円環状の剛性内歯車と、この内側に配置された可撓性外歯車と、この内側に嵌めた波動発生器とを有し、前記可撓性外歯車は、可撓性の円筒状胴部と、この円筒状胴部の後端から半径方向に延びている円環状のダイヤフラムを備え、前記円筒状胴部の前端開口部の部位に形成されている外歯が、前記波動発生器によって、そのダイヤフラム側の後端部からその開口側の前端部に掛けて、前記ダイヤフラムからの距離にほぼ比例した撓み量が生ずるように楕円状に撓められる波動歯車装置において:前記剛性内歯車および前記可撓性外歯車はモジュールmの平歯車であり;前記剛性内歯車および可撓性外歯車の歯数は、少なくとも200枚であり;前記可撓性外歯車の歯数は、nを正の整数とすると、前記剛性内歯車の歯数より2n枚少なく;前記剛性内歯車および前記可撓性外歯車の基本歯形は、圧力角αが20°未満のインボリュート歯形であり;前記可撓性外歯車が前記波動発生器によって楕円状に変形することにより、前記可撓性外歯車の外歯のリム中立円は楕円状のリム中立曲線に変形しており、当該リム中立曲線の長軸位置における前記リム中立円に対する半径方向の撓み量は、κを1より大きな値の偏位係数とすると、κmnであり;前記可撓性外歯車の外歯の歯筋方向の各位置における軸直角断面において、歯の噛み合いをラック噛み合いで近似したときに得られる前記可撓性外歯車の外歯の前記剛性内歯車の内歯に対する各移動軌跡を求め、前記可撓性外歯車の外歯の歯筋方向における後端部から前端部までの間の途中位置に設定した軸直角断面を主断面とし、この主断面において得られる前記移動軌跡を第1移動軌跡と呼び、この第1移動軌跡上のループ状頂部において、当該第1移動軌跡に引いた接線のうち、リム中立曲線の長軸とのなす角が前記圧力角αとなる接線を第1接線と呼び、前記外歯における前記主断面以外の歯筋方向の各軸直角断面において得られる前記移動軌跡をそれぞれ第2移動軌跡と呼び、これらに引いた接線のうち、リム中立曲線の長軸とのなす角が前記圧力角αとなる接線をそれぞれ第2接線と呼ぶものとすると、前記外歯の歯筋方向に沿って見た場合に、各軸直角断面における各第2移動軌跡を遷移させて各第2接線が前記第1接線に一致するように、前記外歯における前記主断面以外の各軸直角断面の歯形が、インボリュート歯形からなる前記基本歯形に転移を施した転位歯形となっており;前記剛性内歯車の内歯の歯先には、その歯筋方向に沿って、前記転位歯形に干渉しないように修正が施されていることを特徴とする波動歯車装置。請求項1において、前記外歯における前記主断面での歯たけは、当該主断面での偏位係数κをκ0とすると、2κ0mnであり、偏位係数κ0は1c0<c<0.5であることを特徴とする波動歯車装置。請求項1または2において、前記外歯の主断面における前記撓み係数κをκ0>1とすると、前記転位歯形の転位量は、次式により与えられる値、または、横軸を撓み係数κ、縦軸を転位量yとした場合において次式により得られる転位量曲線を近似する一定勾配の直線によって規定される値であることを特徴とする波動歯車装置。請求項1ないし3のうちのいずれかの項において、前記可撓性外歯車は等高歯の円錐歯車であり、当該可撓性外歯車が楕円状に変形した状態での長軸を含む軸断面上において、当該可撓性外歯車の外歯の歯先が前記剛性内歯車の内歯の歯底にほぼ平行になるように、当該外歯の歯先円筒面の形状は、歯筋方向の後端部から前端部に向けて外径が漸減する円錐面となっていることを特徴とする波動歯車装置。本発明の課題は、両歯車が、歯筋方向における所定の位置に設定した主断面軸直角断面においては広範囲の噛み合いを維持し、歯筋方向の他の軸直角断面においても部分的な噛み合いを保持し、かつ、高減速比であっても高負荷トルク時の両歯車のラチェティングを防止可能な大きな歯たけを備えている3次元接触のインボリュート正偏位歯形を有する波動歯車装置を提案することにある。上記の課題を達成するために、本発明の波動歯車装置では、有効歯たけを大きくするために、20°より小さい低圧力角のインボリュート正偏位歯形を基本歯形として採用している。また、インボリュート歯形のラック歯形が直線であることに着目して、両歯車の歯筋全体に亘って、歯のコーニングを考慮した連続的な噛み合いが可能となる歯形を実現している。