低級酸化珪素粉末の表面に導電性炭素皮膜を有するリチウムイオン二次電池負極材用粉末であって、SiC化しているSiの含有率が15.1wt以下であり、比抵抗が30000Ωcm以下であることを特徴とするリチウムイオン二次電池負極材用粉末。低級酸化珪素粉末の表面に導電性炭素皮膜を有するリチウムイオン二次電池負極材用粉末であって、酸溶解法で測定したSi含有率をA1wt、アルカリ溶解法で測定したSi含有率をA2wtとし、A3=A2-A1としたとき、A3≦15.1であり、比抵抗が30000Ωcm以下であることを特徴とするリチウムイオン二次電池負極材用粉末。TPD-MSで測定したタール成分の合計含有率が、1質量ppm以上、4000質量ppm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のリチウムイオン二次電池負極材用粉末。CuKα線を用いたXRDで測定した場合に、2θ=10°~30°に現れるSiOxに由来するハローの最大値P1と、2θ=28.4±0.3°に現れるSi111の最強線ピークの値P2が、P2/P1<0.01を満たすことを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池負極材用粉末。請求項1~4のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池負極材用粉末を用いたリチウムイオン二次電池負極。請求項1~4のいずれかに記載のリチウムイオン二次電池負極材用粉末を用いたキャパシタ負極。請求項5に記載のリチウムイオン二次電池負極を用いたリチウムイオン二次電池。請求項6に記載のキャパシタ負極を用いたキャパシタ。特許文献1で提案された方法によれば、導電性珪素複合体に均一な炭素皮膜が形成され、十分な電気伝導性を付与することができる。しかし、本発明者らの検討によると、特許文献1の導電性珪素複合体を用いたリチウムイオン二次電池は、珪素の微結晶が分散した二酸化珪素を負極材として用いるため、充放電時におけるリチウムイオンの脱着時の膨張収縮が大きくなり、充放電を繰り返すとある時点で容量が突然低下する等の課題があった。また、放電容量およびサイクル特性が十分ではなかった。本発明は、この課題に鑑みてなされたものであり、放電容量が大きく、かつサイクル特性が良好であり、実用レベルでの使用に耐え得るリチウムイオン二次電池の負極材用粉末、この負極材用粉末を用いたリチウムイオン二次電池負極およびキャパシタ負極、ならびにこのリチウムイオン二次電池負極およびキャパシタ負極を用いたリチウムイオン二次電池およびキャパシタを提供することを目的とする。本発明者らの検討によると、酸化珪素SiOxを負極材用粉末とし、x=1である場合のリチウムイオン二次電池の理論上の特性は、可逆容量が2007mAh/gであり、初期効率は76であることがわかった。これまでの酸化珪素を負極材用粉末として用いたリチウムイオン二次電池では可逆容量の大きいものであっても1500mAh/g程度であったため、酸化珪素を負極材用粉末として用いたリチウムイオン二次電池の可逆容量には未だに改善の余地があることがわかった。さらに、本発明者らは、負極材用粉末として用いられる酸化珪素系材料の中でも、特にリチウムイオン二次電池の容量を大きくし、かつ初期効率およびサイクル特性を比較的良好とすることが可能な、炭素皮膜を形成した酸化珪素について、リチウムイオン二次電池の容量の低下の原因について調査した。この調査では、同じ組成、同じ平均粒径の酸化珪素に対してさまざまな条件で炭素皮膜の形成処理を施し、それぞれの酸化珪素を負極材用粉末として用いたリチウムイオン二次電池について初期容量を測定した。また、炭素皮膜の形成処理を施したそれぞれの酸化珪素についてSi含有率を酸溶解法で測定した。その結果、同条件の酸化珪素を用いたにもかかわらず炭素皮膜の形成処理条件によってSi含有率が異なること、およびこのSi含有率が少ないほどリチウムイオン二次電池の初期容量が小さいという相関関係があることを見出した。本発明者らは、酸溶解法ではSiCを構成するSi分は測定できないことから、このSi含有率の相違は、炭素皮膜の形成処理を施す際に、表面近傍の酸化珪素が皮膜として付着したCと反応してSiCが生成したためと考えた。そこで、SiCを構成するSi分を含めたSi含有率の測定方法として用いられるアルカリ溶解法によって、上記の炭素皮膜の形成処理を施した酸化珪素のそれぞれについてSi含有率を測定したところ、相違は誤差範囲内であり、ほぼ同一であった。