"ボディの長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔と、この孔内に延びる弁座部材とを有するボディと、前記孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向された弁部材とを備え、この弁部材は非円形の幾何学的成形ヘッドを含み、更に、前記弁部材の軸回転を阻止すると共に、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容するヘッド収容凹部を含むドライプアダプタと、前記ドライブアダプタに接続されるステップモータとを備え、このステップモータは弁部材に直接係合するシャフトを軸回転するように作動する、流量制御弁。前記幾何学的成形ヘッドは、少なくとも1の平坦なヘッド面を有する、請求項1に記載の流量制御弁。前記ヘッド収容凹部は、少なくとも1の平坦なヘッド面に当接して弁部材の軸回転を防止する少なくとも1の空洞面を含む、請求項2に記載の流量制御弁。前記弁部材は更に、弁部材から外方に半径方向に延び、弁座部材にシール係合し、流量制御弁の閉位置を規定する少なくとも1の弁座係合部材を含む、請求項1に記載の流量制御弁。前記シャフトの第1方向の回転は、流量制御弁を閉位置から開位置に、ボディ孔内で弁部材を長手方向に移動する作用をなし、前記シャフトの反対の第2方向の回転は、開位置から弁閉位置に弁部材を戻す作用をなす、請求項4に記載の流量制御弁。前記弁部材は更に、弁部材の幾何学的成形ヘッドから反対側端部に配置された第1ピストンと、前記第1ピストンと幾何学的成形ヘッドとの間に配置された第2ピストンとを含み、これらの第1,第2ピストンは、弁部材がボディ孔内で摺動するときに、シリンダ壁に対してシールするように作用する、請求項1に記載の流量制御弁。前記第1,第2ピストンは、第1,第2ピストンに反対側に作用する加圧流体が弁部材に作用するバランスされた圧力となるように、実質的に等しい径を有する、請求項6に記載の流量制御弁。更に、電子インターフェース装置を備え、コマンド信号を受取り、この電子インターフェース装置でステップモータを作動するための出力に変換される、請求項1に記載の流量制御弁。更に、内部に電子インターフェース装置が配置される電子インターフェースハウジングと、この電子インターフェースハウジングを大気から密封し、流量制御弁に対する電気接続部を形成する電気コネクタとを含む、請求項8に記載の流量制御弁。前記孔は、弁部材がボディ内に摺動可能に収容されたときに、ボディの長手方向軸と同軸状に配向される、請求項1に記載の流量制御弁。前記非円形幾何学的成形ヘッドは、前記シャフトを螺合して収容するねじ付孔を含み、前記シャフトは、ステップモータに接続されかつこれから延びる雄ねじ付シャフトであり、ステップモータの漸進的回転で、ねじ付孔に螺合する雄ねじ付シャフトが回転し、弁部材が漸進的に軸方向に平行移動する、請求項1に記載の流量制御弁。前記非円形の幾何学的成形ヘッドは、一体的に接続されかつこれから延びるシャフトを有し、このシャフトは雄ねじ付シャフトであり、更に、ステップモータの雌ねじ付孔内に螺合し、ステップモータ及びシャフトに螺合する雌ねじ付孔の漸進的回転で、弁部材を漸進的に軸方向に平行移動する、請求項1に記載の流量制御弁。前記ドライブアダプタは、ボディに取外し可能に接続される、請求項1に記載の流量制御弁。前記ドライブアダプタは、ボディに一体的に接続され、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドは、この幾何学的成形ヘッドの対応する面に適合する複数の空洞面を有するヘッド収容凹部内に摺動可能に収容され、弁部材の軸回転を阻止する、請求項1に記載の流量制御弁。前記弁部材は、スプール弁部材を規定する、請求項1に記載の流量制御弁。前記弁部材は、ポペット弁部材を規定する、請求項1に記載の流量制御弁。ボディの長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔を有するボディと、前記孔内に摺動可能に配置され、ボディの長手方向軸に同軸状に配向された弁部材とを備え、この弁部材は、孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドと、少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材と第1,第2ピストンとを含み、これらの第1,第2ピストンは、第1,第2ピストンに反対側に作用する加圧流体がバランスされるように、実質的に等しい径を有し、更に、弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容し、弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含むドライブアダプタと、前記ドライブアダプタに接続されるステップモータとを備え、このステップモータは弁部材の孔内に直接係合したシャフトを回転し、弁部材を軸方向に平行移動する、流量制御弁。