被接続体と電気的に接続する、カンチレバー形状に形成された接触子の製造方法において、少なくとも当該接触子を構成する、上記被接続体と接触する針先を備えたアーム部を形成する第1の工程と、上記アーム部の横断面の形状を計測する第2の工程と、上記第2の工程の計測結果に基づいて、上記アーム部の有効長を決定する第3の工程と、上記アーム部の有効長が、上記第3の工程で決定した長さとなるように、上記アーム部を支持する基部の形成を行う第4の工程とを含むことを特徴とする接触子の製造方法。上記第3の工程では、当該接触子の上記被接続体に対する針圧が、所望の値となるように、上記アーム部の有効長を決定することを特徴とする請求項1に記載の接触子の製造方法。上記第1の工程では、上記アーム部の横断面が四角形となるように上記アーム部を形成し、上記第2の工程では、上記アーム部の厚さ及び又は幅を計測することを特徴とする請求項1又は2に記載の接触子の製造方法。被接続体と電気的に接続する、カンチレバー形状に形成された接触子において、請求項1~3のいずれかに記載の接触子の製造方法で製造されたことを特徴とする接触子。基板と、上記基板の一方の面から突出してカンチレバー形状に形成された1又は複数の接触子とを有し、上記接触子を用いて被接続体と電気的に接続するプローブシートにおいて、それぞれの上記接触子として請求項4に記載の接触子を適用したことを特徴とするプローブシート。被接続体と電気的に接続する1又は複数の接触子を備えたプローブ組立体において、上記接触子として請求項4に記載の接触子を適用したことを特徴とするプローブ組立体。被接続体と電気的に接続するプローブシートを備えたプローブ組立体において、上記プローブシートとして請求項5に記載のプローブシートを適用したことを特徴とするプローブ組立体。しかしながら、特許文献1の記載技術では、電気メッキによりカンチレバーを形成するが、既存の方法では、カンチレバーを構成するアーム部の厚さや幅の精度を向上させることが難い。そして、カンチレバーごとにアーム部の厚さや幅にばらつきがある場合には、強度のばらつきが発生する。したがって、この場合、それぞれのカンチレバーについて、被検査体の電極に押圧して同じ量のオーバドライブを作用させても、電極に対する針先の押圧力以下、針圧というにばらつきが発生することになる。プローブシートにおいて、各カンチレバーの針圧にばらつきがあると、被検査体に対する接触状態が不安定となるおそれがある。また、プローブシートにおいて、カンチレバーごとの針圧にばらつきがなかったとしても、針圧が強すぎれば、被検査体に接触した際に、被検査体を損傷してしまうし、針圧が弱すぎれば、被検査体との接触が不十分となってしまうおそれがある。そのため、カンチレバー形状の接触子の針圧の精度を向上させることができる接触子の製造方法、接触子、プローブシート及びプローブ組立体が望まれている。第1の本発明は、被接続体と電気的に接続する、カンチレバー形状に形成された接触子の製造方法において、1少なくとも当該接触子を構成する、上記被接続体と接触する針先を備えたアーム部を形成する第1の工程と、2上記アーム部の横断面の形状を計測する第2の工程と、3上記第2の工程の計測結果に基づいて、上記アーム部の有効長を決定する第3の工程と、4上記アーム部の有効長が、上記第3の工程で決定した長さとなるように、上記アーム部を支持する基部の形成を行う第4の工程とを含むことを特徴とする。第2の本発明は、被接続体と電気的に接続する、カンチレバー形状に形成された接触子において、第1の本発明の接触子の製造方法で製造されたことを特徴とする。第3の本発明は、基板と、上記基板の一方の面から突出してカンチレバー形状に形成された1又は複数の接触子とを有し、上記接触子を用いて被接続体と電気的に接続するプローブシートにおいて、それぞれの上記接触しとして第2の本発明の接触子を適用したことを特徴とするプローブシート。第4の本発明は、被接続体と電気的に接続する1又は複数の接触子を備えたプローブ組立体において、上記接触子として第2の本発明の接触子を適用したことを特徴とするプローブ組立体。第5の本発明は、被接続体と電気的に接続するプローブシートを備えたプローブ組立体において、上記プローブシートとして第3の本発明のプローブシートを適用したことを特徴とする。本発明によれば、カンチレバー形状の接触子の針圧の精度を向上させる接触子の製造方法を提供することができる。