"エアの流入口が形成されているリング状の外側部材と、前記外側部材の内周側に取り付けられており、被測定物を取り囲んで案内するガイド面及び前記流入口に流入したエアを前記被測定物に噴射するノズル口が、内周に形成されているリング状の内側部材と、を備え、前記内側部材と前記外側部材とは締まり嵌めの状態にあり、前記内側部材は、単一の部材として製造されており、当該単一の部材に、前記ノズル口と前記ガイド面とが形成されていることを特徴とするエアマイクロメータの測定ヘッド。前記外側部材と前記内側部材とは、それぞれ熱膨張係数が異なる材質からなる請求項1に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記流入口から流入したエアを前記ノズル口側へと流すための内部流路が、前記外側部材と前記内側部材との間に形成されており、前記内部流路は、前記外側部材の内周面に形成されている溝と、前記内側部材の平滑な外周面とによって囲まれた空間により構成されている請求項1又は2に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記流入口から流入したエアを前記ノズル口側へと流すための内部流路が、前記外側部材と前記内側部材との間に形成されており、前記内部流路は、前記内側部材の外周面に形成されている溝と、前記外側部材の平滑な内周面とによって囲まれた空間により構成されている請求項1又は2に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記流入口から流入したエアを前記ノズル口側へと流すための周方向流路が、前記外側部材と前記内側部材との間において周方向に沿って形成されており、前記周方向流路は、前記外側部材と前記内側部材との間において、軸方向の中心位置に形成されている請求項1から4のいずれか一項に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記内側部材の内周には、対向した配置にある一対の前記ノズル口が形成されている請求項1~5のいずれか一項に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記内側部材の内周には、対向した配置にある一対の前記ノズル口の組みが、複数組み形成されており、前記複数組みに含まれる全ての前記ノズル口は、軸方向について同じ位置で開口している請求項1~5のいずれか一項に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記流入口から、対向する一対の前記ノズル口までの間において、前記外側部材及び前記内側部材に形成されているエアが流れる流路には、前記流入口に流入したエアを分岐させる分岐部が含まれ、当該分岐部で分岐した流路を流れたエアが対向する一対の前記ノズル口から噴射される請求項6又は7に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。エアの流入口が形成されているリング状の外側部材と、前記外側部材の内周側に取り付けられており、被測定物を取り囲んで案内するガイド面及び前記流入口に流入したエアを前記被測定物に噴射するノズル口が、内周に形成されているリング状の内側部材と、を備えたエアマイクロメータの測定ヘッドの、前記内側部材を交換して行われる測定ヘッドの製造方法であって、前記外側部材の内周側に前記内側部材が締まり嵌めされている測定ヘッドの、前記外側部材の熱膨張又は前記内側部材の熱収縮によって、前記内側部材と前記外側部材とを分解する分解工程と、前記ノズル口となる部分と前記ガイド面となる部分とを単一の部材に形成して製造した内側部材を、分解した前記外側部材に、焼き嵌め又は冷やし嵌めにより組み立てる嵌合工程と、を備えていることを特徴とするエアマイクロメータの測定ヘッドの製造方法。エアマイクロメータの測定ヘッドでは、ノズル口94が開口している測定用孔93と、ガイド用孔95との径方向についての相対位置は極めて重要であり、この相対位置が変わると、つまり、前記ノズルクリアランスが周方向で不均一であると、測定結果に大きな影響を与える。そこで、前記特許文献1に記載の測定ヘッドでは、測定用孔93の中心とガイド用孔95の中心とが一致するように、ノズルリング91とガイドリング92とをヘッド本体90に取り付ける必要があり、このために、ヘッド本体90の内周面、ノズルリング91及びガイドリング92それぞれの内周面及び外周面の寸法が、所定値に設計されている。しかし、各部材それぞれについて、設計値と異なる寸法誤差は製造の際に避けることができない。この誤差を考慮すると、前記のように測定用孔93の中心とガイド用孔95の中心とを一致させるためには、ノズルリング91及びガイドリング92の外周面と、ヘッド本体90の内周面との間には、ノズルリング91及びガイドリング92の位置調整代として隙間を設定する必要がある。そして、この隙間からエアが漏れるのを防ぐために、Oリング96が必要となっている。しかし、測定用孔93とガイド用孔95との半径の差は、数十μm程度と極めて小さいことから、前記のように中心を一致させて組み立てる作業は、非常に困難であり、手間を要する。特に、測定ヘッドの部品を交換する場合、例えばガイド用孔95の摩耗が進みガイドリング92を交換する場合、交換後において、再び、測定用孔93とガイド用孔95との中心を調整して組み立て、交換前の状態に復元させる必要があるが、その作業は、非常に困難であり、組立誤差が生じてしまう可能性が高い。また、ノズルリング91及びガイドリング92の外周面と、ヘッド本体90の内周面との間に、隙間が設定されていると、例えば測定作業中にヘッド本体90に対してノズルリング91及びガイドリンク92が位置ずれするおそれがあり、この場合、前記ノズルクリアランスが変わり、測定結果に影響を与えてしまう。以上のように、ヘッド本体90とノズルリング91とガイドリング92とを別体とすることにより、例えばガイドリング92のみを交換することができるが、測定ヘッドの部品の交換毎に、及び、測定作業中において、ノズルクリアランスが変わってしまい、高精度な測定ができなくなるという問題点がある。