波長の異なる第1レーザ光と第2レーザ光とを分割部で参照光と測定光とにそれぞれ分割し、反射部で反射した参照光と被測定物の測定点で反射した測定光とがそれぞれ干渉することで得られる干渉光の光強度データに基づいて被測定物の厚み方向の距離を測距する測距方法であって、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの参照光を階段状の反射部で反射させるとともに、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの測定光を被測定物の第1測定点で反射させ、前記反射部で反射した参照光と第1測定点で反射した測定光とを複数の受光器で構成された受光部に受光させる第1照射ステップと、前記受光部の所定の受光器の光強度データを所定の順序で配列することで第1測定点の光強度データ列を作成する第1データ列作成ステップと、第1データ列作成ステップで得られた第1測定点の光強度データ列にフーリエ変換を施して第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、を取得する第1フーリエ変換ステップと、第1フーリエ変換ステップで得られた両干渉光の周期、位相から両干渉光の明部の位置を算出する第1明部取得ステップと、第1明部取得ステップで取得された明部のうち、両干渉光が同一位置で明部を取る第1位置を算出し、この第1位置から光強度データ列上の任意の基点までの第1距離データを取得する第1距離データ取得ステップと、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの参照光を前記反射部で反射させるとともに、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの測定光を被測定物の第2測定点で反射させ、前記反射部で反射した参照光と第2測定点で反射した測定光とを前記受光部で受光させる第2照射ステップと、前記受光部の所定の受光器の光強度データを所定の順序で配列することで第2測定点の光強度データ列を作成する第2データ列作成ステップと、第2データ列作成ステップで得られた第2測定点の光強度データ列にフーリエ変換を施して第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、を取得する第2フーリエ変換ステップと、第2フーリエ変換ステップで得られた両干渉光の周期、位相から両干渉光の明部の位置を算出する第2明部取得ステップと、第2明部取得ステップで取得された明部のうち、両干渉光が同一位置で明部を取る第2位置を算出し、この第2位置から前記基点までの第2距離データを取得する第2距離データ取得ステップと、第1距離データと第2距離データとに基づいて第1測定点と第2測定点との間の厚み方向の距離を測距する測距ステップと、を有することを特徴とする測距方法。波長の異なる第1レーザ光と第2レーザ光とを分割部で参照光と測定光とにそれぞれ分割し、反射部で反射した参照光と被測定物の測定点で反射した測定光とがそれぞれ干渉することで得られる干渉光の光強度データに基づいて被測定物の厚み方向の距離を測距する測距方法であって、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの参照光を階段状の反射部で反射させ、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの測定光をさらに第1測定光と第2測定光とに分割し、第1レーザ光及び第2レーザ光の第1測定光を被測定物の第1測定点で反射させるとともに第1レーザ光及び第2レーザ光の第2測定光を第2測定点で反射させ、前記反射部で反射した参照光と第1測定点で反射した第1測定光と第2測定点で反射した第2測定光とを複数の受光器で構成された受光部に受光させる照射ステップと、前記受光部の所定の受光器の光強度データを所定の順序で配列することで光強度データ列を作成するデータ列作成ステップと、データ列作成ステップで得られた光強度データ列にフーリエ変換を施して、第1レーザ光の第1測定光と参照光による第1干渉光の周期、位相、振幅と、第1レーザ光の第2測定光と参照光による第2干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の第1測定光と参照光による第3干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の第2測定光と参照光による第4干渉光の周期、位相、振幅と、をそれぞれ取得するフーリエ変換ステップと、取得された各干渉光の周期、位相から各干渉光の明部の位置を取得する明部取得ステップと、取得された明部の位置のうち、第1干渉光と第3干渉光とが同一位置で明部を取る第1位置を算出し、この第1位置から光強度データ列の任意の基点までの第1距離データを取得するとともに、第2干渉光と第4干渉光とが同一位置で明部を取る第2位置を算出し、この第2位置から前記基点までの第2距離データを取得する距離データ取得ステップと、第1距離データと第2距離データとに基づいて被測定物の第1測定点から第2測定点までの厚み方向の距離を算出する測距ステップと、を有することを特徴とする測距方法。第2測定点が第1測定点の裏面に位置し、第2測定光が第2測定点で反射することで、測距ステップが被測定物の厚みを測距することを特徴とする請求項2記載の測距方法。波長の異なる第1レーザ光と第2レーザ光の2つをそれぞれ出射する第1レーザ照射手段と第2レーザ照射手段と、第1レーザ光と第2レーザ光とを参照光と測定光とにそれぞれ分割する分割部と、それぞれの参照光を反射する階段状の反射部と、複数の受光器で構成され反射部で反射した参照光と被測定物で反射した測定光とを受光して各受光器の光強度データを出力する受光部と、受光部からの光強度データが入力する演算部と、を有し、請求項1記載の第1照射ステップと第1データ列作成ステップと第1フーリエ変換ステップと第1明部取得ステップと第1距離データ取得ステップと第2照射ステップと第2データ列作成ステップと第2フーリエ変換ステップと第2明部取得ステップと第2距離データ取得ステップと測距ステップとを行って、被測定物の第1測定点と第2測定点との間の厚み方向の距離を測距することを特徴とするレーザ測距装置。波長の異なる第1レーザ光と第2レーザ光の2つをそれぞれ出射する第1レーザ照射手段と第2レーザ照射手段と、第1レーザ光及び第2レーザ光を参照光と測定光とにそれぞれ分割する分割部と、それぞれの参照光を反射する階段状の反射部と、それぞれの測定光を第1測定光と第2測定光とに分割する測定光分割部と、複数の受光器で構成され反射部で反射した参照光と被測定物の第1測定点で反射した第1測定光と被測定物の第2測定点で反射した第2測定光とを受光して各受光器の光強度データを出力する受光部と、受光部からの光強度データが入力する演算部と、を有し、請求項2記載の照射ステップとデータ列作成ステップとフーリエ変換ステップと明部取得ステップと距離データ取得ステップと測距ステップとを行って、被測定物の第1測定点と第2測定点との間の厚み方向の距離を測距することを特徴とするレーザ測距装置。