"ベースに回転自在にテーブルが配設され、前記テーブル上に載置されるワーク中心を、前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置であって、前記テーブルは、前記ベースに遠い側からAテーブル、Bテーブル、Cテーブルの順に積層され、前記Bテーブル上に配設されて前記Aテーブルが載置され、前記Bテーブルが前記Aテーブルを当該テーブル面に沿ってY軸方向へ移動自在に案内する第1移動機構と、前記Cテーブル上に配設されて前記Bテーブルが載置され、前記Cテーブルが前記Bテーブルを前記Y軸方向と直交するX軸方向へ当該テーブル面に沿って移動自在に案内する第2移動機構と、前記Aテーブルを前記Y軸方向へ移動する第1駆動手段と、前記Bテーブルを前記X軸方向へ移動する第2駆動手段と、前記Cテーブルを回転駆動する回転駆動手段と、を備えたことを特徴とする回転テーブル装置。前記第1駆動手段が前記Aテーブルの凹部に係合された第1偏心カムと、前記第1偏心カムと一体に形成された第1主軸と、前記第1主軸を回転する第1モータと、を備え、前記第2駆動手段が前記Bテーブルの凹部に係合された第2偏心カムと、前記第2偏心カムと一体に形成された第2主軸と、前記第2主軸を回転する第2モータと、を備え、前記回転駆動手段が前記Cテーブルに一体に固定された第3主軸と、前記第3主軸を回転する第3モータと、を備えたことを特徴とする請求項1に記載の回転テーブル装置。ワークの振れを計測する計測装置と、前記振れからワーク中心の芯ずれ量を演算する演算部と、前記演算部の芯ずれ量に基づいて前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯動作を制御する制御部と、を備え、前記計測装置によりワークの振れを計測し、その計測値に基づいて前記演算部が演算し、前記テーブルの回転中心と前記ワーク中心のX軸方向の芯ずれ量、Y軸方向の芯ずれ量を求める第1工程と、前記第1駆動手段により、前記AテーブルをY軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第2工程と、前記第2駆動手段により、前記BテーブルをX軸方向のずれ量を移動して補正する第3工程と、を含めて実行することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の回転テーブル装置。前記Aテーブル、前記Bテーブルおよび前記Cテーブルを一体に固定する第1クランパと、前記Bテーブルおよび前記Cテーブルを一体に固定する第2クランパと、前記Cテーブルと前記ベースを一体に固定する第3クランパと、を備え、前記第1工程は、第1クランパおよび第2クランパを固定、第3クランパを開放し、前記第2工程は、第1クランパを開放、第3クランパおよび第3クランパを固定し、前記第3工程は、第1クランパおよび第2クランパを開放、第3クランパを固定することを特徴とする請求項3に記載の回転テーブル装置。しかしながら、特許文献1に記載の自動芯出し装置は、ワークの振れの計測がないため、効率が悪く、プッシャによる押し込みとその測定の繰り返しが多いため、芯出し時間が長すぎるという問題があった。また、自動芯出し装置は、パレットテーブルの近傍の位置にあり、サーボモータやマグネスケール、ボールねじやリニアガイド等の高性能機器が突出しており、防塵設計が容易でないという問題があった。そこで、本発明は、このような問題を解決するために創案されたものであり、芯出し調芯時間が短く、また、構造がシンプルで、防塵設計が容易な自動調芯する回転テーブル装置を提供することを課題とする。前記した課題の解決を達成するため、請求項1に係る回転テーブル装置の発明は、ベースに回転自在にテーブルが配設され、前記テーブル上に載置されるワーク中心を、前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置であって、前記テーブルは、前記ベースに遠い側からAテーブル、Bテーブル、Cテーブルの順に積層され、前記Bテーブル上に配設されて前記Aテーブルが載置され、前記Bテーブルが前記Aテーブルを当該テーブル面に沿ってY軸方向へ移動自在に案内する第1移動機構と、前記Cテーブル上に配設されて前記Bテーブルが載置され、前記Cテーブルが前記Bテーブルを前記Y軸方向と直交するX軸方向へ当該テーブル面に沿って移動自在に案内する第2移動機構と、前記Aテーブルを前記Y軸方向へ移動する第1駆動手段と、前記Bテーブルを前記X軸方向へ移動する第2駆動手段と、前記Cテーブルを回転駆動する回転駆動手段と、を備えたことを特徴とする。