"基板を処理する基板処理装置であって、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から前記基板処理装置の状態を選択するために操作者によって操作される装置状態選択手段と、前記装置状態選択手段が操作されたときに、操作者によって選択された前記基板処理装置の状態を状態情報として出力する状態情報出力手段と、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する装置情報出力手段と、前記状態情報と前記装置情報とを取得し、前記装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている前記基板処理装置の状態とを含む履歴情報を出力する履歴情報出力手段と、前記履歴情報を取得し、前記履歴情報を記憶する記憶手段と、前記履歴情報を前記記憶手段から取得し、前記履歴情報を表示する表示手段とを含む、基板処理装置。基板を処理する基板処理装置であって、基板を処理する複数の処理ユニットと、前記複数の処理ユニットから一部の処理ユニットを選択するために操作者によって操作されるユニット選択手段と、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から前記処理ユニットの状態を選択するために操作者によって操作されるユニット状態選択手段と、前記ユニット選択手段および前記ユニット状態選択手段が操作されたときに、操作者によって選択された前記処理ユニットと、操作者によって選択された状態とを含む状態情報を出力する状態情報出力手段と、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する装置情報出力手段と、前記状態情報と前記装置情報とを取得し、前記装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている各処理ユニットの状態とを含む履歴情報を出力する履歴情報出力手段と、前記履歴情報を取得し、前記履歴情報を記憶する記憶手段と、前記履歴情報を前記記憶手段から取得し、前記履歴情報を表示する表示手段とを含む、基板処理装置。前記複数の状態から選択した状態を表示条件として設定するために操作者によって操作される条件設定手段と、操作者によって選択された状態を含む前記履歴情報を検索して前記表示手段に表示させる表示情報選択手段とをさらに含む、請求項1または2記載の基板処理装置。基板を処理する基板処理装置の装置情報を管理する情報管理方法であって、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から操作者によって選択された前記基板処理装置の状態を状態情報出力手段が状態情報として出力する第1ステップと、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報出力手段が装置情報として出力する第2ステップと、前記状態情報と前記装置情報とが履歴情報出力手段に取得され、前記装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている前記基板処理装置の状態とを含む履歴情報を前記履歴情報出力手段が出力する第3ステップと、前記履歴情報が記憶手段によって取得され、前記履歴情報が前記記憶手段に記録される第4ステップと、前記履歴情報を表示手段が前記記憶手段から取得し、前記履歴情報が前記表示手段に表示される第5ステップとを含む、情報管理方法。基板を処理する基板処理装置の装置情報を管理する情報管理方法であって、基板を処理する複数の処理ユニットから操作者によって選択された処理ユニットと、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から操作者によって選択された状態とを含む状態情報を状態情報出力手段が出力する第1ステップと、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報出力手段が装置情報として出力する第2ステップと、前記状態情報と前記装置情報とが履歴情報出力手段に取得され、前記装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている各処理ユニットの状態とを含む履歴情報を前記履歴情報出力手段が出力する第3ステップと、前記履歴情報が記憶手段によって取得され、前記履歴情報が前記記憶手段に記録される第4ステップと、前記履歴情報を表示手段が前記記憶手段から取得し、前記履歴情報が前記表示手段に表示される第5ステップとを含む、情報管理方法。基板処理装置の装置情報は、基板が処理される稼働中だけでなく、メンテナンスが行われるメンテナンス中メンテナンス状態にも記録される。しかしながら、装置情報は、稼働中およびメンテナンス中のいずれの期間に生成されたのか区別されずに記録される。したがって、操作者は、表示装置に表示された装置情報を見ても、稼働中およびメンテナンス中のいずれの期間に生成された装置情報であるかを判断できない。稼働中に発生した異常の原因調査では、操作者は、稼働中に生成された装置情報だけを確認したい場合がある。しかしながら、稼働中およびメンテナンス中の区別なしに装置情報が記録されているので、操作者は、表示装置に表示された装置情報を見ても、表示された装置情報がいずれの期間に生成されたものであるのかを区別できない。そのため、異常の原因調査に必要な情報を絞り込むのに手間がかかってしまう。そこで、この発明の目的は、いずれの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別できる基板処理装置、および基板処理装置の装置情報を管理する情報管理方法を提供することである。前記目的を達成するための請求項1記載の発明は、基板Wを処理する基板処理装置であって、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から前記基板処理装置の状態を選択するために操作者によって操作される装置状態選択手段9と、前記装置状態選択手段が操作されたときに、操作者によって選択された前記基板処理装置の状態を状態情報として出力する状態情報出力手段10と、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する装置情報出力手段13と、前記状態情報と前記装置情報とを取得し、前記装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている前記基板処理装置の状態とを含む履歴情報を出力する履歴情報出力手段11と、前記履歴情報を取得し、前記履歴情報を記憶する記憶手段14と、前記履歴情報を前記記憶手段から取得し、前記履歴情報を表示する表示手段17とを含む、基板処理装置1である。なお、この項において、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素の参照符号を表すものであるが、これらの参照符号により特許請求の範囲を限定する趣旨ではない。この発明によれば、装置状態選択手段が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態を含む複数の状態から基板処理装置の状態が選択される。状態情報出力手段は、装置状態選択手段が操作されることにより、操作者によって選択された基板処理装置の状態を状態情報として出力する。また、装置情報出力手段は、基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する。