"圧電素子と、前記圧電素子を含む振動部と、前記振動部の端部に設けられた駆動突起部と、前記駆動突起部が当接して駆動される被駆動体と、を備え、前記駆動突起部のヤング率E1と、前記被駆動体のヤング率E2とは、E1≠E2の関係である、ことを特徴とする圧電モーター。請求項1に記載の圧電モーターであって、前記駆動突起部のヤング率E1と、前記被駆動体のヤング率E2とは、E1<E2の関係である、ことを特徴とする圧電モーター。請求項1に記載の圧電モーターであって、前記駆動突起部のヤング率E1と、前記被駆動体のヤング率E2とは、E1>E2の関係である、ことを特徴とする圧電モーター。請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電モーターであって、前記駆動突起部と前記被駆動体とは、同じ材料で構成されている、ことを特徴とする圧電モーター。請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電モーターであって、前記駆動突起部と前記被駆動体は、異なる材料で構成されている、ことを特徴とする圧電モーター。請求項1から5のいずれか一項に記載の圧電モーターであって、前記駆動突起部と前記被駆動体は、酸化マグネシウムMgOおよび酸化アルミニウムAl2O3を含み、少なくとも互いに当接するそれぞれの表面部から200nmまでの深さの領域が前記ヤング率E1または前記ヤング率E2である、ことを特徴とする圧電モーター。請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とする駆動装置。請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とする電子部品搬送装置。請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とする電子部品検査装置。請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とするロボット。請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とするプリンター。しかし、特許文献1でいう、押圧部材および可動体の硬さは、いわゆる塑性変形硬さであって、ビッカース硬度で表されるものである。また、特許文献2においても、塑性変形硬さビッカース硬度と明記されてはいないが、駆動子および可動体の硬さに関わる設定をしている。ここで、超音波モーターのような圧電モーターにおいて、塑性変形硬さに基づいた設定をしただけでは、摺動による磨耗を効果的に抑制できない場合があり、圧電モーターにおける磨耗のメカニズムは、塑性変形硬さにのみ影響されるわけではないことが解明されてきている。このため、特許文献1および特許文献2に示すような塑性変形硬さなどによる硬さを設定しただけでは、摺動による磨耗を効果的に抑制することは困難である、という課題があった。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。[適用例1]本適用例に係る圧電モーターは、圧電素子と、前記圧電素子を含む振動部と、前記振動部の端部に設けられた駆動突起部と、前記駆動突起部が当接して駆動される被駆動体と、を備え、前記駆動突起部のヤング率E1と、前記被駆動体のヤング率E2とは、E1≠E2の関係である、ことを特徴とする。本適用例の圧電モーターによれば、互いに当接して摺動する駆動突起部と被駆動体とにおいて、それぞれのヤング率の値を相違させている。ヤング率の値が大きい材料は、塑性変形硬さビッカース高度も大きい値となる傾向であるが、必ずしも比例してはいない。そのため、例えば、塑性変形硬さがほぼ同様の材料で構成された2つの被駆動体であっても、ヤング率の大きい材料で構成された被駆動体は、ヤング率の小さい材料で構成された被駆動体に比べて、駆動突起部の当接による材料表面の押し込まれ量が少ない。この状態で、駆動突起部が被駆動体に当接して摺動すると、ヤング率の大きい材料で構成された被駆動体の方が、駆動突起部による押し込まれ量が少ないため、摺動による摩耗も少なくなり、耐摩耗性に優れる、という結果が得られた。このように、圧電モーターの駆動突起部および被駆動体の関係では、互いに当接して摺動する、それぞれの表面部近傍のヤング率が耐摩耗性に影響している。さらに、例えば、窒化珪素は、塑性変形硬さが酸化アルミニウムより硬いものであっても、その最表面のヤング率が酸化アルミニウムより小さい場合、耐摩耗性が酸化アルミニウムより悪いという知見が得られている。この場合のヤング率は、塑性変形硬さであるビッカース硬度測定では正確に測定できない、表面部近傍の微少範囲における値である。これを踏まえ、圧電モーターは、駆動突起部と被駆動体との関係において、従来の塑性変形硬さの他に、駆動突起部のヤング率E1と、被駆動体のヤング率E2と、の関係をE1≠E2とする特徴を有している。この特徴を有する圧電モーターは、駆動突起部および被駆動体の耐摩耗性を向上させることが可能であると共に、駆動突起部または被駆動体のいずれかが摩耗するような設定等を、容易に行うことが可能である。これにより、圧電モーターは、求められる機能に応じて、最適な耐摩耗性を有する駆動突起部および被駆動体を備えることが可能である。[適用例2]上記適用例に記載の圧電モーターにおいて、前記駆動突起部のヤング率E1と、前記被駆動体のヤング率E2とは、E1<E2の関係である、ことが好ましい。この構成によれば、圧電モーターは、駆動突起部のヤング率E1<被駆動体のヤング率E2、とする設定により、被駆動体が駆動突起部より摩耗しにくい構成となっている。これにより、圧電モーターは、長期使用等の後、摩耗した駆動突起部を交換する構成になっていて、メンテナンス等が容易となるため、各種の装置に好適に用いられる。