"ガラス基板を互いに接触しないように分離して支持するためのガラス基板用カセットであって、ガラス基板用カセットを構成する部品の一部が、ポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体からなることを特徴とするガラス基板用カセット。請求項1に記載のガラス基板用カセットを構成するポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体からなる部品が、ガラス基板を支持するリブ状の棚を有する側板であることを特徴とするガラス基板用カセット。請求項1又は2記載のポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体が、分解温度が170°C以上の熱分解型発泡剤が配合された、ポリアリーレンスルフィド樹脂用発泡剤マスターバッチを、ポリアリーレンスルフィド樹脂に混合し、発泡剤マスターバッチに含まれる発泡剤の分解温度以上に加熱して成形することを特徴とする、ガラス基板用カセット。請求項3記載のポリアリーレンスルフィド樹脂用発泡剤マスターバッチが、メルトフローレートが0.1g/10分以上10g/10分未満、160°Cにおける溶融張力が50mN以上、歪硬化性を有し、密度が900~955kg/m3のエチレンα-オレフィン共重合体100重量部に対して、分解温度が170°C以上の熱分解型発泡剤1~100重量部が配合されたことを特徴とする、ガラス基板用カセット。請求項3又は4に記載の熱分解型発泡剤が、アゾ化合物、ニトロソ化合物、スルホニルセミカルバジド化合物、テトラゾール化合物及びそれらの混合物からなる群より選択されたものであることを特徴とする、ガラス基板用カセット。側板の歪みや変形を抑えるためにカセットの外側へ張り出したリブ状構造は、基板を保持する機能を有しておらず、カセットの重量増加やコストアップの一因となっている。そこで、本発明は、このような事情に鑑み、上述した欠点のないガラス基板用カセットを提供することを目的とする。かかる目的を達成するため、本発明者は、基板用カセットにおける側板の成形時の樹脂収縮による歪みや変形を抑制するために、側板の材料としてポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体を採用することに着目し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、基板用カセットを構成する側板であって、ポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体から構成されている基板用カセットの側板及び当該側板を用いた基板用カセットに関するものである。ポリフェニレンスルフィド樹脂に代表されるポリアリーレンスルフィド樹脂は、耐熱性、難燃性、耐薬品性及び剛性などに優れるという特性を有する。本発明は、ガラス基板、その他各種の基板を互いに接触しないように分離して支持するための基板用カセットにおいて、殊にそのカセットの主要部材である溝付き側板に、ポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体を採用する。これにより、ガラス基板等のマスキング、エッチング、洗浄等の処理においても優れた耐久性を有し、特に成形時の歪みや変形が少なく寸法精度に優れ、カセット外側へ張り出したリブ状棚片を小型化あるいは取り除くことが可能になり、さらに発泡成形体の効果により基板用カセットを軽量化させることができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。[発明の実施の形態1]図1は、本発明の基板用カセットの一例を模擬的に示した斜視図である。図2は、本発明の基板用カセットにおける側板2の一例を示した側面図である。一般的に、基板用カセットは、耐薬品性に優れる熱可塑性樹脂を射出成形することにより、基板用カセットを構成する各部品を得て、これを図1に示したカセットに組み立てる。図1に例示するカセットは、側板1、天板フレーム2、底板フレーム3、及び基板のストッパーとなる受けフレーム4からなる。基板を収納するリブ状の棚片を有する側板1は、カートリッジの相対向する側面に対で配置され、図1の例においては、一側面に間隔を開けて3枚の側板が組み込んである。より詳しい側板の形状については、図2の側面図に示す。背肉部5からリブ状の棚片6が所定のピッチでカセット内部側に向けて張り出した構造を有し、この棚片にて基板7を保持することにより、カセットは複数の基板を互いに接触しないように収容することが可能になる。