"所定の一軸方向に変位するように一端を係止した基端部とし、他端を可動自在な自由端部とした振子と、前記振子に加わる外力の大きさを前記振子における所定の平衡点からの変位量として検出する変位量検出部と、前記振子の前記自由端部に取り付けたコイルと、前記振子の前記自由端部と所定の空隙を有して配設された磁石と、前記変位量検出部が検出した変位量を受けて前記振子に加わる外力を打ち消す電流を前記コイルに流して前記平衡点に前記振子を位置付けるサーボアンプと、前記コイルと接地極との間に介挿された抵抗器と、前記抵抗器に生ずる電圧降下の値から前記振子に作用する加速度を検出する加速度検出部と、前記変位量検出部が検出した変位量に代えて、予め設定された試験電圧を前記サーボアンプに与えるスイッチ回路と、予め設定された試験電圧が前記サーボアンプに与えられている状態で、予め設定された基準値と前記抵抗器に生ずる電圧降下の値とを対比して前記抵抗器の異常の有無を判定する判定部と、を備えるサーボ型センサ。所定の筐体に外縁を固定して対向させた一対の固定電極と、前記一対の固定電極に挟まれて前記筐体に外縁を固定した可動電極と、前記可動電極の所定位置に固定され、外力を受けて前記可動電極に撓みを与える重りと、前記重りに受けた外力を前記固定電極と前記可動電極とで形成されるコンデンサにおける静電容量の変化量として検出する静電容量検出部と、前記静電容量検出部が検出した静電容量の変化量を受けて前記固定電極と前記可動電極との間に静電力を作用させて所定の平衡点に前記可動電極を位置付ける電極駆動部と、前記コンデンサに並列に接続される抵抗器と、前記抵抗器に生ずる電圧降下の値から前記可動電極に作用する加速度を検出する加速度検出部と、前記静電容量検出部が検出した静電容量の変化量に代えて、予め設定された試験電圧を前記電極駆動部に与えるスイッチ回路と、予め設定された試験電圧が前記電極駆動部に与えられている状態で、予め設定された基準値と前記抵抗器に生ずる電圧降下の値とを対比して前記抵抗器の異常の有無を判定する判定部と、を備えるサーボ型センサ。しかしながら、上述した従来のサーボ型センサにあっては、診断電流発生部が診断用コイルに電流を流し、振子に対して平衡点から外れようとする力を与えたとしても、振子はサーボアンプの制御により元の平衡点に位置付けられる。このため従来のサーボ型センサは、振子を係止しているバネの劣化、変位量検出部の劣化、磁石の劣化等の不具合を検出することができないという問題があった。本発明は、このような従来の事情に対処してなされたものであり、その目的は、簡易な構成で故障診断を行うことができるサーボ型センサを提供することにある。上述した目的を達成するため、本発明に係るサーボ型センサは、所定の一軸方向に変位するように一端を係止した基端部とし、他端を可動自在な自由端部とした振子と、前記振子に加わる外力の大きさを前記振子における所定の平衡点からの変位量として検出する変位量検出部と、前記振子の前記自由端部に取り付けたコイルと、前記振子の前記自由端部と所定の空隙を有して配設された磁石と、前記変位量検出部が検出した変位量を受けて前記振子に加わる外力を打ち消す電流を前記コイルに流して前記平衡点に前記振子を位置付けるサーボアンプと、前記コイルと接地極との間に介挿された抵抗器と、前記抵抗器に生ずる電圧降下の値から前記振子に作用する加速度を検出する加速度検出部と、前記変位量検出部が検出した変位量に代えて、予め設定された試験電圧を前記サーボアンプに与えるスイッチ回路と、予め設定された試験電圧が前記サーボアンプに与えられている状態で、予め設定された基準値と前記抵抗器に生ずる電圧降下の値とを対比して前記抵抗器の異常の有無を判定する判定部と、を備える。或いは本発明に係るサーボ型センサは、所定の筐体に外縁を固定して対向させた一対の固定電極と、前記一対の固定電極に挟まれて前記筐体に外縁を固定した可動電極と、前記可動電極の所定位置に固定され、外力を受けて前記可動電極に撓みを与える重りと、前記重りに受けた外力を前記固定電極と前記可動電極とで形成されるコンデンサにおける静電容量の変化量として検出する静電容量検出部と、前記静電容量検出部が検出した静電容量の変化量を受けて前記固定電極と前記可動電極との間に静電力を作用させて所定の平衡点に前記可動電極を位置付ける電極駆動部と、前記コンデンサに並列に接続される抵抗器と、前記抵抗器に生ずる電圧降下の値から前記可動電極に作用する加速度を検出する加速度検出部と、前記静電容量検出部が検出した静電容量の変化量に代えて、予め設定された試験電圧を前記電極駆動部に与えるスイッチ回路と、予め設定された試験電圧が前記電極駆動部に与えられている状態で、予め設定された基準値と前記抵抗器に生ずる電圧降下の値とを対比して前記抵抗器の異常の有無を判定する判定部と、を備える。このように、本発明に係るサーボ型センサによれば、前記駆動部が前記検出体に加わる外力を打ち消す駆動力に代えて、別の駆動力を検出体に与えて、予め設定された基準値と前記抵抗器に生ずる電圧降下の値とを対比することにより、その抵抗器の異常の有無を容易に判定することができる等、実用上多大な効果を奏する。以下、本発明の一実施形態に係るサーボ型センサに関し、図面を参照しながら説明する。尚、以下の説明において、従来のサーボ型センサと同一機能を有する部位には、同符号を付してその説明を略述する。図1は本発明に係るサーボ型センサを示す概略ブロックである。この図においてサーボ型センサには、図面の下向き方向に重力が働いているものとしている。尚、図1は本発明の形態の一部を示すものであって、図1によって本発明の範囲が制限されるものではない。ここに本発明に係るサーボ型センサが従来のサーボ型センサと異なるところは、診断用コイル10を排除した点および変位量検出部6の検出信号に代えて、電源部11が出力する電流をサーボアンプ7に与える点にある。つまり本発明に係るサーボ型センサは、サーボアンプ7の入力として、変位量検出部6が出力する検出信号検出電流に代えて、電源部11が出力する電流を与えることによって振子1の平衡点から振子1を変位させるものである。ちなみに変位量検出部6は、特に図示しないが例えば一定の輝度を有する発光ダイオード等の発光部と、この発光部が発した光を受光して電気信号に変換するフォトダイオード等の受光部とを備え、振子が所定の平衡点に位置したとき、受光部が受光する受光量が最大になると共に、振子が平衡点から移動するに従って受光部が受光する受光量が減少するスリットを設けたものとなっている。詳しくはこの平衡点は、検出方向に加わる加速度が[0Galcm/s2]となるときの振子1の位置であって、ゼロ平衡点とも称されるところである。尚、この振子1は、所定の一軸方向に変位するように該振子1の一端基端部1aを軸心振れ軸としてサーボ型センサの基板3等に係止されている。つまり振子1は、この図において左右方向にだけ振れて変位し、前後方向や上下方向に振れないよう構成されている。