"液体を収容するための液体収納部を有する液体貯留部材と、複数の孔が表裏間を貫通して形成された多孔板部材、および、当該多孔板部材を支持し、かつ、当該多孔板部材を振動させる振動手段とからなる霧化手段と、前記液体貯留部材から前記霧化手段に液体を供給する給液手段と、を備えた霧化装置であって、前記給液手段は毛細管現象により液体を移送可能な給液芯を有し、当該給液芯は、一方端面が前記霧化手段に接触するように配置され、かつ、前記一方端面が、平面度を維持したまま、多孔板部材の厚み方向に変形することを特徴とする霧化装置。前記給液芯の前記一方端面の近傍の剛性が、前記多孔板部材の厚み方向において、前記多孔板部材の厚み方向と直交する方向よりも、低いことを特徴とする、請求項1に記載された霧化装置。前記給液芯が、複数の繊維状の部材が束ねられた集束体からなることを特徴とする、請求項1または2に記載された霧化装置。前記集束体の繊維の配向は、前記多孔板部材の厚み方向の成分よりも、前記多孔板部材の厚み方向と直交する方向の成分の方が、比率が高いことを特徴とする、請求項3に記載された霧化装置。前記集束体の繊維の配向は、前記給液芯によって液体が移送される方向の成分よりも、前記給液芯によって液体が移送される方向と直交する方向の成分の方が、比率が高いことを特徴とする、請求項3または4に記載された霧化装置。前記集束体の繊維の配向は、前記給液芯の前記一方端面が前記霧化手段に接触する方向と直交する平面と、平行な方向であることを特徴とする、請求項3ないし5のいずれか1項に記載された霧化装置。前記集束体の繊維の配向は、前記給液芯の前記一方端面が前記霧化手段に接触する方向と直交する方向のうちの1つと、平行な方向であることを特徴とする、請求項3ないし6のいずれか1項に記載された霧化装置。前記振動手段が、圧電振動体を備えることを特徴とする、請求項1ないし7のいずれか1項に記載された霧化装置。前記圧電振動体が、両端に開口を有する円筒の圧電体を備え、当該圧電体を駆動するための電極が、当該圧電体が半径方向に伸縮する呼吸振動モードをするように、前記円筒の内周面および外周面に形成され、さらに前記円筒の一方端の開口に、中央に開口を有する振動板が取り付けられて、前記振動手段が構成されていることを特徴とする、請求項8に記載された霧化装置。前記振動板の前記開口に、前記多孔板部材が取り付けられて、前記霧化手段が構成されていることを特徴とする、請求項9に記載された霧化装置。しかしながら、上述した従来の霧化装置には、霧化手段から給液芯に圧力が加わると、給液芯の端面が変形してしまい、多孔板部材と接触することで、振動を阻害したり、また、時間経過とともに、霧化手段の底面に接触される給液芯の端面が変形したりすることで、霧化量や、霧化高さといった霧化特性が劣化してしまう場合があった。図9A、Bを使って、詳しく説明する。ただし、図9A、Bは、従来の霧化装置300を示す模式図であり、図9Aは霧化手段から給液芯に圧力が加わった瞬間、もしくは使用開始直後の状態、図9Bは霧化手段から給液芯に圧力が加わっている、もしくは使用開始から一定期間が経過した後の状態を示している。図9Aに示すように、霧化装置300は、多孔板部材201と振動板202とからなる霧化手段203と、給液芯204とを備える。振動板202は、図示しないが、圧電振動体などに取付けられており、その圧電振動体が振動することにより厚み方向に振動する。そして、振動板202が厚み方向に振動することにより、多孔板部材201も厚み方向に振動する。一方、給液芯204は、複数の繊維状の部材が束ねられた集束体からなり、集束体の繊維は、図において給液芯204中に矢印で示すように、多孔板部材201の厚み方向に配向されている。そして、霧化手段203の底面に、給液芯204の端面が当接されている。霧化手段203と給液芯204とは、たとえば、霧化手段203から給液芯204に荷重Pが加えられることにより、接触された状態にある。なお、荷重は、給液芯204から霧化手段203に加えられても良いし、両者から相互に加えられても良い。