[適用例3]上記適用例に記載の圧電モーターにおいて、前記駆動突起部のヤング率E1と、前記被駆動体のヤング率E2とは、E1>E2の関係である、ことが好ましい。この構成によれば、圧電モーターは、駆動突起部のヤング率E1>被駆動体のヤング率E2、とする設定により、駆動突起部が被駆動体より摩耗しにくい構成となっている。これにより、圧電モーターは、長期使用等の後、摩耗した被駆動体を交換する構成になっていて、メンテナンス等が容易となるため、各種の装置に好適に用いられる。[適用例4]上記適用例に記載の圧電モーターにおいて、前記駆動突起部と前記被駆動体とは、同じ材料で構成されている、ことが好ましい。この構成によれば、圧電モーターの駆動突起部および被駆動体が同じ材料であり、同材料であれば、処理等によりヤング率を異ならせることが容易に行える。例えば、駆動突起部および被駆動体がセラミックスの場合、処理炉や処理雰囲気等が同一のまま、焼成温度を変えることで、ヤング率の異なるセラミックスで形成された駆動突起部および被駆動体が得られる。[適用例5]上記適用例に記載の圧電モーターにおいて、前記駆動突起部と前記被駆動体は、異なる材料で構成されている、ことが好ましい。この構成によれば、圧電モーターの駆動突起部および被駆動体が異なる材料であり、異なる材料であれば、圧電モーターに要求される機能に対応して、ヤング率の異なるものを広範囲に選択することが可能である。これにより、材料組成をはじめとしてヤング率の異なる材料で構成され種々の幅広い特性を有する、駆動突起部および被駆動体、が得られる。[適用例6]上記適用例に記載の圧電モーターにおいて、前記駆動突起部と前記被駆動体は、酸化マグネシウムMgOおよび酸化アルミニウムAl2O3を含み、少なくとも互いに当接するそれぞれの表面部から200nmまでの深さの領域が前記ヤング率E1または前記ヤング率E2である、ことが好ましい。この構成によれば、圧電モーターの駆動突起部および被駆動体は、耐摩耗性良好な酸化アルミニウムAl2O3で構成されている。さらに、この酸化アルミニウムは、酸化マグネシウムMgOを含有していて、酸化マグネシウムMgOを含有しない場合より、ヤング率の値を大きくすることが可能であり、その含有率でヤング率の調整も可能である。この場合、ヤング率は、酸化アルミニウムの表面部から200nmまでの深さの領域における値を指し、この領域は、塑性変形硬さであるビッカース硬度測定では正確に測定できない微少な深さ範囲である。これにより、駆動突起部および被駆動体は、それぞれ最適な耐摩耗性を有する酸化アルミニウムで構成される。[適用例7]本適用例に記載の駆動装置において、上記適用例に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とする。本適用例の駆動装置によれば、圧電モーターの機構または圧電モーターに準じた機構、即ち圧電素子と圧電素子が積層された振動部と振動部の端部に設けられた駆動突起部と駆動突起部が当接して駆動される被駆動体と、を備えている。この駆動装置は、駆動突起部および駆動突起部により回転駆動または直線駆動等をする被駆動体が、異なるヤング率を有し、互いの摺動による磨耗を効果的に抑制することが可能である。[適用例8]本適用例に記載の電子部品搬送装置において、上記適用例に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とする。本適用例の電子部品搬送装置によれば、圧電モーターの機構または圧電モーターに準じた機構、即ち圧電素子と圧電素子が積層された振動部と振動部の端部に設けられた駆動突起部と駆動突起部が当接して駆動される被駆動体と、を備えている。この電子部品搬送装置は、駆動突起部および駆動突起部により駆動され電子部品を所定位置に送るための被駆動体が、異なるヤング率を有し、互いの摺動による磨耗を効果的に抑制でき、これによりメンテナンス等が容易になると共に安定した搬送を維持することが可能である。[適用例9]本適用例に記載の電子部品検査装置において、上記適用例に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とする。本適用例の電子部品検査装置によれば、検査する電子部品を搬送するために、圧電モーターの機構または圧電モーターに準じた機構、即ち圧電素子と圧電素子が積層された振動部と振動部の端部に設けられた駆動突起部と駆動突起部が当接して駆動される被駆動体と、を備えている。この電子部品検査装置は、駆動突起部および駆動突起部により駆動され電子部品を所定位置に送るための被駆動体が、異なるヤング率を有し、互いの摺動による磨耗を効果的に抑制する構成となっていることにより、電子部品を正確に位置決めして、迅速且つ的確な検査が可能である。[適用例10]本適用例に記載のロボットにおいて、上記適用例に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とする。本適用例のロボットによれば、圧電モーターの機構または圧電モーターに準じた機構、即ち圧電素子と圧電素子が積層された振動部と振動部の端部に設けられた駆動突起部と駆動突起部が当接して駆動される被駆動体と、を備えている。このロボットは、例えばロボットハンド等に設けられ異なるヤング率を有する、駆動突起部および被駆動体を備え、互いの摺動による磨耗を効果的に抑制することが可能である。[適用例11]本適用例に記載のプリンターにおいて、上記適用例に記載の圧電モーターの機構を備えている、ことを特徴とする。本適用例のプリンターによれば、圧電モーターの機構、または圧電モーターに準じた機構、即ち圧電素子と圧電素子が積層された振動部と振動部の端部に設けられた駆動突起部と駆動突起部が当接して駆動される被駆動体と、を備えている。このプリンターは、駆動突起部および駆動突起部により駆動される被駆動体が、印刷された印刷媒体を切断するカッター等をスムーズに駆動させる構成等であって、これら駆動突起部および被駆動体が異なるヤング率を有し、互いに摺動による磨耗を効果的に抑制することが可能である。