"被検試料が流通する貫通孔及びこの貫通孔の一部に連通し、内面を有する開口部を有するセンサ本体と、前記開口部を閉塞して形成され、所定のイオンに選択的に応答する感応膜と、前記センサ本体により、前記内面から前記感応膜が保持される側に一部が出て配置され、当該感応膜で応答した電位を外部に出力するための出力子と、前記出力子のうち、前記内面から前記感応膜が保持される側に出ている一部の表面に形成される内部電極と、を備え、前記感応膜は、前記内面のうち前記出力子が保持されている部分で保持されていることを特徴とするイオン選択性電極。前記出力子の一端部はリング状を成し、当該リング状の内周部分が前記内面から前記感応膜が保持される側に出て配置されることを特徴とする請求項1記載のイオン選択性電極。前記開口部は、前記貫通孔に近づくに従い、その開口の面積が狭くなる傾斜面を有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のイオン選択性電極。前記開口部は、少なくとも第1の開口部及びこの第1の開口部から離間して位置する第2の開口部からなり、前記第1の開口部を閉塞して形成された第1のイオンに選択的に応答する第1の感応膜、及びこの第1の感応膜で応答した電位を外部に出力するための前記センサ本体に保持された第1の出力子と、前記第2開口部を閉塞して形成された第2イオンに選択的に応答する第2感応膜、及びこの第2感応膜で応答した電位を外部に出力するための前記センサ本体に保持された第2出力子と、を備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載のイオン選択性電極。前記出力子は、この一端部が前記傾斜面で前記感応膜に接合し、他端部が前記センサ本体から外側に出た外部の装置に接続可能な出力ピンであることを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載のイオン選択性電極。前記感応膜の一面は、前記貫通孔の面の一部を形成していることを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載のイオン選択性電極。前記感応膜の他面を覆うように前記センサ本体に着脱自在に取り付けた蓋を有することを特徴とする請求項6に記載のイオン選択性電極。請求項1乃至請求項3に記載のイオン選択性電極と、前記被検試料が流通する貫通孔を有する参照電極本体、この参照電極本体の貫通孔に形成された液絡孔、前記液絡孔を介して前記被検試料に流通可能に前記参照電極本体内に収容された内部液、及びこの内部液に一端部が接触して前記液絡孔におけるほぼ一定な電位を出力するための出力子を有する参照電極と、前記センサ本体の貫通孔及び前記参照電極本体の貫通孔を貫通するように配置された前記センサ本体及び前記参照電極本体を着脱可能に狭持する支持体と、を備えたことを特徴とするイオン選択性電極モジュール。前記センサ本体と前記参照電極本体の間の貫通孔の外周に、前記センサ本体と前記参照電極本体の間から前記被検試料が漏洩するのを防ぐためのパッキングが配置されていることを特徴とする請求項8に記載のイオン選択性電極モジュール。前記支持体は、互いに螺合する面を有する第1及び第2の支持体を有し、前記センサ本体及び前記参照電極本体を収容した前記第1の支持体に、前記第2の支持体を螺合して前記センサ本体及び前記参照電極本体を狭持するようにしたことを特徴とする請求項8に記載のイオン選択性電極モジュール。被検試料が流通する貫通孔と、この貫通孔の一部に連通し、内面を有する開口部とを有するセンサ本体の前記貫通孔にほぼ隙間なく適合するピンを挿通し、所定のイオンに選択的に応答する感応物質からなる感応膜が、前記内面のうち、前記センサ本体に保持され前記感応膜で応答した電位を外部に出力するための出力子の一端部が保持されている部分を含んだ部分で保持され、前記出力子の一端部は、前記内面から前記感応膜が保持される側に出て配置され、前記内面から前記感応膜が保持される側に出ている一部の表面に形成される内部電極と前記感応膜とが接するように前記感応物質を含む成分を溶剤に溶解した溶解液を塗布し、塗布した前記溶解液の溶剤が気化した後に、前記貫通孔から前記ピンを抜くことを特徴とするイオン選択性電極の製造方法。