ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一端面に配置されるペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他端面に配置される、マスク接着剤を含むマスク接着剤層と、を備えたペリクルであって、前記マスク接着剤は、周波数1Hzの条件で測定される損失正接が最大値を示す温度が-20~30°Cである熱可塑性エラストマーA100質量部と、粘着付与樹脂B20~150質量部と、を含み、前記熱可塑性エラストマーAは、スチレン系熱可塑性エラストマー、メタアクリル酸エステル系熱可塑性エラストマー、及びオレフィン系熱可塑性エラストマーからなる群より選択される少なくとも一種であり、前記マスク接着剤の、周波数1Hzの条件で測定される損失正接が最大値を示す温度が-10~30°Cである、ペリクル。前記熱可塑性エラストマーAは、スチレン系熱可塑性エラストマーである、請求項1に記載のペリクル。前記スチレン系熱可塑性エラストマーが、第一のポリスチレンブロック、側鎖にイソプロペニル基を持ったポリイソプレンブロック及び第二のポリスチレンブロックを有するトリブロック共重合体、並びに/又はその水素添加物である、請求項2に記載のペリクル。前記粘着付与樹脂Bの、JISK-2207に定められた環球法に基づいて測定される軟化点が60~150°Cである、請求項1に記載のペリクル。前記粘着付与樹脂Bの数平均分子量が300~3000である、請求項1に記載のペリクル。前記粘着付与樹脂Bが、ロジン及びその誘導体、ポリテルペン樹脂及びその水素化物、テルペンフェノール樹脂及びその水素化物、芳香族変性テルペン樹脂及びその水素化物、クマロンインデン樹脂、脂肪族系石油樹脂、脂環族系石油樹脂及びその水素化物、芳香族系石油樹脂及びその水素化物、脂肪族芳香族共重合系石油樹脂、並びにジシクロペンタジエン系石油樹脂及びその水素化物からなる群より選択される少なくとも一種である、請求項1に記載のペリクル。ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一端面に配置されるペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他端面に配置される、マスク接着剤を含むマスク接着剤層と、を備えたペリクルであって、前記マスク粘着剤の23°Cにおける石英ガラス基板からの剥離強度が50~300gfであり、前記マスク接着剤の下記式1で規定される応力残留率R900が0≦R900≦15の範囲にある、ペリクル。応力残留率R900={F900/F0}×1001前記式1中、F0は応力緩和測定により測定される最大応力を示し、F900は前記応力緩和測定により測定される、試験時間が900秒経過した後の応力を示す。前記応力緩和測定は、23°Cの条件下でレオメーターを用いて実施される周波数1Hzの条件で測定される損失正接が最大値を示す温度が-20~30°Cである熱可塑性エラストマーA100質量部と、粘着付与樹脂B20~150質量部と、を含み、前記熱可塑性エラストマーAは、スチレン系熱可塑性エラストマー、メタアクリル酸エステル系熱可塑性エラストマー、及びオレフィン系熱可塑性エラストマーからなる群より選択される少なくとも一種であり、周波数1Hzの条件で測定される損失正接が最大値を示す温度が-10~30°Cである、マスク接着剤。23°Cにおける石英ガラス基板からの剥離強度が50~300gfであり、下記式1で規定される応力残留率R900が0≦R900≦15の範囲にある、マスク接着剤。応力残留率R900={F900/F0}×1001前記式1中、F0は応力緩和測定により測定される最大応力を示し、F900は前記応力緩和測定により測定される、試験時間が900秒経過した後の応力を示す。前記応力緩和測定は、23°Cの条件下でレオメーターを用いて実施される2つのパターンの相対的な位置のずれを生じさせる要因の一つとして、マスクの歪みを挙げることができる。マスクの歪みは、ペリクルをマスクに圧着する際に、ペリクルフレームの歪みがマスク接着剤層を通してマスクに伝わることにより生ずると考えられる。そこで、効果的に塑性変形する材料マスク接着剤を用いてマスク接着剤層を形成し、ペリクルフレームの歪みエネルギーをマスク接着剤層において緩和することが有効である。マスク接着剤の塑性変形のし易さを示すパラメータとして、損失正接以下、tanδとも記すを挙げることができる。例えば、tanδが最大値を示す温度以下、tanδピーク温度とも記すが-10°C~30°Cの範囲にあるマスク接着剤は、ダブルパターニングの露光が行なわれる温度一般的には室温において塑性変形し易い。このため、マスク接着剤層が塑性変形することによって、ペリクルフレームの歪みエネルギーを効果的に緩和することができる。一般的なマスク接着剤には、主成分となるベースポリマーと、その他の各種添加剤とが含有されている。添加剤の一種である粘着付与樹脂は、主成分であるベースポリマーのtanδピーク温度を高温側にシフトさせる作用がある。このため、マスク接着剤のtanδピーク温度を所望とする温度範囲内とするには、粘着付与樹脂の添加量を調整することにより行われる。但し、ベースポリマーとして用いられるスチレン/エチレン/ブチレン/スチレンブロック共重合体SEBS等の一般的な熱可塑性エラストマーのtanδピーク温度は-70~-50°C程度と低い。このため、マスク接着剤のtanδピーク温度を室温付近の温度範囲内とするには、粘着付与樹脂を多量に添加する必要がある。しかしながら、粘着付与樹脂の含有割合の多いマスク接着剤は柔らか過ぎる場合がある。柔らか過ぎるマスク接着剤を用いると、露光後にペリクルをマスクから剥離する際に、マスク表面上に糊残りが生じ易い。