Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Dy、Ho、Yb、Zr、Sr、Ba、Mn、Fe、Co、MaおよびGaのうちから選択される少なくとも1種の金属の金属酸化物のナノファイバーの製造方法であって、a前記金属の塩を含有する化合物前駆体を紡糸して、前記金属酸化物の前駆体を含有するナノファイバーを製造することと、b前記金属の塩を含有する前駆体のナノファイバーを500~800°Cの温度範囲内で焼成し、前記少なくとも1種の金属元素を含有する金属酸化物のナノファイバーを得ることと、を含む、金属酸化物のナノファイバーの製造方法。前記金属酸化物は、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、SmおよびGdから選択される少なくとも1種の金属の金属酸化物である、請求項1に記載の製造方法。前記前駆体中に、高分子化合物が含有される、請求項1または2に記載の製造方法。前記金属酸化物の前駆体のナノファイバーは、電界紡糸または液中紡糸法を利用して製造される、請求項1~3のいずれか一項に記載の製造方法。Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Dy、Ho、Yb、Zr、Sr、Ba、Mn、Fe、Co、MaおよびGaのうちから選択される少なくとも1種の金属元素を含有する金属酸化物のナノファイバーであって、前記ナノファイバーの平均径は20~1000nmの範囲であり、前記ナノファイバー中の結晶体の平均結晶粒は2~20nmの範囲である、金属酸化物のナノファイバー。請求項5記載の金属酸化物のナノファイバーを含む、固体電解質材料。請求項6記載の固体電解質材料から製造される、燃料電池。請求項6記載の固体電解質材料から製造される、酸素センサ。上記に鑑み、本発明の目的は、低温下で高いイオン導電率を有する金属酸化物のナノファイバーを提供することにある。また、本発明の別の目的は、前記金属酸化物により形成される固体電解質および/または燃料電池を提供することにあり、前記固体電解質材料は低温下で高いイオン導電率およびイオン/電子混合導電性を有し、前記燃料電池は低温下で高いパワー出力を有する。また、本発明のもう1つの目的は、金属酸化物のナノファイバーの製造方法を提供することにある。上記目的を達成するため、発明者らは先人の発明特許を基礎として研究を重ね、上記イオン導電性を有する金属酸化物を対象とし、ナノファイバーの製造技術を採用して、低温合成焼成により結晶粒子の成長を制御することにより、材料の結晶内および結晶粒界におけるインピーダンスが低い高イオン導電率固体電解質材料を得た。当該材料は低温下で非常に高い導電率を有する。具体的に、本発明は主に以下の通りである。本発明の一観点によると、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Dy、Ho、Yb、Zr、Sr、Ba、Mn、Fe、Co、MaおよびGaのうちから選択される少なくとも1種の金属の金属酸化物のナノファイバーの製造方法が提供されており、a上記金属の塩を含有する前駆体を紡糸して、前記金属の塩を含有する前駆体のナノファイバーを得ることが可能であることと、b上記金属の塩を含有する前駆体のナノファイバーを500~800°Cの温度範囲内で焼成し、金属酸化物のナノファイバーを得ることが可能であることと、を含む。本発明の一観点によると、前記金属酸化物は、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、SmおよびGdから選択される少なくとも1種の金属の金属酸化物であってよい。本発明の一観点によると、前記前駆体中に、高分子化合物を含んでよい。本発明の一観点によると、電界紡糸または液中紡糸法を利用して前記金属酸化物の前駆体のナノファイバーを製造してよい。