板状の基板と、前記基板に形成され、前記基板の面に平行な方向の断面の縦横比が略同一の断面形状を有する圧力室と、前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられた副室と、前記基板の一面に、前記基板よりも薄肉に形成され、前記圧力室及び前記副室の上部の壁面をなす従動膜と、前記従動膜の上に形成された下部電極と、前記下部電極の上に形成され、前記圧力室の上に位置し、前記圧力室の断面形状よりも小さく、前記基板の面に平行な方向の縦横比が略同一の面形状の作用部と、この作用部から前記副室の上に延長された引出部とを有する駆動体と、前記駆動体の上に形成された上部電極とを備え、前記副室は、前記第1の方向と直交し且つ前記基板の面に平行な第2の方向の幅が前記圧力室よりも小さく、前記駆動体の引出部は、前記第2の方向の幅が前記副室よりも小さいことを特徴とする電気機械変換素子。前記駆動体の引出部の上に形成された前記上部電極の前記第2の方向の幅は、前記駆動体の引出部の幅よりも狭いことを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換素子。前記副室の前記第2の方向の幅が、前記圧力室の前記第2の方向の幅の25~75の範囲にあることを特徴とする請求項1または2に記載の電気機械変換素子。前記駆動体の引出部の前記第2の方向の幅が、前記副室の前記第2の方向の幅の50~80の範囲にあることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。前記駆動体の作用部の形状が円であることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。前記駆動体は、圧電体であることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。板状の基板と、前記基板に形成され、前記基板の面に平行な方向の断面の縦横比が略同一の断面形状を有する圧力室と、前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられた第1の副室と、前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられ、前記圧力室を介して前記第1の副室に対向する位置に配置された第2の副室と、前記基板の一面に、前記基板より薄肉に形成され、前記圧力室、前記第1の副室及び前記第2の副室の上部の壁面をなす従動膜と、前記従動膜の上に形成された下部電極と、前記下部電極の上に形成された駆動体と、前記圧力室の上の前記駆動体の上に形成され、前記圧力室の断面形状よりも小さく、前記基板の面に平行な方向の縦横比が略同一の面形状を有する第1の電極作用部と、この第1の電極作用部から前記第1の副室の上の前記駆動体の上に延長された第1の電極引出部とを有する第1の上部電極と、前記圧力室の周縁に跨る前記駆動体の上に形成され、かつ前記第1の上部電極の周囲を取り囲むように形成された第2の電極作用部と、この第2の電極作用部から前記第2の副室の上の前記駆動体の上に延長された第2の電極引出部とを有する第2の上部電極と、前記第1の上部電極と前記第2の上部電極とに逆極性の駆動信号を与える駆動回路とを備え、前記第1の副室及び第2の副室は、前記第1の方向と直交し且つ前記基板の面に平行な第2の方向の幅が前記圧力室よりも小さく、前記第1の上部電極の第1の電極引出部及び前記第2の上部電極の第2の電極引出部は、前記第2の方向の幅がそれぞれ前記第1の副室及び前記第2の副室よりも小さいことを特徴とする電気機械変換素子。前記第1の副室及び前記第2の副室の前記第2の方向の幅が、前記圧力室の前記第2の方向の幅の25~75の範囲にあることを特徴とする請求項7に記載の電気機械変換素子。前記第1の上部電極の第1の電極引出部の前記第2の方向の幅が、前記第1の副室の前記第2の方向の幅の10~40の範囲にあり、前記第2の上部電極の第2の電極引出部の前記第2の方向の幅が、前記第2の副室の前記第2の方向の幅の10~40の範囲にあることを特徴とする請求項7または8に記載の電気機械変換素子。