"無機ガラスの片面もしくは両面に樹脂フィルムが積層された積層体であって、無機ガラスと樹脂フィルムとの積層界面に接着層が存在し、前記接着層が厚み0.1μm以下のシランカップリング剤の硬化物であり、積層界面に存在するボイドの直径が50μm以下であることを特徴とする積層体。前記無機ガラスが厚み10~200μmのシートである請求項1に記載の積層体。前記樹脂フィルムが厚み10~200μmのシクロオレフィンポリマーの延伸または未延伸のフィルムであることを特徴とする請求項1または2に記載の積層体。無機ガラスおよび/または樹脂フィルムの表面を活性化処理する工程、無機ガラスおよび/または樹脂フィルムをシランカップリング剤処理する工程、無機ガラスと樹脂フィルムとを重ね合わせ、同時に押圧をする工程、を含む、請求項1から3に記載の積層体の製造方法。前記無機ガラスの面上に存在する高さ3μm以上10μm未満の微粒子が100個/100cm2以下で、且つ、高さ10μm以上の微粒子が0個/100cm2であることを特徴とする請求項4に記載の積層体の製造方法。前記無機ガラスと樹脂フィルムとの圧着と同時に減圧処理することを特徴とする請求項4または5に記載の積層体の製造方法。無機ガラスと樹脂フィルムとの積層体を光学用途に使用する場合、接着中間層を非常に薄いものにすることが望ましいが、無機ガラスと樹脂フィルムの界面に、ボイドが生じると、その大きさや個数によっては光学的な不具合をもたらすことがある。これまで実際には接着中間層が非常に薄いものでありながら十分な接着強度を有し、かつ、接合材料の表面に微小うねりや微粒子等に起因する凹凸形状を有する場合でも界面のボイドが少ない無機ガラスと樹脂フィルム積層体は得られていなかった。したがって、本発明の課題は、非常に薄い接着層でありながら十分な接着強度を有し、且つ、光学的欠損の少ない少ない無機ガラスと樹脂フィルム積層体およびその製造方法を提供することにある。本発明者らは前記の課題を解決するべく検討した結果、無機ガラスと樹脂フィルムとの積層体であって、無機ガラスと樹脂フィルムとの積層界面に接着層が存在する積層体において、接着層が厚み0.1μm以下のシランカップリング剤の硬化物であり、積層界面に存在するボイドの直径が50μm以下であることによって、非常に薄い接着層でありながら十分な接着強度を有し、且つ、光学的欠損の少ない少ない無機ガラスと樹脂フィルム積層体を得ることができることを見出した。すなわち、本発明によれば、以下の1~6が提供される。1無機ガラスの片面もしくは両面に樹脂フィルムが積層された積層体であって、無機ガラスと樹脂フィルムとの積層界面に接着層が存在し、前記接着層が厚み0.1μm以下のシランカップリング剤の硬化物であり、積層界面に存在するボイドの直径が50μm以下であることを特徴とする積層体。2前記無機ガラスが厚み10~200μmのシートである1に記載の積層体。3前記樹脂フィルムが厚み10~200μmのシクロオレフィンポリマーの延伸または未延伸のフィルムであることを特徴とする1または2に記載の積層体。4無機ガラスおよび/または樹脂フィルムの表面を活性化処理する工程、無機ガラスおよび/または樹脂フィルムをシランカップリング剤処理する工程、無機ガラスと樹脂フィルムとを重ね合わせ、同時に押圧をする工程、を含む、1から3に記載の積層体の製造方法。5前記無機ガラスの面上に存在する高さ3μm以上10μm未満の微粒子が100個/100cm2以下で、且つ、高さ10μm以上の微粒子が0個/100cm2であることを特徴とする4に記載の積層体の製造方法。6前記無機ガラスと樹脂フィルムとの圧着と同時に減圧処理することを特徴とする4または5に記載の積層体の製造方法。本発明の無機ガラスと樹脂フィルムの積層体は、非常に薄い接着層でありながら十分な接着強度を有し、且つ、光学的欠損の少ない。以下、実施形態及び例示物等を示して本発明について詳細に説明するが、本発明は以下に説明する実施形態及び例示物等に限定されるものではなく、本発明の要旨及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施できる。本発明の積層体は、無機ガラス、樹脂フィルム、およびシランカップリング剤が硬化した接着層からなる。図1に本発明の積層体の構成を示す断面図を示す。