このことから、酸化珪素と炭素皮膜との界面近傍においてSiCが生成したと考えられる。さらに、炭素皮膜の形成処理を施した酸化珪素粉末の、酸溶解法で測定したSiの含有率をA1wt、アルカリ溶解法で測定したSiの含有率をA2wtとし、A3=A2-A1とすると、A3が小さいほどこの酸化珪素粉末を負極材用粉末として使用したリチウムイオン二次電池の容量が大きいという相関関係があることを見出した。この相関関係の理由は、酸化珪素を構成していたSiが、SiCの生成によりリチウムイオン二次電池の容量に寄与できなくなることと、形成されたSiC層が酸化珪素へのリチウムイオンの進入および拡散を妨げることによる。アルカリ溶解法および酸溶解法については後述する。また、A3>15.1の場合、または炭素皮膜を有する酸化珪素粉末においてSiC化しているSiの含有率が15.1wtよりも大きい場合には、この酸化珪素粉末を負極材用粉末として使用したリチウムイオン二次電池の容量が小さく、実用的ではないことも見出した。本発明は、上記知見に基づいてなされたものであり、その要旨は、下記1~3のリチウムイオン二次電池負極材用粉末、下記4のリチウムイオン二次電池負極、下記5のキャパシタ負極、下記6のリチウムイオン二次電池、および下記7のキャパシタにある。1低級酸化珪素粉末の表面に導電性炭素皮膜を有するリチウムイオン二次電池負極材用粉末であって、SiC化しているSiの含有率が15.1wt以下であり、比抵抗が30000Ωcm以下であることを特徴とするリチウムイオン二次電池負極材用粉末。2低級酸化珪素粉末の表面に導電性炭素皮膜を有するリチウムイオン二次電池負極材用粉末であって、酸溶解法で測定したSi含有率をA1wt、アルカリ溶解法で測定したSi含有率をA2wtとし、A3=A2-A1としたとき、A3≦15.1であり、比抵抗が30000Ωcm以下であることを特徴とするリチウムイオン二次電池負極材用粉末。3TPD-MSで測定したタール成分の合計含有率が、1質量ppm以上、4000質量ppm以下であることを特徴とする前記1または2のリチウムイオン二次電池負極材用粉末。4CuKα線を用いたXRDで測定した場合に、2θ=10°~30°に現れるSiOxに由来するハローの最大値P1と、2θ=28.4±0.3°に現れるSi111の最強線ピークの値P2が、P2/P1<0.01を満たすことを特徴とする前記1~3のいずれかのリチウムイオン二次電池負極材用粉末。5前記1~4のいずれかのリチウムイオン二次電池負極材用粉末を用いたリチウムイオン二次電池負極。6前記1~4のいずれかのリチウムイオン二次電池負極材用粉末を用いたキャパシタ負極。7前記5のリチウムイオン二次電池負極を用いたリチウムイオン二次電池。8前記6のキャパシタ負極を用いたキャパシタ。本発明において、低級酸化珪素粉末とは、0.4≦x≦1.2を満たすSiOxの粉末である。SiOxのxの測定方法およびタール成分含有率の測定方法については後述する。低級酸化珪素粉末について表面に導電性炭素皮膜を有するとは、後述するように、X線光電子分光分析装置を用いて表面分析を行った結果、SiとCのモル比の値Si/Cが0.02以下であること、すなわち低級酸化珪素粉末の表面のほとんどがCに覆われており、Siがほとんど露出していない状態をいう。また、酸溶解法とは、酸を用いて行われる、酸化珪素に含まれるSi、SiOおよびSiOxを構成するSiを検出するSi含有率の測定方法であり、アルカリ溶解法とは、アルカリを用いて行われる、酸化珪素に含まれるSi、SiO、SiOxおよびSiCを構成するSiを検出するSi含有率の測定方法である。本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末、ならびにリチウムイオン二次電池負極またはキャパシタ負極を用いることにより、放電容量が大きく、かつサイクル特性が良好であり、実用レベルでの使用に耐え得るリチウムイオン二次電池およびキャパシタを得ることができる。また、本発明のリチウムイオン二次電池およびキャパシタは、放電容量が大きく、かつサイクル特性が良好である。1.