更に、柔らか過ぎるマスク接着剤は瞬間的な接着性が高いため、手が触れた際にベタついてしまい、ハンドリングも低いといった問題もある。本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、露光が行われる温度域で特に塑性変形し易く、マスクから剥離させる際の糊残りがほとんどなく、ハンドリング性の良好なマスク接着剤層を有するペリクルを提供することにある。また、本発明の課題とするところは、パターンの位置ずれを抑制可能なペリクルを提供することにある。更に、本発明の課題とするところは、そのようなペリクルに用いられるマスク粘着剤を提供することにある。即ち、本発明によれば、以下に示すペリクル、及びマスク接着剤が提供される。[1]ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一端面に配置されるペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他端面に配置される、マスク接着剤を含むマスク接着剤層と、を備えたペリクルであって、前記マスク接着剤は、周波数1Hzの条件で測定される損失正接が最大値を示す温度が-20~30°Cである熱可塑性エラストマーA100質量部と、粘着付与樹脂B20~150質量部と、を含み、前記熱可塑性エラストマーAは、スチレン系熱可塑性エラストマー、メタアクリル酸エステル系熱可塑性エラストマー、及びオレフィン系熱可塑性エラストマーからなる群より選択される少なくとも一種であり、前記マスク接着剤の、周波数1Hzの条件で測定される損失正接が最大値を示す温度が-10~30°Cである、ペリクル。[2]前記熱可塑性エラストマーAは、スチレン系熱可塑性エラストマーである、前記1に記載のペリクル。[3]前記スチレン系熱可塑性エラストマーが、第一のポリスチレンブロック、側鎖にイソプロペニル基を持ったポリイソプレンブロック及び第二のポリスチレンブロックを有するトリブロック共重合体、並びに/又はその水素添加物である、前記[2]に記載のペリクル。[4]前記粘着付与樹脂Bの、JISK-2207に定められた環球法に基づいて測定される軟化点が60~150°Cである、前記[1]~[3]のいずれかに記載のペリクル。[5]前記粘着付与樹脂Bの数平均分子量が300~3000である、前記[1]~[4]のいずれかに記載のペリクル。[6]前記粘着付与樹脂Bが、ロジン及びその誘導体、ポリテルペン樹脂及びその水素化物、テルペンフェノール樹脂及びその水素化物、芳香族変性テルペン樹脂及びその水素化物、クマロンインデン樹脂、脂肪族系石油樹脂、脂環族系石油樹脂及びその水素化物、芳香族系石油樹脂及びその水素化物、脂肪族芳香族共重合系石油樹脂、ジシクロペンタジエン系石油樹脂及びその水素化物、スチレンの低分子量重合体、並びに置換スチレンの低分子量重合体からなる群より選択される少なくとも一種である、前記[1]~[5]のいずれかに記載のペリクル。[7]ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一端面に配置されるペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他端面に配置される、マスク接着剤を含むマスク接着剤層と、を備えたペリクルであって、前記マスク粘着剤の23°Cにおける石英ガラス基板からの剥離強度が50~300gfであり、下記式1で規定される前記マスク接着剤の応力残留率R900が0≦R900≦15の範囲にある、ペリクル。応力残留率R900={F900/F0}×1001前記式1中、F0は応力緩和測定により測定される最大応力を示し、F900は前記応力緩和測定により測定される、試験時間が900秒経過した後の応力を示す。前記応力緩和測定は、23°Cの条件下でレオメーターを用いて実施される[8]周波数1Hzの条件で測定される損失正接が最大値を示す温度が-20~30°Cである熱可塑性エラストマーA100質量部と、粘着付与樹脂B20~150質量部と、を含み、前記熱可塑性エラストマーAは、スチレン系熱可塑性エラストマー、メタアクリル酸エステル系熱可塑性エラストマー、及びオレフィン系熱可塑性エラストマーからなる群より選択される少なくとも一種であり、周波数1Hzの条件で測定される損失正接が最大値を示す温度が-10~30°Cである、マスク接着剤。[9]23°Cにおける石英ガラス基板からの剥離強度が50~300gfであり、下記式1で規定される応力残留率R900が0≦R900≦15の範囲にある、マスク接着剤。応力残留率R900={F900/F0}×1001前記式1中、F0は応力緩和測定により測定される最大応力を示し、F900は前記応力緩和測定により測定される、試験時間が900秒経過した後の応力を示す。前記応力緩和測定は、23°Cの条件下でレオメーターを用いて実施される本発明のペリクルは、露光が行われる温度域で特に塑性変形し易く、マスクから剥離させる際の糊残りがほとんどないマスク接着剤層を有する。このため、本発明のペリクルを用いればパターンの位置ずれを抑制することができる。また、このマスク接着剤層はベタつき過ぎないため、ハンドリング性も良好である。従って、本発明のペリクルは、ダブルパターニングをはじめとする高いパターニング精度が要求されるパターニングに好適である。また、本発明のマスク接着剤は、露光が行われる温度域で特に塑性変形し易く、マスクから剥離させる際の糊残りがほとんどなく、ハンドリング性の良好なマスク接着剤層を形成することができる。このため、本発明のマスク接着剤を用いれば、ダブルパターニングをはじめとする高いパターニング精度が要求されるパターニングに好適なペリクルを提供することができる。1.マスク接着剤本発明のマスク接着剤には、特定の熱可塑性エラストマーAと、粘着付与樹脂Bとが含まれており、必要に応じて軟化剤やワックス等のその他の成分が更に含まれている。