コンプレッサにより得た圧縮空気から、高濃度酸素を生成する酸素濃縮器であって、前記コンプレッサの吸気側に設けられた流量センサと、前記流量センサによって得られた測定流量に基づいて、前記コンプレッサを制御する制御部と、を具備する酸素濃縮器。前記コンプレッサを収容するケースと、前記ケースに形成されており、前記コンプレッサに吸入される空気の通路である風路と、をさらに具備し、前記流量センサは、前記風路に配設されている、請求項1に記載の酸素濃縮器。前記流量センサは、主管路に形成されたオリフィスと、前記オリフィスをバイパスするように形成されたバイパス管路と、前記バイパス管路の流量を測定するセンシング部と、を有する、マスフローセンサである、請求項1又は請求項2に記載の酸素濃縮器。ところで、上述したように、コンプレッサの吐出流量は、理想的には、回転数と機構とによって決定し、不変である。しかし、実際には、同回転数でもコンプレッサの個体差によって、吐出流量にばらつきが生じる。この結果、酸素濃縮器によって生成される酸素濃度が各酸素濃縮器毎にばらつくおそれがある。この欠点を補うために、コンプレッサの個体差を許容できるような、理想値よりも高めの回転数で動作させることで、酸素濃度の低下を回避するようになされた酸素濃縮器がある。しかしながら、このようにすると、必要以上の余分な電力を消費してしまうという新たな問題が生じる。コンプレッサの吐出流量を正確に制御するためには、吐出流量をセンシングし、そのセンシング結果に基づいて、コンプレッサのモータの回転数をフィードバック制御すればよいと考えられる。しかしながら、従来、酸素濃縮器に適した、上記吐出流量の制御の仕方、センサの配置の仕方等については、十分な検討がなされていなかった。具体的には、酸素濃縮器は、できるだけ小型であることが望ましい。携帯型の酸素濃縮器では、小型化に加えて、省電力化が強く望まれる。よって、酸素濃縮器では、これらの要望を犠牲にすることなく、コンプレッサからの吐出流量を高精度に制御する必要がある。本発明は、酸素濃縮器の機構および特性を精緻に検討してなされたものであり、携帯型の酸素濃縮器などの小型の酸素濃縮器に適した、コンプレッサの流量制御を行うことを目的とする。本発明の酸素濃縮器の一つの態様は、コンプレッサにより得た圧縮空気から、高濃度酸素を生成する酸素濃縮器であって、前記コンプレッサの吸気側に設けられた流量センサと、前記流量センサによって得られた測定流量に基づいて、前記コンプレッサを制御する制御部と、を具備する。本発明の酸素濃縮器の一つの態様は、前記コンプレッサを収容するケースと、前記ケースに形成されており、前記コンプレッサに吸入される空気の通路である風路と、をさらに具備し、前記流量センサは、前記風路に配設されている。本発明によれば、構成が複雑化するのを抑制しつつ、コンプレッサの吐出流量を高精度で制御できる。この結果、小型の酸素濃縮器に適したコンプレッサの流量制御を行うことができるようになる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。[1]酸素濃縮器の全体構成図1は、本発明の一実施の形態に係る酸素濃縮器の配管系統の概略構成を示す図である。図1に示す酸素濃縮器1は、空気取入部10、空気圧縮部100、PSA部30、酸素貯留部40、酸素供給部50を備えたPSAPressureSwingAdsorption式の酸素濃縮器である。空気取入部10は、原料空気となる外気を筐体内に取り入れる部分で、吸気フィルタ11、ヘパフィルタ12等を備えている。吸気フィルタ11は、筐体に設けられた空気取入口13を介して導入された原料空気からゴミや埃等の空中浮遊粒子を除去する。ヘパフィルタ12は、吸気フィルタ11により除去されなかった微細粒子を除去する。空気圧縮部100は、コンプレッサ101を有する。コンプレッサ101は、空気取入部10を介して導入された原料空気を圧縮して圧縮空気を生成する。なお、コンプレッサ101の上流ヘパフィルタ12の下流には、コンプレッサ101の動作音に対して消音効果を発揮する膨張型消音器サイレンサを配設するのが望ましい。PSA部30は、高濃度酸素生成部として機能する。PSA部30は、コンプレッサ101で生成された圧縮空気から窒素を分離して高濃度酸素を生成し、これを酸素貯留部40に送出する。PSA部30は、流路切換部31、排気サイレンサ32、シーブベッド吸着塔33A、33B、パージオリフィス34、均圧弁35、逆止弁36等を備えている。