"対象物内からのエコー信号を送受信する超音波探触子と,前記対象物内に超音波集束ビームを放射して組織を変位させる変位生成部と,前記対象物からのエコー信号を受波し,前記超音波集束ビームにより生じるずり波変位の時間波形を複数の位置で検出する変位検出部とを備え,前記変位検出部は,検出した前記ずり波変位の時間波形に基づき,前記対象物の不均一性を評価する不均一性検知部を有する,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項1に記載の超音波診断装置であって,前記不均一性検知部は,前記ずり波の変位の時間波形から少なくとも2つの情報を得,得られた前記2つの情報から前記時間波形の幅を計算し,前記不均一性を評価する,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項1に記載の超音波診断装置であって,前記不均一性は前記対象物の構造に起因するずり波の音速の不均一性である,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項1に記載の超音波診断装置であって,前記不均一性は周波数分散性に起因するずり波の音速の不均一性である,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項2に記載の超音波診断装置であって,前記ずり波の変位の時間波形から得られる前記2つの情報は,前記ずり波の変位の時間波形の積分値および最大振幅値である,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項2に記載の超音波診断装置であって,前記ずり波の変位の時間波形から得られる前記2つの情報は,前記ずり波の変位の時間波形の半値幅および最大振幅値である,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項1に記載の超音波診断装置であって,前記不均一性検知部は,前記ずり波のピークの数を計算し,前記不均一性を評価する,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項1に記載の超音波診断装置であって,前記不均一性検知部は,前記ずり波の変位に対する空間的に微分演算を行う,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項1に記載の超音波診断装置であって,前記変位生成部は,前記超音波集束ビームの集束点を設定する焦点位置設定部を有する,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項9記載の超音波診断装置であって,前記焦点位置設定部は,前記対象物内の異なる位置に,前記超音波集束ビームの集束点を設定可能である,ことを特徴とする超音波診断装置。超音波により対象物の診断を行う超音波診断装置であって,前記対象物内からのエコー信号を送受信する超音波探触子と,前記対象物内に超音波集束ビームを放射して組織を変位させる変位生成部と,前記対象物からのエコー信号を受波し,前記超音波集束ビームにより生じるずり波変位の時間波形を複数の位置で検出する変位検出部とを備え,前記変位生成部は,前記超音波集束ビームを生成する変位生成用送波ビーム生成部と,前記超音波集束ビームの周波数を設定するビーム周波数設定部を有し,前記変位検出部は,検出した前記ずり波変位に基づき,前記対象物の不均一性を評価する不均一性検知部を有する,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項11に記載の超音波診断装置であって,前記不均一性検知部は,前記ずり波の変位の時間波形から少なくとも2つの情報を得,得られた前記2つの情報から前記時間波形の幅を計算し,予め設定された閾値を用いて前記不均一性を評価する,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項11に記載の超音波診断装置であって,前記不均一性検知部が評価する前記不均一性は,前記対象物の構造に起因する音速の不均一性,または周波数分散性に起因するずり波の音速の不均一性である,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項11記載の超音波診断装置であって,前記不均一性検知部は,前記対象物の構造に起因する音速の不均一性を評価した後に,周波数分散性に起因するずり波の音速の不均一性を評価する,ことを特徴とする超音波診断装置。請求項11記載の超音波診断装置であって,前記変位生成部は,前記変位生成用送波ビーム生成部が生成する超音波集束ビームの照射ビーム時間を設定するビーム時間設定部を更に有し,前記変位検出部は,検出したずり波変位の時間波形に基づき,前記対象物の硬さのスペクトルを算出する硬さスペクトル計算部を更に有する,ことを特徴とする超音波診断装置。従来,ずり波速度の推定する際,組織構造に起因する音速の不均一性は考慮されていない。すなわち,測定範囲内の組織ではずり波速度が同じであると仮定されている。従って,測定視野内に異なる音速を持つ組織が混在している場合では,平均化されたずり波の伝搬速度,および弾性率を測定していることになる。組織構造に起因する音速の不均一性を画像化し,診断できれば,正常組織と悪性組織との違いを識別する方法の1つとなり得る。本発明の目的は,超音波送受信によって測定対象物内部の音速に関する不均一性を検出することが可能な超音波診断装置を提供することにある。上記の目的を達成するため,本発明においては,対象物内からのエコー信号を送受信する超音波探触子と,対象物内に超音波集束ビームを放射して組織を変位させる変位生成部と,対象物からのエコー信号を受波し,超音波集束ビームにより生じるずり波変位の時間波形を複数の位置で検出する変位検出部とを備え,変位検出部は,検出したずり波変位の時間波形に基づき,対象物の不均一性を評価する不均一性検知部を有する構成の超音波診断装置を提供する。また,上記の目的を達成するため,本発明においては,超音波により対象物の診断を行う超音波診断装置であって,対象物内からのエコー信号を送受信する超音波探触子と,対象物内に超音波集束ビームを放射して組織を変位させる変位生成部と,対象物からのエコー信号を受波し,超音波集束ビームにより生じるずり波変位の時間波形を複数の位置で検出する変位検出部とを備え,変位生成部は,超音波集束ビームを生成する変位生成用送波ビーム生成部と,超音波集束ビームの周波数を設定するビーム周波数設定部を有し,変位検出部は,検出したずり波変位に基づき,対象物の不均一性を評価する不均一性検知部を有する構成の超音波診断装置を提供する。すなわち,上記の目的を達成するため,本発明の好適な態様においては,組織内の音速の不均一性を検出する手段として,生体組織内に集束超音波を照射し,ずり波を発生さ,発生したずり波の複数の位置の変位時間波形に対し,それぞれの波形から少なくとも2つの情報を得て,組織構造に起因する音速の不均一性に関する物理量を測定し,表示する構成とする。本発明によれば,超音波集束ビームによって生じたずり波の波形形状から,組織構造に起因する音速に関する不均一性を画像化することによって,測定対象内に音速の不均一な部位があるかどうかを診断することができる。