"軸部に設けられた磁歪材と、この磁歪材を囲うように配置されるコイルボビンと、このコイルボビンに巻かれ前記磁歪材の磁気特性の変化を検出する複数のコイルと、これらのコイル、ボビン及び磁歪材を収納するハウジングと、このハウジングの軸方向端部に形成され前記ハウジングを他の部材に取付けるためのフランジ部とを有する磁歪式トルクセンサにおいて、前記ハウジングは、モールド成形によって、前記コイルボビンと一体的に成形された樹脂製品であり、前記フランジ部は、金属製品であって、前記コイルボビンと一体化されている前記ハウジングの軸方向一端部に、樹脂のモールド成形によって固定されていることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。前記軸部は、前記フランジ部よりも前記軸部の先端部側で軸受にて支持され、前記フランジ部及び前記ハウジング部は、お互いがそれぞれ軸方向に、弾性部材によって付勢され、この弾性部材は、前記ハウジングに対して前記フランジ部が前記軸部の軸方向で重なり合う部位で、且つ前記フランジ部よりも前記軸部の基端部側に配置されていることを特徴とする請求項1記載の磁歪式トルクセンサ。磁歪式トルクセンサの製造方法において、コイルが巻かれたコイルボビンと、金属製のフランジ部とを準備する工程と、前記コイルボビンを収納するためのハウジングを形成する第1の型に、前記コイルボビンをセットする工程と、前記第1の型に樹脂を供給し、前記コイルボビンに前記ハウジングを一体成形した成形品を得る工程と、前記成形品及び前記フランジ部を第2の型にセットする工程と、前記第2の型に樹脂を供給し、この供給した樹脂により前記成形品に前記フランジ部を固定する工程とからなることを特徴とする磁歪式トルクセンサの製造方法。本発明は、コイルの検出精度を高めることができる磁歪式トルクセンサの技術の提供を課題とする。請求項1に係る発明は、軸部に設けられた磁歪材と、この磁歪材を囲うように配置されるコイルボビンと、このコイルボビンに巻かれ磁歪材の磁気特性の変化を検出する複数のコイルと、これらのコイル、ボビン及び磁歪材を収納するハウジングと、このハウジングの軸方向端部に形成されハウジングを他の部材に取付けるためのフランジ部とを有する磁歪式トルクセンサにおいて、ハウジングは、モールド成形によって、コイルボビンと一体的に成形された樹脂製品であり、フランジ部は、金属製品であって、コイルボビンと一体化されているハウジングの軸方向一端部に、樹脂のモールド成形によって固定されていることを特徴とする。請求項2に係る発明では、軸部は、前記フランジ部よりも先端部側で軸受にて支持され、フランジ部及びハウジング部は、お互いがそれぞれ軸方向に、弾性部材によって付勢され、この弾性部材は、ハウジングに対してフランジ部が軸部の軸方向で重なり合う部位で、且つフランジ部よりも前記軸部の基端部側に配置されていることを特徴とする。請求項3に係る発明は、磁歪式トルクセンサの製造方法において、コイルが巻かれたコイルボビンと、金属製のフランジ部とを準備する工程と、コイルボビンを収納するためのハウジングを形成する第1の型に、コイルボビンをセットする工程と、第1の型に樹脂を供給し、コイルボビンにハウジングを一体成形した成形品を得る工程と、成形品及びフランジ部を第2の型にセットする工程と、第2の型に樹脂を供給し、この供給した樹脂により成形品にフランジ部を固定する工程とからなることを特徴とする。請求項1に係る発明では、ハウジングは、モールド成形によってコイルボビンと一体的に成形された樹脂製品である。フランジ部がハウジングの軸方向一端に樹脂モールド成形にて固定されるため、ハウジングはフランジとねじ止めする必要がなくなる。よって、ハウジングは複数箇所のねじ止め部を設けるために一部の厚さを他の部分よりも厚くする必要がなくなるので、比較的厚さが一定であるハウジングを樹脂で成形することが可能となる。