本発明の別の観点によると、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Dy、Ho、Yb、Zr、Sr、Ba、Mn、Fe、Co、MaおよびGaのうちから選択される少なくとも1種の金属元素の金属酸化物のナノファイバーが提供されており、前記ナノファイバーの平均径は20~1000nmの範囲でよく、前記ナノファイバー中の結晶体の平均結晶粒は2~20nmの範囲でよい。本発明の一観点によると、上記金属酸化物のナノファイバーを含んでよい固体電解質材料が提供されている。本発明の一観点によると、上記固体電解質材料により製造されてよい燃料電池が提供されている。本発明の一観点によると、上記固体電解質材料により製造されてよい酸素センサが提供されている。本発明に基づき製造されるセリア系固体電解質ナノファイバーは材料の結晶内および結晶粒界における電気抵抗を顕著に低減可能であるとともに、材料は高い酸素イオンまたは酸素イオン/電子および空孔複合導電特性を有し、従来のブロック体材料または薄膜材料に比べて低温下で著しく高いイオンまたは混合導電率を有するため、新型の高いイオン導電率を有するまたは混合導電型の固体電解質材料とすることができる。本発明の上記および/または付加的な側面ならびに利点は添付図面と合わせた以下の実施例についての記述により明らかとなり、理解は容易となろう。本発明の付加的な側面および利点は以下の記述中に部分的に示されており、当該部分は以下の記述において明らかとなるか、または本発明の実践により理解可能となる。1金属酸化物ナノファイバーここにおいて、金属酸化物とは金属元素の酸化物を主な形態とする化合物を指す。前記金属酸化物中には1種または複数種の金属元素が含まれてよく、好適には1種から2種の金属元素が含まれる。前記金属元素は、スカンジウム、イットリウム、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ガドリニウム、ジスプロシウム、ホルミウム、イッテルビウムなどの希土類金属、およびジルコニウム、ストロンチウム、バリウム、マンガン、鉄、コバルト、マグネシウムおよびガリウムなどその他金属の少なくとも1種としてよい。好適には、スカンジウム、イットリウム、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウムまたはガドリニウム元素の少なくとも1種であり、より好適には、スカンジウム、セリウム、プラセオジム、サマリウムおよびガドリニウム元素の少なくとも1種を含有する。その他、前記金属酸化物中に、その他の金属元素を含有してもよい。しかし、本発明において効果が最良である金属酸化物中の金属元素は、上記金属から選択される。本発明は特定の金属酸化物に限定されず、例えば、ガドリニウムドープセリアGDC中に2種類の希土類金属元素を含む金属酸化物、イットリア安定化ジルコニアYSZ、例えば希土類金属元素とその他金属元素とを含有するペロブスカイト構造酸化物例えばLSGM、BSCFまたはパイロクロア構造の金属酸化物である。以下において、上記金属酸化物を利用して金属酸化物ナノファイバーを作製して、高イオン導電性または混合導電性の固体電解質材料を得る方法について詳細に説明する。本発明のナノファイバーとは繊維形状の材料であり、ナノファイバーの直径の範囲は広く、平均径は20~1000nmの範囲としてよく、繊維の縦方向平均長さと平均径との比は100よりも大きい。平均径は好適には40~500nmの範囲内であり、より好適には50~100nmの範囲である。上記ナノファイバーの平均長さは、好適には平均径の100000倍、より好適には1000000倍がさらに望ましい。言い換えると、平均長さは好適には0.4cmを超え、より好適には5cmを超える。ナノファイバーの平均長さおよび平均径は、走査型電子顕微鏡SEMおよび高分解能透過型電子顕微鏡HRTEMを利用して10本のナノファイバーを測定した後の平均値であり、X線回折法XRDを使用してピーク半値幅法に基づき測定し、ナノファイバーの平均径を算出することもできる。