"光束を平行光にするコリメータ光学系と、前記平行光を2光束に分離し合成することにより干渉させる干渉光学系と、その干渉光学系で得られた干渉光を結像させる集光光学系と、前記干渉光を受光する受光面を有する受光センサと、を備えた干渉計であって、前記受光センサの受光面が前記集光光学系の光軸に対して90°以外の角度を成し、前記集光光学系のワーキングディスタンスが前記コリメータ光学系のワーキングディスタンスよりも大きいことを特徴とする干渉計。前記コリメータ光学系の焦点距離と前記集光光学系の焦点距離とがほぼ同じであることを特徴とする請求項1記載の干渉計。前記集光光学系が2枚以上のレンズで構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の干渉計。前記集光光学系が、強い凹面を平行光側に向けたメニスカスレンズと、強い正パワーのレンズと、から成ることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の干渉計。請求項1~4のいずれか1項に記載の干渉計と、前記コリメータ光学系に入射させる光束を射出する光源と、を備え、前記受光センサで得られた干渉光の情報を用いて分光を行うことを特徴とする分光装置。フーリエ分光計であることを特徴とする請求項5記載の分光装置。しかし、上記特許文献1,2に記載の分光装置において装置の小型化に対応するためには、焦点距離の短いコリメータ光学系や集光光学系を用いなければならず、従来の系ではセンサ受光面を傾ける場合に対応することができない。また、特許文献2に記載の分光装置では、コリメータ光学系が正レンズとその集光側に置かれた負レンズとで構成されているため、集光光学系も同様に構成された場合、むしろワーキングディスタンスは短くなってしまう。つまり従来の分光装置には、ゴーストの防止と分光装置の小型化とを両立することができない、という問題がある。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、ゴーストの防止が可能な小型かつ高性能の干渉計と、それを用いた分光装置を提供することにある。上記目的を達成するために、第1の発明の干渉計は、光束を平行光にするコリメータ光学系と、前記平行光を2光束に分離し合成することにより干渉させる干渉光学系と、その干渉光学系で得られた干渉光を結像させる集光光学系と、前記干渉光を受光する受光面を有する受光センサと、を備えた干渉計であって、前記受光センサの受光面が前記集光光学系の光軸に対して90°以外の角度を成し、前記集光光学系のワーキングディスタンスが前記コリメータ光学系のワーキングディスタンスよりも大きいことを特徴とする。第2の発明の干渉計は、上記第1の発明において、前記コリメータ光学系の焦点距離と前記集光光学系の焦点距離とがほぼ同じであることを特徴とする。第3の発明の干渉計は、上記第1又は第2の発明において、前記集光光学系が2枚以上のレンズで構成されていることを特徴とする。第4の発明の干渉計は、上記第1~第3のいずれか1つの発明において、前記集光光学系が、強い凹面を平行光側に向けたメニスカスレンズと、強い正パワーのレンズと、から成ることを特徴とする。第5の発明の分光装置は、上記第1~第4のいずれか1つの発明に係る干渉計と、前記コリメータ光学系に入射させる光束を射出する光源と、を備え、前記受光センサで得られた干渉光の情報を用いて分光を行うことを特徴とする。第6の発明の分光装置は、上記第5の発明において、フーリエ分光計であることを特徴とする。本発明によれば、集光光学系のワーキングディスタンスがコリメータ光学系のワーキングディスタンスよりも大きくなっているため、系全体の大型化を招くことなく受光センサの受光面を傾けることができ、受光センサの受光面が集光光学系の光軸に対して90°以外の角度を成しているため、センサ受光面からの反射光に起因するゴーストを防ぐことができる。したがって、本発明の構成を採用することにより、ゴーストの防止が可能な小型かつ高性能の干渉計と、それを用いた分光装置を実現することができる。以下、本発明に係る干渉計,分光装置等を説明する。本発明に係る干渉計は、光束を平行光にするコリメータ光学系と、前記平行光を2光束に分離し合成することにより干渉させる干渉光学系と、その干渉光学系で得られた干渉光を結像させる集光光学系と、前記干渉光を受光する受光面を有する受光センサと、を備えた干渉計であって、前記受光センサの受光面が前記集光光学系の光軸に対して90°以外の角度を成し、前記集光光学系のワーキングディスタンスが前記コリメータ光学系のワーキングディスタンスよりも大きいことを特徴としている。そして、本発明に係る分光装置は、その干渉計と、前記コリメータ光学系に入射させる光束を射出する光源と、を備え、前記受光センサで得られた干渉光の情報を用いて分光を行うもの例えばフーリエ分光計である。なお、コリメータ光学系においてワーキングディスタンスは、光源とコリメータレンズ最前面との間の光学部品を含まない空気間隔をいう。