真空ポンプから排気されるガスを処理対象ガスとして燃焼により除害する燃焼炉と、前記真空ポンプから排気されるガスを前記処理対象ガスとして前記燃焼炉へ導く通常ライン配管と、前記真空ポンプから排気されるガスを前記燃焼炉以外へ導くバイパスライン配管と、前記通常ライン配管と前記バイパスライン配管とを選択的に切り換えるライン切り換えバルブと、を備えた除害装置において、前記通常ライン配管内に不活性ガスを供給することにより前記通常ライン配管内に前記ライン切り換えバルブから前記燃焼炉へ向うガスの流れを形成するガス供給手段を設けたことを特徴とする除害装置。前記ガス供給手段による前記不活性ガスの供給は、前記ライン切り換えバルブの操作によって使用する配管が前記通常ライン配管から前記バイパスライン配管に切り換えられた時より開始されることを特徴とする請求項1に記載の除害装置。前記ガス供給手段による前記不活性ガスの供給は、前記ライン切り換えバルブの操作によって使用する配管が前記バイパスライン配管に切り換えられている状態で、前記燃焼炉の炉内温度が除害可能な温度に達する前より開始されることを特徴とする請求項1に記載の除害装置。前記通常ライン配管から前記バイパスライン配管への切り換えは、前記ライン切り換えバルブに対して出力されるバルブ切り換え信号に基づいて行われ、前記ガス供給手段による前記不活性ガスの供給は、前記バルブ切り換え信号に基づいて開始されることを特徴とする請求項2に記載の除害装置。前記不活性ガスの供給量は、少なくとも前記通常ライン配管内で前記ライン切り換えバルブから前記燃焼炉へ向う前記処理対象ガスの流量と同等量であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の除害装置。前記不活性ガスは、窒素ガスであることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の除害装置。本発明は前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは逆火現象や高温ガスの循環流の発生を防止でき、装置の稼動効率の向上を図るのに好適な除害装置を提供することにある。前記目的を達成するために、本発明は、真空ポンプから排気されるガスを処理対象ガスとして燃焼により除害する燃焼炉と、前記真空ポンプから排気されるガスを前記処理対象ガスとして前記燃焼炉へ導く通常ライン配管と、前記真空ポンプから排気されるガスを前記燃焼炉以外へ導くバイパスライン配管と、前記通常ライン配管と前記バイパスライン配管とを選択的に切り換えるライン切り換えバルブと、を備えた除害装置において、前記通常ライン配管内に不活性ガスを供給することにより前記通常ライン配管内に前記ライン切り換えバルブから前記燃焼炉へ向うガスの流れを形成するガス供給手段を設けたことを特徴とする。前記本発明において、前記ガス供給手段による前記不活性ガスの供給は、前記ライン切り換えバルブの操作によって使用する配管が前記通常ライン配管から前記バイパスライン配管に切り換えられた時より開始されるようにすることができる。また、前記本発明において、前記ガス供給手段による前記不活性ガスの供給は、前記ライン切り換えバルブの操作によって使用する配管が前記バイパスライン配管に切り換えられている状態で、前記燃焼炉の炉内温度が除害可能な温度に達する前より開始されるようにすることができる。前記本発明において、前記通常ライン配管から前記バイパスライン配管への切り換えは、前記切り換えバルブに対して出力されるバルブ切り換え信号に基づいて行われ、前記ガス供給手段による前記不活性ガスの供給は、前記バルブ切り換え信号に基づいて開始されるように構成してもよい。前記本発明において、前記不活性ガスの供給量は、少なくとも前記通常ライン配管内で前記ライン切り換えバルブから前記燃焼炉へ向う前記処理対象ガスの流量と同等量であるものとしてもよい。