多層セラミックチップキャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する装置であって、グリーンシートスタックを受けるセグメント化されたフレームアセンブリを備え、前記セグメント化されたフレームアセンブリは、少なくとも1対の個々のグリーンシート間に配置される1つまたは複数のクーポンを横方向に挿入するように構成され、前記セグメント化されたフレームアセンブリおよび前記1つまたは複数のクーポンは、前記個々のグリーンシート対を相互に平坦にし、それらの間の横方向移動を妨げるように構成される、装置。前記1つまたは複数のクーポンの第1の部分は、所与のグリーンシート層の非機能性領域の上に位置決めされ、前記1つまたは複数のクーポンの第2の部分は、前記セグメント化されたフレームアセンブリのある区画間に置かれる、請求項1に記載の装置。前記1つまたは複数のクーポンは、前記グリーンシートスタックの上部に圧縮力が加えられると剪断を受けるように位置決めされる、請求項2に記載の装置。1組の下部フレームセグメントと、前記下部フレームセグメントの組と係合する少なくとも1組の中央フレームセグメントと、前記少なくとも1組の中央フレームセグメントと係合する1組の上部フレームセグメントとをさらに備える、請求項1に記載の装置。前記少なくとも1組の中央フレームセグメントは、前記上部フレームセグメントの組および前記下部フレームセグメントの組に対して横方向に動くことができるように構成される、請求項4に記載の装置。第1の組のクーポンは、前記下部フレームセグメントの組の上部開口縁部と、前記少なくとも1組の中央フレームセグメントの下部開口縁部との間に置かれ、第2の組のクーポンは、前記少なくとも1組の中央フレームセグメントの上部開口縁部と、前記上部フレームセグメントの組の下部開口縁部との間に置かれる、請求項4に記載の装置。したがって、枕作用によるスミアリングおよび損傷に関係する上記で説明した難点がないように複合多層セラミックチップキャリアを形成し得ることが望ましい。上記で論じた先行技術の欠点および欠陥は、多層セラミックチップキャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する装置によって克服されるか、あるいは軽減される。実施形態の例では、この装置は、複数のグリーンシート層を下から支持するように構成された基部プレートを備える。この基部プレートは、その外側縁部に隣接して配設された少なくとも1つの弾性的に取り付けられた荷重支持バーを有する。この少なくとも1つの荷重支持バーは、その上面が基部プレートの上面の上を選択した距離だけ延びるように1つまたは複数の付勢部材上に取り付けられる。別の実施形態では、多層セラミックチップキャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する装置は、グリーンシートスタックを受けるセグメント化されたフレームアセンブリを備える。このセグメント化されたフレームアセンブリは、少なくとも1対の個々のグリーンシート間に配置される1つまたは複数のクーポンを横方向に挿入するように構成される。このセグメント化されたフレームアセンブリおよび1つまたは複数のクーポンは、前記個々のグリーンシート対を相互に平坦にし、それらの間の横方向移動を妨げるように構成される。別の実施形態では、多層セラミックチップキャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する方法は、多層グリーンシートスタック内の少なくとも1枚のグリーンシートの少なくとも1つの非機能性周辺領域上に犠牲ペーストパターンを形成するステップと、この多層グリーンシートスタックを圧縮して積層体を形成し、この積層体を焼結し、犠牲ペーストパターンを含む積層体の周辺縁部を除去するステップとを含む。別の実施形態では、多層セラミックチップキャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する方法は、積層工具内に少なくとも1つの厚さ補償フレームを取り付けるステップを含む。この少なくとも1つの厚さ補償フレームは、多層グリーンシートスタック内の個々のグリーンシートの非機能性周辺領域の少なくとも1つの幅に対応する少なくとも1つの幅を有する。この少なくとも1つの厚さ補償フレームの全高は、多層グリーンシートの枕作用スタックによって生成されるギャップを表す距離にほぼ等しい。本明細書では、上記で説明した多層グリーンシートの枕形スタックを防ぎ、それによって、グリーンシートの周辺区域の沿った導電性ペーストパターンのスミアリング損傷をなくす方法および構造が開示される。その結果、最新のMCM製品についての電気回路設計の柔軟性が高くなる。実施形態の一例では、多層グリーンシートを積み重ねる方法は、グリーンシートの非機能性周辺区域に沿って1本の追加の補償ストリップあるいは、複数の犠牲補償ペーストラインをスクリーン処理することを特徴とする。