液体を吐出させる加圧ユニットを備えている液体吐出ヘッド本体と、該液体吐出ヘッド本体の一部を覆うように設けられており、一部に開口を有するカバー部材と、前記開口を塞ぐように前記カバー部材に接合されているとともに、前記カバー部材の外側で外部の配線と接続される接続部を備え、かつ前記加圧ユニットと電気的に接続されている接続基板とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。前記接続基板が、配線を備えた樹脂基板であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。前記加圧ユニットと前記接続基板との電気的接続が、前記接続基板に実装されている着脱可能な内部コネクタを介しているとともに、前記カバー部材は、カバー部材本体と、前記カバー部材本体に着脱可能な蓋とからなっていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。複数の前記加圧ユニットと信号分配基板とをさらに有し、該信号分配基板は、前記カバー部材内に配置されており、前記接続基板の前記内部コネクタと接続されているコネクタと、該コネクタから入力される信号を前記複数の加圧ユニットに分配する配線とを有することを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッド。前記内部コネクタが、前記接続基板の前記カバー部材の内側に面している主面に表面実装されていることを特徴とする請求項3または4に記載の液体吐出ヘッド。前記接続部が、前記接続基板の前記カバー部材の外側に面している主面にスルーホール実装されている外部コネクタであることを特徴とする請求項2~5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。前記液体吐出ヘッド本体が、前記接続基板と対向している位置に配置されており、前記カバー部材の、前記液体吐出ヘッド本体から前記接続基板までの間の側面から、前記接続基板の上方まで延在する放熱部が前記カバー部材に設けられていることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。請求項1~7のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドの前記接続部に接続され、前記接続基板を介して前記液体吐出ヘッド本体に電気的に接続されている、前記液体吐出ヘッド本体を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。しかしながら、特許文献1に記載の液体吐出ヘッドでは、印刷中に生じる液体のミストなどが、信号ケーブと蓋、あるいは蓋と筐体の間から筐体内部に入りこみ、その液体により信号配線間などが短絡し、液体吐出ヘッドが動作しなくなることがあるという問題があった。したがって、本発明の目的は、液体のミストが侵入し難い液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置を提供することにある。本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出させる加圧ユニットを備えている液体吐出ヘッド本体と、該液体吐出ヘッド本体の一部を覆うように設けられており、一部に開口を有するカバー部材と、前記開口を塞ぐように前記カバー部材に接合されているとともに、前記カバー部材の外側で外部の配線と接続される接続部を備え、かつ前記加圧ユニットと電気的に接続されている接続基板とを有することを特徴とする。また、本発明の記録装置は、前記記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドの前記接続部に接続され、前記接続基板を介して前記液体吐出ヘッド本体に電気的に接続されている、前記液体吐出ヘッド本体を制御する制御部とを備えていることを特徴とする。本発明の液体吐出ヘッドによれば、外部と液体吐出ヘッドとの電気信号は、接続基板を介して行なわれ、カバー部材の開口は、接続基板がカバー部材に接合されることで塞がれているため、カバー部材の開口からの液滴の侵入を抑制できるので、信頼性が高くなる。本発明の記録装置によれば、液体吐出ヘッド内への液滴の侵入が抑制できるので、信頼性が高くなる図1は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1以下、プリンタ1とするは、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端の液体吐出ヘッド本体13と液体吐出ヘッド本体13に取り付けられたカバー部材90を有している。液体吐出ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔8が設けられている液体吐出孔面4aとなっている図5参照。1つの液体吐出ヘッド2に設けられた液体吐出孔8からは、同じ色の液滴インクが吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2の液体吐出孔8は一方方向印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタM、イエローY、シアンCおよびブラックKである。各液体吐出ヘッド2は、液体吐出ヘッド本体13の下面の液体吐出孔開口平面4aと搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成する液体吐出ヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a~122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。図6は液体吐出ヘッド2の斜視図であり、図7は、図6に示した液体吐出ヘッド2のX-X線断面図である。液体吐出ヘッド本体13には、流路部材4、分岐流路部材60、リザーバ流路部材40、加圧ユニットである圧電アクチュエータユニット21、ヒータ65が含まれる。図7では流路部材4などの流路の内部構造は省略してある。液体吐出ヘッド2は液体吐出ヘッド本体13とカバー部材90とを含んでいる。カバー部材90は、金属製で、形状は直方体状である。カバー部材90は、筒状のカバー部材本体90aとカバー部材本体90aに着脱可能な蓋90bとからなっている。蓋90bは液体吐出孔面4aと対向した面が外れるような位置に配置されているため、複数の液体吐出ヘッド2が隣接して配置されていても、蓋90bを外して交換できる。カバー部材本体90aと蓋90bとの間に弾性変形する樹脂などを設けることで、液滴の侵入をより抑制できる。蓋90bには孔90baが開口しており、接続基板80は、孔90baを塞ぐように蓋90bに接合される。接合を樹脂や防水処理した両面テープなどで行なうことで、液滴の侵入をより抑制できる。接続基板80のカバー部材90の外側の面以下で単に外側の面と言うことがあるには外部の配線と接続される、接続部である外部コネクタ82が実装されている。