"光を出射する光源部を有する投光部と、前記光源部が出射する光を、計測対象物へ向けて集光して照射する照射部と、前記計測対象物で照射されて反射された光を集光して受光する第1受光部とを具備する光学系を備える変位センサであって、前記投光部は、前記光源部と、第1レンズと、第1ハーフミラーとを具備し、前記照射部は、前記第1ハーフミラーと、第2レンズとを具備し、前記第1受光部は、前記第1ハーフミラーと、少なくとも4つの穴を有し、前記4つの穴はそれぞれxy軸上に配置されているスリット板と、第3レンズと、第1受光素子とを具備し、前記照射部及び前記第1受光部は、前記照射部の光軸と前記第1受光部の光軸とが一致するように配置され、前記投光部は、該投光部の光軸が前記照射部及び前記第1受光部の光軸と垂直に交わるように前記第1ハーフミラーを介して配置されていることを特徴とする変位センサ。前記投光部の前記第1レンズと前記第1ハーフミラーとの間に、第2ハーフミラーを介して第2受光部を備え、前記第2受光部は第4レンズ及び第2受光素子を具備することを特徴とする請求項1に記載の変位センサ。本発明は、上述したような実情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、駆動装置を用いることなく、小型であっても、高精度で計測対象物の変位を測定することができる変位センサを提供することにある。本発明の上記目的は、光を出射する光源部を有する投光部と、前記光源部が出射する光を、計測対象物へ向けて集光して照射する照射部と、前記計測対象物で照射されて反射された光を集光して受光する第1受光部とを具備する光学系を備える変位センサであって、前記投光部は、前記光源部と、第1レンズとを具備し、前記照射部は第2レンズを具備し、前記第1受光部は、少なくとも4つの穴を有し、前記4つの穴はそれぞれxy軸上に配置されているスリット板と、第3レンズと、第1受光素子とを具備し、前記照射部及び前記第1受光部は、前記照射部の光軸と前記第1受光部の光軸とが一致するように配置され、前記投光部は、該投光部の光軸が前記照射部及び前記第1受光部の光軸と垂直に交わるように第1ハーフミラーを介して配置されていることを特徴とする変位センサを提供することによって達成される。また、本発明の上記目的は、前記投光部の前記第1レンズと前記第1ハーフミラーとの間に、第2ハーフミラーを介して第2受光部を備え、前記第2受光部は第4レンズ及び第2受光素子を具備することを特徴とする変位センサを提供することによって、効果的に達成される。本発明は、光源部と、第1レンズとを具備する投光部と、第2レンズを具備する照射部と、少なくとも4つの穴を有し、4つの穴はそれぞれxy軸上に配置されているスリット板と、第3レンズと、第1受光素子とを具備する第1受光部とを備え、照射部の光軸と第1受光部の光軸とが一致するようにレンズ等を配置し、かつ、投光部の光軸が照射部及び第1受光部の光軸と垂直に交わるように第1ハーフミラーを介して投光部の第1レンズを配置したので、これにより、駆動装置を用いることなく、小型な装置であっても計測対象物の変位を高精度で測定することができる。図1は、本発明に係る変位センサ1が備える光学系の一実施例を示す図である。すなわち、本発明に係る変位センサ1は、図示するように、計測対象物2へ向けて光を出射する投光部3と、投光部3からの光を計測対象物2へ向けて集光し照射する照射部4と、計測対象物2に照射されて反射された光を集光して受光する第1受光部5とを少なくとも具備して構成されている。投光部3は、光を出射する光源部6と、第1レンズ7と第1ハーフミラー8とを少なくとも具備して構成され、照射部4は第1ハーフミラー8と、第2レンズ9とを具備して構成され、第1受光部5は、第1ハーフミラー8と、スリット板10と、第3レンズ11と、第1受光素子12とを具備して構成されている。図示するように、第1ハーフミラー8は、投光部3と、照射部4と、第1受光部5とで共通して用いられる。ここで、図2に第1受光部5が具備するスリット板10の平面図を示す。図示するように、スリット板10には少なくとも4つの穴13が形成されている。