コヒーレント光を出射する光源と、前記光源から出射されたコヒーレント光を偏向する偏向用空間変調素子を備え、前記偏向用空間変調素子から出射される偏向されたコヒーレント光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする照明装置。前記偏向用空間変調素子の偏向方向によらず、前記偏向用空間変調素子から出射されるコヒーレント光は、前記被照明領域全体を照明することを特徴とする請求項1に記載の照明装置。前記偏向用空間変調素子は、可変回折型素子を含んで構成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の照明装置。前記偏向用空間変調素子は、位相変調素子を含んで構成されることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1項に記載の照明装置。前記光源と前記偏向用空間変調素子の間に、ビーム成型手段が配置されていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項に記載の照明装置。コヒーレント光を出射する光源と、前記光源から出射されたコヒーレント光を偏向する偏向用空間変調素子と、像が形成される像形成領域を有する光変調素子と、前記光変調素子の像をスクリーンに投影する投射光学系と、を備え前記偏向用空間変調素子から出射される偏向されたコヒーレント光は、前記像形成領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記像形成領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする投射型映像表示装置。前記偏向用空間変調素子からの出射されるコヒーレント光は、前記投射光学系に対する光軸を中心として対称に角度変化することを特徴とする請求項6に記載の投射型映像表示装置。コヒーレント光が入射されるとともに、入射されたコヒーレント光を偏向して出射する偏向用空間変調素子を備え、前記偏向用空間変調素子から出射される偏向されたコヒーレント光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする光偏向装置。しかしながら、特許文献1に開示されるスペックルノイズ低減方法では、拡散素子到達前に生じていたスペックルノイズ干渉パターンは平均化できるものの、拡散中心からスクリーンへの入射光線角度はスクリーン上のいずれの点においても不変であるため、スクリーン各点の光散乱特性も一定となり、結果としてスクリーン上で発生するスペックルノイズの除去効果は殆ど得られないという問題があった。このような、コヒーレント光を原因として生ずるスペックルは、コヒーレント光を光源として使用する投射型映像表示装置プロジェクタのみならず、コヒーレント光を使用する様々な照明装置において問題となっている。本発明は、コヒーレント光を光源とした場合に生ずるスペックルの抑制を図る照明装置、及び、このような照明装置を利用した投射型映像表示装置を提供することを目的とするものである。本発明に係る照明装置は、コヒーレント光を出射する光源と、前記光源から出射されたコヒーレント光を偏向する偏向用空間変調素子を備え、前記偏向用空間変調素子から出射される偏向されたコヒーレント光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置は、前記偏向用空間変調素子の偏向方向によらず、前記偏向用空間変調素子から出射されるコヒーレント光は、前記被照明領域全体を照明することを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置において、前記偏向用空間変調素子は、可変回折型素子を含んで構成されることを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置において、前記偏向用空間変調素子は、位相変調素子を含んで構成されることを特徴とする。さらに本発明に係る照明装置において、前記光源と前記偏向用空間変調素子の間に、ビーム成型手段が配置されていることを特徴とする。