真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構の被冷却面を冷却する冷却ユニットであって、前記冷却ユニットは、冷却媒体を収容する冷却媒体収容部と、前記冷却媒体収容部の外壁を構成して熱伝導性を有する外壁部と、前記冷却媒体収容部に収容された冷却媒体から発生した蒸気を前記冷却媒体収容部の外部へ放出可能な蒸気放出部と、を備え、前記外壁部が前記被冷却面に密着した状態で前記ワーク搬送機構に取り付けられて、前記被冷却面から前記外壁部を介して伝導された熱によって前記冷却媒体収容部に収容された冷却媒体を蒸発させ、冷却媒体が蒸発する際に奪われる気化熱によって前記外壁部を介して前記被冷却面を冷却し、前記冷却媒体収容部の内部の蒸気圧が一定以上になると前記蒸気放出部によって前記冷却媒体収容部の内部の蒸気を前記真空室に放出する、ことを特徴とする冷却ユニット。前記蒸気放出部は、前記冷却媒体収容部と前記真空室とを連通する連通部と、前記連通部の内部を往復移動可能に配設される弁体と、前記連通部の内部で前記弁体よりも前記冷却媒体収容部側に配置されて前記弁体と密着して前記連通部の内部を密封可能なシール材と、前記弁体を前記シール材方向へ向けて付勢する付勢手段と、を備え、前記冷却媒体収容部の内部の蒸気圧に応じて前記弁体を前記シール材に対して開閉させ、前記連通部の内部の密封状態を切り替える、ことを特徴とする請求項1に記載の冷却ユニット。真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構を備えるワーク搬送装置であって、前記ワーク搬送機構の被冷却面を冷却する冷却ユニットを備えて、前記冷却ユニットとして請求項1または請求項2に記載の冷却ユニットを用いる、ことを特徴とするワーク搬送装置。前記冷却ユニットを、前記外壁部と前記被冷却面との間に薄膜状のアルミニウムを介在させて前記ワーク搬送機構に取り付ける、ことを特徴とする請求項3に記載のワーク搬送装置。しかしながら、特許文献1に記載の技術においては、冷却パイプは複数のパイプ部材を接続して形成される。したがって、パイプ部材間の接続部から冷却媒体が漏れたり真空リークが発生したりするおそれがあった。また、ポンプを設置する必要があるため、コストが増加することとなった。また、ポンプは真空室の外部に配置する必要があるため、ワーク搬送機構とポンプとの間に渡って配置された冷却パイプによってワーク搬送機構の旋回角度が規制されることとなった。本発明は、上記の如き問題点に鑑みてなされるものであり、その解決しようとする課題は、高温状態のワークからの輻射熱による前記ワークの周辺部品に対する影響を減少させることができ、且つ冷却媒体が漏れたり真空リークが発生したりすることがなく、また、コストの減少させることができ、また、ワーク搬送機構の旋回角度を規制することがない冷却ユニットを提供することである。本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。即ち、請求項1に係る冷却ユニットにおいては、真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構の被冷却面を冷却する冷却ユニットであって、前記冷却ユニットは、冷却媒体を収容する冷却媒体収容部と、前記冷却媒体収容部の外壁を構成して熱伝導性を有する外壁部と、前記冷却媒体収容部に収容された冷却媒体から発生した蒸気を前記冷却媒体収容部の外部へ放出可能な蒸気放出部と、を備え、前記外壁部が前記被冷却面に密着した状態で前記ワーク搬送機構に取り付けられて、前記被冷却面から前記外壁部を介して伝導された熱によって前記冷却媒体収容部に収容された冷却媒体を蒸発させ、冷却媒体が蒸発する際に奪われる気化熱によって前記外壁部を介して前記被冷却面を冷却し、前記冷却媒体収容部の内部の蒸気圧が一定以上になると前記蒸気放出部によって前記冷却媒体収容部の内部の蒸気を前記真空室に放出するものである。