対象物と接する物体接触面の摩擦特性を変化させる摩擦特性変化手段を備えたロボットハンドにおいて、前記物体接触面が形成された可動部と、前記可動部を駆動するための振動アクチュエータとをさらに備え、前記摩擦特性変化手段は、前記振動アクチュエータを用いて前記物体接触面を超音波振動させることにより前記物体接触面に作用する摩擦力を変化させることを特徴とするロボットハンド。対象物と接する物体接触面の摩擦特性を変化させる摩擦特性変化手段を備えたロボットハンドにおいて、前記摩擦特性変化手段は、前記物体接触面を、回転子を介して超音波振動させることにより前記物体接触面に作用する摩擦力を変化させることを特徴とするロボットハンド。対象物と接する物体接触面の摩擦特性を変化させる摩擦特性変化手段を備えたロボットハンドにおいて、前記物体接触面が形成された可動部と、前記可動部を駆動するための振動アクチュエータとをさらに備え、前記物体接触面は、前記対象物に対する移動方向に応じて摩擦係数が変化する面であり、前記摩擦特性変化手段は、前記振動アクチュエータを用いて前記可動部の移動方向を変化させることを特徴とするロボットハンド。自走式ロボットに用いられる請求項1~3のいずれか一項に記載のロボットハンド。しかしながら、例えば、本のページやビニール袋を対象物とし、ページをめくったり、ビニール袋を開く等の動作をロボットハンドで行う場合には、対象物を把持するわけではないので、特許文献1の方法では正確な動作を期待することができないという問題点がある。このような対象物を取り扱う際には、把持力よりも、対象物に接触する物体接触面の摩擦特性がより重要となり、従来は、摩擦特性を変化させるために、ロボットハンドの指先のパーツを交換したり、指先にキャップ等をしなければならなかった。この発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、種々の対象物を容易に取り扱うことができるロボットハンドを提供することを目的とする。この発明に係るロボットハンドは、対象物と接する物体接触面の摩擦特性を変化させる摩擦特性変化手段を備えたロボットハンドにおいて、物体接触面が形成された可動部と、可動部を駆動するための振動アクチュエータとをさらに備え、摩擦特性変化手段は、振動アクチュエータを用いて物体接触面を超音波振動させることにより物体接触面に作用する摩擦力を変化させるものである。また、この発明に係るロボットハンドは、対象物と接する物体接触面の摩擦特性を変化させる摩擦特性変化手段を備えたロボットハンドにおいて、摩擦特性変化手段は、物体接触面を、回転子を介して超音波振動させることにより物体接触面に作用する摩擦力を変化させるものである。また、この発明に係るロボットハンドは、対象物と接する物体接触面の摩擦特性を変化させる摩擦特性変化手段を備えたロボットハンドにおいて、物体接触面が形成された可動部と、可動部を駆動するための振動アクチュエータとをさらに備え、物体接触面は、対象物に対する移動方向に応じて摩擦係数が変化する面であり、摩擦特性変化手段は、振動アクチュエータを用いて可動部の移動方向を変化させるものである。この発明のロボットハンドは、自走式ロボットに用いることができる。この発明によれば、摩擦特性変化手段で物体接触面の摩擦特性を変化させることにより、種々の対象物を取り扱うことが可能となる。以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。実施の形態1図1に、この発明の実施の形態1に係るロボットハンドを示す。基部ブロック1に駆動源となる振動アクチュエータVを介して可動部2が連結されている。振動アクチュエータVは、基部ブロック1の上に配置された振動子3と、振動子3の上に配置され且つ振動子3に接する面とは反対側に凹部4が形成された固定子5と、固定子5の凹部4内にほぼ下半部が収容された略球体状の回転子6とを有している。回転子6に可動部2が固定されており、可動部2と固定子5とが可撓性の保持部材7で互いに移動自在に連結されている。可動部2の外面の一部は、このロボットハンドによって取り扱おうとする対象物図示せずと接する物体接触面Pを構成しており、この物体接触面Pに液体供給口8が開口している。ここで、説明の便宜上、基部ブロック1から回転子6に向かってZ軸が延び、Z軸に対して垂直方向にX軸が、Z軸及びX軸に対して垂直にY軸がそれぞれ延びているものとする。図2に示されるように、可動部2内には、液体貯留部となるシリンダ9が形成されており、シリンダ9の内部と液体供給口8とが供給管10を介して連通している。また、シリンダ9内には、ピストン11がスライド可能に収容されており、ピストン11にプランジャ12を介してスライドアクチュエータ13が連結されている。