また、本発明に係る投射型映像表示装置は、コヒーレント光を出射する光源と、前記光源から出射されたコヒーレント光を偏向する偏向用空間変調素子と、像が形成される像形成領域を有する光変調素子と、前記光変調素子の像をスクリーンに投影する投射光学系と、を備え前記偏向用空間変調素子から出射される偏向されたコヒーレント光は、前記像形成領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記像形成領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする。さらに、本発明に係る投射型映像表示装置において、前記偏向用空間変調素子からの出射されるコヒーレント光は、前記投射光学系に対する光軸を中心として対称に角度変化することを特徴とする。また、本発明に係る光偏向装置は、コヒーレント光が入射されるとともに、入射されたコヒーレント光を偏向して出射する偏向用空間変調素子を備え、前記偏向用空間変調素子から出射される偏向されたコヒーレント光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、前記被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することを特徴とする。本発明の照明装置によれば、偏向用空間変調素子でコヒーレント光を偏向させることで、偏向用空間変調素子から出射される照明光は、被照明領域を経時的に重ねて照明するとともに、被照明領域の各点への入射角度を経時的に変化させて照明することとなり、被照明領域で発生するスペックルを時間的に変化させ、観察者に不可視の状態とさせることが可能となる。さらに、本発明の投射型映像表示装置では、スクリーンに対しても時間的に異なる角度で照射することで、スクリーン上で発生するスペックルを効果的に抑制することができる。では、本発明の実施形態に係る照明装置、及び、投射型映像表示装置について図面を参照しつつ説明を行う。図1は、本発明の実施形態に係る照明装置を備えた投射型映像表示装置の構成を示す図である。なお、以下に説明する図面は、模式的に示した図であって、実際の形状、寸法、配置とは異なる場合もある。本実施形態の投射型映像表示装置10は、照明装置と、映像を形成するための光変調素子31、光変調素子31で形成された映像をスクリーン41に投射する投射光学系32などを備えている。なお、図では、映像が投影されるスクリーン41面をX-Y平面、それに直交する軸をZ軸としている。スクリーン41には、スクリーン41で反射された映像を観察する反射型スクリーン、あるいは、スクリーン41を透過した映像を観察する透過型スクリーンどちらを使用することもできる。本実施形態の照明装置は、光源11と、偏向用空間変調素子15を有して構成されている。光源11には、コヒーレント光としてのレーザー光を出射する半導体レーザーなどの発光素子111が使用される。本実施形態の光源11は、発光素子111の後段に配置されたビームエキスパンダー112を含んで構成されている。ビームエキスパンダー112は、凸レンズ112a、112bの組みで構成され、光変調素子31の像形成領域を照明するに十分な口径に拡大されている。このような構成以外に、凹レンズと凸レンズの組み合わせなど適宜形態を採用することができる。光源11から偏向用空間変調素子15に出射されたコヒーレント光は、平行または略平行なコヒーレント光として出射することが好ましい。後段に配置される偏向用空間変調素子15の各点を同じ条件で照明することが可能となる。光源11から出射されたコヒーレント光は、偏向用空間変調素子15を照明する。なお、光源11から出射されるコヒーレント光に対して、その断面方向の強度分布の均一化を図るビーム成型手段を設けておくことが好ましい。設計例として、ビームエキスパンダー112の後段にビーム成型手段を設けることで、偏向用空間変調素子15を均一な強度で照明することが可能となる。ビーム成型手段は、屈折や回折等の効果によりビームの断面強度分布を変える素子で、ホログラムや屈折型素子などが用いられる。偏向用空間変調素子15は、光源11にて出射されたコヒーレント光の方向を時間的に変化させる光学素子である。本実施形態の偏向用空間変調素子15には、電気的に回折条件を変化させることで出射方向を変化させる可変回折型素子、あるいは、位相変調素子などが用いられる。このような偏向用空間変調素子15は可動部を有していないため、装置の小型化、メンテナンス性能の向上を図ることが可能となる。