炉内に、物質を気化させる第1の場所と、アルミニウムを反応させる第2の場所とを独立して設け、前記物質を前記第1の場所にて気化させて蒸気を生成し、その生成した蒸気を前記炉内の非酸化ガスの流れにより前記第1の場所から前記第2の場所へと供給し、その供給した蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを前記第2の場所にて反応させて窒化アルミニウムを形成することを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。請求項1に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法において、生成した蒸気を前記炉内の非酸化ガスの流れにより前記第1の場所から前記第2の場所へと供給する過程で窒素ガスと反応させることで、アルミニウムの融点よりも高い温度で当該アルミニウムと反応した場合に窒化アルミニウムとなる反応の自由エネルギー変化が負となる反応物を生成し、その生成した反応物とアルミニウムとを前記第2の場所にて加熱することで、当該アルミニウムを当該反応物により窒化させて窒化アルミニウムを形成することを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。請求項2に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法において、生成した蒸気を前記第2の場所の近傍にて窒素ガスと反応させることで、前記反応物を生成することに続いて窒化アルミニウムを形成することを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。請求項1乃至3の何れかに記載した窒化アルミニウム材料の製造方法において、非酸化ガスと窒素ガスとを炉内の異なる場所から供給し、それぞれの供給量を制御することを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。請求項1乃至4の何れかに記載した窒化アルミニウム材料の製造方法において、前記第1の場所を第1の炉内に設けると共に、前記第2の場所を前記第1の炉とは異なる第2の炉内に設け、前記物質を前記第1の炉内の前記第1の場所にて気化させて蒸気を生成し、前記第1の炉内から前記第2の炉内へと供給した蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを前記第2の炉内の前記第2の場所にて反応させて窒化アルミニウムを形成することを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。請求項5に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法において、前記第1の炉内の前記第1の場所を前記第2の炉内の前記第2の場所に対して正圧とすることを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。請求項1乃至6の何れかに記載した窒化アルミニウム材料の製造方法において、前記物質としてマグネシウムを用いることを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。請求項1乃至7の何れかに記載した窒化アルミニウム材料の製造方法において、前記非酸化ガスとしてアルゴンガスを用いることを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。請求項1乃至8の何れかに記載した窒化アルミニウム材料の製造方法において、前記アルミニウムの一部を反応させて窒化アルミニウムを形成することを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造方法。物質が気化される第1の場所と、アルミニウムが反応される第2の場所とが独立して設けられ、前記物質が前記第1の場所にて気化されて蒸気が生成され、その生成された蒸気が非酸化ガスの流れにより前記第1の場所から前記第2の場所へと供給され、その供給された蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが前記第2の場所にて反応されて窒化アルミニウムが形成される炉を備えたことを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造装置。請求項10に記載した窒化アルミニウム材料の製造装置において、前記第1の場所は、第1の炉内に設けられ、前記第2の場所は、前記第1の炉とは異なる第2の炉内に設けられ、前記物質が前記第1の炉内の前記第1の場所にて気化されて蒸気が生成され、前記第1の炉内から前記第2の炉内へと供給された蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが前記第2の炉内の前記第2の場所にて反応されて窒化アルミニウムが形成されることを特徴とする窒化アルミニウム材料の製造装置。