"リニアエンコーダ式のトルクセンサであって、第1の部材と、前記第1の部材と対向するように配置され、前記第1の部材と相対的な回転関係にある第2の部材と、前記第1の部材と前記第2の部材とを連結する連結部材と、複数のトラックが示され、前記トラックが延在する方向に延びる第1の線と、前記第1の線と前記連結部材の中心軸とを結ぶ第2の線とが直交するように、前記第1の部材に設けられたスケールと、前記第2の部材に設けられ、前記スケールから位置情報を検出する検出ヘッドと、前記スケールと前記検出ヘッドとを連結し、前記スケールに対する前記検出ヘッドの前記第1の線と平行な方向への変位を許容し、前記スケールに対する前記検出ヘッドの前記第1の線と平行な方向以外の方向への変位を拘束する第1の連結部と、前記第1の部材と前記スケール、又は前記第2の部材と前記検出ヘッドとを連結し、前記第1の部材に対する前記スケール、又は前記第2の部材に対する前記検出ヘッドの前記第1の線と平行な方向への変位を拘束し、前記第1の部材に対する前記スケール、又は前記第2の部材に対する前記検出ヘッドの前記第1の線と平行な方向以外の方向への変位を許容する第2の連結部と、を備えるトルクセンサ。前記第1の連結部は、板状部材を備え、前記板状部材の最も面積が広い面は、前記第2の線と、前記連結部材の中心軸である第3の線と、を含む面と平行に配置される請求項1に記載のトルクセンサ。前記第2の連結部は、前記第1の線と平行な方向への剛性が前記第1の連結部の剛性より高く、前記第1の線と平行な方向以外の方向への剛性が前記第1の連結部の剛性より低い請求項1又は2に記載のトルクセンサ。前記第2の連結部は、シート状の弾性部材を備える請求項1乃至3のいずれか1項に記載のトルクセンサ。前記第2の連結部は、板金状の弾性部材を備える請求項1乃至3のいずれか1項に記載のトルクセンサ。前記第2の連結部は、前記スケール又は前記検出ヘッドに設けられたピンと、前記ピンが挿入され、前記第1の部材又は前記第2の部材において前記第2の線と平行に延在する可動部と、を備える請求項1乃至3のいずれか1項に記載のトルクセンサ。前記第2の連結部は、前記ピンと前記可動部との間に、前記第1の線と平行に配置された弾性部材を備える請求項6に記載のトルクセンサ。図13に示すトルクセンサ100は、連結部材130が弾性部材であるため、Z軸回りのトルク以外の外乱によって、図14に示すように、第1の円板110と第2の円板120とがZ軸回りの回転以外の相対変位を生じ、スケール140と検出ヘッド150との間の相対距離や平行度を維持することができない図15。ここで、図15は、トルクセンサ100の測定誤差を示している。図15から、誤差は本来0付近で水平であるべきだが、誤差が生じていることが分かる。そのため、図13に示すトルクセンサ100は、トルクを精度良く測定できない課題を有する。本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、トルクを精度良く測定できるトルクセンサを提供することを目的とするものである。本発明の第1の形態に係るトルクセンサは、リニアエンコーダ式のトルクセンサであって、第1の部材と、前記第1の部材と対向するように配置され、前記第1の部材と相対的な回転関係にある第2の部材と、前記第1の部材と前記第2の部材とを連結する連結部材と、複数のトラックが示され、前記トラックが延在する方向に延びる第1の線と、前記第1の線と前記連結部材の中心軸とを結ぶ第2の線とが直交するように、前記第1の部材に設けられたスケールと、前記第2の部材に設けられ、前記スケールから位置情報を検出する検出ヘッドと、前記スケールと前記検出ヘッドとを連結し、前記スケールに対する前記検出ヘッドの前記第1の線と平行な方向への変位を許容し、前記スケールに対する前記検出ヘッドの前記第1の線と平行な方向以外の方向への変位を拘束する第1の連結部と、前記第1の部材と前記スケール、又は前記第2の部材と前記検出ヘッドとを連結し、前記第1の部材に対する前記スケール、又は前記第2の部材に対する前記検出ヘッドの前記第1の線と平行な方向への変位を拘束し、前記第1の部材に対する前記スケール、又は前記第2の部材に対する前記検出ヘッドの前記第1の線と平行な方向以外の方向への変位を許容する第2の連結部と、を備える。