"静止物体に対する移動物体の位置を感知するための容量性移動量エンコーダであって、前記静止物体に結合された少なくとも1つの静止素子と、前記移動物体に結合され、前記静止素子の近傍に位置する移動素子と、前記両素子の相対移動に応じて、該静止および移動素子間のキャパシタンスに現れる変化によって変調され、静電界を発生させる電界送信手段と、前記移動および静止物体のいずれとも電気的に絶縁され、前記移動および静止素子を封入することによって、該両素子を外部からの電気的干渉から遮断する導電性シールドと、前記変調された静電界を感知し、これに応じて前記移動物体の位置測定量を求めるように接続された処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性移動量エンコーダ。前記移動素子が回転子を有し、前記移動物体が回転シャフトを有し、少なくとも1つの前記静止素子が少なくとも1つの固定子を有し、前記処理回路が前記シャフトの前記回転位置の測定量を求める、請求項1に記載のエンコーダ。前記導電性シールドが、前記回転子および前記少なくとも1つの固定子と共に前記処理回路の少なくとも一部を封入する、請求項2に記載のエンコーダ。前記少なくとも1つの固定子および回転子が、プリント回路板を含み、その少なくとも1つに前記処理回路の少なくとも一部が設けられている、請求項3に記載のエンコーダ。前記回転子が、ほぼ扁平なプレートと、前記回転子を前記シャフトに結合するための、実質的に非扁平な環状ハブとを有し、前記シールドが前記ハブの近傍に達するように、前記回転子平面内に延びて、前記シャフトから前記回転子への電気的干渉を防止している、請求項2に記載のエンコーダ。前記回転子が前記固定子に対して少なくとも360°回転できるように、エンコーダが構成されている、請求項2に記載のエンコーダ。前記移動素子および前記静止素子の周りに、前記シールドから電気的に絶縁された機械的ハウジングを含む、請求項1~6のいずれか1項に記載のエンコーダ。前記少なくとも1つの静止素子がほぼ平行に、互いに間隔を保つ2つの静止素子を有し、その一方が前記電界送信手段を含み、他方が電界受信手段を含み、これら送受信手段が、両手段間に配置された可撓導電部材に前記2つの素子を押圧することによって、前記ハウジング内で互いに電気的に結合する、請求項7に記載のエンコーダ。前記静止素子が、前記シールドを通って突出し、前記エンコーダと電気的に接続する延長部を含むプリント回路板を含む、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のエンコーダ。前記電界送信手段が前記静止素子に取り付けられて、前記導電シールドの一部を形成する、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のエンコーダ。前記電界送信手段が前記静止素子に取り付けられ、前記移動素子が、前記静電界を変調する電気的能動パターンを有する、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のエンコーダ。前記電気的能動パターンが絶縁材を有する、請求項11に記載のエンコーダ。前記電気的能動パターンが導電材を有する、請求項11に記載のエンコーダ。前記導電材が前記処理回路と結合し、前記静電界の受信手段として作用する、請求項13に記載のエンコーダ。前記少なくとも1つの静止素子が、前記処理回路と結合する前記静電界の受信手段を含む、請求項13に記載のエンコーダ。前記移動素子上の前記導電性電気能動パターンが、ほぼ一定の電位に保持される、請求項15に記載のエンコーダ。前記移動素子上の導電性電気能動パターンが、電気的に浮遊している、請求項15に記載のエンコーダ。前記少なくとも1つの静止素子が、前記送信手段および前記受信手段の双方が取り付けられている単一素子を有する、請求項15に記載のエンコーダ。送信手段および受信手段の双方が取り付けられている第2静止素子を含む、請求項16に記載のエンコーダ。回転シャフトの位置を感知するための容量性角度エンコーダであって、前記回転シャフトの周りに配置された複数のセグメントを備え、それぞれのセグメントが周波数は共通であるが他のセグメントとは異なる所定の位相を有する周期静電界を発生させる送信手段と、前記複数セグメントからの電界に応じて信号を発生し、受信される前記電界の各々の強度を、前記シャフトの回転の関数として前記送信手段との間に現れるキャパシタンスの変化によって変調する受信手段と、発生した前記電界と同期して、前記信号を処理し、前記回転角度を表す出力を発生する、少なくとも1つの同期検出器を含む検出回路と、を備えたことを特徴とする容量性角度エンコーダ。前記少なくとも1つの同期検出器が、前記回転角度の正弦および余弦に比例する出力をそれぞれ発生させる2つの同期検出器を有する、請求項20に記載のエンコーダ。前記受信手段が、単一の入力増幅チャンネルを含み、処理のため、すべての前記送信手段セグメントからの信号がこのチャンネルを介して受信される、請求項20に記載のエンコーダ。前記送信プレートが、複数のセグメントに分割されて、前記シャフトの軸心の周りに配置されたほぼ扁平な送信固定子を含む、請求項20乃至22のいずれか1項に記載のエンコーダ。前記複数のセグメントを4つの象限状に配置した、請求項23に記載のエンコーダ。前記受信手段が、前記シャフトの軸心を中心に非線対称の関係にあり、且つ、前記固定子の近傍において前記シャフトと共に回転する受信領域を有する、ほぼ扁平な回転子を含む、請求項23に記載のエンコーダ。前記受信領域が、前記シャフトの軸心に対して偏心関係にあるほぼ円形を呈する、請求項25に記載のエンコーダ。前記受信手段がほぼ扁平な受信固定子を含むと共に、ほぼ扁平な回転子をも含み、前記回転子が前記シャフトの軸心に対して非線対称の関係にある電気的能動領域を有し、前記シャフトと一緒に回転して前記受信信号を変調する、請求項23に記載のエンコーダ。前記回転子の前記電気的能動領域が、前記シャフトの軸心に対して偏心関係にあるほぼ円形を呈する、請求項27に記載のエンコーダ。回転シャフトの位置を感知するための容量性角度レゾルバであって、所与の周波数のAC電気入力に応答する周期静電界を発生させる送信手段と、前記回転シャフトの周りに配置された複数のセグメントを有し、それぞれの該セグメントにおいて受ける前記電界が、前記シャフトの回転の関数として前記送信手段との間のキャパシタンスの変化によって変調されるように、前記送信手段からの前記電界に応じる信号を発生する受信手段と、前記受信手段セグメントからの信号を処理することにより、回転角度を表すAC出力を発生する信号処理回路と、前記AC入力を整流することにより、検出回路にDC電圧を供給する整流回路と、を備えたことを特徴とする容量性角度レゾルバ。前記信号処理回路が前記発生電界と同期して前記信号を処理し、前記AC出力が、前記回転角度の正弦および余弦にそれぞれ比例する2つの出力から有する、請求項29に記載のエンコーダ。前記シャフトと一緒に回転し、電気的能動パターンを有する回転子を含み、前記受信手段において受信された前記電界を、前記回転子の回転が変調する、請求項29に記載のエンコーダ。前記電気的能動パターンが導電材を有する、請求項31に記載のエンコーダ。前記導電材がグラウンド電位に維持される、請求項32に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性移動量エンコーダであって、前記静止体に結合された少なくとも1つの静止素子と、前記移動体に結合され、前記静止素子の近傍に位置する移動体素子と、前記静止素子および前記移動素子のいずれか一方と連携する静電界送信手段と、前記静止素子および前記移動素子の他方と連携し、この素子の寸法に沿って、それぞれ低および高空間周波数で円滑にその素子上で変化する、粗および精密周期電気的能動パターンを有し、これら電気的能動パターンが、前記静止および移動素子の相対移動に伴ってその両素子間にキャパシタンス変化を誘導させることにより、空間高周波を殆ど伴わない低および高空間周波数に対応する変調周波数で、前記静電界を変調するように構成された電界変調手段と、前記変調された静電界を感知し、これに応じて前記移動体位置の粗および精密測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性移動量エンコーダ。前記移動素子が回転子を有し、前記移動体が回転シャフトを有し、前記静止素子が固定子を有し、前記処理回路が前記シャフトの回転位置の測定量を求める、請求項34に記載のエンコーダ。前記固定子が複数の導電領域を有する単一の扁平素子を有し、該導電領域の1つが電界送信手段であり、該導電領域の他の1つが電界を受信する、請求項35に記載のエンコーダ。前記粗周期パターンが、前記シャフトに対して偏心関係となるように前記回転子に形成されたほぼ円形の領域を有し、前記精密周期パターンが、前記シャフト周りに位置するように前記回転子に形成された正弦パターンを有するように、前記電気的能動パターンを前記回転子に形成した、請求項35に記載のエンコーダ。前記粗パターンのほぼ円形の領域を、前記回転子面上に配分された複数の部分領域に分割することによって、前記固定子に対する前記回転子の傾斜に起因する前記電界の変調の変動を軽減する、請求項37に記載のエンコーダ。前記電界変調手段が、高および低周波数の中間に設定された空間周波数を有する中間電気的能動パターンをも含み、前記処理回路が該中間周波数に応じる前記電界の変調を感知する、請求項34乃至38のいずれか1項に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性移動量エンコーダであって、前記静止体に結合された少なくとも1つの静止素子と、前記移動体に結合され、前記静止素子の近傍に位置する移動体と、前記静止素子および前記移動素子のいずれか一方と連携する静電界送信手段と、前記静止素子および前記移動素子の他方と連携し、この素子の寸法に沿ってこの素子上で、それぞれ低および高空間周波数で変化する、粗および精密周期電気的能動パターンを有し、これら電気的能動パターンが、前記静止および移動素子の相対移動に応じて両素子間にキャパシタンス変化を誘導することにより、前記低および高空間周波数に対応する変調周波数で前記静電界を変調するように構成された電界変調手段と、前記粗および精密パターンによって交互に変調されるように前記静電界を切替え、前記変調された電界を感知することにより、これに応じて前記移動体の位置の粗および精密測定量を交互に求める処理回路と、を備えたことを特徴とする、容量性移動量エンコーダ。前記移動素子が回転子を有し、前記移動体が回転シャフトを有し、少なくとも1つの前記静止素子が固定子を有し、前記処理回路が前記シャフトの回転位置測定量を求める、請求項40に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性移動量エンコーダであって、前記静止体に結合され、静電界送信手段および受信手段を含む静止素子と、前記移動体に結合され、前記静止素子の近傍に位置し、粗および精密周期電気的能動パターンを有する電界変調手段を含む移動素子であって、粗および精密周期電気的能動パターンが前記移動素子の寸法に沿って、低および高空間周波数で変化し、前記静止および移動素子の相対移動に応じて両素子間にキャパシタンス変化を誘導することにより、前記低および高空間周波数に対応する変調周波数で前記静電界を変調するように構成された移動素子と、前記変調された静電界を感知することにより、これに応じて前記移動体の位置の粗および精密測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする、容量性移動量エンコーダ。