物質が炉内の第1の場所にて気化されて蒸気が生成され、その生成された蒸気が非酸化ガスの流れにより前記第1の場所から前記炉内の第2の場所へと供給され、その供給された蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが前記第2の場所にて反応されて窒化アルミニウムが形成されることを特徴とする窒化アルミニウム材料。請求項12に記載した窒化アルミニウム材料において、前記アルミニウムの一部が反応されて窒化アルミニウムが形成されることを特徴とする窒化アルミニウム材料。請求項13に記載した窒化アルミニウム材料を備えたことを特徴とする熱交換器。請求項14に記載した熱交換器において、発熱体と熱交換される冷却媒体が流通する冷媒流路を有する冷却管を備え、窒化しなかったアルミニウムが冷却管の一部を構成することを特徴とする熱交換器。ところで、特許文献1に記載されている傾斜機能材を用いる方法では、窒化アルミニウムAlN粉末粒子を1900°C以上の高温度で焼結する工程を行うので、1900°C以上に加熱する必要があるという問題があり、又、窒化アルミニウムが低密度になってしまうという問題もあった。そこで、窒化アルミニウムを低温度で且つ高密度に形成する技術として、マグネシウムMgとアルミニウムとを同一の炉内に配置し、マグネシウムを当該マグネシウムの沸点以上に加熱することで、マグネシウムを気化させてマグネシウム蒸気を生成し、その生成したマグネシウム蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを反応させてアルミニウムの表面に窒化アルミニウムを形成することが考えられている。しかしながら、上記した技術では、マグネシウムとアルミニウムとを同一の炉内に配置する構成、即ち、マグネシウムを気化させてマグネシウム蒸気を生成する工程と、マグネシウム蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを反応させて窒化アルミニウムを形成する工程とを同一の炉内で行う構成であるので、アルミニウムと反応する窒化マグネシウムの量が一意に決定されることになる。このような事情により、窒化アルミニウムを所望のサイズ厚さや表面積や密度で形成することができず、例えば窒化アルミニウムの厚さが不均一になったり、アルミニウムを全て反応させて窒化アルミニウム単体材料を製造したい場合であっても未反応のアルミニウムが残ってしまったりする等の問題がある。本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、窒化アルミニウムを所望のサイズや密度で形成することができる窒化アルミニウム材料の製造方法、窒化アルミニウム材料の製造装置、窒化アルミニウム材料及び熱交換器を提供することにある。請求項1に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、炉内に、物質を気化させる第1の場所と、アルミニウムを反応させる第2の場所とを独立して設け、前記物質を前記第1の場所にて気化させて蒸気を生成し、その生成した蒸気を前記炉内の非酸化ガスの流れにより前記第1の場所から前記第2の場所へと供給し、その供給した蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを前記第2の場所にて反応させて窒化アルミニウムを形成する。これにより、物質を気化させて蒸気を生成する工程と、蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを反応させて窒化アルミニウムを形成する工程とを別々の場所にて行うので、非酸化ガスの流れを制御することにより、第1の場所から第2の場所へと供給される蒸気の供給量を制御することができる。よって、蒸気の供給量を制御することで、蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが反応する際の反応量や反応速度を制御することができ、窒化アルミニウムを所望のサイズ厚さや表面積や密度で形成することができる。即ち、第1の場所から第2の場所へと供給される蒸気の過不足により窒化アルミニウムの厚さが不均一になったり未反応のアルミニウムが残ってしまったり低密度になったりすることを回避することができ、窒化アルミニウムの厚さを均一にしたりアルミニウムを全て反応させて窒化アルミニウム単体材料を製造したり高密度にしたりすることができる等、窒化アルミニウム材料を製造する際の自由度を高めることができる。尚、窒化アルミニウム材料とは、未反応のアルミニウムが残らないようにアルミニウムを全て窒化させて形成された窒化アルミニウム単体からなる窒化アルミニウム単体材料、未反応のアルミニウムが残るようにアルミニウムの一部だけを窒化させて形成されたアルミニウムと窒化アルミニウムとが接合されてなるアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料の何れの概念も含む。