弁室及びその内部に形成された弁座を有する弁本体と、弁本体に結合される円筒形状のキャンと、キャンの外部に装備されるステータ部材と、キャンの内部に装備されるロータ部材と、ロータの回転数を減速する遊星歯車減速装置と、前記弁座に接離して流体の通過量を制御する弁体と、遊星歯車減速装置の出力ギヤの回転をねじ機構を介して直線運動に変換して弁体を駆動するねじ駆動部材を備えた電動弁であって、前記出力ギヤを前記遊星歯車減速装置内において昇降自在とし、前記出力ギヤと前記ねじ駆動部材とを一体に形成してなる電動弁。前記遊星歯車減速装置は、前記ロータに連結された太陽歯車と、キャリア上に回転自在に支持され前記太陽歯車に歯合する遊星歯車と、該遊星歯車に歯合する環状のリングギヤと、該リングギヤと異なる歯数を備え、前記遊星歯車に歯合する環状の出力ギヤとを備えたことを特徴とする請求項1記載の電動弁。前記遊星歯車は、前記出力ギヤの昇降に応じて昇降されることを特徴とする請求項2記載の電動弁。前記出力ギヤは、前記遊星ギヤに対して昇降されることを特徴とする請求項2記載の電動弁。前記遊星歯車減速装置のリングギヤと前記ロータとの間に該ロータの軸方向の位置を規制する皿ばねを備える請求項2ないし4のいずれかに記載の電動弁。上述した電動弁にあっては、出力ギヤは軸方向の一定位置で回転運動し、出力ギヤの下端部に設けた平ドライバ形状の凸部をドライバに設けたスリット状の凹部に挿入して出力ギヤの回転運動をドライバ側に伝達する。出力ギヤの前記凸部がドライバに設けた前記凹部内で軸方向に摺動することにより、出力ギヤが回転すれば該出力ギヤはその回転軸方向に移動しないにも関わらず、ドライバはねじ機構で軸方向に直線運動することができる。これにより出力ギヤとドライバとの間の距離は変化する。このドライバの直線運動を許容するために、前述の凸部と凹部との係合部には、ある程度の隙間が必要となる。出力ギヤは両方向に回転してドライバを介して弁体の軸線方向の位置を制御する。しかしながら、上述した隙間の存在により、出力ギヤの回転とドライバの回転には回転方向が変化する際にヒステリシスが発生する。本発明の目的は、上述したヒステリシスを解消する電動弁を提供するものである。上記目的を達成するために、本発明の電動弁は、弁室及びその内部に形成された弁座を有する弁本体と、弁本体に結合される円筒形状のキャンと、キャンの外部に装備されるステータ部材と、キャンの内部に装備されるロータ部材と、ロータの回転数を減速する遊星歯車減速装置と、前記弁座に接離して流体の通過量を制御する弁体と、遊星歯車減速装置の出力ギヤの回転をねじ機構を介して直線運動に変換して弁体を駆動するねじ駆動部材を備え、前記出力ギヤを遊星歯車減速装置内において昇降自在とし、かつ遊星歯車減速装置の出力ギヤとねじ駆動部材を一体に形成したことを基本構成とするものである。この構成により、前記出力ギヤとねじ駆動部材との間の隙間がなくなり、上記のヒステリシスが低減される。また、本発明の電動弁は、上記の基本構成において、前記遊星歯車減速装置が、前記ロータに連結された太陽歯車と、キャリア上に回転自在に支持され前記太陽歯車に歯合する遊星歯車と、該遊星歯車に歯合する環状のリングギヤと、該リングギヤと異なる歯数を備え、前記遊星歯車に歯合する環状の出力ギヤとを備えたものである。さらに、本発明の電動弁は、前記遊星歯車が、前記出力ギヤの昇降に応じて昇降されることを特徴とするものである。さらにまた、本発明の電動弁は、前記出力ギヤが、前記遊星ギヤに対して昇降されることを特徴とするものである。さらにまた、遊星歯車減速装置のリングギヤとロータとの間にロータの軸方向の位置を規制する皿ばねを備えるものである。この構成により、前記出力ギヤが昇降してもロータの位置は変わらず、この結果、該ロータ及びステータで構成されるモータのトルクが低下することがない。上述した手段を備えることにより、電動弁の開閉時に発生する流量特性のヒステリシスを低減することができる。図1及び図2は本発明の一実施例を示す電動弁の断面図であって、図1は弁が全開した状態を示し、図2は弁が全閉した状態を示す。全体を符号1で示す本発明の一実施例の電動弁は、弁本体10を有し、弁本体10には弁室14と弁室14に通ずるオリフィス16が形成される。弁本体10に対しては、オリフィス16側のパイプ12aと、弁室14の側面の開口部に通ずるパイプ12bが接続される。弁本体10の弁室14の上部にはねじ軸受20が挿入され、カシメ手段K1により弁本体10に固定される。ねじ軸受20の中心部には雌ねじ部22が形成される。弁本体10の上部にはベースプレート28が固着され、これに有底円筒形状のキャン30がとりつけられる。キャン30の外周部には、全体を符号40で示すステータ部材が嵌着される。ステータ部材40は、プラスチック42で覆われたボビン44と、ボビン44に巻き付けたコイル46を有し、コイル46はリード線48を介して給電を受ける。