"対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子であって、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の導電性の円筒形状部とを備え、該大径の導電性の円筒形状部の筒壁面に長軸方向に収縮するばね部が形成され、前記小径の導電部の先端部が、前記大径の導電性の円筒形状部の先端部から突出し、前記小径の導電部の一部が、前記大径の導電性の円筒形状部の前記ばね部が形成されていない部分の前記先端部に近い位置に電気的に接続されて接合されており、前記小径の導電部の先端部が前記対象点から押圧されて後退するのに伴い前記ばね部が収縮しながら旋回して前記小径の導電部の先端部を旋回させる、接続端子。請求項1の接続端子において、前記小径の導電部の先端部に、該小径の導電部の長手方向軸線と交差する1又は2以上の面によって切り取られて形成された当接部が形成されている、接続端子。請求項1又は2の接続端子において、前記小径の導電部の先端部の当接部が、鋭利な刃先形状、細長い面形状である、接続端子。請求項1乃至3のいずれかの接続端子において、前記小径の導電部の先端部の前記当接部が、前記小径の導電部の長手方向軸線からシフトして形成されている、接続端子。請求項1乃至4のいずれかの接続端子において、前記小径の導電部の先端部の前記当接部が、前記小径の導電部の長手方向の軸線を交差する4面の接する境界に形成されている、接続端子。請求項1乃至5のいずれかの接続端子において、前記小径の導電部の先端部の前記当接部が、前記小径の導電部の長手方向の軸線を交差する2面の接する境界に形成されている、接続端子。対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子を備える接続治具であって、該接続端子が、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の導電性の円筒形状部とを備え、該大径の導電性の円筒形状部の筒壁面に長軸方向に収縮するばね部が形成され、前記小径の導電部の先端部が、前記大径の導電性の円筒形状部の先端部から突出し、前記小径の導電部の一部が、前記大径の導電性の円筒形状部の前記ばね部が形成されていない部分の前記先端部に近い位置に電気的に接続されて接合されており、該接続治具が、さらに、該接続端子の前記小径の導電部又は前記大径の導電性の円筒形状部の後端部の後端面に電気的に接続される導線を有する電極部と、前記接続端子の前記小径の導電部の前記先端部を前記対象点に案内するためのヘッド部と、前記大径の導電性の円筒形状部の前記後端部の前記後端面を前記電極部の前記導線に向けて案内するためのベース部とを備え、前記小径の導電部の先端部が前記対象点に当接すると、該小径の導電部の先端部が、該対象点から押圧されて後退するのに伴い、前記ばね部が収縮しながら旋回して前記小径の導電部の先端部を旋回させる、接続治具。請求項7の接続治具において、前記小径の導電部の先端部の当接部が前記対象点に当接し、前記電極部の導線に当接する前記前記大径の導電性の円筒形状部の後端部の後端面の面積が、前記小径の導電部の先端部の当接部の当接面積よりも大である、接続端子。特許文献1は、プローブ針を回転させるために、収容体の内側面にらせん状の溝を設けるとともにプローブ針に凸部を形成する必要があるため、製造工程が増加及び複雑化している。特許文献2も、プローブピンを回転させるために、ガイド球、それが接触する溝及びバネを備えるため、製造工程が増加及び複雑化している。特許文献3によると、プローブ針の先端部を略円錐又は略角錐にしたり、プローブの先端部の頂点をプローブ針の軸からずらしたりすることによって、その先端部が電極に接触すると先端部がスクラッチして酸化膜や汚れを取り除くことができるが、より確実に酸化膜等の除去ができることが依然として要望されている。特許文献4のスプリングプローブは、接触子と案内子との間に鍔部を設けて、接触子を筒体に挿入し、オーバードライブを加えた際にスプリングが横方向に歪むことによって隣接するプローブと接触するという課題を解消しようとするもので、接続端子と対象点との接触を良好にすることとは何ら関係がない。近年、LSIの形成プロセスが向上し、LSIの微細化が推進され、LSI検査用パッドの狭ピッチ化や多数化が進んだことにより、検査対象の基板の複雑化や微細化がより進み、基板に設定される対象点がより狭く又は小さく形成されるようになったため、接続端子がより細く形成されている。そのため、多数の微細な接続端子であっても確実に先端部と対象点との電気的接続が図れることが求められている。