"炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体表面に、3~30μmの層厚の結晶性ダイヤモンド層が被覆されたダイヤモンド被覆切削工具において、上記ダイヤモンド被覆切削工具の切れ刃の上記結晶性ダイヤモンド層の表面には、平均粒径1~50nmのナノダイヤモンド膜と平均粒径0.1~2μmの結晶性ダイヤモンド膜とが0.2~2.0μmの積層間隔で交互に積層された交互積層膜が被覆形成され、該交互積層膜で構成される切れ刃の最先端から上記結晶性ダイヤモンド層までの最短距離は3~15μmであり、さらに、切れ刃の交互積層膜のすくい面側表層には、表面粗さRaが0.1μm以下で膜厚が10~200nmの非晶質カーボン膜が形成されていることを特徴とするダイヤモンド被覆切削工具。上記ダイヤモンド被覆切削工具の逃げ面の上記結晶性ダイヤモンド層の表面には、平均粒径1~50nmのナノダイヤモンド膜と平均粒径0.1~2μmの結晶性ダイヤモンド膜とが0.2~2.0μmの積層間隔で交互に積層された交互積層膜が被覆形成されていることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド被覆切削工具。上記ダイヤモンド被覆切削工具の切れ刃の交互積層膜の逃げ面側表層には、表面粗さRaが0.1μm以下で膜厚が10~200nmの非晶質カーボン膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド被覆切削工具。近年、CFRP、高Si含有Al合金、グラファイト等の難削材の切削加工においては、加工精度が求められるようになってきており、加工精度を向上させるためには、切れ刃をシャープにする必要がある。例えば、特許文献1、2に示すダイヤモンド被覆工具を用いた難削材の切削においては、ダイヤモンド膜の摩耗が早いために、ダイヤモンド膜の膜厚を厚くする必要があるが、その反面、膜厚を厚くした場合にはシャープな切れ刃を形成することが困難になるため、加工精度の低下を招くという問題点が生じている。また、ダイヤモンド焼結体からなる切削工具は、ダイヤモンド被覆工具に比して、耐摩耗性にすぐれるものの、シャープな切れ刃を形成することが困難であるため、加工精度の向上を図ることも困難である。特許文献3~5に示すダイヤモンド被覆工具においては、シャープな切れ刃が形成されているため、加工精度の向上は期待できるものの、切れ刃のダイヤモンド膜が脆くチッピングを発生しやすいため、比較的使用寿命が短いという問題点がある。そこで、本発明者等は、CFRP、高Si含有Al合金、グラファイト等の難削材の切削に用いても、チッピングを発生することなく、加工精度、切屑排出性にすぐれ、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮するダイヤモンド被覆工具を開発すべく鋭意研究を行った結果、次のような知見を得たのである。即ち、WC基超硬合金またはTiCN基サーメットからなる工具基体表面に、所定層厚の結晶性ダイヤモンド層を被覆形成し、その上に、さらに、ナノダイヤモンドと結晶性ダイヤモンドからなる交互積層膜を被覆形成した後、例えば、すくい面の表面に紫外線レーザを照射して、切れ刃以外の上記交互積層膜を照射除去することにより、結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜によって被覆されたシャープな切れ刃を形成し、また、切れ刃の交互積層膜のすくい面側の表層には、ナノダイヤモンドの一部が紫外線レーザにより変性した平滑な非晶質カーボン膜を形成させることにより、ダイヤモンド被覆工具は、耐摩耗性、靭性、耐チッピング性、潤滑性、切屑排出性にすぐれた切れ刃を備え、その結果、難削材の切削加工において、長期の使用にわたって、すぐれた耐摩耗性を発揮し、工具寿命が大幅に長寿命化することを見出したのである。