被搬送部品を被駆動手段に搭載して搬送する搬送装置であって、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された前記被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、前記被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、を有し、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする搬送装置。前記駆動手段は、前記ベルトの移動に対応して回転する従属側プーリを更に含み、前記搬送監視手段は、前記モータの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果又は前記駆動側プーリの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、請求項1に記載の搬送装置。前記搬送監視手段は、前記従属側プーリに作用する前記ベルトの張力を更に検出し、検出した前記張力を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、請求項2に記載の搬送装置。前記駆動手段は、前記駆動側プーリ、前記ベルト及び前記モータを防水又は防塵するために該駆動側プーリ等に対向する位置に配置されたシール側ベルト及びシール側プーリを更に含み、前記シール側ベルトは、前記被駆動手段の移動に対応して移動し、前記シール側プーリは、前記シール側ベルトの移動に対応して回転し、前記搬送監視手段は、前記モータの回転動作と前記シール側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の搬送装置。前記搬送監視手段は、前記被駆動手段の加速度を更に検出し、検出した前記加速度を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の搬送装置。前記駆動手段は、所定の位置に前記被駆動手段を移動し、前記搬送監視手段は、前記所定の位置に移動している前記被駆動手段の位置に関する情報を検出し、検出した前記位置に関する情報を更に用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の搬送装置。前記搬送監視手段は、次の区分i乃至vi、i前記ベルトのすべり又は切れ、ii前記回転駆動力を伝達するカップリングの破損、iii前記被駆動手段の干渉、iv前記被駆動手段の衝突、v前記被駆動手段を所定の方向に案内するガイドの破損、vi前記回転駆動力により回転する回転軸を回転可能に支持しているベアリングの破損、のいずれか一つの区分又は複数の区分に前記搬送状態を区分することを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の搬送装置。出力部及び/又は表示部を更に有し、前記搬送監視手段は、前記搬送状態を検出した結果を前記出力部に出力及び/又は前記表示部に表示することを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の搬送装置。被搬送部品の搬送状態を監視する搬送監視ステップと、前記被搬送部品を被駆動手段に搭載する被搬送部品搭載ステップと、前記被駆動手段をモータの回転駆動力により所定の方向に移動する被駆動手段移動ステップと、を有し、前記搬送監視ステップは、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出するトルク値検出ステップと、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出するトルク微分値算出ステップと、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を区分する搬送状態区分ステップと、を含む、ことを特徴とする搬送方法。前記被駆動手段移動ステップは、前記モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転する駆動側プーリ回転ステップと、回転している該駆動側プーリに掛け渡されているベルトを移動するベルト移動ステップと、該ベルトの移動に対応して従属側プーリを回転させる従属側プーリ回転ステップとを含み、前記搬送状態区分ステップは、前記モータの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果又は前記駆動側プーリの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を区分する、ことを特徴とする、請求項9に記載の搬送方法。前記搬送監視ステップは、前記従属側プーリに作用する前記ベルトの張力を検出するベルト張力検出ステップ、前記駆動側プーリ等を防水又は防塵するために該駆動側プーリ等に対向する位置に配置されたシール側プーリの回転動作を検出するシール側プーリ回転検出ステップ、前記被駆動手段の加速度を検出する加速度検出ステップ及び前記被駆動手段の位置に関する情報を検出する被駆動手段位置検出ステップのいずれか一つのステップ又は複数のステップを更に用いて前記搬送状態を区分する、ことを特徴とする、請求項9又は10に記載の搬送方法。基板処理のスループットを向上させるために、基板搬送時の異常を自動で検出することができる基板の搬送装置が求められている。また、基板搬送時の異常の対処時間を短縮するために、異常の検出と同時に、異常の原因不具合の箇所を自動で特定することができる搬送装置が求められている。ここで、異常の原因としては、モータの回転駆動力を伝達するカップリングやその回転軸を支持するベアリングの破損、ベルトの切れ又はすべり、搬送アーム被駆動手段の干渉及び衝突、搬送アームを所定の方向に案内するガイドの破損などがある。特許文献1に開示されている技術では、カップリング、ベアリング若しくはガイドの破損又は搬送アームの干渉などの異常を検出することができない場合があった。例えばカップリング等の不具合により摩擦力が増加した場合には、その不具合を検出することができない場合があった。また、モータの回転速度の変動及びトレイの位置から搬送時に異常が発生したか否かを検出することができた場合でも、その異常の原因までを特定することができないときがあった。本発明は、このような事情の下に為され、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、搬送時に発生した異常を検出することができる搬送装置及び搬送方法を提供することを課題とする。本発明の一の態様によれば、被搬送部品を被駆動手段に搭載して搬送する搬送装置であって、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された前記被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、前記被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、を有し、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする搬送装置が提供される。