太陽電池のエミッタ層にレーザービームを照射して選択的エミッタを形成するレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、レーザービームを出力するレーザー部と;前記レーザー部から出力されたレーザービームを伝送するレーザービーム伝送部と;前記レーザービーム伝送部を通して伝送されたレーザービームをコリメートし、互いに異なる焦点距離を有する多数のコリメーティングレンズと;コリメートされて入射されるレーザービームを、太陽電池上の所望の位置に偏向させるためのガルバノメータスキャナと;前記ガルバノメータスキャナを経由したレーザービームが入射されると、入射されたレーザービームを太陽電池上に集束させて照射するための集光レンズと;前記レーザービーム伝送部と前記ガルバノメータスキャナとの間の光経路上に位置する第1の位置と、前記レーザービーム伝送部と前記ガルバノメータスキャナとの間の光経路から逸脱して位置する第2の位置との間で前記コリメーティングレンズを往復移送させるコリメーティングレンズ移送部と;を含み、前記多数のコリメーティングレンズのうち、選択的エミッタを加工するための焦点距離を有するコリメーティングレンズが選択されて前記第1の位置に配置されることを特徴とするレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記コリメーティングレンズが配置される位置を測定する第1のセンサーと;前記レーザービーム伝送部と前記ガルバノメータスキャナとの間の光経路の光軸と、前記コリメーティングレンズの中心部とが一致するように前記コリメーティングレンズ移送部を制御する制御部と;をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。前記コリメーティングレンズの側部に結合され、一面が前記第1のセンサーと対向するように配置される第1のプレートをさらに含み、前記第1のセンサーは、前記第1のセンサーの端部と前記第1のプレートとの間の距離を測定することを特徴とする、請求項2に記載のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。前記多数のコリメーティングレンズのうち相対的に焦点距離の長いコリメーティングレンズが、相対的に焦点距離の短いコリメーティングレンズに比べて前記レーザービーム伝送部からより遠く配置されることを特徴とする、請求項1に記載のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。前記レーザービーム伝送部は、四角形コアタイプの光ファイバーを含むことを特徴とする、請求項1に記載のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。前記光ファイバーを経由したレーザービームのプロファイルを測定するためのビームプロファイラーをさらに含むことを特徴とする、請求項5に記載のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。レーザービームのパワーを測定するパワー検出装置をさらに含むことを特徴とする、請求項5に記載のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。互いに異なる焦点距離を有する多数の集光レンズが設けられ、前記ガルバノメータスキャナと太陽電池との間の光経路上に位置する第3の位置と、前記ガルバノメータスキャナと太陽電池との間の光経路から逸脱して位置する第4の位置との間で前記集光レンズを往復移送させる集光レンズ移送部をさらに含み、前記多数の集光レンズのうち、選択的エミッタを加工するための焦点距離を有する集光レンズが選択されて前記第3の位置に配置されることを特徴とする、請求項1に記載のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。前記第3の位置と前記第4の位置との間で前記集光レンズが配置される位置を測定する第2のセンサーと;前記集光レンズの中心部と前記太陽電池の照射領域の中心部とが一致するように前記集光レンズ移送部を制御する制御部と;をさらに含むことを特徴とする、請求項8に記載のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置。したがって、本発明の目的は、前記のような従来の問題を解決するためのものであって、レーザービームをコリメートするコリメーティングレンズを所望のレーザービームのスポットサイズに合わせて選択して配置し、ガルバノメータスキャナを用いてレーザービームを太陽電池上の所望の位置に照射して選択的エミッタを形成することによって、太陽電池の前面電極の数量、間隔又は幅が変更されたとしても、互換性のある対応をし、多様な形態の選択的エミッタを形成できるレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置を提供することにある。