測定領域内の試料ガスに対して測定光を投光し及び/または前記測定領域からの前記測定光を受光するための光学系部材と、前記光学系部材の前記測定光の光路上に位置する表面に前記試料ガスが到達することを防止するためにパージガスを常時供給するとともに、間欠的に前記パージガスよりも高圧でパージガスを供給するパージガス供給部と、を備えるガス分析装置。前記間欠的に高圧のパージガスを供給する流路は、前記常時供給されるパージガスの流路と同一である、請求項1に記載のガス分析装置。前記パージガスは、前記光学系部材の前記測定光の光路上に位置する表面に沿って、前記測定光の光軸が通過する部分に供給される、請求項1または2に記載のガス分析装置。前記光学系部材の前記測定光の光路上に位置する表面に取り付けられ、前記測定光の光路を連通する貫通孔と、前記パージガス供給部からのパージガスを前記貫通孔に案内するパージガス案内部とを有するパージガス案内部材をさらに備える、請求項1~3に記載のガス分析装置。前記光学系部材は、前記測定領域に前記測定光を投光する投光部及び前記測定領域からの前記測定光を受光する受光部を有する第1光学系部材と、前記投光部から投光される前記測定光を前記受光部に反射するリフレクタを有する第2光学系部材とを備え、前記パージガス案内部材は、前記第2光学系部材の前記表面に取り付けられ、前記パージガス案内部材の前記貫通孔は、前記第1光学系部材から前記第2光学系部材に入射する測定光を通過させる第1貫通孔と、前記第2光学系部材から前記第1光学系部材に反射する測定光を通過させる第2貫通孔とを有している、請求項1~4に記載のガス分析装置。前記パージガス案内部材は、パージガス導入口と、前記パージガス導入口から前記第1貫通孔及び第2貫通孔までの距離が同一になるように前記パージガス導入口と前記第1貫通孔及び第2貫通孔とを連通する案内部を有する、請求項5に記載のガス分析装置。前記案内部は、前記パージガス案内部材の前記第2光学系部材側の面に形成された凹部と、前記第2光学系部材の前記表面との間に形成された空間である、請求項6に記載のガス分析装置。前記案内部を通過するパージガスの流路の少なくとも一部が、前記第1貫通孔及び第2貫通孔の少なくも中央を通過することを特徴とする、請求項5~7のいずれかに記載のガス分析装置。試料ガスを導入して所定の測定領域を構成するとともに、前記測定領域に導入された試料ガスに測定光を投受光するための光路を構成する内部中空を備え、前記試料ガスの流路に交差するように配置されるプローブ管をさらに備え、前記第1光学系部材は前記プローブ管の一方に取り付けられ、前記第2光学系部材は前記プローブ管の他方に取り付けられることを特徴とする、請求項5~8のいずれかに記載のガス分析装置。本発明の課題は、試料ガスが光学系部材に到達することを防止して、光学系部材による測定精度を高めるとともに、光学系部材を保護するためのパージガスの流量が節約できるガス分析装置を提供することにある。以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合わせることができる。本発明の一見地に係るガス分析装置は、光学系部材とパージガス供給部とを備えている。光学系部材は、測定領域内の試料ガスに対して測定光を投光し及び/または測定領域からの測定光を受光する。パージガス供給部は、光学系部材の測定光の光路上に位置する表面に試料ガスが到達することを防止するためにパージガスを常時供給するとともに、間欠的にパージガスよりも高圧でパージガスを供給する。このような構成によれば、パージガスによって、光学系部材の測定光の光路上に位置する表面に試料ガスが到達することを防止するとともに、光学系部材の表面に付着した粉塵などがあった場合にも、間欠的に供給される高圧のパージガスによって吹き飛ばすことで、光学系部材の表面を清浄な状態に維持することが可能となる。常時供給されるパージガスの流路と高圧のパージガスの流路が別々に存在する場合には、一方の流路からパージガスを導入する際、パージガスの供給が停止している他方の流路に粉塵が侵入し、流路を塞いでしまうことにより、機能停止を招くおそれがある。間欠的に高圧のパージガスを供給する流路を、常時供給されるパージガスの流路と同一にするような構成をとれば、上記のような問題を生じることがなくなる。この場合、パージガス供給部から供給されるパージガスの流量を調整することで、光学系部材の表面に供給されるパージガスの圧力を変更することができ、間欠的に高圧のパージガスを供給できる。パージガスは、光学系部材の測定光の光路上に位置する表面に沿って、測定光の光軸が通過する部分に供給することができる。