また、集光光学系においてワーキングディスタンスは、集光レンズ最後面と受光センサとの間の光学部品を含まない空気間隔をいう。一般的なフーリエ分光計では、マイケルソン型干渉計等を用いて、その干渉によって得られた情報をフーリエ変換することにより分光情報を取得する構成になっている。このため、例えばマイケルソン型干渉計では、センサ受光面やそのほかの光学部品の平面等で反射された光束が正規光とほぼ同じ光路を通って戻ってしまうことがある。そのような光束はゴースト光となって干渉性能や分光精度に悪影響を及ぼす原因となる。このような場合、光源からの光を光ファイバを使って干渉計に入射させ、そのファイバ端面を斜めにカットしたり、センサ受光面を光軸に対して90°以外の角度で配置したりすれば、ゴースト光が正規光と同じ光路をたどって戻るのを防ぐことができるため、性能の低下を防止することができる。一方、近年では小型の分光計が求められており、用いられる干渉計の小型化が必要とされている。また、より高性能な分光計を実現するために明るい光源を用いた系が必要となってきており、コリメータ光学系に対して光源が点光源と見なせないような形態とする必要性が生じてきている。その結果、ゴースト光を防止するためにセンサ受光面を傾けて配置しようとすると、集光光学系の鏡胴や受光センサの構造部品のために必要な角度まで傾けられない、ということが小型の干渉計では起こってしまう。このような場合、集光光学系のワーキングディスタンスをコリメータ光学系のワーキングディスタンスよりも長くすることにより、センサ受光面を必要な角度まで傾けた配置を取ることが可能となる。小型の分光装置の場合、集光光学系のワーキングディスタンスは、コリメータ光学系の焦点距離よりも大きいことが目安の1つとなる。コリメータ光学系と集光光学系の性能を考えた場合、平行光部分で軸外光束の角度が1.6°程度以内でないと像の収差によるボケが大きくなったり、干渉コントラストが低下したりしてしまう。このとき傾けた受光センサの構成部品を考慮すると、その配置にはコリメータ光学系の焦点距離と同程度の空間が必要になる。例えば、光源からの射出光として光ファイバからの射出光を想定した場合、光ファイバからの射出角度は決まっており、マルチモードファイバでコア径の大きいものを使った場合でも、光はコアの中心と周辺軸外光とで同じ方向に進む。コリメータ光学系にとっては物体側テレセントリックとなり、平行光にした後の軸外光線角度はコリメータの焦点距離で決まってしまい、集光光学系の焦点距離にはよらない。軸外光の光線角度が性能に影響するのは、主に干渉させた時の光路差に関係する。干渉光学系においてビームスプリッタで光束を2つに分け各々別のミラーで反射させ、再びビームスプリッタ上で合成する時、角度を持たない軸上光束と、角度を持った軸外光束とはおなじ平行光でありながら進む距離が異なる。斜めに進む軸外光束の方が角度のCOS分長い距離を進むため、干渉して強め合う位置がずれて、これが性能を悪くする。性能限界で決まる軸外光束の角度はおよそ1.6°程度であり、これは分光計の仕様によっても異なる。上記特徴的構成によると、集光光学系のワーキングディスタンスがコリメータ光学系のワーキングディスタンスよりも大きくなっているため、系全体の大型化を招くことなく受光センサの受光面を傾けることができ、受光センサの受光面が集光光学系の光軸に対して90°以外の角度を成しているため、センサ受光面からの反射光に起因するゴーストを防ぐことができる。したがって、本発明の構成を採用することにより、ゴーストの防止が可能な小型かつ高性能の干渉計と、それを用いた分光装置を実現することができる。こういった効果をバランス良く得るとともに、更に高い光学性能,小型化等を達成するための条件等を以下に説明する。前記コリメータ光学系の焦点距離と前記集光光学系の焦点距離とがほぼ同じであることが望ましい。工作誤差や既製レンズの使用等を考えた場合、全く同じ焦点距離というのは現実的でないため、ほぼ同じ焦点距離とは、コリメータ光学系の焦点距離に対して10以内を想定している。ゴースト光を防止するためにセンサ受光面を傾けて配置しようとする場合、前述したように集光光学系には大きなワーキングディスタンスが必要である。干渉計の小型化を考えない場合、単純に集光光学系の焦点距離を長くすればよい。しかし、小型化と同時に明るい光学系が要求されている場合には、光源を点光源と見なすことができず、焦点距離の長い集光光学系を使用した場合には、センサ受光面での光源の像が元の大きさよりも大きくなってしまう。大きな像を受光させるためには大きな受光センサが必要となり、更に集光光学系で大きなワーキングディスタンスが必要となってしまうため、単純なワーキングディスタンスの必要量以上に焦点距離の長い集光光学系が必要になってしまう。そこで、集光光学系の焦点距離をコリメータ光学系の焦点距離とほぼ同じくらいにすれば、センサ受光面に形成される像の大きさを元の光源とほぼ同じ大きさにすることができる。また、構成がコリメータ光学系と異なる形態でレンズバックの長い集光光学系にすれば、受光センサを傾けるために必要な分のワーキングディスタンスの伸びだけで、小型の分光装置を構成してゴーストの対策も同時に行うことができる。