させてもよい。噴射弁6は、還元剤を噴射する。還元剤には、例えば、尿素水等のアンモニア由来のものが用いられる。例えば、噴射弁6から噴射された尿素水は、排気の熱で加水分解されアンモニアNH3となり、その一部又は全部がNOx触媒7に吸着する。以下では、噴射弁6から還元剤として尿素水を噴射するものとする。なお、本実施例においては噴射弁6が、本発明における供給装置に相当する。NOx触媒7は、還元剤が存在するときに、排気中のNOxを還元する。例えば、NOx触媒7にアンモニアNH3を予め吸着させておけば、NOx触媒7をNOxが通過するときにNOxをアンモニアにより還元させることができる。酸化触媒4よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第一排気温度センサ12が設けられている。酸化触媒4よりも下流で且つフィルタ5よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第二排気温度センサ13が設けられている。フィルタ5よりも下流で且つ噴射弁6よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第三排気温度センサ14及び排気中のNOx濃度を検出する第一NOxセンサ15が設けられている。NOx触媒7よりも下流の排気通路3には、排気中のNOx濃度を検出する第二NOxセンサ16及び排気中のPM量を検出するPMセンサ17が設けられている。これらセンサの全てが必須というわけではなく、必要に応じて設けることができる。以上述べたように構成された内燃機関1には、該内燃機関1を制御するための電子制御ユニットであるECU10が併設されている。このECU10は、内燃機関1の運転条件や運転者の要求に応じて内燃機関1を制御する。ECU10には、上記センサの他、アクセルペダルの踏込量に応じた電気信号を出力し機関負荷を検出可能なアクセル開度センサ18、及び機関回転数を検出するクランクポジションセンサ19が電気配線を介して接続され、これらセンサの出力信号がECU10に入力される。一方、ECU10には、噴射弁6が電気配線を介して接続されており、該ECU10により噴射弁6が制御される。ECU10は、フィルタ5に堆積しているPM量が所定量以上になると、前記フィルタ5の再生処理を実施する。なお、フィルタ5の再生処理は、内燃機関1が搭載されている車両の走行距離が所定距離以上となったときに行ってもよい。また、規定期間ごとにフィルタ5の再生処理を実施してもよい。また、ECU10は、PMセンサ17により検出されるPM量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行う。ここで、フィルタ5が割れる等の故障が発生すると、該フィルタ5を通り抜けるPM量が増加する。このPM量の増加をPMセンサ17により検出すれば、フィルタ5の故障を判定することができる。例えば、フィルタ5の故障判定は、PMセンサ17の検出値に基づいて算出される所定期間中のPM量の積算値と、フィルタ5が所定の状態であると仮定した場合における所定期間中のPM量の積算値とを比較することで行われる。なお、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行ってもよい。例えば、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量が閾値以上のときに、フィルタ5が故障していると判定してもよい。ここで図2は、PMセンサ17の概略構成図である。PMセンサ17は、自身に堆積したPM量に対応する電気信号を出力するセンサである。PMセンサ17は、一対の電極171と、該一対の電極171の間に設けられる絶縁体172と、を備えて構成されている。一対の電極171の間にPMが付着すると、該一対の電極171の間の電気抵抗が変化する。この電気抵抗の変化は、排気中のPM量と相関関係にあるため、該電気抵抗の変化に基づいて、排気中のPM量を検出することができる。このPM量は、単位時間当たりのPMの質量としてもよく、所定時間におけるPMの質量としてもよい。なお、PMセンサ17の構成は、図2に示したものに限らない。すなわち、PMを検出し、且つ、還元剤の影響により検出値に変化が生じるPMセンサであればよい。次に、図3は、PMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。内燃機関1の始動直後のAで示される期間は、排気通路3内で凝縮する水がPMセンサ17に付着する虞がある期間である。