出力部材と、それぞれ所定のz軸方向に移動する移動子を有する第1リニアアクチュエータ、第2リニアアクチュエータ、第3リニアアクチュエータと、前記出力部材と、前記第1リニアアクチュエータの移動子、前記第2リニアアクチュエータの移動子、前記第3リニアアクチュエータの移動子とをそれぞれ連結し、これら第1、第2、第3リニアアクチュエータの駆動により前記出力部材をxyz空間内で位置決め可能である第1リンク機構、第2リンク機構、第3リンク機構と、前記第1リニアアクチュエータの移動子、前記第2リニアアクチュエータの移動子、前記第3リニアアクチュエータの移動子のそれぞれの移動量を制御する制御部と、を備え、少なくとも前記第1リニアアクチュエータと前記第2リニアアクチュエータとは、前記z軸方向から見てそれぞれ異なる位置に配置され、前記制御部は、前記出力部材を所定のx軸、y軸方向に関し任意の位置において前記z軸方向の任意の方向に任意の量移動させる場合に、前記第1、第2、第3リニアアクチュエータの各移動子をそれぞれ前記任意の方向に前記任意の量と略同じ量移動させる、ことを特徴とするパラレルリンクロボット。前記第1リンク機構及び前記第2リンク機構のそれぞれは、前記z軸方向から見て位置が略同じで互いに平行な複数のリンク部材を有する平行リンク機構である、ことを特徴とする、請求項1に記載のパラレルリンクロボット。前記制御部により移動量が制御され、前記第1リニアアクチュエータと略平行に移動する移動子を有する第4リニアアクチュエータと、前記第1リニアアクチュエータの移動子に前記z軸回りの回転自在に支持され、この回転軸線から離間した位置にジョイント部を連結可能な回転部材と、前記出力部材に固定されるか又は一体に形成され、該出力部材の回転軸線から離間した位置に他のジョイント部を連結可能な出力延長部材と、前記第1リニアアクチュエータの移動子と前記第4リニアアクチュエータの移動子との間に設けられ、これら両移動子の相対移動に連動して前記回転部材を回転させる連動機構と、前記ジョイント部と前記他のジョイント部と他のリンク部材を有し、前記回転部材と前記出力延長部材とを連結し、前記回転部材の回転を前記出力延長部材を介して前記出力部材に伝達する第4リンク機構と、を有し、前記出力部材は、前記第1リンク機構、前記第2リンク機構、前記第3リンク機構に対して前記z軸回りの回転自在に連結され、前記制御部は、前記出力部材の回転角度を所定の角度に維持しつつ前記出力部材を前記z軸方向の任意の方向に任意の量移動させる場合に、前記第1、第2、第3リニアアクチュエータの各移動子及び前記第4リニアアクチュエータの移動子を、それぞれ前記任意の方向に前記任意の量と略同じ量移動させる、ことを特徴とする、請求項1又は2に記載のパラレルリンクロボット。前記第1リンク機構、前記第2リンク機構、前記第3リンク機構と前記出力部材とのそれぞれの連結部が、前記z軸と略平行な同一軸上に配置されている、ことを特徴とする、請求項1ないし3のうちの何れか1項に記載のパラレルリンクロボット。前記出力部材は、前記第1リンク機構、前記第2リンク機構、前記第3リンク機構に対して前記z軸回りの回転自在に連結され、前記第1リンク機構、前記第2リンク機構、前記第3リンク機構と前記出力部材とのそれぞれの連結部が、前記出力部材の回転軸上に配置されている、ことを特徴とする、請求項4に記載のパラレルリンクロボット。前記第1リニアアクチュエータの移動子と、前記第2リニアアクチュエータの移動子は、前記z軸に平行な所定の平面内を移動するように配置され、前記第3リニアアクチュエータの移動子は、前記所定の平面内又はその近傍を移動するように配置され、前記出力部材は、前記所定の平面及びその近傍から外れた位置に位置決めされる、ことを特徴とする、請求項1ないし5のうちの何れか1項に記載のパラレルリンクロボット。前記第1リニアアクチュエータの移動子と、前記第2リニアアクチュエータの移動子は、前記z軸に平行な所定の平面内を移動するように配置され、前記第3リニアアクチュエータの移動子は、前記所定の平面内又はその近傍を移動するように配置され、前記第4リニアアクチュエータの移動子は、前記所定の平面内又はその近傍を移動するように配置され、前記出力部材は、前記所定の平面及びその近傍から外れた位置に位置決めされる、ことを特徴とする、請求項3に記載のパラレルリンクロボット。ところで、物品の加工や組み立て等の用途に用いるロボットの場合、出力部材に取り付けるフィンガーやドリル等の工具を上下させる動きが重要となる場合がある。特に、水平方向の位置を保持しつつ鉛直方向に移動させる動き単純に鉛直方向に移動させる動きが重要となる場合がある。上述の特許文献1、2に記載された構造の場合、出力部材4を水平方向の位置を保持しつつ鉛直方向に移動させる場合にも、モータの回転量或いはリニアアクチュエータの移動子の移動量を、複雑な演算により算出する必要がある。即ち、特許文献1に記載された構造の場合、出力部材4の位置決めを行う際に、常に3個のモータ3全ての駆動量を複雑な演算により関連付けて、駆動を同期させる必要があるが、これは単純に鉛直方向移動させる場合も同様である。また、特許文献2に記載された構造の場合、移動子6a、6b、6cが水平方向に移動するため、出力部材4を単純に鉛直方向に移動させること自体、容易なことではない。このため、出力部材4を単純に鉛直方向に移動させる場合でも、3つの移動子6a、6b、6cの移動量を複雑な演算により関連付けて、駆動を同期させる必要がある。このように、上述の特許文献1、2に記載された構造の場合、出力部材4を単純に鉛直方向に移動させるという、ロボットにおいて使用される頻度が特に高い動作において、各モータ或いは各リニアアクチュエータの移動量を複雑な演算により算出し、関連付けてそれぞれ駆動する必要がある。したがって、出力部材4を単純に鉛直方向に移動させる頻度が高い動作において、制御が複雑になり精度及び処理速度が阻害されることが避けられない。本発明は、このような事情に鑑み、出力部材を単純にz軸方向に移動させる動きを、簡単な制御で行える構造を実現すべく発明したものである。