以下、本発明の圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、ロボットおよびプリンターについて、それぞれの好適な一例を、添付図面に基づき順に説明する。実施形態1図1aは、第1実施形態にかかる圧電モーターを示す平面図である。また、図1bは、圧電モーターを示す断面図であり、図1aにおけるA-A’断面を示している。図1aに示すように、圧電モーター1は、基台2と、基台2に回転可能に設けられている被駆動体3と、基台2に摺動可能に固定されている支持体4と、支持体4を被駆動体3の側に付勢するコイルばね5と、支持体4にねじ6によって固定されている圧電アクチュエーター100と、を備えている。まず、圧電モーター1の圧電アクチュエーター100について説明する。図2aは、圧電アクチュエーターの構成を示す斜視図であり、図2bは、圧電アクチュエーターの外観を示す斜視図である。圧電アクチュエーター100は、図2に示すように、板状の振動板振動部120の一方の面120bとその裏面120cに圧電素子110が接着剤や合金ろう材などの固着手段によって積層されている。圧電素子110は、矩形の圧電体111において、振動板120に貼り合わされる側に電極112が形成され、他方の側には電極113a,113b,113c,113d,113eに分割された電極113が形成されている。圧電体111は、圧電性を有する材料、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛PZT:PbZr,TiO3、水晶、ニオブ酸リチウムLiNbO3などが挙げられ、特にPZTが好適に用いられる。そして、電極112,113は、Au,Ti,Agなどの導電性金属を蒸着やスッパッタリングなどにより成膜して形成されている。なお、振動板120の材料が導電性を有している場合には、電極112は形成しなくても良く、振動板120を電極として用いればよい。振動板120は、ステンレス、ニッケル合金、ゴムメタルなどで形成され、加工性の容易さからステンレスが用いられ、SUS301H材や42ニッケルアロイ日立金属製YEF42商標などが本実施形態にかかる圧電アクチュエーター100には好適に用いられる。振動板120は、ほぼ矩形の基体部120aと、被駆動体3図1に付勢する方向である、基体部120aの長手方向の一方の端部中央に突出して設けられている駆動突起部130と、を備えている。駆動突起部130は、酸化アルミニウムAl2O3で形成され、被駆動体3に付勢されて当接する先端部が円弧状をなしていて、基体部120aとは別体の形態となっている。この駆動突起部130の先端部は、円弧状に限らず、直線状に形成された形態であってもよい。また、振動板120は、コイルばね5で付勢される支持体4に装着するための装着孔120eを有する、装着部120dを備えている。このように形成された圧電アクチュエーター100は、次のように動作する。図3aおよび図3bは、圧電アクチュエーターの振動挙動を示す平面図である。図3aに示すように、圧電素子110図2に形成された電極113のうち、電極113c,113b,113dと、図示されない電極112と、の間に交流電圧を印加することにより、電極113c,113b,113dが形成されている圧電体111図2の領域部は、図示矢印で示す縦振動が励振される。詳細には、電極113bの領域では、圧電アクチュエーター100を長手方向に振動させる縦振動が励起され、電極113c,113dの領域では、圧電アクチュエーター100に形状Mで示すような屈曲振動が励起される。これにより、振動板120に設けられている駆動突起部130の先端部は、楕円軌道R1を描くように振動する。また、図3bに示すように、圧電素子110に形成された電極113のうち、電極113a,113b,113eと、図示されない電極112との間に交流電圧を印加することにより、電極113a,113b,113eが形成されている圧電体111の領域部は、図示矢印で示す縦振動が励振される。詳細には、電極113bの領域では、圧電アクチュエーター100を長手方向に振動させる縦振動が励起され、電極113a,113eの領域では、圧電アクチュエーター100に形状Nで示すような屈曲振動が励起される。これにより、振動板120の駆動突起部130の先端部は、楕円軌道R2を描くように振動する。このように、圧電アクチュエーター100における振動板120は、圧電素子110により励起された振動を、駆動突起部130における楕円軌道R1,R2の振動に変換している。図1に戻って、圧電モーター1において、被駆動体3は、酸化アルミニウムAl2O3で形成され、回転軸7および軸受け8などから構成される回転手段により基台2に設置されている。回転軸7の回転力は、回転軸7が接続される減速あるいは増速装置9を介して、他の装置不図示へ伝達される。また、支持体4は、ガイド孔4aを備え、ガイド孔4aにガイドピン2aが挿通されて基台2に摺動可能に固定される。ガイド孔4aの形状は、トラック状の平面形状をなし、圧電アクチュエーター100の付勢方向に支持体4が摺動可能となっている。そして、支持体4は、コイルばね5の一方の端部が、圧電アクチュエーター100を装着する固定腕4bに装着され、コイルばね5の他方の端部が、基台2に備えるばね装着部2bに装着されている。これにより、支持体4は、被駆動体3の方向に付勢される。なお、コイルばね5に替えて、例えば、板ばね、弾性ゴムなどを用いて付勢する構成等であっても良い。また、支持体4の固定腕4bには、振動板120の装着部120dが載置され、圧電アクチュエーター100は、固定腕4bにねじ6によって固定される。固定された圧電アクチュエーター100に設けられている、駆動突起部130は、支持体4によって、被駆動体3へ所定の力で付勢される。