請求項2に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、生成した蒸気を前記炉内の非酸化ガスの流れにより前記第1の場所から前記第2の場所へと供給する過程で窒素ガスと反応させることで、アルミニウムの融点よりも高い温度で当該アルミニウムと反応した場合に窒化アルミニウムとなる反応の自由エネルギー変化が負となる反応物を生成し、その生成した反応物とアルミニウムとを前記第2の場所にて加熱することで、当該アルミニウムを当該反応物により窒化させて窒化アルミニウムを形成する。これにより、蒸気と窒素ガスとを反応させ、アルミニウムの融点よりも高い温度で当該アルミニウムと反応した場合に窒化アルミニウムとなる反応の自由エネルギー変化が負となる反応物を生成することで、アルミニウムを当該反応物により効率良く窒化させることができ、窒化アルミニウムを効率良く形成することができる。請求項3に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、生成した蒸気を前記第2の場所の近傍にて窒素ガスと反応させることで、前記反応物を生成することに続いて窒化アルミニウムを形成する。これにより、蒸気と窒素ガスとを反応させて反応物を生成してからアルミニウムを当該反応物により窒化させるまでの期間が長いと、アルミニウムを窒化させるのに寄与しない反応物が析出する虞があり、窒化アルミニウムを効率良く形成することを阻害する要因となり得てしまうが、生成した蒸気を第2の場所の近傍にて窒素ガスと反応させることで、蒸気と窒素ガスとを反応させて反応物を生成してからアルミニウムを当該反応物により窒化させるまでの期間を極力短くすることができ、反応物の殆どがアルミニウムを窒化させるのに寄与することで反応物が析出することを極力抑制することができ、窒化アルミニウムを効率良く形成することができる。請求項4に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、非酸化ガスと窒素ガスとを炉内の異なる場所から供給し、それぞれの供給量を制御する。これにより、非酸化ガスの炉内への供給と窒素ガスの炉内への供給とを独立して制御することで、生成した蒸気を第2の場所の近傍にて窒素ガスと確実に反応させることができ、窒化アルミニウムを所望のサイズや密度で確実に形成することができる。請求項5に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、前記第1の場所を第1の炉内に設けると共に、前記第2の場所を前記第1の炉とは異なる第2の炉内に設け、前記物質を前記第1の炉内の前記第1の場所にて気化させて蒸気を生成し、前記第1の炉内から前記第2の炉内へと供給した蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを前記第2の炉内の前記第2の場所にて反応させて窒化アルミニウムを形成する。これにより、物質を気化させて蒸気を生成する第1の炉と、蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを反応させて窒化アルミニウムを形成する第2の炉とを別々に設けることで、物質を気化させて蒸気を生成する工程での温度制御と、蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを反応させて窒化アルミニウムを形成する工程での温度制御を確実に且つ容易に行うことができる。請求項6に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、前記第1の炉内の前記第1の場所を前記第2の炉内の前記第2の場所に対して正圧とする。これにより、第1の炉内の非酸化ガスを第2の炉内へと確実に供給すると共に、第2の炉内へと供給された非酸化ガスが第1の炉内へと供給される逆流することを防止することができ、蒸気を非酸化ガスの流れにより第1の炉内から第2の炉内へと確実に供給することができ、蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを第2の炉内の第2の場所にて確実に反応させて窒化アルミニウムを効率良く形成することができる。請求項7に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、前記物質としてマグネシウムを用いる。これにより、安価で且つ工業的に扱いやすいマグネシウムを用いて窒化アルミニウムを形成することができる。請求項8に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、非酸化ガスとしてアルゴンガスを用いる。これにより、蒸気を安定して第1の場所から第2の場所へと供給することができ、窒化アルミニウムを安定して形成することができる。請求項9に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法によれば、前記アルミニウムの一部を反応させて窒化アルミニウムを形成する。これにより、アルミニウムの一部を窒化し、即ち、その一部を除く残り部分を窒化しないことで、アルミニウムを残したまま窒化アルミニウムを形成することができ、アルミニウムと窒化アルミニウムとが接合されてなるアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料を製造することができる。