"複数の層からなる反射防止膜であって、該複数の層のうち少なくとも一層が、複数の微細な管状空間を有する構造体薄膜からなる光学薄膜であって、前記光学薄膜が有する全ての管状空間が基板の接平面垂直方向において平行に配列されていることを特徴とする反射防止膜。前記管状空間は柱状空間であることを特徴とする請求項1に記載の反射防止膜。前記管状空間を有する構造体薄膜は一軸配向特性を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の反射防止膜。前記管状空間の最大開口径は400nm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の反射防止膜。前記構造体薄膜を前記複数の層の中で最も低い屈折率としたことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の反射防止膜。前記構造体薄膜が最表面に配置されることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の反射防止膜。前記構造体薄膜は無機酸化物から成ることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の反射防止膜。請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載の反射防止膜の光学素子を有することを特徴とする光学系。結像光学系であることを特徴とする請求項8に記載の光学系。観察光学系であることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の光学系。請求項8乃至請求項10の何れか一項に記載の光学系を搭載したことを特徴とする光学装置。しかしながら、上述の特許文献1には、基板上に開気孔率が60以上のシリカ膜をゾルゲル法で形成した反射防止膜を記載している。シリカを主体とする多孔質膜であり、開口部が表面に存在するため、膜強度が弱い。さらに、開口部に水分やゴミや汚れが付着しやすく、また除去することが困難であり、特性に変化を与えるといった問題がある。特許文献2には、シリカエアロゲル層を含む複数の層を、屈折率の高い順に基板表面に形成した反射防止膜を記載している。この反射防止膜の最上層は、シリカエアロゲル層でなる。シリカエアロゲル層は、表面に開口部が存在するため、水分や汚れが付着しやすい、膜強度が弱いといった問題がある。さらに、この反射防止膜は、基板表面から屈折率の高い層が順に並ぶ構成に限られており、広波長領域な反射防止膜といった、より高性能な反射防止膜を作製することができない。特許文献3には、微細な円管状空間を均一に含有するシリカと、活性エネルギー線で硬化された樹脂とを含有した反射防止膜を記載している。この反射防止膜はシリカの微細な円柱状空間とシリカと樹脂界面との間の空間も含んでいる。硬化樹脂を含有する事により、所望の屈折率を得るためにシリカの微細な円管状空間量が多く必要となる。また、硬化樹脂を含有する事により低屈折率化に制限が出てくるばかりでなく、高温高湿性や耐候性、耐環境信頼性にも問題がある。そこで、本発明の目的は、反射防止効果に優れ、且つ膜強度、耐環境信頼性に優れた反射防止膜を提供することである。上記目的を達成するために、本発明は、複数の層からなる反射防止膜であって、該複数の層のうち少なくとも一層が、複数の微細な管状空間を有する構造体からなる光学薄膜であって、前記光学薄膜が有する全ての管状空間が、基板の接平面垂直方向において、平行に配列されていることを特徴とする。本発明によれば、反射防止効果に優れ、且つ膜強度、耐環境信頼性に優れた反射防止膜を提供することができる。以下に、本発明の好ましい実施形態を、添付の部面に基づいて詳細に説明する。図1aおよびbは、本発明の反射防止膜を付与した光学素子の一実施例を示す。図1aは、微細な管状空間に対し平行方向の概略断面図の一部であり、図1bは、微細な管状空間に対し垂直な方向の概略断面図の一部である。わかりやすくするため、微細な管状空間を拡大デフォルメして描いている。図1において、本発明の反射防止膜を付与した光学素子は、透過基材11と、透過基材11上に複数の層から形成された反射防止膜12からなる。反射防止膜12は、n層の薄膜層から形成されており、透過基材11に接する第一層目に緻密な材料から成る薄膜121、第n層目に構造体薄膜12nが形成されている。本実施例では、緻密な材料から成る薄膜121を第一層目に、構造体薄膜12nを最上層として記載したが、本発明はこれに限らない。構造体薄膜12nは、単一の膜材料12n-2からなり、微細な管状空間12n-1を有している。微細な管状空間の径は、400nm以下であればよく、さらに好ましくは、2~50nmであればよい。図1に示すように、微細な管状空間12n-1同士は平行に配列し、且つ、透過基材11の接平面に対し平行に配列している。つまり、微細な管状空間12n-1は、膜材料12n-2により閉鎖されており、構造体薄膜12nは開口を持たない。よって、構造体薄膜12nの下面および上面に他の材料から成る薄膜を形成しても、微細な管状空間12n-1へは、他材料が入り込むことはない。よって、構造体薄膜12nは反射防止膜12の最上面だけでなく、全ての層材料として、使用可能である。反射防止膜12は構造体薄膜12nを最上層に有し、表面に開口を持たない。よって、膜強度に優れた反射防止膜を得ることができる。微細な管状空間の径は、400nm以下であり、光の波長よりも小さい。光は回折限界以下の構造を平均としか認識しないという性質がある。よって、構造体薄膜12nは、膜材料12n-2と管状空間内の空気の平均屈折率、つまり、膜材料12n-2の屈折率よりも低屈折率を示す。