第1の電極と、前記第1の電極に対して離間して設けられた第2の電極と、前記第1の電極および前記第2の電極のうちの少なくとも一方の電極を覆うように設けられ、厚さ方向に貫通する貫通孔または貫通溝を有する絶縁膜と、前記第1の電極と前記第2の電極との電位差を測定する機能を有する機能素子とを有し、前記機能素子で測定された電位差に基づいて、測定対象部位の状態を測定し得るように構成されたことを特徴とするセンサー装置。前記絶縁膜は、隣接する空孔同士が連通する連続空孔を有する多孔質体で構成され、前記連続空孔は、前記貫通孔の少なくとも一部を構成する請求項1に記載のセンサー装置。前記絶縁膜の前記第1の電極および前記第2の電極とは反対側の面には、凹部が形成されている請求項2に記載のセンサー装置。前記第1の電極および前記第2の電極の表面には、それぞれ、凹部が形成され、前記絶縁膜は、前記凹部に追従して凹部が形成されている請求項3に記載のセンサー装置。前記貫通孔または前記貫通溝は、エッチングによりパターンニングされたものである請求項1または2に記載のセンサー装置。前記絶縁膜は、前記第1の電極および前記第2の電極の双方を覆うように設けられている請求項1ないし3のいずれかに記載のセンサー装置。前記絶縁膜は、耐アルカリ性を有する請求項1ないし6のいずれかに記載のセンサー装置。前記第1の電極および前記第2の電極のうちの少なくとも一方の電極は、前記測定対象部位の環境変化に伴って、表面に第1の不動態膜を形成するか、または、表面に存在した第1の不動態膜を消失させる金属材料で構成されている請求項1ないし7のいずれかに記載のセンサー装置。前記金属材料は、鉄または鉄系合金である請求項8に記載のセンサー装置。前記機能素子は、前記第1の電極と前記第2の電極との電位差に基づいて、前記測定対象部位のpHあるいは塩化物イオン濃度が設定値以下か否かを検知する機能をも有する請求項1ないし9のいずれかに記載のセンサー装置。アンテナと、前記アンテナに給電する機能を有する通信用回路とを有し、前記機能素子は、前記通信用回路を駆動制御する機能をも有する請求項1ないし10のいずれかに記載のセンサー装置。本発明の目的は、鉄筋が施工された後、腐食が始まるまでの期間、測定対象物の状態変化を測定し、得られた情報をコンクリート構造物の計画的な保全に活用することができるセンサー装置を提供することにある。このような目的は、下記の本発明により達成される。本発明のセンサー装置は、第1の電極と、前記第1の電極に対して離間して設けられた第2の電極と、前記第1の電極および前記第2の電極のうちの少なくとも一方の電極を覆うように設けられ、厚さ方向に貫通する貫通孔または貫通溝を有する絶縁膜と、前記第1の電極と前記第2の電極との電位差を測定する機能を有する機能素子とを有し、前記機能素子で測定された電位差に基づいて、測定対象部位の状態を測定し得るように構成されたことを特徴とする。このように構成されたセンサー装置によれば、絶縁膜の貫通孔または貫通溝による毛管凝縮効果により、より低い相対湿度で、第1の電極および第2の電極のうちの少なくとも一方の電極上に水分を結露させることができる。そのため、当該電極上に安定して液体の水を存在させることができる。このようなことから、外部環境の湿度や温度の変化に伴って測定対象部位の相対湿度が変化しても、当該電極上の水分量の変動を防止することができる。その結果、外部環境の湿度や温度の変化によって当該電極の自然電位が変動するのを防止し、測定対象部位の状態を高精度に測定することができる。本発明のセンサー装置では、前記絶縁膜は、隣接する空孔同士が連通する連続空孔を有する多孔質体で構成され、前記連続空孔は、前記貫通孔の少なくとも一部を構成することが好ましい。これにより、絶縁膜の貫通孔による毛管凝縮効果を効果的に生じさせることができる。本発明のセンサー装置では、前記絶縁膜の前記第1の電極および前記第2の電極とは反対側の面には、凹部が形成されていることが好ましい。これにより、例えば、測定対象部位がコンクリートである場合、コンクリート中の骨材が第1の電極上または第2の電極上の絶縁膜に接触しても、絶縁膜と骨材との間に隙間を生じさせることができる。そのため、その隙間を通じてコンクリート中の成分水分やCaイオン等を第1の電極または第2の電極に供給して、第1の電極上および第2の電極上の水分量の安定化を図ることができる。本発明のセンサー装置では、前記第1の電極および前記第2の電極の表面には、それぞれ、凹部が形成され、前記絶縁膜は、前記凹部に追従して凹部が形成されていることが好ましい。これにより、絶縁膜上に凹部を比較的簡単に形成することができる。本発明のセンサー装置では、前記貫通孔または前記貫通溝は、エッチングによりパターンニングされたものであることが好ましい。これにより、毛管凝集効果を生じ得る貫通孔または貫通溝を有する絶縁膜を比較的簡単に形成することができる。本発明のセンサー装置では、前記絶縁膜は、前記第1の電極および前記第2の電極の双方を覆うように設けられていることが好ましい。これにより、外部環境の湿度や温度の変化に伴って測定対象部位の相対湿度が変化しても、第1の電極上および第2の電極上の水分量の変動を防止することができる。その結果、外部環境の湿度や温度の変化によって第1の電極および第2の電極の自然電位が変動するのを防止し、測定対象部位の状態を高精度に測定することができる。本発明のセンサー装置では、前記絶縁膜は、耐アルカリ性を有することが好ましい。これにより、測定対象部位がコンクリートである場合であっても、絶縁膜の耐久性を優れたものとすることができる。そのため、コンクリートの状態を長期に亘り安定して測定することができる。本発明のセンサー装置では、前記第1の電極および前記第2の電極のうちの少なくとも一方の電極は、前記測定対象部位の環境変化に伴って、表面に第1の不動態膜を形成するか、または、表面に存在した第1の不動態膜を消失させる金属材料で構成されていることが好ましい。これにより、測定対象部位のpH変化に伴う不動態膜の有無により第1の電極と第2の電極との電位差が急峻に変化する。そのため、測定対象部位のpHが設定値以下か否かを正確に検知することができる。また、測定対象部位の塩化物イオン濃度変化に伴う不動態膜の消失により第1の電極と第2の電極との電位差が急峻に変化する。