請求項2に係る冷却ユニットにおいては、前記蒸気放出部は、前記冷却媒体収容部と前記真空室とを連通する連通部と、前記連通部の内部を往復移動可能に配設される弁体と、前記連通部の内部で前記弁体よりも前記冷却媒体収容部側に配置されて前記弁体と密着して前記連通部の内部を密封可能なシール材と、前記弁体を前記シール材方向へ向けて付勢する付勢手段と、を備え、前記冷却媒体収容部の内部の蒸気圧に応じて前記弁体を前記シール材に対して開閉させ、前記連通部の内部の密封状態を切り替えるものである。請求項3に係るワーク搬送装置においては、真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構を備えるワーク搬送装置であって、前記ワーク搬送機構の被冷却面を冷却する冷却ユニットを備えて、前記冷却ユニットとして請求項1または請求項2に記載の冷却ユニットを用いるものである。請求項4に係るワーク搬送装置においては、前記冷却ユニットを、前記外壁部と前記被冷却面との間に薄膜状のアルミニウムを介在させて前記ワーク搬送機構に取り付けるものである。本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。本発明に係る冷却ユニットにおいては、高温状態のワークからの輻射熱による前記ワークの周辺部品に対する影響を減少させることができ、且つ冷却媒体が漏れたり真空リークが発生したりすることがなく、また、コストを減少させることができ、また、ワーク搬送機構の旋回角度を規制することがない。次に、発明の実施の形態を説明する。まず、本発明の一実施形態に係る冷却ユニット100を用いたワーク搬送装置1の全体的な構成について図面を用いて説明する。なお、以下の説明では、図1に示した矢印方向に基づいて前後方向、左右方向、及び上下方向を規定する。ワーク搬送装置1は、真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構20を備える装置である。なお、以下では、ワークとして、例えば液晶パネルのような薄板状の部材を想定して説明を行うが、これに限定するものではない。図1に示すように、ワーク搬送装置1は、主として、筐体10と、ワーク搬送機構20と、により構成される。筐体10は、ワーク搬送機構20を下方から支持する部材である。図1に示すように、筐体10は、軸心方向を上下方向へ向けた中空の略円柱形状に形成される。筐体10の内部には、図示せぬ筐体駆動ユニットが配設される。筐体10の上部には、軸心方向を上下方向へ向けた旋回軸11が配設される。旋回軸11の下部は、筐体10の内部に配置され、前記筐体駆動ユニットに接続される。旋回軸11は、前記筐体駆動ユニットによって、筐体10に対して上下方向に往復移動可能であって、且つ平面視で時計回り及び反時計回りに回転可能に構成される。なお、筐体10の上部は、真空室の内部に配置される。一方、筐体10の下部は、真空室の外部に配置される。ワーク搬送機構20は、ワークを水平方向へ向けて搬送する機構である。ワーク搬送機構20は、旋回軸11の上端部に固定される。図1及び図2に示すように、ワーク搬送機構20は、主として、本体部30と、スライダ40と、ハンド50と、冷却ユニット100と、により構成される。本体部30は、ワーク搬送機構20の主たる構造体となる部材である。本体部30は、長手方向を前後方向へ向け、且つその板面を上下方向へ向けた略矩形板状に形成される。本体部30の上側面には、長手方向を前後方向へ向けた1対のガイドレール31が2つ形成される。なお、以下では、平面視で外側の1対のガイドレール31を外側ガイドレール32と、外側ガイドレール32よりも内側の1対のガイドレール31を内側ガイドレール33と、それぞれ称する。本体部30の内側には、図示せぬ本体部駆動ユニットが配設される。スライダ40は、ハンド50を支持する部材である。スライダ40は、本体部30の外側ガイドレール32及び内側ガイドレール33にそれぞれ前後方向へ向けて往復移動スライド移動自在に係合される。なお、以下では、内側ガイドレール33に係合されたスライダ40を内側スライダ41と、外側ガイドレール32に係合されたスライダ40を外側スライダ4242と、それぞれ称する。内側スライダ41は、その板面を上下方向へ向けた略平板状の部材である。内側スライダ41は、本体部30の直上方に配置される。外側スライダ4242は、その板面を上下方向へ向けた略平板状の部材である。