トーションバーと、前記トーションバーに取り付けられた揺動体と、前記揺動体またはトーションバーに取り付けられた第1磁界発生手段と、前記第1磁界発生手段が発生する磁界に対応した磁界を発生し、前記トーションバーを変形させて前記揺動体を回動させる第2磁界発生手段と、前記トーションバーの一部が所定量以上変位したときに、前記トーションバーの一部に接触して、前記トーションバーの変位を所定範囲内に規制する1つまたは複数の規制部材とを有し、前記規制部材は、前記トーションバーの長さ方向に対して直交した複数の方向から前記トーションバーの変位を規制することを特徴とする振動素子。前記規制部材は、前記トーションバーを挿通される開口部を有し、前記トーションバーは、前記開口部に挿通された状態で、前記トーションバーの長さ方向の周りに回動することを特徴とする請求項1に記載の振動素子。前記揺動体は、前記トーションバーの一端から他端までの間に取り付けられており、前記規制部材は、前記トーションバーの一端が挿通される前記開口部を有した筒状部材であることを特徴とする請求項2に記載の振動素子。前記トーションバーの長さ方向に対して直交した方向における前記トーションバーの断面形状は円形であり、前記トーションバーの長さ方向に対して直交した方向における前記開口部の断面形状は、円形または多角形であることを特徴とする請求項2または3に記載の振動素子。前記規制部材は、前記揺動体よりも前記トーションバーの一端に近い側に設けられた第1規制部材と、前記揺動体よりも前記トーションバーの他端に近い側に設けられた第2規制部材とを含むことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の振動素子。前記規制部材は、前記トーションバーの長さ方向を法線方向とする平面上において前記トーションバーの全方位の変位を規制することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の振動素子。トーションバーと、前記トーションバーに取り付けられた揺動体と、前記揺動体に設けられた光反射面と、前記光反射面に光を照射する光源と、前記揺動体またはトーションバーに取り付けられた第1磁界発生手段と、前記第1磁界発生手段が発生する磁界に対応した磁界を発生し、前記トーションバーを変形させて前記揺動体を回動させることで、前記光を前記光反射面によって走査させる第2磁界発生手段と、前記トーションバーの一部が所定量以上変位したときに、前記トーションバーの一部に接触して、前記トーションバーの変位を所定範囲内に規制する1つまたは複数の規制部材とを有することを特徴とする光走査装置。請求項7に記載の光走査装置を備え、当該光走査装置によって走査された光によってスクリーンに画像を投影することを特徴とする画像投影装置。請求項7に記載の光走査装置と、像担持体とを備え、当該光走査装置によって走査された光によって当該像担持体に画像を形成することを特徴とする画像形成装置。特許文献1では、トーションバーの断面形状が矩形形状であるためZ方向のみの変位を制限すればよい。しかし、トーションバーを断面形状が円形のワイヤーまたは線材を用いて構成すると、外部からの衝撃によりトーションバーがあらゆる方向に変位する可能性が高い。これは、トーションバーが一定方向に変位しないからである。よって、一定方向の変位のみを制限するだけでは耐衝撃性に対する対策が不十分である。本発明は、従来技術よりも耐衝撃性に優れた振動素子、光走査装置および画像投影装置並びに画像形成装置を提供することを目的とする。本発明は、たとえば、トーションバーと、前記トーションバーに取り付けられた揺動体と、前記揺動体またはトーションバーに取り付けられた第1磁界発生手段と、前記第1磁界発生手段が発生する磁界に対応した磁界を発生し、前記トーションバーを変形させて前記揺動体を回動させる第2磁界発生手段と、前記トーションバーの一部が所定量以上変位したときに、前記トーションバーの一部に接触して、前記トーションバーの変位を所定範囲内に規制する1つまたは複数の規制部材とを有し、前記規制部材は、前記トーションバーの長さ方向に対して直交した複数の方向から前記トーションバーの変位を規制することを特徴とする振動素子を提供する。また、この振動素子を利用した光走査装置、画像投影装置および画像形成装置を提供する。本発明によれば、トーションバーの長さ方向に対して直交した複数の方向からトーションバーの変位を規制することで、トーションバーの変位を所定範囲内に規制する1つまたは複数の規制部材が採用されている。これにより、従来技術よりも耐衝撃性に優れた振動素子、光走査装置および画像投影装置並びに画像形成装置が提供される。