"PFCを含む排ガスを分解処理する排ガス処理装置と前記排ガスに含まれるPFCsを分析する分析計との間に設けられ、前記排ガス処理装置が排出する前記排ガスを前処理して、該前処理した前記排ガスを前記分析計に供給するガス分析計用前処理装置であって、前記排ガス処理装置と接続され、前記排ガス処理装置が排出する前記排ガスに含まれる水分を除去する水分除去ユニットと、前記水分除去ユニットと接続され、前記水分が除去された前記排ガスに含まれるフッ酸を除去するフッ酸除去ユニットと、前記フッ酸除去ユニット及び前記分析計と接続され、前記水分及び前記フッ酸が除去された前記排ガスに含まれる前記粉体を除去し、該粉体が除去された前記排ガスを前記分析計に供給する粉体除去ユニットと、を有することを特徴とするガス分析計用前処理装置。前記水分除去ユニットは、耐食性を有する容器と、該容器を冷却する冷却機構と、を有することを特徴とする請求項1記載のガス分析計用前処理装置。前記水分除去ユニットは、前記排ガス処理装置と接続され、かつ温度が室温とされた第1の水分除去部と、前記第1の水分除去部及び前記フッ酸除去ユニットと接続され、かつ20°C以下の温度に冷却された第2の水分除去部と、を有することを特徴とする請求項1記載のガス分析計用前処理装置。前記フッ酸除去ユニットは、乾式除去剤が充填された容器であることを特徴とする請求項1ないし3のうち、いずれか1項記載のガス分析計用前処理装置。前記乾式除去剤が、マンガン系乾式除去剤またはカルシウム系乾式除去剤であることを特徴とする請求項4記載のガス分析計用前処理装置。前記粉体除去ユニットは、インラインフィルターであることを特徴とする請求項1ないし5のうち、いずれか1項記載のガス分析計用前処理装置。前記分析計は、フーリエ変換赤外分光光度計であることを特徴とする請求項1ないし6のうち、いずれか1項記載のガス分析計用前処理装置。しかしながら、特許文献1記載の前処理装置では、水分を含んだダストが激しく吸着するため、ヘドロ状の堆積物が生成しやすくなる。その結果、サンプリングラインの閉塞が起こりやすく、頻繁にメンテナンスをする必要があるという問題があった。また、特許文献2記載のガス分析計用前処理装置を用いて、排ガス処理装置から排出される排ガスを前処理した場合バブリング法を用いた場合、多量のフッ酸排水濃度が数ppmの処理が問題となる。また、特許文献3記載の排ガス分析用サンプリング装置を用いて、排ガス処理装置から排出される排ガスを処理した場合、バグフィルタを用いるためバグフィルタ法を用いるため、装置が大型化して、分析応答性が劣化するという問題があった。そこで、本発明は、分析応答性を低下させることなく、排ガス処理装置を経由した排ガスに含まれる粉体例えば、粉状Si酸化物、フッ酸、及び水分を効率よく除去でき、かつメンテナンスの頻度を低減できるガス分析計用前処理装置を提供することを目的とする。本発明者は、上記課題を解決するために、微量PFCsの分析を妨害しないように、排ガス処理装置と分析計の間で分析妨害成分である粉状例えば、Si酸化物、フッ酸HF、及び水分を効率的に除去することが必要であるという考えに至った。この場合、当然、PFCsを分解する手段は、ガス分析計用前処理装置として用いることができない。また、PFCsを吸着する手段は、分析応答性を劣化させる要因となるため、ガス分析計用前処理装置として用いることができない。また、サンプリングガスの流路が大きい構造や、滞留が起こりやすい構造も、分析応答性を劣化させる要因となるため、ガス分析計用前処理装置として用いることができない。本発明は、上記条件を満たし、かつ、ガス分析計用前処理装置のメンテナンスの頻度を低減することを目的として鋭意研究を重ねた結果である。先に、発明が解決しようとする課題で説明したように、排ガス処理装置から排出された排ガスに含まれる粉体を除去する方法として、バブリング法特許文献2に記載の方法やバグフィルタ法特許文献3記載の方法は不適切であり、フィルター式が望ましい。