少なくとも光学放射線の波長領域において透明である基板で形成される光学素子において、前記基板の第1の界面が、前記基板に一体化された光学レンズ又は光学レンズのアレイの一部を形成する1つ又は複数の湾曲領域を有し、前記基板が、前記第1の界面の反対側の前記基板の第2の界面上に形成される又は前記基板に埋め込まれる1つ又は複数の光学鏡を有し、前記1つ又は複数の光学鏡が、前記第1の又は第2の界面に入射する前記波長領域の光学放射線の一部を後方反射するように配置及び設計され、前記1つ又は複数の光学鏡が、平面鏡又は前記1つ又は複数の湾曲領域の曲率半径とは異なる曲率半径を持つ曲面鏡である、光学素子。前記光学鏡が、前記光学素子の前記第1の若しくは第2の界面又は内側界面における連続的な又はパターニングされた反射コーティングで形成される、請求項1に記載の光学素子。スペーサ構造又はスペーサ素子が、前記基板の前記第1の又は第2の界面に付着される又は前記基板に一体化される、請求項1又は2に記載の光学素子。前記波長領域において光学的に透明なスペーサ層が、前記基板の前記第1の又は第2の界面に付着される、請求項1又は2に記載の光学素子。請求項1又は2に記載の光学素子を有するVECSEL又はVECSELアレイにおいて、前記1つ又は複数の光学鏡が、前記VECSELの拡張された鏡又は前記VECSELアレイの拡張された鏡を形成する、VECSEL又はVECSELアレイ。前記光学鏡は、前記VECSEL又はVECSELアレイがレーザ放射線を放射する波長領域においてR≧30の反射率を持つ、請求項5に記載のVECSEL又はVECSELアレイ。前記光学鏡が、前記湾曲領域の曲率半径より大きい曲率半径を持つ曲面鏡である、請求項5に記載のVECSEL又はVECSELアレイ。前記湾曲領域の曲率半径は、前記光学レンズが、前記光学鏡を通る前記VECSEL又はVECSELアレイにより放射されたレーザ放射線をコリメートするように選択される、請求項5に記載のVECSEL又はVECSELアレイ。前記光学素子は、前記VECSEL又はVECSELアレイに直接的に、又はスペーサを介して、又は前記VECSEL又はVECSELアレイがレーザ放射線を放射する波長領域において光学的に透明であるスペーサ層を介して付着される、請求項5に記載のVECSEL又はVECSELアレイ。本発明の目的は、製造中の追加の調整ステップの必要性なしでVECSELの輝度を増大させるVECSEL又はVECSELアレイを製造する手段を提供することである。この目的は、請求項1に記載の光学素子で達成される。請求項6は、このような光学素子を有するVECSELアレイを記載する。この光学素子又はVECSELアレイの有利な実施例は、従属請求項の対象であるか、又は明細書の後の部分に記載される。提案される光学素子は、少なくとも光学放射線の波長範囲内の波長領域において透明である基板で形成される。本特許出願において、光学放射線は、赤外IR、可視VIS及び紫外UV波長範囲の電磁放射線を意味する。前記基板は、前記光学素子が設計される対応するVECSELがレーザ放射線を放射する波長領域においてのみ透明でなければならない。前記基板の第1の界面は、前記基板に一体化された光学レンズ又は光学レンズのアレイ、特にマイクロレンズの一部を形成する1つ又は複数の湾曲領域を有する。前記基板は、前記第1の界面の反対側の前記基板の第2の界面上に形成された又は前記第1の界面に実質的に平行な面において前記基板に埋め込まれた1つ又は複数の光学鏡を有する。前記1つ又は複数の光学鏡は、前記第1の又は第2の界面に入射する前記波長領域の光学放射線の一部を後方反射するように配置及び設計される。この構成は、90°の角度で入射する前記波長領域の光学放射線が、部分的に前記対応する光学鏡により後方反射されるのに対し、残りの部分は、前記基板において前記鏡の後ろに形成された前記レンズを通過する。このために、前記鏡の反射率は、好ましくは、所望の波長領域において30ないし99.5である。前記1つ又は複数の光学鏡は、平面鏡又は前記光学レンズを形成する前記1つ又は複数の湾曲領域の曲率半径とは異なる曲率半径を持つ湾曲鏡である。前記光学素子の鏡が前記VECSELの外部鏡を形成するVECSEL又はVECSELアレイの一部としてこのような光学素子を使用すると、前記鏡を通るレーザ放射線は、前記光学レンズによりコリメートされることができ、したがって、前記VECSELのより高い輝度を可能にする。本発明は、したがって、VECSELの外部鏡及び単一の基板、好ましくはガラス基板上のコリメーションレンズの組み合わせを使用することを提案する。このような光学素子は、例えば以下のように製造されることができる。第1のステップにおいて、マイクロレンズ、特に球面マイクロレンズは、例えばガラスモールディング、UVモールディング又はRIE転写RIE:反応性イオンエッチングにより、前記基板上に形成される。反射コーティングは、前記レンズ上に付着され、前記レンズの表面は、前記VECSELの外部マイクロミラーとして機能する。前記反射コーティングは、前記表面の一部しか覆わないこともありえ、すなわちパターニングされうる。これは、例えばモード選択に対して、前記放射線の特別な角度領域のみを後方反射するように機能しうる。第2のステップにおいて、球面マイクロレンズ又は異なる曲率半径ROCを持つ非球面マイクロレンズが、前記第1のマイクロレンズの上に、すなわち前記マイクロミラーの上に形成される。この更なるマイクロレンズの表面のROCは、前記VECSELから前記マイクロミラーを通ってくる光がコリメートされるように選択される。このような光学素子は、VECSELの製造中に前記マイクロレンズに対して追加の調整ステップを必要としない。したがって、製造プロセスは単純化される。有利な実施例において、前記光学素子は、例えばウエハ上で、VECSELアレイにおいて使用されることができるマイクロレンズ及びマイクロミラーのアレイを有する。前記光学素子は、前記VECSELの半導体部品を持つ前記基板キャリア基板に異なる技術で付着されることができる。前記部品は、例えば、このキャリア基板、例えば半導体基板、又は前記VECSELの半導体部品を形成する層スタックに結合、接着又ははんだ付けされうる。前記VECSELは、例えば、第1のDBR分散ブラッグ反射器と第2のDBRとの間に配置された光学利得媒質を有しうる。前記第2のDBRは、レーザキャビティにおいて共振するレーザ放射線に対して部分的に透明である。前記第2のDBRは、前記外部鏡なしで前記第1のDBRと前記第2のDBRとの間のレージングを可能にしない反射率を持ってもよく、又は前記外部鏡なしで内部レーザキャビティにおけるレージングを可能にする反射率を持ってもよい。前記DBR及び前記利得媒質は、半導体基板、特にGaAs基板上に適切に設計された層スタックから既知のやり方で形成されうる。前記半導体基板を通して放射するVECSELの場合、前記外部鏡を形成する前記光学素子は、この場合に生成されたレーザ放射線に対して光学的に透明でなくてはならないこの基板に付着される。前記VECSELを動作するのに必要な電気接続も、既知のやり方で形成されることができる。前記キャリア基板の表面に前記光学素子を直接的に付着する代わりに、前記キャリア基板の表面上に又は前記レーザの隣に取り付けられたスペーサを使用することも可能であり、前記光学素子は、前記スペーサに取り付けられる。前記スペーサは、第一に、前記光学素子の表面に付着されてもよく、又は前記光学素子の製造中にこの表面に一体化されてもよい。このような実施例において、前記光学素子の表面と前記層スタックとの間に空隙が残る。更に、透明なスペーサ層が、前記光学素子と前記キャリア基板との間に付着されうる。このような層は、この素子の製造中に前記光学素子の表面上に既に形成されていてもよい。前記キャリア基板に前記光学素子を付着する代わりに、エピタキシ側発光VECSEL又はキャリア基板を取り外したVECSELの場合に前記光学素子は、前記第2のDBR又は下にあるVECSELスタックの他の構造、例えば中間層に、又は前記第2のDBRを省略する場合に前記作動領域上の層上に、付着されることもありうる。前記VECSELの層スタックは、当技術分野において既知の異なるやり方で作成されることができる。好適な実施例において、前記光学素子の鏡は、曲面鏡、特に凹面鏡であり、前記マイクロレンズを形成する前記光学素子の前記第1の界面上の湾曲領域の曲率半径は、前記VECSELにより放射されるレーザ放射線をコリメートするように選択される。好ましくは、前記鏡のROCは、前記マイクロレンズの湾曲領域のROCより大きい。それでも、前記マイクロレンズは、他のビーム形成効果を達成するように設計されることもありうる。本発明のこれら及び他の態様は、以下に記載される実施例を参照して説明され、明らかになる。以下の例示的な実施例は、請求項により規定される保護範囲を限定することなしに添付の図面を参照して提案された光学素子及びVECSELの例を示す。図1は、従来技術の解決法と比べた本発明の光学素子を持つVECSELアレイの一実施例の比較を示す。図1Aは、外部鏡が、光学的に透明なキャリア基板120に付着される光学的に透明な基板200上に形成され、前記VECSELの半導体層スタックが、光学的に透明なキャリア基板120上に結合又は成長される従来技術のVECSELアレイを描く。この構成は、前記キャリア基板を通してレーザ放射線を放射する、いわゆる裏側又は底部発光VCSELに似ている。基板200上の前記外部鏡は、表面を球面又は非球面形状鏡面210に加工し、この表面上に反射層をコーティングすることにより形成される。前記表面の結果として生じる湾曲領域の曲率半径ROCは、条件ROC>Lを満たし、Lは前記VECSELの利得領域に対するこれら外部凹面鏡の距離である。VCSELの分野において、このようなアレイのVCSEL111のレーザ放射をコリメートするためにマイクロレンズのアレイを使用することが既知である。これらのマイクロレンズは、光学的に透明な基板200において形成され、光学的に透明な基板200の表面が、図1Bに示されるように、前記マイクロレンズの一部を形成する湾曲領域を提供するように球面又は非球面形状レンズ表面220に加工される。