半導体スイッチSWのオン制御によって、コンデンサC0から高圧パルス電流を発生させてコンデンサC1を充電するパルス発生回路と、前段コンデンサが高圧充電された時点からVT積で決まる時間後に可飽和リアクトルが飽和して後段コンデンサに圧縮パルス電流として転送する回路を少なくとも1段または複数段を縦続接続し、前記コンデンサC1を前段コンデンサとし、前記後段コンデンサを負荷に高圧パルスを印加するピーキングコンデンサCPとする磁気パルス圧縮回路を備えたパルス電源において、前記磁気パルス圧縮回路から前記ピーキングコンデンサに転送されるパルスに含まれるプリパルス電圧と逆極性で、かつ同じタイミングのプリパルス補償電圧を、前記磁気パルス圧縮回路の1つのコンデンサから取り出し、このプリパルス補償電圧を前記ピーキングコンデンサCPに印加することで、プリパルス電圧を相殺するプリパルス補償電圧生成回路を備えたことを特徴とするパルス電源。半導体スイッチSWのオン制御によって、コンデンサC0から高圧パルス電流を発生させてコンデンサC1を充電するパルス発生回路と、前段コンデンサが高圧充電された時点からVT積で決まる時間後に可飽和リアクトルが飽和して後段コンデンサに圧縮パルス電流として転送する回路を少なくとも1段または複数段を縦続接続し、前記コンデンサC1を前段コンデンサとし、前記後段コンデンサを負荷に高圧パルスを印加するピーキングコンデンサCPとする磁気パルス圧縮回路を備えたパルス電源において、前記磁気パルス圧縮回路から前記ピーキングコンデンサに転送されるパルスに含まれるプリパルス電圧と逆極性で、かつ同じタイミングのプリパルス補償電圧を、前記磁気パルス圧縮回路の1つのコンデンサから取り出し、このプリパルス補償電圧を前記ピーキングコンデンサCPに印加することで、プリパルス電圧を相殺することを特徴とするプリパルス電圧低減方法。前記のように、負荷や用途によっても異なるが、プリパルス電圧は、パルスエネルギー注入前に負荷両端に印加してしまうため、パルスエネルギー注入前に放電が開始してしまう等、負荷に対して悪影響を及ぼす。このプリパルス電圧を低減するため、可飽和リアクトルのコア特性の改良等がなされているが、不充分なものであった。本発明の目的は、プリパルス電圧の低減を確実、容易にしたパルス電源およびプリパルス電圧低減方法を提供することにある。本発明は、前記の課題を解決するため、縦続接続される複数段の磁気パルス圧縮回路のコンデンサに印加されるパルス電圧から、プリパルス電圧と逆極性で、かつ同じタイミングのプリパルス補償電圧を取り出し、このプリパルス補償電圧をピーキングコンデンサCPに印加することで、プリパルス電圧を相殺するようにしたもので、以下の装置および方法を特徴とする。1半導体スイッチSWのオン制御によって、コンデンサC0から高圧パルス電流を発生させてコンデンサC1を充電するパルス発生回路と、前段コンデンサが高圧充電された時点からVT積で決まる時間後に可飽和リアクトルが飽和して後段コンデンサに圧縮パルス電流として転送する回路を少なくとも1段または複数段を縦続接続し、前記コンデンサC1を前段コンデンサとし、前記後段コンデンサを負荷に高圧パルスを印加するピーキングコンデンサCPとする磁気パルス圧縮回路を備えたパルス電源において、前記磁気パルス圧縮回路から前記ピーキングコンデンサに転送されるパルスに含まれるプリパルス電圧と逆極性で、かつ同じタイミングのプリパルス補償電圧を、前記磁気パルス圧縮回路の1つのコンデンサから取り出し、このプリパルス補償電圧を前記ピーキングコンデンサCPに印加することで、プリパルス電圧を相殺するプリパルス補償電圧生成回路を備えたことを特徴とするパルス電源。2半導体スイッチSWのオン制御によって、コンデンサC0から高圧パルス電流を発生させてコンデンサC1を充電するパルス発生回路と、前段コンデンサが高圧充電された時点からVT積で決まる時間後に可飽和リアクトルが飽和して後段コンデンサに圧縮パルス電流として転送する回路を少なくとも1段または複数段を縦続接続し、前記コンデンサC1を前段コンデンサとし、前記後段コンデンサを負荷に高圧パルスを印加するピーキングコンデンサCPとする磁気パルス圧縮回路を備えたパルス電源において、前記磁気パルス圧縮回路から前記ピーキングコンデンサに転送されるパルスに含まれるプリパルス電圧と逆極性で、かつ同じタイミングのプリパルス補償電圧を、前記磁気パルス圧縮回路の1つのコンデンサから取り出し、このプリパルス補償電圧を前記ピーキングコンデンサCPに印加することで、プリパルス電圧を相殺することを特徴とするプリパルス電圧低減方法。