吐出液を貯留する吐出液貯留室が形成された基板と、前記吐出液貯留室を覆うように前記基板の一方の面に設けられ、前記吐出液を液滴として吐出するノズル孔を備えるノズルプレートと、前記吐出液貯留室を覆うように前記基板の他方の面に設けられた振動板と、歪みにより前記振動板を振動させる振動手段とを有し、前記振動板は、前記振動手段の変位面が固定される島状をなす島部と、該島部の外周部に位置する、前記島部よりも厚さの薄い薄膜部とを有しており、前記島部と、前記薄膜部とが同一の構成材料により一体的に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。前記振動板は、前記吐出液貯留室側の面が平坦面で構成され、前記振動手段側の面が凹凸面で構成されている請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。前記島部の厚さは、10μm以上、70μm以下である請求項1または2に記載の液滴吐出ヘッド。前記薄膜部の厚さは、1μm以上、8μm以下である請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。前記島部の厚さをA[μm]とし、前記薄膜部の厚さをB[μm]としたとき、B/Aは、1/40以上、1/6以下なる関係を満足する請求項1ないし4のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。前記振動板のヤング率は、2.0GPa以下である請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。前記島部および前記薄膜部は、ともに芳香族ポリアミドまたはSiを主材料として構成される請求項6に記載の液滴吐出ヘッド。請求項1ないし7のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造するための液滴吐出ヘッドの製造方法であって、平板状をなす母材を用意し、該母材の一方の面に環状をなす凹部を形成することで、前記島部と前記薄膜部とを有する前記振動板を形成する工程を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。前記凹部は、前記母材の一方の面をエッチングすることにより形成される請求項8に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。請求項1ないし7に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。本発明の目的は、振動手段の制御波形の設計を容易に行うことができる振動板を備える信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供することにある。このような目的は、下記の本発明により達成される。本発明の液滴吐出ヘッドは、吐出液を貯留する吐出液貯留室が形成された基板と、前記吐出液貯留室を覆うように前記基板の一方の面に設けられ、前記吐出液を液滴として吐出するノズル孔を備えるノズルプレートと、前記吐出液貯留室を覆うように前記基板の他方の面に設けられた振動板と、歪みにより前記振動板を振動させる振動手段とを有し、前記振動板は、前記振動手段の変位面が固定される島状をなす島部と、該島部の外周部に位置する、前記島部よりも厚さの薄い薄膜部とを有しており、前記島部と、前記薄膜部とが同一の構成材料により一体的に形成されていることを特徴とする。これにより、振動手段の制御波形の設計を容易に行うことができる振動板とすることができるため、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを確実に得ることができる。本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記振動板は、前記吐出液貯留室側の面が平坦面で構成され、前記振動手段側の面が凹凸面で構成されていることが好ましい。これにより、振動手段の制御波形の設計を容易に行うことができる振動板とすることができるため、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを確実に得ることができる。本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記島部の厚さは、10μm以上、70μm以下であることが好ましい。これにより、振動板の大型化を図ることなく、振動手段で発生した歪みを薄膜部に伝播する機能を島部に確実に付与することができる。