略円形板状のワークを吸着保持して加工領域に移動可能なチャックテーブルと、該ワークの中心位置出しをする位置出しテーブルと、該位置出しテーブルから該チャックテーブルに該ワークを搬入する搬入手段とを備える加工装置に備えたワーク位置ずれ検出装置であって、該搬入手段は、搬送アームと、該ワーク中央を吸着保持するための吸着パッドと、該吸着パッドを上下動させる上下動作軸と、該吸着パッドを該位置出しテーブルから該チャックテーブルに搬送可能な直動軸から少なくとも構成され、該搬送アームには該ワークの位置ずれを検出するための位置ずれ検出手段を備えており、該位置ずれ検出手段は、該チャックテーブルに保持された該ワーク外周部近傍の該ワーク上で検出光を投光する投光部と該検出光の該ワークにおける反射光を受光する受光部とからなる位置ずれ検出センサーと、該受光部の受光量を数値で算出する演算部と、該チャックテーブルを回転させながら、該演算部が算出した数値が予め設定したしきい値以上のときは動作を続行し、予め設定したしきい値を下回るときは該ワークを取り除く指示のメッセージを画面に表示する判断部と、を備えていることを特徴とするワーク位置ずれ検出装置。前記搬送アームに取り付けられた位置ずれ検出センサーは、前記チャックテーブルの中心から所定距離はなれた位置で、位置ずれ検出をすることができる請求項1のワーク位置ずれ検出装置。しかしながら、被加工物の位置ずれが確認されても、被加工物が既に加工領域内に移動している状態では、加工領域から被加工物を取り除く作業は困難である。さらに、複数のチャックテーブルを備え自動運転により並行して順次加工が行われる加工装置では、先に搬送された被加工物が次の加工ステップに移行しているため、加工領域から被加工物を取り除くためには、加工装置の自動運転を終了させる必要があり、被加工物の生産性を阻害する要因となる。本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工装置において、搬送によって位置ずれが発生した被加工物が加工領域内に移動する前に、その被加工物をチャックテーブルから取り除くことができるようにすることにある。本発明は、略円形板状のワークを吸着保持して加工領域に移動可能なチャックテーブルと、該ワークの中心位置出しをする位置出しテーブルと、該位置出しテーブルから該チャックテーブルに該ワークを搬入する搬入手段とを備える加工装置に備えたワーク位置ずれ検出装置であって、搬入手段は、搬送アームと、ワーク中央を吸着保持するための吸着パッドと、吸着パッドを上下動させる上下動作軸と、吸着パッドを位置出しテーブルからチャックテーブルに搬送可能な直動軸から少なくとも構成され、搬送アームにはワークの位置ずれを検出するための位置ずれ検出手段を備えており、位置ずれ検出手段は、チャックテーブルに保持されたワーク外周部近傍のワーク上で検出光を投光する投光部と検出光のワークにおける反射光を受光する受光部とからなる位置ずれ検出センサーと、受光部の受光量を数値で算出する演算部と、チャックテーブルを回転させながら、演算部が算出した数値が予め設定したしきい値以上のときは動作を続行し、予め設定したしきい値を下回るときはワークを取り除く指示のメッセージを画面に表示する判断部とを備えている。搬送アームに取り付けられた位置ずれ検出センサーは、チャックテーブル中心から所定距離はなれた位置で、位置ずれ検出をすることができる。本発明では、搬送アームに位置ずれ検出手段を配設したため、搬送アームの搬送により被加工物に位置ずれが発生した場合であっても、位置ずれ検出手段の作動により、被加工物が加工領域内に移動する前に位置ずれを検出することができる。したがって、位置ずれが発生した被加工物が加工領域内に移動する前にこれを取り除くことができ、被加工物を取り除いた後に加工装置の自動運転を続行できるため、被加工物の生産性の向上を図ることができる。位置ずれ検出センサーは、被加工物が保持されたチャックテーブルの中心から所定距離はなれた位置で、位置ずれ検出をすることができるため、被加工物のサイズの変更にも対応することができる。1加工装置の構成図1に示す加工装置1は、ワーク位置ずれ検出装置3を備える加工装置の一例である。