前記駆動体の作用部の形状が円であることを特徴とする請求項7~9のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。前記駆動体は、圧電体であることを特徴とする請求項7~10のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。しかしながら、特許文献2および3に示された方法では、圧電体を駆動した場合に、圧力室の周縁部の位置で、圧電体および上部電極の引出部に応力が集中し、引出部が破壊する可能性がある。本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、圧電体等の駆動体および上部電極の引出部の破壊を防止することのできる電気機械変換素子を提供することを目的とする。本発明の電気機械変換素子は、板状の基板と、前記基板に形成され、前記基板の面に平行な方向の断面の縦横比が略同一の断面形状を有する圧力室と、前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられた副室と、前記基板の一面に、前記基板よりも薄肉に形成され、前記圧力室及び前記副室の上部の壁面をなす従動膜と、前記従動膜の上に形成された下部電極と、前記下部電極の上に形成され、前記圧力室の上に位置し、前記圧力室の断面形状よりも小さく、前記基板の面に平行な方向の縦横比が略同一の面形状の作用部と、この作用部から前記副室の上に延長された引出部とを有する駆動体と、前記駆動体の上に形成された上部電極とを備え、前記副室は、前記第1の方向と直交し且つ前記基板の面に平行な第2の方向の幅が前記圧力室よりも小さく、前記駆動体の引出部は、前記第2の方向の幅が前記副室よりも小さいことを特徴としている。また、本発明の電気機械変換素子は、板状の基板と、前記基板に形成され、前記基板の面に平行な方向の断面の縦横比が略同一の断面形状を有する圧力室と、前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられた第1の副室と、前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられ、前記圧力室を介して前記第1の副室に対向する位置に配置された第2の副室と、前記基板の一面に、前記基板より薄肉に形成され、前記圧力室、前記第1の副室及び前記第2の副室の上部の壁面をなす従動膜と、前記従動膜の上に形成された下部電極と、前記下部電極の上に形成された駆動体と、前記圧力室の上の前記駆動体の上に形成され、前記圧力室の断面形状よりも小さく、前記基板の面に平行な方向の縦横比が略同一の面形状を有する第1の電極作用部と、この第1の電極作用部から前記第1の副室の上の前記駆動体の上に延長された第1の電極引出部とを有する第1の上部電極と、前記圧力室の周縁に跨る前記駆動体の上に形成され、かつ前記第1の上部電極の周囲を取り囲むように形成された第2の電極作用部と、この第2の電極作用部から前記第2の副室の上の前記駆動体の上に延長された第2の電極引出部とを有する第2の上部電極と、前記第1の上部電極と前記第2の上部電極とに逆極性の駆動信号を与える駆動回路とを備え、前記第1の副室及び第2の副室は、前記第1の方向と直交し且つ前記基板の面に平行な第2の方向の幅が前記圧力室よりも小さく、前記第1の上部電極の第1の電極引出部及び前記第2の上部電極の第2の電極引出部は、前記第2の方向の幅がそれぞれ前記第1の副室及び前記第2の副室よりも小さいことを特徴としている。本発明によれば、圧電体等の駆動体および上部電極の引出部の破壊を防止しつつ、上部電極の配線を引き出すことのできる電気機械変換素子を提供することができる。本発明の実施の形態を説明する前に、課題を明確にするための参考例を図11及び図12を用いて説明する。なお、図中、同一あるいは同等の部分には同一の番号を付与し、重複する説明は省略することがある。図11は、参考例のダイアフラム型の電気機械変換素子の構成を示す模式図で、図11aは平面図、図11bは図11aのA-A’線矢視断面図である。また、図12は、参考例のダイアフラム型の電気機械変換素子の特性を示す模式図で、図12aは図11aと同じ平面図、図12bは駆動時に働く応力のグラフ、図12cは駆動時の変位のグラフである。