導電性材料のウェブ材料への真空蒸着によってRFIDアンテナを製造するための方法であって、a.気化源によって送り出される導電性材料が、製造すべきRFIDアンテナに対応する表面についてのみウェブ材料に付着するよう、ウェブ材料への導電性材料の付着を防止する液体を、製造すべきRFIDアンテナのパターンに対して相補的なパターンに従って前記ウェブ材料へと塗布するステップと、b.RFIDアンテナの形状に対応するパターンに従って、前記導電性材料の少なくとも第1の蒸着を実行するステップと、c.RFIDアンテナを形成する導電性材料が所定の厚さに達するために充分な回数だけ、ステップaおよびbを繰り返すステップとを特徴とする方法。1回目の塗布の後の前記液体の各々の塗布において、該液体の塗布における前記相補的なパターンが、それまでの段階において塗布された導電性材料に同調されることを特徴とする請求項1に記載の方法。a.ウェブ材料を処理ローラの周囲に供給するステップと、b.前記相補的なパターンに従ってウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、c.製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って前記ウェブ材料へと導電性材料を蒸着するステップと、d.RFIDアンテナを形成する導電性材料が所定の厚さに達するために充分な回数だけ、ステップaおよびbを繰り返すステップとを特徴とする請求項1または2に記載の方法。供給経路に沿って直列に配置された少なくとも第1および第2の処理ローラを順に巡ってウェブ材料を送るステップと、前記相補的なパターンに従ってウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、第1の処理ローラに組み合わせられた第1の気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へと第1の量の導電性材料を蒸着するステップと、前記相補的なパターンに従ってウェブ材料へと前記液体を再び塗布するステップと、第2の処理ローラに組み合わせられた第2の気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へと第2の量の導電性材料を蒸着するステップとを特徴とする請求項1または2に記載の方法。供給経路に沿って直列に配置されたさらなる処理ローラに組み合わせられたさらなる気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へとさらなる量の導電性材料を蒸着するステップを特徴とする請求項4に記載の方法。各々の処理ローラの上流に液体塗布器を配置し、それぞれの処理ローラに組み合わせられた気化源によるそれぞれの量の導電性材料の蒸着に先立って、それぞれの塗布器によってウェブ材料へと前記液体を塗布することを特徴とする請求項4または5に記載の方法。a.処理すべきウェブ材料のリールを、繰り出し機と、処理ローラと、該処理ローラに組み合わせられた気化源と、巻き取り機とを少なくとも備える金属化システムに配置するステップと、b.処理すべきウェブ材料の前記リールを、前記繰り出し機によって繰り出すステップと、c.処理すべきウェブ材料の前記リールから繰り出されるウェブ材料を、供給経路に沿って処理ローラを巡って送るステップと、d.前記処理ローラの上流でウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、e.前記気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へと第1の量の導電性材料を蒸着するステップと、f.ウェブ材料を巻き取りリールに巻き取るステップと、g.処理すべきウェブ材料のリールの処理が終わった後で、巻き取りリールを繰り出し機に配置し、ステップb~fを1回以上繰り返し、同じパターンに従い、パターンを同調させて、さらなる量の導電性材料を蒸着するステップとを特徴とする請求項1または2に記載の方法。a.処理すべきウェブ材料のリールを、少なくとも繰り出し機と、前記液体の塗布器と、処理ローラと、該処理ローラに組み合わせられた気化源と、巻き取り機とが配置された真空チャンバを備える金属化システムに配置するステップと、b.