"回転体の回転動作によりガスを排気する排気ポンプの堆積物検知装置であって、前記堆積物検知装置は、初期処理として、前記回転体を回転駆動するモータの電流値を読み込む処理と、その読込んだモータ電流値を基にモータ電流初期値を求めて記憶する処理と、を実行する機能を有し、前記初期処理後の事後処理として、前記モータの電流値を読み込む処理と、その読込んだモータ電流値を基にモータ電流現在値を求める処理と、前記モータ電流初期値に対する前記モータ電流現在値の変化量を求める処理と、を実行する機能を有し、その変化量を基にポンプ内堆積物を検知することを特徴とする排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項1中の事後処理は、更に、同請求項1中の変化量を基に警告設定を行う処理を含むことを特徴とする請求項1に記載の堆積物検知装置。前記請求項2中の警告設定は、同請求項2中の変化量に応じて段階的に警告レベルを設定するものであることを特徴とする請求項2に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項1中の事後処理では、ポンプに規定のガス種、ガス流量を流した上で、前記モータの電流値を読み込む段階で該モータの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測し、予測したモータ電流到達値を前記モータ電流現在値として採用することを特徴とする請求項1に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項1中の初期処理では、ポンプに規定のガス種、ガス流量を流した上で、前記モータの電流値を読み込む段階で該モータの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測し、予測したモータ電流到達値を前記モータ電流初期値として採用し記憶することを特徴とする請求項1に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。回転体の回転動作によりガスを排気する排気ポンプの堆積物検知装置であって、前記堆積物検知装置は、初期処理として、前記回転体の温度を読み込む処理と、その読込んだ回転体温度を基に回転体温度初期値を求めて記憶する処理と、を実行する機能を有し、前記初期処理後の事後処理として、前記回転体の温度を読み込む処理と、その読込んだ回転体温度を基に回転体温度現在値を求める処理と、前記回転体温度初期値に対する前記回転体温度現在値の変化量を求める処理と、を実行する機能を有し、その変化量を基にポンプ内堆積物を検知することを特徴とする排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項6中の事後処理は、更に、同請求項6中の変化量を基に警告設定を行う処理を含むことを特徴とする請求項6に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項7中の警告設定は、同請求項7中の変化量に応じて段階的に警告レベルを設定するものであることを特徴とする請求項7に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。回転体の回転動作によりガスを排気する排気ポンプの堆積物検知装置であって、前記堆積物検知装置は、初期処理として、前記回転体を回転駆動するモータの電流値を読み込む処理と、読込んだモータ電流値を基にモータ電流初期値を求めて記憶する処理と、前記回転体の温度を読み込む処理と、読込んだ回転体温度を基に回転体温度初期値を求めて記憶する処理と、を実行する機能を有し、前記初期処理後の事後処理として、前記モータの電流値を読み込む処理と、その読込んだモータ電流値を基にモータ電流現在値を求める処理と、前記モータ電流初期値に対する前記モータ電流現在値の変化量を求める処理と、前記回転体の温度を読み込む処理と、その読込んだ回転体温度を基に回転体温度現在値を求める処理と、前記回転体温度初期値に対する前記回転体温度現在値の変化量を求める処理と、を実行する機能を有し、前記2つの変化量を基にポンプ内堆積物を検知することを特徴とする排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項9中の事後処理は、更に、同請求項9中の2つの変化量を基に警告設定を行う処理を含むことを特徴とする請求項9に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項10中の警告設定は、同請求項10中の2つの変化量に応じて段階的に警告レベルを設定するものであることを特徴とする請求項10に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項11中の警告設定は、前記モータ電流初期値に対する前記モータ電流現在値の変化量が電流関係の最高警告設定閾値以上である場合、又は、前記回転体温度初期値に対する前記回転体温度現在値の変化量が温度関係の最高警告設定閾値以上である場合に、それぞれの閾値に対応する警告設定を行い、前記モータ電流初期値に対する前記モータ電流現在値の変化量が電流関係の初期警告設定閾値以上であり、かつ、前記回転体温度初期値に対する前記回転体温度現在値の変化量が温度関係の初期警告設定閾値以上である場合に、電流関係若しくは温度関係の初期警告設定閾値に対応する警告設定を行うことを特徴とする請求項11に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項9中の事後処理では、ポンプに規定のガス種、ガス流量を流した上で、前記モータの電流値を読み込む段階で該モータの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測し、予測したモータ電流到達値を前記モータ電流現在値として採用することを特徴とする請求項9に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項9中の初期処理では、ポンプに規定のガス種、ガス流量を流した上で、前記モータの電流値を読み込む段階で該モータの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測し、予測したモータ電流到達値を前記モータ電流初期値として採用し記憶することを特徴とする請求項9に記載の排気ポンプの堆積物検知装置。前記請求項1から14のいずれか1項に記載の堆積物検知装置を備えた排気ポンプ。