タッチパネル電極付きカラーフィルタであって、透明基板の片側表面から順にタッチパネル電極層およびカラーフィルタ層が積層され、タッチパネル電極層とカラーフィルタ層との間に、両層を隔てる中間層を有し、さらに、中間層とカラーフィルタ層との間に絶縁性透明膜からなる無機膜層を有することを特徴とするタッチパネル電極付きカラーフィルタ。中間層が、透明有機材料からなる絶縁層であることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタ。中間層が、タッチパネル電極層側から順に透明有機材料からなる絶縁層および透明導電材料からなるシールド層の積層体であることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタ。無機膜層が窒化珪素からなることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタ。カラーフィルタ層が、着色顔料を分散させた感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法により形成されることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタの製造方法。上述のオンセル方式のタッチパネル付き表示装置に使用するタッチパネル電極付きカラーフィルタを製造するには、タッチパネル電極層2とカラーフィルタ層5とをそれぞれ透明基板1からみて反対側の面に形成する必要があるため、製造工程中の搬送機構等の機械的な動きが複雑になる。また、パターン間の位置合わせに関しても、表裏両面での合わせが必要であるため、同一面上での積層の場合より困難となり、品質上好ましくない。一方、インセル方式のタッチパネル付き表示装置に使用するタッチパネル電極付きカラーフィルタを製造するには、タッチパネル電極層2とカラーフィルタ層5とを透明基板1の片側表面に順に積層すれば良いので、製造工程中の搬送機構等の機械的な動きが単純であり、また、各パターン間の位置合わせに関しても容易になるので、高精度のパターン形成が可能となる。しかしながら、タッチパネル電極層2に積層して、絶縁層3やノイズシールド用の透明導電材料としてITO層4を形成し、その上にカラーフィルタ層5を形成する場合、カラーフィルタ層形成工程において、ブラックマトリクス層や着色層のパターンが無い領域に残渣が生じ易く、良好な品質を保持できない。本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、インセル方式のタッチパネル付き表示装置に使用するタッチパネル電極付きカラーフィルタに関し、カラーフィルタ層形成工程における残渣の発生を回避した構造とその製造方法を提供することである。上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、タッチパネル電極付きカラーフィルタであって、透明基板の片側表面から順にタッチパネル電極層およびカラーフィルタ層が積層され、タッチパネル電極層とカラーフィルタ層との間に、両層を隔てる中間層を有し、さらに、中間層とカラーフィルタ層との間に絶縁性透明膜からなる無機膜層を有することを特徴とするタッチパネル電極付きカラーフィルタである。また、請求項2に記載の発明は、中間層が、透明有機材料からなる絶縁層であることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタである。また、請求項3に記載の発明は、中間層が、タッチパネル電極層側から順に透明有機材料からなる絶縁層および透明導電材料からなるシールド層の積層体であることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタである。また、請求項4に記載の発明は、無機膜層が窒化珪素からなることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタである。また、請求項5に記載の発明は、カラーフィルタ層が、着色顔料を分散させた感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法により形成されることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載のタッチパネル電極付きカラーフィルタの製造方法である。本発明によれば、インセル方式のタッチパネル付き表示装置に使用するタッチパネル電極付きカラーフィルタを製造する場合に、タッチパネル電極層上に中間層と絶縁性透明膜からなる無機膜層とを設けて、カラーフィルタ層形成工程における下地とすることにより、残渣の発生を回避でき、高精度で良好な品質のタッチパネル電極付きカラーフィルタを簡単な工程で提供できる。以下、図面に従って、本発明を実施するための形態について説明する。図1は、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタの一例を説明するための部分模式断面図である。本例に示すタッチパネル電極付きカラーフィルタの断面構造は、透明基板1の片側表面から順にタッチパネル電極層2およびカラーフィルタ層5が積層され、タッチパネル電極層2とカラーフィルタ層5との間に、両層を隔てる中間層31を有し、さらに、中間層31とカラーフィルタ層5との間に絶縁性透明膜からなる無機膜層32を有する。