"座標測定装置1であって、ベースに対して少なくとも2つの軸61,62の周りを回転することができるキャリア6を備え、前記キャリア6は、閉ループ制御配列7を用いて、これらの少なくとも2つの軸61,62の周りの回転によって、空間的に移動可能な測定補助器5に自動的に位置合わせ可能であり、以下のユニットの出口光学素子および/または入口光学素子の少なくとも1つの組が、前記光学素子が前記キャリア6とともに移動することができるようにそれぞれ配列され、空間的に移動可能な測定補助器5までの距離を測定するための、少なくとも1つの光学距離測定装置4、直接的にまたは光学素子28,29,41,63を介して光を照射するための少なくとも1つの光源23,33であり、この光は、前記測定補助器5によって反射されると、目標点25,35として視認可能であり、位置検出センサ21,31上の前記目標点25,35の画像の位置として、位置22,32を決定するための少なくとも1つの目標検出部2,3と、前記閉ループ制御配列7は、精密位置22および粗位置23に応じて、前記キャリアの少なくとも2つの軸61,62の周りの回転によって、前記キャリア6を前記測定補助器5に位置合わせするように適合され、前記光源23,33は、高輝度発光ダイオードSLEDである、座標測定装置。光源として、好ましくは赤外線領域であるSLEDの形態の第1の光源23と、第1の目標ビーム24として前記第1の光源23から光を照射するための光学素子28,29,41,63とを備え、前記目標ビーム24は、前記測定補助器5によって反射されると第1の目標点25として視認可能であり、第1の位置検出センサ21上における前記第1の目標点25の画像の位置として、精密位置22を決定するための精密目標検出部2をさらに備え、前記精密目標検出部2および前記距離測定装置4は共通の出口光学素子63を含む、請求項1に記載の座標測定装置。光源として、好ましくは少なくとも前記赤外線領域の光を照射する、SLEDの形態の第2の光源33をさらに備え、この光は前記測定補助器5によって反射されると、第2の目標点35として視認可能であり、第2の位置検出センサ31上において前記第2の目標点35の画像の位置として粗位置32を決定するための粗目標検出部3をさらに備える、請求項1または2に記載の座標測定装置。前記粗目標検出部3は、前記赤外線領域の光にのみ反応する、請求項3に記載の座標測定装置。前記光学距離測定装置4は、絶対距離測定装置または干渉計、あるいはその2つの組合せである、先行する請求項のいずれか1つの記載の座標測定装置。前記赤外線光源23によって照射された光は、目標ビーム24として、前記距離測定装置4および前記精密目標検出部2の共通のビーム経路に結合される、請求項2~5のいずれか1項に記載の座標測定装置。前記精密目標検出部2の光軸は、共通の測定軸60上において、前記距離測定装置4の光軸と同軸状に、前記座標測定装置1の外側に伸延する、請求項6に記載の座標測定装置。前記精密目標検出部2の光軸および前記粗目標検出部3の光軸は、前記キャリア6の外側に同軸状に伸延していない、請求項6に記載の座標測定装置。前記精密目標検出部2は、1°よりも小さい、または2°よりも小さい、または3°よりも小さい開口角を有する、先行する請求項のいずれか1項に記載の座標測定装置。前記粗目標検出部3は、3°よりも大きい、または10°よりも大きい、または15°よりも大きい開口角を有する、先行する請求項のいずれか1項に記載の座標測定装置。前記精密目標検出部2および前記粗目標検出部3は、前記赤外線スペクトルの互いに離れた領域において反応し、前記精密目標検出部2は、前記赤外線光源23の光に反応し、前記粗目標検出部3は、前記第2の光源33の光に反応する、先行する請求項のいずれか1項に記載の座標測定装置。前記精密目標検出部2は、第1の伝達範囲を有する第1のバンドパスフィルタ20を含み、前記粗目標検出部3は、第2の伝達範囲を有する第2のバンドパスフィルタ30を含み、前記2つの伝達範囲は重なり合っておらず、前記第1のバンドパスフィルタ20は、前記距離測定装置4の測定光を除去する、請求項11に記載の座標測定装置。