間隙を介して対向して配置された2つの電極と、前記間隙の前記2つの電極の一方の電極側に設けられた絶縁膜とを含むセルを複数有する静電容量型電気機械変換装置であって、前記2つの電極間に印加する電圧を調整するための電圧印加手段と、前記絶縁膜と前記2つの電極の他方の電極とのうちの一方に印加する外力を調整して前記絶縁膜と前記他方の電極との接触及び前記接触の解除を選択的に行うための外力印加手段と、を有することを特徴とする静電容量型電気機械変換装置。前記電圧印加手段と前記外力印加手段を制御して、前記電圧と前記外力を独立して調整するための制御手段を有することを特徴とする請求項1に記載の静電容量型電気機械変換装置。前記制御手段は、前記電圧印加手段を制御して弾性波の送受信を行う第1の動作と、前記外力印加手段と前記電圧印加手段を制御して前記セルの絶縁膜内に残留する電荷量を均一にする第2の動作とを選択的に行うことを特徴とする請求項1または2に記載の静電容量型電気機械変換装置。前記制御手段は、前記電圧印加手段を制御して前記2つの電極間に電圧を印加する第1の工程と、前記外力印加手段を制御して前記絶縁膜と前記他方の電極とを接触させる第2の工程と、前記外力印加手段を制御して前記絶縁膜と前記他方の電極との接触を解除する第3の工程と、前記電圧印加手段を制御して前記2つの電極間への電圧印加を停止する第4の工程とを、第1、第2、第3、第4の工程の順、または第2、第1、第4、第3の工程の順、または第1、第2、第4、第3の工程の順、または第2、第1、第3、第4の工程の順に実行して、前記第2の動作を行うことを特徴とする請求項3に記載の静電容量型電気機械変換装置。前記制御手段は、前記第2の動作において、前記絶縁膜内に残留する電荷量を、前記振動膜が保持できるほぼ最大の電荷量とすることを特徴とする請求項3または4に記載の静電容量型電気機械変換装置。前記制御手段は、前記第2の動作において、前記電圧印加手段が印加する電圧を、前記第1の動作において前記電圧印加手段が印加する電圧とは逆の極性にさせることを特徴とする請求項3から6の何れか1項に記載の静電容量型電気機械変換装置。前記外力印加手段は、物理的な機構を用いて前記外力を印加する手段、または前記絶縁膜と前記2つの電極の他方の電極とのうちの一方の外側に隣接している媒質の圧力を調整する手段、または前記絶縁膜と前記2つの電極の他方の電極とのうちの一方の上に配置され前記一方を変形する手段、または前記外力として電磁気力を用いる手段であることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の静電容量型電気機械変換装置。請求項1から7の何れか1項に記載の静電容量型電気機械変換装置を有し、測定対象物に向かって出射され前記測定対象物から到来する弾性波を前記静電容量型電気機械変換装置で受信することで得る弾性波受信信号を用いて前記測定対象物の画像を再現することを特徴とする画像形成装置。間隙を介して対向して配置された2つの電極と、前記間隙の前記2つの電極の一方の電極側に設けられた絶縁膜とを含むセルを複数有し、前記2つの電極間に変調する静電引力を発生させることにより前記電極の1つを振動させて弾性波を送信する送信動作と、弾性波を受けて前記電極の1つが振動することによる前記2つの電極間の容量の変化を検出して弾性波を受信する受信動作との少なくとも一方を行う静電容量型電気機械変換装置の制御方法であって、前記2つの電極間に印加する電圧を調整して弾性波の送受信を行う工程と、前記2つの電極間に印加する電圧を調整すると共に、前記絶縁膜と前記2つの電極の他方の電極とのうちの一方に印加する外力を調整して前記絶縁膜と前記他方の電極との接触及び前記接触の解除を選択的に行って前記セルの絶縁膜内に残留する電荷量を均一にする工程と、を有することを特徴とする制御方法。実際の超音波トランスデューサアレイでは、エレメント毎のパラメータエレメント内のセルを構成する振動膜101の厚さ、大きさ、膜質や、支持部の形状、第1と第2の電極間の間隔などが、ばらつきを有している。これらのばらつきにより、振動膜101の持つバネ特性の値や電極間に発生する静電引力の大きさがエレメント毎に異なり、プルイン電圧がエレメント毎に異なってしまう。一例を挙げると、約3cm×5cmの領域内で±5程度プルイン電圧のばらつきが発生する。そのため、プルイン電圧より大きい電圧を複数のエレメントに印加した場合でも、エレメント毎で、振動膜101と第2の電極105が接触及び剥離するタイミングや接触及び剥離する時の電界の大きさが、異なる。こうしたタイミングや電界の大きさは、装置の構成とプルイン電圧により決まってしまい、夫々を独立して制御することはできない。ここで、振動膜101内の残留電荷量は、振動膜101が第2の電極105に接触している時間の長さと、その時の印加電界の強さでほぼ決定される。