さて、変位量検出部6は、振子1が平衡点からずれたことを検出すると、このずれ量に応じた検出信号の電流[I3]をサーボアンプ7への入力として与える。するとサーボアンプ7は、このずれを補正すべく検出信号の電流[I3]に応じた電流[I1]を振子1に取り付けられたコイル4に流して振子1が平衡点になるように制御するフィーバック制御。ところで変位量検出部6からの検出信号に代えて、前記サーボアンプ7に電源部11が出力する電流[I2]が入力されると、フィードバック制御系から切り離されたサーボアンプ7は前記電源部11が出力する電流[I2]に見合うだけの電流を出力してコイル4に与える。すると振子1は、元の平衡点からずれた位置に移動して安定する。このときの振子1の変位量は、検出部8によって検出される。したがって、本発明に係るサーボ型センサにあっては、この検出部8の検出値に基づいてサーボ型センサが正しく機能しているかどうかを後述する判定部12により判定すればよい。概略的には上述したようにして診断するサーボ型センサについて、図2に示す具体的な回路を例示して説明する。ちなみに図1に示したサーボ型センサは、サーボアンプ7へ入力される入力信号およびサーボアンプ7から出力される出力信号のいずれも電流レベルの信号であったが、図2に示すサーボ型センサにあっては、変位量検出部6が変位量を検出して出力する検出信号、および電源部11が出力してサーボアンプ7に与える信号をそれぞれ電圧レベルの信号としている。すなわちサーボアンプ7は、電圧/電流変換を行うものであって、該サーボアンプ7に入力された電圧値に応じてコイル4に流す出力電流を制御する役割を担っている。さて、図2に示す回路図において破線で囲まれた部位は、上述したサーボアンプ7を示すものである。このサーボアンプ7の入力端子には、振子1の変位を検出してその変位量を電圧レベルの信号として出力する変位量検出部6と、サーボ型センサの診断を行うべくサーボアンプ7に診断用の電圧レベルの信号を与える電源部11とが接続されている。一方、サーボアンプ7の出力は、振子1の自由端部1bに取り付けられたコイル4から、このコイル4に直列に接続された抵抗器R1を介して接地極に接続されている。詳しくはサーボアンプ7は、入力信号を増幅して出力するオペアンプ7aと、このオペアンプ7aの出力信号を該オペアンプ7aの負入力端子に帰還させる帰還抵抗器R2と、変位量検出部6および電源部11のそれぞれの出力とオペアンプ7aの負入力端子との間に介挿された抵抗器R3および抵抗器R4とからなっている。ちなみにオペアンプ7aは、正入力端子が接地されて負帰還増幅器として作動する。一方、コイル4と接地極との間に介挿された抵抗器R1は、サーボアンプ7から出力された電流に比例した電圧降下を生じせしめるものである。そしてこの抵抗器R1に生じた電圧降下は、スイッチS1を介して検出部8に与えられる。この検出部8は、サーボアンプ7の出力電流によって変動する抵抗器R1の電圧降下を計測するものであって、検出した電圧降下の大きさによりサーボアンプ7が出力する信号、即ち振子1の平衡点からのずれを補正すべくサーボアンプ7がコイル4に流した電流を検出するものである。つまり検出部8は、抵抗器R1に生ずる電圧降下を測定することによって、振子1に加わる外力、即ち加速度を検出する役割を担うものである。そうして検出部8が検出した信号は、電源部11から出力される電圧値と比較してサーボ型センサの良否を判定する判定部12に与えられる。具体的には電源部11が出力する電圧に比例してサーボアンプ7から出力される電流が増加してコイル4に流れる。するとコイル4に生じる磁束は、該コイル4に流れ込む電流に比例して増加する。この磁束は、コイル4の近傍に配設された磁石5に作用して、振子1を平衡点から動かす駆動力となって現れる。つまり、電源部11が出力する電圧に比例して、振子1を平衡点から動かす力が増加することになる。それ故、電源部11が出力する電圧に比例して振子1が平衡点から変位する。このため電源部11が出力する電圧値と、この電圧値に相当する振子1の変位量を判定部12の判定基準として該判定部12に予め保持しておけば、サーボ型センサの良否を判定することができる。ちなみに図2に示す回路は、詳細は後述するが2回路3接点のスイッチS1,1回路2接点のスイッチS2、S3およびS7をそれぞれ切り換えることによって、通常の加速度検出モード、診断モード、抵抗器R1の検査モード、サーボアンプ7の検査モードにそれぞれ切り換えることができるようになっている。具体的にスイッチS1は2回路の接点が連動して切り換えられるようになっており、一方の回路の接点C1およびC3が、コイル4と抵抗器R1とを結ぶ回路に接続され、接点C2が変位量検出部6の出力と接続さている。このスイッチS1の他方の回路の接点C5およびC6は、それぞれオープン未接続であり、接点C7は、接地されている。ちなみにスイッチS1は、接点C1および接点C5、接点C2および接点C6、接点C3および接点C7がそれぞれ対になって切り換えられるようになっている。このようにして切り換えられるスイッチS1における一方の回路のコモン接点C4接点C1~C3のいずれかと接続するは、検出部8に与えられる一方、スイッチS1の他方の回路のコモン接点C8接点C5~C7のいずれかと接続するは、変位量検出部6の出力、即ちスイッチS1の接点C2と接続される。スイッチS2の接点C9は、電源部11の出力に接続される一方、スイッチS2の接点C10は、オープン未接続となっている。また、スイッチS2のコモン接点C11は、抵抗器R4を介してオペアンプ7aの負入力端子へ接続される。スイッチS3の接点C12は、オペアンプ7aの出力端子と接続される一方、スイッチS3の接点C13は、電源部11の出力と接続される。また、スイッチS3の共通接点C14は、コイル4に接続される。スイッチS7の接点C101は、変位量検出部の出力に接続される一方、スイッチS7の接点C102は、接地されている。そしてスイッチS7のコモン接点C100は、抵抗器R3を介してオペアンプ7aの負入力端子と接続されるようになっている。さて、このように構成されたサーボ型センサにあっては、以下に示す動作モード毎にスイッチS1,S2,S3、S7の設定を切り換えて使用する。1通常の加速度検出モードこのモードは、スイッチS1をコモン接点C4と接点C1、コモン接点C8と接点C5がそれぞれ接続されるよう切り換える。即ちスイッチS1は、抵抗器R1に生ずる電圧降下の値を検出部8が検出するように切り換える。一方、スイッチS2は、コモン接点C11と接点C10とが接続されるよう切り換える。即ち、オペアンプ7aの負入力端子には、電源部11の電圧が加わらないようにする。また、スイッチS3は、コモン接点C14と接点C12とが接続されるよう切り換える。即ちコイル4には、オペアンプ7aの出力電流が与えられる。