"aアルカリ可溶性熱可塑性重合体:20~90質量、b分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する付加重合性モノマー:5~75質量、c光重合開始剤:0.01~30質量、及びd下記一般式[I]R1-O-A1-On1-H[I]{式中、R1は、炭素数が1~8である一価の有機基であり、A1は、アルキレン基であり、n1は、1以上60以下の整数であり、-A1-O-の繰り返し構造は、同一であるか、又は異なっていてもよく、そして-A1-O-の繰り返し構造が異なる場合には、ランダム又はブロックでよい。}で表される化合物:0.01~30質量を含む感光性樹脂組成物。前記b分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する付加重合性モノマーは、以下の一般式[II]:{式中、R2及びR3は、各々独立にH又はCH3であり、A2は、-CHCH3CH2-、-CH2CHCH3-及び/又は-CH2CH2-であり、n2及びn3は、各々独立に1以上の整数であり、n2n3は、2~60の整数であり、そして-A2-O-の繰り返し構造は、ランダム又はブロックでよい。}で表されるビスフェノールA系メタアクリレート化合物である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。前記aアルカリ可溶性熱可塑性重合体は、少なくともスチレン及びエチレン性二重結合を有する単量体を成分として含む、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。支持体及び請求項1~3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物から成る層を含む感光性樹脂積層体。請求項4に記載の感光性樹脂積層体を用いてレジストパターンを形成する工程を含む、レジストパターンの形成方法。請求項4に記載の感光性樹脂積層体を用いて回路形成用基板上にレジストパターンを形成する工程を含む、プリント配線板の製造方法。本発明が解決しようとする課題は、エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として未露光部の現像液分散性が特に優れ、さらに現像液と剥離液の発泡を抑制することができる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂積層体、該感光性樹脂積層体を用いて基板上にレジストパターンを形成するレジストパターンの製造方法、並びに該感光性樹脂積層体を用いた導体パターン、プリント配線板等の製造方法を提供することである。上記課題は、本発明の以下の構成によって解決することができる。すなわち、本発明は以下の通りである:[1]aアルカリ可溶性熱可塑性重合体:20~90質量、b分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する付加重合性モノマー:5~75質量、c光重合開始剤:0.01~30質量、及びd下記一般式[I]R1-O-A1-On1-H[I]{式中、R1は、炭素数が1~8である一価の有機基であり、A1は、アルキレン基であり、n1は、1以上60以下の整数であり、-A1-O-の繰り返し構造は、同一であるか、又は異なっていてもよく、そして-A1-O-の繰り返し構造が異なる場合には、ランダム又はブロックでよい。}で表される化合物:0.01~30質量を含む感光性樹脂組成物。[2]前記b分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する付加重合性モノマーは、以下の一般式[II]:{式中、R2及びR3は、各々独立にH又はCH3であり、A2は、-CHCH3CH2-、-CH2CHCH3-及び/又は-CH2CH2-であり、n2及びn3は、各々独立に1以上の整数であり、n2n3は、2~60の整数であり、そして-A2-O-の繰り返し構造は、ランダム又はブロックでよい。}で表されるビスフェノールA系メタアクリレート化合物である、[1]に記載の感光性樹脂組成物。[3]前記aアルカリ可溶性熱可塑性重合体は、少なくともスチレン及びエチレン性二重結合を有する単量体を成分として含む、[1]又は[2]に記載の感光性樹脂組成物。[4]支持体及び[1]~[3]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物から成る層を含む感光性樹脂積層体。[5][4]に記載の感光性樹脂積層体を用いてレジストパターンを形成する工程を含む、レジストパターンの形成方法。[6][4]に記載の感光性樹脂積層体を用いて回路形成用基板上にレジストパターンを形成する工程を含む、プリント配線板の製造方法。本発明によれば、未露光部の現像液分散性が優れ、現像液に感光性樹脂組成物を溶解させた場合の発泡を抑制でき、さらに剥離工程においても剥離液の発泡を抑制できる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂積層体、該感光性樹脂積層体を用いたレジストパターンの形成方法を提供できる。また、該感光性樹脂積層体を用いて、プリント配線板等の基板を製造することが可能になる。以下、本発明について具体的に説明する。<感光性樹脂組成物>本発明に係る感光性樹脂組成物は、aアルカリ可溶性熱可塑性重合体:20~90質量、b分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する付加重合性モノマー以下、単純に付加重合性モノマーともいう。:5~75質量、c光重合開始剤:0.01~30質量を必須成分として含み、さらにd下記一般式[I]R1-O-A1-On1-H[I]{式中、R1は、炭素数が1~8である一価の有機基であり、A1は、アルキレン基であり、n1は、1以上60以下の整数であり、-A1-O-の繰り返し構造は、同一であるか、又は異なっていてもよく、そして-A1-O-の繰り返し構造が異なる場合には、ランダム又はブロックでよい。}から成る化合物:0.01~30質量を含むことを特徴とする。