そこで、本発明は、部品点数が少なく、確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を提供することを目的とする。本発明は、組み立てが簡易で、確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を提供することを目的とする。本発明は、微細な接続端子で、確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を提供することを目的とする。本発明に係る、対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の導電性の円筒形状部とを備え、該大径の導電性の円筒形状部の筒壁面に長軸方向に収縮するばね部が形成され、前記小径の導電部の先端部が、前記大径の導電性の円筒形状部の先端部から突出し、前記小径の導電部の一部が、前記大径の導電性の円筒形状部の前記ばね部が形成されていない部分の前記先端部に近い位置に電気的に接続されて接合されており、前記小径の導電部の先端部が前記対象点から押圧されて後退するのに伴い前記ばね部が収縮しながら旋回して前記小径の導電部の先端部を旋回させることを特徴とする。その接続端子において、前記小径の導電部の先端部に、該小径の導電部の長手方向軸線と交差する1又は2以上の面によって切り取られて形成された当接部が形成されていてもよい。その接続端子において、前記小径の導電部の先端部の当接部が、鋭利な刃先形状、細長い面形状であってもよい。その接続端子において、前記小径の導電部の先端部の前記当接部が、前記小径の導電部の長手方向軸線からシフトして形成されていてもよい。その接続端子において、前記小径の導電部の先端部の前記当接部が、前記小径の導電部の長手方向の軸線を交差する4面の接する境界に形成されていてもよい。その接続端子において、前記小径の導電部の先端部の前記当接部が、前記小径の導電部の長手方向の軸線を交差する2面の接する境界に形成されていてもよい。また、本発明に係る、対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子を備える接続治具は、該接続端子が、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の導電性の円筒形状部とを備え、該大径の導電性の円筒形状部の筒壁面に長軸方向に収縮するばね部が形成され、前記小径の導電部の先端部が、前記大径の導電性の円筒形状部の先端部から突出し、前記小径の導電部の一部が、前記大径の導電性の円筒形状部の前記ばね部が形成されていない部分の前記先端部に近い位置に電気的に接続されて接合されており、該接続治具が、さらに、該接続端子の前記小径の導電部又は前記大径の導電性の円筒形状部の後端部の後端面に電気的に接続される導線を有する電極部と、前記接続端子の前記小径の導電部の前記先端部を前記対象点に案内するためのヘッド部と、前記大径の導電性の円筒形状部の前記後端部の前記後端面を前記電極部の前記導線に向けて案内するためのベース部とを備え、前記小径の導電部の先端部が前記対象点に当接すると、該小径の導電部の先端部が、該対象点から押圧されて後退するのに伴い、前記ばね部が収縮しながら旋回して前記小径の導電部の先端部を旋回させることを特徴とする。その接続治具において、前記小径の導電部の先端部の当接部が前記対象点に当接し、前記電極部の導線に当接する前記前記大径の導電性の円筒形状部の後端部の後端面の面積が、前記小径の導電部の先端部の当接部の当接面積よりも大である。本発明によると、部品点数が少なく、確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を提供することができる。本発明によると、組み立てが簡易で、確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を提供することができる。本発明によると、微細な接続端子で、確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を提供することができる。本発明によると、部品点数が少なく、組み立てが簡易で、微細な、確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を備える検査治具を提供することができる。また、本発明によると、線形素材やSUS線を取り除いた段階で、追加の工程を必要とすることなくばね部を備える接続端子を多数同時に製造可能な接続端子の製造方法を提供することができる。