一方、外側スライダ4242は、本体部30の左右側方にそれぞれ配置される。内側スライダ41及び外側スライダ4242は、図示せぬベルト等の駆動伝達機構を介して前記本体部駆動ユニットに接続される。内側スライダ41及び外側スライダ4242は、前記駆動伝達機構を介して伝達された前記本体部駆動ユニットの駆動力によって、前後方向に往復移動可能に構成される。ハンド50は、ワークを保持または載置する部材である。ハンド50は、主として、長手方向を左右方向へ向けた略矩形板状に形成されたハンド固定部53と、ハンド固定部53から前方へ向けて延出された保持爪部54と、により構成される。ハンド50は、2つ設けられて、内側スライダ41と、外側スライダ4242と、にそれぞれ固定される。なお、以下では、内側スライダ41に固定されるハンド50を第一ハンド51と、外側スライダ4242に固定されるハンド50を第二ハンド52と、それぞれ称する。第一ハンド51及び第二ハンド52は、それぞれ内側スライダ41及び外側スライダ4242を介して前後方向に往復移動スライド移動可能に構成される。なお、第一ハンド51と第二ハンド52とは、相互に上下高さ位置が異なるように配置され、それぞれが独立して移動した場合であっても相互に干渉しないように構成される。冷却ユニット100は、搬送するワークが高温状態の場合に、ワークからの輻射熱によるワークの周辺部品に対する影響を減少させるためのものである。なお、冷却ユニット100の構成についての詳細な説明は後述する。このように、ワーク搬送装置1は、筐体10の旋回軸11を介してワーク搬送機構20を上下方向に往復移動可能であって、且つ平面視で時計回り及び反時計回りに旋回可能に構成される。また、ワーク搬送機構20の第一ハンド51及び第二ハンド52は、それぞれ内側スライダ41及び外側スライダ4242を介して前後方向に往復移動可能に構成される。つまり、ワーク搬送装置1は、第一ハンド51及び第二ハンド52によって保持したワークを、前後方向、左右方向、及び上下方向における任意の場所へ搬送可能に構成される。なお、ワーク搬送装置1は、本発明に係るワーク搬送装置の一実施形態である。また、ワーク搬送機構20は、本発明に係るワーク搬送機構の一実施形態である。本発明に係るワーク搬送装置及びワーク搬送機構は、上記の如き構成に限定するものではない。次に、冷却ユニット100の構成について詳細に説明する。冷却ユニット100は、図3及び図4に示すように、主として、タンク部110と、冷却本体部120と、蒸気放出ユニット130と、により構成される。タンク部110は、その内部に冷却媒体としての水を貯溜する部材である。タンク部110は、気密性が確保された中空の部材により形成される。タンク部110には、水を注入する注入口111が設けられる。また、タンク部110には、貯溜されている水量を示す水量計112が設けられ、外部から視認してタンク部110の内部の水量を確認できるように構成される。なお、本実施形態においては、冷却媒体として水が用いられるが、これに限定するものではなく、蒸発した気体が真空中でワークやワーク搬送装置1等に害を及ぼすものでなければ、他の媒体アルコール等を用いることも可能である。冷却本体部120は、蒸気放出ユニット130を収容すると共に、ワーク搬送機構20より詳細には、後述する被冷却面Pを冷却する部材である。冷却本体部120は、中空の略立方体状に形成される。冷却本体部120の上側板には、上下方向に貫通した上側開口部121が形成される。上側開口部121には、防塵キャップ136が取り付けられる。防塵キャップ136は、冷却本体部120の内部の塵や埃等の異物が真空室に放出されることを防止している。冷却本体部120は、タンク部110と連結されている。冷却本体部120の外壁部122周壁板及び下側板は、アルミニウムやステンレス等の金属材料または樹脂材料等の熱伝導性の高い材質により形成される。冷却本体部120の内部には、仕切り部123が形成される。仕切り部123は、冷却本体部120の外壁部122周壁板から中央側へ向けて延出される。仕切り部123の中央には、当該仕切り部123を上下方向に貫通した中央開口部126が形成される。このように、冷却本体部120は、仕切り部123によって上下の2つの空間が区画形成される。