"搬送手段により搬送方向に搬送される被露光基板を、順次露光する際に、前に露光した被露光基板のアライメントのずれに基づき、後に露光する被露光基板のアライメントを補正する被露光基板のアライメント補正方法であって、前記搬送方向に搬送されてきた被露光基板のアライメントのずれを観測するために、被露光基板上に予め定められた第1観測点及び第2観測点の座標を検出する座標検出ステップと、前記検出された座標と前記第1観測点及び第2観測点に応じて予め定められた基準線とのずれに基づき補正量を算出する補正量算出ステップと、前記算出された補正量に基づき後に露光する被露光基板のアライメントを補正するアライメント補正ステップと、を行う被露光基板のアライメント補正方法。前記被露光基板のアライメントは、前記搬送方向の先頭部側に設けられた第1カメラ及び後部方向に設けられた第2カメラによって、被露光基板の表面に形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知した情報に基づき行われ、前記補正量算出ステップは、前記第1観測点及び第2観測点の座標と前記基準線とのずれに基づき、被露光基板の搬送方向の先頭部側に設けられ第1アライメントマーク及び後部側に設けられた第2アライメントマークの前記搬送方向と交差する方向への補正量であるオフセット量と、前記被露光基板の基準線に対する傾きの補正量であるゲイン量とを算出し、前記アライメント補正ステップは、前記第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを、該両者の中心に対してそれぞれ点対称に前記ゲイン量だけ回転し、前記搬送方向に対して交差する方向にオフセット量だけ移動した点を、前記第1カメラ及び第2カメラにより検知することによって前記被露光基板のアライメントを補正することを特徴とする請求項1に記載の被露光基板のアライメント補正方法。前記被露光基板のアライメントは、前記搬送方向の先頭部側に設けられた第1カメラ及び後部方向に設けられた第2カメラによって、被露光基板の表面に形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知した情報に基づき行われ、前記補正量算出ステップは、前記第1観測点及び第2観測点の座標と前記基準線とのずれに基づき、前記搬送方向と交差する方向への前記第1カメラの補正量である第1カメラ補正量と、前記第2カメラの補正量である第2カメラ補正量とを算出し、前記アライメント補正ステップは、前記搬送方向と交差する方向へ前記第1カメラを前記第1カメラ補正量だけ移動し、前記第2カメラを前記第2カメラ補正量だけ移動することにより、前記被露光基板のアライメントを補正することを特徴とする請求項1に記載の被露光基板のアライメント補正方法。前記被露光基板のアライメントは、前記搬送方向の先頭部側に設けられた第1カメラ及び後部方向に設けられた第2カメラによって、被露光基板の表面に形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知した情報に基づき行われ、前記補正量算出ステップは、前記第1観測点及び第2観測点の座標と前記基準線とのずれに基づき、前記搬送方向と交差する方向への前記第1軸の補正量である第1軸補正量と、前記第2軸の補正量である第2軸補正量とを算出し、前記アライメント補正ステップは、前記第1カメラ及び第2カメラによって前記第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知して前記被露光基板をアライメントした後、前記搬送方向と交差する方向へ前記第1軸を第1軸補正量だけ移動し、前記第2軸を第2軸補正量だけ移動することにより、前記被露光基板のアライメントを補正することを特徴とする請求項1に記載の被露光基板のアライメント補正方法。前記補正量算出ステップは、形状の異なる被露光基板ごとに、算出された補正量を記憶手段に記憶し、前記アライメント補正ステップは、形状の異なる被露光基板ごとに記憶された前記補正量を使用して、前記被露光基板のアライメントを補正することを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の被露光基板のアライメント補正方法。搬送手段により搬送方向に搬送される被露光基板を、順次露光する際に、前に露光した被露光基板のアライメントのずれに基づき、後に露光する被露光基板のアライメントを補正して露光する露光装置であって、前記搬送方向に搬送されてきた被露光基板のアライメントのずれを観測するために、被露光基板上に予め定められた第1観測点及び第2観測点の座標を検出する座標検出手段と、前記検出された座標と前記第1観測点及び第2観測点に応じて予め定められた基準線とのずれに基づき補正量を算出する補正量算出手段と、前記算出された補正量に基づき後に露光する被露光基板のアライメントを補正するアライメント補正手段と、を備えた露光装置。