本発明の検査用治具及び接続端子は、被検査物が有する検査対象部に、検査装置から電力或いは電気信号を所定検査位置に供給するとともに、検査対象部から電気信号を検出することによって、検査対象部の電気的特性を検出したり、動作試験を行ったりすることを可能にする。また、本発明に係る接続端子は、対象物と装置とを電気的に接続することを目的とすることもでき、更に、インターポーザやコネクタのように電極端と電極端とを接続する接続治具としても採用することができる。以下に、添付図面に基づいて、接続端子を基板や半導体装置の被検査物の検査対象部の検査用のプローブとして用いた場合について説明を行う。なお、各添付図において、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔等は、理解の容易のために、適宜、拡大縮小変形簡略化等を行っている。[検査用治具の概略の構成]図1は、本発明の一実施形態に係る検査用治具10の概略の構成を示す一部断面正面図である。検査用治具10は、ヘッド部12、ベース部14及び電極部16を備える。ヘッド部12及びベース部14は、樹脂あるいはセラミックス等の絶縁性の板状部材からなる。ヘッド部12及びベース部14は、棒状の支持部材11及びその周囲に環装されたスペーサ11sによって所定の距離だけ離隔されて保持されている。ヘッド部12には複数の貫通孔12hが形成されていて、それに挿入されたプローブ20の先端部22fが所定の位置に案内される。ベース部14には複数の貫通孔14hが形成されていて、それに挿入されたプローブ20の後端部22rが電極部16へ案内される。検査対象が微細になるのに伴い検査点間の距離が非常に小さくなっているため、各貫通孔12h及び貫通孔14hの内径も非常に小さくなっている。プローブ20の後端部22rは、電極部16に固定された導線18の端部と接触しており、導線18は図示せぬ検査装置に接続されている。図1においては、図面の簡略化のために、一部のプローブ20のみを示す。また、図1に示すように、被検査物の検査時には、検査用治具10の下方に、検査対象の被検査物30を配置し、検査用治具10を下降させてプローブ20の先端部22feを所定の検査点、例えば、30dnに接触させ、それにより、検査対象部の電気的特性の検査を行う。[接続端子の構造]図2Aから図2Dは、図1の検査用治具に用いることができる一実施形態に係る接続端子又はプローブという20を説明するための拡大及び簡略化した図である。図2Aは接続端子20の一部断面図であり、図2Bは接続端子20を構成する円筒形状部22の側面図であり、図2Cは接続端子20を構成する棒状部円柱形状体及び円筒形状体を含む24の側面図である。図2Aは、図1の検査用治具に用いることができる一実施形態に係る接続端子20を示す。接続端子20は、導電性の円筒形状部22と導電性の円柱形状の棒状部24とから構成されていて、棒状部24が、導電性の円筒形状部22内に挿通されている。円筒形状部22は、円筒形状の先端部22fと、円筒形状の後端部22rと、それらの間に形成されたばね部22sとからなり、ばね部22sは螺旋形状に形成されている。棒状部24は、円柱形状の本体部24bと先鋭形状の先端部24eとからなる。棒状部24は、円筒形状部22の先端部22f、ばね部22s及び後端部22r内に挿通されていて、棒状部24の先端部24eが、円筒形状部22の先端部22fの先端面22feから突出している。また、後述するように、P1の位置において、棒状部24の先端24e側の一部が円筒形状部22の先端部22fに溶着されていて、円筒形状部22の先端部22fは棒状部24とともに動く。棒状部24の後端部側は、円筒形状部22の後端部22rの後端面よりも内側に引っ込んだ位置にある。その引っ込んだ位置までの距離は、棒状部24の先端部24eが押されて後退した場合に、それとともに移動する棒状部24の後端部側が、円筒形状部22の後端部22rの後端面から出ない程度の大きさである。ばね部22sは、伸縮する際に、伸縮にともなって軸線を中心に旋回をする。すなわち、例えば、円筒形状部22の後端部22rを固定した状態で棒状部24の先端部24eを押して棒状部24を後退させると、円筒形状部22の先端部22fが棒状部24の先端部24eとともに後退し両者はP1の位置で接合されているから、その後退とともに、ばね部22sが収縮することになる。この時、円筒形状部22の後端部22rは、後述する電極部18と固定されていて旋回できないため、円筒形状部22の先端部22fが旋回することになる。この旋回によってばね部22sが収縮の前後において同じ外径の大きさを維持することが可能になる。