"超音波振動モータ本体と、前記振動モータ本体に連結されており、前記振動モータ本体に反応して少なくとも一方向に回転するように配置されたシャフトと、前記シャフトに連結され、かつ前記シャフトとともに動くことが可能であり、前記シャフトの動きに反応して、人が感知可能な振動を生成する少なくとも1つのアンバランスマスとを備える、触覚アクチュエータシステム。前記超音波振動モータ本体が、前記超音波振動モータ本体の軸と平行な直交する2つの面の各々において、第一曲げモードにおいて超音波によって振動するように構成された管状本体をさらに備え、かつ、前記回転シャフトがさらに、前記アンバランスマスを回転させることにより、前記人が感知可能な振動を生じる求心力を生成する、請求項1記載の触覚アクチュエータシステム。前記管状本体が、その外面において少なくとも1つの圧電板に連結され、前記少なくとも1つの圧電板の面が、前記振動モータ本体の前記軸と平行であり、前記少なくとも1つの圧電板が、電気的にエネルギーが加えられると、前記振動モータ本体の前記軸と平行な直交する2つの面における、共振曲げモードにおいて、前記シャフトを少なくとも一方向に回転させる超音波振動を生成することにより、前記管状本体を屈曲するように構成されている、請求項2記載の触覚アクチュエータシステム。前記超音波振動が、実質的に90度の位相シフトと前記管状本体の断面形状に応じた実質的に同一の振幅とを有する前記共振曲げモード各々の平均振動数において生じる、請求項3記載の触覚アクチュエータシステム。前記管状本体がその外面上で少なくとも2つの圧電板に連結され、前記少なくとも2つの圧電板の各面が前記振動モータ本体の前記軸と平行である、請求項2記載の触覚アクチュエータシステム。前記少なくとも2つの圧電板が、2つの各駆動波形によって電気的にエネルギーを加えられることにより、2つの各直交面に、第1および第2の直交曲げモードの平均振動数において前記管状本体に振動を生じさせ、前記管状本体の断面形状に応じて実質的に同一の振幅および90度の位相シフトを有し、前記生じた振動が前記シャフトを少なくとも一方向に回転させる、請求項5記載の触覚アクチュエータシステム。前記超音波振動モータ本体が、前記超音波振動モータ本体の内面の内径において、2つの円筒状ブッシングにおいて前記シャフトに摩擦で接続された管状本体を備える、請求項1記載の触覚アクチュエータシステム。前記2つの円筒状ブッシングのうちの第1のブッシングが前記管状本体の実質的に一端に配置されており、前記2つの円筒状ブッシングのうちの第2のブッシングが前記管状本体の実質的に中央部に配置されている、請求項7記載の触覚アクチュエータシステム。前記2つの円筒状ブッシングが、前記管状本体の各対応する端部に配置されている、請求項7記載の触覚アクチュエータシステム。前記少なくとも1つのアンバランスマスが、前記シャフトの一端に固定された一体成形のマスである、請求項1記載の触覚アクチュエータシステム。前記少なくとも1つのアンバランスマスが、前記シャフトの対向する両端にそれぞれ固定された2つのマスを含む、請求項1記載の触覚アクチュエータシステム。前記少なくとも1つのアンバランスマスが、前記管状本体の各端部に位置する2つの円筒状ブッシング間の、前記超音波振動モータ本体の前記管状本体内部の前記シャフトに固定された一体成形のマスである、請求項1記載の触覚アクチュエータシステム。前記シャフトに連結された低摩擦接触面をともなうバネであって、前記シャフトに半径方向力を加えることにより、前記超音波振動モータ本体と前記シャフトとの1つ以上の接点における摩擦力を増大し、前記シャフトの実質的にゼロ速度における前記超音波振動モータ本体に関連するモータトルクを増大するように構成されているバネをさらに備える、請求項1記載の触覚アクチュエータシステム。前記超音波振動モータ本体にエネルギーを加えるための1つ以上の信号を提供するように構成された、前記超音波振動モータ本体のハウジング内部の統合された駆動回路をさらに備える、請求項1記載の触覚アクチュエータシステム。前記統合された駆動回路が、1つ以上のフルブリッジ駆動回路およびデジタル制御論理を備える、請求項14記載の触覚アクチュエータシステム。超音波振動モータ本体を提供する段階と、前記振動モータ本体に反応して少なくとも一方向に回転するように配置されたシャフトを前記振動モータ本体に連結する段階と、少なくとも1つのアンバランスマスを前記シャフトに連結し、当該シャフトの動きに反応して人が感知可能な振動を生成するように、前記シャフトにより前記アンバランスマスを動かす段階とを含む、触覚アクチュエータシステムを作製する方法。前記超音波振動モータ本体が、前記超音波振動モータ本体の軸と平行な直交する2つの面の各々において、第一曲げモードにおいて超音波によって振動するように構成された管状本体をさらに備え、かつ、前記回転シャフトがさらに、前記アンバランスマスを回転させることにより、前記人が感知可能な振動を生じる求心力を生成する、請求項16記載の方法。前記管状本体が、その外面において少なくとも1つの圧電板に連結され、前記少なくとも1つの圧電板の平面が前記振動モータ本体の前記軸と平行であり、前記少なくとも1つの圧電板は、電気的にエネルギーが加えられると、前記管状本体の前記軸と平行な直交する2つの面において、共振曲げモードにおいて、前記シャフトを少なくとも一方向に回転させる超音波振動を生成することにより、前記振動モータ本体を屈曲するように構成されている、請求項17記載の方法。