"複数のキャリアホイールを備えた長尺のキャリアホイール軸が複数配置され、クリーンルーム内で薄板状の搬送物を搬送するホイールコンベヤにおいて、複数の前記キャリアホイール軸のそれぞれを軸支するフレームと、前記フレームの近傍に、且つ複数の前記キャリアホイール軸の下方に設けられるラインシャフトと、前記ラインシャフトの回転を、複数の前記キャリアホイール軸のそれぞれに非接触で伝達するマグネット駆動伝達機構と、前記ラインシャフトを回転させる駆動部と、を備え、前記駆動部は、前記ラインシャフトの下方近傍に且つ前記フレームの側方に配置される駆動モータと、前記駆動モータの駆動軸が内嵌される第1のギヤ及び前記ラインシャフトを挿通する軸孔を有する回転軸に外嵌される第2のギヤを少なくとも有するギヤ機構と、前記ギヤ機構を収納するとともに、収納される前記ギヤ機構の前記第1のギヤに前記駆動モータの駆動軸が嵌合された状態で前記駆動モータに固定されるハウジングと、から構成されることを特徴とするホイールコンベヤ。請求項1に記載のホイールコンベヤにおいて、前記ハウジングは、その内部に潤滑剤を有し、前記第2のギヤの回転軸は、前記ハウジング内部に設けられた軸受けにより軸支された後、前記軸受けよりも前記ハウジングの外側に位置し、該ハウジング内部の前記潤滑剤を遮断するオイルシールが嵌着されることを特徴とするホイールコンベヤ。請求項1又は請求項2に記載のホイールコンベヤにおいて、前記駆動モータに取り付けられる前記ハウジングは、隣り合う前記キャリアホイール軸の間で、且つ前記キャリアホイール軸の下方に配置され、前記第1のギヤの回転中心は、前記第2のギヤの回転中心よりも前記フレームから離れた位置となることを特徴とするホイールコンベヤ。請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のホイールコンベヤにおいて、前記マグネット駆動伝達機構は、複数の前記キャリアホイール軸のそれぞれに配置される従動側のマグネットギヤと、前記ラインシャフトの、複数の前記キャリアホイール軸のそれぞれに設けられた前記従動側のマグネットギヤに各々近接し前記ラインシャフトの回転駆動力を非接触で磁界により伝達する位置に、従動側のマグネットギヤの個数分設けられる駆動側のマグネットギヤと、から構成されることを特徴とするホイールコンベヤ。このようなホイールコンベヤは、キャリアホイール軸の駆動部として多段の変速変方向ギヤ機構を用い、それをコンベヤフレームへのキャリアホイール軸側の組立と同様にコンベヤ組立時にギヤ機構を組み上げている。このギヤ機構における各ギヤの噛み合わせの精度出しは、キャリアホイール軸の水平出しフレームの水平出し駆動用ラインシャフトの水平及びキャリアホイール軸との直交出しなどと同時作業となる。このため、ギヤ機構における各ギヤの噛み合わせの精度出しは経験を要する作業であり、組み立てられたホイールコンベヤの品質にばらつきが生じるという問題がある。また、上述した防塵対策はコストアップに繋がる他、防塵カバーの内部に堆積される塵を清掃する必要も生じるという問題もある。さらには、コンベヤフレーム側部に位置する多段ギヤ変速変方向ギヤ機構部では、ギヤ噛合部にグリース塗布して潤滑しているが、経時劣化する潤滑剤の補修として、ギヤ機構に対してグリースなどの潤滑剤を塗布し直すなどのメンテナンスを行う必要がある。本発明は、組み立て時の品質のばらつきの発生を防止するとともに、メンテナンスを省略することができるようにしたホイールコンベヤを提供することを目的とする。上述した課題を解決するために、本発明のホイールコンベヤは、複数のキャリアホイールを備えた長尺のキャリアホイール軸が複数配置され、クリーンルーム内で薄板状の搬送物を搬送するホイールコンベヤにおいて、複数の前記キャリアホイール軸のそれぞれを軸支するフレームと、前記フレームの近傍に、且つ複数の前記キャリアホイール軸の下方に設けられるラインシャフトと、前記ラインシャフトの回転を、複数の前記キャリアホイール軸のそれぞれに非接触で伝達するマグネット駆動伝達機構と、前記ラインシャフトを回転させる駆動部と、を備え、前記駆動部は、前記ラインシャフトの下方近傍に且つ前記フレームの側方に配置される駆動モータと、前記駆動モータの駆動軸が内嵌される第1のギヤ及び前記ラインシャフトを挿通する軸孔を有する回転軸に外嵌される第2のギヤを少なくとも有するギヤ機構と、前記ギヤ機構を収納するとともに、収納される前記ギヤ機構の前記第1のギヤに前記駆動モータの駆動軸が嵌合された状態で前記駆動モータに固定されるハウジングと、から構成されることを特徴とする。