第1測定光を出射する第1出射口と第2測定光を出射する第2出射口とが対向するように設置され、被測定物を第1出射口と第2出射口との間に配置することで被測定物の厚みを測距することを特徴とする請求項5記載のレーザ測距装置。[特許文献1]に開示された発明により被測定物までの距離を高精度に測距することが可能となった。しかしながら、[特許文献1]の発明では光路差の変化をモータ等の機械的手段により行っている。よって、高精度の測距には位置精度の高い高価な機械的手段が必要となり、コストが増大するという問題点がある。また、いかに位置精度の高い機械的手段であってもバックラッシュ逆動作などにより誤差が生じる可能性があり、この点で更なる改善が望まれる。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、レーザ光の特徴である可干渉性を利用しながら、光学系に機械的手段を用いずに被測定物の厚み方向の距離もしくは厚みを高精度に測距する測距方法及びレーザ測距装置を提供することを目的とする。本発明は、1波長の異なる第1レーザ光と第2レーザ光とを分割部12で参照光と測定光とにそれぞれ分割し、反射部14で反射した参照光と被測定物6の測定点で反射した測定光とがそれぞれ干渉することで得られる干渉光の光強度データに基づいて被測定物6の厚み方向の距離Lを測距する測距方法であって、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの参照光を階段状の反射部14で反射させるとともに、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの測定光を被測定物6の第1測定点S1で反射させ、前記反射部14で反射した参照光と第1測定点S1で反射した測定光とを複数の受光器22で構成された受光部18に受光させる第1照射ステップと、前記受光部18の所定の受光器22の光強度データを所定の順序で配列することで第1測定点S1の光強度データ列を作成する第1データ列作成ステップと、第1データ列作成ステップで得られた第1測定点S1の光強度データ列にフーリエ変換を施して第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、を取得する第1フーリエ変換ステップと、第1フーリエ変換ステップで得られた両干渉光の周期、位相から両干渉光の明部の位置を算出する第1明部取得ステップと、第1明部取得ステップで取得された明部のうち、両干渉光が同一位置で明部を取る第1位置を算出し、この第1位置から光強度データ列上の任意の基点までの第1距離データを取得する第1距離データ取得ステップと、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの参照光を前記反射部14で反射させるとともに、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの測定光を被測定物6の第2測定点S2で反射させ、前記反射部14で反射した参照光と第2測定点S2で反射した測定光とを前記受光部18で受光させる第2照射ステップと、前記受光部18の所定の受光器22の光強度データを所定の順序で配列することで第2測定点S2の光強度データ列を作成する第2データ列作成ステップと、第2データ列作成ステップで得られた第2測定点S2の光強度データ列にフーリエ変換を施して第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、を取得する第2フーリエ変換ステップと、第2フーリエ変換ステップで得られた両干渉光の周期、位相から両干渉光の明部の位置を算出する第2明部取得ステップと、第2明部取得ステップで取得された明部のうち、両干渉光が同一位置で明部を取る第2位置を算出し、この第2位置から前記基点までの第2距離データを取得する第2距離データ取得ステップと、第1距離データと第2距離データとに基づいて第1測定点S1と第2測定点S2との間の厚み方向の距離Lを測距する測距ステップと、を有することを特徴とする測距方法を提供することにより、上記課題を解決する。2波長の異なる第1レーザ光と第2レーザ光とを分割部12で参照光と測定光とにそれぞれ分割し、反射部14で反射した参照光と被測定物6の測定点で反射した測定光とがそれぞれ干渉することで得られる干渉光の光強度データに基づいて被測定物6の厚み方向の距離Lを測距する測距方法であって、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの参照光を階段状の反射部14で反射させ、第1レーザ光及び第2レーザ光のそれぞれの測定光をさらに第1測定光と第2測定光とに分割し、第1レーザ光及び第2レーザ光の第1測定光を被測定物6の第1測定点S1で反射させるとともに第1レーザ光及び第2レーザ光の第2測定光を第2測定点S2で反射させ、前記反射部14で反射した参照光と第1測定点S1で反射した第1測定光と第2測定点S2で反射した第2測定光とを複数の受光器22で構成された受光部18に受光させる照射ステップと、前記受光部18の所定の受光器22の光強度データを所定の順序で配列することで光強度データ列を作成するデータ列作成ステップと、データ列作成ステップで得られた光強度データ列にフーリエ変換を施して、第1レーザ光の第1測定光と参照光による第1干渉光の周期、位相、振幅と、第1レーザ光の第2測定光と参照光による第2干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の第1測定光と参照光による第3干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の第2測定光と参照光による第4干渉光の周期、位相、振幅と、をそれぞれ取得するフーリエ変換ステップと、取得された各干渉光の周期、位相から各干渉光の明部の位置を取得する明部取得ステップと、取得された明部の位置のうち、第1干渉光と第3干渉光とが同一位置で明部を取る第1位置を算出し、この第1位置から光強度データ列の任意の基点までの第1距離データを取得するとともに、第2干渉光と第4干渉光とが同一位置で明部を取る第2位置を算出し、この第2位置から前記基点までの第2距離データを取得する距離データ取得ステップと、第1距離データと第2距離データとに基づいて被測定物6の第1測定点S1から第2測定点S2までの厚み方向の距離Lを算出する測距ステップと、を有することを特徴とする測距方法を提供することにより、上記課題を解決する。