"複数のレンズ部と、前記複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイの製造方法であって、前記レンズ部の形状を反転させた形状のレンズ転写部を含む転写面を有し、該転写面に前記レンズアレイの外周形状に合わせた形状で設けられ堤状の突起部が形成された型を一対で備える成形型を用い、前記一対の型のそれぞれの前記転写面における、前記レンズアレイの外周形状に合わせた形状で設けられ堤状の突起部で仕切られた領域に、前記レンズアレイの材料である樹脂を供給し、前記樹脂を前記一対の型で挟み込み、前記一対の型の前記転写面それぞれの前記突起部同士の隙間から、前記樹脂を流出させつつ、前記樹脂を前記転写面の形状に倣って変形させ、前記一対の型で挟み込まれた前記樹脂を硬化させ、前記突起部同士の間に存在する前記樹脂を薄肉部とし、前記樹脂の硬化後に、硬化された樹脂からなる前記レンズアレイを、前記薄肉部を起点として前記一対の型から離型させるレンズアレイの製造方法。請求項1に記載のレンズアレイの製造方法であって、前記レンズアレイの外周形状が正円形であるレンズアレイの製造方法。請求項1に記載のレンズアレイの製造方法であって、前記レンズアレイの外周形状が、オリエンテーションフラットを含み、略円形状であるレンズアレイの製造方法。請求項1に記載のレンズアレイの製造方法であって、前記レンズアレイの外周形状が、離型後のアライメントのために前記レンズアレイを保持するホルダに合わせた形状であるレンズアレイの製造方法。請求項1から4のいずれか1項に記載のレンズアレイの製造方法によって製造された前記レンズアレイの前記基板部を切断し、個々にレンズ部に分断してなるレンズモジュール。請求項1から4のいずれか1項に記載のレンズアレイの製造方法によって製造された前記レンズアレイを、複数重ね、重ね合う前記レンズアレイ同士を接着してなるレンズアレイ積層体。請求項6に記載のレンズアレイ積層体を、前記基板部で切断し、複数の前記レンズ部を光軸が一致するように重ねてなるレンズモジュール。ところで、上述のように樹脂材料を一対の上型及び下型による成形において、成形によって得られるレンズアレイの外周の形状が安定しないため、所定の形状のレンズアレイを成形する際の再現性が低かった。本発明は、高い再現性で所定の形状のレンズアレイを成形することができるレンズアレイの製造方法を提供する。本発明は、複数のレンズ部と、前記複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイの製造方法であって、前記レンズ部の形状を反転させた形状のレンズ転写部を含む転写面を有し、該転写面に前記レンズアレイの外周形状に合わせた形状で設けられ堤状の突起部が形成された型を一対で備える成形型を用い、前記一対の型のそれぞれの前記転写面における、前記レンズアレイの外周形状に合わせた形状で設けられ堤状の突起部で仕切られた領域に、前記レンズアレイの材料である樹脂を供給し、前記樹脂を前記一対の型で挟み込み、前記一対の型の前記転写面それぞれの前記突起部同士の隙間から、前記樹脂を流出させつつ、前記樹脂を前記転写面の形状に倣って変形させ、前記一対の型で挟み込まれた前記樹脂を硬化させ、前記突起部同士の間に存在する前記樹脂を薄肉部とし、前記樹脂の硬化後に、硬化された樹脂からなる前記レンズアレイを、前記薄肉部を起点として前記一対の型から離型させる。本発明によれば、高い再現性で所定の形状のレンズアレイを成形することができるレンズアレイの製造方法を提供できる。図1に示す撮像ユニット1は、センサモジュール2と、レンズモジュール3と、を備えている。センサモジュール2は、固体撮像素子4と、センサ基板部5とを備えている。センサ基板部5は、例えばシリコンなどの半導体材料で形成されている。固体撮像素子4は、例えばCCDイメージセンサやCMOSイメージセンサなどであり、センサ基板部5に対して周知の成膜工程、フォトリソグラフィー工程、エッチング工程、不純物添加工程、等を繰り返し、センサ基板部5上に受光領域、絶縁膜、電極、配線、等を形成して構成されている。レンズモジュール3は、レンズ部6と、フランジ部7とを備えている。レンズ部6は、その表裏に所定のレンズ面6a、6bを有している。両レンズ面6a、6bは、図示の例ではいずれも凸形状の球面とされているが、用途に応じて、凸形状の球面、凹形状の球面、非球面、又は平面の種々の組み合わせを採り得る。フランジ部7は、レンズ部6の外周から鍔状に張り出して、レンズ部6の外周を取り囲んでいる。レンズ部6、及びフランジ部7は、透光性の材料で一体に形成されている。レンズモジュール3は、そのフランジ部7とセンサ基板部5との間にスペーサ9を介してセンサモジュール2に積層され、センサモジュール2に組み付けられている。スペーサ9は、レンズモジュール3のレンズ部6がセンサモジュール2の固体撮像素子4の受光面に結像するように、センサモジュール2のセンサ基板部5とレンズモジュール3のフランジ部7との間に所定の距離を置く厚みとなっている。