前記なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第1,第2ピストンの径に等しい径を有する第1,第2弁座係合部材を備える、請求項17に記載の流量制御弁。前記ボディは、3方弁ボディであり、前記孔内に延びる第1,第2弁座部材と、入口ポートと出口ポートと排気ポートと、を含む、請求項18に記載の流量制御弁。弁開位置で、第1弁座係合部材は第1弁座部材に接触し、第2弁座係合部材は第2弁座部材から移動され、入口ポートを出口ポートに連通させ、入口ポートと出口ポートとの双方を排気ポートから分離させ、更に、弁閉位置で、第1弁座係合部材は第1弁座部材に接触し、第2弁座係合部材は第2弁座部材に接触し、入口、出口及び排気ポートがそれぞれ分離される、請求項19に記載の流量制御弁。第1弁座係合部材は第1弁座部材から移動され、第2弁座部材は第2弁座部材に接触し、出口ポートが排気ポートに連通しかつ入口ポートが出口ポートと排気ポートとの双方から分離される排気位置を規定する、請求項19に記載の流量制御弁。少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第1及び第2ピストンの径と等しい径を有する第1,第2,第3及び第4弁座係合部材を備える、請求項18に記載の流量制御弁。前記ボディは4方弁ボディであり、個々に弁座係合部材の1つに接触されるように位置する孔内に延びる複数の弁座部材と、入口ポートと、第1及び第2出口ポートと、第1及び第2排気ポートと、を含む、請求項18に記載の流量制御弁。前記ボディは2方弁ボディであり、孔内に延びる弁座部材と、入口ポート及び出口ポートとを含み、少なくとも1の半径方向外方に延びる弁座係合部材は弁閉位置で弁座部材に接触し、入口ポートを出口ポートから分離する、請求項17に記載の流量制御弁。ボディの長手方向軸に同軸に配向されたボディ孔と、第1及び第2シリンダ壁とを有するボディと、前記孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向される弁部材とを備え、この弁部材は、前記長手方向軸に同軸状に整合するねじ付孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドと、前記弁部材の前記幾何学的成形ヘッドと反対側端部に配置される第1ピストンと、前記第1ピストンと幾何学的成形ヘッドとの間に配置される第2ピストンとを含み、更に、前記ボディに接続されるドライブアダプタを備え、このドライブアダプタは、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容し、弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含み、更に、前記ドライブアダプタに接続されるステップモータを備え、このステップモータは弁部材のねじ付孔内に直接螺合するねじ付シャフトを回転する、流量制御弁。前記弁ボディは、更に、孔内に延びる弁座部材を含む、請求項25に記載の流量制御弁。前記弁部材は、更に、弁部材から外方に半径方向に延び、弁座部材に密閉状態に係合し、流量制御弁の閉位置を規定する弁座係合部材を含む、請求項26に記載の流量制御弁。前記第1及び第2ピストンの径と弁座係合部材の径とは、弁閉位置で、第1ピストンに作用する加圧流体の力が弁座係合部材に作用する加圧流体の力でバランスされるように、実質的に等しい、請求項27に記載の流量制御弁。第1ピストンの径は、弁座係合部材が弁座部材から移動した弁開位置で、第1ピストンに作用する加圧流体の力が、第2ピストンに作用する加圧流体の力でバランスされるように、第2ピストンの径と実質的に等しい、請求項27に記載の流量制御弁。前記弁部材はスプール部材であり、第1及び第2ピストンの径と弁座係合部材の径とが実質的に等しい、請求項25に記載の流量制御弁。前記弁部材はポペット弁であり、弁係合部材の径が弁座部材の径よりも大きい、請求項25に記載の流量制御弁。図面中、複数の図を通して、対応する参照数字は対応する部分を示す。以下に、添付図面を参照して例示的な実施形態についてより詳細に説明する。例示的な実施形態は、十分に、かつ当業者にその範囲を伝えることができるように提供するものである。