図1Cは、本発明による一体化された光学素子を持つ提案されたVECSELアレイの一例を示す。前記光学素子は、反射コーティングを持つ球面又は非球面形状表面により形成される一体化されたマイクロミラーと、前記基板表面の球面又は非球面形状レンズ表面220により前記マイクロミラーの上に形成された一体化されたマイクロレンズとを持つ光学的に透明な基板200を有する。前記光学素子のこのような構造を達成するために、基板200の表面は、球面又は非球面形状ミラー表面210を持つ複数の湾曲領域を持つように加工される。前記基板は、所望の波長領域において光学的に透明な適切な材料で作られ、例えばガラス、ガリウムヒ素、ケイ素等で作られる。ガラス基板を使用する場合、鏡面210の球面形状は、例えばガラスモールディング、RIE転写、機械加工又は熱エンボス加工により達成されることができる。前記基板に異なる材料を付着し、例えばUVレプリケーションにより又はジェット加工を用いる高分子の堆積により、この異なる材料を所望の形状に形成することも、可能である。鏡面210の球面形状のROCは、距離Lにおいて利得媒質を持つVECSELのレーザキャビティのエンドミラーの1つを形成する球面鏡として機能するように選択される。通常、この外部球面鏡のROCは、Lより大きく、好ましくは約2Lである。反射コーティングは、所望の波長領域において典型的には30ないし99.5である所望の反射率Rを提供するように鏡面210に塗布される。次のステップにおいて、前記波長領域において光学的に透明な材料は、鏡面210上にすなわち鏡面210の前記コーティング上に堆積され、鏡面210のROCより小さい異なるROCを持つ球面レンズ面220に成形される。レンズ面220の正確なROCは、コリメーション条件により決定され、約1.5の屈折率の材料に対して約L/2である。前記レンズ面は、全てのレンズに対して周知であるように、収差を最小化するように非球面形状を持つこともできる。レンズ面220は、前記光学素子の性能を最適化するように反射防止コーティングされることができる。前記VECSELの半導体層スタック110は、当技術分野において既知であるように設計されうる。図1C及び後に続く図3及び4の場合に、前記半導体層スタックは、基板側発光VCSELの場合のように光学的に透明なキャリア基板120上に構成され、前記光学素子は、このキャリア基板に付着される。前記層スタックが、前記層スタックの反対側に配置されたキャリア基板上で成長される又は取り付けられることもありうることは、当業者に明らかである。前記光学素子は、この場合、前記層スタックに直接的に又は1つ又は複数の中間層若しくはスペーサを介して付着される。前記光学素子は、前記レーザの隣に配置されたスペーサ上に、例えばサブマウント若しくはヒートシンク上に、又は前記キャリア基板が除去される場合に、前記エピタキシャル層スタック上に直接的に取り付けられることもできる。鏡面210とレンズ面220との間に形成されたコリメーションレンズの材料は、基板200の材料又は前記鏡が形成される材料とは異なることができる。有利な実施例は、基板200及び鏡面210を形成するモールドガラスウエハ及びマイクロレンズ面220を形成する前記反射コーティングの上の高分子材料を有する。鏡面210は、凹面形状を持つように示されているが、前記鏡は、本発明の全ての実施例において平面鏡であることもできる。このような場合に、レンズ面220は、前記光学素子の唯一の湾曲面である。代替実施例において、図2に示されるように、前記鏡は、適切なミラーコーティングにより、及び利用可能である場合にこの界面又は側面の適切な成形により、基板200の1つの界面上に形成されることもできる。図2は、前記マイクロレンズの球面220を持つ界面の反対側の界面上に形成される凹面鏡面211を示す。それでもなお、鏡211は、基板200の平らな界面に反射コーティングを塗布することにより平面鏡として形成されることもありうる。図3は、前記マイクロミラー鏡面211及びマイクロレンズレンズ面220を持つ前記光学素子が、スペーサ構造310を介してVECSELキャリア基板12に付着される、本発明のVECSELアレイの一実施例を示す。図4は、スペーサ構造310の代わりに、透明スペーサ層311が、前記光学素子と、前記VECSELの半導体層スタック110を持つキャリア基板120との間に配置される実施例を示す。請求項において、単語有するは、他の要素又はステップを除外せず、不定冠詞あるは、複数を除外しない。方策が相互に異なる従属請求項に記載されるという単なる事実は、これらの方策の組み合わせが有利に使用されることができないことを示さない。請求項内の参照符号は、これらの請求項の範囲を限定すると解釈されるべきではない。実施例は、常に、上下に配置された1つのマイクロレンズに対応する1つのマイクロミラーを示しているが、複数のマイクロミラーを覆う1つの大きなマイクロレンズ又は1つのマイクロミラーを通過する放射線のビーム経路に配置された複数のマイクロレンズを形成することも可能でありうる。このような構成は、VECSEL又はVECSELアレイの特別な応用に対して有利でありうる。