"電子導電性を有する樹脂製の基材層と、フッ素ゴム材料を含有する表面層、および当該基材層と表面層との間に弾性層を含む少なくとも3層以上の構造を持ち、前記表面層は、厚みが3μm以上15μm以下であって、該フッ素ゴム材料100重量部に対し、平均粒径7μm未満の架橋型のフッ素樹脂を15~40重量部含有していることを特徴とする多層転写用部材。表面層の静摩擦係数μが1以下である請求項1に記載の多層転写用部材。表面層の算術平均粗さRaが0.25μm以下である請求項1に記載の多層転写用部材。内面算術平均粗さRaが0.10μm以下の円筒状金型内面に、フッ素ゴム材料を塗布する手法を用いて表面層を製膜する請求項1に記載の多層転写用部材。無端管状フィルムである請求項1に記載の多層転写用部材。フッ素ゴム材料に添加される架橋型のフッ素樹脂が、架橋型PTFEである請求項1に記載の多層転写用部材。基材層の材料がポリイミド又はポリアミドイミドである、請求項1に記載の多層転写用部材。本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、優れたラフ紙転写性と摺動性とを有し、かつ平滑な表面性を有する多層転写用部材特に、転写ベルトを提供することを主な目的とする。上記の目的を達成すべく鋭意検討した結果、本発明者は、電子導電性を有する樹脂製の基材層、フッ素ゴム材料を含有する表面層、および当該基材層と表面層との間に弾性層を含む少なくとも3層以上の構造を持ち、前記表面層は、厚みが3μm以上15μm以下であって、該フッ素ゴム材料に架橋型のフッ素樹脂を含有していることを特徴とする多層転写用部材が、上記の課題を解決できることを見出した。かかる知見に基づきさらに研究を重ねた結果、本発明を完成するに至った。即ち、本発明は下記の多層転写用部材を提供する。項1.電子導電性を有する樹脂製の基材層、フッ素ゴム材料を含有する表面層、および当該基材層と表面層との間に弾性層を含む少なくとも3層以上の構造を持ち、前記表面層は、厚みが3μm以上15μm以下であって、該フッ素ゴム材料100重量部に対し、平均粒子径7μm未満の架橋型のフッ素樹脂を15~40重量部含有していることを特徴とする多層転写用部材。項2.表面層の静摩擦係数μが、1以下である項1に記載の多層転写用部材。項3.表面層の算術平均粗さRaが、0.25μm以下である項1に記載の多層転写用部材。項4.内面算術平均粗さRaが、0.10μm以下の円筒状金型内面に、フッ素ゴム材料を塗布する手法を用いて表面層を製膜する項1に記載の多層転写用部材。項5.無端管状フィルムである項1に記載の多層転写用部材。項6.フッ素ゴム材料に添加される架橋型のフッ素樹脂が、架橋型PTFEである項1に記載の多層転写用部材。項7.基材層の材料がポリイミド又はポリアミドイミドである、項1に記載の多層転写用部材。本発明の多層転写用部材特に、転写ベルトは、表面層にフッ素ゴムを使用することによって、耐久性を向上させることができる。さらに、従来、フッ素ゴムにフッ素樹脂を含有させると、摺動性が向上する一方で、フッ素樹脂が容易に脱落し、表面粗さが増加するため、トナー埋まりによるクリーニング性の低下を引き起こすことが問題となっていたが、本発明の多層転写用部材特に、転写ベルトは、フッ素ゴムに架橋型のフッ素樹脂を含有することによって、フッ素樹脂の脱落を低減し、摺動性とクリーニング性を両立させることができる。以下、本発明について詳細に説明する。1.多層転写用部材本発明の多層転写用部材は、電子導電性を有する樹脂製の基材層、フッ素ゴム材料を含有する表面層、および当該基材層と表面層との間に弾性層を含む少なくとも3層以上の構造を持ち、前記表面層が、厚みが3μm以上15μm以下であって、該フッ素ゴム材料が平均粒子径7μm未満の架橋型のフッ素樹脂を含有していることを特徴とする。以下、多層弾性ベルトを例にとり、各層毎に説明する。a基材層本発明の多層転写用部材における基材層は、駆動時にかかる応力でベルトの変形を回避するために、機械物性に優れた樹脂で構成される。基材層は、マトリックスの樹脂に導電剤が分散された層であり、樹脂及び導電剤を含む基材層形成用組成物によって形成される。前記樹脂としては、例えば、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリビニリデンフルオライド、エチレン-テトラフルオロエチレン共重合体、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイド、これらの混合物等が例示される。前記ポリイミドは、通常、モノマー成分としてテトラカルボン酸二無水物とジアミン又はジイソシアネートとを、公知の方法により縮重合して製造される。通常、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを、N-メチル-2-ピロリドン以下、NMPという等の溶媒中で反応させて、一旦ポリアミック酸溶液とし、さらに、後述する導電剤をポリアミック酸溶液中に分散させて基材層形成用組成物とすることができる。