aアルカリ可溶性熱可塑性重合体aアルカリ可溶性熱可塑性重合体は、α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体を重合成分としており、アルカリ可溶性熱可塑性重合体の酸当量が100~600、かつ、重量平均分子量が5,000~500,000であることが好ましい。アルカリ可溶性熱可塑性重合体中のカルボキシル基は、本発明に係る感光性樹脂組成物がアルカリ水溶液から成る現像液又は剥離液に対して、現像性又は剥離性を有するために必要である。酸当量とは、その中に1当量のカルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂の質量を言う。酸当量のより好ましい下限は250であり、またより好ましい上限は450である。aアルカリ可溶性熱可塑性重合体の酸当量は、現像耐性が向上し、解像度及び密着性が向上する点、さらに溶媒又は感光性樹脂組成物中の他の成分、特に後述するb付加重合性モノマーとの相溶性を確保するという観点から100以上が好ましく、現像性及び剥離性が向上する点から600以下が好ましい。酸当量の測定は、平沼産業株製平沼自動滴定装置COM-555を使用し、0.1mol/Lの水酸化ナトリウムを用いて電位差滴定法により行われる。aアルカリ可溶性熱可塑性重合体の重量平均分子量は、5,000~500,000が好ましい。重量平均分子量は、感光性樹脂積層体ドライフィルムレジストの厚みを均一に維持し現像液に対する耐性を得るという観点、さらに感光性樹脂積層体をロール状に巻き取った場合にロール端面から感光性樹脂組成物が染み出す現象、すなわち、エッジフューズが抑制される点から5,000以上が好ましく、また、現像性を維持するという観点から500,000以下が好ましい。より好ましくは、aアルカリ可溶性熱可塑性重合体の重量平均分子量の下限は、20,000であり、aアルカリ可溶性熱可塑性重合体の重量平均分子量の上限は250,000である。本明細書における重量平均分子量とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCによりポリスチレン昭和電工株製ShodexSTANDARDSM-105の検量線を用いて測定した重量平均分子量を意味する。aアルカリ可溶性熱可塑性重合体の重量平均分子量は、日本分光株製ゲルパーミエーションクロマトグラフィーを使用して、以下の条件で測定することができる:示差屈折率計:RI-1530ポンプ:PU-1580デガッサー:DG-980-50カラムオーブン:CO-1560カラム:順にKF-8025、KF-806M×2、KF-807溶離液:THF。aアルカリ可溶性熱可塑性重合体は、後述する第一又は第二の単量体から選択された1種以上の単量体を成分として含む共重合体であることが好ましい。第一の単量体は、分子中に重合性不飽和基を1個有するカルボン酸又は酸無水物である。例えば、メタアクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステルが挙げられる。中でも、特にメタアクリル酸が好ましい。第二の単量体は、非酸性であり、かつ分子中に重合性不飽和基を少なくとも1個有する単量体である。例えば、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、n-プロピルメタアクリレート、イソプロピルメタアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、イソブチルメタアクリレート、tert-ブチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレート、酢酸ビニル等のビニルアルコールのエステル類、メタアクリロニトリル、スチレン、及び重合可能なスチレン誘導体が挙げられる。中でも、メチルメタアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、スチレン、及びベンジルメタアクリレートが好ましく、解像度の観点からスチレンを用いることは特に好ましい。aアルカリ可溶性熱可塑性重合体は、上記の単量体を混合し、溶剤、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、又はイソプロパノールで希釈した溶液に、ラジカル重合開始剤、例えば、過酸化ベンゾイル、アゾイソブチロニトリルを適量添加し、加熱攪拌することにより合成されることが好ましい。混合物の一部を反応液に滴下しながら合成を行う場合もある。反応終了後、さらに溶剤を加えて、所望の濃度に調整する場合もある。合成手段としては、溶液重合以外に、塊状重合、懸濁重合、又は乳化重合を用いてもよい。特に好ましいaアルカリ可溶性熱可塑性重合体は、第一の単量体と第二の単量体の共重合割合が、第一の単量体が10~60質量、第二の単量体が40~90質量であるものであり、さらにより好ましくは第一の単量体が15~35質量、第二の単量体が65~85質量である。aアルカリ可溶性熱可塑性重合体のより具体的な例としては、メタクリル酸メチル、メタクリル酸及びスチレンを共重合成分として含む重合体、メタクリル酸メチル、メタクリル酸及びアクリル酸n-ブチルを共重合成分として含む重合体、並びにメタクリル酸ベンジル、メタクリル酸メチル及びアクリル酸2-エチルヘキシルを共重合成分として含む重合体等が挙げられる。本発明の感光性樹脂組成物中におけるaアルカリ可溶性熱可塑性重合体の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、20~90質量の範囲であり、好ましくは、40~60質量である。aアルカリ可溶性熱可塑性重合体の含有量は、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性を維持し、露光、現像によって形成されるレジストパターンが、レジストとしての特性、例えば、テンティング、エッチング及び各種めっき工程において十分な耐性を有するという観点から20質量以上が好ましく、硬化前の感光性樹脂組成物、硬化後レジストパターンが十分な柔軟性を有するという観点から90質量以下が好ましい。b付加重合性モノマーb付加重合性モノマーは、分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物である。エチレン性不飽和結合は、末端エチレン性不飽和基であることが好ましい。