シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、前記第1の面に装着され、前記シリンダと前記ピストン本体の間をシールするシール部材と、前記ピストン本体に固定され、前記シール部材を前記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、前記第1の面に対向し前記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、前記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し、前記第1の領域は前記シール部材を第1の押圧力で押圧し、前記第2の領域は前記シール部材を前記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧するシール部材固定板と、前記シール部材固定板を前記ピストン本体に締結する締結部とを具備するピストン。請求項1に記載のピストンであって、前記第2の面は、前記第1の領域と前記第2の領域の間に形成され、前記シール部材を前記第1の押圧力より小さい第3の押圧力で押圧する第3の領域をさらに有するピストン。請求項1又は2に記載のピストンであって、前記第2の領域は、前記第1の領域より前記第1の面側に突出し、前記第3の領域は、前記第1の領域より前記第3の面側に窪んでいるピストン請求項1乃至3のいずれかひとつに記載のピストンであって、前記締結部は、前記シール部材固定板の中心から前記ピストン本体に挿通されたネジであるピストン。請求項1乃至4のいずれかひとつに記載のピストンであって、前記シール部材は、前記第1の面と前記第2の面とによって挟持されるサポート部と、前記サポート部の周縁に設けられ、前記シリンダに当接するリップ部とを有するカップパッキンであるピストン。請求項1乃至5のいずれかひとつに記載のピストンであって、前記ピストンは、前記シリンダ内を揺動運動するピストン。シリンダにストローク可能に嵌挿されストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、前記第1の面に装着され前記シリンダと前記ピストン本体の間をシールするシール部材と、前記ピストン本体に固定され前記シール部材を前記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって前記第1の面に対向し前記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し前記第1の領域は前記シール部材を第1の押圧力で押圧し前記第2の領域は前記シール部材を前記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧するシール部材固定板と、前記シール部材固定板を前記ピストン本体に締結する締結部とを有するピストンと、前記シリンダに接続され、前記ピストンのストロークにより排気される排気経路とを具備する真空ポンプ。しかしながら、特許文献1に記載の構成では、カップパッキンを固定するための押さえ板が、中央の一本のネジで固定されているため、押さえ板によるカップパッキンへの押圧力は、カップパッキンの中央部では大きく、周縁部では小さいものであると考えられる。この場合、ピストンのストロークによってカップパッキンの周縁部に振動が発生し、シリンダとの摩擦によって周縁部に偏磨耗が生じる。このため、押さえ板が複数のネジによって固定されている場合に比べ、カップパッキンの耐久寿命が短くなるおそれがある。以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、シール部材の耐久寿命を向上させることが可能なピストン及び同ピストンを備える真空ポンプを提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るピストンは、ピストン本体と、シール部材と、シール部材固定板と、締結部とを具備する。上記ピストン本体は、シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有する。上記シール部材は、上記第1の面に装着され、上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールする。上記シール部材固定板は、上記ピストン本体に固定され、上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、上記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し、上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し、上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧する。上記締結部は、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する。上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る真空ポンプは、ピストンと、排気経路とを具備する。上記ピストンは、シリンダにストローク可能に嵌挿されストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、上記第1の面に装着され上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールするシール部材と、上記ピストン本体に固定され上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧するシール部材固定板と、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する締結部とを有する。