樹脂フィルム樹脂フィルムに使用される樹脂は、特に限定されないが、透明な各種の熱可塑性樹脂を用いることができる。ここで透明であるとは、光学部材に用いるのに適した程度の光線透過率を有する意味である。使用される熱可塑性樹脂として、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレートなどの延伸または未延伸のフィルムやシートが挙げられる。なお、前記の樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。この中でもシランカップリング剤との接着性が良好であり、光学的特性が好ましいことからシクロオレフィンポリマーが好ましい。本発明の樹脂フィルムの厚みは、用途に応じて適宜選択されるが、10μm以上200μm以下、好ましくは、30μm以上、100μm以下である。無機ガラス本発明に使用される無機ガラスの例としては、公知のものを用いることができるが、ソーダ石灰ガラス、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス等を使用できる。本発明の無機ガラスの厚みは、用途に応じて適宜選択されるが、10μm以上200μm以下、好ましくは、30μm以上、100μm以下である。また、このようなガラスで、曲率半径100mm以上で曲げ可能であるほど柔軟性のあるガラスが好適である。使用する無機ガラスの面上には、ガラス製造時や運送時に付着する異物由来の微粒子が存在することが多い。異物は、空気中のほこり、ガラス切断時のガラスくず由来の微粒子であるが、その微粒子がガラス表面に付着した場合の高さが、3μm以上10μm未満のものが、100個/100cm2以下であり、高さ10μm以上の微粒子が0個/100cm2である場合が好ましい。ガラス表面上に存在する微粒子がこの範囲内であることにより、後の積層体の製造において発生し得るボイドの直径が50μm以下となり、光学的不都合、例えば、ボイドで光が反射することによる全光線透過率の低下等が生じえないこととなる。このような無機ガラスを得るために、無機ガラスを積層体の製造の前に、あらかじめ洗浄しておくことが重要であり、その洗浄方法は、溶剤中での洗浄、洗剤による洗浄、超音波による洗浄等が例示できる。特に無機ガラスが光学用途の好適な100μm以下の薄いガラスである場合、細心の注意を払った上で、ブラシ等で物理的に洗浄する必要がある。接着層本発明において、無機ガラスと樹脂フィルムとの積層界面には、シランカップリング剤が硬化してなる接着層が存在する。本発明に使用されるシランカップリング剤は、公知のシランカップリング剤を用いることができる。具体的には、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどのビニル基を有するもの;2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシランなどのエポキシ基を有するもの;p-スチリルトリメトキシシランなどのスチリル基を有するもの;3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシメチルジエトキシシラン、3-メタクリロキシトリエトキシシランなどのメタクリロキシ基を有するもの;3-アクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのアクリロキシ基を有するもの;N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-トリエトキシシリル-N-1,3-ジメチルブチリデンプロピルアミン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-ビニルベンジル-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩、特殊アミノシラン信越化学社製、KBM-6135などなどのアミノ基を有するもの;3-ウレイドプロピルトリエトキシシランなどのウレイド結合を有するもの;3-クロロプロピルトリメトキシシランなどのハロゲン原子を含有するもの;3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシランなどのメルカプト基を有するもの;ビストリエトキシシリルプロピルテトラスルフィドなどのスルフィド結合を有するもの;3-イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどのイソシアネート基を有するもの;等が挙げられる。