履歴情報出力手段は、状態情報と装置情報とを取得し、装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置の状態とを含む履歴情報を出力する。記憶手段は、履歴情報出力手段から履歴情報を取得し、履歴情報を記憶する。すなわち、装置情報は、基板処理装置がどの状態のときに生成されたのか区別された状態で記憶手段に記録される。したがって、操作者は、表示手段に表示された履歴情報を見ることにより、基板処理装置がどの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別することができる。請求項2記載の発明は、基板Wを処理する基板処理装置であって、基板を処理する複数の処理ユニット7と、前記複数の処理ユニットから一部の処理ユニットを選択するために操作者によって操作されるユニット選択手段252と、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から前記処理ユニットの状態を選択するために操作者によって操作されるユニット状態選択手段9と、前記ユニット選択手段および前記ユニット状態選択手段が操作されたときに、操作者によって選択された前記処理ユニットと、操作者によって選択された状態とを含む状態情報を出力する状態情報出力手段10と、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する装置情報出力手段13と、前記状態情報と前記装置情報とを取得し、前記装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている各処理ユニットの状態とを含む履歴情報を出力する履歴情報出力手段11と、前記履歴情報を取得し、前記履歴情報を記憶する記憶手段14と、前記履歴情報を前記記憶手段から取得し、前記履歴情報を表示する表示手段17とを含む、基板処理装置201である。この発明によれば、ユニット選択手段が操作者によって操作されることにより、複数の処理ユニットから一部の処理ユニットが選択される。さらに、ユニット状態選択手段が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態を含む複数の状態からいずれかの状態が選択される。状態情報出力手段は、操作者によって選択された処理ユニットと、操作者によって選択された状態とを含む状態情報を出力する。装置情報出力手段は、基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する。履歴情報出力手段は、状態情報と装置情報とを取得し、装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている各処理ユニットの状態とを含む履歴情報を出力する。記憶手段は、履歴情報出力手段から履歴情報を取得し、履歴情報を記憶する。すなわち、装置情報は、各処理ユニットがどの状態のときに生成されたのか区別された状態で記憶手段に記録される。したがって、操作者は、表示手段に表示された履歴情報を見ることにより、各処理ユニットがどの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別することができる。請求項3記載の発明は、前記複数の状態から選択した状態を表示条件として設定するために操作者によって操作される条件設定手段16と、操作者によって選択された状態を含む前記履歴情報を検索して前記表示手段に表示させる表示情報選択手段18とをさらに含む、請求項1または2記載の基板処理装置である。この発明によれば、条件設定手段が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態を含む複数の状態のいずれかが選択される。表示情報選択手段は、記憶手段に記録された履歴情報から、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を検索して、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を表示手段に表示させる。すなわち、条件設定手段が操作者によって操作されることにより、表示手段に表示される履歴情報の条件表示条件が設定され、表示条件に合う履歴情報だけが表示手段に表示される。これにより、不要な装置情報を表示させずに、必要な情報だけを表示手段に表示させることができる。請求項4記載の発明は、基板Wを処理する基板処理装置1の装置情報を管理する情報管理方法であって、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から操作者によって選択された前記基板処理装置の状態を状態情報出力手段10が状態情報として出力する第1ステップS102と、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報出力手段13が装置情報として出力する第2ステップS104と、前記状態情報と前記装置情報とが履歴情報出力手段11に取得され、前記装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている前記基板処理装置の状態とを含む履歴情報を前記履歴情報出力手段が出力する第3ステップS105と、前記履歴情報が記憶手段14によって取得され、前記履歴情報が前記記憶手段に記録される第4ステップS106と、前記履歴情報を表示手段17が前記記憶手段から取得し、前記履歴情報が前記表示手段に表示される第5ステップS109、S110、S112、S114とを含む、情報管理方法である。この発明によれば、請求項1の発明に関して述べた効果と同様な効果を奏することができる。請求項5記載の発明は、基板Wを処理する基板処理装置201の装置情報を管理する情報管理方法であって、基板を処理する複数の処理ユニット7から操作者によって選択された処理ユニットと、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から操作者によって選択された状態とを含む状態情報を状態情報出力手段10が出力する第1ステップS203と、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報出力手段13が装置情報として出力する第2ステップS205と、前記状態情報と前記装置情報とが履歴情報出力手段11に取得され、前記装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている各処理ユニットの状態とを含む履歴情報を前記履歴情報出力手段が出力する第3ステップS206と、前記履歴情報が記憶手段14によって取得され、前記履歴情報が前記記憶手段に記録される第4ステップS207と、前記履歴情報を表示手段17が前記記憶手段から取得し、前記履歴情報が前記表示手段に表示される第5ステップS109、S110、S112、S114とを含む、情報管理方法である。この発明によれば、請求項2の発明に関して述べた効果と同様な効果を奏することができる。以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図1は、この発明の第1実施形態に係る基板処理装置1のレイアウトを示す図解的な平面図である。基板処理装置1は、薬液やリンス液などの処理液によって半導体ウエハ等の円形の基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置である。基板処理装置1は、インデクサブロック2と、インデクサブロック2に結合された処理ブロック3と、基板処理装置1に備えられた装置の動作やバルブの開閉を制御する制御装置4とを備えている。図示はしないが、制御装置4は、CPUと、メモリなどの記憶装置とを含む。