この様に、同じ構成のトランスデューサアレイでは、プルイン電圧で、上記タイミングや電界の大きさがほぼ決まるため、エレメント毎にプルイン電圧が異なる場合、帯電量を揃えることは難しい。一方、複数のエレメントに同じ大きさの予期しない外力が印加された場合でも、エレメント毎で、接触及び剥離する時のタイミングや電界の大きさが異なり、振動膜内の残留電荷量が異なってしまう。特許文献2に記載の方法では、単一のエレメントに蓄積した電荷を放電させることはできる。しかし、エレメントでの接触剥離時のタイミングや電界の大きさを、電極間への印加電圧を用いて同時に制御している。そのため、パラメータのばらつきによりプルイン電圧が異なる複数のエレメントの帯電特性を均一にすることは難しい。この様に、複数のエレメントを配置したトランスデューサでは、エレメント毎のパラメータのばらつきによりプルイン電圧がばらつきを持っており、エレメント毎の帯電量を揃えることが難しい。そのため、振動膜絶縁膜に残留する電荷量の差によって、エレメント毎に超音波の送受信特性が異なり、超音波トランスデューサ全体の送受信特性を劣化させる原因となる。上記課題に鑑みて、本発明の静電容量型電気機械変換装置は、間隙を介して対向して配置された2つの電極と、前記間隙の前記2つの電極の一方の電極側に設けられた絶縁膜とを含むセルを複数有し、電圧印加手段と外力印加手段を備える。電圧印加手段は、前記2つの電極間に印加する電圧を調整するためのものである。外力印加手段は、前記絶縁膜と前記2つの電極の他方の電極とのうちの一方に印加する外力を調整して前記絶縁膜と前記他方の電極との接触及び前記接触の解除を選択的に行う、即ち、接触と接触解除を時に応じて択一的に行うためのものである。また、上記課題に鑑みて、本発明の静電容量型電気機械変換装置の制御方法は、次の工程を有する。2つの電極間に印加する電圧を調整して弾性波の送受信を行う工程。2つの電極間に印加する電圧を調整すると共に、絶縁膜と1つの電極とのうちの一方に印加する外力を調整して絶縁膜と他方の電極との接触及び接触の解除を選択的に行ってセルの絶縁膜内に残留する電荷量を均一にする工程。ここで、静電容量型電気機械変換装置は、間隙を介して対向して配置された2つの電極と、間隙の2つの電極の一方の電極側に設けられた絶縁膜とを含むセルを複数有する。そして、2つの電極間に変調する静電引力を発生させることにより電極の1つを振動させて弾性波を送信する送信動作と、弾性波を受けて電極の1つが振動することによる2つの電極間の容量の変化を検出して弾性波を受信する受信動作との少なくとも一方を行う。本発明によれば、たとえエレメント毎にプルイン電圧特性が異なっている場合等でも、エレメント毎で振動膜等の絶縁膜内に残留する電荷の量をほぼ均一にして、エレメント毎の弾性波の送受信特性を良好に揃えられる静電容量型電気機械変換装置を提供できる。本発明で重要な点は、2つの電極間に印加する電圧を調整するための手段と、振動膜などである絶縁膜と1つの電極とのうちの一方に印加する外力を調整して絶縁膜と電極との接触及び接触解除を選択的に行うための手段とを別に備えることである。これにより、上記接触及び接触解除剥離と電界とを独立して変化ないし調整することができ、絶縁膜に印加する電界の大きさと接触時間を一定に正確且つ安定的に制御できる。以下、図面を用いて、本発明による静電容量型電気機械変換装置及びその制御方法の実施形態を詳細に説明する。第1の実施形態第1の実施形態を示す図1aで、101は振動膜、102は第1の電極上部電極、103は支持部、104は空隙などである間隙、105は第2の電極下部電極、106は基板である。これらでセルが構成され、装置はセルを複数有する。また、107は電圧印加手段、108は外力110を印加する外力印加手段である。図1aの構成では、振動膜101上に第1の電極102が形成され、振動膜101は、第1の基板106上に形成された支持部103により支持されている。第1の基板106上には、振動膜101上に形成した第1の電極102と、これと間隙104通常数十nm~数百nmを挟んで対向した他方の電極である第2の電極105が配置されている。電圧印加手段107と外力印加手段108は制御手段111により独立的に制御される。本実施形態は、図3に示す様に、超音波などの弾性波の送受信201を行う期間と振動膜内に残留する電荷量を均一にする工程202を行う期間との2つの期間を有していることが特徴である。まず、送受信201を行う期間での第1の動作である送受信動作を説明する。送信動作では、第1及び第2の電極間に交流電圧を印加することで静電引力を発生させ、第1の電極102を振動させて弾性波を送信する工程211。この際、第1及び第2の電極102、105間には、交流の電圧に直流電圧を重畳して静電引力を発生させる。この静電引力により、第1及び第2の電極102、105間を最適な間隔にすることで、効率の良い弾性波の送信を行うことができる。一方、受信動作では、弾性波を受けて振動膜101上に配置した第1の電極102が振動することにより第1及び第2の電極間の容量が変化し、これを検出して弾性波を受信する。