前記超音波振動が、実質的に90度の位相シフトおよび前記管状本体の断面形状に応じた実質的に同一の振幅を有する前記共振曲げモードの各々の平均振動数において生じる、請求項18記載の方法。前記管状本体が、その外面上で少なくとも2つの圧電板に連結され、前記少なくとも2つの圧電板の各面が、前記振動モータ本体の前記軸と平行である、請求項17記載の方法。前記少なくとも2つの圧電板が、2つの各駆動波形によって電気的にエネルギーを加えられ、2つの各直交面に、第1および第2の直交曲げモードの平均振動数において前記管状本体に振動を生じさせ、前記管状本体の断面形状に応じて実質的に同一の振幅および90度の位相シフトを有し、前記生じた振動は前記シャフトを少なくとも一方向に回転させる、請求項20記載の方法。前記超音波振動モータ本体が、前記超音波振動モータ本体の内面の内径において、2つの円筒状ブッシングにおいて前記シャフトに摩擦で接続されている管状本体を備える、請求項16記載の方法。前記2つの円筒状ブッシングのうちの第1のブッシングを前記管状本体の実質的に一端に配置し、前記2つの円筒状ブッシングのうちの第2のブッシングを前記管状本体の実質的に中央部に配置する、請求項22記載の方法。前記2つの円筒状ブッシングを前記管状本体の各対応する端部に配置する、請求項22記載の方法。前記少なくとも1つのアンバランスマスが、前記シャフトの一端に固定された一体成形のマスである、請求項16記載の方法。前記少なくとも1つのアンバランスマスが、前記シャフトの対向する両端それぞれに固定された2つのマスを含む、請求項16記載の方法。前記少なくとも1つのアンバランスマスが、管状本体の各端部に位置する2つの円筒状ブッシング間の、前記超音波振動モータ本体の管状本体内部の前記シャフトに固定された一体成形のマスである、請求項16記載の方法。前記シャフトに連結され、前記シャフトに半径方向力を加え、前記超音波振動モータ本体と前記シャフトとの1つ以上の接点における摩擦力を増大し、前記シャフトの実質的にゼロ速度における前記超音波振動モータ本体に関連するモータトルクを増大するように構成された、低摩擦接触面をともなうバネを提供する段階をさらに含む、請求項16記載の方法。前記超音波振動モータ本体にエネルギーを加えるための1つ以上の信号を提供するように構成された前記超音波振動モータ本体のハウジング内部に、統合された駆動回路を提供する段階をさらに含む、請求項16記載の方法。前記統合された駆動回路が、1つ以上のフルブリッジ駆動回路およびデジタル制御論理を備える、請求項29記載の方法。触覚アクチュエータシステムは、超音波振動モータ本体と、振動モータ本体に連結されており、振動モータ本体に反応して少なくとも一方向に回転するように配置されたシャフトと、シャフトに連結されシャフトとともに動くことができる、シャフトの動きに反応して人が感知可能な振動を生成する少なくとも1つのアンバランスマスとを含む。触覚アクチュエータシステムを作製する方法は、超音波振動モータ本体を提供することと、振動モータ本体に反応して少なくとも一方向に回転するように配置されたシャフトを振動モータ本体に連結することと、少なくとも1つのアンバランスマスをシャフトに連結し、シャフトの動きに反応した、人が感知可能な振動を生成するように、シャフトを用いてアンバランスマスを動かすこととを含む。この技術の種々の例示的な実施形態は多くの利点をもたらす。例えば、超音波振動モータは、一方向のシャフト回転、従来のモータよりも高い効率および回転を達成すると同時に、製造がより安価かつ簡単である。さらに、この超音波モータの例示的な実施形態では、アンバランスマスにより生成される求心力がブッシング接点で摩擦力を生じさせる、円筒状ブッシング接点をともなう定在波管設計を用いる。振動管と回転シャフトとの接触により効率を改善し、単相電子回路がシャフト回転を生じさせる定在波振動を与える。詳細な説明図1A~図7Cを参照し、振動モータ本体100および100aの例示的な実施形態を示し、記述する。より具体的には、図1Aを参照して、振動モータ本体100の側面図を示す。図1Bにより詳しく示すように、振動モータ本体100は、振動モータ本体100の管状本体を形成する管104と、圧電セラミック板110と、振動モータ本体100内面の一端および中心または、中央部にその各々が位置する内部円筒状ブッシング106aおよび106bとを備える。管104は、例えば、金属、ポリマおよびセラミックを含む、最高数百キロヘルツの超音波振動数において低損失および高機械的品質係数Qで振動する固体材料から構成されてもよい。ただし、これらの性質を有する他の材料を用いてもよい。圧電セラミック板110本明細書では、圧電板110または単に板110とも称するは、高強度接着剤を用いて管104に接合される。ただし、他の結合法を用いてもよい。圧電セラミック板110は、複数の方法により、振動モータ本体100の管104の外面に配置されてもよい。例えば、圧電セラミック板110は管状本体の軸105と平行な面を有する。そしてこれは、電気的にエネルギーが加えられると、振動モータ本体100の管状本体の軸105と平行な直交する2つの面に、共振曲げモードにおいて超音波振動を生じさせることにより、シャフト例えば、下記の図11Aに示すシャフト210を少なくとも一方向に回転させて、管状本体を屈曲するように構成される。一例によると、振動モータ本体100は、下記するように、超音波振動モータ本体を形成する。