"固定側でなる固定輪,前記固定輪に対して回転可能に支持された回転輪,及び前記固定輪に対して前記回転輪を相対回転駆動するモータを有し,前記モータの一次側でなる電機子コイルを構成する環状に巻回された三相のコアレスコイルでは前記固定輪にそれぞれ配設され,前記モータの二次側でなる界磁マグネットを構成するマグネットは前記電機子コイルに対向して磁極を交互にして前記回転輪にそれぞれ配設されていることから成るアライメントステージ装置において,前記回転輪は,前記固定輪の中空孔部の固定側端部に配設された軸受を介して回転可能に嵌合支持されて中空孔を有する円筒形状に形成され,前記固定輪の高さより高く設定されており,前記電機子コイルは前記固定輪の前記中空孔部の内周面に周方向に沿って前記固定輪の端面に対して垂直に延びてそれぞれ配設され,前記マグネットは前記回転輪の外周面に周方向に沿って前記電機子コイルに対向して前記回転輪の端面に対して垂直に延びてそれぞれ配設され,前記電機子コイルからの引き出し線を配線するコイル配線用基板は前記固定輪の反固定側の前記端面に前記電機子コイルに対して垂直に且つ周方向に延びて配設されていることを特徴とするアライメントステージ装置。前記電機子コイルの外側の円筒凸面は,前記固定輪の前記中空孔部の前記内周面に対応した形状に形成され,前記固定輪の反固定側端部の前記内周面に隔置して複数形成された凹溝にそれぞれ嵌合して位置決めされる回り止め用突部を備えていることを特徴とする請求項1に記載のアライメントステージ装置。前記電機子コイルは,前記コアレスコイルが前記界磁マグネットの前記マグネットに露出して対向して円筒凹面に形成され,前記円筒凹面側に位置する前記コアレスコイルの露出面以外の領域は絶縁性の高い樹脂でモールドして覆われていることを特徴とする請求項1又は2に記載のアライメントステージ装置。前記電機子コイルの前記回り止め用突部には,前記電機子コイルの一方の引き出し線が配設され,他方の引き出し線が前記電機子コイルの前記樹脂の上端から延びていることを特徴とする請求項3に記載のアライメントステージ装置。前記電機子コイルの前記回り止め用突部は,断面形状は半円形状の細長い棒状であって,その長さは前記電機子コイルの腕の幅寸法と同程度の長さを有することを特徴とする請求項2~4のいずれか1項に記載のアライメントステージ装置。前記軸受の外輪を前記固定輪に固着するための押え板を前記固定輪の取付端面側のインロー部に嵌入するように嵌合して,前記軸受の内輪を前記回転輪に固着するための押え板を前記回転輪の端面に配設して,固定ねじによりそれぞれ位置決め固着していることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載のアライメントステージ装置。前記軸受は,転動体であるローラが軸心を交互に直交して交差状に配設されてなるクロスローラ軸受であることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載のアライメントステージ装置。前記固定輪に取り付けた前記電機子コイルの前記コアレスコイルが3×n個,前記回転輪に取り付けた前記界磁マグネットの前記マグネットが4×n個になる関係であり,前記コアレスコイルが12個,前記マグネットが16個で構成されていることを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載のアライメントステージ装置。固定側でなる固定輪,前記固定輪に対して回転可能に支持された回転輪,及び前記固定輪に対して前記回転輪を相対回転駆動するモータを有し,前記モータの一次側でなる電機子コイルを構成する環状に巻回された三相のコアレスコイルでは前記固定輪にそれぞれ配設され,前記モータの二次側でなる界磁マグネットを構成するマグネットは前記電機子コイルに対向して磁極を交互にして前記回転輪にそれぞれ配設されていることから成るアライメントステージ装置において,前記回転輪は,前記固定輪の中空孔部の固定側端部に配設された軸受を介して回転可能に嵌合支持されて中空孔を有する円筒形状に形成され,前記電機子コイルは,前記固定輪の前記中空孔部の内周面に周方向に沿って前記固定輪の端面に対して垂直に延びてそれぞれ配設されており,前記界磁マグネットを構成する平板状の前記マグネットは,前記回転輪の外周面の周方向に沿って形成された多角形状の平面の取付面に,隣接する前記マグネット間にそれぞれ隙間を保って前記回転輪の端面に対して垂直に延びて配設されていることを特徴とするアライメントステージ装置。