"クライオポンプを備えるクライオポンプシステムであって、前記クライオポンプが、第1の冷却段と、前記第1の冷却段に接続される第2の冷却段であって、少なくとも約2標準リットルの水素吸着容量をもつガス吸着器を有する第2の冷却段と、前記第2の冷却段の蓄熱容量であって、全負荷状態になるまでのクライオポンプの再生中の前記第2の冷却段の暖機において、発火安全性限界を満たすように前記クライオポンプ内の水素圧力を制御することと、前記クライオポンプに連結された低減システムの限界の範囲内に排気ライン内の水素流量を制御することとが可能なほど十分である、前記蓄熱容量とを備えるクライオポンプシステム。請求項1に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記水素吸着容量が少なくとも約5標準リットルであるクライオポンプシステム。請求項1に記載のクライオポンプシステムにおいて、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記水素圧力が約7トル未満に制御されるクライオポンプシステム。請求項1に記載のクライオポンプシステムにおいて、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記水素流量が1分につき約2標準リットル未満に制御されるクライオポンプシステム。請求項1に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記クライオポンプを制御するための電子制御部であって、再生時間中に、暖機時間において、前記クライオポンプの冷凍機モーターをオフにするようにプログラムされた電子機器を有する、前記電子制御部をさらに備えるクライオポンプシステム。請求項5に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記電子機器が、第2の冷却段の温度が前記暖機時間内に閾値温度よりも高くなった場合、前記再生時間中に前記冷凍機をオンにするように、さらにプログラムされるクライオポンプシステム。請求項6に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記閾値温度が約40K以上であるクライオポンプシステム。請求項6に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記冷凍機が、前記再生時間の少なくとも一部において最大冷凍をもたらすクライオポンプシステム。請求項6に記載のクライオポンプシステムにおいて、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記冷凍機がオンにされるクライオポンプシステム。請求項5に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記再生時間が、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまでの時間であるクライオポンプシステム。請求項5に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記暖機時間が少なくとも約4分であるクライオポンプシステム。請求項5に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記暖機時間が少なくとも約5分であるクライオポンプシステム。請求項5から12のいずれか一項に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記電子機器が、再生時間の初期の部分において、前記クライオポンプの前記第2の冷却段を加熱するように、さらにプログラムされるクライオポンプシステム。請求項13に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記電子機器が、約25秒以下の間、前記クライオポンプの前記第2段を加熱するように、プログラムされるクライオポンプシステム。請求項1に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記蓄熱容量が、約10K~約50Kの温度範囲において少なくとも約10,000ジュールであるクライオポンプシステム。請求項15に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記蓄熱容量が少なくとも約12,000ジュールであるクライオポンプシステム。請求項16に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記蓄熱容量が少なくとも約15,000ジュールであるクライオポンプシステム。請求項1に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記蓄熱容量と前記水素吸着容量との比が、約10K~約50Kの温度範囲において少なくとも約1000ジュール/リットルであるクライオポンプシステム。