しかしながら、排ガス処理装置の排ガスは、露点が60~80度になる場合もあるため、始めに粉体除去を行なった場合、粉体に水が吸収されてヘドロ状の堆積物が生成され、サンプリングラインの閉塞が起こりやすくなる。そのため、頻繁にメンテナンスをする必要がある。したがって、水分を除去した後に粉体を除去する構成が望ましいという考えに至った。水分除去については、排ガス中の水分濃度が非常に高いため、反応式や吸着式では反応剤及び吸着剤の交換が頻繁になるため、結露させて除去する方法が望ましい。また、フッ酸除去については、簡略な構造にするという観点から吸着式が望ましく、カルシウム等を利用できることが広く知られている。例えば、酸化カルシウム剤を用いれば、水とフッ酸を同時に除去できるが、水分量が多すぎるため、吸着剤がすぐに破過してしまうため、交換作業が煩雑となる。同様に、フッ酸を吸着する吸着剤の多くは水分を吸着する特性をもっているため、多量の水分を含む環境ではフッ酸の吸着量が大幅に少なくなってしまう。したがって、フッ酸を除去する前に、水分を除去する構成が望ましい。また、フッ酸は、非常に腐食性が強く、フッ酸に暴露される流路に耐食性の強い配管を用いる必要がある。このため、早い段階でフッ酸を除去する方がガス分析計用前処理装置の構成を簡略化できる。上記説明したように、本発明者は、上記課題を解決するために、排ガス処理装置の排ガス中に含まれる水分、フッ酸、及び粉体を、この順番で除去してから分析計に排ガスを導く構成にすることで、排ガス処理装置を経由した排ガスに含まれる水分、フッ酸、及び粉体を効率よく除去でき、かつメンテナンスの頻度を低減することのできるガス分析計用前処理装置を提供できるという考えに至った。そこで、本発明者は、上記知見についてさらに研究を進めた結果、以下の手段を有する本発明を完成するに至った。すなわち、上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。上記課題を解決するため、請求項1に係る発明によれば、PFCを含む排ガスを分解処理する排ガス処理装置と前記排ガスに含まれるPFCsを分析する分析計との間に設けられ、前記排ガス処理装置が排出する前記排ガスを前処理して、該前処理した前記排ガスを前記分析計に供給するガス分析計用前処理装置であって、前記排ガス処理装置と接続され、前記排ガス処理装置が排出する前記排ガスに含まれる水分を除去する水分除去ユニットと、前記水分除去ユニットと接続され、前記水分が除去された前記排ガスに含まれるフッ酸を除去するフッ酸除去ユニットと、前記フッ酸除去ユニット及び前記分析計と接続され、前記水分及び前記フッ酸が除去された前記排ガスに含まれる前記粉体を除去し、該粉体が除去された前記排ガスを前記分析計に供給する粉体除去ユニットと、を有することを特徴とするガス分析計用前処理装置が提供される。また、請求項2に係る発明によれば、前記水分除去ユニットは、耐食性を有する容器と、該容器を冷却する冷却機構と、を有することを特徴とする請求項1記載のガス分析計用前処理装置が提供される。また、請求項3に係る発明によれば、前記水分除去ユニットは、前記排ガス処理装置と接続され、かつ温度が室温とされた第1の水分除去部と、前記第1の水分除去部及び前記フッ酸除去ユニットと接続され、かつ20°C以下の温度に冷却された第2の水分除去部と、を有することを特徴とする請求項1記載のガス分析計用前処理装置が提供される。また、請求項4に係る発明によれば、前記フッ酸除去ユニットは、乾式除去剤が充填された容器であることを特徴とする請求項1ないし3のうち、いずれか1項記載のガス分析計用前処理装置が提供される。また、請求項5に係る発明によれば、前記乾式除去剤が、マンガン系乾式除去剤またはカルシウム系乾式除去剤であることを特徴とする請求項4記載のガス分析計用前処理装置が提供される。また、請求項6に係る発明によれば、前記粉体除去ユニットは、インラインフィルターであることを特徴とする請求項1ないし5のうち、いずれか1項記載のガス分析計用前処理装置が提供される。