"流体の流れを調節する調節弁の異常診断を行う調節弁の異常診断方法において、前記調節弁への入力信号および前記調節弁からの出力として弁開度を定期的にサンプリングするステップと、前記サンプリングされた入力信号の変化速度を求めるステップと、前記サンプリングされた弁開度の変化速度を求めるステップと、予め定められている重み関数に基づいて前記入力信号の変化速度と前記弁開度の変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるステップと、前記サンプリングされた入力信号と弁開度と前記求められた重みとに基づいて前記調節弁の異常診断を行うステップとを備えることを特徴とする調節弁の異常診断方法。請求項1に記載された調節弁の異常診断方法において、前記異常診断を行うステップは、前記サンプリングされた入力信号と弁開度と前記求められた重みと前記調節弁の正常時の静的な入出力関係とから前記調節弁の異常診断に際して使用する異常診断指標値を求めることを特徴とする調節弁の異常診断方法請求項1又は2に記載された調節弁の異常診断方法において、前記重み関数は、前記入力信号の変化速度および前記弁開度の変化速度が小さい場合に重みを大とする関数であることを特徴とする調節弁の異常診断方法。請求項1又は2に記載された調節弁の異常診断方法において、前記重み関数は、前記入力信号の変化速度および前記弁開度の変化速度の絶対値が閾値以下の範囲の重みを大とする関数であることを特徴とする調節弁の異常診断方法。請求項1~4の何れか1項に記載された調節弁の異常診断方法において、前記異常診断を行うステップは、予め定められた所定の期間を異常診断判断期間とし、前記重みが所定値以上として求められた前記入力信号および前記弁開度を有効なデータとし、前記異常診断判断期間内の前記有効なデータとされた入力信号および弁開度に基づいて、前記調節弁の異常診断に際して使用する異常診断指標値を求めることを特徴とする調節弁の異常診断方法。請求項5に記載された調節弁の異常診断方法において、前記入力信号は、前記調節弁への操作器圧力であり、前記異常診断を行うステップは、前記異常診断判断期間内の前記有効なデータとされた操作器圧力と弁開度から、予め定められた開度カテゴリ毎に操作器圧力の最大値と最小値との間の中央値を求め、この開度カテゴリ毎の操作器圧力の中央値と前記調節弁の正常時の静的な入出力関係との差異を示す値を前記異常診断指標値として求めることを特徴とする調節弁の異常診断方法。請求項5に記載された調節弁の異常診断方法において、前記入力信号は、前記調節弁への操作器圧力であり、前記異常診断を行うステップは、前記異常診断判断期間内の前記有効なデータとされた操作器圧力と弁開度から、予め定められた開度カテゴリ毎に操作器圧力の最大値と最小値との差を求め、この開度カテゴリ毎の操作器圧力の最大値と最小値との差を示す値を前記異常診断指標値として求めることを特徴とする調節弁の異常診断方法。流体の流れを調節する調節弁の異常診断を行う調節弁の異常診断装置において、前記調節弁への入力信号および前記調節弁からの出力として弁開度を定期的にサンプリングする手段と、前記サンプリングされた入力信号の変化速度を求める手段と、前記サンプリングされた弁開度の変化速度を求める手段と、予め定められている重み関数に基づいて前記入力信号の変化速度と前記弁開度の変化速度との組み合わせに応じた重みを求める手段と、前記サンプリングされた入力信号と弁開度と前記求められた重みとに基づいて前記調節弁の異常診断を行う手段とを備えることを特徴とする調節弁の異常診断装置。請求項8に記載された調節弁の異常診断方法において、前記異常診断を行う手段は、前記サンプリングされた入力信号と弁開度と前記求められた重みと前記調節弁の正常時の静的な入出力関係とから前記調節弁の異常診断に際して使用する異常診断指標値を求めることを特徴とする調節弁の異常診断装置。請求項8又は9に記載された調節弁の異常診断装置において、前記重み関数は、前記入力信号の変化速度および前記弁開度の変化速度が小さい場合に重みを大とする関数であることを特徴とする調節弁の異常診断装置。請求項8又は9に記載された調節弁の異常診断装置において、前記重み関数は、前記入力信号の変化速度および前記弁開度の変化速度の絶対値が閾値以下の範囲の重みを大とする関数であることを特徴とする調節弁の異常診断装置。