光軸に沿って物体側より順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、正の屈折力を有する第4レンズ群とを有し、各レンズ群の空気間隔を変化させて変倍を行い、前記第4レンズ群は、光軸に沿って物体側より順に並んだ、第1の正レンズ成分と、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分と、負レンズ成分とを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含むことを特徴とするズームレンズ。0.00<Rb2-Rb1/Rb2Rb1<1.00但し、Rb2:前記第4レンズ群を構成する前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分の像側の面の曲率半径、Rb1:前記第4レンズ群を構成する前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分の物体側の面の曲率半径。前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項1に記載のズームレンズ。前記ウェットプロセスを用いて形成された層のd線における屈折率をndとしたとき、ndは1.30以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のズームレンズ。前記第3レンズ群は、開口絞りを有し、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、前記開口絞りから見て凹形状の面であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のズームレンズ。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群に含まれる少なくとも1つのレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載のズームレンズ。前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群に含まれる少なくとも1つのレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項4に記載のズームレンズ。前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体から見て凹形状の面であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のズームレンズ。前記物体から見て凹形状のレンズ面は、前記第1レンズ群の物体側から数えて2番目に位置するレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載のズームレンズ。前記物体から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の物体側から数えて2番目に位置するレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載のズームレンズ。前記物体から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の物体側から数えて3番目に位置するレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載のズームレンズ。前記物体から見て凹形状のレンズ面は、前記第2レンズ群の物体側から数えて4番目に位置するレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項7に記載のズームレンズ。前記第4レンズ群を構成する前記負レンズ成分の焦点距離をFcとし、前記第4レンズ群の焦点距離をF4としたとき、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1~11のいずれか一項に記載のズームレンズ。0.45<-Fc/F4<3.00前記第4レンズ群を構成する前記第1の正レンズ成分と前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分との合成の焦点距離をFabとし、前記第4レンズ群の焦点距離をF4としたとき、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1~12のいずれか一項に記載のズームレンズ。0.10<Fab/F4<2.00前記第2レンズ群の焦点距離をF2とし、無限遠合焦時における全系の広角端状態における焦点距離をFwとしたとき、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1~13のいずれか一項に記載のズームレンズ。0.30<-F2/Fw<2.00前記第4レンズ群を構成する前記負レンズ成分のd線におけるアッベ数をνdcとしたとき、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1~14のいずれか一項に記載のズームレンズ。45<νdc<85無限遠合焦時における全系の広角端状態のバックフォーカスをBfwとし、無限遠合焦時における全系の広角端状態の焦点距離をFwとしたとき、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1~15のいずれか一項に記載のズームレンズ。0.5<Bfw/Fw<2.0前記第4レンズ群は、少なくとも1面の非球面を有することを特徴とする請求項1~16のいずれか一項に記載のズームレンズ。前記第4レンズ群を構成する前記負レンズ成分は、少なくとも1面の非球面を有することを特徴とする請求項1~17のいずれか一項に記載のズームレンズ。前記ズームレンズの近距離物体への合焦は、負の屈折力を有する前記第2レンズ群を光軸上で移動させることにより行うことを特徴とする請求項1~18のいずれか一項に記載のズームレンズ。請求項1~19のいずれか一項に記載のズームレンズを備えたことを特徴とする撮像装置。光軸に沿って物体側より順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、正の屈折力を有する第4レンズ群とを有するズームレンズの製造方法であって、各レンズ群の空気間隔を変化させて変倍を行い、前記第4レンズ群は、光軸に沿って物体側より順に並んだ、第1の正レンズ成分と、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分と、負レンズ成分とを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んで構成されるように、レンズ鏡筒内に各レンズを組み込むことを特徴とするズームレンズの製造方法。0.00<Rb2-Rb1/Rb2Rb1<1.00但し、Rb2:前記第4レンズ群を構成する前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分の像側の面の曲率半径、Rb1:前記第4レンズ群を構成する前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分の物体側の面の曲率半径。しかしながら、従来のズームレンズは小型化の点で不十分であった。そこで、小型化と高性能化を目指すために各群の屈折力を上げると、収差補正のために逆にレンズ構成が複雑になって構成枚数が増え、目的に反して大型化する傾向があった。それと同時に、このようなズームレンズにおける光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、小型で、構成枚数が少なく、高性能で、ゴーストやフレアをより低減させ、諸収差の少ないズームレンズ、撮像装置及びズームレンズの製造方法を提供することを目的とする。このような目的を達成するため、本発明は、光軸に沿って物体側より順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、正の屈折力を有する第4レンズ群とを有し、各レンズ群の空気間隔を変化させて変倍を行い、前記第4レンズ群は、光軸に沿って物体側より順に並んだ、第1の正レンズ成分と、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分と、負レンズ成分とを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んで構成されることを特徴とするズームレンズを提供する。0.00<Rb2-Rb1/Rb2Rb1<1.00但し、Rb2:前記第4レンズ群を構成する前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分の像側の面の曲率半径、Rb1:前記第4レンズ群を構成する前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分の物体側の面の曲率半径。ここで、レンズ成分とは、単レンズ、または、複数枚のレンズが貼り合わされた接合レンズを示す。