本発明の目的は、導入部において述べられたタイプの座標測定装置および座標測定装置を動作するための方法を提供することであり、それらは、精密な測定とともに経済的な製造を可能にする。これらの目的は、対応する独立特許請求項の特徴を有する、座標測定装置および座標測定装置を動作する方法によって達成される。座標測定装置は、ベースに対して少なくとも2つの軸の周りを回転することができるキャリアを備え、キャリアは、閉ループ制御配列を用いて、これらの少なくとも2つの軸の周りの回転によって、空間的に移動可能な測定補助器measuringaidに自動的に位置合わせ可能であり、以下のユニットの出口光学素子および/または入口光学素子の少なくとも1つの組が、光学素子がキャリアとともに移動することができるようにそれぞれ配列され、空間的に移動可能な測定補助器までの距離を測定するための、少なくとも1つの光学距離測定装置、直接的にまたは光学素子を介して光を照射するための少なくとも1つの光源であり、この光は、測定補助器によって反射されると、目標点として視認可能であり、位置検出センサ上の目標点の画像の位置として、位置を決定するための少なくとも1つの目標検出部と、閉ループ制御配列は、精密位置および粗位置に応じて、キャリアの少なくとも2つの軸の周りの回転によって、キャリアを測定補助器に位置合わせするように適合され、光源は、高輝度発光ダイオードSLEDである。本発明の好ましい実施形態においては、座標測定装置は、以下の、光源として、好ましくは赤外線領域であるSLEDの形態の第1の光源と、第1の目標ビームとして第1の光源から光を照射するための光学素子とを備え、目標ビームは、測定補助器によって反射されると第1の目標点として視認可能であり、第1の位置検出センサ上における第1の目標点の画像の位置として、精密位置を決定するための精密目標検出部をさらに備え、精密目標検出部および距離測定装置は共通の出口光学素子を含む。本発明の他の好ましい実施形態においては、座標測定装置は、追加的にまたは代替的に以下の、光源として、好ましくは少なくとも赤外線領域の光を照射する、SLEDの形態の第2の光源をさらに備え、光は測定補助器によって反射されると、第2の目標点として視認可能であり、第2の位置検出センサ上において第2の目標点の画像の位置として粗位置を決定するための粗目標検出部をさらに備える。このように、精密目標検出部の光源および/または粗目標検出部の光源は、高輝度ダイオードSLDまたはSLEDである。このようなダイオードは、比較的レーザと比較して広い周波数帯の非干渉性の光を照射する。周波数帯の幅3dBは、好ましくは、3nmと50nmとの間、特に5nmと35nmとの間、特におよそ20nmの付近にある。広帯域のソースを使用する本発明は、目標検出装置の照明用の従来の設計と対称的であり、レーザ光源は、高出力を達成するために意図的に用いられる。照明の設計が非常単純化されていることが見出され、レーザ光のデコヒーレンスを生成するための以前に用いられた手段は不要となる。SLEDは、レーザダイオードが可能であるような高い光出力で動作できないが、たとえば160メートルまでの距離の測定での動作は可能である。SLEDは、レーザダイオードよりも何倍もたとえば、40倍高価であるが、それらの使用は全体としては有益である。さらに、SLEDを用いると、たとえレーザの場合よりも少ない光エネルギしか利用可能でない場合であっても、より高い測定精度が達成できることが以外にも見出された。この理由は、一方は光点におけるより低い粒状化であり、他方はレーザを用いた場合のように粒状パターン内における温度依存変動またはジャンプが生じないことである。SLEDのスペクトルは、連続的でありかつ相対的に広い。そのため、接続されたマルチモード導波路においては、従来のレーザダイオードの場合よりも非常に多くの横モードが励起される。したがって、導波路の出力における空間的照明プロファイルは、依然として粒状であるが、レーザダイオードの場合よりも顕著に少ない。そのため、照明画像における小さな変化のみが、温度変化の事象において生じる。