スペーサ9と両モジュール2、3とは、例えば接着剤などを用いて接合される。スペーサ9は、センサモジュール2のセンサ基板部5とレンズモジュール3のフランジ部7との間に所定の距離を置くことができる限り、その形状は特に限定されないが、固体撮像素子4の周囲を取り囲んで両モジュール2、3の間を外より隔絶する枠状の部材であることが好ましい。これによれば、両モジュール2、3の間から塵等の異物が入り、それが固体撮像素子4の受光面に付着することを防止することができる。さらに、スペーサ9を遮光性の材料で形成すれば、両モジュール2、3の間から固体撮像素子4に入射する不要な光を遮ることができる。なお、図示の例では、センサモジュール2に組み付けられるレンズモジュール3が1つとなっているが、複数のレンズモジュール3が組み付けられる場合もある。その場合に、複数のレンズモジュール3は、スペーサ9と同等のスペーサを介して順次積層され、センサモジュール2に組み付けられる。また、それらのレンズ部6のレンズ面6a、6bは、レンズモジュール3毎に異なっていてもよい。以上のように構成された撮像ユニット1は、例えば携帯端末等の回路基板にリフロー実装される。回路基板には撮像ユニット1が実装される位置に予めペースト状の半田が印刷されており、そこに撮像ユニット1が載置される。そして、撮像ユニット1を含む回路基板に赤外線の照射や熱風の吹付けといった加熱処理が施される。それにより半田が溶け、撮像ユニット1は回路基板に実装される。上述のレンズモジュール3は、複数のレンズ部6が1次元又は2次元に配列されたレンズアレイを、個々にレンズ部6を含むように分断して得られる。また、上述のセンサモジュール2も同様に、複数の固体撮像素子が1次元又は2次元に配列されたセンサアレイを、個々に固体撮像素子を含むように分断して得られる。以下に、レンズモジュール3を得るレンズアレイについて説明する。図2は、レンズアレイを示す平面図である。図3は、図2のレンズアレイのIII-III線断面図である。図2及び図3に示すレンズアレイ10は、複数のレンズ部6と、これらのレンズ部6を一体に繋ぐ基板部11とを備えている。このレンズアレイ10は、全体として所定のサイズのウエハ状をなし、そこに複数のレンズ部6が配列された、ウエハレベルレンズアレイとも称され、図示の例では、複数のレンズ部6は2次元に配列されている。これらのレンズ部6、及び基板部11は、透光性の材料で一体に形成されている。上述のレンズモジュール3図1参照は、レンズアレイ10において、隣り合うレンズ部6の間で基板部11を切断して得られる。切断されて個々のレンズ部6に付属する基板部11が、レンズモジュール3のフランジ部7となる。なお、図3のレンズアレイを複数重ね、重ね合うレンズアレイ同士を接着してなるレンズアレイ積層体を得ることができる。このとき、レンズアレイの各レンズ部は、重ねられたレンズアレイの各レンズ部と光軸が一致するように位置合わせされて重ね合わされている。そして、このように得られたレンズアレイ積層体を、基板部で切断し、複数のレンズ部を光軸が一致するように重ねてなるレンズモジュールを得ることができる。次に、レンズアレイ10の製造方法について説明する。先ず、図4及び図5に基づいて、成形工程に用いる成形型の構成を説明する。成形型は、上下一対の型20,30を備える。型20は、転写面21がレンズアレイ10の一方の面の形状を成形するものであり、型30は、レンズアレイ10の他方の面の形状を成形するものである。なお、図4では、型20の構成を示しているが、型30の構成についても同じであるため、図示せずに省略する。型20は、転写面21を含む。型30は、転写面31を含む。転写面21は、レンズアレイ10の一方の面を反転させた形状であり、転写面31は、レンズアレイ10の他方の面を反転させた形状である。型20の転写面21には、レンズアレイ10のレンズ部6の配列に対応してレンズ成形面22が2次元に配列されている。レンズ成形面22は、凸形状の球面であるレンズ面6aに対応して凹形状の球面に成形されている。また、転写面21には、レンズアレイ10の外周形状ここでは正円形状に合わせた形状で設けられ堤状の突起部23が形成されている。突起部23は、転写面21において、全てのレンズ転写部22を含む円形の領域を仕切る。なお、突起部23は連続で一定の高さで堤状に形成されることが好ましいが、完全に連続で一定の高さである必要は無く、部分的に低かったり、部分的に突起が無い形状でも構わない。型30の転写面31には、レンズアレイ10のレンズ部6の配列に対応してレンズ成形面32が2次元に配列されている。レンズ成形面32は、凸形状の球面であるレンズ面6aに対応して凹形状の球面に成形されている。また、転写面31には、レンズアレイ10の外周形状に合わせた形状で設けられた堤状の突起部33が形成されている。突起部33は、転写面31において、全てのレンズ転写部32を含む円形の領域を仕切る。突起部23,33は、その寸法及び形状が等しい。また、突起部23,33は、転写面21,31からの高さがそれぞれ、数10μm~数100μmである。