また、本発明は、前記ズームレンズを備えたことを特徴とする撮像装置例えば、本実施形態におけるミラーレスカメラ1を提供する。また、本発明は、光軸に沿って物体側より順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、正の屈折力を有する第4レンズ群とを有するズームレンズの製造方法であって、各レンズ群の空気間隔を変化させて変倍を行い、前記第4レンズ群は、光軸に沿って物体側より順に並んだ、第1の正レンズ成分と、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分と、負レンズ成分とを有し、以下の条件式を満足し、前記第1レンズ群および前記第2レンズ群における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んで構成されるように、レンズ鏡筒内に各レンズを組み込むことを特徴とするズームレンズの製造方法を提供する。0.00<Rb2-Rb1/Rb2Rb1<1.00但し、Rb2:前記第4レンズ群を構成する前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分の像側の面の曲率半径、Rb1:前記第4レンズ群を構成する前記物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分の物体側の面の曲率半径。本発明によれば、小型で、構成枚数が少なく、高性能で、ゴーストやフレアをより低減させ、諸収差の少ないズームレンズ、撮像装置及びズームレンズの製造方法を提供することができる。以下、本実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係るズームレンズZLは、図1に示すように、光軸に沿って物体側より順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とを有し、各レンズ群の空気間隔を変化させて変倍を行い、第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側より順に並んだ、第1の正レンズ成分Laと、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbと、負レンズ成分Lcとを有し、以下の条件式1を満足する。0.00<Rb2-Rb1/Rb2Rb1<1.00...1但し、Rb2:第4レンズ群G4を構成する物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの像側の面の曲率半径、Rb1:第4レンズ群G4を構成する物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの物体側の面の曲率半径。本発明は、正負正正の少なくとも4群を有する多群ズームレンズの小型化に対する有効策を考察したものである。特に、本発明で着目したのは、第4レンズ群G4の構成である。第4レンズ群G4は、正正負の単純な構成で、射出瞳を著しく短くすること無しに、バックフォーカスを短小化し、全長を小型化することに成功した。また、この構成をとることで、高性能化も両立させることが可能である。また、収差補正に最適な形状、焦点距離等を最適な値にすることにより、本発明をより効果的なものにすることが可能である。条件式1は、第4レンズ群G4中の物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの形状因子qファクターの逆数である。この条件式1は、上限値である1.00を境に1.00より大きくなると、レンズの形状が物体側に凸面を向けた平凸形状から両凸形状に変化する。すなわち、1.00を超えると、大きくレンズの形状が変わることが分かる。また、条件式1の下限値が0.00を下回ると、すなわちマイナスに転じると、像側に凸面を向けたレンズ形状となり、全く異なる形状になる。このように、条件式1は、第4レンズ群G4中の物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの形状を決定する条件である。条件式の上限値を上回る場合、前記の通り、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの形状が、最適なメニスカス形状から外れ、物体側に凸面を向けた平凸形状から両凸形状に変化する。このため、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの屈折力が増し、結果的に負レンズ成分Lcの屈折力も増加させ、高次の収差の発生を誘導し、コマ収差、像面湾曲が悪化するので好ましくない。また、組み立て時の敏感度も増し、製造難易度も増すので好ましくない。なお、条件式1の上限値を0.90とすることにより、良好なコマ収差、像面湾曲の補正が可能になる。また、条件式1の上限値を0.88とすることにより、良好なコマ収差、像面湾曲の補正が可能になる。また、条件式1の上限値を0.80とすることにより、良好なコマ収差、像面湾曲の補正が可能になる。また、条件式1の上限値を0.70とすることにより、より良好なコマ収差、像面湾曲の補正が可能になる。また、条件式1の上限値を0.65とすることにより、より良好なコマ収差、像面湾曲の補正が可能になる。また、条件式1の上限値を0.60とすることにより、より良好なコマ収差、像面湾曲の補正が可能になり、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。一方、条件式1の下限値を下回る場合、前記の通り、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの形状が、最適なメニスカス形状から外れ、像側に凸面を向けたメニスカス形状に変化する。この場合も良好な収差補正を阻害する。特に、球面収差、像面湾曲、非点収差が悪化することとなり好ましくない。なお、条件式1の下限値を0.05とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式1の下限値を0.10とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式1の下限値を0.15とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式1の下限値を0.19とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式1の下限値を0.20とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式1の下限値を0.25とすることにより、諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。また、本実施形態に係るズームレンズZLは、第1レンズ群G1および第2レンズ群G2における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ図1では、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL12における像面側のレンズ面面番号3と、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における物体側のレンズ面面番号4が相当、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んでいる。このように構成すれば、本実施形態に係るズームレンズZLは、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜は多層膜であり、ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このように構成すれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLは、ウェットプロセスを用いて形成された層のd線波長5876nmにおける屈折率をndとしたとき、屈折率ndが1.30以下であることが好ましい。このように構成すれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜が設けられた光学面は、第1レンズ群G1および第2レンズ群G2における光学面のうち少なくとも1面であり、当該光学面は、第3レンズ群G3が有する開口絞りSから見て凹形状の面であることが好ましい。開口絞りSから見て凹形状のレンズ面ではゴーストが発生し易いため、このような面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜が設けられた開口絞りSから見て凹形状のレンズ面は、第1レンズ群G1および第2レンズ群G2に含まれる少なくとも1つのレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。開口絞りSから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜が設けられた開口絞りSから見て凹形状のレンズ面は、第1レンズ群G1および第2レンズ群G2に含まれる少なくとも1つのレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。