被検査画像と基準画像との差分によって画像の差異や画像欠陥を検出する画像検査法において、画像の差異や画像欠陥の検出を、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準の画像のフーリエ変換強度画像との差分によって、高精度迅速に行うことを特徴とする、画像の検査方法であって、被検査画像が、基準画像に対して2次元的な平行ずれと回転ずれとを有する、または、平行ずれあるいは回転ずれを有する場合に、被検査画像と基準画像のフーリエ変換画像の強度画像と位相画像をそれぞれ求め、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像を直接差分してあるいはフーリエ変換強度画像の一方を回転角補正をした後に差分して求めたフーリエ変換強度差分画像と回転させない一方のそれぞれのフーリエ変換位相画像とを用いて逆フーリエ変換して、画像の差異や欠陥を高精度迅速に求めることを特徴とした、画像の検査方法。前記請求項1に記載の画像差異や画像欠陥の検査方法であって、基準画像と被検査画像との間に回転ずれがある場合の画像検査において、ずれ角を求めて画像差異や画像欠陥を検査するために、基準画像と被検査画像のそれぞれをフーリエ変換して、フーリエ変換の強度画像と位相画像をそれぞれ求め、前記2つのフーリエ変換強度画像の回転ずれ角を該フーリエ変換強度画像の相関計算から求めて、一方のフーリエ変換強度画像の回転角ずれを他方のフーリエ変換強度画像に合わせて角度補正した後に画像差分し、該フーリエ変換強度差分画像と前記フーリエ変換位相画像の回転させない一方とを合わせて逆フーリエ変換像をつくって、回転ずれのある被検査画像の画像の差異や欠陥の検出を迅速正確に求めることを特徴とする、画像欠陥の検査方法。前記請求項2に記載の画像差異や画像欠陥の検査方法であって、一方のフーリエ変換強度画像を他方のフーリエ変換強度画像に重ね合わせる回転角補正のための、フーリエ変換強度画像の相関をとってずれ角度を求める手法において、画像相関を求めるための比較すべき基準画像と被検査画像の2つのフーリエ変換強度画像の比較領域を、それぞれのフーリエ変換強度画像上で零次光中心を中心とした任意の半径の円輪上にとり、その円輪上の一部領域かあるいは全領域の画像の相関をとって画像のずれ角度を求めて補正する、画像のずれ角を迅速正確に求めることを特徴とする、画像欠陥の検査方法。前記請求項1に記載の画像差異や画像欠陥の検査方法であって、基準画像と被検査画像を画像差分によって画像の差異や画像欠陥を検査する方法において、前記2画像が2次元的な平行ずれと回転ずれを伴う場合の検査では、それぞれのフーリエ変換の強度画像をシャフリングすることによって、フーリエ変換強度画像の零次光の中心を自動的にフーリエ変換面の原点に移して、前記2つのフーリエ変換強度画像の零次光の中心を自動的に一致させて、画像ずれの補正を容易にすることを特徴とする、画像検査方法。コンピュータとCPUに画像を取込む電子カメラとで構成された装置であって、CPUに接続された電子カメラから撮込まれた基準画像をCPUに取込み、CPU内でフーリエ変換し、基準画像のフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像を求め、電子カメラから撮込んだ被検査画像をCPUに取込んでフーリエ変換してフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像を求め、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像を差分した、あるいは、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像とで画像相関をとって、一方を角度補正して差分したフーリエ変換強度差分画像を、基準画像あるいは被検査画像の回転角補正をしなかった一方のフーリエ変換位相画像と合わせて逆フーリエ変換して、基準画像と被検査画像の画像差異や被検査画像の画像欠陥を、平行ずれや回転ずれのある被検査画像と基準画像との比較検査において、正確、迅速に検査可能とすることを特徴とする、画像検査装置。