溶融金属を収容するフロートバスと、前記溶融金属上で板状に成形されたガラスリボンが搬入される徐冷炉と、前記フロートバスと前記徐冷炉との間に設けられるチャンバーと、該チャンバー内に設けられ、前記フロートバスから前記徐冷炉に前記ガラスリボンを搬送する複数のリフトアウトロールとを備えるガラス板の製造装置であって、前記チャンバー内において、前記ガラスリボンの下方空間のうち、前記ガラスリボンと最下流の前記リフトアウトロールとの接点よりも下流側の空間に、冷却ガスとして不活性ガスを供給する第1の給気ユニットを備えるガラス板の製造装置。前記徐冷炉内に設けられ、前記ガラスリボンを搬送する複数の搬送ロールと、前記徐冷炉内において、前記ガラスリボンの下方空間または/および上方空間のうち、前記ガラスリボンと最上流の前記搬送ロールとの接点よりも上流側の空間に、冷却ガスを供給する第2の給気ユニットとを備える請求項1に記載のガラス板の製造装置。前記第2の給気ユニットにより供給される冷却ガスは、空気、水蒸気及び不活性ガスのいずれかを少なくとも含む請求項2に記載のガラス板の製造装置。前記チャンバー内において、前記ガラスリボンの下方空間のうち、前記ガラスリボンと最上流の前記リフトアウトロールとの接点よりも上流側の空間に、不活性ガスを供給する第3の給気ユニットをさらに備える請求項1~3のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記チャンバー内において、前記ガラスリボンの下方空間のうち、前記ガラスリボンと最上流の前記リフトアウトロールとの接点と、前記ガラスリボンと最下流の前記リフトアウトロールとの接点との間の少なくとも一部の空間に、不活性ガスを供給する第4の給気ユニットをさらに備える請求項1~4のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記チャンバー内において、前記フロートバスの出口の上壁付近から下方に向けて不活性ガスを供給する第5の給気ユニットをさらに備える請求項1~5のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記チャンバー内には、前記ガラスリボンよりも上方に、前記ガラスリボンの上方空間を仕切る部材がさらに設けられる請求項1~6のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記チャンバー内には、ヒータがさらに設けられる請求項1~7のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記フロートバス内の出口付近に、ヒータが設けられる請求項1~8のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記徐冷炉内の入口付近に、ヒータが設けられる請求項1~9のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記第1の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスである請求項1~10のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記第2の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスである請求項3に記載のガラス板の製造装置。前記第3の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスである請求項4に記載のガラス板の製造装置。前記第4の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスである請求項5に記載のガラス板の製造装置。前記第5の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスである請求項6に記載のガラス板の製造装置。前記チャンバー内の出口付近または前記徐冷炉内の入口付近に、前記ガラスリボンの割れを検知する検知器が設けられる請求項1~15のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。前記チャンバーが断熱構造を有する請求項1~16のいずれか1項に記載のガラス板の製造装置。