"複数のパターンを有するマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板を保持するワークチャックを備える基板ステージと、前記マスクの複数のパターンを介して前記複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備え、前記ワークチャックに保持された前記複数の基板と前記マスクステージに保持された前記マスクの各パターンとを対向配置した状態で、前記照明光学系から前記露光光を照射することで、前記複数の基板に一層目となる前記マスクの各パターンを一括露光することを特徴とする露光装置。複数のパターンを有するマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板を保持するワークチャックを備える基板ステージと、前記マスクの複数のパターンを介して前記複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置の露光方法であって、前記ワークチャックに保持された前記複数の基板と前記マスクステージに保持された前記マスクの各パターンとを対向配置した状態で、前記照明光学系から前記露光光を照射することで、前記複数の基板に一層目となる前記マスクの各パターンを一括露光することを特徴とする露光方法。ところで、基板に一層目のパターンを一括して露光する場合、基板とマスクとの間でアライメントを行わずに露光することが行われているが、通常、1枚又は複数枚のマスクに対して、1枚の基板を露光しており、スループットの向上が望まれていた。また、1枚の基板を露光後に切断して複数のパネルを製造することが行われているが、ガラスを熱処理する際にはガラスの内部まで熱処理が施されないため、熱処理後に切断したガラスの部分は強度が不足する虞がある。特に、タッチパネルで利用される液晶ディスプレイは、人が触れるたび繰り返し応力が作用し、破損する可能性がある。このため、露光処理後に基板を切断するよりも、予め液晶ディスプレイで使用するサイズに合わせた基板を熱処理後に露光することが望まれている。特許文献1及び2に記載の露光装置では、基板の搬入/搬出動作やアライメント動作を露光動作と同じタイミングで行うことで、スループットの向上を図っているが、上記課題を解決するものではない。本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、スループットの向上を図りつつ、基板に一層目のパターンを一括して露光することが可能な露光装置及び露光方法を提供することにある。本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。1複数のパターンを有するマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板を保持するワークチャックを備える基板ステージと、前記マスクの複数のパターンを介して前記複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備え、前記ワークチャックに保持された前記複数の基板と前記マスクステージに保持された前記マスクの各パターンとを対向配置した状態で、前記照明光学系から前記露光光を照射することで、前記複数の基板に一層目となる前記マスクの各パターンを一括露光することを特徴とする露光装置。2複数のパターンを有するマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板を保持するワークチャックを備える基板ステージと、前記マスクの複数のパターンを介して前記複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備える露光装置の露光方法であって、前記ワークチャックに保持された前記複数の基板と前記マスクステージに保持された前記マスクの各パターンとを対向配置した状態で、前記照明光学系から前記露光光を照射することで、前記複数の基板に一層目となる前記マスクの各パターンを一括露光することを特徴とする露光方法。本発明の露光装置及び露光方法によれば、複数のパターンを有するマスクを保持するマスクステージと、被露光材としての複数の基板を保持するワークチャックを備える基板ステージと、マスクの複数のパターンを介して複数の基板に露光光を照射する照明光学系と、を備え、ワークチャックに保持された複数の基板とマスクステージに保持されたマスクの各パターンとを対向配置した状態で、照明光学系から露光光を照射することで、複数の基板に一層目となるマスクの各パターンを一括露光する。これにより、マスクと基板とのアライメントが必要ない一層目のパターンを複数の基板に同時に一括露光することができ、スループットを向上することができる。以下、本発明の第1実施形態に係る露光ユニットを図面に基づいて詳細に説明する。図1に示す一実施形態の露光ユニット10は、近接露光装置11と、第1及び第2の搬送装置12,13と、第1及び第2のプリアライメント装置14,15と、第1及び第2の搬入コンベア16,17と、第1及び第2の搬出コンベア18,19と、これら装置を制御する制御部20と、を備える。近接露光装置11は、第1及び第2のパターンP1,P2を有するマスクMを保持するマスクステージ21と、被露光材としての複数の基板W1、W2を吸着保持するワークチャック22を備える基板ステージ23と、マスクMを介して複数の基板W1,W2に露光光を照射する照明光学系図示せずと、を備える。本実施形態の近接露光装置11は、一括露光方式であり、マスクMの第1及び第2のパターンP1,P2と基板W1,W2をそれぞれ1:1で焼き付けていく方式であり、各基板W1,W2の露光時間は非常に短い。なお、マスクステージ21、基板ステージ23、照明光学系等の各構成自体は公知のものが適用可能である。第1の搬送装置12は、基板W1を保持し、且つ、基板ステージ23のワークチャック22に対して基板W1を搬入及び搬出すると共に、第1のプリアライメント装置14、第1の搬入コンベア16、及び第1の搬出コンベア18へアクセス可能に配置されている。また、第2の搬送装置13も、基板W2を保持し、且つ、基板ステージ23のワークチャック22に対して基板W2を搬入及び搬出すると共に、第2のプリアライメント装置15、第2の搬入コンベア17、及び第2の搬出コンベア19へアクセス可能に配置されている。本実施形態においては、第1及び第2の搬送装置12,13は、それぞれ異なる方向から近接露光装置11のワークチャック22にアクセス可能なように配置されている。