前記請求項5に記載の画像差異や画像欠陥の検査装置であって、CPU内で、一方のフーリエ変換強度画像を他方のフーリエ変換強度画像に重ね合わせる回転角補正のための、フーリエ変換強度画像の強度の相関をとってずれ角度を求める手法において、画像相関を求めるための比較すべき基準画像と被検査画像の2つのフーリエ変換強度画像の比較領域を、それぞれのフーリエ変換強度画像上で零次光中心を中心とした任意の半径の円輪上にとり、その円輪上の一部領域かあるいは全領域の画像の相関をとって画像のずれ角度を求めて補正する、画像のずれ角を迅速正確に求めることを特徴とする、画像欠陥の検査装置。前記請求項5に記載の画像差異や画像欠陥の検査装置であって、CPU内にあらかじめ取り込まれた基準画像のフーリエ変換像のフーリエ変換強度画像と該CPUで制御された電子カメラから撮込んだ被検査画像をフーリエ変換してフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像を求め、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像を差分した、あるいは、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像とで画像相関をとって、基準画像のフーリエ変換強度画像を角度補正して差分したフーリエ変換強度差分画像を、フーリエ変換位相画像と合わせて逆フーリエ変換して、基準画像と被検査画像の画像差異や被検査画像の画像欠陥を、平行ずれや回転ずれのある基準画像と被検査画像との比較検査において、正確、迅速に検査可能とすることを特徴とする、画像検査装置。画像の差異や欠陥の検出のために、基準画像と被検査画像の差分を行って検査する場合、その際の基準画像と被検査画像の位置合わせを迅速に精度よく行うための技術開発を行うことが課題である。なお、基準画像と被検査画像の位置合わせには、2次元的な平行移動ずれと回転ずれとの補正によって、画像の位置合わせが行われる。従って、2画像の2次元的な平行ずれの補正と回転ずれの補正の方法を同時に迅速に精度よく行う方法や装置を開発することが課題であった。そこで、本発明は、基準画像と被検査画像の正確な位置合わせのために、2つの画像の2次元的な平行移動のずれと回転ずれを同時に正確に迅速に補正可能とする方法や装置を提供することを目的としてなされたものである。本発明の前記目的は、以下の方法あるいは装置構成によって達成される。つぎに概略を説明する。画像の差異や欠陥の検出のために、基準画像と、平行移動ずれと回転ずれのある被検査画像とをずれ補正して差分比較する場合、基準画像と被検査画像の2画像のフーリエ変換差分法を用いる。当該2つの画像をCPUでフーリエ変換すれば、それぞれのFT画像は強度画像と位相画像に分かれて表示される。そして、前述の基準画像と被検査画像のそれぞれのFTの強度画像は、元画像の前後、左右の位置ずれに関係なく、FT強度画像の零点が2画像間で自動的に一致する。また、被検査画像のFT強度画像の回転ずれ角度は、被検査画像の回転ずれの角度と一致する。従って、被検査画像のFT強度画像を回転ずれ角の分だけ補正すれば、被検査画像のFT強度画像は画像の位置ずれと回転ずれにかかわらず、基準画像のFT強度画像の位置に完全に一致する。そこで、被検査画像の欠陥検出は、先ず、被検査画像のFT強度画像と基準画像のFT強度画像との相関をとって回転角を求め、つぎに、その角度分だけFT強度画像の回転補正を行って位置合わせをした後、2画像のFT強度の差分を行い、その差分画像とFT位相画像とで逆フーリエ変換する。これによって、元画像の前後、左右、回転にずれがあっても、画像の欠陥検出を行うことができる。本発明が採用した目的を達成するための具体的手段はつぎのとおりである。