さらに、逃げ面の表面にも紫外線レーザを照射して、切れ刃以外の上記交互積層膜を照射除去することにより、結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜によって被覆されたシャープな切れ刃を形成し、また、切れ刃の交互積層膜の逃げ面側の表層には、ダイヤモンドの一部が紫外線レーザにより変性した平滑な非晶質カーボン膜を形成させることにより、ダイヤモンド被覆工具は、耐摩耗性、靭性、耐チッピング性、潤滑性にすぐれた切れ刃と、摩擦抵抗にすぐれた逃げ面を備え、その結果、難削材の切削加工において、長期の使用にわたって、さらにすぐれた耐摩耗性を発揮し、工具寿命が大幅に長寿命化することを見出したのである。この発明は、上記知見に基づいてなされたものであって、1炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体表面に、3~30μmの層厚の結晶性ダイヤモンド層が被覆されたダイヤモンド被覆切削工具において、上記ダイヤモンド被覆切削工具の切れ刃の上記結晶性ダイヤモンド層の表面には、平均粒径1~50nmのナノダイヤモンド膜と平均粒径0.1~2μmの結晶性ダイヤモンド膜とが0.2~2.0μmの積層間隔で交互に積層された交互積層膜が被覆形成され、該交互積層膜で構成される切れ刃の最先端から上記結晶性ダイヤモンド層までの最短距離は3~15μmであり、さらに、切れ刃の交互積層膜のすくい面側表層には、表面粗さRaが0.1μm以下で膜厚が10~200nmの非晶質カーボン膜が形成されていることを特徴とするダイヤモンド被覆切削工具。2上記ダイヤモンド被覆切削工具の逃げ面の上記結晶性ダイヤモンド層の表面には、平均粒径1~50nmのナノダイヤモンド膜と平均粒径0.1~2μmの結晶性ダイヤモンド膜とが0.2~2.0μmの積層間隔で交互に積層された交互積層膜が被覆形成されていることを特徴とする前記1に記載のダイヤモンド被覆切削工具。3上記ダイヤモンド被覆切削工具の切れ刃の交互積層膜の逃げ面側表層には、表面粗さRaが0.1μm以下で膜厚が10~200nmの非晶質カーボン膜が形成されていることを特徴とする前記1に記載のダイヤモンド被覆切削工具。を特徴とするものである。以下、本発明について、詳細に説明する。結晶性ダイヤモンド層:この発明では、WC超硬合金配合組成の例を、例えば、表1に示す。あるいはTiCN基サーメットからなる工具基体表面に被覆する結晶性ダイヤモンド層の層厚を3~30μmと定めているが、層厚が3μm未満では、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮することができず、一方、結晶性ダイヤモンド層の層厚が30μmを超えると結晶粒が粗大化しやすくなり、耐欠損性の低下を招くばかりか、剥離を生じやすくなることから、本発明では、結晶性ダイヤモンド層の層厚を3~30μmと定めた。切れ刃の交互積層膜:この発明のダイヤモンド被覆工具の切れ刃には、上記結晶性ダイヤモンド層の表面に、ナノダイヤモンド膜と結晶性ダイヤモンド膜とが交互に積層された交互積層膜を被覆形成する。切れ刃の交互積層膜の形成方法は、例えば、次のとおりである。図1に示すように、まず、工具基体9の表面に、3~30μmの層厚の結晶性ダイヤモンド層1を被覆形成した後、その上に、さらに、平均粒径1~50nmのナノダイヤモンドと平均粒径0.1~2.0μmの結晶性ダイヤモンドからなる交互積層膜2を被覆形成する成膜条件の例を、例えば、表2に示す。。交互積層膜2の積層間隔は0.2~2.0μmとなるように積層する。次いで、例えば、図1の最先端4からAにかけて紫外線レーザを照射して、図2のように切れ刃以外のすくい面に形成された交互積層膜2を照射除去する。また、切れ刃の交互積層膜の最先端4から結晶性ダイヤモンド層までの最短距離7は3~15μmとする。ここで、すくい面の仮想延長面と逃げ面の仮想延長面の交差線を仮想先端とした場合に、該仮想先端の最も近くに位置する交互積層膜の先端即ち、仮想先端との距離が最も短い交互積層膜の先端を、この発明でいう最先端と定義する。