摺動部材表面に陽極酸化皮膜を形成する流体機械の製造方法であって、前記陽極酸化皮膜を形成する工程は、素材を洗浄する前処理工程と、電解温度を20°C以上、皮膜の厚さを4μm以下で電解する陽極酸化処理工程と、封孔乾燥温度を80°C以下で処理を行う封孔乾燥工程とを備えている、流体機械の製造方法。前記摺動部材は、アルミを主成分とし、シリコン粒子を5から15含有することを特徴とする請求項1に記載の流体機械の製造方法。スクロール型の圧縮機構部を有する流体機械であって、前記摺動部材が、可動スクロールまたは固定スクロールであることを特徴とする請求項1または2に記載の流体機械の製造方法。しかしながら陽極酸化層は処理時割れやすく、耐摩耗性、潤滑性が損なわれる課題を有していた。本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、耐磨耗性能および潤滑性能の高い摺動部材を用いて信頼性と性能向上を実現する流体機械の製造方法を提供することを目的とする。上記の目的を達成するために、本発明は、アルミを主成分とする摺動部材の表面に陽極酸化処理時、工程を管理することで割れのない皮膜を形成したものである。これによって、信頼性の高い皮膜を形成できる。本発明の流体機械の製造方法によれば、耐摩耗性能および摺動特性に優れた摺動部材を実現できると共に、また優れた耐久性及び高い効率を有する流体機械の製造方法を実現できる。第1の発明は、摺動部材表面に陽極酸化皮膜を形成する流体機械の製造方法であって、前記陽極酸化皮膜を形成する工程は、素材を洗浄する前処理工程と、電解温度を20°C以上、皮膜の厚さを4μm以下で電解する陽極酸化処理工程と、封孔乾燥温度を80°C以下で処理を行う封孔乾燥工程とを備えることにより、膜の成長が一定になり割れのない皮膜を形成することができる。第2の発明は、前記摺動部材は、アルミを主成分とし、シリコン粒子を5から15含有することにより、製造コストの低減および機械的強度の向上を図ることができる。第3の発明は、スクロール型の圧縮機構部を有する流体機械であって、前記摺動部材が、可動スクロールまたは固定スクロールであることにより、第1の発明と同様の効果を奏する。以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって、本発明が限定されるものではない。実施の形態1アルミと5~15Si粒子を含有したアルミ合金を素材とした可動スクロール3に、割れのない陽極酸化皮膜アルマイト層を形成する場合を、図1~3を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1における可動スクロール表面の断面図である。図2は、実施の形態1における陽極酸化処理工程のフローチャート図である。図3は、従来の陽極酸化皮膜と、本発明の実施の形態1における陽極酸化皮膜とのSEM写真図である。図1は本実施の形態に係る陽極酸化処理後の表層断面を示し、可動スクロール3の素材はアルミ合金である。Si粒子31は、平均径3~5μm程度の粒子である。32は摺動表面、35aは陽極酸化皮膜である。Si粒子31はアルミ部より導電性が悪いため陽極酸化皮膜35aの成長過程でSi粒子31の周りに隙間36が生じている。ここでは、陽極酸化処理は、25°Cの硫酸アルマイト処理を用い厚みσaは約3μmとし、Si粒子31の平均径は5μmとした。陽極酸化皮膜35aは柱状組織であり柱状に沿って中空部を有し皮膜上面から皮膜下部アルミ基材へとつながっている。尚、5~15Siのアルミ合金の場合だけでなく、15以上含まれる材料の場合も効果はあるが、材料の製造コストが高くなることや機械的強度が逆に低く、また陽極酸化層の形成速度も低く、生産性は低く現実的でない。また、逆に5以下でも効果があることは言うまでもない。なお、シリコン平均粒子径は3~5μmに限定するものではなく、より大きい粒子径や、小さい場合でも、適用可能であることは言うまでもない。以上の構成によれば、摺動部材である可動スクロール3の摺動部に、磨耗性に優れた陽極酸化皮膜35aを割れることなく形成できるため、摺動部の損失低減、耐摩耗性向上を実現できる。また、流体機械であるスクロール圧縮機に、その酸化皮膜を形成した可動スクロール3を用いることで、効率、耐久性、信頼性向上を実現できる。可動スクロール3は、図2に示す陽極酸化処理工程でその表面に所望の陽極酸化皮膜35aが形成されて完成する。工程1前処理工程であり、素材を洗浄酸洗浄、アルカリ洗浄し表面から不純物を取り除く。工程2陽極酸化電解処理工程であり、前処理された状態の表面にアルミの酸化層である陽極酸化皮膜35aを形成する工程である。電解時、電流一定、温度20°C以上、膜厚4μm以下で電解することで、弾性のある膜を均一に形成することができ、割れのない陽極酸化皮膜アルマイト層が形成される。工程3封孔処理工程であり、形成された陽極酸化皮膜35aの空孔部分に酸化封孔する工程である。工程4乾燥処理工程であり、封孔処理工程と共に、温度を80°C以下にして乾燥するする工程である。図3により、本工程によって作成された陽極酸化皮膜35aは、表面に熱膨張による亀裂の発生が防止されたことが確認される。実施の形態2次に、本発明の実施の形態2について説明する。可動スクロール3と軸受部材6に鋳鉄材、オルダム継ぎ手4にアルミ合金材を用いる場合は、オルダム継ぎ手4の摺動部に酸化皮膜を実施の形態1と同様にして形成することで、摺動部の損失低減、耐摩耗性向上が実現できる。また、そのオルダム継ぎ手4を用いた流体機械であるスクロール圧縮機は、効率、耐久性、信頼性向上を実現できる。以上、上記実施の形態1から2では、スクロール型圧縮機構を有する場合を例にして説明したが、他のロータリー型、レシプロ型等の圧縮機や膨張機、ポンプ、さらにはエンジン等ない熱機関などにも、本発明は適用可能であり、同様の効果を実現できる事は言うまでもない。特に、小型、軽量化が要求される車用の圧縮機やエンジンでは、摺動部にアルミ合金が用いられることも多く、陽極酸化処理が必用とされることも多いため、特にそのような場合に本発明はより効果を発揮できる。尚、相対摺道する摺動部材の双方がアルミ合金であって、片方または双方に同様に酸化皮膜を形成してもよいことは、言うまでもない。また、本発明の実施の形態1から2におけるスクロール圧縮機は、CO2を冷媒に潤滑油にPAG油を用いた場合を例に説明するが、これに限るものではなく、HFC系冷媒R410A、R32、またはハイドロカーボンHC、HCFC22などの冷媒と、エーテル、エステル、PAO、アルキルベンゼンまたは鉱油等を潤滑油に用いた場合にも同様に適用可能であり、同様の効果を得ることができる。