さらに高解像性、エッジフューズ性及びテンティング性の観点から、b付加重合性モノマーとして、少なくとも1種のビスフェノールA系メタアクリレート化合物を用いることが好ましい。本明細書では、ビスフェノールA系メタアクリレート化合物とは、メタアクリロイル基又はメタアクリロイル基に由来する炭素‐炭素不飽和二重結合とビスフェノールAに由来する-C6H4-CCH32-C6H4-基とを有する化合物をいい、以下の一般式[II]:{式中、R2及びR3は、各々独立にH又はCH3であり、A2は、-CHCH3CH2-、-CH2CHCH3-及び/又は-CH2CH2-であり、n2及びn3は、各々独立に1以上の整数であり、好ましくはn2及びn3は、各々独立に1~30の整数であり、n2n3は、2~60の整数であり、そして-A2-O-の繰り返し構造は、ランダム又はブロックでよい。}で表される。上記一般式[II]で表される不飽和化合物の具体例としては、ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2単位のエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート新中村化学工業株製NKエステルBPE-200又はビスフェノールAの両端にそれぞれ平均5単位のエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート新中村化学工業株製NKエステルBPE-500、ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均6単位のエチレンオキサイドと平均2単位のプロピレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレート、ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均15単位のエチレンオキサイドと平均2単位のプロピレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレートが挙げられる。b付加重合性モノマーとして、上記の化合物以外にも少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する既知の化合物を使用できる。例えば、4-ノニルフェニルヘプタエチレングリコールジプロピレングリコールアクリレート、2-ヒドロキシー3-フェノキシプロピルアクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコールアクリレート、無水フタル酸と2-ヒドロキシプロピルアクリレートとの半エステル化合物とプロピレンオキシドとの反応物日本触媒化学製、商品名OE-A200、4-ノルマルオクチルフェノキシペンタプロピレングリコールアクリレート、1,6-ヘキサンジオールメタアクリレート、1,4-シクロヘキサンジオールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート等のポリオキシアルキレングリコールジメタアクリレート、2-ジp-ヒドロキシフェニルプロパンジメタアクリレート、グリセロールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリメタアクリレート、2,2-ビス4-メタクリロキシペンタエトキシフェニルプロパン、ヘキサメチレンジイソシアネートとノナプロピレングリコールモノメタクリレートとのウレタン化物等のウレタン基を含有する多官能基メタアクリレート、イソシアヌル酸エステル化合物の多官能メタアクリレート等が挙げられる。これらは、単独で使用しても、2種類以上併用してもよく、ビスフェノールA系メタアクリレート化合物又は上記一般式[II]で表される化合物と併用することもできる。本発明に係る感光性樹脂組成物中のb付加重合性モノマーの含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、5~75質量の範囲であり、より好ましくは、15~70質量である。b付加重合性モノマーの含有量は、解像性、密着性及び銅ラインの形成性の観点から、5質量以上であり、硬化膜の柔軟性の観点から、75質量以下である。c光重合開始剤光重合開始剤としては、感光性樹脂の光重合開始剤として通常使用されるものを適宜使用できるが、特にヘキサアリールビスイミダゾール以下、トリアリールイミダゾリル二量体ともいう。が好ましく用いられる。トリアリールイミダゾリル二量体としては、例えば、2-o-クロロフェニル-4,5-ジフェニルイミダゾリル二量体以下、2,2’-ビス2-クロロフェニル-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,1’-ビスイミダゾールともいう。、2,2’,5-トリス-o-クロロフェニル-4-3,4-ジメトキシフェニル-4’,5’-ジフェニルイミダゾリル二量体、2,4-ビス-o-クロロフェニル-5-3,4-ジメトキシフェニル-ジフェニルイミダゾリル二量体、2,4,5-トリス-o-クロロフェニル-ジフェニルイミダゾリル二量体、2-o-クロロフェニル-ビス-4,5-3,4-ジメトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2-フルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,3-ジフルオロメチルフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,4-ジフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,5-ジフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,6-ジフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,3,4-トリフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,3,5-トリフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