そこで、本発明は、測定ヘッドを複数の別体の部品により構成しているが、精度の高い測定が可能となるエアマイクロメータの測定ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。1本発明のエアマイクロメータの測定ヘッドは、エアの流入口が形成されているリング状の外側部材と、前記外側部材の内周側に取り付けられており、被測定物を取り囲んで案内するガイド面及び前記流入口に流入したエアを前記被測定物に噴射するノズル口が、内周に形成されているリング状の内側部材とを備え、前記内側部材と前記外側部材とは締まり嵌めの状態にあり、前記内側部材は、単一の部材として製造されており、当該単一の部材に、前記ノズル口と前記ガイド面とが形成されていることを特徴とする。本発明によれば、測定ヘッドを外側部材と内側部材との別体の部品により構成しており、これらを締まり嵌めにより一つの測定ヘッドとすることができる。そして、これら内側部材と外側部材とは締まり嵌めの状態にあるので、外側部材と内側部材との間に隙間が無い。このため、両部材が組み立てられた状態で、外側部材に対して内側部材は位置ずれしない。さらに、この内側部材は、単一の部材として製造されており、当該単一の部材に、前記ノズル口と前記ガイド面とが形成されているので、ノズル口とガイド面との間の相対位置は変化せず、当該ガイド面によって案内されている被測定物とノズル口との間を、測定のために適切な距離とすることが可能となる。以上より、測定ヘッドを複数の別体の部品により構成しているが、精度の高い寸法測定が可能となる。2また、前記外側部材と前記内側部材とは、それぞれ熱膨張係数が異なる材質からなるのが好ましい。内側部材と外側部材とは締まり嵌めの状態にあるが、この場合、例えば内側部材と外側部材との熱膨張差を利用して、分解することが可能となる。つまり、内側部材と外側部材とのうちの一方の交換が可能となる。例えば、外側部材は内側部材よりも熱膨張係数が大きい材質からなる場合、全体を加熱して外側部材を内側部材よりも径外方向へ膨張させることにより、分解が可能となる。これに対して、内側部材は外側部材よりも熱膨張係数が大きい材質からなる場合、全体を冷却して内側部材を外側部材よりも径内方向へ収縮させることにより、分解が可能となる。3また、前記流入口から流入したエアを前記ノズル口側へと流すための内部流路が、前記外側部材と前記内側部材との間に形成されており、前記内部流路は、前記外側部材の内周面に形成されている溝と、前記内側部材の平滑な外周面とによって囲まれた空間により構成されているのが好ましい。外側部材の交換頻度は、内側部材の交換頻度に比べて低い。そこで、交換頻度が低い部材に、内部流路のための溝加工を施すのが経済的であることから、交換頻度の観点によれば、外側部材の内周面に溝を形成すればよい。4なお、リング状の部材に対して溝を機械加工等により形成する場合、その内周面よりも外周面に形成する方が、作業が容易である。そこで、作業製造の容易性の観点では、前記流入口から流入したエアを前記ノズル口側へと流すための内部流路が、前記外側部材と前記内側部材との間に形成されており、前記内部流路は、前記内側部材の外周面に形成されている溝と、前記外側部材の平滑な内周面とによって囲まれた空間により構成されているのが好ましい。5また、前記流入口から流入したエアを前記ノズル口側へと流すための周方向流路が、前記外側部材と前記内側部材との間において周方向に沿って形成されており、前記周方向流路は、前記外側部材と前記内側部材との間において、軸方向の中心位置に形成されているのが好ましい。上記のとおり、内側部材と外側部材とは締まり嵌めの状態にあることから、内側部材と外側部材との間には応力が作用している。このため、内側部材と外側部材との間に、周方向流路が周方向に沿って形成されており、仮に、この周方向流路が、軸方向のいずれか一方側に偏って形成されていると、前記応力の分布も軸方向に偏った状態となり、軸方向の一方側と他方側とで径方向寸法に差が生じて測定ヘッドが大きく歪んでしまうおそれがある。しかし、上記のとおり、周方向流路が軸方向の中心位置に形成されていることにより、応力の分布を、当該周方向流路を挟んだ軸方向両側で均等となるようにすることができ、高精度が保たれた測定ヘッドとすることが可能となる。6また、前記1~5のいずれか一項に記載の測定ヘッドにおいて、前記内側部材の内周に、一対の前記ノズル口を対向した配置で形成することにより、この一対のノズル口によって、被測定物の直径を測定することが可能となる。7また、前記1~5のいずれか一項に記載の測定ヘッドにおいて、前記内側部材の内周には、対向した配置にある一対の前記ノズル口の組みが、複数組み形成されており、前記複数組みに含まれる全ての前記ノズル口は、軸方向について同じ位置で開口している場合、対向した配置にある一対のノズル口からなる組みによって、被測定物の直径を測定することが可能となる。そして、内側部材の内周には、対向する一対のノズル口の組みが、複数組み形成されており、さらに、全てのノズル口が軸方向について同じ位置で開口していることから、被測定物の直径を二箇所で測定することができ、この結果、被測定物の真円度の測定も可能となる。8また、前記6又は前記7に記載の測定ヘッドにおいて、前記流入口から、対向する一対の前記ノズル口までの間において、前記外側部材及び前記内側部材に形成されているエアが流れる流路には、前記流入口に流入したエアを分岐させる分岐部が含まれ、当該分岐部で分岐した流路を流れたエアが対向する一対の前記ノズル口から噴射されるのが好ましい。上記のとおり、被測定物の直径を測定するために、一対の対向するノズル口からエアを噴射させるが、前記分岐部を含む流路によれば、測定ヘッドにおいて、この一対の対向するノズル口へとエアを供給するための流入口は一つで済む。このため、エア源側から、一対の対向するノズル口までの流路に着目すると、エア源側から測定ヘッドの流入口までの外部流路は、一つでよく、一対のノズル口用として共通した流路となる。このため、エア源側から、一対のノズル口のうちの一方のノズル口までの流路におけるエアの圧力損失と、当該エア源側から他方のノズル口までの流路におけるエアの圧力損失とを均等にすることができ、一対のノズル口から均等なエアを噴射させることができ、高い測定精度を得ることが可能となる。