a移動体をその移動方向に駆動する動力を発生する直流モータと、bこの直流モータのモータ軸に固定される入力ギヤ、この入力ギヤと噛み合って回転する中間ギヤ、この中間ギヤと噛み合って回転する出力ギヤ、およびこの出力ギヤと一体回転可能に連結した出力軸を有し、前記モータ軸の回転を減速して前記出力軸に伝達する減速機構と、c前記出力軸または前記出力ギヤに対して、前記移動体を移動位置から初期位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第1弾性部材、および前記モータ軸または前記入力ギヤまたは前記中間ギヤに対して、前記移動体を前記移動位置から前記初期位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第2弾性部材を有するリターン機構とを備えた電動アクチュエータ。請求項1に記載の電動アクチュエータにおいて、前記第1弾性部材は、前記出力軸の周囲に渦巻き状または螺旋状に巻装されたリターンスプリングであることを特徴とする電動アクチュエータ。請求項1または請求項2に記載の電動アクチュエータにおいて、前記第2弾性部材は、前記モータ軸の周囲に渦巻き状または螺旋状に巻装されたリターンスプリングであることを特徴とする電動アクチュエータ。請求項1ないし請求項3のうちのいずれか1つに記載の電動アクチュエータにおいて、前記減速機構は、前記モータ軸と前記出力軸に対して並列配置された中間軸を有していることを特徴とする電動アクチュエータ。請求項4に記載の電動アクチュエータにおいて、前記第2弾性部材は、前記中間軸の周囲に渦巻き状または螺旋状に巻装されたリターンスプリングであることを特徴とする電動アクチュエータ。請求項1ないし請求項5のうちのいずれか1つに記載の電動アクチュエータにおいて、前記直流モータは、前記モータ軸に固定された整流子を有するロータと、このロータの周囲を周方向に取り囲む筒状のヨーク、およびこのヨークの内周面に固定された複数の永久磁石を有するステータと、前記整流子に摺接する複数のブラシとを備えたことを特徴とする電動アクチュエータ。請求項6に記載の電動アクチュエータにおいて、前記ロータは、前記モータ軸に固定されるロータコア、およびこのロータコアに巻装されるロータコイルを有し、前記整流子は、前記ロータコイルに電気接続していることを特徴とする電動アクチュエータ。請求項1ないし請求項7のうちのいずれか1つに記載の電動アクチュエータを備えた制御弁において、前記制御弁は、流体が流れる流路を形成するハウジングを備え、前記移動体とは、前記流路を開閉するバルブのことであって、前記直流モータは、前記バルブをその開弁作動方向に駆動する動力を発生することを特徴とする制御弁。請求項8に記載の制御弁において、前記第1弾性部材とは、前記出力軸または前記出力ギヤに対して、前記バルブを前記移動位置に相当する開弁位置から前記初期位置に相当する全閉位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第1スプリングのことであることを特徴とする制御弁。請求項9に記載の制御弁において、前記第1スプリングの一端は、前記出力ギヤに係止され、前記第1スプリングの他端は、前記ハウジングまたはこのハウジングに固定される取付部材に係止されていることを特徴とする制御弁。請求項8ないし請求項10のうちのいずれか1つに記載の制御弁において、前記第2弾性部材とは、前記モータ軸または前記入力ギヤまたは前記中間ギヤに対して、前記バルブを前記移動位置に相当する開弁位置から前記初期位置に相当する全閉位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第2スプリングのことであることを特徴とする制御弁。請求項11に記載の制御弁において、前記第2スプリングの一端は、前記入力ギヤまたは前記中間ギヤに係止され、前記第2スプリングの他端は、前記ハウジングまたはこのハウジングに固定される取付部材に係止されていることを特徴とする制御弁。本発明の目的は、耐摩耗性に優れた高価な材料を使用することなく、直流モータのモータ軸に発生するコギングトルクによるトルク変動回転ムラや振動が減速機構の出力軸に伝わるのを抑制することのできる電動アクチュエータ、および電動アクチュエータを備えた制御弁を提供することにある。また、耐摩耗性に優れた高価な材料を使用することなく、減速機構の中間ギヤと出力ギヤのギヤ摩耗の進行を抑制することのできる電動アクチュエータ、および電動アクチュエータを備えた制御弁を提供することにある。請求項1に記載の発明電動アクチュエータは、移動体をその移動方向に駆動する動力を発生する直流モータと、この直流モータのモータ軸の回転を減速して出力軸に伝達する減速機構と、移動体を移動位置から初期位置へ戻すリターン機構とを備えている。電動アクチュエータの減速機構は、直流モータのモータ軸に固定される入力ギヤ、この入力ギヤと噛み合って回転する中間ギヤ、この中間ギヤと噛み合って回転する出力ギヤ、およびこの出力ギヤと一体回転可能に連結した出力軸を有している。電動アクチュエータのリターン機構は、減速機構の出力軸または出力ギヤに対して、移動体を移動位置から初期位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第1弾性部材、およびモータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して、移動体を移動位置から初期位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第2弾性部材を有している。請求項1に記載の発明によれば、減速機構の出力軸または出力ギヤに対して弾性力を付与する第1弾性部材、およびモータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して弾性力を付与する第2弾性部材によって、移動体を移動位置から初期位置へ戻すリターン機構を構成することにより、直流モータのモータ軸に発生するコギングトルクを打ち消すことが可能となる。