光学系部材の表面であって、測定光の光軸が通過する部分にパージガスを供給することによって、測定光の光軸に対応する部分に粉塵などが付着することを防止し、測定精度を高めることを可能とする。光学系部材の測定光の光路上に位置する表面に取り付けられ、測定光の光路を連通する貫通孔と、パージガス供給部からのパージガスを貫通孔に案内するパージガス案内部とを有するパージガス案内部材をさらに備えることができる。測定光の光路が含まれるようにパージガス案内部材の貫通孔を形成することで、光学系部材が露出する面積を小さくし、パージガスの流量を少なくし、充分な流速を確保することが可能となる。光学系部材は、測定領域に測定光を投光する投光部及び測定領域からの測定光を受光する受光部を有する第1光学系部材と、投光部から投光される測定光を受光部に反射するリフレクタを有する第2光学系部材とを備えることができる。この場合、パージガス案内部材は、第2光学系部材の表面に取り付けられ、パージガス案内部材の貫通孔は、第1光学系部材から第2光学系部材に入射する測定光を通過させる第1貫通孔と、第2光学系部材から第1光学系部材に反射する測定光を通過させる第2貫通孔とを有することができる。このような構成によれば、第2光学系部材としてコーナーキューブやミラーのようなリフレクタを用いた反射型のガス分析装置に適用することが可能である。パージガス導入口から第1貫通孔及び第2貫通孔までの距離が同一でない場合、短い方の貫通孔にはパージガスが多量に流れて、他方の貫通孔にはパージガスが少量しか流れないような、パージガス供給量の偏りが生じてしまう。これにより、少量しか流れない貫通孔の端部に備えられている第2光学系部材に、粉塵が溜まることによる、第2光学系部材の汚損を生じる。パージガス導入口から第1貫通孔及び第2貫通孔までの距離が同一である構成をとれば、上記のような問題を生じることなく、測定光の光軸が位置する光学系部材の表面に供給されるパージガスを均一にして、パージガスにより光学系部材の表面を清浄に維持する効果を高めることができる。案内部は、パージガス案内部材の第2光学系部材側の面に形成された凹部と、第2光学系部材の表面との間に形成された空間とすることができる。この場合、パージガス案内部材の第2光学系部材側の面を加工することで、案内部を容易に形成することができ、製作工程を簡略化できる。案内部を通過するパージガスの流路の少なくとも一部が、第1貫通孔及び第2貫通孔の少なくも中央を通過するように構成できる。パージガス案内部材の第1貫通孔及び第2貫通孔は、測定光の光路がほぼ中央に位置するように形成される。したがって、前述したような構成とすることにより、パージガスの流路が測定光の光路を所定の流速を維持しながら通過し、第2光学部材の該当箇所の汚損を防止できる。試料ガスを導入して所定の測定領域を構成するとともに、測定領域に導入された試料ガスに測定光を投受光するための光路を構成する内部中空を備え、試料ガスの流路に交差するように配置されるプローブ管をさらに備え、第1光学系部材はプローブ管の一端に取り付けられ、第2光学系部材はプローブ管の他端に取り付けられるように構成できる。この場合、試料ガスの流れに交差するように、配管側壁に取り付けられるプローブ管の内部中空内に所定の測定領域を構成し、この測定領域内に試料ガスを導入して、ガスの成分分析を行うことが可能となる。このような場合には、プローブ管の他端に取り付けられる第2光学系部材が、煙道内に配置されていることから、プローブ管内に導入される試料ガスにより汚染される可能性が高い。しかしながら、前述したような構成とすることにより、パージガス案内部材の第1貫通孔及び第2貫通孔に供給されるパージガスにより、第2光学系部材の表面を清浄に維持することができる。本発明に係るガス分析装置では、光学系部材に試料ガスが到達することを防止するパージガスの流量を少なくでき、また、光学系部材を確実に保護できる。第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態に係るガス分析装置1の構成を示す斜視図であり、図2はその側面図であり、図3はプローブ管11の要部断面図である。ガス分析装置1は、プローブ管11プローブ管の一例と、分析ユニット12と、フランジ13と、導光管14とを有している。分析ユニット12第1光学系部材の一例は、投光部15、受光部16、制御部17を備えている。投光部15は、測定対象となるガスに対して導光管14及びプローブ管11を通して測定光となるレーザビームを出射する光源であり、直進性の高い所定波長域の光を照射するための赤外線レーザ発振装置などで構成できる。