"搬送路に沿って配設された複数の一次側コイルを備えた固定子と、前記搬送路に沿って移動自在に設けられ、前記一次側コイルと対向する二次側導体を備えた可動子と、を備えたリニア誘導モータと、前記搬送路上の位置決めが必要な領域に配設された少なくとも1つの前記一次側コイルに対応して設けられ、センサ付きベクトル制御を行う第1インバータと、前記搬送路上の位置決めが不要な領域に配設された少なくとも1つの前記一次側コイルに対応して設けられ、V/F制御を行う第2インバータと、前記第1インバータ及び前記第2インバータに対し速度指令を出力して前記一次側コイルへの給電を制御するコントローラと、を有することを特徴とする搬送システム。前記コントローラは、前記第1インバータ及び前記第2インバータとの間で相互に情報の送受信が可能なように接続され、前記搬送路上の位置決めが必要な領域に配設された少なくとも1つの前記一次側コイルに対応して設けられた第1センサからフィードバック位置を入力し、前記第1インバータに対し前記フィードバック位置に基づく前記速度指令を出力して位置制御を行うことを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。前記第2インバータは、前記可動子の速度と前記リニア誘導モータの最大推力を得るすべりとの相関情報を記憶した記憶部を有し、前記コントローラからの前記速度指令で最大推力を得られるすべりを前記相関情報に基づいて特定し、前記速度指令をすべりで除算することにより補正した速度指令に基づき、前記一次側コイルへの給電を行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。前記コントローラは、前記可動子の速度と前記リニア誘導モータの最大推力を得るすべりとの相関情報を記憶した記憶部を有し、前記第2インバータに出力する前記速度指令で最大推力を得られるすべりを前記相関情報に基づいて特定し、前記速度指令をすべりで除算することにより補正することを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。前記一次側コイルは、前記可動子の前記二次側導体が隣り合う前記一次側コイルの少なくともいずれか一方の1極分と対向できるように、間隔を空けて配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の搬送システム。前記第1インバータ及び前記第2インバータは、前記一次側コイルの搬送方向両端側に配設され、前記可動子の有無を検出する2つの第2センサの検出信号を直接入力し、少なくとも一方の前記第2センサが前記可動子を検出した場合には前記一次側コイルへの給電を行い、両方の前記第2センサが前記可動子を検出しない場合には前記一次側コイルへの給電を停止することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の搬送システム。搬送システムでは、位置決めを高精度に行うことにより、被搬送物を精度良く搬送したいという一般的な技術課題がある。しかしながら、上記従来技術では、一次側コイルの具体的な制御、特に位置決め制御について何らの記載もなく、高精度な位置決めを行うことができないため、上記技術課題を解決できないという問題があった。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、簡単な構成で高精度な位置決めができる搬送システムを提供することにある。上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、搬送路に沿って配設された複数の一次側コイルを備えた固定子と、前記搬送路に沿って移動自在に設けられ、前記一次側コイルと対向する二次側導体を備えた可動子と、を備えたリニア誘導モータと、前記搬送路上の位置決めが必要な領域に配設された少なくとも1つの前記一次側コイルに対応して設けられ、センサ付きベクトル制御を行う第1インバータと、前記搬送路上の位置決めが不要な領域に配設された少なくとも1つの前記一次側コイルに対応して設けられ、V/F制御を行う第2インバータと、前記第1インバータ及び前記第2インバータに対し速度指令を出力して前記一次側コイルへの給電を制御するコントローラと、を有する搬送システムが適用される。本発明のリニア誘導モータ制御システムによれば、簡単な構成で高精度な位置決めができる。以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。図1に示すように、本実施形態の搬送システム1は、リニア誘導モータを駆動源として被搬送物図示せずを搬送するための搬送システムである。