請求項2に係る請求項1に記載の自動調芯する回転テーブル装置の発明は、前記第1駆動手段が前記Aテーブルの凹部に係合された第1偏心カムと、前記第1偏心カムと一体に形成された第1主軸と、前記第1主軸を回転する第1モータと、を備え、前記第2駆動手段が前記Bテーブルの凹部に係合された第2偏心カムと、前記第2偏心カムと一体に形成された第2主軸と、前記第2主軸を回転する第2モータと、を備え、前記回転駆動手段が前記Cテーブルに一体に固定された第3主軸と、前記第3主軸を回転する第3モータと、を備えたことを特徴とする。請求項3に係る請求項1または請求項2に記載の回転テーブル装置の発明は、ワークの振れを計測する計測装置と、前記振れからワーク中心の芯ずれ量を演算する演算部と、前記演算部の芯ずれ量に基づいて前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯動作を制御する制御部と、を備え、前記計測装置によりワークの振れを計測し、その計測値に基づいて前記演算部が演算し、前記テーブルの回転中心と前記ワーク中心のX軸方向の芯ずれ量、Y軸方向の芯ずれ量を求める第1工程と、前記第1駆動手段により、前記AテーブルをY軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第2工程と、前記第2駆動手段により、前記BテーブルをX軸方向のずれ量を移動して補正する第3工程と、を含めて実行することを特徴とする。請求項4に係る請求項3に記載の回転テーブル装置の発明は、前記Aテーブル、前記Bテーブルおよび前記Cテーブルを一体に固定する第1クランパと、前記Bテーブルおよび前記Cテーブルを一体に固定する第2クランパと、前記Cテーブルと前記ベースを一体に固定する第3クランパと、を備え、前記第1工程は、第1クランパおよび第2クランパを固定、第3クランパを開放し、前記第2工程は、第1クランパを開放、第3クランパおよび第3クランパを固定し、前記第3工程は、第1クランパおよび第2クランパを開放、第3クランパを固定することを特徴とする。請求項1に係る発明によれば、テーブルは、ベースに遠い側からAテーブル、Bテーブル、Cテーブルの順に積層され、AテーブルをY軸方向へ移動自在に案内する第1移動機構と、第1駆動手段とがAテーブルとBテーブルの間に設けられ、BテーブルをX軸方向へ移動自在に案内する第2移動機構と、第2駆動手段とがBテーブルとCテーブルとの間に設けられたため、構造がシンプルで、信頼性の高い、自動調芯する回転テーブル装置を提供することができる。請求項2に係る発明によれば、第1駆動手段はAテーブルの凹部に係合された第1偏心カムと、第1偏心カムと一体に形成された第1主軸と、第1主軸を回転する第1モータとから構成され、前記第2駆動手段はBテーブルの凹部に係合された第2偏心カムと、第2偏心カムと一体に形成された第2主軸と、第2主軸を回転する第2モータとから構成され、回転駆動手段は、Cテーブルに一体に固定された第3主軸と、第3主軸を回転する第3モータと、を備えたことから、容易にワークの中心の自動調芯ができ、調芯時間の短縮ができる。また、第1偏心カムは第1主軸と一体にして形成し、第2偏心カムも第2主軸と一体に形成し、テーブルの中に収容して構成したので、防塵設計が容易にできる。また、自動調芯する回転テーブル装置の中に収容することができるので、防塵設計が容易にできる。請求項3に係る発明によれば、計測装置によりワークの振れを計測し、その計測値に基づいて演算部が演算し、テーブルの回転中心と前記ワーク中心のX軸方向の芯ずれ量、Y軸方向の芯ずれ量を求める第1工程と、第1駆動手段により、AテーブルをY軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第2工程と、第2駆動手段により、BテーブルをX軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第3工程と、を含めて実行することにより、繰り返しの動作がないワークの自動調芯ができるため、短時間で容易に芯出し作業ができる。