また、前記駆動手段は、前記ベルトの移動に対応して回転する従属側プーリを更に含み、前記搬送監視手段は、前記モータの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果又は前記駆動側プーリの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。更に、前記搬送監視手段は、前記従属側プーリに作用する前記ベルトの張力を更に検出し、検出した前記張力を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。本発明の他の態様によれば、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された前記被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、前記被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、を有し、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする搬送装置であって、前記駆動手段は、前記駆動側プーリ、前記ベルト及び前記モータを防水又は防塵するために該駆動側プーリ等に対向する位置に配置されたシール側ベルト及びシール側プーリを更に含み、前記シール側ベルトは、前記被駆動手段の移動に対応して移動し、前記シール側プーリは、前記シール側ベルトの移動に対応して回転し、前記搬送監視手段は、前記モータの回転動作と前記シール側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。また、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段の加速度を更に検出し、検出した前記加速度を更に用いて、前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。更に、前記駆動手段は、所定の位置に前記被駆動手段を移動し、前記搬送監視手段は、前記所定の位置に移動している前記被駆動手段の位置に関する情報を検出し、検出した前記位置に関する情報を更に用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする、搬送装置が提供される。本発明のその他の態様によれば、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、該駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、該ベルトに連結された前記被駆動手段を所定の方向に移動する駆動手段と、前記被駆動手段の搬送状態を監視する搬送監視手段と、を有し、前記搬送監視手段は、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出し、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出し、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を検出する、ことを特徴とする搬送装置であって、前記搬送監視手段は、次の区分i乃至vi、i前記ベルトのすべり又は切れ、ii前記回転駆動力を伝達するカップリングの破損、iii前記被駆動手段の干渉、iv前記被駆動手段の衝突、v前記被駆動手段を所定の方向に案内するガイドの破損、vi前記回転駆動力により回転する回転軸を回転可能に支持しているベアリングの破損、のいずれか一つの区分又は複数の区分に前記搬送状態を区分することを特徴とする、搬送装置が提供される。また、出力部及び/又は表示部を更に有し、前記搬送監視手段は、前記搬送状態を検出した結果を前記出力部に出力及び/又は前記表示部に表示することを特徴とする、搬送装置が提供される。また、本発明のその他の態様によれば、被搬送部品の搬送状態を監視する搬送監視ステップと、前記被搬送部品を被駆動手段に搭載する被搬送部品搭載ステップと、前記被駆動手段をモータの回転駆動力により所定の方向に移動する被駆動手段移動ステップと、を有し、前記搬送監視ステップは、前記被駆動手段を移動するのに必要な前記モータのトルク値を検出するトルク値検出ステップと、検出した前記トルク値に基づいて該トルク値の時間に対するトルク微分値を算出するトルク微分値算出ステップと、算出した前記トルク微分値を用いて前記搬送状態を区分する搬送状態区分ステップと、を含む、ことを特徴とする搬送方法が提供される。また、前記被駆動手段移動ステップは、前記モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転する駆動側プーリ回転ステップと、回転している該駆動側プーリに掛け渡されているベルトを移動するベルト移動ステップと、該ベルトの移動に対応して従属側プーリを回転させる従属側プーリ回転ステップとを含み、前記搬送状態区分ステップは、前記モータの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果又は前記駆動側プーリの回転動作と前記従属側プーリの回転動作とを比較した比較結果を更に用いて、前記搬送状態を区分する、ことを特徴とする、搬送方法が提供される。更に、前記搬送監視ステップは、前記従属側プーリに作用する前記ベルトの張力を検出するベルト張力検出ステップ、前記駆動側プーリ等を防水又は防塵するために該駆動側プーリ等に対向する位置に配置されたシール側プーリの回転動作を検出するシール側プーリ回転検出ステップ、前記被駆動手段の加速度を検出する加速度検出ステップ及び前記被駆動手段の位置に関する情報を検出する被駆動手段位置検出ステップのいずれか一つのステップ又は複数のステップを更に用いて前記搬送状態を区分する、ことを特徴とする、搬送方法が提供される。本発明によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、搬送時に発生した異常を検出することができる。添付の図面を参照しながら、本発明の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面の中の記載で、同一又は対応する部材又は部品には、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面は、部材もしくは部品間の相対比を示すことを目的とせず、したがって、具体的な寸法は、以下の限定的でない実施形態に照らし、当業者により決定することができる。本発明の実施形態に係る搬送装置100を用いて、本発明を説明する。なお、本発明は、本実施形態以外でも、被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することにより被搬送部品を搬送する場合に、その搬送状態が正常であるか及び/又は異常であるかを検出するものであれば、いずれのものにも用いることができる。搬送装置の構成本発明の実施形態に係る搬送装置100の構成を、図1及び図2を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る搬送装置100の概略構成図を示す。図2aは、搬送装置100の駆動手段30の要部の拡大図を示す。図2bは、駆動手段30のモータ31Mx等の概略構成図を示す。図1に示すように、本実施形態に係る搬送装置100は、被搬送部品を搭載した被駆動手段20を駆動手段30によって移動することにより、被搬送部品を所望の位置に搬送する装置である。