真空チャンバを閉じ、該真空チャンバ内に導電性材料の蒸着に充分な程度の真空を生成するステップと、c.処理すべきウェブ材料の前記リールを、前記繰り出し機によって繰り出すステップと、d.処理すべきウェブ材料の前記リールから繰り出されるウェブ材料を、供給経路に沿って処理ローラを巡って送るステップと、e.前記処理ローラの上流でウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、f.前記気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へと第1の量の導電性材料を蒸着するステップと、g.ウェブ材料を巻き取りリールに巻き取るステップと、h.前記蒸着チャンバの圧力を大気圧に戻すステップと、i.リールを巻き取り機から取り外すステップと、j.巻き取りリールを繰り出し機へと移すステップと、k.ステップb~jを1回以上繰り返し、同じパターンに従い、パターンを同調させて、さらなる量の導電性材料を蒸着するステップとを特徴とする請求項1または2に記載の方法。a.処理すべきウェブ材料の送り出しリールを、繰り出し機と、前記液体の塗布器と、処理ローラと、該処理ローラに組み合わせられた気化源と、巻き取り機とを少なくとも備える金属化システムに配置するステップと、b.処理すべきウェブ材料の前記リールを、前記繰り出し機によって繰り出すステップと、c.処理すべきウェブ材料の前記リールから繰り出されるウェブ材料を、供給経路に沿って処理ローラを巡って送るステップと、d.前記処理ローラの上流でウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、e.前記気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へと第1の量の導電性材料を蒸着するステップと、f.ウェブ材料を巻き取りリールに巻き取るステップと、g.ウェブ材料を巻き取りリールから繰り出し、繰り出し機に位置するリールに再び巻き取るステップと、h.RFIDアンテナを形成する導電性材料が所望の厚さに達するまで、ステップb~gを繰り返すステップとを特徴とする請求項1または2に記載の方法。導電性材料の各々の蒸着の後でウェブ材料から前記液体の残渣を取り除くことを特徴とする請求項1~9の一項に記載の方法。前記残渣が、プラズマ処理によって取り除かれることを特徴とする請求項10に記載の方法。前記プラズマ処理が、ヘリウム、酸素、またはこれらの混合物を使用して実行されることを特徴とする請求項11に記載の方法。前記ウェブ材料が、連続的に送られることを特徴とする請求項1~12の一項に記載の方法。前記ウェブ材料が、50~1000m/分の間の速度で送られることを特徴とする請求項13に記載の方法。導電性材料をウェブ材料へと真空蒸着してRFIDアンテナを製造するためのシステムであって、少なくとも1つの真空チャンバと、ウェブ材料のリールのための少なくとも1つの繰り出し機と、処理後のウェブ材料を巻き取るための少なくとも1つの巻き取り機と、繰り出し機から巻き取り機までのウェブ材料の少なくとも1つの供給経路と、少なくとも1つの気化源と、製造すべきRFIDアンテナのパターンに対して相補的なパターンについて導電性材料の付着を防止するための前記気化源の上流に位置するウェブ材料への液体の少なくとも1つの塗布器と、塗布器をウェブ材料に対して同調させるためのシステムとを備えるシステム。少なくとも1つの処理ローラをウェブ材料の前記供給経路に沿って備えており、前記気化源が、該処理ローラに組み合わせられている請求項15に記載のシステム。塗布器の同調システムが、ウェブ材料上の基準を検出するための少なくとも1つの検出器と、該検出器からの信号によって制御されるウェブ材料の長手方向の同調部材および横方向の同調部材とを備えている請求項15または16に記載のシステム。前記横方向の同調部材が、周囲をウェブ材料が送られる少なくとも1つのモータ駆動のローラを備えており、該少なくとも1つのモータ駆動のローラが、軸方向の制御された移動を備えており、横方向の同調が、該少なくとも1つのモータ駆動のローラの軸方向の移動によって制御される請求項17に記載のシステム。前記少なくとも1つのモータ駆動のローラが、処理ローラの上流に配置されている請求項18に記載のシステム。