ケーシングと、前記ケーシングに貫設されたタービンロータと、前記タービンロータの周方向に複数の動翼を植設して構成され、タービンロータ軸方向に複数段備えられた動翼翼列と、前記ケーシングの内周に設けられたダイアフラム外輪と、前記ダイアフラム外輪の内側に設けられたダイアフラム内輪と、前記ダイアフラム外輪と前記ダイアフラム内輪との間に、周方向に複数の静翼を取り付けて構成され、タービンロータ軸方向に、前記動翼翼列と交互に複数段備えられた静翼翼列と、第1段の前記静翼翼列よりも外側の前記タービンロータの表面に冷却蒸気を供給する冷却蒸気供給機構と、冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落を構成する、前記ダイアフラム内輪、前記静翼および前記ダイアフラム外輪、または冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落よりも一段下流のタービン段落を構成する、前記ダイアフラム内輪、前記静翼および前記ダイアフラム外輪に形成され、冷却蒸気の少なくとも一部を回収して、前記ケーシングの内周に形成された抽気口に導く冷却蒸気回収流路とを具備することを特徴とする蒸気タービン。前記冷却蒸気回収流路が、冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落を構成する、前記ダイアフラム内輪、前記静翼および前記ダイアフラム外輪に形成される場合において、前記冷却蒸気回収流路における冷却蒸気の回収口が、前記ダイアフラム内輪の下流側の端面に形成されていることを特徴とする請求項1記載の蒸気タービン。前記冷却蒸気回収流路が、冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落よりも一段下流のタービン段落を構成する、前記ダイアフラム内輪、前記静翼および前記ダイアフラム外輪に形成される場合において、前記冷却蒸気回収流路における冷却蒸気の回収口が、前記ダイアフラム内輪の上流側の端面に形成されていることを特徴とする請求項1記載の蒸気タービン。前記冷却蒸気回収流路が、冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落よりも一段下流のタービン段落を構成する、前記ダイアフラム内輪、前記静翼および前記ダイアフラム外輪に形成される場合において、前記冷却蒸気回収流路が、前記ダイアフラム内輪に支持されたシール部にさらに形成され、冷却蒸気の回収口が、前記シール部の前記タービンロータに対向する面に形成されていることを特徴とする請求項1記載の蒸気タービン。前記抽気口が、冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落よりも下流側に備えられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の蒸気タービン。従来の冷却技術において、タービンロータを冷却する場合、タービンロータの周囲に供給された冷却蒸気は、最終的に主流蒸気側に流出する。そのため、主流蒸気の温度が低下し、翼列部の二次流れ損失の増大を招き、タービン効率が低下する。本発明が解決しようとする課題は、冷却する構成部品を確実に冷却するとともに、冷却蒸気によるタービン効率の低下を抑制することができる蒸気タービンを提供することである。実施形態の蒸気タービンは、ケーシングと、前記ケーシングに貫設されたタービンロータと、前記タービンロータの周方向に複数の動翼を植設して構成され、タービンロータ軸方向に複数段備えられた動翼翼列と、前記ケーシングの内周に設けられたダイアフラム外輪と、前記ダイアフラム外輪の内側に設けられたダイアフラム内輪と、前記ダイアフラム外輪と前記ダイアフラム内輪との間に、周方向に複数の静翼を取り付けて構成され、タービンロータ軸方向に、前記動翼翼列と交互に複数段備えられた静翼翼列とを備える。