A主たる実施形態以下、本発明による接触子の製造方法、接触子、プローブシート及びプローブ組立体の一実施形態を、図面を参照しながら詳述する。A-1実施形態の構成図2は、この実施形態のプローブ組立体10の分解斜視図である。また、図3は、この実施形態のプローブ組立体10の縦断面図である。図2、図3に示すように、プローブ組立体10には、リジッド配線基板12と、リジッド配線基板12にばね部材14を介して弾性支持されるブロック16と、リジッド配線基板12の図示しない複数の配線路に電気的にそれぞれ接続される複数の導電路が設けられたプローブシート本体18基盤を有するプローブシート20とを備えている。プローブシート本体18としては、例えば、既存のFPCFlexiblePrintedCircuits等を用いた基板を適用することができる。なお、この実施形態のプローブ組立体10は、プローブシート20に備えられているカンチレバー接触子の構造や製造工程に特徴があり、それ以外の構成については、例えば、特許文献1に記載されているプローブ組立体と同様の構成を用いることができるため詳しい説明を省略する。図4は、プローブシート20の一部を拡大して示す底面図である。プローブシート20のプローブシート本体18は、図4に示すように、その中央部にブロック16の底部38に対応して形成された八角形部分46を有している。そして、八角形部分46の中央部には、多数のカンチレバー48がそれらの針先48aを整列させて配置された接触子領域50が形成されている。この接触子領域50は、図4に示す例では、矩形に形成されている。上述の通り、この実施形態のプローブシート20では、カンチレバーの構造や製造工程に特徴があり、それ以外の構成については、例えば、特許文献1に記載されているプローブシートと同様の構成を用いることができるため詳しい説明を省略する。次に、この実施形態のプローブシート20に設けられているカンチレバー48の構成について説明する。図5は、カンチレバー48の側面図である。また、図6は、カンチレバー48の底面図である。図5、図6に示すように、カンチレバー48のアーム部48bは、基部支柱48cによりプローブシート本体18の底面に支持固定されている。そして、アーム部48bにおいて、基部48cと逆方向の端に針先48aが形成されている。なお、カンチレバー48に用いる材料については限定されないものであるが、例えば、ニッケル又はその合金等の電気メッキ加工に適した金属を用いることができる。なお、以下では、プローブシート本体18の面に対して並行となる方向を水平方向、プローブシート本体18の面に対して垂直となる方向を垂直方向と呼ぶものとする。また、以下では、カンチレバー48から見て、プローブシート本体18の方向を上方向、プローブシート本体18とは逆の方向を下方向と呼ぶものとする。そして、以下では、図5に示すように、針先48aの先端被検査体と接触する部分から、基部48cの端までアーム部48bが湾曲する際の支点までの水平方向の距離を有効長l、アーム部48bの厚さ横断面の垂直方向の寸法を厚さt、アーム部48bの幅横断面の水平方向の寸法を幅wとそれぞれ呼ぶものとする。また、カンチレバー48に所定の大きさのオーバドライブを作用させた場合の針圧を、針圧pと呼ぶものとする。次に、カンチレバー48の針圧pと、アーム部48bの厚さt及び幅wとの関係について説明する。図7は、アーム部48bの横断面の厚さt及び幅wと、針圧pとの関係について示したグラフである。なお、図7では、アーム部48bの有効長lは全て同一としている。図7では、縦軸で針圧pを示し、横軸でアーム部48bの厚さtを示している。また、図7では、幅wごとに異なる折れ線G11~G13で、厚さtと針圧pの関係について示している。図7において、折れ線G11は、幅w=W1とした場合の折れ線グラフである。また、折れ線G12は、幅w=W2W2<W1とした場合の折れ線グラフである。さらに、折れ線G13は、幅w=W3W3>W1とした場合の折れ線グラフである。図7では、例えば、厚さt=T1、幅w=W1の場合、カンチレバー48の針圧pはP1になることを示している。アーム部48bの厚さt及び又は幅wが大きくなると、アーム部48bの強度は高くなる。そのため、図7に示すように、アーム部48bの厚さt及び又は幅wを大きくすると、アーム部48bの針圧pは大きくなる傾向がある。次に、上述の図7に示すような傾向に基づいて、アーム部48bの針圧pと、有効長l、厚さt、及び幅wの組合せとの関係について説明する。