電流の流通、遮断を行う可動接触子及び固定接触子から成る接点と、前記可動接触子に接続されると共に、流体圧シリンダ内を摺動可能に設置され、前記接点を開閉動作させるピストンと、作動流体を加圧供給する流体圧源と、前記ピストンを駆動する制御弁類とを備えた遮断器の流体圧駆動装置において、前記ピストンは、前記可動接触子と接続される側のシリンダ高圧室と、前記可動接触子と接続される側とは反対側のシリンダ制御室とに区分され、前記制御弁類は、前記シリンダ制御室が戻りポートに接続されて前記ピストンを開路動作させる開路用制御弁と、前記シリンダ制御室が供給ポートに接続されて前記ピストンを閉路動作させる閉路用制御弁と、前記開路用制御弁の動作を制御する開路用パイロット弁と、前記閉路用制御弁の動作を制御する閉路用パイロット弁と、アンチポンピング弁とから成り、前記開路用制御弁は、その1次側がシリンダ制御室、2次側が前記戻りポートに接続され、前記開路用パイロット弁の動作により前記戻りポートに接続されると前記開路用制御弁が開く開路用制御弁パイロット室を備え、前記閉路用制御弁は、その1次側が高圧の供給ポート、2次側が逆止弁を介してシリンダ制御室に接続されると共に、絞りを介して前記戻りポートにも接続され、前記閉路用パイロット弁の動作により前記戻りポートに接続されると前記閉路用制御弁が開く閉路用制御弁パイロット室を備え、前記逆止弁は、前記閉路用制御弁の2次側から前記シリンダ制御室の方向にのみ流れを許容するように設置され、かつ、前記アンチポンピング弁は、前記閉路用制御弁の2次側が高圧で、かつ、開路用パイロット弁の動作により、前記開路用制御弁パイロット室が前記戻りポートに接続されたときに、該開路用制御弁パイロット室を前記戻りポートに連通させる弁であることを特徴とする遮断器の流体圧駆動装置。電流の流通、遮断を行う可動接触子及び固定接触子から成る接点と、前記可動接触子に接続されると共に、流体圧シリンダ内を摺動可能に設置され、前記接点を開閉動作させるピストンと、作動流体を加圧供給する流体圧源と、前記ピストンを駆動する制御弁類とを備えた遮断器の流体圧駆動装置において、前記ピストンは、前記可動接触子と接続される側のシリンダ高圧室と、前記可動接触子と接続される側とは反対側のシリンダ制御室とに区分され、前記制御弁類は、前記シリンダ制御室への作動流体の供給排出を制御する主制御弁と、該主制御弁の主制御弁パイロット室への作動流体の供給排出を制御する開路用制御弁及び閉路用制御弁と、前記開路用制御弁の動作を制御する開路用パイロット弁と、前記閉路用制御弁の動作を制御する閉路用パイロット弁と、アンチポンピング弁とから成り、前記主制御弁は、前記主制御弁パイロット室へ作動流体を供給することで、前記シリンダ制御室が供給ポートに接続され、前記主制御弁パイロット室の作動流体を排出することで、前記シリンダ制御室が戻りポートに接続される弁であり、かつ、前記開路用制御弁は、その1次側が主制御弁パイロット室、2次側が前記戻りポートに接続され、前記開路用パイロット弁の動作により前記戻りポートに接続されると前記開路用制御弁が開く開路用制御弁のパイロット室を備え、前記閉路用制御弁は、その1次側が高圧の供給ポート、2次側が逆止弁を介して前記主制御弁パイロット室に接続されると共に、絞りを介して前記戻りポートにも接続され、前記閉路用パイロット弁の動作により前記戻りポートに接続すると前記閉路用制御弁が開く閉路用制御弁パイロット室を備え、前記逆止弁は、前記閉路用制御弁から前記主制御弁パイロット室の方向にのみ流れを許容するように設置され、かつ、前記アンチポンピング弁は、前記閉路用制御弁の2次側が高圧で、かつ、開路用パイロット弁の動作により、前記開路用制御弁パイロット室が前記戻りポートに接続されたときに、該開路用制御弁パイロット室を前記戻りポートに連通させる弁であることを特徴とする遮断器の流体圧駆動装置。