可動部と、該可動部を移動させるモータとボールねじとを含む移動手段と、該移動手段を制御する制御手段とを備えた加工装置であって、該可動部が基準距離の始点から終点まで移動したことを検出する簡易スケールユニットを具備し、該制御手段は、所定のタイミングで該モータを回転させて該可動部を該基準距離の始点から終点まで移動させた際の該モータの回転角を記憶する回転角記憶部と、該回転角記憶部で記憶した回転角と該基準距離とから単位回転当たりの該可動部の移動距離を算出する単位回転角移動距離算出部と、該単位回転角移動距離算出部で算出した該単位回転当たりの移動距離に基づいて、該可動部を所定距離移動させるのに必要な該モータの回転角を算出する回転角算出部を、該回転角算出部で算出した該回転角だけ該モータを回転させて該可動部を該所定距離移動させるモータ制御部と、を含むことを特徴とする加工装置。前記簡易スケールユニットは、第1スリットと該第1スリットから基準距離離間した第2スリットとを有し、該可動部に取り付けられた簡易スケールと、該簡易スケールを挟んでベース上に対向するように配設された発光素子と受光素子とからなるフォトインターラプターとから構成される請求項1記載の加工装置。リニアスケールユニットは低膨張ガラス等から形成されたリニアスケールと読み取りヘッドとから構成されており、非常に高価である。そこで、リニアスケールユニットを搭載せずに安価な機構で高精度な位置決めを実現したいという要望がある。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、比較的安価な機構により高精度な位置決めを実現可能な加工装置を提供することである。本発明によると、可動部と、該可動部を移動させるモータとボールねじとを含む移動手段と、該移動手段を制御する制御手段とを備えた加工装置であって、該可動部が基準距離の始点から終点まで移動したことを検出する簡易スケールユニットを具備し、該制御手段は、所定のタイミングで該モータを回転させて該可動部を該基準距離の始点から終点まで移動させた際の該モータの回転角を記憶する回転角記憶部と、該回転角記憶部で記憶した回転角と該基準距離とから単位回転当たりの該可動部の移動距離を算出する単位回転角移動距離算出部と、該単位回転角移動距離算出部で算出した該単位回転当たりの移動距離に基づいて、該可動部を所定距離移動させるのに必要な該モータの回転角を算出する回転角算出部を、該回転角算出部で算出した該回転角だけ該モータを回転させて該可動部を該所定距離移動させるモータ制御部と、を含むことを特徴とする加工装置が提供される。好ましくは、簡易スケールユニットは、第1スリットと第1スリットから基準距離離間した第2スリットとを有し、可動部に取り付けられた簡易スケールと、簡易スケールを挟んでベース上に対向するように配設された発光素子と受光素子とからなるフォトインターラプターとから構成される。本発明の加工装置は、基準距離を検出する比較的安価な機構から構成される簡易スケールユニットを具備しており、簡易スケールユニットで可動部の基準距離の移動を検出し、可動部が基準距離移動した際のモータの回転角から単位回転当たりの移動距離を算出する。そして、可動部を所定距離移動させる際には、単位回転角当たりの移動距離から回転すべきモータの回転角を算出して可動部を移動させるようにしたため、室温や装置内部に温度変化が生じても精密な位置決めが可能となる。以下、本発明実施形態に係る切削装置2を図面を参照して詳細に説明する。図1は、切削装置2の概略構成図を示している。切削装置2は、静止基台ベース4上に搭載されたX軸方向に伸長する一対のガイドレール6を含んでいる。X軸移動ブロック8は、ボール螺子10及びパルスモータ12とから構成されるX軸送り機構加工送り手段14により加工送り方向、即ちX軸方向に移動される。X軸移動ブロック8上には円筒状支持部材22を介してチャックテーブル20が搭載されている。チャックテーブル20は多孔性セラミックス等から形成された吸着部吸着チャック24を有している。チャックテーブル20には図2に示す環状フレームFをクランプする複数本実施形態では4個のクランプ26が配設されている。図2に示すように、切削装置2の加工対象である半導体ウエーハWの表面においては、第1のストリートS1と第2のストリートS2とが直交して形成されており、第1のストリートS1と第2のストリートS2とによって区画された領域に多数のデバイスDが形成されている。ウエーハWは粘着テープであるダイシングテープTに貼着され、ダイシングテープTの外周部は環状フレームFに貼着されている。これにより、ウエーハWはダイシングテープTを介して環状フレームFに支持された状態となり、図1に示すクランプ26により環状フレームFをクランプすることにより、チャックテーブル20上に支持固定される。静止基台4上には更に、Y軸方向に伸長する一対のガイドレール28が固定されている。Y軸移動ブロック30は、ボール螺子32及びパルスモータ34とから構成されるY軸送り機構割り出し送り手段36によりY軸方向に移動される。Y軸移動ブロック30にはZ軸方向に伸長する一対の一本のみ図示ガイドレール38が形成されている。Z軸移動ブロック40は、図示しないボール螺子とパルスモータ42から構成されるZ軸送り機構44によりZ軸方向に移動される。