すなわち、本発明では、波動歯車装置の可撓性外歯車の外歯における歯筋中央付近に設定した基準の軸直角断面以下、主断面と呼ぶで歯たけを標準の2mnmはモジュール、nは正の整数であり、通常はn=1より大きくした2κ0mn=21cmn偏位係数κ0=1c、0<c<0.5としている。また、外歯の歯筋方向に沿って、コーニングを考慮した歯の転位を行うことにより、外歯の歯筋方向の各軸直角断面におけるラック歯形の直線部を歯筋方向に沿って見た場合に一致するようにしている。これによって、本発明の波動歯車装置では、その両歯車の歯筋全般に亘る合理的な歯の噛み合いを実現している。更に説明すると、本発明は、円環状の剛性内歯車と、この内側に配置された可撓性外歯車と、この内側に嵌めた波動発生器とを有し、前記可撓性外歯車は、可撓性の円筒状胴部と、この円筒状胴部の後端から半径方向に延びている円環状のダイヤフラムを備え、前記円筒状胴部の前端開口部の部位に形成されている外歯が、前記波動発生器によって、そのダイヤフラム側の後端部からその開口側の前端部に掛けて、前記ダイヤフラムからの距離にほぼ比例した撓み量が生ずるように楕円状に撓められる波動歯車装置において:前記剛性内歯車および前記可撓性外歯車はモジュールmの平歯車であり;前記剛性内歯車および可撓性外歯車のそれぞれの歯数は、少なくとも200枚であり;前記可撓性外歯車の歯数は、nを正の整数とすると、前記剛性内歯車の歯数より2n枚少なく;前記剛性内歯車および前記可撓性外歯車の基本歯形は、圧力角αが20°未満のインボリュート歯形であり;前記可撓性外歯車が前記波動発生器によって楕円状に変形することにより、前記可撓性外歯車の外歯のリム中立円は楕円状のリム中立曲線に変形しており、当該リム中立曲線の長軸位置における前記リム中立円に対する半径方向の撓み量は、κを1より大きな値の偏位係数とすると、κmnであり;前記可撓性外歯車の外歯の歯筋方向の各位置における軸直角断面において、歯の噛み合いをラック噛み合いで近似したときに得られる前記可撓性外歯車の外歯の前記剛性内歯車の内歯に対する各移動軌跡を求め、前記可撓性外歯車の外歯の歯筋方向における後端部から前端部までの間の途中位置に設定した軸直角断面を主断面とし、この主断面において得られる前記移動軌跡を第1移動軌跡と呼び、この第1移動軌跡上のループ状頂部において、当該第1移動軌跡に引いた接線のうち、リム中立曲線の長軸とのなす角が前記圧力角αとなる接線を第1接線と呼び、前記外歯における前記主断面以外の歯筋方向の各軸直角断面において得られる前記移動軌跡をそれぞれ第2移動軌跡と呼び、これらに引いた接線のうち、リム中立曲線の長軸とのなす角が前記圧力角αとなる接線をそれぞれ第2接線と呼ぶものとすると、前記外歯の歯筋方向に沿って見た場合に、各軸直角断面における各第2移動軌跡を遷移させて各第2接線が前記第1接線に一致するように、前記外歯における前記主断面以外の各軸直角断面の歯形が、インボリュート歯形からなる前記基本歯形に転移を施した転位歯形となっており;前記剛性内歯車の内歯の歯先には、その歯筋方向に沿って、前記転位歯形に干渉しないように修正が施されていることを特徴としている。ここで、前記外歯における前記主断面での歯たけは、当該主断面での偏位係数κをκ0とすると、2κ0mnであり、偏位係数κ0=1c0<c<0.5とすることが望ましい。また、外歯の主断面における前記撓み係数κをκ0>1とすると、転位歯形の転位量は次式により与えられる値とすることができる。この代わり、横軸を撓み係数κ、縦軸を転位量yとした場合において上記の式により得られる転位量曲線は一定勾配の直線で近似することができるので、この近似直線を用いて転位量を規定することもできる。次に、前記可撓性外歯車を等高歯の円錐歯車とすることができる。この場合には、当該可撓性外歯車が楕円状に変形した状態での長軸を含む軸断面上において、当該可撓性外歯車の外歯の歯先が前記剛性内歯車の内歯の歯底にほぼ平行になるように、当該外歯の歯先円筒面の形状を、歯筋方向の後端部から前端部に向けて外径が漸減する円錐面とすればよい。本発明の波動歯車装置では、可撓性外歯車を撓み量が正規の撓み量よりも多い正偏位撓みとし、剛性内歯車、可撓性外歯車を標準より小さい低圧力角のインボリュート歯形とし、可撓性外歯車の外歯の歯筋方向において、当該外歯の各軸直角断面のインボリュート歯形の直線部を一致させるように外歯に転位を施している。これにより、両歯形の噛み合いを、それらの軸直角断面上だけでなく、これに直交する歯筋に沿った方向においても実現し、高減速比においても所望の伝達トルクを維持し得るようにしている。