エンジンの吸気管に設置されて吸入空気量を検出する空気流量センサを校正する装置であって、吸気圧力を検出する吸気圧力センサと、吸気温度を検出する吸気温度センサと、前記エンジンのクランク軸の回転からエンジン回転数を検出するクランク角センサと、前記吸気管を通った吸気のみ前記エンジンに吸入されるようEGRバルブを全閉制御するEGR全閉制御部と、前記EGRバルブが全閉のとき、吸気圧力と吸気温度とエンジン回転数を入力変数とし、あらかじめ基準運転状態にて測定された体積効率を定数とする基本式により吸入空気量を演算する基本式演算部と、前記基本式の演算値に、あらかじめ基準運転状態にて測定されたエンジンパラメータと現在の当該エンジンパラメータとの比に基づいた補正項を掛けて当該エンジンパラメータの変動による体積効率の変動分を補正演算する体積効率補正演算部と、補正演算された吸入空気量の演算値により、前記空気流量センサを校正する校正部とを備えたことを特徴とする空気流量センサ校正装置。前記校正部は、前記EGRバルブが全閉のとき、補正演算された吸入空気量の演算値と前記空気流量センサによる吸入空気量の検出値との差分を校正値として記憶する校正値記憶部と、前記EGRバルブが開度制御中に、前記空気流量センサによる吸入空気量の検出値に校正値を加算して吸入空気量とする校正演算部とを備えることを特徴とする請求項1記載の空気流量センサ校正装置。前記補正項のエンジンパラメータは、吸気温度であることを特徴とする請求項1又は2記載の空気流量センサ校正装置。冷却水の温度を検出する冷却水水温センサを備え、前記補正項のエンジンパラメータは、冷却水水温であることを特徴とする請求項1~3いずれか記載の空気流量センサ校正装置。排気圧力を検出する排気圧力センサを備え、前記補正項のエンジンパラメータは、吸気圧力を排気圧力で除した吸気対排気圧力比であることを特徴とする請求項1~4いずれか記載の空気流量センサ校正装置。ところで、車載されているMAFセンサの検出精度は、MAFセンサ単体が備える検出精度以外にも、吸気管からの影響で変化する。具体的には、MAFセンサ単体での検出誤差は2~3程度に過ぎない。しかし、車載されているMAFセンサの検出精度は、最大で10に達する。また、同じ型式の車両でも検出誤差の個体差が大きい。車載したMAFセンサに検出誤差が生じる原因は、多数考えられるが、例えば、エアフィルタの汚れ、エアフィルタの取り付けのずれ、MAFセンサからエンジンに至る吸気管の径などの寸法固体差、吸気管の熱膨張量の固体差などがある。このため、MAFセンサ単体での検出精度向上によってもたらされる車両での吸入空気量の検出精度への効果は限定的であり、MAFセンサが吸気管に取り付けられた状態での装置全体として検出精度の向上を図る必要がある。MAFセンサとは別に、吸入空気量以外のエンジンパラメータを使用して、演算により吸入空気量を求めるスピードデンシティ方式が知られている。スピードデンシティ方式の演算式による演算値とMAFセンサによる検出値とを比較してMAFセンサの診断や校正をすることができる。このようにMAFセンサの校正を行うことで、MAFセンサの検出精度の向上が期待できる。ところが、本発明者は、従来のスピードデンシティ方式では、特定のエンジンパラメータが変動したとき、演算式に含まれている体積効率が変動してしまい、演算した吸入空気量の誤差が変動することを見出した。体積効率は、シリンダ断面積とピストンストローク長で決まる機械的なシリンダの容量と実際にシリンダに吸入される空気量との比率であり、従来は、エンジン固有の定数であると考えられていた。しかし、エンジンパラメータの変動で体積効率が変動して吸入空気量の演算値の誤差が変動してしまうと、演算値の精度が低下し、演算値をMAFセンサの校正には有効に利用できない。また、スピードデンシティ方式の演算式は、EGRバルブが開いていると正確な吸入空気量を求められない。なぜなら、この演算式は、エンジンがどれだれ気体を吸い込んだかを示す式である。EGRバルブが閉じておりEGRによる気体の戻りがなければ、エンジンが吸い込んだ気体の量は、MAFセンサが設置されている吸気管を通過した空気量に等しい。