前記少なくとも1つのモータ駆動のローラが、加圧ローラに組み合わせられ、ウェブ材料をリールから繰り出すための前記繰り出し機のけん引ユニットを形成している請求項18または19に記載のシステム。前記長手方向の同調部材が、前記モータ駆動のローラの速度を操作することによってウェブ材料の張力を変化させる装置を備えている請求項18、19または20に記載のシステム。前記長手方向の同調部材が、ウェブ材料に対する液体塗布器ユニットの印刷ローラの回転速度を変化させる装置を備えている請求項17~21の一項に記載のシステム。ウェブ材料上の前記基準を検出するための2つの検出器をそれぞれ処理ローラの上流および下流に配置して備えている請求項17~22の一項に記載のシステム。直列に配置された複数の処理ローラを前記繰り出し機と前記巻き取り機の間のウェブ材料の供給経路に沿って備えており、各々の処理ローラに、気化源と、製造すべきRFIDアンテナのパターンに対して相補的なパターンについて導電性材料の付着を防止するための前記気化源の上流に位置するウェブ材料への液体の少なくとも1つのそれぞれの塗布器と、ウェブ材料に対する塗布器のそれぞれの同調システムとが組み合わせられている請求項15~23の一項に記載のシステム。各々の処理ローラにおいて、前記液体の残渣をウェブ材料から取り除くためのプラズマ処理ステーションを備えている請求項15~24の一項に記載のシステム。RFIDアンテナを定める真空蒸着された導電性材料の複数のコーティングを備えており、各々のコーティングが、順に蒸着された複数の層の重ね合わせで構成されているウェブ材料。導電性材料のコーティングが設けられたシート状の支持体を備えており、導電性材料のコーティングは、順に付着させられることによって重ねられた複数の層で構成されているRFIDアンテナ。RFIDアンテナに電気的につながった少なくとも1つの集積回路が適用されているシート状の支持体を備えており、RFIDアンテナは、順に付着させられることによって重ねられた複数の層で構成された導電性材料の少なくとも1つのコーティングで構成されている電子装置。本発明は、RFID回路のためのアンテナを製造するための方法であって、従来からの技法のいくつかの問題および限界を克服可能にする新規な方法を提供する。実際に、本発明による方法は、RFIDアンテナの形状に対応するパターンに従った導電性材料の少なくとも第1および第2の付着を、順次の工程にて実行する。この形式のプロセスによれば、長い製造時間を必要とし、きわめて有毒かつ攻撃的な化学物質の使用によって引き起こされる環境汚染の問題も伴う技法である化学エッチングを必要とせずに、RFID装置のアンテナを得ることができる。本発明による方法のさらなる好都合な特徴および実施形態が、以下で説明され、本明細書の一体の一部分を形成する従属請求項に定められる。考えられるいくつかの実施形態において、本発明による方法は、a.ウェブ材料を処理ローラの周囲に供給するステップと、b.製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って前記ウェブ材料へと導電性材料を蒸着するステップと、c.RFIDアンテナを形成する導電性材料が所定の厚さに達するために充分な回数だけ、ステップaおよびbを繰り返すステップとを含む。他の実施形態によれば、本発明の方法は、供給経路に沿って直列に配置された少なくとも第1および第2の処理ローラを順に巡ってウェブ材料を送るステップと、第1の処理ローラに組み合わせられた第1の気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へと第1の量の導電性材料を蒸着するステップと、第2の処理ローラに組み合わせられた第2の気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へと第2の量の導電性材料を蒸着するステップとを含む。例えば、マルチチャンバシステムの供給経路に沿って直列に配置されたさらなる処理ローラに組み合わせられたさらなる気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へとさらなる量の導電性材料を蒸着することができると考えられる。本発明の他の実施形態によれば、この方法は、a.処理すべきウェブ材料のリールを、繰り出し機と、処理ローラと、前記処理ローラに組み合わせられた気化源と、巻き取り機とを少なくとも備える金属化システムに配置するステップと、b.