"対向する2つの側壁の上下方向に、シート状に引き揃えられた複数の線状の被処理物が出入りできる開口部を複数段有し、前記開口部を通して両外側に備えられた複数の折返しローラーを介して該被処理物が複数回熱処理されるように構成された熱処理炉であって、該熱処理炉には、i:前記被処理物の走行方向に対して垂直方向に加熱気体を供給する加熱気体導入部と、前記加熱気体導入部と対向する側に熱処理室内の加熱気体を排出する加熱気体排出部を有する熱処理室と、ii:前記熱処理室からの加熱気体の漏れ出しを抑制するために前記熱処理室の両外側に設けられたシール室と、iii:前記シール室の両外側に設けられ、気体を排出する排出部と前記排出部と対向する側に加熱気体導入部を有するシールバッファ室、が設けられており、前記シール室は、前記被処理物の走行方向に対して垂直方向に加熱気体を循環させる機能を備え、前記シールバッファ室は、その排出部より気体を排ガス処理設備へ排出する排出手段を備え、前記排出手段によりシールバッファ室から排出された気体は、前記熱処理室、前記シール室、および前記シールバッファ室に循環されることなく、前記排ガス処理設備に導かれるように流路が設置され、再び前記被処理物に接触することがないように構成されていることを特徴とする熱処理炉。シールバッファ室に導入される加熱気体は、新鮮外気が加熱されたものであって、新鮮外気加熱装置の下流側に配置された熱処理炉に供給される新鮮外気から分枝された配管により供給される、請求項1に記載の熱処理炉。シールバッファ室に導入される加熱気体は、熱処理室を循環する気体の一部が使用されるものであって、熱処理室を循環する気体の配管から分枝された配管から供給される、請求項1に記載の熱処理炉。シールバッファ室に導入される加熱気体は、シール室を循環する気体の一部が使用されるものであって、シール室を循環する気体の配管から分枝された配管から供給される、請求項1に記載の熱処理炉。請求項1~4のいずれかに記載の熱処理炉を用い、ポリアクロニトリル系繊維束を酸化性の加熱気体中で耐炎化処理する耐炎化繊維の製造方法。請求項5に記載の耐炎化繊維を、不活性雰囲気中で炭素化処理する炭素繊維の製造方法。本発明は、前記従来技術の問題点である熱処理炉内への外気漏れ込みによるヒーターの使用電力の増大、炉内温度ムラに伴う品質のバラツキ、外気に含まれる不純物が炉内に流入することで発生する品質悪化を、従来の設備と比較して簡略化された設備を用いて解決しようとするものであり、低コストで高品質の耐炎化繊維を製造するための熱処理炉、およびそれを用いた耐炎化繊維の製造方法、ならびにその耐炎化繊維を炭素化することによる炭素繊維の製造方法を提供するものである。前記課題を解決するための本発明は、次の構成を有する。すなわち、1対向する2つの側壁の上下方向に、シート状に引き揃えられた複数の線状の被処理物が出入りできる開口部を複数段有し、前記開口部を通して両外側に備えられた複数の折返しローラーを介して該被処理物が複数回熱処理されるように構成された熱処理炉であって、該熱処理炉には、i:前記被処理物の走行方向に対して垂直方向に加熱気体を供給する加熱気体導入部と、前記加熱気体導入部と対向する側に熱処理室内の加熱気体を排出する加熱気体排出部を有する熱処理室と、ii:前記熱処理室からの加熱気体の漏れ出しを抑制するために前記熱処理室の両外側に設けられたシール室と、iii:前記シール室の両外側に設けられ、気体を排出する排出部と前記排出部と対向する側に加熱気体導入部を有するシールバッファ室、が設けられており、前記シール室は、前記被処理物の走行方向に対して垂直方向に加熱気体を循環させる機能を備え、前記シールバッファ室は、その排出部より気体を排ガス処理設備へ排出する排出手段を備え、前記排出手段によりシールバッファ室から排出された気体は、前記熱処理室、前記シール室、および前記シールバッファ室に循環されることなく、前記排ガス処理設備に導かれるように流路が設置され、再び前記被処理物に接触することがないように構成されていることを特徴とする熱処理炉。