スイッチS7は、コモン接点C100と接点101とが接続されて変位量検出部6の出力信号が抵抗器R3を介してオペアンプ7aの負入力端子に与えられるように切り換える。このように各スイッチを設定することで変位量検出部6は、振子1に力が加わって生じた該振子1の平衡点からの変位を検出することができる。この変位量検出部6が検出した変位量は、抵抗器R3を介してオペアンプ7aに与えられる。オペアンプ7aは、この入力信号を受けて、所定レベルに増幅してスイッチS3を介してコイル4に出力する。するとコイル4は、オペアンプ7aから出力される電流によって磁束が発生する。この磁束は、磁石5との間に電磁力となって現れる。そして振子1は、生じた電磁力によって元の平衡点に戻ろうとする。このときオペアンプ7aが出力した電流、すなわちコイル4に流れる電流は、抵抗器R1の両端に電圧降下となって現れる。この電圧降下は、振子1を元の平衡点に移動すべく流れた電流の大きさに比例する。つまり、振子1に加わる加速度が大きいほど、振子1が平衡点から変位しようとするため、オペアンプ7aから出力される電流が増加して、抵抗器R1に生ずる電圧降下が大きくなる。検出部8は、この抵抗器R1の両端の電圧値を検出することで、振子1に受けた加速度を求めることができる。2診断モード上述した通常の加速度検出モードであっても、例えば振子1に外力が加わらないことが保証されれば、この状態で電源部11からサーボアンプ7に所定の電圧を印加したときの抵抗器R1の電圧降下を検出することで、サーボ型センサの異常の有無を検出することは可能である。しかし通常の加速度検出モードの場合、コイル4に流れる電流の変化が小さいため、より確実にサーボ型センサの良否判定を行うべく、本発明に係るサーボ型センサには診断モードが設けられている。具体的に診断モードは、スイッチS1のコモン接点C4と接点C2、コモン接点C8と接点C6がそれぞれ接続されるよう切り換える。即ち、スイッチS1は、変位量検出部6が出力する電圧値を検出部8が検出するよう切り換える。一方、スイッチS2は、コモン接点C11と接点C9とが接続されるよう切り換える。即ち、オペアンプ7aの負入力端子に電源部11が出力する電圧が与えられるようにする。また、スイッチS3は、コモン接点C14と接点C12とが接続されるよう切り換える。即ち、コイル4には、オペアンプ7aの出力電流が与えられる。スイッチS7は、コモン接点C100と接点102とが接続されて接地されるよう切り換える。つまり変位量検出部6とサーボアンプ7との接続を絶ち、サーボアンプ7には、変位量検出部6が出力した変位量検出信号が与えられないようにする。このように各スイッチを設定した後、電源部11からスイッチS2および抵抗器R4を介してオペアンプ7aの負入力端子に電圧を印加する。するとオペアンプ7aは、負入力端子に加えられた電圧に比例した電流を該オペアンプ7aの出力端子から出力してコイル4に与える。コイル4は、オペアンプ7aから与えられた電流によって磁束が発生する。すると、コイル4と磁石5との間には、電磁力が発生する。この電磁力によって振子1は、平衡点から移動して電磁力と振り子の自重およびバネ2の復元力等とが釣り合ったところで静止する。このとき変位量検出部6は、振子1が元の平衡点から変位した変位量を検出信号として出力する。この検出信号、即ち変位量は、検出部8がスイッチS1を介して検出することができる。診断モードにおいては、上述したようにスイッチS7を切り換えて変位量検出部6が出力した信号をサーボアンプ7に与えないようにしているので、電源部11がオペアンプ7aに与える電圧の大きさに比例して振子1の変位量が変化する。このとき電源部11が出力する電圧と、そのとき変位量検出部6が出力する検出信号との対応を判定部12に基準値として予め記憶しておけばよい。そして、変位量検出部6が検出した検出信号のレベルが、判定部12に記憶された基準値と異なる値となったとき、サーボ型センサに異常があると判定することができる。ちなみにこの診断モードにあっては、上述したようにスイッチS7を切り換えて変位量検出部6が出力した信号をサーボアンプ7に与えないようにしているので、変位量検出部6が検出した変位量の影響を受けることなくコイル4に流れる電流、即ちスイッチS1の接点C2,C4を介して検出部8が検出する抵抗器R1の両端に生ずる電圧降下値を大きくすることができる。このため検出精度を向上させることが可能である。かくして、上述したように電源部11がオペアンプ7aに試験電圧を与えたときの振子1の変位量を変位量検出部6の変位として検出すると共に、予め判定部12に記憶された試験電圧と検出した変位量との関係を用いることで、サーボ型センサの良否を判定することができる。具体的には、オペアンプ7a、コイル4の劣化、変位量検出部6の異常の診断の他、実際に振子1を変位させているので、詳細は後述するが振子1を係止しているバネ2、変位量検出部6の感度劣化、磁石5の劣化も検出することが可能である。3抵抗器R1の検査モードところで通常の加速度検出モードの場合、コイル4に流れる電流の変化が小さく、それ故、抵抗器R1の両端に生じる電圧降下も小さくなる。そこで本発明に係るサーボ型センサは、より確実に抵抗器R1の良否を検査する抵抗器R1の検査モードを備えている。スイッチS7は、コモン接点C100と接点101とが接続されて変位量検出部6の出力信号が抵抗器R3を介してオペアンプ7aの負入力端子に与えられるように切り換える。具体的にスイッチS1は、コモン接点C4と接点C3、コモン接点C8と接点C7がそれぞれ接続されるよう切り換える。このようにスイッチS1を切り換えることで検出部8は、抵抗器R1に生じた電圧降下の値を検出することができる。また変位量検出部6の出力は、接地されてオペアンプ7aの入力信号にならないようにしている。一方、スイッチS2は、コモン接点C11と接点C9とが接続されるよう切り換える。即ち、オペアンプ7aの負入力端子に電源部11の電圧を与えるようにする。また、スイッチS3は、コモン接点C14と接点C12とが接続されるよう切り換える。このようにスイッチS3を切り換えるとオペアンプ7aの出力電流がコイル4に与えられることになる。このように各スイッチを設定することで変位量検出部6が出力する信号がオペアンプ7aに与えられなくなる。つまり、オペアンプ7aへの入力が電源部11の出力電圧のみとなる。このため電源部11の出力電圧に比例した電流がオペアンプ7aから出力されてコイル4および抵抗器R1に流れる。このとき抵抗器R1に生ずる電圧降下は、検出部8により検出することができる。そして、電源部11が出力した電圧値と抵抗器R1に生じる電圧降下の値との関係を判定部12に予め基準値として保持しておく。そうして電源部11が出力した電圧値と、抵抗器R1に生じる電圧降下の関係が判定部12に保持されている基準値と異なるとき、抵抗器R1に異常があると判定することができる。