"測定対象物の一端に接触させる第1の電流供給端子及び第1の電圧測定端子と、測定対象物の他端に接触させる第2の電流供給端子及び第2の電圧測定端子と、該第1及び第2の電流供給端子を介して該測定対象物に測定用の電流を供給する電流供給部と、該第1及び第2の電圧測定端子間の電圧を検出する電圧検出部と、測定レンジに対応させた複数の電流検出抵抗の一端同士が、該第2の電流供給端子に接続されると共に仮想接地されている差動増幅回路の反転入力端子に接続され、各々の該電流検出抵抗とペアになるように該複数の電流検出抵抗の他端に複数の抵抗選択用のスイッチの一端が接続されており、該複数の抵抗選択用のスイッチの他端同士が該差動増幅回路の出力端子に接続されている構成を含む電流検出部とを備える4端子式測定器が、該第1の電流供給端子から該電流供給部までの間に設けられた第1のスイッチと、コンタクトチェック用の電源から該第1の電圧測定端子までの間に設けられた第2のスイッチと、該コンタクトチェック用の電源から該第2の電圧測定端子までの間に設けられた第3のスイッチと、該複数の電流検出抵抗の一端から該反転入力端子までの間に設けられた第4のスイッチと、該差動増幅回路の出力端子及び該反転入力端子を接続する第5のスイッチと、該第1の電圧測定端子の電圧値をコンタクトチェック用の閾値と比較する第1の比較回路と、該第2の電圧測定端子の電圧値を該コンタクトチェック用の閾値と比較する第2の比較回路と、該第1の両端子のコンタクトチェック時に、該第1、該第2、及び該第5のスイッチをオンに制御すると共に、該第3、該第4、及び全ての該抵抗選択用のスイッチをオフに制御し、該第2の両端子のコンタクトチェック時に、該第3、該第4、及び該第5のスイッチをオンに制御すると共に、該第1、該第2、及び全ての該抵抗選択用のスイッチをオフに制御し、該測定対象物の電気的特性の測定時に、該第1、該第4、及び測定レンジに対応する該抵抗選択用のスイッチをオンに制御すると共に、該第2、該第3、及び測定レンジに対応しない該抵抗選択用のスイッチをオフに制御するスイッチ制御部とを備え、該第1~該第4のスイッチが各々アナログスイッチで構成されると共に、該第5及び該複数の抵抗選択用のスイッチの各々が、直列接続された2つのアナログスイッチ、及びその直列接続点と基準電位との間に接続されたアナログスイッチの計3つのアナログスイッチで構成されており、該スイッチ制御部が、該第5、該抵抗選択用のスイッチをオンに制御するときは、該直列接続された2つのアナログスイッチをオンに制御すると共に該基準電位間に接続されたアナログスイッチをオフに制御し、該第5、該抵抗選択用のスイッチをオフに制御するときは、該直列接続された2つのアナログスイッチをオフに制御すると共に該基準電位間に接続されたアナログスイッチをオンに制御することを特徴とする4端子式測定器。前記電流検出部は、前記各々の電流検出抵抗とペアになるように前記複数の電流検出抵抗の他端に接続された複数の測定用のスイッチと、該複数の測定用のスイッチの他端同士が接続されたボルテージフォロア回路とを備え、該測定用のスイッチの各々が、直列接続された2つのアナログスイッチ、及びその直列接続点と基準電位との間に接続されたアナログスイッチの計3つのアナログスイッチで構成されており、前記スイッチ制御部が、該測定用のスイッチをオンに制御するときは、該直列接続された2つのアナログスイッチをオンに制御すると共に該基準電位間に接続されたアナログスイッチをオフに制御し、該測定用のスイッチをオフに制御するときは、該直列接続された2つのアナログスイッチをオフに制御すると共に該基準電位間に接続されたアナログスイッチをオンに制御することを特徴とする請求項1に記載の4端子式測定器。前述したような4端子のコンタクトチェック機能を有すると共に、複数の電流検出抵抗を有する4端子式測定器100を図5に示す。この4端子式測定器100は、測定対象物DUT90の一端に接触させる第1の電流供給端子Hc及び第1の電圧測定端子Hpと、DUT90の他端に接触させる第2の電流供給端子Lc及び第2の電圧測定端子Lpと、電流供給端子Hc、Lcを介してDUT90に測定用の電流を供給するための電流供給部2と、電流供給端子Hc、Lcに流れる電流を電圧に変換して検出する電流検出部103と、電圧測定端子Hp、Lp間の電圧を検出する電圧検出部4とを備えている。