しかしながら、塗布した溶解液内に気泡が発生し、乾燥した後にその気泡により感応膜に気孔が形成されることがある。その気孔が被検試料と接触する感応膜の表面に形成されると、製造したイオン選択性電極を例えば濃度の異なる複数の被検試料を用いて検査するとき、感応膜の気孔内に以前の被検試料が残存し、次に測定する被検試料を汚染して測定結果に悪影響を与える。これにより、イオン選択性電極の歩留まりが低下する問題がある。本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、高い歩留まりを有するイオン選択性電極、イオン選択性電極モジュール、及びイオン選択性電極の製造方法を提供することを目的としている。上記目的を達成するために、請求項1に係る本発明のイオン選択性電極は、被検試料が流通する貫通孔及びこの貫通孔の一部に連通し、内面を有する開口部を有するセンサ本体と、前記開口部を閉塞して形成され、所定のイオンに選択的に応答する感応膜と、前記センサ本体により、前記内面から前記感応膜が保持される側に一部が出て配置され、当該感応膜で応答した電位を外部に出力するための出力子と、前記出力子のうち、前記内面から前記感応膜が保持される側に出ている一部の表面に形成される内部電極と、を備え、前記感応膜は、前記内面のうち前記出力子が保持されている部分で保持されていることを特徴とする。また、請求項8に係る本発明のイオン選択性電極モジュールは、請求項1乃至請求項3に記載のイオン選択性電極と、前記被検試料が流通する貫通孔を有する参照電極本体、この参照電極本体の貫通孔に形成された液絡孔、前記液絡孔を介して前記被検試料に流通可能に前記参照電極本体内に収容された内部液、及びこの内部液に一端部が接触して前記液絡孔におけるほぼ一定な電位を出力するための出力子を有する参照電極と、前記センサ本体の貫通孔及び前記参照電極本体の貫通孔を貫通するように配置された前記センサ本体及び前記参照電極本体を着脱可能に狭持する支持体と、を備えたことを特徴とする。更に、請求項11に係る本発明のイオン選択性電極の製造方法は、被検試料が流通する貫通孔と、この貫通孔の一部に連通し、内面を有する開口部とを有するセンサ本体の前記貫通孔にほぼ隙間なく適合するピンを挿通し、所定のイオンに選択的に応答する感応物質からなる感応膜が、前記内面のうち、前記センサ本体に保持され前記感応膜で応答した電位を外部に出力するための出力子の一端部が保持されている部分を含んだ部分で保持され、前記出力子の一端部は、前記内面から前記感応膜が保持される側に出て配置され、前記内面から前記感応膜が保持される側に出ている一部の表面に形成される内部電極と前記感応膜とが接するように前記感応物質を含む成分を溶剤に溶解した溶解液を塗布し、塗布した前記溶解液の溶剤が気化した後に、前記貫通孔から前記ピンを抜くことを特徴とする。本発明によれば、被検試料が流通する貫通孔を有するイオン選択性電極本体に貫通孔の一部に連通するすり鉢状の開口部を設け、この開口部に感応膜を形成することにより、イオン選択性電極の歩留まり及び品質の向上を図ることができる。以下に、本発明によるイオン選択性電極モジュールの実施例を、図1乃至図11を参照して説明する。図1は、本発明の実施例に係るイオン選択性電極モジュールの構成を示した図である。このイオン選択性電極モジュール10は、被検試料に含まれる例えばナトリウムイオン、カリウムイオン、塩素イオンなどの特定のイオンに対して選択的に応答するイオン選択性電極を備えたイオンセンサ部1と、イオンセンサ部1のイオン選択性電極の基準となる参照電極2と、イオンセンサ部1の各イオン選択性電極及び参照電極2を狭持する支持体3とを備えている。イオンセンサ部1は、第1の製造工程で製造される複数のイオン選択性電極を備えた蓋9を有するマルチイオンセンサ4と、第1の製造工程とは異なる第2の製造工程で製造される第3のイオン選択性電極5を備えている。次に、図1乃至図4を参照して、マルチイオンセンサ4の構成を説明する。図2は、マルチイオンセンサ4の構成を示す図である。そして、図2aは、図1に示した蓋9を取り外したマルチイオンセンサ4を側面から見た図であり、また図2bは、図2aのマルチイオンセンサ4の線X-Xにおける断面を示した図である。