,3,6-トリフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,4,5-トリフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,4,6-トリフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,3,4,5-テトラフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、2,2’-ビス-2,3,4,6-テトラフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体、及び2,2’-ビス-2,3,4,5,6-ペンタフルオロフェニル-4,4’,5,5’-テトラキス-3-メトキシフェニル-イミダゾリル二量体が挙げられる。特に、2-o-クロロフェニル-4,5-ジフェニルイミダゾリル二量体は解像性又は硬化レジスト膜の強度に対して高い効果を有する光重合開始剤であり、好ましく用いられる。これらは単独で用いてもよいし又は2種類以上組み合わせて用いてもよい。また、下記のアクリジン化合物、ピラゾリン化合物などと合わせて使用することもできる。本発明の好ましい実施形態では、c光重合開始剤としてアクリジン化合物又はピラゾリン化合物が使用される。アクリジン化合物としては、アクリジン、9-フェニルアクリジン、9-4-トリルアクリジン、9-4-メトキシフェニルアクリジン、9-4-ヒドロキシフェニルアクリジン、9-エチルアクリジン、9-クロロエチルアクリジン、9-メトキシアクリジン、9-エトキシアクリジン、9-4-メチルフェニルアクリジン、9-4-エチルフェニルアクリジン、9-4-n-プロピルフェニルアクリジン、9-4-n-ブチルフェニルアクリジン、9-4-tert-ブチルフェニルアクリジン、9-4-エトキシフェニルアクリジン、9-4-アセチルフェニルアクリジン、9-4-ジメチルアミノフェニルアクリジン、9-4-クロロフェニルアクリジン、9-4-ブロモフェニルアクリジン、9-3-メチルフェニルアクリジン、9-3-tert-ブチルフェニルアクリジン、9-3-アセチルフェニルアクリジン、9-3-ジメチルアミノフェニルアクリジン、9-3-ジエチルアミノフェニルアクリジン、9-3-クロロフェニルアクリジン、9-3-ブロモフェニルアクリジン、9-2-ピリジルアクリジン、9-3-ピリジルアクリジン、9-4-ピリジルアクリジンが挙げられる。中でも、9-フェニルアクリジンが望ましい。ピラゾリン化合物としては、1-フェニル-3-4-tert-ブチル-スチリル-5-4-tert-ブチル-フェニル-ピラゾリン、1-4-ベンゾオキサゾール-2-イルフェニル-3-4-tert-ブチル-スチリル-5-4-tert-ブチル-フェニル-ピラゾリン、1-フェニル-3-4-ビフェニル-5-4-tert-ブチル-フェニル-ピラゾリン、1-フェニル-3-4-ビフェニル-5-4-tert-オクチル-フェニル-ピラゾリンが好ましい。上記以外の光重合開始剤としては、例えば、2-エチルアントラキノン、オクタエチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ベンズアントラキノン、2-フェニルアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、1,4-ナフトキノン、9,10-フェナントラキノン、2-メチル-1,4-ナフトキノン、2,3-ジメチルアントラキノン、及び3-クロロ-2-メチルアントラキノン等のキノン類、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン[4,4’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン]、及び4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、メチルベンゾイン、及びエチルベンゾイン等のベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタール、チオキサントン類とアルキルアミノ安息香酸の組み合わせ、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-O-ベンゾインオキシム、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-O-エトキシカルボニルオキシム等のオキシムエステル類が挙げられる。なお、上述のチオキサントン類とアルキルアミノ安息香酸の組み合わせとしては、例えばエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸エチルとの組み合わせ、2-クロルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸エチルとの組み合わせ、及びイソプロピルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸エチルとの組み合わせが挙げられる。また、N-アリールアミノ酸を用いてもよい。N-アリールアミノ酸の例としては、N-フェニルグリシン、N-メチル-N-フェニルグリシン、N-エチル-N-フェニルグリシン等が挙げられる。中でも、N-フェニルグリシンが特に好ましい。本発明の感光性樹脂組成物中のc光重合開始剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、0.01~30質量の範囲であり、より好ましい下限は0.05質量、さらに好ましい下限は0.1質量、より好ましい上限は15質量、さらに好ましい上限は10質量である。c光重合開始剤の含有量は、露光による光重合時に十分な感度を得るという観点から0.01質量以上であり、光重合時に感光性樹脂組成物の底面すなわち光源から遠い部分にまで光を充分に透過させ、良好な解像性及び密着性を得るという観点から、30質量以下である。