基板の上に形成された膜を部分的に剥離または除去するパターニングを行う装置であって、膜が形成された基板を保持する保持ユニットと、先端部に刃渡り方向に延びる刃先を有するパターニングツールと、前記パターニングツールを固定するホルダと、前記ホルダを、加工方向と鉛直方向とを含む平面内にある第1の軸の周りで回転可能に保持するホルダ揺動部と、前記保持ユニットに対して前記ホルダ揺動部を相対的に移動させる駆動部と、前記ホルダ揺動部を昇降させる昇降部と、を備え、前記パターニングツールの前記刃先が前記膜に突き当たるように前記昇降部が前記ホルダ揺動部を前記保持ユニットに近接する方向に移動させたうえで、前記駆動部が前記ホルダ揺動部を前記加工方向に対して相対移動させることによって、前記パターニングツールが前記加工方向に沿って前記膜のパターニングを行う際に、前記パターニングツールが、水平面内において前記刃渡り方向が前記加工方向に直交するときの前記刃先の姿勢を基準姿勢としつつ、前記ホルダの前記第1の軸周りの回転によって前記膜の前記刃渡り方向の傾きに倣って揺動可能とされてなる、ことを特徴とするパターニング装置。請求項1に記載のパターニング装置であって、前記ホルダ揺動部が水平面内において前記加工方向に垂直な第2の軸の周りで回動可能とされてなることを特徴とするパターニング装置。請求項2に記載のパターニング装置であって、前記ホルダ揺動部を前記第2の軸の周りに回動させることにより、前記パターニングツールを傾斜姿勢として前記パターニングを行う、ことを特徴とするパターニング装置。請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のパターニング装置であって、前記パターニングツールの前記刃渡り方向における幅が、前記ホルダに固定される部分の幅より大きい、ことを特徴とするパターニング装置。請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のパターニング装置であって、前記パターニングツールが、前記刃先の上部に貫通孔を有する、ことを特徴とするパターニング装置。太陽電池の製造工程では、上述のパターニングを行うに先立ち、種々の熱処理が施されるが、熱処理の結果、太陽電池を構成する基板ガラス基板に反りが生じ、パターニングに際して、刃先の刃渡り方向と基板表面とが略平行とならない場合がある。幅の狭いパターニングツールを使用して、幅の狭い溝を形成する場合には、基板の反りの影響は小さいが、上述のハツリ工程においては、除去部分が幅広であるために刃先の幅が大きいパターニングツールを用いる必要があり、基板に反りがあると、刃先が基板上に形成された膜に均等に接触せず、膜を所望する幅にて剥離または除去することができないという問題が生ずる。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板上に形成された膜を部分的に剥離または除去するパターニングを好適に行うことができるパターニング装置を提供することを目的とする。上記の課題を解決するため、請求項1の発明は、基板の上に形成された膜を部分的に剥離または除去するパターニングを行う装置であって、膜が形成された基板を保持する保持ユニットと、先端部に刃渡り方向に延びる刃先を有するパターニングツールと、前記パターニングツールを固定するホルダと、前記ホルダを、加工方向と鉛直方向とを含む平面内にある第1の軸の周りで回転可能に保持するホルダ揺動部と、前記保持ユニットに対して前記ホルダ揺動部を相対的に移動させる駆動部と、前記ホルダ揺動部を昇降させる昇降部と、を備え、前記パターニングツールの前記刃先が前記膜に突き当たるように前記昇降部が前記ホルダ揺動部を前記保持ユニットに近接する方向に移動させたうえで、前記駆動部が前記ホルダ揺動部を前記加工方向に対して相対移動させることによって、前記パターニングツールが前記加工方向に沿って前記膜のパターニングを行う際に、前記パターニングツールが、水平面内において前記刃渡り方向が前記加工方向に直交するときの前記刃先の姿勢を基準姿勢としつつ、前記ホルダの前記第1の軸周りの回転によって前記膜の前記刃渡り方向の傾きに倣って揺動可能とされてなる、ことを特徴とする。また、請求項2の発明は、請求項1に記載のパターニング装置であって、前記ホルダ揺動部が水平面内において前記加工方向に垂直な前記第2の軸の周りで回動可能とされてなることを特徴とする。