また,組織構造に起因する音速に関する不均一性の他,周波数分散性,振幅が原因となる音速の不均一性を画像化し,診断することが可能となる。更に,バーストチャープ法の適用により,より高精度な不均一性の評価ができる。さらには,不均一性の度合いから正常組織と悪性組織とを識別すること診断方法への応用が期待される。以下,本発明の実施例を図面に従い説明する。図1に実施例1~4に係る装置全体構成を示す。同図において,図示しない被検体に向かって超音波ビームの送受信をする超音波探触子1,被検体内に変位を生じさせる変位生成部10,被検体内に生じた変位を検出する変位検出部20,および,変位生成部10と変位検出部20を制御するための中央制御部3から成る構成である。超音波探触子1が送受切替え部として機能する送受切替えスイッチ2を介して変位生成用送波ビーム生成部13,変位検出用送波ビーム生成部22,および,変位検出用受波ビーム演算部23に接続されている。ビーム周波数設定部14は,変位生成用送波ビーム生成部13からの超音波集束ビームの周波数を設定する。なお,図示を省略したが,中央制御部3は,直接あるいは間接的に送受切替え部として機能する送受切替えスイッチ2も制御する。まず,変位生成部10について説明する。変位生成用送波ビーム生成部13は変位生成用送波波形生成部11で作られた波形を用いて,超音波探触子1の素子毎の送波信号に遅延時間や重みを与えて,焦点位置設定部12で設定された位置に超音波ビームが集束するように,中央制御部3によって制御されている。変位生成用送波ビーム生成部13からの電気信号は超音波探触子1において超音波信号に変換され,図示しない被検体に向かって,変位生成用超音波ビームが照射される。変位生成用超音波ビームの照射開始時間と終了時間はビーム周波数設定部14で設定される。ここで,ビーム周波数とは,変位生成用超音波ビームの照射の繰り返し周波数のことを示している。次に,変位検出部20について説明する。変位生成用超音波ビームの照射後,被検体内組織の変位を検出するための変位検出用超音波ビームが照射される。変位生成用の超音波ビームと同様,変位検出用送波ビーム生成部22は変位検出用送波波形生成部21で作られた波形を用いて,超音波探触子1の素子毎の送波信号に遅延時間や重みを与えて,所望の位置に変位検出用超音波ビームが集束するように,中央制御部3によって制御されている。被検体内で反射して探触子に戻ってきたエコー信号は,超音波探触子1において電気信号に変換され,変位検出用受波ビーム演算部23に送られる。変位検出用受波ビーム演算部23の出力は検波部25において,包絡線検波やlog圧縮やバンドパスフィルタ,ゲインコントロールなどの信号処理の後,不均一性検知部26で不均一性に関する値が計算される。検波部25,および,不均一性検知部26の出力はスキャンコンバータ4において画像信号に変換され,表示部5において,硬さを示す数値や画像として表示される。なお,同図に示すブロックの一部である中央制御部3,不均一性検知部26等は,処理部として機能する中央処理部CentralProcessingUnit:CPUにおけるプログラム実行により実現することができる。本実施例では,図2に示されるように,リニアアレイ型の超音波探触子1を被検体の体表面に接触させ,体内の目的断層面に変位生成用超音波ビームを集束する場合について説明する。ここでは,所望の断層面内において,変位生成用超音波ビーム=変位生成用送波ビームの伝搬方向は体表に対して垂直な方向とした場合について説明する。図3の上段,下段に示すように,超音波のビーム生成は,各焦点と超音波探触子1の各素子100との位置の間の距離を求め,素子間での距離差を対象物の音速で割ることにより算出される遅延時間を素子毎に与えて送波を行うことにより実現する。焦点に変位生成用超音波ビームが照射されると,伝搬に伴う超音波の吸収や散乱に応じて放射圧が生じる。通常では焦点において放射圧が最大となり,焦点領域の生体組織に変位が生じる。また,変位生成用超音波ビームの照射が止められると,変位量が緩和される。図2において,模式的に示すように,この放射圧の生成によって,集束点を起点として被検体表面と水平方向にずり波が発生する。次に,図4を用いて,超音波探触子1よる超音波ビームの送受波方法について説明する。図4に,変位生成用送波ビーム,変位検出用送波ビーム,変位検出用受信ビームの照射シーケンスを示す。変位検出用送波ビーム,変位検出用受信ビームの順に照射し,ずり波の変位を検出する演算に使用する参照信号を得る。ON/OFFは例えば,電圧の振幅値で制御され,ONを1,OFFを0とする。今後,特に指示がない場合は,ONが1,OFFが0を意味する。送波ビームはONとなるときに,照射される。なお,受波ビームをONにするとは,送受波切替えスイッチ2において,変位検出用送波ビーム生成部22と超音波探触子1の接続を切り離し,変位検出用受波ビーム演算部23と超音波探触子1の接続を行い,受波信号の取得,ビーム生成のための整相加算演算を行うことである。最初に,変位検出用送波ビームと変位検出用受波ビームが順にONとなり超音波探触子1から参照信号を得る。参照信号を得た後,焦点Fに変位生成用送波ビームを照射し,ずり波を発生させる。このとき,変位生成用送波ビームの照射のPRFp繰返し送信されるパルスの周波数をビーム周波数設定部14で設定し,周波数PRFpで複数回照射する。本技術では,変位生成用送波ビームのキャリア信号の周波数ではなく,ONとOFFの周波数PRFpを制御して,不均一性を測定していることが特徴である。キャリアの周波数を高くすることで,ビームの幅が狭く,高い空間分解能で撮像ができる。図4では,例として変位生成用送波ビームの照射回数を3回としているが回数はこれに限らない。照射回数が多い方が,PRFpの帯域幅が狭くなり,変位生成用送波ビームの周波数に対する分解能が向上する。その一方,照射回数が1回であることも多く,以下の図5や6は照射回数1回の場合を例にして変位の時間変化を示している。これは以下の理由による。通常の送波条件では,方位方向のビーム幅は1mm程度であり,ずり波の音速が1msの場合,PRFpは1kHzの場合,ずり波を生成するための放射圧が生成する幅方位方向のビーム幅と波長が等しくなる。つまり変位を大きくするためには,PRFpは1kHz以下であることが望ましい。しかしPRFpを1kHz以下すなわち1msより長くすると,温度上昇のリスクが増大する。放射圧は圧力の二乗に比例し,温度上昇は圧力の二乗と照射時間の積に比例するので,放射圧と温度上昇の比は照射時間に反比例する。よって過度に長い照射時間は安全性と大きな変位量を得ることを両立するのに適していない。これらのことを考慮すると照射回数は1回であることが望ましい。変位生成用ビームの照射後,ずり波の変位を検出するため,変位検出用送波ビームと変位検出用受波ビームが順にONとなる。図1の検波部25において,バンドパスフィルタ等などの通常の信号処理演算が行われ,変位検出用送受波ビームによって得られた信号から,PRFpに相当する信号が抽出される。バンドパスフィルタ等による処理は省略することも可能である。ずり波の変位は,先に得た参照信号と,変位生成用送波ビームの照射後に変位検出用送受波ビームによって得られた信号とを用いて算出される。変位の算出には,周知技術である相関演算,位相差検波などが用いられ,変位検出の演算は不均一性検知部26で行われる。