図1Dおよび図1Eを参照すると、振動モータ本体100aは、円筒状ブッシング106aおよび106bが管104の両端に位置する点を除き、振動モータ本体100と同一である。図2を参照すると、例示の圧電セラミック板110は、外部リード線112および114それぞれに接続されている相互に組み合わされた電極116および118を備えた、同時焼成多層デバイスである。代替的に、単層の圧電板を用いて圧電セラミック板110を形成してもよい。一例では、図2に示す2つのL字型電極の両側に電圧VD124が印加されると、圧電セラミック板110の全長は、当業者に周知のd33効果に起因して長さ111だけ変化する。圧電セラミック板110の作製に用いられる圧電セラミック材料、および超音波振動を生成するためのその使用方法のさらなる説明は、単なる一例として、Reduced-Voltage,LinearMotorSystemsandMethodsThereofと題された米国特許出願公開第2010/0039715号に詳細が記載されており、その全体は参照により本明細書に組み込まれ、本明細書に詳細には記述しない。図1Bを再度参照すると、円筒状ブッシング106aおよび106bは、高強度接着剤を用いて管104の内面に接合される。ただし、他の結合法も可能である。いくつかの例に従えば、円筒状ブッシング106aおよび106bは、それぞれ図11C、図13Cおよび図16Dに示す回転モータシャフト210、219および410と適合性のある任意の硬質および耐久性材料から構成することができる。ただし、この適合性は制限的ではない。ブッシング106aおよび106bに対する例示の材料は、鋼鉄、青銅、および酸化アルミニウムを含む。ただし、他の材料を用いてもよい。図3を参照すると、一例では、振動モータ本体100は、フルブリッジ駆動回路120により動作し、圧電セラミック板110に接続されている。この例では、フルブリッジ駆動回路120の振動数は、管状振動モータ本体100の第一曲げモード共振振動数と実質的に同じである。ただし、他の振動数例えば、部分共振振動数、および他の種類の駆動回路例えば、ハーフブリッジ駆動回路を用いてもよい。この駆動方法のさらなる記述は、前に参照した米国特許出願公開第US2010/0039715号に記載されており、本明細書に詳細には記述しない。図1C、図4Aおよび図4Bを参照すると、一例に従うと、管104の断面形状は、管軸を中心として対称的ではなく、モータ本体100の実質的な第一曲げモード共振振動数において励起された際に、圧電セラミック板110の長さ111の変化に誘導されて振動モータ本体100の曲げが第一曲げモード共振振動を発生するように形成される。この第一曲げモード共振振動は、実質的に90度位相がずれている、図1Cに示す要素101のような-45度、および例えば、図1Cに示す要素103のような45度にあり、これらの振幅は実質的に等しい。特に図1Cを参照すると、例示の振動モータ本体100は、要素107として示す側面切断深度dに加えて、要素108として示す角度θを調節することにより、所望の位相および振幅を達成し、示される例示の断面形状をもたらす。ただし、振動モータ本体100の断面における他のパラメータを調節して、所望の位相および振幅性能を実現してもよい。図4A~図7Cを参照すると、図1Cに示す振動モータ本体100の断面形状により生じる結果の例を示す。特に図4Aおよび図4Bを参照し、振動モータ本体100内に存在する2つの一次曲げモード共振、それぞれ130および135を示す。これらは、圧電セラミック板110の面を0度として、それぞれが、要素131として示す45度、および要素136として示す-45度において実質的に対称に位置合わせされる。2つの45度の角度の曲げモード130および135の共振振動数は互いにわずかに相違する可能性があり、これらは、例えば、2つの直交面に沿うことができる。ただし、圧電セラミック板110の他の非直交面を使用してもよい。この例では、圧電セラミック板110は、曲げモード130および135における共振振動数の平均振動数において図3に示すように駆動され、曲げモード130および135両方における共振振動にエネルギーを与える。図5Aおよび図5Bを参照すると、プロット140および145により振動数に対する振動変位を示す。この例では、振動数プロット部141として示す45度のモード130のうちの1つの共振振動数は、174kHzであり、振動数プロット部142として示すもう一方の45度のモード135の共振振動数は、176kHzモードである。ただし、他の振動数値を用いてもよい。圧電セラミック板110に印加される駆動信号VD124の周波数は、2つの45度の曲げモード130および135、すなわち、それぞれ振動数プロット部141および142、の平均の共振振動数であり、この例では、175kHzに等しい。圧電セラミック板110が175kHzで駆動されると、図4Aおよび図4Bに示す共振モード130および135は、90度の自然の位相シフトを有する。それ故、圧電セラミック板110からの単一曲げ振動入力により、圧電セラミック板110の2つの実質的な直交面に従う、振動数プロット部141および142により示される2つの45度の曲げモード振動数の共振振動数に近い、2つの曲げモード130および135が生成される。一例では、2つの曲げモード130および135の振幅はほぼ同じである。ただし、相違する振幅を用いてもよい。特に図5Aを参照すると、高い機械的利得または、高Qmを有する例示の振動モータ本体100のプロット140は、曲げモード130および135それぞれに対応する2つのピーク141および142を有する。