また、請求項3の発明は、請求項2に記載のパターニング装置であって、前記ホルダ揺動部を前記第1の軸の周りに回動させることにより、前記パターニングツールを傾斜姿勢として前記パターニングを行う、ことを特徴とする。また、請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のパターニング装置であって、前記パターニングツールの前記刃渡り方向における幅が、前記ホルダに固定される部分の幅より大きい、ことを特徴とする。また、請求項5の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のパターニング装置であって、前記パターニングツールが、前記刃先の上部に貫通孔を有する、ことを特徴とする。請求項1ないし請求項5の発明によれば、基板に反りがあるなどの理由でパターニングの対象たる膜において刃渡り方向に傾きがある場合であっても、パターニングツールの刃先の姿勢を該傾きに倣って変化させることが出来るので、所望する幅の溝を安定的に形成することができる。特に、請求項4に記載の発明によれば、1回のパターニングによって、より大きな幅の溝を形成することができる。また、請求項5に記載の発明によれば、基板の上から除去された膜の加工くずが、貫通孔を通じて、加工進行方向と逆側に排出される。これにより、加工くずが加工進行方向に存在してパターニングの邪魔となることや刃先に付着することが抑制されるので、パターニングの精度がより高まる。<パターニング装置の全体構成>図1および図2は、それぞれパターニング装置1の全体構成の一例を示す正面図および側面図である。図3は、パターニング装置1によるパターニングの主たる対象である太陽電池3の構成の一例を示す正面図である。なお、図1および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく、Z軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系が付されている。また、本実施の形態においては、特に断らない限り、Y軸正方向がパターニングの進行方向加工進行方向であるとする。ここで、本実施の形態においてパターニングとは、例えば図3に示す太陽電池3のように、基板4上に膜5が形成されている場合において、工具により膜5を剥離させることによって、膜5に溝6を形成したり図3参照、例えば金属裏面下部電極などの特定の膜を露出させたりする処理のことをいう。基板4は、例えばガラス基板またはセラミックス基板等のような脆性材料や樹脂フィルムなどの可橈性材料で形成された基板である。なお、本実施の形態においては、基板4上に膜5が形成され、かつ、溝6を形成する前の状態のもの、つまりは、パターニングの対象物を、単に基板4ということがある。また、太陽電池3の膜5は、図3に示すように、金属裏面下部電極L1と、CIGSCu、In、Ga、Se光吸収層L2と、バッファ層L3と、透明電極窓層L4と、を有している。さらには、パターニングによる溝6の形成は、金属裏面電極L1、CIGS光吸収層L2、バッファ層L3、および透明電極窓層L4が、この順番に積層された後に、CIGS光吸収層L2、バッファ層L3、および透明電極窓層L4を除去することにより行われる。また、透明電極窓層L4が積層される前の段階で、CIGS光吸収層L2およびバッファ層L3を除去することにより、溝を形成する場合もある。そして、形成された溝6により金属裏面電極L1が露出する。図1および図2に戻って、パターニング装置1は、主として、保持ユニット10と、パターニングユニット20と、撮像部ユニット80と、制御ユニット90と、を有している。保持ユニット10は、太陽電池3を構成する基板4を保持するとともに、保持された基板4をパターニングユニット20に対して移動させる。図1に示すように、保持ユニット10は、基部10a上に設けられており、主として、テーブル11と、ボールねじ機構12と、モータ13と、を有している。ここで、基部10aは、例えば略直方体状の石定盤により形成されており、その上面保持ユニット10と対向する面は、平坦加工されている。これにより、基部10aの熱膨張を低減でき、保持ユニット10に保持された基板4を良好に移動させることができる。