インデクサブロック2は、キャリア保持部5と、インデクサロボットIRと、IR移動機構6とを備えている。キャリア保持部5は、複数枚の基板Wを収容できるキャリアCを保持する。複数のキャリアCは、水平なキャリア配列方向Uに配列された状態でキャリア保持部5に保持される。IR移動機構6は、キャリア配列方向UにインデクサロボットIRを移動させる。インデクサロボットIRは、キャリア保持部5に保持されたキャリアCに基板Wを搬入する搬入動作、および基板WをキャリアCから搬出する搬出動作を行う。一方、処理ブロック3は、基板Wを処理する複数たとえば、4つ以上の処理ユニット7と、センターロボットCRとを備えている。複数の処理ユニット7は、平面視において、センターロボットCRを取り囲むように配置されている。センターロボットCRは、処理ユニット7に基板Wを搬入する搬入動作、および基板Wを処理ユニット7から搬出する搬出動作を行う。センターロボットCRは、インデクサロボットIRから基板Wを受け取ると共に、インデクサロボットIRに基板Wを渡す。基板処理装置1は、基板処理装置1の情報を表示する表示装置8をさらに備えている。図示はしないが、表示装置8は、CPUと、メモリなどの記憶装置と、タッチパネルとを含む。基板処理装置1の情報は、このタッチパネルに表示される。さらに、基板処理装置1に対する指令は、操作者によってタッチパネルから入力される。すなわち、第1実施形態では、表示装置8が、基板処理装置1を操作するための指令が操作者によって入力される入力装置としても機能する。表示装置8と入力装置とは、第1実施形態のように共通の装置であってもよいし、別々の装置であってもよい。すなわち、入力装置は、キーボード、マウスその他の入力手段であってもよい。図2は、この発明の第1実施形態に係る基板処理装置1の装置情報を記憶および表示するための構成を示す機能ブロック図である。基板処理装置1は、状態選択操作部9装置状態選択手段、ユニット状態選択手段と、状態情報出力部10状態情報出力手段と、履歴情報出力部11履歴情報出力手段とを含む。状態選択操作部9および状態情報出力部10は、表示装置8に設けられており、履歴情報出力部11は、制御装置4および表示装置8に設けられている。状態選択操作部9は、基板Wが処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態の2つの状態から基板処理装置1の状態を選択するために操作者によって操作される。操作者によって状態選択操作部9が操作されると、状態情報出力部10は、操作者によって選択された基板処理装置1の状態を状態情報として履歴情報出力部11に出力する。履歴情報出力部11は、状態情報出力部10から状態情報を取得し、履歴情報出力部11に記憶されている基板処理装置1の状態情報を新たに取得した状態情報に書き換える。これにより、操作者によって選択された基板処理装置1の状態が履歴情報出力部11に記録される。また、基板処理装置1は、入力操作部12と、装置情報出力部13装置情報出力手段と、記憶部14記憶手段とを含む。入力操作部12は、表示装置8に設けられており、装置情報出力部13は、制御装置4および表示装置8に設けられている。また、記憶部14は、制御装置4に設けられている。入力操作部12は、基板処理装置1に対する指令である操作情報を入力するために操作者によって操作される。操作者によって入力操作部12が操作されると、装置情報出力部13は、操作者によって入力された操作情報を、装置情報として履歴情報出力部11に出力する。また、制御装置4が基板処理装置1を制御すると、装置情報出力部13は、基板処理装置1で起こった事象イベント情報を装置情報として履歴情報出力部11に出力する。すなわち、装置情報は、操作者によって入力された操作情報と、基板処理装置1で起こった事象の内容を示すイベント情報とを含む。さらに、装置情報は、基板処理装置1で起こった異常の内容を示すアラーム情報を含む。履歴情報出力部11は、装置情報出力部13から出力された装置情報を取得する。履歴情報出力部11が装置情報を取得すると、履歴情報出力部11は、取得した装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置1の状態とを含む履歴情報を出力する。すなわち、履歴情報出力部11は、装置情報と状態情報とを含む履歴情報を作成し、この履歴情報を記憶部14に出力する。記憶部14は、履歴情報出力部11から履歴情報を取得し、この履歴情報を記憶する。したがって、履歴情報出力部11から出力された履歴情報が記憶部14に蓄積されることにより、複数の履歴情報が記憶部14に記録される。また、基板処理装置1は、表示操作部15と、表示条件設定部16条件設定手段と、表示部17表示手段と、表示制御部18表示情報選択手段とを含む。表示操作部15、表示条件設定部16、および表示部17は、表示装置8に設けられており、表示制御部18は、制御装置4に設けられている。表示操作部15は、記憶部14に記憶されている履歴情報を表示部17に表示させるために操作者によって操作される。表示条件設定部16は、表示部17に表示される履歴情報の条件表示条件を設定するために操作者によって操作される。表示条件には、たとえば、装置情報が出力された時期や、基板処理装置1の状態が含まれる。表示条件が設定されている状態で表示操作部15が操作者によって操作されると、表示制御部18は、記憶部14に記憶されている複数の履歴情報から表示条件に合う履歴情報を検索し、この表示条件に合う履歴情報だけを記憶部14から取得する。そして、表示制御部18は、この取得した履歴情報を表示部17に表示させる。一方、表示条件が設定されていない状態で表示操作部15が操作者によって操作されると、表示制御部18は、記憶部14に記憶されている複数の履歴情報たとえば、全ての履歴情報を取得する。そして、表示制御部18は、この取得した履歴情報を表示部17に表示させる。図3は、この発明の第1実施形態に係る基板処理装置1の装置情報を記憶するときの流れについて説明するためのフローチャートである。以下では、図2および図3を参照する。基板処理装置1の装置情報が記憶されるときには、基板処理装置1の状態が、操作者による状態選択操作部9の操作によって変更されたか否かが判断されるステップS101。基板処理装置1の状態が変更されていない場合ステップS101でNOの場合には、履歴情報出力部11に記憶されている基板処理装置1の状態情報が書き換えられることなく、装置情報が、装置情報出力部13から履歴情報出力部11に出力されたか否かが判断されるステップS104。一方、基板処理装置1の状態が変更された場合ステップS101でYESの場合には、状態情報が、状態情報出力部10から履歴情報出力部11に出力されるステップS102。履歴情報出力部11は、状態情報を取得し、履歴情報出力部11に記憶されている基板処理装置1の状態情報を、新たに取得した状態情報に書き換える。これにより、履歴情報出力部11に記憶されている基板処理装置1の状態が切り替えられるステップS103。その後、装置情報が、装置情報出力部13から履歴情報出力部11に出力されたか否かが判断されるステップS104。装置情報が装置情報出力部13から出力されていない場合ステップS104でNOの場合には、再び、基板処理装置1の状態が、操作者による状態選択操作部9の操作によって変更されたか否かが判断されるステップS101に戻る。一方、装置情報が装置情報出力部13から出力されている場合ステップS104でYESの場合には、履歴情報出力部11が、この装置情報を取得し、取得した装置情報と、履歴情報出力部11に記憶されている状態情報とを含む履歴情報を出力するステップS105。