PMセンサ17に水か付着すると、該PMセンサ17の検出値が変化したり、PMセンサ17が故障したりするため、この期間ではPMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Aで示される期間の後のBで示される期間では、前回の内燃機関1の運転時にPMセンサ17に付着したPMを除去する処理以下、PM除去処理という。を行う。このPM除去処理は、PMセンサ17の温度を、PMが酸化する温度まで上昇させることにより行われる。このBで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Bで示される期間の後のCで示される期間は、PMの検出に適した温度となるまでに要する期間である。すなわち、Bで示される期間においてPMセンサ17の温度がPMの検出に適した温度よりも高くなるため、温度が低下してPMの検出に適した温度となるまで待っている。このCで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。そして、Cで示される期間の後のDで示される期間でPMの検出が行われる。なお、Dで示される期間であっても、PMセンサ17にある程度のPMが堆積するまでは、検出値が増加しない。すなわち、ある程度のPMが堆積して、一対の電極171の間に電流が流れるようになってから検出値が増加を始める。その後は、排気中のPM量に応じて検出値が増加していく。ここで、PMセンサ17は、フィルタ5よりも下流側に設けられている。そのため、PMセンサ17には、フィルタ5に捕集されずに、該フィルタ5を通過したPMが付着する。従って、PMセンサ17におけるPM堆積量は、フィルタ5を通過したPM量の積算値に対応した量となる。ここで、図4は、フィルタ5が正常な場合と故障している場合とのPMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。フィルタ5が故障している場合には、PMセンサ17にPMが早く堆積するため、検出値の増加が始まる時点Eが、正常なフィルタ5と比較して早くなる。このため、例えば、内燃機関1の始動後から所定時間Fが経過したときの検出値が閾値以上であれば、フィルタ5が故障していると判定できる。この所定時間Fは、正常なフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加しておらず、且つ、故障しているフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加している時間である。この所定時間Fは、実験等により求められる。また、閾値は、フィルタ5が故障しているときのPMセンサ17の検出値の下限値として予め実験等により求められる。ところで、PMセンサ17をフィルタ5よりも下流で且つNOx触媒7よりも上流に設けることも考えられる。しかし、このような位置にPMセンサ17を設けると、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が短くなる。このため、フィルタ5の割れている箇所を通過したPMが排気中に分散しないままPMセンサ17の周辺に到達する虞がある。そうすると、フィルタ5が割れている位置によっては、PMセンサ17にPMがほとんど付着しないために、PMが検出されないこともあり、故障判定の精度が低下する虞がある。これに対して本実施例では、NOx触媒7よりも下流にPMセンサ17を設けているため、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が長い。このため、PMセンサ17の周辺では、フィルタ5を通過したPMが排気中に分散している。したがって、フィルタ5の割れている位置によらずにPMを検出することができる。しかし、噴射弁6よりも下流側にPMセンサ17を設けているため、該噴射弁6から噴射される還元剤がPMセンサ17に付着する虞がある。このPMセンサ17に付着する還元剤は、たとえば、尿素、及び、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物ビウレット、シアヌル酸である。このようにPMセンサ17に還元剤が付着すると、PMセンサ17の検出値が変化する虞がある。ここで図5は、PMセンサ17の検出値が正常な場合と、異常な場合との推移を示したタイムチャートである。異常な検出値は、PMセンサ17に還元剤が付着したときの検出値とすることができる。正常な検出値は、時間の経過とともに検出値が増加するか、または検出値が変化しない。すなわち、PMセンサ17に付着したPM量に応じて検出値が増加していく。一方、異常な検出値は、検出値が増加するだけでなく減少する場合がある。ここで、PMセンサ17に前記中間生成物が付着して所定量以上堆積すると、PMが堆積したときと同じように、PMセンサ17の検出値が増加する。