また、請求項7に係る発明によれば、前記分析計は、フーリエ変換赤外分光光度計であることを特徴とする請求項1ないし6のうち、いずれか1項記載のガス分析計用前処理装置が提供される。本発明のガス分析計用前処理装置によれば、排ガス処理装置と接続され、排ガス処理装置が排出する排ガスに含まれる水分を除去する水分除去ユニットと、水分除去ユニットと接続され、水分が除去された排ガスに含まれるフッ酸を除去するフッ酸除去ユニットと、フッ酸除去ユニット及び分析計と接続され、水分及びフッ酸が除去された排ガスに含まれる粉体を除去し、粉体が除去された排ガスを分析計に供給する粉体除去ユニットと、を有することにより、粉体に水が吸収されてヘドロ状の堆積物が生成されることがなくなる。これにより、排ガス処理装置が排出する排ガスに含まれる水分、フッ酸、及び粉体例えば、Si粉体を効率よく除去でき、かつガス分析計用前処理装置のメンテナンスの頻度を低減できる。実施の形態図1は、本発明の実施の形態に係るガス分析計用前処理装置の概略構成を示す図である。図1では、説明の便宜上、本実施の形態のガス分析計用前処理装置10と接続される排ガス処理装置11及び分析計12を図示する。また、図1に示す矢印は、排ガス処理装置11により分解処理された排ガスの移動方向を示している。図1を参照するに、本実施の形態のガス分析計用前処理装置10は、排ガス処理装置11と分析計12との間に設けられており、水分除去ユニット15と、フッ酸除去ユニット16と、粉体除去ユニット17と、を有する。水分除去ユニット15は、耐食性を有する容器図示せずと、該容器を冷却する冷却機構図示せずと、を有する。水分除去ユニット15は、排ガス処理装置11と接続されており、排ガス処理装置11が排出する排ガスに含まれる水分を除去する。また、水分除去ユニット15は、フッ酸除去ユニット16と接続されており、水分を除去した排ガスをフッ酸除去ユニット16に供給する。なお、排ガス処理装置11は、半導体デバイス、液晶ディスプレイ、及び太陽電池パネル等の電子デバイスを製造する際に使用する電子デバイス製造装置図示せずと接続されており、該電子デバイス製造装置から排出されるPFCパーフルオロコンパウンドを含む排ガスを分解処理する。水分除去ユニット15は、下流側配管内での結露を予防するため、排ガスの露点が設置環境温度以下、望ましくは20°C以下となるように温度制御するとよい。これにより、ガス分析計用前処理装置10が温度管理された屋内に設置されている場合、これ以降に配置された配管排ガスが通過する管路を加温する必要がなくなるため、ガス分析計用前処理装置10を簡便な構成にすることができる。但し、ガス分析計用前処理装置10の設置環境が屋外の場合には、さらに露点を下げるか、或いはこれ以降の配管を加温することが必要である場合もある。また、分析計12により、数ppm~数十ppmレベルの微量のPFCs全フッ素置換化合物類、PFCs:perfluorocompoundsを分析する場合、分析対象成分によっては、露点20°C程度の水分が分析妨害成分となる場合がある。このため、例えば、CF4の微量分析を行なう場合には、露点を10°C以下にすることが好ましい。水分除去ユニット15を構成する容器の一例としては、例えば、直径が5~20cm程度、高さが10~50cm程度であって、上部にガス導入配管とガス導出配管、下部にドレイン配管が繋がった容器を挙げることができる。また、水分除去ユニット15を構成する容器の材質としては、例えば、ステンレス、ハステロイ、テフロン登録商標等から選択することができる。水分除去ユニット15を構成する冷却機構の一例としては、例えば、容器の外周部に冷却水を流す水冷式冷却機構や、ペルチェ等の熱交換器を取り付ける電子冷却式冷却機構等様々な方法を採用することが可能である。フッ酸除去ユニット16は、乾式除害剤図示せずが充填された容器図示せずである。