ちなみに変位量検出部6の出力が接地されて、オペアンプ7aの負入力端子に与えられないようにしている。このため判定部12は、変位量検出部6の出力信号外乱の影響を受けることなく判定部12に予め保持した基準値と比較するので高感度に抵抗器R1の劣化を検出することができる。4サーボアンプ7の検査モードこのモードでスイッチS1は、コモン接点C4と接点C3、コモン接点C8と接点C7がそれぞれ接続されるよう切り換える。即ち、スイッチS1を抵抗器R1に生ずる電圧降下の値を検出部8が検出するように切り換えると共に、変位量検出部6の出力を接地する。スイッチS2は、コモン接点C11と接点C9が接続されるよう切り換えて、オペアンプ7aの負入力端子に電源部11の電圧を与える。また、スイッチS3は、コモン接点C14と接点C12が接続されるよう切り換えてサーボアンプ7のオペアンプ7aの出力電流をコイル4に与える。スイッチS7は、コモン接点C100と接点101とが接続されて変位量検出部6の出力信号が抵抗器R3を介してオペアンプ7aの負入力端子に与えられるように切り換える。このように各スイッチを設定した後、電源部11は、所定の電圧をオペアンプ7aの負入力端子に与える。そして判定部12は、このとき検出部8が検出した抵抗器R1に生じた電圧降下の値[V1]を保持する。次いでスイッチS1,S2は、そのままの状態とする。一方、スイッチS3は、コモン接点C14と接点C13が接続されるよう切り換える。即ちスイッチS3は、電源部11の出力電流がコイル4に与えられるよう切り換える。このように各スイッチを設定した後、電源部11は、所定の電圧をオペアンプ7aの負入力端子に与える。このとき判定部12は、検出部8が検出した抵抗器R1に生じた電圧降下の値[V2]を保持する。そして判定部は、[V1÷V2]の演算を行い、サーボアンプ7の増幅度を求める。次いで判定部12は、予め保持されているサーボアンプ7の増幅度と、上述したようにして求めたサーボアンプ7の増幅度とを比較し、その結果、予め保持したサーボアンプ7の増幅度と異なるとき、該サーボアンプ7に異常があると判定する。尚、上述した検査方法は、オペアンプ7aの負入力端子に電源部11の出力電圧を印加したものを例示したが、例えば、図4に示すようにオペアンプ7aの正入力端子が接続されている接地に代えて、該正入力端子に電源部11が出力する電圧を印加するようなスイッチS4を設けてもよい。ちなみにこの図4は、上述した図3のサーボアンプ7、変位量検出部6および電源部11のみを図示するものであって、他の構成要素を省略したものである。この場合、電源部11が出力する電圧の極性は、上述した検査方法のときに該電源部11が出力した電圧と逆極性にすることで、オペアンプ7a内で演算増幅されるため上述したようなオペアンプ7aの負入力端子に電源部11の出力電圧を印加することと等価になる。したがって、サーボアンプ7から出力される電流は、電源部11が出力した電圧値に応じて変化する。このため上述したように抵抗器R1両端に生じる電圧降下の値を検出部8が検出して判定部12が判定すればサーボ型センサの良否を判定することができる。或いは上述した検査方法の他、変位量検出部6の入力に電源部の出力を加算して検査を行ってもかまわない。例えば上述した変位量検出部6についての、より詳細な回路構成を図5に示す。この図に示すように変位量検出部6には、図5に図示しない発光部が発した光を受光して電気信号に変換するフォトダイオード40が設けられている。このフォトダイオード40は、カソード側が電源に接続される一方、アノード側は、該フォトダイオード40に流れる電流を制限する電流制限抵抗器R5を介して接地されている。フォトダイオード40に流れる電流は、該フォトダイオード40が受光する光のレベルに応じて変化する。それ故、電流制限抵抗器R5の電圧降下のレベルがフォトダイオード40の受光レベルによって変化することになる。そしてこの電圧変化を増幅して検出すべくオペアンプ6aの負入力端子を、フォトダイオード40のアノードおよび電流制限抵抗器R5との接続点に抵抗器R6を介して接続する。このオペアンプ6aは、オペアンプ6aの正入力端子を接地すると共に、該オペアンプ6aの出力端子と負入力端子とを帰還抵抗器R7を介して接続して所定の増幅度で電流制限抵抗器R5に生じた電圧降下の電圧値を増幅する。このオペアンプ6aの出力は、次段のサーボアンプ7の入力信号として与えられるようになっている。つまりオペアンプ6aは、負帰還増幅器として作動する。このように構成された変位量検出部6において、電流制限抵抗器R5に生じる電圧降下と逆極性となる電圧を電源部11からスイッチS5および抵抗器R8を介してオペアンプ6aの負入力端子に印加する。すると変位量検出部6のオペアンプ6aの負入力端子の電圧値が低下する。このようにすることによってフォトダイオード40に流れる電流が減少して、電流制限抵抗器R5の両端における電圧が低下したことと等価になる。即ちオペアンプ6aは、振子1を元の平衡点に位置付けるべく次段のサーボアンプ7に増幅した信号を与える。このときサーボアンプ7から出力される電流は、電源部11が出力した電圧値に応じて変化することになる。したがって、上述したように抵抗器R1両端に生じる電圧降下の値を検出部8が検出して判定部12が判定すればサーボ型センサの良否を判定することができる。或いは、上述した方法のほか、図6に示すようにオペアンプ6aの正入力端子が接続されている接地に代えて、該正入力端子に電源部11が出力する電圧を印加するようにスイッチS6を設けて構成してもよい。ちなみに、図5と同符号を付した回路要素は、上述した機能と同じ役割を担っている。この場合、電源部11が出力する電圧の極性は、電流制限抵抗器R5に生じる電圧降下と同極性にする。するとオペアンプ6a内で演算増幅されて上述したようなオペアンプ6aの負入力端子に電流制限抵抗器R5と逆極性の電圧を印加することと等価になる。したがって、サーボアンプ7から出力される電流は、電源部11が出力した電圧値に応じて変化するので、上述したように抵抗器R1両端に生じる電圧降下の値を検出部8が検出して、その検出値を判定部12が判定すればサーボ型センサの良否を判定することができる。かくして上述したように本発明に係るサーボ型センサは、サーボアンプ7を制御して振子1の自由端部1bに取り付けたコイル4へ流す電流を調整している。そしてこのコイル4に生じる磁束と、自由端部1bと所定の空隙を有して配設された磁石5との間に生じる電磁力によって振子1を所定の平衡点に位置付けた後、更にサーボアンプ7からコイル4に流す電流を可変している。このため、コイル4に流し込まれた電流の大きさに応じて振子1が変位することになる。この振子1の変位量は、コイル4に流し込む電流値に応じて変化するので、コイル4に流し込む電流に対する振子1の変位量を予め基準値として判定部12に保持させておけば、サーボ型センサの良否を判定することが可能となる。