"ガスが取り込まれる真空ポンプ装置13,53、及び取り込まれた前記ガスの少なくとも1つのガス成分を検出するための第1センサ16を有し、該第1センサが可飽和ガス選択性センサタイプである漏れ検出器において、熱伝導センサタイプである第2センサ38が取り込まれた前記ガスの熱伝導度を検出するために設けられ、前記第1及び/または第2センサが限界値以上の前記ガス成分の濃度を検出すると、前記第1センサ16をブラインドモードに切り替えるための手段が設けられ、前記第1センサ16が前記ガス成分の低濃度の範囲をカバーし、前記第2センサ38が高濃度の範囲をカバーすることを特徴とする漏れ検出器。前記第1センサ16の上流で、弁V2が取り込まれたガスのガス流の中に配置され、前記弁は、前記ブラインドモードを実行するために閉じた状態に切り替えられることを特徴とする請求項1に記載の漏れ検出器。前記第1センサ16は、加熱可能で、選択的にガスを透過させる膜17を備え、前記ブラインドモードを実行するために、前記膜の加熱が停止されることを特徴とする請求項1に記載の漏れ検出器。大気からガスを取り込むためのスニファープローブ12が設けられ、前記第1センサ16が測定管35に設けられ、前記第2センサ38が吸入管36に設けられ、前記吸入管は、距離感度を増加させるように、前記スニファープローブ12から前記真空ポンプ装置13に直接繋がり、前記測定管よりも速い速度の流れを運ぶことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の漏れ検出器。前記第2センサ38は大気圧に近い一定の全圧が広がる位置に配置され、前記センサは特に吸入管36に、または前記漏れ検出器の空気出口に配置されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の漏れ検出器。前記第1センサ16の前記ブラインドモードの実行のために、制御装置40によって制御される弁56,56aを有するバイパス管54を備えることを特徴とする先行する請求項のいずれか1項に記載の漏れ検出器。ガスが取り込まれる真空ポンプ装置13,53、及び取り込まれた前記ガスの少なくとも1つのガス成分を検出するための第1センサ16aを有し、該第1センサが可飽和ガス選択性センサタイプである漏れ検出器において、熱伝導センサタイプである第2センサ38が取り込まれた前記ガスの熱伝導度を検出するために設けられ、全圧が限界値以上であると、前記第1センサ16aをブラインドモードに切り替えるための手段が設けられ、前記第1センサ16aが前記全圧の低い範囲をカバーし、前記第2センサ38が前記全圧の高い範囲をカバーすることを特徴とする漏れ検出器。前記第1センサ16の上流で、弁V2が取り込まれたガスのガス流の中に配置され、前記弁は、前記ブラインドモードを実行するために、閉じた状態に切り替えられることを特徴とする請求項7に記載の漏れ検出器。図1のスニファー漏れ検出器は、弁V2を介してスニファープローブ12と接続されたベース装置10を備えている。スニファープローブ12は、ガスが漏れる検査対象物の漏れ口を調べるために手で移動させることができる。ベース装置10は、本発明の例では、膜ポンプとして構成されポンプステージ13a,13bを有する2ステージポンプである真空ポンプ13を備えている。真空ポンプは約3mbarの最終圧力を生成する。真空管14は、真空ポンプ13から吸引チャンバ15につながっている。吸引チャンバ15は、トレーサガスセンサ16の上流に形成されている。吸引チャンバ15の壁は、トレーサガスセンサ16のハウジングに接続されている。トレーサガスセンサ16のセンサ面17は、吸引チャンバ15によって包囲されている。吸引チャンバ15の内部では、ガスガイドプレート18が、間隔をあけたセンサ面17に面し、センサ面17と平行に配置されている。スニファー管11は、ガスガイドチャンバ19の中に開口している。ガスガイドチャンバ19は、向かい合った両端部に、ガスが吸引チャンバ15に流入可能な側面開口20を備えている。ガスガイドチャンバ19は、センサ面17の前でガスの分配を実行する。トレーサガスセンサ16は、独国特許出願公開第10031882号明細書に記載されたセンサと同様の方法で構成されている。センサ面17は、ヘリウムを選択的に透過させる膜によって形成され、電気的に、または放熱によって加熱されるようになっている。テストのために、トレーサガスセンサ16は、石英膜によって封じされたハウジング内の圧力を示す電気信号を発生するペニング圧力センサ、または別の圧力センサを有している。この圧力から、トレーサガスの検出量を示す信号が得られる。真空管14は、真空ポンプ13と吸引チャンバ15との間に、通常の操作モードの吸引力を決定する第1絞り部D1を有している。第1絞り部D1は、弁V1を有するバイパス管26によってバイパスされている。絞り部D2が、空気導入管に設けられている。弁V3は、入口E1または入口E2を出口Aと接続する。入口E1は第1分流部30と接続され、第1分流部30は、管31を介してトレーサガスセンサ16の入口と接続されている。管31は、絞り部D4を有している。別の通路が、分流部30から絞り部D2及び弁V4を介して真空管14に延びている。絞り部D2,D4は、D2を通る流れが、D4を通る流れよりもはるかに大きくなるように互いに調整されている。D2を通る流れは、D4を通る流れの少なくとも10倍であり、特に、少なくとも50倍である。