エッチング溶液中での高ドープシリコン層の湿式化学エッチングバック方法であって、前記シリコン層は>1018atoms/cm3、特に>1019atoms/cm3のドーパント濃度を有し、前記高ドープシリコン層は結晶太陽電池のエミッタの表面領域であり、ペルオキソ二硫酸塩、ペルオキソ一硫酸塩および過酸化水素の群からの少なくとも1つの酸化剤を含むHF含有エッチング溶液をエッチング溶液として用いることを特徴とする方法。請求項1に記載の方法であって、前記酸性エッチング溶液は錯化剤および界面活性剤の群からの少なくとも1つの成分をさらに含むことをさらに特徴とする方法。請求項1または2に記載の方法であって、前記HF含有エッチング溶液は硫酸、リン酸、塩酸、H2SiF6ヘキサフルオロケイ酸の群からの少なくとも1つの追加の酸を含むことをさらに特徴とする方法。少なくとも請求項2に記載の方法であって、錯化剤として、ヒドロキシフェノール、アミン、ヒドロキシカルボン酸、ポリアルコール、ホスホン酸、ポリリン酸の群からの錯体形成剤を用いることをさらに特徴とする方法。少なくとも請求項1に記載の方法であって、以下の組成を有するHF含有水溶液:-HF:1-15重量、好ましくは1.5-5重量-過酸化水素:0.1-30重量、好ましくは5-10重量ならびに、好ましくは、-硫酸、リン酸、ヘキサフルオロケイ酸、塩酸、ペルオキソ二硫酸ナトリウム、ペルオキソ二硫酸カリウム、ペルオキソ一硫酸カリウム、ペルオキソ二硫酸アンモニウム、錯化剤、および界面活性剤の群からの少なくとも1つの成分を用いることを特徴とする方法。少なくとも請求項1に記載の方法であって、以下の組成を有するHF含有水溶液:-HF:1-15重量、好ましくは1.5-5重量-ペルオキソ二硫酸アンモニウム:1-50重量、好ましくは20-30重量ならびに、好ましくは、-硫酸、リン酸、ヘキサフルオロケイ酸、塩酸、ペルオキソ二硫酸ナトリウム、ペルオキソ二硫酸カリウム、ペルオキソ一硫酸カリウム、過酸化水素、錯化剤、および界面活性剤の群からの少なくとも1つの成分を用いることを特徴とする方法。請求項1ないし6のいずれか1項に記載の方法であって、垂直ユニットおよび水平ユニットでエッチング溶液を用いることをさらに特徴とする方法。請求項1ないし7のいずれか1項に記載の方法であって、前記高ドープシリコン層は、ドーパントとして、リン、ヒ素、ホウ素、アルミニウム、またはガリウムを含むことをさらに特徴とする方法。選択エミッタを製造するための、少なくとも請求項1に記載のエッチング溶液の使用。少なくとも請求項1に記載のエッチング溶液の使用であって、ニッケル/銀層またはニッケル/銅層の化学堆積もしくは電着によって、または、特に、チタン/パラジウム/銀層を気相堆積法によって付着する、エミッタのエッチングバック後の物理気相堆積によって、前記結晶太陽電池の表面に少なくとも選択的に金属層を堆積する、使用。請求項1ないし9のいずれか1項に記載の方法によってエミッタがエッチバックされた太陽電池。