変位検出用送受波ビームを繰り返し周波数PRFdで繰り返しONとし,ずり波変位数μm~数十μmの時間波形を検出する。PRFdは,予想されるずり波の周波数に対してナイキスト定理を満たすように設定する。例えば,変位を検出するラスタがずり波の変位の方向と同じ場合は,PRFdをずり波の周波数の2倍以上とする。PRFdは変位検出用送波波形生成部21で設定する。図5A~図6に変位検出位置におけるずり波変位=ずり波の振幅値の時間変化を示す。変位検出位置は,例えば図5Aのように,ずり波の伝搬方向に沿っており,かつ,等間隔に並ぶ複数位置x1,x2,x3とする。ここで,焦点の位置をx=0とし,x1<x2<x3とする。まず,図5A,図5Bを用いてずり波の伝搬経路上の組織が組織構造に起因する音速が均一な構造を有する場合について説明するTabaru他,ProceedingsofSymposiumonUltrasonicElectronics,Vol30,2009,pp.525-526参照。ここで音速とは,ずり波の伝搬速度を意味する。焦点Fで発生したずり波は,伝搬しながら位置x1,x2,x3の順に到達するため,各位置xで観測される変位の時間波形がピークとなる時間t1,t2,t3はt1<t2<t3となる。図5Bに示すように,ずり波の音速=伝搬速度cは位置xnを縦軸,ピークとなる時間tnを横軸としたときの傾きから,後で詳述する不均一性検知部26で推定する。ただし,nは正の整数であり,図5A,図5Bでは,n=1,2,3である。そして推定したずり波の伝搬速度を用いて,ヤング率やずり波弾性率等の弾性率が計算される。例えば,ずり波の音速c,組織密度ρからずり弾性率=ρc2,またはずりポアソン比を0.5と仮定し,ヤング率=E:3ρc2等の弾性率が計算可能である。次に,図6を用いて,ずり波の伝搬経路上で2つの異なる音速を有する組織が混在している場合について説明する。この場合,0<x<x1の間にずり波の音速c1,c2c1>c2の組織が混在しているとする。このとき,焦点Fから発生したずり波が変位検出位置x1に到達するまでの時刻t1_1は,音速c1を有する組織を通過した時刻が音速c2を有する組織を通過した時刻t1_2よりも早くなる。従って,位置x1でのずり波変位の時間波形には2つのピーク値が現れる。位置x2,x3についても同様に時間波形は2つのピーク値を有する。ここでは,検出位置の数は3つとしているが,検出位置の数はこれに限らない。位置xの間隔Δxは,ずり波の波長λに対して十分小さい間隔例えば,1/10λとする。ただし,波長はc/PRFpで計算される。望ましくは,波長を計算するときに用いるずり波の音速cは不均一性を測定する対象部位において想定される最小の速度,もしくは,必要とするずり波速度分解能で決まるずり波速度の差Δc=c1-c2のうち,小さい方の値を用いる。図6に示すように,組織構造に起因する音速に関して均一な組織の場合に比べ,組織構造に起因する音速が不均一な組織ではずり波変位の時間波形は複数のずり波変位の波形が時間方向にシフトして足し合された波形となるため,波形の幅が広くなる。したがって,図6の位置x1における幅d2は,図5Aの位置x1における幅d1よりも大きい値となる。これらd1とd2は例えば,半値幅や―6dB幅と定義される。本実施例においては,図1の不均一性検知部26において,複数のずり波変位の時間波形から少なくとも2つの情報を得て,構造に起因する音速の不均一性の評価を行う。不均一性の評価方法としては,例えば,上述したずり波変位の時間波形の幅の広がり度合いを計算する。この時間波形の幅は,例えば,ずり波変位の時間波形から2つの情報量として,積分値と最大振幅値を求め,積分値を最大値で割った値と定義する。半値幅より,複数のずり波変位の時間波形から少なくとも2つの情報,すなわち,積分値と最大振幅値を求め,この積分値を最大振幅値で割った値を時間波形の幅として用いた方が良いのは以下の理由による。半値幅は最大振幅の半分の値をとる2点を波形の中で探し,その2つの点と点の距離今回の場合は横軸が時間となるので,2つの時刻間の時間差を幅とする計算方法である。このため,図6に示すような二つのピークをもつような波形の場合,2つのピークの間の凹みが,最大振幅の半分を下回った場合,最大振幅の半分の値をとる点が4つ以上出現してしまうことになる。もし二つのピークがほぼ等しい場合は,4つ以上の半値を取る点が得られても,その中で時刻が最も早いものと遅いものの差を取れば半値幅を得ることは出来るが,実際には二つのピークの振幅が必ずしも等しいとは限らないので,伝搬に伴い半値幅がずり波の速度が速い成分もしくは遅い成分片側だけの半値幅になったり,両方を含んだピークの半値幅になったりするので,定量的に求めた半値幅が,定性的に同じ現象を追跡している訳では無くなってしまう可能性がある。また,図6の波形の例ではノイズが入っていないが,ノイズが入っている状態で最大振幅を探すと,ノイズの大きさによって,最大振幅の値の見積もりに誤差が含まれ,半値の推定にも誤差が含まれる。この結果,信号対雑音比が悪い場合には半値幅でビーム幅を推定するのは必ずしも好ましく無い。ここまでは半値幅を例に説明したが,最大変位に対して,一定の変位を取る場所を時間波形上で探す操作,例えば20dB幅や40dB幅などで時関波形の幅を推定しても原理的には上記の二つの課題を克服出来ない。そこで,本実施例では積分値を最大振幅で割った値を時間波形の幅を示す指標として用いる。まず積分値であれば,時間波形が複数のピークに分裂してもその影響が少ない。また積分操作は高周波成分を抑制するローパスフィルタと同じ機能をするので,ノイズの影響を受けにくい。図6の不均一は生体中の場所によって音速が異なる効果と,後の実施例で説明されるずり波音速の周波数分散の効果が混ざってしまう場合がある。照射回数を1回で,かつなるべく単一の周波数成分をもったずり波を作るには,変位生成用送波ビームの振幅をハニング波形などのように立上がりと立下りが滑らかな形状となるようにした方が望ましい。図4の例では矩形波の例であるが,矩形波はPRFp以外にも3PRFpや5PRFpなどPRFpの奇数倍の成分も多く含んでしまう。これらの成分を抑制するには,ハニング波形を用いる方法が有効であることは周知のとおりである。次に,図7のフローチャートを用いて,本実施例の不均一性検知部26において,構造に起因する音速の不均一性を測定評価する処理フローについて説明する。上述したように,不均一性検知部26の処理フローは,CPUのプログラム処理によって実現可能である。まず,ステップS00で診断を開始する。次に,ステップS02において,断層像を表示する。表示する断層像は,例えばBモード像,または,歪み量などの硬さに関する画像とする。ステップS04では,不均一性を測定する範囲ROI:RegionofInterestを設定する。測定するROIにおいて,ずり波伝搬方向の幅この場合,方位方向の幅は,ずり波の有効伝搬距離から決定される。また,測定するROIのずり波伝搬方向に垂直な幅この場合,深さ方向の幅は,変位生成用送波ビームの伝搬する方向,例えば図2では体内の深さ方向の音源の幅から決定される。ずり波は減衰しながら伝搬するため,ある伝搬距離を超えると超音波診断装置の変位検出限界値を超える。変位検出限界となる距離を有効伝搬距離と呼ぶ。ただし,変位検出限界値は,超音波診断装置のダイナミックレンジや変位検出用超音波ビームの周波数などのパラメータで決まる。