"MXFe3-XO4但し、MはMg,Mn,Ca,Ti,Cu,Zn,Sr,Niからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素,0≦X<1で表される組成のフェライト粒子が生成するように成分調整された、平均粒径がいずれも3μm以上のFe成分原料とM成分原料、又はFe成分とM成分とを含有する平均粒径が3μm以上の仮焼成物と、媒体液とを混合してスラリーを得る工程と、前記スラリーを噴霧乾燥させて造粒物を得る工程と、前記造粒物を焼成して焼成物を得る工程とを有することを特徴とするフェライト粒子の製造方法。前記仮焼成物が、平均粒径1μm以下のFe成分原料とM成分原料とを混合した後、焼成して塊状の仮焼成物前駆体とし、これを粉砕したものである請求項1記載のフェライト粒子の製造方法。ところで、近年、画像形成装置における画像形成速度の高速化という市場要求に対応するため、現像スリーブの回転速度を速めて、現像領域への現像剤の単位時間当たりの供給量を増加させる傾向にある。しかし、50μm以下の小粒径のキャリアを用いた場合、現像スリーブの回転速度を速めて現像領域への現像剤供給量を増加させても、十分な画像濃度が得られないことがある。これは、現像領域において磁気ブラシ先端部のキャリアのみが循環移動して、根元部のキャリアが循環移動せず、根元部のキャリアに保持されたトナーが現像に寄与していないことが原因の一つと考えられている。現像領域において磁気ブラシ先端部のキャリアと根元部のキャリアとを大きく循環移動させるには、キャリアの表面を凹凸形状として、感光体表面との摩擦抵抗及びキャリア同士の摩擦抵抗を大きくすることが考えられる。そこで、本発明は、表面が凹凸形状でしかも所定の磁気特性を有するフェライト粒子を安定して製造できる方法を提供することをその目的とするものである。本発明によれば、MXFe3-XO4但し、MはMg,Mn,Ca,Ti,Cu,Zn,Sr,Niからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素,0≦X<1で表される組成のフェライト粒子が生成するように成分調整された、平均粒径がいずれも3μm以上のFe成分原料とM成分原料、又はFe成分とM成分とを含有する平均粒径が3μm以上の仮焼成物と、媒体液とを混合してスラリーを得る工程と、前記スラリーを噴霧乾燥させて造粒物を得る工程と、前記造粒物を焼成して焼成物を得る工程とを有することを特徴とするフェライト粒子の製造方法が提供される。ここで、前記仮焼成物として、平均粒径1μm以下のFe成分原料とM成分原料とを混合した後、焼成して塊状の仮焼成物前駆体としこれを粉砕したものを用いてもよい。本発明に係るフェライト粒子の製造方法によれば、粒子表面を凹凸形状にすることができ、しかも所定の磁気特性を付与することができる。本発明者等は、表面に凹凸があり且つ所定の磁気特性を有するフェライト粒子を製造すべく鋭意検討を重ねた結果、媒体液に混合してスラリー化する原料の平均粒径を従来よりも格段に大きい3μm以上とすると、噴霧乾燥させて得られる造粒物の表面には凹凸が顕著に形成され、そしてこの表面の凹凸は焼成工程を経ても大きくは消滅しないことを見出し本発明をなすに至った。以下、本発明の製造方法について各工程ごとに順に説明する。まず、秤量したFe成分原料とM成分原料、又は、Fe成分とM成分とを含有する仮焼成物を分散媒中に投入し混合してスラリーを作製する。ここで重要なことは、Fe成分原料及びM成分原料の平均粒径、あるいは仮焼成物の平均粒径を3μm以上とすることである。これにより、後述するスラリーを噴霧乾燥させて得られる造粒物の表面に凹凸が形成されるようになる。Fe成分原料及びM成分原料の平均粒径が1μm以下と小さい場合には、両者を混合した後、所定温度で焼成して塊状の仮焼成物前駆体を作製し、この塊状の仮焼成物前駆体をボールミルや振動ミル等の粉砕機で粉砕して3μm以上の仮焼成物とすればよい。ボールミルや振動ミルには、所定粒径のメディアを内在させるのがよい。メディアの材質としては、鉄系のクロム鋼や酸化物系のジルコニア、チタニア、アルミナなどが挙げられる。