そして、それら4つの穴13は、それぞれの穴13の中心がxy軸上におかれ、そして対向するように配置されている。また、スリット板10は、例えば黒色のプラスチック板のような光を透過しない材料で作られている。なお、図3にスリット板10の変更例であるスリット板10Aを示す。図3に示すように、4つ以上の偶数個の複数の穴13がそれぞれ対向するように形成されていても良い。すなわち、スリット板10には、xy軸上にそれぞれ配置された少なくとも4つの偶数個の穴13が対向するように形成されていれば良い。この場合において、各穴13の中心は、それぞれスリット板10の中心Oを中心とする同一の同心円上にあることが好ましい。また、穴13の形状については、図示するように矩形状に限らず、楕円状、円状等の公知の種々の形状とすることができる。また、図1に示すように、本発明に係る変位センサ1が有する光学系は、照射部4の光軸14と第1受光部5の光軸15とが一致するように、照射部4及び第1受光部5の各構成部品を配置している。さらに、投光部3の光軸16は、照射部4の光軸14及び第1受光部5の光軸15と直交するように第1ハーフミラー8を介して配置されている。なお、図中において光軸14,15,16はそれぞれ一点鎖線で示している。次に、本発明に係る変位センサ1によって計測対象物2の変位を計測する原理について説明する。まず、投光部3では、光源6から出射した光が第1レンズ7を通過してコリメートされてほぼ平行光にされて、第1ハーフミラー8に照射される。そして、この光は照射部4に入る。このとき、平行光の直径が20mm以上であると、後述するスリット板10を通過して第1受光素子12上に集光される反射光が集光しすぎることを防止し、測定精度をより向上させることができるので好ましい。照射部4では、投光部3により第1ハーフミラー8に照射された光が第1ハーフミラー8でその光路が変更されて、第2レンズ9を通過して、計測対象物2の表面へ照射される。図1に示す実施形態では、第2レンズ9には、第1レンズ7で平行光とされた光が入射することから、計測光光源から計測対象物上に照射される光は計測対象物2上で集光する。この照射光は、計測対象物2上で反射されて反射光となる。そして、この反射光は第2レンズ9に再度入射されて、コリメートされてほぼ平行光になる。この平行光になった反射光の中で、第1ハーフミラー8を通過した光が第1受光部5へ入る。第1受光部5では、反射光がスリット板10の穴13を通過した後、第3レンズ11に入射して、第1受光素子12受光面で結像する。このとき、第3レンズ11には第2レンズ9で平行光とされた反射光が入射することから、反射光は第1受光素子12受光面で集光して結像する。図8は、計測対象物2の移動による第1受光素子12受光面でのスポット画像スリット透過光像の変化を示す図であり、図A1~A3は計測対象物2の移動状態を、図B1~B3はそれぞれの移動に対応した第1受光素子12受光面におけるスリット透過光量の状態を示すものである。これらの図から明らかなように、図A3の場合すなわち計測対象物2が変位していない場合には、図B3に黒色で示すように、第1受光素子12受光面における受光量は最大となってピントの合ったスポット像が得られる。これに対し、図A1A2に示すように、計測対象物2が変位していると、第1受光素子12受光面に形成される反射光のスポット像は、図B1B2に灰色で示すように、受光量が少なくなるのでぼやけたスポット像になる。すなわち、第1受光部5にスリット板10を設けることにより、計測対象物2が変位する。より詳細に説明すると、上述したように、第1受光素子12受光面に形成される各スポット間の間隔が変化する。この変化を第1受光素子12で光量変化として検出し、この光量変化を距離に換算することにより、計測対象物2の変位量を検出する。以上に説明したように、本発明に係る変位センサ1によれば、従来のように、計測対象物2の変位を測定するための往復動するレンズ等が不要となる。この結果、レンズを動かすための駆動装置も不要となるため、変位センサを小型化することができ、小型化しても計測対象物2の変位を測定し検出することができる。次に、本発明に係る変位センサの変更例を示す。