"複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成され相互に積層された複数枚の単位マイクロレンズアレイと、この単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置に配置され多角形の開口を有する多角視野絞りと、前記単位マイクロレンズアレイ間の露光光の最大拡大部の少なくとも一部に配置され円形の開口を有し各マイクロレンズの開口数を規定する開口絞りと、を有するマイクロレンズアレイを使用し、前記マイクロレンズアレイを、露光対象の基板と、この基板に露光するパターンが設けられたマスクとの間に配置して、前記基板と前記マスクとを相対的に位置合わせする際に使用されるアライメントマークであって、前記基板又は前記マスクに形成され、前記多角視野絞りの開口の全ての辺に対して夫々傾斜する方向に延びる複数本の線状のマーク片を有し、前記マーク片はアライメント中心から放射状に延びる複数個の第1群のマーク片と、前記アライメント中心を中心とする多角形の辺上に延びる複数個の第2群のマーク片とからなり、前記マーク片のうち、複数個のマーク片がいずれかの前記多角視野絞りの中に存在するように、前記多角視野絞り及び前記マーク片の位置が決められていることを特徴とするアライメントマーク。前記第2群のマーク片は、前記アライメント中心を共通の中心とする異なる大きさの複数個の多角形の辺上に連なって配置されていることを特徴とする請求項1に記載のアライメントマーク。前記第2群のマーク片は、前記アライメント中心を共通の中心とする異なる大きさの複数個の多角形の辺上に、前記多角形の角部を含むようにして、断続的に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のアライメントマーク。前記第2群のマーク片は、異なる多角形上に位置するものの太さが、相違することを特徴とする請求項2又は3に記載のアライメントマーク。露光装置に供される基板又はマスクに、それらの位置調整のために形成され、線対称の多角形形状の図形からなるアライメントマークであって、前記基板と前記マスクとの間にマトリクス状に配置された複数個のレンズの夫々多角視野絞りの開口部を構成するいずれかの縁辺と平行にならないように配置された多角形形状部と、前記多角形形状部の中心から、前記多角形形状部を横断する少なくとも6本の放射線からなる放射線部と、を有し、前記多角形形状部及び前記放射線部の全体が、前記レンズの大きさより大きく、4個の隣接するレンズの全体の大きさより小さいことを特徴とするアライメントマーク。複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成され相互に積層された複数枚の単位マイクロレンズアレイと、この単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置に配置され多角形の開口を有する多角視野絞りと、前記単位マイクロレンズアレイ間の露光光の最大拡大部の少なくとも一部に配置され円形の開口を有し各マイクロレンズの開口数を規定する開口絞りと、を有するマイクロレンズアレイと、前記マイクロレンズアレイを挟んで露光対象の基板と対向するように配置され、前記基板に露光するパターンが設けられたマスクと、前記基板と前記マスクとを位置合わせするために、前記基板に設けられた基板アライメントマーク及び前記マスクに設けられたマスクアライメントマークを検出するカメラと、このカメラにより検出される前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとが一致するように、前記マスク及び/又は前記基板の位置を調節する制御装置と、を有し、前記基板アライメントマークは、前記多角視野絞りの開口の全ての辺に対して夫々傾斜する方向に延びる複数本の線状のマーク片を有し、前記マーク片はアライメント中心から放射状に延びる複数個の第1群のマーク片と、前記アライメント中心を中心とする多角形の辺上に延びる複数個の第2群のマーク片とからなり、前記マーク片のうち、複数個のマーク片がいずれかの前記多角視野絞りの中に存在するように、前記多角視野絞り及び前記マーク片の位置が決められており、前記基板アライメントマーク及び前記マスクアライメントマークに前記マスク側からアライメント用の光を同時に照射し、前記基板アライメントマークから反射した光を前記マイクロレンズアレイにより前記マスク上に正立等倍像として結像させ、前記マスクアライメントマークから反射した反射光及び前記マスク上に結像した前記基板アライメントマークの正立等倍像を検出して前記基板と前記マスクとを相対的に位置合わせすることを特徴とする露光装置。複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成され相互に積層された複数枚の単位マイクロレンズアレイと、この単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置に配置され多角形の開口を有する多角視野絞りと、前記単位マイクロレンズアレイ間の露光光の最大拡大部の少なくとも一部に配置され円形の開口を有し各マイクロレンズの開口数を規定する開口絞りと、を有するマイクロレンズアレイと、前記マイクロレンズアレイを挟んで露光対象の基板と対向するように配置され、前記基板に露光するパターンが設けられたマスクと、前記基板と前記マスクとを位置合わせするために、前記基板に設けられた基板アライメントマーク及び前記マスクに設けられたマスクアライメントマークを検出するカメラと、このカメラにより検出される前