熱可塑性エラストマーA熱可塑性エラストマーAのtanδピーク温度は-20~30°Cであり、好ましくは-20~25°C、更に好ましくは-20~20°C、より好ましくは-20°C~0°Cである。tanδピーク温度が上記の範囲内である熱可塑性エラストマーAをベースポリマーとして用いると、粘着付与樹脂Bの配合量を少なくしても、得られるマスク接着剤のtanδピーク温度を-10~30°Cの範囲内とすることができる。このため、露光温度域において塑性変形し易く、かつベタつきが抑制されたマスク接着剤とすることができる。tanδ損失正接は、貯蔵弾性率G’に対する損失弾性率Gの比G/G’の値で表される。tanδの最大値が大きい場合には、塑性変形し易い。熱可塑性エラストマーAのtanδの最大値は0.5~3の範囲にあることが好ましく、0.9~2.0の範囲にあることが更に好ましい。tanδ損失正接は、動的粘弾性測定装置商品名ARES、TAインスツルメンツ社製を使用して測定及び算出することができる。具体的には、円盤状の試料片直径:25mm×厚さ:2mmを測定治具である2枚のパラレルプレート直径:25mmの間に挟みこみ、試験片の厚みを所定の初期ギャップに調整した後、貯蔵弾性率G’と損失弾性率Gとを、窒素雰囲気下、ずりモード、周波数:1Hz、測定温度:-80~200°C、昇温速度:3°C/分、及び初期Gap:2mmの条件で測定する。そして、得られた貯蔵弾性率G’と損失弾性率Gからtanδ=G/G’を算出することができる。熱可塑性エラストマーAとしては、iスチレン系熱可塑性エラストマー、iiメタアクリル酸エステル系熱可塑性エラストマー、iiiオレフィン系熱可塑性エラストマー等を挙げることができる。これらの熱可塑性エラストマーAは、一種単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。このうちiスチレン系熱可塑性エラストマーは分子骨格中にエステル結合部位を含まないことから耐加水分解性に優れ、かつ同一分子骨格中にソフトセグメントとハードセグメントの両方を併せ持つことから柔軟性と機械的強度の両方に優れているため好ましく用いられる。iスチレン系熱可塑性エラストマースチレン系熱可塑性エラストマーは、スチレンに由来する構成単位を含む重合体であり、好ましくはスチレンと、スチレン以外のオレフィンとのブロック共重合体である。スチレン以外のオレフィンとしては、イソプレン、4-メチル-1-ペンテン等の、重合体ブロック中に嵩高い分岐構造を持った側鎖を形成し得るモノマーが好ましい。なかでもイソプレンが特に好ましい。スチレン系熱可塑性エラストマーに含まれる、スチレンに由来する構成単位の合計の割合は35質量以下であることが好ましく、20質量以下であることが更に好ましい。スチレンに由来する構成単位の含有割合が多過ぎると、各種添加剤との相溶性が悪化してしまい、スチレン系熱可塑性エラストマーと添加剤が分離してしまう場合がある。スチレン系熱可塑性エラストマーとしては、第一のポリスチレンブロック、側鎖にイソプロペニル基1-メチルエテニル基-C=CH2CH3を持ったポリイソプレンブロック及び第二のポリスチレンブロックを有するトリブロック共重合体以下、SISとも記す、又は前記トリブロック共重合体の水素添加物以下、H-SISとも記すが好ましい。イソプロペニル基のような嵩高い分岐構造を側鎖に有する重合体ブロックを含むトリブロック共重合体のtanδピーク温度は、通常-20~30°C程度と高い。なお、トリブロック共重合体の水素添加物とは、SISに含まれる3つの重合体ブロックのうちのポリイソプレンブロック中の不飽和結合の好ましくは90以上、更に好ましくは95以上が水素添加されたものを意味する。上記SISの具体例として、商品名ハイブラー5127クラレ社製、tanδピーク温度:20°C、商品名ハイブラー5215クラレ社製、tanδピーク温度:-3°C等の市販品を挙げることができる。また、上記H-SISの具体例として、商品名ハイブラー7125クラレ社製、tanδピーク温度:-5°C、商品名ハイブラー7311クラレ社製、tanδピーク温度:-17°C等の市販品を挙げることができる。iiメタアクリル酸エステル系熱可塑性エラストマーメタアクリル酸エステル系熱可塑性エラストマーは、メタアクリル酸エステルに由来する構成単位を含む重合体である。より具体的には、ポリメタアクリル酸メチルと、ポリメタアクリル酸メチル以外のメタアクリル酸エステルとのジブロック又はトリブロック共重合体である。ポリメタアクリル酸メチル以外のメタアクリル酸エステルとしては、ポリメタアクリル酸n-ブチル、ポリメタアクリル酸2エチルヘキシル、ポリメタアクリル酸イソノニル等の、重合体ブロック中に嵩高い分岐構造を持った側鎖を形成し得るモノマーが好ましい。なかでもポリメタアクリル酸n-ブチルが好ましい。メタアクリル酸エステル系熱可塑性エラストマーの具体例としては、商品名LAポリマーシリーズクラレ社製等を挙げることができる。iiiオレフィン系熱可塑性エラストマーオレフィン系熱可塑性エラストマーは、一種又は二種以上のα-オレフィン類の共重合体であり、非晶性又は低結晶性のものが好ましい。α-オレフィンとしては、エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテン、ヘキセン、ヘプテン、オクテン、ノネン、デセン、ウンデセン、ドデセン、4-メチルペンテン-1等を挙げることができる。オレフィン系熱可塑性エラストマーの具体例としては、商品名タフマー三井化学社製、商品名ノティオ三井化学社製等の市販品を挙げることができる。粘着付与樹脂B粘着付与樹脂Bは、ベースポリマーとなる熱可塑性エラストマーAのtanδピーク温度を高温側にシフトさせる作用を有する成分である。