また、前記ハウジングは、その内部に潤滑剤を有し、前記第2のギヤの回転軸は、前記ハウジング内部に設けられた軸受けにより軸支された後、前記軸受けよりも前記ハウジングの外側に位置し、該ハウジング内部の前記潤滑剤を遮断するオイルシールが嵌着されることが好ましい。また、前記駆動モータに取り付けられる前記ハウジングは、隣り合う前記キャリアホイール軸の間で、且つ前記キャリアホイール軸の下方に配置され、前記第1のギヤの回転中心は、前記第2のギヤの回転中心よりも前記フレームから離れた位置となることが好ましい。さらに、前記マグネット駆動伝達機構は、複数の前記キャリアホイール軸のそれぞれに配置される従動側のマグネットギヤと、前記ラインシャフトの、複数の前記キャリアホイール軸のそれぞれに設けられた前記従動側のマグネットギヤに各々近接し前記ラインシャフトの回転駆動力を非接触で磁界により伝達する位置に、従動側のマグネットギヤの個数分設けられる駆動側のマグネットギヤと、から構成されることが好ましい。本発明によれば、予め軸受位置を設定でき、且つ駆動モータ位置まで外側に規定できるハウジング内に、ギヤ機構としての変速機構及びラインシャフト挿通部を収納することから、ホイールコンベヤを製造する際に、ギヤ機構の各ギヤの位置の精度を出す作業を行う必要がなくなる。ハウジングについて中子を用いた鋳造などによって製造すれば、ギヤ機構の各ギヤ及び軸受を精度良くハウジング内に収納することができるので、ギヤ機構の各ギヤの位置の精度を出す作業を行う必要がなくなる。これにより、各ギヤの噛み合わせの精度のばらつきが生じなくなる。また、ギヤ機構を収納したハウジングは駆動モータに組み付けられ、一体のユニットとしてラインシャフトに挿通させてホイールコンベヤに組み付けられるので、ホイールコンベヤの組み立て時の工数を減らすことができる。また、ギヤ機構をハウジング内に収納させ外部と隔離できることで、グリースの内包量を多くすることができ、グリースの蒸散量も減らすことができて、グリースを塗布し直す作業や、ギヤ機構の駆動により生じる粉塵を除去するなどの作業を行う必要がない。これにより、ホイールコンベヤに対するメンテナンスにかかる手間を減らすことができる。なお、ハウジングは、ハウジング内外部を封止して隔離できる封止部材を備えていることから、ギヤ機構の各ギヤの噛み合わせで生じる塵や、ハウジング内の潤滑剤がハウジング外部に飛散して搬送物を汚染することを防止できる。また、第1のギヤの回転中心を第2のギヤの回転中心よりもフレームから離れた位置に配置していることから、ラインシャフトを回転させる機構をコンパクトな構成で実現することが可能となる。以下、本発明のホイールコンベヤについて、図1~図3を用いて説明する。なお、図1は、ホイールコンベヤの上面図、図2はホイールコンベヤの側面を拡大した図、図3は、図1のA-A断面図である。ホイールコンベヤ10はクリーンルーム内に設置され、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルなどの大型の薄いガラス素板を搬送物Gとして高速で搬送する。このホイールコンベヤ10は、基枠15の上部に、駆動側フレーム16と従動側フレーム17とが、所定間隔を空けて、対向する位置に配置される。駆動側フレーム16と従動側フレーム17との上部には、複数のキャリアホイール軸18が、それぞれのフレームの長手方向に並置される。なお、これら複数のキャリアホイール軸18は、駆動側フレーム16と従動側フレーム17に設けられる軸受け19a,19bを介して、駆動側フレーム16と従動側フレーム17とに軸支される。なお、駆動側フレーム16と従動側フレーム17とに軸支されるキャリアホイール軸18は、その両端部を各フレームから突き出した状態で保持される。なお、符号20は、駆動側フレーム16の軸受け19aに近接する位置のキャリアホイール軸18に設けたストッパリングである。キャリアホイール軸18には、キャリアホイール21が一定間隔を空けて複数配置される。図1においては、キャリアホイール軸18の駆動側フレーム16と従動側フレーム17との間に位置する箇所に4個のキャリアホイール21を、また、駆動側フレーム16と従動側フレーム17から突き出されたキャリアホイール軸18の両端部に各2個のキャリアホイール21を、つまりキャリアホイール軸18に計8個のキャリアホイール21を設けた場合について開示している。