加工装置1は、直方体形状の基台2を備え、基台2の上面は、二点鎖線で示す境界線Dを境界にして、矢印A1に示す側の領域を非研削室9aとし、矢印A2に示す側の領域を被加工物に対し研削加工を行う加工領域である研削室9bとしている。基台2の上面の前部には、加工装置1に対する各種指示を受け付ける操作パネル414と、表示画面415とを備える。非研削室9aの上面前部には、研削加工前の被加工物を収容するための供給カセット4aと、研削加工後の被加工物を収容するための回収カセット4bとを備えている。回収カセット4a及び回収カセット4bの近傍には、供給カセット4aからの被加工物の搬出及び回収カセット4bへの被加工物の搬入を行う搬送ロボット5が配設されている。搬送ロボット5は、屈曲可能なアーム5aと、アーム5aの先端部に備えたハンド5bとを備え、供給カセット4a及び回収カセット4bのそれぞれにハンド5bが届くように搬送ロボット5が設置されている。また、搬送ロボット5のハンド5bが届く範囲に加工後の被加工物を洗浄する洗浄装置7が配設され、洗浄装置7の近傍には、加工後の被加工物をチャックテーブル10から洗浄装置7に搬送するための屈曲可能な搬送アーム6が配設されている。図1に示すように、非研削室9aと研削室9bとにまたがった状態で、回転可能な回転基台11が配設されている。回転基台11は、円盤形状に形成されており、基台2の上面に配設されている。回転基台11によって複数のチャックテーブル10が自転可能に支持されている。回転基台11は、矢印B方向に回転可能となっており、回転基台11の回転により、複数のチャックテーブル10を公転させることができる。チャックテーブル10は、その上面にワークWを吸引保持できるように、被加工物を吸着する図示しない保持部を備えている。保持部は、吸引源に連通している。また、チャックテーブル10は、軸部を中心軸として回転可能となっている。図1に示すように、チャックテーブル10は、回転基台11の矢印B方向の回転に伴って公転することで非研削室9aと研削室9aとの間を移動可能になっている。搬送ロボット5の近傍には、加工前の被加工物の中心位置出しをする位置出しテーブル20が配設され、当該位置出しテーブル20は、搬送ロボット5のハンド5bが届く範囲に位置している。図2に示すように、中心位置出しテーブル20には、被加工物であるワークWが載置される載置部21と、載置部21の外周側に円弧状に一定間隔離間して配置された突起部22とを備えている。載置部21は、ワークWの外径よりも小さい載置面を有している。当該載置面にワークWを載置して、複数の突起部22がワークWの外周を押圧することで、ワークWの中心位置を出す構成となっている。図1に示すように、基台2の上面には、中心位置が出されたワークWを位置出しテーブル20から非研削室9aに位置するチャックテーブル10に搬入する搬入手段30が配設されている。図3に示すように、搬入手段30は、搬送アーム31と、ワークWの中央部分を吸着保持するための吸着パッド33と、吸着パッド33を上下動させる上下動作軸36と、ワークWを位置出しテーブル20からチャックテーブル10に搬送可能な直動軸34とから少なくとも構成されている。上下動作軸36には、その先端部32に吸着パッド33が取り付けられている。吸着パッド33は、円盤形状に形成されており、例えば吸着パッド33の吸着面は多孔質保持部材ポーラス部材で構成されている。搬送アーム31の内部には、図示しない吸引源との連通路を設け、当該連通路を吸着パッド33に連通させている。そして、吸引源からの吸引力により、吸着パッド33は、多孔質保持部材を介して被加工物であるワークWを吸着する。また、上下動作軸36は、鉛直方向に昇降し、吸着パッド33を上下動させる構成としている。直動軸34は、搬送アーム31を水平移動可能に支持し、図3に示すように、当該位置出しテーブル20の上方からチャックテーブル10の上方にかけて延設されている。搬送アーム31は搬入基台35に装着されており、搬送アーム31は、搬入基台35を介して直動軸34に取り付けられている。図3に示すように、搬入基台35は、直動軸34上を矢印C1及びC2方向に自在にスライド移動可能であり、搬入基台35に装着された搬送アーム31も、搬入基台35のスライド移動に伴って矢印C1及びC2方向に自在に移動できる。図3に示すように、上下動作軸36の先端部32の側部には、ワークWの位置ずれを検出するための位置ずれ検出手段40が備えてある。