複数のノズル、及び、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層、及び、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面の、各圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極を有し、前記流路ユニットに接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と、前記複数の個別電極のうち当該縁との距離が最も近い近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面において開口した凹部を形成する凹部形成工程と、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとを接着剤によって接着する接着工程と、を備え、前記接着工程において、少なくともその押圧面を形成する部分が弾性を有し、前記押圧面が前記圧電層の縁からはみ出すように前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に配置された押圧部材により、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面を、前記流路ユニットに向けて押圧することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。前記凹部に充填材を充填する充填工程をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置の製造方法。前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記流路ユニット側の面に形成されており、前記複数の個別電極と対向しているとともに、前記圧電層の縁と前記近接電極との間の位置まで延びた共通電極をさらに備え、前記凹部形成工程において、前記圧電層をその厚み方向に貫通しているとともに、前記流路ユニット側の端が前記共通電極で塞がれた前記凹部を形成し、前記充填工程において、前記凹部に前記充填材として導電材料を充填することによって、前記共通電極を前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に引き出すことを特徴とする請求項2に記載の液体吐出装置の製造方法。前記充填工程において、印刷によって、前記凹部に導電材料を充填するのと同時に、前記複数の個別電極を形成することを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置の製造方法。前記複数の圧力室及び前記複数の個別電極が、前記圧電層の縁に沿って配列されていることによって、前記近接電極が前記圧電層の縁に沿って複数配列されており、前記凹部形成工程において、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と複数の前記近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の縁に沿って延びた前記凹部を形成することを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。前記複数の圧力室及び前記複数の個別電極が、前記圧電層の縁に沿って配列されていることによって、前記近接電極が前記圧電層の縁に沿って複数配列されており、前記凹部形成工程において、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と複数の前記近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の縁に沿って配列された複数の前記凹部を形成することを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。前記凹部形成工程において、各近接電極とこれに対応する前記凹部とが、前記圧電層の縁と直交する方向に並ぶように、複数の前記近接電極に対して個別に前記凹部を形成することを特徴とする請求項6に記載の液体吐出装置の製造方法。基材と、前記基材と対向するように配置された圧電層、及び、前記圧電層の前記基材と反対側の面に形成された複数の個別電極を有し、前記基材に接合された圧電アクチュエータと、を備えたアクチュエータ装置の製造方法であって、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と、前記複数の個別電極のうち当該縁との距離が最も近い近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の前記基材と反対側の面において開口した凹部を形成する凹部形成工程と、前記基材と前記圧電アクチュエータとを接着剤によって接着する接着工程と、を備え、前記接着工程において、少なくともその押圧面を形成する部分が弾性を有し、前記押圧面が前記圧電層の縁からはみ出すように前記圧電層の前記基材と反対側の面に配置された押圧部材により、前記圧電層の前記基材と反対側の面を、前記基材に向けて押圧することを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。