3第2測定点S2が第1測定点S1の裏面に位置し、第2測定光が第2測定点S2で反射することで、測距ステップが被測定物6の厚みtを測距することを特徴とする上記2記載の測距方法を提供することにより、上記課題を解決する。4波長の異なる第1レーザ光と第2レーザ光の2つをそれぞれ出射する第1レーザ照射手段10aと第2レーザ照射手段10bと、第1レーザ光と第2レーザ光とを参照光と測定光とにそれぞれ分割する分割部12と、それぞれの参照光を反射する階段状の反射部14と、複数の受光器22で構成され反射部14で反射した参照光と被測定物6で反射した測定光とを受光して各受光器22の光強度データを出力する受光部18と、受光部18からの光強度データが入力する演算部20と、を有し、上記1記載の第1照射ステップと第1データ列作成ステップと第1フーリエ変換ステップと第1明部取得ステップと第1距離データ取得ステップと第2照射ステップと第2データ列作成ステップと第2フーリエ変換ステップと第2明部取得ステップと第2距離データ取得ステップと測距ステップとを行って、被測定物6の第1測定点S1と第2測定点S2との間の厚み方向の距離Lを測距することを特徴とするレーザ測距装置50aを提供することにより、上記課題を解決する。5波長の異なる第1レーザ光と第2レーザ光の2つをそれぞれ出射する第1レーザ照射手段10aと第2レーザ照射手段10bと、第1レーザ光及び第2レーザ光を参照光と測定光とにそれぞれ分割する分割部12と、それぞれの参照光を反射する階段状の反射部14と、それぞれの測定光を第1測定光と第2測定光とに分割する測定光分割部28と、複数の受光器22で構成され反射部14で反射した参照光と被測定物6の第1測定点S1で反射した第1測定光と被測定物6の第2測定点S2で反射した第2測定光とを受光して各受光器22の光強度データを出力する受光部18と、受光部18からの光強度データが入力する演算部20と、を有し、上記2記載の照射ステップとデータ列作成ステップとフーリエ変換ステップと明部取得ステップと距離データ取得ステップと測距ステップとを行って、被測定物6の第1測定点S1と第2測定点S2との間の厚み方向の距離Lを測距することを特徴とするレーザ測距装置50b50aを提供することにより、上記課題を解決する。6第1測定光を出射する第1出射口16aと第2測定光を出射する第2出射口16bとが対向するように設置され、被測定物6を第1出射口16aと第2出射口16bとの間に配置することで被測定物6の厚みtを測距することを特徴とする上記5記載のレーザ測距装置50cを提供することにより、上記課題を解決する。本発明に係る測距方法及びレーザ測距装置によれば、光学系に機械的手段を用いずに被測定物の厚み方向の距離もしくは厚みを高精度に測定することができる。本発明に係る測距方法及びレーザ測距装置の実施の形態について図面に基づいて説明する。尚、図1、図5、図6、図7の破線はレーザ光を示す。先ず、本発明に係る測距方法及びレーザ測距装置の基本原理を図1の第1の形態のレーザ測距装置50a及び図2、図3、図4を用いて説明する。本発明に係るレーザ測距装置50aは、波長の異なる2つのレーザ光第1レーザ光、第2レーザ光をそれぞれ出射する第1レーザ照射手段10aと第2レーザ照射手段10bとを有している。第1レーザ照射手段10a、第2レーザ照射手段10bとしてはコヒーレンス長の比較的長い、ヘリウムネオンレーザや半導体励起固体レーザ、半導体DFBレーザ等を用いることが好ましい。そして、第1レーザ照射手段10aから出射した第1レーザ光は、第1レーザ光の光路上に設けられたミラー4aで反射され分割部12に向う。また、第2レーザ照射手段10bから出射した第2レーザ光は、第2レーザ光の光路上に設けられたハーフミラー4bで反射され第1レーザ光と同一光路上を通り分割部12に向う。分割部12としては透過光路にずれが生じないキューブ型のビームスプリッタを用いることが好ましく、第1レーザ光及び第2レーザ光はこの分割部12において参照光と測定光とに2分割される。分割部12で分割された第1レーザ光及び第2レーザ光の参照光は反射部14にて反射される。この反射部14の反射面は、図2cに示すように一定の段差hの階段状となっている。このため、反射部14で反射される参照光は反射する反射面140、141、、14n、によってその光路長が異なる。つまり、図2cの例では、反射面140で反射された参照光の光路長は反射面14nで反射された参照光の光路長よりも2×nhだけ長くなる。反射部14としては鋸歯状の反射型回折格子を用い、その溝面が参照光の入射方向に垂直となるように設置することが好ましい。反射部14に鋸歯状の反射型回折格子を用いれば、段差hが100nm~数百nmで一定し、且つ段差数が数千段の反射部14を得ることができる。そして、反射部14で反射した参照光は分割部12を通過して受光部18に到達する。また、分割部12で分割された第1レーザ光及び第2レーザ光の測定光は被測定物6の測定点例えば、第1測定点S1で反射した後、分割部12で反射され受光部18に到達する。このとき、第1レーザ光の測定光は第1レーザ光の参照光と干渉し干渉光を形成する。また、第2レーザ光の測定光は第2レーザ光の参照光と干渉し干渉光を形成する。尚、周波数の異なる第1レーザ光と第2レーザ光との干渉光はうなりとなり、時間平均すると一定値となる。受光部18は例えばCCDやCMOSのように複数の受光器22で構成され、受光器22毎に光強度データを出力可能なものが用いられる。そして、受光部18は受光器22が受光した第1レーザ光の参照光と測定光とによる干渉光と第2レーザ光の参照光と測定光とによる干渉光とが合成された光強度データを演算部20に出力する。ここで、本願の測距方法で用いる光強度データ列に関して説明を行う。本願の測距方法で用いる光強度データ列は受光器22の光強度データを配列して作成する。ただし、複数の反射面で反射した参照光が入射する受光器22の光強度データは光強度データ列の作成に用いることができない。例えば、図3cの受光器220に入射する参照光は一つの反射面140で反射したもののみであるから、光強度データ列の作成に用いることができる以後、光強度データ列の作成に使用可能な受光器をデータ受光器と記載する。しかしながら、受光器221には反射面140で反射した参照光と反射面141で反射した参照光とが入射する。このように複数の反射面で反射した参照光が入射する受光器22の光強度データは参照光の光路長との対応が取れないため、光強度データ列の作成に用いることができない以後、光強度データ列の作成に使用できない受光器を除外受光器とする。従って、受光部18におけるデータ受光器の割合は多いことが好ましく、このためには、受光器22の列と反射部14の反射面の列とを図2、図2bに示すように、極力平行となるように配置することが好ましい。次に、反射部14を構成する反射面の幅d1と受光部18を構成する受光器22の幅d2の条件について説明する。先ず、d1<d2の場合を考える。