しかし、EGRバルブが開いているとエンジンには排気マニホールドから戻ってきた気体も吸い込まれるので、エンジンが吸い込んだ気体の量と吸気管を通過した空気量は同じにならない。よって、演算式は、EGRバルブが開いていると、正確な吸入空気量を求められないことになる。そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、EGRを備えたエンジンに適用でき、吸入空気量の検出精度が向上する空気流量センサ校正装置を提供することにある。上記目的を達成するために本発明の空気流量センサ校正装置は、エンジンの吸気管に設置されて吸入空気量を検出する空気流量センサを校正する装置であって、吸気圧力を検出する吸気圧力センサと、吸気温度を検出する吸気温度センサと、前記エンジンのクランク軸の回転からエンジン回転数を検出するクランク角センサと、前記吸気管を通った吸気のみ前記エンジンに吸入されるようEGRバルブを全閉制御するEGR全閉制御部と、前記EGRバルブが全閉のとき、吸気圧力と吸気温度とエンジン回転数を入力変数とし、あらかじめ基準運転状態にて測定された体積効率を定数とする基本式により吸入空気量を演算する基本式演算部と、前記基本式の演算値に、あらかじめ基準運転状態にて測定されたエンジンパラメータと現在の当該エンジンパラメータとの比に基づいた補正項を掛けて当該エンジンパラメータの変動による体積効率の変動分を補正演算する体積効率補正演算部と、補正演算された吸入空気量の演算値により、前記空気流量センサを校正する校正部とを備えたものである。前記校正部は、前記EGRバルブが全閉のとき、補正演算された吸入空気量の演算値と前記空気流量センサによる吸入空気量の検出値との差分を校正値として記憶する校正値記憶部と、前記EGRバルブが開度制御中に、前記空気流量センサによる吸入空気量の検出値に校正値を加算して吸入空気量とする校正演算部とを備えてもよい。前記補正項のエンジンパラメータは、吸気温度であってもよい。冷却水の温度を検出する冷却水水温センサを備え、前記補正項のエンジンパラメータは、冷却水水温であってもよい。排気圧力を検出する排気圧力センサを備え、前記補正項のエンジンパラメータは、吸気圧力を排気圧力で除した吸気対排気圧力比であってもよい。本発明は次の如き優れた効果を発揮する。1EGRを備えたエンジンに適用できる。2吸入空気量の検出精度が向上する。以下、本発明の一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。図1に示されるように、本発明に係る空気流量センサ校正装置は、エンジン1の吸気管2に設置されて吸入空気量を検出する空気流量センサMAFセンサ3と、吸気圧力を検出する吸気圧力センサ4と、吸気温度を検出する吸気温度センサ5と、エンジン1のクランク軸6の回転からエンジン回転数を検出するクランク角センサ7と、吸気管2を通った吸気のみエンジン1に吸入されるようEGRバルブ8を全閉制御するEGR全閉制御部9と、EGRバルブ8が全閉のとき、吸気圧力と吸気温度とエンジン回転数を入力変数とし、あらかじめ基準運転状態にて測定された体積効率を定数とする基本式により吸入空気量を演算する基本式演算部10と、前記基本式の演算値に、あらかじめ基準運転状態にて測定されたエンジンパラメータと現在の当該エンジンパラメータとの比に基づいた補正項を掛けて当該エンジンパラメータの変動による体積効率の変動分を補正演算する体積効率補正演算部11と、補正演算された吸入空気量の演算値により、MAFセンサ3を校正する校正部12とを備えたものである。校正部12は、EGRバルブ8が全閉のとき、補正演算された吸入空気量の演算値とMAFセンサ3による吸入空気量の検出値との差分を校正値として記憶する校正値記憶部13と、EGRバルブ8が開度制御中に、MAFセンサ3による吸入空気量の検出値に校正値を加算して吸入空気量とする校正演算部14とを備える。空気流量センサ校正装置は、冷却水の温度を検出する冷却水水温センサ15と、排気圧力を検出する排気圧力センサ16とを備える。