"被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルで保持した被加工物をバイトホイールで切削する切削方法であって、被加工物の第1面側を第1粘着シートに貼着して被加工物を該第1粘着シート上に配設する第1粘着シート貼着ステップと、該第1粘着シート上に配設された被加工物の該第1粘着シート側をチャックテーブルで保持する保持ステップと、該保持ステップを実施する前又は後で、少なくとも被加工物の側面に第2粘着シートを貼着するとともに、該第2粘着シートを該第1粘着シートに貼着して被加工物を該第1粘着シートと該第2粘着シートとで固定する第2粘着シート貼着ステップと、該第2粘着シート貼着ステップを実施した後、該保持面と平行な面で回転する切削刃を有するバイトホイールを回転させつつ被加工物の該第1面と反対側の第2面に当接させた状態で該チャックテーブルと該バイトホイールとを相対移動させて被加工物の該第2面側とともに被加工物の該側面に貼着された該第2粘着シートを切削する切削ステップと、を具備したことを特徴とする切削方法。このように粘着シート上にLEDパッケージ等の被加工物を貼着して切削刃を有するバイトホイールで被加工物の露出面を切削する場合、切削時の加工負荷によって粘着シート上の被加工物が切削中に僅かに動き、切削面を平坦化しにくいという問題がある。特にLEDパッケージを切削する場合のように被加工物が小さい場合には、粘着シートとの接着面積が小さいために接着力が加工負荷に負けて被加工物が粘着シートから剥がれてしまい、被加工物を破損させてしまう恐れがある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、粘着シートに貼着された被加工物をバイトホイールにより切削する際に、被加工物の動きや剥離の恐れを低減し、被加工物を破損させることなく切削面を平坦化することが可能な切削方法を提供することである。本発明によると、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルで保持した被加工物をバイトホイールで切削する切削方法であって、被加工物の第1面側を第1粘着シートに貼着して被加工物を該第1粘着シート上に配設する第1粘着シート貼着ステップと、該第1粘着シート上に配設された被加工物の該第1粘着シート側をチャックテーブルで保持する保持ステップと、該保持ステップを実施する前又は後で、少なくとも被加工物の側面に第2粘着シートを貼着するとともに、該第2粘着シートを該第1粘着シートに貼着して被加工物を該第1粘着シートと該第2粘着シートとで固定する第2粘着シート貼着ステップと、該第2粘着シート貼着ステップを実施した後、該保持面と平行な面で回転する切削刃を有するバイトホイールを回転させつつ被加工物の該第1面と反対側の第2面に当接させた状態で該チャックテーブルと該バイトホイールとを相対移動させて被加工物の該第2面側とともに被加工物の該側面に貼着された該第2粘着シートを切削する切削ステップと、を具備したことを特徴とする切削方法が提供される。本発明の切削方法によると、少なくとも被加工物の側面に貼着された第2粘着シートと第1粘着シートとで被加工物が固定された状態で被加工物の切削が遂行されるため、切削中に被加工物が動いたり第1粘着シートから剥離する恐れが低減され、被加工物を破損させることなく切削面を平坦化できる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明の切削方法を実施するのに適したバイトホイールが装着されたバイト切削装置2の斜視図が示されている。4はバイト切削装置2のベースハウジングであり、ベース4の後方にはコラム6が立設されている。コラム6には、上下方向に伸びる一対のガイドレール一本のみ図示8が固定されている。この一対のガイドレール8に沿ってバイト切削ユニット10が上下方向に移動可能に装着されている。バイト切削ユニット10は、そのハウジング20が一対のガイドレール8に沿って上下方向に移動する移動基台12に取り付けられている。バイト切削ユニット10は、ハウジング20と、ハウジング20中に回転可能に収容されたスピンドル22図9参照と、スピンドル22の先端に固定されたマウント24と、マウント24に着脱可能に装着されたバイトホイール25とを含んでいる。