"矩形ワークの搬送方向に平行にして配置され、同一平面内に位置するそれぞれの上面に矩形ワークが載置される一対の搬送部材と、前記同一平面内で前記搬送方向に直交する直交方向における前記一対の搬送部材の一方の外側の位置に配置され、前記搬送方向に沿う当接面を有するガイドと、前記搬送方向における前記ガイドの当接面が位置する範囲で、前記一対の搬送部材の上面に載置された矩形ワークを前記搬送方向に直交する面内で前記ガイド側が下方となるように徐々に傾斜させる補助搬送部材と、を備えた矩形ワーク搬送装置。前記補助搬送部材は、前記一対の搬送部材の上面に載置された矩形ワークの底面に当接する傾斜面を備えた請求項1に記載の矩形ワーク搬送装置。前記傾斜面は、前記直交方向について少なくとも搬送方向の上流側の一部を前記一対の搬送部材の間における中央部よりも前記ガイドの配置側の反対側に配置され、前記搬送方向の下流側が、前記ガイドに近接するように前記搬送方向に対して傾斜し、かつ前記同一平面よりも上方に位置するように傾斜して配置された請求項2に記載の矩形ワーク搬送装置。前記補助搬送部材は、少なくとも一対のローラに張架された無端ベルトであって外周面が前記傾斜面を構成する無端ベルトである請求項3に記載の矩形ワーク搬送装置。請求項1乃至4の何れかに記載の矩形ワーク搬送装置と、前記矩形ワークの搬送方向における前記補助搬送部材の下流側で、前記矩形ワーク搬送装置によって搬送される矩形ワークに所定の処理を実行する処理部と、を備えた矩形ワーク処理装置。しかし、当接部材を動作させる従来の矩形ワーク搬送装置では、当接部材が配置されている位置で矩形ワークの搬送を一時停止させる必要があり、タクトタイムの長時間化を招く。また、当接部材を動作させるための機構が必要となり、コストの上昇を招く。一対のガイドやローラを用いた従来の矩形ワーク搬送装置では、矩形ワークに大きな負荷が作用し、矩形ワークに損傷を生じる可能性がある。また、一対のガイドやローラの配置範囲における搬送方向の最も下流側の位置では、ガイド又はローラと矩形ワークとの間に間隙を設ける必要があり、高精度の位置決めを行うことができない。このような問題は、太陽電池用ウェハに限らず、他の矩形ワークの搬送時にも同様に生じる。この発明の目的は、簡単な構造でタクトタイムを増加させることなく矩形ワークの位置及び姿勢を精度よく所定の状態にすることができる矩形ワーク搬送装置、及びこの矩形ワーク搬送装置を備えた矩形ワーク処理装置を提供することある。この発明に係る矩形ワーク搬送装置は、一対の搬送部材、ガイド、補助搬送部材を備えている。一対の搬送部材は、矩形ワークの搬送方向に平行に配置され、同一平面内に位置するそれぞれの上面に矩形ワークが載置される。ガイドは、同一平面内で搬送方向に直交する直交方向における一対の搬送部材の一方の外側の位置に配置され、搬送方向に沿う当接面を有する。補助搬送部材は、搬送方向におけるガイドの当接面が位置する範囲で、一対の搬送部材の上面に載置された矩形ワークを搬送方向に直交する面内でガイド側が下方となるように徐々に傾斜させる。この発明によれば、簡単な構造でタクトタイムを増加させることなく矩形ワークの位置及び姿勢を精度よく所定の状態にすることができる。以下に、この発明の実施形態に係る矩形ワーク搬送装置について、図面を参照して説明する。図1及び2に示すように、この発明の実施形態に係る矩形ワーク搬送装置10は、一対の搬送部材1、ガイド2及び補助搬送部材3を備えている。一対の搬送部材1は、それぞれ搬送方向Xに平行に配置された無端ベルト11A~11C及び12A~12Cによって構成されている。無端ベルト11A~11Cは、それぞれプーリ13A及び14A、プーリ13B及び14B、プーリ13C及び14Cに張架されている。無端ベルト12A~12Cは、それぞれプーリ15A及び16A、プーリ15B及び16B、プーリ15C及び16Cに張架されている。なお、一対の搬送部材1は、それぞれ複数のローラ又はチェーンで構成することもできる。無端ベルト11A~11C及び12A~12Cは、プーリ13A及び14A、プーリ13B及び14B、プーリ13C及び14C、プーリ15A及び16A、プーリ15B及び16B、プーリ15C及び16Cの回転により、ループ状の移動経路に沿って回転する。無端ベルト11A~11C及び12A~12Cは、同一面内に位置する上面に載置された矩形ワーク100を搬送方向Xに沿って搬送する。ガイド2は、搬送方向Xに直交する直交方向Yにおける一対の搬送部材1のうちの一方の無端ベルト11A~11Cの外側に配置されている。ガイド2は、底面に当接面21を備えている。当接面21は、搬送方向Xに沿って矩形ワーク100の一辺よりも長い所定長さに渡って搬送方向Xに平行に配置されている。また、当接面21は、直交方向Yについて、矩形ワーク100を搬送すべき所定位置に一致している。図3A及びBに示すように、補助搬送部材3は、無端ベルト31、ベース32、支持板33、プーリ34A~34F、モータ35、可動板36を備えている。無端ベルト31は、プーリ34A~34Fに張架されている。支持板33は、水平面内の所定範囲内でベース32に対して回転自在にされている。モータ35は、プーリ34Aに回転を供給する。可動板36は、プーリ34D~34Fを軸支し、支持板33に対して所定範囲内で上下移動自在にされている。支持板33には、円弧状の孔部37A~37Cが形成されている。孔部37A~37Cのそれぞれには、ベース32の上面に立設されたボルト38A~38Cが貫通している。支持板33をベース32に対して水平面内で所定角度回転させた後、ボルト38A~38Cのそれぞれに螺合するナット39A~39Cを締め付けることで、ベース32に対する支持板33の回転位置が固定される。