内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤として尿素を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出しないときよりも、前記選択還元型NOx触媒を通過する排気の流量を減少させる制御部と、を備える内燃機関の排気浄化装置。前記PMセンサよりも上流の排気通路に設けられ排気中の粒子状物質を捕集するフィルタと、前記PMセンサの検出値に基づいて前記フィルタの故障判定を行う判定部と、をさらに備え、前記制御部が、前記判定部によってフィルタの故障判定を行うときに、前記選択還元型NOx触媒を通過する排気の流量を減少させる請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。本発明は、上記したような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、PMセンサの検出精度の低下を抑制することにある。本発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤として尿素を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、前記PMセンサにより粒子状物質の量を検出しないときよりも、前記選択還元型NOx触媒を通過する排気の流量を減少させる制御部と、を備える。ここで、供給装置から排気中に供給される尿素は、アンモニアNH3に変化する。しかし、排気や選択還元型NOx触媒の状態によっては、尿素からアンモニアに至るまでの間に中間生成物が生成される場合がある。そして、該中間生成物が選択還元型NOx触媒を通り抜けてPMセンサに付着すると、該PMセンサの出力値が変化してしまい、PMを正確に検出することが困難となる。また、NOx触媒を通過する排気の流量が多いほど、供給装置から供給された還元剤がNOx触媒と接する時間が短くなる。そのため、NOxの還元に消費されずにNOx触媒から流出する中間生成物が増加する。その結果、PMセンサに付着する中間生成物が増加する。そこで、本発明では、PMセンサによりPMの量を検出するときには、PMセンサによりPMの量を検出しないときよりも、NOx触媒を通過する排気の流量を減少させる。これによれば、PMセンサによりPMの量を検出する際に、NOx触媒から流出する中間生成物の量を減少させることができる。その結果、PMセンサに付着する中間生成物の量を減少させることができる。そのため、PMセンサの検出値が中間生成物により変化することを抑制できる。従って、中間生成物の付着に起因するPMセンサの検出精度の低下を抑制することができる。本発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、PMセンサよりも上流の排気通路に設けられ排気中のPMを捕集するフィルタと、PMセンサの検出値に基づいてフィルタの故障判定を行う判定部と、をさらに備えてもよい。この場合、制御部は、判定部によってフィルタの故障判定を行うときに、NOx触媒を通過する排気の流量を減少させてもよい。これによれば、PMセンサの検出精度が高い状態でフィルタの故障判定を行うことができる。そのため、フィルタの故障判定の精度を高くすることができる。本発明によれば、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物がPMセンサに付着することに起因するPMセンサの検出精度の低下を抑制することができる。以下、本発明の具体的な実施形態について図面に基づいて説明する。本実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置等は、特に記載がない限りは発明の技術的範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。<実施例>[吸排気系の概略構成]図1は、本実施例に係る内燃機関の吸排気系の概略構成を示す図である。図1に示す内燃機関1は、ディーゼル機関であるが、ガソリン機関であってもよい。内燃機関1には、吸気通路2及び排気通路3が接続されている。吸気通路2には、該吸気通路2を流通する吸気の量を検出するエアフローメータ11、および、その量を制御するスロットル弁8が設けられている。一方、排気通路3には、排気の流れ方向の上流側から順に、酸化触媒4、フィルタ5、添加弁6、選択還元型NOx触媒7以下、NOx触媒7という。が設けられている。酸化触媒4は、酸化能を有する触媒であればよく、例えば三元触媒であってもよい。酸化触媒4は、フィルタ5に担持されていてもよい。フィルタ5は、排気中のPMを捕集する。なお、フィルタ5には、触媒が担持されていてもよい。フィルタ5によってPMが捕集されることで、該フィルタ5にPMが徐々に堆積する。そして、フィルタ5の温度を強制的に上昇させる、所謂フィルタの再生処理を実行することで、該フィルタ5に堆積したPMを酸化させて除去することができる。