なお、以下では、前記2つの空間のうち、下側の空間を下側空間S1と、上側の空間を上側空間S2と、それぞれ称する。冷却本体部120の下側空間S1は、タンク部110に連通される。すなわち、冷却本体部120とタンク部110との下部には、それぞれ開口部が対向して形成される。そして、これらの2つの開口部が接続されることによって、下側空間S1とタンク部110とが連通される。これによって、タンク部110に貯溜されている水が、前記2つの開口部を通して冷却本体部120の下側空間S1に流入することとなる。蒸気放出ユニット130は、その内部の水蒸気の蒸気圧に応じて動作して、水蒸気を外部へ放出するものである。蒸気放出ユニット130は、冷却本体部120の内部で仕切り部123の中央開口部126に配置される。図4に示すように、蒸気放出ユニット130は、主として、連通部131と、透湿防水シート132と、例えばOリング等のシール材133と、弁体134と、バネ135と、により構成される。連通部131は、軸心方向を上下方向へ向けた中空の略円柱状の部材である。連通部131は、仕切り部123の中央開口部126から上方へ向けて延出される。連通部131の下端部は、冷却本体部120の下側空間S1の内部に侵入しないように形成される。連通部131の上端部は、冷却本体部120の上側開口部121の直下方に配置される。このように、連通部131は、冷却本体部120の上側空間S2の内部に配置される。連通部131の上側板には、上下方向に貫通した開口部137が形成される。また、連通部131の内部の下部には、縮径部138が配置される。縮径部138は、軸心方向を上下方向へ向けた中空の略円筒状に形成される。透湿防水シート132は、水は通さないが、湿気は通す性質をもつシート状の部材である。透湿防水シート132は、縮径部138の下側の開口部を被覆する。これによって、下側空間S1に流入している水の水蒸気が上側空間S2の内部より詳細には、連通部131の内部に進入することを許可し、その一方、下側空間S1に流入している水が上側空間S2の内部より詳細には、連通部131の内部に浸入することを防止している。シール材133は、連通部131の縮径部138の上側の開口部を封止するための部材である。シール材133は、縮径部138の上側面に形成された環状溝139に嵌合される。弁体134は、シール材133と共に縮径部138の上側の開口部を封止するための部材である。弁体134は、その板面を上下方向へ向けた略平板状に形成される。弁体134の外径は、シール材133の外径よりも大きく形成される。弁体134は、その軸心が連通部131縮径部138の軸心に重複するように配置される。弁体134は、縮径部138の内部を上下方向に往復移動自在に形成される。バネ135は、弁体134に付勢力を付与する部材である。バネ135の上端部は、連通部131の上側板の下面側に接続される。また、バネ135の下端部は、弁体134の上面側に接続される。これによって、バネ135は、弁体134に常時下方へ向けて付勢力を付与している。そして、縮径部138の上側の開口部は、シール材133と弁体134とが密着することによって封止される。なお、冷却ユニット100は、ワーク搬送機構20において冷却ユニット100によって冷却される部位以下では、被冷却面Pと称する。に、冷却本体部120の外壁部122のいずれかの部位が密着した状態で取り付けられる。ここで、被冷却面Pとしては、第一ハンド51及び第二ハンド52によって保持した高温状態のワークの近傍に配置されることとなる部位ワークの周辺部品が想定される。より詳細には、図2に示すように、ワーク搬送機構20の前側面被冷却面P1や、前部の上側面被冷却面P2や、外側スライダ4242の上側面被冷却面P3等が想定される。なお、冷却ユニット100のワーク搬送機構20の被冷却面Pへの取り付け構成についての詳細な説明は後述する。なお、下側空間S1は、本発明に係る冷却媒体収容部の一実施形態である。また、冷却本体部120の外壁部122は、本発明に係る外壁部の一実施形態である。また、蒸気放出ユニット130は、本発明に係る蒸気放出部の一実施形態である。本発明に係る冷却媒体収容部、外壁部、及び蒸気放出部は、上記の如き構成に限定するものではない。