しかしながら、キャリアホイール軸18に配置するキャリアホイール21の数は例えばキャリアホイール軸18の長さや、搬送物の大きさなどにより適宜設定されるものであり、図1に示す形態に限定されるものではない。上述したキャリアホイール21は、例えば超高分子ポリエチレン樹脂やPEEK樹脂ポリエーテルエーテルケトン樹脂などの合成樹脂から形成される。このキャリアホイール21は、中央部分に形成された孔を加熱拡径された後、キャリアホイール軸18に嵌合される。なお、このキャリアホイール21は加熱拡径された後キャリアホイール軸18に嵌合させる他に、キャリアホイール21をキャリアホイール軸18にビス止めする等して、キャリアホイール軸18に固定することも可能である。キャリアホイール軸18には、さらにNS極を表面回転方向に交互に配する従動側マグネットギヤ22がそれぞれ設けられる。この従動側マグネットギヤ22は、駆動側フレーム16の外側で、且つ駆動側フレーム16に設けられた軸受け19aの近傍となる位置にビス止めされる。ラインシャフト23は、駆動側フレーム16の外側で、且つキャリアホイール軸18と直交するように、駆動側フレーム16の長手方向に沿って設けられる。なお、ラインシャフト23は、駆動側フレーム16の外側ではなく、駆動側フレーム16の内側に配置することも可能である。この場合、キャリアホイール軸18に設けられる従動側マグネットギヤ22も、ラインシャフト23と同様に、駆動側フレーム16の内側に配置すればよい。ラインシャフト23は、駆動側フレーム16の長手方向に間隔を空けて設けられた複数の撓み防止用の軸受け24に軸支される。ラインシャフト23は、複数のキャリアホイール軸18に設けられたマグネットギヤ22に対応する位置にNS極を表面回転方向に交互に配する駆動側マグネットギヤ25が設けられる。つまり、従動側マグネットギヤ22と駆動側マグネットギヤ25とを用いることで、非接触状態で駆動側従動側の磁界の吸引反発作用によるマグネット駆動を利用して、ラインシャフト23の回転を各キャリアホイール軸に伝達している。なお、駆動側マグネットギヤ25は、各キャリアホイール軸18の従動側マグネットギヤ22に対応する位置つまり各々近接し前記ラインシャフトの回転駆動力を非接触で磁界により伝達する位置のラインシャフト上に設けられることから、ラインシャフト23の回転により各キャリアホイール軸18が同期回転する。なお、符号26,27は、ストッパリングである。このラインシャフト23の一端側で、駆動側フレーム16の外側には、ラインシャフト23を回転させる駆動ユニット35が設けられる。以下、駆動ユニット35の構成について、図4~図6を用いて説明する。駆動ユニット30は、駆動モータ36と、ギヤボックス37とから構成される。ギヤボックス37は、第1ギヤ40及び第2ギヤ41を備えたギヤ機構42と、ギヤ機構42が収納されるハウジング43とから構成される。なお、第1ギヤ40及び第2ギヤ41を備えたギヤ機構42としているが、これに限定される必要はなく、第1ギヤ40及び第2ギヤ41を含む少なくとも3以上のギヤからなるギヤ機構であってもよい。第1ギヤ40は、駆動モータ36の出力軸36aが嵌着されるボス部36bに対してキー36cなどにより固定される。この第1ギヤ40は、ボス部36bを回転軸として回転する。第2ギヤ41は、回転軸41aに、ラインシャフト23の外径に対する公差の範囲内の内径からなる軸孔41bを備えていわゆるホローシャフト状となっている。この回転軸41aの軸孔41bには、上述したラインシャフト23が挿通された後、スプリングピンなどによりラインシャフト23に固定される。この第2ギヤ41は、第1ギヤ40よりも歯数が少ない、言い換えれば径が小さいギヤが用いられる。これは、変速作用もさることながら、駆動ユニット35がホイールコンベヤ10に組み込まれた状態では、駆動側フレーム16から第1ギヤ40の回転中心40cまでの距離D1は、駆動側フレーム16から第2ギヤ41の回転中心41cまでの距離D2よりも長い、言い換えれば、駆動側フレーム16を基準にした場合、第1ギヤ40の回転中心40cは、第2ギヤ41の回転中心41cよりも離れた位置となる。このような各ギヤの配置は、駆動側マグネットギヤ25と従動側マグネットギヤ22の駆動伝達のためにはキャリアホイール軸18とラインシャフト23との軸間距離が変えられず、第2ギヤ41の外径が大径であると、隣り合うキャリアホイール軸18の従動側マグネットギヤ22表面間にハウジングが突出して、キャリアホイール軸18の軸間距離を拡げざるを得ないことで干渉すると干渉することを防止する。