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとが一致するように、前記マスク及び/又は前記基板の位置を調節する制御装置と、を有し、前記マスクアライメントマークは、前記多角視野絞りの開口の全ての辺に対して夫々傾斜する方向に延びる複数本の線状のマーク片を有し、前記マーク片はアライメント中心から放射状に延びる複数個の第1群のマーク片と、前記アライメント中心を中心とする多角形の辺上に延びる複数個の第2群のマーク片とからなり、前記マーク片のうち、複数個のマーク片がいずれかの前記多角視野絞りの中に存在するように、前記多角視野絞り及び前記マーク片の位置が決められており、前記基板アライメントマーク及び前記マスクアライメントマークに前記基板側からアライメント用の光を同時に照射し、前記マスクアライメントマークから反射した光を前記マイクロレンズアレイにより前記基板上に正立等倍像として結像させ、前記基板アライメントマークから反射した反射光及び前記基板上に結像した前記マスクアライメントマークの正立等倍像を検出して前記基板と前記マスクとを相対的に位置合わせすることを特徴とする露光装置。前記第2群のマーク片は、前記アライメント中心を共通の中心とする異なる大きさの複数個の多角形の辺上に連なって配置されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の露光装置。前記第2群のマーク片は、前記アライメント中心を共通の中心とする異なる大きさの複数個の多角形の辺上に、前記多角形の角部を含むようにして、断続的に配置されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の露光装置。前記第2群のマーク片は、異なる多角形上に位置するものの太さが、相違することを特徴とする請求項7又は8に記載の露光装置。しかしながら、アライメントマーク1a,2aにより、基板1とマスク2との位置合わせをする場合、±1μm程度の高精度で基板1とマスク2とを位置合わせしようとすると、両アライメントマーク1a,2aを同一のカメラにより同時に観察する必要がある。即ち、異なるカメラで別々にアライメントマーク1a,2aを観察すると、両アライメントマーク1a,2aの相対的な位置を保証できない。特許文献1のような近接露光の場合は、マスクと基板とが200μm程度で近接しており、この間隔はカメラの焦点深度内に収まるので、マスクのアライメントマークと基板のアライメントマークとを同時にカメラで観察することが可能である。しかし、マイクロレンズアレイ3を使用した露光装置においては、基板1とマスク2との間にマイクロレンズアレイ3を介装する必要があるため、基板1とマスク2との間の距離、即ち、アライメントマーク1a,2a間の間隔Gは、5乃至15mm程度存在する。この5乃至15mmの間隔は、通常のカメラのレンズ系では、同時に観察することができない。なお、図18に示すように、基板1のアライメントマーク1aからの反射光と、マスク2のアライメントマーク2aからの反射光とで、光路差を設け、基板1のアライメントマーク1aとマスク2のアライメントマーク2aとのフォーカス差を補正することも考えられる。図18に示すように、基板1とマスク2との間のギャップGは5乃至15mmである。この場合に、視野とアライメント精度とを考慮すると、レンズ倍率は4倍程度が必要である。よって、アライメントのパターンギャップG=5~15mmは、カメラ側でみると、5~15mm×42=80~240mmに相当する。この80乃至240mmのフォーカス差を補正する必要がある。そこで、図18においては、光源20からの光をレンズ21で収束して反射鏡22により反射させ、レンズ23を介してビームスプリッタ47に入射させる。そして、ビームスプリッタ47からの光は、レンズ48及び49を経由してマスク2に入射し、マスク2のアライメントマーク2aで反射すると共に、基板1に入射し、基板1のアライメントマーク1aで反射する。これらのアライメントマーク1a、2aで反射した光は、ビームスプリッタ47に向かい、このビームスプリッタ47を透過した後、レンズ46,45を介して、ビームスプリッタ44に入射する。アライメントマーク1a,2aからの反射光は、ビームスプリッタ44で、ビームスプリッタ41に向かう光と、ミラー43に向かう光とに分離され、ミラー43に向かった光は、ミラー42により、ビームスプリッタ41に向かう。そして、ビームスプリッタ41にて、ビームスプリッタ44からの光はそのまま透過し、ミラー42からの光は反射して、カメラ10に向かう。このようにして、ビームスプリッタ44からミラー43,42を経由した光と、ビームスプリッタ44から直接到達した光とは、カメラ10により検出される。このとき、ビームスプリッタ44からミラー43までの光路と、ミラー43からミラー42までの光路と、ミラー42からビームスプリッタ41までの光路との総長が、ビームスプリッタ44からビームスプリッタ41に直接入射する光の光路の長さよりも、80乃至240mmのフォーカス差だけ長くなるように設定されている。従って、マスク2のアライメントマーク2aからの反射光であってミラー42,43を経由する光路を進行した光と、基板1のアライメントマーク1aからの反射光であってビームスプリッタ44から直接ビームスプリッタ41に入射する光路を進行した光とがいずれもカメラ10のCCD電荷結合素子に結像し、アライメントマーク1a,2aをカメラ10で同時に観察することができる。これにより、基板1とマスク2のアライメントマーク1a,2aのパターンのフォーカス差80乃至240mm相当を、別光路に分けて補正することができる。