更に、図3は、図2bに示したマルチイオンセンサ4の一部を拡大した図である。図4は、マルチイオンセンサ4の一部の構成を示す図である。図2において、マルチイオンセンサ4は、電気絶縁性に優れた材料である例えば硬質の塩化ビニールPVCからなる第1のセンサ本体6と、この第1のセンサ本体6に保持された例えばナトリウイオン等の第1のイオンに選択的に応答する第1の感応膜71を有する第1のイオン選択性電極7と、第1のセンサ本体6に保持された例えばカリウムイオン等の第2のイオンに選択的に応答する第2の感応膜81を有する第2のイオン選択性電極8と、第1のセンサ本体6に着脱自在に配置された蓋9とを備えている。第1のセンサ本体6は、円柱状の側面の一部に突起6aが形成された形状をなし、第1のイオン選択性電極7と第2のイオン選択性電極8の間の絶縁が可能なように絶縁材から形成される。また、第1のセンサ本体6の円柱状部分の上面及び底面に当たる一面6b及び他面6cの夫々中心近傍を貫通する第1の貫通孔6dを備えている。そして、支持体3の狭持により他面6cが第3のイオン選択性電極5に圧接した状態で、一面6b側の第1の貫通孔6dから流入した被検試料を、他面6c側の第1の貫通孔6dから第3のイオン選択性電極5に流出する。また、第1の貫通孔6dを中心として突起6aからほぼ90°回転した前記円柱状の側面に形成された第1の貫通孔6dの一部に連通する第1の開口部6e及び第2の開口部6fを備えている。第1の開口部6eは、第1のセンサ本体6の一面6bの近傍に位置し、図3に示すように、第1のセンサ本体6の側面から第1の貫通孔6dに近づく従い、その開口の面積が狭くなるすり鉢状の傾斜面0<θ1<90°を形成している。第2の開口部6fは、第1の開口部6eから離間して第1のセンサ本体6の他面6cの近傍に位置し、第1の開口部6eと同様に、第1のセンサ本体6の側面から第1の貫通孔6dに近づく従い、その開口の面積が狭くなるすり鉢状の傾斜面を形成している。第1のイオン選択性電極7は、第1のセンサ本体6の第1の開口部6eを閉塞して形成された第1の感応膜71、及びこの第1の感応膜71で検出した第1のイオンに応答する電位を出力するための第1の出力子72により構成される。第1の感応膜71は、第1のイオンに選択的に応答する例えばクラウンエーテル系の第1の感応物質及びこの第1の感応物質を包含するPVC等により構成される。そして、図3に示したように、第1の感応膜71の一面が第1の貫通孔6dの一部を形成し、その一面と第1の開口部6eの傾斜面の境界は凹凸のない滑らかな面になっている。また、前記一面と他面の間の側面が第1の開口部6eの傾斜面で保持されている。このように、第1のセンサ本体6に蓋9を未装着の状態で、第1の開口部6eに形成された第1の感応膜71を観察することができる。第1の出力子72は、例えば銀から形成されており、図4に示すように、一端部がリング状をなし、他端部が前記リング状の一部から伸びた棒状をなしている。また、一端部におけるリング状の内周部分が第1の開口部6eの傾斜面から外側に出た位置に配置され、前記内周部分の表面に塩化銀が形成された内部電極72aを構成している。この内部電極72aに第1の感応膜71が接合されている。このように、内部電極72aに第1の感応膜71を接合することにより、内部液を必要としないので、第1のイオン選択性電極7を小型にすることができる。また、他端部の一部が突起6aの外側に配置され、イオン選択性電極モジュール10が装着される例えば電解質測定装置に接続される第1の出力ピン72bを構成している。そして、第1のセンサ本体6の第1の貫通孔6dに流入した被検試料等に含まれる第1のイオンに応答した第1の感応膜71の電位を、内部電極72aを介して電解質測定装置に出力する。更に、内部電極72a及び第1の出力ピン72b以外の部分が第1のセンサ本体6に保持されている。なお、第1の出力ピン72bが第1の貫通孔6dに対して垂直に配置可能なように、第1のセンサ本体6に保持されている部分が屈曲している。第2のイオン選択性電極8は、第1のイオン選択性電極7から離間して配置され、第1のセンサ本体6の第2の開口部6fを閉塞して形成された第2の感応膜81、及びこの第2の感応膜81で検出した第2のイオンに応答する電位を出力するための第2の出力子82により構成される。