軸線方向の先端側に被検出ガス中の特定ガス成分を検出するための検出部を有する検出素子と、前記検出部を自身の先端から突出させた状態で、前記検出素子の径方向周囲を取り囲んで保持するハウジングと、前記ハウジングに固定されて前記検出部の周囲を覆うプロテクタと、を備え、前記プロテクタは、筒状の内側周壁、及び該内側周壁の先端側を閉塞する内側先端壁、を有し、前記検出部と間隙を介して配置される内側プロテクタと、前記内側周壁と間隙を介して配置される筒状の外側周壁、及び前記内側先端壁よりも先端側に配置され該外側周壁の先端側を閉塞する外側先端壁、を有する外側プロテクタと、を備えるとともに、前記内側周壁及び前記外側周壁のそれぞれには、ガスの通過が可能な通気孔が形成されたガスセンサにおいて、前記外側先端壁には、該外側先端壁を貫通し、前記外側プロテクタの内側と外側とを連通する外側連通孔が形成され、前記内側先端壁には、該内側先端壁から後端側に伸びる一対の側壁と該一対の側壁をつなぐ底壁とを有する連接壁を備えると共に、自身に内部空間を形成する陥没部を有し、該陥没部は、前記軸線方向に対して垂直な径方向に開口して前記内側プロテクタの内側と前記内部空間とを連通する一対の内側連通孔が形成され、前記一対の内側連通孔の全開口面積は、前記外側連通孔の全開口面積より大きく設定されていることを特徴とするガスセンサ。前記内側プロテクタの内側先端壁には、該内側先端壁を貫通し、前記内部空間と前記内側プロテクタの外側とを連通する中間連通孔を有し、該中間連通孔の開口面積は、前記外側連通孔の全開口面積より大きく設定されていることを特徴とする前記請求項1に記載のガスセンサ。前記内側先端壁と前記外側先端壁との間の間隙の大きさは、内側先端壁の厚みより小さく設定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のガスセンサ。前記請求項1乃至3のいずれか1項に記載のガスセンサの製造方法であって、前記外側プロテクタの外側先端壁に対して、パンチングすることによって、前記外側連通孔を形成する第1工程と、前記内側プロテクタの内側先端壁に対して、前記陥没部の形状に対応する形状を有する外金を用いて前記後端方向に押圧することによって、前記連接壁を前記内側先端壁から分離して後端側に突出させるとともに、前記径方向に前記内側連通孔を形成する第2工程と、を有することを特徴とするガスセンサの製造方法。しかしながら、前記特許文献1の技術では、プロテクタの先端壁に切り掛け加工によって平行な切れ目を入れた後に、左右の切れ目の中央を内側に押し込んで陥没部を形成していたので、或いは、切れ目を入れること無くプロテクタの先端面を内側に押し込んで陥没部を形成していたので、加工精度が十分に得られないことがあった。つまり、上述した加工によって形成された陥没部においては、開口部の形状及び寸法がばらつくことがあった。しかも、検出素子の周囲を通過する排気ガスは、先端壁に形成された開口部からプロテクタの外側に排出されるため、開口部の面積によって排気ガスの拡散抵抗が規定されるので、開口部の面積の形状及び寸法のバラツキの影響によって、センサ毎の排気ガスの拡散抵抗もバラツキが生じることがあった。その結果、このセンサ毎の拡散抵抗のバラツキが生じると、センサ毎の応答時間もバラツキが生じるので、センサ毎の応答性にバラツキがあるという問題があった。本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、検出素子が被水することを効果的に防止できるとともに、センサ毎の応答性のバラツキを低減できるガスセンサ及びガスセンサの製造方法を提供することを目的とする。