以上のように、モータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して弾性力を付与する第2弾性部材を設けることによって、長期耐久にてモータ軸と出力軸との間に設けられる減速機構の動力伝達効率が低下しても、直流モータのモータ軸に発生するコギングトルクによるトルク変動回転ムラや振動が減速機構の出力軸に伝わり難くなる。これによって、減速機構の出力軸または出力ギヤに対して弾性力を付与する第1弾性部材のトルクを大きく設定する必要が無い。つまり減速機構の出力ギヤに作用する負荷を減少できるので、減速機構の中間ギヤと出力ギヤのギヤ摩耗の進行を抑制することができる。したがって、耐摩耗性に優れた高価な材料を使用することなく、直流モータのモータ軸に発生するコギングトルクによるトルク変動回転ムラや振動が減速機構の出力軸に伝わらないようにすることができ、且つ中間ギヤと出力ギヤのギヤ摩耗の進行を抑制することができるので、低コストな電動アクチュエータを製造製品化することができる。請求項2に記載の発明によれば、第1弾性部材として、減速機構の出力軸の周囲に渦巻き状または螺旋状に巻装されたリターンスプリングが使用されている。請求項3に記載の発明によれば、第2弾性部材として、モータ軸の周囲に渦巻き状または螺旋状に巻装されたリターンスプリングが使用されている。請求項4に記載の発明によれば、モータ軸と出力軸に対して並列配置された中間軸を有する減速機構を備えている。請求項5に記載の発明によれば、第2弾性部材として、減速機構の中間軸の周囲に渦巻き状または螺旋状に巻装されたリターンスプリングが使用されている。なお、第2弾性部材として、モータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して、移動体を移動位置から初期位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する合成ゴム、合成樹脂等の弾性体を使用しても良い。請求項6に記載の直流モータは、モータ軸に固定された整流子を有するロータと、このロータの周囲を周方向に取り囲む筒状のヨーク、およびこのヨークの内周面に固定された複数の永久磁石を有するステータと、整流子に摺接する複数のブラシとを備えている。請求項7に記載の直流モータのロータは、モータ軸に固定されるロータコア、およびこのロータコアに巻装されるロータコイルを有している。また、整流子は、ロータコイルに電気接続している。直流モータとしては、例えば有底筒状のヨークの内周面に複数の永久磁石を固定したステータ、このステータの径方向の内側に所定のギャップを介して回転可能に設置されるロータ電機子、およびこのロータへの給電を行うブラシが設置されたブラシ付き直流DCモータが採用されている。直流モータは、電機子コイルに直流電流が供給されると、磁界が形成され、この磁界と永久磁石との間に生じる磁気的な吸引力や反発力によってロータが回転する。ところで、永久磁石の周方向両端では磁束の変化が大きくなるので、この永久磁石の周方向両端をティースが通過するとき、ティースの磁気的な吸引力や反発力が大きく変化してコギングトルクが大きくなり、直流モータの振動が大きくなる。請求項8に記載の発明電動アクチュエータを備えた制御弁は、流体が流れる流路を形成するハウジングと、流路を開閉するバルブと、このバルブを例えば開弁方向または閉弁方向へ駆動する電動アクチュエータとを備えている。電動アクチュエータは、バルブをその開弁作動方向に駆動する動力を発生する直流モータと、この直流モータのモータ軸の回転を減速して出力軸に伝達する減速機構と、バルブを移動位置開弁位置または全閉位置から初期位置全閉位置または全開位置へ戻すリターン機構とを備えている。電動アクチュエータの減速機構は、直流モータのモータ軸に固定される入力ギヤ、この入力ギヤと噛み合って回転する中間ギヤ、この中間ギヤと噛み合って回転する出力ギヤ、およびこの出力ギヤと一体回転可能に連結した出力軸を有している。電動アクチュエータのリターン機構は、減速機構の出力軸または出力ギヤに対して、バルブを移動位置開弁位置または全閉位置から初期位置全閉位置または全開位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第1弾性部材、およびモータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して、バルブを移動位置開弁位置または全閉位置から初期位置全閉位置または全開位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第2弾性部材を有している。請求項8に記載の発明によれば、減速機構の出力軸または出力ギヤに対して、バルブを移動位置から初期位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第1弾性部材、およびモータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して、バルブを移動位置から初期位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第2弾性部材によってリターン機構を構成することにより、直流モータのモータ軸に発生するコギングトルクを打ち消すことが可能となる。以上のように、モータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して弾性力を付与する第2弾性部材を設けることによって、長期耐久にてモータ軸と出力軸との間に設けられる減速機構の動力伝達効率が低下しても、直流モータのモータ軸に発生するコギングトルクによるトルク変動回転ムラや振動が減速機構の出力軸に伝わり難くなる。