本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、プロセスで使用するガスの種類や流量を問わず、どのようなプロセスでもそのプロセスで使用する排気ポンプ内の堆積物ポンプ内堆積物をより正確に検知し警告を行うことができる、堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプを提供することにある。前記目的を達成するために、まず、本発明の第1パターンは、回転体の回転動作によりガスを排気する排気ポンプの堆積物検知装置であって、前記堆積物検知装置は、初期処理として、前記回転体を回転駆動するモータの電流値を読み込む処理と、その読込んだモータ電流値を基にモータ電流初期値を求めて記憶する処理と、を実行する機能を有し、前記初期処理後の事後処理として、前記モータの電流値を読み込む処理と、その読込んだモータ電流値を基にモータ電流現在値を求める処理と、前記モータ電流初期値に対する前記モータ電流現在値の変化量を求める処理と、を実行する機能を有し、その変化量を基にポンプ内堆積物を検知することを特徴とする。前記第1パターンの本発明における事後処理は、更に、前記変化量モータ電流初期値に対するモータ電流現在値の変化量を基に警告設定を行う処理を含むことができる。この場合の警告設定は、前記変化量モータ電流初期値に対するモータ電流現在値の変化量に応じて段階的に警告レベルを設定する構成を採用してもよい。前記第1パターンの本発明における事後処理では、ポンプに規定のガス種、ガス流量を流した上で、前記モータの電流値を読み込む段階で該モータの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測し、予測したモータ電流到達値を前記モータ電流現在値として採用してもよい。前記第1パターンの本発明における初期処理では、ポンプに規定のガス種、ガス流量を流した上で、前記モータの電流値を読み込む段階で該モータの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測し、予測したモータ電流到達値を前記モータ電流初期値として採用し記憶するようにしてもよい。本発明の第2パターンは、回転体の回転動作によりガスを排気する排気ポンプの堆積物検知装置であって、前記堆積物検知装置は、初期処理として、前記回転体の温度を読み込む処理と、その読込んだ回転体温度を基に回転体温度初期値を求めて記憶する処理と、を実行する機能を有し、前記初期処理後の事後処理として、前記回転体の温度を読み込む処理と、その読込んだ回転体温度を基に回転体温度現在値を求める処理と、前記回転体温度初期値に対する前記回転体温度現在値の変化量を求める処理と、を実行する機能を有し、その変化量を基にポンプ内堆積物を検知することを特徴とする。前記本発明の第2パターンにおける事後処理は、更に、前記変化量回転体温度初期値に対する回転体温度現在値の変化量を基に警告設定を行う処理を含むことができる。この場合の警告設定は、前記変化量回転体温度初期値に対する回転体温度現在値の変化量に応じて段階的に警告レベルを設定する構成を採用してもよい。本発明の第3パターンは、回転体の回転動作によりガスを排気する排気ポンプの堆積物検知装置であって、前記堆積物検知装置は、初期処理として、前記回転体を回転駆動するモータの電流値を読み込む処理と、読込んだモータ電流値を基にモータ電流初期値を求めて記憶する処理と、前記回転体の温度を読み込む処理と、読込んだ回転体温度を基に回転体温度初期値を求めて記憶する処理と、を実行する機能を有し、前記初期処理後の事後処理として、前記モータの電流値を読み込む処理と、その読込んだモータ電流値を基にモータ電流現在値を求める処理と、前記モータ電流初期値に対する前記モータ電流現在値の変化量を求める処理と、前記回転体の温度を読み込む処理と、その読込んだ回転体温度を基に回転体温度現在値を求める処理と、前記回転体温度初期値に対する前記回転体温度現在値の変化量を求める処理と、を実行する機能を有し、前記2つの変化量を基にポンプ内堆積物を検知することを特徴とする。前記本発明の第3パターンにおける事後処理は、更に、前記2つの変化量モータ電流初期値に対するモータ電流現在値の変化量、回転体温度初期値に対する回転体温度現在値の変化量を基に警告設定を行う処理を含むことができる。この場合の警告設定は、前記2つの変化量モータ電流初期値に対するモータ電流現在値の変化量、回転体温度初期値に対する回転体温度現在値の変化量に応じて段階的に警告レベルを設定する構成を採用してもよい。また、前記本発明の第3パターンにおいて、段階的に警告レベルを設定する場合、警告設定は、前記モータ電流初期値に対する前記モータ電流現在値の変化量が電流関係の最高警告設定閾値以上である場合、又は、前記回転体温度初期値に対する前記回転体温度現在値の変化量が温度関係の最高警告設定閾値以上である場合に、それぞれの閾値に対応する警告設定を行い、前記モータ電流初期値に対する前記モータ電流現在値の変化量が電流関係の初期警告設定閾値以上であり、かつ、前記回転体温度初期値に対する前記回転体温度現在値の変化量が温度関係の初期警告設定閾値以上である場合に、電流関係若しくは温度関係の初期警告設定閾値に対応する警告設定を行うようにしてもよい。前記第3パターンの本発明における事後処理では、ポンプに規定のガス種、ガス流量を流した上で、前記モータの電流値を読み込む段階で該モータの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測し、予測したモータ電流到達値を前記モータ電流現在値として採用してもよい。前記第3パターンの本発明における初期処理では、ポンプに規定のガス種、ガス流量を流した上で、前記モータの電流値を読み込む段階で該モータの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測し、予測したモータ電流到達値を前記モータ電流初期値として採用し記憶するようにしてもよい。本発明の第1パターンによると、初期処理でモータ電流初期値、事後処理でモータ電流現在値をそれぞれ求め、更に、そのモータ電流初期値に対するモータ電流現在値の変化量を求め、かかる変化量を基にポンプ内堆積物を検知する構成を採用した。このため、例えば、エンドユーザが排気ポンプをプロセス実行装置に組み込んだ直後のプロセス実行時に前述の初期処理が行われることで、実際のプロセスに対応したモータ電流の変化量が得られ、その変化量を基にポンプ内堆積物の検知が行われることから、プロセスで使用するガスの種類や流量を問わず、どのようなプロセスにおいてもそのプロセスで使用する排気ポンプ内の堆積物ポンプ内堆積物をより正確に検知し警告を行うことができる、という作用効果が得られる。本発明の第2パターンによると、初期処理で回転体温度初期値、事後処理で回転体温度現在値をそれぞれ求め、更に、その回転体温度初期値に対する回転体温度現在値の変化量を求め、かかる変化量を基にポンプ内堆積物を検知する構成を採用した。