"長尺帯状のワークを回転と停止を繰り返しながら巻き取る巻き取りリールと、該巻き取りリールを回転させる巻き取りリール駆動機構と、上記巻き取りリールの上流側に設けられ、上記巻き取りリールに巻き取られる上記ワークに回転摩擦負荷によりテンションをかけるテンションローラと、上記テンションローラに設けられ、該テンションローラに対する制動力の大きさが可変なテンションローラブレーキ機構と、上記テンションローラの上流側に設けられたワークのたるみ部における、ワークのたるみ量を検出するセンサと、上記センサからの信号に基づき、上記巻き取りリール駆動機構とテンションローラブレーキ機構の動作を制御する制御部とを備えた帯状ワークの巻き取り装置において、上記巻き取りリールの回転を停止する際、上記テンションローラブレーキ機構の制動力を、上記巻き取りリールが回転しているときの制動力より大きな値に設定することを特徴とする帯状ワークの巻き取り装置。露光光を照射する光照射部と、パターンを形成したマスクを支持するマスクステージと、巻き出しリールから巻きだした長尺帯状のワークを、該ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、ワーク搬送機構により搬送した帯状ワークを保持するワークステージと、上記搬送機構により上記ワークステージから搬出された帯状ワークを巻き取る巻き取り機構とを備え、ワークステージに保持した帯状ワークに対して、光照射部からの露光光をマスクを介して照射することにより、マスクに形成したパターンを上記帯状ワークに露光する帯状ワークの露光装置において、上記巻取り機構は、請求項1に記載の帯状ワークの巻き取り装置であることを特徴とする帯状ワークの露光装置。上記のように、露光を終えた帯状ワークWは、巻き取りリール2の上流側に設けられた、回転摩擦負荷を持ったテンションローラTRに掛けられて、一定のテンションがかかった状態にして、巻き取りリール2により巻き取られる。しかし、このようにして巻き取りリール2に巻き取ったワークWにおいて、テンションがかかっている部分とテンションがかかっていないゆるい部分とが生じ、巻かれている状態に粗密が生じるという状態が生じた。図7に、ワークWが、粗密が生じた状態でリールに巻かれたイメージ図を示す。例えば約300mのワークの場合、リールに巻かれると直径が400mm程度になるが、巻かれている状態に粗密が生じると縦横の直径で10mm~20mm程度の差が出る。このようにリールに巻き取られた状態に粗密が生じると、次の工程でこのリールからワークを巻き出すときに、搬送に緩急がつくために搬送トラブルが生じることがある。また、リールから巻きだすときに、テンションがかかっていない部分でワークにインパクトがかかり、ワークを伸ばしてしまうことや、リール内でワークがスリップして、ワーク同士が擦れ、傷がつくことも考えられる。本発明は上記問題点を解決するものであって、本発明の目的は、帯状のワークを巻き取りリールに巻き取る時、一様にテンションがかかった状態で巻き取ることができるようにし、巻き取られたワークに粗密が生じないようにすることである。テンションローラTRを介して巻き取っているのに、巻き取られたワークWに一様にテンションがかからないのはなぜなのか、発明者は鋭意検討した結果、以下のようなことが原因であることを突き止めた。上記したように、テンションローラTRは回転摩擦負荷を持ったローラである。しかし、それ自体には回転摩擦負荷回転に対する制動力を制御する機構は備わっていない。そのため、巻き取りリール2がワークWの巻き取り開始から終了まで一定の速度で回転していれば、ワークWに一様なテンションをかけることができる。しかし、上記従来例で示したような、巻き取りリール2を間歇的に動作させる回転と停止を繰り返して巻き取る場合は、以下のようになる。図8を用いて説明する。図8は、図5の装置において、テンションローラTRと巻き取りリール2の部分を拡大して示したものである。図8aに示すように、巻き取りリール2が回転しワークWを巻き取っている時。テンションローラTRがワークWに一定の負荷をかけながら回転している。