そして、膜材料12n-2が構造体薄膜12n内で占める体積体積占有率を変化させることで、構造体薄膜12nの屈折率を調整することが可能である。たとえば、反射防止膜の最上層は、より低屈折率をもつ材料が望まれている。一般的には、蒸着で成膜できる最も低屈折率な材料であるフッ化マグネシウム膜屈折率1.38が使用される。本実施例によれば、構造体薄膜を構成する材料を屈折率1.46のシリカとした場合、構造体薄膜中のシリカの体積占有率を83以下にすれば、一般的に使用される屈折率1.38のフッ化マグネシウム膜よりも低屈折率な薄膜が作製できる。これにより、高性能な反射防止膜の作製が可能となる。構造体薄膜12nを構成する膜材料12n-2は、無機酸化物からなることが好ましい。無機酸化物としてはSiO2,Al2O3,SiO,MgO,ZrO2,Y2O3,In2O3,SnO2,HfO2,WO3,CeO2,Ta2O5,TiO2,Nb2O5などがあげられる。本発明では、無機酸化物の結合に有機系樹脂などのバインダを使用しないため、耐環境性にも優れている。本発明における薄膜層の作製方法は特に限定されない。例えば、スパッタリング法、蒸着法といったドライ法真空成膜法や、ゾル-ゲルコート液を使ったディッピング法、スピンコート法といったウエット法湿式成膜法により作製する。また、微細な管状空間を有した構造体薄膜の作製方法も特に限定されない。例えば、繰り返しユニットの分子構造中に二つ以上の連続したメチレン基を含んでいる高分子化合物表面上に、配向したロッド状の細孔を有するメソ構造体薄膜を形成する方法で作製する本発明の反射防止膜を付与する透過基材としては、ガラス、樹脂、ガラスミラー、樹脂製ミラーなどが挙げられる。最終的に使用目的に応じた形状にできるものであれば、平板、フィルムないしはシートなどでもよい。以下の実施例により、本発明を具体的に説明する。ただし、本発明はかかる実施例に限定されるものではない。以下に、本発明の実施例1として、微細な管状空間を有する構造体薄膜を最上層に有した二層構成の反射防止膜を付与した光学素子について説明する。屈折率1.84の透過基材上に二層構成の反射防止膜を作製し、得られた光学素子の構成を表1に示す。一層目はアルミナAl2O3から成る緻密な膜である。二層目は、シリカSiO2から成り、内部に微細な管状空間を有した構造体薄膜である。二層目が有する微細な管状空間同士は平行に配列し、かつ、透過基材における接平面に対し平行に配列している。図2は、400~700nmの波長範囲における反射率の波長特性を示す。この波長範囲で、反射率は0.5以下を示し、非常に反射防止性能が高いことがいえる。また、反射防止膜の強度を確認するため、レンズクリーニングペーパーシルボン紙を用いて、300g荷重で50往復した。目視で確認したこところ、傷は確認できなかった。以下に、本発明の実施例2として、微細な管状空間を有する構造体薄膜二層と緻密な薄膜一層から成る三層構成の反射防止膜を有した光学素子について説明する。屈折率1.52の透過基材上に三層構成の反射防止膜を作製し、得られた光学素子の構成を表2に示す。一層目はシリカSiO2から成る緻密な膜である。二層目と三層目は、シリカSiO2から成り、内部に微細な管状空間を有した構造体薄膜である。二層目と三層目はシリカの体積占有率が異なり、異なる屈折率を示している。また、二層目と三層目が有する管状空間同士は平行に配列し、かつ、透過基材における接平面に対し平行に配列している。図3は、400~700nmの波長範囲における反射率の波長特性を示す。この波長範囲で、反射率は0.5以下を示し、非常に反射防止性能が高いことがいえる。また、反射防止膜の強度を確認するため、レンズクリーニングペーパーシルボン紙を用いて、300g荷重で50往復した。目視で確認したこところ、傷は確認できなかった。以下に、本発明の実施例3として、微細な管状空間を有する構造体薄膜三層から成る三層構成の反射防止膜を有した光学素子について説明する。屈折率1.84の透過基材上に三層構成の反射防止膜を作製し、得られた光学素子の構成を表3に示す。一層目、二層目はチタニアTiO2から成り、三層目はシリカSiO2から成る。それぞれの層は、内部に微細な管状空間を有し、その管状空間同士が平行に配列し、かつ、透過基材における接平面に対し平行に配列された構造体薄膜である。一層目と二層目は、チタニアの体積占有率が異なり、異なる屈折率を示している。図4は、400~700nmの波長範囲における反射率の波長特性を示す。450~650nmの波長範囲で、反射率は0.5以下を示し、非常に反射防止性能が高いことがいえる。また、反射防止膜の強度を確認するため、レンズクリーニングペーパーシルボン紙を用いて、300g荷重で50往復した。目視で確認したこところ、傷は確認できなかった。以下に、本発明の実施例4として、微細な管状空間を有する構造体薄膜二層と、緻密な薄膜一層から成る三層構成の反射防止膜を有した光学素子について説明する。屈折率1.75の透過基材上に三層構成の反射防止膜を作製し、得られた光学素子の構成を表4に示す。一層目はチタニアTiO2から成り、微細な管状空間を有した構造体薄膜である。二層目は、アルミナAl2O3から成る緻密な薄膜、三層目はシリカSiO2から成り、微細な管状空間を有した構造体薄膜である。一層目と三層目が有する微細な管状空間は、その管状空間同士が平行に配列し、かつ、透過基材における接平面に対し平行に配列している。図5は、400~700nmの波長範囲における反射率の波長特性を示す。450~650nmの波長範囲で、反射率は0.5以下を示し、非常に反射防止性能が高いことがいえる。また、反射防止膜の強度を確認するため、レンズクリーニングペーパーシルボン紙を用いて、300g荷重で50往復した。目視で確認したこところ、傷は確認できなかった。"