"選択的に酸化された酸化領域および酸化されていない電流狭窄領域を含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、前記面発光レーザの配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域は、より外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域よりも大きく形成され、レーザ光を出射する開口部は、前記電流狭窄領域の大きさに応じて各面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角が一定になる大きさで形成されることを特徴とする面発光レーザアレイ。選択的に酸化された酸化領域酸化されていない電流狭窄領域を含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、前記面発光レーザの配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域は、より外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域よりも大きく形成され、レーザ光を出射する開口部に設けられた反射率調整用の誘電体の面積は、各面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角が一定になる大きさで形成されることを特徴とする面発光レーザアレイ。光によって被走査面を走査する光走査装置であって、請求項1もしくは請求項2のいずれかに記載の面発光レーザアレイを有する光源と、該光源からの光を偏向する光偏向器と、該光偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系とを有することを特徴とする光走査装置。少なくとも1つの像担持体と、該像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する少なくとも1つの請求項3に記載の光走査装置とを有することを特徴とする画像形成装置。請求項4に記載の画像形成装置であって、前記画像情報は、多色のカラー画像情報であることを特徴とする画像形成装置。解決しようとする問題点は、従来の、面発光レーザアレイにおける高密度の集積化に伴う各素子の熱干渉に対応する技術、例えば、熱干渉を大きく受ける面発光レーザほど電流狭窄領域の径を大きくする技術では、電流狭窄領域の径の変化に伴う放射角の変化により、面発光レーザアレイ内の各面発光レーザが発振するレーザ光の均一性が損なわれてしまう点である。本発明の目的は、これら従来技術の課題を解決し、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザの寿命を均一とし、かつ、各面発光レーザより放出されるレーザ光の放射角を少なくとも略均一とし、面発光レーザアレイの性能の向上を可能とすることである。上記目的を達成するため、本発明の面発光レーザアレイVCSELアレイとも言うは、1選択的に酸化された酸化領域と、酸化されていない電流狭窄領域この領域が導電領域となるとを含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、アレイ配列においてより内側に位置するレーザの電流狭窄領域の径つまり、電流狭窄領域の面積は、アレイ配列においてより外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域の径つまり、電流狭窄領域の面積よりも大きく形成され、レーザ光を出射する開口部は、電流狭窄領域の電流狭窄領域の面積の大きさに応じて各面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角が一定になる大きさで形成され、光走査装置や、画像形成装置等の電気機器に用いられる。2あるいは、本発明の面発光レーザアレイは、選択的に酸化された酸化領域と、酸化されていない電流狭窄領域この領域が導電領域となるとを含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、アレイ配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域の径つまり、電流狭窄領域の面積は、アレイ配列においてより外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積よりも大きく形成され、レーザ光を出射する開口部に設けられた反射率調整用の誘電体の面積は、電流狭窄領域の径つまり電流狭窄領域の面積の大きさに応じて、各面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角が一定になる大きさで形成され、光走査装置や、画像形成装置等の電気機器に用いられる。