これらの犠牲補償パターンは、例えば、多層グリーンシートスタック内の各グリーンシート上にスクリーン処理され、機能性導電パターンと同じペースト高さを有する。このように構成すると、これら追加の非機能性補償パターンにより、積み重ね工程および後続の高圧積層工程において枕作用がなくなり、それによって、縁部スミアリング損傷を受けずに、各機能性導電パターンを均一かつ平行に圧縮し得る。高圧積層工程の後で、周辺区域に沿った追加の犠牲補償パターンを含む積層体の非機能性区域はダイシングにより切断され、機能性積層体は焼結工程に送られる。犠牲補償ペーストパターンに使用するペースト材料は、例えば、銅、モリブデン、タングステン、ニッケル、パラジウム、白金、銀、および金の粉体を他のポリマー材料と混合して形成したペーストを含めて、機能性導電ペーストパターンに使用するものと同じにし得る。図4および図5に、本発明の一実施形態に従って使用するのに適したグリーンシートの例のコーナ区域を示す。図4では、1本の追加のペーストストリップ301を、グリーンシート304の縁部に近い非機能性周辺区域に沿って塗布スクリーン処理する。グリーンシート304は、機能性導電ライン303も含む。あるいは、図5は、グリーンシート304の非機能性区域に沿って、複数のより細い個々のストリップ302を塗布することを特徴とする。グリーンシート304の非機能性区域に、1本の比較的広いペーストストリップ301を塗布するか図4、あるいは、複数のより細いストリップ302を塗布するか図5にかかわらず、実施形態の例では多層グリーンスタック内の各グリーンシート上での犠牲ストリップの高さは、機能性導電ライン303と同じペースト高さとする。このことを、それぞれ図4および図5の実施形態の断面図である図6および図7に具体的に示す。例えば、図6のグリーンシート404の周辺部上に形成された広い犠牲ストリップ401は、機能性ストリップ403と同じ高さを有する。同様に、図7のグリーンシート404の周辺部上に形成された細い犠牲ストリップ402も、機能性ストリップ403と同じ高さを有する。図8および図9に、それぞれ図4/図6および図5/図7の犠牲ペーストによる実施形態に従って、グリーンシートを積み重ね、積層化して、多層グリーン積層体502、505を形成する工程についての断面図を示す。いずれの場合でも、犠牲ペーストストリップ501、504には枕作用が現れないことに留意されたい。そのため、積層プレート503に圧縮力矢印506が加えると、この力は、機能性導電パターンすべてに均一に分布する。さらに、この圧縮応力は、各グリーンシート層内のすべての機能性ラインパターンに垂直に伝達され、剪断による損傷が生じないので、これらのラインパターンはスミアリング損傷を受けない。このことを、図10および図11に示す。図10および図11には、スミアリング損傷がないことを除き、図2および図3に示すものと同じ導電ペーストパターンを示す。これらのグリーンシート層を均一に圧縮した後で、犠牲ペーストパターンを有する周辺区域をダイシングにより切断し、その後の焼結工程によって、セラミックチップキャリアの形成が完了する。実施形態の別の例では、多層グリーンシートを積み重ねる方法は、図12に示す特定の幅、長さ、および厚さを有する厚さ補償フレーム701を使用することを特徴とする。さらに、補償フレーム701は、その各コーナのところに穴702を備える。穴702は、図1に示すものなどの積層工具の柱に補償フレーム701を取り付けるためのものである。この厚さ補償フレームに用いる材料は、グリーンシートに用いるのと同じ材料例えば、アルミナ系またはシリカ系のセラミック、または他のポリマー有機材料例えば、シリコーンゴム、マイラー、ポリエステル、テフロン、ポリイミドフィルム、さらには、金属材料例えば、鋼、アルミニウム、銅などとし得る。グリーンシート層に対して補償フレーム701をどのように配置するかに応じて、補償フレーム701の厚さは、積み重ねるグリーンシートの厚さよりも薄いこともあり、または厚いこともあり、あるいは、等しいこともある。例えば、個々の補償フレームの厚さは、約25μm~約2000μmの範囲とし得る。これは、グリーンシート上に形成される導電ペーストの高さの約1~80倍である。図12の寸法x’およびy’は、グリーンシートの寸法x’およびy’にほぼ等しく、寸法xおよびyは、積層体の活動機能性区域の寸法に対応する。フレーム701の幅wは、グリーンシートの非機能性区域に対応する。この場合も、この非機能性区域は、積層体の積み重ねおよび積層化が完了した後でダイシングにより切断する。図13は、図12の補償フレーム801およびグリーンシート802の断面を概略的に表現したものである。この断面図では、グリーンシート802上の導電ペーストパターン803の高さは、補償フレーム801の厚さ高さにほぼ等しいことがわかる。それに加えて、補償フレーム801の厚さは、積み重ねるグリーンシートの厚さよりも薄いこともあり、または厚いこともあり、あるいは、等しいこともある。