偏心体軸と、偏心体軸に設けられた偏心体と、偏心体が貫通し、偏心体の回転により揺動回転される内歯揺動体と、内歯揺動体と噛合する外歯歯車とからなる複数組の偏心揺動型減速機および前記偏心揺動型減速機の組数と同数の同軸状に配置された出力軸からなり、前記複数組の偏心揺動型減速機の外歯歯車が軸線方向に間隔を開けて対応する各出力軸に取着されており、前記複数組の偏心揺動型減速機の偏心体軸を回転自在に支持する支持体を固定して、偏心体軸から回転を入力し、外歯歯車から複数の出力軸へ同軸出力可能とした同軸複数軸出力機構。上述のような半導体ウエハやLCDガラス基盤等の搬送装置において、リンク機構を有するアームを伸縮旋回動作させるためには、同軸複数例えば2軸の駆動装置とすることが好ましい。しかしながら、上述した搬送装置に用いられている歯車機構を有する減速機を同軸複数軸に接続しようとすると、複数の減速機を同一平面上同一軸上ではないに配置して、更に歯車等を介さねばならず、配置に限界があった。また、特開平2-107846号公報に記載されたものでは、同軸複数例えば2軸を出力できる構造となっていない。2軸以上の出力を設けるためには、減速機を並列に配置しなければならず、特開平2-107846号公報に記載されたものでは同軸に構成することができず、半導体ウエハやLCDガラス基盤等の搬送装置に用いると、搬送装置が大型化していた。本発明は、上述したような従来技術に付随する種々の問題を解消して、構造の簡単な同軸複数軸2軸以上の出力を取り出せるようにした同軸複数軸出力機構を提供することを目的とする。本発明は、上記の課題を、偏心体軸と、偏心体軸に設けられた偏心体と、偏心体が貫通し、偏心体の回転により揺動回転される内歯揺動体と、内歯揺動体と噛合する外歯歯車とからなる複数組の偏心揺動型減速機および前記偏心揺動型減速機の組数と同数の同軸状に配置された出力軸からなり、前記複数組の偏心揺動型減速機の外歯歯車が軸線方向に間隔を開けて対応する各出力軸に取着されており、前記複数組の偏心揺動型減速機の偏心体軸を回転自在に支持する支持体を固定して、偏心体軸から回転を入力し、外歯歯車から複数の出力軸へ同軸出力可能とした同軸複数軸出力機構により達成する。偏心揺動型減速機は、偏心体軸を回転支持するキャリアが剛体で構成されるため、本発明によれば、搬送物が高重量となっても、小型コンパクトな搬送装置とすることができ、高重量物の搬送が可能である。また、本発明の実施例においては、前記搬送装置が同軸状に配置された複数の出力軸を有しており、前記偏心揺動型減速機を軸方向に複数個配置し、前記複数の出力軸から同軸状の出力の取出しを可能とした偏心揺動型減速機を用いた搬送装置とすることが好ましい。この構成とすることにより、複数の偏心揺動型減速機を軸方向に上下に配置でき、搬送装置を小型コンパクトとすることができる。本発明により、従来技術に付随する種々の問題を解消して、構造の簡単な同軸複数軸2軸以上の出力を取り出せるようにした同軸複数軸出力機構が提供される。本発明によれば、同軸2軸構成の駆動部とできるため、コンパクト化が可能となる。偏心揺動型減速機は、偏心体軸を回転支持するキャリアが剛体で構成されるため、本発明を搬送装置に用いることにより、搬送物が高重量となっても、小型コンパクトな搬送装置とすることができ、高重量物の搬送が可能である。また、本発明に係る同軸複数軸出力機構を搬送装置に用い、偏心揺動型減速機を軸方向に複数個配置し、複数の出力軸から同軸状の出力の取出しを可能とした偏心揺動型減速機を用いた搬送装置とすることにより、複数の偏心揺動型減速機を軸方向に上下に配置でき、搬送装置を小型コンパクトとすることができる。以下、添付図面を参照して、本発明を詳細に説明する。図1および図2は、2本の出力軸を同軸状に配置した本発明に係る同軸複数軸出力機構を用いた搬送装置の実施例を示し、図1は本発明の一実施例の縦断面図であり、図2は図1のX-X断面図、図3は図1の横断面図であり、aはA-A断面図、bはB-B断面図、cはC-C断面図である。搬送装置10のアーム11、21がクリーンルームなどの、半導体ウエハやLCD液晶表示ガラス基盤などを処理する処理室内部に設けられており、処理室内部は減圧されておりいわゆる真空状態、アーム11、21を駆動する駆動装置30が処理室の外に設けられている構造となっており、その境界が搬送装置10取着用マウント40となっている。