"複数の回折格子を積層した回折格子であり、単位周期構造内において、各層の回折格子における位相変化が不整合である領域が少なくとも単位周期の3割以上の領域を占め、かつ回折格子全体としての位相変化は概整合していることを特徴とする回折光学素子。該回折格子の最小周期単位において、光線入射側の層から順に、屈折率を、N1、N2、、Ni1、光線入射側の回折格子から順に格子厚をd1、d2、、diとしたとき、0.85<|ΣNi1-Ni×di/λ|<1.15であることを特徴とする請求項1に記載の回折格子。ここで、diは、光軸から遠ざかるにつれて、格子厚が増加するとき正の値を取り、光軸から遠ざかるにつれて、格子厚が減少するとき負の値を取るものとする。d線における屈折率差ΔNが、以下の条件式を満たす材料の組合せが少なくとも一つ以上あることを特徴とする請求項1又は2に記載の回折光学素子。ΔN<0.1屈折光学素子と、請求項1から3のいずれか一項に記載の回折光学素子を有することを特徴とする光学系。前記光学系は、固体撮像素子に像を形成することを特徴とする請求項4に記載の光学系。請求項4又は5に記載の光学系と、該光学系によって形成される像を受光する固体撮像素子とを備えることを特徴とする光学機器。従来の構成では、格子垂直面に入射した光が像面評価面に到達することを十分に抑制するものではない。また、多重反射光によるフレアが考慮された回折格子ではない。そこで、本発明では、設計次数の回折効率の劣化を抑えつつ、格子垂直面に入射した後に像面評価面に到達する光の光量、及び多重反射により像面評価面に到達する光の光量が抑制された回折光学素子の達成を目的としている。上記の目的を達成するために、本発明の回折光学素子は、複数の回折格子を積層した回折格子であり、単位周期構造内において、各層の回折格子における位相変化が不整合である領域が少なくとも単位周期の3割以上の領域を占め、かつ回折格子全体としての位相変化は概整合していることを特徴としている。本発明によれば、設計次数の回折効率が高く、かつ格子垂直面や多重反射による不要光が像面に到達することを抑制された回折光学素子を得ることができる。第1実施形態図1のaは、本発明の第1実施形態である回折光学素子の正面図であり、bは上記回折光学素子の側面図である。また、図2には、図1の回折光学素子をA-A’線で切断したときの断面形状の一部を拡大して示している。但し、図2は格子深さ方向にかなりデフォルメされた図となっている。これらの図に示すように、回折光学素子1は、第1の素子部2と第2の素子部3とを、それぞれの素子部に形成された第1の回折格子8と第2の回折格子9とが中間層10を挟んで互いに近接するように重ね合わせた構成となっている。そして、これら第1,第2の素子部2,3および中間層10の全体で1つの回折光学素子として作用するものである。第1および第2の回折格子8,9は同心円状の格子形状からなり、径方向における格子ピッチが変化することで、レンズ作用を有する。また、第1の回折格子8と第2の回折格子9はほぼ等しい格子ピッチ分布を持っている。また、図2に示すように、第1の素子部2は、第1の透明基板4と、この第1の透明基板4上に設けられた格子ベース部6およびこの格子ベース部6に一体形成された第1の回折格子8からなる第1格子形成層とを有している。また、第1の回折格子8における中間層10との境界部には格子面8a、8bが形成されており、格子面8aと8bは位相変調作用が異なる構成となっている。一方、第2の素子部3も第1の素子部2と同様に、第2の透明基板5と、この第2の透明基板5上に設けられた格子ベース部7およびこの格子ベース部7に一体形成された第2の回折格子9からなる第2格子形成層とを有している。さらに、第2の回折格子9における中間層10との境界部には格子面9a、9bが形成されており、格子面9aと9bは位相変調作用が異なる構成となっている。なお、中間層10は、両回折格子8,9の格子面8b,9bと格子側面とがなすエッジ間において厚さがDとなるように設定されている。本実施形態において、回折光学素子1に入射させる光の波長領域、すなわち使用波長領域は可視領域であり、第1および第2の回折格子8,9を構成する材料および格子厚さは、可視領域全体で0°入射の際の回折光の回折効率を高くするように選択している。