ベース32に対して支持板33を回転させることにより、無端ベルト31のループ状の回転経路におけるプーリ34Bとプーリ34Dとの間に位置する無端ベルト31の外側面の最上部である傾斜面が、搬送方向Xの下流側をガイド2に近づくように水平面内で搬送方向に対して傾斜する。この時、無端ベルト31の傾斜面における少なくとも搬送方向Xの上流側の一部は、直交方向Yについて無端ベルト11A~11Cと無端ベルト12A~12Cとの間の中央部よりもガイド2の配置側の反対側に配置される。可動板36には、直線状の孔部40A~40Dが形成されている。孔部40A~40Cのそれぞれには、支持板33に立設された固定板41に螺合するボルト42A~42Dが貫通している。可動板36を固定板41に対して所定距離だけ上方に移動させた後、ボルト42A~42Dを締め付けることで、支持板33に対する可動板36の上下位置が固定される。可動板36が最も下方に位置している時に、無端ベルト31の傾斜面は無端ベルト11A~11C及び12A~12Cの上面と同一面内に位置している。支持板33に対して所定距離だけ可動板36を上方に移動させることにより、無端ベルト31の傾斜面が、搬送方向Xの下流側を無端ベルト11A~11C及び12A~12Cの上面よりも上方にして傾斜する。無端ベルト11A~11C及び12A~12Cの上面に載置された矩形ワーク100のサイズ、直交方向Yにおける無端ベルト11A~11Cと無端ベルト12A~12Cとの間隔、直交方向Yにおけるガイド2の当接面21の位置に応じて、ベース32に対する支持板33の回転角度、及び支持板33に対する可動板36の上下位置が調整される。この調整により、無端ベルト31の傾斜面が、搬送方向Xにおけるガイド2の当接面21が位置する範囲で、無端ベルト11A~11C及び12A~12Cの上面に載置された矩形ワーク100を搬送方向Xに直交する面内でガイド2側が下方となるように徐々に傾斜させる。なお、モータ35は、無端ベルト31の外側面と無端ベルト11A~11C及び12A~12Cの外側面とが同期して移動するように、プーリ34Aに回転を供給する。無端ベルト31との接触によって矩形ワーク100に作用する負荷が最小になる。この構成により、矩形ワーク100は、無端ベルト11A~11C及び12A~12Cの上面に載置されて搬送方向Xに沿って移動する間に、搬送方向Xに直交する面内で無端ベルト11A~11C側を下方にして徐々に傾斜し、一方の側面を当接面21に当接させる。矩形ワーク100は、一方の側面が全長に渡って当接面21に当接することで、直交方向Yにおける位置及び姿勢を適正に矯正され、所定の搬送位置に高精度で搬送される。また、矩形ワーク100の搬送中に無端ベルト31の配置位置を変位させる必要がなく、そのための機構を設ける必要がないため、コストの著しい上昇を招くことがない。図4に示すように、この発明の実施形態に係る矩形ワーク処理装置200は、無端ベルトで構成された搬送経路210中に、ワーク回転部230を挟んで、図1~3に示した矩形ワーク搬送装置10を2箇所に配置している。搬送方向Xにおける各矩形ワーク搬送装置10の下流側には、この発明の処理部としての撮像装置220A,220Bが配置されている。撮像装置220A,220Bは、矩形ワーク100の側面の画像を撮像する。矩形ワーク処理装置200は、撮像装置220A,220Bが撮像した画像に基づいて、例えば太陽電池用ウェハである矩形ワーク100を検査する。上流側の矩形ワーク搬送装置10は、搬送経路210に供給された矩形ワーク100を無端ベルト31によってガイド2の当接面21側に向けて傾斜させる。矩形ワーク100は、搬送経路210に供給された際の位置及び姿勢が適正でない場合でも、一方の側面が当接面21に当接することにより、適正な位置及び姿勢に矯正される。下流側の矩形ワーク搬送装置10は、ワーク回転部230によって回転した矩形ワーク矩形ワーク100を無端ベルト31によってガイド2の当接面21側に向けて傾斜させる。矩形ワーク100は、ワーク回転部230による回転後の位置及び姿勢が適正でない場合でも、一方の側面が当接面21に当接することにより、適正な位置及び姿勢に矯正される。搬送経路210中に供給された矩形ワーク100は、上流側の矩形ワーク搬送装置10によって位置及び姿勢を矯正された後、互いに平行な第1及び第2の側面100A,100Bを撮像装置220Aによって撮像される。次いで、矩形ワーク100は、ワーク回転部230によって水平面内で90度回転され、下流側の矩形ワーク搬送装置10によって位置及び姿勢を矯正された後、互いに平行な第3及び第4の側面100C,100Dを撮像装置220Bによって撮像される。矩形ワーク搬送装置10のガイド2の当接面21の位置を撮像装置220A,220Bの焦点位置に合わせることで、矩形ワーク100の側面の画像を撮像装置220A,220B正確に撮像することができる。なお、矩形ワーク処理装置200が矩形ワークに対して行う処理の種類及び処理対象の矩形ワークは、撮像画像に基づく太陽電池用ウェハの検査処理に限るものではない。補助搬送部材は、無端ベルトに限るものではなく、複数のローラやチェーンを備えたものであってもよい。また、矩形ワークに作用する負荷を考慮する必要がない場合には、補助搬送部材の傾斜面を搬送方向に沿って移動しない固定面で形成することもできる。ガイドの当接面は、無端ベルト、複数のローラ等の移動面で構成することもできる。上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"