外力により歪を生ずる起歪体と、前記起歪体上に配置され、矩形基板と、該矩形基板上に形成され、該矩形基板に印加される歪量に応じて振動周波数が変化する第1の梁状の振動部を有する第1の振動子と、該矩形基板上に形成され、該矩形基板に印加される歪量に応じて振動周波数が変化する第2の梁状の振動部を有する第2の振動子とを備え、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向を前記矩形基板の辺に対して略45度の角度をなすように配置し、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向と第2の振動子における第2の梁状の振動部の長手方向を略直交するとともに、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の中心と、前記第2の振動子における第2の梁状の振動部の中心とを結ぶ線が前記矩形基板の辺と平行で、かつ前記2つの振動子の中心を結ぶ線の中点が前記矩形基板の中心と略一致することを特徴とする物理量センサ。しかしながら、図5abに示した従来の物理量センサにおいては、第1の振動部と第2の振動部が互いに平行に配置されているため、この物理量センサを適用できる範囲がきわめて限定されるという問題点があった。図6a~cを用いてこの問題点について説明する。図6aは図5aに示した従来の物理量センサの振動子1を、一端が固定され、かつ他端に鉛直上向きの外力が加えられている梁11の側面上に接続した状態を示す。このとき、前記振動子1は梁の中立面12を跨ぐように配置されているものとする。このような場合には、前記振動子1における第1の振動部には圧縮力が働くとともに、第2の振動部には伸長力が働くため、第1の振動部を含む第1の発振回路6の発振周波数は例えば、f0からf0-f1に変化する。また、第2の振動部を含む第2の発振回路7の発振周波数はf0からf0f2に変化する。これら2つの発振回路の出力の差をとることにより、第1の振動部または第2の振動部のみを有する物理量センサを使用する場合よりも、大きな周波数差を得ることができるため、測定感度を高めることができる。さらに、温度変化による発振周波数の変動をキャンセルできるため、温度変化にかかわらず歪や荷重を正確に測定できるものである。図6bは従来の物理量センサの振動子1が、図6aに示した梁11の側面上で中立面12の上方に配置された状態を示す。このとき、前記振動子1における第1の振動部と第2の振動部の両方に圧縮力が働くため、第1の振動部を含む第1の発振回路6の発振周波数は例えば、f0からf0-f1に、第2の振動部を含む第2の発振回路7の発振周波数はf0からf0-f1′に変化する。しかしながら、これら2つの発振回路の出力の差は△=-f0-f1=f1-f1′となるため、第1の振動部または第2の振動部のみを有する物理量センサを使用する場合よりも、周波数差が小さくなり、測定感度は低下することになる。図6cは図5aに示した従来の物理量センサの振動子1を、一端が固定され、かつ他端に鉛直下向きの外力が加えられている柱13の側面上に配置した状態を示す。このとき、前記振動子1における第1の振動部と第2の振動部の両方にほぼ同一の圧縮力が働くため、第1の振動部を含む第1の発振回路6の発振周波数は例えば、f0からf0-f1に、第2の振動部を含む第2の発振回路7の発振周波数もf0からf0-f1に変化する。よって、これら2つの発振回路の出力の差は△=-f0-f1=0となるため、外力の測定が不可能になってしまう。このように、従来の物理量センサの振動子1は互いに平行に配置された第1、第2の振動部の各々に互いに逆方向の外力が働くという特殊な場合以外では、歪や荷重の測定感度が低下したり、測定が不可能になったりするため、この物理量センサを適用できる範囲がきわめて限定されるという問題点があった。本発明は上記従来の問題点を解決するもので、実質的にすべての被測定体に適用して、被測定体に働く歪や荷重を温度変化にかかわらず高感度で、かつ高精度に測定することができる物理量センサを提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、外力により歪を生ずる起歪体と、前記起歪体上に配置され、矩形基板と、該矩形基板上に形成され、該矩形基板に印加される歪量に応じて振動周波数が変化する第1の梁状の振動部を有する第1の振動子と、該矩形基板上に形成され、該矩形基板に印加される歪量に応じて振動周波数が変化する第2の梁状の振動部を有する第2の振動子とを備え、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向を前記矩形基板の辺に対して略45度の角度をなすように配置し、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