透明基板1は、無アルカリガラス等の透明性、平坦性、耐薬品性に優れたガラス基板を用いることが多く、厚さは0.5mmや0.7mm程度のものが多いが、限定されない。タッチパネル電極層2は、前述のように、投影型の静電容量式タッチパネル用電極であれば、透明基板の片側表面に絶縁層により隔てられた多層の透明電極パターン層と端子電極となる金属電極パターン層とを積層構造で設けることができる。例えばモリブデン-アルミニウム-モリブデンのサンドイッチ構造からなる金属電極パターンを用いることが可能であり、精度管理マークも併せて複数箇所に形成し、他の積層パターンとの位置合わせ精度管理に利用することが望ましい。上記の各層のパターンは、公知のフォトリソグラフィ法により形成することが精度上では最も望ましく、アライメント機構付きの露光機を用いて位置合わせすることができる。また、上記透明電極や金属電極をパターン形成するために予め必要な膜形成は、通常はスパッタリング法による薄膜形成手段を用いることができる。タッチパネル電極層2とカラーフィルタ層5との間に設けて両層を隔てる中間層31は、本例においては、タッチパネル電極層側から順に透明有機材料からなる絶縁層33およびITOで代表される透明導電材料からなるシールド層34の積層体とすることができる。透明有機材料からなる絶縁層33は、例えばアクリル系の透明樹脂を塗布して硬化することにより形成できる。また、ITOで代表される透明導電材料からなるシールド層34は、前記スパッタリング法による薄膜形成手段を用いて形成できる。本発明は、さらに前記中間層31の上層でありカラーフィルタ層5の下層となる位置に、絶縁性透明膜からなる無機膜層32を設ける。絶縁性透明膜からなる無機膜層32として、例えば窒化珪素からなる膜が望ましい。窒化珪素の薄膜形成技術は、従来より半導体や電子部品の分野で減圧CVD法を主に広く利用されてきた。本発明においては、高温での形成技術を採用することは下地の制約上困難であるため、スパッタリング法により低温で形成することが好ましい。具体的には、窒化珪素の焼結体をターゲットとする他、シリコンをターゲットとした反応性スパッタリング法により形成することが可能である。絶縁性透明膜からなる無機膜層32が形成された表面を直接の下地として、以下のカラーフィルタ層5の形成を行う場合、透明有機材料からなる絶縁層33やITOで代表される透明導電材料からなるシールド層34を最表面の下地としてカラーフィルタ層5の形成を行う場合と異なり、ブラックマトリクス層6や着色層7、7a、7b、7cの各層に使用される着色成分の残渣が殆ど発生しないことが確認された。特に、カラーフィルタ層を構成するブラックマトリクス層や着色層が、着色顔料を分散させた感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法により形成する場合に、その効果が顕著に現れる。本例に示すタッチパネル電極付きカラーフィルタを用いたタッチパネル付き液晶表示装置の構成例は、図4bの模式断面図に示すように、従来のタッチパネル電極付きカラーフィルタを用いたタッチパネル付き液晶表示装置の構成例と同様となり、インセル方式のタッチパネル付き表示装置に使用される状況を共通に示している。本例に示す液晶表示セル10の内部構造は、TN方式等の縦電界方式の液晶分子制御の方式であり、TFT薄膜トランジスタを画素駆動素子としたアクティブマトリクス方式であり、かつ、TFTとは別の基板上にCFカラーフィルタ着色層を設けたCF貼り合わせ構造を表示しているが、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタが適用される液晶表示セルは、これに限定されない。本例では、透明基板1の一方の面にブラックマトリクス層6と着色層7を有し、それらを覆う共通電極となる透明電極層8と液晶配向膜9とを形成して、液晶表示セル10の表示光15が選択的に出射される表示側基板とし、対向する透明基板20の一方の面に液晶駆動用回路TFT素子および配線層25と画素電極となる透明電極層28と液晶配向膜29とを形成して、バックライト照明光14が入射されるバックライト側基板とし、表示側基板とバックライト側基板とのそれぞれの液晶配向膜9、29を対向させた間に液晶層11を挟んで、液晶表示セル10を構成するとともに、液晶表示セル10の外側の2平面に偏光層13を偏光板の形態で一定の角度配置を選択して貼り合わせることによって設けることができる。図2は、本発明のタッチパネル電極付きカラーフィルタの他の一例を説明するための部分模式断面図である。本例においては、図1により説明した前述の一例と較べて、中間層31の構成のみが異なり、他は同様である。すなわち、本例における中間層31は、透明有機材料からなる絶縁層33のみで構成される。透明有機材料からなる絶縁層33は、例えばアクリル系の透明樹脂を塗布して硬化することにより形成できる。本例の中間層31においては、前述の一例におけるITOで代表される透明導電材料からなるシールド層34を含まないが、例えば、誘電率4以下のアクリル系透明有機材料からなる絶縁層33を15~20μmの厚さに形成することにより、電気信号ノイズを遮蔽できるので、シールド層と同等の機能を働かせることができる。以上述べたとおり、本発明は、タッチパネル電極付きカラーフィルタをインセル方式のタッチパネル付き表示装置に使用する場合に、電気的な干渉を引き起こさない構造物を容易に提供するとともに、タッチパネル電極付きカラーフィルタの製造工程での残渣発生という不具合を回避できる。