請求項8~11の何れか1項に記載された調節弁の異常診断装置において、前記異常診断を行う手段は、予め定められた所定の期間を異常診断判断期間とし、前記重みが所定値以上として求められた前記入力信号および前記弁開度を有効なデータとし、前記異常診断判断期間内の前記有効なデータとされた入力信号および弁開度に基づいて、前記調節弁の異常診断に際して使用する異常診断指標値を求めることを特徴とする調節弁の異常診断装置。請求項12に記載された調節弁の異常診断装置において、前記入力信号は、前記調節弁への操作器圧力であり、前記異常診断を行う手段は、前記異常診断判断期間内の前記有効なデータとされた操作器圧力と弁開度から、予め定められた開度カテゴリ毎に操作器圧力の最大値と最小値との間の中央値を求め、この開度カテゴリ毎の操作器圧力の中央値と前記調節弁の正常時の静的な入出力関係との差異を示す値を前記異常診断指標値として求めることを特徴とする調節弁の異常診断装置。請求項12に記載された調節弁の異常診断装置において、前記入力信号は、前記調節弁への操作器圧力であり、前記異常診断を行う手段は、前記異常診断判断期間内の前記有効なデータとされた操作器圧力と弁開度から、予め定められた開度カテゴリ毎に操作器圧力の最大値と最小値との差を求め、この開度カテゴリ毎の操作器圧力の最大値と最小値との差を示す値を前記異常診断指標値として求めることを特徴とする調節弁の異常診断装置。しかしながら、上述したような調節弁の異常診断方法では、プロセス運転中、そのプロセス運転中のデータを利用して調節弁の異常診断を行おうとした場合、調節弁の異常をうまく診断することができない場合がある。例えば、図25に示した調節弁の異常流体反力大の場合を考える。この場合、プロセス運転中、調節弁を速く動かすと、遅れのせいで、その入出力関係が正常時の静的な入出力関係を示す特性I静的モデルから大きく外れてしまう図27参照。このため、調節弁の異常と誤診断してしまうことがある。また、図26の調節弁の異常摩擦力大を考える。この場合、特許文献2や特許文献3で示された技術では、開度Xと操作器圧Poのどちらか、あるいは両方が速く動いているときのデータも利用する。そのようなデータが増えると、実際には摩擦力は変化していなくても、算出されるヒステリシスの幅Wが大きくなってしまう図28参照。このため、調節弁の異常と誤診断してしまうことがある。なお、調節弁の遅れを含んだ動的なモデルを作成し、この作成した動的なモデルに基づいて異常診断を行うことが考えられる。しかし、この方法では、運動方程式を作成するなど例えば、特許文献4参照、精度の高い動的なモデルの作成に過大な労力を要し、運用時の計算量も多くなって、簡易に異常診断を行うことができない。本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、プロセス運転中、簡易にかつ正確に、調節弁の異常診断を行うことが可能なポジショナの異常診断方法および装置を提供することにある。このような目的を達成するために本発明は、流体の流れを調節する調節弁の異常診断を行う調節弁の異常診断方法において、調節弁への入力信号および調節弁からの出力として弁開度を定期的にサンプリングするステップと、サンプリングされた入力信号の変化速度を求めるステップと、サンプリングされた弁開度の変化速度を求めるステップと、予め定められている重み関数に基づいて入力信号の変化速度と弁開度の変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるステップと、サンプリングされた入力信号と弁開度と求められた重みとに基づいて調節弁の異常診断を行うステップとを備えることを特徴とする。例えば、本発明において、調節弁への入力信号を操作器圧とした場合、調節弁への入力信号として操作器圧力が定期的にサンプリングされ、調節弁からの出力として弁開度が定期的にサンプリングされ、サンプリングされた操作器圧の変化速度と、サンプリングされた弁開度の変化速度とが求められる。そして、予め定められている重み関数に基づいて、操作器圧の変化速度と弁開度の変化速度との組み合わせに応じた重みが求められ、サンプリングされた操作器圧と弁開度と求められた重みとに基づいて調節弁の異常診断が行われる。例えば、本発明において、操作器圧の変化速度と弁開度の変化速度のどちらも小さい場合にのみ重みを1とし、他は重みを0とすると、変化速度の小さい操作器圧と弁開度とを用いて調節弁の異常診断が行われるものとなる。このようにすると、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性から大きく外れるデータを除去したり、正常時のヒステリシスの幅から大きく外れるデータを除去したりして、調節弁の異常診断を行うようにすることが可能となる。