前記固定輪の外径寸法Dに対する前記回転輪の前記中空孔の内径寸法dの寸法比率d/Dが少なくとも60~75の範囲に設定され,且つ前記外径寸法Dに対する前記固定輪の前記端面である取付面から前記回転輪の前記端面であるワーク取付面までの高さ寸法hの寸法比率h/Dが少なくとも40~55の範囲に設定されていることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載のアライメントステージ装置。前記寸法比率d/Dが65~70の範囲に設定され,且つ前記寸法比率h/Dが45~50の範囲に設定されていることを特徴とする請求項10に記載のアライメントステージ装置。従来のアライメントステージ装置は,外径の大きさを小さく抑えた構成でありながら,電機子コイルを最大のスペースに配設して推力アップを実現していた。しかしながら,上記のアライメントステージ装置は,中央に形成した孔部の中空径を広げることは構成上,困難であった。また,上記のアライメントステージ装置は,コンパクトと言っても,まだ大きなサイズのものになっており,また,安価に作製するように構成されていたので,電機子コイルが矩形環状になり,界磁マグネットを構成する多数のマグネットが矩形板状に形成され,互いに水平方向に対向して配設されて,他の直動案内ユニットにおけるリニアモータの構成部品として利用する構造に構成されていた。即ち,上記のアライメントステージ装置は,ターンテーブルの推力即ち回転トルクを得るため,電機子組立体を構成する多数の電機子コイル及び界磁マグネットを構成する多数のマグネットを要し,これらの電機子コイルとマグネットとが円形状に対向状態に配設された外径が大きなサイズに形成されていた。従って,上記のアライメントステージ装置を,更に一層小形な構造に構成し,更に一層の推力をアップさせることが望まれていた。また,上記のように電機子コイルと界磁マグネットとを水平面上の上下方向に対向させた永久磁石式モータは,磁気ディスク装置における磁気へッド位置決め用等に利用されるものであり,ターンテーブルにワーク等を搭載して,該ワークを角度位置決めするアライメントステージ装置に適用するのには,不向きなものであった。この発明の目的は,上記の課題を解決するものであり,固定輪の中空状孔部に回転輪を回転可能に配設し,固定輪の前記孔部の内周面に電機子コイルのコアレスコイルを配設し,電機子コイルに対向して回転輪の外周面に界磁マグネットのマグネットを配設し,電機子コイルと界磁マグネットとを固定輪の端面に対して垂直方向,言い換えれば,高さ方向に対向させ,固定輪と回転輪との半径方向厚さを薄く構成して回転輪の中空孔を可及的に大きくして軽量に構成し,回転輪の回転による慣性モーメントを小さく構成して,高速,高加減速に良好に追従して高応答に構成すると共に,回転輪に取り付けたワーク等の機器の位置決めを高精度に達成できるダイレクトドライブ型モータを内蔵したアライメントステージ装置を提供することである。