アーム11、21の先端には、半導体ウエハや基板等を載置する公知の搬送台図示せずが接続されている。搬送装置10は、中空出力軸外軸12と中空出力軸12の中空部を貫通する中実出力軸内軸22との複数実施例では2の出力軸を同軸状に有する。なお、符号31は駆動装置30のキャリアを示す。搬送装置10取着用マウント40の下面と搬送装置10のキャリア31の間に伸縮自在なベローズ41を密封状に設けて互いに同軸状となった中空出力軸外軸12、中実出力軸内軸22の周囲をシールして、アーム11、21を駆動する駆動装置30が処理室の外に設けられている構造となっている。中空出力軸外軸12上に真空シール19が設けられ、中実出力軸内軸22上に真空シール29が設けられている。真空シール19、21は、処理室内部の真空を保ったり、処理室内部への塵芥の放出を防止したりするものである。図示した実施例では、各真空シール19、21は、それぞれ軸方向に3つ重ねられている。下側の2つは駆動装置側から処理室側へ大気が漏れないようにしており、一方、アーム11、21側の1つは、処理室内部へ塵芥を放出しないようにしている。真空シール19、21は、例えばリップシールを軸に押し当てるようにした接触式シールや、磁性流体シール等が使用される。接触式シールは装置をコンパクトにすることができ、メンテナンスが容易に行なえると言うメリットがある。互いに同軸状となった中空出力軸外軸12および中実出力軸内軸22が、搬送装置10のキャリア31に対し、軸受13、23によって回転可能に支承されている。すなわち、中空出力軸外軸12はキャリア31の内部に設けられた軸受13により回転可能に支承され、中実出力軸内軸22は中空出力軸外軸12の内部に設けられた軸受23により中空出力軸外軸12内で回転可能に支承されている。中空出力軸外軸12および中実出力軸内軸22にはそれぞれ半導体ウエハやLCD液晶表示ガラス基盤などを取り扱う第1アーム11および第2アーム21がボルト14、24により取着されている。互いに同軸状となった中空出力軸外軸12および中実出力軸内軸22には、それぞれ外軸駆動モータ51および内軸駆動モータ61から対応する偏心揺動型減速機70を介して、中空出力軸外軸12および中実出力軸内軸22に軸線方向に間隔を開けて取着された外歯歯車15、25を経て、駆動力が伝達される。上述したように、複数2本の出力軸12、22には、軸線方向に間隔を開けてそれぞれ外歯歯車15、25が取着されている。すなわち、中空出力軸外軸12の下端部には、ドーナツ形状をした一方の外歯歯車外軸用外歯歯車15がボルト16により締結されている。中実出力軸内軸22は中空出力軸外軸12および外軸用外歯歯車15の中空部を貫通しており、その下端部には他方の円板状をした外歯歯車内軸用外歯歯車25がボルト26により締結されている。複数2本の出力軸12、22に軸線方向に間隔を開けて取着された両外歯歯車外軸用外歯歯車、内軸用外歯歯車15、25は、それぞれ偏心揺動型減速機70の外歯歯車である。各偏心揺動型減速機70は偏心体軸71と、偏心体軸71に設けられた偏心体72と、偏心体72が貫通し、偏心体72の回転により揺動回転される内歯揺動体75と、内歯揺動体75と噛合する前述した外歯歯車15、25とから構成されており、偏心体軸71を支承しているキャリア31は本発明の支持体であり、回転に対して固定されている。以下に説明する構造により、外軸駆動モータ51および内軸駆動モータ61から偏心揺動型減速機70を経て、両出力軸12、22に軸線方向に間隔を開けて取着された両外歯歯車外軸用外歯歯車、内軸用外歯歯車15、25へ動力が伝達される。なお、各偏心揺動型減速機70の構造は類似しており、図中、中空出力軸外軸12の駆動用の要素には添字1を付し、また、中実出力軸内軸22の駆動用の要素には添字2を付しているが、以下の説明では添字は省略している。図1に示すように、中空出力軸外軸12および中実出力軸内軸22の回転軸線の下方延長線上に外軸減速機用センタギア18および内軸減速機用センタギア28がそれぞれ回転可能に同軸状に設けられている。各センタギア18、28はそれぞれ上下の歯車とそれを連結するボスとが一体に形成されている。更に、図1に示すように、外軸駆動モータ51および内軸駆動モータ61が搬送装置10のキャリア31の下端部に取着されている。外軸駆動モータ51および内軸駆動モータ61の出力軸にはそれぞれピニオン52、62が設けられており、各ピニオン52、62は対応する外軸減速機用センタギア18、内軸減速機用センタギア28の下側の歯車に噛合している。