本発明では、予め定められている重み関数に基づいて入力信号の変化速度と弁開度の変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるが、この重みは入力信号の変化速度に応じた重み成分と弁開度の変化速度に応じた重み成分とに分けた重み関数としてもよいし、入力信号の変化速度に応じた重み成分と弁開度の変化速度に応じた重み成分とを合成した重み関数としてもよい。また、その重みは必ずしも0,1の2値でなくてもよく、変化速度が小さくなるほど大きくなるような重みであっても構わない。また、本発明において、調節弁の概念にはポジショナを組み合わせたシステムも含まれる。すなわち、ポジショナと調節弁とを組み合わせたシステム全体を1つの調節弁とみなすこともできる。この場合、ポジショナへの入力信号である開度設定信号が調節弁への入力信号に相当するものとなる。本発明によれば、調節弁への入力信号および調節弁からの出力として弁開度を定期的にサンプリングし、サンプリングされた入力信号の変化速度と、サンプリングされた弁開度の変化速度とを求め、予め定められている重み関数に基づいて入力信号の変化速度と弁開度の変化速度との組み合わせに応じた重みを求め、サンプリングされた入力信号と弁開度と求められた重みとに基づいて調節弁の異常診断を行うようにしたので、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性から大きく外れるデータを除去したり、正常時のヒステリシスの幅から大きく外れるデータを除去したりして、簡易にかつ正確に、調節弁の異常診断を行うことが可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。ここでは、先ず、実施の形態1として、調節弁の入出力信号操作器圧力Po,開度Xから流体反力を異常診断指標値として求めて異常診断を行う例を説明し、次に、実施の形態2として、調節弁の入出力信号操作器圧力Po,開度Xからヒステリシスの幅を異常診断指標値として求めて異常診断を行う例を説明する。実施の形態1図1に流体反力を異常診断指標値として調節弁200の異常診断を行う異常診断装置300の要部の構成を示す。この異常診断装置300は、CPU4と、ROMやRAMなどの記憶部5と、インタフェース6および7とを備えている。なお、この異常診断装置300は、ポジショナ100や調節弁200の内部に設けてもよいし、ポジショナ100や調節弁200の外部に設けるようにしてもよい。図1はポジショナ100や調節弁200の外部に設けた例を示している。CPU4には、インタフェース6を介して調節弁200への入力信号である操作器圧Poが分岐して入力され、インタフェース7を介して調節弁200からの出力である開度Xが分岐して入力される。また、CPU4は、記憶部5に格納されているプログラムPGに従って動作する。記憶部5には、上述したプログラムPGの他、調節弁200の正常時の静的な入出力関係操作器圧Poと開度Xとの関係無負荷時を示す線形近似式F1、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G11,G12が格納されている。線形近似式F1この実施の形態1において、調節弁200の正常時の静的な入出力関係を示す線形近似式F1は、調節弁200の設計仕様により求められている。この例では、スプリングレンジ80~240kPaで開度0~100とした場合の線形近似式F1をX=a1×Pob1として定めa1=0.625,b1=-50、記憶部5に格納している。なお、調節弁200の設計仕様がない場合等には、メンテナンス直後等の正常状態において、例えば開度設定信号Iinを25、50、75の状態で一定時間静止させて、操作器圧Poと開度Xの平均値をとり図2参照、3点から最小二乗法で求めるなどすればよい。この場合、静止させるのは3点でなくともよい。また、線形近似ではなく、非線形近似多項式近似やサポートベクターマシンなどの非線形回帰式であってもよい。重み関数G11,G12この実施の形態1において、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G11,G12は、操作器圧Poの変化速度から第1の重み成分wPoを得るための重み関数としてG11が、開度Xの変化速度から第2の重み成分wXを得るための重み関数としてG12が定められている。