ウェハ搬送容器を収容し、積載型搬送装置によって搬送されるウェハ搬送容器保護ケースであって、前記積載型搬送装置へ積載される底板と、前記底板上に設置される防振部材と、天面が開放された箱状であり、前記防振部材を介して前記底板に支持され、前記ウェハ搬送容器を載置して収容する下ケースと、取っ手を有し、前記下ケースに上方から装着されて前記下ケースを密閉する上ケースと、を備えることを特徴とするウェハ搬送容器保護ケース。前記下ケースは、載置されるウェハ搬送容器の位置決めをする位置決め部材を備えることを特徴とする請求項1に記載のウェハ搬送容器保護ケース。可撓性を有し、前記防振部材と前記下ケースとの間に設置される中板をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェハ搬送容器保護ケース。前記位置決め部材が、前記中板及び前記下ケースの底面を貫通するように設けられることを特徴とする請求項3に記載のウェハ搬送容器保護ケース。前記下ケースは、上部周縁に形成された下フランジを備え、前記上ケースは、前記下フランジを覆って該下フランジと密接する上フランジを備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のウェハ搬送容器保護ケース。一つの実施形態は、ウェハ搬送容器を外気に晒すことなく運搬可能で、ウェハ搬送容器の収容取り出しが容易なウェハ搬送容器保護ケースを提供することを目的とする。一つの実施形態によれば、ウェハ搬送容器を収容し、積載型搬送装置によって搬送されるウェハ搬送容器保護ケースである。ウェハ搬送容器保護ケースは、積載型搬送装置へ積載される底板と、底板上に設置される防振部材と、天面が開放された箱状であり、防振部材を介して底板に支持され、ウェハ搬送容器を載置して収容する下ケースと、取っ手を有し、下ケースに上方から装着されて下ケースを密閉する上ケースと、を備える。以下に添付図面を参照して、実施形態にかかるウェハ搬送容器保護ケースを詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。第1の実施形態図1は、第1の実施形態にかかるウェハ搬送容器保護ケースとしてのFOUP保護ケース100の斜視図である。図2は、FOUP保護ケース100の構成を模式的に示す断面図であり、図1中に示すII-II線に沿った断面を示している。FOUP保護ケース100は、ウェハ搬送容器であるFOUP400を気密空間600に収容するケースであり、底板1、防振部材2、中板3、下ケース4、及び上ケース5を有する。FOUP保護ケース100は、図1に示すように、複数のローラ50を備えたローラコンベアなどの積載型搬送装置に積載されて搬送される。図3は、底板1の斜視図である。底板1は、積載型搬送装置への積載面11の中央部が切り欠かれて開口12が形成されている。底板1に開口12を設けることにより、ローラ50と底板1との接触面積が小さくなるため、搬送抵抗が減少する。底板1の上面13積載面11と反対側の面には防振部材2が固定されている。なお、図示する底板1は積載面の周縁部が反り返ってトレー状になっているが、単純な板状であっても良い。図4は、底板1に中板3を固定した状態を示す斜視図である。中板3は、例えば、十字形状を呈し、防振部材2を介して底板1の上に設置される。防振部材2は、中板3の十字の各先端部に位置している。中板3の上にはFOUP位置決めピン31が複数この場合は3個突出している。FOUP位置決めピン31は、中板3を貫通しかつ上方に突出するように、中板3に固定されている。中板3は、防振部材2を介して底板1に固定されており、積載型搬送装置から底板1に伝わった振動が防振部材2で減衰されて中板3には伝わりにくくなっている。また、中板3は、この場合、可撓性を有する。すなわち、中板3は、中央部分が端部の防振部材2の固定部位に対し若干突出しているため、中央の部分は撓むことが可能である。中板3が撓むことによって振動を吸収して底板1から下ケース4に振動が伝わることを防止している。また、中板3が下ケース4を支持するため、下ケース4自体の強度を高くしなくてもFOUP400の質量を支えることが可能であり、下ケース4の製造コストを低減することができる。図5は、下ケース4の斜視図である。下ケース4は、天面が開放された箱状であり、中板3の上に搭載される。