各外軸減速機用センタギア18、内軸減速機用センタギア28の上側歯車は外軸減速機用アイドラギア17、内軸減速機用アイドラギア27を介して、それぞれ対応する伝動歯車73と噛合している。本実施例では、伝動歯車73は各出力軸中空出力軸外軸12、中実出力軸内軸22の軸心回りに3個設けられており、各伝動歯車73は対応するアイドラギア17、27と噛合しており駆動力が伝達される。なお、伝動歯車73の数は3個に限定されるものではなく、1個以上であれば足りる。各伝動歯車73はそれぞれ対応する偏心体軸71に設けられ、偏心体軸71は偏心体72を有する。各偏心体軸71は軸受74に支持されている。偏心体72は2枚の内歯揺動体75を貫通し、偏心体72の外周と内歯揺動体75の貫通穴の内周との間にコロ77図3aを設けている。内歯揺動体75は、ピン76からなる内歯を有し、前述したように、中空出力軸外軸12に締結された外歯歯車外軸用外歯歯車15および中実出力軸内軸22に締結された外歯歯車内軸用外歯歯車25と噛合している。上述の構成としたので、駆動モータ51、61の出力軸の回転は、ピニオン52、62、センタギア18、28、アイドラギア17、27を介して、伝動歯車73に伝えられ、伝動歯車73によって偏心体軸71が回転される。偏心体軸71の回転は偏心体72を回転させ、内歯揺動体75が揺動回転する。一方、前述のように、偏心体軸71を回転可能に支承しているキャリア31は回転に対して固定されている。このため、内歯揺動体75と噛合する外歯歯車15、25が減速回転される。本実施例では、3本の偏心体軸71に複数のアイドラギア17、27を介して駆動モータ51、61からの回転が同時に入力されるようになっているが、1本の偏心体軸71に駆動モータ51、61からの回転を直接入力してもよく、このようにすることによって、前段に減速機構を設ける場合、それらをそれぞれの偏心体軸の先端に並列に配置することができる。更に本実施例においては、図2に示すように、搬送装置10のキャリア31の上下に設置したブラケット32と搬送装置10のハウジング34の内部との間に公知の形式のリニアガイド33を複数個設けて搬送装置10のキャリア31がハウジング34内部において昇降可能としている。また、キャリア31の底面中央部に直線移動用のメネジ部35を取着し、ハウジング34内部の底面には上記メネジ部35に螺合するボールネジ36部を垂直に設け、ハウジング34内部に設置した垂直駆動用モータ37とボールネジ部36とを歯車38、39により連結している。従って、垂直駆動用モータ37の回転により、ボールネジ部36およびメネジ部35を介して、搬送装置10がハウジング34に対してキャリア31ごと昇降する。この昇降に際して、前述した伸縮自在なベローズ41により、シールは保たれる。この実施例によれば、小型コンパクトな搬送装置が提供され、同軸2軸構成の駆動部とできるため、コンパクト化が可能となる。図4は、参考例の縦断面図であり、図5は図4のD-D断面図である。この参考例においては、並列に配置された2つの駆動モータにそれぞれ連結された2つの偏心揺動型減速機を上下に配置し、両偏心揺動型減速機のキャリアを連結するとともに固定部材に接続して、両偏心揺動型減速機の内歯歯車から2つの出力を取出すようにしている。図1および図2と同一の部材には同じ引用符号を付し、その詳細説明は省略する。図4において、上下に配置された2つの偏心揺動型減速機70は、それぞれ偏心体軸71と、偏心体軸71を両持ち支持するキャリア31と、外歯を有しキャリア31に支承された外歯歯車78と、外歯と噛合う内歯を有する内歯歯車75とからなる。図4の下端部に外軸駆動モータ51および内軸駆動モータ61が左右に並列に配置され、外軸駆動モータ51および内軸駆動モータ61は上下に配置した2つの偏心揺動型減速機下側の外軸用偏心揺動型減速機、上側の内軸用偏心揺動型減速機70、70に連結されている。すなわち、外軸駆動モータ51の出力軸にはピニオン52が設けられており、ピニオン52は上下2段の外軸減速機用センタギア18を介して外軸用偏心揺動型減速機70の偏心体軸71と連結している。また、内軸駆動モータ61の出力軸にはピニオン62が設けられており、ピニオン62は上下2段の内軸減速機用センタギア28を介して、外軸用偏心揺動型減速機70の中空部を貫通して、内軸用偏心揺動型減速機70の偏心体軸71と連結している。