前記移動素子が回転子を有し、前記移動体が回転シャフトを有し、前記静止素子が複数の導電領域を有する固定子を有し、該導電領域の少なくとも1つが前記電界送信手段であり、他の1つの導電領域が前記受信手段であり、前記処理回路が前記シャフトの回転位置測定量を求める、請求項42に記載のエンコーダ。回転シャフトの位置を感知するための容量性角度エンコーダであって、少なくとも1つが静電界を発生させる電界送信手段を有する1つまたは複数の固定子と、前記シャフトと一緒に回転するよう結合され、その上に回転非対称の電気的能動パターンを有する回転子であって、該電気的能動パターンが、前記シャフトの回転に応じて、該シャフトが1回転するごとに前記固定子と前記回転子の間のキャパシタンスを繰り返し誘導することにより前記静電界を変調し、前記パターンを複数の部分領域に分割することによって、前記固定子に対する前記回転子の傾斜に起因する前記電界の変調に生じる変化を軽減するように構成された回転子と、前記変調された静電界を感知するよう結合され、粗および精密変化に応じて前記シャフトの角度の粗および精密測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性角度エンコーダ。前記回転子上の前記電気的能動パターンが、前記シャフトの軸心に対して偏心位置を占めるほぼ円形の領域を有する、請求項44に記載のエンコーダ。回転シャフトの位置を感知するための容量性角度エンコーダであって、前記シャフトに結合され、前記シャフトの軸心に対して非線対称の関係にあり該回転子周りに配置されたパターンを含む電気的能動領域を有し、このパターンが所定の角度周波数で該シャフト周りを複数回反復するように構成された回転子と、連携する静電界が、前記回転子の回転に伴って前記電気的能動領域が誘導するキャパシタンスの変化によって変調される少なくとも1つの固定子と、前記領域の非線対称性に起因して前記シャフトの1回転ごとに起こる電界変調を感知し、これに応じて、前記シャフトの回転角度の粗測定量を求め、前記パターンに起因する電界変調を感知することによって前記回転角度の精密測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性角度エンコーダ。前記電気的能動領域が、前記シャフト軸心に対して偏心関係にある、ほぼ円形の領域を有する、請求項46に記載のエンコーダ。1つまたは複数の前記固定子の1つに結合され、前記シャフト軸心に対する非線対称性を特徴とし、前記パターンおよび前記受信手段の非線対称性間の相互作用に応じて角度の粗測定量が求められる、請求項46に記載のエンコーダ。前記角度の粗および精密測定量を交互に求めるために操作されるスイッチを含む、請求項46乃至48のいずれか1項に記載のエンコーダ。前記固定子が複数の導電セクターを含み、それぞれの該セクターが前記処理回路に結合され、該処理回路が該スイッチの作動に応じて前記セクターから受信される信号をグループ分けして、粗および精密角度測定量を交互に求める、請求項49に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための耐湿容量性移動量エンコーダであって、前記静止体に結合され、連携する静電界を有する、少なくとも1つの静止素子と、前記移動体に結合され、スペースを挟んで互いに分離された複数の電気的能動セグメントを含む移動素子であって、これらのセグメントが、該移動素子の移動に伴う静止および移動素子間のキャパシタンス変化によって前記静電界を変調するパターンを形成するように構成された移動素子と、前記変調された静電界を感知するよう結合され、これに応じて、前記移動体の位置測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする耐湿容量性移動量エンコーダ。前記移動体に衝突する流体が、前記セグメントから該セグメントを分離しているスペースへ移動する、請求項51に記載のエンコーダ。前記移動体が回転シャフトを有し、前記移動素子が前記シャフトを中心に半径方向外方に突出する電気的能動セグメントを有する回転子を有し、少なくとも1つの前記静止素子が少なくとも1つの固定子を有し、前記処理回路が前記シャフトの回転位置の測定量を求める、請求項51または52に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性移動量エンコーダであって、前記移動体に結合され、その上に電気的能動パターンを有する移動素子と、前記静止体に結合され、前記移動素子の両側に配置されて、交互の静電界を送信する第1および第2静止素子と、前記電気的能動パターンの移動に起因する前記静止素子間のキャパシタンスの変化に応じる前記静電界の変調を感知し、これに応じて、前記移動体の位置測定量を求める処理回路と、第1静止素子における交番電位を感知し、逆電位を第2静止素子に印加することによって、前記移動素子をほぼ一定の電位に維持する電位等化回路と、を備えたことを特徴とする耐湿容量性移動量エンコーダ。前記ほぼ一定の電位が仮想グラウンド電位である、請求項54に記載のエンコーダ。前記電位等化回路が実質的に前記移動素子と電気的に接触しない、請求項54に記載のエンコーダ。前記移動体が回転シャフトを有し、前記移動素子が前記シャフトに結合された回転子を有し、前記第1および第2静止素子が1対の固定子を有し、前記処理回路が前記シャフトの回転位置測定量を求める、請求項54乃至56のいずれか1項に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性線形移動量エンコーダであって、前記静止体に固定されたルーラと、前記ルーラに沿って移動するように前記移動体に固定された読取ヘッドであって、該読取ヘッドの近傍に静電界を発生させる静電界送信手段を含む読取ヘッドと、前記ルーラ上に形成され、該ルーラに対する前記読取ヘッドの移動に応じて前記静電界を変調するように、前記ルーラと前記読取りヘッドの間のキャパシタンスの変化を引起こし、前記ルーラに対して前記読取ヘッドが傾斜しても、変調がほとんど影響されないように、対称性を有する電気的能動パターンと、前記変調された静電界を感知するよう結合され、変調を検出し、これに応じて,前記移動体の位置測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性線形移動量エンコーダ。前記パターンが二重サイノソイドを有する、請求項58に記載のエンコーダ。前記読取ヘッドが、前記変調された静電界を受信する受信手段を有し、前記パターンが該パターン中のギャップによって間歇的に分断されていて、前記パターンに沿った干渉が前記読取ヘッドに結合されるのを防止し、前記ギャップが前記ルーラの長手軸に対して鋭角に形成されている、請求項58または59に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性線形移動量エンコーダであって、前記静止体に固定されたルーラであって、該ルーラの近傍において静電界を発生させる静電界送信手段を含むルーラと、前記ルーラに沿って移動するように前記移動体に固定され、その上に電気的能動パターンが形成されている読取ヘッドであって、前記パターンが、前記ルーラに対する前記読取ヘッドの移動に応じて前記静電界を変調するように、前記ルーラと前記読取ヘッドの間のキャパシタンスの変化を引起こさせ、前記ルーラに対して前記ヘッドが傾斜しても、変調がほとんど影響されないように、前記パターンが対称性を有するように構成された読取ヘッドと、前記変調された静電界を感知するよう結合され、前記変調を検出し、これに応じて、前記移動体の位置測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性線形移動量エンコーダ。前記パターンが二重サイノソイドである、請求項60に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性線形変位エンコーダであって、前記静止体の湾曲面に固定されたルーラと、前記ルーラに沿って移動するように前記移動体に固定された読取ヘッドと、前記読取ヘッドの近傍に静電界を発生させる静電界送信手段と、前記ルーラまたは前記読取ヘッドに形成され、前記ルーラに対する前記読取ヘッドの移動に応じて前記静電界を変調するように、前記ルーラと前記読取ヘッドの間にキャパシタンスの変化を引起こさせる、電気的能動パターンと、前記変調された静電界を感知するよう結合され、前記変調を検出し、これに応じて、前記湾曲面に沿った前記移動体の位置測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性線形変位エンコーダ。前記静止体がほぼ円筒形を呈し、前記移動体の位置測定量が前記静止体の軸心周りの角度測定量を含む、請求項63に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性線形変位エンコーダであって、前記静止体に前記固定されたルーラと、前記ルーラに沿って移動するように前記移動体に固定された読取ヘッドと、前記読取ヘッドの近傍において静電界を発生し、且つ受信するように前記ルーラに固定され、粗および精密読取部を有する送信プレートと、前記読取ヘッドに設けられた電気的能動受信プレートであって、前記ルーラに対する前記読取ヘッドの移動に伴い、前記送信プレートと前記受信プレートの間にキャパシタンスの変化を引起こし、前記受信プレートによって受信された前記静電界を変調するように構成された電気的能動受信プレートと、前記変調された静電界を感知するように結合され、前記粗読取部における前記電界変調を検出し、これに応じて前記移動体位置の粗測定量を求める一方、前記精密読取部における前記電界の変調を検出し、これに応じて前記移動体位置の精密測定量を求める、処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性線形変位エンコーダ。前記粗測定量が位置測定絶対値を含む、請求項65に記載のエンコーダ。前記送信プレートが複数の送信バーを有し、これらの送信バー全体が少なくとも2つの三角形領域に分割されており、粗読取部においては、前記領域の各々のバーがまとめて励起される、請求項65または66に記載のエンコーダ。前記受信プレートが、ほぼ四辺形の領域に重ねられた導電性の周期パターンを含み、前記粗読取領域において前記送信プレートが動作中には、前記四辺形領域全体が共通の電位に維持される、請求項67に記載のエンコーダ。