第1回転軸を備えた第1モータと、前記第1回転軸の回転運動に伴って直線運動をするボールねじ軸を備えたボールねじと、第2回転軸を備えた第2モータと、前記ボールねじ軸に対して平行に配置され、前記ボールねじ軸の直線運動に伴って直線運動をするとともに、前記第2回転軸の回転運動に伴って回転運動をするスプライン軸を備えたボールスプラインと、前記ボールねじ軸と前記スプライン軸とを連結し、前記スプライン軸を回転可能に支持する第1連結部材及び第2連結部材と、を有することを特徴とする産業用ロボット。前記ボールねじ軸は、前記第1連結部材及び前記第2連結部材それぞれに固定されていることを特徴とする請求項1に記載の産業用ロボット。前記第1連結部材は、前記ボールねじ軸の上端と前記スプライン軸の上端とを連結し、前記第2連結部材は、前記ボールねじ軸の下端と前記スプライン軸の下端とを連結することを特徴とする請求項1又は2に記載の産業用ロボット。前記第1モータは、中空モータとして構成され、前記ボールねじの外周に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の産業用ロボット。前記第2モータは、中空モータとして構成され、前記ボールスプラインの外周に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の産業用ロボット。前記スプライン軸は、その径が前記ボールねじ軸の径よりも大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の産業用ロボット。上記特許文献1及び2に記載の産業用ロボットは、モータの出力軸の回転運動をベルトまたはカップリング等を介して伝達することによって、ボールねじ軸が回転する。そして、このボールねじ軸の回転運動に伴って、ボールねじナットが鉛直方向に往復運動する。このとき、ボールねじ軸のトルクがボールねじナットに一体的に設けた連結プレートを介してスプライン軸の上端に加わり、これにより、スプライン外筒を支点として、当該トルクに対する反力が、スプライン軸の下端先端部に加わる。この結果、スプライン軸の先端部に振れが生じ、産業用ロボットの作業精度が低下するおそれがある。本発明は、上述の事情の下になされたもので、作業精度の低下を抑制する産業用ロボットを提供することを目的とする。上述の目的を達成するために、本発明の産業用ロボットは、第1回転軸を備えた第1モータと、前記第1回転軸の回転運動に伴って直線運動をするボールねじ軸を備えたボールねじと、第2回転軸を備えた第2モータと、前記ボールねじ軸に対して平行に配置され、前記ボールねじ軸の直線運動に伴って直線運動をするとともに、前記第2回転軸の回転運動に伴って回転運動をするスプライン軸を備えたボールスプラインと、前記ボールねじ軸と前記スプライン軸とを連結し、前記スプライン軸を回転可能に支持する第1連結部材及び第2連結部材と、を有することを特徴とする。前記ボールねじ軸は、前記第1連結部材及び前記第2連結部材それぞれに固定されていてもよい。前記第1連結部材は、前記ボールねじ軸の上端と前記スプライン軸の上端とを連結し、前記第2連結部材は、前記ボールねじ軸の下端と前記スプライン軸の下端とを連結していてもよい。前記第1モータは、中空モータとして構成され、前記ボールねじの外周に配置されていてもよい。前記第2モータは、中空モータとして構成され、前記ボールスプラインの外周に配置されていてもよい。前記スプライン軸は、その径が前記ボールねじ軸の径よりも大きくなるように形成されていてもよい。本発明の産業用ロボットにおいては、ボールねじ軸とスプライン軸とが第1連結部材及び第2連結部材によって連結されている。このため、スプライン軸の先端部の振れを抑え、スプライン軸の回転運動を安定したものとすることができる。ひいては、産業用ロボットの作業精度の低下を抑制することができる。以下、本発明の実施形態に係る産業用ロボット100について説明する。なお、図中のXY平面は水平な面であり、図中のZ軸の方向は鉛直方向である。本実施形態の産業用ロボット100は、図1に示すように、ベース10と、第1アーム20と、第2アーム30と、ボールねじ60と、ボールスプライン70とを有する。