より微細な粒度を有する照明パターンの場合においては、PSD上の照明パターンの異なるセクションの画像化は、粗い粒度の場合と同程度には、強度分布の重心を低下させない。SLEDは高発散光を照射するので、これは重要である。微細な粒度の場合においては、照明パターンのどの部分が反射器に当たるか、すなわち、どのセクションが光学素子によって反射器上に画像化されるかについては、それほど気にしなくてもよい。LED光源についての利点は、-それらが、より長い距離に対してパワーの点において基本的に適していないという事実は別にして-SLEDの照射特性がレーザダイオードの照射特性と類似していることであり、それによって、レーザダイオードの場合と同様の測定装置の光学素子内への入口素子を用いることができる。SLED光源の周波数は、-関連する画像センサのスペクトル感度と関連して-本質的には任意に選択され、それによってさまざまなタイプの高輝度ダイオードを用いることができるたとえば、650,750,795,800,830,840,850,905,1270,1300,1400,1480または1550nmの波長のもの。好ましくは、SLEDは、たとえば、ペルチェの原理に基づいた、冷却素子によって冷却される。粗目標検出部においてSLEDを用いる場合、SLEDは、たとえば、キャリアの前面に配列され、照射光学素子を介してその光を照射する。後者照射光学素子は、光を拡大または平行にする。閉ループ制御配列は、たとえば、粗位置の補助を用いた閉ループ制御から目標点に近づいた場合に精密位置へと切換えることによって、代替的に精密位置および粗位置を考慮し得る。しかしながら、最初に同時に両方の値を処理し、その値の1つだけまたは両方を選択して閉ループ制御に用いるような、閉ループ制御を提供することも可能である。すべてのユニットの出口光学素子および/または入口光学素子の配列のために、単純な機械構造2つの駆動軸のみを有しつつ、機能の多能性を満足し得るコンパクトなユニットが提供される。すべてのユニットは、測定補助器またはターゲットに位置合わせされる。2つの目標検出部を用いてまだ見出されていない測定補助器が、より広い範囲において検出され、取得され、そして追跡される。好ましくは、精密目標検出部の光軸は、座標測定装置の外側に、共通の測定軸について距離測定装置の光軸と同軸状に伸延する。これに関する必要条件は、精密目標検出部および距離測定装置が共通の出口光学素子を有することである。2つのビーム経路の共通の出口光学素子または入口光学素子とは、2つのビーム経路が、レンズまたはディスクのような同じ光学素子を通して、装置から装置の環境へと出現し、あるいは装置の周囲から装置へ入ることを意味する。一般的に、ビーム経路は、この場合には少なくともおよそ同軸である。本発明の他の好ましい実施形態においては、精密目標検出部、および粗目標検出部の光軸は、キャリアの外側に同軸状に伸延しない。この場合には、したがって、光軸は、同軸ではないが同じ出口光学素子を通って伸延するか、別の出口光学素子を通って伸延する。典型的には、精密目標検出部は、1°より小さい、または2°より小さい、または3°より小さい開口角または視野を有する。好ましくは、粗目標検出部は、3°より大きい、または10°より大きい、または15°より大きく、好ましくは約30°までの開口角すなわち、±15°を有する。本発明の好ましい実施形態においては、精密目標検出部および粗目標検出部は、互いに異なる領域の赤外線スペクトルに反応するすなわち、それぞれ、対応するセンサまたはフィルタとセンサとの組合せのいずれか。この場合には、精密目標検出部は赤外線光源の光に反応し、粗目標検出部は第2の光源の光に反応する。このようにして、精密目標検出部は、したがって、第2の光源の光を検出せず、粗目標検出部は赤外線光源の光を検出しない。好ましくは、さまざまなユニットのすべての光学および電気素子は、キャリア上に配置される。しかしながら、1つまたはより多くのユニットの個別の素子が、ベース上にまたは中間ユニット内に配置されることも可能であり、光ファイバによってキャリアに接続されることも可能である。