このように構成された圧電モーター1は、圧電アクチュエーター100による楕円軌道R1,R2の振動挙動によって、被駆動体3に回転駆動を付与する。圧電モーター1は、圧電体111の振動を、効率良く、駆動突起部130の駆動振動にすることができ、小型であっても大きな駆動量出力を発生させることができる。次に、圧電モーター1において、駆動突起部130と、駆動突起部130が当接して駆動させる被駆動体3と、の摺動における関係について説明する。図4aは、セラミックス最表面における塑性変形硬さとヤング率との関係を示すグラフ図である。また、図4bは、セラミックスにおける押し込み荷重と押し込み深さとの関係を示す模式図である。図4aに示すグラフ図は、駆動突起部130および被駆動体3図1を形成しているセラミックスの酸化アルミニウムAl2O3と、他種セラミックスである窒化珪素Si3N4と、の場合を示している。グラフ図の縦軸は、セラミックスのヤング率GPaを示し、横軸は、セラミックスの塑性変形硬さGPaを示している。この場合のヤング率は、酸化アルミニウムの最表面における測定値である。なお、ここでいう最表面とは、1mN~10mN荷重における圧子の食い込む深さである、30~200nm程度の領域であって、ナノインデンテーター例えばエリオニクス社製ENT1100商標などにて計測可能な領域を指す。図4aに示すように、酸化アルミニウムと窒化珪素とは、塑性変形硬さとヤング率との関係が、塑性変形硬さが大きくなればヤング率も大きくなり、ほぼ同じような傾向で推移している。しかし、同じ塑性変形硬さであっても、ヤング率は、酸化アルミニウムの方が窒化珪素より大きい値である。この関係から、以下のことが知見できる。即ち、セラミックス製の摺動部品において、酸化アルミニウムより塑性変形硬さの硬い窒化珪素で形成された摺動部品は、酸化アルミニウム製の摺動部品より塑性変形硬さが硬いにもかかわらず、耐摩耗性が劣る傾向であった。これは、同じ塑性変形硬さであっても、窒化珪素は、摺動面である最表面近傍のヤング率が酸化アルミニウムより小さいことに起因することが解明された。図4bは、酸化アルミニウムまたは窒化珪素等の表面に荷重Fで圧子を押し付けた時の、該表面が押し込まれる深さdを示している。ヤング率が小さい材料は、荷重Fでの弾性変形が、ヤング率が大きい材料に比べて大きくなり、つまり、押し込まれる深さdが深くなる。これにより、酸化アルミニウムに比べて塑性変形硬さが同じでも、ヤング率が小さい窒化珪素は、深さdが酸化アルミニウムより深くなる。そのため、窒化珪素は、押し込まれた深さdが深い状態で摺動するため、酸化アルミニウムより磨耗しやすくなり、耐磨耗性に劣ることになる。酸化アルミニウム同士の比較においても、塑性変形硬さがほぼ同じであってもヤング率が異なれば、上記同様の耐摩耗性の相違が生じることになる。このヤング率は、セラミックスの形成条件によって、制御することが可能である。図5aは、酸化アルミニウムにおける焼成温度とヤング率との関係を示すグラフ図である。また、図5bは、酸化アルミニウムにおける酸化マグネシウム含有の有無とヤング率との関係を示すグラフ図である。これらグラフ図は、駆動突起部130および被駆動体3を形成している酸化アルミニウムAl2O3における、酸化マグネシウム含有の有無の場合のヤング率を示しているが、セラミックスであれば、酸化アルミニウム以外でもほぼ同様な傾向である。図5aは、縦軸に酸化アルミニウムのヤング率GPaを示し、横軸に酸化アルミニウムの焼成温度°Cを示している。グラフ図に示すように、焼成温度が1550°Cの場合、ヤング率は550GPaであり、焼成温度が1700°Cの場合、ヤング率は500GPaである。つまり、酸化アルミニウムは、焼成温度の低い場合の方がヤング率が大きくなる、ということが明らかになった。また、図5bは、縦軸に酸化アルミニウムのヤング率GPaを示し、横軸に酸化アルミニウムにおける酸化マグネシウムの含有の有無を示している。この場合、焼成温度は、1525°Cである。グラフ図に示すように、酸化マグネシウムを含有していない酸化アルミニウムは、ヤング率が380GPaであり、酸化マグネシウムを含有している酸化アルミニウムは、ヤング率が540GPaである。つまり、酸化アルミニウムは、酸化マグネシウムを含有している方がヤング率が大きくなる、ということが明らかになった。圧電モーター1では、圧電アクチュエーター100の駆動突起部130を形成する酸化アルミニウムのヤング率E1が、被駆動体3を形成する酸化アルミニウムのヤング率E2に対して、E1≠E2の関係であり、さらには、E1<E2となるように設定されている。この設定であれば、駆動突起部130と被駆動体3との摺動において、駆動突起部130は、被駆動体3と比較すれば、摩耗しやすくなっていて、他装置等と連結していて脱着しにくい被駆動体3の耐摩耗性を相対的に向上させる設定になっている。従って、圧電モーター1は、摩耗の程度に応じて、駆動突起部130を有する圧電アクチュエーター100を交換することになる。このように、圧電モーター1は、求められるモーターとしての機能に応じて、最適な耐摩耗性を有する駆動突起部130および被駆動体3を備えていて、小型化が可能で高耐久性も併せ持っている。実施形態2次に、圧電モーター1の機構、即ち、圧電素子110、振動板120、駆動突起部130と、駆動突起部130に駆動される被駆動体と、を備えている駆動装置について、説明する。図6aは、第2実施形態にかかる駆動装置を示す平面図であり、図6bは、駆動装置を示す断面図である。図6に示すように、駆動装置20は、基台21と、基台21に固定された支持体4と、支持体4に設けられ、駆動突起部130を有する圧電アクチュエーター100と、駆動突起部130の当接により駆動される被駆動体25と、を備えている。被駆動体25は、駆動突起部130に当接する内周面25aを有するリング状である。