請求項1に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記クライオポンプの再生中の前記第2の冷却段の約20Kの温度から約50Kの温度への暖機が、約4分超を必要とするクライオポンプシステム。請求項19に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記クライオポンプの再生中の前記第2の冷却段の約20Kの温度から約50Kの温度への暖機が、約5分超を必要とするクライオポンプシステム。クライオポンプであって、第1の冷却段と、前記第1の冷却段に接続される第2の冷却段であって、少なくとも約2標準リットルの水素吸着容量をもつガス吸着器を有する第2の冷却段と、約10K~約50Kの温度範囲において少なくとも約10,000ジュールである前記第2の冷却段の蓄熱容量とを備えるクライオポンプ。請求項21に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記水素吸着容量が少なくとも約5標準リットルであるクライオポンプシステム。請求項21に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記蓄熱容量が少なくとも約12,000ジュールであるクライオポンプシステム。請求項23に記載のクライオポンプシステムにおいて、前記蓄熱容量が少なくとも約15,000ジュールであるクライオポンプシステム。水素をクライオポンプする方法であって、少なくとも約2標準リットルの水素吸着容量をもつガス吸着器を有するクライオポンプを、水素が吸着される温度に冷却することと、再生時間中に前記クライオポンプから水素を脱離することとを備え、前記クライオポンプが、全負荷状態になるまでのクライオポンプの暖機において、発火安全性限界を満たすように水素圧力を制御することと、前記クライオポンプに連結された低減システムの限界の範囲内に排気ライン内の水素流量を制御することとが可能なほど十分である蓄熱容量をもつ方法。請求項25に記載の方法において、前記ガス吸着器が少なくとも約5標準リットルの水素吸着容量をもつ方法。請求項25に記載の方法において、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記再生時間中の前記水素圧力が約7トル未満に制御される方法。請求項25に記載の方法において、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記再生時間中の前記水素流量が1分につき約2標準リットル未満に制御される方法。請求項25に記載の方法において、暖機時間において、前記クライオポンプの冷凍機モーターをオフにすることをさらに備える方法。請求項29に記載の方法において、前記暖機時間が少なくとも約4分である方法。請求項30に記載の方法において、前記暖機時間が少なくとも約5分である方法。請求項29に記載の方法において、第2の冷却段の温度が前記暖機時間内に閾値温度よりも高くなった場合、前記再生時間中に前記冷凍機をオンにすることをさらに備える方法。請求項32に記載の方法において、前記閾値温度が約40K以上である方法。請求項32に記載の方法において、前記冷凍機が、前記再生時間の少なくとも一部において最大冷凍をもたらす方法。請求項32に記載の方法において、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記冷凍機がオンにされる方法。請求項25に記載の方法において、前記再生時間が、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまでの時間である方法。請求項25に記載の方法において、前記蓄熱容量が、約10K~約50Kの温度範囲において少なくとも約12,000ジュールである方法。請求項37に記載の方法において、前記蓄熱容量が少なくとも約15,000ジュールである方法。請求項25に記載の方法において、前記蓄熱容量と前記水素吸着容量との比が、約10K~約50Kの温度範囲において少なくとも約1000ジュール/リットルである方法。請求項25から39のいずれか一項に記載の方法において、前記再生時間の初期の部分において、前記クライオポンプの前記第2の冷却段を加熱することをさらに備える方法。請求項40に記載の方法において、前記クライオポンプの前記第2の冷却段を加熱することが、約25秒以下の間行われる方法。規定圧力範囲および濃度レベル内の酸素と合わされた水素ガスH2は燃焼または爆発するおそれがあり、したがって、水素ガスを安全に除去することが考慮されなければならない。クライオポンプから大量の水素を安全に放出するためには、その放出の間、圧力が7トルTorr未満に低く保たれており、かつ放出されたガスの流量が、放出されたガスを扱うためにクライオポンプに連結された低減システムabatementsystemの容量を超えないことが、重要である。そのためには、ガスはゆっくり放出されなければならない。