図8は、カンチレバー48の針圧pを、目標とする針圧Ptとするために必要な有効長l、厚さt、及び幅wの組合せについて示したグラフである。図8では、縦軸でアーム部48bの有効長lを表わし、横軸でアーム部48bの厚さtを表わしている。また、図8では、幅wごとに異なる折れ線G21~G23で、有効長lと厚さtの関係について示している。ここで、折れ線G21は、幅w=W1とした場合の折れ線グラフである。また、折れ線G22は、幅w=W2W2<W1とした場合の折れ線グラフである。さらに、折れ線G23は、幅w=W3W3>W1とした場合の折れ線グラフである。例えば、図8では、厚さt=T1、幅w=W1の場合、カンチレバー48の針圧pをPtとするためには、有効長lをL1に設定しなければならないことを示している。上述の通り、アーム部48bの厚さt及び又は幅wが増えると、針圧は高くなる傾向にあるが、アーム部48bの有効長lを長くするほど、アーム部48bのたわみ量が多くなるため、針圧pは小さくなる傾向となる。したがって、アーム部48bでは、厚さtが増えると針圧pも高くなるが、図8に示すように、厚さtが増えた分、有効長lを長くすることで、針圧pを目標であるPtに調整することができる。すなわち、カンチレバー48において、アーム部48bの厚さt及び幅wの精度が低い場合でも、アーム部48bの有効長lを調整することにより、針圧pの精度を向上させることができる。そこで、この実施形態では、アーム部48bの横断面の形状計測の結果厚さt及び幅wの計測結果に応じて、有効長lを調整し、針圧pを目標とするPtに近づけるものとする。図9は、この実施形態のプローブシートの製造方法において、カンチレバー48を構成するアーム部48bの有効長lを調整する方法について示した説明図である。カンチレバー48で、アーム部48bの有効長lを調整する方法については限定されないものであるが、ここでは、図9に示すように、カンチレバー48を支持する基部48cの配置位置を調節することにより、有効長lを調節するものとする。図9aに示すように、基部48cを配置する位置について、針先48aの方向にずらすことにより、有効長lを短くし、カンチレバー48の針圧pを高くする方向に調節することができる。また、図9bに示すように、カンチレバー48を支持する基部48cを配置する位置について、針先48aとは逆方向にずらすことにより、有効長lを長くし、カンチレバー48の針圧pを小さくする方向に調節することができる。次に、この実施形態のプローブシート20の製造方法について説明する。上述の通り、この実施形態のプローブシート20では、カンチレバー48のアーム部48bの有効長lが調整されている点に特徴があり、アーム部48bの有効長lを調整することと関連しない工程については、例えば、特許文献1と同様の製造工程を適用することができる。そこで、以下では、この実施形態のプローブシート20の製造方法について、特許文献1と異なる工程を中心として説明する。図1は、この実施形態のプローブシートの製造方法において、カンチレバー48を形成する工程について示した工程図である。図1に示すように、この実施形態のプローブシートの製造方法において、カンチレバー48を形成する工程には、工程P1~P7の工程が含まれる。まず、工程P1では、図10に示すように、フォトリソグラフィ技術を利用して、基台100上に、カンチレバー48の針先48a及びアーム部48bが形成され、さらに、犠牲層等を除去してアーム部48bの一部が露出された状態とする。なお、ここでは、後述する工程P2で、厚さt及び幅wの計測が可能な程度に、アーム部48bの上面の一部及び又は側面の一部が露出している必要がある。工程P1は、特許文献1と同様の工程を適用することができるので詳しい説明を省略する。工程P1は、例えば、特許文献1の図7fに示す状態までの工程としても良い。次に、工程P2では、工程P1で形成されたアーム部48bの厚さt及び幅wを計測する。工程P2で、アーム部48bの厚さt及び幅wを計測する方法については限定されないものであるが、例えば、既存のレーザ光を利用した三次元計測装置等を用いるようにしても良い。また、アーム部48bの厚さtを計測する際に、アーム部48bの直下の層の上面を、アーム部48bの底面と同じ高さであるものとみなして計測するようにしても良い。工程P2において、厚さt及び幅wを計測する計測位置については限定されないものであり、例えば、針先48aから所定の距離の部分で計測するようにしても良い。