また、この自動調芯する自動調芯部によりワークの芯出し精度の向上ができるため、加工品もワンランクアップの加工精度の達成ができる。請求項4に係る発明によれば、第1工程は、第1クランパおよび第2クランパを固定、第3クランパを開放し、第2工程は、第1クランパを開放、第3クランパおよび第3クランパを固定し、第3工程は、第1クランパおよび第2クランパを開放、第3クランパを固定することにより、より高精度で、動作の速い、効率のよい自動調芯ができる。以下、本発明の実施の形態を、立形研削盤の全体図から説明する。図1に示すように、立形研削盤10の中央には、自動調芯部20を有する回転テーブル装置21が配置されている。図2に示すように、回転テーブル装置21のテーブル2は、上からAテーブル2a、Bテーブル2b、Cテーブル2cの順に3層積層されている。また、正面の右上部のクロススライド7には砥石軸ヘッド3が装着され、砥石軸ヘッド3の回転軸には、先端に砥石3bが固定された砥石軸3aが装着されている。また、この砥石軸ヘッド3の左側には、ワークWの芯ずれの量を把握するために、ワークWの振れを測定する計測装置8が配設されている。計測装置8は先端部にプローブ8aを装着した本体と、上下に移動自在のガイド8bおよび搬送装置8cから構成されている。図3に示すように、立形研削盤10の砥石軸ヘッド3は、砥石軸3aを回転させながら上下Z1軸方向と、左右X1軸:図2参照方向へ移動させるため、サーボモータとボールねじ、ナット等による図示しないZ1軸駆動装置、X1軸駆動装置が配置されている。さらに、ワーク保持部材である回転テーブル装置21には、本発明の自動調芯部20が組み込まれており、回転テーブル装置21の回転を制御する回転駆動手段である第3サーボモータC3図4参照が配置されている。さらに、後記する自動調芯部20用の第1、第2駆動手段である第1サーボモータC1と第2サーボモータC2が配置されている。この立形研削盤10は、本体の砥石軸ヘッド3の2X1,Z1軸の制御軸に、このC1,C2,C3の3軸を合せると、5軸制御のNC研削盤となる。図3に示すように、立形研削盤10は、基台であるベッド1と、ベッド1に載置されたガイドベース1aと、このガイドベース1aに載置され、前記X1軸駆動装置により左右方向に移動するサドル5と、サドル5に載置され、前記Z1軸駆動装置により上下方向に移動するクロススライド7と、クロススライド7の正面に固定された砥石軸ヘッド3と、砥石軸ヘッド3に装着された砥石軸3aの砥石3bから構成され、砥石3bの下方には、本発明の自動調芯部20を内蔵した回転テーブル装置21が配置されている。また、図3に示すように、立形研削盤10の背面には、強電パネル9が配置され、強電パネル9内に格納された制御部9aにおいて、5軸X1,Z1,C1,C2,C3のNC制御を行う他、計測装置8が行うワーク計測と、自動調芯部20が行う自動調芯の制御を行う。また、計測装置8のワーク計測は、ワークWの振れの計測の他、その測定値から偏心量を演算する演算部図示せずと、数値やプログラム等を記憶する記憶部図示せずと、操作盤9bの操作入力部等を備えている。前記制御部9aは、一連の研削加工、計測の他に、自動調芯部20等を制御し、ワークWの微量の偏心量を第1主軸11の第1偏心カム11sと、第2主軸12の第2偏心カム12sの回転制御により回動し、X軸方向とY軸方向へワークWを移動させて芯ずれを解消するように制御する。演算部図示せずは、計測装置8の振れの計測値から芯ずれ量を瞬時に演算する。記憶部図示せずは、ワークWのワーク情報、研削情報や操作盤9bからの入力情報を記憶する。操作入力部は、操作盤9bのテンキーから作業者によって入力する入力部であり、NCプログラムの数値の変更が行われ、演算された数値に基づいて制御される。