本発明は、出力部材と、それぞれ所定のz軸方向に移動する移動子を有する第1リニアアクチュエータ、第2リニアアクチュエータ、第3リニアアクチュエータと、前記出力部材と、前記第1リニアアクチュエータの移動子、前記第2リニアアクチュエータの移動子、前記第3リニアアクチュエータの移動子とをそれぞれ連結し、これら第1、第2、第3リニアアクチュエータの駆動により前記出力部材をxyz空間内で位置決め可能である第1リンク機構、第2リンク機構、第3リンク機構と、前記第1リニアアクチュエータの移動子、前記第2リニアアクチュエータの移動子、前記第3リニアアクチュエータの移動子のそれぞれの移動量を制御する制御部と、を備え、少なくとも前記第1リニアアクチュエータと前記第2リニアアクチュエータとは、前記z軸方向から見てそれぞれ異なる位置に配置され、前記制御部は、前記出力部材を所定のx軸、y軸方向に関し任意の位置において前記z軸方向の任意の方向に任意の量移動させる場合に、前記第1、第2、第3リニアアクチュエータの各移動子をそれぞれ前記任意の方向に前記任意の量と略同じ量移動させる、ことを特徴とするパラレルリンクロボットにある。本発明によれば、各リニアアクチュエータの移動子がz軸方向に移動する構造を採用しているため、z軸方向例えば上方から見て任意の位置において出力部材をz軸方向例えば上又は下方向に任意の量移動させる場合に、各移動子をそれぞれ上記任意の量と略同じ量だけ同時に移動させれば良い。このため、出力部材を単純にz軸方向に移動させる場合には複雑な演算が必要なく、この動きを、簡単な制御で行える。<第1の実施形態>本発明の第1の実施形態について、図1~図4を用いて説明する。図1及び図2に示すように、パラレルリンクロボット100は、ケース101と、出力部材103と、複数のリニアアクチュエータ104、105、108、110と、複数のリンク機構106、107、109、112と、を有する。なお、104は第1リニアアクチュエータ、105は第2リニアアクチュエータ、108は第3リニアアクチュエータ、110は第4リニアアクチュエータである。また、106は第1リンク機構、107は第2リンク機構、109は第3リンク機構、112は第4リンク機構である。[ケース]ケース101内には、第1リニアアクチュエータ104、第2リニアアクチュエータ105、第3リニアアクチュエータ108、第4リニアアクチュエータ110を、それぞれの可動部が出力部材側に突出しないように収納する。ケース101はベース部材を兼ねており、複数のリニアアクチュエータ104、105、108、110が、ケース101を構成する略鉛直方向に配設された支持壁101bのそれぞれの所定の位置に直接又は取付部材などを介して固定されている。また、各リニアアクチュエータの駆動力を後述するリンク機構106、107、109、112を介して出力部材103に伝達するようにしている。そして、各リニアアクチュエータにより駆動されて各リンク機構を駆動する可動部がケース101内に収まるようにしている。更に、ケース101の複数個所に開口部101aを設け、開口部101aを介して、各リニアアクチュエータにより各リンク機構をそれぞれ駆動可能としている。なお、ケース101は一体の構成でなくてもよく、複数の筐体を連結させた構成でもよい。[出力部材]出力部材103は、ワークの移動や加工などを行うフィンガーやドリルなどの工具を取り付けるものである。このような出力部材103は、所定のz軸方向に配設され、例えば、その先端部下端部に工具を結合する。後述するように、出力部材103は、z軸回りの回転自在である。言い換えれば、出力部材103は、回転軸がz軸と略平行である。本実施形態では、z軸方向を鉛直方向としている。なお、出力部材103は軸状の形態を有することが好適であるが、実際に軸状の形態を有さなくても良い。後述するように、平行リンク等のリンク部材が結合されるジョイント部連結部が略直線上に並べられれば良く、本発明の出力部材はこのような場合も含むものとする。[第1リニアアクチュエータ及び第2リニアアクチュエータ]第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105は、それぞれが出力部材103をxyz空間内で移動させるための駆動源となる直動型のアクチュエータの一例である。これら第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105は、それぞれレール固定子104A、105Aをz軸方向鉛直方向に配置している。レール104A、105Aは、それぞれケース101の支持壁101bの鉛直方向中間部ないし下端寄りに固定されている。そして、第1リニアアクチュエータ104のレール104Aに第1移動子104aを、第2リニアアクチュエータ105のレール105Aに第2移動子105aを、それぞれレールに沿って移動自在に配置している。第1移動子104a、第2移動子105aには、それぞれレール104A、105Aと反対側に、z軸方向と略平行な第1軸104b、第2軸105bがそれぞれ固定されている。このような第1軸104b、第2軸105bは、第1移動子104a、第2移動子105aから突設したそれぞれが一対のアーム104B、105Bの先端に支持固定されている。したがって、第1軸104b、第2軸105bは、それぞれ第1移動子104a、第2移動子105aと共に、z軸方向に移動する。第1軸104bの中心軸線と第2軸105bの中心軸線はz軸に平行な共通の平面内に位置するように配置されている。即ち、第1軸104bと第2軸105bとは、z軸に平行な共通の平面内を移動する。言い換えれば第1移動子104aと第2移動子105aは、z軸に平行な所定の平面内を移動する。これら第1移動子104a及び第2移動子105aのそれぞれの移動量は、制御部Cにより制御される。制御部Cは、CPUやハードウエア回路又はそれらの組合せからなる。なお、第1移動子104aに固定の第1軸104bの下端部には、中間アーム104fがz軸回りの回転自在に支持されている。中間アーム104fは、この第1軸104b回転軸からz軸と交差する方向図示の例では水平方向に突設され、後述する連動機構110Bにより第1軸104bを中心として回転する。[第3リニアアクチュエータ]第3リニアアクチュエータ108は、出力部材103をxyz空間内の概ねz軸方向に移動させるための駆動源となる直動型アクチュエータの一例である。この第3リニアアクチュエータ108も、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105と同様に、レール固定子108Aをz軸方向鉛直方向に配置している。