しかし、前記従来の被露光基板のアライメント補正方法においては、被露光基板のアライメントの補正は、搬送されてきた被露光基板のアライメントのずれを検知し、その検知の都度行われるため、熱による露光装置の変形などによりアライメントマーク検知用のカメラの位置がずれ、露光開始前の被露光基板のアライメント精度が低下していた場合、アライメントの補正が間に合わず、露光不良を発生させるおそれがあった。そこで、このような問題点に対処し、本発明が解決しようとする課題は、露光開始前の被露光基板のアライメント精度が低下していた場合に、被露光基板のアライメント精度を向上させる被露光基板のアライメント方法及び露光装置を提供することにある。前記課題を解決するために、本発明による被露光基板のアライメント補正方法は、搬送手段により搬送方向に搬送される被露光基板を、順次露光する際に、前に露光した被露光基板のアライメントのずれに基づき、後に露光する被露光基板のアライメントを補正する被露光基板のアライメント補正方法であって、前記搬送方向に搬送されてきた被露光基板のアライメントのずれを観測するために、被露光基板上に予め定められた第1観測点及び第2観測点の座標を検出する座標検出ステップと、前記検出された座標と前記第1観測点及び第2観測点に応じて予め定められた基準線とのずれに基づき補正量を算出する補正量算出ステップと、前記算出された補正量に基づき後に露光する被露光基板のアライメントを補正するアライメント補正ステップと、を行うものである。また、前記被露光基板のアライメントは、前記搬送方向の先頭部側に設けられた第1カメラ及び後部方向に設けられた第2カメラによって、被露光基板の表面に形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知した情報に基づき行われ、前記補正量算出ステップは、前記第1観測点及び第2観測点の座標と前記基準線とのずれに基づき、被露光基板の搬送方向の先頭部側に設けられ第1アライメントマーク及び後部側に設けられた第2アライメントマークの前記搬送方向と交差する方向への補正量であるオフセット量と、前記被露光基板の基準線に対する傾きの補正量であるゲイン量とを算出し、前記アライメント補正ステップは、前記第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを、該両者の中心に対してそれぞれ点対称に前記ゲイン量だけ回転し、前記搬送方向に対して交差する方向にオフセット量だけ移動した点を、前記第1カメラ及び第2カメラにより検知することによって前記被露光基板のアライメントを補正するものである。さらに、前記被露光基板のアライメントは、前記搬送方向の先頭部側に設けられた第1カメラ及び後部方向に設けられた第2カメラによって、被露光基板の表面に形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知した情報に基づき行われ、前記補正量算出ステップは、前記第1観測点及び第2観測点の座標と前記基準線とのずれに基づき、前記搬送方向と交差する方向への前記第1カメラの補正量である第1カメラ補正量と、前記第2カメラの補正量である第2カメラ補正量とを算出し、前記アライメント補正ステップは、前記搬送方向と交差する方向へ前記第1カメラを前記第1カメラ補正量だけ移動し、前記第2カメラを前記第2カメラ補正量だけ移動することにより、前記被露光基板のアライメントを補正するものである。またさらに、前記被露光基板のアライメントは、前記搬送方向の先頭部側に設けられた第1カメラ及び後部方向に設けられた第2カメラによって、被露光基板の表面に形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知した情報に基づき行われ、前記補正量算出ステップは、前記第1観測点及び第2観測点の座標と前記基準線とのずれに基づき、前記搬送方向と交差する方向への前記第1軸の補正量である第1軸補正量と、前記第2軸の補正量である第2軸補正量とを算出し、前記アライメント補正ステップは、前記第1カメラ及び第2カメラによって前記第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知して前記被露光基板をアライメントした後、前記搬送方向と交差する方向へ前記第1軸を第1軸補正量だけ移動し、前記第2軸を第2軸補正量だけ移動することにより、前記被露光基板のアライメントを補正するものである。