請求項10に記載した窒化アルミニウム材料の製造装置によれば、物質が気化される第1の場所と、アルミニウムが反応される第2の場所とが独立して設けられ、前記物質が前記第1の場所にて気化されて蒸気が生成され、その生成された蒸気が非酸化ガスの流れにより前記第1の場所から前記第2の場所へと供給され、その供給された蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが前記第2の場所にて反応されて窒化アルミニウムが形成される炉を備えた。これにより、上記した請求項1に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法と同様に、非酸化ガスの流れを制御することにより、第1の場所から第2の場所へと供給される蒸気の供給量を制御することができ、蒸気の供給量を制御することで、蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが反応する際の反応量や反応速度を制御することができ、窒化アルミニウムを所望のサイズや密度で形成することができる。請求項11に記載した窒化アルミニウム材料の製造装置によれば、前記第1の場所は、第1の炉内に設けられ、前記第2の場所は、前記第1の炉とは異なる第2の炉内に設けられ、前記物質が前記第1の炉内の前記第1の場所にて気化されて蒸気が生成され、前記第1の炉内から前記第2の炉内へと供給された蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが前記第2の炉内の前記第2の場所にて反応されて窒化アルミニウムが形成される。これにより、上記した請求項5に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法と同様に、物質を気化させて蒸気を生成する工程での温度制御と、蒸気と窒素ガスとアルミニウムとを反応させて窒化アルミニウムを形成する工程での温度制御を確実に且つ容易に行うことができる。請求項12に記載した窒化アルミニウム材料によれば、物質が炉内の第1の場所にて気化されて蒸気が生成され、その生成された蒸気が非酸化ガスの流れにより前記第1の場所から前記炉内の第2の場所へと供給され、その供給された蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが前記第2の場所にて反応されて窒化アルミニウムが形成される。これにより、上記した請求項1に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法と同様に、非酸化ガスの流れを制御することにより、第1の場所から第2の場所へと供給される蒸気の供給量を制御することができ、蒸気の供給量を制御することで、蒸気と窒素ガスとアルミニウムとが反応する際の反応量や反応速度を制御することができ、窒化アルミニウムを所望のサイズや密度で形成することができる。請求項13に記載した窒化アルミニウム材料によれば、前記アルミニウムの一部を反応させて窒化アルミニウムが形成される。これにより、上記した請求項9に記載した窒化アルミニウム材料の製造方法と同様に、アルミニウムを残したまま窒化アルミニウムを形成することができ、アルミニウムと窒化アルミニウムとが接合されてなるアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料を製造することができる。請求項14に記載した熱交換器によれば、窒化アルミニウムを所望のサイズや密度で形成したアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料を備えた熱交換器を実現することができる。請求項15に記載した熱交換器によれば、発熱体と熱交換される冷却媒体が流通する冷媒流路を有する冷却管を備え、窒化しなかったアルミニウムが冷却管の一部を構成するので、アルミニウムを冷却媒体に直接接触させることができ、アルミニウム-窒化アルミニウム複合材料と冷却媒体との間の熱交換効率を高めることができ、発熱体から熱交換器への熱抵抗の増大を抑えることができる。以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。図1は窒化アルミニウム材料を製造する製造装置を概略的に示している。窒化アルミニウム材料を製造する製造装置1本発明でいう窒化アルミニウム材料の製造装置に相当は、第1の炉加熱炉2と、第1の炉2よりも径大な第2の炉加熱炉3とが組み合わされて構成されている。第1の炉2には第1の炉心管4が設けられている。第1の炉心管4の一端側図1では左端側4aには蓋部材5が設けられ、その蓋部材5には配管6の一端側6aが接続されている。配管6の他端側6bにはアルゴンArガス本発明でいう非酸化ガスに相当が充填されているアルゴンガスボンベ7が接続されている。即ち、アルゴンガスボンベ7と第1の炉心管4とは配管6を介して接続されており、アルゴンガスボンベ7に充填されているアルゴンガスは配管6内を流れて第1の炉心管4内へと供給される。