一次および二次要素を有するリング型センサーを備える角速度センサーであって、前記センサーは、前記一次および二次要素に接続された一次および二次チャネルを更に備え、前記一次チャネルは、前記一次要素において共振振動を開始および維持するための一次ドライバー手段を備え、前記二次チャネルは、前記センサーの動きに応じて前記二次要素によって生成された信号を検出する検出器手段を備え、前記検出器手段は、前記センサーの前記動きに依存した出力信号を生成する差動増幅器および同期検出器を有し、前記二次チャネルは、動作可能である場合に前記二次チャネル差動増幅器の両方のチャネルに信号を入力するテスト手段を更に備え、前記信号は、それぞれ位相がずれており、それにより前記出力信号におけるオフセットが生成され、前記オフセットは、前記センサーの状態を示す、角速度センサー。前記一次要素は、前記一次チャネルに出力される2つの一次ピックオフ信号を生成し、前記一次ピックオフ信号は、適切な手段によって増幅および位相シフトされ、そして、前記二次チャネル差動増幅器のそれぞれのチャネルに入力される、請求項1に記載のセンサー。前記位相シフトは90度である、請求項2に記載のセンサー。前記二次チャネル差動増幅器の出力は、レートチャネル同期検出器および4チャネル同期検出器に入力され、前記レートチャネル同期検出器はクロック入力を有し、前記差動増幅器の前記出力は、前記テスト手段が動作可能である場合に、前記レートチャネルのクロックと同位相の信号を生成する、請求項1から3のいずれかに記載のセンサー。前記一次要素は、前記リング上の0、90、180、および270度にピックオフおよびドライブ変換器を備え、前記二次要素は、45、135、225、および315度に備える、請求項1から4のいずれかに記載のセンサー。前記リング上の前記45および225度の要素によって生成された信号は、135および315度における前記信号に対し逆位相である、請求項5に記載のセンサー。前記要素は圧電電極である、請求項1から6のいずれかに記載のセンサー。前記二次チャネル差動増幅器に印加された前記信号は、それぞれ、180度位相がずれている、請求項1から7のいずれかに記載のセンサー。前記一次チャネルは、前記リングにおける前記一次ピックオフから信号を受信する同期検出器を有し、前記同期検出器の出力は、前記一次ドライブにフィードバックし、且つ、AGCによって振幅を制御され、それにより、前記一次チャネルの閉ループ動作が可能となる、請求項1から8のいずれかに記載のセンサー。前記二次チャネルは開ループの形で動作し、それにより、フィードバックを必要としない、請求項1から9のいずれかに記載のセンサー。前記一次チャネルは、VCOにより前記一次チャネルの周波数を制御するための位相ロックループを更に備える、請求項1から10のいずれかに記載のセンサー。添付の図面を参照して明細書に記載されたセンサー。図1に示されるように、角速度センサーのMEMSリング構造1は、共通軸の周りに延在している内側2および外側3周辺部を備え、したがって、ドライブおよびピックオフは別個に動作する。圧電一次ドライブ手段4が設けられ、それはセンサーを支持部図示しない上で振動させる。支持部は、センサーを支持すると共に、実質的に減衰しない振動モードにおいて圧電一次ドライブ手段の入力に応じて振動することを可能にする複数の柔軟支持梁flexiblesupportbeams図示しないを有してもよい。これにより、共振器は、センサーを有するシステムの回転速度に応じて、支持手段に対して動くことができる。一連の信号6がセンサーから入力される検出回路5が設けられている。センサーによって出力される信号は、一次ピックオフ信号6aおよび二次ピックオフ信号6bを含み、例えば、信号が差動形式であるように変換器プレートが配置される。これらの信号は、センサーの一次および二次部分から出力される。一次ピックオフ差動変換器信号は、高レベルの利得を提供し、搬送波周波数で低ノイズ差動正弦波出力信号を供給する差動電荷増幅器一次ピックオフ増幅器7に入力される。この信号は、その後、同期検出器8および適切なフィルタリングを通過させられ、制御信号を一次ドライバー回路1に供給し、MEMSに印加されるドライバーのレベルを設定し、一次ピックオフ増幅器出力が制御され修正されたレベルcontrolledfixedlevelにあることを保証する。一次ピックオフ増幅器7の出力は、ピックオフ信号にロックして同期検出器8に対するクロックを提供する一次位相ロックループPLLおよび電圧制御発振器VCO10にも印加される。一次ピックオフ増幅器7の出力は、信号を2倍に増幅すると共に差動信号の位相を90度シフトする一次位相シフト回路11にも印加される。