レール108Aは、ケース101の支持壁101bの鉛直方向上端寄りで、水平方向に関してレール104Aとレール105Aとの間に固定されている。そして、第3リニアアクチュエータ108のレール108Aに第3移動子108aをレールに沿って移動自在に配置している。第3移動子108aには、レール108Aと反対側にz軸方向と平行な第3軸108bが固定されている。このような第3軸108bは、第3移動子108aから突設した一対のアーム108Bの先端に支持固定されている。したがって、第3軸108bは、第3移動子108aと共にz軸方向に移動する。なお、第3軸108bは軸状の部材として図示したが、後述のジョイント部109cを連結するための部材であればよく、軸状の部材である必要はない。第3移動子108aは、第1移動子104aと第2移動子105aとともに、z軸に平行な共通の平面上述の所定の平面内又はその近傍を移動するようになっている。第3移動子108aの移動量も、制御部Cにより制御される。なお、ジョイント部109c、第1軸104b、第2軸105bが同一平面内を移動するように構成すれば、出力部材103の位置決めの演算を簡単化できる。[第4リニアアクチュエータ]第4リニアアクチュエータ110は、出力部材103をz軸回り鉛直軸回りに回動させるための駆動源となる直動型アクチュエータの一例である。この第4リニアアクチュエータ110も、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105と同様に、レール固定子110Aをz軸方向鉛直方向に配置している。レール110Aは、ケース101の支持壁101bの鉛直方向中間部ないし下端寄りで、水平方向に関してレール104Aとレール105Aとの間に固定されている。図示の例の場合、第1アクチュエータ104のレール104Aに隣接した位置に配置している。そして、第4リニアアクチュエータ110のレール110Aに第4移動子110aをレールに沿って移動自在に配置している。また、レール110Aは、鉛直方向の長さをレール104Aよりも長くして、第4移動子110aの移動範囲を第1移動子104aの移動範囲よりも大きくしている。本実施形態では、第4移動子110aは、第1移動子104aと、第2移動子105aと、第3移動子108aとともにz軸に平行な共通の平面上述の所定の平面内又はその近傍を移動するように配置されている。第4移動子110aの移動量も、制御部Cにより制御される。[連動機構]第4移動子110aには、図3に示す様に、レール110Aと反対側に、連動機構110Bが配置されている。この連動機構110Bは、第1移動子104aと第4移動子110aとの間に設けられ、これら両移動子104a、110aの相対移動に連動して中間アーム104fを回転させる。このために連動機構110Bは、一対の支持部材110b、110cと、ワイヤ111と、2個の補助プーリ104cと、プーリ104eとを有する。一対の支持部材110b、110cは、それぞれ基端部が第4移動子110aに固定され、互いに鉛直方向逆側に延出するように構成されている。そして、先端寄り部分を水平方向に関して同方向に折り曲げ、その先端にワイヤ111の両端部をそれぞれ固定している。2個の補助プーリ104cは、それぞれ第1移動子104a上にレール104Aと反対側に突出するように鉛直方向に並べて固定されている。プーリ104eは、第1軸104bの下端部に軸受104dを介して回転自在に支持されている。このプーリ104eには、中間アーム104fが相対回転不能に固定されている。即ち、中間アーム104fは、第1リニアアクチュエータ104の移動子104aにz軸回り第1軸104b回りの回転自在に支持されている。また、中間アーム104fは、この回転軸第1軸104bからz軸と交差する方向図示の例の場合は水平方向に突設されている。ワイヤ111は、両端部をこのように一対の支持部材110b、110cの先端に固定すると共に、中間部を2個の補助プーリ104cを介してプーリ104eに弛まないように巻き付けている。即ち、一端部が上側の支持部材110bの先端に固定され、鉛直方向に垂下されたワイヤ111を、上側の補助プーリ104cに巻き付けて、このワイヤ111の方向を凡そ水平方向に変える。水平方向に曲げられたワイヤ111はプーリ104eに巻回され、下側の補助プーリ104cに巻き付けて、このワイヤ111の方向を略鉛直方向に変える。そして、ワイヤ111の他端部を下側の支持部材110cの先端に固定している。これにより、第1移動子104aと第4移動子110aとが相対移動すると、ワイヤ111のプーリ104eに巻き付けている位置が変化して、このプーリ104eが回転する。そして、プーリ104eに固定した中間アーム104fも回転する。なお、ワイヤ111としては、柔軟性が高く伸びの起こりにくいものであればどのような材質のものでも使用可能である。また、ワイヤに代えて平ベルトやタイミングベルトなどの様々な紐状、帯状の動力伝達手段を使用することができる。また、移動子104a、110aの相対移動に連動して中間アーム104fを回転させる連動機構は、複数のギヤを組み合わせたギヤ伝達機構などの他の構造であっても良い。例えば、ラックとピニオンを使用した構造が考えられる。即ち、第4移動子110aにz軸と平行にラックギヤを設け、第1移動子104aにこのラックギヤと噛み合うピニオンギヤと、このピニオンギヤに連動する第1の傘歯ギヤと、第1の傘歯ギヤに噛み合いz軸回りに回転する第2の傘歯ギヤを設ける。また、第2の傘歯ギヤに中間アーム104fを設ける。そして、第4移動子110aと第1移動子104aとを相対移動させることにより、ラックギヤと噛み合うピニオンギヤが回転し、その回転が傘歯ギヤを介して中間アーム104fに伝達される。上述のような第1、第2、第3、第4各リニアアクチュエータとしては、リニアモータ、リニアステッピングモータなどが使用可能である。また、モータなどの回転型のアクチュエータと、リードスクリューなどの回転を直進運動に変換する機構とを組み合わせて、リニアアクチュエータを構成することもできる。また、リニア型のアクチュエータは、サーボモータ、ステッピングモータ、超音波モータ等の電動アクチュエータ以外に、油圧などの他の動力により駆動されるものでもよい。[第1リンク機構及び第2リンク機構]第1リンク機構106及び第2リンク機構107は、出力部材103と第1移動子104aとの間、及び、出力部材103と第2移動子105aとの間に、それぞれ設けられている。