膜分離活性汚泥法による水処理に用いられるろ過装置であって、被処理水をろ過する管状のろ過膜と、振動を発生する振動発生部と、前記振動発生部と前記ろ過膜とを接続する振動伝達部材と、を備え、前記振動発生部の所定の振動が前記振動伝達部材を介して前記ろ過膜に印加されることにより、前記ろ過膜の上流側の膜面に表面弾性波が発生することを特徴とする、ろ過装置。前記ろ過膜において発生する前記表面弾性波の波長は前記ろ過膜の厚さよりも短い、ことを特徴とする、請求項1記載のろ過装置。前記振動伝達部材の共振周波数は前記所定の振動の周波数よりも高い、ことを特徴とする、請求項1又は2記載のろ過装置。前記ろ過膜の上流側の前記膜面に接触しながら流動する気泡を発生させる気泡発生手段を更に備えることを特徴とする、請求項1~3の何れか一項記載のろ過装置。排水を活性汚泥法により処理する活性汚泥槽と、前記活性汚泥槽で処理された後の活性汚泥処理水をろ過し汚泥を分離除去する請求項1~4の何れか一項に記載のろ過装置と、を備えたことを特徴とする、膜分離活性汚泥処理設備。特許文献1に記載された装置では、活性汚泥を含む被処理水中において、ろ過モジュール全体を振動させる。この構成によれば、付着物と被処理水との境界ではせん断力が生じるため、付着物の剥離が促進される。しかし、付着物と膜表面との境界ではせん断力が生じにくいため、付着物の剥離が促進されない。従って、ろ過膜の目詰まりが効率よく抑制されないおそれがある。上記問題に対して、本発明は、ろ過膜の目詰まりを効率よく抑制することができるろ過装置、及び膜分離活性汚泥処理設備を提供することを目的とする。本発明のろ過装置は、膜分離活性汚泥法による水処理に用いられるろ過装置であって、被処理水をろ過する管状のろ過膜と、振動を発生する振動発生部と、振動発生部とろ過膜とを接続する振動伝達部材と、を備え、振動発生部の所定の振動が振動伝達部材を介してろ過膜に印加されることにより、ろ過膜の上流側の膜面に表面弾性波が発生することを特徴とする。このろ過装置では、振動発生部が振動伝達部材と接続されているので、振動発生部において発生された所定の振動が振動伝達部材に伝達される。そして、振動伝達部材がろ過膜と接続されているので、振動伝達部材に伝達された振動がろ過膜に伝達される。振動が伝達されたろ過膜の膜面には表面弾性波が発生される。この表面弾性波によれば、ろ過膜の膜面に付着した付着物とろ過膜の膜面との境界に、付着物を剥離させる力を発生させることができる。従って、このろ過装置では、ろ過膜の目詰まりを効率よく抑制することができる。また、本発明のろ過装置では、ろ過膜において発生する表面弾性波の波長はろ過膜の厚さよりも短いこととしてもよい。この振動によれば、ろ過膜に表面弾性波を好適に生じさせることができる。また、本発明のろ過装置では、振動伝達部材の共振周波数が所定の振動の周波数よりも高いこととしてもよい。この振動伝達部材によれば、振動発生部により発生された振動の振幅の減衰が小さいので、振動をろ過膜に効率よく伝達することができる。また、本発明のろ過装置は、ろ過膜の上流側の膜面に接触しながら流動する気泡を発生させる気泡発生手段を更に備えることとしてもよい。この場合、気泡が流動する流路において、付着物の表面には気泡の流動によりせん断力が発生する。従って、付着物を効率よく剥離させることができるので、ろ過膜の目詰まりをさらに効率よく抑制することができる。また、本発明の別の側面である膜分離活性汚泥処理設備は、排水を活性汚泥法により処理する活性汚泥槽と、活性汚泥槽で処理された後の活性汚泥処理水をろ過し汚泥を分離除去するろ過装置とを備えていることを特徴とする。ここで、活性汚泥処理水とは、活性汚泥処理を経て残留する活性汚泥を含む被処理水である。この膜分離活性汚泥処理設備は、ろ過装置を備えている。このろ過装置は、ろ過膜の表面に表面弾性波を発生させてろ過膜の目詰まりを抑制するため、活性汚泥処理水を効率よくろ過し汚泥を分離除去することができる。本発明によるろ過装置、及び膜分離活性汚泥処理設備によれば、ろ過膜の目詰まりを効率よく抑制することができる。