塑性変形機能を有する薄膜層と、複数の凹部が配置されたテンプレート基板と、を用いて製造される微細中空体の製造方法において、前記凹部に空間が生じるように前記テンプレート基板の表面を前記薄膜層で覆う第1工程と、前記空間に圧力をかけ前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第2工程と、前記複数の中空体に開口部を設ける第3工程と、前記中空体に補強材を注入し、前記補強材を固化する第4工程と、を有することを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項1に記載の微細中空体の製造方法において、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第5工程をさらに有することを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項2に記載の微細中空体の製造方法において、前記空間に圧力をかけ前記第5工程にて密着させた薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第6工程と、前記複数の中空体に開口部を設ける第7工程と、前記中空体に前記補強材を注入して固化し、前記補強材で前記中空体を把持する第8工程と、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第9工程と、をさらに有することを特徴とする微細中空体の製造方法。塑性変形機能を有する薄膜層と、複数の凹部が形成されたテンプレート基板と、を用いて製造される微細中空体の製造方法において、前記凹部に空間が残るように、前記凹部に補強材を注入する第1工程と、前記テンプレート基板の表面を前記薄膜層で覆う第2工程と、前記空間に圧力をかけ前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第3工程と、前記補強材を固化する第4工程と、を備えたことを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項4に記載の微細中空体の製造方法において、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第5工程をさらに有することを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項5に記載の微細中空体の製造方法において、前記空間に圧力をかけて、前記第5工程にて密着させた薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第6工程と、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第7工程と、を有することを特徴とする微細中空体の製造方法。塑性変形機能を有する薄膜層と、複数の凹部が形成されたテンプレート基板と、を用いて製造される微細中空体の製造方法において、前記凹部に補強材を注入する第1工程と、前記凹部に前記テンプレート基板の表面を前記薄膜層で覆う第2工程と、前記凹部内の前記補強材を気化させた圧力により前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第3工程と、前記薄膜層の天井部を除去する第4工程と、各中空体内に補強材を注入し、前記補強材を固化する第5工程と、を備えたことを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項7に記載の微細中空体の製造方法において、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第6工程をさらに有することを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項8に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材を気化させた圧力により前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第7工程と、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第8工程と、を有することを特徴とする微細中空体の製造方法。塑性変形機能を有する薄膜層と、複数の凹部が形成されたテンプレート基板と、を用いて製造される微細中空体の製造方法において、前記凹部に空間が残るように、前記凹部に補強材を注入する第1工程と、前記テンプレート基板の表面を前記薄膜層で覆う第2工程と、前記空間内にガスを放出することにより前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成するとともに、前記補強材を前記薄膜層の天井部まで移動させる第3工程と、前記補強材を固化する第4工程と、を備えたことを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項10に記載の微細中空体の製造方法において、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第5工程をさらに有することを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項11に記載の微細中空体の製造方法において