内部容積比Viを可変にするための可変Vi弁を含む内部容積比可変機構を少なくとも低段もしくは高段に備えた、インバーター方式により回転数制御を行う二段スクリュー圧縮機において、前記低段もしくは高段の可変Vi弁は、吐出開始前後の歯溝内圧を取り出すための穴を有し、前記穴から取り出された歯溝内圧を参照して、前記低段もしくは高段の内部容積比可変機構を駆動することにより前記低段もしくは高段の可変Vi弁の位置制御を行うことを特徴とする二段スクリュー圧縮機。内部容積比Viを可変にするための可変Vi弁を含む内部容積比可変機構を低段および高段に備えた、インバーター方式により回転数制御を行う二段スクリュー圧縮機において、前記低段および高段の可変Vi弁は、吐出開始前後の歯溝内圧を取り出すための穴を有し、前記穴から取り出された歯溝内圧を参照して、前記低段および高段の内部容積比可変機構を駆動することにより前記低段および高段の可変Vi弁の位置制御を行うことを特徴とする二段スクリュー圧縮機。前記歯溝内圧を取り出すための穴は、前記可変Vi弁の内面吐出側端部の近傍に設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の二段スクリュー圧縮機。前記可変Vi弁は、ロッドを介して前記内部容積比可変機構に連結され、前記穴から取り出された歯溝内圧を参照して、前記内部容積比可変機構を制御する制御装置を有することを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の二段スクリュー圧縮機。前記内部容積比可変機構は、シリンダーと、前記シリンダー内の空間を隔てるピストン隔壁と、前記ピストン隔壁の両側に設けられた2つのピストンとを有し、前記可変Vi弁に連結されたロッドは、前記ピストン隔壁と前記2つのピストンと前記シリンダーを貫通して設けられ、前記シリンダーの内部は、前記ピストン隔壁と前記2つのピストンにより4つの空間室に区画され、前記可変Vi弁を低段に備える場合の前記4つの空間室は、当該可変Vi弁に近い順に、低段吐出圧力室、前記穴から取り出される低段歯溝内圧室、低段吐出圧力室、低段吸入圧力室として配置され、前記可変Vi弁を高段に備える場合の前記4つの空間室は、当該可変Vi弁に近い順に、高段吐出圧力室、前記穴から取り出される高段歯溝内圧室、高段吐出圧力室、高段吸入圧力室として配置されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の二段スクリュー圧縮機。前記穴から取り出された歯溝内圧が前記内部容積比可変機構に連通する径路に、絞り機構を設けたことを特徴とする請求項5記載の二段スクリュー圧縮機。前記歯溝内圧を取り出すための穴に連通する連通路をスクリュー本体に設け、前記穴と前記連通路とは前記可変Vi弁の外周面に設けた軸方向に長い凹部を介して連通していることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載の二段スクリュー圧縮機。前記内部容積比可変機構は、油圧シリンダーで構成されていることを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の二段スクリュー圧縮機。前記内部容積比可変機構は、位置制御機能を持つモーターで構成されていることを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の二段スクリュー圧縮機。前記穴から取り出された歯溝内圧が前記内部容積比可変機構に連通する経路であって、吸入圧力室に連通する経路および該経路の途中に電磁弁を設け、前記電磁弁の操作により圧力の経路を変更することで、前記内部容積比可変機構を制御する制御装置を有することを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の二段スクリュー圧縮機。前記内部容積比可変機構は、シリンダー、ピストン、バネを有し、前記可変Vi弁に連結されたロッドは、前記ピストンに連結して設けられ、前記シリンダーの内部は、前記ピストンにより2つの空間室に区画され、前記2つの空間室は、前記可変Vi弁に近い順に、吐出圧力室、前記穴から取り出される歯溝内圧室として配置され、前記バネは、前記ピストンを前記歯溝内圧室の方へ押圧するように付勢して前記吐出圧力室に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の二段スクリュー圧縮機。