"円筒形ハウジングと、該円筒形ハウジングの中に同軸的に据え付けられた円筒形の多孔支持体と、濾材と、支持布と、その内部に配置された移動可能な逆洗装置とからなる逆洗フィルタ装置によって、流体、特に水媒体の濾過を行うプロセスであって、a前記支持体の孔の中にフィルタケークを形成し、b前記フィルタケークの表面又は内部において、微細粒子と、油脂性又は圧縮性粘着物粒子とをそれぞれ分離し、c所定のフィルタ負荷または最大許容差圧に達した後、又は濾液流量が最低値より下がった場合に逆洗を行う、ステップを含むプロセス。前記濾液は、濾過の開始時において必要な支持層が形成されるまでは、回路を循環することを特徴とする、請求項1に記載のプロセス。前記フィルタケークは、濾過開始前又は濾過中に添加されたフィルタ助剤で形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のプロセス。前記濾材として、差圧200Paにおいて空気透過率700~1300l/m2sを有する濾布が使用されることを特徴とする、請求項1~3のいずれか1項に記載のプロセス。粒径範囲が30マイクロメートル~200マイクロメートルの重い粒子が液体遠心分離器などの密度分離処理によって廃棄物から分離されて、逆洗フィルタの上流に戻されることを特徴とする、請求項1~4のいずれか1項に記載のプロセス。密度分離処理によって廃棄物から分離されて、前記逆洗フィルタの上流に戻される重い粒子を濾過プロセスに選択的に付加することを特徴とする、請求項5に記載のプロセス。前記重い粒子は、粒径範囲が30マイクロメートル~200マイクロメートルで、密度が1,500kg/m3~10,000kg/m3、好ましくは2,000kg/m3~8,000kg/m3である、砂の微粒子、金属粉、あるいはその他の微細粒子からなる重い粉末であることを特徴とする、請求項6に記載のプロセス。濾過サイクルが完了した後に、未濾過チャンバ、濾液チャンバ、及び廃棄物チャンバから残留流体がガスによって押し出され、かつその後に固形物が乾燥されて、同じガスの圧力を利用して排出されることを特徴とする、請求項1~7のいずれか1項に記載のプロセス。円筒形ハウジングと、該円筒形ハウジングの中に同軸的に据え付けられた円筒形の多孔支持体と、濾材と、支持布と、その内部に配置された移動可能な逆洗装置とからなる、請求項1~8のいずれか1項に記載のプロセスを実行するためのフィルタ装置であって、前記濾材は、差圧200Paにおいて空気透過率700~1300l/m2sを有する濾布が使用されることを特徴とするフィルタ装置。円筒形ハウジングと、該円筒形ハウジングの中に同軸的に据え付けられた円筒形の多孔支持体と、濾材と、支持布と、その内部に配置された移動可能な逆洗装置とからなる、請求項1~8のいずれか1項に記載のプロセスを実行するためのフィルタ装置であって、前記濾材は、スロット形状の開口を有する極薄の多孔金属シートからなることを特徴とするフィルタ装置。前記フィルタケークは、前記支持体の孔の中に形成され、その結果として前記逆洗ユニットとは干渉しないことを特徴とする、請求項9~10のいずれか1項に記載のフィルタ装置。密封によって、未濾過液が前記廃棄物チャンバへ直接流入することを防止することを特徴とする、請求項9~11のいずれか1項に記載のフィルタ装置。前記濾材を前記支持体上に均等に留めるための締付装置が備えられることを特徴とする、請求項9~12のいずれか1項に記載のフィルタ装置。円筒形ハウジングと、その中に同軸的に据え付けられた円筒形の多孔支持体と、濾材と、支持布と、その内部に配置された移動可能な逆洗装置とから基本的に構成される逆洗フィルタ装置で実行可能な濾過プロセスに基づいて、流体、特に水媒体の濾過において、微細粒子と超微粒子、並びに油脂性または圧縮性粘着物と固体濃度の高い粒子との改良された分離を可能とするプロセスを提供することを、本発明の目的とする。