なお、平面図における位置A11~A14と、断面図における位置A11~A14とは、対応した位置関係にある。図11において、電気機械変換素子1は、板状の基板11に形成された円筒形の圧力室21と、基板11の一方の面上に形成され、圧力室21上部の壁面21aとなる従動膜13と、従動膜13上に形成された駆動膜30とで構成されている。駆動膜30は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛PZT等の圧電体31と、圧電体31の上に設けられた上部電極35と、従動膜13と圧電体31との間の全面にベタ状に設けられた下部電極33とで構成される。圧力室21の壁面21aに対向する側には、開口21bが設けられている。下部電極33と上部電極35との間に外部から電圧が印加され、圧電体31が面方向に伸縮すると、従動膜13との長さの違いにより曲率が生じ、駆動膜30の面方向に垂直な方向矢印z方向に変位が生じる。この変位を利用することで、電気機械変換素子1をアクチュエータとして機能させることができる。逆に、従動膜13と駆動膜30とに外部から圧力が加わると、曲率が生じて駆動膜30に圧力が働き、圧電効果により圧電体31に電界が生じる。下部電極33と上部電極35とを介して、圧電体31に生じた電界の振幅、周期、位相を検出することにより、電気機械変換素子1を圧力センサとして機能させることができる。ダイアフラム型の電気機械変換素子1の変換効率を向上させるためには、圧電体31を圧力室21上部の壁面21aより小さくすることが望ましい。圧電体31が壁面21aよりも大きく、周縁の基板11の上まで延びていると、駆動膜30の伸縮が阻害されるからである。ところが、圧電体31を壁面21aより小さくすると、上部電極35の取り出しが課題となる。駆動膜30は数μm程度と薄くて脆いため、ワイヤーボンディング等の配線時の加工圧力には耐えられないし、接続後の引張力に耐えられない。また、駆動膜30は面に垂直な方向に変位するため、配線が変位の妨げとなる。つまり、駆動膜30の上部に直接ワイヤを配線したり、電極端子を接合することは困難である。この課題を解決するため、図11においては、圧電体31と上部電極35との一部を細く延ばして、圧力室21上部の壁面21aの上から外部へ引き出している。駆動膜30の引出部30aとして、圧電体引出部31aと上部電極引出部35aとが壁面21aの上から図の左側へと引き出されている。しかしながら、この構成を採用した場合、図12bに示すように、圧電体31を駆動した場合に、圧力室21上部の壁面21aの周縁部11aの位置で、引出部30aに応力が集中し、引出部30aが破壊する可能性がある。また、圧電体引出部31aが圧電体31の変位を阻害するために、図12cに実線で示すように、圧力室21の上の駆動膜30の変位が、一点鎖線で示した引出部30aがない場合の理想的な変位に比べて、圧力室21の中心に対して左右非対称となるとともに、変位量が減少してしまう。本発明の実施の形態では、参考例で説明した駆動膜30の引出部30aの破損や変位量の減少を解決している。以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。本発明の第1の実施の形態の電気機械変換素子について、図1および図2を用いて説明する。図1は、第1の実施の形態の電気機械変換素子の構成を示す模式図で、図1aは平面図、図1bは図1aのA-A’線矢視断面図である。また、図2は、第1の実施の形態の電気機械変換素子の特性を示す模式図で、図2aは図1aと同じ平面図、図2bは駆動時に働く応力のグラフ、図2cは駆動時の変位のグラフである。なお、平面図における位置A1~A6と、断面図における位置A1~A6とは、対応した位置関係にある。なお、図1および図2では、1つのチャネルのみの電気機械変換素子を図示しているが、複数のチャネルを有する電気機械変換素子アレイを構成する際には、必要に応じて、複数の電気機械変換素子を1次元あるいは2次元に配列してもよい。図1において、電気機械変換素子1は、基板11、圧力室21、副室23、従動膜13、駆動膜30、駆動膜30の引出部30a等で構成されている。圧力室21は、図11に示した参考例の圧力室21と同様に、基板11に設けられた円筒形の空間である。本実施の形態において、圧力室21の基板11の面に平行な面方向の断面形状は円形である。この断面形状を円形にすることで、駆動膜30を最も効率よく変位させることができる。但し、圧力室21の基板11の面に平行な面方向の断面形状は、円形に限られず、面内の縦横比図1aで上下方向と左右方向の比が略同一であれば矩形であっても多角形であってもよい。副室23は、圧力室21に連通して基板11に形成された空間で、基板11の面に平行な第1の方向図中左右方向に圧力室21と並ぶように設けられている。副室23の幅と長さとは、圧力室21の断面径の半分程度である。すなわち、図1aに破線で示すように、副室23の図中上下方向の幅は圧力室21の直径の半分程度である。また、副室23の図中左右方向引出部30aが延びる方向の長さも圧力室21の直径の半分程度である。なお、副室23の図中上下方向第2の方向の幅は、圧力室21の直径よりも小さく、圧力室21の直径の25~75の範囲であることが好ましい。また、副室23の図中左右方向第1の方向の長さは、必ずしも本実施形態のように圧力室21の直径よりも小さくしなくてもよい。なお、本実施形態において、数値を範囲で示したときは、その範囲の上限および下限を含むものとする。駆動膜30は、図11に示した参考例の駆動膜30と同様に、例えばPZT等の圧電体31と、圧電体31の上下に設けられた下部電極33および上部電極35とを含む。下部電極33は、従動膜13の全面にベタ状に設けられている。圧電体31は、圧力室21上部の壁面21aの断面形状よりも小さく、基板11の面に平行な方向の縦横比が略同一の面形状で作られた作用部31pを有する。図1aに示すように、圧電体31の作用部31pの形状は、圧力室21の断面である円と同心円であり、その径が圧力室21の断面よりも小さいものとなっている。圧電体31の作用部31pの大きさ直径は、圧力室21の断面の大きさに対して70~99であることが好ましく、より望ましい範囲としては90~99である。上部電極35は、圧電体31の作用部31pの形状よりも小さく作られた作用部35pを有する。上部電極35の作用部35pの形状は、圧電体31の作用部31pの形状である円と同心円であり、その径が圧電体31の作用部31pよりも小さいものとなっている。上部電極35が圧電体31よりも小さくされているのは、上部電極31が下部電極33と接触することを確実に防止するためであり、必ずしも上部電極35を圧電体31よりも小さくする必要はなく、同じ大きさであっても構わない。引出部30aは、圧電体31および上部電極35が、圧力室21上部の壁面21aの上から副室23の上を通って図の左側へと延長されたものである。引出部30aは、圧電体引出部31aと、この圧電体引出部31aの上に形成された上部電極引出部35aとを含む。図1aに示すように、図中上下方向について、圧電体引出部31aの幅は、副室23の幅の半分程度であり、上部電極引出部35aの幅は、圧電体引出部31aの幅の1/3程度である。圧電体引出部31aの幅は、副室23の幅に対して、50~80であることが好ましいが、これに限らず副室23の幅よりも狭ければよい。上部電極引出部35aの幅は、圧電体引出部31aの幅に対して20~50すなわち副室23の幅に対して10~40であることが好ましいが、これに限らず圧電体引出部31aと同じ大きさであっても構わない。駆動膜30の下部電極33と上部電極35との間に電圧が印加されると、圧力室21の壁面21aの上にある圧電体31が伸縮し、従動膜13との長さの違いにより曲率が生じ、駆動膜30が面方向に垂直な方向に変位する。この時、引出部30aの下部には副室23が存在するため、引出部30aにかかる応力を分散でき、引出部30aの破壊を防ぐことができる。図2bに、本実施の形態における駆動膜30および引出部30aにかかる応力の様子を実線で示す。一方、図12bの参考例における応力の様子を破線で示す。両者の比較から、壁面21aの周縁部11a図12参照での応力集中が、圧力室21および副室23全体に分散され、大きく緩和されていることが分かる。