"複数個のマイクロレンズが2次元的に配置された単位マイクロレンズアレイが複数枚相互に積層されて構成されたマイクロレンズアレイにおいて、前記単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置には、多角形の開口を有する多角視野絞りが配置され、前記マイクロレンズは、第1の方向に複数個適長間隔をおいて配列されて列を構成し、この複数個のマイクロレンズ列が第1の方向に直交する第2の方向に適長間隔をおいて配置されており、前記多角視野絞りにより規定される視野領域を矩形とその両側の三角形とに分解したとき、この一方の側の三角形の部分と矩形の部分と他方の側の三角形の部分とは前記第1の方向に連なっており、複数個の前記マイクロレンズ列毎に、前記マイクロレンズは、その一方の側の前記三角形部分が、このマイクロレンズに対して第2の方向に隣接する他のマイクロレンズの他方の側の前記三角形部分と、前記第2の方向に関して重なるように、前記第1の方向に偏倚して配置されており、前記複数個のマイクロレンズ列から構成されるマイクロレンズ列群は、その前記第2の方向に隣接する他のマイクロレンズ列群に対し、前記第1の方向に前記視野領域の前記第1の方向の長さよりも短い距離だけ偏倚して配置されていることを特徴とするマイクロレンズアレイ。露光すべき基板の上方に配置され、夫々複数個のマイクロレンズが2次元的に配置された単位マイクロレンズアレイが複数枚相互に積層されて構成されたマイクロレンズアレイと、このマイクロレンズアレイの上方に配置され所定の露光パターンが形成されたマスクと、このマスクに対して露光光を照射する露光光源と、前記マイクロレンズアレイ又は前記基板及び前記マスクを相対的に一方向に移動させる移動装置と、を有し、前記単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置には、多角形の開口を有する多角視野絞りが配置され、前記マイクロレンズは、第1の方向に複数個適長間隔をおいて配列されて列を構成し、この複数個のマイクロレンズ列が第1の方向に直交する第2の方向に適長間隔をおいて配置されており、前記多角視野絞りにより規定される視野領域を矩形とその両側の三角形とに分解したとき、この一方の側の三角形の部分と矩形の部分と他方の側の三角形の部分とは前記第1の方向に連なっており、複数個の前記マイクロレンズ列毎に、前記マイクロレンズは、その一方の側の前記三角形部分が、このマイクロレンズに対して第2の方向に隣接する他のマイクロレンズの他方の側の前記三角形部分と、前記第2の方向に関して重なるように、前記第1の方向に偏倚して配置されており、前記複数個のマイクロレンズ列から構成されるマイクロレンズ列群は、その前記第2の方向に隣接する他のマイクロレンズ列群に対し、前記第1の方向に前記視野領域の前記第1の方向の長さよりも短い距離だけ偏倚して配置されていることを特徴とするマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置。前記移動装置は、前記マイクロレンズアレイ及び光源を、前記基板及び前記マスクに対し、前記第2方向に移動させることを特徴とする請求項2に記載のマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置。しかしながら、この従来のスキャン露光装置においては、以下に示す問題点がある。図10に示すように、各マイクロレンズ2aにおいては、そのレンズの周辺部分に球面収差が存在し、周辺部分を透過する光の光量が中心部分を透過する光の光量よりも低下する。このため、2枚目の単位マイクロレンズアレイ2-2と3枚目の単位マイクロレンズアレイ2-3との間に、6角視野絞り12を設けて、マイクロレンズ2aの周辺部を透過する光を遮断し、マイクロレンズ2aの周辺部の球面収差を防止している。しかしながら、レンズ周辺部の球面収差は6角視野絞り12によりある程度除去することができるものの、この6角視野絞りを透過した光においても、6角視野絞り12の中心から周辺部に向けて、光量が低下するような光量分布を有する。この光量分布は、マイクロレンズアレイ2のスキャン方向5については、マイクロレンズ2aが相対的に移動するため、光量分布が平均化されてならされてしまい、基板上の特定の位置に光量分布の影響が残ることはないが、マイクロレンズアレイ2のスキャン方向5に垂直の方向については、マイクロレンズ2aが相対的に移動しないため、1個のマイクロレンズ2aの球面収差により光量の分布が、基板1に残ってしまう。このため、従来技術においては、このスキャン方向に垂直の方向について、露光ムラが生じるという問題点がある。