、前記空間内にガスを放出することにより、前記第5工程にて密着させた薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第6工程と、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第7工程と、を有することを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項1乃至12の何れか一項に記載の微細中空体の製造方法において、浮力の差によって前記凹部に補強材を供給することを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項1乃至13の何れか一項に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材は、注入時は液体であり、少なくとも前記新たな薄膜層の密着時は固体であることを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項1乃至13の何れか一項に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材は、注入時は水であることを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項14又は15に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材は、前記中空体を把持する際に氷結されることを特徴とする微細中空体の製造方法。請求項7乃至9の何れか一項に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材は、沸点が異なる2種類以上の混合物であることを特徴とする微細中空体の製造方法。しかし、剛性が非常に小さい、形成中のハニカム隔壁隔壁厚み0.1μm~10μmにハニカム材をある程度の力をかけながら接触および接合する方法のため、繋ぎ目形状が変形する欠点があった。繋ぎ目形状が変形することにより画像素子の場合は画像のゆがみが、ガスフィルタの場合はガス流動抵抗の増大等の問題が生じる。上記の課題を鑑みて、本発明は、特許文献6に開示の方法を基本とし、ハニカムの繋ぎ目での変形が少ない高アスペクト比のハニカム構造体を製造する方法を提供することを目的とする。上記の課題を解決するために、請求項1の発明は、塑性変形機能を有する薄膜層と、複数の凹部が配置されたテンプレート基板と、を用いて製造される微細中空体の製造方法において、前記凹部に空間が生じるように前記テンプレート基板の表面を前記薄膜層で覆う第1工程と、前記空間に圧力をかけ前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第2工程と、前記複数の中空体に開口部を設ける第3工程と、前記中空体に補強材を注入し、前記補強材を固化する第4工程と、を有する微細中空体の製造方法を特徴とする。本発明によれば、薄膜層により中空体を形成後さらなる中空体の延伸のために薄膜層材を隔壁に圧着させる前に、中空体内の空間に補強材を設けることで、前工程で作成した中空体とのつなぎ目の破壊や変形を防ぐことが出来る。また、請求項2の発明は、請求項1に記載の微細中空体の製造方法において、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第5工程をさらに微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項3の発明は、請求項2に記載の微細中空体の製造方法において、前記空間に圧力をかけ前記第5工程にて密着させた薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第6工程と、前記複数の中空体に開口部を設ける第7工程と、前記中空体に前記補強材を注入して固化し、前記補強材で前記中空体を把持する第8工程と、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第9工程と、をさらに有する微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項4の発明は、塑性変形機能を有する薄膜層と、複数の凹部が形成されたテンプレート基板と、を用いて製造される微細中空体の製造方法において、前記凹部に空間が残るように、前記凹部に補強材を注入する第1工程と、前記テンプレート基板の表面を前記薄膜層で覆う第2工程と、前記空間に圧力をかけ前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成するとともに、前記補強材を前記薄膜層の天井部まで移動させる第3工程と、前記補強材を固化する第4工程と、を備えた微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項5の発明は、請求項4に記載の微細中空体の製造方法において、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第5工程をさらに有する微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項6の発明は、請求項5に記載の微細中空体の製造方法において、前記空間に圧力をかけて、前記第5工程にて密着させた薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