複数のノズル、及び、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層、及び、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面の、各圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極を有し、前記流路ユニットに接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と、前記複数の個別電極のうち当該縁との距離が最も近い近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面において開口した凹部が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記流路ユニット側の面に形成されており、前記複数の個別電極と対向しているとともに、前記圧電層の縁と前記近接電極との間の位置まで延びた共通電極をさらに備え、前記圧電アクチュエータには、前記圧電層をその厚み方向に貫通しているとともに、前記流路ユニット側の端が前記共通電極によって塞がれた前記凹部が形成されており、前記凹部に導電材料が充填されていることによって、前記共通電極が前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に引き出されていることを特徴とする請求項9に記載の液体吐出装置。ここで、特許文献1に記載されているように、流路ユニットと圧電アクチュエータとを互いに積層して接着する際には、例えば、ヒータなどによって、圧電アクチュエータの上面を、流路ユニットに向けて押圧するが、このとき、接着剤が流路ユニットと圧電アクチュエータとの間からはみ出して、圧電アクチュエータの上面に向けてせり上がってくる。一方、圧電アクチュエータの上面に形成された個別電極などは、その厚みの分だけ圧電アクチュエータの上面よりも若干突出しているため、ヒータと圧電アクチュエータとの間には、個別電極の厚みに相当する僅かな隙間ができている。そのため、せり上がってきた接着剤が、この隙間から、圧電アクチュエータの上面に流れ込み、流れ込んだ接着剤が、圧電アクチュエータの上面の電極が形成された部分に到達してしまうと、ノズルからのインクの吐出特性が変動してしまう虞がある。そこで、本発明の発明者は、せり上がってきた接着剤が圧電アクチュエータの上面に流れ込むのを防止するために、例えば、ヒータを、その押圧面を形成する部分がゴムなどの弾性材料によって構成されているなど、押圧面を形成する部分が弾性を有し、その押圧面が圧電アクチュエータの縁からはみ出すように配置されたヒータによって圧電アクチュエータの上面を押圧することを考えた。これによると、ヒータにより圧電アクチュエータを押圧したときに、ヒータの押圧面を形成する部分が圧電アクチュエータの形状に倣って弾性変形して、ヒータと圧電アクチュエータの縁との間の隙間が埋められ、流路ユニットと圧電アクチュエータとの間からはみ出してせり上がってきた接着剤が、圧電アクチュエータの上面に流れ込んでしまうのを防止することができる。しかしながら、このように、押圧面を形成する部分が弾性を有しているとともに、押圧面が圧電アクチュエータの縁からはみ出すように配置されたヒータで圧電アクチュエータを押圧したときには、弾性変形したヒータの圧電アクチュエータの縁からはみ出した部分が、側方から圧電アクチュエータの縁に接触する。そのため、圧電アクチュエータの縁には、ヒータのはみ出した部分により面方向の力が加えられる。その結果、この面方向の力が、圧電アクチュエータの縁に近い個別電極と対向する部分に伝達されて、圧電アクチュエータの駆動特性にばらつきが生じ、ノズル間でインクの吐出特性にばらつきが生じてしまう虞がある。本発明の目的は、せり上がってきた接着剤が圧電アクチュエータの流路ユニットと反対側の面に流れ込むのを防止しつつ、ノズル間の液体の吐出特性のばらつきを防止することが可能な液体吐出装置の製造方法、せり上がってきた接着剤が圧電アクチュエータの基材と反対側の面に流れ込むのを防止しつつ、駆動特性のばらつきを防止することが可能なアクチュエータ装置の製造方法、及び、ノズル間で液体の吐出特性にばらつきが生じない液体吐出装置を提供することである。第1の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層、及び、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面の、各圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極を有し、前記流路ユニットに接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と、前記複数の個別電極のうち当該縁との距離が最も近い近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面において開口した凹部を形成する凹部形成工程と、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとを接着剤によって接着する接着工程と、を備え、前記接着工程において、少なくともその押圧面を形成する部分が弾性を有し、前記押圧面が前記圧電層の縁からはみ出すように前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に配置された押圧部材により、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面を、前記流路ユニットに向けて押圧することを特徴とする。