さらに、第1段の前記静翼翼列よりも上流側の前記タービンロータの表面に冷却蒸気を供給する冷却蒸気供給機構と、冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落を構成する、前記ダイアフラム内輪、前記静翼および前記ダイアフラム外輪、または冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落よりも一段下流のタービン段落を構成する、前記ダイアフラム内輪、前記静翼および前記ダイアフラム外輪に形成され、冷却蒸気の少なくとも一部を回収して、前記ケーシングの内周に形成された抽気口に導く冷却蒸気回収流路とを備える。以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。第1の実施の形態図1は、第1の実施の形態の蒸気タービン10の、タービンロータ22の中心軸を含む断面子午断面を示す図である。なお、以下において、同一の構成部分には同一の符号を付して、重複する説明を省略または簡略する。また、以下において、蒸気タービン10として、高圧タービンを例示して説明するが、中圧タービン、さらには超高圧タービンにも本実施の形態の構成を適用することができる。図1に示すように、蒸気タービン10は、内部ケーシング20とその外側に設けられた外部ケーシング21とから構成される二重構造のケーシングを備えている。内部ケーシング20内には、タービンロータ22が貫設されている。このタービンロータ22には、タービンロータ軸方向に複数段のロータディスク23が形成されている。各ロータディスク23には、複数の動翼24が周方向に植設され、動翼翼列25を構成している。内部ケーシング20の内周側には、ダイアフラム外輪26が周方向に亘って備えられている。このダイアフラム外輪26の内側には、ダイアフラム内輪27が周方向に亘って備えられている。ダイアフラム外輪26とダイアフラム内輪27との間には、複数の静翼28ノズルが周方向に支持され、静翼翼列29を構成している。この静翼翼列29は、各動翼翼列25の上流側に設けられ、タービンロータ軸方向に、静翼翼列29と動翼翼列25とを交互に複数段備えている。そして、静翼翼列29と動翼翼列25とによって1つのタービン段落を構成している。なお、ここでは、抽気口36を第5段のタービン段落の直下流側に備えた一例を示しているが、抽気口36を設ける位置は、この位置に限られるものではない。また、抽気口36は、ダイアフラム外輪26の外周側に周方向に亘って形成され、図示しない抽気管に連通されている。ダイアフラム内輪27のタービンロータ22に対向する側には、ラビリンスシール30が設けられている。これによって、ダイアフラム内輪27とタービンロータ22との間から下流側への蒸気の漏洩を抑制している。また、蒸気タービン10には、蒸気入口管31が、外部ケーシング21および内部ケーシング20を貫通して設けられ、蒸気入口管31の端部が、ノズルボックス32に連通して接続されている。なお、ノズルボックス32の出口に、第1段の静翼28が備えられている。ノズルボックス32が備えられる位置よりも外側タービンロータ22に沿う方向の外側であり、図1ではノズルボックス32よりも左側の内部ケーシング20および外部ケーシング21の内周には、タービンロータ軸方向に沿って、複数のグランドラビリンスシール33が設けられ、内部ケーシング20および外部ケーシング21とタービンロータ22との間における、蒸気の外部への漏洩を防止している。さらに、蒸気タービン10には、冷却蒸気供給機構の一部として機能する冷却蒸気導入管34が、外部ケーシング21および内部ケーシング20を貫通して設けられている。なお、冷却蒸気導入管34は、外部ケーシング21を貫通して内部ケーシング20に形成された貫通孔と連通するように、内部ケーシング20に接続されてもよい。冷却蒸気導入管34は、グランドラビリンスシール33間の内部ケーシング20の内周面に周方向に亘って形成された溝部35に連通している。このように、冷却蒸気導入管34の冷却蒸気の噴出口や溝部35は、第1段の静翼28やノズルボックス32よりも外側タービンロータ22に沿う方向の外側であり、図1ではノズルボックス32よりも左側に位置している。冷却蒸気導入管34から供給された冷却蒸気は、この溝部35に沿って周方向に広がるため、冷却蒸気は、周方向に亘って均等に供給される。