"マガジン内の底板に多数のウエハを積み重ね、底板を押し上げユニットで上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハを吸着パッドにより1枚ずつ取り出すウエハのスタッキング装置において、最初の積み重ね状態における1枚目のウエハの傾きを傾きセンサユニットによって検出し、検出した前記1枚目のウエハの傾きとウエハの基準姿勢とを比較し、その差から最初の傾き量を求め、求めた最初の傾き量に相当する最初の修正信号に基づいてX方向およびY方向のアクチュエータにより底板を傾けて、前記1枚目のウエハの傾きを基準姿勢に補正するとともに、2枚目以降のウエハの取り出し過程において、前記最初の傾き量とウエハの2枚目以降の積み重ね量との比例関係から2枚目以降の傾き量を算出し、2枚目以降のウエハの取り出しにあたって、一番上のウエハに対応する2枚目以降の傾き量に相当する2枚目以降の修正信号に基づいてX方向およびY方向の前記アクチュエータにより底板を傾けて、一番上のウエハの傾きを基準姿勢に補正することを特徴とする積み重ね状態のウエハの傾き補正方法。2枚目以降のウエハの取り出し前に、前記2枚目以降の傾き量を予め求め、記憶しておくことを特徴とする請求項1に記載の積み重ね状態のウエハの傾き補正方法。2枚目以降のウエハの取り出し毎に、前記2枚目以降の傾き量を求めることを特徴とする請求項1に記載の積み重ね状態のウエハの傾き補正方法。マガジン内の底板に多数のウエハを積み重ね、底板を押し上げユニットで上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハを吸着パッドにより1枚ずつ取り出すウエハのスタッキング装置において、最初の積み重ね状態における1枚目のウエハの傾きを検出する傾きセンサユニットと、ウエハの積み重ね量を検出する検出手段と、前記傾きセンサユニットから前記1枚目のウエハの傾き、および前記検出手段からのウエハの積み重ね量を入力し、入力した前記1枚目のウエハの傾きとウエハの基準姿勢とを比較し、その差から最初の傾き量を求め、求めた最初の傾き量に相当する最初の修正信号を発生するとともに、2枚目以降のウエハの取り出しのために、前記最初の傾き量とウエハの2枚目以降の積み重ね量との比例関係から2枚目以降の傾き量を算出し、2枚目以降のウエハの取り出しにあたって、一番上のウエハに対応する2枚目以降の傾き量に相当する2枚目以降の修正信号を発生するコントローラと、前記底板と前記押し上げユニットとの間に介在し、前記最初の修正信号および2枚目以降の修正信号を入力としてX方向およびY方向のアクチュエータにより前記底板を傾けて、ウエハの傾きを基準姿勢に補正するゴニオユニットとを有することを特徴とするウエハのスタッキング装置。マガジン内の底板に多数のウエハを積み重ね、底板を押し上げユニットで上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハを吸着パッドにより1枚ずつ取り出すウエハのスタッキング装置において、ウエハの取り出し動作時に一番上のウエハの傾きを検出する傾きセンサユニットと、前記傾きセンサユニットから一番上のウエハの傾きを入力し、入力した一番上のウエハの傾きとウエハの基準姿勢とを比較し、その差から一番上のウエハの傾き量に相当する修正信号を発生するコントローラと、前記底板と前記押し上げユニットとの間に介在し、前記修正信号を入力としてX方向およびY方向のアクチュエータにより前記底板を傾けて、ウエハの傾きを基準姿勢に補正するゴニオユニットとを有することを特徴とするウエハのスタッキング装置。前記傾きセンサユニットは投光器および受光器からなり、前記傾きセンサユニットは、積み重ね状態の一番上のウエハの高さ位置をX方向上の異なる2箇所およびY方向上の異なる2箇所の位置で測定し、X方向上の異なる2箇所で測定した光量の差から一番上のウエハのX方向の傾き量を求め、Y方向上の異なる2箇所の位置で測定した光量の差から一番上のウエハのY方向の傾き量を求めることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のウエハのスタッキング装置。