このため、例えば、エンドユーザが排気ポンプをプロセス実行装置に組み込んだ直後のプロセス実行時に前述の初期処理が行われることで、実際のプロセスに対応した回転体温度の変化量が得られ、その変化量を基にポンプ内堆積物の検知が行われることから、プロセスで使用するガスの種類や流量を問わず、どのようなプロセスにおいてもそのプロセスで使用する排気ポンプ内の堆積物ポンプ内堆積物をより正確に検知し警告を行うことができる、という作用効果が得られる。本発明の第3パターンによると、モータ電流初期値に対するモータ電流現在値の変化量と、回転体温度初期値に対する回転体温度現在値の変化量とを基に、ポンプ内堆積物を検知するから、より正確にポンプ内堆積物を検知し警告を行うことができる。以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。Aモータ電流変化量を基にポンプ内堆積物を検知する例本発明の第1パターンに相当の説明最初に、排気ポンプ内での生成物の堆積と排気ポンプのモータの電流変化との関係について説明する。図13に示す排気ポンプPの場合、生成物はロータ1下部のガス流路図13のS部を参照に堆積する。生成物が堆積すると、排気ポンプPの最下段のタービン部2下部の圧力が上昇する。その結果、モータMに加わる負荷が増加するため、モータ電流値は増加方向に変化するよう制御される。そこで、本発明者等は、図2に示すように、図13の排気ポンプPのガス流路において生成物が最も堆積しやすい部位具体的には図13のS部に、擬似的な生成物の堆積状況を作成し、排気ポンプP内での生成物の堆積と排気ポンプPのモータMの電流変化との関係を調べる調査試験を行った。その結果を示したものが図3である。図3に示したように、本発明者等は、図13のS部において、ポンプ内堆積物の堆積厚がガス流路の50図2の生成物堆積比率50を参照を越えた時点よりモータ電流値が顕著に増加方向に変化することを確認した。従って、このモータ電流値の変化量以下モータ電流変化量というを検出することで、ポンプ内堆積物を検知したり、その堆積厚を推定したりすることが可能である。尚、モータ電流値が上昇を始めるポンプ内堆積物の堆積厚は全ての機種で50ではなく、デザインにより変動する。また、例えば、図3及び図4の通り、排気ポンプPの運転条件1Bのガスを800sccm流すのように排気ポンプPに流すガスの流量が少ない場合には、モータ電流値の変化率が少なく、モータ電流値の増加を有意に判定することができない。更に、モータ電流値は、排気ポンプPの個体差、及び同じ流量でガスを流した場合のポンプ温度によっても変化する。このため、モータ電流値の増加を有意に判定するためには、少なくとも10以上のモータ電流増加ΔIが必要である。図1は、図13の排気ポンプPのポンプ制御装置に本発明の一実施形態である堆積物検知装置を組み込んだ例の機能ブロック図である。同図のポンプ制御装置50は、排気ポンプPを統括制御するマイクロコンピュータ部51と、排気ポンプPのモータMを駆動するモータドライバ52と、マイクロコンピュータ部51からの指令に基づき図示しない顧客のプロセス装置を含む顧客装置等、外部装置との間で通信を行う通信手段53と、マイクロコンピュータ部51からの指令に基づき排気ポンプPの運転状況を表示する表示手段54と、マイクロコンピュータ部51に対して設定値等の入力を行う入力操作手段55を有し、モータドライバ52はモータMの電流値を検出するモータ電流値検出手段としての機能を備えている。マイクロコンピュータ部51は、図7に示すフローチャートの各処理を実行することにより、初期処理として下記1-1から1-2の処理、及び、初期処理後の事後処理として下記2-1から2-4の処理を実行する機能がある。≪初期処理≫1-1モータMの電流値を読み込む処理。1-2前記1-1において読込んだモータ電流値を基にモータ電流初期値を求めて記憶する処理。≪事後処理≫2-1モータMの電流値を読み込む処理。2-2前記2-1において読込んだモータ電流値を基にモータ電流現在値を求める処理。2-3前記2-2で求めたモータ電流現在値から前記1-2で記憶したモータ電流初期値を減算することによりモータ電流変化量を求める処理。2-4前記2-3で求めたモータ電流変化量を基に警告設定を行う処理。≪初期処理と事後処理の処理内容の詳細≫前記1-1でのモータ電流値の読込みは、モータドライバ52からモータ電流検出値を読み取る方式であるが、別の方法でモータMの電流値を読込んでもよい。前記2-1でのモータ電流値の読込みも同様である。モータ電流初期値としてはモータ電流平均値を採用することができる。モータ電流平均値の求め方は、例えば、所定時間内にモータ電流値を複数回読込み、読込んだ複数のモータ電流値の合計を読込み回数で除算してモータ電流平均値を得る方法や、この方法を複数回繰り返すことによりモータ電流初期値をいくつか取得し、取得した複数のモータ電流初期値の合計を繰返し回数で除算することにより最終的にモータ電流初期値を取得する方式など、各種の方式を採用することができる。前記モータ電流現在値を求める方法も同様である。モータ電流初期値を記憶する方式は、例えば、マイクロコンピュータ部51に内蔵されている図示しない不揮発性記憶媒体の一部を記憶エリアとして確保し、その記憶エリアにモータ電流初期値を記憶させる方式や、これ以外の方式を採用することができる。モータ電流現在値もまた、モータ電流初期値と同様、不揮発性記憶媒体の記憶エリアに記憶させる方式を採用してもよい。これとは別の方式として、マイクロコンピュータ部51に内蔵されている図示しないRAM等の揮発性記憶媒体の一部を記憶エリアとして確保し、その記憶エリアにモータ電流現在値を記憶させる方式を採用することもできる。前記のように記憶エリアにモータ電流初期値とモータ電流現在値を記憶する構成を採用した場合、モータ電流変化量を求める処理に関しては、記憶エリアからモータ電流初期値とモータ電流現在値を取得し、取得したモータ電流現在値からモータ電流初期値を減算すればよい。モータ電流変化量を基に行う警告設定は、例えばそのモータ電流変化量に応じてレベル1、レベル2、...のように段階的に警告レベルを設定する方式や、その他の方式を採用することができる。段階的に警告レベルを設定する方式において、設定した警告レベルは、通信手段53から外部装置へ出力したり、それぞれの警告レベルを表示手段54で表示したりする等、警告の内容を知らせるための各種処理を採用することができる。また、段階的な警告レベルの設定は、例えば、モータ電流変化量がモータ電流初期値の30以上であるときはレベル1の警告、40以上であるときはレベル2の警告、50以上であるときはレベル3の警告を設定する等、モータ電流変化量の増加に伴い警告レベルを引き上げるようにしてもよい。