そのため、測定対象部位の塩化物イオン濃度が設定値以下か否かを正確に検知することもできる。本発明のセンサー装置では、前記金属材料は、鉄または鉄系合金であることが好ましい。鉄または鉄系合金鉄系材料は比較的安価で入手が容易である。また、例えば、センサー装置をコンクリート構造物の状態測定に用いた場合、第1の電極および第2の電極の少なくとも一方の電極をコンクリート構造物中の鉄筋と同一材料で構成することが可能であり、コンクリート構造物中の鉄筋の腐蝕状態を効果的に検知することができる。本発明のセンサー装置では、前記機能素子は、前記第1の電極と前記第2の電極との電位差に基づいて、前記測定対象部位のpHあるいは塩化物イオン濃度が設定値以下か否かを検知する機能をも有することが好ましい。これにより、測定対象物のpH変化あるいは塩化物イオン濃度変化に伴う状態変化を検知することができる。本発明のセンサー装置では、アンテナと、前記アンテナに給電する機能を有する通信用回路とを有し、前記機能素子は、前記通信用回路を駆動制御する機能をも有することが好ましい。これにより、無線により測定対象物の外部へ測定結果を送信することができる。以下、本発明のセンサー装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。<第1実施形態>まず、本発明の第1実施形態を説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るセンサー装置の使用状態の一例を示す図、図2は、図1に示すセンサー装置の概略構成を示すブロック図、図3は、図2に示す第1の電極、第2の電極および機能素子を説明するための平面図、図4は、図2に示す第1の電極、第2の電極を説明するための断面図図3中のA-A線断面図、図5は、図2に示す機能素子を説明するための断面図図3中のB-B線断面図、図6は、図2に示す第1の電極および絶縁膜の構成の一例を示す拡大断面図、図7および図8は、それぞれ、図2に示す機能素子に備えられた差動増幅回路を示す回路図である。なお、以下では、本発明のセンサー装置をコンクリート構造物の品質測定に用いる場合を例に説明する。図1に示すセンサー装置1は、コンクリート構造物100の品質を測定するものである。コンクリート構造物100は、コンクリート101内に複数の鉄筋102が埋設されている。そして、センサー装置1は、コンクリート構造物100のコンクリート101内の鉄筋102付近に埋設されている。なお、センサー装置1は、コンクリート構造物100を打設する際に、コンクリート101の打設前に鉄筋に固定して埋め込んでもよいし、打設後に硬化したコンクリート101に穿孔して埋め込んでもよい。このセンサー装置1は、本体2と、その本体2上に設けられた第1の電極3および第2の電極4とを有する。また、センサー装置1は、第1の電極3および第2の電極4を覆う絶縁膜8を有する図3参照。そして、第1の電極3および第2の電極4は、絶縁膜8の後述する各空孔82を通じて本体2の表面に露出している。なお、図1では、説明の便宜上、後述する絶縁膜8の図示を省略している。本実施形態では、第1の電極3および第2の電極4は、鉄筋102よりもコンクリート構造物100の外表面側において、コンクリート構造物100の外表面からの距離が互いに等しくなるように設置されている。また、第1の電極3および第2の電極4は、それぞれ、電極面がコンクリート構造物100の外表面に平行または略平行となるように設置されている。そして、第1の電極3および第2の電極4は、コンクリート101の測定対象部位のpH変化に伴って、これらの間の電位差が変化するように構成されている。なお、第1の電極3および第2の電極4については、後に詳述する。また、センサー装置1は、図2に示すように、第1の電極3および第2の電極4に電気的に接続された機能素子51と、電源52と、温度センサー53と、通信用回路54と、アンテナ55と、発振器56とを有し、これらが本体2内に収納されている。以下、センサー装置1を構成する各部を順次説明する。本体本体2は、第1の電極3、第2の電極4および機能素子51等を支持する機能を有する。このような本体2は、図4および図5に示すように、第1の電極3、第2の電極4および機能素子51を支持する基板21を有する。なお、基板21は、電源52、温度センサー53、通信用回路54、アンテナ55および発振器56をも支持するが、図3~5では、説明の便宜上、電源52、温度センサー53、通信用回路54、アンテナ55および発振器56の図示を省略している。この基板21は、絶縁性を有する。基板21としては、特に限定されず、例えば、アルミナ基板、樹脂基板等を用いることができる。この基板21上には、例えばソルダーレジストのような絶縁性の樹脂組成物で構成された絶縁層23が設けられている。そして、この絶縁層23を介して基板21上には、第1の電極3、第2の電極4および機能素子51が実装されている。図5に示すように、この基板21上には、機能素子51集積回路チップが保持され、機能素子51の導体部61、62電極パッドが第1の電極3および第2の電極4と接続されている。この導体部61は、第1の電極3と導体部516a、516d、および、トランジスタ514aのゲート電極とを電気的に接続している。また、導体部62は、第2の電極4と導体部516b、516e、および、トランジスタ514bのゲート電極とを電気的に接続している。第1の電極3と第2の電極4は、各々、トランジスタ514a、514bのゲート電極と接続しているためフローテイング状態にある。515aと515bは、集積回路の層間絶縁膜であり、25は、集積回路の保護膜である。また、本体2は、機能素子51、電源52、温度センサー53、通信用回路54、アンテナ55および発振器56を収納する機能を有する。特に、本体2は、機能素子51、電源52、温度センサー53、通信用回路54、アンテナ55および発振器56を液密的に収納するように構成されている。具体的には、図4および図5に示すように、本体2は、封止部24を有する。この封止部24は、機能素子51、電源52、温度センサー53、通信用回路54、アンテナ55および発振器56を封止する機能を有する。