前記傾きセンサユニットの投光器および受光器は、X方向上の異なる2箇所の位置およびY方向上の異なる2箇所の位置にそれぞれ対向状態で設けられることを特徴とする請求項6に記載のウエハのスタッキング装置。前記傾きセンサユニットの投光器および受光器は、X方向上とY方向上とに一対ずつ対向状態で設けられ、それらをX方向またはY方向へ移動可能とし、異なる2箇所の位置でウエハの傾きを検出することを特徴とする請求項6に記載のウエハのスタッキング装置。そこで、本発明の課題は、積み重ねられた状態のウエハから1枚ずつウエハを取り出すスタッキング装置において、積み重ね状態の一番上のウエハの傾きを補正し、ウエハの取り出し時にウエハが破損したりウエハ表面が痕付くことを防止するとともに、補正動作によるウエハの取り出しスピードの低下を抑えるウエハの傾き補正方法およびスタッキング装置を提供することにある。上記課題のもとに、請求項1の発明は、マガジン内の底板に多数のウエハを積み重ね、底板を押し上げユニットで上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハを吸着パッドにより1枚ずつ取り出すウエハのスタッキング装置において、最初の積み重ね状態における1枚目のウエハの傾きを傾きセンサユニットによって検出し、検出した前記1枚目のウエハの傾きとウエハの基準姿勢とを比較し、その差から最初の傾き量を求め、求めた最初の傾き量に相当する最初の修正信号に基づいてX方向およびY方向のアクチュエータにより底板を傾けて、前記1枚目のウエハの傾きを基準姿勢に補正するとともに、2枚目以降のウエハの取り出し過程において、前記最初の傾き量とウエハの2枚目以降の積み重ね量との比例関係から2枚目以降の傾き量を算出し、2枚目以降のウエハの取り出しにあたって、一番上のウエハに対応する2枚目以降の傾き量に相当する2枚目以降の修正信号に基づいてX方向およびY方向の前記アクチュエータにより底板を傾けて、一番上のウエハの傾きを基準姿勢に補正することを特徴とする。請求項2の発明は、請求項1の発明において、2枚目以降のウエハの取り出し前に、前記2枚目以降の傾き量を予め求め、記憶しておくことを特徴とする。請求項3の発明は、請求項1の発明において、2枚目以降のウエハの取り出し毎に、前記2枚目以降の傾き量を求めることを特徴とする。また、請求項4の発明は、マガジン内の底板に多数のウエハを積み重ね、底板を押し上げユニットで上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハを吸着パッドにより1枚ずつ取り出すウエハのスタッキング装置において、最初の積み重ね状態における1枚目のウエハの傾きを検出する傾きセンサユニットと、ウエハの積み重ね量を検出する検出手段と、前記傾きセンサユニットから前記1枚目のウエハの傾き、および前記検出手段からのウエハの積み重ね量を入力し、入力した前記1枚目のウエハの傾きとウエハの基準姿勢とを比較し、その差から最初の傾き量を求め、求めた最初の傾き量に相当する最初の修正信号を発生するとともに、2枚目以降のウエハの取り出しのために、前記最初の傾き量とウエハの2枚目以降の積み重ね量との比例関係から2枚目以降の傾き量を算出し、2枚目以降のウエハの取り出しにあたって、一番上のウエハに対応する2枚目以降の傾き量に相当する2枚目以降の修正信号を発生するコントローラと、前記底板と前記押し上げユニットとの間に介在し、前記最初の修正信号および2枚目以降の修正信号を入力としてX方向およびY方向のアクチュエータにより前記底板を傾けて、ウエハの傾きを基準姿勢に補正するゴニオユニットとを有することを特徴とする。請求項5の発明は、マガジン内の底板に多数のウエハを積み重ね、底板を押し上げユニットで上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハを吸着パッドにより1枚ずつ取り出すウエハのスタッキング装置において、ウエハの取り出し動作時に一番上のウエハの傾きを検出する傾きセンサユニットと、前記傾きセンサユニットから一番上のウエハの傾きを入力し、入力した一番上のウエハの傾きとウエハの基準姿勢とを比較し、その差から一番上のウエハの傾き量に相当する修正信号を発生するコントローラと、前記底板と前記押し上げユニットとの間に介在し、前記修正信号を入力としてX方向およびY方向のアクチュエータにより前記底板を傾けて、ウエハの傾きを基準姿勢に補正するゴニオユニットとを有することを特徴とする。