また、従来の側板1は背肉部5からカセットの外側に向けてもリブ状の棚片7が張り出しており、成形時の歪みや変形を調製する目的で設置されている。本発明においては、ポリアリーレンスルフィド樹脂を発泡成形することにより側板を成形するため、成形時の歪みや変形が抑制され、カセット外側に張り出すリブ状の棚片7を小型化あるいは取り除くことが出来る。本発明において用いられるポリアリーレンスルフィド樹脂としては、ポリアリーレンスルフィドと称される範疇に属するものであれば如何なるものを用いてもよい。また、該ポリアリーレンスルフィドとしては、その構成単位として下記の一般式1で示されるp-フェニレンスルフィド単位を70モル以上、特に90モル以上含有しているものが好ましい。そして、他の構成成分としては、例えば下記の一般式2に示されるm-フェニレンスルフィド単位、一般式3に示されるo-フェニレンスルフィド単位、一般式4に示されるフェニレンスルフィドスルホン単位、一般式5に示されるフェニレンスルフィドケトン単位、一般式6に示されるフェニレンスルフィドエーテル単位、一般式7に示されるジフェニレンスルフィド単位、一般式8に示される置換基含有フェニレンスルフィド単位、一般式9に示される分岐構造含有フェニレンスルフィド単位、等を含有していてもよく、中でもポリp-フェニレンスルフィドが好ましい。該ポリアリーレンスルフィドの製造方法としては、特に限定はなく、例えば一般的に知られている重合溶媒中で、アルカリ金属硫化物とジハロ芳香族化合物とを反応する方法により製造することが可能であり、アルカリ金属硫化物としては、例えば硫化リチウム、硫化ナトリウム、硫化カリウム、硫化ルビジウム、硫化セシウム及びそれらの混合物が挙げられ、これらは水和物の形で使用しても差し支えない。これらアルカリ金属硫化物は、水硫化アルカリ金属とアルカリ金属塩基とを反応させることによって得られるが、ジハロ芳香族化合物の重合系内への添加に先立ってその場で調整されても、また系外で調整されたものを用いても差し支えない。また、ジハロ芳香族化合物としては、p-ジクロロベンゼン、p-ジブロモベンゼン、p-ジヨードベンゼン、m-ジクロロベンゼン、m-ジブロモベンゼン、m-ジヨードベンゼン、1-クロロ-4-ブロモベンゼン、4,4’-ジクロロジフェニルスルフォン、4,4’-ジクロロジフェニルエーテル、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、4,4’-ジクロロジフェニル等が挙げられる。また、アルカリ金属硫化物及びジハロ芳香族化合物の仕込比は、アルカリ金属硫化物/ジハロ芳香族化合物モル比=1.00/0.90~1.10の範囲とすることが好ましい。重合溶媒としては、極性溶媒が好ましく、特に非プロトン性で高温でのアルカリに対して安定な有機アミドが好ましい溶媒である。該有機アミドとしては、例えばN,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、N-メチル-ε-カプロラクタム、N-エチル-2-ピロリドン、N-メチル-2-ピロリドン、1,3-ジメチルイミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、テトラメチル尿素及びその混合物、等が挙げられる。また、該重合溶媒は、重合によって生成するポリマーに対し150~3500重量で用いることが好ましく、特に250~1500重量となる範囲で使用することが好ましい。重合は200~300°C、特に220~280°Cにて0.5~30時間、特に1~15時間攪拌下にて行うことが好ましい。さらに、該ポリアリーレンスルフィドは、直鎖状のものであっても、酸素存在下高温で処理し、架橋したものであっても、トリハロ以上のポリハロ化合物を少量添加して若干の架橋または分岐構造を導入したものであっても、窒素等の非酸化性の不活性ガス中で加熱処理を施したものであってもかまわないし、さらにこれらの構造の混合物であってもかまわない。また、上記のポリアリーレンスルフィド樹脂は、脱イオン処理を行うことによってイオンを低減させたものであってもよい。脱イオン処理の方法としては、未架橋ポリアリーレンスルフィド樹脂を130~250°Cの高温水によって洗浄する方法、有機溶剤で洗浄する方法、酸またはその水溶液にて洗浄する方法、あるいはこれらの組合せによる洗浄などから、所望により任意に選択できる。ポリアリーレンスルフィド樹脂は、必要に応じ、通常の各種樹脂添加剤を配合することができる。