なお、冷却蒸気導入管34は、周方向の複数箇所に設けられてもよい。冷却蒸気としては、他の蒸気タービンから抽気された蒸気、ボイラから抽気された蒸気などを使用することができる。蒸気タービン10が、高圧タービンや超高圧タービンである場合は、冷却蒸気として、例えばボイラから抽気された蒸気を使用することができる。また、高圧タービンおよび超高圧タービンの双方を備える場合には、高圧タービンにおける冷却蒸気として、例えば超高圧タービンから抽気された蒸気を使用することができる。蒸気タービン10が、中圧タービンである場合は、冷却蒸気として、例えば高圧タービンから抽気された蒸気を使用することができる。なお、冷却蒸気の温度は、冷却するタービンロータ22などの構成部品に大きな熱応力が発生しない程度の温度に設定されることが好ましく、冷却蒸気を供給する蒸気タービンの仕様によって変更可能である。冷却蒸気の供給圧力は、グランドラビリンスシール33とタービンロータ22との間をタービン段落側に流れ、冷却を行う所定のタービン段落、後述する冷却蒸気回収流路50を介して抽気口36まで流れることが可能な圧力に設定される。また、冷却蒸気が導入されるタービン段落から冷却蒸気の一部は、主蒸気流路70に噴出されるため、冷却蒸気の供給圧力は、各タービン段落における主蒸気の圧力よりも高い圧力となるように設定されている。次に、冷却蒸気回収路について説明する。図2は、第1の実施の形態の蒸気タービン10の、タービンロータ22の中心軸を含む断面子午断面の一部を拡大した図である。なお、ここでは、図2に示された最も上流側のタービン段落である第3段のタービン段落を構成するダイアフラム内輪、静翼、ダイアフラム外輪、ラビリンスシール、ロータディスクおよび動翼を、それぞれ、27a、28a、26a、30a、23aおよび24aと示している。また、ここでは、冷却蒸気によって冷却される最も下流段のタービン段落以下、冷却最終タービン段落というを第5段のタービン段落とし、このタービン段落を構成するダイアフラム内輪、静翼、ダイアフラム外輪、ラビリンスシール、ロータディスクおよび動翼を、それぞれ、27c、28c、26c、30c、23cおよび24cと示している。他のタービン段落においても、これに基づいて各構成部に符号を付している。また、図2には、冷却蒸気の流れを矢印で示している。図2に示すように、冷却最終タービン段落を構成する、ダイアフラム内輪27c、静翼28cおよびダイアフラム外輪26cには、冷却蒸気の少なくとも一部を回収して、抽気口36に導く冷却蒸気回収流路50が形成されている。冷却蒸気回収流路50は、ダイアフラム内輪27c、静翼28cおよびダイアフラム外輪26cを連通する孔で構成されている。冷却蒸気を回収する回収口51は、ダイアフラム内輪27cの下流側の端面に、例えば、周方向に亘って均等な間隔をあけて複数形成されている。回収口51は、例えば、周方向に配置された静翼28cに対応して、ダイアフラム内輪27cの下流側の端面に形成することができる。ダイアフラム外輪26cに形成された冷却蒸気回収流路50は、例えば、図2に示すように、抽気口36の開口に向けて冷却空気を排出するように、屈曲した流路に構成することができる。なお、ダイアフラム外輪26cに形成された冷却蒸気回収流路50は、この形状に限られず、例えば、抽気口36の開口に向けて冷却空気を排出するように、斜めに直線的に形成されてもよい。また、ダイアフラム外輪26cに形成された冷却蒸気回収流路50は、半径方向に直線的に形成され、ダイアフラム外輪26cと内部ケーシング20との間に冷却蒸気を排出するように形成されてもよい。この場合、冷却蒸気は、ダイアフラム外輪26cと内部ケーシング20との間を抽気口36側へ向かって流れる。なお、内部ケーシング20と接触するダイアフラム外輪26cの下流側の端面には、例えば、スリット状の流路が形成される。これによって、冷却蒸気は、抽気口36側へ流出することができる。なお、静翼28cにも冷却蒸気回収流路50を形成しているが、例えば、静翼28cの内部が中空の静翼の場合には、中空部を冷却蒸気回収流路50として機能させることができる。