1本発明のガスセンサは、請求項1に記載の様に、軸線方向の先端側に被検出ガス中の特定ガス成分を検出するための検出部を有する検出素子と、前記検出部を自身の先端から突出させた状態で、前記検出素子の径方向周囲を取り囲んで保持するハウジングと、前記ハウジングに固定されて前記検出部の周囲を覆うプロテクタと、を備え、前記プロテクタは、筒状の内側周壁、及び該内側周壁の先端側を閉塞する内側先端壁、を有し、前記検出部と間隙を介して配置される内側プロテクタと、前記内側周壁と間隙を介して配置される筒状の外側周壁、及び前記内側先端壁よりも先端側に配置され該外側周壁の先端側を閉塞する外側先端壁、を有する外側プロテクタと、を備えるとともに、前記内側周壁及び前記外側周壁のそれぞれには、ガスの通過が可能な通気孔が形成されたガスセンサにおいて、前記外側先端壁には、該外側先端壁を貫通し、前記外側プロテクタの内側と外側とを連通する外側連通孔が形成され、前記内側先端壁には、該内側先端壁から後端側に伸びる一対の側壁と該一対の側壁をつなぐ底壁とを有する連接壁を備えると共に、自身に内部空間を形成する陥没部を有し、該陥没部は、前記軸線方向に対して垂直な径方向に開口して前記内側プロテクタの内側と前記内部空間とを連通する一対の内側連通孔が形成され、前記一対の内側連通孔の全開口面積は、前記外側連通孔の全開口面積より大きく設定されていることを特徴とする。本発明では、一対の内側連通孔の全開口面積は、外側連通孔の全開口面積より大きく設定されているので、外側連通孔で、例えば排気ガスが排出される際の拡散抵抗従って例えば排気ガスがプロテクタの内外を通過する際のガス拡散抵抗が調整されることになる。この外側連通孔は、外側プロテクタの外側先端壁を貫通するように例えばパンチング等によって形成されるものであるので、内側プロテクタの外側先端壁に例えば押圧及び切り掛け加工によって設けた陥没部に開口する内側連通孔と比べて、開口形状や寸法の精度が高い。従って、寸法精度の高い外側連通孔によってガス拡散抵抗が調整されることになるので、センサ毎の応答時間にバラツキが少なく、よって、センサ毎の応答性のバラツキが少ないという顕著な効果を奏する。さらに、内側プロテクタの外側先端壁に陥没部を設けることで、ガスセンサの先端側から水が飛散する状況下においても、底壁に水が付着し、検出素子を収容した内側プロテクタ内に水が流入することを抑制することができる。なお、外側連通孔は、外側先端壁を貫通していればよく、例えば、軸線方向に見たときに、円形、楕円や多角形であってもよい。さらに、外側連通孔は1個設けられていても、複数設けられていても良い。なお、外側連通孔が複数設けられている場合には、複数の外側連通孔の全ての開口面積にて内側連通孔の全開口面積と比較する。また、外側連通孔は、外側先端壁に対して垂直に開口していても良いが、外側先端壁の内側面から外側面に向かって拡径したり、縮径したりしても良い。この場合、外側連通孔の開口面積は、外側連通孔の開口を径方向に平行な面積で見たときの、最小面積のことを指す。また、内側連通孔の開口面積は、内側連通孔を径方向から見たときに、陥没部の底壁、側壁及び内側先端壁にて囲まれる開口の最小面積を指す。また、一対の内側連通孔は、互いが同じ形状であっても、互いが異なる形状であってもよい。2本発明のガスセンサでは、請求項2に記載の様に、前記内側プロテクタの内側先端壁には、該内側先端壁を貫通し、前記内部空間と前記内側プロテクタの外側とを連通する中間連通孔を有し、該中間連通孔の開口面積は、前記外側連通孔の全開口面積より大きく設定できる。この様に、内側プロテクタの中間連通孔の開口面積についても、外側連通孔の全開口面積より大きく設定することにより、寸法精度の高い外側連通孔によってガス拡散抵抗が調整されることになるので、センサ毎の応答時間にバラツキが少なく、よって、センサ毎の応答性のバラツキが少ないという顕著な効果を奏する。なお、中間連通孔は、内側先端壁を貫通していればよく、例えば、軸線方向に見たときに、円形、楕円や多角形であってもよい。また、中間連通孔は、外側先端壁に対して垂直に開口していても良いが、内側先端壁の内側面から外側面に向かって拡径したり、縮径したりしても良い。この場合、中間連通孔の開口面積は、中間連通孔の開口を径方向に平行な面積で見たときの、最小面積のことを指す。3本発明のガスセンサでは、請求項3に記載の様に、前記内側先端壁と前記外側先端壁との間の間隙の大きさは、内側先端壁の厚みより小さく設定されていることを特徴とする。この様に、内側先端壁と外側先端壁との間の間隙の大きさが、内側先端壁の厚みより小さく設定されているので、間隙に水分がたまりにくくなり、検出素子を被水からより効果的に保護することができる。