種々の特定の詳細事項は、本開示の具体例を十分に理解するために、特定の部材、装置、及び方法の例として説明するものである。当業者であれば、特定の詳細事項を用いる必要のないこと、例示的な実施形態は種々の異なる形態で具体化可能なこと、いずれも本開示の範囲を制限するものでないことが明らかである。いくつかの例示的な実施形態では、周知の工程、周知の装置構造、及び周知の技術については詳細な説明を省略してある。ここに使用する用語は、特定の例示的実施形態を説明するためだけのものであり、限定することを意図したものではない。ここに使用している単数形は、明確に指示されていない限り複数形を含むものである。備える、備えている、含む及び有するの語は、包括的なものであり、したがって、特徴、整数integers、工程、操作、要素及び/又は部材の存在を表明するものであり、他の1又は複数の特徴、整数integers、工程、操作、要素及び/又は部材の存在又は追加を除外するものではない。ここに記載の方法の工程、プロセス、及び操作は、実行の順序として特別指摘した場合を除き、検討又は説明した特定の順で必ず実行する必要があるとして構成したものではなく、更に、追加の又は他の工程も採用可能なことは明らかである。要素element又は層layerが他の要素又は層に対して、上にon、係合、接続、又は連結の関係で言及されている場合は、他の要素又は層に直接的に、上に、係合、接続、又は連結された状態、又は、要素又は層が介在されている状態であり得ることをいう。逆に、要素又は層が他の要素又は層に対して、直接上に、直接係合、直接接続、又は直接連結の関係で言及されている場合は、介在する要素又は層がない状態であり得る。要素間の関係を説明するために使用されている他の語は、同様な態様例えばの間と直接の間、隣接と直接隣接等で理解されるべきものである。ここで使用されている及び/又はは関連して特定された項目の1つ又は複数のうちの幾つかの部材、及び、全ての部材を含む。第1、第2、第3等の用語は種々の要素、部材、領域、層、及び/又は部分に使用されるが、要素、部材、領域、層、及び/又は部分はこれらの用語で限定されるものではない。これらの用語は、1の要素、部材、領域、層、又は部分を他の領域、層、又は部分から区別するためにのみ使用され得る。このような第1、第2及び他の数値的用語が使用されたときは、前後関係で明確に指示しない限り、順序又は配列を示唆するものではない。したがって、以下に説明する第1の要素、部材、領域、層、又は部分は、例示的実施形態の教示内容から離隔することなく、第2の要素、部材、領域、層、又は部分の用語とすることが可能である。内側、外側、下側、下方、上側、上方及び同様な空間的関係の用語は、1の要素又は特徴について、図で説明するように、他の要素又は特徴に対する関係を説明し易くするために用いられ得る。空間的関係の用語は、装置の他の配向orientations及び図に記載の配向に追加した配向を使用することもある。例えば、図の装置がひっくり返されると、他の要素又は特徴の下側又は下方として記載された要素は、他の要素又は特徴の上側に配向されることになる。したがって、下側の用語は、上側及び下側の双方の配向を含むことができる。したがって、ここに記載の他の配向90度回転され又は他に配向された及び空間的関係を示す記述は、このように解釈されるものである。図1を参照すると、流量制御弁10は、主ボディ部14と、この主ボディ部14に取外し可能に接続可能なドライブアダプタ16と、ドライブアダプタ16に接続されたステップモータsteppermotor18の形態の弁アクチュエータ又は作動装置operatorと、主ボディ14に取外し可能に接続され、ステップモータ18に対して対向して位置するエンドキャップ20とのそれぞれを有するボディ組立体12を含む。他の実施形態によると、ドライブアダプタ16は、主ボディ部14の一体部分とすることも可能である。主ボディ部14は、複数の流量制御弁10を並列構成に配置可能とする実質的に矩形形状のブロック弁として示してあるが、本開示は特定の弁ボディ構造designに制限されるものではない。1又は複数の貫通孔21を主ボディ部14に形成し、流量制御弁10の締結装着fastenermountingを可能とすることができる。ステップモータ18は、動力源図示しないから遠隔的に通電することが可能である。図2を参照すると、先に言及したように、流量制御弁10は実施的に矩形形状を有し、主ボディ部14とドライブアダプタ16とステップモータ18とのそれぞれは、流量制御弁10の全体の幅をコントロールするように、実質的に等しい幅を有することができる。