これにより、センサー装置1を水分やコンクリートの存在下に設置した場合に、機能素子51、電源52、温度センサー53、通信用回路54、アンテナ55および発振器56の劣化を防止することができる。ここで、封止部24は、開口部241を有し、この開口部241から第1の電極3および第2の電極4を露出させつつ、第1の電極3および第2の電極4以外の各部を覆うように設けられている図3および図4参照。これにより、封止部24が第1の電極3および第2の電極4以外の各部の劣化を防止しつつ、センサー装置1が測定を行うことができる。なお、開口部241は、第1の電極3の少なくとも一部および第2の電極4の少なくとも一部を露出するように形成されていればよい。なお、第1の電極3および第2の電極4は、それぞれ、後述する絶縁膜8で覆われた状態で開口部241から露出している。封止部24の構成材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、オレフィン系樹脂のような熱可塑性樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂のような熱硬化性樹脂等の各種樹脂材料等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、封止部24は、必要に応じて設ければよく、省略することもできる。第1の電極、第2の電極第1の電極3および第2の電極4は、図4に示すように、それぞれ、前述した本体2の外表面上より具体的には基板21上に設けられている。特に、第1の電極3および第2の電極4は、同一平面上に設けられている。そのため、第1の電極3および第2の電極4の設置環境の差が生じるのを防止することができる。また、第1の電極3および第2の電極4は、互いに電位の影響を受けない程度例えば数mmに離間している。本実施形態では、第1の電極3および第2の電極4は、それぞれ、薄膜状をなしている。また、第1の電極3および第2の電極4の平面視形状は、それぞれ、四角形をなしている。また、第1の電極3および第2の電極4は、平面視にて、互いの形状および面積が等しくなっている。また、本実施形態では、第1の電極3の表面には、凹部31が形成され、同様に、第2の電極4の表面には、凹部41が形成されている。このような凹部31、41を形成しておくと、後述する絶縁膜8上に凹部81を比較的簡単に形成することができる。この凹部31、41は、それぞれ、例えば、エッチングにより形成することができる。第1の電極3は、不動態膜第1の不動態膜を形成する第1の金属材料以下、単に第1の金属材料とも言うで構成されている。このように構成された第1の電極3は、pHの変化によって不動態膜が形成されたり破壊されたりする。このような第1の電極3に不動態膜が形成された状態不動態化した状態では不活性貴であり、自然電位が高くなる貴化する。一方、第1の電極3は、不動態膜が破壊された状態消失された状態では活性卑である。そのため、第1の電極3の電位は、pH変化に伴う不動態膜の有無により急峻に変化する。第1の金属材料としては、不動態膜が形成される限り、特に限定されないが、例えば、Fe、Ni、Mg、Znまたはこれらを含む合金等が挙げられる。例えば、Feは、pHが9よりも大きいときに不動態膜を形成する。また、FeAlAl0.8系炭素鋼は、pHが4よりも大きいときに不動態膜を形成する。また、Niは、pHが8~14であるときに不動態膜を形成する。また、Mgは、pHが10.5よりも大きいときに不動態膜を形成する。また、Znは、pHが6~12であるときに不動態膜を形成する。中でも、第1の金属材料は、FeまたはFeを含む合金Fe系合金、すなわち鉄系材料具体的には、炭素鋼、合金鋼、SUS等であるのが好ましい。鉄系材料は安価で入手が容易である。また、本実施形態のように、センサー装置1をコンクリート構造物100の状態測定に用いた場合、第1の金属材料をコンクリート構造物100の鉄筋102と同一または近似の材料とすることが可能であり、鉄筋102の腐蝕環境状態を効果的に検知することができる。例えば、第1の電極3がFeで構成されている場合、pHが9以上か否かの判断ができる。一方、第2の電極4は、第1の金属材料とは異なる第2の金属材料以下、単に第2の金属材料とも言うで構成されている。このように構成された第2の電極4は、前述したように不動態膜の有無により第1の電極3の電位が変化する際に、不導体膜の形成や破壊消失が無く、急激な電位の変化がない。そのため、前述したように不動態膜の有無により第1の電極3の電位が変化する際に、第1の電極3と第2の電極4との電位差が急峻に変化する。そのため、第1の電極3および第2の電極4の設置環境本実施形態ではコンクリート101の鉄筋102付近のpHが設定値以下か否かを正確に検知することができる。第2の金属材料としては、第1の金属材料とは異なる金属材料であり、電極として機能し得るものであれば、特に限定されず、各種金属材料を用いることができる。また、第2の金属材料は、前述した第1の金属材料と異なる金属材料であれば、不動態膜を形成するものであってもよいし、不動態膜を形成しないものであってもよい。第2の金属材料が不動態膜第2の不動態膜を形成するものである場合、第2の金属材料として、上述の第1の金属材料として例示した金属を挙げることができる。本発明の好ましい態様においては、第1の金属材料が不動態膜を形成するpHの範囲の下限値を第1のpH第1の不動態化pHとし、第2の金属材料が不動態膜を形成するpHの範囲の下限値を第2のpH第2の不動態化pHとしたとき、第1のpHおよび第2のpHが互いに異なる。すなわち、第1の金属材料は、第1のpHよりも大きいpHとなったときに不動態膜を形成し、第2の金属材料は、第1のpHとは異なる第2のpHよりも大きいpHとなったときに不動態膜を形成する。これにより、第1の電極3および第2の電極4が設置された環境のpHが第1のpH以下か否かおよび第2のpH以下か否かをそれぞれ正確に検知することができる。この場合、第1のpHが8以上10以下であり、かつ、第2のpHが7以下であるのが好ましい。これにより、第1のpH以下か否かを検知することにより、第1の電極3および第2の電極4の設置環境が中性状態に近付いていることを事前に知ることができる。