"固定体44と、間隔を空けて相互に対向し、前記固定体44に各々の一端41a,42aが固定された第1板ばね部41および第2板ばね部42と、前記第1板ばね部41および前記第2板ばね部42の各々の他端41b,42b同士を接続する剛体43と、を有する平行ばね構造40と、前記第1板ばね部41および前記第2板ばね部42の各々の前記他端41b,42bを前記剛体43とともに並進振動させる駆動部45と、前記固定体44に一端50aが固定され、前記第1板ばね部41および前記第2板ばね部42と同一方向に延在する片持ち梁50,50Aと、を備え、前記平行ばね構造40における固有振動数と、前記片持ち梁50,50Aの固有振動数とは略同一である、平行移動機構。前記平行ばね構造40のばね定数をkとし、前記平行ばね構造40の前記他端側における集中荷重をmとし、前記片持ち梁50,50Aのばね定数をKとし、且つ前記片持ち梁50,50Aの前記他端側における集中荷重をMとした時、√k/m=√K/Mの関係が略成立している、請求項1に記載の平行移動機構。前記片持ち梁50は、前記第1板ばね部41の前記一端41aと前記第2板ばね部42の前記一端42aとの間における前記固定体44に固定されている、請求項1に記載の平行移動機構。前記片持ち梁50Aは、前記平行ばね構造40と同一の形状および大きさから構成される、請求項1に記載の平行移動機構。請求項1に記載の平行移動機構と、前記平行移動機構における前記平行ばね構造40の前記他端側の前記表面に設けられた移動鏡16と、固定鏡15と、光源12と、前記光源が出射した光を前記固定鏡に向かう光と前記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、前記固定鏡および前記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッター14と、前記干渉光を検出する検出器18と、を備える、マイケルソン干渉計。請求項5に記載のマイケルソン干渉計と、前記検出器が検出した前記干渉光のスペクトルを算出する演算部2と、前記演算部によって得られた前記スペクトルを出力する出力部3と、を備える、フーリエ変換分光分析装置。本発明は、高い平行度を維持した状態で所定の部材を平行移動させることが可能な平行移動機構、その平行移動機構を備えたマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置を提供することを目的とする。本発明に基づく平行移動機構は、固定体と、間隔を空けて相互に対向し、上記固定体に各々の一端が固定された第1板ばね部および第2板ばね部と、上記第1板ばね部および上記第2板ばね部の各々の他端同士を接続する剛体と、を有する平行ばね構造と、上記第1板ばね部および上記第2板ばね部の各々の上記他端を上記剛体とともに並進振動させる駆動部と、上記固定体に一端が固定され、上記第1板ばね部および上記第2板ばね部と同一方向に延在する片持ち梁と、を備え、上記平行ばね構造における固有振動数と、上記片持ち梁の固有振動数とは略同一である。好ましくは、上記平行ばね構造のばね定数をkとし、上記平行ばね構造の上記他端側における集中荷重をmとし、上記片持ち梁のばね定数をKとし、且つ上記片持ち梁の上記他端側における集中荷重をMとした時、√k/m=√K/Mの関係が略成立している。好ましくは、上記片持ち梁は、上記第1板ばね部の上記一端と上記第2板ばね部の上記一端との間における上記固定体に固定されている。好ましくは、上記片持ち梁は、上記平行ばね構造と同一の形状および大きさから構成される。本発明に基づく平行移動機構においては、上記平行ばね構造における固有振動数と上記片持ち梁の固有振動数とが略同一とは、上記平行ばね構造における固有振動数と上記片持ち梁の固有振動数との差異が±5以内であることを意味する。また、√k/m=√K/Mの関係が略成立しているとは、√k/mの値と√K/Mの値との差異が±5以内であることを意味する。