"ねじ軸と、このねじ軸の一端に接続されて当該ねじ軸を回転させるモータと、前記ねじ軸に螺合して当該ねじ軸の回転に応じて並進運動を行う移動体と、前記ねじ軸の前記モータとの接続端近傍に配置され当該ねじ軸の回転を支承する転がり軸受部材と、この転がり軸受部材を支持する軸受ハウジングとを備え、前記転がり軸受部材は前記軸受ハウジングに対して密着状態に設けられる一方、前記軸受ハウジンングには当該軸受ハウジングの冷却手段が設けられたことを特徴とする精密位置決めテーブル。前記軸受ハウジングは前記転がり軸受部材の収容穴を有し、当該転がり軸受部材は前記収容穴に対してしまりばめ状態で挿入されていることを特徴とする請求項1記載の精密位置決めテーブル。前記軸受ハウジングの熱伝導率は前記ねじ軸のそれよりも大きいことを特徴とする請求項2記載の精密位置決めテーブル。前記冷却手段は、前記軸受ハウジングに対して密着状態に設けられると共にペルチェ素子を利用した伝熱モジュールと、この伝熱モジュールが前記ハウジングから汲み出した熱を放散するヒートシンクとを備えていることを特徴とする請求項3記載の精密位置決めテーブル。前記移動体にも冷却手段が設けられることを特徴とする請求項4記載の精密位置決めテーブル。ナット部材に対して冷却装置を設けた場合の効果を確認するため、精密位置決めテーブルを実際に運転し、時経過に伴う前記移動体の位置決め精度の変動を観察したところ、確かに、ナット部材に対して冷却装置を設けた場合にはねじ軸の軸方向への熱膨張が抑えられ、前記移動体の位置決め精度の向上を図ることができた。しかし、それだけではねじ軸の熱膨張を完全には排除することができず、移動体の位置決め精度の更なる向上のために改善の余地があった。本願発明者らは検証を重ねた結果、ねじ軸の回転を支承している転がり軸受部材に注目するに至った。前述の如く、ねじ軸はモータとの接続端の近傍に配置された転がり軸受部材によって回転自在に支承されており、この転がり軸受部材はねじ軸に作用する軸力に抗して当該ねじ軸を所定位置に保持しなければならない。このため、前記転がり軸受部材の内輪はねじ軸に対して所謂しまりばめ状態で嵌合しているのが通例であり、かかる内輪とねじ軸が緊密に接していることから、転がり軸受部材の内部で発生した摩擦熱が内輪を通じてねじ軸に流入していることが想定された。実際に精密位置決めテーブルを運転してねじ軸の表面温度の変化を実際に計測したところ、運転時間が経過するにつれ、前述の転がり軸受部材を装着したねじ軸の軸端の表面温度が当該ねじ軸の全長の中で最も上昇した。本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、ねじ軸の回転を支承している転がり軸受部材の冷却を促進することで、当該ねじ軸の熱膨張を抑え、もって移動体の位置決め精度に優れた精密位置決めテーブルを提供することにある。前記目的を達成するために、本発明の精密位置決めテーブルは、ねじ軸と、このねじ軸の一端に接続されて当該ねじ軸を回転させるモータと、前記ねじ軸に螺合して当該ねじ軸の回転に応じて並進運動を行う移動体と、前記ねじ軸の前記モータとの接続端近傍に配置され当該ねじ軸の回転を支承する転がり軸受部材と、この転がり軸受部材を支持する軸受ハウジングとを備えており、前記転がり軸受部材は前記軸受ハウジングに対して密着状態に設けられる一方、前記軸受ハウジンングには当該軸受ハウジングの冷却手段が設けられている。前記モータによってねじ軸を繰り返し回転させると、当該ねじ軸の回転を支承する転がり軸受部材が発熱するが、かかる転がり軸受部材は軸受ハウジングと密着状態に設けられると共に、前記軸受ハウジングには冷却手段が設けられているので、前記転がり軸受部材は軸受ハウジングを介して冷却され、前記ねじ軸の温度上昇を抑制される。これにより、前記ねじ軸の熱膨張を抑え、もって移動体の位置決め精度の向上を図ることが可能となる。以下、添付図面を用いながら本発明の精密位置決めテーブルを詳細に説明する。図1は本発明を適用した精密位置決めテーブル以下、位置決めテーブルというの実施形態の一例を示すものである。