開口絞りSから見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜が設けられた光学面は、第1レンズ群G1および第2レンズ群G2における光学面のうち少なくとも1面であり、当該光学面は、物体から見て凹形状の面であることが好ましい。物体から見て凹形状のレンズ面ではゴーストが発生し易いため、このような面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜が設けられた物体から見て凹形状のレンズ面は、第1レンズ群G1の物体側から数えて2番目に位置するレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。物体から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜が設けられた物体から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群G2の物体側から数えて2番目に位置するレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。物体から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜が設けられた物体から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群G2の物体側から数えて3番目に位置するレンズの、像面側のレンズ面であることが好ましい。物体から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。また、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜が設けられた物体から見て凹形状のレンズ面は、第2レンズ群G2の物体側から数えて4番目に位置するレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。物体から見て凹形状のレンズ面にゴーストが発生し易いため、このような面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。なお、本実施形態に係るズームレンズZLにおいて、前記反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が1.30以下となる層を少なくとも1層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が1.30以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。また、本実施形態のズームレンズZLでは、第4レンズ群G4を構成する負レンズ成分Lcの焦点距離をFcとし、第4レンズ群の焦点距離をF4としたとき、以下の条件式2を満足することが好ましい。0.45<-Fc/F4<3.00...2条件式2は第4レンズ群G4中の負レンズ成分Lcの焦点距離絶対値、言い換えれば負レンズ成分Lcの屈折力を規定する条件である。条件式2の上限値を上回る場合、負レンズ成分Lcの焦点距離絶対値が、第4レンズ群G4の焦点距離に比較して大きくなる。すなわち、負レンズ成分Lcが有する負の屈折力が弱くなることを意味する。この場合、小型化に不利であり、後玉径の増大を招く。無理に小型化進めれば、像面湾曲の悪化、変倍によるコマ収差の変動が増すので好ましくない。なお、条件式2の上限値を2.50とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式2の上限値を2.20とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式2の上限値を2.00とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式2の上限値を1.90とすることにより、諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。一方、条件式2の下限値を下回る場合、負レンズ成分Lcの焦点距離絶対値が第4レンズ群G4の焦点距離に比較して小さくなる、すなわち、負レンズ成分Lcが有する負の屈折力が強くなることを意味する。この場合、球面収差、像面湾曲、上方コマ収差の画角による変位、変倍による変動が増すので好ましくない。なお、条件式2の下限値を0.50とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式2の下限値を0.74とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式2の下限値を0.80とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式2の下限値を0.90とすることにより、諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。また、本実施形態のズームレンズZLでは、第4レンズ群G4を構成する第1の正レンズ成分Laと物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbとの合成の焦点距離をFabとし、第4レンズ群G4の焦点距離をF4としたとき、以下の条件式3を満足することが好ましい。0.10<Fab/F4<2.00...3条件式3は第4レンズ群G4中の正レンズ成分Laと物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbとの合成の焦点距離、言い換えれば合成の屈折力を規定する条件である。条件式3の上限値を上回る場合、第1の正レンズ成分Laと物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbとの合成の焦点距離が、第4レンズ群G4の焦点距離に比較して大きくなる。すなわち、合成の屈折力が弱くなることを意味する。この場合、球面収差補正が悪化し、また小型化にも不利となり、結果的に大型化するので好ましくない。なお、条件式3の上限値を1.80とすることにより、球面収差等の諸収差が良好に補正できる。また、条件式3の上限値を1.50とすることにより、球面収差等の諸収差が良好に補正できる。また、条件式3の上限値を1.00とすることにより、球面収差等の諸収差がより良好に補正できる。また、条件式3の上限値を0.80とすることにより、球面収差等の諸収差がより良好に補正できる。また、条件式3の上限値を0.70とすることにより、球面収差等の諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。一方、条件式3の下限値を下回る場合、第1の正レンズ成分Laと物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbとの合成の焦点距離が、第4レンズ群G4の焦点距離に比較して小さくなる。すなわち、合成の屈折力が強くなることを意味する。結果的に、望遠側の球面収差、上方コマ収差の画角による変位、変倍による変動、像面湾曲の変化が増すので好ましくない。なお、条件式3の下限値を0.20とすることにより、コマ収差等の諸収差が良好に補正できる。また、条件式3の下限値を0.30とすることにより、コマ収差等の諸収差が良好に補正できる。また、条件式3の下限値を0.40とすることにより、コマ収差等の諸収差がより良好に補正できる。また、条件式3の下限値を0.45とすることにより、コマ収差等の諸収差がより良好に補正できる。また、条件式3の下限値を0.50とすることにより、コマ収差等の諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。また、本実施形態のズームレンズZLでは、第2レンズ群G2の焦点距離をF2とし、無限遠合焦時における全系の広角端状態における焦点距離をFwとしたとき、以下の条件式4を満足することが好ましい。0.30<-F2/Fw<2.00...4条件式4は、第2レンズ群G2の焦点距離、言い換えれば屈折力を規定する条件である。条件式4の上限値を上回る場合、第2レンズ群G2の焦点距離が大きくなる。すなわち、第2レンズ群G2の屈折力が弱くなることを意味する。この場合、全長が大きくなり、小型化に不利となる。また、収差補正上、同様の変倍比を確保した場合、倍率色収差、像面湾曲の変倍による変動が増すので好ましくない。なお、条件式4の上限値を1.80とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式4の上限値を1.50とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式4の上限値を1.00とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式4の上限値を0.80とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式4の上限値を0.70とすることにより、諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。