図4は、本発明の変更例に係る変位センサ1Aの光学系を示す。図4に示す光学系は、図1に示す光学系に第2受光部17が設けられていることを除くその他の構成は、図1に示す光学系と同一である。従って、図1と同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。図4は、本発明に係る変位センサ1Aの光学系の変更例を示す図である。図示するように、本発明の変更例に係る変位センサ1Aは、計測対象物2に向けて光を出射する投光部3と、投光部3からの光を計測対象物2へ向けて集光し照射する照射部4と、計測対象物2に照射されて反射された光を集光して受光する第1受光部5、反射光の光量を正規化する第2受光部17とを少なくとも具備して構成されている。図示するように、第2受光部17は、第2ハーフミラー18と、第4レンズ19と、第2受光素子20とを具備して構成されている。第2ハーフミラー18は、投光部3の第1レンズ7と第1ハーフミラー8との間に配置されている。本実施形態に係る変位センサ1Aが有する光学系は、第4レンズ19の光軸と、第2受光素子20の光軸とがそれぞれ一致するように各構成部品を配置する。これに加え、投光部3の光軸16と、第2受光部17の光軸21第4レンズ19及び第2受光素子20の光軸とが直交するように、第2ハーフミラー18を介して第2受光部17の各構成部品が配置されている。なお、図4中において光軸14、15、16、21は一点鎖線で示している。このように、変位センサ1Aの光学系にさらに第2受光部17を備えることにより、測定精度をより向上させることができる。すなわち、第2受光部17において、計測対象物2で反射された反射光の光量を受光することができるので、光量を正規化することができる。より詳細には、第2受光素子20の光量をリファレンスとして第1受光素子12の光量を正規化することができるので、光源6の光量によらずに受光量の変化から、距離に換算して計測対象物2の変位を測定することができる。次に、図4に示す変位センサ1Aによって計測対象物2の変位を計測する原理について説明する。まず、投光部3の光源6から出射した光が、第1レンズ7を通過してコリメートされてほぼ平行光となり、第1ハーフミラー8に照射される。そして、その光は照射部4に入る。照射部4では、投光部3から出射され第1ハーフミラー8に照射された光が、第1ハーフミラー8でその光路が変更されて、第2レンズ9を通過して、計測対象物2の表面へ照射される。図4に示す実施形態では、第2レンズ9には、第1レンズ7で平行光とされた光が入射することから、計測光光源から計測対象物2上に照射される光は計測対象物2上で集光する。この照射光は計測対象物2上で反射されて反射光となる。そして、この反射光は第2レンズ9に再度入射されて、コリメートされてほぼ平行光になる。この平行光になった反射光の中で、第1ハーフミラー8を通過した光は第1受光部5へ入る。第1受光部5では、反射光がスリット板10の穴13を通過して第3レンズ11に入射した後、第1受光素子12上で結像する。このとき、第3レンズ11には第2レンズ9で平行光とされた反射光が入射することから、反射光は第1受光素子12上で集光して結像する。このとき、図8に基づき説明したように、図A3の場合すなわち計測対象物2が変位していない場合には、図B3に黒色で示すように、第1受光素子12受光面における受光量は最大となってピントの合ったスポット像が得られる。これに対し、図A1A2に示すように、計測対象物2が変位していると、第1受光素子12受光面に形成される反射光のスポット像は、図B1B2に灰色で示すように、受光量が少なくなるのでぼやけたスポット像になる。そして、反射光の中で、第1ハーフミラー8で反射した光は第2受光部17へ入る。より詳細に説明すると、まず、反射光の中で第1ハーフミラー8で反射された光は、第1ハーフミラー8でその光路が変更されて、投光部3の光軸16と一致するようになる。その後、投光部3の光軸16と直交するように第2ハーフミラー18で再び光路が変更されて、第2受光部17へ入射する。