また、コンタクトチェック用として、第1のスイッチSW101と、第2のスイッチSW102と、第3のスイッチSW103と、第4のスイッチSW104と、第5のスイッチSW105と、コンパレータCmp1,Cmp2と、電流制限抵抗R2,3と、スイッチ制御部108とを備えている。電流供給部2は、一例として、発振器10が、演算増幅器Op1、アンプA1、及び帰還抵抗R31で構成されるボルテージフォロア回路の非反転入力端子に接続されたものである。発振器10が、例えば、120Hz、1kHz、100kHz、1MHzなどの測定用の交流周波数で発振して、ボルテージフォロア回路が、測定用の交流電流を出力する。アンプA1には、DUT90に測定用の交流電流を供給可能なように、出力インピーダンスが低く電流供給能力の高いものが用いられている。アンプA1は基準電位を中心として測定用の交流電圧電流を出力する。電流供給部2は、スイッチSW101及び出力抵抗R1を介して、電流供給端子Hcに接続されている。出力抵抗R1は、電流供給部2の出力インピーダンスを規定するためのものであり、例えば出力インピーダンスが5Ωに設定されている。なお、電流供給部2としては、測定用の交流電流を出力可能な回路であれば、公知の種々の回路が使用される。電流検出部103は、DUT90に流れる測定用の交流電流を電流-電圧変換して出力するものであり、測定レンジに対応させて選択される複数の電流検出抵抗R11~R15、抵抗選択用のスイッチSW111~SW115、測定用のスイッチSW121~125、差動増幅回路5、及び演算増幅器Op3~Op5を備えている。また、電流検出部103には、スイッチSW104及びスイッチSW105が組み込まれている。具体的には、電流検出抵抗R11~R15の一端同士が、電流供給端子Lcに接続されると共に差動増幅回路5の反転入力端子に第4のスイッチSW104を介して接続されている。差動増幅回路5は、演算増幅器Op2の出力に、出力インピーダンスが低く電流供給能力の高いアンプA2を接続したものである。演算増幅器Op2の出力インピーダンスが低く電流供給能力が高い場合にはアンプA2は用いなくてもよい。演算増幅器Op2は、非反転入力端子が基準電位に接続されているため、反転入力端子は基準電位に仮想接地されている。電流検出抵抗R11、R12、R13、R14、R15は、順に10Ω、100Ω、1kΩ、10kΩ、100kΩに設定されている。このように、複数の電流検出抵抗R11~R15を適宜切り換えて用いることで、例えばDUT90が10mΩ~200MΩの場合であってもその値を高精度に測定することが可能になる。この電流検出抵抗R11~R15の各他端には、電流検出抵抗R11~R15とペアになるように、抵抗選択用のスイッチSW111~SW115の一端が接続されている。この複数の抵抗選択用のスイッチSW111~SW115の他端同士は、差動増幅回路5の出力端子アンプA2の出力端子に接続されている。差動増幅回路5の出力端子と反転入力端子とが、スイッチSW105を介して接続されている。さらに、電流検出抵抗R11~R15の一端同士は、反転入力端子と出力端子とを接続してボルテージフォロア回路とした演算増幅器Op4の非反転入力端子に接続されている。また、電流検出抵抗R11~R15の各他端には、電流検出抵抗R11~R15とペアになるように、測定用のスイッチSW121~SW125の一端が接続されている。測定用のスイッチSW121~SW125の他端同士は、反転入力端子と出力端子とを接続してボルテージフォロア回路とした演算増幅器Op3の非反転入力端子に接続されている。演算増幅器Op4の出力端子は演算増幅器Op5の反転入力端子に接続され、演算増幅器Op3の出力端子は演算増幅器Op5の非反転入力端子に接続されている。演算増幅器Op3、Op4は、測定すべき電圧をハイインピーダンスで受けるために用いられている。電圧検出部4は、一例として、ボルテージフォロア回路とした演算増幅器Op6の非反転入力端子に電圧測定端子Hpが接続され、ボルテージフォロア回路とした演算増幅器Op6の非反転入力端子に電圧測定端子Hpが接続されている。演算増幅器Op7の出力端子は演算増幅器Op8の反転入力端子に接続され、演算増幅器Op6の出力端子は演算増幅器Op8の非反転入力端子に接続されている。演算増幅器Op6,Op7は、測定すべき電圧をハイインピーダンスで受けるために用いられている。