本発明によれば、面発光レーザアレイ上に構成された全ての面発光レーザの寿命がほぼ均一で、放射角が少なくもほぼ均一な面発光レーザアレイVCSELアレイともいうを提供することが可能となる。さらに、このような面発光レーザアレイを用いた光走査装置や、画像形成装置等の電気機器の高寿命化および高品質化を図ることができる。以下、図を用いて本発明を実施するための形態例を説明する。図9においては、本発明に係る面発光レーザアレイを構成するレーザ素子VCSELの具体的な層構造を示している。半導体基板99上に、第一反射鏡98と活性層97および第二反射鏡93からなる共振器96が形成され、第二反射鏡93上にコンタクト層90が形成され、コンタクト層90上に第二電極92が形成され、半導体基板99の下側に第一電極100が形成されている。コンタクト層90における第二電極92が形成されていない箇所が開口部94であり、活性層97と第二反射鏡93間には電流狭窄層95が形成されている。この電流狭窄層95は、メサを形成後に、酸化されていない電流狭窄層95に選択酸化を行い、酸化領域または選択酸化領域というと、酸化されていない電流狭窄領域とにより、電流狭窄構造を形成する。なお、この電流狭窄領域に電流が導電する。半導体基板99は、111方向に15°傾斜したn-GaAs基板を用いている。第一反射鏡98は、n-AlAs/Al0.3Ga0.7Asを1/4波長ずつ積層したペアを40.5ペア積層している。活性層97を含む共振器96は、ほぼ格子整合のAl0.1Ga0.90.5In0.5Pを厚さ1波長で積層しており、活性層97は、フォトルミネッセンス発光波長が780nmのGaInPAs/GaInPTQWより形成されている。また、第二反射鏡93は、p-Al0.9Ga0.1As/Al0.3Ga0.7Asを1/4波長ずつ積層したペアを25ペア積層しており、その共振器96寄り3ペア目に、AlAs層が30nm含まれており、当該AlAs層を、水蒸気雰囲気中で加熱することにより、酸化領域と、電流狭窄領域とを形成し電流狭窄層95を形成する。また、第二反射鏡93上には、高ドープされたpGaAsコンタクト層が形成されている。さらに、半導体基板99の裏面には、AuGe/Ni/Auよりなる第一電極100が形成される。また、コンタクト層90には、Cr/AuZn/Auよりなる第二電極92が電気的に接続されている。このように、本例の面発光レーザは、半導体基板99上に、第一反射鏡98と活性層97および第二反射鏡93を順次に積層する。また、半導体基板99の裏面に電気的に接続された第一電極100と、第二の反射鏡93上に電気的に接続された第二電極92とを構成する。さらに、この第二反射鏡93の上面にはレーザ光を取り出す開口部94を形成する。また、第一反射鏡98もしくは第二反射鏡93内部もしくは隣接する部位に、第一反射鏡98もしくは第二反射鏡93に含まれる層よりもAl組成の高い層を有する。このAl組成の高い層の周囲を選択酸化して得られる電流狭窄層95を形成する。なお、第二反射鏡93、活性層97を含む共振器をメサポスト状に加工されている。本例の面発光レーザアレイは、このように形成、構成された面発光レーザVCSELを複数、配列してなる。そして、本例の面発光レーザアレイにおいては、アレイのより中心部に位置する面発光レーザの電流狭窄層95の形状が、アレイのより外側に位置する面発光レーザに対して大きく形成され、かつ、面発光レーザの開口部94が、電流狭窄層95の大きさサイズに応じて当該面発光レーザにより放出されるレーザ光の放射角が一定になるように形成されている。あるいは、詳細を後述する図5に示すように、開口部94において、反射率を調整する誘電体が円環状もしくは円環の一部を除去した形状に形成されている場合には、上述のように、アレイのより中心部に位置する面発光レーザの電流狭窄層95の形状を、アレイのより外側に位置する面発光レーザに対して大きめに形成し、かつ、開口部94上に形成された反射率調整用の誘電体が、電流狭窄層95の大きさに応じて当該面発光レーザにより放出されるレーザ光の放射角が一定になるように形成される。以下、面発光レーザアレイの一般的な特性に関して説明する。面発光レーザVCSELは、駆動電流が少ないため、高速動作が可能で、かつ、高集積化が容易であることから、面発光レーザアレイとして、光インターコネクションや、電子写真などの画像記録分野における高速データ転送用の光源、および、光ディスク装置などの書き込み用光ピックアップ用の光源等として近年注目を集めている。一方で、データ伝送速度の向上や画像記録密度記録速度の向上は目覚しく、面発光レーザアレイにおいては、面発光レーザをより一層の高密度化が求められている。このような高集積化が進行するに伴い、面発光レーザアレイを構成する面発光レーザの間隔は狭くなる。その結果、各面発光レーザを同時に駆動した場合、初期特性や素子寿命など、面発光レーザ間の熱干渉に起因する性能低下が顕在化するようになってきた。しかも、これらの性能低下は、面発光レーザアレイ内において均一ではない。