以上のとおり、本発明によれば、縦続接続される複数段の磁気パルス圧縮回路のコンデンサに印加されるパルス電圧から、プリパルス電圧と逆極性で、かつ同じタイミングのプリパルス補償電圧を取り出し、このプリパルス補償電圧をピーキングコンデンサCPに印加することで、プリパルス電圧を相殺するようにしたため、プリパルス電圧の低減が確実、容易になる。図1は、本発明の実施形態を示すパルス電源の回路図であり、図3と異なる部分はプリパルス補償電圧生成回路を設けた点にある。以下、プリパルス補償電圧生成回路の構成とそれを中枢とした動作を説明する。3つの分圧コンデンサC1-1~C1-3は、これらを直列接続した構成により、図3におけるコンデンサC1と等価な容量と耐圧をもつ回路を実現する。すなわち、分圧コンデンサC1-1~C1-3の各容量はコンデンサC1の約3倍の容量とし、分圧コンデンサC1-1~C1-3の各耐圧はコンデンサC1の約1/3の耐圧とする。3つの分圧ピーキングコンデンサCP-1~CP-3は、これらを直列接続した構成により、図3のピーキングコンデンサCPと等価な容量と耐圧をもつ回路を実現する。すなわち、分圧ピーキングコンデンサCP-1~CP-3の各容量はピーキングコンデンサCPの約3倍の容量とし、分圧ピーキングコンデンサCP-1~CP-3の各耐圧はピーキングコンデンサCPの約1/3の耐圧とする。パルストランスPTAは、その一次側には可飽和リアクトルSR2-2が直列接続されて分圧コンデンサC1-3の両端に接続され、分圧コンデンサC1-3の充電電圧に対して可飽和リアクトルSR2-2のVT時間積後の分圧コンデンサC1-3の電圧をプリパルス補償電圧として取り込む。パルストランスPTAは、その二次側には逆流阻止用のダイオードD1を通して分圧ピーキングコンデンサCP-3の両端に接続され、分圧ピーキングコンデンサCP-3にプリパルス補償電圧を印加する。このプリパルス補償電圧は、磁気パルス圧縮回路2の最終段になる可飽和リアクトルSR3を通したピーキングコンデンサCPの充電電圧に含まれるプリパルス電圧と逆極性で、かつ同じタイミングで取り出し、分圧ピーキングコンデンサCP-3に印加する。このような特性をもつプリパルス補償電圧を生成するため、パルストランスPTAの入出力極性と、可飽和リアクトルSR2-2のVT積およびダイオードD1の接続極性が決められる。本実施形態によるプリパルス電圧の低減動作を図2を参照して説明する。図1の構成は、プリパルス電圧を、ピーク電圧に対して1/3の電圧にする場合の例である。コンデンサC1及びCPは、元々接続されていたコンデンサの3倍の容量を持ったコンデンサを直列に接続することで、各コンデンサには1/3の分圧電圧を印加する。そして、可飽和リアクトルSR2-2は、可飽和リアクトルSR2に比べ1/3のVT積をもった電圧特性とする。こうすることで、コンデンサC1に印加されるパルス電圧Vの1/3の電圧でコンデンサC1-3にパルス電圧が印加される。これらコンデンサC1-1、C1-3に印加されるパルス電圧がピークになるタイミングで可飽和リアクトルSR2およびSR2-2が同時に飽和すると、この時刻t1図2の時刻t1でコンデンサC1-1~C1-3からコンデンサC2にエネルギーが転送され、コンデンサC2がパルス電圧による充電が開始される。同時に、コンデンサC1-3から可飽和リアクトルSR2-2とパルストランスPTAとダイオードD1を通してピーキングコンデンサCP-3に逆極性のプリパルス補償電圧で充電される。一方、コンデンサC2はパルス電圧がピークになるタイミング図2の時刻t2で可飽和リアクトルSR3が飽和し、コンデンサC2からピーキングコンデンサCP-1~CP-3にエネルギーが転送される。この結果、ピーキングコンデンサCP-1~CP-3の電圧を加算した充電電圧は、時刻t1~t2の間ではピーキングコンデンサCP-3の充電電圧がプリパルス補償電圧によって相殺され、時刻t2から急峻に立ち上がるパルス電圧になり、従来のプリパルス電圧は低減される。なお、実施形態では、プリパルス電圧の大きさをパルス圧縮するパルス電圧の1/3とするため、コンデンサC1およびピーキングコンデンサCPを3つのコンデンサを直列接続する構成で示すが、この比率は負荷条件やそれに印加するパルスエネルギーによって装置毎に異なるため、適宜設計変更される。例えば、1/4の比率になる場合は、容量比が1対3になる2つのコンデンサの直列接続で構成する。また、実施形態では、2段の磁気パルス圧縮回路で構成するため、初段の磁気パルス圧縮回路のコンデンサC1からプリパルス補償電圧を取り出すが、磁気パルス圧縮回路の縦続接続段数の違いによってプリパルス補償電圧の取り出し方は適宜変更される。