静止体に対する移動体の位置を感知するための容量性移動量エンコーダであって、前記静止体に結合された少なくとも1つの静止素子と、前記移動体に結合された移動素子と、前記移動素子の近傍において静電界の発生および受信のために、前記静止または移動素子に固定された送信および受信プレートであって、これらのプレートが前記静止素子上の指標位置に、少なくとも1つの指標プレートを含み、前記少なくとも1つの指標プレートの近傍に位置するときに前記移動素子が遭遇する静電界が、前記静止素子に沿った他の位置における静電界とは明確に異なるように構成された送信および受信プレートと、前記素子の1つに形成され、前記静止素子に対する前記移動素子の移動に応じて前記素子間のキャパシタンスを変化させることにより、前記静電界を変調する電気的能動パターンと、前記変調された静電界を感知し、前記移動素子が前記指標プレートの近傍に位置する時の電界差を識別し、これに応じて前記移動素子が前記指標位置にあることを判断すると共に、前記変調を検出し、これに応じて、前記指標位置に対する前記移動体の位置測定量を求める処理回路と、を備えたことを特徴とする容量性移動量エンコーダ。前記静止素子がその一端に前記指標プレートを有する線形ルーラを有し、前記移動素子が前記ルーラに沿って移動する前記読取ヘッドを有する、請求項69に記載のエンコーダ。回転シャフトの位置感知方法であって、前記回転シャフトの周りの複数の角度位置において共通の周波数を有し、それぞれが他の信号とは異なる所定の位相を有する周期静電界を送信し、前記複数の位置から前記電界を感知し、前記シャフトの回転の関数としてキャパシタンスの変化で引起される前記電界変調に応じる信号を発生させ、前記回転角度を表す出力を発生させるように、前記送信される電界の周波数と同期して信号を処理する、ステップを備えたことを特徴とする回転シャフトの位置感知方法。前記信号処理ステップが、前記回転角度の正弦および余弦に比例する出力を発生させるステップを有する、請求項71に記載の方法。回転シャフトの位置感知方法であって、所与の周波数のAC電気的入力を受信し、前記AC入力に応じて周期静電界を発生させ、前記AC入力の一部を整流することにより、検出回路にDC電圧を供給し、複数位置における電界を感知し、前記シャフトの回転の関数としてキャパシタンスの変化により引起される前記電界の変調に応じる信号を発生させ、回転角度を表す所与の周波数のAC出力を発生させるように、前記検出回路を用いて前記信号を処理する、ステップを備えたことを特徴とする回転シャフトの位置感知方法。前記信号処理ステップが、前記回転角度の正弦および余弦に比例する出力を発生させるステップを有する、請求項73に記載の方法。静止体に対する移動体の位置感知方法であって、前記移動体の近傍に静電界を送信し、前記移動体の移動の寸法に沿って、それぞれ低および高空間周波数で円滑に変化する粗および精密周期電気的能動パターンを前記移動体に連携させ、前記静止および移動素子の相対移動に伴って、両素子間にキャパシタンスの変化を引起こさせることにより前記静電界を、空間高周波をほとんど含まない低および高空間周波数に対応する変調周波数で変調し、前記変調された静電界を感知し、これに応じて、前記移動体位置の粗および精密測定量を求める、ステップを備えたことを特徴とする静止体に対する移動体の位置感知方法。前記移動体が回転シャフトを有し、前記移動体と粗パターンとを連携するステップが、前記シャフト周りにこれと偏心関係に配置された、前記回転子上のほぼ円形の領域を規定する、請求項75に記載の方法。静止体に対する移動体の位置感知方法であって、前記移動体近傍の静電界を送信し、前記移動体の移動の寸法に沿って、それぞれ低および高空間周波数で変化する粗および精密周期電気的能動パターンを前記移動体に連携させ、前記静止および移動素子の相対移動に応じて、両素子間にキャパシタンスの変化を引起こすことにより静電界を、前記低および高空間周波数に対応する変調周波数で変調し、前記粗または精密パターンによって交互に変調されるように前記静電界を切替え、前記変調された静電界を感知し、これに応じて、前記移動体位置の粗および精密測定量を交互に求める、ステップを備えたことを特徴とする静止体に対する移動体の位置感知方法。回転シャフトの位置感知方法であって、前記回転シャフトの軸心に対して非線対称関係であり、回転子周りに配置されたパターンを含む電気的能動領域を有する回転子を前記シャフトに結合し、所定の角度周波数で、前記パターンを前記シャフト周りに複数回反復させ、前記移動体の近傍に静電界を送信し、前記領域が非線対称性であるため1回転ごとに起こる前記電界の変調を感知し、これに応じて、前記シャフトの回転角度の粗測定量を求め、前記パターンに起因する前記電界変調を感知することにより、前記回転角度の精密測定量を求める、ステップを備えたことを特徴とする回転シャフトの位置感知方法。前記回転子を結合するステップが、前記シャフトの回転軸心周りに非線対称性であることを特徴とする電気的能動領域を有する回転子を結合するステップを含む、請求項78に記載の方法。静止体に対する移動体の位置感知方法であって、前記電気的能動パターンを有する移動素子を前記移動体に結合し、前記静電界を送信するための第1および第2静止素子を前記移動体の両側に配置し、前記第1静止素子における電位を感知し、前記移動素子をほぼ一定の電位に維持するように、前記第2静止素子に逆電位を印加し、前記電気的能動パターンの移動による両静止素子間のキャパシタンスの変化に応じる前記静電界の変調を感知し、これに応じて、前記移動体の位置測定量を求める、ステップを備えたことを特徴とする静止体に対する移動体の位置感知方法。湾曲面に対する移動体位置の感知方法であって、前記移動体に読取ヘッドを固定し、前記湾曲面に沿って可撓ルーラを固定し、前記ルーラまたは前記読取ヘッドに、前記ルーラに対する前記読取ヘッドの移動に応じて、前記ルーラと前記読取ヘッドの間のキャパシタンスの変化を引起こさせる電気的能動パターンを設けることにより、前記静電界を変調し、前記読取ヘッドの近傍に静電界を発生させ、前記変調された静電界を感知することにより、前記変調を検出し、これに応じて、前記湾曲面に沿った前記移動体の位置測定量を求める、ステップを備えたことを特徴とする湾曲面に対する移動体位置の感知方法。容量エンコーダの類型学的分類本発明の出願の目的に対し、容量型回転エンコーダおよび線形エンコーダを型式により分類することは有用である。各々の型式は、静電界送信プレートおよび受信プレートの位置と、電気的特性およびロータの接続により特徴づけられる。分類は以下に記載され、本発明の望ましい具体例の記述の明快と便宜のために用いられ、従来技術の容量エンコーダにも同様に適用することが出来る。しかしながら、そのような限定が明らかに述べられている箇所を除いて、本発明の原理が特定の型式に限定されるものではない。図2は、本発明の望ましい実施例に従う、ロータ回転子エレメント54および4つの四分円56、58、60、62を含む単一のステータ固定子エレメント52とを伴う、単極CFRAAE50の模式的な上面図である。この型式のエンコーダはここでは、型式1に分類される。四分円は、等しい周波数で相対位相がそれぞれ0、90、18、270ずれている交流電圧で励起される。ステータエレメントとロータエレメントの双方が、その上に導電パターンが蒸着された、絶縁体の基板単純化のために図示省略を普通含んでいる。従ってロータエレメントとステータエレメントの間のキャパシタンスは、ロータの移動につれて変動する。ロータ54のパターンは、例えば参考文献としてここに添付されているサーボセンサー-要素と応用YオーシマおよびYアキヤマ編インターテックコミュニケーションズ社カリフォルニア州ベンチュラに記載されているように、偏心的に配置されている。この偏心円形パターンとステータプレート52の各々の対角線上の四分円の組56、60と58、62の間の差動結合は、それぞれ回転角度のサイン正弦またはコサイン余強に比例する。ロータに接続されたチャージアンプ64の出力電圧は、4つの励起電圧の重み付けした和に比例し、必要な回転角のサインおよびコサインを引き出すために処理されることが出来る。以下ではこのアプローチは、位相四分円励起PQEとして参照される。先に言及した米国特許5,598,153号は、構造においてCFRAAE50と同様のエンコーダを記載しているが、サイン波の出力を有さない。この型式1のエンコーダは図2に示されているように、ロータ54が処理電子回路と電気的に接続されていなければならないという点で、欠陥がある。しかしながらそれは、ロータが装着されているシャフトが予め電力に接続され、処理電子回路とともに自由に回転することが出来るという状況では有用である。図3A-3Eは、本発明の望ましい実施例に従う型式2から6と現された、他の5つのCFRAAEの型式を示す断面図である。これらの型式は、ロータへの電気的接続の束縛なく回転部材の変位が比例したキャパシタンスの変化に転換されるようにする。それらは回転の制限のない角度エンコーダに都合良く使用されることが出来、そのうちのいくつかは同様に線形の変位の検出に使用されることが出来る。図3Aは、型式2のエンコーダ70を描いたものである。パターン化された電気的に非伝導絶縁体のロータ76が、各々が非伝導の基板73を含む、二つの静止ステータエレメント72、74の間に配置されている。エレメント72は導電性の送信プレート78、80で被覆され、エレメント74は導電性の受信プレート82で被覆されている。送信プレート78、80は電気的に励起され、受信プレート82と容量的に相互作用する。ロータ76の存在は、その誘電率に従ってプレートの間のキャパシタンスを増加させる。エンコーダのこの型式は、ロータの傾斜と軸方向の位置に関し相対的に敏感でない。この型式のエンコーダは、先に言及した米国特許5,099,386号に記載されている。図3Bは型式3のエンコーダ90を示し、これはロータ76がパターン化された導電被覆を有することを除き型式2と同様で、被覆は電気的に接地されてステータエレメント72,74の間の測定されたキャパシタンスを選択的に変化させる電気シールドとして機能する。型式2と同様この型式もまた、ロータの傾斜と軸方向の位置に関し敏感でない。型式3では従来技術で既知のエンコーダは、しかしながらロータの接地で問題がある。スリップリングは例えば、先に言及した米国特許3,668,672号に記載されているように、摩擦、低い信頼性および高コストの欠点を有する。先に言及した米国特許3,732,553号に記載されているように、接地されたエンコーダのハウジングとの接触により、ロータが固定されているシャフトを通してロータを接地することは可能であるが、この方法は二つの致命的な欠点を有する。1.ロータとの信頼できないグラウンドとの接触は、シャフトのベアリング上の潤滑フィルムの形成に由来する。2.ハウジングの電気的ノイズはロータに課せられ、受信機に結合される。図3Cは、型式4のエンコーダを示し、ロータ76の両側がそれぞれ導電性の被覆96、98により被覆されて電気的に相互に接続されているが、その他は浮游していることを除き、型式3と同様である。その被覆がパターン化されている場合は、ロータは送信プレート78、80と受信プレート82の間の、角度に依存するカップリングブリッジとして機能する。従来技術で既知の型式4のエンコーダは、先に言及した米国特許3,845,377号、3,312,892号、4,092,579号、4,851,835号、4,238,781号および4,788,546号に記載されている。図3Dは、型式5のエンコーダ100を示し、型式4の折り返し版と見なしうる。この型式では送信プレート78、80および受信プレート82は、ロータ76の一方の一つのステータ102の共通の静止基板73の上に配置されている。