上記特許文献1に記載された単段スクリュー圧縮機における従来の可変Vi弁の制御方法を二段スクリュー圧縮機に適用する場合、二段スクリュー圧縮機には低段側と高段側にそれぞれスライド弁を備えているため、単段スクリュー圧縮機における可変Vi弁の制御方法より複雑となり、制御装置が高価になるという課題があった。上記特許文献3に記載された従来の二段スクリュー圧縮機において、圧縮機容量制御はスライド弁を軸平行に移動し、吸込んだ冷媒ガスを吸込み側にバイパスさせるため、インバーターによる回転数制御による圧縮機容量制御に比べ、性能が悪化するという課題があった。本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、簡素な機構および制御により、運転圧力比の条件に応じ、内部容積比が最適となるように可変Vi弁を移動させることで高効率な二段スクリュー圧縮機を得ることを目的とする。本発明に係る二段スクリュー圧縮機は、内部容積比Viを可変にするための可変Vi弁を含む内部容積比可変機構を少なくとも低段もしくは高段に備えた、インバーター方式により回転数制御を行う二段スクリュー圧縮機において、前記低段もしくは高段の可変Vi弁は、吐出開始前後の歯溝内圧を取り出すための穴を有し、前記穴から取り出された歯溝内圧を参照して、前記低段もしくは高段の内部容積比可変機構を駆動することにより前記低段もしくは高段の可変Vi弁の位置制御を行うことを特徴とするものである。また、本発明に係る二段スクリュー圧縮機は、内部容積比Viを可変にするための可変Vi弁を含む内部容積比可変機構を低段および高段に備えた、インバーター方式により回転数制御を行う二段スクリュー圧縮機において、前記低段および高段の可変Vi弁は、吐出開始前後の歯溝内圧を取り出すための穴を有し、前記穴から取り出された歯溝内圧を参照して、前記低段および高段の内部容積比可変機構を駆動することにより前記低段および高段の可変Vi弁の位置制御を行うことを特徴とするものである。本発明によれば、低段側または高段側のいずれかにおいて、可変Vi弁に設けた穴から歯溝内圧を検出することで、検出された歯溝内圧に基づいて可変Vi弁を制御、駆動させることができ、簡素な構成でかつ安価に二段スクリュー圧縮機の性能を向上させることができる。また、本発明によれば、低段側および高段側の両方において、それぞれの可変Vi弁に設けた穴から歯溝内圧を検出することで、検出された歯溝内圧に基づいて低段および高段の可変Vi弁を制御、駆動させることができ、簡素な構成でかつ安価に二段スクリュー圧縮機の性能の更なる向上を図ることができる。以下、本発明に係る二段スクリュー圧縮機の実施の形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では低段側及び高段側の両方の可変Vi弁に歯溝内圧取り出し穴を設けた例を示すが、この歯溝内圧取り出し穴はいずれか一方の可変Vi弁に設けてもよいものである。実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1に係る二段スクリュー圧縮機の概略構成図である。なお、図1以下の図面および説明において構成品を示す符号について、数字に付加するLは低段側の構成品を意味し、Hは高段側の構成品を意味するものとする。また、特に断らない限り低段側および高段側の構成品を総称するとき、あるいはいずれか一方の段の構成品をいうときは、数字のみであらわすものとする。この実施の形態1に係る二段スクリュー圧縮機は、図1に概略の構成を示すように、筒状のケーシング本体1と、このケーシング本体1内に収容された低段スクリューローター3L、高段スクリューローター3Hと、これらのスクリューローター3L、3Hを同時に回転駆動する共通のモーター2とを備えている。このモーター2は、ケーシング本体1に内接して固定されたステーター2aと、ステーター2aの内側に配置されたモーターローター2bとから構成され、インバーターで駆動することにより回転数が制御されるようになっている。