"処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持される複数の搬送冶具と、を有し、前記複数の治具の各々は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、を有することを特徴とする表面処理装置。処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レール及び給電レールと、前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、を有し、前記複数の治具の各々は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、前記第1被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、を有することを特徴とする表面処理装置。請求項2において、前記給電レールは、前記第1方向に沿って平行に延びる、互いに絶縁されたNNは2以上の整数個の分割給電レールを有し、前記複数の搬送治具は、前記水平アームに対して前記第2方向にて位置が異なるN箇所の各一つに前記被給電部が取り付けられた第1~第Nの搬送治具を含み、前記第1~第Nの搬送治具の各一つが、前記N個の分割給電レールの各一つと接触することを特徴とする表面処理装置。請求項3において、前記第1~第Nの搬送治具の各々は、前記被給電部を支持する支持部を含み、前記支持部は、前記第2方向で異なる位置に設けられたN個の取付部を含み、前記第1~第Nの搬送治具の各々の前記被給電部は、前記給電レールに接触する接触部をそれぞれ含み、前記接触部が、前記N個の取付部の一つに取り付けられることを特徴とする表面処理装置。請求項1乃至4のいずれかにおいて、前記第1案内レールは、縦断面にて、上面と、第1側面と、前記第1側面と対向する第2側面とを含み、前記複数の搬送冶具の各々の前記第1被案内部は、前記第1案内レールの前記上面と転接する第1ローラーと、前記第1案内レールの前記第1側面と転接する第2ローラーと、前記第1案内レールの前記第2側面と転接する第3ローラーと、を含み、前記複数の搬送冶具の各々の前記第2被案内部は、前記第2案内レールの上面と転接する第4ローラーを含むことを特徴とする表面処理装置。請求項1乃至5のいずれかにおいて、前記複数の搬送治具の各々は、吊り下げ用のフック部をさらに有し、前記フック部に係合して、前記複数の搬送治具に保持された前記ワークを、前記表面処理槽に対して昇降させる昇降部をさらに有することを特徴とする表面処理装置。薄板状の矩形ワークを処理槽内の液中にて保持する治具であって、前記矩形ワークの第一辺を把持する複数の第1チャック部材と、前記矩形ワークの前記第一辺と第1方向にて対向する第2辺を把持する複数の第2チャック部材と、前記矩形ワークを囲んで配置され、前記複数の第1チャック部材及び前記複数の第2チャック部材を支持する枠状部材と、を有し、前記枠状部材は、前記複数の第1チャック部材を、前記第1方向にて可動に移動案内する第1案内部と、前記複数の第1チャック部材を、前記複数の第2チャック部材に対して前記第1方向に沿って遠ざかる一方向に移動付勢する第1付勢部材と、を有することを特徴とするワーク保持治具。請求項7において、前記枠状部材は、前記複数の第2チャック部材を、前記第1方向にて可動に移動案内する第2案内部と、前記複数の第2チャック部材を、前記複数の第1チャック部材に対して前記第1方向にて遠ざかる方向に移動付勢する第2付勢部材と、をさらに有することを特徴とするワーク保持治具。請求項7または8において、前記枠状部材は、固定板と、前記固定板に重ねて配置される可動板とを含み、前記第1案内部は、前記固定板及び前記可動板の一方に形成されて前記第1方向を長手方向とする長孔と、前記固定板及び前記可動板の他方に形成されて前記長孔に挿通される軸部とを含み、前記第1付勢部材は、前記固定板に対して前記可動板を前記一方向に押圧付勢することを特徴とするワーク保持治具。請求項7乃至9のいずれかにおいて、前記複数の第1チャック部材及び前記複数の第2チャック部材の各々は、前記ワークの第1面に接触する固定部材と、前記固定部材と対向する位置にて前記ワークの第2面に接離可能に配置され、前記第2面に押圧接触される可動部材と、を含み、前記可動部材は、押圧解除時に駆動される被駆動片と、前記被駆動片の非駆動時に常時前記固定部材側に押圧される押圧駆動片と、前記押圧駆動片の自由端部に形成された薄板状の押圧片と、を含むことを特徴とするワーク保持治具。