第6工程と、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第7工程と、を有する微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項7の発明は、塑性変形機能を有する薄膜層と、複数の凹部が形成されたテンプレート基板と、を用いて製造される微細中空体の製造方法において、前記凹部に補強材を注入する第1工程と、前記凹部に前記テンプレート基板の表面を前記薄膜層で覆う第2工程と、前記凹部内の前記補強材を気化させた圧力により前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第3工程と、前記薄膜層の天井部を除去する第4工程と、各中空体内に補強材を注入し、前記補強材を固化する第5工程と、を備えた微細中空体の製造方法を特徴とする。本発明によれば、薄膜層により中空体を形成後さらなる中空体の延伸のために薄膜層材を隔壁に圧着させる前に、中空体内の空間に補強材を設けることで、前工程で作成した中空体とのつなぎ目の破壊や変形を防ぐことが出来る。また、請求項8の発明は、請求項7に記載の微細中空体の製造方法において、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第6工程をさらに有する微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項9の発明は、請求項8に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材を気化させた圧力により前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第7工程と、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第8工程と、を有する微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項10の発明は、塑性変形機能を有する薄膜層と、複数の凹部が形成されたテンプレート基板と、を用いて製造される微細中空体の製造方法において、前記凹部に空間が残るように、前記凹部に補強材を注入する第1工程と、前記テンプレート基板の表面を前記薄膜層で覆う第2工程と、前記空間内にガスを放出することにより前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第3工程と、前記補強材を固化する第4工程と、を備えた微細中空体の製造方法を特徴とする。本発明によれば、薄膜層により中空体を形成後さらなる中空体の延伸のために薄膜層材を隔壁に圧着させる前に、中空体内の空間に補強材を設けることで、前工程で作成した中空体とのつなぎ目の破壊や変形を防ぐことが出来る。また、請求項11の発明は、請求項10に記載の微細中空体の製造方法において、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第5工程をさらに有する微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項12の発明は、請求項11に記載の微細中空体の製造方法において、前記空間内にガスを放出することにより、前記第5工程にて密着させた薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第6工程と、前記薄膜層の天井部を除去し、新たな薄膜層を密着させる第7工程と、を有する微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項13の発明は、求項1乃至12の何れか一項に記載の微細中空体の製造方法において、浮力の差によって前記凹部に補強材を供給する微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項14の発明は、請求項1乃至13の何れか一項に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材は、注入時は液体であり、少なくとも前記新たな薄膜層の密着時は固体である微細中空体の製造方法を特徴とする。本発明によれば、補強材を液体としたことで、任意の位置に配置可能であり、また固体に変化することで、剛性が強く中空体の補強材として効果を発揮する。また、請求項15の発明は、請求項1乃至13の何れか一項に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材は、注入時は水である微細中空体の製造方法を特徴とする。本発明によれば、補強材を水としたので、固体と液体の相変化がし易く、扱いが簡便となる。また、環境負荷も非常に低いという効果もある。また、請求項16の発明は、請求項14又は15に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材は、前記中空体を把持する際に氷結される微細中空体の製造方法を特徴とする。また、請求項17の発明は、請求項7乃至9の何れか一項に記載の微細中空体の製造方法において、前記補強材は、沸点が異なる2種類以上の混合物である微細中空体の製造方法を特徴とする。本発明によれば、補強材の機能を、隔壁を補強する機能、隔壁を形成する機能と、液体ごとに機能を分離出来、混合比を変えることで、気体量の制御を簡便に行える。