この搬送システム1は、略直線状の搬送路2に沿って配設された複数の一次側コイル3を備えた固定子4と、搬送路2に沿って移動自在に設けられ、一次側コイル3と対向する二次側導体図示せずを備えた可動子5とを備えたリニア誘導モータを有している。また、搬送システム1は、搬送路2上の位置決めが必要な領域に配設された一次側コイル3に対応して設けられた第1インバータ6図1ではINV1と記載と、搬送路2上の位置決めが不要な領域に配設された一次側コイル3に対応して設けられた第2インバータ7図1ではINV2と記載と、第1インバータ6及び第2インバータ7に対し速度指令を出力して一次側コイル3への給電を制御するコントローラ8とを有している。第1インバータ6及び第2インバータ7の各々は、一次側コイル3を1台のインバータで制御するように各一次側コイル3に対し1台ずつ設けられている。これら第1インバータ6及び第2インバータ7は、コントローラ8との間及び各インバータ相互間で情報の送受信が可能なように互いに接続されている。なお、以下では適宜、各インバータ6,7と対応する一次側コイル3との組み合わせをステーション、第1インバータ6と対応する一次側コイル3との組み合わせを位置決めステーション、第2インバータ7と対応する一次側コイル3との組み合わせを速度制御ステーションと呼称する。図1に示す例では、搬送システム1は搬送路2の両端2箇所と中間1箇所の計3箇所に位置決めステーションを有しているが、これに限らず、位置決めステーションの位置及び数はシステムの仕様等に応じて変更可能である。搬送路2上の位置決めが必要な領域、すなわち位置決めステーションの一次側コイル3近傍には、光学式又は磁気式の検出器11がそれぞれ配設されている。この検出器11は、可動子5に設けられたスケール12を光学的または磁気的に検出する。この検出信号に基づき、信号処理回路図示省略がパルス信号の位置データを生成し、このパルス信号を第1インバータ6とコントローラ8に出力する。第1インバータ6は、後述する制御回路部64において、このパルス信号を差分演算等で速度に変換し、フィードバック速度として速度ループに取り込む。コントローラ8は、このパルス信号をフィードバック位置として位置ループに取り込む。なお、信号処理回路が出力する位置データの形態は、パルス信号に限らず、シリアルデータ、アナログ正弦波等種々の形態があるが、ここではパルス信号を例に説明する。また、位置決めステーション及び速度制御ステーションにおける各一次側コイル3の搬送方向両端側には、各ステーションの制御の切替えを行うための2つのフォトセンサ13がそれぞれ設けられている。各フォトセンサ13は、可動子5の有無を検出し、検出信号を対応するインバータ6,7に出力する。なお、検出器11は、特許請求の範囲に記載の第1センサの一例に相当し、フォトセンサ13は第2センサの一例に相当する。図2に示すように、第1インバータ6は、交流電源14から供給された交流電力を直流電力に変換するコンバータ部61と、変換された直流電力を平滑化する平滑回路部62と、制御回路部64からの速度指令に基づき直流電力を所定の周波数の交流電力に変換し、位置決めステーションの一次側コイル3に供給するインバータ部63と、主としてインバータ部63の制御を行う制御回路部64と、メモリ等で構成される記憶部65とを有している。制御回路部64は、検出器11からのパルス信号を差分演算等で速度に変換し、フィードバック速度として速度ループに取り込み、コントローラ8からの速度指令とフィードバック速度との偏差に基づきベクトル演算を行い、インバータ部63に、例えばPWMPulseWidthModulation信号を出力する。このようにして速度ループが組まれ、第1インバータ6はフィードバック速度を用いたセンサ付きベクトル制御を行う。一方、コントローラ8は、検出器11からのパルス信号をフィードバック位置として入力し、位置指令とフィードバック位置との偏差に基づき、第1インバータ6の制御回路部64に速度指令を出力する。このようにして位置ループが組まれ、可動子5の位置制御が実行される。図3に示すように、第2インバータ7は、交流電源14から供給された交流電力を直流電力に変換するコンバータ部71と、変換された直流電力を平滑化する平滑回路部72と、制御回路部74からの速度指令に基づき直流電力を所定の周波数の交流電力に変換し、速度制御ステーションの一次側コイル3に供給するインバータ部73と、主としてインバータ部73の制御を行う制御回路部74と、メモリ等で構成される記憶部75とを有している。制御回路部74は、出力電圧と出力周波数との比率がほぼ一定となるように演算を行い、インバータ部73に速度指令を出力する。