ガス流希釈装置を較正する方法であって、所望の流量をもたらすように選択された複数の定流量流体構成要素を準備する段階と、前記構成要素の1つ又はそれ以上から共通の計量計を介して流れを供給し、流量構成要素を通る流量を測定し、これに基づいて流量比を決定することで、複数の定流量構成要素を通る流体流量の測定値を取得する段階と、を含み、前記構成要素を通る前記流量測定値を得るようになった方法。前記構成要素の他のものを較正するために、前記流体流量構成要素の1つを較正構成要素として使用する段階を含む、請求項1に記載の方法。前記構成要素の2つ又はそれ以上を通る流体は、前記2つ又はそれ以上の構成要素の複合流に近似する流量能力を有する前記構成要素の他のものからの単一流と組み合わされて比較される、請求項1又は2に記載の方法。前記構成要素の少なくとも1つは、結合されて前記希釈装置に希釈ガスをもたらすようになっており、前記構成要素の少なくとも1つの他のものは、結合されて希釈されることになる標準ガスをもたらすようになっている、請求項1から3のいずれかに記載の方法。前記定流量流体構成要素は、臨界オリフィス、キャピラリ、又は非臨界オリフィスを備える、請求項1から4のいずれかに記載の方法。前記定流量構成要素は、それぞれ少なくとも1、1、及び2の流量単位の容量を有する、請求項1から5のいずれかに記載の方法。前記希釈装置に標準流体及び希釈流体を供給するための第1及び第2の流量調整装置を準備する段階を含み、前記流量調整装置は同じ容量を有する、請求項1から6のいずれかに記載の方法。前記調整装置の間の差圧を測定して、その間の差圧を補償する段階を含む、請求項7に記載の方法。希釈ガスを前記希釈装置の入力に結合する段階と、前記希釈ガスの圧力を少なくとも第1及び第2の調整装置に供給できるように調整する段階と、希釈ガスを前記調整装置に供給する段階と、前記第1の流量構成要素を除いて全てを閉鎖する段階と、前記第1の構成要素から前記流量計への流れを引き起こす段階と、基準流量とをして前記流量測定値を使用する段階と、を含む、請求項1から8のいずれかに記載の方法。前記第1の構成要素からの流体流れを閉止して第2の構成要素を通る流れをもたらす段階と、前記第2の構成要素を通る流量を求める段階とを含む、請求項9に記載の方法。流体が前記第1及び第2の構成要素を通って流れ得るようにする段階と、前記構成要素を流れる複合流を求める段階と、前記第1及び第2の構成要素を通る流体流れを閉止して、流体が前記第1及び第2の構成要素を流れる複合流と実質的に等しい容量を有する第3の構成要素を通って流れ得るようにする段階と、前記第3の構成要素、並びに前記第1及び第2の構成要素を通る相対流量を測定する段階とを含み、前記第3の構成要素を較正するようになった、請求項10に記載の方法。前記構成要素の他のものを通る流体の相対流量、及び前記希釈装置の1つ又はそれ以上の前記流体構成要素の他のものの組み合わせに基づいて、他の流体流量構成要素を較正する段階を含む、請求項11に記載の方法。前記流体流量構成要素の1つ又はそれ以上を通る較正された流体流量は、前記希釈装置の1つ又はそれ以上の流量調整装置を較正するために使用される、請求項1から12のいずれかに記載の方法。前記流量計による長期ドラフトを補償するために定期的な較正を行う段階を含む、請求項1から13のいずれかに記載の方法。ガス流希釈装置を較正するための装置であって、所望の流量をもたらすように作動可能な複数の定流量流体構成要素と、前記流体流量構成要素からの流体流を受け入れるように結合され、前記複数の定流量流体構成要素を通る流体流量の測定値を取得するように作動可能な共通の流量計と、これらから流量比を求める手段と、を備え、前記構成要素を通る流量を測定するようになった装置。前記構成要素を通る流れを開閉して、2つ又はそれ以上の構成要素の2つ又はそれ以上の流れを組み合わせるようになっているバルブ手段を含み、前記流量計は、前記複合流量を前記構成要素の別のものからとほぼ等しい値の単一流量と比較するようになっている、請求項15に記載の装置。