また、搬送装置100は、搬送監視手段40により、被搬送部品を搬送しているときに、被駆動手段20の搬送の動作が正常であるか又は異常であるか以下、搬送状態というを検出する装置である。更に、搬送装置100は、I/F手段50により、搬送監視手段40が検出した搬送状態などを出力する装置である。搬送装置100は、本実施形態では、搬送装置100全体の各構成に動作を指示し、その動作を制御する制御手段10と、搬送される被搬送部品を搭載する被駆動手段20と、モータの回転駆動力により被駆動手段20を所定の方向に移動する駆動手段30と、モータのトルク値Tの時間に対する微分値以下、トルク微分値dTというを用いて搬送状態を監視する搬送監視手段40と、を有する。また、搬送装置100は、本実施形態では、制御手段10が制御するときに用いる搬送条件及び搬送監視手段40が搬送状態を監視するときに用いる監視条件などを搬送装置100外部から搬送装置100に入力し、搬送装置100外部に搬送監視手段40が検出した搬送状態などを出力するI/F手段インターフェース手段50を有する。ここで、被搬送部品とは、半導体ウエハ、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその他の基板を含む。制御手段10は、搬送装置100の各構成後述する搬送監視手段40などに動作を指示し、各構成の動作を制御する手段である。制御手段10は、本実施形態では、I/F手段50後述する入力部51により入力された搬送条件等に基づいて、駆動手段30後述を制御する。また、制御手段10は、I/F手段50により入力された監視条件等に基づいて、搬送監視手段40後述を制御する。更に、制御手段10は、監視結果などをI/F手段50後述する出力部52及び表示部53に出力する。被駆動手段20は、搬送される被搬送部品を搭載する手段である。また、被駆動手段20は、被搬送部品を搭載した状態で駆動手段30によって移動される手段である。駆動手段30は、モータの回転駆動力により駆動側プーリを回転することによって、回転している駆動側プーリに掛け渡されたベルトを移動し、移動しているベルトに連結された被駆動手段20を所定の方向に移動する手段である。駆動手段30は、本実施形態では、x軸方向、y軸方向、z軸方向及びθ方向回転方向に被駆動手段20を移動するx軸方向駆動部31x、y軸方向駆動部31y、z軸方向駆動部31z及びθ方向回転駆動部31θを備える。ここで、x軸方向とは、鉛直方向に対して垂直な平面内で、搬送装置100に対して離間する方向である例えば実施例1のx軸方向図4。y軸方向とは、鉛直方向に対して垂直な平面内で、x軸方向に対して垂直な方向である例えば実施例1のy軸方向図4。z軸方向とは、x軸方向及びy軸方向に対して垂直な方向である例えば実施例1のz軸方向図4。また、θ方向とは、x軸及びy軸を含む平面xy平面に垂直となる軸を回転軸に回転する方向である例えば実施例1のθ方向図4。図2を用いて、本実施形態に係る搬送装置100のx軸方向駆動部31xの構成を具体的に説明する。図2a及び図2bに示すように、x軸方向駆動部31xは、本実施形態では、駆動の動力源となるモータ31Mxと、モータ31Mxの回転駆動力を伝達するカップリング31Cxと、カップリング31Cxから伝達された回転駆動力により回転される駆動側プーリ31Qxと、駆動側プーリ31Qxに掛け渡されたベルト例えばタイミングベルト31Bxと、を有する。x軸方向駆動部31xは、モータ31Mxの回転駆動力により駆動側プーリ31Qxを回転することによって、駆動側プーリ31Qxに掛け渡されたベルト31Bxを移動旋回し、ベルト31Bxに連結された被駆動手段20図1を所定の方向x軸方向に移動することができる。このとき、x軸方向駆動部31x駆動手段30は、被駆動手段20に搭載した被搬送部品を所定の方向に搬送することができる。ここで、モータ31Mxとカップリング31Cxとは、モータ31Mxの回転軸31Mxs図2bとカップリング31Cxの回転軸31Cxsとを介して連結されている。また、駆動側プーリ31Qxとベルト31Bxとは、駆動側プーリ31Qxの外周部の歯型形状31Qxc図2aと無端状のベルト31Bxの内面部の歯型形状31Bxcとがかみ合う歯合することで、駆動側プーリ31Qxの回転に連動してベルト31Bxを移動旋回することができる。また、x軸方向駆動部31xは、被駆動手段20とベルト31Bxの一部とを連結するスライダ例えば図5bの31Sxと、スライダを所定の方向に案内するガイド例えば図5bの31Gxと、ベルト31Bxを掛け渡されてベルト31Bxの移動に対応して回転される従属側プーリ例えば図5bの31Pxと、駆動側プーリ31Qx及びベルト31Bx等を防水又は防塵するために駆動側プーリ31Qx等に対向する位置に配置されたシール側ベルト及びシール側プーリ例えば図5bの31BRx及び31Rxと、駆動側プーリの回転軸を回転可能に支持しているベアリング不図示と、を有する。ここで、シール側ベルトは、被駆動手段20の移動に対応して移動旋回する。また、シール側プーリは、シール側ベルトの移動に対応して回転する。y軸方向駆動部31y、z軸方向駆動部31z及びθ方向回転駆動部31θの構成は、x軸方向駆動部31xの構成と基本的に同様のため、説明を省略する。なお、以後の説明において、y軸方向駆動部31y、z軸方向駆動部31z及びθ方向回転駆動部31θの構成要素の記号には、x軸方向駆動部31xと同様に、添え字にy、z又はθを付記する。搬送監視手段40図1は、モータ31Mx等のトルク微分値dTを用いて、搬送状態を検出監視する手段である。搬送監視手段40は、モータ31Mx等のトルク値T等を検出する搬送状態検出部41と、検出したトルク値T等に基づいて搬送状態を解析する搬送状態解析部42と、を有する。搬送状態検出部41は、本実施形態では、被駆動手段20を移動するのに必要なモータ31Mx等のトルク値Tを検出し、検出したトルク値Tに基づいてトルク微分値dTを算出する。また、搬送状態検出部41は、モータ31Mx等、駆動側プーリ31Qx等、従属側プーリ31Px等及びシール側プーリ31Rx等の回転動作を検出する。具体的には、搬送状態検出部41は、モータ31Mx等に設置したトルク検出器不図示により、例えば搬送状態が正常の時に図3aのトルク値及び図3bのトルク微分値を検出することができる。また、搬送状態検出部41は、例えば搬送状態が異常の時に図3cのトルク値及び図3dのトルク微分値を検出することができる。ここで、搬送状態が異常の時には、搬送状態が正常の時と比較して、被駆動手段20を移動するのに必要なモータ31Mx等のトルク値Tのトルク微分値dTのピーク値dTp図3dの値が増加する。すなわち、搬送監視手段40は、後述する搬送状態解析部42により、トルク微分値dTのピーク値dTpの値を検出算出することで、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを解析することができる。また、搬送状態検出部41は、モータ31Mx等、駆動側プーリ31Qx等、従属側プーリ31Px等及び/又はシール側プーリ31Rx等に設置したエンコーダ不図示により、所定のサンプリング周期所定の時間毎のエンコーダ値Enエンコーダが取得する情報を検出する。また、搬送状態検出部41は、検出したエンコーダ値Enに基づいて、モータ31Mx等、駆動側プーリ31Qx等、従属側プーリ31Px等及び/又はシール側プーリ31Rx等の回転動作を検出することができる。