微小空間を区画する壁の一部を構成するサイドベースと前記サイドベースが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器の蓋を開閉することにより前記密閉容器に対する前記被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、前記密閉容器を載置可能であると共に前記密閉容器を前記開口部に対して接近及び離間させることが可能な載置台と、前記載置台の内部の空間に対して前記サイドベースによって前記微小空間から分離された外部空間の気体を導入可能な外気供給装置と、を有することを特徴とするロードポート装置。前記外気供給装置は、前記載置台の内部の空間と連通する位置に配置されることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。前記サイドベースに設けられた前記開口部とは異なる下部開口部を介して前記ドアを駆動するドア駆動機構を収容し且つ前記サイドベースによって前記微小空間と分離された排気空間を形成する区画カバーと、前記排気空間内部の気体が排出される経路を構成する排気ダクトと、を有することを特徴とする請求項1或いは2の何れかに記載のロードポート装置。前記微小空間の内部に配置され、前記微小空間の上方から下方に気体が流れる際に、前記気体を前記下部開口部の前に集める導風板を有することを特徴とする請求項3に記載のロードポート装置。前記区画カバーの外側に配置されて前記排気空間を囲む排気用予備空間を形成する筐体カバーを更に有し、前記排気予備空間の下面が、スリット、メッシ及び多孔の内の少なくとも何れかを有する部材より構成されていることを特徴とする請求項3或いは4の何れかに記載のロードポート装置。前記載置台、前記サイドベース、及び前記ドアの内の何れかは、前記密閉容器の開口を、前記サイドベースに設けられた前記開口部に対して相対的に所定の角度傾けるように配置されることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載のロードポート装置。以上に述べたような酸素濃度低減のために供給される不活性ガスは、通常微小空間の底面等に設けられる排気用の所謂グレーチング、更には不活性ガス排出用の経路を介して濃度的に問題なく希釈される空間に排出される。しかし、例えば載置テーブルの内部等、微小空間内の所謂ダウンフロー及び特許文献1或いは2に開示されるカーテン様のガス流から離れた領域では、不活性ガスの滞留、蓄積が生じる恐れがある。この様な領域の存在はオペレータの作業環境を悪化させる恐れがあるが、該文献に開示される構成にも例示されるように、従来はこういった不活性ガスの滞留について何ら考慮が払われていなかった。本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、装置内部での不活性ガスの滞留空間を無くすることを可能とし、オペレータの作業環境の劣化の可能性を無くしたロードポート装置の提供を目的とする。上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、微小空間を区画する壁の一部を構成するサイドベースと前記サイドベースが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の蓋を前記ドアが保持して密閉容器の蓋を開閉することにより密閉容器に対する被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、密閉容器を載置可能であると共に密閉容器を開口部に対して接近及び離間させることが可能な載置台と、載置台の内部の空間に対してサイドベースによって微小空間から分離された外部空間の気体を導入可能な外気供給装置と、を有することを特徴とする。なお、上述したロードポート装置において、外気供給装置は、載置台の内部の空間と連通する位置に配置されることが好ましい。また、サイドベースに設けられた開口部とは異なる下部開口部を介してドアを駆動するドア駆動機構を収容し且つサイドベースによって微小空間と分離された排気空間を形成する区画カバーと、排気空間内部の気体が排出される経路を構成する排気ダクトと、を有することがより好ましい。更に、当該構成の場合、微小空間の内部に配置され、微小空間の上方から下方に気体が流れる際に、気体を下部開口部の前に集める導風板を有することがより好ましい。また、区画カバーの外側に配置されて排気空間を囲む排気用予備空間を形成する筐体カバーを更に有し、排気予備空間の下面が、スリット、メッシ及び多孔の内の少なくとも何れかを有する部材より構成されていることが好ましい。更に、載置台、サイドベース、及びドアの内の何れかは、密閉容器の開口を、サイドベースに設けられた開口部に対して相対的に所定の角度傾けるように配置されることがより好ましい。