ここで、中間生成物であるビウレットは、132-190°Cのときに生成され、それよりも温度が高くなると気化する。また、中間生成物であるシアヌル酸は、190-360°Cで生成され、それよりも温度が高くなると気化する。このように、PMと比較すると中間生成物は低温で気化する。このため、PMセンサ17に付着していた中間生成物は、内燃機関1の排気の温度が高いときに気化する。そうすると、中間生成物の堆積量が減少するため、PMセンサ17の検出値が減少する。これは、PMセンサ17にPMのみが堆積しているときには起こらない現象である。また、PMセンサ17のカバーに中間生成物が付着して堆積すると、該カバーを閉塞させる虞がある。このカバーが中間生成物により閉塞されると、PMが一対の電極171に到達できなくなるので、PMが検出されにくくなる。したがって、PMセンサ17の検出値の増加が始まる時期が、正常な場合よりも遅くなる。このため、フィルタ5の故障判定の精度が低下する虞がある。このように、NOx触媒7を還元剤が通り抜けると、フィルタ5の故障判定が困難となる虞がある。そこで、本実施例では、PMセンサ17によりPM量を検出するときには、検出しないときよりも、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物ビウレット、シアヌル酸がPMセンサ17に付着し難くなるように内燃機関1を制御する。具体的には、尿素水の供給量を減少させる。ここで、図6は、尿素水の供給量とPMセンサ17への中間生成物の付着量との関係を示した図である。図6に示されるように、尿素水の供給量が多いほど、PMセンサ17への中間生成物の付着量が多くなる。したがって、尿素水の供給量を減少させることにより、PMセンサ17への中間生成物の付着量を減少させることができる。しかし、尿素水の供給量を減少させることにより、NOx触媒7において還元剤が不足して、NOx浄化率が低下する虞がある。そこで、PMセンサ17によりPM量を検出するとき、または、フィルタ5の故障判定を行うときには、大気中へのNOxの排出量が許容範囲内となるように尿素水の供給量を調整するとよい。例えば、内燃機関1が搭載された車両が所定距離を走行したときのNOx排出量の平均値が許容範囲内となるように尿素水の供給量を調整してもよい。また、単位時間当たりのNOx排出量が許容範囲内となるように尿素水の供給量を調整してもよい。さらに、尿素水の供給量を調整する時間を制限することで、NOx浄化率が低下する時間を短くしてもよい。図7は、尿素水の供給量と、大気中へのNOxの排出量と、の推移を示したタイムチャートである。Gで示される時点において、フィルタ5の故障判定の要求がなされている。フィルタ5の故障判定の要求は、例えば、所定の走行距離毎またはフィルタ5の再生処理の後になされる。そして、Gで示される時点の後に、尿素水の供給量が減少される。図7に示されるように、尿素水の供給量が減少するにしたがって、NOxの排出量は増加する。そして、本実施例では、NOxの排出量が、許容範囲の上限値以下、許容上限値という。以下となるように尿素水の供給量が制御される。この許容上限値は、単位時間当たりのNOx排出量の許容範囲の上限値としてもよい。また、許容上限値は、NOx排出量の平均値が許容範囲内となるような単位時間当たりのNOx排出量の上限値としてもよい。なお、尿素水の供給量は、機関回転数及び機関負荷に基づいて設定してもよい。尿素水の供給量と、機関回転数及び機関負荷との関係は、予め実験等により求めておいてもよい。また、第二NOxセンサ16により検出される排気中のNOx濃度に基づいて、尿素水の供給量をフィードバック制御してもよい。また、フィルタ5の故障判定を行うときには、内燃機関1でのNOxの発生量が少なくなるように、内燃機関1を制御してもよい。さらに、PMセンサ17によりPM量を検出するときには、中間生成物ビウレット、シアヌル酸がPMセンサ17に付着し難くなるような他の制御を組み合わせてもよい。例えば、NOx触媒7の温度または排気の温度が高くなるように内燃機関1を制御してもよい。また、排気の流量が少なくなるように、または排気の流速が低くなるように内燃機関1を制御してもよい。さらに、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が低くなるように、またはNH3の吸着量が少なくなるように内燃機関1を制御してもよい。ここで、NOx触媒7または排気の温度が低いと、尿素の熱分解などの反応に時間がかかるので、尿素の反応が完了する前にNOx触媒7を通過してしまう。したがって、NOx触媒7または排気の温度を高くすることにより、中間生成物がNOx触媒7から流出することを抑制できる。