d一般式[I]で表される化合物本発明に係る感光性樹脂組成物は、d一般式[I]:R1-O-A1-On1-H[I]{式中、R1は、炭素数が1~8である一価の有機基であり、A1は、アルキレン基であり、n1は、1以上60以下の整数であり、-A1-O-の繰り返し構造は、同一であるか、又は異なっていてもよく、そして-A1-O-の繰り返し構造が異なる場合には、ランダム又はブロックでよい。}で表される化合物を1種又は2種以上含有することが必要である。d上記一般式[I]で示される化合物において、R1は一価の有機基である。具体的には、置換又は無置換のアルキル基、フェニル基、アシル基等があげられる。凝集性の観点から、特に無置換のアルキル基が好ましく、消泡性の観点からその炭素数は8以下であることがさらに好ましく、7以下であることは特に好ましい。また、R1が無置換のアルキル基である場合には、取り扱い性と消泡性の観点から、炭素数は2以上が好ましく、3以上であることはさらに好ましい。具体的には、無置換のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、オクチル基、2-エチルヘキシル基等があげられる。d上記一般式[I]で示される化合物において、A1はアルキレン基である。このアルキレン基の炭素数は、取り扱い性の観点から2以上が好ましく、他の原料との相溶性の観点から4以下が好ましい。具体的には、アルキレン基としては、-CH2CH2CH2CH2-、-CH2CH2CH2-、-CHCH3CH2-、-CH2CHCH3-、-CH2CH2-等があげられるが、中でも-CHCH3CH2-又は-CH2CHCH3-が好ましい。-A1-O-の繰り返し単位は、同一であるか、又は異なっていてもよい。-A1-O-の繰り返し単位が異なっている場合には、その構造はランダム又はブロックでもよい。また、繰り返し数を表すn1は、1以上60以下の整数であればよく、保存安定性の観点から4以上が好ましく、10以上はさらに好ましい。また他の原料との相溶性から45以下が好ましく、25以下はさらに好ましい。これら上記一般式[I]で示される化合物は単独で使用しても、2種類以上併用してもよい。本発明の感光性樹脂組成物中の一般式[I]で示される化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、0.01~30質量の範囲であり、より好ましい下限は0.05質量、さらに好ましい下限は0.1質量、より好ましい上限は15質量、さらに好ましい上限は10質量である。一般式[I]で示される化合物の含有量は、現像液及び剥離液の抑泡効果を十分に得るために0.01質量以上であり、レジストの性能を維持するために30質量以下である。本発明の感光性樹脂組成物は、上記一般式[I]で示される化合物を含むことにより、未露光部の現像液分散性が特に優れ、さらに現像液及び剥離液の発泡を抑制することができる。eその他の添加剤本発明の感光性樹脂組成物には、上記a~dの成分の他に各種の添加剤を含有させることができる。具体的には、例えば染料、顔料等の着色物質が含まれる。このような着色物質としては、例えば、フタロシアニングリーン、クリスタルバイオレット、メチルオレンジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブルー、マラカイトグリーン、ベイシックブルー20、ダイアモンドグリーン等が挙げられる。上記着色物質を含有する場合には、着色物質の添加量は、感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、0.001~1質量であることが好ましい。着色物質の添加量が、0.001質量以上であるときは、取り扱い性向上という効果があり、1質量以下であるときは、保存安定性を維持するという効果がある。また、露光により可視像を与えることができるように、感光性樹脂組成物中に発色剤を含有させてもよい。このような発色系染料としては、ロイコ染料、又はフルオラン染料とハロゲン化合物との組み合わせが挙げられる。例えば、ロイコ染料としては、トリス4-ジメチルアミノ-2-メチルフェニルメタン[ロイコクリスタルバイオレット]、トリス4-ジメチルアミノ-2-メチルフェニルメタン[ロイコマラカイトグリ-ン]、及びフルオラン染料が挙げられる。中でも、ロイコクリスタルバイオレットを用いた場合、コントラストが良好であり好ましい。前記ハロゲン化合物としては、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルホン、四臭化炭素、トリス2,3-ジブロモプロピルホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1-トリクロロ-2,2-ビスp-クロロフェニルエタン、ヘキサクロロエタン、クロル化トリアジン化合物等が挙げられる。これらの染料を含有する場合、本発明の感光性樹脂組成物中の染料の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、それぞれ0.1~10質量が好ましい。さらに、感光性樹脂組成物の熱安定性及び保存安定性を向上させるために、ラジカル重合禁止剤、又はベンゾトリアゾール類及びカルボキシベンゾトリアゾール類から成る群から選ばれる少なくとも1種以上の化合物を感光性樹脂組成物に含有させることが好ましい。このようなラジカル重合禁止剤としては、例えば、p-メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミン、tert-ブチルカテコール、塩化第一銅、2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾール、2,2’-メチレンビス4-メチル-6-tert-ブチルフェノール、2,2’-メチレンビス4-エチル-6-tert-ブチルフェノール、ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、ジフェニルニトロソアミンが挙げられる。ベンゾトリアゾール類としては、例えば、1,2,3-ベンゾトリアゾール、1-クロロ-1,2,3-ベンゾトリアゾール、ビスN-2-エチルヘキシルアミノメチレン-1,2,3-ベンゾトリアゾール、ビスN-2-エチルヘキシルアミノメチレン-1,2,3-トリルトリアゾール、ビスN-2-ヒドロキシエチルアミノメチレン-1,2,3-ベンゾトリアゾールが挙げられる。