図7は、モータ電流変化量を基にポンプ内堆積物を検知する例において、段階的な警告レベルの設定を採用した場合における初期処理と事後処理の流れを示したフローチャート図である。図7のフローチャート図の処理は、マイクロコンピュータ部51の起動により、又は入力操作手段55を介して処理開始コマンドがマイクロコンピュータ部51に入力されたとき、通信手段53により処理開始コマンドを受信したとき等に、マイクロコンピュータ部51で実行される。図7を参照すれば、マイクロコンピュータ部51は、最初に、モータドライバ52で検出した電流値モータ電流値をバッファ内に読込みステップ101、読込んだモータ電流値を平均化処理することよりモータ電流初期値を取得し設定するステップ102及び103。このステップ101から103までの処理をN回繰り返すことによりステップ104のNo最終的なモータ電流初期値を求めたらステップ104のYes、その求めたモータ電流初期値を記憶エリアに記憶するステップ105。以上で初期処理が終了する。次に、事後処理として、マイクロコンピュータ部51はモータ電流値をバッファ内に読込みステップ106、読込んだモータ電流値を平均化処理することによりモータ電流現在値を求めステップ107、そのモータ電流現在値から前記モータ電流初期値を減算することによりモータ電流変化量を求めてステップ108、ステップ109へ進む。ステップ109では、ステップ108で求めたモータ電流変化量がレベル1の警告設定閾値例えばモータ電流初期値の30以上であるか否かを判定する。ここで、レベル1の警告設定閾値以上であるステップ109のYes場合は、レベル1の警告設定を行いステップ110、次のステップ111へ進む。ステップ111では、ステップ108で求めたモータ電流変化量がレベル2の警告設定閾値例えばモータ電流初期値の40以上であるか否かを判定する。ここで、レベル2の警告設定閾値以上であるステップ111のYes場合は、先に設定したレベル1の警告設定をキャンセルして、レベル2の警告設定を行いステップ112、次のステップ113へ進む。ステップ113では、ステップ108で求めたモータ電流変化量がレベル3の警告設定閾値例えばモータ電流初期値の50以上であるか否かを判定する。ここで、レベル3の警告設定閾値以上であるステップ113のYes場合は、先に設定したレベル2の警告設定をキャンセルして、レベル3の警告設定を行うステップ114。レベル1、2、3の警告設定例は前述の通りである。なお、ステップ109において、モータ電流変化量がレベル1の警告設定閾値以上でない場合、及び、ステップ111において、モータ電流変化量がレベル2の警告設定閾値以上でない場合、並びに、ステップ113において、モータ電流変化量がレベル3の警告設定閾値以上でない場合は、それぞれステップ106の処理に戻ってステップ109のNo、ステップ111のNo、ステップ113のNo、ステップ106からステップ114の処理を繰り返す。前記各レベルの警告設定閾値モータ電流初期値の30、40、50は一例であり、本例に係わらず、任意に設定しても良い。以上説明した初期処理では、モータMの電流値が安定する時間、例えば数分間ガスの排気を行い、その後、読込んだモータ電流値を基にモータ電流平均値を求めることが望ましい。初期処理時に排気ポンプPに流すガス流量の上限は、モータ電流初期値が下記式1を満たす範囲となるように設定するとよい。このように設定すれば、モータMの電流がモータドライバ52の最大供給電流を超えるようなことが無くなり、より正確にモータ電流変化量を測定することができる。もし、モータドライバ52の最大供給電流値を考慮しないで必要以上に大量のガスを排気ポンプに流してしまうと、モータMの電流は増加できず、回転体Rはその回転速度を維持できなくなり、正確にモータ電流変化量を測定することができない。<式1>I0Imax<I備考Iはモータドライバの最大供給電流値、I0はモータ電流初期値、Imaxは最高の警告レベルに関わるモータ電流変化量先の例では、レベル3の警告が最高の警告レベルであるので、Imaxはモータ電流初期値の50である。初期処理時に排気ポンプPに流すガス流量の下限は、生成物の堆積量が増加したときにモータ電流値の変化がモータ電流初期値の10以上になる等、モータ電流の変化を有意義に判定できるガス流量以上とする。図3の場合、ガスの種類及び流量として、Bのガスと1200sccmの流量を選定すれば、先に説明した2つの条件ガス流量の上限と下限を満足し、より正確な堆積厚の推定が可能となる。≪初期処理を行う時期タイミング≫排気ポンプPは、工場出荷後、プロセスを実行する装置プロセス実行装置の排気手段として組込み使用される。このような排気ポンプPの使用形態より、前記初期処理は排気ポンプの工場出荷前、または、排気ポンプを実際に使用するエンドユーザが排気ポンプPをプロセス実行装置に組み込んだ直後のプロセス実行時、若しくは、定期的にプロセスを休止して行うことができる。排気ポンプPの工場出荷前に初期処理を行う場合は、試験的に排気ポンプPに流すガスの種類と流量を規定し、その規定に従って排気ポンプPを運転したときのモータMの電流値を読み込む。そして、読み込んだモータ電流値を基にモータ平均電流値を求めて記憶させる前記1-1から1-2の処理。≪初期処理と事後処理をヘルスチェックモードで行う例≫定期的にプロセスを休止して初期処理を行う場合は、排気ポンプPのヘルスチェックモードとして、前記初期処理と事後処理を行うことができる。ヘルスチェックモードでは、排気ポンプPに流すヘルスチェック用ガスの種類と流量とを規定し、その規定に従って排気ポンプPを運転したときのモータMの電流値を読込み、読込んだモータ電流値を基にモータ電流初期値を求めて記憶させる前記1-1から1-2の処理。その後、前記2-1から2-4の処理を順に実行することによって、モータ電流変化量を求め、求めたモータ電流変化量を基に警告設定を行うようにしてもよい。ヘルスチェックモードの実行は、生成物の堆積増加速度が速いプロセスでは1日1回のペースで頻繁に行ってもよく、それ以外のプロセスでは1~2週間に1回のペースで行ってもよい。ところで、前述のヘルスチェックモードを採用する場合、マイクロコンピュータ部51はヘルスチェックモードに入ったことを認識して、初期処理と事後処理を実行する必要がある。プロセスとヘルスチェックモードとを分離することにより、より確実に生成物の堆積状況を推定するためである。図11には、プロセス実行中のモータ電流値とヘルスチェックモード実行中のモータ電流値が示してある。同図から分かるように、プロセス実行中のモータ電流値はヘルスチェックモード実行中のモータ電流値より大となる場合がある。