そして、後述するように出力部材103の回転軸をz軸に略平行に保つように保持する機能を有するとともに、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動により出力部材103を移動する機能を有している。出力部材103とz軸との略平行を保つための平行リンク機構の一例である第1リンク機構106は、第1軸104bと、出力部材103と、複数の第1リンク部材である2本の第1リンクバー106aとを有する構成になっている。また、平行リンク機構の一例である第2リンク機構107は、第2軸105bと、出力部材103と、複数の第2リンク部材である2本の第2リンクバー107aとを有する構成になっている。なお、第1リンクバー106aと第2リンクバー107aとは、それぞれ3本以上としても良い。また、複数の第1リンクバー106a、複数の第2リンクバー107aは、それぞれz軸方向から見て位置が略同じで互いに平行に配置されている。第1軸104bは、上述のようにz軸と平行に配置され、第1リニアアクチュエータ104の駆動によりz軸方向に沿って移動させられる。また、第2軸105bも、上述のようにz軸と平行に配置され、第2リニアアクチュエータ105の駆動によりz軸方向に沿って移動させられる。なお、第1軸104b、第2軸105bは軸状の形態を有することが好適であるが、実際に軸状の形態を有さなくてもよく、平行リンクのリンク部材であるリンクバーが結合されるジョイントをz軸鉛直線に略平行な直線上に並べてあれば良い。第1リンク機構106の2本の第1リンクバー106aは、同じ実効長後述する両端のジョイント部の可動中心位置間距離を有し、互いに平行に配置された状態で、第1軸104bと出力部材103とを接続する。また、2本の第1リンクバー106aは、z軸方向から見て位置が略同等である。本実施形態では、第1軸104b、出力部材103、2本の第1リンクバー106aで鉛直方向の平行リンク機構を構成している。このため、出力部材103の位置に拘らず、第1軸104bと出力部材103との平行、2本の第1リンクバー106aの平行がそれぞれ保持される。第2リンク機構107の2本の第2リンクバー107aは、同じ実効長を有し、互いに平行に配置された状態で、第2軸105bと出力部材103とを接続する。また、2本の第1リンクバー107aは、z軸方向から見て位置が略同等である。このように、本実施形態では、第2軸105b、出力部材103、2本の第2リンクバー107aで鉛直方向の平行リンク機構を構成している。このため、出力部材103の位置に拘らず、第2軸105bと出力部材103との平行、2本の第2リンクバー107aの平行がそれぞれ保持される。また、本実施形態の場合、出力部材103がx、y、z軸の何れの方向にも移動できるように、第1リンク機構106及び第2リンク機構107の各ジョイント部連結部を構成している。まず、第1リンク機構106は、出力部材103と2本の第1リンクバー106aの一端部とを、複数の2個の第1出力側ジョイント部106bによりそれぞれ連結している。また、第1軸104bと2本の第1リンクバー106aの他端部とを、複数の2個の第1駆動側ジョイント部106cによりそれぞれ連結している。第2リンク機構107は、出力部材103と2本の第2リンクバー107aの一端部とを、複数の2個の第2出力側ジョイント部107bによりそれぞれ連結している。また、第2軸105bと2本の第2リンクバー107aの他端部とを、複数の2個の第2駆動側ジョイント部107cによりそれぞれ連結している。2個の第1出力側ジョイント部106bは、少なくとも、出力部材103に対して第1リンクバー106aを、z軸回りの回動、及び、出力部材103及び第1リンクバー106aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。2個の第2出力側ジョイント部107bは、少なくとも、出力部材103に対する第2リンクバー107aの、z軸回りの回動、及び、出力部材103及び第2リンクバー107aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。即ち、第1出力側ジョイント部106b及び第2出力側ジョイント部107bは、少なくとも2自由度を有する。2個の第1駆動側ジョイント部106cは、少なくとも、第1軸104bに対して第1リンクバー106aを、z軸回りの回動、及び、第1軸104b及び第1リンクバー106aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。2個の第2駆動側ジョイント部107cは、少なくとも、第2軸105bに対して第2リンクバー107aを、z軸回りの回動、及び、第2軸105b及び第2リンクバー107aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心として回動自在である。即ち、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cも、少なくとも2自由度を有する。なお、第1軸104bと第2軸105bを軸受等により回転自在に支持すれば、第1駆動側ジョイント部106c及び第2駆動側ジョイント部107cは1自由度のジョイントに変更できる。[出力部材のz軸に交差する方向への移動]上述のように、第1リニアアクチュエータ104と出力部材103との間、及び、第2リニアアクチュエータ105と出力部材103との間に、それぞれ平行リンク機構を設けている。そして、これら2個のリニアアクチュエータにより出力部材103をz軸に交差する方向即ち、概ね水平方向に移動可能としている。即ち、制御部Cが第3移動子108aの位置を固定したまま、第1移動子104a及び第2移動子105aを、z軸方向にそれぞれ任意の量移動させる。これにより出力部材103のz軸方向の位置は概ね変化しない一方で、第1軸104b及び第2軸105bと出力部材103とのz軸に交差する方向の距離が変化して、出力部材103が概ね水平方向に移動させられる。このとき、第1軸104b及び第2軸105bはz軸方向に対して略平行を保ちながら移動される。このため、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動により、出力部材103の回転軸のz軸方向鉛直方向に対する姿勢を保ちながら、出力部材103をz軸に交差する概ね水平の方向に移動させることができる。