つまり、紫外線レーザの照射によって、切れ刃には、交互積層膜によって被覆されたシャープな切れ刃を形成するとともに、切れ刃の交互積層膜のすくい面側表層には、紫外線レーザによりダイヤモンドの一部が変性した平滑な非晶質カーボン膜を形成し、耐摩耗性、靭性、耐チッピング性、潤滑性、切屑排出性にすぐれた切れ刃を構成する。なお、図3に示すように、すくい面の切れ刃の最先端4から、すくい面に露出する結晶性ダイヤモンド層までの距離5は好ましくは5~25μmである。ここで、上記交互積層膜を構成するナノダイヤモンドの平均粒径が1nm未満では、耐摩耗性が低下し、一方、50nmを超えるとチッピングを発生しやすくなることから、ナノダイヤモンドの平均粒径は1~50nmと定めた。また、上記交互積層膜を構成する結晶性ダイヤモンドの平均粒径が0.1μm未満になると、耐摩耗性が低下し、一方、2.0μmを超えると結晶粒が粗大化し、チッピング、剥離を発生しやすくなることから、結晶性ダイヤモンドの平均粒径は0.1~2.0μmと定めた。さらに、交互積層膜の積層間隔が0.2μm未満では、耐摩耗性が悪くなり、一方、2.0μmを超えるとチッピングが発生しやすくなることから、交互積層膜の積層間隔は0.2~2.0μmと定めた。ダイヤモンド被覆ドリルによるCFRPの切削において、切れ刃が結晶性ダイヤモンド単層で構成されると、結晶粒が大きく靭性が低いため、刃先で欠損およびチッピングを生じやすくなり、切れ味が低下し、早期にCFRPの被削材にデラミネーションを生じる原因となっていた。また、ナノダイヤモンド単層の場合には、耐欠損性が高いものの、十分な耐摩耗性がないため、刃先が摩滅して切れ味が低下し、同様にCFRP材にデラミネーションを生じた。そこで、ナノダイヤモンドと結晶性ダイヤモンドを積層した交互積層膜を切れ刃に設けることにより、切れ刃の靭性が向上して、欠損およびチッピングが生じにくくなるとともに、十分な耐摩耗性も具備できるようになった。上記のレーザ照射によって、すくい面の結晶性ダイヤモンド層上に一旦形成された交互積層膜を除去するが、特に、切れ刃の交互積層膜のすくい面側の表層には、交互積層膜のダイヤモンドを一部変性させ、表面粗さが0.1μm以下で、膜厚が10~200nmの非晶質カーボン膜を形成する。ここで、上記非晶質カーボン膜の表面粗さRaが0.1μmを超える場合には、切屑排出性が低下するため、上記非晶質カーボン膜の表面粗さRaを0.1μm以下と定めた。また、上記非晶質カーボン膜の膜厚が10nm未満では、長期の使用にわたっての潤滑性を維持することができないため、切屑排出性が十分ではない。一方、非晶質カーボン膜の膜厚が200nmを超えると耐摩耗性の低下傾向がみられることから、非晶質カーボン膜の膜厚は10~200nmと定めた。粗加工においては切れ味と耐欠損性の両立が重要なため、すくい面のみをレーザ加工しても切れ味の向上効果が得られ、工具寿命の延長が可能である。さらに図3に示すように、例えば、図1の最先端4からAおよび最先端4からBにかけて、切れ刃以外のすくい面と逃げ面に形成された交互積層膜を紫外線レーザ照射で除去することで図3のように、切れ刃には、交互積層膜によって被覆されたさらにシャープな切れ刃を形成するとともに、切れ刃の交互積層膜のすくい面側の表層および逃げ面側の表層には、紫外線レーザによりダイヤモンドの一部が変性した平滑な非晶質カーボン膜を形成させる。その際、すくい面の切れ刃の最先端4から、すくい面に露出する結晶性ダイヤモンド層までの距離5、および、逃げ面の切れ刃の最先端4から、逃げ面に露出する結晶性ダイヤモンド層までの距離8は、いずれも、好ましくは5~25μmである。すくい面に加えて逃げ面をレーザ加工することにより、若干刃先の靱性が低下するものの、切れ味が更に向上するため、CFRPの切削においてバリやデラミネーションが発生しにくく、一層の工具寿命延長が図れる場合がある。