本発明に基づくマイケルソン干渉計は、本発明に基づく平行移動機構と、上記平行移動機構における上記平行ばね構造の上記他端側の上記表面に設けられた移動鏡と、固定鏡と、光源と、上記光源が出射した光を上記固定鏡に向かう光と上記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、上記固定鏡および上記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッターと、上記干渉光を検出する検出器と、を備える。本発明に基づくフーリエ変換分光分析装置は、本発明に基づくマイケルソン干渉計と、上記検出器が検出した上記干渉光のスペクトルを算出する演算部と、上記演算部によって得られた上記スペクトルを出力する出力部と、を備える。本発明によれば、高い平行度を維持した状態で所定の部材を平行移動させることが可能な平行移動機構、その平行移動機構を備えたマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置を得ることができる。本発明に基づいた各実施の形態について、以下、図面を参照しながら説明する。各実施の形態の説明において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。各実施の形態の説明において、同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。[実施の形態1]フーリエ変換分光分析装置100マイケルソン干渉計1図1を参照して、本実施の形態におけるフーリエ変換分光分析装置100について説明する。フーリエ変換分光分析装置100は、マイケルソン干渉計1、演算部2、および出力部3を備えている。マイケルソン干渉計1は、分光光学系11、参照光学系21、および光路補正装置31を含んでいる。分光光学系11分光光学系11は、光源12、コリメート光学系13、ビームスプリッター14、固定鏡15、移動鏡16、集光光学系17、検出器18、および平行移動機構19を有している。光源12は、半導体レーザー等の発光素子から構成され、赤外光等の光を出射する。光源12が出射した光は、参照光学系21詳細は後述するにおける光路合成鏡23に導入され、参照光源22詳細は後述するが出射した光と合成される。合成された光は光路合成鏡23から出射され、コリメート光学系13によって平行光に変換された後、ビームスプリッター14に導入される。ビームスプリッター14はハーフミラー等から構成される。ビームスプリッター14に導入された光入射光は2光束に分割される。分割された光の一方は固定鏡15に照射される。固定鏡15に反射した光反射光は、反射前と略同一の光路を通過してビームスプリッター14に再び照射される。分割された光の他方は移動鏡16に照射される。移動鏡16に反射した光反射光は、反射前と略同一の光路を通過してビームスプリッター14に再び照射される。固定鏡15からの反射光および移動鏡16からの反射光は、ビームスプリッター14によって合成される重ね合わせられる。ここで、分割された光の他方が移動鏡16に反射する際、移動鏡16は平行移動機構19によって平行を維持した状態で矢印AR方向に往復移動している詳細は後述する。移動鏡16の往復移動によって、固定鏡15からの反射光と移動鏡16からの反射光との間には、光路長の差が生じる。固定鏡15からの反射光と移動鏡16からの反射光とは、ビームスプリッター14に合成されることによって干渉光を形成する。移動鏡16の位置に応じて光路長の差は連続的に変化する。光路長の差に応じて干渉光としての光の強度も連続的に変化する。光路長の差が、たとえば、コリメート光学系13からビームスプリッター14に照射される光の波長の整数倍のとき、干渉光としての光の強度は最大となる。干渉光を形成した光は試料Sに照射される。試料Sを透過した光は集光光学系17に集光される。集光された光は、参照光学系21詳細は後述するにおける光路分離鏡24に導入される。検出器18は、光路分離鏡24から出射された光を干渉パターンインターフェログラムとして検出する。この干渉パターンは、CPUCentralProcessingUnit等を含む演算部2に送られる。演算部2は、収集サンプリングした干渉パターンをアナログ形式からデジタル形式に変換し、変換後のデータをさらにフーリエ変換する。