プラズマ処理装置やイオンビーム照射装置で用いられるプラズマ生成容器内に配置される防着板支持部材であって、プラズマ生成容器の内壁に少なくとも一部が当接する本体部と、前記本体部より延設された端部を有するとともに、プラズマ生成容器に防着板支持部材を組み付けたとき、前記端部がプラズマ生成容器の内壁より離間していることを特徴とする防着板支持部材。前記端部は、前記防着板支持部材が取り付けられるプラズマ生成容器の内壁に沿って延設されていることを特徴とする請求項1記載の防着板支持部材。前記防着板支持部材は、非磁性体と磁性体とで構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の防着板支持部材。プラズマ生成容器内でプラズマを生成し、当該プラズマよりイオンビームを発生させて、前記イオンビームを所定の方向に進行させるイオン源であって、前記プラズマ生成容器内に請求項1または2記載の防着板支持部材が複数個配置されているとともに、前記イオンビームの進行方向に略垂直な平面において、前記防着板支持部材の端部が、前記プラズマ生成容器の内壁に沿って互いに対向配置され、かつ、対向配置された前記防着板支持部材の端部と前記プラズマ生成容器の内壁との間に防着板が配置されていることを特徴とするイオン源。周囲に複数の永久磁石が配置されたプラズマ生成容器内でプラズマを生成し、当該プラズマよりイオンビームを発生させて、前記イオンビームを所定の方向に進行させるイオン源であって、前記プラズマ生成容器内に請求項3記載の防着板支持部材が複数個配置されているとともに、前記イオンビームの進行方向に略垂直な平面において、前記防着板支持部材の端部が、前記プラズマ生成容器の内壁に沿って互いに対向配置され、かつ、対向配置された前記防着板支持部材の端部と前記プラズマ生成容器の内壁との間に防着板が配置されており、さらに、前記防着板支持部材を構成する磁性体の少なくとも一部が前記プラズマ生成容器の壁面を介して前記プラズマ生成容器の周囲に配置された永久磁石に対向配置されていることを特徴とするイオン源。装置の運転状況に応じて、防着板は交換が必要となる。例えば、ある程度の期間、装置を運転させると、防着板上に堆積物が付着する。また、プラズマ生成容器内の熱によって、防着板が熱変形してしまうことがある。この状態を放っておくと、装置運転に支障を来たしかねない為、例えば、定期的に防着板の交換が行われている。通常、防着板は、プラズマ生成容器の内壁に対して、ボルトで固定されている。その為、防着板をプラズマ生成容器の内壁に取り付けたり、プラズマ生成容器の内壁から取り外したりする際には、防着板を固定する全てのボルトを取り付け、取り外ししなければならず、このような作業に長時間要していた。また、このような作業が定期的に発生すると、装置のメンテナンスに要する時間が長くなり、装置稼働率にも影響を及ぼしかねない。近年では、被処理対象物のサイズは、年々大きくなっている。例えば、イオンビーム照射装置では、被処理対象物がガラス基板である場合、その大きさはおおよそ2200mm×2600mmにも及ぶ。このような基板の大型化に伴って、プラズマ生成容器の寸法も大きくなっている。このような大型のプラズマ生成容器を用いた場合、その分、防着板の寸法も大きくなる。その為、大きな防着板の取り付けには、より多くのボルトが必要となり、防着板の取り付けや取り外し作業に要する時間がさらに長くなってしまう。また、大きな防着板の取り付けや取り外し作業を行うには多大な労力を要することになる。そこで、本発明では、プラズマ生成容器への防着板の取り付け、取り外しに係る作業効率を改善することを主たる目的とする。本発明の防着板支持部材は、プラズマ処理装置やイオンビーム照射装置で用いられるプラズマ生成容器内に配置される防着板支持部材であって、プラズマ生成容器の内壁に少なくとも一部が当接する本体部と、前記本体部より延設された端部を有するとともに、プラズマ生成容器に防着板支持部材を組み付けたとき、前記端部がプラズマ生成容器の内壁より離間していることを特徴としている。このような防着板支持部材を用いれば、防着板のプラズマ生成容器への取り付け、取り外しに係る作業効率を改善することができる。また、作業効率を更に改善させるには、前記端部は、前記防着板支持部材が取り付けられるプラズマ生成容器の内壁に沿って延設されていることが好ましい。そのようにすると、防着板の取り付け、取り外しをスムーズに行うことができる。