次に、冷却ユニット100がワーク搬送機構20の被冷却面Pを冷却する構成について、図5を用いて詳細に説明する。第一ハンド51及び第二ハンド52により保持されたワークが高温状態である場合、当該ワークからの輻射熱によってワーク搬送機構20におけるワークの周辺部品被冷却面Pが高温状態となる。そして、ワーク搬送機構20の被冷却面Pの温度が冷却ユニット100の外壁部122の温度よりも高くなると、図5aの矢印Aに示すように、被冷却面Pの熱が外壁部122に伝導される。そして、外壁部122に伝導された熱は、当該外壁部122を介して冷却本体部120の全体に伝導される。そして、冷却本体部120の全体に伝導された熱は、冷却本体部120の下側空間S1に流入している水に伝導される。そして、伝導された熱によって水が蒸発して、水蒸気が発生する。このように、水が蒸発して水蒸気が発生する際には周囲から熱エネルギーが奪われる。つまり、水から水蒸気に変化する際の気化熱により、その周囲の熱が吸収されて冷却される。そして、冷却本体部120の下側空間S1が冷却されると、外壁部122を介して冷却本体部120の全体が冷却される。そして、冷却本体部120の外壁部122の温度が低くなると、外壁部122は高温状態である被冷却面Pからの吸熱作用を得ることとなる。その結果、ワーク搬送機構20の被冷却面Pの熱が冷却本体部120の外壁部122に伝導され、当該被冷却面Pが冷却されるのである。以上のように、冷却ユニット100は、ワーク搬送機構20の被冷却面Pを冷却し、高温状態のワークからの輻射熱によるワークの周辺部品に対する影響を減少させることができる。次に、冷却ユニット100の蒸気放出ユニット130の動作について、図5及び図6を用いて詳細に説明する。上述の如く、冷却本体部120の下側空間S1に流入している水が蒸発して水蒸気が発生すると、図5aの矢印Bに示すように、発生した水蒸気が、透湿防水シート132を透して上側空間S2、より詳細には連通部131の縮径部138の内部に進入する。次に、図5bの矢印Cに示すように、連通部131の縮径部138の内部に進入した水蒸気の蒸気圧が一定の値よりも高くなると、弁体134が上方へ向けて移動する。ここで、上述の如く、弁体134は、バネ135によって下方へ向けて付勢力が付与されている。したがって、縮径部138の内部に進入した水蒸気の蒸気圧によって弁体134が上方へ向けて押圧される力が、バネ135による下方へ向けての付勢力よりも大きくなった場合に、弁体134が上方へ向けて移動する。そして、弁体134が上方へ向けて移動すると、縮径部138の上側の開口部の封止状態が解除される。次に、図6aの矢印Dに示すように、縮径部138の上側の開口部の封止状態が解除されると、連通部131の縮径部138の内部に進入した水蒸気が、連通部131の内部であって縮径部138の上方へ向けて放出される。そして、図6aの矢印E1及びE2に示すように、縮径部138の上方へ向けて放出された水蒸気は、連通部131の上側板に形成された開口部137や図示せぬ開口部等を通して、冷却本体部120の内部であって連通部131の外部へ向けて放出される冷却本体部120の内部であって連通部131の外部に水蒸気が拡散される。。そして、図6aの矢印Fに示すように、連通部131の外部へ向けて放出された水蒸気は、冷却本体部120の上側開口部121に装着された防塵キャップ136を通して冷却本体部120の外部、すなわち冷却ユニット100の外部である真空室に放出される。このように、蒸気放出ユニット130の動作によって、連通部131の縮径部138の内部に進入した水蒸気は、連通部131の内部であって縮径部138の上方と、冷却本体部120の内部であって連通部131の外部と、に順番に放出され、最終的に真空室に放出される。なお、連通部131の縮径部138の内部に進入した水蒸気が連通部131の内部であって縮径部138の上方に放出されると、縮径部138の内部の水蒸気の蒸気圧が低下することとなる。そして、図6bの矢印Gに示すように、水蒸気の蒸気圧によって弁体134が上方へ向けて押圧される力が、バネ135による下方へ向けての付勢力よりも小さくなった場合に、弁体134が下方へ向けて移動する。