"互いに、第1組の連結可能な複数の処理室からなる連続体と、第1組の連続体に対向して、第2組の連結可能な複数の処理室からなる連続体が設けられ、第1組若しくは第2組の連続体に1つ若しくは複数の密封手段を持つ連続体とで構成する処理装置において、各第1組若しくは第2組の連続体に、密封するための1つ若しくは複数の溝を設置し、当該連続体に基材を通過させるための溝を設置したことを特徴とした処理装置。前記第2組の連続体が、基材を送り出す手段、及び巻き取る手段からなることを特徴とする特許の請求範囲第1項記載の処理装置。前記第1組の連続体が、少なくとも1つの基材を加熱する手段からなることを特徴とする特許の請求範囲第1項記載の処理装置。前記第1組の連続体が、少なくとも1つの基材を冷却する手段からなることを特徴とする特許の請求範囲第1項記載の処理装置。前期基材は金属である特許の請求範囲第1項記載の処理装置。前期基材は合成樹脂である特許の請求範囲第1項記載の処理装置。前期基材は繊維である特許の請求範囲第1項に記載の処理装置。前期基材は紙である特許の請求範囲第1項に記載の処理装置。前期基材は木材である特許の請求範囲第1項に記載の処理装置。前記第1組の連結可能な複数の処理室からなる連続体にプラズマ発生手段を用いることを特徴とする特許の請求範囲第1項記載の処理装置。前記基材を加熱する手段は、少なくとも1つ以上の加熱要素と熱反射遮蔽要素からなることを特徴とする特許の請求範囲第1項記載の処理装置。前記基材を冷却する手段は、少なくとも1つ以上の冷却要素からなることを特徴とする特許の請求範囲第1項記載の処理装置。前期基材が板状である特許の請求範囲第1項記載の処理装置。解決しようとする問題点は、各処理室間のゲートバルブ等を設けずに長尺の基板を搬送し、且つ、各処理室を真空に保持し、連続若しくは断続的に成膜処理することである。本発明は、上記課題を解決するため、基板連続処理装置を次のように構成したものである。すなわち、本発明の基板連続処理装置は、第1組の前処理室,成膜室,後処理室の連結可能な連続体からなり、またこの連続体と合体でき得る第2組の前処理密封室,成膜処理密封室,後処理密封室の連結可能な連続体で構成される。また第2組の前処理密封室,成膜処理密封室,後処理密封室には、基板が通過でき得る溝が設けられ、前処理密封室及び後処理密封室には、成膜処理密封室との接続時の真空を保持するために、密封材Oリング等を設置するための密封材用取り付け溝を、基板が通過する溝の外周部に設置してなる構成にすることにより、本課題を解決することができる。本発明の処理装置によれば、長尺の基材は元々送り出し側手段と巻き取り側手段が設置された第2組の連続体にあるため、長尺の基材の装填及び保守が簡単になり、もう一方の分割された第1組の処理室連続体に、第2組の連続体がカセットのように勘合するため、ゲートバルブを介在させた従来のRolltoRoll式装置のような、長尺の基材を搬送させるための複雑な機構と成膜機構を処理室内に設置する必要性がなくなり、保守性が向上し、長尺の基材を交換する操作を自動化できる。本発明は上記のように長尺基材が連続処理装置を通過できるように、この連続処理装置を第1組の連続体と、第2組の連続体に分割し、且つ基材が第2組の連続体通過でき得るように溝を設置し、且つこの第2組の連続体に密封するための1つ若しくは複数の密封材と、それらを取り付けるための溝を設ける構成にした。図1は、本発明装置の1実施例の外観図であって、1は第1組の連結可能な複数の処理室から成る連続体で、3は前処理室で、4は成膜室で、5は後処理室である。2は第1組に対向する連続体であり、1つ若しくは複数の溝及び密封手段を持つ処理室から成る連続体である。また、この溝を構成するのに、単独の溝に溝の調整用として、溝のある調整板等を備えたものでも良く、特に限定されるものではない。図2は、本発明装置の1実施例の分解図であって、図1の第1組の連続体1と第2組の連続体2が分離している状態と、シール部材6及び溝7を示している。図3は、本発明装置の1実施例の第2組の連続体の前処理密封室の密封手段を示す立体図である。"