課題解決の手段は、被検査画像と基準画像との差分によって画像の差異や画像欠陥を検出する画像検査法において、画像の差異や画像欠陥の検出を、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準の画像のフーリエ変換強度画像との差分によって、高精度迅速に行うことを特徴とする、画像の検査方法であって、被検査画像が、基準画像に対して2次元的な平行ずれと回転ずれとを有する、または、平行ずれあるいは回転ずれを有する場合に、被検査画像と基準画像のフーリエ変換画像の強度画像と位相画像をそれぞれ求め、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像を直接差分してあるいはフーリエ変換強度画像の一方を回転角補正をした後に差分して求めたフーリエ変換強度差分画像と回転させない一方のそれぞれのフーリエ変換位相画像とを用いて逆フーリエ変換して、画像の差異や欠陥を高精度迅速に求めることを特徴とした、画像の検査方法、である。課題解決の手段は、前記請求項1に記載の画像差異や画像欠陥の検査方法であって、基準画像と被検査画像との間に回転ずれがある場合の画像検査において、ずれ角を求めて画像差異や画像欠陥を検査するために、基準画像と被検査画像のそれぞれをフーリエ変換して、フーリエ変換の強度画像と位相画像をそれぞれ求め、前記2つのフーリエ変換強度画像の回転ずれ角を該フーリエ変換強度画像の相関計算から求めて、一方のフーリエ変換強度画像の回転角ずれを他方のフーリエ変換強度画像に合わせて角度補正した後に画像差分し、該フーリエ変換強度差分画像と前記フーリエ変換位相画像の回転させない一方とを合わせて逆フーリエ変換像をつくって、回転ずれのある被検査画像の画像の差異や欠陥の検出を迅速正確に求めることを特徴とする、画像欠陥の検査方法、である。課題解決の手段は、前記請求項2に記載の画像差異や画像欠陥の検査方法であって、一方のフーリエ変換強度画像を他方のフーリエ変換強度画像に重ね合わせる回転角補正のための、フーリエ変換強度画像の相関をとってずれ角度を求める手法において、画像相関を求めるための比較すべき基準画像と被検査画像の2つのフーリエ変換強度画像の比較領域を、それぞれのフーリエ変換強度画像上で零次光中心を中心とした任意の半径の円輪上にとり、その円輪上の一部領域かあるいは全領域の画像の相関をとって画像のずれ角度を求めて補正する、画像のずれ角を迅速正確に求めることを特徴とする、画像欠陥の検査方法、である。課題解決の手段は、前記請求項1に記載の画像差異や画像欠陥の検査方法であって、基準画像と被検査画像を画像差分によって画像の差異や画像欠陥を検査する方法において、前記2画像が2次元的な平行ずれと回転ずれを伴う場合の検査では、それぞれのフーリエ変換の強度画像をシャフリングすることによって、フーリエ変換強度画像の零次光の中心を自動的にフーリエ変換面の原点に移して、前記2つのフーリエ変換強度画像の零次光の中心を自動的に一致させて、画像ずれの補正を容易にすることを特徴とする、画像検査方法、である。課題解決の手段は、コンピュータとCPUに画像を取込む電子カメラとで構成された装置であって、CPUに接続された電子カメラから撮込まれた基準画像をCPUに取込み、CPU内でフーリエ変換し、基準画像のフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像を求め、電子カメラから撮込んだ被検査画像をCPUに取込んでフーリエ変換してフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像を求め、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像を差分した、あるいは、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像とで画像相関をとって、一方を角度補正して差分したフーリエ変換強度差分画像を、基準画像あるいは被検査画像の回転角補正をしなかった一方のフーリエ変換位相画像と合わせて逆フーリエ変換して、基準画像と被検査画像の画像差異や被検査画像の画像欠陥を、平行ずれや回転ずれのある被検査画像と基準画像との比較検査において、正確、迅速に検査可能とすることを特徴とする、画像検査装置、である。