粘着付与樹脂Bの軟化点は60~150°Cであることが好ましく、90~120°Cであることが更に好ましく、より好ましくは90~110°Cである。粘着付与樹脂Bの軟化点が60°C未満であると、配合物から粘着付与樹脂Bがブリードアウトする場合がある。また、ベースポリマーとなる熱可塑性エラストマーAのtanδピーク温度を高温側にシフトさせる効果が乏しいことがある。一方、粘着付与樹脂Bの軟化点が150°C超であると、ベースポリマーとなる熱可塑性エラストマーAに粘着性を付与する機能が失われる場合がある。なお、粘着付与樹脂Bの軟化点は、JISK-2207に定められた環球法に基づいて測定される。また、粘着付与樹脂Bの数平均分子量Mnは300~3000であることが好ましく、500~1000であることが更に好ましい。粘着付与樹脂Bの数平均分子量Mnが300未満であると、軟化点が低くなり過ぎる傾向にある。一方、粘着付与樹脂Bの数平均分子量Mnが3000超であると、軟化点が高くなり過ぎる傾向にある。なお、粘着付与樹脂Bの数平均分子量Mnは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィGPCによりポリスチレンを標準として測定される。粘着付与樹脂Bは、熱可塑性エラストマーAと相溶性を有することが好ましい。これにより、熱可塑性エラストマーAのtanδピーク温度を高温側に効果的にシフトさせることができる。熱可塑性エラストマーAとの相溶性の観点からは、粘着付与樹脂Bは、ロジン及びその誘導体、ポリテルペン樹脂及びその水素化物、テルペンフェノール樹脂及びその水素化物、芳香族変性テルペン樹脂及びその水素化物、クマロンインデン樹脂、脂肪族系石油樹脂、脂環族系石油樹脂及びその水素化物、芳香族系石油樹脂及びその水素化物、脂肪族芳香族共重合系石油樹脂、ジシクロペンタジエン系石油樹脂及びその水素化物を挙げることができる。これらは、SISやH-SISのポリイソプレンブロックと高い相溶性を有するために好ましい。中でも、ロジン及びその誘導体、ポリテルペン樹脂及びその水素化物、脂肪族系石油樹脂、脂環族系石油樹脂及びその水素化物が好ましく、より好ましくはロジン及びその誘導体、脂肪族系石油樹脂、脂環族系石油樹脂及びその水素化物である。熱可塑性エラストマーAがiスチレン系熱可塑性エラストマーの場合、特に好ましいのは、脂環族系石油樹脂の水素化物である。ロジン及びその誘導体の具体例としては、以下商品名でパインクリスタル、スーパーエステル、タマノル以上、荒川化学社製等を挙げることができる。ポリテルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、芳香族変性テルペン樹脂、及びそれらの水素化物の具体例としては、以下商品名でYSレジン、YSポリスター、クリアロン以上、ヤスハラケミカル社製等を挙げることができる。脂肪族系石油樹脂、脂環族系石油樹脂及びその水素化物、芳香族系石油樹脂及びその水素化物、脂肪族芳香族共重合系石油樹脂、ジシクロペンタジエン系石油樹脂及びその水素化物の具体例としては、以下商品名でアルコン荒川化学社製、ハイレッツ三井化学社製、アイマーブ出光興産社製、クイントン日本ゼオン社製、エスコレッツトーネックス社製等を挙げることができる。粘着付与樹脂Bとしては、一種単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。マスク接着剤に含まれる粘着付与樹脂Bの量は、熱可塑性エラストマーA100質量部に対して20~150質量部である。熱可塑性エラストマーAとしてSEBSを用いる場合、得られるマスク接着剤のtanδピーク温度を-10~30°Cの範囲にするには、SEBS100質量部に対して200~300質量部の粘着付与樹脂Bを添加する必要があった。これに対して、本発明においては、熱可塑性エラストマーA100質量部に対する粘着付与樹脂Bの量が150質量部以下であっても、得られるマスク接着剤のtanδを-10~30°Cの範囲とすることができる。このため、本発明のマスク接着剤はベタつきが少なく、マスクから剥離した際の糊残りがほとんどない。なお、熱可塑性エラストマーA100質量部に対する粘着付与樹脂Bの量が20質量部未満であると、得られるマスク接着剤のtanδピーク温度を-10°C以上とすることが困難である。一方、粘着付与樹脂Bの量が150質量部超であると、得られるマスク接着剤がベタついてしまい、マスクから剥離した際に糊残りが生ずる。その他の成分マスク接着剤は、上述の熱可塑性エラストマーA及び粘着付与樹脂B以外のその他の成分を更に含んでいてもよい。その他の成分としては、例えば、軟化剤、ワックス等を挙げることができる。軟化剤は、熱可塑性エラストマーAに柔軟性を付与し得る材料であれば特に限定されない。軟化剤の具体例としては、ポリブテン、水添ポリブテン、不飽和ポリブテン、脂肪族炭化水素、アクリル系ポリマー等を挙げることができる。軟化剤の添加量は、熱可塑性エラストマーA100質量部に対して、通常20~300質量部、好ましくは50~200質量部である。ワックスは、得られるマスク接着剤の硬度を調整し得る成分である。ワックスの具体例としては、ポリエチレンワックス、ポリプロピレンワックス等の高弾性材料を挙げることができる。ワックスの添加量は、熱可塑性エラストマーA100質量部に対して、通常20~200質量部、好ましくは50~100質量部である。マスク接着剤マスク接着剤のtanδピーク温度は-10~30°Cであり、好ましくは-5~30°C、更に好ましくは-1~15°Cである。ペリクルのマスクへの装着等の作業や、露光工程等は常温で行われる。このため、上記の範囲内にtanδピーク温度を有する本発明のマスク接着剤は、常温条件下において塑性変形によってペリクルフレームの歪みエネルギーを効果的に緩和可能なマスク接着剤層を形成することができる。