光源部から予め定められた波長範囲を含む連続スペクトルの平行光束が入射され、入射された連続スペクトルの平行光束を波長に応じて空間的に分散された平行光束として射出する分波部と、前記分波部から空間的に分散された平行光束が入射され、空間的な位置に応じて強度を変調して、空間的な位置に応じた予め定められた光路に対して射出する空間変調部と、前記空間変調部から射出された、空間変調された平行光束を合波して射出する合波部とを備え、前記分波部は、互いに平行な一対の面の一方の面に配された、光が入射する透過部および予め定められた波長帯域を反射するミラー部、並びに、他方の面に配され、透過する波長帯域が前記予め定められた波長帯域よりも狭く、かつ透過する波長帯域が面内の一の方向に沿って異なるダイクロイックミラー部を有し、前記分波部は、入射光の主光線に対して前記平行な一対の面が斜めに配され、前記ミラー部と前記ダイクロイックミラー部との反射を繰り返すことにより、前記ダイクロイックミラー部から、波長に応じて空間的に分散された平行光束を射出し、前記合波部は、互いに平行な一対の面の一方の面に配された、光が射出する透過部および前記予め定められた波長帯域を反射するミラー部、および、他方の面に配され、透過する波長帯域が前記分波部のダイクロイックミラー部に対応して配されたダイクロイックミラー部を有し、前記合波部は、前記空間変調部を挟んで前記分波部と光学的に共役な位置に配され、前記ダイクロイックミラー部に入射した平行光束を、前記ミラー部と前記ダイクロイックミラー部との反射を繰り返すことにより合波して前記透過部から射出するチューナブルフィルタ。前記分波部および前記合波部の前記ダイクロイックミラー部は、前記透過部から遠いほど長い波長を透過する請求項1に記載のチューナブルフィルタ。前記空間変調部は、前記空間的に分散された平行光束を透過する液晶板と、前記液晶板に入射する前に前記平行光束を透過させる入射側偏光素子と、前記液晶板から射出された平行光束を透過させる射出側偏光素子とを含む請求項1または請求項2に記載のチューナブルフィルタ。前記空間変調部は、前記空間的に分散された平行光束を透過する液晶板と、前記液晶板に入射する前に前記平行光束を透過させる入射側偏光ビームスプリッタと、前記液晶板から射出された平行光束を透過させる射出側偏光ビームスプリッタとを含む請求項1または請求項2に記載のチューナブルフィルタ。前記合波部における前記透過部は、前記分波部における前記透過部を形成する部品の一部に配され、前記合波部における前記ミラー部は、前記分波部における前記ミラー部を形成する部品の一部に配され、前記合波部における前記ダイクロイックミラー部は、前記分波部における前記ダイクロイックミラー部を形成する部品の一部に配され、前記分波部および前記合波部は一体的に形成される請求項4に記載のチューナブルフィルタ。前記空間変調部は、前記空間的に分散された平行光束を反射する液晶板と、前記液晶板に入射する前および後に前記平行光束を透過させる偏光素子とを含む請求項1または請求項2に記載のチューナブルフィルタ。前記空間変調部は、マイクロミラーアレイである請求項1または請求項2に記載のチューナブルフィルタ。前記分波部は、前記平行光束が前記ダイクロイックミラー部に入射する前に、前記平行光束を、予め定められた分離波長よりも短い波長帯域を含む平行光束と、前記分離波長よりも長い波長帯域を含む平行光束とに分離する帯域ビームスプリッタと、前記短い波長帯域を含む平行光束を波長に応じて空間的に分散するダイクロイックミラー部、および、前記長い波長帯域を含む平行光束を波長に応じて空間的に分散するダイクロイックミラー部とを含む請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載のチューナブルフィルタ。前記空間変調部は、2次元的に配列されて、透過光を個別に強度変調できる複数の領域を有する液晶板を有し、前記液晶板上に2次元的に配置されたスポットを形成する複数の平行光束を入射されて、当該複数の平行光束を各々個別に強度変調する請求項1から請求項8までのいずれか一項に記載のチューナブルフィルタ。請求項1から9までのいずれか1項に記載のチューナブルフィルタと、予め定められた波長範囲を含む連続スペクトルの平行光束を発する光源部とを備える任意スペクトラム光源装置。前記光源部は、スーパコンティニュアム光源である請求項10に記載の光源装置。