ずり波の有効伝搬距離は,変位生成用送波ビームの音響インテンシティ,変位生成用送波ビームのF値=焦点距離/開口径,変位生成用送波ビームの周波数,変位生成用送波ビームが伝搬する方向の音源の幅,変位生成用送波ビームの照射時間,ずり波の最大変位量などのパラメータから決定することができる。例えば,図8には,周波数2MHz,照射時間1ms,瞬時的な音響インテンシティ1kW/cm2の場合の,有効伝搬距離,最大変位量,F値,および,音源の幅との関係を示している。これらのパラメータは測定対象となる組織毎に実験的または計算的に予め決定されており,図示しない記憶媒体等に記憶されている。測定する部位や変位生成用送波ビームの照射パラメータ等によって,中央制御部3が記憶媒体から最適なROIの大きさを決定する。もしくは,ROIのずり波伝搬方向は実験的または計算的に予め決定される値,例えば30λλはずり波の波長より小さい値とする。ROIの位置は,術者がステップS02のステップで表示部5に表示した断層像を見て,図示しないキーボード,トラックボール,マウス等の入力デバイスを介して術者が決定してもよいし,または,中央制御部3が図示しない記憶装置メモリ等から,肝臓,乳腺などの測定部位に応じた位置を読み出し,決定してもよい。術者が手動で設定する場合では,血管などを避けてROIを設定することが可能である。次に,ステップS06において,ずり波の変位が測定され,続いて,ステップS08で構造に起因する音速の不均一性が計算される。ステップS10で,測定された不均一性を示す値,例えば,上述した時間波形の幅が断層像と共に表示部5の画面に表示される。断層像は,ステップS02で表示した断層像と同じ,もしくは,不均一性評価の直前または直後の時刻に撮像した断層像とする。図9に,不均一性,すなわち時間波形の幅の表示部5による表示例を示した。不均一性の値=時間波形の幅を表示する位置は,例えば,ROIの近く,もしくは,図9の上段に示すように表示部5の画面上の断層像の横とする。時間波形の幅は例えばROI内の各位置xnで計算された時間波形の幅の平均値として表示される。このとき,標準偏差等を時間波形の幅の平均値と共に表示し,術者が測定精度を確認する指標としてもよい。別の表示方法では,時間波形の幅はROI内にカラーで表示される。その際,図9の中段に示すように時間波形の幅に対応するカラーバーが同じ画面内に表示され,術者は測定部位の不均一度合を視覚的に判断することができる。カラーバーは,予め測定部位に応じたスケーリング値が,図示しない記憶装置等から中央制御部3を介して読みだされ,スケーリングされる。また,各位置xnにおける時間波形の幅Dに対し,ずり波の伝搬xに関する空間微分,すなわちdD/dxを計算し,空間的な時間波形の幅の情報をROI内にマッピングすることも可能である。そのときの画面には,例えば図9下段に示すように,ROI内に時間波形の幅の空間微分を表すカラーマップと,時間波形の幅の空間微分に対応するカラーバーが表示される。空間微分値を表示することによって,より空間分解能の高い不均一性を診断することが可能になる。図7のステップS12で,終了する信号が図示しない入力デバイスを介して入力されると,ステップS14で不均一性の測定が終了する。また,ステップS04で設定したROI内で再度測定したい場合や,別の位置にROIを設定して測定したい場合には,ステップS04やステップS06に戻り,引き続き不均一性が評価される。2つ以上の複数の位置を測定した場合には,カラーバーのスケーリングを測定された複数の不均一性の値に応じて,変更してもよい。同じROIで測定した場合,ステップS10において,例えば図9上段に表示される時間波形の幅は測定毎の結果,および各測定の平均値などとする。また,複数の位置にROIを設定した場合では,図9上段において,ROI1,ROI2のように番号をつけ,断層像内にROIの位置情報と,得られた時間波形の幅の結果を対応できるようにしてもよい。図9中段や図9下段に示す例では,断層像内に複数のROIと時間波形の幅の結果が表示される。複数回測定を行う際に,プローブの動きや被検体の体動のため,前後する不均一性測定時で,撮像される部位がずれ,それに伴いROIの位置情報も空間的にずれる可能性がある。複数回測定する場合には,ROIの位置情報は例えばMotionCorrection体動補正法H.Yoshikawa,et.al.,JapaneseJournalofAppliedPhysics,Vol.45,No.5B,p.4754,2006参照を用いることによって,ROIの位置情報を随時補正することも可能である。以上説明した時間波形の幅などの不均一性の測定方法において,変位生成用超音波ビームの伝搬方向は体表に対して垂直な方向の他,斜め方向としてもよい。ただし,変位検出用送波ビーム生成部22では,変位検出用受波ビーム演算部23に入力される受波ビームに対して,受波ビームの方向とずり波の進む方向が平行とならないように,また,なるべく両者が直交するように制御する。ずり波の伝搬方向が変位方向,すなわち,変位生成用送波ビームの方向に対して直交する方向であるので,受波ビームの伝搬方向とずり波の伝搬方向が平行であると,変位に対する検出感度を失ってしまうからである。そのため,変位生成用超音波ビームの伝搬方向は,望ましくは体表面に対して垂直となるように設定する。図7のステップS04において,ROIのサイズを,有効伝搬距離や音源の幅で決定されるサイズに設定するのではなく,術者が図示しない入力デバイスを介して所望の大きさに設定するようにしてもよい。このとき,もし,所望の大きさが最適なROIのサイズよりも大きい場合には,最適なROIの位置をずらしながら,各位置でS06とS08を施行するようにしてもよい。不均一性検知部26において,複数のずり波変位の時間波形から不均一性の評価を行うための,第2の実施例について,図10A,図10Bを用いて説明する。図10Aに示すように,1つの方法では,ずり波変位の時間波形101を周知である任意の関数,例えば,多項式関数,指数関数,ガウシアン関数などを用いてフィッティングした後,ローパスフィルタ等を用いてノイズ除去する。その後,フィッティングした波形102のピーク値dpから―6dB小さい値を閾値とする半値幅Wを計算する。フィッティングする前にノイズ除去処理をしてもよいし,ノイズ除去処理を省くことも可能である。フィッティング後,または,ノイズ除去後に実施例1で記した時間波形の幅を計算してもよい。半値幅Wの他,フィッティング後の変位波形がピークとなる時間tp,変位のピーク値dp,変位波形の中心位置時間をパラメータとする関数から不均一性に関する値を算出してもよい。本例においては不均一性の評価ために,ずり波変位の時間波形から得られる2つの情報としては,例えば,ピーク値と半値幅Wが用いられる。また,別の方法としては,図10Bに示すように,下記の数式1をずり波変位の時間波形103にフィッティングさせる。y=A1exp‐t-Ta^2/alpha1A2exp‐t-Tb^2/alpha21このとき,評価値は,数式1の式中のパラメータであるA1,A2,Ta,Tb,alpha1,alpha2とするか,もしくは2つ以上のパラメータを用いた演算の結果とする。例えば,ずり波変位の時間波形103から得られる2つの情報としてTa-Tbや,Ta-Tb/A1A2/2を不均一性の評価値とする。