この産業用ロボット100は、4つの運動軸L1~L4について運動する。詳しくは、運動軸L1を回転軸として第1アーム20がベース10に対して回動し、運動軸L2を回転軸として第2アーム30が第1アーム20に対して回動する。また、ボールねじ60のボールねじ軸62は、運動軸L3に沿って往復運動直線運動をし、ボールスプライン70のスプライン軸72は、ボールねじ軸62の往復運動とともに運動軸L4に沿って往復運動直線運動をする。また、運動軸L4を回転軸として順逆双方向の回転運動をする。ベース10は、第1アーム20を回動可能に支持する部材で、モータ11を有する。モータ11は、例えば、ACサーボモータとして構成され、図2に示すように、出力軸12と減速機13とエンコーダ14とを有する。モータ11内で生じた回転運動は、減速器13によって所定の減速比で減速され、出力軸12に出力される。出力軸12は、第1アーム20に接続されており、出力軸12の回転とともに、第1アーム20は、運動軸L1を回転軸として回動する。エンコーダ14は、出力軸12の回転位置、回転量、又は回転速度等を検出する。このエンコーダ14は、例えば、アブソリュートエンコーダとして構成される。第1アーム20は、第2アーム30を回動可能に支持する部材で、モータ21を有する。モータ21は、例えば、ACサーボモータとして構成され、出力軸22と減速機23とエンコーダ24とを有する。モータ21内で生じた回転運動は、減速器23によって所定の減速比で減速され、出力軸22に出力される。出力軸22は、第2アーム30に接続されており、出力軸22の回転とともに、第2アーム30は、運動軸L2を回転軸として回動する。エンコーダ24は、出力軸22の回転位置、回転量、又は回転速度等を検出する。このエンコーダ24は、例えば、アブソリュートエンコーダとして構成される。第2アーム30は、ボールねじ60及びボールスプライン70を支持する部材で、第1モータ40と、第2モータ50と、これらを収納する筐体31とを有する。第1モータ40は、図3に示すように、例えば、中空のACサーボモータとして構成されており、ボールねじ60の外周に配置されている。また、第1モータ40は、モータハウジング41と、ステータ42と、ロータ43と、出力軸44と、エンコーダ45とを有している。モータハウジング41は、中空の部材として構成される。モータハウジング41は、内部にステータ42、ロータ43、及び出力軸44を収納し、上記各部品を保護する。ステータ42は、長手方向をZ軸方向とする円筒状に形成され、モータハウジング41の内部に固定されている。ステータ42は、回転軸L3を中心とする円周に沿って、複数の極を有している。ロータ43は、出力軸44が貫通するための貫通孔を有する円筒形状に形成されている。このロータ43は、回転軸L3を中心とする円周に沿ってN極とS極とが周期的かつ交互に現れるように着磁され、ステータ42に対して回転可能に配置される。出力軸44は、ボールねじ60が貫通するための貫通孔を有する略円筒形状に形成されている。出力軸44は、複数のボルト44aによってロータ43に固定されているとともに、軸受46、47によって、モータハウジング41に回転可能に支持されている。エンコーダ45は、モータハウジング41のX側に配置され、出力軸44の回転位置、回転量、又は回転速度等を検出する。このエンコーダ45は、例えば、アブソリュートエンコーダである。エンコーダ45の下端-Z側の端部は、出力軸44にベルト45aを介して接続されたプーリとして構成される。第2モータ50は、モータ21と同様に、例えば、ACサーボモータとして構成され、モータ本体51と、モータ本体51の下端に接続された減速機52と、減速機52に複数のボルト53aによって固定された出力軸53と、出力軸53の回転位置、回転量、又は回転速度等を検出するエンコーダ54と、を有する。モータ本体51内で発生した回転運動は、減速器52によって所定の減速比で減速され、出力軸53に出力される。ボールねじ60は、ボールねじナット61と、ボールねじ軸62とを有する。ボールねじナット61は、出力軸44の貫通孔にZ側から嵌合されており、出力軸44の回転とともに回転する。ボールねじナット61の内周面には、螺旋状の雌ねじ部が形成されている。