請求項6の発明は、請求項4または請求項5の発明において、前記傾きセンサユニットは投光器および受光器からなり、前記傾きセンサユニットは、積み重ね状態の一番上のウエハの高さ位置をX方向上の異なる2箇所およびY方向上の異なる2箇所の位置で測定し、X方向上の異なる2箇所で測定した光量の差から一番上のウエハのX方向の傾き量を求め、Y方向上の異なる2箇所の位置で測定した光量の差から一番上のウエハのY方向の傾き量を求めることを特徴とする。請求項7の発明は、請求項6の発明において、前記傾きセンサユニットの投光器および受光器は、X方向上の異なる2箇所の位置およびY方向上の異なる2箇所の位置にそれぞれ対向状態で設けられることを特徴とする。そして請求項8の発明は、請求項6の発明において、前記傾きセンサユニットの投光器および受光器は、X方向上とY方向上とに一対ずつ対向状態で設けられ、それらをX方向またはY方向へ移動可能とし、異なる2箇所の位置でウエハの傾きを検出することを特徴とする。請求項1の発明によれば、最初の1枚目、これに続く2枚目以降の一番上のウエハが吸着パッドに対し平面的に平行に保たれるから、複数の吸着パッドを一番上のウエハに対し均一な力で接触させて吸着することができ、これによってウエハを割ったり、ウエハ表面に吸着パッドの痕を残すことなく、ウエハをマガジンから優しく持ち上げて取り出すことができること、また、吸着ヘッドをウエハの傾きに追従させる必要がないから、吸着ヘッドの構造を簡単な構造とすることができること、さらに、ウエハを吸着パッドに対し平面的に平行とすれば、複数の吸着パッドの並び間隔を大きくとることが可能となるので、複数の吸着パッドを広い範囲で均一な力でウエハに接触させることができ、ウエハに局所的な力が作用するのを防止でき、ウエハの破損を防止できるとともに、安定したハンドリングを実現できること、特に、最初に取り出す1枚目のウエハの傾き量を補正した後に、2枚目以降のウエハの傾き量を比例関係から算出し、2枚目以降の一番上の取り出しウエハの傾きを補正するから、2枚目以降のウエハについて、取り出すウエハ毎にウエハの傾きの検出をする必要がなく、ウエハの取り出しスピードの低下を抑えることが可能となる。請求項2の発明によれば、2枚目以降のウエハの取り出し前に、前記2枚目以降の傾き量を予め求め、記憶しておくことによって、取り出しウエハの傾き補正を一層高速化できる。請求項3の発明によれば、2枚目以降のウエハの取り出しに際し、前記2枚目以降の傾き量を取り出し毎に求めることによって、コントローラの記憶容量が小さくてもよく、またウエハの積み重ね高さまたはウエハの積み重ね枚数と2枚目以降のウエハの傾き量との対応関係がずれることがなく、安定に動作する。請求項4の発明によれば、スタッキング装置によって前記請求項1の方法と同様の効果が得られる。請求項5の発明によれば、ウエハの取り出し動作時、すなわち最初の積み重ね状態における1枚目および2枚目以降のウエハの取り出し過程での一番上のウエハの傾きを検出して、一番上のウエハの傾きを補正するから、実際のウエハの傾き状況に応じて適切に対応できる。請求項6の発明によれば、X方向上の異なる2箇所およびY方向上の異なる2箇所の位置で各方向毎に傾きを検出するから、各方向毎の測定精度がよく、それらの合成方向の傾きも検出できる。請求項7の発明によれば、傾きセンサユニットの投光器および受光器をX方向上の異なる2箇所およびY方向上の異なる2箇所の位置に対向状態で設けることによって、X方向の傾きや、Y方向傾きだけでなく、それらの合成方向の傾きも安定な状態で確実に検出できる。請求項8の発明によれば、傾きセンサユニットの投光器および受光器をX方向上とY方向上とに一対ずつ対向状態で設け、それらをX方向またはY方向へ移動可能としたから、一方向につき一つのセンサユニットでX方向およびY方向傾きを検出でき、これにより、各方向毎に少ない数のセンサでウエハの傾きを検出することができる。本発明のウエハのスタッキング装置1は、主として太陽電池用ウエハの検査装置に設けられる。