外部コネクタ82があることにより、制御部100への接続が容易になる。外部コネクタ82を接続基板80のカバー部材90の外側の面にスルーホール実装にする、すなわち外部コネクタ82の端子を、接続基板80に設けられたスルーホールを貫通させて、接続基板80のカバー部材90の内側の面以下で単に内側の面と言うことがあるに形成されている配線80aに、半田などのろう材で接合することで、接続基板80の外側に配線を少なくできるので、そのような配線が液滴よって断線することを抑制できる。その際、スルーホール内のろう材、あるいは配線80a上のろう材により、接続基板80のスルーホールを介してミストの侵入は抑制される。スルーホール内には導体が形成され、ろう材が充てんされることにより、接合が強固になり、ミストの侵入の抑制効果が高まるが、スルーホール内の導体が形成や、ろう材の充てんは必ずしも必要ではない。さらに、外部コネクタ82の底部と接続基板80とを樹脂などで接着してもよい。外部コネクタ82と接続基板80の間には樹脂などをいれることで、液滴がより侵入し難くなり、外部コネクタ82の下部や接続基板80の外側の面の側のスルーホール付近での断線の発生を抑制できる。接続基板80の内側の面の配線80aには内部コネクタ84が半田などのろう材で実装されている。このように、内部コネクタ84を表面実装すれば、接続基板80の外側の面の配線を少なくできるので、そのような配線が液滴よって断線することを抑制できる。内部コネクタ84および外部コネクタ82の接続を上述のようにすれば、接続基板80の外側の面に配線をなくすことができるので、より好ましい。また、内部コネクタ84の接続する先をカバー部材90aあるいは液体吐出ヘッド本体13に固定させておけば、蓋90bを着脱する際に、内部コネクタ84により接続も同時にできるので、接続をより簡単にできる。そのような構造にするため、信号分配基板86はカバー部材90の中で垂直に立てられた状態にするのが好ましい。内部コネクタ84を実装する位置を液体吐出ヘッド2の短手方向の中央部にすることで、蓋90bを着脱する際の応力は、接続基板80に垂直に近い角度で加わり、斜めに加わる応力が少ないので、内部コネクタ84の実装が、応力による破壊されにくい。ここで言う中央部とは、短手方向の中央1/3の部分のことである。そして、蓋90bを着脱可能であることにより、外部コネクタ82自体や接続基板80が液滴によって断線したとしても、蓋90bおよび接続基板80を交換することで、簡単に液体吐出ヘッド2を修理することができる。また、蓋90bおよび接続基板80は、特にコストの高い部材を使用しなくても作製可能であり、交換のコストも安くて済む。リザーバ流路部材40には、リザーバ流路が設けられて、その一端は液体導入孔41bとして、液体吐出ヘッド2の外部に開口している。また、リザーバ流路の内壁の一部は弾性変形可能な材質のダンパになっている。ダンパのリザーバ流路と反対の面が面する方向に変形できるようになっているため、ダンパは弾性変形することでリザーバ流路の体積を変化させることができ、液体吐出量が急激に多くなった場合などに、安定して液体が供給できるようになる。また、リザーバ流路の中にフィルタを設けて、液体の中に含まれる異物が分岐流路部材4に入らないようにするのが好ましく、異物が詰まることによって起こる不吐出を抑制できる。分岐流路部材60には、分岐流路が設けられており、リザーバ流路とマニホールドの開口5bの間を繋いでいる。リザーバ流路から入った液体は、途中で複数の流路に別れ、複数のマニホールドの開口5bからマニホールド5に流れ込む。また、リザーバ流路部材40には、断熱性部材97が付けられた弾性板96と、液体吐出ヘッド本体13から液体を吐出させる駆動信号を、4つある圧電アクチュエータユニット21に分配する信号分配基板86を固定するためのガイドフレーム88とが固定されている。弾性板96は図7の断面図では、接続していないが、この断面以外の部分で固定されている。制御部100から信号ケーブル不図示を介して送られてきた駆動信号は、外部コネクタ82、接続基板80、内部コネクタ84、信号分配基板86、信号伝達部92および信号伝達部92に実装されたドライバIC55を通り、後述の圧電アクチュエータユニット21の液体吐出素子50を駆動し、流路部材4内部の液体を加圧することにより、液滴が吐出される。なお、信号分配基板86は、例えば、駆動信号を複数の圧電アクチュエータユニット21に分ける他に、駆動信号の整流など行なってもよい。信号伝達部92は可撓性を有する帯状のもので、内部に金属の配線を有し、配線の一部は、信号伝達部92の表面に露出しており、露出した配線により、信号分配基板86、ドライバIC55および圧電アクチュエータユニット21と電気的に接続される。信号伝達部92は、例えば、FPCFlexiblePrintedCircuitである。ドライバIC55は、駆動信号の処理を行なう際に発熱する。ドライバIC55は弾性板96をたわませることで金属製のカバー部材90に押し当てられているため、発生した熱は主にカバー部材90に伝わり、さらにカバー部材90全体に速く広がり、外部に放熱されていく。断熱性部材97は、リザーバ流路部材に熱が伝わり難くしている。断熱性部材97も弾性のあるものにしておいて、ドライバIC55を金属製のカバー部材90に押し当てる助けをさせてもよい。次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する流路部材4について説明する。図2は、液体吐出ヘッド本体13のうち流路部材4および圧電アクチュエータ21を示す平面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、液体吐出ヘッド本体13の一部である。図4は、図3と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔8の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき液体加圧室10液体加圧室群9、しぼり12および液体吐出孔8を実線で描いている。図5は図3のV-V線に沿った縦断面図である。液体吐出ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、加圧部を含む圧電アクチュエータユニット21、分岐流路部材60およびリザーバ流路部材40を有している。圧電アクチュエータユニット21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に平行になるように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータユニット21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータユニット21により吐出された液滴が混在して着弾することになる。流路部材4の内部にはマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線仮想線のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータユニット21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがあり、開口5bから副マニホールド5aまでのマニホールド5を液体供給路5cということがある。