本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記薄膜部の厚さは、1μm以上、8μm以下であることが好ましい。これにより、島部を介して伝播された歪みにより、薄膜部を確実に変位させることができる。本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記島部の厚さをA[μm]とし、前記薄膜部の厚さをB[μm]としたとき、B/Aは、1/40以上、1/6以下なる関係を満足することが好ましい。これにより、振動板の大型化を図ることなく、振動手段で発生した歪みを薄膜部に伝播する機能を島部により確実に付与することができるとともに、島部を介して伝播された歪みにより、薄膜部をより確実に変位させることができる。本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記振動板のヤング率は、2.0GPa以下であることが好ましい。これにより、島部における厚膜化により島部に優れた強度を付与することができるため、振動手段で発生した歪みを薄膜部に伝播する機能を島部に付与することができる。さらに、薄膜部における薄膜化により、薄膜部は弾性変形し得るものとなるため、島部を介して伝播された歪みにより、薄膜部を変位させることができる。本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記島部および前記薄膜部は、ともに芳香族ポリアミドまたはSiを主材料として構成されることが好ましい。これにより、振動板のヤング率を2.0GPa以下のものとすることができる。本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、本発明の液滴吐出ヘッドを製造するための液滴吐出ヘッドの製造方法であって、平板状をなす母材を用意し、該母材の一方の面に環状をなす凹部を形成することで、前記島部と前記薄膜部とを有する前記振動板を形成する工程を有することを特徴とする。これにより、振動手段の制御波形の設計を容易に行うことができる振動板を形成することができ、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを確実に得ることができる。本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、前記凹部は、前記母材の一方の面をエッチングすることにより形成されることが好ましい。これにより、振動手段の制御波形の設計を容易に行うことができる振動板を容易に形成することができる。本発明の液滴吐出装置は、本発明の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする。これにより、信頼性の高い液滴吐出装置を得ることができる。以下、本発明の液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出装置を、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。<インクジェット式記録ヘッド>まず、本発明の液滴吐出ヘッドについて説明する。なお、以下では、本発明の液滴吐出ヘッドを、インクジェット式記録ヘッドに適用した場合を一例に説明する。図1は、本発明の液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した実施形態を示す縦断面図、図2は、図1に示すインクジェット式記録ヘッドを備えるインクジェットプリンタの実施形態を示す概略図である。なお、以下の説明では、図1中の上側を上、下側を下と言う。図1に示すインクジェット式記録ヘッド1以下、単にヘッド1と言うこともある。は、図2に示すようなインクジェットプリンタ本発明の液滴吐出装置9に搭載されている。図2に示すインクジェットプリンタ9は、装置本体92を備えており、上部後方に記録用紙Pを設置するトレイ921と、下部前方に記録用紙Pを排出する排紙口922と、上部面に操作パネル97とが設けられている。操作パネル97は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、LEDランプ等で構成され、エラーメッセージ等を表示する表示部図示せずと、各種スイッチ等で構成される操作部図示せずとを備えている。また、装置本体92の内部には、主に、往復動するヘッドユニット93を備える印刷装置印刷手段94と、記録用紙Pを1枚ずつ印刷装置94に送り込む給紙装置給紙手段95と、印刷装置94および給紙装置95を制御する制御部制御手段96とを有している。制御部96の制御により、給紙装置95は、記録用紙Pを一枚ずつ間欠送りする。