巻き取りリール2には一定のテンションがかかった状態でワークが巻き取られる。しかし、第2のたるみ部A2において、ワークWのたるみが少なくなると、たるみ部A2のセンサS1,S2の信号に基づき、制御部20は巻き取りリール2の回転を停止する。巻き取りリール2が停止すると、ワークWの巻き取りは停止するが、テンションローラTRは慣性によりすぐには止まらず惰性で回転し、ワークWを押し出す。そのため、図8bに示すように、テンションローラTRと巻き取りリール2の間でワークWがたるむ。そして、第2のたるみ部A2において、ワークWのたるみが多くなると、たるみ部A2のセンサS1,S2の信号に基づき、制御部20は巻き取りリール2の回転を開始する。この時、巻き取りリール2が回転を再開すると、図8cに示すように、まず、上記において巻き取りリール2とテンションローラTRの間でたるんだワークWが、テンションがかからないままリール2に巻き取られる。その後、ワークWはテンションローラTRによりテンションがかけられてリール2に巻き取られる。このようにして、巻き取りリール2に巻き取られるワークWに、テンションがかかっている部分と、かかっていない部分が生じる。この問題を解決するために、本発明においては、テンションローラTRに、テンションローラに対する制動力の大きさが可変なテンションローラブレーキ機構を設け、制御部20によりそのブレーキ動作を制御できるようにした。すなわち、ワークの巻取りに際し、テンションローラTRのブレーキ機構と巻き取りリール2の動作を次のように制御する。i図2aに示すように、巻き取りリール2が回転し、ワークWを巻き取っている時は、テンションローラTRのブレーキ機構の制動力を小さな値Loに設定する。これにより、ワークWは、小さな制動力回転摩擦負荷Loが与えられたテンションローラTRにより一定のテンション張力をかけられながら巻き取りリール2に巻き取られる。この状態は、前記図7aと同じ状態であり、テンションローラTRはワークWに一定の負荷をかけながら回転している。ii図2bに示すように、第2のたるみ部A2におけるワークのたるみが少なくなり、第2のたるみ部A2に設けた上下2個のセンサS1,S2がワークWを検出しない状態になると、制御部20は、巻き取りリール2の回転を停止する段階になったことを検出する。iii制御部20は、巻き取りリール駆動機構7に停止信号を送り、図2cに示すように、巻き取りリール2の回転を停止する。また、上記巻き取りリール2の回転を停止する際、テンションローラTRのブレーキ機構の制動力を大きい値HiHi>Loに設定する。これにより、テンションローラTRの回転は停止する。すなわち、上記テンションローラTRのブレーキ機構の制動力を上記巻き取りリール2が回転しているときの制動力より大きな値Hiに設定する。これにより、テンションローラTRは図7bに示したように惰性で回転することなく停止する。このため、テンションローラTRと巻き取りリール2の間でワークWがたるむことがなく、ワークWは巻き取りリール2に、テンションがかかっていないゆるい部分が生ずることなく、巻き取られる。ivワークWのたるみが多くなり、第2のたるみ部A2に設けた上下2個のセンサS1,S2がワークWを検出した状態になると、図2dに示すように、制御部20はテンションローラTRの制動力を小さな値Loに設定し、巻き取りリール2の回転を開始する。これにより、前記したようにワークWは、テンションローラTRにより一定のテンションをかけられながら巻き取りリール2に巻き取られる。なお、上記iiiにおいて、制御部20からの、テンションローラTRの制動力を大きい値Hiに設定する信号の送出と、巻き取りリール2の回転停止信号の送出は、同時であってもよいが、テンションローラTRが慣性によりすぐには停止しないこと等を考慮して、テンションローラTRの制動力を大きい値Hiに設定した後に、巻き取りリール2の回転停止信号を送出するのが好ましいと考えられる。すなわち、本発明においては、以下のようにして前記課題を解決する。