これらのピークは別個のものであるが、必ずしも高さが等しくなくてもよい。一例では、圧電セラミック板110における動作振動数または駆動振動数は、2つのピーク141および142の中心である。特に図5Bを参照すると、より低いQmを有する振動モータ本体100の別の例がプロット145で示され、曲げモード130および135の2つのピークまたは、ピーク振動数141および142は、一体化して1つの単一ピーク146となる。この例では、圧電セラミック板110における動作駆動振動数はピーク振幅における値となる。図6A~図7Cを参照すると、2つの45度の共振モード130および135の振幅が、板110に関する所定の入力駆動振動数におけるリサジュー図を利用してプロットされている。特に図6A~図6Cを参照すると、図5Aに示す変位プロット140に対する振動数に対応する例示の固定値Qm=90に対するリサジュープロットである。圧電セラミック板110における入力駆動振動数が、第一45度曲げモード130の振動数プロット部141に示すピーク振動数141と等しい174kHzに等しい場合には、プロット150は楕円形状151を示す。圧電セラミック板110における入力駆動振動数が、45度曲げモード130および135それぞれのピーク振動数141および142の平均値と等しい175kHzに等しい場合には、プロット155は理想的な円形状156を示す。圧電セラミック板110における入力駆動振動数が、他の45度曲げモード135の振動数プロット部142に示すピーク振動数142と等しい176kHzに等しい場合には、プロット160は形状161を示す。この例では、円形プロット156における振動数は、フルブリッジ駆動回路120からの最高電力を利用し、そして振動数に対する電力をモニタリングして最大電力値に応じて振動数を調節することにより、ほとんどの円形リサジュープロットの最高動作点を維持できる。駆動振動数の調節方法のさらなる説明は、AutomatedDriveFrequencyControlforResonantActuatorSystemsandMethodsThereofと題された米国特許出願整理番号第12/466929号に記載されており、その全体は参照により本明細書に組み込まれ、本明細書に詳細には記述しない。図7A~図7Cを参照すると、図4Aおよび図4Bに示す2つの45度の共振曲げモードそれぞれ130および135の振幅が、圧電セラミック板110における所与の入力駆動振動数に関するリサジュー図を利用してプロットされる。リサジュープロット166、171および176に示す例は、品質係数Qmがより低くかつ互いに等しく無い場合の例である。この例では、45度のモード130におけるQmは30、共振振動数は174kHzであり、45度のモード135におけるQmは60、共振振動数は176kHzである。圧電セラミック板110における入力駆動振動数が、第一45度曲げモード130のピーク振動数141と等しい174kHzに等しい場合には、プロット165は楕円形状166を示す。圧電セラミック板110における入力駆動振動数が、45度曲げモード130および135それぞれのピーク振動数141および142の平均値と等しい175kHzに等しい場合には、プロット170は、より大きな楕円形状171を示す。圧電セラミック板110における入力駆動振動数が、もう一方の45度曲げモード142のピーク振動数142と等しい176kHzに等しい場合には、プロット175は形状176を示す。この例では、形状171は円形ではないが、175kHzの駆動振動数により、前述のような最高電力および最高性能点が維持される。前述の振動数値および形状が単なる一例であり、リサジュー図における他の値および形状を用いてもよいことに留意されたい。図8A~図10Bを参照すると、振動モータ本体180の別の例示の構造が示される。振動モータ本体180は、以下の点を除いて振動モータ本体100と同一である。振動モータ本体180は、振動モータ本体100に取り付けられた1つの圧電セラミック板110の代わりに、2つの圧電セラミック板110aおよび110bに取り付けられている。図8A~図8Cを参照すると、管184が、2つの圧電セラミック板110aおよび110b、並びに振動モータ本体180内面に連結された内部円筒状ブッシング106aおよび106bに接合している。ブッシング106aおよび106bは、振動モータ本体180の一端および中心に位置する。この例では、圧電セラミック板110aおよび110bは互いに90度に位置合わせされる。ただし、圧電セラミック板110aと板110bとは、他の相対角度で配置されてもよい。この例では、圧電セラミック板110aおよび110bはその長さを変化させて、例えば、超音波振動である可能性がある第一曲げモード振動を生じる2つの直交面において振動モータ本体180を屈曲する。図8Dおよび図8Eを参照すると、振動モータ本体180aは、2つの円筒状ブッシング106aおよび106bが管184の両端に位置する点を除いて、モータ本体180と同一である。図9を参照すると、超音波振動モータ本体180は、圧電セラミック板110aおよび110bに接続されている2つのフルブリッジ駆動回路120aおよび120bにより動作する。一例では、電圧VD1の駆動信号186、および電圧VD2の駆動信号188は、振動モータ本体180の第一曲げモード共振振動数において作動する。ただし、他の振動数を用いてもよい。