観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ピエゾステージの前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準データと、前記ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有することを特徴とするステージ装置。観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ピエゾステージの前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準データと、前記ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから指令電圧出力タイミングを変化させた、前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有することを特徴とするステージ装置。観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ピエゾステージの前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準波形データと、前記ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準波形データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有することを特徴とするステージ装置。請求項3に記載のステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記指令電圧出力タイミング補正データに基づいて、一定出力タイミングで前記ウォーキング形ピエゾモータに与えられモータ出力を一定速度とする指令電圧補正波形データを生成し、前記指令電圧生成部は前記指令電圧標準波形データおよび前記指令電圧補正波形データから前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成することを特徴とするステージ装置。請求項1乃至4に記載のステージ装置において、前記ステージ制御装置は、さらに前記指令電圧生成部からの指令電圧を出力する指令電圧出力部を有することを特徴とするステージ装置。請求項1乃至4に記載のステージ装置において、前記ステージ制御装置は、さらに上位計算機からのコマンドを処理するコマンド処理部を有することを特徴とするステージ装置。請求項1乃至6のいずれかに記載のステージ装置において、前記ステージ装置は、前記観察サンプルの変位を測定する変位測定器と、前記ウォーキング形ピエゾモータの出力を一定速度に補正する補正データ生成部を有することを特徴とするステージ装置。請求項1乃至6のいずれかに記載のステージ装置において、前記ステージ装置は、前記ピエゾステージと前記ステージ制御装置の間にフィードバック制御手段を設け、該フィードバック制御手段は、可動質量変化若しくは経年劣化に基づき、前記指令電圧出力タイミング補正データ、または前記指令電圧補正波形データを更新することを特徴とするステージ装置。請求項1乃至7のいずれかに記載のステージ装置を備え、前記観察サンプルを観察する観察部を有することを特徴とする荷電粒子装置又は光学顕微鏡からなる観察装置。観察サンプルを載置する可動テーブルをモータにより駆動するステージと、前記ステージを駆動するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ステージの前記モータを駆動する指令電圧標準データと、前記モータに一定速度の出力を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから前記モータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有することを特徴とするステージ装置。観察サンプルを載置する可動テーブルをモータにより駆動するステージと、前記ステージを駆動するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ステージの前記モータを駆動する指令電圧標準データと、前記モータに一定速度の出力を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから指令電圧出力タイミングを変化させた、前記モータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有することを特徴とするステージ装置。観察サンプルを載置する可動テーブルをモータにより駆動するステージと、前記ステージを駆動するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ステージの前記モータを駆動する指令電圧標準波形データと、前記モータに一定速度の出力を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準波形データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから前記モータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有することを特徴とするステージ装置。請求項12に記載のステージ装置において、前記ステージ装置は、前記指令電圧出力タイミング補正データに基づいて、一定出力タイミングで前記モータに与えられ前記モータの出力を一定速度とする指令電圧補正波形データを生成し、前記指令電圧生成部は前記指令電圧標準波形データおよび前記指令電圧補正波形データから前記モータを駆動する指令電圧を生成することを特徴とするステージ装置。特許文献1では、複数のピエゾ素子から構成したピエゾ駆動体を2個用いて、各ピエゾ駆動体を交互に位置決め対象可動物に接触離反させるウォーキング動作駆動ユニットを構成し、ウォーキング動作を用いて移動制御上の誤差をより正確に補正できるようにし、信頼性の高い極めて高精度な位置決めを実現できるアライメント装置の制御方法について記載されている。