複数のウェハをそれぞれ載置する段を有するマガジンと、前記段の前記ウェハの有無を検知するウェハ有無検知手段と、前記ウェハ有無検知手段の検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、当該ウェハ処理後に当該ウェハを前記マガジンに戻すウェハ挿取ハンドリング手段と、載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップする取出ノズルと、前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填する装填ノズルと、前記挿取ハンドリング手段が取り残したウェハ取り残しを検出するウェハ取り残し検出手段と、前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する報知手段と、を有することを特徴とするテーピング装置。前記報知手段は、作業員に前記取り残しウェハのリカバリ処理を、前記取り残しウェハを検出前の一連の処理に連続して行うように促すことを特徴とする請求項1に記載のテーピング装置。前記ウェハ有無検知手段は、前記一連の処理に比べ、前記リカバリ処理において、ウェハ検知作業に時間をかける又は検知範囲を上下前後に広くして前記ウェハの有無を検知することを特徴とする請求項2に記載のテーピング装置。前記取り残しウェハ検出手段は、前記段のうち前記ウェハ挿取ハンドリング手段が前記ウェハを取り出せた段を処理済として記憶し、前記ウェハがあるべき段に前記処理済みのデータがないことにより前記取り残しウェハを検出することを特徴とする請求項1に記載のテーピング装置。前記取り残しウェハ検出手段は、複数の前記ウェハの処理すべき前記ダイの個数と、処理された前記ダイの個数と、を比較して前記取り残しウェハを検出することを特徴とする請求項1に記載のテーピング装置。マガジンの各段にウェハを載置する載置ステップと、前記段の前記ウェハの有無を検知するウェハ有無検知ステップと、前記ウェハ有無検知ステップの検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、当該ウェハ処理後に当該ウェハを前記マガジンに戻すウェハ挿取ハンドリングステップと、載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップし、前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填する装填ステップと、前記挿取ハンドリングステップで取り残した取り残しウェハを検出する取り残しウェハ検出ステップと、前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する報知ステップと、を有することを特徴とするテーピング方法。前記報知ステップは、作業員に前記取り残しウェハのリカバリ処理を、前記取り残しウェハを検出前の一連の処理に連続して行うように促すことを特徴とする請求項6に記載のテーピング方法。前記ウェハ有無検知ステップは、前記一連の処理に比べ、前記リカバリ処理において、ウェハ検知作業に時間をかける又は検知範囲を上下前後に広くして前記ウェハの有無を検知することを特徴とする請求項7に記載のテーピング方法。前記リカバリ処理は、前記取り残しウェハのみを前記マガジンにセットして行なうことを特徴とする請求項7に記載のテーピング方法。前記取り残しウェハ検出ステップは、前記段のうち前記ウェハ挿取ハンドリングステップで前記ウェハを取り出せた段を処理済として記憶し、前記ウェハがあるべき段に前記処理済みのデータがないことにより前記取り残しウェハを検出することを特徴とする請求項6に記載のテーピング方法。前記載置ステップは、同一ロットの前記ウェハを載置することを特徴とする請求項6に記載のテーピング方法。前記載置ステップは前記マガジンに異なるロッドのウェハをそれぞれ分けて載置し、前記ロット単位で、前記載置ステップを除いて各ステップを行うことを特徴とする請求項6に記載のテーピング方法。従来では、マガジンの交換時に作業者が気づく場合がある。その場合は、その後、再度、取り残したウェハをセットして再生産することができる。しかしながら、気づくのが遅かった場合、既に当該マガジンの作業を終えてしまっており、又は気づかなかった場合、全てのダイを供給できず、余計な端数の供給テープができてしまい、効率よく作業ができない。従って、本発明の目的は、ウェハの取り残しのない、マガジン内の全てのウェハを確実に処理できる生産性の高いテーピング装置及びテーピング方法を提供することである。本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも以下の特徴を有する。