ディスク状の記憶媒体に対するヘッド浮上量を所定の浮上量となるように制御する制御手段と、前記制御手段が前記ヘッド浮上量を前記所定の浮上量となるように制御する時、前記記憶媒体に計測用信号を記録する記録手段と、前記制御手段が前記ヘッド浮上量を前記所定の浮上量となるように制御する時、前記記憶媒体から前記計測用信号を読み出す読み出し手段と、前記読み出し手段により読み出された前記計測用信号に基づいてヘッド浮上量を検出する検出手段と、を具備するディスク記憶装置。前記記録手段と前記読み出し手段を複数回作動させて前記検出手段により検出された複数のヘッド浮上量を、再生分解能のみの変化に応じて検出される浮上量と記録分解能と再生分解能の両者の変化に応じて検出される浮上量の差に応じて補正するための補正手段をさらに具備する請求項1記載のディスク記憶装置。前記補正手段は、前記記録手段と前記読み出し手段を複数回作動させて前記検出手段により複数回検出された前記ヘッド浮上量の各々を、前記記録手段と前記読み出し手段を複数回作動させた状態で前記検出手段により検出されたヘッド浮上量と前記制御手段の制御量との関係と、前記記録手段を1回作動させた後前記読み出し手段を複数回作動させた状態で前記検出手段により検出されたヘッド浮上量と前記制御手段の制御量との関係とに基づいて、補正する請求項2記載のディスク記憶装置。前記記録手段と前記読み出し手段を複数回作動させることにより前記検出手段により複数回検出されたヘッド浮上量を平均する平均化手段をさらに具備する請求項1または請求項2または請求項3記載のディスク記憶装置。前記記録手段は前記計測用信号とは異なる下地信号を前記記憶媒体に記録してから前記計測用信号を前記記憶媒体に記録する請求項1記載のディスク記憶装置。前記検出手段は前記計測用信号の基本波の周波数成分と所定の高調波の周波数成分とを用いてヘッド浮上量を検出し、前記記録手段は前記計測用信号の基本波の周波数成分と所定の高調波の周波数成分を含まない単一周波数成分の下地信号を前記記憶媒体に記録してから前記計測用信号を前記記憶媒体に記録する請求項5記載のディスク記憶装置。前記記録手段はランダムパターンの下地信号を前記記憶媒体に記録してから前記計測用信号を前記記憶媒体に記録する請求項5記載のディスク記憶装置。前記記録手段と前記読み出し手段を複数回作動させて前記検出手段により検出された複数のヘッド浮上量を、再生分解能のみの変化に応じて検出される浮上量と記録分解能と再生分解能の両者の変化に応じて検出される浮上量の差に応じて補正するための補正手段をさらに具備する請求項5または請求項6または請求項7記載のディスク記憶装置。前記補正手段は、前記記録手段と前記読み出し手段を複数回作動させて前記検出手段により複数回検出された前記ヘッド浮上量の各々を、前記記録手段と前記読み出し手段を複数回作動させた状態で前記検出手段により検出されたヘッド浮上量と前記制御手段の制御量との関係と、前記記録手段を1回作動させた後前記読み出し手段を複数回作動させた状態で前記検出手段により検出されたヘッド浮上量と前記制御手段の制御量との関係とに基づいて、補正する請求項8記載のディスク記憶装置。前記記録手段と前記読み出し手段を複数回作動させることにより前記検出手段により複数回検出されたヘッド浮上量を平均する平均化手段をさらに具備する請求項5または請求項6または請求項7記載のディスク記憶装置。制御手段によりディスク状の記憶媒体に対するヘッド浮上量を所定の浮上量となるように制御し、前記制御手段が前記ヘッド浮上量を前記所定の浮上量となるように制御する時、前記記憶媒体に計測用信号を記録し、前記制御手段が前記ヘッド浮上量を前記所定の浮上量となるように制御する時、前記記憶媒体から前記計測用信号を読み出し、前記読み出された前記計測用信号に基づいてヘッド浮上量を検出するヘッド浮上量計測方法。前記記録と前記読み出しを複数回行うことにより検出された複数のヘッド浮上量を、再生分解能のみの変化に応じて検出される浮上量と記録分解能と再生分解能の両者の変化に応じて検出される浮上量の差に応じて補正することをさらに具備する請求項11記載のヘッド浮上量計測方法。