この場合、受光器22の幅d2よりも反射面の幅d1の幅の方が小さいから、図3aに示すように、全ての受光器22には必ず複数の反射面からの参照光が入射する。よって、全ての受光器22は除外受光器となる。従って、この構成では測距に必要な光強度データ列を作成することができない。次に、d1=d2の場合を考える。この場合、図3bに示すように、理想的な状態では受光器22nと反射面14nとを一対一対応させることが可能である。しかしながら、反射面の幅d1と受光器22の幅d2とを高精度に一致させ、且つ反射面と受光器22とが一対一対応するように反射部14と受光部18とを配置することは現実には難しく、この条件がクリアできない場合には、d1<d2の場合と同様、全ての受光器22が除外受光器となる。よって、この構成は現実的には困難である。ただし、前記の条件がクリアできれば本願の測距方法及びレーザ測距装置には理想的な構成となる。次に、d1=2×d2の場合を考える。この場合、図3cに示すように、データ受光器図3cにおける受光器220、受光器222、受光器224、と除外受光器図3cにおける受光器221、受光器223、受光器225、とが交互に位置することとなる。従って、データ受光器の判別ができれば光強度データ列を作成することが可能である。ただし、この構成では基本的に全ての受光器22の光強度データが異なるため、入力する光強度データのみからではデータ受光器と除外受光器とを判別することが難しい。よって、この構成は現実的には不適である。また、d2<d1<2×d2の範囲も同様の理由により不適である。ただし、データ受光器の判別が可能であればこの構成も使用可となる。次に、2×d2<d1の場合を考える。ここで例えば、図3dに示すような2×d2<d1<3×d2の場合、反射面140で反射された参照光は受光器220、受光器221、及び受光器222に入射する。このとき受光器220、受光器221は、反射面140のみで反射した参照光が入射するからデータ受光器となる。尚、受光器220、受光器221は出力する光強度データの値も同等となる。また、受光器222は反射面140で反射した参照光と反射面141で反射した参照光とが入射するから除外受光器となる。そして、図3dの例では、受光器223から受光器2212まではデータ受光器と除外受光器とが交互に位置し、受光器2213と受光器2214とが同等の光強度データを出力するデータ受光器となり、その後はこれらの配列が繰り返される。つまり、図3dの例では隣接する同等の光強度データを出力する2つの受光器22はデータ受光器であり、この2つの受光器22から次の同等の光強度データを出力する隣接した2つの受光器22までの間はデータ受光器と除外受光器とが交互に位置する。よって、この同等の光強度データを出力する2つの受光器22に着目すれば、入力する光強度データからデータ受光器と除外受光器とを判別することができる。よって、この構成は本願の測距方法及びレーザ測距装置に使用可能である。このことは3×d2≦d1の場合も同様である。例えば図3eに示すような場合、受光器220、受光器221、及び受光器222が同等の光強度データを出力する隣接した3つのデータ受光器となり、受光器223が除外受光器となり、受光器224及び受光器225が同等の光強度データを出力するデータ受光器となり、受光器226が除外受光器となる。そして、同等の光強度データを出力する2つのデータ受光器と除外受光器とが交互に位置し、この配列は次の同等の光強度データを出力する隣接した3つのデータ受光器受光器2219、受光器2220、及び受光器2221まで繰り返される。そして、その後はこれらの配列が繰り返される。よって、同等の光強度データを出力する隣接した2つ乃至3つの受光器22に着目すれば、受光器22の出力する光強度データからデータ受光器と除外受光器とを判別することができる。尚、上記のデータ受光器と除外受光器との配列順は一例であり、反射面の幅d1と受光器22の幅d2とによって変化する。以上のことから、本願の測距方法及びレーザ測距装置に好ましい反射面の幅d1と受光器22の幅d2の条件は、2×d2<d1となる。次に、光強度データ列の作成について説明する。前述のように受光部18は各受光器22の光強度データを演算部20に出力し、演算部20はデータ受光器の光強度データに基づいて光強度データ列を作成する。光強度データ列の作成は図3dの場合、例えば以下のようにして行う。先ず、基点となる受光器22の光強度データを配列する。ここでは、受光器220もしくは受光器221の光強度データを基点として配列する。次に、基点のデータから距離h離れた光強度データとして受光器223のデータを配列する。次に、距離2h離れた光強度データとして受光器225のデータを配列する。次に、距離3h離れた光強度データとして受光器227のデータを配列する。次に、距離4h離れた光強度データとして受光器229のデータを配列する。次に、距離5h離れた光強度データとして受光器2211のデータを配列する。次に、距離6h離れた光強度データとして受光器2213もしくは受光器2214のデータを配列する。以下、同様に繰り返し、このデータ列を光強度データ列とする。尚、演算部20はデータ受光器の判別をその都度行っても良いが、反射部14と受光部18とが一度固定されればデータ受光器の位置も固定するため、データ受光器とその配列順を予めメモリ等に記憶しておき演算部20はこのメモリに記憶された位置の受光器22の光強度データを記憶された順に配列することで光強度データ列を作成することが好ましい。ここで、測定光と参照光との光路差に連続的な変化が存在している場合、それらの干渉光にはこの光路差に応じた周期的な干渉縞が生じる。よって、照射するレーザ光が一つで、d1、d2、段差hが極めて微小な理想的な場合、光強度データ列は図4aに示すように明暗を周期的に繰り返すものとなる。そして、この明暗の周期は照射するレーザ光の波長周波数により決定する。ただし、現実にはd1、d2、段差hに所定の値が存在するため、演算部20が作成する光強度データ列は例えば図4bに示すようなものとなる。尚、図4では照射するレーザ光を1つとしているが、実際には2つのレーザ光第1レーザ光及び第2レーザ光を照射するため、得られる光強度データ列は少なくとも第1レーザ光の参照光と測定光との干渉光と第2レーザ光の参照光と測定光との干渉光が合わさった更に複雑なものとなる。この光強度データ列に対し各光強度データの基点からの距離n×hに基づくフーリエ変換を施すと、この光強度データ列に含まれる各干渉光の明暗の周期、位相、振幅が取得できる。上記の場合、第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅とが取得できる。そして、この両干渉光の周期、位相により、両干渉光の全ての明部の位置が算出可能となる。ここで、参照光の光路長と測定光の光路長とが等しく両者に光路差が存在しない場合、どのような発振波長を有するレーザ光であってもその参照光と測定光とは強め合いその干渉光は明部をとる。