更に、第2ギヤ41の中心軸をフレーム側に寄せたことで、ハウジングの高さを抑えつつ、駆動モータ36とラインシャフト23との干渉を防止でき、駆動モータ36を駆動側フレーム16の高さの範囲内に配置することができる。ハウジング43は、ハウジング本体44と蓋部材45とから構成される。なお、これらハウジング本体44及び蓋部材45は、例えばハウジング本体44は、蓋部材45との間に、ギヤ機構42を収納する収納空間46を生成する。ハウジング本体44は、開口44a,44bを備えている。開口44a,44bには、ハウジング本体44の内側からベアリング51,52がそれぞれ嵌合される。なお、ベアリング51は、ボス部36bの一端部を軸支する。また、ベアリング52は、第2ギヤ41の回転軸41aの一端部を軸支する。この開口44bには、ハウジング本体44の外側からオイルシール53が嵌合される。蓋部材45は、ハウジング本体44の開口44bと同一位置に開口45aを備えている。この開口45aには、蓋部材45の内側からベアリング54が、蓋部材45の外側からオイルシール55がそれぞれ嵌合される。このベアリング54は、第2ギヤ41の回転軸41aの他端部を軸支する。また、この蓋部材45の内側には、ハウジング本体44の開口44aと同一位置に凹部45bを備えている。この凹部45bには、ベアリング56が嵌合される。このベアリング56は、ボス部36bの他端部を軸支する。このギヤボックス37においては、グリース60が第1ギヤ40と第2ギヤ41とが噛合している箇所を含む所定の領域に塗布される。グリースは、例えば、第1ギヤ40,第2ギヤ41に数gほど歯面塗布されていたり、ハウジング内にさらに余分量ためて第1ギヤ40の歯面で掻き上げるようにしている。このような構成のギヤボックス37に対して、駆動モータ36の出力軸36aをボス部36bに嵌着し、駆動モータ36をモータケースにあるフランジを介してギヤボックス37にボルト止めする。これにより、駆動モータ36とギヤボックス37とが一体化された駆動ユニット35が生成される。なお、上述したホイールコンベヤ10をフレームにキャリアホイール軸18やラインシャフト23を組み付けて製造する際には、この駆動ユニット35の状態でホイールコンベヤ10に組み込まれる。このため、ホイールコンベヤ10の製造時においては、ラインシャフト23を第2ギヤ41の軸孔41bに挿通させた後、スプリングピンによりラインシャフト23に対する駆動ユニット35の位置を固定する。そして、駆動側フレーム16に固定されたブラケット65とギヤボックス37のハウジングとをボルト等を用いて組み付ける。これにより、駆動ユニット35が駆動側フレーム16の外側に配置された状態となる。なお、ギヤボックス37のハウジング43に設けられる挿通孔図示省略は、ボルトの外径よりも大きい径からなり、ボルトと挿通孔との間に隙間を生じさせている。この隙間を生じさせることで、駆動モータ36の駆動時に駆動ユニット35が揺動することを許容することができる。なお、駆動ユニット35がホイールコンベヤ10に組み込まれた状態では、駆動モータ36は,ラインシャフト23の下方に位置される。また、駆動ユニット35のギヤボックス37は、隣り合うキャリアホイール軸18の間で、且つキャリアホイール軸18の下方に配置される。このように、駆動モータ36とギヤボックス37とを一体化した駆動ユニット35により、駆動ユニット35をホイールコンベヤ10に組み込む際の工数を減らすことが可能となる。また、第1ギヤ40と第2ギヤ41とからなるギヤ機構42を、予め軸受位置を設定でき、且つ駆動モータ位置まで外側に規定できるハウジング43内にラインシャフト挿通部である回転軸41aと共に収納することで、ギヤ機構42の品質が一定に保たれる。また、ハウジング本体44と蓋部材45とにおいて生成される収納空間46にグリース60を封入することで、第1ギヤ40及び第2ギヤ41が噛合する際の摩擦抵抗を減少させ、第1ギヤ40及び第2ギヤ41に対する冷却作用を生じさせる。また、各ギヤが噛合する際に、各ギヤの表面に生じる粉塵などを除去し、静粛に効率良くトルクを伝達することができる。また、ギヤボックス37にオイルシール53,55を用いることから、ギヤボックス37内のグリース60が外部に漏れることもない。このため、ホイールコンベヤ10が配置されるクリーンルーム内を清浄に保つことができる。つまり、従来では必要であった、カバー、配管、真空ポンプなどの設備を設ける必要が無くなる。"