<回転テーブル装置21の構成>図4~図7を参照して、本発明の自動調芯部20を有する回転テーブル装置21の構成を各部位ごとに詳細に説明する。図4は、回転テーブル装置21の縦断面図である。図4に示すように、上からAテーブル2a、Bテーブル2b、Cテーブル2cの順に3層積層されたテーブル2と、その内部に組み込まれた自動調芯部20とから構成されている。この自動調芯部20は、テーブル2上の中心近傍に取付けられたワーク中心c0を、テーブル2の回転中心c1に自動調芯して芯ずれなしの状態に補正する。<テーブル2の構成>図4に示すように、テーブル2の構成は上から順に、円盤状で上段のAテーブル2a、中段のBテーブル2b、下段のCテーブル2cで、3層に積層されている。アダプタ2dも含めれば、4層に積層されている。Aテーブル2aは、一方向の、例えばY軸前後方向へ摺動自在であり、Bテーブル2bは、他方向の、例えばX軸左右方向へ摺動自在または一体に固定されて積層され、Aテーブル2aとBテーブル2bとの間には、分割された略リング状のBライナ2mが挟持され、Bライナ2mの厚み分の凹部aのスペースが確保されている。Aテーブル2aとBテーブル2bのスペースには後記する第1移動機構15が設けられ、Aテーブル2aは、例えばY軸方向へ摺動自在となっている。また、Bテーブル2bとCテーブル2cとの間にも分割された略リング状のCライナ2nが挟持され、Cライナ2nの厚み分の凹部cのスペースが確保されている。Bテーブル2bとCテーブル2cの間のスペースには後記する第2移動機構16が設けられ、Bテーブル2bは、例えばX軸方向へ摺動自在となっている。<第1主軸11の構成>図4に示すように、第1主軸11は、中実材から形成され、Aテーブル2aの中央に配置されている。第1主軸11の上端部11aに一体に形成された第1偏心カム11sがベアリングである第3軸受11bに係合している。第1主軸11は、他に第4軸受11c、第5軸受11dの計3箇所によって回転自在に支持されている。また、第1主軸11の下部には、中央ハウジング12gの下面12pに固定された下部ハウジング11gを介して、第1主軸11の外周面と下部ハウジング11gの上部内周面11kとの間に装着された第1モータC1が配置されている。第1モータC1は、第1ステータC1aと第1ロータC1bと、から構成され、第1ステータC1aは、下部ハウジング11gの上部内周面12kに装着されている。また、第1モータC1の下部には、回転角を検出するための第1エンコーダC1cが配置されている。<第2主軸12の構成>図4に示すように、第2主軸12は、円筒状に形成され、Bテーブル2bの中央に係合されている。第2主軸12の上端部12aに一体に形成された第2偏心カム12sがベアリングである第6軸受12bに係合している。第2主軸12は、前記第1主軸11が挿通され、外周に隙間を設けた状態で、第3主軸13に挿通されている。第2主軸12の下部には、ベアリングである第7軸受12cが配置され、回転自在に上下端で両端支持されている。また、第2主軸12の下部には、上部ハウジング14の下面14pに固定された中央ハウジング12gを介して、第2主軸12の外周面と中央ハウジング12gの上部内周面12kとの間に装着された第2モータC2が配置されている。第2モータC2は、第2ステータC2aと第2ロータC2bとから構成され、第2ステータC2aは、中央ハウジング12gの上部内周面12kに装着されている。また、第2モータC2の下部には、回転角を検出するための2エンコーダC2cが配置されている。<第3主軸13の構成>図4に示すように、第3主軸13は、中心に貫通孔が設けられ、前記第1主軸11と前記第2主軸12とが挿通され、外周に隙間を設けた状態で、前記アダプタ2dを介してCテーブル2cに一体に固定されている。第3主軸13は、アダプタ2dの外周に設けられた大型のベアリングである第1軸受13bと、第3主軸13の縮径部13dに設けられた中型のベアリングである第2軸受13cにより、回転自在に両端支持されている。また、第3主軸13は、第3主軸13の外周面13eとハウジング13gの上部内周面13kとの間に装着された回転駆動手段の第3モータC3によってテーブル2の回転が回転自在に駆動される。