しかしながら、特許文献1では高精度な位置決めを行うために停止時の位置決め誤差を補正するだけであり、速度安定性については保証していない。また、SEMにおいては、対物レンズ直下にXYステージを配置し、観察サンプルはXYステージ上の可動テーブルに固定される。ここで、高倍率に拡大された計測視野において、観察しながらXYステージ上の可動テーブルを駆動し観察サンプルを位置決めする。しかし、ステージ移動時の速度安定性が悪いと観察者が位置決めのアプローチを行う際に操作性が悪く、高精度な位置決めを行うことが困難であるという問題がある。本発明の一態様によれば、観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、ステージ制御装置は、ピエゾステージのウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準データと、ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも指令電圧標準データおよび指令電圧出力タイミング補正データからウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ装置が提供される。本発明に係るステージ装置によれば、ピエゾステージのウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準データと、ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも指令電圧標準波形データおよび指令電圧出力タイミング補正データからウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ制御装置を備えることにより、位置決めする際にステージの速度を一定に安定させ、高精度な位置決めを行うことができる。以下に本発明の実施例を図面について説明する。ステージ装置の構成本発明の実施例1として、指令電圧の可変出力タイミング機能を持つピエゾモータを用いたステージ装置について説明する。図1において、ピエゾステージ1は、可動体であるウォーキング型ピエゾモータ102と、ピエゾモータに取り付けられる搬送部材である可動テーブル101とを備えている。10は観察サンプル、103は固定子である。ピエゾステージ1はステージ制御装置3によってモータ駆動部2を介して制御されている。ステージ制御装置3は、上位計算機6からの速度や移動距離のコマンドによって、指令値を出力する。ステージ制御装置3には、コマンド処理部301と、指令電圧生成部302と、指令電圧出力部303と、例えばメモリ等に保持された指令電圧標準波形データ304と指令電圧出力タイミング補正データ305とを備えている。指令電圧生成部302は、指令電圧標準波形データ304と指令電圧出力タイミング補正データ305から、ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する。この生成された指令電圧により、ピエゾモータのアナログ電圧出力タイミングを制御することにより、高い位置決め精度と速度安定性を持つ駆動を実現させる。Cは測定装置、5は測定データ処理部、4は補正データ生成部である。ピエゾモータの駆動原理次に、ウォーキング型ピエゾモータの動作原理について説明する。図2に示すように、ウォーキング型ピエゾモータは、貼り合わせた左右一対のピエゾ素子7への印加電圧差を利用して屈曲するバイモルフ型のピエゾ素子を2本以上用いたピエゾモータである。特に2足歩行動作を行う可動体ユニットについて説明する。図3はウォーキング型ピエゾモータの駆動における可動体のピエゾ素子と指令電圧波形の関係を示している。ウォーキング型ピエゾモータは、指令電圧によりピエゾ素子の左右の伸縮量を制御することにより左右方向の屈曲量を制御し、それによって地面を歩くように可動体9の移動を制御できる。例えば、ピエゾ素子Aが固定子8に接触して動いている間に可動体9は移動し、その間にピエゾ素子Bは振り戻り動作を行う。また、その指令電圧波形の周期を変えることで速度を制御する。変位応答と速度応答図4は、指令電圧生成部302から指令電圧波形を一定の出力タイミングで4周期分入力した際のピエゾモータの速度応答波形を示す。図4から可動体の速度が指令速度に対して変動が大きいことがわかる。その理由は、ピエゾ素子の角度や長さ、特に屈曲量にばらつきが生じるために速度安定性が悪化するためである。次に、図4の速度応答波形において、移動開始時と移動終了時の速度応答波形をそれぞれ半周期ずつ除いて3周期分を取り出し、1周期分毎に実測速度を重ねて表示したグラフを図5に示す。また、同様に1周期分毎に実測変位を重ねて表示したグラフを図6に示す。図5、図6から1周期目から3周期までの速度応答と変位応答の波形形状が、それぞれほぼ一致していることがわかる。すなわち、ピエゾモータの速度応答と変位応答には周期性があり、その周期は指令電圧波形の周期と一致している。このような周期性は、駆動位置や速度によらず確認できる。そこで、本発明ではこの周期性を利用して、事前に計測したピエゾモータの変位または速度から予め指令電圧出力タイミング補正データを求め、指令電圧出力タイミングを制御することにより、速度安定性が高い駆動を可能とする。特に、事前に計測したピエゾモータの変位または速度から予め指令電圧出力タイミング補正データを求め、指令電圧出力タイミングを可変制御する。例えば、ステージのモータを駆動する指令電圧標準データと、モータに一定速度の出力を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも指令電圧標準データおよび指令電圧出力タイミング補正データから指令電圧出力タイミングを変化させた、モータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有する。指令電圧出力タイミングの補正ここで、指令電圧標準波形データの分割数をn、指令電圧出力タイミング補正データの分割タイミングD/A出力タイミングをΔt、分割点iの計測変位をy[i]、分割点iの計測速度をv[i]とする。速度安定性が高い駆動を実現するために、分割点iの速度が指令速度v一定値に一致するように、指令電圧出力タイミング補正データを次式により求める。