ロータ上の導電パターン104は、送信プレートにより励起され、受信プレートに戻って結合されている。受信プレートからの出力信号は、ロータとステータの間の相互の変化するキャパシタンスに比例する。従来技術で既知の型式5のエンコーダは、先に言及した米国特許3,961,318号および4,429,307号に記載されている。図3Eは型式6のエンコーダ110を示し、本質的に型式5のエンコーダ100の対称版である。エンコーダ110は、双方の側面に導電パターン114を有する、ロータ76の各々の側面に対して一つづつの相互に接続された同一のステータエレメント112を含んでいる。従来技術で既知の型式6のエンコーダは、ドイツ特許出願DE3711062号および英国特許出願GB2176013号とともに、先に言及した米国特許4,788,546号に記載されている。その対称性の故にこの構造は、型式5よりも回転軸に比しロータの傾斜誤差に対してより敏感ではない。CFRAAEの構成と静電シールドの考察図4は、本発明の望ましい実施例に従う容量型フル回転絶対角度エンコーダCFRAAE140の部分断面図である。エンコーダ140は、望ましくはプリント配線基盤で形成された、二つの一般的に平面のステータ141、142と平面のロータ148とを含んでいる。このエンコーダは、望ましくはスナップで接続された、短い円筒の筐体143とカバー144でできたハウジング139に含まれている。このハウジングは、ポリカーボネートのような、プラスチックの射出成型で望ましくは形成される。代案として、金属で形成されることも出来る。ステータ141、142は、電気的に導電性のスペーサリング145で分離されており、また以下に詳細に記載するようにエンコーダの電気シールドの一部として機能する。望ましくは図19に模式的に示されている形式のものであるロータ148は、クランプリング151による主シャフト150への直接装着用の、中心孔を伴う延長軸149を有する。この窪みとシャフトの接合のスキームは、簡潔性とコンパクト性の利点を有する。周辺の溝155は、サーボマウントとして従来技術では既知の方法でハウジング139を保持する、装着ネジ図示せずを受ける。内部の導電スリーブ152オプションの外部スリーブ153と共に図6に示されているは、迷路137を生成するように機能する。この迷路は以下に詳述するように、スペースを含むロータ148と回路138との電気的シールドを提供するために、内側ハウジング139の導電被覆154に結合されている。このシールドは、シャフト150を経由してハウジングに浸透する以外の干渉と同様に、外部の電気的干渉からエンコーダを保護する。ハウジング139が金属で出来ている場合は、導電性被覆154は非導電性の内層により、望ましくはハウジングと分離されている。エンコーダ140の窪みとシャフトの簡潔な構成は、以下に詳述されるように本発明により提供される、誤差を許容する高度に機構的な装着により可能にされ、エンコーダ140が多極のCFRAAEである場合に特に顕著である。対照的に窪みとシャフトの概念を光学エンコーダに適用することは、ロータとステータとの間の径方向のアライメントを保つための内部ベアリングのみならず、エンコーダの窪みシャフトとそれが装着される主シャフトとの間の機構的アライメントミスを吸収するために、エンコーダのハウジングをフレキシブル装着フレームに完全に装着することを必要とする。この型式の典型的な光学エンコーダは、イリノイ州ガーニーのダナハーコントロール社により製造されている、モデルHS35シールド窪みシャフトである。機構的装着誤差への許容度に起因する、エンコーダ140のデザインの他の利点は、この型式の単一CFRAAEがある範囲のシャフト径に対して使用可能であることである。これは、ロータ148の中心孔を可能な限り大きく形成したり、小さい直径のシャフトに装着するために一組のアダプター図示せずを用いたりすることで達成される。非常な高精度が必要な場合、ロータとステータとの間のアライメントミスを最少にするために、エンコーダ140はシャフトとベアリングを合体して同様に生産することが出来る。図5は、本発明の代替の望ましい実施例に従うエンコーダ160を示す。エンコーダ160の構成は、エンコーダ140のそれと同様の原理に基づいているが、単一のステータプレート162のみを有している。この版は、図3Dに描かれた型式5のエンコーダに特に有用である。エンコーダ160のハウジング139の内側の導電被覆156は、エンコーダ140でのステータプレート142により提供されるシールドの代わりに、ロータ148をシールドする。エンコーダ160の他の電気的構成では、接地された連続の被覆よりむしろ、送信プレートとして機能する部分を含んでもよい。どちらの場合も、被覆はゼブラコネクタを経由してプレート162に接続される。図4、5に示された構成を有するエンコーダは、本発明者により製作された。これらのエンコーダは典型的には57mmの外径を有し、最大12mmのシャフトの使用が可能である。ロータ148は、典型的には32極の組を含むように設計されている。こうして得られた分解能は20ビット約1/1000度で、成型に誤差の無い場合の精度は16ビット約1/100度である。電力消費は、約20mWである。これらの特性が如何に得られたかは、以下に記載される。ここに記載された望ましい実施例は、ステータとロータが一般的に平面かつフォトリソグラフプロセスを用いて、都合良く作製されることが出来るものであるエンコーダに関したものであるにもかかわらず、本発明の原理は他の構成の容量エンコーダに対して、同様に適用可能であることが理解されるべきである。例えば図示されていない本発明の代替の具体例では、CFRAAEは円筒型のロータとステータからなる。容量的に結合された干渉から受信プレートを保護する必要は従来技術で知られているが、現存するCFRAAEデバイスは十分に有効な保護の提供に成功していない。従来技術のエンコーダの機構的構成の例は、本発明の背景で引用された参考文献に示されている。これらの例の全てで、金属製のメカニカルハウジングは信号のグラウンドに接地されている静電シールドとして機能する。しかしながら、エンコーダが動作している機構的環境は同じ信号のグラウンドポテンシャルに同様に接続されているので、この保護の実際の有効性には限界がある。エンコーダが電気モーターのシャフトに結合されかつ特にそれがモーターのハウジングの内側に装着されている場合典型的なアプリケーションでは、エンコーダの出力信号は接地電流に起因して悪影響を受ける。ブラシレスの直流または交流ベクター制御モーターでのように、スイッチングパワーサプライが用いられたときにはこれは特に深刻な問題である。従来技術では認識されていない別の問題は、シャフトを通してエンコーダに結合された干渉である。シャフトは普通金属製で、かつ保護されていると考えられるエンコーダの内側のスペースを貫通しているので、シャフトへの全てのノイズが受信プレートに結合されている。再度言うが、エンコーダがスイッチモードのモーターと共通のシャフトを共有している場合に、この状況は最も深刻である。ベアリングボール上に形成された潤滑フィルムがロータとハウジングとの間の電気的な連続性を散漫に中断するので、この問題はあるシャフト速度以上で一層悪化する。ロータとステータは事実上電気的に浮游し、モーターステータの巻き線からエンコーダの受信プレートへのノイズを結合する容量ブリッジとして機能する。図6は、本発明の望ましい実施例に従う静電保護スキームの詳細を示す、エンコーダ140の断面の模式図である。ステータ141、142は、それぞれ受信プレート170と送信プレート172をその上に有する、プリント回路基板168,169を含んで示されている。ロータ148は、電気的に動的なパターン、即ち送信プレートと受信プレートの間でキャパシタンスを変化するパターンを有している。必要であるわけでないが望ましくはロータは、パターンを形成するためにその上にメッキされた、導電部のついたプリント回路基板からなる。ステータ、ロータとその間のエアギャップは、主に受信アンプである処理回路138の少なくとも一部と同様に、静電シールド173により保護されている。このシールドは、導電性の内層154と、二つのステータ141、142を区分する導電リング145と、シャフト150からのシールド内の領域への容量的結合を有効にブロックするスリーブ152、153を含む迷路137とからなるが、それでもシャフトとロータ148との間の機構的結合を可能にしている。エンコーダのハウジング139図4に示すとシャフト150の双方が、電気的に中立でなんらのポテンシャルを有さないと仮定されてよい。従来技術で既知のエンコーダとは異なり、ハウジングは電気的な機能を果たさず安価にプラスチックで作ることが出来る。回路138を覆うシールド166は、望ましくはハウジングの内側にシールド173と共通に接地されている導電性被覆を含んでいる。シールド166へのグラウンドの接続は、ステータ141のプリント回路基板のグラウンドまたはフレキシブルな切片図示せずとの接触により得られる。他に、シールド166を、金属シートで作製することも出来る。シールド173は同様に送信プレート172も封包しているので、その電界を制限してエンコーダ140の外側に放射される潜在的な干渉を除去する。他方プレート172はグラウンドでもなく他の固定のポテンシャルも有さないにもかかわらず、それらはエンコーダ内のロータのスペースを保護する筐体の一部として機能する。ポテンシャルがグラウンド以外の値に保持されているシールドについての考察は、ジャーナルオブフィジックスE:科学機器191986pp.97-906のHeerensによるセンサーの設計におけるキャパシタンス技術の応用と標題された論文に記載されており、それはここに参考文献として添付されている。要約するとエンコーダ140の内部のエレメントは、以下のいくつかのユニークな特徴をもつスキームにより、環境から双方向的に隔離されている:1.用意されたシールド173は、メカニカルハウジングとは独立に用いられている。2.シールドは全ての方向への保護を提供しながら、その内部のロータとの回転の結合を可能にする。3.シールドは、エンコーダとして使用されるプリント回路基板168、169上の導電層154を含む、いくつかの要素からなる。4.送信プレートのようないくつかの要素は、固定ポテンシャルである必要はない。ロータの仮想的接地ロータが接地されたエンコーダ型式3は多数の利点を有するにも関わらず、従来技術で既知のそのようなエンコーダの全てが、本発明の背景で記載された多数の付随する欠点を伴う、ロータに印加される物理的接触を通したグラウンドポテンシャルを必要とする。図7は容量エンコーダ188の断面図であり、そこではロータ194上の導電被覆195が本発明の望ましい具体例に従い、回転しないどのエレメントとも実際は電気的に接触することなく、効果的にまたは仮想的に接地されている。被覆195は、ロータ194の表面にあるパターンを形成している。この具体例の目的のためには、この塗布されたパターンは、グラウンドや他の特定の直流のポテンシャルではない、ある固定のポテンシャルに保持されていれば十分である。本質的にそのパターンが、発信ステータ191に課される電気的励起の周波数におけるステータ191と196との間の、容量的相互作用をブロックすれば十分である。エンコーダ188は単極エンコーダとして示されているにも関わらず、任意の数の極を使用することが出来る。