"複数の異なるエンコーダの検出器からの検出信号をデータ信号に変換し、得られた複数のデータ信号を合成して1つのデータ合成信号として送出するエンコーダの信号処理装置。前記データ信号はシリアル信号である請求項1のエンコーダの信号処理装置。前記データ合成信号は、複数のデータ信号を連続的に配列して接合している請求項1または2のエンコーダの信号処理装置。検出信号をデータ信号に変換する複数のデータ信号変換部と、データ信号変換部からのデータ信号をシリアル信号に変換する複数のシリアル信号生成部と、前記シリアル信号生成部からのデータ信号を合成する信号合成部と、前記信号合成部で合成されたシリアルデータ信号を外部装置に送出する信号送受信部とを有する請求項1~3のいずれかのエンコーダの信号処理装置。前記複数の異なるエンコーダは主計測方向の移動量を計測するメインスケールと、前記主計測方向に直行する方向の変異量を検出するサブスケールとを有する請求項1~4のいずれかのエンコーダの信号処理装置。解決しようとする問題点は、高精細、高分解能化されたエンコーダや、変則的あるいは多種類の入出力を有するシステムにも容易かつ低コストで対応できるエンコーダの信号処理装置を提供することである。また、新たに制御装置を開発する必要がなく、既存の装置に僅かな変更を加えるだけで対応可能なエンコーダの信号処理装置を提供することである。複数のエンコーダヘッド、または検出器からの検出信号を処理する際に、データ信号に変換した後は複数の信号を合成して1つの信号として送出することができれば、1つのポートで複数の系統の信号受信することができ、既存のモータコントローラをそのまま使用することができる。受信した信号の処理はモータコントローラ内のソフトウエアを変更するなど、僅かな修正を行えば容易に対応できる。すなわち、本発明は上記課題を解決するため以下の構成とした。1複数の異なるエンコーダの検出器からの検出信号をデータ信号に変換し、得られた複数のデータ信号を合成して1つのデータ合成信号として送出するエンコーダの信号処理装置。2前記データ信号はシリアル信号である上記1のエンコーダの信号処理装置。3前記データ合成信号は、複数のデータ信号を連続的に配列して接合している上記1または2のエンコーダの信号処理装置。4検出信号をデータ信号に変換する複数のデータ信号変換部と、データ信号変換部からのデータ信号をシリアル信号に変換する複数のシリアル信号生成部と、前記シリアル信号生成部からのデータ信号を合成する信号合成部と、前記信号合成部で合成されたシリアルデータ信号を外部装置に送出する信号送受信部とを有する上記1~3のいずれかのエンコーダの信号処理装置。5前記複数の異なるエンコーダは主計測方向の移動量を計測するメインスケールと、前記主計測方向に直行する方向の変異量を検出するサブスケールとを有する上記1~4のいずれかのエンコーダの信号処理装置。本発明のエンコーダの信号処理装置は、高精細、高分解能化されたエンコーダや、変則的あるいは他種類の入出力を有するシステムにも容易かつ低コストで対応できるエンコーダの信号処理装置を提供することができるという利点がある。本発明のエンコーダの信号処理回路は、複数の異なるエンコーダの検出器からの検出信号をデータ信号に変換し、得られた複数のデータ信号を合成して1つのデータ合成信号として送出するエンコーダの信号処理装置である。このように、複数のエンコーダからの検出信号を1つのデータ信号として送出することで、信号受信側の装置、例えばモータコントローラなどでは1つのポートで2つ以上の複数のエンコーダの信号を受信することが可能になり、入力ポートを増設しなくても入力できるエンコーダの数を増やすことができる。このため、既存のシステムとは異なるような変則的なエンコーダ数を用いるシステムや、高分解能、高精度化するために出力が増加したエンコーダにも既存の装置で容易に対応することができる。本発明におけるエンコーダは、被計測物の移動量、変位量を計測してコード化した信号を出力しうるものであれば特に限定されるものではなく、ロータリータイプでもリニアタイプでもよい。特にリニアエンコーダでは、上記の様に他種類の検出方向に対応する必要が生じている。また、エンコーダの検出方式や出力されるデータの態様も特に限定されるものではなく、光学式でも磁気式でも電磁誘導式でもよく、出力されるデータの態様もインクリメンタルでもアブソリュートでもよい。本発明のエンコーダは少なくとも符号信号発生用の目盛りないし刻線あるいは符号パターンが設けられた信号板と、この信号板に設けられた前記パターンを検出するための検出器を備えている。