処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される案内レール及び給電レールと、前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、を有し、前記複数の治具の各々は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、前記水平アーム部の一端側に支持され、前記案内レールに案内される被案内部と、前記被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、を有し、前記被給電部は、前記給電レールに接触する接触部と、前記水平アーム部と前記接触部とを連結する平行リンク機構と、前記平行リンク機構を回転付整して、前期接触部に接触圧を付与する付整部材と、を有することを特徴とする表面処理装置。特許文献2のように給電レールをメッキ槽の上方から外れた位置に配置すると、特許文献1のように給電レールの直下に搬送治具及びワークを垂下して安定支持する形態とは異なる。それにより、搬送治具及びワークの重心は給電レールを通る垂線上から外れるため、搬送治具には不要なモーメントが作用してしまう。よって、特許文献2に開示された搬送治具は、不要なモーメントによる弊害を抑制するために、特許文献1に開示された治具よりも複雑な構造となる。例えば特許文献2では、給電レールの側面に、搬送治具の脱落を防止するための外れ防止レールを設けており、給電レールの構造も複雑化している。搬送治具に保持されたワークが液中を進行する時、平面視でワークの姿勢が搬送方向に対して交差するように傾くと、液の抵抗を受けてワークが屈曲して商品価値を損なう虞がある。また、搬送治具に保持されたワークが液中を進行する時、搬送治具が上下動すると、給電レールと搬送治具との電気的接触が不良となって、メッキ品質が劣化する虞もある。そのような事態を防止するために、搬送治具の走行を安定化させる構造は複雑化する。本発明の幾つかの態様は、表面処理槽の上方から外れた位置に配置されたレールに沿って搬送される搬送治具の構造を改良し、極めて安定して搬送治具を支持することができる表面処理装置を提供する。本発明の他の幾つかの発明は、極めて薄いワークであっても、液圧等によってワークを破損させることなく搬送できるワーク保持治具を提供する。本発明のさらに他の態様は、案内レールとは別個に給電レールを設け、給電レールに給電される被給電部を、搬送治具の搬送状態とは独立して常時適度な接触圧にて給電レールと接触させることができる表面処理装置を提供する。1本発明の一態様は、処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持される複数の搬送冶具と、を有し、前記複数の治具の各々は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、を有する表面処理装置に関する。このように、複数の搬送治具の各々は、ワークを保持する垂直アーム部を挟んで第2の方向Bの両端側の第1,第2被案内部が、第1,第2案内レールに支持された両持ち支持構造を有する。従って、本実施形態では、特許文献2のような片持ち支持構造と比較して、不要なモーメントの発生を抑制し、上下動を抑えて安定してワークを水平搬送することができる。しかも、摺動部となる第1,第2案内レール及び第1,第2被案内部は、表面処理槽の上端開口の上方から外れた位置にあるので、粉塵等が表面処理槽内に落下してメッキ液を汚染することもない。2本発明の他の態様は、処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置であって、前記第1,第2案内レールの間にて、前記第1方向に沿って延設される給電レールと、前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、を有し、前記複数の治具の各々は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、前記第1被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、を有する表面処理装置に関する。本発明の他の態様では、第1,第2案内レールに追加して給電レールを有し、搬送治具は給電レールと接触する被給電部をさらに有する。