つまり、面発光レーザアレイの中心部に存在する面発光レーザほど、周囲の熱干渉の影響を大きく受けるため、性能低下は顕著になる。特許文献3において記載されているように、図1に示す電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積と寿命の相関より、全面発光レーザの電流狭窄径電流狭窄領域の面積を大きくすることにより、面発光レーザアレイとしての長寿命化は可能である。しかしながら、特許文献3に示された技術では、面発光レーザの寿命の均一化に対しては、本質的な解決方法とはなりえない。さらに、特許文献3に記載の技術を用いて、全面発光レーザの電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積を大きくすることで、面発光レーザアレイとしての長寿命化を図った場合、面発光レーザアレイの全体での消費電力が著しく増加するため、製品化には好ましくない。また、面発光レーザアレイは、この面発光レーザアレイを構成する面発光レーザのひとつでも故障した場合、データ転送エラーや画質低下画像の乱れなどの弊害を引き起こす、そのため、面発光レーザアレイの寿命は、最も性能低下の早い素子の寿命によって決まってしまう。前述したように、面発光レーザアレイは、面発光レーザアレイの中心部ほどより大きな熱干渉を受け、面発光レーザの寿命は環境温度に大きく依存している。そこで、面発光レーザアレイの中心部ほど、何らかの寿命延長対策を施し、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザの寿命を均一化しなければならない。図1に示される電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積と寿命の相関より、面発光レーザアレイを構成する面発光レーザのメサポスト径と、電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積を調整することで長寿命化を図ることができる。しかし、図2に示すように、電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積を各面発光レーザ毎に調整することで、レーザ光の放射角も同時に変化する。なお、図2においては、後述する開口部Aを3.5μm、開口部Bを10μmと固定した場合の電流狭窄領域の径と、放射角の関係を示す図である。従って、電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積の調整だけでは、寿命と放射角が共に均一となる面発光レーザアレイを得ることはできない。図3においては、5行5列25素子を集積した面発光レーザアレイの配置例を示している。このような配置の場合、アレイの四隅にある素子A11、A15、A51、A55は周囲の面発光レーザが少ない隣接する面発光レーザが3つため熱干渉の影響は比較的少ない。一方、素子C33は、周囲のすべての面発光レーザ隣接する面発光レーザが8つの熱干渉を受けるため、最も性能低下が激しい。図3における同一行図の横方向の面発光レーザについて考察すると、各々の面発光レーザ、いわゆる素子A11~A15の温度は図4のグラフに示されるように、以下のようになる。以下のように、面発光レーザは、他の面発光レーザからの熱干渉がある。A11<A12<A13>A14>A15すなわち、最外周に存在する面発光レーザ間であっても、各々の面発光レーザが受ける熱干渉の程度には分布が存在する。同様に、同一列図3の縦方向の面発光レーザA11~A51の温度についても、以下のようになる。以下のように、面発光レーザは、他の面発光レーザからの熱干渉がある。A11<A21<A31>A41>A51従って、以上のことからも、面発光レーザアレイ中で、最も熱干渉を大きく受けるのは素子C33であることが容易に理解できる。また、図3を構成する面発光レーザは、前述の図9で説明した構成を有している。また、図7に示すように、本例においては、電流狭窄層95および開口部94はいずれも正方形である。なお、正方形で説明するが、円形状などであってもよい。図7では、本例の面発光レーザアレイを構成する面発光レーザの上部部分のみの構造を、上面側からと断面で示しており、第二反射鏡73上に形成された開口部B74と第二反射鏡73および電流狭窄層75が示されている。つまり、開口部B74は、第二反射鏡73上に設けられた第二電極72が形成されていない領域を指す。この図7に示されている開口部B74の大きさによって、当該面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角は変化する。ここで、開口部Bの大きさ一辺の長さと、放射角の関係は、図8に示されている。図8においては、電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積が22um2で、開口部Aが3.5um2として固定した場合での、開口部B74と放射角との相関関係を示している。