このため、もし、マイクロコンピュータ部51がヘルスチックモードに入ったことを認識できていないとしたら、プロセス実行中であるにもかかわらず前記初期処理と事後処理が行われてしまい、プロセス実行中の大きなモータ電流値を読取ることで、誤った警告設定が行われるという不具合が生じうる。≪ヘルスチェックコマンドの利用によるヘルスチェックモードの認識≫ヘルスチェックモードに入ったことを認識する手法としては、ヘルスチェックコマンドを利用する方法が考えられる。具体的には、マイクロコンピュータ部51は、通信手段53又は入力操作手段55を介して顧客よりヘルスチェック用ガスを流しているというヘルスチェックコマンド信号を取得し、それをトリガとしてヘルスチェックモードに入ったと認識して、初期処理と事後処理を実行する。このようにすれば、ヘルスチェックモードに入った時のみ初期処理と事後処理が行われるので、誤った警告設定が行われることはない。≪ヘルスチェックコマンドを利用しないでヘルスチェックモードを認識する例≫プロセス実行中は、排気ポンプPを流れるガスの流量や種類が変化するため、モータMの電流値が大きく変動する。一方、ヘルスチェックモードでは、排気ポンプPに流すガスの種類と流量が規定されているので、モータMの電流値は比較的安定する。このようなモータ電流値の変動と安定現象を利用することにより、ヘルスチェックコマンドを利用しないで、ヘルスチェックモードであることを認識することもできる。具体的には、プロセスでモータ電流値が変動する最大時間Tpmaxに比べて、ヘルスチェックガス導入時間Th排気ポンプPにヘルスチェック用ガスを流す時間を十分長い時間例えば10倍以上にする。そして、マイクロコンピュータ部51では、モータ電流値を常時監視し、図11に示すTc期間=ヘルスチェックガス導入時間Th-モータ電流値が安定するまでの時間モータ電流値が連続的にほぼ安定したら、ヘルスチェックモードを実行したと認識すれば良い。図10は、ヘルスチェックモードの実行例であって、先に説明した段階的な警告レベルの設定を採用した場合における事後処理の流れを示したフローチャート図である。尚、この図10のヘルスチェックモード実行例では、前述の初期処理が既に行われたことにより、モータ電流初期値Iiがマイクロコンピュータ部51の記憶エリアに記憶されているものとする。また、読込んだモータ電流値はバッファメモリに格納されるものとする。図10を参照すると、初めに、ヘルスチェックタイマーの値Tのリセットステップ401と、電流積算値Itのリセットステップ402を行う。次に、初期処理後の事後処理として、モータ電流値Icを読込みステップ403、読込んだモータ電流値Icと前記初期処理で予め記憶したモータ電流初期値Iiとを比較するステップ404。そして、その読込んだモータ電流値Icがモータ電流初期値Ii以上であるステップ404のYes場合は、バッファメモリから前回読込んだモータ電流値以下前回のモータ電流値Ibというを読出しステップ405、同バッファメモリに前記ステップ403で読込んだモータ電流値以下今回のモータ電流値Icというを記憶させるステップ406。次に、ヘルスチェックモードに入ったか否かの判定基準となるヘルスチェックモード判定閾値具体的には、モータ電流値の変動幅であって、例えば零に近い値と、前回のモータ電流値Ibから今回のモータ電流値Icを減算した値の絶対値今回と前回のモータ電流値の変動幅とを比較する。そして、その絶対値がヘルスチェックモード判定閾値より小さいステップ407のYes場合は、ヘルスチェックタイマーの値Tをカウントアップしてステップ408、次のステップ409へ進む。ステップ409では、モータ電流値の積算処理として、電流積算値Itに今回のモータ電流値Icを加算し、次のステップ410では、その加算値を電流積算値Itとして記憶することにより電流積算値Itを更新する。更に次のステップ411では、ヘルスチェックタイマーの値Tと、図11に示すTc期間=ヘルスチェックガス導入時間Th-モータ電流値が安定するまでの時間とを比較する。そして、前記ステップ411において、T>=Tcであるならステップ411のYes、マイクロコンピュータ部51は、ヘルスチェックモードを実行したものと認識し、前記更新後の電流積算値Itをヘルスチェックタイマーの値Tで除算It/Tすることにより、モータ電流現在値Iaを求め、モータ電流現在値からモータ電流初期値を減算することによりモータ電流変化量を求めるステップ412。その後のステップ413から418までの処理は、先に説明したステップ109から114までの処理と同じであるため、その詳細説明は省略する。以上説明した例モータ電流変化量を基にポンプ内堆積物を検知する例では、初期処理でモータ電流初期値、事後処理でモータ電流現在値をそれぞれ求め、更に、そのモータ電流初期値に対するモータ電流現在値の変化量を求め、かかる変化量を基にポンプ内堆積物を検知し警告設定を行う構成を採用した。このため、例えば、エンドユーザが排気ポンプPをプロセス実行装置に組み込んだ直後のプロセス実行時に前述の初期処理が行われることで、実際のプロセスに対応したモータ電流の変化量が得られ、その変化量を基にポンプ内堆積物の検知が行われることから、プロセスで使用するガスの種類や流量を問わず、どのようなプロセスにおいてもそのプロセスで使用する排気ポンプP内の堆積物ポンプ内堆積物をより正確に検知し警告を行うことが可能である。エンドユーザにて稼働中の排気ポンプPのポンプ制御装置50には、排気ポンプPのモータMの電流値を検出する機能を持ったモータドライバ52が内蔵されているので、モータ電流値の変化量を基にポンプ内堆積物を検知する前記の例は、エンドユーザにて稼働中の排気ポンプに対し、ハードウエア資源を追加することなく、ソフトウエアの変更のみで対応することが可能である。排気ポンプPに対するガス負荷の変動が大きいプロセス例えばエッチング装置では、モータ電流値の変動も大きいことから、安定してモータ電流値を読み込むことは難しいが、先に説明したヘルスチェックモードの導入により、モータ電流値を安定して読込めるため、ガス負荷の変動が大きいプロセスでも、生成物の堆積状況を精度よく検出することが可能となる。また、ヘルスチェックモードでは、排気ポンプPとそのポンプ制御装置50を含む製品出荷時に、モータ電流初期値を求めて記憶させておくことが可能となるため、エンドユーザにおける初期処理によるモータ電流初期値の設定作業を省略する事も可能である。B回転体温度変化量を基にポンプ内堆積物を検知する例本発明の第2パターンに相当の説明最初に、排気ポンプ内での生成物の堆積と排気ポンプの回転体の温度変化との関係について説明する。図5は、図2の擬似的な堆積物が存在する状況下で図13の排気ポンプPを運転し、同排気ポンプPの回転体Rの温度を測定したときの結果生成物堆積比率と回転体温度との関係の説明図である。