さらに、この両干渉光が同時に明部を取る位置の前後では双方の干渉光の他の明部の位置が対称性を示す。反対に参照光と測定光とに光路差が存在する場合には、異なる発振波長を有するレーザ光の干渉光が同一位置で明部を取る光路差の値は現実には存在しない。よって、第1レーザ光の測定光と参照光とによる干渉光と第2レーザ光の測定光と参照光とによる干渉光が同一位置で明部を取る位置は測定光と参照光との光路長が等しい位置にしか存在しない。本発明に係る測距方法及びレーザ測距装置では、フーリエ変換により算出された第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相と、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相とから、この一点しか存在しない両干渉光が同時に明部を取る位置を算出し、この位置に基づいて被測定物6の厚み方向の距離もしくは厚みを測定するものである。以上が本発明に係る測距方法及びレーザ測距装置の基本原理である。次に、本発明に係る第1の測距方法及び第1の形態のレーザ測距装置50aの動作を説明する。先ず、図1aに示すように、測定光が第1測定点S1に照射されるよう被測定物6を設置する。次に、第1レーザ照射手段10a、第2レーザ照射手段10bを動作させ第1レーザ光及び第2レーザ光を同時に照射する。照射された第1レーザ光及び第2レーザ光は分割部12で参照光と測定光とに2分割される。分割部12で分割された第1レーザ光及び第2レーザ光の参照光は階段状の反射部14にて反射され、分割部12を通過して受光部18に到達する。また、分割部12で分割された第1レーザ光及び第2レーザ光の測定光は出射口16から出射し、被測定物6の第1測定点S1で反射した後、分割部12で反射され受光部18に到達する。受光部18は反射部14で反射した第1レーザ光及び第2レーザ光の参照光と被測定物6の第1測定点S1で反射した第1レーザ光及び第2レーザ光の測定光とを受光する第1の測距方法における第1照射ステップ。このとき、第1レーザ光の参照光と第1レーザ光の測定光とは干渉し干渉光を形成する。また、第2レーザ光の参照光と第2レーザ光の測定光とは干渉し干渉光を形成する。尚、測距時に参照光と測定光との光路差がコヒーレンス長の範囲内となるように、測定光の光路長と参照光の光路長とは略同等とすることが好ましい。受光部18は各受光器22の光強度データを演算部20に出力する。演算部20は各受光器22のうち所定のデータ受光器の光強度データを所定の順序で配列し、第1測定点S1の光強度データ列を作成する第1の測距方法における第1データ列作成ステップ。次に演算部20は、第1データ列作成ステップで得られた第1測定点S1の光強度データ列に対して基点からの距離n×hに基づくフーリエ変換を施す。これにより、第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅とが取得される第1の測距方法における第1フーリエ変換ステップ。次に演算部20は、第1フーリエ変換ステップで算出された第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相に基づいて、この干渉光の明部の位置を算出する。また、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相に基づいて、この干渉光の明部の位置を算出する第1の測距方法における第1明部取得ステップ。次に演算部20は、双方の干渉光が同一の位置で明部を取る第1位置を算出する。このとき、この第1位置の前後で双方の干渉光の他の明部の位置関係が対称となることを確認することが好ましい。次に演算部20は、この第1位置から基点までの第1距離データLaを取得する。尚、ここでの基点は前述の光強度データ列の作成時の基点と同じとしても良いし、光強度データ列上の任意の点を基点に設定しても良い。また、第1距離データLa及び後述の第2距離データLbは、基点よりも第1位置第2位置の方が分割部12から見て遠方に位置する場合を正とする。このことは、後述の第2、第3の測距方法においても同様である。第1の測距方法における第1距離データ取得ステップ。次に、レーザ測距装置50aもしくは被測定物6を平行移動させ、図1bに示すように、測定光が第2測定点S2に照射されるよう被測定物6を位置させる。次に、第1レーザ照射手段10a、第2レーザ照射手段10bを動作させ第1レーザ光及び第2レーザ光を同時に照射する。これにより、受光部18は反射部14で反射した第1レーザ光及び第2レーザ光の参照光と被測定物6の第2測定点S2で反射した第1レーザ光及び第2レーザ光の測定光とを受光する第1の測距方法における第2照射ステップ。そして、受光部18は各受光器22の光強度データを演算部20に出力する。演算部20は各受光器22のうち所定のデータ受光器の光強度データを所定の順序で配列し、第2測定点S2の光強度データ列を作成する第1の測距方法における第2データ列作成ステップ。次に演算部20は、第2データ列作成ステップで得られた第2測定点S2の光強度データ列に対して基点からの距離n×hに基づくフーリエ変換を施す。これにより、第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相、振幅とが取得される第1の測距方法における第2フーリエ変換ステップ。次に演算部20は、第1フーリエ変換ステップで算出された第1レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相に基づいて、この干渉光の明部の位置を算出する。また、第2レーザ光の測定光と参照光による干渉光の周期、位相に基づいて、この干渉光の明部の位置を算出する第1の測距方法における第2明部取得ステップ。次に演算部20は、双方の干渉光が同一の位置で明部を取る第2位置を算出する。このとき、この第2位置の前後で双方の干渉光の他の明部の位置関係が対称となることを確認することが好ましい。次に演算部20は、この第2位置から先の第1距離データ取得ステップで設定した基点までの第2距離データLbを取得する。第1の測距方法における第2距離データ取得ステップ。ここで、第1距離データLaは第1測定点S1で反射された測定光に基づくものであるから、よってレーザ光の光路上に仮想的に設定された基点から第1測定点S1までの片道分の光路長と対応する。また、第2距離データLbは第2測定点S2で反射された測定光に基づくものであるから、よって上記の基点から第2測定点S2までの片道分の光路長と対応する。従って、第1距離データLaと第2距離データLbの差は第1測定点S1と第2測定点S2との厚み方向の距離Lに相当する。よって演算部20は、第2距離データLbから第1距離データLaを減算することで、第1測定点S1と第2測定点S2との間の厚み方向の距離Lを算出する第1の測距方法における測距ステップ。