基板の保持、解除をクランプアームの開閉によって行う基板クランプ装置であって、土台に設けられたブラケットと、ブラケット略両端に、それぞれ設けられた回転軸と、上記回転軸の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプアーム押込み部と、上記回転軸の他の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプ枝部と、上記クランプアーム押込み部及び上記クランプ枝部と、上記回転軸とは別の回転軸を介して取り付けられ、基板を保持するクランプアーム部と、を備えたことを特徴とする基板クランプ装置。前記クランプアーム押し込み部と前記ブラケットにマグネットを備え、該マグネットの引き合う力によってクランプアームが基板を保持することを特徴とする請求項1に記載の基板クランプ装置。クランプアームの押し込み部をプッシュピンで押し込んでクランプアームの基板保持を解除する場合のクランプアームの押し込み部の角度変化は、クランプアーム部の開口角度よりも小さい構造であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板クランプ装置。上記の問題に鑑みて本発明は、開口角度を安定して再現でき、高いクランプ力を長期間にわたって維持することが可能で、更にクランプアームやプッシュピンの変形や劣化が起こりにくい基板クランプ装置を提供することを目的とする。そこで本発明の請求項1に係る発明は、基板の保持、解除をクランプアームの開閉によって行う基板クランプ装置であって、土台に設けられたブラケットと、ブラケット略両端に、それぞれ設けられた回転軸と、上記回転軸の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプアーム押込み部と、上記回転軸の他の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプ枝部と、上記クランプアーム押込み部及び上記クランプ枝部と、上記回転軸とは別の回転軸を介して取り付けられ、基板を保持するクランプアーム部と、を備えたことを特徴とする基板クランプ装置である。請求項2に係る発明は、前記クランプアーム押し込み部と前記ブラケットにマグネットを備え、該マグネットの引き合う力によってクランプアームが基板を保持することを特徴とする請求項1に記載の基板クランプ装置である。請求項3に係る発明は、クランプアームの押し込み部をプッシュピンで押し込んでクランプアームの基板保持を解除する場合のクランプアームの押し込み部の角度変化は、クランプアーム部の開口角度よりも小さい構造であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板クランプ装置である。本発明の基板クランプ装置によれば、開口角度を安定して再現でき、高いクランプ力を長期間にわたって維持することが可能となる。更にプッシュピンやクランプアームの変形や劣化が起こりにくいため、装置の維持管理に要する労力を省くことが出来る。以下、図面を参照して本発明に係る基板クランプ装置を実施するための形態を説明する。図5は本発明に係る基板クランプ装置の概略図である。基板クランプ装置は土台21を有しており、この土台21にブラケット22が固定されている。ブラケット22の略両端に、それぞれ、回転軸が設けられており、その一端の回転軸28cを介して、クランプアーム押込み部23の端部が回転自在に取り付けられている。このため、後述するように、クランプアーム押込み部23をプッシュピン26で矢印29で示した方向に押し込んだとき、クランプアーム押込み部23は回転軸28cを回転中心として回転する。なお、このとき、回転軸28cの位置が移動することはない。また、ブラケット22にはマグネット27bが固定されており、クランプアーム押込み部23にはマグネット27aが固定されていて、両者は互いに引き合うように配置されている。次に、ブラケット22には、その他端の回転軸28dを介して、クランプアーム枝部25の端部が回転自在に取り付けられている。クランプアーム押込み部23をプッシュピン26で押し込んだとき、クランプアーム枝部25は、回転軸28dを回転中心として回転する。なお、このとき、回転軸28dの位置が移動することはない。次に、クランプアーム押込み部23は、前述のようにその一方の端部が回転軸28cを介してブラケット22に取り付けられている。そして、その他方の端部は回転軸28aを介してクランプアーム部24の端部が回転自在に取り付けられている。クランプアーム部24は、この回転軸28aの位置を始点として、その先端が土台21と平行な方向に延びており、その先端には基板100を保持する基板保持部24aが設けられていて、この基板保持部24aと土台21との間で基板100をクランプすることができる。そして、このクランプアーム部24の先端と回転軸28aとの中間位置には、回転軸28bが設けられており、この回転軸28bを介して、クランプアーム部24はクランプアーム枝部25に回転自在に接続されている。以上のように、これらブラケット22、クランプアーム押込み部23、クランプアーム部24及びクランプアーム枝部25は、それぞれ、回転軸28c、28a、28b及び28dを介して接続されている。