フロートバス内の溶融金属の浴面に溶融ガラスを連続的に供給して帯板状のガラスリボンを形成し、該ガラスリボンを前記フロートバスからチャンバー内に搬送し、該チャンバー内において複数のリフトアウトロール上を搬送し、続いて徐冷炉内に搬送して徐冷するガラス板の製造方法であって、前記チャンバー内において、前記ガラスリボンの下方空間のうち、前記ガラスリボンと最下流の前記リフトアウトロールとの接点よりも下流側の空間に、冷却ガスとして不活性ガスを供給するガラス板の製造方法。前記ガラス板が無アルカリガラスである請求項18に記載のガラス板の製造方法。前記ガラス板が、酸化物基準の質量百分率表示で、SiO2:50~66Al2O3:10.5~24B2O3:0~12MgO:0~8CaO:0~14.5SrO:0~24BaO:0~13.5MgOCaOSrOBaO:9~29.5ZrO2:0~5を含有するものである請求項19に記載のガラス板の製造方法。前記ガラス板が、酸化物基準の質量百分率表示で、SiO2:58~66Al2O3:15~22B2O3:5~12MgO:0~8CaO:0~9SrO:3~12.5BaO:0~2MgOCaOSrOBaO:9~18を含有するものである請求項20に記載のガラス板の製造方法。しかしながら、従来は、フロートバスと徐冷炉との間において、ガラスリボンを積極的に冷却していないので、ガラスリボンの搬送方向の温度分布を最適化することができない場合がある。その場合、徐冷炉内においてガラスリボンの温度分布を最適化しても、製品の反りを解消するのが難しい。そこで、チャンバー内においてガラスリボンを積極的に冷却するため、上記従来のパイプから冷却ガスを噴出することが考えられるが、この場合、冷却ガスによる熱衝撃の影響で、ガラスリボンが割れやすいという問題がある。特に近年では、液晶ディスプレイLCDやプラズマディスプレイPDPなどの表示パネル向けに、厚さが薄い例えば、厚さが0.7mm以下のガラス基板が製造されている。このような厚さが薄いガラス板を製造する場合、製品の反りやガラスリボンの割れが問題となりやすい。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、製品の反りやガラスリボンの割れを抑制することができるガラス板の製造装置およびガラス板の製造方法を提供することを目的とする。上記目的を解決するため、本発明のガラス板の製造装置は、溶融金属を収容するフロートバスと、前記溶融金属上で板状に成形されたガラスリボンが搬入される徐冷炉と、前記フロートバスと前記徐冷炉との間に設けられるチャンバーと、該チャンバー内に設けられ、前記フロートバスから前記徐冷炉に前記ガラスリボンを搬送する複数のリフトアウトロールとを備えるガラス板の製造装置であって、前記チャンバー内において、前記ガラスリボンの下方空間のうち、前記ガラスリボンと最下流の前記リフトアウトロールとの接点よりも下流側の空間に、冷却ガスとして不活性ガスを供給する第1の給気ユニットを備える。本発明のガラス板の製造装置においては、前記徐冷炉内に設けられ、前記ガラスリボンを搬送する複数の搬送ロールと、前記徐冷炉内において、前記ガラスリボンの下方空間または/および上方空間のうち、前記ガラスリボンと最上流の前記搬送ロールとの接点よりも上流側の空間に、冷却ガスを供給する第2の給気ユニットとを備えることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記第2の給気ユニットにより供給される冷却ガスは、空気、水蒸気及び不活性ガスのいずれかを少なくとも含むことが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記チャンバー内において、前記ガラスリボンの下方空間のうち、前記ガラスリボンと最上流の前記リフトアウトロールとの接点よりも上流側の空間に、不活性ガスを供給する第3の給気ユニットをさらに備えることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記チャンバー内において、前記ガラスリボンの下方空間のうち、前記ガラスリボンと最上流の前記リフトアウトロールとの接点と、前記ガラスリボンと最下流の前記リフトアウトロールとの接点との間の少なくとも一部の空間に、不活性ガスを供給する第4の給気ユニットをさらに備えることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記チャンバー内において、前記フロートバスの出口の上壁付近から下方に向けて不活性ガスを供給する第5