これによって、減速機構の出力軸または出力ギヤに対して弾性力を付与する第1弾性部材のトルクを大きく設定する必要が無い。つまり減速機構の出力ギヤに作用する負荷を減少できるので、減速機構の中間ギヤと出力ギヤのギヤ摩耗の進行を抑制することができる。したがって、耐摩耗性に優れた高価な材料を使用することなく、直流モータのモータ軸に発生するコギングトルクによるトルク変動回転ムラや振動が減速機構の出力軸に伝わらないようにすることができ、且つ中間ギヤと出力ギヤのギヤ摩耗の進行を抑制することができるので、低コストな電動アクチュエータを備えた制御弁を製造製品化することができる。請求項9に記載の発明によれば、第1弾性部材として、減速機構の出力軸または出力ギヤに対して、バルブを移動位置に相当する開弁位置から初期位置に相当する全閉位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第1スプリングを使用している。請求項10に記載の発明によれば、第1スプリングの一端が、減速機構の出力ギヤに係止され、また、第1スプリングの他端が、ハウジングまたはこのハウジングに固定される取付部材に係止されている。請求項11に記載の発明によれば、第2弾性部材として、モータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して、バルブを移動位置に相当する開弁位置から初期位置に相当する全閉位置へ戻す方向に付勢する弾性力を付与する第2スプリングが使用されている。請求項12に記載の発明によれば、第2スプリングの一端が、減速機構の入力ギヤまたは中間ギヤに係止され、また、第2スプリングの他端が、ハウジングまたはこのハウジングに固定される取付部材に係止されている。以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。本発明は、耐摩耗性に優れた高価な材料を使用することなく、直流モータのモータ軸に発生するコギングトルクによるトルク変動回転ムラや振動が減速機構の出力軸に伝わるのを抑制するという目的、また、耐摩耗性に優れた高価な材料を使用することなく、減速機構の中間ギヤと出力ギヤのギヤ摩耗の進行を抑制するという目的を、減速機構の出力軸または出力ギヤに対して弾性力を付与する第1弾性部材、およびモータ軸または入力ギヤまたは中間ギヤに対して弾性力を付与する第2弾性部材によって、バルブ等の移動体を移動位置から初期位置へ戻すリターン機構を構成することで実現した。[実施例1の構成]図1ないし図3は本発明の実施例1を示したもので、図1および図2はEGR制御弁を示した図で、図3は電動アクチュエータのリターン機構の主要部渦巻きスプリングを示した図である。本実施例の内燃機関の制御装置エンジン制御システムは、例えばディーゼルエンジン等の内燃機関エンジンの各気筒毎の燃焼室から排出された排気ガスの一部であるEGRガスを、排気管から吸気管へ再循環還流させる排気ガス循環装置EGRシステムを備え、エンジンから排出された排気ガスを浄化する排気ガス浄化装置として使用されるものである。このEGRシステムは、EGRガスを排気通路から吸気通路へ再循環還流させるための排気ガス還流路EGRガス流路を開閉する排気ガス制御弁以下EGR制御弁と、エンジンの運転状況に対応してEGR制御弁のバルブ開度を可変制御するエンジン制御ユニット電子制御装置:ECUとを備えている。なお、ECUは、EGR制御弁を吸気絞り装置エンジンの吸気通路を開閉する吸気絞り弁や排気絞り装置エンジンの排気通路を開閉する排気絞り弁等の各システムと関連して制御するように構成されている。本実施例のエンジンは、複数の気筒を有する多気筒ディーゼルエンジンが採用されている。但し、多気筒ディーゼルエンジンに限定されず、多気筒ガソリンエンジンを適用しても構わない。エンジンは、自動車等の車両のエンジンルーム内にEGRシステムおよび燃料供給装置と共に設置されている。エンジンは、エアクリーナやスロットルボディを通過し、各気筒毎の燃焼室に吸い込まれる吸気が流れる吸気通路を形成する吸気管吸気ダクトと、各気筒毎の燃焼室から排出される排気ガスを外部へ排出する排気通路を形成する排気管排気ダクトとを備えている。ここで、排気管と吸気管とは、EGRガス流路を形成する排気ガス還流管EGRガスパイプにより接続されている。EGRガスパイプは、上流端部が排気管のEGRガス分岐部に接続され、また、下流端部が吸気管のEGRガス合流部に接続されている。EGRガスパイプには、EGRガス流路を流れるEGRガスの流量を開閉動作により制御するEGR制御弁、およびEGRガスを冷却水と熱交換させて冷却するEGRクーラが設置されている。以上のように、EGRガスパイプ、EGR制御弁、EGRクーラおよびECUによってEGRシステムが構成される。このEGRシステムは、EGR制御弁が開弁している時、エンジンより排出された排気ガスの一部が、EGRガスパイプを経由し、EGRガスとして吸気通路へ戻される。なお、EGRクーラを設けなくても良い。次に、本実施例のEGR制御弁の詳細を図1ないし図3に基づいて簡単に説明する。EGR制御弁は、エンジンの各気筒毎の燃焼室に供給する吸気新規吸入空気の全流量に対するEGRガス量の比率であるEGR率を制御するEGRガス還流量制御弁排気制御弁である。EGR制御弁は、EGRガスパイプの途中に結合されるハウジングと、このハウジングの内部に回転自在に収容される金属製のEGRバルブ1と、このEGRバルブ1の外周端面に形成されるシールリング溝環状溝2に嵌め込まれた金属製のシールリング3と、EGRバルブ1の開度を変更するアクチュエータとを備えている。ハウジングは、金属製のバルブボディ4、金属製のノズル5、および合成樹脂製のセンサカバー6を備えている。バルブボディ4およびノズル5の内部には、EGRバルブ1およびシールリング3が収容されている。また、バルブボディ4は、センサカバー6との間にアクチュエータを収容する収納空間を形成している。