テーブル11は、載置された基板4を吸着保持する。また、テーブル11は、保持された基板4を、矢印AR1方向X軸プラスまたはマイナス方向:以下、単に、進退方向とも呼ぶに進退させるとともに、矢印R1方向に回転させる。図1および図2に示すように、テーブル11は、主として、吸着部11aと、回転台11bと、移動台11cと、を有している。吸着部11aは、回転台11bの上側に設けられている。図1および図2に示すように、吸着部11aの上面には、基板4が載置可能とされている。また、吸着部11aの上面には、複数の吸着溝図示省略が格子状に配置されている。したがって、基板4が載置された状態で、各吸着溝内の雰囲気が排気吸引されることによって、基板4は、吸着部11aに対して吸着される。回転台11bは、吸着部11aの下側に設けられており、Z軸と略平行な回転軸11dを中心に吸着部11aを回転させる。また、移動台11cは、回転台11bの下側に設けられており、進退方向に沿って、吸着部11aおよび回転台11bを移動させる。したがって、テーブル11に吸着保持された基板4は、矢印AR1方向に進退させられるとともに、吸着部11aの進退動作にともなって移動する回転軸11dを中心に回転させられる。ボールねじ機構12は、テーブル11の下側に配置されており、テーブル11を矢印AR1方向に進退させる。図1および図2に示すように、ボールねじ機構12は、主として、送りネジ12aと、ナット12bと、を有している。送りネジ12aは、テーブル11の進退方向に沿って延びる棒体である。送りネジ12aの外周面には、螺旋状の溝図示省略が設けられている。また、送りネジ12aの一端は支持部14aにより、送りネジ12aの他端は支持部14bにより、それぞれ回転可能に支持されている。さらに、送りネジ12aは、モータ13と連動連結されており、モータ13が回転すると、その回転方向に送りネジ12aが回転する。ナット12bは、送りネジ12aの回転にしたがい、不図示のボールの転がり運動によって、矢印AR1方向に進退する。図1および図2に示すように、ナット12bは、移動台11cの下部に固定されている。したがって、モータ13が駆動させられ、モータ13の回転力が送りネジ12aに伝達されると、ナット12bは、矢印AR1方向に進退する。その結果、ナット12bが固定されているテーブル11は、ナット12bと同様に矢印AR1方向に進退する。一対のガイドレール15、16は、進行方向におけるテーブル11の移動を規制する。図2に示すように、一対のガイドレール15、16は、基部10a上において、矢印AR2方向に所定距離だけ隔てて固定されている。複数本実施の形態では2つの摺動部1717a、17bは、ガイドレール15に沿って矢印AR1方向に摺動自在とされている。図1および図2に示すように、摺動部17は、移動台11cの下部において、矢印AR1方向に所定距離だけ隔てて固定されている。複数本実施の形態では2つの摺動部18は、ガイドレール16に沿って矢印AR1方向に摺動自在とされている。ただし、図1および図2においては、図示の都合上、摺動部18aのみが記載されている。図1および図2に示すように、摺動部18は、摺動部17と同様に、移動台11cの下部において、矢印AR1方向に所定距離だけ隔てて固定されている。このように、モータ13の回転力がボールねじ機構12に付与されると、テーブル11は、一対のガイドレール15、16に沿って移動する。そのため、進退方向におけるテーブル11の直進性を確保することができる。パターニングユニット20は、基板4上に形成された膜5に溝6を形成するパターニングを担う。図1および図2に示すように、パターニングユニット20は、主として、パターニングヘッド30と、駆動部70と、を有している。パターニングヘッド30は、パターニングに際して実際に膜5に接触してこれを剥離または除去する工具であるパターニングツール60図4参照を備える。本実施の形態においては、パターニングツール60を膜5のパターニング対象箇所に当接させた状態で、パターニングヘッド30を保持ユニット10に保持された基板4に対して移動させることにより、基板4の上に形成された膜5をパターニングツール60によって剥離または除去することで、溝6が形成される。なお、パターニングヘッド30の詳細な構成およびパターニング処理については、後述する。