信号板は、ロータリーエンコーダであれば回転円板上に符号パターンが設けられ、リニアエンコーダであればスケール上に符号パターンないし刻線が設けられている。検出器は光学式であれば、パーターンを読み取る光を照射する光源と、光源から信号板に反射した反射光、あるいは信号板を透過した透過光を検出する光学検出素子を備えている。磁気式や誘導式でも同様に符号信号発生用の周知の信号板あるいは配線基板と素子などを備えている。本発明で好ましく用いられるリニアエンコーダの構成は一般的なリニアエンコーダに準じたものであり、なかでも光学式のエンコーダが適している。光学式エンコーダは、例えば反射性のガラススケールの一面に透光部と非透光部が所定のピッチで配列するよう格子刻線を設けたメインスケールと、センサ部の表面に設けた透明ガラスの一面に透光部と非透光部が所定のピッチで配列するよう格子刻線を設けたインデックススケールを有し、このメインスケールとインデックススケールを微小な間隔を置いて対向させるとともに、メインスケールの格子に対し微小角度傾けられるようにインデックススケールの格子を配置している。そして、格子が1ピッチ移動すると、モアレ縞は縞の間隔だけ変位することになり、間隔内のスリットの透過光や反射光の変化を読み取ることにより、1ピッチ内の移動量を精密に計測することができるようになる。検出器となるセンサユニットは、ガラススケールと対向配置され格子刻線が設けられたインデックススケールと光学センサとを有するセンサ部と、ガラススケールの振れを少なく滑走させるためのガイドローラ等を有する。なお、上記構成以外でも、メインスケールの格子をモアレ縞とすることなく読み取るようにしてもよいし、光学式として知られる公知の種々の態様を選択することができる。エンコーダヘッドは、被計測物である工作機械等の可動部に取り付けられ、センサユニットを内蔵し被計測物の変則的な動作にもある程度追従できるような自由度をもつ構造になっている。スケールは、工作機械等の固定部に取り付けられ、また対象物である工作機械の可動部にはエンコーダヘッドが取り付けられる。そして、この可動部の移動量変位がガラススケールと、このスケールに沿って移動するセンサユニットのセンサ部の相対移動量として検出される。本発明のエンコーダの検出器は、上記のように少なくとも符号板上のパターンを電気信号に変換して、アナログ信号を出力する。このアナログ信号は、前記のように検出素子で符号板のパターン変化を検出するため符号板のパターンに応じて信号レベルが変化する。通常この信号は正弦波状に変化し、種々の信号処理技術を用いることで内相信号や、矩形波状のパルス信号に変換することができる。この検出信号は位相差2信号であることが好ましく、特に90度の位相差を有する2つの信号として出力されることが好ましい。このような位相差信号を用いることで、容易に被計測物の変位または移動方向が分かる。前記信号処理の回路は、上記文献等に記載されている周知の回路に基づき構成することができる。前記検出信号から得られた検出信号は、本発明の信号処理装置に入力される。入力された検出信号は、アナログ/デジタル変換したり波形整形することで、2値化したデジタル検出信号が得られる。このデジタル検出信号は、通常必要に応じて内挿処理されて高分解化されたり、変位方向や移動方向が判別できるカウント用信号に変換されてカウンタによりカウントされる。そして、このカウンタのカウント信号が位置データ信号として出力される。本発明の装置では、複数のエンコーダから複数の検出信号が入力される。この複数のエンコーダは、相互に関連したものでも、関連しないものでもよいが、通常同じ制御系統のデータとして用いられる検出信号が入力される。同じ制御系とは、例えば通常の計測に用いられるメインスケールとこれと直行する方向の変位を計測するサブスケールとから得られるデータの組合せなどが挙げられる。複数の検出信号からそれぞれ前記のように位置データ信号が生成される。生成された位置データ信号は、信号処理装置内で合成され1つの信号に再構成される。複数のデータ信号を合成する手法としては特に限定されるものではないが、単純に2つのデータ信号を連続的に配列するようなものでもよい。このように連続的に配列することで、信号形態が単純になり、装置の構成も複雑にならずに済む。また、周知の信号合成手段を用いて合成してもよい。次に、本発明の信号処理装置のより詳細な構成について説明する。図1は本発明の信号処理装置50の構成例を示したブロック図である。