これらは一種単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。シランカップリング剤は、無機ガラス側と樹脂フィルム側とで異なるシランカップリング剤を使用することができる。その場合、互いに表面同士が水素結合や共有結合で結合するような組み合わせを選択することができ、さらには、無機ガラス側や樹脂フィルム側とも水素結合や共有結合で結合するような組み合わせが好適である。具体的には、無機ガラス側にアミノ基を有するシランカップリング剤を使用し、樹脂フィルムがシクロオレフィンポリマーである場合は樹脂フィルム側にエポキシ基を有するシランカップリング剤を使用する組み合わせが例示できる。本発明の積層体において、シランカップリング剤硬化物の層の厚さは、0.1μm以下と薄い値である。0.1μmより大きい場合は、フィルム基材と支持基板は十分に接着しないことがある。金属アルコキシド層の厚さは、より好ましくは0.05μm以下、さらに好ましくは0.02μm以下である。シランカップリング剤硬化物の層の厚さの下限は特にないが、0.001μm以上が好ましい。シランカップリング剤硬化物の層の層の厚さを上記好ましい下限値以上とすることにより、良好な接着力を発揮することができる。また、金属アルコキシド層の厚さを上記好ましい上限値以下とすることにより、光学物性が良好になり、積層体としても柔軟性を維持することができる。ボイド本発明において、無機ガラスと樹脂フィルムとの積層界面に存在するボイドの直径が50μm以下である。ここでボイドとは、積層界面に存在する異物や微粒子等により、積層時に空気を挟み込んで生じる空洞をいい、図2に示したような形状を例示することができる。ボイドの発生により、その大きさや個数によって、光学的不都合を生じる場合があるが、本発明の積層体において、ボイドの直径は、50μm以下である。ボイドの直径が50μm以下である場合、本発明の積層体のように非常に薄い接着層であっても光学的欠損等の不都合を生じることがない。さらには、例えば易接着処理のため表面に粒子を付与された微粒子を有する樹脂フィルムを使用した場合でも光学的不都合を低減できる。製造方法本発明の積層体の製造方法は以下の工程を含む。1無機ガラスおよび/または樹脂フィルムの表面を活性化処理する工程2無機ガラスおよび/または樹脂フィルムをシランカップリング剤処理する工程3無機ガラスと樹脂フィルムとを重ね合わせ、同時に押圧をする工程各工程について以下に説明する。使用する無機ガラスは、上述したようにガラス表面に付着した微粒子の高さが、3μm以上10μm未満のものが、100個/cm2以下であり、高さ10μm以上の微粒子が0個/m2であることが好ましい。そのために、製造に先だって洗浄をすることが好ましい。樹脂フィルムの表面、無機ガラスの表面を、活性化処理する方法は、常圧プラズマ処理、真空プラズマ処理、UVオゾン処理、又はコロナ処理を採用することができる。特に常圧プラズマ処理、コロナ処理が、処理時間が短く生産性に優れる点で好ましい。活性化処理は、無機ガラス、樹脂フィルムのいずれか一方を行えばよいが、両方とも行う方が好ましい。樹脂フィルムをシランカップリング剤で処理する方法は、無機ガラス、樹脂フィルムの少なくとも一方の表面を、活性化処理した後、シランカップリング剤の蒸気に暴露する方法により形成することができる。特に、蒸気に暴露する方法が、形成後のシランカップリング剤層からの脱ガス成分が少ないために好ましい。蒸気に暴露する方法での処理温度は、用いるシランカップリング剤の揮発性に応じて適宜選択され、通常10~40°C、好ましくは20~30°Cである。処理時間は、通常30~1800秒好ましくは180~900秒である。シランカップリング剤で処理する場合、無機ガラス、樹脂フィルムのいずれか一方を行えばよいが、両方とも行う方が好ましい。無機ガラス、樹脂フィルムをシランカップリング剤で処理した後、活性化処理した面同士を積層し、押圧する。