以下、添付図面を参照しながら本発明によるろ過装置及び該ろ過装置を備えた膜分離活性汚泥処理設備の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図1は、一実施形態に係るろ過装置1及び膜分離活性汚泥処理設備100を説明するための図である。膜分離活性汚泥処理設備100は、膜分離活性汚泥法による水処理に用いられる設備である。膜分離活性汚泥処理設備100は、ろ過装置1、活性汚泥槽11、ブロワ12、及びポンプ14、15を備えている。活性汚泥槽11は、活性汚泥法により排水W1を処理する。活性汚泥槽11は、槽内において大量に繁殖させた微生物に汚濁物質を捕らえさせ、これを代謝又は呼吸によって消費させる。或いは付着させたまま活性汚泥として排出するものである。この活性汚泥槽11は、排水W1を好気性処理するための曝気領域11aを有する。曝気領域11aの下部には、ブロワ12に接続された複数のノズル13が設けられている。ブロワ12から供給された空気は、このノズル13から曝気領域11a内に散気される。排水W1は、流入ラインL1を通じ曝気領域11aに流入する。この排水W1は、曝気領域11aにおいて処理された後、排出ラインL2を通じ活性汚泥処理水W2として排出される。活性汚泥処理水W2は、ろ過装置1に導入され、ろ過装置1による膜ろ過処理の被処理水となる。活性汚泥処理水W2には、活性汚泥槽11から流出した活性汚泥がわずかに残留している。この排出ラインL2には、所定の位置にポンプ14が設けられている。次に、図1及び図2を参照しつつ、ろ過装置1について説明する。図2は、図1のI―I線に沿ったろ過膜2の断面図である。ろ過装置1は、ろ過膜2、振動発生部3、振動伝達部材4、及び気泡発生手段気泡発生手段5を備えている。ろ過装置1は、活性汚泥処理水W2をろ過膜2でろ過して固体成分汚泥を分離除去し、処理水W3を得る。ろ過膜2は管状に形成されている。ろ過膜2の厚さtは例えば0.5mmである。このろ過膜2の中空部は第1流路6である。この第1流路6には活性汚泥処理水W2が流動する。第1流路6の直径Dは例えば5mm程度である。また、ろ過膜2は活性汚泥処理水W2と接触する側に膜面2pを有する。この膜面2pは、ろ過膜2の上流側の面である。ろ過膜2の周囲には、第2流路7が形成されている。活性汚泥処理水W2は、第1流路6の一端6aから第1流路6に流入する。第1流路6を通過する活性汚泥処理水W2の液体成分の一部が、ろ過膜2を透過して第2流路7に流入して処理水W3となる。処理水W3は排出ラインL6を通じ排出される。一方、ろ過膜2を透過しなかった活性汚泥処理水W2は、第1流路6の他端6bから排出され、排出ラインL5を介して再び曝気領域11aに流入される。ブロワ5は、第1流路6内に気泡を供給するための装置である。気泡は第1流路6の一端6aから供給される。振動発生部3では、所定の振動が発生される。振動発生部3で発生された振動が振動伝達部材4を介してろ過膜2に伝達されることにより、ろ過膜2の上流側の膜面2pにおいて表面弾性波が発生する。ここで表面弾性波について説明する。表面弾性波とは物体の表面において伝播する振動をいう。表面弾性波は、レイリー波或いは弾性表面波ともいう。表面弾性波が生じているろ過膜2はろ過膜2の膜面2p付近のみが振動している形態であり、ろ過膜2の延在方向等にろ過膜2の全体が移動して振動している形態ではない。表面弾性波を生じさせるためには、物体の厚さよりも短い波長である振動を物体表面に印加する必要がある。例えば、ろ過膜2の厚さtは0.5mm程度であるので、この厚さtよりも短い波長である振動を発生させる必要がある。ろ過膜2中の音速を毎秒1000m程度であるとしたとき、ろ過膜2の厚さtよりも短い波長である0.1~0.25mmの波長を有する振動を印加する必要がある。よって、下記式1より、振動の周波数は、4~10MHz程度である。周波数Hz=速度m/sec/波長m...1このような周波数帯はいわゆる超音波領域である。そのため、振動発生部3には、例えば圧電素子や超磁歪素子等が用いられる。振動伝達部材4は振動発生部3とろ過膜2とを接続している。本実施形態では、振動伝達部材4の一端は振動発生部3に接続されている。