円筒形状の先端部22fのP1の位置においては、円筒形状の先端部22fと棒状部24の本体部24bとが、詳しくは後述のとおり、抵抗溶接電気溶接又はかしめによって接合されていて、互いに固定されている。このため、円筒形状の先端部22fと円柱形状の本体部24bとは一緒に移動することになる。また、その接合によって、円筒形状の先端部22fと棒状部24の本体部24bとが電気的に導通可能となっている。棒状部24の先端部24eは、棒状部24の長手方向の軸線図2A中の一点鎖線で示すものを斜めに交差する面32で切断した形状を有する。図2Bは、接続端子20を構成する円筒形状部22を示す。円筒形状部22として、例えば、外径が、約25μmから300μmで、内径が10μmから250μmのニッケルあるいはニッケル合金のチューブを用いることができる。この実施形態では、一例として、外径φ1が、約70μm、内径φ2が約50μm、全長L1が約20mmのニッケルチューブを用いるが、これに限定されるものではない。円筒形状部22の先端部22fの端面22fe及び後端部22rの後端面を除いて、周面は必要に応じて絶縁被覆してもよい。円筒形状の先端部22fの長さL2は約5mmで、ばね部22sの長さL3は約10mmで、後端部22rの長さL4は約5mmである。これらの値は一例であり、これらに限定されるものではない。なお、円筒形状の先端部22fの軸線の周りの帯状部分の長手方向に沿って切欠き部のスリットを形成してもよい。スリットを形成すると、円筒形状の先端部22fと棒状部24の本体部24bとを抵抗溶接又はかしめによって接合して互いに固定する際に、抵抗溶接の前後において、円筒形状の先端部22fの外径が大きくならずほぼ断面円形を維持することができる。図2Cは、接続端子20を構成する棒状部24を示す。棒状部24として、例えば、直径φ3が、約48μmのタングステン、工具用炭素鋼SK材、ベリリウム銅等からなる円柱形状部材を用いることができる。その直径は、棒状部24が筒形状部22内で移動自在でなければならないため、円筒形状部22の内径よりも小さい。例えば、棒状部24を筒形状部22に挿入した場合には、棒状部24と筒形状部22との間に約1μm程度のクリアランスが形成される。棒状部24の長さL5は、検査用治具のヘッド部12図1から先端部を突出させる長さに応じて変わるが、円筒形状部22とほぼ同じかそれよりも短くてもよい。[検査用治具の概要]図3は、接続端子20が取り付けられた検査用治具の一部の拡大断面図である。実際には、検査用治具には多数の接続端子20が取り付けられるが、図面の簡略化かつ理解の容易のために、図3においては、1つの接続端子20のみを示す。図3に示すように、ヘッド部12の下面には板厚の薄いプレート12uが取り付けられている。ヘッド部12には大径部12h1が形成され、プレート12uには小径部12h2が形成されている。ただし、プレート12uを用いることなく、ヘッド部12自体に大径部12h1と小径部12h2とを形成してもよい。大径部12h1には、接続端子20の円筒形状部22の先端部22fが挿入されている。先端部22fの先端面22feは、プレート12uの面に当接しており、プレート12uは大径部12h1から小径部12h2に移行する部分を構成する。さらに小径部12h2には棒状部24が挿通され、先端部24eがヘッド部12から突出している。この場合、小径部12h2を形成するプレート12uの面は係止部を構成する。一方、接続端子20の後端部22rの後端面は、ベース部14の貫通孔14hに挿入されて導線18の端面と接触している。図3の状態において、ヘッド部12の係止部を形成するプレート12uの面から電極部16の導線18の端面までの距離は、図2Aのように負荷のかかっていない自然長の円筒形状部22の長さよりも小さい。このため、図3においては、その係止部によって円筒形状部22の先端部22fが押し上げられて、ばね部22sが収縮している。これにより、円筒形状部22の後端部22rが電極部16の導線18の端面に押し当てられていて、後端部22rと導線18との接触抵抗値を小さく抑えることができる。図4Aは、図3の検査用治具を用いて被検査物の検査を行うときの状況を説明するための検査用治具の一部の拡大断面図である。基板等の被検査物の検査時には、検査用治具10を下降させて接続端子20の先端部24eを被検査物30の配線等の対象部上の所定の検査点30d1に当接させる。このとき、棒状部24の先端部の形状は、円柱形状部の長手方向軸線を斜めに交差する面32で切断した形状であるため、先端部24eの当接部32pが、円柱形状部の長手方向軸線から半径方向に離れた位置にある状態で検査点30d1に接触する。