本発明の第2の形態に係るトルクセンサは、上記のトルクセンサにおいて、前記第1の連結部は、板状部材を備え、前記板状部材の最も面積が広い面は、前記第2の線と、前記連結部材の中心軸である第3の線と、を含む面と平行に配置される。本発明の第3の形態に係るトルクセンサは、上記のトルクセンサにおいて、前記第2の連結部は、前記第1の線と平行な方向への剛性が前記第1の連結部の剛性より高く、前記第1の線と平行な方向以外の方向への剛性が前記第1の連結部の剛性より低い。本発明の第4の形態に係るトルクセンサは、上記のトルクセンサにおいて、前記第2の連結部は、シート状の弾性部材を備える。本発明の第5の形態に係るトルクセンサは、上記のトルクセンサにおいて、前記第2の連結部は、板金状の弾性部材を備える。本発明の第6の形態に係るトルクセンサは、上記のトルクセンサにおいて、前記第2の連結部は、前記スケール又は前記検出ヘッドに設けられたピンと、前記ピンが挿入され、前記第1の部材又は前記第2の部材において前記第2の線と平行に延在する可動部と、を備える。本発明の第7の形態に係るトルクセンサは、上記のトルクセンサにおいて、前記第2の連結部は、前記ピンと前記可動部との間に、前記第1の線と平行に配置された弾性部材を備える。以上、説明したように、本発明によると、トルクを精度良く測定できるトルクセンサを提供することができる。以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を参照しながら説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されており、重複する説明は省略されている。ちなみに、以下の説明において略との語彙を用いて説明しているが、当該略は精密な意味での平行度や拘束等を言うのではなく、本発明の目的を達成することができる範囲において許容される平行度や拘束等を含む意味で用いている。<実施形態1>本発明の実施形態1に係るトルクセンサを、図面に基づいて説明する。図1は、トルクセンサを概略的に示す正面図である。図2は、トルクセンサを概略的に示す左側面図である。図3は、トルクセンサを概略的に示す平面図である。トルクセンサ1は、リニアエンコーダ式のトルクセンサであって、例えばロボットの関節等に好適に用いることができる。トルクセンサ1は、第1の部材11、第2の部材12、連結部材13、スケール14、検出ヘッド15、第1の連結部16、第2の連結部17を備えている。第1の部材11は、例えばロボットのアームの入力軸に連結される。本実施形態の第1の部材11は、円形の板状部材である。この第1の部材11は、X軸とY軸とを含む平面と略平行に配置されている。第2の部材12は、例えばロボットの関節に搭載された減速ギア等の出力軸に連結される。本実施形態の第2の部材12は、第1の部材11と等しい形状とされており、円形の板状部材である。この第2の部材12も、X軸とY軸とを含む平面と略平行に配置されている。そして、第2の部材12は、第1の部材11とZ軸方向から見て重ねられている。但し、第1の部材11及び第2の部材12は、減速ギア等の出力軸からアームの入力軸にトルクを良好に伝達することができる、形状、材質等であれば良い。連結部材13は、第1の部材11と第2の部材12とを連結する。詳細には、連結部材13は、第1の部材11の中心と第2の部材12の中心とを連結する。連結部材13は、中心軸Oを中心として捻じれ、且つ略撓まない、材質、形状とされていることが好ましい。この連結部材13が捩れることにより、第1の部材11と第2の部材12とは、当該連結部材13を中心として相対的に回転する。スケール14は、ベース18を介して第1の部材11に設けられている。詳細には、スケール14は、第1の部材11における第2の部材12と対向する面に設けられている。そして、スケール14は、第2の部材12の外周縁近傍に配置されている。