向と第2の振動子における第2の梁状の振動部の長手方向を略直交するとともに、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の中心と、前記第2の振動子における第2の梁状の振動部の中心とを結ぶ線が前記矩形基板の辺と平行で、かつ前記2つの振動子の中心を結ぶ線の中点が前記矩形基板の中心と略一致するようにしたもので、この構成によれば、第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向と第2の振動子における第2の梁状の振動部の長手方向を略直交させているため、前記起歪体に、第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向に沿う外力が加えられたとき、あるいは前記起歪体に、矩形基板の対向する2辺に沿い互いに反対方向のせん断力が加えられたとき、第1の振動子に働く力と第2の振動子に働く力の方向を常に逆方向とすることができ、第1の振動子の振動周波数と第2の振動子の振動周波数との差を検出することにより、前記起歪体に作用する力学量を検出するようにしているため、実質的にすべての被測定体に適用することができ、これにより、被測定体に働く歪や荷重を温度変化にかかわらず高感度で、かつ高精度に測定することができる。さらに、前記第1の振動子と第2の振動子とを矩形基板の辺に対して略45度の角度をなすように並列配置しているため、物理量センサを小形化できるという作用効果をも有するものである。以上のように本発明の物理量センサは、外力により歪を生ずる起歪体と、前記起歪体上に配置され、矩形基板と、該矩形基板上に形成され、該矩形基板に印加される歪量に応じて振動周波数が変化する第1の梁状の振動部を有する第1の振動子と、該矩形基板上に形成され、該矩形基板に印加される歪量に応じて振動周波数が変化する第2の梁状の振動部を有する第2の振動子とを備え、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向を前記矩形基板の辺に対して略45度の角度をなすように配置し、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向と第2の振動子における第2の梁状の振動部の長手方向を略直交するとともに、前記第1の振動子における第1の梁状の振動部の中心と、前記第2の振動子における第2の梁状の振動部の中心とを結ぶ線が前記矩形基板の辺と平行で、かつ前記2つの振動子の中心を結ぶ線の中点が前記矩形基板の中心と略一致するようにしたもので、第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向と第2の振動子における第2の梁状の振動部の長手方向を略直交させているため、前記起歪体に、第1の振動子における第1の梁状の振動部の長手方向に沿う外力が加えられたとき、あるいは前記起歪体に、矩形基板の対向する2辺に沿い互いに反対方向のせん断力が加えられたとき、第1の振動子に働く力と第2の振動子に働く力の方向を常に逆方向とすることができ、第1の振動子の振動周波数と第2の振動子の振動周波数との差を検出することにより、前記起歪体に作用する力学量を検出するようにしているため、実質的にすべての被測定体に適用することができ、これにより、被測定体に働く歪や荷重を温度変化にかかわらず高感度で、かつ高精度に測定できるとともに、小形化できるという優れた効果を奏するものである。以下、実施の形態を用いて、本発明の請求項1に記載の発明について説明する。図1aは本発明の実施の形態における物理量センサの上面図、図1bは図1aのA-A線断面図である。図1abにおいて、21は物理量センサ、22は001面を表面に持つシリコンからなる矩形基板であり、この矩形基板22の表面には酸化シリコン層や窒化シリコン層からなる絶縁層が形成されている。23は前記矩形基板22をエッチング処理して形成され、該矩形基板22に印加される歪量に応じて振動周波数が変化する第1の梁状の振動部23aを有する第1の振動子である。また、前記第1の梁状の振動部23aの表面の中央部には順に下部電極、PZT等からなる圧電体層、上部電極からなる検出素子23bが形成され、かつ前記第1の梁状の振動部23aの両端部には同じく順に下部電極、PZT等からなる圧電体層、上部電極からなる駆動素子23cが形成され、そして、前記検出素子23b、駆動素子23cは配線パターン図示せずによりランド24に電気的に接続されている。同様にして、25は前記矩形基板22をエッチング処理して形成され、該矩形基板22に印加される歪量に応じて振動周波数が変化する第2の梁状の振動部25aを有する第2の振動子である。