流路切換部31は、4つの切替弁SV1~SV4を備えたマニホールド多岐管で構成され、コンプレッサ101で生成された圧縮空気をシーブベッド33A、33Bに交互に送出するとともに、シーブベッド33A、33Bを交互に大気圧に開放して窒素富化空気を排出する。具体的には、流路切換部31では、切替弁SV1が開、切替弁SV2が閉とされることにより、コンプレッサ101からシーブベッド33Aに向かう流路が開通される一方で、シーブベッド33Aから排気サイレンサ32に向かう流路が閉鎖される。同時に、流路切換部31では、切替弁SV3が閉、切替弁SV4が開とされることにより、コンプレッサ101からシーブベッド33Bに向かう流路が閉鎖される一方で、シーブベッド33Bから排気サイレンサ32に向かう流路が開通される。この場合、コンプレッサ101で生成された圧縮空気がシーブベッド33Aに送出され、シーブベッド33Bからは窒素富化空気が放出されて排気サイレンサ32を介して排気されることとなる。また、切替弁SV1~SV4が上記と逆の状態となっている場合は、コンプレッサ101で生成された圧縮空気がシーブベッド33Bに送出され、シーブベッド33Aからは窒素富化空気が放出されて排気サイレンサ32を介して排気されることとなる。切替弁SV1~SV4の開閉状態は、例えば10秒間隔で切り替えられる。排気サイレンサ32は、酸素濃縮器1の筐体に設けられた排気口図示略に接続され、シーブベッド33A、33Bから放出された窒素富化空気を筐体の外部に排出する際の排気音を消音する。シーブベッド33A、33Bは、流路切換部31を介して送られてきた圧縮空気から窒素を分離し、高濃度酸素を生成する。シーブベッド33A、33Bには、酸素より窒素を早く吸着する性質を有するゼオライト等の吸着材が充填されている。シーブベッド33A、33Bは、流路切換部31によって空気圧縮部100からの流路が開通されているとき、圧縮空気が送り込まれて加圧状態となる。このとき、シーブベッド33A、33Bでは、窒素および水分が吸着され、酸素だけが通過するため、高濃度酸素が生成される吸着工程。シーブベッド33A、33Bで生成される高濃度酸素の濃度は、例えば90程度に調整される。また、ゼオライトは窒素のみならず水分をも吸着するので、シーブベッド33A、33Bで生成される高濃度酸素は極めて乾燥した状態となる例えば湿度0.1~0.2。一方、シーブベッド33A、33Bは、流路切換部31によって排気サイレンサ32への流路が開通されているとき、大気圧に開放されて減圧状態となる。このとき、ゼオライトに吸着していた窒素および水分が脱離され、シーブベッド33A、33Bから窒素富化空気が放出され、排気サイレンサ32を介して排気される。これにより、シーブベッド33A、33Bの吸着能力が再生される再生工程。シーブベッド33A、33Bは、逆止弁36、36を介して酸素貯留部40の製品タンク41に接続されている。逆止弁36、36は、製品タンク41に貯留された高濃度酸素がシーブベッド33A、33Bに逆流するのを防止する。また、シーブベッド33A、33Bの下流側は、パージオリフィス34を有する配管で接続されている。一方のシーブベッド33A又は33Bで生成された高濃度酸素は、逆止弁36を介して酸素貯留部40に送出されるとともに、パージオリフィス34を介して他方のシーブベッド33B又は33Aに送出される。生成された高濃度酸素の一部が他方のシーブベッド33B又は33Aに送り込まれることにより、当該シーブベッド33B又は33Aの再生工程が効率よく行われる。パージオリフィス34のオリフィス径によって、それぞれの流路における高濃度酸素の流量が制御される。また、シーブベッド33A、33Bの下流側は、均圧弁35を有する配管で接続されている。再生工程にあるシーブベッド33A、33Bを吸着工程に切り替える際、減圧大気圧下にそのまま圧縮空気を流入させると窒素の吸着効率が悪い。そのため、切換時に均圧弁35が開とされ、シーブベッド33A、33Bの圧力が平均化される。酸素貯留部40は、PSA部30で生成された高濃度酸素を一時的に貯留しておく部分である。酸素貯留部40は、製品タンク41、圧力調整部圧力レギュレータ42、酸素センサ43、および圧力センサ44等を備えている。製品タンク41は、シーブベッド33A、33Bで生成された高濃度酸素を貯留するための容器である。