2シールバッファ室に導入される加熱気体は、新鮮外気が加熱されたものであって、新鮮外気加熱装置の下流側に配置された熱処理炉に供給される新鮮外気から分枝された配管により供給される、1に記載の熱処理炉。3シールバッファ室に導入される加熱気体は、熱処理室を循環する気体の一部が使用されるものであって、熱処理室を循環する気体の配管から分枝された配管から供給される、1に記載の熱処理炉。4シールバッファ室に導入される加熱気体は、シール室を循環する気体の一部が使用されるものであって、シール室を循環する気体の配管から分枝された配管から供給される、1に記載の熱処理炉。51~4のいずれかに記載の熱処理炉を用い、ポリアクロニトリル系繊維束を酸化性の加熱気体中で耐炎化処理する耐炎化繊維の製造方法。65に記載の耐炎化繊維を、不活性雰囲気中で炭素化処理する炭素繊維の製造方法。である。本発明によれば、熱処理炉内への外気の漏れ込みを防ぎ、品質安定化、操業安定化の確保と、エネルギー使用量および設備費の削減により炭素繊維生産コストダウンが可能となる。従来の熱処理炉は、被処理物Aが熱処理炉を出入りする段数を上げるなどの手段によって、大型化した場合に、熱処理室の上方に設けた糸条出入り口からは加熱気体が漏れ出し、熱処理室の下方に設けた糸条出入り口からは、低温外気の漏れ込みが生じるが、本発明者らは、本発明に係る熱処理炉は、熱処理室の外側にシール室が設けられ、その外側にシールバッファ室が設けられているため、従来の熱処理炉が有する前記の問題が防止または緩和されることを見出した。シール室やシールバッファ室を2段以上設置してもシール性は向上するが、設備が複雑化する上、作業も繁雑になるので、通常は1段ずつ設置することが好ましい。ここで、シール室には加熱気体を循環させる機能が設けられており、シールバッファ室には加熱気体が供給される手段、および排出される手段が設けられており、シールバッファ室から排出された気体は、再び被処理物Aに接触させることなく、系外に排出させるように構成されていることが必要である。排出される気体は、排ガスの処理設備を通して、好ましくは新鮮給気と熱交換してから系外に排出される。以下、図面に示す実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る熱処理炉の概略図である。この熱処理炉1は、シート状に引き揃えられた複数の線状の被処理物Aが出入りできる熱処理室2の前後にシール室3と、さらにその外側にシールバッファ室4が設置されている。前記熱処理室2は、被処理物Aが出入りできる開口部を複数段有し、前記開口部を通して両外側に備えられた複数の折返しローラーを介して該被処理物が複数回熱処理されるように構成された熱処理炉であって、該熱処理炉には、前記被処理物の走行方向に対して垂直方向に加熱気体を供給する加熱気体導入部と、前記加熱気体導入部と対向する側に熱処理室内の加熱気体を排出する加熱気体排出部を有し、前記加熱気体排出部と加熱気体導入部は気体を加熱させるための電気ヒーター6および加熱気体を循環させるためのファン7を有する、熱処理室内を循環する加熱気体の流路5により連結され、前記加熱気体の循環流路5の途中には新鮮加熱気体導入のための導入部および循環加熱気体排出部が設けられている。前記新鮮加熱気体は排ガス処理設備13の廃熱を利用して熱交換器14を介して予備加熱され、新鮮加熱気体の導入流路15を通して前記熱処理室2に連結している、熱処理室内を循環する加熱気体の循環流路5へ導入される。この新鮮加熱気体の温度設定は、新鮮加熱気体と、熱処理室に循環される気体が混合されて、加熱気体循環ファンによって熱処理炉に導入されるときの温度が、熱処理の温度を超えない範囲で高温であるほど気体加熱のための電気ヒーター6の負荷を低減できる。