この発明は,固定側でなる固定輪,前記固定輪に対して回転可能に支持された回転輪,及び前記固定輪に対して前記回転輪を相対回転駆動するモータを有し,前記モータの一次側でなる電機子コイルを構成する環状に巻回された三相のコアレスコイルは前記固定輪にそれぞれ配設され,前記モータの二次側でなる界磁マグネットを構成するマグネットは前記電機子コイルに対向して磁極を交互にして前記回転輪にそれぞれ配設されていることから成るアライメントステージ装置において,前記回転輪は,前記固定輪の中空孔部の固定側端部に配設された軸受を介して回転可能に嵌合支持されて中空孔を有する円筒形状に形成され,前記固定輪の高さより高く設定されており,前記電機子コイルは前記固定輪の前記中空孔部の内周面に周方向に沿って前記固定輪の端面に対して垂直に延びてそれぞれ配設され,前記マグネットは前記回転輪の外周面に周方向に沿って前記電機子コイルに対向して前記回転輪の端面に対して垂直に延びてそれぞれ配設され,前記電機子コイルからの引き出し線を配線するコイル配線用基板は前記固定輪の反固定側の前記端面に前記電機子コイルに対して垂直に且つ周方向に延びて配設されていることを特徴とするアライメントステージ装置に関する。このアライメントステージ装置において,前記電機子コイルの外側の円筒凸面は,前記固定輪の前記中空孔部の前記内周面に対応した形状に形成され,前記固定輪の反固定側端部の前記内周面に隔置して複数形成された凹溝にそれぞれ嵌合して位置決めされる回り止め用突部を備えているものである。また,前記電機子コイルは,前記コアレスコイルが前記界磁マグネットの前記マグネットに露出して対向して円筒凹面に形成され,前記円筒凹面側に位置する前記コアレスコイルの露出面以外の領域は絶縁性の高い樹脂でモールドして覆われている。更に,前記電機子コイルの前記回り止め用突部には,前記電機子コイルの一方の引き出し線が配設され,他方の引き出し線が前記電機子コイルの前記樹脂の上端から延びているものである。更に,前記電機子コイルの前記回り止め用突部は,断面形状は半円形状の細長い棒状であって,その長さは前記電機子コイルの腕の幅寸法と同程度の長さを有するものである。また,このアライメントステージ装置は,前記軸受の外輪を前記固定輪に固着するための押え板を前記固定輪の取付端面側のインロー部に嵌入するように嵌合して,前記軸受の内輪を前記回転輪に固着するための押え板を前記回転輪の端面に配設して,固定ねじによりそれぞれ位置決め固着している。また,前記軸受は,転動体であるローラが軸心を交互に直交して交差状に配設されてなるクロスローラ軸受である。前記固定輪に取り付けた前記電機子コイルの前記コアレスコイルが3×n個,前記回転輪に取り付けた前記界磁マグネットの前記マグネットが4×n個になる関係であり,前記コアレスコイルが12個,前記マグネットが16個で構成されている。また,この発明は,固定側でなる固定輪,前記固定輪に対して回転可能に支持された回転輪,及び前記固定輪に対して前記回転輪を相対回転駆動するモータを有し,前記モータの一次側でなる電機子コイルを構成する環状に巻回された三相のコアレスコイルでは前記固定輪にそれぞれ配設され,前記モータの二次側でなる界磁マグネットを構成するマグネットは前記電機子コイルに対向して磁極を交互にして前記回転輪にそれぞれ配設されていることから成るアライメントステージ装置において,前記回転輪は,前記固定輪の中空孔部の固定側端部に配設された軸受を介して回転可能に嵌合支持されて中空孔を有する円筒形状に形成され,前記電機子コイルは,前記固定輪の前記中空孔部の内周面に周方向に沿って前記固定輪の端面に対して垂直に延びてそれぞれ配設されており,前記界磁マグネットを構成する平板状の前記マグネットは,前記回転輪の外周面の周方向に沿って形成された多角形状の平面の取付面に,隣接する前記マグネット間にそれぞれ隙間を保って前記回転輪の端面に対して垂直に延びて配設されていることを特徴とするアライメントステージ装置に関する。また,前記固定輪の外径寸法Dに対する前記回転輪の前記中空孔の内径寸法dの寸法比率d/Dが少なくとも60~75の範囲に設定され,且つ前記外径寸法Dに対する前記固定輪の前記端面である取付面から前記回転輪の前記端面であるワーク取付面までの高さ寸法hの寸法比率h/Dが少なくとも40~55の範囲に設定されている。更に,前記寸法比率d/Dが65~70の範囲に設定されていることが好ましく,且つ前記寸法比率h/Dが45~50の範囲に設定されていることが好ましい。