図4に示すように、位置ずれ検出手段40は、位置ずれ検出センサー41と、演算部412と、判断部413とから構成される。図4に示すように、位置ずれ検出センサー41は、ワークWの外周部近傍エッジで、かつ、ワークWの上方で検出光を投光する投光部41aとワークWの表面における反射光を受光する受光部41bとを有し、チャックテーブル10の中心から所定距離はなれた位置で、位置ずれ検出を行うことが可能である。したがって、例えば、上下動作軸36の径方向に延びるレールを設け、位置ずれ検出センサー41がそのレール上を摺動可能な構成とすれば、ワークWのサイズの変更に応じ、ワークWの検出箇所を変更することができる。演算部412は、受光部41bにおける受光量を電圧値等に変換して数値で算出することができる。判断部413は、演算部412の数値が予め設定したしきい値以上の時は動作を続行し、予め設定したしきい値を下回るときは、ワークWを取り除く指示のメッセージを表示画面415に表示させることができる。なお、本実施形態においては、位置ずれ検出センサー41の装着位置を先端部32の側部に取り付けているが、取り付け位置はこれに限定されるものではない。図1に示すように、研削室9bには、加工手段8が配設されている。加工手段8には、図示しないスピンドルの下端に研削ホイールが着脱自在に装着されている。加工手段8の研削ホイールは、チャックテーブル10の回転方向と同じ方向に回転させつつ、研削室9bに移動してきたワークWを研削加工する。なお、本実施形態にかかる加工装置1には、位置ずれ検出処理や加工動作に必要な各種データを記録するメモリ及びCPUが内蔵され、加工装置1の動作を制御できるようになっている。2加工装置の動作例図1に示す搬送ロボット5は、ハンド5bで供給カセット4aから被加工物であるワークWを取り出し、アーム5aを位置出しテーブル20の上方に旋回移動させ、ワークWを位置出しテーブル20に搬送する。そして、載置部21にワークWが載置されると、突起部22を載置部21の中心方向に移動させ、ワークWの中心位置を載置部21の中心位置に一致させる。次に、突起部22の移動によりワークWの中心位置が出された後、図3に示すように、搬入手段30を作動させて当該ワークWをチャックテーブル10に搬送する。搬送アーム31を位置出しテーブル20の上方に位置付けた後、上下動作軸36が位置出しテーブル20の載置部21に向けて下降する。そして、吸着パッド33を載置部21に保持されたワークWの表面に接触させ、吸引源から発生した吸引力により、吸着パッド33の吸着面にワークWを吸着する。ワークWを吸着パッド33の吸着面に吸着させた後、上下動作軸36を上昇させ、搬入基台35を矢印C2方向にスライド移動させて、チャックテーブル10の上方に位置付ける。その後、図3に示すように、上下動作軸36をチャックテーブル10の上面に下降させ、図示しない吸引源の作動を停止し、ワークWを吸着パッド33から離脱させ、チャックテーブル10の保持部の上面にワークWを載置する。そして、チャックテーブル10の保持部上面にワークWが吸引保持され、チャックテーブル10は自転を開始する。ここで、チャックテーブル10に搬送されたワークWは、搬送中にその中心位置がずれている場合があるため、本発明に係るワーク位置ずれ検出装置3は、位置ずれ検出処理を実行する。以下では、ワークWの位置ずれ検出処理工程を図1、図4、図5及び図6を参照しながら説明する。図5に示すフローチャートは、ワークの位置ずれ検出の実行手順を示すものであり、オペレータが図1に示した操作パネル414を操作し、位置ずれ検出処理の実行を指示することで、位置ずれ検出処理が開始される。なお、オペレータは、操作パネル414を操作し、あらかじめ搬送によるワークの位置ずれのしきい値を加工装置1に設定しておく。しきい値としては、例えば、位置ずれが0mm~1mm程度の場合における反射光の受光量を算出して数値化し、これをしきい値とする。図5に示すステップS1の検出処理では、位置ずれ検出センサー41の投光部41aが自転中のワークWの外周部近傍エッジのワーク上で検出光を投光する。具体的には、図6に示すように、位置ずれ検出手段40は、位置ずれ検出処理を実行するために回転中のワークWの外周部近傍で、かつ、その上方に位置付けられる。