そして、この履歴情報が記憶部14に記録されるステップS106。履歴情報が記憶部14に記録された後は、再び、基板処理装置1の状態が、操作者による状態選択操作部9の操作によって変更されたか否かが判断されるステップS101に戻る。この一連の流れが繰り返し行われることにより、複数の履歴情報が記憶部14に記録される。図4は、この発明の第1実施形態に係る基板処理装置1の装置情報を表示するときの流れについて説明するためのフローチャートである。以下では、図2および図4を参照する。装置情報が表示部17に表示されるときには、表示操作部15が操作者によって操作されたか否かが判断されるステップS107。表示操作部15が操作されていない場合ステップS107でNOの場合には、再び、表示操作部15が操作者によって操作されたか否かが判断されるステップS107。一方、表示操作部15が操作された場合ステップS107でYESの場合には、表示条件が設定されているか否かが判断されるステップS108。表示条件が設定されている場合ステップS108でYESの場合には、表示制御部18は、表示条件に合う履歴情報だけを記憶部14から取得し、この取得した履歴情報を表示部17に表示させるステップS110。そして、履歴情報が表示された後は、表示条件が変更されたか否かが判断されるステップS113。一方、表示条件が設定されていない場合ステップS108でNOの場合には、表示制御部18は、記憶部14に記憶されている全ての履歴情報を取得し、この全ての履歴情報を表示部17に表示させるステップS109。そして、履歴情報が表示された後は、表示条件が設定されたか否かが判断されるステップS111。表示条件が設定されていない場合ステップS111でNOの場合には、同じ履歴情報が表示部17に表示されたまま、再び、表示条件が設定されたか否かが判断されるステップS111。一方、表示条件が設定された場合ステップS111でYESの場合には、表示制御部18は、表示条件に合う履歴情報だけを記憶部14から取得し、この取得した履歴情報を表示部17に表示させるステップS112。その後、表示条件が変更されたか否かが判断されるステップS113。表示条件が変更されていない場合ステップS113でNOの場合には、同じ履歴情報が表示部17に表示されたまま、再び、表示条件が変更されたか否かが判断されるステップS113。一方、表示条件が変更された場合ステップS113でYESの場合には、表示制御部18は、記憶部14から必要な履歴情報を取得し、この取得した履歴情報を表示部17に再表示させるステップS114。具体的には、新たな表示条件が設定された場合には、新たな表示条件に合う履歴情報だけが表示部17に再表示される。また、表示条件が解除された場合には、記憶部14に記憶されている全ての履歴情報が再表示される。そして、履歴情報が再表示された後は、再び、表示条件が変更されたか否かが判断されるステップS113に戻る。図5は、この発明の第1実施形態に係る基板処理装置1の装置情報を記憶および表示するための構成をより具体的に示す機能ブロック図である。表示装置8は、複数の画面を選択的に表示する。複数の画面は、基板処理装置1のセットアップを行うときに用いられる装置セットアップ画面19と、記憶部14に記憶されている履歴情報を表示するログ閲覧画面20と、基板処理装置1で生じた異常の内容を表示するアラーム画面図示せずとを含む。表示装置8に表示される画面は、操作者の操作によって選択される。装置セットアップ画面19が選択されると、たとえば、基板処理装置1の状態を切り替えるためのボタンや、基板処理装置1を動作させるためのボタンが表示される。装置セットアップ画面19で操作者によって基板処理装置1の状態が選択されると、表示装置8は、操作者によって選択された基板処理装置1の状態を状態情報として制御装置4に出力する。制御装置4は、表示装置8から状態情報を取得し、制御装置4に記憶されている基板処理装置1の状態を操作者によって選択された状態に書き換える。その一方で、装置セットアップ画面19で操作者によって基板処理装置1の状態が選択されると、表示装置8は、表示装置8に記憶されている基板処理装置1の状態を操作者によって選択された状態に書き換える。また、装置セットアップ画面19で基板処理装置1に対する指令が操作者によって入力されると、表示装置8は、操作者によって入力された操作情報と、この操作情報が出力されたときに選択されている基板処理装置1の状態とを含む履歴情報を制御装置4に出力する。表示装置8は、状態情報出力部10、履歴情報出力部11、および装置情報出力部13の一例である。一方、制御装置4は、装置制御部21と、ログ保存部22と、ログ格納データベース23とを含む。搬送ロボットインデクサロボットIRおよびセンターロボットCRおよび処理ユニット7などの基板処理装置1に備えられた装置やバルブは、装置制御部21に接続されている。装置制御部21は、基板処理装置1に備えられた装置の動作やバルブの開閉を制御する。具体的には、装置制御部21は、制御装置4に記憶されている搬送プログラムに従って搬送ロボットを制御することにより、搬送ロボットによって基板Wを搬送させる。また、装置制御部21は、制御装置4に記憶されている処理プログラムレシピに従って処理ユニット7を制御することにより、処理ユニット7によって基板Wを処理させる。装置制御部21が基板処理装置1を制御すると、制御の内容が、イベント情報としてログ保存部22に出力される。また、装置制御部21は、表示装置8から状態情報を取得することにより、操作者によって選択された基板処理装置1の状態を記憶している。装置制御部21は、イベント情報と、このイベント情報が出力されたときの基板処理装置1の状態とを含む履歴情報をログ保存部22に出力する。ログ保存部22は、装置制御部21から履歴情報を取得し、取得した履歴情報をログ格納データベース23に保存する。また、ログ保存部22は、表示装置8から出力された履歴情報操作情報および状態情報を取得し、取得した履歴情報をログ格納データベース23に保存する。これにより、複数の履歴情報がログ格納データベース23に蓄積される。また、制御装置4は、ログ取得部24をさらに含む。表示装置8でログ閲覧画面20が選択されると、ログ取得部24は、必要な履歴情報をログ格納データベース23から取得する。そして、ログ取得部24は、ログ格納データベース23から取得した履歴情報を表示装置8に出力し、必要な履歴情報をログ閲覧画面20に表示させる。ログ取得部24は、表示制御部18の一例である。ログ格納データベース23は、記憶部14の一例である。装置制御部21は、履歴情報出力部11および装置情報出力部13の一例である。ログ保存部22は、履歴情報出力部11の一例である。図6は、この発明の第1実施形態に係る装置セットアップ画面19について説明するための図である。図7は、この発明の第1実施形態に係るログ閲覧画面20について説明するための図である。図8は、この発明の第1実施形態に係るログ格納データベース23に格納された複数の履歴情報について説明するための図である。図6に示すように、装置セットアップ画面19は、表示装置8に表示される画面を選択するために操作者によって操作される画面選択部25を含む。同様に、図7に示すように、ログ閲覧画面20は、画面選択部25を含む。画面選択部25は、装置セットアップ画面選択ボタン26、ログ閲覧画面選択ボタン27、およびアラーム画面選択ボタン28を含む複数の選択ボタンからなる。装置セットアップ画面選択ボタン26が操作者によって操作されると、装置セットアップ画面19が表示装置8に表示される。ログ閲覧画面選択ボタン27が操作者によって操作されると、ログ閲覧画面20が表示装置8に表示される。アラーム画面選択ボタン28が操作者によって操作されると、アラーム画面が表示装置8に表面される。