互いに平行な一対の面の一方の面に配された、光が入射する透過部を有し、予め定められた波長帯域を反射するミラー部と、他方の面に配され、透過する波長帯域が前記予め定められた波長帯域よりも狭くかつ面内の一の方向に沿って異なるダイクロイックミラー部とを備え、入射光の主光線に対して前記平行な一対の面が斜めに配され、前記ミラー部と前記ダイクロイックミラー部との反射を繰り返すことにより、前記ダイクロイックミラー部から、波長に応じて空間的に分散された平行光束を射出する分波部。前記ダイクロイックミラー部は、前記透過部から遠いほど長い波長を透過する請求項12に記載の分波部。グレーティング分光器を用いたチューナブルフィルタは、部品コストが高い上に、構造が複雑で光学系が大型化する。本発明の第一形態として、光源部から予め定められた波長範囲を含む連続スペクトルの平行光束が入射され、入射された連続スペクトルの平行光束を波長に応じて空間的に分散された平行光束として射出する分波部と、分波部から空間的に分散された平行光束が入射され、空間的な位置に応じて強度を変調して、空間的な位置に応じた予め定められた光路に対して射出する空間変調部と、空間変調部から射出された、空間変調された平行光束を合波して射出する合波部とを備え、分波部は、互いに平行な一対の面の一方の面に配された、光が入射する透過部および予め定められた波長帯域を反射するミラー部、並びに、他方の面に配され、透過する波長帯域が予め定められた波長帯域よりも狭く、かつ透過する波長帯域が面内の一の方向に沿って異なるダイクロイックミラー部を有し、分波部は、入射光の主光線に対して平行な一対の面が斜めに配され、ミラー部とダイクロイックミラー部との反射を繰り返すことにより、ダイクロイックミラー部から、波長に応じて空間的に分散された平行光束を射出し、合波部は、互いに平行な一対の面の一方の面に配された、光が射出する透過部および予め定められた波長帯域を反射するミラー部、および、他方の面に配され、透過する波長帯域が分波部のダイクロイックミラー部に対応して配されたダイクロイックミラー部を有し、合波部は、空間変調部を挟んで分波部と光学的に共役な位置に配され、ダイクロイックミラー部に入射した平行光束を、ミラー部とダイクロイックミラー部との反射を繰り返すことにより合波して透過部から射出するチューナブルフィルタが提供される。本発明の第二態様として、上記チューナブルフィルタと、予め定められた波長範囲を含む連続スペクトルの平行光束を発する光源部とを備える任意スペクトラム光源装置が提供される。本発明の第三態様として、互いに平行な一対の面の一方の面に配された、光が入射する透過部を有し、予め定められた波長帯域を反射するミラー部と、他方の面に配され、透過する波長帯域が予め定められた波長帯域よりも狭くかつ面内の一の方向に沿って異なるダイクロイックミラー部とを備え、入射光の主光線に対して平行な一対の面が斜めに配され、ミラー部とダイクロイックミラー部との反射を繰り返すことにより、ダイクロイックミラー部から、波長に応じて空間的に分散された平行光束を射出する分波部が提供される。なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションも発明となり得る。以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。図1は、任意スペクトラム光源装置1の模式図である。任意スペクトラム光源装置1は、光源部100、チューナブルフィルタ10および出力部800を備える。光源部100は、スーパーコンティニアム光源110およびコリメータ130を有する。スーパーコンティニアム光源110は、超短パルスレーザを非線形媒質に伝播させて広帯域にわたるスペクトル分布を有する光を発生する。また、スーパーコンティニアム光源110は、発生した光を、疑似点光源120として射出する。コリメータ130は、疑似点光源120から放射された光を平行光束にして、チューナブルフィルタ10に入射させる。光源部100は、予め定められた帯域幅で連続するスペクトル分布を有する平行光束を発生するものであれば、スーパーコンティニアム光源110以外の光源装置で形成してもよい。また、光源部100は、チューナブルフィルタ10に対して一体的に形成しても、チューナブルフィルタ10から分離可能にしてもよい。チューナブルフィルタ10は、分波部11、空間変調部12および合波部13を有する。分波部11は、光源部100から入射した平行光束Aを入射され、複数の光ビームB1~B9にして射出する。光ビームB1~B9は、各々が平行光束であり、平行光束Aの帯域幅よりも狭い帯域幅を有する。また、光ビームB1~B9それぞれの帯域の中心周波数は互いに異なる。空間変調部12には、分波部11から射出された光ビームB1~B9が入射される。空間変調部12は、空間的に異なる光路を有する光ビームB1~B9の各々を個別に強度変調して射出する。