この発明によるアライメントステージ装置は,上記のように構成されているので,同じ大きさの中空径を持つ従来タイプの中空構造のステージ装置に比べて,コンパクトな外形で,省スペース化に貢献することができる。即ち,このアライメントステージ装置は,固定輪の孔部に回転輪を嵌合状態に配設し,固定輪の内周面と回転輪の外周面との間の円周状即ち環状のスペースに電機子コイルと界磁マグネットとを高さ方向に配設してモータを構成したので,半径方向に薄肉のモータを構成でき,装置全体をコンパクトに構成することができ,しかも径方向のサイズによって電機子コイルのコアレスコイルと界磁マグネットのマグネットとの設置数を容易に調整でき,モータの駆動力を所望に構成することができる。また,回転輪の中空孔径を拡大することによって,回転輪が軽量化されて慣性モーメントが小さくなり,アライメントステージの位置決め動作に必要なエネルギーが抑えられる。このアライメントステージ装置は,固定輪の外径寸法に対して,回転輪の中空孔径を可能な限り拡大することで,回転輪の中空孔のスペースの有効利用を向上させることができる。従来タイプの中空構造のアライメントステージ装置では,中空孔に配管等を通していたが,この発明のアライメントステージ装置では,回転輪の中空孔に配管を通す以外に,機械や装置の配線を通したり,他の機器類を通すこと,又は,透過光の測定などに有効利用が可能になる。また,この発明のアライメントステージ装置は,中空孔の寸法を可能な限り外径寸法に近づけた構造を持ち,中空空間を活用できる薄肉,低断面なステージ装置を実現できる。電機子コイルは,絶縁性の高い樹脂で個別にモールドすることによって,鋼製の固定輪との間にモールド材とは別の絶縁部材を介在させることがなく,そのまま取り付け可能となる。また,電機子コイルは,固定輪の内周面と同じR形状即ち円筒面に形成することによって,そのまま固定輪の内周面に取り付け可能になる。また,平板状コイルと比較して,コイルとマグネットのギャップを狭く構成できるので,推力を大きく構成できる。また,電機子コイルには,回り止め突起があるので,電機子コイル固定時の位置決めが容易で,組立て性が良好になる。更に,電機子コイルは,樹脂材でモールドされているが,表面を覆う樹脂の厚みを薄くすることができる。その結果,電機子コイルとコイルヨークである固定輪の距離を小さく構成でき,同時に界磁マグネットとコイルヨークとの距離が小さくなり,界磁マグネットからの磁束を強くすることができる。また,コイル配線用基板は,固定輪の反取付面側の端面に配置されているので,固定輪の内面に配置される電機子コイルに発生するジュール熱が伝わり難く,基板上の設けられた他の電機回路部品の熱による誤動作や損傷を防止することができる。また,固定輪に回転輪を回転可能に支持する軸受は,固定輪と回転輪のインロー部に押え板で固定するので,ステージ装置の総高さを抑えることができる。また,界磁マグネットは,他の製品の平板形状マグネットを流用でき,1種類のマグネットでモータを構成できるので,管理コスト面で有利となる。界磁マグネットは,マグネット同士の間即ち周方向に僅かな隙間を設けて配置しており,その結果,仮にアライメントステージ装置が稼働しているときに界磁マグネットに位置ずれが発生しても,隣り合う界磁マグネット同士が干渉して,回転輪から脱落することが予防され,また,界磁マグネットの寸法誤差や取付位置の誤差を吸収できる。更に,回転輪は,多角形状の平面で構成されているので,界磁マグネットの配設が容易になる。アライメントステージ装置には,クロスローラ軸受が組み込まれる。クロスローラ軸受は,コンパクトでありながら,ラジアル荷重,アキシアル荷重,モーメントを同時に受けることができ,ステージ装置のサイズを小形化することができる。以下,図面を参照して,この発明によるアライメントステージ装置の実施例を説明する。このアライメントステージ装置は,先に出願した本出願人に係る特許4584626号に開示されたアライメントステージ装置に対して,モータの構成方向を変えて,全体的に円筒タイプのアライメントステージ装置に構成し,固定輪1の外径寸法Dに対して回転輪2の中空孔の内径寸法dを可及的に拡大し,装置そのものの軽量化を計り,高速,高応答,高精度な装置に構成したものである。