このスケール14は、一般的なリニアエンコーダで用いられるスケールと同様に、長手方向に向かってトラック図示を省略が示されている。スケール14のトラックが示された面は、X軸とY軸とを含む平面と略平行に配置されている。また、スケール14のトラックが示された面は、第2の部材12と向かい合うように配置されている。そして、スケール14は、X軸とY軸とを含む平面上で、当該スケール14の長手方向に延びる第1の線L1と、第1の線L1と連結部材13の中心軸Oとを結ぶ第2の線L2とが略直交するように、配置されている。結果として、スケール14の長手方向は、X軸方向に配置されている。検出ヘッド15は、ベース19を介して第2の部材12に設けられている。詳細には、検出ヘッド15は、第2の部材12における第1の部材11と対向する面に設けられている。このとき、検出ヘッド15は、第1の部材11と第2の部材12とが連結部材13を中心として相対的に回転した際に、スケール14のトラックが示された面との距離が略一定となるように、配置されている。そして、検出ヘッド15は、スケール14とZ軸方向に重なるように、即ちスケール14のトラックが示された面と向かい合うように配置されている。そのため、検出ヘッド15は、第1の部材11の外周縁近傍に配置されている。この検出ヘッド15は、一般的なリニアエンコーダに用いられる検出ヘッドと同様に、発光源や受光素子等を備えている。つまり、検出ヘッド15は、当該検出ヘッド15とスケール14とが相対的に変位した際に、スケール14に示されたトラックに基づくパルス数から相対変位量を位置情報として検出する。検出ヘッド15は、図示を省略した処理装置に当該位置情報を出力する。処理装置は、当該位置情報や連結部材13の弾性係数等に基づいて、入力側と出力側との間に作用するトルクを算出する。そのため、第1の部材11と第2の部材12とが連結部材13を中心として相対的に回転した際に、検出ヘッド15がスケール14上を移動する。しかし、図14のように検出ヘッド15とスケール14との相対距離や平行度が変化したり、図16のように検出ヘッドがスケールに対して連結部材13を中心として回転移動したりするため、第1の部材11と第2の部材12との相対的な回転変位量を精度良く計測することができない図15。そこで、本実施形態のトルクセンサ1は、第1の連結部16、第2の連結部17を備えている。第1の連結部16は、検出ヘッド15に対するスケール14の第1の線L1と略平行な方向への変位を許容し、且つ検出ヘッド15に対するスケール14の他の方向第1の線L1と平行な方向以外の方向への変位を略拘束する。ここで、一般的に板状部材は、最も広い面に対して直交する方向への剛性が他の方向への剛性に比べて低い。そこで、本実施形態では、第1の連結部16として例えば鋼材などの板状部材が用いられている。第1の連結部16における最も広い面16aは、第1の線L1と、連結部材13の中心軸Oである線L3と、を含む平面と略平行に配置されている。つまり、図示例では、第1の連結部16における最も広い面16aは、Y軸とZ軸とを含む平面と略平行に配置されている。そして、第1の連結部16は、スケール14を当該スケール14の長手方向から挟み込むように、配置されている。つまり、第1の連結部16は、スケール14を挟んでX軸方向で向かい合うように配置されている。また、第1の連結部16における他方側の第1の連結部16と対向する面のZ軸方向の一方の部分図1では紙面に対して上側の部分は、検出ヘッド15に接合されている。一方、第1の連結部16における他方側の第1の連結部16と対向する面のZ軸方向の他方の部分図1では紙面に対して下側の部分は、スケール14に接合されている。但し、本実施形態では、ベース18を介してスケール14に接合されている。その結果、第1の連結部16は、スケール14と検出ヘッド15とを連結することになる。このような第1の連結部16は、上述のように検出ヘッド15に対するスケール14の第1の線L1と略平行な方向への変位を許容し、且つ検出ヘッド15に対するスケール14の他の方向への変位を略拘束するように、材質、各寸法等を設定すれば良い。