引出部30aにも上部電極引出部35aが存在するため、圧電体引出部31aは伸縮する。引出部30aの上部電極引出部35aの幅が広すぎると、圧電体引出部31aの伸縮が大きくなり、圧力室21の上にある圧電体31の伸縮を阻害する可能性がある。このため、第1の実施の形態では、圧電体引出部31aに対して上部電極引出部35aの幅が1/3程度と狭くしている。これにより、圧電体引出部31aには上部電極35への電圧印加によっても伸縮しない部分が生じており、また、駆動膜30に比べて引出部30aの占める面積が小さいことにより、圧電体引出部31aの変位は無視できる程度のものとなる。逆に、引出部30aは全体として、圧電体31の作用部31pの伸縮に引っ張られて伸縮する。これによって、圧力室21の上にある圧電体31の作用部31pの伸縮が阻害されることはなく、圧電体31本来の変位を確保することができる。図2cに、駆動膜30および引出部30aの変位のグラフを実線で示す。圧力室21の中心を軸としてほぼ回転対称に分布しており、破線で示した図12cの参考例の変位に比べて、非対称性が改善されるとともに、変位量が増加していることが分かる。なお、上部電極引出部35aの幅をあまりに小さくすると、電気抵抗が大きくなり、耐電圧や駆動周波数に問題が生じる可能性があるため、ある程度の幅を確保することが望ましい。また、副室23の幅が大きいと、電気機械変換素子1の駆動時に、圧力室21内で圧力を受けた気体や液体が副室23内に逃げる容積が大きくなり、アクチュエータとしての感度が低下する傾向がある。一方、副室23の幅が小さいと、駆動膜30の伸縮の阻害や引出部30aへの応力の集中を緩和する効果が低下する傾向がある。よって、上部電極引出部35aの幅や副室23の幅の大きさ等は、電気機械変換素子1に要求される仕様のバランスにより決定される。次に、第1の実施の形態の電気機械変換素子の製造方法について、図3から図6を用いて説明する。図3から図6は、第1の実施の形態の電気機械変換素子の製造方法における製造工程を模式的に示す断面図である。図では、各層を分かりやすくするために、厚さ方向図の上下方向を誇張して示している部分がある。図3aにおいて、基板11および従動膜13の材料としては、微細加工技術MEMS;MicroElectroMechanicalSystemsでよく利用される、酸化膜を介して2枚のSiが接合されたSOISiliconOnInsulator基板である。Siの基板部111の厚さは150μm程度、酸化膜SiO2113の厚さは0.1μm程度、後に従動膜13となるSi膜131の厚さは2μm程度である。基板11および従動膜13の材料としてSOI基板を用いるのは、後述する従動膜13の形成において、エッチングされにくい酸化膜SiO2113をエッチングのストップ層として用いることで、従動膜13の厚さを安定させるためである。図3bにおいて、SOI基板を加熱炉に入れ、1500°C程度に所定時間保持して、上下のSi層の表面に、酸化膜SiO2133および115を形成する。酸化膜SiO2133および115の厚さは0.1μm程度である。従動膜13は、Si膜131と酸化膜SiO2133とで構成される。図3cにおいて、酸化膜SiO2133および115が形成されたSOI基板を常温まで冷却し、SOI基板の全面に、下部電極33として、厚さ0.02μm程度のチタンTiの薄い層と、厚さ0.1μm程度の白金Ptの層とをスパッタ法で成膜する。チタンTiの層は、酸化膜SiO2133と下部電極33との密着性をよくするための密着層として機能する。図3dにおいて、下部電極33が形成されたSOI基板を600°C程度に再加熱し、スパッタ法等により、SOI基板の全面に、後に圧電体31となるチタン酸ジルコン酸鉛PZT等の圧電材料の膜311を成膜する。圧電材料の膜311の厚さは、5μm程度である。スパッタ法により成膜された圧電材料の膜311は、成膜時に分極の整列が起こるので、特段の分極工程は不要であるが、他の方法で圧電材料の膜311を成膜する場合、あるいは以降の工程で分極が消失するような高温あるいは高電界を用いる場合には、分極工程を別途設ける必要がある。