供給管10により連通路が形成されると共にスライドアクチュエータ13により供給手段が形成されている。可動部2の壁部には、シリンダ9内に通じる貫通孔14が形成され、この貫通孔14に可動部2の外側からキャップ15が脱着可能に嵌合されている。図3に示されるように、基部ブロック1と固定子5とが振動子3内に通された連結ボルト16を介して互いに連結されている。固定子5の凹部4は、回転子6の直径より小さな内径を有する小径部17と、回転子6の直径より大きな内径を有する大径部18とからなり、これら小径部17及び大径部18との境界部にXY平面上に位置する環状の段差19が形成されている。回転子6はこの凹部4内の段差19に当接した状態で回転可能に支持されている。また、可動部2と固定子5とを連結する保持部材7によって回転子6が固定子5の段差19に対して加圧接触されている。振動子3は、固定子5に超音波振動を発生させて回転子6をX、Y、Zの3軸の回りにそれぞれ回転させるためのものであり、それぞれXY平面上に位置し且つ互いに重ね合わされた平板状の第1~第3の圧電素子部31~33を有している。これら第1~第3の圧電素子部31~33がそれぞれ駆動回路20に電気的に接続されている。具体的には、図4に示されるように、第1の圧電素子部31は、それぞれ円板形状を有する電極板31a、圧電素子板31b、電極板31c、圧電素子板31d及び電極板31eが順次重ね合わされた構造を有している。同様に、第2の圧電素子部32は、それぞれ円板形状を有する電極板32a、圧電素子板32b、電極板32c、圧電素子板32d及び電極板32eが順次重ね合わされた構造を有し、第3の圧電素子部33は、それぞれ円板形状を有する電極板33a、圧電素子板33b、電極板33c、圧電素子板33d及び電極板33eが順次重ね合わされた構造を有している。これらの圧電素子部31~33が絶縁シート34~37を介して固定子5及び基部ブロック1から、また互いに絶縁された状態で配置されている。図5に示されるように、第1の圧電素子部31の一対の圧電素子板31b及び31dは、Y軸方向に2分割された部分が互いに逆極性を有してそれぞれZ軸方向厚み方向に膨張と収縮の反対の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板31bと圧電素子板31dは互いに裏返しに配置されている。第2の圧電素子部32の一対の圧電素子板32b及び32dは、2分割されることなく全体がZ軸方向厚み方向に膨張あるいは収縮の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板32bと圧電素子板32dは互いに裏返しに配置されている。第3の圧電素子部33の一対の圧電素子板33b及び33dは、X軸方向に2分割された部分が互いに逆極性を有してそれぞれZ軸方向厚み方向に膨張と収縮の反対の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板33bと圧電素子板33dは互いに裏返しに配置されている。第1の圧電素子部31の両面部分に配置されている電極板31a及び電極板31eと、第2の圧電素子部32の両面部分に配置されている電極板32a及び電極板32eと、第3の圧電素子部33の両面部分に配置されている電極板33a及び電極板33eがそれぞれ電気的に接地されている。また、第1の圧電素子部31の一対の圧電素子板31b及び31dの間に配置されている電極板31cと、第2の圧電素子部32の一対の圧電素子板32b及び32dの間に配置されている電極板32cと、第3の圧電素子部33の一対の圧電素子板33b及び33dの間に配置されている電極板33cがそれぞれ駆動回路20に電気的に接続されている。次に、この実施の形態1に係るロボットハンドの動作について説明する。ロボットハンドの駆動に先立って、予め、キャップ15が貫通孔14から外され、貫通孔14を介してシリンダ9内に水が供給され、再びキャップ15が貫通孔14に嵌合されているものとする。振動子3に対して、第1の圧電素子部31の電極板31cに固定子5の固有振動数に近い周波数の交流電圧を印加すると、第1の圧電素子部31の一対の圧電素子板31b及び31dの2分割された部分がZ軸方向に膨張と収縮を交互に繰り返し、固定子5にY軸方向のたわみ振動を発生する。同様に、第2の圧電素子部32の電極板32cに交流電圧を印加すると、第2の圧電素子部32の一対の圧電素子板32b及び32dがZ軸方向に膨張と収縮を繰り返し、固定子5にZ軸方向の縦振動を発生する。さらに、第3の圧電素子部33の電極板33cに交流電圧を印加すると、第3の圧電素子部33の一対の圧電素子板33b及び33dの2分割された部分がZ軸方向に膨張と収縮を交互に繰り返し、固定子5にX軸方向のたわみ振動を発生する。