また、本実施形態の場合、出力部材103側の2個の第1出力側ジョイント部106bと、出力部材103側の2個の第2出力側ジョイント部107bとが、z軸と略平行な同一軸上、即ち出力部材103上に配置されている。これにより、第1リニアアクチュエータ104から出力部材103におよぼす位置決め力の作用する位置と、第2リニアアクチュエータ105から出力部材103におよぼす位置決め力の作用する位置とが、上方から見て必ず一致する。このため、両リニアアクチュエータからの位置決め力の作用する位置の食い違いがある場合に生じる出力部材103の位置決め誤差を回避できる。なお、複数の第1出力側ジョイント部106bを結ぶ直線と、複数の第2出力側ジョイント部107bを結ぶ直線とを実質的に一致させていればよく、構造上の要求から僅かにずらして配置してもよい。[第3リンク機構]第3リンク機構109は、出力部材103と第3移動子108aとの間に設けられ、第3リニアアクチュエータ108の駆動により出力部材103を概ねz軸方向に移動可能としている。このような第3リンク機構109は、第3リンク部材である第3リンクバー109aと、出力部材103とにより構成される。第3リンクバー109aは、一端部を出力部材103の中間部に第3出力側ジョイント部109bにより連結し、他端部を第3軸108bの先端部下端部に第3駆動側ジョイント部109cにより連結している。図示の例の場合、第3出力側ジョイント部109bは、一対の第1出力側ジョイント部106bの間で、且つ、一対の第2出力側ジョイント部107bの間に配置されている。この第3出力側ジョイント部109bは、少なくとも、出力部材103に対する第3リンクバー109aの、z軸回りの回動、及び、出力部材103及び第3リンクバー109aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能とする。即ち、第3出力側ジョイント部109bは、少なくとも2自由度を有する。第3駆動側ジョイント部109cは、少なくとも、第3軸108bに対する第3リンクバー109aの、z軸回りの回動、及び、第3軸108b及び第3リンクバー109aの配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能とする。即ち、第3駆動側ジョイント部109cは、少なくとも2自由度を有する。なお、図2に丸印で示した2自由度のジョイント部106b、107b、109b等としては、例えば図3にジョイント部106cとして例示する構造のジョイントを適用できる。図3のジョイントは、矢印Aに示すような支持軸の周りに1回転以上回転する自由度と、矢印Bに示すような支持軸に略直角な軸周りに所定の振れ角度範囲内で回動する自由度を有する。後述する他の2自由度のジョイントも、この図3に例示する構造を有するものが好適である。このような2自由度のジョイントを用いれば、リンクバーの配設方向回りの回転の自由度を有さないので、平行リンク機構のねじれを防止することができる。[出力部材の上下移動]制御部Cにより第3リニアアクチュエータ108を駆動すると、第3移動子108aがz軸方向に沿って移動し、第3軸108bの先端に第3リンクバー109aを介して接続された出力部材103が概ね鉛直方向に移動する。厳密には、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の移動子104a、105aを固定のまま、第3リニアアクチュエータ108のみ駆動すると出力部材103は仮想的な円弧上を移動する。したがって、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動による出力部材103のz軸に交差する方向への移動に対応させて、第3リニアアクチュエータ108を駆動すれば、出力部材103を概ねz軸方向へ移動することができる。これにより、xyz空間内で出力部材103を位置決め可能である。具体的には、第1リニアアクチュエータ104及び第2リニアアクチュエータ105の駆動による出力部材103の概ね水平方向への移動と共に、第3リニアアクチュエータ108の駆動による概ねz軸方向への移動を併用すれば、所定の範囲内の所望の位置に出力部材103を移動することができる。また、前述のように、第1リニアアクチュエータ104と出力部材103との間、及び、第2リニアアクチュエータ105と出力部材103との間に、それぞれ平行リンク機構を設けている。このため、出力部材103の水平方向及び鉛直方向の任意の移動に拘らず、出力部材103を鉛直方向と略平行な状態に維持できる。また、第3リニアアクチュエータ108の駆動により、出力部材103を上下方向に移動すると、第1リンクバー106aと第2リンクバー107aの水平からの傾斜の角度が変化する。このため、出力部材103の3次元空間内の移動位置は、第1、第2、第3各リンクバー106a、107a、109aの傾斜を考慮して、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量から幾何学的に算出できる。ここで、リニアアクチュエータの駆動量は、移動子の移動距離に相当する。なお、第1、第2リニアアクチュエータ104、105の駆動量から概略の位置を算出し、それを第3リニアアクチュエータ108の駆動量に応じて補正することで、出力部材103のxyz空間内の正確な移動位置を算出するようにしても良い。また、算出値を予め制御部C内の数値テーブルに格納しておき、目標とする移動位置に基づいて第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量をこの数値テーブルから求めることが好適である。また、移動位置から第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量を逆算する算出式を用いても良い。以上のようにして出力部材103の移動位置と第1、第2、第3リニアアクチュエータ104、105、108の駆動量を関係付けることで、出力部材103に固定の出力部材103の3次元位置xyz位置の位置決めが可能となる。なお、本実施形態の場合、第1軸104b、第2軸105bのそれぞれの中心軸線がz軸に平行な共通の平面内にあり、第3軸108bに連結されるジョイント109cの中心がその平面内又はその平面に概ね沿って移動するため、上述のように出力部材の位置を幾何学的に算出することは容易である。