よって、複数のコイルや、コイルボビン、ヨーク等に加わる樹脂のモールド成形時の熱の低下によって発生する収縮力のばらつきを低減させることができる。よって、複数のコイル間の収縮力によるコイル内径の寸法変化によるコイルと軸部とのエアギャップや、収縮力によるヨークの透磁率変化等のばらつきを抑制できるので、トルクセンサとしての精度を保つことができる。また、コイルボビンとハウジングとを一体成形することにより、これらの中心軸を一致させることができる。加えて、フランジ部は、ハウジングの一端部に樹脂のモールド成形によって固定されている金属製品である。高い強度が求められるフランジ部は、ハウジングの一端部に固定される。固定されるのがハウジングの一端部であるため、固定に用いる樹脂の熱収縮の影響をコイルボビンに及ぼさない。樹脂の熱収縮の影響を和らげることにより、コイルの検出精度を高めることができる。請求項2に係る発明では、軸部は、フランジ部よりも軸方向先端部側で軸受にて支持され、フランジ部とハウジングとは、フランジ部よりも軸方向基端部側に配置された弾性部材によって、軸方向に付勢されている。磁歪材が設けられた軸部は、フランジ部よりも軸方向先端部側で軸受によって支持されているので、軸部が熱により膨張する場合は、軸受を起点として、軸方向基端部側に軸部が伸びる。しかし、ハウジングとフランジ部とで異なる素材を用いた本発明では、ハウジングとフランジ部とで熱膨張率が異なる。よって、ハウジングと、フランジ部とが熱により膨張した場合、ハウジングの方がより膨張するため、ハウジングとフランジ部とに軸方向で隙間が生じる。そうなると、ハウジング軸方向で、先端部、基端部のどちらにも膨張できてしまうので、軸部が上側に膨張して伸びていくのに対し、コイル等を備えるハウジングが場合によっては先端部側に伸びてしまい、磁歪材とコイルとの軸方向のずれが大きく発生し、トルクの検出精度が低下してしまう。しかしながら、本発明では、熱膨張率がことなるハウジングとフランジ部との間にフランジ部よりも軸方向基端部側に弾性部材を介在させることで、ハウジングを常に軸方向基端部側に付勢するので、ハウジングの熱膨張を、全て軸方向基端部側への移動とすることができる。よって、軸部、ハウジング、フランジ部とが熱の影響を受けたとしても、軸部に設けた磁歪材の移動方向と、ハウジングの移動方向を同じ方向にでき、磁歪材と検出コイルとの軸方向のずれを低減できるので、高いトルクの検出精度を確保することができる。請求項3に係る発明では、ハウジングは、モールド成形によってコイルボビンと一体的に形成される。フランジ部がハウジングの軸方向一端に樹脂モールド成形にて固定されるため、ハウジングはフランジとねじ止めする必要がなくなる。よって、ハウジングは複数箇所のねじ止め部を設けるために一部の厚さを他の部分よりも厚くする必要がなくなるので、比較的厚さが一定であるハウジングを樹脂で成形することが可能となる。よって、複数のコイルや、コイルボビン、ヨーク等に加わる樹脂のモールド成形時の熱の低下によって発生する収縮力のばらつきを低減させることができる。よって、複数のコイル間の収縮力によるコイル内径の寸法変化によるコイルと軸部とのエアギャップや、収縮力によるヨークの透磁率変化等のばらつきを抑制できるので、トルクセンサとしての精度を保つことができる。また、コイルボビンとハウジングとを一体成形することにより、これらの中心軸を一致させることができる。一方、フランジ部は、ハウジングの一端部に樹脂のモールド成形によって固定されている。高い強度が求められるフランジ部は、ハウジングの一端部に固定される。固定されるのがハウジングの一端部であるため、固定に用いる樹脂の熱収縮の影響をコイルボビンに及ぼさない。本発明の実施の形態を添付図に基づいて以下に説明する。実施例1に係る磁歪式トルクセンサが電動パワーステアリング装置に搭載された例に基づいて、以下説明する。