尚、距離Lが負の場合には、第2測定点S2のほうが第1測定点S1よりもレーザ測距装置50a側に位置していることを示している。以上が本発明に係る第1の測距方法及び第1の形態のレーザ測距装置50aの動作である。次に、本発明に係る第2の測距方法及び第2のレーザ測距装置50bの動作を図5を用いて説明する。尚、本発明に係る第2の測距方法では、レーザ測距装置50bの装置内部において第1測定光と第2測定光とに光路差が存在する場合には、予めその光路差を取得しておく必要がある。ここでは先ず、装置内部において第1測定光と第2測定光とに光路差が存在しない例を説明する。先ず始めに、図5aに示すように、第1測定点S1に第1測定光が、第2測定点S2に第2測定光が垂直に照射するように被測定物6を設置する。次に、第1レーザ照射手段10a、第2レーザ照射手段10bを動作させ第1レーザ光及び第2レーザ光を同時に照射する。ここでレーザ測距装置50bは、第1の形態のレーザ測距装置50aに加えて、測定光を第1測定光と第2測定光とに分割する測定光分割部28を有している。尚、測定光分割部28は透過光量と反射光量との比が50:50以外のものを用いる。このようにすることで、第1測定光の光量と第2測定光の光量とに差が生じ、後述のフーリエ変換ステップで取得される第1測定光の干渉光の周期、位相、振幅と第2測定光の干渉光の周期、位相、振幅とをその光量、即ち振幅の値から判別することができる。測定光分割部28にて分割された第1レーザ光及び第2レーザ光の第1測定光は、ミラー8a、ミラー8bで反射され第1出射口16aから被測定物6に出射する。また、測定光分割部28で分割された第1レーザ光及び第2レーザ光の第2測定光はミラー8cで反射され第2出射口16bから被測定物6に出射する。第1出射口16aから出射した第1測定光は被測定物6の第1測定点S1で反射され、ミラー8b、ミラー8a、測定光分割部28、分割部12を経由して受光部18に到達する。また、第2出射口16bから出射した第2測定光は被測定物6の第2測定点S2で反射され、ミラー8c、測定光分割部28、分割部12を経由して受光部18に到達する。これにより、受光部18は反射部14で反射した第1レーザ光及び第2レーザ光の参照光と、被測定物6の第1測定点S1で反射した第1レーザ光及び第2レーザ光の第1測定光と、被測定物6の第2測定点S2で反射した第1レーザ光及び第2レーザ光の第2測定光と、を受光する。このとき、第1レーザ光の参照光と第1レーザ光の第1測定光とは干渉し第1干渉光を形成する。また、第1レーザ光の参照光と第1レーザ光の第2測定光とは干渉し第2干渉光を形成する。また、第2レーザ光の参照光と第2レーザ光の第1測定光とは干渉し第3干渉光を形成する。また、第2レーザ光の参照光と第2レーザ光の第2測定光とは干渉し第4干渉光を形成する。受光部18は各受光器22の光強度データを演算部20に出力する第2の測距方法における照射ステップ。演算部20は受光器22のうち所定のデータ受光器の光強度データを所定の順序で配列し、第1干渉光と第2干渉光と第3干渉光と第4干渉光とが含まれた光強度データ列を作成する第2の測距方法におけるデータ列作成ステップ。次に演算部20は、データ列作成ステップで得られた光強度データ列に対して基点からの距離n×hに基づくフーリエ変換を施す。これにより、第1干渉光の周期、位相、振幅と、第2干渉光の周期、位相、振幅と、第3干渉光の周期、位相、振幅と、第4干渉光の周期、位相、振幅とが取得される第2の測距方法におけるフーリエ変換ステップ。尚、測定光同士の干渉光には干渉縞は形成されずフーリエ変換により一定値となる。また、周波数の異なる第1レーザ光と第2レーザ光の干渉光はうなりとなり、時間平均によりこれも一定値となる。次に演算部20は、各干渉光の周期、位相に基づき、光強度データ列上の任意の基点からの第1干渉光、第2干渉光、第3干渉光、第4干渉光の明部の位置をそれぞれ取得する。第2の測距方法における明部取得ステップ。ここで、フーリエ変換ステップで得られた各干渉光の周期は干渉光の明暗の縞の周期に相当する。そして、干渉光の明暗の縞の周期はレーザ光の周波数と対応する。よって、演算部20はフーリエ変換ステップで得られた周期の値により、第1レーザ光による干渉光第1干渉光、第2干渉光の周期、位相、振幅と、第2レーザ光による干渉光第3干渉光、第4干渉光の周期、位相、振幅とを判別することができる。また、測定光分割部28には透過光量と反射光量との比が50:50以外のものを使用するから、第1測定光による干渉光第1干渉光、第3干渉光の振幅強度と第2測定光による干渉光第2干渉光、第4干渉光の振幅強度とは異なる値を示す。よって、演算部20はこの振幅の値から、第1レーザ光による干渉光第1干渉光、第2干渉光のうち、第1測定光による第1干渉光と第2測定光による第2干渉光とを特定することができる。また、第2レーザ光による干渉光第3干渉光、第4干渉光のうち、第1測定光による第3干渉光と第2測定光による第4干渉光とを特定することができる。次に演算部20は、第1干渉光及び第3干渉光の明部の位置を比較して、同一の位置で第1干渉光も第3干渉光も明部を取る第1位置を算出する。このとき、この第1位置の前後で双方の干渉光の他の明部の位置関係が対称となることを確認することが好ましい。次に、演算部20はこの第1位置から基点までの第1距離データLaを取得する。尚、ここでの基点は前述の光強度データ列の作成時の基点と同じとしても良いし、光強度データ列上の任意の点を基点に設定しても良い。ここで得られる第1距離データLaはレーザ光の光路上に仮想的に設定された基点から第1測定点S1までの片道分の光路長に対応する。また、演算部20は、第2干渉光及び第4干渉光の明部の位置を比較して、同一の位置で第2干渉光も第4干渉光も明部を取る第2位置を取得する。このとき、この第2位置の前後で双方の干渉光の他の明部の位置関係が対称となることを確認することが好ましい。次に、演算部20はこの第2位置から上記の基点までの第2距離データLbを取得する。ここで得られる第2距離データLbは基点から第2測定点S2までの片道分の光路長に対応する。第2の測距方法における距離データ取得ステップ。上記のように、第1距離データLaは基点から第1測定点S1までの片道分の光路長と対応し、第2距離データLbは同じ基点から第2測定点S2までの片道分の光路長と対応する。よって演算部20は、第2距離データLbから第1距離データLaを減算することで、第1測定点S1と第2測定点S2との間の厚み方向の距離Lを算出する第2の測距方法における測距ステップ。尚、距離Lが負の場合には、第2測定点S2のほうが第1測定点S1よりもレーザ測距装置50b側に位置していることを示している。以上が本発明に係る第2の測距方法及び第2の形態のレーザ測距装置50bの動作である。