の給気ユニットをさらに備えることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記チャンバー内には、前記ガラスリボンよりも上方に、前記ガラスリボンの上方空間を仕切る部材がさらに設けられることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記チャンバー内には、ヒータがさらに設けられることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記フロートバス内の出口付近に、ヒータが設けられることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記徐冷炉内の入口付近に、ヒータが設けられることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記第1の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記第2の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記第3の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記第4の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記第5の給気ユニットにより供給される不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記チャンバー内の出口付近または前記徐冷炉内の入口付近に、前記ガラスリボンの割れを検知する検知器が設けられることが好ましい。本発明のガラス板の製造装置においては、前記チャンバーが断熱構造を有することが好ましい。また、本発明のガラス板の製造方法は、フロートバス内の溶融金属の浴面に溶融ガラスを連続的に供給して帯板状のガラスリボンを形成し、該ガラスリボンを前記フロートバスからチャンバー内に搬送し、該チャンバー内において複数のリフトアウトロール上を搬送し、続いて徐冷炉内に搬送して徐冷するガラス板の製造方法であって、前記チャンバー内において、前記ガラスリボンの下方空間のうち、前記ガラスリボンと最下流の前記リフトアウトロールとの接点よりも下流側の空間に、冷却ガスとして不活性ガスを供給する。本発明のガラス板の製造方法においては、前記ガラス板が無アルカリガラスであることが好ましい。本発明のガラス板の製造方法においては、前記ガラス板が、酸化物基準の質量百分率表示で、SiO2:50~66Al2O3:10.5~24B2O3:0~12MgO:0~8CaO:0~14.5SrO:0~24BaO:0~13.5MgOCaOSrOBaO:9~29.5ZrO2:0~5を含有するものであることが好ましい。本発明のガラス板の製造方法においては、前記ガラス板が、酸化物基準の質量百分率表示で、SiO2:58~66Al2O3:15~22B2O3:5~12MgO:0~8CaO:0~9SrO:3~12.5BaO:0~2MgOCaOSrOBaO:9~18を含有するものであることが好ましい。本発明によれば、製品の反りやガラスリボンの割れを抑制することができるガラス板の製造装置およびガラス板の製造方法を提供することができる。以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、下流とはガラスリボンの搬送方向下流をいい、上流とはガラスリボンの搬送方向上流をいう。図1は、本発明の一実施形態によるガラス板の製造装置の一部断面図である。図1に示すように、ガラス板の製造装置1は、フロートバス10と、徐冷炉20と、フロートバス10と徐冷炉20との間に設けられるチャンバー30とを備える。フロートバス10内の溶融金属11の浴面12上で、所望の幅や厚さに成形されたガラスリボン2は、リフトアウトロール41~43や搬送ロール21、22の牽引力によって浴面12から引き上げられる。次いで、ガラスリボン2は、フロートバス10の出口13からチャンバー30内に搬入され、リフトアウトロール41~43上を搬送される。続いて、ガラスリボン2は、徐冷炉20内に搬入され、搬送ロール21、22上を搬送されながら徐冷される。その後、ガラスリボン2は、徐冷炉20外に搬出され、室温付近まで冷却された後、所定寸法に切断され、製品であるガラス板となる。ガラス板に使用するガラスは、ガラス板の用途などに応じて適宜選定される。