図1に示すように、電動パワーステアリング装置10は、車両のステアリングハンドル21から車両の操舵車輪29,29例えば前輪に至るステアリング系20と、このステアリング系20に補助トルクを加える補助トルク機構40とからなる。ステアリング系20は、ステアリングハンドル21にステアリングシャフト22及び自在軸継手23,23を介してピニオン軸24軸部24を連結し、ピニオン軸24にラックアンドピニオン機構25を介してラック軸26を連結し、ラック軸26の両端に左右のタイロッド27,27及びナックル28,28を介して左右の操舵車輪29,29を連結したものである。ラックアンドピニオン機構25は、ピニオン軸24に形成されたピニオン31と、ラック軸26に形成されたラック32とからなる。ステアリング系20によれば、運転者がステアリングハンドル21を操舵することで、この操舵トルクによりラックアンドピニオン機構25及び左右のタイロッド27,27を介して、左右の操舵車輪29,29を操舵することができる。補助トルク機構40は、ステアリングハンドル21に加えたステアリング系20の操舵トルクを磁歪式トルクセンサ60で検出し、この磁歪式トルクセンサ60のトルク検出信号に基づき制御部42で制御信号を発生し、この制御信号に基づき操舵トルクに応じた補助トルクを電動モータ43で発生し、この補助トルクをウォームギヤ機構44を介してピニオン軸24に伝達し、さらに、補助トルクをピニオン軸24からステアリング系20のラックアンドピニオン機構25に伝達するようにした機構である。電動パワーステアリング装置10によれば、運転者の操舵トルクに電動モータ43の補助トルクを加えた複合トルクにより、ラック軸26で操舵車輪29,29を操舵することができる。図2に示されるように、下部ハウジング51は車幅方向図左右方向に延びており、ラック軸26を軸方向にスライド可能に収容している。ラック軸26は、下部ハウジング51から突出した長手方向両端にボールジョイント52,52を介してタイロッド27,27を連結している。図3に示されるように、磁歪式トルクセンサ60は、ピニオン軸24の外周面に形成されトルクに応じて磁歪特性が変化する一対の磁歪材61,62と、これらの磁歪材61,62を囲うように配置されているコイルボビン63と、このコイルボビン63に巻かれ磁歪材61,62に生じた磁歪効果を検出するコイル65,66と、コイルボビン63の軸方向両端にそれぞれ配置されているヨーク67,68と、これらのヨーク67,68、コイル65,66が巻かれたコイルボビン63とを一体的に固定する樹脂製の上部ハウジング71ハウジング71と、この上部ハウジング71の端部に樹脂72を介して固定されている金属製のフランジ部73と、上部ハウジング71に一体的に形成されている端子74とからなる。磁歪材61,62は、ピニオン軸24の軸長手方向に互いに逆方向の残留歪みが付与された磁歪膜からなる。磁歪膜は、歪みの変化に対して磁束密度の変化の大きい材料からなる膜である。磁歪材61,62は、それぞれ異なる異方性を持てばよく、一枚の磁歪膜に2箇所の磁歪部を形成してもよい。上部ハウジング71の端面部には、環状の凹部76が形成されている。この凹部76にシール部材77が嵌合されている。上部ハウジング71の端面部にフランジ部73が重ね合わされることにより、シール部材77は、圧縮されて弾性変形をする。このため、シール部材77は、上部ハウジング71の端面とフランジ部との間をシールすると共に、フランジ部73を離間させる方向に向かって付勢する。上部ハウジング71に対してフランジ部73がピニオン軸24の軸方向で重なり合う部位に凹部76が配置されている。ピニオン軸24は、フランジ部73よりも軸方向先端部24a側で軸受54,55にて支持され、フランジ部73と上部ハウジング71とは、フランジ部73よりも軸方向基端部24b側に配置されたシール部材77によって、軸方向に付勢されている。