この重み関数G11,G12より得られる重み成分wPo,wXから、後述するように、w1=wPo×wXとして、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みw1を求める。図3aに重み関数G11の一例を示す。この実施の形態1では、図3aに示されるように、操作器圧PokPaの変化速度をvPokPa/secとし、この変化速度vPoの絶対値が閾値Poth以下の範囲のwPoを1とし、それ以外は0とする。図3bに重み関数G12の一例を示す。この実施の形態1では、図3bに示されるように、開度Xの変化速度をvX/secとし、この変化速度vXの絶対値が閾値Xth以下の範囲のwXを1とし、それ以外は0とする。ここで、閾値Poth,Xthは、操作器圧Poの変化速度vPoの許容値をPothとし、操作器圧PoをPothまで上昇させた時の遅れて生じる開度Xの変化速度vXをXthとして定めている。なお、操作器圧Poの変化速度vPoの許容値Pothは、遅れによって調節弁の異常と誤判断されてしまう虞のない変化速度vPoの許容値を示している。この許容値Pothは実験を繰り返すことによって求められている。プロセス運転中の異常診断プロセス運転中、CPU4は、定期的に、調節弁200への操作器圧Poおよび調節弁200からの開度Xを取り込んで、調節弁200の異常診断を行う。図4にCPU4が行う異常診断処理のメインのフローチャートを示す。CPU4は、操作器圧Pokおよび開度Xkを取り込むと、その取り込んだ操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度とを求め、その求めた操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みw1kを求めるステップS101。図5にステップS101で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、今回のサンプリング周期k番目のサンプリング周期で、操作器圧Pokおよび開度Xkを取り込むとステップS201,S202、今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度をvPokとして求めるステップS203。また、今回の開度Xkと前回の開度Xk-1とから開度Xkの変化速度をvXkとして求めるステップS204。この場合、サンプリング周期をTsecとすると、vPokkPa/secは下記1式によって計算でき、vXk/secは下記2式によって計算できる。vPok=Pok-Pok-1/TvXk=Xk-Xk-1/T次に、CPU4は、操作器圧Pokの変化速度vPokから、記憶部5に格納されている重み関数G11図3aに従って、その変化速度vPokに応じた重み成分wPokを求めるステップS205。この場合、変化速度vPokの絶対値が閾値Poth以下であれば、wPok=1とし、変化速度vPokの絶対値が閾値Pothを超えていれば、wPok=0とする。また、開度Xkの変化速度vXkから、記憶部5に格納されている重み関数G12図3bに従って、その変化速度vXkに応じた重み成分wXkを求めるステップS206。この場合、変化速度vXkの絶対値が閾値Xth以下であれば、wXk=1とし、変化速度vXkの絶対値が閾値Xthを超えていれば、wXk=0とする。そして、CPU4は、ステップS205で求めた重み成分wPokとステップS206で求めた重み成分wXkとから、w1k=wPok×wXkとして、操作器圧Pokの変化速度vPokと開度Xkの変化速度vXkとの組み合わせに応じた重みw1kを求めるステップS207。この場合、w1kをw1k=wPok×wXkとして求めることから、下記の条件式を満たす場合にのみ、重みw1kが1となり、それ以外では重みw1kが0となる。If|vPok|≦PothAND|vXk|≦Xth3すなわち、操作器圧Pokの変化速度vPokの絶対値がPoth以下で、かつ開度Xkの変化速度vXkの絶対値がXth以下である場合にのみ、重みw1kが1となり、それ以外では重みw1kが0となる。w1k=0の場合次に、CPU4は、重みw1kが1であるか否かをチェックしステップS102図4、重みw1kが1でなければステップS102のNO、kをインクリメントしてステップS105、予め定められている算出単位期間異常診断判断期間にまだ到達していないことを確認のうえステップS106のNO、ステップS101に戻る。なお、この例では、ステップS106での異常診断判断期間を1日としている。