バイトホイール25にはバイトユニット26が着脱可能に取り付けられている。バイト切削ユニット10は、バイト切削ユニット10を一対の案内レール8に沿って上下方向に移動するボールねじ14とパルスモータ16とから構成されるバイト切削ユニット送り機構18を備えている。パルスモータ16をパルス駆動すると、ボールねじ14が回転し、移動基台12が上下方向に移動される。ベース4の中間部分にはチャックテーブル30を有するチャックテーブル機構28が配設されており、チャックテーブル機構28は図示しないチャックテーブル移動機構によりY軸方向に移動される。33は蛇腹であり、チャックテーブル機構28をカバーする。ベース4の前側部分には、第1のウエーハカセット32と、第2のウエーハカセット34と、ウエーハ搬送用ロボット36と、複数の位置決めピン40を有する位置決め機構38と、ウエーハ搬入機構ローディングアーム42と、ウエーハ搬出機構アンローディングアーム44と、スピンナ洗浄ユニット46が配設されている。また、ベース4の概略中央部には、チャックテーブル30を洗浄する洗浄水噴射ノズル48が設けられている。この洗浄水噴射ノズル48は、チャックテーブル30が装置手前側のウエーハ搬入搬出領域に位置づけられた状態において、チャックテーブル30に向かって洗浄水を噴射する。図2を参照すると、バイトホイール25の斜視図が示されている。バイトホイール25は、環状のホイール基台50と、ホイール基台50に着脱可能に取り付けられたバイトユニット26と、ホイール基台50の回転中心を基準にバイトユニット26に対して点対象位置のホイール基台50に着脱可能に取り付けられたバイトユニット26と同一重量のバランス取り用錘カウンターバランス66とから構成される。バイトホイール25は矢印R方向に回転されて光デバイスウエーハ11の表面に形成された透光性モールド樹脂を切削する。バイトユニット26は、図3の分解斜視図に示すように、略直方体形状のシャンクバイトシャンク52と、シャンク52に着脱可能に取り付けられたバイト切削工具54とから構成される。バイト54は板状を呈しており、長手方向の一端部の表面側にはダイアモンド等で所定形状に形成された切削刃56が固着されている。バイト54にはねじ58が挿入される丸穴59が形成されている。シャンク52の一側面には、バイト54の厚さと同等の深さを有するピット60が形成されている。ピット60にはねじ穴61が形成されている。バイト54をシャンク52のピット60内に挿入し、バイト54の丸穴59を通してねじ58をねじ穴61に螺合することにより、バイト54がシャンク52に固定される。図4に示すように、ホイール基台50には直方体形状の取り付け穴62と、取り付け穴62に開口するねじ穴63が形成されている。バイトユニット26のシャンク52をホイール基台50に形成された取り付け穴62中に挿入し、ねじ64をねじ穴63に螺合して締め付けることにより、バイトユニット26がホイール基台50に固定される。一方、バランス取り用錘66はバイトユニット26と同一重量を有しており、図2及び図5に示すように、ホイール基台50の回転中心を基準にバイトユニット26に対して点対象位置のホイール基台50に形成された取り付け用穴68中に挿入され、ねじ穴69中にねじ70を螺合して締め付けることにより、ホイール基台50に固定される。次に、図6乃至図11を参照して、本発明実施形態の切削方法について詳細に説明する。本発明実施形態の切削方法では、まず図6に示すように、複数のLEDパッケージ72の第1面72a側を第1粘着シート74に貼着するとともに、第1粘着シート74の外周部を環状フレーム76に貼着して、複数のLEDパッケージ72を第1粘着シート74上に配設する第1粘着シート貼着ステップを実施する。各LEDパッケージ72は、基板78と、基板78上に積層された透光性モールド樹脂80とから構成される。各LEDパッケージ72は、第1粘着シート74に貼着される第1面72aと、透光性モールド樹脂80で被覆された第2面72bを有している。好ましくは、透光性モールド樹脂80は、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アクリルウレタン樹脂、又はポリイミド樹脂から選択される。