シーブベッド33A、33Bから送出された高濃度酸素を一旦製品タンク41に貯留しておくことにより、高濃度酸素の濃度変動および圧力変動が抑制されるので、使用者に安定した濃度および流量で高濃度酸素を供給できる。圧力調整部42は、供給する高濃度酸素の流量を制御するために、高濃度酸素の圧力を使用に適した一定圧に調整する。製品タンク41に貯留されている高濃度酸素の圧力は、製品タンク41への流入又は製品タンク41からの流出がある限り少なからず変動する。この場合、正確な流量制御が困難となる上、酸素センサ43による正確な濃度測定が困難となる。これを考慮して、圧力調整部42により高濃度酸素が一定圧に調整されるようになっている。酸素センサ43は、圧力調整部42から送出された高濃度酸素の濃度を、所定の間隔例えば20分又は連続して検出する。酸素センサ43には、例えばジルコニア式や超音波式のセンサが好適である。測定対象となる高濃度酸素の圧力が変動していると正確な測定が困難となるため、一般には、酸素センサ43は圧力調整部42の下流に流量制限オリフィス45を介して接続される。圧力センサ44は、製品タンク41に貯留された高濃度酸素の圧力を検出する。圧力センサ44による検出結果に基づいて、製品タンク41に貯留された高濃度酸素の圧力が正常な範囲に保持されているかを確認できる。酸素供給部50は、酸素貯留部40から送出された高濃度酸素を、使用者の呼吸に同調して酸素出口55から放出する部分である。酸素供給部50は、バクテリアフィルタ51、同調弁52、および圧力センサ53等を備えている。バクテリアフィルタ51は、使用者に清浄な高濃度酸素を供給するために、高濃度酸素に含まれる細菌類を捕集して除菌する。同調弁52は、ポートP1~P3を有する3方弁で構成され、使用者の呼吸に応じて開通する流路を切り替えるとともに、流路の開度を調整することで使用者に供給する高濃度酸素の流量を制御する。同調弁52のポートP1にバクテリアフィルタ51が接続され、ポートP2に酸素出口55が接続され、ポートP3に圧力センサ53が接続される。例えば、同調弁52が開いたとき、ポートP1とポートP2を結ぶ流路第1流路が開通され、高濃度酸素が酸素出口55から放出される。一方、同調弁52が閉じたとき、ポートP2とポートP3を結ぶ流路第2流路が開通され、使用者の呼吸に伴う圧力変動が圧力センサ53によって検出可能となる。圧力センサ53は、使用者の呼吸を検出するためのセンサであり、同調弁52のポートP3に接続されるとともに、同調弁52の下流側ポートP2と酸素出口55を結ぶ流路に流量制限オリフィス54を介して接続されている。したがって、同調弁52が閉となっている状態第2流路が開通している状態では使用者の呼吸に伴って変化する圧力を検出することができ、同調弁52が開となっている状態第1流路が開通している状態では酸素供給に伴って変化する圧力を検出することができる。酸素濃縮器1では、圧力センサ53による検出結果に基づいて、同調弁52の開閉状態が制御される。具体的には、同調弁52が閉となっている状態で、圧力センサ53により陰圧が検出されると、同調弁52が瞬時に開とされ、高濃度酸素の供給が開始される。そして、所定時間経過後、同調弁52が閉とされることにより、所定量の高濃度酸素が放出される。酸素供給部50から放出された高濃度酸素は、酸素出口55に接続された鼻カニューラや酸素マスクを介して使用者に供給される。なお、高濃度酸素は極めて乾燥した状態となっているので、酸素出口55の上流に、高濃度酸素を加湿するための加湿部を配設してもよい。図2は、本実施の形態に係る酸素濃縮器の制御系統の概略構成を示す図である。図2に示すように、制御部60は、CPUCentralProcessingUnit61、RAMRandomAccessMemory62、ROMReadOnlyMemory63等を備えている。CPU61は、処理内容に応じたプログラムをROM63から読み出してRAM62に展開し、展開したプログラムと協働して酸素濃縮器1の各ブロックの動作を制御する。具体的に説明すると、制御部60には、酸素貯留部40の酸素センサ43、酸素供給部50の圧力センサ53、筐体内部に設置される温度センサ71、その他の各種センサからの検出信号が入力される。また、制御部60には、操作ボタン等を有する操作部81において、例えば使用者による供給流量の設定が行われた場合に、設定流量を指示する操作信号が入力される。