ウェーハを保持する測定テーブルと、該ウェーハの外周部の形状確認をするための形状測定手段とを有するプラズマエッチング確認装置であって、該形状測定手段は、該測定テーブルの上方に位置し、該形状測定手段と該測定テーブルとを相対的に移動させることにより該形状測定手段が該ウェーハの形状を測定することを特徴とするプラズマエッチング確認装置。プラズマエッチングが行われているか否かは、現状では圧力、エッチングガス、RF電力などプロセス中の各種パラメータが正常であるか否かを判断基準としているが、これらのデータはすべて過渡的なデータであるため、記録を紛失したり、センサなどの誤動作などにより誤ったデータが記録されたりした場合には、エッチングが施工されているか否かの判断をすることができなくなる場合があり、プラズマエッチング不良を判断できないという問題がある。本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、ウェーハに対して所望のプラズマエッチングが行われたか否かを確認できるようにすることを目的とする。本発明は、ウェーハを保持する測定テーブルと、ウェーハの外周部の形状確認をするための形状測定手段とを有するプラズマエッチング確認装置に関し、形状測定手段が測定テーブルの上方に位置し、形状測定手段と測定テーブルとを相対的に移動させることにより形状測定手段がウェーハの形状を測定することを特徴とする。本発明に係るプラズマエッチング確認装置は、プラズマエッチング処理後のウェーハ外周部の形状を測定する形状測定手段を有するため、エッチング時の各種パラメータの値を基準とするよりも、エッチングの良否を容易かつ確実に判定することができる。図1に示すプラズマエッチング確認装置1は、測定テーブル2に保持されたウェーハ10の外周部の形状を形状測定手段3によって測定することで、ウェーハ1が所望のプラズマエッチングがされたものか否かを判定することができる装置である。形状測定手段3は、被加工物までの距離を計測する機能を有しており、光学式変位センサ30を備えている。また、光学式変位センサ30に代えて、超音波式、レーザ式等の変位センサを用いることもできる。光学式変位センサ30は、測定テーブル2に保持されたウェーハ10の面方向に対してほぼ垂直な方向の光軸を有し、ウェーハ10に対して焦点を合わせるオートフォーカス機能を有している。光学式変位センサ30は、記憶素子を有する測定値記憶部31に電気的に接続されており、光学式変位センサ30による測定結果を測定値記憶部31に記憶することができる。測定値記憶部31は、エッチング良否判定手段32に電気的に接続されている。エッチング良否判断手段32は、CPU及び記憶素子を備え、測定値記憶部31に記憶された情報から、ウェーハ10に所望のエッチングが施されているか否かを判定する。光学式変位センサ30は、送り手段4によって水平方向X軸方向に送られる。送り手段4は、水平方向に延びるボールスクリュー40と、ボールスクリュー40と平行に配設された一対のガイドレール41と、ボールスクリュー40を回動させるモータ42と、光学式変位センサ30を支持する支持基台43と、光学式変位センサ30の水平方向の位置を認識するためのリニアスケール44とから構成されている。支持基台43の内部にはボールスクリュー40に螺合するナット図示せずを備え、支持基台43の側部はガイドレール41に摺接しており、モータ42によって駆動されてボールスクリュー40が回動するのにともない支持基台43がガイドレール41にガイドされて水平方向に移動し、測定テーブル2に対して形状測定手段3がX軸方向に相対移動する構成となっている。また、支持基台43の背面側にある図示しない検出器がリニアスケール44の目盛りを読み取ることにより、光学式変位センサ30の位置情報が測定値記憶部31に認識される。なお、測定テーブル2と形状測定手段3とがY軸方向に相対移動できる構成としてもよい。測定テーブル2は、形状を認識する対象のウェーハ10を保持する保持部20を備えている。保持部20の保持面20aにおいては、ウェーハ10の表面10a側が保持され、裏面10bが露出した状態となっている。ウェーハ10の表面10aには、分割予定ライン100によって区画された領域にデバイス101が形成されている。ウェーハ10においては、裏面10bが研削されて所定の厚さに形成された後、研削後の裏面10bに生じた研削歪みを除去するために、裏面10bにプラズマエッチングが施されている。プラズマエッチングには、例えば上述の特許文献1に記載された装置が使用される。図2に示すように、ウェーハ10の外周部102は、裏面10bの研削前に曲面状に面取りされるため、外周部102の表面10a側は曲面103となっている。