本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末は、低級酸化珪素粉末の表面に導電性炭素皮膜を有し、SiC化しているSiの含有率が15.1wt以下であること、または、酸溶解法で測定したSi含有率をA1wt、アルカリ溶解法で測定したSi含有率をA2wtとし、A3=A2-A1としたとき、A3≦15.1であることを特徴とする。低級酸化珪素粉末とは、上述のように0.4≦x≦1.2を満たすSiOxである。これは、xの値が0.4を下回ると、本発明の負極材用粉末を用いたリチウムイオン二次電池およびキャパシタの充放電サイクルに伴う劣化が激しく、1.2を超えると電池の容量が小さくなるからである。また、xは、0.8≦x≦1.05を満たすことが好ましい。本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末は、タール成分の合計含有率を、1質量ppm以上、4000質量ppm以下とするのが好ましい。タール成分は、後述するように、導電性炭素皮膜を形成する際に生成する。タール成分の合計含有率が4000質量ppmよりも多いと、リチウムイオン二次電池の充放電に伴う負極の膨張、収縮への耐性が乏しく、サイクル特性に劣る。一方、4000質量ppm以下であると、初期効率およびサイクル特性が良好なリチウムイオン二次電池を得ることができ、特にサイクル特性が良好となる。1500質量ppm以下ではさらに初期効率およびサイクル特性が良好となる。また、タール成分の合計含有率を1質量ppm以下とするのには、リチウムイオン二次電池負極材用粉末の真空処理の時間が長くなり、製造コストがかかるからである。これらのことから、タール成分の合計含有率は、40質量ppm以上、1500質量ppm以下とするのがより好ましい。本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末は、CuKα線を用いたX線回折装置XRDで測定した場合に、10°≦2θ≦30°に現れるSiOxに由来するハローの最大値P1と、2θ=28.4±0.3°に現れるSi111の最強線ピークの値P2が、P2/P1<0.01を満たすこと、すなわちアモルファスであることが好ましい。これは、リチウムイオン二次電池では、負極材用粉末中の低級酸化珪素粉末がアモルファスであることが好ましいからである。リチウムイオン二次電池負極材用粉末の平均粒子径は、1μm以上、15μm以下が好ましく、3μm以上、12μm以下がより好ましい。平均粒子径が小さすぎると嵩密度が低くなりすぎて、単位体積当たりの充放電容量が低下する。一方、平均粒子径が大きすぎると前記図1に示す作用極2cを構成する電極膜の作製が困難となり、粉末が集電体から剥離するおそれがある。平均粒子径は、レーザー光回折法による粒度分布測定における重量平均値D50累積重量が全重量の50となるときの粒子径またはメジアン径として測定した値とする。リチウムイオン二次電池負極材用粉末の比抵抗は、30000Ωcm以下が好ましい。これは、比抵抗が30000Ωcmよりも大きいとリチウムイオン二次電池の電極活物質として作用しにくいからである。比抵抗は、小さければ小さいほど電気伝導が良好になり、リチウムイオン二次電池の電極活物質として好ましい状態となるため下限は特に設ける必要がない。3.分析方法3-1.導電性炭素皮膜の形成状態の評価方法本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末において、低級酸化珪素粉末の表面に導電性炭素皮膜を有するとは、AlKα線1486.6eVを用いたX線光電子分光分析装置XPSで、導電性炭素皮膜の形成処理を施した低級酸化珪素粉末の表面分析を行った場合に、SiとCとのモル比の値Si/Cが0.02以下であることをいう。XPSの測定条件は表1に示すとおりとする。Si/Cが0.02以下とは、低級酸化珪素粉末の表面のほとんどがCに覆われており、Siがほとんど露出していない状態である。3-2.Si含有率の測定方法酸溶解法酸溶解法によるリチウムイオン二次電池負極材用粉末中のSi含有率A1wtは、試料に硝酸およびフッ酸を加えて試料を溶解させ、得られた溶液をICP発光分光分析装置株式会社島津製作所製で分析することによって定量評価する。酸溶解法では、Si、SiOおよびSiO2が溶解され、これらを構成するSiを検出できる。ただし、SiCを構成するSiは検出できない。