前記のような目的を達成するために、本発明のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置は、太陽電池のエミッタ層にレーザービームを照射して選択的エミッタを形成するレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、レーザービームを出力するレーザー部と;前記レーザー部から出力されたレーザービームを伝送するレーザービーム伝送部と;前記レーザービーム伝送部を通して伝送されたレーザービームをコリメートし、互いに異なる焦点距離を有する多数のコリメーティングレンズと;コリメートされて入射されるレーザービームを、太陽電池上の所望の位置に偏向させるためのガルバノメータスキャナと;前記ガルバノメータスキャナを経由したレーザービームが入射され、入射されたレーザービームを太陽電池上に集束させて照射するための集光レンズと;前記レーザービーム伝送部と前記ガルバノメータスキャナとの間の光経路上に位置する第1の位置と、前記レーザービーム伝送部と前記ガルバノメータスキャナとの間の光経路から逸脱して位置する第2の位置との間で前記コリメーティングレンズを往復移送させるコリメーティングレンズ移送部と;を含み、前記多数のコリメーティングレンズのうち選択的エミッタを加工するための焦点距離を有するコリメーティングレンズが選択され、これが前記第1の位置に配置されることを特徴とする。本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、望ましくは、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記コリメーティングレンズが配置される位置を測定する第1のセンサーと;前記レーザービーム伝送部と前記ガルバノメータスキャナとの間の光経路の光軸と、前記コリメーティングレンズの中心部とが一致するように前記コリメーティングレンズ移送部を制御する制御部と;をさらに含む。本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、望ましくは、前記コリメーティングレンズの側部に結合され、一面が前記第1のセンサーと対向するように配置される第1のプレートをさらに含み、前記第1のセンサーは、前記第1のセンサーの端部と前記第1のプレートとの間の距離を測定する。本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、望ましくは、前記多数のコリメーティングレンズのうち相対的に焦点距離の長いコリメーティングレンズが、相対的に焦点距離の短いコリメーティングレンズに比べて前記レーザービーム伝送部からより遠く配置される。本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、望ましくは、前記レーザービーム伝送部は四角形コアタイプの光ファイバーを含む。本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、望ましくは、前記光ファイバーを経由したレーザービームのプロファイルを測定するためのビームプロファイラーをさらに含む。本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、望ましくは、レーザービームのパワーを測定するパワー検出装置をさらに含む。本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、望ましくは、互いに異なる焦点距離を有する多数の集光レンズが設けられ、前記ガルバノメータスキャナと太陽電池との間の光経路上に位置する第3の位置と、前記ガルバノメータスキャナと太陽電池との間の光経路から逸脱して位置する第4の位置との間で前記集光レンズを往復移送させる集光レンズ移送部をさらに含み、前記多数の集光レンズのうち選択的エミッタを加工するための焦点距離を有する集光レンズが選択され、これが前記第3の位置に配置される。本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置において、望ましくは、前記第3の位置と前記第4の位置との間で前記集光レンズが配置される位置を測定する第2のセンサーと;前記集光レンズの中心部と前記太陽電池の照射領域の中心部とが一致するように前記集光レンズ移送部を制御する制御部と;をさらに含む。本発明のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置によると、太陽電池の前面電極の数量、間隔又は幅が変更されたとしても、互換性のある対応をし、多様な形態の選択的エミッタを形成することができる。また、本発明のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置によると、断面形状が直方形で、かつ断面のエネルギー分布が均質なレーザービームを選択的エネルギー加工に用いることによって、レーザービームスポットの重畳を最小化し、全体的な加工時間も短縮することができる。