送信プレート191は、A、B、C、Dと付号された4つの送信プレート192を含んでいる。これらのプレートは、先に記述したようにそれぞれの励起電圧により励起され、受信ステータ196上の環状プレート197およびロータ194上の導電パターン195と、容量的に相互作用する。パターン195が接地されているか、又はある固定のポテンシャルに保持されている限り、そのパターンにより覆われている領域での受信プレート196との相互作用から、4つの送信プレートの交流の励起を選択的にブロックする。パターン195はアンプ182を手段として固定のポテンシャルに保持されており、アンプはステータ196上の補助環状プレート198とステータ191上の補助送信プレート190との間に結合されている。パターン195が電気的に浮游している範囲で、その瞬間ごとの位置に従ってそれは送信プレートから交流のポテンシャルを取得する。この交流のポテンシャルは電圧を生じるようにプレート198と相互作用し、それはアンプ182により増幅されて反転される。結果の電圧Vo2は、導電パターン195を通した容量的結合を経由して、プレート198上の電圧を低下させるためにプレート190に印加される。エンコーダ188の配置は、プレート198がロータパターン195のみに対向し、送信プレート192、190からは隔離されているような配置である。アンプ182の動作の結果として、プレート198およびパターン195上の交流電圧は実質的に相殺される。パターンはこのようにして固定のポテンシャルに保持され、送信プレート192から受信プレート197への容量結合を選択的にブロックする、遮蔽として機能する。受信プレート197に結合されたチャージアンプ180の出力での出力電圧Vo1は、それ故望まれるようにプレート197の覆われていない部分に誘起される電荷を反射する。信号コンディショニング図8は、本発明の好ましい実施例による信号コンディショニング回路200を簡略に示す回路図である。回路200は、単速度CFRAAE、即ち、後述するように、2対の粗および精密出力を有する多重速度方式とは異なり、1対の出力信号のみを出力するエンコーダとの併用に好適である。回路200は、例えば、エンコーダの位相/直角位相励起との併用による同期検出方法を可能にし、この回路は多重速度タイプのエンコーダとも併用できる。回路200は、図2に示す固定子52のような、4つの象限を有する送信固定子と併用するのが好ましい。象限と受信固定子との間の電気的結合を、典型的には互いに直交する10kHz方形波を供給する4相AC電源によって励起される可変キャパシタンス206~209で図示した。電荷増幅器210が4つのチャンネルすべてを一括増幅する。増幅器の出力が2つのまったく同じチャンネルに向けられて、正弦および余弦出力をそれぞれ供給する。各チャンネルは同期検出器211または212および低域フィルタ213または214を含む。同期検出器211は電源202から同相基準信号を供給され、その出力は低域フィルタ213によってフィルタされて正弦信号を形成する。同期検出器212は電源203から直角位相基準信号を供給され、その出力は低域フィルタ214によってフィルタされて余弦信号を形成する。正弦および余弦信号を、公知のように、ディジタル化し、図示しないがマイクロコンピュータまたはディジタル信号プロセッサによって処理することが好ましい。信号処理の典型的な態様としては、除算によって回転角度の正接を求め、次いで、代数計算または探索表によって角度そのものを求める。この信号処理方式の長所は、簡単であることのほかに、電子部品に公差があっても、4つのチャンネルすべてのゲインがほとんど同じという点にある。しかも、出力におけるDCオフセットが低く、このことは算出角度の誤差を極力小さくするためには必須の条件である。同期的な正弦および余弦検出を目的とする回路200のPQEアプローチは、容量性エンコーダの分野では未知である。上記ドイツ出願DE3711062も共通の電荷増幅器によるPQEを利用しているが、電荷増幅器の出力を、本発明のように同期的に復調するのではなく、サンプリングする。同期検出器211および213は機能的にはアナログマルチプライヤと同様であり、増幅器210からの入力電圧およびそれぞれの基準方形波を供給される。低域フィルタ213および214は所定の帯域幅にわたって出力信号を平均化する。出力電圧が基準周波数と同相の入力電圧の総エネルギーに比例するという点で、作用全体はフーリエ分析と等価である。公知の容量性エンコーダの正弦および余弦出力におけるS/N比は、上述したように、tTの平方根に比例する。但、Tは基準方形波の周期であり、tは常にTよりもはるかに短いサンプリングのアパーチャタイムである。出力が周期Tにわたって得られる多数のサンプルの平均値に近いから、同期検出からは、タイムサンプルで得られるよりもはるかにすぐれたSN比が得られる。図9は本発明の好ましい実施例としての回路200を略示する回路図である。U1はゲインが-R3R2の電圧インバータであるU2に給電する入力電荷増幅器である。但し、R2=R3である。U1は適当なタイプの離散的または集積FET-入力演算増幅器で構成することができる。U2は汎用演算増幅器である。U3は例えば、MaximIntegratedProductsofSunnyvale製のMAX393のような低電荷注入アナログスイッチである。U3は電源202および203からの方形波パルスSync1またはSync2による制御下に、U1またはU2の出力を選択する。これら2つの出力を、好ましくはそれぞれの3次のSallenandKey能動フィルタによって低域フィルタする。SallenandKey能動フィルタは、公知のように、それぞれが3つの抵抗器と、3つのコンデンサと、1つの電圧フォロアを含む。この種のフィルタは、受動部品に公差があっても、低周波数の単一ゲインを有する。増幅器U4およびU5としては、低入力オフセット、低バイアス電流演算増幅器を使用することができる。所要の安定した単一ゲインを提供する他のタイプの低域フィルタとしては、ゼロ-DC-オフセットスイッチド-コンデンサタイプがあり、これもまた公知である。正弦および余弦処理チャンネルのゲインは、これらのチャンネルがU1およびU2を共有し、U3におけるスイッチ抵抗にほとんど影響されないから、互いにほとんど同じである。全体として、これら2つのチャンネルは低域フィルタ213および214を除いて同じ電子部品を共有し、しかも、2つの低域フィルタは単一のゲインを有する。増幅器210と連携するコンデンサC1に現れる変動が主因となって、実際の信号ゲインが変動することがある。しかし、角度測定量は2つの出力の比に基づいて計算されるから、ゲイン変分は両チャンネルにおいて同じであり、正確または安定な部品は不要である。この信号処理方法の性能は極めて良好である。例えば、32極対バージョン出力信号を12ビットAD変換することによって、10kHzの帯域幅にわたって19ビットの解像度が得られた。特に公知の容量性位置エンコーダ回路と比較して、回路200は簡単であるから、受信固定子に使用されるのと同じプリント回路板、例えば、図6に示す基板離散的回路素子を設けることができる。この実施例の場合、回路板は、遮蔽層154および受信プレート170に2つの信号層を加えた4層プリント回路板であることが好ましい。これらの層を重ねる際には、励起導線と信号導線との間の距離を極力大きくするように留意しなければならない。図10は容量性回転角度エンコーダ230およびこれと連携する信号処理回路を略示する分解図であり、エンコーダと回路は、本発明の好ましい実施例として、クラシックな巻線レゾルバに匹敵するように構成されている。エンコーダ230は、単極対レゾルバの手軽な代用装置として作用する、即ち、レゾルバよりもサイズがはるかに小さく、製造コストが低いにも拘わらず、レゾルバの入出力性向に匹敵することを目指している。レゾルバが受動素子-本質的にはAC入力およびAC出力を有する可変トランスであるのに対して、容量性エンコーダは信号処理回路を有する能動素子であるから、エンコーダ230はAC入力電圧を電子回路に給電するための±DC供給電圧に変換する清流回路245を含む。エンコーダ230は、公知のレゾルバに広く使用されている入力AC搬送電圧、即ち、7.5kHzの7VRMSから成る電源244から給電される。この電圧はが整流回路245に供給され、整流回路245は±DC電圧Vccおよび-Vccを回路素子に供給する。電源244は公知の二重電圧ダブラーであることが好ましいが、他の適当なACDCコンバータ回路を使用してもよい。図7に関連して上述したように、回転子174は仮想接地されていることが好ましい。あるいは、タイプ2またはタイプ4エンコーダのような、電気的に浮遊状態であってもよい。タイプ4CFRAAEを使用するなら、後述するように、回転子の傾斜に対する感度を鈍らせるため、回転子パターンを区分することが好ましい。エンコーダ自体は送信固定子240、受信固定子248および回転子174から成る。送信固定子240は仮想接地補助プレート170と共に、送信プレート241を含む。受信固定子248は、仮想接地ループ増幅器182を介してプレート170と接続する仮想接地補助プレートと共に、4つの受信象限プレートA,B,CおよびDを有する。4つの受信象限プレートはそれぞれ4つの電荷増幅器250,251,252および253と接続し、これらの電荷増幅器は対応の電圧Va,Vb,VcおよびVdを発生させる。差動増幅器254および255が発生させる電圧Va-VcおよびVb-Vdの振幅は、誘導レゾルバの場合と同様に、回転角度の正弦および余弦に比例する。発明者の所見によれば、回転速度が限界を超えると、出力信号にランダムノイズが加わるという問題がエンコーダ230に起こる。ノイズの主要スペクトル成分は回転周波数-典型的には50~100Hzに存在する。問題の源を追跡したところ、空気摩擦の結果として回転子174に蓄積される静電荷であることが判明した。回転子は電気的に接地されていないから、この電荷は消散することができない。電荷は回転子面上にランダムに拡散しているから、受信プレート247上に不均一な電圧を発生させ、これが出力ノイズとして現れる。この問題の解決策として、増幅器254および255と直列に、励起周波数を中心とする2つの図示しない帯域フィルタを加える。励起周波数は回転周波数よりもはるかに高いから、厳密な選択は不要であり、帯域フィルタとして、簡単なウィーンブリッジ回路を使用することができる。また、上記PQE方式とは異なり、エンコーダ230は4つの別々の信号チャンネルを有し、ゲイン整合は保証されないから、製造に際しては、多くの場合、抵抗器トリミングによるゲイン等化が必要である。多重速度エンコーダ単極対CRAAFEsはその精度に限界があり、特にタイプ5のそれは固定子に対する回転子の傾斜に極めて敏感である。原理的に、多重極対エンコーダは、その出力信号が複数の極で平均化されるから、精度が比較的高く、機械的な不完全性の影響からはるかに自由である。しかし、後述するように、単極対エンコーダと組合わせない限り、絶対位置測定量を提示しない。簡略化するため、図7-10に示すエンコーダは単極対タイプであるが、ここで実施されている原理は多極および多重速度エンコーダにも応用できる。本願明細書において、多重速度エンコーダとは、単極および多極可変キャパシタンスの双方を含むエンコーダを指す。