前記集光光学系が2枚以上のレンズで構成されていることが望ましい。単レンズでは自身の焦点距離よりも長いワーキングディスタンスを確保することはできず、例えば、コリメータ光学系とほぼ同じ焦点距離の集光光学系を用いた場合、コリメータ光学系よりも長いワーキングディスタンスを単レンズで実現することは困難である。2枚以上のレンズを用いることにより、ワーキングディスタンスを通常の系よりもかなり長くすることが可能となる。前記集光光学系が、強い凹面を平行光側に向けたメニスカスレンズと、強い正パワーのレンズと、から成ることが望ましいパワー:焦点距離の逆数で定義される量。前述したように、集光光学系には焦点距離と比べて長いワーキングディスタンスが必要となるので、集光光学系の最も平行光側の面を強い凹面とすることによって主点位置を後方に配置すれば、長いワーキングディスタンスを実現することができる。また、後方に強い正のパワーを持つレンズを配置することで、マイナスの歪曲を発生させることができる。マイナスの歪曲を発生させることにより、センサ受光面に作られる像を小さくすることができる。後方の強い正パワーのレンズは、集光光学系全体の焦点距離の2倍よりも短い焦点距離を持つようにすることが好ましい。一方、後方の強い正パワーのレンズは、集光光学系全体の焦点距離の1.1倍よりも長い焦点距離を持つようにすることが好ましい。後方のレンズに正のパワーを集中しすぎると収差が悪くなり、かえってセンサ受光面に作られる像が大きくなってしまうからである。次に、第1,第2の実施の形態を挙げて、干渉計と分光装置の具体的な光学構成を更に詳しく説明する。図1に第1の実施の形態の光学構成を示し、図2,図3に第1の実施の形態の第1,第2ポジションの光路をそれぞれ示す。また、図5に第2の実施の形態の光学構成を示し、図6,図7に第2の実施の形態の第1,第2ポジションの光路をそれぞれ示す。なお、第1ポジションPOS1は固定鏡M1を経由する光路を示しており図2,図6、第2ポジションPOS2は移動鏡M2を経由する光路を示している図3,図7。第1,第2の実施の形態の干渉計K2は、光束を平行光にするコリメータ光学系2と、前記平行光を2光束に分離し合成することにより干渉させる干渉光学系K1と、その干渉光学系K1で得られた干渉光を結像させる集光光学系5と、前記干渉光を受光する受光面6sを有する受光センサ6と、を備えたマイケルソン型干渉計である。干渉光学系K1は、ビームスプリッタBS3と、補償ガラス板4と、固定鏡M1と、移動鏡M2と、を備えており、ビームスプリッタ3で入射光を2光束に分離し、固定鏡M1からの反射光と移動鏡M2からの反射光とを干渉させて干渉光を発生させる光学系である。第1,第2の実施の形態の分光装置K3は、干渉計K2と、コリメータ光学系2に入射させる光束を射出する光源1と、AD変換器7と、コンピュータ8と、を備え、受光センサ6で得られた干渉光の情報を用いて分光を行うものであり、例えばフーリエ分光計に相当するものである。フーリエ分光計は、干渉によって得られた情報をフーリエ変換することで物体の分光情報を計算する分光計であり、干渉計によって得られる干渉光をデジタル信号化し、それをコンピュータでフーリエ変換することにより分光を行うハードウェアとソフトウェアによる分光。光源1の発光端面1sから射出した光は、コリメータ光学系2で平行光束となり、ビームスプリッタ3で反射光と透過光の2つの光束に分割される。コリメータ光学系2は、点光源を平行光束にするための正レンズ系から成り、1枚のレンズから成っている複数枚のレンズで構成してもよい。。また、ビームスプリッタ3の背面側には補償ガラス板4が配置されており、光を透過させることによって、ビームスプリッタ3での反射光と透過光との媒質透過回数を合わせるための補償を行う。ビームスプリッタ3で反射した光束は固定鏡M1で反射されて戻り、ビームスプリッタ3を透過した光束は移動鏡M2で反射されて戻り、再びビームスプリッタ3で合成されて干渉光となる。つまり、移動鏡M2が動くことにより、透過側と反射側の光路長がほぼ同じ場合に干渉が起こり、光路長差が波長の整数倍の時は強め合い、この間の光路長差の時弱め合うことになる。干渉光は集光光学系5に入射する。集光光学系5は、第1の実施の形態図1では平行光側から順に弱いパワーの第1集光レンズ5aと正パワーの第2集光レンズ5bとから成っており2枚系、第2の実施の形態図5では1枚の正レンズから成っている1枚系。干渉光は集光光学系5で集光されて、受光センサ6の受光面6s上で結像する。受光センサ6からの出力信号は、ADアナログ-デジタル変換器7でデジタル化された後、コンピュータ8へ送信される。コンピュータ8は、送信されてきたデータをフーリエ変換し、得られたスペクトル波形をディスプレイ不図示に表示させる。なお、コンピュータ8は移動鏡M2の駆動制御等、その他の各部の制御も行う。