主ボディ部14又はステップモータ18のような構成部材のそれぞれの高さは、必要に応じて変項することができる。図3及び4を参照すると、流量制御弁10の他の特徴は、主ボディ部14のスプール収容孔24内に摺動可能に配置されるスプール弁部材22を含む。スプール弁部材22は、ボディ組立体12の組立体長手方向軸26上を同軸状に並進運動することができる。スプール弁部材22は、第1シール溝32内に配置されたOリング又はDリング等の第1弾性シール部材30を有する第1ピストン28を含み、このシール部材は第1ピストン28と、主ボディ部14内で内側に生成された第1シリンダ壁34との間の流体シールを形成する。スプール弁22は、ステップモータ18の駆動力により、第1方向Aと反対の第2方向Bとのそれぞれに向けて摺動可能に位置決めすることができる。主ボディ部14は、更に、内部に生成された第1シリンダ壁34を有する第1ボディ端35を含む。第1ピストン28は、第1シリンダ壁34で規定された第1ボディ端35の第1ピストン孔36内に摺動可能に収容される。スプール弁部材22も、第2シール溝42内に配置された、第1弾性シール部材30と同様な第2弾性シール部材40を有する第2ピストン38を含むことができる。第2弾性シール部材40は、第2ピストン周壁44と、主ボディ部14の第2ボディ端48に生成された第2シリンダ壁46との間に流体圧境界fluidpressureboundaryを形成する。複数の実施形態によると、第1ピストン28の径Vは第2ピストン38の径Wに実質的に等しい。更に、弁座係合部材50の径Xは径V及びWと実質的に等しく、したがって、スプール収容孔24内の加圧流体pressurizedfluidからの指向性の力directionalforcesは、弁閉位置図3参照における第1ピストン28と弁座係合部材50との等しく露出する表面積をバランスさせ又は等しくかつ反対方向に作用し、弁開位置図4参照における第1,第2ピストン28,38の等しい露出面積に対してバランスさせる。したがって、本開示のスプール弁部材22及び他の弁部材は、圧力平衡されたデザインとして限定される。弁座係合部材50は、スプール弁部材22の外半径方向延長部である。図3に示すように、スプール弁部材22は、入口ポート54内の加圧流体が第1出口ポート56から分離される弁閉位置で、弁座係合部材50が主ボディ部14の弁座部材52に接触するように位置決めすることができる。複数の実施形態によると、弁座係合部材50は、弁座係合部材50上にオーバーモールドovermoldedされた弾性材料58を設けることができる。弾性材料58は、弁座部材52に接触したときに、パッキン状の流体シールglandularfluidsealを形成する。スプール弁部材22が第2方向Bに移動したとき図4に示すように、完全移動した後に、流路60が弁座係合部材50と弁座部材52の弾性材料58との間に形成され、加圧流体が入口ポート54から第1出口ポート56に流れるのを可能とする。弁座係合部材50の外周部弾性材料で規定されている及び第1,第2ピストン28,38のそれぞれは実質的に等しい径を有し、スプール弁部材22は弁閉位置又は弁開位置のいずれでも圧力バランスされている。例えば、図3に示す弁閉位置で弁座係合部材50に第1方向Aに作用する加圧流体は、第2ピストン38に第2方向Bに作用する加圧流体の力で等しくされ、したがって、スプール弁部材22に作用する軸方向の全体の力は加圧流体から実質的にゼロである。図4に示す弁開位置では、流量制御弁10の一部開から全開まで流体が流れるときに、更に圧力平衡状態が存在する。図4に示すように、流路60の開位置では、入口ポート54と出口ポート56との間に差圧が形成されるが、しかし、第1ピストン28に第1方向Aに作用する流体圧は、弁座係合部材50の左側に作用する流体圧の力と実質的に等しく、一方、第2ピストン38に第2方向Bに作用する流体圧は、スプール弁部材22を平行移動させるように作用する軸方向の力が実質的にゼロになるように、弁座係合部材50の右側に作用する流体圧の力に実質的に等しい。スプール弁部材22は、ステップモータ18の回転力により、組立体長手方向軸26に対して同軸状に平行移動される。ステップモータ18で生成された回転力を長手方向又は軸方向の力に変換するため、スプール弁部材22は更に、第2ピストンに近接し、第1ピストン28に対してスプール弁部材22の反対側端部に位置する幾何学的成形ヘッドgeometricallyshapedhead62を含む。ここに、幾何学的成形ヘッドの用語は、非円形すなわち完全な円ではない幾何学形状をいう。例えば、楕円形、又は、複数の実施形態では三角形、矩形、八角形及び同様な形状を含み得る周部に少なくとも1の平坦面を有する形状を使用することができる。