給電レールは、表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置であって、第1,第2案内レールの間に配置されるので、搬送治具の被給電部は第1被案内部と前記垂直アーム部との間の位置に設けられる。そのため、垂直アーム部から第1被案内部までの距離は、垂直アーム部から第2被案内部までの距離も長くなる。もし、第2被案内部が存在しないと、第1被案内部から垂直アーム部に至る腕の長さは長くなり、搬送治具に作用する不要なモーメントは大きくなる。本発明の他の態様でも、本発明の一態様と同様に、第1,第2案内レールに支持された両持ち支持構造を有するので、搬送治具には不要なモーメントは作用しない。3本発明のさらに他の態様は、薄板状の矩形ワークを処理槽内の液中にて保持する治具であって、前記矩形ワークの第一辺を把持する複数の第1チャック部材と、前記矩形ワークの前記第一辺と第1方向にて対向する第2辺を把持する複数の第2チャック部材と、前記矩形ワークを囲んで配置され、前記複数の第1チャック部材及び前記複数の第2チャック部材を支持する枠状部材と、を有し、前記枠状部材は、前記複数の第1チャック部材を、前記第1方向にて可動に移動案内する第1案内部と、前記複数の第1チャック部材を、前記複数の第2チャック部材に対して前記第1方向に沿って遠ざかる一方向に移動付勢する第1付勢部材と、を有するワーク保持治具に関する。本発明のワーク保持治具によれば、矩形ワークの対向二辺をそれぞれ把持する複数の第1,第2チャック部材のうち、少なくとも複数の第1チャック部材が第1方向にて可動である。よって、矩形ワークの厚さが薄くても、矩形ワークに常にテンションが付与されて平面を保つことができる。このため、矩形ワークの両面に均一膜厚で表面処理することができる。また、表面処理に際して矩形ワークが処理液に何度も出し入れされる際にも、ワークは撓みなく平面が保持されているので、撓み部に液圧が作用することがない。それにより、ワークが液圧によってチャックから脱落し、あるいはワークが破損することを防止できる。4本発明のさらに他の態様は、処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される案内レール及び給電レールと、前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、を有し、前記複数の治具の各々は、前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、前記水平アーム部の一端側に支持され、前記案内レールに案内される被案内部と、前記被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、を有し、前記被給電部は、前記給電レールに接触する接触部と、前記水平アーム部と前記接触部とを連結する平行リンク機構と、前記平行リンク機構を回転付整して、前期接触部に接触圧を付与する付整部材と、を表面処理装置に関する。本発明の他の態様によれば、案内レールとは別個に給電レールを設け、給電レールに給電される被給電部を、搬送治具の搬送状態とは独立して、常時適度な接触圧にて給電レールと接触させることができる。以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。1.表面処理装置の概要図1は、表面処理装置例えば連続メッキ処理装置の縦断面図である。連続メッキ処理装置10は、回路基板等のワーク20をそれぞれ保持する複数の搬送冶具30が、図1の紙面と垂直な方向に循環搬送される。図1では、循環搬送路100のうちのは平行な2つの直線搬送路110,120を示している。この2つの直線搬送路110,120は両端にて連結されてループ状の循環搬送路100を形成している。循環搬送路100には、複数の搬送冶具30の各々に保持されたワーク20を表面処理例えばメッキ処理するメッキ槽広義には表面処理槽200と、メッキ槽200よりも循環搬送路100の上流に設けられて未処理のワーク20複数の搬送冶具30に搬入する搬入部図示せと、メッキ槽200よりも循環搬送路100の下流に設けられて処理済みのワーク20を複数の搬送冶具30から搬出する搬出部図示せずとが設けられている。本実施形態では、メッキ槽200は第2直線搬送路120に沿って設けられ、搬入部及び搬出部は第1直線搬送路110に設けられている。循環搬送路100には、メッキ槽200の上流側に配置される前処理槽群230と、メッキ槽200の下流側に配置される後処理槽群図示せずとをさらに有する。