上記排気経路は、上記シリンダに接続され、上記ピストンのストロークにより排気される。ピストンは、ピストン本体と、シール部材と、シール部材固定板と、締結部とを具備する。上記ピストン本体は、シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有する。上記シール部材は、上記第1の面に装着され、上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールする。上記シール部材固定板は、上記ピストン本体に固定され、上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、上記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し、上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し、上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧する。上記締結部は、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する。この構成によれば、シール部材の外周部が、中央部より大きい第2の押圧力で押圧されるため、ピストンのストロークによる外周部の振動が防止され、それによって外周部の偏磨耗が抑制される。即ち、シール部材の耐久寿命を向上させることが可能となる。上記第2の面は、上記第1の領域と上記第2の領域の間に形成され、上記シール部材を上記第1の押圧力より小さい第3の押圧力で押圧する第3の領域をさらに有してもよい。この構成によれば、シール部材の第3の領域に対向する部分への押圧力第3の押圧力が緩和されるため、シール部材の第2の領域に対向する部分への押圧力第2の押圧力がシール部材の周方向において均一化され、シール部材の周縁部の確実な固定が可能となる。上記第2の領域は、上記第1の領域より上記第1の面側に突出し、上記第3の領域は、上記第1の領域より上記第3の面側に窪んでいてもよい。この構成によれば、第1の面と第1の領域の間の距離よりも第1の面と第2の領域の間の距離が短くなるため、シール部材の第2の領域に対向する部分に印加される押圧力を第1の領域に対向する部分に印加される押圧力より大きくすることが可能となる。また、第1の面と第1の領域の間の距離よりも第1の面と第3の領域の間の距離が長くなるため、シール部材の第3の領域に対向する部分に印加される押圧力を第1の領域に対向する部分に印加される押圧力より小さくすることが可能となる。上記締結部は、上記シール部材固定板の中心から上記ピストン本体に挿通されたネジであってもよい。上記のように、本発明の実施形態に係るピストンでは、シール部材の外周部が確実に固定されるため、シール部材固定板をピストン本体に固定するためのネジをシール部材固定板の中心に配置することが可能となる。上記シール部材は、上記第1の面と上記第2の面とによって挟持されるサポート部と、上記サポート部の周縁に設けられ、上記シリンダに当接するリップ部とを有するカップパッキンであってもよい。カップパッキンではサポート部の周縁に設けられているリップ部によりピストンとシリンダの間がシールされるため、周縁部の確実な固定によりリップ部の偏磨耗を防止することが可能となる。上記ピストンは、上記シリンダ内を揺動運動してもよい。ピストンがシリンダ内を揺動運動する揺動ピストンは、シール部材とシリンダの間の摩擦がストローク方向のみならず斜め方向にも発生するため、本発明の実施形態に係るピストンが特に有効である。真空ポンプは、ピストンと、排気経路とを具備する。上記ピストンは、シリンダにストローク可能に嵌挿されストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、上記第1の面に装着され上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールするシール部材と、上記ピストン本体に固定され上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧するシール部材固定板と、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する締結部とを有する。上記排気経路は、上記シリンダに接続され、上記ピストンのストロークにより排気される。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。[揺動ピストン型真空ポンプの構成]図1は、本発明の一実施形態に係る揺動ピストン型真空ポンプ以下、真空ポンプ1を示す模式図である。真空ポンプ1は、例えば真空チャンバ等に接続され、これを真空排気するためのものである。同図に示すように真空ポンプ1は、モータ2、シャフト3、コネクティングロッド4、ピストン5、シリンダ6、吸気室7及び排気室8を有する。コネクティングロッド4、ピストン5、シリンダ6、吸気室7及び排気室8は気筒を構成しており、当該真空ポンプ1は2基の気筒を有する。図2は、気筒を拡大して示す図である。なお、気筒の数は2基に限られず、1基あるいは3基以上であってもよい。真空ポンプ1では、モータ2に接続されたシャフト3に、コネクティングロッド4が接続され、コネクティングロッド4にピストン5が接続されている。