このようにして、第2インバータ7はV/FVoltage/Frequency制御を行い、可動子5の速度を制御する。以上のような構成の搬送システム1においては、被搬送物を載せた可動子5は、図1左端の位置決めステーション上の位置から右方向に加速を開始する。可動子5は、通常、位置決めステーション上で定速となり、右に隣接する速度制御ステーションの制御に移行する。移行後は、第2インバータ7によるV/F制御により制御される。一又は複数の速度制御ステーション上を定速で移動し、右方にある位置決めステーションに差し掛かると、制御は第1インバータ6によるセンサ付きベクトル制御となり、コントローラ8内に予め設定された所定の位置に高精度に位置決めされる。次に、位置決めステーションと速度制御ステーションの制御の切替えについて説明する。第1インバータ6の制御回路部64及び第2インバータ7の制御回路部74は、いずれもフォトセンサ13からの検出信号を入力し、当該検出信号に基づいて各ステーションの制御の切替えを行う。この詳細について図4を用いて説明する。図4は、位置決めステーションから速度制御ステーションへ制御を切り替える場合を一例として示している。図4aに示すように、位置決めステーションの第1インバータ6及び速度制御ステーションの第2インバータ7には、対応する一次側コイル3の搬送方向両端側に配設された2つのフォトセンサ13がそれぞれ接続されており、各インバータ6,7にはフォトセンサ13の検出信号が直接入力される。各インバータ6,7は、可動子5が運転領域に入る前に予めコントローラ8より速度指令及び駆動方向を入力し、ベースブロック状態にて待機する。そして、2つのフォトセンサ13のうちの少なくとも一方が可動子5を検出した場合にはセンサON、各インバータ6,7は対応する一次側コイル3への給電を行い、両方のフォトセンサ13が可動子5を検出しない場合にはセンサOFF、各インバータ6,7は対応する一次側コイル3への給電を停止する。具体的には、図4aに示すように、各フォトセンサ13は一次側コイル3の端部から距離L1の位置に配設されており、フォトセンサ13,13の間隔L2は可動子5の二次側導体可動子5と等しい大きさを有するものとする。以下同様。の搬送方向長さL3より小さくなっている。距離L1は一次側コイル3の1極分の長さと略等しくなっており、フォトセンサ13が可動子5を検出した際に二次側導体が一次側コイル3の少なくとも1極分と対向できるようになっている。また図4bに示すように、各一次側コイル3は、可動子5の二次側導体が隣り合う一次側コイル3の少なくともいずれか一方の1極分と対向できるように、間隔L4を空けて配置されており、この間隔L4は、L3からL1の2倍を減じた長さよりも小さくなっている。次に、位置決めステーションから速度制御ステーションへの制御の切替えの詳細を説明する。なお、ここでは説明の便宜のため、可動子5の搬送方向図4中矢印15の方向上流側図4中左側から下流側図4中右側へ向けて順番にフォトセンサ13の符号をPS1,PS2,PS3,PS4とする。図4a及び図4cに示すように、可動子5が位置決めステーションの一次側コイル3の領域に移動してフォトセンサPS1と対向する位置に到達すると、フォトセンサPS1がONとなり、第1インバータ6は一次側コイル3への給電を開始する図4c中T1の区間。次に、可動子5がフォトセンサPS2上に到達すると、フォトセンサPS2がONとなる。このとき、上述したようにフォトセンサ13,13の間隔L2が可動子5の長さL3よりも小さいため、フォトセンサPS1,PS2の両方がONの状態となる図4c中T2の区間。そして、可動子5がフォトセンサPS1と対向しなくなると、フォトセンサPS1がOFFとなり、PS2のみがONの状態となる図4c中T3の区間。この状態の可動子5を図4a中に一点鎖線で示す。その後、図4b及び図4dに示すように、可動子5が隣の速度制御ステーションの一次側コイル3の領域に移動してフォトセンサPS3と対向する位置に到達すると、フォトセンサPS3がONとなり、第2インバータ7は一次側コイル3への給電を開始する図4d中T4の区間。このとき、上述したように一次側コイル3同士の間隔L4はL3からL1の2倍を減じた長さよりも小さくなっており、言い換えればフォトセンサPS2,PS3の間隔が可動子5の長さL3よりも小さくなっているため、フォトセンサPS2,PS3の両方がONの状態となる図4c中T5の区間。図4bに示す状態はこの状態である。これにより、可動子5がいずれのステーションの駆動領域にも位置しない状態をなくすことができる。そして、さらに可動子5が移動し可動子5がフォトセンサPS2と対向しなくなると、フォトセンサPS2がOFFとなり、第1インバータ6は一次側コイル3への給電を停止する。