エンジンシステムの他の部分を説明すると、吸気管2の最も入口側には塵埃を捕集するエアクリーナ17が設けられる。MAFセンサ3は、エアクリーナ17の下流に位置することになる。吸気管2には、MAFセンサ3の下流にターボチャージャ18のコンプレッサ19が接続され、コンプレッサ19の下流に吸気を冷却するインタークーラ20が接続される。インタークーラ20の下流では、吸気管2に吸気スロットル21が設置され、吸気スロットル21の下流で吸気管2がエンジン1の吸気マニホールド22に接続される。エンジン1の排気マニホールド23に排気管24が接続され、排気管24にはターボチャージャ18のタービン25が設けられる。排気管24のタービン25の下流には、排気ブレーキ26が設けられる。排気ブレーキ26の下流には、排気ガス中のPMを捕集するDPF27が設けられる。排気マニホールド23と吸気マニホールド22の間には、EGR管28が設けられる。EGR管28には、EGRクーラ29とEGR弁8が設けられる。吸気圧力センサ4と吸気温度センサ5は、吸気マニホールド22に設置される。クランク角センサ7は、クランク軸6に取り付けられたセンサ歯車に臨ませて設置される。冷却水水温センサ15は、エンジン1の冷却水循環系の適宜な箇所、例えば、ウォータジャケットに設置される。排気圧力センサ16は、排気マニホールド23に設置される。大気圧を検出する大気圧センサ30とエンジン1の電子制御を行う電子制御装置ElectronicalControlUnit;ECU31は、エンジン1を搭載した車両内の適宜な場所に設置される。ECU31には、EGR全閉制御部9、基本式演算部10、体積効率補正演算部11、校正部12が設けられる。本発明における吸入空気量の演算式1は、基本式と3つの補正項とからなる。基本式は、従来公知のスピードデンシティ方式における演算式と同等である。補正項は、体積効率の変動をもたらすエンジンパラメータごとに独立に設定され、いずれも基本式に対する係数の項かけ算する項となる。本実施形態では、体積効率の変動をもたらすエンジンパラメータとして、吸気温度と冷却水水温と吸気対排気圧力比を使用している。したがって、3つの補正項は、吸気温度補正項、冷却水水温補正項、吸気対排気圧力比補正項となる。ただし、Mair=吸入空気量Rair=空気のガス定数TAIm=吸気温度インマニ温度PAIm=吸気圧力ブースト圧力、インマニ圧力PAA=大気圧Vcyl=総排気量Ne=エンジン回転数η0=基準体積効率273=摂氏温度を絶対温度に変換する値2=4気筒における1回転での吸気行程回数60=rpmで表されるエンジン回転数を1秒当たりに変換する値TAIm0=基準吸気温度基準インマニ温度m=吸気温度補正乗数THW=冷却水水温THW0=基準冷却水水温a=冷却水水温補正乗数PETbI=排気圧力タービン入口圧力PAIm0=基準吸気圧力基準ブースト圧力、基準インマニ圧力PETbI0=基準排気圧力基準タービン入口圧力PAA0=基準大気圧n=圧力比補正乗数である。空気のガス定数Rairは固定値である。吸気温度TAImは吸気温度センサ5により検出される。吸気温度TAImは摂氏で検出されるので273を加えて絶対温度とする。吸気圧力PAImは、吸気圧力センサ4により検出される。大気圧PAAは大気圧センサ30により検出される。吸気圧力PAImは、ゲージ圧力として検出されるので、大気圧PAAを足すことで絶対圧力となる。総排気量Vcylはエンジンに固有の値である。エンジン回転数Neはクランク角センサ7により検出される。このように、基本式は、吸気温度TAImと吸気圧力PAImとエンジン回転数Neとを入力変数とし、基準体積効率η0を定数とする。基準体積効率η0、基準吸気温度TAIm0、基準冷却水水温THW0、基準吸気圧力PAIm0、基準排気圧力PETbI0、基準大気圧PAA0には、実験により測定及び演算して求められた値が設定される。吸気温度補正乗数m、冷却水水温補正乗数a、圧力比補正乗数nには、実験により演算して求められた値が設定される。ただし、ECU31に基本演算命令として冪乗演算命令が搭載されていない場合は、冪乗演算については、近似式あるいはマップをECU31に格納することになる。