本発明は、複数のウェハをそれぞれ載置する段を有するマガジンと、前記段の前記ウェハの有無を検知するウェハ有無検知手段と、前記ウェハ有無検知手段の検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、当該ウェハ処理後に当該ウェハを前記マガジンに戻すウェハ挿取ハンドリング手段と、載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップする取出ノズルと、前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填する装填ノズルと、前記挿取ハンドリング手段が取り残したウェハ取り残しを検出するウェハ取り残し検出手段と、前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する報知手段と、を有することを第1の特徴とする。また、本発明は、マガジンの各段にウェハを載置する載置ステップと、前記段の前記ウェハの有無を検知するウェハ有無検知ステップと、前記ウェハ有無検知ステップの検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、当該ウェハ処理後に当該ウェハを前記マガジンに戻すウェハ挿取ハンドリングステップと、載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップし、前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填する装填ステップと、前記挿取ハンドリングステップで取り残した取り残しウェハを検出する取り残しウェハ検出ステップと、前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する報知ステップと、を有することを第2の特徴とする。さらに、本発明は、前記報知は、作業員に前記取り残しウェハのリカバリ処理を、前記取り残しウェハを検出前の一連の処理に連続して行うように促すことを第3の特徴とする。また、本発明は、前記ウェハ有無検知は、前記一連の処理に比べ、前記リカバリ処理において、ウェハ検知作業に時間をかける又は検知範囲を上下前後に広くして前記ウェハの有無を検知することを第4の特徴とする。また、本発明は、前記リカバリ処理は、前記取り残しウェハのみを前記マガジンにセットして行なうことを第5の特徴とする。さらに、本発明は、前記取り残しウェハ検出は、前記段のうち前記ウェハ挿取ハンドリングで前記ウェハを取り出せた段を処理済として記憶し、前記ウェハがあるべき段に前記記憶したデータがないことにより前記取り残しウェハを検出することを第6の特徴とする。本発明によれば、ウェハの取り残しのない、マガジン内の全てのウェハを確実に処理できる生産性の高いテーピング装置及びテーピング方法を提供できる。図1は、本実施形態におけるテーピング装置100の概略上面図である。テーピング装置100は、取出ノズル51によりウェハWからダイDをピックアップし、キャリアテープ7Aの凹部形状を有する各収納部にダイを順次装填し、カバーテープ7Bで当該収納部の開口部を閉塞し、供給テープを作成する装置である。テーピング装置100は、ダイDを粘着している複数のウェハWを有するマガジン部2と、マガジン部2からウェハWを取り出し元に戻すウェハ挿取部3と、取り出されたウェハWを載置し、ダイDのピックアップ位置にウェハWを移動させるピックアップ部4と、円周状に配置された複数図面では8本の第1の取出ノズル51を有する第1の回転盤部5と、円周状に配置され、第1の回転盤部5の取出ノズル51からダイを受け取る複数図面では8本の第2の装填ノズル61でキャリアテープ7Aの各収納部内にダイを収納する第2の回転盤部6と、前記収納部開口部を閉塞し、供給テープを作成する供給テープ部7と、各部を制御する制御装置8と、を有する。マガジン部2は、図2及び図4に示すように、複数のウェハリング1を多段図2は7段配置したマガジン21と、マガジンをウェハリング1の間隔単位にステップ状に昇降するマガジン昇降駆動部22とを有する。ウェハリング1は、図3に示すように、ダイDを粘着するダイシングテープ11にテンションを与えウェハWを保持する。ウェハのロット番号とウェハ番号が記載されたバーコード12が、ウェハリング1あるいはウェハWのシート部に設けられている。マガジン21内のウェハ群は1マガジン1ロットとして管理処理される場合が多い。ウェハ挿取部3は、図4に示すように、マガジン21からウェハリング1を取り出し、元の位置に戻すウェハ挿取ハンドリングユニット31と、ウェハ挿取ハンドリングユニットのハンドの先端に設けられ、ウェハWウェハリング8の有無を検知するウェハ有無検知センサ32と、ウェハリング1あるいはウェハW上のバーコード12を読み取るバーコート読取ユニット33とを有する。