"被搬送物を搬送する搬送面を有して振動が付与される搬送部を備え、略直方体形状のワークにダミーボールが混在してなる前記被搬送物を、前記ワークと前記ダミーボールに選別する振動フィーダであって、前記搬送面の少なくとも一部に形成され搬送方向に対して側方に傾斜した傾斜面を備えた傾斜部と、前記傾斜面上に設けられ搬送幅を下流側ほど且つ低い側ほど狭めてワークの通路を形成する邪魔壁部と、を備えていることを特徴とする振動フィーダ。前記傾斜面における搬送幅の中心よりも高さが高い側に被搬送物を送り出す送出部が、前記搬送部の最も上流に配置されていることを特徴とする請求項1記載の振動フィーダ。前記傾斜部が搬送方向に複数並べて設けられ、上流側の傾斜部の傾斜面と該上流側の傾斜部に並べられた下流側の傾斜部の傾斜面とは互いに反対方向に傾斜し、前記上流側の傾斜部と該上流側の傾斜部の下流側にある傾斜部とが通路を介して連続されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の振動フィーダ。前記下流側の傾斜部における、前記上流側の傾斜部の通路に連続する連続部分の高さが、該上流側の傾斜部の通路の高さに略一致していることを特徴とする請求項3記載の振動フィーダ。ところで、この種のワークには、単体の球体からなるダミーボール以下単体ダミーボールと称すだけではなく、複数、例えば二個の球体同士が直線状に並んで結合してなるダミーボール以下結合ダミーボールと称すが混在している場合がある。この結合ダミーボールは、複数箇所で搬送面に点接触する。そして、単体ダミーボールですら場合によっては分離ワイヤに至るのであるから、複数箇所において搬送面に接触する結合ダミーボールは、単体ダミーボールに比べていっそう搬送され易い。特に、球体の中心を通る線並ぶ方向が傾斜方向に沿う姿勢になると搬送面を転がらず、容易に搬送されて、分離ワイヤに至る。結合ダミーボールが分離ワイヤまで搬送されると、分離ワイヤで一旦堰き止められる。そして、堰き止められた結合ダミーボールの上流側からはワークが順次搬送されてくる。そうなると、ワークが分離ワイヤを乗り越える際に連れ込まれるようにして、結合ダミーボールが分離ワイヤを乗り越え、下流側に搬送されてしまうことがある。その結果、ワークを次工程に供給する際に、結合ダミーボールが混入しているという不都合が生じる。そこで本発明は、ワークに混在しているダミーボールが、球体同士が並んで結合されてなる結合ダミーボールであっても、確実に排除できる振動フィーダの提供を目的とする。本発明は、被搬送物を搬送する搬送面を有して振動が付与される搬送部を備え、略直方体形状のワークにダミーボールが混在してなる前記被搬送物を、前記ワークと前記ダミーボールに選別する振動フィーダであって、前記搬送面の少なくとも一部に形成され搬送方向に対して側方に傾斜した傾斜面を備えた傾斜部と、前記傾斜面上に設けられ搬送幅を下流側ほど且つ低い側ほど狭めてワークの通路を形成する邪魔壁部とを備えていることを特徴としている。上記構成において、傾斜面は搬送方向に対して側方に傾斜しているが、被搬送物のうち、略直方体形状のワークは傾斜面に面接触しているから傾斜面から排除されることなく搬送面の振動により邪魔壁部まで搬送され、邪魔壁部に沿うように下流側に移動し、通路からさらに下流側へ移動する。また、被搬送物のうち、傾斜面に点接触している単体の球体からなる単体ダミーボールは、自重により傾斜面の下傾斜方向に転がり、搬送面から排除される。そして、被搬送物のうち、複数箇所において傾斜面と点接触する、複数個の球体同士が並んで結合した結合ダミーボールは、その球体の軸線同士を結ぶ線が傾斜面の傾斜方向に沿う姿勢であると傾斜面を転がらずに下流側へ搬送されるが、邪魔壁部まで搬送されて邪魔壁部に当ると、搬送面の振動により邪魔壁部の方向に沿うように姿勢が変更され、邪魔壁部は、搬送幅を下流側ほど且つ低い側ほど狭める方向に配置されているから、姿勢が変更された結合ダミーボールは、その自重によって傾斜面を下傾斜方向に転がり、傾斜面から排除される。本発明の振動フィーダでは、前記傾斜面における搬送幅の中心よりも高さが高い側に被搬送物を送り出す送出部が、前記搬送部の最も上流に配置されている構成を採用することができる。この構成によれば、被搬送物が送り出し部から、搬送面における搬送幅の中心よりも高さが高い側に送り出されると、その分だけ、被搬送物が送り出された位置から通路に至るまでの距離が、搬送方向に沿う距離に対して長くなるから、ダミーボール単体ダミーボール及び結合ダミーボールが転がって排除される距離が長くなる。