駆動部70は、パターニングツール60が取り付けられたホルダ31図4参照を、保持ユニット10に対して移動させることによって、パターニングツール60を矢印AR2方向Y軸プラスまたはマイナス方向:以下、単に、加工方向とも呼ぶに沿って往復移動させる。図2に示すように、駆動部70は、主として、複数本実施の形態では2本の支柱7171a、71bと、複数本実施の形態では2本のガイドレール72と、モータ73と、を有している。支柱7171a、71bは、基部10aから上下方向Z軸方向に延びる。支柱71a、71bの間には、ガイドレール72が固定される。ガイドレール72は、加工方向におけるパターニングヘッド30の移動を規制する。図2に示すように、ガイドレール72は、支柱71a、71bの間に挟まれた状態で、上下方向に所定距離だけ隔てて固定される。モータ73は、不図示の送り機構例えば、ボールねじ機構と連動連結されている。これにより、モータ73が回転すると、パターニングヘッド30は、ガイドレール72に沿って矢印AR2方向に往復する。撮像部ユニット80は、保持ユニット10に保持された基板4を撮像する。図2に示すように、撮像部ユニット80は、複数本実施の形態では2台のカメラ8585a、85bを有している。カメラ85は、図1および図2に示すように、保持ユニット10の上方に配置されている。カメラ85は、基板4上に形成された特徴的な部分例えば、図示を省略するアライメントマークの画像を撮像する。そして、カメラ85により撮像された画像に基づいて、基板4の位置および姿勢が求められる。制御ユニット90は、パターニング装置1の各要素の動作制御、およびデータ演算を実現する。図1および図2に示すように、制御ユニット90は、主として、ROM91と、RAM92と、CPU93と、を有している。ROMReadOnlyMemory91は、いわゆる不揮発性の記憶部であり、例えば、プログラム91aが格納されている。なお、ROM91としては、読み書き自在の不揮発性メモリであるフラッシュメモリが使用されてもよい。RAMRandomAccessMemory92は、揮発性の記憶部であり、例えば、CPU93の演算で使用されるデータが格納される。CPUCentralProcessingUnit93は、ROM91のプログラム91aに従った制御例えば、昇降部50によるホルダ揺動部34の昇降動作、および駆動部70によるパターニングヘッド30の往復動作等の制御、および基板4の位置演算等のデータ処理を実行する。<パターニングヘッドの概略構成>図4は、パターニングヘッド30付近の構成の一例を示す正面図である。図5は、ホルダ揺動部34付近の構成の一例を示す側面図である。なお、図4および図5は、パターニングを行っていないときのパターニングヘッド30あるいはその一部の様子を示す図でもある。図6は、パターニングを行っているときのパターニングヘッド30の様子を例示する側面図である。図7は、パターニングツール60の構成を示す正面図である。なお、以降において、パターニング装置1がパターニングを行っていないときを静止時とも称する。図4から図6に示すように、パターニングヘッド30は、主として、パターニングツール60と、パターニングツール60を保持固定するホルダ31と、パターニングツール60が固定されたホルダ31を揺動可能とするホルダ揺動部34と、パターニングツール60の高さ位置を調整するための昇降部50とを有している。パターニングツール60は、膜5を部分的に剥離または除去し、溝6図3参照を形成する工具である。パターニングツール60は、概略、超硬合金やダイヤモンド焼結体などの硬質部材からなる。図7に示すように、パターニングツール60は、主として、刃部61と、把持部62と、を有している。パターニングツール60は、あるいは少なくともその刃部61は、図4から図7に示すように、平板状とされている。また、図7に示すように、刃部61はその先端部に、刃渡り方向矢印AR3方向に延びる刃先61aを有している。ここで、図4から図7に示すように、刃部61の表面に沿った方向であり、かつ、刃渡り方向と略垂直な方向矢印AR4方向を、長さ方向と定義する。刃先61aには、膜5に対する接触領域を確保し、かつ耐摩耗性を高めるべく、面取りが施されている。刃先61a面取りがなされている部分の長さ方向のサイズS1としては、0.3mm~2mmさらに好ましくは、0.5mm~1mmが好適である。