しかしながら、このように、フォーカス差を別光路で補正すると、各光路での光軸ずれが生じた場合に、アライメントマーク1a,2aの両パターンの相対位置がずれてしまうという問題点がある。このため、この方法では、アライメント精度が低下する。アライメント精度が低下すると、露光パターン精度も低下し、近時の高精細液晶パネルの露光にとって、致命的な問題となる。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、基板とマスクとのアライメントを高精度で行うことができるアライメントマーク及び露光装置を提供することを目的とする。本発明に係るアライメントマークは、複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成され相互に積層された複数枚の単位マイクロレンズアレイと、この単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置に配置され多角形の開口を有する多角視野絞りと、前記単位マイクロレンズアレイ間の露光光の最大拡大部の少なくとも一部に配置され円形の開口を有し各マイクロレンズの開口数を規定する開口絞りと、を有するマイクロレンズアレイを使用し、前記マイクロレンズアレイを、露光対象の基板と、この基板に露光するパターンが設けられたマスクとの間に配置して、前記基板と前記マスクとを相対的に位置合わせする際に使用されるアライメントマークであって、前記基板又は前記マスクに形成され、前記多角視野絞りの開口の全ての辺に対して夫々傾斜する方向に延びる複数本の線状のマーク片を有し、前記マーク片はアライメント中心から放射状に延びる複数個の第1群のマーク片と、前記アライメント中心を中心とする多角形の辺上に延びる複数個の第2群のマーク片とからなり、前記マーク片のうち、複数個のマーク片がいずれかの前記多角視野絞りの中に存在するように、前記多角視野絞り及び前記マーク片の位置が決められていることを特徴とする。本発明に係る露光装置は、複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成され相互に積層された複数枚の単位マイクロレンズアレイと、この単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置に配置され多角形の開口を有する多角視野絞りと、前記単位マイクロレンズアレイ間の露光光の最大拡大部の少なくとも一部に配置され円形の開口を有し各マイクロレンズの開口数を規定する開口絞りと、を有するマイクロレンズアレイと、前記マイクロレンズアレイを挟んで露光対象の基板と対向するように配置され、前記基板に露光するパターンが設けられたマスクと、前記基板と前記マスクとを位置合わせするために、前記基板に設けられた基板アライメントマーク及び前記マスクに設けられたマスクアライメントマークを検出するカメラと、このカメラにより検出される前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとが一致するように、前記マスク及び/又は前記基板の位置を調節する制御装置と、を有し、前記基板アライメントマークは、前記多角視野絞りの開口の全ての辺に対して夫々傾斜する方向に延びる複数本の線状のマーク片を有し、前記マーク片はアライメント中心から放射状に延びる複数個の第1群のマーク片と、前記アライメント中心を中心とする多角形の辺上に延びる複数個の第2群のマーク片とからなり、前記マーク片のうち、複数個のマーク片がいずれかの前記多角視野絞りの中に存在するように、前記多角視野絞り及び前記マーク片の位置が決められており、前記基板アライメントマーク及び前記マスクアライメントマークに前記マスク側からアライメント用の光を同時に照射し、前記基板アライメントマークから反射した光を前記マイクロレンズアレイにより前記マスク上に正立等倍像として結像させ、前記マスクアライメントマークから反射した反射光及び前記マスク上に結像した前記基板アライメントマークの正立等倍像を検出して前記基板と前記マスクとを相対的に位置合わせすることを特徴とする。本発明に係る他の露光装置は、複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成され相互に積層された複数枚の単位マイクロレンズアレイと、この単位マイクロレンズアレイ間の反転結像位置に配置され多角形の開口を有する多角視野絞りと、前記単位マイクロレンズアレイ間の露光光の最大拡大部の少なくとも一部に配置され円形の開口を有し各マイクロレンズの開口数を規定する開口絞りと、を有するマイクロレンズアレイと、前記マイクロレンズアレイを挟んで露光対象の基板と対向するように配置され、前記基板に露光するパターンが設けられたマスクと、前記基板と前記マスクとを位置合わせするために、前記基板に設けられた基板アライメントマーク及び前記マスクに設けられたマスクアライメントマークを検出するカメラと、このカメラにより検出される前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとが一致するように、前記マスク及び/又は前記基板の位置を調節する制御装置と、を有し、前記マスクアライメントマークは、前記多角視野絞りの開口の全ての辺に対して夫々傾斜する方向に延びる複数本の線状のマーク片を有し、前記マーク片はアライメント中心から放射状に延びる複数個の第1群のマーク片と、前記アライメント中心を中心とする多角形の辺上に延びる複数個の第2群のマーク片とからなり、前記マーク片のうち、複数個のマーク片がいずれかの前記多角視野絞りの中に存在するように、前記多角視野絞り及び前記マーク片の位置が決められており、前記基板アライメントマーク及び前記マスクアライメントマークに前記基板側からアライメント用の光を同時に照射し、前記マスクアライメントマークから反射した光を前記マイクロレンズアレイにより前記基板上に正立等倍像として結像させ、前記基板アライメントマークから反射した反射光及び前記基板上に結像した前記マスクアライメントマークの正立等倍像を検出して前記基板と前記マスクとを相対的に位置合わせすることを特徴とする。