駆動信号186と188との間の位相シフト190は、圧電セラミック板110aおよび110bの例示の90度の配向に相当する略90度である。ただし、圧電セラミック板110aおよび110bの相対角度配向に応じた、他の値の位相シフト190を用いてもよい。この駆動方法のさらなる説明は、例えば、前に参照した米国特許出願公開第2010/0039715号に含まれており、本明細書に詳細には記述しない。図8C、図10Aおよび図10Bを参照すると、振動モータ本体180の直交共振曲げモード192および194を示す。2つの直角圧電セラミック板110aおよび110bは振動モータ本体180を屈曲するが、代替的な実施形態では、これらは互いに非直交の相対配向を有してもよい。管184の断面形状は管の軸を中心として対称的ではないが、いくつかの例では、対称的な断面を用いてもよい。非対称形状は、2つの直交曲げ共振モード192および194が実質的に同じ共振振動数を有するように本体180を振動させる実質的な第一曲げモード共振振動数において励起された際に、圧電セラミック板110aおよび110b各々の長さ111の変化に誘導されて振動モータ本体180が屈曲する形状に作製される。この例では、2つの曲げモード192および194に対応する直交面における配向角α要素196またはβ要素198の厳密値は、単なる例示であり、この例では、2つのモード192および194は、αβ=90度となるように互いに実質的に直角である。代替的に、αβの合計値は他の値でもよい。前述したように、2つの圧電セラミック板110aおよび110bは、それぞれ、90度に等しい位相シフト190を有する電気信号186および188により駆動される。この信号により、振動モータ本体100の変位の実質的に円形状のリサジュープロットを生成する。図11A~図11Cを参照すると、触覚アクチュエータ200は、統合された振動モータ本体100または、振動モータ本体180でもよいおよび統合された駆動チップIC204を備えるハウジング212を有する。振動モータ本体100内部に回転シャフト210が組み立てられ、回転シャフト210の一端に回転アンバランスマス202が組み立てられる。アンバランスマス202は、その非対称形状、および振動モータ本体100/180の軸105一部を示すからのオフセット0位置を理由として、例示的にアンバランスと呼ぶ。図11Bに、図11Aに示すAAに沿う触覚アクチュエータ200の断面を示す。一例では、振動モータ本体100/180は、半剛性エラストマを用いて、その振動節点においてハウジング212に固定される。例示のシリコーンエラストマは、米国ミシガン州、ミッドランドのDowCorningCorporationが製造しているDOWCORNING登録商標734の流動シーラントである。ただし、他の製造業者が製造している他の種類のシーラントを用いてもよい。振動モータ本体100/180上の節点は、振動の振幅が最小であり、それぞれ前述した図4A/図4B、および図10A/図10Bに示すような振動モードまたは共振曲げモード130/135、または192/194の減衰が最小になる軸方向位置に配置される。回転シャフト210は、図11Cに示す円筒状接触面214において振動モータ本体100/180に摩擦的に接触する。ただし、他の接触点を利用してもよい。アンバランスマス202は、圧入、接着剤、または当業者に公知の他の方法により、シャフト210の一端に固定される。統合された駆動装置IC204は、フルブリッジ駆動回路120などのフルブリッジスイッチング回路の少なくとも1つを含むドライブエレクトロニクスおよび論理回路、並びに図3および図9に示す例示の駆動波形を生じるのに必要なデジタル制御および周波数生成回路を含む。統合された駆動装置IC204の例は、米国ニューヨーク州ビクターのNewScaleTechnologies,Incが製造するNSD-2101である。NSD-2101の例では統合された駆動装置IC204は、これはDC電源206およびI2Cシリアル制御インターフェース208に接続されている。ただし、本開示を読解した当業者が意図する場合がある他の駆動ICおよび他の接続技術を用いてもよい。図12を参照すると、触覚アクチュエータ200における振動モータ本体100または180両方について、円筒状接触面214に作用する例示の反動力の数値が求められる。この例では、力Fcはアンバランスマス202が生成する求心力である。力F1は中心接点214aにおける反動力であり、力F2は端接点214bにおける反動力である。L1は、F1とF2との間の軸方向距離であり、L2は、F2とFcとの間の軸方向距離である。反動力F1およびF2はFcの関数であり、L1およびL2は、この例では、以下の方程式により規定される。F1=1L2/L1FcF2=L2/L1FcF1F2=12L2/L1Fc摩擦力=12L2/L1Fcμここで、μは摩擦係数である。この例では、F1とF2との和は、接点214aおよび214bにおいて生じる全摩擦力に比例する。この設計の例示的な利点は、求心力Fcにより生じる円筒状接点214aおよび214bにおける反動力F1,F2が、有益な摩擦を生成することである。この構造では、Fcは前述のような増幅定数12L2/L1と乗算されてF1F2を増大する。振動モータ本体100/180が振動すると、接点214aおよび214bにおいてシャフトにトルクが生じ、触覚アクチュエータ200へのより小さい入力電圧による、より高速回転に対応するようにモータ効率全体が増大する。