被駆動体25の内周面25aは、直径方向に凹状に形成されている。また、被駆動体25は、基台21に対して、ボールベアリング26で回転可能に保持されている。駆動装置20は、駆動突起部130および被駆動体25が酸化アルミニウムAl2O3で形成されている。また、駆動突起部130を形成する酸化アルミニウムのヤング率E1は、被駆動体25を形成する酸化アルミニウムのヤング率E2に対して、E1<E2となるように設定されている。この設定であれば、駆動突起部130と被駆動体25との摺動において、駆動突起部130は、被駆動体25と比較すれば、摩耗しやすくなっている。これにより、基台21に回転可能に支持されている被駆動体25の耐摩耗性は、駆動突起部130に対して相対的に向上させる設定になっている。従って、駆動装置20では、摩耗の程度に応じて、脱着しやすい圧電アクチュエーター100を交換することで、摩耗した駆動突起部130を取り替えることになる。このように、駆動装置20は、求められる機能に応じて、最適な耐摩耗性を有する駆動突起部130および被駆動体25を備えていて、小型化が可能で高耐久性も併せ持っている。なお、駆動装置20は、被駆動体25がリング状で回転する形態に限定されず、被駆動体が直線状をなしリニアな駆動をする構成であっても良い。実施形態3次に、圧電モーター1の機構、即ち、圧電素子110、振動板120、駆動突起部130と、駆動突起部130に駆動される被駆動体と、を備えている電子部品検査装置について、説明する。図7は、第3実施形態にかかる電子部品検査装置を示す斜視図であり、図8は、電子部品検査装置の補正機構部を示す斜視図である。図7に示すように、電子部品検査装置30は、直方体状の基台31と、基台31の側部に電子部品検査装置30を制御する制御装置38と、を備えている。ここで、基台31の長手方向をY方向左右方向とし、水平面においてY方向と直交する方向をX方向前後方向とし、鉛直方向をZ方向上下方向、補正機構部の回転方向をθとする。なお、この電子部品検査装置30には、電子部品搬送装置が組み込まれている。電子部品検査装置30は、基台31において、基台31左方に設置された給材部33と、給材部33上面に設けられ、案内レールによりY方向に沿って往動移動する載置ステージ33aと、を備えている。載置ステージ33aには、電子部品300が載置される。そして、基台31において、給材部33の端部である、基台31の中央近傍には、電子部品300の一方の側を撮影するための撮像部37bが設置されている。また、電子部品検査装置30は、撮像部37bの給材部33と反対側に設置され、電子部品300を検査するときに電気信号を送受信するための治具である、検査台32と、検査台32の撮像部37bと反対側に設置された除材装置34と、除材装置34上面に設けられ、案内レールによりY方向に沿って往動移動する載置ステージ34aと、を備えている。載置ステージ34aには、検査台32で検査された電子部品300が除材のために載置される。さらに、電子部品検査装置30は、基台31上方に設けられY方向に往復移動するY移動部電子部品搬送装置36bと、Y移動部36bに設けられX方向に移動するX移動部電子部品搬送装置36aと、X移動部36aに設けられ電子部品300の他方の側を撮影するための撮像部37aと、X移動部36aに設けられ電子部品300の位置X,Y,θを微調整するための補正機構部電子部品搬送装置35と、補正機構部35をZ方向へ移動するZ移動部不図示の電子部品搬送装置と、を備えている。補正機構部35は、電子部品300を把持するための把持部35aを有し、撮像部37a,37bで撮影した電子部品300の位置データに基づき、検査台32に対する電子部品300の位置を微調節する。この微調整は、X移動部36aおよびY移動部36bによる移動に加え、より精緻な位置調節をするためのものである。これにより、電子部品300は、検査台32に正確に載置されて検査される。次に、補正機構部35の構成について、説明する。図8は、電子部品検査装置の補正機構部を示す斜視図である。図8に示すように、補正機構部35は、X移動部36aに固定されている基部351と、基部351の下面にX方向に沿って設けられた溝に係合して移動可能なX補正体部352と、を備えている。基部351には、基部351から下方に延伸した延伸部の端部に下向きの当接面351aが設けられ、X補正体部352には、圧電アクチュエーター100が設けられている。そして、圧電アクチュエーター100の駆動突起部130は、基部351の当接面351aに当接するように設置されていて、圧電アクチュエーター100が駆動すると、圧電アクチュエーター100は、当接面351aに沿って移動し、これに伴って、X補正体部352もX方向に移動する。また、補正機構部35は、X補正体部352の下部に固定された補正基体部353と、補正基体部353の下面にY方向に沿って設けられた溝に係合して移動可能なY補正体部354と、を備えている。Y補正体部354には、Y補正体部354の張り出し部に下向きの当接面354aが設けられ、補正基体部353には、圧電アクチュエーター100が設けられている。そして、この圧電アクチュエーター100の駆動突起部130は、Y補正体部354の当接面354aに当接するように設置されていて、圧電アクチュエーター100が駆動すると、当接面354aを有するY補正体部354がY方向に移動する。さらに、補正機構部35は、Y補正体部354下部に回転可能に設けられている回転体355を備えている。回転体355には、その上面に当接面355aが設けられ、Y補正体部354には、圧電アクチュエーター100が設けられている。そして、この圧電アクチュエーター100の駆動突起部130は、回転体355の当接面355aに当接するように設置されていて、圧電アクチュエーター100が駆動すると、当接面355aを有する回転体355がθ方向に回転する。なお、回転体355には、図示していない把持部35a図7が設けられている。