第8の発明に係るアクチュエータ装置の製造方法は、基材と、前記基材と対向するように配置された圧電層、及び、前記圧電層の前記基材と反対側の面に形成された複数の個別電極を有し、前記基材に接合された圧電アクチュエータと、を備えたアクチュエータ装置の製造方法であって、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と、前記複数の個別電極のうち当該縁との距離が最も近い近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の前記基材と反対側の面において開口した凹部を形成する凹部形成工程と、前記基材と前記圧電アクチュエータとを接着剤によって接着する接着工程と、を備え、前記接着工程において、少なくともその押圧面を形成する部分が弾性を有し、前記押圧面が前記圧電層の縁からはみ出すように前記圧電層の前記基材と反対側の面に配置された押圧部材により、前記圧電層の前記基材と反対側の面を、前記基材に向けて押圧することを特徴とする。第9の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層、及び、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面の、各圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極を有し、前記流路ユニットに接着剤で接着された圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と、前記複数の個別電極のうち当該縁との距離が最も近い近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面において開口した凹部が形成されていることを特徴とする。これらの発明によると、流路ユニット基材と圧電アクチュエータとを接着する際に、少なくともその押圧面を形成する部分が弾性を有し、押圧面が圧電層の縁からはみ出すように圧電層の流路ユニット基材と反対側の面に配置された押圧部材により、圧電層の流路ユニット基材と反対側の面を流路ユニット基材に向けて押圧すると、押圧部材の弾性材料からなる部分が圧電層にならって弾性変形して圧電層の縁に密着するため、圧電層の縁と押圧部材との間に隙間ができず、流路ユニット基材と圧電アクチュエータとの間からはみ出してせり上がってきた接着剤が圧電層の流路ユニットと反対側の面に流れ込んでしまうのを防止することができる。さらに、本発明では、押圧部材により圧電層の流路ユニット基材と反対側の面を押圧する前に、圧電アクチュエータの、圧電層の縁と近接電極との間に位置する部分に、圧電層の流路ユニット基材と反対側の面が開口した凹部を形成しているため、弾性変形した押圧部材により圧電層の縁に加えられた面方向の力が、圧電層の近接電極が形成された部分に伝達しにくい。したがって、複数のノズルからの液体の吐出特性圧電アクチュエータの駆動特性にばらつきが生じてしまうのを防止することができる。第2の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第1の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記凹部に充填材を充填する充填工程をさらに備えていることを特徴とする。本発明によると、凹部に充填材を充填することにより、圧電層にクラックが発生してしまうのを防止することができる。第3の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第2の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記流路ユニット側の面に形成されており、前記複数の個別電極と対向しているとともに、前記圧電層の縁と前記近接電極との間の位置まで延びた共通電極をさらに備え、前記凹部形成工程において、前記圧電層をその厚み方向に貫通しているとともに、前記流路ユニット側の端が前記共通電極で塞がれた前記凹部を形成し、前記充填工程において、前記凹部に前記充填材として導電材料を充填することによって、前記共通電極を前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に引き出すことを特徴とする。第10の発明に係る液体吐出装置は、第9の発明に係る液体吐出装置において、前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記流路ユニット側の面に形成されており、前記複数の個別電極と対向しているとともに、前記圧電層の縁と前記近接電極との間の位置まで延びた共通電極をさらに備え、前記圧電アクチュエータには、前記圧電層をその厚み方向に貫通しているとともに、前記流路ユニット側の端が前記共通電極によって塞がれた前記凹部が形成されており、前記凹部に導電材料が充填されていることによって、前記共通電極が前記圧電層の前記流路ユニットと反対側の面に引き出されていることを特徴とする。