また、前記第2の梁状の振動部25aの表面の中央部には順に下部電極、PZT等からなる圧電体層、上部電極からなる検出素子25bが形成され、かつ前記第2の梁状の振動部25aの両端部には同じく順に下部電極、PZT等からなる圧電体層、上部電極からなる駆動素子25cが形成され、そして、前記検出素子25b、駆動素子25cは配線パターン図示せずによりランド24に電気的に接続されている。前記第1の振動子23における梁状の振動部23aの長手方向は前記矩形基板22の辺に対して略45度の角度をなすように配置され、前記第1の振動子23における梁状の振動部23aの長手方向と第2の振動子25における第2の梁状の振動部25aの長手方向は略直交するように配置されている。さらに、前記第1の振動子23における梁状の振動部23aの中心と、前記第2の振動子25における梁状の振動部25aの中心とを結ぶ線が前記矩形基板の辺22a、22bと平行で、かつ前記2つの振動子23、25の中心を結ぶ線の中点が前記矩形基板22の中心と略一致するように構成されている。これにより、前記第1の振動子23と第2の振動子25とは矩形基板22の略中央部に並んで配置されることになる。図2aは前記物理量センサ21を起歪体30に配置した状態を示す上面図で、図2bは図2aのB-B線断面図である。ここで、物理量センサ21の底面は、起歪体30に発生する歪が第1の振動子23、第2の振動子25に伝達されるようにAu-Au接合等の金属系接合材やエポキシ樹脂等の剛性を有する物質を用いて接続固定されている。そして、前記第1の振動子23における梁状の振動部23aの長手方向は前記起歪体30の長さ方向と略平行に配置されている。上記構成において、動信号源図示せずから第1の振動子23における駆動素子23cに、第1の梁状の振動部23aの固有振動数faに近接した周波数を持つ交流電圧が印加されると、第1の梁状の振動部23aは長手方向に伸縮振動を開始する。この伸縮振動によって第1の梁状の振動部23aは自身が持つ固有振動数faで上下に弦振動を開始する。この弦振動は検出素子23bによって受信され、この検出素子23bから第1の梁状の振動部23aの固有振動数faと等しい周波数を持つ交流信号が発生する。この交流信号は増幅、位相調整され、駆動素子23cにフィードバックされる。これにより、第1の梁状の振動部23aはその固有振動数faに等しい周波数で弦振動を持続する。同様にして、第2の梁状の振動部25aはその固有振動数fbに等しい周波数で弦振動を持続することになる。ここで、前記第1の振動子23における梁状の振動部23aの長手方向をシリコンのX軸方向、すなわち<100>方向とし、さらに前記第2の振動子25における梁状の振動部25aの長手方向をシリコンのY軸方向、すなわち<010>方向としている。これは、シリコンにおいては、<100>方向、<010>方向においてヤング率が最小となるため、一定の周波数の弦振動を発生させるために必要な弦の長さが最小となり、これにより、振動子が小形化できるためである。図3aは、上記第1、第2の振動子23、25における第1、第2の梁状の振動部23a、25aが上下に弦振動している状態で、被測定体に外力が働いた時の第1、第2の振動子23、25の振動周波数の変化を示した図である。今、起歪体30に長手方向の引張り力Fが印加されたとすると、起歪体30は長手方向に伸びるとともに、起歪体30のポアソン比に相当する長さだけ幅方向に縮む。これにより、前記第1の振動子23における第1の梁状の振動部23aに伸張力が働くため、第1の振動子23の振動周波数31aはfaからfafa′に上昇する。これと同時に、前記第2の振動子25における第2の梁状の振動部25aには圧縮力が働くため、第2の振動子25の振動周波数31bはfbからfb-fb′に低下することになる。上記とは逆に、起歪体30に長手方向の圧縮力-Fが印加されたとすると、起歪体30は長手方向に縮むとともに、起歪体30のポアソン比に相当する長さだけ幅方向に伸びることになる。これにより、前記第1の振動子23における第1の梁状の振動部23aに圧縮力が働くため、第1の梁状の振動部23aの振動周波数はfaからfa-fa′に低下する。これと同時に、前記第2の振動子25における第2の梁状の振動部25aに張力が働くため、第2の梁状の振動部25の振動周波数はfbからfbfb′に上昇することになる。図3aにおいて、第1の振動子23の振動周波数31aと第2の振動子25の振動周波数31bとが交差する、すなわちこれら2つの振動周波数が一致すると、前記第1の振動子23の振動と、第2の振動子25の振動とが互いに干渉することになり、これにより、外力や歪の測定精度が低下してしまうという問題が発生する。そのため、本発明の実施の形態では、外力または歪を測定しようとする範囲内で、第1の振動子23の振動周波数31aと第2の振動子25の振動周波数31bとが交差しないように、第1の振動子23の振動周波数faと、第2の振動子25の振動周波数fbとに差を設けている。