磁歪材61,62が設けられたピニオン軸24は、フランジ部73よりも軸方向先端部24a側で軸受によって支持されているので、ピニオン軸24が熱により膨張する場合は、軸受54,55を起点として、軸方向基端部24b側にピニオン軸24が伸びる。しかし、上部ハウジング71とフランジ部73とで異なる素材を用いた本発明では、上部ハウジング71とフランジ部73とで熱膨張率が異なる。よって、上部ハウジング71と、フランジ部73とが熱により膨張した場合、上部ハウジング71の方がより膨張するため、上部ハウジング71とフランジ部73とに軸方向で隙間が生じる。そうなると、上部ハウジング71軸方向で、先端部、基端部のどちらにも膨張できてしまうので、ピニオン軸24が上側に膨張して伸びていくのに対し、コイル65,66等を備える上部ハウジング71が場合によっては先端部側に伸びてしまい、磁歪材61,62とコイル65,66との軸方向のずれが大きく発生し、トルクの検出精度が低下してしまう。しかしながら、本発明では、熱膨張率がことなる上部ハウジング71とフランジ部73との間にフランジ部73よりも軸方向基端部24b側にシール部材77を介在させることで、上部ハウジング71を常に軸方向基端部24b側に付勢するので、上部ハウジング71の熱膨張を、全て軸方向基端部24b側への移動とすることができる。よって、ピニオン軸24、上部ハウジング71、フランジ部73とが熱の影響を受けたとしても、ピニオン軸24に設けた磁歪材61,62の移動方向と、上部ハウジング71の移動方向を同じ方向にでき、磁歪材61,62と検出コイル65,66との軸方向のずれを低減できるので、高いトルクの検出精度を確保することができる。加えて、凹部76であればモールド成形により一度の作業で形成することができる。他の工程を経て弾性部材シール部材77の収納部を設ける場合に比べて、形成が容易である。下部ハウジング51他の部材の端面部には、環状の凹部79が形成されている。この凹部79にシール部材78が嵌合されている。下部ハウジング51の端面部にフランジ部73が重ね合わされることにより、シール部材78は、圧縮されて弾性変形をする。このため、シール部材77は、下部ハウジング51の端面とフランジ部との間をシールすると共に、フランジ部73を離間させる方向に向かって付勢する。即ち、シール部材78は、フランジ部73を上部ハウジング71に向かって押しつけるように、フランジ部73を付勢している。端子74は、上部ハウジング71から周方向に向かって突出して形成されている。端子74は、通電部74aと、この通電部74aを囲う周壁部74bとからなる。図4も参照して、フランジ部73は、周方向に向かって延びている略円盤状の基部81と、この基部81の中央で立ち上げられる立上げ部82とからなる。立上げ部82には、樹脂72を通過させるための複数の穴部83が形成されている。これらの穴部83に樹脂72を流し込む構成とすることで、樹脂72がフランジ部73の軸方向における抜け止めとなる。立上げ部82基部81の端部にはボルト84を通すためのボルト穴85,85が形成されている。上部ハウジング71は、モールド成形によってコイルボビン63と一体的に形成された樹脂製品である。フランジ部73が上部ハウジング71の軸方向一端に樹脂モールド成形にて固定されるため、上部ハウジング71はフランジ部73とねじ止めする必要がなくなる。よって、上部ハウジング71は複数箇所のねじ止め部を設けるために一部の厚さを他の部分よりも厚くする必要がなくなるので、比較的厚さが一定である上部ハウジング71を樹脂で成形することが可能となる。よって、複数のコイル65,66や、コイルボビン63、ヨーク68等に加わる樹脂のモールド成形時の熱の低下によって発生する収縮力のばらつきを低減させることができる。