第3モータC3は、第3ステータC3aと第3ロータC3bとから構成され、前記ハウジング13gの上部内周面13kに装着されている。第3モータC3は、高精度の位置制御によってワークWの回転を駆動する。また、第3主軸13の下部には、回転角を検出するための第3エンコーダC3cが配置されている。なお、第1主軸11、第2主軸12、第3主軸13の芯は、回転中心c1である。また、第1モータC1、第2モータC2、第3モータC3は、サーボモータであり、同期ビルトインモータDirectDriveMotorが好適である。また、ここでは第3モータC3の回転駆動により第3主軸13を回転して研削加工を行うが、第1モータC1と第2モータC2の少なくとも一方が第3モータC3と同期回転により、一つのスピンドルモータとして協働で研削加工を行うように制御しても構わない。これにより、パワーの増強が可能になる。さらに、第3モータC3の小型化、省エネができるため、CO2の削減ができる。<第1移動機構の構成>図5は、図4に示すA-A線の拡大断面図であり、カムの偏心量を大きく誇張して判り易くした摸式図である。図5に示すように、第1移動機構15は、2本のガイドレール15aと、それぞれのガイドレール15aに摺動自在に装着された3個のガイドナットY軸摺動部材15abとにより構成されている。また、第1移動機構15は、Aテーブル2aとBテーブル2bとの間に、分割された略リング状のBライナ2mにより形成された凹部aのスペースに配置されている。<第1駆動手段15Eの構成>図5に示すように、第1駆動手段15Eは、第1モータC1図示せずを除く構成品は、Aテーブル2aの下面に形成された凹部bに設けられている。第1駆動手段15Eは、Aテーブル2aの凹部bに係合された第1偏心カム11sと、第1偏心カム11sと一体に形成された第1主軸11と、第1主軸11を回転する第1モータ1C図4参照とを備え、第1偏心カム11sの偏心量をMAXとしてAテーブル2aをY軸方向へ移動する。第1駆動手段15Eは、第1偏心カム11sは、第1主軸11に一体に形成され、第1偏心カム11sの回動回転運動を、Y軸方向の直線運動へ変換する変換機構である。そのために、第1主軸11に一体に形成された第1偏心カム11sの外周には第3軸受11bが装着され、この第3軸受11bの外周にはX軸スライダ15dが装着されている。また、X軸スライダ15dは矩形に形成されており、その前後Y軸方向の端面には、保持器付の針状ころ15gを介してX軸ガイド15e、15eが配置されている。このX軸ガイド15e、15eは、Aテーブル2aの下面に固定されており、クサビ15fによって隙間ガタなし状態となっている。これにより、左右X軸方向の移動が吸収され、Y軸方向の移動のみがAテーブル2aに伝達されて微量摺動する。図5に示すように、X軸ガイド15eとクサビ15f、針状ころ15g、X軸スライダ15dがX軸方向規制手段15cの役目をする。X軸方向規制手段15cは、第1偏心カム11sのY軸方向の偏心量tをAテーブル2aに伝え、X軸方向の偏心量tは左右方向に逃すように規制する。なお、偏心量tは、例えば0.50mmが好適である。移動量は±0.50mmとなるから、MAXは1.00mmである。<第2移動機構の構成>図6は、図4に示すB-B線の拡大断面図であり、カムの偏心量を大きく誇張して判り易くした摸式図である。図6に示すように、第2移動機構16は、2本のガイドレール16aと、それぞれのガイドレール16aに摺動自在に装着された3個のガイドナットX軸摺動部材16abとにより構成されている。また、第2移動機構16は、Bテーブル2bとCテーブル2cとの間に、分割された略リング状のCライナ2nにより形成された凹部cのスペースに配置されている。<第2駆動手段16Eの構成>図6に示すように、第2駆動手段16Eは、第2モータC2図示せずを除く構成品は、Bテーブル2bの下面に形成された凹部dに設けられている。第2駆動手段16Eは、Bテーブルの凹部に係合された第2偏心カム12sと、第2偏心カム12sと一体に形成された第2主軸12と、第2主軸12を回転する第2モータ2Cと、を備え、第2偏心カム12sの偏心量をMAXとしてBテーブル2bをX軸方向へ移動する。