所定の厚さを有する対象物質に光を照射して露光を行う方法であって、前記対象物質に対する前記光の照射率は、露光が進行する時間に応じて可変的であることを特徴とする露光方法。前記対象物質は、ソルダレジストであることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。前記光の照射率は、露光が進行するほど増加することを特徴とする請求1または請求項2に記載の露光方法。前記光の照射率は、前記光に含まれた特定波長帯域を選択的にフィルタリングすることにより変化されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の露光方法。前記光は、i線、h線及びg線を含み、露光初期には、前記i線を選択的にフィルタリングし、露光後期には前記g線を選択的にフィルタリングすることを特徴とする請求項4に記載の露光方法。前記i線及び前記g線をフィルタリングする段階は、前記i線を選択的にフィルタリングする第1フィルタ領域及び前記g線を選択的にフィルタリングする第2フィルタ領域が設けられた光学フィルタを、前記光源と前記対象物質との間に配置する段階と、前記光学フィルタを移動させる段階と、を含むことを特徴とする請求項5に記載の露光方法。前記光学フィルタは、バー形状を有し、前記光学フィルタを移動させる段階は、前記光学フィルタを直線運動させることにより行われることを特徴とする請求項6に記載の露光方法。前記光学フィルタは、円または環状を有し、前記光学フィルタを移動させる段階は、前記光学フィルタを回転させることにより行われることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の露光方法。所定の厚さを有する対象物質に光を照射して露光を行う装置であって、前記対象物質に光を照射する光源と、前記対象物質を支持する支持体と、前記光源と前記支持体との間に位置し、前記光に含まれた特定波長帯域をそれぞれ選択的にフィルタリングする複数のフィルタ領域が設けられた光学フィルタと、前記光学フィルタを移動させる移動手段と、を含む露光装置。前記光はi線、h線及びg線を含み、前記複数のフィルタ領域は、前記i線を選択的にフィルタリングする第1フィルタ領域と、前記g線を選択的にフィルタリングする第2フィルタ領域とを含むことを特徴とする請求項9に記載の露光装置。前記光学フィルタは、バー形状を有し、前記移動手段は、前記光学フィルタを直線運動させることを特徴とする請求項9または請求項10に記載の露光装置。前記光学フィルタは、円または環状を有し、前記移動手段は、前記光学フィルタを回転させることを特徴とする請求項9から請求項11のいずれか1項に記載の露光装置。本発明は、上述した問題点に鑑み、対象物質の深さ別に光硬化度を適切に制御できる露光方法及び露光装置を提供することを目的とする。本発明の一側面によれば、所定の厚さを有する対象物質に光を照射して露光を行う方法であって、上記対象物質に対する上記光の照射率は、露光が行われる時間に応じて可変的であることを特徴とする露光方法が提供される。このとき、上記対象物質はソルダレジストであってもよい。上記光の照射率は、露光が進行するほど漸次増加することができる。上記光の照射率は、上記光に含まれた特定波長帯域を選択的にフィルタリングすることにより変化可能である。このとき、上記光はi線、h線及びg線を含むことができ、露光初期には上記i線を選択的にフィルタリングし、露光後期には上記g線を選択的にフィルタリングすることができる。また、上記i線及び上記g線をフィルタリングする段階は、上記i線を選択的にフィルタリングする第1フィルタ領域及び上記g線を選択的にフィルタリングする第2フィルタ領域が設けられた光学フィルタを上記光源と上記対象物質との間に配置する段階と、上記光学フィルタを移動させる段階とを含むことができる。ここで、上記光学フィルタは、バーbar形状を有してもよく、このとき、上記光学フィルタを移動させる段階は、上記光学フィルタを直線運動させることにより行われることができる。一方、上記光学フィルタは、円または環状を有してもよく、このとき、上記光学フィルタを移動させる段階は、上記光学フィルタを回転させることにより行われることができる。本発明の他の側面によれば、所定の厚さを有する対象物質に光を照射して露光を行う装置であって、上記対象物質に光を照射する光源と、上記対象物質を支持する支持体と、上記光源と上記支持体との間に位置し、上記光に含まれた特定波長帯域をそれぞれ選択的にフィルタリングする複数のフィルタ領域が設けられた光学フィルタと、上記光学フィルタを移動させる移動手段と、を含む露光装置が提供される。上記光学フィルタは、バー形状を有してもよく、このとき、上記光学フィルタを移動させる段階は、上記光学フィルタを直線運動させることにより行われることができる。