図2に示した回折光学素子1において、第1の回折格子8、及び第2の回折格子9に、アクリル系樹脂にZrO2微粒子を混合させた樹脂nd=1.567、νd=47.0、θgF=0.569を用いた。一方中間層10には、フッ素系樹脂にITO微粒子を混合させた樹脂nd=1.504、νd=16.3、θgF=0.390、を用いた。また、回折格子8の格子厚d1、及び回折格子9の格子厚d2は共に9.29μm、回折ピッチPは200μm、格子面8aと8bのピッチ、Pa、Pbはそれぞれ100μmである。またエッジ間距離Dは1.5μmである。次に、本実施形態の回折格子に対し、撮像に使用する光束が入射した場合の、透過光の振る舞いについて述べる。本実施例においては、光学系全体の光路長差φは、第1の回折格子の屈折率をN1、中間層の屈折率をN2、第2の回折格子の屈折率をN2とすると、垂直入射の場合、φ=N1-N2d1-N2-N3d21で与えられ、φが波長の整数倍となることで、高い回折効率を得ることができる。ここで、d1、d2の符号は、図中上から下に格子厚が増える場合に正の値を取るものとする。回折格子8a、9aを通る光束においては、d1=0、d2=9.29μmであるので、光路長差φaは、0.585である。回折格子8b、9bを通る光束においては、d1=9.29μm、d2=0μmであるので、光路長差φbはφaと同じく0.585となる。つまり、ピッチPaの領域とピッチPbの領域では位相が整合していることが分かる。そのため、回折光学素子1全体として高い回折効率を得ることができる。次に、本実施例の回折格子において垂直面に光が入射した時の不要光の振る舞いについて述べる。図3に示すように、本実施例の回折格子に-10°の角度を持った光束が入射した場合、及び比較例として、図4に示すような従来の構成の回折光学素子に-10°の角度を持った光が入射した時について、RCWAを用いて出射光の光量を計算した。図4に示す比較例1の構成において、第1の回折格子8を成す材料は、実施例1における第1の回折格子8の材料と同一であり、比較例1の第2の回折格子9を成す材料は、実施例1における中間層10の材料と同一である。比較例1の格子厚d1は18.57μmである。実施例1と比較例1は、共に位相変調作用はほぼ同一であり、共に高い回折効率を有する構成である。なお、実施例1と比較例1の構成の回折光学素子は、出射角0°付近の光が像面に到達する光学系中に配置している。RCWAの計算結果の出射角度0°付近像面に到達する不要光の回折効率を比べてみると、比較例1においては、0.0014、実施例1においては、0.0005と、大幅に改善していることが分かる。これは、本実施例のような積層型DOEとすることで、第1の回折格子の垂直面に入射した光が、第2の回折格子の格子面や垂直面によって散乱され、低減されるためである。次に多重反射による不要光の振る舞いについて述べる。比較例2として、図5に示すような構成の回折格子を考える。比較例2は、本実施例1と材料構成は同一であり、回折面8、9が連続的となっている構成である。比較例2のような構成においても、格子垂直面に入射した光が像面に到達することを抑制する効果はあるが、このような積層型DOEでは、多重反射による不要光が発生しやすい。そこで、本実施例のように領域によって回折格子8と回折格子9の格子厚を変更することで、透過光の光路長は変えずに多重反射による光のみを分散することができる。実施例1の2つの領域Pa、及びPbにおいて、0°、10°、-10°入射で光が入射した場合、及び比較例2においての、透過光と多重反射光の出射角を幾何トレースによって計算した結果を表1に示す。表1から分かるように、実施例1において、透過光出射角度では、領域PaとPbにおいては出射角度はさほど変わらないことからも位相が整合している事が分かる。また、実施例1の多重反射光の出射角度は領域PaとPbにおいて異なっており、多重反射光が分散されている事が分かる。それに対し比較例2は全領域で多重反射光が同一の出射角度となるので、多重反射光の強度が強めあい、不要光として好ましくない事が分かる。RCWA計算によって、-10°入射における多重反射光の強度を計算すると、本実施例1においては、0.0005、比較例2においては0.0007となっており、本実施例において、多重反射光が軽減されていることが分かる。