前処理槽群230は、搬入部210とメッキ槽200との間に、上流側から順に、例えば脱脂槽、湯洗槽、水洗槽、シャワー槽及び酸洗槽等を配置することで構成される。後処理槽は、メッキ槽200と搬出部との間に、上流側から順に、例えばシャワー槽及び水洗槽を配置することで構成される。なお、前処理槽群230及び後処理槽群の数や種類は適宜変更可能である。2.搬送治具と2つの案内レール図1に示すように、連続メッキ処理装置10は、メッキ液広義には処理液が収容され、上端開口201を有するメッキ槽広義には表面処理槽200を有する。連続メッキ処理装置10はさらに、図1の一部を拡大して示す図2に示すように、メッキ槽200の上端開口201の上方から外れた位置にて、メッキ槽200の長手方向と平行な第1方向紙面と垂直な方向に沿って延設される第1案内レール130及び第2案内レール140を有する。複数の搬送冶具30は、メッキ槽200の処理液中に配置させてワーク20をそれぞれ保持し、第1,第2案内レール130,140に支持される。複数の治具30の各々は、図3~図5に示すように、水平アーム部300と、第1被案内部310と、第2被案内部320と、垂直アーム部330と、を有する。水平アーム部300は、図3及び図5に示すように、第1方向搬送方向Aと直交広義には交差する第2方向Bに沿って延びる例えば2本の第1,第2水平アーム300A,300Bを有する。第1被案内部310は、図4に示すように、水平アーム部300一端側に支持されて、第1案内レール130に案内される。第2被案内部320は、図4に示すように、水平アーム部300の他端側に支持されて、第2案内レール140に案内される。垂直アーム部330は、図3及び図6に示すように、第1被案内部310と第2被案内部320との間の位置にて、水平アーム部300に固定された支持板331から垂下されてワーク20を保持する例えば2本の第1,第2水平アーム300A,300Bを有する。このように、複数の治具30の各々は、ワーク20を保持する垂直アーム部330を挟んで第2の方向Bの両端側の第1,第2被案内部310,320が、第1,第2案内レール130,140に支持された両持ち梁の形態を有する。従って、本実施形態では、特許文献2のように片持ち梁の形態と比較して、搬送治具30の搬送中に亘って上下動を抑えて安定してワーク20を保持搬送することができる。しかも、摺動部となる第1,第2案内レール130,140及び第1,第2被案内部310,320は、メッキ槽200の上端開口201の上方から外れた位置にあるので、粉塵等がメッキ槽200内に落下してメッキ液を汚染することがない。3.搬送治具と2つの案内レールと給電レールメッキ処理装置10では、ワーク20をカソード陰極とし、メッキ槽200がワーク20の搬送経路を挟んだ両側にアノード陽極:例えば銅系アノードボール410L,410Rを収容する円筒網バック収容部202,203設け、カソード-アノード間に電界を形成してメッキ液を電気分解して、ワーク20を電界メッキする。そのために、搬送中のワーク20に通電する必要がある。ワーク20に給電するためには、例えば、第1,第2案内レール130,140の少なくとも一方を給電レールとすることができる。この場合、搬送治具30を構成する部材のうち、第1,第2案内レール130,140からワーク20に給電する経路の材料を、電気導体で形成すれば良い。本実施形態では、図1及び図2に示すように、メッキ処理装置10は、第1,第2案内レール130,140とは別個に給電レール210を設けている。特に、本実施形態の給電レール210は、特開2009-132999に開示された電流制御方法を実施するために、図2に示すように、互いに絶縁された複数例えば4本の分割給電レール210A~210Dを有する。複数の搬送治具30の各々は、4本の分割給電レール210A~210Dのいずれか一つと接触して給電される被給電部340図2~図5を有している。被給電部340は、第1被案内部310と垂直アーム部330との間の位置に配置されている。このように、複数の治具30の各々は、被給電部340を挟んで第2の方向Bの両端側の第1,第2被案内部310,320が、第1,第2案内レール130,140に支持された両持ち支持の形態を有する。従って、搬送治具30の搬送中に亘って、被給電部340の上下動を抑えて安定して給電レール210との接触を維持することができる。4.分割給電レールを用いた電流制御方法以下、特開2009-132999に開示された電流制御方法について、図7及び図8ABを参照して説明する。