例えば、酸化触媒4にHCを供給することでフィルタ5の温度を上昇させることができる。また、酸化触媒4を備えずに、フィルタ5の温度を上昇させる他の装置を備えていてもよい。さらに、内燃機関1から高温のガスを排出させることでフィルタ5の温度を上昇させてもよい。添加弁6は、NOx触媒7に還元剤を供給すべきときに排気中に還元剤を添加する。添加弁6は、還元剤を添加する際には短い周期で還元剤の噴射と停止とを繰り返す。つまり、添加弁6は還元剤を周期的に添加する。還元剤には、例えば、尿素水等のアンモニア由来のものが用いられる。例えば、添加弁6から添加された尿素水は、排気の熱で加水分解されアンモニアNH3となり、その一部又は全部がNOx触媒7に吸着する。以下では、添加弁6から還元剤として尿素水を添加するものとする。なお、本実施例においては添加弁6が、本発明における供給装置に相当する。NOx触媒7は、還元剤が存在するときに、排気中のNOxを還元する。例えば、NOx触媒7にアンモニアNH3を予め吸着させておけば、NOx触媒7をNOxが通過するときにNOxをアンモニアにより還元させることができる。酸化触媒4よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第一排気温度センサ12が設けられている。酸化触媒4よりも下流で且つフィルタ5よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第二排気温度センサ13が設けられている。フィルタ5よりも下流で且つ添加弁6よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第三排気温度センサ14及び排気中のNOx濃度を検出する第一NOxセンサ15が設けられている。NOx触媒7よりも下流の排気通路3には、排気中のNOx濃度を検出する第二NOxセンサ16及び排気中のPM量を検出するPMセンサ17が設けられている。これらセンサの全てが必須というわけではなく、必要に応じて設けることができる。また、内燃機関1の吸排気系にはターボチャージャ9が設けられている。ターボチャージャ9のコンプレッサ9aは吸気通路2におけるエアフローメータ11およびスロットル弁8より下流側に設けられている。ターボチャージャ9のタービン9bは排気通路3における第一排気温度センサ12よりも上流側に設けられている。タービン9b内には、ノズルベーン9cがタービンホイールの円周方向に複数取り付けられている。このノズルベーン9cが開閉駆動されることにより、タービンホイールに吹き付けられる排気の流速が変化し、コンプレッサホイールの回転数が変化する。その結果、コンプレッサ9aより下流側の吸気通路2への過給圧が変化する。以上述べたように構成された内燃機関1には、該内燃機関1を制御するための電子制御ユニットであるECU10が併設されている。このECU10は、内燃機関1の運転条件や運転者の要求に応じて内燃機関1を制御する。ECU10には、上記センサの他、アクセルペダルの踏込量に応じた電気信号を出力し機関負荷を検出可能なアクセル開度センサ18、及び機関回転数を検出するクランクポジションセンサ19が電気配線を介して接続され、これらセンサの出力信号がECU10に入力される。一方、ECU10には、スロットル弁8、添加弁6、およびノズルベーン9cが電気配線を介して接続されており、該ECU10によりこれらの装置が制御される。ECU10は、フィルタ5に堆積しているPM量を推定し、推定されたPM量が所定量以上になると、前記フィルタの再生処理を実施する。なお、フィルタの再生処理は、内燃機関1が搭載されている車両の前回の該再生処理の実施完了からの走行距離が所定距離以上となったときに行ってもよい。また、規定期間ごとにフィルタの再生処理を実施してもよい。また、ECU10は、PMセンサ17により検出されるPM量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行う。ここで、フィルタ5の溶損又は破損等の故障が発生すると、該フィルタ5に捕集されずに、該フィルタ5を通り抜けるPM量が増加する。このPM量の増加をPMセンサ17により検出すれば、フィルタ5の故障を判定することができる。例えば、フィルタ5の故障判定は、PMセンサ17の検出値に基づいて算出される所定期間中のPM量の積算値と、フィルタ5が所定の状態であると仮定した場合における所定期間中のPM量の積算値とを比較することで行われる。なお、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行ってもよい。例えば、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量が閾値以上のときに、フィルタ5が故障していると判定してもよい。[PMセンサ]図2は、PMセンサ17の概略構成図である。PMセンサ17は、自身に堆積したPM量に対応する電気信号を出力するセンサである。PMセンサ17は、一対の電極171と、該一対の電極171の間に設けられる絶縁体172と、を備えて構成されている。