処理すべきウェブ材料の前記リールを、前記繰り出し機によって繰り出すステップと、c.処理すべきウェブ材料の前記リールから繰り出されるウェブ材料を、供給経路に沿って処理ローラを巡って送るステップと、d.前記気化源によって、製造すべきRFIDアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へと第1の量の導電性材料を蒸着するステップと、e.ウェブ材料を巻き取りリールに巻き取るステップと、f.処理すべきウェブ材料のリールの処理が終わった後で、巻き取りリールを繰り出し機に配置し、ステップb~eを1回以上繰り返して、同じパターンに従い、パターンを同調させて、さらなる量の導電性材料を蒸着するステップとを含む。製造すべきRFIDアンテナの形状に対応するパターンに従って導電性材料の蒸着を実行するために、気化源によって送り出される導電性材料が製造すべきRFIDアンテナに対応する表面においてのみウェブ材料に付着するよう、導電性材料のウェブ材料への付着を防止する液体を、製造すべきRFIDアンテナのパターンに対して相補的なパターンに従ってウェブ材料へと塗布することができる。塗布は、導電性材料の蒸着のたびに、蒸着に先立って繰り返される。塗布は、最初の塗布の後の塗布のたびに、液体が先行の蒸着工程において適用された導電性材料のパターンに同調して相補的なパターンに従って塗布されるように行われる。好都合には、ウェブ材料を、導電性材料の蒸着のための1つ以上のステーションを通って連続的に送ることで、高い生産性を達成することができる。速度は、好都合には、50m/分~1000m/分の間であってよい。別の態様によれば、本発明は、導電性材料をウェブ材料へと真空蒸着してRFIDアンテナを製造するためのシステムであって、少なくとも1つの真空チャンバと、ウェブ材料のリールのための少なくとも1つの繰り出し機と、処理後のウェブ材料を巻き取るための少なくとも1つの巻き取り機と、好ましくは繰り出し機から巻き取り機までのウェブ材料の供給経路に沿った少なくとも1つの処理ローラと、前記処理ローラに組み合わせられた少なくとも1つの気化源と、製造すべきRFIDアンテナのパターンに対して相補的なパターンについて導電性材料の付着を防止するための前記気化源の上流に位置するウェブ材料への液体の少なくとも1つの塗布器と、塗布器をウェブ材料に対して同調させるためのシステムとを備えるシステムに関する。本発明によるシステムのいくつかの実施形態においては、各々の蒸着段階において常に同じパターンに従って導電性材料を重ねるために、塗布器の同調システムが、ウェブ材料上の基準を検出するための少なくとも1つの検出器ならびに前記検出器からの信号によって制御される長手方向のウェブ材料同調部材および横方向のウェブ材料同調部材を備えており、長手方向および横方向について同調させつつ連続する段階において蒸着される複数の層の重ね合わせによって得られるコーティングが形成される。システムは、例えばロールツーロールの形式のマルチチャンバ式または単一チャンバ式のシステムであってよい。本発明による方法およびシステムのさらなる好都合な特徴が、本明細書の一体の一部を形成する従属請求項に示される。さらなる態様によれば、本発明は、RFIDアンテナを定める真空蒸着された導電性材料の複数のコーティングを備えており、各々のコーティングが、順に蒸着された複数の層の重ね合わせで形成され、各々の層が真空において蒸着されているウェブ材料に関する。さらに別の態様によれば、本発明は、導電性材料のコーティングが設けられたシート状の支持体すなわち、ウェブまたはシートの形状の材料を備えており、導電性材料のコーティングは、真空蒸着によって順に付着させられることによって重ねられた複数の層で構成されているRFIDアンテナに関する。さらなる態様によれば、さらに本発明は、RFIDアンテナに電気的につながった少なくとも1つの集積回路が適用されているシート状の支持体すなわち、ウェブまたはシートの形状の材料の一部分を備えており、RFIDアンテナは、真空蒸着によって順に付着させられることによって重ねられた複数の層で構成された導電性材料の少なくとも1つのコーティングで構成されている電子装置に関する。