本発明の振動フィーダでは、前記傾斜部が搬送方向に複数並べて設けられ、上流側の傾斜部の傾斜面と該上流側の傾斜部に並べられた下流側の傾斜部の傾斜面とは互いに反対方向に傾斜し、前記上流側の傾斜部と該上流側の傾斜部の下流側にある傾斜部とが通路を介して連続されている構成を採用することができる。上記構成において、上流側の傾斜部で搬送面から排除しきれなかったダミーボール主として結合ダミーボールは、通路を通って下流側に至るが、下流側の傾斜部においてその傾斜面の下傾斜方向に転がり、搬送面から排除される。本発明の振動フィーダでは、前記下流側の傾斜部における、前記上流側の傾斜部の通路に連続する連続部分の高さが、該上流側の傾斜部の通路の高さに略一致している構成を採用することができる。この構成によれば、下流側の傾斜部毎に徐々に傾斜部の高さが低くなるから、被搬送物が上流側から下流側に円滑に搬送され易くなる。本発明の振動フィーダでは、被搬送物の搬送方向に対して側方に傾斜した傾斜面を有し、搬送幅を下流側ほど且つ低い側ほど狭める邪魔壁部を備えているから、被搬送物のうち複数個の球体同士が並んで結合した結合ダミーボールが下流側へ搬送されて邪魔壁部に至れば、結合ダミーボールは邪魔壁部の方向に沿うように姿勢が変更され、このような方向に姿勢が変更された結合ダミーボールは、その自重によって下傾斜方向に転がるから、搬送面から確実に排除することができる。以下本発明の一実施形態に係る振動フィーダを、図面に基づいて説明する。図1ないし図4に示すように、実施形態に係る振動フィーダ1は、ボウルフィーダ2とリニアフィーダ3とを備える。ボウルフィーダ2は一般的に用いられるものであるから、概略のみを説明する。ボウルフィーダ2は、一般的な構成であり、ボウル部4と、振動装置5とを有する。ボウル部4は、その内周壁に螺旋状の第一搬送路40が形成されている。第一搬送路40は、螺旋に従って下流側に向けて上傾斜した傾斜路である。ボウル部4の上方には、被搬送物をボウル部4に落下させるホッパ6が配置されている。本実施形態では、被搬送物は、電子部品例えば略直方体形状をしたICチップであり、以下ワークWと称する。リニアフィーダ3は、トラフ7と、トラフ7を水平振動させる駆動部8とを備えている。トラフ7は、ワークWをボウルフィーダ2の第一搬送路40から受けて下流側へ搬送するためのものである。駆動部8は一般的な構成を有しているものであり、防振バネ機構80を介して固定部ベース部81と、可動部82とが連結されている。トラフ7は可動部82の上端に、略水平に連結されている。そして、防振バネ機構80の共振によりトラフ7が水平振動することで、ワークWが順次下流側へ搬送される。図2、図5ないし図7に示すように、トラフ7は上面に搬送面後述する第一ないし第四搬送面を備え、上流側に配置された供給部9と、供給部9に対して下流側に配置された搬送部10とを備える。供給部9はその上面に供給路90を備えている。供給部9は、その供給路90を、ボウル部4の第一搬送路40の最下流端と同一高さとするようボウル部4に一体的に接続される。図7aに示すように、供給路90は断面V字形に形成されている。搬送部10の上面全体が搬送面である。搬送部10は、供給部9の下流側に送出部11を介して配置されている。送出部11はその上面に、供給路90と略同一高さに設定された送出面11aを備える。送出面11aの幅方向両側には、送出面11aからワークWが外れない排除されないようにする縦壁110が立設されている例えば図1,2,5参照。図2、図5ないし図7に戻って、搬送部10は、搬送方向に沿う方向を長手方向として、複数の搬送領域部から一体的に形成されている。この場合、搬送領域部は、上流側送出部11側から下流側へ、第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、第三搬送領域部103、第四搬送領域部104が順に配置されており、第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、第三搬送領域部103、第四搬送領域部104は別体構造である。そして、上流側および下流側に隣り合う搬送領域部は、止ネジS1等の手段により互いに一体的に構成されている。なお、図7においてX-X位置は供給部9の断面であり、Y-Y,Z-Zはともに第一搬送領域部101の途中断面を表し、このうちZ-Zは後述する排出部の開始基端部位置を表す。AA-AAは第二搬送領域部102の途中断面を表し、AB-AB,AC-ACはそれぞれ第三搬送領域部103の途中断面を表す。第一搬送領域部101は、その上面を第一搬送面1011としている。