これらの入力信号に基づいて、制御部60は、コンプレッサ101の駆動モータの回転数を制御したり、流路切換部31の切替弁SV1~SV4や同調弁52の開閉状態や開度を制御したりする。このような制御により、酸素濃縮器1から設定流量で高濃度酸素が供給される。また、制御部60は、液晶ディスプレイLCD:LiquidCrystalDisplayや発光ダイオードLED:LightEmittingDiodeなどからなる表示部82における表示に係る制御や、スピーカ83からの音声出力に係る制御を行う。表示部82およびスピーカ83は、使用者に各種の情報を報知する際に用いられる。図示を省略するが、酸素濃縮器1に無線LANLocalAreaNetworkやBluetooth等力商標等の通信ネットワークに接続可能なインターフェースを設け、外部機器との間で各種データを送受信できるようにしてもよい。[2]空気圧縮部の構成図3は、空気圧縮部100の構成を示す分解斜視図である。空気圧縮部100においては、コンプレッサ101は、フロントケース102、リアケース103およびボトムケース104によって収容される。コンプレッサ101は、緩衝材としてのブッシュ105、106を介してケース102、103、104に取り付けられる。このようにすることで、コンプレッサ101からケース102、103、104への振動を低減できる。ボトムケース104には、コンプレッサ101に空気を取り込むための風路107が形成されている。風路107は、コンプレッサ101に吸入される空気の通路であり、この空気を緩衝するダンパとしての機能を果たす。具体的には、風路107を設けずにコンプレッサ101に外気を取り込もうとすると、外部の環境や、吸気口の形状に起因して、コンプレッサ101に吸入される空気が乱れることによるコンプレッサ動作の乱れや、吸気音が発生するおそれがある。これに対して、風路107を設け、風路107によって整流された空気をコンプレッサに取り込むことにより、コンプレッサ101の動作を安定化させる効果や、消音効果を望める。風路107には、流量センサ108が設けられている。流量センサ108は、コンプレッサ101の吸気口112図4に接続されており、コンプレッサ101に吸入される空気の流量を測定する。コンプレッサ101の圧縮空気排出口109には、チューブ状の除湿モジュール110が取り付けられる。除湿モジュール110は、一端がコンプレッサ101の圧縮空気排出口109に取り付けられ、他端がPSA部30に取り付けられる。除湿モジュール110は、中空糸膜をエポキシ樹脂を用いて束ねた構成となっている。これにより、除湿モジュール110に流入される圧縮空気に含まれる水蒸気は、中空糸膜の内側から外側に透過し、この結果、除湿モジュール110からPSA部30へは乾燥した圧縮空気が送られる。これにより、シーブベッド33A、33B内に設けられた吸着材例えばゼオライトでの水分の吸着量を少なくできる。この結果、窒素を吸着するという、シーブベッド33A、33Bの本来の性能が維持される。つまり、PSA部30の性能低下を抑制できる。また、ケース102、103、104内部には、ブロア111が設けられる。ブロア111は、送風口が除湿モジュール110に向くように配設される。実際上、除湿モジュール110は、コンプレッサ101を巻回するように配設されるので図5、ブロア111は、除湿モジュール110およびコンプレッサ101に向けて送風することになる。これにより、除湿モジュール110での除湿効果が促進され、かつ、除湿モジュールおよびコンプレッサ101に対する冷却効果を得ることができる。因みに、従来の一般的な酸素濃縮器においては、コンプレッサ101とPSA部30との間に冷却パイプを配管し、この冷却パイプにブロアで送風することで、圧縮空気を冷却するようになっている。これに対して、本実施の形態の酸素濃縮器においては、除湿モジュール110が圧縮空気の冷却も行うので、冷却パイプが不要となる。図4に示すように、コンプレッサ101の底部には、吸気口112が設けられている。吸気口112は、風路107に接続されており、風路107を介して原料空気を吸気する。図5に示すように、除湿モジュール110は、コンプレッサ101に巻回される。このようにすることで、除湿モジュール110の長さを長くすることができるので、除湿効果を高めることができる。加えて、除湿モジュール110がコンプレッサ101に接するので、除湿モジュール110によるコンプレッサ101の冷却効果も得ることができる。