この位置決めテーブル1は、位置決め対象物が固定される移動体2と、この移動体2を案内する軌道レールとしての役割を果たす案内部材3と、前記案内部材3の長手方向に沿って配設されたねじ軸4と、このねじ軸4を回転自在に支承する転がり軸受部材5と、前記ねじ軸4を回転させるモータ6と、前記転がり軸受部材5を保持する軸受ハウジング7と、前記軸受ハウジング7に固定された冷却手段8とを備えている。尚、図1では前記軸受ハウジング7の一部を切り欠いて示しているため、前記冷却手段8は軸受ハウジング7の一方の側面にのみ示されているが、実際には軸受ハウジング7を挟んで一対の冷却手段8を設けている。前記案内部材3は、他の機械装置に固定される底板部30と、この底板部30から立設された一対の側壁部31を有して溝型状に形成されており、一対の側壁部31に挟まれた空間が前記移動体2の案内通路32となっている。前記底板部30にはこの案内部材3を他の機械装置に固定する際に利用される複数のボルト取付け穴が設けられている。また、各側壁部31の内側面、すなわち移動体2の案内通路32に面した側面には当該案内部材3の長手方向に沿ってボールの転走面33が形成されている。尚、図1に示した例では前記底板部30と一対の側壁部31が一体に形成されているが、各側壁部31を前記底板部30に対してボルトで固定するように構成しても良い。一方、前記移動体2は略矩形状に形成されて前記案内部材3の一対の側壁31の間に配置されている。この移動体2は前記側壁31に形成された転走面33を転走する多数のボール20を介して前記案内部材3に組つけられている。また、前記移動体2は前記ボール20の無限循環路を内蔵しており、案内部材3の転走面33を転走するボール20を循環させることで、当該案内部材3の長手方向に沿って往復移動することが可能となっている。すなわち、前記案内部材3の一対の側壁31は前記移動体2の軌道レールとして機能しており、前記案内部材3と移動体2とが組み合わさって直線案内装置を構成している。前記移動体2は搬送対象物としてのテーブル等の可動体の取付け面21を備えており、かかる取付け面21は前記案内部材3の案内通路32から上方へ突出した位置に設けられている。これにより、前記取付け面21よりも大きいサイズの可動体を前記移動体2に固定した場合であっても、案内部材3の側壁部31と可動体との干渉が回避される。尚、この実施形態では前記案内部材3を溝型状に形成し、かかる案内部材3に具備された案内通路32の内部を前記移動体2が往復移動するように構成したが、前記案内部材3と移動体2との組合せ例はこれに限られるものではない。例えば、底板部に対して一条の軌道レールを敷設して案内部材とし、溝型状に形成した移動体が前記軌道レールに跨がるようにして当該軌道レールに沿って往復移動するように構成しても良い。また、前記ねじ軸4の外周面にはボールの転動溝が所定リードで螺旋状に形成されると共に、当該ねじ軸4は前記案内部材3の案内通路32内に配置されて前記移動体2を貫通している。前記移動体2は前記ねじ軸4と組み合わさってボールねじ機構を構成するナット部材を内蔵しており、前記転動溝を転走する多数のボールを介して前記ねじ軸4に螺合している。従って、ねじ軸4を回転させると、当該ねじ軸4の回転量に応じて前記移動体2が案内通路32内を往復移動するようになっている。尚、この実施形態では移動体2がその内部にナット部材を内蔵しているが、かかるナット部材を移動体2の外側に固定した構造であっても差し支えない。前記ねじ軸4を案内部材3の案内通路32内で回転自在に支承するため、かかる案内部材3の長手方向の一端には前記軸受ハウジング7が固定される一方、他端にはサポートブラケット9が固定されている。前記軸受ハウジング7には前記転がり軸受部材5としてのアギュラコンタクトベアリングが装着される一方、前記サポートブラケット9には深溝ボールベアリング図示せずが装着され、前記ねじ軸4はこれらベアリングによってその両端を回転自在に支持されている。尚、以降の説明では転がり軸受部材5をアンギュラコンタクトベアリングとして説明するが、これに限定されるものではない。但し、転がり軸受部材5はねじ軸4に作用するラジアル荷重以外に軸方向荷重を十分に負荷できることが必要である。前記軸受ブラケット7は略矩形状に形成されており、固定ボルト70によって前記案内部材3の一端に取り付けられている。