請求項1又は2に記載の遮断器の流体圧駆動装置において、前記アンチポンピング弁は、第1パイロット室と第2パイロット室を備え、その第2パイロット室が前記開路用制御弁パイロット室と連通すると共に、その第1パイロット室が前記閉路用制御弁の2次側と連通していることを特徴とする遮断器の流体圧駆動装置。請求項3に記載の遮断器の流体圧駆動装置において、前記アンチポンピング弁は、その第2パイロット室に圧力が掛ると閉じる方向に力が作用し、その第1パイロット室に圧力が掛ると開く方向に力が作用することを特徴とする遮断器の流体圧駆動装置。請求項1乃至4のいずれかに記載の遮断器の流体圧駆動装置において、前記アンチポンピング弁は、第3パイロット室を備え、該第3パイロット室は供給ポートと連通していると共に、該第3パイロット室に圧力が掛ると閉じる方向に力が作用することを特徴とする遮断器の流体圧駆動装置。接点を開閉動作させるシリンダ内を摺動するピストンを、開路用制御弁で開路動作、閉路用制御弁で閉路動作させ、かつ、前記開路用制御弁は、その1次側がシリンダ制御室、2次側が戻りポートに接続され、前記閉路用制御弁は、その1次側が高圧の供給ポート、2次側が前記閉路用制御弁の2次側から前記シリンダ制御室の方向にのみ流れを許容する逆止弁を介してシリンダ制御室に接続されると共に、絞りを介して前記戻りポートにも接続され、第1パイロット室と第2パイロット室を備えたアンチポンピング弁は、該アンチポンピング弁の第2パイロット室が開路用制御弁パイロット室と、前記アンチポンピング弁の第1パイロット室が前記閉路用制御弁の2次側とそれぞれ連通し、かつ、前記アンチポンピング弁の第1パイロット室に圧力が掛り、前記アンチポンピング弁の第2パイロット室に圧力が掛っていないときに、前記開路用制御弁パイロット室と戻りポートが連通することを特徴とする遮断器の流体圧駆動方法。しかしながら、特許文献1に記載の遮断器の流体圧駆動装置では、閉路操作系統のうち、閉路用パイロット弁に異常が生じて閉路操作状態のままになっている場合には対応可能であったが、閉路用制御弁が閉路操作状態のままになっている場合には対応できなかった。また、特許文献2に記載の遮断器の流体圧駆動装置は、正常な状態における閉路動作や開路動作の際にも、常に流路開閉機構が動作する構成になっており、流路開閉機構の動作によって、通常の閉路動作が阻害されないようにしなければならず、絞り等を用いて流路開閉機構の動作開始時期や速度を遅らせる等の方法を採っている。このため、流路開閉機構の動作特性を絞り等で調整する必要がある上、調整結果によって特性がばらつき、温度や使用頻度等によって特性が変化する等の課題があった。本発明は上述の点に鑑みなされたもので、その目的とするところは、閉路用パイロット弁や閉路用制御弁に何らかの異常があり閉路操作状態のままになっている場合に、開路動作が行われても、勝手に閉路動作する誤動作を防止し、かつ動作特性の調整も不要な信頼性の高い遮断器の流体圧駆動装置及びその駆動方法を提供することにある。本発明の遮断器の流体圧駆動装置は、上記目的を達成するために、電流の流通、遮断を行う可動接触子及び固定接触子から成る接点と、前記可動接触子に接続されると共に、流体圧シリンダ内を摺動可能に設置され、前記接点を開閉動作させるピストンと、作動流体を加圧供給する流体圧源と、前記ピストンを駆動する制御弁類とを備えた遮断器の流体圧駆動装置において、前記ピストンは、前記可動接触子と接続される側のシリンダ高圧室と、前記可動接触子と接続される側とは反対側のシリンダ制御室とに区分され、前記制御弁類は、前記シリンダ制御室が戻りポートに接続されて前記ピストンを開路動作させる開路用制御弁と、前記シリンダ制御室が供給ポートに接続されて前記ピストンを閉路動作させる閉路用制御弁と、前記開路用制御弁の動作を制御する開路用パイロット弁と、前記閉路用制御弁の動作を制御する閉路用パイロット弁と、アンチポンピング弁とから成り、前記開路用制御弁は、その上流側である1次側がシリンダ制御室、下流側である2次側が前記戻りポートに接続され、前記開路用パイロット弁の動作により前記戻りポートに接続されると前記開路用制御弁が開く開路用制御弁パイロット室を備え、前記閉路用制御弁は、その上流側である1次側が高圧の供給ポート、下流側である2次側が逆止弁を介してシリンダ制御室と接続されると共に、絞りを介して前記戻りポートにも接続され、前記閉路用パイロット弁の動作により前記戻りポートに接続されると前記閉路用制御弁が開く閉路用制御弁パイロット室を備え、前記逆止弁は、前記閉路用制御弁の2次側から前記シリンダ制御室の方向にのみ流れを許容するように設置され、かつ、前記アンチポンピング弁は、前記閉路用制御弁の2次側が高圧で、かつ、開路用パイロット弁の動作により、前記開路用制御弁パイロット室が前記戻りポートに接続されたときに、該開路用制御弁パイロット室を前記戻りポートに連通させる弁であることを特徴とする。このように構成することにより、閉路用パイロット弁や、閉路用制御弁などの閉路操作系弁類が閉路操作状態のままになったとしても、開路動作後に勝手に閉路動作する誤動作を確実に防止することができ、しかも、このための動作特性の調整も不要な上、特性の変化もなく、信頼性の高い遮断器の流体圧駆動装置を実現することができる。また、本発明の遮断器の流体圧駆動装置は、上記目的を達成するために、電流の流通、遮断を行う可動接触子及び固定接触子から成る接点と、前記可動接触子に接続されると共に、流体圧シリンダ内を摺動可能に設置され、前記接点を開閉動作させるピストンと、作動流体を加圧供給する流体圧源と、前記ピストンを駆動する制御弁類とを備えた遮断器の流体圧駆動装置において、前記ピストンは、前記可動接触子と接続される側のシリンダ高圧室と、前記可動接触子と接続される側とは反対側のシリンダ制御室とに区分され、前記制御弁類は、前記シリンダ制御室への作動流体の供給排出を制御する主制御弁と、該主制御弁の主制御弁パイロット室への作動流体の供給排出を制御する開路用制御弁及び閉路用制御弁と、前記開路用制御弁の動作を制御する開路用パイロット弁と、前記閉路用制御弁の動作を制御する閉路用パイロット弁と、アンチポンピング弁とから成り、前記主制御弁は、前記主制御弁パイロット室へ作動流体を供給することで、前記シリンダ制御室が供給ポートに接続され、前記主制御弁パイロット室の作動流体を排出することで、前記シリンダ制御室が戻りポートに接続される弁であり、かつ、前記開路用制御弁は、その1次側が主制御弁パイロット室、2次側が前記戻りポートに接続され、前記開路用パイロット弁の動作により前記戻りポートに接続されると前記開路用制御弁が開く開路用制御弁のパイロット室を備え、前記閉路用制御弁は、その1次側が高圧の供給ポート、2次側が逆止弁を介して前記主制御弁パイロット室に接続されると共に、絞りを介して前記戻りポートにも接続され、前記閉路用パイロット弁の動作により前記戻りポートに接続すると前記閉路用制御弁が開く閉路用制御弁パイロット室を備え、前記逆止弁は、前記閉路用制御弁から前記主制御弁パイロット室の方向にのみ流れを許容するように設置され、かつ、前記アンチポンピング弁は、前記閉路用制御弁の2次側が高圧で、かつ、開路用パイロット弁の動作により、前記開路用制御弁パイロット室が前記戻りポートに接続されたときに、該開路用制御弁パイロット室を前記戻りポートに連通させる弁であることを特徴とする。このように構成することにより、上記と同様な効果が得られることは勿論、主制御弁を備えていることにより、駆動力の大きい装置に適用可能であると共に、より確実な動作を行うことができる信頼性の高い遮断器の流体圧駆動装置を得ることができる。また、本発明は、上記の構成に加え、前記アンチポンピング弁は、第1パイロット室と第2パイロット室を備え、その第2パイロット室が前記開路用制御弁パイロット室と連通すると共に、その第1パイロット室が前記閉路用制御弁の2次側と連通していることを特徴とする。この構成によっても、上記と同様な効果が得られる。