この際に用いる溶媒としては、例えば、NMP、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホアミド、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン等の非プロトン系有機極性溶媒を挙げることができ、これら1種単独で又は2種以上を混合して用いることができる。これらの中でもNMPが好ましい。テトラカルボン酸二無水物としては、ピロメリット酸、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸、ナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸、2,3,5,6-ビフェニルテトラカルボン酸、2,2’,3,3’-ビフェニルテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、アゾベンゼン-3,3’,4,4’-テトラカルボン酸、ビス2,3-ジカルボキシフェニルメタン、ビス3,4-ジカルボキシフェニルメタン、β,β-ビス3,4-ジカルボキシフェニルプロパン、β,β-ビス3,4-ジカルボキシフェニルヘキサフルオロプロパン等の二無水物が挙げられる。ジアミンとしては、m-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノトルエン、2,6-ジアミノトルエン、2,4-ジアミノクロロベンゼン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、1,4-ジアミノナフタレン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、24’-ジアミノビフェニル、ベンジジン、33’-ジメチルベンジジン、3,3’-ジメトキシベンジジン、34’-ジアミノジフェニルエーテル、44’-ジアミノジフェニルエーテルODA、44’-ジアミノジフェニルスルフィド、33’-ジアミノベンゾフェノン、44’-ジアミノジフェニルスルホン、44’-ジアミノアゾベンゼン、44’-ジアミノジフェニルメタン、β,β-ビス4-アミノフェニルプロパン等が挙げられる。前記ジイソシアネートとしては、上記したジアミン成分におけるアミノ基がイソシアネート基に置換した化合物等が挙げられる。また、ポリアミドイミドは、トリメリット酸とジアミン又はジイソシアネートとを、公知の方法により縮重合して製造される。この場合、ジアミン又はジイソシアネートは、上記のポリイミドの原料と同じものを用いることができる。また、縮重合の際に用いられる溶媒としては、ポリイミドの場合と同様のものを挙げることができる。基材層中に分散される導電剤としては、例えば、カーボンブラック、グラファイト等の導電性炭素系物質;アルミニウム、銅合金等の金属又は合金;更には酸化錫、酸化亜鉛、酸化アンチモン、酸化インジウム、チタン酸カリウム、酸化アンチモン-酸化錫複合酸化物ATO、酸化インジウム-酸化錫複合酸化物ITO等の導電性金属酸化物等が挙げられ、これらの微粉末を1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。基材層に配合される導電剤としては、導電性炭素系物質が好ましく、カーボンブラックがさらに好ましい。導電剤の含有量は、通常、基材層中5~30重量程度前記基材層形成用組成物の固形分のうち5~30重量程度であればよい。これにより基材層に、多層転写用部材特に、転写ベルトに適した導電性が付与される。前記基材層形成用組成物の固形分濃度は、10~40重量であることが好ましい。前記基材層形成用組成物の調製方法としては、特に限定されるものではないが、カーボンブラック等の導電剤が均一に分散された溶液組成物とすることができる点から、材料配合後ボールミル等を用いて混合することが好ましい。基材層の厚さは、駆動時にベルトにかかる応力と柔軟性を考慮して、通常、30~120μmであり、50~100μmが好ましい。b表面層本発明の多層転写用部材における表面層は、直接トナーを乗せ、トナーを紙へ転写、離型するための層であり、表面精度に優れていることが求められる。表面層は、フッ素ゴムが有機溶媒又は水中に溶解又は分散された表面層形成用組成物によって形成される。表面層に用いる材料としては、フッ化ビニリデン系ゴムFKM、四フッ化エチレンプロピレンゴム、四フッ化エチレンパーフルオロメチルビニルエーテルゴムFFKMなどのフッ素ゴム材料が挙げられる。これらの中でも、摩擦係数、耐磨耗性、電気特性のバランスの観点から、四フッ化エチレンプロピレンゴムが特に好ましい。また、表面層のフッ素ゴム材料中には、架橋型のフッ素樹脂を含む。架橋型のフッ素樹脂とは、放射線照射によりフッ素樹脂分子間を架橋させたものであり、例えば、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体PFA、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体FEP等が挙げられる。上記架橋型のフッ素樹脂は、1種単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。