1長尺帯状のワークを回転と停止を繰り返しながら巻き取る巻き取りリールと、該巻き取りリールを回転させる巻き取りリール駆動機構と、上記巻き取りリールの上流側に設けられ、上記巻き取りリールに巻き取られる上記ワークに回転摩擦負荷によりテンションをかけるテンションローラと、上記テンションローラに設けられ、該テンションローラに対する制動力の大きさが可変なテンションローラブレーキ機構と、上記テンションローラの上流側に設けられたワークのたるみ部における、ワークのたるみ量を検出するセンサと、上記センサからの信号に基づき、上記巻き取りリール駆動機構とテンションローラブレーキ機構の動作を制御する制御部とを備えた帯状ワークの巻き取り装置において、上記巻き取りリールの回転を停止する際、上記テンションローラブレーキ機構の制動力を、上記巻き取りリールが回転しているときの制動力より大きな値に設定する。2露光光を照射する光照射部と、パターンを形成したマスクを支持するマスクステージと、巻き出しリールから巻きだした長尺帯状のワークを、該ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、ワーク搬送機構により搬送した帯状ワークを保持するワークステージと、上記搬送機構により上記ワークステージから搬出された帯状ワークを巻き取る巻き取り機構とを備え、ワークステージに保持した帯状ワークに対して、光照射部からの露光光をマスクを介して照射することにより、マスクに形成したパターンを上記帯状ワークに露光する帯状ワークの露光装置において、上記巻取り機構として、上記1の帯状ワークの巻き取り装置を用いる。本発明においては、以下の効果を得ることができる。1巻き取りリールが回転を停止する際に、テンションローラの制動力を、巻き取りリールが回転しているときの制動力より大きな値に設定したので、巻き取りリールが回転を停止したときに、テンションローラが惰性で回転せず、テンションローラと巻き取りリールの間でワークがたるまない。2このため、巻取りを再開した時に、テンションがかからない状態でワークが巻き取られることはなく、巻き取りリールには、ワークが常に一定のテンションがかかった状態で巻き取られる。したがって、巻き取られたワークに粗密が生じることがなく、リールからワークを巻き出すときに、搬送に緩急がつき搬送トラブルが生じたり、リールから巻きだすときに、ワークを伸ばしてしまったり、リール内でワークがスリップして、ワーク同士が擦れ、傷がつくことを防ぐことができる。図1は本発明の実施例の搬送機構を備えた、帯状ワークの露光装置の構成例を示す図である。前記図5との違いは、テンションローラTRに、ローラに与える制動力を可変にできるブレーキ機構を設けていることと、制御部がそのブレーキ動作を制御できる点であり、その他の点は図5と同様である。図1において、図5と同様、帯状ワークWワークWは、巻き出しリール1にロール状に巻かれている。巻き出しロール1から出た帯状ワークWは、たるみ部A1、第1のガイドローラR2を経てエンコーダローラR3と押さえロールR3’により狭持される。帯状ワークWは、搬送ローラR4と第2の押さえローラR4’によって狭持され、搬送ローラR4が回転することにより、ワークWは設定された所定量搬送され、露光部3のワークステージ10上に送られる。露光部3上には、前記したように光照射部4と、マスクMおよびマスクMを保持するマスクステージ11と、投影レンズ5が設けられている。また、ワークステージ10はワークステージ駆動機構6上に取り付けられており、上下、左右方向に駆動可能であるとともに、ワークステージ10面に垂直な軸を中心として回転可能である。露光部3で、帯状ワークWは、露光される領域の裏面側が、ワークステージ10の表面に不図示の真空吸着等の保持手段により保持され、マスクMと位置合せが行われる。位置合わせ終了後、光照射部4から放射される露光光がマスクM、投影レンズ5を介してワークWに照射され、マスクパターンがワークWに転写される。露光が終わると、帯状ワークWは搬送ロールR4と押さえロールR4’によって狭持され、次のワークWの次の露光領域がワークステージ10上に来るように搬送され、搬送後露光される。