また、本発明は、上記の構成に加え、前記アンチポンピング弁は、その第2パイロット室に圧力が掛ると閉じる方向に力が作用し、その第1パイロット室に圧力が掛ると開く方向に力が作用することを特徴とする。この構成によっても、上記と同様な効果が得られる。また、本発明は、上記の構成に加え、前記アンチポンピング弁は、第3パイロット室を備え、該第3パイロット室は、供給ポートと連通していると共に、該第3パイロット室に圧力が掛ると閉じる方向に力が作用することを特徴とする。この構成によっても、上記と同様な効果が得られる。また、本発明の遮断器の流体圧駆動方法は、接点を開閉動作させるシリンダ内を摺動するピストンを、開路用制御弁で開路動作、閉路用制御弁で閉路動作させ、かつ、前記開路用制御弁は、その1次側がシリンダ制御室、2次側が戻りポートに接続され、前記閉路用制御弁は、その1次側が高圧の供給ポート、2次側が前記閉路用制御弁の2次側から前記シリンダ制御室の方向にのみ流れを許容する逆止弁を介してシリンダ制御室に接続されると共に、絞りを介して前記戻りポートにも接続され、第1パイロット室と第2パイロット室を備えたアンチポンピング弁は、該アンチポンピング弁の第2パイロット室が開路用制御弁パイロット室と、前記アンチポンピング弁の第1パイロット室が前記閉路用制御弁の2次側とそれぞれ連通し、かつ、前記アンチポンピング弁の第1パイロット室に圧力が掛り、前記アンチポンピング弁の第2パイロット室に圧力が掛っていないときに、前記開路用制御弁パイロット室と戻りポートが連通することを特徴とする。このように構成することにより、閉路用パイロット弁や、閉路用制御弁などの閉路操作系弁類が閉路操作状態のままになったとしても、開路動作後に勝手に閉路動作する誤動作を確実に防止することができ、しかも、このための動作特性の調整も不要な上、特性の変化もなく、信頼性の高い遮断器の流体圧駆動方法を実現することができる。本発明によれば、閉路用パイロット弁や、閉路用制御弁などの閉路操作系弁類が閉路操作状態のままになったとしても、開路動作後に勝手に閉路動作する誤動作を確実に防止することができ、しかも、このための動作特性の調整も不要な上、特性の変化もなく、信頼性の高い遮断器の流体圧駆動装置及びその駆動方法を実現することができる。以下、本発明の流体圧駆動装置の一実施例を図面を用いて説明する。本実施例の遮断器の流体圧駆動装置100の構成例を、図1乃至図8を用いて説明する。図1は、遮断器の閉路状態の図であり通電中を示す。図2は、遮断器の開路動作中の図である。図3は、遮断器の開路状態の図であり、遮断した状態である。図4は、遮断器の閉路動作中の図である。また、図5乃至図8は、閉路操作系統に何らかの異常があったときの動作を示す図であり、図5は、閉路用パイロット弁が不復帰での閉路状態の図、図6は、閉路用制御弁が不復帰での閉路状態の図、図7は、閉路用パイロット弁が不復帰での開路動作中の図、図8は、閉路用パイロット弁が不復帰での開路状態の図を示す。該図に示す如く、遮断器の流体圧駆動装置100は、接点部1を開閉するピストン19を有する流体圧シリンダ4と、シリンダ制御室27の圧力を切り換える主制御弁10と、主制御弁10を駆動する開路用制御弁12及び閉路用制御弁11と、これら制御弁を駆動する開路用パイロット弁14及び閉路用パイロット弁13と、これらパイロット弁を駆動する例えば、電磁的な力により駆動する開路用パイロット弁駆動装置16と、閉路用パイロット弁駆動装置15と、アンチポンピング弁17等からなる。流体圧シリンダ4は、流体圧シリンダ4内を摺動可能で、かつ、流体圧シリンダ4内を小受圧面積側26とシリンダ制御室27とに分けるピストン19を有し、このピストン19は、可動接点3に接続されている。小受圧面積側26には、流体圧源5から吐き出されアキュムレータ6に蓄圧された作動流体の供給圧が常時作用し、シリンダ制御室27を成す大受圧面積側は、主制御弁10によって高圧の供給ポート7又はリザーバ8につながる低圧の戻りポート36に選択的に接続される。リザーバ8は、排出された流体を回収して貯蔵するものである。