第2の感応膜81は、第2のイオンに選択的に応答する例えばクラウンエーテル系の第2の感応物質及びこの第2の感応物質を包含するPVC等により構成される。そして、図3に示した第1の感応膜71と同様に、第2の感応膜81の一面が第1の貫通孔6dの一部を形成し、その一面と第2の開口部6fの傾斜面の境界は凹凸のない滑らかな面になっている。また、前記一面と他面の間の側面が第2の開口部6fの傾斜面で保持されている。このように、第1のセンサ本体6に蓋9を未装着の状態で、第2の開口部6fに形成された第2の感応膜81を観察することができる。第2の出力子82は、第1の出力子72と同様にして形成され、一端部がリング状をなし、他端部が前記リング状の一部から伸びた棒状をなしている。また、一端部におけるリング状の内周部分が第2の開口部6fの傾斜面から外側に出た位置に配置され、前記内周部分の表面に塩化銀が形成された内部電極82aを構成している。この内部電極82aに第2の感応膜81が接合されている。このように、内部電極82aに第2の感応膜81を接合することにより、第2のイオン選択性電極8を小型にすることができる。また、他端部の一部が突起6aの外側に配置され、イオン選択性電極モジュール10が装着される電解質測定装置に接続される第2の出力ピン82bを構成している。そして、第1のセンサ本体6の第1の貫通孔6dに流入した被検試料等に含まれる第2のイオンに応答した第2の感応膜81の電位を、内部電極82aを介して電解質測定装置に出力する。更に、内部電極82a及び第2の出力ピン82b以外の部分が第1のセンサ本体6に保持されている。蓋9は、イオン選択性電極モジュール10の外部から第1のセンサ本体6の第1及び第2の開口部6e,6f内に液体や高湿度の気体等が浸入し、第1のイオン選択性電極7の第1の感応膜71と第2のイオン選択性電極8の第2の感応膜81の間の電気絶縁性が低下するのを防ぐために設けられている。このように、第1のセンサ本体6を用いて複数の第1及び第2のイオン選択性電極7,8を作製することにより、第1の貫通孔6dで構成される滑らかな被検試料の流路を形成することができる。また、部品のコストを低減することができる。なお、第1のセンサ本体6に更に第3の開口部を設け、この第3の開口部に第4のイオンに応答する第4の感応膜を形成した第4のイオン選択性電極を設けるようにしてもよい。また、小型化を必要としない場合、内部電極72a,82aを第1及び第2の感応膜71,81の他面の上方に配置し、上方に配置した内部電極と第1及び第2の感応膜71,81の間に電解質を含む内部溶液を封入するようにしてもよい。次に、図5を参照して、イオンセンサ部1の第3のイオン選択性電極5の構成を説明する。図5は、第3のイオン選択性電極5の断面を示した図である。この第3のイオン選択性電極5は、電気絶縁性に優れた例えばPVCからなる第2のセンサ本体51と、この第2のセンサ本体51に保持された例えば塩素イオン等の第3のイオンに選択的に応答する第3の感応膜52と、この第3の感応膜52で検出した第3のイオンに応答する電位を出力するための第3の出力子53とにより構成される。第2のセンサ本体51は、円柱状の側面の一部に突起51aが形成された形状をなし、前記円柱状部分の上面及び底面に当たる一面51b及び他面51cの夫々中心近傍を貫通する第2の貫通孔51dを備えている。そして、支持体3の狭持により一面51bがマルチイオンセンサ4における第1のセンサ本体6の他面6cに圧接し、他面51cが参照電極2に圧接した状態で、一面51b側の第2の貫通孔51dから流入した被検試料を他面61c側の第2の貫通孔51dから参照電極2に流出する。突起51aの一面51b側の一面は第1のセンサ本体6の他面6c側の突起6aの他面と同じサイズであり、また一面51bは他面6cと同じサイズであり、更に第2の貫通孔51dは第1のセンサ本体6の第1の貫通孔6dの孔の断面と同じサイズである。そして、支持体3で狭持されると、第2のセンサ本体51の一面51b及び突起51aの一面が第1のセンサ本体6の他面6c及び突起6aの他面に一致し、且つ第2の貫通孔51dが第1の貫通孔6dに一致するように、一面51bが他面6cに圧接する。また、他面51cが参照電極2に圧接する。