フーリエ変換によって、試料Sを透過した光干渉光の波数=1/波長毎の光の強度を示すスペクトル分布が算出される。フーリエ変換後のデータは、出力部3を通して他の機器に出力されたりディスプレイ等に表示されたりする。このスペクトル分布に基づいて、試料Sの特性たとえば、材料、構造、または成分量が分析される。参照光学系21参照光学系21は、コリメート光学系13、ビームスプリッター14、固定鏡15、移動鏡16、集光光学系17、参照光源22、光路合成鏡23、光路分離鏡24、参照検出器25、および信号処理部26を有している。コリメート光学系13、ビームスプリッター14、固定鏡15、移動鏡16、および集光光学系17は、分光光学系11および参照光学系21の双方の構成として共通している。参照光源22は、半導体レーザー等の発光素子から構成され、赤色光等の光を出射する。上述のとおり、参照光源22が出射した光は光路合成鏡23に導入される。光路合成鏡23はハーフミラー等から構成される。光源12からの光は光路合成鏡23を透過する。参照光源22からの光は光路合成鏡23に反射される。光源12からの光および参照光源22からの光は、光路合成鏡23によって合成された状態で、光路合成鏡23から同一光路上に出射される。光路合成鏡23から出射された光は、コリメート光学系13によって平行光に変換された後、ビームスプリッター14に導入されて2光束に分割される。上述のとおり、分割された光の一方は固定鏡15に照射され、反射光としてビームスプリッター14に再び照射される。分割された光の他方は移動鏡16に照射され、反射光としてビームスプリッター14に再び照射される。固定鏡15からの反射光と移動鏡16からの反射光とは、ビームスプリッター14に合成されることによって干渉光を形成する。上述のとおり、干渉光を形成した光は試料Sに照射される。試料Sを透過した光は集光光学系17に集光される。集光された光は、参照光学系21における光路分離鏡24に導入される。光路分離鏡24はハーフミラー等から構成され、光路分離鏡24に導入された光入射光は2光束に分割される。光源12から出射され、光路合成鏡23、コリメート光学系13、ビームスプリッター14、固定鏡15、移動鏡16、試料S、および集光光学系17を通して光路分離鏡24に導入された光は、光路分離鏡24を透過する。上述のとおり、光路分離鏡24を透過したこの光干渉光は、検出器18によって検出される。一方、参照光源22から出射され、光路合成鏡23、コリメート光学系13、ビームスプリッター14、固定鏡15、移動鏡16、試料S、および集光光学系17を通して光路分離鏡24に導入された光は、光路分離鏡24に反射される。光路分離鏡24からの反射光干渉光は、4分割センサー等から構成される参照検出器25によって干渉パターンとして検出される。干渉光の干渉パターンは、CPU等を含む信号処理部26に送られる。信号処理部26は、収集した干渉パターンに基づいて光路分離鏡24からの反射光の強度を算出する。信号処理部26は、光路分離鏡24からの反射光の強度に基づいて、演算部2におけるサンプリングのタイミングを示す信号を生成することができる。演算部2におけるサンプリングのタイミングを示す信号は、公知の手段によって生成されることができる。信号処理部26は、光路分離鏡24からの反射光の強度に基づいて、2光路間における光の傾き固定鏡15からの反射光と移動鏡16からの反射光との相対的な傾きを算出することもできる。2光路間における光の傾きは、たとえば以下のように算出される。図2を参照して、4分割センサーから構成される参照検出器25は、4つの受光領域E1~E4を有している。受光領域E1~E4は反時計回りに並んで相互に隣接している。受光領域E1~E4によって構成される領域に、光路分離鏡24からの反射光が照射される。受光領域E1~E4によって構成される領域の中心と、光路分離鏡24からの反射光のスポットDの中心とは略一致している。受光領域E1~E4は、光路分離鏡24からそれぞれの領域に照射された反射光の強度を検出する。光路分離鏡24からの反射光の強度は、経時的に変化する位相信号として、たとえば図3Aおよび図3Bに示されるように検出される。