固定子と、前記固定子に対して相対移動自在に配置された可動子とを備え、前記固定子は、前記可動子の進行方向に沿って一定の磁極ピッチで配列された複数の軟磁性体の磁極により構成され、前記可動子は、前記固定子の両面に対して所定のギャップを隔てて対向配置された第1および第2の構造体からなり、前記第1の構造体は、前記固定子の一方の面に対向配置された複数のティースと、前記複数のティースの各々に巻回されたコイルとからなり、前記第2の構造体は、前記固定子の他方の面に対向配置された複数の永久磁石と、前記永久磁石を位置決め固定するコアとからなり、前記複数の永久磁石は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されたリニアモータであって、前記第1および第2の構造体は、進行方向にn分割nは自然数され、前記第1および第2の構造体の分割部の離間距離は、前記磁極ピッチτに対して、τ/nmτmは0以上の整数に設定されたことを特徴とするリニアモータ。前記ティースの数は、前記ティースに対向する前記軟磁性体の磁極の数と等しい値に設定されたことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。前記第1および第2の構造体は前記進行方向に2分割され、前記2分割された第1の構造体のうち、一方のコイル配置は、U相、V相、W相、の順に設定され、他方のコイル配置は、Uの逆相、Vの逆相、Wの逆相、の順に設定されたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のリニアモータ。前記第1および第2の構造体は前記進行方向に3分割され、前記3分割された第1の構造体の各々のコイル配置は、U相、V相、W相、、V相、W相、U相、、W相、U相、V相、の順に設定されたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のリニアモータ。分割された第2の構造体の両端に位置する永久磁石の進行方向幅は、他の永久磁石の進行方向幅よりも大きい値に設定されたことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のリニアモータ。分割された第2の構造体の両端に位置する永久磁石の残留磁束密度は、他の永久磁石の残留磁束密度よりも大きい値に設定されたことを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のリニアモータ。分割された第1の構造体の両端に位置するティースの先端部長さは、他のティースの先端部長さとは異なる値に設定されたことを特徴とする請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載のリニアモータ。前記第2の構造体の永久磁石は、それぞれ積層方向に分割され、積層方向に分割された各永久磁石は、前記磁極ピッチτよりも小さい範囲内で互いにずらして配置されたことを特徴とする請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載のリニアモータ。前記第1の構造体のティースは、それぞれ積層方向に分割され、積層方向に分割された各ティースは、前記磁極ピッチτよりも小さい範囲内で互いにずらして配置されたことを特徴とする請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載のリニアモータ。従来のリニアモータは、特許文献1に記載のように、コギング力を低減するための構成を備えていないので、固定子に対する可動子の相対移動時にコギング力が発生して、位置決め精度が悪化するうえ、リニアスケール調整作業時の妨げになるという課題があった。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、移動可能なストローク全体の一部に対向するように可動子の永久磁石が配置されたリニアモータにおいて、コギング力の低減を実現したリニアモータを得ることを目的とする。この発明に係るリニアモータは、固定子と、固定子に対して相対移動自在に配置された可動子とを備え、固定子は、可動子の進行方向に沿って一定のピッチで配列された複数の軟磁性体の磁極により構成され、可動子は、固定子の両面に対して所定のギャップを隔てて対向配置された第1および第2の構造体からなり、第1の構造体は、固定子の一方の面に対向配置された複数のティースと、複数のティースの各々に巻回されたコイルとからなり、第2の構造体は、固定子の他方の面に対向配置された複数の永久磁石と、永久磁石を位置決め固定するコアとからなり、複数の永久磁石は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されたリニアモータであって、第1および第2の構造体は、進行方向にn分割nは自然数され、第1および第2の構造体の分割部の離間距離は、一定の磁極ピッチτに対して、τ/nmτmは0以上の整数に設定されたものである。この発明によれば、ストローク全体の一部に可動子の永久磁石が配置されたリニアモータにおいて、安価な構成で、コギング1f成分fは基本波成分をキャンセル可能な可動子構造を実現することにより、可動子の移動時におけるコギング力を抑制することができる。