一対の電極171の間にPMが付着すると、該一対の電極171の間の電気抵抗が変化する。この電気抵抗の変化は、排気中のPM量と相関関係にあるため、該電気抵抗の変化に基づいて、排気中のPM量を検出することができる。このPM量は、単位時間当たりのPMの質量としてもよく、所定時間におけるPMの質量としてもよい。なお、PMセンサ17の構成は、図2に示したものに限らない。すなわち、PMを検出し、且つ、還元剤の影響により検出値に変化が生じるPMセンサであればよい。次に、図3は、PMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。尚、内燃機関1から排出される単位時間当たりのPM量が一定であるとすると、PMセンサ17におけるPM堆積量は時間の経過と共に一定の割合で増加する。内燃機関1の始動直後のAで示される期間は、排気通路3内で凝縮する水がPMセンサ17に付着する虞がある期間である。PMセンサ17に水が付着すると、該PMセンサ17の検出値が変化したり、PMセンサ17が故障したりするため、この期間ではPMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Aで示される期間の後のBで示される期間では、前回の内燃機関1の運転時にPMセンサ17に付着したPMを除去する処理以下、PM除去処理という。を行う。このPM除去処理は、PMセンサ17の温度を、PMが酸化する温度まで上昇させることにより行われる。このBで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Bで示される期間の後のCで示される期間は、PMの検出に適した温度となるまでに要する期間である。すなわち、Bで示される期間においてPMセンサ17の温度がPMの検出に適した温度よりも高くなるため、温度が低下してPMの検出に適した温度となるまで待っている。このCで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。そして、Cで示される期間の後のDで示される期間でPMの検出が行われる。なお、Dで示される期間であっても、PMセンサ17にある程度のPMが堆積するまでは、検出値が増加しない。すなわち、ある程度のPMが堆積して、一対の電極171の間に電流が流れるようになってから検出値が増加を始める。その後は、排気中のPM量に応じて検出値が増加していく。ここで、PMセンサ17は、フィルタ5よりも下流側に設けられている。そのため、PMセンサ17には、フィルタ5に捕集されずに、該フィルタ5を通過したPMが付着する。従って、PMセンサ17におけるPM堆積量は、フィルタ5を通過したPM量の積算値に対応した量となる。図4は、フィルタ5が正常な場合と故障している場合とのPMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。フィルタ5が故障している場合には、PMセンサ17にPMが早く堆積するため、検出値の増加が始まる時点Eが、正常なフィルタ5と比較して早くなる。このため、例えば、内燃機関1の始動後から所定時間Fが経過したときの検出値が閾値以上であれば、フィルタ5が故障していると判定できる。この所定時間Fは、正常なフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加しておらず、且つ、故障しているフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加している時間である。この所定時間Fは、実験等により求められる。また、閾値は、フィルタ5が故障しているときのPMセンサ17の検出値の下限値として予め実験等により求められる。ところで、PMセンサ17をフィルタ5よりも下流で且つNOx触媒7よりも上流に設けることも考えられる。しかし、このような位置にPMセンサ17を設けると、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が短くなる。このため、フィルタ5の溶損又は破損箇所を通過したPMが排気中に分散しないままPMセンサ17の周辺に到達する虞がある。そうすると、フィルタ5における溶損又は破損の位置によっては、溶損又は破損箇所を通過したPMがPMセンサ17にほとんど付着しないために、PMが検出されないこともあり、故障判定の精度が低下する虞がある。これに対して本実施例では、NOx触媒7よりも下流にPMセンサ17を設けているため、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が長い。このため、PMセンサ17の周辺では、フィルタ5を通過したPMが排気中に分散している。したがって、フィルタ5における溶損又は破損の位置によらずに、溶損又は破損箇所を通過したPMを検出することができる。[PMセンサの検出値の異常]しかしながら、添加弁6よりも下流側にPMセンサ17を設けているため、該添加弁6から添加される還元剤がPMセンサ17に付着する虞がある。