図5に示したように、本発明者等は、ポンプ内堆積物の堆積厚がガス流路の50図2の生成物堆積比率50を参照を越えた時点より回転体Rの温度が顕著に増加方向に変化することを確認した。従って、この回転体温度の変化量を検出することで、ポンプ内堆積物を検知したり、その堆積厚を推定したりすることが可能である。また、本発明者等において、排気ポンプPに流すガス流量が少ない場合には、回転体Rの温度の変化率が少なく、回転体Rの温度の増加を有意に判定することができないことも確認した。排気ポンプPの個体差による運転開始時、及び温度平衡時の温度差を考慮すると、回転体Rの温度増加量を有意に判定するには5°C以上の温度増加が必要である。ところで、図12に示したように、モータMの電流値に比べ、回転体Rの温度は、回転体Rに作用するガス負荷の短時間数分程度の変化に対し追随して変化しない。図12のように、実際のプロセスでは、ほぼ同じパターンのガス種、流量の組み合わせが続くことが多い。このようなプロセスの場合、回転体Rの温度は、モータの電流値の変化を時間で積分したのと同等になる。以上のことより、本例では、排気ポンプPをプロセス実行装置に組み込んだ直後で、かつ、規定のプロセス数を実行した後に、初期処理として、排気ポンプPの回転体Rの温度を読込み、その読込んだ回転体温度を基に回転体温度初期値を求めて記憶する。更に、初期処理後の事後処理では、プロセス実行後に、その都度、回転体Rの温度を読込み、読込んだ回転体温度を基に回転体温度現在値を求める。そして、回転体温度初期値に対する回転体温度現在値の変化量以下回転体温度変化量というを求め、求めた回転体温度変化量を基に堆積物を検知し警告設定を行う。このような処理を行うため、先に説明した図1のポンプ制御装置50や図13の排気ポンプPは以下のように構成される。図13の排気ポンプPには回転体Rの温度を検出する温度検出手段7が設けられ、その排気ポンプ13のポンプ制御装置50図1参照には、温度検出手段7で検出した回転体Rの温度が入力される。そして、同ポンプ制御装置50のマイクロコンピュータ部51は、図8に示すフローチャートの各処理を実行することにより、初期処理として下記3-1から3-2の処理、及び、初期処理後の事後処理として下記4-1から4-4の処理を実行する機能がある。≪初期処理≫3-1排気ポンプPの回転体の温度を読み込む処理。3-2前記3-1において読込んだ回転体温度を基に回転体温度初期値を求めて記憶する処理。≪事後処理≫4-1排気ポンプPの回転体の温度を読み込む処理。4-2前記4-1において読込んだ回転体温度を基に回転体温度現在値を求める処理。4-3前記4-2で求めた回転体温度現在値から前記3-2で記憶した回転体温度初期値を減算することにより回転体温度変化量を求める処理。4-4前記4-3で求めた回転体温度変化量を基に警告設定を行う処理。≪初期処理と事後処理の処理内容の詳細≫前記3-1での回転体温度の読込みは、温度検出手段7からの入力を読み取る。前記4-1での回転体温度の読込みも同様である。回転体温度初期値については回転体温度平均値を採用することができる。回転体温度平均値の求め方は、これに対応する前述のモータ電流平均値の求め方と同様であるため、その詳細説明は省略する。また、回転体温度初期値を記憶する方式、回転温度変化量を求める方式、並びに、回転温度変化量を基に行う警告設定の方式も、これらにそれぞれ対応する前述の方式、すなわち、モータ電流初期値を記憶する方式、モータ電流変化量を求める方式、モータ電流変化量を基に行う警告設定の方式と同様であるため、その詳細説明は省略する。図8は、回転体温度変化量を基にポンプ内堆積物を検知する例において、段階的な警告レベルの設定を採用した場合における初期処理と事後処理の流れを示したフローチャート図である。なお、このフローチャート図の処理の実行タイミングは、図7のフローチャート図の処理の実行タイミングと同様である。図8を参照すれば、マイクロコンピュータ部51は、最初に、温度検出手段7を通じて回転体Rの温度をバッファ内に読込みステップ201、読込んだ回転体温度を平均化処理することにより回転体温度初期値を取得し設定するステップ204及び203。このステップ201から203の処理をN回繰り返すことによりステップ204のNo最終的な回転体温度初期値を求めたらステップ204のYes、求めた回転体温度初期値を記憶エリアに記憶するステップ205。以上で初期処理が終了する。回転体温度の初期値の読込は、入力操作手段55及び通信手段53を持ってマイクロコンピュータ部51に指示をしても良い。また、これを自動的に行う方法として、排気ポンプPが装置に実装されたあと、ある一定時間例えば1,000時間の間の回転体の最大温度を持って、初期温度とする事も可能である。もちろん、一定時間はプロセス等により異なる時間とする事は可能である。次に、マイクロコンピュータ部51は、回転体Rの温度をバッファ内に読込みステップ206、読込んだ回転体温度を前述の平均化処理することにより回転体温度現在値を求めステップ207、その回転体温度現在値から前記回転体温度初期値を減算することにより回転体温度変化量を求めてステップ208、ステップ209へ進む。ステップ209では、ステップ208で求めた回転体温度変化量がレベル1の警告設定閾値例えば回転体温度初期値の5°C以上であるか否かを判定する。ここで、レベル1の警告設定閾値以上であるステップ209のYes場合は、レベル1の警告設定を行いステップ210、次のステップ211へ進む。ステップ211では、ステップ208で求めた回転体温度変化量がレベル2の警告設定閾値例えば回転体温度初期値の10°C以上であるか否かを判定する。ここで、レベル1の警告設定閾値以上であるステップ211のYes場合は、先に設定したレベル1の警告設定をキャンセルして、レベル2の警告設定を行いステップ212、次のステップ213へ進む。ステップ213では、ステップ208で求めた回転体温度変化量がレベル3の警告設定閾値例えば回転体温度初期値の15°C以上であるか否かを判定する。ここで、レベル3の警告設定閾値以上であるステップ213のYes場合は、先に設定したレベル2の警告設定をキャンセルして、レベル3の警告設定を行うステップ214。レベル1、2、3の警告設定例は前述の通りである。なお、ステップ209において、回転体温度変化量がレベル1の警告設定閾値以上でない場合、及び、ステップ211において、回転体温度変化量がレベル2の警告設定閾値以上でない場合、並びに、ステップ213において、回転体温度変化量がレベル3の警告設定閾値以上でない場合は、それぞれステップ206の処理に戻ってステップ209のNo、ステップ211のNo、ステップ213のNo、ステップ206からステップ214の処理を繰り返す。前記各レベルの警告設定閾値は、一例であり、本例に係わらず、任意に設定しても良い。