"被検物を照明する照明系と、前記被検物が載置されるステージと、前記照明系によって照明された前記被検物の像を形成する対物レンズとを備えた顕微鏡において、前記ステージは、前記対物レンズに対する位置及び傾きが一定の固定部と、該固定部に対する位置及び傾きの少なくとも一方が変更可能な被検物保持部と、前記固定部に対して前記被検物保持部を支持する支持部とを備え、該支持部と前記被検物保持部との接続部分及び前記支持部と前記固定部との接続部分が前記被検物保持部の側方に設けられていることを特徴とする顕微鏡。前記支持部は、長手方向に比してそれと直交する方向に相対的に剛性が低く、前記被検物保持部の中心周りに等角度間隔で3箇所に設けられていることを特徴とする請求項1記載の顕微鏡。前記固定部に対する位置及び傾きの少なくとも一方を変更するため、前記被検物保持部を駆動するアクチュエータと、該アクチュエータの駆動によって生ずる前記被検物保持部の傾き変化が、前記アクチュエータ側に伝達することを抑制するかわし機構とを有し、前記アクチュエータと前記被検物保持部とが、前記かわし機構を介して接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡。前記アクチュエータの駆動によって生ずる位置変化を計測するため、ターゲットに光を照射する変位系を有し、前記ターゲットは、前記かわし機構よりも前記アクチュエータ側に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の顕微鏡。前記支持部と前記被検物保持部との接続部分及び前記支持部と前記固定部との接続部分に前記かわし機構が設けられていることを特徴とする請求項3又は4に記載の顕微鏡。しかしながら、デジタル顕微鏡のステージ周辺は、被検物を照明する照明系と、被検物を介してその反対側に配置された対物レンズとに挟まれた非常に狭い空間である。特許文献1に開示されたようなパラレルリンク機構をデジタル顕微鏡のステージに適用しても、要求される駆動ストロークを達成しつつ、狭い空間に配置することが難しい。そこで本発明は、所望の駆動ストロークを得つつも、照明系と対物レンズとに挟まれた空間に配置が可能な薄型のステージを備えた顕微鏡を実現するものである。本発明の例示的な顕微鏡は、被検物を照明する照明系と、被検物が載置されるステージと、照明系によって照明された被検物の像を形成する対物レンズとを備えた顕微鏡であって、このステージは、対物レンズに対する位置及び傾きが一定の固定部と、その固定部に対する位置及び傾きの少なくとも一方が変更可能な被検物保持部と、固定部に対して被検物保持部を支持する支持部とを備え、支持部と被検物保持部との接続部分及び支持部と固定部との接続部分を被検物保持部の側方に設けられたことを特徴としている。本発明によれば、薄型のステージでありながら、被検物を所望のストロークで駆動可能な顕微鏡を実現できる。次に図面を用いて、本発明の実施形態について説明する。図1は、デジタル顕微鏡の要部概略図である。図1において、101はプレパレートである。プレパラート101は、被検物試料をスライドグラス上に貼り付け、カバーグラスで封止したものである。301は、プレパラート101、すなわち被検物が載置されるステージである。302は被検物を照明する照明系、303は照明系によって照明された被検物の透過光から被検物の像を形成する対物レンズである。304は撮像素子、305は撮像素子304を支える撮像素子支持プレートである。ステージ301は、以下の1~3の要求に応えるため駆動機構を備えている。1プレパラート101を対物レンズ303の下から取り出すため2対物レンズ303の画角範囲にプレパラート101を移動させるため3対物レンズ303の画角全体にできるだけフォーカスを合わせるため1,2は対物レンズ303の光軸Z軸に対して垂直な面内XY平面内での移動機構で実現し、3は対物レンズ303の光軸Z軸方向における移動、及び光軸に垂直な2軸X軸、Y軸周りの回転機構で実現する。108は、上記3の要求に応えるため、プレパラート101を対物レンズ303の光軸方向に移動させ、光軸に垂直な2軸周りに回転させる被検物移動ステージである。