スクリューローター3L、3Hとモーターローター2bとは互いに同一軸線上に配置されており、いずれもスクリュー軸4に固定されている。また、スクリューローター3L、3Hは、それぞれ複数の螺旋状の溝スクリュー溝が形成されており、スクリュー軸4に固定されたモーターローター2bに連結されて回転駆動される。また、スクリューローター3の円筒面に形成された隣接する溝の空間は、ケーシング本体1の内筒面およびこの溝に噛み合い係合するゲートローター図示せずによって囲まれた圧縮室5L、5Hを、それぞれ低段、高段に形成している。また、圧縮室5L、5Hの吐出側には吐出室6L、6Hに開口する吐出口7L、7Hがそれぞれ形成されている。さらに、ケーシング本体1にはロッド9L、9Hおよび駆動装置10L、10Hに連結され軸方向に移動可能な可変Vi弁8L、8Hがそれぞれ設けられており、それぞれ吐出口7L、7Hの一部を形成している。なお、低段側と高段側は同様の構成となっている。次に、冷媒ガスの流れについて図1を用いて説明する。吸込み流路11より吸込まれた冷媒ガスは、低段圧縮室5Lにて圧縮され、低段吐出口7L、低段吐出室6Lを通過し、中間圧室13へ導かれ、高段圧縮室5Hにて更に圧縮され、高段吐出口7H、高段吐出室6Hを通過し、吐出流路12より圧縮機外部に吐出される。図2は、低段側及び高段側の可変Vi弁8を内面側から見た正面図である。図2に示すように、可変Vi弁8は、弁本体8aと、ガイド部8bと、連結部8cとから構成されており、ガイド部8bの吐出口側端部8eには連結部8cが設けられ、駆動装置10側端面8fには上記ロッド9が連結されている図1参照。また、弁本体8aとガイド部8bとの間は連結部8cによって連結されるとともに、上記吐出口7に連通する空隙8gを形成している。そして、弁本体8aの吐出口側端部8dの近傍に歯溝内圧取り出し穴14が設けられている。この歯溝内圧取り出し穴14を通じて吐出開始前後の圧縮ガスの歯溝内圧が検出可能となっている。図3は駆動装置10を含む内部容積比可変機構の概要図である。駆動装置10は、内部容積比可変機構の一部を構成するものであり、シリンダー15内に設けられたピストン16、17と、可変Vi弁8とをロッド9にて連結する構成となっている。駆動装置10は、図3に示すように、シリンダー15内の空間を隔てるピストン隔壁18を設け、このピストン隔壁18の両側に第1ピストン16と第2ピストン17を設けたものである。可変Vi弁8に連結するロッド9は、これら第1ピストン16、及びピストン隔壁18を貫通している。第1ピストン16、第2ピストン17のシリンダー嵌合部およびピストン隔壁等にはシール部材19が装着されている。また、ピストン隔壁18に対して前側可変Vi弁方向にある第1ピストン16の両側には2つの第1シリンダー室20a、20bが形成され、ピストン隔壁18に対して後ろ側反可変Vi弁方向にある第2ピストン17の両側にも同様に2つの第2シリンダー室21a、21bが形成される。つまり、駆動装置10のピストン格納部は、ピストン隔壁18と2つのピストン16、17とによって、前方から順に4つのシリンダー室20a、20b、21a、21bに分けられている。また、各シリンダー室20a、20b、21a、21bには、それぞれ吐出室6、歯溝内圧取り出し穴14、吐出室6、圧縮前の圧力室低段側では吸入圧力室、高段側では中間圧室13をいうと連結する圧力導入孔120a、120b、121a、121bを設けている。次に、歯溝内圧取り出し穴14と圧力導入孔120bとの連通経路について図1を用いて説明する。ケーシング本体1等のスクリュー本体には歯溝内圧取り出し穴14に連通する連通路22が設けられ、この連通路22と歯溝内圧取り出し穴14とは可変Vi弁8の表面外周面において軸方向に延びる溝状の凹部23を介して連通している。すなわち、凹部23は、可変Vi弁8が所定の距離を移動しても常に連通路22の一方の開口端が凹部23内にあるような範囲に設けられており、連通路22と歯溝内圧取り出し穴21とが確実に連結するように構成されている。連通路22はケーシング本体1の壁内部に設けてあり、連通路22の他方の開口端は圧力導入孔120bを介して上記の第1シリンダー室20bに接続されている。