開口5bに繋がる液体供給路5cは、圧電アクチュエータユニット21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータユニット21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータユニット21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータユニット21に対向する領域に互いに隣接して液体吐出ヘッド本体13の長手方向に延在している。すなわち、副マニホールド5aの両端は、液体供給路5cに繋がっている。流路部材4は、複数の液体加圧室10がマトリクス状すなわち、2次元的かつ規則的に形成されている4つの液体加圧室群9を有している。液体加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータユニット21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室10によって形成された各液体加圧室群9は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータユニット21が接着されることで閉塞されている。本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1~E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。全体では、マニホールド5から繋がる液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室10の数は、加圧部である変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔8もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。つまり、流路部材4の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように液体吐出孔8を投影すると、図3に示した仮想直線のRの範囲に、各副マニホールド5aに繋がっている4つの液体吐出孔8、つまり全部で16個の液体吐出孔8が600dpiの等間隔になっている。また、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の液体吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である以下の間隔で個別流路32が形成されている。圧電アクチュエータユニット21の上面における各液体加圧室10に対向する位置には後述する個別電極35がそれぞれ形成されている。個別電極35は液体加圧室10より一回り小さく、液体加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。流路部材4の下面の液体吐出面には多数の液体吐出孔8が形成されている。これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータユニット21と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔8は、1つの群として圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット21の変位素子50を変位させることにより液体吐出孔8から液滴が吐出できる。液体吐出孔8は、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。液体吐出ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャしぼりプレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。液体吐出ヘッド本体13は、図5に示されているように、液体加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、液体吐出孔8は下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室10を介して副マニホールド5aと液体吐出孔8とが繋がる構成を有している。各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された液体加圧室10である。第2に、液体加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23詳細には液体加圧室10の入り口からサプライプレート25詳細には副マニホールド5aの出口までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。第3に、液体加圧室10の他端から液体吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ部分流路と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23詳細には液体加圧室10の出口からノズルプレート31詳細には液体吐出孔8までの各プレートに形成されている。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27~29に形成されている。このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口副マニホールド5aの出口から液体吐出孔8に至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室10の一端部に至る。さらに、液体加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔8へと進む。分岐流路部材60も、流路部材4と同様には圧延法等により得られプレート60a~60cに、エッチングにより所定の形状に加工されて、フィルタ45およびダンパ47を貼り付けた後、積層接着され、液体流路61および圧電アクチュエータが収納される凹部63が設けられる。圧電アクチュエータユニット21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット21全体の厚さは40μm程度である。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の液体加圧室10を跨ぐように延在している図3参照。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛PZT系のセラミックス材料からなる。圧電アクチュエータユニット21は、Ag-Pd系などの金属材料からなる共通電極34およびとAu系などの金属材料からなる個別電極35を有している。