EGR制御弁は、EGRバルブ1を駆動するバルブ駆動装置、つまりEGRバルブ1を開閉動作させるアクチュエータとして、直流モータMおよび減速ギヤ機構以下減速機構を備えた電動アクチュエータが採用されている。この電動アクチュエータの動力源である直流モータMは、ECUによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。電動アクチュエータは、直流モータM、減速機構およびリターン機構を備えている。このリターン機構は、リターンスプリング7および渦巻きスプリング8を備えている。直流モータMは、軸線方向以下回転軸方向に延びるモータシャフト以下モータ軸11を有するインナロータ電機子と、この電機子の周囲を円周方向モータ周方向に取り囲む筒状のステータと、このステータに対して固定されたブラシホルダに収容保持された一対の給電ブラシ第1、第2ブラシとを備えている。減速機構は、直流モータMのモータ軸11に対して並列配置された中間ギヤ軸中間軸12と、EGRバルブ1と一体回転可能に連結した出力軸出力ギヤ軸、弁軸13と、モータ軸11に連動して回転する3つの第1~第3減速ギヤとを備えている。3つの第1~第3減速ギヤは、金属製のピニオンギヤ入力ギヤ、モータギヤ14、金属製の中間ギヤ15、および金属製の最終ギヤ出力ギヤ、バルブギヤ16等によって構成されている。3つの第1~第3減速ギヤは、バルブボディ4に一体的に形成されたギヤケース17とセンサカバー6との間に形成される減速ギヤ収納空間内に回転自在に収容されている。なお、電動アクチュエータの詳細は、後述する。次に、本実施例のEGRバルブ1の詳細を図1および図2に基づいて簡単に説明する。EGRバルブ1は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属によって円板形状に形成されている。このEGRバルブ1は、減速機構の出力軸13の回転軸方向の一端部第1突出部に溶接固定されている。また、EGRバルブ1の外周端面には、円環状のシールリング溝2が円周方向に連続して形成されている。このシールリング溝2の内部には、C字状のシールリング3が嵌め込まれている。シールリング3は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属によって円環形状に形成されている。このシールリング3は、EGRバルブ1のシールリング溝2に対する組付性を考慮して、あるいはノズル5とシールリング3との熱膨張差に伴うシールリング3の膨張、収縮に備えて、円周方向の両端面間合口に所定の切欠隙間合口隙間を有している。また、シールリング3の半径方向の外側の端面には、ノズル5の内径面バルブシート面に密着可能な外周面摺動部が設けられている。このシールリング3の摺動部の軸線方向の両側のエッジに、EGRバルブ1の開閉動作がし易いようにテーパ形状またはR形状の面取りを施しても良い。そして、シールリング3は、その外周側部が、EGRバルブ1の外周端面より径方向の外側に突出し、且つ内周側部が、シールリング溝2内を径方向、軸線方向および円周方向に移動できるようにシールリング溝2の内部に嵌め込まれて保持されている。したがって、本実施例のEGR制御弁は、エンジン停止時またはEGRガスを導入しない時EGRカット時に、EGRバルブ1のシールリング溝2に嵌め込まれたシールリング3の軸線方向に対して直交する半径方向拡径方向の張力を利用して、ノズル5のバルブシート面とEGRバルブ1の外周端面との間に形成される環状隙間を密閉気密シールするように構成されている。バルブボディ4は、例えばアルミニウム合金等のアルミニウム系金属によって一体的に形成されている。このバルブボディ4には、減速機構の出力軸13の中間部の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の軸受スリーブ21、ノズル5の周囲を円周方向に取り囲む円筒状のノズルホルダー22、吸気管または排気管またはEGRガスパイプの結合フランジにスクリューを用いて締結固定されるステー23が一体的に形成されている。軸受スリーブ21の内部には、出力軸13の中間部がその回転軸方向に貫通する軸受孔が形成されている。この軸受孔内には、軸受け部材ダストシール24、ブッシング25、オイルシール26およびボールベアリング27が保持されている。ノズルホルダー22は、バルブボディ4をEGRガスの熱から保護するためのノズル5を嵌合保持している。ノズル5は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属によって円筒形状に形成されている。このノズル5の内周面には、EGRバルブ1のシールリング溝2に嵌め込まれたシールリング3の外周面摺動部が摺接するバルブシート面が設けられている。バルブボディ4およびノズル5の内部には、エンジンの各気筒毎の燃焼室に連通する流路孔31~33がそれぞれ形成されている。これらの流路孔31~33は、排気管のEGRガス分岐部から吸気管のEGRガス合流部へEGRガスを還流させるEGRガス流路である。次に、本実施例の電動アクチュエータの詳細を図1ないし図3に基づいて説明する。電動アクチュエータは、電力の供給を受けるとEGRバルブ1を駆動する動力を発生する直流モータMと、この直流モータMの回転を2段減速して出力軸13に伝達する減速機構動力伝達機構と、EGRバルブ1を所定の開弁位置から全閉位置へ戻すためのリターン機構と、EGRバルブ1の回転角度開度を検出する回転角度EGR開度検出装置とを備えている。直流モータMは、バルブボディ4に一体的に形成された有底筒状のモータケース34内に収容保持されている。この直流モータMは、円筒ヨーク35のフロント側に連結したフロントブラケット36を、モータケース34のモータ挿入口の開口周縁部にスクリュー等により締結することで、モータケース34内に支持固定される。直流モータMは、アウタステータの内周側にインナロータが相対回転可能に配置されるブラシ付きのDCモータであり、回転軸方向に真っ直ぐに延びるモータ軸11を有する電機子と、この電機子の周囲を円周方向モータ周方向に取り囲む筒状のステータと、モータ軸11に固定された整流子に押圧接触する一対の第1、第2ブラシとを備えている。