第3の感応膜52は、第3のイオンに選択的に応答する第3の感応物質等により構成され、第3のイオンが塩素イオンであると、例えば塩化銀を含む混合物を加圧成形することにより形成される。加圧成形された混合物は円柱状をなし、この円柱状の中心近傍を貫通する孔が第2の貫通孔51dの一部を形成し、円柱状の孔以外の面で第2のセンサ本体51に保持されている。第3の出力子53の一端面は、第3の感応膜52の側面に接続されている。また、他端部は突起51aの外側に電解質測定装置に接続可能な第3の出力ピン53bを形成し、支持体3に狭持されると、マルチイオンセンサ4における第2のイオン選択性電極8の第2の出力ピン82bに平行に配置される。更に、一端面及び第3の出力ピン53b以外の部分は、第2のセンサ本体51に保持されている。そして、第2のセンサ本体51の第2の貫通孔51dに流入した被検試料等に含まれる第3のイオンに応答した第3の感応膜52の電位を電解質測定装置に出力する。なお、第3の出力ピン53bが第2の貫通孔51dに対して垂直に配置されている。次に、図6を参照して、参照電極2の構成を説明する。図6は、参照電極2の断面を示した図である。この参照電極2は、電気絶縁性に優れた例えばPVCから形成された参照電極本体21と、この参照電極本体21に保持された液絡孔22と、この液絡孔22を介して被検試料と流通可能に参照電極本体21内に収容された内部液23と、この内部液23に接触して液絡孔22で検出した被検試料に対する電位を出力するための第4の出力子24とを備えている。参照電極本体21は、円柱状の側面の一部に突起21aが形成された形状をなし、前記円柱状部分の上面及び底面に当たる一面21b及び他面21cの夫々中心近傍を貫通する第3の貫通孔21dと、前記円柱状内の第3の貫通孔21dの外周に形成された凹部とを備えている。そして、支持体3の狭持により一面21bが第3のイオン選択性電極5における第2のセンサ本体51の他面51cに圧接した状態で、第2のセンサ本体51の第2の貫通孔51dから一面21b側の第3の貫通孔21dから流入した被検試料を他面21c側の第3の貫通孔21dから外部に排出する。突起21aの一面21b側の一面は第2のセンサ本体51の他面51c側の突起51aの他面と同じサイズであり、また一面21bは他面51cと同じサイズであり、更に第3の貫通孔21dは第2のセンサ本体51の第2の貫通孔51dの孔の断面と同じサイズである。そして、支持体3で狭持されると、一面21b及び突起21aの一面が他面51c及び突起51aの他面に一致し、且つ第3の貫通孔21dが第2の貫通孔51dに一致するように、一面21bが他面51cに圧接する。液絡孔22は、例えば管状の多孔質からなり、この多孔質の内面が参照電極本体21の第3の貫通孔21aの一部を形成している。また、多孔質の一端部及び他端部が参照電極本体21に保持されている。内部液23は、高濃度の塩化カリウム等を含んでおり、第3の貫通孔21aに流入した被検試料に対して液絡孔22を介して流通可能に参照電極本体21内部の凹部に収容されている。第4の出力子24の一端部は、参照電極本体21の凹部に配置され、例えば銀/塩化銀からなる内部電極24aを形成し、内部液23に接触している。また、他端部は、参照電極本体21の突起21aの外側に、電解質測定装置に接続可能な第4の出力ピン24bを形成し、支持体3に狭持されると第3のイオン選択性電極5の第3の出力ピン53bに平行に配置される。更に、内部電極24a及び第4の出力ピン24b以外の部分は、参照電極本体21に保持されている。そして、参照電極本体21の第3の貫通孔21dに流入した被検試料に応答する液絡孔22の一定な電位を電解質測定装置に出力する。なお、第4の出力ピン24bは、第3の貫通孔21dに対して垂直になるように配置されている。次に、図1及び図7を参照して、支持体3の構成を説明する。図7は、イオンセンサ部1のマルチイオンセンサ4、第3のイオン選択性電極5、及び参照電極2の各電極が支持体3で狭持されたイオン選択性電極モジュール10の断面を示した図である。支持体3は、各電極を一体にする第1及び第2の支持体31,32と、マルチイオンセンサ4と第3のイオン選択性電極5の間及び第3のイオン選択性電極5と参照電極2の間に配置されるパッキング33,34とを備えている。