本発明の実施の形態における物理量センサにおいては、起歪体30に外力が働かない状態で前記第1の振動子23の振動周波数faを120kHzとし、前記第2の振動子25の振動子周波数fbと前記第1の振動子23の振動周波数faとの差を30kHz以上としている。これにより、外力または歪を測定しようとする範囲内で、前記第1の振動子23の振動と、第2の振動子25の振動とが互いに干渉することが実質的になくなり、これにより、外力や歪の測定精度が低下するのを防ぐことができるものである。第1と第2の振動子23、25の第1と第2の梁状の振動部23a、25aから発生する交流信号は信号処理装置図示せず内で処理され、これら2つの交流信号の振動周波数差△を有する信号が出力される。図3bは、被測定体に外力が働いた時の第1、第2の振動子23、25の振動周波数差32の変化を示した図である。たとえば、起歪体30に長手方向の引張り力Fが印加されたとすると、振動周波数差△は△=fafa′-fb-fb′=fa-fbfa′fb′となる。外力により変化するこの式の第2項を信号処理装置図示せず内で処理することにより、第1の振動部または第2の振動部のみを有する物理量センサを使用する場合よりも、大きな周波数差を得ることができる。このようにして、出力される振動周波数の差を測定することにより起歪体30に働く歪や荷重を高感度で測定できる。一方、本発明の実施の形態では、第1、第2の振動子23、25における梁状の振動部23a、25aの長手方向は各々、シリコンの結晶対称性により等価な方向である<100>方向、<010>方向としているため、ヤング率の温度特性は互いに等しく、温度変化に対する振動周波数の変化の方向と変化率は同一となる。これにより、温度変化による振動周波数の変動をキャンセルできるため、温度変化にかかわらず歪や荷重を正確に測定できるものである。図4は前記物理量センサ21を起歪体40に配置した状態を示す上面図である。ここで、物理量センサ21の底面は、図2の場合と同様にして、起歪体40に発生する歪が第1の振動子23、第2の振動子25に伝達されるようにAu-Au接合等の金属系接合材やエポキシ樹脂等の剛性を有する物質を用いて接続固定されている。前記第1、第2の振動子23、25における梁状の振動部23a、25aの長さ方向は前記起歪体40の長さ方向と略45度をなすように配置されている。すなわち、物理量センサ21の辺22a、22bは前記起歪体40の長さ方向と略平行に配置されている。上記構成において、図2の場合と同様にして、第1の振動子23、第2の振動子25は各々その固有振動数fa、fbに等しい周波数で弦振動を持続しているものとする。今、前記起歪体40の上下端に、長手方向を向き互いに逆方向の力F、すなわちせん断力が印加されたとすると、前記第1の振動子23における第1の梁状の振動部23aには圧縮力が働くため、第1の振動子23の振動周波数はfaからfa-fa′に低下する。これと同時に、前記第2の振動子25における第2の梁状の振動部25aには伸張力が働くため、第2の振動子25の振動周波数はfbからfbfb′に上昇することになる。そして、第1と第2の振動子23、25の第1と第2の梁状の振動部23a、25aから発生する交流信号は信号処理装置図示せず内で処理され、これら2つの交流信号の振動周波数差△を有する信号が出力される。この振動周波数の差を測定することにより起歪体40に働くせん断方向の歪や力を測定することができる。このようにして、物理量センサ21を起歪体に配置する方向を変更することにより、実質的にすべての被測定体に適用して、被測定体に働く歪や荷重を温度変化にかかわらず高感度で、かつ高精度に測定することができる。さらに、本発明の物理量センサにおいては、前記第1の振動子23と第2の振動子25とを矩形基板の辺22a、22bに対して略45度の角度をなすように並列配置しているため、前記第1の振動子23を矩形基板の辺22a、22bに対して平行に配置し、かつ第2の振動子25を矩形基板の辺22a、22bに直交するように配置した物理量センサに比べて小形化が可能であるという特徴を有するものである。以上の説明から明らかなように、本発明の実施の形態における物理量センサは矩形基板上に梁状の振動部を有する第1の振動子を前記矩形基板の辺に対して略45度をなすように配置し、さらに前記矩形基板上に梁状の振動部を有する第2の振動子を前記第1の振動子に略直交するように並べて配置したもので、これにより、小形で、実質的にすべての被測定体に適用して、被測定体に働く歪や荷重を温度変化にかかわらず高感度で、かつ高精度に測定することができるという効果が得られるものである。なお、本発明の実施の形態における物理量センサにおいては、矩形基板としてシリコンを用いたが、エリンバ等の恒弾性金属を用いても同様の効果が得られるものである。