図3Aおよび図3Bの各々の横軸は、時間単位:秒の経過を示している。図3Aの縦軸は、受光領域E1が検出した光強度および受光領域E2が検出した光強度の和を強度A1相対値として示している。図3Bの縦軸は、受光領域E3が検出した光強度および受光領域E4が検出した光強度の和を強度A2相対値として示している。図3Aおよび図3Bに示すように、強度A1と強度A2との間に、位相差Δが生じているとする。位相差Δに基づいて、2光路間での光の傾き固定鏡15からの反射光と移動鏡16からの反射光との相対的な傾きが算出される。受光領域E1~E4からなる他の組み合わせたとえば受光領域E1,E4と受光領域E2,E3との組合せによって、他の位相差Δを得ることができる。上記の位相差Δとこの他の位相差Δとに基づいて、2光路間での光の傾きの方向ベクトルを算出することもできる。光路補正装置31光路補正装置31は、信号処理部26における検出結果固定鏡15からの反射光と移動鏡16からの反射光との相対的な傾きに基づいて、固定鏡15の姿勢ビームスプリッター14に対する角度を調整する。当該調整によって、固定鏡15における反射光の光路が補正され、2光路間での光の傾きを無くす若しくは減少させることが可能となる。光路補正装置31がマイケルソン干渉計1内に設けられていることによって、干渉光をより精度の高く生成することが可能となる。平行移動機構19の構成図4を参照して、本実施の形態における平行移動機構19は、板ばね部41第1板ばね部、板ばね部42第2板ばね部、剛体43、固定体44、駆動部45、および片持ち梁50を備えている。詳細は後述されるが、板ばね部41、板ばね部42、および剛体43によって平行ばね構造40が構成されている。平行ばね構造40および片持ち梁50は、いわゆる音叉状に配置されている。板ばね部41および板ばね部42は、略同一の長さを有し、平面視長方形の平板状に構成されている。各板ばね部41,42の材質はたとえばシリコンである。各板ばね部41,42は、同一方向に延在し、間隔を空けて相互に対向している。片持ち梁50は、板ばね部54および錘部53を含んでいる。板ばね部54は、平面視長方形の平板状に構成され、その材質はたとえばシリコンである。錘部53は、板ばね部54の長手方向の一方の端部に、エポキシ系の接着剤を使用して固着されている。錘部53の材質はたとえばタングステンである。片持ち梁50の板ばね部54は、板ばね部42を挟んで板ばね部41の反対側に、板ばね部42と間隔を空けて相互に対向するように配置されている。片持ち梁50は、板ばね部41,42と同一方向に延在している。固定体44は、固定体44Aおよび固定体44Bを含んでいる。各固定体44A,44Bは、略直方体状に構成され、それらの材質はたとえばガラスである。固定体44Aは、板ばね部41の一端41a側の裏面と板ばね部42の一端42a側の表面とによって挟まれている。固定体44Bは、板ばね部42の一端42a側の裏面と片持ち梁50の一端50a側の表面とによって挟まれている。板ばね部41の一端41a側の裏面および固定体44Aの間と、板ばね部42の一端42a側の表面および固定体44Aの間と、板ばね部42の一端42a側の裏面および固定体44Bの間と、片持ち梁50の一端50aの表面および固定体44Bの間とは、陽極接合によってそれぞれ接合されている。各固定体44A,44Bは、マイケルソン干渉計1内における他の構造機器図示せずに固定されている。剛体43は、略直方体状に構成され、その材質はたとえばガラスである。剛体43は、板ばね部41の他端41b側の裏面と板ばね部42の他端42b側の表面とによって挟まれている。板ばね部41の他端41bの裏面および剛体43の間と、板ばね部42の他端42bの表面および剛体43の間とは、陽極接合によってそれぞれ接合されている。剛体43によって、板ばね部41の他端41bと板ばね部42の他端42bとが接続される。上述のとおり、板ばね部41と、板ばね部42と、剛体43とによって、平行ばね構造40が構成されている。板ばね部41の一端41aと板ばね部42の一端42aとによって、平行ばね構造40の一端40aが構成されている。板ばね部41の他端41bと板ばね部42の他端42bとによって、平行ばね構造40の他端40bが構成されている。