この記録用紙Pは、ヘッドユニット93の下部近傍を通過する。このとき、ヘッドユニット93が記録用紙Pの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Pへの印刷が行なわれる。すなわち、ヘッドユニット93の往復動と記録用紙Pの間欠送りとが、印刷における主走査および副走査となって、インクジェット方式の印刷が行なわれる。印刷装置94は、ヘッドユニット93と、ヘッドユニット93の駆動源となるキャリッジモータ941と、キャリッジモータ941の回転を受けて、ヘッドユニット93を往復動させる往復動機構942とを備えている。ヘッドユニット93は、その下部に、多数のノズル孔11を備えるヘッド1と、ヘッド1にインクを供給するインクカートリッジ931と、ヘッド1およびインクカートリッジ931を搭載したキャリッジ932とを有している。なお、インクカートリッジ931として、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラック黒の4色のインクを充填したものを用いることにより、フルカラー印刷が可能となる。往復動機構942は、その両端をフレーム図示せずに支持されたキャリッジガイド軸943と、キャリッジガイド軸943と平行に延在するタイミングベルト944とを有している。キャリッジ932は、キャリッジガイド軸943に往復動自在に支持されるとともに、タイミングベルト944の一部に固定されている。キャリッジモータ941の作動により、プーリを介してタイミングベルト944を正逆走行させると、キャリッジガイド軸943に案内されて、ヘッドユニット93が往復動する。そして、この往復動の際に、ヘッド1から適宜インクが吐出され、記録用紙Pへの印刷が行われる。給紙装置95は、その駆動源となる給紙モータ951と、給紙モータ951の作動により回転する給紙ローラ952とを有している。給紙ローラ952は、記録用紙Pの送り経路記録用紙Pを挟んで上下に対向する従動ローラ952aと駆動ローラ952bとで構成され、駆動ローラ952bは給紙モータ951に連結されている。これにより、給紙ローラ952は、トレイ921に設置した多数枚の記録用紙Pを、印刷装置94に向かって1枚ずつ送り込めるようになっている。なお、トレイ921に代えて、記録用紙Pを収容する給紙カセットを着脱自在に装着し得るような構成であってもよい。制御部96は、例えばパーソナルコンピュータやディジタルカメラ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷装置94や給紙装置95等を制御することにより印刷を行うものである。制御部96は、いずれも図示しないが、主に、各部を制御する制御プログラム等を記憶するメモリ、印刷装置94キャリッジモータ941を駆動する駆動回路、給紙装置95給紙モータ951を駆動する駆動回路、および、ホストコンピュータからの印刷データを入手する通信回路と、これらに電気的に接続され、各部での各種制御を行うCPUとを備えている。また、CPUには、例えば、インクカートリッジ931のインク残量、ヘッドユニット93の位置等を検出可能な各種センサ等が、それぞれ電気的に接続されている。制御部96は、通信回路を介して、印刷データを入手してメモリに格納する。CPUは、この印刷データを処理して、この処理データおよび各種センサからの入力データに基づいて、各駆動回路に駆動信号を出力する。この駆動信号により印刷装置94および給紙装置95は、それぞれ作動する。これにより、記録用紙Pに印刷が行われる。以下、ヘッド1について、図1を参照しつつ詳述する。図1に示すように、ヘッド1は、ノズルプレート10と、ノズルプレート上に設けられた吐出液貯留室形成基板基板20と、吐出液貯留室形成基板20上に設けられた振動板30と、振動板30上に設けられた圧電素子振動手段50およびケースヘッド60とを有している。なお、本実施形態では、このヘッド1は、ピエゾジェット式ヘッドを構成する。吐出液貯留室形成基板20以下、省略して基板20と言う。には、インクを貯留する複数の吐出液貯留室圧力室21が形成され、さらに、各吐出液貯留室21に連通し、各吐出液貯留室21にインクを供給する吐出液供給室22が形成されている。図1に示すように、各吐出液貯留室21および吐出液供給室22は、それぞれ、平面視において、ほぼ長方形状をなし、各吐出液貯留室21の幅短辺は、吐出液供給室22の幅短辺より細幅となっている。また、各吐出液貯留室21は、吐出液供給室22に対して、ほぼ垂直をなすように配置されており、各吐出液貯留室21および吐出液供給室22は、平面視において全体として、櫛状をなしている。