これらの発明によると、通常のスルーホールなどに比べて面積の大きい凹部に充填された導電材料によって、内部電極を圧電層の流路ユニットと反対側の面に引き出しているので、共通電極の断線などが起こりにくい。第4の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第3の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記充填工程において、印刷によって、前記凹部に導電材料を充填するのと同時に、前記複数の個別電極を形成することを特徴とする。本発明によると、個別電極の形成を、充填材の充填とを同時に行うことができるので、液体吐出装置の製造工程が簡略化される。第5の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第1~第4のいずれかの発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記複数の圧力室及び前記複数の個別電極が、前記圧電層の縁に沿って配列されていることによって、前記近接電極が前記圧電層の縁に沿って複数配列されており、前記凹部形成工程において、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と複数の前記近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の縁に沿って延びた前記凹部を形成することを特徴とする。本発明によると、複数の個別電極が、圧電層の縁に沿って配列されていることで、近接電極が圧電層の縁に沿って配列されている場合において、流路ユニットと圧電アクチュエータとを接着する際に、押圧部材により圧電層の縁に加えられる上記面方向の力を、圧電層の複数の近接電極と対向する部分に伝達しにくくすることができる。第6の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第1~第4のいずれかの発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記複数の圧力室及び前記複数の個別電極が、前記圧電層の縁に沿って配列されていることによって、前記近接電極が前記圧電層の縁に沿って複数配列されており、前記凹部形成工程において、前記圧電アクチュエータの、前記圧電層の縁と複数の前記近接電極との間に位置する部分に、前記圧電層の縁に沿って配列された複数の前記凹部を形成することを特徴とする。本発明によると、複数の個別電極が圧電層の縁に沿って配列されていることで、近接電極が圧電層の縁に沿って複数配列されている場合において、流路ユニットと圧電アクチュエータとを接着する際に、押圧部材により圧電層の縁に加えられる上記面方向の力を、圧電層の複数の近接電極と対向する部分に伝達しにくくしつつも、凹部を形成することによる圧電アクチュエータの剛性の低下を抑えることができる。第7の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第6の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記凹部形成工程において、各近接電極とこれに対応する前記凹部とが、前記圧電層の縁と直交する方向に並ぶように、複数の前記近接電極に対して個別に前記凹部を形成することを特徴とする。本発明によると、圧電層の縁に沿って配列された複数の凹部を形成した場合において、押圧部材により圧電層の縁に加えられる上記面方向の力を、圧電層の近接電極が形成された部分にとくに伝達しにくくすることができる。本発明によれば、流路ユニット基材と圧電アクチュエータとの間からはみ出してせり上がってきた接着剤が圧電層の流路ユニット基材と反対側の面に流れ込んでしまうのを防止することができる。さらに、押圧部材から圧電層の縁に加わった面方向の力が、圧電層の近接電極が形成された部分に伝達しにくくなり、複数のノズルからの液体の吐出特性圧電アクチュエータの駆動特性にばらつきが生じてしまうのを防止することができる。以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。図1に示すように、本実施の形態に係るプリンタ1は、キャリッジ2、インクジェットヘッド3、用紙搬送ローラ4などを備えている。キャリッジ2は、走査方向図1の左右方向に延びたガイド部材5に沿って、走査方向に往復移動する。インクジェットヘッド3液体吐出ヘッドは、キャリッジ2に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル15図2参照からインクを吐出する。用紙搬送ローラ4は、記録用紙Pを、走査方向と直交する紙送り方向図1の手前方向に搬送する。そして、プリンタ1においては、用紙搬送ローラ4により紙送り方向に搬送される記録用紙Pに、キャリッジ2とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド3からインクを吐出することによって、記録用紙Pに印刷を行う。