本発明において、例えば前記アライメントマークは、前記第2群のマーク片が、前記アライメント中心を共通の中心とする異なる大きさの複数個の多角形の辺上に連なって配置されている。又は、前記第2群のマーク片は、前記アライメント中心を共通の中心とする異なる大きさの複数個の多角形の辺上に、前記多角形の角部を含むようにして、断続的に配置されている。この場合に、例えば、前記第2群のマーク片は、異なる多角形上に位置するものの太さが、相違するように構成することができる。本発明に係る他のアライメントマークは、露光装置に供される基板又はマスクに、それらの位置調整のために形成され、線対称の多角形形状の図形からなるアライメントマークであって、前記基板と前記マスクとの間にマトリクス状に配置された複数個のレンズの夫々多角視野絞りの開口部を構成するいずれかの縁辺と平行にならないように配置された多角形形状部と、前記多角形形状部の中心から、前記多角形形状部を横断する少なくとも6本の放射線からなる放射線部と、を有し、前記多角形形状部及び前記放射線部の全体が、前記レンズの大きさより大きく、4個の隣接するレンズの全体の大きさより小さいことを特徴とする。本発明においては、マイクロレンズアレイを使用して基板及びマスクの一方に設けられたアライメントマークから反射した光を他方に正立等倍像として結像させることにより、基板とマスクとの間のギャップGに起因するカメラ側のフォーカス差が0となり、カメラのセンサに対する距離が異なる基板とマスクのアライメントマークをカメラに同時に結像させることができ、センサに結像した基板及びマスクのアライメントマークを指標として、基板とマスクとの位置を調整すれば、基板とマスクとのアライメントを高精度で行うことができる。また、カメラ側のフォーカス差を0にすることにより、アライメント光の光軸が傾斜した場合においても、カメラにより検出するアライメントマーク同士の相対位置は変化せず、極めて高いアライメント精度を得ることができる。このマイクロレンズアレイを使用したアライメントにおいて、マイクロレンズアレイは、その反転結像位置に多角視野絞りを有しているので、アライメント時には、この多角視野絞りの開口に対応する基板及びマスクの一方に設けられたアライメントマークの像が他方に結像される。本発明においては、アライメントマークは、多角視野絞りの開口の全ての辺に対して夫々傾斜する方向に、延びる複数本の線状のマーク片を有しているため、アライメントマークを多角視野絞りの開口に対して明確に識別できる。また、本発明においては、基板又はマスクに設けられたアライメントマークは、複数個のマーク片がいずれかの多角視野絞りの中に存在するように、多角視野絞り及びマーク片の位置が決められているので、多角視野絞りの中に存在するマーク片の位置により、アライメントマークのアライメント中心を精度よく検出することができ、検出されたアライメントマークにより、位置合わせ精度を高く維持できる。また、本発明の他のアライメントマークにおいては、線対称の多角形形状の図形からなり、多角視野絞りの開口部を構成するいずれかの縁辺と平行にならないように配置された多角形形状部と、前記多角形形状部の中心から、前記多角形形状部を横断する少なくとも6本の放射線からなる放射線部と、を有し、前記多角形形状部及び前記放射線部の全体が、前記レンズの大きさより大きく、4個の隣接するレンズの全体の大きさより小さいので、アライメントマークの線分を、多角視野絞りの縁辺と区別することができ、更に、いずれかの線分が多角視野絞りの中に存在するので、アライメントマークの中心を精度良く検出することができる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1aは本発明の第1実施形態に係る基板及びマスクのアライメント方法を示す図、図1bはマスク上に結像される基板アライメントマークをマイクロレンズアレイと共に示す図、図2は、本発明の第1実施形態に係る基板アライメントマークを示す図、図3aは基板アライメントマークをマイクロレンズアレイと共に示す図、図3bはその拡大図である。図1aに示すように、本実施形態においては、露光装置は、従来のマイクロレンズアレイを使用した露光装置と同様に、基板1とマスク2との間にマイクロレンズアレイ3が設けられており、露光光源8から出射された露光光をマスク2に形成されたパターンに透過させ、マイクロレンズアレイ3により、パターンの正立等倍像を基板上に結像させる。この露光装置において、マスク2には、例えば枠状のマスクアライメントマーク2aが設けられており、露光対象の基板1には、所定形状の基板アライメントマーク11が設けられている。そして、アライメント時には、マイクロレンズアレイ3は、例えば基板アライメントマーク11とマスクアライメントマーク2aとの間に移動され、1枚のマイクロレンズアレイ3を露光時とアライメント時で移動させて使用される。そして、アライメント時には、マイクロレンズアレイ3により、基板アライメントマーク11から反射した光をマスク上に正立等倍像として結像させる。本実施形態においては、マスク2の上方に、基板1に設けられた基板アライメントマーク11とマスク2に設けられたマスクアライメントマーク2aに、マスク2の上方からアライメント用の光を照射するアライメント光源5が設けられており、アライメントの際には、マイクロレンズアレイ3により、基板アライメントマーク11から反射した正立等倍像をマスク2上に結像させるように構成されている。