仮焼成物の粒径は、粉砕時間や回転速度、使用するメディアの材質粒径などによって制御できる。Fe成分原料としてはFe2O3等が好適に使用される。M成分原料としてはMg,Mn,Ca,Ti,Cu,Zn,Sr,Ni及びこれら2価の金属を任意に組み合わせたものが好適に使用できる。例えばMn成分原料であればMnCO3、Mn3O4等が好適に使用でき、Mg成分原料であればMgO,MgOH2,MgCO3等が好適使用できる。本発明で使用する分散媒としては水が好適である。分散媒には、前記Fe成分原料とM成分原料又は仮焼成物の他、必要によりバインダー、分散剤等を配合してもよい。バインダーとしては、例えば、ポリビニルアルコールが好適に使用できる。バインダーの配合量としてはスラリー中の濃度が0.5~2wt程度とするのが好ましい。また、分散剤としては、例えば、ポリカルボン酸アンモニウム等が好適に使用できる。分散剤の配合量としてはスラリー中の濃度が0.5~2wt程度とするのが好ましい。その他、潤滑剤や焼結促進剤等を配合してもよい。スラリーの固形分濃度は50~90wtの範囲が望ましい。そして、作製したスラリーを噴霧乾燥させて造粒する。具体的には、スプレードライヤーなどの噴霧乾燥機にスラリーを導入し、雰囲気中へ噴霧することによって球状に造粒する。噴霧乾燥時の雰囲気温度は100~300°Cの範囲が好ましい。これにより、粒径10~200μmの球状の造粒物が得られる。なお、得られた造粒物は、振動ふるい等を用いて、粗大粒子や微粉を除去し粒度分布をシャープなものとするのが望ましい。次いで、所定温度以上に加熱した炉に造粒物を投入して、フェライト粒子を合成するための一般的な手法で焼成することにより、フェライト粒子が生成する。焼成温度としては、800°C以上であれば焼結は進み、生成したフェライト粒子の形状は維持される。焼成温度の好ましい上限値は1500°Cであり、より好ましくは1200°Cであり、さらに好ましくは1000°Cである。結晶の成長を抑えて粒子の表面に多くの凹凸が残るようにする観点からは、焼結温度は焼結が進む範囲において、できる限り低くするのが好ましい。一方、焼結温度を低く抑えた場合には、フェライト化が充分には進まないおそれがあるので、加熱炉内の雰囲気の酸素分圧PO2を低くすることが推奨される。好適な酸素分圧PO2の範囲としては10-12~10-15atmの範囲が挙げられる。このようにして得られた焼成物を、必要により解粒する。焼成物の解粒は、例えば、ハンマーミル等によって行うことができる。解粒工程の形態としては連続式及び回分式のいずれであってもよい。そして、必要により、粒径を所定範囲に揃えるため分級を行ってもよい。分級方法としては、風力分級や篩分級など従来公知の方法を用いることができる。また、風力分級機で1次分級した後、振動篩や超音波篩で粒径を所定範囲に揃えるようにしてもよい。さらに、分級後に磁場選鉱機によって非磁性粒子を除去するようにしてもよい。その後、必要に応じて、分級後の粉末焼成物を酸化性雰囲気中で加熱して、粒子表面に酸化被膜を形成させて高抵抗化を図ってもよい。酸化性雰囲気としては大気雰囲気又は酸素と窒素の混合雰囲気のいずれでもよい。また、加熱温度は200°C~800°Cの範囲が好ましく、250°C~600°Cの範囲がさらに好ましい。加熱時間は0.5時間~5時間の範囲が好ましい。以上のようにして製造した本発明のフェライト粒子は各種用途に用いることができ、例えば、電子写真現像用キャリアや電磁波吸収材、電磁波シールド材用材料粉末、ゴム、プラスチック用充填材補強材、ペンキ、絵具接着剤用艶消材、充填材、補強材等として用いることができる。これらの中でも特に電子写真現像用キャリアとして好適に用いられる。以上のようにして作製した本発明のフェライト粒子を、電子写真現像用キャリアとして用いる場合、フェライト粒子をそのまま電子写真現像用キャリアとして用いることもできるが、帯電性等の観点からは、フェライト粒子の表面を樹脂で被覆して用いるのが好ましい。