このような構造からなる霧化装置300は、多孔板部材201が厚み方向に振動することにより、給液芯204により供給された液体を、所定の霧化量、所定の霧化高さ霧化装置が垂直上方に液体を噴霧した場合に、噴霧された液体が到達する多孔板部材からの高さで噴霧する。しかしながら、霧化手段202から給液芯204に圧力が加わったり、霧化装置300を長期間にわたって使用したりすると、図9Bに示すように、給液芯204の端面が変形してしまうことがあった。霧化手段203から給液芯204に荷重Pが加わった状態で、振動板202を厚みに振動させたこと、そして、給液芯204の集束体の繊維が多孔板部材201の厚み方向に配向されており、その方向に変形しやすいことにより、このような変形が生じてしまうのである。給液芯204の端面が変形してしまうと、霧化装置300を使用開始した当初の霧化量、霧化高さなどの霧化特性を維持できなくなる。また、変形した給液芯204の先端が多孔板部材201に当接してしまうと、多孔板部材201が振動することができず、霧化しなくなってしまう場合もある。給液芯204の端面の変形は、霧化装置300の霧化特性の劣化、場合によっては霧化機能の停止をまねく大きな問題であった。本発明は、上述した従来の霧化装置が有する問題を解決するためになされたものである。その手段として、本発明の霧化装置は、液体を収容するための液体収納部を有する液体貯留部材と、複数の孔が表裏間を貫通して形成された多孔板部材、および、その多孔板部材を支持し、かつ、その多孔板部材を振動させる振動手段とからなる霧化手段と、液体貯留部材から前記霧化手段に液体を供給する給液手段とを備え、給液手段は毛細管現象により液体を移送可能な給液芯を有し、その給液芯は、一方端面が霧化手段に接触するように配置され、かつ、一方端面が、平面度を維持したまま、多孔板部材の厚み方向に変形するようにした。かかる構成からなる本発明の霧化装置は、給液芯の端面の変形が抑制されているため、長期間にわたり、霧化特性が劣化することがない。給液芯の一方端面の近傍の剛性は、多孔板部材の厚み方向において、多孔板部材の厚み方向と直交する方向よりも、低いことが好ましい。この場合には、給液芯の端面が、平面度を維持したまま、多孔板部材の厚み方向に変形することができる。また、給液芯は、複数の繊維状の部材が束ねられた集束体で構成することができる。そして、この場合には、集束体の繊維の配向は、多孔板部材の厚み方向の成分よりも多孔板部材の厚み方向と直交する方向の成分の比率が高いことが好ましい、あるいは給液芯によって液体が移送される方向の成分よりも給液芯によって液体が移送される方向と直交する方向の成分の比率が高いことが好ましい。また、集束体の繊維の配向は、給液芯の一方端面が霧化手段に接触する方向と直交する平面と平行な方向であることが好ましい、あるいは給液芯の一方端面が霧化手段に接触する方向と直交する方向のうちの1つと平行な方向であることが好ましい。これらの場合には、給液芯が、多孔板部材の厚み方向に変形するのを、より有効に抑制することができる。また、振動手段は、圧電振動体を備えたものとすることができる。そして、圧電振動体は、両端に開口を有する円筒の圧電体を備え、その圧電体を駆動するための電極が、圧電体が半径方向に伸縮する呼吸振動モードをするように、円筒の内周面および外周面に形成され、さらに円筒の一方端の開口に、中央に開口を有する振動板が取り付けられた構造とすることができる。さらに、振動板の開口に、多孔板部材を取り付け、霧化手段を構成することができる。かかる構造とすることにより、長期間にわたって霧化特性が劣化しないという、本発明の霧化装置の特徴をより引き出すことができる。本発明の霧化装置は、上記の構成としたことにより、霧化手段から給液芯に圧力が加わったり、長期間にわたって使用しても、給液芯の端面が変形することがない。したがって、使用開始当初の、霧化量、霧化高さなどの霧化特性が劣化することがなく、安定した霧化特性を維持することができる。以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。