図において、信号処理装置50は、第1のデータ信号入力IN1を有するA/D変換エンコード部51と、このA/D変換エンコード部51に接続されたパラレル/シリアル変換部53を有する。A/D変換エンコード部51は検出信号をデータ信号に変換するデータ信号変換部に相当し、パラレル/シリアル変換部53がデータ信号変換部からのデータ信号をシリアル信号に変換するシリアル信号生成部に相当する。そして、同様な構成要素が複数並列して存在し、n番目nは2以上の自然数の同様な構成要素として第nのデータ信号入力INnを有するA/D変換エンコード部52nと、このA/D変換エンコード部52nに接続されたパラレル/シリアル変換部54nとを有する。そして、前記パラレル/シリアル変換部53からn番目のパラレル/シリアル変換部54nまでの複数の出力信号が入力される信号合成部55を有する。さらに、この信号合成部55により合成された信号が入力されて外部装置と信号の送受信を行う信号送受信部であるデータ送受信部56を有する。これらの各構成要素について説明すると、先ず第1のデータ信号入力IN1を有するA/D変換エンコード部51から順次同様な構成がn個連続していて、n番目nは2以上の自然数になる第nのデータ信号入力INnを有するA/D変換エンコード部52nには、図1に示すようにそれぞれ異なるエンコーダの検出器からの検出信号が入力される。入力された検出信号は、本実施例ではアナログの位相差2信号であるため、A/D変換されデジタル信号に変換される。変換された位相差デジタル2信号は、上記の様に必要に応じて公知の種々な処理が行われ、位置情報あるいは変異量、移動量を表すデータ信号に変換される。なお、前記A/D変換エンコード部はエンコーダヘッドに設けてもよい。得られたn系統のデータ信号は、通常パラレル信号であるためそれぞれパラレル/シリアル変換部53ないしパラレル/シリアル変換部54nに送られ、通信に適したシリアルデータ信号に変換される。変換されたn系統のシリアルデータ信号は、信号合成部55に送られ、好ましい態様では連続的に配列されて1つの合成データ信号に合成される。なお、時分割の操作などによりA/D変換エンコード部とパラレル/シリアル変換部を共通にすることもできる。データの合成の手法は特に限定されるものではないが、例えば第1のレジスタまたはメモリ領域に第1のデータ信号を保持し、n番目の第nのレジスタまたはメモリ領域に第nのデータを保持し、これらを連続的に読み出して第n1またはそれ以上のレジスタまたはメモリ領域に保持するか、そのまま合成データとして下記の送信プロセスに導入すればよい。このようにして合成されたデータ信号の例を図2に示す。図示例の信号はデータ1、データ2からデータnまでのデータ信号が直列に配列され、1つのデータ信号として合成されている。このようにシーケンシャルに配列したシリアルデータにすることで、データの合成も容易になる。なお、データ信号の合成には上記手法に限定されることなく種々の変更が可能である。合成データ信号は、データ送受信部56に送られ、シリアル通信により図示しない外部の装置に送出される。データ送受信部56は、必要に応じて外部の装置との間で信号の送受信を行い、必要なデータやコマンドを送信したり受信したりする。このため、公知の通信装置が備えているような通信に必要な制御素子や、バッファー素子、ドライバー素子等を備えている。合成されたデータ信号は、1つのデータ信号として、従来の構成に倣って受信側の装置に送られる。このデータの送受信の際の通信形態も特に限定されるものではないが、通常この種の装置で採用されているシリアル通信手段を用いればよい。シリアル通信を用いると通信線が少なくて済み、既存の素子や回路を用いて容易に実現することができ、動作も安定で高い信頼性が得られる。なお、装置の仕様などに応じてパラレル通信や無線通信を行わせてもよい。外部装置との通信には公知の種々の態様を選択することができるが、上記の様にシリアル通信が好ましい。シリアル通信としては、例えばRS232,RS422,RS485等の通信プロトコルが代表的に挙げられ、これらの中から最適な規格の通信手段を選択して用いることができる。データ信号の受信側の装置は、使用目的、使用態様等に応じて種々の装置を構成し、あるいは選択して用いることができるが、本発明では特にモータコントローラ等のモータ制御装置が推奨される。特に既存の2入力2出力等、複数の固定入出力ポートを有するモータコントローラを用いる場合に本発明装置のメリットを十分に活用することができる。次に、本発明の装置のより具体的な構成について図を参照しつつ説明する。