その後の速度制御ステーションにおける制御は上記と同様であり、可動子5がフォトセンサPS4上に到達すると、フォトセンサPS3,PS4の両方がONの状態となる図4d中T6の区間。そして、可動子5がフォトセンサPS3と対向しなくなると、フォトセンサPS3がOFFとなり、PS4のみがONの状態となる図4d中T7の区間。この状態の可動子5を図4b中に一点鎖線で示す。このようにして、位置決めステーションから速度制御ステーションへの制御の切替えが行われる。なお、図4cに示すように、区間T1,T2,T3を合わせた区間が第1インバータ6により一次側コイル3に給電される区間であり、この間に可動子5が移動する領域が位置決めステーションの駆動領域となる。速度制御ステーションにおいても同様である。次に、図5及び図6を用いて、第2インバータ7の制御回路部74によって行われる速度指令の補正について説明する。前述したように、位置決めステーションにおいては、コントローラ8及び第1インバータ6によりフィードバックを用いた位置及び速度の制御が行われるため、可動子5はコントローラ8からの速度指令に追従した速度で移動する。一方、速度制御ステーションにおいては、誘導モータに固有のすべり分だけ可動子5の実際の速度が速度指令より低下する。このため、可動子5が位置決めステーションから速度制御ステーションに移動する際に、速度変動が生じることになる。そこで本実施形態では、第2インバータ7の記憶部75に、可動子の速度に応じた最大推力を得るすべり特性図5に一例を示すを用いて生成された、可動子5の速度と最大推力を得るすべりとの相関関係を表す近似曲線図6に一例を示すが、パラメータとして記憶されている。そして、第2インバータ7の制御回路部74は、可動子5が位置決めステーションから速度制御ステーションに移動する際に、コントローラ8からの速度指令で最大推力を得られるすべりを記憶部75に記憶された上記パラメータに基づいて特定し、速度指令を特定したすべりで除算することにより、コントローラ8からの速度指令を補正し、インバータ内部の速度指令とする。制御回路部74は、この補正した速度指令をインバータ部73に出力し、一次側コイル3への給電を行う。これにより、速度制御ステーションにおける速度を増速させ、位置決めステーションと速度制御ステーションを跨って移動する際の可動子5の速度変動を最小限に抑制することができる。なお、記憶部75に記憶されたパラメータが、特許請求の範囲に記載の可動子の速度と最大推力を得るすべりとの相関情報の一例に相当する。以上説明した搬送システム1においては、搬送路2上の位置決めが不要な領域においては、第2インバータ7がコントローラ8からの速度指令に基づきV/F制御を行う。一方、搬送路2上の位置決めが必要な領域においては、第1インバータ6が検出器11からの検出信号フィードバック位置に基づくフィードバック速度を用いたセンサ付きベクトル制御を行うと共に、コントローラ8が検出器11からのフィードバック位置を入力し、当該フィードバック位置に基づく速度指令を第1インバータ6に出力して位置制御を行う。これにより、位置決めが不要な領域では可動子5の速度制御を行いつつ、位置決めが必要な領域では検出器11の分解能に応じた高精度の位置決めを行うことができる。したがって、被搬送物を精度良く搬送することができる。また本実施形態においては、搬送路2上の位置決めが必要な領域にのみ比較的高度な制御を行う第1インバータ6を設け、その他の位置決めが不要な領域には比較的低度な制御を行う第2インバータ7を設ける。これにより、第1インバータ6のみを設けて高精度な位置決めを可能とする構成に比べ、第1インバータ6の数を大幅に減少することができるので、システム構成を簡単化し、コストを低減することができる。特に、長距離の搬送を行う搬送システムの場合に有効である。また、本実施形態では特に、一次側コイル3は、可動子5の二次側導体が隣り合う一次側コイル3の少なくともいずれか一方の1極分と対向できるように、間隔L4を空けて配置されている。これにより、例えば非常停止などにより可動子5がどの一次側コイル3のフォトセンサ13とも対向しない位置で停止してしまい、可動子5が動作不能となるような事態を防止できる。また、本実施形態では特に、第1インバータ6及び第2インバータ7は、一次側コイル3の搬送方向両端側に配設された2つのフォトセンサ13の検出信号を直接入力し、少なくとも一方のフォトセンサ13が可動子5を検出した場合には一次側コイル3への給電を行い、両方のフォトセンサ13が可動子5を検出しない場合には一次側コイル3への給電を停止する。