図1ないし図4を用いて振動素子について説明する。図1において振動素子30の細長いトーションバー31の一端には揺動体32が取り付けられており、他端は枠体21に取り付けられている。トーションバー31はねじり梁と呼ばれることもある。揺動体32は、第1の板部材33、第2の板部材34によって形成されている。揺動体32の内部には磁石35が設けられている。磁界発生部70は、磁石35が発生する磁界に対応した磁界を発生するコイルにより構成されている。図2によれば、振動素子30は、さらに、ベース20およびカバー部材40を備えていることが示されている。揺動体32には、光源からの光が入射するまたは照射される光反射面311が形成されている。ベース20は、トーションバー31や磁界発生部70、カバー部材40を支持する支持構造体である。枠体21は、基板22上に設けられ、基板22の周縁部を取り囲み、ベース20の外周縁部を構成している。基板22上には磁界発生部70のシートコイルが設けられている。基板22は、保持部材23によって保持されている。カバー部材40は、光学的に透明な部材により形成されている。なお、カバー部材40のうち、光反射面311に対して入射する光が透過する部分だけが光学的に透明な部材により形成されていれば十分である。カバー部材40は、ベース20の枠体21の上に重ね合わされている。カバー部材40、枠体21、基板22および保持部材23は一体的に接合される。これらによって形成された内部空間Sには、棒状の細長いトーションバー31と、これに支持される揺動体32が収容されている。図3によれば、揺動体32を、トーションバー31の長さ方向に直交した方向で切断して得られた切断面を示している。揺動体32は、トーションバー31の長さ方向の回りに回動する。ここでは、揺動体32の揺動による光反射面311の振れ角をαとしている。第1の板部材33および第2の板部材34は、それぞれの接合面332、342を介して密着接合されている。図4によれば、理想揺動軸線ARに対して、トーションバー31の長手方向軸線O-Oが傾いている状態が示されている。本実施例に係るトーションバー31は、図9に示されるように、感光ドラム204の回転軸線に対して直交する軸線以下、これを理想揺動軸線ARというに沿って延在する。すなわち、理想揺動軸線ARは、図9では、紙面に対して垂直な方向に延在する。理想揺動軸線ARに対してトーションバー31の長手方向軸線O-Oが傾いていると、走査のずれが生じるため、本実施例では、後述する規制部材を採用する。図4に示すように、トーションバー31が片持ち梁として支持されるように、トーションバー31の基端側がベース20の枠体21とカバー部材40との間に固定される。トーションバー31の末端は内部空間S内に配置される磁界発生部70のシートコイルの中央部分にまで延在している。トーションバー31は、その末端側において揺動体32を固定して支持している。したがって、トーションバー31の末端側に支持される揺動体32は、トーションバー31の長手方向軸線図2において、O-O線で表されている。を中心として、トーションバー31の弾性捩れを伴いつつ揺動する。このことから、トーションバー31の長手方向軸線O-Oが、理想揺動軸線ARと一致させるようにトーションバー31を形成することが望ましい。図1から図3に示した実施例では、長手方向軸線O-Oが理想揺動軸線ARと一致しているものとして描かれている。本実施例に係る揺動体32は、トーションバー31を挟んで相互に接合される同一寸法形状を有する2枚の矩形状板部材としての第1の板部材33および第2の板部材34を含んでいる。第1の板部材33および第2の板部材34は、それぞれの接合面332、342を介して密着接合されるとともに、接合面332、342のそれぞれは、トーションバー31の長手方向軸線O-Oと平行となるように設定される。また、第1の板部材33および第2の板部材34は、それぞれの接合面332、342が基板22に形成されたシートコイルの平面と略平行となるように、トーションバー31に対して接合される。図2および図3に示されているように、光反射面311は、第1の板部材33の接合面332と表裏の関係に位置し、カバー部材40に対向している。この光反射面311は、アルミニウムAlや金Auなどを第1の板部材33の表面に蒸着することによって形成されてもよいし、予めシリコンウエハのような鏡面加工された板状部材を第1の板部材33の表面に貼り付けることで形成されてもよい。光反射面311は、長手方向軸線O-Oと揺動体32の重心位置とを含む仮想平面に対して平行に配置される。