一方、条件式4の下限値を下回る場合、第2レンズ群G2の焦点距離が小さくなる。すなわち、第2レンズ群G2の屈折力が強くなることを意味する。この場合、特に望遠側の球面色収差、コマ収差の変倍による変動が悪化するので好ましくない。なお、条件式4の下限値を0.40とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式4の下限値を0.50とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式4の下限値を0.52とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式4の下限値を0.58とすることにより、諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。また、本実施形態のズームレンズZLでは、第4レンズ群G4を構成する負レンズ成分Lcのd線波長5876nmにおけるアッベ数をνdcとしたとき、以下の条件式5を満足することが好ましい。45<νdc<85...5条件式5は、第4レンズ群G4中の負レンズ成分Lcのアッベ数を規定する条件である。条件式5の上限値を上回る場合、負レンズ成分Lcのアッベ数が低分散になり、倍率色収差の補正が悪化するので好ましくない。なお、条件式5の上限値を75とすることにより、色収差が良好に補正できる。また、条件式5の上限値を73とすることにより、色収差が良好に補正できる。また、条件式5の上限値を70とすることにより、色収差がより良好に補正できる。また、条件式5の上限値を68とすることにより、色収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。一方、条件式5の下限値を下回る場合、負レンズ成分であるLcのアッベ数が高分散になり、やはり倍率色収差、特に倍率色収差の2次分散が悪化するので好ましくない。なお、条件式5の下限値を50とすることにより、色収差が良好に補正できる。また、条件式5の下限値を52とすることにより、色収差が良好に補正できる。また、条件式5の下限値を54とすることにより、色収差がより良好に補正できる。また、条件式5の下限値を58とすることにより、色収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。また、本実施形態のズームレンズZLでは、無限遠合焦時における全系の広角端状態のバックフォーカスをBfwとし、無限遠合焦時における全系の広角端状態の焦点距離をFwとしたとき、以下の条件式6を満足することが好ましい。0.5<Bfw/Fw<2.0...6条件式6は、広角端状態におけるバックフォーカスを規定する条件である。条件式6の上限値を上回る場合、バックフォーカスが著しく長くなり、小型化に反するので好ましくない。また、収差補正上、このような構造をとる場合、各群をゆるい屈折力で使用するため、像面湾曲の変動が発生しやすいので好ましくない。なお、条件式6の上限値を1.8とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式6の上限値を1.7とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式6の上限値を1.6とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式6の上限値を1.5とすることにより、諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。一方、条件式6の下限値を下回る場合、バックフォーカスが著しく短くなり、射出瞳までの距離も短くなるので、デジタルカメラ等に用いる光学系としては好ましくない。また、収差補正上、このような構造をとる場合、各群を強い屈折力で使用するため、コマ収差、像面湾曲の変動が発生しやすいので好ましくない。なお、条件式6の下限値を0.6とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式6の下限値を0.8とすることにより、諸収差が良好に補正できる。また、条件式6の下限値を1.0とすることにより、諸収差がより良好に補正できる。また、条件式6の下限値を1.4とすることにより、諸収差がより良好に補正でき、本実施形態の効果を最大限に発揮できる。また、本実施形態のズームレンズZLにおいて、第4レンズ群G4は、少なくとも1面の非球面を有することが好ましい。この構成により、良好なコマ収差、歪曲収差の補正を実現することができる。より好ましくは、本実施形態のズームレンズZLにおいて、第4レンズ群G4を構成する負レンズ成分Lcが、少なくとも1面の非球面を有することが好ましい。この構成により、良好なコマ収差、歪曲収差の補正を実現することができる。また、本実施形態のズームレンズZLにおいて、近距離物体への合焦は、負の屈折力を有する第2レンズ群G2を光軸上で移動させることにより行われることが好ましい。この構成により、近距離収差変動、特に像面湾曲とコマ収差の変動を小さくできるので好ましい。図8に、上述のズームレンズZLを備えた撮像装置として、レンズ交換式の所謂ミラーレスカメラ1以後、単にカメラと記すの略断面図を示す。このカメラ1において、不図示の物体被写体からの光は、撮影レンズ2本実施形態に係るズームレンズZLで集光されて、不図示のOLPFOpticallowpassfilter:光学ローパスフィルタを介して撮像部3の撮像面上に物体被写体像を形成する。そして、撮像部3に設けられた光電変換素子により物体被写体像が光電変換され、物体被写体の画像が生成される。この画像は、カメラ1に設けられたEVFElectronicviewfinder:電子ビューファインダ4に表示される。これにより、撮影者は、EVF4を介して物体被写体像を観察することができる。また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、撮像部3により光電変換された画像が不図示のメモリに記憶される。このようにして、撮影者は本カメラ1による被写体の撮影を行うことができる。なお、カメラ1は、撮影レンズ2ズームレンズZLを着脱可能に保持するものでも良く、撮影レンズ2ズームレンズZLと一体に成形されるものでも良い。ここでは、撮影レンズ2ズームレンズZLを備えた撮像装置として、ミラーレスカメラの例を挙げたが、これに限定されるものではなく、例えば、カメラ本体にクイックリターンミラーを有しファインダー光学系を介して物体被写体像を観察する一眼レフタイプのカメラであってもよい。本カメラ1に撮影レンズ2として搭載した本実施形態に係るズームレンズZLは、後述の各実施例からも分かるように、その特徴的なレンズ構成によって、球面収差、像面湾曲、非点収差及びコマ収差が少なく、大画角を包括する超広角レンズを実現している。従って、本カメラ1は、球面収差、像面湾曲、非点収差及びコマ収差が少なく、大画角を包括して広角撮影可能な撮像装置を実現することができる。続いて、図9を参照しながら、上記構成のズームレンズZLの製造方法について概説する。まず、鏡筒内に第1レンズ群G1~第4レンズ群G4を組み込むステップS10。この組み込みステップにおいて、第1レンズ群G1は正の屈折力を持つように、第2レンズ群G2は負の屈折力を持つように、第3レンズ群G3は正の屈折力を持つように、第4レンズ群G4は正の屈折力を持つように、各レンズを配置する。なお、第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側より順に、第1の正レンズ成分Laと、物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbと、負レンズ成分Lcとが配置されるように構成するステップS20。ここで、本実施形態におけるレンズ配置の一例を挙げると、第1レンズ群G1として、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と正メニスカスレンズL12との接合によりなる接合正レンズを配置し、第2レンズ群G2として、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けて像側に非球面を有する負メニスカス非球面レンズL21と、両凹レンズL22と、両凸レンズL23と両凹レンズL24との接合によりなる接合正レンズとを配置し、第3レンズ群G3として、光軸に沿って物体側から順に、開口絞りSと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と、両凸レンズL32と両凹レンズL33との接合によりなる接合正レンズとを配置し、第4レンズ群G4として、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ請求項の第1の正レンズ成分に相当Laと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ請求項の第2の正レンズ成分に相当Lbと、物体側に非球面を有する負レンズLc請求項の負レンズ成分に相当とを配置する図1参照。