このPMセンサ17に付着する還元剤は、例えば、尿素、及び、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物ビウレット、シアヌル酸である。このようにPMセンサ17に還元剤が付着すると、PMセンサ17におけるPM堆積量が変化していなくとも、PMセンサ17の検出値が変化する虞がある。図5は、PMセンサ17の検出値が正常な場合と、異常な場合との推移を示したタイムチャートである。異常な検出値は、PMセンサ17に還元剤が付着したときの検出値とすることができる。正常な検出値は、時間の経過とともに検出値が増加するか、または検出値が変化しない。すなわち、PMセンサ17に付着したPM量に応じて検出値が増加していく。一方、異常な検出値は、検出値が増加するだけでなく減少する場合がある。PMセンサ17に前記中間生成物が付着して所定量以上堆積すると、PMが堆積したときと同じように、PMセンサ17の検出値が増加する。ここで、中間生成物であるビウレットは、132-190°Cのときに生成される。そして、生成されたビウレットは、190°Cより高くなると気化する。また、中間生成物であるシアヌル酸は、190-360°Cで生成される。そして、生成されたシアヌル酸は、360°Cより高くなると気化する。このように、PMと比較すると中間生成物は低温で気化する。このため、PMセンサ17に付着していた中間生成物は、内燃機関1の排気の温度が高いときに気化する。そうすると、中間生成物の堆積量が減少するため、PMセンサ17の検出値が減少する。これは、PMセンサ17にPMのみが堆積しているときには起こらない現象である。また、PMセンサ17にはセンサ素子一対の電極171を覆うカバーが設けられているが、該カバーに中間生成物が付着して堆積すると、該カバーを閉塞させる虞がある。このカバーが中間生成物により閉塞されると、PMが一対の電極171に到達できなくなるので、PMが検出されにくくなる。したがって、PMセンサ17の検出値の増加が始まる時期が、正常な場合よりも遅くなる。このため、フィルタ5の故障判定の精度が低下する虞がある。[吸入空気量の制御]上記のように、中間生成物がPMセンサ17に付着すると、フィルタ5の故障判定が困難となる虞がある。ここで、内燃機関1の吸入空気量とPMセンサ17への中間生成物の付着量との関係について図6に基づいて説明する。図6において、横軸は内燃機関1の吸入空気量を表しており、縦軸はPMセンサ17への中間生成物の付着量を表している。吸入空気量が増加すると内燃機関1から排出される排気の流量も増加し、その結果、NOx触媒7を通過する排気の流量が増加する。NOx触媒7を通過する排気の流量が多いほど、添加弁6から添加された還元剤がNOx触媒7と接する時間が短くなる。その結果、NOxの還元に消費されずにNOx触媒7から流出する中間生成物が増加する。そのため、図6に示すように、内燃機関1の吸入空気量が多いほど、PMセンサ17に付着する中間生成物が多くなる。そこで、本実施例では、フィルタ5の故障判定を行う際に、即ちPMセンサ17によってPMの量を検出する際に、NOx触媒7を通過する排気の流量を減少させるべく、内燃機関1の吸入空気量を減少させる制御を行う。これによれば、PMセンサ17によりPMの量を検出する時に、NOx触媒7から流出する中間生成物の量を減少させることができる。その結果、PMセンサ17に付着する中間生成物の量を減少させることができる。そのため、PMセンサ17の検出値が中間生成物により変化することを抑制できる。従って、中間生成物の付着に起因するPMセンサ17の検出精度の低下を抑制することができる。これにより、フィルタ5の故障判定の精度を高めることができる。以下、本実施例に係るフィルタの故障判定のフローについて図7に示すフローチャートに基づいて説明する。本フローは、ECU10に予め記憶されており、ECU10によって所定の間隔で繰り返し実行される。本フローでは、先ずステップS101において、フィルタ5の故障判定の実行要求があるか否かが判別される。ここで、フィルタ5の故障判定の実行要求がある場合とは、例えば、所定の故障判定実行時間が経過する毎に故障判定を実行する場合に、前回の故障判定の実行から該所定の故障判定実行時間が経過した場合等である。ステップS101において否定判定された場合、本フローの実行が一旦終了される。一方、ステップS101において肯定判定された場合、ステップS102の処理が実行される。ステップS102では、目標吸入空気量SV1が算出される。ここで、目標吸入空気量SV1とは、NOx触媒7から流出しPMセンサ17に付着する中間生成物の量が許容範囲内となる閾値である。本実施例においては、添加弁6からの還元剤添加量およびNOx触媒7に流入する排気の温度に基づいて目標吸入空気量SV1が算出される。添加弁6からの還元剤添加量およびNOx触媒7に流入する排気の温度と目標吸入空気量SV1との関係はマップとして予めECU10に記憶されている。添加弁6からの還元剤添加量が多いほど、NOx触媒7から流出する中間生成物の量が多くなる。