数1Δt[i]=y[i1]-y[i]/v1図7に、上記式1によって、1周期分の指令電圧出力タイミング補正データを求める方法のフローチャートを示す。指令電圧標準波形データを一定の出力タイミングで1周期分以上ピエゾステージに入力し、その変位または速度を計測器で測定しステップS10、各分割点間での移動距離y[i1]-y[i]を求めて指令速度v一定値で除算しS40、各分割点での指令電圧出力タイミング補正データを求める。この計算を最初の分割点i=0から1周期分の分割点nまで求めS20、S30、S50、指令電圧出力タイミング補正データのテーブルを生成するS60。図8に、各分割点の指令電圧波形を、求めた指令電圧出力タイミング補正データによってD/A出力した場合の、指令電圧波形データ及び変位データの実測値を示す。図8に示したように、式1で示すとおり実測変位はほぼ一直線上に並んでおり、指令電圧出力タイミング補正データで出力タイミングを可変制御することで、高い速度安定性が得られている。[本実施例に係る効果]本実施例によれば、以下に記すa~cのうちの一つ又は複数の効果を奏する。aステージ装置において、ピエゾステージのウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準データと、ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも指令電圧標準波形データおよび指令電圧出力タイミング補正データからウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ制御装置を備えることにより、位置決めする際にステージの速度を一定に安定させ、高精度な位置決めを行うことができるステージ装置を提供することができる。bモータ駆動部に与えるアナログ電圧を可変タイミング出力することにより、位置決めする際に搬送部材のステージの速度を一定に安定させ、高精度な位置決めを行うことができる。cステージ制御装置が、指令電圧出力タイミング補正データに基づいて、一定出力タイミングでウォーキング形ピエゾモータに与えられモータ出力を一定速度とする指令電圧補正波形データを生成し、指令電圧生成部は指令電圧標準波形データおよび指令電圧補正波形データからウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成することにより、位置決めする際に搬送部材のステージの速度を一定に安定させ、高精度な位置決めを行うことができる。指令電圧波形の補正また、本発明において、図8に示したような直線的変位を得られるように補正された指令電圧波形以下、指令電圧補正波形でウォーキング型ピエゾモータを駆動すれば同じ効果が得られる。そこで、得られた指令電圧補正波形を一定の出力タイミングでD/A出力することによっても、速度安定性が高い駆動を実現できる。実施例2は上記の方式でピエゾモータを駆動制御する例を示す。すなわち、図9に示すように、補正データ生成部4において三角印で示す指令電圧出力タイミング補正データを基に、一定の出力タイミングの分割点での指令電圧を線形補間によって求め、丸印でしめす一定の出力タイミングで駆動可能な指令電圧補正波形データを生成することが可能である。ステージ装置における指令電圧補正波形データ306の利用方法を図10に示す。ステージ制御装置3において、図1に示す指令電圧出力タイミング補正データ305に替えて、図10では指令電圧補正波形データ306を用いる。なお、本発明の駆動方式は、事前にピエゾ素子の変位または速度を計測し、その計測結果を用いて、指令電圧出力タイミング補正データ、または指令電圧補正波形データを求め、オープンループ制御で制御を行う。従って、ピエゾ素子の角度や長さ、特に屈曲量のばらつきについて補償しているが、外乱や可動質量の変化には対応できない。そこで、その補償を行うためにリニアスケール等を用いてフィードバックループを構成することも可能である。このフィードバックループを構成することにより、可動質量変化若しくは、経時変化に基づき、指令電圧出力タイミング補正データ、または指令電圧補正波形データの更新をも行うことができる。さらに、この駆動方式は、周期的な変動を持つモータであれば、ウォーキング型ピエゾモータ以外にも適用可能である。例えば、ステッピングモータでも適用可能となる。ステッピングモータを適用する際には、好適にはボールねじステージを適応すると良い。ボールねじステージを適用することで、ピッチ誤差と呼ばれる、ボールねじ1回転の周期的な誤差に対して、補正することが可能となる。このときのモータを駆動する指令電圧標準データは、波形データではなく、パルスデータとなる。すなわち、指令電圧標準データとしては、指令電圧標準波形データのみならず、パルスデータのようなその他のデータでも適用可能となる。なお、指令電圧標準データとして、指令電圧標準波形データを用いると、ステージ速度変動との対応がオシロスコープなどで測定することにより、対応させやすいなどの利点がある。[本実施例に係る効果]本実施例によれば、実施例1に記載の効果、又は、以下に記すaのうちの一つ又は複数の効果を奏する。aステージ装置において、ピエゾステージのウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準データと、ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも指令電圧標準波形データおよび指令電圧出力タイミング補正データからウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ制御装置を備えることにより、位置決めする際にステージの速度を一定に安定させ、高精度な位置決めを行うことができる。次に、図11に示す実施例3において、本発明の制御方法を備えたステージ装置を適用した観察サンプルを観察する観察部を有する荷電粒子装置について説明する。図11において、荷電粒子装置の例として、観察サンプル10を高倍率で解析する観察装置としてSEM14について説明する。対物レンズ11直下に観察サンプル10をXYステージ12上の可動テーブル13に固定する。ここで、上記ステージ装置で駆動されるXYステージ12を計測視野に観察しながら移動させることにより、観察サンプル10を撮像または解析する。しかし、XYステージ12の速度安定性が悪化すると、SEM14による観察位置を正確に決めることができない。