図12において、力の配置は、その求心力が、シャフトブッシングに直接的な効率損失となる摩擦、それに応じた速度損失、および入力電力の増大を招く従来の電磁モータと対照的である。一例では、接点214aは、円筒状ブッシング106bの底部における振動モータ本体100または、振動モータ本体180でもよいの中心に位置し、接点214bは、円筒状ブッシング106aの頂部における振動モータ本体100または、振動モータ本体180でもよいの端部に位置する。これらの例示の接点214a,214bの位置は、反動力F1およびF2、並びに図4A/図4B、および図10A/図10Bそれぞれに示す曲げモード130/135、または192/194を最適な使用のために選択される。ただし、本開示を読解した当業者が意図する場合がある他の位置を使用してもよい。振動モータ本体100または、振動モータ本体180でもよいが振動すると、点214aおよび214bにおいて生じたトルクは、最小限の滑りを加えて、モータ速度および効率を向上する。図13A~図14を参照すると、触覚アクチュエータ200aは、図14に示す半径方向力Fpを生じるようにバネ接点218を追加している点を除いて触覚アクチュエータ200と同一である。半径方向力Fpを加えることにより、回転シャフト219が、高始動トルクをもたらすように回転運動をまさに開始する際に、その点における求心力Fcが始動トルクと比較して実質的にゼロか、ごくわずかである場合に、ゼロ速度において一定しかつより高い摩擦力が生じる。この例では、バネ218は低摩擦被覆をともなうワイヤから形成されている。ただし、バネ218の他の構造が用いてもよい。図13Bに示すように、バネ218の一端はハウジング212aに固定され、回転シャフト219に接触するように接点220において屈曲する。接点220における半径方向力はFpである。図14を参照すると、この例では、反動力F1pおよびF2pはFp、L3、およびL1の関数であり、これらは以下の方程式により規定される。F1p=1L3/LlFpF2p=L3/LlFpF1pF2p=12L3/LlFp始動摩擦力=12L3/LlFpμここで、μは例示の摩擦係数である。直ぐ上の方程式に示すように、予負荷力Fpは、点214aおよび214bにおいて12L3/L1だけ増幅される。これにより、点220において生じる摩擦力は、上記の方程式により計算された始動摩擦力よりも確実に著しく小さくなる。この結果、回転シャフト219がまさに移動し始めた時のゼロ回転速度において、より高い摩擦始動トルクがもたらされ、より高い加速度、および回転シャフト219が最大速度に達するのに必要な時間の最小化がもたらされる。本開示における情報に基づいて、バネ200を触覚アクチュエータ200aの配置において上方に示したが、当業者はバネ218を、前述の触覚アクチュエータ200または後述の触覚アクチュエータ300などの本明細書に開示する他の触覚アクチュエータに組み込むことができることに留意されたい。図15A~図15Cを参照すると、触覚アクチュエータ300は、単一アンバランスマス202の代わりに、回転シャフト310の両端、または対向する両端に接続されている2つの略同一のアンバランスマス302aおよび302bが配置されている点を除けば、触覚アクチュエータ200と同一である、代替的な実施形態である。ただし、代替的な実施形態では、アンバランスマス302aおよび302bは、略同一または等しくなくてもよい。触覚アクチュエータ300は、統合された振動モータ本体100a/180aおよび統合された駆動装置IC204をともなうハウジング312を備える。振動モータ本体100a/180a内部に回転シャフト310が組み立てられ、回転シャフト310の各端部または、回転シャフト310の対向する両端に回転アンバランスマス302aおよび302bが組み立てられる。振動モータ本体100a/180aは、例えば、図11Aに示す触覚アクチュエータ200に関して記述したように、半剛性エラストマを用いて、その振動節点においてハウジング312に固定される。回転シャフト310は、図15Cに示す円筒状摩擦面314において振動モータ本体100aまたは180aに接触する。アンバランスマス302aおよび302bは、圧入、接着剤、または当業者に公知の他の手段により、回転シャフト310の各端部に固定される。この例では、統合された駆動装置IC204は、図11Aに示す前述の触覚アクチュエータ200と同様に、DC電圧源206およびI2Cシリアル制御インターフェース208に接続されている。図15Cに示す点314に作用する反動力Fr320が、振動モータ本体100aまたは180aの各端部において、ならびに回転シャフト310の同一側および略同一方向に少なくとも作用するため、触覚アクチュエータ300に振動モータ本体100aまたは180aが用いられる。この例では、触覚アクチュエータ300の対称構造により、アンバランスマス302aおよび302bにより生じる各求心力Fc318が、反動力320と反対方向に等しい大きさとなるように、アンバランスマス302aおよび302bは互いに等しい大きさに整列して生成される。図11Aに示す触覚アクチュエータ200とは異なり、図15A~図15Cに示す例示的な実施形態では、求心力318Fcは全く倍増または増幅されない。触覚アクチュエータ300は、触覚アクチュエータ200とほぼ同じ利点を有する。すなわち、反動力320により生じる全ての摩擦を振動モータ本体100a/180aが有益に利用して、両接点314にトルクを生成する。