そして、前記補正量算出ステップは、形状の異なる被露光基板ごとに、算出された補正量を記憶手段に記憶し、前記アライメント補正ステップは、形状の異なる被露光基板ごとに記憶された前記補正量を使用して、前記被露光基板のアライメントを補正するものである。また、本発明による露光装置は、搬送手段により搬送方向に搬送される被露光基板を、順次露光する際に、前に露光した被露光基板のアライメントのずれに基づき、後に露光する被露光基板のアライメントを補正して露光する露光装置であって、前記搬送方向に搬送されてきた被露光基板のアライメントのずれを観測するために、被露光基板上に予め定められた第1観測点及び第2観測点の座標を検出する座標検出手段と、前記検出された座標と前記第1観測点及び第2観測点に応じて予め定められた基準線とのずれに基づき補正量を算出する補正量算出手段と、前記算出された補正量に基づき後に露光する被露光基板のアライメントを補正するアライメント補正手段と、を備えたものである。請求項1に係る発明によれば、被露光基板を順次露光する場合、前に露光する被露光基板のずれに基づき補正量を算出し、後に露光する被露光基板のアライメントを補正するため、後に露光する被露光基板を予めアライメントのずれを補正した状態でアライメントすることができる。したがって、露光前のアライメント精度が低下していた場合であっても、アライメントの補正が間に合わない事態を防止することが可能となり、アライメント精度を向上させることができる。また、請求項2に係る発明によれば、第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを、該両者の中心に対してそれぞれ点対称に前記ゲイン量だけ回転し、搬送方向に対して交差する方向にオフセット量だけ移動した点を、第1カメラ及び第2カメラにより検知することによって被露光基板のアライメントを補正することができる。したがって、第1カメラ及び第2カメラの可動域や、第1軸及び第2軸などの被露光基板のアライメント手段の構成によらず、被露光基板のアライメントを補正することができる。さらに、請求項3に係る発明によれば、搬送方向と交差する方向へ第1カメラを第1カメラ補正量だけ移動し、第2カメラを第2カメラ補正量だけ移動することにより、被露光基板のアライメントを補正することができる。したがって、露光前のアライメント精度が低下した場合であっても、第1カメラ及び第2カメラの可動域内のずれであれば被露光基板のアライメントを補正することができる。またさらに、請求項4に係る発明によれば、第1カメラ及び第2カメラによって第1アライメントマーク及び第2アライメントマークを検知して被露光基板をアライメントした後、搬送方向と交差する方向へ第1軸を第1軸補正量だけ移動し、第2軸を第2軸補正量だけ移動することにより、被露光基板のアライメントを補正することができる。したがって、第1カメラ及び第2カメラが固定され、移動できない場合であっても被露光基板のアライメントを補正することができる。そして、請求項5に係る発明によれば、形状の異なる被露光基板ごとに記憶された補正量に基づき、後に露光される同一形状の被露光基板のアライメントを補正することができる。したがって、一度補正量を算出し、記憶しておいた形状と同一形状の被露光基板について、後の露光では1枚目から補正した状態でアライメントすることができる。また、請求項6に係る発明によれば、被露光基板を順次露光する場合、前に露光する被露光基板のずれを座標検出手段により検出し、検出されたずれに基づき補正量算出手段が補正量を算出し、アライメント補正手段が後に露光する被露光基板のアライメントを補正するため、後に露光する被露光基板を予めアライメントのずれを補正した状態でアライメントすることができる。したがって、露光前のアライメント精度が低下していた場合であっても、アライメントの補正が間に合わない事態を防止することが可能となり、アライメント精度を向上させることができる。以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明による被露光基板のアライメント補正方法以下、単にアライメント補正方法という。によって露光される被露光基板1と本発明による露光装置を示す概略図である。前記被露光基板1は、液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタなどの基板であり、後述する露光装置の搬送手段22によって一定の搬送方向Aに搬送され、露光手段27によって露光されるものであって、図2に示すように、その表面には、格子状に複数形成された赤R、緑G、青Bの各色のピクセル11と、前記搬送方向Aの先頭部側に形成された第1アライメントマーク12と、後部側に形成された第2アライメントマーク13と、が設けられている。前記ピクセル11は、図2に示すように、それぞれ搬送方向Aと垂直な方向以下単に垂直方向という。