第1の支持体31は、筒状をなし、この筒状の一端部の縁辺がこの筒の中心方向に向かってほぼ垂直に屈曲している屈曲部31aと、前記筒状の他端部の外面に形成された第2の支持体32に螺合する螺合面31bと、前記筒状の側面の一部に形成されたマルチイオンセンサ4における第1のセンサ本体6の突起6a、第3のイオン選択性電極5における第2のセンサ本体51の突起51a、及び参照電極2における参照電極本体21の突起21aに係合する切欠き31cとを有する。第2の支持体32は、第1の支持体31よりも短い筒状をなし、この筒状の一端部の縁辺が中心方向に向かってほぼ垂直に屈曲している屈曲部32a、及び前記筒状の他端部の内面に形成された第1の支持体31の螺合面31bに螺合する螺合面32bを有する。パッキング33は、第1のセンサ本体6の他面6cと第2のセンサ本体51の一面51bの間の第1及び第2の貫通孔6d,51dの外周に配置される。また、パッキング34は、第2のセンサ本体51の他面51cと参照電極本体21の一面21bの間の第2及び第3の貫通孔51d,21dの外周に配置される。そして、第1及び第2の支持体31,32で狭持されると、第1の貫通孔6dから第2の貫通孔51dに流入する被検試料、及び第2の貫通孔51dから第3の貫通孔21dに流入する被検試料が外部に漏洩するのを防ぐことができる。そして、第1の支持体31の他端部の開口部からマルチイオンセンサ4、パッキング33、第3のイオン選択性電極5、パッキング34、及び参照電極2を、各電極の各突起6a,51a,21aが第1の支持体31の切欠き31cに係合するように第1の支持体31内に収容した後、第2の支持体32を螺合することにより、各電極が図1に示した矢印L1及びL2方向から狭持される。なお、第1の支持体31を長くし、第4のイオン選択性電極を設けたマルチイオンセンサ、第3のイオン選択性電極5、及び参照電極2を一体にするようにしてもよい。また、第3のイオン選択性電極5と同様に、1つのイオンに応答する第5のイオン選択性電極をも一体にするようにしてもよい。以下、図1乃至図11を参照して、イオン選択性電極モジュール10の製造工程を説明する。図8は、マルチイオンセンサ4を製造する第1の製造工程を示すフローチャートである。図9は、第1の製造工程の一部の工程を示す図である。図10は、図8で製造したマルチイオンセンサ4を用いてイオン選択性電極モジュール10を製造する工程を示すフローチャートである。図11は、イオン選択性電極モジュール10の概観を示す図である。図8において、第1の製造工程S22は、ステップS1乃至S10で構成される。先ず、第1及び第2の出力子72,82を例えば金型の所定の位置に配置した状態で、その金型内にPVCを流し込んで射出成形することにより、第1及び第2の出力子72,82を保持した第1のセンサ本体6を作製するステップS1。第1の感応物質、PVC等にこれらの溶剤である例えばテトラヒドロフランTHFを加えて溶解した第1の溶解液を調整する。また、第2の感応物質、PVC等にテトラヒドロフランTHFを加えて溶解した第2の溶解液を調整するステップS2。第1及び第2の溶解液の調整後、図9aに示すように、第1及び第2の出力子72,82を保持した第1のセンサ本体6の第1の貫通孔6dに、ほぼ隙間なく適合するステンレス鋼等の金属ピンを挿通する。そして、第1及び第2の出力ピン72b,82bを水平に向け、更に傾斜面が上方に向かって開口の面積が広くなる向きに配置した第1のセンサ本体6の第1の開口部6eを閉塞するように所定量の第1の溶解液を塗布する。第1回目の塗布により、第1の溶解液は金属ピン上及び第1の開口部6eの傾斜面に亘ってほぼ均一な液層を形成する。塗布した所定時間後、図8bに示すように、塗布した第1の溶解液からTHFが気化して第1の液層よりも薄い第1の膜を形成するステップS3。このとき、第1の膜の側面は、第1の開口部6eの傾斜面にTHFで溶着して保持されている。第h回目h=2の塗布により、第1の溶解液は第h-1の膜上及び第1の開口部6eの傾斜面に亘ってほぼ均一な第hの液層を形成する。塗布した所定時間後、塗布した第1の溶解液からTHFが気化して第hの液層よりも薄い第hの膜を第h-1の膜に重畳して形成するステップS4。そして、hがiである場合ステップS5のはい、第1の開口部6eには第1乃至第iの膜からなる第1の感応膜71が形成されている。