なお、図1に示すメッキ槽200は四面に垂直な半双方向に沿って例えば10数m以上の長さを有する。図7に示すメッキ槽ユニット200Aは単位ユニットを示し、複数のメッキ槽ユニット200Aを連接することで、図1のメッキ槽200が構成される。電源ユニット400A~400Dは、対応する分割給電レール210A~210Dを介して搬送中の各ワーク20に給電する。電源ユニット400A~400Dは、一面Fl及び他面Frを有する各ワーク20に、設定電流値A/dm2での定電流制御により給電可能である。さらに電源ユニット400A~400Dは、メッキ槽ユニット200A内へワーク20を搬入する時には電流を漸増制御し、かつ、ワーク20を搬出する時には電流を漸減制御する。図7において、メッキ槽ユニット200Aでは、N枚例えば、3枚のワーク2020A~20Cまたは20B~20Dを搬送治具3030A~30D同時に全面浸漬状態で搬送方向Aに搬送可能である。全面浸漬状態とは、少なくともワーク20のメッキ処理対象面一面Fl及び他面Frの全てが、図1及び図2に示す一つのメッキ槽ユニット200Aのメッキ液Q中に浸漬されている状態をいう。したがって、メッキ槽ユニット200Aの出口200B側からワーク20Aが搬出開始され、かつ入口200F側にワーク20Dが搬入開始される状態では、メッキ槽ユニット200A内には数がN1つまり4枚のワーク2020A~20Dが浸漬されていることになる。この状態において、ワーク20B~20Cは全面浸漬状態で、ワーク20Aおよび20Dは部分浸漬状態である。部分浸漬状態とは、少なくともワーク20A,20Dのメッキ処理対象面図10に示す一面Fl他面Frの長さ方向の一部分が一つのメッキ槽ユニット200Aのメッキ液Q中に浸漬されている状態をいう。一つのメッキ槽ユニット200Aからはみ出した部分は、隣り合う他のメッキ槽ユニット200A内または他の処理槽に配置される。ここで、同時に全面浸漬状態でメッキ槽ユニット200A内を搬送可能なワーク20の枚数がN例えば、N=3枚である場合には、分割給電レール210および電源ユニット400の数はN1[=4]である。メッキ槽ユニット200A内メッキ液Q中には、図7に示すように、第1方向Aに延びる左右1対の陽極電極銅系アノードボール410L,410Rが対向配設されている。両陽極電極410L,410Rは、各搬送治具3030A~30Dに保持された各ワーク2020A~20Dに共通で、各陽極電極410L,410Rと搬送中の各ワーク20との間隔極間距離は一定所定値に維持されている。さて、各電源ユニット400A~400Dは、搬送治具30に保持されたワーク20毎電源ユニット400毎に電流値を設定変更可能で、かつ設定電流値Isでの定電流制御を行うことができる。すなわち、各電源ユニット400A~400Dは、ワーク20がメッキ槽ユニット200A内を全面浸漬状態で搬送されている期間中は定電流制御するが、ワーク20Aがメッキ槽ユニット200A内に部分浸漬状態で搬入されている期間中は電流漸増制御とし、ワーク20Dが部分浸漬状態で搬出されている期間中には電流漸減制御するように構成されている。隣り合う2つのメッキ槽ユニット200Aのそれぞれに部分浸漬状態であるワーク20は、下流側のメッキ槽ユニット200Aで電流漸減制御を受け、上流側のメッキ槽ユニット200Aで電流漸増制御を受ける。すなわち、図8Aにおいて、ワーク20が部分浸漬搬入期間T12=t1~t2中は、設定電流値Isに到達するまで時間長処理面積に比例させて電流Iinを漸増制御する。全面浸漬時t2に、設定電流値Isの定電流制御に切換えられる。ワーク20が部分浸漬搬出期間T34=t3~t4中は、図8Bに示すように、設定電流値Isの定電流制御から漸減制御に切換えられる。電流Idgは時間長処理面積に反比例して漸減制御される。この実施の形態によれば、ワーク20ごとに設定した電流値で連続メッキ処理を行えるから、各ワーク20に当該ワーク設定電流値に応じたバラツキのない膜厚で、均一かつ高品質なメッキ皮膜を形成することができる。5.搬送治具の詳細な説明5.1.被給電部本実施形態に用いられる複数の搬送治具30の各々に設けられた被給電部340は、N個の分割給電レール210A~210Dの一つと接触する。図7に示す複数の搬送治具30は、水平アーム部300に対して第2方向Bにて位置が異なるN箇所の各一つに被給電部340が取り付けられた第1~第Nの搬送治具30A~30Dを含む。第1~第Nの搬送治具30A~30Dの各一つが、N個の分割給電レール210A~210Dの各一つと接触する。