この際、第1及び第2の電極102、105間に直流電圧を印加することで第2の電極105に電流が流れ、電流量を測定して容量変化を検出する工程212。送信動作と同様に、電極間に印加する直流電圧で発生する静電気力により第1及び第2の電極102、105間を最適な間隔にすることで、効率の良い弾性波の受信を行うことができる。ここで、送受信動作の送信や受信の効率は、第1及び第2の電極102、105の間隔に大きく依存している。振動膜内に電荷が残留していると、第1と第2の電極間には、外部から印加した電界に加えて、残留した電荷が発生する電界が存在する。そのため、第1と第2の電極間での電界が所望の電界とずれてしまい、第1と第2の電極間に発生する静電引力が所定の値から差を生じる。これにより、第1と第2の電極間の間隔が所定の値からずれて、CMUTの送信や受信の効率が変化してしまう。こうした事態を起こさない様にするために振動膜101内に残留する電荷量を均一にする。次に、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする第2の動作を実行する工程202について説明する。本実施形態では、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程を行うために、電圧印加手段107とは別に外力印加手段108を備える。外力印加手段108は、振動膜101に外力を印加して、振動膜101と第2の電極105を接触させたり、振動膜101と第2の電極105の接触を解除剥離したりすることができる。制御手段111の制御の下、この外力印加手段108により、第1と第2の電極間の印加電圧値と独立して、振動膜101と第2の電極105間の接触や接触の解除を行うことができる。本実施形態では、電圧印加手段107により第1と第2の電極間に電圧を印加した状態で、外力印加手段108を用いて振動膜101と第2の電極105間の接触や接触の解除を行う。図3を用いて、本実施形態の具体的な工程を説明する。本実施形態では、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程は、第1から第4の工程301~304を有する。第1に、電圧印加手段107を用いて第1と第2の電極間に電圧を印加する工程301第1の工程を行う。第2に、外力印加手段108を用いて振動膜101を第2の電極105に接触させる工程302第2の工程を行う。第3に、外力印加手段108を用いて振動膜101と第2の電極105の接触を解除する工程303第3の工程を行う。第4に、電圧印加手段107を用いて第1と第2の電極間への電圧印加を停止する工程304第4の工程を行う。第1の工程301では、電圧印加手段107が第1及び第2の電極102、105間に或る電圧を印加することで、電極間に電界を生じさせる。この電圧により電極間に発生する静電引力では振動膜101と第2の電極105は接触しない様に、電圧値は設定されている。電極間には電界が生じているが、振動膜101と第2の電圧105は接触していないので、振動膜101内に残留している電荷量は殆ど変化しない。第2の工程302では、外力印加手段108が、基板106方向に、振動膜101が持つバネ特性を越える外力を振動膜101に印加することで、振動膜101と第2の電極105を接触させる。この時、エレメント毎の特性ばらつきにより、電極間の初期の間隔や上記電圧で電極間に生じた静電引力の違いに起因して、振動膜101の撓みが異なっている。しかし、外力印加手段108により印加される外力は十分大きいため、これにより外力が印加されるタイミングに一致して、全てのエレメントの振動膜101は第2の電極105に同時に接触する。ここで印加する外力は十分大きな値であるため、振動膜101と第2の電極105の接触領域は均一になっている。そのため、全てのエレメントに電圧印加手段107により一定電圧を印加しているので、振動膜101内では均一の電界が生成されている。この状態では、振動膜101が第2の電極105に接触しており且つ振動膜101内に電界があるため、振動膜101の電荷は電極側に移動し、振動膜101に残留している電荷の量が変化する。第3の工程303では、外力印加手段108が、振動膜101に印加していた基板106方向の外力を減少または、無くす、或いは逆向きの外力を印加させることで、振動膜101と第2の電極105の接触が全エレメント同時に解除される。この状態では、振動膜101が第2の電極105に接触していないため、振動膜101内に残留している電荷の移動が停止し、その後、電荷量は殆ど変化しない。第4の工程304では、電圧印加手段107による第1及び第2の電極102、105間への電圧印加を停止する。本実施形態では、電圧印加手段107とは別に外力印加手段108を有する構成を用いることで、第1及び第2の電極102、105間に印加する電圧に依らず、振動膜101と第2の電極105が同等な接触領域を保持できる第2の工程302。