フェライト粒子の表面を被覆する樹脂としては、従来公知のものが使用でき、例えば、シリコーン樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ-4-メチルペンテン-1、ポリ塩化ビニリデン、ABSアクリロニトリル-ブタジエン-スチレン樹脂、ポリスチレン、メタアクリル系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、並びにポリ塩化ビニル系やポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系等の熱可塑性エストラマー、フッ素シリコーン系樹脂などが挙げられる。フェライト粒子の表面を樹脂で被覆するには、樹脂の溶液又は分散液をフェライト粒子に施せばよい。塗布溶液用の溶媒としては、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒;テトラヒドロフラン、ジオキサン等の環状エーテル類溶媒;エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール系溶媒;エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ系溶媒;酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶媒;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド系溶媒などの1種又は2種以上を用いることができる。塗布溶液中の樹脂成分濃度は、一般に0.001~30wt、特に0.001~2wtの範囲内にあるのがよい。フェライト粒子への樹脂の被覆方法としては、例えばスプレードライ法や流動床法あるいは流動床を用いたスプレードライ法、浸漬法等を用いることができる。これらの中でも、少ない樹脂量で効率的に塗布できる点で流動床法が特に好ましい。樹脂被覆量は、例えば流動床法の場合には吹き付ける樹脂溶液量や吹き付け時間によって調整することができる。キャリアの粒子径は、一般に体積平均粒子径で10~200μm、特に10~50μmのものが好ましい。また、キャリアの見掛け密度は、磁性材料を主体とする場合は磁性体の組成や表面構造等によっても相違するが、一般に1.0~2.5g/cm3の範囲が好ましい。電子写真用現像剤は、以上のようにして作製したキャリアとトナーとを混合してなる。キャリアとトナーとの混合比に特に限定はなく、使用する現像装置の現像条件などから適宜決定すればよい。一般に現像剤中のトナー濃度は1wt~15wtの範囲が好ましい。トナー濃度が1wt未満の場合、画像濃度が薄くなりすぎ、他方トナー濃度が15wtを超える場合、現像装置内でトナー飛散が発生し機内汚れや転写紙などの背景部分にトナーが付着する不具合が生じるおそれがあるからである。より好ましいトナー濃度は3~10wtの範囲である。使用するトナーは、重合法、粉砕分級法、溶融造粒法、スプレー造粒法等のそれ自体公知の方法で製造し得るものであって、熱可塑性樹脂を主成分とする結着樹脂中に、着色剤、離型剤、帯電制御剤等を含有させたものである。トナーの粒径は、一般にコールターカウンターによる体積平均粒子径が5~15μm、特に7~12μmの範囲内にあるのがよい。トナー粒子の表面には、必要により改質剤を添加することができる。改質剤としては、例えば、シリカ、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、ポリメチルメタクリレート等が挙げられる。これらの1種又は2種以上を組み合わせて使用することができる。キャリアとトナーとの混合は、従来公知の混合装置を用いることができる。例えばヘンシェルミキサー、V型混合機、タンブラーミキサー、ハイブリタイザー等を用いることができる。以下、本発明を実施例によりさらに詳しく説明するが本発明はこれらの例に何ら限定されるものではない。実施例1仮焼成物の作製平均粒径0.9μmのFe2O3を5000gと、平均粒径0.8μmのMn3O4を2000gとをV型混合機を用いて10分間混合した。