架橋型のフッ素樹脂の配合割合は、表面層のフッ素ゴム材料100重量部に対して、15~40重量部であることが好ましく、15~30重量部がより好ましく、20~30重量がさらに好ましい。このような割合で架橋型のフッ素樹脂を配合することによって、優れたクリーニング性を実現することができる。架橋型のフッ素樹脂の粒径は、7μm未満であることが好ましく、5μm未満がさらに好ましい。このような粒径の架橋型フッ素樹脂を用いることによって、優れたラフ紙転写性能を実現することができる。ここで、優れたラフ紙転写性能とは、ボンド紙等の凹凸の激しい紙を用いてマゼンタ単色のベタ印刷を行って、最深部凹部のトナーの乗りを目視で判断した場合に、白抜け等がなく、ムラなく転写されていることを指す。表面層の成形は、前記フッ素ゴム材料と架橋型のフッ素樹脂を有機溶媒中に溶解又は膨潤させて得られる表面層形成用組成物を、円筒状金型等の内面に塗布乾燥することによって行うことができる。前記フッ素ゴム材料と架橋型のフッ素樹脂が溶解又は膨潤される有機溶媒としては、特に限定されないが、例えば、非プロトン性極性溶媒と他の有機溶媒との混合有機溶媒が使用される。非プロトン性極性溶媒としては、NN-ジメチルアセトアミド、NN-ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N-メチル-2-ピロリドン等が挙げられ、これらの中から1種単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。他の有機溶媒としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒;酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶媒;或いはこれらの混合溶媒が挙げられる。本発明においては、有機溶媒中にフッ素ゴム材料と架橋型のフッ素樹脂を溶解、膨潤させて得られた溶液を、48~72時間程度静置した後、目視にて沈降が認められないものを表面層材料として用いることが望ましい。表面層の静摩擦係数μは、1以下であることが好ましく、0.9以下がより好ましく、0.8以下がさらに好ましい。静摩擦係数が1より大きいと、ブレード鳴きが発生するため好ましくない。なお、本発明において、表面層の静摩擦係数は、東新科学株製のHeidon94iを用いて、同一ベルト内で異なる部位を12箇所測定し、その平均値を静摩擦係数とした。表面層の算術平均粗さRaは、0.25μm以下であることが好ましく、0.2μmがより好ましく、0.15μmがさらに好ましい。算術平均粗さが0.25μmより大きいと、クリーニング不良が発生するため好ましくない。なお、本発明において、表面層の算術平均粗さは、基材層、弾性層、表面層からなる本発明の多層転写用部材の表面層において測定した算術平均粗さを示すものである。表面粗さμmは、キーエンス製3Dレーザー顕微鏡VK9500を用い、対物レンズ20倍のときの全領域粗さを測定した。同一ベルト内の異なる表面部位を5箇所測定し、その算術平均粗さRaの平均値を表面粗さとした。本発明において表面層の厚みは、3μm以上15μm以下であり、3~10μmが好ましく、3~8μmがより好ましい。このような厚みの表面層を有することにより、優れたラフ紙転写性能を実現することができる。表面層の厚みが前記範囲を超えると弾性層のゴム弾性を損なうことになるため好ましくない。また、表面層の厚みが前記範囲を下回ると、穴があきやすい等、耐久性に問題が生じる。表面層の体積抵抗率は、通常1×1012Ωcm以上が好ましく、1×1012~1×1015Ωcmがより好ましく、1×1012~1×1014Ωcmがさらに好ましい。なお、本発明において、表面層の体積抵抗率は、表面層形成用組成物を用いて、厚さ10μmの表面層単独膜を作製し、該膜について測定した体積抵抗率を示すものである。体積抵抗率Ωcmは、三菱化学株製の抵抗測定器ハイレスタUPURブロ-ブを用いて23°C、55RH環境下で測定した。c弾性層本発明の多層転写用部材における弾性層は、主に、紙の凹凸への追従性向上と転写時のトナーへの応力集中によるライン画像中抜けを回避する目的で設けられる。弾性層は、ゴム又はエラストマー以下、ゴム材料ということがあるを含む弾性層形成用組成物によって形成される。弾性層は、単層又は2層以上を積層したものであってもよい。弾性層を形成するゴム材料としては、特に限定されるものではないが、例えば、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、スチレンブタジエンゴムSBR、アクリロニトリルブタジエンゴムNBR、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ブチルゴムIIR、アクリルゴムACM、ウレタンゴム等が例示される。これらの中でも好ましくは、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、ウレタンゴムが挙げられる。シリコーンゴムとしては、例えば、付加型液状シリコーンゴムが挙げられ、具体的には、信越化学株製の、KE-106、KE1300等が例示される。