そして、間隙の大きさが狭い外側連通孔と内側連通孔とが近接しているプロテクタにおいて、上述に示す開口面積の関係を有することで、上述の応答性のバラツキを低減する効果が一層大きくなるという利点がある。4本発明のガスセンサの製造方法は、請求項4に記載の様に、前記請求項1乃至3のいずれか1項に記載のガスセンサの製造方法であって、前記外側プロテクタの外側先端壁に対して、パンチングすることによって、前記外側連通孔を形成する第1工程と、前記内側プロテクタの内側先端壁に対して、前記陥没部の形状に対応する形状を有する外金を用いて前記後端方向に押圧することによって、前記連接壁を前記内側先端壁から分離して後端側に突出させるとともに、前記径方向に前記内側連通孔を形成する第2工程と、を有することを特徴とする。本発明は、ガスセンサの製造方法を例示したものである。この製造方法により、前記請求項1乃至3のいずれか1項に記載のガスセンサを好適に製造することができる。なお、内側プロテクタの内側先端壁を押圧する前に、予め内側先端壁の連接壁の幅に対応する箇所に切れ目を入れておく方法も、本発明の範囲である。以下、本発明が適用されたガスセンサ及びガスセンサの製造方法の実施形態について図面を用いて説明する。[実施形態]aまず、本実施形態のガスセンサ1の概略構成について、図1に基づいて説明する。なお、以下では、ガスセンサ1の軸線方向を上下方向とし、ガスセンサ内部に保持する検出素子3の検出部5側をガスセンサ1の先端側、先端側の反対側をガスセンサ1の後端側基端側として説明する。図1に示す様に、本実施形態のガスセンサ1は、自動車の排気管図示せずに取り付けられ、検出素子3の検出部5が排気管内の排気ガス中に晒されて、排気ガス中の酸素濃度から排気ガスの空燃比を検出する全領域空燃比センサである。前記検出素子3は、軸線方向に延びる細幅の板状形状をなし、酸素濃度の検出を行う例えばジルコニアを主体とする固体電解質からなるガス検出体と、そのガス検出体を早期活性化させるために加熱を行うヒータとが互いに貼り合わされ一体化されたものである。また、検出素子3の先端部には、一対の電極図示せずを備えた検出部5が配置され、その検出部5は、保護層7で覆われている。検出素子3の中央よりやや先端側には、有底筒状の金属カップ9が、検出素子3の検出部5を筒底から突出させた状態で配置されている。この金属カップ9内には、セラミックリング11と滑石リング13とが収容されている。そして、金属カップ9と一体となった検出素子3は、その周囲を筒状の主体金具15に取り囲まれて保持されている。前記主体金具15は、ガスセンサ1を自動車の排気管に取り付け固定するためのものであり、その外周にねじ部17が形成されている。ねじ部17よりも先端側には、後述するプロテクタ19が係合される先端係合部21が形成されている。なお、主体金具15が、本発明におけるハウジングに相当する。主体金具15内には、滑石リング23が金属カップ9の後端側から装填され、滑石リング23を後端側から押さえるように、筒状のスリーブ25が主体金具15内に嵌め込まれている。なお、スリーブ25の後端側外周には、加締めパッキン27が配置され、この加締めパッキン27を挟むようにして、主体金具15の後端側が加締めされている。前記検出素子3は、その後端部が主体金具15の後端よりも後方に突出しており、その後端部には、絶縁性セラミックスからなる筒状のセパレータ29が被せられている。セパレータ29は、検出素子3の後端部に形成された複数の電極パッド31とそれに電気的に接続される複数の接続端子33とを内部に保持すると共に、各接続端33とガスセンサ1の外部に引き出される複数のリード線35との各接続部分を収容して保護している。また、セパレータ29が嵌められた検出素子3の後端の周囲を囲うように、筒状の外筒37が配設され、この外筒37の先端側は、主体金具15に外嵌されるとともにスポット溶接やレーザ溶接によって主体金具15に固定されている。更に、外筒37とセパレータ29との間には、セパレータ29を支持する筒状の保持金具39が配設されている。