[第1実施形態]図1に、本発明の第1実施形態にかかる霧化装置100を示す。なお、図1は霧化装置100の断面図である。霧化装置100は、複数の微細な孔1aが形成された多孔板部材1を備える。多孔板部材1は、たとえば、電鋳製で、材質がNi系合金からなり、直径3mm、厚さ50μmの円板形状からなる。また、孔1aとしては、たとえば、直径5~10μmの孔が、85個形成されている。多孔板部材1は、振動板2に取り付けられている。振動板2は、たとえば、42Ni製で、直径10mm、厚さ250μmの円板形状からなり、中央に開口2aが形成されており、多孔板部材1はその開口2aに、上側から取り付けられている。振動板2は、圧電振動体3に取り付けられている。圧電振動体3は、圧電体セラミックからなり、両端に開口を有する円筒の圧電体3aを備え、図示しないが、圧電振動体3を駆動するための1対の電極が、圧電体3aの円筒の内周面および外周面に形成されている。圧電体3aは、たとえば、高さ2.6mm、外径が9.6mm、円筒の内径が8.0mmからなる。そして、振動板2は、圧電体3aの上側の開口に取り付けられている。また、圧電体3aを構成する圧電体セラミックは、全周にわたって、内周面と外周面との間が分極されている。分極方向は、内周面から外周面の方向であっても良いし、逆に、外周面から内周面の方向であっても良い。霧化装置100は、振動板2と圧電振動体3とで振動手段を構成し、この振動手段に、さらに多孔板部材1が取り付けられることにより霧化手段を構成する。霧化装置100において、圧電振動体3の圧電体3aに形成された1対の電極間に、所定の周波数の交流電圧を印加すると、圧電振動体3は、たとえば超音波領域の周波数で周方向に伸縮する。そして、圧電振動体3が周方向に呼吸モードで伸縮することにより、振動板2には厚み方向に屈曲モードでの振動が励起され、さらに多孔板部材1が厚み方向に屈曲モードで振動する。霧化装置100は、上面に、霧化される液体を収容する液体収納部4aが形成された液体貯留部材4を備える。液体収納部4aは、その底面に凹部4bが形成されている。液体収納部4aには、蓋部材図示せずを設けるようにしても良い。そして、圧電振動体3が,液体貯留部材4の上縁部分に取り付けられている。なお、液体収納部4aに蓋部材を設けた場合は、その蓋部材に圧電振動体3を取り付けるようにしても良い。霧化装置100は、給液手段として、たとえば、スポンジ海綿、フェルト、布、メッシュ膜、不織紙などからなる毛細管現象が発現される給液芯5を備える。図2A、Bに給液芯5を示す。ただし、図2Aは斜視図、図2Bは図2Aの鎖線X‐X部分の断面図である。なお、図2A、Bにおいては、給液芯5を構成する集束体の繊維繊維状の樹脂の配向を、矢印により模式的に示している。本実施形態においては、給液芯5は、複数の繊維状の樹脂が集束された集束体により構成される。集束体は、複数の繊維状の樹脂の長手方向が、液体の移送方向と直交する方向のうちの1つと平行になるように、また、繊維状の樹脂どうしが隙間を有し、毛細管現象が発現されるように、繊維状の樹脂と同等、もしくは剛性が低い部材によって支持されている。このとき、集束体の形状は問わない。さらに、繊維状の樹脂の長手方向が、直方体の断面の一辺に平行であることがより好ましい。なお、給液芯5の霧化手段に当接する端面の大きさは、多孔板部材1を基準とするのではなく、振動板2の中央に形成される開口2aの大きさを基準とし、これよりも大きいことが好ましい。すなわち、たとえば、給液芯5の端面の1辺の長さは、開口2aが円形である場合にはその直径よりも大きいことが望ましい。そして、この場合には、集束体の各繊維の長さは、振動板2の開口2aの直径よりも長く、給液芯5の端面と多孔質部材とが離間されることが、多孔質部材と給液芯先端の接触を避け、給液芯の形状保持に繋がるため好ましい。また、振動板2の開口2aを覆うように形成される多孔板部材1は、振動板2の給液芯5側と反対側に形成されることが給液芯の形状保持のため好ましい。