マスク接着剤のtanδの最大値は1.3~5であることが好ましく、1.3~3であることが更に好ましい。tanδの最大値が高いマスク接着剤は塑性変形し易く、ペリクルフレームの歪みエネルギーを緩和することができる。但し、tanδの最大値が高過ぎるとマスク接着剤が変形し易くなり過ぎてしまい、粘着剤の形状を保持することが困難になる傾向にある。マスク接着剤の25°Cにおける貯蔵弾性率G’は1×103~1×107Paであることが好ましく、1×104~1×106Paであることが更に好ましい。貯蔵弾性率G’が上記範囲にあるマスク接着剤は、ハンドリング性が良好である。なお、マスク接着剤の貯蔵弾性率G’を高くするには、熱可塑性エラストマーAの含有割合を高めればよい。一方、マスク接着剤の貯蔵弾性率G’を低くするには、熱可塑性エラストマーAの含有割合を下げればよい。マスク接着剤の25°Cにおける損失弾性率Gは1×103~1×107Paであることが好ましく、1×104~1×106Paであることが更に好ましい。マスク接着剤のtanδ、貯蔵弾性率G’及び損失弾性率Gは、前述と同様にして測定することができる。本発明のマスク接着剤は、tanδピーク温度を所定の温度範囲内に有する。このため、ペリクルのマスク接着剤層として適用されると、マスク接着剤層は露光温度域で塑性変形してペリクルの歪みを吸収緩和し、ペリクルの歪みのマスクへの伝達を抑制することができる。更に、本発明のマスク接着剤は糊残りし難い。このため、マスク接着剤が作業者の手に触れても、手から離れ易く、ハンドリング性にも優れる。また、本発明のマスク接着剤は、23°Cにおける石英ガラス基板からの剥離強度が50~300gf0.49~2.94Nであり、下記式1で規定される応力残留率R900が0≦R900≦15の範囲にある。応力残留率R900={F900/F0}×1001なお、前記式1中、F0は応力緩和測定により測定される最大応力を示し、F900は、応力緩和測定により測定される、試験時間が900秒経過した後の応力を示す。この応力緩和測定は、23°Cの条件下でレオメーターを用いて実施される。応力緩和とは、材料内に作用していた応力が、塑性変形により低下していく現象をいう。応力緩和の程度応力が緩和する速さは材料によって異なるが、応力残留率Rtにより定量化することができる。この応力残留率Rtは、最大応力F0に対する試験経過時間t秒後の応力Ftの比として表される。なお、F0とFtは、レオメーター粘弾性測定装置を用いた応力緩和測定によって測定することができる。異なる材料同士の応力緩和特性を比較するには、応力残留率の大小を比較すればよい。通常、応力残留率が大きい材料は、時間経過とともに応力が解消され難い。一方、応力残留率が小さい材料は、時間経過とともに応力が解消され易い。但し、両者を比較するには、同一の試験経過時間t秒後の応力残留率Rtを比較する必要がある。一般的な半導体の製造工程においては、ペリクルをマスクに圧着後、マスク接着剤が応力緩和して残留応力が低減し、マスクの歪みが解消された後、次工程へと移ることになる。このため、製造効率向上の観点からは、残留応力が低減する時間は短いことが好ましい。そこで、本発明においては、現行の一般的なマスク取扱工程に要する時間を考慮し、t=900秒における応力残留率R900sを指標として用いることとした。また、一般的な半導体製造工程は室温約23°Cで実施されるため、23°Cにおいて測定される応力残留率を指標として用いることとした。本発明のマスク接着剤は、応力残留率R900が0≦R900≦20、更に好ましくは0≦R900≦15の範囲にある。このため、ペリクルのマスク接着剤層として適用されると、マスク接着剤層は露光温度域で塑性変形してペリクルの歪みを吸収緩和し、ペリクルの歪みのマスクへの伝達を抑制することができる。マスク粘着剤の応力残留率R900は、動的粘弾性測定装置商品名ARES、TAインスツルメンツ社製を使用して測定及び算出することができる。具体的には、円盤状の試料片直径:25mm×厚さ:2mmを測定治具である2枚のパラレルプレート直径:25mmの間に挟みこみ、試料片の厚みを所定の初期ギャップに調整した後、窒素素雰囲気下、ずりモード、歪:1、測定温度:23°C、及び初期Gap:2mmの条件で、測定時間tにおける応力Ftを測定する。そして、得られた最大応力F0と、試験時間が900秒経過した後の応力F900とから、応力残留率R900を算出することができる。また、マスク粘着剤の23°Cにおける石英ガラス基板からの剥離強度は50~300gfであり、好ましくは100~250gfである。石英ガラス基板からの剥離強度の強弱は、ペリクルをマスクから剥離する際の糊残りの有無の指標とすることができる。本発明のマスク接着剤は、23°Cにおける石英ガラス基板からの剥離強度が上記の数値範囲内であるために、糊残りし難い。また、マスク接着剤が作業者の手に触れても、手から離れ易く、ハンドリング性にも優れる。なお、剥離強度が50gf未満であると、使用中にペリクルが脱落したり、貼付位置ずれが生じたりする等、接着信頼性が低下する。一方、剥離強度が300gf超であると、剥離時に糊残りが発生する。マスク粘着剤の剥離強度は以下に示す方法に従って測定することができる。先ず、1清浄にした石英ガラス基板型式6025基板、HOYA社製、サイズ:152mm×152mm×6.35mmを準備する。2剥離ライナーを取り除いたマスク接着剤を石英ガラス基板上に載置し、更にアルミニウム製のペリクルフレーム外寸:149mm×122mm、枠高さH:5.8mm、枠幅W:2mmを載置する。なお、マスク接着剤サイズは、外寸:149mm×122mm、枠幅W:1.6mmとする。3ペリクルフレーム上に30kgの分銅を載置して3分間保持した後、分銅を取り除き、石英ガラス基板、マスク接着剤、及びペリクルフレームからなる積層体を得る。