このような構成の補正機構部35は、3つの圧電アクチュエーター100により、X,Y,θ各方向での微細な位置調整を確実に行なうことができる。ここで、電子部品検査装置30では、圧電アクチュエーター100の駆動突起部130が酸化アルミニウムAl2O3で形成されていて、基部351、Y補正体部354および回転体355において、少なくともそれぞれの当接面351a,354a,355aが酸化アルミニウムAl2O3で形成されている。そして、圧電アクチュエーター100の駆動突起部130を形成する酸化アルミニウムは、そのヤング率E1が、被駆動体である基部351、Y補正体部354および回転体355の当接面351a,354a,355aを形成する酸化アルミニウムのヤング率E2に対して、E1<E2となるように設定されている。この設定であれば、駆動突起部130と当接面351a,354a,355aとの摺動において、駆動突起部130は、当接面351a,354a,355aと比較すれば、摩耗しやすくなっていて、当接面351a,354a,355aの耐摩耗性を相対的に向上させる設定になっている。従って、電子部品検査装置30は、摩耗の程度に応じて、基部351、Y補正体部354および回転体355よりも脱着しやすい、駆動突起部130を有する圧電アクチュエーター100を交換することになる。このように、電子部品検査装置30は、求められる検査装置としての位置調整機能に応じて、最適な耐摩耗性を有する駆動突起部130および被駆動体基部351、Y補正体部354、回転体355を備えていて、補正機構部35の小型化および高耐久性化が図られている。実施形態4次に、圧電モーター1を備えていることを特徴とするロボットについて、説明する。図9aは、圧電モーターを有するハンドを備えたロボットを示す斜視図であり、図9bは、ロボットのロボットハンドを示す平面図である。図9aに示すように、ロボット40は、本体部41、アーム部42およびロボットハンド45等から構成されている。本体部41は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定されている。アーム部42は、本体部41に対して可動に設けられており、本体部41にはアーム部42を回転させるための動力を発生させる駆動部不図示や、駆動部を制御する制御部等が内蔵されている。アーム部42は、第1フレーム42a、第2フレーム42b、第3フレーム42c、第4フレーム42dおよび第5フレーム42eから構成されている。第1フレーム42aは、回転屈折軸を介して、本体部41に回転可能または屈折可能に接続されている。第2フレーム42bは、回転屈折軸を介して、第1フレーム42aおよび第3フレーム42cに接続されている。第3フレーム42cは、回転屈折軸を介して、第2フレーム42bおよび第4フレーム42dに接続されている。第4フレーム42dは、回転屈折軸を介して、第3フレーム42cおよび第5フレーム42eに接続されている。第5フレーム42eは、回転屈折軸を介して、第4フレーム42dに接続されている。アーム部42は、制御部の制御によって、各フレーム42a~42eが各回転屈折軸を中心に複合的に回転または屈折して動くようになっている。アーム部42の第5フレーム42eのうち第4フレーム42dが設けられた側と反対側には、ハンド接続部43が接続されており、このハンド接続部43にロボットハンド45が取り付けられている。ロボットハンド45は、図9bに示すように、基部45aと、基部45aに接続された指部45bと、を備えている。基部45aと指部45bとの接続部45cと、指部45bの関節部45dと、には、圧電モーター1が組み込まれている。圧電モーター1が駆動することによって、指部45bが屈曲し、物体を把持することができる。この圧電モーター1は、超小型モーターであって、小型でありながら確実に物体を把持するロボットハンド45を実現することができる。これにより、小型、軽量のロボットハンド45を用いて、複雑な動作が行なえる、汎用性の高いロボット40を提供することができる。実施形態5次に、圧電モーター1を備えていることを特徴とするプリンターについて、説明する。図10aは、第5実施形態にかかるプリンターを示す斜視図であり、図10bは、プリンターのカッティングヘッドを示す平面図である。図10aに示すように、プリンター50は、印刷用紙52へ印刷する印刷部51と、印刷部51との間に印刷用紙52を保持し且つガイドするステージでもあるプラテン53と、印刷された印刷用紙52を切断するためのカッティングヘッド55と、プリンター50を制御する制御部58と、を備えている。この場合、カッティングヘッド55は、印刷用紙52の搬送される方向と直交する方向に印刷用紙52を切断する方式であって、印刷用紙52切断用のカッター55aを有している。そして、印刷用紙52を切断するための機構は、図10bに示すように、カッティングヘッド55を支持しカッティングヘッド55の移動をガイドするガイドレール54と、ガイドレール54に沿ってカッティングヘッド55を移動させるリング状ベルト56と、リング状ベルト56にカッティングヘッド55を連結させるためのベルト連結部55bと、リング状ベルト56を駆動するために、カッティングヘッド55が移動する始端側および終端側に設けられた駆動軸57aおよび従動軸57bと、を有している。駆動軸57aは、圧電モーター1により回転して、リング状ベルト56を駆動する。この場合、圧電モーター1の回転軸7の回転は、増速装置9を介して駆動軸57aへ伝達されるようになっている。このような構成のプリンター50は、圧電モーター1が駆動すると駆動軸57aが回転し、駆動軸57aの回転により、駆動軸57aと従動軸57bとの間をリング状ベルト56が回転し、回転するリング状ベルト56と連結したカッティングヘッド55がガイドレール54に沿って移動する。これにより、カッティングヘッド55のカッター55aが印刷用紙52を切断する。