以下、電流狭窄層75の電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積、さらに、それらに対応した開口部B74の径開口部B74の面積によって、面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角を調整する技術について説明する。尚、電流狭窄領域の面積の設定においては、メサポスト形状による技術を用いることが容易であるが、その他の技術であっても、所望の電流狭窄領域の面積が得られるのであれば、いかなる技術を用いても良い。図3に示すように面発光レーザを配列した面発光レーザアレイにおいて、面発光レーザA11の電流狭窄領域の面積が16um24×4umで、開口部Bの径が10umで、開口部A=3.5umとした場合、図2を参照すると放射角は7.3degとなる。一方、図3における面発光レーザC33の電流狭窄領域の面積を素子の延命を目的に28um25.3×5.3umとして、開口部Bの径を面発光レーザA11と同一の10umとし、開口部A=3.5umとした場合、図2を参照すると放射角は6.0deg.となり、面発光レーザA11の放射角とは1.3deg.の差が発生する。つまり、図2のように、電流狭窄領域を大きくすると、放射角が小さくなるという関係にある。また、図8で示したように、開口部Bを大きくすると、放射角が小さくなるという関係にある。そこで、面発光レーザA11の開口部Bの径を16umとすると、当該面発光レーザA11の放射角は、6.6deg.となる。つまり、開口部Bの径を大きくして、放射角を小さくすることを試みることができる。また、面発光レーザC33の開口部Bの径を4.5umとすると、当該面発光レーザC33の放射角は6.6deg.となる。つまり、開口部Bの径を小さくして、放射角を大きくすることを試みる。このような調整により、面発光レーザA11と、面発光レーザC33の放射角と同一とすることができる。このように、電流狭窄領域の面積を利用して、全ての素子に対して、開口径B74の大きさを調整することによって、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザの寿命および放射角を均一にすることができる。次に、図5に例示す構成の面発光レーザについて説明する。この図5では、図7と同様に、本例の面発光レーザアレイを構成する面発光レーザの上部部分のみの構造を、上面側からと断面で示している。第二反射鏡53上に形成された反射率調整層51の内径からなる開口部A54および電流狭窄層55が示されている。つまり、反射率調整層51は、先に示した開口部Bの中に設けられる。また、開口部A54は、反射率調整層51の内径である。この図5に示されている反射率調整層51の内径である開口部A54の大きさによって、当該面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角は変化する。反射率調整層51の内径である開口部A54と、放射角の関係は、図6に示されている。図6においては、電流狭窄領域の径が22um2、開口部Bが10umと固定した場合での、開口部A54と放射角との相関関係を示している。この図6から、反射率調整層51の内径である開口部A54を大きくすると、放射角が大きくなるという関係にある。以下、図7,図8での場合と同様に、電流狭窄層55の電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積、さらに、それらに対応した開口部A54の径によって、当該面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角を調整する技術について説明する。尚、本例においても、電流狭窄層55の電流狭窄領域の径の形状と、第二電極52で形成される開口部Bの形状は、いずれも正方形である。また、電流狭窄領域の面積の設定に関しても、同様に、メサポスト形状による技術を用いることが容易であるが、その他の技術であっても、所望の電流狭窄領域の面積が得られるのであれば、いかなる技術を用いても良い。図3に示す面発光レーザを配列した面発光レーザアレイにおいて、面発光レーザA11の電流狭窄領域の面積が16um24×4umで、面発光レーザC33の電流狭窄領域の面積が素子の延命を目的に28um25.3×5.3umの場合で、例えば、図5に示すような開口部A54を有する反射率を調整する部材反射率調整層51が存在しない場合を想定する。この場合、図2の例からは、面発光レーザA11と面発光レーザC33の放射角は、それぞれ7.3deg.と6.0deg.となり、1.3deg.の差が発生する。このような放射角の差を、図5における反射率調整層51の開口径A54によって補正する場合は、次のように調整することができる。面発光レーザA11と面発光レーザC33の開口径A54を、それぞれ、2.0umと7.5umとすることにより、それぞれの放射角はそれぞれ7.0deg.および6.9deg.