続いて、広角端状態から望遠端状態まで変倍する際に、各レンズ群の間の空気間隔が可変するようにすなわち、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2との間隔が変化し、第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔が変化し、第3レンズ群G3と第4レンズ群G4との間隔が変化するように配置するステップS30。そして、第4レンズ群G4を構成する物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの像側の面の曲率半径をRb2とし、第4レンズ群G4を構成する物体側に凸面を向けた第2の正レンズ成分Lbの物体側の面の曲率半径をRb1としたとき、以下の条件式1を満足するように配置するステップS40。0.00<Rb2-Rb1/Rb2Rb1<1.00...1また、第1レンズ群G1および第2レンズ群G2における光学面のうち少なくとも1面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも1層含んで構成されるように、各レンズを配置するステップS50。以上のような本実施形態に係る製造方法によれば、小型で、構成枚数が少なく、高性能で、諸収差の少ないズームレンズZLを得ることができる。以下、本実施形態に係る各実施例について、図面に基づいて説明する。以下に、表1~表3を示すが、これらは第1実施例~第3実施例における各諸元の表である。なお、表中の[面データ]において、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径を、dは各光学面から次の光学面又は像面までの光軸上の距離である面間隔を、ndはd線波長5876nmに対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数を、可変は可変面間隔を、絞りSは開口絞りSを示す。なお、曲率半径rの欄の∞は平面を示す。また、空気の屈折率d線1000000の記載は省略する。また、表中の[非球面データ]には、[面データ]に示した非球面について、その形状を次式aで示す。ここで、yは光軸に垂直な方向の高さを、Xyは高さyにおける光軸方向の変位量サグ量を、rは基準球面の曲率半径近軸曲率半径を、κは円錐定数を、Anは第n次の非球面係数を示す。なお、Enは×10nを示し、例えば1234E05は1234×105を示す。Xy=y2/r/[1{1-κy2/r2}12]A4×y4A6×y6A8×y8A10×y10...aまた、表中の[各種データ]において、fは焦点距離を、FNoはFナンバーを、ωは半画角単位:度を、Yは像高を、TLはレンズ全長を、ΣdはズームレンズZLの最も物体側のレンズ面から最も像側のレンズ面までの光軸上の距離を、BFはバックフォーカスを示す。また、表中の[各群間隔データ]において、無限遠、中間合焦点及び近距離物点での広角端状態、中間焦点距離状態及び望遠端状態の各状態における、Di但し、iは整数は第i面と第i1面の可変間隔を示す。また、表中の[ズームレンズ群データ]において、Gは群番号、群初面は各群の最も物体側の面番号を、群焦点距離は各群の焦点距離を示す。また、表中の[条件式]において、上記の条件式1~6に対応する値を示す。以下、全ての諸元値において、掲載されている焦点距離f、曲率半径r、面間隔d、その他の長さ等は、特記のない場合一般にmmが使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。また、単位はmmに限定されることなく、他の適当な単位を用いることが可能である。ここまでの表の説明は全ての実施例において共通であり、以下での説明を省略する。第1実施例第1実施例について、図1~図3及び表1を用いて説明する。図1は、第1実施例に係るズームレンズZLZL1の構成及び広角端状態Wから望遠端状態Tまでのズーム軌道を示す。第1実施例に係るズームレンズZL1は、図1に示すように、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とを有し、各レンズ群の空気間隔を変化させて変倍を行う。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と正メニスカスレンズL12との接合によりなる接合正レンズから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けて像側に非球面を有する負メニスカス非球面レンズL21と、両凹レンズL22と、両凸レンズL23と両凹レンズL24との接合によりなる接合正レンズとから構成されている。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、開口絞りSと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と、両凸レンズL32と両凹レンズL33との接合によりなる接合正レンズとから構成されている。第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズLa請求項の第1の正レンズ成分に相当と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズLb請求項の第2の正レンズ成分に相当と、物体側に非球面を有する負レンズLc請求項の負レンズ成分に相当とから構成されている。本第1実施例では、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL12における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表1に、第1実施例における各諸元の値を示す。表1における面番号1~22は、図1に示す面1~22に対応している。なお、第1実施例では、第5面と、第21面とが非球面形状に形成されている。表1[面データ]面番号rdndνd物面∞144980220000184666023782306800400001755000522933357161D34465048100001816000466359660935000623777210000181600046637235386030008175556350001850260323591564491000017550005229102280043D10110528012153232200001516800641213115432770066014124462300001497820825615219705100001850260323516390608D161718671616000151823058891812807301000191248472000015168006412203432160700021600000100001516800641222177163BF像面∞[非球面データ]第5面κ05803A4681360E05A6212992E06A8360026E08A10802177E10第21面κ01939E03A4153238E04A6321406E06A8844333E09A10291566E10[各種データ]ズーム比288649広角端中間焦点距離望遠端f=185~350~534FNO=411~531~588ω=3918~2177~1448Y=1425~1425~1425TL=7049~8312~9638Σd=4338~4357~4855BF=2712~3956~4783[各群間隔データ]無限遠広角端中間焦点距離望遠端F185000035000005340000D0000000000000000D31869819448021740524D10961764341218090752D16359458241127194774BF271157439556644782965中間合焦点広角端中間焦点距離望遠端β002500002500002500D071095421351795820577118D31506169182381714278D10998129367783116997D16359458241127194774BF271157439556644782965近距離広角端中間焦点距離望遠端β006015011196016377D0279508226687792536159D31003338282551575211D101048412457766256065D16359458241127194774BF271157439556644782965[ズームレンズ群データ]群番号群初面群焦点距離G1172597G2411880G31224107G41741578[条件式]条件式1:Rb2-Rb1/Rb2Rb1=0.467条件式2:-Fc/F4=1.131条件式3:Fab/F4=0.548条件式4:-F2/Fw=0.643条件式5:νdc=64.12条件式6:Bfw/Fw=1.466表1に示す諸元の表から、本実施例に係るズームレンズZL1では、上記条件式1~6を全て満たすことが分かる。図2は、第1実施例に係るズームレンズZL1の諸収差図であり、aは広角端状態における撮影距離無限遠での諸収差図であり、bは中間焦点距離状態における撮影距離無限遠での諸収差図であり、cは望遠端状態における撮影距離無限遠での諸収差図である。