フッ素ゴムとしては、例えば、ビニリデンフルオライド系フッ素ゴムFKM、テトラフルオロエチレン-プロピレン系FEPM、テトラフルオロエチレン-パーフルオロビニルエーテル系FFKM等が挙げられ、具体的には、ダイキン工業株製のフッ素ゴムコート材GLS-213F、GLS-223F等、太平化成工業株製のフッ素ゴムコート材FFX-401161等が例示される。ブチルゴムとしては、イソブチレン-イソプレン共重合体が挙げられる。アクリルゴムは、アクリル酸エステルの重合、又はそれを主体とする共重合により得られるゴム状弾性体である。ウレタンゴムは、ポリオールとジイソシアネートの重付加反応により得ることができる。原料であるポリオールとジイソシアネートの混合比は、ポリオールの活性水素1当量に対しジイソシアネートのNCO基が1~1.2当量程度となるように混合すればよい。また、ポリオールとジイソシアネートの重合を進めたプレポリマーを用いることもでき、この場合、さらに硬化剤としてジイソシアネート又はポリオール、ジアミンをプレポリマーに添加しても良い。またポットライフを長くするためジイソシアネートプレポリマーのNCO末端をブロック剤でブロックしたブロック型のものを用いても良い。ウレタンゴムとしては、例えば、主鎖がエステル結合のポリエステル系ウレタンゴム、主鎖がエーテル結合のポリエーテル系ウレタンゴムなどが挙げられ、具体的には、大日本インキ株製のウレハイパーRUP1627ブロック型ポリウレタン用プレポリマー等を挙げることができる。弾性層に用いるゴム材料のタイプA硬度JISK6253は、70°以下であることが好ましく、30~50°がより好ましい。ここで、タイプA硬度とはゴムの柔らかさを示す値である。タイプA硬度が70°を超える場合は、弾性層が硬すぎて凹凸のある紙を用いた場合に追従性が劣り、1次転写時にトナーが濃く乗っているところに応力が集中して中抜け現象を起こしやすくなる。一方、タイプA硬度が30°未満の場合は、柔らかすぎてベルト駆動時に発生する応力が表面層へ集中しやすくなり十分な耐久性が得られない傾向がある。また、前記弾性層形成用組成物には、必要に応じて硬化剤を添加することができる。例えば、シリコーンゴムの場合、硬化剤としてハイドロジェンオルガノポリシロキサン等が挙げられ、ウレタンゴムの場合、硬化剤としてジイソシアネート又はポリオール、ジアミンを用いることができる。これらの硬化剤は、ゴム弾性層材料中に配合して用いればよい。硬化剤を添加する場合、その添加量はゴム主剤と硬化剤の反応性官能基数を1:1とするため、同一当量を混合すればよいが、ジイソシアネートなど反応性の高い物質の場合、環境中の水分等と反応して不活性になることなどを考慮し、1~1.2倍当量とすることが好ましい。前記弾性層形成用組成物の調製方法としては、特に限定されるものではないが、材料配合後ボールミル等を用いて混合することが好ましい。弾性層の厚みは、200~450μmであり、200~400μmであることが好ましく、220~320μmであることがより好ましい。弾性層の厚みが前記範囲内にあることで、感光体と転写ベルトとの接触圧を低く保つことができ、感光体上のトナーが凝集し、ライン状画像中央が転写しないライン中抜け現象を防ぐことができると同時に、転写ベルトの膜厚が厚すぎる場合に発生しやすい、色ずれを防止できるため好ましい。2.多層転写用部材の製造方法以上のような構成を有する多層転写用部材特に、転写ベルトの製造方法については、特に限定されないが、例えば、以下の方法を挙げることができる。本発明の多層転写用部材は、以下の工程を含む製造方法によって得ることができる。1基材層形成用組成物を遠心成型又は溶融押出成形して基材層を製膜する工程、2フッ素ゴム材料と架橋型のフッ素樹脂を有機溶媒中に溶解又は膨潤させて得られた表面層形成用組成物を、表面粗さRa0.10μm以下の円筒状金型を用いて遠心成型を行い、厚みが3~15μmの表面層を製膜する工程、3上記2で得られた表面層の内面に、弾性層形成用組成物を、遠心成型によって厚みが200~400μmの弾性層を製膜して2層膜とする工程、及び4上記1で得られた基材層の外面と、上記3で得られた2層膜の弾性層の内面とを重ね合わせて、加熱処理する工程。あるいは、上記1及び2により表面層及び基材層をそれぞれ製膜した後、3’表面層の内面に基材層の外面を重ね合わせて、両層の間に弾性層形成用組成物を注入し、加熱処理することによっても製造することができる。以下、各工程について説明する。なお、本発明の製造方法において使用する原料やその含有量等は、前述のとおりである。工程1基材層の形成基材層は次のようにして製膜することができる。まず、基材層の典型材料であるポリイミドを用いる場合について説明する。前述のように、ポリイミドの原料であるテトラカルボン酸二無水物とジアミンとをNMP等の溶媒中で反応させて、一旦ポリアミック酸溶液とし、基材層に所望の半導電性を付与するために、カーボンブラック等の導電剤を上記ポリアミック酸溶液に添加し、カーボンブラックが分散されたポリアミック酸基材層形成用組成物を調製する。得られた基材層形成用組成物を用い、回転ドラム円筒状金型等による遠心成型を行う。