とにかく、所与のグリーンシート積層体で使用する各フレームの厚さおよび数は、得られる多層グリーンシートスタックにおいて枕作用がなくなるように選択され、計算され、かつ設計される。一構成では、以下に示すように、均一な厚さの補償フレームを積層工具の基部のところに配置し、それによって各グリーンシートを支持することができる。あるいは、図14に示すように、グリーンシートスタック901の中に複数の補償フレーム902をはさむ。図には、導電ペーストパターン903の断面も示す。この実施形態では、このようにはさんで使用するフレームに用いる材料は、グリーンシートの材料と同じにすることもできるし、他のポリマー有機物またはシリコーンゴム金属材料とすることもできる。機能性グリーンシートの間に補償フレームをはさむ順序は、枕作用をなくすことに関して最適な結果が得られるように位置決めされる。複数のはさんで使用するフレームを配置する順序の例では、例えば、1番目、5番目、10番目、15番目、20番目、25番目、...、N-5番目にフレームを配置し得る。ただし、Nは、所与のMLCグリーンシート積層体におけるグリーンシートの総数である。より一般には、本願で用いる補償フレームをはさむ順序および補償フレームの特定の数は、各フレームの材料および厚さ、機能性グリーンシートの総数、枕作用の度合い、および各グリーンシート層上の導電ペーストの分布に依存し得る。図15に、図14に示すような補償フレームをはさんだグリーンシートスタックが積層工具内にあるところも示す。複数の補償フレームシート1001をはさんだグリーンシートスタックは、積層工具のブロック1002と1003の間に取り付けられるときに、枕作用スタックがなくなっている。この場合も、補償フレームシート1001の幅は、グリーンシート周辺部の非機能性領域の幅に対応する。グリーンシートスタックを高圧で押し付けた後で、焼結工程の前に、補償フレームシート1001を有する周辺区域をダイシングにより切断する。図16に、先に論じたように積層工具の基部のところで使用する均一な厚さのフレームの代替実施形態を示す。補償フレームを、グリーンシートスタック内で様々な場所にはさむ代わりにこの工具の基部のところで使用する場合、多層グリーンシートスタック1102の下に、均一な厚さのフレームまたは複数の補償フレーム1101を配置する。この場合、本願における補償フレーム1101の材料は、グリーンシートと同じ材料、または他のポリマー有機材料などで使い捨てとすることもできるし、再利用可能なシリコーンゴム、および例えば鋼、銅、またはアルミニウム製の金属フレームとすることもできる。補償フレーム1101は、高圧積層操作の後で積層体から取り外し可能であり、フレームのためにくぼみが形成された非機能性周辺区域は、焼結前に単にダイシングにより切断する。実施形態の別の例では、多層グリーンシートを積み重ねる方法は、従来型積層工具を改変して枕作用をなくすことを特徴とする。図17および図18は、例えば、ステンレス鋼製の基部プレート1201の斜視図である。基部プレート1201は、その外側縁部に隣接して形成されたトレンチを有する。各トレンチには、弾性的に取り付けられた荷重支持バー1202が配設されている。これらの荷重支持バー1202は、グリーンシートの非機能性周辺区域に対応する幾何形状を有する。図18の詳細なコーナ部分でより具体的に示すように、荷重支持バー1202は、基部プレート1201の上面に対して相対的に高くなったところに置かれるように無荷重状態で付勢される。個々の付勢部材1203は、基部プレート1201のトレンチ1204内で、かつ、荷重支持バー1202の下に取り付けられる。これらの支持バーは、積層工具の基部プレート1201と同じ材料例えば、ステンレス鋼で作製し得る。図19および図20は、それぞれ図18の線A-A’および線B-B’に沿って切断した断面図である。図からわかるように、距離xは、支持バー1302が基部プレートの上を延びる高さを表し、この高さは、最初に図1で説明した枕作用の高さとも等しい。この場合も、wは、グリーンシートの非機能性周辺区域の幅を表す。支持バー1302は概ね、C形であり、そのため、その両側面部1305a、1305bが、チャネル1304の対応する溝1306a、1306bで受けられる。図20に具体的に示すように、各付勢部材1303は、チャネル1304の中央溝1307内に配設される。付勢部材1303の機械的な特性は、多層グリーン積層体を積み重ねている間、かつ積み重ねた後でただし、圧縮する前に、弾性的に取り付けられた支持バー1302の高さxが、荷重を受けていない工具とほぼ同じままに保たれ、そのため、枕作用がなくなるように選択される。さらに、これらの支持バーは、高圧積層中に、均一な軸方向荷重分布で、かつ剪断応力による損傷がない状態で、グリーンシート上の周辺導体パターンを積層することができる機構を提供する。図20の実施形態の例では、付勢部材1303は、支持バー1302の最適な性能が得られるように選択された仕様およびばね定数圧縮率を有する金属製圧縮ばねである。