また、本実施形態の場合は第3リンクバー109aの出力部材103側の第3出力側ジョイント部109bは、上述のように出力部材103の中間部に設けられている。そして、この第3出力側ジョイント部109bと、2個の第1出力側ジョイント部106b及び2個の第2出力側ジョイント部107bとを、z軸と略平行な同一軸上出力部材103の回転軸上に配置している。これにより、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108によってそれぞれ出力部材103に対して力を作用させる位置が、上方から見ていつでも一致する。このため、3つのリニアアクチュエータを協働させて行う出力部材103の位置決めの誤差を低減できる。また、本実施形態のように、第3リンクバー109aの第3出力側ジョイント部109bを設ける位置を、出力部材103の中間部特に中央付近にすることが好ましい。このようにすれば、他のリンクバーから作用する力と第3リンクバー109aから作用する力とのバランスが良好になり、出力部材103の傾きを防止できる。また、本実施形態では、2本の第1リンクバー106aと2本の第2リンクバー107aを出力部材103に対して交互に接続している。但し、図4aに示す様に、2本の第1リンクバー106aの配置間隔を2本の第2リンクバー107aの配置間隔よりも狭くしても良い。そして、出力部材103に対する2本の第1リンクバー106aの接続位置を、同じく2本の第2リンクバー107aの2つの接続位置に挟まれた位置に配置する。これにより、出力部材103に対して水平方向に掛かる力のバランスが良好となるので、出力部材103の傾きを防止でき好適である。また、2本の第1リンクバー106aの配置間隔を2本の第2リンクバー107aの配置間隔よりも広くしても良い。そして、出力部材103に対する2本の第2リンクバー107aの接続位置を、2本の第1リンクバー106aの2つの接続位置に挟まれた位置に配置する。この場合も、同様に好適である。また、2個の第1出力側ジョイント部106bを結ぶ線分の中点と、2個の第2出力側ジョイント部107bを結ぶ線分の中点とが略一致するように、2本の第1リンクバー106a及び2本の第2リンクバー107aをそれぞれ配置すると良い。これにより、第1リニアアクチュエータ104の駆動により出力部材103を移動させる力と、第2モータの駆動により出力部材103を移動させる力とを釣り合わせ易くできる。更に、図4bに示す様に、第3リンクバー109aの第3出力側ジョイント部109bを設ける位置を、出力部材103の上端部としても良い。このようにすることで、第3リンクバー109aと他のリンクバーとの干渉を防止することが容易になる。この場合、ジョイント109bを出力部材103の中程に配設した場合と異なり、リンクバー109aから作用する力が出力部材103を略鉛直方向からずらすように働く。すなわち、他のリンクバーの構成する平行リンク機構による出力部材103を略鉛直方向に支持する保持力が十分強い場合は、このような構成を採用することができる。[第4リンク機構]上述したように、第1軸104bの下端部には、軸受104dを介してプーリ104eを回転自在に支持している。また、このプーリ104eと共に回転する回転部材である中間アーム104fを配置している。中間アーム104fは、回転軸線から離間した位置に第4駆動側ジョイント部112cを連結可能である。これらプーリ104e及び中間アーム104fは、上述したように、第1移動子104aと第4移動子110aとの相対移動により連動機構110Bを介して、第1軸104bを中心として回転する。そして、中間アーム104fの回転は、第4リンク機構112を介して出力部材103に伝達される。第4リンク機構112は、出力部材103と中間アーム104fとの間に配置される。そして、出力部材103をz軸回りに回転可能としている。このような第4リンク機構112は、出力部材103に設けられた出力延長部材である出力アーム103aと、中間アーム104fとの間に、第4リンク部材である第4リンクバー112aを設けてなる。出力アーム103aは、出力部材103の下端寄りでz軸と交差する方向図示の例では水平方向に突設され、回転軸線から離間した位置に第4出力側ジョイント部他のジョイント部112bを連結可能である。また、出力アーム103aの水平方向の長さと中間アーム104fの水平方向の長さとを同じとしている。第4リンクバー112aの一端部は、第4出力側ジョイント部112bにより出力アーム103aに連結され、第4リンクバー112aの他端部は、第4駆動側ジョイント部112cにより中間アーム104fに連結されている。第4出力側ジョイント部112bは、少なくとも、出力アーム103aに対する第4リンクバー112aの、z軸回りの回動、及び、z軸及び第4リンクバー112aの配設方向に直交する直交軸を中心とした回動を可能としている。また、第4駆動側ジョイント部112cは、少なくとも、中間アーム104fに対する第4リンクバー112aの、z軸回りの回動、及び、z軸及び第4リンクバー112aの配設方向に直交する直交軸を中心とした回動を可能としている。即ち、第4出力側ジョイント部112b及び第4駆動側ジョイント部112cは、少なくとも2自由度を有する。また、本実施形態では第4リンクバー112aの実効長と第1リンクバー106aの実効長とを同じとしている。上述したように、出力アーム103aの長さと中間アーム104fの水平方向の長さも同じであるため、出力アーム103a、中間アーム104f、第4リンクバー112a、第2リンクバー107aで平行リンク機構が構成される。[出力部材の回動]上述のように、中間アーム104fと出力アーム103aとの間に第4リンク機構を設けているため、出力アーム103aはz軸を回転中心として中間アーム104fの回転に追従して回転する。この結果、出力アーム103aの回転角度は中間アーム104fの回転角度に一致する。したがって、制御部Cにより第1リニアアクチュエータ104の第1移動子104aと第4リニアアクチュエータ110の第4移動子110aとの相対位置を制御することで出力部材103の回転を制御可能となっている。しかも、出力部材103の回転角度は第4リニアアクチュエータ110の第4移動子110aと第1リニアアクチュエータ104の第1移動子104aとの相対位置により一意に決まる。