そこで、例えば、駆動回路20から第2の圧電素子部32の電極板32cと第3の圧電素子部33の電極板33cとの双方に位相を90度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、X軸方向のたわみ振動とZ軸方向の縦振動とが組み合わされて回転子6と接触する固定子5の段差19にXZ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介して回転子6がY軸回りに回転する。同様に、駆動回路20から第1の圧電素子部31の電極板31cと第2の圧電素子部32の電極板32cとの双方に位相を90度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Y軸方向のたわみ振動とZ軸方向の縦振動とが組み合わされて回転子6と接触する固定子5の段差19にYZ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介して回転子6がX軸回りに回転する。さらに、駆動回路20から第1の圧電素子部31の電極板31cと第3の圧電素子部33の電極板33cとの双方に位相を90度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、X軸方向のたわみ振動とY軸方向のたわみ振動とが組み合わされて回転子6と接触する固定子5の段差19にXY面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介して回転子6がZ軸回りに回転する。このようにして振動子3を駆動することにより、回転子6がX、Y、Zの3軸の回りにそれぞれ回転し、これに伴って可動部2が移動する。そこで、可動部2を移動させて可動部2の物体接触面Pを図示しない対象物に接触させ、この状態で対象物を取り扱う。例えば、物体接触面Pを対象物に接触させたまま、さらに可動部2を移動させることにより、対象物を移動させる。あるいは、外力を受けて移動しようとする対象物を押さえ込んで保持する。このとき、可動部2の物体接触面Pと対象物の表面との間に作用する摩擦力が小さすぎると、所望の取り扱いを行うことができなくなる。このような場合には、可動部2の内部に配置されているスライドアクチュエータ13を作動させてピストン11をシリンダ9内に所定量だけ押し込み、シリンダ9内に貯留されていた水を供給管10を介して液体供給口8から物体接触面P上に供給する。これにより、水の表面張力に起因して物体接触面Pの摩擦係数が変化し、対象物に対して所望の取り扱いを行うことが可能となる。例えば、可動部2の物体接触面Pを本のページ上に接触させてページめくりをしたり、ビニール袋に接触させてビニール袋を開く等の動作を正確に行うことができるようになる。所望の取り扱いが終了して物体接触面Pの摩擦係数を元に戻す場合には、駆動回路20で振動子3を駆動することにより、回転子6を介して可動部2の物体接触面Pに超音波振動を発生させ、この超音波振動によって物体接触面Pに残った水分を霧化蒸発させればよい。これにより、物体接触面P上の水分が除去される。なお、水は純水が好ましい。このように、物体接触面Pに水分を供給することで、物体接触面Pの摩擦特性を変化させて種々の対象物を取り扱うことが可能となる。なお、水の代わりにアルコール、アセトン、エタノール等を使用することもできる。ロボットハンドの周辺温度等により物体接触面Pに残留したアルコール等が短時間で揮発する場合には、アルコール等の除去のために物体接触面Pに超音波振動を発生させなくてもよい。また、水の供給手段としてシリンダ9内のピストン11を駆動するスライドアクチュエータ13を用いたが、これに限るものではなく、例えばポンプ等を用いることもできる。さらに、液体貯留部としてのシリンダ9と供給手段としてのスライドアクチュエータ13を可動部2の内部に収容したが、固定子5あるいは基部ブロック1の近傍または内部にこれらを配置し、連通路となる供給管10を可動部2まで延ばして液体供給口8に連結してもよい。実施の形態2図6に、この発明の実施の形態2に係るロボットハンドの可動部21の内部構造を示す。この可動部21は、図2に示した実施の形態1における可動部2において、物体接触面Pを臨む壁部を多孔質部材22から構成すると共に、この多孔質部材22を一面とするチャンバ23を可動部21の内部に形成し、シリンダ9からの供給管10をチャンバ23に連通したものである。スライドアクチュエータ13の作動によりシリンダ9からチャンバ23内に水が供給されると、水は多孔質部材22内を浸透して物体接触面Pへと出てくる。したがって、実施の形態1と同様に、物体接触面Pの摩擦係数を変化させて種々の対象物を取り扱うことが可能となる。