そのため、第1及び第2の電極102、105間に発生する静電気力を考慮する必要なく、印加する電圧を最適な値に設定でき、振動膜101内に生じる電界の強さを最適な値にできる第2の工程302。加えて、振動膜101と第2の電極105の接触している時間の長さを調整することで、振動膜101内の残留電荷を変化させる時間を正確に制御できる第2の工程302から第3の工程303開始までの期間。以上の様に、振動膜101が第2の電極105に接触した際に振動膜101に残留する電荷量を決定する主要なパラメータである、振動膜101に印加する電界の大きさと接触時間の長さを正確に制御できる。そのため、異なるエレメント間において、最終的に振動膜101に残留する電荷量を或る一定値同じ値に調整できる。特に、本実施形態では、電圧を印加する工程301で振動膜101と第2の電極105が接触していないため、工程301で電圧波形にサージが発生した場合でも、振動膜101に残留する電荷量が影響を受け難い工程順となっている。第2の実施形態次に、図4を用いて第2の実施形態を説明する。第2の実施形態は、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202内の工程順が異なる。それ以外は、第1の実施形態と同じである。本実施形態は、外力印加手段108による振動膜101と第2の電極105間の接触や接触の解除を行う工程と、電圧印加手段107により振動膜101内に残留する電荷量を変化させる工程とを、分離して行うことが特徴である。本実施形態では、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202は、図4aで示す様に、第1から第4の工程からなる。第1に、外力印加手段108を用いて、振動膜101を第2の電極105に接触させる工程401第1の工程を行う。第2に、電圧印加手段107を用いて、第1と第2の電極により振動膜101に電界を印加する工程402第2の工程を行う。第3に、電圧印加手段107を用いて、第1と第2の電極による振動膜101への電圧印加を停止する工程403第3の工程を行う。第4に、外力印加手段108を用いて、振動膜101と第2の電極105の接触を解除する工程404第4の工程を行う第1の工程401では、外力印加手段108が、基板106方向に、振動膜101が持つバネ特性を越える外力を振動膜101に印加することで、振動膜101と第2の電極105を接触させる。エレメント毎に振動膜101のバネ特性のばらつきがあっても、振動膜101と第2の電極105の接触領域が均一になる様に、印加する外力はこのばらつきを考慮した大きな値となっている。この状態では、振動膜101には外部から電界が印加されていないため、振動膜101と第2の電極105が接触していても、振動膜101内に残留している電荷量は殆ど変化しない。第2の工程402では、電圧印加手段107が第1及び第2の電極102、105間に電圧を印加することで、振動膜101内に電界を生じさせる。この時、外力印加手段108の作用により、接触領域が均一になる様に振動膜101と第2の電極105は接触している第1の工程ので、同じ電圧を印加すれば、振動膜101内では所望の電界を生成できる。この状態では、振動膜101内に電界があるため、振動膜101の電荷は電極側に移動し、振動膜101に残留している電荷量が変化する。第3の工程では、電圧印加手段107による第1及び第2の電極102、105間への電圧印加を停止する。これにより、振動膜101内に外部から生成された電界が無くなるため、電荷が移動しなくなり、振動膜101内に残留している電荷量は殆ど変化しなくなる。第4の工程では、外力印加手段108が、振動膜101に印加していた基板106方向の外力を減少または、無くす、或いは逆向きの外力を印加させることで、振動膜101と第2の電極105の接触を解除させる。この時、振動膜101内には外部から生成された電界が無く電荷の移動は起こらないため、接触を解除しても、振動膜101内に残留している電荷量は殆ど変化しない。本実施形態でも、電圧印加手段107とは別に外力印加手段108を有する構成を用いることで、第1及び第2の電極102、105間に印加する電圧に依らず、振動膜101と第2の電極105が均一な接触領域を保持できる第1の工程401。そのため、第1及び第2の電極102、105間に発生する静電気力を考慮する必要なく、印加する電圧を最適な値に設定でき、振動膜101内に生じさせる電界の強さを最適な値にできる第2の工程402。加えて、電圧を印加する時間を電気的に調整することにより、振動膜101に電界を印加する時間を、より正確な長さに制御できる第2の工程403と第3の工程404。以上の様に、振動膜101が第2の電極105に接触した際に振動膜101に残留する電荷量を決定する主要なパラメータである、振動膜101に印加する電界の大きさと電界印加時間の長さをより正確に制御できる。