また、本発明に係るサーボ型センサは、振子1を変位させて診断しているので、詳細は後述するがサーボアンプ7、コイル4の劣化、変位量検出部6の異常の他、振子1を係止しているバネ2の劣化、変位量検出部6の検出感度の劣化および磁石5の劣化等の検出も行うことが可能である。尚、上述した実施形態は振子1の自由端部1bにコイルを設けると共に、その近傍に配設した磁石5との間に生じる電磁力を用いたサーボ型センサであるが、コイル4に代えて例えば図3に示すようにコンデンサCの極板間に働く静電力により駆動するサーボ型センサであってもかまわない。この実施形態が上述した実施形態と異なるところは、コイル4の代わりに振子1の自由端部1bに極板を設けると共に、磁石5に代えてこの極板と所定の間隙を有して別の極板を対峙させてコンデンサCを形成した点にある。このような形態をとるサーボ型センサは、例えばマイクロマシンに適用するセンサとして好適なものである。この場合、振子1の自由端部1b側の極板にサーボアンプ7のオペアンプ7aの出力を接続すると共に、他の極板を接地する。すなわちこのサーボ型センサは、オペアンプ7aが出力する電圧により、コンデンサCの極板間に生ずる静電力を用いて振子1を駆動するものである。このように構成したサーボ型センサであっても、上述した実施形態と同様に電源部11の電圧をオペアンプ7aの入力として与えることで、振子1が所定の平衡点から変位する。そしてこの変位量を変位量検出部6が検出し、この検出した変位量が、電源部11が出力した電圧値に応じた値になっているかを判定部12が判定すればよい。尚、コンデンサCに生ずる駆動力を用いたサーボ型センサにあっては、駆動信号の変化が大きくなるので通常の加速度検出モードを用いてR1を検査することができる。このため、R1の検査モードを用いることなく、回路を簡易化することが可能である。このように本発明に係るサーボ型センサにあっては、振子1の駆動手段によらず適用することが可能である。また、診断用コイル等、診断のための別の駆動手段を必要としないため、マイクロマシン等の超小型機器に適用されるサーボ型センサに好適である。尚、上述したサーボ型センサにおいて変位量検出部6は、一定の輝度を有する発光ダイオード等の発光部と、この発光部が発した光を受光して電気信号に変換するフォトダイオード等の受光部とからなり、振子が所定の平衡点に位置したとき、受光部が受光する受光量が最大になると共に、振子が平衡点から移動するに従って受光部が受光する受光量が減少するスリットを設けた光学的方法を例示した。この場合は振子1の形状が大きいサーボ型センサに用いると組み付け調整が容易であり好ましい。もちろんこの光学的方法によらなくても、その他の検出部品を用いて振子1の変位量を検出してもよい。具体的にこの検出部品は、図7に示すように振子1の基端部1aを基板3に係止するバネ2板バネに加わる応力をその抵抗値の変化から検出するピエゾ素子50を用いればよい。そしてバネ2の変位量、すなわちピエゾ素子50の抵抗値の変化を図7には図示しない変位量検出部が検出し、その変位量を示す信号として検出信号を出力するようにすればよい。このピエゾ素子50を検出素子として用いれば、マイクロマシンに好適なサーボ型センサを構成することができ効果的である。或いは、図8に示すように振子1の所定位置に取り付けた位置検出用磁石20と、この位置検出用磁石20の近傍に該位置検出用磁石20と対峙するように設けられて、位置検出用磁石20の磁力の変化によりその抵抗値が変化するホール素子21と、このホール素子21の抵抗値の変化、すなわち振子1が所定の平衡点から変位した変位量を検出する変位量検出回路22を設けて構成した変位量検出部6としてもよい。この場合、ホール素子21は、駆動用磁石5を用いて構成することも可能であり、本発明に係るサーボ型センサをより簡易に構成することが可能である。または図9に示すように所定の周波数の音波例えば超音波を生成する音響発生部23と、振子1と所定の間隙を設けて位置付けられて音響発生部23が生成した音波を振子1に対して出力するスピーカ24と、このスピーカ24が出力して振子1により反射された音波を受けるマイク25と、このマイク25が受けた音波を増幅する音響入力部26と、音響発生部23が出力する音波を制御すると共に、スピーカ24が出力し、マイク25が受けた音波の時間遅延から振子1の平衡点からの変位量を検出する制御演算部27を備えて構成した音波検出方式の変位量検出部6であってもかまわない。或いは、図10に示すように振子1の所定位置に取り付けられた金属板28等と、この金属板28の近傍に対峙するように設けられたインダクタンスLと、このインダクタンスLと並列に接続されて共振回路タンク回路を形成するコンデンサCを備えた発振器29からなる高周波近接回路を用いて変位量検出部6としてもよい。この変位量検出部6のタンク回路は、振子1に取り付けられた金属板28とインダクタンスLとの間隙が変化することにより、そのQ値が変化する。このQ値の変化は、発振器29の振幅の変化として次段の検出器30が検出する。そして検出器30の検出信号アナログ信号は、A/D変換器31によりディジタル信号に変換されて、次段の信号処理演算部32によって振子1が平衡点からずれた変位量を検出するものとして構成される。または、図11に示すように振子1の所定の位置に取り付けた金属板33と、この金属板33の近傍に例えば基板3上に該金属板33と対峙するように別の金属板34を設けて、それぞれの金属板33,34同士でコンデンサCxを形成する。そして振子1が変位する変位量を金属板33,34間極板間の変位、すなわちコンデンサCxの静電容量の変化を捉える容量変化検出回路35を設ける。そうして振子1が平衡点から変位した変位量を容量変化検出回路35の検出信号として出力するように構成した変位量検出部6としてもよい。このように振子1の変位をコンデンサCxの容量変化から検出するようにすれば、小型化、特に後述するようにマイクロマシンに上述したサーボ型センサを構成することができ好ましい。その他、本発明に係るサーボ型センサにあっては、変位量検出部6は、振子1が所定の平衡点から変位したことを検出可能なものであれば、上述した検出方法に限定されない。また、上述したサーボ型センサは、図1に示すように該センサに下向きに重力が加わっているものとして説明したが、該センサを重力方向に対して傾けて設置したとしても診断用の出力に対して通常モードでのサーボ型センサの出力値が小さく、且つ検出精度の範囲内であれば上述したようにサーボ型センサに対して診断を行うことが可能である。