また、本発明のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置によると、選択的エミッタ加工に用いられるレーザービームの品質を向上させることができる。また、本発明のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置によると、加工中にレーザービームプロファイルの異常有無を確認することができる。また、本発明のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置によると、加工中にレーザービームパワーの異常有無を確認することができる。以下、本発明に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置の各実施例を添付の図面を参照して詳細に説明する。図3は、本発明の一実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置を概略的に示した図で、図4は、図3の製造装置において、焦点距離が異なる多数のコリメーティングレンズのうち1つが配置されて作動する状態を説明する図で、図5は、図3の製造装置において、焦点距離が異なる多数のコリメーティングレンズのうち他の1つが配置されて作動する状態を説明する図で、図6は、図3の製造装置において、四角形コアタイプの光ファイバーを通して伝送されたレーザービームを用いて選択的エミッタを加工することを説明する図である。図3~図6を参照すると、本実施例のレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置100は、太陽電池のエミッタ層にレーザービームを照射して選択的エミッタを形成するものであって、レーザー部110、レーザービーム伝送部120、コリメーティングレンズ130、ガルバノメータスキャナ140、集光レンズ150、コリメーティングレンズ移送部、第1のセンサー160、第1のプレート136、制御部170、ビームプロファイラー180及びパワー検出装置190を含む。前記レーザー部110は、太陽電池20に選択的エミッタ28を形成するエネルギー源であるレーザービームLを出力する。エミッタ層22に照射されるレーザービームLは、出力パワーが大きいパルス発振されたレーザービームLであることが望ましい。レーザービームLは、絶縁膜27又はエミッタ層22で容易に吸収できるように赤外線又は近赤外線領域の波長を有することが望ましい。前記レーザービーム伝送部120は、レーザー部110から出力されたレーザービームLを後述するコリメーティングレンズ130側に伝送するものであって、本実施例では、レーザービーム伝送部120としては四角形コアタイプの光ファイバーを用いる。図6のaに示すように、一般的なレーザービームスポットLS1の断面形状は円状で、断面のエネルギー分布E1は、中心部のエネルギー強さが最も高く、縁部に行くほどエネルギー強さが減少するガウスGaussian分布を示すようになる。円状の断面形状とガウスエネルギー分布を有するレーザービームスポットLS1を用いて直方形の谷形状を有する選択的エミッタ28を加工しようとする場合、加工の品質を高めるためにはレーザービームスポットLS1の相当部分を重畳して加工するしかない。重畳領域を過度に少なくすると、レーザービームスポットLS1の縁部における低いエネルギー強さのため重畳領域の加工品質が著しく低下するという問題が発生する。このように円状でありながらガウスエネルギー分布を有するレーザービームスポットLS1を用いると、隣接するレーザービームスポットLS1を重畳して加工するしかないので、全体的に加工時間が増加し、装置の生産性も低下するという問題が発生する。したがって、図6のbに示すように、本実施例では、コアの断面形状が直方形又は正方形である光ファイバーを用いてレーザービームLを伝送することによって、レーザービームスポットLS2の断面形状を直方形又は正方形に形成し、断面のエネルギー分布E2も均質にフラットトップflattop分布を有するエネルギー維持する。直方形又は正方形コアタイプの光ファイバーを経由したレーザービームLを用いて選択的エミッタ28を加工することによって、レーザービームLがほとんど重畳しないようにするか、重畳を最小化させることができ、全体的な加工時間も短縮させることができる。レーザー部110から出力されたレーザービームLは、集光レンズ111を通して光ファイバーに入力される。前記コリメーティングレンズ130は、レーザービーム伝送部120を通して伝送されたレーザービームLをコリメートし、これを後述するガルバノメータスキャナ140側に伝送する。本実施例では、互いに異なる焦点距離を有する多数のコリメーティングレンズ130が設けられ、多数のコリメーティングレンズ130のうちいずれか1つのコリメーティングレンズ130が選択され、これがレーザービーム伝送部120とガルバノメータスキャナ140との間の光経路上に配置される。一般に、選択的エミッタ28の幅は、照射されるレーザービームのスポットサイズより広いので、選択的エミッタ28の1つのラインを加工するためにはレーザービームスポットを多数回繰り返してライン加工を行わなければならない。