前記補正することは、複数回検出された前記ヘッド浮上量の各々を、前記記録と前記読み出しを複数回行うことにより検出されたヘッド浮上量と前記制御手段の制御量との関係と、前記記録を1回行った後前記読み出しを複数回行うことにより検出されたヘッド浮上量と前記制御手段の制御量との関係とに基づいて、補正する請求項12記載のヘッド浮上量計測方法。前記記録と前記読み出しを複数回行うことにより検出されたヘッド浮上量を平均することをさらに具備する請求項11または請求項12または請求項13記載のヘッド浮上量計測方法。前記計測用信号とは異なる下地信号を前記記憶媒体に記録してから前記計測用信号を前記記憶媒体に記録する請求項11記載のヘッド浮上量計測方法。前記ヘッド浮上量は前記計測用信号の基本波の周波数成分と所定の高調波の周波数成分とを用いて検出され、前記下地信号は前記計測用信号の基本波の周波数成分と所定の高調波の周波数成分を含まない単一周波数成分の信号である請求項15記載のヘッド浮上量計測方法。前記下地信号はランダムパターンの信号である請求項15記載のヘッド浮上量計測方法。前記記録と前記読み出しを複数回行うことにより検出されたヘッド浮上量を、再生分解能のみの変化に応じて検出される浮上量と記録分解能と再生分解能の両者の変化に応じて検出される浮上量の差に応じて補正することをさらに具備する請求項15または請求項16または請求項17記載のヘッド浮上量計測方法。前記補正することは、前記記録と前記読み出しを複数回行うことにより複数回検出された前記ヘッド浮上量の各々を、前記記録と前記読み出しを複数回行った状態で検出されたヘッド浮上量と前記制御量との関係と、前記記録を1回行った後前記読み出しを複数回行った状態で検出されたヘッド浮上量と前記制御量との関係とに基づいて、補正する請求項18記載のヘッド浮上量計測方法。前記記録と前記読み出しを複数回行うことにより検出されたヘッド浮上量を平均することをさらに具備する請求項15または請求項16または請求項17記載のヘッド浮上量計測方法。従来のヘッド浮上量の計測は時間経過あるいは記録条件による計測誤差の影響を除くことができないという課題があった。本発明の目的は、ヘッド浮上量を精度良く計測することができるディスク記憶装置及びヘッド浮上量計測方法を提供することである。実施形態によれば、ディスク記憶装置は制御手段と、記録手段と、読み出し手段と、検出手段とを具備する。制御手段はディスク状の記憶媒体に対するヘッド浮上量を所定の浮上量となるように制御する。記録手段は制御手段がヘッド浮上量を所定の浮上量となるように制御する時、記憶媒体に計測用信号を記録する。読み出し手段は制御手段がヘッド浮上量を前記所定の浮上量となるように制御する時、記憶媒体から計測用信号を読み出す。検出手段は読み出し手段により読み出された計測用信号に基づいてヘッド浮上量を検出する。以下、実施の形態について図面を参照して説明する。[ディスクドライブの構成]図1は、本実施形態に関するディスクドライブの要部を示すブロック図である。ディスクドライブは、例えば垂直磁気記録方式のドライブであり、大別して、ヘッドディスクアセンブリheaddiskassembly:HDA、ヘッドアンプ集積回路以下、ヘッドアンプIC11と、ハードディスクコントローラHDC15とから構成されている。HDAは、垂直磁気記録の記録媒体であるディスク1と、スピンドルモータSPM2と、ヘッド10を搭載しているアーム3と、ボイスコイルモータVCM4とを有する。ディスク1は、スピンドルモータ2により回転する。アーム3とVCM4は、アクチュエータを構成している。アクチュエータは、VCM4の駆動により、アーム3に搭載されているヘッド10をディスク1上の指定の位置まで移動制御する。ヘッド10は、スライダを本体として、当該スライダに実装されているリードヘッド素子及びライトヘッド素子を有する。リードヘッド素子は、ディスク1上に記録されているデータ後述する浮上量計測用信号も含む100を読み出す。ライトヘッド素子は、ディスク1上にデータ後述する浮上量計測用信号も含む110を書き込む。なお、図示していないが、スライダには、DFH制御に必要なヒータコイルが設けられている。DFH制御は、ヒータコイルに電流を流すことで、リード/ライトヘッド素子部を加熱により膨張させて、相対的に浮上量を低下させる。