また、マスク2の上方には、カメラ6が設けられており、マスクアライメントマーク2aから反射した反射光及びマスク2上に結像した基板アライメントマーク11の正立等倍像をカメラ6により検出するように構成されている。そして、アライメント時に、基板1とマスク2とが所定の位置関係にあるときには、カメラ6により検出されるマスクアライメントマーク2aのアライメント中心が、基板アライメントマーク11のアライメント中心に一致する。図1aに示すように、カメラ6は、マスク2の位置を制御する制御装置9に接続されており、制御装置9は、カメラ6による検出結果によって、基板1とマスク2とのアライメントが必要な場合には、マスク2を移動させるように構成されている。例えば、カメラ6により検出される基板アライメントマーク11のアライメント中心の位置がマスクアライメントマーク2aのアライメント中心からずれている場合には、制御装置9は、基板アライメントマーク11のアライメント中心がマスクアライメントマーク2aのアライメント中心に一致するようにマスク2を移動させる。なお、図1aに二点鎖線で示すように、制御装置9は、例えば基板1が載置されるステージ等に接続され、基板1を移動させることにより、基板1とマスク2とのアライメントを行うように構成されていてもよい。又は、制御装置9は、基板1及びマスク2の双方を移動させることにより、基板1とマスク2とのアライメントを行うように構成されていてもよい。図1aに示すように、本実施形態においては、カメラ6は、例えば1焦点型の同軸落射式顕微鏡であり、アライメント光源5が内蔵されている。そして、アライメント光源5は、カメラ6が検出する光の光軸と同軸的にアライメント光を出射するように構成されている。このアライメント光源5としては、レーザ光又は干渉フィルタを透過したランプ光を使用することができる。ランプ光源としては、例えばハロゲンランプを使用すれば、コストを低減でき、好ましい。なお、アライメント光源5は、カメラ6とは別体的に設けられていてもよい。アライメント光源5から出射された光は、例えば反射鏡及びビームスプリッタ等の光学系を介して、マスク2及び基板1に照射される。マイクロレンズアレイ3には、各マイクロレンズ毎に、多角視野絞り及び開口絞り32が設けられている。本実施形態においては、図17に示すように、多角視野絞りは、マイクロレンズの開口絞り32の中に6角形状の開口として形成された6角視野絞り31として構成されている。よって、図1bに示すように、基板1の反射光は、6角視野絞り31により、6角形に囲まれた領域に対応する基板領域からの反射光のみが透過され、この領域の正立等倍像がマスク2上に結像される。このように、マイクロレンズアレイ3には、多角視野絞りが設けられているため、基板1に設けられたアライメントマークが、例えば図4に示すように、2本の線状のマーク片111A,111Bにより構成された十字形状の基板アライメントマーク111であるような場合においては、基板アライメントマーク111がマイクロレンズアレイ3のマイクロレンズ間に位置して、アライメントマークの検出ができない場合が生じる。また、図4に示すように、基板アライメントマーク111の一部が6角視野絞り31の開口をとおして検出できた場合においても、検出されたマーク片111Bが6角視野絞り31の開口を構成する辺に平行である場合には、カメラ6により検出された像が、6角視野絞り31の開口を構成する辺31dの像であるか、又は基板アライメントマーク111のマーク片111Bの像であるかを識別することが難しい。図2に示すように、本実施形態における基板アライメントマーク11は、6角視野絞り31の開口の全ての辺31a乃至31fに対して傾斜する方向に延びる複数本の線状のマーク片11A乃至11Kにより構成されている。よって、カメラ6により検出された際に、検出されたマークが延びる方向は、6角視野絞り31の辺に対して傾斜する。これにより、カメラ6により検出されるマーク片を6角視野絞り31の開口に対して明確に識別できる。即ち、本実施形態における基板アライメントマーク11は、アライメント中心110から放射状に延びる第1のマーク片11A乃至11Cと、アライメント中心110を中心とする多角形例えば8角形の辺上に延びる複数個の第2のマーク片11D乃至11Kとからなる。そして、第1のマーク片及び第2のマーク片は、複数箇所で交差している。即ち、第1のマーク片11Bは、2本の第2のマーク片11E,11Iと交差し、第1のマーク片11Cは、2本の第2のマーク片11F,11Jと交差し、第1のマーク片11Aは、2本の第2のマーク片11D及び11Kと1点で交差し、また、2本の第2のマーク片11G及び11Hと1点で交差している。そして、これらのマーク片のうち、複数個のマーク片がいずれかの多角視野絞りの中に存在するように6角視野絞り31及びマーク片の位置が決められている。図3に示すように、第1のマーク片11A乃至11Cが交差しているアライメント中心110が6角視野絞り31の開口をとおして検出できた場合においては、このアライメント中心110を指標として、基板1及びマスク2のアライメントを行うことができる。しかし、図5乃至図7に示すように、マイクロレンズアレイ3に対して、基板アライメントマーク11の相対的位置が図3に示す状態からずれた場合、基板アライメントマーク11のアライメント中心110は、2次元的に配置されたマイクロレンズ間の光を透過しない領域に位置するため、アライメント中心110は、6角視野絞り31の開口をとおして検出できない。