実施の形態1.以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態1について説明する。図1はこの発明の実施の形態1に係るリニアモータ100を示す断面図である。図1において、リニアモータ100は、固定子1と、固定子1に対して相対移動自在な可動子2とにより構成されている。固定子1は、移動可能なストローク全体にわたって固定配置された複数の軟磁性体の磁極11からなり、各磁極11は、一定の磁極ピッチτを隔てて進行方向に沿って並べて構成されている。なお、磁極11の材質としては、安価に製作したい場合には鉄が用いられる。また、磁極部の渦電流損を低減したい場合には、電磁鋼板を積層して構成される。可動子2は、固定子1に対向する第1および第2の構造体21、22からなり、第1および第2の構造体21、22は、固定子1のストローク全体の一部の両面に対し、所定のギャップG1、G2を介して対向配置するようにそれぞれ位置決め支持されている。各ギャップG1、G2は同一値であってもよい。第1の構造体21は、コイル4が巻回された複数のティース3により構成され、第2の構造体22は、複数の永久磁石5が固定子対向面に貼り付けられたコア6により構成されている。第1および第2の構造体21、22は、それぞれ進行方向に2分割されており、固定子1の磁極11の磁極ピッチτに対して、τ/2となるように離間配置されている。第1の構造体21において、ティース3は、固定子1の磁極11の磁極ピッチτと同一のピッチで配列されている。一方、第2の構造体22において、永久磁石5は、磁極ピッチτよりも短いピッチで配列され、かつ隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されている。なお、可動子2のティース3やコア6も、固定子1の磁極11と同様に、渦電流損低減を実現するためには、電磁鋼板を積層して構成することが望ましい。図1に示したリニアモータ100の場合、第1の構造体21のティース3の数は6、第2の構造体22の永久磁石5の数は8、ティース3磁極ピッチτと同ピッチに対向する磁極11の数は6であり、ティース3の数6と磁極の数6とが等しい。したがって、可動子2第1および第2の構造体21、22が離間配置されていない場合には、コギング1f成分および、その倍数成分が発生する。しかし、図1のリニアモータ100のように、ストローク全体の一部に永久磁石5を配置した構成において、第1および第2の構造体21、22を進行方向にτ/2だけ離間配置することにより、可動子2の分割部で発生するコギング1f成分の位相が180°だけシフトするので、コギング1f成分を低減することが可能である。なお、2分割でコギング1f成分の位相が実質的に180°m360°ずれていればよいので、分割部の離間距離ずらし量は、τ/2に限定されることはなく、0以上の整数mを用いて、mττ/2に設定してもよい。また、図1においては、可動子2を2分割した場合を示したが、n分割nは自然数した場合には、第1および第2の構造体21、22の分割部の離間距離は、磁極ピッチτに対して、τ/nmτに設定されることになる。さらに、図1においては、各ティース3に対するコイル4の巻線が容易となるように、分割部をギャップとしたが、図2に示すように、進行方向に分割された第1および第2の構造体21、22の間にスペーサ7を配置して、ティース3を一体構成としてもよい。図2の場合、スペーサ7の材質は、磁性体または非磁性体のいずれであってもよく、第2の構造体21ティース3をスペーサ7と一体化することもできる。同様に、スペーサ7を磁性体とした場合には、第2の構造体22永久磁石5を貼り付けるコア6も進行方向にスペーサ7と一体化構成として、実質的にスペーサ7を省略することができる。この場合、部品点数が削減されて製造コストを低減することができる。以上のように、この発明の実施の形態1図1、図2に係るリニアモータ100は、固定子1と、固定子1に対して相対移動自在に配置された可動子2とを備えている。固定子1は、可動子2の進行方向に沿って一定の磁極ピッチτで配列された複数の軟磁性体の磁極11により構成されている。可動子2は、固定子1の両面に対して所定のギャップG1、G2を隔てて対向配置された第1および第2の構造体21、22により構成されている。第1の構造体21は、固定子1の一方の面に対向配置された複数のティース3と、複数のティース3の各々に巻回されたコイル4により構成されている。第2の構造体22は、固定子1の他方の面に対向配置された複数の永久磁石5と、永久磁石5を位置決め固定するコア6により構成され、複数の永久磁石5は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されている。第1および第2の構造体21、22は、進行方向にn分割され、第1および第2の構造体21、22の分割部の離間距離は、磁極ピッチτに対して、τ/nmτに設定されている。具体的には、磁極ピッチτと同ピッチのティース3の数は、ティース3に対向する軟磁性体の磁極11の数と等しい値に設定されており、この場合に、可動子2図1、図2の分割構成を適用することによりコギング1f成分をキャンセルすることができる。