なお、外筒37の後端側の開口には、リード線35が挿通されるフッ素系ゴム製のグロメット41が嵌合されている。一方、主体金具15に保持された検出素子3の検出部5は、主体金具15の先端係合部21より突出している。この先端係合部21には、検出素子3の検出部5を、排気ガス中のデポジット燃料灰分やオイル成分など被毒性の付着物質による汚損や被水などによる折損等から保護するためのプロテクタ19が嵌められ、スポット溶接やレーザ溶接によって固定されている。b次に、プロテクタ19について、図2及び図3に基づいて説明する。図2及び図3に示す様に、プロテクタ19は、円盤状の内側先端壁51及び円筒状の内側周壁53を有する有底筒状の内側プロテクタ55と、内側プロテクタ55の内側周壁53の外周面との間に空隙ガス分離室57を有した状態で配置された円筒状の外側周壁61、及び円盤状の外側先端壁59を有する有底筒状の外側プロテクタ63とから構成される2重構造を有する。このうち、前記内側プロテクタ55は、その外径が主体金具15の先端係合部21よりも小さく形成されており、開口側後端側の端部である開口端部65は、先端係合部21の外周に係合するように拡径されている。そして、内側プロテクタ55は、開口端部65の外周を一周してレーザ溶接されることにより、主体金具15の先端係合部21に固定されている。また、内側周壁53の後端側には、周方向に沿って複数本実施形態では6個の内側通気孔67が2列形成されている。この内側通気孔67は、後述する外側プロテクタ63の外側通気孔69を介してガス分離室57に導入される排気ガスのうち、主にガス成分を、内側プロテクタ55の内部、すなわち検出素子3の検出部5が配置されたガス検出室71に導入させるために設けられている。更に、内側プロテクタ55の内側周壁53の先端側には、周方向の複数箇所本実施形態では6箇所に水抜き孔70が設けられている。この水抜き孔70は、ガス分離室57内に導入される排気ガスに含まれる水分水滴等を、ガス検出室71を介し外部に排出するための導路として設けられたものであり、内側通気孔67及び外側通気孔69の形成位置よりも先端側に配設されている。また、後に詳述するように、内側プロテクタ55の内側先端壁51の中央には、外部からの被水の防止及びガス検出室71からの排気ガスの排出のために、内側先端壁51より後端側に陥没突出する陥没部73が形成されている。一方、外側プロテクタ63は、その後端側の基端部75が、内側プロテクタ55の開口端部65の外周に係合され、スポット溶接により内側プロテクタ55に固定されている。この外側プロテクタ63の外側周壁61には、内側プロテクタ55の内側導入孔67の形成位置よりも先端側で水抜き孔70の形成位置より後端側に、外側プロテクタ63の外部とガス分離室57とを連通する複数本実施形態では8個の外側通気孔69が周方向に沿って形成されている。また、後に詳述するように、外側プロテクタ63の外側先端壁59の中央には、ガス検出室71からの排気ガスの排出や、水抜き孔70から侵入した水の排出のために、外側連通孔天孔77が形成されている。c次に、本実施形態の要部であるプロテクタ19の先端側の構成について、図4及び図5に基づいて詳しく説明する。図4に示す様に、プロテクタ19の先端側は、内側プロテクタ55の内側先端壁51と外側プロテクタ63の外側先端壁59とが、僅かな間隙60を保って配置された2重構造となっている。なお、内側先端壁51と外側先端壁59との間の間隙60の大きさ図4a、bの上下方向の寸法は、内側先端壁51の厚みより小さく設定されている。具体的には、内側先端壁51の厚みが、0.3~0.6mmの範囲例えば0.4mmの場合には、前記間隙60の厚みは、それよりも小さい0.1~0.3mmの範囲例えば0.1mmに設定されている。内側プロテクタ55の内側先端壁51には、内側先端壁51が後端側図4aの上方に突出従って内側先端壁51から陥没した形状の陥没部73が形成されている。この陥没部73は、内側先端壁51から後端側に向かって斜めに伸びる一対の側壁79、81と、その一対の側壁79、81をつなぐ底壁83とからなる板状の連接壁85により形成されている。