受光部16は、煙道内の測定対象ガスを通して入射する測定光を受光する受光素子である。制御部17は、投光部15からのレーザビームの出射を制御し、受光部16により受光した測定光に基づいて測定対象であるガスの成分分析を行う。分析ユニット12は、導光管14及びフランジ13を介してプローブ管11と接続されている。プローブ管11は、内部中空の円筒状に形成されており、配管側壁51内部に構成される煙道50内のガス流Sに直交するように配置される。プローブ管11の測定領域には、ガス流Sの下流側に位置して、プローブ管11内にガスを導入するための開口18が設けられている。図示した例では、開口18に複数のリブ19を設けてプローブ管11の強度を維持するように構成している。このような開口18の形状やリブ19の個数は、図示した例に限定されない。プローブ管11の先端部には、分析ユニット12の投光部15から出射される測定光を反射するためのリフレクタ20第2光学系部材の一例が設けられている。リフレクタ20は、投光部15から出射された測定光を受光部16側に反射するものであって、コーナーキューブやミラーで構成できる。ガス分析装置1は、煙道50を構成する配管側壁51の取付部52に取り付けられる。取付部52は、たとえば、配管側壁51の開口53に取り付けられた設置用パイプ54で構成できる。設置用パイプ54は、円筒状の部材であって、溶接やビス止めなどによって配管側壁51に固定される。また、設置用パイプ54は、ガス分析装置1を固定するための取付フランジ55を備えており、ガス分析装置1のフランジ13がこの取付フランジ55に溶接またはビス止めされることにより、ガス分析装置1が間接的に配管側壁51に固定される。設置用パイプ54とプローブ管11との間に間隙56がある場合には、この間隙56に煙道50を流れるガス流Sの一部が流入しないように、遮蔽板21が設けられている。プローブ管11は、第1パージガス供給部22及び第2パージガス供給部23を備えている。第1パージガス供給部22及び第2パージガス供給部23は、それぞれ分析ユニット12に設けられた投光部15、受光部16などで構成される第1光学系部材及びプローブ管11の先端部に設けられたリフレクタ20で構成される第2光学系部材を保護するために、プローブ管11内にパージガスを供給するものである。以下、第1パージガス供給部22の接続先の構成を説明する。プローブ管11及び導光管14の内壁面に間隙28を空けて、パージガス供給管26が配置されている。パージガス供給管26は、プローブ管11内に配置される部分と導光管14内に配置される部分が一体に形成されていてもよく、フランジ13部分においてプローブ管11側と導光管14側に分割されていてもよい。パージガス供給管26は、中空部を有するパイプ形状であり、第1パージガス供給部22が接続される接続口30が設けられている。第1パージガス供給部22から供給されるパージガスは、接続口30を介してパージガス供給管26の中空部に供給され、先端部27方向に流れる。また、パージガス供給管26の中空部は、投光部15から出射される測定光がリフレクタ20側に通過し、リフレクタ20で反射してプローブ管11の測定領域を通過した測定光が受光部16側に通過する光路を構成する。パージガス供給管26は、第1パージガス供給部22との接続口30から、プローブ管11の測定領域端部の近傍に位置する先端部27まで、ほぼ均一の内径を有する。パージガス供給管26の先端部27には、プローブ管11との間隙28を遮蔽する遮蔽板29が設けられている。プローブ管11の測定領域の一方の端部に位置する上流側には、切欠孔24が設けられている。切欠孔24には、ガス流Sが流れ込む。図3に示すように、パージガス供給管26の先端部27において、パージガスPaとガス流Sが互いに衝突する。パージガスPaは、ガス流Sによって、プローブ管11内の測定領域側に流入することが防止される。この結果、測定領域においてパージガスPaによる測定誤差が生じることがなくなる。また、ガス流Sは、パージガスPaによって、切欠孔24から流入したガス流Sが分析ユニット12側に流れ込むことが防止される。この結果、投光部15及び受光部16などの光学系の汚染及び腐食などを防止できる。このため、切欠孔24を介してプローブ管11内に流入するガス流Sがパージガス供給管26の中空部断面全域を横切るように、切欠孔24の大きさをパージガス供給管26の内径よりも大きくすることが好ましい。続いて、第2パージガス供給部23の接続先の構成を説明する。この実施形態では、プローブ管11がフランジ13側において片持ち支持で配管側壁51に取り付けられている。