"内筒と、前記内筒を取り囲む外筒とを有し、前記内筒の内側に内側流路、前記内筒と前記外筒との間に外側流路が形成された弁箱と、前記内筒内を軸方向に往復動することで、前記内側流路と前記外側流路との連通を切り換えるピストンと、を備え、前記弁箱は、前記内筒内から突出した前記ピストンの外周面と接触して前記内側流路と前記外側流路とを遮断する環状パッキンと、前記環状パッキンよりも前記内筒側に設置され、前記内筒内から突出する前記ピストンの外周面に前記環状パッキンよりも先に接触すると共に、前記内側流路と前記外側流路とを完全には遮断しない環状補助パッキンと、を備えることを特徴とする弁。前記環状補助パッキンは、前記ピストンの外周面と接触する内周縁に複数の切り込みが形成されていることを特徴とする請求項1記載の弁。前記切り込みがスリットであり、前記環状補助パッキンは、射出成形により前記スリットを含めて一体成形されることを特徴とする請求項2記載の弁。前記環状パッキンの内径は、前記内筒の外径よりも小さく、前記環状パッキンの内径は、前記内筒の外径と同じに形成されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の弁。請求項1乃至3の何れか1項に記載の弁を複数備える流体処理装置であって、前記弁箱は、隣り合う前記弁同士を水密状体で接続するために弁箱本体に対して着脱可能な仕切プレートを備えることを特徴とする流体処理装置。しかし、従来の弁では、水圧のかかった流路を閉じる際に、弁体が僅かな開閉を繰り返すことによる振動が発生する場合があり、振動音や配管への影響等が懸念されている。このような現象は、弁体がゆっくりと往復動する弁において、しばしば観察される。本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、弁体を閉じる際の振動の発生を防止することが可能な弁を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明に係る弁は、内筒と、前記内筒を取り囲む外筒とを有し、前記内筒の内側に内側流路、前記内筒と前記外筒との間に外側流路が形成された弁箱と、前記内筒内を軸方向に往復動することで、前記内側流路と前記外側流路との連通を切り換えるピストンと、を備え、前記弁箱は、前記内筒内から突出した前記ピストンの外周面と接触して前記内側流路と前記外側流路とを遮断する環状パッキンと、前記環状パッキンよりも前記内筒側に設置され、前記内筒内から突出する前記ピストンの外周面に前記環状パッキンよりも先に接触すると共に、前記内側流路と前記外側流路とを完全には遮断しない環状補助パッキンと、を備えることを特徴とする。また、本発明に係る流体処理装置は、上記弁を複数備える流体処理装置であって、前記弁箱は、隣り合う前記弁同士を水密状体で接続するために弁箱本体に対して着脱可能な仕切プレートを備えることを特徴とする。本発明に係る弁によれば、弁体を閉じる際の振動の発生を抑えて、安定した弁の開閉を実現することができる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る弁について説明する。まず、図1~図4を参照しながら、弁の構成について説明する。図1は、本実施形態に係る弁の縦断面図である。図2は、図1の封止シール部分の拡大縦断面図である。図3は、本実施形態に係る弁の斜視図である。図4は、本実施形態に係る環状補助パッキンの平面図である。図1及び図3に示すように、弁1は、弁箱10、ピストン40、及び弁駆動軸50を備えており、弁体であるピストン40の上下動により弁1の開閉が行われる。弁箱10は、弁箱本体を構成する内部に位置する内筒11及びこれを取り囲む外筒13を有しており、内筒11の内側に内側流路15が形成され、内筒11と外筒13との間の中空部に外側流路16が形成されている。内筒11の上端は、外筒13よりも低くなっており、この内筒11が存在しない場所が、内側流路15と外側流路16とを連通する連通流路17となっている。内筒11の上端近傍の内面側には、Oリング12が設置されている。