各方向への剛性は理論式もしくは有限要素法解析などを用いて推定できるため、弾性部材13のねじり剛性と併せて考慮することで、トルク検出感度低下の度合いを考えて設計を行うことができる。また、設計のパラメータとしては第1の連結部16の部材の厚みや幅、長さなどを用いることができる。ここで、弾性部材13のねじれによる回転変位量は小さいので、第1の連結部16におけるスケール14の長手方向の剛性が低ければ、第1の連結部16による中心軸O回りの微小ねじりの剛性も低くなるので、弾性部材13のねじれの剛性への影響はトルク測定に与えないほど小さい第1の連結部16のX軸方向の剛性をK、中心軸Oからの半径をr,中心軸O回りの等価ねじり剛性をGとすると、GdtaudthetaKr2dthetadthetaKr2と近似できるため、Kが低ければGも低くなる。なお、上記GおよびKを低くすることは、他の方向への剛性とのトレードオフになるが、第1の連結部16を幅に対して十分薄くして、長さを短くすることで、剛性の異方性を高める設計ができる。第2の連結部17は、X軸とY軸とを含む平面と略平行な面において、スケール14の第1の線L1と略平行な方向への変位を略拘束し、他の方向への変位を許容する。ここで、一般的にゴム等のシート状の弾性体は、平面と略平行な方向への剛性が高く、その一方で、他の方向への剛性は低い。スケール14の形状を考えると、ゴムシートはX軸方向に長い形状を取ることになるので、その剛性はX軸方向に関して選択的に高くなる。そこで、本実施形態では、第2の連結部17としてシート状の弾性体が用いられている。そして、第2の連結部17は、ベース18と第1の部材11との間に介在されている。その結果、第2の連結部17は、第1の部材11とスケール14とを連結することになる。このような第2の連結部17は、スケール14の第1の線L1と略平行な方向への変位を略拘束し、他の方向への変位を許容することができるように、材質、各寸法等を設定すれば良い。図4は、第1の部材11と第2の部材12とが連結部材13を中心として相対的に回転した際のトルクセンサ1の様子を概略的に示す正面図である。上述のように、第1の連結部16は、検出ヘッド15に対するスケール14の第1の線L1と略平行な方向への変位を許容し、且つ検出ヘッド15に対するスケール14の他の方向への変位を略拘束する。しかも、第2の連結部17は、スケール14の第1の線L1と略平行な方向への変位を略拘束し、他の方向への変位を許容する。つまり、第2の連結部17は、第1の連結部16に引っ張られてスケール14が第1の線L1と略平行な方向に追従することを略防ぎ、且つ第1の部材11と第2の部材12との間にZ軸回りの回転以外の相対変位が生じたとしても、検出ヘッド15とスケール14との相対距離や平行度が変わることを防ぐ。また、第2の連結部17は、回転軸13を中心とする円周に沿って変位する検出ヘッド15の回転に倣うように、スケール14を第2の線L2上で外方に若干移動させた位置で自転させる。第2の連結部17の第1の線L1以外の方向の剛性は、第1の連結部16の剛性より低いため、第1の部材11と第2の部材12との間に、トルク測定を妨げるような過大な力を発生させること無く、スケール14と第1の部材11との間の第1の線L1以外の方向の変位を吸収することができる。そのため、スケール14と検出ヘッド15との相対距離や平行度を略維持した状態で、スケール14の長手方向に沿って検出ヘッド15を精度良く変位させることができる。よって、スケール14と検出ヘッド15との相対的な変位量を精度良く算出することができ、ひいては出力側例えばロボットのアーム等に作用するトルクを精度良く算出することができる。ちなみに、第2の連結部17の弾性変形によって、第1の連結部16に引っ張られてスケール14が第1の線L1と略平行な方向に変位してしまうが、第2の連結部17の弾性変形は微小であり、しかも当該弾性変形は第1の線L1と略平行な方向における検出ヘッド15に対するスケール14の変位量に比べて極めて小さいので、測定精度に略影響を与えない。