尚、このリザーバ8は、図では複数個設置されているように見えるが、実際には1個設置されているものであり、配管を介して1個のリザーバ8に、排出された流体を回収するようになっている。主制御弁10のスプール30は、供給ポート7につながる供給ポート側弁座31の背面側は常時高圧を作用させておき、主制御弁パイロット室33に作動流体を供給、排出することによって、シリンダ制御室27につながる制御ポート9を、供給ポート7又は戻りポート36に選択的に接続するようになっている。主制御弁パイロット室33は、閉路用制御弁11及び閉路用パイロット弁13から成る閉路操作系弁類によって作動流体が供給され、開路用制御弁12及び開路用パイロット弁14から成る開路操作系弁類によって作動流体が排出される。また、主制御弁パイロット室33は、絞り作動流体が通る通路を狭くしている部分34を介してシリンダ制御室27へ通じる制御ポート9に接続されている。閉路用制御弁11と開路用制御弁12は、ともに大径部、中径部、小径部から成り、中径部の先端には、ポペット弁部46、56が形成されている。大径部は、絞り45、35を介して供給ポート7に接続すると共に、閉路用パイロット弁13の上流側である1次側87に接続する閉路用制御弁11の第1パイロット室43と、開路用パイロット弁14の上流側である1次側85に接続する開路用制御弁12の第1パイロット室53を形成し、高圧が作用すると、各制御弁を閉じる力を発生する。大径部と中径部の間は、供給ポート7に接続して常時高圧が作用し、各制御弁を開く力を発生する閉路用パイロット弁の第2パイロット室42、開路用パイロット弁の第2パイロット室52を形成している。ポペット弁部46の閉路用制御弁11の1次側40は、供給ポート7に接続され、閉路用制御弁11の2次側41は、逆止弁21を介して主制御弁パイロット室33に接続される一方、絞り22を介して戻りポート57に接続されている。開路用制御弁12の1次側50は、主制御弁パイロット室33に接続され、開路用制御弁12の2次側51は、戻りポート57に接続されている。閉路用パイロット弁13の下流側である2次側88及び開路用パイロット弁14の下流側である2次側86は、戻りポート77に接続されており、それぞれ閉路用パイロット弁駆動装置15及び開路用パイロット弁駆動装置16によって押されて開動作し、それぞれバネ89及び84によって押されて閉動作する。また、逆止弁21は、閉路用制御弁11の2次側41からシリンダ制御室27の方向のみの流れを許容するように設置されている。アンチポンピング弁17は、大径部、中径部、小径部から成り、中径部の先端にはポペット弁が形成されていて、アンチポンピング弁17の上流側である1次側71が開路用制御弁12の第1パイロット室53に、アンチポンピング弁17の下流側である2次側70が戻りポート78に接続されている。また、アンチポンピング弁17は、大径部と中径部の間に圧力を作用させる第1パイロット室73と、大径部と小径部の間に圧力を作用させる第2パイロット室74と、小径部に圧力を作用させる第3パイロット室75とを備えている。これらパイロット室のうち、アンチポンピング弁17の第1パイロット室73に圧力が掛っている場合は、図中上方への力、即ちアンチポンピング弁17を開ける方向の力が作用し、アンチポンピング弁17の第2パイロット室74及び第3パイロット室75が圧力が掛っている場合は、図中下方への力、即ちアンチポンピング弁17を閉じる方向の力が作用するように構成されている。また、アンチポンピング弁17を閉じる方向への力が作用するように、バネ76が設けられている。更に、アンチポンピング弁17の第1パイロット室73は、閉路用制御弁11の2次側41と制御弁2次側通路80で接続され、アンチポンピング弁17の第2パイロット室74は、開路用制御弁12の第1パイロット室53と通路90を介して接続され、アンチポンピング弁17の第3パイロット室75は、供給ポート7に通路91で接続されている。