また、前記防着板支持部材は、非磁性体と磁性体とで構成されていてもよい。本発明の防着板支持部材を備えたイオン源としては、プラズマ生成容器内でプラズマを生成し、当該プラズマよりイオンビームを発生させて、前記イオンビームを所定の方向に進行させるイオン源であって、前記プラズマ生成容器内に、少なくとも一部がプラズマ生成容器の内壁に当接する本体部と、前記本体部より延設された端部とを有するとともに、プラズマ生成容器に組み付けたとき、前記端部がプラズマ生成容器の内壁より離間している防着板支持部材が複数個配置されているとともに、前記イオンビームの進行方向に略垂直な平面において、前記防着板支持部材の端部が、前記プラズマ生成容器の内壁に沿って互いに対向配置され、かつ、対向配置された前記防着板支持部材の端部間に防着板が配置されている構成であれば良い。また、本発明のイオン源の別の構成としては、周囲に複数の永久磁石が配置されたプラズマ生成容器内でプラズマを生成し、当該プラズマよりイオンビームを発生させて、前記イオンビームを所定の方向に進行させるイオン源であって、前記プラズマ生成容器内に、少なくとも一部がプラズマ生成容器の内壁に当接する本体部と、前記本体部より延設された端部とを有するとともに、プラズマ生成容器に組み付けたとき、前記端部がプラズマ生成容器の内壁より離間している磁性体と非磁性体からなる防着板支持部材が複数個配置されているとともに、前記イオンビームの進行方向に略垂直な平面において、前記防着板支持部材の端部が、前記プラズマ生成容器の内壁に沿って互いに対向配置され、かつ、対向配置された前記防着板支持部材の端部間に防着板が配置されており、さらに前記防着板支持部材を構成する磁性体の少なくとも一部が前記プラズマ生成容器の壁面を介して前記プラズマ生成容器の周囲に配置された永久磁石に対向配置されている構成であっても良い。プラズマ生成容器内に防着板支持部材を配置し、防着板支持部材に対して防着板をスライドさせることにより、取り付けと取り外しが行えるようになるので、防着板の位置決めに要する時間を短縮させることができる。また、防着板の端部が、防着板支持部材により支持されているので、防着板自体を固定するボルトの本数を減らすことができる。さらに、防着板自体の固定に用いるボルトの本数が減るので、防着板の取り付け、取り外し時に要する時間を短縮させることができる。図1にはイオンビーム照射装置で用いられるイオン源1の一実施形態を示す断面図が記載されている。このイオン源1はいわゆるバケット型イオン源と呼ばれるタイプのイオン源の一種である。このイオン源1は長方形状のプラズマ生成容器4を備えており、プラズマ生成容器4より略リボン状のイオンビーム3が引き出される。プラズマ生成容器4には図示されないバルブを介してガス源2が取り付けられており、このガス源2よりイオンビーム3の原料となるガスの供給がなされる。なお、このガス源2には図示されないガス流量調節器マスフローコントローラーが接続されており、これによってガス源2からプラズマ生成容器4内部へのガスの供給量が調整されている。プラズマ生成容器4の一側面には、Y方向に沿って複数のU字型のフィラメント10が取り付けられている。これらのフィラメント10は、フィラメント10の端子間に接続される電源VFを用いて、各フィラメント10に流す電流量の調整が行えるように構成されている。このような構成にしておくことで、イオン源1より引き出されるイオンビーム3の電流密度分布調整が可能となる。フィラメント10に電流を流して、フィラメント10を加熱させることによって、そこから電子が放出される。この電子が、プラズマ生成容器4の内部に供給されたガスPH3やBF3等に衝突してガスの電離を引き起こし、プラズマ生成容器4内にプラズマ9が生成される。このイオン源1には、プラズマ生成容器4の周囲に複数の永久磁石12が取り付けられている。この永久磁石12によって、プラズマ生成容器4の内部領域にカスプ磁場が形成され、フィラメント10より放出された電子が所定領域内に閉じ込められる。なお、複数の永久磁石12は、図示されないホルダーに数個ずつ収納された状態で、プラズマ生成容器4に取り付けられている。イオン源1は引出し電極系として4枚の電極を有しており、プラズマ生成容器4からイオンビーム3の引出し方向図示されるZ方向に沿って加速電極5、引出電極6、抑制電極7、接地電極8の順に配置されている。