複数の実施形態では、幾何学的成形ヘッド62は、実質的に矩形形状で、スプール弁部材22を矩形形状の棒状材料barstockから作成し、第1,第2ピストン28,38及び弁座係合部材50等の残りの特徴remainingfeaturesを付与するように機械加工し又は形成することが可能である。幾何学的成形ヘッド62は、この幾何学的成形ヘッド62の対応する面に係合するmate複数の空洞面cavityface66を含んでもよいヘッド収容凹部64内に摺動可能に収容される。幾何学的成形ヘッド62の非円形形状は、ステップモータ18の回転力で駆動されたときに、組立体長手方向軸26に対してスプール弁部材22の軸回転を阻止する。複数の実施形態によると、圧縮ばね等の付勢部材68を幾何学的成形ヘッド62の端面70に対向して収容することができる。付勢部材68の反対側端部はステップモータ18に当接する。付勢部材68は、スプール弁部材22に第1方向Aに付勢力を作用させ、雄ねじ付シャフト74のネジ72と、第2ピストン38に形成された雌ネジ付非貫通孔blindbore76との間のネジ間隙を排除し、これにより、スプール弁部材22はねじ72のピッチで変更可能なステップモータ18の所定の回転数により、開位置に繰返し位置させることができる。第2ヘッド収容凹部78が幾何学的成形ヘッド62の端面70とステップモータ18との間に形成される。第2ヘッド収容凹部78の容積は、スプール弁部材22が第1又は第2方向A又はBのいずれかに移動すると変化する。幾何学的成形ヘッド62の周部の平坦面の数に対応する複数のヘッド面80が空洞面66の個々の1つに当接し、スプール弁部材22の軸回転を阻止する。楕円形状を使用した場合のように、幾何学的成形ヘッド62に平坦面が存在しない場合は、ヘッド収容凹部64の形状は、幾何学的成形ヘッド62の周部形状に適合するように形成される。雄ねじ付シャフト74はステップモータ18に直接又は間接的に接続されて回転可能に駆動され、スプール弁部材22の組立体長手方向軸26に対して同軸状に整合する雌ねじ付孔76内に直接螺合されて収容される。したがって、雄ねじ付シャフト74を回転すると、弁開又は弁閉位置の間を移動するために予め定められた雄ねじ付シャフト74の完全又は部分回転量に基づいてスプール弁部材22が直接軸方向に駆動される。スプール弁部材22の軸方向位置は、雄ねじ付シャフト74と雌ねじ付孔76とのねじ間の制限されたスリップに部分的に基づいて再現可能repeatableである。付勢部材68は、更に、スプール弁部材22を付勢し、ねじ間隙及び/又は磨耗に起因する軸方向寸法の変化を軽減するmitigate。更に、スプール弁部材22の上述の圧力平衡デザインは、流量制御弁10の任意の作動位置における加圧流体によるスプール弁部材22に作用する全体の軸方向力を実質的に排除し、更に、スプール弁部材22の位置の再現性を高める。主ボディ部14は、更に、実質的に平坦で、例えば締結具fastener図示しないを使用してエンドキャップ20を取外し可能に収容するボディ端面82を含む。第1ピストン28が軸方向に平行移動したときに第1ピストン孔36内の流体をベントするため、第1ピストン孔36は端部キャップ通路84と流体連通する。端部キャップ通路84は、塵埃又は水等の汚染物質が通路24内に流入するのを防止するフィルタ86を含むことができる。これにより、空気等の流体は、吸引又は排気され、スプール弁部材22のどのような軸方向位置に対しても第1ピストン孔36内の流体圧を大気圧と等しくさせる。図5を参照すると、上述のように、幾何学的成形ヘッド62は、矩形形状を有するように形成することができる。空洞面66はそれぞれヘッド面80の1つに対応し、隙間87が幾何学的成形ヘッド62の周部の回りに設けられる。図5に示す幾何学的成形部62の形状から明らかに、組立体長手方向軸26に対する雄ねじ付シャフト74の軸回転は、幾何学的成形ヘッド62又はスプール弁部材22と同様には回転しない。隙間87は、更に、スプール弁部材22が平行移動したときに幾何学的成形ヘッド62の周部の回りに流体を移送することができ、これにより流体圧が、それぞれ図3及び4を参照して説明されるヘッド収容凹部64及び第2ヘッド収容凹部78内と実質的に等しくなるように、サイズを定めることができる。図5に示し、図3及び4を再度参照する構造では、雄ねじ付シャフト74に右ねじを使用することで、回転方向Yへのステップモータ18による雄ねじ付シャフト74の時計方向に向く第1方向の回転で、スプール弁部材22が図5で見て見者側で、図3に示す第1方向Aに引っ張られる。回転方向Zへのステップモータ18による反対側に向く反時計方向の第2方向の雄ねじ付シャフト74の回転で、スプール弁部材22は、図5で見て見者から離隔する側で、図4に示す第2方向Bに押圧される。