また、第1の部材11と第2の部材12とが連結部材13を中心として相対的に回転して、第1の連結部16が傾動した際に、スケール14と検出ヘッド15との相対距離が変位するが、この変位量は微小であり、測定精度に略影響を与えない。<実施形態2>本発明の実施形態2に係るトルクセンサを、図面に基づいて説明する。図5は、トルクセンサを概略的に示す正面図である。図6は、トルクセンサを概略的に示す左側面図である。図7は、トルクセンサを概略的に示す底面図である。なお、実施形態1のトルクセンサと共通の要素には、共通の符号を付している。本実施形態のトルクセンサ10は、実施形態1のトルクセンサ1と略同様の構成とされているが、第2の連結部27の構成が異なる。すなわち、第2の連結部27は、ピン21、可動部22を備えている。ピン21は、ベース18の下面からZ軸方向に突出している。ピン21は、可動部22に挿入されている。可動部22は、第1の部材11に形成されている。可動部22は、Y軸と平行な方向に向かって形成された切り欠き部である。但し、可動部22は、切り欠き形状である必要はなく、溝部でも長孔でも良い。図8は、第1の部材11と第2の部材12とが連結部材13を中心として相対的に回転した際のトルクセンサ10の様子を概略的に示す正面図である。第1の部材11と第2の部材12とが連結部材13を中心として相対的に回転すると、ピン21が可動部22内において外方に移動しつつ、ピン21が可動部22内で自転することで、連結部材13を中心とする円周に沿って変位する検出ヘッド15の回転に倣うように、スケール14を第2の線L2上において外方に若干移動させた位置で自転させることができる。そのため、実施形態1のトルクセンサ1と同様に、スケール14の長手方向に沿って検出ヘッド15を精度良く変位させることができる。よって、スケール14と検出ヘッド15との相対的な変位量を精度良く算出することができ、ひいては出力側例えばロボットのアーム等に作用するトルクを精度良く算出することができる。なお、本実施形態の図示例のように、可動部22がX軸方向に余裕を有し、ピン21と可動部22との間にバネ等の弾性部材23を備えていることが好ましい。これにより、ピン21を可動部22内でスムーズに動作させることができる。しかも、第1の線L1と略平行な方向へのピン21の変位を弾性部材23で略拘束するので、精度を落とすことなく、スケール14と検出ヘッド15との相対的な変位量を算出することができる。このとき、弾性部材23の第1の線L1方向の弾性率は、第1の連結部16の周方向の弾性率より高く、それ以外の方向の弾性率は第1の連結部16の弾性率より低く設定される。<その他の形態>第2の連結部の構成は、上述の限りでなく、例えば図9及び図10に示すように、X軸とY軸とを含む平面と略平行な部分とX軸とZ軸とを含む平面と略平行な部分とが交互に連続するように折り曲げた板状部材板金状の弾性体37で、スケール14と第1の部材11とを連結しても良い。要するに、第2の連結部は、スケール14の長手方向と略平行な方向への変位を略拘束し、スケール14の他の方向への変位を許容することができれば良い。また、スケール14及び検出ヘッド15の配置は、上述の限りでなく、例えば図11及び図12に示すように配置しても良い。図11に示すトルクセンサは、実施形態1のトルクセンサ1と略同様の構成とされているが、スケール14のトラックが示された面がX軸とZ軸とを含む平面と略平行に配置されている。また、スケール14のトラックが示された面は外方に向かって配置されている。そして、スケール14の長手方向がX軸方向に配置されている。このスケール14は、第2の連結部47を介して第1の部材11に連結されている。第2の連結部47は、YZ断面がL字形状の冶具48とシート状の弾性体49とを備える。弾性体49は、第1の部材11に対するスケール14における当該スケール14の長手方向への変位を略拘束し、他の方向への変位を許容する。また、検出ヘッド15は、Y軸方向から見ると、スケール14に重なるように、即ちスケール14のトラックが示された面と向かい合うように配置されている。