イオン注入環境における回転面を加熱する方法であって、第1軸の周りを回転する走査アームと、上記走査アームに対して捩れモータを介して回転可能に接続された、ワークピースを保持する末端効果器とを形成する工程を含み、上記末端効果器は、上記第1軸に対して所定距離を隔てて配置された第2軸の周りを回転するように形成され、上記第2軸は、当該第2軸および捩れモータに対応する軸受機構およびシール機構を有しており、上記捩れモータを始動させる工程と、所定時間が経過した後、あるいは上記捩れモータが上記末端効果器を上記第2軸の周りに回転させる構成である場合に当該捩れモータの障害が生じたときに上記捩れモータの回転方向を反転させる工程と、上記末端効果器の上記第2軸の周りの回転が適切であるか否かを判断する工程と、上記末端効果器の回転が不適切であると判断した場合に、上記走査アームを往復運動させることにより、上記末端効果器の慣性力によって当該末端効果器を上記第2軸の周りに回転させる工程とを含むことを特徴とする方法。1または複数の上記軸受機構および上記シール機構が、磁性流体を含んでいることを特徴とする請求項1に記載の方法。所定時間が経過した後に捩れモータの回転方向を反転させる上記工程は、上記所定時間の長さを連続的に増加させる処理を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。上記末端効果器の回転量が所定回転量である場合に、上記末端効果器の上記第2軸の周りの回転は適切であると判断することを特徴とする請求項1に記載の方法。上記所定回転量は、上記第2軸の周りの約30度の回転量であることを特徴とする請求項4に記載の方法。上記第1軸は、上記走査アームを当該第1軸に往復運動させても上記末端効果器が処理媒体に干渉しないように配置されており、上記走査アームを上記第1軸に略垂直な方向に移動させる工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。上記処理媒体は、イオンビームからなることを特徴とする請求項6に記載の方法。上記走査アームの上記第1軸に沿った方向の往復運動をイオン注入が行われていない期間中に行うことにより、上記軸受機構および/または上記シール機構の粘度を低く維持することを特徴とする請求項1に記載の方法。被冷却イオン注入環境における回転面を加熱する方法であって、イオンビームを供給するイオン注入システムを配置する工程と、ワークピースが上記イオンビームを通過するように形成されたワークピース走査システムを配置する工程とを含み、上記ワークピース走査システムは、第1軸の周りを回転する走査アームと、上記走査アームにおける上記第1軸から所定距離隔てた位置に回転可能に接続された末端効果器とを備え、上記末端効果器は、上記ワークピースを保持するように形成されており、かつ第2軸の周りを回転するように形成されており、上記末端効果器の上記第2軸の周りの回転に関連する1または複数の軸受機構およびシール機構が冷却されることにより上記末端効果器の上記第2軸の周りの回転能力が低下するように上記末端効果器を冷却する工程と、上記末端効果器の慣性力によって上記末端効果器が上記第2軸の周りを回転するように上記走査アームを上記第1軸の周りに回転させる工程とを含むことを特徴とする方法。1または複数の上記軸受機構および上記シール機構は、磁性流体を含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。イオン注入システムで用いられるワークピース走査システムであって、第1軸の周りを回転するように形成された走査アームと、上記第1軸に対して所定距離を隔てて配置された第2軸の周りを回転可能なように上記走査アームに接続されており、かつ保持板を有しており、かつワークピースを保持する末端効果器と、上記第2軸に沿って配置された、上記末端効果器を上記走査アームに対して回転可能に接続する軸受機構と、上記第2軸に沿って配置された、外部環境と1または複数の上記走査アームおよび上記末端効果器の内部領域に関連する内部環境との間に圧力障壁を形成するシール機構と、捩れモータからの帰還信号および上記第2軸の周りの所定の回転角度の少なくとも一部に基づいて上記末端効果器を上記第2軸の周りに正方向および逆方向に選択的に回転させ、かつ、上記捩れモータからの帰還信号および/または上記イオン注入システムの状態の少なくとも一部に基づいて上記走査アームを上記第1軸に沿った方向に往復運動させる制御部とを備え、上記走査アームの上記往復運動によって上記末端効果器に生じる慣性力により上記末端効果器が上記第2軸の周りを回転することを特徴とするワークピース走査システム。上記軸受機構および上記シール機構の近傍に配置された加熱機構を備え、上記加熱機構は、上記軸受機構および上記シール機構に所定の熱量を供給することにより、上記末端効果器の上記第2軸の周りの回転能力を向上させることを特徴とする請求項11に記載のワークピース走査システム。上記シール機構は、上記外部環境と上記内部環境との間を回転可能に気密シールするように形成された回転式磁性流体シール機構を備えていることを特徴とする請求項11に記載のワークピース走査システム。上記回転式磁性流体シール機構は、被冷却末端効果器に対して回転可能に接続された、上記第2軸の周りに回転するロータと、上記第2軸に沿って配置された、上記ロータを回転させるステータと、上記ロータと上記ステータとの間の環状領域に配置された磁性流体とを備えていることを特徴とする請求項13に記載のワークピース走査システム。上記末端効果器は、ワークピースの被保持面を静電的に保持し、ワークピースを冷却するための被冷却静電チャックを備えていることを特徴とする請求項11に記載のワークピース走査システム。