以上のように構成したので、本発明によれば、高アスペクト比の中空構造体を製造するために、ハニカム材薄膜層により隔壁中空体を形成後さらなる隔壁の延伸のためにハニカム材を隔壁に圧着させる際に、隔壁間の空間に補強部を設けることで、前工程で作成した隔壁とのつなぎ目の破壊や変形を防ぐことが出来る。以下に図面を参照して、本発明における微小中空体の製造方法を詳細に説明する。[第1の実施形態]図1は、本発明の第1の実施形態に係る微小中空体の製造方法を示す図である。なお、本実施形態の製造方法において、以下のような材料、装置を使用した。成形型10:ハニカムセルのピッチ等を決定し、そこから後述のハニカムセル微小中空体の材料となる薄膜層30を成長させ、隔壁=中空体35を形成する大元となる型である。この成形型10の材質は、加工が可能で形状が維持できれば何でも良いが、本実施形態では、剛性や腐食に強いステンレス材を用いた。領域大きさは100mm×100mmとした。形成すべきハニカムセル隔壁のパターンに合わせて複数の隔壁12第1の隔壁によって区画された、千鳥状に配列した空間貫通孔11を設けている。貫通孔11の形状はφ150μmの円筒状であり、ピッチは200μmである。成形基板20:成形型10から脱着可能な板である。密着時には、薄膜層30、成形型10、成形基板20の空間の気密性を維持する機能を持つ但し、材料特有のガス透過性は無視する。本実施形態では、粘着性を有するシリコーン板を使用した。なお、上記の成形型10と成形基板20とを合わせてテンプレートテンプレート基板25を構成する。このテンプレート25において、成形基板20は、成形型10に設けた貫通孔空間11の一方の開口を塞いで非貫通の凹部としている。薄膜層30:ガス圧力にてハニカムの隔壁35となる塑性変形機能を有する素材である。成形型10との親和性があり、かつ、延伸性の特性を持つ。本実施形態では粘着性のあるアクリル系UV硬化樹脂を用いた。層厚みは20μmとした。他にも例えば、ゼラチン水溶液を用いてもよい。この場合は、固化方法は乾燥させて水を除去する方法を用いる。基材40:以下のような多様な補助的役割を持つ構成部材である。1成形型10へ薄膜層30を密着設置する補助板として使用する。薄膜層30を安定して成形型10に密着設置する際に、あらかじめ基材40に薄膜層30を塗布した状態で基材40の薄膜層30を塗布した面を、成形型10に密着させる。2隔壁35を形成後、各隔壁35を連結する天井部を剥離する際の補強板として使用する。3隔壁成長中の平坦性を維持する。4隔壁を赤外線UVにて固化できるように、UV透過性を有する。5隔壁の高さの維持。ハニカム材50および第二ハニカム材55:薄膜層30と基材40の両方を合わせてハニカム材50を構成する。また、第二ハニカム材55薄膜層80、基材90は1回目の隔壁形成以降の材料を言う。材質は、それぞれ違っていても良い。補強材60:本発明において特徴的な、隔壁天井部の除去時および、形成後の隔壁へ第二ハニカム材55を接合する際に、隔壁の変形を防止する為の剛性特性をもつ材料である。また、隔壁35間への注入時には流動性を有する。本実施形態では、氷水を用いたが、上記のような特性を有する物質であれば、その限りではない。圧力制御装置70:薄膜層30を延伸させるために、薄膜層30と成形型10の貫通孔11とで定義される気密空所14内のガスを圧縮及び減圧制御し、隔壁の寸法主に高さを制御する装置である。温度制御装置71:補強材60の注入、天井部除去、第二ハニカム材接合時の、補強材60の状態変化を温度により制御する装置である。以下に、図1を用いて、上記の材料及び装置を用いた、本実施形態における中空構造体の製造方法を説明する。工程a成形型10の下部下面へ成形基板第1の成形基板20を密着させてテンプレート25とする。成形基板20の存在により、成形型10が有する複数の貫通孔空間11は、テンプレート25が有する複数の凹部となる。ついで、前記凹部に空間が生じるように前記成形基板の表面を前記薄膜層で覆う。つまり、あらかじめ薄膜層第1の薄膜層30を基材40に塗布したハニカム材50を、貫通孔11を覆うように、隔壁12の先端縁12a間に跨って、成形型10上部上面へ密着させ積層体を形成する第1工程。薄膜層30の厚みは任意で良い目安として0.1~100μmの範囲。本例では膜厚を20μmとした。工程b上記空間に圧力をかけ前記薄膜層30を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する。具体的には、まず工程aで得た積層体を、圧力制御装置70内に設置する圧力制御装置70内で工程aを行っても良い。圧力制御装置70にて、装置内の雰囲気圧力を制御する。本実施形態では、大気圧0.1Mpaからに0.01Mpa減圧制御する。減圧させることで、気密空所14内のガスの体積膨張が始まり気密空所14が拡張されるが、このとき、隣接した気密空所14も同時に膨張するため横への広がりが規制され、上方へと気密空所14は広がる。これにより、薄膜層30は膨張延伸して、薄膜層30の一部からなる複数の隔壁35第2の隔壁が同時に形成され、複数の中空体が一定方向に形成される。また、隔壁35間には、隔壁空間31が形成された第2工程。隔壁35が形成されることで、薄膜層30は隔壁形成物30Aとなる。さらに、薄膜層30の残りの部分により、隔壁35間を連結する天井部30Bが形成された。隔壁35が所望の高さになった時点で、紫外線を約10秒間照射し遮光材を硬化する。