第2駆動手段16Eは、第2主軸12に一体に形成された第2偏心カム12sの回動回転運動を、X軸方向の直線運動へ変換する変換機構である。そのために、第2主軸12に一体に形成された第2偏心カム12sの外周には第6軸受12bが装着され、この第6軸受12bの外周にはY軸スライダ16dが装着されている。また、Y軸スライダ16dは矩形に形成され、その左右X軸方向の端面には、保持器付の針状ころ16gを介してY軸ガイド16e、16eが配置されている。このX軸ガイド16e、16eは、Bテーブル2bの下面に固定されており、クサビ16fによって隙間ガタなし状態となっている。これにより、前後Y軸方向への移動は吸収され、X軸方向の移動のみがBテーブル2bに伝達され、Bテーブル2bのみが摺動する。図6に示すように、Y軸ガイド16e、クサビ16f、針状ころ16gとY軸スライダ16dがY軸方向規制手段16cの役目をする。Y軸方向規制手段16cは、第2偏心カム12sのX軸方向の偏心量tをBテーブル2bに伝え、Y軸方向の偏心量tは前後方向に逃して規制する。なお、偏心量tは、前記同様に、例えば0.50mmが好適である。第1主軸11、第2主軸12の90度の回動で、移動量は±0.50mmとなり、180度の回動では、MAX1.00mmとなる。<第1クランパの構成>図4に示すように、第1クランパB1は、Cテーブル2cに格納され、アダプタ2dに固定されている。また、シリンダロッドB1aはBテーブル2bを貫通し、Aテーブル2aにシリンダロッドB1aの拡径した頭部が係合している。一旦、第1クランパB1がONすると、3層のAテーブル2a、Bテーブル2b、Cテーブル2cはアダプタ2dに固定され、一体にクランプ固定される。第1クランパB1がOFFすると、3層のAテーブル2a、Bテーブル2b、Cテーブル2cは、アダプタ2dからアンクランプする。図7に示すように、平面視で第1クランパB1☆印の配置は、計4個によって均等に配置されている。第1クランパB1の構造は、内部に複数枚の皿ばね図示せずが内蔵されたシリンダ室が形成されており、皿ばねの付勢力によってシリンダロッドB1aを引張込むようになっている。第1クランパB1は、皿ばねの付勢力を利用したクランパ装置である。したがって、この皿ばねの付勢力によってAテーブル2a、Bテーブル2b、Cテーブル2cがアダプタ2dに挟持されて一体にクランプされたテーブル2になる図4参照。一旦、第1クランパB1のシリンダ室図示せずに油圧が供給されると、今度は皿ばねの付勢力に抗して皿ばねを撓ませて各テーブルはアンクランプされる。<第2クランパの構成>図4に示すように、第2クランパB2は、前記同様Cテーブル2cに格納され、アダプタ2dに固定されている。また、シリンダロッドB2aの拡径した頭部がBテーブル2bに係合しており、Bテーブル2bとCテーブル2cがアダプタ2dに挟持されて一体にクランプされる。一旦、第2クランパB2のシリンダ室に油圧が供給されると、皿ばねの付勢力に抗して皿ばねを撓ませて、今度は第2クランパB2とCテーブル2cはアンクランプされる。図7に示すように、第2クランパB2★印は、前記第1クランパB1☆印の4個と交互に計4個配置されている。なお、第2クランパB2の構造は、第1クランパB1と同一であるため、重複する構造の説明は省略する。<第3クランパの構成>図4に示すように、第3クランパB3は、ブレーキである。この第3クランパB3は、ベース21aの上面に載置されたハウジング13gのフランジ部13hの上面に配置されている。第3クランパB3は、詳しくはディスクブレーキであり、アダプタ2dの外周に設けられたフランジ部2eにリング状のディスク2fの両面をブレーキパッドにより挟持してクランプまたは開放してアンクランプする。また、クランプ、アンクランプは、油圧のON,OFFで制御される。図7に示すように、第3クランパB3は左右印に1個ずつ、計2個配置されている。<ラフロケータの構成>図4に示すように、ラフロケータ2hは、Aテーブル2aの上面に固定された治具板2gの上面に、ワークWを固定する際の固定位置を案内するブロックである。