Oリング12がピストン40の外周面と接触することで、内筒11とピストン40との隙間が封止される。外筒13の側面には、外側流路16を弁1の外部と連通させるための連通口14が形成されている。また、弁箱10は、弁箱10を上下に接続するための仕切プレート20を備えており、仕切プレート20は、弁箱本体である外筒13の上端及び下端に接続される。仕切プレート20は、外筒13と略同径の筒体21、隔壁23、及びリブ25を備えている。図1に示すように、隔壁23は、径方向の中心に向かうに従って下方へ傾斜した後、水平に延在しており、筒体21から内筒11の上方付近まで延在している。なお、隔壁23には、後述するネジ32が螺合する雌ネジが形成された複数のネジ受け部が所定の場所に形成されている。筒体21の外周面には、上下に二つの環状溝が形成されており、この環状溝にそれぞれOリング28,28が設置されている。下側のOリング28は、仕切プレート20の下側に接続される弁箱10の外筒13の内周面に圧接して、筒体21と外筒13との間の隙間を封止する。上側のOリング28は、仕切プレート20の上側に接続される弁箱10の外筒13の内周面に圧接して、筒体21と外筒13との間の隙間を封止する。また、仕切プレート20の内周縁部には、ピストン40の外周面に圧接して、連通流路17を閉じて、内側流路15と外側流路16との連通を遮断するための環状パッキン30、パッキン押さえ部材31,34、ネジ32、及び補助パッキン33が設置されている。環状パッキン30は、隔壁23の内周縁下面部分に設置される円環状のゴムパッキンである。環状パッキン30は、ある程度の厚みを有しており例えば、5mm、図2の拡大図に示すように、その内周面は上端から下端に向けて内径が拡大するような斜面になっている。したがって、後述するように下方からピストン40が上昇してくると、ピストン40の外周面上端が環状パッキン30に対して徐々に圧接して、連通流路17が封止されることになる。パッキン押さえ部材31は、樹脂製円環状板であり、環状パッキン30を挟んだ状態で、複数のネジ32によって下方から隔壁23の下面に押し付けられて固定されることで、環状パッキン30を筒体41に対して固定する。このため、パッキン押さえ部材31には、周方向に所定の間隔でネジ32を通すためのネジ穴が複数形成されている。ゴム製の環状補助パッキン33は、パッキン押さえ部材31の下面側に、上述した環状パッキン30による封止を補助するために設置されている。図4に示すように、環状補助パッキン33は、円環板形状であり、この内周縁の全周には、周方向に所定の間隔で多数の切り込み331が形成されている。なお、この切り込み331は、例えば、環状板のパッキンを一体成形した後に、ウォーターカッターで内周縁部を切断することで形成することができる。また、環状補助パッキン33は、パッキン押さえ部材31,34と一体にネジ32によって隔壁23に対して固定されるため、環状補助パッキン33には、パッキン押さえ部材31と同様に、周方向に所定の間隔でネジ32を通すためのネジ穴332が複数形成されている。環状補助パッキン33の作用の詳細については後述する。パッキン押さえ部材34は、金属製の円環板であり、環状補助パッキン33の下面側に、環状補助パッキン33をパッキン押さえ部材31との間に挟んだ状態で固定するために設置される。パッキン押さえ部材34もネジ32によって隔壁23に対して固定されるため、周方向に所定の間隔でネジ32を通すためのネジ穴が複数形成されている。ピストン40は、略円筒形状の筒体41、ボールキャップ43、及びボールカバー44を備え、筒体41が内筒11の内側に上下動可能に嵌め込まれている。ピストン40を上下動させる駆動力を供給するための弁駆動軸クランクシャフト50は、シャフト51、クランクアーム54、及びコネクティングロッド55を備えている。水平に延在するシャフト51は、内筒11及び外筒13に形成された軸挿通穴を貫通して一端が弁箱10の外部に突出しており、この一端に駆動源が接続され、弁駆動軸50が回転駆動される。シャフト51は、クランクアーム54を介して垂直に延在するコネクティングロッド55に接続されている。