即ち、この連接壁85は、図4a、bに示すように、同じ幅の板材が後端側に向かって滑らかに屈曲した略台形のブリッジ形状であり、内部に内部空間87を形成している。よって、陥没部73の陥没方向後端方向に対して垂直な方向即ち図4bの左右方向には、図4aを見たときに、連接壁85と内側先端壁51とで囲まれるように設けられた一対の内側連通孔89、91が形成されている。この内側連通孔89、91は、内側プロテクタ55の内側詳しくはガス検出室71側と陥没部73の内部空間87とを連通している。この内側連通孔89、91の開口形状は、図4aに示す様に、略台形である。また、陥没部73が内側プロテクタ55の内側先端壁51より陥没することにより、内側プロテクタ55の内側先端壁51を貫通し、陥没部73の内部空間87と内部プロテクタ55の外側とを連通する中間連通孔93が形成されている。この中間連通孔93は、内側先端壁51の内側面から外側面に向かって拡径しており、また、軸線方向に見たときの開口形状は長方形である図5cの灰色部分参照。一方、外側プロテクタ63の外側先端壁59には、外側先端壁59を貫通し、外側プロテクタ63の内側と外側とを連通する外側連通孔77が形成されている。この外側連通孔77は、外側先端壁59に対して垂直に開口しており、また、軸線方向に見たときの開口形状は、図4cに示す様に、外側プロテクタ63の外側先端壁59の中心を中心とした円形である。従って、プロテクタ19の先端側においては、内側プロテクタ55における一対の内側連通孔89、91及び中間連通孔93と、外側プロテクタ63における外側連通孔77とによって、プロテクタ19の内側と外側とが連通している。特に本実施形態では、図4及び図5にて灰色で示す様に、一対の内側連通孔89、91と中間連通孔93と外側連通孔77との開口面積の関係が、下記の所定の関係を満たすように設定されている。即ち、各内側連通孔89、91の各開口面積S1図4aの灰色部分は、本実施形態においては同じ開口面積であるので、一対の内側連通孔89、91の全開口面積は2S1となり、この全開口面積2S1は外側連通孔77の開口面積S2図4cの灰色部分より大きく設定されている。また、中間連通孔93の開口面積S3図5cの灰色部分は、外側連通孔77の開口面積S2より大きく設定されている。ここで、一対の内側連通孔89、91と中間連通孔93と外側連通孔77との開口面積を規定する各寸法は、例えば下記の様にして設定することができる。各内側連通孔89、91の開口面積S1は、例えば図5aの灰色部分に示す様に、各内側連通孔89、91の開口形状を台形とみなして、その上底寸法をL1とし、下底寸法をL2とし、高さ寸法をHとして、算出した台形面積とみなしている。ここでは、左右の側壁79、81の内側面は平面であるので、その平面を上下方向に延長した延長線と側壁79、81の内側への湾曲が開始される点変曲点との交点を利用して、L1の寸法を規定する。つまり、図5aにおける側壁79、81の内側面上に引かれた左右の延長線の上側における変曲点間の距離をL1とする。また、左右の延長線の下側と内側先端壁51の内側面との交点間の距離をL2とする。なお、Hは、上述の変曲点と内側先端壁51の内側面との距離である。また、中間連通孔93の開口面積S3は、中間連通孔93が内側先端壁51の内側面から外側面に向かって拡径しているため、中間連通孔93の開口を径方向に平行な面積で見たときの最小面積が、内側先端壁51の内側面の位置となる。よって、前記図5cの灰色部分に示す様に、L2寸法に底壁83の幅Wを掛けたものとなる。なお、外側連通孔77の開口面積S2は、外側先端壁59に対して垂直に開口しているため、前記図4cの灰色部分に示す様に、直径Rの円の面積として求めることができる。なお、排気ガスが外部から外側プロテクタ63の外側周壁61の外側通気孔69を介してガス分離室57に導入される場合や、ガス分離室57から内側プロテクタ55の内側周壁53の内側通気孔67を介してガス検出室71に導入される場合も、各孔69、67、73によってガス拡散抵抗が規定されるが、これらの外側通気孔69、内側通気孔67は、先端側の一対の内側連通孔89、91、中間連通孔93、外側連通孔77に比べて開口面積が十分に大きいので、これらの外側通気孔69、内側通気孔67によってガス拡散抵抗が規定されることはほとんどない。