基板20を構成する材料としては、特に限定されないが、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコンのようなシリコン材料、ステンレス鋼のような金属材料、石英ガラスのようなガラス材料、アルミナのようなセラミックス材料、グラファイトのような炭素材料、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、アクリロニトリル-スチレン共重合体AS樹脂、シリコーン樹脂のような樹脂材料等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、上記のような材料に、酸化処理酸化膜形成、めっき処理、不働態化処理、窒化処理等の各処理を施した材料でもよい。これらの中でも、基板20の構成材料は、シリコン材料またはステンレス鋼であるのが好ましい。このような材料は、耐薬品性に優れることから、長時間にわたってインクに曝されたとしても、基板20が変質劣化するのを確実に防止することができる。また、これらの材料は、加工性に優れるため、寸法精度の高い基板20が得られる。このため、吐出液貯留室21や吐出液供給室22の容積の精度が高くなり、高品位の印字が可能なヘッド1が得られる。また、吐出液供給室22は、後述するケースヘッド60に設けられた吐出液供給路61と連通して複数の吐出液貯留室21にインクを供給する共通のインク室として機能するリザーバ70の一部を構成する。基板20の下面振動板30と反対側の面;一方の面には、接着層15を介して、吐出液貯留室21および吐出液供給室22を覆うようにノズルプレート10が接着されている。ノズルプレート10には、各吐出液貯留室21に対応するように、それぞれノズル孔11が形成穿設されている。このノズル孔11から、吐出液貯留室21に貯留されたインク吐出液を押し出すことにより、インクが液滴として吐出されることとなる。また、ノズルプレート10は、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22の内壁面の下面を構成している。すなわち、ノズルプレート10と、基板20および振動板30とにより、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22を画成している。このようなノズルプレート10を構成する材料としては、例えば、前述したようなシリコン材料、金属材料、ガラス材料、セラミックス材料、炭素材料、樹脂材料、またはこれらの各材料の1種または2種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられる。これらの中でも、ノズルプレート10の構成材料は、シリコン材料またはステンレス鋼であるのが好ましい。このような材料は、耐薬品性に優れることから、長時間にわたってインクに曝されたとしても、ノズルプレート10が変質劣化するのを確実に防止することができる。また、これらの材料は、加工性に優れるため、寸法精度の高いノズルプレート10が得られる。このため、信頼性の高いヘッド1が得られる。なお、ノズルプレート10の構成材料は、線膨張係数が300°C以下で2.5~4.5[×106/°C]程度であるものが好ましい。また、ノズルプレート10の厚さは、特に限定されないが、0.01~1mm程度であるのが好ましい。さらに、ノズルプレート10の下面には、必要に応じて、撥液処理を施すのが好ましい。これにより、ノズル孔から吐出されるインク滴が意図しない方向に吐出されるのを防止することができる。なお、かかる構成のノズルプレート10は、接着層15を介して基板20に接合されるが、この接着層15としては、特に限定されず、例えば、ビスフェノール系、ノボラック系のようなエポキシ系接着剤等を用いて形成される。基板20の上面他方の面には、接着層25を介して、吐出液貯留室21および吐出液供給室22を覆うように振動板30が接着されている。これにより、振動板30は、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22の内壁面の上面を構成する。すなわち、振動板30と、基板20およびノズルプレート10とにより、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22を画成している。そして、振動板30が基板20と確実に接合されていることにより、各吐出液貯留室21や吐出液供給室22との液密性を確保している。この振動板30は、図1に示すように、基板20吐出液貯留室21側の面が平坦面により構成され、さらに、基板20と反対側の面が、吐出液貯留室21に対応する位置に環状をなす凹部53が形成されることで凹凸面により構成されている。