ピストン5は、シリンダ6に収容されている。シリンダ6には、吸気室7及び排気室8が隣接して設けられている。上記構成のうちシャフト3、コネクティングロッド4、ピストン5、シリンダ6は筐体9に収容されている。モータ2は、回転動力を発生させ、シャフト3を軸回りに回転させる。モータ2は、一般的なモータを用いることが可能である。シャフト3は、モータ2から筐体9の内部に直線状に延伸され、筐体9にベアリング10を介して回転可能に支持されている。コネクティングロッド4は、一端が偏芯軸12とベアリング11によってシャフト3に接続され、他端はピストン5に接続されている。詳細は後述するが、コネクティングロッド4と偏芯軸12はシャフト3の回転運動を往復揺動運動に変換する。ピストン5はコネクティングロッド4によってシリンダ6内を往復運動し、吸気及び排気を行う。ピストン5の詳細な構成については後述する。シリンダ6はピストン5の外径に近い内径を有する筒状の室であり、ピストン5の嵌挿が可能に構成されている。シリンダ6には、吸気バルブ13及び排気バルブ14が設けられ、これらのバルブはピストン5の往復運動に応じて開閉する。吸気室7は、吸気バルブ13を介してシリンダ6と連通する室であり、吸気管15が接続されている。吸気管15はチャンバ等の排気対象物に接続されている。排気室8は、排気バルブ14を介してシリンダ6と連通する室であり、排気管16が接続されている。排気管16は大気開放か又は排気設備等に接続されている。なお、図2は、シャフト3に平行な方向から気筒をみた図であるが、吸気室7及び排気室8の向きは便宜上、図1とは異なっている。[ピストンの構成]図3はピストン5を示す分解図であり、図4はピストン5を示す断面図である。図5はピストン5の各部材をシリンダ6側からみた平面図である。図2乃至図5に示すように、ピストン5は、ピストン本体51、カップパッキン52及びカップパッキン固定板53によって構成されている。ピストン本体51にカップパッキン52が載置され、カップパッキン固定板53がカップパッキン52を介してピストン本体51に固定されることにより、カップパッキン52がピストン本体51とカップパッキン固定板53によって挟持されている。カップパッキン固定板53は、カップパッキン固定板53の中央部からピストン本体51の中央に向かって挿通された1本のネジ54がピストン本体51に締結されることによってピストン本体51に固定されている。なお、ネジ54は複数本とすることも可能であるが、本実施形態に係るピストン5は、カップパッキン52の固定を確実とすることができるため、1本とすることが可能である。ピストン本体51は、コネクティングロッド4に接続され、シリンダ6に嵌挿されている。ピストン本体51は、そのストローク方向シャフト3に垂直な方向に垂直な第1の面51aを有する。第1の面51aの中央部には、第1の面51aに対して凹状に形成された凹部51bが形成されている。凹部51bは、カップパッキン固定板53の一部と係合するための構造である。さらに凹部51bの中央部には、カップパッキン固定板53をピストン本体51に締結するためのネジ54が挿通されるネジ孔51cが上記ストローク方向に沿って形成されている。なお、ピストン本体51は、コネクティングロッド4と同一部材からなるものであってもよく、コネクティングロッド4に固定された別部材であってもよい。カップパッキン52は弾性体からなり、サポート部52aとリップ部52bを有する。サポート部52aは環状の円板状であり、その中央部にはカップパッキン固定板53が挿通される孔52cが形成されている。サポート部52aはカップパッキン固定板53によってピストン本体51の第1の面51aに押圧される。リップ部52bは、サポート部52aの周縁から折り曲げられたように形成された部分であり、シリンダ6の内壁に当接することによってピストン5とシリンダ6の間をシールする。カップパッキン52は、リップ部52bがピストン本体51側となるように、ピストン本体51に配置される。カップパッキン固定板53は、カップパッキン52上に配置され、ネジ54によってピストン本体51に締結されている。図6はカップパッキン固定板53をカップパッキン52側からみた平面図である。カップパッキン固定板53は、ピストン本体51の第1の面51aに対向する第2の面53aと、第2の面53aの反対側の第3の面53bを有する。また、カップパッキン固定板53の第2の面53a側には、ピストン本体51の凹部51bに係合する凸部53cが設けられており、第1の面51aは凸部53cの周囲に環状に形成されている。カップパッキン固定板53の第3の面53b側には、ネジ54が挿通されるためのネジ孔53dが形成され、ネジ孔53dはピストン本体51に形成されたネジ孔51cに連通している。ネジ孔53dは、ネジ54のネジ頭部が第3の面から露出しないようにネジ頭部を収容可能な大きさに形成されている。図7は、カップパッキン固定板53の断面の拡大図である。図6及び図7に示すように、カップパッキン固定板53の第2の面53aには、第1の領域A1、第2の領域A2及び第3の領域A3が形成されている。第1の領域A1、第2の領域A2及び第3の領域A3はそれぞれ第2の面53aの中心から径方向に所定の範囲を占める環状の領域であり、第2の面53a側から、第1の領域A1、第3の領域A3、第2の領域A2の順に形成されている。第3の領域A3は第1の領域A1より第3の面53b側に形成されており、第2の領域A2は第1の領域A1より第1の面51a側に形成されている。即ち、第3の領域A3は第1の領域A1より窪んでおり、第2の領域A2は第1の領域A1より突出している。