望ましくは、D2を通る流れは、D4を通る流れの約100倍である。スニファープローブ12からベース装置10につながるスニファー管11は、スニファープローブを弁V2と接続する測定管35、及び真空ポンプ13の入口と弁V5を介して接続された吸入管36を備えている。吸入管36は、測定管35よりもはるかに大きな吸引力を有している。例えば、測定管を通して取り込まれるガスの流速は300sccmである。一方、吸入管36を通して取り込まれるガスの流速は2700sccmである。吸入管36は、測定管の場合よりもはるかに多くのガスを取り込むことによって、スニファー漏れ検出器の距離感度を増加させるために用いられる。測定感度は、吸入管を非作動状態にすることによって増加する。本発明によれば、ワイズテクノロジーセンサとして構成された第1センサ16に加えて、第2センサ38が設けられている。第2センサは熱伝導センサである。第2センサ38は、望ましくは、スニファープローブ12に、特に、スニファープローブ12の吸入管36に配置されている。第2センサ38は、ベース装置10の位置38aに配置してもよい。いかなる場合でも、高い全圧が広がる領域に第2センサを配置することが有利である。これは、対象のガス成分の分圧が最も高く、したがって検出限界が最も有利であるからである。第2センサを配置する別の可能性は、真空ポンプ13の出口に存在する。しかしながら、第2センサからの信号が第1センサからの信号よりも時間において遅れて生じることは、好ましくはない。望ましくは、熱伝導センサからの信号が第1センサからの信号よりも早く得られるべきである。第1センサ16及び第2センサ38からの信号が、制御手段40に送信され、第1センサまたは第2センサが限界値以上の濃度を測定すると、制御ライン41によって第2センサ16をブラインドモードに切り替える。これによって、第1センサが飽和するか、またはコンタミネーションの限界を超えることがそれぞれ回避される。図2に示す実施形態は、検査対象物51が置かれる真空気密のテストチャンバ50が設けられた漏れ検出器である。検査対象物51は、トレーサガス52で満たされている。テストチャンバ50は、検査対象物51に漏れ口がある場合、トレーサガスが検査対象物から漏れるように、真空排気されている。真空ポンプ53は、吸入管57を介してテストチャンバ50に接続されている。吸入管57は、第1センサ16、及び第2センサ38を備えている。第1センサは、例えば、ワイズテクノロジーセンサとすることができる。一方、第2センサは熱伝導センサである。取り込まれるガスの流路では、第2センサ38は、第1センサ16の上流に配置されている。第1センサ16は、弁56、56aによって開閉可能なバイパス管54によってバイパスされている。弁56は、第2センサ38からの信号に応じて、制御装置によって制御されている。第2センサによって測定されたトレーサガス濃度が限界値を超えるならば、弁56,56aは、第1センサ16がバイパス管54によってバイパスされるように切り替えられる。これによって、第1センサは、コンタミネーションから保護される。図3は、例としてガス成分のヘリウムを用いた第1及び第2センサの測定範囲の例を示す。ヘリウム濃度は、横軸に沿ってプロットされている。第1センサの測定範囲MB1が1E-05=10-4mbar未満から1E-01=1mbarの少し上までである一方、熱伝導センサの測定範囲MB2は1E-02以上の全範囲をカバーすることが分かる。したがって、両センサは、互いに補完している。図4は、動作が例えば質量分析計である測定入口60の全圧に依存する第1センサ16aが設けられた本発明の第2バリエーションにかかる実施形態を示す。測定入口60は、例えばターボ分子ポンプである高真空ポンプ13aと、粗引き真空ポンプ13bとを有しそれらが連続して配置された真空ポンプ13に接続されている。高真空ポンプ13aの吸入口62は、弁V2を介して導入管64と接続され、導入管は、検査対象物66を接続する接続部65を備えている。検査対象物66は、気密性がテストされる中空ボディである。本実施形態では、トレーサガス68の雰囲気が、スプレー装置67を用いて検査対象物の外側で生成されている。トレーサガスは、漏れ検出器に含まれた2つのセンサによって同定できる。トレーサガスが同定されると、検査対象物66は、トレーサガス68が流入した漏れ口を有する。導入管64は、2つの真空ポンプ13a,13bを接続する接続管70にさらに接続されている。弁V2は、吸入口62と導入管64とを接続し、弁は、全圧に依存して制御され、全圧が限界値以上に上昇すると、閉じモードに切り替えられる。弁V2が閉じられると、第1センサ16aは、センサがブラインドモードに切り替えられるように検査対象物66から切り離される。第2センサ38は、導入管64に接続されている。センサは熱伝導センサである。この熱伝導センサは、高い圧力で、全圧とは関係なく動作するように設計されている。測定入口60に広がる低い全圧で、両センサタイプは作動状態である一方、高い全圧で、第1センサ16aは弁V2によってブラインドモードに切り替えられる。本実施形態では、全圧は、第2センサ38を用いて導入管64で測定される。もう1つの方法としては、全圧の測定は、第1センサの測定入口60で達成することもできる。全圧を測定するために、個別の装置を使用することも可能である。"