塗料を吐出する塗工用ヘッドと、前記塗工用ヘッドに前記塗料を供給する塗料供給装置と、前記塗料供給装置から流路仕切弁を介して前記塗工用ヘッドへ前記塗料を送液するための第1の流路と、前記塗料供給装置から前記流路仕切弁を介して前記塗料供給装置に前記塗料を還流させるための第2の流路と、前記塗工用ヘッドの近傍に設けられ、前記塗工停止時に前記塗工用ヘッド内の塗料を吸引する2つ以上の吸引バルブと、を備える電極部材の塗工装置。前記吸引バルブは、少なくとも、前記塗工用ヘッドの前記塗料の流入口と、前記塗料供給装置へ前記塗料を送液するための流出口と、の2箇所に備えられていることを特徴とする請求項1に記載の電極部材の塗工装置。前記請求項1又は2のいずれか一項に記載の塗工装置を用いた電極部材の塗工方法であって、前記塗工用ヘッドから前記電極部材の基材に前記塗料を吐出する第1の工程と、前記塗料の吐出を停止する際に、前記塗工用ヘッド内の塗料を吸引する第2の工程と、を含むこと特徴とする電極部材の塗工方法。しかしながら、特許文献5、特許文献6に記載の塗布方法では、一ヶ所のサックバック機構により塗料を吸引するため、瞬時に未塗布部を幅方向にムラなく直線的に形成するのは困難であった。また、一ヶ所から塗料を吸引するの場合、ヒゲ形状を解消あるいは抑制するために、吸引力を上げ吸引容量を増量する必要がある。しかし、吸引容量を増量しても、所詮は一ヶ所からの吸引であるため、吸引直近部と端部とでは圧力差が生じすなわち吸引状態に差が生じ、塗工ヘッド内の吸引直近部と端部とでは、ヒゲ形状の形成のされ方にも差が生じてしまうという問題がある。また、一旦吸引した容量分は、塗工中、次回吸引時までに送液タンク内に戻し、再度の吸引の準備をしておく必要があるが、塗工中の吸引分の戻し量が多い場合、塗工膜厚のムラを生じてしまう。すなわち、上記した従来の技術を用いても、電極用塗工塗膜を形成する際、塗工精度を保ちつつ、塗工部の終端部にヒゲ形状が生じないように塗工することは困難であった。そこで、本発明は上記課題に鑑み、電極用塗工塗膜を形成する際、塗工精度を保ちつつ、塗工部の終端部にヒゲ形状が生じないように塗工することが可能な二次電池の電極部材の塗工装置および塗工方法を提供することを目的とする。上記の課題を解決するために、本発明の一態様は、塗料を吐出する塗工用ヘッドと、前記塗工用ヘッドに前記塗料を供給する塗料供給装置と、前記塗料供給装置から流路仕切弁を介して前記塗工用ヘッドへ前記塗料を送液するための第1の流路と、前記塗料供給装置から前記流路仕切弁を介して前記塗料供給装置に前記塗料を還流させるための第2の流路と、前記塗工用ヘッドの近傍に設けられ、前記塗工停止時に前記塗工用ヘッド内の塗料を吸引する2つ以上の吸引バルブと、を備える電極部材の塗工装置である。この構成によれば、塗工用ヘッド内の塗料の吸引力向上と均一な吸引を効率よく達成することができ、塗工精度を保ちつつ、ヒゲ形状の形成を解消することができ、塗工面の安定性を得ることが可能である。また、本発明の他の態様は、前記吸引バルブは、少なくとも、前記塗工用ヘッドの前記塗料の流入口と、前記塗料供給装置へ前記塗料を送液するための流出口と、の2箇所に備えられていることを特徴とする電極部材の塗工装置である。また、本発明の他の態様は、上記の塗工装置を用いた電極部材の塗工方法であって、前記塗工用ヘッドから前記電極部材の基材に前記塗料を吐出する第1の工程と、前記塗料の吐出を停止する際に、前記塗工用ヘッド内の塗料を吸引する第2の工程と、を含むこと特徴とする電極部材の塗工方法である。この構成によれば、塗工用ヘッド内の塗料の吸引力向上と均一な吸引を効率よく達成することができ、塗工精度を保ちつつ、ヒゲ形状の形成を解消することができ、塗工面の安定性を得ることが可能である。本発明の一態様によれば、塗工ヘッドに吸引バルブを2つ以上具備することにより、吸引力向上と均一な吸引を効率よく達成することができ、塗工精度を保ちつつ、ヒゲ形状の形成を解消することができ、塗工面の安定性を得ることが可能である。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。