位相シフト回路11の出力は、位相シフト回路11の差動正弦波出力をAGC制御信号に乗じて差動MEMSドライバー波形を生成する一次ドライバー回路1に印加される。位相シフト回路11の出力は、コマンド型BITCBit挿入回路12に印加され、それは、CBitが選択されない場合は高レベルのアイソレーション分離を提供し、コマンド型BITが選択された場合は、差動信号の減衰したバージョンにおいて、更なる差動電荷増幅器二次ピックオフ増幅器13の差動入力に結合する。挿入された差動信号は、その後、二次ピックオフ増幅器13によって増幅され、レートチャネル同期検出器14を通過するために適正な位相となる。同期検出器は、挿入された差動信号の振幅に関連したオフセットを出力し、それは次にフィルタリングされると共に、レート出力信号におけるシングルエンドオフセットに変換され、そしてADC15に入力される。Cbitの必要条件は、相対的に既知の出力を提供するために、できるだけ多くのシステムをテストすることである。イネーブル信号の制御のもとで、90度の位相シフトを有する差動一次ピックオフ信号は、物理的にリング上にあるピックオフではなく、二次ピックオフ増幅器13の差動入力に供給されてもよい。この信号は、復調されるべき適正な位相であり、且つ、レート出力の制御された出力を提供するために使われる。このことは、一次ピックオフMEMS変換器、一次ピックオフ増幅器7、一次AGCループ、一次PLLおよびVCOチャネル10、一次ドライバー回路、MEMS一次ドライバー変換器、一次位相シフト回路PP9011および二次ピックオフ増幅器13、レートチャネル14、レート出力およびADC15をテストする。二次ピックオフ増幅器13が高い利得を有するので、信号を減衰してレートチャネル14の飽和を避けることが必要である。更に、レート出力段において使われるレート設定は不明であり、そのため、より小さい信号が使われてレート出力の飽和を避ける。図2は、使用される方法をより詳細に示す。信号は、両方の差動入力上の加算接点にて二次ピックオフ電荷増幅器13に加えられる。それは小型キャパシタCinj260fFによって結合され、0.007Cfb=35.8pFの第1段の利得を生成する。5:1入力減衰器Ri1=200k、Ri2=50kおよび35の第2段の利得に加え、全体的な利得は0.05である。よって、一次位相シフト回路PP90出力における500mVのピーク信号は、25mVのピークの二次ピックオフ信号を生成する。Cbitが有効である場合、信号は、レートチャネル復調器クロックと同位相で、二次ピックオフ増幅器13の出力に現れる。このモードにおいて、約50deg/secのオフセットが、レート出力信号、ならびにアナログ信号およびデジタル信号の両方で見られる。このオフセットは、CBITが動作している場合、ジャイロの適正な動作をユーザに示す。このようにして、ユーザコマンドテスト機能Cbitは、一次共振維持ループprimaryresonantsustainingloopsからの信号を使い、二次レート検出チャネルにおける外乱を生成する。テストの適用に関し、一次共振維持ループからの適正な位相信号は、エレクトロニクス二次レート検出チャネルのフロントエンドに結合され、適正なレベルに調整される。これは、全レート検出チャネルを通過し、通常のレート信号の出力信号において測定可能な変化を提供する。外乱が一次共振維持ループの差動MEMS変換器出力から生成されるので、システムは共振周波数にロックされ、且つ、動作の共振維持ループの大きさは適正に制御されることを保証する。外乱がエレクトロニクスレート検出チャネルのまさに最初の段に結合されるので、全レート検出チャネルがチェックされるリング上の二次ピックオフ変換器を除く。許容範囲は、どの回路素子がフェイルしたかを識別することはできないが、一次共振維持ループと二次レート検出チャネルの両方において、レート信号外乱の大きさが回路の一部の損失を検出するために使われてもよい、ということである。無効にされた場合、Cbit挿入経路は、直列および並列スイッチRmax_on=1kの使用によって、高レベルのアイソレーションを有する。更に、挿入ブロックの出力は50ohm直列抵抗器を有し、加算ノードがピックオフボンドパッドに直接接続される時にESD保護のために電流制限を提供する。Cbitが適正なオフセットを与えるために、従って、一次ループの一部の位相ロックループおよびVCO10は、一次差動ピックオフ信号が存在できるようにロックされなければならない。AGC16は、適正な振幅と、従って一次ピックオフ振幅の適正なレベルとを与えるように動作しなければならない。一次ピックオフおよび一次位相シフト回路11は、Cbit挿入回路12を通って二次ループに一次ドライブ信号および差動信号を与えるように動作しなければならない。