ボールねじ軸62の外周には、螺旋状の雄ねじ部が形成されている。このボールねじ軸62の雄ねじ部には、ボールねじナット61の雌ねじ部が、剛性の球体を介して配置される。これにより、ボールねじナット61の回転運動が、ボールねじ軸62の直線運動に変換される。そして、ボールねじ軸62は、非回転状態で直線運動を行う。ボールスプライン70は、スプライン外筒71と、スプライン軸72と、プーリ73と、軸受74と、これらを覆うスプラインカバー75とを有する。また、スプラインカバー75は、モータハウジング41と一体的に連結されている。スプライン外筒71は、スプライン軸72が貫通するよう略円筒形状に形成されている。スプライン外筒71は、その貫通孔の内周面に複数の鋼球が配置された玉軸受として構成されている。スプライン軸72の外周には、複数のスプライン溝がZ軸方向に沿って形成されている。このスプライン軸72は、スプライン外筒71を貫通し、スプライン軸72のスプライン溝にスプライン外筒71の鋼球が配置される。この鋼球がスプライン溝に配置されることにより、スプライン軸72は、スプライン外筒71に対して、Z軸方向に摺動する。また、スプライン軸72は、その径がボールねじ軸62の径よりも大きくなるように形成されている。プーリ73は、スプライン外筒71の外周に嵌め込まれることにより、スプライン外筒71に固定されるとともに、軸受74によって、スプラインカバー75に回転可能に配置されている。軸受74は、例えば、クロスローラ軸受であり、プーリ73の上端Z側から嵌め込まれ、ナット74aによって固定される。また、プーリ73は、第2モータ50の出力軸53とベルト73aを介して接続されている。第2モータ50の回転運動は、このベルト73aを介してプーリ73に伝達される。ボールねじ軸62の上端Z側の端部とスプライン軸72の上端Z側の端部とは、連結部材80によって連結されている。連結部材80には、Z軸方向に貫通する貫通孔80a、80bが形成されている。貫通孔80aには、ボールねじ軸62の上端が挿入されている。ボールねじ軸62の上端は、ピン81によって連結部材80に固定されている。また、貫通孔80bには、スプライン軸72の上端が挿入されている。スプライン軸72は、軸受82によって、連結部材80に回転可能に支持されている。軸受82は、例えば、クロスローラ軸受であり、連結部材80の上端Z側から嵌め込まれ、ナット83によって固定される。同様に、ボールねじ軸62の下端-Z側の端部とスプライン軸72の下端-Z側の端部とは、連結部材90によって連結されている。連結部材90には、Z軸方向に貫通する貫通孔90a、90bが形成されている。貫通孔90aには、ボールねじ軸62の下端が挿入されている。ボールねじ軸62の下端には、ピン91によって連結部材90に固定されている。また、貫通孔90bには、スプライン軸72の下端が挿入されている。スプライン軸72は、軸受92によって、連結部材90に回転可能に支持されている。軸受92は、例えば、深溝玉軸受であり、連結部材80の下端Z側から嵌め込まれる。産業用ロボット100のスプライン軸72の下端-Z側の端部には、作業内容に合わせた任意の工具や機器が取り付けられる。また、産業用ロボット100には、図4に示すように、ケーブルを介して、コントローラ101が接続される。コントローラ101は、例えば、CPUCentralProcessingUnit、記憶部、表示部、入力部、及びインターフェイス部等を含んで構成されている。このコントローラ101は、エンコーダ14、24、45、54からの信号に基づいて、モータ11、21、第1モータ40、第2モータ50を制御する。産業用ロボット100の動作の内容は、コントローラ101に接続されたティーチングペンダント等によって設定され、コントローラ101の記憶部に記憶される。コントローラ101のCPUは、記憶部からプログラムやデータを読み出して、プログラムの実行等を行う。上述のように構成された産業用ロボット100の動作について、図5乃至7を用いて説明する。産業用ロボット100の動作は、例えば記憶部に記憶されたプログラムをCPUが実行することで、開始され又は進行する。