なお、本発明は高回折効率を持つ回折格子を目的としている。そのためには、該回折格子の最小周期単位において、光線入射側の層から順に、屈折率を、N1、N2、、Ni1、光線入射側の回折格子から順に格子厚をd1、d2、、diとしたとき、0.85<|ΣNi1-Ni×di/λ|<1.152なる条件を満たすと、高回折効率を持った回折格子を得ることができる。ここで、diは、光軸から遠ざかるにつれて、格子厚が増加するとき正の値を取り、光軸から遠ざかるにつれて、格子厚が減少するとき負の値を取るものとする。また、本実施形態においては、第1の回折格子と第2の回折格子を同じ材料とした。本発明において、高い回折効率を持ち、かつ多重反射光を抑制した回折格子を得る為には、少なくとも2つの格子材料の屈折率が近い方が好ましい。これは、回折格子の屈折率が近ければ近い程、格子面の形状自由度が増し、多重反射光を分散しやすくなるためである。例えば、本実施例1の第1の回折格子と第2の回折格子の屈折率差が大きくなると、領域Paと領域Pbの格子面形状を変化させた時の回折効率の劣化が大きくなっていく。特に可視域全域で高回折効率を得ることが困難となっていく。そのため、積層型DOEの材料のうち、d線における屈折率差ΔNが以下の条件式を満たす材料の組合せが少なくとも一つ以上あることが望ましい。ΔN<0.13さらに望ましくは、以下の範囲とすることが望ましい。ΔN<0.053b第2実施形態図1のaは、本発明の第2実施形態である回折光学素子の正面図であり、bは上記回折光学素子の側面図である。また、図6には、図1の回折光学素子をA-A’線で切断したときの断面形状の一部を拡大して示している。但し、図6は格子深さ方向にかなりデフォルメされた図となっている。これらの図に示すように、回折光学素子1は、第1の素子部2と第2の素子部3とを、それぞれの素子部に形成された第1の回折格子8と第2の回折格子9とが空気層10を挟んで互いに近接するように重ね合わせた構成となっている。そして、これら第1,第2の素子部2,3および空気層10の全体で1つの回折光学素子として作用するものである。第1および第2の回折格子8,9は同心円状の格子形状からなり、径方向における格子ピッチが変化することで、レンズ作用を有する。また、第1の回折格子8と第2の回折格子9はほぼ等しい格子ピッチ分布を持っている。また、図6に示すように、第1の素子部2は、第1の透明基板4と、この第1の透明基板4上に設けられた格子ベース部6およびこの格子ベース部6に一体形成された第1の回折格子8からなる第1格子形成層とを有している。また、第1の回折格子8における空気層10との境界部には格子面8a、8bが形成されており、格子面8aと8bは位相変調作用が異なる構成となっている。一方、第2の素子部3も第1の素子部2と同様に、第2の透明基板5と、この第2の透明基板5上に設けられた格子ベース部7およびこの格子ベース部7に一体形成された第2の回折格子9からなる第2格子形成層とを有している。さらに、第2の回折格子9における空気層10との境界部には格子面9a、9bが形成されており、格子面9aと9bは位相変調作用が異なる構成となっている。なお、空気層10は、両回折格子8,9の格子面8b,9bと格子側面とがなすエッジ間において厚さがDとなるように設定されている。図6に示した回折光学素子1において、第1の回折格子8には、アクリル系樹脂にITO微粒子を混合させた樹脂nd=1.569、νd=22.7、θgF=0.435を用いた。一方第2の回折格子9には、アクリル系樹脂nd=1.524、νd=51.6、θgF=0.576、を用いた。また、回折格子8の領域Paの格子厚d1aは6.86μm、領域Pbの格子厚d1bは5.94μmであり、回折格子9の領域Paの格子厚d2aは7.00μm、領域Pbの格子厚d2bは8.00μmである。回折ピッチPは100μm、格子面8aと8bのピッチ、Pa、Pbはそれぞれ50μmである。またエッジ間距離Dは1.5μmである。実施例1と同様に、本実施例2において、透過光と多重反射光の出射角を幾何トレースによって計算した結果を表2に示す。なお、比較例3として、本実施例2と同様の構成で、d1a=d1b=6.4μm、d2a=d2b=7.5μmとなる構成の結果を示す。表2から分かるように、実施例2において、透過光出射角度では、領域PaとPbにおいては出射角度はさほど変わらないことからも位相が整合している事が分かる。