搬送状態解析部42は、本実施形態では、搬送状態検出部41が算出したトルク微分値dTを用いて、搬送状態を検出する。また、搬送状態解析部42は、本実施形態では、搬送状態検出部41が検出したエンコーダ値Enに基づいてモータ31Mx等、駆動側プーリ31Qx等、従属側プーリ31Px等及び/又はシール側プーリ31Rx等の回転動作を比較し、比較した比較結果に基づいて搬送状態を検出する。更に、搬送状態解析部42は、本実施形態では、検出した搬送状態に基づいて、次の区分i乃至viのいずれか一つの区分又は複数の区分に搬送状態を区分することができる。ここで、本実施形態に係る区分は、iベルト31Bx等のすべり例えば歯飛び又は切れ、ii回転駆動力を伝達するカップリング31Cx等の破損、iii被駆動手段20の干渉、iv被駆動手段20の衝突、v被駆動手段20を所定の方向に案内するガイド31Gx等の破損、vi回転駆動力により回転する回転軸を回転可能に支持しているベアリングの破損、である。なお、本発明に係る区分は上記区分に限定されるものではない。搬送状態解析部42は、具体的には、算出したトルク微分値dT、検出したトルク値T、及び、モータ31Mx等と従属側プーリ31Px等との回転動作の比較結果を用いて、ベルト31Bx等のすべりを検出する例えば後述する実施例1の図10bのピーク値dTp及び図11bの異常波形Tnを検出する。また、搬送状態解析部42は、算出したトルク微分値dT、検出したトルク値T、及び、モータと従属側プーリとの回転動作の比較結果を用いて、被駆動手段20の干渉を検出する例えば図10bのピーク値dTp及び図11cの異常波形Tn。更に、搬送状態解析部42は、算出したトルク微分値dT、検出したトルク値T、及び、モータと従属側プーリとの回転動作の比較結果を用いて、ベルト31Bx等の切れ及びカップリング31Cx等の破損を検出する例えば図10bのピーク値dTp及び図11dの異常波形Tn。また、搬送状態解析部42は、算出したトルク微分値dT、検出したトルク値T、及び、モータと従属側プーリとの回転動作の比較結果を用いて、被駆動手段20の衝突を検出する例えば図10bのピーク値dTp及び図11eのピーク値Tp。また、搬送状態解析部42は、算出したトルク微分値dT、検出したトルク値T、及び、モータと従属側プーリとの回転動作の比較結果を用いて、ガイド31GBx等の破損及びベアリングの破損を検出する例えば図10a及び図11fのピーク値Tp。なお、搬送状態解析部42は、搬送状態検出部41が算出したトルク微分値dTのピーク値dTp、トルク値Tのピーク値Tp又は異常波形Tnを用いて、ピーク値dTp等と所定の閾値を比較することにより、搬送状態を検出してもよい。また、搬送状態解析部42は、駆動側プーリ31Qx等と従属側プーリ31Px等との回転動作の比較結果を用いて、搬送状態を検出してもよい。あるいは、搬送状態解析部42は、モータ31Mx等とシール側プーリ31Rx等との回転動作の比較結果を用いて、搬送状態を検出してもよい。ここで、所定の閾値とは、被搬送部品の重量及び搬送条件並びに搬送装置の仕様に対応する値とすることができる。また、所定の閾値を、実験及び数値計算等により予め定められる値とすることができる。更に、搬送状態解析部42は、監視結果として、検出した搬送状態に対応する区分の情報を後述するI/F手段50に出力することができる。I/F手段50は、搬送装置100外部と情報の入出力を行なう情報伝達手段又は情報通信手段である。I/F手段50は、本実施形態では、検出条件、搬送条件及び監視条件などを外部から搬送装置100に入力する入力部51と、検出結果、算出結果及び監視結果などを搬送装置100外部に出力する出力部52と、検出結果、算出結果及び監視結果などを表示する表示部53と、を有する。なお、I/F手段50は、公知の技術を用いることができる。実施例に係る搬送装置を用いて、本発明を説明する。実施例1搬送装置の構成本発明の実施例1に係る搬送装置110の構成を、図1及び図4~図8を用いて説明する。図4は、本実施例に係る搬送装置110の斜視図である。図5a及び図5bは、搬送装置110のx軸方向駆動部31x駆動手段30及び搬送アーム部21被駆動手段20の斜視図及び平面図である。図6a及び図6bは、搬送装置110のy軸方向駆動部31yの斜視図及び平面図である。図7a及び図7bは、搬送装置110のz軸方向駆動部31zを含む搬送装置110の斜視図及び平面図である。図8は、搬送装置110のθ方向回転駆動部31θの平面図である。なお、以後の説明において、本実施例に係る搬送装置110の構成は、前述の実施形態の搬送装置100の構成と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。図4に示すように、本実施例に係る搬送装置110は、被搬送部品を搭載した被駆動手段20を駆動手段30によって移動することにより、被搬送部品を所望の位置に搬送する装置である。搬送装置110は、本実施例では、駆動手段30により、被駆動手段20をx軸方向、y軸方向、z軸方向及びθ方向に移動することができる。これにより、搬送装置110は、被駆動手段20に搭載した被搬送部品をx軸方向、y軸方向、z軸方向及びθ方向図中のMx、My、Mz及びMθ方向に搬送することができる。被駆動手段20は、本実施例では、2枚の基板を搭載することができるピック部を備える搬送アーム部21を有する。なお、本発明の被駆動手段20は、本実施例の搬送アーム部21に限定されるものではない。図5a及び図5bに示すように、x軸方向駆動部31xは、本実施例では、駆動の動力源となるモータ31Mxと、モータ31Mxの回転駆動力を伝達するカップリング31Cxと、カップリング31Cxから伝達された回転駆動力により回転される駆動側プーリ31Qxと、駆動側プーリ31Qxに掛け渡されたベルト31Bxと、を有する。また、x軸方向駆動部31xは、被駆動手段20とベルト31Bxの一部とを連結するスライダ31Sxと、スライダ31Sxを所定の方向x軸方向駆動部31xの場合はx方向に案内するガイド31Gxと、ベルト31Bxを掛け渡されてベルト31Bxの移動に対応して回転される従属側プーリ31Pxと、被駆動手段20の移動に対応して移動旋回するシール側ベルト31BRxと、シール側ベルト31BRxの移動に対応して回転するシール側プーリ31Rxと、を含む。図6、図7及び図8のy軸方向駆動部31y、z軸方向駆動部31z及びθ方向回転駆動部31θの構成は、x軸方向駆動部31xと基本的に同様のため、説明を省略する。搬送する動作図5~図8を用いて、本実施例に係る搬送装置110の搬送方法被駆動手段移動ステップを具体的に説明する。先ず、図5a及び図5bに示すように、搬送装置110は、被搬送部品をx軸方向図中のMx方向に搬送するため、x軸方向駆動部31xのモータ31Mxの回転駆動力により駆動側プーリ31Qxを回転し駆動側プーリ回転ステップ、駆動側プーリ31Qxに掛け渡されたベルト31Bxを移動するベルト移動ステップ。このとき、x軸方向駆動部31xは、ベルト31Bxに連結された被駆動手段20図5aをx軸方向に移動する。また、x軸方向駆動部31xは、ベルト31Bxの移動に対応して従属側プーリ31Pxを回転する従属側プーリ回転ステップ。これにより、搬送装置110は、被駆動手段20に搭載した被搬送部品をx軸方向に搬送することができる。次に、図6a及び図6bに示すように、搬送装置110は、被搬送部品をy軸方向図中のMy方向に搬送するため、y軸方向駆動部31yのモータ31Myにより、x軸方向の搬送と同様の動作で、被駆動手段20図5aをy軸方向に移動する。