フッ酸除去ユニット16は、下流側配管の腐食を予防するため、排ガスに含まれるフッ酸の濃度を数ppm以下にするためのユニットである。フッ酸除去ユニット16を構成する容器の大きさ及び乾式除害剤の充填量は、処理対象ガス中に含まれるフッ酸濃度および処理対象ガス流量に応じて、適宜選択することが可能である。乾式除害剤としては、例えば、カルシウム系乾式除害剤やマンガン系乾式除害剤等を用いることができる。乾式除害剤としては、上記カルシウム系乾式除害剤及びマンガン系乾式除害剤の他にもフッ酸を吸着除去するものの中から適宜選択することが可能である。ただし、PFCsを吸着する材料例えば、活性炭等で構成された乾式除害剤は使用することができない。粉体除去ユニット17は、フッ酸除去ユニット16及び分析計12と接続されている。粉体除去ユニット17は、水分及びフッ酸が除去された排ガスに含まれる粉体例えば、粉状Si酸化物を除去すると共に、該粉体が除去された排ガスを分析計12に供給する。粉体除去ユニット17としては、簡便なインラインフィルターを用いることができる。ただし、粉体の除去と共に、圧力損失が大きくなるため、上記インラインフィルターとしては、表面積の大きいフィルターが望ましい。具体的には、例えば、焼結金属製のメンブレンフィルターやPTFEポリテトラフルオロエチレン製のメンブレンフィルター等を用いることができる。分析計12は、粉体除去ユニット17から供給された水分、フッ酸、及び粉体が除去された排ガスに含まれるPFCsを分析する。分析計12としては、例えば、フーリエ変換赤外分光光度計FT-IRを用いることができる。フーリエ変換赤外分光光度計は、複数かつ低濃度のPFCsを1台で分析できるというメリットがある。なお、分析計12は、分析妨害成分を除去した後の排ガス中のPFCsの分析を目的とするため、キャビティーリングダウン分光分析装置CRDSのようなレーザ分光技術に基づく分析装置やガスクロマトグラフィ分析装置などのPFCガスを分析できる様々な分析装置から選択することができる。本実施の形態のガス分析計用前処理装置によれば、排ガス処理装置と接続され、排ガス処理装置12が排出する排ガスに含まれる水分を除去する水分除去ユニット15と、水分除去ユニット15と接続され、水分が除去された排ガスに含まれるフッ酸を除去するフッ酸除去ユニット16と、フッ酸除去ユニット15及び分析計12と接続され、水分及びフッ酸が除去された排ガスに含まれる粉体を除去し、該粉体が除去された排ガスを分析計12に供給する粉体除去ユニット17と、を有することにより、粉体に水が吸収されてヘドロ状の堆積物が生成されることがなくなる。これにより、排ガス処理装置12が排出する排ガスに含まれる水分、フッ酸、及び粉体例えば、粉状Si酸化物を効率よく除去でき、かつガス分析計用前処理装置10のメンテナンスの頻度を低減することができる。図2は、本発明の実施の形態の変形例に係るガス分析計用前処理装置の概略構成を示す図である。図2において、図1に示す本実施の形態のガス分析計用前処理装置10と同一構成部分には同一符号を付す。図2を参照するに、本実施の形態の変形例に係るガス分析計用前処理装置20は、本実施の形態のガス分析計用前処理装置10に設けられた水分除去ユニット15の替わりに水分除去ユニット21を設けた以外は、ガス分析計用前処理装置10と同様に構成される。水分除去ユニット21は、排ガス処理装置11と接続され、かつ温度が室温とされた第1の水分除去部22と、第1の水分除去部22及びフッ酸除去ユニット16と接続され、かつ20°C以下の温度に冷却された第2の水分除去部23と、を有する。つまり、水分除去ユニット21では、第1及び第2の水分除去部22,23により、排ガスに含まれる水分の除去を行なう。本実施の形態の変形例に係るガス分析計用前処理装置によれば、排ガス処理装置11と接続され、かつ温度が室温とされた第1の水分除去部22と、第1の水分除去部22及びフッ酸除去ユニット16と接続され、かつ20°C以下の温度に冷却された第2の水分除去部23と、を有することにより、水分除去ユニット21内に導入される排ガスの露点と水分除去後の排ガスの露点とが大きく異なる場合、第2の水分除去部23を冷却する冷却機構図示せずの負荷を小さくすることができる。