逆に、DFH制御は、加熱量の低下によりリード/ライトヘッド素子部を収縮させて、相対的に浮上量を増大させる高くする。また、HDAは、電源投入後にドライブの内部の周囲温度を検出する温度センサも含む。ヘッドアンプIC11は、リードアンプ及びライトドライバを有する。リードアンプは、リードヘッド素子により読み出されたリード信号100を増幅して、リード/ライトR/Wチャネル12に伝送する。一方、ライトドライバは、R/Wチャネル12から出力されるライトデータに応じたライト電流110をライトヘッド素子に伝送する。ヘッドアンプIC11は、DFH制御でヒータコイルに電流を流すための加熱用ドライバを含む。HDC15は、R/Wチャネル12と、ディスクコントローラ13と、マイクロプロセッサCPU14とを含む。R/Wチャネル12は、リードデータの信号処理を実行するリードチャネルと、ライトデータの信号処理を実行するライトチャネルとを含む。さらに、R/Wチャネル12は、ハーモニックセンサharmonicsensingcontrol:HSCモジュール以下、HSCモジュールと表記する16を有する。HSCモジュール16は、後述するように、ディスク1上に記録されている浮上量計測用信号単に計測用信号と表記する場合があるに基づいて、ヘッド10の浮上量の計測値を算出するとともに、算出値を補正する。この補正のためのテーブルあるいは係数はHSCモジュール16内のフラッシュメモリ図示せずに書き込まれている。ディスクコントローラ13は、ホストシステム図示せずとR/Wチャネル12との間のデータ転送を制御するインターフェース制御を実行する。また、ディスクコントローラ13はDFH制御モジュール18を含み、ヘッドアンプIC11を介してヘッド10のヒータコイルに流す電流を制御するDFH制御を実行する。CPU14は、ドライブのメインコントローラであり、ヘッド4の位置決めを行なうサーボ制御及びデータのリード/ライト制御を実行する。また、CPU14は、HSCモジュール16により計測される浮上量の計測値の補正処理を実行し、DFH制御モジュール18と連携してヘッド10の浮上量制御を実行する。[浮上量の計測方法]まず、ヘッド10の浮上量を計測する原理について説明する。ある浮上量dにおいて波長λの記録信号をヘッド10で再生して得られる信号振幅Aと浮上量dとの関係は、以下の式1により求められる。この式は、Wallaceの式WallacesEquationとも呼ばれている。d=-λ/2πlnAC1ここで、Cは浮上量dに依存しない不定の定数である。また、lnは自然対数を意味する。なお、A=Cexp-2πd/λである。式1には不定の定数Cが含まれるため、このままでは浮上量dは得られない。そこで、ヘッド10をディスク1に接触させた状態での振幅A0を計測する。このときの相対浮上量d0との関係は式2で表される。d0=-λ/2πlnA0C2式1と式2とから、再生信号の振幅と浮上量の関係が次のように求められる。d-d0=-λ/2πlnA-lnA03式3は不定の定数Cがキャンセルされている。式3において相対浮上量d0=0とすると、絶対浮上量dは、式4により求められる。d=-λ/2πlnA-lnA04式4から、絶対浮上量dは2つの浮上量における再生信号の振幅の差に基づいて求められることが分かる。しかしながら、ディスクドライブでは、ヘッドアンプIC11に含まれるリードアンプのゲインが温度により変化するなどの要因により、浮上量以外の要因でも信号振幅Aが変動する。このため、これをキャンセルしてより実用的にするためには、同じ再生信号から異なる2つの周波数faとfbで得られる振幅成分Afa、Afbの比を用いて式5により絶対浮上量dを求めることが好ましい。d=KlnAfa/AfbC5ここで、Afa/Afb=[Caexp-2πd/λa]/[Cbexp-2πd/λb]である。vをディスク1の周速とすると、λa=v/faであり、λb=v/fbである。K=1/[2π1/λb-1/λa]=v/[2πfb-fa]である。Ca、Cbは、浮上量dに依存しない不定の定数である。前述と同様に、ヘッド10ディスク1に接触させた状態での振幅成分A0fa、A0fbを計測する。このときの相対浮上量d0との関係は式6で表される。