図4aにおいて、圧電材料の膜311が形成されたSOI基板を常温まで冷却し、感光性樹脂材料をスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィ法により、マスクを介して露光し、エッチングで不要な部分を除去することにより、上部電極35および上部電極引出部35aの形状を転写した上部電極マスク91を形成する。図4bにおいて、SOI基板の全面に、後に上部電極35となる電極層351をスパッタ法で成膜する。この電極層351は、厚さ0.02μm程度のチタンTiの薄い層と、厚さ0.2μm程度の白金Ptの層とからなる。チタンTiの層は、圧電材料の膜311と上部電極35および上部電極引出部35aとの密着性をよくするための密着層として機能する。図4cにおいて、上部電極マスク91をエッチングで除去するとともに、不要な部分の電極層351を共に除去して、上部電極35の作用部35pおよび上部電極引出部35aを形成する。図5aにおいて、感光性樹脂材料をスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィ法により、マスクを介して露光し、エッチングで不要な部分を除去することにより、圧電体31の作用部31pおよび圧電体引出部31aの形状を転写した圧電素子マスク93を形成する。図5bにおいて、圧電素子マスク93をレジストとして、反応性イオンエッチング法を用いて圧電材料の膜311の形状を加工して、圧電体31の作用部31pおよび圧電体引出部31aを形成する。図5cにおいて、圧電素子マスク93を除去する。図6aにおいて、SOI基板の裏面に感光性樹脂材料をスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィ法により、マスクを介して露光し、エッチングで不要な部分を除去することにより、圧力室21および副室23の形状を転写した圧力室マスク95を形成する。図6bにおいて、圧力室マスク95をレジストとして、反応性イオンエッチング法を用いて、酸化膜SiO2115、Siの基板部111および酸化膜SiO2113を除去する。この際に、エッチングされにくい酸化膜SiO2113がエッチングのストップ層として機能することで、従動膜13の厚さを安定させることができる。図6cにおいて、圧力室マスク95を除去することで、電気機械変換素子1が完成する。上述したように、第1の実施の形態によれば、圧電体および上部電極の引出部の破壊を防止し、圧力室の上の駆動膜の変位を保ちながら、上部電極の配線を引き出すことのできる電気機械変換素子を提供することができる。ここで、上述した第1の実施の形態の電気機械変換素子の第1の応用例について説明する。第1の応用例は、医療診断用の超音波プローブの送受信素子である。従来の超音波プローブの送受信素子は、バルクで焼成したPZT等の無機の圧電材料を、縦横に切断加工して用いている。しかし、バルク材のため、剛性、発生力は大きいが、変位即ちセンサ感度が低いという課題がある。また、センサ部を高密度化するために、圧電材料に積層する形態で配線を行っているが、配線の剛性によって超音波振動が減衰、変調される課題がある。そこで、図1に示した電気機械変換素子1を基板上に複数個2次元に配列したものを、超音波プローブの送受信素子として用いる。超音波の送信時は、上部電極35と下部電極33との間に送信する超音波の周波数に相当する周波数の交流電圧を印加することで行える。受信時は、被検体で反射された超音波は、電気機械変換素子1の圧力室21に入射し、圧力室21上部の壁面21aの上の従動膜13と駆動膜30とを振動させ、振動による圧電効果によって、圧電体31の作用部31pに電界が生じる。2次元に配列された全ての圧電体31の作用部31pに生じた電界の振幅、周期、位相を、下部電極33と上部電極35とを介して検出することにより、2次元の超音波画像を得ることができ、電気機械変換素子1を超音波プローブの受信素子として機能させることができる。本実施の形態の電気機械変換素子1によれば、超音波の送受信時に、駆動膜30の振動が阻害されず、高い送受信性能が得られる。以上に述べたように、第1の実施の形態の電気機械変換素子1を基板上に2次元に配列したものを、超音波プローブの送受信素子として用いることで、高い送受信性能を達成することができる。