また、フッ酸は水に溶解しやすく、かつフッ酸の沸点が19.9°Cであることから、水分除去部21で水分と同時にフッ酸の一部を除去することが可能となり、水分除去部21の後段に配置されたフッ酸除去部16の負荷を小さくすることができる。また、水分除去部21で除去した水分はフッ酸排水として処理する必要があるが、スクラバー等と比較して、その排水量は非常に少ないため、貯留した後にフッ酸排水処理施設に移設して処理する方法を用いることができる。さらに、本実施の形態の変形例に係るガス分析計用前処理装置20は、本実施の形態のガス分析計用前処理装置10と同様な効果を得ることができる。以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形変更が可能である。実施例1実施例1では、直径が10cmで高さが25cmのステンレス容器にペルチェが取り付けられた水分除去ユニットと、直径が5cmで高さが30cmのステンレス容器にマンガン系乾式除害剤が充填されたフッ酸除去ユニットと、表面積が500cm2のPTFEメンブレンフィルターよりなる粉体除去ユニットと、を用いて、実施例1のガス分析計用前処理装置を構成した。このとき、水分除去ユニットを構成する容器の外壁温度を20°Cとした。また、排ガス処理装置PFC除害装置から水分除去ユニットに、濃度1000ppmのSiF4を含む排ガスを供給し、実施例1のガス分析計用前処理装置により、排ガスに含まれる水分、フッ酸、及び粉体の除去を行い、その後、分析計により、水分、フッ酸、及び粉体が除去された排ガスに含まれるPFCsの濃度を測定し、実施例1のガス分析計用前処理装置の性能を評価した。分析計には、フーリエ変換赤外分光光度計FT-IRを用いた。排ガス処理装置の排ガスには、SiF4に起因するシリコン酸化物粉体の他に、露点70°Cの水分と、濃度が5000ppmのフッ酸が含まれていた。実施例1のガス分析計用前処理装置を、1ヶ月間連続使用したが、配管の閉塞等のトラブルは発生しなかった。また、フーリエ変換赤外分光光度計によるPFCsの分析も問題なく実施できた。次に、実施例1のガス分析計用前処理装置の上流側に、濃度が既知であるCF4、SF6、及びNF3を含むガスを導入し、分析計12であるFT-IRを用いて分析を行なった。このとき、始めの5分間は、実施例1のガス分析計用前処理装置の入口側のガスを分析し、次の5分間については、分析計にN2ガスを導入してパージし、最後の5分間では、実施例1のガス分析計用前処理装置の出口側のガスを分析した。図3にこの結果を示す。図3は、応答性を判断するための図である。図3は、実施例1のガス分析計用前処理装置に濃度が既知であるCF4、SF6、及びNF3を含むガスを導入した際の分析結果を示す図である。図3を参照するに、実施例1のガス分析計用前処理装置の入口側の濃度と、実施例1のガス分析計用前処理装置の出口側と、が一致しており、実施例1のガス分析計用前処理装置内でPFCsが分解されていないことが確認された。また、分析ラインを切り替え後、30秒以内に90以上の応答性をしており、分析応答性においても問題がないことが確認できた。実施例2実施例2のガス分析計用前処理装置は、実施例1のガス分析計用前処理装置のフッ酸除去ユニットを構成するマンガン系乾式除害剤に替えて、カルシウム系乾式除害剤を用いた以外は、実施例1のガス分析計用前処理装置と同様に構成した。排ガス処理装置PFC除害装置から水分除去ユニットに、濃度1000ppmのSiF4を含む排ガスを供給し、実施例2のガス分析計用前処理装置により、排ガスに含まれる水分、フッ酸、及び粉体の除去を行い、その後、分析計により、水分、フッ酸、及び粉体が除去された排ガスに含まれるPFCsの濃度を測定し、実施例2のガス分析計用前処理装置の性能を評価した。