そこで、図1または図10に示した本発明の制御装置を備えたステージ装置を採用することで、高い速度安定性が確保でき、SEMの操作性向上が図れるとともに、高精度な位置決めを行うことができる。また、図1、または図10の制御装置を用いることで、高い速度安定性をオープンループ制御で実現するために、高価なサーボモータやセンサを使用せずにステージ装置の性能を最大限に引き出すことができ、装置コストの低減が可能となる。さらに、この制御装置の適用は上述した荷電粒子装置に限定されず、その他の荷電粒子装置や、光学式顕微鏡等の観察装置でも同様の効果が得られることは明らかである。[本実施例に係る効果]本実施例によれば、実施例1、実施例2に記載の効果、又は、以下に記すaのうちの一つ又は複数の効果を奏する。a本発明のステージ装置を搭載した荷電粒子装置、光学式顕微鏡の操作性向上を図ることができる。[本発明の好ましい態様]以下に、本発明の好ましい態様について付記する。本発明の第1の態様は、観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ピエゾステージの前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準データと、前記ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ装置である。また、本発明の第2の態様は、観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ピエゾステージの前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準データと、前記ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから指令電圧出力タイミングを変化させた、前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ装置である。また、本発明の第3の態様は、観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ピエゾステージの前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧標準波形データと、前記ウォーキング形ピエゾモータの出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準波形データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ装置である。好ましくは、前記ステージ制御装置は、前記指令電圧出力タイミング補正データに基づいて、一定出力タイミングで前記ウォーキング形ピエゾモータに与えられモータ出力を一定速度とする指令電圧補正波形データを生成し、前記指令電圧生成部は前記指令電圧標準波形データおよび前記指令電圧補正波形データから前記ウォーキング形ピエゾモータを駆動する指令電圧を生成する。さらに好ましくは、前記ステージ制御装置は、さらに前記指令電圧生成部からの指令電圧を出力する指令電圧出力部を有する。さらに好ましくは、前記ステージ制御装置は、さらに上位計算機からのコマンドを処理するコマンド処理部を有する。さらに好ましくは、前記ステージ装置は、前記観察サンプルの変位を測定する変位測定器と、前記ウォーキング形ピエゾモータの出力を一定速度に補正する補正データ生成部を有する。さらに好ましくは、前記ステージ装置は、前記ピエゾステージと前記ステージ制御装置の間にフィードバック制御手段を設け、該フィードバック制御手段は、可動質量変化若しくは経年劣化に基づき、前記指令電圧出力タイミング補正データ、または前記指令電圧補正波形データを更新する。さらに好ましくは、前記観察サンプルを観察する観察部を有する荷電粒子装置又は光学顕微鏡からなる観察装置である。また、本発明の第4の態様は、観察サンプルを載置する可動テーブルをモータにより駆動するステージと、前記ステージを駆動するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ステージの前記モータを駆動する指令電圧標準データと、前記モータに一定速度の出力を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから前記モータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ装置である。また、本発明の第5の態様は、観察サンプルを載置する可動テーブルをモータにより駆動するステージと、前記ステージを駆動するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ステージの前記モータを駆動する指令電圧標準データと、前記モータに一定速度の出力を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから指令電圧出力タイミングを変化させた、前記モータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ装置である。また、本発明の第5の態様は、観察サンプルを載置する可動テーブルをモータにより駆動するステージと、前記ステージを駆動するステージ制御装置を有するステージ装置において、前記ステージ制御装置は、前記ステージの前記モータを駆動する指令電圧標準波形データと、前記モータに一定速度の出力を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データと、少なくとも前記指令電圧標準波形データおよび前記指令電圧出力タイミング補正データから前記モータを駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部を有するステージ装置である。好ましくは、前記ステージ装置は、前記指令電圧出力タイミング補正データに基づいて、一定出力タイミングで前記モータに与えられ前記モータの出力を一定速度とする指令電圧補正波形データを生成し、前記指令電圧生成部は前記指令電圧標準波形データおよび前記指令電圧補正波形データから前記モータを駆動する指令電圧を生成する。