w1k=1の場合重みw1kが1であればステップS102のYES、CPU4は、開度Xkが属するカテゴリiを定めるステップS103。図6にステップS103で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、先ず、開度XkがXk≧100であるか否かをチェックするステップS301。ここで、開度Xkが100以上であればステップS301のYES、カテゴリiをi=20とするステップS302。開度Xkが100以上でなければステップS301のNO、カテゴリiをi=Xk/51とするステップS303。但し、i=Xk/51の算出値において、小数点以下は切り捨てる。これにより、開度Xkが0~100の値を取ると仮定すると、0~100が5の開度幅で20のカテゴリに分けられる。次に、CPU4は、開度Xkが属するカテゴリiにおいて、操作器圧Poの最大値と最小値を更新するステップS104図4。図7にステップS104で行われる処理のサブルーチンを示す。なお、このサブルーチンにおいて、Maxpiはカテゴリi内の操作器圧Poの最大値、Minpiはカテゴリi内の操作器圧Poの最小値を示す。MaxpiおよびMinpiの初期値については後述する。CPU4は、先ず、操作器圧PokがPok>Maxpiか否かをチェックするステップS401。ここで、PokがMaxpiよりも大きければステップS401のYES、Pokを新たなMaxpiとするステップS403。PokがMaxpi以下であればステップS401のNO、Pok<Minpiか否かをチェックするステップS402。ここで、PokがMinpiよりも小さければステップS402のYES、Pokを新たなMinpiとするステップS404。PokがMaxpi以下でかつMinpi以上であればステップS402のNO、MaxpiおよびMinpiの更新は行わない。そして、CPU4は、このMaxpiおよびMinpiの更新処理後、kをインクリメントしてステップS105図4、異常診断判断期間にまだ到達していないことを確認のうえステップS106のNO、ステップS101に戻る。このステップS101~S106の繰り返しによって、重みw1kが0の時の操作器圧Pokおよび開度Xkが除外され、重みw1kが1の時の操作器圧Pokおよび開度Xkのみが抽出され図10参照、この抽出されたデータを有効なデータ抽出対象データとして、カテゴリi毎に、そのカテゴリi内の操作器圧Poの最大値Maxpiおよび最小値Minpiが求められるものとなる。異常診断判断期間に達した場合CPU4は、異常診断判断期間に達するとステップS106のYES、すなわちステップS105でのkのインクリメント値が異常診断判断期間に到達したことを示すと、カテゴリi毎に流体反力を異常診断指標値として求めるステップS107。図8にステップS107で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、先ず、i=1とするステップS501。そして、Fqiをi=1番目のカテゴリの流体反力とし、そのカテゴリiにおける操作器圧Poの最大値Maxpiおよび最小値Minpiを下記の4式に代入して、i=1番目のカテゴリの流体反力Fqiを算出するステップS502。但し、Xi=2.5i-1×5。Fqi=Xi-b1/a1-MaxpiMinpi/24上記4式は、記憶部5に格納されている線形近似式F1で示される調節弁200の正常時の静的な入出力関係と、カテゴリiにおける収集された入出力関係を示すデータ代表値との間のPo軸での差異を示している。すなわち、カテゴリiにおける操作器圧Poの最大値Maxpiと最小値Minpiとの間の中央値MaxpiMinpi/2をカテゴリi内の操作器圧Poの代表値とし、カテゴリiの開度範囲の中央値Xiをカテゴリi内の開度Xの代表値とし、この代表値と正常時のデータとの間のPo軸での差異を示している図11参照。この差異をカテゴリiの流体反力Fqiとして算出する。なお、Fqiは圧力kPaであるが、操作器ダイアフラム面積m2×103を乗ずることで、単位を圧力kPaから力Nに変換できる。CPU4は、i=1番目のカテゴリの流体反力Fqiを算出した後、i=20となるまでステップS503のYES、iをインクリメントしながらステップS504、ステップS501~S504の処理動作を繰り返す。これにより、全てのカテゴリiについて、そのカテゴリiの流体反力Fqiが算出される図12参照。