残念ながら、いったん、再生中にクライオパネルが暖機warmingされるとともに水素が放出され始めると、排気後の真空によってもたらされた断熱が失われ、クライオパネルが急速に暖機され、その結果、吸着された水素のすべてが急速に放出され、低減システムを圧することになりかねない。その急速な放出を回避するために、クライオポンプの第2段には、真空が失われた場合でも暖機の遅い、高い熱キャパシタンスが与えられる。その結果、水素は、よりゆっくりと、したがって安全に放出され得る。第1の冷却段と、この第1の冷却段に接続される第2の冷却段とを備えるクライオポンプを備えるクライオポンプシステムが提供され、第2の冷却段は、少なくとも約2標準リットルの水素吸着容量をもつガス吸着器を有する。前記水素吸着容量は、少なくとも約5標準リットルであってもよい。前記第2の冷却段の熱キャパシタンス蓄熱容量は、全負荷状態になるまでのクライオポンプの再生中の前記第2の冷却段の暖機において、発火安全性限界を満たすように前記クライオポンプ内の水素圧力を制御することと、前記クライオポンプに連結された低減システムの限界の範囲内に排気ライン内の水素流量を制御することとが可能なほど十分である。前記蓄熱容量は、約10K~約50Kの温度範囲において、例えば少なくとも約12,000ジュール、少なくとも約15,000ジュール等、少なくとも約10,000ジュールであってよい。前記蓄熱容量と前記水素吸着容量との比は、約10K~約50Kの温度範囲において少なくとも約1000ジュール/リットルであってよい。前記クライオポンプの再生中の前記第2の冷却段の約20Kの温度から約50Kの温度への暖機は、例えば約5分超等、約4分超を必要とすることができる。実質的にすべての水素が脱離されてdesorbed前記クライオポンプから排気されるまで、前記水素圧力は約7トル未満に制御される。実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記水素流量は1分につき約2標準リットル未満に制御され得る。前記クライオポンプシステムは、前記クライオポンプを制御するための電子制御部を備えることができ、前記制御部は、再生時間中に、暖機時間において、前記クライオポンプの前記冷凍機モーターを選択的にオフにするようプログラムされる電子機器を有する。前記再生時間は、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまでの時間である。前記暖機時間は、例えば少なくとも約5分等、少なくとも約2分であってよい。前記電子機器は、第2の冷却段の温度が前記暖機時間内に閾値温度よりも高くなった場合、前記再生時間中に前記冷凍機をオンにするように、さらにプログラムされ得る。前記閾値温度は、約40K以上であってよい。前記冷凍機は、前記再生時間の少なくとも一部において、最大冷凍をもたらすことができる。実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記冷凍機がオンにされ得る。前記電子機器は、再生時間の初期の部分における加熱時間において、例えば約25秒以下の加熱時間等、前記クライオポンプの前記第2の冷却段を加熱するようにさらにプログラムされ得る。水素をクライオポンプする方法水素のクライオポンピング方法、methodofcryopumpinghydrogenは、水素が吸着される温度に前述の通りにクライオポンプを冷却することと、再生時間中に、前記クライオポンプから水素を脱離することとを備える。前記再生時間は、実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまでの時間である。前述したように、前記クライオポンプは、全負荷状態になるまでのクライオポンプの暖機において、発火安全性限界を満たすように水素圧力を制御することと、前記クライオポンプに連結された低減システムの限界の範囲内に排気ライン内の水素流量を制御することとが可能なほど十分である、蓄熱容量をもつ。前記方法は、暖機時間において、前記クライオポンプの前記冷凍機モーターをオフにし、次に、第2の冷却段の温度が前記暖機時間内に閾値温度よりも高くなった場合、前記再生時間中に、前記冷凍機をオンにすることをさらに備えることができる。前記閾値温度は、約40K以上であってよい。前記暖機時間は、例えば少なくとも約5分等、少なくとも約4分であってよい。前記冷凍機は、前記再生時間の少なくとも一部において、最大冷凍をもたらすことができる。実質的にすべての水素が脱離されて前記クライオポンプから排気されるまで、前記冷凍機がオンにされ得る。前記方法は、前記再生時間の初期の部分における加熱時間において、例えば約25秒以下の加熱時間等、前記クライオポンプの前記第2の冷却段を加熱することをさらに備えることができる。本発明の例示の実施形態を以下に説明する。後述するクライオポンプおよびそのクライオポンプの作動方法は、規定安全限界の範囲内でクライオポンプからのH2ガスの放出を制御することが示された。安全性を維持するための慎重な方法は、クライオポンプおよび排気システム内のH2の分圧を、爆発下限LEL、大気圧の4の約25、すなわち約7トルである発火安全性限界未満に確実に保つことである。