第1の板部材33は、このように光反射面311を形成されることから光学ミラーを構成しているといえる。本実施例における素子駆動部は、揺動体32またはトーションバー31に固定される磁石35、ベース20に設けられている磁界発生部70のシートコイルおよびシートコイルに交流電流を与える電源回路不図示を備えている。素子駆動部は、トーションバー31、揺動体32、磁石35で構成される振動系の共振周波数に対応した交流電流を磁界発生部70のシートコイルに流し、交番磁界を発生させる。それにより、揺動体32内部に配置された磁石35が揺動体32の光反射面311を揺動軸線回りに揺動、すなわち、振れ回すことができる。したがって、この振動系の振幅、すなわち、揺動体32の光反射面311の振れ角αの大きさは、磁界発生部70のシートコイルに与えられる電流量によって調整可能である。交流電流の波形は、正弦波以外に三角波やパルス出力などであってもよい。実施例1図5Aないし図5Eに、規制部材50を有した振動素子30について示す。図5Aは振動素子30の斜視図である。図5Bは振動素子30の平面図である。図5Cは磁界発生部70および規制部材50の平面図である。図5Dは磁界発生部70および規制部材50の側面図である。図5Eはトーションバー31、揺動体32、70および磁石35の側面図である。本実施例では断面形状が円形のトーションバー31を軸とした振動素子30の構成を提案する。トーションバーの断面形状が円形の場合は、外部からの衝撃を受ける方向に依存してトーションバーがさまざまな方向へ変位してしまう。よって従来技術のように単に一方向のみにトーションバーの変位を規制するだけでは、耐衝撃対策が不十分であった。そこで本実施例では、複数の方向からの衝撃を低減させることが可能な構成を提案する。図5に示した構成では、トーションバー31はメインのトーションバー31aとサブのトーションバー31bとから構成されている。図5ではメインのトーションバー31aが揺動体32の上方に配置されているが、メインのトーションバー31aが揺動体32の下方に配置されていてもよい。磁石35は、揺動体32の下部に取り付けられている。磁界発生部70は、コイルを巻き回されたヨークによって構成されている。コイルに交流電流を流すことで、ヨークを通じて交番磁界が発生する。この交番磁界と磁石35の磁界とが作用することで、トーションバー31が回動する。なお、磁石35は、揺動体32またはトーションバー31に取り付けられた第1磁界発生手段として機能する。磁界発生部70は、第1磁界発生手段が発生する磁界に対応した磁界を発生し、トーションバーを変形させて揺動体を回動させる第2磁界発生手段として機能する。トーションバー31の変位を規制するために、図5では規制部材50が設けられている。規制部材50を配置する位置としては、揺動体32による光走査を阻害しない箇所であれば十分である。たとえば、トーションバー31の長さ方向に沿ったいずれかの箇所であればよいが、揺動体32の近傍であればあるほど、トーションバー31の変位に連動した揺動体32の変位を低減しやすい。図5に示すように、揺動体32を介してメインのトーションバー31aと対称な位置に新たな軸であるサブのトーションバー31bを設け、その軸を受ける軸受けを規制部材50としてもよい。揺動体32に当接せず、かつ、揺動体32に近接し、トーションバー31を包囲する位置に規制部材50を配置してもよい。また、規制部材50とトーションバー31との位置関係としては、トーションバー31が静止した状態および駆動されている状態のいずれにおいても両者が当接しておらず、外部からの衝撃が加わったときに瞬間的に両者が当接するものとする。よって、外部からの衝撃が無い限りは揺動体32の揺動が規制部材50によって妨げられない。図5に示した規制部材50は、筒状の規制部材である。規制部材50の先端には開口部51が設けられている。開口部51は穴状の開口である。開口部51の横断面形状は、サブのトーションバー31bの横断面形状と相似である。なお、横断面形状とは、トーションバー31の長さ方向に対して直交した方向における断面形状をいう。また、開口部51の横断面形状は、サブのトーションバー31bの横断面形状よりも若干大きい。これにより、トーションバー31の回動を可能にするためのクリアランスが確保される。クリアランスは、トーションバー31の許容変位を考慮して決定される。ところで、トーションバー31の断面形状が矩形である場合は、規制部材50の開口部51の断面形状は矩形とされてもよい。図6Aないし図6Gは、規制部材50の開口部51についてのさまざまな変形例を示している。