また、コンタクトチェック用として直流電源Vccが、電流制限抵抗R2及びスイッチSW102を介して、電圧測定端子Hpに接続されている。また、コンタクトチェック用として直流電源Vccが、電流制限抵抗R3及びスイッチSW103を介して、電圧測定端子Lpに接続されている。コンタクトチェック用の直流電源Vccは、回路の直流電源と供用できる。また、電圧測定端子Hpには、コンパレータCmp1の反転入力端子が接続されている。コンパレータCmp1の非反転入力端子にはコンタクトチェック用の閾値電圧が接続入力されている。同様に、電圧測定端子Lpには、コンパレータCmp2の反転入力端子が接続されている。コンパレータCmp2の非反転入力端子にはコンタクトチェック用の閾値電圧が接続されている。前述したスイッチSW101~SW105、SW111~SW115、SW121~SW125は、フォトモスリレー、又は電磁リレーメカニカルリレーが用いられている。これらスイッチSW101~SW125は、スイッチ制御部108によってオン接/オフ断を別個に制御される。この4端子式測定器100は、DUT90の電気的特性の測定を行う前や必要性に応じて後に、4つの端子Hc、Lc、Hp、LpがDUT90に正常に接触しているか否かの確認コンタクトチェックを行う。コンタクトチェックは、端子Hc、Hp側の確認と、端子Lc、Lp側の確認の2回に分けて行う。端子Hc、Hp側のコンタクトチェックを行う場合、スイッチ制御部108は、スイッチSW101、SW102、SW105をオンに制御すると共に、スイッチSW103、SW104、SW111~SW115、SW121~SW125をオフに制御する。また、電流供給部2の発振器10は停止させておく。これにより、直流電源Vccから電流制限抵抗R2、スイッチSW102、端子Hp、Hc、出力抵抗R1、及びスイッチSW101を通って、基準電位となっている電流供給部2の出力端子Xに、直流電流が流れる。端子Hc、HpがDUT90に正常に接触している場合、端子Hpの電圧は閾値電圧以下になり、コンパレータCmp1は、正常であることを示すハイレベル信号を出力する。一方、端子Hc、HpがDUT90に正常に接触していない場合、つまり端子HcやHpの接触抵抗が大きい場合や、端子HcやHpが非接触の場合には、端子Hpの電圧が正常時よりも高くなって閾値電圧を超え、コンパレータCmp1が異常信号としてローレベル信号を出力する。端子Lc、Lp側のコンタクトチェックを行う場合、スイッチ制御部108は、スイッチSW103、SW104、SW105をオンに制御すると共に、スイッチSW101、SW102、SW111~SW115、SW121~SW125をオフに制御する。これにより、直流電源Vccから電流制限抵抗R3、スイッチSW103、端子Lp、Lc、スイッチSW104、及びスイッチSW105を通って、基準電位となっている差動増幅回路5の出力端子Yに、直流電流が流れる。端子Lc、LpがDUT90に正常に接触している場合、端子Lpの電圧は閾値電圧以下になり、コンパレータCmp1は、正常であることを示すハイレベル信号を出力する。一方、端子Lc、LpがDUT90に正常に接触していない場合、端子Lpの電圧が正常時よりも高くなって閾値電圧を超え、コンパレータCmp2が異常信号としてローレベル信号を出力する。なお、コンパレータCmp1,2の出力する論理が逆になるように、閾値電圧を反転入力端子側に接続してもよい。4端子式測定器100がDUT90の電気的特性の測定を行う場合、スイッチ制御部108は、スイッチSW101、SW104をオン、スイッチSW102、SW103、SW105をオフに制御すると共に、測定レンジに対応する抵抗選択用のスイッチSW111~SW115及び測定用のスイッチSW121~SW125をオンにする。例えば電流検出抵抗R11を使用する場合、スイッチSW111及びSW121をオンに制御して、スイッチSW112~SW115、及びSW122~SW125をオフに制御する。これにより、DUT90に流れる電流が電流検出部103で電圧に変換されて出力されると共に、DUT90の両端電圧が電圧検出部4から出力される。これら電流検出部103及び電圧検出部4の出力を、各々アナログ/デジタル変換器図示せずでデジタル信号に変換し、デジタル化された電流信号及び電圧信号から測定部図示せずがDUT90の電気的特性を演算する。