下ケース4の底面41からFOUP位置決めピン31が上方へ突出している。下ケース4の側面の上縁部上部周縁には、図2にも示すように、外側に突出する下フランジ42が形成されている。また、下ケース4の底面41には、FOUP位置決めピン31が突出する箇所の周囲にスペーサとして機能するリブ47が設けられている。底面41にリブ47が設けられていることにより、図2に示したように、気密空間600に収容されたFOUP400は下ケース4の底面41とは非接触の状態FOUP400が底面41から浮いた状態となっている。図5には、リブ47が環状である構成を示しているが、リブ47は任意の形状であっても良い。図6は、FOUP位置決めピン31が下ケース4の底面41から突出する部分の拡大断面図である。下ケース4の底面41には、FOUP位置決めピン31が挿入される穴43が形成されている。穴43の中板3側にはシール材44が設置されており、FOUP位置決めピン31が下ケース4の底面41を貫通した状態では穴43が気密封止されるようになっている。また、穴43の内部には免震材45が設置されており、搬送時の振動によってFOUP位置決めピン31と下ケース4とが擦れて摩耗粉が生じることを防止している。免震材45は、例えばシリコーンゴムやフッ素ゴムである。FOUP位置決めピン31を下ケース4と別体とすることにより、摩擦係数が小さい金属などでFOUP位置決めピン31を形成することが可能となり、FOUP位置決めピン31とFOUP400とが擦れて摩耗粉が発生することを防止できる。図1、図2に示すように、上ケース5は、底面が開放された箱状であり、下ケース4と共にFOUP400を収容するための気密空間600を形成する。上ケース5は、下ケース4に対する着脱のための取っ手51を天面に備えている。また、上ケース5の端部には外側に突出する上フランジ52が形成されている。図2に示すように、上フランジ52は、下フランジ42を上から覆って隙間無く接する形状となっている。下フランジ42と上フランジ52とを合わせることにより、下ケース4と上ケース5との位置決めがなされるとともに、上ケース5の自重によって下フランジ42と上フランジ52との隙間の気密性が保たれるようになっている。気密性を確保するためには、下フランジ42と上フランジ52との接触面積を十分確保する必要があるため、下フランジ42及び上フランジ52を大きく形成することが好ましい。また、下フランジ42と上フランジ52との合わせ面を外側に向かって下がる傾斜面とするようにしたり、下フランジ42と上フランジ52との合わせ面をラビリンス形状凹凸が入り組む形状にしたりすることで気密性を高めることができる。上フランジ52が下フランジ42を庇状に覆って下フランジ42に密着することにより、FOUP保護ケース100の気密性が保たれ、下ケース4と上ケース5との境界から異物がケース内に入ることを防止できる。FOUP保護ケース100においては、FOUP保護ケース100内には、FOUP400を位置決め固定するための位置決め部材としてのFOUP位置決めピン31が存在するのみで、FOUP400を保護するための緩衝材などの内部収容物は存在しない。また、図2に示すように、FOUP400は、下ケース4の底面41に形成されたリブ47およびFOUP位置決めピン31とのみ接触し、FOUP保護ケース100内の他の部分側面、天面などとは接触しない。このため、FOUP400に対する塵などの付着を少なくすることが可能となる。また、上ケース5と下ケース4とはロック機構を設けずに密封できるようになっており、また上ケース5を上方に移動するのみで上ケース5を下ケースか4から脱着できる構造となっているため、上ケース5をロボットによって容易に下ケース4から取り外すことが可能となる。底板1の材料としては、ABS樹脂などのプラスチックやアルミニウムなどの金属を適用可能である。防振部材2としては、防振ゲルウレタンゲル、シリコーンゴムやスプリング、オイルダンパーなどを適用可能である。中板3、下ケース4及び上ケース5の材料としては、ABS樹脂などのプラスチックを適用可能である。これらの材料はあくまでも一例であり、本発明がこれらの材料に限定されることはない。なお、FOUP位置決めピン31を金属製とする場合には、中板3の表面に導電性皮膜例えば、無電解Ni-Pめっきを施しておけば、FOUP400が帯電することを防止できる。