d0=KlnA0fa/A0fbC6一方、ヘッド10のディスク1に対する絶対浮上量dは、振幅成分Afa、Afbとd0との関係から、式7により求められる。d-d0=d=K[lnAfa/Afb-lnA0fa/A0fb]7ここで、不定の定数Cはキャンセルされるため、通常C=0として扱われる。以下は、C=0として記述する。また、信号の振幅計測周波数fa、fbは任意であるが、通常、単一周波数の繰り返し信号が用いられ、その基本波f1の成分振幅Af1と3次高調波f3の成分振幅Af3が用いられる。また、各周波数f1、f3での振幅成分を抽出するために、信号は離散フーリエ変換DFT:DiscreteFourierTransformの処理が行われる。以上のように、浮上量の計測原理について説明したが、ディスクドライブにおいて、当該計測方法を用いて浮上量を常時計測する場合に、以下のような事態が生じる可能性がある。式5から不定の定数Cをキャンセルして、絶対浮上量dを求めるためには、その浮上量での振幅成分Afa、Afbだけでなく、ヘッド10をディスク1に接触させた状態での振幅成分A0fa、A0fbを求める必要がある。ここで、熱減磁または熱揺らぎに起因する劣化記録信号の劣化を補償するためには、浮上量計測用信号を再度記録することが考えられる。ディスク1上に浮上量計測用信号を再記録した場合、再生信号の振幅は変化するため、ヘッド10をディスク1に接触させた状態での振幅成分A0fa、A0fbの計測は再度行う必要がある。一方、ヘッド10をディスク1に頻繁に接触させることは、ヘッド10やディスク1が摩耗し、それに起因する性能不具合を生じる可能性が高くなる。このため、通常では、浮上量計測用信号は1回だけ記録し、再記録を実行しない。しかしながら、前述したように、ディスクドライブでは、熱減磁あるいは熱揺らぎと呼ばれる現象により、ディスク1上に一旦記録された磁化が、時間経過とともに低下する。このため、浮上量計測用信号を記録後に十分な時間が経過すると、浮上量を計測するときに、熱減磁あるいは熱揺らぎに起因する計測用信号の変化が浮上量の計測誤差として生じる。具体的には、ヘッド10をディスク1に接触させた状態での振幅成分A0fa、A0fbの計測は、熱減磁あるいは熱揺らぎによりα倍、β倍になり、αAfa、βAfbに変化する。このとき計測される相対浮上量drは式6に基づきdr=KlnαAfa/βAfb=KlnAfa/AfbKlnα/βとなる。即ち、浮上量計測誤差Klnα/βが生じることになる。なお、浮上量計測誤差Klnα/βは、計測する浮上量には依存しないパラメータからなり、ヘッド10の浮上量が異なっても、記録後の経過時間のみに依存して変化する浮上量計測誤差量を生じる。次に本実施形態のヘッド浮上量測定方法について説明する。本実施形態は、ある浮上量において浮上量計測を行う直前に、浮上量計測用信号を現在の浮上量で記録するものである。計測直前に計測用信号を記録するため、熱減磁あるいは熱揺らぎの影響を受けない。本実施形態では、浮上量計測用信号の記録、再生計測が繰り返される。記録、再生計測を繰り返し行う場合、浮上量は同じであっても、それ以外の記録状態の差が計測値ばらつき誤差となる可能性がある。浮上量以外の記録状態の差としては、例えば非再現位置決めエラーNonRepeatablePositionErrorがある。繰り返される記録、再生の各回の動作において、記録トラック軌跡が異なると、浮上量が同じであっても、浮上量の計測値にばらつき誤差を生じる場合がある。この記録、再生計測の繰り返しの際のばらつき誤差は複数の計測値を求め、それを平均化処理することにより抑えることができる。また、浮上量計測用信号を繰り返し記録すると、同じ信号の上書き記録オーバーライトを繰り返すことになる。上述したように、計測用信号として単一周波数信号を使用し、その基本波成分振幅と3次高調波振幅の比を用いて浮上量を計測する場合、計測用信号の各計測周波数の残留成分が計測値に影響を及ぼし、繰り返される記録、再生の各回において得られる浮上量の計測値にばらつき誤差を生じる場合がある。特に、3次高調波振幅は、基本波成分振幅に比べて小さいため、残留成分の影響をより大きく受ける。この影響は、計測用信号を記録する前に、計測用信号の使用周波数成分に影響を与えない下地信号を記録することにより低減することができる。