また、工程P2において、アーム部48b上の計測位置を複数設定し、計測装置により計測された結果の平均を、最終的な計測結果とするようにしても良い。次に、工程P3では、工程P2での計測結果に基づいて、当該アーム部48bから形成されるカンチレバー48の有効長lを決定する。工程P3では、工程P2での計測結果厚さt及び幅wに基づいて、カンチレバー48の針圧pをPtとするための有効長lを求める必要がある。カンチレバー48の針圧pをPtとする有効長lを求める方法については、限定されないものである。例えば、上述の図8のグラフのように、予め厚さtと幅wの組合せに応じた有効長lの値に関する情報を把握しておき、その情報に基づいて上述の工程P2の測定結果に応じた有効長lを決定するようにしても良い。上述の図8のグラフでは、幅W1~W3のそれぞれについて折れ線G21~G23が示されているが、例えば、アーム部48bの幅wの計測結果に応じて、いずれかの折れ線に基づいた有効長lを決定するようにしても良い。具体的な例として、幅W2=W1-k、幅W3=W1kとした場合を想定する。なお、kは任意の値であり、例えば、0.1μm程度としても良い。そして、アーム部48bの幅wの計測結果が以下の1式を満たす場合には、幅wの計測結果をW1とみなし、折れ線G21を利用して有効長lを決定するようにしても良い。また、アーム部48bの幅wの計測結果が以下の2式を満たす場合には、幅wの計測結果をW2とみなし、折れ線G23を利用して有効長lを決定するようにしても良い。さらにまた、アーム部48bの幅wの計測結果が以下の3を満たす場合には、幅wの計測結果をW3とみなし、折れ線G23を利用して有効長lを決定するようにしても良い。なお、上述の図8のグラフでは、3種類の幅W1~W3を想定した内容となっているが、その種類の数は限定されないものである。W1-k/2≦w≦W1k/2...1w<W1-k/2...2w>W1k/2...3また、厚さtと幅wの組合せから、所定の計算式を用いて針圧pをPtとするための有効長lを求めることが可能である場合には、その計算式で演算することにより、有効長lを求めるようにしても良い。さらに、工程P3の情報処理演算処理を行う手段については限定されないものであり、例えば、コンピュータに、有効長lを決定するプログラムをインストールして、そのコンピュータに演算させるようにしても良い。次に、工程P4では、形成されたアーム部48bの上に、図11に示すように、犠牲層124、プローブシート本体18を構成する樹脂層126、及び保護膜128を堆積する。工程P4は、特許文献1と同様の工程を適用することができるので詳しい説明を省略する。工程P4は、例えば、特許文献1の図7gに示す状態までの工程としても良い。すなわち、犠牲層124、樹脂層126、及び保護膜128については、特許文献1と同様のものを適用することができる。なお、工程P4で、アーム部48bの上に堆積される層の種類や数については限定されないものである。次に、工程P5では、工程P4で形成した犠牲層124、樹脂層126、及び保護膜128に対して、例えばレーザ光等を用いて、図12に示すように、アーム部48bに達する開口130を形成する。この開口130は、後述する工程P6で、基部48cを堆積させるための穴である。すなわち、この実施形態のプローブシートの製造方法では、開口130の位置を調節することにより、基部48cの位置すなわち、有効長lを調節する。具体的には、開口130の針先48a側の端の位置が、アーム部48bの支点となるため、開口130の針先48a側の端の位置から針先48aまでの水平方向の距離が、上述の工程P3で決定した有効長lとなるように、開口130を形成する必要がある。なお、工程P5は、上述の工程P3で決定した有効長lに応じた位置に、開口130を形成すること以外は、特許文献1と同様の工程を適用することができる。また、工程P5は、例えば、特許文献1の図7iに示す状態までの工程としても良い。次に、工程P6では、図13に示すように、開口130内のアーム部48b上に、プローブ48の基部48cを形成するための金属を堆積する。工程P6は、特許文献1と同様の工程を適用することができるので詳しい説明を省略する。工程P6は、例えば、特許文献1の図7jに示す状態までの工程としても良い。次に、工程P7では、カンチレバー48の周辺の犠牲層等を除去することより、図14に示すように、カンチレバー48を露出させる。