雄ねじ付シャフト74及び雌ねじ付孔76に左ねじを使用すると、スプールが反対方向に移動されることは明らかである。図6及び再度図3及び4を参照すると、他の実施形態による、本開示のドライブ特性drivefeaturesを使用する流量制御弁88は、ポペット弁を作動するために使用することもできる。流量制御弁88は、ドライブアダプタ16と同様な取外し可能に接続されたドライブアダプタ92を有する弁ボディ90を含むことができる。ステップモータ18’は、これから軸方向に延びる雄ねじ付シャフト74’を有するドライブアダプタ92に同様に接続される。ポペット弁部材94は弁ボディ90の長手方向軸96上に摺動可能に配置されている。ポペット弁部材94は、摺動可能に配置され、かつ弁ボディ90の第1ピストン孔100に密封状態に収容された第1ピストン98を含む。ポペット弁部材94は、例えばポペット弁部材94にオーバーモールドすなわち、重ねて成形されかつ外方に延びるゴム又は高分子弾性材料等の材料を有するオーバーモールド成形弁座係合部材102を含むことができる。オーバーモールド成形overmolded弁座係合部材102は、図示の弁閉位置で弁部材シートリングseatring104に密封状に接触する。弁閉位置では、入口ポート106は出口ポート108から分離され、流量制御弁88を介して流体が流れるのを阻止する。図6及び7を参照すると、ポペット弁部材94は、更に、ステップモータ18’の雄ねじ付シャフト74’を螺合可能に収容する雌ねじ付孔110を含む。したがって、ステップモータ18’を回転すると、図3及び4を参照して上記説明したステップモータ18の作動と同様に作動し、弁閉位置に達するまで閉弁方向Cに向け、ポペット弁部材94を軸方向に移動する。更に、ポペット弁部材94は、第1ピストン98の径と実質的に等しい径の第2ピストン112を含む。図6に示す閉弁位置では、弁座係合部材102に閉方向Cに向けて作用する加圧流体が、第1ピストン98に開弁方向Dに向けて作用する加圧流体の力で均等化され、これにより、加圧流体から、ポペット弁部材94に作用する全軸方向の力は実質的にゼロである。第2ピストン112は、弁ボディ90の第2シリンダ壁114に対して摺動可能に配置される。幾何学的成形ヘッド116は、第1ピストン98に対して反対側に位置するポペット弁部材94の端部に作成される。幾何学的成形ヘッド116は、この幾何学的成形ヘッド116の幾何学的に成形された平坦面又は非平坦形状に対応する複数の空洞面120を含むことができるヘッド収容凹部118内に摺動可能に収容される。したがって、複数の空洞面120に接触する幾何学的ヘッド116は、ポペット弁部材94の軸方向平行移動中、ポペット弁部材94の回転を阻止する。図3及び4の実施形態に対する上述と同じ理由で、幾何学的成形ヘッド116は、楕円形状でもよく、又は、ポペット弁部材94の軸回転を阻止するためにその周部に単一又は複数の平坦面を含んでもよい。特に図7を参照すると、図6に示す閉位置への回転に比して反対の軸回転方向にステップモータ18’が回転されたときに、流体制御弁88が開弁位置となる。ポペット弁部材94が弁開方向Dに向けて軸方向移動し、オーバーモールド成形弁座係合部材102が弁部材シートリング104から移動すると、入口ポート106から出口ポート108への流れを可能とする流路122が形成される。ポペット弁部材94の第1,第2ピストン98,112は実質的に等しい径を有するため、ポペット弁部材94に作用する圧力は、流量制御弁88が部分的に開いた状態から完全に開いた状態にあるときに、以下のように、バランスされる。弁開位置では、流路122が開き、入口ポート106と出口ポート108との間に差圧が生じるが、しかし、第1ピストン98に開方向Dに向けて作用する流体圧は、弁座係合部材102の下方に向く側に作用する流体圧の力閉方向Cに向くと実施的に等しく、一方、第2ピストン112の閉方向Cに向けて作用する流体圧は、スプール弁部材94に作用する軸方向の力が全体として実質的にゼロとなるように、弁座係合部材102の下方に向く側に作用する流体圧の力開方向Dに向くと実質的に等しい。この圧力バランスは、ステップモータ18’が弁閉位置に、更に、弁が閉及び/又は任意の一部開位置に配置されたときに、弁を戻すために必要とする力の量amountを減少させる。図8を参照すると、他の実施形態による流量制御弁160は、図3及び4を参照して説明した流量制御弁124を変更して追加のオーバーモールド成形弁座係合部材と弁座部材とを含む3方弁ボディ162を含み、したがって、相違する部分についてのみ以下に説明する。