"チタン合金粉に、銅粉、クロム粉または鉄粉から選択される少なくとも1種の金属粉を配合したチタン合金複合粉であって、配合される金属粉が1種の場合はその配合量は1~10wtであり、2種以上の場合はその配合量は1~20wtであることを特徴とするチタン合金複合粉。前記チタン合金粉が、アルミニウムおよびバナジウムを含有、もしくは、アルミニウムおよびバナジウムに加えて、ジルコニウム、スズ、モリブデン、鉄、クロムの中から少なくとも1種または2種以上含有されていることを特徴とする請求項1記載のチタン合金複合粉。前記銅粉、クロム粉または鉄粉のいずれかの平均粒度が1~300μmの範囲にあることを特徴とする請求項1に記載のチタン合金複合粉。チタン合金原料を水素化して水素化チタン合金粉とし、前記水素化チタン合金粉を脱水素してチタン合金粉とし、銅粉、クロム粉または鉄粉のうちのいずれかを1種以上配合することを特徴とするチタン合金複合粉の製造方法。請求項1~3のいずれかに記載のチタン合金複合粉を、CIP処理後次いでHIP処理する方法、または、カプセルに充填後HIP処理する方法のいずれかの方法で緻密化することを特徴とするチタン合金材の製造方法。請求項5に記載の方法で製造されたチタン合金材。前記チタン合金材の真密度が理論密度の99以上であることを特徴とする請求項6に記載のチタン合金材。本願発明は、チタン合金スクラップまたはチタン合金インゴットを原料として、粉末法により品質の優れたチタン合金粉、チタン合金材料およびその製造方法を提供することを目的とする。かかる実情に鑑み前記課題について鋭意検討を進めたところ、前記チタン合金スクラップまたはチタン合金インゴットを原料として、これを水素化して水素化チタン合金とした後、これを脱水素することによりチタン合金粉とし、更に、銅粉、クロム粉または鉄粉を配合して組成の均一なチタン合金複合粉を製造できることを知見し、本願発明を完成するに至った。また、銅粉、クロム粉または鉄粉を配合したチタン合金複合粉を、CIP処理後HIP処理する方法、または、チタン合金複合粉をカプセルに封入してHIP処理する方法により、理論密度に対する見掛け密度を99以上に緻密化できることを見出し、本願発明を完成するに至った。即ち、本願発明に係るチタン合金複合粉は、チタン合金粉に、銅粉、クロム粉または鉄粉から選択される少なくとも1種の金属粉を配合したチタン合金複合粉であって、配合される金属粉が1種の場合はその配合量は1~10wtであり、2種以上の場合はその配合量は1~20wtであることを特徴とするものである。本願発明に係るチタン合金複合粉を構成するチタン合金粉が、アルミニウムおよびバナジウムを含有、または、アルミニウムおよびバナジウムに加えてジルコニウム、スズ、モリブデン、鉄、クロムの中から少なくとも1種または2種以上含有されていることを好ましい態様とするものである。本願発明に係るチタン合金複合粉に用いる銅粉、クロム粉または鉄粉のいずれかの平均粒度が1~300μmの範囲にあることを好ましい態様とするものである。本願発明に係るチタン合金複合粉の製造方法は、これに用いるチタン合金粉が、チタン合金原料を水素化して得られた水素化チタン合金粉を、脱水素してチタン合金粉とした後に、銅粉、クロム粉または鉄粉のうちのいずれかを1種以上配合したことを特徴とするものである。本願発明に係るチタン合金材の製造方法は、チタン合金複合粉を、CIP処理後HIP処理する方法、またはチタン合金複合粉をカプセルに封入してHIP処理する方法により緻密化したことを特徴とするものである。本願発明に係るチタン合金材は、チタン合金材の原料であるチタン合金粉が、チタン合金原料を水素化して得られた水素化チタン合金粉を、脱水素してチタン合金粉とした後に、銅粉、クロム粉または鉄粉のうちのいずれかを1種以上配合したチタン合金複合粉を原料とすることを特徴とするものである。前記方法で製造されたチタン合金材の真密度が理論密度の99以上であることを好ましい態様とするものである。