具体的には、重力方向を基準として設置することが基本とされるサーボ型センサにおいて、この重力方向に対してθ度傾けてサーボ型センサが設置された場合、該センサに対して980sinθ[Galcm/s2]の加速度重力が生じるものの、この値を設置状態における計測値を診断に係る初期値とし、このときの設置状態姿勢で診断すれば上述した診断方法を適用することでサーボ型センサの健全性の診断を行うことが可能である。つまり本発明のサーボ型センサは、設置状態姿勢によって制限を受けることなく該サーボ型センサの健全性を診断することが可能である。勿論、サーボ型センサを地震センサ等に用いた場合、一般には重力方向に対して直交する水平位置に設置±3度以内することが条件である。この場合は、上述した診断方法によらなくても、サーボ型センサから出力される検出信号平衡点からの変位出力信号によって該センサが正しく水平位置に設置されていないと判定することも可能である。尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えばマイクロマシンに適用される3軸マイクロマシンニングセンサは、図13に示すように所定の面積を有した例えば円盤状の導体板2枚を対向するように配置して図示しない筐体等にその外周を固定した固定電極70,74と、これらの固定電極70,74の間に挟まれるように配置して図示しない筐体等にその外周を固定した円盤状の導体板からなる可動電極ダイヤフラム71を備えて構成される。この可動電極71は、詳細は後述するが、その中心部下面に重り72を装着したもので、重り72に加わる外力を受けて撓みを生じるものである。また可動電極71と固定電極70,74との間に電圧を印加することによって、これらの電極間に働く静電力を用いて該可動電極71を撓ませ、任意の部位に位置付けることが可能となっている。ちなみにこの図は、紙面の下方向を重力方向として各電極70,71,74がこの重力方向に対して直交するように描いているがその取り付け様態は、これの方向に限定されず、任意の取り付け様態をとることが可能である。ここで図13の破線に示すように可動電極71の中心Oから重力方向に対して直交する水平方向にx軸を、このx軸に直交して中心Oを貫く水平方向をy軸、中心Oを貫きx軸およびy軸とそれぞれ直交して重力方向に平行なz軸からなる直交座標を考える。そして固定電極70,74および可動電極71の各面をz軸方向に離間させ、且つ各電極面をそれぞれz軸と直交する方向、即ち水平方向に同軸に配置する。ちなみに直交座標は、4分割された可動電極71の外周における円弧の中央部とx軸、またはy軸の軸心とが一致するように位置付ける。可動電極71には、この可動電極71を貫くz軸を中心として、絶縁体73により同心円状に分割された3つの電極部が形成されている。この3つの電極部は、可動電極71の中心Oから半径方向側に向かって、円形状の内側電極71a、環状の中側電極71b、最も外側に位置する環状の外側電極71cからなる。これらの電極71a,71b,71cは、絶縁体73によってそれぞれが電気的に絶縁されている。可動電極71の最も外側に位置する外側電極71cは、更に該可動電極71の半径方向に絶縁体73により4分割された4つの導体部位を形成している。ここに4分割された可動電極71の外側電極71cと、該可動電極71の上方に位置する円盤状の上側固定電極70とで形成される4つのコンデンサを次のように定める。x軸の正方向に位置する4分割された可動電極71の外側電極71cと後述する上側固定電極70の外側電極71cとで形成されるコンデンサを[Cxp]、x軸の負方向に位置する4分割された可動電極71の外側電極71cと固定電極70とで形成されるコンデンサを[Cxm]、y軸の正方向に位置する4分割された可動電極71の外側電極71cと固定電極70とで形成されるコンデンサを[Cyp]、y軸の負方向に位置する4分割された可動電極71の外側電極71cと固定電極70とで形成されるコンデンサを[Cym]とする。また、可動電極71の内側電極71aと対向する上側固定電極70とで形成されるコンデンサを[Cz]とする。この可動電極71の内側電極71aには、所定の重さの重り72が固定されたものとなっている。一方、可動電極71の上方に位置する円盤状の上側固定電極70には、この上側固定電極70を貫くz軸を中心として、絶縁体73により同心円状に分割された3つの電極部が形成されている。この3つの電極部は、上側固定電極70の中心を貫くz軸から半径方向側に向かって、円形状の内側電極70a、環状の中側電極70b、最も外側に位置する環状の外側電極70cからなる。これらの電極70a,70b,70cは、絶縁体73によってそれぞれが電気的に絶縁されている。このうち内側電極70aは、対向する可動電極71の内側電極71aとコンデンサを形成する。ちなみにこのコンデンサは、上述したように[Cz]である。また、上側固定電極70の最も外側の外側電極70cは、4分割された可動電極71の最も外側の電極と対向して4つのコンデンサを形成している。これら4つのコンデンサは、上述したように[Cxp,Cxm,Cyp,Cym]である。また、これらのコンデンサ[Cz,Cxp,Cxm,Cyp,Cym]の各静電容量は、特に図示しない静電容量検出部により計測されるようになっている。そして詳細は後述するがこれらのコンデンサの静電容量の変化量を静電容量検出部により検出することにより、重り72に加わる外力、即ち、重り72に加わる加速度を検出する。上側固定電極70の内側電極70aと外側電極70cとの間に挟まれた環状の中側電極70bは、更に絶縁体73によりその半径方向に4分割され、それぞれの円弧の中央部がx軸、またはy軸の軸心と一致するように分割されている。ここに4分割された中側電極70bと対向する可動電極71の中側電極71bとによって形成される4つのコンデンサを次のように定める。x軸の正方向に位置する4分割された中側電極70bと対向する可動電極71の中側電極71bとで形成されるコンデンサを[Cxpv1]、x軸の負方向に位置する4分割された中側電極70bと対向する可動電極71の中側電極71bとで形成されるコンデンサを[Cxmv1]、y軸の正方向に位置する4分割された中側電極70bと対向する可動電極71の中側電極71bとで形成されるコンデンサを[Cypv1]、y軸の負方向に位置する4分割された中側電極70bと対向する可動電極71の中側電極71bとで形成されるコンデンサを[Cymv1]とする。これら4分割された上側固定電極70の中側電極70bとそれぞれ対向する可動電極71の中側電極71bとで形成される4つのコンデンサは、図示しない直流電源により直流電圧を印加したとき生じる静電吸引力によって、可動電極71を上側固定電極70側に引きつける電極駆動部の役割を担っている。一方、可動電極71の下方に位置する円盤状の下側固定電極74には、この下側固定電極74を貫くz軸を中心として、絶縁体73により同心円状に分割された3つの電極部が形成されている。