本実施形態では、偏向用空間変調素子15を、被照明領域を有する光変調素子31に近接させて配置させているが、偏向用空間変調素子15と光変調素子31は、互いに密着させて配置することとしてもよい。光源11から入射するコヒーレント光は、この偏向用空間変調素子15にて時間的に方向が変化する偏向光Laとなり、被照明領域としての光変調素子31の像形成領域を照明する。図では、最外端付近の偏向光Lat1とLat2の様子が示されているが、実際には、偏向光Laは、このLat1とLat2の間を経時的に連続移動もしくは間欠移動することとなる。光変調素子31は、映像信号に基づいて像が形成される像形成領域を有するディスプレイであって、本実施形態では透過型の液晶表示素子が用いられている。光変調素子31としては、このような透過型のもの以外に、MEMSなどの反射型のものを利用することも可能である。偏向用空間変調素子15からの偏向光Laは、時間の経過に伴い入射角度を変化させつつ光変調素子31に入射し、像形成領域に表示される像に基づいて変調光Lbに変換される。投射光学系32は、光変調素子31からの変調光Lbを映像再生光Lcに拡大変換してスクリーン41に投射する。本実施形態では、この投射光学系32の後段に絞り33が設けられている。では、この投射型映像表示装置10において、スペックルを抑制するための主要構成である照明装置について、その原理などを詳細に説明する。図2は、本発明の実施形態に係る照明装置の構成を示す図であって、偏向用空間変調素子15による照明の様子を示した図である。なお、このように被照明領域に対して配置された偏向用空間変調素子は、本発明でいう光偏向装置を構成するものである。図2に示されるように、時刻t1のときの偏向光Lat1は、光変調素子31における像形成領域の少なくとも一部の領域を照明する。時刻t2のときの偏向光Lat2も同様に、像形成領域の少なくとも一部の領域を照明する。この図に示されるように照明装置は、入射角度を時間的に変化させつつ被照明領域としての像形成領域全体を照明することとなる。被照明領域は、偏向用空間変調素子15の偏向方向によらず、常に照明している領域に設定されることが輝度の均一化を図る上で好ましい。偏向用空間変調素子15に入射される光源11からのコヒーレント光は、平行光あるいは略平行光とすることが好ましい。光源11からのコヒーレント光を平行光あるいは略平行光とすることで、偏向用空間変調素子15の各点に入射するコヒーレント光を同じ条件で照明することが可能となり、偏向用空間変調素子15の各点における偏向条件の設計が容易となる。さらに、偏向用空間変調素子15から出射される偏向光Laについて平行または略平行とすることで、光変調素子31の像形成領域の各点を同じ条件で照明し、例えば、光変調素子31全体を均一に照明するなどの改善が図られる。さらに、偏向用空間変調素子15から出射される変調光Lbは、投射光学系32の光軸すなわち光変調素子31と直交する方向に対して対称となるように角度変化することが好ましい。図に示されるように光軸に対して最外端付近の変調光Lbt1とLbt2が光軸となす角度を同一とすることで、結像性能を面内で等方的にすることができる。図1に戻り、光変調素子31で変調された変調光Lbは、投射光学系32で拡大され映像再生光Lcとしてスクリーン41上に投射され、反射、あるいは、透過される映像を観察者に観察させる。このときスクリーン41の面上で拡散されるコヒーレント光は互いに干渉することでスペックルを生じさせる。しかしながら、本実施形態では、偏向用空間変調素子15によってコヒーレント光が偏向されるため、結果としてスクリーン41に投射する映像再生光Lcの入射角度を経時的に変化させ、このスペックルを極めて効果的に目立たなくしている。図1に示されるスクリーン上の点P1において、例えば、時刻t1における映像再生光Lct1と、時刻t2における映像再生光Lct2が異なる入射角度で照射されることとなる。図に示す他の点P2や図示しない他の点においても同様であって、映像再生光Lcは、入射角度を時間的に変化させつつスクリーン41上に映像を投射する。したがって、ごく短い時間ではスクリーン上に形成されるスペックルも、映像再生光Lcが時間によって異なる入射角度で照射されることで視覚の応答時間内で時間的に平均化され、スクリーン41に投射される像を観察する観察者には十分に目立たない状態となる。