に長い略長方形状に形成され、その周囲がブラックマトリックスBMによって被覆されている。そして、搬送方向Aの先頭部側のピクセル11の右下の角部は被露光基板1のアライメントのずれを観測するための第1観測点14として、また前記ピクセル11と同じ行に形成された搬送方向Aの後部側のピクセル11の左下角部は第2観測点15として予め定められている。ここで、前記第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13は、前記第1観測点14と第2観測点15とを結んだ直線Bと、前記第1アライメントマーク12と第2アライメントマーク13とを結んだ直線Cと、が平行になるように設けられている。なお、前記第1観測点14及び第2観測点15は、格子状に配列されたピクセル11の任意の行に定めることができる。この被露光基板1を露光する露光装置は、図1に示すように、被露光基板1が載置されるステージ21と、被露光基板1を一定の搬送方向Aに搬送する搬送手段22と、搬送方向Aの先頭部側に設けられた第1カメラ23及び第1軸24と、後部側に形成された第2カメラ25及び第2軸26と、被露光基板1を露光する露光手段27と、露光手段27の搬送方向Aの後部側に設けられたラインイメージセンサ28と、補正量算出手段29と、アライメント補正手段30とを含んで構成されている。前記第1カメラ23及び第2カメラ25は、それぞれ前記第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13を検知して、被露光基板1をアライメントするためのカメラであり、ステージ21の上方に取り付けられ、垂直方向に移動可能とされている。また、前記第1軸24及び第2軸26は、被露光基板1をアライメントするためにステージ21に載置された被露光基板1を移動するためのものであり、垂直方向に移動可能とされている。さらに、前記ラインイメージセンサ28は、搬送方向Aに搬送されてきた被露光基板1のアライメントのずれを観測するために、前記第1観測点14及び第2観測点15の座標を検出する座標検出手段であり、CCDやCMOSなどの固体撮像素子が使用される。そして、補正量算出手段29は、前記ラインイメージセンサ28により検出された第1観測点14及び第2観測点15の座標と、この第1観測点及び第2観測点に応じて予め定められた基準線とのずれに基づき、被露光基板1のアライメントの補正量を算出するものである。また、アライメント補正手段30は、第1カメラ23と第2カメラ25との組み合わせ、または第1軸24と第2軸26との組み合わせにより構成される。次に、このように構成された露光装置による被露光基板1のアライメント補正方法の第1実施形態について、図2~図8を参照して説明する。まず、図3に示すように、最初に露光する被露光基板1の前記第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13を、前記第1カメラ23及び第2カメラ25によりそれぞれ検知し、第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13が、第1カメラ23及び第2カメラ25の中央にくるように、第1軸24及び第2軸26によって被露光基板1を移動し、被露光基板1をアライメントする。熱による露光装置の変形などにより第1カメラ23及び第2カメラ25の位置がずれていた場合、ここでアライメントされた被露光基板1の位置はカメラのずれに応じてずれた位置となる。被露光基板1のアライメントが完了すると、この被露光基板1は搬送手段22によって搬送方向Aに搬送される。この搬送されてきた被露光基板1のアライメントのずれを観測するために、被露光基板1上に予め定められた第1観測点14及び第2観測点15の座標が検出される図4のステップS1。このとき、まず、図5に示すように、被露光基板1が搬送され、被露光基板1の表面に形成された前記第1観測点14がラインイメージセンサ28の下方を通過すると、ラインイメージセンサ28によって、第1観測点14の垂直方向の座標が検出され、検出された第1観測点14の座標の情報が補正量算出手段29に入力される。次に、図6に示すように、さらに、被露光基板1が搬送され、被露光基板1の表面に形成された第2観測点15がラインイメージセンサ28の下方を通過すると、ラインイメージセンサ28によって第2観測点15の垂直方向の座標が検出され、検出された第2観測点15の座標の情報が補正量算出手段29に入力される。被露光基板1は一定速度で搬送されるため、第1観測点14を観測してから第2観測点15を観測するまでの時間に基づき、第1観測点14及び第2観測点15の搬送方向Aの座標を決定することができる。