また、新鮮加熱気体の導入流路15は分枝しており、前記熱処理室内を循環する加熱気体の流路5および後述するシールバッファ室4へ供給される加熱気体の流路に接続されている。また、熱処理室内を循環する加熱気体の循環流路5には、前記加熱気体を循環させることでガス中のタール成分やシリカ等の不純物の濃縮を防止するため、排ガス処理設備行き流路16が連結されており、循環する加熱気体の一部が排ガス処理設備13に送られている。シール室3も同様に、被処理物Aが出入りする開口部を複数段有し、前記被処理物Aの走行方向に対して垂直方向に加熱気体を供給する加熱気体導入部と、前記加熱気体導入部と対向する側に熱処理室内の加熱気体を排出する加熱気体排出部を有し、前記加熱気体排出部と加熱気体導入部は気体を加熱させるための電気ヒーター9および加熱気体を循環させるためのファン10を有する、シール室内を循環する加熱気体の流路8により連結されている。図示していないが、シール室内を循環する加熱気体の8の途中には新鮮加熱気体の導入のための導入部および循環する加熱気体を排出するため排出部を設けても良い。シールバッファ室4も同様に、被処理物Aが出入りする開口部を複数段有し、上部には室内の気体を排出するための排出部を有し、前記排出部と対向する側に加熱気体の導入部を有する。前記排出部には排気用流路11を連結し、前記排気用流路11に設置したファン12により室内の加熱気体を排ガス処理装置13へ送風する。熱処理室1を循環し加熱気体排出部から排出される加熱気体の排ガスと、シールバッファ室4の排出部から排出される加熱気体の排ガスの処理設備は必ずしも同一でなくても良いが、図1~3に示すように、設備を簡略化、低コスト化するために単一の排ガス処理装置にて複数のプロセスからの排ガスが処理されることが好ましい。前記導入部にはシールバッファ室に導入される加熱気体の流路18を連結し、加熱気体を導入するが、前記シールバッファ室4の下部に供給する導入加熱気体は、熱処理室内の温度とほぼ同じでなければ熱処理室内の温度ムラを引き起こしやすくなる。従って、温度ムラ低減のため、前記新鮮加熱気体の導入流路15から分枝して供給される加熱気体と新鮮外気との混合気体が供給されることが好ましい。この混合気体の温度を制御する場合、加熱気体導入流路18に温度検出端を設け、該温度検出端により分岐した新鮮加熱気体流量およびまたは新鮮外気の流量を制御することが好ましい。これにより、シール室の気体流入量、および流入温度を一定に保つことができ、安定した耐炎化処理を行うことが可能となる。本発明の熱処理炉は、被処理物Aである繊維束を耐炎化するために用いられる場合、シール室およびシールバッファ室のシール作用によって耐炎化炉内から外気への有害ガスの漏れ出しおよび熱処理室内への低温外気の漏れ込みを効果的に抑制するものである。熱処理炉1としては、熱処理室2、シール室3、シールバッファ室4、炉外のそれぞれの境界に設けられた開口部20を炉外に設けられたローラー21を複数個介して、酸化性の加熱気体を熱処理室2の上方に設けられた導入部より被処理物Aである糸条の走行方向に対して垂直方向に加熱気体を吹き付ける方法を採ることが好ましい。前記のように、熱処理炉1の外側にローラー21を配設することにより、熱処理炉1に人が入ることなく作業が可能であることから、スタート準備のし易さ、メンテナンスのし易さや、定常運転時に巻き付きや糸切れが発生した場合でも生産設備を停止することなく処置が可能であり、炉内にローラーを配設する耐炎化装置に対し生産性は優れている。一方、炉内のシール性やエネルギー効率の観点からは、熱処理炉内に糸条が出入りするための開口部が必要であり、また炉外に糸条が出たときに一度冷却されることから、炉内にローラーを配設する炉に対して熱処理効率は劣るが、長期連続運転、多糸条化、高糸条密度化が求められており、炉外にローラーが配設されている炉が優位である場合が多いと考えられる。この熱処理炉においては被処理物Aの走行方向に対して垂直方向に加熱気体を吹き付ける方法を採ることが好ましい。