1,2の要求を実現するための機構は、既知のステージ駆動機構を用いればよいので、本実施形態では詳細な説明を割愛するが、ステージ301はこのようなXY平面内での移動機構も備えている。画角全体にフォーカスを合わせるためのステージの駆動は、対物レンズ303のフォーカス面ピントが合う面に観察したい被検物の面が一致するように行う。例えば、プレパラート101の表面形状やカバーグラスの厚さを実際の撮像の前に測定し、表面形状からカバーグラスの厚み分を引いたところを観察したい被検物の面と推定して、それに対物レンズ303のフォーカス面が一致するようにステージ駆動する。観察したい被検物の面を推定する手法としては、基準となる参照面から表面形状を引いて二乗平均平方根RMSが最小になるような面を観察したい被検物の面としても良い。あるいは対物レンズ303と撮像素子304とによって、プレパラート101の実際の画像を取得して、その画像に基づいて人や計算機によってプレパラート101をフォーカス位置に移動させてもよい。ここで、分解能の高い画像を得るためには、NA開口数の大きな対物レンズを用いる必要がある。照明系についても対物レンズほどではないが、ある程度大きなNAが必要となる。NAの大きな対物レンズ、照明系を極力小型化するためには、被検物との距離をできるだけ小さくする必要がある。本実施形態では、このように顕微鏡固有の事情、すなわち照明系と対物レンズとの間の狭い空間に配置が可能な薄型のステージを、被検物移動ステージ108で実現している。以下の各実施例において、被検物移動ステージ108の詳細な説明を行う。実施例1図2は被検物移動ステージ108の側面図、図3は上面図である。図2,3において、プレパラート101は被検物保持部102に載置されている。被検物保持部102は、被検物保持部102の一部である接続部103を介して、支持部104と接続されている。更に、支持部104は、被検物移動ステージベース以後、単にベースと呼称106の一部である突起部105に接続されている。アクチュエータ107は、ベース106上に設けられており、接続部103を介して被検物保持部102に対してメカニカルに結合されている。ベース106は、対物レンズ303に対する位置及び傾きが一定の固定部である。このベース106上に設けられたアクチュエータ107で、ベース106に対する、ひいては対物レンズ303に対する被検物保持部102の位置及び傾きの少なくとも一方が変更可能に構成されている。なお、支持部104は、図2,3から分かるように長手方向を持つ梁状の部材であり、長手方向には剛で、長手方向に垂直な方向には長手方向の剛性に対して相対的に柔である構造である。すなわち、支持部104は長手方向に比してそれと直交する方向に相対的に剛性が低い構造をしている。この支持部104は、図2に示すように、被検物保持部102の中心周りに等角度間隔で3箇所組み合わせて設けられている。これにより被検物保持部102は、光軸方向と、それに垂直な2軸の回転方向の3軸に動きやすく、それ以外の軸光軸回転方向と光軸と垂直な2軸には動きにくい構造となる。支持部104は丸材でも、角材でも良い。また、プレパラート101を保持するために、電気や空気の吸排気などのラインが必要になる場合は、支持部104を空洞にして、そこにラインを通すことで、装置の構成を簡素にすることができる。本実施例で特徴的な点は、支持部104と被検物保持部102その一部である接続部103との接続部分、及び支持部104とベース106その一部である突起部105との接続部分が、図2に示すように、被検物保持部102の側方に設けられている点である。このように駆動対象物である被検物保持部102の側方に駆動機構を展開することで、照明系302と対物レンズ303との間の狭い空間でも、被検物を所望のストロークで駆動可能な構成を実現できる。また、照明系による照明光、あるいは照明された被検物から透過光を駆動機構が遮断することもない。実施例2図4は実施例2の被検物移動ステージ108の側面図である。本実施例では、アクチュエータ107と被検物保持部102の一部である接続部103とを、板ばね422によるかわし機構を設けて接続すると共に、アクチュエータ107の上に位置計測のためのターゲット423を配置した例を示している。