d次に、プロテクタ19の先端側の加工方法について、簡単に説明する。内側プロテクタ55を製造する場合には、まず、例えばSUS310S等のステンレス鋼からなる厚さ0.3~0.6mmの板材に対して、周知の絞り加工を行うことによって、内側先端壁51及び内側周壁53を備えた筒状有底の内側プロテクタ55を作製する。次に、内側プロテクタ55の内側周壁53に対して、パンチング等により、内側通気孔67を形成する。次に、陥没部73の形状に対応して凹んだ凹部を有する内金図示せずを、内側プロテクタ55の内部に挿入し、内金の先端を内側先端壁51の内周面に当接させる。次に、陥没部73の形状に対応して突出した凸部W寸法の厚みを有する板状の凸部を有する外金図示せずを、内金の凹部の位置に合わせて内側プロテクタ55の内側先端壁51の外側に配置し、内側プロテクタ55の内側先端壁51を外金の凸部で徐々に押圧して凹ませて、陥没部73を形成する。この陥没部73の形成の際には、外金の凸部で内側先端壁51を板状に押圧して、連接壁85を後端側に突出するように屈曲させるとともに、連接壁85の幅方向の両端を内側先端壁51から切断して分離するいわゆる切り掛け加工。これにより、陥没部73の幅方向の両側に一対の内側連通孔89、91が形成される。従って、例えば図6に示す様に、H寸法が1.2mmで、側壁79、81の中央の平面部分が内側先端壁51に対して40°内側に傾斜した内側プロテクタ55を製造する場合には、同図上方は滑らかに湾曲するので、連接壁85の上部の左右の変曲点間の距離L1は0.7mmであり、連接壁85の根元部分の距離L2は3.55mmである。従って、内側連通孔89、91の各開口面積S1は、5.1mm2である。一方、外側プロテクタ63を製造する場合には、まず、例えばSUS310S等のステンレス鋼からなる厚さ0.3~0.6mmの板材に対して、周知の絞り加工を行うことによって、外側先端壁59及び外側周壁61を備えた筒状有底の外側プロテクタ63を作製する。次に、外側プロテクタ63の外側周壁61に対して、パンチング等により、外側通気孔69を形成する。次に、外側連通孔77の形状円柱状に凹んだ凹部を有する内金図示せずを、外側プロテクタ63の内部に挿入し、内金の先端を外側先端壁59の内周面に当接させる。次に、外側連通孔77の形状に突出した凸部を有する外金図示せずを、内金の凹部の位置に合わせて外側プロテクタ63の外側先端壁59の外側に配置してプレスパンチングし、外側連通孔77を開ける。なお、前記図6に示す内側連通孔89、91の開口面積S15.1mm2の場合には、外側連通孔77の開口面積S2としては例えば3.14mm2とすることができる。eこの様に、本実施形態では、一対の内部連通孔79、81と中間連通孔93と外側連通孔77との面積の関係は、上述の様に規定されているので、プロテクタ19の内部のガス検出室71からプロテクタ19外に排出される排気ガスは、最も開口面積の小さい外側連通孔77でガス拡散抵抗が規定されることになる。また、上述の押圧及び破断によって形成された内側連通孔89、91は、加工の特性上、外側連通孔77に比べて寸法精度がばらつく傾向があるが、外側連通孔77はパンチングにより形成されているので、その開口形状や寸法のバラツキが小さい。このため、上述した各面積の関係を有する本実施形態では、センサ毎のガス拡散抵抗のバラツキが小さくなり、その結果、センサ毎の応答時間のバラツキが小さく、よって、センサ毎の応答性のバラツキも小さいという効果がある。従って、本実施形態では、検出素子3を被水から効果的に保護することができるとともに、センサ毎の応答性のバラツキを低減できるという顕著な効果を奏する。また、本実施形態では、内側先端壁51と外側先端壁59との間の間隙60の大きさが、内側先端壁51の厚みより小さく設定されているので、間隙60に水分がたまりにくくなり、検出素子3を被水からより効果的に保護することができる。