図4に示す実施形態では、第2受光部17に入る光は平行光であることから、第2ハーフミラー18で反射されて、第4レンズ19を通過した反射光は第2受光素子20上で集光して結像する。このように、第2受光部17で、計測対象物2で反射された反射光の光量を測定し、第1受光素子12で測定した光量を正規化することにより、光源6の光量によらずに、光量の変化量から距離に換算し、計測対象物2の変位を測定することができる。従って、往復動するレンズを具備することなく、小型な装置であっても、高精度で計測対象物2の変位を測定することができる。次に、本発明に係る変位センサの別の変更例を示す。図5は本発明に係る他の変更例に係る変位センサ1Bの光学系を示す。図5に示す光学系は、図1に示す光学系の第1受光部5に絞り板22を設けたことを除くその他の構成は、図1に示す光学系と同一である。従って、図1と同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。すなわち、図5に示すように、本発明に係る変位センサ1Bは、計測対象物2に向けて光を出射する投光部3と、投光部3からの光を計測対象物2へ向けて集光し照射する照射部4と、計測対象物2に照射されて反射された光を集光して受光する第1受光部5とを少なくとも具備して構成されており、第1受光部5の第3レンズ11と第1受光素子12との間に絞り板22が設けられている。図6に絞り板22の平面図を示す。絞り板22に設けられた開口23は、図示するように円形が好ましいが、これに限定されるものではない。また、絞り板22も、スリット板10と同様に、光を透過しない、例えば黒色のプラスチック板のような光を透過しない材料で作られている。このように、第1受光部5をスリット板10と、第3レンズ11と、絞り板22と、第1受光素子12とを具備して構成し、絞り板22を第3レンズ11と第1受光素子12との間に設けることにより、外乱光などの余計な光を遮断し、計測対象光だけを第1受光素子12上に照射することができるようになる。次に、図5に示す変位センサ1Bによって計測対象物2の変位を計測する原理について説明する。まず、投光部3では、光源6から出射した光が第1レンズ7を通過してコリメートされてほぼ平行光にされて、第1ハーフミラー8に照射される。そして、この光は照射部4に入る。照射部4では、投光部3により第1ハーフミラー8に照射された光が第1ハーフミラー8でその光路が変更されて、第2レンズ9を通過して、計測対象物2の表面へ照射される。図5に示す実施形態では、第2レンズ9には、第1レンズ8で平行光とされた光が入射することから、計測光光源から計測対象物2上に照射される光は計測対象物2上で集光する。この照射光は、計測対象物2上で反射されて反射光となる。そして、この反射光は第2レンズ9に再度入射されて、コリメートされてほぼ平行光になる。この平行光になった反射光の中で、第1ハーフミラー8を通過して第1受光部5へ入る。第1受光部5では、反射光がスリット板10の穴13を通過して第3レンズ11に入射した後、絞り板22の開口23を通過して、第1受光素子12受光面で結像する。このとき、第3レンズ11には第2レンズ9で平行光とされた反射光が入射することから、反射光は第1受光素子12上で集光して結像する。なお、このときの第1受光素子12受光面における結像状況は図8に基づき前述したとおりである。さらに、図7に本発明のさらに別の変更例に係る変位センサ1Cの光学系を示す。図7に示す変位センサ1Cは、図4に示す変位センサ1Aの光学系の第1受光部5に絞り板22を設けたことを除くその他の構成は、図4に示す変位センサ1Aと同一である。従って、図4と同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。図7に示すように、本発明の変更例に係る変位センサ1Cは、計測対象物2に向けて光を出射する投光部3と、投光部3からの光を計測対象物2へ向けて集光し照射する照射部4と、計測対象物2に照射されて反射された光を集光して受光する第1受光部5、反射光の光量を正規化する第2受光部17とを少なくとも具備して構成されている。