本発明によれば、不活性ガスが滞留する可能性のある領域への空気の導入と滞留領域の発生の抑制と、を実施することにより、不活性ガスを適当な濃度にまで希釈し、作業空間以外の外部空間への排出を為すことが可能となる。従って、本発明に係るロードポート装置の使用により、オペレータにとって好適な作業環境を提供することが可能となる。本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態におけるロードポート装置に関し、ポッド1を載置テーブル上に載置し、且つ後述するドアがポッド1から蓋を取り外した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。また、図2は、該ロードポート装置を微小空間側から見た場合の概略構成を示している。本実施形態の説明に際し、ウエハを収容するポッドについて先に述べる。図1に示される密閉容器たるポッド1は、ポッド本体2と蓋3とから構成される。ポッド本体2は略立方体形状であって内部に被収容物であるウエハ等を収容する収容空間を有し、且つ該立方体形状における一側面に当該収容空間に連通する開口を有している。収容空間内にはウエハを水平に支持する複数の棚が側壁等から突き出しており、当該棚により複数のウエハが均等な間隔を明けて該収容空間内にて水平に保持される。本実施形態におけるロードポート装置100の構成について、以下に述べる。ロードポート装置100は、サイドベース105によって外部空間104と分離される微小空間103を構成し、該サイドベース105に隣接して配置される載置台121を有する。即ち、サイドベース105は微小空間103を外部空間から区画する壁の一部を構成する。サイドベース105は、第一の開口部111、及びドアシステム115を有する。サイドベース105等によって構築される微小空間103の上部には不図示のファンが配置され、ロードポート装置100が取付けられて微小空間103を区画する筐体の外部空間に存在する気体について、これより塵埃を取り除いた清浄な状態に整えた後に微小空間103の内部に導入し、微小空間103内部に上方から下方に向かう気体の流である所謂ダウンフローを生成する。なお、当該ファンに対しては、外部空間の清浄度に応じて、当該空間から導入される気体より塵埃等の汚染物質を除去するフィルタが付随している。微小空間103の下部にはダウンフローが流出可能となるような構造が配置されており、該微小空間103内部で発生する粉塵等は当該ダウンフローに運ばれて微小空間103の下部から外部空間に排出される。第一の開口部111はドアシステム115におけるドア115aにより一見閉鎖状態とされるが、ドア115aの外周と第一の開口部111の内周面との間には隙間が形成されることから、当該ドア115aは第一の開口部111を略閉鎖可能となっていると述べる。ドア115aは、蓋3を保持可能であると共に、ポッド本体2に対する蓋3の固定及び分離の操作が可能となっている。載置台121は、載置されたポッド1を固定可能であると共に該ポッド1を前述した第一の開口部111より正確にはこれを閉鎖するドア115aに対して接近及び離間させることが可能である。載置台121は、ポッド1が所定の間隔まで或いはドア115aと当接するまでポッド1の接近動作を行い、ポッド1の駆動が停止した状態でドア115aは蓋3を保持する。ドア115aはこの状態でポッド本体2からの蓋3の分離を行い、更にドア駆動機構115bにより第一の開口部111に対して下方に移動することによってポッド1の開口を微小空間103に対して開放させる。載置台121には、実際にポッド1が載置される載置テーブル121aと、該載置テーブル121aの第一の開口部111に対する接近及び離間を可能とする不図示のテーブル駆動部と、を有する。該テーブル駆動部及びこれに関連する構成は、駆動機構の発塵等によってロードポート装置周囲の環境を劣化させないように、テーブルカバー121bによって覆われている。ここで、サイドベース105の微小空間103側には、第一の開口部111の上辺及び両側辺の外側に、これらに沿うように且つサイドベース105に対して直立するように板状のプレートが固定される。上辺側の板状プレート231には、第一の開口部111の正面に不活性ガスによるカーテン状の気体流を形成するためのカーテンノズル210が固定される。また、両側辺の板状プレート232の内側であって、第一の開口部111の側辺の外側には、蓋3を取り外したポッド本体2の内部に対して不活性ガスを供給可能なパージノズル220が配置されている。これらカーテンノズル210及びパージノズル220から供給された不活性ガスは、主に微小空間103の下部のグレーチング、及び後述する筐体カバー118に連結される不図示の排気ダクト等により該微小空間103より排出される。しかし、微小空間103と筐体カバー118内の空間との間で圧力差を生成して塵等が微小空間に至ることを防止する関係上、筐体カバー118内から不活性ガス等を排出する不図示の排気ダクトに対して大きな吸引力を付与することは難しい。