図3は本発明の信号処理装置を用いたシステムの1構成例を示したブロック図である。この例では、装置のX方向の移動量を計測するメインスケール10の他に、前記X方向と直行する方向であるY方向の移動量を計測するサブスケールをX-Yテーブルの1軸制御に用いた例を示している。図において、X-Yテーブル制御システムは、X方向制御用の所定ピッチでパターン11が刻印されたスケール10と、このスケール10上を移動して前記パターン11を読み取るエンコーダヘッド12とを有する。このエンコーダヘッドから読み取られたパターン検出信号は、上述したように位相差を有する2つの正弦波信号として、信号処理装置50に送られる。さらに、図示例のシステムはX方向の移動量を計測するメインスケール10に加え、このX方向に直行するY方向の微少変位を計測するサブスケール20を設けている。このサブスケール20には、メインスケール10に刻印されている格子刻線と直行する方向であるスケール長手方向に平行な格子刻線21が刻印されている。そして、メインスケール10同様なエンコーダヘッド22を備え、検出された信号はメインスケール同様に信号処理装置50に送られる。信号処理装置50に入力された上記2系統の検出信号は、それぞれA/D変換や、波形整形などの処理が行われ、デジタル化された信号に変換される。そして、必要に応じて高分解化のための内挿処理や、回転方向、変位方向、移動方向が判別できるカウント信号に変換され、所定のカウント処理が行われて位置データ信号が生成される。通常、得られた位置データ信号は8ビット等のパラレルデータ信号であるため、通信に適したシリアルデータ信号に変換される。そして、2系統のシリアルデータ信号は、1つの信号に合成される。合成の態様は前述のように種々の態様を用いることができるが、本実施例では好ましい態様としてシリアルデータを連続的に配列して1つのデータ信号と見なしている。合成されたデータ信号は、既存のシステムと同様な構成でモータコントローラ80の入力ポート81に送られる。モータコントローラ80は、受信した信号のうち、データ信号から例えば所定ビット長毎に分割するなどして、元のデータ信号を抽出し、それぞれの制御系統に用いる。本実施例では、メインスケールから得られたX方向の位置データと移動すべき位置との差分だけX軸駆動用のモータM1を出力ポート82を介して動作させて所定の位置にX軸を移動させる。その際サブスケールから得られたY方向の変位データによりY方向のデータを補正する。つまり、X軸制御用のスケールに併設されたサブスケールでY方向の微少変位を検出し、これによりY軸計測値のデータに補正をかけることができる。これにより、より高精度な位置データを用いた制御を行うことができる。また、Y方向の制御においても上記と同様であり、Y軸制御用のパターン31が刻印されたスケール30と、エンコーダヘッド32と、エンコード信号処理装置70を有し、このエンコード信号処理装置70がモータコントローラ80の入力ポート83に送られ、同様にして出力ポート84を介してモータM2が制御される。このY軸においても上記同様にサブスケールを設けてX方向の微少変位を検出し、X軸のデータを補正することもできる。このように、通常のモータコントローラ80は、一対の入力ポート81と出力ポート82と、他の一対の入力ポート83と出力ポート84が備えられ、計4つの入出力ポート装備されているが、上記のような3つのエンコーダを有する構成でも、前記モータコントローラ1つで対応することができる。次に、信号処理装置のより詳細な構成について説明する。図4は本発明の信号処理装置50の構成例を示したブロック図である。図において、信号処理装置50は、第1のデータ信号入力IN1を有するA/D変換エンコード部51と、このA/D変換エンコード部51に接続されたパラレル/シリアル変換部53と、第2のデータ信号入力IN2を有するA/D変換エンコード部52と、このA/D変換エンコード部52に接続されたパラレル/シリアル変換部54とを有する。そして、前記パラレル/シリアル変換部53とパラレル/シリアル変換部54の2つの出力信号が入力される信号合成部55を有し、この信号合成部55により合成された信号が入力され、外部装置と信号の送受信を行うデータ送受信部56を有する。これらの各構成について説明すると、先ず第1のデータ信号入力IN1を有するA/D変換エンコード部51と、第2のデータ信号入力IN2を有するA/D変換エンコード部52は、図4に示すようにそれぞれ異なるエンコーダの検出器からの検出信号を入力する。