本発明においては、基板アライメントマーク11は、例えばマーク片同士の交差部が6角視野絞り31の開口をとおして検出される形状で設けられており、このマーク片11A乃至11K同士が交差した点により、基板アライメントマーク11のアライメント中心110が検出される。例えば図5に示すように、マイクロレンズアレイ3に対する基板アライメントマーク11の相対的位置が、図3に示す状態から左右方向にずれた場合においては、第2のマーク片11E,11F同士の交差部及び第2のマーク片11I,11J同士の交差部が6角視野絞り31の開口をとおして検出される。この場合においては、図5bに示すように、検出された交差部の中点が基板アライメントマークのアライメント中心110として検出される。また、図6に示すように、マイクロレンズアレイ3に対する基板アライメントマーク11の相対的位置が、図3に示す状態から斜め方向にずれた場合においては、第2のマーク片11D,11E同士の交差部及び第2のマーク片11H,11I同士の交差部が6角視野絞り31の開口をとおして検出される。この場合においては、図6bに示すように、検出された交差部の中点が基板アライメントマークのアライメント中心110として検出される。更に、図7に示すように、マイクロレンズアレイ3に対する基板アライメントマーク11の相対的位置が、図3に示す状態から上下方向にずれた場合においては、第2のマーク片11J,11K同士の交差部、及び第1のマーク片11Aと第2のマーク片11G,11Hとの交差部が6角視野絞り31の開口をとおして検出される。この場合においては、図7bに示すように、第1のマーク片11Aと第2のマーク片11G,11Hとの交差部を基準として、所定距離だけ離隔した位置が基板アライメントマークのアライメント中心110として検出される。この図7に示す例においては、更に、第2のマーク片11J,11K同士の交差部も検出され、必要に応じて、基板アライメントマークのアライメント中心110の検出に利用される。次に、上述のごとく構成された本実施形態に係るアライメント装置の動作について説明する。マイクロレンズアレイ3は、露光時には、マスク2に設けられたパターン領域の下方に位置する。先ず、このマイクロレンズアレイ3が、図1における右方向に移動されて、基板アライメントマーク11とマスクアライメントマーク2aとの間に移動される。次に、カメラ6に内蔵されたハロゲンランプ等のアライメント光源5からアライメント光を出射させる。このアライメント光は、例えば反射鏡及びビームスプリッタ等の光学系を介して、先ず、マスク2に照射される。マスク2に照射されたアライメント光は、マスクアライメントマーク2aにより反射される。一方、マスク2に透過されたアライメント光は、マスク2の下方に配置されたマイクロレンズアレイ3に透過され、基板1上に照射される。そして、基板アライメントマーク11に反射された反射光は、マイクロレンズアレイ3を透過して、再度マスク2に入射され、マスク2上に基板アライメントマーク11の正立等倍像が結像される。このとき、マスク2上には、6角視野絞り31の開口に対応する基板領域からの反射光のみが透過され、この領域の正立等倍像がマスク2上に結像される。そして、各反射光は、カメラ6のセンサに入射され、マスクアライメントマーク2a及びマスク2上に結像した基板アライメントマーク11の正立等倍像が検出される。このように、マスク2上に結像した基板アライメントマーク11の正立等倍像をカメラ6によって検出することにより、基板1とマスク2との間には、実際には、5乃至15mmのギャップGが存在するが、カメラ6側では、このギャップGに起因するフォーカス差が0となる。本実施形態においては、基板アライメントマーク11は、6角視野絞り31の開口の全ての辺31a乃至31fに対して傾斜する方向に延びる複数本の線状のマーク片11A乃至11Kにより構成されている。よって、カメラ6により検出された際に、検出されたマークが延びる方向により、これを6角視野絞り31の開口に対して明確に識別できる。カメラ6による基板アライメントマーク11の検出の際、図3に示すように、第1のマーク片11A乃至11C同士が交差する基板アライメントマーク11のアライメント中心110が6角視野絞り31の開口をとおして検出できた場合においては、この基板アライメントマークのアライメント中心110を指標として、基板1及びマスク2のアライメントを行うことができる。例えば、カメラ6により検出される基板アライメントマーク11のアライメント中心の位置が枠状のマスクアライメントマーク2aの中心からずれている場合には、制御装置9により、基板アライメントマークのアライメント中心110がマスクアライメントマーク2aの中心に位置するようにマスク2を移動させて、基板1とマスク2とのアライメントを行う。本実施形態においては、基板1とマスク2との間のギャップGに起因するカメラ6側のフォーカス差が0となるため、基板1及びマスク2のアライメントマーク11,2aを指標として、基板1とマスク2とのアライメントを高精度で行うことができる。しかし、図5乃至図7に示すように、マイクロレンズアレイ3に対する基板アライメントマーク11の相対的位置が図3に示す状態からずれた場合、基板アライメントマークのアライメント中心110は、2次元的に配置されたマイクロレンズ間の光を透過しない領域に位置するため、アライメント中心110は、6角視野絞り31の開口をとおして検出できない。しかし、本実施形態においては、基板アライメントマーク11は、アライメント中心110から放射状に延びる第1のマーク片11A乃至11Cと、アライメント中心110を中心とする多角形例えば8角形の辺上に延びる複数個の第2のマーク片11D乃至11Kとからなり、複数個のマーク片がいずれかの多角視野絞りの中に存在するように6角視野絞り31及びマーク片の位置が決められている。