ここでは、図2に示すように、動翼24a、24b、24cの植設部は、ロータディスク23a、23b、23cに周方向に植設する鞍形ダブティル形状に構成された一例を示している。そのため、冷却最終タービン段落よりも上流側のタービン段落を構成するロータディスク23a、23bには、冷却蒸気を下流側へ導くための冷却蒸気通路60が形成されている。なお、図2に示されていない、冷却最終タービン段落よりも上流側のタービン段落を構成するロータディスク23にも、冷却蒸気通路60が形成されている。動翼24a、24b、24cは、例えば、タービンロータ22の軸方向に挿入される、いわゆる軸方向挿入翼根部形式の動翼で構成されてもよい。この場合には、翼車の外周端面と、周方向に隣接する動翼のそれぞれの翼根部とにより、タービンロータ軸方向に貫通する空隙部バランス溝が形成されるため、ロータディスク23に冷却蒸気通路60を形成する必要はない。次に、蒸気タービン10の作用について説明する。蒸気入口管31を経て、ノズルボックス32内に流入した蒸気は、各タービン段落を通過しながら、膨張仕事を行い、タービンロータ22を回転させる。そして、膨張仕事をした蒸気は、排気通路図示しないを通り、蒸気タービン10の外部へ排気される。冷却蒸気導入管34を介して導入された冷却蒸気は、溝部35に供給され、周方向に広がる図1参照。冷却蒸気の一部は、タービンロータ22を冷却しながら、タービンロータ22とグランドラビリンスシール33との間からタービンロータ22に沿ってタービン段落側へ流れる図1参照。続いて、冷却蒸気の一部は、ロータディスク23に形成された冷却蒸気通路60を下流に向かって通過し、冷却蒸気の残部は、主蒸気流路70に噴出される図1参照。そして、図2に示すように、タービンロータ22を冷却しながら、冷却最終タービン段落である第5段のタービン段落に達した冷却蒸気の一部は、タービンロータ22とラビリンスシール30cとの間を下流へ流れ、回収口51から回収される。回収口51から回収された冷却蒸気は、冷却蒸気回収流路50を介して、抽気口36の開口に導かれる。抽気口36に導かれた冷却蒸気は、主蒸気の一部とともに抽気蒸気として、外部に排出される。ここで、主蒸気が主蒸気流路70からタービンロータ22側へ流入するのを防ぐために、最小限の流量の冷却蒸気がタービンロータ22側から主蒸気流路70側へ噴出される。冷却に必要な冷却蒸気の流量の合計は、この最小限の噴出流量の合計よりも多くなることが通常である。そのため、冷却蒸気回収流路50を備えない従来の蒸気タービンにおける冷却方式では、冷却最終タービン段落において、最小限の噴出流量を超える流量の冷却蒸気が主蒸気流路70に噴出される。このような冷却蒸気の主蒸気流路70への噴出は、主蒸気の温度の低下や、翼列の二次流れ損失の増大を招き、タービン効率を低下させる。しかしながら、第1の実施の形態の蒸気タービン10によれば、冷却最終タービン段落において、最小限の噴出流量を超える冷却蒸気を回収することができる。そのため、主蒸気の温度の低下や、翼列の二次流れ損失の増大を抑制し、タービン効率の向上を図ることができる。さらに、回収された冷却蒸気は、抽気蒸気として機能するため、抽気蒸気として抽気される主蒸気の流量を低減することができる。これによって、タービン効率の向上を図ることができる。ここで、上記においては、冷却最終タービン段落の直下流側に抽気口36が形成された一例を示したが、抽気口36の形成位置はこの位置に限られない。図3は、第1の実施の形態において、冷却最終タービン段落よりも一段下流のタービン段落の直下流に抽気口36が形成された場合の蒸気タービン10の、タービンロータ22の中心軸を含む断面子午断面の一部を拡大した図である。図3に示すように、冷却最終タービン段落よりも一段下流のタービン段落の直下流に抽気口36が形成された場合、冷却最終タービン段落よりも一段下流のタービン段落を構成するダイアフラム外輪26dと内部ケーシング20との間に冷却蒸気を抽気口36側へ通過させる流路が形成される。この流路は、冷却蒸気回収流路50として機能する。なお、内部ケーシング20が接触するダイアフラム外輪26dの下流側の端面には、例えば、スリット状の流路が形成される。