第二搬送領域部102は、その上面を第二搬送面1021としている。第三搬送領域部103は、その上面を第三搬送面1031としている。第四搬送領域部104は、その上面を第四搬送面1041としている。すなわち、搬送面は、第一搬送面1011、第二搬送面1021、第三搬送面1031および第四搬送面1041から構成される。第一搬送面1011、第二搬送面1021、および第三搬送面1031は、それぞれ長手方向に略等しい長さに設定されている。送出面11aは、第一搬送面1011、第二搬送面1021、および第三搬送面1031に比べて長手方向に短い長さに設定されている。また、送出面11a、第一搬送面1011、第二搬送面1021、第三搬送面1031、および第四搬送面1041は、幅方向中心を一致させて、且つそれぞれ等しい幅に設定されている。第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、および第三搬送領域部103はそれぞれ傾斜部に相当し、第一搬送面1011、第二搬送面1021、および第三搬送面1031は、それぞれ搬送方向に対して側方に傾斜した傾斜面である。具体的に、第二搬送面1021は、下流側に向けて矢視した場合、幅方向の一方側である右側に傾斜する傾斜面である。第一搬送面1011および第三搬送面1031は、下流側に向けて矢視した場合、幅方向の他方側である左側に傾斜する傾斜面である。要するに、第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、および第三搬送領域部103の各傾斜面は、下流側に交互に反対側に傾斜するよう設定されている。なお、送出面11aも搬送方向に対して側方に傾斜した傾斜面である。具体的には、送出面11aは、下流側に向けて矢視した場合、幅方向の一方側である右側に傾斜する傾斜面である。要するに送出面11aは第一搬送面1011と反対側に傾斜している。なお、第一搬送面1011、第二搬送面1021、第三搬送面1031、および送出面11aの傾斜方向は、それぞれ矢線10aで示している。図1、図2、図5に示すように、送出面11a、第一搬送面1011、第二搬送面1021、および第三搬送面1031には、それぞれ送出邪魔壁部12、第一邪魔壁部13、第二邪魔壁部14、第三邪魔壁部15が設けられている。各邪魔壁部は、平面視して略三角形状直角三角形に形成され、上流側から搬送されてきたワークWが乗り越えられない高さ厚みを備えている。これら前記各邪魔壁部12,13,14,15は一定の高さを備え、邪魔壁部12,13,14,15ごとの高さは同一に設定されている。また、送出邪魔壁部12は送出面11aに、第一邪魔壁部13は第一搬送面1011に、第二邪魔壁部14は第二搬送面1021に、第三邪魔壁部15は第三搬送面1031にそれぞれ固定されている。邪魔壁部12,13,14,15どうしは、搬送方向に離間して配置されている。図8aは、第一邪魔壁部13の形状を表しているが、他の邪魔壁部12,14,15の形状の説明を兼用する図として用いる。同図に示すように、各邪魔壁部12,13,14,15は、送出面11aおよび各搬送面1011,1021,1031,1041に載置される底面符号省略と、該底面にその上側で対向する上面12a,13a,14a,15aと、邪魔壁面12b,13b,14b,15bと、長手方向壁面12c,13c,14c,15cと、幅方向壁面12d,13d,14d,15dと備えている。各邪魔壁面12b,13b,14b,15bは、上流側から搬送されたワークWおよび後述するハンダボールが当接接触可能で、各搬送面から立ち上がる壁面である。長手方向壁面12c,13c,14c,15cおよび幅方向壁面12d,13d,14d,15dは、邪魔壁面12b,13b,14b,15bに連続する面である。各邪魔壁面12b,13b,14b,15bは、各邪魔壁部12,13,14,15を平面視に投影すれば、直角三角形状における斜辺に相当する位置にある壁面である。各邪魔壁部12,13,14,15において、長手方向壁面12c,13c,14c,15cを送出面11aあるいは各搬送面101110211031の端辺に一致させて沿わせている。しかも、各邪魔壁部12,13,14,15における幅方向壁面12d,13d,14d,15dは、送出面11aあるいは各搬送面101110211031の幅である搬送幅よりも小さく設定されている。図5に示すように、具体的には、送出邪魔壁部12の長手方向壁面12cは送出面11aの他方側端辺に略一致する位置で他方側端辺に沿い、幅方向壁面12dは送出面11aの幅方向に沿って配置されている。