空間変調部12から射出される、強度変調された光ビームC1~C9は、合波部13に入射されて合波されて、単一の平行光束Dとして射出される。合波部13から射出された平行光束は出力部800に入射される。出力部800は、集光部810および光ファイバ820を有する。出力部800に入射された平行光束Dは、集光部810により収束され、光ファイバ820に端面から注入される。これにより、光ファイバ820には、平行光束Aと同じ波長帯域幅を有する光が出力される。図2は、分波部11の構造を示す図である。図2は、分波部11において、光源部100に面した入射側およびその裏面にあたる射出側、並びに、入射側および射出側の間に位置する側面を併せて示す。図1と共通の要素には同じ参照番号を付す。分波部11は、平行平面板200とその表面に配された透過領域211、広帯域反射鏡領域212、ダイクロイックミラー領域220および吸収体230を含む。吸収体230としては吸収型NDフィルタを用いることができる。また、平行平面板200は、光源部100から入射した平行光束Aの全帯域に対して透明な材料で形成される。また、平行平面板200は、互いに平行な第一面201および第二面202を有する。第一面201は光源部100に面しており、透過領域211および広帯域反射鏡領域212を有する。透過領域211は、光源部100の射出部に対向して配され、平行光束Aの全帯域を透過して平行平面板200の内部に入射させる。広帯域反射鏡領域212は、平行光束Aの全帯域を高効率に反射する誘電体多層膜を含む。第二面202は、ダイクロイックミラー領域220を有する。ダイクロイックミラー領域220は、平行光束Aの特定の帯域を透過すると共に、他の帯域を反射する誘電体多層膜を有する。また、ダイクロイックミラー領域220は、領域毎に透過する帯域が異なる。図3は、ダイクロイックミラー領域220における誘電体多層膜と透過特性との関係を示すグラフである。ダイクロイックミラー領域220における誘電体多層膜221の厚さは、透過領域211から吸収体230に向かって連続的に変化する。これにより、図中では離散的に記載しているが、ダイクロイックミラー領域220において透過する波長は、透過領域211から遠ざかるほど長波長の帯域に連続的に変化する。なお、ダイクロイックミラー領域220を透過しない帯域は、高効率に反射される。再び図1を参照すると、チューナブルフィルタ10の分波部11において、平行平面板200は、平行光束Aの伝播光軸に対して直交することなく傾斜して配置される。図示の例では、平行平面板200は、透過領域211側の端部が光源部100に最も近く、吸収体230側の端部は光源部100から遠ざかる傾斜を有する。このような平行平面板200の透過領域211に入射した平行光束Aは、透過領域211に対向するダイクロイックミラー領域220に向かって照射される。ダイクロイックミラー領域220は、平行光束Aが照射された領域が透過する特定帯域の光を透過させる。透過しない波長帯域の光は反射する。平行光束Aのうち、ダイクロイックミラー領域220を透過した光は、光ビームB1となり、平行光束Aと平行な方向に、空間変調部12に向かって伝播する。光ビームB1は、平行光束Aの波長帯域の一部である透過帯域の波長帯域を有する。平行光束Aのうち、ダイクロイックミラー領域220で反射された光は、対向する広帯域反射鏡領域212で反射され、当初の照射領域に対して、透過領域211からより離れた位置において、再びダイクロイックミラー領域220に照射される。図3を参照して既に説明した通り、ダイクロイックミラー領域220は、透過領域211から遠ざかるにつれて透過帯域が変化する。よって、ダイクロイックミラー領域220の異なる位置に再度照射された平行光束Aは、光ビームB1と異なる中心波長を有する光ビームB2となり、光ビームB1と平行に射出される。以下、平行平面板200内を伝播する平行光束Aは、中心波長の異なる光ビームB3~B9を順次射出しつつ平行平面板200内を伝播する。最終的に、ダイクロイックミラー領域220において透過されることなく、平行平面板200の上端まで伝播した平行光束Aは、吸収体230に吸収されて減衰する。これにより、ダイクロイックミラー領域220を透過しなかった平行光束Aの一部が、チューナブルフィルタ10内で迷光となることが防止される。上記のようにして分波部11で発生した複数の光ビームB1~B9は、互いに平行に伝播して空間変調部12に入射する。図中には9本の光ビームB1~B9が描かれているが、光ビームB1~B9の数は9に限られるわけではない。