以上、本願発明に係るチタン合金材は、溶解および凝固を経ないため、銅やクロムあるいは鉄の偏析が起きず、その結果、溶解法では分散または固溶させることが困難とされていた高い濃度の銅やクロムまたは鉄を添加することができるという効果を奏するものである。また、チタン合金粉末と、銅粉、クロム粉または鉄粉との反応は緻密化工程でおこるので、混合の段階ではメカニカルアロイング等の特殊な手法は不要であるという別異の効果も奏するものである。本願発明の最良の実施形態について図面を参照しながら以下に説明する。図1は、本願発明に係るチタン合金材の製造に係る好ましい態様を表している。本願発明に係るチタン合金原料は、所望の成分を有する母合金粉を別途製造して、純チタン粉とこの母合金粉を混合して使用してもよいが、母合金粉は高価であるため、コスト削減の観点から、チタン合金切粉、チタン合金鍛造片、あるいは、チタン合金棒の端材等の、当初より所望の成分を有する合金スクラップまたはチタン合金インゴットを原料として用いることが好ましい。これらのチタン合金スクラップまたはチタン合金インゴット以降、単にチタン合金原料と略称する場合がある。は、事前に所定の長さ、あるいは、大きさにサイジングしておく寸法調整を行なうことが好ましい。例えば、合金切粉の場合には、100mm以下の長さに、事前に切断しておくことが好ましい。前記のような長さに切断しておくことにより、次工程の水素化工程を効率よく進めることができるという効果を奏するものである。また、鍛造片のようなブロック状の合金スクラップでは、水素化炉に入る程度の大きさであれば、特に事前処理の大きさであれば支障がない。合金原料が、チタン合金インゴットの場合は、切粉にすることが好ましい。前記のように処理して調整されたチタン合金原料は、水素雰囲気下での水素化処理工程に供される。水素化処理は、500~650°Cの温度域で行なうことが好ましい。合金原料の水素化処理反応は、発熱反応であるため、水素化反応の進行に伴い、加熱炉による昇温操作は不要であり自発的に水素化反応を進めることができる。水素化処理されたチタン合金原料以降、単に水素化チタン合金と略称する場合がある。は、室温まで冷却後、アルゴンガス等の不活性雰囲気で所定の粒度になるまで粉砕篩別することが好ましい。前記した水素化チタン合金粉の粉砕および篩別処理を行なうことにより、次の工程で行なうCIP処理後にHIP処理する方法、またはチタン合金複合粉をカプセルに封入後HIP処理する方法によるチタン合金複合粉の緻密化工程を効果的に進めることができるという効果を奏する。続いて、粉末状に粉砕篩別された水素化チタン合金粉は、減圧雰囲気に保持された雰囲気中で、高温域まで加熱処理することが好ましい。脱水素処理温度は、500°C~800°Cの温度域で行うことが好ましい。脱水素反応は、前記の水素化処理反応と異なり吸熱反応であるために、水素化チタン合金粉からの水素の発生がなくなるまで、加熱操作が必要とされる。前記操作により本願発明に係るチタン合金粉を得ることができる。本願発明に係るチタン合金粉は、1~300μmの範囲に整粒しておくことが好ましいとされる。前記脱水素処理が完了して得られたチタン合金粉は、相互に焼結している場合があり、この場合には、再度、粉砕および篩別処理を行なうことが好ましい。脱水素処理後、粉砕および篩別されたチタン合金粉に、本願発明に用いる、第三成分である銅粉、クロム粉、または鉄粉を配合することにより、本願発明に係るチタン合金複合粉を得ることができる。粉砕篩別処理され、銅粉、クロム粉または鉄粉を配合したチタン合金複合粉の粒度は、1~300μmの範囲に整粒しておくことが好ましい。本願発明においては、前記緻密化処理は、CIPまたはHIPを適宜、組み合わせて処理することが好ましい。例えば、上述の方法で得られたチタン合金複合粉をCIPラバーに充填して、100~200MPaで処理した後、次いで、HIPカプセルに充填し、β変態点を越えない温度において50~200MPaの圧力で1~5Hr、HIP処理することが好ましい。