したがって、フランジ13近傍の取付部、第1パージガス供給部22との接合部、分析ユニット12との接合部などにおいて、プローブ管11が複雑な構造になり、その内径にばらつきを有する場合がある。そのような場合であっても、パージガス供給管26を介してプローブ管11の測定領域一端に対して、パージガスPaを層流状態で供給することができ、温度分布の不均一を防止することができる。導光管14に設けられる第2パージガス供給部23は、この第2パージガス供給部23から供給されるパージガスをプローブ管11の第2端部に案内する先端部パージガス供給管31と接続されている。リフレクタ20は、投光部15からの測定光が入射し、反射した測定光を出射する面32が、プローブ管11の内部中空側に位置するように配置されている。このリフレクタ20の面32には、パージガス案内部材40パージガス案内部材の一例が取り付けられている。パージガス案内部材40は、先端部パージガス供給管31が接続されるパージガス導入口41パージガス導入口の一例、投光部15からの測定光を通過させる第1貫通孔42貫通孔の一例、反射した測定光を受光部16側に通過させる第2貫通孔43貫通孔の一例、パージガス導入口41と第1貫通孔42及び第2貫通孔43とを連通する案内部を有している。第1貫通孔42及び第2貫通孔43は、測定光の光路が含まれるように、内径が設定されるものであり、小さい内径とすることにより、供給するパージガスの流量を少なくすることが可能である。ただし、投光部15及び受光部16を備える分析ユニット12及びリフレクタ20の取付精度や校正時の光軸調整を容易にするために、測定光の光路径に比して大きい内径とすることが好ましい。案内部は、パージガス導入口41から第1貫通孔42及び第2貫通孔43までの距離が同一になるように、パージガス導入口41と第1貫通孔42及び第2貫通孔43を連通する流路であって、パージガス案内部材40のリフレクタ20に接する面に形成された凹部で構成されている。第2パージガス供給部23から供給されるパージガスは、先端部パージガス供給管31を通過してパージガス案内部材40に供給される。パージガス案内部材40のパージガス導入口41を通過したパージガスは、それぞれ第1貫通孔42及び第2貫通孔43に流入する。パージガス案内部材40の第1貫通孔42及び第2貫通孔43に流入したパージガスは、リフレクタ20の測定光の光路上に位置する面32に当接し、プローブ管11の内部中空側に流出する。プローブ管11の測定領域の他方の端部に位置する上流側には、切欠孔25が設けられている。切欠孔25には、上流からのガス流Sが流れ込み、下流に位置する開口18から流出する。パージガス案内部材40の第1貫通孔42及び第2貫通孔43から流出するパージガスPaは、切欠孔25から流入して開口18に抜けるガス流Sと衝突して、ガス流Sとともに煙道50に流入する。このことにより、プローブ管11内の測定領域側にパージガスが流入することが防止される。この結果、測定領域においてパージガスによる測定誤差が生じることがなくなる。また、パージガス案内部材40を通過するパージガスによって、切欠孔25から流入したガス流がリフレクタ20側に流れ込むことを防止できる。この結果、リフレクタ20の汚染及び腐食などを防止できる。このため、切欠孔25を介してプローブ管11内に流入するガス流がパージガス供給管26の中空部断面全域を横切るように、切欠孔25の大きさを先端部パージガス供給管31の内径よりも大きくすることが好ましい。図4及び図5は、リフレクタ20及びパージガス案内部材40の取り付け構造を示す分解斜視図である。リフレクタ20及びパージガス案内部材40は、プローブ管11の第2端部にビス止めまたは溶接などにより固定されるカバー部材62内に収納されることにより、プローブ管11の第2端部に固定される。カバー部材62内には、リフレクタ20と、リフレクタ20の面32と反対側の面を保持する保持部材60、保持部材60をリフレクタ20側に付勢するばね部材61が収納される。カバー部材62は、リフレクタ20の面32側に配置されるパージガス案内部材40とネジ止めまたは溶接などにより結合されて、内部にリフレクタ20を密閉状態で収納する。このとき、ばね部材61により、保持部材60及びリフレクタ20がパージガス案内部材40側に押圧され、リフレクタ20の面32がパージガス案内部材40に当接する。パージガス案内部材40は、リフレクタ20の面32に密着する面46を有しており、パージガス導入口41から第1貫通孔42及び第2貫通孔43に連通する第1凹部44及び第2凹部45が形成されている。