この4端子式測定器100は、電子部品の電気的特性の確認や、回路基板パターンの良否の確認などに用いられるが、電子部品や回路基板等の製造検査ラインで用いられる場合、連続的に多数の電子部品等の検査を行うため、コンタクトチェック及び測定を高速に行うことが望まれている。コンタクトチェック及び測定を高速に行うためには、前述したスイッチSW101~SW125を全て、高速に作動するスイッチに換えることが考えられる。フォトモスリレーは、オン/オフの切換の動作時間が500μs程度であり、電磁リレーは動作時間が数ms以上である。そのため、スイッチSW101~SW125を、動作時間が数10ns~数100nsであるアナログスイッチに換えることが考えられる。しかしながら、アナログスイッチは、周波数が高くなるとオフにしたときのオフアイソレーションが小さくなり、例えば周波数が200kHz程度で250kΩのインピーダンスになる。そのため、例えばスイッチSW115をオンにして100kΩの電流検出抵抗R15を使用して測定を行う場合、オフにしたスイッチSW111~SW114が250kΩの抵抗として機能してしまい、これらが電流検出抵抗R11~R14と合わせて並列接続された形となり、全体のインピーダンスが大きく低下してしまう。このため、電流検出抵抗R15に電流が殆ど流れなくなり、測定の精度が大幅に悪化するという問題がある。本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、コンタクトチェック及び測定を高速に行うことのできる4端子式測定器を提供することを目的とする。前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項1に記載された4端子式測定器は、測定対象物の一端に接触させる第1の電流供給端子及び第1の電圧測定端子と、測定対象物の他端に接触させる第2の電流供給端子及び第2の電圧測定端子と、該第1及び第2の電流供給端子を介して該測定対象物に測定用の電流を供給する電流供給部と、該第1及び第2の電圧測定端子間の電圧を検出する電圧検出部と、測定レンジに対応させた複数の電流検出抵抗の一端同士が、該第2の電流供給端子に接続されると共に仮想接地されている差動増幅回路の反転入力端子に接続され、各々の該電流検出抵抗とペアになるように該複数の電流検出抵抗の他端に複数の抵抗選択用のスイッチの一端が接続されており、該複数の抵抗選択用のスイッチの他端同士が該差動増幅回路の出力端子に接続されている構成を含む電流検出部とを備える4端子式測定器が、該第1の電流供給端子から該電流供給部までの間に設けられた第1のスイッチと、コンタクトチェック用の電源から該第1の電圧測定端子までの間に設けられた第2のスイッチと、該コンタクトチェック用の電源から該第2の電圧測定端子までの間に設けられた第3のスイッチと、該複数の電流検出抵抗の一端から該反転入力端子までの間に設けられた第4のスイッチと、該差動増幅回路の出力端子及び該反転入力端子を接続する第5のスイッチと、該第1の電圧測定端子の電圧値をコンタクトチェック用の閾値と比較する第1の比較回路と、該第2の電圧測定端子の電圧値を該コンタクトチェック用の閾値と比較する第2の比較回路と、該第1の両端子のコンタクトチェック時に、該第1、該第2、及び該第5のスイッチをオンに制御すると共に、該第3、該第4、及び全ての該抵抗選択用のスイッチをオフに制御し、該第2の両端子のコンタクトチェック時に、該第3、該第4、及び該第5のスイッチをオンに制御すると共に、該第1、該第2、及び全ての該抵抗選択用のスイッチをオフに制御し、該測定対象物の電気的特性の測定時に、該第1、該第4、及び測定レンジに対応する該抵抗選択用のスイッチをオンに制御すると共に、該第2、該第3、及び測定レンジに対応しない該抵抗選択用のスイッチをオフに制御するスイッチ制御部とを備え、該第1~該第4のスイッチが各々アナログスイッチで構成されると共に、該第5及び該複数の抵抗選択用のスイッチの各々が、直列接続された2つのアナログスイッチ、及びその直列接続点と基準電位との間に接続されたアナログスイッチの計3つのアナログスイッチで構成されており、該スイッチ制御部が、該第5、該抵抗選択用のスイッチをオンに制御するときは、該直列接続された2つのアナログスイッチをオンに制御すると共に該基準電位間に接続されたアナログスイッチをオフに制御し、該第5、該抵抗選択用のスイッチをオフに制御するときは、該直列接続された2つのアナログスイッチをオフに制御すると共に該基準電位間に接続されたアナログスイッチをオンに制御することを特徴とする。