図6Aは、開口部51の横断面形状が円形であることを示している。図6Bは、開口部51の横断面形状が矩形であることを示している。図6Cは、開口部51の横断面形状が正三角形であることを示している。図6Dは、開口部51の横断面形状が正六角形であることを示している。ここで、図6Bないし図6Dから、トーションバー31の横断面形状が円形の場合は開口部51の横断面形状が正多角形であればよいことを示している。つまり、多角形と内接円との関係実際にはクリアランスがあるため、内接しないがを満たせば、規制効果を期待できることになる。実際には、少なくとも3点支持が実現されれば、トーションバー31の複数の方向からの変位を規制できるため、開口部51の横断面形状は正多角形である必要はない。たとえば、複数の曲線により構成された開口形状でもよいし、曲線と直線とからなる開口形状でもよい。図6Eは、4本の規制部材50aないし50dにより構成された規制部材50を示している。図6Fは、3本の規制部材50eないし50gにより構成された規制部材50を示している。これらは、少なくとも3点支持が確保されればよいことを示している。また、必ずしもトーションバー31の周囲を360度にわたって包囲する必要がないことも示している。図6Gは、2つの規制部材50h、50iによって構成された規制部材50を示している。規制部材50h、50iのうち、トーションバー31の側面と対面する部分の横断面形状の一部が円の一部になっている。このような規制部材50であっても、十分にトーションバー31の変位を規制できることがわかる。また、必ずしもトーションバー31の周囲を360度にわたって包囲する必要がないこともわかる。ところで、規制部材50とトーションバー31との隙間を維持する補助機構として、磁石の反発を用いてもよい。つまり、トーションバー31に取り付けられた磁石と、規制部材50に取り付けられた磁石との反発を利用すれば、さらに、安定して隙間が維持されることになる。規制部材50を構成する材料としては、特に限定されず、各種金属材料や高分子材料を用いることができる。実施例2図7Aは、実施例2にかかる振動素子30を示している。実施例2の振動素子30では、揺動体32の片側のみにトーションバー31が配置されている。つまり、振動素子30は片持ち振動素子である。なお、すでに説明した部分には同一の参照符号を付与することで、説明の簡潔化を図ることにする。規制部材50は、ツバ52を有している。ツバ52は、支持部材38a、38bに取り付けられている。図7Bが示すように、規制部材50には、開口部51が設けられている。開口部51の横断面形状としては、すでに図6に示した通りである。つまり、図6Aないし図6Gに示した各種の規制部材50を実施例2でも採用できる。規制部材50を配置する位置としては、揺動体32による光走査を阻害しない箇所であれば十分である。つまり、トーションバー31の長さ方向に沿ったいずれかの箇所であれば十分であるが、揺動体32に近い位置であればあるほど、規制効果が高い。ところで、磁界発生部70のヨークが発熱することで温められた空気が上昇してくると、トーションバー31の温度が数°C上昇する。トーションバー31の共振周波数は温度依存性があるため、共振周波数が低周波数側へシフトしてしまう。よって、揺動体32とトーションバー31とを分離する箇所に規制部材50を設けることで、トーションバー31への熱伝導を抑制できるようになる。これにより、トーションバー31の共振周波数が安定しやすくなる。実施例2の規制部材50は、トーションバー31の下方に熱源を配置しなければならない場合に、特に有効であろう。このように、規制部材50は開口部51を有した熱遮蔽板としても利用可能である。なお、その他の点は基本的に実施例1と同様である。たとえば、規制部材50とトーションバー31との隙間を維持させる補助機構として、磁石の反発現象が利用されてもよい。また、規制部材50を構成する材料としては、各種金属材料や高分子材料であってもよい。実施例3図8Aは、実施例3にかかる振動素子30を示している。実施例3の振動素子30では、揺動体32の両側にトーションバー31が配置されている。つまり、振動素子30は両持ち振動素子である。トーションバー31の長手方向の両端部はベース20に固定されているものとする。つまり、揺動体32は、トーションバー31の長手方向の中央部の付近に配置されている。なお、すでに説明した部分には同一の参照符号を付与することで、説明の簡潔化を図ることにする。図8Aが示すように、実施例3では、揺動体32の両側に規制部材50を配置している。これにより、トーションバー31の変位をより一層に規制できるようになろう。