即ち、第2、第3のリニアアクチュエータ105、108の駆動量に影響を受けない。このため、出力部材103の回転量の制御が簡単に行える。なお、図2、図3に示したように、第4リニアアクチュエータ110の第4移動子110aの可動範囲レール110Aの長さは、他のリニアアクチュエータの移動子の可動範囲レールの長さよりも広い長い。これにより、出力部材103の所望の位置への位置決めと出力部材103の所望の回転とを組み合わせて支障なく実行可能となっている。即ち、第1、第2、第3の各移動子104a、105a、108aがそれぞれのレールのどの位置に存在しても、第4移動子110aを更に移動させて、出力部材103を回転させられるようにしている。このように、第4移動子110aを第1移動子104aと相対移動させることにより、出力部材103を回転可能である。一方、出力部材103を回転させずに、出力部材103のxyz空間内での位置決めを図る場合には、第4移動子110aを第1移動子104aと同期して移動させる。このようにすることにより、出力部材103の位置決め動作時の第1リニアアクチュエータ104の負荷を軽減できる。[各リニアアクチュエータの配置]上述したように、第1移動子104aと、第2移動子105aと、第3移動子108aと、第4移動子110aとは、z軸に平行な共通の平面に概ね沿って移動するように配置されている。また、出力部材103は、これら各移動子104a、105a、108a、110aに対してz軸に平行な共通の平面から外れた位置に位置決めされる。即ち、出力部材103と、同一平面に概ね沿って移動する第1、第2、第3、第4各移動子104a、105a、108a、110aとの間に、それぞれ第1、第2、第3、第4リンク機構106、107、109、112を設けている。そして、出力部材103を第1、第2、第3、第4各移動子104a、105a、108a、110aに対して水平方向に外れた位置に位置決めするようにしている。このように全ての移動子が同一平面に概ね沿って移動するため、出力部材103の位置を幾何学的に算出することが容易となる。なお、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105とは、鉛直方向の位置はほぼ同じ多少鉛直方向にずれている場合も含むとし、互いに水平方向にずれた位置に配置している。即ち、z軸方向から見てそれぞれ異なる位置に配置されている。また、第1リンクバー106aの実効長と第2リンクバー107aの実効長を同じとしても良いし、異ならせても良い。また、第3リニアアクチュエータ108は、水平方向に関し、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との間に配置することが好適である。但し、第1リニアアクチュエータ104と同じ位置又は、第2リニアアクチュエータ105と同じ位置としても良い。本実施形態では、第3リニアアクチュエータ108は、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との間で、これら2個のリニアアクチュエータ及び出力部材103よりも鉛直方向上方に配置されている。また、第3リニアアクチュエータ108の水平方向の位置は、出力部材103から外れた位置で、且つ、第1リニアアクチュエータ104と第2リニアアクチュエータ105との中央としている。また、第4リニアアクチュエータ110は、第1リニアアクチュエータ104の水平方向に隣接して配置しているが、第2リニアアクチュエータ105に隣接して配置しても良い。この場合、第4リニアアクチュエータ110と第2リニアアクチュエータ105との間に連動機構を設け、第2移動子105aと第4移動子110aとの相対移動により中間アーム及び第4リンク機構を介して出力部材103を回転させるようにする。[出力部材103のz軸方向への単純移動]このように構成される本実施形態の場合、出力部材103を、x軸、y軸方向に関してz軸方向の上方から見て任意の位置においてz軸方向の任意の方向上方向又は下方向に任意の量移動させる場合に、第1、第2、第3の各リニアアクチュエータ104、105、108を次のように駆動制御する。即ち、制御部Cにより、第1移動子104a、第2移動子105a、第3移動子108aを、それぞれ任意の量と略同じ量だけ上方向又は下方向に同時に移動させる。例えば、出力部材103を水平方向の位置はそのままに鉛直方向上方にhmm移動させる場合、第1移動子104a、第2移動子105a、第3移動子108aを、それぞれ鉛直方向上方に略hmm移動させる。なお、この際、第4移動子110aの移動量をhよりも多く又は少なくなるように制御して、第1移動子104aとの相対位置を変化させれば、出力部材103の回転角度が変化する。一方、第4移動子110aも鉛直方向上方に他の移動子と同じ量移動させれば、出力部材103の回転角度が維持されつつ、出力部材103が上昇する。言い換えれば、出力部材103の角度を維持しつつ出力部材103をz軸方向の上方向又は下方向に任意の量移動させる場合には、第1、第2、第3各リニアアクチュエータ104、105、108及び第4リニアアクチュエータ110を次のように制御する。即ち、第1移動子104a、第2移動子105a、第3移動子108a、及び第4移動子110aを、それぞれz軸方向の上方向又は下方向に任意の量と略同じ量移動させる。本実施形態によれば、出力部材103を単純にz軸方向鉛直方向に移動させる動きを、簡単な制御で行える。即ち、第1、第2、第3、第4の各リニアアクチュエータ104、105、108、110のそれぞれの移動子104a、105a、108a、110aは、z軸方向鉛直方向に移動するようになっている。このため、出力部材103を上方から見て任意の位置においてz軸方向の上方向又は下方向に任意の量移動させる場合に、第1、第2、第3の各移動子104a、105a、108aをそれぞれz軸方向の上方向又は下方向に任意の量と略同じ量移動させれば良い。また、出力部材103の角度を維持しつつz軸方向に移動させる場合には、第4移動子もz軸方向の上方向又は下方向に同じ量移動させれば良い。このように、出力部材103を単純にz軸方向に移動させるためには、各移動子をz軸方向に移動させたい量移動させるだけでよく、複雑な演算が必要ない。