一方、上記光学フィルタは、円または環状を有してもよく、このとき、上記光学フィルタを移動させる段階は、上記光学フィルタを回転させることにより行われることができる。本発明の好ましい実施例によれば、対象物質に対する光の照射率を変更させることにより、対象物質の深さ別に光硬化度を適切に制御することができる。本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施例を有することができるため、特定実施例を図面に例示し、詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物及び代替物を含むものとして理解すべきである。本発明を説明するに当たって、係る公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨をかえって不明にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。以下、本発明に係る露光方法及び露光装置の好ましい実施例を添付図面に基づいて詳細に説明し、添付図面を参照して説明するに当たって、同一または対応する構成要素には同一の図面番号を付し、これに対する重複説明は省略する。本発明に係る露光方法は、所定の厚さを有する対象物質、例えば、印刷回路基板のソルダレジストに光を照射して露光を行うことにおいて、対象物質に対する光の照射率が、露光が進行する時間に応じて可変的であることに大きな特徴がある。図1は、本発明の一側面に係る露光方法の一実施例に用いられた光の照射率を示すグラフである。図1に示すように、本発明の一実施例に係る露光方法は、露光初期には光の照射率を弱くし、露光が進行するほど照射率を強くする方法を用いる。つまり、所定の領域に対する光の照射率が露光が進行するほど漸次増加することになる。露光初期に光の照射率を弱くすると、対象物質の表面における光硬化度を低下することができ、その結果、光が対象物質の深部まで充分に到逹できるようになって、深部における光硬化度を相対的に高めることができる。この原理により漸次光の照射率を強くすれば対象物質の厚さ方向における均一な光硬化度を得ることができる。一方、本実施例では、対象物質の厚さ方向における均一な光硬化度を得る場合を例に挙げて説明したが、設計上の様々な必要及び/または対象物質の光硬化特性などに応じて照射率のプロファイルを異なるように設定することができる。次に、本発明の一側面に係る露光方法の他の実施例について説明する。図2は、本発明の一側面に係る露光方法の他の実施例に用いられた光の波長別の相対強度relativeintensityを示すグラフである。本実施例では、露光が進行する時間に応じて光に含まれた特定波長帯域を選択的にフィルタリングすることにより光の照射率を変化させる方法を用いる。露光に用いられる光に含まれた様々な波長帯域はそれぞれ対象物質の深さ別に、つまり厚さ方向に対して影響を及ぼす程度が異なるので、本実施例の場合と同様に、対象物質の深さ別に適当な特定波長帯域を選択的に照射または遮断すると、該当する深さに適した性質を有する光を供給できるので、対象物質に対する露光工程の制御をより効率的に行うことができる。一例として、図2に示すようにi線365nm、h線405nm及びg線436nmを含む光を用いて露光を行う場合、露光初期にはi線を選択的にフィルタリングし図2のa参照、露光後期にはg線を選択的にフィルタリングする図2のb参照方法を用いることができる。i線は、短波で、対象物質の表面の光硬化度に大きく影響を与えるものと知られており、相対的に長波であるg線は対象物質の深部に大きい影響を与えるものと知られているので、露光初期にはi線をフィルタリングし、露光末期にはg線をフィルタリングするプロファイルを適用すれば、対象物質の厚さ方向における均一な光硬化度を得ることができる。図3は、図2のグラフに示された光の全体照射率の経時による変化状態を示すものである。一方、本実施例のように、経時に応じてフィルタリングする波長帯域を変更するために、後述する構造の光学フィルタ120、120A、120Bを光源110と対象物質150との間に配置した後、光学フィルタ120、120A、120Bを移動させながら露光を行う方法を用いることができる。これについては後述する。次に、本発明の他の側面に係る露光装置について説明する。図4は、本発明の他の側面に係る露光装置の一実施例を示す図面であって、図4を参照すると、光源110、光学フィルタ120、支持体130、光学系140、対象物質150が示されている。