9また、本発明は、エアの流入口が形成されているリング状の外側部材と、前記外側部材の内周側に取り付けられており、被測定物を取り囲んで案内するガイド面及び前記流入口に流入したエアを前記被測定物に噴射するノズル口が、内周に形成されているリング状の内側部材とを備えたエアマイクロメータの測定ヘッドの、前記内側部材を交換して行われる測定ヘッドの製造方法であって、前記外側部材の内周側に前記内側部材が締まり嵌めされている測定ヘッドの、前記外側部材の熱膨張又は前記内側部材の熱収縮によって、前記内側部材と前記外側部材とを分解する分解工程と、前記ノズル口となる部分と前記ガイド面となる部分とを単一の部材に形成して製造した内側部材を、分解した前記外側部材に、焼き嵌め又は冷やし嵌めにより組み立てる嵌合工程とを備えていることを特徴とする。本発明によれば、内側部材を新たなものに交換して、上記1に記載の測定ヘッドを製造することができる。本発明のエアマイクロメータの測定ヘッドによれば、測定ヘッドを外側部材と内側部材との別体の部品により構成しているが、外側部材に対して内側部材は位置ずれせず、また、被測定物とノズル口との間を、測定のために適切な距離とすることができ、精度の高い寸法測定が可能となる。本発明のエアマイクロメータの測定ヘッドの製造方法によれば、上記の測定ヘッドを製造することができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明のエアマイクロメータの測定ヘッドの実施の一形態を示す平面図である。図2は図1のA-A矢視の断面図であり、図3は図1のB-B矢視の断面図であり、図4は図2のC-C矢視の断面図である。この測定ヘッド1は、エア空気が流れる外部流路8を介して、エアマイクロメータのエア源ポンプ9と接続されており、このエア源9から所定圧力のエアが供給される。外部流路8は、例えば可撓性を有するエア配管である。なお、本実施形態のエアマイクロメータは、作業者が測定ヘッド1を手に持って被測定物Wの外径を測定する外径測定用のものである。測定ヘッド1に供給されたエアは、当該測定ヘッド1の内周に形成されているノズル口31から被測定物Wに対して噴射され、ノズル口31と被測定物Wの外周面Waとの隙間に応じたエアの流量変化又は背圧変化に基づいて、当該被測定物Wの外径を測定することができる。なお、各図では、説明を容易とするために、測定ヘッド1の内周面と、被測定物Wの外周面Waとの隙間を、実際よりも大きく記載している。測定ヘッドの全体構成について測定ヘッド1は、リング状の外側部材2と、この外側部材2の内周側に取り付けられているリング状の内側部材3とを備えている。外側部材2は、厚肉の短円筒形状であり、その外周面20の一部にエアの流入口21が形成されている。本実施形態では、外側部材2を内外貫通するネジ孔21aが形成されており、その外径側の端部が流入口21となる。そして、このネジ孔21aに、前記外部流路8を接続するための継手6が取り付けられている。ネジ孔21aは測定ヘッド1内に形成されている周方向に延びる周方向流路11と繋がっており、さらに、この周方向流路11の両端部は、軸方向に延びる軸方向流路10と繋がっている。前記周方向流路11及び軸方向流路10を合わせて、内部流路7という。内側部材3は、厚肉の短円筒形状であり、その内周に、被測定物Wを取り囲んで案内する円周形状のガイド面30、及び、流入口21に流入したエアを被測定物Wに噴射するノズル口31が形成されている。内側部材3には、半径方向に貫通しているノズル孔32が形成されており、その内径側の端部がノズル口31となる。本実施形態では、ノズル口31ノズル孔32は2箇所設けられており、測定ヘッド1外側部材2、内側部材3の中心Cを基準として、180度離れて位置している。そして、外側部材2に形成されている軸方向流路10が、ノズル孔32に繋がっている。ノズル口31は、図3に示しているように、軸方向に関して中心よりも一方側に偏った位置に形成されている。これは、被測定物Wの鍔部Wbから特定の軸方向位置軸方向寸法Lの位置が測定対象位置となるように要求されているためである。なお、ノズル口31の位置は、被測定物Wの測定対象位置に応じて変更自在である。ガイド面30は、被測定部Wの測定対象位置における外周面Waよりも僅かに数μm半径が大きく設定された円周面である。図3において、内側部材3の内周面33のうち、ノズル口31が形成されている円周領域K1を挟んで軸方向両側にある円周領域K2,K3が、ガイド面30となる。このガイド面30に沿って被測定物Wが測定ヘッド1に挿入されることで、測定ヘッド1内側部材3の中心Cに、被測定物Wの中心を一致させることができる。また、図3において、内側部材3の内周面33において、ノズル口31それぞれの外周側には、環状の溝34が形成されており、また、この環状の溝34と繋がっている軸方向に長い溝35が形成されている。図1において、両側にある軸方向に長い溝35は、内側部材3の中心を基準として180度回転対称の配置にある。これら溝34,35は、ノズル口31から噴射したエアを、測定ヘッド1の外部へと逃がすためのものである。また、環状の溝34が形成されていることにより、ノズル口31を中心として当該溝34の底から突出した円筒状のノズル端部36が形成されている図5参照。図5は、ノズル端部36の拡大図である。円筒状のノズル端部36の先端面36a、及び、ガイド面30それぞれは、内側部材3の中心を基準とする同心円の円曲面から成るが、先端面36aにおける半径は、ガイド面30における半径よりも僅かに大きく設定されている。この半径差Δrがノズルクリアランスとして設定されている。以上の構成により、図1において、外側部材2の流入口21に供給されたエアは、ネジ孔21a、内部流路7周方向流路11と軸方向流路10、及び、内側部材3のノズル孔32を流れ、当該ノズル孔32の内径側端部に形成されているノズル口31から噴射される。そして、ノズル口31から被測定物Wの外周面Waに噴射されたエアは、環状の溝34及び軸方向に長い溝35を通じて測定ヘッド1の軸方向両側の外部へと抜けることができる。外側部材2及び内側部材3それぞれは、単一の部材からなる。後にも説明するが、外側部材2は、鋼材の単一のブロックからリング状に切り出されたものであり、また、内側部材3は、焼結によって形成された単一の部材焼結体として製造されており、この単一の部材焼結体に、ノズル口31が形成されている部分と、ガイド面30が形成されている部分とが含まれている図3参照。