ステータは、有底円筒状の円筒ヨーク35、およびこの円筒ヨーク35の内周面に固定された複数の永久磁石界磁石:以下界磁マグネットを有している。一対の第1、第2ブラシは、モータ周方向に180°間隔で、しかも互いに対向して配置されている。また、第1ブラシは、外部電源バッテリの正極側VCC側に電力供給ラインを介して接続されている。また、第2ブラシは、外部電源バッテリの負極側グランド側、GND側に電力供給ラインを介して接続されている。電機子は、ステータの径方向内側に所定のギャップを介して設置されている。この電機子は、円筒ヨーク35およびフロントブラケット36の各軸受支持部ベアリングホルダーに軸受ベアリングを介して、回転自在に支持されたモータ軸11と、このモータ軸11の回転軸方向に磁性鋼板を複数積層して形成された電機子鉄心電機子コアと、この電機子コアに巻装される電機子巻線電機子コイルと、一対の第1、第2ブラシに押圧接触される整流子コンミテータとを有している。電機子コアは、積層型鉄心により形成され、モータ軸11の外周に圧入嵌合される円筒状または角筒状の嵌合部、およびこの嵌合部の外周面から突出する複数のティースを有している。複数のティースは、嵌合部の外周面にその円周方向に等間隔で設置されている。また、複数のティースは、電機子コアの嵌合部の外周面から電機子の半径方向外側に向けて放射状に突出するティース巻装部、およびこのティース巻装部の外周端からモータ周方向の両側に延びるティース磁極部を有している。このティース磁極部の外周面は、ステータの内周面に対向している。電機子コアの嵌合部の中心部には、嵌合部をその回転軸方向に貫通する貫通孔が形成されている。この貫通孔には、モータ軸11が固定されている。電機子コアの円周方向に隣接する各ティース間には、電機子巻線の各相コイルを収納する複数のスロットが形成されている。電機子巻線は、複数のティースの各ティース巻装部の周囲に集中巻方式で巻装されて、各スロットに収納される多相の各相コイルにより構成されている。各相コイルは、各ティース巻装部の外側にインシュレータを介して巻回されている。減速機構は、直流モータMのモータ軸11と並列配置された中間ギヤ軸12、モータ軸11と中間ギヤ軸12に並列配置された出力軸13、モータ軸11の外周に圧入固定されたピニオンギヤ14、このピニオンギヤ14と噛み合って回転する中間ギヤ15、およびこの中間ギヤ15と噛み合って回転する最終ギヤ16等によって構成されている。中間ギヤ軸12は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属または非鉄系金属によって円柱形状丸棒形状に一体的に形成されている。この中間ギヤ軸12は、その軸線方向の一端がバルブボディ4の嵌合凹部37に圧入嵌合固定されている。また、中間ギヤ軸12の軸線方向の他端は、センサカバー6の嵌合凹部38に嵌め込まれている。出力軸13は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属または非鉄系金属によって円柱形状丸棒形状に一体的に形成されている。この出力軸13は、バルブボディ4の軸受スリーブ21の内部に回転自在に収容されている。出力軸13の回転軸方向の一端部には、軸受スリーブ21の軸受孔の開口端面から流路孔32、33の内部に向かって突出する第1突出部が設けられている。なお、第1突出部には、EGRバルブ1が溶接固定されている。また、出力軸13の回転軸方向の他端部には、バルブボディ4の軸受スリーブ21の開口端面から減速ギヤ収納空間の内部に向かって突出する第2突出部が設けられている。なお、第2突出部には、減速機構の最終ギヤ16と結合するための最終ギヤプレート後述するが固定されている。ピニオンギヤ14は、金属材または合成樹脂によって一体的に形成されている。このピニオンギヤ14は、直流モータMのモータ軸11と同軸的例えば同一軸線上に配設されて、中間ギヤ15の最大外径部大径ギヤのギヤ径よりも小さいギヤ径を有している。このピニオンギヤ14は、直流モータMのモータ軸11の先端外周に圧入嵌合等により固定されて、直流モータMのモータ軸11と一体的に回転する円筒部を有している。そして、ピニオンギヤ14の円筒部の外周には、複数の凸状歯ピニオンギヤ歯41が円周方向全体に形成されている。中間ギヤ15は、合成樹脂によって一体的に形成されている。この中間ギヤ15は、直流モータMのモータ軸11および減速機構の出力軸13に並列して配置された中間ギヤ軸12の外周に相対回転可能に嵌め合わされている。また、中間ギヤ15は、中間ギヤ軸12の外周に回転自在に嵌め合わされて、中間ギヤ軸12の中心軸線周りに回転する円筒部を有している。中間ギヤ15の円筒部の軸線方向の一端部には、円筒部の外径よりも大きく、ピニオンギヤ14のピニオンギヤ歯41と噛み合う大径ギヤが形成されている。この大径ギヤは、円筒部の軸線方向の一端部に設けられた円環板状の径大部、およびこの径大部の外周に周方向全体に形成された複数の凸状歯中間ギヤ歯42を有している。そして、大径ギヤは、最終ギヤ16の最大外径部ギヤ部のギヤ径よりも大きいギヤ径を有している。また、中間ギヤ15の円筒部の軸線方向の他端部には、最終ギヤ16と噛み合う小径ギヤが形成されている。この小径ギヤは、中間ギヤ15の円筒部、およびこの円筒部の外周に周方向全体に形成された複数の凸状歯中間ギヤ歯43を有している。そして、中間ギヤ歯43は、中間ギヤ歯42のギヤ径よりも小さいギヤ径を有している。最終ギヤ16は、合成樹脂によって一体的に形成されている。この最終ギヤ16の内周部には、円筒状のマグネットロータ44が一体的に形成されている。このマグネットロータ44の内周には、永久磁石であるセンサマグネット45が固定され、また、マグネットロータ44には、内部に2面幅出力軸13の空回りを防ぐ構造、回り止め構造を有する貫通孔が形成された金属製の最終ギヤプレート46がインサート成形されている。