課題解決の手段は、前記請求項5に記載の画像差異や画像欠陥の検査装置であって、CPU内で、一方のフーリエ変換強度画像を他方のフーリエ変換強度画像に重ね合わせる回転角補正のための、フーリエ変換強度画像の強度の相関をとってずれ角度を求める手法において、画像相関を求めるための比較すべき基準画像と被検査画像の2つのフーリエ変換強度画像の比較領域を、それぞれのフーリエ変換強度画像上で零次光中心を中心とした任意の半径の円輪上にとり、その円輪上の一部領域かあるいは全領域の画像の相関をとって画像のずれ角度を求めて補正する、画像のずれ角を迅速正確に求めることを特徴とする、画像欠陥の検査装置、である。課題解決の手段は、前記請求項5に記載の画像差異や画像欠陥の検査装置であって、CPU内にあらかじめ取り込まれた基準画像のフーリエ変換像のフーリエ変換強度画像と該CPUで制御された電子カメラから撮込んだ被検査画像をフーリエ変換してフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像を求め、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像を差分した、あるいは、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像とで画像相関をとって、基準画像のフーリエ変換強度画像を角度補正して差分したフーリエ変換強度差分画像を、フーリエ変換位相画像と合わせて逆フーリエ変換して、基準画像と被検査画像の画像差異や被検査画像の画像欠陥を、平行ずれや回転ずれのある基準画像と被検査画像との比較検査において、正確、迅速に検査可能とすることを特徴とする、画像検査装置、である。本発明の主たる効果は、画像欠陥の検査を行うために、被検査画像と基準画像とを画像差分によって比較するときに、被検査画像と基準画像のフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像をそれぞれ求め、2つのFT強度画像の回転ずれを補正して差分し、該差分FT強度画像とFT位相画像を用いて逆フーリエ変換して、画像の差異を正確に求めることによって、被検査画像と基準画像との2画像間に平行ずれ、回転ずれがあっても、画像欠陥の検査が比較的簡単に迅速に行われるようにして、課題を解決したことである。具体的に述べればつぎのとおりである。すなわち、被検査画像と基準画像との差分によって画像の差異や画像欠陥を検出する画像検査法において、被検査画像が、基準画像に対して2次元的な平行ずれと回転ずれとを有する、または、平行ずれあるいは回転ずれを有する場合でも、被検査画像と基準画像のフーリエ変換画像のFT強度画像とFT位相画像をそれぞれ求め、被検査画像のFT強度画像と基準画像のFT強度画像を直接差分してあるいはフーリエ変換強度画像の一方を回転角補正をした後に差分して求めたFT強度差分画像と回転させない一方のそれぞれのFT位相画像とを用いて逆フーリエ変換して、画像の差異や欠陥を高精度迅速に求めることができる。本発明の効果は、前述の手法によって、被検査画像が、基準画像に対して2次元的な平行ずれと回転ずれとを有する、または、平行ずれあるいは回転ずれを有する場合でも、画像欠陥の検査が比較的簡単に迅速に行われることを可能にしたことである。これによって、課題は解決された。本発明の効果は、基準画像と被検査画像との間に回転ずれがある場合の画像検査において、被検査画像と基準画像のFT強度画像の角度ずれをFT強度画像の相関計算から求めることによって、FT強度画像の角度補正を迅速に行うことができ、回転ずれのある画像の差異や欠陥を高精度迅速に求めることを可能にしたことである。これによって、本発明の効果は発揮され、課題は解決された。本発明の効果は、画像差異や画像欠陥の検査方法において、基準画像と被検査画像の、FT強度画像の角度補正を相関法で行う場合に、画像相関を求めるための比較すべき基準画像と被検査画像の2つのFT強度画像の比較領域を、それぞれのFT強度画像上で零次光中心を中心とした任意の半径の円輪上にとり、その円輪上の一部領域かあるいは全領域の画像強度の相関をとって画像のずれ角度を求めて補正するという、画像のずれ角を迅速正確に求める手法を発明して、回転ずれのある画像の差異や欠陥を更に高精度迅速に求めることを可能にしたことである。これによって、本発明の効果は発揮され、課題は解決された。