4得られた積層体をガラス基板立てに収納し、23°Cで10日間保管して密着力を安定化させて測定用サンプルとする。図2は、マスク粘着剤の剥離強度の測定方法を模式的に示す断面図である。図2に示すように、石英ガラス基板20、マスク接着剤22マスク接着剤層、及びペリクルフレーム24からなる積層体を、例えば、標準型万能試験機インテスコ社製の剥離治具28に、剥離治具28の突起をペリクルフレーム24の治具穴図示せずに嵌め込むようにしてセットする。なお、石英ガラス基板20上には、重り26を載置する。標準型万能試験機の荷重計測用ロードセルを20mm/分の速度に設定し、23°Cの条件下、剥離治具28のアーム32の端部を押し下げ治具30で押し下げる。マスク接着剤22が石英ガラス基板20から剥離するのに要した荷重を剥離強度gfとして測定することができる。2.ペリクル本発明のペリクルは、ペリクルフレームと、ペリクルフレームの一端面に配置されるペリクル膜と、ペリクルフレームの他端面に配置される、マスク接着剤を含むマスク接着剤層と、を備える。図1は、本発明のペリクルの一実施形態を示す模式図である。本実施形態のペリクル10は、ペリクル膜12と、ペリクル膜12の外周を支持するペリクルフレーム14とを有する。ペリクル膜12は、ペリクルフレーム14の一方の端面にある膜接着剤層13を介して張設されている。一方、ペリクルフレーム14をマスク図示せずに接着させるために、ペリクルフレーム14のもう一方の端面には、マスク接着剤層15が設けられている。マスク接着剤層15は、前述のマスク接着剤により形成される。ペリクル膜12は、ペリクルフレーム14によって保持されており、マスクの露光エリアを覆う。従って、ペリクル膜12は露光によるエネルギーを遮断しないような透光性を有する。ペリクル膜12の材質の例には、石英ガラスや、フッ素系樹脂や酢酸セルロース等の透明性を有する材質が含まれる。ペリクルフレーム14は、アルマイト処理されたアルミニウムフレーム等である。ペリクルフレーム14は、黒色であることが好ましい。露光光の反射を防ぐとともに、付着した異物等の有無を検査し易くするためである。膜接着剤層13は、ペリクルフレーム14とペリクル膜12とを接着する。膜接着剤層13の例には、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコン樹脂接着剤、含フッ素シリコン接着剤等のフッ素ポリマー等が含まれる。マスク接着剤層15は、ペリクルフレーム14をマスクに接着させる。マスク接着剤層15は、前述のマスク接着剤を塗布及び乾燥して形成することができる。マスク接着剤の塗布方法は、公知の方法であってよい。例えば、へら状の塗布ノズルをペリクルフレームの端面に押し当て、塗布ノズルからマスク接着剤を吐出させる方法等でマスク接着剤を所望の箇所に塗布することができる。マスク接着剤層15の厚みは、0.3~1.0mm程度である。マスク接着剤層15の表面には、マスク接着剤層15を保護するための離型シートセパレータが配置されてもよい。離型シートの例には、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム等が含まれる。離型シートは、ペリクルをマスクに装着する際に剥離される。ペリクル10は、離型シートが剥離された後、マスク接着剤層15を介してマスク上に装着される。マスクに付着した異物は、ウエハへの解像不良を引き起こす。このため、ペリクル10はマスクの露光エリアを覆うように装着される。これにより、マスクに異物が付着することを防止する。マスクに対してペリクル10を装着するには、ペリクルマウンター例えば、松下精機社製等が用いられる。ペリクルマウンターにペリクルとマスクを常温下で設置し、ペリクルをマスクに圧着させる。圧着条件は、マスクの種類等にもよるが、例えば室温で20kgfcm2程度の圧力で、3分間程度圧着すればよい。マスクの具体例としては、パターン化された遮光膜が配置された合成石英、石英ガラス等のガラス基板を挙げることができる。遮光膜とは、CrやMoSi等の金属の単層構造又は複数層構造の膜である。マスクの厚みは、例えば6mm程度である。半導体素子に描画される回路パターンの形成工程等のリソグラフィに用いられる露光光は、水銀ランプのi線波長365nm、KrFエキシマレーザ波長248nm、ArFエキシマレーザ波長193nm等の短波長の露光光が用いられる。前述の通り、本発明のペリクルは、露光温度域で適度に可塑変形するとともに、糊残りし難いマスク接着剤層を有する。このため、ペリクルをマスクに装着しても、マスク接着剤層がペリクルの歪みエネルギーを吸収及び緩和し、マスクへの伝達を抑制することができる。このため、マスクの歪みに起因するパターニング精度の低下を抑制することができる。また、ペリクルをマスクから剥離する際にマスク接着剤層が糊残りせず、ハンドリング性にも優れる。更に、ダブルパターニングでは、2つのマスクを用いて、1つのウエハに2回の露光を行う。そして、2つの回路パターンを互い違いに重ね合わせることで、1つのマスクで得られる回路パターンのピッチの1/2のピッチを有する回路パターンを得る。ダブルパターニングで得られる回路パターンのピッチは、1~5nm程度である。ダブルパターニングの手法を用いることにより、1枚のマスクで露光することが困難な32nmノード以下の最先端世代で要求される微細な回路パターンを露光することが可能となる。この技術においては、1回目と2回目の露光により形成されるそれぞれの回路パターンを、いかに設計した回路図通りに正確に重ね合わせられるかが重要となる。このように、ダブルパターニングでは、2つのパターンの相対的位置のずれ量パターンの位置ずれ量をできるだけ小さくすることが求められる。32nmノード以下の世代で要求されるパターンの位置ずれ量は0~5nm程度であり、好ましくは0~3nm程度である。