前記本発明において、前記不活性ガスは、窒素ガスとして説明しているが、窒素ガス以外の不活性ガスを採用してもよい。本発明にあっては、除害装置の具体的な構成として、通常ライン配管内に不活性ガスを供給することにより通常ライン配管内にライン切り換えバルブから燃焼炉へ向うガスの流れを形成するガス供給手段を設けた。このため、例えば、ライン切り換えバルブの操作による通常ライン配管からバイパスライン配管への切り換え時に、通常ライン配管内にライン切り換えバルブから燃焼炉に向うガスの流れを強制的に形成でき、そのようなガスの流れによって前述の逆火現象や高温ガスの循環流の発生を防止することができる。したがって、逆火現象による除害装置の非常停止がなくなること、及び、高温ガスの循環流による配管の破損や破損した配管の交換のために除害装置を停止することがなくなり、除害装置の稼動効率の向上を図れる。以下、本発明の実施形態について、願書に添付した図面を参照しながら説明する。《除害装置の概要》図1は、本発明の一実施形態である除害装置の説明図である。同図の除害装置1は、真空ポンプPから排気されるガスを燃焼によって除害する燃焼炉2と、真空ポンプPから排気されるガスを燃焼炉2へ導く通常ライン配管3と、真空ポンプPから排気されるガスを燃焼炉2以外へ導くバイパスライン配管5と、通常ライン配管3とバイパスライン配管5とを選択的に切り換えるライン切り換えバルブ6と、燃焼炉2及びライン切り換えバルブ6を含む機器類を統括制御する制御部以下除害装置制御部7というとを備えている。また、同図の除害装置1は、前記通常ライン配管3内へ不活性ガスを供給することにより前記通常ライン配管3内に前記ライン切り換えバルブ6から前記燃焼炉2へ向うガスの流れを形成する手段として、ガス供給手段8を設けている。本実施形態では、真空ポンプPから排気されるガスをバイパスライン配管5によりガス処理部4例えば本除害装置1を設置する工場内の既設のガス処理施設などへ導くようにしているが、ガス処理部4以外へ前記ガスを導くようにしてもよい。《燃焼炉2の詳細構成》前記燃焼炉2は、燃焼室21と、その燃焼室21に連通する複数図1の例では6つの燃焼通路22Aを備えた燃焼ヘッド22とを備えており、真空ポンプPから排気されるガスは、通常ライン配管3から燃焼ヘッド22の各燃焼通路22Aを経由して燃焼室21に流入するように構成してある。燃焼室21では燃焼によってガスを除害するが、このガスの除害は燃焼ヘッド22の各燃焼通路22Aでも行われる。《通常ライン配管3の詳細構成》前記通常ライン配管3は、主配管31と、主配管31から分岐した複数図1の例では6つの分岐配管32とからなるとともに、主配管31の上流端をライン切り換えバルブ6に連通接続し、それぞれの分岐配管32の下流端を燃焼炉2の燃焼ヘッド22に連通接続することにより、ライン切り換えバルブ6を介して、真空ポンプPから排気されるガスを燃焼炉2へ導くように構成してある。図1の除害装置1では、ライン切り換えバルブ6の下流で、かつ、通常ライン配管3の上流具体的には主配管31の上流に、熱電対などの温度センサ以下管内温度センサ9というを設置することで、通常ライン配管3内で生じ得る逆火を検知できるように構成してある。また、同図の除害装置1では、管内温度センサ9の上流から通常ライン配管3内に少量の不活性ガス本例では窒素ガスを供給することにより、管内温度センサ9を逆火から保護している。なお、この管内温度センサ9で検知した温度は温度検知信号として除害装置制御部7へ出力される。また、図1の除害装置1においては、通常ライン配管3を構成するそれぞれの分岐配管32に、圧力計10を設置することにより、通常ライン配管3の内部圧力を監視できるように構成してある。また、同図の除害装置1では、圧力計10の保護のため、分岐配管32から圧力計10へ計測対象圧力を導入する圧力導入管11に、少量の不活性ガス本例では窒素ガスを供給している。