第3の領域A3と第1の領域A1の高さの差は例えば0.3mm程度とすることができ、第2の領域A2と第1の領域A1の高さの差も例えば0.3mm程度とすることができるこれにより、カップパッキン固定板53がカップパッキン52に印加する押圧力は、カップパッキン52の部分によって異なる。図8は、カップパッキン固定板53とピストン本体51によって挟持されたカップパッキン52を示す断面図である。同図に示すように、カップパッキン52のサポート部52aのうち、カップパッキン固定板53の第1の領域A1に対向する部分はネジ54の締結力に応じて所定の押圧力で押圧される。サポート部52aのうち第3の領域A3に対応する部分は、第3の領域A3が窪んでいるため、第1の領域A1に対向する部分に比べて押圧力が小さくなる。また、サポート部52aのうち第2の領域A2に対向する部分は、第2の領域A2が突出しているため、第1の領域A1に対向する部分に比べて押圧力が大きくなる。図9は、カップパッキン52に印加される押圧力の測定結果を示す写真である。また、図10は、比較として、カップパッキンへの当接面がフラットなカップパッキン固定板を用いた場合の、カップパッキン固定板に印加される押圧力の測定結果を示す写真である。図9は、カップパッキン52とカップパッキン固定板53の間に、測定用の低圧用プレスケールを挟み、カップパッキン固定板53をピストン本体51に締結して測定されたものである。図10も同様にして測定されたものである。プレスケールは大きな押圧力が印加されると黒色に変色するものである。図10に示すように、フラットなカップパッキン固定板では、カップパッキンに印加される押圧力は小さいものである。これに対し、本実施形態に係るカップパッキン固定板53では、図9に示すように、ネジ54の近傍であるプレスケールの中央部分のみならず、第3の領域A3が形成されている周縁部分においても、プレスケールに高い押圧力が印加されている。このように、カップパッキン固定板53に、第3の領域A3及び第2の領域A2が形成されることにより、カップパッキン52への外周部の押圧力を高いものとすることができる。カップパッキン固定板53をネジ54によりピストン本体に締結すると、カップパッキン固定板53の中央部が強く押圧され、カップパッキン固定板53に反りが発生する。ここで、本実施形態に係るカップパッキン固定板53は、カップパッキン52の外周部に当接する第2の領域A2が形成されているため、カップパッキン固定板53に反りが発生しても、カップパッキン52の外周部を適性な押圧力で押圧することが可能となる。また、カップパッキン固定板53では、第3の領域A3により第2の領域A2の内周側においてカップパッキン52への押圧力が緩和され、第2の領域A2によるカップパッキン52への押圧力を周方向において均一にすることが可能である。[揺動ピストン型真空ポンプの動作]真空ポンプ1の動作について説明する。なお、ここでは、真空ポンプ1の一基の気筒について説明するが、他の気筒についても動作は同様である。図11はピストン5の揺動運動を示す模式図である。図11a、図11b、図11c、図11dの順にピストン5が駆動され、再び図11aに示す状態に戻る。図11aにおいてピストン5は上死点にある。この状態では、ピストン5がシリンダ6の底部に接触している。シャフト3が回転すると、図11bに示すように偏芯軸12とベアリング11を介してコネクティングロッド4が傾きながら下降し、ピストン5がシリンダ6から離れる。この際、シリンダ6とピストン5の間の容積が拡大するため、吸気室7及び連通する吸気管15から吸気バルブ13を介して排気対象気体がシリンダ6内に流入する。シャフト3がさらに回転すると、図11cに示すようにピストン5が下死点に到達する。このとき、シリンダ6内には排気対象気体が存在している。さらにシャフト3が回転すると、図11dに示すように、偏芯軸12とベアリング11を介してコネクティングロッド4が傾きながら上昇する。この際、シリンダ6とピストン5の間の容積が減少するため、シリンダ内の排気対象気体が排気バルブ14を解して排気室8及び連通する排気管16から排出される。このように、シャフト3の回転によってピストン5の傾きを伴なう上昇と下降揺動運動が繰り返され、排気対象気体が排気される。ここで、図11に示すように、ピストン5の揺動運動において、カップパッキン52のリップ部52bは常にシリンダ6の内壁に当接し、シリンダ6とピストン5の間をシールしている。このため、長期的使用においてはリップ部52bの磨耗が問題となる。図12は、比較として、カップパッキンへの当接面がフラットなカップパッキン固定板を用いた場合のカップパッキンの同回数使用後のリップ部を示す写真である。図13は、本実施形態に係るカップパッキン固定板53を用いた場合のカップパッキン52の所定回数使用後のリップ部52bを示す写真である。これらの図に示すように、比較例に係るカップパッキン固定板では、リップ部が偏磨耗しているのに対し、本実施形態に係るカップパッキン固定板53では、リップ部52bの偏磨耗が抑制されていることがわかる。これは、比較例に係るカップパッキン固定板では、カップパッキンの周縁部での押圧力が小さいためにリップ部の振動が発生しているためと考えられる。これに対し、本実施形態に係るカップパッキン固定板53では、カップパッキン52の周縁部での押圧力が大きいために、リップ部52bの振動が防止されているためと考えられる。本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において変更され得る。上記実施形態においてピストンは揺動ピストン型真空ポンプに用いられるものとしたが、これに限られず、非揺動ピストン型真空ポンプあるいはコンプレッサー等の、シリンダ内にピストンが配置される装置に適用することも可能である。