そのため、異なるエレメント間において、最終的に振動膜101に残留する電荷量を、より正確な値に調整できる。特に、本実施形態では、電圧の印加を解除する工程403以後も、振動膜101と第2の電極105が接触しているため、振動膜101内に残留する電荷が第2の電極105側に流れ込む時間に余裕がある。そのため、振動膜101に残留した電荷が持つ放電の時定数の影響を受けにくい工程順となっている。第3の実施形態次に、図5を用いて第3の実施形態を説明する。第3の実施形態は、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202でのパラメータに関して特徴を有する。それ以外は、第1と第2の何れかの実施形態と同じである。本実施形態では、振動膜絶縁膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202において、振動膜101が保持できるほぼ最大の電荷量になる様にする。図5に示す様に、振動膜101に残留する電荷量は、或る一定値を越えると、電界の大きさや時間を変化させても増加し難くなる。本明細書中では、この一定値を振動膜101内の飽和電荷量と呼ぶ。この値は、振動膜101の厚さと膜質、第1と第2の電極の形状と接触状態により決まるため、理想的にはエレメント毎でほぼ均一な値となる。しかし、電圧印加手段107により発生する静電引力を用いて振動膜101と第2の電極105を接触させた状態では、残留する電荷量がばらついてしまう。これは、振動膜101内に残留する電荷量が多くなるにつれて、残留する電荷による静電引力も発生し、振動膜101と第2の電極105の接触領域が変化してしまうことに起因する。本実施形態では、外力印加手段108を有しており、振動膜101内に残留する電荷量の影響を受けることなく、振動膜101と第2の電極105との接触領域を均一にする外力を印加できる。そのため、エレメント毎の振動膜101内に残留する電荷を、全てのエレメントで振動膜101内の飽和電荷量にほぼ一致させることができる。よって、異なるエレメント間において、最終的に振動膜101に残留する電荷量を、より均一な値に調整できる。こうして、本実施形態を用いることで、エレメント毎で振動膜101内に残留する電荷の量がより均一である静電容量型電気機械変換装置を提供できる。第4の実施形態次に、図6を用いて第4の実施形態を説明する。第4の実施形態は、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202において、電圧印加手段107が印加する電圧に関して特徴を有する。それ以外は、第1から第3の何れかの実施形態と同じである。本実施形態では、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202において、電圧印加手段107が印加する電圧が、超音波などの弾性波の送受信201を行う期間に印加する電圧Vbとは逆の極性である。図6に、電圧印加手段107が印加する電圧を示す。図6aでは、横軸が時間、縦軸が超音波などの弾性波の送受信201を行う期間に印加する電圧である。図6b、cでは、横軸が時間、縦軸が振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202で印加する電圧である。本実施形態で送受信を行う時には、第1と第2の電極間には一定の電圧Vbが印加され続けている。その状態でエレメントに予期しない外力が印加されて振動膜101と第2の電極105間で接触が起きると、振動膜101内にはその電圧Vbの極性に対応した電荷が残留することになる。この状態に対して、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202を行う。第1の実施形態で記載した工程順を用いる場合には、工程202において、図6bで表す様な電圧を印加する。図6bでは、電圧印加手段107を用いて、第1と第2の電極間に電界を印加する工程301から、第1と第2の電極間への電圧印加を停止する工程304までの間は、一定の電圧Vcを印加し続ける。この一定の電圧Vcは、送受信時に印加した電圧Vbと逆の極性を持っている。そのため、第2の工程302で、外力印加手段108を用いて振動膜101を第2の電極105に接触させることで、振動膜101内には送受信時の印加電圧Vbと逆の極性の電界が生成される。これにより、送受信時の印加電圧Vbの極性に対応した電荷を打ち消す様に、振動膜101付近での電荷の移動が起こり、振動膜101内に残留する電荷が急速に減少する。印加する電圧Vcの大きさと、振動膜101と第2の電極105を接触させている接触時間とを所定の値にすることで、振動膜101内に残留する電荷量を均一にすることができる。第2の実施形態で記載した工程順を用いる場合には、工程202において、図6cで表す様な電圧を印加する。