触覚アクチュエータ300のさらなる例示的な利点は、アンバランスマス302aおよび302bが、回転シャフト310に作用する曲げ応力をより均等に分け与えるため、触覚アクチュエータ300が少なくとも一部に外的ショックを受けた際の強度が大きくなることである。図16A~図16Dを参照すると、触覚アクチュエータ400は、単一アンバランスマス402が、振動モータ本体100a/180a内部において回転シャフト410に固定されている点を除けば触覚アクチュエータ200と同一であり、代替的な実施形態である。触覚アクチュエータ400は、統合された振動モータ本体100a/180a例えば、超音波モータまたは超音波回転モータおよび統合された駆動装置IC204を備えたハウジング412を有する。振動モータ本体100a/180aは、触覚アクチュエータ200に関して記述したように、半剛性エラストマを用いて、その振動節点においてハウジング412に固定される。ただし、他の固定技術を用いてもよい。回転シャフト410は、各円筒状ブッシング106aおよび106bにより形成された円筒状の摩擦面の接点414において振動モータ本体100aまたは180aに接触する。アンバランスマス402は、圧入、接着剤、または当業者に公知の他の固定手段を利用して、シャフト410の中心に固定される。この例では、統合された駆動装置IC204は、例えば、図11Aに触覚アクチュエータ200について示すように、DC電源206およびI2Cシリアル制御インターフェース208に接続されている。接点414において作用する反動力420が、振動モータ本体100a/180aの各端部において、および回転シャフト410の実質的に同一側上に、実質的に同一方向で作用するため、触覚アクチュエータ400に振動モータ本体100aまたは180aが用いられる。この例では、触覚アクチュエータ400の対称構造により、アンバランスマス402により生じる各求心力418は、反動力420の合計と等しい大きさとなるが、求心力318および/または反動力420とは反対方向に働く。触覚アクチュエータ200とは異なり、求心力418Fcは全く倍増または増幅されない。触覚アクチュエータ400は、触覚アクチュエータ200と実質的に同じ例示的な利点を有する。すなわち、反動力Fr要素420により生じる全ての摩擦は有用であり、振動モータ本体100a/180aによって使用され、両接点414にトルクを生成する。触覚アクチュエータ200および300と比較した場合の、触覚アクチュエータ400のさらなる例示的な利点は、アンバランスマス402が接点414間に均等に力を加えることにより、シャフト410に作用する曲げ応力がさらに小さくなるため、触覚アクチュエータ400が外的ショックを受けた際の強度がさらに大きくなることである。触覚アクチュエータ400には1つのみのアンバランスマス302を示したが、回転シャフト410に沿って分布される複数のアンバランスマスを用いてもよいことに留意されたい。さらに、図16A~図16Dには振動モータ本体100a/180aを示したが、当業者は、振動モータ本体100などの他の振動モータ本体と共に用いるように触覚アクチュエータ400を改良することができる。図17を参照すると、触覚アクチュエータ200,200a,300を作製する方法に関する触覚アクチュエータの動作が、前述の図1A~図16Dを参照してフローチャート1700を利用して記述される。ステップ1702において、振動モータ本体100などの超音波振動モータ本体が提供される。一例では、ステップ1702において、超音波振動モータ本体を提供することは、超音波振動モータ本体の軸と平行な直交する2つの面各々に、第一曲げモード例えば、曲げモード130において超音波によって振動するように構成された例えば、管104の管状本体を提供することをさらに含む。そして、回転シャフト210は、さらにアンバランスマスを回転させて、人が感知可能な振動を生じる求心力Fcを生成させる。別の例では、ステップ1702において、管状本体を、管状本体の外面において少なくとも1つの圧電板例えば、圧電セラミック板110に連結する。ここでは、この圧電板の平面を、管状本体の軸105と平行に配置する。この圧電板は、電気的にエネルギーが加えられると、管104の管状本体の軸105と平行の面に直交する2つの面において、共振曲げモード例えば、曲げモード130および135において、シャフト210を少なくとも一方向に回転させる超音波振動を生成することにより、管状本体を屈曲するように構成されている。一例では、前述のように、超音波振動は、例えば、実質的に90度の位相シフトを有し、例えば図1Cに示す管状本体の断面形状に応じて決まるのと実質的に同一の振幅を有する、共振曲げモード130および135各々の平均振動数において生じる。一例では、この方法は、ステップ1702において、その外面と少なくとも2つの圧電板の各面が管状本体の軸と平行になるようにそれに連結された管状本体を提供することを含む。少なくとも2つの圧電板110aおよび110bは、2つの各駆動波形例えば、図9に示す波形によって電気的にエネルギーが加えられ、2つの各直交面に、第1および第2の直交曲げモード192および194の平均振動数において管状本体に振動を誘導する。そしてこれらは、管状本体の断面形状例えば、図8Cに示す断面形状に応じて実質的に同一の振幅および90度の位相シフトを有する。