数式1でフィッティングした後に,周知である任意の関数多項式関数,指数関数,ガウシアン関数などを用いてさらにフィッティングし,半値幅Wを計算してもよい。各位置xnに対し,数式1を用いて対応する時間TanとTbnを計算し,xnとTanとの関係からずり波の音速c1,また,xnとTbnとの関係からずり波の音速c2を推定することも可能である。ずり波速度の推定は,例えば図5Bを用いて説明した方法が使用できる。このように,数式1を用いて組織構造に起因する音速の不均一があった場合に,数式1などを用いてフィッティングし,2つのピーク値の時間を計算できれば,どれくらい速度の異なる媒質が存在するのか,定量化することができる。不均一性の表示方法として,2つのずり波の音速c1,c2を表示したり,c1とc2の差を表示したりすることもできる。ROI内に3つ以上の異なる音速を持つ場所がある場合には,ずり波の時間波形のピーク値も3つ以上となる。数式1の関数は,ピークの数に応じて設定する。また,別の不均一性の評価方法として,不均一性を表す値はずり波変位の時間波形のピークの個数としてもよい。図6の例では個数は2個である。ピークの個数は,フィッティング後,またはノイズ除去後の波形から算出される。第3の実施例として,周波数分散に起因する音速の不均一性の評価を行う方法を図11,図12を用いて説明する。音速の不均一性の要因となるものとして,組織構造,周波数分散性,振幅,粒子速度などがある。実施例1では,組織構造に起因する音速の不均一性の評価方法について説明した。周波数分散性に起因する音速の不均一性がある場合,変位生成用送波ビームの照射の繰り返し周波数PRFpが帯域幅を持っている場合に,ずり波速度が変化する。本実施例では,この周波数分散性に起因する音速の不均一性に着目する。図11に,組織構造に起因する音速の不均一性が存在しない場合に,周波数分散性に起因する音速の不均一性の測定評価を行う実施例3の処理フローを示す。ステップS00,S02,S04,S06に関しては,図7に示した実施例1の処理フローと同様なので説明を省く。ここでは,説明を簡単にするため,1つのROI内でのみ不均一性を測定する場合に限定するが,実施例1と同様にROIを動かして不均一性の測定を行ってもよい。ステップS20において,ROI内において組織構造に起因する音速の不均一性が存在するか否かを判断する。判断する方法としては,例えば,ROI内の時間波形の幅や時間波形の幅の空間微分dD/dxに関する標準偏差,最大値と最小値との差,平均値と,予め測定対象部位毎に決められている閾値とを比較する。判断は,不均一性検知部26を実現するプログラム処理にて行うことができる。閾値は測定部位毎に図示しないメモリに記憶されており,中央制御部3から読みだすようにしてもよいし,図示しない入力デバイス等を介して術者が入力するようにしてもよい。もし,組織構造に起因する音速の不均一性が存在すると判断された場合には,ステップS22において,実施例1と同様の方法で速度に関する不均一性が表示部5に表示される。もし,組織構造に起因する音速の不均一性が存在しないと判断された場合には,周波数分散性に起因する音速の不均一性を測定するため,ステップS24においてPRFpmm=1,2,3が設定される。周波数分散性に起因する音速の不均一性を測定するには,少なくとも2種類以上のPRFpで変位生成用送波ビームを照射し,ずり波の変位を測定する必要がある。従って,S24で設定するPRFpをS06のずり波の変位測定で使用したPRFpと異なる値と設定すれば,nは1以上の任意の整数となる。また,S24で設定するPRFpがS06のずり波の変位測定で使用したPRFpを含む場合には,nは2以上の任意の整数である。周波数分散性に起因する音速の不均一性が存在する場合,例えば,2種類のPRFpで変位生成用送波ビームを送波し,ずり波検出位置xnにおいてずり波の変位測定を行うと,図12のような時間波形が得られる。図12のずり波変位の時間波形のようにPRFp1とPRFp2で送波した場合を比較すると,ずり波変位がピークとなる時間が変化する。これは,PRFpが変わると,同一媒体内を伝搬するずり波速度が変化するためである。従って,波形1と波形2を足し合わせた波形には,複数の時間でピーク値が現れる。図11のステップS28で行われる周波数分散性に起因する音速の不均一性の評価において,構造に起因する音速の不均一性の評価方法と同様の方法が適用される。不均一の評価結果はS22で画像化される。画像化の方法は,例えば,実施例1と同様の方法ステップS10が適用される。周波数分散性に起因する音速の不均一性を測定する際,ビーム周波数設定部14により設定されるPRFpmは,好ましくは40Hz~数kHzとする。また,PRFpmの間隔ΔPRFpm=PRFpm1―PRFpmは,等間隔または任意の関数に従って設定する。好ましくは,間隔は数100Hzとする。周波数分散性に起因する音速の不均一性の評価は,構造に起因する音速の不均一性の評価をしないで試行することも可能である。この場合,図11のステップS06,S20を省くことができる。ここでは,周波数分散性に起因する音速の不均一性をずり波の変位量振幅に起因する音速の不均一性評価に適応することも可能である。変位生成用送波ビームの超音波強度と生成されるずり波の変位量振幅との関係に非線形性があるため,ずり波の変位量振幅が音速の不均一性を生じる原因となりうる。PRFpmを変化させる代わりに,変位生成用送波ビームの超音波強度を変化させたときの変位生成用送波ビームの超音波強度を変化させることによって,振幅に起因する音速の不均一性を評価することが可能となる。本実施例では,組織構造に起因する音速の不均一性の評価後に,周波数分散性に起因する音速の不均一性を評価したが,逆に周波数分散性に起因する音速の不均一性を評価した後に組織構造に起因する音速の不均一性を評価するようにしてもよい。さらには,周波数分散性,組織構造,振幅のうち必要な項目において,任意の測定順序で不均一性の評価を行ってもよい。また,周波数分散性に起因する音速の不均一性を評価するための変位生成用送波ビームを照射する際,2種類以上の変位生成用送波ビームの照射の繰り返し周波数PRFpで照射する代わりに,広帯域な周波数特性を持つ,すなわち,複数のPRFpを含むパルス波的な変位生成用送波ビームを1回のみ照射し,不均一性に関するパラメータ時間波形の幅,ずり波速度などを算出するようにしてもよい。パルス波的な変位生成用送波ビームは,例えばコーデックされた変位生成用送波ビームを用いることができる。これにより,変位生成用送波ビームの照射回数,および,ずり波の検出回数が1回で良いため,診断時間を短縮することができる。特に,実施例1で述べたように,変位生成用送波ビームの振幅の立上がりと立下りの形状を制御することで,ハニング波形のようにPRFpが主体とな場合と,矩形波のようにPRFp以外にも3PRFpや5PRFpなどPRFpの奇数倍の成分も含む場合で比較することで,組織構造に起因する音速の不均一性の評価と,周波数分散性に起因する音速の不均一性の評価を独立して行うことが出来るようになる。上述の実施例3のステップS28における周波数分散性に起因する音速の不均一評価方法の別の方法を実施例4として説明する。PRFpmに対して,検出位置x得られたずり波の変位の時間波形からずり波の音速cmが推定される。図13に,ずり波の音速cmと,変位生成用送波ビームの照射の繰り返し周波数PRFpmとの関係を示すグラフ104を示している。