即ち、基板アライメントマーク11は、マーク片同士の交差部が6角視野絞り31の開口をとおして検出される形状で設けられており、このマーク片11A乃至11K同士が交差した点により、基板アライメントマーク11のアライメント中心110が検出される。例えば、図5に示すように、カメラ6により、第2のマーク片11E,11F同士の交差部及び第2のマーク片11I,11J同士の交差部が6角視野絞り31の開口をとおして検出され、図5bに示すように、検出された交差部の中点が基板アライメントマークのアライメント中心110として検出される。又は、図6に示すように、第2のマーク片11D,11E同士の交差部及び第2のマーク片11H,11I同士の交差部が6角視野絞り31の開口をとおして検出され、図6bに示すように、検出された交差部の中点が基板アライメントマークのアライメント中心110として検出される。図7に示すように、第1のマーク片11Aと第2のマーク片11G,11Hとの交差部が6角視野絞り31の開口をとおして検出された場合においては、図7bに示すように、第1のマーク片11Aと第2のマーク片11G,11Hとの交差部を基準として、所定距離だけ離隔した位置が基板アライメントマークのアライメント中心110として検出される。よって、この基板アライメントマークのアライメント中心110が枠状のマスクアライメントマーク2aの中心に位置するように、基板1とマスク2とのアライメントを行う。以上のように、本実施形態においては、基板アライメントマーク11のアライメント中心110は、2次元的に配置されたマイクロレンズ間の光を透過しない領域に位置する場合においても、基板アライメントマーク11の各線状のマーク片11A乃至11K同士の交差点により、アライメント中心110を検出でき、検出されたアライメントマークにより、位置合わせ精度を高く維持できる。本実施形態のようにマイクロレンズアレイ3を使用して、マスク2上に基板アライメントマーク11の正立等倍像を結像させ、これにより、基板とマスクとの間のギャップGに起因するカメラ側のフォーカス差を0にすることにより、図8aに示すように、アライメント光の光軸が傾斜した場合においても、アライメントマーク11,2a間の相対位置は図1に示す場合から変化せず、極めて高いアライメント精度を得ることができる。即ち、基板1及びマスク2の相対的位置合わせにマイクロレンズアレイ3を使用しない場合においては、図9aに示すように、アライメント光が基板1及びマスク2に垂直に照射される場合には、図9bに示すように、所定のアライメント精度が得られる。しかし、図9cに示すように、アライメント光の光軸が傾斜した場合においては、反射光の光路が変化し、基板1とマスク2との間のギャップGにより、基板1とマスク2とが所定の位置関係にある場合においても、図9dに示すように、カメラ6側で検出するアライメントマーク1a,2aの位置がずれてしまう。そうすると、実際上、アライメントマーク2aとアライメントマーク1aとはその位置が一致しており、マスク2と基板1とはアライメントがとれているにも拘わらず、カメラ6においては、アライメントがとれていないと誤観察されてしまう。換言すれば、基板1とマスク2とでアライメントがとれていないにも拘わらず、カメラ6にて、アライメントマーク1aがアライメントマーク2aの中心にあるように観察されてしまうことが生じ、基板1とマスク2とがアライメントがとれていると誤観察されてしまう。これに対して、本実施形態においては、マイクロレンズアレイ3により、基板アライメントマーク11の正立等倍像を、マスク2上に結像させるため、図8に示すように、アライメント光の光軸が傾斜した場合においても、カメラ6により検出される基板及びマスクのアライメントマーク11及び2aの相対位置は変化せず、極めて高いアライメント精度を得ることができる。基板1とマスク2とのアライメント後には、マイクロレンズアレイ3は、図1における左方向に移動されて、マスク2に設けられたパターン領域の下方に移動され、その後、露光光が出射されて、マイクロレンズアレイ3によるスキャン露光が開始される。本実施形態においては、上記のように、高いアライメント精度が得られるため、スキャン露光における露光精度を極めて高く維持することができる。本実施形態においては、アライメント光源5は、カメラ6に内蔵されており、カメラ6が検出する光の光軸と同軸的にアライメント光を出射するように構成されている場合について説明したが、本発明においては、基板1及びマスク2の一方の正立等倍像を他方に結像させ、これをカメラ6により検出できるように構成されていればよく、アライメント光源5が出射する光の光軸は、カメラにて検出される反射光の光軸と同軸でなくてもよい。次に、本実施形態の変形例に係る基板アライメントマークについて説明する。図10は第1実施形態に係る基板アライメントマークの変形例を示す図である。図10に示すように、この基板アライメントマーク12は、第1実施形態における第2のマーク片11D乃至11Kが2分割され、中央に隙間が形成されている。即ち、本実施形態における基板アライメントマーク12は、アライメント中心120から放射状に延びる3本の第1のマーク片12A乃至12Cと、アライメント中心120を中心とする多角形の辺上に延びる複数個の第2のマーク片12D乃至12Wとからなる。そして、第1のマーク片及び第2のマーク片は、複数箇所で交差している。即ち、第1のマーク片12Bは、2本の第2のマーク片12G,12Qと交差し、第1のマーク片12Cは、2本の第2のマーク片12J,12Tと交差し、第1のマーク片12Aは、2本の第2のマーク片12D及び12Wと1点で交差し、また、2本の第2のマーク片12M及び12Nと1点で交差している。