ステップ1704において、振動モータ本体に反応して少なくとも一方向例えば、時計方向または反時計方向に回転するように配置されたシャフト例えば、回転シャフト310を、振動モータ本体100に連結する。一例では、ステップ1704において、フローチャート1700に記載するこの方法は、管状本体を、超音波振動モータ本体180aの内面の内径における2つの円筒状ブッシング例えば、円筒状ブッシング106aおよび106bにおいてシャフトに摩擦で接続することを含む。例えば、図8Bに示すように、2つの円筒状ブッシングの第1の1つを管状本体の実質的に一端に配置し、第2の1つを管状本体の実質的に中央部に配置する。代替的に、図8Eに示すように、この方法は、管状本体の各対応する端部に配置された2つの円筒状ブッシング106aおよび106bを、連結することを含む。ステップ1706において、少なくとも1つのアンバランスマス例えば、アンバランスマス202を、回転シャフトに連結する。ステップ1708において、シャフトを用いてアンバランスマスを移動させることにより、シャフトの動きに反応して、人が感知可能な振動を生成する。別の例では、この方法はステップ1706において、シャフト210の一端に固定された一体成形のマスとして、少なくとも1つのアンバランスマス例えば、アンバランスマス202を連結することを含む。代替的に、この方法は、シャフト310の両反対端それぞれに固定された2つのマス例えば、アンバランスマス302aおよび302bの形態の、少なくとも1つのアンバランスマスを含んでもよい。さらに、さらなる別の例示的な実施形態では、フローチャート1700によって記載されるこの方法は、管状本体の各端部に位置する2つの円筒状ブッシング間の、超音波振動モータ本体の管状本体内部のシャフト410に固定された一体成形のマスとして、少なくとも1つのアンバランスマス例えば、アンバランスマス402を連結することを含んでもよい。一例では、フローチャート1700によって記載されるこの方法は、ステップ1706において、シャフト219に連結された低摩擦接触面を有するバネ218を提供することをさらに含む。このバネ218は、シャフト219に半径方向力を加えることにより、超音波振動モータ本体200aとシャフト219との間の1つ以上の接点における摩擦力を増大し、シャフトがゼロ速度において、超音波振動モータ本体に関連するモータトルクを増大するように構成されている。ステップ1708において、回転シャフトを用いてアンバランスマス例えば、アンバランスマス402を移動させることにより、シャフトの回転に反応して、人が感知可能な振動を生成する。例示的な一実施形態では、フローチャート1700によって記載されるこの方法は、超音波振動モータ本体のハウジング412内部に統合された駆動回路204を提供することをさらに含む。これは、超音波振動モータ本体にエネルギーを加えるための1つ以上の信号を提供するように構成されている。例えば、統合された駆動回路204は、図9に示す1つ以上のフルブリッジ駆動回路120aおよび120b、並びにデジタル制御論理を備える。フローチャート1700のステップを、実質的に例示の触覚アクチュエータ200を利用して記述したが、フローチャート1700に示すステップは、触覚アクチュエータ200aもしくは300、または本明細書に開示する他の触覚アクチュエータシステムおよびモジュールにも等しく適用できる。さらに、フローチャート1700に示すステップは、示す態様を実現するのに適した任意の他の順序でも実行することができ、フローチャート1700に示すステップ順序は単なる例示であり、限定的なものではない。この技術の種々の例示的な実施形態は多くの利点をもたらす。例えば、超音波振動モータは、一方向のシャフト回転、従来のモータよりも高効率、およびより高速回転と同時に、より安価およびより簡単な製造を達成する。さらに、この超音波モータの例示的な実施形態では、アンバランスマスが生成する求心力が摩擦力を生じさせる円筒状ブッシング接触を有する定在波管構造を用いる。振動管と回転シャフトとの接触により効率を改善し、単相電子回路がシャフト回転を生じさせる定在波振動を与える。このように本発明の基本概念を記述したが、前述の詳細な開示が単なる例証として提示されることを意図し、限定を意図しないことが当業者には非常に明白である。本明細書に明確に示さなくとも、種々の修正、改良および変更が発生し、当業者に意図されるであろう。これらの修正、改良および変更は、これによって提案されることが意図され、本発明の精神および範囲内に含まれる。例えば、種々の設計および電気機械パラメータに基づいて、アンバランスマス302aおよび302b、バネ218、並びに円筒状ブッシング106aおよび106bは、前述の触覚アクチュエータの種々の実施形態において他の位置に配置されてもよい。触覚アクチュエータ200、200aおよび/または300の2つ以上の構成要素は、統合されてもよく、または集積回路チップの一部として作製されてもよい。さらに、電気的および機械的構成要素の変更は、前述の本発明の種々の例示の態様の範囲から逸脱することなく、必要に応じてかつ適切な場合に、機械的接続または構成要素のための電気的接続および構成要素、ならびに逆もまた同様の置換および/または追加により実現されてもよい。さらに、処理要素の列挙した順序もしくはシーケンス、数、文字、または他の指示の使用は、請求項に特定するかもしれない場合を除いて、特許請求された処理をいかなる順序に限定するようにも意図されない。従って、本発明は、以下の請求項およびその均等物によってのみ制限される場合がある。"