周波数分散性に起因する音速の不均一性は,例えば,ずり波の音速の差dc=cm-c1もしくはcm-cm-1として計算される。または,dcにずり波の変位波形の中心位置時間を掛け算した値とする。または,dcにずり波の変位波形がピークとなる時間tpを掛け算した値とする。中心位置時間や変位波形がピークとなる時間tpは,ずり波の変位波形,ずり波の変位波形をフィッティングした波形,ずり波の変位波形をフィッティングした後,ノイズ除去した波形から算出される。本実施例における音速の不均一性の検出は,上述の実施例同様,図1の不均一性検知部26におけるプログラム処理にて実現できることは言うまでもない。本実施例では,周波数分散性に起因する音速の不均一性の測定と同時に,ずり波速度の周波数,すなわち,変位生成用送波ビームの照射の繰り返し周波数依存性と,周波数に対する平均的なずり波速度を同時に測定することが可能となる。続いて,第5の実施例として,バーストチャープ法を用いて,構造に起因する音速の不均一性を検出する超音波診断装置について説明する。図14に本実施例を実施するためのシステム構成図を示す。実施例1~4までのシステム構成と異なる構成部は,変位生成部10にビーム時間設定部15が,変位検出部20に硬さスペクトル計算部28が追加されたことである。ビーム時間設定部15は,変位生成用送波ビーム生成部13が生成する変位生成用送波ビームの照射時間を設定する。変位検出部20において,変位検出用受波ビーム演算部23の出力は検波部25において,包絡線検波やlog圧縮やバンドパスフィルタ,ゲインコントロールなどの信号処理の後,硬さスペクトル計算部28でずり波変位のスペクトル情報が計算される。硬さスペクトル計算部28で計算されたずり波変位のスペクトル情報は,不均一性検知部26へ入力され,不均一性検知部26で不均一性に関する値が計算される。次に,図15を用いて,バーストチャープ法による変位生成用送波ビームの送波方法について説明する。図15に示す,被検体組織の焦点F1と焦点F2にて,交互に変位を生じさせるように2つの変位生成用送波ビームを制御する。各焦点への変位生成用送波ビームの放射のON/OFFは中央制御部3において制御され,ON/OFFの切替え時間はビーム時間設定部16にて設定される。図16に変位生成用送波ビーム生成部13による変位生成用送波ビーム,および,変位検出用送波ビーム生成部22と変位検出用受波ビーム演算部23による変位検出用送受波ビームのシーケンスを示す。ここでは,Tmの値を大きい値から小さい値へスイープさせる手法を,バーストチャープ法と呼ぶ。すなわち切替え周期TmとTm1との間隔ΔTm=Tm1-Tmが負の定数のときの変位生成送波ビームのシーケンスを示している。ここで,初めの変位生成用送波ビームが照射される時刻をt=0とする。まず,焦点F2への変位生成用送波ビームがOFF=0の状態で,焦点F1への変位生成用送波ビームをON=1にして,焦点F1で変位が生じ,ずり波が伝搬する。焦点F1への変位生成用送波ビームは0≦t≦T1において,常にONの状態である。次に,時刻t=T1のとき,焦点F1の変位生成用送波ビームがOFFとなる。このとき,焦点F2の変位生成用送波ビームがONとなり,焦点F2において変位が生じ,ずり波が伝搬する。焦点F1への変位生成用送波ビームがOFF,かつ,焦点F2への変位生成用送波ビームはT1≦t≦T1T1において,ONとなっている。上記のシーケンスにおいて,2つの変位生成用送波ビームの切替え周期はT1である。バーストチャープ法による変位生成用送波ビームの照射が終了すると,次に,変位検出用の送波ビーム,受波ビームの順にONとなる。続いて,変位生成用送波ビームのON/OFFの切替え周期Tmを変更して,変位生成用送波ビームの照射と変位検出を行う。ここで,mは焦点F1と焦点F2がm回目にONとなる周期を表しており,m=1,2,3,である。各焦点へのバースト信号の音響インテンシティの大きさは同じでもよいし,異なっていてもよい。変位生成用送波ビームの照射に伴い,焦点F1と焦点F2で発生したずり波は伝搬しながらお互いに干渉し合い,打消しあったり,増幅しあったりする。一方,各焦点では変位と同時に熱が発生する。図15において,2焦点間の距離をdとする。dの値が小さくなる,すなわち,焦点F1と焦点F2との距離が近くなるにつれて,干渉する度合いは大きくなる。しかし,焦点の距離が近くなると,熱伝導によって焦点間の温度上昇Eが焦点での温度よりも大きくなり,安全性が低下する。逆に,dを大きくすると,温度上昇は抑えられ,安全性は向上するが,干渉の度合いが小さくなってしまう。したがって,dの最適値は温度上昇の最大値が各焦点での温度上昇の最大値と同等であり,かつ,波の干渉が起きる値である。したがって,最適値dは焦点の深さ,変位生成用送波ビームの照射時間,周波数,診断部位などに依存する。診断部位は,生体の音速,超音波吸収,熱伝導率などに影響を与える。例えば,肝臓の場合dの範囲は10λ<d<30λとし,乳腺の場合は5λ<d<30λとする。中央制御部3により,この値dは図示しないメモリから読み取られて,焦点位置設定部12に設定される。さらに,設定したdの値と予測されるずり波速度の値から,切替え周期に関する値が決定される。先に述べたとおり,本実施例では切替え周期を変化させながら,2つの焦点で生じたずり波が干渉して振幅が大きくなるときの切替え周期を求め,構造に起因する音速の不均一性の検出を行う。干渉波が増幅する条件について説明する。まず,構造に起因する音速の不均一性がない場合について説明する。切替え周期Tmの逆数を切替え周波数繰り返し周波数fmと表わし,fm=1/Tmとする。ここで,干渉波が増幅して変位量の絶対値がピーク値極大値となる条件は,2焦点の距離dが波長λのn1/2倍となった場合であり,数式2で表わすことができ,図示すると図17Aの波形105Aに示す通りである。このときの切替え周波数fmを,fMnで表わす。kd=2πfMn/cd2πn1/22ただし,kは波数=2π/λ,cはずり波の速度,nは0もしくは正の整数n=0,1,2,である。ピーク値となる切替え周期Tmの値をTMnとすると,TMn=1/fMnであるので,数式2から数式3のように導出される。TMnd/c2/2n13例えば,n=1,d=2[mm]であるとき,c=1[m/s]ではTM1=1.3[ms]fM1=750[Hz],c1.2[m/s]では,TM11.1[ms]fM1=900[Hz]となる。TMnの値,2焦点間の距離dから,ずり波速度cを算出することができる。変位生成用送波ビームのON/OFF切替え周期であるTmは,数Hz~数kHzの範囲で制御するのが望ましい。また,本技術では,変位生成用送波ビームのキャリア信号の周期ではなく,ONとOFFの時間制御により不均一性を検出していることが特徴である。したがって,キャリアの周波数を高くすることで,ビームの幅が狭く,高い空間分解能で撮像ができる。次に,構造に起因する音速の不均一性がある場合について説明する。例えば,2つの異なる音速を持つ媒質をずり波が通過した場合について説明する。図17Bに示すように,ずり波変位の絶対値とfmとの関係を示すグラフにおいて,fMn_c1のときにずり波の音速c1に対応するピークが現れ,また,fMn_c2のときにずり波の音速c2に対応するピークが存在することになる。