また、この軸受ハウジング7は前記モータ6を前記案内部材3に取り付けるためのモータブラケットとしても機能している。図2に示すように、前記軸受ブラケット7には前記アンギュラコンタクトベアリング5が装着される収容穴71が設けられており、かかる収容穴71には正面組合せされた一対のアンギュラコンタクトベアリング5が嵌合している。一対のアンギュラコンタクトベアリング5を正面組合せで使用することにより、ねじ軸4が高速回転時に若干の振れ周りを生じたとして、かかるアンギュラコンタクトベアリング5が調心性を発揮し、ねじ軸4の回転を無理なく円滑に行うことが可能となる。また、ねじ軸4はこれらアンギュラコンタクトベアリング5の内輪に挿入され、ベアリングナット72の締結によってアンギュラコンタクトベアリング5からの離脱が防止されている。前記アンギュラコンタクトベアリング5はその内輪がねじ軸4と共に回転することから、前記ねじ軸4は当該内輪に対して所謂しまりばめ状態で挿入されている。一方、前記アンギュラコンタクトベアリング5の外輪は固定側である軸受ハウジング7に装着されることから、通常、当該外輪は軸受ハウジング7の収容穴71に対して所謂すきまばめの状態で装着される。しかし、この実施形態の位置決めテーブル1ではアンギュラコンタクトベアリング5の外輪と軸受ハウジング7との間の伝熱に考慮し、各アンギュラコンタクトベアリング5の外輪は前記収容穴71に対して所謂しまりばめで挿入されている。つまり、アンギュラコンタクトベアリング5の外輪は前記軸受ハウジング7に対して隙間なく密着した状態にある。モータの近傍に配置された前記アンギュラコンタクトベアリング5はねじ軸4に作用する軸方向荷重を負荷しており、当該ねじ軸4の軸方向の位置基準として機能する。このため、アンギュラコンタクトベアリング5の装着位置と反対側におけるねじ軸4の端部は前記深溝ボールベアリングの内輪に対して所謂すきまばめ状態で挿入されており、温度変化に伴うねじ軸4の軸方向の膨張を吸収することができるように構成されている。また、前記アンギュラコンタクトベアリング5を貫通して前記軸受ハウジング7内に挿入されたねじ軸4の端部は、カップリング図示せずを介して前記モータ6の出力軸と連結され、モータ6の回転出力が前記ねじ軸4に伝達されるようになっている。図3は前記冷却手段8を示すものである。この冷却手段8は、前記軸受ハウジング7に固定される伝熱モジュール80と、この伝熱モジュール80に固定されると共に多数の放熱フィンが設けられたヒートシンク81と、このヒートシンク81の放熱フィンの間から空気を排出するファン82とを備えている。前記伝熱モジュール80はペルチェ素子を利用した吸熱部材であり、直流電流を通電することによって、前記軸受ハウジング7から熱を吸収し、その熱を前記ヒートシンク81へ伝えるように構成されている。図4は前記ペルチェ素子の動作原理を示す模式図である。P型半導体素子83とN型半導体素子84の夫々には直流電源に接続される電極85,86が配置されると共に、これらP型半導体83とN型半導体84は共通電極87によって接続されている。電極85からP型半導体素子83を通して共通電極87へ通電し、更に、共通電極87からN型半導体素子84を通して電極86へ通電すると、N型半導体素子84からP型半導体素子83に向けて電流が流れている電極85,86では吸熱現象が発生する一方、P型半導体素子83からN型半導体素子84に向けて電流が流れている共通電極87では放熱現象が発生する。図5は前記伝熱モジュール80の具体例を示すものである。この伝熱モジュール80は、被冷却物軸受ハウジング7に接合する高温側セラミック基板80aと、前記ヒートシンク81に接合する低温側セラミック基板80bと、これら2枚のセラミック基板の間に直列に配置された4個のペルチェ素子80cと、これらペルチェ素子を直流電源に接続する電極80dとから構成されている。すなわち、2枚のセラミック基板80a,80bは前記ペルチェ素子80c及び電極80dを配置するための絶縁基板として機能しており、これらセラミック基板80a,80bの表面に対して任意の個数のペルチェ素子80cを自由に配置することができる。