つまり、内側部材3は、ノズル口31が形成されている第1のリング状の部分B1と、ガイド面30が形成されている第2の部分B2及び第3の部分B3とを有しているが、これら第1の部分B1と、第2及び第3の部分B2,B3とは、同じ部材から成り、分解不可能である。なお、前記第1の部分B1の内周面が、ノズル口31が形成されている前記円周領域K1であり、前記第2及び第3の部分B2,B3の内周面が、ガイド面30となる前記円周領域K2,K3である。そして、内側部材3と外側部材2とは締まり嵌めにより組み立てられている。このために、本実施形態では、外側部材2は、内側部材3よりも熱膨張係数が大きい材質からなり、外側部材3を加熱して膨張させることにより、その内周側において、内側部材2の取り付けを可能としている。つまり、焼き嵌めにより、内側部材3と外側部材2とを嵌合させている。内側部材3の材質は、例えば一般耐摩耗用超硬合金V10,V20,V30又はセラミックスアルミナ、ジルコニアである。超硬合金の場合、その熱膨張係数は5~6×10-6/°Cであり、アルミナは8×10-6/°Cであり、ジルコニアは10.4×10-6/°Cである。これに対し、外側部材2の材質は、例えばオーステナイト系ステンレス鋼SUS303,SUS304又は合金工具鋼SKS3,SKD11である。SUS303の場合、その熱膨張係数は17.2×10-6/°Cであり、SUS304は17.3×10-6/°Cであり、SKS3は14×10-6/°Cであり、SKD11は12.2×10-6/°Cである。このように、外側部材2は、内側部材3よりも熱膨張係数が大きい材質からなる。なお、熱膨張係数の各値は、1~100°Cの場合である。なお、内側部材3と外側部材2とを分離させる際、測定ヘッド1を加熱するが、外側部材2のみを高温とするのは困難であり、内側部材3も高温となる。そこで、内側部材3の熱膨張係数をできる限り小さくし、外側部材2の熱膨張係数をできる限り大きくすることで、双方の熱膨張差を大きくするのが好ましい。これにより、内側部材3よりも外側部材2を径外方向に大きく膨張させ、内側部材3と外側部材2とを分離させることが可能となる。そこで、内側部材3と外側部材2との組み合わせについて特に好ましいのは、内側部材3を超硬合金V10,V20,V30とし、外側部材2をステンレス鋼SUS303,SUS304とする組み合わせである。この場合、外側部材2の熱膨張係数は、内側部材3の熱膨張係数の約3倍2.8倍~3.4倍となる。このため、内側部材3と外側部材2との熱膨張係数の差を大きくすることができ、外側部材2の熱膨張によって内側部材3を比較的容易に組み入れることができ、また、比較的容易に分解することができる。また、内側部材3は、被測定部材Wと接触摺接することから、外側部材2よりも硬い材質とするのが好ましく、この点においても、内側部材3を超硬合金又はセラミックスとするのが好ましい。超硬合金の場合、V10,V20,V30それぞれの硬さHVは、1600以上、1450以上、1350以上であり、また、セラミックスの場合、アルミナ、ジルコニアそれぞれの硬さHVは、1200~1600、1300である。以上の構成による測定ヘッド1によれば、内側部材3と外側部材2とは締まり嵌めにより組み立てられているので、測定ヘッド1を分解することが可能であり、また、内側部材3と外側部材2とを再び組み立てることが可能である。つまり、内側部材3と外側部材2とのうちの一方の交換が可能となる。測定ヘッドの内部流路について第1実施形態測定ヘッド1内に形成されている前記内部流路7について説明する。内部流路7を構成する前記周方向流路11及び前記軸方向流路10は、流入口21から流入したエアをノズル口31側ノズル孔32へと流すための流路である。周方向流路11は、外側部材2と内側部材3との間において周方向に沿って長く形成されている。軸方向流路10は、外側部材2と内側部材3との間において軸方向に沿って長く形成されている。そして、本実施形態では、図4に示しているように、周方向流路11は、外側部材2の内周面22に形成されている周方向溝周方向凹溝23と、内側部材3の平滑な外周面37とによって囲まれた空間により構成されている。そして、図2に示しているように、軸方向流路10も、外側部材2の内周面22に形成されている軸方向溝軸方向凹溝24と、内側部材3の平滑な外周面37とによって囲まれた空間により構成されている。つまり、周方向流路11及び軸方向流路10を得るために、内側部材3の外周面37は、平滑な面であればよく、溝の加工は不要である。測定ヘッド1では、被測定物Wが、内側部材3の内周面33に摺接することから、長期使用していると、当該内周面33が摩耗する。つまり、上記のとおり、前記測定ヘッド1によれば、内側部材3と外側部材2とのうちの一方の交換が可能となるが、外側部材2の交換頻度は、内側部材3の交換頻度に比べて低い。そこで、交換頻度が低い部材に、周方向流路11及び軸方向流路10のための溝加工を施すのが経済的であるので、部品の交換頻度の観点によれば、上記説明したように、外側部材2の内周面33に、周方向溝23及び軸方向溝24を形成すればよい。測定ヘッドの内部流路について第2実施形態内部流路7を測定ヘッド1内に形成するために、図6に示しているように、周方向溝38及び軸方向溝39を、内側部材3に形成してもよい。すなわち、周方向流路11は、内側部材3の外周面37に形成されている周方向溝周方向凹溝38と、外側部材2の平滑な内周面22とによって囲まれた空間により構成されている。そして、軸方向流路10も、内側部材3の外周面37に形成されている軸方向溝軸方向凹溝39と、外側部材2の平滑な内周面22とによって囲まれた空間により構成されている。この第2の実施形態によれば、内側部材3の外周面37に対して、周方向溝38及び軸方向溝39を形成すればよく、また、外側部材2の内周面22は、平滑な面であればよく、溝の加工は不要である。つまり、リング状の部材に対して機械加工等により溝を形成する場合、その内周面よりも外周面に形成する方が、作業が容易であり、この作業性の観点によれば、第2実施形態とするのが好ましい。また、前記第1の実施形態及び前記第2の実施形態の双方において、図2と図3とに示しているように、ノズル口31は、測定ヘッド1の軸方向位置に関して、一方側に偏って形成されているにもかかわらず、周方向流路11は、外側部材2と内側部材3との間において、軸方向の中心位置に形成されている。