スプール弁部材164は、スプール収容孔166内に摺動可能に配置され、第1オーバーモールド成形弁座係合部材168と第2オーバーモールド成形弁座係合部材170とを含む。流量制御弁160の排気位置exhaustpositionでは、入口ポート172は出口ポート174及び排気ポート176に対して閉じられている。出口ポート174が排気ポート176に対して開いている。第1オーバーモールド成形弁座係合部材168は第1弁座部材178から移動し、これにより、出口ポート174と排気ポート176との間を流体連通する第1流路180が形成される。第2オーバーモールド成形弁座係合部材170は、完全排気位置で第2弁座部材182に接触する。スプール弁部材164は、ステップモータ18’’を使用して雄ねじ付シャフト76’’’を回転することにより、排気位置となるまで第1方向に向けて完全に移動される。図9及び再度図8を参照すると、第1,第2オーバーモールド成形弁座係合部材168,170がそれぞれ第1弁座部材178及び第2弁座部材182に接触するまで、第1方向Gと反対の第2方向Hに向けてスプール弁部材164を平行移動することにより、流量制御弁160の閉位置が形成される。弁閉位置では、入口ポート172、出口ポート174及び排気ポート176は互いに対して閉じられ、その間に共通の流路は形成されない。スプール弁部材164が第2方向Hに向けて平行移動されると、空気がベント孔154’に吸引され、第1ピストン孔152内の大気圧と等しくなる。図10を参照すると、スプール弁部材164を閉位置から第2方向Hに向け、第2オーバーモールと成形弁座係合部材170が第2弁座部材182に対して移動され、これにより第2流路186が形成されるまで、スプール弁部材164を更に移動することにより、開位置の流量制御弁160が形成される。第2流路186は、入口ポート172と出口ポート174との間を流体連通し、排気ポート176は、第1オーバーモールド成形弁座係合部材168と第1弁座部材178との間を流体連通し、一方、排気ポート176は、第1オーバーモールド成形弁座係合部材168と第1弁座部材178との間が接触することにより、入口ポート172と出口ポート174との双方に対して閉じられる。上述の説明と同じ理由のため、スプール弁部材164は圧力バランスされたデザインであり、したがって、スプール弁部材164に作用する流体圧力は、流量制御弁160の全ての作動位置でバランスされる。図11を参照すると、流量制御弁188は、図8-10に示す流量制御弁160から変更されており、他の弁ポート及びスプール弁座部材が追加されている。流量制御弁188は、4方弁ボディ190を含み、この4方弁ボディはこの4方弁ボディ190のスプール収容孔194内に摺動可能に配置されたスプール弁部材192を有する。このスプール弁部材192は、第1、第2、第3及び第4オーバーモールド成形弁座係合部材196,198,200及び202を含み、4方弁ボディ190は更に入口ポート204、第1出口ポート206、第1排気ポート208、第2出口ポート210、及び第2排気ポート212を含む。スプール弁部材192は長手方向軸214上に摺動可能に配置される。流量制御弁188の第1開位置では、スプール弁部材192は、雄ねじ付シャフト74’’’を回転するステップモータ18’’の作用で第1方向Gに最大限度まで摺動可能に配置される。スプール弁部材192の軸回転は、幾何学的成形ヘッド148’を回転不能に収容するドライブアダプタ92’’の幾何学的形状により阻止される。第1開位置では、入口ポート204は第1出口ポート206に対して開き、双方は第1排気ポート208に対して閉じている。第1流路216は、第3オーバーモールド成形弁座係合部材200に近接して形成され、入口ポート204から第1出口ポート206を介して流体が流れるのを可能とする。更に、流量制御弁188の第1開位置では、第2オーバーモールド成形弁座部材198の密閉状態を維持しつつ第1オーバーモールド成形196が移動することで、第1排気通路218が形成される。第1排気通路218は、第2出口ポート210と第2排気ポート212との間を流体連通し、一方、入口ポート204は第2出口ポート210と第2排気ポート212との双方に対して閉じている。図12及び再度図11を参照すると、第1,第2,第3及び第4オーバーモールド成形弁座係合部材196,198,200,202の全てが着座かつ密閉状態に配置されるまで、スプール弁部材192を第1方向Gとは反対の第2方向Hに向けて平行移動することにより、流量制御弁188の閉位置が形成される。この流量制御弁188の閉位置では、個々のポートの全てが互いに閉じられ、入口ポート204からいずれかの出口ポートへの流体の排出が阻止される。