また、実施例2の多重反射光の出射角度は領域PaとPbにおいて異なっており、多重反射光が分散されている事が分かる。それに対し比較例3は全領域で多重反射光が同一の出射角度となるので、多重反射光の強度が強めあい、不要光として好ましくない事が分かる。RCWA計算によって、0°入射における多重反射光の強度を計算すると、本実施例2においては、0.116、比較例2においては0.095となっており、本実施例において、多重反射光が軽減されていることが分かる。なお、本発明においては、単位周期のうち半分の領域の格子形状を変形させた回折格子の構成としたが、本発明はこれに限るものではない。望ましくは、単位周期のうち3割以上の領域において格子形状を変形させることで、多重反射光を十分分散させることができる。図8には、本発明の回折光学素子を用いた、カメラスチルカメラやビデオカメラ等の撮影結像光学系の構成を示している。この図中、101は大部分が屈折光学素子例えば通常のレンズ素子で構成される撮影レンズであり、内部に開口絞り102と第1実施形態にて説明した回折光学素子1を有する。103は結像面に配置されたフィルム又はCCD等の撮影媒体である。回折光学素子1はレンズ機能を有する素子であり、撮影レンズ101中の屈折光学素子で発生する色収差をそして、回折光学素子1は、上記のように、従来のものに比べて不要光が大幅に抑制されている。これにより、フレア光が少なく低周波数での解像力も高く、高い光学性能を有した撮影光学系を実現することができる。なお、本実施形態では、絞り102の近傍に配置された平板ガラス面に回折光学素子1を設けているが、本発明はこれに限定するものではなく、回折光学素子1をレンズの凹面又は凸面上に設けてもよい。さらに、撮影レンズ101内に回折光学素子1を複数個配置してもよい。図9には、本発明の第4実施形態である双眼鏡の観察光学系の構成を示している。この図中、104は対物レンズ、105は倒立像を正立させるためのプリズム、106は接眼レンズ、107は評価面瞳面である。1は第1、第2実施形態にて説明した回折光学素子であり、対物レンズ104の結像面103での色収差等を補正する目的で設けられている。この観察光学系は、第1実施形態にて説明したように、回折効率特性が従来のものに比べて大幅に改善されているので、フレア光が少なく低周波数での解像力も高く、高い光学性能を有する。なお、本実施形態では、平板ガラス面に回折光学素子1を設けた場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、回折光学素子1をレンズの凹面又は凸面上に設けてもよい。さらに、観察光学系内に回折光学素子1を複数個配置してもよい。また、本実施形態では、対物レンズ部に回折光学素子1を設けた場合を示したが、これに限らず、プリズム105の表面や接眼レンズ106内の位置に設けることもでき、この場合も先に説明したのと同様の効果が得られる。但し、回折光学素子1を結像面103より物体側に設けることで対物レンズ部のみでの色収差低減効果があるため、肉眼の観察系の場合、少なくとも対物レンズ部に設けることが望ましい。また、本実施形態では、双眼鏡の観察光学系について説明したが、本発明の回折光学素子は、地上望遠鏡や天体観測用望遠鏡等の観察光学系にも適用することができる。さらにはレンズシャッターカメラやビデオカメラなどの光学式ファインダーにも適用することができ、先に説明したのと同様の効果が得られる。次に本発明の回折光学素子を有した光学系を撮影光学系としてもちいたデジタルスチルカメラ撮像装置の実施例を図10をもちいて説明する。本発明の光学系によって構成された撮影光学系、22はカメラ本体に内蔵され、撮影光学系21によって形成された被写体像を受光するCCDセンサやCMOSセンサ等の固体撮像素子光電変換素子である。23は撮像素子22によって光電変換された被写体像に対応する情報を記録するメモリ、24は液晶ディスプレイパネル等によって構成され、固体撮像素子22上に形成された被写体像を観察するためのファインダである。このように本発明の光学系をデジタルスチルカメラ等の撮像素子に適用することにより、フレアの少なく、十分な透明性を持ち、高い光学性能を有する撮像装置を実現している。"