即ち、中心波長の異なる複数の光ビームB1~B9が空間的に異なる位置を伝播すればよく、ダイクロイックミラー領域220の高さと平行光束Aのビーム径により分割される帯域数は適宜定まる。例えば、最小で2mmφ程度のビーム径を有する平行光束Aを、高さ50mm程度のダイクロイックミラー領域220を有する分波部11で分離させた場合、10以上、30未満程度の帯域数に分割できる。よって、光ビームB1~B9の数は、要求されるスペクトル分布の精度に応じて適宜決定される。ただし、光ビームB1~B9が互いに異なる空間を伝播するように、換言すれば、光ビームB1~B9が互いに重なることがないように、平行光束Aの高さ、平行平面板200の傾斜角度等が調整される。その結果、平行平面板200においては、ダイクロイックミラー領域220において誘電体多層膜221の膜厚が変化する方向が、光ビームB1~B9の伝播光軸を含む平面に含まれる位置関係が形成される。図4は、空間変調部12に入射する光ビームB1~B9の強度分布を示すグラフである。図示のように、図中に点線で示す平行光束Aのスペクトル分布を反映して、光ビームB1~B9のそれぞれは固有の光強度を有する。再び図1を参照すると、空間変調部12は、一対の偏光素子300、500と、偏光素子300、500に挟まれた液晶板400とを有する。空間変調部12に入射した光ビームB1~B9は、まず、偏光素子300に入射して、それぞれが直線偏光となって液晶板400に入射する。図5は、液晶板400を入射面側から見た様子を示す図である。図示のように、液晶板400上には、光ビームB1~B9に対応したスポットが形成される。液晶板400は、光ビームB1~B9の偏光方向に対して45°の角度をなす遅相軸または進相軸を有し、直線偏光として入射した光ビームB1~B9は、液晶板400におけるリターデーション量に応じて楕円偏光に変調される。また、液晶板400は、少なくとも光ビームB1~B9の配列方向に分離された複数の領域において、リターデーション量を個別に変化させることができる。よって、パーソナルコンピュータ等により形成された制御部700の制御の下に液晶板400を駆動することにより、光ビームB1~B9のリターデーション量を個別に変化させることができる。なお、図示の例では、液晶板400の変調単位は、水平線により分割されて一次元的に配列されている。しかしながら、変調単位が二次元的に配列された液晶板400において、水平に並ぶ変調単位を一括して駆動しても同様の作用が得られる。また、ひとつのビームスポットが複数の変調単位に照射される場合は、照射範囲の変調単位を一括して駆動する場合の他に、段階的に駆動して透過率を段階的に変化させることもできる。また、図中には、光ビームB1~B9により液晶板400に形成されるスポットを円形に描いているが、光ビームB1~B9の断面形状は円形に限られるわけではない。よって、ビームの断面形状を水平に長い長円形あるいは長方形とすることにより、液晶板400表面の利用効率を向上させることもできる。液晶板400を透過した光ビームB1~B9は、上記のように個別に楕円偏光に変調された状態で偏光素子500に入射される。よって、液晶板400により与えられたリターデーション量に応じて、偏光素子500における光ビームB1~B9の透過率が変化する。こうして、空間変調部12から射出される光ビームC1~C9は、空間変調部12に入射した光ビームB1~B9とは異なる光強度を有する直線偏光となる。図6は、合波部13の構造を示す図であり、合波部13において、空間変調部12に面した入射側およびその裏面にあたる射出側、並びに、入射側および射出側の間に位置する側面を併せて示す。図1と共通の要素には同じ参照番号を付す。合波部13は、平行平面板600とその表面に配されたダイクロイックミラー領域610、透過領域621、広帯域反射鏡領域622、および吸収体630を含む。平行平面板600は、光ビームC1~C9の光軸に対して直交することなく傾斜して配置される。図示の例では、平行平面板600は、透過領域621側の端部が出力部800に最も近く、他端が出力部800から遠ざかる傾斜を有する。なお、合波部13において、吸収体630は、平行平面板600の図中下端に接着される。また、平行平面板600は、空間変調部12から入射した光ビームC1~C9の全帯域に対して透明であり、互いに平行な第一面602および第二面601を有する。第一面602は、ダイクロイックミラー領域610を有する。ダイクロイックミラー領域610は、平行光束Aに含まれる帯域のうちの特定の帯域を透過すると共に、他の帯域を反射する誘電体多層膜を有する。第二面601は出力部800側に面しており、透過領域621および広帯域反射鏡領域622を有する。