なお、給液芯5は、たとえば、集束体の元となる繊維をダイスに通して、他端から引き抜き棒状等に集束させ形成させる引出成形という方法により製造することができる。このような集束体を用いる給液芯5は、図1に示すように、一方端5aが多孔板部材1の裏面側近傍に配置されるとともに、他方端5bが液体貯留部材4の凹部4bに挿入されている。なお、液体貯留部材4の液体収納部4aに蓋部材を設けた場合は、その蓋部材に孔を設け、その孔に給液芯を挟持させるようにすることができる。給液芯5は、液体貯留部材4内に収容された液体図1においては図示せずを吸収すると、毛細管現象により液体を他方端5b側から一方端5a側へ供給する。なお、給液芯5は、直方体形状に限定されることはなく、円柱、円錐、多角柱、および、多角錐などの形状であっても良く、あるいは、それらの形状を組合せた形状であっても良い。また、液体貯留部材4の液体収納部4aを気密に保った構造にし、液体収納部4aに流体ポンプによって流体を送り、収納された液体の液面に圧力を加えることにより、液体内部に一端を配置した送液管によって、給液芯5に液体を送るようにしても良い。さらに、液体貯留部材4の液体収納部4aと多孔板部材1近傍に配置された給液芯5との間を、細径のガラス管の束からなる送液管でつなぎ、給液芯5まで液体を送るようにしても良い。上記の構造からなる第1実施形態にかかる霧化装置100は、たとえば、予め多孔板部材1、振動板2、圧電振動体3に必要な加工を施したうえで、多孔板部材1を振動板2に取付け、次に、振動板2を圧電振動体3に取付け、次に、凹部4bに給液芯5を挿入したうえで、圧電振動体3を液体貯留部材4の上縁部分に取付けることにより製造することができる。第1実施形態にかかる霧化装置100は、たとえば、図3に示す方法で使用される。まず、図3に示すように、液体貯留部材4の液体収納部4aに、噴霧したい液体6を収容する。そして、液体収納部4aに液体6を収容すると、給液芯5は、液体6を吸収し、図3において、ハッチング付きの矢印で示すように、全方向に膨潤する。この結果、給液芯5の一方端5aの端面は、設計した所望の圧力で、振動板2の裏面の開口2aの周囲を押圧する。そして、給液芯5は、毛細管現象により、他方端5b側から一方端5a側へ液体6を供給する。次に、圧電振動体3の圧電体3aに形成された1対の電極図示せず間に、所定の周波数の交流電圧を印加する。この結果、圧電振動体3は、たとえば超音波領域の周波数で周方向に呼吸モードで伸縮する。そして、圧電振動体3が周方向に伸縮することにより、振動板2も屈曲モードで厚み方向に伸縮し、さらに多孔板部材1が厚み方向に振動する。そして、多孔板部材1が厚み方向に振動することにより、給液芯5の一方端5aに供給された液体が、霧化され、多孔板部材1の表面側に、振動板2の開口2aを通って噴霧される。以上、本発明の第1実施形態にかかる霧化装置100の構造、製造方法の一例、使用方法の一例、さらに給液芯の構造の一例について説明した。しかしながら、本発明がこれらの内容に限定されることはなく、発明の主旨に沿って、種々の変更を加えることができる。たとえば、多孔板部材1の材質や、多孔板部材1に形成される孔の直径や個数は任意であり、上述した内容には限定されない。また、多孔板部材1を振動させる振動手段も上述した内容には限定されず、圧電振動体3を備えたものではなく、たとえば、電磁的な振動源を備えたものであってもよい。また、圧電振動体を備える場合であっても、その圧電体が上述のように円筒形状である必要はなく、たとえば、中央に開口を有する平板状であってもよい。さらに、振動板2は必ずしも必要ではなく、圧電体の開口部に、直接、多孔板部材1を取り付けるようにしてもよい。この場合には、給液芯5が多孔板部材1に接触しないように、圧電体の開口部付近の内面に給液芯と接触するための突起を形成するようにしても良い。[第2実施形態]第2実施形態にかかる霧化装置は、上述した第1実施形態にかかる霧化装置100の給液芯5を、別の構造からなる給液芯15に置き換えた。他の構成については、霧化装置100と同じにした。