これにより、振動板30は、吐出液貯留室21に対応する位置の内側内部に島状に形成された島部31と、島部31の外周部に位置する薄膜状をなす薄膜部33と、薄膜部33を介して島部31を取り囲む厚膜部32とで構成される。島部31は、圧電素子50で発生した歪みを、このものを介して、各吐出液貯留室21に対応した位置に形成された薄膜部33に伝播する機能を有するものである。したがって、この島部31に圧電素子50の変位面である先端部を固定し、この状態で、圧電素子50に歪みを発生させることで、島部31を介して歪みを振動板30の薄膜部33に伝播させることができる。また、薄膜部33は、凹部53の形成により、島部31よりも厚さを薄くして薄膜化することで弾性変形する機能が付与されたものである。したがって、圧電素子50で発生した歪みを、島部31を介して伝播させることで、薄膜部33において変位振動を生じさせることができる。そのため、各吐出液貯留室21における容積に変化が生じることから、ノズル孔11からインクが吐出される。さらに、厚膜部32は、島部31および薄膜部33を支持する機能を有するものである。上述のように島部31および薄膜部33を取り囲むようにして支持することで、圧電素子50で発生した歪みを、島部31を介してより確実に伝播させることができる。そのため、各吐出液貯留室21における容積変化をより確実に生じさせることができる。本発明では、上述したような構成の振動板30において、図1に示すように、島部31と、薄膜部33とが同一の構成材料により一体的に形成されている。したがって、前記背景技術で説明したように、振動板を、振動フィルムと支持板とが接着層を介して接合された積層体で構成する場合と比較して、振動板30は、その構成が簡略化されたものとなる。そのため、圧電素子50の制御波形を、振動板30島部31および薄膜部33の構成材料、島部31の厚さおよび薄膜部33の厚さに応じて設計するだけでよいので、その設計要する時間の短縮化と手間の簡略化を実現することができる。さらに、振動板30を形成する際の歩留まりの向上およびコストダウンが図られることとなる。また、島部31と薄膜部33とを一体的に形成することで、接着層の形成を省略できるため、圧電素子50で発生した歪みを、島部31を介してより確実に薄膜部33に伝播させることができる。すなわち、圧電素子50で発生した歪みの損失を低減することが可能となる。このような島部31と薄膜部33との一体化は、振動板30を、そのヤング率が2.0GPa以下となる構成材料で構成することに確実に実現することが可能となる。より詳しくは、ヤング率が0.5GPa以上、2.0GPa以下となっているのが好ましい。これにより、島部31における厚膜化により島部31に優れた強度剛性を付与することができるため、圧電素子50で発生した歪みを薄膜部33に伝播する機能を島部31に付与することができる。さらに、薄膜部33における薄膜化により、薄膜部33は弾性変形し得るものとなるため、島部31を介して伝播された歪みにより、薄膜部33を変位させることができる。この際、島部31の厚さは、10μm以上、70μm以下であるのが好ましく、30μm以上、50μm以下であるのがより好ましい。島部31の厚さをかかる範囲内に設定することにより、振動板30の大型化を図ることなく、圧電素子50で発生した歪みを薄膜部33に伝播する機能を島部31に確実に付与することができる。また、薄膜部33の厚さは、1μm以上、8μm以下であるのが好ましく、1.5μm以上、5μm以下であるのがより好ましい。薄膜部33の厚さをかかる範囲内に設定することにより、島部31を介して伝播された歪みにより、薄膜部33を確実に変位させることができる。さらに、島部31の厚さをA[μm]とし、薄膜部33の厚さをB[μm]としたとき、B/Aは、1/40以上、1/6以下なる関係を満足するのが好ましく、1/20以上、1/10以下なる関係を満足するのがより好ましい。これにより、島部31を厚膜化することにより得られる効果と、薄膜部33を薄膜化することにより得られる効果との双方がより顕著に発揮されることとなる。また、振動板30島部31、薄膜部33の構成材料としては、そのヤング率が上述のように2.0GPa以下となるものであれば特に限定されず、例えば、各種樹脂材料、各種金属材料および各種シリコン系材料等を用いることができるが、特に、芳香族ポリアミドまたはSiを主材料とするものを用いるのが好ましい。これにより、島部31および薄膜部33に前述した機能を確実に付与することができる。なお、芳香族ポリアミドとしては、特に限定されないが、下記式1で表わされる繰り返し単位を有するものが挙げられる。