このとき、選択的エミッタ28の幅が大きくなると、ライン加工回数を増加させなければならないが、レーザービームのスポットサイズを大きくすると、むしろライン加工回数を減少させることができる。したがって、選択的エミッタ28の幅が変更されると、ライン加工に必要なレーザービームのスポットサイズを選択し、所望のスポットサイズを具現できるコリメーティングレンズ130を選択し、これをレーザービーム伝送部120とガルバノメータスキャナ140との間の光経路上に配置する。このとき、互いに異なる焦点距離を有する多数のコリメーティングレンズ130は、レーザービーム伝送部120とガルバノメータスキャナ140との間の光経路と平行に配置されるが、多数のコリメーティングレンズ130のうち相対的に焦点距離の長いコリメーティングレンズ133が、相対的に焦点距離の短いコリメーティングレンズ131に比べてレーザービーム伝送部120からより遠く配置される。前記コリメーティングレンズ移送部図示せずは、レーザービーム伝送部120とガルバノメータスキャナ140との間の光経路上に位置する第1の位置P1と、レーザービーム伝送部120とガルバノメータスキャナ140との間の光経路から逸脱して位置する第2の位置P2との間でコリメーティングレンズ130を往復移送させる。多数のコリメーティングレンズ130のうち加工に適した焦点距離を有するコリメーティングレンズ130は、コリメーティングレンズ移送部によって第1の位置P1に移送され、残りのコリメーティングレンズ130は、コリメーティングレンズ移送部によって第2の位置P2に移送される。このとき、それぞれのコリメーティングレンズ130を個別的に制御するためには、それぞれのコリメーティングレンズ130にコリメーティングレンズ移送部が個別的に結合されることが望ましい。コリメーティングレンズ移送部は、コリメーティングレンズ130をレーザービーム伝送部120とガルバノメータスキャナ140との間の光経路と交差する方向に直線的に往復移送させる直線移送ユニットによって具現することができ、このような直線移送ユニットは、リニアモーター、回転モーター及びボールスクリューを組み合わせた構成などの通常の技術者によく知られた構成を採用できるので、これ以上の詳細な説明は省略する。また、光ファイバーのコアサイズを変更し、レーザービームのスポットサイズを変更することもできる。多様な焦点距離を有する多数のコリメーティングレンズ130との組み合わせを通して、選択的エミッタ28の加工に最も適したレーザービームのスポットサイズを具現できるコアサイズを有する光ファイバーを選択することができる。前記ガルバノメータスキャナ140は、コリメートされて入射されるレーザービームLを、太陽電池20上の所望の位置に偏向させるためのものであって、レーザービームLを反射させるミラー部と、ミラー部を回転させる駆動モーターとからなることが一般的である。ガルバノメータスキャナ140を用いて平面上の任意の位置にレーザービームLを位置できるように、ガルバノメータスキャナ140は、それぞれX軸ガルバノメータスキャナ及びY軸ガルバノメータスキャナを備えるが、本明細書では、一対のX軸ガルバノメータスキャナとY軸ガルバノメータスキャナをガルバノメータスキャナ140と称する。ガルバノメータスキャナ140は、質量の小さいミラー部を正逆方向に回転させるので、機械的な慣性が少なく、特に直線状の加工ラインの両端部で加減速がほとんどない方向転換を行うのに優れるという特性を有する。前記集光レンズ150は、ガルバノメータスキャナ140を経由したレーザービームLが入射されると、入射されたレーザービームLの収差を補正しながら太陽電池20上にレーザービームLを集束させて照射する。本実施例では、集光レンズ150としてエフシータレンズが使用される。エフシータレンズは、通過するレーザービームLを集束するだけでなく、作業領域の縁部側の収差を補正することもできる。前記第1のセンサー160は、第1の位置P1と第2の位置P2との間でコリメーティングレンズ130が配置される位置を測定する。第1のセンサー160は、多数のコリメーティングレンズ130の数量と同一の数量に設けられ、それぞれのコリメーティングレンズ130に1対1で対応するように配置される。第1のセンサー160は、コリメーティングレンズ130の位置を測定し、コリメーティングレンズ130が第1の位置P1に配置されたか、それとも第2の位置P2に配置されたかを確認することができる。レーザービームLが正常にコリメートされるためには、多数のコリメーティングレンズ130のうちいずれか1つのみが第1の位置P1に配置され、残りは第2の位置P2に配置されなければならないが、第1のセンサー160はこれを確認することができる。前記第1のプレート136は、コリメーティングレンズ130の側部に結合され、一面が第1のセンサー160と対向するように配置される。第1のセンサー160は、一般的に発光部及び受光部で構成されるが、発光部から出射された光は、第1のプレート136によって反射され、再び受光部に入射される。