図示するように、投光部3は光源部6と、第1ハーフミラー8とを具備して構成されており、照射部4は、第1ハーフミラー8と、第2レンズ9とを具備して構成されており、第1受光部5は、スリット板10と、第3レンズ11と、絞り板22と、第1受光素子12とを具備して構成されており、第2受光部17は、第2ハーフミラー18と、第4レンズ19と、第2受光素子20とを具備して構成されている。第2ハーフミラーは、投光部の第1レンズと第1ハーフミラーとの間に配置されている。本発明に係る変位センサ1Cが有する光学系は、図7に示すように、照射部4の光軸14と第1受光部5の光軸15とが一致するように、照射部4及び第1受光部5の各構成部品を配置している。また、投光部3の光軸16は、照射部4の光軸14及び第1受光部5の光軸15と直交するように第1ハーフミラー8を介して配置されている。さらに、これに加え、投光部3の光軸16と、第2受光部17の光軸21とが直交するように、第2ハーフミラー18を介して第2受光部17の各構成部品が配置されている。なお、図7中において光軸14、15.16、21は一点鎖線で示している。このように、第1受光部5及び第2受光部17が構成された光学系を変位センサ1Cが備えることにより、測定精度をより向上させることができる。すなわち、第1受光部5で、反射光が絞り板22を通過することにより、測定対象光だけを第1受光素子12上に照射することができると共に、第2受光部17で、計測対象物2で反射された反射光量を受光することができるので、光量を正規化することができ、光源6の光量によらずに光量の変化を測定することができる。次に、図7に示す変位センサ1Cによって計測対象物2の変位を計測する原理について説明する。まず、投光部3の光源6から出射した光が、第1レンズ7を通過してコリメートされてほぼ平行光となり、第1ハーフミラー8に照射される。そして、その光は照射部4に入る。照射部4では、投光部3から出射され第1ハーフミラー8に照射された光が、第1ハーフミラー8でその光路が変更されて、第2レンズ9を通過して、計測対象物2の表面へ照射される。図7に示す実施形態では、第2レンズ9には、第1レンズ7で平行光とされた光が入射することから、計測光光源6から計測対象物2上に照射される光は計測対象物2上で集光する。この照射光は計測対象物2上で反射されて反射光となる。そして、この反射光は第2レンズ9に再度入射されて、コリメートされてほぼ平行光になる。この平行光になった反射光の中で、第1ハーフミラー8を通過した光は第1受光部5へ入る。第1受光部5では、反射光がスリット板10の穴13を通過して第3レンズ11に入射した後、絞り板22の開口23を通過して第1受光素子12上で結像する。このとき、第3レンズ11には第2レンズ9で平行光とされた反射光が入射することから、反射光は第1受光素子12上で集光して結像する。なお、このときの第1受光素子12受光面における結像状況は図8に基づき前述したとおりである。そして、反射光の中で、第1ハーフミラー8で反射した光は第2受光部17へ入る。より詳細に説明すると、まず、反射光の中で第1ハーフミラー8で反射された光は、第1ハーフミラー8でその光路が変更されて、投光部3の光軸16と一致するようになる。その後、投光部3の光軸16と直交するように第2ハーフミラー18で再び光路が変更されて、第2受光部17へ入射する。図7に示す実施形態では、第2受光部17に入る光は平行光であることから、第2ハーフミラー18で反射されて、第4レンズ19を通過した反射光は第2受光素子20受光面で集光して結像する。このように、第2受光部17において、計測対象物2で反射された反射光量を測定し、第1受光部5で測定した光量を正規化することにより、光量の変化量から距離に換算し、計測対象物2の変位を測定することができる。従って、往復動するレンズを具備することなく、小型な装置であっても、高精度で計測対象物の変位を測定することができる。以上に説明したように、本発明に係る変位センサ1、1A、1B、1Cによれば、往復動するレンズ等を具備することなく、高精度で計測対象物の変位を測定することができる。すなわち、本発明に係る変位センサは、小型化であっても高精度で変位を検出することができる。"