アンチポンピング弁17は、第3パイロット室75に圧力が掛り、第2パイロット室74が所定圧力以上になると弁が開くような受圧面積の関係となるように、大径部、中径部、小径部の関係を決めて構成される。ここでいう所定圧力とは、例えば、主制御弁10が開路操作状態に移動する際に生じる主制御弁パイロット室33の圧力である。これより低い圧力であれば誤動作に至ることがないため、アンチポンピング弁17が開く必要はない。次に、本実施例の遮断器の流体圧駆動装置100の正常な状態における動作を説明する。図1に示す遮断器の閉路状態において、開路指令が発せられると開路用パイロット弁駆動装置16が開路用パイロット弁14を開いて、開路用パイロット弁14の1次側85から2次側86へ作動流体が流出する。この際、絞り35を介して供給ポート7から作動流体が流入するが、流入側よりも流出側の方が開口が大きいので、開路用パイロット弁14の1次側85及びこれに連通する開路用制御弁12の第1パイロット室53は低圧になり、開路用制御弁12は、第2パイロット室52に作用する圧力による力により開く。開路用制御弁12が開くと、開路用制御弁12の1次側50から2次側51を介して主制御弁パイロット室33の作動流体が戻りポート57へ排出されて低圧になるので、主制御弁10が開路操作位置に切り換わる図2の状態となる。これによりピストン19は、小受圧面積側26に作用する圧力によって開路動作を開始し、シリンダ制御室27からは作動流体が戻りポート36から排出される。開路指令が解除されると、開路用パイロット弁駆動装置16の駆動力がなくなり、開路用パイロット弁14は、バネ84の力により閉じる。これにより、絞り35を介して作動流体が供給されて、開路用パイロット弁14の1次側85が高圧になるので、開路用パイロット弁14をより強く閉保持すると共に、開路用制御弁12の第1パイロット室53も高圧になるので、第2パイロット室52に作用する圧力による力に打ち勝って開路用制御弁12を閉じる。しかし、主制御弁パイロット室33は、絞り34を介して既に低圧となった制御ポート9に接続されているので、主制御弁10は開路操作位置に保たれ、ピストン19は開路動作を続行して、図3に示す開路状態に至る。上記一連の開路動作において、アンチポンピング弁17の第1パイロット室73は低圧であり、第2パイロット室74も低圧となるが、バネ76の力によるアンチポンピング弁17を閉じる方向に力が作用しているため、アンチポンピング弁17は、常に閉状態を保つ。更に、アンチポンピング弁17の第3パイロット室75に圧力が掛っており、バネ力に加えて、高圧により作用する圧力による力で、更に強く閉状態を保つようになっている。図3に示す開路状態において、閉路指令が発せられると、閉路用パイロット弁駆動装置15が閉路用パイロット弁13を開いて、閉路用パイロット弁13の1次側87から2次側88へ作動流体が流出する。この際、絞り45を介して作動流体が供給ポート7から流入するが、流入側よりも流出側の方が開口が大きいので、閉路用パイロット弁13の1次側87及びこれに連通する閉路用制御弁11の第1パイロット室43は低圧になり、閉路用制御弁11は、第2パイロット室42に作用する圧力による力により開く。閉路用制御弁11が開くと、1次側40から2次側41を介して作動流体が供給され、逆止弁21が開き、主制御弁パイロット室33が高圧となるので、主制御弁10が閉路操作位置に切り換わり図4に示す状態となる。これにより、シリンダ制御室27に供給ポート7から制御ポート9を介して作動流体が供給されるので、ピストン19にかかる小受圧面積側26に作用する圧力による力よりも、シリンダ制御室27に作用する圧力による力が打ち勝って、閉路動作を開始する。閉路指令が解除されると、閉路用パイロット弁駆動装置15の駆動力がなくなり、閉路用パイロット弁13は、バネ89の力により閉じる。