次に、インクジェットヘッド3について説明する。図2、図3に示すように、インクジェットヘッド3は、ノズル15や圧力室10などのインク流路液体流路が形成された流路ユニット21と、圧力室10内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータ22とを備えている。流路ユニット21は、4枚のプレート31~34が互いに積層されることによって形成されている。ここで、4枚のプレート31~34のうち、最も下方に配置されたプレート34を除く3枚のプレート31~33は、ステンレスなどの金属材料からなり、プレート34は、ポリイミドなどの合成樹脂材料からなる。あるいは、プレート34もプレート31~33と同様、金属材料によって構成されていてもよい。プレート31には、走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有する、複数の圧力室10が形成されている。複数の圧力室10は、紙送り方向に配列されることによって圧力室列8を形成しており、プレート31には、このような圧力室列8が、走査方向に4列に配列されている。プレート32には、圧力室10の長手方向の両端部と対向する部分に、それぞれ、略円形の貫通孔12、13が形成されている。プレート33には、マニホールド流路11が形成されている。マニホールド流路11は、4つの圧力室列8に対応して紙送り方向に4列に延びており、各圧力室列8を構成する複数の圧力室10の略右半分と対向している。また、マニホールド流路11には、その下端部に設けられたインク供給口9からインクが供給される。また、プレート33には、複数の貫通孔13と対向する部分に略円形の複数の貫通孔14が形成されている。プレート34には、複数の貫通孔14と対向する部分に複数のノズル15が形成されている。そして、流路ユニット21においては、マニホールド流路11が貫通孔12を介して複数の圧力室10に連通しており、さらに、各圧力室10が、貫通孔13、14を介してノズル15に連通している。すなわち、流路ユニット21には、マニホールド流路11の出口から圧力室10を経てノズル15に至る個別インク流路が複数形成されている。圧電アクチュエータ22は、振動板41、圧電層42、複数の個別電極43、共通電極44等を備えている。振動板41は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室10を覆うように、接着剤51により流路ユニット21の上面に接着されている。なお、振動板41は、次に説明する圧電層42とは異なり、圧電材料以外の材料によって構成されていてもよい。圧電層42は、振動板41と同様の圧電材料からなり、振動板41の上面に複数の圧力室10にまたがって連続的に形成されている。また、圧電層42は、圧電アクチュエータ22の最上層を形成している。複数の個別電極43は、それぞれ、圧力室10よりも一回り小さい略楕円形状を有しており、圧電層42の上面42Aの、複数の圧力室10の略中央部と対向する部分に形成されている。これにより、複数の個別電極43は、圧力室10と同様、紙送り方向に配列されることによってそれぞれ形成された、4つの個別電極列40を形成している。なお、本実施の形態では、複数の個別電極43のうち、圧電層42の図2における右側の縁42Bから最も近い、図2の最も右側の個別電極列40を構成する複数の個別電極43B、圧電層42の図2における左側の縁42Cから最も近い、図2の最も左側の個別電極列40を構成する複数の個別電極43C、圧電層42の図2における上側の縁42Dから最も近い、各個別電極列40の図中最も上側に配置された4つの個別電極43D、及び、圧電層42の図2における下側の縁42Eから最も近い、各個別電極列40の図中最も下側に配置された4つの個別電極43Eが、それぞれ、本発明に係る近接電極に相当する。ここで、図2の左から2番目及び4番目の個別電極列40を構成する個別電極43Dは、厳密には、左から1番目及び3番目の個別電極列40を構成する個別電極43Dよりも縁42Dから離れているが、その差は、ノズル15の間隔の約半分であり、僅かなものであるため、4つの個別電極43Dが、実質的に縁42Dから最も近い個別電極となっている。同様に、図2の左から1番目及び3番目の個別電極列40を構成する個別電極43Eは、厳密には、左から2番目及び4番目の個別電極列40を構成する個別電極43Eよりも縁42Eから離れているが、その差は、ノズル15の間隔の約半分であり、僅かなものであるため、4つの個別電極43Eが、実質的に縁42Dから最も近い個別電極となっている。また、各個別電極43のノズル15と反対側図2の右側の端部は、圧力室10と対向しない部分まで延びており、その先端部が接続端子45となっている。接続端子45には、図示しない配線部材を介して図示しないドライバICが接続されており、複数の個別電極43には、ドライバICにより、グランド電位及び駆動電位例えば、20V程度のいずれかが選択的に付与される。共通電極44は、振動板41と圧電層42との間圧電層42の流路ユニット21側の面に複数の圧力室10にまたがって連続的に形成されており、複数の個別電極43との間にそれぞれ圧電層42を挟んでいる。