カルボキシベンゾトリアゾール類としては、例えば、4-カルボキシ-1,2,3-ベンゾトリアゾール、5-カルボキシ-1,2,3-ベンゾトリアゾール、N,N-ジブチルアミノカルボキシベンゾトリアゾール、N-N,N-ジ-2-エチルヘキシルアミノメチレンカルボキシベンゾトリアゾール、N-N,N-ジ-2-ヒドロキシエチルアミノメチレンカルボキシベンゾトリアゾール、N-N,N-ジ-2-エチルヘキシルアミノエチレンカルボキシベンゾトリアゾールが挙げられる。ラジカル重合禁止剤、ベンゾトリアゾール類、及び/又はカルボキシベンゾトリアゾール類の合計添加量は、感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、好ましくは0.001~3質量であり、より好ましい下限は0.05質量、より好ましい上限は1質量である。この合計添加量は、感光性樹脂組成物に保存安定性を付与するという観点から0.001質量以上が好ましく、感度を維持するという観点から3質量以下が好ましい。本発明に係る感光性樹脂組成物には、必要に応じて、その他の可塑剤を含有させてもよい。このような可塑剤としては、例えば、下記一般式[III]:{式中、A3は、-CHCH3CH2-、-CH2CHCH3-及び/又は-CH2CH2-であり、n4及びn5は、各々独立に0以上の整数であり、さらに好ましくは、n4及びn5は、各々独立に1~30の整数であり、n4n5は1~60の整数であり、-A3-O-の繰り返し構造は、同一であるか、又は異なっていてもよく、そして-A3-O-の繰り返し構造が異なる場合には、ランダム又はブロックでよい。}で表される可塑剤が挙げられる。その他に、例えば、ポリオキシエチレンソルビタンラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンオレエートなどのソルビタン誘導体、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどのポリアルキレングリコール類、ジエチルフタレート等のフタル酸エステル類、o-トルエンスルフォン酸アミド、p-トルエンスルフォン酸アミド、クエン酸トリブチル、クエン酸トリエチル、アセチルクエン酸トリエチル、アセチルクエン酸トリ-n-プロピル、アセチルクエン酸トリ-n-ブチルなどの可塑剤を用いることができる。特にソルビタン誘導体及びポリアルキレングリコール類を用いることが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物中の可塑剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、1~50質量であることが好ましく、より好ましい下限は3質量、より好ましい上限は30質量である。現像時間の遅延を抑え、硬化膜に柔軟性を付与する観点から1質量以上が好ましく、また硬化不足又はコールドフローを抑える観点から50質量以下が好ましい。<感光性樹脂組成物調合液>本発明に係る感光性樹脂組成物は、溶媒を添加した感光性樹脂組成物調合液としてもよい。好適な溶媒としては、アセトン、メチルエチルケトンMEKに代表されるケトン類、並びにメタノール、エタノール、及びイソプロピルアルコールなどのアルコール類が挙げられる。感光性樹脂組成物調合液の粘度が25°Cで500~4000mPa秒となるように、溶媒を感光性樹脂組成物に添加することが好ましい。<感光性樹脂積層体>本発明に係る感光性樹脂積層体は、支持体及び本発明の感光性樹脂組成物からなる層以下、感光性樹脂層ともいう。を含む。必要により、本発明の感光性樹脂積層体は、支持体と反対側の表面に保護層を有していてもよい。支持体は、感光性樹脂層を支持するものであればよい。用いられる支持体としては、露光光源から放射される光を透過する透明なものが好ましい。このような支持体としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体フィルムなどが挙げられる。これらのフィルムは、必要に応じ延伸されたものも使用可能である。ヘーズ値が5以下のフィルムが好ましい。フィルムの厚みは、薄い方が画像形成性及び経済性の面で有利であるが、強度を維持する必要等から、10~30μmのものが好ましく用いられる。感光性樹脂積層体に用いられる保護層の重要な特性は、感光性樹脂層との密着力について、支持体よりも保護層の方が充分小さく容易に剥離できることである。例えば、ポリエチレンフィルム、及びポリプロピレンフィルム等が保護層として好ましく使用できる。また、特開昭59-202457号公報に開示されている剥離性の優れたフィルムを用いることができる。保護層の膜厚は10~100μmが好ましく、10~50μmがより好ましい。本発明に係る感光性樹脂積層体における感光性樹脂層の厚みは、好ましくは、5~100μmであり、より好ましい上限は50μmである。感光性樹脂層の厚みが5μmに近づくほど、解像度は向上し、100μmに近づくほど、膜強度が向上するので、用途に応じて適宜選択することができる。支持体、感光性樹脂層、及び必要により、保護層を順次積層して、本発明の感光性樹脂積層体を製造する方法としては、従来知られている方法を採用することができる。例えば、感光性樹脂層に用いる感光性樹脂組成物を、前述の感光性樹脂組成物調合液として準備しておいて、まず支持体上にバーコーター又はロールコーターを用いて塗布して乾燥させ、支持体上に該感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂層を積層する。次いで、必要により、該感光性樹脂層上に保護層を積層することにより感光性樹脂積層体を作製することができる。<レジストパターン形成方法>本発明は、本発明に係る感光性樹脂積層体を用いてレジストパターンを形成する工程を含むレジストパターン形成方法に関する。本発明に係る感光性樹脂積層体を用いたレジストパターンは、ラミネート工程、露光工程、及び現像工程を含む工程によって形成することができる。具体的なレジストパターン形成方法の一例を示す。まず、ラミネーターを用いてラミネート工程を行う。感光性樹脂積層体が保護層を有する場合には保護層を剥離した後、ラミネーターで感光性樹脂層を基板表面に加熱圧着しラミネートする。