ウェハ挿取ハンドリングユニット31は、そのハンドをマガジン21に近づけ、ウェハ有無検知センサ32によって、ウェハWを検出する。そして、ウェハ挿取ハンドリングユニット31は、そのハンドでウェハリング1を把持し、ピックアップ部4のエキスパンドリング41に載置する。また、ウェハW上のダイのうちピックアップすべきダイD、例えば良品のダイDがなくなった後に、ウェハ挿取ハンドリングユニット31は、そのウェハリング1をマガジン21の元の段の位置に挿入し戻す。ピックアップ部4は、図1に示すように、ウェハリング1を保持するエキスパンドリング41と、ピックアップするために所定のダイDを突き上げる突き上げユニット42と、エキスパンドリング41をX、Y方向に移動させ、突き上げユニット42の位置にピックアップするダイDを移動させる図示しないXY駆動部とを有する。ピックアップ部4は、突き上げユニット42がダイDを突き上げたときに、エキスパンドリング41を下降させる。その結果、ウェハリング1に保持されている図3に示すダイシングテープ11は引き伸ばされ、ダイDの間隔が広がり、ダイDのピックアップ性が向上させる。第1の回転盤部5は、反時計回りに間欠回転する。間欠回転で停止する位置をステーションと呼ぶ。第1の回転盤部5は、8本の取出ノズル51でウェハWから順次しダイDピックアップするピックアップステーションと、ダイDの電極面を下面とするために図示しない反転機構でダイDの姿勢を反転させる反転ステーションと、反転されたダイDの位置を認識するする認識ステーションと、印字する印字ステーションと、第2の回転盤部の装填ノズル61にダイDを受け渡す受渡ステーション等とを有する。なお、白丸はダイDを吸着していない取出ノズル51を、丸に斜線はダイDを吸着している取出ノズル51を示す。この点は、次の第2の回転盤部6の装填ノズル61も同様である。第2の回転盤部6は、第1の回転盤部5の間欠回転に同期して、時計回りに間欠回転する。第2の回転盤部6は、第1の回転盤部5の取出ノズル51からダイDを受け取る受取ステーションと、例えばダイDに流れる電流値が所定範囲であるかを検査する特性検査ステーションと、ダイDの側面、底面を撮像して装填ノズル61のダイDの位置姿勢を認識する認識ステーションと、その認識結果に基づいてキャリアテープ7Aの各収納部内にダイを装填する装填ステーション等とを有する。供給テープ部7は、ダイDが未収納なキャリアテープ7Aを巻回したキャリアテープリール71と、ダイDの装填位置である装填ステーションにキャリアテープ7Aを搬送する搬送部72と、ダイDが装填されたキャリアテープ7Aを被覆するカバーテープ7Bを供給するカバーテープ供給リール73と、キャリアテープ7Aとカバーテープ7Bとを熱溶着する図示しないテープ圧着機構と、キャリアテープ7Aとカバーテープ7Bとの熱溶着後の供給テープを巻回する図示しない供給テープリールとを有する。制御装置8は、メモリ81を有し、テーピング装置100の各部を制御する。また、制御装置8は、図3に示すウェハリング1のバーコード12からウェハのロット番号とウェハ番号を取り込む。そして、ウェハ番号に対応するウェハWのマップデータをメモリ81に取り込む。マップデータとは、ウェハ毎に良品のダイ又はグレード毎にダイDの位置を示したマップである。図5aに示すように、マップデータはロット単位にネットワーク上のフォルダで、あるいはFDFloppyDisk:登録商標、USBUniversalSerialBusメモリ等のメディアで管理され、記憶されているのが一般的である。図5bは、ウェハWマップデータを管理するネットワーク上の共有フォルダの構成例を示す。LOT001はロット番号を、WAF001.DAT、WAF010.DAT等は、ウェハ番号を示す。図6は、制御装置8がテーピング処理をするあたり、マガジンロット管理データの例を示した図である。マガジンロット管理データは、マガジン21の各段の収納位置に対してウェハ番号データ及びマップデータ有無データ、並びに生産運転中に更新される生産済未済データで構成されている。図6では、9段の収納位置を有するマガジン21の上段から4段目乃至8段目にウェハリング1に保持されたウェハWが収納されており、各ウェハWはマップデータを有している。図6に示す生産済未済データは、マガジン収納位置6段目のウェハWが未だ処理されていないことを示す。図7は、以上説明した実施形態であるテーピング装置のデータ構成におけるテーピング処理フローを示す図である。以下の説明では、図6のマガジンロット管理データに基づいて説明する。まず、マガジン21に同一ロットとして管理されるウェハをセットする。