となり、両者の放射角は略同一となる。このように、電流狭窄領域の面積を利用して、全ての素子に対して、開口径A54の補正を加えて調整することによって、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザの寿命および放射角を少なくともほぼ均一にすることができる。図10においては、このような電流狭窄領域の面積と反射率調整層51の開口径Aおよび第二電極を形成しない部分である開口径Bの大きさを調整することによって、各面発光レーザの寿命および放射角を少なくともほぼ均一にした面発光レーザアレイの配列構成を示している。この図10においては、3×3配置のVCSELアレイの各素子A11~13,A21~23,A31~33の配置例を示している。ここで、全ての素子のメサポストの形状を以下のように設定する。また本例においては、電流狭窄領域の形状および開口部Bはいずれも正方形である。<メサポストのサイズ>:A11、A13、A31、A33:25×24um縦×横A12、A21、A23、A32:25.5×24.5um縦×横A22:26.3×25.3um縦×横このようなVCSELアレイを、一定時間、水蒸気酸化を行うと、以下のような電流狭窄領域が形成される。<電流狭窄領域のサイズ>:A11、A13、A31、A33:4.0×4.0um16um2A12、A21.A23、A32:4.5×4.5um20um2A22:5.3×5.3um28um2次に、開口部Aおよび開口部Bを以下のように設定すると、各素子より放出されるレーザ光の放射角はすべて6.8deg.となり、全素子の寿命と放射角を均一にすることができる。<開口部A,Bのサイズ>:A11、A13、A31、A33:13um-3um開口部A-開口部BA12、A21、A23、A32:10um-3.5um開口部A-開口部BA22:8um-6um開口部A-開口部Bこのような例における全ての面発光レーザのメサポスト形状と電流狭窄領域の径電流狭窄領域の面積、および、反射率調整層の内径である開口部Aと第二電極が形成されない領域である開口部Bの対応付けを図11に示す。この図11に示すサイズで、メサポスト形状と電流狭窄領域の径、および、開口部Aと開口部Bのそれぞれを形成することにより、全ての面発光レーザの寿命と放射角を均一にすることができる。以下、図12~図16を用いて、このような、本発明に係る面発光レーザアレイを光源として用いた光走査装置と、この光走査装置を設けた画像形成装置、および、光ディスク装置等の電気製品、ならびに、光インターコネクションなどの光通信装置について説明する。すなわち、本発明に係る面発光レーザアレイを、光によって被走査面を走査する光走査装置における光源として用い、この光源からの光を偏向手段により偏向し、偏向手段で偏向された光を走査光学系により被走査面上に集光することにより、結果として長寿命で高品質な光走査装置を提供することができる。また、このような光走査装置を画像形成装置に設け、この画像形成装置において、具備した少なくとも1つの像担持体に対して、光走査装置から、画像情報が含まれる光を走査する構成とすることにより、結果として長寿命で高品質な画像形成装置を提供することができる。また、本発明に係る面発光レーザアレイを、光ディスク装置における光ピックアップ用の光源や光インターコネクションなどの光通信装置用の光源として用いることにより、光ディスク装置等の電気機器ならびに光通信装置の長寿命化と高品質化を図ることができる。まず、図12を用いて、本発明に係る面発光レーザアレイを用いた光走査装置を具備した画像形成装置としてのレーザプリンタ1000に関して説明する。図12に示すレーザプリンタ1000は、光走査装置1010と、感光体ドラム1030、帯電チャージャ1031、現像ローラ1032、転写チャージャ1033、除電ユニット1034、クリーニングユニット1035、トナーカートリッジ1036、給紙コロ1037、給紙トレイ1038、レジストローラ対1039、定着ローラ1041、排紙ローラ1042、排紙トレイ1043、通信制御装置1050、および上記各部を統括的に制御するプリンタ制御装置1060などを備えている。尚、これらは、プリンタ筐体1044の中の所定位置に収容されている。通信制御装置1050は、ネットワークなどを介してパソコン等の上位装置1070との双方向の通信を制御する。感光体ドラム1030は、円柱状の部材であり、その表面には感光層が形成されている。すなわち、感光体ドラム1030の表面が被走査面である。そして、感光体ドラム1030は、図12における矢印方向に回転するようになっている。帯電チャージャ1031、現像ローラ1032、転写チャージャ1033、除電ユニット1034およびクリーニングユニット1035は、それぞれ感光体ドラム1030の表面近傍に配置されている。そして、感光体ドラム1030の回転方向に沿って、帯電チャージャ1031→現像ローラ1032→転写チャージャ1033→除電ユニット1034→クリーニングユニット1035の順に配置されている。