実施の形態3図7に、この発明の実施の形態3に係るロボットハンドの可動部24の内部構造を示す。この可動部24は、図2に示した実施の形態1における可動部2において、シリンダ9とピストン11とスライドアクチュエータ13の代わりに液体貯留室25を配設し、この液体貯留室25と液体供給口8とを供給管10で連通したものである。図3に示した駆動回路20で振動子3を駆動することにより、回転子6を介して可動部24内の液体貯留室25に超音波振動を発生させると、液体貯留室25内に貯留されていた水が振動のエネルギーを受けて蒸発し、水蒸気が供給管10を介して液体供給口8から外部へ放出される。放出された水蒸気は、外気により冷却されて物体接触面P上に結露する。したがって、実施の形態1及び2と同様に、物体接触面Pの摩擦係数を変化させて種々の対象物を取り扱うことが可能となる。なお、外気温度が高い等により、結露を生じにくい環境においては、図7に示されるように、物体接触面Pを臨む壁部にペルチェ効果を利用した電熱変換素子26を取り付け、この電熱変換素子26に電力を供給して物体接触面Pを冷却すると、水蒸気の結露が促進され、物体接触面Pの摩擦特性を変化させることが可能となる。また、液体貯留室25に超音波振動を発生させて水を蒸発させたが、その代わりに液体貯留室25に発熱素子を配置し、発熱素子から発せられる熱によって水を蒸発させることもできる。実施の形態4上記の実施の形態1~3では、物体接触面P上の液体量、例えば水分量を調整することにより物体接触面Pの摩擦係数を変化させたが、物体接触面Pに超音波振動を発生させることで物体接触面Pに作用する摩擦力を変化させることもできる。例えば図1に示した可動部2の物体接触面Pを図示しない対象物に接触させた状態で、駆動回路20で振動子3を駆動することにより、回転子6を介して物体接触面Pに超音波振動を発生させると、物体接触面Pと対象物の表面との接触部における垂直抗力が微小時間内で変化し、物体接触面Pと対象物との間に作用する摩擦力も変化することとなる。したがって、種々の対象物を取り扱うことが可能となる。実施の形態5図8に、この発明の実施の形態5に係るロボットハンドの可動部の物体接触面Pの断面構造を示す。この物体接触面Pには、非対称の断面を有する多数の凹凸27が形成されている。この凹凸27の断面の非対称性に起因して、図示しない対象物に対し、Aの方向へ物体接触面Pが移動する際には、凹凸27の多数の頂部が引っ掛かるために大きな摩擦力が発生し、逆にBの方向へ物体接触面Pが移動する際には、凹凸27の斜面部分で滑りが生じるために摩擦力は小さくなる。そこで、駆動回路20により振動子3を駆動して可動部の物体接触面Pを図8のAの方向へ移動させるか、Bの方向へ移動させるかを選択することにより、対象物に対する物体接触面Pの摩擦特性を変化させることが可能となる。実施の形態6図9に、この発明の実施の形態6に係るロボットハンドを示す。このロボットハンドは、図1に示した実施の形態1のロボットハンドにおいて、可動部2の代わりに回転子6に第1節41、第2節42及び第3節43を順次直列に連結し、最先端に位置する第3節43の外面に物体接触面Pと液体供給口8を形成したものである。また、図2に示したシリンダ9、供給管10、ピストン11及びスライドアクチュエータ13が第3節43の内部に内蔵されている。第1節41と第2節42は図示しない連結機構を介して互いに連結され、第2節42と第3節43も図示しない連結機構を介して互いに連結されており、回転子6の回転に応じて第1節41、第2節42及び第3節43が所定の動きをするように構成されている。振動子3の駆動により回転子6を回転させて第1節41、第2節42及び第3節43をそれぞれ移動させ、第3節43の物体接触面Pを図示しない対象物に接触させた状態で、液体供給口8から物体接触面Pに水分を供給することで、物体接触面Pの摩擦特性を変化させて対象物を取り扱うことが可能となる。この実施の形態6のロボットハンドは、より人間の手の指に近い動きをすることができ、種々の対象物を容易に取り扱うことができる。さらに、実施の形態6のロボットハンドを複数本並べて多肢ハンドを構成することができる。なお、実施の形態6では、第1節41、第2節42及び第3節43が回転子6の回転に応じて所定の動きをするように構成したが、第1節41、第2節42及び第3節43に対してそれぞれ独立した振動アクチュエータ等の駆動源を配設し、第1節41、第2節42及び第3節43をそれぞれ独立して移動させることも可能である。また、この実施の形態6を実施の形態2~5に適用して、それぞれ第1節41、第2節42及び第3節43を有するロボットハンドを構成してもよい。上述した実施の形態1~6のロボットハンドは、それぞれ自走式ロボットに搭載して使用することができる。