そして、CPU4は、このカテゴリi毎の流体反力Fqiを算出した後、この求めたカテゴリi毎の流体反力Fqiを異常診断指標値とし、その流体反力Fqiと予め定められている閾値とを比較しステップS108図4、1つでもその流体反力Fqiが閾値を超えていればステップS108のYES、異常報知を行うステップS109。CPU4は、ステップS109での異常報知後、あるいはステップS108でのNOに応じて、全てのカテゴリiの操作器圧Poの最大値Maxpiと最小値Minpiを初期値にリセットしステップS110、ステップS101の処理へと戻り、同様の処理動作を繰り返す。図9にステップS110で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、先ず、i=1とするステップS601。そして、Maxpi=-INF、Minpi=INFとする。なお、INFは操作器圧Poが通常取り得る範囲を超える非常に大きな値正の値とする。これにより、Minpiは操作器圧Poが通常取り得る範囲を超える正の値初期値とされ、MaxpiはMinpiとは逆の負の値初期値とされる。CPU4は、i=1番目のカテゴリのMaxpiおよび最小値Minpiを初期値とした後、i=20となるまでステップS603のYES、iをインクリメントしながらステップS604、ステップS601~S604の処理動作を繰り返す。これにより、全てのカテゴリiについて、そのカテゴリiのMaxpiおよび最小値Minpiが初期値とされる。ステップS109において、全てのカテゴリiについて、そのカテゴリiのMaxpiを-INF負の値とし、最小値MinpiをINF正の値とすることによって、ステップS101への処理へと戻り、ステップS104においてMaxpiおよび最小値Minpiの更新処理が行われる場合に、操作器圧Pokにどのような値が来たとしてもMaxpi,MinpiがPokに更新されるものとなる。なお、異常診断判断期間に達した時点で、i番目のカテゴリのMaxpi,Minpiが一度も更新されていなかった場合、すなわち初期化時の値が残っていた場合には、ステップS107での流体反力の計算は行わず、i番目のカテゴリの流体反力は算出不能とみなして閾値判定を行わないようにする。このようにして、この実施の形態1では、プロセス運転中、正常時の静的な入出力関係を示す特性Iから大きく外れるデータを除外するようにして、簡易な静的モデルを用いて、正確に、調節弁200の異常診断が行われるものとなる。なお、この実施の形態1では、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G11,G12として、図3a,bに示すような矩形状の重み関数を用いたが、図13a,bに示すような三角形状の重み関数を用いるようにしてもよい。図13aに示した重み関数G11’では、vPoが0の場合のwPoを1とし、vPoの絶対値が閾値Poth以下の範囲のwPoをvPo=0に向かって徐々に大きくし、それ以外のwPoを0としている。図13bに示した重み関数G12’では、vXが0の場合のwXを1とし、vXの絶対値が閾値Xth以下の範囲のwXをvX=0に向かって徐々に大きくし、それ以外のwXを0としている。また、例えば、図13aに示した重み関数G11’において、vPoの正方向および負方向のさらに離れた位置から徐々にvPo=0に向かってwPoを大きくしたり、図13bに示した重み関数G12’において、vXの正方向および負方向のさらに離れた位置から徐々にvX=0に向かってwXを大きくしたりするようにしてもよい。また、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数は、必ずしも重み関数G11とG12とに分けなくてもよく、G11とG12とを合成した1つの重み関数3次元の関数としてもよい。三角形状の重み関数G11’とG12’についても同様であり、G11’とG12’とを合成した1つの重み関数3次元の関数としてもよい。