このようにして帯状ワークWは順次露光され、たるみ部A2、ガイドローラR5、テンションローラTRを経て、巻き取りリール2に巻き取られる。テンションローラTRには、該テンションローラに対する制動力の大きさが可変なテンションローラブレーキ機構8が設けられ、テンションローラTRの制動力は、制御部20により制御される。また、巻き取りリール2は、前記したように、巻き取りリール駆動機構7により回転停止の動作を行う。巻き取りリール駆動機構7の動作は、装置の制御部20により制御される。図3は、図1のテンションローラTRと巻き取りリール2の部分を拡大して示した斜視図である。テンションローラTRの回転軸には、その制動力が可変なテンションローラブレーキ機構8が設けられ、このブレーキ機構8の制動力は制御部20により制御される。上記制動力が可変なテンションローラブレーキ機構8としては、例えば電磁力により制動力を制御することができる電磁ブレーキ等を用いることができる。帯状のワークWは、上記テンションローラTRを介して巻き取りリール2に巻き取られる。また、巻き取りリール2の回転軸には、巻き取りリール駆動機構7が設けられている。制御部20は、前記したように第2のたるみ部A2に設けたセンサS1,S2からの信号に基づき、テンションローラTRのブレーキ機構8の動作制動力の大きさを制御する。また、巻き取りリール駆動機構2の動作巻き取りリールの回転と停止も制御する。本発明の帯状ワークの巻き取り動作の制御について、前記図2と図4のタイムチャートを使って説明する。1第2のたるみ部A2において、上下2個のセンサS1,S2によりワーク有が検出される。図2aに示すように、制御部20は、テンションローラTRのブレーキ機構8に制動力を小さな値Loに設定する信号を送るとともに、巻き取りリール駆動機構7にも巻き取り開始の信号を送る。上記制動力Loは、ワークWが巻き取りリール2に巻き取られるときに、ワークWに加わるテンションの値が適切な値ワークに過度なテンションが加わらず、巻き取り径が所望の大きさとなる値になるような大きさであり、後述する制動力Hiより小さい値である。これにより、テンションローラTRの制動力がLoとなり、巻き取りリール2が回転する。ワークWには、テンションローラTRに加わる制動力Lo回転摩擦負荷により一定のテンションがかり、巻き取りリール2に巻かれる図4のA参照。2ワークWの巻取りが進み、第2のたるみ部A2において、上下2個のセンサS1,S2によりワーク無しが検出される。制御部20は、テンションローラTRのブレーキ機構8に制動力を大きな値Hiに設定する信号を送る。これにより、図2bに示すようにテンションローラTRの回転が停止する。しかし、巻き取りリール2の回転巻き取り動作はこの段階では継続する図4のB参照。そのため、テンションローラTRが惰性で回転することによるワークWの押し出しはなく、テンションローラTRと巻き取りリール2の間でのワークのたるみは生じない。3制御部20は、テンションローラTRのブレーキ機構8に制動力を大きな値Hiに設定する信号を送ってから所定時間後例えば0.1秒から0.2秒後に、巻き取りリール駆動機構7に対して巻き取り停止の信号を送る。これにより図2cに示すように、巻き取りリール2の回転巻き取り動作が停止する図4のC参照。4巻き取り動作が停止している間に、露光部からワークWが送られてきて、ワークWのたるみが多くなると、第2のたるみ部A2において、上下2個のセンサS1,S2によりワーク有が検出される。このため、図2aと同様に、制御部20は、テンションローラTRのブレーキ機構8に制動力を小さな値Loに設定する信号を送るとともに、巻き取りリール駆動機構7にも巻き取り開始の信号を送る。これにより、図2dに示すように、ワークWの巻き取り動作が開始される図4のD参照なお、上記では、テンションローラTRの制動力を大きい値Hiに設定する信号を送出してから、巻き取りリール2の回転停止信号の送出するまでの遅れ時間を、例えば0.1秒から0.2秒後にしているが、このおくれ時間は、テンションローラTRの慣性力、装置の動作遅れ時間等に応じて、ワークのテンションが最適な値になるように適宜設定すればよい。"