配管6には調整弁8が設けられており、調整弁8の開度が調整されることで、アルゴンガスボンベ7から配管6内を流れて第1の炉心管4内へと供給されるアルゴンガスの供給量が調整される。又、第1の炉心管4の他端側図1では右端側4bは開放されている。第2の炉3には上記した第1の炉心管4よりも径大な第2の炉心管9が設けられている。第2の炉心管9の一端側図1では左端側9aには蓋部材10が設けられ、その蓋部材10の中空部10aには上記した第1の炉心管4が挿通されている。即ち、上記した第1の炉心管4の他端側4bは第2の炉心管9内に位置している。第2の炉心管9にあって第1の炉心管4の他端側4bに近い部位には配管11の一端側11aが接続されている。配管11の他端側11bには窒素N2ガスが充填されている窒素ガスボンベ12が接続されている。即ち、窒素ガスボンベ12と第2の炉心管9とは配管11を介して接続されており、窒素ガスボンベ12に充填されている窒素ガスは配管11内を流れて第2の炉心管9内へと供給される。配管11には調整弁13が設けられており、調整弁13の開度が調整されることで、窒素ガスボンベ12から配管11内を流れて第2の炉心管9内へと供給される窒素ガスの量の供給量が調整される。又、第2の炉心管9の他端側図1では右端側9bには蓋部材14が設けられ、第2の炉心管9の他端側9bの近くには配管15の一端側15aが接続されている。上記した構成では、第1の炉心管4の他端側4bが第2の炉心管9内に位置して開放されており、又、第1の炉心管4内が第2の炉心管9内に対して正圧に制御されることで、アルゴンガスボンベ7から配管6内を流れて第1の炉心管4内へと供給されたアルゴンガスは、第1の炉心管4内から第2の炉心管9内へと供給され、その第2の炉心管9内へと供給されたアルゴンガスは、第1の炉心管4内へと供給される逆流することなく、配管15内を流れて第2の炉心管9の外部へと供給される。即ち、アルゴンガスボンベ7から供給されたアルゴンガスは、第1の炉心管4内及び第2の炉心管9内に滞留することなく外部へと供給される。次に、上記した製造装置を用いて窒化アルミニウム材料を製造する工程について、図2乃至図7も参照して説明する。最初に、図1に示すように、マグネシウムMg16本発明でいう物質に相当を凹形状のケース17に収容した状態で第1の炉心管4内にあって他端側4b開放されている側の近くに配置すると共に、アルミニウムAl18を型19と共に凹形状のケース20に収容した状態で第2の炉心管9内にあって第1の炉心管4の他端側4bの近くに配置する。マグネシウム16は、板形状であっても良いし粒形状であっても良い。アルミニウム18は、型19に接する面に多数の凹部21aと多数の凸部21bとが繰返して連なる凹凸部21を有する形状に形成されている。凹凸部21は、溶融アルミニウムが固化する際に型19の形状により成形されるものであり、後述するように窒化アルミニウム材料が熱交換器の一部として用いられた場合に、熱交換の表面積を大きくする熱交換率を高めるために各凹部21aの底部及び各凸部21bの頂部が鋭角となっている。次いで、このようにしてマグネシウム16を第1の炉心管4内に配置し、アルミニウム18を第2の炉心管9内に配置した後に、第1の炉心管4内及び第2の炉心管9内を真空引きして第1の炉心管4内及び第2の炉心管9内の酸素を含む空気を排出する。次いで、図2に示すように、第1の炉2を加熱し、第1の炉2内にてマグネシウム16を当該マグネシウム16の沸点1080°C以上に加熱することで、マグネシウム16を気化させてマグネシウム蒸気22本発明でいう蒸気に相当を生成するステップS1。この場合、マグネシウム16を気化させてマグネシウム蒸気22を生成する場所、即ち、マグネシウム16の気化される表面に近い部分が第1の場所23に相当する。次いで、図3に示すように、配管6の調整弁8の開度を調整し、アルゴンガスボンベ7に充填されているアルゴンガスを配管6内を通じて第1の炉心管4内へと供給することで、第1の炉心管4内にアルゴンガス雰囲気を形成すると共に、配管11の調整弁13の開度を調整し、窒素ガスボンベ12に充填されている窒素ガスを配管11内を通じて第2の炉心管9内へと供給することで、第2の炉心管9内に窒素ガス雰囲気を形成する。この場合、第1の炉心管4内を第2の炉心管9内に対して正圧とすることで、第1の炉心管4内のアルゴンガスを第2の炉心管9内へと確実に供給させると共に、第2の炉心管9内へと供給されたアルゴンガスが第1の炉心管4内へと供給される逆流することを防止する。又、第2の炉心管9の他端側9b、即ち、アルゴンガスが供給される側とは反対側に配管15が接続されていることで、第1の炉心管4内から第2の炉心管9内へと供給されたアルゴンガスは、アルミニウム18の表面上の空間を水平方向へと流れる。又、第2の炉心管9内の窒素ガスが第1の炉心管4内へと供給される逆流することをも防止する。尚、第2の炉心管9内へと供給する窒素ガスの純度は例えば5N99.999以上であり、このようにして第2の炉心管9内を非酸化の条件とする。