このようなことから、本実施形態にように、センサー装置1をコンクリート構造物100の状態測定に用いた場合、鉄筋102の腐食防止の対策を事前に行うことができる。また、第2のpH以下か否かを検知することにより、第1の電極3および第2の電極4の設置環境が酸性状態になってしまったことを知ることもできる。また、この場合、第2の金属材料は、Feを含む合金Fe系合金、すなわち鉄系材料であるのが好ましい。鉄系材料は安価で入手が容易である。また、本実施形態のように、センサー装置1をコンクリート構造物100の状態測定に用いた場合、第1の金属材料を鉄筋102と同一材料とすることが可能であり、第2の金属材料を鉄筋102と同種材料Fe系合金とすることにより、鉄筋102の腐蝕状態を効果的に検知することができる。一方、第2の金属材料が不動態膜を形成しないものである場合、第2の金属材料として、Pt、Au等を挙げることができる。第2の金属材料が不動態膜を形成しないものである場合、第1の電極3および第2の電極4の設置環境が強アルカリ状態から強酸性状態へ変化するとき、その変化を1段階で高精度に検知することができる。この場合、第1の金属材料は、3以上5以下のpH、または、8以上10以下のpHよりも大きいpHとなったときに不動態膜を形成するものであるのが好ましい。3以上5以下のpH以下か否かを検知することにより、第1の電極3および第2の電極4の設置環境が酸性状態になってしまったことを知ることができる。また、8以上10以下のpH以下か否かを検知することにより、第1の電極3および第2の電極4の設置環境が中性状態に近付いていることを事前に知ることができる。本発明の他の態様によれば、第2の金属材料が不動態膜を形成するものである場合、第1の金属材料の不動態膜破壊が始まる塩化物イオン濃度下限値を第1の塩化物イオン濃度とし、第2の金属材料の不動態膜破壊が始まる塩化物イオン濃度下限値を第2の塩化物イオン濃度としたとき、第1の塩化物イオン濃度および第2の塩化物イオン濃度が互いに異なる。すなわち、第1の金属材料は、第1の塩化物イオン濃度よりも大きくなったときに不動態膜破壊が始まり、第2の金属材料は、第1の塩化物イオン濃度とは異なる第2の塩化物イオン濃度よりも大きくなったときに不動態膜の破壊が始まる。これにより、第1の電極3および第2の電極4が設置された環境の塩化物イオン濃度が第1の塩化物イオン濃度以下か否かおよび第2の塩化物イオン濃度以下か否かをそれぞれ正確に検知することができる。この場合、第1の塩化物イオン濃度が1.0kg/m3以上1.5kg/m3以下好ましくは1.2kgm3程度であり、かつ、第2の塩化物イオン濃度が第1の塩化物イオン濃度より大きいことが好ましい。これにより、第1の塩化物イオン濃度以下か否かを検知することにより、第1の電極3および第2の電極4の設置環境に塩化物イオンが侵入してきているかどうかを知ることができる。例えば、第1の金属材料に、第1の塩化物イオン濃度が約1.2kg/m3の炭素鋼SD345を用い、第2の金属材料に第2の塩化物イオン濃度が約20kg/m3であるSUS304を用いる。このように構成された第2の電極4は、塩化物イオン濃度が1.2kg/m3を超えて不動態膜破壊が始まることにより第1の電極3の電位が変化する際に、不動態膜の破壊消失が無く、急激な電位の変化がない。そのため、不動態膜の有無により第1の電極3の電位が変化する際に、第1の電極3と第2の電極4との電位差が急峻に変化する。そのため、第1の電極3および第2の電極4の設置環境本実施形態ではコンクリート101の鉄筋102付近の塩化物イオン濃度が設定値1.2kg/m3を超えているか否かを正確に検知することができる。第2の金属材料に耐性に優れたSUS316やSUS329J4Lを用いることもできる。このようなことから、本実施形態のように、センサー装置1をコンクリート構造物100の状態測定に用いた場合、外部からコンクリート101内に侵入するCO2中性化や塩素イオンをコンクリート構造物100中の鉄筋102に届く前に検知できる。従って、鉄筋102が腐食する前に腐食防止の対策を行うことができる。このような第1の電極3および第2の電極4は、それぞれ、例えば、プラズマCVD、熱CVD、レーザーCVDのような化学蒸着法CVD、真空蒸着、スパッタリング低温スパッタリング、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、ゾルゲル法、MOD法、金属箔の接合等により形成することができる。絶縁膜絶縁膜8は、第1の電極3および第2の電極4の双方を覆うように設けられている。そして、絶縁膜8は、図6に示すように、複数の空孔82を有する多孔質体83で構成されている。そして、複数の空孔82は、隣接する空孔82同士が連通する連続空孔細孔をなし、その連続空孔が絶縁膜8の表面に開口している。ここで、かかる連続空孔は、絶縁膜8の厚さ方向に貫通する貫通孔を構成する。このような連続空孔を通じて、測定対象部位の水分を第1の電極3上および第2の電極4上に供給することができる。特に、このような連続空孔細孔による毛管凝縮効果により、より低い相対湿度で、第1の電極3上および第2の電極4上にそれぞれ水分を結露させることができる。本実施形態では、絶縁膜8が前述したような連続空孔を有する多孔質体83で構成されているので、絶縁膜8の各連続空孔貫通孔による毛管凝縮効果を効果的に生じさせることができる。そのため、第1の電極3上および第2の電極4上に安定して液体の水を存在させることができる。すなわち、仮に絶縁膜8を省略した場合に第1の電極3上および第2の電極4上に結露が生じないような低い相対湿度においても、第1の電極3上および第2の電極4上にそれぞれ結露させて液体の水を存在させることができる。このようなことから、外部環境の湿度や温度の変化に伴ってコンクリート101内の相対湿度が変化しても、第1の電極3上および第2の電極4上の水分量の変動を防止することができる。その結果、外部環境の湿度や温度の変化によって第1の電極3および第2の電極4の自然電位が変動するのを防止し、コンクリート101の測定対象部位の状態を高精度に測定することができる。