[式1中、R1およびR2は、それぞれ独立して、置換または無置換の芳香族炭化水素環を表わす。]また、基R1および基R2としては、具体的には、下記式2で表わされるもの等が挙げられる。[式2中、XおよびYは、それぞれ独立して、-O-、-CH2-、-CO-、-CO2-、-S-、-SO2-または-CCH32-を表わす。]また、基R1およびR2の少なくとも一方が置換の芳香族炭化水素環である場合、水素原子に置換する置換基としては、例えば、フッ素原子、臭素原子、塩素原子のようなハロゲン基、メチル基、エチル基、プロピル基のようなアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基のようなアルコキシ基およびニトロ基等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて選択される。なお、上記式1で表わされる繰り返し単位を有する芳香族ポリアミドは、上記の芳香族炭化水素環がパラ配向性を有しているものが、全芳香族炭化水素環のうち80モル以上であるのが好ましく、90モル以上であるのがより好ましい。これにより、振動板30は、より優れた強度および耐熱性を有するものとなる。ただし、本明細書中でパラ配向性とは、芳香族炭化水素環上の主鎖を構成する2価の結合手が互いに同軸または平行となっている場合をいう。かかる構成の振動板30は、接着層25を介して基板20に接合されるが、この接着層25としては、接着層15と同様に、特に限定されず、例えば、ビスフェノール系、ノボラック系のようなエポキシ系接着剤等を用いて形成される。また、振動板30の島部31には、圧電素子振動手段50の変位面である先端部が接合固定されている。圧電素子50は、圧電材料で構成された圧電体層51と、この圧電体層51に電圧を印加する電極膜52との積層体で構成されている。このような圧電素子50では、電極膜52を介して圧電体層51に電圧を印加することにより、圧電体層51に電圧に応じた歪みが発生する逆圧電効果。この歪みが振動板30の島部31を介して薄膜部33に撓み振動をもたらし、吐出液貯留室21の容積を変化させる。かかる構成の圧電素子50が島部31と確実に接合されていることにより、圧電素子50に発生した歪みを、島部31を介して薄膜部33の変位へと確実に変換することができ、その結果、各吐出液貯留室21が確実に容積変化することとなる。なお、圧電体層51と電極膜52との積層方向は、特に限定されず、振動板30に対して平行な方向であっても、直交する方向であってもよい。なお、圧電体層51と電極膜52との積層方向が、図1に示すように、振動板30に対して直交する方向である場合、このように配置された圧電素子50を特にMLPMultiLayerPiezoと言う。圧電素子50がMLPであれば、振動板30の変位量を大きくとることができるので、インクの吐出量の調整幅が大きいという利点がある。圧電素子50のうち、振動板30の島部31に固定する接触する変位面である先端部は、圧電素子50の配置方法によって異なるが、圧電体層が露出した面、電極膜が露出した面、または圧電体層と電極膜の双方が露出した面のいずれかである。圧電素子50のうち、圧電体層51を構成する材料としては、例えば、チタン酸バリウム、ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶等が挙げられる。一方、電極膜52を構成する材料としては、例えば、Fe、Ni、Co、Zn、Pt、Au、Ag、Cu、Pd、Al、W、Ti、Mo、またはこれらを含む合金等の各種金属材料が挙げられる。また、圧電素子50の電極膜52は、図示しない駆動ICと電気的に接続されている。これにより、圧電素子50の動作を駆動ICによって制御することができる。さらに、振動板30の厚膜部32には、ケースヘッド60が接合されている。このように、ケースヘッド60と振動板30とが接合されることで、ノズルプレート10、基板20および振動板30の積層体で構成された、いわゆるキャビティー部分を補強し、キャビティー部分のよじれや反り等を確実に抑制することができる。ケースヘッド60を構成する材料としては、例えば、前述したようなシリコン材料、金属材料、ガラス材料、セラミックス材料、炭素材料、樹脂材料、またはこれらの各材料の1種または2種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられる。これらの中でも、ケースヘッド60の構成材料は、ポリフェニレンサルファイドPPS、ザイロンのような変性ポリフェニレンエーテル樹脂ザイロンは登録商標またはステンレス鋼であるのが好ましい。