図6cでは、電圧印加手段107を用いて、第1と第2の電極間に電界を印加する工程402から、第1と第2の電極間への電圧印加を停止する工程403までの間は、一定の電圧Vcを印加し続ける。この一定の電圧Vcは、送受信時に印加した電圧Vbと逆の極性を持っている。第2の実施形態では、電圧印加手段107を用いて第1と第2の電極により振動膜101に電界を印加する工程402と、電圧印加を停止する工程403の前後では、振動膜101と第2の電極105は接触したままである。そのため、第2の工程402で、電圧印加手段107を用いて第1と第2の電極間に電圧Vcを印加することで、振動膜101内には送受信時の印加電圧Vbと逆の極性の電界が生成される。それにより、送受信時の印加電圧Vbの極性に対応した電荷を打ち消す様に、振動膜101付近での電荷の移動が起こり、振動膜101内に残留する電荷が急速に減少する。電圧Vcの大きさと接触時間を所定の値にすることで、振動膜101内に残留する電荷量を均一にできる。以上の様に、送受信時の印加電圧Vbと逆の極性の印加電圧Vcを用いることで、振動膜101に残留する電荷量を短い時間で変化させられる。そのため、エレメント毎の振動膜101に残留する電荷量を、短時間で均一にできる。本実施形態を用いることで、エレメント毎で振動膜101内に残留する電荷の量を短時間で均一にできる静電容量型電気機械変換装置を提供できる。そのため、振動膜101内に残留する電荷の影響による送受信特性の変化をより短い時間で補正でき、エレメント毎の弾性波の送受信を行う間隔をより短くできる。言い換えれば、送受信の頻度を上げることができる。第5の実施形態次に、図7を用いて第5の実施形態を説明する。第5の実施形態は、外力印加手段108に関して特徴を有する。それ以外は、第1から第4の何れかの実施形態と同じである。本実施形態では、外力印加手段108は、物理的な機構を用いて振動膜101に外力を印加する。図7で、外力印加手段108を構成する要素として、501はピン、502はピン支持部、503は移動機構である。ピン501は、各振動膜101に1対1で対応して配置され、ピン支持部502により支持されている。ピン501を振動膜101に押付けることにより振動膜101へ均一な外力を印加できる構成となっている。本実施形態において、超音波などの弾性波の送受信を行う工程201では、図7aに示す様に、ピン501は振動膜101に外力を与えなく且つ弾性波の送受信に影響を与えない位置に保持されている。振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202では、図7b、cで示す様に、移動機構503により、ピン501は、振動膜101に正対して、振動膜101に必要な外力を印加する位置に移動される。移動機構503によりピン501を移動させ、振動膜101に印加する外力を変化させることで、振動膜101と第2の電極105の接触と接触解除剥離を行う。また、ピン501及びピン支持部502を弾性波が透過する材料で形成することもできる。これにより、弾性波の送受信を行う工程201では、図7bに示す様に、ピン501は振動膜101に外力を与えない位置に移動するだけでよくなる。そのため、移動機構503を簡略化できる。また、送受信を行う工程201と振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202との間での移動時間を短くすることができる。以上の様に、本実施形態では、物理的な機構を用いて振動膜101に外力を印加することで、簡易な構成で外力印加手段108を実現できる。第6の実施形態次に、図8を用いて第6の実施形態を説明する。第6の実施形態も、外力印加手段108に関して特徴を有する。それ以外は、第1から第4の何れかの実施形態と同じである。本実施形態では、外力印加手段108が、振動膜101外側に隣接している媒質の圧力を調整する。図8で、外力印加手段108を構成する要素として、511は弾性波透過板、512は透過板支持部、513は媒質、514は媒質圧力変化手段である。振動膜101が形成された装置上には、弾性波透過板511と透過板支持部512により囲まれた領域に、媒質513が満たされている。媒質513は、油や水などの液体や空気などの気体を用いることができる。この媒質513は、弾性波を送受信する際の弾性波の減衰を考慮して選択する必要がある。弾性波透過板511は、弾性波を送受信する際に問題にならない程度に、弾性波を透過させられる部材で構成されている。振動膜101が形成された装置と弾性波透過板511及び透過板支持部512との間は、媒質圧力変化手段514との接続部以外は、密閉されている。これらの弾性波透過板511と透過板支持部512と基板106は、媒質513に圧力が加わっても、変形しない様な剛性を有している。そのため、媒質圧力変化手段514により、媒質513に与える圧力を変化させることで、振動膜101に印加する圧力を変化させられる構成となっている。