また、両側からトーションバー31を規制するため、揺動体32と規制部材50との間隔を極端に短くする必要性は小さくなる。なお、図8Aに示した2つの規制部材50はそれぞれ、揺動体よりもトーションバーの一端に近い側に設けられた第1規制部材と、揺動体よりもトーションバーの他端に近い側に設けられた第2規制部材として機能する。図8Bは、実施例3にかかる振動素子30の側面図である。図8Cは、実施例3にかかる振動素子30の底面図である。揺動体32の両側に規制部材50を配置したため、実施例3では、トーションバー31の長さ方向に磁界発生部70を配置するスペースを確保できない。そこで、実施例3では、揺動体32の光反射面の反対側に磁界発生部70を配置している。なお、磁石35は、揺動体32に内蔵または揺動体32の光反射面の反対側に取り付けられている。これにより、光走査を阻害することなく、規制部材50を配置した振動素子30を実現できる。実施例1乃至3の効果このように実施例1ないし実施例3では、トーションバー31の長さ方向に対して直交した複数の方向からトーションバー31の変位を規制する規制部材50が採用されている。これにより、トーションバー31の一部が所定量以上変位したときに、トーションバー31の一部に規制部材50が接触する。これにより、複数方向からの衝撃を受けても、トーションバー31の変位を所定範囲内に規制することができる。トーションバー31と開口部51との間に所定のクリアランスが確保されているため、開口部51に挿通された状態で、トーションバー31の長さ方向の周りにトーションバー31は回動できる。実施例2ないし3では、規制部材50が熱遮蔽板としても機能するため、磁界発生部70が発熱しても、トーションバー31の共振周波数が大きくシフトしないようになる。トーションバー31の横断面形状は円形ではなく、矩形であってもよい。トーションバー31を回動可能にするためには、開口部51の横断面形状は円形となる。トーションバー31の横断面形状が多角形である場合は、開口部51の横断面形状を円形とすることで、複数方向からの衝撃に対処可能となる。つまり、図6Aや図6Gに示した規制部材50であれば、トーションバー31の横断面形状が多角形であってもよい。このように、図6に示した規制部材50であれば、トーションバー31の長さ方向を法線方向とする平面上においてトーションバー31の全方位の変位を規制できる。実施例1ないし3では、揺動体32またはトーションバー31に磁界発生手段としての磁石35を取り付け、ベース20側に磁界発生手段としての磁界発生部70を取り付けることを前提としている。しかし、揺動体32またはトーションバー31に磁界発生手段としてのコイルを取り付け、ベース20側に磁界発生手段としての磁石が取り付けられてもよい。また、双方ともコイルであってもよい。実施例2、3では、規制部材50を平板に設けられた開口部51によって、トーションバー31の一部が所定量以上変位したときに、トーションバー31の一部に接触して、トーションバー31の変位を所定範囲内に規制していた。実施例2、3においても実施例1と同様に規制部材50をスリーブ筒状部材としてもよい。材料など次に、振動素子30を構成するトーションバー31、揺動体32、磁石35などの材料について以下に述べる。トーションバー31を構成する材料としては、たとえば、加工硬化処理および時効硬化処理が施された加工硬化および時効硬化型のコバルトCo-ニッケルNi基合金が好適である。ここでいうCo-Ni基合金とは、CoおよびNiを含有する金属合金である。Co-Ni基合金は、好ましくは、積層欠陥エネルギーを低下させるクロムCrと、マトリクスの固溶強化や、偏析により転位を固着して時効および加工硬化能の向上に寄与する溶質元素としてモリブデンMo、鉄Feなどを含む。本実施例では、Co-Ni基合金として、Co-Ni-Cr-Mo合金やCo-Ni-Fe-Cr合金などを例示することができる。また、これらの合金は、溶質元素として同様の働きをするニオブNb、面心立方格子相を安定化させて積層欠陥エネルギーを低下させるマンガンMn、マトリクスの強化と積層欠陥エネルギーの低下に寄与するタングステンWなどを含むことができる。さらに、これらの合金は、鋳塊組織の微細化や強度向上に寄与するチタンTi、熱間加工性を改善するボロンBおよびマグネシウムMg、マトリクスに固溶してCr、Mo、Nbなどと炭化物を形成し、粒界を強化する炭素Cなどを含むことができる。このようにして、共振周波数が尖鋭且つ振動が共振周波数に対して線対称となるような特性、すなわちQ値が高くたとえば、1000以上且つバネ特性の非線形性が非常に小さなトーションバー31を得ることができる。