塗工装置の構成図1は、本実施形態に係る二次電池の電極部材の塗工装置の構成の一例を示す図である。本実施形態の電極部材の塗工装置100は、塗料タンク1、送液ポンプ2、送液配管3、切替バルブ4、塗工ヘッド5、リターン配管6、リターンバルブ7、リリーフ配管8、リリーフバルブ9、吸引バルブ10、バックロール11、およびバルブ開閉制御装置12を含んで構成される。なお、図1では、電極用塗膜形成時の塗工装置100の状態を示しており、電極部材の基材20はバックロール11によって矢印方向に順次送られ、この基材20に対して塗工ヘッド5から塗料が吐出されて塗工が行われる。図1に示される電極部材の塗工装置100には、塗料の流路が二つある。一つは、塗料供給装置塗料タンク1および送液ポンプ2から供給された塗料が、流路仕切弁切替バルブ4を介して塗工用ヘッド塗工ヘッド5に供給される流路である。もう一つは、塗料供給装置から供給された塗料が、流路仕切弁を介して、そのまま塗料供給装置に戻るように配管接続された流路である。より具体的には、塗料タンク1および送液ポンプ2から供給された塗料は、送液配管3を通り、切替バルブ4を分岐点として、いずれかの流路に振り分けられる。すなわち、切替バルブ4から塗工ヘッド5側に流れる流路と、切替バルブ4からリリーフバルブ9側に流れる流路とに分けられる。前者の流路は、塗料タンク1、送液ポンプ2、送液配管3、切替バルブ4、塗工ヘッド5、リターンバルブ7が順に接続され、リターンバルブ7からリターン配管6を介して塗料タンク1に塗料が戻るよう構成されている。また、後者の流路は、塗料タンク1、送液ポンプ2、送液配管3、切替バルブ4、リリーフバルブ9が順に接続され、リリーフバルブ9からリリーフ配管8を介して塗料タンク1に塗料が戻るように接続されている。以下、電極部材の塗工装置100の各構成について説明する。塗料タンク1は、送液塗料量に対し十分な容量があればよく、容量は特に限定されるものではない。また、塗料タンク1中における塗料中の無機成分の沈降防止や分散状態の確保のため、攪拌翼を設けることも可能である。また、必要に応じ塗料タンク1内を減圧化したり、加圧化したりすることで、脱泡や送液補助の機能を設けることも可能である。送液ポンプ2は、塗料粘度と吐出量、脈動、摺動異物等の特性に合わせて、モーノポンプ、ダイヤフラムポンプ、サインポンプ、ベローズポンプ、チューブフラムポンプ、プランジャポンプ、シリンジポンプなどから適宜選択するとよい。1回転あたりの吐出量は、一定時間内に塗布する量、すなわち塗布幅、塗布厚み、塗布速度により決定され、回転数が送液ポンプの時間あたりの回転数の規格内であれば、制限されることはない。ただし、可能な限り、規格内の低回転および高回転域での使用をさけるような吐出量を選択するとよい。送液配管3は、各種配管の太さや管内形状については、送液ポンプ2と同様に、吐出量と吐出時の圧力損失を考慮して、適宜、適切な太さや管内形状を選択するとよい。切替バルブ4は、ダイヤフラムバルブ、サンプリングバルブ、ボールバルブ、バタフライバルブ、チャッキバルブ、シリンジバルブなど、流路を遮断し、他方向に流路を変更できる三方切替弁の様なバルブであれば選択可能である。但し、塗布部および未塗布部を塗布分けすることを考慮すると、切替バルブ4は応答速度の速いバルブを選択するとよい。また、バルブの開閉時に容量変化の少ないものを選択すると、流路内の圧力変化を軽減でき、送液圧力へ影響を及ぼさず、結果的に、塗工時の膜厚変化への影響を軽減できるため好ましい。また、シリンジバルブのように、流路遮断や流路変更の際に吸引作用のあるバルブを用いることも可能である。また、この切替バルブ4は、後述する吸引バルブ10との併用も可能である。塗工ヘッド5は、塗布量、塗布速度、塗布形状などを考慮すると、スロットダイ方式で塗布することが好ましい。その際の、ヘッドの刃先形状、マニホールド形状、マニホールド容量、ヘッド内面の鏡面度、シム形状、供給口径、および供給位置は、塗布部および未塗布部に間欠塗工可能であれば、特定のものに限定されるものではない。但し、供給位置に関しては、塗布幅によって適宜選択するとよいが、基本的には、幅方向の圧力ムラすなわち塗布ムラを軽減させるために、センター部より供給することが好ましい。