また、複数の空孔82の平均径は、前述したように毛管凝縮効果を生じ得る範囲であれば、特に限定されないが、例えば、2nm以上50nm以下であるのが好ましい。すなわち、空孔82は、メソ孔であるのが好ましい。さらに、絶縁膜8の空孔率は、それぞれ、前述したように毛管凝縮効果を生じ得る範囲であれば、特に限定されないが、例えば、10以上90以下であるのが好ましい。また、絶縁膜8の構成材料としては、絶縁性を有するものであれば、特に限定されないが、絶縁性および耐久性に優れるという観点から、例えば、金属やシリコンの酸化物、窒化物、フッ化物等セラミックス材料を用いるのが好ましい。なお、絶縁膜8の構成材料として、樹脂材料を用いることもできる。また、絶縁膜8は、耐アルカリ性を有するのが好ましい。例えば、絶縁膜8の構成材料として、SiO2、Si3N4等の耐アルカリ性に優れた材料を用いるのが好ましい。これにより、測定対象部位がコンクリート101である場合であっても、絶縁膜8の耐久性を優れたものとすることができる。そのため、コンクリート101の状態を長期に亘り安定して測定することができる。また、本実施形態では、絶縁膜8の第1の電極3および第2の電極4とは反対側の面、すなわち表面、には、複数の凹部81が形成されている。これにより、コンクリート101中の骨材が第1の電極3上または第2の電極4上の絶縁膜8に接触しても、絶縁膜8と骨材との間に隙間を生じさせることができる。そのため、その隙間を通じてコンクリート101中の成分水分やCaイオン等を第1の電極3または第2の電極4に供給して、第1の電極3上および第2の電極4上の水分量の安定化を図ることができる。この凹部81は、前述した第1の電極3の凹部31および第2の電極4の凹部41に追従して形成されている。この凹部81の平均径平均幅は、骨材サイズよりも小さく前述した空孔82の平均径よりも大きければ特に限定されない。また、絶縁膜8の平均厚さは、特に限定されないが、例えば、5nm以上1000nm以下であるのが好ましい。これにより、前述したような毛管凝集効果を生じ得る貫通連続空孔を有する絶縁膜8を比較的簡単に形成することができる。これに対し、かかる平均厚さが薄すぎると、前述したような毛管凝集効果を生じ得る連続空孔貫通孔を形成するのが難しく、一方、かかる平均厚さが厚すぎると、連続空孔を通じて水分等を第1の電極3および第2の電極4に供給するのが難しくなる。このような絶縁膜8は、特に限定されず、公知の多孔質体膜の形成方法を用いて形成することができる。例えば、絶縁膜8が金属酸化物で構成されている場合、金属酸化物の前駆体である金属オキソ種と、ポリスチレン系界面活性剤とを極性溶媒に溶解した前駆溶液をスピンコート、インクジェット法等の塗布法により成膜し、乾燥、焼成することにより絶縁膜8を形成することができる。なお、図6に示す複数の空孔82の形状は、一例であり、前述したように絶縁膜8の連続空孔が毛管凝縮効果を発揮し得るものであれば、図示のものに限定されず、絶縁膜8は、連続空孔を有する公知の各種多孔質体で構成することができる。なお、本実施形態では、1つの絶縁膜8が第1の電極3および第2の電極4を覆うように設けられているが、第1の電極3を覆う絶縁膜と、第2の電極4を覆う絶縁膜とを別々に設けてもよい。この場合、2つの絶縁膜の構成厚さ、材料、空孔率等は、互いに同じであっても異なっていてもよい。機能素子機能素子51は、前述した本体2の内部に埋設されている。なお、機能素子51は、前述した本体2の基板21に対して第1の電極3および第2の電極4とは、同一面に設けても、反対側に設けても良い。この機能素子51は、第1の電極3と第2の電極4との電位差を測定する機能を有する。これにより、第1の電極3と第2の電極4との電位差に基づいて、第1の電極3および第2の電極4の設置環境のpHが設定値以下か否かを検知することができる。また、機能素子51は、第1の電極3と第2の電極4との電位差に基づいて、測定対象物であるコンクリート構造物100の測定対象部位のpHあるいは塩化物イオン濃度が設定値以下か否かを検知する機能をも有する。これにより、コンクリート構造物100のpH変化あるいは塩化物イオン濃度変化に伴う状態変化を検知することができる。このような機能素子51は、例えば、集積回路である。より具体的には、機能素子51は、例えば、MCUマイクロコントロールユニットであり、図2に示すように、CPU511と、A/D変換回路512と、差動増幅回路514とを有する。より具体的に説明すると、機能素子51は、図5に示すように、基板513と、基板513上に設けられた複数のトランジスタ514a、514b、514cと、トランジスタ514a、514b、514cを覆う層間絶縁膜515a、515bと、配線および導体ポストを構成する導体部516a、516b、516c、516d、516e、516fと、保護膜25と、電極パッドを構成する導体部61、62とを有する。基板513は、例えばSOI基板であり、CPU511およびA/D変換回路512が形成されている。基板513としてSOI基板を用いることにより、トランジスタ514a~514cをSOI型MOSFETとすることができる。複数のトランジスタ514a、514b、514cは、それぞれ例えば電界効果トランジスタFETであり、差動増幅回路514の一部を構成するものである。差動増幅回路514は、図7に示すように、3つのトランジスタ514a~514cと、カレントミラー回路514dとで構成されている。また、差動増幅回路514は、図8に示すように、演算増幅器201、202と、演算増幅器203とを有する。演算増幅器201は、比較用電極7を基準として第1の電極3の電位を検出する。また、演算増幅器202は、比較用電極7を基準として第2の電極4の電位を検出する。また、演算増幅器203は、演算増幅器201の出力電位と演算増幅器202の出力電位との差を検出する。導体部516aは、その一端がトランジスタ514aのゲート電極に接続され、他端が前述した導体部516dに接続されている。導体部516dは、導体部61を介して第1の電極3に電気的に接続されている。これにより、トランジスタ514aのゲート電極と第1の電極3とが電気的に接続されている。そのため、第1の電極3の電位の変化に応じて、トランジスタ514aのドレイン電流が変化する。