そして、振動伝達部材4の他端はろ過膜2の膜面2pに接続されている。振動伝達部材4は、振動発生部3において発生された所定の振動をろ過膜2に伝達するため、効率よく振動を伝達することが可能に構成されている。すなわち、振動の振幅の減衰を抑制するために、振動伝達部材4の共振周波数が高くなるように構成されている。振動伝達部材4は、例えば高い剛性を有する金属等からなる。さらに、振動発生部3からろ過膜2へ延びる方向に対して距離が短くなるように形成されていると共に、延在方向と交わる断面の面積が大きくなるように形成されている。この振動伝達部材4の共振周波数は、振動発生部3において発生された振動の周波数よりも高くなるように設定されることが好ましい。次に、ろ過装置1の作用について、比較例と共に説明する。まず、比較例に係るろ過装置の作用について説明する。図3aは比較例に係るろ過装置の断面拡大図である。ろ過装置はろ過膜52を備えている。このろ過膜52は活性汚泥処理水W8と接触する側に膜面52pを有する。活性汚泥処理水W8は、例えば矢印D1の方向に向かって下方から上方へ流動する。この流動の間に一部の活性汚泥処理水W8はろ過膜52を透過してろ過され、処理水W9が膜面52pと反対側の領域へ排出される。このとき、活性汚泥処理水W8中の活性汚泥等が付着物ケーキ層Gとなり膜面52pに堆積する。ここで、ろ過膜52を矢印D1に沿った方向に振動させる。この振動は、例えばモータとモータの回転軸に固定されたアンバランスマスとからなる加振器のように、機械的な駆動機構により与えられる。この振動では、ろ過膜52の全体が活性汚泥処理水W8の流動する方向に沿った矢印D2の方向に振動する。この振動により、膜面52p上に付着した付着物Gも矢印D2の方向に振動する。そうすると、活性汚泥処理水W8と付着物Gの表面Gpとの間の流体摩擦に起因したせん断力が発生する。このせん断力により、付着物Gの表面Gp側から付着物Gが剥離される。しかし、このせん断力によれば、付着物Gの剥離は表面Gpから進行する。そのため、ろ過膜52を振動させるために消費されたエネルギ量に対して効率よく剥離が行われないおそれがある。また、付着物Gの厚さが厚い場合には、表面Gpから剥離させるため、多くのエネルギーと時間とを要する可能性がある。次に、本実施形態に係るろ過装置1の作用について説明する。図3bは本実施形態に係るろ過装置1におけるろ過膜2の断面拡大図である。ろ過膜2の膜面2pに付着物Gが堆積する過程は上述した比較例の場合と同様である。付着物Gが堆積した膜面2pにおいて、表面弾性波を発生させる。表面弾性波は、ろ過膜2の膜面2pにのみ生じる。図3bに示されるように、付着物Gが付着した膜面2pが振動することにより、付着物Gと膜面2pとの間に、直接的に膜面2pから付着物Gを剥離させる力が作用する。この力により、付着物Gの剥離は、膜面2pと接触した付着物Gの接触面Gsから進行する。そのため、膜面2p上の付着物Gを効率よく剥離させることができる。また、付着物Gの接触面Gsから剥離が進行するため、付着物Gの厚さが厚い場合であっても効率よく剥離させることができる。また、機械的な加振器によらず振動が印加されるので、ろ過装置1の耐久性を向上させることができる。なお、膜面2pには、連続的に表面弾性波を発生させてもよいし、断続的に発生させてもよい。例えば、数分間の時間のうち、数秒間だけ表面弾性波を発生させることにより、付着物Gを剥離させる効果を十分に得ることができる。以上のように、本実施形態に係るろ過装置1では、振動発生部3が振動伝達部材4と接続されているので、振動発生部3において発生された所定の振動が振動伝達部材4に伝達される。そして、振動伝達部材4がろ過膜2と接続されているので、振動伝達部材4に伝達された振動がろ過膜2に伝達される。振動が伝達されたろ過膜2の膜面2pには、表面弾性波が発生される。この表面弾性波によれば、ろ過膜2の膜面2pに付着した付着物Gとろ過膜2の膜面2pとの境界に、付着物Gを剥離させる力を発生させることができる。すなわち、振動発生部3を用いてろ過膜2の膜面2pに表面弾性波を発生させることによって、ろ過膜2の膜面2pのみに微細振動を発生させる。