図13を参照すると、第2オーバーモールド成形弁座係合部材198及び第4オーバーモールド成形成形弁座部材202がその着座位置から移動するまで、スプール弁部材192を第2方向Hに向けて更に軸方向に平行移動することにより、流量制御弁188の第2開位置が形成される。第2オーバーモールド成形部材198に近接して形成された第2流路220は、入口ポート204と第2出口ポート210との間に流体連通を形成する。第2排気ポート212は、第2開位置で、入口ポート204と第2出口ポート210との双方に対して閉じられる。更に、第2開位置で、第2排気通路222が第4オーバーモールド成形弁座係合部材202に近接して形成される。第2排気通路222は、第1出口ポート206と第1排気ポート208との間に流体連通を形成し、一方、入口ポート204内の流体圧は、第1出口ポート206と第1排気ポート208との双方に対して閉じられる。上述と同じ理由のため、スプール弁部材192は、スプール弁部材192に作用する流体圧力が流量制御弁188の全ての作動位置でバランスされるように、圧力バランスされたデザインを形成する。図14を参照すると、流量制御弁224は、制御ライン230を介して、アナログ又はデジタル信号等の作動コマンド信号、又は、電圧若しくは電流を受取る電子インターフェース装置228を有する電子インターフェースハウジング226を含む。制御ライン230は、電子インターフェースハウジング226を大気から密閉し、流量制御弁224の電力源に対する接続部を形成する電気コネクタ232を介して接続される。電子インターフェース装置228が受けたコマンド信号は、必要に応じてステップモータ18’’’の作動に必要な出力に変換され、第2制御ライン234を介してステップモータ18’’’に伝達されてステップモータ18’’’を回転させ、これにより、スプール弁部材22’を軸方向に平行移動させる。流量制御弁224のドライブアダプタ236は、主ボディ部238と一体の部分である。雄ねじ付延長部240は、スプール弁部材22’の幾何学的成形ヘッド242から離隔して延びる。延長部240は、幾何学的成形部の一体部分、又は、幾何学的成形ヘッド242にねじ連結される雄ねじ付締結具であってもよい。延長部240は、雌ねじ付孔でもよい、ステップモータ18’’’の孔244内に螺合して収容される。ステップモータ18’’’の回転は、延長部240に螺合するモータ部を含む孔244を同速度で回転corotateし、スプール弁部材22’を軸方向に平行移動する。本開示の流量制御弁のそれぞれは、ステップモータの漸進的回転incrementalrotationにより可変流量制御を提供する。ステップモータの漸進的回転は弁部材の軸方向平行移動に変換される。更に、弁部材が開位置に向けて移動すると、弁のポートを横断する圧力降下が形成される。弁部材が摺動可能に収容される孔は、弁部材と弁ボディとの接触点において等しい径であるため、各ポート部は弁部材に作用する力をバランスさせる。本開示の流量制御弁は、幾つかの利点を提供する。全ての流量制御弁の実施形態に圧力バランスされたポペット又はスプールデザインを与えることにより、スプール又はポペットに作用する流体圧の力は、本開示のステップモータに必要とされる作動力を増大しない。したがって、ステップモータは、ポペット又はスプール弁部材の平行移動中に静止摩擦力及び摺動摩擦力を克服することのみが必要である。本開示のポペット又はスプール弁部材に設けられる幾何学的成形ヘッドは、ポペット又はスプール弁部材の回転を不能とし、ステップモータから延びかつ弁部材の雌ねじ付孔に直接螺合して収容される雄ねじ付係合シャフトにより、ステップモータの回転力をポペット又はスプール弁部材に直接的に変換されるのを可能とする。雄ねじ付シャフト及び幾何学的成形ヘッドは、弁ボディとステップモータとの間に配置されたアダプタ部材内に配置される。このデザインは、クラッチ部材、キー部材、回転防止締結具antirotationalfastener等、平行移動中にポペット又はスプール部材の回転を阻止する部材を追加することの必要性を排除する。上述の実施形態の説明は、図示及び説明の目的でなされたものであり、発明を網羅し、又は制限することを意図したものではない。所定の実施形態における個々の要素又は特徴は一般的に特定の実施形態に制限されるものではなく、必要に応じて交換可能であり、具体的に示され又は記載されていない場合であっても、選択した実施形態に使用することが可能である。同様に、多くの態様で変更してもよい。このような変更は、この発明から逸脱したものと見なされるべきではなく、このような変更の全ては、本発明の範囲に含まれるべきものである。"