本発明の効果は、画像差異や画像欠陥の検査方法において、FT強度画像をシャフリングすることによって、平行ずれのある画像の原点位置合わせを迅速に自動的に行うことができるようにし、更に回転ずれの補正を行うために原点の合致を自動化して迅速化したことである。これによって、本発明の効果は発揮され、課題は解決された。本発明の効果は、基準画像と被検査画像の画像差異や被検査画像の画像欠陥を、平行ずれや回転ずれのある被検査画像と基準画像との比較検査において、コンピュータとCPUに画像を取込む電子カメラとで構成された装置を用いて、正確、迅速に検査可能としたことである。これによって、本発明の効果は発揮され、課題は解決された。本発明の効果は、平行ずれや回転ずれのある画像の差異や欠陥を高精度迅速に求める装置において、画像のずれ角度を求めて補正する、画像のずれ角補正に、フーリエ変換強度画像上で零次光中心を中心とした任意の半径の円輪上にとり、その円輪上の一部領域かあるいは全領域の画像強度の相関をとって画像のずれ角度を求めて補正するという、画像のずれ角を更に迅速正確に求める手法を装置に組み込んで、検査を更に高速度化する装置を開発したことである。これによって、本発明の効果は発揮され、課題は解決された。図1に、先行技術文献である特許文献1に示される、基準画像11に対して被検査画像12が2次元的に平行移動ずれした画像のFT強度画像の差分法を用いた画像の差異や欠陥の検査結果の一例を示した。基準画像はサイズが256pixel×256pixelで黒地に白英文字Aが描かれている。被検査画像は、白英文字Aは同サイズ同形状であるが5×5pixelサイズの黒色の欠陥を持ち、横、縦の座標軸で原点からの位置に画像原点をもって、基準画像と平行移動ずれした位置にある。CPUに取込んだ基準画像11をフーリエ変換してFT強度画像21とFT位相画像31を得、CPUに取込んだ被検査画像12のFT強度画像22及びFT位相画像32を得て、基準画像のFT強度画像21と被検査画像のFT強度画像22を比較すると、それらFT強度画像の零次位置は一致し、それら2つのFT強度画像は完全に一致することが認められる。さて、基準画像のFT強度画像21と被検査画像のFT強度画像22を差分して、FT強度差分画像41あるいは42を得る。FT強度差分画像41と基準画像のFT位相画像31とで逆フーリエ変換画像をつくれば、原点を中心にした基準画像A上の位置に欠陥だけを抽出した欠陥画像51が現われる。また、FT強度差分画像42と被検査画像のFT位相画像32とで逆フーリエ変換画像をつくれば、座標を中心にした被検査画像の在った位置に欠陥だけを抽出した欠陥画像52が現われる。従って、2次元平行移動ずれを有する被検査画像の差異や欠陥の検査が特許文献1に示されるように、この手法を用いて迅速正確に行われることが実験的に確認された。従って、基準画像に対して2次元平行移動ずれを有する被検査画像の差異や欠陥の検査で、FT強度画像の差分法を用いれば、それら2つのFT強度画像の零次位置は一致し、FT強度画像のパターンとサイズも完全に一致して、2次元平行移動ずれを有する被検査画像の差異や欠陥の検査は正確に行われることが認められた。そこで、本発明である、平行移動ずれ、回転ずれを含んだ2原画像のフーリエ変換強度の差分で、2原画の差異を正確、迅速に検査する方法あるいは装置構成の成立について、数式的な検討を加えると以下のようになる。さて、平行移動ずれ、回転ずれを含んだ2原画像のフーリエ変換強度の数式的な表現はつぎのようになる。基準画像、および被検査画像、をそれぞれ以下のように表わす。なお、被検査画像は、基準画像と同じ画像が平行ずれと回転ずれをしているとして、平行ずれ、回転ずれがそれぞれ以下のようであるとすれば、被検査画像はつぎのように表わされる。ただしそこで、基準画像のフーリエ変換はつぎのようになる。像の3次か4次程度のパターンが取込める任意の大きさの半径の円輪10を定め、その円輪10上での画像強度分布の相関をとり、回転ずれ角を求める。なお、円輪上での画像相関は、円輪上で全ての画像でとる必要はなく、全円輪の14か16程度の円輪上での画像相関をとればよい。FT強度画像は元画像に比較して画像の特徴が明確であり、相関計算が明確になるという特徴がある。