そして、弁体134が下方へ向けて移動するとシール材133を下方へ向けて押圧して、縮径部138の上側の開口部が封止状態となる。以上のように、冷却ユニット100は、蒸気放出ユニット130の動作によって、ワーク搬送機構20の被冷却面Pを冷却する際に発生した水蒸気を真空室へ放出可能に構成される。これによって、冷却ユニット100が冷却に用いられないときには、下側空間S1に流入している水が蒸発して水量が減少することを防止することができる。つまり、被冷却面Pを冷却する必要がなく、水が蒸発する温度に到達していない場合には、弁体134が閉じたままとなり、縮径部138の上側の開口部の封止状態が維持される。その結果、真空室に水蒸気が入ることがなく、縮径部138の内部の圧力が下がって水が蒸発し易くなることを防止している。また、冷却ユニット100が冷却に用いられるときには、下側空間S1に流入している水の蒸発によって発生した水蒸気を適宜に冷却ユニット100から放出することができる。なお、上述の如く、蒸気放出ユニット130は、本発明に係る蒸気放出部の一実施形態である。図10に示すように、弁体134、及びバネ135を用いる代わりに、リリーフバルブ400を用いる構成であってよい。また、透湿防水シート132を用いる代わりに、フランジ401に脱気用の貫通孔402を穿孔する構成であってもよい。次に、冷却ユニット100のワーク搬送機構20の被冷却面Pへの取り付け構成について、図7を用いて詳細に説明する。上述の如く、冷却ユニット100は、冷却本体部120の外壁部122のいずれかの部位がワーク搬送機構20の被冷却面Pに密着した状態で取り付けられる。より詳細には、図7に示すように、冷却ユニット100は、主として、ブラケット140と、薄膜状のアルミニウム150と、を用いて取り付けられる。ブラケット140は、冷却ユニット100をワーク搬送機構20の被冷却面Pに向けて密着させて取り付ける部材である。ブラケット140は、平面断面視で被冷却面P側が開口された略コの字状に形成される。ブラケット140の内部には、冷却ユニット100が収容される。ブラケット140の被冷却面P側の端部からは、ブラケットリブ141が外方へ向けて延設される。ブラケットリブ141には、複数のボルト孔142が形成される。これによって、ブラケット140は、その内部に冷却ユニット100を収容し、冷却本体部120の外壁部122がワーク搬送機構20の被冷却面Pに密着するように、ボルト孔142に貫入されたボルト143を介して当該ワーク搬送機構20に取り付けられる。薄膜状のアルミニウム150は、冷却本体部120の外壁部122と、ワーク搬送機構20の被冷却面Pと、の間の隙間を無くす外壁部122と被冷却面Pとをより確実に密着させるための部材である。薄膜状のアルミニウム150は、冷却本体部120の外壁部122とワーク搬送機構20の被冷却面Pとの間であって、その密着させる面の全体に渡って配置される。なお、本実施形態においては、複数枚の薄膜状のアルミニウム150が、全体的に細かい折りしわを付けられた状態厚さ方向幅を有するように形成された状態で重ねられて構成される。ここで、上述の如く、冷却ユニット100によるワーク搬送機構20の被冷却面Pの冷却は、気化熱を利用した外壁部122の吸熱作用によって行われるものである。したがって、外壁部122と被冷却面Pとの間は、出来るだけ密着した状態とすることが望ましい。しかしながら、外壁部122と被冷却面Pとは、比較的硬い部材によって形成されている。つまり、外壁部122と被冷却面Pとの間には、密着した状態の箇所と若干離間した状態の箇所とが形成され易くなっている。そして、前記離間した状態の箇所においては、被冷却面Pから外壁部122への熱伝導性が悪くなるという問題が生じる。かかる問題に対して、上述の如く、冷却本体部120の外壁部122とワーク搬送機構20の被冷却面Pとの間であって、その密着させる面の全体に渡って薄膜状のアルミニウム150が配置される。つまり、外壁部122と被冷却面Pと密着した箇所においては、薄膜状のアルミニウム150は、折りしわが厚さ方向へ向けて押圧され、略伸びきった状態で外壁部122と被冷却面Pとの間に介在する。