また、排気の流量が多いと、尿素がNOx触媒7と接する時間が短くなるため、尿素の反応が完了する前にNOx触媒7を通過してしまう。したがって、排気の流量を少なくすることにより、中間生成物がNOx触媒7から流出することを抑制できる。なお、排気の流速を低くするか、または、内燃機関1の吸入空気量を減少させてもよい。さらに、NOx触媒7に吸着しているNH3量が多いほど、加水分解が進み難くなるので、尿素の反応が完了する前にNOx触媒7を通過しやすくなる。したがって、NOx触媒7に吸着しているNH3量を減少させることにより、中間生成物がNOx触媒7から流出することを抑制できる。なお、NH3吸着率を低くしてもよい。NH3吸着率は、NOx触媒7に最大限吸着可能なNH3量に対する、NOx触媒7に吸着しているNH3量の比である。図8は、本実施例に係るフィルタ5の故障判定のフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、フィルタ5の故障判定の要求がなされたときに、ECU10により実行される。ステップS101では、尿素水の供給量が減少されてから規定時間例えば5分間が経過したか否か判定される。すなわち、NOx排出量が増加してから規定時間が経過したか否か判定される。本ステップでは、尿素水の供給量が、中間生成物の生成を抑制することのできる量となっているか否か判定している。なお、尿素水の供給量は0としてもよい。すなわち、還元剤の供給を停止してもよい。規定時間は、NOx排出量が増加したとしても、NOx排出量の平均値が許容範囲内となる時間として設定される。すなわち、フィルタ5の故障判定時にはNOx排出量が多くなっても、他の時間においてNOx排出量が少なければ、NOx排出量の平均値は許容範囲内となる。このように、尿素水の供給量を減少させてもNOx排出量の平均値が許容範囲内となる時間として規定時間が設定される。この規定時間は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。ステップS101で否定判定がなされた場合には、ステップS102へ進む。ステップS102では、尿素水の供給量が調整される。そして、ステップS103では、NOx触媒7からのNOx排出量の平均値が許容範囲内であるか否か判定される。本ステップでは、単位時間当たりのNOx排出量が、図7で示した許容上限値以下となっているか否か判定してもよい。単位時間当たりのNOx排出量は、第二NOxセンサ16の検出値に基づいて得る。ステップS103で肯定判定がなされた場合にはステップS101へ戻る。一方、ステップS103で否定判定がなされた場合にはステップS102へ戻る。このように、NOx触媒7からのNOx排出量の平均値が許容範囲内となるまで、ステップS102において尿素水の供給量が調整される。なお、本実施例ではステップS101からステップS103を処理するECU10が、本発明における制御部に相当する。また、ステップS101で肯定判定がなされた場合には、ステップS104へ進む。ステップS104では、フィルタ5の再生処理が実施されてから所定時間例えば、60秒以内であるか否か判定される。ここで、フィルタ5の再生処理は、フィルタ5の温度をPMが酸化される温度まで上昇させることにより実施される。このようにフィルタ5の温度を上昇させることにより、PMセンサ17の温度も上昇し、該PMセンサ17に付着していた中間生成物が除去される。したがって、このときにフィルタ5の故障判定を実施すれば、PMセンサ17の検出値は中間生成物による影響を受けないため、故障判定の精度が高くなる。したがって、ステップS104で肯定判定がなされた場合にはステップS105へ進んで、フィルタ5の故障判定を実施する。一方、ステップS104で否定判定がなされた場合には、ステップS106へ進む。ステップS106では、NOx触媒7の温度、または、NOx触媒7よりも下流の排気の温度が、中間生成物の気化する温度例えば、360°Cとなるように、内燃機関1が制御される。たとえば、内燃機関1から排出されるガスの温度を上昇させるか、内燃機関1からHCを排出させて酸化触媒4で反応させることにより、NOx触媒7の温度、または、NOx触媒7よりも下流の排気の温度を上昇させる。なお、PMセンサ17のカバーをヒータで加熱して例えば360°Cとしてもよい。そうすると、PMセンサ17の温度が、中間生成物の気化する温度まで上昇するため、該PMセンサ17から中間生成物を除去することができる。ここで、中間生成物であるビウレットは、190°C以上で気化し、シアヌル酸は、360°C以上で気化する。このため、本実施例では、PMセンサ17の温度を360°C以上として中間生成物を気化させる。