各電極とプラズマ生成容器4の電位は、複数の電源V1~V4によって、それぞれ異なる値に設定されていて、各電極は絶縁フランジ11に電気的に独立して取り付けられている。引出し電極系として用いられる各電極には、例えばX方向に長い複数のスリット状開口部22が設けられており、これらのスリット状開口部22を通して、イオンビーム3の引出しが行なわれる。なお、引出し電極系として4枚の電極を有する構成のイオン源1が記載されているが、これに限らず、電極の枚数は少なくとも1枚以上あれば良い。また、フィラメント10の本数も複数本ではなく、1本であっても構わない。この図1に示されるように、イオン源1には、プラズマ生成容器4の内壁に沿って防着板20が配置されている。この防着板20は、非磁性体材料であり、例えば、オーステナイト系ステンレスあるいはモリブデン等の高融点金属である。プラズマ生成容器4の内壁に沿って配置された防着板20の端部は、図示されない防着板支持部材によって支持されている。この防着板支持部材の構成について、以下に説明する。図2には、図1に記載のA‐A線でX方向に沿ってプラズマ生成容器4を切断したときの断面の様子が描かれている。図示されているように、この例では、プラズマ生成容器4の角部分には、防着板支持部材15が配置されている。この防着板支持部材15は、図示されないボルトを用いて、プラズマ生成容器4に固定されている。そして、防着板支持部材15の端部は、プラズマ生成容器4の内壁より離間しており、当該端部と内壁との間には隙間21が形成されている。この隙間21に対して、Z方向に沿って、防着板20がスライドにより取り付けられる。この為、プラズマ生成容器4に対しての防着板20の位置決め作業が簡単になる。防着板20は、プラズマ生成容器4にボルトを用いて固定されるが、防着板20の端部は防着板支持部材15により支持されているので、その分、防着板20を固定する為のボルトの本数を減らすことができる。ボルトの本数が減らせるので、防着板20をプラズマ生成容器4の内壁に取り付けや取り外しする際の時間を短くすることができる。図3には、図2に記載の防着板支持部材15の斜視図が記載されている。図示されるように、防着板支持部材15は、少なくとも一部がプラズマ生成容器4の内壁に当接される本体部16と当該本体部16より延設された端部17とを有している。本体部16の一部をプラズマ生成容器4の内壁に当接させておくと、当接された部分で、ボルトを用いて防着板支持部材15をプラズマ生成容器4に容易に固定させることができる。また、プラズマ生成容器4が冷却機構を備えている場合、プラズマ生成容器4を通して、防着板支持部材15の冷却を行うことができ、ひいては防着板支持部材15の熱による変形を抑制させることが可能となる。また、好ましくは、本体部16より延設された端部17を、プラズマ生成容器4の内壁に沿って延設させておく。防着板20の形状は、プラズマ生成容器4の内壁に沿った形状となるので、防着板支持部材15の端部17の延設方向をプラズマ生成容器4の内壁に沿うようにしておくと、防着板20の取り付けや取り外しをスムーズに行うことが可能となる。プラズマ生成容器4が大型になると、防着板20の寸法も大きくなる。大きな防着板20の取り付けや取り外しを行うと、多大な労力を要するので、防着板20を分割することが考えられる。この場合、図4に図示されるように、プラズマ生成容器4のX方向に位置する側面にも防着板支持部材15を追加しておくことが考えられる。図5には、図4の構成で追加された防着板支持部材15の全体を表す斜視図が描かれている。この防着板支持部材15も先の例と同様に、プラズマ生成容器4の内壁に少なくとも一部が当接される本体部16と当該本体部16より延設された端部17とを有している。図1に記載のイオン源1のように、プラズマ生成容器4の周囲に複数の永久磁石12が配置されている場合、この永久磁石12を利用して、防着板支持部材15をプラズマ生成容器4の内壁に支持させる構成が考えられる。図6a、図6bには、図1に記載のイオン源1のプラズマ生成容器4の周囲に配置された複数の永久磁石12の磁石配置の例が描かれている。図6aと図6bは、同一の構造物を異なる視点で描いたものである。なお、Y方向反対側に位置するプラズマ生成容器4の面にも複数の永久磁石12が配置されているが、Y方向側に位置するプラズマ生成容器4の面に設けられた永久磁石配置と同じ構成となる為、ここではその図示を省略している。