2つのパターンの位置ずれ量とは、1回目の露光現像により形成されるパターンと、2回目の露光現像により形成されるパターンとの実測距離と、回路設計から要求される距離との差である。2つのパターンの位置ずれ量は、以下の方法で測定されうる。まず、マスクを介して1回目の露光を行う。次いで、1回目の露光を行った位置から、マスクを所定量ずらして2回目の露光を行う。このとき、1回目の露光現像で形成されたパターンと、2回目の露光現像で形成されたパターンとの距離をSEM観察により求め、この距離の、回路設計から要求される距離との差を、パターンの位置ずれ量とする。このように、ダブルパターニングでは、2つのパターンの相対的位置のずれをnmレベルでできるだけ小さくする必要があり、高いパターニング精度が求められる。本発明のペリクルは、ペリクルの歪みをマスクに伝わらないようにするので、特にダブルパターニングに好適である。以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、各種物性値の測定方法、及び諸特性の評価方法を以下に示す。1各種物性値の測定方法及び各種評価方法[tanδピーク温度、tanδの最大値、貯蔵弾性率G’、損失弾性率G]動的粘弾性測定装置商品名ARES、TAインスツルメンツ社製を使用し、円盤状の試料片直径:25mm×厚さ:2mmを測定治具である2枚のパラレルプレート直径:25mmの間に挟みこみ、試験片の厚みを所定の初期ギャップに調整した後、貯蔵弾性率G’と損失弾性率Gとを、窒素雰囲気下、ずりモード、周波数:1Hz、測定温度:-80~200°C、昇温速度:3°C/分、及び初期Gap:2mmの条件で測定した。得られた貯蔵弾性率G’と損失弾性率Gからtanδ=G/G’を求め、tanδが最大値を示す温度tanδピーク温度、及びその最大値を算出した。[応力残留率R900]動的粘弾性測定装置商品名ARES、TAインスツルメンツ社製を使用し、円盤状の試料片直径:25mm×厚さ:2mmを測定治具である2枚のパラレルプレート直径:25mmの間に挟みこみ、試料片の厚みを所定の初期ギャップに調整した後、窒素素雰囲気下、ずりモード、歪:1、測定温度:23°C、及び初期Gap:2mmの条件で、測定時間tにおける応力Ftを測定した。得られた最大応力F0と、試験時間が900秒経過した後の応力F900とから、応力残留率R900を算出した。[剥離強度]1清浄にした石英ガラス基板型式6025基板、HOYA社製、サイズ:152mm×152mm×6.35mmを準備した。2剥離ライナーを取り除いたマスク接着剤を石英ガラス基板上に載置し、更にアルミニウム製のペリクルフレーム外寸:149mm×122mm、枠高さH:5.8mm、枠幅W:2mmを載置した。なお、マスク接着剤サイズは、外寸:149mm×122mm、枠幅W:1.6mmとした。3ペリクルフレーム上に30kgの分銅を載置して3分間保持した後、分銅を取り除き、石英ガラス基板、マスク接着剤、及びペリクルフレームからなる積層体を得た。4得られた積層体をガラス基板立てに収納し、23°Cで10日間保管して密着力を安定化させて測定用サンプルとした。図2に示すように、石英ガラス基板20、マスク接着剤22マスク接着剤層、及びペリクルフレーム24からなる積層体を、標準型万能試験機インテスコ社製の剥離治具28に、剥離治具28の突起をペリクルフレーム24の治具穴図示せずに嵌め込むようにしてセットした。なお、石英ガラス基板20上には、重り26を載置した。標準型万能試験機の荷重計測用ロードセルを20mm/分の速度に設定し、23°Cの条件下、剥離治具28のアーム32の端部を押し下げ治具30で押し下げた。マスク接着剤22が石英ガラス基板20から剥離するのに要した荷重を剥離強度gfとして測定した。[パターンの位置ずれ量]半導体露光装置商品名ArF液浸スキャナーNSR-S610C、ニコン社製を使用し、ペリクルが装着されたマスクを介してウエハ6025基板、厚さ:6.35mm、長さ:151.95mmを2回露光して、ウエハにパターンを焼き付けた。より具体的には、1回目の露光を行った後、マスクをずらして2回目の露光を行った。そして、1回目の露光で形成されたパターンと、2回目の露光で形成されたパターンとのずれ量距離をSEMで観察して測定した。そして、測定された距離Xと、マスクをずらした量Yとの差X-Yをパターンの位置ずれ量nmとした。なお、パターンの位置ずれ量は小さいほど好ましく、パターンの位置ずれ量が5nm以下であった場合を良好、5nm超であった場合を不良と評価した。[マスクの歪み量]ペリクルマウンター松下精機社製にペリクルとマスクを設置し、温度:常温25°C、圧力:20kgf/cm2、圧着時間:3分間の条件で、石英ガラス製のマスク厚み:6.35mmにペリクルを圧着させた。ペリクルが装着されたマスクの歪み量を、平面度測定解析装置商品名UltraFlat200Mask、CorningTropel社製を使用して測定した。なお、測定面積は146mm2とした。ペリクルが装着されたマスクは、通常、ペリクルフレームアルミ枠の歪みを反映して弓なりに歪む。平面度測定解析装置を使用してマスク全体を測定すると、マスクの歪み状態が等高線の図として示され、歪み量の最大値と最小値との差が示される。ペリクル装着前のマスク全体の歪み量1と、ペリクル装着後のマスク全体の歪み量2との差1-2を、ペリクルの装着によって生じたマスクの歪み量nmとした。なお、マスクの歪み量は小さいほど好ましく、0であること即ち歪みがないが最も好ましい。[糊残り]照明装置セナーアンドバーンズ社製、照度:30万ルクスを使用してペリクルを剥がした後のマスクの表面に照明を当て、マスクの表面で光を反射させながら糊残りの有無を目視観察した。2各種成分マスク接着剤の原料として、以下に示す各種成分を使用した。