そして、この後にフィルタ5の故障判定を実施すれば、PMセンサ17の検出値は中間生成物による影響を受けないため、故障判定の精度が高くなる。すなわち、ステップS106で肯定判定がなされた場合には、ステップS105へ進んでフィルタ5の故障判定を実施する。一方、ステップS106で否定判定がなされた場合には、ステップS107へ進んで排気の温度がさらに上昇されて、ステップS106へ戻る。以上説明したように、本実施例によれば、フィルタ5の故障判定を行うときには、行わないときよりも、還元剤の供給量を減少させるので、PMセンサ17に還元剤が付着することを抑制できる。このため、PMセンサ17に付着した還元剤によりPMセンサ17の検出値の精度が低くなることを抑制できる。したがって、フィルタ5の故障判定の精度を高めることができる。本実施例では、実施例1で説明した還元剤の供給量を減少させることに加えて、NOx触媒7が吸着しているNH3量が所定量以下のときにPMセンサ17によるPM量の検出を開始する。なお、NOx触媒7が吸着しているNH3量が所定量以下のときに、フィルタ5の故障判定を開始するとしてもよい。ここで、NOx触媒7を通り抜けた中間生成物が、PMセンサ17の一対の電極171の間に付着すると、PMのみが付着した場合と比較して、検出値が速く増加する。また、PMセンサ17に付着していた中間生成物が気化することにより、PMセンサ17の検出値が減少する場合もある。一方、NOx触媒7を通り抜けた中間生成物が、PMセンサ17のカバーに付着すると、検出値の増加が始まる時期が遅くなる。NOx触媒7が多くのNH3を吸着していると、尿素の加水分解の進行が緩慢となるため、NOx触媒7を中間生成物が通り抜ける。したがって、NOx触媒7が吸着しているNH3の量が少ないときには、PMセンサ17の検出値が中間生成物からの影響を受け難い。例えば、NOx触媒7からNH3が脱着した後、該NH3の吸着量が再び多くなるまでの間に、フィルタ5の故障判定を実施すれば、判定精度が高くなる。なお、NOx触媒7が吸着可能なNH3量には限りがある。ここで、NOx触媒7が吸着可能なNH3量の上限値を以下、上限吸着量という。そして、例えば、内燃機関1が高負荷で運転されれば、NOx触媒7の温度は約400°Cとなり、NOx触媒7が吸着していたNH3が脱着する。しかし、このような運転状態を長期間継続することは困難である。また、PMセンサ17は、図3で説明したように、ある程度のPMが付着しなければPM量を検出することができない。しかし、PMセンサ17にある程度のPMが付着するまでの間に、NOx触媒7が吸着しているNH3量が上限吸着量に達すると、中間生成物がNOx触媒7を通り抜けるようになるため、PMセンサ17の検出値の精度が低くなる。そこで、本実施例では、NOx触媒7が吸着しているNH3量が所定量よりも少ないときに、PM量の検出を開始する。ここで、図9は、NOx触媒7が吸着しているNH3量NH3吸着量の推移を示したタイムチャートである。図9は、図3のDで示される期間におけるNH3吸着量の推移を示している。なお、図9は、PMセンサ17でPM量を検出可能な状態となった時点Hからの、NH3吸着量の推移を示したタイムチャートとしてもよい。すなわち、Hで示される時点は、PMセンサ17でPM量を検出可能な状態となった時点としてもよい。また、Jで示される時点は、フィルタ5の故障判定を行う時点を示している。例えば、Jで示される時点におけるPMセンサ17の検出値と、Hで示される時点におけるPMセンサ17の検出値と、の差が、HからJまでの期間におけるPM量の積算値として算出される。この積算値を所定値と比較して、フィルタ5の故障判定を行うことができる。また、図9のJと図4のFとが同じ時点として、図4で説明したようにして、フィルタ5の故障判定を行うこともできる。図9において、実線は、フィルタ5の故障判定を行う時点JにおいてNOx触媒7が吸着しているNH3量が上限吸着量に達していない場合を示している。一方、一点鎖線は、フィルタ5の故障判定を行う時点JにおいてNOx触媒7が吸着しているNH3量が上限吸着量を超えている場合を示している。本実施例では、フィルタ5の故障判定を行う時点JにおいてNOx触媒7が吸着しているNH3量が上限吸着量に達しないように、Hで示される時点においてNOx触媒7が吸着しているNH3量を所定量以下としている。すなわち、PMセンサ17でPM量を検出可能な状態となった時点Hにおいて、NOx触媒7が吸着しているNH3量が所定量以下となるように、NOx触媒7が吸着しているNH3量を調整する。この所定量は、フィルタ5の故障判定を行う時点JとなったときにNOx触媒7が吸着しているNH3量が上限吸着量に達しないNH3量の上限値とすることができる。