基準体積効率η0は、エンジン1が定常運転状態過渡的でない運転状態のときに、精密に校正された測定器で吸入空気量Mairを実測し、この吸入空気量Mairと吸気温度TAImと吸気圧力PAImとエンジン回転数Neとから基本式を逆算して求めたものである。基準吸気温度TAIm0、基準冷却水水温THW0、基準吸気圧力PAIm0、基準排気圧力PETbI0、基準大気圧PAA0は、基準体積効率η0を求めたときと同じ運転状態で測定したものである。これらの基準値は、基準体積効率η0と共に、燃料量とエンジン回転数を参照軸としてマップに設定される。吸気温度補正乗数m、冷却水水温補正乗数a、圧力比補正乗数nは、エンジン1を定常運転状態から、吸気温度、冷却水水温、吸気対排気圧力比のうち所望する1つのエンジンパラメータが変動するよう、運転状態を変動させたときに、精密に校正された測定器で吸入空気量Mairを実測し、吸入空気量Mairから基本式を逆算して体積効率を求め、当該エンジンパラメータの変動分から体積効率の変動分が求まるように推定したものである。これらの補正乗数は、燃料量とエンジン回転数を参照軸とするマップに設定される。次に、基本式の演算値について体積効率の変動分を補正演算する効果を説明する。エンジンパラメータの変動により、体積効率が変動する理由は、次のように考えられる。吸気温度について考察すると、気体は吸気マニホールド22からエンジン1の各シリンダに吸気ポートを経由して吸入される。このような吸気の動作がエンジン回転数に応じ1秒間に数十回、繰り返し行われる。このとき、気体の吸入されやすさは気体の粘性の影響を受ける。気体の粘性は、温度に依存するので、吸気温度によって気体の粘性が変動して、シリンダへの気体の吸入されやすさが変動する。このため、吸気温度の変動によって体積効率が変動することになる。冷却水水温について考察すると、シリンダや吸気マニホールド22の壁温度は、通常、大気温度より高い。吸気管から吸気マニホールド22を経由してシリンダに入ってきた気体は、壁に暖められて膨張するため、その後から入ろうとする気体を阻害する。壁温度によって、シリンダへ入ろうとする気体への阻害の大きさが異なる。冷却水水温は壁温度を反映しており、したがって、冷却水水温の変動によって体積効率が変動することになる。吸気対排気圧力比について考察すると、排気管24には、DPF27などの後処理装置が設けられる。後処理装置の詰まり具合によって、シリンダから出ていく排気量が変動する。すなわち、後処理装置に捕集物が多く溜まっていると、排気抵抗が大きくなるため、シリンダから出ていかない気体が存在することになる。このような現象を内部EGRという。内部EGRが起きると、シリンダに気体が入りにくくなり、体積効率が変動する。内部EGRの程度は、吸気圧力と排気圧力の比で表すことができる。つまり、吸気対排気圧力比の変動によって体積効率が変動することになる。ここまでの考察によれば、体積効率は、吸気温度と冷却水水温と吸気対排気圧力比のいずれの変動によっても変動し、しかも各々は個別の事象である。そこで、本発明者は、基準運転状態にて測定された体積効率基準値を使用する基本式で演算を行い、その演算値をこれらのエンジンパラメータごとに補正することを考えた。補正項は、基本式に対して係数となる項とし、あらかじめ基準運転状態にて測定された当該エンジンパラメータ基準値と現在の当該エンジンパラメータセンサ値との比に基づくものとした。比で表された項は、分母である基準値より分子であるセンサ値が大きければ1より大きく、基準値よりセンサ値が小さければ1より小さくなる。この比の冪乗をとることで、補正項を体積効率の変動分に合わせ込むことができる。すなわち、冪乗に用いる補正乗数を、実験時の測定結果と演算結果が一致するよう近似させて求めるものとした。従来のスピードデンシティ方式の演算式では、エンジン1の運転状態によらず体積効率が固定値であったため、エンジン1の運転状態に応じて実際の体積効率が変動すると、吸入空気量が精度よく演算できなかったのに対し、本発明の吸入空気量演算式1によれば、基準体積効率η0を使用する基本式に、エンジンパラメータの変動による体積効率の変動分を補正する補正項を付加したので、体積効率の変動に対応でき、吸入空気量が精度よく演算できる。