プラズマ生成容器4の周囲にこのような永久磁石配置がなされている場合、防着板支持部材15の構成としては、図7aと図7bに記載されるようなものが考えられる。これらの図において、永久磁石12と防着板支持部材15との位置関係を明らかにする為に、プラズマ生成容器4の図示を省略している。また、プラズマ生成容器4の内部には、複数の防着板支持部材15が配置されているが、他の場所に配置される防着板支持部材15の構成も図示されるものと同様である為、ここではその図示を省略している。図7a、図7bに図示されるように、ここでは防着板支持部材15は磁性体13例えば、フェライト系ステンレスと非磁性体14とから構成されており、磁性体13は、その一部が、プラズマ生成容器4の壁面を介して、永久磁石12と対向する位置に配置されている。図7aでは、図中に矢印で示されるIB方向に沿って、非磁性体14と磁性体13とが交互に配置されている。また、図7bでは、大きな非磁性体14の内側領域に複数の磁性体13が配置されている。図8aには、図7aに示される防着板支持部材15の全体を表す斜視図が描かれている。磁性体13が設けられている点を除いては、図3に描かれた構成と同じく、プラズマ生成容器4の内壁に少なくとも一部が当接される本体部16と当該本体部16より延設された端部17とを有している。図8bには、図8aに描かれる防着板支持部材15を構成する磁性体13と非磁性体14とを分解したときの様子が描かれている。この図に示されるように、非磁性体14に形成された穴18に磁性体13の側面に立設されたピン19が挿入されることで、両部材の組み立てが行われる。なお、図8bに描かれている非磁性体14の両側面には、それぞれ穴18が形成されているが、防着板支持部材15の端部に設けられた非磁性体14において、磁性体13が配置されない側の側面には穴18は形成されていない。図9aには、図7bに示される防着板支持部材15の全体を表す斜視図が描かれている。この防着板支持部材15も磁性体13が配置されている点を除いては、図3に描かれた構成と同じく、プラズマ生成容器4の内壁に少なくとも一部が当接される本体部16と当該本体部16より延設された端部17とを有している。図9bには、図9aに描かれる防着板支持部材15を構成する磁性体13と非磁性体14とを分解したときの様子が描かれている。この図に描かれているように、磁性体13は、非磁性体14に設けられた穴に圧入されることで、両部材の組み立てが行われる。このような磁性体13を防着板支持部材15に設けておくと、磁性体13の部分が永久磁石12によって吸着されることによって、防着板支持部材15をプラズマ生成容器4の内壁に吸着支持させることが可能となる。また、この吸着力が弱い場合には、図示されないボルトを用いてプラズマ生成容器4の内壁に固定するようにしても良い。ただしその場合であっても、永久磁石12による吸着力が存在している為、防着板支持部材15を固定させる為に使用されるボルトは、大きなものではなく小さなものを用いることができる。また、ボルトの大きさは変わらないにしろ、防着板支持部材15を固定するボルト自体の本数を少なくすることができる。<その他変形例>これまでの実施形態では、プラズマ生成容器4の形状が立方体であるものについて説明してきたが、プラズマ生成容器4の形状はこれに限られない。例えば、円柱や多角形状のものであっても良い。また、これまでの実施形態で説明した防着板支持部材15の構成以外に、プラズマ生成容器4の形状に応じて、図11a~dに描かれるような構成を用いても良い。さらに、防着板支持部材15は、防着板20の端部全域に渡って、防着板20を支持している必要はなく、防着板20の端部を部分的に支持しているものであれば良い。これまでの実施形態では、イオンビーム照射装置を例に挙げて説明したが、本発明の防着板支持部材は、プラズマ処理装置にも適用することができる。また、図1で述べたイオン源1の引出し電極系を構成する各電極には、X方向に長い複数のスリット状開口部22が設けられている例について述べたが、開口部の形状は異なる形状であっても良い。例えば、Z方向から各電極の表面を見たときに、複数の円形状の丸孔が設けられているものであっても良い。このような電極は、多孔電極と呼ばれており、従来から用いられている。前述した以外に、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行っても良いのはもちろんである。