操作者は、いずれかの選択ボタンを選択することにより、表示装置8に表示される画面を選択することができる。図6に示すように、装置セットアップ画面19は、メンテナンス開始ボタン29およびメンテナンス終了ボタン30をさらに含む。メンテナンス開始ボタン29およびメンテナンス終了ボタン30は、状態選択操作部9の一例である。メンテナンス開始ボタン29が操作者によって操作されると、表示装置8および制御装置4に記憶されている基板処理装置1の状態が、メンテナンス状態に切り替わる。一方、メンテナンス終了ボタン30が操作者によって操作されると、表示装置8および制御装置4に記憶されている基板処理装置1の状態が、稼働状態に切り替わる。図6に示すように、装置セットアップ画面19は、複数の入力ボタン31をさらに含む。入力ボタン31は、入力操作部12の一例である。複数の入力ボタン31は、たとえば、ログインボタン32と、原点復帰ボタン33とを含む。基板処理装置1が稼働状態のときにログインボタン32が操作者によって操作されると、図8においてLogIdが0101の行に示すように、ログインボタン32が操作されたときの年月日および時間、すなわち、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のTypeが操作情報であることと、装置情報が出力されたとき基板処理装置1は稼働中稼働状態であることと、ログインボタン32が操作されたこととが、1つのLogId0101と共にログ格納データベース23に記録される。これにより、履歴情報ログがログ格納データベース23に記録される。また、装置セットアップ画面19に設けられたログインボタン32が操作者によって操作された後に、制御装置4が、ログインを成功させると、図8においてLogIdが0102の行に示すように、ログインに成功した年月日および時間、すなわち、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のTypeがイベント情報であることと、装置情報が出力されたとき基板処理装置1が稼働中稼働状態であることと、ログインが成功したこととが、1つのLogId0102と共にログ格納データベース23に記録される。したがって、第1実施形態では、履歴情報ログは、たとえば、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のTypeと、装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置1の状態状態情報と、報告内容装置情報とを含む。このように、ログ格納データベース23は、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のTypeと、装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置1の状態と、報告内容とに、1つのLogIdを割り当てて、このLogIdと共に、履歴情報を記憶する。図8に示すように、ログ格納データベース23は、LogIdを表示するLogId列と、年月日および時間を表示するDateAndTime列と、装置情報のTypeを表示するType列と、基板処理装置1の状態を表示するMaintenanceState列と、装置情報の内容を表示する報告内容列とを含む。共通のLogIdが割り振られた情報は、同じ行の対応する列に格納される。すなわち、ログ格納データベース23は、各履歴情報をそれぞれ異なる行で記憶する。さらに、ログ格納データベース23は、複数の履歴情報をたとえば時系列で記憶する。ログ閲覧画面20には、ログ格納データベース23に記憶されている履歴情報が表示される。具体的には、ログ閲覧画面選択ボタン27は、表示操作部15の一例であり、ログ閲覧画面選択ボタン27が操作者によって操作されると、ログ格納データベース23に記憶されている履歴情報がログ閲覧画面20に表示される。図7に示すように、ログ閲覧画面20は、複数の履歴情報の一覧表を表示するログ表示部34を含む。ログ表示部34は、表示部17の一例である。ログ表示部34は、基板処理装置1の状態を表示するメンテナンス中列と、装置情報が出力された年月日および時間を表示する日時列と、装置情報のTypeを表示するタイプ列と、装置情報の内容を表示する報告内容列とを含む。図7に示すように、メンテナンス中列、日時列、タイプ列、および報告内容列は、左からこの順番で左右に配列されている。すなわち、メンテナンス中列は、ログ表示部34の左端に配置されている。履歴情報に含まれる装置情報が、メンテナンス状態のときに出力された情報であるか否かは、たとえば図形で表示される。具体的には、基板処理装置1が稼働状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、メンテナンス中列の欄は空白である図形が表示されない。一方、基板処理装置1がメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、たとえば●印がメンテナンス中列の欄に表示される。このように、メンテナンス中列がログ表示部34の左端に配置されており、メンテナンス状態のときに出力された装置情報であるか否かが図形で表示されるので、操作者は、基板処理装置1がどのような状態のときに出力された装置情報であるかを容易に識別することができる。また、図7に示すように、ログ閲覧画面20は、条件設定部35をさらに含む。条件設定部35は、表示条件設定部16の一例である。条件設定部35は、条件設定ボタン38と、更新ボタン36とを含む。条件設定ボタン38は、ログ閲覧画面20に表示される履歴情報の条件表示条件を設定するために操作者によって操作されるボタンである。更新ボタン36は、設定された表示条件を反映させるためのボタンである。すなわち、表示条件が設定された後に、更新ボタン36が操作者によって操作されると、ログ閲覧画面20に表示されている履歴情報が更新され、表示条件に合う履歴情報だけがログ閲覧画面20に表示される。図7に示すように、条件設定部35は、条件指定表示部37をさらに含む。条件指定表示部37は、表示条件が指定されているか否かを表示する部分である。条件指定表示部37は、表示条件が指定されているか否かをたとえば色によって表示する。具体的には、表示条件が指定されている場合には、たとえば、条件指定表示部37の一部図7において●で示されている部分が、条件指定表示部37の周囲とは異なる色の光を発し、表示条件が指定されていない場合には、条件指定表示部37の一部が条件指定表示部37の周囲と同じ色を発する。したがって、操作者は、表示条件が指定されているか否かを容易に識別することができる。図9は、この発明の第1実施形態に係る条件設定画面39について説明するための図である。ログ閲覧画面20で条件設定ボタン38が操作者によって操作されると、条件設定画面39が表示装置8に表示される。条件設定画面39は、日付指定部40と、メンテナンス指定部41と、タイプ指定部42とを含む。日付指定部40は、期間を指定するために操作者によって操作される。日付指定部40は、期間の初めが操作者によって入力される始期指定部43と、期間の終わりが操作者によって入力される終期指定部44とを含む。操作者は、始期指定部43と終期指定部44とに年月日を入力することにより、任意の期間を指定することができる。日付指定部40で期間が指定されている場合には、指定された期間に出力された装置情報を含む履歴情報がログ表示部34に表示されるように表示条件が設定される。メンテナンス指定部41は、基板処理装置1の状態を選択するために操作者によって操作される。メンテナンス指定部41は、メンテナンスボタン45および非メンテナンスボタン46を含む。