また、図4Aから明らかなように、当接部32pが検査点30d1に接触する面積よりも、円筒形状部22の後端部22rが電極部16の導線18の端面に接触している面積の方が大きい。さらに検査用治具10が下降すると、接続端子20の棒状部24は、押し上げられてヘッド部12の貫通孔12h内に入り込む。上記の通り、円筒形状部22の先端部22fと棒状部24とはP1において接合されているので、棒状部24が押し上げられると、それとともに円筒形状部22の先端部22fも押し上げられる。この結果、円筒形状部22の先端部22fの先端面22feが、ヘッド部12の小径部12h2の係止部を形成するプレート12uの面から離れ、大径部12h1内で、先端部22fが何等内壁に接触することもなく移動することができる。上記の通り、ばね部22sは収縮に伴って旋回する。これに伴い、円筒形状部22の先端部22fも旋回し、それとともに棒状部24も旋回する。すなわち、例えば、図4B1に示すように棒状部24が矢印の向きに旋回して図4B2に示す位置まで移動すると軸線を中心に約90度旋回すると、棒状部24の先端部の面32の当接部32pが検査点30d1の中心ではなく周辺位置に押し当てられているため、当接部32pは検査点30d1の表面上を円の約4分の1の円弧を描いて移動する。この動きにより、その当接部32pが、検査点30d1の表面上の酸化膜をひっかいたり削り取ったりする。検査が終了して検査用治具10が被検査物から離れると、棒状部24の先端部24eを押し上げる力がなくなるため、円筒形状部22の先端部22fは再びヘッド部12の係止部を形成するプレート12uの面に当接し、そこに保持される図3。図5Aから図5Dは、他の実施形態に係る棒状部24を示す。この実施形態に係る棒状部24の先端部の形状は、円柱形状部の長手方向軸線を斜めに交差する4つの面で切断した形状である。つまり、図5Aに示す棒状部24は、最も大きな面34と、その反対側の面に位置する面38と、これらの面を挟む一対の対向面36a,36bとからなる先端形状を有する。言い換えると、それらの面によって先端部はナイフの刃先のような形状になる。これらの面は、例えば、面34及び38を平面とし、一対の対向面36a,36bを曲面としてもよい。また、最も大きな面34とその反対側の面に位置する面38との境界に形成された当接部34pは、軸線から半径方向に約10μm程度シフトしている。図5Aから図5Dに示す実施形態に係る棒状部24を使用したとき、例えば、図4Aに示すように、検査用治具10を下降させて接続端子20の先端部24eを被検査物30の配線等の対象部上の所定の検査点30d1に押し付けると、ばね部22sが収縮に伴って旋回し、これに伴い、円筒形状部22の先端部22fとともに棒状部24も旋回する。この時、棒状部24の先端部の当接部34pは、検査点30d1に押し当てられた状態で、検査点30d1の表面上を円の約4分の1の円弧を描いて移動する。この動きにより、その当接部34pが、検査点30d1の表面上の酸化膜をひっかいたり削り取ったりする。図6Aから図6Dは、さらに他の実施形態に係る棒状部24を示す。この実施形態に係る棒状部24の先端部の形状は、円柱形状部の長手方向軸線を斜めに交差する2つの面で切断した形状である。つまり、図6Aに示す棒状部24は、一対の対向する2つの面33a,33bからなる先端形状を有する。言い換えると、それらの面によって先端部はマイナスドライバねじ回しの先端のような形状になる。また、それらの一対の面33a,33bの間の細長い直線形状の当接部35の幅は約10μm程度である。図6Aから図6Dに示す実施形態に係る棒状部24を使用したとき、例えば、図4Aに示すように、検査用治具10を下降させて接続端子20の先端部24eを被検査物30の配線等の対象部上の所定の検査点30d1に押し付けると、ばね部22sが収縮に伴って旋回し、これに伴い、円筒形状部22の先端部22fとともに棒状部24も旋回する。この時、棒状部24の先端部の当接部35は、検査点30d1に押しあてられた状態で、検査点30d1の表面上をワイパーのように約4分の1の円弧を描く。この動きによって、特に、当接部35の面を構成する長手方向の2つの角の部分が、検査点30d1の表面上の酸化膜をひっかいたり削り取ったりするように作用する。上記の通り、棒状部の先端部の形状は、該棒状部の長手方向の軸線と交差する1又は2以上の面を切り取ることによって形成することができる。それにより形成された当接部の形状、大きさ、形成される位置は、複数の面の形状、大きさ、軸線との交差角度を変更することによって任意の位置に形成することができる。例えば、2つの面の交差角度を変更するだけで、当接部を軸線上に形成したり、軸線上から外れた位置に形成したりすることができる。