また、超音波プローブの送受信素子として用いる場合、圧電体31の代わりに柔軟な高分子ポリマー層を設け、下部電極33と上部電極35との間の静電力を駆動膜30の駆動力として用いることも可能である。この場合には高分子ポリマー層が駆動体となる。次に、上述した第1の実施の形態の電気機械変換素子の第2の応用例について、図7を用いて説明する。図7は、第1の実施の形態の電気機械変換素子の第2の応用例を示す模式図で、図7aは平面図、図7bは図7aのA-A’断面図である。第2の応用例は、インクジェットプリンタ用ヘッドである。また、同様の方法で、インクジェットプリンタ以外のマイクロポンプとしても応用できる。図7において、インクジェットプリンタ用ヘッド100は、図1に示した電気機械変換素子1の従動膜13に対向する面に連通プレート41とノズルプレート51とを設けた構成である。連通プレート41およびノズルプレート51としては、例えばSiや感光性樹脂、ステンレス板等を用いることができる。その厚さは、一般的には、50μmから500μm程度である。連通プレート41の副室23の端部に対向する位置にはインク流入口43が設けられ、圧力室21の端部に対向する位置にはノズル連通口45が設けられている。インク流入口43には、ノズルプレート51に設けられたインク流路53を介して、図示しないインクタンクからインクが供給され、供給されたインクは、図の矢印Cのように流れて、ノズル連通口45を介して、ノズルプレート51に設けられたインク吐出ノズル55から吐出する。インク流入口43およびインク吐出ノズル55の穴径は、一般的には、10μmから100μm程度である。このような構造にすることで、駆動膜30によって圧力室21に加えられた圧力が効率よく圧力室21内のインクに加えられて、インク吐出ノズル55からインクが吐出する。一方、インク流入口43を副室23側に設けることで、圧力室21の圧力を集中して受けることがないため、インクの供給がスムーズになる。また、インク流入口43およびインク吐出ノズル55を、それぞれ副室23の端部および圧力室21の端部に対向する位置に配置することで、インクの初期充填時に、副室23および圧力室21の角の部分に気泡溜まりができてしまうことを防止して、インクをスムーズに充填することができる。次に、本発明の第2の実施の形態の電気機械変換素子について、図8および図9を用いて説明する。図8は、第2の実施の形態の電気機械変換素子の構成を示す模式図で、図8aは平面図、図8bは図8aのA-A’断面図、図8cは図8aのB-B’断面図である。また、図9は、第2の実施の形態の電気機械変換素子の特性を示す模式図で、図9aは図8aと同じ平面図、図9bは駆動時に働く応力のグラフ、図9cは駆動時の変位のグラフである。なお、平面図における位置A7~A8と、断面図における位置A7~A8とは、対応した位置関係にある。図8において、第2の実施の形態では、第1の実施の形態とは異なり、圧電体31が、従動膜13および下部電極33と同様に、基板11の上の全面に設けられている。また、圧力室21を挟んで副室23第1の副室に対向する位置に、副室23と同一形状圧力室21を間に挟んで対称な形状の第2副室25第2の副室が設けられている。この第2副室25の幅や長さの好適な範囲は、上述した副室23の場合と同様である。また、上部電極35は、第1の実施の形態と同様であり、圧力室21の上の作用部35pと、上部電極引出部35aとを有している。この上部電極35の作用部35p及び上部電極引出部35aの形状や大きさの好適な範囲もまた、上述した第1の実施の形態の場合と同様である。したがって、上部電極引出部35aの幅は、副室23の幅に対して、10~40であることが好ましい。但し、上部電極35の作用部35pの形状に関しては、第1の実施の形態において説明した圧電体31の作用部31pの形状を適用することができる。さらに、上部電極35の作用部35pを取り囲み、圧力室21の周縁にかかるように圧電体31の上に形成されたC字型の作用部37pを有する第2上部電極37が形成されている。第2上部電極37は、C字型の作用部37p部から第2副室25の上の圧電体31上に延長された第2上部電極引出部37aを有し、この第2上部電極引出部37aによって基板11上に引き出されている。