詳細は後述されるが、平行ばね構造40の一端40a固定端に対する平行ばね構造40の他端40b自由端の固有振動数共振周波数ともいうと、片持ち梁50の一端50a固定端に対する片持ち梁50の他端50b自由端の固有振動数とは、略同一となるように設定されている。駆動部45はたとえば圧電素子であり、圧電材料46と、電極47,48とから構成されている。圧電材料46は、電極47と電極48との間に固定されている。圧電材料46は、たとえばPZTチタン酸ジルコン酸鉛である。電極48と板ばね部41の一端41a側の表面とが接合されている。以上のように構成される平行移動機構19において、移動鏡16は、板ばね部41の他端41b側の表面40Sに固定されることができる。平行移動機構19の動作図5~図7を参照して、平行移動機構19の動作について説明する。図5に示すように、駆動部45の電極47,48にたとえば正の電圧が印加されると、圧電材料46は矢印AR1方向に伸長する。圧電材料46の伸長に伴って、電極47,48も矢印AR1方向に伸びる。電極48に接合された板ばね部41は、上方向に向かって凸形状を呈するように一端41aを起点として矢印AR3方向に曲げ変形する。板ばね部41とともに平行ばね構造40を構成する板ばね部42図示せずも、板ばね部41と同一の形状に曲げ変形する。図6に示すように、駆動部45の電極47,48にたとえば負の電圧が印加されると、圧電材料46は矢印AR2方向に収縮する。圧電材料46の収縮に伴って、電極47,48も矢印AR2方向に縮む。電極48に接合された板ばね部41は、下方向に向かって凸形状を呈するように一端41aを起点として矢印AR4方向に曲げ変形する。板ばね部41とともに平行ばね構造40を構成する板ばね部42図示せずも、板ばね部41と同一の形状に曲げ変形する。図7に示すように、マイケルソン干渉計1における平行移動機構19としては、駆動部45の電極47,48に正および負の電圧を含む交流電圧が印加される。駆動部45からの動力を受けて、平行移動機構19における平行ばね構造40は、上記のような曲げ変形を繰り返す。図7において実線で示される像が、図5に対応している。図7において点線で示される像が、図6に対応している。平行ばね構造40の他端40b側は、自由端として並進振動する。平行ばね構造40の他端40b側の表面40Sおよび表面40S上に固定された移動鏡16は、平行を維持しつつ矢印AR方向に振幅W1を持って往復移動する。移動鏡16の往復移動によって、マイケルソン干渉計1は干渉光を生成することが可能となる。平行ばね構造40の振動に起因して、片持ち梁50も振幅W2を持って振動する。平行ばね構造40と片持ち梁50とは、振動における位相が反対になる。この詳細について、図8~図12を参照して以下説明する。図8に示すように、平行ばね構造40および固定体44Aが、片持ち梁50およびマイケルソン干渉計1内における他の機器から独立した状態で構成され、平行ばね構造40および固定体44Aから構成される振動モデルの両端が自由端であると仮定する。この振動モデルにおいて、駆動部45図示せずが上述図7参照のように伸縮運動を繰り返したとする。図9に示すように、駆動部45図示せずが伸長した場合、固定体44Aおよび平行ばね構造40の一端40a側は、振動の節N2を中心として矢印ARN2方向に所定の角度だけ回転する。剛体43および平行ばね構造40の他端40b側は、振動の節N1を中心として矢印ARN1方向に所定の角度だけ回転する。平行ばね構造40の一端40a側における板ばね部41および板ばね部42と、平行ばね構造40の他端40b側における板ばね部41および板ばね部42とは平行な関係を維持している。一方、駆動部45が収縮した場合図示せずには、固定体44Aおよび平行ばね構造40の一端40a側は、振動の節N2を中心として矢印ARN2とは反対方向に所定の角度だけ回転する。剛体43および平行ばね構造40の他端40b側は、振動の節N1を中心として矢印ARN1とは反対方向に所定の角度だけ回転する。平行ばね構造40の一端40a側における板ばね部41および板ばね部42と、平行ばね構造40の他端40b側における板ばね部41および板ばね部42とは平行な関係を維持している。