処理室を区画する、開口部を有するチャンバ本体と、この開口部に対してOリングを介在させて圧接し、処理室内を気密保持する閉位置と、前記開口部から離間した開位置との間で移動自在な開閉扉と、前記開閉扉の閉位置で処理室内を真空引きする排気手段とを備える真空処理装置において、前記処理室を真空引きした状態で、前記開閉扉に対し、当該開閉扉のチャンバ本体への圧接方向に引張力を加える引張手段を更に備え、前記処理室内の圧力が上昇したとき、大気圧より高い所定圧力までは、前記引張手段が弾性変形して開閉扉を閉位置に保持し、前記所定圧力を超えると、前記引張手段が塑性変形して開閉扉がチャンバ本体から離間する運動エネルギーを吸収するように構成したことを特徴とする真空処理装置。前記引張手段は、開閉扉とチャンバ本体とに夫々立設した保持部材間に張設される、円環部材の複数を鎖状に連結してなるチェーン体であることを特徴とする請求項1記載の真空処理装置。前記円環部材は、オーステナイト系ステンレス鋼製であることを特徴とする請求項2記載の真空処理装置。前記保持部材の少なくとも一方とチェーン体とは、当該チェーン体に引張力を加え得る張力印加部材を介して連結されることを特徴とする請求項2記載の真空処理装置。本発明は、以上の点に鑑み、処理室内の圧力が上昇しても、大気圧より高い所定圧力までは確実に処理室内が気密保持される一方で、この所定圧力を超えて圧力上昇した場合に真空処理装置自体の破損を防止することができるようにした真空処理装置を提供することをその課題とするものである。上記課題を解決するために、本発明は、処理室を区画する、開口部を有するチャンバ本体と、この開口部に対してOリングを介在させて圧接し、処理室内を気密保持する閉位置と開口部から離間した開位置との間で移動自在な開閉扉と、前記開閉扉の閉位置で処理室内を真空引きする排気手段とを備える真空処理装置において、前記処理室を真空引きした状態で、前記開閉扉に対し、当該開閉扉のチャンバ本体への圧接方向に引張力を加える引張手段を更に備え、前記処理室内の圧力が上昇したとき、大気圧より高い所定圧力までは、前記引張手段が弾性変形して開閉扉を閉位置に保持し、前記所定圧力を超えると、前記引張手段が塑性変形して開閉扉がチャンバ本体から離間する運動エネルギーを吸収するように構成したことを特徴とする。本発明によれば、開閉扉の閉位置で処理室内を真空引きして減圧した後、引張手段を取り付け、処理室内で所定の処理が開始される。そして、処理中に何らかの原因で大量のガスが発生し、処理室内の圧力が上昇しても、引張手段を備えるため、大気圧より高い所定圧力までは、引張手段により開閉扉が閉位置に保持されて処理室内が気密保持され、処理室内への空気の流入を防止することができる。このため、処理室内に例えば水素が発生したような場合に、不活性ガスで希釈し、その後、温度が低下した後に処理室内を大気開放し、水素の発生原因を特定し、対策を講じた後に、処理室内での処理を復帰させることが可能となる。そして、所定圧力以上に圧力が上昇した場合には、引張手段が塑性変形し、開閉扉を開放して処理室内の圧力を逃がすと同時に、開閉扉がチャンバ本体から離間する運動エネルギーを吸収する。そのため、真空処理装置自体の破損を防止することが可能となる。本発明において、前記引張手段は、開閉扉とチャンバ本体とに夫々立設した保持部材間に張設される、円環部材の複数を鎖状に連結してなるチェーン体であることが好ましい。これによれば、上記機能を持つ引張手段を簡単な構成で実現できてよい。この場合、円環部材は、オーステナイト系ステンレス鋼製とすればよい。また、この場合、前記保持部材の少なくとも一方とチェーン体とは、当該チェーン体に引張力を加え得る張力印加部材を介して連結しておけば、引張手段を簡単な操作で取り付けることができてよい。以下、図面を参照して、本発明の実施形態の真空処理装置を説明する。なお、本発明は、減圧下で実施される処理によって、ガスが発生して意図しない圧力上昇が生じるものであれば、どのような真空処理装置であっても適用できるため、処理に応じて設けられる部品等、その内部構造の詳細な説明は省略する。図1~図3を参照して、Mは、本発明の実施形態の真空処理装置であり、真空処理装置Mは、内部に処理室1aを画成する、略直方体状のチャンバ本体1を備える。チャンバ本体1の一側図1では、下側には、開口部1bが形成され、開口部1bの周縁部にはその全周に亘って外側に張り出すフランジ11が形成されている。また、チャンバ本体1には、真空ポンプ排気手段Pからの排気管が接続される接続部12が設けられている。また、真空処理装置Mは、チャンバ本体1の一側に蝶番2を介して取り付けられた開閉扉3を備える。開閉扉3の周縁部には、チャンバ本体1のフランジ11にその全面に亘って面接触する他のフランジ31が形成され、このフランジ31には、特に図示して説明しないが、無端の環状溝が形成され、この環状溝にOリング4が圧入されている図2参照。そして、蝶番2の支軸21周りに開閉扉3を回動させると、チャンバ本体1のフランジ11面に開閉扉31のフランジ31面がその全面に亘って圧接し、処理室1a内を気密保持する閉位置と図2に示す状態、チャンバ本体1の開口部1bから離間した開位置例えば、図3に示す状態との間で開閉扉3が移動される。なお、特に図示して説明しないが、チャンバ本体1には、公知の構造のクランプが設けられ、クランプにて開閉扉3をチャンバ本体1にOリング4を介して仮圧接させて、開閉扉3を閉位置に保持できるようになっている。