SEMIS20703EnvironmentalHealthandSafetyGuidelineforSemiconductorManufacturingEquipment2003を参照のこと。さらに、排気中のH2ガスの最大質量流量は、排気低減システムの限界すなわち、一般的に2.0標準20°C、1気圧リットル/分SLMを上回ってはならない。H2ガス分圧、さらには質量流量の制御は、後述するようにハードウェアの設計変更およびソフトウェアの変更の両方をクライオポンプシステムに対して行うことで、達成され得る。処理システム100の概略図を図1に示す。処理システム100は、処理チャンバー110を含む処理ツール105を含む。処理チャンバー110は、まず粗引きポンプ低真空ポンプ、roughvacuumpump120によって排気され、次に、弁125を閉じて弁128を開けた後、クライオポンプ130によって高真空排気される。クライオポンプシステム129はクライオポンプ130を含む。クライオポンプ130は、時間をかけて処理チャンバー110内で行われる処理例えば、物理蒸着PVD処理の脱気ステップや、水素を副産物とするイオン注入等の他の水素処理からのガスを蓄積する。これらのガスは、クライオポンプ130内の低温すなわち、一般的に第2段で17Kによって凝縮および/または吸着される。クライオポンプが、凝縮および/または吸着されたガスによって、最大負荷またはその付近に達すると、弁125および128が閉じられ、クライオポンプは、クライオポンプ内のガスを加温するwarmingことと、弁135、粗引きポンプ120および低減システム140からこれらのガスを排気することとによって、再生される。後述するように、クライオポンプ内部のガスの加温は、クライオポンプの冷凍機をオフにすることによって、および/または、ガスが吸着もしくは凝縮したクライオポンプ内部の表面を加熱することによってなされ得る。窒素パージは、一般的に窒素供給部150から弁155を介して提供される。窒素入口圧力は、圧力計153で測定される。窒素は、ガスを希釈しさらにクライオポンプ130の内面を暖機する加温する、warmupのにも役立つ、不活性ガスである。窒素はまた、逆止弁160を介して供給される安全排気safetyexhaust180を、弁165を介して希釈するために使用される。再生中にクライオポンプ130から出てくるガスの圧力は、圧力計163によって測定される。粗引きポンプ120が例えば50ミリトルmTorr未満の十分な低真空を提供していることを確認するために、圧力スイッチ173も設けられる。処理システム100に含まれる弁、圧力計および加熱素子は、電子制御部190によって制御される。電子制御部190は、リモート別の制御部またはホストツール上の制御部であってもよく、ローカルであっても、クライオポンプに一体化されていてもよい。上述のように、全負荷状態になるまでのクライオポンプについては、再生中の水素圧力は、発火安全性限界を満たすように制御される必要があり、排気ラインの水素流量は、クライオポンプ130に連結された低減システム140の容量に制限される容量の範囲内に納める必要がある。上述のように、一般的な水素圧力限界は約7トルであり、一般的な排気流量限界は約2SLMである。クライオポンプの設計は、例えば、米国特許第4,555,907号、米国特許第5,156,007号、米国特許第5,211,022号、米国特許第5,333,466号、米国特許第5,974,809号等の多くの特許に記載されており、これらはその全体が参照により援用される。一般的なクライオポンプ例えば、CTI-8F、ブルックスオートメーション社、ChelmsfordMAでは、ゲート弁128および粗引き弁135の両方が閉じられた状態でいったん冷凍機モーターがオフにされると、図2に示すように、第2段の温度T2は約2分で35K超に上昇し、圧力は3分未満で約7トルに上昇する。水素は、約20K超の温度T2でクライオポンプ内の吸着器表面から脱離し始め、実質的にすべての水素が、約50K超の温度で脱離される。したがって、水素が実質的に完全に放出されると、圧力は発火安全性限界を超えて上昇する。PALessardCryogenicadsorptionofnoncondensiblesinthehighvacuumregimeJVacSciTechnolAVol7pp23732376を参照のこと。粗引き弁135を閉じた状態では、ガスは、安全排気弁160を介して排気され、低減システムを迂回する。クライオポンプから安全に水素を放出するためには、クライオポンプ再生中の第2冷却段の約50Kの温度への暖機は、例えば約5分超等、約4分超かかるように、ゆっくり行う必要がある。T2が約25Kのときに粗引き弁135が開けられると、図3に示すように、約3.5分以内で、圧力計163P1によって測定される圧力は、約5.5トルとなるがすなわち7トルの発火安全性限界未満、水素流量は、約3.1SLMであるすなわち2SLMの低減システム流量限界を上回る。水素流量を制御するために、図4に示すように、冷凍機をオンのままで、制御された加熱をクライオポンプ130の第2段に適用して水素を脱離できる。