このアライメントステージ装置は,回転輪2の中空孔7の内径寸法dを可能なかぎり大きくするために,薄肉の固定輪1,薄肉の回転輪2,薄肉の電機子コイル5を構成するコアレスコイルを用いており,モータ線52を通じて電流が供給される固定輪1に配設された一次側の電機子コイル5と回転輪2に配設された二次側の界磁マグネット4とを固定輪1や回転輪2との端面に垂直な高さ方向に対向設置した永久磁石式モータを内蔵し,固定輪1の外径寸法Dに対して回転輪2の中空径が大きなダイレクトドライブタイプの装置に構成されている。即ち,このアライメントステージ装置は,従来のものよりも,固定輪1の外径寸法Dに対して回転輪2の中空孔7の内径寸法dを可能な限り拡大して,中空孔7部分の空間を有効利用できるダイレクトドライブタイプのアライメントステージ装置を提供することである。それ故に,このアライメントステージ装置の外形の大きさを抑えた構成でありがら,回転輪2の中空孔7の内径寸法dを可能な限り大きくしたものである。このアライメントステージ装置は,例えば,各種機器,可動テーブル等の各種ベースに取り付けて使用され,θ方向を含む運動を実現することができるものである。このアライメントステージ装置は,固定輪1,回転輪2,固定輪1に対して回転輪2を相対回転駆動する永久磁石式のモータを有するものであり,図1~図3に,アライメントステージ装置の外観が示されている。図4には,図1に示した各種の部品,即ち,遮蔽板6,原点前センサ14,及びリミットセンサ15,16を外した状態を示している。図5及び図6には,アライメントステージ装置の断面図が示されている。図7~図9には,固定輪1が示されており,図10~図12には回転輪2が示されており,図13~図16には,電機子コイル5が示されている。このアライメントステージ装置は,特に,回転輪2が固定輪1の中空円形孔の孔部10の固定側端部に配設した軸受3図5を介して回転可能に嵌合支持された円筒形状に形成され,回転輪2が固定輪1の高さより高く設定されている。更に,電機子コイル5が固定輪1の孔部10の内周面に周方向に沿って複数配設されている。また,界磁マグネット4のマグネット4Mが回転輪2の外周面48の平面状の取付面38に電機子コイル5に対向して,隙間Cを持ってそれぞれ配設されている。詳しくは,界磁マグネット4を構成する平板状のマグネット4Mは,回転輪2の外周面48の周方向に沿って形成された多角形状の平面の取付面38に,隣接するマグネット4M間にそれぞれ隙間Cを保って回転輪2の固体側端面に対して垂直に延びて配設されている。また,回転輪2の外周面48には,フランジ部から成る突き当て部37が設けられており,マグネット4Mは,それらの上面が突き当て部37の下面が突き当たる状態で回転輪2の外周面48の取付面38に互いに隙間Cだけ隔置してそれぞれ配設されて位置決めされている。また,電機子コイル5からの引き出し線18を配線するコイル配線用基板11は,固定輪1の反固定側端面である上端面53に電機子コイル5と直角をなす向きに配設されている。このアライメントステージ装置では,図1と図2に示すように,位置決めされるワーク等の機器図示せずは,回転輪2の上側の端面であるワーク取付面54に設けたワーク固定用のねじ穴24を通じて回転輪2の上方に固定される。また,図3及び図5に示すように,回転輪1には,軸受3を介して回転輪2が回転自在に取り付けられる。また,固定輪1は,その下端面である固定側の端面である取付面56に設けられた固定用ねじ穴29を通じてベース等の機台にねじで固定される。軸受3は,押え板25,26によって固定されるものである。押え板25,26は,本装置の下面側の固定輪1のインロー部33図8に嵌入するように嵌合して,固定ねじ27,28を固定輪1と回転輪2とに形成された押え板固定用ねじ穴34に螺入することにより,軸受3の外輪12を固定輪1に取り付け,内輪13を回転輪2に取り付け,その上で固定輪1を外輪12に位置決め固着している。