また、マップデータが記憶されているFD、USBメモリ等のいずれかのメディアを制御装置8にセットする、又はネットワークを制御装置8に接続するステップ1。以下の説明では、メディアを制御装置にセットしたとする。次に、最初に処理すべきウェハの検索を行なうステップ2。図8は、処理すべきウェハの検索処理フローを示すサブルーティン1を示す。サブルーティン1では、まず、1枚目で有るか判断するステップS11。1枚目であれば、マガジン21の最上段最下段をウェハ引出位置に移動するステップS12。1枚目でなければ、マガジンの次の段をウェハ引出位置に移動するステップS13。マガジン21からのウェハ取り出し順は、マガジン21の最上段最下段から開始し下段上段に向けて行なわれる。また、ウェハ引出位置は、マガジン21が移動するために、固定位置であり、メモリ81に記憶されている。ステップS12、S13後、ウェハ挿取ハンドリングユニット31をウェハ引出位置に移動させステップS14、ウェハ有無検知センサ32によりウェハWの有無を検知しステップS15。そひて、ウェハWの有無を判断するステップS16。ウェハがあればウェハ有のフラグを立ててステップS17、メインルーティンに戻る。ウェハWがなければ、現在の段がマガジン21の最下段最上段であるかを判断するステップS18。最下段最上段であるかの判断は、マガジン21の移動範囲又はリミッタなどのセンサに基づいて行なう。最下段最上段であれば、ウェハ無しのフラグを立ててステップS19、メインルーティンに戻る。最下段最上段でなければ、ステップS13に戻り、マガジン21の位置を次の段に移動し、ステップS15からのステップを繰り返す。図6のマガジンロット管理データによれば、最上段から4段目に初めてウェハWが存在するので、ステップS19からステップS13に戻るステップを3回繰り返し、メインルーティンに戻ることになる。ステップ2のサブルーティン1のウェハの検索処理では、最初であるので必ず処理すべきウェハWは存在する。そこで、後述するステップ10のように処理すべきウェハWの有無を判断せず、ウェハ挿取ハンドリングユニット31を用いてマガジン21からウェハWウェハリング1を取り出し、ピックアップ部4にセットするステップ3。セット後、1枚目のウェハWかを判断するステップ3。1枚目のウェハWであれば、バーコート読取ユニット33でウェハリング1のバーコード12からウェハのロット番号とウェハ番号を読み込む。そして、メディア内のデータを検索して当該マガジンのロット番号に対応する全てウェハ番号のマップデータを読み込み、メモリ81に記憶するステップ5。1枚目のウェハのウェハ番号に対応する生産済未済データを済とするステップ6。1枚目のウェハWでなければ、直接ステップ6に行き、当該ウェハのウェハ番号に対応する生産済未済データを済とする。次に、当該ウェハのダイDのうち処理すべきダイのテーピング処理を実施するステップ7。テーピング処理が終了したら、ウェハ挿取ハンドリングユニット31を用いて処理されたウェハをマガジン21の取り出した元の段に挿入するステップ8。次に、ステップ2で説明したサブルーティン1の処理フローに従い、次に処理するウェハの検索を行なうステップ9。サブルーティン1で作成したフラグに基づいて、処理するウェハWがあるかを判断するステップ10。処理するウェハWがあれば、ステップ3に戻り、テーピング処理を継続する。処理するウェハWがなければ、マガジンロット管理データ生産済未済データに未済があるかを見て、マガジン21内のウェハW全てを処理したかを判断するステップ11。未済がなければ、全てのウェハWの処理ができたとして生産を終了する、未済があれば、マガジン21内のウェハ取残しエラー処理を実施するステップ12。ウェハW有りの判断は、言葉どおりであるが、ウェハW無しの判断は次の2つの場合がある。一つは本当にウェハWが無い場合であり、他の一つは、課題で示したようにウェハリング1に汚れや湾曲等がありウェハリング1を検出できない場合である。従って、ウェハWが無いからといって、即ウェハ取残しが発生したとは限らない。ウェハ取残しが発生したかどうかは、マガジンロット管理データの生産済未済データに未済があることが重要である。例えば、図6において、7段目にウェハ番号データが無ければ、ウェハ取残しが無いことになる。また、ウェハは必ず連続して何枚マガジン21に載置した約束がなければ、該当する段でウェハを引き出さないとき場合は、未済と積極的に判定できない。連続する約束だけでも、ウェハが存在する最初の段、例えば図6に示す今回の実施形態のように4段目でウェハを引き出さないとき、必ずしも未済とは判断できない。それ故、本実施形態では、ウェハ取り残しの判断は、マガジンロット管理データのウェハ番号データと、制御装置8で作成される生産済未済データとで行なう。