"不活性ガスとO2との混合気体を封入するケースと、このケースの内側に固定部を固定されるとともにSiからなる基材の上面にチタン酸ジルコン酸鉛を含有する圧電層で構成された駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記ケースの内底面に下面を接合されるとともに前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力しかつ振動子における検出電極から出力される検出信号を処理するICと、前記ケースの内底面とICの下面とを接合する接着剤とを備え、前記接着剤に無機化合物を含有させるとともに、前記ケース内に水分ゲッター材を設けた角速度センサ。しかしながら、上記従来の構成においては、角速度センサが、長時間高温雰囲気中に置かれると、ケース54の内側に封入されたO2と有機接着剤とが反応しH2OとCO2とになるため、ケース54内部のO2が希薄になり、これにより、チタン酸ジルコン酸鉛[PbZr,TiO3]からなる圧電層のO2が抜け欠陥となるから、圧電層の分極量が低下することとなり、角速度センサの感度が低下してしまうという課題を有していた。本発明は上記従来の課題を解決するもので、角速度センサの周囲の温度が長時間上昇しても、圧電層の分極量が低下することにより、感度が低下してしまうということのない特性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、不活性ガスとO2との混合気体を封入するケースと、このケースの内側に固定部を固定されるとともにSiからなる基材の上面にチタン酸ジルコン酸鉛を含有する圧電層で構成された駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記ケースの内底面に下面を接合されるとともに前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力しかつ振動子における検出電極から出力される検出信号を処理するICと、前記ケースの内底面とICの下面とを接合する接着剤とを備え、前記接着剤に無機化合物を含有させるとともに、前記ケース内に水分ゲッター材を設けたもので、この構成によれば、接着剤に無機化合物を含有させたため、角速度センサの周囲の温度が上昇しても、ケースの内側に封入されたO2と無機接着剤とは反応しないため、ケース内部のO2が希薄になることがなくなり、これにより、チタン酸ジルコン酸鉛[PbZr,TiO3]からなる圧電層のO2が抜ける欠陥が生じないから、圧電層の分極量が低下を防止することとなり、さらに、ケース内に水分ゲッター材を設けたため、振動子の表面にH2Oが結合することを防止でき、振動子の質量バランスが安定するので、その結果、角速度センサの出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。本発明の角速度センサは、不活性ガスとO2との混合気体を封入するケースと、このケースの内側に固定部を固定されるとともにSiからなる基材の上面にチタン酸ジルコン酸鉛を含有する圧電層で構成された駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記ケースの内底面に下面を接合されるとともに前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力しかつ振動子における検出電極から出力される検出信号を処理するICと、前記ケースの内底面とICの下面とを接合する接着剤とを備え、前記接着剤に無機化合物を含有させるとともに、前記ケース内に水分ゲッター材を設けたもので、この構成によれば、接着剤に無機化合物を含有させたため、角速度センサの周囲の温度が長時間上昇しても、ケースの内側に封入されたO2と無機接着剤とは反応しないため、ケース内部のO2が希薄になることがなくなり、これにより、チタン酸ジルコン酸鉛[PbZr,TiO3]からなる圧電層のO2が抜ける欠陥が生じないから、圧電層の分極量が低下を防止することとなり、さらに、ケース内に水分ゲッター材を設けたため、振動子の表面にH2Oが結合することを防止でき、振動子の質量バランスが安定するので、その結果、角速度センサの出力信号の精度が向上するという効果を有するものである。以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図、図2は同角速度センサの側断面図、図3は同角速度センサにおける振動子の斜視図、図4は同角速度センサにおける振動子の側断面図である。図1~図4において、61は音叉形状の振動子で、この振動子61は図3に示すように、第1の腕部61a、第2の腕部61bおよび第1の腕部61aと第2の腕部61bの一端を接続する支持部61cとにより構成されている。また、振動子61は図4に示すように、Siからなる基材62の上面の全面にわたってPtとTiの合金薄膜からなる共通基準電極63を設け、さらにこの共通基準電極63の上面にPZT薄膜からなる圧電層64を設けている。そしてまた、音叉形状の振動子61は、図3に示すように、上面の略中央の内側に位置して、圧電層64の上面に一対の第1の駆動電極65を設けるとともに、略中央の外側に位置して圧電層64の上面に一対の第2の駆動電極66を設けている。また、この振動子61は、上面の先端側に位置して、圧電層64の上面に一対の検出電極67を設けるとともに、第1の駆動電極65より根元側に位置して、圧電層64の上面にモニター電極68を設けている。そしてまた、振動子61における支持部61cの表面に位置して、圧電層64の表面にGND電極69を設けている。70はセラミックからなるケースで、このケース70は内底面および内側面から外底面にわたってセラミックと配線用導体の層構造からなり、配線パターン図示せずを有する多層回路基板72を設けている。また、前記ケース70の側壁73の内側面に設けた段差部74に端子電極75を設けるとともに、外底面に電源電極76、GND電極77および出力電極78を設けており、前記端子電極75と、電源電極図示せず、GND電極図示せずおよび出力電極図示せずとを、配線パターン図示せずにより電気的に接続している。そして、また、ケース70における側壁73の上面にコバールからなる金属枠79を設けている。