図4に示すように、本実施例に係る露光装置は、対象物質150に光を照射する光源110と、対象物質150を支持する支持体130と、光源110と支持体130との間に位置し、光に含まれた特定波長帯域をそれぞれ選択的にフィルタリングする複数のフィルタ領域が設けられた光学フィルタ120と、光学フィルタ120を移動させる移動手段図6の160A、図9の160B参照と、を含む。この構造により、露光が進行する時間に応じて光に含まれた特定波長帯域を選択的にフィルタリングすることにより、光の照射率を変化させることができる。光源110は、感光性を有する対象物質150に光を照射し、該当する部分が硬化されるようにする手段であって、対象物質150の反応特性に合わせた光を照射する。本実施例では、i線、h線及びg線を含む光を照射する場合を例に挙げたが、これに限定されないことは明らかである。支持体130は、対象物質150を支持する機能を行う。露光の対象となる対象物質150が印刷回路基板図示せずに形成されたソルダレジストである場合、支持体130は、印刷回路基板の下面を支持することにより、対象物質150であるソルダレジストを支持することができる。この支持体130としては作業テーブルなどを用いることができる。光学系140は、光源110と対象物質150との間に位置し、光源110から照射された光が露光に適した密度、大きさなどを有するように変更させる機能を行う。このような光学系140は、複数の凹レンズ及び/または凸レンズからなるアレイで構成されてもよい。光学フィルタ120は、光源110と支持体130との間に位置し、光源110が照射する光に含まれた特定波長帯域を選択的にフィルタリングする機能を行う。図4には、光学フィルタ120が光源110と光学系140との間に配置されているが、これに限定されず、光学系140と対象物質150との間に配置できるなど、その位置は設計上の必要などにより様々に変更されることができる。一方、光学フィルタ120には特定波長帯域をそれぞれ選択的にフィルタリングする複数のフィルタ領域が設けられる。図5及び図7にはそれぞれi線を選択的にフィルタリングする第1フィルタ領域121A、121Bと、g線を選択的にフィルタリングする第2フィルタ領域122A、122Bとが設けられた光学フィルタ120A、120Bの実施例が示されている。このような複数のフィルタ領域121A、122A、121B、122Bが設けられた光学フィルタ120A、120Bを移動させながら露光工程を行うと、経時に応じてフィルタリングされる波長帯域を変更させることができる。図5には、バー形状の光学フィルタ120Aが示されている。このとき、光学フィルタ120Aの両端部にはi線を選択的にフィルタリングする第1フィルタ領域121Aと、g線を選択的にフィルタリングする第2フィルタ領域122Aとが設けられており、その間にはすべての波長帯域を透過させる投光領域123Aが設けられている。このバー形状の光学フィルタ120Aを用いる場合、図6に示すようにコンベヤーベルト160Aを移送手段として用いて光学フィルタ120Aを直線運動させると、光学フィルタ120Aの直線運動により光源110から照射された光が通過する光学フィルタ120A上の領域が変化することになり、その結果、経時に応じてフィルタリングされる波長帯域を変更させることができる。図7は、光学フィルタ120の他の例として、円形状の光学フィルタ120Bが示されている。ここで、光学フィルタ120Bには、その中心を基準にして扇形形状を有する第1フィルタ領域121B、第2フィルタ領域122B及び投光領域123Bが設けられる。このような円形状の光学フィルタ120Bを用いる場合、図8に示すように、回転モータ160Bを移送手段として用いて光学フィルタ120Bを回転運動させると、光学フィルタ120Bの回転運動により光源110から照射された光が通過する光学フィルタ120B上の領域が変化することになり、その結果、経時に応じてフィルタリングされる波長帯域を変更させることができる。こごで、光学フィルタ120Bが円形状ではなく環状であってもよいことは明らかである。一方、図5及び図7には、第1フィルタ領域121A、121Bと第2フィルタ領域122A、122Bとの間に、すべての波長帯域を透過させる投光領域123A、123Bが設けられた構造が示されているが、これに限定されず、また他の特定波長帯域を選択的にフィルタリングする第3フィルタ領域図示せずが投光領域123A、123Bの位置に代替されてもよい。上記では、本発明の好ましい実施例に基づいて説明したが、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、下記の特許請求の範囲に記載した本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解できよう。上述した実施例以外の多くの実施例が本発明の特許請求範囲内に存在する。