また,固定輪1には孔部10の内周面に沿って電機子コイル5のコアレスコイル5Cがそれぞれ配設され,また,回転輪2には,外周面48の取付面38に沿って界磁マグネット4のマグネット4Mがそれぞれ配設され,その状態で回転輪2を固定輪1に嵌入配設して,回転輪2は軸受3を介して固定輪1に回転自在に支持される。図5における符号35は読み取りヘッド用ブロックである。また,このアライメントステージ装置は,固定輪1の外径寸法をD,回転輪2の通し孔である中空孔7の内径寸法をdとすると,寸法比率d/Dが,60~75の範囲に設定され,好ましくは,65~70の範囲に設定されているものである。例えば,寸法比率d/Dが60以下であると,無用な部分の厚みが増して,軽量化を損なって回転輪2の慣性モーメントが大きくなり,高速,高加減速に追従できず,固定輪1に対する回転輪2の位置決めのレスポンスが悪化する。また,寸法比率d/Dが75以上になると,固定輪1と回転輪2との厚みが薄くなり過ぎ,剛性が不足し,強度不足になり,回転輪2のスムーズな回転運動に支障をきたすことになる。即ち,このアライメントステージ装置では,寸法比率d/Dの75が実用可能な仕様の上限になり,寸法比率d/Dが75以上の大きな中空径の仕様では,例えば,固定輪1の外径寸法Dがφ150mmに対して,回転輪2の内径寸法dがφ115mmの場合では,ある程度の推力を得られる構造とするとき,モータ部分を除いた回転輪2と固定輪1との合計の肉厚が5mm程度となり,実用上の限界に近いと思料される。固定輪1の外径寸法Dに対する固定輪1の固定側の取付面56から回転輪2のワーク取付面54までの高さ寸法hの寸法比率h/Dは,寸法比率d/Dを上記の範囲を維持して,ある程度の推力を得られる構造とする場合には,40~55の範囲内に設定されるものであり,好ましくは,45~50の範囲内に設定されるものである。このアライメントステージ装置は,回転輪2の中空孔7を可及的に大きく形成することによって,回転輪2の質量を軽く構成でき,回転輪2の可動部慣性モーメントを小さく構成でき,回転輪2が駆動する時に回転輪2の加減速時における必要トルクを小さく構成できる。可動部である回転輪2を加速させるのに必要なトルクには,回転輪2の回転抵抗によるトルクと,回転輪2の加速に要するトルクがあり,可動部慣性モーメントが小さくなることで,回転輪2の加速に要するトルクも小さくなる。従って,このアライメントステージ装置では,回転輪2の駆動に必要なトルクが小さく構成できるので,最大トルクの小さいモータでも短い加速時間で最高速度に達することができる。その結果,回転輪2の急加速,急停止を伴う運転パターン指令にも追従でき,レスポンスが向上して高タクト動作を行うことができる。回転輪2の中空孔7を極端に拡大して薄肉化した場合には,可動部の回転輪2と固定側の固定輪1が薄くなることで,機械的な剛性が不足して,高速,高加減速運転での位置決め動作に支障をきたすことになる。また,回転輪2の中空孔7は,大きなサイズの機器を通す又は設置することができ,スペースの有効利用ができ,例えば,装置から太いケーブル等の機器を通すことができる。また,このアライメントステージ装置では,回転輪2の中空孔7を大きく構成できるので,光源を透過できる範囲を大きくすることができ,下面側から光を透過する透過光測定等に使用することができ,より広い面積を検査することができるようになる。このアライメントステージ装置において,モータは,回転輪2をダイレクトに駆動するダイレクトドライブ型のモータに構成されている。モータは,一次側でなる電機子コイル5のコアレスコイル5Cと二次側でなる界磁マグネット4を構成するマグネット4Mとから構成される。モータの一次側でなる電機子コイル5は,扁平で環状に巻回された三相のコアレスコイル5Cから構成されている。モータの二次側でなる界磁マグネット4は,平らな板状に形成されたマグネット4Mから構成されている。モータは,固定輪1の孔部10の内周面に電機子コイル5を配設し,回転輪2の外周面48に界磁マグネット4のマグネット4Mを全周にわたり,対向して配置することによって,永久磁石式モータが構成されている。