材料の孔表面から少なくとも1種類の元素を浸透させることにより、該材料の平均孔径を所定の範囲内に縮小させることを特徴とする金属多孔材料の孔径調節方法。材料の孔表面から少なくとも1種類の元素を浸透させることにより、該材料の平均孔径を0.05~100μmまで縮小させることを特徴とする請求項1に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。材料の孔表面から少なくとも1種類の元素を浸透させることにより、該材料の平均孔径を0.1~100μm縮小させることを特徴とする請求項1に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。前記金属多孔材料は、Al系金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項1に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。前記Al系金属間化合物多孔材料は、TiAl金属間化合物多孔材料、NiAl金属間化合物多孔材料、FeAl金属間化合物多孔材料のうちのいずれか一種であることを特徴とする請求項4に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。浸透させる前記元素は、炭素、窒素、硼素、硫黄、ケイ素、アルミニウム、クロムのうちのいずれか1種または複数種であることを特徴とする、請求項1~5のいずれか1項に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。炭素浸透のための活性雰囲気中にTiAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、800~1200°C下で、炉内の炭素ポテンシャルを0.8~1.0に制御しながら1~12時間保温し、最終厚み1~30μmの炭素浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。炭素浸透のための活性雰囲気中にNiAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、800~1200°C下で、炉内の炭素ポテンシャルを1.0~1.2に制御しながら2~10時間保温し、最終厚み0.5~25μmの炭素浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。炭素浸透のための活性雰囲気中にFeAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、800~1200°C下で、炉内の炭素ポテンシャルを0.8~1.2に制御しながら1~9時間保温し、最終厚み1~50μmの炭素浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。窒素浸透のための活性雰囲気中にTiAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、800~1000°C下で、炉内の窒素ポテンシャルを0.8~1.0に制御しながら4~20時間保温し、最終厚み0.5~20μmの窒素浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。窒素浸透のための活性雰囲気中にNiAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、700~900°C下で、炉内の炭素ポテンシャルを1.0~1.2に制御しながら2~26時間保温し、最終厚み0.5~15μmの窒素浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。窒素浸透のための活性雰囲気中にFeAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、550~750°C下で、炉内の炭素ポテンシャルを0.8~1.2に制御しながら2~18時間保温し、最終厚み1~25μmの窒素浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。炭素窒素共浸透のための活性雰囲気中にTiAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、800~1000°C下で、炉内の炭素ポテンシャルおよび窒素ポテンシャルを0.8~1.0に制御しながら1~16時間保温し、最終厚み0.5~25μmの炭素窒素共浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。炭素窒素共浸透のための活性雰囲気中にNiAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、750~950°C下で、炉内の炭素ポテンシャルおよび窒素ポテンシャルを1.0~1.2に制御しながら2~18時間保温し、最終厚み0.5~20μmの炭素窒素共浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。炭素窒素共浸透のための活性雰囲気中にFeAl金属間化合物多孔材料を先に置いた後、700~900°C下で、炉内の炭素ポテンシャルおよび窒素ポテンシャルを0.8~1.2に制御しながら2~10時間保温し、最終厚み1~35μmの炭素窒素共浸透層を得ることを特徴とする請求項6に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。最終的に形成される浸透層の厚みが金属多孔材料の前後端において非対称性を現すように、当該金属多孔材料の局部に対して浸透防止処理を施すことを特徴とする、請求項1~5のいずれか1項に記載の金属多孔材料の孔径調節方法。