最初に図1を参照すると、第1の実施形態が、真空金属化システムをもたらしており、そのような真空金属化システムが、全体として番号1で指し示され、チャンバが開かれた状態で概略の側面図にて示されている。システム1は、真空チャンバ3を備えており、真空チャンバ3の内部に、処理すべきウェブ材料B例えば、プラスチックフィルムのリールのための繰り出し機5と、処理後の材料のリールB1の巻き取りのための巻き取り機7とが配置されている。巻き取り機7および繰り出し機5は、チャンバ3の部位3Aに位置しており、部位3Aには、リールBから繰り出されたウェブ材料に金属材料が実際に付着させられるチャンバの第2の部位3Bで指し示されているに生成される真空と比べ、より軽い程度の真空が公知の方法で生成される。真空チャンバの2つの部位3Aおよび3Bの分離は、全体が9で指し示されている仕切りバッフルによって得られ、仕切りバッフルは、処理ローラ13に隣接して配置されたガードチャンバ11を備えており、処理ローラ13の周囲に、リールBから繰り出されたウェブ材料Nが供給され、チャンバの部位3Bにおいて気化させられた金属材料を受け取る。リールBから繰り出され、リールB1に再び巻き付けられるウェブ材料Nの経路は、処理ローラ13の上流および下流に配置された一連のさらなるローラによって定められている。より詳しくは、ウェブ材料Nの経路に沿って、第1のアイドルローラ15と、第2のアイドルローラ17と、スプレッダローラ19と、ロードセル付きのアイドルローラ21と、さらなるアイドルローラ23と、キャプスタンローラ25と、スプレッダローラ27と、第5のアイドルローラ29と、いわゆるダンサーローラ31とが配置されている。上述のローラの位置は公知であり、システムの要件、使用される装置の種類、ウェブ材料Nを形成する材料の種類、ならびに気化によってウェブ材料Nへと付着させられる金属または他の導電性材料に応じて変更可能である。処理ローラ13の下方には、例えば金属材料35のコイルが供給されるジュール効果式の気化源全体が33で指し示されているが配置されている。気化源を、例えば国際公開第2007/05792号に記載のように設計することができる。処理ローラ13に印刷ユニット37が組み合わせられている。例えば、印刷ユニット37は、例えば電気抵抗などの加熱素子41が設けられた液体材料の供給源39を備えることができる。加熱素子41が、タンク39に収容された液体を加熱し、気化させる。次いで、得られた蒸気が、印刷ユニット37のアニロックスローラ43上に凝縮する。アニロックスローラ43が、凝縮した液体材料を、リールBから繰り出されて処理ローラ13へと供給されるウェブ材料が通過する印刷ニップを処理ローラ13とともに形成する印刷ローラ45へと移す。印刷ユニット37を、例えば、その内容の全体が本明細書へと援用される国際公開第2008/116617号に記載のとおりに設計することができる。印刷ローラ45には、フィルムまたはウェブ材料Nの金属化されるべきではない領域に一致する形状の隆起要素すなわち、突出部が設けられている。実際には、印刷ローラ45は、供給源33によって気化させられる導電性材料について、製造すべきRFIDアンテナの形状以外の領域においてはウェブ材料Nに付着しないようにする液体例えば、油を塗布する。印刷ローラ45のくぼんだ領域が、金属化させるべき領域に一致し、すなわち導電性材料をウェブ材料Nへと付着させることによって得るべきアンテナの形状を有している。図4が、ウェブ材料Nの一部分を示しており、ウェブ材料Nへの金属コーティングの真空蒸着によって製造されたRFID装置用の4つのアンテナ全体としてAで指し示されているが示されている。したがって、これらのアンテナを製造するための印刷ローラ45は、その表面に、ウェブ材料Nの金属化の領域に一致するくぼんだ領域を有し、周囲の全表面に液体を塗布し、供給源33によって気化させられてウェブ材料N上に凝縮する導電性材料の付着を防止する。特徴的なことに、本発明によれば、RFIDアンテナを形成するための充分に厚い導電性材料のコーティングを得るために、複数回の真空蒸着作業が、同じプラスチックフィルムまたは他のウェブ材料Nについて順に実行され、各々の蒸着段階において、得るべき所望のコーティングの全体の厚さすなわち、アンテナAの総厚さよりも小さい厚さの導電性材料の層が付着させられる。各々の蒸着段階において、導電性材料が、印刷ローラによって定められるパターンに従って適用され、各々の段階の蒸着領域が重ね合わせられる。