なお、上述したように、基材40には紫外線が透過するプラスチック材料を用いた。工程c上記複数の中空体に開口部15を設ける。具体的には、圧力制御装置70内から、隔壁形成物30A成形型10成形基板20の積層体を取り出し、成形基板20を成形型10からはずす。これにより、拡大された気密空所18気密空所14及び隔壁空間31が開放され、複数の中空体に複数の開口部15が設けられる第3工程。工程d次に、上記凹部に補強材60を注入する。具体的には、開口部15から、隔壁35間の空間隔壁空間31および成形型10の空間貫通孔11及である凹部に補強材60としての水を注入する。注入方法は、隔壁形成物30A成形型10成形基板20の積層体を補強材水に浸けるなど公知な手段で良い。このとき、同時に圧力制御装置70内で減圧し余剰のガスを脱気させても良い。隔壁35が硬化した後に隔壁空間31へ補強材を供給するので、硬化前の隔壁に悪影響反応の低下等を与えることが少ない。図1では工程cで成形基板20を除去した後に、工程dとして補強材60水を補給しているが、後述の工程fにおける天井部の除去後に、天井部の除去によって発生する開口から注入するのでもよい。工程e上記工程dで注入した補強材60を固化する。具体的には、上記積層体隔壁形成物30A成形型10成形基板20を、温度制御装置71に置き、温度制御装置71によりマイナス20°Cに冷却し、補強材60である水を凍結させて氷にして固化する第4工程。図1では、後述の工程fにおける天井部除去前に補強材60の凍結を行っているが、天井部の除去後でも良い。工程f上記薄膜層30の天井部30Bを除去する。具体的には、隔壁35を連結する隔壁形成物の天井部30Bを基材40ごと除去する第5工程。この除去も切削等の公知の方法で良い切削することで、除去と同時に隔壁高さの補正も可能である。本実施形態では、基材40を上方へ引き上げる力で天井部30Bごと除去した。なお、基材40は、薄膜層30との親和性があり、柔軟性と強度を備えたプラスチック材料を用いている。工程g工程fで除去した上記薄膜層30の天井部30Bに相当するところに、新たな薄膜層を密着させる。具体的には、隔壁35が露出した状態で、隔壁35の先端縁35aに跨って、新たな薄膜層80と基材90とからなる第二ハニカム材55を、圧力をかけて密着圧着させて、気密空所18を密封した第5工程。なお、固形となった補強材60が隔壁35を把持保護していているので、圧力をかけても隔壁を変形や破損させずに、第二ハニカム材を密着させることが可能である。また、密着性に優れた圧着が可能である。工程h温度制御装置71の温度を上昇80°Cさせ補強材60を液化させた。工程i次いで、温度制御装置71上で、積層体隔壁形成物30A成形型10ひっくり返し、熱にて水分を気化させて除去した。このとき、同時に圧力制御装置70内で減圧乾燥させても良い。工程j工程aと同様に成形基板20第2の成形基板を成形型10の基端縁12bに密着させ、圧力制御装置70内に置く。工程k工程bと同様に、上記空間気密空所に圧力をかけ前記第5工程にて密着させた薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する。具体的には、圧力制御装置70にて減圧させ、第二ハニカム材55第2の薄膜層としての薄膜層80による隔壁85第3の隔壁を形成して隔壁形成物80Aを得る第6工程。次いで、紫外線を照射することで、第二ハニカム材55の隔壁85を硬化させる。後は、隔壁の長さ高さが所望の長さとなるまで、工程c~kを繰り返す第7~第9工程。最後に、工程lとして、成形型10から隔壁を剥がし、ハニカム形状の中空構造体100を得る。このように、ハニカム材50による隔壁35の形成後、第二ハニカム材薄膜層80の圧着と、ガス圧による隔壁形成を複数回繰り返すので、任意の長さ高さの中空体ハニカムを製造することが出来る。また、高ハイアスペクト比のハニカムを形成する可能である。なお、上記した工程において、補強材60として氷水を用いたがゾルゲル変化があるゼラチン水でも良い。この場合強度は氷より低下するが、状態変化温度が40°C近傍にあり、氷水の場合と比べて霜が降りることが無いため、装置の錆びに対する配慮が少なくて済み取り扱いが簡単となる。また、状態変化に関わるエネルギーのやりとりが少なく省エネルギーである。水やゼラチン水溶液以外では、鎖式飽和炭化水素アルカンでも良い。特に融点が20°C室温近傍にある、テトラデカンC14H30、融点6°C、ペンタデカンC15H32、融点10°C、ヘキサデカンC16H34、融点18°C、ヘプタデカンC17H36、融点21°C、等が良い。この場合、ハニカム材はゼラチン水溶液となる。気密空所18への補強材の他の注入方法として、界面張力が小さい補強部材を隔壁空間31に注ぐ方法がある。上記説明の鎖式飽和炭化水素アルカンヘキサデカン、27mN/mは、水72mN/mと比較して界面張力が小さいので、隔壁に接触させるだけで、自然と隔壁空間31に入っていく。工程b、工程kにおける隔壁形成は、減圧による成形型凹部貫通孔11または隔壁空間3181内のガス膨張にて隔壁を形成するので、後述の図2の場合に比して大きいガス膨張力とすることが出来る。また、補強材の材質を水氷としたことで、融点が0°Cにあり制御の簡便性がある。また、環境にも優しいほぼ無害。薄膜層との反応にも影響を与えることが少ない。ここで簡便性とは、取り扱い易さを述べている。水は、融点が室温20°C近傍に近い0°Cであり、固体と液体の相変化がし易い省エネルギー、短時間での相変化ので、特殊な装置もいらず取り扱いやすい。