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、マイクロレンズアレイを使用した露光装置において、スキャン方向に垂直の方向についても、露光ムラが発生することを防止することができるマイクロレンズアレイ及びそれを使用したスキャン露光装置を提供することを目的とする。本発明に係るマイクロレンズアレイは、複数個のマイクロレンズが2次元的に配置された単位マイクロレンズアレイが複数枚相互に積層されて構成されたマイクロレンズアレイにおいて、前記単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置には、多角形の開口を有する多角視野絞りが配置され、前記マイクロレンズは、第1の方向に複数個適長間隔をおいて配列されて列を構成し、この複数個のマイクロレンズ列が第1の方向に直交する第2の方向に適長間隔をおいて配置されており、前記多角視野絞りにより規定される視野領域を矩形とその両側の三角形とに分解したとき、この一方の側の三角形の部分と矩形の部分と他方の側の三角形の部分とは前記第1の方向に連なっており、複数個の前記マイクロレンズ列毎に、前記マイクロレンズは、その一方の側の前記三角形部分が、このマイクロレンズに対して第2の方向に隣接する他のマイクロレンズの他方の側の前記三角形部分と、前記第2の方向に関して重なるように、前記第1の方向に偏倚して配置されており、前記複数個のマイクロレンズ列から構成されるマイクロレンズ列群は、その前記第2の方向に隣接する他のマイクロレンズ列群に対し、前記第1の方向に前記視野領域の前記第1の方向の長さよりも短い距離だけ偏倚して配置されていることを特徴とする。本発明に係るマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置は、露光すべき基板の上方に配置され、夫々複数個のマイクロレンズが2次元的に配置された単位マイクロレンズアレイが複数枚相互に積層されて構成されたマイクロレンズアレイと、このマイクロレンズアレイの上方に配置され所定の露光パターンが形成されたマスクと、このマスクに対して露光光を照射する露光光源と、前記マイクロレンズアレイ又は前記基板及び前記マスクを相対的に一方向に移動させる移動装置と、を有し、前記単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置には、多角形の開口を有する多角視野絞りが配置され、前記マイクロレンズは、第1の方向に複数個適長間隔をおいて配列されて列を構成し、この複数個のマイクロレンズ列が第1の方向に直交する第2の方向に適長間隔をおいて配置されており、前記多角視野絞りにより規定される視野領域を矩形とその両側の三角形とに分解したとき、この一方の側の三角形の部分と矩形の部分と他方の側の三角形の部分とは前記第1の方向に連なっており、複数個の前記マイクロレンズ列毎に、前記マイクロレンズは、その一方の側の前記三角形部分が、このマイクロレンズに対して第2の方向に隣接する他のマイクロレンズの他方の側の前記三角形部分と、前記第2の方向に関して重なるように、前記第1の方向に偏倚して配置されており、前記複数個のマイクロレンズ列から構成されるマイクロレンズ列群は、その前記第2の方向に隣接する他のマイクロレンズ列群に対し、前記第1の方向に前記視野領域の前記第1の方向の長さよりも短い距離だけ偏倚して配置されていることを特徴とする。このマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置において、例えば、前記移動装置は、前記マイクロレンズアレイ及び光源を、前記基板及び前記マスクに対し、前記第2方向に移動させるように構成することができる。本発明によれば、マイクロレンズアレイを使用した露光装置において、例えば、3列のマイクロレンズ列群毎に、マイクロレンズ列を第1方向に前記視野領域の前記第1の方向の長さよりも短い距離だけ偏倚して配置したので、マイクロレンズに生じる第1方向の光量の分布を、3列のマイクロレンズ列群毎に、第1方向に若干ずらすことができるため、複数のマイクロレンズ列群によるスキャンを受けると、基板上の第1方向の光量分布を解消することができ、露光ムラを防止することができる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の実施形態のマイクロレンズアレイ2のマイクロレンズ2aの配置を示す平面図である。1個のマイクロレンズ2aは円形の開口絞り10内に、6角視野絞り12が配置され、この6角視野絞り12の領域のみを露光光が透過する。