真空蒸着によって層を次々に付着させることによってアンテナAを形成するコーティングの全体を形成するために、処理の各工程において、ウェブ材料Nと印刷ローラ45との間の正確な同調が維持される必要があり、より詳しくは、先行の工程において付着させられた導電性材料と印刷ローラ45上のパターンとの間の正確な同調が維持される必要がある。この目的のため、好都合には、ウェブ材料Nに、ウェブ材料Nの辺Nbに沿った基準マークまたはフォトセルマークTを設けることができる図4。好都合には、基準マークTは、斜辺を有し、すなわち該当の辺Nb装置1におけるウェブ材料Nの供給の方向Fに平行であるに対して直角でない辺を有する台形または三角形の形状を有することができる。図4に示した概略的な例では、三角形または台形の形状の基準マークTが設けられているが、これらのマークの形状に限られないことを理解すべきである。装置1の内部には、好都合には、ウェブ材料Nの通過のたびに印刷ローラ45によって形成されるパターンが、前回の通過において形成されたパターンに同調するよう、ウェブ材料Nの長手方向および横方向の両方の同調システムが設けられる。図1に示した例では、繰り出し機5から巻き取り機7までのウェブ材料Nの経路に沿って、2つの光電制御装置51および53が設けられており、これらの装置51および53が、ウェブ材料N上の基準マークTの位置を検出し、装置51および53によって特定された位置に関してウェブ材料の横方向および/または長手方向の位置を修正する。考えられる一実施形態においては、長手方向の同調を、印刷ローラ45の角度位置を制御することによって得ることができ、この目的のために、印刷ローラ45は、処理ローラ13を駆動する主モータとは異なるモータによって駆動される。この形式の構成が、図2Aの実施形態に示されている。この図においては、装置の主要な構成要素を、それらの実際の位置に一致する位置に図示するのではなく、あくまでも図示を簡単にする目的で、1つの平面に配置したウェブ材料Nの供給経路に沿って並べて図示している。処理ローラ13が、電子制御の電動モータ60エンコーダ62を備えているによって駆動されて回転する。処理ローラ13の下方に従来からのやり方で示されている印刷ローラ45が、エンコーダ63を備えるモータ61によって駆動されて回転する。電子制御のモータ61は、電子制御モジュールまたはユニット65に接続され、エンコーダ63ならびにウェブ材料N上の基準マークTを読み取る光電制御装置51および53も、電子制御モジュールまたはユニット65に接続される。光電制御装置51、53の一方または他方のエンコーダ63が、先行の処理工程において適用された金属コーティングについて、印刷ローラ45の角度位置に対する長手方向の同調のずれすなわち、ウェブ材料Nの供給の方向Fに平行なずれを検出したとき、モータ61が、印刷ローラ45とウェブ材料Nとの間の微小なすべりによって印刷ローラ45に修正の動きを付与し、印刷ローラ45のパターンを先行の処理サイクルの際に形成されたコーティングに再び同期させる。横方向の同調を得るための処置が、同じ光電制御装置51、53および制御ユニット65による制御により、図示の例ではローラ15および17の間に配置されるモータ駆動のけん引ユニット67において行われる。いくつかの実施形態においては、モータ駆動のけん引ユニット67が、好都合にはモータ駆動のローラ67Aを備え、好ましくは対向するアイドルローラ67Bを備える。モータ駆動のローラ67Aが、電子制御の電気モータ69エンコーダ70を備えているによって駆動されて回転する。2つのローラ67Aおよび67Bは、両方のローラ67Aおよび67Bを横方向すなわち、ウェブ材料Nの供給の方向Fを横切るf67によって示されている方向に移動させ、この横移動にてウェブ材料Nを引っ張り、印刷ローラ45の位置に対して横方向の中心合わせを行うことができる横方向の位置決め制御モータ71によって規制されている。このやり方で、印刷ローラ45と先行の処理工程において付着させたコーティングとの間に生じうるすべての横方向の同調ずれが修正される。モータ71にエンコーダ73が組み合わせられ、両方の構成要素71および73が、光電制御装置51および/または53から情報を受信する電子制御ユニット65に接続されている。また、図示の例では、モータ69およびエンコーダ70も電子制御ユニット65へと接続されている。