押圧の方法は、特に制限は無いが、ローラー等で押圧するやプレスにより押圧する方法を例示することができる。その際の圧力は、積層体の材料の特性を損なわない程度あればよい。押圧の際に加熱して、シランカップリング剤の硬化を促進し、接着強度を向上することもできる。その場合の温度は50°C以上150°C以下が好ましい。また押圧と同時に減圧処理を行い、ボイド発生を低減することができる。減圧処理は、200Pa以下、好ましくは100Pa以下の条件で行うことができる。以下、実施例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明は以下に示す実施例に限定されるものではない。接着層の厚み測定シランカップリング剤が硬化して接着層を有する積層体を、集束イオンビーム加工観察装置FB-2100日立製作所製のマイクロサンプリング装置にて加工し、観察用切片を作製した。作製した切片を透過電子顕微鏡H-7500日立製作所製で観察し、ランダムに20点測定し、測定値の平均から接着層の厚さを求めた。光学特性;全光線透過率濁度計日本電色製NDH2000型を使用し、JIS-K-7105に準拠し測定した。全光線透過率が90以上のものを合格とし、90未満のものを不合格とした。接着強度の測定積層体のフィルム側に1mm2のクロスカットを100個入れ、ニチバン株製セロハンテープ登録商標をその上に貼り付け、1.5kg/cm2の荷重で押し付けた後、90°方向に剥離し、残存した個数により3段階評価○:100、△:50~99、×:0~49した。耐薬品性の評価方法苛性ソーダ2水溶液へ30分浸漬したときの剥離したものを○とし、部分的あるいは完全に剥離したものを×とした。積層体の表面の評価顕微鏡にて積層体の表面を観察し、100cm2内に直径10μm以上50μm以下のボイドが0個であるものを合格と評価し、50μmを超えるボイドが存在するものを不合格と評価した。実施例1厚み100μm、大きさ100mm角の無アルカリガラス基板日本電気硝子社製、OA-10Gを用意し、その表面を市販の中性洗剤を用いてブラシ洗浄し、純水で十分にリンスした後、乾燥させた。洗浄乾燥後のガラス基板の表面を顕微鏡で観察したところ、微粒子は主に10μm以下のガラス切削くずカレットであった。清浄化されたガラス基板、および、樹脂フィルムとして厚み60μm、大きさ100mm角に切り出したCOPフィルム日本ゼオン社製、ゼオノアZF-16の接合面をそれぞれ大気圧プラズマ処理により活性化させた後、ガラス基板については予め3-アミノプロピルトリメトキシシラン信越化学工業社製、KBM-903の蒸気で満たされた密閉容器内に、COPフィルムについては予め3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン信越化学工業社製、KBM-403の蒸気で満たされた密閉容器内にそれぞれ投入し、室温、15分間、シランカップリング剤蒸気を暴露させた。所定時間の暴露後、各密閉容器よりガラス基板とCOPフィルムを取り出し、ラミローラーを用いて、100°C、1m/min、0.4MPaの条件で、ガラス基板の処理面にCOPフィルムの処理面を貼合し無機ガラス/樹脂フィルム積層体を作製した。得られた積層体の物性および評価結果を表1に記載した。実施例2実施例1において、COPフィルムを易接着層付PETフィルム東洋紡績社製コスモシャインA4100に変えた以外は実施例1と同様にして、無機ガラス/樹脂フィルム積層体を作製した。得られた積層体の物性および評価結果を表1に記載した。比較例1実施例1において、無機ガラスを洗浄しなかった以外は実施例1と同様にして、無機ガラス/樹脂フィルム積層体を作製した。得られた積層体の物性および評価結果を表1に記載した。なお、洗浄をしていない無機ガラス表面には、高さ10μm以上のパーティクルが存在した。比較例2実施例1において、シランカップリング剤を使用する代わりに熱硬化性シリコーン樹脂フィルム東レダウコーニングシリコーン社製SOTEFAを貼合する以外は実施例1と同様にして、無機ガラス/樹脂フィルム積層体を作製した。得られた積層体の物性および評価結果を表1に記載した。実施例と比較例の結果を対比することにより、本発明の積層体が光学特性に優れて、接着強度等の物性においても優れていることがわかる。"