また、刃部61全体の長さ方向におけるサイズS2としては、2mm~20mmさらに好ましくは、3mm~10mmが好適である。さらに、刃先61aの刃渡り方向におけるサイズS3としては、好ましくは1mm~15mmさらに好ましくは、2mm~10mmが好適である。把持部62は、図7に示すように、平板状とされており、刃部61から長さ方向矢印AR4方向に沿って延びる。把持部62の端部付近がホルダ31に設けられた固定穴31aに挿入されることによって、パターニングツール60はホルダ31に固定される。把持部62は、図7に示すように、刃渡り方向における刃先61aのサイズS3第3サイズの方が、同じく刃渡り方向における把持部62のサイズS4よりも大きくなるように、設けられている。これは、1回の溝加工によって形成する溝6の幅ができるだけ大きくなることを意図したものである。なお、刃渡り方向における把持部62のサイズS4としては、好ましくは0.5mm~12mmさらに好ましくは、1mm~8mmが好適である。以上の構成を有するパターニングツール60は、パターニングにあたって、ホルダ31に固定される。パターニングツール60をホルダ31に固定する手法としては、種々のものが適用可能であるが、ネジ止めによる固定が、簡便かつ安定的に行える点で好適である。より具体的には、図4および図5に示すように、パターニングツール60は、静止時において長さ方向が鉛直方向Z軸方向に略一致し、かつ刃先61aの刃渡り方向が溝6の加工方向Y軸方向に対して略垂直となるように、ホルダ31に対し固定される。<ホルダ揺動部および昇降部>パターニングツール60が固定されたホルダ31は、ホルダ揺動部34に保持される。そして、ホルダ揺動部34は、昇降部50に保持される。具体的には、図4ないし図6に示すように、ホルダ揺動部34は、ホルダ31が取り付けられるホルダジョイント35と、ホルダジョイント35を昇降部50に取り付けるためのホルダ取付ブロック40とを主に備える。ホルダジョイント35は、取付片36と、旋回部38とを有する。ホルダ取付ブロック40は、ベアリング46、47と、固定部49とを有する。取付片36は、ホルダジョイント35におけるホルダ31の直接の取付要素である。図4から図6に示すように、取付片36は、ホルダジョイント35の下端部分に設けられる。取付片36には、固定軸36aが設けられており、ホルダ31は、係る固定軸36aに取り付けられる。固定軸36aは、ホルダ31が取り付けられた状態においてパターニングツール60の長さ方向と略垂直であり、かつ、刃先61aの刃渡り方向と略垂直な方向矢印AR5方向に延在する。以下、刃先61aの刃渡り方向と略垂直な方向を単に軸心方向とも称する。この軸心方向は、静止時にはY軸方向と一致する。旋回部38は、ホルダジョイント35をホルダ取付ブロック40に接続するための部位である。旋回部38は、ホルダ取付ブロック40に備わるベアリング46、47によって軸支される。すなわち、旋回部38は、ベアリング46、47の内径面と対向するように、ホルダ取付ブロック40の本体部40aに挿入されている。これにより、ホルダジョイント35は、パターニングツール60の長さ方向と略平行な回転軸38aを中心に、回転可能とされてなる。なお、ベアリング46、47は、ホルダ取付ブロック40の本体部40a内に、静止時において上からこの順番に位置するように配置されている。従って、静止時においては、旋回部38の回転軸38aの延在方向はZ軸方向と一致する。係る旋回部38を備えることで、ホルダジョイント35は、旋回部38の回転軸38aを中心に、回転可能とされてなる。なお、回転軸38aは、加工方向と鉛直方向とを含む平面内に存在することになるので、換言すれば、ホルダジョイント35は、加工方向と鉛直方向とを含む平面内に存在する軸の周りに回転可能であるともいえる。ただし、旋回部38の先端部38bには旋回部38の回転動作を規制する固定部49が設けられる。これにより、ホルダジョイント35については、実際には、回転軸38a周りにおける所定の角度範囲内での揺動のみが許容されてなる。なお、本実施の形態では、2つのベアリング46、47を用いるものとして説明したが、ベアリングの個数はこれに限定されず、例えば、1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。