尚、レーザ測距装置50bの装置内部において第1測定光と第2測定光とに光路差が存在する場合には、予めその光路差の片道分1/2にあたる距離Ldの値を取得する。ここで、レーザ測距装置50bに好適な距離Ldの取得方法を説明する。ここでの距離Ldの取得方法はレーザ測距装置50bに好適なものではあるが、この手法に限定されるものではない。また、距離Ldは一度取得してメモリ等に記憶しておけば、その都度測定する必要は無い。先ず、図5bに示すように、第1出射口16aと第2出射口16bとを表面が平滑な平板5で塞ぐ。このとき、第1出射口16aから平板5までの距離と第2出射口16bから平板5までの距離とは等しい。そして、第1測定光を平板5の第1測定点S1’で反射させ、第2測定光を平板5の第2測定点S2’で反射させた上で、第2の測距方法における照射ステップ~距離データ取得ステップを行う。これにより得られる第1距離データLa’は基点から平板5の第1測定点S1’までの片道分の光路長と対応する。また、第2距離データLb’は基点から平板5の第2測定点S2’までの片道分の光路長と対応する。ここで、第1測定点S1’と第2測定点S2’とは第1出射口16a、第2出射口16bから等距離にあるから、よって、このときの第2距離データLb’と第1距離データLa’との差は、第1測定光と第2測定光との装置内部における片道分の光路差即ち距離Ldに相当する。以上が測距装置50bに好適な距離Ldの取得方法である。尚、距離Ldは、図5bにおいては測定光分割部28とミラー8cとの間の距離に相当する。そして、例えば図5bに示す測距装置50bの場合、被測定物6を測距する際の測距ステップにおいて、第1測定点S1と第2測定点S2との間の厚み方向の距離Lを、L=Lb-La-Ldの式で算出する。また、装置内部において第1測定光の光路長の方が第2測定光の光路長より長い場合には、距離Lを、L=Lb-La-Ldの式で算出する。尚、第1の形態のレーザ測距装置50aにより第2の測距方法を行うことも可能である。この場合、図6aに示すように、測定光が被測定物6の第1測定点S1と第2測定点S2とに同時に照射されるように被測定物6を配置する。そして、第1測定点S1の面に照射される一部の測定光が一方の第1測定光となる。また、第2測定点S2の面に照射される一部の測定光が他方の第2測定光となる。よって、第1測定点S1の面と第2測定点S2の面との境界が、測定光を第1測定光と第2測定光とに分割する測定光分割部28としての機能を果たす。受光部18における第1測定光と第2測定光との判別は、例えば次のようにして行えば良い。先ず、基点となる受光器22から所定のデータ受光器の光強度データを所定の順序で配列し光強度データ列を作成する。次に、受光部18を幾つかの区域に区分する。これに伴い、作成された光強度データ列もこの区域毎に区分される。このとき、各区域は第1測定光が受光する領域A内の区域と、第2測定光が受光する領域B内の区域と、第1測定光と第2測定光とが受光しさらに1測定光と第2測定光との境界が含まれる領域Cの区域のいずれかとなる。次に、各区域のそれぞれの光強度データ列に対して、基点からの距離を加味した上でのフーリエ変換を行う。ここで、領域A内は参照光と第1測定光とが入射しているから、この区域の光強度データ列にフーリエ変換をした値周期、位相、振幅は全て同一となる。また、領域B内は参照光と第2測定光とが入射しているから、この区域の光強度データ列にフーリエ変換をした値周期、位相、振幅は全て同一となる。しかしながら、領域C内では参照光と第1測定光とが入射する区域と、参照光と第2測定光とが入射する区域とが混在するため、この区域の光強度データ列にフーリエ変換した値周期、位相、振幅は、全て同一とはならない。よって、これらの値周期、位相、振幅により第1測定光が入射する受光部18の部分領域Aと第2測定光が入射する受光部18の部分領域Bとを判別することができる。そして、以後は前述の第2の測距方法と同様にして第1測定点S1と第2測定点S2との間の厚み方向の距離Lを算出する。また、領域Aと領域Bの判別は以下のようにして行っても良い。先ず、図6aに示すように被測定物6を配置する。次に、第1レーザ光又は第2レーザ光のいずれか一方のみを照射する。このとき得られる光強度データ列は第1測定光と第2測定光との境界において不連続となる。そして、この不連続部分の受光器22の位置を記録しておく。次に、第2の測距方法における照射ステップとデータ列作成ステップとを行う。ただし、光強度データ列の作成は、前述の不連続部分の受光器22を除き、その前後で分けて行う。このようにして不連続部分の前後で作成された光強度データ列は、一方が第1測定光が受光する領域Aの光強度データ列となり、他方が第2測定光が受光する領域Bの光強度データ列となる。そして、フーリエ変換ステップにおいて、この2つの光強度データ列にフーリエ変換を施すことで第1干渉光~第4干渉光の周期、位相、振幅が取得される。ただし、この時のフーリエ変換は2つの光強度データ列の基点を同一とし、その基点からの距離を加味した上で行わなければならない。さらに、第1の形態のレーザ測距装置50aにより第2の測距方法を行う場合、図6bに示すように第1測定点S1と第2測定点S2とが紙面の法線方向に位置するように被測定物6を配置してもよい。この場合、予め第1レーザ光又は第2レーザ光の一方もしくは双方を照射して受光部18の光強度データの紙面の法線方向における不連続部分を確認しておく。そして、データ列作成ステップにおいてこの不連続部分よりも紙面の法線方向の奥側と手前側でそれぞれ光強度データ列を作成する。このようにして不連続部分の奥側と手前側とで作成された光強度データ列は、一方が第1測定光が受光する領域Aの光強度データ列となり、他方が第2測定光が受光する領域Bの光強度データ列となる。尚、受光部18、反射部14等の設置状態によっては、奥側の光強度データ列の基点と手前側の光強度データ列の基点とにズレが生じる可能性がある。このような場合、前述の平板5を用いた距離Ldの取得方法と同様のステップを行うことで、両光強度データ列の基点のズレを距離Ldとして取得することができる。そして、測距ステップ時にこの距離Ldを用いて基点のズレを補正することができる。次に、本発明に係る第3の測距方法及び第3のレーザ測距装置50cの動作を図7を用いて説明する。尚、第3の形態のレーザ測距装置50cは被測定物6の一面側に位置する第1測定点S1と、当該第1測定点S1の裏面に位置する第2測定点S2との間の厚み方向の距離を測距することで、被測定物6の厚みtを測距するものである。従って、その構成は第1測定光と第2測定光との光学経路が異なる以外、第2の形態のレーザ測距装置50bと基本的に同等である。そして、第3の形態のレーザ測距装置50cでは、測定光分割部28にて分割された第1測定光は、ミラー8a、ミラー8b、ミラー8dで反射され第1出射口16aから第2出射口16bに向けて出射する。