透過領域621は、それを通じて射出された平行光束Dが出力部800に入射するように、出力部800に対向して配される。広帯域反射鏡領域212は、平行光束Aに含まれる全帯域を高効率に反射する誘電体多層膜をを含む。合波部13の平行平面板600は、分波部11の平行平面板200に対して幾何学的に対称に配される。また、ダイクロイックミラー領域610における透過帯域および透過率も、分波部11におけるダイクロイックミラー領域220と光学的に共役に分布する。これにより、合波部13のダイクロイックミラー領域610は、分波部11のダイクロイックミラー領域220と対称的な位置に配される。よって、平行平面板600のダイクロイックミラー領域610に入射した光ビームC1~C9は、ダイクロイックミラー領域610を高効率に透過して平行平面板600の内部を伝播する。ダイクロイックミラー領域610の透過帯域も、ダイクロイックミラー領域220と同様に領域毎に変化するので、ダイクロイックミラー領域610から平行平面板600に入射した光ビームC1~C9は、ダイクロイックミラー領域610および広帯域反射鏡領域622に交互に反射されて、平行平面板600の内部を、透過領域621に向かって伝播する。よって、合波部13に入射した光ビームC1~C9は、最終的にひとつの平行光束Dに合波されて透過領域621から射出される。透過領域621から射出された平行光束Dは、出力部800に入射され、光ファイバ820を通じて外部に伝播する。このように、チューナブルフィルタ10は、帯域毎に分解した光ビームB1~B9の光強度を個別に強度変調した上で再び合波することにより、目的とするスペクトル分布を有する光を外部に射出する。図7は、平行光束Dにおける光強度分布を例示するグラフである。図示のように、平行光束Dは、光ビームC1~C9それぞれの強度を反映したスペクトル分布を有する。既に説明した通り、光ビームC1~C9のそれぞれの強度は、空間変調部12により変化させることができる。よって、制御部700により、空間変調部12の液晶板400を制御することにより、目的とするスペクトル分布を有する光を出力部800に供給できる。なお、上記のように、合波部13におけるダイクロイックミラー領域610は、分波部11におけるダイクロイックミラー領域220に対して正確に対称的な位置に配されることが求められる。よって、平行平面板200、600の少なくとも一方は、その位置および傾きを他方に対して調節できることが望ましい。また、ダイクロイックミラー領域220における分光特性は、平行光束Aに対する平行平面板200の傾きに応じて変化する。よって、平行平面板200、600を一括して傾きを調節する構造を設けることも好ましい。また、ダイクロイックミラー領域220、610における透過帯域および透過率の分布は、上記の例に限られない。しかしながら、透過効率の高い長波長帯域が、平行平面板200、600を長く伝播する構造とすることにより、平行光束Aの透過効率をより高くすることができる。更に、光源部100において、射出光路を遡った反射光が発光素子に再注入されると発振が不安定になる。よって、平行光束Aおよび光ビームB1~B9の伝播光軸に対して直交して配置され得る偏光素子300、500、液晶板400等の素子は、入射光に対して少なくとも入射面が直交しないように、僅かに傾けて配置することが好ましい。図8は、他の任意スペクトラム光源装置2の構造を示す模式図である。なお、図8には、傾斜した平行平面板200における第一面201を見下ろす方向から任意スペクトラム光源装置2を見た様子が描かれている。また、任意スペクトラム光源装置2において、光源部100および出力部800は、図1に示した任意スペクトラム光源装置1と共通の構造をそれぞれ有する。図1と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。任意スペクトラム光源装置2のチューナブルフィルタ20は、分波部21、空間変調部22および合波部23を有する。空間変調部22は、入射光した光ビームAを折り返して、光ビームAと平行で伝播方向が反対の光ビームDとして射出する。そこで、分波部21および合波部23は、単一の部品として作製され、光源部100および出力部800と空間変調部22との間に配される。即ち、分波部21において、光源部100に面した第一面201には、透過領域211および広帯域反射鏡領域212が配される。また、第一面201に対向する第二面202には、ダイクロイックミラー領域220が配される。更に、平行平面板の上端には、吸収体230が配される。