すなわち、1回の測定は、下地信号記録、計測用信号記録、再生計測からなる。例えば、計測用信号として単一周波数の6T信号を用いる場合、浮上量計測には基本波の6T周波数成分と3次高調波の2T周波数成分が用いられる。このとき、6Tや2Tの周波数信号成分を持たない1T信号が下地信号として用いられる。なお、下地信号としては単一周波数の信号に限らず、ランダムパターン信号を用いてもよい。単一周波数信号よりもランダムパターン信号の方が各回の計測値のばらつきが小さくなることもある。下地信号の磁界の影響を受けて上書き記録オーバーライトする信号の磁化遷移点TransitionがシフトするNLTSに起因する計測値のばらつきは、ランダムパターン信号の方が抑制できる。計測用信号を繰り返し記録するたびに、NLTSの生起状態が異なり、これが計測値のばらつき誤差になる。そのため、下地信号として単一周波数信号よりもランダムパターン信号を用いる方が、NLTSの生起状態が平均化されるため、各回の測定の計測値ばらつきは小さくなる。なお、ランダムパターン信号は計測用信号の使用周波数成分を持つため、その残留成分も存在するが、単一周波数信号の残留成分に比べて無視できるほど小さい。また、実施形態のようにある浮上量において計測用信号を繰り返し記録再生の結果得られる浮上量計測値とDHF制御量の関係は、ある浮上量で1回だけ記録された計測用信号の再生信号から得られる浮上量計測値とDHF制御量との関係とは異なる。これは、後者は、計測される浮上量が再生分解能の変化のみによって決まるのに対して、前者は計測される浮上量が再生分解能だけでなく記録分解能の変化にも依存するためである。後者の方が正確な場合が多いので、両者の対応関係を予め求めておき、前者実施形態によって得られる浮上量計測値を後者によって得られる浮上量計測値に変換補正してもよい。次に、図2から図4を参照して、実施形態の浮上量計測方法を説明する。ディスクドライブでは、CPU14は、所定のタイミング、例えば電源オン時のパワーオンキャリブレーション時や、データをリード/ライトしていない時に、ヘッド10の浮上量を計測する計測動作を実行する。浮上量を計測する際は、浮上量を設定するために、DFH制御を行う。ブロック100に示すように、ヘッド10のリードヘッド素子のDFH制御量RDFH=Aと、ライトヘッド素子のDFH制御量WDFH=Bとは等しいA=Bか、あるいはその差|A-B|が常に一定値となるように浮上量が制御された状態で浮上量が計測される。ブロック102でリード/ライトオフセットシークを行い、ヘッドを目標トラック浮上量計測信号の記録用トラックへ移動する。ブロック104で例えば1Tの単一周波数信号、あるいはランダムパターン信号からなる下地信号を記録する。なお、下地信号は必ずしも記録しなければならないものではなく、下地信号の記録を省略してもよい。ブロック106で下地信号の上に例えば6Tの単一周波数信号からなる浮上量計測用信号を記録する。下地信号、計測用信号は例えば、目標トラックにセクタ単位で記録される。ブロック108でリード/ライトオフセットシークを行い、ヘッドを目標トラックへ移動する。ブロック110で、CPU14は、ヘッド10によりディスク1上に記録した計測用信号を再生する。ブロック112で再生信号をR/Wチャネル12に伝送させる。R/Wチャネル12のHSCモジュール16は、読み出された計測用信号に基づいて、前述したような計測原理式4あるいは式7によりヘッド10の浮上量を計測する。式7の2つの周波数成分としては、例えば基本波である6T周波数成分と、3次高調波である2T周波数成分が用いられる。上述したように、気圧、温度、湿度が同じ条件であっても、図3のようにDFH制御によりヘッドをある浮上量に制御している状態において計測用信号を繰り返し記録再生の結果得られる浮上量計測値とDHF制御量の関係は、ある浮上量で1回だけ記録された計測用信号の再生信号から得られる浮上量計測値とDHF制御量との関係とは異なる。図3は両者の関係を示す図である。縦軸はヘッドの浮上量であり、横軸はDFH制御量である。低い浮上量のためのDFH制御量Aは高い浮上量のためのDFH制御量Cよりも大きい。