そして、前記電極80dに直流電流を通電することによって、2枚のセラミック基板80a,80bの間に配列されたペルチェ素子80cが動作し、図4に示した原理に基づいて高温側セラミック基板80aが軸受ハウジング7から吸熱する一方、低温側セラミック基板80bはヒートシンク81へ放熱することになる。これにより、前記軸受ハウジング7に蓄えられた熱が前記伝熱モジュール80を介してヒートシンク81へ汲み出されると共に、当該ヒートシンク81から空気中に放熱され、前記軸受ハウジングが冷却されることになる。このとき、伝熱モジュール80が軸受ハウジング7から汲み出す熱量は、前記ペルチェ素子80cへの通電電流の大きさで制御することが可能である。前記伝熱モジュール80はヒートシンク81を軸受ハウジング7にボルト固定する際に両者の間に挟み込まれて固定される。但し、伝熱モジュール80と軸受ハウジング7との接合面、伝熱モジュール80とヒートシンク81との接合面に空気が残っていると、熱伝導の妨げとなるので、これら接合面の間には熱伝導率の高いグリースを予め塗布し、十分な空気抜き作業を行うことが必要である。また、伝熱モジュール80そのものを熱伝導率の良好な接着剤で軸受ハウジング7及びヒートシンク81に固定するようにしても良い。尚、前記冷却手段8は前記伝熱モジュール80を使用したものには限られず、例えば、前記軸受ハウジング7の表面を直接水冷又は空冷するタイプのものであっても差し支えない。以上のように構成された位置決めテーブル1では、前記モータ6を駆動して前記ねじ軸4を回転させると、当該モータ6の回転量及び回転方向に応じて前記移動体2が案内部材3の案内通路32内を往復移動し、かかる案内通路32内の所定位置に位置決めされる。そして、前記ねじ軸4を繰り返し反転させながら位置決めテーブル1の運転を継続すると、当該ねじ軸4の回転を支承している前記アンギュラコンタクトベアリング5が発熱し、このアンギュラコンタクトベアリング5の内輪に対して所謂しまりばめ状態で密着しているねじ軸4に熱が流入することになる。特に、アンギュラコンタクトベアリング5のガタつきを排除するために、当該ベアリングに対して予圧を付与していると、かかるアンギュラコンタクトベアリング5の内輪とボール、外輪とボールの接触面圧が高いことから、より多くの摩擦熱が生じることになる。また、前記アンギュラコンタクトベアリング5の外輪は固定側である軸受ハウジング7に装着されており、通常、かかる外輪は軸受ハウジング7に対して所謂すきまばめ状態で設けられているので、当該アンギュラコンタクトベアリング5と軸受ハウジング7との密着度合いはねじ軸4とのそれに比べて小さく、アンギュラコンタクトベアリング5から軸受ハウジング7には熱が伝導し難い。このため、前記軸受ハウジング7に対して何ら冷却手段を設けない場合には、位置決めテーブル1の運転経過に伴い、ねじ軸4の軸方向に沿った温度分布は、アンギュラコンタクトベアリング5への嵌合部位が最も高温となり、前記サポートブラケット9側の端部が最も低温となってしまう。その結果、ねじ軸4の熱膨張に伴って当該ねじ軸4の外周面に形成された転動溝のリードが変化してしまい、移動体2の位置決めに誤差が生じてしまう。しかも前述のリードの変化はねじ軸4の軸方向に沿って一様ではないので、その変化量を予測してモータ6の回転量を制御することも難しい。このとき、この実施形態の位置決めテーブル1によれば、熱源となるアンギュラコンタクトベアリング5の外輪を前記軸受ハウジング7に対して密着状態に設けているので、かかるアンギュラコンタクトベアリング5で発生した熱はねじ軸4ばかりでなく、前記軸受ハウジング7にも流入し易くなっている。このため、前記冷却手段8を動作させて前記軸受ハウジング7を冷却すれば、アンギュラコンタクトベアリング5で発生した熱はねじ軸4よりも低温の軸受ハウジング7に流入し易くなり、ねじ軸4の温度上昇を抑えることが可能となる。通常、前記ねじ軸4はボールの転動溝を焼き入れするために鋼から形成されているので、前記軸受ハウジング7を鋼よりも熱伝導率の高いアルミニウム等の材質で製作すれば、アンギュラコンタクトベアリング5で発生した摩擦熱はねじ軸4よりも軸受ハウジング7へ流入し易くなり、前記ねじ軸4の温度上昇を一層効果的に抑えることが可能となる。