この3つの電極部は、下側固定電極74の中心を貫くz軸から半径方向側に向かって、円形状の内側電極74a、環状の中側電極74b、最も外側に位置する環状の外側電極74cからなる。これらの電極74a,74b,74cは、絶縁体73によってそれぞれ電気的に絶縁されている。このうち最も内側の内側電極74aと最も外側の外側電極74cとの間に挟まれた環状の中側電極74bは、更に絶縁体73によりその半径方向に4分割され、それぞれの円弧の中央部がx軸、またはy軸の軸心と一致するように分割されている。ここに4分割された下側固定電極の中側電極74bと対向する可動電極71の中側電極71bとによって形成される4つのコンデンサを次のように定める。x軸の正方向に位置する4分割された中側電極74bと対向する可動電極71の中側電極71bとで形成されるコンデンサを[Cxpv2]、x軸の負方向に位置する4分割された中側電極74bと対向する可動電極71の中側電極71bとで形成されるコンデンサを[Cxmv2]、y軸の正方向に位置する4分割された中側電極74bと対向する可動電極71の中側電極71bとで形成されるコンデンサを[Cypv2]、y軸の負方向に位置する4分割された中側電極74bと対向する可動電極71の中側電極71bとで形成されるコンデンサを[Cymv2]とする。これら4分割された下側固定電極74の中側電極74bとそれぞれ対向する可動電極71の中側電極71bとで形成される4つのコンデンサは、図示しない直流電源により直流電圧を印加したとき生じる静電吸引力によって、可動電極71を下側固定電極74側に引きつける電極駆動部の役割を担っている。このように構成された3軸マイクロマシンニングセンサにおいて、このセンサが取り付けられた装置がx軸の正方向に移動したとする。すると、このセンサに取り付けられた重り72には、x軸の負方向に加速度が加わる。このとき可動電極71は、重り72に加わる加速度を受けて、例えば図15aに示すように撓むので、x軸の負側に位置する電極と上側固定電極70との距離が短くなる一方、X軸の正側に位置する可動電極71と上側固定電極70との距離が長くなる。このため可動電極71と上側固定電極70との間に形成されたコンデンサのうち、x軸の負方向に位置するコンデンサ[Cxm]の静電容量は増加する一方、x軸の正方向に位置するコンデンサ[Cxp]の静電容量は減少する。一方、y軸の正方向および負方向に位置する4分割された可動電極71と上側固定電極70との平均距離、つまり可動電極71の中側電極71bと上側固定電極70との極板間の平均距離は変化しない。したがってy軸方向およびz軸方向に形成されるコンデンサ[Cyp]、[Cym]、[Cz]の各静電容量は、変化しない。そして可動電極71の中側電極71bと、x軸の正方向に位置する上側固定電極70の中側電極70bとの間に形成されたコンデンサ[Cxpv1]、および可動電極71の中側電極71bと、x軸の負方向に位置する下側固定電極74の中側電極74bとの間に形成されたコンデンサ[Cxmv2]との間にそれぞれ直流電圧を印加する。するとこれらのコンデンサ[Cxpv1,Cxmv2]と固定電極70,74との間に静電吸引力が生じて、重り72に外力加速度が加わらない状態、即ち図14に示すようにxy平面に対して水平となる平衡点に変位する。このとき、電極駆動部がコンデンサ[Cxpv1,Cxmv2]に印加する電圧は、重り72に外力加速度が加わったことによって変化したコンデンサの静電容量、即ちx軸の負方向に位置するコンデンサ[Cxm]と、x軸の正方向に位置するコンデンサ[Cxp]の各静電容量が元の平衡状態にあったときの静電容量になるように制御すればよい。ちなみに、3軸マイクロマシンニングセンサは、このときコンデンサ[Cxpv1,Cxmv2]に印加した電圧値によりx軸の負方向への加わった加速度を検出する。次に3軸マイクロマシンニングセンサにおけるz軸の負方向に加速度が加わった場合、重り72には、z軸の正方向の外力加速度を受ける。このため可動電極71の中央部分が、図15bに示すように上方に撓み、可動電極71と上側固定電極70との極板距離が短くなる。このときの極板距離の変化量は、可動電極71の最も内側の内側電極71aが最も大きくなる。それ故、可動電極71と上側固定電極70との間に形成されるコンデンサにおいて、可動電極71の内側電極71aと固定電極70の内側電極70aとの間に形成されるコンデンサ[Cz]の静電容量の変化量が最も大きくなる。また、可動電極71の外側の外側電極71cと上側固定電極70の外側の電極70cとの間に形成された4つのコンデンサ[Cxp,Cxm,Cyp,Cym]の極板距離は、z軸方向へ変位して変化するものの、それぞれのコンデンサにおける外側電極71cと上側固定電極70との板間の平均距離は、等しく変化して短くなる。このため可動電極71のx軸方向およびy軸方向に配置された極板とで形成されたコンデンサ[Cxp,Cxm,Cyp,Cym]における静電容量は、等しく変化する。このとき電極駆動部図示せずは、下側電極74の中側電極74bと可変電極71の中側電極71bとの間に形成された4つのコンデンサ[Cxpv2,Cxmv2,Cypv2,Cymv2]にそれぞれ等しい電圧を印加して重り72に加わった外力加速度を打ち消す静電吸引力を作用させて、可動電極71を所定の平衡点になるよう位置付ける。このとき、4つのコンデンサ[Cxpv2,Cxmv2,Cypv2,Cymv2]に印加する電圧は、重り72に外力加速度が加わったことによって変化したz軸方向の変位量を打ち消すだけの電圧とする。具体的にこの電圧は、可動電極71の外側の外側電極71cと上側固定電極70の外側の電極70cとの間に形成された4つのコンデンサ[Cxp,Cxm,Cyp,Cym]の各静電容量が、可動電極71が元の平衡状態にあったときの静電容量になるように制御すればよい。そして、このとき電極駆動部がコンデンサ[Cxpv2,Cxmv2,Cypv2,Cymv2]にそれぞれ印加した電圧値によりz軸の正方向への加わった加速度を検出することができる。このように3軸マイクロマシンニングセンサは、重り72に加わる外力加速度によって変位した可動電極71の変位量を、可動電極71と上側固定電極70との間に形成されるコンデンサの静電容量の変化を検出すると共に、固定電極70,74と可動電極73との間に、この変位量を打ち消す静電吸引力をもたらす電圧値により加速度を検出することができる。このような作動原理に基づく3軸マイクロマシンニングセンサにあっても、重り72に所定の力を与えて可動電極71に撓みを生じさせ、固定電極7074との間の静電容量を変位させるように構成すれば、前述した実施形態と同様にセンサの異常を検出することが可能である。例えば、可動電極71に固定された重り72を所定の平衡点に位置付けた後、上側固定電極70の中側電極70bと、可動電極71の中側電極71bとの間で形成されるコンデンサ[Cxpv1,Cxmv1,Cypv1,Cymv1]、或いは、下側固定電極74中側電極74と、可動電極71の中側電極71bとの間で形成されるコンデンサ[Cxpv2,Cxmv2,Cypv2,Cymv2]の任意のコンデンサに電圧を加える。