従って、ウェハ取り残し検出手段は、マガジンロット管理データのウェハ番号データと、生産済未済データと、生産済未済データを作成する制御装置8とで構成される。図9は、マガジン内のウェハ取残しエラー処理フローを示す図である。まず、図10に示すような警告メッセージを、例えば図示しない表示装置に表示して、作業者に確認リカバリ処理を促すステップS21。表示装置としては、所謂ディスプレイの他、プリンタでも良いし、警告を発するだけではあれば、マガジン上にランプを設け、そのランプを点滅するだけでもよい。このような表示装置と表示装置を制御する制御装置が報知手段を構成する。作業者はリカバリ処理を実施するかしないかを判断するステップS22。リカバリ処理を実施しないと判断したら、メインルーティンに戻り生産を終了する。一方、リカバリ処理を実施する判断したら、警告メッセージに従い、マガジンロット管理データ生産済未済データに基づいて、済のウェハをマガジン21から取り除き、未済みのウェハのみをマガジンにセットするステップS23。この場合、未済みのウェハのセット位置を変えてもよい。作業員が再スタートボタンを押したらステップS24、マガジン21の位置を初期位置である最上段最下段に移動させステップS25、図7に示すメインルーティンのステップ9に行き、最上段最下段から順次行なう。リカバリ処理においもメインルーティンのステップ9において、即ち図8に示すサブルーティン1のステップ15において、ウェハ有無検知センサ32によりウェハの有無を検知する。このウェハ検知処理を通常と同じ様に処理したら、また、検知できない可能性が高い。従って、リカバリ処理においては、ウェハ検知作業に時間をかける、ウェハ挿取ハンドリングユニット31での検知範囲を上下前後に広くする等の精査処理方法を用いて、確実に検知できるようにする。図9に示すウェハ取残しエラー処理において、済のウェハWを取り除き、マガジン21の位置を最上段最下段に移動させたが、済のウェハWを取り除かず、マガジン21の位置を未済の段に移動させて、そこからリカバリ処理を行なってもよい。以上説明した実施形態によれば、ウェハの取り残しのない、マガジン内の全てのウェハを確実に処理できる生産性の高いテーピング装置及びテーピング方法を提供できる。また、以上説明した実施形態によれば、ウェハ取残しが発生した場合、後でウェハ取残しのウェハを処理するような作業手間をなくすことでき、作業効率のよいテーピング装置及びテーピング方法を提供できる。さらに、以上説明した実施形態によれば、全てのカバーテープ7Bの収納部にダイDを収納していない端数を有する供給テープ数を低減できる。一般的に、マガジン21内のウェハが全て生産終了した際に、最後の供給テープ例:3000ダイ/1供給テープは端数の供給テープとなる。しかしながら、ウェハ取残しができ、後でウェハ取り残し分を処理することになると、もう一本の端数の供給テープが発生してしまう。端数の供給テープが増えると電子部品装着装置における供給テープの交換が早まり、その交換作業の手間が増える。本実施形態によれば、この手間を省くことができ、作業効率のよいテーピング装置及びテーピング方法を提供できる。以上の説明した実施形態は、1マガジン1ロットの例である。1マガジン1ロットの他に1ロットのウェハを複数のマガジンで処理、或いは逆に1マガジンで複数のロットのウェハを処理することもある。前者の場合、マガジン毎に取残した取残しウェハを処理してもよいし、最後のマガジン処理後に纏めてウェハ取残しのウェハを処理してもよい。また、後者の場合は、ロット毎に連続した段に、或いは纏めて配置される。ロット番号が異なった場合に、ウェハ取残しのウェハWが有る場合に、その旨を作業員に伝え、次のロット処理をする前に、引き続き当該ロットのウェハ取残しのウェハを処理してもよいし、全ロットの処理が済んだ後に、ウェハ取残しのあるロットに対して順次、ウェハ取残しのウェハを処理してもよい。また、以上説明した実施形態では、マガジンロット管理データの生産済未済データによって、ウェハ取残しを検出した。各ウェハのテーピング処理するダイの個数が分かれば、全ウェハの総テーピング処理するダイの個数と処理したダイの個数からウェハ取残しを検出してもよい。この場合は、どの段のウェハを取り残したかは不明であるので、全ての段に対してウェハの有無の検知処理を前述したリカバリ処理における精査処理方法で行ない、取り残したウェハの段を検出してウェハ取残しの処理をする。この場合のウェハ取り残し検出手段は、各ウェハのテーピング処理するダイの個数と、全ウェハの総テーピング処理するダイの個数カウントし、その差からウェハの取り残しを検出する制御装置8とで構成される。以上のように本発明の実施形態について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。