半円状の高周波アンテナと、前記高周波アンテナを被覆する絶縁性管とを備えたプラズマ発生装置において、前記絶縁性管は、凹部及び凸部を有する半円状に二分割された絶縁性部材よりなり、前記凹部と前記凸部とを嵌め合わせ、スライドさせて一体化しているものであることを特徴とするプラズマ発生装置。従来の絶縁性管は、形状がチューブのため内外面共に切削加工が出来ないため精度が悪いといった問題があり、また表面状態が悪いといった問題があった。また、絶縁性管の形状がチューブのため組立性が悪く、分解が困難なので保守等が非常に煩雑であるといった問題もあった。プラズマ発生装置は容器内で均一なプラズマを発生させるために高周波アンテナを複数配置する必要があり、複数の高周波アンテナおよび絶縁性管といった物のメンテナンス時間を短縮することは重要な課題である。本発明は上記課題を解決するためになされたもので、絶縁性管の断面の形状をプラズマが内部に侵入し難い形状とし、かつ絶縁性管を容易に分解できる構造とすることで、保守性に優れた高周波アンテナを持つプラズマ発生装置を提供することを課題とする。本発明は、半円状の高周波アンテナと、前記高周波アンテナを被覆する絶縁性管とを備えたプラズマ発生装置において、前記絶縁性管は、凹部及び凸部を有する円周方向断面に沿って分割された絶縁性部材の前記凹部と前記凸部とを嵌め合わせ、スライドさせて一体化したものであることを特徴としている。本発明のプラズマ発生装置によれば、絶縁性管の断面の形状をプラズマが内部に侵入し難い形状とし、かつ絶縁性管を容易に分解できる構造とすることにより、高周波アンテナの保守性が向上する。以下、本発明の実施形態について添付の図面を用いて説明する。図1は本発明に係るプラズマ発生装置の高周波アンテナの断面図であり、半円状の高周波アンテナ1が真空容器2に絶縁フランジ3を介して取付けられた状態を示している。図2は本発明に係る一つの実施形態を示し、図1の半円状の高周波アンテナの全体を覆う絶縁性管のA-A矢視断面図である。半円状の絶縁性管4は全体が凸部絶縁性管5と凹部絶縁性部材6に二分割し、それぞれの凹部7と凸部8を嵌め合わせ、円周に沿ってスライドさせて、一体化し、半円状の絶縁性管4を構成するものである。図3は本発明に係る他の実施形態を示し、図1の半円状の高周波アンテナの全体を覆う絶縁性管のA-A矢視断面図である。本実施形態では、半円状の絶縁性管4は全体が凸部絶縁性部材5と凹部絶縁性部材6に二分割しているのは上記実施形態と同様であるが、図1の半円状の絶縁性管4の外周側9にだけ凹部7と凸部8を設けて凸部絶縁性部材5と凹部絶縁性部材6に二分割し、これらの部材の凹部7と凸部8を嵌め合わせて円周に沿ってスライドさせ一体化して、半円状の絶縁性管4を構成するものである。なお、図1の半円状の絶縁性管4の内周側10に凹部7と凸部8を設けてもよいことは言うまでもない。図4はさらに他の実施形態を表す図であり、半円状の絶縁性管4を、例えば部分的に2ヶ所、凹部7又は凸部8を設けた図4Aの凸部絶縁性部材5と図4Bの凹部絶縁性部材6に二分割し、これらを円周に沿ってスライドさせて、凹部7と凸部8を嵌め合わせて一体化して、半円状の絶縁性管4を構成するものである。このように構成することによって、半円状の絶縁性管4の組み立て時に、円周に沿ってスライドさせる距離を短くすることができ、内部導体を組み入れた状態で嵌め合わせて半円状の絶縁性管4に組み立てることができる。なお、図5は図3に示す実施形態の組み立て方法を示した図である。このように凹部7と凸部8を嵌め合わせて円周方向に回転させながらスライドさせればよいことを表している。このような組み立て方法は他の実施形態のものも同様である。以上、本発明の実施形態を説明したが、これらはあくまで数例の実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を加えた態様で実施することができる。