このようなCIP処理後、次いで行うHIP処理を行なうことにより緻密化されたチタン合金材料を得ることができる。また、前記した上述の方法で得られたチタン合金複合粉を、CIP処理しないで、HIPカプセルに充填し、β変態点を越えない温度において50~200MPaの圧力で1~5Hr、HIP処理することが好ましい。このようなHIP処理単独でも行なうことにより緻密化されたチタン合金材料を得ることができる。次に、チタン合金粉に配合する銅粉、クロム粉または鉄粉の添加による作用効果について以下に説明する。銅粉、クロム粉または鉄粉添加の作用効果チタン合金粉に対して、銅粉、クロム粉または鉄粉を配合することにより材料の機械的特性向上、成形性と焼結性の改善が期待される。本発明では、チタン合金粉に対して、第三成分として、銅粉、クロム粉、または鉄粉を配合することが好ましい。その配合比率は、これらの金属粉が単独添加される場合には、チタン合金粉の重量に対して、1~10の範囲に配合することが好ましい。また、銅粉、クロム粉、または鉄粉が2種以上複合配合される場合の配合比率は、チタン合金粉の重量に対して、合計で1~20の範囲に配合することが好ましい。また、チタン合金に最初から鉄あるいはクロムを含有する場合は、前記チタン合金に含まれている鉄あるいはクロムの含有量と後で添加する鉄あるいはクロムの添加量との合計が1~10の範囲に配合することが好ましい。チタン合金粉に単独添加される第三成分の銅粉、クロム粉、または鉄粉の配合比が1以下では、焼結過程での緻密化工程において、十分な緻密化の効果が十分に発揮されない。一方、チタン合金粉に添加される銅粉、クロム粉、または鉄粉の配合比が10を超えると、チタン合金の強度が低下して好ましくない。チタン合金粉に第三成分が複合添加される場合にも同様の理由により、チタン合金粉に対する配合比率は、1~20の範囲とすることが好ましい。また、チタン合金に最初から銅、クロムあるいは鉄が含有されている場合には、前記チタン合金に含まれる銅、クロムあるいは鉄の重量に、後で添加するそれぞれの金属の添加量との合計が1~20の範囲に配合することが好ましい。本願発明で使用する銅粉、クロム粉、または鉄粉の純度は、2N5~4N5程度の純度を有しているものが好ましい。チタン合金粉は成形性が悪く、単純な金型プレス等では成形が難しいために、CIP処理が必要となる。CIP処理した成形体もCIP圧力に敏感で、100MPa未満の加圧力では強度が不足し、良好な成形体が得られない。しかしながら、チタン合金粉に銅粉やクロム粉あるいは鉄粉を添加すると成形体の強度が強くなり、100MPa以下の成形圧力でも成形体の形状が維持される。これは、チタン合金粉の変形能の少ない性質が銅粉やクロム粉あるいは鉄粉を添加することにより改善されるためと考えられる。銅粉やクロム粉あるいは鉄粉を添加したチタン合金粉は、上述のように変形能が改善されているために、その結果、焼結特性も優れているという効果を奏するものである。また、銅粉やクロム粉あるいは鉄粉を添加したチタン合金粉をCIP処理後、次いで行うHIP処理、またはカプセルに封入してのHIP処理を行うことでボイドのない理論密度に対する密度比が99以上の焼結体が得られる。これは、銅粉やクロム粉あるいは鉄粉が焼結促進剤として作用したためと考えられる。また、銅粉やクロム粉あるいは鉄粉の配合比を前記範囲に制御することにより、CIP処理後次いで行うHIP処理する方法、またはカプセルに封入してのHIP処理を行うことにより、緻密化処理されたチタン合金材料の機械的性質を良好に維持することができるという効果を奏するものである。これは、銅粉やクロム粉あるいは鉄粉の添加による固溶強化効果によるものである。チタン合金粉に添加する銅粉やクロム粉あるいは鉄粉は、市販されている粉末状の試料を用いることができる。