また、軸受ハウジングをS55C等の鉄系材料で形成している場合には、当該軸受ハウジング7に熱伝導率の高い銅板を固定し、この銅板に対して前述の伝熱モジュール80を固定するようにしても当該軸受ハウジング7の冷却を促進することが可能である。特に、前記冷却手段8として、ペルチェ素子を利用した伝熱モジュール80及びヒートシンク81を使用すれば、軸受ハウジング7に蓄積された熱を当該伝熱モジュール80への通電によってヒートシンク81へ積極的に汲み出し、これを空気中に放散することができるので、その分だけ軸受ハウジング7の冷却を促進し、ねじ軸4の温度上昇を抑えることが可能となる。本発明の効果を確認するため、本願発明者らは前述の実施形態で説明した位置決めテーブルを製作し、ねじ軸4の温度を計測する実験を行った。実験では、案内部材3に対する移動体2のストロークを300mmに設定し、加速度1G、最高速度100~500mm/sの台形波速度で前記移動体2を往復移動させた。また、実験は室温23°C±0.5°Cのクリーンブース内で行った。使用したねじ軸4は外径15mm、リード10mmであり、前記伝熱モジュール80として一辺40mmの正方形のものを使用した。計測方法としては、位置決めテーブル1の駆動前にねじ軸4の表面温度を軸方向へ50mmピッチで測定し、その後、前記冷却手段8を動作させることなく位置決めテーブル1を連続運転し、90分後に移動体2を停止した状態で再びねじ軸4の表面温度を同様に測定した。この状態から前記冷却手段8を動作させると共に位置決めテーブル1の連続運転を再開し、最初の運転開始から240分後に移動体2を停止して、再びねじ軸4の表面温度を測定した。この実験の結果、位置決めテーブル1の運転開始前はねじ軸4の表面温度は室温と略同一で軸方向に略均一であったが、90分運転後のねじ軸4の表面温度は前記軸受ハウジング7の近傍で最高であり、軸受ハウジング7から最も遠いサポートブラケット9の近傍で最低であった。この時の軸受ハウジング7の近傍での最高温度は室温よりも10°C程度高く、サポートブラケット9の近傍であっても室温より5°C程度高かった。また、この時点の軸受ハウジング7の表面温度を測定したところ、室温よりも高い約26°Cであった。そして、位置決めテーブル1の運転を再開すると共に前記冷却手段8を動作させたところ、前記軸受ハウジング7の表面温度は急激に低下し、運転再開から10分程度で約15°Cに、更に運転再開から20分程度で約7°Cに急激に低下し、前記冷却手段8が軸受ハウジング7の熱を吸い取っていることが確認された。また、このままの状態で最初の運転開始から240分まで連続運転した後のねじ軸4の表面温度は、当該ねじ軸4の軸方向の全域において室温から僅かな温度範囲内に収まり、軸受ハウジング7の冷却の結果としてねじ軸4の温度上昇が抑えられ、当該ねじ軸4の温度が軸方向に一様化されたことを確認することができた。すなわち、ねじ軸4の熱膨張を軸方向の全域にわたって効果的に抑制することができ、移動体2の位置決め精度の向上を十分に期待することができた。尚、前述の実施形態では前記軸受ハウジング7を挟んで当該軸受ハウジング7の両側面に一対の冷却手段8を固定したが、個々の冷却手段8が十分な能力を有して前記軸受ハウジング7を十分な速度で冷却可能であれば、かかる冷却手段8の配設個数は適宜変更して差し支えない。前述の実施形態では軸受ハウジング7にのみ冷却手段8を設けたが、前記移動体2に対しても冷却手段8を装着することが可能である。前記移動体2はねじ軸4に螺合するナット部材を内蔵しており、移動体2の内部では多数のボールがねじ軸4に形成された螺旋状の転動溝を転動している。このため、ねじ軸4が貫通している移動体2の内部でも摩擦熱が発生し、ねじ軸4に熱が流入する傾向にある。従って、軸受ハウジング7に対してのみ前記冷却手段8を装着し、かかる冷却手段8を動作させてもねじ軸4の軸方向に沿った温度分布を一様に制御することができない場合には、前記移動体2に対しても軸受ハウジング7と同様の冷却手段8を設けるのが好ましい。尚、ナット部材が移動体2に対して外付けされている場合には、ナット部材そのものに対して冷却手段8を設けることができる。"