一方、合波部23において、出力部800に面した第二面601には、透過領域621および広帯域反射鏡領域622が配される。また、第二面601に対向する第一面602には、ダイクロイックミラー領域610が配される。更に、平行平面板の下端には、吸収体630が配される。なお、吸収体230、630は、平行平面板200、600の両側端部まで連続して形成されている。また、図中では、分波部21および合波部23にそれぞれ固有の参照番号を付しているが、平行平面板200、600、透過領域211、621、広帯域反射鏡領域212、622、ダイクロイックミラー領域220、610および吸収体230、630は、それぞれ、単一の部品として作製されている。上記のような分波部21において、透過領域211のうち光源部100に対向する領域には、光源部100から射出された平行光束Aが入射される。また、合波部23において、透過領域621のうち出力部800に対向する領域からは、出力部800に向かって平行光束Dが射出される。このように、チューナブルフィルタ20において、分波部21および合波部23は、一体的に形成された部品の異なる領域にそれぞれ形成される。よって、分波部21および合波部23の特性がよく揃うと共に、特に調整することなく、分波部21および合波部23の相対位置が決まっている。よって、ダイクロイックミラー領域610において光ビームC1~C9を効率よく合波できる。図9は、空間変調部22に対する入射側におけるチューナブルフィルタ20の構造を示す模式図である。図8は、図7において白抜きの矢印Pにより示す方向からチューナブルフィルタ20の内部を見た様子を示す。図7と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。チューナブルフィルタ20において、光源部100から射出された平行光束Aは、透過領域211から平行平面板200に入射して、複数の光ビームB1~B9に分割される。光ビームB1~B9は互いに平行に伝播して、空間変調部22の偏光ビームスプリッタ310に入射する。偏光ビームスプリッタ310は、ワイヤグリッド等により形成され、特定の偏光を反射し、他方の偏光を透過する。再び図8を参照すると、分波部21から射出された光ビームB1~B9の各々は無偏光だが、偏光ビームスプリッタ310において、互いに直交する直線偏光に分離される。分離された光ビームB1~B9の一方は偏光ビームスプリッタ310に反射され、次の偏光ビームスプリッタ320に入射する。偏光ビームスプリッタ320は偏光ビームスプリッタ310と異なる分離特性を有するので、偏光ビームスプリッタ310において反射された直線偏光は偏光ビームスプリッタ320を透過する。偏光ビームスプリッタ320を透過した直線偏光は液晶板400に入射する。偏光ビームスプリッタ310において分離された光ビームB1~B9の他方は、偏光ビームスプリッタ310を透過して次の偏光ビームスプリッタ330に入射する。偏光ビームスプリッタ330は、偏光ビームスプリッタ310と異なり、且つ、偏光ビームスプリッタ320と同じ分離特性を有する。よって、偏光ビームスプリッタ310を透過した直線偏光は、偏光ビームスプリッタ330において反射される。偏光ビームスプリッタ330に反射された直線偏光は液晶板400に入射する。このように、光ビームB1~B9に由来する直線偏光は、いずれも偏光ビームスプリッタ310、320、330のいずれかに2回分離された後に液晶板400に入射する。よって、光ビームB1~B9の各々は、高い消光比で直線偏光に分離されると共に、直線偏光は互いに同じ光強度を有する。図10は、図8の白抜き矢印Rで示すように、液晶板400を入射面側から見た様子を示す図である。図示のように、液晶板400上には、光ビームB1~B9に対応したスポットが、各直線偏光に対して2列に配される。液晶板400は、光ビームB1~B9の偏光方向に対して45°の角度をなす遅相軸または進相軸を有し、直線偏光として入射した光ビームB1~B9は、液晶板400におけるリターデーション量に応じて楕円偏光に変調される。また、液晶板400は、少なくとも光ビームB1~B9の配列方向に分離された複数の領域において、リターデーション量を個別に変化させることができる。よって、パーソナルコンピュータ等により形成された制御部700の制御の下に、光ビームB1~B9のリターデーション量を個別に変化させることができる。なお、上記の例では、液晶板400においては、B1~B9の各々に対応する一対の直線偏光を同じように変調している。しかしながら、液晶板400が二次元的に配列された領域を有する場合は、偏光毎に異なる変調をかけることもできる。