また、hがi未満である場合ステップS5のいいえ、第1の開口部6eには第1の感応膜71よりも薄い膜が形成されており、内部電極72aと接合していない、又は膜強度が不足している、又は感応膜の使用寿命が短い等の問題があるので、ステップS4に戻る。なお、第1の感応膜71は、この側面が第1の開口部6eの傾斜面にTHFで溶着して保持されている。ここで、第1の開口部6eの傾斜面の傾斜角度が90°以上であると、塗布した第1の溶解液内に例えばTHFが気化して気泡が発生したとき、その気泡はその傾斜面に付着して上昇が妨げられるため、第1の溶解液内に残存する。残存した気泡は、膜を形成したときに気孔を形成する。図3に示した第1の感応膜71の例えば一面に気孔が形成されると、その気孔に被検試料が残存し、残存した被検試料が次の被検試料を汚染し、次の被検試料の測定精度が低下する問題がある。また、第1の感応膜71の一面の近傍に大きな気孔が形成されると、第1のイオンに応答するその一面の膜層が薄くなっているため、製造時に検査に合格する性能が得られてもその後の使用寿命が短くなる問題がある。更に、膜内に形成された気孔の総容積が大きいと、膜抵抗が大きくなり測定機器における検出信号のノイズが大きくなり測定精度が悪化する問題がある。このように、第1の貫通孔6dに金属ピンを挿通し、上方に向かって開口の面積が広くなる向きに傾斜面を配置した第1の開口部6eに第1の溶解液を塗布することにより、第1の感応膜71の一面と第1の開口部6eの境界が凹凸のない滑らかな第1の貫通孔6dの面を形成することができる。また、塗布した第1の溶解液内に発生した気泡が上昇して大気中に放出されるため、第1の感応膜71内に気孔が形成されるのを防ぐことができる。これにより、第1の貫通孔6dに流入する被検試料間の汚染、膜抵抗の増大、及び使用寿命の低下を防ぎ、第1のイオン選択性電極7の歩留まり及び品質の向上を図ることができる。第2の溶解液の第1回目の塗布により、第2の溶解液は金属ピン上及び第2の開口部6fの傾斜面に亘ってほぼ均一な第1の液層を形成する。塗布した所定時間後、塗布した第2の溶解液からTHFが気化して第1の液層よりも薄い第1の膜を形成するステップS6。第m回目m=2の塗布により、第2の溶解液は第m-1の膜上及び第2の開口部6fの傾斜面に亘ってほぼ均一な第mの液層を形成する。塗布した所定時間後、塗布した第2の溶解液からTHFが気化して第mの液層よりも薄い第mの膜を第m-1の膜に重畳して形成するステップS7。そして、mがnである場合ステップS8のはい、第2の開口部6fには第1乃至第nの膜からなる第2の感応膜81が形成されている。また、mがn未満である場合ステップS8のいいえ、第2の開口部6fには第2の感応膜81よりも薄い膜が形成されており、内部電極82aと接合していない、又は膜強度が不足している、又は感応膜の使用寿命が短い等の問題があるので、ステップS7に戻る。このように、第1の貫通孔6dに金属ピンを挿通し、上方に向かって開口の面積が広くなる向きに傾斜面を配置した第2の開口部6fに第2の溶解液を塗布することにより、第2の感応膜81の一面と第2の開口部6fの境界が凹凸のない滑らかな第1の貫通孔6dの面を形成することができる。また、塗布した第2の溶解液内に発生した気泡が上昇して大気中に放出されるため、第2の感応膜81内に気孔が形成されるのを防ぐことができる。これにより、第1の貫通孔6dに流入する被検試料間の汚染、膜抵抗の増大、及び使用寿命の低下を防ぎ、第2のイオン選択性電極8の歩留まり及び品質の向上を図ることができる。ステップS5及びS8のはいの後に、第1のセンサ本体6から金属ピンを抜く。そして、第1及び第2の感応膜71,81を第1のセンサ本体6の第1及び第2の開口部6e,6fから観察して検査を行うステップS8。このように、第1の開口部6e,6fから第1及び第2の感応膜71,81の観察が可能となり、マルチイオンセンサ4を作製した段階で検査を行うことができる。そして、第1及び第2の感応膜71,81に気孔が含まれていない場合ステップS9のはい、その第1及び第2の感応膜71,81が形成された第1のセンサ本体6を合格とし、合格した第1のセンサ本体6に蓋9を取り付けるステップS10。