集光光学系5のワーキングディスタンスがコリメータ光学系2のワーキングディスタンスよりも大きくなっているため、前述したように、系全体の大型化を招くことなく受光センサ6の受光面6sを傾けることができ、受光センサ6の受光面6sが集光光学系5の光軸AXに対して90°以外の角度を成しているため、センサ受光面6sからの反射光に起因するゴーストを防ぐことができる。したがって、小型かつ高性能の干渉計K2及び分光装置K3でありながらゴーストの防止が可能である。次に、図9を用いて、センサ受光面6sを傾けた場合のワーキングディスタンスを説明する。図9Aは、集光光学系5のワーキングディスタンスがコリメータ光学系2図1等の焦点距離よりも短い通常の系を模式的に示している。通常のコリメータ光学系2と同様の集光光学系5では、傾けた受光センサ6と集光光学系5のレンズ鏡胴5Tとが当接することになる。なお、図9に示す受光センサ6は、構造部品等を含めた状態での概略断面を模式的に示したものである。図9Bは、第2の実施の形態図5の集光光学系5と受光センサ6を示している。集光光学系5を長い焦点距離のレンズで構成して、集光光学系5のワーキングディスタンスをコリメータ光学系2の焦点距離よりも長くしている。図9Cは、第1の実施の形態図1の集光光学系5と受光センサ6を示している。集光光学系5を2枚のレンズ2枚系で構成して、集光光学系5のワーキングディスタンスをコリメータ光学系2の焦点距離よりも長くしている。第1,第2の実施の形態では、30°傾いたビームスプリッタ3を用いているが図1、45°傾いた一般的なビームスプリッタを用いた系で構成してもよい。また第1,第2の実施の形態では、コリメータ光学系2として非球面単レンズを想定しているが、それ以外の光学素子を使用してもよい。例えば、色収差を少なくした複数枚のレンズから成るコリメータ光学系、回転楕円鏡から成るコリメータ光学系を使用してもよい。第1,第2の実施の形態では、ビームスプリッタ3の裏面に反射透過コーティングを施し、透過側に移動鏡M2を配置しているが、どちらも逆としても光学的には同等である。第1,第2の実施の形態では、干渉光学系K1部分にマイケルソン干渉計の光学系を用いているが、これ以外の干渉計の光学系、例えば、ファブリペロー干渉計やコモンパス干渉計の光学系を用いてもよい。第1,第2の実施の形態では、集光光学系5として2枚系を用いているが、2枚以外の系でも平行光側に強い凹面を向けたメニスカスレンズを先頭に配置するのが好ましい。第1,第2の実施の形態では、光源1として発光体である1次光源を想定しているが、それ以外の光源を使用してもよい。例えば、1次光源からの光束を導光して別端面で射出する光ファイバ等の2次光源を光源1としてもよい。以下、本発明を実施した干渉計の光学構成等を、実施例のコンストラクションデータ等を挙げて更に具体的に説明する。ここで挙げる実施例1,2EX1,2は、前述した第1,第2の実施の形態にそれぞれ対応する数値実施例であり、第1,第2の実施の形態を表す光学構成図図1~図3,図5~図7は、対応する実施例1,2のレンズ構成をそれぞれ示している。したがって、図2,図6は実施例1,2EX1,2の第1ポジションPOS1の光路を示しており、図3,図7は実施例1,2EX1,2の第2ポジションPOS2の光路を示している。各実施例のコンストラクションデータでは、面データとして、左側の欄から順に、面Sii:面番号,STO:絞り面,曲率半径mm,軸上面間隔mm,波長900nmに関する屈折率空気:記載無しを示す。POS1では、光がビームスプリッタ3で反射し、固定鏡M1で反射した後、ビームスプリッタ3を透過する光路の光学構成を示しており図2、POS2では、光がビームスプリッタ3を透過し、移動鏡M2で反射した後、ビームスプリッタ3で反射する光路の光学構成を示している図3。なお、コリメータはコリメータ光学系1に相当し、BSはビームスプリッタ3に相当し、補償ガラスは補償ガラス板4に相当し、集光系1は第1集光レンズ5aに相当し、集光系2は第2集光レンズ5bに相当する。RMD面の特性は反射面又は屈折面記載無しを示しており、特に部品名の表記のない平面は偏芯データを入力するためのダミー面である。偏芯データにおいて、XDEはX方向平行偏芯、YDEはY方向平行偏芯、ZDEはZ方向平行偏芯、ADEはX軸周り回転、BDEはY軸周り回転、CDEはZ軸周り回転、GLBGi=第i面基準グローバル偏芯指示のないときはローカルな偏芯であり、回転中心の座標は入射光束の中央位置を原点としたときの位置である。また、ビームスプリッタ3はX軸周りに回転するものとする。なお、物体側開口数がNA0.44程度まで、各実施例と同様の光学系を使用することができる。ビームスプリッタ3及び補償ガラス板4付近の光学面S4~S10,S12~18を以下に説明する。第1ポジションPOS1と第2ポジションPOS2とでは通過する光学部品と通過しない光学部品が異なるが、どちらの光路でも位置関係を明らかにして計算をしやすくするためすべて表記している。なお、POS1では補償ガラス板4の最初の2回は使われておらず、POS2ではBS透過面の2回目と3回目は使われていない。