これらの材料は、十分な剛性を備えていることから、ヘッド1を支持するケースヘッド60の構成材料として好適である。また、振動板30は、吐出液供給室22に対応する位置に貫通孔23を有する。この貫通孔23により、ケースヘッド60に設けられた吐出液供給路61と吐出液供給室22とが連通している。なお、吐出液供給路61と吐出液供給室22とにより、複数の吐出液貯留室21にインクを供給する共通のインク室として機能するリザーバ70の一部を構成する。このようなヘッド1では、図示しない外部吐出液供給手段からインクを取り込み、リザーバ70からノズル孔11に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ICからの記録信号により、各吐出液貯留室21に対応するそれぞれの圧電素子50を動作させる。これにより、圧電素子50の逆圧電効果によって振動板30の薄膜部33に撓み振動が生じる。その結果、例えば、各吐出液貯留室21内の容積が収縮すると、各吐出液貯留室21内の圧力が瞬間的に高まり、ノズル孔11からインクが液滴として押し出される吐出される。このようにして、ヘッド1において、印刷したい位置の圧電素子50に、駆動ICを介して電圧を印加すること、すなわち、吐出信号を順次入力することにより、任意の文字が図形等を印刷することができる。なお、ヘッド1は、前述したような構成のものに限らず、例えば、振動手段としての圧電素子50に代えて、静電アクチュエータを備えるものであってもよい。ただし、本実施形態のように、振動手段が圧電素子で構成されていることにより、振動板30に発生する撓みの程度を容易に制御することができる。これにより、インク滴の大きさを容易に制御することができる。また、振動板30は、島部31の側面と薄膜部33の上面とがともに平坦面で構成されこれらが直交することとしたが、図3に示すように、島部31の側面と薄膜部33の上面とで1つの湾曲面が形成されるようにしてもよい。この湾曲面の曲率半径は、特に限定されないが、0.1μm以上、2μm以下であるのが好ましく、0.1μm以上、0.5μm以下であるのがより好ましい。曲率半径をこのような範囲とすることにより、島部31および薄膜部33に掛かる応力を分散させることができるため、振動板30の耐久性の向上を図ることができる。<インクジェット式記録ヘッドの製造方法>以上のようなインクジェット式記録ヘッド1は、例えば、基板20および振動板30を得るための母材20’および母材30’をそれぞれ用いて、次のようにして作製される。図4ないし図6は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を説明するための図縦断面図である。なお、以下の説明では、図4ないし図6中の上側を上、下側を下と言う。本実施形態にかかるヘッド1の製造方法は、母材20’を用意し、この母材20’に対して加工を施し、基板20を形成する工程と、母材30’を用意するとともに、基板20上に接着層25を形成し、この接着層25を介して基板20と母材30’とを接着する工程と、母材30’に凹部53を形成するととともに、貫通孔23を形成することにより振動板30を得る工程と、振動板30上に圧電素子50を接合する工程と、振動板30上にケースヘッド60を接合する工程と、基板20の振動板30と反対側の面上に接着層15を形成し、この接着層15を介して基板20とノズルプレート10とを接合する工程とを有する。以下、各工程について順次説明する。[1]まず、基板20を作製するための母材としての平板状をなす母材20’を用意する図4a参照。次いで、図4bに示すように、母材20’に対して加工を施し、各吐出液貯留室21および吐出液供給室22を形成することで、母材20’から基板20を得る。なお、吐出液貯留室21および吐出液供給室22の形成は、後述する貫通孔23および凹部53の形成で説明するのと同様の各種エッチング法を用いて行われる。[2]次に、振動板30を作製するための母材としての平板状をなす母材30’を用意する図4c参照。次いで、図4dに示すように、接着層25を介して、基板20と、母材30’とを接着することで、接着層25を介して基板20と母材30’とがこの順で積層された積層体を得る。[3]次に、母材30’の上面一方の面において、基板20の各吐出液貯留室に対応する位置に、凹部53を形成するとともに、基板20の吐出液供給室22に対応する位置に、すなわち、吐出液供給室22に連通するように貫通孔23を形成する。これにより、図5aに示すように、島部31と薄膜部33と厚膜部32とで構成された振動板30が基板20上に形成される。