本発明の金属酸化物ナノファイバーは、金属塩を含有するナノファイバーを高温下で焼成することにより得られたものである。焼成温度および時間を制御することにより、適当な長さおよび平均径を有する、少なくとも1種の金属元素を含有する酸化物ナノファイバーを得ることができる。焼成工程は以下の通りである。ここにおいて、焼成工程とは、金属の塩が酸化されて金属酸化物を形成し、金属酸化物の融点を下回る温度以下で金属酸化物が結晶化し、小さな金属酸化物の結晶が徐々に凝集して比較的大きな結晶に成長する過程を指す。すなわち焼成工程には金属酸化物の形成、金属酸化物の結晶化および結晶粒子の成長過程が含まれる。本発明の金属酸化物ナノファイバーは三次元結晶構造を有する金属酸化物結晶により構成される。本発明の金属酸化物ナノファイバーは隣り合う金属酸化物結晶粒子が接続してなる結晶粒界ネットワーク構造であるため、比較的高いイオン導電性を得ることができる。ここにおいて、金属酸化物ナノファイバーの平均結晶粒子寸法範囲は好適には2~20nmであり、より好適には4~10nmである。その場合、焼成後の金属酸化物ナノファイバーの密度は理論密度の90以上であるべきであり、好適には95以上またはそれを上回る。上記性能を有するナノファイバーを使用することにより高性能の固体電解質材料を得ることができ、それは固体電解質燃料電池の小型化応用を満足するとともに促進することができる。本発明中のナノファイバー材料の結晶相および平均結晶粒子寸法はSEMおよびHRTEMにより、10以上の結晶粒の長軸方向の長さを測定した後に平均値を取って得ることができ、XRD測定法により確定することもできる。焼成密度はアルキメデス法に基づき算出して得られる。X線回折法XRDを利用して結晶格子定数を得て、結晶格子定数に基づき理論密度を算出することができる。本発明において、固体電解質とはイオン導電性を有する固体材料を指す。上記のような本発明の金属酸化物ナノファイバー固体電解質は、低温下で非常に高い導電性能を有する図7。本発明の金属酸化物ナノファイバーは従来の発明に比べて、従来のナノファイバーおよびブロック体材料よりも小さい結晶粒子寸法を有するとともに、三次元で結晶配列される特許文献8参照。本発明の金属酸化物ナノファイバーの結晶粒子電気抵抗および結晶粒界電気抵抗は顕著に低下している。そのため、本発明の金属酸化物ナノファイバー固体電解質の導電率は、作動温度400~600°Cの範囲において、同様の化学的組成を有する従来のブロック体金属酸化物固体電解質よりも100~1000倍高い。かつ、本発明の金属酸化物ナノファイバー固体電解質は、同一の導電率である場合は、従来の固体電解質材料の使用温度範囲よりも数百度低い。上記導電率の測定は、等価回路モデルを利用し、交流インピーダンススペクトル測定法を採用し、Cole-Cole図を使用してナノファイバーの全電気抵抗、結晶粒子電気抵抗および結晶粒界電気抵抗を算出することにより、相応の導電率を算出することができる。本発明の金属酸化物ナノファイバー固体電解質は低温範囲内において高いイオン導電率を有するので、好適には固体電解質燃料電池または酸素センサに用いることができる。図1に示されているのは本発明の金属酸化物ナノファイバーを含む固体電解質燃料電池セルの概略図である。但し、本発明の実際の燃料電池への応用面はこれに限るものではない。図内の101は上記本発明の金属酸化物ナノファイバーを含む固体電解質燃料電池であり、本発明の金属酸化物ナノファイバー固体電解質102と、103カソードおよび104アノードの一対の電極とからなる。ここにおいて、空気はカソード103端から導入され、水素ガスおよびその他燃料はアノード104端から提供され、外部回路負荷110上で起電力が発生する。上記金属酸化物ナノファイバーからなる燃料電池は優れた性能を有し、特に作動温度400~600°Cの比較的低い温度領域において安定した電力出力を有することができる。