ここで、圧電層42の個別電極43と共通電極44とに挟まれた部分は、その厚み方向に分極されている。また、共通電極44は、複数の個別電極43が形成された領域よりも外側圧電層42の縁42B~42Eと個別電極43B~43Eとの間まで延びている。圧電アクチュエータ22の、圧電層42の縁42B~42Eと、個別電極43B~43Eとの間に位置する部分には、それぞれ、圧電層42を貫通しているとともに、その下端が共通電極44と振動板41とによって塞がれた凹部46B~46Eが形成されている。凹部46B、46Cは、それぞれ、縁42B、42Cとほぼ平行に縁42B、42Cに沿って紙送り方向に沿って延びており、凹部46D、46Eは、それぞれ、縁42D、42Eとほぼ平行に縁42D、42Eに沿って走査方向に沿って延びている。凹部46B~46Eには、金属ペースト、導電性樹脂などの導電性材料からなる充填材47が充填されており、充填材47の上面が表面電極47Aとなっている。そして、これにより、共通電極44は、充填材47により圧電層42の上面42Aに引き出されている。表面電極47Aには、図示しない配線部材を介して図示しないドライバICに接続されており、共通電極44は、ドライバICにより常にグランド電位に保持されている。ここで、圧電アクチュエータ22を駆動して、ノズル15からインクを吐出させる方法について説明する。インクジェットヘッド3においては、予め複数の個別電極43が全てグランド電位に保持されている。そして、あるノズル15からインクを吐出させるためには、当該ノズル15に対応する個別電極43の電位をグランド電位から駆動電位に切り替える。すると、駆動電位が付与された個別電極43とグランド電位に保持されたグランド電極との間の電位差により、圧電層のこれらの電極に挟まれた部分には、その厚み方向の電界が発生する。この電界の向きは圧電層42の分極方向と平行であるので、圧電層42のこの部分は、厚み方向と直交する水平方向に収縮し、圧電層42及び振動板41の圧力室10と対向する部分が圧力室10側に凸となるように変形する。これにより、圧力室10の容積が小さくなって圧力室10内のインクの圧力が上昇し、このインクの圧力上昇によって、圧力室10に連通するノズル15からインクが吐出される。次に、インクジェットヘッド3の製造方法について説明する。インクジェットヘッド3を製造するためには、まず、流路ユニット21、及び、圧電アクチュエータ22を別々に作製する。ここで、圧電アクチュエータ22は、例えば、個別電極43や共通電極44が形成された、振動板41及び圧電層42となる2枚の圧電シートを積層させて焼成することによって作製するが、圧電層42となる圧電シートに、凹部46B~46Eとなる貫通孔を形成してから、2枚の圧電シートを積層して焼成し、これにより、図4aに示すように、凹部46B~46Eが形成された圧電アクチュエータ22を作製する凹部形成工程。ただし、この段階では、凹部46B~46Eへの充填材47の充填は行わない。いいかえると、この段階では、共通電極44の一部が凹部を介して露出している状態である。次に、図4aに示すように、流路ユニット21の上面及び圧電アクチュエータ22の下面の少なくともいずれか一方に熱硬化性接着剤51を塗布してから、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを積層させ、ヒータ60押圧部材により、圧電層42の上面42Aを流路ユニット21に向けて下方に押圧しつつ加熱することによって、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着材51で接着する接着工程。ヒータ60は、金属材料などからなるヒータ本体61の下面に、ゴム材料などの弾性材料からなる弾性部62が設けられたものであり、弾性部62の下面が、圧電層42の上面を押圧する押圧面62Aとなっている。すなわち、ヒータ60は、押圧面62Aを形成する部分が弾性を有している。また、このとき、ヒータ60を、押圧面62Aが圧電層42の縁42B~42Eからはみ出すように配置している。なお、このとき、ヒータ60を下方に移動させることによって、押圧面62Aで圧電層42の上面42Aを流路ユニット21に向けて押圧してもよいし、流路ユニット21及び圧電アクチュエータ22が設置された台などを固定されたヒータ60に向かって上方に移動させることによって、押圧面62Aで圧電層42の上面42Aを流路ユニット21に向けて押圧してもよい。そして、このようなヒータ60により、圧電層42の上面42Aを流路ユニット21に向けて下方に押圧すると、図4bに示すように、弾性部62が、圧電層42の形状に倣って、圧電層42と対向する部分がめり込むように弾性変形する。そのため、圧電層42の縁42B~42Eと押圧面62Aとが密着し、ヒータ60と圧電層42の縁42B~42Eとの間には隙間がない。ここで、圧電層42の上面42Aを流路ユニット21に向けて下方に押圧すると、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22との間から接着剤51がはみ出し、はみ出した接着剤51が振動板41及び圧電層42の側面を上面42Aに向かってせり上がってくる。しかしながら、本実施の形態では、上述の通り、圧電層42の縁42B~42Eと押圧面62Aとが密着しており、これらの間に隙間がないため、せり上がってきた接着剤51が、圧電層42の上面42Aに流れ込んでしまうのが防止される。