たとえば、そのような素子は、レーザ源またはビームスプリッタおよびビーム検出器である。好ましくは、本発明の他の実施形態においては、少なくとも可視領域に反応する観測カメラが、可視領域の光を用いた測定補助器の粗い位置確認のために設けられる。好ましくは、それは、粗目標検出部よりも大きい視野角を有する。したがって、測定補助器の位置確認およびトラッキングのための、観測カメラを用いた測定補助器の第1の探索、キャリアの測定補助器との位置合わせ、粗目標検出部およびそれに引き続く精密目標検出部を用いた測定補助器の取得による三段法を実行することが可能である。座標測定装置を動作する方法においては、精密位置、粗位置、そして任意的に観測カメラの測定値に従って、キャリアの少なくとも2軸周りに回転することによって、キャリアは測定補助器と位置合わせされる。他の好ましい実施形態は、従属特許請求項に見出され得る。方法クレームの特徴は、装置クレームとの適切な組合せであり得、逆もまた同様である。本発明の主題が、添付の図面に表わされる好ましい例示的な実施形態を用いて以下でより精密に説明される。図中において用いられる参照符号およびその意味は、参照のリストに要約される。基本的に、図中においては、同じ部品には同じ参照符号が与えられる。発明の実施形態図1は、本発明の好ましい実施形態における座標測定装置1のビーム経路を概略的に示す。座標測定装置1の不可欠な要素は、キャリア6の上および中に配列され、好ましくは共通の筺体内に配列される。精密目標検出部2は、第1の目標ビーム、好ましくは赤外線目標ビーム24を生成し、距離測定装置4は、測定光ビーム44を生成する。2つのビームは、共通の出口光学素子63を通して現れ、好ましくは、測定軸60に沿って同軸状に進む。キャリア上に、第2の光源33および観測カメラ9を備えた粗目標検出部3がさらに配列される。閉ループおよび開ループ制御部7は、さまざまな解の測定値を検出するとともに処理し、キャリア6の位置合わせのために軸方向位置モータを制御する。表示装置8は、測定および装置状態についての情報を示し、設けられた画像センサの1つ、特に観測カメラ9の画像も表示することができる。測定モードまたはトラッキングモードにおいて、座標測定装置1またはキャリア6は、たとえば、3つのミラーまたはコーナーキューブプリズムのような再帰反射体である測定補助器5と位置合わせされる。2つのビームは、測定補助器上で反射され、赤外線目標点または座標測定装置1用の第1の目標点35、およびそれぞれ距離測定装置4用の第2の目標点25として視認可能である。第2の目標点35は、測定装置1から見て、第1の目標点25と空間における少なくともだいたい同じ、またはまったく同じ点の位置であり、視認可能である。しかしながら、概念的に、波長範囲の点においては、2つの点25,35は、互いに異なるものとみなされる。図示される例においては、距離測定装置4は絶対距離測定装置であるが、干渉計またはそれら2つの組合せでもよい。それにおいては、測定光源43は、測定光ビーム44を照射する。後者は、照射光を分割するための第1のビームスプリッタ451、および回帰光をそらすための第2のビームスプリッタ455を通って進む。2つのビームスプリッタ451,455は、センサ部45の一部である。照射光のそらされた部分は、ビーム拡張器452によって拡張され、2つの強度センサ453,454上に送られる。これらの強度センサの1つ453は、測定光源43の閉ループ振幅制御についての公知の手法において用いられ、他のセンサ454は、受容し難い高強度を検出するための追加的な安全素子として用いられる。第2のビームスプリッタ455によってそらされた回帰光は、検出器456上に送られる。そこで検出された強度は、たとえばフィゾーの原理に従った、絶対距離を決定するための公知の手法において用いられる。これを達成するために、照射され回帰された測定光44は、電気光学変調器46、1/4波長平面47、ビーム拡張器48、変位ミラー49およびビームスプリッタ41を通過し、それらはそれぞれ測定光ビーム44を精密目標検出部2の赤外線目標ビーム24と結合させるとともに、帰還経路上で再度それらを分離する。