図1に示すとおり、ウエハのスタッキング装置1は、マガジン2内の底板4に一例として正方形のウエハ3を積み重ね、底板4を押し上げユニット5で上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハ3を吸着パッド7により1枚ずつ取り出すときに用いられる。ウエハのスタッキング装置1のマガジン2は、上面部が開放し、4つの側面の中間位置にスリット28が設けられた立法体形状を有しており、マガジン2の内部には、積み重ねられた状態のウエハ3が載置される底板4が配置されている。底板4は、マガジン2の底を貫通する押し上げユニット5によりマガジン2内を昇降可能に支持されており、積み重ねられた状態のウエハ3が上から順に1枚ずつ吸着ヘッド6の吸着パッド7によって取り出される動作に応じて、押し上げユニット5は、底板4をウエハ3の厚み分だけ上昇させ、一番上のウエハ3を一定の高さに維持している。マガジン2の上面開口部には、最初の積み重ね状態における1枚目のウエハ3の傾きを検出するための傾きセンサユニット8,9,10,11が設けられており、それらはウエハ3の基準姿勢としての水平に対する傾き量を検出するために同じ高さ位置に設けられている。これらの傾きセンサユニット8,9,10,11は、透過投受光型エリアセンサであり、ウエハ3の直交する一辺の方向をX方向、他辺の方向をY方向とすると、X方向上の異なる2箇所の位置およびY方向上の異なる2箇所の位置において、高さ方向に検出エリアを形成しながら積み重ね状態の1枚目のウエハ3を挟むように対向状態で設けらている。図2に示すとおり、傾きセンサユニット8,9の投光器8a,9aおよび受光器8b,9bは、光軸をX方向に対し直交するように設けられており、これらは最初の1枚目のウエハ3のX方向の傾き量を求めるのに用いられる。また、傾きセンサユニット10,11の投光器10a,11aおよび受光器10b,11bは、光軸をY方向に対し直交するように設けられており、これらは最初の1枚目のウエハ3のY方向の傾き量を求めるのに用いられる。前述のとおり、傾きセンサユニット8,9,10,11は、同じ高さ位置に設けられているから、傾きセンサユニット8,9の受光量が同じであり、かつ、傾きセンサユニット10,11の受光量が同じであれば、1枚目のウエハ3は、X方向およびY方向において傾き量ゼロすなわち水平といえる。このように傾きセンサユニット8,9,10,11の同じ高さは、基準姿勢としての水平に対応している。図3において、押し上げユニット5は、底板4を押し上げるために、押し上げ駆動手段27と、底板4をX方向に傾けるゴニオユニット12と、底板4をY方向に傾けるゴニオユニット13とを備えている。押し上げ駆動手段27は、ラックアンドピニオン機構の他に、ウォーム歯車機構や歯付きベルト等によるエレベータ機構により構成される。また、ゴニオユニット12,13は、底板4と押し上げ駆動手段27との間に介在しており、後述するコントローラ14からの修正信号を入力として回転するアクチュエータとしてのモータ15,16により駆動され、図示しない内蔵のウォーム歯車機構などを回転させて、底板4をX方向またはY方向に傾斜させる。なお、モータ15,16からゴニオユニット12,13への駆動の伝達は、図に示した例では、プーリ17,19,20,22およびベルト18,21により行われるが、モータ15,16は、ゴニオユニット12,13のウォーム歯車機構などの入力部分に直結してもよい。図4に示すとおり、傾きセンサユニット8,9,10,11は、モータ15,16を駆動するコントローラ14に接続されている。また、検出手段26もコントローラ14に接続されている。検出手段26は、ウエハ3の積み重ね量、すなわち積み重ね高さまたは積み重ね枚数を検出するために設けられている。ウエハ3の積み重ね高さは、底板4から一番上のウエハ3の上面に対応しており、高さセンサにより直接的に検出するか、あるいは押し上げユニット5の上昇量を検出する駆動部の回転量センサにより間接的に検出する。また、積み重ね枚数は、ウエハ3の積み重ね高さと1枚当たりの厚みとから計算により求めるか、あるいは最初のウエハ3の積み重ね枚数と取り出し枚数のカウンタのカウント数とから求められる。