すなわち、ブラケット22とクランプアーム押込み部23とは回転軸28cを介して接続されている。クランプアーム押込み部23とクランプアーム部24とは回転軸28aを介して接続されている。クランプアーム部24とクランプアーム枝部25とは回転軸28bを介して接続されている。そして、クランプアーム枝部25とブラケット22とは回転軸28dを介して接続されている。回転軸28cと回転軸28dとはブラケット22に設けられたものであるから、クランプアーム押込み部23をプッシュピン26で押し込んだときにも、これら回転軸28cと回転軸28dとはその位置が変動することがなく、回転軸28cを中心としてクランプアーム押込み部23が回転し、回転軸28dを中心としてクランプアーム枝部25が回転する。そして、クランプアーム押込み部23の回転に伴って回転軸28aの位置が移動し、こうして回転軸28aの位置が移動しながら、その回転軸28aを中心としてクランプアーム部24が回転する。また、クランプアーム枝部25が回転軸28dを中心として回転するのに伴って、回転軸28bの位置が移動し、こうして回転軸28bの位置が移動しながら、その回転軸28bを中心としてクランプアーム部24が回転する。クランプアーム押込み部23をプッシュピン26で押し込んだときには、このようにクランプアーム部24は、移動する回転軸28aと回転軸28bの2つの回転軸を中心として回転するから、その先端の基板保持部24aと土台21との間を開いて、基板100のクランプを開放することができる。上記クランプアーム押込み部23に設けられたマグネット27aとブラッケト22に設けられたマグネット27bと引き合う力によって、クランプアーム部24の先端に設けられた基板保持部24aが、基板100を保持する。図5に示すように、基板100を保持する場合にマグネット27aとマグネット27bの面を合わせるように配置することによってクランプ時に閉じる力が最大となるので、高いクランプ力を与えることができ、またマグネットを使用することで長期間にわたってクランプ力を安定させることが出来る。基板保持部24aが基板100の保持を開放する場合は、プッシュピン26を矢印29の方向にクランプアーム押込み部23を押し込んでクランプアーム部24を回転させる。図6は本発明に係る基板クランプ装置のプッシュピン26を矢印29の方向にクランプアーム押込み部23を押し込んでクランプアーム部24を回転させる場合を示す図である。プッシュピン26を矢印29の方向に押し込むことによって、クランプアーム部24の回転軸28aと28b、クランプアーム押し込み部23の回転軸28c、クランプアーム枝部25の回転軸28dが回転し、クランプアーム部24は矢印30の方向に回転する。図7はクランプアーム部24が回転する際の回転軸28a、28b、28c、28dの回転方向ないしは回転軸が通る軌跡を示す図である。図7において、矢印31は回転軸28cの回転方向を、矢印32は回転軸28dの回転方向を、33は回転軸28aが通る軌跡円を、34は回転軸28bが通る軌跡円を示している。また、28a-1~28a-5は回転軸28aが通る軌跡円33上の位置を、28b-1~28b-5は回転軸28bが通る軌跡円上の位置を示している。更に24a-1~24a-5はクランプアーム部24の回転に従ってクランプアーム部24の先端の基板保持部24aが移動する位置を示す。図7に示す回転軸28aが通る軌跡円33は、回転軸28cの中心から回転軸28aまでの長さを半径とした円周上にあって、回転軸28aは軌跡円33上を28a-1~28a-5の順に移動する。また、回転軸28bが通る軌跡円34は、回転軸28dの中心から回転軸28bまでの長さを半径とした円周上にあって、回転軸28bは軌跡円34上を28b-1~28b-5の順に移動する。上記回転軸28aと回転軸28bが移動することによってクランプアーム部24の先端は24a-1~24a-5の順に移動し、その結果、開口角度が十分得られる。クランプアーム部24の先端が24a-5に移動し、クランプアーム部24に備えられた基板接触部24aによる基板の保持が解除された後、基板を外すことが出来る。本発明に係るクランプアーム部24は、ブラケット22とクランプアーム枝部25とクランプアーム枝部と、回転軸28a、28b、28c、28dを備えた構造を有するために、図8に示すようにクランプアームの押し込み部23をプッシュピン26で押し込んでクランプアームの基板保持を解除する際に、プッシュピン26が押し込まれるクランプアームの押し込み部の角度変化35は、クランプアーム部の開口角度36よりも小さくすることが出来るため、従来の基板クランプ装置と比較して、プッシュピン26を押し込む際のプッシュピン26の接触面の方向が、大きく変化することなくクランプアークの開口角度を得ることが可能となる。その結果、プッシュピンとクランプアームの押し込み部の位置ずれに対する許容範囲が広く、また、プッシュピンに曲げ方向の負荷が起こりにくいため、変形や劣化が生じにくい。以上のように本発明による基板クランプ装置によれば、開口角度を安定して再現でき、高いクランプ力を長期間にわたって維持することが可能となる。更にプッシュピンやクランプアームの変形や劣化が起こりにくいため、装置の維持管理に要する労力を省くことが出来る。