イオンビームを横切るようにワークピースを移動させる走査アームと、上記走査アームに対して捩れ軸の周りを回転可能に接続された、ワークピースを保持する末端効果器と、上記捩れ軸に沿って配置された、上記末端効果器を上記走査アームに対して回転可能に接続する軸受機構と、上記捩れ軸に沿って配置された、外部環境と1または複数の上記走査アームおよび上記末端効果器の内部領域に関連する内部環境との間に圧力障壁を形成するシール機構と、上記捩れ軸の選択的な回転を介して上記軸受機構および上記シール機構に所定の熱量を供給することにより、上記末端効果器の上記捩れ軸の周りの回転性を増加させる制御部とを備えていることを特徴とするイオン注入ワークピース走査システム。上記シール機構は、上記外部環境と上記内部環境との間を回転可能に気密シールするように形成された回転式磁性流体シール機構を備えていることを特徴とする請求項16に記載のイオン注入ワークピース走査システム。上記回転式磁性流体シール機構は、上記末端効果器に対して回転可能に接続された、上記捩れ軸の周りに回転するロータと、上記捩れ軸に沿って配置された、上記ロータを回転させるステータとを有する捩れモータと、上記ロータと上記ステータとの間の環状領域に配置された磁性流体とを備えていることを特徴とする請求項17に記載のイオン注入ワークピース走査システム。上記制御部は、捩れモータからの帰還信号および上記末端効果器の上記捩れ軸の周りの所定の回転角度の少なくとも一部に基づいて上記末端効果器を上記捩れ軸の周りに正方向および逆方向に選択的に回転させ、かつ、上記捩れモータからの帰還信号および/またはイオン注入の状態の少なくとも一部に基づいて上記走査アームを走査軸方向に往復運動させ、上記往復運動によって生じる上記末端効果器の慣性力により上記末端効果器を上記捩れ軸の周りに回転させることを特徴とする請求項18に記載のイオン注入ワークピース走査システム。上記末端効果器は、ワークピースの被保持面を静電的に保持し、ワークピースを冷却するための被冷却静電チャックを備えていることを特徴とする請求項16に記載のイオン注入ワークピース走査システム。イオン注入環境における回転面を加熱する方法であって、ワークピースを保持するための、捩れモータに関連する軸受機構とシール機構とを有する末端効果器が上記捩れモータを介して回転可能に接続された走査アームを配置する工程と、上記捩れモータにより上記末端効果器を第1方向に回転させる工程と、上記走査アームと上記末端効果器との回転可能な接続を維持するために、所定時間が経過した後に上記捩れモータの回転方向を反転させる工程とを含むことを特徴とする方法。上記軸受機構および上記シール機構の1または複数が、磁性流体を含んでいることを特徴とする請求項21に記載の方法。上記捩れモータを正方向および逆方向に選択的に回転させる時間を、上記磁性流体の粘度を所定範囲に維持するように選択することを特徴とする請求項22に記載の方法。被冷却イオン注入環境における回転面を加熱するための方法であって、イオンビームを供給するイオン注入システムを配置する工程と、ワークピースが上記イオンビームを通過するように形成されたワークピース走査システムを配置する工程とを含み、上記ワークピース走査システムは、末端効果器が回転可能に接続された走査アームを備え、上記末端効果器は、上記ワークピースを保持するように形成されており、かつ捩れ軸の周りを回転するように形成されており、上記末端効果器と上記走査アームとの回転可能な接続に関連する軸受機構とシール機構とを備え、上記軸受機構および上記シール機構のうちの1または複数は、磁性流体を含んでいることを特徴とする方法。イオン注入装置で用いられるワークピース走査システムであって、末端効果器が第1軸モータを介して回転可能に接続された走査アームを備え、上記末端効果器は、ワークピースを保持するように形成されており、かつ第1軸の周りを上記走査アームに対して相対的に回転するように形成されており、上記末端効果器と上記走査アームとを回転可能に接続するための上記第1軸に沿って配置された上記第1軸モータに関連する軸受機構と、上記軸受機構の保護障壁を形成するための上記第1軸に沿って配置されたシール機構と、上記走査アームと上記末端効果器との回転可能な接続を維持するために、上記末端効果器を上記第1軸の周りに正方向および逆方向に選択的に回転させる制御部とを備えていることを特徴とするワークピース走査システム。上記制御部は、上記モータからの帰還信号を受け取ることを特徴とする請求項25に記載のワークピース走査システム。上記シール機構は、外部環境と上記末端効果器に関連する内部環境との間を気密シールする回転式磁性流体シール機構を備え、上記末端効果器の正方向および逆方向への回転によって磁性流体の粘度を最小に保つことを特徴とする請求項25に記載のワークピース走査システム。イオン注入ワークピース走査システムであって、イオンビームを横切るようにワークピースを移動させる走査アームと、第1軸の周りに回転可能なように上記走査アームに接続された、上記ワークピースを保持する末端効果器と、上記第1軸に沿って配置された、上記末端効果器と上記走査アームとを回転可能に接続する軸受機構と、上記第1軸に沿って配置された、上記軸受機構の保護障壁を形成するシール機構と、上記末端効果器を上記第1軸の周りに回転させることで上記軸受機構および上記シール機構に所定の熱量を供給することにより、上記末端効果器の上記第1軸の周りの最低限の回転性能を維持する制御部とを備えていることを特徴とするイオン注入ワークピース走査システム。上記制御部は、第1軸モータからの帰還信号および上記末端効果器の上記第1軸の周りの所定角度の回転の少なくとも一部に基づいて、上記末端効果器を上記第1軸の周りに正方向および逆方向に選択的に回転させることを特徴とする請求項28に記載のイオン注入ワークピース走査システム。上記末端効果器は、ワークピースの被保持面を静電的に保持し、ワークピースを冷却するための被冷却静電チャックを備えていることを特徴とする請求項29に記載のイオン注入ワークピース走査システム。