モータの構成は,マグネット4Mの吸引力をキャンセルして,軸受3にかかる負荷を低減することができる。モータの構成は,回転輪2に界磁マグネット4を配置したので,回転輪2への電気配線を不要にした構造に構成されている。このアライメントステージ装置では,モータは,電機子コイル5を3個と界磁マグネット4を4個で1組を構成し,全体として,合計4組が配置され,電機子コイル5のコアレスコイル5Cを12個,界磁マグネット4のマグネット4Mを16個で構成されている。このアライメントステージ装置では,回転輪2は,マグネットヨークとして,磁気回路部分になる鋼製の磁性材料で構成されている。このアライメントステージ装置は,予め決められた所定の角度θの範囲内を揺動回転して回転輪2に設置されたワーク等に対して位置決めすることができるステージに構成されている。本実施例では,前記所定の角度θは,260°に設定されている。このアライメントステージ装置について,具体的な実施例として,固定輪1の外周面の外径寸法Dは,φ150mmであり,回転輪2の中空孔7の内周面の内径寸法dは,φ100mmであり,装置の高さを構成する固定輪1の固定側の取付面56から回転輪2のワーク取付面54までの高さ寸法hは67mmであり,それで,寸法比率h/Dは約45となり,総重量は3.5kgに設定されている。軸受3は,図5に示すように,固定輪1に取り付けられた外輪12,回転輪2に取り付けられた内輪13,外輪12と内輪13間に配設されている転動体であるローラ31から構成され,ローラ31の軸心を交互に直交して交差状に配設されてなるクロスローラ軸受から構成されている。従って,このアライメントステージ装置は,軸受3で回転輪2を固定輪1の下端部に回転可能に支持でき,しかも,固定輪1の孔部10である内周面に薄肉でなる電機子コイル5を配設し,回転輪2の外周面48に薄肉でなる界磁マグネット4を配設し,全体としてコンパクトに構成でき,固定輪1と回転輪2との下端部を軸受3で相対回転自在に構成したので,総高さもコンパクトに構成されている。図13~図16には,電機子コイル5の例が示されている。電機子コイル5は,コアレスコイル5Cが個別に樹脂49でモールドされている。電機子コイル5の外側面は,固定輪1の内周形状に一致するR形状即ち円筒凸面41の凸曲面Gに形成され,また,電機子コイル5の内側面は,同様にR形状即ち円筒凹面40の凹曲面Fに形成され,全体にわたって肉厚が略等しく成るように樹脂49で形成されている。電機子コイル5は,回転輪2側の円筒凹面である凹曲面Fは,例えば,曲率R62.5の曲面に形成され,凹曲面Fには,コアレス部45を持つコアレスコイル5Cが界磁マグネット4側に露出対向し,界磁マグネット4のマグネット4Mとの距離を可及的に狭く構成して装置全体の薄肉構造に貢献している。電機子コイル5のコアレスコイル5Cの界磁マグネット4側のその他の5面である,上面42,下面43,両側面44,円筒凸面の凸曲面Gは,その周囲が厚さt2が0.5mmのモールド材で覆われ,コイル内径側部分はモールド材即ち樹脂49で構成されている。電機子コイル5のモールド材は,絶縁性の高い樹脂49が選定されており,電機子コイル5の固定輪1への組み付け時に固定輪1との間にモールド材以外の絶縁性部材を介在させる必要がなく,電機子コイル5を固定輪1の孔部10の内周面に配置するだけで組み付けが達成できる。電機子コイル5の固定輪1側の凸曲面である円筒凸面Gの上部には,回り止め用突部39が設けられているおり,回り止め用突部39は,固定輪1の内周面10の周方向に隔置して形成されている凹溝50に挿入されることによって,電機子コイル5が固定輪1の内周面10との位置決めと回り止めとの機能を果たすことができる。電機子コイル5の樹脂製のチューブ51は,引き出し線18に被せて,電機子コイル5のモールド時に引き出し線18をガイドする役割を果たす。