これにより、搬送装置110は、被駆動手段20に搭載された被搬送部品をy軸方向に搬送することができる。また、図7a及び図7bに示すように、搬送装置110は、被搬送部品をz軸方向図中のMz方向に搬送するため、z軸方向駆動部31zのモータ31Mzにより、x軸方向の搬送と同様の動作で、被駆動手段20図5aをz軸方向に移動する。これにより、搬送装置110は、被駆動手段20に搭載された被搬送部品をz軸方向に搬送することができる。更に、図8に示すように、搬送装置110は、被搬送部品をθ方向図中のMθ方向に搬送回転するため、θ方向回転駆動部31θのモータ31Mθの回転駆動力により駆動側プーリ31Qθ不図示を回転し駆動側プーリ回転ステップ、駆動側プーリ31Qθに掛け渡されたベルト31Bθを移動するベルト移動ステップ。このとき、θ方向回転駆動部31θは、ベルト31Bθに連結された従属側プーリ31Pθ及び従属側プーリ31Pθに連結された被駆動手段20図5aをθ方向に回転することができる従属側プーリ回転ステップ。これにより、搬送装置110は、被駆動手段20に搭載した被搬送部品をθ方向に搬送することができる。なお、x軸方向、y軸方向、z軸方向及びθ方向の搬送の順番は上記に限定されるものではない。すなわち、搬送装置110は、x軸方向駆動部31x、y軸方向駆動部31y、z軸方向駆動部31z及びθ方向回転駆動部31θにより、任意のタイミングで任意の搬送方向に被搬送部品を搬送することができる。搬送状態を監視する動作本発明の実施例1に係る搬送装置110が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する搬送方法搬送監視ステップを、図9~図11を用いて説明する。図9は、本実施例に係る搬送装置110の搬送状態を監視する搬送方法のフローチャート図を示す。図10a及び図10bは、搬送装置110のトルク微分値の正常時の検出結果及び異常時の検出結果の例を示す。図11aは、搬送装置110の正常時のトルク値の検出結果の例を示す。図11b~fは、搬送装置110の異常時のトルク値の検出結果の例を示す。図9に示すように、ステップS901において、本実施例に係る搬送装置110は、先ず、入力部51インターフェース手段50によって入力される情報等に基づいて、制御手段10の制御により搬送状態の監視を開始する。また、搬送装置110は、被搬送部品を被駆動手段20に搭載する被搬送部品搭載ステップ。その後、ステップS902に進む。次に、ステップS902において、搬送装置110は、モータ31Mx等の回転駆動力により、被駆動手段20を所定の方向x軸方向、y軸方向、z軸方向及びθ方向に移動する被駆動手段移動ステップ。このとき、搬送装置110は、搬送状態検出部41搬送監視手段40により、被駆動手段20を移動するのに必要なモータ31Mx等のトルク値Tを検出するトルク値検出ステップ。検出後、ステップS903に進む。ステップS903において、搬送装置110は、搬送状態検出部41により、検出したトルク値Tに基づいて、トルク微分値dTを算出検出するトルク微分値検出ステップ。算出後、ステップS904に進む。ステップS904において、搬送装置110は、搬送状態検出部41により、モータ31Mx等若しくは駆動側プーリ31Qx等及び従属側プーリ31Px等の回転動作を検出する。また、搬送装置110は、搬送状態検出部41により、シール側プーリ31Rx等の回転動作を検出してもよいシール側プーリ回転検出ステップ。検出後、ステップS905に進む。ステップS905において、搬送装置110は、搬送状態解析部42搬送監視手段40により、搬送状態を解析し、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。具体的には、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、搬送状態検出部41が算出したトルク微分値dT及び検出したトルク値Tに基づいて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。ここで、正常のときのトルク微分値dT及びトルク値Tは図10a及び図11aとなる。搬送状態解析部42は、搬送状態検出部41が検出したトルク微分値dT及びトルク値Tと予め記憶しておいた正常時のトルク微分値dT及びトルク値Tとを比較することにより、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。なお、搬送状態解析部42は、搬送状態検出部41が算出したトルク微分値dTのピーク値dTp例えば図10b又はトルク値Tのピーク値Tp例えば図11f若しくは異常波形Tn例えば図11bを用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断してもよい。また、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、モータ31Mx等若しくは駆動側プーリ31Qx等と従属側プーリ31Px等との回転動作を比較し、比較した比較結果を更に用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。ここで、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、モータ31Mx等若しくは駆動側プーリ31Qx等とシール側プーリ31Rx等との回転動作を比較してもよい。このとき、搬送状態解析部42は、モータ31Mx等等と従属側プーリ31Px等等との回転動作の差分が所定の差分以上になったときに、搬送状態が異常であると判断することができる。なお、所定の差分とは、被搬送部品の重量及び搬送条件並びに搬送装置の仕様に対応する値とすることができる。また、所定の差分を、実験及び数値計算等により予め定められる値とすることができる。その後、搬送装置110は、搬送状態が正常であると判断したときは、ステップS908に進む。搬送状態が異常であると判断したときは、ステップS906に進む。次に、ステップS906において、搬送装置110は、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分する搬送状態区分ステップ。具体的には、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、搬送状態検出部41が算出したトルク微分値dT図10b及び検出したトルク値T図11b~fに基づいて、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分することができる。また、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、モータ31Mx等の回転動作と従属側プーリ31Px等の回転動作とを比較した比較結果を用いて、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分することができる。搬送装置110が搬送状態を区分した結果監視結果の一例を表1に示す。表1に示すように、搬送状態解析部42は、上記のトルク微分値dT、トルク値T及び回転動作の比較結果を用いて、ベルト31Bx等のすべり及び切れ、カップリング31Cx等の破損、被駆動手段20の干渉及び衝突、並びに、ガイド31Gx等の破損及びベアリング31BRx等の破損のいずれかに対応する区分に搬送状態を区分することができる。