昇降部50は、ホルダ揺動部34のホルダ取付ブロック40と接続され、ホルダ31を保持するホルダ揺動部34を全体としてZ軸方向に昇降させる部位である。図4に示すように、昇降部50は、主として、シリンダ51と、伝達部52とを有している。シリンダ51は、ホルダ揺動部34を上下方向Z軸プラスまたはマイナス方向に沿って昇降させるための駆動力を付与する駆動力供給源である。図4に示すように、シリンダ51は、ホルダ取付ブロック40の上方に配置されており、主として、本体部51aと、ロッド51bと、を有している。ロッド51bは、本体部51aに対して進退可能とされている。図4に示すように、ロッド51bの下端は、伝達部52に連結されている。したがって、シリンダ51が駆動し、ロッド51bが本体部51aから進出することによって、伝達部52は、ロッド51bの下端により下方向に押し下げられる。伝達部52は、シリンダ51とホルダ揺動部34のホルダ取付ブロック40との間に設けられており、シリンダ51からの駆動力をホルダ取付ブロック40に伝達する。ガイド機構53は、図4に示すように、主として、ガイドレール53aと、ガイドレール53aに沿って上下方向に摺動自在とされたガイドブロック53bとを有している。ガイドブロック53bには、ホルダ取付ブロック40の直接の取付要素である取付プレート54が付設されてなる。取付プレート54には、ホルダ取付ブロック40の回動軸40bが挿入される挿入口56と、回動軸40bを軸支するベアリング57とが設けられている。挿入口56は、図4に示すように、パターニングツール60の刃渡り方向に平行な方向に、換言すれば、水平面内において加工方向に垂直な方向に延在する。係る挿入口56に回動軸40bが挿入されることで、ホルダ揺動部34は、ベアリング57によって回動軸40b周りに回動可能となっている。なお、図5に示すように、あるいは図6において一点破線にて示すように、静止時において、ホルダ揺動部34は、パターニングツール60の長さ方向が鉛直方向に一致するように位置する。また、ホルダ揺動部34の回動軸40b周りの回動は、図示しない角度規制手段により、所定の角度θの範囲内に規制されてなる。例えば、図6においては矢印R3にて示す範囲でのみ回動可能とされてなる。より具体的には、静止時の位置を中心に±30°の範囲内に規制されるのが好適な一例である。また、回動軸40bが挿入口56に挿入されてなることにより、ホルダ揺動部34は、取付プレート54を介しガイドブロック53bによって保持されていることにもなる。シリンダ51によって付与された駆動力によって、ガイド機構53においてガイドブロック53bがガイドレール53aに沿ってガイドされることで、ホルダ揺動部34のZ軸方向における昇降動作が実現される。<パターニング>次に、以上のような構成を有するパターニング装置1によるパターニングについて説明する。図8は、パターニングツール60と、膜5が形成された基板4との位置関係を例示する正面図である。本実施の形態に係るパターニング装置1においては、上述のように、ホルダ揺動部34が水平面内において加工方向に垂直である回動軸40b周りに回動可能であり、かつ、ホルダジョイント35が加工方向と鉛直方向とを含む平面内にある回転軸38a周りに回転可能とされてなる。これにより、パターニングツール60を固定したホルダ31が、互いに直交する2軸の周りにおいて揺動可能な状態で、パターニングを行えるようになっている。なお、回動軸40bと回転軸38aとは、前者の垂直な面内に、後者が存在する関係にある。具体的には、まず、基板4がテーブル11に吸引固定された状態で、膜5のパターニング開始位置溝6の形成開始位置に対し、図8に示すようにパターニングツール60の刃先61aが突き当てられる。その際には、シリンダ51を所定の推力で駆動することにより、ホルダ31に固定されたパターニングツール60から基板4上の膜5に対し、所定の荷重が加えられる。そして、係る荷重を作用させた状態で、駆動部70によってパターニングツール60を含むパターニングヘッド30を膜5に対して移動させるようにする。このとき、水平面内において刃渡り方向が加工方向に直交するときの刃先61aの姿勢を基準姿勢と称する。いま、パターニング開始位置からの加工進行方向がY軸正方向であるとすると、静止時においては図5に示すように、あるいは図6において一点破線にて示すように、パターニングツール60の長さ方向が鉛直方向に一致する姿勢を有していたホルダ揺動部34が、刃先61aにおいて膜5からの抵抗力を加工進行方向と逆向きY軸負方向に受ける。