一次ドライバーは、一次回路の周りのループを閉じるように動作しなければならず、二次ピックオフ増幅器13は、レートチャネル復調器で適正なレベルを与えるように機能しなければならない。レートチャネル復調器、フィルタリング、デシメーター、およびノッチフィルタは、レート出力段に適正なレベルを供給するように適正である必要がある。更に、レート出力利得設定は、出力において期待されたオフセットを達成するために適正でなければならず、そして最後に、ADC15およびADC基準値は、デジタルレート出力において適正なオフセットを達成するために適正に動作しなければならない。本発明の第2の実施形態において、一次および二次チャネルの動作は概して同じであり、一次チャネルは、リング上の一次ピックオフから信号を受信する同期検出器8を有し、その出力は一次ドライバーにフィードバックし、そしてAGCにより振幅において制御される。これは、一次ループの閉ループ動作を与える。二次チャネルは開ループで動作し、そのため、フィードバックはない。一次ループにおいて、VCOにより一次ループの周波数を制御するための位相ロックループがある。二次チャネルは、リング上の二次変換器で、コリオリ結合された信号Corioliscoupledsignalsを拾うピックアップする。環状のリングの内側および外側部分上に電極が存在し、それらは逆位相の信号を与える。これらの逆位相の信号は、差動増幅器13の2つの入力に挿入され、その出力は二次同期増幅器14に、そしてそこからレート出力に供給される。更に、リングにおける45度および225度の信号二次ピックオフは、135度および315度の信号に対し逆位相である。このことは、0、90、180及び270度にあり得るピックオフ及びドライブ変換器を一次が有することを想定する。従って、図1に示されるように、同位相の4つの二次ピックオフおよび逆位相の4つのピックオフ環の外側に4つの電極、内側に4つを有する。2つの逆位相信号が、一次信号から生じたCBIT信号が挿入される二次チャネル電荷増幅器13の差動増幅器の2つの入力に向かう。これは、次に、二次同期増幅器に、そしてそこから、レート出力信号として向かう。CBIT挿入信号は、このように、分離されたテスト出力チャネルよりむしろレート出力信号のオフセットの原因となる。本発明の第3の実施形態において、同様に番号が付けられた全ての部分が上述のものと同じ機能を有し、一次チャネルから生じた2つの信号は、適切な減衰回路を介し、ユーザからの信号のコマンドの下で二次チャネル差動増幅器13仮想接地点の2つの入力に挿入される。両方の信号は、0°の位相の一次ドライブ波形に対し、180°の位相である。第1の信号は二次ピックオフ差動増幅器13の入力の一方に接続され、第2の信号は差動増幅器13の他方の入力に接続される。それぞれの信号の振幅は異なる。差動振幅器は、それにより、2つの印加された信号の振幅の差に関連した出力を生成する。この差は、レートチャネル同期検出器14を通過し、そしてユーザが測定可能な変化をレート信号にもたらすであろう。2つの印加された信号の振幅の差の適切な選択は、単一の入力チャネル故障の検出と共に、一次および二次チャネルの適正な動作を可能にするであろう。本発明の第4の実施形態において、一次チャネルから生じた2つの信号は、適切な減衰回路を介し、ユーザからの信号のコマンドの下で二次チャネル差動増幅器13仮想接地点の2つの入力に挿入される。信号は、0°の位相の一次ドライブ波形に対し、45°および225°の位相である。第1の信号は二次ピックオフ差動増幅器13の入力の一方に接続され、第2の信号は差動増幅器13の他方の入力に接続される。差動増幅器13は、それにより、2つの印加された信号の振幅の差に関連した出力を生成するであろう。レートチャネル同期検出器14のクロックと同位相である印加された信号の一部が、レートチャネル同期検出器14を通過し、そしてユーザが測定可能な変化をレート信号にもたらすであろう。4チャネル同期検出器18のクロックと同位相である印加された信号の一部が、4チャネル同期検出器18を通過し、4チャネル信号の変化の原因となるであろう。このことが、単一の入力チャネル故障の検出と共に、一次および二次チャネルの適正な動作を可能にするであろう。更にこのことは、必要であれば、直交チャネル機能がチェックされることを可能にする。本発明の第5の実施形態において、2つの信号が一次チャネルからの4つの信号から生じ、前記2つの信号は、適切な減衰回路を介し、ユーザからの信号のコマンドの下で二次チャネル差動増幅器13仮想接地点の2つの入力に挿入される。4つの信号は、0°の位相の一次ドライブ波形に対し、-90°、90°、0°および180°である。これらは、一次回路の2つの部分から生成される。