本発明によるプロセスは以下のステップ、a支持体の穿孔部にフィルタケークを形成するステップ、bフィルタケークの表面または内部において、微細粒子と、油脂性または圧縮性粘着物粒子とをそれぞれ分離するステップ、c所定のフィルタ負荷または最大許容差圧に達した後、または濾液流量が最低値より下がった場合に、逆洗を行うステップ、を含む。もう一つの目的は、本発明によるプロセスを実行するためのフィルタ装置を提供することである。円筒形ハウジングと、その中に同軸的に据え付けられた円筒形の多孔支持体と、濾材と、支持布と、その内部に配置された移動可能な逆洗装置とから構成される本発明のフィルタ装置は、差圧200Paにおいて空気透過率700~1300l/m2sを有する濾布からなる濾材を特徴とする。これらの濾材は、抵抗の非常に小さい高速濾液流とフィルタケークの高速生成とを可能とする。濾材は多孔支持板と支持布との間に挟まれて配置されている。濾材は多孔支持体に全表面が載っていて、クランプ装置図示せずによって支持体上に挟みつけられている。別の好適な濾材が図5aと5bに示されている。これは、細長のスロット33の開いた超微細多孔金属シート32からなり、断面図図5bに示すように、開口部が濾液チャンバに向かって広がり、かつ丸まっている。スロットの幅は5~80マイクロメートル、好ましくは10~20マイクロメートルである。濾材の全面積に対する孔の部分の面積は5~20、好ましくは5~10である。濾過方向は図5bに矢印で示してある。このような濾材ではまた、非常に高速でのフィルタケーク形成が可能であり、逆洗性の改良につながる。フィルタケークは、形成されると支持体の孔の中に配置され、その結果として逆洗ユニットの妨げにはならない。加圧された摺動部材によって密封されるので、未濾過液が廃棄物チャンバに直接流入することはない。本発明を以下の説明および図1~4によりさらに詳細に記述する。図1は主要フィルタ部品構造の断面図である。濾材1は多孔支持体2と支持布図示せずの間に配置されている。図1の左部分では、孔8の中にフィルタケーク7が形成されている。濾過は矢印で示すように、未濾過チャンバ6から濾液チャンバ5に向かって起きる。図1の右部分には逆洗が示されている。逆洗装置34は水平矢印の方向に移動する。本発明のフィルタにおけるケーク生成方法を、図1を参照して以下に説明する。最初に、固体を含む未濾過液が未濾過チャンバ6から濾材1を通って濾液チャンバ5へ押し込まれる。粗い粒子が濾材1上に堆積し、微細粒子の支持層を形成する。この支持層ができることにより、濾材の細孔寸法よりもはるかに小さい粒径の粒子を分離することが可能となる。フィルタケーク7が穴8内にたまって厚さが増大してゆき、未濾過チャンバ6と濾液チャンバ5との間の差圧が最大許容値に達するか、または濾液流量が最低値より小さくなる。ケーク形成が完了すると、次に容易に逆洗可能となり、逆洗装置によって数秒間でフィルタ表面が清浄化される。逆洗装置は、例えば欧州特許第EP0056656号LenzingAGにより公知である。図2はプロセスフロー回路図である。未濾過液が僅かな粗い粒子しか含まない場合には、微細粒子を濾過するのに効果的な支持層がゆっくり形成され、初期には微細粒子の浸透が起き、いわゆる初期濾過液すなわち汚濁スパイクが形成される。しかし、濾液の品質が安定して低い固体濃度を示すようにするために、濾過を回路内で継続して必要な支持層を形成し、清浄な濾液が製造されるようにする。微細粒子が濾材を透過しなくなれば、必要とする支持層はすぐに形成される。この手順に対して、未濾過液導管9から1つまたは複数のフィルタ装置11、11’、11’’が未濾過液に供給される。処理にいくつかのフィルタ装置が必要であれば、それは分配導管10を介して供給される。フィルタ装置が1つだけ使用される場合、濾液は、初期にはまだ濁っているが、戻り導管13を通ってポンプ14のすぐ上流の位置へ戻される循環。