この上面にはワークWを載置するに際して使用するサイズに応じて位置ロケータやクランパが設けてあり、このラフロケータ2hに慎重な作業と高精度なワークWを当接すれば、第3主軸13の回転中心c1に近い位置、例えば、テーブル2の中心に近い位置0.02~0.05mmにワークWを位置決めして固定することができる。≪自動調芯部の動作原理≫図4に示すように、テーブル2の上面に取付けられたワーク中心c0を、前記テーブル2の回転中心c1に合わせる自動調芯部20の動作原理を工程順に説明する。作業者がリフト、クレーン等を操作しながら、ワークWを治具板2gの上面のラフロケータ2hに載置し、ラフロケータ2hに押し当てながらワークWを固定する。しかしながら、あまり時間を掛けずに行う一連のワーク交換作業においては、ラフロケータ2hに当接しても、ワーク中心c0が第3主軸13の回転中心c1に一致することはなく、微量0.02~0.05mmの芯ずれが生じる。したがって、本発明の自動調芯部20によって自動芯出しを行い、微量の芯ずれを解消する。自動調芯の手順は、ワーク計測の第1工程と、自動調芯1の第2工程と、自動調芯2の第3工程を含む工程で行われる。表1は、Aテーブル2aと、Bテーブル2bと、Cテーブル2cをベース21a上に配置し、各工程での第1クランパB1、第2クランパB2、第3クランパB3の動作を一覧表に整理したものである。表1に示すように、第1工程は、第1クランパおよび第2クランパを固定、第3クランパを開放し、第2工程は、第1クランパを開放、第3クランパおよび第3クランパを固定し、第3工程は、第1クランパおよび第2クランパを開放、第3クランパを固定する。なお、主軸の回転が一回転以上の場合は回転、一回転未満の場合は回動と記載する。[表1]<第1工程>図8a,b,cは、自動調芯部の動作原理を示す摸式図および工程図である。図8のaに示すように、第1工程は、テーブル2の上面に固定されたワークWの振れを測定する。詳しくは、制御部9aが計測装置8図2参照に装着されたプローブ8aを降下させ、第3モータC3の回転駆動によって第3主軸13を回動し、ワークWを回動させながらワークWの内周面または外周面の振れを計測する。この場合、表1の第1工程のワーク計測に示すように、第1クランパB1、第2クランパB2はクランプし、第3クランパB3はアンクランプとなる。ワークWの振れの計測値は制御部9a図3参照内の演算部図示なしに転送され、瞬時に演算し、ワーク中心c0の座標値x、yを求める。ワーク中心c0は、例えば第2象限の、座標値-x、yの数値は、例えば-0.05,0.03と仮定して、以下の工程2、3を説明する。<第2工程>表1の第2工程の自動調芯1、Y軸に示すように、第1クランパB1をアンクランプ開放してAテーブル2aをフリーにし、第2クランパB2をクランプしてBテーブル2bとCテーブル2cを固定する。第3クランパB3はクランプとなる。第1移動機構15に移動指令が入ると、直ちに第1モータC1に回転指令が入り、第1主軸11を、例えば-0.03mmに相当する-19.9度回動する。図5に示すように、回動した第1主軸11の上端部11aに一体に形成された第1偏心カム11sによる第1駆動手段15Eと、第1移動機構15との協働によって、Aテーブル2aをY軸方向へ、y量の値-0.03mmだけ移動する。図8bに示すように、y量-0.03mmが移動したことによって、Y軸方向の芯ずれは解消する。なお、リニアスケールにより確認するクローズドループにしても構わない。<第3工程>表1の第3工程の自動調芯2、X軸に示すように、さらに、第2クランパB2をアンクランプ開放してBテーブル2bをフリーにする。第2移動機構16に移動指令が入ると、直ちに第2モータC2に回転指令が入り、第2主軸12を、例えば、0.05mmに相当する25.8度回動する。図6に示すように、回動した第2主軸12の上端部12aに一体に形成された第2偏心カム12sによる第2駆動手段16Eと、第2移動機構16との協働によって、Bテーブル2bを、X軸方向へ、x量の値0.05mmだけ移動する。図8cに示すように、x量0.05mmが移動したことによって、X軸方向の芯ずれも解消する。つまり、ワークWの中心は、0,0になるので、自動調芯の動作を終了する。なお、自動調芯の目標値は、±0.002mmとしている。