これにより、係る抵抗力がトルクとなって、ホルダ揺動部34全体が回動軸40b周りに回動し、図6において実線にて示すように、鉛直方向からある角度θだけ傾斜した姿勢を取るようになる。パターニングヘッド30の移動は、ホルダ揺動部34がこの傾斜姿勢を保ったままで進行する。このとき、当然ながらパターニングツール60も静止時の姿勢から角度θだけ傾斜することとなるが、上述したZ軸方向におけるホルダ揺動部34の位置調整を、係る傾斜姿勢の状態においてもパターニングツール60が膜5に対し所定の荷重を作用させるように行っておくことで、パターニングヘッド30が移動している間、パターニングツール60の刃先61aによって、膜5の剥離または除去が実現される。なお、ここまではパターニングの際の加工進行方向がY軸正方向の場合について説明を行っているが、加工進行方向がこれと反転するY軸負方向の場合には、ホルダ揺動部34が図6において二点破線にて示す傾斜姿勢を取ることで、同様の態様での加工が行える。従って、例えば互いに平行な複数の溝6を形成するような場合であれば、加工進行方向をY軸正負方向で順次に反転させる往復加工が可能となる。この場合、加工進行方向が反転する度に、ホルダ揺動部34の傾斜姿勢が、図6の実線の場合と二点鎖線の場合とで交互に入れ替わることとなる。なお、往復加工する必要が無い場合には、回動軸40bを省略して、ホルダ揺動部34を所定の角度θで固定することとしてもよい。パターニングツール60を固定するホルダ31は、上述のように回転軸38a周りにおいて所定角度範囲内で揺動するホルダジョイント35に取り付けられてなることから、パターニングの間も、ホルダ31は係る回転軸38a周りに揺動可能な状態を保っている。それゆえ、膜5の加工対象位置が加工方向であるY軸方向を軸に傾斜しているような場合であっても、ホルダ31が回転軸38a周りにある角度αだけ回転することで、パターニングツール60は係る傾斜に倣った姿勢を取ることができる。この点について示すのが図9である。図9は、パターニングツール60の姿勢と溝6との関係を示す図である。例えば、図9aに示すように、膜5の加工対象位置がXY平面に平行な場合、ホルダ31は回転軸38a周りに回転する必要はないα=0。すなわち、刃先61aは基準姿勢に保たれる。このとき形成される溝66aの幅は、パターニングツール60の刃渡り方向におけるサイズS3とほぼ同程度である。ところが、図9bに示すように、基板4が反っているなどの理由で、膜5の加工対象位置がY軸方向を軸に傾斜している場合において、図9aと同様にホルダ31を回転軸38a周りに回転させないα=0とすると、パターニングツール60の刃先61aは基準姿勢を保ったままであるので、刃先61aと膜5との間に角度δの開きが生じ、刃先61aの一部のみが膜5と接触する状態で加工がなされてしまう、いわゆる片当たりの状態が生じる。このとき形成される溝66bの幅は、パターニングツール60の刃渡り方向におけるサイズS3に比してごく小さいものとなってしまう。これに対して、本実施の形態の場合は、図9cに示すように、膜5の加工対象位置がY軸方向を軸に傾斜している場合であっても、ホルダ31が回転軸38a周りにある角度αだけ回転することで、パターニングツール60の刃先61aの姿勢を基準姿勢から変化させ、刃先61aのほぼ全体を膜5に接触させる状態が実現される。このとき形成される溝66cの幅は、膜5に傾斜のない場合に比べると小さくはなるものの、ホルダ31が回転しない場合に比べると、充分に大きくなる。しかも、図9においては説明の便宜上傾斜を誇張しているが、実際の膜5における傾斜の程度凹凸差はせいぜい数百μm程度であるので、実質的には、ホルダ31を揺動させつつパターニングを行うことで、略一定の幅の溝6が形成される。すなわち、パターニングツール60の刃渡り方向において膜5に傾きがあったとしても、刃先61aの姿勢を該傾きに倣って変化させることで、幅の安定した溝6の形成が可能となる。以上、説明したように、本実施の形態に係るパターニング装置においては、パターニングツールを、加工方向と鉛直方向とを含む平面内にある回転軸の周りにおいて揺動可能とした状態で、基板の主面上に設けられた膜のパターニングを行えるようになっている。