請求項2に記載の4端子式測定器は、請求項1に記載されたもので、前記電流検出部は、前記各々の電流検出抵抗とペアになるように前記複数の電流検出抵抗の他端に接続された複数の測定用のスイッチと、該複数の測定用のスイッチの他端同士が接続されたボルテージフォロア回路とを備え、該測定用のスイッチの各々が、直列接続された2つのアナログスイッチ、及びその直列接続点と基準電位との間に接続されたアナログスイッチの計3つのアナログスイッチで構成されており、前記スイッチ制御部が、該測定用のスイッチをオンに制御するときは、該直列接続された2つのアナログスイッチをオンに制御すると共に該基準電位間に接続されたアナログスイッチをオフに制御し、該測定用のスイッチをオフに制御するときは、該直列接続された2つのアナログスイッチをオフに制御すると共に該基準電位間に接続されたアナログスイッチをオンに制御することを特徴とする。本発明の4端子式測定器によれば、コンタクトチェック時や測定時に切り換えるスイッチを全てアナログスイッチとし、アナログスイッチの小さなオフアイソレーションの影響を受ける部分には、直列接続された2つのアナログスイッチ、及びその直列接続点と基準電位との間に接続されたアナログスイッチの計3つのアナログスイッチを用いることでその影響を無くしたので、測定の精度を悪化させることなく、コンタクトチェック及び測定を高速に行うことができる。用いるアナログスイッチの数は多くなるが、フォトモスリレーや電磁リレーと比べてアナログスイッチは遥かに安価であるので、全体的なコストを安価にすることができる。以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。本発明の4端子式測定器1について図1~3を参照して説明する。なお、図5に示した4端子式測定器100と同様の構成については同じ符号を付して詳細な説明を省略する。まず、図5に示す4端子式測定器100と図1に示す4端子式測定器1との違いを説明すると、4端子式測定器100では、電流検出部103、スイッチSW101、SW102、SW103、及びスイッチ制御部108を用いていたのに対し、これらに換えて4端子式測定器1では、電流検出部3、第1のスイッチSW1、第2のスイッチSW2、第3のスイッチSW3、及びスイッチ制御部8を用いている。4端子式測定器1の電流検出部3を図2に示す。図5に示す電流検出部103と図2に示す電流検出部3との違いを説明すると、電流検出部103では、スイッチSW104、SW105、抵抗選択用のSW111~SW115、測定用のSW121~SW125を用いていたのに対し、これらに換えて電流検出部3では、第4のスイッチSW4、第5のスイッチSW5、抵抗選択用のSW11~SW15、測定用のSW21~SW25を用いている。他の構成については4端子式測定器100と4端子式測定器1とは同様である。スイッチSW1~SW4は、各々アナログスイッチである。また、スイッチSW5、SW11~SW15、SW21~SW25の各々は、図2に示すように直列接続された2つのアナログスイッチ、及びその直列接続点と基準電位との間に接続されたアナログスイッチの計3つのアナログスイッチで構成されている。アナログスイッチは、トランスミッションゲートやCMOSスイッチとも呼ばれ、その基本回路はP型電界効果トランジスタ及びN型電界効果トランジスタ共に図示せずのソースとソース、ドレインとドレインとをそれぞれ接続したものであり、ゲートに与えられる電圧によりソースからドレインにアナログ信号を伝達したり、遮断したりするスイッチ素子である。アナログスイッチとしては、各社から多種販売されているものの中から適宜選択して用いることができるが、切換えの動作時間の短いものを用いることが好ましい。スイッチ制御部8は、スイッチSW1~SW5、SW11~SW15、SW21~SW25の各々のオン/オフの制御を別個に行う。スイッチSW5、SW11~SW15、SW21~SW25については、スイッチ制御部8は、オンに制御するときは、図3aに示すように、直列接続された2つのアナログスイッチASW1及びASW2をオンに制御すると共に、直列接続点と基準電位との間に接続されたアナログスイッチASW3をオフに制御する。また、オフに制御するときは、スイッチ制御部8は、図3bに示すように、アナログスイッチASW1及びASW2をオフに制御すると共に、アナログスイッチASW3をオンに制御する。