以上説明した例回転体温度変化量を基にポンプ内堆積物を検知する例では、初期処理で回転体温度初期値、事後処理で回転体温度現在値をそれぞれ求め、更に、その回転体温度初期値に対する回転体温度現在値の変化量を求め、かかる変化量を基にポンプ内堆積物を検知する構成を採用した。このため、例えば、エンドユーザが排気ポンプをプロセス実行装置に組み込んだ直後のプロセス実行時に前述の初期処理が行われることで、実際のプロセスに対応した回転体温度の変化量が得られ、その変化量を基にポンプ内堆積物の検知が行われることから、プロセスで使用するガスの種類や流量を問わず、どのようなプロセスにおいてもそのプロセスで使用する排気ポンプ内の堆積物ポンプ内堆積物をより正確に検知し警告を行うことができる。図9は、モータ電流変化量と回転体温度変化量を基にポンプ内堆積物を検知する例本発明の第3パターンに相当において、先に説明した段階的な警告レベルの設定を採用した場合における初期処理と事後処理の流れを示したフローチャート図である。この図9のフローチャート図において、図7や図8のフローチャート図の処理と同一の処理には同一符号を付してある。また、図9のフローチャート図の処理の実行タイミングは、図7のフローチャート図の処理の実行タイミングと同様である。図9において、ステップ101から108までの処理と、ステップ201から208までの処理は同時並列的に進行する。尚、この同時並列的に進行する処理群は、それぞれ図7のフローチャート図に示したステップ101から108までの処理、図8のフローチャート図に示したステップ201から208までの処理と同一であるので、その詳細説明は省略する。以下は、それ以後の異なるステップ301Aから303A、及び、301Bから303B、304の各処理について説明する。ステップ301Aでは、ステップ108において求めたモータ電流変化量と、モータ電流変化量に関して最高警告レベルを規定する警告設定閾値例えばモータ電流変化量の50。以下電流関係の最高警告設定閾値というとを比較し、モータ電流変化量が電流関係の最高警告設定閾値以上であるか否かを判定する。そして、このステップ301Aで、モータ電流変化量が電流関係の最高警告設定閾値以上である場合は、電流関係の最高警告設定閾値に対応する警告設定の処理を行うステップ301AのYes、ステップ304。一方、モータ電流変化量が電流関係の最高警告設定閾値以上でないステップ301AのNo場合は、次のステップ302Aに進む。ステップ302Aでは、ステップ108において求めたモータ電流変化量と、モータ電流変化量に関して初期警告レベルを規定する警告設定閾値例えばモータ電流変化量の30。以下電流関係の初期警告設定閾値というとを比較し、モータ電流変化量が電流関係の初期警告設定閾値以上であるか否かを判定する。ステップ303Aでは、ステップ208において求めた回転体温度変化量と、回転体増加量に関して初期警告レベルを規定する警告設定閾値例えば回転体温度変化量の5°C。以下温度関係の初期警告設定閾値というとを比較し、回転体温度変化量が温度関係の初期警告設定閾値以上であるか否かを判定する。そして、モータ電流変化量が電流関係の初期警告設定閾値以上でありステップ302AのYes、かつ、回転体温度変化量が温度関係の初期警告設定閾値以上であるステップ303AのYes場合は、電流関係若しくは温度関係の初期警告設定閾値に対応する警告設定の処理を行うステップ304。一方、モータ電流変化量が電流関係の初期警告設定閾値以上でないステップ302AのNo場合や、回転体温度変化量が温度関係の初期警告設定閾値以上でないステップ303AのNo場合は、ステップ106に戻る。ステップ301Bでは、ステップ208において求めた回転体温度変化量と、回転体温度変化量に関して最高警告レベルを規定する警告設定閾値例えば回転体温度変化量の15°C。以下温度関係の最高警告設定閾値というとを比較し、回転体温度変化量が温度関係の最高警告設定閾値以上であるか否かを判定する。そして、このステップ301Bにおいて、回転体温度変化量が温度関係の最高警告設定閾値以上であるステップ301BのYes場合は、温度関係の最高警告設定閾値に対応する警告設定の処理を行うステップ304。一方、回転体温度変化量が温度関係の最高警告設定閾値以上でないステップ301BのNo場合は、次のステップ302Bに進む。ステップ302Bでは、ステップ208において求めた回転体温度変化量と、温度関係の初期警告設定閾値とを比較する。また、次のステップ303Bでは、ステップ108において求めたモータ電流変化量と、電流関係の初期警告設定閾値とを比較する。そして、回転体温度変化量が温度関係の初期警告設定閾値以上であってステップ302BのYes、かつ、モータ電流変化量が電流関係の初期警告設定閾値以上であるステップ303BのYes場合は、温度関係若しくは電流関係の初期警告設定閾値に対応する警告設定の処理を行うステップ304。一方、回転体温度変化量が温度関係の初期警告設定閾値以上でないステップ302BのNo場合や、モータ電流変化量が電流関係の初期警告設定閾値以上でないステップ303BのNo場合は、ステップ206に戻る。以上説明した例モータ電流変化量と回転体温度変化量とを基にポンプ内堆積物を検知する例では、モータ電流変化量と回転体温度変化量とを基にポンプ内堆積物を検知するため、モータ電流変化量のみ、あるいは回転体温度変化量のみを基にポンプ内堆積物を検知する場合より精度よく、ポンプ内堆積物の検知が可能である。以上説明した全ての例では警告レベルを数段階に分けたが、そのように分けない構成も採用し得る。警告レベルを数段階に分けた場合は、エンドユーザにおいて排気ポンプの保守作業が容易となる。例えば、レベル1の警告が出た時点でバックアップ用排気ポンプを用意し、レベル2の警告が出た時点で排気ポンプを交換することにより、バックアップ用排気ポンプの保有台数を最小限とすることができ、コスト低減を図ることができる。図14は、図13の排気ポンプPを排気手段として組み込んだ顧客のプロセス実行装置の稼働状態と、その排気ポンプPのモータMの温度との関係の説明図である。図14において、時刻t0からt1の間は、顧客のプロセス実行装置でプロセスが複数回実行されることにより、排気ポンプPのモータMの温度は定常温度C2度で安定している。次に、時刻t1の直後からオーバーホール等のため顧客のプロセス実行装置が停止すると、それに伴い排気ポンプPの負荷が減ること等に起因して、排気ポンプPのモータMの温度が所定温度C1度まで低下する。その後、時刻t2から停止中のプロセス実行装置が再起動し、同装置においてプロセスが復帰再開することにより、時刻t2から排気ポンプPの負荷が増えること等に起因して、排気ポンプPのモータMの温度が上昇する。