同様に、導体部516bは、その一端がトランジスタ514bのゲート電極に接続され、他端が前述した導体部516eに接続されている。導体部516eは、導体部62を介して第2の電極4に電気的に接続されている。これにより、トランジスタ514bのゲート電極と第2の電極4とが電気的に接続されている。そのため、第2の電極4の電位の変化に応じて、トランジスタ514bのドレイン電流が変化する。また、導体部516cは、その一端がトランジスタ514cのゲート電極に接続され、他端が前述した導体部516fに接続されている。また、機能素子51は、電源52からの通電により作動する。電源52は、機能素子51を動作可能な電力を供給できるものであれば、特に限定されず、例えば、ボタン型電池のような電池であってもよいし、圧電素子のような発電機能を有する素子を用いた電源ものであってもよい。また、機能素子51は、温度センサー53の検知温度情報を取得し得るように構成されている。これにより、測定対象部位の温度に関する情報も得ることができる。このような温度に関する情報を用いることにより、測定対象部位の状態をより正確に測定したり、測定対象部位の変化を高精度に予想したりすることができる。温度センサー53は、測定対象物であるコンクリート構造物100の測定対象部位の温度を検知する機能を有する。このような温度センサー53としては、特に限定されず、例えば、サーミスター、熱電対等の公知の様々な種類の温度センサーを用いることができる。また、機能素子51は、通信用回路54を駆動制御する機能をも有する。例えば、機能素子51は、第1の電極3と第2の電極4との電位差に関する情報以下、単に電位差情報ともいうと、測定対象部位のpHあるいは塩化物イオン濃度が設定値以下か否かに関する情報以下、単にpH情報ともいうとをそれぞれ通信用回路54に入力する。また、機能素子51は、温度センサー53によって検知された温度に関する情報以下、単に温度情報ともいうも併せて通信用回路54に入力する。通信用回路54は、アンテナ55に給電する機能送信機能を有する。これにより、通信用回路54は、入力された情報をアンテナ55を介して無線送信することができる。送信された情報は、コンクリート構造物100の外部に設けられた受信機リーダーで受信される。この通信用回路54は、例えば、電磁波を送信するための送信回路、信号を変調する機能を有する変調回路等を有する。なお、通信用回路54は、信号の周波数を小さく変換する機能を有するダウンコンバータ回路、信号の周波数を大きく変換する機能を有するアップコンバータ回路、信号を増幅する機能を有する増幅回路、電磁波を受信するための受信回路、信号を復調する機能を有する復調回路等を有していてもよい。また、アンテナ55は、特に限定されないが、例えば、金属材料、カーボン等で構成され、巻線、薄膜等の形態をなす。また、機能素子51は、発振器56からのクロック信号を取得し得るように構成されている。これにより、各回路の同期をとったり、各種情報に時刻情報を付加したりすることができる。発振器56は、特に限定されないが、例えば、水晶振動子を利用した発振回路で構成されている。以上説明したように構成されたセンサー装置1を用いた測定方法は、第1の電極3および第2の電極4を測定対象物であるコンクリート構造物100内にそれぞれ埋設し、第1の電極3と第2の電極4との電位差に基づいて、コンクリート構造物100の状態を測定する。以下、第1の電極3がPtで構成され、第2の電極4がNiで構成されている場合を一例として、センサー装置1の作用を説明する。打設直後のコンクリート構造物100において、通常、適切に打設されていれば、コンクリート101は強アルカリ性を呈する。そのため、このとき、第2の電極4は、安定な不動態膜を形成する。これにより、コンクリートの打設直後における第1の電極3と第2の電極4との電位差は小さくなる。その後、コンクリート構造物100は、二酸化炭素、酸性雨、排気ガス等の影響により、コンクリート101のpHが徐々に酸性側に変化していく。そして、コンクリート101のpHが10程度にまで下がると、第2の電極4は、その不動態膜が崩壊し始め、自然電位が下がる卑化する。これにより、第1の電極3と第2の電極4との電位差が大きくなる。このような検知結果を利用することにより、コンクリート構造物100の打設後の品質の経時変化をモニタリングすることができる。そのため、鉄筋102が腐蝕する前に、コンクリート101の劣化中性化や塩分侵入を把握することができる。これにより、鉄筋102が腐食する前に、コンクリート構造物100に塗装や防腐剤混入モルタル等による補修工事を行うことが可能となる。また、コンクリート構造物100の打設時に異常があった否かを判断することもできる。そのため、コンクリート構造物100の初期トラブルを防止し、コンクリート構造物100の品質を向上させることができる。以上説明したように第1実施形態のセンサー装置1によれば、第1の電極3および第2の電極4がそれぞれ絶縁膜8で覆われているので、絶縁膜8の連続空孔細孔による毛管凝縮効果により、より低い相対湿度で、第1の電極3上および第2の電極4上にそれぞれ水分を結露させることができる。そのため、第1の電極3上および第2の電極4上に安定して液体の水を存在させることができる。このようなことから、外部環境の湿度や温度の変化に伴ってコンクリート101内の相対湿度が変化しても、第1の電極3上および第2の電極4上の水分量の変動を防止することができる。その結果、外部環境の湿度や温度の変化によって第1の電極3および第2の電極4の自然電位が変動するのを防止し、コンクリート101の測定対象部位の状態を高精度に測定することができる。<第2実施形態>次に、本発明の第2実施形態を説明する。図9は、本発明の第2実施形態に係るセンサー装置の使用状態の一例を示す図である。以下、第2実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。第2実施形態のセンサー装置は、第1の電極および第2の電極の平面視形状および数が異なるとともに、第1の電極の構造が異なる以外は、第1実施形態のセンサー装置とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。