前記定流量流体構成要素は、臨界オリフィス、キャピラリ、又は非臨界オリフィスを備える、請求項15又は16に記載の装置。それぞれ少なくとも1、1、及び2の流量単位の容量を有する、請求項15から17のいずれかに記載の装置。前記希釈装置に標準流体及び希釈流体を供給するための第1及び第2の流量調整装置を含み、前記流量調整装置は同じ容量を有する、請求項15から18のいずれかに記載の装置。本発明は、ガス流希釈装置を較正する改良された方法及びシステムを提供するものである。本発明の1つの態様によれば、ガス流希釈装置を較正する方法が提供され、本方法は、所望の流量をもたらすように選択された複数の定流量流体構成要素を準備する段階と、前記構成要素の1つ又はそれ以上から共通の計量計を介して流れを供給し、流量構成要素を通る流量を測定し、これに基づいて流量比を決定することで、複数の定流量構成要素を通る流体流量の測定値を取得する段階とを含み、構成要素を通る流量測定値を得るようになっている。本発明の別の態様によれば、ガス流希釈装置を較正するための装置は、所望の流量をもたらすように作動可能な複数の定流量流体構成要素と、流体流量構成要素からの流体流を受け入れるように結合され、複数の定流量流体構成要素を通る流体流量の測定値を取得するように作動可能な共通の流量計と、これらから流量比を求める手段とを備え、構成要素を通る流量を測定するようになっている。本明細書で説明する好ましい実施形態は、安価で早急に定常流に安定させる臨界オリフィス等の定流量構成要素の使用を可能にする。これらは同じ流量を得るように調整できないが、所望の流量値に非常に近い流量になるように選択される。本実施形態では、全ての流量制御構成要素の正確な流量比を求める。実際の流量は測定しないが、ほぼ等しい流量はそれぞれ共通の流量計に送り込まれ、表示された流量計読み値は流量比と同じとして取得される。次に、2つのほぼ等しい流量は組み合わされてほぼ同じ値の単一流量と比較される。流量計は、ほぼ等しい流量を比較するためだけに使用されるので、較正又は広範囲に線形化する必要はない。本発明の実施形態は、例示的に図面を参照して以下に説明する。図1を参照すると、図1は例示的に流量制御構成要素として臨界オリフィスを用いるガス流希釈装置の実施形態を示す。全体的なデザインは公知であるが、追加の構成要素7A、8A、及び11は、改良された較正方法を可能にするために組み込まれている。較正精度を高めるために構成要素6を設けることが好ましい。標準ガスは、入力1から三方向タップ3を経由して圧力調整装置4に供給され、タップ7Aから7Fに送り込まれる。希釈ガスは入力2から圧力調整装置5に供給され、タップ7Aから7Fに送り込まれる。これらのタップにより、標準ガス又は希釈ガスのどちらか一方が臨界オリフィス8Aから8Fに流れ込むことができる。更に、各タップは、両方のガスの流れを同時に遮断するように位置付けることができる。臨界オリフィスからの複合流は、タップ10へ流れ、出口ポート9へ向かうか、又は流量計11を通って排気ポート12へ向かうことができる。タップ3によって、希釈ガスは、較正時に標準ガスを節約するために標準ガスの代わりに圧力調整装置4に好都合に送り込むことができる。タップ7Aから7Fの設定の組み合わせを変更することで、異なる標準ガスの希釈物を得ることができる。臨界オリフィス8Aから8Fは、それぞれ1、2、4、8、及び16の流量単位の公称例えば、±3以内の値の流量を与えるように選択される流量単位は、出口から所望の流量をもたらすように選択される。調整装置4及び5からの出力圧力は等しく、臨界オリフィスの正確な作動を保証するのに十分であることが好ましい。差圧計6により、2つの調整装置4及び5の出力圧力を好都合に等しく設定できる。また、流量変化に起因する場合がある出力圧力の変化をモニタして補償することができる。流量計11は、ほぼ等しい対の流量を比較するためだけに使用されるので正確に較正する又は高度に線形化する必要はない。好ましい較正方法は以下の通りである。1希釈ガスをポート2に接続して、ガス圧を調整装置4及び5に供給するのに十分なように調整する。