次に可変Vi弁8の動作について説明する。ここでは、低段側の可変Vi弁8Lの動作について説明するが、高段側の可変Vi弁8Hについても同様の動作を行うものとする。i不足圧縮状態からの動作図4に不足圧縮状態からの動作説明図を示す。図4において、aは圧力バランス前の圧縮室内の圧力変化、bは圧力バランス後の圧縮室内の圧力変化、cはaの状態における内部容積比可変機構に作用する圧力と内部容積比可変機構の駆動方向を示す図である。なお、図4a、bにおいて、横軸は冷媒ガスの容積V、縦軸は冷媒ガスの圧力Pを示す。スクリュー圧縮機では冷媒ガスが圧縮され、圧力が上昇した後、吐出口7が開いて吐出されることになるが、図4aに示すように高圧縮比運転時の場合には、吐出が開始する時点においても歯溝内圧力が吐出圧力に到達しておらず、不足圧縮状態となっている。このように、不足圧縮状態では吐出が開始される時点においても歯溝内圧力が吐出圧力に到達していないため、冷媒ガスの逆流が発生し、それにより動力ロスが発生する。次に、各ピストンと可変Vi弁に作用する圧力と動作を図4cを用いて説明する。弁本体8aの吸込側端部には吸入圧力が作用し、吐出口側端部8dには吐出直後の圧力が作用している。またガイド8bの吐出口側端部8eには端部8dに作用する圧力と同じ圧力が作用し、駆動装置側端部8fには吐出室6の圧力が作用している。すなわち、可変Vi弁内部の吐出口側端部8dと8eに作用する荷重は相殺されるので、可変Vi弁には両端に作用する吸入圧力と吐出圧力との差圧による荷重が作用することになる。第2シリンダー室21において、第2ピストン17のロッド9を連結した端面側には吐出室6の圧力を導入し、反対側には吸入圧力が導入される。第2ピストン17に作用する圧力方向が可変Vi弁8とは逆方向に作用し、さらに作用面積についてもロッド9の有無が一致しているので、可変Vi弁8に作用する荷重が第2ピストンに作用する荷重で相殺される。一方、第1シリンダー室20においては、第1ピストン16の可変Vi弁側に吐出室6の圧力を導入し、反対側には歯溝内圧取り出し穴14より取り出された歯溝内圧が導入される。不足圧縮状態では、吐出圧力と吐出開始前後の歯溝内圧との圧力差によって可変Vi弁8が、駆動装置10側破線矢印の方向に移動する。すなわち、吐出開始のタイミングを遅らせる方向Vi値を大きくする方向へと可変Vi弁8が移動し、歯溝内圧と吐出開始圧力とがほぼ一致する状態最適Vi値に達する。圧縮室内の圧力変化は、動力ロスの大きい図4aから動力ロスの小さい図4bのように変化し、可変Vi弁を駆動する第1シリンダー室20aと20bとの差圧も小さくなるため、動力ロスの小さい状態で運転が継続される。なお、可変Vi弁8の内面吐出側端部8dの歯溝内圧取り出し穴14より取り出される歯溝内圧は図4aの白抜き矢印のように検出範囲があり、歯溝内圧取り出し穴14の穴径や位置によって調整可能である。これらのことから、不足圧縮による動力ロスが小さくなる運転が可能となり、スクリュー圧縮機の効率を向上させることができる。ii過圧縮状態からの動作図5に過圧縮状態からの動作説明図を示す。図5において、aは圧力バランス前の圧縮室内の圧力変化、bは圧力バランス後の圧縮室内の圧力変化、cはaの状態における内部容積比可変機構に作用する圧力と内部容積比可変機構の駆動方向を示す図である。なお、図5a、bにおいて、横軸は冷媒ガスの容積V、縦軸は冷媒ガスの圧力Pを示す。図5aに示すように低圧縮比運転時の場合には、逆に冷媒ガスの吐出が開始する前に歯溝内圧力が既に吐出圧力を超えており、過圧縮状態となっている。このように、過圧縮状態では吐出が開始される前に既に歯溝内圧力が吐出圧力を超えているため、余分な圧縮仕事がなされており、それにより動力ロスが発生する。また、可変Vi弁8の内面吐出側端部8dの歯溝内圧取り出し穴14より取り出される歯溝内圧は図5aに示すような圧力検出範囲を有している。このような状態から吐出圧力と吐出開始前後の歯溝内圧との関係は吐出圧力が吐出開始前後の歯溝内圧より低くなることにより、第1シリンダー室20a、20bでは可変Vi弁図5c中右方向へ荷重が作用することとなり、第1、第2ピストンおよび可変Vi弁8は可変Vi弁図5c中右方向すなわち内部容積比が小さくなる方向へ移動することとなる。