また、測定光分割部28で分割された第2測定光はミラー8c、ミラー8eで反射され第2出射口16bから第1出射口16aに向けて出射する。尚、測定光分割部28は第2の形態のレーザ測距装置50bと同様、透過光量と反射光量との比が50:50以外のものを用いる。第1出射口16aと第2出射口16bとは対向する位置に設けられ、被測定物6は、図7aに示されるように、この第1出射口16aと第2出射口16bとの間に配置される。尚、第1出射口16aと第2出射口16bとの間に何も存在しない無測定物状態の場合には、第1出射口16aから出射した第1測定光は、第2出射口16bから再度レーザ測距装置50c内に入射してミラー8e、ミラー8cで反射され測定光分割部28に帰還する。また、第2出射口16bから出射した第2測定光は第1出射口16aから再度レーザ測距装置50c内に入射してミラー8d、ミラー8b、ミラー8aで反射され測定光分割部28に帰還する。よって、無測定物状態においては第1測定光と第2測定光とは同じ光路を互いに逆方向に進んで測定光分割部28に帰還することとなる。尚、測距時等に参照光と各測定光との光路差がコヒーレンス長の範囲内となるようにし、測定光分割部28から第1出射口16aまでの第1測定光の光路長と測定光分割部28から第2出射口16bまでの第2測定光の光路長とを略同等とし、さらに参照光の光路長と測定光の光路長との光路差を略同等とすることが好ましい。また、本発明に係る第3の測距方法及び第3のレーザ測距装置50cでは第1基準距離データLas及び第2基準距離データLbsを取得する必要がある。第1基準距離データLas及び第2基準距離データLbsの取得は例えば以下のようにして行う。先ず、図7bに示すように、第1出射口16aと第2出射口16bとの略中間位置に厚みtaが既知のブロックゲージ7を設置する。このとき、第1出射口16aからブロックゲージ7までの距離と第2出射口16bからブロックゲージ7までの距離とはほぼ等しい。尚、ブロックゲージ7の厚みtaは被測定物6の厚みtよりも薄いことが好ましい。次に、第1レーザ照射手段10a、第2レーザ照射手段10bを動作させ第1レーザ光及び第2レーザ光を同時に照射する。これにより、第1レーザ光及び第2レーザ光の第1測定光はブロックゲージ7の第1測定点S1’で反射する。また、第1レーザ光及び第2レーザ光の第2測定光は第1測定点S1’の裏面に位置する第2測定点S2’で反射する照射ステップ。そして、この状態で第2の測距方法におけるデータ列作成ステップ~距離データ取得ステップと同等のステップを行う。尚、距離データ取得ステップにおける基点は基本的に任意の位置とすることができる。ただし、ここで設定した基点は被測定物6の測距時に変化させることはできない。そして、これにより得られる第1距離データLaが第1基準距離データLasとなり、第2距離データLbが第2基準距離データLbsとなる。この第1基準距離データLasは基点からブロックゲージ7の第1測定点S1’までの片道分の光路長に対応する。また、第2基準距離データLbsは同じ基点からブロックゲージ7の第2測定点S2’までの片道分の光路長に対応する。以上が測距装置50cに好適な第1基準距離データLas及び第2基準距離データLbsの取得方法である。次に、第1出射口16aと第2出射口16bとの間に被測定物6を配置する。次に、第1レーザ照射手段10a、第2レーザ照射手段10bを動作させ第1レーザ光及び第2レーザ光を同時に照射する。これにより、第1レーザ光及び第2レーザ光の参照光は反射部14で反射され受光部18に到達する。また、測定光分割部28で分割された第1レーザ光及び第2レーザ光の第1測定光は第1出射口16aから出射した後、被測定物6の第1測定点S1で反射され、ミラー8d、ミラー8b、ミラー8a、測定光分割部28、分割部12を経由して受光部18に到達する。また、第1レーザ光及び第2レーザ光の第2測定光は第2出射口16bから出射した後、被測定物6の第1測定点S1の裏面に位置する第2測定点S2で反射され、ミラー8e、ミラー8c、測定光分割部28、分割部12を経由して受光部18に到達する。受光部18は、第1レーザ光及び第2レーザ光の参照光と、第1レーザ光及び第2レーザ光の第1測定光と、第1レーザ光及び第2レーザ光の第2測定光とを受光する。このとき、第1レーザ光の参照光と第1レーザ光の第1測定光とは干渉し第1干渉光を形成する。また、第1レーザ光の参照光と第1レーザ光の第2測定光とは干渉し第2干渉光を形成する。また、第2レーザ光の参照光と第2レーザ光の第1測定光とは干渉し第3干渉光を形成する。また、第2レーザ光の参照光と第2レーザ光の第2測定光とは干渉し第4干渉光を形成する。そして、受光部18は各受光器22の光強度データを演算部20に出力する第3の測距方法における照射ステップ。次に、演算部20は第2の測距方法と同様のデータ列作成ステップとフーリエ変換ステップと明部取得ステップと距離データ取得ステップとを行う。これにより第1測定点S1に関する第1距離データLaと第2測定点S2に関する第2距離データLbとが取得される。このときの第1距離データLaは、第1基準距離データLas、第2基準距離データLbs取得時と同じ基点から第1測定点S1までの第1測定光の片道分の光路長に対応する。また、このときの第2距離データLbは、これと同じ基点から第2測定点S2までの第2測定光の片道分の光路長に対応する。次に演算部20は、第1距離データLa、第2距離データLb、第1基準距離データLas、第2基準距離データLbs、ブロックゲージ7の厚みta、に基づいて、第1測定点S1と第2測定点S2との間の厚み方向の距離L、即ち被測定物6の厚みtを例えば以下のようにして算出する第3の測距方法における測距ステップ。t=La-LasLb-Lbsta以上が本発明に係る第3の測距方法及び第3の形態のレーザ測距装置50cの動作である。以上のように、本発明に係る測距方法及びレーザ測距装置によれば、反射部14を階段状とすることで、測定光と参照光との光路差が段差hの間隔で連続的に変化する光強度データ列を得ることができる。そして、この光強度データ列をフーリエ変換することで各干渉光の明部の位置を取得し、第1レーザ光に基づく干渉光の明部の位置と第2レーザ光に基づく干渉光の明部の位置とが一致する第1位置と第2位置とを取得する。そしてさらに、この第1位置と第2位置とに基づいて測距を行うため、光学系に機械的手段を用いずに被測定物6の厚み方向の距離Lもしくは厚みtを高精度に測距することができる。尚、上記のレーザ測距装置50a~50cの光路は一例であるから、これに限定されるものではない。また、レーザ測距装置50a~50cの参照光の光路長と各測定光の光路長とは略同等とすることが好ましいが、これに限定されるものではない。さらに、レーザ測距装置50a~50cの各部の構成等は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更して実施することが可能である。