そして、ノズル口31を有するノズル孔32と周方向流路11とを、軸方向流路10によって繋いでいる。これは、測定ヘッド1を歪の少ない形状とするためである。すなわち、上記のとおり、内側部材3と外側部材2とは締まり嵌めにより組み立てられていることから、内側部材3と外側部材2との間には常に応力が作用している状態にある。このため、内側部材3と外側部材2との間に、比較的大きな周方向流路11が周方向に沿って形成されているが、仮に、この周方向流路が、ノズル孔32と同様にノズル孔32と一致する位置に軸方向の一方側に偏って形成されていると、前記応力の分布も軸方向に偏った状態となり、一方側と他方側とで径方向寸法に差が生じて測定ヘッド1が大きく歪んでしまうおそれがある。しかし、上記のとおり、周方向流路11が、軸方向の中心位置に形成されていることにより、応力の分布を、当該周方向流路11を挟んだ軸方向両側で均等となるようにすることができ、高精度が保たれた測定ヘッド1とすることが可能となる。また、本実施形態に係る測定ヘッド1によれば、内側部材3の内周には、対向した配置にある一対のノズル口31が形成されているので、これら一対のノズル口31によって、被測定物Wの直径を、一箇所について、測定することが可能となる。測定ヘッドの製造方法について図7は、前記測定ヘッドの製造方法を説明する工程図である。この製造方法には、内側部材製造工程、外側部材製造工程、及び、嵌合工程が含まれている。そして、最後に仕上げ工程が含まれている。以下、各工程について説明する。前記内側部材製造工程は、内側部材3を得るための工程であり、この工程は、以下の順で行われる。内側部材3は、超硬合金又はセラミックスから成るため、粉末の材料を金型に充填し、リング状に焼結する工程S1。そして、リング状の焼結体を所定の寸法に加工する工程S2。この加工は、例えば研削によって所定の軸方向長さ幅に成形し、また、放電加工によって内周面及び外周面を所定寸法に成形する。これにより、内側部材3の内周に、前記ガイド面30となる部分が形成される。そして、型彫り放電加工によってノズル孔32のための下孔を形成する工程S3。続いて、研削によって外周面の仕上げ加工を行い工程S4、前記下孔に基づいてノズル孔32の仕上げ加工を、ワイヤーカット放電加工により行い工程S5、内側部材3の内周にノズル口31が形成される。以上により、ノズル口31となる部分と、ガイド面30となる部分とが、単一の部材である焼結体に形成され、内側部材3が得られる。前記外側部材製造工程は、前記内側部材3とは別体として外側部材2を製造する工程であり、この工程は、以下の順で行われる。ステンレス鋼又は合金工具鋼からなる材料を所定の大きさに切断し工程S11、切断された材料の外周を切削して外側部材2の外周面を形成し工程S12、当該材料の内周側を切削して外側部材2の内周面を形成する工程S13。工程S12と工程S13とには旋盤が用いられる。そして、外側部材2の内周面について仕上げ研磨を行ってもよい。図4に示している測定ヘッド1の場合、前記内部流路7を構成するための周方向溝23が、旋削により形成される工程S14。そして、外周面の一部に対してフライスカッターにより平面カットが施され、継手6用のネジ穴21aが形成され、さらに、前記内部流路7を構成するための軸方向溝24が、型彫り放電加工によって形成される工程S15。以上により、外側部材2が得られる。前記嵌合工程は、内側部材製造工程により得られた内側部材3を、外側部材製造工程により得られた外側部材2の内周側に取り付ける工程である。組み立て後、内側部材3と外側部材2との間は締まり嵌めの状態となるが、その組み立て方法として、圧入による組み立てであってもよいが、本実施形態では、焼き嵌めによる工程31。なお、本実施形態では、外側部材2の方が内側部材3よりも熱膨張係数が大きいため、焼き嵌めとしているが、これとは反対に、内側部材3の方が外側部材2よりも、熱膨張係数熱収縮率が大きい場合、冷やし嵌めとすればよい。嵌合後、締まり嵌めの状態とするために、嵌合前の状態において、外側部材2の内径は、内側部材3の外径よりも僅かに小さく製造されている。そして、外側部材2を電気炉等で加熱し、外周面及び内周面が径外方向に拡大するように膨張させる。特に、外側部材2の外径が内側部材3の外径よりも大きくなるように膨張させ、この膨張状態で、内側部材3を外側部材2の内周に挿入する。そして、外側部材2の温度が低下すると収縮し、外側部材2と内側部材3との間で、締まり嵌めの状態が得られる。前記仕上げ工程は、複数の工程を含む。すなわち、外側部材2と内側部材3とを嵌合させた測定ヘッド1内側部材の内周側を、研削によって仕上げ加工する工程S41。そして、内側部材3の内周面33に対して、ワイヤーカット放電加工を行い、軸方向に長い溝35図3参照を形成する工程S42。さらに、内側部材3の内周面33に対して、型彫り放電加工を行い、環状の溝34図3参照を形成し、さらに、ノズル先端36図5参照の先端面36aを所定の半径に形成する工程S43。その後、内側部材3の内周面33に対してラップ加工を施す工程S44。そして、外側部材2に形成されている前記ネジ孔21aに継手6を取り付ける図1参照。以上により、測定ヘッド1が得られる。測定ヘッドの部品交換を伴う製造方法について上記の測定ヘッドの製造方法図7は、外側部材2及び内側部材3の双方を新規に製造してこれらを組み立て、測定ヘッド1とする場合である。ここで、本発明の測定ヘッド1は、上記のとおり外側部材2と内側部材3とのうちの一方が交換可能であることから、以下において、内側部材3を交換して行われる測定ヘッド1の製造方法について説明する。図8は、内側部材3を交換して行う測定ヘッドの製造方法を説明する工程図である。この製造方法には、分解工程、嵌合工程が含まれている。また、この製造方法には、内側部材を得るための内側部材製造工程と、最後の仕上げ工程とが含まれており、分解工程の後に、嵌合工程、そして、仕上げ工程が続く。なお、内側部材製造工程は、嵌合工程の前に行われている。以下、各工程について説明する。前記分解工程は、外側部材2の内周側に内側部材3が締まり嵌めされている測定ヘッド1を電気炉等で加熱し工程S51、外側部材2を熱膨張させることによって、内側部材3と外側部材2とを分解する。