レーザ加工時に表層に生じた非晶質カーボン層は、すくい面においては切りくずの排出性の向上に寄与し、逃げ面においてはワークとの摩擦抵抗を低減し、加工精度を向上させる効果がある。また、切れ刃に形成する交互積層膜の形状サイズは、図2および図3に示すように、切れ刃の最先端4から結晶性ダイヤモンド層までの最短距離7、すなわち、交互積層膜の膜厚が3~15μmとなるようにする。これは、切れ刃の最先端から上記結晶性ダイヤモンド層までの最短距離が3μm未満では、シャープな切れ刃を形成することができないため、長期の使用にわたっての加工精度の向上維持を期待することができず、一方、その距離が15μmを超える場合には、チッピングを発生しやすくなるという理由による。工具基体表面への結晶性ダイヤモンド層の成膜は、例えば、フィラメント温度2300°C、基板温度800°C、反応圧力30Torr、反応ガス流量CH4:80sccm,H2:3000sccm、の条件の熱フィラメント法で蒸着することによって成膜することができる。また、交互積層膜の成膜は、例えば、フィラメント温度2200°C、基板温度700°C、反応圧力8Torr、反応ガスCH4:60sccm,H2:1500sccm、の条件の熱フィラメント法でナノダイヤモンド膜を所定膜厚に蒸着した後、上記結晶性ダイヤモンド層の成膜条件と同じ条件で所定膜厚の結晶性ダイヤモンド膜を蒸着し、ナノダイヤモンド膜の成膜と結晶性ダイヤモンド膜の成膜を、所定の交互積層膜の膜厚になるまで交互に繰り返し行うことによって成膜することができる。この発明のダイヤモンド被覆工具は、工具基体表面に結晶性ダイヤモンド層が被覆形成され、かつ、切れ刃には、ナノダイヤモンド膜と結晶性ダイヤモンド膜からなる所定の形状サイズの交互積層膜が形成され、さらに、レーザによる加工後の切れ刃の交互積層膜のすくい面側の表層には、所定表面粗さ、所定膜厚の非晶質カーボン膜が形成されており、シャープな切れ刃と潤滑性、切屑排出性にすぐれた特性を示す。さらに逃げ面にもレーザ加工を施すことにより、切れ刃の交互積層膜の逃げ面側の表層にも非晶質カーボン膜が形成され、シャープな切れ刃とすぐれた潤滑性、切屑排出性を示し、ワークとの摩擦抵抗を低減し、加工精度を向上させる効果がある。このことから、CFRP、高Si含有Al合金、グラファイト等の難削材の切削に用いた場合でも、チッピングを発生することなく、加工精度、切屑排出性にすぐれ、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮し、工具の長寿命化が図られるのである。つぎに、この発明のダイヤモンド被覆工具を実施例により具体的に説明する。ここでは、Al合金の切削用のインサートとして用いた場合の例とCFRPの切削用のドリルとして用いた場合の例を示すが、本発明はこれに限定されるものではなく、エンドミル等の各種の切削工具にも適用可能である。特にダイヤモンド被覆ドリルによるCFRPの切削においては、切れ刃のシャープさに加え、切れ刃に靭性および耐摩耗性が要求されることから本発明工具はCFRP切削用のダイヤモンド被覆ドリルに適している。原料粉末として、いずれも1~3μmの平均粒径を有するWC粉末、TiC粉末、TaC粉末、NbC粉末、およびCo粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示される配合組成に配合し、ボールミルで96時間湿式混合し、乾燥した後、100MPaの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を6Paの真空中、温度:1400°Cに1時間保持の条件で焼結し、研磨加工を施し、切れ刃のすくい面を鏡面仕上げすることにより、いずれもWC基超硬合金からなり、かつISO規格SPGN12308のインサート形状をもった超硬合金基体1~10を製造した。