粉末状の試料が入手困難な場合は、塊状試料を粉砕篩別して得られた粉末を使用することができる。銅粉やクロム粉あるいは鉄粉を添加したチタン合金粉は、CIP処理後、次いで行うHIP処理、またはチタン合金粉をカプセルに封入してのHIP処理を行うことにより緻密化される。例えば、Ti-6Al-4V合金に銅粉やクロム粉あるいは鉄粉を添加した合金は、β変態点以下の温度900°Cにおいて、100~200MPaの静水圧でCIP処理し、次いで100MPaの静水圧で1時間HIP処理することが好ましい。また、例えば、Ti-6Al-4V合金に銅粉やクロム粉あるいは鉄粉を添加した合金は、カプセルに封入後、β変態点以下の温度900°Cにおいて、100MPaの静水圧で1時間HIP処理することが好ましい。このような緻密化処理により密度99以上のチタン合金材料が得られる。チタン合金粉に配合された銅粉やクロム粉あるいは鉄粉は、緻密化工程で合金材マトリックスのチタン中に拡散することにより、チタン合金中に銅、クロムまたは鉄原子が均一に固溶した合金を製造することができるという効果を奏するものである。本願発明においては、チタン合金中に固溶させる銅、クロムまたは鉄は、従来のような溶解法に比べて、単独添加の場合で1~10wt、複合添加の場合で1~20wtの高い範囲まで固溶させることができるという効果を奏するものである。その結果、チタン合金材料の機械的特性を効果的に制御できるという効果を奏するものである。また、本願発明においては、前記のチタン合金粉は、Ti-6Al-4V合金、Ti-3Al-2.5V合金、Ti-6Al-2Sn-4Zr-6Mo合金,Ti-6Al-6V-2Sn合金、Ti-10V-2Fe-3Al合金10-2-3、Ti-5Al-4V-0.6Mo-0.4Fe合金Timetal54M、Ti-4.5Al-3V-2Fe-2Mo合金SP700、Ti-15V-3Cr-3Al-3Sn合金15-3-3-3、Ti-4Al-2.5V-1.5Fe合金ATI425Ti-5Al-5V-5Mo-3Cr合金Ti-5553から構成されるチタン合金を原料として使用することができる。以上述べた方法により緻密化された銅、クロム、鉄を含有するチタン合金材料は、その後の例えば圧延、押出、引抜き等の加工と熱処理により、一層機械的特性を制御することができるという効果を奏するものである。チタン合金粉の具体的な作製例について、以下に説明する。[実施例1]Ti-6Al-4V合金スクラップ切粉を、長さ10mm以下のチップに切断した後、容器に挿入し炉にセット、真空排気後加熱を開始し、炉内温度が300°Cになってから水素を炉内に導入、炉内を水素でやや加圧常態にしながら650°Cまで加熱を続けた。この間Ti-6Al-4V合金スクラップ切粉と水素が反応、炉内温度が上昇したので、ヒーター出力をゼロとし、反応が収まるまで持続させた。反応が完全に終了したら、炉を冷却し材料を取り出した。X線回折で確認したところ、水素化チタンのピークのみが検出され、材料は全て水素化物になったことが確認された。この水素化物をアルゴンガス雰囲気で粉砕、300メッシュの篩で篩い分け48μm以下の粒度の水素化チタン合金粉を得た。この水素化チタン合金粉をTi製の容器に挿入し、真空加熱炉で脱水素処理した。真空排気後加熱を開始すると、300°C前後の温度から水素ガスを乖離する反応脱水素が起こり、そのまま、500°C、600°Cと温度を上昇させ、脱水素化を促した。脱水素化反応は吸熱反応であるため、脱水素化を効率よく行うためには、炉内温度を一定に維持することが重要で、650°Cに1Hr保持すると、真空度が回復、1×10-3mbarの真空度が得られたので、ヒーターを停止、冷却した。取り出した粉末はX線回折により、Ti-6Al-4Vチタン合金粉であることが確認された。また、一部凝集していたので、塊砕機により塊砕し、300μm以下のチタン合金粉を得た。図2にここで得られたチタン合金粉のSEM写真を示す。