実線はある浮上量において計測用信号を繰り返し記録再生の結果得られる浮上量計測値とDHF制御量の関係を示し、一点鎖線は決められたDFH制御量Bのある浮上量で1回だけ記録された計測用信号の再生信号から得られる浮上量計測値とDHF制御量との関係を示す。実施形態における浮上量の計測値は実線で示す関係に対応する。ブロック112では、この関係に基づく計測値を一点鎖線で示す関係から得られた計測値に補正変換する。具体的には、ハードディスク製造者は製造時にHSCモジュール16内のフラッシュメモリに図3の特性を示すデータを書き込んでおく。ブロック110で再生した信号から得られた浮上量の計測値に対応するDFH制御量を求め、HSCモジュール16内のフラッシュメモリから読み出したデータに基づいて当該DFH制御量に対応する一点鎖線の特性上の浮上量補正後の浮上量を求める。これにより、実線の特性により求められた再生分解能だけでなく記録分解能の変化にも依存する浮上量を再生分解能の変化のみによって決まる浮上量に補正することができ、計測値の精度をさらに向上することができる。なお、ブロック112の補正は必ずしも行わなければならないものではなく、省略してもよい。ブロック114で計測の繰り返し回数が所定値Nに達したか否か判定される。N回繰り返されていない場合は、ブロック102に戻り、計測用信号の記録再生が繰り返される。計測がN回繰り返された場合は、ブロック116に移り、N回の浮上量計測値の平均化処理を行う。これにより、記録再生計測の繰り返しの際のばらつき誤差を抑えることができる。なお、ブロック116の平均化は必ずしも行わなければならないものではなく、省略してもよい。図4は下地信号計測用信号の記録と、計測用信号の再生浮上量の計測補正のタイミングを説明する図である。リード/ライトオフセットシーク期間、下地信号記録期間、回転待ち時間、計測用信号記録期間、リード/ライトオフセットシーク期間、再生計測期間、リード/ライトオフセットシーク期間、...が繰り返される。下地信号記録、計測用信号記録、再生計測期間はそれぞれ最長でディスク1回転であり、それより短い期間、例えばディスク半回転の期間でも良い。以上説明したように、実施形態によれば、1回の浮上量計測を計測用信号の記録再生により実現したことにより、ディスクに記録された計測用信号が時間経過により劣化し、ヘッドの浮上量を計測するときに計測誤差が発生するという従来の課題が解決される。さらに、熱減磁または熱揺らぎに起因する劣化の検出用のデータ列信号を計測用のデータ列信号とは別の場所に新たに記録する必要もなく、計測用信号と劣化検出用信号の記録条件の差を考慮する必要も無く、正確に浮上量を計測することができる。これにより、ヘッド10をディスク1に頻繁に接触させることなく、ヘッド10の浮上量を常に高精度で計測することが可能となる。このため、ヘッド10の浮上量の計測動作に伴って、ヘッド10やディスク1の摩耗による性能不具合が生ずることはない。さらに、気圧、温度、湿度が同じ条件において、あるDFH制御量で1回だけ記録した計測用信号を再生して得られる浮上量計測値とDFH制御量の関係と、あるDFH制御量で計測用信号の記録、再生を繰り返し行って得られる浮上量計測値とDFH制御量の関係を予め求めておき、後者によって計測された浮上量を前者によって計測される浮上量に変換補正することにより、さらに計測値の精度を向上することができる。さらに、計測用信号を記録する前に影響を与えない単一周波数の下地信号を記録することにより、計測用信号の上書き記録オーバーライトを繰り返した場合に発生する残留成分の浮上量計測値への影響を受けないようにすることができる。また、ランダムパターンの下地信号を記録することにより、NLTS起因の浮上量計測値のばらつきを抑制することができる。これらによっても、計測値の精度が向上する。このように高精度に計測された浮上量に基づいて、ディスクコントローラ13内のDFH制御モジュール18により、ヘッド10の浮上量を低浮上で、かつ安定的に制御することが可能となる。本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。例えば、下地信号を記録しない実施形態や、計測値の補正をしない実施形態や、N回の計測値の平均化処理をしない実施形態も可能である。