以上、図1、図2における本実施形態を用いて投射型映像表示装置、及び、それに用いられる照明装置について説明したが、これらの装置において入射光を偏向させる偏向用空間変調素子15について説明する。本実施形態で使用する偏向用空間変調素子15は、電気的駆動により入射光の偏向方向を可変させる光学素子であって、可変回折型素子、あるいは、位相変調素子などが使用可能である。図3は、本発明の実施形態に係る偏向用空間変調素子可変回折型素子の構成を示す図であり、図4は、本発明の他の実施形態に係る偏向用空間変調素子位相変調素子の構成と位相変化の様子を示す図であり、図5は、本発明の他の実施形態に係る偏向用空間変調素子位相変調素子における位相変化の様子を示す図である。図3の偏向用空間変調素子15は、可変回折型素子を利用した実施形態であって、この実施形態では、可変回折型素子として振幅変調型の液晶素子を利用したものとしている。偏向用空間変調素子15を構成する液晶素子は、液晶151によって回折格子を形成する。この液晶151によって形成される回折格子のピッチを時間的に変化させて回折角度を変えることで、光源11から入射されるコヒーレント光の出射方向を時間的に変化させることが可能となっている。本実施形態では、偏向用空間変調素子15の入射面に対して斜めにコヒーレント光を入射させることで、0次光を逃がすとともに、回折光を素子の法線方向に出射させることが可能としている。可変回折型素子としては、この液晶素子以外に、音響光学素子など通過する光の位相を変調する光学素子を用いることとしてもよい。あるいは、反射させる光について位相を変調するマイクロミラーデバイスを用いることも可能である。図4の偏向用空間変調素子15は、位相変調素子を利用した実施形態であって、この実施形態では、位相のみの変調を行う液晶素子を利用したものとしている。図4aは、この構成例を示した図であって、偏向用空間変調素子15は、透明基材153、154の間に封入された液晶層152を有して構成されている。液晶層152には、部分毎に配設された画素電極152aと、共通電極152bが設けられており、部分毎に経時的に屈折率を変化させることで透過光の位相を変化させることが可能となっている。図4bは、位相変化の基本型を示した図であって、図4aの構成図と対応した形で位相分布が示されている。画素電極152aに印加するバイアスを時間的に変化させることで、例えば、時刻t1、t2に示すような位相分布を形成することが可能である。このような位相分布では、図4aに示すように時刻t1では、走査光Lat1が、時刻t2では、走査光Lat2の状態に偏向させることが可能となる。実際には、t1の位相状態とt2の位相状間を多段階あるいは連続的に変化させることで、走査光Laについても多段階あるいは連続的に方向を変化させることが可能となる。図5は、位相変化の他の形態を示した図であって、位相分布をキノフォーム型に、すなわち0~2πで繰り返すパターンを時間的に変更することで、偏向条件を経時的に変更し、図4bの場合と同様に偏向方向を変化させるものである。この図は、図4bと同様、図4aの構成図と対応した形で位相分布が示されたものであって、図5aは、時刻t1における位相状態、図5eは、時刻t2における位相状態が示されている。図5aから図5e、図5eから図5a間の位相形状を時間的に変化させることで、光源11から入射されるコヒーレント光を偏向させている。なお、位相分布は、0~2π以外の範囲に設定されたフレネルレンズ型を用いることとしてもよい。このように偏向用空間変調素子15として位相変調素子を利用した場合には、前述の可変回折型素子を利用する場合と異なり0次光が発生しないため、光の利用効率の向上が図られる。また、図に示すように偏向用空間変調素子15の入射面に対して垂直にコヒーレント光を入射させることも可能となる。以上、本実施形態によれば、スペックルノイズが目立たない照明装置、並びに、この照明装置にて光変調素子31を照明することでスペックルノイズが目立たない映像を提供することのできる投射型映像表示装置を提供することが可能となる。特に、本実施形態では、偏向用空間変調素子15にて光源11からのコヒーレント光を電気的に偏向させることで、可動部を有さないとともに、装置の小型化そしてメンテナンス性能の向上が図られている。なお、本発明はこれらの実施形態のみに限られるものではなく、それぞれの実施形態の構成を適宜組み合わせて構成した実施形態も本発明の範疇となるものである。