このような共振モードシェイプを呈する振動モデルにおいて、平行ばね構造40の一端40a側はマイケルソン干渉計1内の他の機器図示せずによって強固に固定される。当該固定によって、図7に示すように、平行ばね構造40の一端40aは固定端となり、平行ばね構造40の他端40bは自由端となる。平行ばね構造40の他端40bは自由端として振動し、平行ばね構造40の他端40b側の表面40Sは、平行を維持しつつ往復移動することが可能となる。平行ばね構造40の他端40bが振動することによって、平行ばね構造40の一端40aを固定する固定体44Aには、回転方向の力およびその反対方向の力が連続的に繰り返し作用する。回転方向の力およびその反対方向の力は、固定体44Aを固定する他の機器にも伝達する。上述のとおり、平行ばね構造40の他端40b自由端の固有振動数f40と、片持ち梁50の他端50b自由端の固有振動数f50とは略同一となるように構成されている。図10を参照して、固有振動数は、一般的に次のように算出される。壁面64に、ばね定数k0[N/m]を有する板ばね部材62の一端が固定されているとする。板ばね部材62の他端に、質量m0[kg]を有する質量60が取り付けられているとする。この振動モデルの固有振動数f[Hz]は、f0=1/2π×√k0/m0式1の式によって表される。図11を参照して、平行ばね構造40のばね定数kと、平行ばね構造40の他端40b側における集中荷重mとから、本実施の形態における平行ばね構造40の固有振動数f40は、f40=1/2π×√k/m式2の式によって表される。平行ばね構造40のばね定数kは、板ばね部41,42の縦弾性係数ヤング率、断面二次モーメント、全長、幅、および厚みに基づいて算出されることができる。平行ばね構造40の集中荷重mは、板ばね部41,42、剛体43および移動鏡16の各質量に基づいて算出されることができる。片持ち梁50のばね定数Kと、片持ち梁50の他端50b側における集中荷重Mとから、本実施の形態における片持ち梁50の固有振動数f50は、f50=1/2π×√K/M式3の式によって表される。片持ち梁50のばね定数Kは、板ばね部54の縦弾性係数ヤング率、断面二次モーメント、全長、幅、および厚みに基づいて算出されることができる。片持ち梁50の集中荷重Mは、板ばね部54および錘部53の各質量に基づいて算出されることができる。本実施の形態においては、平行ばね構造40の固有振動数f40と片持ち梁50の固有振動数f50とは略同一の関係f40=f50にあり、1/2π×√k/m=1/2π×√K/M式4の関係が略成立している。上記の式4を変形すると、√k/m=√K/M式5の式を得ることができる。上記の式5を成立させるためには、最初に移動鏡16の平行移動量振幅および周期が所望の値を満足するように、平行ばね構造40が予め設計される。次に、上記式5を満足するように片持ち梁50が設計される。図12を参照して、平行ばね構造40が駆動部45から動力を受ける。平行ばね構造40の他端40bは所定の振動数および振幅を持って振動する。平行ばね構造40の他端40bが上方向に移動しているとき、固定体44Aは、平行ばね構造40の一端40aから、振動の節40Nを中心として矢印AR40N方向の回転力を受ける。当該回転力は、片持ち梁50に伝播する。平行ばね構造40および片持ち梁50は、固有振動数が略同一の関係f40=f50にあるため、平行ばね構造40と片持ち梁50とは反対の位相を持って振動する。片持ち梁50は、平行ばね構造40と同一の振動数を持って振動する。平行ばね構造40の他端40bが上方向に移動しているとき、片持ち梁50の他端50bは下方向に移動する。固定体44Bは、片持ち梁50の一端50aから、振動の節50Nを中心として矢印AR50N方向の回転力を受ける。平行ばね構造40の振動によって固定体44Aが受ける回転力の向き矢印AR40N方向と、片持ち梁50の振動によって固定体44Bが受ける回転力の向き矢印AR50N方向とは逆向きである。固定体44を全体的に見た場合、固定体44Aが受ける回転力と固定体44Bが受ける回転力は相殺される。