精密目標検出部2は、第1の目標ビーム、すなわち好ましくは赤外線目標ビーム24を生成する赤外線光源23を備える。好ましくは、赤外線光源23は、高輝度ダイオードSLEDである。冷却素子23a、たとえばペルチェ冷却素子は、光源を冷却するために配列され得る。赤外線目標ビーム24は、第2の入力カップリング28を介して結合され、追加のさらなるビーム拡張器29およびビームスプリッタ41を通って、測定軸60上を進む。したがって、赤外線光源23によって照射された赤外線光は、距離測定装置4および精密目標検出装置2の共通のビーム経路に、目標ビーム24として結合される。第2の入力カップリング28において、赤外線目標点25に対応する回帰光は再び結合され、第1の入力カップリング26および第1のバンドパスフィルタ20を通って、第1の位置検出センサ21上に進む。そこで、赤外線目標点25の画像の精密位置22が、第1の精密位置検出センサ21上に生成される。第1の入力カップリング26においては、ポインタ光源27が任意的に結合され、距離測定装置4および精密目標検出部2の共通のビーム経路内のビームとして進む。ポインタ光源27のこの光は可視領域であり、そのため、物体に当てられると、測定軸60はオペレータに視認可能となる。この場合、380~750nmの波長が可視領域とみなされる。IR領域への遷移は、700nmと800nmとの間に存在する。粗目標検出部3は、第2の位置検出センサ31を備える。単一の光源または複数の個別の光源を含み得る第2の光源33からの光は、相対的に大きな照射角度で照射される。好ましくは、第2の光源33は、高輝度ダイオードSLEDである。第2の光源33の光学素子30の照射後の照射角度は、粗目標検出部3の視野角よりもいくらか大きく、3°または10°または15°より大きく、またはおよそ30°までであるすなわち、±15°。したがって、測定補助器5は、精密目標検出部2においては検出されない場合であっても、粗目標検出部3には視認可能である。第2の光源33からの光の反射は視認可能であり、かつ粗目標検出部3の第2の位置検出センサ31上の粗位置32として測定可能である。この測定を用いて、精密目標検出部2が自身の赤外線目標ビーム24を検出するまで、キャリア6は測定補助器5と位置合わせされる。その後、測定補助器5を追跡トラッキングするために、精密位置22が用いられる。たとえば3つのミラーを有する測定補助器5が、正確に受光した光を反射する場合は、第2の光源33は、粗目標検出部3の入口光学素子に近接して配置されなくてはならない。精密目標検出部2と粗目標検出部3との相互干渉を防止するために、好ましくは、それらは、異なる赤外線スペクトルの波長範囲で動作する。たとえば、精密目標検出部2は、第1の伝達範囲を有する第1のバンドパスフィルタ20を備え、粗目標検出部3は、第2の伝達範囲を有する第2のバンドパスフィルタ30を備え、2つの伝達範囲は重なり合わない。たとえば、2つの波長範囲は、精密目標検出部2については890~920nmであり、粗目標検出部3については835~865nmである。さらに、第2のバンドパスフィルタ20は、ビームスプリッタ41を介して精密目標検出部2まで通過して干渉し得る測定光源43からの距離測定装置4の測定光を除去する。IR領域の光に加えて、第2の光源33は、可視領域の光もさらに照射することができ、それによって観測カメラ9用の照明としても機能する。図2は、すでに説明された素子である、出口光学素子63と、粗目標検出部3の入口光学素子の2つの側面に2つの第2の光源33を有する粗目標検出部3と、照明91を伴うとともに同様に観測カメラ9の入口光学素子の2つの側面に2つの個別の光源を有する観測カメラ9とを備える座標測定装置1の外部構造を概略的に示す。さらに、測定軸60、その周りにキャリア6が中間キャリア64に対して傾くことができるティルト軸62、および、その周りに中間キャリア64がベース65に対して回転することができるスイベル軸61が示される。"