本実施形態のセンサー装置1Aは、本体2Aと、その本体2A上に設けられた複数の第1の電極3a、3b、3cおよび複数の第2の電極4a、4b、4cとを有する。また、図示しないが、センサー装置1Aは、第1の電極3a、3b、3cおよび複数の第2の電極4a、4b、4cを覆うように設けられ、前述した第1実施形態の絶縁膜8と同様に構成された絶縁膜を有する。これにより、第1の電極3a、3b、3c上および複数の第2の電極4a、4b、4c上の水分量の変動を防止することができる。本実施形態では、第1の電極3a、3b、3cおよび第2の電極4a、4b、4cは、互いに離間して設けられている。また、第1の電極3a、3b、3cおよび第2の電極4a、4b、4cは、それぞれ、電極面がコンクリート構造物100の外表面に対して垂直または略垂直となるように設置されている。また、複数の第1の電極3a、3b、3cは、コンクリート構造物100の外表面からの距離が互いに異なる。具体的には、コンクリート構造物100の外表面側から内側へ、複数の第1の電極3a、3b、3cがこの順に並んで設けられている。同様に、複数の第2の電極4a、4b、4cは、コンクリート構造物100の外表面からの距離が互いに異なる。具体的には、コンクリート構造物100の外表面側から内側へ、複数の第2の電極4a、4b、4cがこの順に並んで設けられている。さらに、第1の電極3aおよび第2の電極4aは、コンクリート構造物100の外表面からの距離が互いに等しくなるように設置されている。また、第1の電極3bおよび第2の電極4bは、コンクリート構造物100の外表面からの距離が互いに等しくなるように設置されている。第1の電極3cおよび第2の電極4cは、コンクリート構造物100の外表面からの距離が互いに等しくなるように設置されている。このような第1の電極3a、3b、3cおよび第2の電極4a、4b、4cでは、第1の電極3aと第2の電極4aとが対をなし、第1の電極3bと第2の電極4bとが対をなし、第1の電極3cと第2の電極4cとが対をなす。本実施形態では、センサー装置1Aは、第1の電極3aと第2の電極4aとの電位差、第1の電極3bと第2の電極4bとの電位差、および、第1の電極3cと第2の電極4cとの電位差をそれぞれ図示しない機能素子により測定することができるように構成されている。このような第2実施形態に係るセンサー装置1Aによれば、第1の電極3aおよび第2の電極4aの設置環境、第1の電極3bおよび第2の電極4bの設置環境、および、第1の電極3cおよび第2の電極4cの設置環境のpHがそれぞれ設定値以下か否かを正確に検知することができる。電位差をそれぞれ測定し、そのため、第1の電極3a、3b、3cおよび第2の電極4a、4b、4cの設置環境のpHが設定値以下か否かを正確に検知することができる。すなわち、コンクリート構造物100の外表面からの深さが異なる位置でのpHがそれぞれ設定値以下か否かを正確に検知することができる。これにより、コンクリート101のpHが酸性側に変化する速度を知ることができる。そのため、コンクリート構造物100の中性化や塩害の深さ方向への侵入予測を効果的に行うことができる。<第3実施形態>次に、本発明の第3実施形態を説明する。図10は、本発明の第3実施形態に係るセンサー装置の第1の電極、第2の電極および機能素子を説明するための平面図、図11は、図10に示す第1の電極、第2の電極を説明するための断面図図3中のA-A線断面図である。以下、第3実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。第3実施形態のセンサー装置は、絶縁膜、第1の電極および第2の電極の構成が異なる以外は、第1実施形態のセンサー装置とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。本実施形態のセンサー装置1Bは、本体2Bと、その本体2B上に設けられた第1の電極3Bおよび第2の電極4Bと、第1の電極3Bおよび第2の電極4Bを覆うように設けられた絶縁膜8Bとを有する。第1の電極3Bは、凹部31を省略した以外は前述した第1実施形態の第1の電極3と同様に構成されている。同様に、第2の電極4Bは、凹部41を省略した以外は前述した第1実施形態の第2の電極4と同様に構成されている。このような第1の電極3Bおよび第2の電極4Bは、絶縁膜8Bにより覆われている。絶縁膜8Bは、その厚さ方向に貫通する貫通孔81Bが形成されている以外は前述した第1実施形態の絶縁膜8と同様に構成されている。この絶縁膜8Bに形成された貫通孔81Bは、エッチングによりパターンニングされたものである。本実施形態では、絶縁膜8Bが連続空孔を有する多孔質体で構成されているので、貫通孔81B自体は、毛管凝縮効果を生じさせるものであってもよいし、毛管凝縮効果を生じさせないものであってもよい。貫通孔81B自体が毛管凝縮効果を生じさせる場合、絶縁膜8Bを構成する多孔質体の連続空孔および貫通孔81Bが毛管凝集効果を効果的に生じさせることができる。また、貫通孔81B自体が毛管凝集効果を生じさせない場合であっても、貫通孔81Bの存在により、絶縁膜8Bを構成する多孔質体の連続空孔を通じて第1の電極3Bおよび第2の電極4Bへ水分を供給するのを促進させることができる。また、このような貫通孔81Bは、前述した第1実施形態の凹部81と同様、コンクリート101中の骨材が第1の電極3B上または第2の電極4B上の絶縁膜8Bに接触しても、絶縁膜8Bと骨材との間に隙間を生じさせることができる。そのため、その隙間を通じてコンクリート101中の成分水分やCaイオン等を第1の電極3Bまたは第2の電極4Bに供給して、第1の電極3B上および第2の電極4B上の水分量の安定化を図ることができる。本実施形態では、貫通孔81Bは、平面視にて互いに平行に延びる複数の第1の部分スリット811と、平面視にて第1の部分811に直交し互いに平行に延びる複数の第2の部分スリット812とで構成されている。すなわち、貫通孔81Bは、平面視にて、格子状をなしている。このような第1の部分811および第2の部分812の幅スリットの幅は、それぞれ、特に限定されないが、例えば、貫通孔81B自体が前述したような毛管凝縮効果を生じさせないものである場合、50nm以上100nm以下サブミクロンであるのが好ましく、また、貫通孔81B自体が前述したように毛管凝縮効果を生じさせるものである場合、2nm以上50nm以下であるのが好ましい。