すなわち、ストローク全体の一部に可動子2の永久磁石5が配置され、ティース3の数6が対向する磁極11の数6と等しい値に設定されたリニアモータ100において、安価な構成でコギング1f成分を低減することができる。実施の形態2.なお、上記実施の形態1図1、図2では、コイル4の相配置について具体的に言及しなかったが、図3に示すように、2分割された第1の構造体21の各々において、ティース3に巻回されたコイル4の相配置順序を、一方ではU相、V相、W相、と設定し、他方ではUの逆相、Vの逆相、Wの逆相、と設定してもよい。図3はこの発明の実施の形態2に係るリニアモータ100を示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して詳述を省略する。図3において、進行方向に2分割された第1の構造体21の各々のティース3に巻回されたコイル4は、分割部の前後で逆相となるように配置されている。すなわち、第1の構造体21の一方においては、U相、V相、W相の順序であるのに対し、他方においては、Uの逆相、Vの逆相、Wの逆相の順序となっている。以上のように、この発明の実施の形態2図3に係るリニアモータ100によれば、第1および第2の構造体21、22は進行方向に2分割され、2分割された第1の構造体21のうち、一方のコイル配置は、U相、V相、W相、の順に設定され、他方のコイル配置は、Uの逆相、Vの逆相、Wの逆相、の順に設定されているので、分布巻係数≦1.0を最大値1.0に設定することができ、前述のコギング低減効果に加えて、リニアモータ100を高効率に駆動することができる。実施の形態3.なお、上記実施の形態1、2図1~図3では、3相の磁束バランスについて考慮しなかったが、3相の磁束バランスを改善するために、図4に示すように、分割された第2の構造体22Aの各両端に位置する永久磁石5Aの進行方向幅L2を、他の中間位置の永久磁石5の進行方向幅L1よりも大きい値に設定してもよい。図4はこの発明の実施の形態3に係るリニアモータ100Aを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後にAを付して詳述を省略する。図5は前述の実施の形態2図3の構成における磁束波形を各相U、V、Wごとに示す説明図であり、横軸は電気角[°]、縦軸は磁束φ[]を示している。図5において、V相□特性参照のピークを100とした場合に、U相およびW相■特性、黒三角特性参照のピークは65程度しかないことが分かる。図5のような磁束波形となる原因として、V相は、2分割された第1および第2の構造体21、22図3参照の中央に配置されていることから磁束φを集め易いのに対し、U相およびW相は、2分割された第1および第2の構造体21、22の両端に配置されていることから、磁束φを集めにくくなっていることが考えられる。そこで、この発明の実施の形態3図4においては、分割された第2の構造体22Aの両端に位置する永久磁石5Aの進行方向幅L2を、他の中央部の永久磁石5の進行方向幅L1よりも長く設定することにより、U相およびW相の磁束φを向上させる構成としている。これにより、3相U、V、Wのアンバランス図5参照が解消されて磁束特性が改善するので、前述のコギング低減効果に加えて、リニアモータ100Aを高効率に駆動することができる。実施の形態4.なお、上記実施の形態3図4では、3相の磁束バランスを改善するために、両端に位置する永久磁石5Aの進行方向幅L2を、中央部の永久磁石5の進行方向幅L1よりも大きい値に設定したが、図6に示すように、分割された第2の構造体22Bの両端に位置する永久磁石5Bの残留磁束密度を、他の中間位置の永久磁石5の残留磁束密度よりも大きい値に設定してもよい。図6はこの発明の実施の形態4に係るリニアモータ100Bを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後にBを付して詳述を省略する。図6においては、図5に示した3相アンバランスを解消するために、分割された第2の構造体22Bの両端に位置する永久磁石5Bの残留磁束密度を、他の永久磁石5の残留磁束密度よりも大きい値に設定している。すなわち、永久磁石5Bは、他の永久磁石5よりも保持力の大きい磁性材料で構成されている。これにより、前述の実施の形態3と同様に、3相の磁束バランスが改善するので、前述のコギング低減効果に加えて、リニアモータ100Bを高効率に駆動することができる。実施の形態5.なお、上記実施の形態3、4図4、図6では、3相の磁束バランスを改善するために、第2の構造体22A、22Bの各両端部の永久磁石5A、5Bの磁束特性を向上させたが、図7に示すように、分割された第1の構造体21Cの両端に位置するティース3Cの先端部30の長さを、他の中間位置のティース3の先端部の長さとは異なる値に設定してもよい。図7はこの発明の実施の形態5に係るリニアモータ100Cを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後にCを付して詳述を省略する。図7においては、3相のアンバランスを解消するために、分割された第1の構造体21Cの両端に位置するティース3Cの先端部30外側が、他の中央部のティース3の先端部よりも長くなるように伸張されている。