第1のセンサー160は、第1のセンサー160の端部と第1のプレート136との間の距離を測定して換算することによって、現在のコリメーティングレンズ130の位置を測定することができる。前記制御部170は、レーザービーム伝送部120とガルバノメータスキャナ140との間の光経路の光軸と、コリメーティングレンズ130の中心部とが一致するように、コリメーティングレンズ移送部を制御する。レーザービームLが正常にコリメートされるためには、コリメーティングレンズ130が第1の位置P1に配置されたとしても、コリメーティングレンズ130の中心部と、レーザービーム伝送部120とガルバノメータスキャナ140との間の光経路の光軸とが一致しなければならない。第1のセンサー160は、コリメーティングレンズ130が第1の位置P1と第2の位置P2との間でどの位置にあるかを測定し、コリメーティングレンズ130の中心部と光軸とが一致するかどうかを確認することができ、制御部170は、逸脱した値だけコリメーティングレンズ移送部に移送命令を伝送し、コリメーティングレンズ130の中心部と光軸とを一致させる。前記ビームプロファイラー180は、光ファイバーを経由したレーザービームLのプロファイルを測定する。本実施例では、直方形コアタイプの光ファイバーを用いてレーザービームLを伝送することによって、レーザービームスポットの断面形状を直方形に形成し、断面のエネルギー分布を均質にフラットトップ分布を有するエネルギー維持する。したがって、ビームプロファイラー180を用いて選択的エミッタ28の加工中又は加工中間に光ファイバーを経由したレーザービームLのプロファイルを確認することができる。選択的エミッタ28の加工中又は加工中間にレーザービームLのプロファイルを確認するためには、光経路上にビームスプリッター又は反射ミラー181を配置し、ビームスプリッター又は反射ミラー181によって反射されたレーザービームLをビームプロファイラー180に伝送し、レーザービームLのプロファイルを確認することができる。前記パワー検出装置190は、レーザービームLのパワーを測定する。ビームプロファイラー180と同様に、選択的エミッタ28の加工中又は加工中間に光ファイバーを経由したレーザービームLのパワーが、選択的エミッタ28の加工に適するように設定されたかどうかを確認することができる。ビームスプリッター又は反射ミラー181を用いて、選択的エミッタ28の加工中又は加工中間にレーザービームLのパワーを測定することができる。下記の表1は、コリメーティングレンズ130の焦点距離と光ファイバーのコアサイズが変更されるとき、それぞれの場合によって具現できるレーザービームのスポットサイズを例示したものである。このように、互いに異なる規格のコリメーティングレンズ130と光ファイバーを組み合わせることによって、選択的エミッタ28の加工に最も適したレーザービームスポットを選択することができる。ここで、集光レンズ150の焦点距離は255mmに固定されるように例示したが、太陽電池20上の照射領域によって異なる焦点距離を有する集光レンズ150を用いることができる。上述したように構成された本実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置は、選択的エミッタの加工に適したレーザービームのスポットサイズに合わせてコリメーティングレンズを選択し、ガルバノメータスキャナを用いてレーザービームを太陽電池上の所望の位置に照射して選択的エミッタを形成することによって、太陽電池の前面電極の数量、間隔又は幅が変更されたとしても、互換性のある対応をし、多様な形態の選択的エミッタを形成できるという効果を得ることができる。また、上述したように構成された本実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置は、直方形コアタイプの光ファイバーを通してレーザービームを伝送し、断面形状が直方形で、かつ断面のエネルギー分布が均質なレーザービームを選択的エネルギー加工に用いることによって、レーザービームスポットの重畳を最小化し、全体的な加工時間も短縮できるという効果を得ることができる。また、上述したように構成された本実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置は、レーザービーム伝送部とガルバノメータスキャナとの間の光経路の光軸と、コリメーティングレンズの中心部とが一致するようにコリメーティングレンズの移送を制御することによって、選択的エミッタ加工に用いられるレーザービームの品質を向上できるという効果を得ることができる。また、上述したように構成された本実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置は、レーザービームのプロファイルを測定するためのビームプロファイラーを含むことによって、加工中にレーザービームプロファイルの異常有無を確認できるという効果を得ることができる。