非酸化とは、マグネシウム16の窒化及びアルミニウム18の窒化を阻害しない程度の酸素濃度である非酸素の状態であり、又、非水も含む。このようにして第1の炉心管4内のアルゴンガスが第2の炉心管9内へと供給されることで、第1の炉心管4内にて生成されたマグネシウム蒸気22がアルゴンガスの流れにより第2の炉心管9内へと供給される。即ち、アルゴンガスは、マグネシウム蒸気22を第1の炉心管4内から第2の炉心管9内へと移送するキャリアガスとして機能する。次いで、図4に示すように、第2の炉3を加熱し、第2の炉3内にて窒素ガスをアルミニウムの融点660°C以下である約480°Cから660°Cの範囲に加熱し、第1の炉心管4内から第2の炉心管9内へとアルゴンガスにより供給されたマグネシウム蒸気22を窒化させマグネシウム蒸気22と窒素ガスとを反応させ、窒化マグネシウム24本発明でいう反応物に相当を生成するステップS2。この場合、第1の炉心管4の他端部4b、即ち、マグネシウム蒸気22が第1の炉心管4内から第2の炉心管9内へと流出する空間と、第2の炉心管9内に配置されているアルミニウム18との間で、窒素ガスが第2の炉心管9内へと供給されるので、第1の炉心管4内から第2の炉心管9内へと供給されたマグネシウム蒸気22をアルミニウム18に近い部位で窒素ガスと反応させることができ、又、マグネシウム蒸気22を窒化させて生成した窒化マグネシウム24をアルミニウム18の表面上の空間へと速やかに供給することができる。換言すれば、アルミニウム18が後述するように窒化マグネシウム24により窒化される直前で、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとを反応させて窒化マグネシウム24を生成することができる。このようにして生成される窒化マグネシウム24は、アルミニウム18の融点よりも高い温度で当該アルミニウム18と反応した場合に窒化アルミニウムとなる反応の自由エネルギー変化が負となる反応物固体窒化物である。窒化マグネシウム24が形成される化学反応式は以下の通りである。3MgN2→Mg3N2次いで、図5に示すように、第2の炉心管9内を真空引きして第2の炉心管9内の窒素ガスを排出し、第2の炉心管9内にアルゴンガス雰囲気を形成し、第2の炉3を加熱し、アルミニウム18と窒化マグネシウム24とをアルミニウム18の融点付近である約660°Cから窒化マグネシウム24が分解しない1300°Cの範囲に加熱し、アルミニウム18の一部を窒化マグネシウム24により窒化させてアルミニウム18の表面図5では上面に窒化アルミニウムAlN25を形成するステップS3。アルミニウム18の一部を窒化マグネシウム24により窒化させて窒化アルミニウム25を形成する場所、即ち、アルミニウム18の窒化される表面に近い部分が第2の場所26に相当し、上記したようにマグネシウム蒸気22はアルミニウム18に近い部位第2の場所26の近傍にて窒素ガスと反応される。窒化アルミニウム25が形成される化学反応式は以下の通りである。2AlMg3N2→2AlN3Mgこのようにしてアルミニウム18の一部表面を窒化させて窒化アルミニウム25を形成することにより、アルミニウムと窒化アルミニウムとが接合されてなるアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27本発明でいう窒化アルミニウム材料に相当を製造する。そして、第1の炉心管4内及び第2の炉心管9内を常温まで降温し、第1の炉心管4内及び第2の炉心管9内に残留しているアルゴンガスを排出した後に、アルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27を型19から取外す。尚、上記した一連の工程では、窒化マグネシウム24により窒化されないアルミニウム18が残るように、即ち、未反応のアルミニウム18が残るように窒化アルミニウム25を形成することで、アルミニウムと窒化アルミニウムとが接合されてなるアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27を製造する場合を説明したが、窒化マグネシウム24により窒化されないアルミニウム18が残らないように、即ち、未反応のアルミニウム18が残らないように窒化アルミニウム25を形成すれば、窒化アルミニウム単体からなるアルミニウム単体材料を製造することが可能である。要するに、窒化アルミニウム材料とは、アルミニウムと窒化アルミニウムとが接合されてなるアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27、窒化アルミニウム単体からなる窒化アルミニウム単体材料の何れの概念も含む。この場合、アルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27及び窒化アルミニウム単体材料の何れを製造するかは、窒化マグネシウム24の量、即ち、第1の炉心管4から第2の炉心管9へと供給されるマグネシウム蒸気22の供給量マグネシウム蒸気22を移送するアルゴンガスの供給量を調節して選択することができる。