振動膜101と第2の電極105との間の間隙104は、大気圧に対して減圧されている。この間隙104内の圧力と、振動膜101に媒質513から印加される圧力との差により、振動膜101に基板106方向の外力が印加される。媒質圧力変化手段514で媒質513に印加される圧力を変えることで、振動膜101に印加される基板106方向の外力を変化させることができる。これにより、媒質圧力変化手段514を用いて、振動膜101と第2の電極105の接触と接触解除剥離を行うことができる。以上の様に、振動膜101外側に隣接している媒質513の圧力を変化させる構成を用いることで、簡易な構成で外力印加手段108を実現できる。第7の実施形態次に、図9を用いて第7の実施形態を説明する。第7の実施形態も、外力印加手段108に関して特徴を有する。それ以外は、第1から第4の何れかの実施形態と同じである。本実施形態では、振動膜101上に振動膜を変形させるための変形手段が配置されている。図9において、外力印加手段108を構成する要素として、521は変形手段である。変形手段521は、外部からの信号を受けて変形する部材で構成されている。具体的には、電圧印加により変形する圧電部材や、熱印加により変形する熱変形部材を用いることができる。ここで、外部からの信号を入力しない状態を、図9aに示している。超音波などの弾性波の送受信を行う工程201では、この状態で装置を使用する。一方、振動膜101と第2の電極105を接触させる時には、外部から変形させるための信号を変形手段521に印加する。振動膜101上に形成した変形手段521が変形することで、振動膜101も合わせて変形し、振動膜101自体が、基板106側に大きく撓む様になっている。これにより、図9bで示す様に、変形するための信号を変形手段521に印加をすることで、振動膜101を第2の電極105と接触させられる。また、変形手段521を変形するための信号印加を停止、または変形手段521の変形を元に戻す信号を印加することで、振動膜101と第2の電極105との接触を解除剥離できる。この接触と接触解除は、変形手段521に印加する外部信号を変化させるだけであるので、比較的短い時間で夫々の工程201、202の切り替えを行うことができる。以上の様に、振動膜を変形させる手段を振動膜101上に設けることで、簡易な構成で、且つ工程の切り替えに掛かる時間を短くできる外力印加手段108を実現できる。本実施形態を用いることで、エレメント毎で振動膜101内に残留する電荷の量が、より短時間で均一にできる静電容量型電気機械変換装置を提供できる。第8の実施形態次に、図10を用いて第8の実施形態を説明する。第8の実施形態も、外力印加手段108に関して特徴を有する。それ以外は、第1から第4の何れかの実施形態と同じである。本実施形態では、外力印加手段108が発生する外力として電磁気力を用いる。図10において、外力印加手段108を構成する要素として、531が第1の電極102に相当するもの、532が配線、533が磁界発生手段、534が磁界駆動手段である。第1の電極531は、磁性体材料で構成されていることが特徴である。第1の電極531は、磁界を受けて振動膜101に対して外力を発生できる磁性体材料強磁性体材料や軟磁性体材料であれば用いることができる。この第1の電極531は、各振動膜101の中央部に配置されている。夫々の第1の電極531間は、磁性体でない材料の配線532で接続されており、同じ電位になっている。磁界発生手段533は、装置の弾性波送受信に影響を与えない位置に配置されている。磁界発生手段533は、磁界駆動手段534からの電気信号を受けて、エレメントの第1の電極531付近に一様な磁界を発生させることができる。この発生した一様な磁界により、第1の電極531には、基板106と垂直な軸方向に、振動膜101に対する外力が発生する。磁界駆動手段534により、この外力の大きさと向きを変化させることにより、振動膜101と第2の電極105の接触と接触解除剥離を行うことができる。ここで、第1の電極531間の配線532は非磁性体材料で構成されているので、外部から磁界を印加した際、振動膜101の中央部のみに外力を印加できる。そのため、振動膜101と第2の電極105とがより均一に接触した状態にすることができる。本実施形態では、電磁気力を利用しているので、簡単な構成で振動膜101に大きな外力を印加できる。そのため、振動膜101と第2の電極105の接触領域をより均一にすることができる。また、第1の電極531を強磁性体材料で形成した場合、振動膜101に対して基板106逆向きの外力を印加することもできるので、振動膜101と第2の電極105との接触解除剥離の工程のタイミングを、より正確に制御できる。加えて、振動膜101と第2の電極105との接触と接触解除の工程の切り替え動作に必要な時間が非常に短いため、より短時間で振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202を行うことができる。