図2Bが、連続する導電性材料の付着の工程においてウェブ材料Nを同調させるシステムの別の実施形態を示している。図2Aに示した実施形態の各部と同じまたは同等の部分は、同じ番号で指し示されている。図2Bにおいては、印刷ローラ45が、エンコーダを備えるモータによって制御されるのではなく、処理ローラ13およびアニロックスローラ43によって摩擦で駆動される。これらの後者は、処理ローラ13を駆動するエンコーダ62を備える主モータ60によって駆動されて回転する。印刷ローラ45を駆動して回転させるためのこの形式の構成の解決策は、国際公開第2008/116617号に記載されている。この場合、横方向の同調が、図2Aを参照して上述したやり方で得られる一方で、ウェブ材料Nの供給の方向Fに平行な長手方向の同調は、上述したけん引ユニット67への作用によって達成される。この目的のため、モータ69を、ウェブ材料Nに加わる張力を増加または減少させて、印刷ローラ45について先行の工程で実行された導電性材料の付着によって得られたパターンに対する長手方向の同調を生じさせるように、中央制御ユニット65によって加速または減速させることができる。2つの構成のうちの一方または他方の上述のシステムにおいて、同じウェブ材料Nへの導電性材料の複数の真空蒸着サイクルを、各々の工程において印刷ローラ45のパターンをきわめて正確なやり方で同調させつつ実行することができる。したがって、RFIDアンテナを製造するためのプロセスは、以下のとおりである。ウェブ材料Nの素材リールBが、装置の内部で繰り出し機5に配置される。真空チャンバ3が閉じられ、チャンバ3の2つの部位3A、3Bにおいて充分な真空の程度が得られるまで、圧力が下げられる。次いで、ウェブ材料NがリールBから繰り出され、巻き取り機7のリールB1へと徐々に巻き取られる。ウェブ材料Nが、処理ローラ13の周囲を運ばれ、供給源33によって気化させられた導電性材料の気化および蒸着の領域に進入する前に、ウェブが、印刷ユニット37によって、タンク39からアニロックスローラ43へと送り出された液体で、製造すべきアンテナAのパターンに対して相補的であるパターンに従って濡らされる。気化源33の前方を通過するとき、ウェブ材料Nは、供給源によって気化させられた導電性材料を受け取り、この導電性材料が、処理ローラ13の冷却ゆえにウェブ材料N上に凝縮する。印刷ユニット37によって適用された液体で濡らされた領域においては、導電性材料がウェブ材料Nに付着しない一方で、製造すべきアンテナAに対応する形状の乾燥した領域には、導電性材料が付着する。印刷ユニットによって適用された液体は、リールB1へのウェブ材料Nの巻き取りに先立って蒸発できる。いずれにせよ、液体のわずかな痕跡は、以降の処理を損なうことはない処理の際に残余の痕跡を除去するための手段も存在するが。リールBの全体の処理が完了した跡で、装置が停止され、真空チャンバ3が大気圧へと戻され、リールB1が装置から取り外され、位置が変更されるすなわち、再び繰り出し機5に配置される。上述のサイクルが、各々の工程において印刷ローラ45によって定められる同じパターンに従って蒸着される各層が、高い精度で重ね合わせられるよう、先行の真空蒸着サイクルによって形成されたパターンについて印刷ローラ45のパターンとの同調を維持するように注意しながら、1回以上繰り返される。本発明によるプロセスのいくつかの別の実施形態においては、チャンバを常に真空の状態に保ち、リールを巻き取り機から取り外して再び繰り出し機に配置することをせずに、複数回の蒸着サイクルを行うことができる。この目的のために、以下の各工程を実行することができる。すなわち、処理されるべき材料のリールが繰り出し機5に配置され、ウェブ材料Nが、チャンバおよび処理ローラ13の周囲を通って供給され、パターンに従って蒸着が実行され、処理後のウェブ材料Nが、巻き取り機7に配置されたリールB1に巻き取られる。ウェブ材料Nの1回目の通過が完了した後で、好ましくはウェブ材料Nの後端をリールBの中心の巻き付け支持部から外すことなく、気化源33および好ましくは印刷ユニット37が停止され、リールが巻き取り機において繰り出され、リールB1が解かれてリールBが再び形成される。再巻き取りの完了後に、ウェブ材料NをリールBから処理ローラ13の周囲へと送り出して、リールB1の周囲に巻き取りながら、蒸着サイクルが再び実行される。