このようにして形成されたアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27は、後述する半導体モジュールを冷却するための熱交換器28の一部として用いられる。図6に示すように、上記した製造方法により製造したアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27は、窒化マグネシウム24により窒化されなかった未反応のアルミニウム18の両端面部18a、18b側とアルミニウムを材料として成型されている冷却管部材29の端面部29a、29bとがろう付け接合され、即ち、アルミニウム18と冷却管部材29とがろう付け接合されていることで、冷却管部材29と共に冷却管30を構成している。冷却管30の内部は冷却媒体が流通する冷媒流路31とされている。半導体モジュール32本発明でいう発熱体に相当は例えばインバータやコンバータ等の電力変換装置であり、IGBT等の半導体素子33を内蔵している。半導体素子33は例えば銅を材料として成型されている一対の電極板34、35によりスペーサ36、37を介して挟持されている。電極板34の片面34a及び電極板35の片面35aは半導体モジュール32の表面に露出されており、電極板34の片面35aにはグリス38を介してアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27の窒化アルミニウム25が密着している。上記した構成によれば、半導体モジュール32の電極板32側から発生された熱はグリス38を介してアルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27に伝達され、アルミニウム-窒化アルミニウム複合材料27から冷却媒体に伝達される熱交換される。この場合、アルミニウム18にあって窒化アルミニウム25が形成されている側と反対側には上記したように凹凸部21が形成されているので、アルミニウム18と冷却媒体との接触面積を大きくすることができ、アルミニウム18と冷却媒体との熱交換効率を高めることができ、半導体モジュール32の冷却効率を高めることができる。以上に説明したように本実施形態によれば、マグネシウム16を第1の炉2に配置し、アルミニウム18を第2の炉3に配置し、マグネシウム16を第1の炉2内にて気化させてマグネシウム蒸気22を生成し、その生成したマグネシウム蒸気22をアルゴンガスの流れにより第1の炉2内から第2の炉3内へと供給し、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとを第2の炉3内にて反応させて窒化マグネシウム24を生成し、アルミニウム18を窒化マグネシウム24により窒化させて窒化アルミニウム25を形成するようにしたので、マグネシウム蒸気22を生成する工程と、窒化マグネシウム24とアルミニウム18とを反応させて窒化アルミニウム25を形成する工程とを別々の炉にて行うことができる。その結果、第1の炉2内から第2の炉3内へと供給するマグネシウム蒸気22の供給量を制御することで、窒化マグネシウム24とアルミニウム18とが反応する際の反応量や反応速度を制御することができ、窒化アルミニウム25を所望のサイズ厚さや表面積や密度で形成することができる。即ち、マグネシウム蒸気22の過不足により窒化アルミニウム25の厚さが不均一になったり未反応のアルミニウム18が残ってしまったり低密度になったりすることを回避することができ、窒化アルミニウム25の厚さを均一にしたりアルミニウム18を全て反応させて窒化アルミニウム単体材料を製造したり高密度にしたりすることができる等、窒化アルミニウム材料27を製造する際の自由度を高めることができる。又、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとを反応させ、アルミニウム18の融点よりも高い温度で当該アルミニウム18と反応した場合に窒化アルミニウム25となる反応の自由エネルギー変化が負となる窒化マグネシウム24を生成するようにしたので、アルミニウム18を窒化マグネシウム24により効率良く窒化させることができ、窒化アルミニウム25を効率良く形成することができる。又、マグネシウム蒸気22をアルミニウム18の近傍にて窒素ガスと反応させるようにしたので、窒化アルミニウムを効率良く形成することができる。即ち、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとを反応させて窒化マグネシウム24を生成してからアルミニウム18を窒化マグネシウム24により窒化させるまでの期間が長いと、アルミニウム18を窒化させるのに寄与しない窒化マグネシウム24が析出する虞があるが、マグネシウム蒸気22をアルミニウム18の近傍にて窒素ガスと反応させることで、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとを反応させて窒化マグネシウム24を生成してからアルミニウム18を窒化マグネシウム24により窒化させるまでの期間を極力短くすることができ、窒化マグネシウム24の殆どがアルミニウム18を窒化させるのに寄与することで窒化マグネシウム24が析出することを極力抑制することができる。