なお、本実施形態では、第1及び第2の搬送装置12,13として、基板W1,W2を保持するロボットアーム12a,13aを有し、水平方向及び上下方向に駆動するスカラー型のロボットが適用されているが、直動式のロボットやベルトコンベアであってもよい。また、各搬送装置12,13は、それぞれ複数のロボットアーム12a,13aを有するように構成されてもよい。第1及び第2のプリアライメント装置14,15は、近接露光装置11のワークチャック22へ基板W1,W2を搬入する前に、基板W1,W2をプリアライメントするためのものである。また、第1及び第2の搬入コンベア16,17は、前工程からの基板W1,W2を搬送し、第1及び第2の搬出コンベア18,19は、後工程へ基板W1,W2を搬送する。なお、各プリアライメント装置14,15、各搬入コンベア16,17、各搬出コンベア18,19は、それぞれ公知のものが適用される。また、これらプリアライメント装置14,15は、省略してもよいし、あるいは、第1及び第2の搬送装置12,13を用いてプリアライメントを行ってもよい。制御部20は、近接露光装置11、搬送装置12,13、プリアライメント装置14,15、搬入コンベア16,17、及び、搬出コンベア18,19を制御するものである。また、制御部20は、第1及び第2の搬送装置12,13による近接露光装置11に対する基板W1,W2の搬入及び搬出動作が同期して行われるように第1及び第2の搬送装置12,13を制御する。以下、上記の露光ユニット10を用いた露光方法について説明する。まず、第1及び第2の搬入コンベア16,17により、基板W1,W2が第1及び第2のプリアライメント装置14,15の近傍まで搬送されると、第1及び第2の搬送装置12,13のロボットアーム12a,13aは、基板W1,W2をそれぞれ把持し、これらロボットアーム12a,13aを同期駆動して、第1及び第2のプリアライメント装置14,15まで運搬する。その後、第1及び第2の搬送装置12,13は、基板W1,W2を第1及び第2のプリアライメント装置14,15に載置する。第1及び第2のプリアライメント装置14,15が基板W1,W2をプリアライメントしてから、第1及び第2の搬送装置12,13のロボットアーム12a,13aは、基板W1,W2を把持し、これらロボットアーム12a,13aを同期駆動して、基板W1,W2をワークチャック22上に載置する。このようにして、ワークチャック22に保持された基板W1、W2とマスクステージ21に保持されたマスクMの各パターンP1、P2とを対向配置した状態で、照明光学系から露光光を照射することで、複数の基板W1、W2に一層目となるマスクMの各パターンP1、P2が同時に一括露光される。そして、露光された基板W1,W2は、第1及び第2の搬送装置12,13のロボットアーム12a,13aによって把持され、これらロボットアーム12a,13aを同期駆動して、第1及び第2の搬出コンベア18,19へ運搬される。このように、本実施形態の近接露光装置11及び露光方法によれば、複数のパターンP1,P2を有するマスクMを保持するマスクステージ21と、被露光材としての複数の基板W1,W2を保持するワークチャック22を備える基板ステージ23と、マスクMの複数のパターンP1,P2を介して複数の基板W1、W2に露光光を照射する照明光学系と、を備え、ワークチャック22に保持された複数の基板W1、W2とマスクステージ21に保持されたマスクMの各パターンP1,P2とを対向配置した状態で、照明光学系から露光光を照射することで、複数の基板W1,W2に一層目となるマスクMの各パターンP1,P2を一括露光する。これにより、マスクMと基板Wとのアライメントが必要ない一層目のパターンP1,P2を複数の基板W1、W2に同時に一括露光することができ、スループットを向上することができる。また、第1及び第2の搬送装置12,13によって第1及び第2のワークチャック22,23へ基板の搬入動作、及び第1及び第2のワークチャック22,23から基板W1,W2の搬出動作を同期して行うことができ、タクトタイムの短縮が可能となる。図2は、第1実施形態の露光ユニット10の変形例を示す。この変形例では、第1及び第2搬入、搬出コンベア30,31が、上下2段に配置されており、露光ユニット10をコンパクトに設計することができる。このため、第1及び第2の搬送装置12,13は、ロボットアーム12a,13aを上下に移動させることで、上下の各搬入、搬出コンベア30,31へアクセス可能となる。次に、本発明の第2実施形態に係る露光ユニットを図3を参照して説明する。なお、第1実施形態と同一または同等部分については同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。本実施形態の露光ユニット10aでは、第1及び第2の搬送装置12,13が近接露光装置11の基板ステージ23と平行に、互いに近接して並列配置されている。このため、第1及び第2のプリアライメント装置14,15もその外側にほぼ対称に配置され、また、搬入、搬出コンベア30、31も並列に配置されている。その他の構成については、第1実施形態と同様であり、第1実施形態と同様の効果を奏する。尚、本発明は、前述した実施形態及び変形例に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。上記実施形態では、2つのパターンP1,P2を有するマスクMを用いて、2枚の基板W1、W2を同時に一括露光する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、図4aに示すように、6枚の基板を6つのパターンP1~P6を有するマスクMを用いて、6枚の基板Wを同時に一括露光してもよく、或いは、図4bに示すように、6枚の基板W1~W6を2つのパターンP1,P2を有するマスクMによって一括露光を複数回に分けて行うようにしてもよい。なお、図4a及びbに示すように、複数の基板W1~W6は、一定の間隔を開けて配置して、ワークチャック22に吸着固定されることが好ましい。また、6枚の基板はそれぞれ面積が異なっていてもよく、その場合にも、基板の面積に合わせたパターンをマスクに設け、6枚の基板を一括露光するようにしてもよいし、或いは、複数のパターンを有するパターンを用いて分割露光してもよい。また、本発明では、2枚の基板に対して2台の搬送装置を用いて基板の搬入と搬出を行っているが、本発明の搬送装置の数は、基板の数に限定されるものではない。"