これによって、冷却蒸気は、抽気口36側へ流出することができる。次に、第1の実施の形態の蒸気タービン10を備えた蒸気タービン発電設備の一例を示す。図4は、第1の実施の形態の蒸気タービン10を備える蒸気タービン発電設備の概要を示す図である。図4に示された蒸気タービン発電設備は、過熱器80および再熱器81を備えるボイラ82、蒸気タービン10である高圧タービン、中圧タービン90、低圧タービン91、発電機92、復水器100、復水ポンプ101、低圧給水加熱器102、ボイラ給水ポンプ103、高圧給水加熱器104を備えている。この蒸気タービン発電設備では、ボイラ82の過熱器80で発生した高温の蒸気は、主蒸気管110を介して蒸気タービン10に導入され、膨張仕事をした後、低温再熱蒸気管111を介して、ボイラ82の再熱器81に導入される。再熱器81で再び高温の過熱蒸気に加熱再熱された蒸気は、高温再熱蒸気管112を介して中圧タービン90に導入される。そして、中圧タービン90で膨張仕事をした後、クロスオーバ管113を介して、低圧タービン91に導入される。低圧タービン91に導入された蒸気は、膨張仕事をした後、復水器100に導かれる。また、発電機92は、低圧タービン91によって駆動され、発電する。復水器100に導かれた蒸気は、凝縮して復水となる。復水器100の復水は、復水ポンプ101によって、低圧給水加熱器102へ送られ、ボイラ給水ポンプ103によって昇圧され、給水管120を介して、高圧給水加熱器104を経て過熱器80に給水される。蒸気タービン10や中圧タービン90から抽気された抽気蒸気は、抽気管121、122を通り、高圧給水加熱器104に導かれ、高圧給水加熱器104内を流れる給水を加熱する。低圧タービン91から抽気された抽気蒸気は、抽気管123を通り、低圧給水加熱器102に導かれ、低圧給水加熱器102内を流れる給水を加熱する。なお、高圧給水加熱器104や低圧給水加熱器102を加熱した抽気蒸気は、復水器100に導かれる。また、蒸気タービン発電設備には、図4に示していないが、例えば、冷却蒸気として、ボイラからの抽気蒸気を高圧タービンである蒸気タービン10に導くための冷却蒸気供給配管が備えられている。また、例えば、冷却蒸気として、蒸気タービン10の抽気蒸気を中圧タービン90に導くための冷却蒸気供給配管が備えられている。これらの冷却蒸気供給配管は、冷却蒸気供給機構の一部として機能する。このように、第1の実施の形態の蒸気タービン10を備えた蒸気タービン発電設備では、蒸気タービン10、中圧タービン90、低圧タービン91から抽気された抽気蒸気によって給水を加熱するため、熱サイクルの効率を向上することができる。なお、上記した蒸気タービン発電設備に、例えば、超高圧タービンをさらに備えることもできる。この場合、高圧タービンにおける冷却蒸気として、例えば超高圧タービンから抽気された蒸気を使用することができる。第2の実施の形態第2の実施の形態の蒸気タービン11においては、冷却蒸気回収路の構成以外は第1の実施の形態の蒸気タービン10の構成と同じである。そのため、ここでは、主に冷却蒸気回収路の構成について説明する。図5は、第2の実施の形態の蒸気タービン11の、タービンロータ22の中心軸を含む断面子午断面の一部を拡大した図である。なお、ここでは、図5に示された最も上流側のタービン段落である第3段のタービン段落を構成するダイアフラム内輪、静翼、ダイアフラム外輪、ラビリンスシール、ロータディスクおよび動翼を、それぞれ、27a、28a、26a、30a、23aおよび24aと示している。また、ここでは、冷却最終タービン段落を第4段のタービン段落とし、このタービン段落を構成するダイアフラム内輪、静翼、ダイアフラム外輪、ラビリンスシール、ロータディスクおよび動翼を、それぞれ、27b、28b、26b、30b、23bおよび24bと示している。他のタービン段落においても、これに基づいて各構成部に符号を付している。また、図5には、冷却蒸気の流れを矢印で示している。蒸気タービン11では、冷却最終タービン段落よりも一段下流のタービン段落第5段のタービン段落に、冷却蒸気回収流路が形成されている。