これらが第9面,第10面,第8面に相当する。第4面S4:偏芯の基準となるダミー面である。第5面S5:BS透過面であり、光束を分ける機能を持たない単純な透過面である。第6面S6:BS反射透過面であり、光束を2つに分ける機能を持つ面である。POS1とPOS2とで機能反射と透過が異なっている。第7面S7:BS反射透過面である。第6面と同じであるが計算の都合上で同じ面が必要となる。第8面S8:BS透過面であり、第5面と同じである。POS1では第6面で反射された後に透過するが、POS2ではダミー面である。第9面S9:補償ガラス板の片面補償ガラス面1である。POS1ではダミー面であり、POS2ではBSを透過後に透過する。第10面S10:補償ガラス板の片面補償ガラス面2である。POS1ではダミー面であり、POS2では補償ガラス板の透過面である。第12面S12:補償ガラス板の片面補償ガラス面2である。POS1ではダミー面であり、POS2では反射鏡から戻ってきた光束が再び透過する。第13面S13:補償ガラス板の片面補償ガラス面1である。POS1ではダミー面であり、POS2では反射鏡で戻ってきた光束が再び透過する。第14面S14:BS透過面であり、POS1では反射鏡で戻ってきた光束が再び透過する。POS2ではダミー面である。第15面S15:BS反射透過面である。第6面と同じであるがPOS1では透過し、POS2では反射する。第16面S16:補償ガラス板の片面補償ガラス面1である。光束は1つに合成され、補償ガラスを透過する。第17面S17:補償ガラス板の片面補償ガラス面2である。1つに合成された光束が補償ガラス板を透過する。第18面S18:ダミー面である。光路差を2つのポジションで計算する時に使う。非球面の面形状は面頂点を原点とするローカルな直交座標系x,y,zを用いた以下の式ASで定義されるz方向:光軸方向、y方向:メリディオナル断面方向、x方向:サジタル断面方向。非球面データASPとして、非球面係数等を示す。なお、各実施例の非球面データにおいて表記の無い項の係数は0であり、すべてのデータに関してE-n=×10nである。z=ch2/[1√1-1Kc2h2]Ah4Bh6Ch8Dh10...ASただし、h:z軸光軸AXに対して垂直な方向の高さh2=x2y2、z:高さhの位置での光軸AX方向の変位量面頂点基準、c:面頂点での曲率曲率半径rの逆数、K:円錐定数、A,B,C,D:それぞれ4次,6次,8次,10次の非球面係数、である。各種データとして、全系の焦点距離mm,物体側開口数NA,設計波長nm,光源1の半径mm,コリメータ光学系2の焦点距離mm,コリメータ光学系2のワーキングディスタンスmm,集光光学系5の焦点距離mm,集光光学系5のワーキングディスタンスmm,集光光学系5の歪曲,センサ受光面6sの傾き°,受光径直径,mmを示し、実施例1については集光光学系5の正レンズ5bの焦点距離mm及び焦点距離比を更に示す。図4,図8は、実施例1,2EX1,2の集光光学系5のみの収差図であり、Aは球面収差mm、Bは非点収差mm、Cは歪曲収差を示している。球面収差図Aにおいて、実線は球面収差量を近軸像面からの光軸AX方向のズレ量で表しており、縦軸は瞳への入射高さをその最大高さで規格化した値すなわち相対瞳高さを表している。非点収差図Bにおいて、破線Tはタンジェンシャル像面、実線Sはサジタル像面を、それぞれ近軸像面からの光軸AX方向のズレ量で表しており、縦軸は集光角°を表している。歪曲収差図Cにおいて、横軸は歪曲を表しており、縦軸は集光角°を表している。実施例1単位:mm面データ面曲率半径軸上面間隔RMD屈折率光源INFINITY540890S168228582433491508997ASP非球面データK000000A677040E03B981628E04C206361E04D0000000E00S2365813681699ASP非球面データK000000A113013E03B207602E04C174009E05D282917E06S3INFINITY1104003S4INFINITY000000S5INFINITY0000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE1154701GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S6INFINITY000000反射面1508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S7INFINITY1000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S8INFINITY110000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG5ADE000000BDE000000CDE000000S9INFINITY100000ダミー偏芯データXDE000000YDE000000ZDE010000