また、面は、当接部の形状、大きさ、形成される位置を特定するために、平面で形成しても曲面で形成してもよい。[接続端子の製造例]図7Aから図7Hまでは、本発明に係る一実施形態の接続端子の円筒形状部を製造するための各工程の一実施例を示す断面図である。また、ここで製造された円筒形状部は、単独で用いることもでき、他の円筒形状部材又は円柱形状部材と組み合わせることによって接続端子として機能させることもができる。なお、全図において、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔、隙間等は、理解の容易のために、適宜、拡大縮小変形簡略化等をしている。図の説明の際の上下左右の表現は、その図に向かった状態でのその図面の面に沿った方向を表すものとする。図7Aは、芯材70の外周面上に金めっき層72を形成し、さらにその上にニッケルめっき層74を形成して製造した電鋳管円筒形状管の断面図を示す。芯材70としては例えば外径が5μmから300μmの金属線や樹脂線を用いることができる。金属線としては例えばSUS線を用いることができ、樹脂線としてはナイロン樹脂やポリエチレン樹脂等の合成樹脂線を用いることができる。また、金めっき層72の厚さは約0.1μmから1μmであり、ニッケルめっき層74の厚さは、約5μmから50μmである。電鋳管の長さは、搬送作業の容易性等の観点から50cm以下が望ましいが、それに限定されるものではなく、切断することなく連続的に製造してもよい。図7Bは、図7Aに示された電鋳管のニッケルめっき層74の外周面上に絶縁膜76を形成したものを示す。絶縁膜76は後述の所定の溝の形成の際にレジストとしても機能する。その絶縁膜の厚さは約2μmから50μmである。絶縁膜76として、例えば、フッ素コーティング又はシリコーン樹脂材を用いて形成してもよい。次に、図7Cに示すように、絶縁膜76を例えば3mmから30mmの間隔を置いて所定の幅だけ周回して除去して溝78a,78b,78cを形成し、また、それらの溝と溝との間の絶縁膜の一部をらせん状に除去してらせん状の溝79a,79bを形成する。それらの溝を形成した部分には、ニッケルめっき層74が露出する。これらの溝を形成する際には、絶縁膜76にレーザービームを照射して、絶縁膜76を除去する方法を採用することができる。この場合、芯材70を周方向に回転させながら、溝の位置にレーザービームを直接照射し、その照射により絶縁膜76を除去する。なお、この方法で使用するレーザービームの出力は、絶縁膜76のみを除去することができ、且つニッケルめっき層を損傷することがない出力に調整される。次に、図7Dに示すように、絶縁膜76をマスクとして用いて、溝78a,78b,78c,79a,79bに露出したニッケルめっき層74をエッチング除去して金めっき層72を露出させる。その際、ニッケルめっき層74と芯材70との間に金めっき層72が存在するため、エッチングの際にニッケルエッチング液が芯材まで到達することを防止することができる。そのエッチング処理により除去されたニッケルめっき層74の溝78a,78b,78c,79a,79bに露出した端面は、エッチング液による腐食作用を利用するため、サイドエッチング部が形成されているという特徴を有する後述する。また、らせん状の溝79a、79bは、その部分にある絶縁膜76をレーザによって除去した後に、その部分に露出したニッケルめっき層74をエッチングによって除去することによって形成したため、そのらせん状の溝間にある部分後述するばね部のニッケルめっき層74の端面にはサイドエッチング部が形成されており、この積層された絶縁膜76が、そのニッケルめっき層74に対してオーバーハングしている状態となる。図7Eでは、レーザービームを照射して、溝78a,78b,78cを形成している絶縁膜76を端面から所定の長さを除去して、ニッケルめっき層74を露出させる。その露出したニッケルめっき層74は、接続治具用の接続端子に形成される際に、検査対象部に接触する先端部又は検査装置に接続される接続治具の電極に接触する後端部として機能する部分になり、接続治具の構造に応じて、それらの必要な長さが定まる。そのため、それらを考慮して絶縁膜76を除去する長さを決定すればよい。次に、超音波洗浄を行って、図7Fに示すように、溝78a,78b,78c,79a,79bに露出した金めっき層72を除去する。次に、図7Gに示すように、芯材70を白抜き矢印で示すように両端を離れる方向に引っ張って断面積が小さくなるように変形する。一端を固定して他端のみを引っ張るようにしてもよい。芯材70が延伸してその断面積が小さくなると、芯材70の外周面を被覆していた金めっき層72がその外周面から剥離して電鋳管の内側に残り、芯材70と金めっき層72との間に空間78が形成される。