平行ばね構造40および片持ち梁50が振動するとき、固定体44には回転力がほとんど発生しない。平行ばね構造40の他端40bが下方向に移動し、片持ち梁50の他端50bが上方向に移動しているときにも同様である。平行ばね構造40の固有振動数f40の値と片持ち梁50の固有振動数f50の値とは一致していることが望ましいが、実際に設計する上では、固有振動数f40に対する固有振動数f50の差異は±5以内に抑えられるとよい。作用効果片持ち梁50がいわゆるカウンターバランスとして機能することによって、平行ばね構造40および片持ち梁50を固定している固定体44に振動が発生することが無い。固定体44を固定している他の機器に不要な振動を引き起こすこともない。本実施の形態における平行移動機構19によれば、高い平行度を維持した状態で、板ばね部41の他端41b側の表面40Sを平行移動させることが可能となる。平行移動機構19がマイケルソン干渉計1に用いられる場合、表面40S上に設けられた移動鏡16は、高い平行度を維持した状態で往復移動することが可能となる。また、別途実施されたシミュレーションの結果によれば、固有振動数f40に対する固有振動数f50の差異が±5以内である場合、固定体44Aに作用する回転力は1/10以下に抑えられ、良好な平行移動が実現されることがわかっている。冒頭に説明した特開2008-128654号公報特許文献1における平行移動機構は、パンタグラフ構造を採用している。パンタグラフ構造は、本実施の形態における平行ばね構造40に比べて複雑である。本実施の形態における平行移動機構19は、平行ばね構造40を採用していることによって、特許文献1に記載の平行移動機構に比べて簡便に構成されることが可能である。[実施の形態2]図13および図14を参照して、本実施の形態について説明する。ここでは、上述の実施の形態1との相違点について説明する。図13に示すように、本実施の形態における平行移動機構19Aは、平行ばね構造40を駆動するために、ボイスコイルモーターから構成される駆動部45Aを有している。駆動部45Aは、コイル部45Cと磁石部45Mとを含む。コイル部45Cは、剛体43に取り付けられている。コイル部45Cは、磁石部45Mと対向するように、マイケルソン干渉計1内における他の機器によって固定されている。図14に示すように、平行移動機構19Aにおいては、コイル部45Cに交流電圧が印加される。磁石部45Mは、コイル部45Cから発生する磁界によって、上方向および下方向の力を交互に受ける。本実施の形態における構成によっても、平行ばね構造40の他端40b側は、自由端として振動することができ、上述の実施の形態1と同様の作用および効果を得ることができる。[実施の形態3]図15および図16を参照して、本実施の形態について説明する。ここでは、上述の実施の形態1との相違点について説明する。図15に示すように、本実施の形態の平行移動機構19Bにおいては、片持ち梁50の一端50aが、板ばね部41の一端41aと板ばね部42の一端42aとの間に配置されている。固定体44Aは、板ばね部41の一端41a側の裏面と片持ち梁50の一端50a側の表面とによって挟まれている。固定体44Bは、板ばね部42の一端42a側の表面と片持ち梁50の一端50a側の裏面とによって挟まれている。図16に示すように、平行移動機構19Bによれば、上述の実施の形態1と同様に駆動部45に交流電圧が印加される。平行ばね構造40および片持ち梁50は、上述の実施の形態1と同様に固有振動数が略同一の関係f40=f50にあるため、平行ばね構造40と片持ち梁50とは反対の位相を持って振動する。固定体44Aが受ける回転力と固定体44Bが受ける回転力は相殺される。平行ばね構造40および片持ち梁50が振動するとき、固定体44には回転力がほとんど発生しない。本実施の形態における構成によっても、片持ち梁50がいわゆるカウンターバランスとして機能することによって、上述の実施の形態1と同様の作用および効果を得ることができる。[実施の形態4]図17を参照して、本実施の形態について説明する。ここでは、上述の実施の形態1との相違点について説明する。本実施の形態における平行移動機構19Cにおいては、上述の実施の形態1における片持ち梁50が、平行ばね構造50Aとして構成されている。