また、ブロア111は、送風口が除湿モジュール110およびコンプレッサ101に向くように配設される。図6に、風路107への流量センサ108の取付状態を示す。空気は、風路107内を矢印の方向に流れる。風路107の一端には、ボトムケース104の厚みを貫通する外気導入口113が形成されており、この外気導入口113から風路107内に空気が導入される。風路107の他端位置P1にはコンプレッサの吸気口112図4が配置される。流量センサ108は、図に示すように、風路107の経路に風路107に密着して取り付けられる。因みに、流量センサ108の排気口がコンプレッサの吸気口112に直接接続されてもよい。[3]流量センサの構成図7は、流量センサ108の外観構成を示す斜視図である。図8は、流量センサ108を流路方向に切った断面図である。流量センサ108は、パッキン121を介して、ボトムケース104の風路107に密着した状態で取り付けられる。流量センサ108は、分流部122と、センサシング部123とを有する。図8に示すように、分流部122は、主管路124に形成されたオリフィス125と、オリフィスをバイパスするように形成されたバイパス管路126と、を有する。このバイパス管路126を介してセンシング部123に空気が導入される。センシング部123は、バイパス管路126に繋がる流路と、この流路の上流側および下流側に設けられた抵抗素子と、抵抗素子に電流を供給する電源と、抵抗素子間の電流差を検出するブリッジ回路と、を有する。この構成により、抵抗素子間の電流差が大きいほど、流量が大きいとするセンシング結果が得られる。なお、センシング部の構成は、これに限らない。要は流量が検出できればよい。上述した流量センサ108は、所謂マスフローセンサと呼ばれるものである。本実施の形態では、マスフローセンサを用いることにより、主管路124の流量の低下を抑制しつつ、かつ、省スペースで、高精度の流量測定を行うことができるようになっている。ここで、コンプレッサ101のモータ駆動系を示した図9のように、流量センサ108によって得られた測定流量は、コンプレッサ101の制御部133に送られる。モータ131の回転数はホールセンサ132によって検出される。検出された回転数は制御部133に送られる。制御部133には、酸素濃縮器1のメインの制御部60からの設定流量と、流量センサ108からの測定流量が入力される。制御部133は、測定流量が設定流量になるようにモータの回転数を制御する。これにより、コンプレッサ101の流量を、設定流用に合うように高精度に制御できるようになる。[4]効果本実施の形態によれば、コンプレッサ101の吸気側に流量センサ108を設け、流量センサ108によって得られた測定流量に基づいてコンプレッサ101を制御したことにより、コンプレッサ101の吐出流量を高精度に制御できる。よって、コンプレッサ101の個体差による吐出流量のばらつきを自動で調整できる。この結果、酸素濃度の安定化、および、消費電力の削減を実現することができる。また、流量センサ108をコンプレッサ101の吸気側に設けたので、排気側に設けたのと比較して、流量センサ108のための除湿装置を別途設ける必要がないので、構成を小型化できる。つまり、流量センサ108は電子回路部品を有するので湿度に弱く、このため、湿度の高い圧縮空気が排出されるコンプレッサ101の排気側に流量センサ108を設けようとすると、流量センサ108の上流側に除湿装置を設ける必要がある。本実施の形態では、流量センサ108のための除湿装置を別途設ける必要がないので、特に、携帯型の酸素濃縮器にとっては小型化の点で有利である。因みに、上述した実施の形態では、除湿モジュール110が配設されているので、除湿モジュール110の下流側に流量センサ108を配設することも考えられる。但し、その場合には、流量センサ108を接続するためのジョイント等が新たに必要となるため。これに対して、本実施の形態の構成によれば、流量センサ108をケースの風路107に配設したことにより、スペースを有効活用した、簡易かつ小型の酸素濃縮器1を実現できる。以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。また例えば、実施の形態ではPSA式の酸素濃縮器について説明したが、本発明は酸素貯留部として酸素ボンベを備えた酸素供給器にも適用することができる。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。