また、NOx触媒7に流入する排気の温度が低いほどNOx触媒7の温度が低くなるため、NOxの還元が促進され難くなる。その結果、NOx触媒7から流出する中間生成物の量が多くなる。そのため、該マップでは、添加弁6からの還元剤添加量が多いほど、また、NOx触媒7に流入する排気の温度が低いほど、目標吸入空気量SV1が小さい値となっている。尚、NOx触媒7に流入する排気の温度に代えて、NOx触媒7の温度を用いてもよい。また、目標吸入空気量SV1を算出するためのパラメータとして、さらにNOx触媒7におけるNH3吸着量又はNH3吸着率を用いてもよい。NH3吸着率は、NOx触媒7に最大限吸着可能なNH3量に対する、NOx触媒7に吸着しているNH3量の比である。NOx触媒7に吸着しているNH3量が多いほど、NOx触媒7から流出する中間生成物の量が多くなる。そのため、NOx触媒7におけるNH3吸着量又はNH3吸着率を用いる場合は、これらの値が大きいほど、目標吸入空気量SV1を小さい値とする。また、目標吸入空気量SV1は、実験等に基づいて予め定められた一定値とすることもできる。次に、ステップS103において、エアフローメータ11によって検出される吸入空気量SVが、ステップS102で算出された目標吸入空気量SV1以下であるか否かが判別される。ステップS103において肯定判定された場合、PMセンサ17に付着する中間生成物は許容範囲内であると判断できる。そこで、この場合は、ステップS104において、PMセンサ17によってPMの量が検出され、その検出値に基づいてフィルタ5の故障判定が実行される。一方、ステップS103において否定判定された場合、次にステップS105の処理が実行される。ステップS105においては、吸入空気量を減少させる制御が行われる。具体的には、スロットル弁8の開度が低減され、さらに、ノズルベーン9cの開度VN開度が増大される。尚、ステップS105におけるスロットル弁8の開度の減少量及びノズルベーン9cの開度の増加量は、現在の吸入空気量SVと目標吸入空気量SV1との差に基づいて算出される値としてもよく、また予め定められた一定値としてもよい。ここで、吸入空気量を減少させると、内燃機関1の出力トルクが低下する虞がある。そこで、ステップ105の次にはステップS106において、吸入空気量の減少に伴う内燃機関1の出力トルクの低下を抑制すべく、内燃機関1での燃料噴射量が増加される。ここでの燃料噴射量の増加量は、吸入空気量の減少量に基づいて算出される値とする。ステップS106の次にはステップS103の処理が再度実行される。上記フローによれば、PMセンサ17によってPMの量が検出されるときは、PMセンサ17によってPMの量が検出されないときに比べて排気の流量が低減される。これにより、PMセンサ17に付着する中間生成物の量が許容範囲内となるようNOx触媒7を通過する排気の流量が低減された状態で、PMセンサ17によってPMの量が検出される。そして、その検出値に基づいてフィルタ5の故障判定が行われる。図8は、本実施例に係る、フィルタの故障判定実行時における、PM量検出要求、スロットル弁開度、ノズルベーン開度VN開度、燃料噴射量、吸入空気量、および排気温度の推移を示すタイムチャートである。図8では、時間t1のタイミングで、フィルタ5の故障判定実行要求があり、PMセンサ17によるPMの量の検出要求がONとなる。この時、吸入空気量が目標吸入空気量SV1より多いと、スロットル弁8の開度が低減されると共にノズルベーン9cの開度VN開度が増大され、さらに、内燃機関1での燃料噴射量が増大される。そして、スロットル弁8の開度の減少およびノズルベーン9cの開度の増加によって吸入空気量が目標吸入空気量SV1以下に減少する。これにより、NOx触媒7を通過する排気の流量が、PMセンサ17に付着する中間生成物の量が許容範囲内となる量にまで減少する。さらに、吸入空気量が減少すること、および、燃料噴射量が増加することに伴って、排気の温度が上昇する。これにより、尿素からアンモニアへの反応が促進されるため、中間生成物の生成量が減少する。また、NOx触媒におけるNOxの還元も促進される。このことによっても、NOx触媒7からの中間生成物の流出が抑制されることになる。その結果、PMセンサ17への中間生成物の付着が抑制される。尚、本実施例において吸入空気量を減少させるための制御は、スロットル弁8の開度の減少およびノズルベーン9cの開度の増加に限られるものではなく、他の周知の技術を採用してもよい。また、PMセンサ17によってPMの量を検出する際に、吸入空気量を減少させる制御以外の制御を実行することで、NOx触媒7を通過する排気の流量を減少させてもよい。例えば、NOx触媒7をバイパスして排気が流れるバイパス通路や排気絞り弁等を用いて、NOx触媒7を通過する排気の流量を減少させることもできる。また、フィルタの故障判定を行う時以外にPMセンサ17によってPMの量を検出する際にも、上記と同様の制御を実行することで、PMセンサ17への中間生成物の付着を抑制してもよい。