単極キャパシタンスは粗チャンネルとして作用し、その出力信号が1回転ごとに反復するのに対して、多極キャパシタンスは精密チャンネルとして作用し、その出力信号は1回転に数回反復する。粗および精密測定量を組合わせることにより、高い精度および解像度で、曖昧さのない回転子位置を得ることができる。図11Aおよび11Bは、本発明の好ましい実施例によるタイプ5の多重速度容量性角度エンコーダにおいて、回転子260に形成した多極導電パターンと、固定子270に設けた送信プレートをそれぞれ示す頂面図である。図面を簡略化するため、固定子および回転子の双方に設けた粗チャンネルプレートおよび結合プレートの図示を省いた。単一の固定子270を含めて、このエンコーダは8極レゾルバと等価である。回転子260は8つの正弦波サイクルを有する。固定子270は32枚の送信プレート272を含む。それぞれ4枚目のプレートは共通の励起電圧線V1~V4に接続されている。4つの励起電圧は相互直角位相関係にある。双方のチャンネルに単一の固定子および単一の回転子を採用するタイプ5の多重速度CFRAAEsは、恐らくは両チャンネル間の相互干渉が実用を妨げると考えられていたため、公知技術には提案されていない。この構成は、上記ArnoldおよびHeddergottの論文では明確に退けられている。図11Cは、本発明の好ましい実施例による、回転子260の負バージョンとしての回転子262に形成された、異なる形態の導電パターンを示す頂面図である。回転子262は、エンコーダの信号極性が逆であることを除けば、回転子260と等価である。図12Aおよび12Bは、本発明の好ましい実施例による、タイプ5単一固定子2速度エンコーダの固定子300および回転子310にそれぞれ設けられた導電プレートの頂面図である。固定子300は精密送信プレート317、近似送信プレート314および受信プレート312を含む。回転子310は、精密パターンプレート317、近似パターンプレート315および受信プレート312と対向する結合プレート316を含む。回転子プレートはすべて互いにつながっている。プレート315および316間の分離は不要であり、図示の便宜上分離したに過ぎない。なお、回転子310の粗パターンおよび精密パターンはいずれも円滑に変化し、公知の多速回転子に見られるような明確な境界点は存在しない。従って、固定子300からの信号が後述の回路によって処理される時、エンコーダは、角度測定量精度の低下につながるような歪みをほとんど伴わない、円滑且つ明瞭な正弦波出力を提供する。図12Cは、本発明の他の実施例による、回転子320に設けた導電プレートの頂面図である。回転子320は機能的には回転子310と同様であり、これに代わることができる。上記プレート317の負バージョンである精密パターンプレート318を有する点で先に述べた実施例と異なる。図13は、本発明の好ましい実施例による、2速度エンコーダと併用される信号コンディショニング回路330の簡略図である。回路330は回路200に関連して上述したのとほとんど同じであるが、近似処理チャンネル328と精密処理チャンネル329を別々に設けたPQEアプローチを採用する。粗チャンネル可変キャパシタンス336~339は、典型的には10kHz方形波の4相AC電圧332~335によって励起される。精密チャンネル可変キャパシタンス344~347は、典型的には40kHz方形波によって励起される。この電子装置は、粗および精密チャンネルすべてによって共用されるように、受信プレート312図12Aと接続する電荷増幅器348を含む。増幅器出力は、粗および精密処理チャンネルに向けられ、同期検出器349~352および低域フィルタ354~357を含む。同期検出器349および351はそれぞれ同相基準信号332および340を供給され、低域フィルタ354および356によってフィルタされて粗および精密正弦波信号を形成する。同期検出器350および352はそれぞれ直角位相基準信号333および341を供給され、低域フィルタ355および357によってフィルタされて粗および精密正弦波信号を形成する。次いで、上述したように、これらのアナログ信号をディジタル化し、マイクロコンピュータによって処理することが好ましい。図14は、本発明の他の好ましい実施例による、3速、タイプ5のCFRAAEの回転子380に設けた導電プレートの頂面図である。回転子は精密チャンネル382、中程度チャンネル384、粗チャンネル386および結合プレート388を含む。これは適当に適合させた固定子および信号コンディショニング回路と併用され、2つではなく3つの処理チャンネルと併用される。図14の構成は、例えば、精密チャンネルに多数のサイクルを有する大径エンコーダに有用である。この場合、粗チャンネルは、固有精密サイクルを正しく識別できるほど正確でなくてもよい。粗および精密チャンネルのサイクル数の中間サイクル数を有する中程度チャンネルを加えることにより、先ず中程度チャンネルの固有サイクルを識別し、次いで、精密チャンネルの固有サイクルを識別することによって問題を解決することができる。図15は、本発明の好ましい実施例による、図12A-Bに示すような2速度回転エンコーダと併用される2状態切替可能信号コンディショニング回路420を略示する回路図である。回路420は、図13に示すような多チャンネル回路よりも簡単であり、部品数が少ないという点で有益である。可変キャパシタンス429~432はエンコーダの精密相互キャパシタンスを表し、可変キャパシタンス433~436は粗チャンネル相互キャパシタンスを表す。スイッチ425~428は、図示しない共通の論理信号によって指令されて、精密チャンネルまたは粗チャンネルキャパシタンスに励起電圧421~424または値電位を印加することにより、精密または粗角度測定量を得る。先に挙げた実施例に関連して述べたように、電荷増幅器447からの出力電圧が同期検出器448および449と低域フィルタ450および451によって処理されて、スイッチオンされたチャンネル精密または粗に対応する正弦および余弦出力が形成される。好ましくは、粗チャンネルを使用してエンコーダの絶対位置を識別する。典型的には、この粗信号はシステム初期化にのみ必要である。システムがONになると、論理指令が先ずスイッチ425~428を介して、励起波形を粗チャンネル送信プレートキャパシタンス433~436に伝送する。この粗位置測定を利用して、回転子の位置に対応する特定の精密サイクルを識別する。次いで、励起電圧を精密チャンネル送信プレートキャパシタンス429~432に印加し、精密チャンネル信号を処理することによって、回転子の絶対的且つ正確な位置を得る。図16Aおよび16Bは、本発明の好ましい実施例による、2速度のタイプ5CFRAAEを構成する、固定子460および回転子470の導電プレートをそれぞれ示す頂面図である。この実施例では、回転子と固定子の間の多極可変キャパシタンスを利用して、粗および精密角度測定量を発生させる。実用上の利点は、エンコーダの所与の外径に対して、比較的大きい中心孔を形成することができ、従って、比較的広い範囲のシャフト径に対応できることにある。固定子460は精密送信プレート467と四分円受信プレート463~466を含む。精密プレートは回転子470に設けた精密パターンプレート468と相互作用する。回転子に設けた偏心結合プレート461はこの相互作用を受信プレートに結合する。プレート461は偏心関係にあるから、4つの象限キャパシタンスが合計されない限り、結合キャパシタンスは回転的に独立ではない。合計すると、正確な精密チャンネルの測定量が得られる。この場合、精密チャンネル出力信号をA=RsinおよびB=Rcosとすれば、そのベクトル和Rは下記式で与えられる定数である:R=√A2B2但し、受信四分円のすべてを使用しない場合、ベクトル和Rは変調され、粗チャンネルの測定量を求めるのに利用できる。図17は、本発明の好ましい実施例による、図16Aおよび16Bのエンコーダと併用される信号処理回路480を略示するブロックダイヤグラムである。好ましくはシャフトが静止したままの初期化段階において、回路480の正弦および余弦チャンネルの出力から、4対のDC電圧A1、A2、A3およびA4およびB1、B2、B3およびB4が得られる。そのためには、スイッチ490,491,492および493を順次閉じ、フィルタ509および510の出力に現れる出力DC電圧をサンプリングすればよい。各DC電圧は精密キャパシタンス482,483,484および485と、特定象限結合キャパシタンス486,487,488または489図16Aの象限463,464,465および466にそれぞれ対応と、電荷増幅器506、同期復調器507および508および低域フィルタ509および510の固定ゲインの結果である。次いで、各電圧対の対応ベクトル和を計算することにより、特定シャフト角度における象限結合キャパシタンス値に比例する振幅R1、R2、R3およびR4を求める。対角対差R1-R3およびR2-R4は粗シャフト角度の所要の正弦および余弦に比例する。この初期化の後、4つのスイッチ490~497を閉じてエンコーダを精密モードに切り替える。このモードでは、精密固定子プレートが精密回転子パターンと相互作用するから、電源494~497および可変キャパシタンス482~485を利用して精密シャフト角度を求める。図18A,18Bおよび18Cは、本発明の好ましい実施例による、タイプ4エンコーダを構成する送信固定子520、回転子525および受信固定子527をそれぞれ示す頂面図である。このエンコーダは多極相互キャパシタンスから単極信号を得る第2方式の一例である。固定子520は図11Bに示した回転子270に設けたのと同様の、複数の送信プレート529から成る多極送信列を含む。但し、ここではプレート529が4つの象限軍521~524に分割され、それぞれが別々に給電される。固定子527は環状受信プレート528を含む。回転子525はその両側に多極導電パターン526を有し、これら2つの導電パターンは電気的に接続されている。受信固定子527から受信された信号は、図8に示した回路200とほぼ同様の回路によって処理される。この場合、キャパシタンス206~209は、各象限における送信プレート群に起因する可変キャパシタンスを表す。回転子525のプレート526が理想的な多極パターンを有する限り、送信象限の1つが給電されるか、2つ以上が給電されるかに関係なく、低域フィルタ213および214からの出力正弦および余弦信号は精密チャンネルを表す。しかし、もし回転子パターンが、例えば、回転軸心に対する偏心性または軸心にたいする傾斜またはサイクル毎の厚さ変動のため、理想の状態的でなければ、象限のすべてが同時に給電されない場合、出力信号が回転毎に振幅変調を含むことになる。このような偏心性またはその他の偏りはままありうることである。即ち、個々の象限が順次給電され、振幅R1-R3およびR2-R4が計算されれば、粗シャフト角度の正弦および余弦が得られる。すべての象限が同時に給電される場合、精密チャンネルの正弦および余弦が正確に得られる。これと等価の方式は他にも考えられるが、共通点として、いずれも1回転毎に何らかの形で対称性が崩れる多極回転子と、2つの構成、即ち、対称性の構成と対称性を崩す特徴を有する構成との間で切替可能な固定子とを有する。例えば、理想的な多極パターンを有する回転子を使用し、1つまたは2つ以上のサイクルが欠落している場合、固定子が対称複数象限モードにある時、信号はその影響を受けない。