これは、外側部材2の方が内側部材3よりも、熱膨張係数が大きいため、双方が同じように温度上昇しても、外側部材2の方がより大きく径外方向へ膨張し、この膨張した外側部材2から内側部材3を押し出す工程S52ことで実現可能とされる。これにより、内側部材3を取り外した外側部材2が得られる工程S53。なお、これとは反対に、内側部材3の方が外側部材2よりも、熱膨張係数熱収縮率が大きい場合、測定ヘッド1を冷却し、内側部材3を熱収縮させることによって、内側部材3と外側部材2とを分解してもよい。前記嵌合工程は、前記ノズル口31となる部分と、前記ガイド面30となる部分とを単一の部材焼結体に形成して製造した内側部材3を、分解した前記外側部材2に、焼き嵌めにより組み立てる工程S61。なお、ここで用いられる前記内側部材3は、前記分解工程で分離したものではなく、新規に製造されたものであり、この内側部材3は、図7に示した前記内側部材製造工程S1~S5と同様の製法により得られたものである。嵌合工程において、焼き嵌めとするために、嵌合前の状態において、分解して得た外側部材2の内径は、新規に製造した内側部材3の外径よりも僅かに小さい。そこで、外側部材2を電気炉等で加熱し、外周面及び内周面が径外方向に拡大するように膨張させる。特に、外側部材2の内径が内側部材3の外径よりも大きくなるように膨張させ、この膨張状態で、内側部材3を外側部材2の内周に挿入する。そして、外側部材2の温度が低下すると収縮し、外側部材2と内側部材3との間で、締まり嵌めの状態が得られる。なお、本実施形態では、外側部材2の方が内側部材3よりも、熱膨張係数が大きいため、焼き嵌めとしているが、これとは反対に、内側部材3の方が外側部材2よりも、熱膨張係数熱収縮率が大きい場合、冷やし嵌めとすればよい。前記仕上げ工程は、図7に示した前記仕上げ工程S41~S45と同様であり、この仕上げ工程が実行されることにより、内側部材3の交換が完了し、新たな内側部材3を有している測定ヘッド1が製造される。測定ヘッド及びその製造方法について以上のように前記各実施形態に係る測定ヘッド1、及び、その製造方法によって得られる測定ヘッド1によれば、図1を参考に説明すると、外側部材2と内側部材3とは締まり嵌めにより組み立てられているので、外側部材2と内側部材3との間に取り付け又は取り外しのための隙間が無い。このため、両部材2,3を組み立てた状態で、外側部材2に対して内側部材3は位置ずれしない。さらに、この内側部材3は、単一の焼結体として製造されており、当該単一の焼結体に、ノズル口31が形成されている部分と、ガイド面30が形成されている部分とが含まれている。つまり、この内側部材3において、ノズル口31が形成されている部分と、ガイド面30が形成されている部分とは、同一の焼結体から成り分解不可能である。このため、内側部材3と外側部材2との分解後、再度、組み立てが行われても、分解前の状態と比べて、ノズル口31とガイド面30との間の径方向の相対位置は変化せず、当該ガイド面30によって案内されている被測定物Wと、ノズル口31との間を、測定のために適切な距離とすることが可能となる。つまり、ガイド面30とノズル口31先端面36aとの半径差Δr図5となるノズルクリアランスは、変化しない。以上より、内側部材3の交換が可能でありながら、交換後においても、精度の高い寸法測定が可能となる。また、図13の従来の測定ヘッドの場合、栓部材83によって孔81a~81eを塞いでいるが、隙間が生じやすく、エアが漏れ、高精度な測定が不可能となる。しかし、前記各実施形態に係る測定ヘッド1によれば、外側部材2と内側部材3とは締まり嵌めにより組み立てられているので、これら部材2,3の合わせ面は、締め代を有して密着しているので、気密性が確保されており、エアが漏れることがない。さらに、外側部材2と内側部材3との合わせ面において気密性が確保されていることから、従来の図14に示しているようなOリング96が不要となる。また、前記各実施形態では、内部流路7が、外側部材2と内側部材3との間に形成されていることから、溝の形成によって内部流路7を構成することができ、図13の従来の測定ヘッドのように、内部流路を形成するために複雑な孔を複数形成する必要がない。図13の従来の測定ヘッドの場合、全体を焼入鋼等により形成し、熱処理を行い、内周面の硬度を高めていた。しかし、前記各実施形態に係る測定ヘッドによれば、内側部材3を超硬合金又はセラミックスとすることにより、従来必要であって熱処理は不要となり、製造時間の短縮化が図れる。そして、熱処理が不要のため、熱による歪の発生が無く、寸法精度の高い測定ヘッド1が得られる。また、内側部材3を硬い材質とすることにより、長寿命化が図れる。さらに、前記各実施形態では、外側部材2の材質を、ステンレス鋼又は合金工具鋼としたが、これ以外であってもよく、好ましくは、ステンレス鋼の熱膨張係数と同等乃至それ以上の熱膨張係数を有する材質とすればよい。前記各実施形態では、周方向流路11は、約半周の流路として説明したが、1周であってもよく、変更自在である。また、1つの流入口21から分岐して2つのノズル口31からエアを噴射させる構成を説明したが、これ以外であってもよく、図示しないが、例えば、2つの流入口を外側部材に形成し、これら流入口それぞれが1つのノズル口へと繋がる構成であってもよい。しかし、前記実施形態のように、1つの流入口21から分岐して2つのノズル口31からエアを噴射させる構成の方が、ノズル口31それぞれから噴射されるエアの流量が均等となり、測定精度を高めることができる。つまり、2つの流入口を設けた場合、それぞれに接続される継手及び外部流路による損失の差が生じ、ノズル口それぞれから噴射されるエアの流量が均等とならない場合がある。なお、この点については、図9の実施例により、図12を参照して、後に説明する。前記各実施形態において説明した測定ヘッド1は、ノズル口31が2箇所に設けられている場合を説明したが、後に、他の実施形態として説明するように、ノズル口31は4箇所に設けられていてもよく、その数は変更自在である。なお、この場合、ノズル口31は等間隔に設置される。また、作業者が測定ヘッド1を手に持って被測定物Wの外径を測定する場合として説明したが、測定装置の一部に前記測定ヘッド1が組み込まれて固定状態で使用するものであってもよい。