しかし、本実施形態においても、基板アライメントマークを構成するマーク片同士の交差点の数は、第1実施形態と同一である。よって、第1実施形態と同様のアライメント方法により、同様の効果が得られる。次に、本発明の第2実施形態に係る基板アライメントマークについて説明する。図11aは本発明の第2実施形態に係る基板アライメントマークを示す図、図11bは基板アライメントマークをマイクロレンズアレイと共に示す図である。図11aに示すように、本実施形態に係る基板アライメントマーク13は、第1実施形態の基板アライメントマーク11において、アライメント中心130側にこのアライメント中心を共通の中心とする8角形の辺上に連なって配置された線状のマーク片13d乃至13kを有している。その他の構成は、第1実施形態と同様である。このように、アライメント中心130を共通の中心とするマーク片13d乃至13kを設けることにより、第1実施形態で上記した場合に加えて、図11bに示すように、アライメント中心130側のマーク片13d,13eの交差点及び外側のマーク片13D,13Eの交差点の双方が、1個の6角視野絞り31の開口をとおしてマスク2上に結像される場合が生じる。この場合には、交差点同士の延長線上に所定距離だけ離隔した位置が基板アライメントマーク13のアライメント中心130として検出される。そして、この検出されたアライメント中心130の位置を指標として、基板1及びマスク2のアライメントを行うことができる。本実施形態においても、第1実施形態と同様の効果が得られる。なお、本実施形態においても、基板アライメントマークは、第1実施形態と同様の変形が可能である。例えば、第2実施形態に係る基板アライメントマーク13において、アライメント中心130を取り囲むように形成されたマーク片13D乃至13K,13d乃至13kが2分割され、中央に隙間が形成されていてもよく、図12に示すような基板アライメントマーク14を使用することができる。なお、図11bに示すように、このアライメントマーク13は、線対称の多角形形状の図形からなり、多角視野絞りの開口部を構成するいずれかの縁辺と平行にならないように配置された多角形形状部と、前記多角形形状部の中心から、前記多角形形状部を横断する少なくとも6本の放射線からなる放射線部と、を有し、前記多角形形状部及び前記放射線部の全体が、前記レンズの大きさより大きく、4個の隣接するレンズの全体の大きさより小さいものである。従って、前述のごとく、アライメントマーク13の線分を、多角視野絞り31の縁辺と区別することができ、更に、いずれかの線分が多角視野絞り31の中に存在するので、アライメントマーク13の中心を精度良く検出することができる。次に、本発明の第3実施形態に係る基板アライメントマークについて説明する。図13a,bは本発明の第3実施形態に係る基板アライメントマークを示す図である。図13aに示すように、本実施形態に係る基板アライメントマーク15は、第2実施形態の基板アライメントマーク13において、アライメント中心130側のマーク片と、外側に配置されたマーク片とは、線の太さが異なっている。よって本実施形態においては、アライメント中心130側の線状マークと外側のマーク片との識別が容易である。その他の構成及び効果は第1及び第2実施形態と同様である。なお、本実施形態においても、基板アライメントマーク15は、第1及び第2実施形態と同様の変形が可能である。例えば、第3実施形態に係る基板アライメントマーク15において、アライメント中心を取り囲むように形成された線状のマークが2分割され、中央に隙間が形成されていてもよく、図13bに示すような基板アライメントマーク16を使用することができる。上記第1乃至第3実施形態においては、基板アライメントマークの正立等倍像をマスク上に結像させる場合について説明したが、マスクアライメントマークの正立等倍像を基板上に結像させる場合においても、マスクアライメントマークを、アライメント中心から放射状に延びる第1群のマーク片と、アライメント中心を中心とする多角形の辺上に延びる第2群のマーク片とにより構成し、これらのマーク片のうち、複数個のマーク片がいずれかの多角視野絞りの中に存在するように6角視野絞り及びマーク片の位置が決められていれば、第1乃至第3実施形態と同様の効果が得られる。次に、本発明の第4実施形態に係る露光装置について説明する。図14aは本発明の第4実施形態に係る基板及びマスクのアライメント方法を示す図、bは基板上に結像されるマスクアライメントマークをマイクロレンズアレイと共に示す図である。図14aに示すように、本実施形態においては、アライメント光源5及びカメラ6は、基板1の下方に配置されており、基板の下方からアライメント用の光を照射する。また、基板アライメントマーク1bが枠状をなし、マスクアライメントマーク2Bは、図14bに示すように、第1実施形態における基板アライメントマーク11と同様の形状で設けられている。本実施形態においては、露光対象の基板1は、例えばPIポリイミド及びITOスズドープ酸化インジウム等の光透過性の材料からなり、アライメント用の光は、基板1を透過して、マスク2に照射される。即ち、本実施形態においては、基板1が光透過性の材料からなる場合において、アライメント光の照射方向並びに基板1及びマスク2の各アライメントマーク1b,2Bの形状が第1実施形態と異なり、その他の構成は、第1実施形態と同様である。本実施形態のように、アライメント光を基板の下方から照射する場合においても、第1実施形態と同様のアライメント方法により、高精度のアライメントを実現できる。"