[第2の実施形態]図2は、本発明の第2の実施形態に係る微小中空体の製造方法を示す図である。製造に用いる装置、材料は、第1の実施形態の場合と同じであり、補強材60の取り扱いに違いがある。以下に、図2を用いて、本実施形態における微小中空体の製造方法を説明する。工程a図1の場合と同様の成形型10を用意する。工程b次に、成形型10の貫通孔11に空間が残るように補強材水60を注入する第1工程。工程c次に、成形型の表面を薄膜層30で覆う。具体的には、成形型10の下面へ成形基板第1の成形基板20の一面を密着して成形基板20と隔壁12とからなる凹部を形成する。この時、成形基板20と成形型10により、図1の場合と同様のテンプレート25が構成されている。さらに、成形型10の上面に、あらかじめ薄膜層30を基材40へ塗布したハニカム材50を密着接合することにより、成形型10の隔壁第1の隔壁12と、成形基板20の一面とからなる凹部を封止した気密空所14を形成する第2工程。工程d上記空間に圧力をかけ前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する第3工程。具体的には、成形型10成形基板20ハニカム材50の積層体を、温度制御装置71に載置した状態で圧力制御装置70内に入れて、図1の工程bと同様に、減圧による隔壁第2の隔壁35の成長と、紫外線照射による隔壁35の硬化を行う。この工程において、補強材60は、気密空所18隔壁空間31及び気密空所14中のガスの膨張とともに天井部30Bに押しつけられながら上昇する。温度制御装置にて冷却-20°Cし補強材60を凍結させる第4工程。なお、補強材60を固化する工程は、次工程eの直前でも良い。工程e次に、薄膜層30の天井部30Bを除去する。本例では、基材40を上方へ引き上げる力で天井部30Bごと除去した。工程f次に、上記工程eで除去した薄膜層30の天井部30Bの部分に、新たな薄膜層を密着させる固化した補強材60で補強された隔壁35の先端縁35a間に跨って、薄膜層第2の薄膜層80を基材40に塗布した第二ハニカム材55を、圧力をかけて隔壁形成物30Aに密着させる第5工程。これにより、気密空所18が、密封される。次いで、温度制御装置71の温度を上昇10°Cさせ補強材60を液化させる。工程g上記空間気密空所に圧力をかけて、工程fにて密着させた薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する。具体的には、工程dと同様に、圧力制御装置70内を減圧させ、第二ハニカム材55の隔壁85第3の隔壁を一定方向に形成させ第6工程、例えば紫外線を照射することで、第二ハニカム材55の隔壁85を硬化させる。工程h工程gの隔壁85の硬化後は、工程eと同様に、基材90を天井部80Bごと除去する第7工程。あとは、工程f、g、hを、隔壁が所望の高さになるまで繰り返す。工程i最後に成形型10から隔壁を剥がし、ハニカム形状の中空構造体100を得る。なお、工程dにおいて、より確実に補強材60を天井部30Bに把持するには、液体の補強材60を遠心力等の力を用いて天井部30Bに移動させる。浮力差気体と液体の密度差、方法は重力、遠心力を用いることにより補強材60を隔壁形成物の所定の位置、特に天井部に供給することが出来る。例えば、成形型10および隔壁空間31内に気体と液体の混合層がある場合は、天井部30Bを下側にすることで、液層を天井部30Bに誘導することが出来る。さらには、遠心力を用いることで、小さな気泡も天井部30Bから除去することが出来る。このことによって、補強材60が天井部30B側の隔壁35を密に覆うことが出来、補強材60の固化時の把持力も高まる。よって、隔壁35の変形や破損を極力抑えた薄膜層の圧着も出来る。他の注入方法として遠心力により注入させる方法もある。これは隔壁空間31のガスから補強材に置換するのに、その物質の密度差を利用する方法である。遠心力にてその物質の加速度が増し、ガスとの置換=遠心分離が行いやすくなる。本実施形態においては、工程d前に、成形型10へ補強材60を供給するので、隔壁35形成後も成形型10と隔壁35を離すことなく、補強材60の状態変化固体、液体、気体を成形型10および隔壁空間31内で行うことが出来る。そのことにて工程数を増やすことなく隔壁高さが大きいハニカムの形成が出来る。また、成形型10から成形基板20を取り外す必要もないため、テンプレートが成形型10と成形基板20とからなる必要は必ずしも無く、下記の図3で示すような成形型と成形基板が一体化したようなものも使用可能である。また、供給時の補強材60は液体であるので、上述のように、補強材を所定の位置、特に天井部に供給することが出来る。また、変形が容易な液体なので、密に隔壁に接触することができ、固化時の把持力を増すことが出来る。[第3の実施形態]図3は、本発明の第3の実施形態に係る微小中空体の製造方法を示す図である。本実施形態においては、成形型10Aとして、非貫通の凹部11Aを有するものを用いた。従って、成形型10Aは、図1、図2の場合で用いた成形基板20としての機能を兼ね備えており、すなわち、成形型10Aが、図1、図2で言うテンプレートテンプレート基板となる。ただし、図1、図2のように、成形基板と成形型が別部材になったものを用いても、特に問題はない。成形型10Aの材質はステンレス材とし、隔壁12A第1の隔壁によって区画される非貫通の凹部11Aの形状は、φ150μmの円筒とした。また、凹部11Aのピッチは200μmとし、千鳥状に配列した。