上下に配置した2つの偏心揺動型減速機70、70のキャリア31、31はボルト81により連結されている。また、互いに連結したキャリア31、31はボルト82により固定部材である搬送装置のハウジング34に接続している。この構成により、外軸駆動モータ51の回転は、下側の外軸用偏心揺動型減速機70により減速されて、外軸用偏心揺動型減速機70の内歯歯車75を経て内歯歯車75にボルトで84で連結された外軸12から第1アーム11に伝達される。一方、内軸駆動モータ61の回転は上側の内軸用偏心揺動型減速機70により減速されて、内軸用偏心揺動型減速機70の内歯歯車75を経て内歯歯車75にボルトで85で連結された内軸22から第2アーム21に伝達される。図6は、更に別の参考例の縦断面図である。この参考例においては、左右に並列に配置された原動用および従動用の2つの駆動モータ51、61にそれぞれ連結された原動用および従動用の2つの偏心揺動型減速機下側の原動用偏心揺動型減速機、上側の従動用偏心揺動型減速機70、70を上下に配置し、下側に配置された原動用偏心揺動型減速機のキャリア31を固定部材に接続するとともに内歯歯車75から原動用駆動アームの出力を取出し、従動用偏心揺動型減速機は内歯歯車を原動用偏心揺動型減速機の内歯歯車に連結してキャリアから従動用駆動アームの出力を取出すようにしている。図1~図5と同一の部材には同じ引用符号を付し、その詳細説明は省略する。図6において、上下に配置された2つの偏心揺動型減速機70は、図5の参考例と同様に、それぞれ偏心体軸71と、偏心体軸71を両持ち支持するキャリア31と、外歯を有しキャリア31に支承された外歯歯車78と、外歯と噛合う内歯を有する内歯歯車75とからなる。図6の下端部に原動用外軸駆動モータ51および従動用内軸駆動モータ61が並列に配置され、原動用外軸駆動モータ51および従動用内軸駆動モータ61は下側に配置した原動用および上側に配置した従動用の2つの偏心揺動型減速機70、70に連結されている。すなわち、原動用外軸駆動モータ51の出力軸にはピニオン52が設けられており、ピニオン52は上下2段の外軸減速機用センタギア18を介して原動用偏心揺動型減速機70の偏心体軸71と連結している。また、内軸駆動モータ61の出力軸にはピニオン62が設けられており、ピニオン62は上下2段の内軸減速機用センタギア28を介して、原動用偏心揺動型減速機70の中空部を貫通して、従動用偏心揺動型減速機70の偏心体軸71と連結している。上下に配置した2つの偏心揺動型減速機70、70の内歯歯車75、75はボルト81により連結している。この構成により、原動用外軸駆動モータ51の回転は、下側の原動用外軸用偏心揺動型減速機70により減速されて、原動用外軸用偏心揺動型減速機70の内歯歯車75を経て内歯歯車75にボルトで84で連結された原動用外軸12から原動アーム11に伝達される。一方、従動用偏心揺動型減速機70の内歯歯車75は原動用減速機の内歯歯車75と連結されているので、従動用偏心揺動型減速機70のキャリア31は原動用駆動モータ51と従動用駆動モータ61との回転差で減速される。従動用偏心揺動型減速機70の内歯歯車75は従動軸内軸22にボルト86で連結されており、従動軸内軸22は原動用駆動モータ51と従動用駆動モータ61との差動で減速され、従動アーム第2アーム21を原動アーム11に従動して回転する。この構成の参考例の作用の一例を説明する。例えば、外軸12および内軸22を同方向にほぼ同量回転させる場合について言えば、外軸12は原動用駆動モータ51の回転によって原動用外軸用偏心揺動型減速機70を介して直接回動され、また、内軸22も原動用駆動モータ51によって所定量回動される。このため、従動用駆動モータ61、従動用外軸用偏心揺動型減速機70によって内軸22を目的の位置となるように作動回転させることができる。なお、上記の説明は差動回転の一例であり、この実施例に限らず種々の場合に適宜差動回転を採用することができる。図4~図6に示す参考例においては、内軸および外軸を駆動する2つの駆動モータを横に並設するとともに内軸用および外軸用の減速機を軸方向に上下に設けており、両減速機のキャリアまたは内歯歯車を連結するとともに固定部材に接続しており、小型コンパクトな搬送装置が得られる。また、減速機が中空孔を有するため、減速機を軸方向に上下に設けても、中空出力軸や駆動モータの出力回転を伝達する部材を貫通することができ、同軸出力が得易くなる。