こうすることで、被処理物Aの走行方向に対して並行方向に加熱気体を吹き付ける方法に対して酸化反応に伴う発熱を効果的に除くことができるため、高温、短時間での耐炎化処理が可能となる。前記加熱気体導入は、機幅方向の加熱気体供給ムラを低減させるため、少なくとも2箇所以上から供給すれば、より好ましい。また、流入部や室内にパンチングメタル、邪魔板等を設けて整流作用を施しても良い。シールバッファ室に導入される加熱気体の流路18への加熱気体供給手段は、図1に示すように排ガス処理設備13の廃熱を利用する熱交換器14を介して、熱処理室2への導入される加熱気体を分枝し、その一部を利用することが好ましい。こうすることで、新たな熱源を準備する必要がなくなる。また、作業環境中への被処理物由来のガスの暴露や加熱気体中のタール成分等の付着を防止するため、前記シールバッファ室下部において外側開口部外側に対して内側の圧力が負圧であることがより好ましい。好ましい圧力の範囲は、-0.50~-0.01mmAqである。この場合、シールバッファ室下部に圧力検知機構を設け、導入される加熱気体の流路18に流量調整機構を設置し、両者を連動させて圧力制御することでより効果的にガスの暴露およびタール付着を防止できる。図2は、本発明の別の実施態様に係る熱処理炉の概略図であり、シールバッファ室4に導入される加熱気体の流路18への加熱気体供給手段は、熱処理室内を循環する加熱気体の流路5を分枝し、循環加熱気体の一部を送還して用いている。分枝する位置としてはヒーター6を通った後の流路から分枝するのが好ましい。シールバッファ室内と熱処理室内の温度はほぼ同じであるため、図1の態様とは異なり独自の温度制御が省けその設備費および熱ロスを削減することができる。図3は、本発明のさらに別の実施態様に係る熱処理炉の概略図であるが、シールバッファ室4に導入される加熱気体の流路18への加熱気体供給手段は、シール室内を循環する加熱気体の流路8の一部を送還しても良い。かかる方法によっても図1よりも設備費および熱ロスを削減することができる。本発明の熱処理炉例えば、図1~3に示す熱処理炉を用いることで、熱処理室内からの加熱気体の漏れ出しと熱処理室への不純物を含有した低温外気の漏れ込みを防ぎ、熱処理室内の温度ムラを小さくすることが可能である。したがって、前記熱処理炉を用いて、ポリアクロニトリル系繊維束を、好ましくは200~300°Cの酸化性の加熱気体中で耐炎化処理して耐熱性の高い構造へと変換させて製造した耐炎化繊維の品質、および、前記耐炎化繊維を、好ましくは300~2000°Cの不活性雰囲気中で炭素化処理して製造した炭素繊維の品質を向上させることができるとともに、前記耐炎化繊維および前記炭素繊維の製造における工程安定性の確保が実現できる。以下、本発明を実施例により本発明をさらに説明する。以下、本発明を実施例により本発明をさらに説明する。なお、表1に示す、熱処理室ヒーター使用電力、温度ムラ、熱処理汚れ状況、品質強度は、以下のとおりに評価、測定を行った。<熱処理室ヒーター使用電力の測定>ヒーター使用電力については外気温の影響を排除するために1日当たり使用した電力を、メーター値を読んで確認した。<温度ムラの測定>熱処理炉内の温度ムラについては、熱電対を所定の位置に15ヶ所配設し、1日間運転したときの最高温度と最低温度の差を確認した。具体的には糸条の幅方向に各3ヶ所設け、糸条走行方向には熱処理室最上段および最下段の糸条導出入口よりそれぞれ500mm離れた位置および熱処理室中段の中央に配置した。<熱処理汚れ状況の評価>また、耐炎化炉の汚れ状況は官能評価によって判断した。観察位置は熱処理炉外側最上段から3枚の開口部へのタール成分の付着状況を確認した。<品質強度測定>強度はJISR7608試験法2007に準拠して測定した。