本実施形態では、搬送治具30の部品を共通化して、複数の分割給電レール210A~210Dの任意の一つと接触する構造を採用した。そのために、複数の搬送治具30第1~第Nの搬送治具30A~30Dの各々は、図3に示すように、被給電部340を支持する支持部、例えば支持板350を有する。支持板350は、第2方向Bで異なる位置に設けられたNN=4個の取付部例えばねじ孔351~354を有する。複数の搬送治具30図7に示す第1~第Nの搬送治具30A~30Dの各々の被給電部340は、給電レール210分割給電レール210A~210Dに接触する接触部341をそれぞれ含む。接触部341は、N個の取付部351~354の一つ図3では取付部351に、例えば蝶ネジ342により着脱自在に取り付けられる。このように、接触部341をN個の取付部351~354の中から選択された一つに取り付けることで、部品を共通化しながら、第1~第Nの搬送治具30A~30Dを用意することができる。図12は、被給電部340の詳細を示している。被給電部340は、支持板350と接触部341とを例えば2本の平行リンク342A,342Bで連結する四節回転連鎖の平行リンク機構342を有する。2本のリンク342A,342Bは、付勢部材であるねじりコイルスプリング343,343により、常時時計廻り方向に移動付勢されている。この結果、接触部341を給電レール210に適度な接触圧にて接触させることができる。また、2本の平行リンク342A,342Bは、上側支点が先行し、下側支点が後行するように傾斜している。この結果、接触部341は搬送治具30に引っ張られる形態で走行するので、走行が安定する。なお、図12に示す被給電部340の構成は、案内レール130,140とは別個に給電レール210を有する表面処理装置に適用でき、案内レール及び給電レールが各1本であっても良い。従来のように案内レールと給電レールとを兼用すると、被給電部に過度の圧力が作用するので磨耗が激しく、被給電部の製品寿命が短くなる。本実施形態では、搬送治具30の走行とは独立して、被給電部340を給電レール210に対して適度な接触圧で接触させることができる。この結果、被給電部340を真鍮等で形成しても、寿命を延ばすことができる。5.2.第1,第2被案内部第1被案内部310を案内する第1案内レール130は、縦断面にて、上面と、第1側面と、第1側面と対向する第2側面とを含み、例えば矩形に形成されている。第1案内レール130に案内される第1被案内部310は、第1案内レール130の上面と転接する第1ローラー311と、第1案内レール130の第1側面と転接する第2ローラー312と、第1案内レール130の第2側面と転接する第3ローラー313とを含んで構成することができる。また、第2被案内部320は、第2案内レール140の上面と転接する第4ローラー321を含むことができる。搬送治具30の第2方向Bの両端側で第1,第4ローラー311,321が第1,第2案内レール130,140の各上面と接触することで、搬送治具30を水平状態にて安定して走行させることができる。また、第2,第3ローラー312,313が第1案内レール130の両側面を挟むことで、搬送治具30が第2方向Bにて位置ずれすることを抑制できる。5.3連続搬送駆動部図2に示す連続搬送駆動部150は、搬送治具30の第1直線搬送路120図1を複数に分割した区間毎に一つ設けられている。この連続搬送駆動部150は、固定ガイド板151に沿って移動するリニアガイド152A,152Bを有するプッシャー153A,153Bを有する。2つのプッシャー153A,153Bは図示しないモーターによりそれぞれ独立して移動する。この2つのプッシャー153A,153Bにより、搬送治具30は一区間にて連続直線駆動される。2つのプッシャー153A,153Bは、一区間内にそれぞれ固有の駆動領域と、共通の駆動領域を有する。先ずプッシャー153が上流側の固有駆動領域にて搬送治具30を押動する。次に、共通の駆動領域にて搬送治具30を連続搬送する際に、プッシャー153Aからプッシャー153Bに受け継がれる。プッシャー153Aは、固有及び共通の駆動領域に亘って所定ストローク前進した後、元の位置に後退し、次の搬送治具30の搬送を受け持つ。プッシャー153Bも同様に動作する。プッシャー153A,153Bには、搬送治具30の第1被押動部360を押動する爪部材1154A,154Bを有する。爪部材154A,154Bは、プッシャー153A,153Bの前進時に搬送治具30の第1被押動部360を押動する。