同写真より、本願発明に係る方法で製造されたチタン合金粉は、比較的粒度の揃った合金粉が得られていることが確認された。[実施例2]実施例1に記載のチタン合金粉に、日鉱金属株式会社製の電解銅粉粒度、45μm以下をチタン合金粉に対して5wtになるように配合し、V型混合機で混合した。図3は、上述の方法で製造されたチタン合金複合粉に係るSEM写真を示す。同写真より、本願発明で製造されたチタン合金複合粉は、比較的粒度が揃っていることが確認された。得られた混合粉の粒度は最大300μm、平均粒度60μmであった。[実施例3]実施例2に記載のCu添加チタン合金粉を、CIPラバーに充填、100MPaでCIP処理した。CIP成形体の密度は65であり、自立できるだけの十分な強度を保有しており、取扱い時に崩れるようなことはなかった。CIP成形体を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。ここでいう密度とは、真密度に対する見掛け密度の比を意味する。[実施例3-2]実施例2に記載のCu添加チタン合金粉を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。ここでいう密度とは、真密度に対する見掛け密度の比を意味する。[実施例4]実施例3のチタン合金材の引張り試験と硬さ測定試験を行った。0.2耐力は1200MPa、引張り強さは1300MPa、延びは10であった。0.2耐力、引っ張り強さとも、溶解法で作製されたCu無添加のTi-6Al-4V合金焼鈍材より20以上高強度であることが確認された。ビッカース硬さは465であった。実施例3のチタン合金材料を10.5mmの範囲にわたってEPMAで分析、Ti、Al、V、Cuの各成分のばらつきを確認し、その結果を図4に示す。Cu濃度は10.5mmの分析範囲内で、ほぼ均一に5となっていることが確認された。[実施例5]実施例1のチタン合金粉にCr粉をチタン合金粉に対して5wtになるよう配合して、Cr含有チタン合金粉を得た。Cr粉は、日本重化学工業株式会社製の電解Crを粉砕、50メッシュの篩いを通過した粉を用いた。実施例3と同様の条件で、CIP処理後、次いでHIP処理を行い、Cr含有チタン合金材料を得た。その密度は99以上であった。[実施例5-2]実施例5に記載のクロム添加チタン合金粉を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。[実施例6]実施例1のチタン合金粉にFe粉をチタン合金粉に対して5wtになるよう配合して、Fe含有チタン合金粉を得た。Fe粉は、市販されているアトマイズ鉄粉であり、平均粒径4μmの粉を用いた。実施例3と同様の条件で、CIP処理後、次いでHIP処理を行い、Fe含有チタン合金材料を得た。その密度は99以上であった。[実施例6-2]実施例6に記載の鉄添加チタン合金粉を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。[実施例7]実施例1のチタン合金粉にCu粉とFe粉をチタン合金粉に対してそれぞれ5wt、CuFe合計で10wtになるよう配合して、Cu、Fe含有チタン合金粉を得た。Cu粉、Fe粉は、それぞれ実施例2、実施例6で記述したものと同じ粉を用いた。実施例3と同様の条件で、CIP処理後、次いでHIP処理を行い、Cu、Fe含有チタン合金材料を得た。その密度は99以上であった。[実施例7-2]実施例7に記載のCu粉とFe粉を添加したチタン合金粉を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。[実施例8]実施例1のチタン合金粉にCu粉とCr粉をチタン合金粉に対してそれぞれ5wt、CuCr合計で10wtになるよう配合して、Cu、Cr含有チタン合金粉を得た。Cu粉、Cr粉は、それぞれ実施例2、実施例5で記述したものと同じ粉を用いた。