また、第1の部分811同士および第2の部分812同士の間隔は、それぞれ、特に限定されないが、5nm以上200nm以下程度である。以上説明したような第3実施形態のセンサー装置1Bによっても、外部環境の湿度や温度の変化によって第1の電極3Bおよび第2の電極4Bの自然電位が変動するのを防止し、測定対象部位の状態を高精度に測定することができる。<第4実施形態>次に、本発明の第4実施形態を説明する。図12は、本発明の第4実施形態に係るセンサー装置の第1の電極、第2の電極を説明するための断面図である。以下、第4実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。第4実施形態のセンサー装置は、絶縁膜、比較用電極および第2の電極の構成が異なる以外は、第1実施形態のセンサー装置とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。本実施形態のセンサー装置1Cは、本体2Cと、その本体2C上に設けられた第1の電極3C、第2の電極4Cおよび比較用電極7Cと、第1の電極3C、第2の電極4Cおよび比較用電極7Cを覆うように設けられた絶縁膜8Cとを有する。第1の電極3Cは、前述した第1実施形態の第1の電極3と同様に構成されている。一方、第2の電極4Cは、基部42と、その基部42上を覆うように設けられた導体膜43とで構成されている以外は、前述した第1実施形態の第2の電極4と同様に構成されている。基部42および導体膜43は、互いに異なる材料で構成されている。また、導体膜43は、第1の電極3Cの構成材料と異なり、かつ、不動態膜を形成し得る金属材料で構成されているので好ましい。これにより、測定対象部位のpH変化を2段階で測定することができる。この場合、例えば、基部42をPtで構成し、導体膜43をFeで構成し、第1の電極3CをNiで構成する。比較用電極7Cは、前述した第1実施形態の比較用電極7と同様、図示しない機能素子に接続されている。この比較用電極7Cは、例えば、Pt、Au等の貴金属で構成されている。また、比較用電極7Cの表面には、第1の電極3Cおよび第2の電極4Cと同様、凹部が形成されている。このような比較用電極7C、第1の電極3Cおよび第2の電極4Cは、絶縁膜8Cにより覆われている。絶縁膜8Cは、その厚さ方向に貫通する貫通孔82Cが形成されているとともに緻密体で構成されている以外は前述した第1実施形態の絶縁膜8と同様に構成されている。この絶縁膜8Cに形成された貫通孔82Cは、エッチングによりパターンニングされたものである。これにより、毛管凝集効果を生じ得る貫通孔82Cを有する絶縁膜8Cを比較的簡単に形成することができる。本実施形態では、貫通孔82B自体が毛管凝集効果を生じさせるものである。これにより、絶縁膜8Cが緻密体で構成されていても、毛管凝縮効果を生じさせることができる。また、貫通孔82Cは、前述した第3実施形態の貫通孔81Bと同様、平面視にて、格子状をなしている。このような貫通孔82Cを構成するスリットの幅は、それぞれ、特に限定されないが、2nm以上50nm以下であるのが好ましい。以上説明したような第4実施形態のセンサー装置1Cによっても、外部環境の湿度や温度の変化によって第1の電極3Cおよび第2の電極4Cの自然電位が変動するのを防止し、測定対象部位の状態を高精度に測定することができる。以上、本発明のセンサー装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のセンサー装置では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。また、前述した実施形態では第1の電極および第2の電極がそれぞれ基板上に設けられた場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、第1の電極および第2の電極は、例えば、センサー装置の本体の封止樹脂で構成された部分の外表面上に設けてもよい。また、前述した実施形態では第1の電極および第2の電極がそれぞれ薄膜状をなす場合を例に説明したが、これに限定されず、第1の電極および第2の電極の形状は、それぞれ、例えば、ブロック状、線状等をなしていてもよい。また、前述した実施形態では第1の電極および第2の電極をそれぞれセンサー装置の本体の外表面に沿って設けているが、第1の電極および第2の電極をそれぞれセンサー装置の本体の外表面から突出させてもよい。また、第1の電極および第2の電極の設置位置、大きさ大小関係等についても、前述したような測定が可能であれば、前述した実施形態に限定されず、任意である。また、前述した実施形態では機能素子がCPU、A/D変換回路および差動増幅回路を有する場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、機能素子には、ROM、RAM、各種駆動回路等の他の回路が組み込まれていてもよい。また、前述した実施形態では第1の電極と第2の電極との電位差に関する情報をアクティブタグ通信により無線送信によりセンサー装置外部へ送信する場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、パッシブタグ通信を用いて情報をセンサー装置の外部へ送信してもよいし、有線により情報をセンサー装置の外部へ送信してもよい。また、前述した実施形態では機能素子51、電源52、温度センサー53、通信用回路54、アンテナ55および発振器56を本体2内に収納し、これらを第1の電極3および第2の電極4とともに測定対処物であるコンクリート構造物100内に埋設する場合を例に説明したが、機能素子51、電源52、温度センサー53、通信用回路54、アンテナ55および発振器56を測定対象物の外部に設けてもよい。また、前述した実施形態では、貫通孔を有する絶縁膜が第1の電極および第2の電極の双方を覆う場合を例に説明したが、貫通孔を有する絶縁膜が第1の電極および第2の電極のうちの少なくとも一方の電極を覆っていれば、本発明の効果を奏し得る。