c2>c1において,fMn1_c1>fMn1_c2であるとき,不均一性を検出することが可能である。不均一性検知部26では,実施例1~4における時間波形の幅に相当する不均一性のパラメータとして,例えば,スペクトル分布の幅を計算する。スペクトル分布の幅の計算は,変位量の絶対値をfm方向に積分した値/変位量の絶対値のピーク値のように計算する。異なる音速の数が2つ以上の場合にも,上記の方法を適用可能である。図14の硬さスペクトル計算部28では,検波部25からの出力信号に対してスペクトル解析をして,スペクトル情報を不均一性検知部26へ出力する。変位検出点の設定は図19の波形106の観測点Aのような場所に設定し,極力,観測点Bのように変位が極小となる場所を取らないように工夫する必要がある。これは変位生成用送波ビームの照射のONが一度だけのような過渡的な現象を観察する場合には,この考慮はそれほど重要では無い。しかし2焦点を音源とするずり波の干渉を用いる場合,変位量の絶対値=振幅値の極大点と極小点が交互に分布するので,変位をモニタリングするラスタは変位量の絶対値の極大点となると推定される場所を選ぶか,もしくは複数点モニタリング点を設定し,極大点が観測点に含まれるような工夫をする。複数点モニタリングする場合には,極大点での変位と極小点における変位の絶対値の差分値を変位量としてもよい。図18に本実施例のバーストチャープ法による構造に起因する音速の不均一性診断のフローチャートを示す。ステップS00~S04,S12,S14は実施例1における不均一性測定時のフローチャートと同じであるので説明を省略する。S30では,2焦点F1とF2の位置,2焦点への変位生成用送波ビーム照射の切替え周期の初期値Tstart,最終値Tend,および間隔ΔTを設定する。2焦点の位置は,例えば,2焦点の中心点ここでは各組の2焦点間を結ぶ直線の中心点とするをPOIPointofInterestとして設定し,また,2焦点間の距離を設定する。POIは操作者によって,ステップS02で表示された画像を見ながら,図示しないキーボード,マウス,タッチパネル等の入力装置を用いて設定することも可能であるし,また,撮像した画像の輝度値や組織の形状などに基づいて計算される推定値を自動で焦点位置設定部12に設定するようにしてもよい。操作者が手動で設定する場合では,血管などを避けて焦点を設定することが可能である。ここで,2焦点間の距離は,先述したとおり,2つのずり波が干渉し合う距離よりも小さく,また,各焦点に照射される変位生成用送波ビームの幅よりも大きい値とする。操作者が焦点位置を決定する場合には,先に記述した距離dの最適値,もしくは最適な距離dの最大値と最小値が画面に表示されて,これに基づいて位置を決定する。距離が設定されると,予想されるずり波の速度から,数式3のnの値や最適な観測点が決定する。ここで,観測点は,ずり波の伝搬距離内において,ずり波の変位の絶対値の極大点,または極大点を含む複数位置に基づいて決まる。観測点の設定は,自動で設定されるか,または,操作者により入力装置で設定される。また,観測点上でのずり波伝搬の振幅数μm~数十μmの検波に用いるラスタとラスタ上のサンプリング点が決定される。各ラスタにおいて,変位検出用ビームの受信のPRF繰返し送信されるパルスの周波数は,予想されるずり波の周波数に対してナイキスト定理を満たすように設定する。例えば,ラスタがずり波の変位の方向と同じ場合は,PRFをずり波の周波数の2倍以上とする。決定したnや観測位置を画面に表示するようにしてもよい。初期値Tstart,最終値Tendは,測定部位や2つの焦点間の距離dに対して数式3を満たす範囲でピークが得られる値を設定する。この設定値は,測定部位,深度,焦点間の距離などに応じて,自動で設定されるようにしてもよいし,操作者が入力装置を用いて設定するようにしてもよい。次に,ステップS32において,ずり波の変位検出の際に行う相関演算に使用する参照信号を取得た後,T1=Tstartの切替え周期でバーストチャープ信号を送信し,2焦点でずり波を発生させる。ステップS06では,ずり波を観測するための変位検出用ビームの送受信を行う。各測定点での変位検出は,バーストチャープ信号がOFFとなってから,すべての観測点においてずり波が到来して通り抜けるまでの間,常に検出してもよいし,また,ずり波が到来して通り抜けるまでの時間を,予め焦点と観測点との距離と推定されるずり波速度から求めておき,その時間だけ検出するようにしてもよい。後者の方が,PRFを高くすることができるので,高精度な変位検出が可能である。受波信号にたいして,検波部25において,バンドパスフィルタなどの信号処理でfmに相当する信号を抽出したあと,周知されている相関演算等を行いずり波の変位を計算する。相関演算は,参照信号と変位検出用ビームにより受信した時間毎のエコー信号を用いて計算する。この計算により,各観測点におけるずり波振幅の時間波形が得られる。ステップS34では,直前の切替え周期TmがTendかどうかを判定する。Tendではなければ,ステップS32に戻って,次のTm1の切替え周期でバーストチャープ信号を送信する。ステップS32において,再び参照信号を取得する場合,測定中の焦点位置のずれによる相関演算のロバスト性が大きい。また,Tm1の切替え周期以降のバーストチャープ信号の送信については,参照信号の取得を省き,1番始めに取得した参照信号を用いて相関演算を行うようにすれば,測定時間を短縮することができる。Tendの場合は,図18のステップS08において,不均一性の評価が行われる。硬さスペクトル計算部28から出力されるスペクトル情報は,ステップS06でずり波の変位測定を行う度に不均一性検知部26へ出力されるようにしてもよいし,ステップS34においてTendと判定された後に,全てのTmで変位測定を行った後にまとめて不均一性検知部26へ出力されるようにしてもよい。前述したとおり,不均一性の評価値は,不均一性検知部26において計算されたスペクトル分布の幅である。図18のステップS10において,測定された不均一性を示す値,例えば,スペクトル分布の幅が断層像と共に表示部5の画面に表示される。図20に示すように,計算結果は,断層像107と同じ画面に数値として表示する。また,2焦点の位置F1とF2,距離dを,断層像107に重畳して表示したり,変位生成用送波ビーム照射の切替え周期の初期値Tstart,最終値Tend,および間隔ΔTと合わせて画面内に表示させたりしてもよい。これにより,操作者は,表示される画像やグラフを見て,2焦点の位置,距離d,替え周期の初期値Tstart,最終値Tend,および間隔ΔTなどの測定パラメータを変えて,再測定することができる。図示は省略するが,実施例1の図9の中段に示すように,別の表示方法では,スペクトル分布の幅はROI内にカラーで表示される。その際,スペクトル分布の幅に対応するカラーバーが同じ画面内に表示され,術者は測定部位の不均一度合を視覚的に判断することができる。カラーバーは,予め測定部位に応じたスケーリング値が,図示しない記憶装置等から中央制御部3を介して読みだされ,スケーリングされる。また,各位置xnにおけるスペクトル分布の幅D_Sに対し,ずり波の伝搬xに関する空間微分,すなわちdD_S/dxを計算し,空間的なスペクトル分布の幅の情報をROI内にマッピングすることも可能である。そのときの画面には,ROI内にスペクトル分布の幅の空間微分を表すカラーマップと,スペクトル分布の幅の空間微分に対応するカラーバーが表示される。