又、第1の炉2第1の炉心管4内を第2の炉3第2の炉心管9内に対して正圧としたので、第1の炉心管4内のアルゴンガスを第2の炉心管9内へと確実に供給させると共に、第2の炉心管9内へと供給されたアルゴンガスが第1の炉心管4内へと供給される逆流することを防止することができ、マグネシウム蒸気22をアルゴンガスの流れにより第1の炉心管4内から第2の炉心管9内へと確実に供給することができ、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとを反応させて窒化マグネシウム24を確実に生成することができる。又、マグネシウム蒸気22を窒化させて生成した窒化マグネシウム24をアルミニウム18の表面上の空間へと供給するようにしたので、アルミニウム18の表面を窒化マグネシウム24により均一に窒化させて窒化アルミニウム25を形成することができる。更に、マグネシウム蒸気22を窒化させて窒化マグネシウム24を生成する工程と、窒化マグネシウム24とアルミニウム18とを反応させて窒化アルミニウム25を形成する工程とを同一の炉である第2の炉3内にて行うようにしたので、窒化マグネシウム24が空気中の水分と反応して分解することを回避することができる。本発明は、上記した実施形態にのみ限定されるものではなく、以下のように変形又は拡張することができる。マグネシウム16を気化させてマグネシウム蒸気22を生成する第1の炉2と、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとアルミニウム18とを反応させて窒化アルミニウム25を形成する第2の炉3とを別々に設ける構成に限らず、一つの炉内にて複数の場所で独立した温度制御を可能であれば、一つの炉内にて、マグネシウム16を第1の温度制御領域にて気化させてマグネシウム蒸気22を生成し、マグネシウム蒸気22を第1の温度制御領域から当該第1の温度制御領域とは異なる第2の温度制御領域へと供給し、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとアルミニウム18とを第2の温度制御領域にて反応させて窒化アルミニウム25を形成するようにしても良い。又、複数の場所で独立した温度制御を可能でなくとも、一つの炉内における温度分布を利用し、それぞれに適する温度領域を検出することで、マグネシウム16を第1の温度領域にて気化させてマグネシウム蒸気22を生成し、マグネシウム蒸気22を第1の温度領域から当該第1の温度領域とは異なる第2の温度領域へと供給し、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとアルミニウム18とを第2の温度領域にて反応させて窒化アルミニウム25を形成するようにしても良い。マグネシウム蒸気22と窒素ガスとを約480から660°Cの範囲に加熱して反応させる場合を説明したが、反応時間は極めて長くなるが熱力学的には常温であっても反応させることができる。又、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとを反応させて窒化マグネシウム24を生成し、窒化マグネシウム24とアルミニウム18とを反応させて窒化アルミニウム25を形成する場合を説明したが、アルミニウム18と窒素ガスとを直接反応させて窒化アルミニウム25を形成するようにしても良く、マグネシウム蒸気22が触媒として作用しても良い。即ち、マグネシウム蒸気22と窒素ガスとアルミニウム18とを反応させて窒化アルミニウム25を形成することとは、窒化マグネシウム24を中間生成物として生成する場合と、窒化マグネシウム24を中間生成物として生成することなくアルミニウム18と窒素ガスとを直接反応させる場合との双方を含む。物質としては、マグネシウム16に限らず、窒化されたときにアルミニウム18の融点よりも高い温度でアルミニウム18と反応した場合に窒化アルミニウム25となる反応の自由エネルギー変化が負となる反応物を生成する物質であれば良く、例えばガリウムGa、インジウムIn、リチウムLi、バリウムBa、シリコンSi、カルシウムCa、バナジウムV、ニオブN、タンタルTa、ランタンLa等を用いても良い。即ち、反応物としては、例えば窒化ガリウムGaN、窒化インジウムInN、窒化リチウムLi3N、窒化バリウムBa3N2、窒化シリコンSi3N4、窒化カルシウムCa3N2、窒化バナジウムVN、窒化ニオブNbN、窒化タンタルTaN、窒化ランタンLaN等を用いても良い。又、これらの金属に限らず、例えば有機マグネシウム等の有機金属化合物であっても良く、常温で液体の有機金属化合物であれば、その有機金属化合物を加熱することなく低圧とすることで、その有機金属化合物を気化させて蒸気を生成するようにしても良い。即ち、物質を気化させて蒸気を生成する方法はどのような方法であっても良い。非酸化ガスとしては、アルゴンガスに限らず、非酸化雰囲気を形成するガスであれば良く、例えばヘリウムHeガス、ネオンNeガス、クリプトンKrガス、キセノンXeガス、ラドンRnガス、水素H2ガス等を用いても良い。