この実施の形態1の異常診断装置300において、調節弁200の異常診断はプログラムPGに従うCPU4の処理動作として行われるが、このCPU4での処理動作を行う機能をブロック化して表した場合、CPU4は、調節弁200への操作器圧Poを定期的にサンプリングする操作器圧サンプリング部411と、調節弁200からの開度Xを定期的にサンプリングする開度サンプリング部421と、操作器圧サンプリング部411によってサンプリングされた今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度vPokを求める操作器圧変化速度算出部431と、開度サンプリング部421によってサンプリングされた今回の開度Xkと前回の開度Xk-1とから開度Xkの変化速度vXkを求める開度変化速度算出部441と、記憶部5に格納されている重み関数G11,G12に基づいて操作器圧Pokの変化速度vPokと開度Xkの変化速度vXkとの組み合わせに応じた重みw1kを求める重み算出部451と、操作器圧サンプリング部411によってサンプリングされた操作器圧Pokと開度サンプリング部421によってサンプリングされた開度Xkと重み算出部451で求められた重みw1kと記憶部5に格納されている線形近似式F1とから異常診断判断期間中の調節弁200のカテゴリi毎の異常診断指標値Fqiを求める異常診断指標値算出部461とで表される。なお、この実施の形態1では、今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度vPokを求め、今回の開度Xkと前回の開度Xk-1とから開度Xkの変化速度vXkを求めるようにしたが、過去の一定時間の信号を用いて最小二乗法で線形近似計算を行い、近似式の傾きを変化速度とすることも可能である。実施の形態2図14にヒステリシスの幅を異常診断指標値として調節弁200の異常診断を行う異常診断装置400の要部の構成を示す。この異常診断装置400も、実施の形態1と同様、CPU4と、ROMやRAMなどの記憶部5と、インタフェース6および7とを備えている。なお、この異常診断装置400についても、ポジショナ100や調節弁200の内部に設けてもよいし、ポジショナ100や調節弁200の外部に設けるようにしてもよい。図14はポジショナ100や調節弁200の外部に設けた例を示している。CPU4には、インタフェース6を介して調節弁200への入力信号である操作器圧Poが分岐して入力され、インタフェース7を介して調節弁200からの出力である開度Xが分岐して入力される。また、CPU4は、記憶部5に格納されているプログラムPGに従って動作する。記憶部5には、上述したプログラムPGの他、調節弁200の正常時の入出力関係を示す特性操作器圧Poと開度Xとのヒステリシス特性におけるヒステリシスの幅W1、操作器圧Poの変化速度と開度Xの変化速度との組み合わせに応じた重みを求めるための重み関数G21,G22が格納されている。ヒステリシスの幅W1この実施の形態2において、調節弁200の正常時のヒステリシスの幅W1は、調節弁200の設計仕様により求められ、記憶部5に格納されている。なお、調節弁200の設計仕様がない場合には、メンテナンス直後等の正常状態において、図15aに示すように、ポジショナ100に全開度領域で低速ランプ入力を往復で与え、図15bに示すように、操作器圧Poと開度Xのデータを取得し、その結果から正常時のヒステリシスの幅W1を求めるようにしてもよい。重み関数G21,G22この実施の形態において、重み関数G21,G22は、図16a,bに示すように、実施の形態1で示した重み関数G11,G12図3a,bと同じものを使用するので、ここでの説明は省略する。プロセス運転中の異常診断プロセス運転中、CPU4は、定期的に、調節弁200への操作器圧Poおよび調節弁200からの開度Xを取り込んで、調節弁200の異常診断を行う。図17にCPU4が行う異常診断処理のメインのフローチャートを示す。このフローチャートにおいて、ステップS111~S116の処理は、実施の形態1で説明したステップS101~S106図4の処理と同じなので、省略する。異常診断判断期間に達した場合CPU4は、異常診断判断期間に達するとステップS116のYES、カテゴリi毎にヒステリシスの幅を異常診断指標値として求めるステップS117。図18にステップS117で行われる処理のサブルーチンを示す。CPU4は、先ず、i=1とするステップS511。そして、Ftiをi=1番目のカテゴリのヒステリシスの幅とし、そのカテゴリiにおける操作器圧Poの最大値Maxpiおよび最小値Minpiを下記の5式に代入して、i=1番目のカテゴリのヒステリシスの幅Ftiを算出するステップS512、図19参照。Fti=Maxpi-Minpi5CPU4は、i=1番目のカテゴリのヒステリシスの幅Ftiを算出した後、i=20となるまでステップS513のYES、iをインクリメントしながらステップS514、ステップS511~S514の処理動作を繰り返す。これにより、全てのカテゴリiについて、そのカテゴリiのヒステリシスの幅Ftiが算出される図20参照。