分析計には、フーリエ変換赤外分光光度計FT-IRを用いた。排ガス処理装置の排ガスには、SiF4に起因するシリコン酸化物粉体の他に、露点70°Cの水分と、濃度が5000ppmのフッ酸が含まれていた。実施例2のガス分析計用前処理装置を、1ヶ月間連続使用したが、配管の閉塞等のトラブルは発生しなかった。また、フーリエ変換赤外分光光度計によるPFCsの分析も問題なく実施できた。次に、実施例2のガス分析計用前処理装置の上流側に、濃度が既知であるCF4、SF6、及びNF3を含むガスを導入し、分析計12であるFT-IRにより分析を行なった。このとき、始めの5分間は、実施例2のガス分析計用前処理装置の入口側のガスを分析し、次の5分間については、分析計にN2ガスを導入してパージし、最後の5分間では、実施例1のガス分析計用前処理装置の出口側のガスを分析した。この分析結果から、実施例2のガス分析計用前処理装置の入口側の濃度と、実施例2のガス分析計用前処理装置の出口側と、が一致し、実施例2のガス分析計用前処理装置内でPFCsが分解されていないことが確認された。また、分析ラインを切り替え後における分析応答性、及び分析濃度においても問題がないことが確認できた。参考例1実施例1のガス分析計用前処理装置を構成する水分除去ユニットを構成する容器の外壁温度を室温と同じ30°Cとし、その他の条件については実施例1と同じにして、排ガスの前処理及び分析を行なった。この結果、水分除去ユニットの出口以降の配管において、わずかながら結露していることが確認された。また、ステンレス配管が腐食していることも確認された。これは、結露した部分にフッ酸が溶解し、高濃度フッ酸水となって腐食が進行したことを意味しており、水分除去ユニットの水分除去性能が不十分であったことを示している。比較例1実施例1のガス分析計用前処理装置を構成する水分除去ユニット、フッ酸除去ユニット、及び粉体除去ユニットの順番を、粉体除去ユニット、水分除去ユニット、フッ酸除去ユニットの順番に並べ替え、その他の条件は実施例1と同じとして、排ガスの前処理及び分析を行なった。この結果、5日間程度でフィルター前後の差圧が10kPa程度となり、フーリエ変換赤外分光光度計の分析セル部の圧力が30kPa程度低下した。これは、フィルターを交換する必要があることを意味する。つまり、比較例1のガス分析計用前処理装置の構成では、フィルターの交換サイクルが短く、実用上好ましくないことが確認できた。参考例2実施例1のガス分析計用前処理装置を構成するフッ酸除去ユニットを構成するマンガン系乾式除害剤に替えて、活性炭系乾式除害剤を用い、その他の条件については実施例1と同じにして、排ガスの前処理及び分析を行なった。具体的には、参考例2のガス分析計用前処理装置の上流側に、濃度が既知であるCF4、SF6、及びNF3を含むガスを導入し、分析計であるFT-IRにより分析を行なった。このとき、始めの5分間は、参考例3のガス分析計用前処理装置の入口側のガスを分析し、次の5分間については、分析計にN2ガスを導入してパージし、最後の5分間では、参考例3のガス分析計用前処理装置の出口側のガスを分析した。図4は、参考例2のガス分析計用前処理装置に濃度が既知であるCF4、SF6、及びNF3を含むガスを導入した際の分析結果を示す図である。図4を参照するに、参考例2のガス分析計用前処理装置の出口側において、SF6が検出されていないことが確認できた。また、参考例2のガス分析計用前処理装置の出口側におけるNF3の濃度が、参考例2のガス分析計用前処理装置の入口側の濃度より低濃度になっていることが確認できた。さらに、濃度が既知であるフッ酸を含むガスを導入し、参考例2のガス分析計用前処理装置の下流側でフッ酸が検出されるまでの時間を評価した結果、実施例1で使用したマンガン系乾式除害剤の場合の1/5の時間でフッ酸が検出された。これらの結果から、活性炭系乾式除害剤が、本用途には不適当であることが確認できた。"