ここで、内燃機関1が高負荷運転されれば、NOx触媒7が吸着しているNH3量を減少させることができるが、高負荷運転を長時間継続させることは困難である。そこで、NOx触媒7からNH3が脱着する条件が成立した後に、フィルタ5の故障判定を行うようにしてもよい。ここで、NOx触媒7の温度が高くなると、NOx触媒7からNH3が脱着するため、NOx触媒7が吸着しているNH3量が減少する。例えば、フィルタ5の再生時には、NOx触媒7の温度がNH3の脱着する温度まで上昇する。そして、フィルタ5の再生後には、NOx触媒7が吸着しているNH3量が所定量以下となっているので、このときにフィルタ5の故障判定を行えばよい。また、NOx触媒7が吸着しているNH3量を把握しやすくするために、NOx触媒7からNH3を除去する処理が定期的に実施される。このときには、NOx触媒7の温度を高くすることで、NOx触媒7からNH3を脱着させている。この後でも、NOx触媒7が吸着しているNH3量が所定量以下となっているので、このときにフィルタ5の故障判定を行えばよい。なお、フィルタ5又はNOx触媒7の温度を上昇させるためには、例えば、ポスト噴射又はEGRガス量の増量などを行うことで、内燃機関1から排出されるガスの温度を上昇させたり、酸化触媒4にHCを供給したりする。また、酸化触媒4よりも上流から排気中にHCを供給することで、フィルタ5又はNOx触媒7の温度を上昇させることもできる。これらの制御を行った後であれば、フィルタ5の故障判定を行うことができる。また、噴射弁6から供給する尿素水の量を排気中のNOxの還元に必要となる量よりも少なくすると、NOx触媒7が吸着しているNH3が排気中のNOxにより消費されて減少する。したがって、噴射弁6から供給する尿素水の量を減少させることにより、NOx触媒7が吸着しているNH3量を所定量以下まで減少させてもよい。また、所定量は、規定値であってもよいが、NOx触媒7の劣化の度合いに応じて変えてもよい。ここで、NOx触媒7の劣化の度合いが高くなるにしたがって、上限吸着量が少なくなる。すなわち、NOx触媒7が吸着しているNH3量が、上限吸着量を超えやすくなる。したがって、NOx触媒7の劣化の度合いが高くなるにしたがって、所定量を小さくしてもよい。すなわち、図9のHで示される時点においてNH3吸着量を少なくすることで、図9のJで示される時点におけるNH3吸着量を少なくする。所定量は、以下のようにして設定してもよい。例えば、内燃機関1の前回の運転時にNOx触媒7におけるNOx浄化率を算出し、該NOx浄化率からNOx触媒7の劣化の度合いを求めておく。なお、NOx浄化率は、NOx触媒7に流入するNOx量に対して、NOx触媒7で浄化されるNOx量の割合として算出することができる。このNOx量は、NOx濃度としてもよい。例えば、第一NOxセンサ15の検出値から第二NOxセンサ16の検出値を減算した値から、NOx触媒7で浄化されるNOx量を算出することができる。また、第一NOxセンサ15の検出値から第二NOxセンサ16の検出値を減算した値を、第一NOxセンサ15の検出値で除算することにより、NOx浄化率を算出することができる。NOx浄化率とNOx触媒7の劣化の度合いとは、相関関係があるため、この関係を予め求めておけば、NOx浄化率から、劣化の度合いを求めることができる。そして、NOx触媒7の劣化の度合いから、NOx触媒7が吸着可能なNH3量の上限値上限吸着量を求めることができる。NOx触媒7の劣化の度合いと上限吸着量とは、相関関係があるため、この関係を予め求めておけば、劣化の度合いから、上限吸着量を求めることができる。また、フィルタ5の故障判定を行うには、PMセンサ17にある程度のPMが付着する必要がある。なお、フィルタ5の故障判定を行うために必要となるPMの付着量を以下、必要付着量という。この必要付着量は、例えば、PMセンサ17の仕様などにより決まる。そして、PMセンサ17に付着するPM量が必要付着量に達するまでは、NOx触媒7が吸着しているNH3量が上限吸着量を超えないように所定量を決定する。ここで、NOx触媒7が吸着しているNH3量は、排気中のNOx量に応じて変化する。すなわち、フィルタ5の故障判定を行う時点JにおいてNOx触媒7が吸着しているNH3量は、図9のHからJまでの期間に内燃機関1から排出される総NOx量に応じて変化する。この総NOx量を算出するために、PMセンサ17に付着するPM量が必要付着量となるまでに必要となる内燃機関1の負荷を求める。ここで、内燃機関1の負荷に応じてPM量が増加する。そこで、PMセンサ17に付着するPM量が必要付着量となるまでの間に内燃機関1から排出されるPM量を算出する。内燃機関1から排出されるPM量は、予め実験等により求めておく。そして、この内燃機関1から排出されるPM量に応じた内燃機関1の負荷を算出する。