フィルタ装置がいくつか使用される場合、まだ汚濁している濾液が回収導管12に入り、それから戻り導管13を通って同じ経路でポンプ14の上流に戻される。支持層が形成されて、所望の濾液品質が達成されると、個々のフィルタの戻り導管は閉鎖され、濾液導管15が開放される。未濾過液内の固体が、油脂性または圧縮性粘着物のために、使用している濾材では濾過が困難または全く濾過できない場合には、あるいはまたその固体が非常に短時間で濾材を閉塞する場合には、フィルタ助剤を添加して濾過特性を変えることができる。図3は、フィルタ助剤の添加を含むプロセス構成のためのプロセスフロー図である。この目的のために、フィルタ助剤スラリがスラリ容器16内に準備される。スラリは濾液とフィルタ助剤17とを混合して準備される。ほとんどの場合、フィルタ助剤は粉末形状であり、したがって濾液中での攪拌が必要である。フィルタ装置での濾過のために、スラリは移送式ポンプ18によってフィルタ20の入口にある未濾過液ポンプ19の上流へ供給される。フィルタ助剤の投与は、フィルタの逆洗終了後に直接行われる。フィルタでの流速が高いために、支持層は非常に急速に形成される。この後未濾過液から流入する固形物は支持層によって捕捉されて支持層上に堆積し、フィルタケークを形成する。経済性およびエコロジーの観点から、可能な限りフィルタ助剤を回収することは意味がある。好適なフィルタ助剤は、微細な砂、金属粉、およびそのほかの微細粒径化した重い粉末などであり、粒径範囲は30~200マイクロメートル、密度は1,500kg/m3~10,000kg/m3、好ましくは2,000kg/m3~8,000kg/m3である。これは後から添加する必要がある場合と、たとえば砂を含む河川水などのように未濾過液内にもともと存在している場合とがある。図4は、フィルタ助剤の回収を含むプロセス構成のためのプロセスフロー図である。回収のためには、本発明のフィルタ装置から循環的に製造された逆洗液廃棄物が廃棄導管28を通って貯蔵タンク23に供給される。既存の廃棄物は、濾過される媒体、濾過して除外されるべき固体、およびフィルタ助剤からなる。廃棄物は次に貯蔵タンクからポンプ24で分離装置25に送られ、密度分離によって除外されるべき固体がフィルタ助剤から分離される。濾過して除外されるべき固体は、上部導管29で抽出され、フィルタ助剤は濃縮スラリとして下部導管30から抽出される。液体遠心分離器などのような遠心力によって分離を促進することができる。その後、回収されたフィルタ助剤はスラリ貯蔵タンク26内に格納される。そうして、必要に応じてフィルタ助剤がポンプ27でフィルタポンプ21の上流へ供給される。フィルタ助剤を添加したプロセス構成において、このフィルタ助剤は濾過プロセスの最初にフィルタ助剤回収部、すなわち貯蔵タンク23内に供給される。濾過の進行に伴い、消費されたフィルタ助剤は必要量を追加補充される。本発明によるフィルタ装置を利用する場合、このプロセスはとくに重要である。それは、再生時間が数秒と短いことおよびプリコートの厚さが10分の数ミリと薄いことによって、フィルタ助剤の消費量が非常に小さく、非常に高い濾過速度で運転することが可能である。濾過速度という用語は、フィルタの単位面積当たりの体積流量を表す。前述の従来技術によるフィルタシステムにおいては、既存の層が全体に亘って一様であるためにはプリコートの厚さを少なくとも数ミリメートルにする必要があった。ほとんどの場合、これらのシステムでは再生に数分かかる。本発明に関連して、逆洗にはガスを利用した固形物の排出が含まれる。本発明の別の実施形態において、濾過サイクルが完了した後に、未濾過チャンバ、濾液チャンバ、および廃棄物チャンバから残留流体が処理ガスによって押し出され、かつその後に固形物が乾燥されて、同一ガスを用いてその圧力で排出される。"