加熱は、ドラム内面を徐々に昇温し100~190°C程度、好ましくは110~130°C程度に到達せしめる第1加熱段階。昇温速度は、例えば、1~2°C/分程度であればよい。上記の温度で20分~3時間維持し、およそ半分以上の溶剤を揮発させて自己支持性のある管状ベルトを成形する。また、第1加熱段階における回転ドラムの回転速度は重力加速度の0.5~10倍の遠心加速度であることが好ましい。次に、第2段階加熱として、温度280~400°C程度、好ましくは300~380°C程度で処理してイミド化を完結させる。この場合も、第1段階加熱温度から一挙にこの温度に到達するのではなく、徐々に昇温して、その温度に達するようにすることが望ましい。なお、第2段階加熱は、管状ベルトを回転ドラムの内面に付着したまま行っても良いし、第1加熱段階終了後に、回転ドラムから管状ベルトを剥離し、取り出して別途イミド化のための加熱手段に供して、280~400°Cになるように加熱してもよい。このイミド化の所用時間は、通常約20分~3時間程度である。基材層の材料としてポリアミドイミドを用いる場合も同様にして、ジアミン或いはジアミンから誘導されたジイソシアネートと、トリメリット酸とを溶媒中で反応させて直接ポリアミドイミドとし、これを遠心成型して、継目のないシームレスポリアミドイミドの基材層を製膜できる。また、基材層の材料としてポリカーボネート、PVdF、エチレン-テトラフルオロエチレン共重合体、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイド等を用いる場合は、これらの樹脂を溶融して押出成型することによりシームレスの基材層を製膜できる。このようにして、継目のない基材層を製膜できる。工程2表面層の形成表面層は、例えば、次のようにして製膜することができる。前記表面層形成用組成物を表面粗さRa0.10μm以下の円筒状金型を用いて遠心成型を行う。この場合、得られる表面層の厚みが3~15μm程度となるように調製する。表面層の遠心成型は、例えば、重力加速度の0.5~10倍の遠心加速度に回転した回転ドラム円筒状金型内面に最終厚さを得るに相当する量の表面層形成用組成物を注入した後、徐々に回転速度をあげ重力加速度の2~20倍の遠心加速度に回転を上げて遠心力で内面全体に均一に流延する。回転ドラムは、その内面が所定の表面精度に研磨されており、この回転ドラムの表面状態が、本発明の多層転写用部材の表面層外面にほぼ転写される。従って、回転ドラムの内面の表面粗さを制御することにより、表面層の表面粗さを所望の範囲に調節することができる。回転ドラムの内面の平均表面粗さRaを、0.10μm以下の範囲で設定すると、表面粗さRa0.25μm以下の表面層を形成できる。但し、多層転写用部材の表面層の表面粗さは、ベルトの微妙なタワミやウネリを測定上拾ってしまうため、回転ドラムの内面の平均表面粗さRaに比してやや高めの値になる傾向がある。そのため、ベルト表面層の所望の表面粗さに対して、やや小さめの内面の平均表面粗さRaを有する回転ドラムを採用することもできる。なお、使用する金型内面の粗度は、内面仕上げ時に使用する研磨紙の番手等により任意に制御できる。回転ドラムは回転ローラー上に載置し、該ローラーの回転により間接的に回転が行われる。また該ドラムの大きさは、所望する多層転写用部材の大きさに応じて適宜選択できる。加熱は、該ドラムの周囲に、例えば遠赤外線ヒータ等の熱源が配置され外側からの間接加熱により行われる。加熱温度は樹脂の種類に応じて変化し得るが、通常、室温から樹脂の融点前後の温度、例えば、樹脂の融点Tmとした場合に、Tm±40°C程度、好ましくはTm-40°C~Tm°C程度まで徐々に昇温し、昇温後の温度で10~60分程度加熱すればよい。これにより、ドラム内面に継目のないシームレス管状の表面層が製膜できる。工程32層化上記工程2で得られた表面層の内面に、弾性層形成用組成物を遠心成型して得られる弾性層を製膜して2層膜とする。前述の弾性層形成用組成物を、表面層が形成された回転ドラム円筒状金型の表面層の内面上に均一に塗布して遠心成型を行い、その後、回転ドラムを重力加速度の1倍以上好ましくは1~20倍の遠心加速度で回転させながら加熱処理を行う。加熱は、ドラム内面を徐々に昇温し90~180°C程度、好ましくは90~150°C程度に到達せしめる。昇温速度は、例えば、1~3°C/分程度であればよい。上記の温度で20分~3時間維持し、ドラム内に表面層、その上に弾性層を有する2層膜を成形する。ゴム弾性層を2層以上にする場合は、先に製膜したゴム弾性層内面に、更に弾性層材料を遠心成型し、同様に加熱硬化させ、必要に応じこれを繰り返す。特に、強い遠心力がかけにくい径の大きなベルトの製膜や、遠心成型以外の方法を用いる成膜の場合は、表面層側にフィラー濃度の高いゴム弾性層を製膜し、その内面に更にフィラー濃度の低いゴム弾性層を製膜するのが好ましい。工程43層化上記工程1で得られた基材層の外面と、上記3で得られた2層膜表面層と弾性層の弾性層の内面とを重ね合わせて、加熱処理する。具体的には、回転ドラム内に製膜した2層膜の弾性層内面に公知の接着用プライマー等を塗布、風乾した後、外面にドライラミ接着剤等を塗布した基材層を挿入し、重ね合わせる。