他の実施形態に係る測定ヘッドについて図9は、測定ヘッド51の他の実施形態を示す平面図である。図10は図9のD-D矢視の断面図であり、図11は図9のE-E矢視の断面図である。本実施形態の測定ヘッド51は、前記実施形態図1と同様に、エアの流入口21-1,21-2が形成されているリング状の外側部材52と、この外側部材52の内周側に取り付けられているリング状の内側部材53とを備えている。内側部材53の内周には、被測定物Wを取り囲んで案内するガイド面30、及び、流入口21-1,21-2に流入したエアを被測定物Wに噴射するノズル口31-1~31-4が形成されている。そして、内側部材53と外側部材52とは締まり嵌めの状態にある。さらに、内側部材53は、単一の部材として製造されており、この単一の部材に、ノズル口31-1~31-4とガイド面30とが形成されている。また、使用される材質も同様である。前記実施形態図1と比べて、本実施形態の測定ヘッド51が異なる点は、外側部材52の外周に形成されている流入口、及び、内側部材53の内周に形成されているノズル口の数であり、図9に示す実施形態では、2つの流入口21-1,21-2が形成されており、4つのノズル口31-1~31-4が形成されている。ここで、2つの流入口を、第1流入口21-1及び第2流入口21-2とする。そして、4つのノズル口を、第1ノズル口31-1、第2ノズル口31-2、第3ノズル口31-3及び第4ノズル口31-4とする。さらに、外側部材52と内側部材53とからなる本体部54内に形成されている内部流路の構成も異なる。本実施形態では、第1内部流路57-1と第2内部流路57-2とが本体部54に形成されている。第1ノズル口31-1と第2ノズル口31-2とは、測定ヘッド51外側部材52、内側部材53の中心Cを基準として、180度離れて位置している。つまり、一対の第1ノズル口31-1と第2ノズル口31-2とは、対向した配置にある。第3ノズル口31-3と第4ノズル口31-4とは、測定ヘッド51外側部材52、内側部材53の中心Cを基準として、180度離れて位置している。つまり、一対の第3ノズル口31-3と第4ノズル口31-4とは、対向した配置にある。そして、これらノズル口31-1~31-4は、周方向について等間隔90度間隔で配置されている。この測定ヘッド51は、エア空気が流れる外部流路を介して、エアマイクロメータのエア源ポンプ9と接続されており、このエア源9から所定圧力のエアが供給される。外部流路は、エア源9と接続されている主外部流路8aと、この主外部流路8aから分岐した二つの枝外部流路8b-1,8b-2とを有している。一方の枝外部流路8b-1が第1流入口21-1と接続され、他方の枝外部流路8b-2が第2流入口21-2と接続されている。外側部材52には、二つのネジ孔21aが形成されている。一方のネジ孔21aの外径側に第1流入口21-1が設けられており、前記実施形態図4と同様に、このネジ孔21aは、周方向に延びる第1周方向流路61-1と繋がっており、さらに、この周方向流路61-1の両端部は、軸方向に延びる軸方向流路60-1,60-2と繋がっている。前記第1内部流路57-1は、これら周方向流路61-1及び軸方向流路60-1,60-2からなる。そして、一方の軸方向流路60-1と、内側部材53に形成されている一つのノズル孔32とが連結され、このノズル孔32の内径側の端部が第1ノズル口31-1となる。また、他方の軸方向流路60-2と、内側部材53に形成されている他のノズル孔32とが連結され、このノズル孔32の内径側の端部が第2ノズル口31-2となる。このように、第1流入口21-1から、対向する一対のノズル口31-1,31-2までの間において、外側部材52及び内側部材53に形成されているエアが流れる流路には、第1流入口21-1に流入したエアを分岐させる分岐部55aが含まれている。そして、この分岐部55aで分岐した後の流路を流れたエアが、ノズル口31-1,31-2から噴射される。なお、分岐部55aから第1ノズル口31-1までの流路と、分岐部55aから第2ノズル口31-2までの流路とは、分岐部55aの分岐中心及び測定ヘッド51の中心線を含む面に対して対称形であり、圧力損失は同じであることから、分岐してノズル口31-1,31-2それぞれから噴射されるエアの流速圧力は、同じとなる。他方のネジ孔21aの外径側に第2流入口21-2が設けられており、前記実施形態図4と同様に、このネジ孔21aは、周方向に延びる第2周方向流路61-2と繋がっており、さらに、この周方向流路61-2の両端部は、軸方向に延びる軸方向流路60-3,60-4と繋がっている。前記第2内部流路57-2は、これら周方向流路61-2及び軸方向流路60-3,60-4からなる。そして、一方の軸方向流路60-3と、内側部材53に形成されている一つのノズル孔32とが連結され、このノズル孔32の内径側の端部が第3ノズル口31-3となる。また、他方の軸方向流路60-4と、内側部材53に形成されている他のノズル孔32とが連結され、このノズル孔32の内径側の端部が第4ノズル口31-4となる。このように、第2流入口21-2から、対向する一対のノズル口31-3,31-4までの間において、外側部材52及び内側部材53に形成されているエアが流れる流路には、第2流入口21-2に流入したエアを分岐させる分岐部55bが含まれている。そして、この分岐部55bで分岐した後の流路を流れたエアが、ノズル口31-3,31-4から噴射される。なお、分岐部55bから第3ノズル口31-3までの流路と、分岐部55bから第4ノズル口31-4までの流路とは、分岐部55bの分岐中心及び測定ヘッド51の中心線を含む面に対して対称形であり、圧力損失は同じであることから、分岐してノズル口31-3,31-4それぞれから噴射されるエアの流速圧力は、同じとなる。以上より、対向した配置にある一対のノズル口を一組の対向ノズル部とすると、本実施形態では、内側部材53の内周には、二組の対向ノズル部が形成されている。そして、これら二組の対向ノズル部に含まれる全てのノズル口31-1~31-4は、軸方向について同じ位置で開口している。本実施形態では、ノズル口31-1~31-4は、全て、本体部54の軸方向に関して中心の位置軸方向中央位置に配置されている。