2金属酸化物ナノファイバーの製造方法本発明の金属酸化物ナノファイバーの製造方法には、ナノファイバーの調製工程および焼成工程が含まれる。各工程について、以下の通り説明する。ナノファイバーの調製この工程について、その目的は金属塩を含有する前駆体に対してナノファイバー紡糸過程を実施して、金属塩を含有するナノファイバーを形成することにある。ここにおいて、前駆体とは金属塩を含有するナノファイバーを形成するための物質を指す。ナノファイバーの形成過程において、前駆体の化学成分内には最終的に金属酸化物ナノファイバーを形成するために必須の金属塩が含まれていなければならず、さらに溶媒および複数種の化合物も含まれる。当該前駆体は通常はゾル状である。その場合、溶媒としての組成は特に限定されるわけではなく、有機溶媒としてよく、水またはアルコールとしてもよく、好適には水である。金属塩は前述の金属カチオンの塩としてよく、その組成は具体的に限定されず、具体的な金属カチオンによる塩の種類は、硝酸塩、硫酸塩、ハロゲン化物など各種の無機塩類、および当該カチオンを含む有機塩類としてよく、本発明において好適には硝酸イオンを含有する塩である。前駆体中の金属塩の濃度は、好適にはその質量百分率濃度が2~10wtの間である。ナノファイバーに平滑かつ均一な直径を形成させるため、前駆体の化学成分中に一般には高分子ポリマーが含まれ、その他化合物も含まれる可能性がある。この種の前駆体の組成を選択する目的は高粘度のゾル状物質を得ることである。前駆体中に用いる高分子化合物は、具体的に限定されず、複数種の選択が可能であり、例えば、ポリビニルアルコールPVA、ポリビニルブチラール、ポリエチレングリコールなどである。本発明において好適にはポリビニルアルコールであり、ポリマー平均分子量Mwは好適には1000~100000の範囲内である。ポリマー濃度は一般に質量百分率が5wt~15wtである。金属塩、溶媒、高分子化合物を含む前駆体ゾル状物質を形成する過程において、工程の順序は特に限定されず、先ず高分子化合物を溶媒中に溶解してよく、先ず金属塩を溶媒中に溶解してよく、金属塩と高分子化合物とを同時に溶媒中に溶解することもできる。好適には先ず高分子化合物を溶媒中に溶解してから、さらに金属塩を高分子化合物が先に溶解された溶媒中に溶解してもよい。上記方法によりナノファイバーの調製に適したゾル状の前駆体溶液を得ることができる。本発明のナノファイバーの紡糸工程においては、特定の工程に限定されず、例えば、電気紡糸法以外に、ゾルスピニング法、メルトブロー法、またはナノポリマーの混合溶融紡糸法などその他の方法を採用してもよい。但し、本発明において好適には電気紡糸法を採用する。各種紡糸法はすべて公開されている技術である。例えば、電気紡糸法は、上記方法により調製された前駆体溶液をノズルを介してノズルとの間に一定の電圧電界が印加された基板上に噴射し、金属塩を含有するナノファイバーを形成する。その場合、ノズルの直径は0.5~4mmの範囲で選択され、電界印加の電圧は10~30kVの範囲で選択される。ノズルと基板との間の距離は10~30cmの範囲で選択される。溶液高圧噴射法を採用する場合は、スリットを有する容器中に上記方法により調製された前駆体溶液を注入し、容器中に高圧を印加して、その金属塩前駆体溶液をスリット中から噴出させてファイバーを形成する。その場合、スリットの幅は好適には0.1~0.5mmの範囲内である。印加される圧力は好適には1~10メガパスカルMPaの範囲内である。このようにして、金属塩を含有する前駆体のナノファイバーを得ることができる。次いで、下記の焼成過程により形状および長さが好適な金属酸化物ナノファイバーを得ることができるだろう。焼成工程この過程は、上記工程で得られた金属塩を含有するナノファイバーを焼成することにより金属酸化物の焼成体形式のナノファイバーを得るものである。この工程により、金属は酸化されて金属酸化物を形成し、金属酸化物は結晶化し、凝集して、結晶体が長くなり、結晶粒寸法が比較的大きな金属酸化物結晶体を形成する。