押動部154A,154Bは、プッシャー153A,153Bの後退時には、第1被押動部360の前進を妨げないように変位可能である。なお、搬送治具30は第2被押動部362を有し、第2被押動部362はメッキ槽20での連続搬送以外のときに用いられる。5.4.フック部図1~図5に示すように、複数の搬送治具30の各々には、治具吊り下げ用のフック部370,370が設けられている。連続メッキ処理装置10は、図1に示すように、フック部370,370に係合して、搬送治具30保持されたワーク20を、メッキ槽200に対して昇降させる昇降部160をさらに有する。メッキ槽200以外でワークを昇降させるのに、昇降レールを用いる必要がない。駆動力が小さくて済む。5.5垂直アーム部とワーク保持治具垂直アーム部330は、図3及び図6に示すように例えば2本の垂直アーム330A,330Bを有する。この2本の垂直アーム330A,330Bにはワーク保持治具500が垂下して支持される。ワーク保持治具500は、ワーク20の厚さが100μm以下、好ましくは60μm以下のように極薄のワーク20に好適に用いられる。本実施形態では、ワーク20の厚さは例えば40μm=0.04mmである。ワーク保持治具500は、図3及び図6に示すように、矩形ワーク20の第一辺例えば上辺20bを把持する複数の第1チャック部材510と、矩形ワーク20の第一辺と第3方向鉛直方向Cにて対向する第2辺20bを把持する複数の第2チャック部材520と、矩形ワーク20を囲んで配置され、複数の第1チャック部材510及び複数の第2チャック部材520を支持する枠状部材530と、を有する。枠状部材530は、図9~図11に示すように、複数の第1チャック部材510を、第3方向Cにて可動に移動案内する案内部540と、複数の第1チャック部材510を、複数の第2チャック部材520に対して第1方向に沿って遠ざかる一方向C1に移動付勢する付勢部材であるコイルスプリング550と、を有する。具体的には、枠状部材530は、図10及び図11に示すように、固定板531と、固定板531に重ねて配置される可動板532とを含む。案内部540は、固定板531及び可動板532の一方例えば可動板532に形成されて第3方向Cを長手方向とする長孔533と、固定板531及び可動板の他方に形成されて長孔533に挿通される軸部例えばボルト軸534とを含む。コイルスプリング550は、固定板531に対して可動板532を一方向C1に押圧付勢する。複数の第1チャック部材510及び複数の第2チャック部材520の各々に共通する構成を、第1チャック部材510を例に挙げて、図10及び図11を参照して説明する。第1チャック部材510は、ワーク20の第1面Flに接触する固定部材511と、固定部材511と対向する位置にてワーク20の第2面Frに接離可能に配置され、第2面Frに押圧接触される可動部材512とを含む。可動部材512は、押圧解除時に駆動される被駆動片512Aと、被駆動片512Aの非駆動時にヒンジ513を介してばね圧により常時固定部材側に押圧される押圧駆動片512Bと、押圧駆動片512Bの自由端部に形成された薄板状の押圧片512Cと、を含むことができる。ワーク20をワーク保持治具500に取り付けるには、先ずワーク20の第2辺20aを複数の第2チャック部材520にて把持する。次に、ワーク20の第1辺20aを第2チャック部材510にて把持するために、最初に可動板532をコイルスプリング550の付勢力に抗して押し下げて、図10の状態に設定する。このとき、第1チャック部材510の被駆動片512Aを駆動して、図10に示すように押圧駆動片512Bを開放状態に設定しておく。次に、被駆動片512Aの駆動を解除することで、ワーク20の第1辺20aが第1チャック部材510にて把持される。最後に、可動板532への押し下げ力を解除する。これにより、可動板532はコイルスプリング550の付勢力により上昇され、ワーク20にテンションを付与して、ワーク20の平面性を維持することができる。なお、ワーク20へのテンション付与は、第1チャック部材510及び第2チャック部材の少なくとも一方にて行うことができる。つまり、第2チャック部材520に、上述したテンション付与構造を採用しても良い。なお、上述した構造のワーク保持治具500は、ワーク保持治具500を複数同時に処理液に浸漬してするバッチ処理用としても用いることができる。この場合、第1,第2チャック部材510,520は上下に配置するものに限らず、左右の側辺に配置しても良い。なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。"