領域面積は100mm×100mm。また、本実施形態で用いる他の装置、材料は、以下の通りである。薄膜層30、80:第1の実施形態と同じ。基材40、90:第1の実施形態と同じハニカム材50および第二ハニカム材55:第1の実施形態と同じ。補強材60:隔壁間の補強目的以外に、減圧時に気体への状態変化をもたらし、そのガス圧力にて隔壁形成に作用する。本例では氷水または、メタノール10溶液を用いた。圧力制御装置70:第1の実施形態と同じ。温度制御装置71:補強材の注入、天井部除去、第二ハニカム材接合時および隔壁形成時に補強材の状態変化を制御する装置である。矯正板72:各箇所の隔壁の高さをそろえる為の矯正板である。紫外線を透過する。材質としては石英を用いた。高さ調整治具:隔壁の高さを調整する治具である。隔壁の成長とともに矯正板72が上昇するが、矯正板72が所望の位置以上に上昇しないように押さえる働きをする。以下に、図3を用いて、本実施形態に係る微小中空体の製造方法を説明する。なお、本実施形態においては、補強材の取り扱い以外は、第1の実施形態とほぼ同様である。工程aテンプレートとして、上述した非貫通の凹部11Aを有する成形型10Aテンプレート基板を用意する。工程b成形型10Aの凹部11Aに、補強材60を充填する。ここでは、隔壁成長のばらつきを抑えるため、凹部11Aにはなるべく空間が残らないようにする第1工程。工程c上記凹部11Aを有する成形型10Aの表面を薄膜層30で覆う。具体的には、予め薄膜層第1の薄膜層30を基材40に塗布したハニカム材50を、成形型10Aの隔壁12Aの先端縁12Aa間に跨って成形型10Aの上面に密着させ、凹部11Aを密封した気密空所14を形成する第2工程そして、成形型10Aハニカム材50の積層体を、圧力制御装置70内の温度制御装置71上に設置する。次いで、ハニカム材50上に矯正板72を乗せ、図のように高さ調整治具73を設置するここでは、矯正板72と高さ調整治具73間の距離を600μmに調整する。工程d前記凹部内の補強材を気化させた圧力により前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する。まず、温度制御装置71の温度を設定する。なお、薄膜層30が変質しない温度であれば良い。温度の上昇時間を抑えるため、ここでは、温度制御装置71の温度を50°Cとする。次いで、圧力制御装置70にて大気圧0.1Mpaから0.001Mpaに減圧制御し、補強材60を沸騰気化させる。気化した補強材60の圧力にて気密空所14の体積が膨張し、隔壁第2の隔壁35が一定方向に成長する第3工程。高さ調整治具によって規制される、所望の隔壁高さここでは600μmに達したら、紫外線を照射して隔壁35を硬化させる。なお、メタノールは水よりも沸点が低いので、メタノール混合液の方が、水に比べて低エネルギーで隔壁を形成出来る。工程e上記薄膜層30隔壁形成物30Aの天井部30Bを除去する第4工程。本例では、圧力制御装置70内で、基材40を上方へ引き上げる力で天井部30Bごと除去した。工程f前記凹部及び各中空体内に補強材を充填する。より具体的には、隔壁形成物30Aの隔壁35間の空間31に、隔壁35の高さすれすれに補強材60水を注入充填する第5工程。工程g温度制御装置71の温度を下降-20°Cさせ補強材60を固化させる第5工程。この時点で、補強材60および隔壁35の高さを補正切削等しても良い。工程h天井部30Bを除去した薄膜層30に新たな薄膜層80を密着させる。基材90に薄膜層80第2の薄膜層を塗布した第二ハニカム材55を、圧力をかけて、隔壁35の先端縁35aに密着させる第6工程。これにより、薄膜層80により気密空所18気密空所14及び隔壁空間31が密閉される。第二ハニカム材55上に矯正板72を乗せ、図のように高さ調整治具73を設置するここでは、矯正板72と高さ調整治具73間の距離を600μmに調整する。次いで、温度制御装置71の温度を設定する。なお、薄膜層30が変質しない温度であれば良い。温度上昇時間を抑えるため、ここでは、温度制御装置の温度を50°Cとする。工程i工程d同様に、前記凹部内の前記補強材60を気化させた圧力により前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する。圧力制御装置70にて大気圧0.1Mpaから0.001Mpaに減圧制御し、補強材60を沸騰気化、隔壁85第3の隔壁が一定方向に成長する第7工程。所望の隔壁高さここでは600μmに達したら紫外線を照射し隔壁85を硬化させる。なお、メタノールは水よりも沸点が低いのでメタノール混合液の方が低エネルギーで隔壁を形成が出来る。後は、隔壁が所望の高さになるまで、工程e~iを繰り返す。工程j最後に成形型10Aから隔壁を剥がし、ハニカム形状の中空構造体100を得る。本実施形態においては、工程c前に、成形型10Aへ補強材60を供給するので、隔壁形成後も成形型10Aと隔壁を離すことなく、補強材の状態変化固体、液体、気体を成形型および隔壁空間内で行うことが出来る。そのことにより、工程数を増やすことなく隔壁高さが大きいハニカムの形成が出来る。また、天井部30Bの除去後に、隔壁空間31へ補強材60を供給するので、除去部からの補強材の供給が可能となる。よって、図1のような分離したテンプレート成形型成形基板の必要性がなく、単純なテンプレート型で良い。また、硬化前の隔壁に悪影響反応の低下等を与えることが少ない。補強材の材質は、沸点が異なる2種類以上の混合物あるので、補強材の機能を分離することが出来る。