また、第1の感応膜71又は第2の感応膜81に気孔が含まれている場合ステップS9のいいえ、その第1及び第2の感応膜71,81を有する第1のセンサ本体6を不合格にして、ステップS2に戻る。図10は、イオン選択性電極モジュール10の製造工程を示したフローチャートである。イオン選択性電極モジュール10の製造を開始するステップS21。第1の製造工程S22を実行してマルチイオンセンサ4を作製する。また、第2の製造工程を実行する。この第2の製造工程では、第3の感応膜52に成形した後、成形した第3の感応膜52に第3の出力子53を接続する。次いで、第3の出力子53を接続した第3の感応膜52を例えば金型の所定の位置に配置した状態で、その金型内にPVCを流し込んで射出成形する。この工程により、第3の感応膜52及び第3の出力子53を保持した第2のセンサ本体51からなる第3のイオン選択性電極5を作製するステップS23。参照電極2の製造工程では、第4の出力子24を金型の所定の位置に配置した状態で、その金型内にPVCを流し込んで、液絡孔22が参照電極本体21内に配置可能なように例えば一面21bを含む参照電極本体21の一部を除いた参照電極本体を作製する。次いで、液絡孔22をその参照電極本体内に配置した後、前記一部を除いた参照電極本体内の凹部に内部液23を収容し、更に前記一部を溶着することにより、液絡孔22、内部液23、及び第4の出力子24を保持した参照電極本体21からなる参照電極2を作製するステップS24。ステップS22,S23,S24の後に、支持体3を用いて、マルチイオンセンサ4、第3のイオン選択性電極5、及び参照電極2を一体にするステップS25。一体にしたマルチイオンセンサ4、第3のイオン選択性電極5、及び参照電極2を総合検査する。そして、マルチイオンセンサ4、又は第3のイオン選択性電極5、又は参照電極2のいずれかが不合格である場合ステップS26のいいえ、ステップS25に戻る。また、マルチイオンセンサ4、第3のイオン選択性電極5、及び参照電極2が合格した場合ステップS26のはい、図11に示したイオン選択性電極モジュール10の作製を完了し、製造を終了するステップS27。このように、マルチイオンセンサ4、第3のイン選択性電極5、及び参照電極2を夫々着脱自在な支持体3を用いることにより、総合検査で不良であるユニットを良好なものと容易に交換することができる。また、イオン選択性電極モジュール10を用いることにより、電解質測定装置にイオン選択性電極や参照電極を個別に装着する手間を省くことができる。また装着する際の、各電極間の流路やパッキングなどの位置ずれによる測定精度の不良を防ぐことができる。以上述べた本発明の実施例によれば、第1のセンサ本体6の第1の貫通孔6dに金属ピンを挿通し、上方に向かって開口の面積が広くなる向きに傾斜面を配置した第1及び第2の開口部6e,6fに第1及び第2の溶解液を塗布することにより、第1及び第2の感応膜71,81の一面と第1及び第2の開口部6e,6fの境界が凹凸のない滑らかな第1の貫通孔6dの面を形成することができる。また、第1及び第2の感応膜71,81内に気孔が形成されるのを防ぐことができる。これにより、第1の貫通孔6dに流入する被検試料間の汚染、膜抵抗の増大、及び使用寿命の低下を防ぎ、第1のイオン選択性電極7の歩留まり及び品質の向上を図ることができる。また、第1及び第2の開口部6e,6fに第1及び第2の感応膜71,81を形成した段階で、第1及び第2のイオン選択性電極7,8の検査を行うことができる。これにより、第1及び第2の感応膜71,81が不良である場合のマルチイオンセンサ4を作製してから総合検査するまでの製造工程の手間を削減することができる。更に、支持体3を用いてマルチイオンセンサ4、第3のイン選択性電極5、及び参照電極2を夫々着脱自在にすることにより、イオン選択性電極モジュール10の総合検査で不良であるユニットの良好なものへの交換が可能となり、イオン選択性電極モジュール10の製造に掛かる部品の費用及び時間を低減することができる。更にまた、イオン選択性電極モジュール10を用いることにより、電解質測定装置にイオン選択性電極や参照電極を個別に装着する手間を省くことができる。また装着する際の、各電極間の流路やパッキングなどの位置ずれによる測定精度の不良を防ぐことができる。"