帯電チャージャ1031は、感光体ドラム1030の表面を均一に帯電させる。光走査装置1010は、帯電チャージャ1031で帯電された感光体ドラム1030の表面を、上位装置からの画像情報に基づいて変調された光束により走査し、感光体ドラム1030の表面に画像情報に対応した潜像を形成する。ここで形成された潜像は、感光体ドラム1030の回転に伴って現像ローラ1032の方向に移動する。尚、この光走査装置1010の構成については後述する。トナーカートリッジ1036にはトナーが格納されており、このトナーは現像ローラ1032に供給される。現像ローラ1032は、感光体ドラム1030の表面に形成された潜像にトナーカートリッジ1036から供給されたト尚付着させて画像情報を顕像化させる。ここでトナーが付着した潜像以下では、便宜上トナー像ともいうは、感光体ドラム1030の回転に伴って転写チャージャ1033の方向に移動する。給紙トレイ1038には記録紙1040が格納されている。この給紙トレイ1038の近傍には給紙コロ1037が配置されており、この給紙コロ1037は、記録紙1040を給紙トレイ1038から1枚ずつ取り出し、レジストローラ対1039に搬送する。レジストローラ対1039は、給紙コロ1037によって取り出された記録紙1040を一旦保持するとともに、記録紙1040を感光体ドラム1030の回転に合わせて感光体ドラム1030と転写チャージャ1033との間隙に向けて送り出す。転写チャージャ1033には、感光体ドラム1030の表面のト尚電気的に記録紙1040に引きつけるために、トナーとは逆極性の電圧が印加されている。この電圧により、感光体ドラム1030の表面のトナー像が記録紙1040に転写される。ここで転写された記録紙1040は、定着ローラ1041に送られる。定着ローラ1041では、熱と圧力とが記録紙1040に加えられ、これによってトナーが記録紙1040上に定着される。ここで定着された記録紙1040は、排紙ローラ1042を介して排紙トレイ1043に送られ、排紙トレイ1043上に順次スタックされる。除電ユニット1034は、感光体ドラム1030の表面を除電する。クリーニングユニット1035は、感光体ドラム1030の表面に残ったトナー残留トナーを除去する。残留トナーが除去された感光体ドラム1030の表面は、再度帯電チャージャ1031に対向する位置に戻る。次に、図13を用いて、光走査装置1010の構成と動作について説明する。図13に示すように、光走査装置1010は、偏向器側走査レンズ611a、像面側走査レンズ611b、ポリゴンミラー613、光源614、カップリングレンズ615、開口板616、シリンドリカルレンズ617、反射ミラー618、および走査制御装置図示省略などを備えている。そして、これらは、ハウジング630の中の所定位置に組み付けられている。以下、便宜上、主走査方向に対応する方向を主走査対応方向と略述し、副走査方向に対応する方向を副走査対応方向と略述して説明する。カップリングレンズ615は、光源614から出力された光束を略平行光とする。開口板616は、開口部を有し、カップリングレンズ615を介した光束のビーム径を規定する。シリンドリカルレンズ617は、開口板616の開口部を通過した光束を、反射ミラー618を介してポリゴンミラー613の偏向反射面近傍に副走査対応方向に関して結像する。光源614とポリゴンミラー613との間の光路上に配置される光学系は、偏向器前光学系とも呼ばれている。本例では、偏向器前光学系は、カップリングレンズ615と開口板616とシリンドリカルレンズ617と反射ミラー618とから構成されている。ポリゴンミラー613は、一例として内接円の半径が18mmの6面鏡を有し、各鏡がそれぞれ偏向反射面となる。このポリゴンミラー613は、副走査対応方向に平行な軸の周りを等速回転しながら、反射ミラー618からの光束を偏向する。偏向器側走査レンズ611aは、ポリゴンミラー613で偏向された光束の光路上に配置されている。像面側走査レンズ611bは、偏向器側走査レンズ611aを介した光束の光路上に配置されている。そして、この像面側走査レンズ611bを介した光束が、感光体ドラム1030の表面に照射され、光スポットが形成される。この光スポットは、ポリゴンミラー613の回転に伴って感光体ドラム1030の長手方向に移動する。すなわち、感光体ドラム1030上を走査する。このときの光スポットの移動方向が主走査方向である。また、感光体ドラム1030の回転方向が副走査方向である。ポリゴンミラー613と感光体ドラム1030との間の光路上に配置される光学系は、走査光学系とも呼ばれている。本例では、走査光学系は、偏向器側走査レンズ611aと像面側走査レンズ611bとから構成されている。尚、偏向器側走査レンズ611aと像面側走査レンズ611bの間の光路上、および像面側走査レンズ611bと感光体ドラム1030の間の光路上の少なくとも一方に、少なくとも1つの折り返しミラーが配置されても良い。尚、画像形成装置としては、図12に示すレーザプリンタ1000に限定されるものではない。