[実施例1]図1に示す熱処理炉を用いて、250°Cに加熱した空気250,000Nm3/hrを熱処理室で循環させ、上方から垂直方向に加熱気体を吹き付けて、フィラメント数12,000本のポリアクリロニトリル系前駆体繊維群を耐炎化処理した。また、シール室内は250°Cに加熱した空気を熱処理室の両側に各15,000Nm3/hr循環させ、新鮮外気は、熱処理室の循環流量とシールバッファ部の供給流量を合わせて10,000Nm3/hrとした。シールバッファ室排気流量は各々5,000Nm3/hrとし、さらに、熱処理室への新鮮加熱気体を分枝し、新鮮外気と混合することで250°Cに温度調整した加熱気体を各シールバッファ室の下方から2,000Nm3/hrずつ供給した。この時のシールバッファ室下部の圧力は、外部圧力に対して-0.03mmHgであった。本熱処理炉の効果を確認するために、熱処理室内を循環する気体加熱用ヒーター使用電力、熱処理炉内の温度分布、加熱気体中のタール成分等による耐炎化炉汚れ状況、得られた耐炎化繊維を不活性雰囲気中で炭素化処理することで製造された炭素繊維の品質として樹脂含浸ストランド強度を測定した。結果を表1に示す。実施例1の熱処理炉を用いた耐炎化処理において、1週間連続して運転したあとの熱処理炉上部の開口部への汚れ付着はほとんどなく、それに起因した糸切れも起こらなかった。得られた耐炎化繊維を不活性雰囲気中で炭素化処理することで製造された炭素繊維の強度を評価した結果、高強度で良質な製品が得られた。[比較例1]図4に示す耐炎化炉において、熱処理室への導入気体を分枝せず、各シールバッファ室の下方から加熱気体を供給せず、主循環への新鮮吸気は10,000Nm3/hrに保って運転した。その他の条件は実施例1と同じにし、実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。比較例1の熱処理炉を用いた耐炎化処理においては、熱処理炉上部の開口部への汚れ付着が目立ち、走行糸条に今にも滴下しそうな状況であった。さらに温度ムラも大きく、あわせ熱処理室ヒーター電力も大きく消耗している。[実施例2]図2に示す熱処理炉を用いて、同様に耐炎化処理した。主循環への新鮮外気は10,000Nm3/hrに保って、加熱気体導入流路18への加熱気体供給は、熱処理室内を循環する加熱気体の流路5の一部を分岐して送った。その他の条件は実施例1と同じにし、実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。[実施例3]図3に示す熱処理炉を用いて、耐炎化処理した。シールバッファ室に導入される加熱気体の流路18への加熱気体供給手段は、シール室内を循環する加熱気体の流路8の一部を送還している。その他の条件は実施例1と同じにし、実施例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。実施例1は、熱処理室への導入気体を利用し各シールバッファ室にすることで、比較例1のプロセスに新たに熱源を追加することなく、加熱気体を供給できる。実施例2および3では、シールバッファ室内、シール室内および熱処理室内の温度はほぼ同じであるため、循環加熱気体の一部を利用することで、実施例1の態様とは異なり独自の温度制御が省けその設備費および熱ロスを削減することが出来る。また、実施例1~3ではシールバッファ室の下方から加熱気体を導入することで外気の漏れ込みを遮断することにより、ヒーター使用電力は削減でき、熱処理炉内温度ムラが低減し、かつ走行糸条への不純物の付着が低減されるため、得られた炭素繊維の強度が向上し、外観品位も良質な製品が得られる。このように、本発明によって、熱処理炉のシール室の外側のシールバッファ室に加熱気体を導入することで、熱処理炉内への外気の漏れ込みを遮断することができ、シールバッファ室の排気は系外に排出し、糸条との接触を防止することによって、品質安定化、操業安定化の確保と、エネルギー使用量および設備費の削減により炭素繊維生産コストダウンが可能となった。"