このため、気体の主要な流れから離れた筐体カバー118の上部、或いはテーブルカバー121bの内部等において気体の滞留が生じ易く、この部分での不活性ガスの濃度が高くなる恐れがある。また、パージノズル220から供給される不活性ガスがポッド1の下部の隙間等を介して、テーブルカバー121bの内部にいたる場合も生じ得る。本形態では、テーブルカバー121bの下部にファン等からなる外気供給装置123を配している。外気供給装置123は、ロードポート装置100の外部空間104からテーブルカバー121bの内部の空間に外気を供給する。また、テーブルカバー121bには外気の導入に対応して内部の気体を排出する不図示の排出経路を有している。当該外気供給装置123によりテーブルカバー121bの内部空間に所定の量の外気を供給することにより、該内部空間に滞留する不活性ガスを希釈しつつ外部空間104に排出することが可能となる。なお、本形態では、テーブルカバー121b、即ち載置台121に対して直接外気供給装置123を取付ける構造、即ち載置台121の内部と連通する位置に配置された構造を示している。当該配置に外気供給装置123を取付けた場合、載置テーブル121aにて発生した塵等は筐体カバー118に囲まれた空間を経由しなければ微小空間103には至れない。従って微小な塵等の微小空間への侵入の抑制の観点から当該構成は好ましい。しかし、本発明は当該配置に限定されない。当該内部空間のサイドベース105に近接する部分が、不活性ガスがテーブルカバー121bの内部空間に至る経路として働く可能性が最も高い。従って、不活性ガスの流れを考慮した場合、このような外気供給装置123の配置はこの不活性ガスの流れに逆らう配置となり、希釈の観点からは好ましいが、乱流の発生を抑制するという観点からは好ましくない。例えば、不活性ガスの流れを比較的乱さずにテーブルカバー121bの内部の不活性ガスを外部空間104に流すには、筐体カバー118の適当な位置に当該外気供給装置123を配置する構成も考えられる。また、ドア駆動機構115bは、サイドベース105の下部開口部105aを介してドア115aを支持している。下部開口部105aは前述した第一の開口部111とは異なる開口部であって該第一の開口部111より下方に配置されることから、本発明では下部開口部と称呼する。但し、当該下部開口部105aの配置は、ドア駆動機構115bの配置に応じて改変可能である。この下部開口部105aから直接筐体カバー118内の空間に微小空間103内の気体を送る場合、不活性ガスが十分に希釈されること無くこのカバー内空間に至ることも考えられる。本実施形態では、このドア駆動機構115bを区画カバー117により覆うこととし、更に該区画カバー117の外側に筐体カバー118を配置している。区画カバー117を配することによって、まず区画カバー117内の空間にてダウンフローに由来する空気と不活性ガスとが混ざることにより不活性ガスの希釈が行われる。本発明では当該区画カバー117によって筐体カバー118内に画定される空間を排気空間と称し、更に筐体カバー118によって外部空間104と区画され且つ区画カバー117の周囲に配されることとなる空間を排気用予備空間と称する。また、区画カバー117には、ドア駆動機構115bの発塵の影響を区画カバー117内部に抑える効果も得られる。以上に述べた区画カバー117の付加により、これまで筐体カバー118を経由してテーブルカバー121bの内部に至っていた気体について、筐体カバー118の内部における不活性ガスの濃度を低下させることが可能となる。従って、前述した外気供給装置123と組み合わせることにより、不活性ガスのロードポート装置内での滞留の可能性を大きく低下し、オペレータの作業空間である外部空間104の安全性の確保がより確実に為されることとなる。なお、前述した排気ダクト125は、本形態ではこの区画カバー117に連通される。これにより区画カバー117内部に導かれた気体が排気ダクト125により外部空間104へ排出され、筐体カバー118内の空間に至ることを抑制することができ、不活性ガスの筐体カバー118内、更にはテーブルカバー121b内の空間への拡散を防止できる。また、筐体カバー118の下部をスリット、メッシュ、或いは多孔を有した構成物にて閉鎖することとし、これらを介して外部空間104に筐体カバー118内の気体を排出することとしても良い。外気供給装置123によって外気を加えられることによりテーブルカバー121b内の不活性ガスはその濃度が低下しており、更に微小空間103内の気体は後述する区画カバー117内の空間に連通する排気ダクト125により排出される。従って、以上で述べた形態では、筐体カバー118内の気体における不活性ガスは従来に比して十分に希釈されており、気体の流出が可能な構成物によって筐体カバー118内の空間の下部を閉鎖することにより、当該空間における不活性ガスの滞留をより確実に抑制することが可能となる。