a上記超硬合金基体1~10をCVD装置に装入し、まず、表2に示される条件で、上記基体1~10の切れ刃、すくい面、逃げ面に、所定の平均層厚、平均粒径の結晶性ダイヤモンド層を蒸着形成し、bついで、同じく表2に示される条件で、所定の平均膜厚、平均粒径のナノダイヤモンド膜を蒸着し、この上に、同じく表2に示される条件で、所定の平均膜厚、平均粒径の結晶性ダイヤモンド膜を蒸着し、ナノダイヤモンド膜の蒸着と結晶性ダイヤモンド膜の蒸着を交互に繰り返し行うことにより、上記基体1~10の切れ刃、すくい面、逃げ面に、所定の平均膜厚の交互積層膜を蒸着形成し、cついで、上記結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜を蒸着形成した超硬合金基体を、レーザ加工装置に装着し、紫外線レーザ波長:262nmのレーザ光源を駆動し、焦点レンズを紫外線レーザの光軸方向に移動させ、紫外線レーザ光を試料ステージの中心と重なる位置で集光させ、ついで、試料ステージを移動させて、紫外線レーザを切れ刃に照射し、ガルバノスキャナでレーザをすくい面に走査することで、すくい面の切れ刃以外の交互積層膜を除去し、d切れ刃には、表3に示す結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜を被覆形成するとともに、交互積層膜のすくい面側の表層に表6に示す非晶質カーボン膜を形成する。eまた、基体1~5については、さらに、逃げ面の切れ刃を研磨することで、逃げ面の切れ刃以外の交互積層膜を除去する。以上、a~eにより、すくい面側の切れ刃に非晶質カーボン膜が形成され、また、逃げ面の切れ刃が研磨され、逃げ面側の切れ刃が交互積層膜で形成され、切れ刃以外の逃げ面には結晶性ダイヤモンド層のみが被覆されている請求項1に該当する本発明ダイヤモンド被覆工具としての本発明被覆工具インサ-ト1~5を製造した。また、a~dにより、すくい面側の切れ刃に非晶質カーボン膜が形成され、逃げ面には、結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜が被覆形成されている請求項2に該当する本発明被覆工具インサ-ト6~10を製造した。比較のために、a’上記超硬合金基体1~10をCVD装置に装入し、まず、表4に示される条件で、上記基体の切れ刃、すくい面、逃げ面に、所定の平均層厚、平均粒径の結晶性ダイヤモンド層を蒸着形成し、b’ついで、同じく表4に示される条件で、所定の平均膜厚、平均粒径のナノダイヤモンド膜を蒸着し、この上に、同じく表4に示される条件で、所定の平均膜厚、平均粒径の結晶性ダイヤモンド膜を蒸着し、ナノダイヤモンド膜の蒸着と結晶性ダイヤモンド膜の蒸着を交互に繰り返し行うことにより、上記基体の切れ刃、すくい面、逃げ面に、所定の平均膜厚の交互積層膜を蒸着形成し、c’ついで、上記結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜を蒸着形成した超硬合金基体を、レーザ加工装置に装着し、紫外線レーザ波長:262nmのレーザ光源を駆動し、焦点レンズを紫外線レーザの光軸方向に移動させ、紫外線レーザ光を試料ステージの中心と重なる位置で集光させ、ついで、試料ステージを移動させて、紫外線レーザを切れ刃に照射し、ガルバノスキャナでレーザをすくい面に走査することで、切れ刃以外の交互積層膜を除去し、d’すくい面の切れ刃と逃げ面には、表5に示す結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜を被覆形成するとともに、交互積層膜のすくい面側の表層に表6に示す非晶質カーボン膜を形成する。e‘また、上記a’~d’で得られたものの一部については、さらに、逃げ面の切れ刃を研磨することで、逃げ面の切れ刃以外の交互積層膜を除去する。以上、a’~e’により、すくい面側の切れ刃に非晶質カーボン膜が形成され、また、逃げ面の切れ刃が研磨され、逃げ面側の切れ刃が交互積層膜が形成され、切れ刃以外の逃げ面には、結晶性ダイヤモンド層のみが被覆されている比較例ダイヤモンド被覆工具としての比較被覆工具インサ-ト1~6を製造し、さらに、a’~d’により、すくい面側の切れ刃に非晶質カーボン膜が形成され、逃げ面には、結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜が被覆形成されている比較例ダイヤモンド被覆工具としての比較被覆工具インサ-ト8~15を製造した。