よって、複数のコイル65,66間の収縮力によるコイル内径の寸法変化によるコイル65,66と軸部24とのエアギャップや、収縮力によるヨーク68の透磁率変化等のばらつきを抑制できるので、トルクセンサとしての精度を保つことができる。一方、フランジ部73は、上部ハウジング71の一端部に樹脂72のモールド成形によって固定されている金属製品である。高い強度が求められるフランジ部73は、上部ハウジング71の一端部に固定される。固定されるのが上部ハウジング71の一端部であるため、固定に用いる樹脂72の影響はコイルボビン63に及ばない。樹脂の熱収縮の影響を和らげることにより、コイル65,66の検出精度を高めることができる。このような磁歪式トルクセンサ60の製造方法について詳細を次図以降で説明する。図5aに示すように、第1の型90の下型91に形成された芯出し部91aにコイル65,66が巻かれたコイルボビン63をセットする。次に、図5bに示すように、下型91に向かって側部金型92,93及び上型94を移動させる。下型91、側部金型92,93及び上型94を所定の位置に配置することで、キャビティ95が形成される。次に、図6aに示すように、キャビティ95内に溶融された樹脂を流し込む。流し込んだ樹脂を冷却し、樹脂が固化させる。固化させたら図6bに示すように、成形品98を取り出す。上部ハウジング71とコイルボビン63とを一体成形することで、これらの中心軸を一致させることができる。図7aに示すように、第2の型100の下型101に、成形品98をセットする。セットした成形品98の凹部76にシール部材77をセットし、フランジ部73をセットする。フランジ部73の下方に配置されているのは、スライド型102である。図7bに示すように、第2の型100の上型103を下型101に向かって移動させ、キャビティ105を形成する。図8に示すように、キャビティ105に溶融した樹脂を流し込む。溶融した樹脂を冷却させ、固化させることでコイルボビン63、上部ハウジング71、端子74、シール部材77、フランジ部73は一体的に形成される。上部ハウジング71は、モールド成形によってコイルボビン63と一体的に形成される。フランジ部73が上部ハウジング71の軸方向一端に樹脂モールド成形にて固定されるため、上部ハウジング71はフランジ部73とねじ止めする必要がなくなる。よって、上部ハウジング71は複数箇所のねじ止め部を設けるために一部の厚さを他の部分よりも厚くする必要がなくなるので、比較的厚さが一定である上部ハウジング71を樹脂で成形することが可能となる。よって、複数のコイル65,66や、コイルボビン63、ヨーク68等に加わる樹脂のモールド成形時の熱の低下によって発生する収縮力のばらつきを低減させることができる。よって、複数のコイル65,66間の収縮力によるコイル内径の寸法変化によるコイル65,66と軸部24とのエアギャップや、収縮力によるヨーク68の透磁率変化等のばらつきを抑制できるので、トルクセンサとしての精度を保つことができる。一方、フランジ部73は、上部ハウジング71の一端部に樹脂72のモールド成形によって固定されている。高い強度が求められるフランジ部73は、上部ハウジング71の一端部に固定される。固定されるのが上部ハウジング71の一端部特にフランジ部73よりも端部側である一端部のみであるため、固定に用いる樹脂72の影響はコイルボビン63に及ばない。次に、本発明の実施例2を図面に基づいて説明する。図9は実施例2の磁歪式トルクセンサ110の断面構成を示し、上記図3に対応させて表している。図9に示されるように、磁歪式トルクセンサ110は、コイルボビン63の両端にヨーク図3、符号67,68参照。が配置されていない。このような磁歪式トルクセンサ110であっても、本発明の効果を得ることができる。尚、本発明に係る磁歪式トルクセンサは、電動パワーステアリング装置に用いる場合を例に説明したが、適宜他の装置にも適用可能であり、これらの形式のものに限られるものではない。"