空間微分値を表示することによって,より空間分解能の高い不均一性を診断することが可能になる。以降,バーストチャープ法による構造に起因する音速の不均一性の検出方法のバリエーションについて述べる。2焦点への変位生成用送波ビームのON/OFFが交互になるように制御したが,同時にON/OFFとなるように制御して同時刻に変位を生じさせることも可能である。この場合は,干渉波が増幅してピーク値を持つ条件はdが波長λのn1倍のときであるので,数式2に対応して,数式4のようになる。kdd2πn14高精度な音速の不均一性の測定方法として,1回目に,切替え周期の間隔ΔTを粗く設定して測定し,TMを求め,次の測定で,TMの付近の切替え周期でΔTをより細かい設定にしてより詳細なTMの値を求めるようにしてもよい。このように替え周期の間隔ΔTの値を細かくしていくことによって,より厳密な速度の違いを検知することができ,高精度な音速の不均一性の評価ができる。また,各切替え周期Tmについて1回のON/OFF制御で次の切替え周期Tm1へ変更するのではなく,同じTmに対して数回ON/OFFを繰り返した後に次の切替え周期に設定するようにしてもよい。同じTmに対して数回ON/OFFを繰り返すことにより,より感度の高い測定が可能となる。Tmの値を大から小に変化させたが,逆に小から大に変化させることも可能であるし,ΔTmは固定値以外にも,等比級数など,ある関数に基づいて変更することも可能である。さらに,ピーク値極大値から音速の不均一性を測定する方法について説明したが,極小値を用いてもよい。その場合,図17の波形105Aにおいて,kd=2π,3π,の値を用いる。さらに,2つの焦点に変位生成用送波ビームを照射する方法について説明したが,生体内の1つの直線上に,等間隔に2つ以上の複数の焦点を設定し例えば4個,1つおきの各焦点に対して焦点F1または焦点F2と同じシーケンスで変位生成用送波ビームを照射する例えば,4つの焦点に対して,端から順に図17の焦点F1のシーケンス,焦点F2のシーケンス,焦点F1のシーケンス,焦点F2のシーケンスことも可能である。さらに,切替え周期を固定して,焦点間の距離dを変化させて測定する方法も考えられる。この方法では,変位生成用送波ビームの集束位置を変化させることができるので,生体内の温度上昇が小さくなり,安全な測定が可能となる。また,バーストの切替え周波数fmを切替えてビームを送信する代わりに,複数のfmを含むランダム波を用いることにより,変位生成用送波ビームの照射,および変位検出用ビームの送受信を1回とすることもできる。ずり波の変位計算後にスペクトル解析を行い,複数のfmに対する変位を計算する。これにより,測定時間を短くすることができる。これまで,組織構造に起因する音速の不均一性の評価方法としてバーストチャープ法を適用することについて説明した。バーストチャープ法は,組織構造に起因する音速の不均一性があると判定され,具体的なずり波速度を推定する際に適用することも可能である。例えば,測定するROI内に2つの異なるずり波速度を持つ構造物が混ざっており,実施例2の数式1から計算されたパラメータを用いてずり波速度c1,c2が推定されたとする。その際,より高精度な測定をするためにバーストチャープ法が適用される。まず,ずり波速度c1とc2に対応するTM1とTM2が数式3から計算される。次に,TMの付近の切替え周期とで細かいΔTを設定し,より詳細なTMの値を求めることにより,より精密なずり波速度c1とc2を測定することができる。なお,ずり波速度c1とc2は実施例2の数式1から推定する他,本実施例におけるfMn_c1,および,fMn_c2から推定することも可能である。実施例2のように,変位量の絶対値をフィッティング,ノイズ除去処理した後の波形に関して,半値幅,振幅値,fmに関するパラメータを算出し,これらのパラメータ,もしくは複数のパラメータを用いて計算した値,任意の閾値などを用いて,不均一性に関する評価を行ってもよい。また,2つの異なる変位生成用送波ビームの照射の繰り返し周波数PRFp1とPRFp2で周波数分散性に起因する音速の不均一性を評価する場合も同様に,上記と同様に変位量の絶対値とfmとの関係からスペクトル分布の幅を計算することが可能である。さらに,振幅に起因する不均一性の評価に適用してもよい。以上,本発明の実施例として,対象物内からのエコー信号を送受信する超音波探触子と,前記対象物内に超音波集束ビームを放射して組織を変位させる変位生成部と,対象物からのエコー信号を受波し,超音波集束ビームにより生じるずり波変位の時間波形を複数の位置で検出する変位検出部とを備え,変位検出部は,検出したずり波変位の時間波形に基づき,対象物の不均一性を評価する不均一性検知部を有する構成の超音波診断装置,並びに,超音波により対象物の診断を行う超音波診断装置であって,対象物内からのエコー信号を送受信する超音波探触子と,対象物内に超音波集束ビームを放射して組織を変位させる変位生成部と,対象物からのエコー信号を受波し,超音波集束ビームにより生じるずり波変位の時間波形を複数の位置で検出する変位検出部とを備え,変位生成部は,超音波集束ビームを生成する変位生成用送波ビーム生成部と,超音波集束ビームの周波数を設定するビーム周波数設定部を有し,変位検出部は,検出した前記ずり波変位に基づき,対象物の不均一性を評価する不均一性検知部を有する構成の超音波診断装置を詳細に説明した。上記全ての実施例において,ずり波を生成する際,変位生成用送波ビームの代わりに,機械駆動DCモータ,振動ポンプなど,手動圧迫,電気パルスによる圧迫,血管や心臓等の体動等の周知の方法を用いてもよい。また,ステップS04で設定するROIの大きさにおいて,ずり波伝搬方向の幅この場合,方位方向の幅は,ずり波の有効伝搬距離から決定されると記載した。また,測定するROIのずり波伝搬方向に垂直な幅この場合,深さ方向の幅は,変位生成用送波ビームの伝搬する方向,例えば図2では体内の深さ方向の音源の幅から決定されると記載した。別のROIの大きさの設定方法として,ROIの大きさを,ステップS04で記載した大きさよりも大きく設定し,変位生成用送波ビームを照射する位置をずらしながらずり波を発生させることにより,スキャニングしながらROI内の不均一性の検査することも可能である。また,リニアアレイ型の探触子の代わりに2次元探触子を使用してもよい。また,超音波探触子1の各素子は,例えばセラミック,高分子,シリコンなどの周知の圧電素子や静電素子を用いる。また,変位生成用送波ビームを伝搬方向に複数個所照射することによって,ずり波の仮想的な平面波を生成し,有効伝搬距離を長くすることも可能である。また,表示部5に表示された断層像内の不均一性を表す画像のピクセル情報輝度値などに対し,図示しない画像処理部において,周囲組織と均一度合いがことなる部分を画像処理により抽出して,病変組織腫瘍と推定される部位を画面上に示すようにしてもよい。周囲組織と均一度合いがことなる部分の抽出には,表示部5に表示される画像を用いる他,不均一性検知部26で計算した不均一性を示す量に対して,同検知部で信号処理により抽出することも可能である。病変組織と判断された場所について,さらに,既存の機能診断手法ドプラ法などを用いて解析を行うようにしてもよい。上述した各種の実施例の測定対象は,例えば,肝臓,乳腺,血管,前立腺などが挙げられる。"