具体的には、搬送装置110は、本実施例では、搬送状態解析部42により、トルク微分値dTのピーク値dTp及びトルク値Tの異常波形Tnが図10b及び図11bとなる場合で、モータ31Mx等と従属側プーリ31Px等との回転動作の差分が所定の差分以上になったときに、搬送状態の異常の原因をベルト31Bx等のすべり又は歯飛びと特定することができる。このとき、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、搬送状態をベルトのすべり又は歯飛びで異常と区分することができる。同様に、搬送装置110は、トルク微分値dTのピーク値dTp及びトルク値Tの異常波形Tnが図10b及び図11cとなる場合で、モータと従属側プーリとの回転動作の差分が所定の差分未満になったときに、搬送状態の異常の原因を被駆動手段20の干渉と特定することができる。このとき、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、搬送状態を被駆動手段の干渉で異常と区分することができる。また、搬送装置110は、トルク微分値dTのピーク値dTp及びトルク値Tの異常波形Tnが図10b及び図11dとなる場合で、モータと従属側プーリとの回転動作の差分が所定の差分以上になったときに、搬送状態の異常の原因をベルト31Bx等の切れ及びカップリング31Cx等の破損と特定することができる。このとき、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、搬送状態をベルトの切れ及びカップリングの破損で異常と区分することができる。また、搬送装置110は、トルク微分値dTのピーク値dTp及びトルク値Tのピーク値Tpが図10b及び図11eとなる場合で、モータと従属側プーリとの回転動作の差分が所定の差分未満になったときに、搬送状態の異常の原因を被駆動手段20の衝突と特定することができる。このとき、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、搬送状態を被駆動手段の衝突で異常と区分することができる。また、搬送装置110は、トルク微分値dT及びトルク値Tのピーク値Tpが図10a及び図11fとなる場合で、モータと従属側プーリとの回転動作の差分が所定の差分未満になったときに、搬送状態の異常の原因をガイド31Gx等の破損及びベアリングの破損と特定することができる。このとき、搬送装置110は、搬送状態解析部42により、搬送状態をガイドの破損及びベアリングの破損で異常と区分することができる。搬送装置110は、区分の動作を終了した後、ステップS907に進む。次に、ステップS907において、搬送装置110は、出力部52及び/又は表示部53I/F手段50に搬送監視手段40が搬送状態を検出した結果搬送状態解析部42が区分した結果などを出力する。出力を完了すると、ステップS908に進む。なお、搬送装置110は、搬送状態が異常となるのを未然に防止するため、ステップS902~S904の検出結果に基づいて、搬送状態に関する情報を警告のため出力部52及び/又は表示部53に出力してもよい。ステップS908において、搬送装置110は、制御手段10により、搬送状態を監視する動作を終了するか否かを判断する。すなわち、制御手段10は、入力部51インターフェース手段50により入力された監視条件などに基づいて、搬送状態の監視を終了するか否かを判断する。監視を終了するときは、図中のENDに進む。監視を継続するときは、ステップS902に戻る。以上より、本発明の実施例1に係る搬送装置110によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、被駆動手段を移動するのに必要なモータのトルク値の微分値を検出することができるので、検出したトルク微分値を用いて搬送時に発生した異常を検出することができる。また、本実施例に係る搬送装置110によれば、モータ等の回転動作と従属側プーリ等の回転動作とを比較した比較結果を更に用いることができるので、搬送時に発生した異常を検出することができる。更に、本実施例に係る搬送装置110によれば、iベルトのすべり又は切れ、ii回転駆動力を伝達するカップリングの破損、iii被駆動手段の干渉、iv被駆動手段の衝突、v被駆動手段を所定の方向に案内するガイドの破損、vi回転駆動力により回転する回転軸を回転可能に支持しているベアリングの破損、のいずれか一つの区分又は複数の区分に搬送状態を区分することができる。実施例2搬送装置の構成本発明の実施例2に係る搬送装置200の構成を、図12及び図13を用いて説明する。図12は、本発明の実施例2に係る搬送装置200の概略構成図を示す。図13aは、搬送状態が正常時の歪検出部31xe等の例を示す。図13bは、搬送状態が異常時の歪検出部31xe等の例を示す。なお、以後の説明において、本実施例に係る搬送装置200の構成は実施例1の搬送装置110の構成と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。図12に示すように、本実施例に係る搬送装置200の駆動手段30は、x軸方向駆動部31x、y軸方向駆動部31y、z軸方向駆動部31z及びθ方向回転駆動部31θに歪検出部31xe、31ye、31ze及び31θeを更に含む。ここで、歪検出部31xe、31ye、31ze及び31θeとは、ベルト31Bx、31By、31Bz及び31Bθの張力により従属側プーリ31Px、31Py、31Pz及び31Pθに発生する歪を検出するものである。図13を用いて、歪検出部31xe等を具体的に説明する。図13に示すように、歪検出部31xe等は、従属側プーリ31Px等の支持部材又は回転軸などに配置することができる。歪検出部31xe等は、ベルト31Bx等の張力により従属側プーリ31Px等に発生する歪を検出する。すなわち、搬送装置200は、歪検出部31xe等による歪の変化量を検出することにより、ベルト31Bx等の張力の増加及び減少を検出することができる。これにより、搬送装置200は、ベルト31Bx等の張力の増加又は減少に基づいて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。搬送状態を監視する動作本発明の実施例2に係る搬送装置200が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する搬送方法搬送監視ステップを、図9を用いて説明する。なお、本実施例に係る搬送装置200の動作は、実施例1の搬送装置110の動作と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。図9に示すように、本実施例に係る搬送装置200は、実施例1の搬送装置110の動作と同様に、ステップS901乃至ステップS904を実行する。また、搬送装置200は、ステップS904の後に、歪検出部31xe等により従属側プーリ31Px等に発生する歪を検出するベルト張力検出ステップ。搬送装置200は、その後、ステップS905に進む。ステップS905において、搬送装置200は、搬送状態解析部42搬送監視手段40により、搬送状態を解析し、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。搬送装置200が搬送状態を判断する動作は、実施例1と同様のため、説明を省略する。