これは、45°および225°の信号を生成し、一方の信号が二次ピックオフ差動増幅器13の入力の一方に接続され、他方の信号は差動増幅器13の他方の入力に接続される。差動増幅器13は、その後、2つの印加された信号の振幅の差に関連した出力を生成するであろう。レートチャネル同期検出器14のクロックと同位相である印加された信号の一部は、レートチャネル同期検出器14を通過し、そしてユーザが測定可能な変化をレート信号にもたらすであろう。4チャネル同期検出器18のクロックと同位相である印加された信号の一部が、4チャネル同期検出器18を通過し、4チャネル信号の変化の原因となるであろう。このことが、単一の入力チャネル故障の検出と共に、一次および二次チャネルの適正な動作を可能にするであろう。更にこのことは、必要であれば、直交チャネル機能がチェックされることを可能にする。更に、信号が一次チャネルの2つの点から生成されるので、一次チャネルの付加的な故障検出をもたらす。本発明の追加の実施形態がここに記載され、CBitが図1に記載されたものと同様の回路を使って実現され、同じ機能を実行する同様の部品全てが同様に番号付けされる。この実施形態において、回路は、指示された場合、二次ピックオフ増幅器13の出力にオフセットを提供し、それはレート14および直交復調器クロックに対して45°にある。したがって、オフセットは、レートチャネル復調器クロックと同位相である信号の成分を含み、したがって、レート信号において見られ得るオフセットをレートチャネルを通じて提供し、且つ、直交復調器クロックと同位相の信号の成分を含み、したがって、直交信号において見られ得るオフセットをレートチャネルを通じて提供する。45°のオフセットは以下の方法によって生成される。0°の位相の一次ピックオフ信号が、差動二次ピックオフ増幅器13の入力の一方に、適切な減衰を伴って印加される。90°位相シフトされた一次ピックオフ信号が、差動二次ピックオフ増幅器13の他方の入力に、適切な減衰を伴って印加される。二次ピックオフ増幅器は、その後、2つの信号を混合mixし、45°の出力信号を生成する。この実施形態において、Cbit挿入回路12への接続は、一次チャネル内の2つの異なる点からなり、ここで、4チャネルは、図示されない1つまたは2つのADC回路を使ってADCを供給する。上記方法における回路を実現することによって、前述されたCbit実装に加えて、付加的な故障カバレッジを提供する。例えば、本回路は、MEMS二次ピックオフ変換器2から二次ピックオフ増幅器へのワイヤボンド接続の損失を検出することができる。ワイヤボンドの損失は、差動二次ピックオフ増幅器のチャネルの利得を変化させる。このことは、Cbit変化の下で出力オフセットの効果的な位相をもたらし、それはレート14および直交チャネルにおけるオフセット測定のレベルをその後変化させるであろう。第2に、直交信号は、ここで、システムの正常性の連続的なモニタリングの一部として使用される。45°Cbit信号の適用は、直交モニタリングチャネル動作がチェックされることを可能にして、レートチャネル14に加えて適正な動作および利得を保証する。第3に、システムの一次チャネルにおける他の場所で使われる90°位相シフトされたピックオフ信号を生成する回路も、故障検出の更なるレベルを有する。Cbit挿入がこの回路の前からの1つの信号およびこの回路の出力からの1つの信号を使用するので、この回路内の利得および位相エラーは、Cbitオフセットを、不正確にすると共に、その結果レート14および直交チャネルにおけるレベルの変化で検出可能にするであろう。更に、適合された回路を使用することは、内部回路の故障のため、二次ピックオフ増幅器13回路の1つのチャネルにおける利得変化の原因となり、且つ、Cbit信号出力の位相およびオフセットが変化する原因となり、したがって、直交およびレート14チャネルオフセットにおいて検出可能となる。通常のCbitと45°Cbit変形型の両方に適用する上述の全ての実施例の更にもう1つの態様は、1より多い選択可能な出力測定範囲があり、オフセットレベルは異なるように意図的に選択されることが理解されよう。このことは、不適切な範囲選択が、Cbit信号の適用の下でのオフセットが期待されたレベルと異なる場合に、検出されることを可能にする。本発明は上述された種類の環状速度センサーを参照して記載されているが、ピエゾリングの場合のようなセンサーに同様に適用されてもよく、圧電、容量、誘導等の変換の他の形態に適用してもよいことが理解されよう。内側および外側の電極は圧電にのみ関することが更に理解されよう。逆位相信号は、誘導または容量ピックオフ等の非圧電ピックオフから、45度から135度等から得られることが可能である。