46は切削ユニット切削手段であり、切削ユニット46のスピンドルハウジング48がZ軸移動ブロック40中に挿入されて支持されている。スピンドルハウジング48中にはスピンドル49図3及び図4参照が収容されて、エアベアリングにより回転可能に支持されている。スピンドル49はスピンドルハウジング48中に収容された図示しないモータにより回転駆動され、スピンドル49の先端部には切削ブレード50が着脱可能に装着されている。スピンドルハウジング48にはアライメントユニットアライメント手段52が搭載されている。アライメントユニット52はチャックテーブル20に保持されたウエーハWを撮像する撮像ユニット撮像手段54を有している。切削ブレード50と撮像ユニット54はX軸方向に整列して配置されている。Y軸移動ブロック30には枠体58が取り付けられており、枠体58に簡易スケール60が装着されている。簡易スケール60はゼロ膨張ガラスバー又は低膨張ガラスバーから形成されており、少なくともその一面には図4に示すように、光の透過を防止するために金属メッキ62が施されている。簡易スケール60を構成する材料はゼロ膨張ガラス又は低膨張ガラスの他、低膨張セラミック、低膨張金属等の熱膨張が少ない材料から形成することができる。簡易スケール60は第1スリット64aと第2スリット64bとを有しており、第1スリット64aの内側エッジと第2スリット64bの内側エッジとの間の距離が基準距離L1に設定されている。図1及び図3に示されるように、簡易スケール60を挟んで発光素子66と受光素子68が対向するように静止基台4上に配設されている。発光素子66と受光素子68でフォトインターラプターを構成する。簡易スケール60と発光素子66及び受光素子68とからなるフォトインターラプターとで基準距離を検出する簡易スケールユニット65を構成する。発光素子66は図示しない駆動回路を介して制御手段70に接続されており、受光素子68も制御手段70に接続されている。受光素子68で光電変換された電気信号が制御手段70に入力される。Y軸送り機構36のパルスモータ34も制御手段70に接続されている。図5のブロック図に示すように、制御手段70は、パルスモータ34を回転させてY軸移動ブロック30をY軸方向に基準距離L1移動させた際のパルスモータ34の回転角を記憶する回転角記憶部72と、回転角記憶部72で記憶した回転角と基準距離L1とに基づいて、単位回転当たりのY軸移動ブロック30の移動距離を算出する単位回転角移動距離算出部74を有している。制御手段70は更に、単位回転角移動距離算出部74で算出した単位回転角当たりの移動距離に基づいて、Y軸移動ブロック30を所定距離移動させるのに必要なパルスモータ34の回転角を算出する回転角算出部76と、回転角算出部76で算出した回転角だけ、パルスモータ34を回転させてY軸移動ブロック30を所定距離移動させるモータ制御部78を有している。以下、上述した構成を有する切削装置2の作用について説明する。通常、切削装置2の立ち上げ時には切削水を供給しながら所定時間のアイドリング運転を実施する。十分な時間アイドリング運転を実施した後、所定のタイミングでY軸送り機構36のパルスモータ34を回転させて、Y軸移動ブロック30即ち切削ユニット46をY軸方向に移動して、簡易スケール60と発光素子66及び受光素子68とからなるフォトインターラプターとから構成される簡易スケールユニット65により、切削ユニット46の基準距離L1の移動を検出し、基準距離L1の移動を検出した際のパルスモータ34の回転角を制御手段70の回転角記憶部72で記憶する。図示の実施形態では、図4に示すように、基準距離L1が第1スリット64aの内側エッジと第2スリット64bの内側エッジとで規定されているので、受光素子68で第1スリット64aを透過した発光素子66からの光を一旦検出し、この検出が中断されてから第2スリット64bを通して発光素子66からの光を検出するまでのパルスモータ34の回転角を回転角記憶部72で記憶する。次いで、回転角記憶部72で記憶した回転角と基準距離L1とに基づいて、単位回転当たりの切削ユニット46の移動距離を単位回転角移動距離算出部74で算出する。そして、単位回転角移動距離算出部74で算出した単位回転角当たりの移動距離に基づいて、切削ユニット46を所定距離、例えば隣接する第1のストリートS1の間隔だけ移動させるのに必要なパルスモータ34の回転角を回転角算出部76で算出する。モータ制御部78では、回転角算出部76で算出した回転角だけ、パルスモータ34を回転させて切削ユニット46を所定距離、例えば第1のストリートS1のピッチだけ割り出し送りする。上述した実施形態では、簡易スケール60とフォトインターラプターとから構成される比較的安価な簡易スケールユニット65により、切削ユニット46を基準距離L1だけY軸方向に移動した際のパルスモータ34の回転角からパルスモータ34の単位回転当たりの移動距離を算出し、切削ユニット46を所定距離移動させる際には、単位回転当たりの移動距離から回転すべきパルスモータ34の回転角を算出して切削ユニット46を移動させるようにしたため、室温や装置内部に温度変化が生じても切削ユニット46の精密な位置決めが可能となる。上述した実施形態では、切削ユニット46が可動部を構成するが、レーザ加工装置においては、レーザビーム照射ユニット又はチャックテーブルを有するチャックテーブルユニットが可動部を構成する。