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S10INFINITYXDE000000YDE000000ZDE100000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S11INFINITY800000反射面偏芯データXDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S12INFINITY100000AIR偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S13INFINITY010000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S14INFINITY1000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG8ADE000000BDE000000CDE000000S15INFINITY010000AIR偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S16INFINITY1000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S17INFINITY800000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S18INFINITY000000偏芯データXDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S194712346000001508997ASP非球面データK000000A167823E03B120656E04C144496E06D000000E00S20652477010000ASP非球面データK000000A000000E00B118548E05C152246E07D141413E08S215612763056251508997ASP非球面データK0000000A340409E03B129588E02C143721E05D690173E07S223990971800014ASP非球面データK000000A864957E03B101870E03C379666E05D000000E00S23INFINITY000000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000ADE200000BDE000000CDE000000実施例1単位:mm面データ面曲率半径軸上面間隔RMD屈折率光源INFINITY540890S168228582433491508997ASP非球面データK000000A677040E03B981628E04C206361E04D0000000E00S2365813681699ASP非球面データK000000A113013E03B207602E04C174009E05D282917E06S3INFINITY1104003S4INFINITY000000S5INFINITY0000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE115470GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S6INFINITY0000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S7INFINITY100000ダミー偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S8INFINITY110000ダミー偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG5ADE000000BDE000000CDE000000S9INFINITY1000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE010000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S10INFINITY800000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE100000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S11INFINITY800000反射面偏芯データXDE000000YDE000000ZDE1000000GLBG4ADE000000BDE000000CDE000000S12INFINITY1000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S13INFINITY010000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