3-3.Si含有率の測定方法アルカリ溶解法アルカリ溶解法によるリチウムイオン二次電池負極材用粉末中のSi含有率A2wtは、試料に炭酸ナトリウムおよび硼酸を加え、加熱して融解させ、硝酸を加えて溶解させて得られた溶液を、ICP発光分光分析装置島津製作所製で分析することによって定量評価する。アルカリ溶解法では、Si、SiO、SiO2およびSiCが溶解され、これらを構成するSiを検出できる。すなわち、A2-A1=A3を算出することにより、リチウムイオン二次電池負極材用粉末中のSiCの含有率およびSiC化しているSiの含有率を定量評価できる。3-4.O含有率の測定方法リチウムイオン二次電池負極材用粉末中のO含有率は、酸素濃度分析装置Leco社製、TC436を用いて、試料10mgを不活性ガス融解赤外線吸収法によって分析することで定量評価する。3-5.SiOxのxの算出方法SiOxのxは、リチウムイオン二次電池負極材用粉末中のO含有率とSi含有率のモル比O/Siである。O含有率は上記測定方法、Si含有率は上記酸溶解法で測定した値を用いて、xを算出する。3-6.TPD-MSによるタール成分の含有量の測定方法リチウムイオン二次電池負極材用粉末の残留タール成分量は、以下のTPD-MSTemperatureProgrammedDesorption-MassSpectroscopy;昇温熱脱離質量分析法によって測定することができる。試料50mgをシリカ製セルに入れ、50mL/minのヘリウムガスフロー中で、室温から1000°Cまで10K/minの速度で昇温する。そして、発生したガスを質量分析計株式会社島津製作所製、GC/MSQP5050Aで分析する。タール成分とは、炭化水素または有機物のガスを熱分解した時に生じる、芳香族炭化水素等の高分子量成分をいう。本発明では、分子量が57、106、178、202、252および276の成分量の合計を、残留タール成分量とする後述の表5参照。各分子量の代表化学種は、106はキシレン、178はフェナントレンおよびアントラセン、202はピレン、252はペリレンおよびベンゾピレン、276はペンタセンおよびピセンである。3-7.比抵抗の測定方法リチウムイオン二次電池負極材用粉末の比抵抗ρΩcmは、下記2式を用いて算出する。ρ=R×A/L....2ここで、R:試料の電気抵抗Ω、A:試料の底面積cm2、L:試料の厚さcmである。試料の電気抵抗は、粉末抵抗測定用治具治具部:内径20mmのステンレス製、枠部:ポリテトラフルオロエチレン製に試料0.20gを充填し、20kgf/cm2で60秒間加圧した後、デジタルマルチメーター岩通計測株式会社製、VOAC7513を用いた二端子法で測定する。試料の厚さはマイクロメーターで測定する。4.低級酸化珪素粉末の製造方法図2は、酸化珪素の製造装置の構成例を示す図である。この装置は、真空室5と、真空室5内に配置された原料室6と、原料室6の上部に配置された析出室7とを備える。原料室6は円筒体で構成され、その中心部には、円筒状の原料容器8と、原料容器8を囲繞する加熱源10が配置される。加熱源10としては、例えば電熱ヒーターを用いることができる。析出室7は、原料容器8と軸が一致するように配置された円筒体で構成される。析出室7の内周面には、原料室6で昇華して発生した気体状の酸化珪素を蒸着させるためのステンレス鋼からなる析出基体11が設けられる。原料室6と析出室7とを収容する真空室5には、雰囲気ガスを排出するための真空装置図示せずが接続されており、矢印A方向にガスが排出される。図2に示す製造装置を用いて低級酸化珪素を製造する場合、原料として珪素粉末と二酸化珪素粉末とを所定の割合で配合し、混合、造粒および乾燥した混合造粒原料9を用いる。この混合造粒原料9を原料容器8に充填し、不活性ガス雰囲気または真空中で加熱源10によって加熱してSiOを生成昇華させる。昇華により発生した気体状のSiOは、原料室6から上昇して析出室7に入り、周囲の析出基体11上に蒸着し、低級酸化珪素12として析出する。その後、析出基体11から析出した低級酸化珪素12を取り外し、ボールミル等を使用して粉砕することにより、低級酸化珪素粉末が得られる。5.導電性炭素皮膜の形成方法低級酸化珪素粉末の表面への導電性炭素皮膜の形成は、CVD等により行う。具体的には、装置としてロータリーキルンを用い、ガスとして炭化水素ガスまたは有機物含有ガスと、不活性ガスとの混合ガスを用いて行う。ただし、炭素源として炭化水素以外の有機物を用いると、OやNといったCおよびH以外の成分が酸化珪素と反応し、SiO2やSi3N4を生成するため、リチウムイオンの収容、放出に寄与し得るSi量が減少し、リチウムイオン二次電池の容量が小さくなる。