重ね合わせた両層をベルト内面から圧着した後、円筒状金型内面を徐々に昇温し40~120°C程度、好ましくは50~90°C程度に到達せしめる。昇温速度は、例えば、1~10°C/分程度であればよい。上記の温度で2~30分維持し、円筒状金型内に表面層、弾性層及び基材層を有する3層ベルトを成形する。張り合わせた3層ベルトを円筒状金型から剥離し、両端部を所望の幅にカットして3層の多層転写用部材を製造する。また、上記製造方法において、上記工程3及び4に代えて、表面層の内面に基材層の外面を重ね合わせて、両層の間に弾性層材料を注入し、加熱処理することによって、弾性層の製膜と3層化を同時に行うことによっても製造することができる工程3’。工程3’弾性層の製膜と3層化上記工程1及び2に従って別々に製膜した表面層と基材層とを、該表面層の内面と該基材層の外面とが接触するように重ね合わせて、両層の間に弾性層形成用組成物をインジェクションにて注入する。このとき、弾性層の均一化のため、基材層内面の片側端部からもう片側端部へしごきを行うことが好ましい。得られた積層体を加熱処理することにより、多層転写用部材を得ることができる。なお、両層の重ね合わせ後は、両層の間が密閉状態となるようにすることが好ましい。例えば、ゴム弾性樹脂としてシリコーンゴムを用いる場合、インジェクションにて得られた積層体を、110~220°C程度に熱処理することにより、弾性層形成用組成物が加硫架橋硬化するとともに、表面層と基材層が同時に強固に接着される。また、ゴム弾性樹脂がウレタンゴムの場合、製膜直前に両液を混合して使用することが好ましい。上記3層化工程の具体例を挙げる。ドラム内面に製膜された表面層の内面に、公知の接着用プライマー等を均一塗布して風乾する。製膜した基材層外面にもプライマーを塗布して、これを表面層内面に重ね合わせ、減圧状態でこの管状ベルト両端部に内側からOリングを押し当てて、重ね合わせた表面層及び基材層間を密閉状態とする。次に、この両層の隙間に、前述の弾性層形成用組成物をインジェクション法にて注入し、基材層内面側から金属ロールを用いて、弾性層形成用組成物を周方向に均一になるように流延する。或いは、他の実施態様として以下のような方法も挙げられる。ドラム内面に製膜された表面層の内面に、公知の接着用プライマーを均一塗布する。製膜した基材層外面にもプライマーを塗布した後、これを円柱状の芯体外面に被せる。この芯体を、内面に表面層が製膜されているドラム内面に挿入し、芯体とドラムを同心軸上に固定する。次に、ドラムの片側から、両層の隙間にペースト状の弾性層形成用組成物をインジェクション法にて注入する。なお、該ドラムは長手方向左右を一対の治具で挟まれて固定したものであり、一方の治具には弾性層形成用組成物の入口が設けられ、他方の治具にはその出口が設けられている。3層化した後の加熱処理は、110~220°Cまで徐々に加熱して例えば、昇温速度1~3°C/分程度、その温度で0.5~4時間処理する。これにより、ベルトの架橋硬化が完了する。加熱終了後、ドラムを冷却し、3層化された管状ベルトをドラム内面から剥離して、本発明の多層転写用部材を得ることができる。なお、上記の接着用プライマーの使用は任意であるが、接着強度向上の点から使用するのが好ましい。接着用プライマーとしては、例えば、東レダウコーニング製プライマーDY39-067等が例示される。以上のような方法により得られる本発明の多層転写用部材は、高品質の画像を維持したまま、耐久性にも優れることから、複写機カラー複写機を含む、プリンター、ファクシミリ等の電子写真方式を採用する画像形成装置の転写ベルトとして好適に使用され得る。また、本発明の多層転写用部材は、良好なハーフトーン画像を形成することができるものである。以下、実施例等を示して本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。以下の諸物性値についての測定方法を示す。<抵抗率>表面抵抗率Ω□および体積抵抗率Ωcmは、三菱化学株製の抵抗測定器ハイレスタUPURブロ-ブを用いて23°C、55RH環境下で測定した。長さ400mmにカットしたフィルムをサンプルとし、該サンプルの幅方向に等ピッチで3ヶ所、縦周方向に4カ所の合計12ヶ所について、印加電圧100V、10秒後に表面抵抗率及び体積抵抗率をそれぞれ測定し、その平均値で示した。<表面層及び弾性層厚み>表面層及び弾性層の厚みはキーエンス製3Dレーザー顕微鏡VK9500を用いて対物レンズ20倍でのベルト断面の表面層及び弾性層厚みを測定した。<厚み>基材層及び総厚みは、ミツヨト製デジマチックインジケータの平面型測定子を用いて幅方向3点、周方向8点の合計24点測定し、その平均値として示した。<PTFE平均粒径>PTFEの平均粒径は日機装製MICROTRACUPAEX150を用いて、PTFEを酢酸アミルにて固形分濃度10重量に希釈したのち十分攪拌したPTFE溶液の粒度分布を測定した。測定は3回行い、メジアン径の平均値をPTFEの平均粒径として示した。<用紙の凹凸追従性>凹凸が50μm程度のストラスモア社製ストラスモアライティングレイドを用い、マゼンダでラフ紙転写性ベタ印刷を行って、最深部凹部のトナーの乗りを目視で判断した。