スイッチ制御部8は、例えば、CPU及びプログラムを記憶したメモリ等で構成されている。次に、4端子式測定器1の動作について説明する。端子Hc、Hp側のコンタクトチェックを行う場合、スイッチ制御部8は、スイッチSW1、SW2、SW5をオンに制御すると共に、スイッチSW3、SW4、SW11~SW15、SW21~SW25をオフに制御する。各スイッチSW1~SW25はアナログスイッチであるので、短時間でオン/オフが切り換わる。端子Hc、HpがDUT90に正常に接触している場合、端子Hpの電圧は閾値電圧以下になり、コンパレータCmp1は、正常であることを示すハイレベル信号を出力する。一方、端子Hc、HpがDUT90に正常に接触していない場合、端子Hpの電圧が正常時よりも高くなって閾値電圧を超え、コンパレータCmp1が異常信号としてローレベル信号を出力する。端子Lc、Lp側のコンタクトチェックを行う場合、スイッチ制御部8は、スイッチSW3、SW4、SW5をオンに制御すると共に、スイッチSW1、SW2、SW11~SW15、SW21~SW25をオフに制御する。この場合においても、各スイッチSW1~25はアナログスイッチであるので、短時間でオン/オフが切り換わる。端子Lc、LpがDUT90に正常に接触している場合、端子Lpの電圧は閾値電圧以下になり、コンパレータCmp1は、正常であることを示すハイレベル信号を出力する。一方、端子Lc、LpがDUT90に正常に接触していない場合、端子Lpの電圧が正常時よりも高くなって閾値電圧を超え、コンパレータCmp2が異常信号としてローレベル信号を出力する。4端子式測定器1がDUT90の電気的特性の測定を行う場合、スイッチ制御部8は、スイッチSW1、SW4をオン、スイッチSW2、SW3、SW5をオフに制御すると共に、抵抗選択用のスイッチSW11~SW15及び測定用のスイッチSW21~SW25の中の測定レンジに対応する一組みをオンに制御し、他の組をオフに制御する。この場合においても、各スイッチSW1~25はアナログスイッチであるので、短時間でオン/オフが切り換わる。測定レンジに対応して例えば電流検出抵抗R15を使用する場合、スイッチ制御部8は、スイッチSW15及びSW25をオンに制御して、スイッチSW11~SW14、SW21~SW24をオフに制御する。オフに制御されたスイッチSW11~SW14は、図3bに示すように、直列接続されたアナログスイッチASW1,2の直列接続点が、オンに制御されたアナログスイッチASW3によって基準電位になる。同様に、オフに制御されたスイッチSW21~SW24は、図3bに示すように、直列接続されたアナログスイッチASW1,2の直列接続点が、オンに制御されたアナログスイッチASW3によって基準電位になる。図2に示すスイッチSW4はオンであるので、電流検出抵抗R11~R14の端子Lc側は、演算増幅器Op2の反転入力端子に接続されて、基準電位仮想接地になっている。したがって、アナログスイッチASW1,2のオフインピーダンスが例えば250kΩであったとしても、電流検出抵抗R11~R14に電流が流れない。同様に、スイッチSW5にも電流が流れない。つまり、電流検出抵抗R15だけに電流が流れ、オフにされているスイッチSW5、SW11~SW14、SW21~24や電流検出抵抗R11~R14は測定に影響を与えないので、DUT90に流れる電流を正確に測定することができる。電流検出部3が、DUT90に流れる電流を電圧に変換して出力し、電圧検出部4が、DUT90の両端電圧を出力する。これら電流検出部3及び電圧検出部4の出力を、各々アナログ/デジタル変換器図示せずでデジタル信号に変換し、デジタル化された電流信号及び電圧信号から測定部図示せずがDUT90の電気的特性を演算する。なお、4端子式測定器1は、スイッチSW11~SW15のオン抵抗の影響を受けることなくDUT90に流れる電流を正確に測定するために、電流検出抵抗R11~R15の両端電圧をスイッチSW21~SW25、演算増幅器Op3~Op5を介して検出しているが、スイッチSW11~SW15のオン抵抗が無視できるほど小さい場合には、電流測定部3を、図4に示すように電流測定部3aのように簡略化してもよい。電流測定部3aは、電流測定部3からスイッチSW21~SW25、演算増幅器Op3~Op5を削除したものである。"