このようなトーションバー31は、振動変形による最大歪みが3×10-3mm程度まで大きくなっても不安定性を生じることがなく、消費電力が少ない振動素子30を実現することができる。したがって、本実施例における画像形成装置200は、所望の疲労特性および振動特性を確保しつつ小型化することが可能であり、ジッターなどの不安定性を低減させて安定したレーザー光の走査が可能であり、走査角の高精度な制御が可能となる。なお、本実施例では、非磁性を示すCo-Ni基合金にてトーションバー31を形成しているが、これは、揺動体32をトーションバー31とともに揺動させる手段として、磁石と交番磁界を用いた場合、安定した駆動を実現することができるからである。したがって、素子駆動部207として、交番磁界以外の手段、たとえば、圧電素子などを利用することも可能である。トーションバー31の材料としては、バネ材料として一般的に用いられるSUS301、302、304、316、631、632などのステンレス鋼、バネ鋼SUP、ピアノ線SWP、バネ用炭素鋼のオイルテンパー線SWOなどを採用し得る。さらには、バネ用シリコンクロム鋼のオイルテンパー線SWOSC、バネ用ベリリウム銅合金C1700、C1720、バネ用チタン銅合金C1990、バネ用リン青銅C5210、バネ用洋白C7701なども採用することができる。揺動体32を構成する材料としては、アルミナ、ジルコニア、ベリリウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、サファイア、炭化ケイ素、二酸化ケイ素、ガラス、樹脂などの非磁性体を利用することができる。さらに、これらの表面を鏡面化することによって該表面を光反射面311として利用することも可能である。揺動体32を構成する第1の板部材33の上面に形成される光反射面311については、上述したように、反射率を向上させるために、AlやAuなどを蒸着やスパッタといった真空蒸着法によって形成してもよい。また、たとえば、チタンTi、Al、銅Cu、銀Ag、Auなどの金属膜が用いられてもよい。しかしながら、金属膜は、その表面が比較的傷付き易く、また、酸化し易い。よって、金属膜のみで光反射面311を形成すると、徐々に反射率が低下してしまう。そこで、金属膜を保護するための保護膜が必要となる場合がある。また、金属膜単層では光反射面311として所望の反射率が得られない恐れもある。したがって、保護膜に増反射膜としての機能を持たせ、光反射面311全体としての反射率を高めることができれば、金属膜を保護しつつ、光の利用効率をあげることができる。増反射膜は、たとえば、誘電体の低屈折率材料と高屈折率材料を組み合わせて積層することで形成される。低屈折率材料としては、たとえば、SiO2やMgF2がある。高屈折率材料としては、TiO2、Nb2O5、ZrO2、Ta2O5などがある。但し、Al2O3のような中間屈折率材料を積層してもよい。なお、増反射膜の材料をこれらのみに限る必要はなく、適宜最適な材料を選択することができる。また、揺動体32とともにトーションバー31に取り付けられる磁石35は、できるだけ小型軽量であって高い保持力を有することが好ましく、Nd-Fe-B系やSm-Co系の希土類磁石などが好適である。しかしながら、磁石35は、アルニコ磁石、Fe-Co-V合金磁石、Cu-Ni-Fe合金磁石、Cu-Ni-Co合金磁石、Fe-Cr-Co磁石、Pt-Co磁石などであってもよい。さらには、磁石35は、ハードフェライトBaフェライトやSrフェライトなどの焼結磁石やボンド磁石の他にスパッタ法などで形成した薄膜磁石であってもよく、材質や製造方法または形状などで特に制限されるものはない。画像形成装置上述した振動素子30の揺動体32に光反射面311を形成することで、振動素子30は光走査装置として機能する。光走査装置は、たとえば、画像形成装置や画像投影装置としてさらに応用できる。ここでは、まず、画像形成装置について説明する。図9に本実施例における電子写真方式の画像形成装置200を示す。感光ドラム204は、静電潜像やトナー画像を担持する像担持体である。感光ドラム204は、帯電部によって一様に帯電したあとに、露光部210によって光を照射され、静電潜像を形成される。静電潜像は、現像部によってトナー画像へと現像される。トナー画像は転写部によって記録媒体上に転写される。さらに、定着部においてトナー画像は記録媒体上に定着する。露光部210は、光走査装置220、周知のコリメータ光学系202及びfθレンズ203を備えている。