このとき、電圧を印加したコンデンサ間の静電吸引力が増加する。この静電吸引力は、コンデンサに印加する電圧を変化させることによって変化する。このため重り72は、所定の位置平衡点から変位することになる。したがって、この変位量を可動電極71の外側の外側電極71cと上側固定電極70の外側の電極70cとの間に形成された4つのコンデンサ[Cxp,Cxm,Cyp,Cym]の静電容量の変化量として静電容量検出部が検出し、この検出した静電容量の変化量が、上述したコンデンサに印加した電圧値に応じた変化量になっているか否かを判定部12により判定すればよい。次に本発明に係るサーボ型センサを構成する部品の劣化を検出する検出手段について説明する。所定の輝度を有する発光ダイオードLED等の光源からなる発光部と、この発光部が発した光を受光して電気信号に変換するフォトトランジスタ等の受光部とを備えた光学的方法を用いた変位量検出部6において、発光部および受光部とでなす光学系の健全性を確認するには、例えばLEDに流れる電流を可変したとき、その可変したLEDが発する光量の変化を受光部で検出できるようにすればよい。より具体的には、LEDに流す電流値を複数設定できるようにし、そのとき受光部が受光して電気信号に変換した電気信号のレベルを予め保持しておく。そして、受光系の健全性を確認すべく、発光部の光源に流す電流を予め割り当てられた設定値に基づいて設定する。このとき、受光部が受光して電気信号に変換した電気信号のレベルと、予め保持されたレベルとを比較し、所定の許容範囲内にあれば光学系が健全であると判定することができる。次に上述したように図11に示す振子1の所定の位置に取り付けた金属板33と、この金属板33の近傍に該金属板33と対峙するように別の金属板34を取り付けて、それぞれの金属板33,34同士でコンデンサCxを形成し、金属板33,34とで形成されたコンデンサCxの容量変化から振子1の変位を検出する変位量検出部6の感度を検査する方法を説明する。この変位量検出部6は、図12に示すようにコンデンサCxの一端は接地され、他端には、抵抗器Rを介してパルス信号発生部60が出力するパルス信号例えば矩形波が与えられる。そして、この抵抗器RおよびコンデンサCxで形成される積分回路の出力電圧をローパスフィルタLPF61を介して波形整形し、サーボアンプ7に与えるものとして構成される。つまり、この変位量検出部6は、コンデンサCxの静電容量の変化を電圧の変化として出力するものである。このように構成された変位量検出部6にあっては、パルス信号発生部60が出力する信号波形を、例えばその出力電圧値、周波数、デューティ等を可変したとき、検出部8が検出した検出信号を予め判定部12に保持させておく。そして変位量検出部6を検査する際、予め判定部12に保持された検出信号と比較することで変位量検出部6の感度劣化を検出することが可能である。次に図8に示すように振子1の所定位置に取り付けた位置検出用磁石20と、この位置検出用磁石20の近傍に該位置検出用磁石20と対峙するように設けられて、位置検出用磁石20の磁力の変化を検出してその抵抗値が変化するホール素子21と、このホール素子21の抵抗値の変化、即ち振子1が所定の平衡点から変位した変位量を検出する変位量検出回路22によって構成した変位量検出部6を検出する方法を説明する。この場合、変位量検出回路22がホール素子21に流す電流を可変することにより電流に比例してその出力値が変化する。したがってホール素子21に流す電流を可変したとき、検出部8が検出する検出信号の値を予め判定部12に保持させておけばよい。そして変位量検出部6を検査する際、予め判定部12に保持された検出信号の値と比較すれば、変位量検出部6の感度劣化を検出することが可能である。次にバネ2の劣化を検出する方法について説明する。ここでは上述した図3に示すサーボ型センサにおける診断モードを用いてバネ2の劣化を判定する方法を例示する。この場合、各スイッチの設定は上述した診断モードと同様であるので省略する。この検出方法は、電源部11から予め設定された複数の異なる正弦波交流信号を出力させてサーボアンプ7に与え、このとき検出部8が検出した検出信号の値を予め判定部12に保持しておく。そしてバネ2の劣化を診断するとき、電源部11から予め設定された複数の異なる正弦波交流信号を出力し、判定部12に予め保持されている検出信号の値と比較する。ちなみに判定部12に予め保持する検出信号の値は、検出部8が検出した検出信号の実効値、積分値、ピーク値等である。そして判定部12が比較した結果、予め保持されている検出部8が検出した検出信号と異なると判定したとき、バネ2が劣化していると判定することができる。この検出方法によれば、異なる周波数の信号をバネ2に与えているので、バネ2の周波数特性の劣化を診断することができる。或いは電源部11からホワイトノイズやピンクノイズ等の種々の周波数を含んだ信号や、ステップ波単位階段波をサーボアンプ7へ加えてもよい。そして、図3には図示しないが検出部8が検出した検出信号をFFT高速フーリエ変換解析により、共振周波数の確認、または初期状態の共振周波数のパワーと比較することで、バネ2の共振劣化を判定することができる。更には図1に示すような電磁力を用いて振子1を駆動して加速度を検出するサーボ型センサの場合、上述したように振子1の自由端部1bには、巻回したコイル4が取り付けており、この自由端部1bと所定の距離を隔てて磁石5が配設されている。この磁石5の劣化を検出すべく、該磁石5の近傍にこの磁石5から生じる磁力に比例して電気抵抗値が変化する磁気抵抗素子ホール素子を設けてもよい。この場合、サーボ型センサの記憶部等に磁気抵抗素子が検出した磁力をその抵抗値として予め保持しておく。そして、磁石5の健全性を判定する場合、磁気抵抗素子が検出した抵抗値と、予め記憶部に保持された磁気抵抗の値を比較し、所定の共用範囲内にあれば磁石5が健全であると判定することができる。かくして、上述したように電源部11がオペアンプ7aに試験電圧を与えたときの振子1の変位量を変位量検出部6の変位として検出すると共に、予め判定部12に記憶された試験電圧と検出した変位量との関係を用いることで、サーボ型センサの良否を判定することができる。さらには、オペアンプ7a、コイル4の劣化、変位量検出部6の異常の診断の他、実際に振子1を変位させているので、振子1を係止しているバネ2、変位量検出部6の感度劣化、磁石5の劣化も検出することが可能である。尚、上述したサーボ型センサは、加速度を検出するサーボ型センサについて説明したが、例えば変位、圧力等の物理量を検出するサーボ型センサにも適用することが可能である等、実用上極めて有効である。"