<第4工程>第1クランパB1と第2クランパB2をクランプ固定にしてテーブル2を一体にし、さらに、第3クランパB3を開放してアンクランプにし、第3モータC3の駆動によって第3主軸13を回転し、前記第3主軸13にアダプタ2dを介して一体に固定されたテーブル2、そしてテーブル2の上面に固定されたワークWを回転し、ワークWの外面研削、内面研削、または、端面研削を行う。<第5工程>研削加工が終了した後、作業者がワークWの固定具を緩め、ワークWをフロアに下ろすワークWの交換作業の間に、第2モータC2の逆転駆動によって第2主軸12を回動し、Bテーブル2bを目視しても判らない微小の芯ずれのx量-xだけ移動させ、Bテーブル2bの位置を元に戻す。また、第1モータC1の逆転駆動によって第1主軸11を回動し、Aテーブル2aを目視しても判らない微小の芯ずれのy量yだけ移動させ、Aテーブル2aの位置を元に戻す。これにより、Aテーブル2aとBテーブル2bの微小の芯ずれが解消され、芯ずれのない元の状態に戻る。このように、その都度、Aテーブル2aとBテーブル2bの位置を元の位置に戻すことにより、Aテーブル2aとBテーブル2bの芯ずれの蓄積はない。なお、この第5工程を、この第5工程と第6工程の2工程に分割してもよい。以上の通り、本発明の自動調芯部20の動作原理は極めてユニークであり、それぞれの動作の繰り返しがなくスムーズでかつシンプルである。本発明の自動調芯部20を有する回転テーブル装置21の作用効果を述べる。1本発明は、計測装置でワークWの芯ずれを計測し、演算部により瞬時に演算してワークWの芯ずれ位置x,yを特定する第1工程と、一番上のAテーブル2aをY方向へy値だけ移動する第2工程と、2枚目のBテーブル2bをX方向へx値だけ移動させる第3工程を実行することにより、ワークWの芯ずれが解消できるので、それぞれの動作の繰り繰り返しがない分、芯出し調芯時間が短いという顕著な効果を奏する。また、本発明の自動調芯部20による自動調芯の所要時間が、計測を含めて約120秒以内である。本発明の自動調芯部20は、繰り返し動作がないため、延長になることがない。したがって、生産計画が容易であり、日程計画の進捗に支障を来たす恐れはない。2テーブル2の上面位置に、自動調芯のためのサーボモータやセンサ、およびころがりガイド等の高性能機器がどこにも露出された状態で配置されておらず、サーボモータやリニアガイド等の高性能機器はすべて円筒形状の回転テーブル装置21内に装着されている。そのため、塵の侵入を防止する防塵設計は、製作の容易な円筒形状のカバー1点の設計でよく、構造がシンプルで、防塵設計が容易になっている。また、防塵設計が容易な自動調芯部を有する回転テーブル装置を提供することができる。なお、本発明はその技術思想の範囲内で種々の改造、変更が可能である。例えば、本発明の特徴として、2枚のAテーブル2a、Bテーブル2bをY方向第2工程と、X方向第3工程に移動させるが、この工程の順番を入れ換えてもよい。また、第1移動機構15と第2移動機構16を、入れ換えても構わない。また、Bライナ2mはAテーブル2a、Cライナ2nはBテーブル2bに一体に設けても構わない。また、前記した構成に限ることなく、例えば、第1クランパB1は、Aテーブル2aおよびBテーブル2bを一体に固定し、第2クランパB2は、Bテーブル2bおよびCテーブル2cを一体に固定する、としてもよいし、第1クランパB1は、Aテーブル2a、Bテーブル2bおよびCテーブル2cを一体に固定し、第2クランパB2は、Aテーブル2aおよびBテーブル2bを一体に固定する、とする構成にしても構わない。さらに、第3クランプB3のブレーキは、その他の方式のブレーキ装置であっても構わない。図8a,b,cは、理解し易くするために、偏心量を誇張して作図したものである。実際、Aテーブル2aとBテーブル2bの偏心量は0.10mm以下の微小量であるが、図8は数百倍に拡大して誇張している。例えば、NC旋盤による加工の場合、旋盤の切刃となるバイトは固定のため、ワークWを高速回転する必要があるが、NC研削盤では、その反対に切刃となる砥石が高速回転するため、テーブル2上のワークWは低速回転でよい。そのため、このような微小量の偏心があったとしても加工精度に及ぼす影響は皆無である。"