リリーフ配管8は、前述した送液配管3と同様に、配管の太さや管内形状については、吐出量と吐出時の圧力損失を考慮して、適宜、適切な太さや管内形状を選択するとよい。但し、リリーフ配管8においては、送液配管3よりも、管内径は同等かそれ以上であることが好ましい。なぜならば、リリーフ配管8は、塗布していない時に切替バルブ4で塗料タンク1側に送液配管3に残っている塗料が戻される際に、塗料がその管内を流れる。よって、リリーフ配管8において送液配管3側よりも送液時の圧力損失が大きいと、リリーフ配管8内を塗料が流れにくくなってしまう。よって、リリーフ配管8は、送液配管3側より抵抗を少なくしておく必要がある。リリーフバルブ9は、前述したリリーフ配管8内の圧力をコントロールするためのバルブである。塗料の流量をコントロールし、リリーフバルブ9より上流塗料タンク1側の圧力を上げ、塗布とリリーフ時の送液配管3内の圧力を調整することができれば、リリーフバルブ9の種類は、特定のものに制限されるものではない。リターン配管6についても、リリーフ配管8と同様に、配管の太さや管内形状については、吐出量と吐出時の圧力損失を考慮して、適宜、適切な太さや管内形状を選択するとよい。リターンバルブ7についてもリリーフバルブ9と同様であるが、塗工ヘッド5内に塗料を充填させる際には、リターンバルブ7は塗工ヘッド5内のエア抜き時に利用される場合が多い。なお、リターン配管6およびリターンバルブ7は状況によっては配置する必要がない場合もある。例えば、塗工ヘッド5内にエア抜きベントが備えられている場合は、リターン配管6およびリターンバルブ7を備えていなくともよいし、もしくは、これらとともにエア抜きベントを併用してエア抜きを行っても構わない。吸引バルブ10は、前述したように、塗膜の切れをよくし、ヒゲ形状部の形成を抑制するために用いるが、本実施形態では、図2に示されるように、吸引バルブ10を塗工ヘッド5の近傍に2つ以上配置することで、塗工ヘッド5内の吸引減圧の伝播を速め、塗工ヘッド5内における部分的な圧力差をなくすことができる。つまり、瞬時に塗工ヘッド5内を均一に減圧し、よって、均一に塗料を吸引することができる。また、吸引バルブ10を塗工ヘッド5の両端に配置することにより、1ヶ所配置する場合よりも、1つの吸引バルブあたりの吸い込み量を小さくすることができる。これにより、吸引バルブの吸引時間も短くなり瞬時に吸引することができる。また、吸引バルブ10が塗料を吐き出す際も、各吸引バルブでは少量ずつ塗料が吐出されるため、短時間で均一に塗料を吐出することが可能である。これにより、塗工時の膜厚に及ぼす影響が小さくなるため効果的である。吸引バルブ10は、塗工ヘッド5に加工を施し、マニホールド内から塗料を吸引、吐出できるようにしたり、塗工ヘッド5に接続されている配管との接続部に配置することも可能である。吸引バルブ10は塗工ヘッドに複数設置されていればよく、数が多いほど、少容量ものでも効果的に塗料を吸引、吐出でできる。しかし、必要な吸引量が少ない場合、吸引バルブ10の吸引容量が小さすぎて作動できなかい場合や、実質の吸引量がほとんどない場合があるので、塗工条件に必要な送液塗料量やマニホールド容量などの塗工ヘッド5が備えるべき条件や必要な吸引量を満たすように、吸引バルブ10の動作条件を適宜設定するとよい。また、吸引バルブ10は、シリンジバルブ、ダイヤフラムバルブなど吸引作用のあるバルブを使用することが可能であり、吸引量や吸引速度などに応じ、適宜、適切なものを選択するとよい。バックロール11は、塗工用に用いられる一般的なもので構わない。ただし、バックロール11は、電極部材の塗工面基材20の塗工面が鏡面仕上げされ、均一に塗布されるためには、偏芯ないものが好ましい。バルブ開閉制御装置12は、結線されたバルブ切替バルブ4および吸引バルブ10の開閉のタイミングを制御する装置である。例えば、結線されたバルブの開閉が圧空式であれば、設定された値に準じて、電磁弁の開閉を行い送圧し、各バルブの開閉を行う。また結線されたバルブの開閉が電気式であれば、制御盤から管理者等により設定された値に準じて、電流のオン、オフを実施し、各バルブの開閉を行う。