2タップ3を希釈ガスが両方の調整装置に供給されるように設定する。3タップ7Bから7Fをオフに設定する流れない。4タップ7Aを希釈ガスが臨界オリフィス8Aに供給されるように設定する。5タップ10を流れが流量計11を通って流れるように設定する。6希釈調整装置5からオリフィス8Aへの流量は以下ではFD8Aと呼び、好都合には他の全ての流量が比較される基準流量として使用される。対応する流量計11の流量指示値は以下ではID8Aと呼ぶ。7タップ7Aをオフにしてタップ7Bを調整装置5からオリフィス8Bへの流れをもたらすように設定する。流量FD8Bは指示値ID8Bを与え、8近似式は以下のようになる。FD8B=FD8AID8B/ID8A9両方のタップ7A及び7Bを調整装置5からガスを流すように設定する。同様の用語を用いて、複合流FD8A8Bは流量計11上でID8A8Bとして示される。10タップ7A及び7Bをオフにする。タップ7Cを調整装置5から流れるように設定して流量FD8C及び指示値ID8Cを得て、11近似式は以下のようになる。FD8C=FD8A8BID8C/ID8A8B12流量を組み合わせて類似の流量を比較すると近似式は以下のようになる。FD8D=FD8A8B8CID8D/ID8A8B8CFD8E=FD8A8B8C8DID8E/ID8A8B8C8DFD8F=FD8A8B8C8D8EID8F/ID8A8B8C8D8Eこれは調整装置5から供給される場合の臨界オリフィス8Bから8Fの、調整装置5から供給される場合のオリフィス8Aを通る流量に対する相対流量を決定するための十分な情報を与える。13次にステップ4から12を繰り返すが、タップは調整装置5からではなく圧力調整装置4からガスを供給するように設定される。これらの流量及び指示値は以下ではそれぞれFS及びISと呼び、以下の近似式を求めることができる。FS8B=FS8AIS8B/IS8AFS8C=FS8A8BIS8C/IS8A8BFS8D=FS8A8B8CIS8D/IS8A8B8CFS8E=FS8A8B8C8DIS8E/IS8A8B8C8DFS8F=FS8A8B8C8D8EIS8F/IS8A8B8C8D8Eこれは調整装置4から供給される場合の臨界オリフィス8Bから8Fの、調整装置4から供給される場合のオリフィス8Aを通る流量に対する相対流量を決定するための十分な情報を与える。14流量計11を用いて、調整装置4から供給される場合のオリフィス8Aを通る流量は、調整装置5から供給される場合に得られる流量と比較する。つまり以下の式のようになる。FS8A=FD8AIS8A/ID8A15各々のオリフィスを通る希釈ガス又は標準ガスの相対流量を計算できる。作動時、タップ7Aから7Fは組み合わせて使用され、標準ガス及び希釈ガスの流量を設定するようになっている。2つのガスの相対流量は希釈を規定する。実際には、2つの調整装置4及び5の出力圧力は、そこを通る流量が増大するにつれて減少する場合がある。これはオリフィスを通る流量の減少につながり、求めた相対流量、従って希釈における必然的な誤差につながる場合もある。この影響は、無視できるほど小さいが、圧力計6は圧力と流量との関係を測定して補償を行うために使用できる。前述の実施形態には種々の変形例が可能である。例えば、キャピラリ又は非臨界オリフィス等の流量制御デバイスを使用できる。流量制御デバイスの数は増減できる。流量制御デバイスの公称流量は、2値重み付け関係例えば、1、1、1、3、5、及び10の流量単位に従う必要はない。流量計は、測定レンジを広げるために2つ又はそれ以上から選択できる。各調整圧力は個別にモニタできる。較正測定を行う順番は様々とすることができる。較正データの処理は様々とすることができる。システムは単一ガスの線形流量制御を得るために使用できる。本明細書に記載の較正方法及び装置は、既存のガス流希釈装置に組み込むことができるので、ユーザは定期的に例えば、毎日再較正でき、長期ドリフトの影響を排除できる。これにより、より正確な希釈装置0.1相対不確定性を得ることができるがもたらされ、定期的な再較正のために希釈装置を研究所に送ることに関連するコスト及び停止時間が削減される。