この場合、感光性樹脂層は基板表面の片面だけにラミネートしてもよいし、必要に応じて両面にラミネートしてもよい。この時の加熱温度は一般的に40~160°Cである。また、該加熱圧着を二回以上行うことにより、得られるレジストパターンの基板に対する密着性が向上する。この時、圧着は二連のロールを備えた二段式ラミネーターを使用してもよいし、何回か繰り返してロールに通し圧着してもよい。次いで、露光機を用いて露光工程を行う。必要ならば支持体を剥離してフォトマスクを通して活性光により露光する。露光量は、光源照度及び露光時間より決定される。光量計を用いて測定してもよい。露光工程においては、マスクレス露光方法を用いてもよい。マスクレス露光はフォトマスクを使用せず基板上に直接描画装置によって露光する。光源としては波長350~410nmの半導体レーザー、超高圧水銀灯などが用いられる。描画パターンはコンピューターによって制御され、この場合の露光量は、露光光源の照度及び基板の移動速度によって決定される。次いで、現像装置を用いて現像工程を行う。露光後、感光性樹脂層上に支持体がある場合にはこれを除く。続いてアルカリ水溶液から成る現像液を用いて未露光部を現像除去し、レジスト画像を得る。アルカリ水溶液としては、炭酸ナトリウムNa2CO3、又は炭酸カリウムK2CO3の水溶液が好ましい。これらは感光性樹脂層の特性に合わせて選択されるが、0.2~2質量の濃度のNa2CO3水溶液が一般に適している。該アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤などを混入させてもよい。なお、現像工程における該現像液の温度は、20~40°Cの範囲で一定温度に保つことが好ましい。上述の工程によってレジストパターンが得られるが、場合によっては、さらに100~300°Cの加熱工程、又は100mJ~5Jの後露光工程を行うこともできる。これらの工程を実施することにより、更なる耐薬品性向上が可能となる。加熱には、熱風、赤外線、遠赤外線等の方式の加熱炉を用いることができ、後露光工程には超高圧水銀灯などを用いることができる。<プリント配線板の製造方法>本発明に係るプリント配線板の製造方法は、本発明の感光性樹脂積層体を用いて回路形成用基板上にレジストパターンを形成する工程を含む。回路形成用基板は、プリント配線等の回路を形成するための基板であり、例えば、銅張積層板又はフレキシブル基板でよい。銅張積層板又はフレキシブル基板に上述のレジストパターン形成方法によってレジストパターンを形成した後に、以下の工程を経ることで本発明に係るプリント配線板が得られる。まず、現像により露出した基板の銅面にエッチング法、又はめっき法等の既知の方法を用いて導体パターンを形成する工程を行う。その後、レジストパターンを、現像液よりも強いアルカリ性を有する水溶液により基板から剥離する剥離工程を行って、所望のプリント配線板を得る。剥離用のアルカリ水溶液以下、剥離液ともいう。についても特に制限はないが、2~5質量の濃度の水酸化ナトリウムNaOH、又は水酸化カリウムKOHの水溶液が一般的に用いられる。また、剥離液にも、少量の水溶性溶媒を加えることができる。なお、剥離工程における該剥離液の温度は、40~70°Cの範囲であることが好ましい。以下、実施例において本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。実施例1~10、比較例1~2最初に実施例及び比較例の評価用サンプルの作製方法を説明し、次いで、得られたサンプルについての評価方法及びその評価結果を示す。1.評価用サンプルの作製実施例及び比較例における評価用サンプルは次の様にして作製した。<感光性樹脂積層体の作製>下記表1に示す原料但し、各成分の数字は固形分としての配合量質量部を示す。及び溶媒を十分に攪拌、混合して感光性樹脂組成物調合液とし、支持体として16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルムを準備して、このポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に感光性樹脂組成物調合液をバーコーターを用いて均一に塗布し、95°Cの乾燥機中で150秒間乾燥して感光性樹脂層を形成した。感光性樹脂層の厚みは25μmであった。次いで、感光性樹脂層のポリエチレンテレフタレートフィルムを積層していない表面上に、保護層として19μm厚のポリエチレンフィルムを貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。表1における略号で表わした感光性樹脂組成物調合液中の材料成分B-1~S-2の詳細は以下のとおりである。B-1:メタクリル酸25質量、メタクリル酸メチル50質量、スチレン25質量の三元共重合体重量平均分子量50,000、酸当量344B-2:メタクリル酸25質量、メタクリル酸メチル65質量、ブチルアクリレート10質量の三元共重合体重量平均分子量80,000、酸当量344B-3:メタクリル酸25質量、メタクリル酸メチル65質量、ブチルアクリレート10質量の三元共重合体重量平均分子量110,000、酸当量344B-4:メタクリル酸23質量、メタクリル酸メチル67質量、ブチルアクリレート10質量の三元共重合体重量平均分子量200,000、酸当量370B-5:メタクリル酸25質量、ベンジルメタクリレート65質量、2-エチルヘキシルアクリレート10質量の三元共重合体重量平均分子量50,000、酸当量344B-6:メタクリル酸20質量、ベンジルメタクリレート80質量の二元共重合体重量平均分子量53,000、酸当量429M-1:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2単位ずつのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレートM-2:トリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレートM-3:ε-カプロラクトン変性トリスアクリロキシエチルイソシアヌレートM-4:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2単位のプロピレンオキサイドと平均15単位のエチレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレートM-5:ウレタンポリオキシプロピレングリコールのジメタクリレートM-6:平均12単位のプロピレンオキサイドの両端に平均3単位ずつのエチレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレートM-7:4-ノニルフェニルヘプタエチレングリコールジプロピレングリコールアクリレートM-8:ビスフェノールAのフェニル基に水素を添加したものの両端にそれぞれ平均5単位ずつのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレートM-9:平均9単位ずつのエチレンオキサイドによるポリエチレングリコールのジアクリレートM-10:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均5単位ずつのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレートM-11:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2単位のプロピレンオキサイドと平均6単位のエチレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレートI-1:2-o-クロロフェニル-4,5-ジフェニルイミダゾリル二量体I-2:4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノンI-3:N-フェニルグリシンD-1:マラカイトグリーンD-2:ロイコクリスタルバイオレットP-1:ポリオキシプロピレン-2-エチルヘキシルエーテルライオン株式会社製、レオコン1015HP-2:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレン-2-エチルヘキシルエーテルライオン株式会社製、レオコン1020HP-3:ポリオキシプロピレンブチルエーテルライオン株式会社製、レオコン1015BP-4:ポリオキシエチレンメチルエーテル日油株式会社製、ユニオックスM-550P-5:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンノニルエーテル東邦化学工業株式会社製、ネオスコア2326P-6:ポリプロピレングリコール三洋化成工業株式会社製、サンニックスPP-2000P-7:ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート日本乳化剤株式会社製、ニューコール3-85P-8:p-トルエンスルフォン酸アミドS-1:ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩S-2:N,N-ジブチルアミノカルボキシベンゾトリアゾール2.評価基準凝集性:上記の方法で作製した感光性樹脂層0.24m2を200mlの1質量Na2CO3水溶液に溶解させミキサー装置で1分間攪拌した。その液を回収し、200mlの規格ビンに入れて3日間放置し、吸引ろ過により液中に発生する凝集物を採取した。凝集物を乾燥させた後重量を測り、結果を以下のようにランク分けした。○:凝集物が100mg以下×:凝集物が100mgを超える発泡性1:上記の方法で作製した感光性樹脂層0.048m2を120mlの1質量Na2CO3水溶液に溶解させた。その溶液を容量500mlのガス吸収缶に入れてG3のガラスフィルターを通した6000ml/分の窒素ガスでバブリングした。発生した泡がガス吸収缶から溢れるまでの時間を計り、結果を以下のようにランク分けした。◎:100秒では溢れない○:30秒を超え100秒以内に溢れ×:30秒以内に溢れ発泡性2:上記の方法で作製した感光性樹脂積層体を超高圧水銀ランプオーク製作所製、HMW-801により、30mJ/cm2の露光量で感光させた。その後支持体と保護層を取り除き、その0.01m2を容量100mlのスクリュー管中で50mlの3NaOH水溶液に浸漬させ、30分攪拌した。その後、スクリュー管をよく振って液を泡立ててから1分後に残った泡の高さを測定し、結果を以下のようにランク分けした。◎:泡高さ10mm以下○:泡高さ10mmを超えて20mm以下×:泡高さが20mmを超える解像性:評価用基板として、35μm厚の圧延銅箔を積層した1.2mm厚の銅張積層板を用い、表面を湿式バフロール研磨スリーエム株製、スコッチブライト登録商標HD600、2回通しにより整面した。整面の後に銅張積層板を60°Cに予熱し、感光性樹脂積層体のポリエチレンフィルムを剥がしながらホットロールラミネーター旭化成株製、AL-700を用いて、ロール温度105°Cでラミネートした。エアー圧力は0.35MPaとし、ラミネート速度は1.5m/分とした。ラミネート後15分経過した評価用基板を、露光部分と未露光部分との幅が1:1の比率のラインパターンマスクを通して露光した。マスクは支持体であるポリエチレンテレフタレートフィルム上におき、超高圧水銀ランプオーク製作所製、HMW-801を用いた。露光量は30mJ/cm2とした。露光後10分経過した評価用基板からポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した後、アルカリ現像機フジ機工製、ドライフィルム用現像機を用いて30°Cの1質量Na2CO3水溶液を所定時間スプレーし、感光性樹脂層の未露光部分を最小限像時間の2倍の時間で溶解除去した。この際、未露光部分の感光性樹脂層が完全に溶解するのに要する最も少ない時間を最小現像時間とした。硬化レジストラインが正常に形成されている最小マスク幅を解像度の値とし、解像性を下記のようにランク分けした。◎:解像度の値が50μm以下。○:解像度の値が50μmを超え、100μm以下。3.評価結果実施例及び比較例の評価結果を上記表1に示す。表1から明らかなように、実施例1~8においては、本願発明の構成を採用することにより、凝集性、発泡性1及び発泡性2を改善することに成功している。比較例1は、d一般式[I]で表される化合物を含んでいないため凝集性と発泡性が優れない。比較例2は、凝集性は良いものの発泡性が不十分であることがわかる。"