コントローラ101は、図5I及び図5IIに示すように、モータ11の出力軸を回転させることで、運動軸L1を回転軸として第1アーム20を回動させる。また、モータ21の出力軸を回転させることで、運動軸L2を回転軸として第2アーム30を回動させる。コントローラ101は、モータ11の出力軸を回転させたり、モータ21の出力軸を回転させたり、もしくはモータ11の出力軸とモータ21の出力軸との両方を回転させたりすることで、スプライン軸72の下端に取り付けられた工具をXY平面に水平に移動させる。これにより、プログラムによって設定された任意の位置まで当該工具を移動させる。スプライン軸72の下端に取り付けられた工具が、XY平面における設定位置まで移動すると、コントローラ101は、図6A及び図6Bに示すように、第1モータ40の出力軸44を回転させる。出力軸44が回転することで、出力軸44に固定されたボールねじナット61が出力軸44とともに回転する。そして、ボールねじナット61の回転運動に伴って、ボールねじ軸62は、-Z方向に直線運動をする。ボールねじ軸62が-Z方向に直線運動をすると、ボールねじ軸62と連結部材80、90を介して連結されたスプライン軸72も、運動軸L3に沿って、-Z方向に直線運動をする。また、スプライン外筒71は玉軸受として構成されており、スプライン軸72は、スプライン外筒71に対して摺動する。やがて、スプライン軸72は下死点まで移動する。これにより、例えば、スプライン軸72に取り付けられた工具が、ワーク等に当接する。また、コントローラ101は、図7Cに示すように、第2モータ50の出力軸53を回転させた場合は、出力軸53の回転運動は、ベルト73aを介して、プーリ73に伝達される。出力軸53の回転運動がプーリ73に伝達されると、プーリ73も回転する。プーリ73が回転すると、スプライン外筒71は、プーリ73に固定されているため、スプライン外筒71も、プーリ73とともに回転する。この結果、スプライン外筒71とスプライン係合されているスプライン軸72は、スプライン外筒71とともに、運動軸L4回りに回転する。すなわち、コントローラ101が、第1モータ40の出力軸44のみを回転させた場合は、図6Bに示すように、スプライン軸72は直線運動をする。第2モータ50の出力軸53のみを回転させた場合は、図7Cに示すように、スプライン軸72は運動軸L4回りに回転運動をする。第1モータ40の出力軸44と第2モータ50の出力軸53との両方を回転させた場合は、図7Dに示すように、スプライン軸72は、スパイラル運動をする。スプライン軸72が、直線運動、回転運動、又はスパイラル運動等の所定の運動をすると、コントローラ101は、再び、モータ11及びモータ21の出力軸を回転させることで、第1アーム20及び第2アーム30を回動させて、スプライン軸72に取り付けられた工具をXY平面に水平に移動させる。そして、初期位置まで移動させる。コントローラ101は、記憶部に記憶されたプログラムにしたがって、以上のような運動を反復させる。以上、説明したように、本実施形態に係る産業用ロボット100においては、ボールねじ軸62は、第1モータ40の出力軸44の回転運動に伴って、Y軸方向に直線運動往復運動をする。そして、ボールねじ軸62が回転しないことから、ボールねじ軸62及びスプライン軸72のそれぞれの両端を、2つの連結部材80、90によって連結することができる。これにより、スプライン軸72の先端部の振れを抑え、スプライン軸72の回転運動を安定したものとすることができる。例えば、回転運動をするボールねじ軸を有する産業用ロボットの場合は、ボールねじ軸及びスプライン軸のそれぞれの両端を、2つの連結部材によって同時に連結することが困難であり、ボールねじ軸の一端に配置されたボールねじナットとスプライン軸の一端のみを、1つの連結部材で連結しなければならない。この場合、ボールねじ軸のトルクの反力が、この連結部材に加わり、この結果、スプライン軸の先端部下端に振れが生じ、スプライン軸72の回転運動が不安定なものとなってしまう。特に、スプライン軸が下死点まで移動して、スプライン軸の下端自由端とスプライン外筒支持点との距離が長くなった場合には、スプライン軸72の先端部の振れが大きくなるおそれがある。