次に、ステップS906において、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分する搬送状態区分ステップ。ここで、搬送装置200は、本実施例では、歪検出部31xe等が検出した歪の変化量を更に用いて、ベルト31Bx等の張力の増加及び減少を解析することができる。これにより、搬送状態解析部42は、ベルト31Bx等の張力の変化量増減量を更に用いて、異常の原因のベルトの切れとカップリングの破損とを区別することができる。また、搬送状態解析部42は、同様に、ガイドの破損とベアリングの破損とを区別することができる。搬送装置200が搬送状態を解析した監視結果の例を表2及び表3に示す。表2に示すように、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、トルク微分値dTのピーク値dTp及びトルク値Tの異常波形Tnが図10b及び図11dとなる場合で、モータ31Mx等と従属側プーリ31Px等との回転動作の差分が所定の差分以上になったとき、かつ、歪検出部31xe等が検出した歪の変化量が所定の値以上のときに、搬送状態の異常の原因をベルトの切れと特定することができる。このとき、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、搬送状態をベルトの切れで異常と区分することができる。ここで、所定の値とは、被搬送部品の重量及び搬送条件並びに搬送装置の仕様に対応する値とすることができる。また、所定の値を、実験及び数値計算等により予め定められる値とすることができる。なお、所定の値は、以後の説明でも、上記と同様に定めることができる。また、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、トルク微分値dTのピーク値dTp及びトルク値Tの異常波形Tnが図10b及び図11dとなる場合で、モータ31Mx等と従属側プーリ31Px等との回転動作の差分が所定の差分以上になったとき、かつ、歪の変化量が所定の値未満のときに、搬送状態の異常の原因をカップリングの破損と特定することができる。このとき、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、搬送状態をカップリングの破損で異常と区分することができる。次に、表3に示すように、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、トルク微分値dT及びトルク値Tのピーク値Tpが図10a及び図11fとなる場合で、モータ31Mx等と従属側プーリ31Px等との回転動作の差分が所定の差分未満になったとき、かつ、歪検出部31xe等が検出した歪の変化量が所定の値以上のときに、搬送状態の異常の原因をガイドの破損と特定することができる。このとき、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、搬送状態をガイドの破損で異常と区分することができる。また、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、トルク微分値dT及びトルク値Tが図10a及び図11fとなる場合で、モータ31Mx等と従属側プーリ31Px等との回転動作の差分が所定の差分未満になったとき、かつ、歪検出部歪31xe等が検出した歪の変化量が所定の値未満のときに、搬送状態の異常の原因をベアリングの破損と特定することができる。このとき、搬送装置200は、搬送状態解析部42により、搬送状態をベアリングの破損で異常と区分することができる。その後の搬送装置200の動作は、実施例1の搬送装置110の動作と同様のため、説明を省略する。以上より、搬送装置200が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する動作を終了する。以上により、本発明の実施例2に係る搬送装置200によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、被駆動手段を移動するのに必要なモータのトルク値の微分値を検出することができるので、検出したトルク微分値を用いて搬送時に発生した異常を検出することができる。また、本実施例に係る搬送装置200によれば、モータ等の回転動作と従属側プーリ等の回転動作とを比較した比較結果を更に用いることができるので、搬送時に発生した異常を検出することができる。更に、本実施例に係る搬送装置200によれば、従属側プーリに作用するベルトの張力の変化量を検出することができるので、検出した変化量を更に用いて異常の原因のベルトの切れとカップリングの破損とを区分することができる。また、本実施例に係る搬送装置200によれば、検出した変化量を更に用いてガイドの破損とベアリングの破損とを区分することができる。実施例3搬送装置の構成本発明の実施例3に係る搬送装置300の構成を、図14及び図15を用いて説明する。図14は、本実施例に係る搬送装置300の概略構成図を示す。また、図15aは、本実施例に係る搬送装置300の加速度検出部22aが配置された被駆動手段20の斜視図を示す。図15bは、加速度検出部22aの加速度センサの例を示す。なお、以後の説明において、本実施例に係る搬送装置300の構成は、実施例1の搬送装置110の構成と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。図14に示すように、本実施例に係る搬送装置300は、被駆動手段20の加速度を検出する加速度検出部22aを更に含む。図15に示すように、加速度検出部22aは、本実施例では、搬送アーム部21被駆動手段20に配置され、搬送アーム部21の加速度を検出することができる。すなわち、本実施例に係る搬送装置300は、加速度検出部22aが検出した加速度を更に用いて、被駆動手段20の搬送状態を検出することができる。また、搬送装置300は、検出した加速度を更に用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。なお、搬送装置300は、速度検出部不図示を用いて、被駆動手段20の速度又はその速度から算出した加速度に基づいて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断してもよい。搬送状態を監視する動作本発明の実施例3に係る搬送装置300が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する搬送方法搬送監視ステップを、図9及び図16を用いて説明する。図16aは、搬送状態が正常時の加速度の検出結果の例を示す。図16bは、搬送状態が異常時の加速度の検出結果の例を示す。なお、本実施例に係る搬送装置300の動作は、実施例1の搬送装置110の動作と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。図9に示すように、本実施例に係る搬送装置300は、実施例1の搬送装置110の動作と同様に、ステップS901乃至ステップS904を実行する。また、搬送装置300は、ステップS904の後に、被駆動手段20の加速度検出部22aにより、被駆動手段20の加速度を更に検出する加速度検出ステップ。具体的には、搬送装置300は、図16aに示すように、正常時の搬送状態の加速度を検出することができる。また、搬送装置300は、図16bに示すように、異常時の搬送状態の加速度を検出することができる。