実施例3と同様の条件で、CIP処理後、次いでHIP処理を行い、Cu、Cr含有チタン合金材料を得た。その密度は99以上であった。[実施例8-2]実施例8に記載のCu粉とCr粉を添加したチタン合金粉を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。[実施例9]実施例1のチタン合金粉にCr粉とFe粉をチタン合金粉に対してそれぞれ5wt、CrFe合計で10wtになるよう配合して、Cr、Fe含有チタン合金粉を得た。Cr粉、Fe粉は、それぞれ実施例5、実施例6で記述したものと同じ粉を用いた。実施例3と同様の条件で、CIP処理後、次いでHIP処理を行い、Cr、Fe含有チタン合金材料を得た。その密度は99以上であった。[実施例9-2]実施例9に記載のCr粉とFe粉を添加したチタン合金粉を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。[実施例10]実施例1のチタン合金粉にCu粉、Cr粉、Fe粉をチタン合金粉に対してそれぞれ4wt、CuCrFe合計で12wtになるよう配合して、Cu、Cr、Fe含有チタン合金粉を得た。Cu粉、Cr粉、Fe粉は、それぞれ実施例2、実施例5、実施例6で記述したものと同じ粉を用いた。実施例3と同様の条件で、CIP処理後、次いでHIP処理を行い、Cu、Cr、Fe含有チタン合金材料を得た。その密度は99以上であった。[実施例10-2]実施例10に記載のCu粉、Cr粉、Fe粉を添加したチタン合金粉を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。[実施例11]実施例2と全く同じ方法でCu粉含有量1、3、8、10となるようにCu粉を配合して、Cu含有チタン合金粉を得た。実施例3と全く同じ方法でCIP処理、HIP処理して、Cu含有チタン合金材料を得た。これらの材料の密度はいずれも99以上であった。ビッカース硬さを測定したところ、表1の通りであった。表1には実施例4でのべた5wt含有合金の結果も合わせて示す。[実施例11-2]実施例11に記載のCu粉含有量1、3、8、10となるようにCu粉を配合したチタン合金粉を、軟鋼カプセルに封入してHIP処理した。HIP条件は900°C、100MPa、1Hrである。HIP処理後、チタン合金材を取り出しその密度を測定したところ99以上であった。ビッカース硬さを測定したところ、表2の通りであった。表2には実施例3-2で述べた5wt含有合金の結果も合わせて示す。[比較例1]実施例1と同じチタン合金粉にCu、Cr、Fe粉を添加することなく、実施例3と同じ条件でCIP処理した。CIPラバーから取り出すとCIP成形体は十分な強度を持たず、取り出し直後にコーナー部が崩れた。一部崩れてはいたが、HIP容器に封入しようとハンドリングしたところ、中央部から2つに割れてしまい、HIP処理することが出来なかった。ついでCIPの静水圧を200MPaとして同じようにCIP処理したところ、成形体ができたので、ハンドリングに十分注意してHIP容器に封入、実施例3と同じ条件でHIP処理した。HIP容器から取り出し密度を測定したところ、98であった。[比較例2]実施例11において、チタン合金粉に添加する銅粉の添加比率を、0.5と11に対しても、焼結後に得られた焼結体の密度比を測定し、その結果を表3に示した。チタン合金粉に添加する銅粉の添加比率が0.5の場合に得られた焼結体の密度比は、98.3であった。また、チタン合金粉に添加する銅粉の添加比率が11の場合に得られた焼結体の密度比は、98.2であった。このように、チタン合金粉に添加する銅粉の添加比率が、1~10の範囲においては、得られた焼結体の密度比は、99以上であり良好な結果を示した。しかしながら、チタン合金粉に添加する銅粉の添加比率が1未満の場合や、10超の場合には、焼結体の密度比は、99未満と低下することが確認された。"