各収差図において、FNOはFナンバーを、Yは像高を、ωは半画角を、dはd線波長5876nmを、gはg線波長4358nmを示す。なお、非点収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリジオナル像面を示す。また、コマ収差図において、実線はメリジオナルコマを示す。以上の収差図の説明は、他の実施例においても同様とし、その説明を省略する。各収差図から明らかなように、第1実施例では、広角端状態から望遠端状態までの各焦点距離状態において、球面収差、像面湾曲、非点収差、コマ収差等を含め、諸収差が良好に補正されていることが分かる。図3は、第1実施例のズームレンズZLにおいて、物体側から入射した光線BMによりゴーストが発生する状態を示している。図3において、物体側からの光線BMが図示のようにズームレンズZLに入射すると、負メニスカスレンズL21における物体側のレンズ面第1番目のゴースト発生面でありその面番号は4で反射し、その反射光は正メニスカスレンズL12における像側のレンズ面第2番目のゴースト発生面でありその面番号は3で再度反射して像面Iに到達し、ゴーストを発生させてしまう。なお、第1番目のゴースト発生面面番号4は開口絞りSから見て凹形状のレンズ面であり、第2番目のゴースト発生面面番号3は開口絞りSから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストを効果的に低減することができる。第2実施例第2実施例について、図4、図5及び表2を用いて説明する。図4は、第2実施例に係るズームレンズZLZL2の構成及び広角端状態Wから望遠端状態Tまでのズーム軌道を示す。第2実施例に係るズームレンズZL2は、図4に示すように、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とを有し、各レンズ群の空気間隔を変化させて変倍を行う。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と正メニスカスレンズL12との接合によりなる接合正レンズから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けて像側に非球面を有する負メニスカス非球面レンズL21と、両凹レンズL22と、両凸レンズL23と両凹レンズL24との接合によりなる接合正レンズとから構成されている。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、開口絞りSと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と、両凸レンズL32と両凹レンズL33との接合によりなる接合正レンズとから構成されている。第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズLa請求項の第1の正レンズ成分に相当と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズLb請求項の第2の正レンズ成分に相当と、物体側に非球面を有する負レンズLc請求項の負レンズ成分に相当とから構成されている。本第2実施例では、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凹レンズL22における物体側のレンズ面に後述する反射防止膜が形成されている。以下の表2に、第2実施例における各諸元の値を示す。表2における面番号1~22は、図4に示す面1~22に対応している。なお、第2実施例では、第5面と、第21面とが非球面形状に形成されている。表2[面データ]面番号rdndνd物面∞145235915000184666023782306944430001755000522933569766D34724189100001816000466351051223300064315101000018160004663719038405000815565535000185026032359175410100001755000522910512872D101105280121361672000016180006338134377160066014126174300001497820825615202019100001850260323516479127D161716804216000151680064121812476901000191132332000015168006412203432160600021600000100001589130611822176665BF像面∞[非球面データ]第5面κ05490A4623785E05A6893712E07A8343635E09A10185114E10第21面κ01427E03A4188342E04A6320208E06A8451585E08A10469074E10[各種データ]ズーム比288649広角端中間焦点距離望遠端f=185~350~534FNO=414~540~591ω=3911~2178~1449Y=1425~1425~1425Σd=4370~4402~4891BF=2718~3959~4788[各群間隔データ]無限遠広角端中間焦点距離望遠端F185000035000005340004D0000000000000000D31862199496181740987D101030074410170159094D16354090242404191149BF271845439589764788886中間合焦点広角端中間焦点距離望遠端β002500002500002500D071084711351523620575486D31498549229851714723D101066439436803185358D16354090242404191149BF271845439589764788886近距離広角端中間焦点距離望遠端β006021011204016390D0279117626639432532048D30994928326971575439D101116801527090324642D16354090242404191149BF271845439589764788886[ズームレンズ群データ]群番号群初面群焦点距離G1172597G2411880G31224107G41741578[条件式]条件式1:Rb2-Rb1/Rb2Rb1=0.504条件式2:-Fc/F4=1.031条件式3:Fab/F4=0.538条件式4:-F2/Fw=0.642条件式5:νdc=61.18条件式6:Bfw/Fw=1.469表2に示す諸元の表から、本実施例に係るズームレンズZL2では、上記条件式1~6を全て満たすことが分かる。図5は、第2実施例に係るズームレンズZL2の諸収差図であり、aは広角端状態における撮影距離無限遠での諸収差図であり、bは中間焦点距離状態における撮影距離無限遠での諸収差図であり、cは望遠端状態における撮影距離無限遠での諸収差図である。各収差図から明らかなように、第2実施例では、広角端状態から望遠端状態までの各焦点距離状態において、球面収差、像面湾曲、非点収差、コマ収差等を含め、諸収差が良好に補正されていることが分かる。第3実施例第3実施例について、図6、図7及び表3を用いて説明する。図6は、第3実施例に係るズームレンズZLZL3の構成及び広角端状態Wから望遠端状態Tまでのズーム軌道を示す。第3実施例に係るズームレンズZL3は、図6に示すように、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とを有し、各レンズ群の空気間隔を変化させて変倍を行う。第1レンズ群G1は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と正レンズL12との接合によりなる接合正レンズから構成されている。第2レンズ群G2は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けて像側に非球面を有する負メニスカス非球面レンズL21と、両凹レンズL22と、両凸レンズL23と、両凹レンズL24とから構成されている。第3レンズ群G3は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、開口絞りSと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と、両凸レンズL32と両凹レンズL33との接合によりなる接合正レンズとから構成されている。第4レンズ群G4は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL41と負メニスカスレンズL42との接合によりなる接合正レンズLa請求項の第1の正レンズ成分に相当と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ請求項の第2の正レンズ成分に相当Lbと、物体側に非球面を有する負レンズLc請求項の負レンズ成分に相当とから構成されている。本第3実施例では、第1レンズ群G1の正レンズL12における像面側のレンズ面と、第2レンズ群G2の両凸レンズL23における像面側のレンズ面と両凹レンズL24における物体側のレンズ面とに後述する反射防止膜が形成されている。