一方、外壁部122と被冷却面Pとが若干離間した箇所においては、薄膜状のアルミニウム150は、折りしわが厚さ方向へ向けて若干押圧され、若干の折りしわを残した状態で外壁部122と被冷却面Pとの間に介在する。このように、薄膜状のアルミニウム150によって、外壁部122と被冷却面Pとが密着した箇所であっても、外壁部122と被冷却面Pとが若干離間した箇所であっても、外壁部122と被冷却面Pとの間を、その密着させる面の全体に渡って密着した状態とすることができる。その結果、被冷却面Pから外壁部122への熱伝導性が悪くなることを防止することができる。以上のように、冷却ユニット100は、独立して他の部材と接続せずにワーク搬送機構20の被冷却面Pに取り付ければ、当該被冷却面Pを冷却することができる。すなわち、冷却ユニット100はワーク搬送機構20の被冷却面Pに取り付けられた状態であっても、例えば従来技術のように複数のパイプ部材をポンプまで接続する必要がない。したがって、従来技術のように、冷却媒体としての水が漏れたり真空リークが発生したりするおそれがない。また、冷却ユニット100は、従来技術のようにポンプを設置する必要がないので、比較的簡単な構成で形成されてコストを減少させることができる。また、ワーク搬送機構20が旋回する場合に、ポンプまで接続されたパイプ部材等に干渉することがなく、平面視で時計回り及び反時計回りに旋回可能となるワーク搬送機構20の旋回角度が規制されることがない。なお、冷却本体部120の外壁部122とワーク搬送機構20の被冷却面Pとの間に介在させる材質は、熱伝導性が高くて、冷却効果が発揮され易いものが望ましい。なお、本実施形態においては、薄膜状のアルミニウムが用いられている。これは、熱伝導性が高いものであって、且つ冷却本体部120の外壁部122とワーク搬送機構20の被冷却面Pとの間に介在させることができる材質として、例えば薄膜状のアルミニウムとメッシュ状のステンレスとを比較した場合に、薄膜状のアルミニウムの方がメッシュ状のステンレスよりも熱伝導性が高くて、冷却効果が発揮され易いことに基づくものである。このように、本実施形態において、冷却本体部120の外壁部122とワーク搬送機構20の被冷却面Pとの間に介在させる材質として薄膜状のアルミニウム150を用いることによって、冷却ユニット100よるワーク搬送機構20の被冷却面Pの冷却効果を最大限に発揮させることができる。なお、上記の説明において、ワーク搬送機構20は、第一ハンド51及び第二ハンド52がスライド移動する機構スライド機構を有するものとして説明したが、本発明に係るワーク搬送機構は、スライド機構を有するものに限定するものではない。以下では、図8及び図9を用いて、本発明に係るワーク搬送機構の別実施形態として、リンクアーム機構を有するワーク搬送機構以下では、第二ワーク搬送機構220と称する。を、簡単に説明する。なお、以下の説明において、ワーク搬送機構20と同一の構成である箇所については、その説明を省略する。第二ワーク搬送機構220は、主として、第一リンクアーム部222と、第二リンクアーム部221と、により構成される。なお、第一リンクアーム部222及び第二リンクアーム部221は、それぞれ略同一の構成であるため、以下では第一リンクアーム部222の構成について説明を行い、第二リンクアーム部221の構成については、その説明を省略する。第一リンクアーム部222は、それぞれ略長板状の部材である下段アーム223及び上段アーム224を備える。下段アーム223の一端部は、筐体10の上部に配設された旋回軸11に相対回転不能に連結される。また、下段アーム223の他端部は、回動軸225を介して上段アーム224の一端部に相対回転可能に連結される。上段アーム224の他端部は、ハンド226が相対回転可能に連結される。下段アーム223は、平面視で旋回軸11の軸心を中心として時計回り及び反時計回りに旋回可能に構成される。上段アーム224は、下段アーム223に付設された下段リンク227等を介して、平面視で回動軸225の軸心を中心として時計回り及び反時計回りに旋回可能に構成される。ハンド226は、下段アーム223及び上段アーム224に付設された下段リンク227及び上段リンク228等を介して、上段アーム224の他端部に平面視で時計回り及び反時計回りに旋回可能に構成される。