プリンター50は、駆動軸57aの駆動に圧電モーター1を用いることにより、駆動軸57aまわりをコンパクトな構成にすることができるため、小型化が可能であり、併せて高耐久性も有している。実施形態6次に、圧電モーター1の機構、即ち、圧電素子110、振動板120、駆動突起部と、駆動突起部に駆動される被駆動体と、を備えている液体吐出装置について、説明する。図11aは、第6実施形態にかかる液体吐出装置を示す平面図であり、図11bは、液体吐出装置の駆動突起部の構成を示す断面図である。また、図12は、液体吐出装置を示す断面図である。図11aおよび図12に示すように、液体吐出装置60は、内部に液体が流通するチューブ62と、このチューブ62を押圧するボール63と、このボール63をチューブ62上で転動させるローター64と、保持体69に保持されローター64を回転駆動するための圧電アクチュエーター100Aと、ボール63の転動軌跡を規定するリテーナ65とを備えている。これらの構成部品である、チューブ62の一部、ボール63、ローター64、圧電アクチュエーター100A、およびリテーナ65は、ケース部材61に収納されている。図12では、チューブ62がボール63で押された状態を示している。ケース部材61には、チューブ62が配置されるチューブガイド溝66が形成されている。このチューブガイド溝66は、円弧状部分と、ケース部材61の外へチューブ62を導く2つの直線部分とを備えていて、U字状をなしている。チューブ62の材料は、シリコーンゴムが用いられているが、ポリウレタンやその他の弾性材料を採用しても良い。ボール63は、2つ設けられ、チューブガイド溝66の円弧状部分に沿って等間隔180°間隔で、チューブ62がチューブガイド溝66に当接される側とは反対側に配置されている。ローター64は、ポリカーボネートやその他ポリカーボネートに準じる材料で環状に形成され、外周には、酸化アルミニウムで形成されたリング64a被駆動体が圧入されている。リング64aの外周には、断面円弧凹状の凹部64bが形成されている。この凹部64bに、圧電アクチュエーター100Aの駆動突起部130Aが当接する。ローター64は、ケース部材61に固定されたロータ軸68に回転可能に支持されている。そして、ローター64のボール63に対向する面には押圧ゴム67が設けられ、ボール63に当接している。ここで、ローター64とチューブガイド溝66との距離は、ボール63の直径とチューブ62の直径との和より小さく設定されていて、ボール63は、ローター64の押圧ゴム67でチューブ62側に押し付けられ、チューブ62がチューブガイド溝66の形状に沿って押しつぶされるようになっている。ここで、図11bに示すように、圧電アクチュエーター100Aにおける駆動突起部130Aは、振動板120の端部の角部側に設けられている。この駆動突起部130Aは、酸化アルミニウムで形成されていて、振動板120に別体の構成で設けられている。つまり、液体吐出装置60では、圧電アクチュエーター100Aおよび駆動突起部130Aと、被駆動体であるリング64aと、が圧電モーターの機構に準じた構成となっている。このような構成の液体吐出装置60は、次のように動作する。まず、圧電アクチュエーター100Aに電圧を印加すると、圧電アクチュエーター100Aの駆動突起部130Aが楕円軌道を描くように振動する。そして、この駆動突起部130Aがリング64aの凹部64bと当接していることにより、ローター64を回転方向へ押す。この動作を繰り返すことにより、ローター64を所望の回転数で回転させることができる。ローター64が回転すると、押圧ゴム67に押圧されているボール63は、チューブ62を押しつぶしながら転動する。これによって、チューブ62内の2つのボール63に挟まれた状態の液体が移動し、チューブ62の一方の端から吸引された液体が他方の端から吐出される。これを所定の回転数で繰り返すことによってチューブ62内の液体を連続で吐出させることができる。以上説明した構成の液体吐出装置60において、圧電アクチュエーター100Aの駆動突起部130Aは、酸化アルミニウムで形成されていて、そのヤング率E1が、被駆動体であるリング64aを形成する酸化アルミニウムのヤング率E2に対して、E1>E2となるように設定されている。この設定であれば、駆動突起部130Aとリング64aとの摺動において、リング64aは、駆動突起部130Aと比較すれば、摩耗しやすくなっていて、駆動突起部130Aの耐摩耗性を相対的に向上させる設定になっている。従って、この構成では、摩耗の程度に応じて、メンテナンス時等にリング64aを交換することになる。このように、液体吐出装置60は、求められる吐出装置としての機能に応じて、最適な耐摩耗性を有する駆動突起部130Aおよび被駆動体であるリング64aを備え、確実な稼動を維持できる。実施形態7次に、圧電モーター1の機構、即ち、圧電素子110、振動板120、駆動突起部と、駆動突起部に駆動される被駆動体と、を備えている電子時計について、説明する。図13は、第7実施形態にかかる電子時計の輪列構成を示す平面図であり、図14は、電子時計の輪列構成を示す断面図である。図13は、電子時計70の時刻表示側とは反対側裏蓋側から見た図であり、この図13において、上方向が電子時計70の3時方向、下方向が9時方向、右方向が12時方向、左方向が6時方向となっている。図14は、電子時計70の時刻表示側を下、裏蓋側を上にした図となっている。図13、図14に示すように、電子時計70は、時刻を表示する指針分針75、時針76を駆動するための輪列74および輪列74を駆動する圧電アクチュエーター100Bと、電池71と、制御回路部72aと、水晶チップ72bと、を備えている。これら電池71、制御回路部72a、水晶チップ72b等は、図示しない回路基板に設けられている。