88はICで、このIC88は前記ケース70の内底面に設けられるとともに、振動子61からの出力信号を処理している。そしてまた、前記ケース70の内底面と、IC88の下面とは、無機接着剤89により接着している。さらに、前記ケース70の段差部74には、水分ゲッター材90を設けている。91はコバールからなる上蓋で、この上蓋91は前記ケース70の開口部を閉塞している。そして、前記ケース70と上蓋91とにより密閉された空間には、O2と例えばHe等の不活性ガスとの混合気体92を封入している。以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次に、その組立方法を説明する。まず、予め準備した図5aに示すSiからなる基材62の上面に図5bに示すように、PtとTiの合金薄膜からなる共通基準電極63をスパッタにより形成し、その後、図5cに示すように、共通基準電極63の上面にPZT薄膜からなる圧電層64をスパッタにより形成する。次に、図5dに示すように、圧電層64の上面にTiとAuの合金薄膜からなる形成途上電極65aをスパッタにより形成し、その後、図5eに示すように、所定の形状になるように、共通基準電極63、圧電層64および形成途上電極65aの不要な箇所を除去し、圧電層64の上面に第1の駆動電極65、第2の駆動電極66、検出電極67、モニター電極68およびGND電極69を形成する。次に、共通基準電極63側に電圧を印加するとともに、第1の駆動電極65、第2の駆動電極66、検出電極67、モニター電極68およびGND電極69を接地することにより、圧電層64を分極する。次に、基材62における不要な箇所を除去することにより、図5fに示すように、個片の振動子61を形成する。次に、予め準備したセラミックからなる絶縁体図示せずと配線用導体図示せずからなる多層回路基板72の上面の外周にわたって、セラミックからなる側壁73および段差部74を形成した後、この段差部74の上面に、Auからなる端子電極75を形成し、さらに、側壁73の上面にコバールからなる金属枠79を固着する。次に、IC88をケース70における多層回路基板72の上面に実装し、ディスペンサーで塗布した無機接着剤89により接着し、IC88と多層回路基板72とを電気的に接続する。次に、ケース70の段差部74に水分ゲッター材90をディスペンサーで、塗布する。次に、ケース70の開口部に、金属製の上蓋91をシーム溶接によりHeからなる不活性ガスとH2Oとの混合ガスの雰囲気中で固着する。以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次に、その動作を説明する。まず、音叉型の振動子61における第1の腕部61aおよび第1の腕部61aに設けた第1の駆動電極65に正電圧を印加するとともに、第2の駆動電極66に負電圧を印加すると、第1の駆動電極65の下側に位置する圧電層64が伸びるとともに、第2の駆動電極66の下側に位置する圧電層64が縮むため、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bが外側に向かって開かれる。次に、音叉型の振動子61における第1の腕部61aおよび第1の腕部61aに設けた第1の駆動電極65に負電圧を印加するとともに、第2の駆動電極66に正電圧を印加すると、第1の駆動電極65の下側に位置する圧電層64が縮むとともに、第2の駆動電極66の下側に位置する圧電層64が伸びるため、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bが内側に向かって閉じられる。すなわち、音叉型の振動子61における第1の駆動電極65および第2の駆動電極66に交流電圧を印加すると、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bは面内方向の固有振動数で速度Vの屈曲運動をする。そして、振動子61の屈曲運動はモニター電極68から発生する出力信号が一定になるように、第1の駆動電極65および第2の駆動電極66に印加する電圧を調整することにより、屈曲振動の振幅を制御している。そしてまた、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bが固有振動数で屈曲運動している状態において、振動子61が長手方向の中心軸検知軸周りに角速度ωで回転すると、振動子61における第1の腕部61aおよび第2の腕部61bのアームにF=2mV×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、検出電極67の下側に位置する圧電層64に発生する電荷からなる出力信号を検出電極67、端子電極75、ケース70における配線パターン図示せずを介してIC88に入力し、波形処理をした後、ケース70における出力電極図示せずから外部に角速度の出力信号として出力するものである。ここで、前記ケース70にIC88を有機接着剤図示せずで接着する場合と、無機接着剤89とで接着する場合とを比較して考える。角速度センサの電源端子図示せずに5.25V印加し、155°Cの雰囲気中で、約200時間放置した後、125°Cでの感度を比較した。初期と耐久後の感度の変化量は、従来の有機化合物含有の接着剤使用に比べて、無機化合物含有の接着剤89を使用した方が大幅に減少した。すなわち、接着剤89に無機化合物を含有させたため、角速度センサの周囲の温度が長時間上昇しても、ケース70の内側に封入されたO2と接着剤89とは反応しないため、ケース70内部のO2が希薄になることがなくなり、これにより、チタン酸ジルコン酸鉛[PbZr,TiO3]からなる圧電層64のO2が抜ける欠陥が生じないから、圧電層64の分極量の低下を防止することができることとなり、角速度センサの出力感度が安定するという作用効果を有するものである。そして、本発明の一実施の形態における角速度センサにおいては、ケース70内に水分ゲッター材90を設けたため、振動子61の表面にH2Oが結合することを防止でき、振動子61の質量バランスが安定するので、その結果、角速度センサの出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。"