そして、CPU4は、このカテゴリi毎のヒステリシスの幅Ftiを算出した後、記憶部5に格納されている正常時のヒステリシスの幅W1を読み出し、このヒステリシスの幅W1に所定値αを加算した値を閾値とし、この閾値とカテゴリi毎のヒステリシスの幅Ftiとを比較しステップS118図17、1つでもそのヒステリシスの幅Ftiが閾値を超えていればステップS118のYES、異常報知を行うステップS119。CPU4は、ステップS119での異常報知後、あるいはステップS118でのNOに応じて、全てのカテゴリiの操作器圧Poの最大値Maxpiと最小値Minpiを初期値にリセットしステップS120、ステップS101の処理へと戻り、同様の処理動作を繰り返す。ステップS120での初期値へのリセットは、実施の形態1におけるステップS110図4での処理動作と同じであるので、ここでの説明は省略する。このようにして、この実施の形態2では、プロセス運転中、正常時のヒステリシスの幅から大きく外れるデータを除去するようにして、ヒステリシスの幅を用いて、正確に、調節弁200の異常診断が行われるものとなる。なお、実施の形態1に示した通り、運転中に、弁軸が流体反力を受けることで、操作器圧Poと開度Xとの関係は変化する。しかし、ヒステリシスの幅Wは摩擦力に依存しており、図22に示すように、流体反力によって大きく変わることはない。そのため、流体圧力の影響下でも、実施の形態2の有効性は失われない。この実施の形態2の異常診断装置400において、調節弁200の異常診断はプログラムPGに従うCPU4の処理動作として行われるが、このCPU4での処理動作を行う機能をブロック化して表した場合、CPU4は、調節弁200への操作器圧Poを定期的にサンプリングする操作器圧サンプリング部412と、調節弁200からの開度Xを定期的にサンプリングする開度サンプリング部422と、操作器圧サンプリング部412によってサンプリングされた今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度vPokを求める操作器圧変化速度算出部432と、開度サンプリング部422によってサンプリングされた今回の開度Xkと前回の開度Xk-1とから開度Xkの変化速度vXkを求める開度変化速度算出部442と、記憶部5に格納されている重み関数G21,G22に基づいて操作器圧Pokの変化速度vPokと開度Xkの変化速度vXkとの組み合わせに応じた重みw2kを求める重み算出部452と、操作器圧サンプリング部412によってサンプリングされた操作器圧Pokと開度サンプリング部422によってサンプリングされた開度Xkと重み算出部452で求められた重みw2kとから異常診断判断期間中の調節弁200のカテゴリi毎の異常診断指標値Ftiを求める異常診断部462とで表される。なお、この実施の形態2では、今回の操作器圧Pokと前回の操作器圧Pok-1とから操作器圧Pokの変化速度vPokを求め、今回の開度Xkと前回の開度Xk-1とから開度Xkの変化速度vXkを求めるようにしたが、過去の一定時間の信号を用いて最小二乗法で線形近似計算を行い、近似式の傾きを変化速度とすることも可能である。また、この実施の形態2では、ステップS117において、Fti=Maxpi-Minpiとしてカテゴリi毎のヒステリシスの幅を求めるようにしたが、Fti=Maxpi-Minpi/2としてカテゴリi毎の摩擦力を求めるようにしてもよい図21参照。Ftiを摩擦力とする場合、ステップS118では、記憶部5に格納されている正常時のヒステリシスの幅W1を読み出し、このヒステリシスの幅W1の半値W1/2を求め、このヒステリシスの幅W1の半値W1/2に所定値βを加算した値を閾値とし、その閾値と摩擦力Ftiと比較するようにすればよい。或いは、記憶部5に正常時のヒステリシスの幅W1の半値W1/2を格納しておき、この正常時のヒステリシスの幅W1の半値W1/2に所定値βを加算した値を閾値とし、この閾値と摩擦力Ftiと比較するようにすればよい。この場合のFtiは圧力kPaであるが、操作器ダイアフラム面積m2×103を乗ずることで、単位を圧力kPaから力Nに変換できる。また、上述した実施の形態では、調節弁200の異常診断を行う場合について説明したが、ポジショナ100と調節弁200とを組み合わせたシステム全体を1つの調節弁とみなし、上述と同様にして異常診断を行うようにしてもよい。この場合、ポジショナ100への入力信号である開度設定信号Iinが調節弁への入力信号に相当するものとなり、この開度設定信号Iinと弁開度Xとを用いてシステム全体調節弁の異常診断を行うようにする。"