蒸気タービン11では、図5に示すように、冷却最終タービン段落よりも一段下流のタービン段落を構成する、ダイアフラム内輪27c、静翼28cおよびダイアフラム外輪26cには、冷却蒸気の少なくとも一部を回収して抽気口36に導く冷却蒸気回収流路50が形成されている。冷却蒸気回収流路50は、ダイアフラム内輪27c、静翼28cおよびダイアフラム外輪26cを連通する孔で構成されている。冷却蒸気を回収する回収口52は、ダイアフラム内輪27cの上流側の端面に、例えば、周方向に亘って均等な間隔をあけて複数形成されている。回収口52は、例えば、周方向に配置された静翼28cに対応して、ダイアフラム内輪27cの上流側の端面に形成することができる。ダイアフラム外輪26cに形成された冷却蒸気回収流路50は、例えば、図5に示すように、抽気口36の開口に向けて冷却空気を排出するように、屈曲した流路に構成することができる。なお、ダイアフラム外輪26cに形成された冷却蒸気回収流路50は、この形状に限られず、第1の実施の形態の蒸気タービン10において説明した他の形状とすることもできる。また、静翼28cにも冷却蒸気回収流路50を形成しているが、例えば、静翼28cの内部が中空の静翼の場合には、中空部を冷却蒸気回収流路50として機能させることができる。ここでは、冷却最終タービン段落よりも一段下流のタービン段落に冷却蒸気回収流路が形成されているため、冷却最終タービン段落を構成するロータディスク23bにも、冷却蒸気を下流側へ導くための冷却蒸気通路60が形成されている。冷却蒸気導入管34を介して導入された冷却蒸気は、溝部35に供給され、周方向に広がる図1参照。冷却蒸気の一部は、タービンロータ22を冷却しながら、タービンロータ22とグランドラビリンスシール33との間からタービンロータ22に沿ってタービン段落側へ流れる図1参照。続いて、冷却蒸気の一部は、ロータディスク23に形成された冷却蒸気通路60を下流に向かって通過し、冷却蒸気の残部は、主蒸気流路70に噴出される図1参照。そして、図5に示すように、タービンロータ22を冷却しながら、冷却最終タービン段落である第4段のタービン段落に達した冷却蒸気の一部は、タービンロータ22とラビリンスシール30bとの間を下流へ流れ、ロータディスク23bに形成された冷却蒸気通路60を下流に向かって通過する。第4段のタービン段落に達した冷却蒸気の一部は、回収口52から回収される。回収口52から回収された冷却蒸気は、冷却蒸気回収流路50を介して、抽気口36の開口に導かれる。抽気口36に導かれた冷却蒸気は、主蒸気の一部とともに抽気蒸気として、外部に排出される。上記した第2の実施の形態の蒸気タービン11によれば、冷却最終タービン段落よりも一段下流のタービン段落において、主蒸気流路70へ噴出される最小限の噴出流量を超える冷却蒸気を回収することができる。そのため、主蒸気の温度の低下や、翼列の二次流れ損失の増大を抑制し、タービン効率の向上を図ることができる。また、冷却最終タービン段落を構成するロータディスク23bの上流側および下流側の表面を冷却することができる。さらに、回収された冷却蒸気は、抽気蒸気として機能するため、抽気蒸気として抽気される主蒸気の流量を低減することができる。これによって、タービン効率の向上を図ることができる。ここで、第2の実施の形態の蒸気タービン11における回収口52の位置は、ダイアフラム内輪27cの上流側の端面に限られるものではない。図6は、第2の実施の形態において、回収口52がラビリンスシール30cに形成された場合の蒸気タービン11の、タービンロータ22の中心軸を含む断面子午断面の一部を拡大した図である。図6に示すように、冷却蒸気回収流路50をダイアフラム内輪27cに支持されたラビリンスシール30cまで延長し、タービンロータ22に対向するラビリンスシール30cの面に回収口52を形成してもよい。この場合も、上記した蒸気タービン11における作用効果と同様の作用効果を得ることができる。以上説明した実施形態によれば、冷却する構成部品を確実に冷却するとともに、冷却蒸気によるタービン効率の低下を抑制することが可能となる。本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。