しかしながら、本実施形態の産業用ロボット100においては、ボールねじ軸62が回転しないことから、ボールねじ軸62及びスプライン軸72のそれぞれの両端を、2つの連結部材80、90によって連結することができる。さらに、スプライン軸72の上端及び下端が、連結部材80、90によって支持されていることから、ボールねじ軸のトルクの反力が、2つの連結部材80、90に分散されて加わり、これにより、スプライン軸72の先端部の振れを抑え、スプライン軸72の回転運動を安定したものとすることができる。ひいては、産業用ロボットの作業精度の低下を抑制することができる。また、ボールねじ軸62とスプライン軸72とを、連結部材80、90を介して接続していることから、産業用ロボット100の剛性を高くすることもできる。また、本実施形態においては、第1モータ40は中空モータとして構成されており、第1モータ40の中にボールねじ60を通してボールねじナット61を回転する構成となっている。これにより、ボールねじ軸をタイミングベルトまたはギア等の伝達機構を介して回転するモータの場合と比べて、産業用ロボット100を小型にすることができる。また、本実施形態においては、ボールねじ軸62とスプライン軸72とが別々に配置できるので、ボールねじ60の径、リード等とは関係なく、ボールスプライン70の径を大きくすることによって剛性を高くすることができる。また、本実施形態においては、第1連結部材80は、ボールねじ軸62の上端およびスプライン軸72の上端を連結し、第2連結部材90は、ボールねじ軸62の下端およびスプライン軸72の下端を連結しているため、剛性をより高くすることができる。また、本実施形態に係る産業用ロボット100においては、ボールねじ軸62がZ軸方向に直線運動をする。このため、産業用ロボット100の上方Z方向近傍に別の装置等が設置されている場合においても、ボールねじ軸62を-Z方向に移動させることで、運動軸L1又はL2回りに第1アーム20及び第2アーム30を回動させることが可能になる。具体的には、図8に示すように、産業用ロボット100の上方Z方向近傍に装置200が設置されていても、ボールねじ軸62を-Z方向に移動させることで、ボールねじ軸62の上端と装置200との干渉を回避しつつ、運動軸L1回りに第1アーム20を回動させることができる。例えば、回転運動をするボールねじ軸を有する産業用ロボットは、ボールねじ軸をZ軸方向に直線運動をさせることができない。したがって、この産業用ロボットの上方Z方向近傍に図8に示すような装置200が設置されている場合には、ボールねじ軸の上端と装置200とが干渉してしまい、第1アーム又は第2アームを回動させることは困難である。しかしながら、本実施形態の産業用ロボット100においては、ボールねじ軸62を-Z方向に移動させることで、ボールねじ軸62の上端と装置200との干渉を回避することができる。これにより、産業用ロボット100の設置場所における自由度を向上させることができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、連結部材80、90は、ボールねじ軸62とスプライン軸72の上端及び下端に連結されているが、これに限らず、ボールねじ軸62とスプライン軸72の上端及び下端以外の箇所で連結されていてもよい。また、本実施形態においては、第1モータ40のみが中空モータとして構成されているが、これに限らず、第2モータ50も中空モータとして構成してもよい。これにより、ボールスプライン70の外周に第2モータ50を配置することができ、産業用ロボット100をさらに小型にすることができる。また、本実施形態の産業用ロボット100は、4つの運動軸L1~L4について運動する4軸関節ロボットとして構成されているが、これに限らず、5軸以上の多関節ロボットとして構成してもよい。また、2つの運動軸L3およびL4とから構成される2軸ユニットとして構成してもよい。また、本実施形態においては、スプライン軸72は、その径がボールねじ軸62の径よりも大きくなるように形成されているが、これに限らず、これらの径が同等であってもよい。本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。