"レーザ素子と、測定対象ガスの吸収スペクトルを含む波長領域のパルス信号に高周波変調信号を重畳して得た高周波変調パルス信号を発生するパルス信号発生手段と、前記高周波変調パルス信号を前記レーザ素子に印加して高周波変調パルス光を出射させるレーザ駆動手段と、前記高周波変調パルス光をコリメートして測定対象ガスが存在する測定対象空間に照射するレーザ光学系と、前記測定対象空間を介して受光した前記高周波変調パルス光を電気的な受光信号に変換して出力する受光手段と、前記受光信号を処理して測定対象ガスの濃度を検出するガス濃度検出手段と、を備えたことを特徴とするレーザ式ガス分析計。請求項1に記載したレーザ式ガス分析計において、前記パルス信号発生手段は、測定対象ガスの吸収スペクトルの吸収線の一部を走査するように高周波にて変調された高周波変調パルス信号を発生することを特徴とするレーザ式ガス分析計。請求項1または2に記載したレーザ式ガス分析計において、前記ガス濃度検出手段は、前記受光信号から高周波変調成分の振幅変化量を抽出し、この振幅変化量から測定対象ガス濃度を検出する高周波変調振幅検出手段を備えたことを特徴とするレーザ式ガス分析計。この種のガス分析計は、例えばゴミ焼却場の煙道などに設置されることが多く、この煙道内には測定対象ガス以外にダストや水蒸気が存在する。煙道内部のダスト濃度や水分濃度が低い場合には、前述した方法によって測定対象ガス濃度の測定が可能である。しかしながら、近年、ゴミ焼却等の分野においては最適なプロセス制御の実現を狙って、排ガス処理プロセス内のガス濃度をきめ細かく測定したいというニーズが増加している。一方、排ガス処理プロセスにおいては、ダストや水分が大量に存在する測定箇所も多いため、従来の測定方法ではレーザ光がダストや水分によって完全に遮られてしまい、測定できる箇所が限定されてしまうという問題があった。そこで、本発明の解決課題は、高濃度のダストや水分が存在する環境であっても測定対象ガスの濃度を正確に測定可能なガス分析装置を提供することにある。上記課題を解決するため、請求項1に係る発明は、レーザ素子と、測定対象ガスの吸収スペクトルを含む波長領域のパルス信号に高周波変調信号を重畳して得た高周波変調パルス信号を発生するパルス信号発生手段と、前記高周波変調パルス信号を前記レーザ素子に印加して高周波変調パルス光を出射させるレーザ駆動手段と、前記高周波変調パルス光をコリメートして測定対象ガスが存在する測定対象空間に照射するレーザ光学系と、前記測定対象空間を介して受光した前記高周波変調パルス光を電気的な受光信号に変換して出力する受光手段と、前記受光信号を処理して測定対象ガスの濃度を検出するガス濃度検出手段と、を備えたものである。請求項2に係る発明は、請求項1に記載したレーザ式ガス分析計において、前記パルス信号発生手段は、測定対象ガスの吸収スペクトルの吸収線の一部を走査するように高周波にて変調された高周波変調パルス信号を発生するものである。請求項3に係る発明は、請求項1または2に記載したレーザ式ガス分析計において、前記ガス濃度検出手段は、前記受光信号から高周波変調成分の振幅変化量を抽出し、この振幅変化量から測定対象ガス濃度を検出する高周波変調振幅検出手段を備えたものである。本発明によれば、レーザ素子を高周波変調パルス信号により駆動することで、レーザ光を高出力化することができる。これにより、高濃度のダストや水分が存在するような環境であっても、測定対象ガスの測定に必要なレーザ光量を確保して高精度な測定を行うことができる。以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。まず、図1はこの実施形態の全体的な構成を示している。図1において、発光部フランジ201a、受光部フランジ201bは、例えば、測定対象ガスが内部を通過する煙道などの煙道壁101a,101bに、溶接等によってそれぞれ固定されている。発光部フランジ201aには発光部筐体203aが取り付けられており、発光部筐体203aの内部にはレーザ素子204及びコリメートレンズ205が気密に配置されている。発光部筐体203aの端部には発光部ケース3が取り付けられ、その内部の発光部回路基板4に実装されたレーザ駆動手段図示せずによってレーザ素子204を発光させるようになっている。レーザ素子204から出射したレーザ光2は、コリメートレンズ205により平行光となり、発光部フランジ201aの中心を通って煙道内部1煙道壁101a,101bの内側の測定対象空間に照射される。このレーザ光2は、煙道内部1に存在する測定対象ガスによる光吸収の影響を受ける。ここで、コリメートレンズ205は請求項におけるレーザ光学系を構成している。一方、受光部フランジ201bには、受光部筐体203bが取り付けられている。