これにより、可動子5が駆動領域に存在する一次側コイル3へは確実に給電できると共に、可動子5が駆動領域にない一次側コイル3へは給電を停止するため、無駄な電力消費を防止できる。また、第1インバータ6及び第2インバータ7がフォトセンサ13の検出信号を直接取り込むため、高速で移動する可動子5に対し給電の遅れを最小限に抑制できる。また、1つの一次側コイル3に対し2つのフォトセンサ13を搬送方向両端側に設けるため、1つのみ設ける場合に比べて各ステーションの駆動領域を広くすることができ、且つ、搬送方向の一方側及び他方側のどちらからの移動に対しても同様に広い駆動領域が得られる。その結果、一次側コイル3の配置間隔を広くすることができる。また、本実施形態では特に、搬送路2上の位置決めが必要な領域に配設された検出器11が、可動子5に設けられたスケール12を検出してパルス信号を生成する。このようにスケール12を可動子5側に設けることにより、検出器11を可動子5側に設けた場合に必要となるケーブル配線や可撓性のケーブル保持部材等が不要となり、構成をさらに簡素化でき、被搬送物の長距離搬送が容易となる。なお、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。1複数の一次側コイル3に対応して1台のインバータを設ける場合前述の実施形態においては、各インバータ6,7を各一次側コイル3に対し1台ずつ設けるようにしたが、これに限らず、1台のインバータで複数の一次側コイル3に給電を行うようにしてもよい。図7に示す例では、第2インバータ7の1つが搬送路2上の位置決めが不要な領域に配設された複数この例では3つの一次側コイル3に対応して設けられている。この場合には、第2インバータ7と対応する複数の一次側コイル3との組み合わせが速度制御ステーションとなる。このような構成とすることで、前述の実施形態と同様の効果を得る上に、第2インバータ7の数が減少するのでシステム構成をさらに簡素化し、コストを低減できる効果もある。特に、長距離搬送する場合には速度制御ステーションの数が大きくなるため有効である。なお、第1インバータ6を搬送路2上の位置決めが必要な領域に配設された複数の一次側コイル3に対応させてもよい。2搬送路3の形状のバリエーション前述の実施形態においては、可動子5が直線状の搬送路2上を移動する場合を一例として説明したが、前述したように一次側コイル5は、可動子5の二次側導体が隣り合う一次側コイル3の少なくともいずれか一方の1極分と対向できる範囲であれば、間隔を空けて不連続に配置することが可能であるため、搬送路2を直線以外の種々の形状とすることが可能である。例えば図8aに示すように曲線状としてもよいし、図8bに示すように、複数の搬送路2が交差する十字型などの形状としてもよい。3その他以上では、第2インバータ7が自身の記憶部75に記憶させたパラメータに基づいて速度指令の補正を行うようにしたが、これに限らず、コントローラ8の記憶部にパラメータを記憶させておき、第2インバータ7が必要に応じてコントローラ8の記憶部からパラメータを取得して速度指令の補正を行うようにしてもよい。また、第1インバータ6の記憶部65にパラメータを記憶させておき、第2インバータ7が第1インバータ6からパラメータを取得して速度指令の補正を行うようにしてもよい。さらに、速度指令の補正を第2インバータ7が行うのではなくコントローラ8が行うようにし、当該補正した速度指令をコントローラ8から第2インバータ7に出力してもよい。また以上では、コントローラ8が検出器11からのフィードバック位置を入力して可動子5の位置制御を実行するようにしたが、第1インバータ6が検出器11からのフィードバック位置を入力し、センサ付きベクトル制御と共に位置制御も実行するようにしてもよい。また以上では、各インバータ6,7の電源として交流電源14を用いたが、直流電源を用いてもよい。この場合、各インバータ6,7のコンバータ部61,71が不要となる。また以上では、検出器11を搬送路2に、スケール12を可動子5に設けるようにしたが、被搬送物を精度良く搬送できるという主とした効果を得る上においては、反対に検出器11を可動子5に、スケール12を搬送路2に設けてもよい。また以上では、可動子5の速度センサ及び位置センサとして検出器11を用い、可動子5の有無を検出するセンサとして光学式のフォトセンサ13を用いるようにしたが、これに限らず、例えば超音波センサや静電容量センサ、磁気式センサ、電磁波センサ等の他の種類のセンサを用いてもよい。また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。その他、一々例示はしないが、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。"