そのため、炭素源としてはCおよびHのみからなる炭化水素ガスが好ましい。炭素源として炭化水素ガスを用いた場合には、タール成分としてCとHのみからなる芳香族が生成し、分子量が57、106、178、202、252および276の成分が主成分となる。導電性炭素皮膜の形成処理温度は750°Cとする。また、処理時間は20分以上、120分以下とし、形成する導電性炭素皮膜の厚さに応じて設定する。この処理時間は、低級酸化珪素粉末の表面と炭素皮膜との界面近傍にSiCを形成しない範囲である。絶縁体である低級酸化珪素粉末に導電性炭素皮膜を形成することで、この低級酸化珪素粉末を負極材用粉末として用いたリチウムイオン二次電池の放電容量を改善することができる。6.導電性炭素皮膜を形成した低級酸化珪素粉末の真空処理方法導電性炭素皮膜を形成した低級酸化珪素粉末には、真空下で、600°C以上、750°C以下の温度に10分以上、1時間以下保持する真空処理を施す。真空処理は、低級酸化珪素粉末を真空槽に収容した状態で行い、真空槽の内圧は、油拡散ポンプを用いて1Pa以下に保つ。この内圧は、ピラニー真空計を用いて測定する。真空処理により、炭素皮膜の形成時に生成したタール成分を炭素皮膜から揮発除去することができる。また、加熱保持温度が上記範囲である場合には、酸化珪素と炭素皮膜との界面近傍におけるSiCの生成が抑制される。7.リチウムイオン二次電池の構成本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末およびリチウムイオン二次電池負極を用いた、コイン形状のリチウムイオン二次電池の構成例を、前記図1を参照して説明する。同図に示すリチウムイオン二次電池の基本的構成は、上述の通りである。負極2、すなわち本発明のリチウムイオン二次電池負極を構成する作用極2cに用いる負極材は、本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末を用いて構成する。具体的には、活物質である本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末とその他の活物質と導電助材とバインダーとで構成することができる。負極材中の構成材料のうち、バインダーを除いた構成材料の合計に対する本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末の割合は20wt以上とする。本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末以外の活物質は必ずしも添加しなくてもよい。導電助材としては、例えばアセチレンブラックやカーボンブラックを使用することができ、バインダーとしては例えばポリアクリル酸PAAやポリフッ化ビニリデンを使用することができる。本発明のリチウムイオン二次電池は、上述の本発明のリチウムイオン二次電池負極材用粉末およびリチウムイオン二次電池負極を用いたため、放電容量が大きく、かつサイクル特性が良好であり、実用レベルでの使用に耐え得る。また、本発明の負極材用粉末およびこれを用いた負極は、キャパシタにも適用することができる。本発明の効果を確認するため、リチウムイオン二次電池を用いた以下の試験を行い、その結果を評価した。1.試験条件1-1.リチウムイオン二次電池の構成リチウムイオン二次電池の構成は、前記図1に示すコイン形状とした。最初に負極2について説明する。珪素粉末と二酸化珪素粉末とを所定の割合で配合し、混合、造粒および乾燥した混合造粒原料を原料とし、前記図2に示す装置を用いて析出基板上に低級酸化珪素を析出させた。析出した低級酸化珪素は、アルミナ製ボールミルを使用して24時間粉砕して平均粒子径が3~12μmの粉末とした。この低級酸化珪素SiOxの粉末は、上述のXRDで測定したP2/P1の値がP2/P1<0.01を満たし、かつ0.8≦x≦1.05を満たしていた。この低級酸化珪素粉末の表面に、ロータリーキルンと炭化水素ガスを使用して導電性炭素皮膜を形成した。導電性炭素皮膜の形成時の処理温度および処理時間は、表2に示す条件とした。表2の皮膜状態の欄において、○とは上述したXPSを用いた表面分析により得られたSi/Cの値が0.02以下であったこと、すなわち低級酸化珪素粉末が導電性炭素皮膜を有していたことを示す。