なお、基材20は、電極用基材として用いられるものであり、一般的には金属箔が用いられることが多く、特に、銅箔、アルミ箔が用いられる場合が多い。但し、金属箔に限定されるものではなく、プラスチック基材であって導電性のあるもの、または、表面にコーティングを施して表面導電性を持たせたものなど、偏肉のない基材で電極として用いることが可能なものであれば、適宜、選択可能である。塗工方法次に、本実施形態の塗工装置100によって実施される塗工方法の一例について説明する。詳しくは、基材20上に塗工部と未塗工部の形成、すなわち間欠塗工を実施する場合について説明する。但し、以下は一例であり、塗工装置100による塗工方法は、本例に限定されるものではない。まず、塗料タンク1内に電極塗料を充填し、塗料タンク1を送液ポンプ2よりも高い位置にセットし、送液ポンプ2の吸い込みに対し不足なく塗料が送液できる状態にする。塗布時は、送液ポンプ2が稼動し、塗料が送液配管3を流れ、切替バルブ4で塗工ヘッド5側に流れるように開となり、リリーフバルブ9側には送液されないように閉となる。さらに塗工ヘッド5のマニホールド内に塗料が送液充填され、吸引バルブ10の吸引口も塗料で充填された状態とする。なお、このとき、リリーフバルブ9は閉となっており、リリーフ配管8には塗料は流れていない状態である。さらに、リターンバルブ7も閉とし、リターン配管6にも送液されない状態になっており、塗工ヘッド5内に塗料が充填されると、塗工ヘッド5の先端より塗料が吐出してくる。十分に塗工ヘッド5のエア抜きを実施したあと、バルブ開閉制御装置12により、塗工ヘッド5側が閉となり、リリーフバルブ9側が開となるように切替バルブ4を制御して、塗料流路をリリーフバルブ9側にする。つまり、塗料がリリーフバルブ9側に流れ、塗料タンク1に戻るようにする。このとき、リリーフバルブ9の開度は、一定に設定しておく。再度、バルブ開閉制御装置12により切替バルブ4を制御して、塗工ヘッド5側に塗料が流れるように切替バルブ4を制御する。そして、塗工ヘッド5を電極部材の基材20に近づけ、基材20を矢印の方向に流して、塗工を開始する。塗工を終了して未塗工部を形成する際は、バルブ開閉制御装置12で切替バルブ4の開閉を行い、リリーフバルブ9側に送液し、塗工ヘッド5側に送液されないように制御する。上記のような操作を行うことで、塗工部および未塗工部が形成されるのであるが、その際、切替バルブ4の開閉だけで、塗工部および未塗工部を形成するだけであると、塗工ヘッド5内の残圧や流体の慣性力から、塗料の切れが悪く、塗布終わり部分が非直線性の、いわゆるひげ形状となってしまう。よって、塗工を終了する際の切替バルブ4の開閉のタイミングと、同時あるいは少し遅れて、吸引バルブ10が塗料を吸引するようにバルブ開閉制御装置12で吸引バルブ10を制御する。また、未塗工部の形成が終了し、再度塗工を開始する際は、バルブ開閉制御装置12で切替バルブ4の開閉を切り替え、塗料流路をリリーフ配管8側から塗工ヘッド5側に切替る。また、これと同時に、吸引バルブ10で吸引していた塗料を塗工ヘッド5内に吐出し、次に吸引することが可能な状態で待機させる。上記の処理の繰り返しを実行することで、塗工部および未塗工部を形成することができ、幅方向に対しても均一かつ即時に吸引することができる。これにより、塗工終端部のヒゲ形状が形成されることなく、さらに、塗工開始部始端部も厚みムラなく塗工することが可能である。以下、本実施形態に係る塗工装置の実施例について詳述する。但し、以下は一例であり、本実施形態の塗工装置はこれに限定されるものではない。[実験例1]<塗工装置の構成>塗工装置100の構成は、図1と同様の構成とした。具体的には、以下の通りである。塗料タンク1として塗料が100L入る塗料タンクを用いた。この塗料タンク1にモーノポンプ10cc/revの送液ポンプ2を接続した。また、この送液ポンプ2に呼び径1S、長さ約1mの送液配管3をつなぎ、切替バルブ4に接続した。ここから、2方向に分かれ、一方の塗工ヘッド5側は、切替バルブ4から呼び径1S配管を用いて塗工ヘッド5であるダイヘッドに接続した。