さらに、第1観測点14及び第2観測点15と、第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13と、の位置関係は予め定められているため、検出された第1観測点14及び第2観測点15の座標から、第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13の座標を算出することができる。なお、この第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13の座標は、ラインイメージセンサ28によって検出されることとしてもよい。補正量算出手段29に第1観測点14及び第2観測点15の座標の情報が入力されると、補正量算出手段29は、前記第1観測点14及び第2観測点15に応じて予め定められ、補正量算出手段29に記憶された基準線Dの座標の情報と、前記第1観測点14及び第2観測点15の座標の情報とを比較し、前記第1観測点14及び第2観測点15と基準線Dとのずれに基づき被露光基板1のアライメントの補正量を算出するステップS2。基準線Dは、被露光基板1が正確にアライメントされた状態で搬送されてきた場合に、図1,4及び5において、ラインイメージセンサ28が検出する第1観測点14及び第2観測点15の座標を結んだ直線であって、第1観測点14及び第2観測点15に応じて予め定められている。この基準線Dは、図3,5及び6に示すように、搬送方向Aと平行である。この基準線DをX軸とし、第1アライメントマーク12と第2アライメントマーク13との間の中心を通る搬送方向Aと垂直な方向の直線をY軸としたXY平面上図7参照に、第1観測点14、第2観測点15、第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13の座標をプロットすると、図7に示す通りとなる。ここで、第1観測点14の座標はx1,y1、第2観測点15の座標はx2,y2、第1アライメントマーク12のX座標はc1、第2アライメントマーク13のX座標はc2=-c1として示されている。なお、以下では補正量の値は符号を含むものとする。角度についてはX軸から反時計回りを正の向きとする。図7において、第1観測点14と第2観測点15とを結んだ直線Bを、X軸基準線Dと重なるように移動させるために、第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13の座標を補正する補正量としてY軸方向の補正量であるオフセット量Y1と、X軸に対する回転角度であるゲイン量θとを算出する。オフセット量Y1及びゲイン量θは以下の式より求めることができる。Y1={y1-y2/x1-x2×x1}-y1θ=-tan-1y1-y2/x1-x2このように算出された補正量により、これ以降に露光する被露光基板1のアライメントを補正するステップS3。算出された補正量は、補正量算出手段29からアライメント補正手段30に入力される。第1実施形態において、アライメント補正手段30として第1カメラ23及び第2カメラ25が使用される。図8に示すように、これ以降に露光する被露光基板1をアライメントする際、前記第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13を、該両者の中心に対してそれぞれ点対称に前記ゲイン量θだけ回転し、Y軸方向にオフセット量Y1だけ移動した点を、前記第1カメラ23及び第2カメラ25により検知する。これにより、最初の被露光基板1のアライメントにおいて生じていたずれが補正され、被露光基板1のアライメントが適切に行われる。したがって、最初の被露光基板1のアライメント時のアライメント精度が低下していた場合であっても、アライメントの補正が間に合わない事態を防止することが可能となり、アライメント精度を向上させることができる。また、第1カメラ23及び第2カメラ25によって検知する第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13の位置を移動することによってアライメントの補正を行うため、第1カメラ23及び第2カメラ25の可動域や第1軸24及び第2軸26などの被露光基板1のアライメント手段の構成によらず被露光基板1のアライメントを補正することができる。なお、上記直線BがX軸に対して傾いていた場合、この傾きを補正すると第1観測点14、第2観測点15、第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13のX座標が、ラインイメージセンサ28によって検出された座標から変化するおそれがあるが、そもそもアライメントのずれは微小であるため、上記変化量も算出された補正量に比べると無視できる程度の微小量である。