これにより、絞り45を介して作動流体が供給されて閉路用パイロット弁13の1次側87が高圧になるので、閉路用パイロット弁13をより強く閉保持すると共に、閉路用制御弁11の第1パイロット室43も高圧になるので、第2パイロット室42に作用する圧力による力に打ち勝って閉路用制御弁11を閉じる。しかし、主制御弁パイロット室33は、絞り34を介してすでに高圧となった制御ポート9に接続されているので、主制御弁10は閉路操作位置に保たれ、ピストン19は閉路動作を続行して、図1に示す閉路状態に至る。また、逆止弁21は、主制御弁10が閉路操作位置に切換完了し、主制御弁パイロット室33が供給圧とほぼ等しくなった際にバネに押されて閉じるため、閉路用制御弁11が閉じても主制御弁パイロット室33は高圧に保たれる一方、閉路用制御弁11の1次側40からの流入が止まると、閉路用制御弁11の2次側41から絞り22を介して戻りポート57へ流出し、閉路用制御弁11の2次側41は低圧となる。上記一連の閉路動作において、アンチポンピング弁17は、第2パイロット室74と第3パイロット室75は常に圧力が掛っている状態になっており、閉路動作中に第1パイロット室73に圧力が掛っても、第2パイロット室74と第3パイロット室75による弁を閉じる方向の力が大きく、常に閉状態を保つ。上述のように、正常動作では、閉路動作完了後に、閉路操作系弁類の閉路用制御弁11、閉路用パイロット弁13は復帰する。しかし、何らかの異常により、これらが正常に復帰せず、閉路操作状態のままであったときの開路動作について、以下に説明する。図5に、閉路用パイロット弁13が完全に復帰しなかった場合の閉路状態を示す。該図の如く、閉路用パイロット弁13が完全に復帰しなかった場合、閉路用制御弁11の第1パイロット室43と連通している閉路用パイロット弁13の1次側87から2次側88へ作動流体が流入するため、閉路用制御弁11の第1パイロット室43は、絞り45と閉路用パイロット弁13の開口によって決まる圧力まで低下する。この圧力が、閉路用制御弁11が動作する圧力以下であれば、閉路用制御弁11が開いたままの状態となり、閉路用制御弁11の1次側40から2次側41へ作動流体が流入する。従って、閉路用制御弁11の2次側41は、高圧を保持される。次に、図6に閉路用制御弁11が完全に復帰しなかった場合の閉路状態を示す。閉路用パイロット弁13が正常に復帰しても、何らかの異常により閉路用制御弁11の復帰が不完全な場合についても、閉路用制御弁11の1次側40から2次側41へ作動流体が流入する。従って、閉路用制御弁11の2次側41は、この閉路用制御弁11の開口量と、絞り22の関係によって決まる圧力を保つ。この開口量が小さければ、絞り22から作動流体が排出されるため、誤動作に至る恐れはないが、開口量が大きい場合には、閉路用制御弁11の2次側41は高圧を保つことになる。上記のように、閉路操作系弁類が復帰しないと、閉路用制御弁11の2次側41が高圧となり、この状態で開路指令が発せられると、開路用パイロット弁14が開いて、1次側85から2次側86へ作動流体が流出する。この際、絞り35を介して供給ポート7から作動流体が流入するが、流入側よりも流出側の方が開口が大きいので、開路用パイロット弁14の1次側85及びこれに連通する開路用制御弁12の第1パイロット室53は低圧になり、開路用制御弁12は、第2パイロット室52の作用する圧力による力により開く。このとき、アンチポンピング弁17では、第1パイロット室73が閉路用制御弁11の2次側41に接続されているため圧力が掛った状態となり、また、第2パイロット室74が開路用制御弁12の第1パイロット室53と接続され圧力が掛っていない状態となるため、これらの部屋に作用する圧力による力でアンチポンピング弁17は開いた状態を保つ。開路用制御弁12が開くと、開路用制御弁12の1次側50から2次側51を介して、主制御弁パイロット室33の作動流体が戻りポート57へ排出される。主制御弁10が開路操作位置に切り換わり、図7に示す状態となる。そして、流体圧シリンダ4のシリンダ制御室27から作動流体が排出されてピストン19は、小受圧面積側26に作用する圧力によって開路動作を開始し、開路状態に至る。