熱可塑性エラストマーAH-SIS1:スチレン-水素添加イソプレン-スチレンブロック共重合体商品名ハイブラー7125クラレ社製、tanδピーク温度:-5°C、スチレン含有割合:20質量H-SIS2:スチレン-水素添加イソプレン-スチレンブロック共重合体商品名ハイブラー7311クラレ社製、tanδピーク温度:-17°C、スチレン含有割合:12質量SEBS:スチレン-エチレンブチレン-スチレンブロック共重合体商品名タフテックH1062旭化成ケミカルズ社製tanδピーク温度:-48°Cメタアクリル酸エステル系エラストマー:商品名LAポリマー2140eクラレ社製、tanδピーク温度:-20°Cオレフィン系エラストマー1:商品名ノティオPN3560三井化学社製、tanδピーク温度:-20°Cオレフィン系エラストマー2:4-メチル-1-ペンテンと1-ヘキセンとのランダム共重合体4-メチル-1-ペンテン:55mol、1-ヘキセン:45mol、tanδピーク温度:-2°C粘着付与樹脂B脂環族系石油樹脂の水素化物:C9系水素添加石油樹脂商品名アルコンP-100荒川化学工業社製、軟化点:100±5°C、数平均分子量Mn:610ロジンエステル樹脂商品名パインクリスタルKE-311荒川化学社製、軟化点:100±5°C軟化剤ポリブテン商品名ニッサンポリブテン30N日油社製パラフィン系鉱物油商品名ネオバックMR-200MORESCO社製アクリル系ポリマー商品名ARUFONUP1080東亜合成社製ワックスポリプロピレン熱分解型ワックス商品名ハイワックスNP055三井化学社製3ペリクルの製造実施例1H-SIS1100質量部、粘着付与樹脂B100質量部、及び軟化剤200質量部を全体で48gとなるように混合して原料混合物を得た。得られた原料混合物をラボプラストミル東洋精機製作所社製、内容量:60mLに投入した後、密閉した。200°C、100rpmで20分間混練して、塊状のマスク接着剤を得た。約10gのマスク接着剤を加熱タンクタンク内温度:200°Cに投入して溶融させた。一方、図1に示すような、陽極酸化処理したアルミニウム製のペリクルフレーム14外寸:149mm×122mm、枠高さH:5.8mm、枠幅W:2mmを用意した。加熱タンクに連通する針先から押し出した溶融状態のマスク接着剤を、ペリクルフレーム14の一方の端面上に塗布してマスク接着剤層15を形成した。形成されたマスク接着剤層15の厚さは0.6mmであった。また、マスク接着剤層15の表面にセパレータを配置した。ペリクルフレーム14の他方の端面マスク接着剤層15が形成されていない側の端面上に、膜接着剤層13を介してペリクル膜12を貼付してペリクル10を得た。マスク粘着剤のtanδピーク温度、tanδの最大値、25°Cにおける貯蔵弾性率G’、25°Cにおける損失弾性率G、応力残留率R900、及び剥離強度の測定結果を表1に示す。また、パターンの位置ずれ量の測定及び評価結果、マスクの歪み量の測定結果、並びに糊残りの評価結果を表1に示す。実施例2~11、比較例1~6表1に示す配合となるように各成分を混合して混合物を得たとこと以外は、前述の実施例1と同様にしてペリクルを得た。マスク粘着剤のtanδピーク温度、tanδの最大値、25°Cにおける貯蔵弾性率G’、25°Cにおける損失弾性率G、応力残留率R900、及び剥離強度の測定結果を表1に示す。また、パターンの位置ずれ量の測定及び評価結果、マスクの歪み量の測定結果、並びに糊残りの評価結果を表1に示す。実施例1~11のペリクルを用いた場合のマスクの歪み量は52nm以下であった。またパターンの位置ずれ量は2nm以下であり、ダブルパターニングを行うのに十分に小さい位置ずれ量であった。また、いずれの実施例においても、マスクからペリクルを剥離した際に糊残りが生じなかった。これに対して、比較例1~6のペリクルを用いた場合には、パターンの位置ずれ量、マスクの歪み量、及び糊残りのいずれかの評価が劣るものであった。比較例1及び2のペリクルに用いたマスク接着剤は、熱可塑性エラストマーAのtanδピーク温度が所定の範囲外である。このため、熱可塑性エラストマーA100質量部に対する粘着付与樹脂Bの配合量を150質量部まで増加しても、得られたマスク接着剤のtanδピーク温度が-10°Cよりも低温-21°C及び-11°Cであった。従って、パターンの位置ずれ量、及びマスクの歪み量が大きくなったものと推測される。但し、粘着付与樹脂Bの配合量が過剰ではないため、糊残りは生じなかったものと考えられる。比較例3のペリクルに用いたマスク接着剤は、熱可塑性エラストマーA100質量部に対する対粘着付与樹脂Bの配合量を200質量部まで増加している。このため、得られたマスク接着剤のtanδピーク温度が-10~30°Cの範囲内であった。従って、パターンの位置ずれ量及びマスクの歪み量が小さくなったものと推測される。一方、粘着付与樹脂Bの配合量が過剰であるため、糊残りが生じたものと考えられる。比較例4及び5のペリクルに用いたマスク接着剤は、熱可塑性エラストマーAのtanδピーク温度が所定の範囲内である。このため、得られたマスク接着剤のtanδピーク温度は-10~30°Cの範囲内であった。従って、パターンの位置ずれ量及びマスクの歪み量が小さくなったものと推測される。一方、粘着付与樹脂Bの配合量が過剰であるため、糊残りが生じたものと考えられる。比較例6のペリクルに用いたマスク接着剤は、熱可塑性エラストマーAのtanδピーク温度が所定の範囲内である。しかしながら、熱可塑性エラストマーA100質量部に対する対粘着付与樹脂Bの配合量が少な過ぎたため、得られたマスク接着剤のtanδピーク温度が-10°Cよりも低温-15°Cであった。従って、パターンの位置ずれ量及びマスクの歪み量が大きくなったものと推測される。但し、粘着付与樹脂Bの配合量が過剰ではないため、糊残りは生じなかったものと考えられる。