再び図8を参照すると、上記のようにして、液晶板400において個別に強度変調された光ビームC1~C9の一方は、偏光ビームスプリッタ320と同じ分離特性を有する偏光ビームスプリッタ510を透過した後、偏光ビームスプリッタ310と同じ分離特性を有する偏光ビームスプリッタ530に反射され、平行平面板200600に向かって伝播する。また、光ビームC1~C9の他方は、偏光ビームスプリッタ330と同じ分離特性を有する偏光ビームスプリッタ520に反射された後、偏光ビームスプリッタ530を透過して、平行平面板200600に向かって伝播する。これにより、直線偏光に分離された光ビームC1~C9の双方が平行平面板200600に入射する。図11は、空間変調部22に対する射出側におけるチューナブルフィルタ30の構造を示す模式図である。図11は、図7において白抜き矢印Qにより示す方向からチューナブルフィルタ20の内部を見た様子を示す。図7と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。チューナブルフィルタ20において、空間変調部22から射出された光ビームC1~C9は、平行平面板600における第二面601のダイクロイックミラー領域610に入射する。このダイクロイックミラー領域610は、平行光束Aを光ビームB1~B9に分離したものと同じ誘電体多層膜221により形成されている。よって、光ビームC1~C9は、ダイクロイックミラー領域610を透過して平行平面板600の内部に入射して合波され、平行光束Dとして透過領域621から射出される。なお、平行平面板600内で反射されながら透過領域621から射出されなかった光は、平行平面板600の下端に配された吸収体630に吸収される。よって、そのような光が迷光になることはない。透過領域621から射出された平行光束Dは、出力部800に入射され、光ファイバ820を通じて外部に伝播する。このように、チューナブルフィルタ20は、帯域毎に分解した光ビームB1~B9の光強度を個別に強度変調した上で再び合波することにより、目的とするスペクトル分布を有する光を外部に射出する。また、チューナブルフィルタ20は、互いに直交する直線偏光の双方を再び合波して利用する。よって、光源部100が発生した光の利用効率が高い。図12は、チューナブルフィルタ20の物理的レイアウトを示す斜視図である。図8、図9および図11と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。図示のように、チューナブルフィルタ20は、立方体の筐体900に収容した場合に、平行平面板200、偏光ビームスプリッタ310、320、330、510、520、530および液晶板400のいずれをも、筐体900の対向する面の間に支持できる。また、各要素は、支持される面に対して直角になる。よって、設計および組み立てが容易になる。また、チューナブルフィルタ20では、図中に矢印で示すように、筐体900の外部から平行平面板200の傾きを調節する傾き調節部910を容易に設けることができる。よって、ダイクロイックミラー領域220における分光特性を、平行光束Aに対する平行平面板200の傾きにより容易に調節できるチューナブルフィルタ20を形成できる。更に、チューナブルフィルタ20は、分波部21および合波部23を、一枚の平行平面板200により形成している。これにより、部品点数が少なく、組立工数も削減される。また、分波部21および合波部23の特性がよく揃うので、分離された光ビームB1~B9を効率よく合波できる。なお、チューナブルフィルタ20においても、液晶板400は、光ビームB1~B9の伝播光路に直交する場合がある。そのような場合、反射光が光源部100に戻ると、発光素子の発振波長が不安定になる場合がある。よって、液晶板400の少なくとも入射面は、入射光に対して傾いていることが好ましい。図13は、他の任意スペクトラム光源装置3の模式図である。他の任意スペクトラム光源装置1、2と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。任意スペクトラム光源装置3は、以下に説明する部分を除くと、図1に示した任意スペクトラム光源装置1と同じ構造を有する。即ち、任意スペクトラム光源装置3は、チューナブルフィルタ30の分波部31および合波部33に固有の構造を有する。分波部31は、一対の帯域ビームスプリッタ241、242と、一対の平行平面板200、250を有する。また、合波部33は、一対の平行平面板600、650と、一対の帯域ビームスプリッタ641、642を有する。図14は、帯域ビームスプリッタ241、242、641、642の特性を示すグラフである。