ただし、付勢部材1303に関して、例えば、図21に示すようなシリコーンゴムインサート、チューブ状の材料例えば、銅、または気泡材料を含めて、他の材料およびコンポーネントを用いることも企図されている。ただし、所望の付勢が得られる限り、材料の例はこれらに限定されるものではない。最後に、実施形態の別の例では、多層グリーンシートを積み重ねる方法は、枕作用をなくす新規な積層工具を構成することを特徴とする。図22~図24に示すように、積層工具1400は、複数のクーポンシムを横方向に送り込むシステムを有するセグメント化されたフレームアセンブリとして実施される。具体的には、積層工具1400は、1組の下部フレームセグメント1402、下部フレームセグメント1402と係合する少なくとも1組の中央フレームセグメント1404、および中央フレームセグメント1404と係合する1組の上部フレームセグメント1406を備える。下部フレームセグメント1402は、その上部開口縁部1408を画定する陥凹部分を有する。グリーンシートスタックの準備段階で、下部プレート1410は、下部フレームセグメント1402の組の下に配設され、まず、下部プレート1410は、それぞれ導電ペーストトレース1413が上に形成された第1の複数のグリーンシート1412aを支持する。下部プレート1410は、その上に非粘着性フィルム例えば、ポリエステルを備えることがある。所与の数のグリーンシート1412aが、スタックの高さが上部開口縁部1408の高さとほぼ同じになるように下部プレート1410上に積み重ねられると、第1の複数のクーポン1414aは、下部フレームセグメント1420間に横方向に挿入され、そのため、まず、下部フレームセグメント1402の上部開口縁部1408およびこの時点で一番上のグリーンシートの周辺領域の上に置かれる。図23に、クーポン1414aが配置されたところの上面図を示す。この時点で、少なくとも1組の中央フレームセグメント1404は、下部フレームセグメント1402の組の上に位置決めされる。さらに、この中央フレームセグメントの組は、未完成のグリーンシートスタック上に配置された第1の複数のクーポン1414aの上面に接触する下部開口縁部1416を有するように構成されており、それによってこれらのクーポンの位置が固定される。その後、第2の複数のグリーンシート1412bを、スタックの全高が中央フレームセグメント1404の上部開口縁部1418の高さに達するまで、第1の複数のクーポン1414aおよびグリーンシート1412a上に積み重ねる。クーポン1414aの存在により、第1スタックの一番上のグリーンシート1412aが、第2スタックの一番下のグリーンシート1412bに対して平らになるだけでなく、これらの間の横方向の動きが妨げられる。次いで、第2の複数のクーポン1414bも、中央フレームセグメント1404間で横方向に挿入され、そのため、まず、中央フレームセグメント1404の上部開口縁部1418およびこの時点で一番上のグリーンシートの周辺領域両方の上に置かれる。その後、上部フレームセグメント1406の組が配置されると、上部フレームセグメント1406の下部開口縁部1420と接触することによって、第2の複数のクーポン1414bの上面が固定される。最後に、第2の複数のクーポン1414bの上に積み重ねて第3の複数のグリーンシート1412cを追加し、その後、図示しない任意選択の非粘着性フィルムおよび上部プレート1422を追加することによって、積層体スタックが完全に画定される。この時点で、少なくとも1つの中央フレームセグメントは、上部および下部のフレームセグメントに対して横方向に動くことができ、それによってクーポンの幅を変更し得るように構成されることに留意されたい。横方向に送り込まれるクーポン1414a~cの存在により、上部および下部のプレートが、単軸方向の力をグリーンシートスタックに、その圧縮中に伝達することができる。このスタックが下方向に圧縮されると、これらのフレームセグメントの開口縁部間に置かれたクーポン1414a~cの部分は、図24により具体的に示すように、グリーンシートの周辺区域上に配設されたクーポンの残りの部分から剪断により切断される。先に示した実施形態と同様に、次いで、このスタックを焼結処理にかけ、その後、犠牲クーポンを含むスタックの切溝領域を除去する。好ましい1つまたは複数の実施形態を参照して本発明を説明してきたが、本発明の範囲を逸脱することなく、様々な変更を加えることができ、これらの実施形態の要素の代わりに均等物を使用し得ることが当業者には理解されよう。さらに、本発明の本質的な範囲を逸脱することなく本発明の教示に特定の状況または材料を適合させるために多くの改変を加えることができる。したがって、本発明は、本発明を実施するために企図した最良の形態として開示した特定の実施形態に限定されず、本発明は、添付の特許請求の範囲の範囲に含まれるすべての実施形態を含むことが意図されている。