メンテナンスボタン45の一部図9では○の内側の部分の色は、メンテナンスボタン45が操作者によって操作されるたびに操作者によって触れられるたびに、メンテナンスボタン45の周囲とは異なる色と、メンテナンスボタン45の周囲と同じ色との間で切り替わる。非メンテナンスボタン46についても同様である。メンテナンスボタン45および非メンテナンスボタン46のそれぞれは、操作者によって操作されるたびに選択状態と非選択状態との間で切り替わる。図9では、メンテナンスボタン45が選択されておらず、非メンテナンスボタン46が選択されている状態が示されている。メンテナンスボタン45が選択されると、メンテナンス状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報がログ表示部34に表示されるように表示条件が設定される。また、非メンテナンスボタン46が選択されると、稼働状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報がログ表示部34に表示されるように表示条件が設定される。タイプ指定部42は、装置情報のタイプを指定するために操作者によって操作される。タイプ指定部42は、イベントボタン47、操作ボタン48、およびアラームボタン49を含む。イベントボタン47の一部図9では○の内側の部分の色は、イベントボタン47が操作者によって操作されるたびに操作者によって触れられるたびに、イベントボタン47の周囲とは異なる色と、イベントボタン47の周囲と同じ色との間で切り替わる。操作ボタン48およびアラームボタン49についても同様である。イベントボタン47、操作ボタン48、およびアラームボタン49のそれぞれは、操作者によって操作されるたびに選択状態と非選択状態との間で切り替わる。図9では、イベントボタン47、操作ボタン48、およびアラームボタン49が選択されている状態が示されている。すなわち、操作者は、複数のボタンを選択することもできる。イベントボタン47が選択されると、イベント情報を含む履歴情報がログ表示部34に表示されるように表示条件が設定される。操作ボタン48が選択されると、操作情報を含む履歴情報がログ表示部34に表示されるように表示条件が設定される。アラームボタン49が選択されると、アラーム情報を含む履歴情報がログ表示部34に表示されるように表示条件が設定される。条件設定画面39は、OKボタン50およびキャンセルボタン51をさらに含む。操作者によって表示条件が設定された後にOKボタン50が操作者によって操作されると、操作者によって設定された表示条件が記録されると共に、条件設定画面39が消え、ログ閲覧画面20に戻る。また、操作者によって表示条件が設定された後にキャンセルボタン51が操作者によって操作されると、操作者によって設定された表示条件が記録されずに、条件設定画面39が消え、ログ閲覧画面20に戻る。したがって、操作者は、表示条件を設定した後に、条件設定画面39でOKボタン50を操作し、ログ閲覧画面20で更新ボタン36を操作することにより、条件設定画面39で設定した条件に合う履歴情報だけをログ表示部34に表示させることができる。すなわち、たとえば、条件設定画面39で非メンテナンスボタン46が選択された状態で、OKボタン50および更新ボタン36が操作されると、非メンテナンス状態稼働状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報だけがログ表示部34に表示される。以上のように第1実施形態では、状態選択操作部9が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態から基板処理装置1の状態が選択される。状態情報出力部10は、状態選択操作部9が操作されることにより、操作者によって選択された基板処理装置1の状態を状態情報として出力する。また、装置情報出力部13は、基板処理装置1で起こった事象を装置情報として出力する。履歴情報出力部11は、状態情報と装置情報とを取得し、装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置1の状態とを含む履歴情報を出力する。記憶部14は、履歴情報出力部11から履歴情報を取得し、複数の履歴情報を記憶する。すなわち、装置情報は、基板処理装置1がどの状態のときに生成されたのか区別された状態で記憶部14に記録される。したがって、操作者は、表示部17に表示された履歴情報を見ることにより、基板処理装置1がどの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別することができる。また第1実施形態では、表示条件設定部16が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態のいずれかが選択される。表示制御部18は、記憶部14に記憶された履歴情報から、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を検索して、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を表示部17に表示させる。すなわち、表示条件設定部16が操作者によって操作されることにより、表示部17に表示される履歴情報の条件表示条件が設定され、表示条件に合う履歴情報だけが表示部17に表示される。これにより、不要な装置情報を表示させずに、必要な情報だけを表示部17に表示させることができる。次に、この発明の第2実施形態について説明する。この第2実施形態と前述の第1実施形態との主要な相違点は、処理ユニット7ごとに状態を切り替えられることである。すなわち、第1実施形態では、基板処理装置全体の状態が操作者の操作によって切り替えられる場合について説明したが、第2実施形態では、基板処理装置全体の状態だけでなく、複数の処理ユニットの状態が個別に切り替えられる。第2実施形態に係る基板処理装置201は、第1実施形態に係る基板処理装置1と同様の構成を備えている。したがって、以下では、第1実施形態に係る基板処理装置1と異なる構成について主として説明する。また、以下の図10~図16において、前述の図1~図9に示された各部と同等の構成部分については、図1等と同一の参照符号を付してその説明を省略する。図10は、この発明の第2実施形態に係る基板処理装置201の装置情報を記憶および表示するための構成を示す機能ブロック図である。基板処理装置201は、ユニット選択操作部252ユニット選択手段を含む。ユニット選択操作部252は、表示装置8に設けられている。ユニット選択操作部252は、複数の処理ユニット7から一部の処理ユニット7を選択するために操作者によって操作される。ユニット選択操作部252で処理ユニット7が選択されると共に、状態選択操作部9が操作されることにより稼働状態およびメンテナンス状態のいずれかがが選択されると、状態情報出力部10は、操作者によって選択された状態を、操作者によって選択された処理ユニット7の状態の情報状態情報として履歴情報出力部11に出力する。履歴情報出力部11は、状態情報出力部10から状態情報を取得し、履歴情報出力部11に記憶されている基板処理装置201の状態情報を新たに取得した状態情報に書き換える。すなわち、履歴情報出力部11は、複数の処理ユニット7にそれぞれ対応する複数の状態情報を記憶しており、選択された処理ユニット7の状態情報だけを書き換える。これにより、操作者によって選択された状態が、操作者によって選択された処理ユニット7の状態として履歴情報出力部11に記録される。図11は、この発明の第2実施形態に係る基板処理装置201の装置情報を記憶するときの流れについて説明するためのフローチャートである。