《バイパスライン配管5の詳細構成》前記バイパスライン配管5は、その上流端をライン切り換えバルブ6に連通接続し、その下流端を燃焼炉2以外のガス処理部4に連通接続することにより、ライン切り換えバルブ6を介して、真空ポンプPから排気されるガスを前記ガス処理部4へ導くように構成してある。《ライン切り換えバルブ6の詳細構成》前記ライン切り換えバルブ6は、例えば3方弁からなるとともに、除害装置制御部7から出力されるバルブ切り換え信号に基づいて作動し、使用する配管を通常ライン配管3からバイパスライン配管5に切り換えたり、バイパスライン配管5から通常ライン配管3に切り換えたりする手段として機能する。《ガス供給手段8の詳細構成》前記ガス供給手段8は、ライン切り換えバルブ6より下流で、管内温度センサ9より上流の通常ライン配管3図1の例では主配管31に、不活性ガスのガス供給管81を接続するとともに、そのガス供給管81に設けてある開閉バルブ82の操作により、図示しない不活性ガス供給装置からガス供給管81を通じて通常ライン配管3内に不活性ガス本例では窒素ガスを供給したり、その供給を停止したりすることができるように構成してある。通常ライン配管3内でライン切り換えバルブ6から燃焼炉2へ向う処理対象ガス排気ポンプから排気されるガスの流れオンライン流が存在するときは、オンライン流によって逆火現象は抑制される。しかしながら、ライン切り換えバルブ6の操作によって使用する配管が通常ライン配管3からバイパスライン配管5に切り換えられた時は、前記オンライン流が突然消滅し、ライン切り換えバルブ6近傍で通常ライン配管3内が負圧になり、それまで抑制されていた逆火現象が発生し易くなる。また、使用する配管がバイパスライン配管5に切り換えられている状態で、燃焼炉2の炉内温度が除害可能な温度に達した時も、前記オンライン流が存在しないことから、同様に逆火現象が発生し易くなると考えられる。そこで、図1の除害装置1では、ライン切り換えバルブ6の操作によって使用する配管が通常ライン配管3からバイパスライン配管5に切り換えられた時に、ガス供給手段8から通常ライン配管3内へ不活性ガスの供給を開始したり、ライン切り換えバルブ6の操作によって使用する配管がバイパスライン配管5に切り換えられている状態で、燃焼炉2の炉内温度が除害可能な温度に達する前より、ガス供給手段8から通常ライン配管3内へ不活性ガスの供給を開始したりすることで、前記オンライン流と同等な流れが通常ライン配管3内に形成されるようにして、逆火現象の発生を防止している。以上のことより、ガス供給手段8による不活性ガスの供給量は、少なくとも前記オンライン流通常ライン配管3内でライン切り換えバルブ6から燃焼炉2へ向う処理対象ガスの流れの流量と同等量であることが望ましい。なお、バイパスライン配管5に流れるガスの流量がオンライン流の流量と略等しいなら、ガス供給手段8による不活性ガスの供給量は、少なくともバイパスライン配管5に流れるガスの流量と同等量としてもよい。ガス供給手段8による不活性ガスの供給量は、前記同等量より少なくしたり多くしたりすることも可能である。しかし、その供給量が前記同等量より少なくなると、その減少割合に応じて逆火現象の抑制効果が薄れ、逆火現象を防止することができない。この一方、かかる供給量が前記同等量より極端に多くなると、燃焼炉2の火炎を吹き消してしまうという不具合が生じる。《除害装置制御部7の詳細構成》前記除害装置制御部7は、少なくとも下記1から7の機能を有する。1図1の除害装置1を起動するスイッチ以下起動スイッチというのONをトリガとして、図示しない燃料供給装置に対して燃料供給開始信号を出力することで、燃料供給装置から燃焼炉2へ燃料と空気の混合燃料ガスを供給させる機能。2真空ポンプPの図示しないポンプ制御装置から出力される後述の初期排気信号や前述の温度検知信号を受信する機能。