そして、間隙60の大きさが狭い外側連通孔77と内側連通孔89、91とが近接しているプロテクタ19において、上述に示す開口面積の関係を有することで、上述の応答性のバラツキを低減する効果が一層大きくなるという利点がある。次に、本発明の具体的な実施例のプロテクタを備えたガスセンサを用いた実験例について説明する。この実験に使用するガスセンサとして、下記表1に示す各寸法を有するプロテクタを装着したガスセンサを用いた。なお、実施例1~4が本発明の範囲内の試料であり、比較例1~3が本発明の範囲外の試料であり、各試料はそれぞれ5個作製した。<実験例1:応答性試験>図7aに示すように、実施例及び比較例のプロテクタを装着したガスセンサを、円筒形状の配管105に設置し、配管105内に、風速13m/secで空気を供給し、その条件下で、O2打ち込みノズル107から酸素ガスを打ち込み、その際のガスセンサの応答性について調べた。その結果を、下記表1に記す。ここで、酸素ガスの打ち込み条件は、酸素濃度をガス全体の21から22に切り替えたものである。また、応答時間は、酸素ガスの打ち込みを変更する前後の出力に対して、センサ出力が10~90変化するときの時間について調べた。なお、表1において、L1寸法、L2寸法、H寸法、W寸法、R寸法、面積S1×2、面積S2、及び面積S3はそれぞれ狙い値であり、5個の各試料はこの寸法を狙って作製した。なお、5個の各試料は、S1面積が狙い値に対して±3のずれが生じ、S2面積が狙い値に対して±1のずれが生じる。また、応答性MAX、応答性MINは、同じ狙い値の寸法の複数の試料のうちの応答時間の最も長いもの、応答時間の最も短いものを示し、応答性AVEとは、同じ狙い値の寸法の全ての試料の応答時間の平均値である。また、MAX-MINは、応答時間の差応答性MAX-応答性MINを示している。<実験例2:被水試験>図7bに示すように、ガスセンサではなく、被水状態を調べるカーボン素子111とそのカーボン素子111の先端を覆う実施例、比較例のプロテクタとを備えた被水センサ115を用いた。具体的には、被水センサ115を円筒形状の配管117に設置し、配管117内に、風速20m/secで空気を供給し、その条件下で、水噴霧ノズル119から、20ml/minにて水を飛散させ、カーボン素子111における水の付着状態被水痕の大きさから、耐被水性の評価を行った。その結果を、下記表1に記す。なお、被水割れが発生する被水痕径は、直径2mm以上であるため、2mm未満の被水痕径が付着した試料を○、2mm以上の被水痕が付着した試料を×とした。表1に示す様に、比較例1は外側プロテクタのみであるので、応答性のバラツキ応答時間の差:応答性MAX-応答性MINは小さいが、耐被水性が悪い。比較例2は、寸法精度の低い内側連通孔を備えた内側プロテクタのみであるので、耐被水性は○であるが、センサ毎の応答性のバラツキが多いという問題がある。比較例3は、内側及び外側プロテクタを備えているが、内側連通孔の全開口面積2S1は、外側連通孔の開口面積S2より小さいので、内側連通孔でガス律速されてしまう。その結果、センサ毎の応答性のバラツキが多いという問題がある。実施例1~4は、内側連通孔の全開口面積2S1は、外側連通孔の開口面積S2より大きく設定されており、センサ毎の応答性のバラツキが少ないという顕著な効果を奏する。さらに、実施例1~3は、中間連通孔の開口面積S3が外側連通孔の開口面積S2より大きく設定されているので、センサ毎の応答性のバラツキがさらに少ないという顕著な効果を奏する。以上、本発明の実施形態等について説明したが、本発明は、前記実施形態等に限定されるものではなく、種々の態様を採ることができる。1例えば、本発明は、酸素センサ、NOxセンサ、HCセンサ、温度センサ等に用いられるプロテクタにも同様に適用することができる。2例えば押圧して陥没部を形成する際に、先端壁を破断して内側連通孔を形成するのではなく、予め内側プロテクタの先端に例えば平行な2筋の切れ目を入れ、この切れ目の中央を押圧して陥没部従って連接壁を形成してもよい。3また、プロテクタの先端側は、内側プロテクタの内側先端壁と外側プロテクタの外側先端壁とが、間隙を有することなく直接に接触した2重構造としてもよい。