得られた混合物を大気雰囲気下の電気炉に入れて1100°Cで3時間焼成した。得られた塊状の仮焼成物前駆体を乾式ボールミルで10分間粉砕して、平均粒径3.2μmの仮焼成物を得た。図3に仮焼成物の粒度分布を示す。フェライト粒子の作製前記作製した仮焼成物5000gと、分散剤としてのポリカルボン酸アンモニウム系分散剤60gと、媒体液としての水1000gとを、ボールミルメディア径2mmに投入し混合してスラリーを作製した。このスラリーをスプレードライヤーにて180°Cの熱風中に噴霧しディスク回転数20000rpm、粒径10~200μmの乾燥造粒物を得た。この造粒物から、網目91μmの篩網を用いて粗粒を分離し、網目37μmの篩網を用いて微粒を分離した。この造粒物を、窒素雰囲気下酸素分圧:PO2=10-3atmの電気炉に投入し1150°Cで3時間焼成した。得られた焼成物をハンマーミルで解粒した後に振動ふるいを用いて分級し、平均粒径35μmのフェライト粒子を作製した。作製したフェライト粒子の見掛け密度、流動度、磁気特性を下記に示す方法でそれぞれ測定した。表1に測定結果をまとめて示す。また、図1に、作製したフェライト粒子のSEM写真を示す。見掛け密度フェライト粒子の見掛け密度はJISZ2504に準拠して測定した。流動度フェライト粒子の流動度はJISZ2502に準拠して測定した。磁気特性室温専用振動試料型磁力計VSM東英工業社製VSM-P7を用いて、外部磁場0~10000/4πkA/m10000エルステッドの範囲で1サイクル連続的に印加して、飽和磁化σsAm2/kg、磁化σ1000Am2/kgを測定した。実施例2造粒物の焼成温度を1200°Cとした以外は実施例1と同様にしてフェライト粒子を作製した。そして、作製したフェライト粒子の見掛け密度、流動度、磁気特性を実施例1と同様にしてそれぞれ測定した。測定結果を表1に合わせて示す。実施例3仮焼成物の作製工程において、粉砕時間を5分間とした以外は実施例1と同様にして、粒径6.2μmの仮焼成物を得た。図3に仮焼成物の粒度分布を示す。そして、作製した粒径6.2μmの仮焼成物を用いて、実施例1と同様にして平均粒径35μmのフェライト粒子を作製した。作製した得られたフェライト粒子の見掛け密度、流動度、磁気特性を実施例1と同様にしてそれぞれ測定した。測定結果を表1に合わせて示す。実施例4造粒物の焼成温度を1200°Cとした以外は実施例3と同様にしてフェライト粒子を作製した。そして、作製したフェライト粒子の見掛け密度、流動度、磁気特性を実施例1と同様にしてそれぞれ測定した。測定結果を表1に合わせて示す。比較例1平均粒径0.8μmのFe2O3を3570gと、平均粒径0.7μmのMn3O4を1430gと、分散剤としてのポリカルボン酸アンモニウム系分散剤60gとを、媒体液としての水1000gとを、ボールミルメディア径2mmに投入し混合してスラリーを作製した。図3にこの混合物の粒度分布を示す。作製したスラリーをスプレードライヤーにて180°Cの熱風中に噴霧しディスク回転数20000rpm、粒径10~200μmの乾燥造粒物を得た。この造粒物から、網目91μmの篩網を用いて粗粒を分離し、網目37μmの篩網を用いて微粒を分離した。この造粒物を、窒素雰囲気下酸素分圧:PO2=10-3atmの電気炉に投入し1200°Cで3時間焼成した。得られた焼成物をハンマーミルで解粒した後に振動ふるいを用いて分級し、平均粒径35μmのフェライト粒子を作製した。作製したフェライト粒子の見掛け密度、流動度、磁気特性を実施例1と同様にしてそれぞれ測定した。測定結果を表1に合わせて示す。また、図2に、作製したフェライト粒子のSEM写真を示す。表1から理解されるように、本発明に係る製造方法で作成した実施例1~4のフェライト粒子は表面が凹凸形状で流動性が悪く、しかも電子写真現像用キャリアとして用いた場合であってもキャリア飛散などの不具合を生じない磁気特性を有していた。これに対して粒径の小さい原料を用いた比較例1のフェライト粒子は、所定の磁気特性は有していたものの、図2から明らかなように、粒子表面の凹凸度合いが小さく流動性の高いものであった。"