例えば、ガラス板の用途がプラズマディスプレイの場合、歪み点の温度が高く、熱膨張係数が大きいソーダライムガラスが用いられる。また、ガラス板の用途が液晶ディスプレイの場合、アルカリ金属が液晶ディスプレイの品質に悪影響を及ぼすので、アルカリ金属を実質的に含まない無アルカリガラスが用いられる。ここで、無アルカリガラスとは、Li2O、Na2O、K2Oなどのアルカリ金属酸化物を意図的に含有しないガラスをいう。本発明に係るガラス板の製造装置は無アルカリガラスの製造に特に好適であり、酸化物基準の質量百分率表示で、SiO2:50~66Al2O3:10.5~24B2O3:0~12MgO:0~8CaO:0~14.5SrO:0~24BaO:0~13.5MgOCaOSrOBaO:9~29.5ZrO2:0~5を含有する無アルカリガラスである場合により好ましい。さらには、前記無アルカリガラスが、酸化物基準の質量百分率表示で、SiO2:58~66Al2O3:15~22B2O3:5~12MgO:0~8CaO:0~9SrO:3~12.5BaO:0~2MgOCaOSrOBaO:9~18を含有するものである場合に一層好ましい。ガラスリボン2は、ガラス板に対応する複数種類の原料を溶解槽内に投入し溶解して溶融ガラスを作製し、その溶融ガラスをフロートバス10内に連続的に供給して形成される。溶融ガラスをフロートバス10内に供給する前に、溶融ガラスの内部に含まれる気泡を脱泡しておくことが望ましい。フロートバス10は、溶融金属11を収容している。フロートバス10内の上部空間は、溶融金属11の酸化を防止するため、窒素および水素を含む還元性ガスで満たされている。また、フロートバス10内の上部空間は、外部からの空気の流入を防止するため、大気圧よりも高い気圧に設定されている。フロートバス10内の出口13付近には、ガラスリボン2を塑性変形可能な温度に調節するヒータ18が設けられている。ヒータ18の発熱量は、フロートバス10内の出口13付近の温度に基づいて自動制御されて良い。例えば、フロートバス10内の出口13付近の温度は熱電対などの温度センサにより検出され、その検出結果はマイクロコンピュータなどで構成される制御装置に供給される。制御装置は、温度センサの検出結果に基づいて、ヒータ18の発熱量を自動制御する。なお、後述のヒータ28、48の発熱量も、同様に、自動制御されて良い。フロートバス10内の出口13付近におけるガラスリボン2の温度は、ガラスの種類などに応じて適宜設定されるが、例えばガラスの徐冷点を基準として32~78°C高い温度が好ましい。ガラスの徐冷点は、ガラスの粘度が1013dPasとなる温度であり、ガラスの組成などにて定まる。徐冷炉20は、下流側の出口にて外部に開放されている。従って、徐冷炉20の内部は、基本的には、大気雰囲気になっている。徐冷炉20の内部は、チャンバー30の内部を介して、フロートバス10の内部と連通している。徐冷炉20内には、上記搬送ロール21、22の他、ヒータ28などが設けられている。搬送ロール21、22は、それぞれ、モータなどの駆動装置によって回転駆動され、その駆動力によってガラスリボン2を水平方向に搬送する。ヒータ28は、徐冷炉20内の入口23付近に設けられる。ヒータ28は、ガラスリボン2の上方または/および下方に離間して設けられている。ヒータ28の発熱量を調整することで、徐冷炉20内の入口23付近におけるガラスリボン2の温度を所望の温度に設定することができる。チャンバー30は、ガラスリボン2の上方に設けられるフード31、ガラスリボン2の下方に設けられるドロスボックス32などで構成される。チャンバー30は、断熱構造を有して良く、例えば図1に示すように、フード31の外壁の少なくとも一部が断熱材33で覆われており、ドロスボックス32の内壁の少なくとも一部が断熱材34で覆われている。断熱材33、34としては、一般的なものが用いられる。断熱材33、34を用いることで、チャンバー30からの放熱を抑制して、ガラスリボン2の温度分布を安定化させることができ、製品の反りを抑えることができる。チャンバー30内には、上記リフトアウトロール41~43以下、単にロール41~43というの他に、接触部材44~46、ドレープ47、ヒータ48などが設けられている。ロール41~43は、それぞれ、モータなどの駆動装置によって回転駆動され、その駆動力によってガラスリボン2を斜め上方に向けて搬送する。ロールの数は、複数である限り、特に限定されない。