そして、可変Vi弁8が可変Vi弁図5c中右方向すなわち内部容積比が小さくなる方向へ移動することにより、吐出口7が開くタイミングが早くなるため、吐出開始前後の歯溝内圧は低下する。このとき、不足圧縮状態の場合と同様、第2シリンダー室内に設けられている第2ピストン17に作用する荷重と可変Vi弁8に作用する荷重とはどちらも吐出圧力と吸入圧力との差圧となるため、相殺されている。これらのことから可変Vi弁8は図5bに示すような歯溝内圧と吐出圧力との差圧が小さい位置すなわち最適Vi値となる位置まで移動する。そのため、過圧縮による動力ロスが小さくなる運転が可能となり、スクリュー圧縮機の効率を向上させることができる。図6は内部容積比可変機構を低段、高段それぞれに設けた際の概要図である。低段可変Vi弁8Lに連結する駆動装置10Lの圧力は吸入圧力、中間圧力低段吐出圧力、低段歯溝圧力で構成し、第1シリンダー室20aLには中間圧力低段吐出圧力を、第1シリンダー室20bLには低段歯溝内圧取り出し穴から取り出された低段歯溝圧力を、第2シリンダー室21aLには中間圧力低段吐出圧力を、第2シリンダー室21bLには吸入圧力を、それぞれこの順で各シリンダー室に導入する。一方、高段可変Vi弁8Hに連結する駆動装置10Hの圧力は中間圧力高段吸入圧力、吐出圧力、高段歯溝圧力で構成し、第1シリンダー室20aHには吐出圧力を、第1シリンダー室20bHには高段歯溝内圧取り出し穴から取り出された高段歯溝圧力を、第2シリンダー室21aHには吐出圧力を、第2シリンダー室21bHには中間圧力高段吸入圧力を、それぞれこの順で各シリンダー室に導入する。図7は二段スクリュー圧縮機における過圧縮状態でのp-v線図およびピストン荷重を示す図である。図7において、aは圧力バランス前の圧縮室内の圧力変化、bは圧力バランス後の圧縮室内の圧力変化、cはaの状態における低段内部容積比可変機構に作用する圧力と低段内部容積比可変機構の駆動方向を示す図、dはaの状態における低段内部容積比可変機構に作用する圧力と低段内部容積比可変機構の駆動方向を示す図である。なお、図7a、bにおいて、横軸は冷媒ガスの容積V、縦軸は冷媒ガスの圧力Pを示す。図7に示すように、低段および高段それぞれに可変Vi弁8および駆動装置10を設けることで、低段、高段それぞれの差圧、圧力バランスにより最適Viとなる位置まで低段可変Vi弁8Lおよび高段可変Vi弁8Hが移動するため、動力ロスを低減することができる。すなわち、低段内部容積比可変機構においては、低圧縮比運転時の場合、冷媒ガスの吐出開始前に低段歯溝内圧力が中間圧力を超えており、過圧縮状態となっているため、余分な圧縮仕事がなされており、それにより動力ロスが発生する。このような状態から中間圧力と吐出開始前後の低段歯溝内圧との関係は中間圧力が吐出開始前後の低段歯溝内圧より低くなることにより、第1シリンダー室20a、20bでは低段可変Vi弁図7c中右方向へ荷重が作用することとなり、ピストンおよび低段可変Vi弁8Lは低段可変Vi弁図7c中右方向すなわち内部容積比が小さくなる方向へ移動することとなる。そして、低段可変Vi弁8Lが低段可変Vi弁図7c中右方向すなわち内部容積比が小さくなる方向へ移動することにより、吐出口7が開くタイミングが早くなるため、吐出開始前後の低段歯溝内圧は低下する。このとき、第2ピストン17に作用する荷重と低段可変Vi弁8Lに作用する荷重とはどちらも中間圧力と吸入圧力との差圧となるため、相殺されている。これらのことから低段可変Vi弁8Lは図7bに示すような低段歯溝内圧と中間圧力との差圧が小さい位置すなわち最適Vi値となる位置まで移動する。高段内部容積比可変機構においては、低圧縮比運転時の場合、冷媒ガスの吐出開始前に高段歯溝内圧力が吐出圧力を超えており、過圧縮状態となっている。したがって、このような状態から吐出圧力と吐出開始前後の高段歯溝内圧との関係は吐出圧力が吐出開始前後の高段歯溝内圧より低くなることにより、第1シリンダー室20a、20bでは高段可変Vi弁図7d中右方向へ荷重が作用することとなり、第1、第2ピストンおよび高段可変Vi弁8Hは高段可変Vi弁図7d中右方向すなわち内部容積比が小さくなる方向へ移動することとなる。