そして、開閉扉3の閉位置でその内部を真空引きして減圧でき、このとき、Oリング4が圧縮されて開閉扉3のフランジ31がチャンバ本体1のフランジ11に圧接される。図1に示す状態。このとき、クランプのクランプ力の一部あるいは全てが解放される。チャンバ本体1と開閉扉3とには、蝶番2を設けた位置に対向させて、その外側に向けて水平にのびる保持部材51、52が夫々立設されている。そして、開閉扉3の全閉位置で、両保持部材51、52間には、開閉扉3に対し、当該開閉扉3のチャンバ本体1への圧接方向に引張力を加える引張手段6が張設される。引張手段6は、同一形態の円環部材61の複数を鎖状に連結してなるチェーン体で構成される。この場合、円環部材61は、SUS304等のオーステナイト系ステンレス鋼製の棒材を円形に成形し溶接したものが用いられる。ここで、円環部材61を用いるのは、当該円環部材61に引張荷重を加えたとき、引張荷重に応じて上記円環部材61が弾性変形し、更に引張荷重を加えると、塑性変形するが、加わる引張荷重に対する変形量が大きく、急激な圧力上昇による開閉扉の運動エネルギーを吸収する能力が大きいからである。なお、本実施形態では、同一形態の円環部材6を連結してチェーン体6としているが、その半数以上がオーステナイト系ステンレス鋼製の棒材を円形に成形し溶接したものであればよい。このような場合、その残りのものは、他の材料製のものであってもよく、また、平面視長円形状等他の形状のものであってもよい。また、SUS304等のオーステナイト系ステンレス鋼を用いるのは、もともと延性が優れている上に、衝撃力が加わった時の破壊靭性も優れており、円形の円環部材を用いることと相俟ってさらに信頼性を高めることができるからである。なお、円環部材61の線材の径や円環部材61の内径並びにこの円環部材61を連結する個数は、開閉扉3の面積や重量等を考慮して適宜設定される。本実施形態では、処理室1a内の圧力が上昇し、大気圧より高い所定圧力例えば、5KPaまでは、引張手段6が弾性変形して開閉扉3が閉位置、つまり、Oリング4がチャンバ本体1のフランジ11の面にその全面に亘って接触し、処理室1aが気密保持され、この所定圧力を超えると、さらに弾性変形量が増し、開閉扉3を閉位置から開位置に移動を開始し、内部の圧力を逃がす。さらに、急激な圧力上昇をともなった場合は、引張手段6が塑性変形して開閉扉3がチャンバ本体1から離間する運動エネルギーを吸収するように、引張手段6が設計されている。また、引張手段6の一端は、チャンバ本体1側の保持部材51に、他方の保持部材52に向けて突設した舌片51にボルトBを介して固定され、その他端は、開閉扉3側の保持部材52に設けたハンドル付きねじを備えたフック部材52にボルトBを介して固定されている。そして、ハンドルを一方向に回転させると、開閉扉3側の保持部材52に対してフック部材52が、引張手段6の張設方向に相対移動することで、この引張手段が引っ張られて張設される。この場合、これらの部品が該チェーン体に引張力を加え得る張力印加部材7を構成する。以上によれば、開閉扉3の閉位置で処理室1a内を真空引きして減圧した後、引張手段6が上記の如く取り付けられ、処理室1a内で所定の処理が開始される。そして、処理中に何らかの原因で大量のガスが発生し、処理室1a内の圧力が上昇しても、引張手段6を備えるため、大気圧より高い所定圧力までは、図2に示すように、引張手段6により開閉扉3が閉位置に保持されて処理室1a内が気密保持され、処理室1a内への空気の流入を防止することができる。しかも、このとき、引張手段6は変形しても弾性変形内にとどまる。そのため、例えば、処理室1a内に水素が発生した場合でも、アルゴンガス等で希釈した後、さらに、温度が低下した後に処理室1a内を大気に開放することができる。そして、水素の発生原因を特定し、対策を講じた後に復帰させることが可能となる。そして、万が一、所定圧力以上に圧力が上昇した場合は、引張手段6がさらに弾性変形し扉の内圧を逃がす。この場合も、処理室1a内への空気の流入を防止することができる。さらに、急激な圧力上昇した場合は、引張手段6が塑性変形し、開閉扉3を開放し、圧力を逃がすと同時に、開閉扉3がチャンバ本体1から離間する運動エネルギーを吸収する。そのため、真空処理装置のチャンバ本体1、開閉扉3や蝶番2等の破損を防ぐことができる。また、張力印加部材7を設けたことで、引張手段6を簡単な操作で取り付けることができる。以上、本実施形態の真空処理装置について説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではない。上記実施形態では、チャンバ本体1と開閉扉3とに設けた保持部材51、52間に一本の引張手段6を設けたものを例に説明したが、当該開閉扉3のチャンバ本体1への圧接方向に引張力を加えられるものであれば、その取付位置や引張手段の数は上記のものに限定されるものではなく、例えば、開閉扉の両側に、平行に2本の引張手段を設けることができる。また、上記実施形態では、開閉扉3として、蝶番2を用いて開閉するものを例に説明したが、チャンバ本体1の開口部1bに対して上下または左右方向にスライドして開閉するものであっても、本発明を適用して、所定圧力を超えると、引張手段6がさらに弾性変形して、処理室1a内の圧力を逃がし、さらに圧力が上急激に上昇した場合、引張手段6が塑性変形して開閉扉3がチャンバ本体1から離間する運動エネルギーを吸収するように構成できる。