そして、検出ヘッド15は、Y軸方向においてスケール14より外方に配置され、YZ断面がL字形状の冶具41を介して第2の部材12に連結されている。但し、スケール14のトラックが示された面を内方に向かって配置し、当該スケール14のトラックと向かい合うように検出ヘッド15をスケール14に対して内方に配置しても良い。これらのスケール14と検出ヘッド15とは、第1の連結部46を介して連結されている。第1の連結部46としては、上述の実施形態と同様に、板状部材が用いられる。この第1の連結部46における最も広い面は、Y軸とZ軸とを含む平面と略平行に配置されている。そして、第1の連結部46は、スケール14を当該スケール14の長手方向から挟み込むように、配置されている。このような構成においても、第1の連結部46によって、スケール14の長手方向のみの変位を許容するように略拘束され、スケール14と第1の部材11との間の、スケール14の長手方向以外の方向の相対変位は、第2の連結部47の弾性体49の各方向への弾性変形によって、スケール14と第1の部材11との間に当該スケール14の長手方向以外の方向に過大な力を発生させずに、吸収される。このとき、第1の部材11と第2の部材12とが連結部材13を中心として相対的に回転して、第1の連結部46が傾動した際に、スケール14と検出ヘッド15との相対距離が変位するが、この変位量は微小であり、測定精度に略影響を与えない。また、第2の連結部47の弾性体49の弾性変形によって、スケール14と検出ヘッド15との平行度は略維持される。したがって、図11に示すトルクセンサも、スケール14と検出ヘッド15との相対距離や平行度を略維持した状態で、スケール14の長手方向に沿って検出ヘッド15を精度良く変位させることができる。よって、スケール14と検出ヘッド15との相対的な変位量を精度良く算出することができ、ひいては出力側例えばロボットのアーム等に作用するトルクを精度良く算出することができる。図12に示すトルクセンサは、図11に示すトルクセンサと略同様の構成とされているが、図9に示すトルクセンサと同様に、スケール14が折り曲げた板状部材第2の連結部57を介して第1の部材11に連結されている。つまり、第1の部材11は、X軸とY軸とを含む平面と略平行な部分とX軸とZ軸とを含む平面と略平行な部分とが交互に連続しており、X軸とZ軸とを含む平面と略平行な部分の外面に、スケール14におけるトラックが示された面と逆側の面が接合されている。このような構成においても、第1の連結部46によって、スケール14の長手方向のみの変位を許容するように略拘束され、スケール14と第1の部材11との間の、スケール14の長手方向以外の方向の相対変位は、第2の連結部57の各方向への弾性変形によって、スケール14と第1の部材11との間に当該スケール14の長手方向以外の方向に過大な力を発生させずに、吸収される。このとき、第1の部材11と第2の部材12とが連結部材13を中心として相対的に回転して、第1の連結部46が傾動した際に、スケール14と検出ヘッド15との相対距離が変位するが、この変位量は微小であり、測定精度に略影響を与えない。また、第2の連結部57の弾性変形によって、スケール14と検出ヘッド15との平行度は略維持される。したがって、図12に示すトルクセンサも、スケール14と検出ヘッド15との相対距離や平行度を維持した状態で、スケール14の長手方向に沿って検出ヘッド15を精度良く変位させることができる。よって、スケール14と検出ヘッド15との相対的な変位量を精度良く算出することができ、ひいては出力側例えばロボットのアーム等に作用するトルクを精度良く算出することができる。以上、本発明に係るトルクセンサの実施形態を説明したが、上記の構成に限らず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で、変更することが可能である。例えば、上述の実施形態では、第1の部材にスケールを設け、第2の部材に検出ヘッドを設けているが、逆の構成でも良い。また、上述の実施形態では、第2の連結部をスケール側に配置しているが、検出ヘッド側に配置しても良い。"