平行ばね構造50Aは、平行ばね構造40と同一の形状および大きさから構成されている。平行ばね構造50Aは、板ばね部51、板ばね部52、および錘部53を備えている。板ばね部51および板ばね部52は、板ばね部41,42と略同一の長さを有し、板ばね部41,42と同じ平面視長方形の平板状に構成されている。各板ばね部51,52は、板ばね部41,42と同一方向に延在し、間隔を空けて相互に対向している。固定体44は、固定体44A、固定体44B、および固定体44Cを含んでいる。各固定体44A,44B,44Cは、略直方体状に構成され、それらの材質はたとえばガラスである。固定体44Aは、板ばね部41の一端41a側の裏面と板ばね部42の一端42a側の表面とによって挟まれている。固定体44Bは、板ばね部42の一端42a側の裏面と板ばね部51の一端51a側の表面とによって挟まれている。固定体44Cは、板ばね部51の一端51a側の裏面と板ばね部52の一端52a側の表面とによって挟まれている。板ばね部41の一端41a側の裏面および固定体44Aの間と、板ばね部42の一端42a側の表面および固定体44Aの間と、板ばね部42の一端42a側の裏面および固定体44Bの間と、板ばね部51の一端51a側の表面および固定体44Bの間と、板ばね部51の一端51a側の裏面および固定体44Cの間と、板ばね部52の一端52a側の表面および固定体44Cの間と、陽極接合によってそれぞれ接合されている。各固定体44A,44B,44Cは、マイケルソン干渉計1内における他の構造機器図示せずに固定されている。錘部53は、剛体43と同様に略直方体状に構成され、その材質はたとえばガラスである。錘部53は、板ばね部51の他端51b側の裏面と板ばね部52の他端52b側の表面とによって挟まれている。板ばね部51の他端51bの裏面および錘部53の間と、板ばね部52の他端52bの表面および錘部53の間とは、陽極接合によってそれぞれ接合されている。錘部53によって、板ばね部51の他端51bと板ばね部52の他端52bとが接続される。板ばね部51と、板ばね部52と、錘部53とによって、平行ばね構造50Aが構成されている。板ばね部51の一端51aと板ばね部52の一端52aとによって、平行ばね構造50Aの一端50aが構成されている。板ばね部51の他端51bと板ばね部52の他端52bとによって、平行ばね構造50Aの他端50bが構成されている。平行ばね構造40の一端40a固定端に対する平行ばね構造40の他端40b自由端の固有振動数共振周波数ともいうと、平行ばね構造50Aの一端50a固定端に対する平行ばね構造50Aの他端50b自由端の固有振動数とは、略同一となるように設定されている。平行移動機構19Cによれば、上述の実施の形態1と同様に駆動部45に交流電圧が印加される。平行ばね構造40および平行ばね構造50Aは、上述の実施の形態1と同様に固有振動数が略同一の関係f40=f50にあるため、平行ばね構造40と平行ばね構造50Aとは反対の位相を持って振動する。固定体44Aが受ける回転力と固定体44Bが受ける回転力は相殺され、固定体44Bが受ける回転力と固定体44Cが受ける回転力も相殺される。平行ばね構造40および平行ばね構造50Aが振動するとき、固定体44には回転力がほとんど発生しない。本実施の形態における構成によっても、平行ばね構造50Aがいわゆるカウンターバランスとして機能することによって、上述の実施の形態1と同様の作用および効果を得ることができる。以上、本発明に基づいた各実施の形態について説明したが、今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明に基づく平行移動機構は、マイケルソン干渉計およびフーリエ変換分光分析装置に限られず、高精度な平行移動が求められる分野として、たとえば屈折率測定器、光ピックアップの対物レンズアクチュエーター、または小型カメラのオートフォーカス機構等にも適用されることが可能である。したがって、本発明の技術的範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"