この過程において、焼成温度の範囲は500~800°Cであり、好適には550~650°Cの範囲内である。焼成時間は一般には2~10時間以上であり、好適には2~4時間である。この焼成過程は空気雰囲気中で実施してよいが、焼成を加速させるため、雰囲気中の酸素分圧を低下させ、例えば水素ガス雰囲気、窒素ガス雰囲気、真空または水素ガスとアルゴンガスとの混合雰囲気中で焼成してもよい。本発明においては、従来の工程よりも非常に低い温度下で焼成が行われて、結晶化が良好な金属酸化物ナノファイバーが得られた。比較的低い温度での焼成を採用することにより、ナノ結晶粒子の金属酸化物が三次元で結晶配列したナノファイバーが得られた。この種の金属酸化物ナノファイバーは、その三次元結晶配列の隣り合う金属酸化物結晶粒子間が接続されて結晶粒界ネットワーク構造が構成されて、最終的に結晶粒界および結晶内におけるインピーダンスが大幅に低下する。そのため、本発明の技術によれば、比較的低い温度領域においてイオン導電率が高い金属酸化物のナノファイバーを得ることができる。また、前駆体中に高分子化合物を含有する場合は、焼成過程において、金属塩のナノファイバー中の高分子化合物は燃焼によりナノファイバー中から除去される。高分子化合物が除去されることによりナノファイバーの直径は収縮し、最終的に適当な直径の金属酸化物のナノファイバーが得られる。このようにして得られたイオン伝導性が高い金属酸化物のナノファイバーは小型の固体電解質材料として用いることができる。以上の説明に基づき、本発明の製造方法により、比較的低い温度範囲内でイオン伝導性が高い金属酸化物のナノファイバーを得ることができる。従って、本発明の製造方法により得られた金属酸化物ナノファイバー固体電解質は、例えば携帯電話、ノートパソコンもしくはその他の携帯型電子機器の動力源である小型燃料電池、または酸素センサの製作に用いることができる。以下において添付図面を参照して記述する実施例は例示的なものであり、本発明の解釈のみに用い、本発明を制限するものと解釈することはできない。原料:CeNO336H2O純度99.9以上GdNO336H2O純度99.9以上YNO336H2O純度99.9以上ZrONO322H2O純度99.9以上ポリビニルアルコールPVA、MW=80000金属酸化物ナノファイバーの製造:以下の方法に基づき、Ce0.9Gd0.1O1.95GDCの前駆体溶液を調製した。0.6gのPVA粒子を5.4gの脱イオン水中に溶解し、温度60°C下で加熱しながら3時間撹拌してPVA水溶液を得た。その後、0.48gのセリウムおよびガドリニウムを含有する金属硝酸塩モル比はCe:Gd=9:1を上記PVA水溶液に加えた。室温下で2時間撹拌した後に、ガドリニウムを含有する硝酸セリウム/PVAの透明ゾル状の前駆体溶液が得られた。同様に、8molのY2O3-ZrO2YSZの前駆体溶液を調製した。上記と同一の方法でPVA水溶液を調製した。その後、0.36gのイットリウムを含有するジルコニウム硝酸塩Zr:Yのモル比=23:4を上記PVA水溶液中に加えた。室温下で2時間撹拌した後に硝酸ジルコニウムイットリウム/PVAの透明ゾル状の前駆体溶液が得られた。上記で得られた透明ゾル状の前駆体溶液を、皮下注射用の注射器中に加え、注射器の針とファイバー受入基板電極との間に16kVの電圧を印加するとともに、注射器の針とファイバー受入基板電極との間の距離を16cmとした。その際、前駆体のナノファイバーは注射器針から噴出され、基板上に収集された。電気紡糸の詳細装置は図2に示されている通りである。図2は特別に設計された一次元一定方向配列のナノ前駆体ファイバーを製造する装置の概略図である。この種の一次元一定方向配列のナノ前駆体ファイバー装置を利用して一次元一定方向配列のナノ前駆体ファイバーを得ることができ、さらに焼成後のナノファイバーの電気的性能の測定試験を簡便に実施することができるとともに、燃料電池または酸素センサ用の固体電解質材料の調製も簡便となる。