ロール41~43の下部には、接触部材44~46が設けられている。接触部材44~46は、カーボンなどで形成される。接触部材44~46は、それぞれ、対応するロール41~43の外周面に摺接して、ガラスリボン2の下方空間を複数の空間35~38に仕切っている。ドレープ47は、ガラスリボン2の上方に設けられ、ガラスリボン2の上方空間を仕切る部材である。ガラスリボン2の上方空間には、フロートバス10の出口13から流出した還元性ガスが徐冷炉20の入口23に向けて流れている。ドレープ47は、徐冷炉20から空気が混入するのを制限し、チャンバー30内の酸素濃度の増加を規制する。これにより、還元性ガス中の水素の燃焼を抑制することができ、水素の燃焼炎による温度変動や局部加熱を抑制することができる。ドレープ47は、鉄鋼材やガラス材などの耐火材で構成される。ドレープ47は、ガラスリボン2の搬送を妨げないように、ガラスリボン2の上面から僅かに離間するように構成されている。ドレープ47は、フード31や断熱材33に吊持されており、ガラスリボン2の搬送方向に沿って複数設けられている。ヒータ48は、ガラスリボン2の上下両側に離間して設けられており、それぞれ、ガラスリボン2の搬送方向に沿って複数列設けられている。各列のヒータ48は、例えば図1に示すように、ドレープ47同士の間や接触部材44~46同士の間に設けられている。各列のヒータ48は、ガラスリボン2の幅方向に分割されて良い。このように、複数のヒータ48をガラスリボン2の幅方向や搬送方向、上下方向に分割配置し、その発熱量を独立に制御することにより、ガラスリボン2の温度分布を精密に調整することができ、製品の反りを抑えることができる。複数のヒータ48は独立に制御してもよいがいくつかをまとめて制御してもよい。本実施形態の製造装置1は、第1~第5の給気管51~55をさらに備えている。第1~第5の給気管51~55は、第2の給気管52を除き、チャンバー30内にガスを供給するものである。一方、第2の給気管52は、徐冷炉20内にガスを供給するものである。第1の給気管51は、チャンバー30内において、ガラスリボン2の下方空間のうち、ガラスリボン2と最下流のロール43との接点4よりも下流側の空間35に、冷却ガスである不活性ガスを供給する。第1の給気管51の給気口は、チャンバー30内において、ガラスリボン2よりも下方、且つ、ガラスリボン2と最下流のロール43との接点4よりも下流に設けられる限り、空間35の内部にあっても良いし、空間35の外部側方にあっても良く、後者の場合、空間35の外部から内部に不活性ガスを吹き込む。第1の給気管51が供給する不活性ガスは、空間35を冷却することで、最下流のロール43との接点4よりも下流側のガラスリボン2の下面を冷却する。これにより、チャンバー30内の出口39付近におけるガラスリボン2の温度を十分に低く設定することができ、製品の反りを抑えることができる。製品の反りを抑えることができるのは、ガラスの転移点でガラスの熱膨張係数が急激に変わる影響を抑えることができるためと考えられる。ガラスの転移点は、ガラスの徐冷点よりも低い温度であり、ガラスの粘度が2×1013dPasとなる温度である。本実施形態では、チャンバー30内の出口39付近におけるガラスリボン2の温度を十分に低く設定するので、ガラスリボン2がガラスの転移点付近の温度領域を短時間で通過することができる。よって、ガラスの転移点でガラスの熱膨張係数が急激に変わる影響を抑えることができ、製品の反りを抑えることが出来る。チャンバー30内の出口39付近におけるガラスリボン2の温度は、ガラスの種類などに応じて適宜設定されるが、例えばガラスの徐冷点を基準として-50~10°Cの範囲の温度が好ましい。より好ましい範囲は-50~5°Cであり、さらに好ましい範囲は-50~0°Cである。第1の供給管51は、チャンバー30内の出口39付近におけるガラスリボン2の温度が所定の温度範囲となるように、不活性ガスを連続的に供給しても良いし、断続的に供給しても良い。また、本実施形態では、最下流のロール43との接点4よりも下流側のガラスリボン2を冷却するので、冷却ガスによる熱衝撃の影響を抑制することができる。ガラスリボン2の温度は、下流側ほど低くなる傾向にあるからである。その結果、ガラスリボン2の割れや変形を抑制することができる。この効果は、ガラスリボン2の厚さが薄くなるほど、ガラスリボン2の強度が弱くなるので、顕著である。