このため、この動きを簡単な制御で少ない時間遅延にて行える。また、z軸方向の移動に関して演算誤差に起因する位置決め精度等の悪化は起こらない。<第2の実施形態>本発明の第2の実施形態について、図5及び図6を用いて説明する。本実施形態は、上述の第1の実施形態に対し、中間アーム104fを回転させる機構を変更している。即ち、本実施形態では、第1移動子104aと第4移動子110aとの相対移動に連動して中間アーム104fを回転させる連動機構110Cをリンク機構により構成している。具体的に説明する。第1移動子104aに固定の第1軸104bの下端部には、軸受104dを介して、中間アーム104f及び第1軸アーム104gを、互いに軸受104dの周方向に角度ずれを有して配置している。第1軸アーム104gは、軸受104dから略水平方向に突出するように設けられている。第4移動子110aには、略水平方向に突出するアーム110dを設けている。なお、アーム110dは後述のジョイント部113aを連結できれば十分であり、アーム形状を成さない部材で置き換えても良い。そして、アーム110dの先端部と第1軸アーム104gの先端部との間にリンクバー113を配置している。そして、リンクバー113の一端部を、第4移動子側ジョイント部113aによりアーム110dの先端部に連結し、リンクバー113の他端部を、第1移動子側ジョイント部113bにより第1軸アーム104gの先端部に連結している。第4移動子側ジョイント部113aは、少なくとも、アーム110dに対するリンクバー113の、z軸回りの回動、及び、z軸及びリンクバー113の配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能としている。また、第1移動子側ジョイント部113bは、少なくとも、第1軸アーム104gに対するリンクバー113の、z軸回りの回動、及び、z軸及びリンクバー113の配設方向の両方に直交する直交軸を中心とした回動を可能としている。即ち、第4移動子側ジョイント部113a及び第1移動子側ジョイント部113bは、少なくとも2自由度を有する。また、図示の例では、このように構成するために、アーム110dの先端部を鉛直方向下方に、第1軸アーム104gの先端部を鉛直方向上方にそれぞれ折り曲げ、その折り曲げ部に図示のようなジョイントを設けている。このように第1移動子104aと第4移動子110aとの間に連動機構110Cを設けることにより、これら2つの移動子104a、110aの相対位置の変化に伴い、第1軸アーム104gが第1軸104bを中心として回転する。具体的に説明する。図4のように2つの移動子104a、110aがほぼ同じ位置となるような相対位置の状態から、第4移動子110aの方がより低くなるように相対位置が変化した場合は、図示の位置よりも第1軸アーム104gは右回りに回転する。逆に、第4移動子110aの方がより高くなるように相対位置が変化した場合は、図示の位置よりも第1軸アーム104gは第1軸104bを回転中心として左回りに回転する。第1軸アーム104gの回転により、同じ軸受104dに固定された中間アーム104fも回転し、その回転が第4リンク機構112を介して出力部材103に伝達される。その他の構造及び作用は、上述の第1の実施形態と同様である。なお、第1軸アーム104g、中間アーム104fはアーム状の形状を有する必要はなく、実質的にアームの役割を果たすものであれば良い。例えば、1枚の板状部材にジョイント部の連結される突起部を2つ設けたもので第1軸アーム104gと中間アーム104fの役割を代用させても良い。<第3の実施形態>本発明の第3の実施形態について、図7及び図8を用いて説明する。本実施形態は、上述の第1の実施形態に対し、出力部材103にクランク部を設け、中間アーム104fと出力部材103との間の回転伝達の構造を変更している。また、第3リンクバー109aの出力部材103側の第3出力側ジョイント部109bの位置を、出力部材103の上端部としている。以下、中間アーム104fと出力部材103との間の回転伝達の構造について説明する。中間アーム104fは、第1軸104bから略水平方向に突出した後、鉛直方向下方に曲げられ、その先を、2つのクランク部115が、互いにθ例えば90°程度の角度ずれを有するように形成されている。図示の例の場合、中間アーム104fは、上方から見て異なる位置に、z軸と平行な2つの部分を有し、本実施形態ではこの部分をクランク部115としている。また、出力部材103は、下端寄り部分を略水平方向に折り曲げた後、鉛直方向下方に曲げられ、その先を、上述の2つのクランク部115と同じ形状の2つのクランク部116が形成されている。本実施形態の場合、これら2つのクランク部116が出力アームに相当する。また、図示の例の場合、出力部材103の下端寄り部分は、上方から見て異なる位置に、z軸と平行な2つの部分を有し、本実施形態ではこの部分をクランク部116としている。クランク部115とクランク部116の間には、第4リンクバー112aに加えてリンクバー114aが配設されている。そして、第4リンクバー112a及びリンクバー114aは、2自由度のジョイント112b、114bでクランク部116に、2自由度のジョイント112c、114cでクランク部115に、それぞれ接続されている。このようにクランク部とリンクバーを2組設けたことにより、出力部材103を略360°回転させることが可能となる。この点について説明する。例えば、クランク部115、116の2つの部分のうちの一方の部分に接続された第4リンクバー112aが出力部材103の方向に最も突出した位置の近傍にある場合、第4リンクバー112aを介して出力部材103を回転させることができない。一方、リンクバー114aはクランク部115、116の2つの部分のうち第4リンクバー112aの接続位置とは90°程度の角度ずれを持った他方の部分に接続されている。このため、この場合には、リンクバー114aを介して出力部材103を回転させることが可能である。逆に、リンクバー114aを介して出力部材103を回転させることができない場合は、第4リンクバー112aを介して出力部材103を回転させることが可能になる。2つのクランク部115における角度ずれ及び、2つのクランク部116における角度ずれθは90°とすることが好適であるが、40°~140°程度にしてもよい。その他の構造及び作用は、上述の第1の実施形態と同様である。