材料表面に分布している穴1を含む金属多孔材料の孔構造であって、前記穴1の孔表面に浸透層2が設けられていることを特徴とする金属多孔材料の孔構造。前記穴1の平均孔径は、0.05~100μmであることを特徴とする請求項17に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、Al系金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項17に記載の金属多孔材料の孔構造。前記Al系金属間化合物多孔材料は、TiAl金属間化合物多孔材料、FeAl金属間化合物多孔材料、NiAl金属間化合物多孔材料のうちのいずれか一種であることを特徴とする請求項19に記載の金属多孔材料の孔構造。前記浸透層2は、炭素浸透層、窒素浸透層、硼素浸透層、硫黄浸透層、ケイ素浸透層、アルミニウム浸透層、クロム浸透層のうちのいずれか1種、またはこれらの元素のうちのいずれかからなる共浸透層であることを特徴とする、請求項17~20のいずれか1項に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に厚み1~30μmの炭素浸透層が設けられているTiAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に厚み0.5~25μmの炭素浸透層が設けられているNiAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に厚み1~50μmの炭素浸透層が設けられているFeAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に厚み0.5~20μmの窒素浸透層が設けられているTiAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に厚み0.5~15μmの窒素浸透層が設けられているNiAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に厚み1~25μmの窒素浸透層が設けられているFeAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に0.5~25μmの炭素窒素共浸透層が設けられているTiAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に0.5~20μmの炭素窒素共浸透層が設けられているNiAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記金属多孔材料は、孔表面に厚み1~35μmの炭素窒素共浸透層が設けられているFeAl金属間化合物多孔材料であることを特徴とする請求項21に記載の金属多孔材料の孔構造。前記浸透層2の厚みは、穴1の方向に沿って前から後ろへ次第に減少することを特徴とする、請求項17~20のいずれか1項に記載の金属多孔材料の孔構造。実施形態まず、以下のいくつかの実施例群を挙げ、本発明の孔径調節方法をさらに説明する。<1.実施例群1>実施例群1において、チタン多孔材料に対して炭素浸透、窒素浸透、炭素窒素共浸透の処理をそれぞれ行った。なお、炭素浸透、窒素浸透、炭素窒素共浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が20μm、初期孔隙率が30であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表1に示す。<2.実施例群2>実施例群2において、TiAl金属間化合物多孔材料に対し、炭素浸透の処理を行った。なお、炭素浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表2に示す。<3.実施例群3>実施例群3において、TiAl金属間化合物多孔材料に対し、窒素浸透の処理を行った。なお、窒素浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表3に示す。<4.実施例群4>実施例群4において、TiAl金属間化合物多孔材料に対し、炭素窒素共浸透の処理を行った。なお、炭素窒素共浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表4に示す。<5.実施例群5>実施例群5において、TiAl金属間化合物多孔材料に対し、硼素浸透の処理を行った。なお、硼素浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表5に示す。<6.実施例群6>実施例群6において、NiAl金属間化合物多孔材料に対し、炭素浸透の処理を行った。なお、炭素浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表6に示す。<7.実施例群7>実施例群7において、NiAl金属間化合物多孔材料に対し、窒素浸透の処理を行った。なお、窒素浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表7に示す。<8.実施例群8>実施例群8において、NiAl金属間化合物多孔材料に対し、炭素窒素共浸透の処理を行った。なお、炭素窒素共浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表8に示す。<9.実施例群9>実施例群9において、NiAl金属間化合物多孔材料に対し、硼素浸透の処理を行った。なお、硼素浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表9に示す。