このマイクロレンズアレイ2においては、スキャン方向5に垂直の方向にレンズピッチPで複数個のマイクロレンズ2aが配置され、マイクロレンズ列を構成している。このスキャン方向5に垂直の方向に延びるマイクロレンズ列は、隣接するマイクロレンズ列同士が、シフト量Sでこのスキャン方向5に垂直の方向に偏倚している。3列のマイクロレンズ列から構成されるマイクロレンズ列群は、スキャン方向5について、ピッチP5で配置されており、各マイクロレンズ列群におけるマイクロレンズ2aの配置態様は同一である。各マイクロレンズ列群において、隣接するマイクロレンズ列同士のスキャン方向5に関する重なり量Lは、図9で説明したように、6角視野絞り12の中の三角形部分12bと12cの高さに該当する。従って、各マイクロレンズ列群3列のマイクロレンズ列が基板をスキャン方向5にスキャンすると、スキャン方向5に垂直の方向に関し、基板は、名目上球面収差がない場合、均一な光量の露光を受ける。そして、本実施形態においては、マイクロレンズ列群3列のマイクロレンズ列毎に、マイクロレンズはスキャン方向5に垂直の方向に関して微小シフト量Fで偏倚している。スキャン方向5の両端部のマイクロレンズ列群同士は、全シフト量TFでスキャン方向5に垂直の方向に偏倚するが、マイクロレンズ列群の数をnとすると、このシフト量TFはn×Fとなる。なお、図1において、Rは、6角視野絞り12のスキャン方向5に垂直の方向の最大長である。また、PPはスキャン方向5の両端部のマイクロレンズ列群同士のピッチである。この場合に、各マイクロレンズの最大露光領域Rが150μm程度であるとすると、マイクロレンズ列群毎に3列のマイクロレンズ列毎にスキャン方向5に垂直の方向に偏倚する微小シフト量Fは、例えば、2μm程度であることが好ましい。マイクロレンズ列群は、通常のマイクロレンズアレイ2において、スキャン方向5に、例えば75群配置される。そうすると、スキャン方向5の両端部のマイクロレンズ列群の間のスキャン方向5に垂直の方向の偏倚は、2μm×75=150μmとなる。よって、各マイクロレンズの最大露光領域Rと同程度の寸法だけ、マイクロレンズ列群の全体で偏倚させることになる。ちなみに、各マイクロレンズ列群のピッチP5は例えば1.35mmであるから、スキャン方向5の両端部のマイクロレンズ列群間のピッチPPは、1.35mm×75=101.25mmであるので、マイクロレンズアレイ2のスキャン方向5の長さは、PPP5=102.6mmとなる。そして、隣接するマイクロレンズ列同士のマイクロレンズのスキャン方向5に垂直の方向の偏倚Sが、例えば、150μmである場合、1個のマイクロレンズ列群において、隣接するマイクロレンズ列は2組存在するのでその間の偏倚は、150μm×2=300μmとなり、最後のマイクロレンズ列と、隣接するマイクロレンズ列群との間の偏倚も150μmであるので、1個のマイクロレンズ列群で、マイクロレンズは合計450μmだけ偏倚する。そして、隣接するマイクロレンズ列群同士で、マイクロレンズは微少偏倚F例えば、2μmだけスキャン方向5に垂直の方向に偏倚しているので、隣接するマイクロレンズ列群間では、マイクロレンズは4502=452μmだけ偏倚する。なお、このマイクロレンズアレイ2のマイクロレンズ2aの配置態様以外のマイクロレンズアレイ2及び露光装置の構成は、図4乃至図9に示すものと同様に構成することができる。次に、上述のごとく構成された本実施形態のマイクロレンズアレイ及び露光装置の動作について説明する。例えば、基板1及びマスク3を固定しておき、マイクロレンズアレイ2及び光源4を基板1及びマスク3に対してスキャン方向5に移動させる。そうすると、基板1上においては、スキャン方向5に垂直の方向に関し、まず、このスキャン方向5に垂直の方向にマイクロレンズが配列された1列のマイクロレンズ列の6角視野絞り12を透過した露光光の照射を受け、次いで、その後列のマイクロレンズ列の6角視野絞り12を透過した露光光の照射を受け、更に、その後列のマイクロレンズ列の6角視野絞り12を透過した露光光の照射を受ける。このとき、基板においては、スキャン方向5に垂直の方向に関し、この3列のマイクロレンズ列により、1個の矩形部分と、2個の三角形部分と、1個の矩形部分と、2個の三角形部分と、1個の矩形部分とというように、これらの部分が連続して露光光の照射を受ける。2個の三角形部分の合計面積はその三角形部分の高さに相当する幅を有する矩形部分の面積に等しいから、結局、基板は、3列のマイクロレンズ列マイクロレンズ列群により、スキャン方向5に垂直の方向に関して、連続して均一な光量の露光を受けることになる。従来は図9に示すように、この3列のマイクロレンズ列からなる全てのマイクロレンズ列群が、スキャン方向5に垂直の方向に関し、同一の基板位置を露光していた。