入力された検出信号は、本実施例ではアナログの位相差2信号であるため、A/D変換されデジタル信号に変換される。変換された位相差デジタル2信号は、上記の様に必要に応じて公知の種々な処理が行われ、位置情報あるいは変異量、移動量を表すデータ信号に変換される。得られた2系統のデータ信号は、パラレル信号であるためそれぞれパラレル/シリアル変換部53とパラレル/シリアル変換部54とに送られ、通信に適したシリアルデータ信号に変換される。変換された2系統のシリアルデータ信号は、信号合成部55に送られ連続的に配列されて1つの合成データ信号に合成される。合成データ信号は、データ送受信部56に送られ、シリアル通信により通信ケーブルを介して図示しない外部の装置に送出される。図5に、本発明の装置で送受信される代表的なシリアル信号を例示する。図において、aはクロック、bは信号データ、cはデータ内容を示している。この例では、位置データを1パケットとして送信している。例えば、外部装置からデータの要求があると、クロックエッジの立ち下がりで処理が開始される。先ず、位置データを読み込んで保存し、必要により位置を計算する。その後、2クロックパルス待機してモードコマンドを送信し、さらに所定のクロック間隔を置いて、スタートビットS,エラービット1F1,エラービット2F2を送信した後、第1の位置データ1を最下位ビットのLSBLから最上位ビットのMSBMまで順次送信し、次いで第2の位置データ2を最下位ビットのLSBLから最上位ビットのMSBMまで送信する。最後にサイクル助長チェックCRCを送信して1パケットの通信が終了する。ここで、モードコマンドとは送信するデータの内容を規定するもので、エンコーダの位置データの種類を規定したり、エンコーダやシステムの制御に必要な制御コマンド、データを規定したり、前記CRCの有無を規定する。また、エラービット1,2は、種々の監視機能でのエラーの監視を行うために付加されるが、必要に応じて何れか一方を省略してもよい。CRCは所謂冗長ビットであり、データの信頼性を向上させるために付加され、場合によっては省略できる。位置データの送信に必要なビット数やクロック数は装置の仕様等により任意に決められる。また、必要により上記以外に付加情報などを上記CRCの後に続けて送信することも可能であり、その場合付加情報にもCRCが付与される。受信側の装置では、位置データのデータ長ビット長が分かっているので、所定ビットで位置データを分離分割すれば、位置データ1と位置データ2が容易に得られる。なお、位置データ1と位置データ2に上記の何れのデータを割り当てるかは任意である。このように比較的簡単な構成で2つのエンコーダ検出器の位置データを1つのデータに纏めることができるので、既存のシステムに大きな変更を加えることなく、エンコーダの数を増やすことができ、僅かな変更で高性能、高分解能、高機能のシステムを得ることができる。次に、本発明の第2の実施例について説明する。図6は本発明の信号処理装置を用いたシステムの第2の構成例を示したブロック図である。この例では、装置のX方向の移動量を計測するメインスケール10と、前記X方向と直行する方向であるY方向の移動量を計測するサブスケール20に加え、さらにX,Y方向と直行するZ方向検出用のサブスケール40を備えている。サブスケール40もメインスケール10同様なエンコーダヘッド42を備え、検出された信号はメインスケール同様に信号処理装置50に送られる。従って、信号処理装置50には、メインスケール10、サブスケール20およびサブスケール40からの3系統の検出信号が入力される。これら3系統の検出器である各エンコーダヘッド12,22,42からのデータ信号は信号処理装置50内で合成され、図7に示すような1つの合成データ信号として実施例1と同様にシリアル信号に変換される。なお、合成されるデータ信号の順序は任意に決められる。その他の構成は実施例1と同様であり同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。このように、X軸の制御で検出するデータが3系統に増加しても容易に対応することができる。なお、上記各実施例では、X-Yテーブルの制御を例示して説明したが、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、単一方向の制御や種々の変更、応用が可能である。また、メインスケールに対するサブスケールも、Y方向Z方向だけではなく、進行方向前後の揺動等他の方向成分の検出を加えた多系統にしてもよい。多くの方向成分の変位を検出することで更に高精度な計測が可能になる。"