以下の表3に、第3実施例における各諸元の値を示す。表3における面番号1~24は、図6に示す面1~24に対応している。なお、第3実施例では、第5面と、第23面とが非球面形状に形成されている。表3[面データ]面番号rdndνd物面∞1531301200001846660237823447884000017550005229315921864D3413012521000018160004663511593030000640391410000181600046637175015050008149985300001850260323591934360200010216269100001755000522911428910D1112052801313705220000151680064121413268640066015122707300001497820825616222725100001850260323517358394D171884530820000175500052291919767410000151823058892045551301000211336532000015168006412222843751000023600000100001516800641224222132BF像面∞[非球面データ]第5面κ06824A4745410E05A6751234E07A8155086E08A10532599E10第23面κ01946E03A4137031E04A6464625E06A8556028E08A10534034E10[各種データ]ズーム比288649広角端中間焦点距離望遠端f=185~350~534FNO=410~525~588ω=3911~2175~1437Y=1425~1425~1425TL=7200~8450~9790Σd=4575~4575~5093BF=2625~3875~4697[各群間隔データ]無限遠広角端中間焦点距離望遠端F185000035000015340000D0000000000000000D32274649770661781007D111081496460011210484D17326792198675162109BF262533738746734696728中間合焦点広角端中間焦点距離望遠端β003333003333003333D052550111001600915234126D31790909418511746100D111129870495226245391D17326792198675162109BF262533738746734696728近距離広角端中間焦点距離望遠端β007215013404019485D0227995121550172021027D31238688387331585927D111185092598343405564D17326792198675162109BF262533738746734696728[ズームレンズ群データ]群番号群初面群焦点距離G1172597G2411880G31324107G41841578[条件式]条件式1:Rb2-Rb1/Rb2Rb1=0.361条件式2:-Fc/F4=1.656条件式3:Fab/F4=0.658条件式4:-F2/Fw=0.642条件式5:νdc=64.12条件式6:Bfw/Fw=1.419表3に示す諸元の表から、本実施例に係るズームレンズZL3では、上記条件式1~6を全て満たすことが分かる。図7は、第3実施例に係るズームレンズZL3の諸収差図であり、aは広角端状態における撮影距離無限遠での諸収差図であり、bは中間焦点距離状態における撮影距離無限遠での諸収差図であり、cは望遠端状態における撮影距離無限遠での諸収差図である。各収差図から明らかなように、第3実施例では、広角端状態から望遠端状態までの各焦点距離状態において、球面収差、像面湾曲、非点収差、コマ収差等を含め、諸収差が良好に補正されていることが分かる。次に、実施形態に係るズームレンズに用いられる反射防止膜多層広帯域反射防止膜とも言うについて説明する。図10は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜101は7層からなり、レンズ等の光学部材102の光学面に形成される。第1層101aは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第1層101aの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第2層101bが形成される。さらに、この第2層101bの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第3層101cが形成され、この第3層101cの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第4層101dが形成される。またさらに、この第4層101dの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第5層101eが形成され、この第5層101eの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第6層101fが形成される。そして、このようにして形成された第6層101fの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第7層101gが形成されて本実施形態の反射防止膜101が形成される。第7層101gの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル-ゲル法を用いている。ゾル-ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル-ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。このように、この反射防止膜101の第1層101a~第6層101fまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第7層101gは、フッ酸/酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面上述の光学部材102の光学面に真空蒸着装置を用いて第1層101aとなる酸化アルミニウム層、第2層101bとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第3層101cとなる酸化アルミニウム層、第4層101dとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層、第5層101eとなる酸化アルミニウム層、第6層101fとなる酸化チタン-酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材102を取り出した後、フッ酸/酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第7層101gとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸/酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式bに示す。2HFMgCH3COO2→MgF22CH3COOH...bこの成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで140°C、24時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材102は、第7層101gの成膜終了後、大気中で160°C、1時間加熱処理して完成される。このようなゾル-ゲル法を用いることにより、大きさが数nmから数十nmの粒子が空隙を残して堆積することにより第7層101gが形成される。このようにして形成された反射防止膜101を有する光学部材の光学的性能について図11に示す分光特性を用いて説明する。本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材レンズは、以下の表4に示す条件で形成されている。ここで表4は、基準波長をλとし、基板の屈折率光学部材が1.62、1.74及び1.85について反射防止膜101の各層101a第1層~101g第7層の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表4では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2SiO2とそれぞれ表している。図11は、表4において基準波長λを550nmとして反射防止膜101の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。図11から、基準波長λを550nmで設計した反射防止膜101を有する光学部材は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率を0.2以下に抑えられることが分かる。