第一邪魔壁部13の長手方向壁面13cは第一搬送面1011の一方側端辺に略一致する位置で該一方側端辺に沿い、幅方向壁面13dは第一搬送面1011の幅方向に沿って配置されている。第二邪魔壁部14の長手方向壁面14cは第二搬送面1021の他方側端辺に略一致する位置で他方側端辺に沿い、幅方向壁面14dは第二搬送面1021の幅方向に沿って配置されている。第三邪魔壁部15の長手方向壁面15cは第三搬送面1031の一方側端辺に略一致する位置で一方側端辺に沿い、幅方向壁面15dは第三搬送面1031の幅方向に沿って配置されている。このように各邪魔壁部12,13,14,15を配置することで、各邪魔壁面12b,13b,14b,15bは、トラフ7を平面視した場合、搬送方向に対して、直線状に傾斜するよう配置されている。そして、間隔を置いて搬送方向に隣りどうしに配置される各邪魔壁部12,13,14,15の各邪魔壁面12b,13b,14b,15bは、搬送方向に対して、互いに逆方向に傾斜するよう配置されている。具体的には、送出邪魔壁部12の邪魔壁面12bは、その下流側ほど幅方向一方側に近付き、第一邪魔壁部13の邪魔壁面13bは、その下流側ほど幅方向他方側に近付き、第二邪魔壁部14の邪魔壁面14bは、その下流側ほど幅方向一方側に近付き、第三邪魔壁部15の邪魔壁面15bは、その下流側ほど幅方向他方側に近付くよう傾斜している。図8bは、図5における第一邪魔壁部13を配置した部分のトラフ7を含むAD-AD断面矢視図を表しており、第一搬送領域部101の途中部分の断面である。この図に示すように、第一邪魔壁部13の邪魔壁面13bは、第一搬送面1011が傾斜していても鉛直方向に沿うよう配置されている。同様に、送出邪魔壁部12の邪魔壁面12bは送出面11a上に鉛直方向に沿うよう配置されている。また、第二邪魔壁部14の邪魔壁面14b、第三邪魔壁部15の邪魔壁面15bは、それぞれ第二搬送面1021、第三搬送面1031上に鉛直方向に沿うよう配置されている。なお、第四搬送領域部104の第四搬送面1041には、邪魔壁部は備えていない。すなわち、各邪魔壁部12,13,14,15において、各長手方向壁面12c,13c,14c,15cを、送出面11a、各搬送面101110211031の端辺に略一致させて沿わせており、各邪魔壁部12,13,14,15において、幅方向壁面12d,13d,14d,15dは、送出面11a、各搬送面101110211031の幅より小さい。この構成により、図5に示すように、送出部11と第一搬送領域部101との間は送出面11aの一部と第一搬送面1011の一部を用いて形成された第一通路連続部分16で連通される。第一搬送領域部101と第二搬送領域部102との間は第一搬送面1011と第二搬送面1021の一部を用いて形成された第二通路連続部分17で連通される。第二搬送領域部102と第三搬送領域部103との間は第二搬送面1021と第三搬送面1031の一部を用いて形成された第三通路連続部分18で連通される。第三搬送領域部103と第四搬送領域部104との間は第三搬送面1031と第四搬送面1041の一部を用いて形成された第四通路連続部分19で連通されている。本実施形態では、下流側の傾斜部における、上流側の傾斜部の通路に連続する連続部分の高さが、上流側の傾斜部の通路の高さに略一致している。具体的には、第二通路17において、第一搬送領域部101の第一搬送面1011の高さが第二搬送領域部102の第二搬送面1021の高さに略一致し、第三通路18において第二搬送領域部102の第二搬送面1021の高さが第三搬送領域部103の第三搬送面1031の高さに略一致している。なお、第一通路16において、送出部11の送出面11aの高さが、第一搬送領域部101の第一搬送面1011の高さに略一致している。すなわち、第一搬送面1011は送出面11aの幅方向への傾斜分だけ送出面11aよりも低い位置にあり、第二搬送面1021は第一搬送面1011の幅方向への傾斜分だけ第一搬送面1011よりも低い位置にあり、第三搬送面1031は第二搬送面1021の幅方向への傾斜分だけ第二搬送面1021よりも低い位置にあり、第四搬送面1041は第三搬送面1031の幅方向への傾斜分だけ第三搬送面1031よりも低い位置にある図7のd,e,f参照。上記した各邪魔壁部12,13,14,15の構成、およびそれらの送出面11a、第一搬送面1011、第二搬送面1021、第三搬送面1031への配置位置により、送出部11における送出面11a、第一搬送領域部101における第一搬送面1011、第二搬送領域部102における第二搬送面1021、および第三搬送領域部103における第三搬送面1031の搬送幅は、それぞれ下流側ほど、且つ側方に低い側ほど狭くなっており、狭くなった搬送面が、第一通路16、第二通路17、第三通路18および第四通路19として用いられる。