したがって、本発明の波動歯車装置によれば、主断面における連続的な歯形の噛み合いを中心とし、主断面から前端部に至る歯筋の範囲および主断面から後端部に至る歯筋の全範囲において、有効な噛み合いを実現することができ、より多くのトルクを伝達することができる。波動歯車装置の構成図1は本発明の対象である波動歯車装置の正面図である。図2a~cはその可撓性外歯車の開口部を楕円状に撓ませた状況を含軸断面で示す断面図であり、aは変形前の状態、bは変形後における楕円形の長軸を含む断面、cは変形後における楕円の短軸を含む断面をそれぞれ示してある。なお、図2a~cにおいて実線はコップ状の可撓性外歯車を示し、破線はシルクハット状の可撓性外歯車を示す。これらの図に示すように、波動歯車装置1は、円環状の剛性内歯車2と、その内側に配置された可撓性外歯車3と、この内側にはめ込まれた楕円形輪郭の波動発生器4とを有している。剛性内歯車2および可撓性外歯車3はモジュールmの平歯車であり、これらの歯数は200枚以上である。また、可撓性外歯車の歯数は、nを正の整数とすると、剛性内歯車の歯数より2n枚少ない。一般的にはn=1であるので、歯数差は2枚である。波動歯車装置1の可撓性外歯車3は、楕円形輪郭の波動発生器4によって楕円形に撓められ、楕円形の長軸L1方向の両端部分の近傍において、その外歯11が剛性内歯車2の内歯12に噛み合っている。波動発生器4を回転させると、両歯車2、3の噛み合い位置が周方向に移動し、両歯車の歯数差に応じた相対回転が両歯車2、3の間に発生する。可撓性外歯車3は、可撓性の円筒状胴部13と、その後端14に連続して半径方向に広がるダイヤフラム15と、ダイヤフラム15に連続しているボス16とを備えている。円筒状胴部13の開口端17の側の外周面部分に、外歯11が形成されている。円筒状胴部13の外歯形成部分の内周面部分にはめ込まれた楕円形輪郭の波動発生器4によって、円筒状胴部13は、そのダイヤフラム側の後端114から開口端17に向けて、半径方向の外側あるいは内側への撓み量が漸増している。図2bに示すように、楕円形の長軸L1を含む断面では外側への撓み量が後端14から開口端17への距離に比例して漸増し、図2cに示すように、楕円形の短軸L2を含む断面では内側への撓み量が後端14から開口端17への距離に比例して漸増している。したがって、開口端17側の外周面部分に形成されている外歯11も、その歯筋方向におけるダイヤフラム側の後端部18から開口端側の前端部19に向けて、後端14ダイヤフラム15からの距離に比例して撓み量が漸増している。図3は波動歯車装置1の両歯車2、3の相対運動をラックで近似した場合に得られる、剛性内歯車2の内歯12に対する可撓性外歯車3の外歯11の楕円状のリム中立曲線上の点の移動軌跡を示す図である。図3において、x軸はラックの併進方向、y軸はそれに直角な方向を示す。y軸の原点は移動軌跡の振幅の平均位置としてある。剛性内歯車2と可撓性外歯車3の歯数差は2nnは正の整数、通常はn=1である。可撓性外歯車3の任意の軸直角断面における剛性内歯車2に対する移動軌跡の全振幅を2κmnκは偏位係数であり、1より大きな実数、mはモジュールとすると、可撓性外歯車3の外歯11の移動軌跡は式1で与えられる。x=0.5mnθ-κsinθ式1y=κmncosθ説明を簡単にするために、m=1、n=1歯数差が2とすると、移動軌跡は式1Aのようになる。図3にはこの場合の移動軌跡を示してある。x=0.5θ-κsinθ式1Ay=κcosθ歯形設定方法次に、本発明による外歯11、内歯12の歯形設定方法を説明する。まず、可撓性外歯車3の軸直角断面で歯筋方向の中央付近に設定した断面を主断面20とする。図4は、可撓性外歯車3の偏位係数κ0の主断面20に設定した低圧力角α<20°のインボリュート歯形のラック歯形形状である。ラチェティングを防止するために高歯を採用している。すなわち、主断面20で歯たけを標準の2mnmはモジュール、nは正の整数であり、通常はn=1より大きくした2κ0mn=21cmn偏位係数κ0=1c、0<c<0.5としている。このように、外歯11および内歯12の基本歯形として、低圧力角αのインボリュート歯形のラック歯形形状を採用する。