図4に、本発明の第2実施形態にかかる給液芯15を示す。ただし、図4Aは斜視図、図4Bは図4Aの鎖線Y‐Y部分の断面図である。なお、図2A、Bにおいては、給液芯15を構成する集束体の繊維繊維状の樹脂の配向を、矢印により模式的に示している。給液芯15は、集束体の繊維が、給液芯15が液を移送する方向に直交する面と、平行となるように配向されている。なお、この実施形態では、集束体の繊維を、特に、液を移送する方向に直交する面内において、直交する2方向に分けて配向させている。ただし、これには限定されず、それ以上の方向に分けて配向させるようにしても良いし、特定の方向に分けずにランダムに配向させても良い。給液芯15は、たとえば、複数の樹脂繊維を圧縮して板状にして、積層して成形することができる。第2実施形態にかかる霧化装置においては、液体を吸収した給液芯15の一方端15aの端面は、より安定的に、霧化手段の裏面を押圧することができる。また、長期間使用しても、給液芯15の一方端15aの端面が変形することがなく、霧化特性が劣化することがない。[第3実施形態]第3実施形態にかかる霧化装置は、上述した第1実施形態にかかる霧化装置100の給液芯5を、別の構造からなる給液芯25に置き換えた。他の構成については、霧化装置100と同じにした。図5に、本発明の第3実施形態にかかる給液芯25を示す。ただし、図5Aは斜視図、図5Bは図5Aの鎖線Z‐Z部分の断面図である。なお、図5A、Bにおいては、給液芯25を構成する集束体の繊維繊維状の樹脂の配向を、矢印により模式的に示している。給液芯25は、集束体の繊維が、液を移送する方向に直交する面と、概ね平行となるように配向されている。第3実施形態にかかる霧化装置においても、液体を吸収した給液芯25の一方端25aの端面は、安定的に、霧化手段の裏面を押圧することができる。また、長期間使用しても、給液芯25の一方端25aの端面が変形することがなく、霧化特性が劣化することがない。[第4実施形態]第4実施形態にかかる霧化装置は、上述した第1実施形態にかかる霧化装置100の給液芯5を、別の構造からなる給液芯35に置き換えた。他の構成については、霧化装置100と同じにした。図6に、本発明の第4実施形態にかかる給液芯35を示す。ただし、図6は斜視図ある。なお、図6には、給液芯35を構成する集束体の繊維繊維状の樹脂の配向を、矢印により模式的に示している。給液芯35は、変形が抑制される方向の異なる2種類の材質が組合せて構成されている。すなわち、給液芯35においては、第1部分35xの繊維配向は、液の移送方向に直交する面の比率が高く、第2部分35yの繊維配向は、液の移送方向の面の比率が高くなっている。第4実施形態にかかる霧化装置においても、液体を吸収した給液芯35の一方端35aの端面は、安定的に、霧化手段の裏面を押圧することができる。また、長期間使用しても、給液芯35の一方端35aの端面が変形することがなく、霧化特性が劣化することがない。[第5実施形態]第5実施形態にかかる霧化装置は、上述した第1実施形態にかかる霧化装置100の給液芯5を、給液芯45と、給液芯45に取付けられたガラス管46の束とに置き換えた。他の構成については、霧化装置100と同じにした。図7に、本発明の第5実施形態にかかる給液芯45およびガラス管46の束を示す。ただし、図7は斜視図ある。なお、図7においては、給液芯45を構成する集束体の繊維繊維状の樹脂の配向を、矢印により模式的に示している。液体を吸収した給液芯45は、主に一方端45aへの送液方向に直交する面に繊維が配向されるため、繊維同士の隙間を通じて毛細管現象によって液が送液され送液量を増やしやすくなる。なお、ガラス管46の束に換えて、流体ポンプに連結された液送管などを、給液芯45に取付けるようにしても良い。第5実施形態にかかる霧化装置においても、液体を吸収した給液芯45の一方端45aは、安定的に、霧化手段の底面を押圧することができる。また、長期間使用しても、給液芯45の一方端45aの端面が変形することがなく、霧化特性が劣化することがない。"