個別電極35は上述のように圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する位置に配置されている。個別電極35の一端は、液体加圧室10と対向する領域外に引き出されて接続電極36が形成されている。この接続電極36は例えばガラスフリットを含む銀-パラジウムからなり、厚さが15μm程度で凸状に形成されている。また、接続電極36は、信号伝達部92に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100から信号伝達部92を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータユニット21に対向する領域内の全ての液体加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なる表面電極不図示が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に、信号伝達部92上の別の電極と接続されている。図5に示されるように、共通電極34と個別電極35とは、最上層の圧電セラミック層21bのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層21bにおける個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット21においては、最上層の圧電セラミック層21bのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック21aは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット21はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。なお、後述のように、個別電極35に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極35に対応する液体加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する液体吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット21における各液体加圧室10に対向する部分は、各液体加圧室10および液体吐出口8に対応する個別の変位素子50アクチュエータに相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図5に示されているような構造を単位構造とする圧電アクチュエータである変位素子50が液体加圧室10毎に、液体加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、個別電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット21には加圧部である変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって液体吐出口8から吐出される液体の量は5~7plピコリットル程度である。多数の個別電極35は、個別に電位を制御することができるように、それぞれが信号伝達部92および配線を介して、個別に制御部100に電気的に接続されている。本実施形態における圧電アクチュエータユニット21においては、個別電極35を共通電極34と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層21bは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層21aは、個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータユニット21は、上側つまり、液体加圧室10とは離れた側の圧電セラミック層21bを、活性部を含む層とし、かつ下側つまり、液体加圧室10に近い側の圧電セラミック層21aを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部100により個別電極35を共通電極34に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分活性部が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21bは液体加圧室10側へ凸となるように変形ユニモルフ変形する。本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極35を共通電極34より高い電位とする第1の電圧V1Vボルト、以下で省略することがあるにしておき、吐出要求がある毎に個別電極35を共通電極34とを一旦、第1の電圧V1よりも低い第2の電圧を加えて低電位、例えば同じ電位にし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、bが元の形状に戻り、液体加圧室10の容積が初期状態両電極の電位が異なる状態と比較して増加する。このとき、液体加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から液体加圧室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、bが液体加圧室10側へ凸となるように変形し、液体加圧室10の容積減少により液体加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極35に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室10内において圧力波がマニホールド5から液体吐出孔8まで伝播する時間長さであるALAcousticLengthが理想的である。これによると、液体加圧室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。また、階調印刷においては、液体吐出孔8から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量体積で階調表現が行なわれる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する液体吐出孔8から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をALとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合後から吐出される液滴の速度が速くなると考えられるが、その方が複数の液滴の着弾点が近くなり、好ましい。図8は、本発明の他の実施形態の液体吐出ヘッドの縦断面である。図8の液体吐出ヘッド202には、上述の液体吐出ヘッド2に、さらに、放熱部99が備わっている。