次に、この主断面20における剛性内歯車2に対する可撓性外歯車3の楕円状のリム中立曲線上の点が描く移動軌跡の全振幅を2κ0mnκ0>1の正偏位とする。外歯11の歯筋方向の前端部19における楕円状のリム中立曲線上の点が描く移動軌跡の全振幅を2κ0amnとし、外歯11の歯筋方向の後端部18における楕円状のリム中立曲線上の点が描く移動軌跡の全振幅を2κ0-bmnとする。可撓性外歯車3の円筒状胴部13はコーニングによりダイヤフラム15からの距離に比例して撓み量が増加するので、ダイヤフラム15から前端部19、主断面20および後端部18に至る距離をそれぞれla、l0、lbとすると、a、bは次のように規定できるa=κ0la-l0/l0b=κ0l0-lb/l0再び図3を参照して説明すると、曲線I0は転位前の歯の主断面20における移動軌跡を示し、主断面に20おいては撓み係数がκ=κ0=1c、0<c<0.5で撓む。曲線Iaは転位前の歯の前端部19における移動軌跡を示し、前端部19の断面においては撓み係数がκ=κ0aで撓む。曲線Ibは転位前の歯の後端部18における移動軌跡を示し、後端部10の断面においては撓み係数がκ=κ0-b>1で撓む。例えば、曲線I0は偏位係数がκ=κ0=1.4c=0.4、曲線Iaは偏位係数がκ=1.7a=0.3、曲線Ibは偏位係数がκ=1.1b=0.3の場合である。なお、一点鎖線で示す曲線Iは標準偏位撓みの場合の移動軌跡であるκ=1。このように、各移動軌跡Ia、Ib、I0は正偏位撓みであるので、それらの噛み合いの最深部である頂点部分にはループ状頂部が形成される。次に、主断面20において得られる移動軌跡I0上のループ状頂部において、当該移動軌跡I0に対して、リム中立曲線の長軸図3におけるy軸とのなす角が圧力角α<20°となる接線を引き、これを第1接線T1とする。また、外歯11における主断面20以外の歯筋方向の各軸直角断面において得られる移動軌跡のループ状頂部に対して、リム中立曲線の長軸とのなす角が圧力角αとなる接線を引き、これをそれぞれ第2接線T2とする。例えば、図3において、前端部19の移動軌跡Iaのループ状頂部には第2接線T2aが得られ、後端部18の移動軌跡Ibのループ状頂部には第2接線T2bが得られる。次に、外歯11の歯筋方向に沿って見た場合に、外歯11の各軸直角断面における各移動軌跡を遷移させて各第2接線T2が前記第1接線T1に一致するように、外歯11における主断面20以外の各軸直角断面の歯形を、インボリュート歯形のラック歯形形状からなる基本歯形に転移を施した転位歯形とする。このとき必要な転位量は次の2式で与えられる。式2図5は、可撓性外歯車の歯筋の各位置での転位量を示すグラフであり、上記の式2の一例を示すものである。この図の横軸は可撓性外歯車3の外歯11の各軸直角断面の半径方向の撓み量wをmnで割った値偏位係数κを示し、縦軸は転位量yを示している。実用的にはこの曲線は直線に近いことから転位量を、この曲線を近似する直線によって規定してもよい。図6A、BおよびCは、このようにして得られた外歯11の前端部19、主断面20および後端部18における剛性内歯車2の内歯12との噛み合いを示すものである。いずれの場合においても両歯車2、3の歯形はその直線部の歯形を共有している状態を示している。このように、本発明では、可撓性外歯車3の外歯11の前端部19から主断面20を経て後端部18に至る歯筋方向に各断面において、内歯12との間で噛み合い状態が形成される。次に、図7は上記のように形成された歯形を有する可撓性外歯車3と剛性内歯車2の歯の形状の一例を示すものであり、これらの両歯車の中心軸線1aおよび楕円状に変形している可撓性外歯車3の長軸を含む断面で切断した場合の縦断面図である。この図7に示すように、剛性内歯車2の内歯12の歯先には、その歯筋方向に沿って、外歯11の転位歯形に干渉しないように修正を施してある。すなわち、内歯12の歯先にはその歯筋方向において、外歯11の主断面20に対応する位置から外歯の後端部18の側の端に向けて、歯たけが漸減するように修正を施してある。また、可撓性外歯車3を等高歯の円錐歯車とすることが望ましい。この場合、当該可撓性外歯車3が楕円状に変形した状態での長軸を含む軸断面上において、当該可撓性外歯車3の外歯11の歯先が剛性内歯車2の内歯12の歯底にほぼ平行になるように、当該外歯11の歯先円筒面の形状を、歯筋方向の後端部18から前端部19に向けて外径が漸減する円錐面とすることが望ましい。