開路指令が解除されると、開路用パイロット弁駆動装置16の駆動力がなくなり、開路用パイロット弁14は、バネ84の力により閉じ図8の状態となる。このとき、正常動作ならば絞り35を介して作動流体が供給されて、開路用制御弁12の第1パイロット室53が高圧となり開路用制御弁12を閉じるが、アンチポンピング弁17が開いた状態になっているため、開路用制御弁12の第1パイロット室53は低圧のままとなる。従って、開路用制御弁12は開いた状態を保たれ、開路用制御弁12が開いたままであれば、主制御弁パイロット室33は低圧に保たれ、開路操作状態が保持される。よって、閉路操作系弁類が閉路操作状態のままであったとしても、閉路動作し始めることはなく、閉路動作不能の状態となり、開路状態に保持することができる。閉路操作系統の異常が解消して、閉路用制御弁11が正常に閉じれば、閉路用制御弁11の2次側41に接続するアンチポンピング弁17の第1パイロット室73が圧力が掛っていない状態になり、バネ76とアンチポンピング弁17の第3パイロット室75に作用する圧力による力により、アンチポンピング弁17が閉じるので、開路用制御弁12の第1パイロット室53は圧力が掛った状態になり、開路用制御弁12も閉じて、図3と同様の正常な開路保持の状態に戻り、次の閉路動作が可能となる。即ち、本実施例によれば、閉路操作系統が閉路操作状態のままになったとしても、開路指令が発せられるまでの間は、閉路状態を保持し続けると共に、一旦開路指令が発せられて開路動作を実行すると、それ以降は閉路動作不能にして開路状態を保持するから、開路動作後に、勝手に閉路動作してしまう誤動作を確実に防止することができる。しかも、このための動作特性の調整も不要な上、特性の変化もなく、信頼性の高い遮断器の流体圧駆動装置を実現することができる。次に、遮断器の流体圧駆動装置の実施例2について、図9を用いて説明する。図9に示す実施例2は、主制御弁を用いない構成の遮断器の流体圧駆動装置200の例である。実施例2では、図1の遮断器の流体圧駆動装置100のうち、既に説明した図1に示された同一の符号を付された構成と同一の機能を有する部分については、説明を省略する。該図に示す実施例2が実施例1と異なる部分は、閉路用制御弁11の2次側41が、逆止弁21を介して直接シリンダ制御室27に接続され、開路用制御弁12の1次側50がシリンダ制御室27に接続されている点である。この実施例2の構成において、制御弁類が主制御弁パイロット室33のかわりに直接シリンダ制御室27を制御する以外は実施例1と同じ構成であり、正常動作、閉路操作系統異常時の動作とも第1実施例と比べ、主制御弁10の動作がない以外は同じである。このような実施例2の遮断器の流体圧駆動装置200の構成でも、その効果は実施例1と同様であり、特に、実施例2は、駆動力が小さい装置に適用が可能である。次に、遮断器の流体圧駆動装置の実施例3について、図10を用いて説明する。図10に示す実施例3は、より簡略化したアンチポンピング弁17を搭載した遮断器の流体圧駆動装置300の例である。実施例3では、図1の遮断器の流体圧駆動装置100のうち、既に説明した図1に示された同一の符号を付された構成と同一の機能を有する部分については、説明を省略する。該図に示す実施例3の構成は、アンチポンピング弁17のパイロット室を、第1パイロット室73と第2パイロット室74だけで構成したものである。他の構成は、実施例1と同様である。このような実施例3の遮断器の流体圧駆動装置300の構成でも、その効果は実施例1と同様であり、特に、実施例3の構成では、正常時の開路動作中のアンチポンピング弁の第1パイロット室73、第2パイロット室74はともに圧力が掛らない状態となり、アンチポンピング弁17を閉じる力は、バネ76による力だけとなるため、開路動作中にアンチポンピング弁17が開かないような十分なばね力とすればよく、これにより、簡単な構造とすることができる。