配合できる樹脂添加剤としては、酸化防止剤、難燃剤、難燃助剤、帯電防止剤、離型剤、染料や顔料などの着色剤、潤滑剤、可塑剤、結晶化促進剤、耐熱安定剤、耐候性安定剤、紫外線吸収剤、防錆剤、ガラス繊維や炭素繊維などの充填剤などが挙げられる。樹脂添加剤は、これら例示されたものに限定されるものではない。これらの樹脂添加剤は、ポリアリーレンスルフィド樹脂に予め溶融混練により配合しておくことが望ましいが、発泡剤マスターバッチと混合する際に配合することも可能である。本発明において、基板用カセットを構成するポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体は、ポリアリーレンスルフィド樹脂に、分解温度が170°C以上の熱分解型発泡剤が配合された、ポリアリーレンスルフィド樹脂用発泡剤マスターバッチを混合して、発泡剤マスターバッチに含まれる発泡剤の分解温度以上に加熱して成形する。ポリアリーレンスルフィド樹脂用発泡剤マスターバッチとしては、メルトフローレートが0.1g/10分以上10g/10分未満、160°Cにおける溶融張力が50mN以上、歪硬化性を有し、密度が900~955kg/m3のエチレンα-オレフィン共重合体100重量部に対して、分解温度が170°C以上の熱分解型発泡剤1~100重量部が配合され、溶融混練されてなるものを用いることができる。特定のポリエチレン系樹脂による発泡剤マスターバッチを用いることにより、微細で均一な気泡を有するポリアリーレンスルフィド樹脂発泡体が得られることから、寸法特性、耐熱性および耐薬品性を要する基板用カセットに好適であり、さらに基板用カセットの軽量化が可能になる。本発明に用いるエチレンα-オレフィン共重合体は、メルトフローレートが0.1g/10分以上10g/10分未満、160°Cにおける溶融張力が50mN以上、歪硬化性を有し、密度が900~955kg/m3であるものが好ましい。該範疇に属するエチレンα-オレフィン共重合体からなる発泡剤マスターバッチを、ポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形に給することにより、耐熱性に優れ微細で均一な気泡を有する発泡成形体が得られる。歪硬化性は、マイスナー型一軸伸長粘度計を用いて、160°Cで、ひずみ速度0.07~0.1s-1の条件で測定した伸長粘度の最大値を、その時間の線形領域の伸長粘度で除した値を非線形パラメーターλと定義し、λが1を超える歪硬化性があると確認できる。なお、M.Yamaguchietal.PolymerJournal32,1642000.に記載のように、線形領域の伸長粘度は動的粘弾性より計算できる。λが1の場合、歪硬化性がないと判断できる。本発明に用いられるエチレンα-オレフィン共重合体は、該範疇に属するものであれば如何なるエチレンα-オレフィン共重合体であってもよい。また、市販品として入手したものであってもよく、例えば商品名TOSOH-HMSJK46東ソー株製、商品名TOSOH-HMSJK25東ソー株製等が入手可能である。本発明のポリアリーレンスルフィド樹脂用発泡剤マスターバッチを構成するポリエチレン系樹脂には、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、必要に応じて、さらに安定剤、滑剤、難燃剤、分散剤、充填剤、発泡剤、発泡核剤、架橋剤、紫外線防止剤、酸化防止剤、着色剤などを含有させることができる。本発明において、熱分解型発泡剤はポリアリーレンスルフィド樹脂との成形時に、熱分解してポリアリーレンスルフィド樹脂成形品を発泡させる機能を果たす。熱分解型発泡剤の分解温度は170°C以上のものが好ましい。170°C以上の場合、発泡剤マスターバッチを調整する際に発泡剤の分解が抑制され、発泡剤マスターバッチとしての調整が容易である。また、ポリアリーレンスルフィド樹脂を成形加工する際に、発泡剤の分解によるガス発生量を制御しやすく、所望の発泡倍率を有する成形体を得やすい。熱分解型発泡剤としては、有機系および無機系の各種が挙げられるが、170°C以上で分解してガスを発生する有機熱分解型発泡剤が好ましい。具体的には、アゾ化合物、ニトロソ化合物、スルホニルセミカルバジド化合物、およびテトラゾール化合物などの単独あるいは併用系が好ましく用いられる。より具体的には、アゾ化合物としてアゾジカルボンアミドやアゾジカルボン酸バリウム、ニトロソ化合物としてはN,N’-ジニトロソペンタメチレンテトラミン、スルホニルセミカルバジド化合物としてはp-トルエンスルホニルセミカルバジド、テトラゾール化合物としては5-フェニル-1H-テトラゾール、アゾビステトラゾールグアニジン、アゾビステトラゾールジアミノグアニジンなどが、170°C以上で分解する発泡剤として例示される。