これにより、接着剤51が圧電層42の上面42Aの個別電極43と対向する部分に到達して、対応するノズル15からのインクの吐出特性にばらつきが生じてしまうのを防止することができる。また、このとき、弾性部62が圧電層42の形状にならって弾性変形しているため、弾性部62の縁42B~42Eからはみ出した部分は、圧電層42の側方に位置している。そのため、弾性部62から圧電層42の縁42B~42Eに、図4bに矢印で示すような面方向の力Fが加わる。しかしながら、本実施の形態では、圧電層42の縁42B~42Eと、個別電極43B~43Eとの間に、それぞれ、圧電層42の上面42Aに開口した凹部46B~46Eが形成されているため、上述した面方向の力Fは、圧電層42の個別電極43B~43Eを含む個別電極43と対向する部分には伝達されない。したがって、この力Fによって、個別電極43B~43Eに対応するノズル15からのインクの吐出特性が変動して、複数のノズル15からのインクの吐出特性にばらつきが生じてしまうのを防止することができる。また、本実施の形態では、圧電層42の上面42Aに開口した凹部46B~46Eが形成されているため、圧電層42とヒータ60の弾性部62との間に僅かに接着剤51が流れ込んだとしても、流れ込んだ接着材51は、凹部46B~46Eに流れ込み、これにより、接着剤51が、圧電層42の上面42Aの個別電極43と対向する部分に到達してしまうのを防止することができる。そして、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着した後、図3に示すように、凹部46B~46Eに充填材47を充填する充填工程ことによって、インクジェットヘッド3が完成する。このとき、凹部46B~46Eは、通常のスルーホールなどに比べて大きいので、凹部46B~46Eに充填された充填材47により共通電極44を圧電層42の上面42Aに引き出すことにより、通常のスルーホールを介して共通電極44を圧電層42の上面42Aに引き出す場合よりも、共通電極44の断線が起こりにくい。また、凹部46B~46Eに充填材47を充填しているため、圧電層42の凹部46B~46Eの角となる部分などにクラックが発生しにくくなる。次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成については、適宜その説明を省略する。一変形例変形例1では、図5aに示すように、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着する前の、圧電アクチュエータ22を作製する段階で、凹部46B~46Eに充填材47を充填しないのに加えて、個別電極43も形成せず、この状態で、上述の実施の形態と同様、図5b、図5cに示すように、圧電層42の上面42Aをヒータ60で押圧しつつ加熱して、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着する。そして、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着した後に、印刷によって、凹部46B~46Eを充填するのと同時に、圧電層42の上面42Aに個別電極43を形成する。この場合には、凹部46B~46Eへの充填材47の充填と、個別電極43の形成とを同時に行うことができるので、インクジェットヘッド3の製造工程を簡略化することができる。また、上述の実施の形態では、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着した後に、凹部46B~46Eに充填材47を充填していたが、これには限られず、充填材が導電性樹脂などやわらかい材料からなる場合には、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22とを接着する前に、凹部46B~46Eに充填材47を充填してもよい。この場合には、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22との接着時に、圧電層42の縁42B~42Eに加わる上記面方向の力Fによって充填材47が弾性変形するため、この面方向の力Fが、圧電層42の個別電極43と対向する部分まで伝達しにくい。また、凹部46B~46Eに充填材47が充填された状態で、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22との接着を行うので、接着時に圧電層42の凹部46B~46Eの角となる部分などにクラックが発生しにくくなる。また、上述の実施の形態では、凹部46B、46Cが圧電層42の縁42B、42Cに沿って紙送り方向に延びたものであり、凹部46D、46Eが圧電層42の縁42D、42Eに沿って走査方向に延びたものであったが、これには限られない。別の一変形例変形例2では、図6に示すように、圧電アクチュエータ22の、圧電層42の縁42B、42Cと、個別電極43B、43Cとの間に位置する部分に、それぞれ、紙送り方向に縁42B、42Cに沿って配列された複数の凹部71B、71Cが形成されている。