図示のように、帯域ビームスプリッタ241、242、641、642は、光ビームの波長帯域に関して、特定の波長範囲の光ビームを透過させ、他の波長範囲の光ビームを反射する特性を有する。図示の例では、帯域ビームスプリッタ241、641は、予め定められた閾値波長λ1よりも短い波長帯域の光を反射し、他の帯域の光を透過する。再び図13を参照すると、光源部100から入射した平行光束Aのうち、閾値波長λ1よりも波長が長い帯域は帯域ビームスプリッタ241を透過して、平行平面板200に入射する。閾値波長λ1よりも波長が短い帯域は帯域ビームスプリッタ241、242に反射されて、平行平面板250に入射する。平行平面板200は、ダイクロイックミラー領域、透過領域211、広帯域反射鏡領域212および吸収体230を有し、平行光束A10を波長に応じて複数の光ビームB1~9に空間的に分離する。また、平行平面板250は、ダイクロイックミラー領域、透過領域261、広帯域反射鏡領域262および吸収体280を有し、平行光束A20を波長に応じて複数の光ビームB10~18に空間的に分離する。光ビームB1~9、B10~18の各々は、空間変調部32に入射される。空間変調部32において、光ビームB1~9、B10~18は、偏光素子300を透過した後に液晶板400に入射する。図15は、図13において白抜き矢印Sで示すように、チューナブルフィルタ30における液晶板400を入射面側から見た様子を示す図である。図示のように、液晶板400上には、光ビームB1~18に対応したスポットが、平行平面板200、250に対応して2列に配される。液晶板400は、二次元的に配列され、個別にリターデーション量を変化させることができる領域を有するので、全てのスポットに対応する光ビームB1~18を個別に強度変調できる。再び図13を参照すると、上記のようにして、液晶板400において個別に強度変調された光ビームC1~18のうち、閾値波長λ1よりも短い波長帯域の光ビームB10~18は、ダイクロイックミラー領域、吸収体680、広帯域反射鏡領域672および透過領域671を有する平行平面板650により合波されて単一の平行光束D20となる。平行平面板650の透過領域671から射出された平行光束D20は、帯域ビームスプリッタ642、641に順次反射されて、出力部800に入射される。また、液晶板400において個別に強度変調された光ビームC1~18のうち、閾値波長λ1よりも長い波長帯域の光ビームB1~9は、ダイクロイックミラー領域、吸収体630、広帯域反射鏡領域622および透過領域621を有する平行平面板600により合波されて単一の平行光束D10となる。平行平面板600の透過領域621から射出された平行光束D10は、帯域ビームスプリッタ641を透過して出力部800に入射される。このように、チューナブルフィルタ30においては、平行光束Aを帯域ビームスプリッタ241、242により分割した後に分波部31で分波することにより、より広い帯域のスペクトル分布を制御できる。例えば、光源部100に配されたスーパーコンティニアム光源110は、波長400nmから2000nm以上に及ぶ帯域の光を発生する。しかしながら、そのうち例えば400nmから2倍波長の800nm程度までの波長域を使う場合でも、それだけの広帯域に対応したダイクロイックミラー領域220を単一の平行平面板200で形成することは技術的に困難である。そこで、平行光束Aを帯域分割した上で、帯域毎の平行平面板200を用いることにより、広帯域のチューナブルフィルタ30を形成できる。また、帯域を拡げることよりも、一定の帯域の光を光ビームに分割する場合の分割数を増加させて、波長に対する分解能を高くする場合にも図13の構造を適用できる。このように、領域に応じて異なる透過特性を有するダイクロイックミラー領域220、61-を有する分波部11、21、31を用いることにより、簡潔な構造のチューナブルフィルタ10、20、30を形成できる。また、液晶板400を用いて空間変調部12、22、32を形成することにより、電気的に容易に制御できるチューナブルフィルタ10、20、30を提供できる。なお、上記の例では、透過型の液晶板400におけるリターデーションを利用して空間変調部12、22、32を形成した。しかしながら、液晶板400の旋光性を利用して空間変調部12、22、32を形成することもできる。また、反射型液晶板、マイクロミラーアレイ等の変調素子を用いて空間変調部12、22、32を形成することもできる。以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。