なお、送出部11、第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、および第三搬送領域部103は、各邪魔壁部12,13,14,15の幅方向壁面12d,13d,14d,15dの位置を境界として領域分けされ、前述したように、送出部11と第一搬送領域部101、第一搬送領域部101と第二搬送領域部102、第二搬送領域部102と第三搬送領域部103、第三搬送領域部103と第四領域部とが、止ネジS2等の手段により一体的に構成されている。なお、止ネジS2は、各搬送面においてワークWの搬送に支障のない位置に配置されている。本実施形態では、送出面11a上の送出邪魔壁部12の幅方向位置、第一搬送面1011上の第一邪魔壁部13の幅方向位置、第二搬送面1021上の第二邪魔壁部14の幅方向位置、第三搬送面1031上の第三邪魔壁部15の幅方向位置を調節するための調節手段20を備えている。図5に示すように、調節手段20は、送出邪魔壁部12、第一邪魔壁部13、第二邪魔壁部14、第三邪魔壁部15のそれぞれに貫通した長孔21と、長孔21に貫通する止ネジ22とを、少なくとも備える。長孔21は各邪魔部の上面12a,13a,14a,15aに、幅方向に長く形成されている。この場合、各邪魔壁部において長孔21は幅方向で同位置に配置されている。図2、図5、図7に示すように、トラフ7は、前述の排出部をさらに備える。該排出部は一方側排出部31および他方側排出部32を備える。一方側排出部31は、第一搬送面1011、第二搬送面1021、および第三搬送面1031に沿って、搬送面の一方側に配置されている。他方側排出部32は、第一搬送面1011、第二搬送面1021、および第三搬送面1031に沿って、搬送面の他方側に配置されている。一方側排出部31および他方側排出部32は、それぞれ第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、および第三搬送領域部103の側方部に一体的に形成されている。一方側排出部31は、第一搬送面1011、第二搬送面1021、第三搬送面1031よりも下方位置にあって、一方側排出溝31aを備える。他方側排出部32は、第一搬送面1011、第二搬送面1021、第三搬送面1031よりも下方位置にあって、他方側排出溝32aを備える。一方側排出溝31aおよび他方側排出溝32aは、それぞれ第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、および第三搬送領域部103の搬送方向に沿うよう、且つ第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、および第三搬送領域部103の範囲に亘って設けられている。また、一方側排出溝31aおよび他方側排出溝32aは、下流側へ向かって下傾斜している。一方側排出部31の一方側には、一方側落下防止壁310が、一方側排出部31の長手方向に沿って配置され、他方側排出部32の他方側には、他方側落下防止壁320が、他方側排出部32の長手方向に沿って配置されている。なお、第四搬送領域部104の上面である第四搬送面1041は、下流側にのみ下傾斜し、幅方向両側に、第四搬送面1041に対して垂直に立つ案内壁1042,1043を備えている。そして、第四搬送領域部104の下流側端は、ワークWの落下部とされている。図1ないし図4において、符号B1はハンダボール用のボール受箱を表しており、このボール受箱B1は一方側排出溝31a、他方側排出溝32aの下流側端部から落下するハンダボールを収容するものである。符号B2はワークW用のワーク受箱であり、このワーク受箱B2は、第四搬送領域部104の下流側端部から落下するワークWを収容するものである。上記構成の振動フィーダ1において、ホッパ6にワークWを適量ずつ投入して、ボウルフィーダ2のボウル部4に落下させる。本実施形態の場合、ワークWは、例えばICチップであり、略直方体形状に形成されている。この場合、ワークWは、電極を形成すべくメッキを施す際に、電気的バインダーとして、単体の球体からなるダミーボールを混在させており、ダミーボールは、ワークWに電極を形成するために必要な物であるから、電極の形成が終われば不要になる。