転化炉内の反応により得られたトリクロロシランを含む転化反応ガスを蒸留してテトラクロロシランを分離した後、該テトラクロロシランを分離した後の混合流体をポリマーに接触させて反応させ、その反応により生じたホウ素化合物を含む反応流体を蒸留することにより、トリクロロシランを分離精製することを特徴とするトリクロロシラン製造方法。転化炉と、該転化炉内の反応により得られたトリクロロシランを含む転化反応ガスを蒸留してテトラクロロシランを分離する第1蒸留塔と、該テトラクロロシランを分離した後の混合流体をポリマーに接触させて反応させる反応器と、その反応により生じたホウ素化合物を含む反応流体を蒸留してトリクロロシランを分離精製する第2蒸留塔とを有することを特徴とするトリクロロシラン製造装置。しかしながら、特許文献2記載の方法は塩化炉内で生成される反応ガスにおいてはホウ素化合物の分離は効果的であったが、テトラクロロシランをトリクロロシランに転化させる転化炉から排出される反応ガスに適用することは難しい。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、テトラクロロシランからトリクロロシランに転化させる転化炉の転化反応ガスからホウ素化合物等の不純物を効果的に除去して高純度のトリクロロシランを製造することができるトリクロロシラン製造方法及び製造装置の提供を目的とする。転化炉から導出される転化反応ガスにおいても、蒸留によってトリクロロシランを分離精製することが行われるが、転化反応ガス中には、生成物であるトリクロロシランよりも未反応のテトラクロロシランの方が多く含まれている。したがって、転化炉からの反応ガスを蒸留する際に特許文献2に記載のようにポリマーを添加しても、テトラクロロシランが多い分、大量のポリマーを添加する必要があるだけでなく、目的とするホウ素化合物とポリマーとの反応に十分な接触時間を確保することが難しい。そこで、本発明者は、転化反応ガスからテトラクロロシランを分離した後にテトラクロロシランが低減した転化反応ガスをポリマーと接触させることにより、この転化反応ガス中のホウ素化合物をポリマーに十分に接触させることができるとの知見の下、以下の解決手段とした。本発明のトリクロロシラン製造方法は、転化炉内の反応により得られたトリクロロシランを含む転化反応ガスを蒸留してテトラクロロシランを分離した後、該テトラクロロシランを分離した後の混合流体をポリマーに接触させて反応させ、その反応により生じたホウ素化合物を含む反応流体を蒸留することにより、トリクロロシランを分離精製することを特徴とする。また、本発明のトリクロロシラン製造装置は、転化炉と、該転化炉内の反応により得られたトリクロロシランを含む転化反応ガスを蒸留してテトラクロロシランを分離する第1蒸留塔と、該テトラクロロシランを分離した後の混合流体をポリマーに接触させて反応させる反応器と、その反応により生じたホウ素化合物を含む反応流体を蒸留してトリクロロシランを分離精製する第2蒸留塔とを有することを特徴とする。転化炉から導出される転化反応ガスのうち、含有割合が多いテトラクロロシランを先に分離することにより転化反応ガス中のテトラクロロシランの割合を低減し、トリクロロシランを主とする混合流体とし、その混合流体をポリマーに接触させることにより、混合流体中に含まれる三塩化ホウ素等のホウ素化合物がポリマーと接触し易くなり、その反応のための十分な接触時間を確保することができる。本発明のトリクロロシラン製造方法によれば、転化炉から導出される転化反応ガスを蒸留によりテトラクロロシランを先に分離した後に、テトラクロロシランが低減した混合流体をポリマーと接触させるので、テトラクロロシランの低減した混合流体中に含まれるホウ素化合物がポリマーと接触し易くなり、その際の混合流体とポリマーの反応のための十分な接触時間を確保することができ、ホウ素化合物を効果的に除去して高純度のトリクロロシランを製造することができる。以下、本発明のトリクロロシラン製造方法及び製造装置の一実施形態について説明する。図1は、トリクロロシラン製造装置の全体の概略構成を示しており、図中、トリクロロシランはTCS、テトラクロロシランはSTC、水素はH2として表記している。トリクロロシラン製造装置1は、テトラクロロシランを金属シリコン、水素と反応させて、トリクロロシランを含むクロロシラン類からなる転化反応ガスを生成する転化炉2、転化炉2から導出される転化反応ガスを冷却して水素H2と凝縮液とに気液分離する凝縮系3、その凝縮液を蒸留してテトラクロロシラン及び金属塩化物、ポリマーを分離する第1蒸留塔4、第1蒸留塔4から分離されたテトラクロロシランを蒸発させ凝縮系3から分離された水素と混合する蒸発器5、第1蒸留塔4からの混合流体をポリマーと接触反応させる反応器6と、その反応流体を蒸留する第2蒸留塔7とが備えられている。これら転化炉2、凝縮系3、第1蒸留塔4、蒸発器5、反応器6、第2蒸留塔7は適宜の配管等により接続されている。転化炉2に供給される金属シリコンは、粒状をなしており、転化炉2は、この金属シリコンと水素、テトラクロロシランを流動層によって反応させる構成である。凝縮系3は、転化炉2から導出される転化反応ガス中に含まれるシリコン粉末を捕捉するダスト捕捉器、反応ガスを冷却する冷却器等を備えている。反応器6は、所定の圧力、温度に維持される容器であり、その高圧の反応器6内に第1蒸留塔4からの混合流体とポリマーとを供給することにより、これらを接触させて反応させる構成である。なお、反応器6に供給されるポリマーは、多結晶シリコン製造工程から排出されるポリマーである。