尚、本実施形態の図10では、説明のために第1の電極531間の配線532を明記し、図10以外の図内では、第1の電極間の配線を省略しているが、実際には第1の電極間は配線により相互接続されている。第9の実施形態次に、図11を用いて第9の実施形態を説明する。第9の実施形態は、第1から第8の実施形態の何れかに記載の静電容量型電気機械変換装置を用いた画像形成装置に関する。図11において、701は超音波などの弾性波以下、超音波で代表するを出射する音源、702は測定対象物、703は静電容量型電気機械変換装置、704は画像再現装置、705は画像表示器である。また、801及び802は超音波、803は超音波送信情報、804は弾性波受信信号、805は再現画像情報、901は超音波画像形成装置である。超音波音源701から測定対象物702に向かって出力された超音波801は、測定対象物702の表面や界面での固有音響インピーダンスの差により反射して到来する。到来した超音波802を静電容量型電気機械変換装置703で受信し、受信信号の大きさや形状、時間の情報を弾性波受信信号804として画像再現装置704に送る。一方、超音波音源701から、送信超音波の大きさや形状、時間の情報が、超音波送信情報803として、画像再現装置704に送られている。画像再現装置704では、弾性波受信信号804と超音波送信情報803を基に測定対象物702の画像を再現して、再現画像情報805として画像表示器705に送る。そして画像表示器705で表示する。本実施形態の静電容量型電気機械変換装置703は、第1の実施形態から第8の実施形態の何れかに記載したCMUTが用いられている。CMUTは、図11bに示す様に、まず振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202を行った後、超音波などの弾性波の送受信201を繰り返し行う。エレメント毎で超音波の送受信特性が均一なCMUTを用いるため、所定の超音波を正確に送信できると共に、反射した超音波を正確に受信できる。そのため、測定対象物702で反射した超音波のより正確な情報を得られ、測定対象物702をより正確且つ高精度に再現できる。本実施形態の他の動作形態を、図11cを用いて説明する。他の動作形態では、超音波などの弾性波の送受信201を行う前に、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202を実施し、夫々の工程を順に繰り返し実施している。送受信中または送受信間に、振動膜101に残留している電荷量が変化しても、送受信を行う前に、電荷量を均一にする補正を行うため、エレメント毎で超音波の送受信特性が均一なCMUTを用いることができる。この動作形態によると、更に高精度に画像情報を再現できる超音波画像形成装置を提供できる。上記説明では、第1の実施形態において、電圧印加工程と印加停止工程301、304の間に、接触工程と接触解除工程302、303がある工程順について記載した。また、第2の実施形態において、接触工程と接触解除工程401、404の間に、電圧を印加と印加停止する工程402、403がある工程順について記載した。しかし、本発明における制御態様は、これらに限ったものではない。電圧を印加する工程、接触する工程、電圧印加を停止する工程、接触解除する工程の工程順も同様に用いることができる。また、接触する工程、電圧を印加する工程、接触解除する工程、電圧印加を停止する工程の工程順も同様に用いられる。また、上記説明では、振動膜101内に残留する電荷量を均一にする工程202で印加する電圧を一定の値としたが、本発明の制御態様はこれに限ったものではない。時間的に変化する波形正弦波、矩形波、三角波などや、それに周波数変調を行った波形などの印加電圧であっても、同様に用いられる。更に、上記説明では、振動膜101が絶縁膜であるとして、振動膜101内に電荷が残留するとして説明したが、本発明はこれに限ったものではない。導電性の振動膜101を用いる構成にも同様に適用できる。例えば、図1bに示す様に、第2の電極105上に絶縁膜109を配置して、絶縁膜109内に電荷が残留することがある構成にも同様に適用できる。この場合は、上記説明中での振動膜101と第2の電極105との間での接触や解除剥離は、振動膜101と絶縁膜109との間で行われると読み替える。また、図1cに示す様に、振動膜101下部に絶縁膜109を配置して、絶縁膜109内に電荷が残留することがある構成にも同様に適用できる。この場合は、上記説明中での振動膜101と第2の電極105との間での接触や解除剥離は、絶縁膜109と第2の電極105の間で行われると読み替える。これらの構成を用いた場合は、振動膜101に対して、電極間に印加される最大電界強度の制約がなくなるため、機械特性がより最適な振動膜101のパラメータを設定することができる。