また、1つのエンジンパラメータごとに補正項を設けたので、複数のエンジンパラメータの変動に個別に対応でき、しかも、重ね合わせることが可能となる。本発明者は、エンジンパラメータを変動させながら、吸入空気量の演算式1で演算された演算値と、精密に校正された測定器で測定した吸入空気量の測定値とを比較する実験を行ったところ、誤差が-0.5~0.8以内と非常に好ましい実験結果を得た。この実験結果より、体積効率に影響を与える吸気温度、冷却水水温、吸気対排気圧力比が変動しても吸入空気量演算式1は吸入空気量が精度よく演算できることが確認できた。次に、本発明に係る空気流量センサ校正装置の動作を説明する。EGR全閉制御部9は、EGRバルブ8を全閉制御する。これにより、吸気管2を通った吸気のみエンジン1に吸入されるようになり、エンジン1が吸入する気体の全てがMAFセンサ3で検出された吸気に等しいので、演算式1の演算値でもってMAFセンサ3の検出誤差を評価できるようになる。EGRバルブ8が全閉となった後、基本式演算部10と体積効率補正演算部11により、演算式1を演算して吸入空気量の演算値を求める。既に述べたように、この演算値は、非常に精度が高いものである。したがって、MAFセンサ3による吸入空気量の検出値が演算値に対して偏差を有していれば、その偏差はMAFセンサ3の誤差と見なせる。そこで、校正部12は、演算式1で補正演算された吸入空気量の演算値と、MAFセンサ3による吸入空気量の検出値との差分偏差を校正値として校正値記憶部13に記憶する。その後、校正演算部14は、MAFセンサ3による吸入空気量の検出値に校正値記憶部13から読み出した校正値を加算して吸入空気量とする。校正演算部14は、EGRバルブ8が全閉でないときにも、MAFセンサ3の検出値に校正値を加算して吸入空気量を得ることができる。具体的には、MAFセンサ3は、例えば、0~5Vの間でアナログ信号を出力しており、デジタル変換された電圧値がECU31に取り込まれる。ECU31には、MAFセンサ3の出力電圧値と吸入空気量との変換テーブルが設定されており、電圧値から吸入空気量が読み取られる。校正値記憶部13には、電圧値を校正する値、もしくは吸入空気量を校正する値が記憶されていれば、校正が可能である。図2に、MAFセンサ3を校正する実験の結果を示す。精密に校正された測定器による測定値が白丸でプロットされている。これに対し、MAFセンサ3の検出値は黒四角でプロットされており、エンジン回転数の広い領域にわたり、誤差が大きいことが分かる。一方、本発明の演算式1による演算値は、黒丸でプロットされている。本発明の演算式1による演算値は、精密に校正された測定器による測定値とほとんど差がない。よって、本発明の演算式1による演算値とMAFセンサ3の検出値との差分を校正値としておけば、精度の高い吸入空気量への校正が可能となることが分かる。一般に、車載されたMAFセンサは10近い誤差を有しているが、本発明により校正することにより、誤差を1~2にできる。なお、エンジン回転数による誤差の変動はあまりないので、校正値はエンジン回転数によらない一定値でもよい。もし、校正値が何かのエンジンパラメータに依存するようであれば、そのエンジンパラメータで参照されるマップに校正値を設定するとよい。以上説明したように、本発明の空気流量センサ校正装置によれば、EGRバルブ8が全閉のとき、吸入空気量を演算式1で演算するようにしたので、エンジン1が吸い込んだ気体の量と吸気管2を通過した空気量が同じになり、EGRを備えたエンジン1であっても、演算値を利用したMAFセンサ3の校正ができるようになる。本発明の空気流量センサ校正装置によれば、エンジンパラメータの変動による体積効率の変動分を補正する補正項で体積効率の変動分を補正演算するので、吸入空気量演算の精度が向上する。この結果、MAFセンサ3が精密に校正されるようになり、EGR制御やサルファパージ運転に要求される高い精度でMAFセンサ3が吸入空気量を検出できるようになる。