ダミーボールは単体の球体からなる単体ダミーボールだけではなく、複数、例えば二個の球体同士が直線状に並んで結合してなる結合ダミーボールが混在している。したがって、ホッパ6に投入した被搬送物ワークW、ハンダボール:単体ダミーボールW11や結合ダミーボールW12がともに、ボウルフィーダ2のボウル部4に落下する。何れにしても、ボウル部4に落下した被搬送物は、ボウルフィーダ2の振動装置5の振動により、第一搬送路40に移動して、下流側へ順次搬送され、トラフ7の供給部9に至り、供給部9の供給路90から、送出部11の送出面11aに供給される。送出面11aに供給された被搬送物は、縦壁110によって送出面11aから外れず、縦壁110によって幅方向への移動を規制される。一方、リニアフィーダ3では、駆動部8の駆動により、トラフ7が水平振動することで被搬送物は下流側へ搬送される力を受ける。しかしながら、被搬送物は縦壁110によって幅方向への移動を規制され、送出面11aは被搬送物が供給路90から供給される直後の場所にあり、しかも送出面11aには送出邪魔壁部12があって、その邪魔壁面12bは搬送方向に対して、直線状に傾斜するよう配置されていることで、送出面11aの搬送幅は下流側が狭まっている。したがって、供給路90から送出面11aに供給された被搬送物は、一時的に送出面11a上に滞留する傾向となり、送出面11aは幅方向一方側に傾斜しているから、被搬送物は一時的に送出面11a上に滞留しつつも、トラフ7は水平振動をしているから、被搬送物は幅方向一方側へ移動する力を受けるとともに、下流側へ移動する力を受ける。このため被搬送物は、搬送幅全体に比べて狭隘な第一通路16から、順次下流側へ搬送される移動する。しかも、被搬送物が一時的に送出面11a上に滞留する傾向にあっても、トラフ7は水平振動をしているから送出面11a上の被搬送物は振動により攪拌されるから、第一通路16が搬送幅全体に比べて狭隘であったとしても、第一通路16から滞りなく下流側へ搬送される。上記のように被搬送物は、第一通路16から下流側すなわち第一搬送面1011に搬送され、第一搬送面1011は幅方向他方側に傾斜している。そして第一通路16は、第一搬送面1011では、最も高い位置にある。そして第一搬送面1011は、幅方向他方側に傾斜しているから、被搬送物のうちワークWは、トラフ7の水平振動により、第一搬送面1011の下流側且つ幅方向他方側に斜め移動し滑りつつ、第二通路17へ向けて移動する。ここで、第一搬送面1011の下流側には、第一邪魔壁部13が設置されており、邪魔壁面13bが搬送方向に対して傾斜している。このため、被搬送物は、第一通路16から直接的に第二通路17へは搬送されにくく、邪魔壁面13bに接触しつつ邪魔壁面13bに案内されて、第二通路17へ至りさらに下流側へ搬送される。但し、被搬送物にはワークWの他にハンダボールが含まれている。そして、前述のように、ハンダボールには、単体ダミーボールW11や結合ダミーボールW12がある。ここで、第一通路16から第一搬送面1011へ搬送された被搬送物のうち、単体ダミーボールW11は単なる球体であるから、第一搬送面1011へ搬送されるとその傾斜により、第一搬送面1011の幅方向他方側へむけて容易に転がって、第一搬送面1011から排除され、他方側排出部32へ落下して他方側排出溝32aへ落下する。他方側排出溝32aは下流側へ下傾斜しているから、単体ダミーボールW11は、他方側排出溝32aを下流側へ移動してボール受箱B1に落下し、集められる。ところで、被搬送物に結合ダミーボールW12が混在していた場合、結合ダミーボールW12は、それを構成する球体の中心を通る線が第一搬送面1011の傾斜方向に沿う姿勢になると、第一搬送面1011を転がりにくい。しかしながら、第一搬送面1011の下流側には、第一邪魔壁部13が設置されており、邪魔壁面13bが搬送方向に対して傾斜している。すなわち、第一搬送面1011をその傾斜方向に転がらずに下流側へ搬送された結合ダミーボールW12は邪魔壁面13bに当る。そして、邪魔壁面13bは搬送方向に対して傾斜しているから、結合ダミーボールW12が邪魔壁面13bに当ると、結合ダミーボールW12を構成する球体の中心を通る線が邪魔壁面13bに沿うように、結合ダミーボールW12の姿勢が変更される図5参照。そうなると、球体の中心を通る線を第一搬送面1011の傾斜方向に沿うような姿勢となっている結合ダミーボールW12が、球体の中心を通る線を第一搬送面1011の搬送方向に沿うような姿勢に変更される。