従って、本発明は、製品であるガラス板の厚さが3mm以下の場合に適しており、2mm以下の場合に好適であり、1.5mm以下の場合により好適であり、0.7mm以下の場合に特に好適である。なお、ガラス板の厚さは、ハンドリング性の観点から、0.1mm以上であることが望ましい。さらに、本実施形態では、最下流のロール43との接点4よりも下流側のガラスリボン2を冷却するので、ガラスリボン2が割れる場合に、最下流のロール43との接点4よりも下流側で割れる。このとき、ガラスリボン2の後続部分は、複数のロール41~43上に既に載っているので、後続部分を徐冷炉20に向けて搬送することが容易である。仮に、ガラスリボン2が最下流のロール43よりも上流側で割れると、ガラスリボン2の後続部分を、重力に逆らって、斜め上方のロール43に架け渡す作業が煩雑である。さらにまた、本実施形態では、ガラスリボン2の下面を冷却するので、ガラスリボン2が下に凸の曲面状になるのを抑えることができる。よって、製品となるガラスリボン2の幅方向中央部にロール43との接触圧が集中するのを回避することができる。第2の給気管52は、徐冷炉20内において、ガラスリボン2の下方空間または/および上方空間のうち、ガラスリボン2と最上流の搬送ロール21との接点3よりも上流側の空間26に冷却ガスを供給する。第2の給気管52の給気口は、徐冷炉20内において、ガラスリボン2よりも下方または/および上方、且つ、ガラスリボン2と最上流の搬送ロール21との接点3よりも上流に設けられる限り、空間26の内部にあっても良いし、空間26の外部にあっても良く、後者の場合、空間26の外部から内部に冷却ガスを吹き込む。冷却ガスは、空間26を冷却することで、最上流の搬送ロール21との接点3よりも上流側のガラスリボン2の下面または/および上面を冷却する。これにより、チャンバー30内の出口39付近におけるガラスリボン2の温度を十分に低く設定する場合と同様の効果が得られる。第2の供給管52は、徐冷炉20内の入口23付近におけるガラスリボン2の温度が所定の温度範囲となるように、冷却ガスを連続的に供給しても良いし、断続的に供給しても良い。第3の給気管53は、チャンバー30内において、ガラスリボン2の下方空間のうち、ガラスリボン2と最上流のロール41との接点5よりも上流側の空間38に、不活性ガスを供給する。第3の給気管53の給気口は、チャンバー30内において、ガラスリボン2よりも下方、且つ、ガラスリボン2と最上流のロール41との接点5よりも上流に設けられる限り、空間38の内部にあっても良いし、空間38の外部にあっても良く、後者の場合、空間38の外部から内部に不活性ガスを吹き込む。不活性ガスは、空間38を冷却することで、最上流のロール41との接点5よりも上流側のガラスリボン2の下面を冷却する。第4の給気管54は、チャンバー30内において、ガラスリボン2の下方空間のうち、ガラスリボン2と最上流のロール41との接点5と、ガラスリボン2と最下流のロール43との接点4との間の少なくとも一部の空間37に、不活性ガスを供給する。第4の給気管54の給気口は、チャンバー30内において、ガラスリボン2よりも下方、且つ、ガラスリボン2と最上流のロール41との接点5よりも下流、且つ、ガラスリボン2と最下流のロール43との接点4よりも上流に設けられる限り、空間37の内部にあっても良いし、空間37の外部にあっても良く、後者の場合、空間37の外部から内部に不活性ガスを吹き込む。不活性ガスは、空間37を冷却することで、最上流のロール41との接点5と、最下流のロール43との接点4との間のガラスリボン2の下面の少なくとも一部を冷却する。第5の給気管55は、チャンバー30内において、フロートバス10の出口13の上壁14付近から下方に向けて不活性ガスを供給する。不活性ガスは、最上流のロール41との接点5よりも上流側のガラスリボン2の上面を冷却する。また、不活性ガスは、フロートバス10から流出する還元性ガス中の水素濃度を希釈して、水素の燃焼炎による温度変動や局部加熱を抑制する。第2~第5の給気管52~55は、第1の給気管51と組み合わせて用いられる。組み合わせて用いることで、複数の給気管が供給する供給ガスの総流量を維持しつつ、個々の給気管が供給する供給ガスの流量を低減することができる。よって、ガラスリボン2の搬送方向の温度勾配を緩やかにすることができ、ガラスリボン2の割れを抑制することができる。なお、組合せの種類や数に制限はなく、第1の給気管51を単独で用いても良い。第3~第5の供給管52~55は、チャンバー30内の出口39付近におけるガラスリボン2の温度が所定の温度範囲となるように、不活性ガスを連続的に供給しても良いし、断続的に供給しても良い。