なお、内側部材53と外側部材52とは締まり嵌めにより組み立てられていることから、内側部材53と外側部材52との間には常に応力が作用している状態にある。このため、内側部材53と外側部材52との間に、比較的大きなネジ穴21a及び周方向流路61-1,61-2が周方向に沿って形成されているが、仮に、これら周方向流路61-1,61-2が、軸方向の一方側にのみ偏って形成されていると、前記応力の分布も軸方向に偏った状態となり、一方側と他方側とで径方向寸法に差が生じて測定ヘッド1が大きく歪んでしまうおそれがある。しかし、本実施形態では、第1内部流路57-1側のネジ穴21a及び周方向流路61-1と、第2内部流路57-2側のネジ穴21a及び周方向流路61-2とは、軸方向両側に離れて形成されており、軸方向についての中心を通る横断面を基準として、対称に配置されている。このため、応力の分布を、軸方向両側で均等となるようにすることができ、高精度が保たれた測定ヘッド51とすることが可能となる。また、図1及び図5により説明した測定ヘッド1における、ガイド面30、ノズル端部36の先端面36a、環状の溝34、軸方向に長い溝35などの構成は、図9に示している測定ヘッド51においても、同様に、適用されている。また、図9では、図1の場合と同様に、第1内部流路57-1及び第2内部流路57-2に関して、周方向流路61-161-2は、外側部材52の内周面に形成されている周方向溝周方向凹溝と、内側部材53の平滑な外周面とによって囲まれた空間により構成されており、また、軸方向流路60-1,60-260-3,60-4も、外側部材52の内周面に形成されている軸方向溝軸方向凹溝と、内側部材53の平滑な外周面とによって囲まれた空間により構成されているが、図6により説明したのと同様に、溝が形成される部材を、内側部材51としてもよい。さらに、図9に示している測定ヘッド51の製造方法、及び、この測定ヘッド51の部品交換を伴う製造方法については、図1に示している測定ヘッド1の場合と同様であり、ここでは、その説明を省略する。以上、図9に示す実施形態に係る測定ヘッド51によれば、対向した配置にある一対のノズル口31-1,31-2からなる組み、及び、対向した配置にある一対のノズル口31-3,31-4からなる組みによって、被測定物Wの直径を、二箇所において測定することが可能となる。つまり、本実施形態の測定ヘッド51は、直径の測定を行うためのエアの流路を、二系統備えている。なお、図1の測定ヘッド1は、直径の測定を行うためのエアの流路を、一系統備えている。そして、このような対向する一対のノズル口の組みが、二組形成されており、さらに、全てのノズル口31-1~31-4が軸方向について同じ位置で開口していることから、被測定物Wの直径を、同じ断面の二箇所で測定することができ、この結果、被測定物Wの真円度の測定も可能となる。また、測定ヘッド51の第1内部流路57-1を含む、エア源9から第1と第2のノズル口31-1,31-2までのエアの流路に着目して説明すると、上記のとおり、第1流入口21-1から、これらノズル口31-1,31-2までの間において、エアが流れる流路には、エアを分岐させる分岐部55aが含まれている。このため、これらノズル口31-1,31-2からエアを噴射させ、被測定物Wの直径を測定するために、ノズル口31-1,31-2へとエアを供給するための流入口は一つで済む第1流入口21-1。このため、エア源9側から測定ヘッド51の第1流入口21-1までの外部流路8a,8b-1は、一つでよく、ノズル口31-1用とノズル口31-2用とで、共通した流路でよい。これに対して、図12に示すように、仮に、測定ヘッド151に、第1ノズル口131-1のために一つの流入口121-1を設け、第2ノズル口131-2のために別の流入口121-2を設け、これら流入口121-1,121-2それぞれと、エア源9とを、配管で接続するためには、流入口121-1に接続する第1配管108と、流入口121-2に接続する第2の配管109とを用いる必要がある。この場合、第1配管108と、第2配管109とでエアの圧力損失が異なると、第1ノズル口131-1から噴射されるエアの流速と、第2ノズル口131-2から噴射されるエアの流速とが異なってしまう。この圧力損失は、配管108,109及びこれに含まれる継手等の影響を大きく受けることから、図12に示すように、外部流路が第1配管108と第2配管109との二つになると、一対の対向するノズル口131-1,131-2から噴射させるエアによって行われる被測定物Wの直径の測定精度が、低くなるおそれがある。しかし、本実施形態によれば、図9に示すように、エア源9側から測定ヘッド51の第1流入口21-1までの外部流路8a,8b-1は、ノズル口31-1用とノズル口31-2用とで、共通した一つの流路であることから、エア源9側から第1ノズル口31-1までの流路におけるエアの圧力損失と、このエア源9側から第2ノズル口31-2までの流路におけるエアの圧力損失とを均等にすることができ、一対のノズル口31-1,31-2から均等なエアを噴射させることができる。この結果、これらノズル口31-1,31-2から噴射させるエアによって行われる被測定物Wの直径の測定精度を高めることが可能となる。なお、この測定精度に関する説明は、第2内部流路57-2を含む、エア源9から第3と第4のノズル口31-3,31-4までのエアの流路に関しても、同様であり、ノズル口31-3,31-4から噴射させるエアによって行われる被測定物Wの直径の測定精度を高めることが可能となる。さらに、この測定精度に関する説明は、図1に示した測定ヘッド1においても同様であり、ノズル口31から噴射させるエアによって行われる被測定物Wの直径の測定精度を高めることが可能となる。なお、図示しないが、図9に示している測定ヘッド51を、軸方向に複数個例えば2個重ねて配置してもよく、この場合、円柱形である被測定物Wに対して、軸方向で異なる測定部分の直径の測定が同時に可能となり、被測定物Wの円筒度の測定も可能となる。また、本発明の測定ヘッドは、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。なお、図1、図9では図示していないが、外部流路の途中には、圧力計流量計などの計器が接続されており、この計器の計測値背圧、流量に基づいて、被測定物Wの寸法の測定が行われる。"