第2上部電極引出部37aの幅は、第2副室25の幅よりも小さく、その好適な範囲は上部電極引出部35aの場合と同様である。すなわち、第2上部電極引出部37aの幅は、第2副室25の幅に対して、10~40であることが好ましい。その他の部分および製造方法については、第1の実施の形態と同じであるので、説明は省略する。第2の実施の形態のように圧電体31が基板11上の全面に設けられている場合には、圧力室21の上部の圧電体31だけを伸縮させるように、上部電極35と下部電極33との間に電圧を印加しても、周囲の圧電体31に引っ張られて、圧力室21の上部の圧電体31の伸縮が阻害される可能性がある。そこで、第2の実施の形態では、上部電極35及び第2上部電極37が接続された駆動回路39から、第2上部電極37に、上部電極35とは逆極性の駆動信号が与えられる。つまり、上部電極35の下の圧電体31が伸びる時には、第2上部電極37の下の圧電体31が縮み、上部電極35の下の圧電体31が縮む時には第2上部電極37の下の圧電体31が伸びるように駆動される。これによって、圧力室21の上の圧電体31の作用部31pだけを伸縮させることができるため、圧力室21の上の圧電体31の作用部31pの変位を大きくすることができる。図9bに、副室23の上から圧力室21の上および第2副室25の上の圧電体31にかかる応力の様子を実線で示す。一方、図12bの参考例における応力の様子を破線で示す。第1の実施の形態と同様に、参考例での応力集中が、副室23から圧力室21および第2副室25全体に分散され、大きく緩和されていることが分かる。さらに、図9cに、圧力室21の上の圧電体31の変位のグラフを実線で示す。破線で示した図12cの参考例の電気機械変換素子1の変位に比べて、変位量が増加していることが分かる。この第2の実施の形態によれば、圧電体および上部電極の引出部の破壊を防止し、圧力室の上の駆動膜の変位を保ちながら、上部電極の配線を引き出すことのできる電気機械変換素子を提供することができる。ここで、上述した第2の実施の形態の電気機械変換素子の第1の応用例について説明する。第1の応用例は、第1の実施の形態と同じく、医療診断用の超音波プローブの送受信素子である。ここでは、第1の実施の形態と同様に、図8に示した電気機械変換素子1を基板上に複数個2次元に配列したものを、超音波プローブの送受信素子として用いる。超音波の送信時は、上部電極35と下部電極33との間に送信する超音波の周波数に相当する周波数の交流電圧を印加し、第2上部電極37と下部電極33との間には、これとは逆極性の交流電圧を印加することで行える。受信時は、被検体で反射された超音波は、電気機械変換素子1の圧力室21に入射し、圧力室21上部の壁面21aの上の従動膜13と駆動膜30とを振動させる。この時、従動膜13と駆動膜30とは、S字状に湾曲するので、圧力室21の上の圧電体31の中心部と周辺部とでは湾曲方向が逆になる、つまり一方が伸びて一方が縮むので、圧電効果によって、逆極性の電圧が生じる。この逆極性の電圧を上部電極35と第2上部電極37とで検出して、その差分をとることで、上部電極35だけで検出するよりも出力電圧を大きくすることができ、結果としてS/N比が改善され、高性能化が達成できる。続いて、第2の実施の形態の電気機械変換素子の第2の応用例について、図10を用いて説明する。図10は、第2の実施の形態の電気機械変換素子の第2の応用例を示す模式図である。第2の応用例も、第1の実施の形態と同じく、インクジェットプリンタ用ヘッドである。図10の例が図7の例と異なる点は、ノズル連通口45とインク吐出ノズル55とを、圧力室21の下部ではなく、第2副室25の端部の下部に設けた点である。これによって、インク流入口43と同様に、インク吐出ノズル55も、圧力室21から離れたところに配置できるために、圧力室21の圧力を集中して受けることがなく、インクの流れがスムーズになる。その他の点は、図7に示した第1の実施の形態の第2の応用例と同じであるので、説明は省略する。なお、本実施形態で説明した電気機械変換素子の細部の構成および動作に関しては、本発明の趣旨を逸脱することのない範囲で適宜変更可能である。