また、FOUP400をFOUP保護ケース100に位置決め固定するための部材としては、FOUP位置決めピン31以外の部材を採用することが可能であるが、位置決め固定部材としてはSEMI規格に沿ったキネマティックピンと同形状を採用することが好ましい。なお、図2では下ケース4と上ケース5とを合わせた際に、FOUP400を収容可能な空間が形成される構成を図示しているが、下ケース4が単独でFOUP400を収容できるだけの深さを有し、上ケース5が単に下ケース4の開放されている天面を塞ぐ構造であっても構わない。図7は、ウェハ搬送容器であるFOUP400の外観の一例を示す斜視図である。FOUP400は内部が空洞となっている直方体形状を有し、直方体形状の中の一つの面例えば、前面が、FOUP400内に搬送対象を出し入れする際の開口となる収納部材401と、収納部材401の開口に着脱可能な蓋部材402と、を有する。搬送時には収納部材401の開口を覆うように蓋部材402が装着される。また、FOUP400の上部には、搬送装置OHT:OverHeadHoistTransportと接続される接続部404が設けられている。収納部材401内には、たとえば半導体装置の製造において、製造単位である1ロットで製造することができるウェハの枚数を収納できる。また、FOUP400の底面には、例えばSEMI規格に沿ったキネマティックピンと係合する位置決め用の穴凹部:図示せずが形成されており、下ケース4の底面41に形成されたリブ47の上へ載置する際に、FOUP位置決めピン31が位置決め用の穴と係合するようになっている。図8は、実施形態によるFOUP保護ケース100が適用される半導体装置の製造設備の一例を模式的に示す図である。半導体装置の製造設備は、A棟101AとB棟101Bとを有し、それぞれに半導体装置を製造するための処理装置が配置されている。この半導体装置の製造設備は、処理対象物であるウェハを処理装置が配置された処理エリアに搬送して、処理を加えながら製品を製造する施設となっており、A棟101Aには、処理エリア110A~160Aが設けられている。また、A棟101Aには、棟間発着エリア170Aが設けられている。B棟101Bには、処理エリア110B~160Bと、棟間発着エリア170Bとが設けられている。上記の各処理エリア110A~160A及び棟間発着エリア170A間でのFOUP400の運搬には、搬送方式としてOHT、走行方式としてリニア駆動方式やモータ駆動方式を採用しているものとする。そのため、天井面に搬送路としてのレール103Aが設置されており、レール103Aに沿って搬送装置200Aが走行する。処理エリア110Aのレール103Aの配設位置の一部には、処理対象であるウェハを格納するFOUP400を載置するストッカ111Aが設けられ、ストッカ111Aに近接して処理装置113Aが設けられる。処理装置113Aは、成膜装置、レジスト塗布装置、露光装置、現像装置、エッチング装置、洗浄装置などである。また、処理エリア110Aには、FOUP400内のウェハを各処理装置113Aへと搬送するための搬送装置114Aが設けられている。処理エリア120A~160A、110B~160Bも処理エリア110Aと同様の構成が備えられている。棟間発着エリア170Aのレール103Aの配設位置の一部には、処理対象であるウェハを格納するFOUP400を載置するストッカ171Aが設けられ、ストッカ171Aに近接して収容取り出し装置174Aが設けられている。さらに、棟間発着エリア170Aには、FOUP保護ケース100を複数収納するケース収納庫173Aが設けられている。棟間発着エリア170Aと棟間発着エリア170Bとの間には積載型搬送装置300が設けられている。A棟101A及びB棟101Bは清浄度の高いクリーンな環境であるのに対し、積載型搬送装置300はA棟101A及びB棟101Bと比較して清浄度の低い環境である。クリーンな環境でFOUP400をFOUP保護ケース100に収納、密閉構造にするため積載型搬送装置300は清浄度の低い一般環境でも構わない。積載型搬送装置300を清浄度の低い一般環境とすることで、クリーン環境に比べ安価な施工で実現可能となる。積載型搬送装置300は、被搬送物を自装置上に積載して搬送する装置であり、例えばローラコンベアやベルトコンベアなどである。