煙道内部1を通過した前記レーザ光2は、受光部筐体203bの内部に気密に配置された集光レンズ206により集光されて受光素子207により受光される。ここで、集光レンズ206及び受光素子207は、請求項における受光手段を構成している。受光部筐体203bの端部には受光部ケース5が取り付けられており、受光素子207の出力信号は、受光部ケース5内の受光部回路基板6に実装された受光信号処理回路図示せずに入力される。この受光信号処理回路では、増幅及びガスの光吸収による信号変化成分の抽出処理が行われ、煙道内部1に存在する測定対象ガスの濃度信号が得られるようになっている。ここで、受光信号処理回路は、請求項におけるガス濃度検出手段を構成している。次に、レーザ素子204の駆動方法とガス濃度の測定原理について詳しく説明する。本実施形態において、レーザ素子204は、測定対象ガスの吸収スペクトルを含む波長領域のパルス信号が印加されて発光する。このパルス信号波形は単純な方形波ではなく、パルス信号に高周波の正弦波信号が重畳された高周波変調パルス信号である。図2は、レーザ素子204を駆動するパルス信号波形と測定対象ガスの吸収スペクトルとの関係を示している。図2において、S1はレーザ素子204を駆動するパルス信号であり、このパルス信号は高周波の正弦波信号により変調されている。図2におけるS3は、この高周波変調成分を拡大したものである。このような高周波変調パルス信号S1を生成するパルス信号発生手段は、前記発光部回路基板4に実装されたレーザ駆動手段に内蔵されている。また、S3部分における高周波変調成分の振幅dwは、測定対象ガスの吸収線S2のちょうど吸収ピーク位置まで走査できるように設定されている。つまり、図2以外の設定例としては、図3に示すような高周波変調パルス信号S4であってもよい。レーザ素子204を図2または図3に示すような高周波変調パルス信号により駆動し、図1に示した構成によって受光素子207がレーザ光すなわち高周波変調パルス光2を受光すると、図4または図5に示すように、高周波変調パルス信号S1,S4とほぼ同じ波形の受光信号S10,S11が得られる。なお、図4の受光信号S10は図2のパルス信号S1によりレーザ素子204を駆動した場合、図5の受光信号S11は図3のパルス信号S4によりレーザ素子204を駆動した場合のものである。いま、煙道内部1に測定対象ガスが存在すると、受光信号における高周波変調成分の振幅dwが変化する。例えば、図2の高周波変調パルス信号S1によりレーザ素子204を発光させると図4の受光信号S10が得られ、測定対象ガスの有無濃度に応じて高周波変調成分の振幅に変化量d1が生じる。この振幅変化量d1は測定対象ガス濃度に比例するため、図1の受光部回路基板6の受光信号処理回路に内蔵された高周波変調振幅検出手段によって振幅変化量d1を抽出し、同じく受光信号処理回路に内蔵されたADコンバータやCPU等によりガス濃度を演算する。また、図3に示す高周波変調パルス信号S4によりレーザ素子204を発光させた場合も同様であり、図5に示すような受光信号S11が得られ、測定対象ガスの濃度に応じて高周波変調成分の振幅に変化量d2が生じる。この振幅変化量d2に対し、前記同様の処理を行ってガス濃度を演算する。上記のように、レーザ素子204を高周波変調パルス信号により駆動してガス濃度を測定する長所は、以下のとおりである。1レーザ光の高出力化レーザ素子をパルス発光させることにより、連続発光に比べて数倍~数十倍の光量が得られる。これにより、従来、高濃度のダストや水分でレーザ光が遮られてしまってガス濃度の測定が不可能であった環境でも、測定が可能となる。2レーザ素子の長寿命化レーザ素子をパルス発光させることにより、連続発光に比べてパルスのデューティ比の分だけレーザ素子の寿命を延ばすことができる。3信号処理の単純化従来技術として示した特許文献1では、変調周波数の2倍の周波数を検波し、その検波信号からガス濃度を検出するために、非常に複雑な信号処理回路が必要となり、高コストとなっていた。これに対し、本実施形態によれば、高周波変調信号の振幅レベルを検出するだけでよいため、受光信号処理回路の構成や演算処理が簡単になり、コストの低減が可能になる。以上のように、本実施形態によれば、煙道内部等の測定対象空間に高濃度のダストや水分が発生した場合においても、測定に必要なレーザ光量を確保して目的とするガス濃度を正確に測定することができる。なお、上記説明は本発明の代表的な実施形態を示したに過ぎず、例えば、レーザ素子を駆動する高周波変調パルス信号は、図2,図3に示した波形を組み合わせたものであってもよい。従って、本発明は、上記実施形態に何ら限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更を含むものである。"