なお、前述したように微小空間103内に導入される不活性ガス等の気体は、該微小空間103の下方において下部開口部105aを介して、区画カバー117内部空間を経て排気ダクト125によって排出される。しかし、構造上下部開口部105aはサイドベース105の中央部に配置されており、該微小空間の底面近傍であって下部開口部105aから離れた両隅部分に存在する気体を効果的に排出することは難しい。この両隅部分に排出されるべき気体が滞留した状態でロードポート装置100が停止された場合、当該部分に存在した不活性ガスが装置を立ち上げる際に問題となることも想定される。本実施形態では、当該事象への対処として、下部開口部105aの下方に近づくに従って互いの距離が接近するように下部開口部105aの側辺に対して傾斜を有して互いに向かい合って配置される一対の板状の導風板119を有している。該導風板119を配することにより、ダウンフロー及びカーテンノズルから供給される不活性ガス、更にはこれら気体流れによって微小空間103の下方に導かれる気体は、微小空間103の底面に近づくに従って下部開口部105aの前面に集められる。その結果、当該気体はその大部分が該下部開口部105aを通過して区画カバー117内の空間に導かれ、前述した排気ダクト125を介しての排気が行われる。なお、本実施形態では下部開口部105aの下方四分の一程度の領域が、平板からなる該導風板119が配置される態様を示している。しかし、導風板119の態様は当該形態に限定されず、微小空間103側から見た導風板119の上端が下部開口部105aを中心とした対称な曲線を構成する形状としても良く、設置領域をより情報に配置することも可能である。また、サイドベース105に向かい合い且つ下方に至るに従ってサイドベース105に近づくように傾斜した更なる導風板を配置することとしても良い。即ち、本発明においては、微小空間103内にて下方に流れる気体を下部開口部105aの前に集めることが可能な部材を、導風板として総称する。ここで、前述したポッド1は通常樹脂等から作られており、個々で形状の誤差を有する。また、使用によってその形状が経時変化することもある。例えば、ポッド本体2或いは蓋3の形状により、ポッド本体2の開口とサイドベース105における第一の開口部111の形成面との距離が場所により異なってしまう場合がある。例えばポッド1の開口において、下部よりも上部がサイドベース105からより離れる形状的特性を有したポッド1の場合、ポッド1の上部とサイドベース105との間に想定した以上の隙間が生じることも考えられる。この様な隙間の存在は、作業空間に対する不活性ガスの予期せぬ流出を生じさせる。この様な場合に備えて、本実施形態では更に図3に示す構成をロードポート装置100に付与している。なお、図3は、図1と同様の様式によって、当該構成に関係する、ポッド1、第一の開口部111、及び載置台121のみを示したものである。本形態では、載置テーブル121aにおいて、従来の載置テーブル121aが配置されるべき基準面に対して、サイドベース105に近づくにつれて第一の開口部111に対して下がるように所定の角度θの傾斜を与えている。これにより、該載置テーブル121a上に載置されたポッド1はその開口の下部に対して開口の上部が相対的にドア115aに近い距離となるように傾きθの角度を有することとなる。従って、ポッド本体2の内部を第一の開口部111に連通させる際に、仮にポッド1に若干の形状変形があった場合であっても、この角度θの存在によってポッド上部はより第一の開口部111に近づくこととなり、上述したポッド開口の上部からの不活性ガスの漏洩を防止することが可能となる。また、仮にポッド1の下方がより離れる構成の場合には、下方から漏洩する不活性ガスはテーブルカバー121b等に配置される構成により、希釈された外部空間104等に排出される。即ち、載置台121、サイドベース105、及びドア115aの内の何れかは、ポッド本体2の開口を、サイドベース105に設けられた第一の開口部111に対して相対的に所定の角度傾けるように配置される。以上の構成を有することにより、本実施形態に係るロードポート装置100にあっては、ポッド1の形状によらず、不活性ガスの作業空間への流出を抑制することが可能となる。なお、ここでは載置テーブル121aを傾ける態様について例示したが、本発明は当該態様のみではなく、例えばサイドベース105或いはドア115aに対して傾斜角を持たせることによっても同様の効果が得られる。また、本実施形態では載置テーブル121aがサイドベース105に近づくにつれて下がるように傾斜する方向へ移動する構成を例示したが、載置テーブル121aに対してポッド1が傾き角θの傾斜を有した姿勢で載置されて、該載置テーブル121a自身は水平に移動する構成としても、同様の効果を得ることが可能となる。