複数の凹部71B、71Cは、それぞれ、複数の個別電極43B、43Cに対して個別に設けられており、個別電極43Bとこれに対応する凹部71B、及び、個別電極43Cとこれに対応する凹部71Cとが、それぞれ、圧電層42の縁42B、42Cと直交する走査方向に並んでいる。また、圧電アクチュエータ22の、圧電層42の縁42D、42Eと、個別電極43D、43Eとの間に位置する部分に、それぞれ、走査方向に沿って縁42D、42Eに沿って配列された複数の凹部71D、71Eが形成されている。複数の凹部71D、71Eは、それぞれ、複数の個別電極43D、43Eに対して個別に設けられており、個別電極43Dとこれに対応する凹部71D、及び、個別電極43Eとこれに対応する凹部71Eとが、それぞれ、圧電層42の縁42D、42Eと直交する紙送り方向に並んでいる。圧電層42に凹部を形成した場合には、圧電層42の剛性が低下するが、上述の実施の形態のように圧電層42の縁42B~42Eに沿って延びた長尺の凹部46B~46Eを形成する代わりに、圧電層42の縁42B~42Eに沿って配列された複数の凹部71B~71Eを形成することにより、圧電層42の剛性の低下を抑えることができる。ただし、圧電層42の縁42B~42Eに沿って配列された複数の凹部71B~71Eを形成した場合には、流路ユニット21と圧電アクチュエータ22との接着時に、ヒータ60の弾性部62から圧電層42の縁に加わる面方向の力Fは、隣接する凹部71B~71Eの間から、圧電層42の凹部71B~71Eよりも内側の部分に伝達することとなる。しかしながら、変形例2では、各個別電極43B~43Eとこれに対応する凹部71B~71Eとが、それぞれ、圧電層42の縁42B~42Eと直交する方向に並んでいるため、力Fが、隣接する凹部71B~71Eの間から、圧電層42の凹部71B~71Eよりも内側の部分に伝達したとしても、個別電極43と対向する部分には伝達しにくい。また、変形例2では、個別電極43B~43Eとこれに対応する凹部71B~71Eとが、それぞれ、圧電層42の縁42B~42Eと直交する方向に並んでいたが、個別電極43B~43Eとこれに対応する凹部71B~71Eとが、それぞれ、圧電層42の縁42B~42Eに沿った方向にずれていてもよい。さらには、複数の凹部71B~71Eが、それぞれ、複数の個別電極43B~43Eに対して個別に設けられていることにも限られず、複数の凹部71B~71Eの数は、個別電極43B~43Eの数よりも多くてもよいし、少なくてもよい。また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ22の、圧電層42の4つの縁42B~42Eと、個別電極43B~43Eとの間に位置する部分に、それぞれ、凹部46B~46Eを形成していたが、例えば、凹部46B、46Cだけなど、凹部46B~46Eのうちの一部のみを形成してもよい。また、上述の実施の形態では、焼成前の圧電シートに凹部46B~46Eとなる貫通孔を形成していたが、圧電シートを焼成して圧電アクチュエータ22を形成した後に、レーザ加工などによって凹部46B~46Eを形成してもよい。また、上述の実施の形態では、凹部46B~46Eに導電材料からなる充填材47を充填し、共通電極44を充填材47により圧電層42の上面42Aに引き出していたが、これには限られない。例えば、凹部46B~46Eに、合成樹脂など導電性のない充填材を充填し、共通電極44を、別途圧電層42に設けられたスルーホールを介して圧電層42の上面42Aに引き出してもよい。さらには、凹部46B~46Eに充填材を充填しなくてもよい。また、これらの場合には、共通電極44を凹部46B~46Eに充填された充填材47によって圧電層42の上面42Aに引き出すわけではないので、凹部46B~46Eが、圧電層42を貫通していなくてもよい。また、上述の実施の形態では、複数の個別電極43が、圧電層42の縁42B~42Eに沿って配列されていたが、複数の個別電極43の配置はこれには限られず、例えば、複数の個別電極43が、圧電層42の縁42B~42Eに対して傾斜した方向に配列されているなどしてもよい。また、上述の実施の形態では、ヒータ60の、ゴムなどの弾性材料からなる弾性部62によって押圧面62Aが形成されていたが、これには限られない。ヒータは、押圧面を形成する部分が弾性を有していれば、例えば、ヒータ60の弾性部62の下面が金属の薄膜で覆われており、この薄膜の表面が押圧面となったものなどであってもよい。また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ22が、振動板41の上面に圧電層42を1層だけ備えたものであったが、振動板41の上面に複数の圧電層が積層されたものであってもよい。なお、この場合には、複数の圧電層のうち、最上層に配置された圧電層が、本発明に係る圧電層に相当する。また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッド及びその製造に本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、インク以外の液体を吐出する液体吐出装置及びその製造に本発明を適用することも可能である。さらには、圧電アクチュエータが流路ユニット以外の基材に接着される、液体吐出装置以外の装置アクチュエータ装置の製造に、本発明を適用することも可能である。