そして、高段可変Vi弁8Hが高段可変Vi弁図7d中右方向すなわち内部容積比が小さくなる方向へ移動することにより、吐出口7が開くタイミングが早くなるため、吐出開始前後の高段歯溝内圧は低下する。このときもまた、第2ピストン17に作用する荷重と高段可変Vi弁8Hに作用する荷重とはどちらも吐出圧力と中間圧力の差圧となるため、相殺されている。以上により、低段、高段それぞれの内部容積比可変機構における差圧、圧力バランスにより最適Vi値となる位置まで低段可変Vi弁8Lおよび高段可変Vi弁8Hが移動するため、動力ロスを低減することができ、スクリュー圧縮機の効率を向上させることができる。また、二段スクリュー圧縮機における不足圧縮状態からの動作については図示していないが、図4に準じて低段および高段それぞれに可変Vi弁8および駆動装置10を設けることで、低段、高段それぞれの内部容積比可変機構における差圧、圧力バランスにより最適Vi値となる位置まで低段可変Vi弁8Lおよび高段可変Vi弁8Hが移動するため、動力ロスを低減することができ、スクリュー圧縮機の効率を向上させることができる。また、運転条件運転圧力比によっては、低段は不足圧縮状態、高段は過圧縮状態となる場合や、逆に低段は過圧縮状態、高段は不足圧縮状態となる場合があり、この実施の形態1に係る二段スクリュー圧縮機は、どのような運転条件運転圧力比にも好適に対応することができる。以上のように本実施の形態1によれば、可変Vi弁に作用する荷重を圧力バランスにより相殺させる機能をもつ第2シリンダー室および第2ピストンを設けるとともに、可変Vi弁に設けた歯溝内圧取り出し穴からの歯溝内圧と吐出圧力との差圧を利用して可変Vi弁8を最適な位置へ自動的に移動調整する機能をもつ第1シリンダー室および第1ピストンからなる駆動装置を低段および高段に設けることで、特別な装置を必要とせず、簡素で安価な機構で高効率な二段スクリュー圧縮機を得ることができる。実施の形態2.図8は本発明の実施の形態2に係る二段スクリュー圧縮機の概略構成図である。上記の実施の形態1では可変Vi弁8の軸方向移動を各圧力の差圧およびバランスにより自動的に制御する駆動装置10を設ける構成を示したが、この実施の形態2では可変Vi弁8の内面吐出側端部8d近傍に設けた歯溝内圧取り出し穴14より検出された歯溝内圧を参照し、内部容積比可変機構を構成する駆動装置31により可変Vi弁8を軸方向へ駆動するとともに、この駆動装置31および可変Vi弁8の位置を制御する内部容積比制御装置32を設ける構成とするものである。ここで、低段および高段の構成品については、低段の構成品をL、高段の構成品をHにて図示中に示す。実施の形態2において、可変Vi弁8は、ロッド9により駆動装置31に連結されて軸方向に移動する。この駆動装置31は、例えばシリンダー33内に設けられたピストン34と、ピストン34及び可変Vi弁8に連結されたロッド9とを備えている。したがって、ピストン34の軸方向への移動に応じて、可変Vi弁8が移動し、可変Vi弁8によって形成されている吐出口7が移動することで内部容積比Viを連続的に変化させることができる。また、歯溝内圧取り出し穴14から取り出された歯溝内圧は、図8に示すように、内部容積比制御装置32に導かれる。つまり、内部容積比制御装置32が歯溝内圧取り出し穴14を通じて吐出開始前後の歯溝内圧を検出する。そして、この内部容積比制御装置32は、検出された歯溝内圧が運転条件運転圧力比に対応する最適な値となるように流体の供給量を制御し、上記駆動装置31のピストン34前後のシリンダー室35a、35bに供給し、可変Vi弁8を軸方向に最適な位置へ移動制御するのである。以上のように本実施の形態2によれば、可変Vi弁8の内面吐出側端部8d近傍に設けた歯溝内圧取り出し穴14より取り出された歯溝内圧を参照し、内部容積比制御装置32にて駆動装置31のシリンダー室35a、35bへ供給する流体の供給量を制御することなどにより、可変Vi弁8の軸方向移動、すなわち内部容積比を制御し、簡易な構造で動力ロスを低減してスクリュー圧縮機の性能を向上させることができる。実施の形態3.図9は本発明の実施の形態3に係る二段スクリュー圧縮機の概略構成図である。