なお、比較被覆工具インサ-ト7については、交互積層膜の形成は行わなかった。この結果得られた本発明被覆工具1~10および比較被覆工具1~15について、上記の各膜の膜厚と結晶性ダイヤモンド層の層厚を、走査型電子顕微鏡を用いて測定縦断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均層厚5点測定の平均値を示した。また、切れ刃のすくい面側の表層の膜の結晶性をArガスレーザより得られた可視光を用いたラマン分光分析により、1333cm-1のラマンピークにおける半価幅より評価した。切れ刃のすくい面側の表層の膜の表面粗さRaはレーザ顕微鏡により測定した。ダイヤモンドの平均粒径は、界面と平行な線分を、線分に占めるダイヤモンド粒子の総数で割った値で算出した。さらに、交互積層膜の最先端から結晶性ダイヤモンド層までの最短距離は、試料を断面加工した後、マイクロスコープにより測定した。表3、5、6に、これらの結果を示す。つぎに、上記の本発明被覆工具1~10および比較被覆工具1~15を工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、JISA4032組成は、質量で、Al-12Siからなる丸棒を被削材として、表7に示す切削条件1、切削条件2で高Si含有Al合金の乾式連続高速切削加工試験を行なった。いずれの切削加工試験でも切れ刃の逃げ面摩耗幅を測定した。表8に測定結果を示す。表8に示される結果から、この発明のダイヤモンド被覆工具は、難削材の切削に用いた場合でも、チッピングを発生することなく、加工精度、切屑排出性にすぐれ、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、比較被覆工具1~15は、耐チッピング性、耐摩耗性が劣り、切削性能が満足できるものでないことは明らかである。次に本発明のダイヤモンドコーティングドリルを使用することによるバリ抑制の効果について調べた。下記仕様のドリルを使用して、表2および表4の成膜条件でダイヤモンド膜をドリルに成膜し、紫外線レーザを用いてドリルの切れ刃のすくい面を加工した。ダイヤモンド被覆工具を用いて、バリが発生するまで貫通穴の数を調査した。使用ドリル:外径φ6mm、2枚刃、Co6wt超硬合金製ドリル切削条件:切削速度V=60m/min、送りf=0.05mm/rev被削材:CFRP厚み20mm試験結果を表9に示す。表9に示される結果から、本発明工具6~10は本発明被覆工具1~5に比べ、切れ刃のシャープさがない分、切削寿命が短くなっているが、CFRPの切削性能を十分に満足することを示した。本発明のダイヤモンド被覆工具は、CFRPの切削に用いた場合でも、長期の使用にわたって、バリを発生することなく、加工精度、切屑排出性にすぐれ、すぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、比較被覆工具7~15は、耐チッピング性、耐摩耗性が劣り、バリが早期に生じることから、切削性能が満足できるものでないことは明らかである。比較被覆工具1~6は比較被覆工具7~15より、刃先がシャープなため工具寿命が延びているものの、チッピングなどの要因により、切削性能を満足できるものではないないことは明らかである。