×とはSi/Cの値が0.02よりも大きかったこと、すなわち低級酸化珪素粉末が導電性炭素皮膜を有していなかったことを示す。表2に示す試験番号2~4の実施例は、低級酸化珪素粉末が導電性炭素皮膜を有し、A3の値が本発明で規定するリチウムイオン二次電池負極材用粉末の条件を満たす本発明例である。A3は、アルカリ溶解法で測定したSi含有率A2wtと、酸溶解法で測定したSi含有率A1wtとの差A2-A1である。試験番号1、5および6の実施例は、導電性炭素皮膜の状態およびA3の値の少なくとも一方が本発明で規定するリチウムイオン二次電池負極材用粉末の条件を満たさない比較例である。表3に示す試験番号7および8の実施例では、試験番号1と同条件で導電性炭素皮膜を形成した後、真空処理を施した。試験番号7および8は、いずれも低級酸化珪素粉末が導電性炭素皮膜を有し、A3の値が本発明で規定するリチウムイオン二次電池負極材用粉末の条件を満たす本発明例である。表3には、比較のため試験番号1も記載した。この導電性炭素皮膜の形成処理を施した低級酸化珪素粉末を65wt、アセチレンブラックを10wt、PAAを25wtとした混合物に、n-メチルピロリドンを加えてスラリーを作成する。このスラリーを厚さ20μmの銅箔に塗布し、120°Cの雰囲気下で30分乾燥した後、片面の面積が1cm2となる大きさに打ち抜いて負極2とした。対極1cはリチウム箔とした。電解質は、ECエチレンカーボネートとDECジエチルカーボネートを1:1の体積比とした混合液に、LiPF6六フッ化リンリチウムを1モル/リットルの割合となるように溶解させた溶液とした。セパレーターには厚さ30μmのポリエチレン製多孔質フィルムを用いた。1-2.充放電試験条件充放電試験には、二次電池充放電試験装置株式会社ナガノ製を用いた。充電は、リチウムイオン二次電池の両極間の電圧が0Vに達するまでは1mAの定電流で行い、電圧が0Vに達した後は、0Vを維持したまま充電を行った。その後、電流値が20μAを下回った時点で充電を終了した。放電は、リチウムイオン二次電池の両極間の電圧が1.5Vに達するまでは1mAの定電流で行った。以上の充放電試験を10サイクル行った。2.試験結果上記条件で作製したリチウムイオン二次電池について充放電試験を行い、初回放電容量およびサイクル容量維持率を指標として評価を行った。これらの値を試験条件と併せて表2および表3に示す。サイクル容量維持率とは、10サイクル目の放電容量を初回放電容量で除した値であり、この値が大きいほどサイクル特性が良好であることを示す。また、導電性炭素皮膜の形成処理を施した低級酸化珪素粉末について、比抵抗を測定し、試験番号2、7および8についてはタール成分の合計含有率も測定した。表3にはこれらの値も示す。比較例である試験番号1では、炭素皮膜形成の処理時間が短かったため、低級酸化珪素粉末と炭素皮膜との界面近傍でのSiCの形成が少なく、A3が0.9と本発明の規定範囲内であった。しかし、炭素皮膜の形成が不十分であったため、皮膜状態が×であり、比抵抗が124000Ωcmと大きかった。そのため、初回放電容量およびサイクル容量維持率のいずれも本発明例と比較して劣っていた。また、比較例である試験番号5および6では、炭素皮膜の形成が十分であり、皮膜状態が○であった。しかし、試験番号5では処理時間が150分と長く、試験番号6では処理温度が900°Cと高かったため、低級酸化珪素粉末と炭素皮膜との界面近傍においてSiCが多量に形成され、A3が19.2または20.5と本発明の規定範囲よりも大きかった。そのため、比抵抗は36Ωcmまたは32Ωcmと低く、初回放電容量およびサイクル容量維持率は、いずれも試験番号1より良好であったものの、本発明例と比較して劣っていた。一方、本発明例である試験番号2~4、7および8では、皮膜状態はいずれも○であり、A3は2.6~15.1、比抵抗は84~29600Ωmと本発明の規定範囲内であった。そして、いずれも初回放電容量は1800mAh/g以上、サイクル容量維持率は93以上と、優れた値であった。また、表3に示す試験番号2、7および8の結果によると、真空処理時間が長いほどタール成分の合計含有率が低く、タール成分の合計含有率が低いほど初回放電容量およびサイクル容量維持率が高かった。試験番号7はタール成分の合計含有率が4000質量ppm以下であり、試験番号8は1500質量ppm以下であった。