発泡剤マスターバッチを調製する際に、発泡剤の分解温度を調整するために、必要に応じ、他の助剤を配合することができる。他の助剤としては、サリチル酸、ステアリン酸、アジピン酸、尿素、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸カドミウム、ステアリン酸亜鉛などが挙げられる。これらは単独でも、2種以上の混合物であってもよい。また、発泡剤マスターバッチを調製する際に、必要に応じ、発泡剤の分散性向上剤、核剤、潤滑剤、着色剤、防錆剤などを配合することもできる。本発明に係る発泡剤マスターバッチを調製するには、まず、基体となるポリエチレン系樹脂100重量部に対し、発泡剤1~100重量部の範囲で配合する。ポリエチレン系樹脂に対する発泡剤の配合量は、発泡体を形成するに足る十分なガス発生量と、マスターバッチ調製の容易さから上記範囲より任意に選択できる。上記範囲の中では、ポリエチレン系樹脂100重量部に対し、発泡剤5~50重量部の範囲が好ましく、とりわけ好ましいのは、ポリエチレン系樹脂100重量部に対し、発泡剤10~30重量部の範囲である。本発明に係る発泡剤マスターバッチを調製するには、配合したポリエチレン系樹脂と発泡剤とを、発泡剤の熱分解以下の温度で溶融混練する。発泡剤マスターバッチを調製する際に、高温にすると発泡剤が熱分解してしまい、生成物は発泡剤マスターバッチとして機能しなくなるからである。溶融混練する際に使用できる混練機には制限がなく、シグマ羽根型混練機、ミキシングロール、バンバリーミキサー、高速二軸連続ミキサー、押出機などの従来から知られているものが挙げられる。発泡剤を熱分解させないで発泡剤マスターバッチを調製するには、例えば押出機により溶融混練させ、次に示す方法によることができる。1押出機のシリンダー温度を140~170°Cに設定する。2-1フルフライトスクリューを装備した単軸押出機を用いて混練する。2-2二軸押出機の場合には、2本のスクリュの相互剪断作用による樹脂の発熱を抑制するために、フルフライト半噛み合いスクリュを装備し、相互に異方向に回転させる。3ポリエチレン系樹脂はホッパーに投入して溶融させ、発泡剤をシリンダーの中間に穿設した穴から投入して、ポリエチレン系樹脂に溶融混練させて押出しペレットとする。上記の方法により調製した発泡剤マスターバッチを使用して、ポリアリーレンスルフィド樹脂発泡成形品を製造するには、まず、成形用ポリアリーレンスルフィド樹脂100重量部に対し、上記発泡剤マスターバッチを0.1~40重量部を混合する。ポリアリーレンスルフィド樹脂100重量部に対する前記発泡剤マスターバッチの配合量が0.1重量部未満の場合は、発泡剤の量が少なすぎて、目的とする発泡倍率が1.01以上の成形品が得られない。発泡剤マスターバッチの配合量が40重量部を越えるときは、ポリアリーレンスルフィド樹脂に対する発泡剤の量が多すぎて、均一な気泡が得られないため、好ましくない。発泡剤マスターバッチの配合量は、上記範囲の中では、0.5~10重量部が好適である。ポリアリーレンスルフィド樹脂に発泡剤マスターバッチを混合する際に使用できる混合機には制限がなく、ボールミル、ブレンダー、タンブラー、ヘンシェルミキサーなどの従来から知られているものが挙げられるなお、基板用カセットの成形方法としては、ポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体を得るために、射出成形法が特に好ましい。射出成形法によって発泡成形品を製造するには、ポリアリーレンスルフィド樹脂、発泡剤マスターバッチ、必要に応じて他の樹脂添加剤を配合混合した混合物を、ホッパーに投入し、温度を例えば230~350°Cに設定したシリンダー内で加熱し、金型に射出圧入し、冷却して目的の成形品とする。通常の射出成形においては、樹脂の固化収縮分を保圧工程によって補うが、本発明においては、樹脂の固化収縮分を気泡の拡大により補うため、保圧工程は不要である。尚、基板用カセット側板の発泡倍率としては、任意に設定可能であるが、好ましくは1.1倍から1.8倍の間が、寸法特性、耐熱性、機械的強度、製品外観等の観点から好適である。以上説明したように、基板用カセットは、側板1の材料としてポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体から構成されている。基板用カセットの部材としポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体を採用することにより、射出成形後の寸法精度を著しく高めることが可能になる。