第1~第5の給気管51~55が供給する供給ガスとしては、第2の給気管52を除き、チャンバー30内における水素の燃焼を防止するため、不活性ガスが用いられる。不活性ガスとしては、アルゴンガスなどがあるが、コストの観点から、窒素ガスが望ましい。窒素ガスとしては、酸素濃度が1体積ppm以下のものが用いられる。一方、第2の給気管52が供給する供給ガスとしては、空気、水蒸気及び不活性ガスのいずれかを少なくとも含んでいるガスが用いられる。これらの供給ガスは、予熱された後に、各給気管51~55の給気口から噴出されることが望ましい。各給気口での供給ガスの温度は、400°C以上であることが望ましい。供給ガスの温度が低過ぎると、ガラスリボン2が熱衝撃で割れる虞がある。一方、供給ガスの温度が高過ぎると、ガラスリボン2を十分に冷却するのが難しい。そこで、各給気口での供給ガスの温度は、上方または下方を通過するガラスリボン2の温度を基準として80°C以上低い温度であることが望ましい。これらの供給ガスの流量は、チャンバー30内の温度分布に基づいて自動制御されて良い。例えば、チャンバー30内の温度は、熱電対などの温度センサにより検出され、その検出結果が制御装置に供給される。制御装置は、温度センサの検出結果に基づいて、各給気管51~55内に設けられる電磁弁の開度を制御する。また、本実施形態の製造装置1は、ガラスリボン2の割れを検知する検知器62をさらに備えている。検知器62は、例えば図1に示すようにチャンバー30内の出口39付近、または徐冷炉20内の入口23付近に設けられる。これにより、ガラスリボン2の割れを早期に検知することができる。検知器62は、一般的な構成であって良く、機械式のものであっても良いし、光学式のものであっても良い。例えば、検知器62は、ガラスリボン2上に載置され、ガラスリボン2が割れると落下するコロ部材、コロ部材の位置を検出する位置センサなどで構成されて良い。また、検知器62は、ガラスリボン2の側面に光を照射し、その反射光を受光して、受光量の変化に基づいて割れを検出する受光センサなどで構成されても良い。以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。以下に、実施例などにより本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。実施例1では、図1に示す製造装置1を用いて、縦1800mm×横1500mm×厚み0.7mmのガラス板を製造した。このガラス板のガラスには、徐冷点が711°Cのガラスを使用した。図1に示す第1~第5の給気管51~55から供給されるガスには、第2の給気管52を除き、窒素ガスを用いた。第2の給気管52から供給されるガスには、空気を用いた。ガラスリボン2の幅方向中央の温度は、フロートバス10内の出口13付近およびチャンバー30内の出口39付近のそれぞれにおいて、放射温度計により測定した。また、製造されるガラス板の反りの指標となる、平面歪み残留応力は、複屈折測定器により測定される、互いに直交する直線偏光波の光路差ガラス板の厚さ方向における光路差から換算して求めた。これらの測定結果を表1に示す。表1に示すように、実施例1では、ガラスリボン2の温度は、フロートバス10内の出口13付近において755°Cであり、チャンバー30内の出口39付近において697°Cであった。ガラスリボン2に割れは生じていなかった。ガラス板の平面歪みは、最大値が0.95MPaであり、平均値が0.72MPaであった。一方、比較例1では、第1~第5の給気管51~55からガスを供給しなかったことを除き、実施例1と同様にしてガラス板を製造し、実施例1と同様の測定を行った。測定結果を表1に示す。表1に示すように、比較例1では、ガラスリボン2の温度は、フロートバス10内の出口13付近において753°Cであり、チャンバー30内の出口39付近において722°Cであった。ガラスリボン2に割れは生じていなかった。ガラス板の平面歪みは、最大値が1.71MPaであり、平均値が1.31MPaであった。本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。本出願は、2010年11月18日出願の日本特許出願2010-258102に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。