図2aに示されている通り、ナノ前駆体ファイバー受入基板としてのカソードは、幅1cmの2つの接地された導電が良好な平行銅板を採用して構成され、電界作用下で紡出された金属塩を含有する前駆体ナノファイバーは2つの銅板電極の間に平行に配列され、その後、厚み1mmの石英ガラス基板上に直接移行した。このようにして得られたナノ前駆体ファイバーをそれぞれ500°C、600°Cまたは750°C下で2時間焼成すると、金属酸化物のナノファイバーが得られた図2b。良好な電気的接続を確保するため、一定方向配列の金属酸化物ナノファイバーと垂直な方向に互いに70μmの間隔をあけた2つの白金電極を作製した。導電性能を測定するための装置は図2cに示されている通りである。1対の平行な電極間に、平均で約75本のナノファイバーが存在していた。ナノファイバーの電気的性能の測定電気化学ワークステーションZahner、IM6、Germanyを採用し、空気雰囲気中でGDCおよびYSZナノファイバーの400~650°Cの温度範囲内における交流インピーダンススペクトルを測定して、GDCおよびYSZナノファイバーの結晶粒界、結晶粒子および総導電率を算出した。図6は空気中において500°C下で測定されたそれぞれ500°C、600°Cまたは750°Cで焼成したGDCナノファイバーの交流インピーダンススペクトルの測定結果である。過去の大多数の研究報告結果と一致して、結晶粒子の直径が30nm未満であると、交流インピーダンススペクトル曲線中には単一の円弧のみを有する。測定試料のインピーダンス値は、交流インピーダンススペクトル測定曲線の結果からRQ等価回路に基づきフィッティングさせて得られたものである。ここにおいて、Rは電気抵抗を示し、QはコンスタントフェーズエレメントCPEconstantphaseelementを示す。その後、実数軸の半円接線により総インピーダンス結晶内結晶粒界を確定した。図6に示されている通り、金属酸化物ナノファイバーの仮焼温度が500°Cから750°Cまで上昇するに伴い、GDC試料のインピーダンス値は先ず低下してその後上昇に転じている。600°Cで焼成された試料が最小値を得ている。そのため、600°Cで焼結されたGDCナノファイバーの導電率が最高となっている。GDCおよびYSZナノファイバーの導電率は、公式4L/nπRd2により算出することができる。ここにおいて、Rは交流インピーダンススペクトルの測定結果から得られたナノファイバーの電気抵抗であり、Lはナノファイバー上における白金電極間の距離L=70μmであり、dは1本のナノファイバーの直径d=50nmであり、nはナノファイバーの本数n=75である。図7に示されているのは上記により算出された導電率データである。対比として、すでに公開報告されているGDCおよびYSZブロック体セラミック平均結晶粒径は500nm超の導電性能も図7中に列記されている。異なる焼成温度下で得られたGDCまたはYSZナノファイバーの導電率は、いずれもすでに公開報告されているGDCまたはYSZブロック体セラミックの導電率を大きく上回っていた。具体的には、GDCナノファイバーの測定温度が500°C時である場合の導電率は4.00S/cmであり、温度が210°Cである場合の導電率は0.01S/cmであり、過去に報告されている同一組成のブロック体材料の性能を大きく上回っていた。本発明の複数の例示的な実施例を参照して本発明の具体的な実施形態について詳細に記述してきたが、当業者であれば多様なその他の改良および実施例を設計することが可能であり、それら改良および実施例は本発明原理の精神及び範囲の内にあることは理解すべきである。具体的に言えば、上記で開示された、添付図面および特許請求の範囲内において、通常の技術に基づき合理的な変型および改良を施しても、本発明の精神は逸脱していない。本発明の範囲は添付されている特許請求の範囲およびその均等物により限定される。