通常の射出成形では、樹脂が金型内で固化収縮する分を保圧によって補う。この保圧工程は金型内の樹脂圧力に分布を生じさせ、不均等な収縮を起こさせるため、得られる成形体が反るなどして、寸法特性を悪化させる原因となる。ポリアリーレンスルフィド樹脂を射出発泡成形することにより、樹脂の固化収縮分を気泡の拡大で補うため、金型内の圧力が均等に掛かり、不均等な収縮を抑制される。そのため、基板用カセットとして重要な、基板を収納する側板の寸法精度に優れた基板用カセットを得ることが可能になる。また、ポリアリーレンスルフィド樹脂の発泡成形体から構成されているため、従来の非発泡な樹脂成形体を用いた基板用カセットスよりも軽量化することができる。以下に、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例および比較例に用いたエチレンα-オレフィン共重合体、ポリアリーレンスルフィド樹脂及び得られた発泡体の諸物性は、下記の方法により測定した。<密度>エチレンα-オレフィン共重合体の密度は、JISK71121980年に従い、100°Cの沸騰水中に1時間浸した後に室温で放冷したものを、23°Cに保った密度勾配管にて測定した。<比重>ポリアリーレンスルフィド樹脂の比重は、ASTMD792に従い、射出成形した成形品にて測定した。<メルトフローレートMFR>エチレンα-オレフィン共重合体は、JISK72101995年に従い、190°C,21.18Nの荷重下で測定した。ポリアリーレンスルフィド樹脂は、ASTMD1238に従い、315°C、49.03Nの荷重下で測定した。<溶融張力>溶融張力の測定用試料は、サンプルに耐熱安定剤チバスペシャリティケミカルズ社製、イルガノックス1010TM;1,500ppm、イルガフォス168TM;1,500ppmを添加したものを、インターナルミキサー東洋精機製作所製、商品名ラボプラストミルを用いて、窒素気流下、190°C、回転数30rpmで30分間混練したものを用いた。溶融張力の測定は、バレル直径9.55mmの毛管粘度計東洋精機製作所、商品名キャピログラフに、長さが8mm,直径が2.095mmのダイスを流入角が90°になるように装着し測定した。温度を160°Cに設定し、ピストン降下速度を10mm/分、延伸比を47に設定し、引き取りに必要な荷重mNを溶融張力とした。最大延伸比が47未満の場合、破断しない最高の延伸比での引き取りに必要な荷重mNを溶融張力とした。<エチレンα-オレフィン共重合体>実施例に使用したエチレンα-オレフィン共重合体は、市販品を用いた。A-1:東ソー社製、商品名東ソーHMSCK57MFR4g/10分、密度950kg/m3、溶融張力120mN、歪み硬化性あり<ポリアリーレンスルフィド樹脂>実施例および比較例に使用したポリアリーレンスルフィド樹脂は、市販品を用いた。東ソー社製、商品名サスティールPPSP-1311ガラス繊維配合15重量、比重1.46、MFR23g/10分[発泡剤マスターバッチの製造]発泡剤として5-フェニル-1H-テトラゾール和光純薬工業製、分解温度216°C25重量部、エチレンα-オレフィン共重合体A-1100重量部を、溶融混練ゾーンを145°Cに設定した二軸押出機東芝機械製、商品名TEM-35-102Bを用いて発泡剤マスターバッチを得た。[射出発泡成形]ポリアリーレンスルフィド樹脂と発泡剤マスターバッチの混合物を、シャットオフノズル付きの射出成形機住友重機製、商品名SE75Dを用いて、平板の片面にリブ状の棚片を設けた側板70mm×120mm×3mm、棚片数15を成形した。実施例および比較例における主な成形条件は次の通りであり、射出容量と保圧条件は良好な成形体が得られるように調整した。ここで言う良好な成形体とは、未充填部分が無く、成形体の表面が平滑である状態を指す。シリンダー温度設定:ホッパー部260°C/300°C/310°C/310°C/300°Cノズル部金型温度:130°C射出速度:150mm/秒尚、成形体の発泡倍率は、発泡剤無しの成形体の重量/発泡剤入りの成形体の重量にて求めた。実施例1ポリアリーレンスルフィド樹脂100重量部と発泡剤マスターバッチ5重量部をタンブラーブレンダーで混合し、成形機の計量値を射出容量75に設定して上記の成形条件で、保圧をかけずに成形した。得られた成形体は発泡倍率1.31倍の発泡体で、歪みや変形が無く、基板用カセットの部材として好適に用いることができた。比較例1ポリアリーレンスルフィド樹脂を、成形機の計量値を射出容量100に設定して上記の成形条件で、保圧を100MPaかけて成形した。得られた成形体は非発泡発泡倍率1倍で表面状態は良好であったが、反り変形が発生した。"