そして、シャフト51が水平軸周りに回転すると、コネクティングロッド55は、垂直方向において往復動するように構成されており、シャフト51が一回転すると、コネクティングロッド55は一往復する。コネクティングロッド55の上端には、球形状のボール体56が一体に形成されており、このボール体56がピストン40のボールキャップ43及びキャップカバー44によって保持されている。よって、コネクティングロッド55の上下往復動にしたがって、ピストン40が上下に往復動することになる。続いて、ピストン40の上下動により、弁1が開閉、すなわち、上述した内側流路15と外側流路16との連通の切り替えが行われる際の作用について、さらに、図5及び図6を参照しながら説明する。図5は、本実施形態に係る弁の縦断面図であり、図6は、図5の封止部分の拡大縦断面図である。図1及び図2は、ピストン40が上昇して、筒体41の上端がちょうど環状補助パッキン33に接触した状態を示している。これに対して、図5及び図6は、さらにピストン40が上昇し、筒体41の外周面が環状パッキン30と圧接状態となって、連通流路17が封止され、内側流路15と外側流路16との連通が遮断された状態を示している。図1に示す状態よりも下方にピストン40が位置する状態では、内側流路15と外側流路とが連通しており、連通流路17を流体が自由に行き来できる。従来の構成の弁では、この連通流路17が連通している状態から、ピストン40が上昇して連通流路17が遮断される際に、ピストン40の振動が発生する場合があった。この振動は、以下のような現象によって生じる自励振動であると考えられる。水圧のかかった連通流路を開閉する弁において、弁体が流路を遮断する直前の極小通水面積から、弾性のシール部材環状パッキン等が弁体に接触して連通流路が遮断される状態へ移行する際には、それまで微小通水面積を通過していた水が途切れるため、二次側に発生した負圧によりシール部に戻るような水撃が生じる。この水撃により、弁体に接触したシール部材が弁体から離されてしまい、いったん遮断された連通流路がまた開くことになる。連通流路が開くと、一次側の水圧が高いため、再度一次側の水が連通流路を通って二次側へと流れるようになる。これにより、二次側の負圧が解消して水撃も消滅するため、再度シール部材が弁体に接触して連通流路が遮断される。そうすると、再度二次側に負圧が発生してシール部に戻るような水撃が生じる。このような現象が繰り返されることで、自励振動が発生すると考えられるが、ゆっくりと弁体が閉まる場合には、このような自励振動が顕著になってしまい、配管等の設備に悪影響を与えるおそれがある。これに対して、本願発明では、連通流路17を閉じる際に上昇するピストン40の外周面と環状パッキン30よりも先に接触するように、環状パッキン30よりも内筒11側に設置された環状補助パッキン33であって、連通流路17を完全には遮断しないように内周縁に複数の切り込み331が形成された環状補助パッキン33を設置しているので、上述した自励振動の発生を防止することができる。すなわち、ピストン40が上昇して環状パッキン30と接触して連通流路17を完全に遮断する前に、ピストン40筒体41の外周面が環状補助パッキン33の切り込み331が形成された内周縁に接触しながら、ピストン40が上昇を続ける。ここで、本実施形態では、筒体41の外径と環状補助パッキン33の内径が同じであり、環状パッキン30の内径は筒体41の外径よりも小さく構成されている。よって、ピストン40が環状補助パッキン33と接触しながら上昇する際には、環状補助パッキン33に切り込み331が形成されていることも加わって、スムーズに上昇することが可能である。また、ピストン40と環状補助パッキン33との接触によっては、連通流路17は完全に遮断されることなく、切り込み331の存在により環状補助パッキン33の内周縁部と筒体41の外周面との間に形成される隙間を通じて、僅かながら連通流路17が連通している。したがって、内側流路15から外側流路16へと水が流れていると想定して、ピストン40が環状補助パッキン33と接触を開始すると図2参照、連通流路17の大部分が遮断され、水の流れの大部分は遮断されるが、切り込み331近傍の隙間から少量の水が流れ続ける。