一般的なクライオポンプにおいてクライオポンプ130の第2段が加熱される場合には、冷凍機RPMの線で示すように冷凍機をオンのままにしても、水素脱離は、約2.5SLMすなわち、2SLMの低減システム流量限界を上回るの水素排気流量をもたらす。7トルさらには5トル未満の圧力を維持し、かつ2SLM未満の水素ガスの流量を保つためには、水素ガスの脱離を遅くすることが必要である。そのために、大きなサーマルマス熱的質量、thermalmassが、吸着剤を支持するクライオパネルと熱伝達可能な状態でinthermalcommunicationwith設けられる。前記クライオポンプに対するハードウェアの設計変更を含むクライオポンプの断面図を、図5に示す。クライオポンプ130には、クライオポンプ130内のチャコール吸着剤床charcoaladsorbentbedからのH2ガスの急速な放出を遅らせるのに役立たせるため、増大されたサーマルマス蓄熱容量をもつ熱キャパシター510が追加されている。これらのサーマルマス510は、冷凍機シリンダ520の端の上下において、冷凍機の第2段のヒートステーションheatstationに連結される。サーマルマス510は、第2段のアレイのトップキャップのバッフルbafflesofsecondstagearraytopcapに、または直接第2段に追加できる。前述の特許にて説明されるように、下側のサーマルマスは、クライオパネル530を支持するL字型ブラケットの間に配置することができる。H2をゆっくり放出させるために、第2段のアレイの熱慣性は、アレイ530のあまりに急速な暖機を回避可能であるべきである。水素処理クライオポンプは、例えば少なくとも約5標準リットル等、少なくとも2標準リットルの水素吸着容量、および、例えば少なくとも約12,000ジュール、少なくとも約15,000ジュール等、少なくとも約10,000ジュールの蓄熱容量を必要とする。その結果、蓄熱容量と水素吸着容量との比は、約10K~約50Kの温度範囲において、少なくとも約1000ジュール/リットルとなる。全負荷状態のCTI-8Fクライオポンプは、クライオポンプによって捕捉された約12atm-LのH2を含む。また、全負荷状態のCTI-8Fクライオポンプは、安全要求事項を満たしつつ約15~20分をかけてクライオポンプの温度を約10Kから約50~60KΔT=40Kまで上昇させるために、例えば約15,000J±3,000Jすなわち12,000J、15,000Jまたは18,000J等の、少なくとも約10,000ジュールの蓄熱容量を必要とする。標準的な第2段のヒートステーションの質量は約1ポンドlbであり、約10Kから約60Kまでの温度範囲においてわずか1,200ジュールの蓄熱容量しか提供しない。所望のゆっくりした暖機のために15,000ジュールを達成するには、銅の質量は、12.5倍増大させる必要があるであろう。熱キャパシターとして選択される物質が異なれば、熱容量は変化することになる。したがって、ある熱キャパシターが当該必要な蓄熱容量を提供するために必要とする物質の質量および体積も、変化することになる。より大きな水素吸着容量をもつクライオポンプ例えばCTI-320は、それに応じてより大きな蓄熱容量を必要とすることになる。熱キャパシター510は、クライオポンプ130内部に収まるために、大きさが十分に小さいことが必要であり、したがって、例えば鉛Pb、錫-アンチモンSnSb合金等の、高比熱容量を有する物質で作製される。一実施形態では、図5に示す熱キャパシター510は、合計質量が約8.2ポンドの2片の錫-アンチモン合金を含む。上述の熱キャパシター510を使用した水素再生では、図6Aに示す結果が得られ、水素排気流量は2.1SLMすなわち、所望の2.0SLMにほぼ等しいであった。次に、より速い排気速度の粗引きポンプ120クライオポンプにおける7リットル/sに対し13.9リットル/sを採用することによって、図6Bに示すように、水素排気流量は所望の2.0SLMに低減された。これは、水素排気流量=排気速度×水素圧力の関係にしたがって、粗引きポンプ120のより速い排気速度が、排気ライン内の水素ガス圧力を著しく減少させたからである。粗引きポンプ120の排気速度は、クライオポンプにおける十分な粗引き排気速度すなわち、接続配管からの排気速度損失を埋め合わせるを提供することによって、水素の脱離速度に適合するように設定される。好ましい実施形態では、ソフトウェアの設計変更により、熱キャパシター510を使用してH2ガスを安全に脱離させるように、制御部190のOn-Board登録商標ISクライオポンプ制御論理を修正する。一実施形態では、図1に示す処理ツール105を、図7に示すフローチャートにしたがって作動させる。その結果、図8に示す圧力、温度および冷凍機RPMの曲線が得られる。いったんチャンバー粗引き弁125VBおよびゲート弁128VE1が閉じられる図1と、ステップ710において、冷凍機をその通常の動作速度72RPMで作動させながら、水素再生処理700を開始する。次に、ステップ720で、クライオポンプT2の第2段の温度が35K以下であることを確認する。