上述の液体吐出ヘッド2では、接続基板80を設けることなどにより、カバー部材90内への液滴の侵入を抑制することができるようになるが、このような構造にすることより、液体吐出ヘッド2の上方への排熱が少なくなってしまう。ドライバIC55などで発生した熱は、カバー部材90に伝わり、主にカバー部材90全体から排熱される。しかし、接続基板80は、樹脂製のものが用いられることが多く、接続基板80の熱伝導性がある程度高かったとしても、蓋90aとの接続部の熱伝導性はあまり良くないと考えられる。また、このような液体吐出ヘッド2は、多色印刷や、印刷速度を速めるために、複数隣接して設置されることで、側方へ排熱し難い状態にされる場合があるので、液体吐出ヘッド2の上方から排熱されるようになっていることが好ましい。そこで、液体吐出ヘッド202では、カバー部材本体90aに、液体吐出ヘッド本体13から接続基板80までの間の側面から、接続基板80の上方まで延在する放熱部99を備えるようにする。これにより、ドライバIC55の熱は、カバー部材本体90aを介して放熱部99に伝わり、放熱部99の、接続基板80の上方にある部分まで伝わって、外部に放熱される。放熱部99は熱伝導性が高いものが好ましく、金属であることが好ましい。また、放熱部99は、間にカバー部材本体90aを介して、ドライバIC55と重なる位置に設けると、熱がより伝わり易くなり好ましい。放熱部99とカバー部材本体90aとは、接着してもよいが、放熱部99とカバー部材本体90aとが直接接触する方が、熱がより伝わりやすくなり好ましい。その際の固定は、例えば、ねじで行ったり、放熱部99の形状を、カバー部材本体90aを挟み込むものにして、放熱部99の弾性変形を利用して固定する。放熱部99には、外部からの外部コネクタ82に接続される配線が通るように放熱部の孔99aが設けられている。放熱部の孔99aの開口面積を液体吐出ヘッド202の上面の面積よりも小さくすれば、接続基板80に付着するミストの量が少なくなるので、カバー部材90内部へ、ミストがより侵入し難くなる。また、放熱部99の、接続基板80の上方の部位には、冷媒流路99bが設けられている。冷媒流路99bは、液体吐出ヘッド202の長手方向のほぼ全体にわたって設けられており、液体吐出ヘッド202の長手方向の両端で外部に開放されている。冷媒流路99bに冷媒を通すことで、液体吐出ヘッド202からの排熱をよりスムーズにできる。冷媒は、空気よいが、液体である方がより排熱効率をよくできる。このような液体吐出ヘッド202を並列させて使用する場合、それらの短手方向の位置を近づける方が、印刷精度が高くできる。しかし、位置を近づけることは、排熱にはより不利になるが、上述のような短手方向への寸法の拡大があまりない排熱部99を設けることに、効率的な排熱が可能になる。また、短手方向への寸法の拡大があまりないように、冷媒は、長手方向に伸びる冷媒流路99bを通すのが良い。なお、本実施例では、加圧部として圧電変形を用いた変位素子50を示したが、これに限られるものでなく、液体加圧室10中の液体を加圧できるものなら他のものでよく、例えば、液体加圧室10中の液体を加熱して沸騰させて圧力を生じさせるものや、MEMSMicroElectroMechanicalSystemsを用いたものでも良い。以上のような液体吐出ヘッド2は、例えば、以下のようにして作製する。ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層21a、21bとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極34となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を充填する。ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に個別電極35を印刷して、焼成した後、Agペーストを用いて接続電極36を印刷し、焼成することにより、圧電アクチュエータユニット21を作製する。次に、流路部材4を、圧延法等により得られプレート22~31を接着層を介して積層して作製する。プレート22~31に、マニホールド5、個別供給流路6、液体加圧室10およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。これらプレート22~31は、Fe―Cr系、Fe-Ni系、WC-TiC系の群から選ばれる少なくとも1種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Fe-Cr系がより好ましい。分岐流路部材60も同様にさまざまな孔を開けたプレート60a~60cを積層接着して作製する。リザーバ流路部材40は射出成形したリザーバ流路本体40aおよびプレート50bと、フィルタ45およびダンパ47とを組み合わせて接着した。圧電アクチュエータユニット21と流路部材4とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータユニット21や流路部材4への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が100~150°Cのエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも1種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータユニット21と流路部材4とを加熱接合することができる。次に圧電アクチュエータユニット21と制御回路100とを電気的に接続するために、接続電極36に銀ペーストを供給し、あらかじめドライバIC55を実装した信号伝達部92であるFPCを載置し、熱を加えて銀ペーストを硬化させて電気的に接続させる。なお、ドライバIC55の実装は、信号伝達部92に半田で電気的にフリップチップ接続した後、半田周囲に保護樹脂を供給して硬化させた。続いて、分岐流路部材60と流路部材4とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータユニット21や流路部材4への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が100~150°Cのエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも1種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、分岐流路部材60と流路部材4とを加熱接合することができる。続いて、弾性板96の所定の位置に断熱性弾性部材95を樹脂などで取り付ける。断熱性弾性部材95としてゴムを取り付けた弾性板96と分岐流路部材60の間に、あらかじめコネクタ95を実装した信号分配基板86を挟み、ねじで弾性板96と分岐流路部材60とを接合するとともに、信号分配基板86を固定した。さらに、信号伝達部92をまげて、信号伝達部92の一端をコネクタ95に差し込んで固定する。その後、サイドプレート90bをねじで第2の流路部材に付け、上部カバー部材90aをはめ、上部カバー部材90aを弾性板96にねじで固定して、液体吐出ヘッド2を作製することができる。