また、貫通孔23および凹部53の形成は、ドライエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウエットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いて行うことができる。なお、図1に示すように、振動板30において、島部31の側面と薄膜部33の上面とをともに平坦面とし、これらが直交するような構成とする場合、貫通孔23および凹部53の形成には、上記のうち物理的エッチング法を用いるのが好ましい。物理的エッチング法によれば、厚さ方向に対するエッチングの際に、横方向に対してまわり込みが生じるのを的確に防止または抑制することができるため、振動板30を確実に図1に示したような構成のものとすることができる。ただし、母材30’として面方位110のSi単結晶基板を選択した場合には、エッチング法として化学的エッチング法を用いたとしても、振動板30を確実に図1に示したような構成のものとすることができる。[4]次に、圧電素子50を用意し、島部31に、圧電素子50を接合することで、図5bに示すように、基板20、振動板30および圧電素子50をそれぞれ接合させる。[5]次に、ケースヘッド60を用意し、厚膜部32に、ケースヘッド60を接合することで、図6aに示すように、基板20、振動板30、圧電素子50およびケースヘッド60が接合される。この際、吐出液供給室22は、振動板30に形成された貫通孔23、および、ケースヘッド60に設けられた吐出液供給路61と連通し、これにより、リザーバ70が形成される。なお、ここでは、予め母材20’に加工を施して各吐出液貯留室21および吐出液供給室22が形成された基板20に対して母材30’を接合する場合について説明したが、これに限定されず、母材20’に対して母材30’を接合した後に、母材20’に加工を施して各吐出液貯留室21および吐出液供給室22が形成して基板20を得るようにしても良い。[6]次に、ノズルプレート10を用意し、図6bに示すように、接着層15を介して、基板20の振動板30と反対側の面とノズルプレート10とを接着することで、基板20とノズルプレート10とを接合させて、ヘッド1を得る。以上のような工程を経て、ヘッド1が製造される。以上、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、本発明の液滴吐出ヘッドを製造する方法では、前記実施形態の構成に限定されず、工程の順序が前後してもよい。また、任意の目的の工程が1または2以上追加されていてもよく、不要な工程を削除してもよい。また、本発明の液滴吐出ヘッドは、振動板を備える、あらゆる方式形態の液滴吐出ヘッドに適用することができる。次に、本発明の具体的実施例について説明する。1.インクジェット式記録ヘッドの製造<1>まず、面方位110のSi単結晶基板を母材20’として用意し、このSi単結晶基板をドライエッチング法によりエッチングして、各吐出液貯留室21および吐出液供給室22を形成することで基板20を得た。<2>次に、パラ系芳香族ポリアミドフィルム東レ社製、ミクトロン;厚さ:42μmを母材30’として用意し、エポキシ系接着剤スリーボンド社製、スリーボンド2000シリーズを介した状態で、基板20と、母材30’とを接着することで、接着層25を介して基板20と母材30’とがこの順で積層された積層体を得た。<3>次に、母材30’芳香族ポリアミドフィルムの上面をドライエッチング法によりエッチングして、凹部53を形成することにより、島部31厚さ:42μmと薄膜部33厚さ:2μmと、厚膜部32厚さ:42μmとを有する振動板30を基板20上に形成した。<4>次に、圧電素子50を用意し、島部31に、圧電素子50を接合した。<5>次に、ケースヘッド60を用意し、厚膜部32に、ケースヘッド60を接合した。<6>次に、ステンレス鋼SUS201製のノズルプレート10を用意し、エポキシ系接着剤スリーボンド社製、スリーボンド2000シリーズを介した状態で、基板20とノズルプレート10とを接着することで、図1に示すヘッド1を得た。2.評価ヘッド1をインクジェットプリンタセイコーエプソン社製、PM-A900に搭載して、インク滴を100回吐出させた。そして、記録用紙の目的とする着弾位置と、実際に印字されたインク滴の着弾位置とのズレを測定した。その後、所定の画像の印刷を5000枚の記録用紙に行った後、前記と同様にして、インク滴の着弾位置を測定した。その結果、画像印刷の前後とも、目的とする着弾位置からのズレが少なく、ヘッド1は優れた液滴吐出能を有していた。さらに、インクジェットプリンタに搭載されたヘッド1を再度取り出し、振動板30の状態を目視で確認したが、薄膜部33における破損等を認めることはできなかった。