また、表4において基準波長λをd線波長5876nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜101を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図11に示す基準波長λが550nmの場合とほぼ同等の分光特性を有することが分かっている。表4物質屈折率光学膜厚光学膜厚光学膜厚媒質空気100第7層MgF2SiO21260268λ0271λ0269λ第6層ZrO2TiO22120057λ0054λ0059λ第5層Al2O31650171λ0178λ0162λ第4層ZrO2TiO22120127λ013λ0158λ第3層Al2O31650122λ0107λ008λ第2層ZrO2TiO22120059λ0075λ0105λ第1層Al2O31650257λ003λ003λ基板の屈折率162174185次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は5層からなり、表4と同様、以下の表5で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第5層の形成に前述のゾル-ゲル法を用いている。図12は、表5において、基板の屈折率が1.52及び基準波長λを550nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図12から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が420nm~720nmの全域で反射率が0.2以下に抑えられることが分かる。なお、表5において基準波長λをd線波長5876nmとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図12に示す分光特性とほぼ同等の特性を有することが分かっている。図13は、図12に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図12、図13には表5に示す基板の屈折率が1.46の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が1.52とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。表5物質屈折率光学膜厚光学膜厚媒質空気100第5層MgF2SiO21260275λ0269λ第4層ZrO2TiO22120045λ0043λ第3層Al2O31650212λ0217λ第2層ZrO2TiO22120077λ0066λ第1層Al2O31650288λ0290λ基板の屈折率146152また比較のため、図14に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図14は、表5と同じ基板の屈折率1.52に以下の表6で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図15は、図14に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が30度、45度、60度の場合の分光特性をそれぞれ示す。表6物質屈折率光学膜厚媒質空気100第7層MgF21390243λ第6層ZrO2TiO22120119λ第5層Al2O31650057λ第4層ZrO2TiO22120220λ第3層Al2O31650064λ第2層ZrO2TiO22120057λ第1層Al2O31650193λ基板の屈折率152図11~図13で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図14および図15で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良く分かる。次に、本願の第1実施例から第3実施例に、上記表4に示す反射防止膜を適用した例について説明する。第1実施例のズームレンズZLにおいて、第1レンズ群G1の正メニスカスレンズL12の屈折率は、表1に示すように、nd=1.755000であり、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、nd=1.816000であるため、正メニスカスレンズL12における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表4参照を用い、負メニスカスレンズL21における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表4参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。第2実施例のズームレンズZLにおいて、第2レンズ群G2の負メニスカスレンズL21の屈折率は、表2に示すように、nd=1.816000であり、第2レンズ群G2の両凹レンズL22の屈折率は、nd=1.816000であるため、負メニスカスレンズL21における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜101表4参照を用い、両凹レンズL22における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表4参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。第3実施例のズームレンズZLにおいて、第1レンズ群G1の正レンズL12の屈折率は、表3に示すように、nd=1.755000であり、第2レンズ群G2の両凸レンズL23の屈折率は、nd=1.850260であり、第2レンズ群G2の両凹レンズL24の屈折率はnd=1.755000であるため、正レンズL12における像面側のレンズ面に基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜101表4参照を用い、両凸レンズL23における像面側のレンズ面に、基板の屈折率が1.85に対応する反射防止膜表4参照を用い、両凹レンズL24における物体側のレンズ面に、基板の屈折率が1.74に対応する反射防止膜表4参照を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。以上の各実施例によれば、広角端の包括角2ω=78.2°を超え、F4~5.6程度の口径を有し、比較的小型で前玉径が小さく、高性能で球面収差、像面湾曲、非点収差、コマ収差等が良好に補正され、ゴーストやフレアをより低減させたズームレンズが実現できる。なお、上記の各実施例は、本実施形態に係るズームレンズの一具体例を示しているものであり、本実施形態に係るズームレンズはこれらに限定されるものではない。上述の実施形態において、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。各実施例では、ズームレンズとして4群構成を示したが、5群、6群等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、変倍時に変化する空気間隔で分離された、少なくとも1枚のレンズを有する部分を示す。また、本実施形態においては、単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としてもよい。この合焦レンズ群は、オートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の超音波モーター等を用いたモーター駆動にも適している。特に、第2レンズ群を合焦レンズ群とするのが好ましい。また、本実施形態において、レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直な方向に振動させ、または光軸を含む面内方向に回転移動揺動させて、手ブレによって生じる像ブレを補正する防振レンズ群としてもよい。特に、第3レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。また、本実施形態において、レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を防げるので好ましい。また、レンズ面が非球面の場合、非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、レンズ面は回折面としてもよく、レンズを屈折率分布型レンズGRINレンズあるいはプラスチックレンズとしてもよい。また、本実施形態において、開口絞りは第3レンズ群近傍に配置されるのが好ましいが、開口絞りとしての部材を設けずにレンズ枠でその役割を代用してもよい。また、本実施形態において、各レンズ面には、フレアやゴーストを軽減して高コントラストの高い光学性能を達成するために、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施してもよい。以上説明したように、本発明によれば、小型でフィルター系が小さく、構成枚数が少なく、高性能で、像面湾曲、コマ収差、球面収差及び非点収差が少なく、ゴーストやフレアをより低減させたズームレンズ、撮像装置及びズームレンズの製造方法を提供することができる。なお、本発明を分かりやすくするために、実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。