この多結晶シリコン製造工程では、トリクロロシラン、水素を反応炉に供給し、反応炉内で赤熱状態としたシリコン棒に接触させることにより、シリコン棒の表面に多結晶シリコンを析出させ、その排出ガスの蒸留精製により、高次塩化珪素化合物からなるポリマーが分離される。このポリマーが反応器6に供給される。次に、このトリクロロシラン製造装置1によりトリクロロシランを製造する方法について説明する。転化炉2では、テトラクロロシランを金属シリコン、水素と反応させて、トリクロロシランに転化する。金属シリコンは、珪石SiO2を精錬して、純度98程度にした粒状のシリコンであり、金属成分の不純物が含まれる。これら原料のうち、テトラクロロシラン及び水素は蒸発器5でガス化された後に転化炉2に供給され、そのテトラクロロシラン及び水素は、転化炉2の転化反応ガスから回収されて循環している。転化炉2内では、金属シリコンの粒が流動層を形成し、その流動層においてテトラクロロシラン、シリコン、水素が反応してトリクロロシランを含む転化反応ガスが生成される。この場合、反応触媒として塩化銅CuClなどの銅系の触媒が用いられる。前述したように転化炉2で生成される転化反応ガスには、トリクロロシランの他に、未反応のテトラクロロシラン、水素が含まれているとともに、金属シリコンの微粉や金属シリコン中の不純物Fe、Al、Ti、Ni等が反応して生成された金属塩化物及び高次塩化珪素化合物からなるポリマーが含まれる。まず、転化反応後のガスは凝縮系3に送られ、金属シリコン粉末等のダストが捕捉されるとともに、冷却されて凝縮することにより気液分離され、気体分の水素は転化炉2の原料の一部として再利用されるべく蒸発器5に供給され、凝縮液は、次の第1蒸留塔4に送られて蒸留され、テトラクロロシランとトリクロロシランを含む混合流体とに分離される。この蒸留により、原料の金属シリコンに含まれていた金属塩化物やポリマーも蒸留残渣として分離除去される。この場合、この金属塩化物は固形物であるため、流動性を付与して排出し易くするため、テトラクロロシランの一部が残渣に残るように蒸留される。そして、この蒸留により分離されたテトラクロロシランは、転化炉2の原料の一部として再利用されるべく蒸発器5に供給され、トリクロロシランを含む混合流体は次の反応器6に送られる。この反応器6では、前述したように、多結晶シリコン製造工程から排出されたポリマーが添加される。このポリマーは、ヘキサクロロジシランSi2Cl6、オクタクロロトリシランSi3Cl8、テトラクロロジシランSi2H2Cl4など、シリコンを2原子以上含む高次塩化珪素化合物からなるので、このポリマーを反応器6内に添加して転化炉2からの混合流体に接触させることにより、混合流体中に含まれるホウ素塩化物等のホウ素化合物と反応して、トリクロロシランよりも沸点がかなり高い錯体を形成する。この場合、反応促進のために反応器6内を加熱することが行われるが、反応器6に供給される混合流体は、前段の第1蒸留塔4においてテトラクロロシランが分離されているので、トリクロロシランを主とした流体となっており、このトリクロロシラン沸点:31.8°Cはテトラクロロシラン沸点:57°Cよりも沸点が低く、温度を上げると蒸発してしまうため、ポリマーとの接触が不十分になる。そこで、反応器6内の圧力を高めて内部の飽和蒸気圧を高くすることにより、トリクロロシランを液状に維持してポリマーとの接触を容易にする。例えば、反応器6内の圧力を0.16~0.53kPa、温度を45~90°Cとする。この反応器6内に混合流体とポリマーとを接触させた状態で例えば10~100分滞留させ、混合流体中に含まれる三塩化ホウ素等のホウ素化合物とポリマーとを反応させることにより、ホウ素化合物を高沸点物に変化させる。次いで、この反応器6を経由した混合流体を第2蒸留塔7で蒸留することにより、トリクロロシランが蒸留分離され、ホウ素を含むポリマーが高沸点物として残留し、蒸留残渣として排出される。このようにして、転化炉2で反応して得られた転化反応ガスから、まずテトラクロロシランを分離して転化反応ガス中のテトラクロロシランを低減した混合流体とし、その混合流体をポリマーに接触させることにより、混合流体中のホウ素化合物とポリマーとを十分に接触させ、その反応により、ホウ素化合物を高沸点物に変化させてポリマーとともに残渣として排出するので、転化炉2内から導出される転化反応ガス中のトリクロロシランの沸点に近い沸点を有するホウ素化合物を効果的に分離することができる。因みに、転化炉2から導出される転化反応ガスを直接ポリマーに接触させる場合、この転化反応ガス中にはトリクロロシランやその他のガスとともにテトラクロロシランが大量に含まれているため、大容量の反応器が必要になるだけでなく、これにポリマーを添加しても、反応ガス中に含まれるホウ素化合物が転化反応ガスの大半を占めるテトラクロロシランとの接触に費やされてしまい、例えば20程度しか含まれていないトリクロロシランとの十分な接触時間が確保できず、反応ガス中のホウ素化合物を高沸点物に変化させることが難しい。このため、転化反応ガス中のホウ素化合物が高沸点物化しない状態で蒸留され、トリクロロシランとともに留出されることで、トリクロロシランの純度が低くなる。本発明の方法であれば、ホウ素化合物を効果的に蒸留分離して除去することで、純度の高いトリクロロシランを得ることができる。なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。実施形態では、第1蒸留塔からの混合流体とポリマーとを接触させる反応器と、その反応器で反応した流体を蒸留する蒸留器とを別々に設けて配管により接続状態としているが、これらを一体的に設けてもよい。例えば、混合流体とポリマーとを反応させる反応器の上に、その反応流体を蒸留する蒸留塔を構築し、その蒸留残渣は反応器の下部から抜き取る構成としてもよい。