また、FT強度画像は画像の特徴が抽出されているから、画像相関の比較画素は円輪上の画素の全てを用いる必要はない。更に、相関計算には計算画素が少ない方が時間的な優位性があるから、少ない画素で相関強度を求めることがよい。FT強度画像の円輪上の相関計算からずれ角を求めて角度補正した基準画像のFT強度画像212と被検査画像のFT強度画像22のFT強度差分画像42を求めて、このFT強度差分画像42と被検査画像のFT位相画像32とを合わせて逆フーリエ変換すれば、欠陥が抽出された画像52が求まる。前述した如く、FT強度画像上の円輪10上での画像相関強度を求めて回転ずれの角度を正確迅速に求めることができ、回転ずれと平行ずれを有する画像の差異や欠陥が正確迅速に求められた。なお、図4には、基準画像のFT強度画像を回転補正することが示されているが、被検査画像のFT強度画像を回転補正することによっても同様に、回転ずれと平行ずれを有する画像の差異や欠陥を正確迅速に求めることができることも明らかとなった。図5に、被検査画像が基準画像に対して平行ずれと回転ずれを同時に持った場合の、FT強度差分法による画像欠陥検査の手順と検査例を示した。被検査画像は、の位置に画像原点をもって、基準画像と2°傾いて、平行ずれと回転ずれした位置にある。CPUに取込んだ基準画像11と被検査画像12とをそれぞれフーリエ変換して基準画像のFT強度画像21、および被検査画像のFT強度画像22、FT位相画像32を得る。基準画像のFT強度画像21と被検査画像のFT強度画像22の相関強度を求めて画像ずれの回転角度を求めるにあたって、前記それぞれのFT強度画像上に、FT強度画像が明確に現われる3次か4次程度の回折パターンが取込める任意の大きさの半径の円輪10を定め、その円輪10上での画像強度分布の相関をとり、回転ずれ角を求める。FT強度画像の円輪上の相関計算からずれ角を求めて角度補正した基準画像のFT強度画像212と被検査画像のFT強度画像22のFT強度差分画像42を求めて、このFT強度差分画像42と被検査画像のFT位相画像32とを合わせて逆フーリエ変換すれば、欠陥が抽出された画像52が求まる。前述した如く、FT強度画像上の円輪10上での画像相関強度を求めて回転ずれの角度を正確迅速に求めることができ、回転ずれと平行ずれを有する画像の差異や欠陥が正確迅速に求められた。なお、図5には、基準画像のFT強度画像を回転補正することが示されているが、被検査画像のFT強度画像を回転補正することによっても同様に、回転ずれと平行ずれを有する画像の差異や欠陥を正確迅速に求めることができることも明らかとなった。理論的研究および実験的研究の結果、本発明の効果は明確にされ、課題が解決されることが確認された。なお、本発明の、画像の差異や画像欠陥の検査方法、および、コンピュータとCPUに画像を取込む電子カメラとで構成された装置であって、前述の画像欠陥等の検査方法を画像処理ソフトとして組み込んだ画像検査装置、に於いても、本発明によって課題が明確に解決されることが確認された。更になお、本発明の一つを構成する装置発明は、照明、リニアガイド、載物台、エリアカメラまたはラインスキャンカメラ、CPUによって構成され、CPUに接続された電子カメラから撮込まれた基準画像をCPUに取込み、CPU内でフーリエ変換し、基準画像のフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像を求め、電子カメラから撮込んだ被検査画像をCPUに取込んでフーリエ変換してフーリエ変換強度画像とフーリエ変換位相画像を求め、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像を差分した、あるいは、被検査画像のフーリエ変換強度画像と基準画像のフーリエ変換強度画像とで画像相関をとって、一方を角度補正して差分したフーリエ変換強度差分画像を、基準画像あるいは被検査画像の回転角補正をしなかった一方のフーリエ変換位相画像と合わせて逆フーリエ変換して、基準画像と被検査画像の画像差異や被検査画像の画像欠陥を、平行ずれや回転ずれのある基準画像と被検査画像との比較検査を行う方法を、正確、迅速に実行することを可能にする、画像検査装置である。