評価基準は以下のとおりである。◎:完全にムラなく転写できている○:やや色が薄い△:僅かに白抜けしている×:トナーの乗りがなく白抜けしている<PTFE凝集>フッ素ゴム表層製膜後、目視にて確認した。<静摩擦係数>静摩擦係数は、新東科学株製のHeidon94iを用いて、同一ベルト内で異なる表面部位を12箇所測定し、その平均値を静摩擦係数とした。<ブレード鳴き>3万枚の通紙を実施し、ブレード鳴きや破損を観察した。○:3万枚の通紙までブレード鳴きなし△:1万枚から3万枚未満の通紙でブレード鳴き発生×:1万枚未満の通紙でブレード鳴き発生し、ブレード破損に至った<表面粗さRa>表面粗さは、キーエンス製3Dレーザー顕微鏡VK9500を用いて、対物レンズ20倍での面粗さを測定した。同一ベルト内で異なる部位を5箇所測定し、その算術平均粗さRaの平均値を表面粗さとした。<クリーニング不良>ベルトの表面に市販の黒色粉砕トナーを付着させ、40°Cにて48時間放置した後にポリウレタン製クリーニングブレードにより容易に掻取ることができるか否かを評価した。結果は、容易に掻取ることができたものを○、容易に掻取れずにトナーが付着残存したものを×として示した。<基材層の固形分濃度>試料ポリアミック酸溶液を金属カップ等の耐熱性容器で精秤し、この時の試料の重量をAgとする。試料を入れた耐熱性容器を電気オーブンに入れて、120°C×12分、180°C×12分、260°C×30分、及び300°C×30分で順次昇温しながら加熱、乾燥し、得られた固形分の重量固形分重量をBgとする。同一試料について5個のサンプルのA及びBの値を測定しn5、次式Iにあてはめて固形分濃度を求めた。その5個のサンプルの平均値を、固形分濃度として採用した。基材層固形分濃度=B/A×100I<表面層ならびに弾性層の固形分濃度>原料表面層を形成するフッ素ゴム材料、または弾性層を形成するゴム材料を精秤し、この時の重量をCgとする。電子天秤上で当該原料を溶剤に溶かすために、攪拌しながら溶剤を徐々に加え、最終的な溶液重量をDgとしたときの固形分濃度は、次式IIとなる。表面層ならびに弾性層固形分濃度=D/C×100II実施例11基材層の製膜窒素流通下、Nメチル-2-ピロリドン8296gに、4、4 ́-ジアミノジフェニルエーテルODA809gを加え、50°Cに保温し、攪拌して完全に溶解させた。この溶液に、3、3 ́、4、4 ́ビフェニルテトラカルボン酸二無水物BPDA70gを徐々に添加し、ポリアミック酸溶液10295gを得た。このポリアミック酸溶液の数平均分子量は17000、粘度は35ポイズ、固形分濃度は180重量であった。次に、このポリアミック酸溶液765gに、酸性カーボンpH30357gとNメチル-2-ピロリドン136gを加えて、ボールミルにてカーボンブラックCBの均一分散を行った。このマスターバッチ溶液は、固形分濃度185重量、該固形分中のCB濃度は206重量であった。そして該溶液から4692gを採取し、円筒状金型I内に注入し、次の条件で成型した。円筒状金型Iは内径5125mm、幅540mmの内面鏡面仕上げの金属製円筒状であって2本の回転ローラー上に載置され、該ローラーの回転とともに回転する状態に配置した。例えば、図2を参照。加熱温度:該円筒状金型Iの外側面に遠赤外線ヒータを配置し、該円筒状金型Iの内面温度が120°Cに制御されるようにした。まず、円筒状金型Iを回転した状態で4692gの該溶液を金型内面に均一塗布し、加熱を開始した。加熱は1°Cminで120°Cまで昇温して、その温度で60分間その回転を維持しつつ加熱した。回転、加熱が終了した後、冷却せずそのまま円筒状金型Iを離脱して熱風滞留式オーブン内に静置してイミド化のための加熱を開始した。この加熱も徐々に昇温しつつ320°Cに達した。そして、この温度で30分間加熱した後常温に冷却して、該金型内面に形成された半導電性ポリイミドフィルムを剥離して取り出した。なお、該フィルムは厚さ80μm、該周長9443mm表面抵抗率2×1011~4×1011Ω□、体積抵抗率1×109~3×109Ωcmであった。2表面層の製膜主材固形分濃度20重量のフッ素ゴム四フッ化エチレンプロピレンゴム材料FFX-80414P、太平化成工業株製太平化成工業株とグンゼ株で共同開発20gに対し、平均粒径44μmの架橋型PTFEルブロンL5、ダイキン工業株製08gを攪拌により均一分散し酢酸アミル120gを加えることで固形分濃度10重量の溶液を作製し、この原料140gを次の条件で製膜した。円筒状金型IIは、内径5117mm、幅540mm、内面平均粗さRa=005μmの金属性円筒状で2本の回転ローラー上に載置され、該ローラーの回転とともに回転する状態に配置した。例えば、図2を参照。円筒状金型IIを回転した状態で金型内面に均一に該原料を塗布し加熱を開始した。加熱は2°Cminで130°Cまで昇温して、その温度で20分間その回転を維持しつつ加熱した。回転、加熱が終了した後、冷却せずそのまま円筒状金型IIを離脱して熱風滞留式オーブン内に静置してイミド化のための加熱を開始した。この加熱も徐々に昇温しつつ200°Cに達した。そして、この温度で60分間加熱した後常温に冷却した。