これにより、最終ギヤ16は、最終ギヤプレート46を介して、出力軸13の回転軸方向の他端部第2突出部に回り止めされた状態で固定されている。最終ギヤ16は、マグネットロータ44よりも半径方向の外側に部分円筒状の最大外径部47を有している。この最大外径部47には、中間ギヤ15の中間ギヤ歯43と噛み合う複数の凸状歯出力ギヤ歯48が所定の角度分だけ扇状に形成されている。そして、出力ギヤ歯48は、中間ギヤ歯43のギヤ径よりも大きいギヤ径を有している。また、最終ギヤ16は、減速機構の出力軸13に一体回転可能に連結した最終減速ギヤ減速機構の最終段の減速ギヤを構成している。この最終ギヤ16は、出力軸13の回転軸方向の他端部第2突出部に回り止めされた状態で固定されている。最終ギヤ16は、マグネットロータ44と最大外径部47との間に中間円筒部を有している。この中間円筒部の外周面は、バルブボディ4の軸受スリーブ21の外周面と共に、リターンスプリング7のコイル内径側を保持するスプリング内周ガイドとして機能する。また、バルブボディ4の軸受スリーブ21の外周および最終ギヤ16の中間円筒部の外周に、EGRバルブ1を閉弁作動方向に付勢するリターンスプリング7が螺旋状に巻装されている。ECUには、制御処理、演算処理を行うCPU、制御プログラムまたは制御ロジックや各種制御データマップ等を保存する記憶装置ROMやRAM等のメモリ、入力回路入力部、出力回路出力部、電源回路、タイマー回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。ECUは、イグニッションスイッチがオンIGONされると、マイクロコンピュータのメモリに格納された制御プログラムまたは制御ロジックに基づいて、EGR制御弁の電動アクチュエータ直流モータMを通電制御するように構成されている。ECUは、EGRバルブ開度センサ49、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ空燃比センサ、酸素濃度センサ等の各種センサからのセンサ出力信号が、A/D変換回路によってA/D変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。なお、EGR開度センサ49、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサは、エンジンの運転状態運転状況を検出する運転状態検出手段を構成している。回転角度検出装置は、EGRバルブ1と一体回転可能に連結された円筒状のマグネットロータ44、およびこのマグネットロータ44の回転角度を測定して減速機構の出力軸13の回転角度に相当するEGRバルブ開度を検出するEGR開度センサ49を備えている。マグネットロータ44の内周面には、永久磁石である複数のセンサマグネット45および磁性体であるロータコアが取り付けられている。EGR開度センサ49は、センサカバー6のセンサ搭載部に設置された一対のステータコアの対向部間に挟み込まれて保持されている。このEGR開度センサ49は、センサ搭載部からバルブボディ側へ突出するように設置されている。また、EGR開度センサ49は、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応した電圧信号アナログ信号をECUへ向けて出力するホールICを主体として構成されている。なお、ホールICの代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。電動アクチュエータのリターン機構は、減速機構の出力軸13の周囲を螺旋状に取り囲むように設置されたリターンスプリングコイルスプリング7、および直流モータMのモータ軸11の周囲を渦巻き状に取り囲むように設置された渦巻きスプリング8を備え、リターンスプリング7の弾性力反力および渦巻きスプリング8の弾性力反力を利用してEGRバルブ1を所定の開弁位置から全閉位置へ戻すように構成されている。リターンスプリング7は、減速機構の出力軸13および最終ギヤ16に対して、EGRバルブ1を閉弁作動方向に付勢する付勢力バネ荷重、スプリング力を発生するコイル状のリターンスプリング第1弾性部材である。このリターンスプリング7は、減速機構の出力軸13および最終ギヤ16に対して、EGRバルブ1を移動位置である開弁位置から初期位置である全閉位置へ戻す方向閉弁作動方向に付勢する弾性力を付与する第1弾性力付与手段第1スプリングである。リターンスプリング7は、バルブボディ4のスプリング座部51と最終ギヤ16のスプリング座部52との間で、且つ減速機構の出力軸13および最終ギヤ16の中間円筒部の周囲を螺旋状に取り囲むように巻装されたコイル部を有している。リターンスプリング7の軸線方向の一端側バルブボディ側には、バルブボディ4のスプリング座部51に接触する円環状の第1コイル端部が設けられ、また、リターンスプリング7の軸線方向の他端側最終ギヤ側には、最終ギヤ16のスプリング座部52に接触する円環状の第2コイル端部が設けられている。リターンスプリング7は、第1コイル端部の端末部からその接線方向に突出する第1フック部、および第2コイル端部の端末部からその半径方向の外側に向けて延びる第2フック部を有している。第1フック部は、バルブボディ4に設けられる環状凹部図示せずに保持されている。また、第2フック部は、最終ギヤ16に設けられる環状凹部図示せずに保持されている。渦巻きスプリング8は、直流モータMのモータ軸11および減速機構のピニオンギヤ14に対して、EGRバルブ1を閉弁作動方向に付勢する付勢力バネ荷重、スプリング力を発生する渦巻き状のリターンスプリング第2弾性部材である。この渦巻きスプリング8は、直流モータMのモータ軸11およびピニオンギヤ14に対して、EGRバルブ1を移動位置である開弁位置から初期位置である全閉位置へ戻す方向閉弁作動方向に付勢する弾性力を付与する第2弾性力付与手段第2スプリングである。