光走査装置220は、画像情報に対応したパルス状のレーザー光Lを発振するためのレーザー光源201や上述した振動素子30を備えている。振動素子30が備える揺動体32の光反射面311が揺動することで、感光ドラム204の回転軸線と平行な方向にレーザー光Lが移動する。BDセンサ205は感光ドラム204の回転軸方向の両端に設けられており、レーザー光Lが入射したときに制御装置206へ検出信号を送出する。制御装置206は、BDセンサ205の検出信号に基づいて、素子駆動部207を駆動するための制御信号を出力する。素子駆動部207は、制御信号にしたがって振動素子30を駆動する。とりわけ、制御装置206は、振動素子30の揺動体32の揺動による光反射面311の振れ角αが感光ドラム204の表面の所定範囲内に収まるように、一対のBDセンサ205からの検出信号に基づいて素子駆動部207の出力電流をフィードバック制御する。画像信号に応じてレーザー光源201から出射するパルス状のレーザー光Lは、コリメータ光学系202を通って振動素子30の揺動体32の光反射面311に入射する。この光反射面311にて反射したレーザー光は、fθレンズ203を介して感光ドラム204の表面に照射される。振動素子30の揺動体32の光反射面311が揺動軸線、すなわちトーションバー31の長手方向軸線O-O、の回りに揺動振動する。これにより、レーザー光Lが感光ドラム204の回転軸線と平行な方向に走査される。さらに、感光ドラム204も回転することで、画像情報、すなわち、静電潜像が感光ドラム204の表面に形成されることになる。本実施例の画像形成装置200は上述した振動素子30を採用しているため、衝撃耐性が向上するため、安定して画像を形成できるようになる。画像投影装置実施例にかかる振動素子30を、オーバーヘッドプロジェクターなどの画像投影装置300に適用した実施例について図10を用いて説明する。本実施例においては、画像形成装置200に適用した実施例と同一の機能を有する構成要素については同一符号を記すに止め、重複する説明を省略する。画像投影装置300は、光源301、光走査装置220、光源301からの光を所定方向に変更させる光偏向装置302およびこの光偏向装置302により偏向した光が照射されるスクリーン304を備えている。光走査装置220は、スクリーン304に対して水平方向に光を走査し、光偏向装置302は、スクリーン304に対して垂直方向に光を走査する。このようにして、2次元走査が実現される。この光偏向装置302による光の偏向速度は、振動素子30の揺動体32の振動周期よりも相対的に遅くすることができる。よって、光偏向装置302は、制御装置206によって制御されるガルバノミラーで実現できる。RGB三原色を含む光源301から出射する光は、振動素子30および光偏向装置302により2次元走査され、スクリーン304に画像として投射される。振動素子30の主要部を構成する揺動体32の光反射面311の振れ角αは、制御装置206から出力される制御信号に基づいて素子駆動部207により調整される。また、光偏向装置302も同様に、制御装置206からの出力に基づき、揺動体32の理想揺動軸線に対して直行する軸線回りの振れ角が制御される。制御装置206には、スクリーン304に投影される画像情報が入力部303から伝達され、光源301からスクリーン304に至る光路の距離に関する情報が測距部305から入力される。制御装置206は、これら入力部303および測距部305からの情報に応じた投影画角や拡大率などの設定、像の大きさやその縦横比に基づき、振動素子30および光偏向装置302の走査角をそれぞれ変更する。なお、画像の拡大率は、走査角を変更せずとも光源301に対する通電のオン/オフ制御によっても可能である。しかしながら、走査角を変更することによって光源301のオフ時間を減らすことで、高輝度の画像をスクリーン304に投影することができる。本実施例の画像投影装置300も、加工硬化および時効硬化型のCo-Ni基合金からなるトーションバー不図示に揺動体を固定しているため、小型化に加えてジッターなどの不安定性を低減でき、走査角を変更した場合でも安定した動作が可能である。また、振動減衰率の歪み振幅依存性が小さいため、走査角を大きくした場合の急激な消費電力の増加も起こらない。さらに、光の有効利用によって光源301の駆動電力を低減することができる。これらのことから、小型化と併せて、素子駆動部207や電源の容量を低減させることが可能となり、小型で投影画角の大きな高性能の画像投影装置300を実現することができる。とりわけ、実施例1ないし実施例3の振動素子30を採用することで、衝撃耐性が向上するため、安定して画像を投影できるようになる。