電機子コイル5の回り止め用突部39は,電機子コイル5の幅方向の中央位置に位置しており,細長い棒状の形状で断面形状は略半円形状で,その長さは電機子コイル5の腕の幅寸法と同程度に形成されている。また,電機子コイル5は,引き出し線18の出口を電機子コイル5の上側端面に2つ有しており,そのうち1つは電機子コイル5の回り止め用突部39に配置され,もう1つは,モールド材で覆われない内側の凹曲面F側から見て,左側に配置されている。また,電機子コイル5は,その回り止め用突部39がコイル配線用基板11側となるように固定輪1の孔部10の内周面に取り付けられる。電機子コイル5の回り止め用突部39は,コイル配線用基板11側に設けられている。コイル配線用基板11は,厚さt1が1mmの略C字形の平板形状に形成されている。また,コイル配線用基板11は,アライメントステージ装置の固定輪1における反取付面側の上端面53に2個配設されている。このアライメントステージ装置は,非接触の読み取りヘッド20を備えた光学式エンコーダを備えており,該光学式エンコーダは,回転輪2の外周面48に接着固定された反射テープから成る光学式スケール8と,これに対向して配設されたブロック35を介して固定輪1の上端面53にねじ固定された読み取りヘッド20とによって,回転輪2の回転角度を検出するように構成され,検出信号はエンコーダ線19を通じてコントローラ図示せずに入力される。読み取りヘッド20には,原点検出用の磁気センサが内蔵されており,回転輪2のワーク取付面54の原点マーク取付用凹部36に固定された原点マーク9に接着固定されたマグネットが磁気センサ上部を通過することによって原点信号を出力するように構成されている。また,回転輪2の外周面48のワーク取付面側には,環状の段部55が設けられている。回転輪2の環状段部55には,透明な中空円盤が嵌合しており,中空円盤は,内径側に数箇所の孔が設けられ,くさび形状を持つ突起部を有する固定具23が差し込まれる。固定具23のくさび部分は,中空円盤の孔に差し込まれることによって,中空円盤が回転輪2に対して回転したり,浮き上がりを抑える機能を果たす。中空円盤は,固定具23によって回転輪2にねじ止め固定することによって,回転輪2に固定されている。中空円盤は,遮蔽用シール30を貼ることで,遮蔽板6を構成している。遮蔽板6は,遮蔽用シール30の形状を変えることによって,センサの検出位置を容易に変更することができるものである。このアライメントステージ装置において,固定輪1に固定されたブラケット46には,回転輪2の時計回り方向のリミットセンサ15,及び反時計回り方向のリミットセンサ16,及び原点前センサ14として,透過型フォトセンサが取り付けられている。これらのセンサ14~16は,センサ線17を通じてコントローラ図示せずに接続されている。固定輪1側のリミットセンサ15,16は,回転輪2側の遮蔽板6を検知してリミット信号を出力するように構成されている。原点前センサ14は,リミットセンサ15,16と同様の構造となっている。フォトセンサは,径方向に位置をずらして配置されており,遮蔽板6を同心円状に複数構成することによって,それぞれ個別にセンサの検出位置を調整することができる。固定輪1には,樹脂ブロックから構成された時計回りの方向に揺動する回転輪2を停止させるメカストッパ21と,反時計回りの方向に揺動する回転輪2を停止させるメカストッパ22とがねじ固定されている。また,回転輪2の外周面48には,メカストッパ21,22に当接して回転輪2の揺動範囲を規制する回転輪側メカストッパ32が取り付けられている。メカストッパ21,22は,図1,図2,図4に示すように,回転輪2の回転範囲を規制するために固定輪1に設けられている。メカストッパ21,22は,回転輪2の回転範囲即ち動作角度が280°の範囲に成る位置に設定されている。回転輪側メカストッパ32は,衝撃吸収を目的として,頭部にウレタンコーティングを施している。回転輪2に固定した回転輪側メカストッパ32を,固定輪1のメカストッパ21,22に当接させることによって,回転輪2の回転範囲が規制されるようになっている。"