a実施例1で成膜された結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜を蒸着形成した超硬合金基体を、レーザ加工装置に装着し、紫外線レーザ波長:262nmのレーザ光源を駆動し、焦点レンズを紫外線レーザの光軸方向に移動させ、紫外線レーザ光を試料ステージの中心と重なる位置で集光させ、ついで、試料ステージを移動させて、紫外線レーザを切れ刃以外のすくい面と逃げ面に照射し、ガルバノスキャナでレーザを走査することで、すくい面と逃げ面の切れ刃以外の表層の交互積層膜を除去し、b切れ刃には、表10に示す結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜を被覆形成するとともに、交互積層膜のすくい面側の表層および逃げ面側の表層には、表11に示す非晶質カーボン膜を形成した。以上、a~bにより、すくい面および逃げ面の切れ刃の表面に非晶質カーボン膜が形成された請求項3に該当する本発明ダイヤモンド被覆工具としての本発明被覆工具インサ-ト11~20を製造した。比較のために、a’表1の超硬合金基体をCVD装置に装入し、まず、表4に示される条件で、所定の平均層厚、平均粒径の結晶性ダイヤモンド層を蒸着形成し、b’ついで、同じく表4に示される条件で、所定の平均膜厚、平均粒径のナノダイヤモンド膜を蒸着し、この上に、同じく表4に示される条件で、所定の平均膜厚、平均粒径の結晶性ダイヤモンド膜を蒸着し、ナノダイヤモンド膜の蒸着と結晶性ダイヤモンド膜の蒸着を交互に繰り返し行うことにより、表12の平均膜厚の交互積層膜を蒸着形成し、c’表12の結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜を蒸着形成した超硬合金基体を、レーザ加工装置に装着し、紫外線レーザ波長:262nmのレーザ光源を駆動し、焦点レンズを紫外線レーザの光軸方向に移動させ、紫外線レーザ光を試料ステージの中心と重なる位置で集光させ、ついで、試料ステージを移動させて、紫外線レーザを切れ刃以外のすくい面と逃げ面に照射し、ガルバノスキャナでレーザを走査することで、切れ刃以外の交互積層膜を除去し、d’切れ刃には、表12に示す結晶性ダイヤモンド層と交互積層膜を被覆形成するとともに、交互積層膜のすくい面の表層および逃げ面側の表層には、表13に示す非晶質カーボン膜を形成した。以上、a’~d’により、すくい面および逃げ面の切れ刃の表面に非晶質カーボン膜が形成された比較例ダイヤモンド被覆工具としての比較被覆工具インサ-ト21~26、28~35を製造した。なお、比較被覆工具インサ-ト27については、交互積層膜の形成およびレーザによる加工は行わなかった。つぎに、上記の本発明被覆工具11~20を工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、JISA4032組成は、質量で、Al-12Siからなる丸棒を被削材として、表7に示す切削条件1、切削条件2で高Si含有Al合金の乾式連続高速切削加工試験を行なった。いずれの切削加工試験でも切れ刃の逃げ面摩耗幅を測定した。表14に測定結果を示す。次に本発明のダイヤモンドコーティングドリルを使用することによるバリ抑制の効果について調べた。使用ドリル:外径φ6mm、2枚刃、Co6wt超硬合金製ドリル切削条件:切削速度V=60m/min、送りf=0.05mm/rev被削材:CFRP厚み20mm試験結果を表15に示す。表14に示される結果から、この発明のダイヤモンド被覆工具は、難削材の切削に用いた場合でも、チッピングを発生することなく、加工精度、切屑排出性にすぐれ、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、比較被覆工具21~35は、耐チッピング性、耐摩耗性が劣り、切削性能が満足できるものでないことは明らかである。また、表15に示される結果から、この発明のダイヤモンド被覆工具は、CFRPの切削に用いた場合でも、長期の使用にわたって、バリを発生することなく、加工精度、切屑排出性にすぐれ、すぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、比較被覆工具21~35は、耐チッピング性、耐摩耗性が劣り、バリが早期に生じることから、切削性能が満足できるものでないことは明らかである。"