このステータ部材はキャン30の内部に回転自在に支持されるロータ部材50とともにステッピングモータを構成する。磁性材料でつくられたロータ部材50は、プラスチック材料でつくられた太陽ギヤ部材51に一体に連結され、これらはロータを構成している。太陽ギヤ部材51の中心部にはシャフト62が挿入される。シャフト62の上部はキャン30の頂部の内側に配置される支持部材60により支持される。キャリア53は、後述の出力ギヤ70の底面上に載置され、複数の遊星ギヤ55を回転自在に支持するシャフト54を備えている。太陽ギヤ部材51の太陽ギヤ52は、前記シャフト54に回転自在に支持される複数個の遊星ギヤ55に噛み合う。遊星ギヤ55は軸方向に長いギヤであって、その上半分はねじ軸受20の上部に固定された円筒部材24の上部にカシメ部K2により取付けられた環状のリングギヤ内歯固定ギヤ58に噛み合っている。遊星ギヤ55の下半分は環状の出力ギヤ70の内歯ギヤ71に噛み合っている。上述した歯車構成は、いわゆる不思議遊星歯車機構を構成し、この遊星歯車機構を用いた減速装置遊星歯車減速装置においては、リングギヤ58の歯数と、出力ギヤ70の内歯ギヤ71の歯数をわずかに異なる歯数とすることで、太陽ギヤ52の回転数を大きな減速比で減速して出力ギヤ70に伝達することができる。出力ギヤ70はドライバ72に一体に連結される。この出力ギヤ70は後述のように昇降可能となっており、またドライバ72の雄ねじ部74は、ねじ軸受20の雌ねじ部22に螺合されているので、出力ギヤ70とドライバ72はその回転ととともに軸方向に移動する。ドライバ72の軸方向の移動量はボール状の継手76を介して軸状の弁体80に伝達される。弁体80は弁本体10の内部に固定されたパイプ状のばねケース90により案内されて軸方向に移動する。ばねケース90と弁体80の間には、コイルスプリング92が配設されており、弁体80を常時開弁方向に付勢している。本発明の電動弁は以上のように、出力ギヤ70とドライバ72が一体となって回転及び軸方向に移動する。この構造のために従来の電動弁に存在した出力ギヤとドライバの間の継手構造を省略することができ、ヒステリシスの発生を減少させることができる。すなわち、特許文献1に示されたような従来の電動弁では、遊星歯車機構の出力ギヤは昇降せず、その一方でドライバが昇降動作を行うために、前記出力ギヤとドライバとを分離し、かつ出力ギヤに対してドライバが昇降可能となるように、凸部及び凹部の係合による連結構造を採用していたが、本発明の一実施例では、上記のように出力ギヤ70を昇降可能とし、かつ出力ギヤ70とドライバ72とを一体化するようにしたので、出力ギヤ70とドライバ72との間に存在していた隙間を省くことが出来、ヒステリシスの発生を減少させることができる。この実施例においては、キャリア53が出力ギヤ70の底面上に載置されているので、該出力ギヤ70が昇降に応じて、キャリア53及び遊星ギヤ55も昇降する。すなわち、出力ギヤ70の昇降に応じて、リングギヤ58に対する遊星ギヤ55上部の噛み合い面がロータ部材50の中心軸方向にずれることになる。この場合、例えばロータ50に設けられた太陽ギヤ52の下端がキャリア53上に載置されている場合には、出力ギヤ70の昇降と共にロータ部材50も昇降してしまい、該ロータ部材50とステータ部材40との間の軸方向の位置が変化し、ステッピングモータとしてのトルク低下が発生する。この現象を防止するために、この実施例にあっては、固定部材であるリングギヤ58と太陽ギヤ部材51の間に皿ばね100が装備されている。皿ばね100は、固定部材であるリングギヤ58に支持されて太陽ギヤ部材51を常時シャフト62の支持部材60側に向けて押し上げ、該支持部材60に当接させているので、出力ギヤ70が下降してもロータ部材50は下降することがなく、トルクの低下が生じない。なお、上述の説明においては、出力ギヤ70の昇降に応じて、キャリア53、シャフト54及び遊星ギヤ55で構成されるユニットの全体が昇降するものとしたが、出力ギヤ70の底面とキャリア53との間に該キャリア53を上方に押し上げるばね手段を設け、上記のユニットを例えば太陽ギヤ部材51に当接させるようにすれば、出力ギヤ70が昇降したときに該出力ギヤ70のみを昇降させ、キャリア53及び遊星ギヤ55の軸方向の位置を変えないようにすることもできる。この場合は、出力ギヤ70の昇降に伴い、遊星ギヤ55下部に対する出力ギヤ70の噛み合い面がロータ部材50の中心軸方向にずれることになる。図1は、弁体80が最大位置まで上昇した全開状態を示し、弁体80の先端のニードル部82と弁座18との間の弁リフトL1が最大の状態を示す。図2は弁体80のニードル部82が弁座18に着座した全閉状態を示す。各部材の構造と作用は図1と同様であるので、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。