さらに、ピストン40が上昇を続けて、環状パッキン30へ接触すると図6参照、筒体41の外径よりも内径の小さい環状パッキン30の内周縁部が外側へ押されるように変形し、筒体41と環状パッキン30とが圧接して密着する。これにより、連通流路17が完全に遮断される。連通流路17が完全に遮断されると、水の流れも完全に遮断されるため、従来の弁であれば二次側への負圧発生によって上述した自励振動が発生するが、本実施形態では、環状補助パッキン33によって二段階に水の流れを遮断することになるため、二次側での急激な圧力変化を抑えることができる。自励振動は、急激に水の流れが遮断されることによる急激な圧力変化によって発生すると考えられるため、本実施形態によれば、このような自励振動の発生を防止することができる。以上、本実施形態に係る弁1について詳細に説明したが、弁1によれば、水圧がかかっている連通流路17を閉じる際に、環状補助パッキン33及び環状パッキン30により二段階で閉じるようにしているので、弁1を閉じる際の振動の発生を防止することができ、スムーズな弁1の開閉を実現することができる。続いて、本実施形態に係る弁1を複数接続して構成される流体処理装置について説明する。流体処理装置としては、例えば、陽イオン交換樹脂を用いた硬水軟化装置の他、各種の濾材を用いた濾過装置などの装置が想定される。仕切プレート20を介して弁箱10,10同士を接続することで、複数の弁1,1を連結することができる。この際、弁1,1間の配管が不要であることから、簡易でコンパクトに連結することができる。また、仕切プレート20の構成は、上記構成に限らず、所望の構成を採用することができる。したがって、所望の構成の仕切プレートを適宜選択しながら複数の弁1,1を連結することで、所望の処理フローに対応可能な流体処理装置を実現することができる。次に、上記実施形態に係る弁の変形例について、図7を参照しながら説明する。図7は、上記実施形態の変形例に係るパッキン部材の構成を示す図であり、図7aは平面図、図7bは、図7aのA-Aにおける断面図である。本変形例は、上記実施形態におけるパッキン押さえ部材31,34と環状補助パッキン33とを一つのパッキン部材61によって代替したことを特徴している。パッキン部材61は、環状のパッキン押さえ部材62と環状補助パッキン63とを備えている。パッキン押さえ部材62と環状補助パッキン63の外径は同じであり、内径は、パッキン押さえ部材62のほうが大きく、環状補助パッキン63の上面にパッキン押さえ部材62が載置された構成に一体形成されている。環状補助パッキン63は、内周縁の全周に、周方向に所定の間隔で多数のスリット631が形成されている。また、上記実施形態と同様に、パッキン押さえ部材62と環状補助パッキン63とを貫通するネジ穴65が形成されている。パッキン押さえ部材62の材料としては、例えば、ポリフェニレンエーテルPPE、環状補助パッキン63の材料としては、例えば、エチレンプロピレンジエンゴムEPDMを採用することができる。パッキン部材61は、射出成形によりパッキン押さえ部材62と環状補助パッキン63とを一体に成形しても良いし、パッキン押さえ部材62と環状補助パッキン63とを別々に成形してから接着剤により貼り合わせるようにしても良い。本変形例によれば、上記実施形態と同様の作用効果を奏すると共に、弁を構成する部品点数を減らして低コスト化を実現できる。また、本変形例では、切り込みとして、ある程度の幅例えば、02mmを有するスリット631を採用しているので、環状補助パッキン63を、スリット631を含めて射出成形により一度の工程で成形することが可能となる。以上、変形例を含めて、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の実施形態は上述した形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、弁箱本体と仕切プレートとを別体に構成しているが、両者一体の弁箱として構成しても良い。また、上記実施形態では、環状補助パッキンを一つだけ設置しているが、複数設置するようにしても良い。"