この負荷は、例えば、吸入空気量の総量として求めてもよい。内燃機関1から排出されるPM量と、内燃機関1の負荷と、の関係は、予め実験等により求めておく。また、吸入空気量の総量は、規定値であってもよい。そして、この負荷で内燃機関1が運転されたときに該内燃機関1から排出される総NOx量を算出する。内燃機関1から排出されるNOx量は、内燃機関1の運転状態と相関関係にあるため、内燃機関1の運転状態から総NOx量を算出することができる。この総NOx量に応じて噴射弁6から尿素水を供給するため、総NOx量と尿素水の供給量とには相関関係がある。そして、NOx触媒7におけるNOx浄化率を考慮すれば、NOx触媒7において消費されるNH3量を算出することができる。さらに、尿素水の供給量と、消費されるNH3量とから、NOx触媒7が吸着しているNH3量以下、総吸着量という。を算出することができる。そして、所定量<上限吸着量-総吸着量となるように、所定量を決定する。すなわち、所定量に総吸着量を加算しても、上限吸着量に達しないように、所定量を決定する。そうすると、PMセンサ17に付着しているPM量が必要付着量となるまでは、NOx触媒7に吸着されているNH3量が上限吸着量を超えない。図10は、本実施例に係るフィルタ5の故障判定のフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、所定の時間毎に、ECU10により実行される。ステップS201では、フィルタ5の再生処理が実施された後であるか否か判定される。本ステップでは、NOx触媒7が吸着しているNH3量が十分に少ないか否か判定している。NOx触媒7にNH3が吸着する前であれば、フィルタ5の再生処理が実施された後とする。ステップS201で肯定判定がなされた場合にはステップS202へ進み、一方、否定判定がなされた場合にはPMセンサ17に中間生成物が付着する虞があるため、本ルーチンを終了させる。ステップS202では、上限吸着量が算出される。すなわち、前回の運転時において算出されたNOx浄化率に基づいて、NOx触媒7が吸着可能なNH3量の上限値が算出される。なお、NOx浄化率は、内燃機関1が運転される毎に、ECU10に記憶させておく。NOx浄化率と上限吸着量との関係を予め実験等により求めてECU10に記憶させておいてもよい。ステップS203では、総吸着量が算出される。すなわち、NOx浄化率及び尿素水の供給量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行う時点JにおいてNOx触媒7が吸着しているNH3量が推定される。これらの関係は、予め実験等により求めてマップ化し、ECU10に記憶させておいてもよい。ステップS204では、所定量が算出される。上限吸着量から総吸着量を減算した値からある程度の余裕分を減算した値を所定量とする。ステップS205では、フィルタ5に堆積しているPM量が規定値以上であるか否か判定される。この規定値は、フィルタ5の故障判定の精度が高くなる値として設定される。すなわち、フィルタ5の再生処理を実施した直後では、フィルタ5にPMがほとんど堆積していないために、PMがフィルタ5を通り抜けやすい。このため、フィルタ5の故障判定の精度が低くなる虞があるので、フィルタ5に堆積しているPM量が規定値以上となるまで待っている。ステップS205で肯定判定がなされた場合にはステップS206へ進み、一方、否定判定がなされた場合にはステップS202へ戻る。ステップS206では、NOx触媒7が実際に吸着しているNH3量実吸着量が、所定量以下であるか否か判定される。すなわち、フィルタ5の故障判定が完了するまでの間に、NOx触媒7が吸着するNH3量が、上限吸着量を超えないか否か判定している。ステップS206で肯定判定がなされた場合にはステップS207へ進み、一方、否定判定がなされた場合にはフィルタ5の故障判定の精度が低くなる虞があるため本ルーチンを終了させる。ステップS207では、OBD実施フラグがONとされる。このOBD実施フラグは、フィルタ5の故障判定を実施可能なときにONとされ、実施することができないときにOFFとされるフラグである。ステップS208では、フィルタ5の故障判定が実施される。すなわち、PMセンサ17の検出値に基づいてフィルタ5が故障しているか否かが判定される。以上説明したように本実施例によれば、PMセンサ17に付着するPM量が十分に多くなるまでの間に、NOx触媒7から中間生成物が流出することを抑制できる。したがって、PMセンサ17に中間生成物が付着することを抑制できるため、PMセンサ17の検出値が中間生成物の影響を受けて変化することを抑制できる。これにより、フィルタ5の故障判定の精度をより高めることができる。