輪列74は、圧電アクチュエーター100Bで駆動されるローター被駆動体74aと、ローター74aに噛み合う歯車74bと、この歯車74bのカナ74cに噛み合う2番車74dとを備えている。2番車74dには、筒カナ74eが取り付けられ、筒カナ74eには、分針75が取り付けられている。2番車74dの筒カナ74eには、日の裏車74fが噛み合い、日の裏車74fのカナ74gには筒車74hが噛み合っている。筒車74hには、時針76が取り付けられている。これらの各歯車は、地板77および輪列受け78に軸支されている。なお、秒針をさらに設ける場合には、3番車、4番車を設けて、2番車74dの回転を増速し、4番車と一体に回転する秒カナを筒カナ74e内に配置して、秒針を取り付ければよい。このような構成の電子時計70は、圧電アクチュエーター100Bが駆動すると、振動板120の端部の角部側に設けられている駆動突起部130Bが、ローター74aに対して所定角度傾斜して当接していることにより、ローター74aは、図13において、反時計回り方向に回転する。そして、ローター74aの回転に伴い、歯車74bが時計回り方向に回転し、歯車74bに係合する爪レバー73が歯車74bラチェット歯車の次の歯に係合するまで回転した時点で、圧電アクチュエーター100Bの駆動が停止する。圧電アクチュエーター100Bが停止するまでの回転によって、分針75、時針76が回転する。具体的には、歯車74bは360/60=6度分回転する。そして、歯車74bが6度回転した際に、2番車74dが2度回転し、分針75が2度回転する。圧電アクチュエーター100Bは、20秒間隔で駆動されるため、分針75が20秒間隔で2度回転し、1分で6度つまり1目盛分移動するように設定されている。以上説明した構成の電子時計70において、圧電アクチュエーター100Bの駆動突起部130Bは、酸化アルミニウムで形成されていて、そのヤング率E1が、被駆動体であるローター74aを形成する酸化アルミニウムのヤング率E2に対して、E1>E2となるように設定されている。この設定であれば、駆動突起部130Bとローター74aとの摺動において、ローター74aは、駆動突起部130Bと比較すれば、摩耗しやすくなっていて、駆動突起部130Bの耐摩耗性を、相対的に向上させる設定になっている。従って、この構成では、摩耗の程度に応じて、メンテナンス時等にローター74aを交換することになる。このように、電子時計70は、求められる時計装置としての機能に応じて、最適な耐摩耗性を有する駆動突起部130Bおよび被駆動体であるローター74aを備え、長期の正確な時刻表示が可能である。なお、ここでは、圧電アクチュエーター100Bを電子時計70の指針の駆動に用いているが、これに限らず、電子時計70の日車などのカレンダー機構の駆動に用いてもよい。このようにすれば、通常、日車などを駆動しているステッピングモーターを圧電アクチュエーターに置き換えることで、電子時計70の一層の薄型化が実現できるとともに、圧電アクチュエーターがステッピングモーターよりも磁性の影響を受けにくいことから、電子時計70の高耐磁化をも図ることができる。以上説明した圧電モーター1等は、各実施形態における形態に限定されるものではなく、次に挙げる変形例のような形態であっても、実施形態と同様な効果が得られる。変形例1圧電モーター1の駆動突起部130および被駆動体3には、酸化アルミニウムが用いられているが、これに限定されることなく、酸化ジルコニウムZrO、炭化珪素SiC、窒化チタンTiN等を用いても良い。また、駆動突起部130および被駆動体3は、同じ材料酸化アルミニウムに限定されず、ヤング率にかかる条件を満たせば、異なる材料であっても良い。これにより、材料の選択肢が増え、駆動突起部130および被駆動体3の形状等に最適な材料を選択できる。変形例2圧電アクチュエーター100,100A,100Bの駆動突起部130,130A,130Bは、振動板120に別体の形態で設けられているが、振動板120と一体で形成された形態であっても良い。変形例3圧電素子110、振動板120、駆動突起部130と、駆動突起部に駆動される被駆動体3と、を備えている圧電モーター1としては、進行波型超音波モーターのようなものも挙げられる。図15aは、変形例としての進行波型超音波モーターの構成を示す斜視図であり、図15bは、進行波型超音波モーターの動作原理を示す模式図である。進行波型超音波モーター80は、一眼レフカメラのオートフォーカスレンズ駆動等に用いられており、図15aに示すように、被駆動体に該当するリング状のローター81と、圧電素子、振動板、駆動突起部に該当し、リング状をなす一方の面に櫛歯状突起を有するステーター82と、を備えている。ステーター82は、リング状の金属に圧電セラミックスからなる圧電素子を接着している。ステーター82に高周波電圧を印加すると,図15bに示すように、ステーター82は、所定の周波数で共振して、櫛歯状突起の先端部にたわみ振動84が生じる。これにより、ステーター82には進行波83が発生する。その結果、ステーター82に加圧されて保持されているローター81は、ローター81とステーター82との間の摩擦により、回転する。このような進行波型超音波モーター80は、ステーター82の進行波83をローター81に伝えるために、ローター81に圧力を付与する必要があり、接触面の精度を高くしなくてはならない。また、ステーター82の進行波83がうまく伝わらずに、ローター81が擦れると、摩擦熱が増大する、という課題があった。そこで、本発明の圧電モーター1等を参考にして、ステーター82の圧電セラミックスのヤング率E1と、ローター81のヤング率E2との関係をE1≠E2とし、さらには、使用目的に応じてE1<E2またはE1>E2となるように設定する。これにより、進行波型超音波モーター80は、上記課題を解決して、小型化や耐久性の向上が可能である。このようなヤング率設定は、進行波型超音波モーター80の他に、軸と軸受け、ベアリング等にも応用することができる。"