ここで、半導体装置の製造工程の一連の処理を途中までA棟101Aで行い、処理の続きをB棟101Bで行う場合を例として、半導体装置の製造設備の動作について説明する。処理エリア110A~160Aでの処理を終えたウェハを収容したFOUP400が搬送装置200Aによってストッカ171Aに載置されると、収容取り出し装置174Aは、ケース収納庫173AからFOUP保護ケース100を一つ搬出し、取っ手51を保持して上ケース5を上方へ持ち上げて下ケース4から取り外す。そして、収容取り出し装置174Aは、FOUP400を下ケース4に収容する。この際、FOUP位置決めピン31によってFOUP400は所定の位置に固定される。FOUP400を下ケース4に収容した後、収容取り出し装置174Aは、上ケース5を下ケース4に載せる。これにより、上フランジ52は、上ケース5の自重によって下フランジ42と密着し、FOUP400を収容する空間は気密空間600となる。FOUP400を収容したFOUP保護ケース100は、積載型搬送装置300によってB棟101Bへ搬送される。積載型搬送装置300によってA棟101AからFOUP保護ケース100が搬送されてくると、収容取り出し装置174Bは上ケース5を上方へ移動させることによって下ケース4から取り外す。収容取り出し装置174Bは、上ケース5が取り外されることによって露出したFOUP400を上方へ移動させることによって下ケース4から取り出して、ストッカ171Bに載置させる。FOUP400が取り出された下ケース4には、収容取り出し装置174Bによって上ケース5が再び載せられ、ケース収納庫173Bに収納される。収容取り出し装置174Bによってストッカ171BにFOUP400が載置されると、搬送装置200Bは、ストッカ171Bに載せられたFOUP400を、処理エリア110B~160Bへ搬送する。このように、本実施形態に係るFOUP保護ケース100は、下ケース4にFOUP400を収容して上ケース5を被せるだけでFOUP400の気密梱包が可能である。また、上ケース5を上方へ移動させるだけでFOUP400を下ケース4から取り出し可能な状態とすることができる。また、FOUP400は、下ケース4の底面41に形成されたリブ47およびFOUP位置決めピン31とのみ接触し、FOUP保護ケース100内の他の部分側面、天面などとは接触しない。このため、FOUP400に対する塵などの付着を少なくすることが可能となる。また、上ケース5が下ケース4との離合用の取っ手51を備えているため、下ケース4と上ケース5との離合作業は機械で行うことができる。従って、FOUP400を棟間で搬送するに当たっての梱包や取り出し作業を機械化して自動で行うことが可能である。なお、中板3を省略した構成とすることも可能である。また、下ケース4及び上ケース5が形成する気密空間600の外に防振部材2が配置されるため、防振部材2で発生した粉塵等が気密空間600内に侵入することがなく、気密空間600内の空気を清浄に保つことができる。第2の実施形態図9は、第2の実施形態にかかるウェハ搬送容器保護ケースとしてのFOUP保護ケース100の構成を模式的に示す断面図である。本実施形態は、FOUP位置決めピン46が下ケース4の底面41と一体に設けられている点で第1の実施形態と相違する。本実施形態では、FOUP位置決めピン46が下ケース4の底面41を貫通していないため、下ケース4とFOUP位置決めピン46との隙間によってFOUP保護ケース100の気密性が損なわれることはない。したがって、シール材や免震材などの部材を省略した構成とすることが可能である。上記の各実施形態においては、ウェハ搬送容器保護ケースがウェハの出し入れのための開口を前面に備えたFOUP400を収容するFOUP保護ケース100である場合を例としたが、本発明はウェハの出し入れのための開口を前面以外底面などに備えたウェハ搬送容器を収容する場合でも適用可能である。また、上記の各実施形態においては、下ケース4の底面41に形成されたリブ47の上にFOUP400が載置され、FOUP400が下ケース4の底面41と非接触の状態で気密空間600に収容する構成を例としたが、リブ47を省略した構成として、FOUP400が下ケース4の底面41と接触した状態で気密空間600に収容されるようにすることも可能である。本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。