結合ダミーボールW12がこのような姿勢に変更されると、結合ダミーボールW12は単体ダミーボールW11と同様に、第一搬送面1011をその傾斜方向に転がり、第一搬送面1011から排除される。そして、他方側排出溝32aを下流側へ移動してボール受箱B1に落下し、集められる。続いて被搬送物特にワークWは、第二通路17から、第二搬送面1021の最も高い位置へ搬送される。そして、第二搬送面1021は幅方向一方側へ下傾斜しているから、被搬送物は、トラフ7の水平振動により、第二搬送面1021の下流側且つ幅方向一方側に斜め移動し滑りつつ、第三通路18へ向けて移動する。ここで、第二搬送面1021の下流側には、第二邪魔壁部14が設置されており、邪魔壁面14bが搬送方向に対して傾斜している。このため、被搬送物は、第二通路17から直接的に第三通路18へは搬送されにくく、邪魔壁面14bに接触しつつ邪魔壁面14bに案内されて、第三通路18へ至りさらに下流側へ搬送される。そして、仮に、被搬送物のなかに、第一搬送面1011から排除されなかった単体ダミーボールW11が混在していても、単体ダミーボールW11は単なる球体であるから、第二搬送面1021へ搬送されるとその傾斜により、第二搬送面1021の幅方向一方側へむけて容易に転がって、第二搬送面1021から排除される。そして、一方側排出部31へ落下して一方側排出溝31aへ落下する。一方側排出溝31aは下流側へ下傾斜しているから、単体ダミーボールW11は、一方側排出溝31aを下流側へ移動してボール受箱B1に落下し、集められる。ところで、第一搬送面1011から排除されなかった結合ダミーボールW12が第二通路17から第二搬送面1021に搬送された場合、結合ダミーボールW12は、それを構成する球体の中心を通る線が第二搬送面1021の傾斜方向に沿う姿勢になると、第二搬送面1021を転がりにくい。しかしながら、第二搬送面1021の下流側には、第二邪魔壁部14が設置されており、邪魔壁面14bが搬送方向に対して傾斜している。すなわち、第二搬送面1021をその傾斜方向に転がらずに下流側へ搬送された結合ダミーボールW12は、邪魔壁面14bに当り、邪魔壁面14bが搬送方向に対して傾斜しているから、結合ダミーボールW12を構成する球体の中心を通る線が邪魔壁面14bに沿うように、結合ダミーボールW12の姿勢が変更される。そうなると、球体の中心を通る線を第二搬送面1021の傾斜方向に沿うような姿勢となっている結合ダミーボールW12が、球体の中心を通る線を第二搬送面1021の搬送方向に沿うような姿勢に変更される。結合ダミーボールW12がこのような姿勢に変更されると、結合ダミーボールW12は単体ダミーボールW11と同様に、第二搬送面1021をその傾斜方向に転がり、第二搬送面1021から排除される。そして、一方側排出溝31aを下流側へ移動してボール受箱B1に落下し、集められる。続いて被搬送物特にワークWは、第三通路18から、第三搬送面1031の最も高い位置へ搬送される。そして、第三搬送面1031は幅方向他方側へ下傾斜しているから、被搬送物は、トラフ7の水平振動により、第三搬送面1031の下流側且つ幅方向他方側に斜め移動しつつ、第四通路19へ向けて移動する。ここで、第三搬送面1031の下流側には、第三邪魔壁部15が設置されており、邪魔壁面15bが搬送方向に対して傾斜している。このため、被搬送物は、第三通路18から直接的に第四通路19へは搬送されにくく、邪魔壁面15bに接触しつつ邪魔壁面15bに案内されて、第四通路19へ至りさらに下流側へ搬送されて、ワーク受箱B2に落下する。そして、仮に、被搬送物のなかに、第二搬送面1021から排除されなかった単体ダミーボールW11が混在していても、単体ダミーボールW11は単なる球体であるから、第三搬送面1031へ搬送されるとその傾斜により、第三搬送面1031の幅方向他方側へむけて容易に転がって、第三搬送面1031から排除される。そして、他方側排出部32へ落下して他方側排出溝32aへ落下する。他方側排出溝32aは下流側へ下傾斜しているから、単体ダミーボールW11は、他方側排出溝32aを下流側へ移動してボール受箱B1に落下し、集められる。ところで、第二搬送面1021から排除されなかった結合ダミーボールW12が第三通路18から第三搬送面1031に搬送された場合、結合ダミーボールW12は、それを構成する球体の中心を通る線が第三搬送面1031の傾斜方向に沿う姿勢になると、第三搬送面1031を転がりにくい。しかしながら、第三搬送面1031の下流側には、第三邪魔壁部15が設置されており、邪魔壁面15bが搬送方向に対して傾斜している。