こうして金型内面に形成された厚み10μmの表面層を得た。3プライマーの塗布プライマーD東レダウコーニング社製30gをシクロヘキサン120gに溶解し、この溶液を150gと、前記した内面に表面層が形成された円筒状金型IIとを準備し、次の条件で塗布した。円筒状金型IIには該内面にすでに表面層が製膜されており、2本の回転ローラー上に載置され、該ローラーの回転とともに回転する状態に配置した。例えば、図2を参照。円筒状金型IIを回転した状態で金型内面に均一に該溶液を塗布し、回転を維持した状態で風乾した。4弾性層の製膜キシレン2210gにポリウレタンエラストマーウレハイパーRUP1627、DIC株製を1700g溶解させた溶液に液状導電剤ASDIC株製を加え、卓上攪拌機にて均一分散を行い、固形分濃度50重量、該固形分中の液状導電剤濃度は15重量のマスターバッチを作製した。このマスターバッチ3034gに硬化剤CLH5を94gDIC株製添加し攪拌を行った。この原料と前記した内面に表面層及びプライマー層が形成された円筒状金型IIとを準備し、次の条件で製膜した。円筒金型IIには該内面にすでに表面層及びプライマー層が製膜されており、2本の回転ローラ上に載置され、該ローラの回転とともに回転する状態に配置した。例えば、図2を参照。円筒状金型IIを回転した状態で弾性層ゴム原料をプライマー層内面に均一に塗布し加熱を開始した。加熱は2°Cminで150°Cまで昇温して、その温度で30分間その回転を維持しつつ加熱し、金型内面にゴム弾性層を製膜した。予備試験としてこのウレタンゴムマスターバッチ溶液にて作製したウレタンゴム単膜のゴム硬度を測定したところタイプA硬度JISK6253にて53°であった。5ゴム弾性層とポリイミド外面の貼り合せドライラミ接着剤を薄く外面に塗布した1のポリイミドベルトを3で製膜したゴム弾性層内面にプライマーD東レダウコーニング製を塗布、風乾した後に挿入し重ね合わせた。基材層内面の片側端部からもう一方へ、端部へ内面からしごき、加熱80~100°Cを行い、貼り合わせを完了させた。張り合わせた多層ベルトを金型から剥離し両側部をカットし幅390mmの多層ベルトを採取した。該多層フィルムは厚さ300μm、外周長16000mm、表面抵抗率9×1010~2×1011Ω□、体積抵抗率8×109~1×1010Ωcm、表面静摩擦係数073であった。実施例2実施例12のフッ素ゴム材料を6g、架橋型PTFEを024g使用し、表面層の厚みを3μmに変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。実施例3実施例12のフッ素ゴム材料を30g、架橋型PTFEを12g使用し、表面層の厚みを15μmに変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。実施例4実施例12のフッ素ゴム材料を2085g、架橋型PTFEを063g使用した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。実施例5実施例12のフッ素ゴム材料を1715g、架橋型PTFEを137g使用した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例1実施例12のフッ素ゴム材料に含まれる架橋型PTFEを除いた溶液24gを使用した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例2実施例12の架橋型PTFEを平均粒径25μmの非架橋型PTFEKTN1N、喜多村製に変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例3実施例12の架橋型PTFEを平均粒径38μmの非架橋型PTFEKTN8F、喜多村製に変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例4実施例12の架橋型PTFEを平均粒径7μmフルオンL173J、AGC製に変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例5実施例12の架橋型PTFEを平均粒径17μmフルオンL169J、AGC製に変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例6実施例12のフッ素ゴム材料を4g、架橋型PTFEを016g使用し、表面層の厚みを2μmに変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例7実施例12のフッ素ゴム材料を36g、架橋型PTFEを145g使用し、表面層の厚みを18μmに変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例8実施例12のフッ素ゴム材料を218g、架橋型PTFEを044gに変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。比較例9実施例12のフッ素ゴム材料を16g、架橋型PTFEを16gに変更した以外は、実施例1と同様に多層ベルトを作製した。"