従来の図9に示すマイクロレンズの配置態様は、マイクロレンズに球面収差が存在しなければ、基板の全域を隙間無く均一に露光することができる。しかし、前述したように、各マイクロレンズには、図10に示すような球面収差が存在する。即ち、6角視野絞り12の中心からスキャン方向5に垂直の方向の周辺部に向かうにつれて透過光量が低下する。スキャン方向5に隣接するマイクロレンズ列において、6角視野絞り12の三角形部分が基板の同一部分を重複して露光するので、図11aに示すように、この6角視野絞り12の周縁部で、スキャン方向5に垂直の方向に関して、露光光量が低下する三角形部分と、露光光量が増大する三角形部分とを加算した光量分布となるため、露光光量の変化が若干打ち消され、図11aに示すように、その光量の変化の大きさが若干小さくなるものの、スキャン方向5に垂直の方向に関して波打つような光量分布となる。従来の図9のように、マイクロレンズが配列されている場合は、各群のマイクロレンズ列群は、図11aの光量分布と同一の光量分布をそのまま重ねて露光することになり、最終的に基板上の露光光の光量分布はそのまま残る。しかしながら、本発明は、図1及び図2に示すように、各群のマイクロレンズ列群は、隣接するもの同士が微小シフト量Fだけ偏倚しているので、各群による露光光の光量分布は、図11bのように、図11aの光量分布が、第1群、第2群,第3群と、スキャン方向5に垂直の方向にFづつずれていく。このため、図1の例えば75群のマイクロレンズ列群が全て基板上を露光した場合には、図11bに示すように、露光光の光量分布の凹凸がならされ、均一化される。よって、スキャン方向5に垂直の方向に均一な露光光量分布が得られ、露光ムラを防止できる。なお、スキャン方向5については、各マイクロレンズにおいては露光光量の分布が存在するが、その光量分布がスキャン方向5に移動していくので、光量分布の凹凸がならされるため、スキャン後の基板上には光量分布の凹凸は残らない。図3は横軸に全シフト量TFをとり、縦軸に露光ムラの割合ムラ率をとって,全シフト量TFとムラ率との関係をシミュレートしたグラフ図である。なお、図2に示すムラ率の数値は、マイクロレンズの配置関係が、図1において、例示した寸法の場合についてのものである。図3に示すように、マイクロレンズ列群がシフトされていない場合全シフト量TFが0の場合、6以上の露光ムラ率が存在するのに対し、全シフト量TFが150μmの場合、即ち、全シフト量TFが各マイクロレンズの最大露光幅R=150μmに近い場合、露光光量の分布の凹凸はほぼ0となり、露光光量のムラ率が0に極めて近づく。また、全シフト量TFが150μmの整数倍である場合も、露光光量の分布がほぼ0となり、露光ムラも防止できる。これは、マイクロレンズの最大露光幅R内に存在する露光光量の分布が、スキャン方向5の全体でマイクロレンズの最大露光幅R又はその整数倍だけマイクロレンズの位置が偏倚していることにより打ち消されるからである。この露光光量分布が0に近い値に至ったマイクロレンズの配置から、更に全シフト量TFが増える状態、即ち,マイクロレンズ列群を増やした状態になると、その増えたマイクロレンズ列群の分だけ露光光量の分布が新たに出現するため、ムラ率が増えていく。よって、全シフト量TFがマイクロレンズの最大露光幅Rと一致するように、マイクロレンズの配置を決めることが好ましい。なお、上記実施形態においては、多角視野絞りは6角視野絞り12であり、マイクロレンズ列が3列毎にマイクロレンズ列群を構成しているが、本発明は、これに限らず種々の態様が可能である。例えば、マイクロレンズにより基板上の視野を規定する多角視野絞りは、6角視野絞りに限らず、例えば、菱形、平行四辺形又は台形状等の開口を有するものでもよい。例えば、この台形状4角形の視野絞りにおいても、中央の矩形の部分と、その両側の三角形の部分とに視野領域を分解することができる。また、1群のマイクロレンズ列群を構成するマイクロレンズ列は3列に限らず、例えば、上述の台形及び平行四辺形横長の開口の場合は、3列毎に1群を構成するが、菱形及び平行四辺形縦長の場合は、2列毎に1群を構成することになる。更に、図9に示すマイクロレンズの配列は、図12aに示すように、スキャン方向5に関して3列で1群を構成して、4列目のマイクロレンズ列は1列目のマイクロレンズ列とスキャン方向5に垂直の方向に関して同一の位置に配置されているが、設計したレンズ性能によっては、レンズサイズ及び視野幅6角視野絞り幅が異なるために、レンズピッチ間隔と視野幅の比率が変更される場合がある。その場合、図12bに示すように、レンズピッチを視野幅の整数倍になるように調整すると、3列構成にならない場合も生じる。"