これらの作業を、各回の通過において蒸着される導電性材料の量および到達すべき導電性材料が所望の厚さに応じて、1回以上繰り返すことができる。所望の厚さに達した後で、装置が大気圧に戻され、チャンバ3が開かれ、処理済みのリールB1が装置から取り出される。このサイクルは、ウェブ材料Nの通過のたびに真空を取り戻す必要がないという利点を有する。さらに、処理される材料が、新たな通過のたびごとに空気中の酸素に触れることがなく、酸化現象の防止または軽減に関して有利である。図5が、図4のアンテナAの一部分の概略の拡大断面図比例尺ではないを示している。この図は、上述のとおりの3つの連続する処理工程にて導電性材料を付着させることによって得られた3つの層S1、S2、およびS3を概略的に示している。仕上がった製品において、3つの層S1、S2、およびS3は、完璧な同調に達することは不可能であるがゆえに長手方向および/または横方向において最小限のずれを有しているが、ほぼ完全に重なり合っている。得られる精度は、いずれの場合も、得られる製品について意図される目的にとって充分である。図6が、アンテナAが表面に形成されて集積回路Iへと電気的に接続されているウェブ材料Nの一部分を含むRFID装置またはタグ全体としてDで指し示されているを製造するための上述のプロセスによって製造されたアンテナの使用を示している。図1に示した形式のロールツーロールの装置において同じ蒸着プロセスを実行する代わりに、アンテナAを製造するための複数の層S1~S3の複数回の順次の蒸着のプロセスを、マルチチャンバ蒸着装置での連続プロセスによって実行することも可能である。図3が、そのような形式の解決策を概略的に示している。図3において、符号101が、繰り出しチャンバ103、巻き取りチャンバ105、および3つの真空蒸着チャンバ107、109、111を備えるマルチチャンバ装置の全体を指している。繰り出しチャンバ103に、素材例えば、フィルムまたは他のウェブ材料NのリールBの繰り出し装置115が配置されている。処理後のウェブ材料Nを巻き取る巻き取り機117が、巻き取りチャンバ105に配置されている。ウェブ材料Nは、3つの真空蒸着チャンバ107、109、および111を通過し、各々の真空蒸着チャンバに、一式の気化源121、123、125が配置されている。気化源121、123、125の上方に、それぞれの処理ローラ127、129、131が配置されている。各々の処理ローラに、図1、図2A、および図2Bに関して説明したユニット37と同じやり方で設計されたそれぞれの印刷ユニット133、135、および137が組み合わせられている。各々の印刷ユニットに、例えばやはり図1、図2A、および図2Bに関して説明したとおりに設計される同様のウェブ材料Nの長手方向および横方向の同調または中心合わせのシステムも、設けられている。実際には、マルチチャンバ装置101は、蒸着チャンバ107、109、および111の各々について、図1に関して示した構成要素の配置を繰り返している。このやり方で、リールBから繰り出されるウェブ材料Nのただ1回の通過で、蒸着チャンバ107、109、111の数と同数の導電性材料の層が、所定のパターンに従って蒸着される。いくつかの実施形態においては、ウェブ材料の経路において、少なくとも1つのプラズマ処理ステーションを、好ましくは気化源のうちの1つまたは各々の気化源の下流に設けることができる。プラズマステーションは、ウェブ材料へと塗布されたマスキング液の残渣あればを除去するために、ウェブ材料の表面のプラズマエッチング清掃作業を実行する。好ましくは、プラズマステーションは、ヘリウム、酸素、またはこれらの混合物を使用する。図1において、符号22が、ローラ21および23の間に配置されたこの種のステーションを例として示している。同様に、プラズマステーションを、図示の他の実施形態にも設けることができる。図面は、あくまでも本発明の現実的な実証として提示された一例を示しているにすぎず、この例について、本発明の根底にある考え方の範囲から逸脱することなく、形状態および配置の変更が可能であることを理解すべきである。添付の特許請求の範囲において、参照番号は、明細書および図面を参照しての特許請求の範囲の理解を容易にするために備えられており、特許請求の範囲によって表される保護の範囲を限定するものではない。