したがって、上記算出式においても、変化量は無視している。以下、第2実施形態及び第3実施形態においても同様である。さらに、上記のように構成された被露光基板1及び露光装置によるアライメント補正方法の第2実施形態について、図9及び図10を参照して説明する。第2実施形態において、第1観測点14及び第2観測点15の座標の検出ステップS1は第1実施形態と同様である。第2実施形態において、アライメント補正手段30として第1カメラ23及び第2カメラ25が使用される。ステップS1を実施した後、図9に示すように、第1観測点14及び第2観測点15の座標と基準線DX軸とのずれに基づき、補正量算出手段29は、Y軸方向への第1カメラ23の補正量である第1カメラ補正量Y2と、第2カメラ25の補正量である第2カメラ補正量Y3とを算出するステップS2。第1カメラ補正量Y2及び第2カメラ補正量Y3は、以下の式より求めることができる。Y2={y1-y2/x1-x2}×x1-c1-y1Y3={y1-y2/x1-x2}×x1-c2-y1このように算出された補正量により、これ以降に露光する被露光基板1のアライメントを補正するステップS3。図10に示すように、これ以降に露光する被露光基板1をアライメントする際、補正量算出手段29より入力された補正量に基づき、第1カメラ23をY軸方向へ第1カメラ補正量Y2だけ移動し、第2カメラ25を第2カメラ補正量Y3だけ移動して、それぞれ第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13を検知するようにする。これにより、図10において破線で示すように最初の被露光基板1のアライメントにおいて生じていたずれが補正され、実線で示すように被露光基板1のアライメントが適切に行われる。第1カメラ23及び第2カメラ25自体を移動してアライメントを補正するため、最初の被露光基板1のアライメント時のアライメント精度が著しく低下していた場合であっても、第1カメラ23及び第2カメラ25の可動域内のずれであれば被露光基板1のアライメントを補正することができる。またさらに、上記のように構成された被露光基板1及び露光装置によるアライメント補正方法の第3実施形態について、図11を参照して説明する。第3実施形態において、第1観測点14及び第2観測点15の座標の検出ステップS1は第1実施形態及び第2実施形態と同様である。第3実施形態において、アライメント補正手段30として第1軸24及び第2軸26が使用される。補正量算出手段29は、第1観測点14及び第2観測点15の座標と基準線Dとのずれに基づき、Y軸方向への第1軸24の補正量である第1軸補正量Y4と、第2軸26の補正量である第2軸補正量Y5を算出するステップS2。この補正量の算出式は、第2実施形態における第1カメラ補正量と第2カメラ補正量の算出式と同様である。すなわち、第1軸補正量Y4及び第2軸補正量Y5は、以下の式より求めることができる。Y4={y1-y2/x1-x2}×x1-c3-y1Y5={y1-y2/x1-x2}×x1-c4-y1このように算出された補正量により、これ以降に露光する被露光基板1のアライメントを補正するステップS3。第1カメラ23及び第2カメラ25によって第1アライメントマーク12及び第2アライメントマーク13を検知して被露光基板1をアライメントした後、補正量算出手段29より入力された補正量に基づき、図11に示すように、第1軸24をY軸方向へ第1軸補正量Y4だけ移動し、第2軸26を第2軸補正量Y5だけ移動することにより、前記被露光基板1のアライメントを補正する。これにより、図11において破線で示すように最初の被露光基板1のアライメントにおいて生じていたずれが補正され、実線で示すように被露光基板1のアライメントが適切に行われる。第1カメラ23及び第2カメラ25によってアライメントした後に、第1軸24及び第2軸26によってアライメントを補正するため、第1カメラ23及び第2カメラ25が固定され、移動できない場合であっても被露光基板1のアライメントを補正することができる。また、本発明によるアライメント補正方法において、補正量算出ステップステップS2は、形状の異なる被露光基板1ごとに、算出された補正量を露光装置の記憶手段に記憶し、アライメント補正ステップステップS3は、形状の異なる被露光基板1ごとに記憶された前記補正量を使用して、被露光基板1のアライメントを補正してもよい。このような構成により、形状の異なる被露光基板1ごとに記憶された補正量に基づき、後に露光される同一形状の被露光基板1のアライメントを補正することができるため、一度補正量を算出し、記憶しておいた形状と同一の形状の被露光基板1については、1枚目に露光する被露光基板1からアライメントを補正した状態で露光することができる。"