これにより、基板に反りがあるなどの理由でパターニングの対象たる膜において刃渡り方向に傾きがある場合であっても、パターニングツールの刃先の姿勢を該傾きに倣って変化させることが出来るので、所望する幅の溝を安定的に形成することができる。<変形例>以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。図10は、変形例に係るパターニングツール160を示す正面図である。図10に示すパターニングツール160は、材質をばね鋼とし、上述の実施の形態に係るパターニングツール60の刃部61に、貫通孔61bを設けたものである。これにより、パターニングツール160においては、パターニングツール60に比して、刃先61aにおける剛性が小さくなっている。図11は、パターニングツール160をパターニング装置1によるパターニングに用いた場合の様子を例示する図である。パターニングツール160は、貫通孔61bを備えることで刃先61aの剛性が小さくなっているので、膜5に突き当てられた刃先61aが基板4の主面の形状に倣って変形しやすいものとなっている。それゆえ、基板4の反り等に起因して膜5に傾斜がある場合に、上述の実施の形態に比して、刃先61aをより基板4の主面に沿って追従させやすくなっている。これにより、刃先61aが基板4上に形成された膜5に片当たりすることが、さらに好適に抑制される。また、パターニングによって膜5から剥離または除去された部分加工くずは、刃部61に設けられた貫通孔61bを介して、パターニングツール160の加工進行方向と逆側に排出される。これにより、加工くずが加工進行方向に存在してパターニングの邪魔となることや刃先61aに付着することが抑制されるので、パターニングの精度がより高まる。なお、パターニングツール160を用いる場合、膜5の凹凸がそれほど大きくなければ、回転軸38a周りの揺動を行わない場合であっても、片当たりを抑制する効果は得られる。図12および図13はそれぞれ、変形例に係るパターニングツール260、360の構成を示す正面図である。すなわち、パターニング装置1におけるパターニングには、図12のパターニングツール260のように、刃渡り方向における刃部261および把持部262のサイズが略同一のものを用いてもよい。すなわち、係る場合、把持部262の刃渡り方向のサイズがパターニングツール60の把持部62の同方向のサイズS4と同じであるとすると、刃先261aの刃渡り方向のサイズは、パターニングツール60の同方向の刃先61aのサイズS3よりも小さくなるが、形成しようとする溝6のサイズに応じて、用いるパターニングツールが選択されてよい。一方、図13に示すパターニングツール360は、上述の変形例に係るパターニングツール160の刃部61に、貫通孔361bを設けたものである。係るパターニングツール360においても、パターニングツール160と同様の効果が得られる。また、上述の実施の形態において、ホルダ31は固定軸36aに対して揺動可能に取り付けられる態様であってもよい。すなわち、ホルダ31が図4の矢印R2方向に揺動する態様であってもよい。例えば、パターニングツール60の傾きがほとんど無い状態でパターニングを行う場合、回転軸38a周りの揺動では片当たりを抑制することが難しい場合があるが、ホルダ31が固定軸36a周りで揺動可能であるとすると、そのような場合でも片当たりが抑制される。また、上述の実施の形態において、パターニング装置1は、太陽電池3の膜5を剥離または除去パターニングの対象としているが、パターニング装置1におけるパターニングの対象はこれに限定されるものでない。対象としては、土台となる基部基板に限定されないの上にパターニング可能な膜が形成されているものであれば十分である。また、上述の実施の形態では、パターニングに際して、パターニングヘッド30が駆動部70により保持ユニット10に対して加工方向矢印AR2方向に移動させられるものとして説明したが、パターニングの態様はこれに限定されるものでない。例えば、パターニングヘッド30が固定され、保持ユニット10が加工方向に移動させられても良い。さらに、保持ユニット10およびパターニングヘッド30の両者が加工方向に移動させられても良い。すなわち、保持ユニット10およびパターニングヘッド30の少なくとも一方が他方に対して相対的に移動させられれば十分である。