水沸点100°Cとメタノール65°Cの場合は、隔壁把持機能は水を凍らせた氷に、隔壁形成機能にはメタノールを用いることが出来る。65°Cの低温で気化することが出来るし、混合比を変えることで気体量の制御がし易い。[第4の実施形態]図4は、本発明の第4の実施形態に係る微小中空体の製造方法を示す図である。本実施形態においては、成形型として、隔壁12Bによって区画されたφ30μmの円筒状、50μmピッチの貫通孔11Bを有する成形型10Bを使用した。他の装置、材料は以下の通りである。成形基板20、20a:ガス透過性が高い材料である、ポリジメチルシロキサンPDMSなどのシリコーン板を使用した。薄膜層30:第1の実施形態と同様である。層厚みは10μm。基材40:第1の実施形態と同様である。ハニカム材50および第二ハニカム材55:第1の実施形態と同様である。補強材60:第1の実施形態と同様である。圧力制御装置75:ガスを増圧し、成形基板20、20aにガスを充填する装置。以下に、図4を用いて、本実施形態に係る微小中空体の製造方法を説明する。工程a上述の成形型10Bを用意する。工程b成形型10Bの貫通孔11Bに、空間が残るように補強材60を注入する第1工程。工程c成形型10Bの表面を薄膜層30で覆う。具体的には、成形型10Bの下部下面に、成形基板20第1の成形基板を密着させてテンプレート基板とし、貫通孔11Bと成形基板20による凹部を形成し、その後、予め薄膜層30を基材40へ塗布したハニカム材50を、成形型10Bの隔壁12B第1の隔壁の先端縁12Ba間に跨って密着させて、貫通孔11Bと成形基板20とによる凹部を封止して気密空所14を形成した第2工程。なお、予め圧力制御装置75により成形基板20の多孔内にガスを充填しておく含ませておく。充填圧力は0.5MPa、時間は5分。工程d上記空間内にガスを放出することにより、前記薄膜層を膨張延伸させて、複数の中空体を一定方向に形成する。成形基板20に充填されたガスが大気中気密空所14内に放出される。気密空所14の体積が膨張し、これに伴い隔壁35第2の隔壁が一定方向に成長する第3工程。隔壁35が所望の高さに成長した時点で紫外線を照射し隔壁35を硬化させる。なお、補強材60は、隔壁35間の空間31のガスの膨張とともに天井部30Bに押しつけられながら上昇する。図示していないが、温度制御装置71にて冷却-20°Cし補強材60を凍結させて、固化させる第4工程。なお、これは後述の工程fの直前でも可である。なお、補強材60により確実に天井部30Bを把持補強するには、図2について述べたように、液体の補強材を遠心力等の力を用いて天井部30Bに移動させる。工程e次に、上記薄膜層30の天井部30Bを除去する。本実施形態では、基材40を上方へ引き上げる力で天井部30Bを除去した。工程f成形基板20を、成形型10Bから外し、基材90に薄膜層80を塗布した第二ハニカム材55を隔壁35の先端縁35aに密着させる第5工程。そして、予め圧力制御装置75によりガスを充填した成形基板20a第2の成形基板を成形型10Bの下面に密着させる。ただし、ガスを充填させ成形基板を交換せずとも、隔壁形成物30A成形型10B成形基板20の積層体を圧力制御装置75内に設置して、その状態で、成形基板20に再度ガスを充填しても良い。工程g温度制御装置71の温度を上昇10°Cさせ補強材60を液化させる。そして、工程dと同様に、成形基板20a内部に充填されたガスが大気中に放出されることで、気密空所18の体積が膨張して第二ハニカム材55の薄膜層80による隔壁85第3の隔壁を一定方向に形成させ第6工程、紫外線を照射することで、第二ハニカムの隔壁85を硬化させる。工程hそして、上記薄膜層30の天井部80Bを除去する。以下、隔壁が所望の高さになるまで、工程c~hを繰り返す。工程i最後に成形型10Bから隔壁を剥がし、ハニカム形状の中空構造体100を得る。本実施形態においては、あらかじめガスを充填していた、テンプレートを構成する成形基板2020a内部からのガス膨張にて隔壁を形成するので、減圧装置が不要である。また、減圧では0.1MPaが限界であるが、成形基板20、2aに圧縮ガスを充填するので、図1の場合に比較して更に大きいガス膨張にすることが出来る。また、大きいガス膨張のため、微細なピッチのハニカム形状の形成も可能である。なお、本実施形態において、成形型として貫通孔を有する成形型10Bを使用し、その成形型10Bに、ガスを充填した成形型20を密着してテンプレートを構成している。しかしながら、テンプレートの構成はこの態様に限定されることはなく、図3に示した成形型11Bのような非貫通の凹部を設けた形状を有する成形型を、高ガス拡散性材料シリコーンゴムなどによって作製してテンプレートとしても良い。かかる成形型に薄膜層を密着することで、図4の工程cで示したような気密空所14を形成することが出来、テンプレートからの高圧ガスの噴出によって、凹部11Bへのハニカム材の流入を防ぎながら、中空体を製造することが出来る。図5は、本発明の実施の形態にかかる微小中空体の製造方法により製造した中空構造体ハニカムの形状を示す図である。第1~3の実施形態により製造した中空構造体は、以下の通りであった。ピッチp:200μm高さh:1800μm3回ハニカム形成セル厚みt:1~3μm第4の実施形態により製造した中空構造体は、以下の通りであった。ピッチp:50μm高さh:400μm3回ハニカム形成セル厚みt:0.1~1μmなお、これらは繋ぎ目での変形が少ない中空構造体ハニカム形状であった。