次に、図7Hに示すように、芯材70を抜き取ると、溝78a,78b,78cによって隣り合う部分が離れて、接続端子71と接続端子73とが、別個のものとして形成されることになる。このように、図7Hに示すように、芯材70を抜き取った段階で、他の追加の工程を必要とすることなく接続端子を完成させることができる。なお、図7Aから図7Hは、簡略化して電鋳管の一部のみを示しているため、図7Hの工程では、2個の接続子のみが製造されたようになっているが、長い電鋳管を使用することによって、多数の接続端子を一度に製造することができる。図7Hに示すように、接続端子71,73は、導電性材料の円筒形状管のニッケルめっき層74を備え、その両端側には、ニッケルめっき層が露出した先端部及び後端部が形成されており、また、先端部と後端部との間には、長軸方向のらせん状の壁面を有するばね部が形成されており、そのらせん状の壁面に沿って絶縁層76が形成されている。本発明の接続端子は、上記の如き寸法の条件下において製造することができるが、特に、外径が30μmから100μm、内径が20μmから90μm、絶縁被覆の厚みが2μmから15μmに形成される場合において、接続治具に用いられる接続端子として好適に用いることができる。上記の図7Aから図7Hの実施例においては、絶縁膜76を形成し、それを必要に応じて、レジスト膜として使用した。絶縁膜は必ずしも必要ではないので、エッチングの際には、レジスト膜を使用してもよい。また、図2Bに示す円筒形状部22は、例えば、上記の図7Aから図7Hに示す製造方法によって製造することができる。例えば、図7Cの製造工程において、らせん状の溝を形成するために、絶縁膜76の一部をレーザービームの照射によって除去し、その部分に露出したニッケルめっき層74をエッチングによって除去する際に、同様に、レーザービームの照射によってスリットの形状に沿って絶縁膜76を除去し、その部分に露出したニッケルめっき層74を、エッチングによって除去することによってスリットを形成することができる。図8A及びから図8Bは、円筒形状の接続端子166の先端部の当接部の形状に特徴のある他の実施形態を示す。これらの接続端子も、検査用プローブのみならず、対象物と所定の装置とを電気的に接続する接続治具に、更に、インターポーザやコネクタのように電極端と電極端とを接続する接続治具にも使用することができる。図8Bに示すように、円筒形状部161は、内側壁面と外側壁面とから形成されていて、中央に空間を有する。図8Aに示すように、円筒形状部161の先端部図8Aにおいて下側の部分には、外側壁面の縁部162と内側壁面の縁部164とそれらの間を結ぶ面163とが形成されていて、その面163には、円筒形状部161の円周面に沿って、等間隔に、略U字形状の切欠き部が形成されている。隣り合う切欠き部の間には、鋭利な形状の当接部164pが形成されている。このような切欠き部及び当接部は、エッチング処理により形成することができる。例えば、図7Bに示すように、電鋳管のニッケルめっき層74の外周面上に絶縁膜76を形成して円筒形状体を作る。接続端子の長さに応じて、レーザービームにより、円筒形状体の各端部の円周に沿って、絶縁膜76を略U字形状に除去してニッケルめっき層74を露出させる。その状態で、残りの絶縁膜76をマスクとして用いて、円筒形状体をエッチング処理する。その際、円筒形状体の各端部において、エッチング液が、絶縁膜76の縁からニッケルめっき層74の円筒形状体の外側壁面に回り込んでその外側壁面を侵食するため、外側壁面は、内側壁面よりも腐食される。その結果、絶縁膜76を略U字形状に除去した位置にあるニッケルめっき層74も略U字形状に侵食される。その結果、図8Aに示すように、先端部161aにおいては、外側壁面の縁部162の最も突出した位置162tと外側壁面の縁部162の最も引っ込んだ位置162bとは、接続端子166の軸線方向に沿って大きく離れており、また、内側壁面の縁部164の最も突出した位置にある当接部164pと内側壁面の縁部164の最も引っ込んだ位置164bも、接続端子166の軸線方向に沿って大きく離れている。以上、本発明に係る接続端子、被検査物検査用の検査用治具及びそれに用いることのできるプローブの実施形態について説明したが、本発明はその実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものであり、また、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められることを承知されたい。"