第1凹部44及び第2凹部45は、それぞれパージガス導入口41から第1貫通孔42及び第2貫通孔43に向かってその深さが浅くなる溝であり、パージガス導入口41から第1貫通孔42及び第2貫通孔43までの距離が同一に設定される。カバー部材62内にリフレクタ20が収納されると、ばね部材61の付勢力により、リフレクタ20の面32がパージガス案内部材40の面46と密着し、リフレクタ20の面32と、第1凹部44及び第2凹部45とによって案内部が構成される。第1凹部44及び第2凹部45は、パージガス導入口41から第1貫通孔42及び第2貫通孔43に向けて浅くなっていることから、案内部は、パージガス案内部41から第1貫通孔42及び第2貫通孔43に向けて流路が絞られている。したがって、先端部パージガス供給管31及びパージガス導入口41を介して案内部に流入するパージガスは、第1貫通孔42及び第2貫通孔43に流入する際に、最も流速が速くなる。このことにより、第1貫通孔42及び第2貫通孔43を介してプローブ管11の内部中空側に露出しているリフレクタ20の面32に、試料ガスが到達することを防止することができる。第1貫通孔42は投光部15からリフレクタ20に入射する測定光が通過する。また、リフレクタ20で反射した測定光は、第2貫通孔43を通過する。このことから、入射する測定光の光路及び反射する測定光の光路が、それぞれ第1貫通孔42及び第2貫通孔43の中心または中心近傍に位置するように、第1貫通孔42及び第2貫通孔43が形成されていることが好ましい。したがって、案内部を通過するパージガスの流路の少なくとも一部が、それぞれ第1貫通孔42及び第2貫通孔43の少なくとも中央を通過するように、第1凹部44及び第2凹部45を形成することが好ましい。このことにより、案内部を通過したパージガスが、第1貫通孔42及び第2貫通孔43を構成する側壁にぶつかって流速が衰えることがなくなり、確実に測定光の光路上に位置するリフレクタ20の面32に沿って通過することとなる。このような構成とすることで、試料ガスによりリフレクタ20の面32が汚染されることを防止することができ、また流速が衰える部分にダストが溜まることを防止できるため、光学系部材による測定精度を高く維持することができる。この実施形態に係るガス分析装置によれば、プローブ管11の第2端部側に設けられるリフレクタ20が試料ガスによって汚染されることを防止できる。リフレクタ20の面32のうち、パージガス案内部材40に設けられた第1貫通孔42及び第2貫通孔43に位置する部分のみが、プローブ管11の内部中空側に露出していることから、少量のパージガスでも確実に試料ガスを排除できる。また、パージガス案内部材40において、パージガス導入口41と第1貫通孔42及び第2貫通孔43との距離が同一に設定されていることから、第1貫通孔42及び第2貫通孔43にパージガスが均等に分配され、パージガスの流量が偏ることを防止できる。変形例Aバージガス案内部は、パージガス供給部からのパージガスを貫通孔に案内する機能を有していればよく、前記実施形態に限定されない。パージガス案内部材40のパージガス導入口41から第1貫通孔42及び第2貫通孔43まで、パージガス案内部材40の内部をくり抜くことで、案内部を構成することができる。この場合には、少なくとも第1貫通孔42及び第2貫通孔43の周縁が、リフレクタ20の面32に当接していればよく、パージガス案内部材40の面46全体をリフレクタ20の面32に密着させる必要がなくなる。したがって、パージガス案内部材40の面46を精密加工する必要がなく、コストを低減することが可能である。パージガス案内部材40を軸方向に分割された2つの部材で構成し、2つの部材の接合面の一方または双方に形成された凹部によって、案内部を構成した場合も、同様の効果を得ることができる。変形例B図6は、他の実施形態によるパージガス案内部材40の斜視図である。図6に示すパージガス案内部材40は、リフレクタ20の表面32に供給されるパージガスを煙道内に逃がすためのパージガス導出口49を備えている。パージガス導出口49は、第3凹部47及び第4凹部48によって第1貫通孔42及び第2貫通孔43と連通されている。パージガス導入口41から供給されたパージガスは、第1貫通孔42及び第2貫通孔43を通過して、第3凹部47及び第4凹部48を介してパージガス導出口49から煙道内に流出する。この時、第1貫通孔42及び第2貫通孔43を通過するパージガスが、リフレクタ20の表面32に試料ガスが到達することを防止し、リフレクタ20が試料ガスにより汚損することを防止できる。変形例Cパージガス案内部材が取り付けられる光学系部材は前記実施形態に限定されない。