要するに、図13に例示した光走査装置1010を備えた画像形成装置であれば良い。例えば、レーザ光によって発色する媒体例えば、用紙に直接、レーザ光を照射する画像形成装置であっても良い。また、像担持体として銀塩フィルムを用いた画像形成装置であっても良い。この場合には、光走査により銀塩フィルム上に潜像が形成され、この潜像は通常の銀塩写真プロセスにおける現像処理と同等の処理で可視化することができる。そして、通常の銀塩写真プロセスにおける焼付け処理と同等の処理で印画紙に転写することができる。このような画像形成装置は光製版装置や、CTスキャン画像等を描画する光描画装置として実施できる。また、図14に示されるように、本例の面発光レーザアレイを、複数の感光体ドラムを備えるカラープリンタ2000に設けることでも良い。この図14に示すカラープリンタ2000は、4色ブラック、シアン、マゼンタ、イエローを重ね合わせてフルカラーの画像を形成するタンデム方式の多色カラープリンタであり、ブラック用のステーション感光体ドラムK1、帯電装置K2、現像装置K4、クリーニングユニットK5、および転写装置K6と、シアン用のステーション感光体ドラムC1、帯電装置C2、現像装置C4、クリーニングユニットC5、および転写装置C6と、マゼンタ用のステーション感光体ドラムM1、帯電装置M2、現像装置M4、クリーニングユニットM5、および転写装置M6と、イエロー用のステーション感光体ドラムY1、帯電装置Y2、現像装置Y4、クリーニングユニットY5、および転写装置Y6と、光走査装置2010と、転写ベルト2080と、定着ユニット2030などを備えている。各感光体ドラムは、図14中の矢印の方向に回転し、各感光体ドラムの周囲には、回転方向に沿って、それぞれ帯電装置、現像装置、転写装置、クリーニングユニットが配置されている。各帯電装置は、対応する感光体ドラムの表面を均一に帯電する。帯電装置によって帯電された各感光体ドラム表面に光走査装置2010により光が照射され、各感光体ドラムに潜像が形成されるようになっている。そして、対応する現像装置により各感光体ドラム表面にトナー像が形成される。さらに、対応する転写装置により、転写ベルト2080上の記録紙に各色のトナー像が転写され、最終的に定着ユニット2030により記録紙に画像が定着される。この光走査装置2010は、本発明に係る面発光レーザアレイVCSELアレイからなる光源を色毎に有しており、図13における光走査装置1010と同様な効果を得ることができる。また、カラープリンタ2000は、光走査装置2010を備えているため、図12に示すレーザプリンタ1000と同様な効果を得ることができる。尚、カラープリンタ2000では、各部品の製造誤差や位置誤差等によって色ずれが発生する場合がある。このような場合であっても、光走査装置2010の各光源が、本発明に係る面発光レーザアレイを有していると、点灯させる各発光部を変更することで、色ずれを低減することができる。次に、図15を用いて、本発明に係る面発光レーザアレイを用いた光送受信モジュールおよび当該光送受信モジュールを用いた光通信装置について説明する。図15おいては、本発明に係る面発光レーザアレイ1401a,1402aと、面発光レーザアレイ1401a,1402aの各素子から出射されたレーザ光を受光して電気信号に変換出力する受光素子1401b,1402bを、ボード1401,1402上に設け、光送受信モジュールを構成している。また、ボード1401,1402上には、面発光レーザアレイ1401a,1402aを駆動する駆動回路、および、受光素子1401b,1402bからの出力の信号処理を行う制御回路等が搭載されている。ボード1401,1402上の面発光レーザアレイ1401a,1402aの各面発光レーザ素子と受光素子1401b,1402bのそれぞれは相互に、光ファイバ1403を介して、光信号の送受信を行う光通信装置構成となっている。ボード1401,1402は、さらに、図示していないコンピュータ装置等の通信装置に接続され、データ処理が行われる。このように、本例の面発光レーザアレイを用いることにより、光送受信モジュールの高寿命化および高品質化を図ることができ、かつ、それを用いた光通信装置の長寿命化および高品質化を図ることができる。次に、図16を用いて、本発明に係る面発光レーザアレイを用いた電気機器の例として、光ディスク装置について説明する。図16において、本例の光ディスク装置は、光ディスク1501へのデータの書き込みや、光ディスク1501に書き込まれたデータの再生に、本発明に係る面発光レーザアレイからなるレーザ装置1502を用いている。光ディスク装置では、光ディスク1501へのデータの書き込み時、レーザ装置1502から光ディスク1501へ向けて信号光を出射し、この信号光を、コリメートレンズ1503により平行光とし、ビームスプリッタ1504を透過してλ/4偏光板1505で偏光状態を調節した後、レーザ光照射用対物レンズ1506により光ディスク1501の表面に集光させる。