コントローラ14は、傾きセンサユニット8,9,10,11から最初の積み重ね状態における1枚目のウエハ3の傾き、および検出手段26からのウエハ3の積み重ね量としてウエハ3の積み重ね高さまたはウエハ3の積み重ね枚数を入力し、1枚目のウエハ3の最初の傾き補正のために、入力した1枚目のウエハ3の傾きとウエハ3の基準姿勢とを比較し、その差から最初の傾き量に相当する最初の修正信号を発生するとともに、2枚目以降のウエハ3の傾き補正のために、最初の傾き量とウエハ3の2枚目以降の積み重ね量すなわち積み重ね高さまたは2枚目以降の積み重ね枚数との比例関係から2枚目以降の傾き量を算出し、2枚目以降のウエハ3の取り出しにあたって、一番上のウエハ3に対応する2枚目以降の傾き量に相当する2枚目以降の修正信号を発生する。次に図3~図5を参照して、スタッキング装置1の動作、すなわちウエハ3の傾きの補正動作について説明する。ここでの補正動作は、最初の積み重ね状態における1枚目のウエハ3についてのみ傾きを検出し、1枚目のウエハ3の傾きを補正をするが、2枚目のウエハ3について傾きを検出せず、1枚目のウエハ3の傾き量とウエハ3の2枚目以降の積み重ね高さまたは2枚目以降の積み重ね枚数との比例関係から2枚目以降のウエハ3の傾き量を算出し、算出した傾き量にもとづいて2枚目以降のウエハ3の傾き量を補正する例である。まず、押し上げユニット5は、傾きセンサユニット8,9,10,11の検出エリア外の下方から一定枚数例えば500枚の積み重ね状態のウエハ3を上昇させ、傾きセンサユニット8,9,10,11の全ての受光量に変化が生じたらウエハの上昇を停止させる図3。このとき、最初の積み重ね状態における1枚目のウエハ3は、所定の高さに設定される。今、ウエハ3のX方向の傾きを補正することを考える。傾きセンサユニット8,9は、最初の積み重ね状態の1枚目のウエハ3の高さ位置をX方向においてそれぞれ検出し、受光量に応じた出力信号をコントローラ14へ出力する。図3に示すとおり、1枚目のウエハ3に傾きがあれば、傾きセンサユニット8,9の受光量に差が生じているから、コントローラ14は、傾きセンサユニット8,9からの2つの出力信号を比較し、受光量の差から1枚目のウエハ3の傾きセンサユニット8,9位置における高さの差を求め、この差にもとづいて1枚目のウエハ3のX方向における傾き量、すなわち最初の傾き量を求め、求めた傾き量に相当する最初の修正信号をモータ15へ出力する。最初の修正信号を入力として、モータ15は、ゴニオユニット12により底板4を傾けて1枚目のウエハ3のX方向の傾きを補正する図5。なお補正後に、傾きセンサユニット8,9の受光量が同一になっているかを確認し、受光量が異なる場合には、再度傾き補正を行ってもよい。また、Y方向の傾き補正のために、コントローラ14は、傾きセンサユニット10,11からの受光量に応じた出力信号を入力として1枚目のウエハ3のY方向における傾き量を求め、1枚目のウエハ3のY方向の傾きをX方向と同様に補正する。このようなX方向およびY方向の傾き補正によって、ウエハ3の取り出し動作開始前に、少なくとも1枚目のウエハ3は水平に設定される。しかし、2枚目以降のウエハ3は、まだ水平になっているとはいえない。一般に、マガジン2に積み重ねられる複数枚のウエハ3は、通常同一ロットであり、同一ロットに含まれる個々のウエハ3は、厚さの誤差の向き、量の傾向が同じであることが経験的に知られている。例えば、ある特定のロットに含まれる任意のウエハ3の断面形状が図8に示すような形状である場合、そのロットに含まれる他のウエハ3の断面形状も図8に示す形状であると判断して差し支えない。しかも、一般に、スライスされたウエハ3はスライスされたときの向きを維持したまま積み重ねられている。そこで、コントローラ14は、2枚目以降のウエハ3の傾き補正のために、先に求めた最初の積み重ね状態における1枚目のウエハ3の傾き量最初の傾き量と、ウエハ3の積み重ね量との比例関係からウエハ3の2枚目以降の傾き量を算出し、2枚目以降のウエハ3の取り出しにあたって、一番上にあるウエハ3に対応する傾き量に相当する修正信号をX方向のモータ15またはY方向のモータ16へ出力する。前記の比例関係とは、具体的には以下の関係をいう。今、ウエハ3が最初にN枚積み重ねられていると仮定したとき、上からn枚目に取り出すウエハ3の傾き量は、1枚目のウエハ3の傾き量×n枚目のウエハ3の積み重ね高さ/ウエハ3の最初の積み重ね高さ、または1枚目のウエハ3の傾き量×ウエハ3の最初の積み重ね枚数N-n/ウエハ3の最初の積み重ね枚数Nにより求められる。