しかし、固定子が非対称単一象限モードに切替えられると、信号振幅は1回転毎に変調される。本発明のさらに他の好ましい実施例として、サイクル毎に対称性が崩れる多極回転子を、同様に対称性を欠く回転子と連携させる。この場合、スイッチングは不要である。例えば、図11Bに示す固定子270を偏心させるか、または固定子の1つのセグメントを除けばよい。回転子と固定子の欠陥が信号振幅Rを周期的に変調することになる。回転子が回転している初期化の段階において、Rが最大または最小値に達する位置を識別するため、Rをモニターする。この位置を回転子の指標位置とする。次いで、本来の測定段階で、好ましくは、上記サイクル毎の変調と関連する精密信号中のサイクル毎のエラーを修正することにより、正確な絶対値を得る。このような実施例の長所は、結合または粗パターンプレートを必要とせず、精密パターンだけでよいから、回転子の中心孔をさらに大きく形成できることである。区分された3次元回転子図19は、本発明の好ましい実施例による、3次元導電パターンを有する回転子520を略示する斜視図である。この実施例では、導電パターンに沿って回転子を切り抜き、ベタの中心部分から複数の放射状突出部522を形成し、突出部間に開放凹部524を介在させる。この回転子構成は、湿気のある環境で作用しなければならないエンコーダでは特に有益である。公知技術において多く見られるように、回転子面が扁平な場合、水分が膜を形成して導電パターンを水浸しにするから、エンコーダは機能不能に陥る。回転子520を使用すれば、水膜が存在しても性能は同じであり、回転子は正確な測定量を提供し続ける。パターンのある領域と空白領域との間に現れる単位面積当りのキャパシタンス差は水膜のない時よりも大きくなるから、信号レベルが増大する。開放凹部524は精密チャンネルに適用されるだけであるが、このチャンネルはエンコーダの性能にとって最も重要である。本発明の一実施例では、基板を薄くすることによって粗チャンネルパターンを部分的に凹ませ、濡れた、凹みのない領域よりも、凹んだパターンにおける単位面積当りキャパシタンスを小さくすることによって、水分の影響を軽減する。上記ヨーロッパ特許出願0226716号は、エンコーダにおける静電界分布を精度を高めるための3次元回転子パターンを有するタイプ4の容量性エンコーダを記述している。この出願は水分の影響には触れておらず、記述されているパターンの凹部は閉ざされている。従って、回転子520は、特に、回転子パターンが部分的に凹んでいるかどうかに関係なく接地水膜が連続的なスクリーンとして作用する接地回転子タイプ3実施態様において、公知の3次元回転子よりも優れている。回転子520の構成はタイプ4のエンコーダにも有用である。回転子520だけでなく、ここに記載の他の実施例における回転子についても、その基材としては、使用目的に応じて、導電パターンでコーティングされる、銅張りガラス-エポキシまたは真空蒸着ガラスディスクのような非導電材で形成することができる。回転子ディスクおよび中心部分526は、ガラス充填ポリカーボネートのような強化プラスチックから成形された単一片であることが好ましい。この実施例において、回転子に導電性コーティングを選択的に施す好ましい方法の1つとしては、いわゆる箔押しを採用する。この方法では、薄い金属膜を連続的なロールから基材へ選択的に移行させ、パターンを有する加熱プレートの圧力によってコーティングする。好ましい実施例としては、射出される基材に、先ずレリーフでパターンを形成し、扁平な、パターンのない加熱プレートを使用してコーティングする。このような成形回転子の長所は、回転シャフトに対してパターンを正確に、且つ固定的に整合させることができる点にある。本発明の他の好ましい実施例としては、回転子の外縁をパターンのある部分の高さよりもやや上方へ起立させる。起立部分はスペーサとして作用し、パターンのある部分とこれと対向する固定子プレートとの接触を防止することにより、エンコーダの最終組立てにおいて固定子と回転子との間に適正な分離が達成される前に、コーティングが損傷するのを防ぐ。起立パターンのもう1つの利点は、上述したように、回転子上に水膜が形成されるような高湿度条件下で顕著に現れる。カーボン充填またはその他の導電性ポリマーを、回転子の他の部分となる非導電性ポリマーと一緒に射出して、回転子の導電性領域を形成することも可能である。およそすべての回転センサーに要求される重要な条件は、回転以外の回転子の機械的変位、例えば、回転軸心に対する偏心または傾斜、または軸取付けエラーに起因する変位に感応しないことである。本発明の好ましい実施例によるCFRAAEsはいずれも、軸取付けエラーがあっても、高々正弦および余弦チャンネルの共通ゲインに影響するだけであって、角度計算値を決定する両者の比には影響しないから、ほとんど感応しない。多極容量性エンコーダにおける信号は複数極の複合分布である。従って、このようなエンコーダは、光学的エンコーダとは異なり、固定子に対する回転子の傾斜または半径方向不整列には顕著な自己補正および許容能力を発揮する。しかし、単極CFRAAEはその性質上、回転子の偏心エラーに敏感である。傾斜エラーに対する感度はタイプに応じて異なり、タイプ2および3の感度は最も低い。タイプ4CFRAAEはその簡単な構成が利点であるから、回転子の傾斜に対する不感度の向上が望ましい。図20は回転子傾斜の影響を説明するための、公知のような、タイプ4のCFRAAE538を略示する断面図である。エンコーダ538は、送信導電パターンコーティング541および545を有する第1固定子540、受信導電コーティング543を有する第2固定子542、および電気的に互いに接続する導電コーティング547および548を有する、やや傾斜している回転子544を含む。エンコーダ右側の、固定子540と回転子544との間の狭いエアギャップは、固定子542が受信する信号全体に対する送信パターン541の寄与を、パターン545の寄与よりも大きくする。寄与の差は両チャンネル間のゲイン比に影響し、出力エラーの原因となる。回転子544と受信コーティング543との間のキャパシタンスは傾斜によって変化させられるが、この影響は双方の寄与に共通であり、ゲイン比には影響しない。図21は、本発明の好ましい実施例による、タイプ4のCFRAAE560を略示する断面図である。回転子561の両側の導電パターンは複数素子562-572に分割され、それぞれが互いに電気的に絶縁されている。ぞれぞれのコーティング547および548を有する各素子の両面は電気的に互いに接続している。この場合、周縁電界効果を無視すれば、コーティング545と回転子素子562、回転子素子とコーティング543の間のキャパシタンスC1およびC2の直列接続は、回転子素子562の位置からはほとんど独立である。阻止570と連携するキャパシタンスC1およびC2の直列接続も、他の回転子素子と連携するキャパシタンスの直列接続も、位置からはほとんど独立である。従って、パターンの総キャパシタンスは傾斜にほとんど影響されない。図22は、本発明の好ましい実施例による、回転子561を略示する頂面図である。図示のように、コーティング547は複数のセグメント572に分割され、単極対構成における、図21に示すセグメント562-570と同様に構成されている。米国特許第4,851,835号は、タイプ4のCFRAAEの回転子に形成した多極パターンのセグメント構成を記述している。しかし、この公知例では、回転子の傾斜に対するエンコーダの不感度の向上に重きを置いていない。即ち、上述したように、個々の極の自己補正により、多極回転子は本来的に傾斜に感応いないからである。公知エンコーダとは異なり、本発明は傾斜に対する不感度に優れた単極回転子561を提供する。図23は、本発明の好ましい実施例による、2つのCFRAAEタイプを1つの装置として組合わせたハイブリッド回転子580を略示する頂面図である。回転子580は3次元多極精密チャンネルパターン582を形成するように成形された絶縁性基材から成る。従って、このパターンはタイプ2である。上述したように、好ましくは区分された導電性パターン584を回転子基材上に形成し、粗チャンネルとして作用させる。従って、粗パターンはタイプ4のCFRAAEとして作用する。ほかにも、異なるタイプの組合わせがかのうである。容量性線形変位エンコーダ回転角度測定に関する上記概念は、容量性線形変位エンコーダCLDEにも応用できる。このようなエンコーダは、移動の全範囲にまたがる固定素子-ルーラ-と、実用的な範囲で短く形成された読取ヘッドと呼称される移動素子とを含む。ルーラは、例えば、後述するように、導電性ベローズなどで遮蔽することができるが、ルーラよりもはるかに短いヘッドを遮蔽する方がより便利である。従って、必須条件ではないが、CLDEのヘッド部分が受信手段を含むことが好ましい。傾斜エラーを自己補正する多極対CFRAAEとは異なり、CLDEには円対称性はなく、ルーラとヘッドの相対傾斜の影響から自由ではない。本発明の好ましい実施例はこの欠点を克服するように構成されている。図24および25は、本発明の好ましい実施例による、2プレート読取ヘッド602を有するCLDE600の簡略図である。図24は、タイプ2,3または4エンコーダとして実施できるエンコーダの基本構成を示す側面図である。図25は、タイプ2としての実施を例示する、図24におけるXXV-XXV線における簡略化断面図である。CLDE600はヘッド602と共にルーラ604を含む。図25に示すように、ヘッドは受信プレート606および送信プレート608を含む。タイプ2として実施する場合、ルーラ604が絶縁材から成り、直線状エッジではなく、好ましくは正弦波形の、反復的な3次元エッジを含む。タイプ3または4のCLDEの場合、後述するように、ルーラの導電性コーティングでパターンをプリントする。ルーラパターンは、図19に示す3次元の回転子パターンと同様に3次元でよいが、この場合には、取付けのため、図24および25に示すように底部ではなく、中心線に沿ってルーラを固定する必要がある。好ましくは、ヘッド602を接地外部シールド610による電気的干渉から保護する。図26Aは、本発明の好ましい実施例による、タイプ1のCLDEの読取ヘッド604を略示する側面図である。タイプ1のCLDEは、ルーラ上の送信プレートおよび対称性の二重サイノソイドsinusoidパターン612を有するヘッド604上の単一の受信プレートを含む。二重サイノソイドは2つの軸を中心に対称である。従って、移動方向と平行な長手軸を中心とするおよびヘッドとルーラの間のエアギャップに垂直な軸を中心とするエラーは実質的に自己補正される。パターン612を利用することによって、エンコーダ600のヘッド傾斜に対する感度を、公知のCLDE装置よりも軽減することになる。移動方向と直交する軸を中心とする傾斜に起因するエラーは、パターン中のサイクル数に比例して軽減される。図26Bは、本発明の好ましいタイプ1の実施例による読取ヘッド620を略示する側面図である。この場合、対称的な、二重サイノソイド受信パターン622は、その両側の導電接地層621および623によって外部的干渉に対して保護される。図27は、本発明の好ましい実施例による、送信プレート608を有するタイプ1のCLDEルーラ602を略示する側面図である。ルーラ602はヘッド604または620と併用することが好ましい。送信プレートはCFRAAE実施例に関連して上述したように、4相AC電圧、好ましくは方形波によって励起させられる複数のバー624から成るパターンを含む。