投光部15と受光部16とが、それぞれプローブ管11の第1端部及び第2端部に設けられているような場合にも、投光部15及び受光部16にそれぞれパージガス供給管に接続されたパージガス案内部材を取り付けることが可能である。この場合には、パージガス案内部材には、測定光を通過させる貫通孔を1つだけ設け、接続部から貫通孔を連通させるパージガス案内部を設ける。パージガスが供給される貫通孔の径を、測定に不具合を生じない範囲で小さくすれば、供給するパージガスの流量を少なくすることが可能である。変形例Dパージガス供給のための構成は前記実施形態に限定されない。前述した実施形態において、第2パージガス供給部23に、流量制御ユニットを設け、通常の測定時には通常の流量でパージガスを流し、間欠的に高圧のパージガスを供給する場合には、流量が多くなるように制御することができる。この時、第2パージガス供給部23を介して供給される高圧のパージガスは、先端部パージガス供給管31及びパージガス案内部材40を介して、第1貫通孔42及び第2貫通孔43内に位置するリフレクタ20の面32に噴射される。リフレクタ20の面32に粉塵などが付着している場合であっても、高圧のパージガスを第1貫通孔42及び第2貫通孔43内に噴射することで、除去することが可能である。正常な測定ができないと判断される場合に、このような高圧パージガスへの切換を行うことで、リフレクタ20の表面に付着した粉塵を除去して復帰させることが可能である。また、一定時間毎に高圧パージガスへの切換を行うことで、リフレクタ20の表面を定期的に洗浄して、高い測定精度を維持するように構成できる。変形例E図7は、さらに他の実施形態によるパージガス案内部材の斜視図である。第2光学系部材は、第1光学系部材からの測定光を第1光学系部材に向けて反射できればよく、コーナーキューブに限定されるものではなく、図7に示すようなミラー70を用いることができる。ミラー70は、入射光と反射光の光路が重ならないように180度の反射を行う。ミラー70は、投光部15からの測定光が入射し、反射した測定光を出射する面77が、プローブ管の内部中空側に位置するように配置されている。このミラー70の面77には、パージガス案内部材71パージガス案内部材の一例が取り付けられている。パージガス案内部材71は、先端部パージガス供給管が接続されるパージガス導入口72パージガス導入口の一例、投光部からの測定光を通過させる第1貫通孔73貫通孔の一例、反射した測定光を受光部側に通過させる第2貫通孔74貫通孔の一例、パージガス導入口72と第1貫通孔73及び第2貫通孔74とを連通する第1凹部75及び第2凹部76を有している。第1貫通孔73及び第2貫通孔74は、測定光の光路が含まれるように、内径が設定されるものであり、小さい内径とすることにより、供給するパージガスの流量を少なくすることが可能である。ただし、投光部及び受光部を備える分析ユニット及びミラー70の取付精度や校正時の光軸調整を容易にするために、測定光の光路径に比して大きい内径とすることが好ましい。第1凹部75及び第2凹部76は、パージガス導入口72から第1貫通孔73及び第2貫通孔74までの距離が同一になるように、パージガス導入口72と第1貫通孔73及び第2貫通孔74を連通する流路であって、パージガス案内部材71のミラー70に接する面78に形成された凹部で構成されている。前述した実施形態と同様に、パージガス案内部材71のパージガス導入口72を通過したパージガスは、第1凹部75及び第2凹部76によって構成される案内部を通じて第1貫通孔73及び第2貫通孔74に流入する。パージガス案内部材71の第1貫通孔73及び第2貫通孔74に流入したパージガスは、ミラー70の測定光の光路上に位置する面77に当接し、プローブ管の内部中空側に流出する。このことにより、試料ガスがミラー70の表面77に到達することが防止でき、ミラー70の汚染及び腐食などを防止できる。ミラー70の形状は、図示したものに限定されるものではないことは言うまでもない。他の実施形態投光部と受光部が配管側壁を挟んで対向する位置に取り付けられている場合についても、本発明の構成を適用することができる。たとえば、一方に投光部を含むユニットを備え、他方に受光部を含むユニットを備える構成とすることができる。このような場合にも、投光部を含むユニット及び受光部を含むユニットのそれぞれに、試料ガスが到達することを防止するためにパージガスを常時供給するとともに、間欠的にパージガスよりも高圧でパージガスを供給するパージガス供給部を設けることにより、各ユニットへの粉塵の付着を防止し、測定精度を高めることができる。本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。