以下では、装置情報を記憶するときの流れについて説明する。装置情報を表示するときの流れについては、第1実施形態と同様であるのでその説明を省略する。以下では、図10および図11を参照する。基板処理装置201の装置情報が記憶されるときには、操作者による状態選択操作部9の操作によって、新たに状態が選択されたか否かが判断されるステップS201。新たに状態が選択されていない場合ステップS201でNOの場合には、履歴情報出力部11に記憶されている状態情報が書き換えられることなく、装置情報が、装置情報出力部13から履歴情報出力部11に出力されたか否かが判断されるステップS205。一方、新たに状態が選択された場合ステップS201でYESの場合には、操作者によるユニット選択操作部252の操作によって、一部の処理ユニット7が選択されているか否かが判断されるステップS202。一部の処理ユニット7が選択されている場合ステップS202でYESの場合には、選択されている処理ユニット7と選択されている状態とを含む状態情報が、状態情報出力部10から履歴情報出力部11に出力され、履歴情報出力部11に記憶されている状態情報のうち、選択されている処理ユニット7の状態情報だけが、新たに選択された状態に書き換えられるステップS203。一方、処理ユニット7が選択されていない場合ステップS202でNOの場合には、状態情報が、状態情報出力部10から履歴情報出力部11に出力され、履歴情報出力部11に記憶されている全ての状態情報、すなわち、基板処理装置201全体の状態が、新たに選択された状態に書き換えられるステップS204。その後、装置情報が、装置情報出力部13から履歴情報出力部11に出力されたか否かが判断されるステップS205。装置情報が装置情報出力部13から出力されていない場合ステップS205でNOの場合には、再び、基板処理装置201の状態が、操作者による状態選択操作部9の操作によって変更されたか否かが判断されるステップS201に戻る。一方、装置情報が装置情報出力部13から出力されている場合ステップS205でYESの場合には、履歴情報出力部11が、この装置情報を取得し、取得した装置情報と、履歴情報出力部11に記憶されている状態情報とを含む履歴情報を出力するステップS206。そして、この履歴情報が記憶部14に記録されるステップS207。履歴情報が記憶部14に記録された後は、再び、基板処理装置201の状態が、操作者による状態選択操作部9の操作によって変更されたか否かが判断されるステップS201に戻る。この一連の流れが繰り返し行われることにより、複数の履歴情報が記憶部14に記録される。図12は、この発明の第2実施形態に係る装置セットアップ画面219について説明するための図である。図13は、この発明の第2実施形態に係るオーバービュー画面253について説明するための図である。表示装置8は、複数の画面を選択的に表示する。複数の画面は、装置セットアップ画面219と、ログ閲覧画面220と、アラーム画面とを含む。さらに、複数の画面は、複数の処理ユニット7から一部の処理ユニット7を選択するためのオーバービュー画面253を含む。オーバービュー画面253は、ユニット選択操作部252の一例である。各画面219,220、253は、表示装置8に表示される画面を選択するために操作者によって操作される画面選択部225を含む。画面選択部225は、装置セットアップ画面選択ボタン26、ログ閲覧画面選択ボタン27、アラーム画面選択ボタン28、およびオーバービュー画面選択ボタン254を含む複数の選択ボタンからなる。表示装置8に表示される画面は、操作者の操作によって選択される。図13に示すように、オーバービュー画面253は、画面選択部225と、基板処理装置201の概観を表示する概観表示部255を含む。インデクサロボットIR、センターロボットCR、および複数の処理ユニット7は、概観表示部255に概略的に表示される。図13では、Uの文字と、このUを取り囲む正方形とが、一つの処理ユニット7を示している。また、図13では、概観表示部255において複数の処理ユニット7に取り囲まれた○が、センターロボットCRを示しており、概観表示部255において複数の処理ユニット7とは離れた位置に配置されている○が、インデクサロボットIRを示している。操作者は、概観表示部255を操作することにより、一部の処理ユニット7を選択することができる。具体的には、オーバービュー画面253に表示された処理ユニット7は、操作者がオーバービュー画面253内の処理ユニット7に触れるたびに、選択状態と非選択状態との間で切り替わる。選択状態と非選択状態とは、たとえば、色によって区別される。図13に示された4つの処理ユニット7のうち、左上に位置する処理ユニット7は、選択状態を示しており、他の3つの処理ユニット7は、非選択状態を示している。オーバービュー画面253で選択された処理ユニット7の状態は、装置セットアップ画面219でメンテナンス開始ボタン29およびメンテナンス終了ボタン30が操作者によって操作されることにより変更される。すなわち、図12に示すように、装置セットアップ画面219は、ユニット選択表示部256を含む。ユニット選択表示部256は、一部の処理ユニット7が選択されているか否かをたとえば色によって表示する。具体的には、一部の処理ユニット7が選択されている場合には、ユニット選択表示部256が選択状態になっており、たとえば、ユニット選択表示部256の一部図12において●で示されている部分が、ユニット選択表示部256の周囲とは異なる色の光を発している。一方、一部の処理ユニット7が選択されていない場合には、ユニット選択表示部256が非選択状態になっており、たとえば、ユニット選択表示部256の一部がユニット選択表示部256の周囲と同じ色を発している。したがって、操作者は、ユニット選択表示部256を見ることにより、一部の処理ユニット7が選択されているか否かを容易に識別することができる。ユニット選択表示部256が非選択状態の場合に、メンテナンス開始ボタン29およびメンテナンス終了ボタン30が操作者によって操作されると、基板処理装置201全体の状態が、操作者によって新たに選択された状態に変更される。一方、ユニット選択表示部256が選択状態の場合に、メンテナンス開始ボタン29およびメンテナンス終了ボタン30が操作者によって操作されると、選択された処理ユニット7の状態だけが、操作者によって新たに選択された状態に変更される。これにより、選択された処理ユニット7の状態だけが変更され、選択されていない処理ユニット7の状態は、そのまま維持される。図14は、この発明の第2実施形態に係るログ格納データベース23に格納された複数の履歴情報について説明するための図である。ログ格納データベース23は、LogIdを表示するLogId列と、年月日および時間を表示するDateAndTime列と、装置情報のTypeを表示するType列と、基板処理装置201の状態を表示するMaintenanceState列と、選択されている処理ユニット7を表示するMaitenanceUnit列と、装置情報の内容を表示する報告内容列とを含む。Maintenance列に表示される基板処理装置201の状態は、稼働中、装置メンテナンス、およびユニットメンテナンスのいずれかである。稼働中は、基板処理装置201全体が稼働状態であることを示し、装置メンテナンスは、基板処理装置201全体がメンテナンス状態であることを示す。また、ユニットメンテナンスは、一部の処理ユニット7だけがメンテナンス状態であることを示す。