また、上述したように構成された本実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置は、レーザービームパワーを測定するパワー検出装置を含むことによって、加工中にレーザービームパワーの異常有無を確認できるという効果を得ることができる。一方、図7は、本発明の他の実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置を概略的に示した図である。図7を参照すると、本実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置200は、選択的エミッタの加工に適したレーザービームのスポットサイズに合わせて集光レンズを選択するものであって、多数の集光レンズ150、集光レンズ移送部、第2のセンサー260及び第2のプレート251を含む。図7において、図3~図6に示した各部材と同一の番号によって示される各部材は、同一の構成及び機能を有するものであって、それぞれについての詳細な説明は省略する。前記集光レンズ移送部図示せずは、ガルバノメータスキャナ140と太陽電池20との間の光経路上に位置する第3の位置P3と、ガルバノメータスキャナ140と太陽電池20との間の光経路から逸脱して位置する第4の位置P4との間で集光レンズ250を往復移送させる。互いに異なる焦点距離を有する多数の集光レンズ250が設けられ、多数の集光レンズ250のうち加工に適した焦点距離を有する集光レンズ250は、集光レンズ移送部によって第3の位置P3に移送され、残りの集光レンズ250は、集光レンズ移送部によって第4の位置P4に移送される。このとき、それぞれの集光レンズ250を個別的に制御するためには、それぞれの集光レンズ250に集光レンズ移送部が個別的に結合されることが望ましい。集光レンズ移送部は、集光レンズ250をガルバノメータスキャナ140と太陽電池20との間の光経路と交差する方向に直線的に往復移送させる直線移送ユニットによって具現することができ、このような直線移送ユニットは、リニアモーター、回転モーター及びボールスクリューを組み合わせた構成などの通常の技術者によく知られた構成を採用できるので、これ以上の詳細な説明は省略する。前記第2のセンサー260は、第3の位置P3と第4の位置P4との間で集光レンズ250が配置される位置を測定する。第2のセンサー260は、多数の集光レンズ250の数量と同一の数量に設けられ、それぞれの集光レンズ250に1対1で対応するように配置される。第2のセンサー160は、集光レンズ250の位置を測定し、集光レンズ250が第3の位置P3に配置されたか、それとも第4の位置P4に配置されたかを確認することができる。レーザービームLが正常に集光されるためには、多数の集光レンズ250のうちいずれか1つのみが第3の位置P3に配置され、残りは第4の位置P4に配置されなければならないが、第2のセンサー260はこれを確認することができる。前記第2のプレート136は、集光レンズ250の側部に結合され、一面が第2のセンサーと対向するように配置される。第2のセンサーは、第2のセンサーの端部と第2のプレートとの間の距離を測定して換算することによって、現在の集光レンズの位置を測定することができる。前記制御部170は、集光レンズ250の中心部と太陽電池20の照射領域の中心部とが一致するように、集光レンズ移送部を制御する。レーザービームLが正常に集光されるためには、集光レンズ250が第3の位置P3に配置されたとしても、集光レンズ250の中心部と太陽電池20の照射領域の中心部とが一致しなければならない。第2のセンサー260は、集光レンズ250が第3の位置P3と第4の位置P4との間でどの位置にあるかを測定し、集光レンズ250の中心部と太陽電池20の照射領域の中心部とが一致するかどうかを確認することができ、制御部170は、逸脱した値だけ集光レンズ移送部に移送命令を伝送し、集光レンズ250の中心部と太陽電池20の照射領域の中心部とを一致させる。上述したように構成された本実施例に係るレーザーを用いた太陽電池の選択的エミッタ製造装置は、選択的エミッタの加工に適したレーザービームのスポットサイズに合わせて集光レンズを選択することによって、太陽電池の前面電極の幅などが変更されるたしても、互換性のある対応をし、多様な形態の選択的エミッタを形成できるという効果を得ることができる。上述した各実施例において、レーザービームは、パルス発振され、赤外線又は近赤外線領域の波長を有するものと説明したが、連続して発振されたレーザービームを用いて選択的エミッタを加工することもでき、赤外線以外の波長帯を有するレーザービームを用いて選択的エミッタを加工することもできる。本発明の権利範囲は、上述した実施例及び変形例に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲内で多様な形態の実施例に具現することができる。特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者であれば誰でも変形可能な多様な範囲も本発明の特許請求範囲に記載した範囲内にあるものと見なす。