S14INFINITY100000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG8ADE000000BDE000000CDE000000S15INFINITY010000反射面偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S16INFINITY1000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S17INFINITY800000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S18INFINITY000000偏芯データ6000001508997ASP非球面データK000000A167823E03B120656E04C144496E06D000000E00S20652477010000ASP非球面データK000000A000000E00B118548E05C152246E07D141413E08S215612763056251508997ASP非球面データK0000000A340409E03B129588E02C143721E05D690173E07S223990971800014ASP非球面データK000000A864957E03B101870E03C379666E05D000000E00S23INFINITY000000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000ADE200000BDE000000CDE000000各種データ全系の焦点距離13357物体側開口数022000設計波長90000000nm光源の半径02コリメータ光学系の焦点距離6900コリメータ光学系のワーキングディスタンス54089集光光学系の焦点距離67618集光光学系のワーキングディスタンス80000集光光学系の歪曲154集光光学系の正レンズの焦点距離1004センサ受光面の傾き20°受光径φ050011<148<2実施例2単位:mm面データ面曲率半径軸上面間隔RMD屈折率光源INFINITY540890S168228582433491508997ASP非球面データK000000A677040E03B981628E04C206361E04D0000000E00S2365813681699ASP非球面データK000000A113013E03B207602E04C174009E05D282917E06S3INFINITY1104003S4INFINITY000000S5INFINITY0000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE1154701GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S6INFINITY000000反射面1508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG4ADE3000000BDE000000CDE000000S7INFINITY1000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S8INFINITY110000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG5ADE000000BDE000000CDE000000S9INFINITY100000ダミー偏芯データXDE000000YDE000000ZDE010000GLBG6ADE000000BDE000000CDE000000S10INFINITYXDE000000YDE000000ZDE100000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S11INFINITY800000反射面偏芯データXDE000000YDE866025ZDE500000GLBG4ADE6000000BDE000000CDE000000S12INFINITY100000AIR偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG10ADE000000BDE000000CDE000000S13INFINITY010000偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG9ADE000000BDE000000CDE000000S14INFINITY1000001508997偏芯データXDE000000YDE000000ZDE000000GLBG8ADE000000BDE000000CDE000000S15INFINITY010000AIR偏芯データXDE000000YDE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