これにより、両端部に位置するU相およびW相が磁束φを集める範囲が拡大するので、前述と同様に、前述のコギング低減効果に加えて3相アンバランスが改善し、リニアモータ100Cを高効率に駆動することができる。なお、図7においては、両端に位置するティース3Cの先端部30の長さを伸張させたが、リニアモータ100Cの設計構造に応じて、他のティース3の先端部長さよりも短い値にも設定され得る。実施の形態6.なお、上記実施の形態1~5図1~図7では、主としてコギング1fのみを低減するための構成について述べたが、コギング1fのみならず、1fの倍数のコギングを低減するために、図8に示すように、第2の構造体22Dの永久磁石5Dをそれぞれ積層方向に分割し、積層方向に分割された各永久磁石51、52を、磁極ピッチτよりも小さい範囲内で互いにずらして配置してもよい。図8はこの発明の実施の形態6に係るリニアモータ100Dを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後にDを付して詳述を省略する。図8においては、コギング1fのみならず、他のコギング成分も低減するために、永久磁石5Dを積層方向に分割して永久磁石51、52とし、互いにずらして配置する構成としている。すなわち、永久磁石51、52のずらし量を磁極ピッチτよりも小さく設定することにより、コギング1f成分とは異なる成分低減要求に応じて設定されるを低減可能となる。具体的には、永久磁石51、52のずらし量は、たとえばコギング6f成分を低減するためにはτ/12に設定され、コギングpf成分pは自然数を低減するためにはτ/2pに設定される。これにより、可動子2Dの移動時におけるコギング力をさらに効果的に抑制することができる。実施の形態7.なお、上記実施の形態6図8では、コギング1fのみならず、他のコギング成分を低減するために、第2の構造体22Dの永久磁石5Dを積層方向に分割して互いにずらして配置したが、図9に示すように、第1の構造体21Eのティース3Eをそれぞれ積層方向に分割し、積層方向に分割された各ティース31、32を、磁極ピッチτよりも小さい範囲内で互いにずらして配置してもよい。図9はこの発明の実施の形態7に係るリニアモータ100Eを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後にEを付して詳述を省略する。図9においては、他のコギング成分を低減するために、第1の構造体21Eのティース3Eを積層方向に分割してティース31、32とし、互いにずらして配置する構成としている。この場合も、前述と同様に、コギングpf成分pは自然数を低減するためには、各ティース31、32のずらし量をτ/2pに設定すればよい。これにより、可動子2Dの移動時におけるコギング力をさらに効果的に抑制することができる。また、図9では、ティース31に対して、ティース32の全体をずらして配置したが、図10のように、ティース32’の先端部30’のみをずらす構成としてもよい。この場合、コギング力を効果的に抑制することが可能なうえ、ティース32’の巻線部がティース31の巻線部と同一の直線形状となることから、巻線作業も容易となる。実施の形態8.なお、上記各実施の形態1~7図1~図10では、可動子2、2A~3Eを進行方向に2分割する場合について述べたが、図11に示すように、可動子2Fを進行方向に3分割してもよい。図11はこの発明の実施の形態8に係るリニアモータ100Fを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後にFを付して詳述を省略する。図11において、可動子2Fは、進行方向に3分割されており、分割された第1および第2の構造体21F、22Fは、それぞれτ/3だけ離間配置されている。また、第1の構造体21Fの各ティース3に巻回されたコイル4は、U相、V相、W相、V相、W相、U相、W相、U相、V相の順序で配置されている。これにより、3分割された可動子2Fの各コギングの位相が120°ずれるので、前述と同様に、コギング1f成分を低減することが可能となる。また、コイル4の配置を、U相、V相、W相、V相、W相、U相、W相、U相、V相としたので、効率のよい駆動が可能となる。さらに、図11のコイル配置によれば、3相コイルが端部および中央部にわたってバランスよく配置されているので、前述の2分割配置と比較して、3相アンバランスが生じにくくなり、さらに効率のよい駆動が可能となる。なお、上記各実施の形態1~8では、第1の構造体のティースを、磁極ピッチτと同一ピッチで配列し、ティースの数と対向磁極数とを一致させた場合を示したが、第1の構造体のティースを、磁極ピッチτとは異なるピッチで配列してもよい。この場合、低減すべきコギング成分が前述とは異なるが、リニアモータの設計構造に応じて、第1および第2の構造体の分割部の離間距離を適切に設定することにより、コギングを低減することができる。また、上記各実施の形態1~8では、それぞれ代表的な構成例について説明したが、各実施の形態の構成を任意に重複して適用することも可能であり、その場合、それぞれの作用効果を重複して得られることは言うまでもない。