そして、図4aに示すように、位置ずれ検出センサー41の投光部41aが、回転中のワークWの外周部近傍エッジに検出光の投光を開始する。図6aに示したように、検出光がワークWの外周部近傍エッジにおけるワークWの表面に投光されると、図5に示すステップS2の検出処理では、検出光は、当該ワークWの表面において反射して反射光となって位置ずれ検出センサー41に戻ってくるため、受光部41bがワークWの表面に投光された検出光の反射光を受光する。ステップS3の算出処理では、演算部412がステップS2で記憶した受光量を電圧値等に変換して数値化して算出する。そして、ステップS4の処理に進み、判断部413が算出された受光量の算出値とあらかじめ設定されたしきい値とを比較する。判断部413は、受光量の算出値がしきい値以上の場合には、ワークWの位置ずれが発生していないと判断し、加工装置1の自動運転を続行するステップS5。そして、ワーク位置ずれ検出装置3の検出処理は、後続するワークWの位置ずれを検出するためにステップS1に戻る。一方、判断部413は、受光量の算出値がしきい値を下回る場合には、ワークWの位置ずれが発生していると判断し、加工装置1の自動運転を一時停止させるステップS6。受光量の算出値がしきい値を下回る場合、例えば、図6bに示すように、搬送によりワークWの位置がずれて検出光の反射光が受光部で検知できないといった場合にはワークWにずれが発生していると判断するステップS6。その後、判断部413は、ワークWをチャックテーブル10から取り除く指示メッセージを図1に示す表示画面415に表示するステップS7。そして、オペレータは、搬送により位置ずれをおこしたワークWを、当該ワークWが研削室9bに移動する前に取り除く。なお、位置ずれ検出センサー41は、例えばワークWの外周よりも2mm内側に配設し、位置ずれの許容値を1mmに設定し、さらに1mm以上動くとエラーとなり、ワークWを取り除く指示メッセージが表示画面415に表示される。また、被加工物であるワークWの直径は多様であるが、位置ずれ検出センサー41は、ワークWのサイズの変更に応じて、チャックテーブル10の中心から所定距離はなれた位置で、位置ずれ検出を行うことが可能であり、ワークWのサイズに応じて、位置ずれ検出センサー41による検出位置が自動で変わるように搬送アーム31に装着される。位置ずれをおこしたワークWを取り除いた後、オペレータは、操作パネル414を操作して加工装置1の自動運転を再開させる。このように、ワークWの位置ずれを自動的に検出し、位置ずれを起こしたワークをチャックテーブル10から除去することで、加工装置1は自動運転を続行することができるため、被加工物の生産性の向上を図ることが可能となる。ワークWの位置ずれ検出処理後、位置ずれが発生していないワークWを加工するためにそのワークWを研削室9bに移動させる。図1に示した回転基台11を矢印B方向に回転させながら、そのワークWを保持したチャックテーブル10を研削室9bに送り込む。そして、図示しないスピンドルを回転させながら加工手段8を下降させ、回転する研削ホイールをワークWの表面に接触させてワークWを加工していく。加工中は、研削ホイール下端に装着された研削砥石がワークWの回転中心を通過するようにする。ワークWが所望の厚みに加工された時点で加工手段8を上昇させて加工を終了する。図示の例のように、2つの加工手段8を有する装置では、例えば粗研削、仕上げ研削という2段階の研削加工が行われる。加工後のワークWには、加工屑が付着しているため、当該ワークWは洗浄装置7に搬送される。図1に示す搬送アーム6が、研削室9bから非研削室9aに戻ってきたチャックテーブル10に保持されたワークWを吸着し、洗浄装置7に搬送する。そして、ワークWを洗浄後、搬送ロボット5のアーム5aが洗浄装置7に旋回移動し、ハンド5bでワークWを取り出し、回収カセット4bに搬送する。以上のようにして、加工装置1の一連の動作が終了する。上記の実施形態においては、本発明に係る位置ずれ検出センサー41は、図2に示すように、搬送アーム31の先端部32の側部に取り付けられているが、取付位置は本例に限定するものではない。また、本発明に係るワーク位置ずれ検出装置3を備える加工装置は、研削装置に限定されるものではない。したがって、例えば切削装置やレーザ加工装置など、他の装置にも備えることができる。