また、他方のリリーフバルブ9側は、切替バルブ4から呼び径1.5Sのリリーフ配管8、リリーフバルブ9を接続した。また、吸引バルブ10は、塗工ヘッド5の入口部分と出口部分の2箇所に最大吸引量0.5ccの吸引バルブをそれぞれ設置した図2。その先には、リターンバルブ7およびリターン配管6を設置した。また、各バルブ切替バルブ4および吸引バルブ10の開閉のために、バルブ開閉制御装置12と各バルブは結線されており、各バルブの開閉をコントロールした。各バルブの開閉は、圧空により行った。<塗料および基材>二次電池電極用の塗料として、下記の正極塗料を準備した。活物質としてLiMn2O4:90質量部、導電材としてアセチレンブラック:5質量部、バインダーとしてPVDF:5質量部、さらに溶剤としてNMPを混合し、固形分50とした塗料を作製した。また、基材20は厚み12μmのアルミニウム箔を使用した。なお、塗料、基材20については、以下の実施例2、比較例1~3でも同様とした。<塗工方法>塗布時には、切替バルブ4は、塗工ヘッド5側を開、リリーフバルブ9側を閉にするとともに、リターンバルブ7も閉とし、吸引バルブ10は待機状態とした。そして、塗工部の終わり部分すなわち、未塗工部の開始部分における切替バルブ4の切り替えは、塗工ヘッド5側を閉としてリリーフバルブ9側を開とするのを同時に行い、ここから0.01秒遅らせて、吸引バルブ10を作動させた。また、未塗工部から塗工部への切り替えの際は、切替バルブ4のリリーフバルブ9側を閉にし、これと同時に塗工ヘッド5側を開とした。吸引バルブ10も同時に塗料を吐出するように、バルブ開閉制御装置12で制御し、リリーフバルブ9は閉とした。[実験例2]<塗工装置の構成>塗工装置100は、上記実施例1と同様の構成とした。但し、本例では、吸引バルブ10は、図2のように、ダイヘッド塗工ヘッド5のマニホールドから塗料を直接吸引するものとし、マニホールドの両端部にそれぞれ各1個と、この両端間を均等に分割する位置に2個設置し、合計4個設置した。なお、各吸引バルブは、最大吸引容量は、0.25ccのものを使用した。<塗工方法>上記実施例1と同様の要領で塗料を作製し、上記実施例1と同様に塗工部および未塗工部を形成する間欠塗工を実施した。[比較例1]上記実施例1と同様の要領で塗料を作製し、上記実施例1と同様に塗工部および未塗工部を形成する間欠塗工を実施した。但し、本例では、吸引バルブ10を設置せず、切替バルブ4だけで間欠塗工を実施した。[比較例2]上記実施例1と同様の要領で塗料を作製し、上記実施例1と同様に塗工部および未塗工部を形成する間欠塗工を実施した。但し、本例では、吸引バルブ10をダイヘッド塗工ヘッド5へ塗料が供給される入口に1個設置し、最大吸引容量は025ccのものを使用した。[比較例3]上位実施例1と同様の要領に塗料を作製し、上記実施例1と同じ要領で塗工部および未塗工部を形成する間欠塗工を実施した。その際、吸引バルブ10を上記比較例2と同じ位置に設置した。但し、本例では、吸引バルブ10の最大吸引容量は1.2ccのものを使用した。なお、上記実施例および比較例のいずれにおいても、吸引バルブ10は最大容量で吸引するように設定し、バルブ作動に必要な圧空は十分に供給した。[塗膜形状の評価]上記のような各塗工方法によって、基材20上に形成された塗工塗膜の形状について、下記の通り、評価を行った。以下、表1に、上記の各実験の評価結果を示す。1間欠塗工塗工部および未塗工部の形成間欠塗工を実施した際、塗工部および未塗工部の形成ができているか間欠塗工になっているかを目視で判断した。表1において、○は、間欠塗工できている塗工部が途中で途切れていることを示し、×は、間欠塗工できていない塗工部の途切れが全くない、あるいはスジ引きなどが激しいことを示す。2ヒゲ形状長塗工部が途切れて間欠塗工ができている場合でも、塗工部の終端部に多少のヒゲ形状の引きずりが生じる場合がある。そのヒゲ形状について、直線的に塗布されている両端部を直線で結んだ線と、凸部になっている最上端との距離をガラススケールで測定した。測定した距離が小さいということは、ヒゲ形状が緩やかな形状であるということであり、より好ましい結果であると言える。