上述のように、T2が35Kよりも高い場合には、ポンプ内に吸着される水素はほとんどない。したがって、他のいかなるガスの予定された再生も、安全に実行できる。次にステップ725において、制御部は弁165G83を開き、窒素が安全排気180に流れ込むのを5秒待つ。更なる安全性確認には、ステップ730において、安全排気180について圧力計153P2が15psi以上であることを確認することと、圧力計173P3が50ミリトル以下を示していることを確認することとが含まれる。これによって、粗引きポンプ120が適切な真空を提供していることを確実にし、そうでない場合は再生を中止する。これらの安全性確認に合格すると、ステップ735において、制御部190は、弁135VE2を開き、温度T2のゆっくりとした上昇をもたらすのに十分な熱量を提供するように設定された加熱時間において、例えば約3,500ジュールを提供する25秒間、ヒーターをオンにし、ステップ740でタイムアップとなるまで続ける。第2段の温度は、熱キャパシタンスを追加したため、加熱なしでは上昇が遅すぎるであろう。加熱時間が終了すると、ステップ745においてヒーターはオフにされる。ステップ750において、制御部190は、暖機時間だけ、例えば約5分間、待ち、その後ステップ760において、T2が40Kに達したかどうかを確認する。冷凍機モーターは、40Kよりも上では、最高速度本冷凍機では1分につき144回転144RPMで作動できる。40K未満ではヘリウムの密度により過剰な抵抗トルクがかかるため、40K未満での本冷凍機の最高速度は100RPMである。図7に戻って、T2が40K以上の場合には、制御部190は、冷凍機の速度を標準の実用速度72RPMから144RPMこの冷凍機モーターでの最大冷凍まで上昇させる。他の適切な冷凍機では、他のRPMで最大冷凍をもたらすことができる。一方、水素圧力のピークは、例えば約8分等、少なくとも約4分後に起こり、冷凍機モーターを連続して作動させると、図8に示すようにT2は低下し始める。いったんT2が40K未満になると、制御部190は、ステップ770において、冷凍機の速度を100RPMまで減少させる。図7に戻って、ステップ760でT2が40K未満の場合には、制御部は、ステップ775において、冷凍機の速度を100RPMに上昇させる。次に、ステップ780において、再生時間例えば35分が終了すると、制御部190は、弁135VE2および弁165G83を閉じ、水素再生処理700を完了する。次に、ユーザーは、クライオポンプ内に残存する他のガスの予定されたフル再生もしくは高速再生米国特許第5,375,424号を参照を実行でき、または、続けてクライオポンプがその動作温度まで冷却する冷える、cooldownのを待って弁128VE1を開くことにより、クライオポンプを使用することができる。水素再生処理700は、図8に示すように、水素圧力を最高2.6トルに、水素排気流量を最高1.6SLMに制御し、したがって、上述した両方の必要条件を満たす。しかし、ステップ740でクライオポンプの第2段にヒーターによって入る熱量は、図8に示すように、加熱時間中に作動しているしたがって、熱を除去している冷凍機の大きさに依存する。初期の暖機を冷凍機の大きさに依存させないようにするために、図9に示す代替の水素処理900が開発された。処理900は、加熱時間中、冷凍機をオフした状態で、水素圧力および排気流量を制御する。図9ならびに図10に示す圧力、温度および冷凍機RPMについて得られた曲線に戻って、水素再生処理900の大部分のステップは、水素再生処理700のステップと同じである。ただし、ステップ935でタイマーが始動されると極低温の冷凍機がオフにされ、ステップ950の暖機時間は、例えば、図9に示すように5分、または図10で示すように4分であってよい。ステップ735冷凍機オン、シーケンス1とステップ935冷凍機オフ、シーケンス2との差を図11に示す。水素再生処理900の結果として生じる最大水素圧力は、図10に示すように約2.8トルである。水素再生処理700シーケンス1および900シーケンス2の結果として生じる水素排気流量共に2SLM未満を図12に示す。図3、4、6A、6B、8および10に示される結果の、水素の最大圧力結果および最大流量結果、ならびに、クライオポンプ再生中における第2段の温度約20Kから温度約50Kまでの暖機時間を、表1にまとめる。水素再生処理900が終了すると、ユーザーは、クライオポンプ内に残存する他のガスの予定されたフル再生もしくは高速再生米国特許第5,375,424号を参照を実行でき、または、クライオポンプがその動作温度に冷却するのを待って弁128VE1を開くことによって、クライオポンプを使用することができる。すべての特許、公表された出願および本願明細書における引例の教示は、それらの全体が参照により援用される。本発明をその例示の実施形態を参照して特に図示および説明してきたが、添付の特許請求の範囲に包含される本発明の範囲を逸脱することなく、さまざまな形の変更および詳細がなされ得ることが当業者によって理解されるであろう。"