工程P7は、特許文献1と同様の工程を適用することができるので詳しい説明を省略する。工程P7は、例えば、特許文献1の図10cに示す状態までの工程としても良い。A-2実施形態の効果この実施形態によれば、以下のような効果を奏することができる。この実施形態では、アーム部48bの幅w及び厚みtの組合せに応じて、針圧pを目標値であるPtとするための有効長lを決定し、当該アーム部48bの有効長lについて決定した長さとなるように、当該アーム部48bの基部48cを形成している。これにより、この実施形態で形成されるカンチレバー48の針圧pの精度を向上させることができる。B他の実施形態本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下に例示するような変形実施形態も挙げることができる。B-1上記の実施形態では、プローブシート本体18は、特許文献1と同様に、可撓性の絶縁性合成樹脂フィルムを用いて構成されているものとして説明したが、本発明の特徴は、上述の通りカンチレバーに係る構造や製造工程であり、カンチレバーを配置するためのプローブシート本体18の形状や材質については限定されないものである。B-2上記の実施形態の工程P2、P3では、アーム部48bの横断面の形状計測として、幅w及び厚さtを計測し、その計測結果に基づいて当該アーム部48bの有効長lを決定しているが、幅w又は厚さtのいずれかのみに基づいて、有効長lを決定するようにしても良い。B-3上記の実施形態では、カンチレバーごとに有効長lを決定する例について説明したが、複数のカンチレバー48についてまとめて有効長lを決定するようにしても良い。例えば、1つのカンチレバー48について、上述の工程P2、P3により有効長lを決定し、その有効長lを他のカンチレバー48に適用するようにしても良い。また、例えば、上述の工程P2で複数のカンチレバー48について計測を行い、上述の工程P3で複数の計測結果の平均値に基づいて、全てのカンチレバー48の有効長lを決定するようにしても良い。B-3上記の実施形態では、アーム部48bの横断面は四角形であるものとしているため、上述の工程P2、P3では、横断面の形状計測として、厚さt及び幅wの計測を行い、その計測結果に基づいて有効長lを決定している。しかし、アーム部48bの横断面の形状は限定されないものであり、例えば円形や三角形であることも有り得る。その場合でも、上述の工程P2、P3では、アーム部48bの横断面の形状計測の結果に基づいて、有効長lを決定するようにしても良い。その場合、上述の工程P2、P3では、例えば、横断面の形状に関わりなく、上記の実施形態と同様に、横断面の垂直方向の寸法例えば、横断面の一番下の部分と一番上の部分との間の垂直方向の寸法等に基づいて有効長lを決定するようにしても良い。B-4上記の実施形態では、カンチレバー48を支持する基部48cの配置位置を調節することにより、有効長lを調節している上述の図9参照が、基部48cの水平方向の幅を調節することにより有効長lを調節するようにしても良い。B-5上記の実施形態では、プローブシート20を接続する対象は、被検査体であるものとして説明したが、プローブシート20の接続対象は、検査を目的とした被検査体に限定されないものである。例えば、プローブシート20を、被接続体例えば、半導体集積回路等に接続させ、検査等を含む電気的接続を伴う処理例えば、半導体装置に対する制御処理等に用いるようにしても良い。B-6上記の実施形態では、各カンチレバー48接触子は、プローブシート本体基板と一体に形成されているが、カンチレバー48だけを単独で形成するようにしても良い。そして、カンチレバー48を形成した後に、そのカンチレバー48を、プローブシート本体基板に取り付けるようにしても良い。カンチレバー48をプローブシート本体に取り付ける方法については限定されないものであるが、例えば、カンチレバー48の基部48cを、プローブシート本体の面上で、接着剤や溶接等により固定するようにしても良い。上記の実施形態の工程P4では、形成されたアーム部48bの上に、プローブシート本体18を構成する樹脂層126を堆積させ図11参照、その後の工程で樹脂層126と基部48cとを一体として形成している。しかし、例えば、上記の実施形態の工程P4で、プローブシート本体18を構成する樹脂層126を堆積させずにその後の工程を行えば、基台100上において、カンチレバー48を独立した部品として形成することができる。