これによって、第一リンクアーム部222は、ハンド226によって保持したワークを、任意の場所へ搬送可能に構成される。以上のような第二ワーク搬送機構220においては、例えば従来技術のような冷却パイプを取り付けることは困難である。より詳細には、第二ワーク搬送機構220における被冷却面Pとして、ハンド226によって保持した高温状態のワークの近傍に配置されることとなる部位ワークの周辺部品には、図9に示すように、上段アーム224の上側面被冷却面P10や、下段アーム223の側面被冷却面P11等が想定される。そして、被冷却面P10や被冷却面P11に、従来技術のように冷却パイプを配置した場合には、筐体10の下部前記ポンプまで接続されたパイプ部材が、下段アーム223及び上段アーム224、あるいは下段リンク227及び上段リンク228と干渉することとなり、当該下段アーム223及び上段アーム224が旋回不能となるという問題点があった。かかる問題点に対して、上述の如く、冷却ユニット100は、独立して他の部材と接続せずに第二ワーク搬送機構220の被冷却面Pに取り付ければ、当該被冷却面Pを冷却することができる。つまり、上段アーム224及び下段アーム223が旋回する場合に、例えばパイプ部材等に干渉することがなく、平面視で時計回り及び反時計回りに旋回可能となる第二ワーク搬送機構220の旋回角度が規制されることがない。以上のように、本発明の一実施形態に係る冷却ユニット100は、真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構20の被冷却面Pを冷却する冷却ユニットであって、前記冷却ユニット100は、冷却媒体として水を収容する下側空間S1冷却媒体収容部と、前記下側空間S1冷却媒体収容部の外壁を構成して熱伝導性を有する外壁部122と、前記下側空間S1冷却媒体収容部に収容された冷却媒体から発生した蒸気を前記下側空間S1冷却媒体収容部の外部へ放出可能な蒸気放出ユニット130蒸気放出部と、を備え、前記外壁部122が前記被冷却面Pに密着した状態で前記ワーク搬送機構20に取り付けられて、前記被冷却面Pから前記外壁部122を介して伝導された熱によって前記下側空間S1冷却媒体収容部に収容された冷却媒体を蒸発させ、冷却媒体が蒸発する際に奪われる気化熱によって前記外壁部122を介して前記被冷却面Pを冷却し、前記下側空間S1冷却媒体収容部の内部の蒸気圧が一定以上になると前記蒸気放出ユニット130蒸気放出部によって前記下側空間S1冷却媒体収容部の内部の蒸気を前記真空室に放出するものである。また、前記蒸気放出ユニット130蒸気放出部は、前記下側空間S1冷却媒体収容部と前記真空室とを連通する連通部131連通部と、前記連通部131連通部の内部を往復移動可能に配設される弁体134と、前記連通部131連通部の内部で前記弁体134よりも前記下側空間S1冷却媒体収容部側に配置されて前記弁体134と密着して前記連通部131連通部の内部を密封可能なシール材133と、前記弁体134を前記シール材133方向へ向けて付勢するバネ135付勢手段と、を備え、前記下側空間S1冷却媒体収容部の内部の蒸気圧に応じて前記弁体134を前記シール材133に対して開閉させ、前記連通部131連通部の内部の密封状態を切り替えるものである。また、本発明の一実施形態に係るワーク搬送装置1は、真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構20を備えるワーク搬送装置であって、前記ワーク搬送機構20の被冷却面Pを冷却する冷却ユニットを備えて、前記冷却ユニットとして冷却ユニット100を用いるものである。また、前記冷却ユニット100を、前記外壁部122と前記被冷却面Pとの間に薄膜状のアルミニウム150を介在させて前記ワーク搬送機構20に取り付けるものである。このような構成によって、冷却ユニット100においては、高温状態のワークからの輻射熱による前記ワークの周辺部品に対する影響を減少させることができ、且つ冷却媒体としての水が漏れたり真空リークが発生したりすることがなく、また、コストを減少させることができる。また、ワーク搬送機構20の旋回角度を規制することがない。