すなわち、第三搬送面1031をその傾斜方向に転がらずに下流側へ搬送された結合ダミーボールW12は、邪魔壁面15bに当り、邪魔壁面15bが搬送方向に対して傾斜しているから、結合ダミーボールW12を構成する球体の中心を通る線が邪魔壁面15bに沿うように、結合ダミーボールW12の姿勢が変更される。そうなると、球体の中心を通る線を第三搬送面1031の傾斜方向に沿うような姿勢となっている結合ダミーボールW12が、球体の中心を通る線を第三搬送面1031の搬送方向に沿うような姿勢に変更される。結合ダミーボールW12がこのような姿勢に変更されると、結合ダミーボールW12は単体ダミーボールW11と同様に、第三搬送面1031をその傾斜方向に転がり、第三搬送面1031から排除される。そして、他方側排出溝32aを下流側へ移動してボール受箱B1に落下し、集められる。また、第一搬送面1011は送出面11aの幅方向への傾斜分だけ送出面11aよりも低い位置にあり、第二搬送面1021は第一搬送面1011の幅方向への傾斜分だけ第一搬送面1011よりも低い位置にあり、第三搬送面1031は第二搬送面1021の幅方向への傾斜分だけ第二搬送面1021よりも低い位置にあり、第四搬送面1041は第三搬送面1031の幅方向への傾斜分だけ第三搬送面1031よりも低い位置にある。このように、下流側の搬送面ごとに上流側の搬送面より下位置になるから、ワークWは下流側へ円滑に搬送される。上記のように、本実施形態では、被搬送物の搬送途中において、被搬送物に混在する単体ダミーボールW11だけではなく、結合ダミーボールW12も搬送面から排除することができる。したがって、ワークWの次工程で行われるワークWへの加工に不要なダミーボールをなくすことができる。本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。その他、各部の具体的構成についても同様である。上記実施形態では、搬送部10は、第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、第三搬送領域部103、第四搬送領域部104から構成され、傾斜部は、第一搬送領域部101、第二搬送領域部102、および第三搬送領域部103の三つの領域部から構成されている場合を示した。しかしながら、特に傾斜部は三つの領域部から構成する必要はなく、例えば第一搬送領域部101、第二搬送領域部102から構成し、第二搬送領域部102に第四搬送領域部104を接続することも可能である。傾斜部を三つの領域部から構成したのは、要するに、ワークWとダミーボールをより確実に分離するためであるから、ワークWとダミーボールを分離選別することが確実に可能であるならば、第一搬送領域部101の下流側に、搬送面が幅方向への傾斜のない領域部第四搬送領域部104を接続することも可能である。上記実施形態では、各邪魔壁部は扁平な三角柱形状に形成して、送出面、搬送面とは別体にして一体的に取付けた。しかしながら、送出面や搬送面の搬送幅を下流側ほど狭めるようにして、しかもダミーボール結合ダミーボールW12の姿勢を、傾斜面である搬送面を転がって搬送面から排除するよう変更する邪魔壁面を設けるのであれば、各邪魔壁部は上記実施形態の形状に限定されない。例えば、送出面、搬送面に、各邪魔壁部の邪魔壁面に相当する障壁を配置するだけでもよい。また、上記実施形態では、各邪魔壁部の邪魔壁面は平面であるがこれに限定されるものではなく、例えば搬送面の傾斜方向に凸となるよう湾曲した曲面であってもよい。上記実施形態では、送出面11a、第一搬送面1011、第二搬送面1021、第三搬送面1031はそれぞれ全面が幅方向に傾斜している。このため、第一通路16、第二通路17、第三通路18、第四通路19は、搬送方向に隣り合う面で、幅方向への傾斜に伴う段差が生じている。しかしながら、各通路をこのような段差によって形成する必要はなく、各通路部分においては、搬送方向に隣り合う面を面一にすることも可能である。また、第一搬送面1011、第二搬送面1021、第三搬送面1031はそれぞれ全面的に幅方向へ傾斜させた面としたがこれに限定されず、各搬送面において一部を幅方向に傾斜させて他の部分を水平面とすることで、ハンダボールW11,12を搬送面から排除する構成とすることもできる。また、上記実施形態では、第四搬送面1041は幅方向に傾斜させていないが、第四搬送面1041を幅方向に傾斜例えば幅方向一方側に傾斜させてもよい。なお、上記各実施形態では、幅方向に傾斜する搬送面の傾斜角度は、搬送部の搬送方向長さと、共振数等の関係によって決定され、搬送途中でワークWが搬送面から排除されないようこれらを設定する必要がある。"