板ばね422によるかわし機構は、アクチュエータ107の駆動によって生ずる被検物保持部102の傾き変化が、アクチュエータ107側に伝達することを抑制する作用を持っている。アクチュエータによる高精度な位置や姿勢の制御を行うにあたり、駆動対象の現在位置の計測は重要である。例えば、外部からレーザ変位計を用いて駆動対象の現在位置を計測する場合には、レーザ変位計からの光を駆動対象に設けたターゲットに照射し、ターゲットで反射した光をディテクタで受光して位置を算出することになる。この際、ターゲットが傾くと計測誤差となる場合がある。また、そもそも駆動対象を傾けることを目的としている場合であっても、駆動対象そのものにターゲットを配置すると、上述のごとく計測誤差につながる可能性がある。そこで、本実施例では、駆動対象物である被検物保持部102とアクチュエータ107との間にかわし機構を設け、アクチュエータ107の駆動に対応して一意的に位置が変化し、且つ傾きが変化しにくい箇所にターゲット423を配置している。具体的には、アクチュエータ107の駆動により光軸方向に移動するLアングル427にターゲット423を配置すると共に、Lアングル427と被検物保持部102とは、かわし機構である板ばね422を介して接続している。このターゲット423の位置を、レーザ変位計424で計測する。なお、Lアングル427を介したアクチュエータ107の接続部103に対する作用点、板ばね422の中心、支持部104の中心は光軸方向に沿って同一直線状に存在している。このように被検物保持部102とアクチュエータ107との間にかわし機構を設けることにより、被検物保持部102が傾くように駆動しても、支持部104の中心は移動せず、ターゲット423はレーザ変位計424に対して平行移動する。この結果、アクチュエータ107による駆動量に対応するターゲット423の位置変化の正確な計測ができ、その計測値を用いてアクチュエータ107の高精度な駆動制御を行うことができる。なお、顕微鏡においては、対物レンズ303に対する駆動機構の位置や姿勢が重要となるため、レーザ変位計424は対物レンズ303に一体的に設置するのが好ましい。実施例3図5は実施例3の被検物移動ステージ108の側面図である。本実施例では、接続部103と被検物保持部102の間に弾性ヒンジ532によるかわし機構を設けている。ターゲット533は、アクチュエータに直接設けられ、その位置は上部に設けられたレーザ変位計424により計測されている。本実施例の構成においても、被検物保持部102が傾くようにアクチュエータ107を駆動しても、弾性ヒンジ532によるかわし機構によりターゲット533が傾くことなない。このため、正確なターゲット533の位置計測と、それに基づくアクチュエータ107の高精度の駆動制御が可能になる。実施例4図6は実施例4の被検物移動ステージ108の側面図である。本実施例では、実施例3の構成に加えて、支持部104と突起部105の間にも弾性ヒンジ641によるかわし機構を設けたものである。なお、本実施例における弾性ヒンジ641は、支持部104の長手方向の軸周りに回転しにくい構造である。このような弾性ヒンジ641を設けることで、アクチュエータ107の作用点が支持部104の中心と一致していないことに起因する接続部103の回転を抑制することができる。このため、更に正確なターゲット533の位置計測と、それに基づくアクチュエータ107の高精度の駆動制御が可能になる。変形例以下に実施例1~4の変形例について、簡単に説明する。ベース106上に突起部105を6箇所設けているが、支持部104一つに対して一つの突起部105とし、突起部が3箇所でもよい。支持部104は直線状の部材で無くてもよい。アクチュエータ107は電動でもよいが、手動でもよい。例えば、手回しのリードスクリューや、手回しのボールねじ、手回しのくさび機構でもよい。実施例2~4ではかわし機構として、板ばねや弾性ヒンジを例としてあげているが、伸縮性のある、リングやロの字型でできた特定方向だけの剛性を他の方向の剛性と変えることのできる機構でもよい。"