たとえば、1つの処理ユニット7だけがメンテナンス状態である場合に、装置セットアップ画面219に設けられた原点復帰ボタン33図12参照が操作者によって操作されると、図14においてLogIdが0105の行に示すように、原点復帰ボタン33が操作されたときの年月日および時間、すなわち、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のTypeが操作情報であることと、装置情報が出力されたときに基板処理装置201がユニットメンテナンス状態であることと、どの処理ユニット7が選択されているかと、原点復帰ボタン33が操作されたこととが、1つのLogId0105と共にログ格納データベース23に記録される。これにより、稼働状態、メンテナンス状態、およびユニットメンテナンス状態のいずれかに振り分けられた履歴情報が、ログ格納データベース23図5参照に記録される。図15は、この発明の第2実施形態に係るログ閲覧画面220について説明するための図である。ログ閲覧画面220は、複数の履歴情報の一覧表を表示するログ表示部34を含む。ログ表示部34は、基板処理装置201の状態を表示するメンテナンス中列と、装置情報が出力された年月日および時間を表示する日時列と、装置情報のTypeを表示するタイプ列と、装置情報の内容を表示する報告内容列とを含む。メンテナンス中列、日時列、タイプ列、および報告内容列は、左からこの順番で左右に配列されている。履歴情報に含まれる装置情報が、メンテナンス状態またはユニットメンテナンス状態のときに出力された情報であるか否かは、たとえば図形で表示される。具体的には、基板処理装置201が稼働状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、メンテナンス中列の欄は空白である。また、基板処理装置201全体がメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、たとえば●印がメンテナンス中列の欄に表示される。また、基板処理装置201がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、たとえば矩形のアイコンがメンテナンス中列の欄に表示される。このように、履歴情報に含まれる装置情報が、メンテナンス状態またはユニットメンテナンス状態のときに生成された情報であるか否かが図形で表示されるので、操作者は、基板処理装置201がどのような状態のときに生成された装置情報であるかを容易に識別することができる。また、基板処理装置201がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行の報告内容では、装置情報の概略が表示される。そして、この装置情報の詳細は、ログ表示部34とは異なる位置に表示される。すなわち、ログ閲覧画面220は、基板処理装置201がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報の詳細を表示する詳細表示部257を含む。詳細表示部257は、たとえば、ログ表示部34の下に設けられている。ログ表示部34において、基板処理装置201がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行に操作者が触れると、この行が選択される。そして、選択された行に対応する履歴情報の詳細が、詳細表示部257に表示される。詳細表示部257に表示される内容としては、たとえば、選択されている処理ユニット7や、操作者の詳細が含まれる。このように、履歴情報の詳細が詳細表示部257に表示されるから、ログ表示部34の表示が複雑化することを抑制または防止できる。図16は、この発明の第2実施形態に係る条件設定画面239について説明するための図である。条件設定画面239は、日付指定部40と、メンテナンス指定部241と、タイプ指定部42とを含む。メンテナンス指定部241は、メンテナンスボタン45および非メンテナンスボタン46を含む。さらに、メンテナンス指定部241は、ユニットメンテナンスボタン258を含む。ユニットメンテナンスボタン258の一部の色は、ユニットメンテナンスボタン258が操作者によって操作されるたびに操作者によって触れられるたびに、ユニットメンテナンスボタン258の周囲とは異なる色と、ユニットメンテナンスボタン258の周囲と同じ色との間で切り替わる。ユニットメンテナンスボタン258は、操作者によって操作されるたびに選択状態と非選択状態との間で切り替わる。ユニットメンテナンスボタン258が選択されると、基板処理装置201がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報がログ表示部34に表示されるように表示条件が設定される。操作者は、メンテナンスボタン45、非メンテナンスボタン46、およびユニットメンテナンスボタン258から一つまたは二つを選択することができる。たとえば、ユニットメンテナンスボタン258だけが選択された状態で、条件設定画面239に設けられたOKボタン50と、ログ閲覧画面220に設けられた更新ボタン36とが順次操作されると、ユニットメンテナンス状態のときに生成された装置情報を含む履歴情報だけがログ閲覧画面220のログ表示部34に表示される。以上のように第2実施形態では、ユニット選択操作部252が操作者によって操作されることにより、複数の処理ユニット7から一部の処理ユニット7が選択される。さらに、状態選択操作部9が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態のいずれかが選択される。状態情報出力部10は、操作者によって選択された処理ユニット7と、操作者によって選択された状態とを含む状態情報を出力する。装置情報出力部13は、基板処理装置201で起こった事象を装置情報として出力する。履歴情報出力部11は、状態情報と装置情報とを取得し、装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている各処理ユニット7の状態とを含む履歴情報を出力する。記憶部14は、履歴情報出力部11から履歴情報を取得し、複数の履歴情報を記憶する。すなわち、装置情報は、各処理ユニット7がどの状態のときに生成されたのか区別された状態で記憶部14に記録される。したがって、操作者は、表示部17に表示された履歴情報を見ることにより、各処理ユニット7がどの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別することができる。この発明の実施の形態の説明は以上であるが、この発明は、前述の実施形態の内容に限定されるものではなく、請求項記載の範囲内において種々の変更が可能である。たとえば、前述の第1および第2実施形態では、基板処理装置1、201が、基板を1枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置である場合について説明したが、基板処理装置1、201は、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式の基板処理装置であってもよい。また、前述の第1および第2実施形態では、基板処理装置1、201が、半導体ウエハなどの円形の基板を処理する装置である場合について説明したが、基板処理装置1、201は、液晶表示装置用ガラス基板などの多角形の基板を処理する装置であってもよい。また、前述の第1実施形態では、ログ保存部22が、表示装置8および装置制御部21から履歴情報を取得し、取得した履歴情報をログ格納データベース23に保存する場合について説明した。しかし、ログ保存部22が設けられておらず、表示装置8および装置制御部21からログ格納データベース23に、直接、履歴情報が送られてもよい。その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。"