そして、プロセス実行装置でプロセスが複数回実行された時刻t3において、当該モータMの温度は定常温度C2度で安定する。このように顧客のプロセス実行装置に組み込まれた排気ポンプPのモータMは常に一定の温度にならない。顧客のプロセス実行装置の稼動状態に応じて排気ポンプPのモータMにはΔC度の温度差ΔC度=C2度-C1度が生じる。前記モータMの温度差ΔC度はそのモータ電流値に影響を与える。この影響を調べるために、本発明者等は調査試験を行った。この調査試験では、図13の排気ポンプPのガス流路において生成物が最も堆積しやすい部位具体的には図13のS部に図2に示す擬似的な生成物の堆積状況を作成し、このような擬似的な堆積物が存在する状況下で排気ポンプPを運転した。そして、同排気ポンプPのモータMの温度が高い時C4度と低い時C3度とにおいて、排気ポンプP内での生成物の堆積と排気ポンプPのモータMの電流変化との関係を調査した。その調査の結果を示したものが図15である。なお、この調査試験ではモータMの温度が高い時C4度と低い時C3度に排気ポンプPを流れるガスの種類と流量は同じ条件になるようにした。同図中のグラフAは、モータMの温度が高い時C4度の生成物堆積比率とモータMの電流変化との関係を示し、また、同図中のグラフBは、モータMの温度が低い時C3度の生成物堆積比率とモータMの電流変化との関係を示している。図15の両グラフA、Bから分かるように、排気ポンプPを流れるガスの種類と流量が同じでも、モータMの温度が高い時C4度と低い時C3度とでは、モータ電流値に差が生じることが分かる。その差は、排気ポンプPを流れるガスの種類と流量やモータMの規格等によって多少異なるが、最大10程度であることが本発明者等の実験により判明している。図16は、排気ポンプP内を流れるガスの流量と、排気ポンプPのモータMの温度と、同モータMの電流値との関係を調査する実験の結果を示した図である。同図aのように排気ポンプP内を流れるガスの流量が一定である場合、排気ポンプPのモータMの温度と電流値は、同図bcのようにガスを流し始めた時刻t0より増加し始めた。そして、モータMの温度については同図bのようにガス流し始め時刻t0より所定時間経過後に所定温度で安定し、モータMの電流値については同図cのようにモータMの温度の安定とほぼ同等に上昇し、所定電流値で安定した。同図bに示したモータMの温度差によるモータ電流値の差は最大で10程度になった。以上説明したようにモータMの温度が高い時例えば図15のC4度と低い時例えば図15のC3度ではモータ電流値に差が生じるため、前記初期処理において記憶したモータ電流初期値が図15のA1であって、かつ、前記事後処理において求めたモータ電流現在値が図15のA2であるとしたら、同じモータ電流変化量Δi=A2-A1でも、モータMの温度が高い時C4度と低い時C3度とでは、生成物堆積比率が図15のように異なってしまう図15によると、モータMの温度が低い時C3度の生成物堆積比率は約72であり、モータMの温度が高い時C4度の生成物堆積比率は約69である。そこで、モータMの温度が低い時例えば図15のC3度に前述の事後処理においてモータMの温度が高い時例えば図15のC4度のポンプ内堆積物排気ポンプP内に堆積する生成物の堆積量を正確に検知するためには、モータMの温度を考慮する必要がある。また、先に図4で説明したように排気ポンプPを流れるガスの流量によりモータ電流値の変化率が異なるので、排気ポンプP内を流れるガスの流量も同様に考慮する必要がある。以上の事柄モータMの温度と、排気ポンプP内を流れるガスの流量を考慮して生成物の堆積量を正確に検知するため、前記ヘルスチェックモードでの事後処理では、排気ポンプPに規定のガス種、ガス流量を流した上で、モータMの電流値を読み込む段階で該モータMの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測する。そして、この予測したモータ電流到達値を前記2-2のモータ電流現在値として採用する。モータ電流到達値を予想する手法としては、例えば、図16aのように排気ポンプPに規定のガス種、ガス流量を流してモータ温度とモータ電流を計測する実験を行うことで、図16bcのようなモータ温度とモータ電流との相関データを予め取得しておき、その相関データからモータ電流到達値を予想してもよい。なお、ヘルスチェックモードではある程度のガス流量を流す必要がある。ガス流量が少ないと、モータ電流値の変化量が少なく、生成物の検知が難しくなるからである。従って、ヘルスチェックモードにおいて生成物を検知し易くするためには、適切なガス種と流量を予め決めておく必要がある。前記モータ電流到達値とは、図14と図15の例で説明すると、時刻t2でC1度又はC3度まで低下したモータMの温度がプロセスの復帰再開によりC2度又はC4度まで上昇したときに到達するものと推測される、予想のモータ電流値である。前記モータ電流到達値については計算により予想することができる。図15のグラフA、Bによると、排気ポンプPを流れるガス種とガス流量が同じであるなら、モータMの温度差C4-C3によるモータ電流値の差は、前述の通り最大10である。従って、例えばモータMの温度がC3度の時にC4度まで上昇した時のモータ電流値モータ電流到達値を予測するなら、C3度の時のモータ電流値に対してその10を加算すればよい。なお、この10という加算量は、排気ポンプPを流れるガスの種類や流量に応じて、適宜変更される。そして、前記のようにモータMの温度がC3度の時に予想したモータ電流到達値モータMの温度がC4度まで上昇した時のモータ電流値は、前記事後処理において、モータMの温度がC4度となった時のモータ電流現在値として採用されることより、モータMの温度がC3度の時に事後処理が行われる場合でも、モータMの温度がC4度となったときのポンプ内堆積物の堆積量を精度よく検出することができる。モータMの温度の計測については、そのモータMに付属の図示しない温度センサや後付けの温度センサを利用する方法が考えられる。前記モータ電流到達値の予測は前記初期処理で実施してもよい。この場合、その初期処理では、排気ポンプPに規定のガス種、ガス流量を流した上で、モータMの電流値を読み込む段階で該モータMの温度を計測し、計測したモータ温度に基づいてモータ電流到達値を予測する。そして、予測したモータ電流到達値を前記1-2のモータ電流初期値として採用し記憶する。以上の説明では、図13のようにブレード部2とネジ溝部5を備えた、いわゆる複合翼タイプの排気ポンプを例に挙げ、この排気ポンプのガス流路に堆積する生成物を検知する場合の構成を説明したが、それ以外の別の排気ポンプ、例えば図13のネジ溝部5を持っていない、いわゆる全翼タイプの排気ポンプにおいて、そのガス流路に堆積する生成物を検知する場合にも、本発明は適用できる。"