搬送装置300は、その後、ステップS905に進む。ステップS905において、搬送装置300は、搬送状態解析部42搬送監視手段40により、搬送状態を解析し、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。搬送装置300が搬送状態を判断する動作は、実施例1と同様のため、説明を省略する。なお、搬送状態解析部42は、加速度検出部22aが検出した加速度のピーク値Ap図16aを用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断してもよい。次に、ステップS906において、搬送装置300は、搬送状態解析部42により、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分する搬送状態区分ステップ。ここで、搬送装置300は、本実施例では、加速度検出部22aが検出した加速度を更に用いて、搬送状態を解析することができる。これにより、搬送状態解析部42は、異常の原因を被駆動手段の干渉と特定することができる。搬送装置300が搬送状態を解析した監視結果の例を表4に示す。表4に示すように、搬送装置300は、搬送状態解析部42により、トルク微分値dTのピーク値dTp及びトルク値Tの異常波形Tnが図10b及び図11cとなる場合で、モータ31Mx等と従属側プーリ31Px等との回転動作の差分が所定の差分未満になったとき、かつ、加速度検出部22aが検出した加速度のピーク値Apが所定の値未満のときに、搬送状態の異常の原因を被駆動手段の干渉と特定することができる。このとき、搬送装置300は、搬送状態解析部42により、搬送状態を被駆動手段の干渉で異常と区分することができる。その後の搬送装置300の動作は、実施例1の搬送装置110の動作と同様のため、説明を省略する。以上より、本発明の実施例3に係る搬送装置300によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、被駆動手段を移動するのに必要なモータのトルク値の微分値を検出することができるので、検出したトルク微分値を用いて搬送時に発生した異常を検出することができる。また、本実施例に係る搬送装置300によれば、モータ等の回転動作と従属側プーリ等の回転動作とを比較した比較結果を更に用いることができるので、搬送時に発生した異常を検出することができる。更に、本実施例に係る搬送装置300によれば、被駆動手段20の加速度を検出することができるので、異常の原因を被駆動手段の干渉と区分特定することができる。実施例4搬送装置の構成本発明の実施例4に係る搬送装置400の構成を、図17及び図18を用いて説明する。図17は、本実施例に係る搬送装置400の概略構成図を示す。また、図18は、位置検出部31xp等が配置された搬送装置400の斜視図を示す。なお、以後の説明において、本実施例に係る搬送装置400の構成は、実施例1の搬送装置110の構成と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。図17に示すように、本実施例に係る搬送装置400は、駆動手段30のx軸方向駆動部31x、y軸方向駆動部31y、z軸方向駆動部31z及びθ方向回転駆動部31θに配置された位置検出部31xp、31yp、31zp及び31θp並びに31hpを更に含む。ここで、位置検出部31xp等とは、被駆動手段20を検出するものである。図18を用いて、位置検出部31xp等の配置を説明する。図18に示すように、搬送装置400の駆動手段30は、x軸方向駆動部31x、y軸方向駆動部31y及びz軸方向駆動部31zに、位置検出部31xp、31yp及び31zpを配置している。また、搬送装置400は、被駆動手段20の待機位置イニシャルポジション、ホームポジションに位置検出部31hpを配置している。なお、θ方向回転駆動部31θに配置する位置検出部31θpの図示は、位置検出部31xp等と同様のため、省略する。搬送装置300は、位置検出部31xp等が被駆動手段20を夫々検出できるか否かに基づいて、被駆動手段20の位置を特定することができる。すなわち、搬送装置300は、位置検出部31xp等の検出結果により、被駆動手段20の位置に関する情報を検出することができる。これにより、搬送装置400は、検出した被駆動手段20の位置に関する情報を更に用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断することができる。搬送状態を監視する動作本発明の実施例4に係る搬送装置400が被搬送部品を搬送するときの搬送状態を監視する搬送方法搬送監視ステップを、図9を用いて説明する。なお、本実施例に係る搬送装置400の動作は、実施例1の搬送装置110の動作と基本的に同様のため、異なる部分のみ説明する。図9に示すように、本実施例に係る搬送装置400は、実施例1の搬送装置110の動作と同様に、ステップS901乃至ステップS904を実行する。また、搬送装置400は、位置検出部31xp等により、被駆動手段20の位置に関する情報を更に検出する被駆動手段位置検出ステップ。搬送装置400は、その後、ステップS905に進む。ステップS905において、搬送装置400は、搬送状態解析部42搬送監視手段40により、搬送状態を解析し、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断する。搬送装置400が搬送状態を判断する動作は、実施例1と同様のため、説明を省略する。なお、搬送状態解析部42は、位置検出部31xp等が検出した検出結果を用いて、搬送状態が正常であるか又は異常であるかを判断してもよい。次に、ステップS906において、搬送装置400は、搬送状態解析部42により、搬送状態の異常の原因を特定し、搬送状態を区分する。ここで、搬送装置400は、本実施例では、位置検出部31xp等が検出した被駆動手段20の位置に関する情報を更に用いて、搬送状態を解析することができる。すなわち、搬送装置400は、位置検出部31xp等により、被駆動手段20が所定の位置に位置するか否かを検出することができる。例えば表1の被駆動手段イニシャライズ動作において、被駆動手段20を待機位置に移動することができない場合には、搬送装置400は、異常の原因をベルト切れ及びカップリングの破損と区分特定することができる。その後の搬送装置400の動作は、実施例1の搬送装置110の動作と同様のため、説明を省略する。以上より、本発明の実施例4に係る搬送装置400によれば、モータの回転駆動力により被搬送部品を搭載した被駆動手段を移動することによって被搬送部品を搬送する場合に、被駆動手段を移動するのに必要なモータのトルク値の微分値を検出することができるので、検出したトルク微分値を用いて搬送時に発生した異常を検出することができる。また、本実施例に係る搬送装置400によれば、モータ等の回転動作と従属側プーリ等の回転動作とを比較した比較結果を更に用いることができるので、搬送時に発生した異常を検出することができる。更に、本実施例に係る搬送装置400によれば、被駆動手段20の位置を検出することができるので、検出した被駆動手段20の位置に基づいて搬送時に発生した異常を検出することができる。以上により、実施形態及び実施例を参照しながら本発明を説明したが、本発明はこれらに限定されることなく、添付の特許請求の範囲に照らし、種々に変形又は変更することが可能である。