コントローラ14は、2枚目以降のウエハ3の取り出し前に、例えば1枚目のウエハ3の取り出し動作を開始する前に、1枚目のウエハ3の傾き量を求めた時点で、2枚目以降の傾き量も予め求め、外部の記憶装置25または内蔵の記憶装置に記憶しておくか、または2枚目以降のウエハ3の取り出し毎に、2枚目以降の傾き量を求め、それらの傾き量に相当する修正信号により、モータ15、16を駆動することになる。2枚目以降の傾き量は、次第に小さくなり、最終的にゼロとなる。したがって、最後の1枚の取り出し時、すなわち底板4が最上位置にある時、底板4の傾きは、X方向、Y方向ともにゼロつまり水平となる。2枚目以降のウエハ3の取り出し動作が開始されると、コントローラ14は、2枚目以降のウエハ3について、傾きセンサユニット8,9,10,11による傾きの検出をしないで、検出手段26により検出したウエハ3の積み重ね高さまたは積み重ね枚数に応じて一番上のウエハ3の傾き量を記憶装置25から読み出すか、または、最初の傾き量とウエハ3の積み重ね高さまたは積み重ね枚数とから一番上のウエハ3の傾き量を計算し、その傾き量に対応する修正信号に基づいてX方向およびY方向のモータ15,16を回転させて各方向のゴニオユニット12,13を駆動し、底板4を傾けて一番上のウエハ3、すなわち取り出そうとするウエハ3のX方向およびY方向の傾きを補正する。なお、2枚目以降のウエハ3の傾き補正は、1枚取り出す毎に行うか、あるいは吸着パッド7による取り出し動作に悪影響を与えない限りにおいて、複数枚毎に行ってもよい。図1~図5に示した例において、傾きセンサユニット8,9,10,11の投光器23a,24aおよび受光器23b,24bは、X方向上の異なる2箇所の位置およびY方向上の異なる2箇所の位置に設けられるが、傾きセンサユニットの投光器および受光器は、図6のように、X方向上とY方向上とに一対ずつ対向状態で設け、それらを測定時にX方向またはY方向へ移動可能に構成してもよい。図6において、傾きセンサユニット23の一対の投光器23aおよび受光器23bは、図示しない直動アクチュエータ、案内ロッド、または案内ロッドと送りねじなどとの組み合わせ手段によりにより、X方向へ水平移動可能に設けられている。同様に、傾きセンサユニット24の一対の投光器24aおよび受光器24bも、Y方向へ水平移動可能に設けられている。なお、傾きセンサユニット23,24以外の構成は、図1~図5に示した例と同様の構成とする。図6において、例えば、積み重ね状態の一番上のウエハ3のX方向の傾きを検出する場合、まず、傾きセンサユニット23は、X方向の任意の位置で積み重ね状態の一番上のウエハ3の高さ位置を検出し、出力信号を図示しないコントローラ14へ出力し、コントローラに14にその位置での出力レベルを記憶させる。次に、傾きセンサユニット23は、図示しない直動アクチュエータなどにより所定の距離だけX方向に移動させられ、移動後の位置において一番上のウエハ3の高さ位置を検出し、出力信号をコントローラ14へ出力し、その位置での出力レベルを記憶させる。このような移動前後の2回の測定後に、コントローラ14は、移動前後の出力レベルの差から、移動前後の位置での一番上のウエハ3の高さの差を求め、この差から一番上のウエハ3のX方向の傾き量を求める。同様に、コントローラ14は、Y方向についてもウエハ3の傾き量を求め、それら傾き量に基づいて、前記例と同様に、ゴニオユニット12,13により底板4を傾けて1枚目のウエハ3の傾きを補正する。また、以上の例は、最初の1枚目のウエハ3についてのみ傾きセンサユニット8,9,10,11,23,24によって傾きを検出し、2枚目以降のウエハ3については、傾きセンサユニット8,9,10,11,23,24を用いずに比例計算によって傾きを求めているが、2枚目以降についてもウエハ3を1枚取り出すごとに一番上のウエハ3の傾きを傾きセンサユニット8,9,10,11,23,24により検出し、検出した傾きに基づいてその都度ウエハ3の傾きを補正してもよい。さらに傾き補正は、ウエハ3を1枚取り出すごとに実行せず、複数枚ごとに一番上のウエハの傾きを検出し、その傾きを複数枚ごとに補正することもできる。"