3前記初期排気信号の受信をトリガとして、ライン切り換えバルブ6に対してバルブ切り換え信号を出力する機能。4受信した前記温度検知信号より通常ライン配管3内の温度を監視し、通常ライン配管3内の温度が逆火現象時の温度かどうかを判定することで、通常ライン配管3内における逆火現象を検知する機能。5逆火現象の検知をトリガとして、前記燃料供給装置に対して燃料供給停止信号を出力することにより、燃料供給装置から燃焼炉2への前記混合燃料ガスの供給を停止させる機能。6ガス供給手段8の開閉バルブ82に対してバルブ開信号やバルブ閉信号を出力することにより、当該開閉バルブ82を操作し、ガス供給手段8から通常ライン配管3内への不活性ガスの供給を開始させたり停止させたりする機能。7燃焼炉2に設けた図示しない温度センサ以下炉内温度センサというから出力される温度検知信号を受信し、受信した温度検知信号に基づいて燃焼炉2内の温度を監視する機能。《除害装置1の動作説明》次に、図1の除害装置の動作について図2、図3を基に説明する。図2は、図1の除害装置1の起動から通常停止までの同装置の運転状態を示したタイムチャート図である。このタイムチャート図を参照すると、図1の除害装置1では、時刻t0で起動スイッチをONにすることにより、図示しない燃料供給装置から燃焼炉2に対して燃料と空気の混合燃料ガスが供給され、時刻t0直後の着火により燃焼炉2において燃焼を開始する。そして、燃焼開始から所定時間を経過した時刻t1で燃焼炉2の炉内温度が除害可能温度を超え着火完了、同時刻t1より処理対象ガス真空ポンプPから排気されるガスの燃焼による除害が可能になる。着火による燃焼開始から燃焼炉の炉内温度が除害可能温度を超える着火完了までの間時刻t0直後からt1は、除害準備中のため、燃焼炉2において、真空ポンプPから排気されるガスを燃焼により除害することはできない。このため、図1の除害装置1では、その間時刻t0直後からt1、ライン切り換えバルブ6により使用する配管を通常ライン配管3からバイパスライン配管5へ切り換え、真空ポンプPから排気されるガスをバイパスライン配管5で燃焼炉2以外のガス処理部4へ送るようにしている。また、図1の除害装置1では、着火完了により除害可能になったら、その後の例えば時刻t2で、ライン切り換えバルブ6により使用する配管をバイパスライン配管5から通常ライン配管3に切り換え、真空ポンプPから排気されるガスを処理対象ガスとして通常ライン配管3で燃焼炉2へ送る。《逆火発生例その1》ところで、着火完了の時刻t1から通常ライン配管3に切り換る時刻t2までの間は、前述の通り、真空ポンプPから排気されるガスがバイパスライン配管5で燃焼炉2以外のガス処理部4に送られるので、通常ライン配管3内にライン切り換えバルブ6から燃焼炉2へ向う処理対象ガスの流れオンライン流は生じない。このため、その間時刻t1からt2は逆火現象や高温ガスの循環流が発生し易くなる。そこで、図1の除害装置1においては、時刻t2でバイパスライン配管5から通常ライン配管3への切り換えが行われる前より図2の例では時刻t0、ガス供給手段8から通常ライン配管3内へ不活性ガスの供給を開始することで、前記オンライン流と同等な流れが通常ライン配管3内に生成されるようにして、逆火現象や高温ガスの循環流の発生を防止している。なお、図2の例では、通常ライン配管3への切換えが行われる前より不活性ガスの供給を開始する手段として、時刻t0での起動スイッチのONをトリガとして、除害装置制御部7からガス供給手段8の開閉バルブ82に対してバルブ開信号を出力するようにしているが、これとは別の方式で不活性ガスの供給を開始してもよい。前述のように着火完了の時刻t1から逆火現象や高温ガスの循環流が発生しやすくなるから、着火完了と同時刻t1から前記不活性ガスの供給を開始する方法も考えられる。