好ましくは、図8に示す単一チャンネル検出および復調方式と共にPQE励起を利用することにより、部品公差に対するCLDEの感度を鈍らせ、正弦および余弦チャンネルにおいてほぼ等しいゲインを得る。図28は、本発明の他の好ましい実施例による、タイプ4のCLDEに使用されるルーラ630に形成された二重シノサイドパターン632を略示する側面図である。接地シールド610図25は、タイプ2および3のCLDEsにおける読取ヘッド602に電気的干渉が作用するのをほぼ防止できるが、タイプ4のCLDEでは、ルーラ上の導電パターンが連続的であるから、干渉をピックアップし、受信手段606に伝導する恐れがある。図28に示すように、傾斜ギャップ634を有する区分パターン632によって、干渉が伝導されるこの懸念が著しく軽減される。従って、常時能動的であるパターンはヘッド602の内側に遮蔽され、シールド610の外側にあって保護されないセグメントから絶縁される。セグメント間のギャップ634は傾斜しているから、ヘッドの移動に応じたキャパシタンス測定量のシノサイド依存性が損なわれることがない。公知のような垂直ギャップの場合、パターンに起因して、サイノソイド状に変化するキャパシタンスに不連続性を発生させることになる。即ち、パターン632を採用することで、達成可能な補間深さが増大し、その結果、エンコーダの精度が公知CLDE装置よりも高くなる。図29は、本発明の好ましい実施例による、他のCLDE640を略示する断面図である。CLDE640の構成は、長手方向スロットと隣接する受信プレート646および送信プレート648を有する固定ルーラ644を含むという点で、CLDE600図24および25に対して倒立関係である。移動ヘッド642はスロットの内側を移動する。この倒立構成は、移動ヘッドに電気的にアクセスできないか、または何らかの理由で電気的に受動的でなければならない場合に有用である。図30は、本発明のさらに他の好ましい実施例による、遮蔽された倒立CLDEを略示する断面図である。ルーラ654は迷路状の長手方向スロットを有し、プレート646および648とヘッド652を保護するための接地シールド656を含む。CLDE650は原理的にはCLDE640と同様であるが、外部干渉に対する抵抗は比較的高い。ルーラ644もヘッド642図29も、公知のFR-4基板材料を使用する多層プリント回路技術に基づくプリント回路であることが好ましい。典型的には、ルーラプリント回路板の表層が送信プレート648を含み、内側層が励起線および遮蔽接地プレートを含む。他の好ましい実施例にも同様の技術を利用できる。ルーラが単一送信または受信プレートを含み、ヘッドとは反対側の、ルーラの裏側が空白である、本発明のタイプ1およびタイプ5実施例の場合、薄い多層基板からルーラを作成し、エンコーダを使用する機械にこれを接着すればよい。この可撓ルーラを円筒面に接着すれば、角度測定が可能になる。他の可能性として、図28に示すように、複数のルーラ素子を直列に突合わせる方法がある。突合せで得られる精度はCLDEの精度に匹敵できないから、素子の位置検出エラーを記憶するため、校正処理を採用することが好ましい。本発明の好ましい実施例の典型的な製法では、厚さ0.3mm、幅12mm、長さ500mmのFR-4の材料片からルーラを形成する。ヘッドパターンの長さは2mm、測定解像度は0.1μmである。図31Aは、本発明の好ましい実施例による、タイプ5のCLDE660を略示する断面図である。CLDEはルーラ662と、送信プレート668および670および受信プレート674を内面に有する移動ヘッド664とを含む。ルーラ662の内面には、図28に示したパターン632のようなセグメント状のパターンを形成することが好ましい。上述したように、干渉のピックアップを極力抑制するため、パターンを区分してあるが、ヘッドの受信プレートはCLDE600の場合のように対向プレートによって保護されない。従って、ルーラ662の裏面を接地コーティング666で被覆することにより、受信プレート674と対向するセグメントを外部干渉から保護する。同様の目的で、ヘッド664の外面を接地コーティング676で被覆する。図31Bは、本発明の好ましい実施例による、原理的にはCLDE660と同様の、他のタイプ5CLDE680を略示する断面図である。CLDE680では、移動ヘッド682の延長部684によって接地保護を達成する。従って、ルーラ662が接地接続を含む必要はない。図32は、送信プレート668および570と受信プレート674の構成を略示する、ヘッド664の側面図である。送信プレートは受信プレート674のいずれかの側に、上下2列に配置された、図27に示したようなバーから成ることが好ましく、受信プレートはルーラパターン632の中央部とキャパシタンス結合している。ヘッドおよびパターンの対称的な構成は、ヘッドの傾斜および回転に対するCLDEの感度を最小限に軽減するのに寄与する。CLDEのための好ましい信号コンディショニング方式は、図8に示したようなPQE方式である。図32のCLDEに実施された原理を利用してタイプ6構成を実施することもできる。この場合、ヘッドは送信および受信プレートを有する2つの回路基板を含み、それぞれがルーラのいずれかの側に配置される。同様に、ルーラはその両面にパターン632のようなパターンを有し、両パターンは互いに電気的に接続している。このように実施すれば、干渉からの保護効果を高め、信号ゲインを増大させ、ヘッド傾斜に対する感度を抑えることができる。図33Aおよび33Bは、本発明の好ましい実施例による、タイプ1の絶対CLDEにおけるルーラ700およびヘッド714をそれぞれ略示する側面図である。この場合のCLDEは、構造において、CLDE660と同様であり、作用において、切替可能な2速度CFRAAEsと同様である。即ち、ルーラ700に対するヘッド714の絶対位置を示唆する近似モードと、増分CLDE660と等価の作用を有する精密モードとの間で切替可能である。近似モードにおける測定量エラーが精密チャンネルサイクルの長さより小さければ、粗および精密測定量を組合わせることによって、精密チャンネルによってのみ制限される精度および解像度で、絶対変位量測定量を得ることができる。図33Aから明らかなように、ルーラ700の送信パターン702は、パターンの個々のバー708が対角分離線710によって2つの三角形グループ704および706に分割されている点を除けば、図27のそれとほとんど同様である。各グループ704および706に属するバー708は4本のPQE線で別々に給電され、個々の垂直バーとして、または集合的な三角形送信手段として作用するように切替えることができる。ヘッド714は、図26Bに示したパターン622と同様のパターン716を有することが好ましい。増分位置検出を行う精密モード動作では、各バー708の2つの部分のそれぞれのPQE線が互いに接続して、増分CLDE動作が行われる。ヘッド714のパターン716の上下領域が中央の正弦波部分722との接続を解かれ、図26Bに関連して上述したように接地される。粗モードでは、絶対位置測定量を得るため、2グループ704および706のそれぞれに属する部分的バーのすべてが互いに接続する。読取ヘッドの上下領域が接地を解かれ、部分722と接続して四辺形プレートを形成する。読取ヘッド714と三角形グループ704との間のキャパシタンスがC2ならば、差C1-C2はルーラ700に対するヘッドの変位量に比例する。バー708間のギャップに起因する、粗モードにおける測定出力のリップルを極力小さくするため、読取ヘッドの前後縁724,726を斜行させて、プレートを平行四辺形にすることが好ましい。粗チャンネルの精度は、識別可能な精密サイクルの最大数を決定する。従って、精密パターンの所与のサイクル長さに対して、粗チャンネル精度は総測定長さを決定する。同様に、所与の測定長さに対して、粗チャンネル精度は最小精密サイクル長さを、従って、得られる解像度を決定する。近時チャンネルの精度を最大限に高めるためには、2つの重大なエラー発生源を極力排除することが好ましい:1.C1にもC2にも影響するルーラ700とヘッド714との間のエアギャップ公差。エアギャップはC1およびC2に影響するから、差C1-C2を和C1C2によって正規化することによってこのエラーを除くことができる。2.移動方向と平行な軸線に対するヘッド714の傾斜はC1とC2の間のバランスに影響する。このエラーは計算では克服できない。図34は、本発明の好ましい実施例による、上記傾斜に対する感応度の問題を克服するように構成された、ルーラ730上の互い違い送信パターン732を略示する側面図である。ここでは、2グループではなく、3グループの三角形734,736,738を近似モードに使用し、傾斜軸に対して対称の構成を得る。C1が三角形734および738による複合キャパシタンスであり、C2が三角形736によるキャパシタンスならば、C1およびC2の変動は少なくとも1桁まで自己補正される。増分エンコーダから絶対測定量を得るために利用できる他の方法としては、機械的ゼロと定義される既知位置-線形エンコーダの場合ならルーラの一方の端部において指標パルスを発生させる。システムがONになると、指標位置上をヘッドが移動し、次いで、絶対位置が検出される。この技術は容量性角度エンコーダにも線形エンコーダにも利用できる。図35は、この指標位置設定の概念を説明するため、本発明の好ましい実施例による、タイプ1の線形エンコーダ750を略示する側面図である。上述したように、複数の送信バー756から成るルーラ754は、典型的にはその端部に、指標送信プレート751および752が補足されている。読取ヘッド753は矩形受信プレートを含む。好ましくは、ヘッド753はヘッド714におけるパターン716のような切替パターンを有することによって、精密測定チャンネルおよび指標チャンネルに共通の受信手段として作用できるようにする。図36Aおよび36Bはヘッド753とプレート751の間、およびヘッド753とプレート752の間でそれぞれ感知されるキャパシタンスC1、C2を、ヘッドの移動に対応させて示すグラフであり、図36Bは和C1C2を示す。差チャンネルにおけるゼロ出力信号と和チャンネルにおける所定閾値以上の出力信号が一致する点が指標位置である。エンコーダのための信号コンディショニングは、図13に示す回路を簡略化した回路によって行うことが好ましい。この場合、位置チャンネルと連携するバー756は、共通周波数の4相電圧340~343によって励起されて、低域フィルタ356および357の出力において、指標キャパシタンスC1およびC2に比例する正弦および余弦信号を出力する。CLDEsに関連して上述した特徴に加えて、CFRAAE装置に関連して述べたその他の特徴をCLDEsと併用することもでき、その逆もまた可能である。上記好ましい実施態様において、容量性移動量エンコーダの特徴を種々の組み合わせおよび構成について説明したが、本発明の原理に基づき、同様の素子および構成要件を他の装置にも適用できる。6つのタイプのエンコーダのそれぞれに関連して説明した本発明の構成要件はその他のタイプのエンコーダにも適用できる。このような組合わせ、適用および構成はすべて本発明の範囲に包含される。上記好ましい実施形態は実施例として説明したものであって、本発明の範囲は請求項によってのみ制限される。"