駆動装置41は、内部容積比可変機構の一部を構成するものであり、シリンダー42内の空間を隔てるピストン43によりシリンダー室44a、44bが形成される。また、シリンダー室44aにはピストン43をシリンダー室44bの方へ押圧するように付勢するバネ45を設け、ピストン43は可変Vi弁8とロッド9にて連結する構成となっている。また、駆動装置41に連通する連通路22に圧縮部吸込み前の空間低段側では吸入圧力室、高段側では中間圧室13をいうに連通する連通路46を設け、さらにこの連通路46の途中に電磁弁47を設ける構成とする。上記の実施の形態1では可変Vi弁8の軸方向移動を各圧力の差圧およびバランスにより自動的に制御する駆動装置10を設ける構成を示したが、この実施の形態3では、バネ45によるバネ力、電磁弁47の開閉操作による歯溝圧力の経路変更により、可変Vi弁8の軸方向への移動を段階的に制御するのである。図10は、本発明の実施形態3に係る二段スクリュー圧縮機のピストン荷重を示す図である。シリンダー42のシリンダー室44aには、吐出室6の圧力を導入し、ピストン43を隔てたシリンダー室44bには連通路22からの圧力を導入する。電磁弁47が閉じた際、歯溝圧力はシリンダー室44bのみに導入するため、シリンダー室44b側からピストン43にかかる荷重歯溝内圧の方が、シリンダー室44a側からピストン43にかかる荷重吸入圧力バネ力より大きく、可変Vi弁8は反駆動装置41側破線矢印の方向に移動する。一方、電磁弁47が開いた際には、歯溝圧力はシリンダー室44bおよび吸込み側に導入するため、シリンダー室44bは低段では吸入圧力室に、高段では中間圧室13と連通し、シリンダー室44b側からピストン43にかかる荷重歯溝内圧より、シリンダー室44a側からピストン43にかかる荷重吸入圧力バネ力の方が大きく、可変Vi弁8は駆動装置41側破線矢印の方向に移動する。以上のように本実施の形態3によれば、バネ45によるバネ力、電磁弁47の開閉操作による歯溝圧力経路の変更により、駆動装置41のシリンダー室44bへ歯溝圧力を制御することなどにより、可変Vi弁8の軸方向移動、すなわち内部容積比を制御し、簡易な構造で動力ロスを低減してスクリュー圧縮機の性能を向上させることができる。実施の形態4.以上に説明した実施の形態1、2、3において、可変Vi弁8の内面吐出端部8d近傍の穴より取り出された圧力は圧縮ガスの歯溝内圧であるため、図4、図5、図7に示されるように検出範囲内で圧力変化があること、また、歯溝間を跨ぐ際にも圧力変化が発生するため、圧力脈動が発生し、この圧力脈動が可変Vi弁8の駆動へ微小な振動などの影響を与える場合がある。したがって、この圧力脈動がピストン16、17、34、43などの内部容積比駆動装置へ伝播することを低減する必要があり、そのためには、可変Vi弁8の歯溝内圧取り出し穴14より取り出された圧力の経路内に絞り機構図示せずを設ける構成とする。これにより、可変Vi弁8の歯溝内圧取り出し穴14より取り出された圧力の検出時に発生する圧力脈動を低減でき、精度良く内部容積比を制御することが可能となり、より安定したスクリュー圧縮機の性能向上が可能となる。また、低段可変Vi弁8Lに連結されたピストン16L、17L、34L、43Lは、図8に示すように可変Vi弁2個に対してピストン1個であってもよく、高段可変Vi弁8Hに示すように可変Vi弁1個に対してピストン1個であってもよく、可変Vi弁8に対するピストンの個数は限定しないものとする。さらに、ピストン16、17、34、43およびピストン隔壁18の外周、内周にシール部材19を設けることで、シリンダー室間のガス漏れを防止し、各シリンダー室内の圧力を正確に保持することができ、精度良く可変Vi弁8を駆動させることができる。また、内部容積比可変機構は油圧シリンダーであってもよく、検出された歯溝内圧に基づいて可変Vi弁8の位置を制御する位置制御機能を持つモーターであってもよい。また、モーター2の回転数をインバーター駆動により制御することで容量制御を実現することができる。また、上記の実施の形態1~4においては、歯溝内圧取り出し穴14は低段および高段の可変Vi弁8のそれぞれに設けた場合を示したが、どちらか一方の段の可変Vi弁8に設けても良好な効果が得られるものである。