しかし、不活性ガスの供給によって前記オンライン流と同等な流れを通常ライン配管3内に生成するには多少時間がかかるので、着火完了の時刻t1より少し早めに不活性ガスの供給を開始することが好ましいと考えられる。前記のように時刻t2で通常ライン配管3に切り換えられた後は、真空ポンプPから排気されるガスが通常ライン配管3を通って燃焼炉2へ移行し、通常ライン配管3内にライン切り換えバルブ6から燃焼炉2へ向う処理対象ガスの流れオンライン流が形成され、オンライン流によって逆火現象や高温ガスの循環流の発生は防止される。そのため、図1の除害装置1では、通常ライン配管3への切り換えに連動して、時刻t2で、ガス供給手段8から通常ライン配管3内への不活性ガスの供給を停止している。なお、このような通常ライン配管3への切り換えと不活性ガスの供給停止との連動は、例えば、除害装置制御部7からライン切り換えバルブ6に対して出力されるバルブ切り換え信号と同時に、ガス供給手段8の開閉バルブ82に対してバルブ閉信号を出力する方式によって実現してもよい。《逆火発生例その2》次に、時刻t3では、真空ポンプPにおいて大流量のプロセスガスを排気する動作初期排気が開始され、この初期排気の開始と継続を知らせる初期排気信号が真空ポンプPの図示しないホンプ制御装置から除害装置制御部7に対して出力される。かかる初期排気信号を受信した除害装置制御部7は、初期排気信号の受信をトリガとして、ライン切り換えバルブ6に対してバルブ切り換え信号を出力する。これにより、図1の除害装置1においては、ライン切り換えバルブ6により使用する配管を通常ライン配管3からバイパスライン配管5へ切り換え、真空ポンプPから排気される大流量のプロセスガスをバイパスライン配管5で燃焼炉2以外のガス処理部4へ送る。ところで、初期排気の開始時刻t3からその終了時刻t4までの間は、前述の通り、真空ポンプPから排気されるガスがバイパスライン配管5で燃焼炉2以外のガス処理部4に送られることから、通常ライン配管3内においてライン切り換えバルブ6から燃焼炉2へ向う処理対象ガスの流れオンライン流は消滅する。このため、その間時刻t3からt4は逆火現象や高温ガスの循環流が発生し易くなる。そこで、図1の除害装置1においては、時刻t3で通常ライン配管3からバイパスライン配管5への切り換えが行われる動作に連動して、使用する配管が通常ライン配管3からバイパスライン配管5に切り換えられた時よりガス供給手段8から通常ライン配管3内へ不活性ガスの供給を開始することで、前記オンライン流と同等な流れが通常ライン配管3内に生成されるようにして、逆火現象及び高温ガスの循環流の発生を防止している。なお、このようなバイパスライン配管5への切り換えと不活性ガスの供給開始との連動は、例えば、除害装置制御部7からライン切り換えバルブ6に対して出力されるバルブ切り換え信号と同時に、ガス供給手段8の開閉バルブ82に対してバルブ開信号を出力する方式によって実現してもよい。時刻t4で初期排気が終了した後は、真空ポンプPから排気されるガスが処理対象ガスとして通常ライン配管3を通って燃焼炉2へ移行し、通常ライン配管3内にライン切り換えバルブ6から燃焼炉2へ向う処理対象ガスの流れオンライン流が形成され、このオンライン流によって逆火現象が防止される。そのため、図1の除害装置1においては、初期排気が終了した時点時刻t4での通常ライン配管3への切り換えに連動して、ガス供給手段8から通常ライン配管3内への不活性ガスの供給を停止している。なお、このような通常ライン配管3への切り換えと不活性ガスの供給停止との連動もまた、先に説明した方式によって実現してもよい。前記のように通常ライン配管3を通じて燃焼炉2へ送られた処理対象ガス真空ポンプから排気されたガスは、燃焼によって除害され、外部へ排気される。