また、光ディスク1501に記録されたデータを読み出す際には、レーザ装置1502から、データ信号がのっていないレーザ光を書き込み時と同じ経路をたどって光ディスク1501の表面に照射し、光ディスク1501の表面で反射させたレーザ光を、レーザ光照射用対物レンズ1506、λ/4偏光板1505を経由し、ビームスプリッタ1504により光軸の方向を90°変えて、再生光用対物レンズ1507で信号検出用受光素子1508の表面に集光させ、この信号検出用受光素子1508において、レーザ光が示すデータ信号を電気信号に変換して信号光再生回路1509に出力する。そして、この信号光再生回路1509において、電気信号を元の信号に再生する。このように、本発明に係る面発光レーザアレイを光ディスク装置に用いることにより、光ディスク装置の長寿命化と高品質化を図ることができる。以上、図1~図16を用いて説明したように、本例の面発光レーザアレイVCSELアレイは、選択的に酸化された酸化領域と酸化領域によって囲まれた、酸化されていない電流狭窄領域とを含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、面発光レーザの配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域電流狭窄領域の面積は、より外側に位置するレーザ素子の電流狭窄領域電流狭窄領域の面積よりも大きなサイズで形成され、レーザ光を出射する開口部は、電流狭窄領域電流狭窄領域の面積の大きさに応じて各レーザ素子から放出されるレーザ光の放射角が一定になる大きさで形成される。あるいは、本例の面発光レーザアレイは、選択的に酸化された酸化領域とこの酸化領域によって囲まれた、酸化されていない電流狭窄領域とを含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、面発光レーザの配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域電流狭窄領域の面積は、より外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域電流狭窄領域の面積よりも大きなサイズで形成され、レーザ光を出射する開口部に設けられた反射率調整用の誘電体の面積は、電流狭窄領域電流狭窄領域の面積の大きさに応じて各面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角が一定になる大きさで形成される。これにより、構成する全ての面発光レーザの寿命が均一で、放射角が均一な面発光レーザアレイを提供することが可能となる。また、光によって被走査面を走査する光走査装置において、このような面発光レーザアレイを光源として用い、面発光レーザアレイからの光を光偏向器により偏向し、この光偏向器で偏向された光を走査光学系により被走査面上に集光する構成とすることにより、当該光走査装置による高い精度の光走査が可能となる。また、このような面発光レーザアレイを光源として用いた光走査装置を、モノクロあるいは多色カラーの複写機やプリンタ等の画像形成装置に設けることにより、当該光走査装置を用いて、像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する構成とすることにより、当該画像形成装置における高品質な画像形成が可能となる。また、本例の面発光レーザアレイを光源として用い、この面発光レーザアレイを駆動する駆動回路と、レーザ光を受光して電気信号に変換して出力する受光素子とを有する光送受信モジュールを構成することにより、高精度な情報通信が可能となる。また、光信号を用いて情報の伝達を行う光通信装置に、本例の面発光レーザアレイを設け、この面発光レーザアレイから出射される光ビームによって光信号を生成する構成とすることにより、光通信装置の高品質化を図ることが可能となる。また、本例の面発光レーザアレイを、例えば、光ディスク装置等の電気機器における光源として用いることにより、当該電気機器の高品質化を図ることが可能となる。このように、本例によれば、高品質な面発光レーザアレイを提供することが可能である。そして、このような高品質な面発光レーザアレイを光源として用いた光走査装置は、高い精度の光走査を行うのに適している。さらに、この光走査装置を用いた画像形成装置は、高品質の画像を形成するのに適している。また、本例の面発光レーザアレイを光源として用いた光ディスク装置等の電気機器、ならびに光通信装置の長寿命化と高品質化を図ることができる。尚、本発明は、図1~図16を用いて説明した例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、図10に示す例では、3行3列9素子を集積したVCSELアレイ面発光レーザアレイを示しているが、図3に例示されるような5行5列25素子を集積したVCSELアレイ面発光レーザアレイにおいても適用することができる。"