<10.実施例群10>実施例群10において、FeAl金属間化合物多孔材料に対し、炭素浸透の処理を行った。なお、炭素浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表10に示す。<11.実施例群11>実施例群11において、FeAl金属間化合物多孔材料に対し、窒素浸透の処理を行った。なお、窒素浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表11に示す。<12.実施例群12>実施例群12において、FeAl金属間化合物多孔材料に対し、炭素窒素共浸透の処理を行った。なお、炭素窒素共浸透の処理を行う前の該材料は、初期平均孔径が15μm、初期孔隙率が45であった。該実施例群の各具体的な工程パラメータ、および化学的熱処理後の平均孔径と孔隙率を表12に示す。前記の実施例群1~12から一部のデータを抽出し、化学的熱処理の温度および時間による孔径への影響を示す図3~図5のような曲線を得た。図3は、異なる温度下、TiAl材料およびNiAl材料のそれぞれに対して炭素を6時間浸透させた後の平均孔径の変化曲線である。図4は、900°C下、TiAl材料を異なる時間で保温した後の平均孔径の変化曲線である。図5は、940°C下、NiAl材料を異なる時間で保温した後の平均孔径の変化曲線である。図3~図5によれば、化学的熱処理の温度が高いほど、平均孔径の縮小量が大きくなることが分かる。また、化学的熱処理の時間が長いほど、平均孔径の縮小量が大きくなることが分かる。なお、材料の平均孔径の縮小量および浸透層の厚みは互いに明らかに対応関係を有するため、前記各実施例群のいずれも前後2回の実験による浸透層の厚みのみを測定した。前記各実施例群の前後2回の実験による浸透層の厚みの変化から見て、浸透層が厚いほど、材料の平均孔径の縮小量が大きくなることが分かる。以下は、図1、図2に基づき、上述した方法により作製した金属多孔材料の孔構造について詳細に説明する。図1に示すように、金属多孔材料の孔構造は、材料の表面に分布している穴1を含み、前記穴1の孔表面には浸透層2が設けられている。なお、図1、図2中、点線は化学的熱処理を行う前の穴の大きさを示し、点線の内側の実線は化学的熱処理を行った後の穴の大きさを示す。点線と実線との間は浸透層2に相当する。図1、図2のように、穴1の孔表面に浸透層2が設けられているため、この浸透層2の形成過程において、穴表層で発生した結晶格子のねじれや膨張により金属多孔材料の当初の穴が縮小し、孔径調整の目的が達成される。なお、前記穴1の平均孔径は、0.05~100μmであることが望ましい。また、前記金属多孔材料として、Al系金属間化合物多孔材料、例えばTiAl金属間化合物多孔材料、NiAl金属間化合物多孔材料、FeAl金属間化合物多孔材料を選択してもよい。また、前記浸透層2は、炭素浸透層、窒素浸透層、硼素浸透層、硫黄浸透層、ケイ素浸透層、アルミニウム浸透層、クロム浸透層のうちのいずれか1種であってもよく、これらの元素のうちのいずれかからなる共浸透層、例えば炭素窒素共浸透層であってもよい。これにより、孔径を調節すると共に、金属多孔材料の表面特性、例えば高温酸化の耐性、腐食耐性などを副次的に改善することができる。本発明において、金属多孔材料に対して化学的熱処理を行う際は、金属多孔材料の局部に対して浸透防止処理を施してもよい。例えば、図2に示すように、材料のa面、b面およびc面にそれぞれ浸透防止剤を塗布する。これにより、化学的熱処理の際、元素が穴1の前端のみから進入するため、穴1における浸透層2の厚みは、前後端で非対称性を現すようになる。すなわち、浸透層2の厚みは、穴1の方向に沿って前端から後端へ、次第に薄くなる。この場合、金属多孔材料は、一方側の表面における穴1の孔径が、相対的に厚い浸透層2により比較的小さく、もう一方側の表面における穴1の孔径が、相対的に薄い浸透層または浸透層が存在しないにより比較的大きいという非対称膜に類似する構造形態として形成される。したがって、濾過に用いられる際は、孔径が比較的小さい側を利用することで、濾過すべき媒体の分離を実現できる。これにより、金属多孔材料の浸透力を向上させると共に、逆方向からの洗浄効果を向上させることができる。以下は、試験を通して、化学的熱処理後の材料が特性変化を表していることを検証する。1900°C下、6時間の炭素浸透処理を経た前記TiAl金属間化合物多孔材料の試料に対して900°C下、48時間の高温酸化試験を行った後、該試料に対して後方散乱電子像撮影および炭素線成分スペクトル分析を行った。その結果、酸化試験後の材料の穴表層組織および試験前の表層組織が、類似の構造を有することが分かった。つまり、炭素浸透層は、高温雰囲気下に晒されても良好な熱安定性および酸化防止能力を示すということである。2900°C下、12時間の窒素浸透処理を経たTiAl金属間化合物多孔材料の試料、および窒素浸透処理を経ていないTiAl金属間化合物多孔材料の試料に対し、PH=3の塩酸溶液中で腐食試験を行った。結果は、図6に示すように、窒素浸透処理を経たTiAl材料の、腐食時間増加に伴う質量損失は、窒素浸透処理を経ていないTiAl材料に比べて著しく小さいことが分かる。本発明の金属多孔材料の孔構造を示す平面図である。図1のA-A線における断面図である。異なる温度下、TiAl材料およびNiAl材料のそれぞれに対して炭素を6時間浸透させた後の平均孔径の変化曲線を示す図である。900°C下、TiAl材料を異なる時間で保温した後の平均孔径の変化曲線を示す図である。940°C下、NiAl材料を異なる時間で保温した後の平均孔径の変化曲線を示す図である。窒素浸透を行ったTiAl材料、および窒素浸透を行っていないTiAl材料の腐食耐性の動力学的曲線を示す図である。