《逆火発生例その3》また、図1の除害装置1では、時刻t6で起動スイッチをOFFとすることにより、通常停止の処理動作として、Aライン切り換えバルブ6による通常ライン配管3からバイパスライン配管5への切り換え動作を行うとともに、B燃焼炉2への混合ガスの供給停止等といった消火動作と、Cガス供給手段8から通常ライン配管3内への不活性ガスの供給動作を開始する。前記Cの不活性ガスの供給動作は、具体的には、起動スイッチのOFFをトリガにして、時刻t6より除害装置制御部7において図示しないタイマが作動し、同時刻t6よりガス供給手段8から通常ライン配管3内へ不活性ガスの供給を開始することにより、前記オンライン流と同等な流れを通常ライン配管3内に形成するものである。そして、前記タイマで測定した時間が所定時間停止シーケンスを経過したら、ガス供給手段8による不活性ガスの供給は停止される。起動スイッチのOFFにより行われる前記消火動作の開始直後は、燃焼炉2内に燃え残りの火炎や高温ガスが存在するため、バイパスライン配管5への切り換えによって逆火現象や高温ガスの循環流が発生する可能性が考えられる。しかし、図1の除害装置1においては、先に説明したように起動スイッチのOFFと同時に行われる消火動作の開始時刻t6から通常ライン配管3内へ不活性ガスの供給を行うことにより、通常ライン配管3内に前記オンライン流と同等な流れが生成されるようにしているので、燃え残りの火炎や高温ガスによる逆火現象及び高温ガスの循環流の発生を防止することができる。図3は、図1の除害装置1の起動からその後に非常停止が行われたときの同装置の運転状態を示したタイムチャート図である。なお、この図3のタイムチャート図において時刻t0からt4までの間に行われる同図の除害装置1の動作は、先に図2のタイムチャート図で説明した動作と同様であるため、その詳細説明は省略し、時刻t4以降に行われる除害装置の動作について説明する。時刻t5で、管内温度センサ9から出力される温度検知信号に基づいて除害装置制御部7が逆火現象を検出したら、図1の除害装置1においては、その逆火現象の検知をトリガにして、非常停止の処理動作、具体的にはAライン切り換えバルブ6による通常ライン配管3からバイパスライン配管5への切り換え動作を行うとともに、B前述の消火動作とCガス供給手段8から通常ライン配管3内への不活性ガスの供給動作を開始する。その後、同図の除害装置1では、起動スイッチのOFFをトリガにして、時刻t6より除害装置制御部7において図示しないタイマが作動し、このタイマで測定した時間が所定時間停止シーケンスを経過したら、ガス供給手段8による不活性ガスの供給は停止する。なお、起動スイッチのOFFをトリガにして行われる不活性ガスの供給停止は、例えば前述の図示しない炉内温度センサで検出した燃焼炉2の炉内温度が逆火現象の生じない温度に達したら不活性ガスの供給を停止する方式を採用することもできる。以上説明した本実施形態の除害装置にあっては、その具体的な構成として、通常ライン配管3内に不活性ガスを供給することにより通常ライン配管3内にライン切り換えバルブ6から燃焼炉2へ向うガスの流れを形成する手段として、ガス供給手段8を設けた。このため、本除害装置1の起動時など、燃焼炉2の炉内温度が除害可能な温度に到達していない状態の時に、ライン切り換えバルブ6の操作によって使用する配管がバイパスライン配管5に切り換えられている場合や、前述の初期排気が行われる時に使用する配管がバイパスライン5に切り換えられた場合でも、ガス供給手段8から通常ライン配管3内への不活性ガスの供給により、通常ライン配管3内にライン切り換えバルブ6から燃焼炉2に向うガスの流れが強制的に形成され、そのようなガスの流れによって逆火現象や高温ガスの循環流の発生を防止することができる。したがって、逆火現象による除害装置1の非常停止がなくなること、及び、高温ガスの循環流による配管の焼損や焼損した配管の交換のために除害装置を停止することがなくなり、除害装置1の稼動効率の向上を図れる。