渦巻きスプリング8は、直流モータMのモータ軸11および減速機構のピニオンギヤ14の円筒部の周囲を渦巻き状に取り囲むように巻装された渦巻き部を有している。渦巻きスプリング8の渦巻き方向の一端側バルブボディ側には、渦巻き部の第1端部最大外径部61が設けられている。また、渦巻きスプリング8の渦巻き方向の他端側ピニオンギヤ側には、渦巻き部の第2端部最小内径部62が設けられている。渦巻きスプリング8は、渦巻き部の第1端部61の端末部からその半径方向の外側に向けて突出する延びる第1フック部63、および渦巻き部の第2端部62の端末部からその半径方向の内側に向けて突出する延びる第2フック部64を有している。第1フック部63は、バルブボディ4のギヤケース17側または直流モータMのステータフロントブラケット36等の取付部材に設けられるスプリング保持部65に埋設固定保持、係止されている。また、第2フック部64は、直流モータMのモータ軸11または減速機構のピニオンギヤ14の円筒部に設けられるスプリング保持部66に埋設固定保持、係止されている。なお、スプリング保持部65を、バルブボディ4の外壁面、つまりギヤケース17の底面に設けられた嵌合凹部に圧入嵌合固定される合成樹脂製のブロックハウジングに固定される固定部材としても良い。[実施例1の作用]次に、本実施例のEGR制御弁の作動を図1ないし図3に基づいて簡単に説明する。本実施例のEGR制御弁のEGRバルブ1を回転駆動する直流モータMは、ECUによって通電制御されるように構成されている。先ず、直流モータMへの電力供給が成されない場合には、リターンスプリング7と渦巻きスプリング8の弾性力反力によってEGRバルブ1が全閉位置初期位置に設定される。このとき、EGRバルブ1のシールリング溝2に嵌め込まれたシールリング3の摺動部が、シールリング自体の拡径方向の張力弾性変形力によってバルブボディ4のノズルホルダー22に嵌合保持されるノズル5のバルブシート面に張り付くため、シールリング3の摺動部がノズル5のバルブシート面に密着する。したがって、EGRバルブ1の外周端面とノズル5の内周面との間の隙間が完全にシールされる。つまり流路孔31~33が閉鎖される。これにより、EGRガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気新気に混入しないEGRカット。次に、EGR制御弁を開弁させるような運転状況エンジンの運転状況になると、EGRバルブ1が運転状況に対応した所定の目標開度移動位置、開弁位置に開弁するように開弁作動させる。そして、直流モータMに電力を供給し、直流モータMのモータ軸11を開弁作動方向に回転させる。これにより、直流モータMの動力トルクが、ピニオンギヤ14、中間ギヤ15および最終ギヤ16に伝達される。そして、最終ギヤ16からトルクが伝達された出力軸13が、最終ギヤ16の回転に伴って所定の回転角度バルブ開度だけ開弁作動方向に回転する。以上のように、エンジンの運転状況に対応して、直流モータMへの供給電力駆動電流値または印加電圧値を可変制御することで、EGR制御弁のバルブ開度を変化させることにより、エアクリーナを通過した清浄な吸気に対する、EGRガスの導入量混入量が調節される。すなわち、EGRバルブ1は、制御目標値所定の移動位置に相当するバルブ開度開弁位置に開弁制御される。つまり流路孔31~33が開放される。したがって、エンジンの各気筒毎の燃焼室より流出した排気ガスの一部であるEGRガスが、排気管内に形成される排気通路EGRガス分岐部から、排気管側のEGRガスパイプの内部EGRガス流路→EGR制御弁のバルブボディ4の内部流路EGRガス導入ポート→流路孔31~33→EGRガス導出ポート→吸気管側のEGRガスパイプの内部EGRガス流路を経由して、吸気管内に形成される吸気通路EGRガス合流部に再循環される。これにより、EGRガスがエンジンの各気筒毎の吸気ポートおよび燃焼室に供給される吸気に混入される。これによって、排気ガス中に含まれる有害物質例えばNOx等が低減される。[実施例1の効果]以上のように、本実施例のEGR制御弁においては、減速機構の出力軸13または最終ギヤ16に対して、EGRバルブ1を開弁位置から全閉位置へ戻す方向閉弁作動方向に付勢する弾性力を付与するリターンスプリング7、および直流モータMのモータ軸11およびピニオンギヤ14に対して、EGRバルブ1を開弁位置から全閉位置へ戻す方向閉弁作動方向に付勢する弾性力を付与する渦巻きスプリング8によって、EGRバルブ1を全閉位置から目標開度である開弁位置へ開弁する方向開弁作動方向に駆動する電動アクチュエータのリターン機構を構成することにより、直流モータMの界磁マグネットと電機子インナロータのティースとの間のコギングトルクを打ち消すことが可能となる。以上のように、直流モータMのモータ軸11およびピニオンギヤ14に対して弾性力を付与する渦巻きスプリング8を設けることによって、長期耐久にてモータ軸11と出力軸13との間に設けられる減速機構の動力伝達効率が低下しても、直流モータMのモータ軸11に発生するコギングトルクによるトルク変動回転ムラや振動が減速機構の出力軸13に伝わり難くなる。これによって、減速機構の出力軸13および最終ギヤ16に対して弾性力を付与するリターンスプリング7のトルクを大きく設定する必要が無い。つまり減速機構の最終ギヤ16に作用する負荷を減少できるので、ピニオンギヤ14のピニオンギヤ歯41と中間ギヤ15の中間ギヤ歯42のギヤ摩耗の進行、および中間ギヤ15の中間ギヤ歯43と最終ギヤ16の出力ギヤ歯48のギヤ摩耗の進行を抑制することができる。また、ノズル5のバルブシート面に付着して堆積した排気微粒子等の異物によるバルブロックに対応するため、電動アクチュエータの減速機構の出力軸13およびこの出力軸13に固定されるEGRバルブ1の減速比を大きくとることも可能となる。