図6に示した実施形態では、複数個のLEDパッケージ72を第1粘着シート74に貼着しているが、第1粘着シート74に貼着する被加工物は一つでもよい。また、被加工物はLEDパッケージ72に限定されるものではなく、一般的に小サイズの被加工物を含むものである。このように第1粘着シート74上に複数のLEDパッケージ72を貼着した後、図7に示すように、第1粘着シート74上に貼着された複数のLEDパッケージ72に対応する位置に複数の切り込み88を有する第2粘着シート86を、各切り込み88が各々のLEDパッケージ72に被さるように第1粘着シート74に貼着する。これにより、図8の拡大断面図に示すように、切り込み88部分に開口90が形成されてLEDパッケージ72の側面に第2粘着シート86が貼着されるとともに、第2粘着シート86が第1粘着シート74に貼着され、LEDパッケージ72が第1粘着シート74と第2粘着シート86で固定される。第1粘着シート74は、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレートPET、塩化ビニル等の樹脂から形成された基材74aとゴム系又はアクリル系の糊層74bとから構成される。第2粘着シート86も、第1粘着シート74と同様な樹脂から形成された基材86aと糊層86bとから構成される。第2粘着シート86の糊層86bの厚さは5μm以下が好ましい。LEDパッケージ72は、基板78上に実装されたLEDチップ82を含んでおり、LEDチップ82の電極と基板78のパッドとは金等のワイヤー84でボンディング接続されている。LEDチップ82及びワイヤー84は透光性モールド樹脂80で被覆されている。このように複数のLEDパッケージ72を第1粘着シート74と第2粘着シート86とで固定する第2粘着シート貼着ステップを実施した後、図9に示すように、バイト切削装置2のチャックテーブル30で第1粘着シート74側を吸引保持する保持ステップを実施する。代替実施形態として、この保持ステップは第2粘着シート貼着ステップを実施する前に行うようにしてもよい。即ち、複数のLEDパッケージ72が貼着された第1粘着シート74をチャックテーブル30で吸引保持してから、第2粘着シート貼着ステップを実施して第1粘着シート74と第2粘着シート86とで複数のLEDパッケージ72を固定するようにしてもよい。第2粘着シート貼着ステップ及び保持ステップを実施した後、図10に示すように、チャックテーブル30の保持面30aと平行な面で回転する切削刃56を有するバイトホイール25を回転させつつ切削刃56をLEDパッケージ72の側面に貼着された第2粘着シート86に当接させた状態で、チャックテーブル30とバイトホイール25とを相対移動させて、第2粘着シート86とともにLEDパッケージ72の第2面72a側、即ち透光性モールド樹脂80を切削して平坦化する切削ステップを実施する。即ち、バイトホイール25を例えば約2000rpmで回転しつつ、バイトホイール送り機構18を駆動してバイトユニット26の切削刃56を透光性モールド樹脂80に10μm程度切り込ませ、チャックテーブル30を矢印Y方向に例えば1800μm/秒の送り速度で移動させながら、切削刃56で第2粘着シート86とともに透光性モールド樹脂80を旋回切削する。この旋回切削時には、チャックテーブル30は回転させずにY軸方向に加工送りする。LEDパッケージ72の透光性モールド樹脂80は第1粘着シート74と第2粘着シート86とで固定された状態で切削刃56により旋回切削されるため、切削中にLEDパッケージ72が動いたり第1粘着シート74から剥離する恐れが低減され、LEDパッケージ72を破損させることなく透光性モールド樹脂80を切削して平坦化することができる。切削ステップ終了後の一部断面側面図が図11に示されている。LEDパッケージ72の透光性モールド樹脂80が切削されて平坦化されるため、LEDチップ82から出射された光を外部に効率良く取り出すことができる。第1及び第2粘着シート74,86として紫外線硬化型粘着シートを使用することにより、切削加工終了後第1及び第2粘着シート74,86に紫外線を照射してその粘着力を低下させ、LEDパッケージ72を第1及び第2粘着シート74,86から容易に剥離することができる。"