これにより、ろ過膜2の膜面2pに付着している汚泥や付着性の物質を剥離、或いは剥離しやすい状態にすることができる。従って、このろ過装置1では、ろ過膜2の目詰まりを効率よく抑制することができる。また、本実施形態のろ過装置1では、ろ過膜2において発生する表面弾性波の波長はろ過膜2の厚さよりも短い。この振動によれば、ろ過膜2に表面弾性波を好適に生じさせることができる。また、本実施形態のろ過装置1では、振動伝達部材4の共振周波数が所定の振動の周波数よりも高くなるように設定されてもよい。この振動伝達部材4によれば、振動発生部3により発生された振動が減衰が小さいので、振動発生部3により発生された振動を効率よくろ過膜2に伝達することができる。また、本発明のろ過装置1は、ろ過膜2の上流側の膜面2pに接触しながら流動する気泡を発生させるブロワ気泡発生手段5を更に備える。図4は、ブロワ5を備えるろ過装置1の効果を説明するための図である。ろ過膜2内の第1流路6には活性汚泥処理水W2が流通すると共に、ブロワ5から供給された気泡8が流動する。この気泡8はろ過膜2の膜面2pと接触し、又はこの気泡8は付着物Gの表面Grと接触している。そして、気泡8と膜面2p或いは表面Grが接触した状態で、気泡8は下方から上方へ移動する。気泡8が移動するとき、気泡8と表面Grとの間には、付着物Gを剥離させるせん断力が生じる。このため、表面弾性波によって膜面2pから剥離しやすい状態となった付着物Gを気泡8により剥離させることができる。従って、本実施形態のろ過装置1では、ろ過膜2の目詰まりをさらに効率よく抑制することができる。また、本実施形態のろ過装置1は、ろ過膜2が管状に形成されている。このため、ろ過膜2により形成される第1流路6における断面積が小さいため、活性汚泥処理水W2の流速を高めることが可能となる。活性汚泥処理水W2の流速が高まると、付着物Gの表面Grに作用するせん断力が大きくなる。その上、気泡8はろ過膜2の膜面2p或いは付着物Gの表面Grに接触しつつ第1流路6を流動する。そのため、膜面2pの全面に渡って気泡8の流動によるせん断力を生じさせることが可能となる。従って、ろ過膜2の膜面2pに付着した付着物Gを確実に除去することが可能になるので、さらに効率よくろ過膜2の目詰まりを抑制することができる。また、膜分離活性汚泥処理設備100は、排水W1を活性汚泥法により処理する活性汚泥槽11と、活性汚泥槽11で処理された活性汚泥処理水W2をろ過し汚泥を分離除去するろ過装置1とを備えている。この膜分離活性汚泥処理設備100によれば、ろ過膜2の膜面2pに表面弾性波を発生させてろ過膜2の目詰まりを抑制するろ過装置1を備えている。従って、排水W1を効率よくろ過し汚泥を分離除去することができる。なお、上述した実施形態は本発明に係るろ過装置1及び膜分離活性汚泥処理設備100の一例を示すものである。本発明に係るろ過装置1及び膜分離活性汚泥処理設備100は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求項に記載した要旨を変更しない範囲で、上述した実施形態に係るろ過装置1及び膜分離活性汚泥処理設備100を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。例えば、上述した実施形態では、管状のろ過膜2の内側に形成された第1流路6を活性汚泥処理水W2が流通する形態である、いわゆる内圧式のろ過形態を例に説明した。本発明に係るろ過装置及び膜分離活性汚泥設備はこれに限定されることはない。例えば、管状のろ過膜の外側の第2流路7を活性汚泥処理水W2が流通して処理水が第1流路6を流通する、いわゆる外圧式のろ過形態であってもよい。また、逆洗の実施と同時に、膜面2pに表面弾性波を発生させてもよい。逆洗とは、被処理水をろ過するために被処理水を透過させる方向と逆の方向に水等の液体又はガスを流して付着物を除去する方法である。これによれば、表面弾性波により付着物を剥離させる効果をさらに高めることができる。また、上述した実施形態では、ろ過装置1は1つのろ過膜2を備えていたが、ろ過膜2の数は1つに限定されることはない。ろ過装置1は複数のろ過膜2を備えていてもよい。