また、電動アクチュエータのリターン機構を、リターンスプリング7に渦巻きスプリング8を追加して構成しているので、リターンスプリング7のスプリングトルクを現状のものとの比べて大きくすることなく、EGRバルブ1を開弁位置から全閉位置への戻りの信頼性を向上させることが可能となる。これにより、減速機構の出力軸13の発生トルクが低下することがないので、負荷増加に伴うギヤ摩耗はなく、中間ギヤ15と最終ギヤ16との間の動力伝達効率の低下を抑えることができる。したがって、中間ギヤ15と最終ギヤ16のギヤ摩耗の進行を抑制するために、最終ギヤ16の材料に、耐摩耗性に優れた高コスト材料を使用する必要がない。したがって、リターンスプリング7のスプリングトルクを大きくすることなく、また、耐摩耗性に優れた高価な材料を使用することなく、直流モータMのモータ軸11に発生するコギングトルクによるトルク変動回転ムラや振動が減速機構の出力軸13に伝わらないようにすることができ、且つピニオンギヤ14のピニオンギヤ歯41と中間ギヤ15の中間ギヤ歯42のギヤ摩耗の進行、および中間ギヤ15の中間ギヤ歯43と最終ギヤ16の出力ギヤ歯48のギヤ摩耗の進行を抑制することができるので、低コストな電動アクチュエータを備えたEGR制御弁を製造製品化することができる。図4および図5は本発明の実施例2を示したもので、図4はEGR制御弁を示した図で、図5は電動アクチュエータのリターン機構の主要部渦巻きスプリングを示した図である。本実施例の電動アクチュエータのリターン機構は、減速機構の出力軸13の周囲を螺旋状に取り囲むように設置されたリターンスプリング7、および減速機構の中間ギヤ軸12の周囲を渦巻き状に取り囲むように設置された渦巻きスプリング9を備えている。渦巻きスプリング9は、減速機構の中間ギヤ15に対して、EGRバルブ1を閉弁作動方向に付勢する付勢力バネ荷重、スプリング力を発生する渦巻き状のスプリング第2弾性部材である。この渦巻きスプリング9は、減速機構の中間ギヤ15に対して、EGRバルブ1を開弁位置から全閉位置へ戻す方向閉弁作動方向に付勢する弾性力を付与する第2弾性力付与手段第2スプリングである。渦巻きスプリング9は、減速機構の中間ギヤ軸12および中間ギヤ15の円筒部の周囲を渦巻き状に取り囲むように巻装された渦巻き部を有している。渦巻きスプリング9の渦巻き方向の一端側バルブボディ側には、渦巻き部の第1端部最大外径部71が設けられている。また、渦巻きスプリング9の渦巻き方向の他端側中間ギヤ側には、渦巻き部の第2端部最小内径部72が設けられている。渦巻きスプリング9は、渦巻き部の第1端部71の端末部からその半径方向の外側に向けて突出する延びる第1フック部73、および渦巻き部の第2端部72の端末部からその半径方向の内側に向けて突出する延びる第2フック部74を有している。第1フック部73は、バルブボディ4のギヤケース17側に設けられるスプリング保持部75に埋設固定保持、係止されている。また、第2フック部74は、減速機構の中間ギヤ15の円筒部に設けられるスプリング保持部76に埋設固定保持、係止されている。なお、スプリング保持部75を、バルブボディ4の外壁面、つまりギヤケース17の底面に設けられた嵌合凹部に圧入嵌合固定される合成樹脂製のブロックハウジングに固定される固定部材としても良い。以上のように、本実施例のEGR制御弁においては、減速機構の中間ギヤ軸12および中間ギヤ15の周囲にリターン機構渦巻きスプリング9を構成しているので、中間ギヤ軸12以降にて、実施例1と同様な効果を得ることができる。[変形例]本実施例では、バルブボディ4のノズルホルダー22の内周にノズル5を嵌合保持し、更にノズル5内にEGRバルブ1を開閉自在に収容しているが、バルブボディ4の円筒部のバルブ収容部内に直接EGRバルブ1を開閉自在に収容しても良い。この場合には、ノズル5が不要となり、部品点数や組付工数を削減できる。本実施例では、出力軸13を中心に回転するEGRバルブ1等の移動体回転体をその回転方向の一方側正転方向、開弁作動方向または閉弁作動方向へ駆動する電動アクチュエータに適用しているが、軸線方向に往復移動する移動体をその移動方向の一方側へ駆動する電動アクチュエータに適用しても良い。移動体としては、ロータリバルブ、バタフライバルブ、シャッター状バルブ、ボールバルブ、ポペットバルブ等が考えられる。また、移動体としては、圧縮機、送風機、ポンプ、カム、ロータ、車輪等の回転移動体回転体や、ピストン、ロッド、シャフト等の直線移動体が考えられる。本実施例では、EGR制御弁に本発明を適用したが、EGRクーラの出口側に連通する低温排気ガス流路とEGRガスをEGRクーラより迂回させるバイパス流路高温排気ガス流路とを切り替える排気ガス流路切替弁、エンジンの排気管ターボチャージャのタービンハウジングに設置される排気ガス流量圧力制御弁に本発明を適用しても良い。また、吸気制御弁としては、タンブル制御弁、スワール制御弁、吸気流量制御弁、吸気圧力制御弁、流路切替弁、吸気絞り弁等が考えられる。また、排気制御弁としては、ウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁、排気絞り弁等が考えられる。本実施例では、バルブ等の移動体が所定の移動量分だけリフトまたは開弁しているときに、移動体を移動位置から初期位置に戻す方向に弾性力を付与する第1、第2弾性部材として、コイルスプリングや渦巻きスプリングを用いた例を説明したが、第1、第2弾性部材として、トーションバーや板バネを用いても良い。また、第1、第2弾性部材として、二重コイルスプリング、不等ピッチコイルスプリングを用いても良い。また、電動アクチュエータの直流モータMの回転に対し、反力となるトルクを発生する合成ゴム、合成樹脂やバネ部材を用いても良い。なお、第1弾性部材第1スプリングとして、EGRバルブ1を閉弁作動方向に付勢するリターンスプリングと、EGRバルブ1を開弁作動方向に付勢するオーバーターンスプリングと、リターンスプリングとオーバーターンスプリングとの結合部を逆U字状に折り曲げることで形成されるU字フック部とを備えたコイルスプリングを採用しても良い。