一方、裏面102が研削された直後は、面取りされた部分も研削されるため、図2に示すように、外周部102の裏面10b側には、尖った形状のエッジ部104が形成されている。裏面10bの研削後にプラズマエッチングを施すと、プラズマエッチングが正常に施されている場合は、図3に示すように、図2に示したエッジ部104がエッチングされて丸みを帯びた丸み部105が形成される。一方、プラズマエッチングが正常に施されていない場合は、丸み部105が形成されず、エッジ部104が残存する。したがって、丸み部105が形成されているか否かを認識することにより、プラズマエッチング処理が正常に行われたか否かを判定することができる。最初に、図4に示すエッチング処理不良ウェーハ110について、プラズマエッチング処理が正常に行われたか否かを判定する場合について説明する。測定テーブル2の保持部20において、エッチング処理不良ウェーハ110の表面110a側を保持し、裏面110bを上に向けて露出した状態とする。そして、図1に示した送り手段4による制御の下で、図4に示すように、光学式変位センサ30を、ウェーハ110のエッジ部104から所定距離だけ径方向X軸方向内側に、例えばエッジ部104から数mm程度ウェーハ110の中心側に位置させる。当該所定距離は、裏面研削前に外周部102に対して行われる面取りの大きさを考慮して設定する。こうして光学式変位センサ30をエッジ部104から所定距離だけ径方向内側に位置させた状態から、ウェーハ110の厚みの測定を開始する。具体的には、光学式変位センサ30から裏面110bに光を照射し、裏面110bに焦点を合わせ、焦点を常に裏面110bに合わせながら、図1に示した送り手段4により光学式変位センサ30を徐々に径方向外側に矢印A方向側に向けて移動させていく。焦点位置は、裏面110bの高さに応じて変化し、その高さは、測定値記憶部31に順次記憶されていく。測定値記憶部31では、保持部20の保持面20aの焦点位置を記憶しており、保持面20aの焦点位置と裏面110bの焦点位置との差をウェーハ110の厚みとして求める。図5に示すように、例えば、横軸を光学式変位センサ30のX軸方向の移動距離、縦軸をウェーハ110の厚みとして、両者の関係が記憶される。横軸の距離は、リニアスケール44の読み取り値から認識される。保持部20の保持面20aのZ座標を0とすると、裏面110bの高さは、ウェーハ110の厚さとなる。エッチング処理不良ウェーハ110には、図3に示した丸み部105が形成されていないため、図5に示すように、計測範囲の厚さが一定であり、エッジ部104部で急に厚さが0に変化している。このようにして、ウェーハWの外周部の形状が認識される。エッチング良否判定手段32では、測定値記憶部31に記憶された情報を読み出し、図5に示すように、測定範囲のウェーハ10の厚さが一定である場合は、形成されているべき面取り部105が形成されていないため、エッチング不良と判定する。図6に示すエッチング処理ウェーハ120の形状を測定する場合も、保持部20の保持面20aにおいてウェーハ120の表面120a側を保持し、裏面120bを上に向けて露出した状態とする。そして、光学式変位センサ30を、ウェーハ120の最外周部106から所定距離径方向X軸方向内側、例えば最外周部106から数mm程度内側に位置させる。そして、光学式変位センサ30の焦点を常に裏面120bに合わせながら、送り手段4による制御の下で光学式変位センサ30を徐々に径方向外側に矢印A方向に向けて移動させていく。焦点位置は、裏面120bの高さに応じて変化し、その高さと保持面20aとの高さの差が、ウェーハ111測定値記憶部31に順次記憶されていく。測定値記憶部31では、図7に示すように、横軸を距離、縦軸を厚さとして両者の関係が記憶される。エッチング処理ウェーハ120には、面取り部105が形成されているため、外周に向かうにつれてウェーハ120の厚さが薄くなり、なだらかな曲線を描いてやがて厚さが0になっている。エッチング良否判定手段32では、測定値記憶部31の情報を読み出し、測定範囲のウェーハ10の厚さが曲線を描いて徐々に薄くなる場合は、面取り部105が形成されており、正常にエッチングが行われたと判定する。また、曲線の形状、例えば、距離に対する厚さの変化の度合いの高さによっては、エッチングが行われてはいるが、エッチングが十分でないという判断もすることができる。以上のようにして行うウェーハの外周部の形状測定は、周方向に例えば3箇所をサンプリングし、それぞれの位置において、上記のようにしてウェーハの厚さを求めることが望ましい。このようにして、エッチング処理後のウェーハの外周部の形状を形状測定手段3によって確認することにより、エッチングが正常に行われたか否かを判定することができるため、エッチング時の各種パラメータの値を基準として推測するよりも、エッチングの良否を確実に判断することができる。