次に、上述の成形型を用いた製造方法の手順を説明する。最初に、図5に示すように、型30の転写面31上にレンズアレイの材料である樹脂Mを供給する。このとき、樹脂Mは、レンズアレイを成形するために必要となる量以上の量となるように供給される。樹脂Mは、図示しないディスペンサなどの供給装置を用いて制御可能に供給される。また、樹脂Mは、転写面31の略中央部に供給される。樹脂Mの材料は、エネルギー硬化性の樹脂組成物が用いられる。エネルギー硬化性の樹脂組成物は、熱により硬化する樹脂組成物、あるいは活性エネルギー線の照射例えば紫外線、電子線照射により硬化する樹脂組成物のいずれであってもよい。図6に示すように型20,30で樹脂Mを挟み込む。このとき、型20,30の転写面21,31同士のギャップが最小となるとき、転写面21,31それぞれの突起部23,33の間に隙間が生じる。そして、挟み込まれた樹脂Mが、突起部23,33同士の隙間から突起部23,33で囲われた領域の外に流出する。また、突起部23,33で囲われた領域の樹脂Mが、転写面21,31の形状に倣って変形される。その後、型20,30で挟み込まれた樹脂Mを硬化させる。そして、突起部23,33同士の間に存在する樹脂Mによって薄肉部が形成される。樹脂の硬化後に、図7に示すように、硬化された樹脂Mからなるレンズアレイ10を、型20,30から離型する。このとき、レンズアレイ10を、薄肉部を起点として離型させる。具体的には、樹脂は硬化の際に収縮するため、収縮による応力が突起部23,33の隙間付近の樹脂Mに集中する。すると、樹脂Mの薄肉部が破断し、突起部23,33で囲われた領域の硬化した樹脂Mと外周側の樹脂Mとが分離する。こうして、突起部23,33で囲われた領域の硬化した樹脂Mによってレンズアレイ10が成形される。よって、離型されたレンズアレイ10の外周形状は、転写面21,31上の突起部23,33に規定される形状となる。上述の製造方法によれば、高い再現性で所定の形状のレンズアレイを成形することができる。レンズアレイ10を型20,30から離型させるときに別の部材や処理方法を用いて離型させる工程を行う必要がない点でも有利である。次に、上述した実施形態の変形例を説明する。成形するレンズアレイの形状は、正円形状のものに限定されない。例えば、一部にオリエンテーションフラット所謂、オリフラを設けた形状や、後の工程でレンズアレイのアライメントを行うとき該レンズアレイを保持するためのホルダの形状に合わせた形状など、所定の形状を採用することができる。本発明は、突起部を有する型によって成形することでこれらのような形状のレンズアレイを高い再現性で得ることができる。従来のように、一対の型で樹脂を挟み込むことで成形する方法では、これらのような形状のレンズアレイを高い再現性で成形することは不可能であった。図8は、型の構成の変形例を示す平面図である。この型20は、その転写面21の突起部23が、オリフラを設けたレンズアレイの外周形状に合わせた形状で設けられる。突起部23は、レンズアレイ10のオリフラに対応する部位に平坦部23fが形成されている。また、図示しないが、対となる型30も同じ構成とする。また、型20,30を用いてレンズアレイ10を成形する方法については、上述と同じ手順とすることができる。図9は、型の構成の変形例を示す平面図である。この型20は、その転写面21の突起部23が、レンズアレイを保持するためのホルダの形状に合わせた形状で設けられる。突起部23は、ホルダの位置合わせ面に対応する部位に平坦部23fが形成されている。図9に示す例では、突起部23は、互い平行な平面を有する一対の平坦部23fを2つ有している。また、図示しないが、対となる型30も同じ構成とする。また、型20,30を用いてレンズアレイ10を成形する方法については、上述と同じ手順とすることができる。本明細書は以下の内容を開示する。1複数のレンズ部と、前記複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイの製造方法であって、前記レンズ部の形状を反転させた形状のレンズ転写部を含む転写面を有し、該転写面に前記レンズアレイの外周形状に合わせた形状で設けられ堤状の突起部が形成された型を一対で備える成形型を用い、前記一対の型のそれぞれの前記転写面における、前記レンズアレイの外周形状に合わせた形状で設けられ堤状の突起部で仕切られた領域に、前記レンズアレイの材料である樹脂を供給し、前記樹脂を前記一対の型で挟み込み、前記一対の型の前記転写面それぞれの前記突起部同士の隙間から、前記樹脂を流出させつつ、前記樹脂を前記転写面の形状に倣って変形させ、前記一対の型で挟み込まれた前記樹脂を硬化させ、前記突起部同士の間に存在する前記樹脂を薄肉部とし、前記樹脂の硬化後に、硬化された樹脂からなる前記レンズアレイを、前記薄肉部を起点として前記一対の型から離型させるレンズアレイの製造方法。21に記載のレンズアレイの製造方法であって、前記レンズアレイの外周形状が正円形であるレンズアレイの製造方法。31に記載のレンズアレイの製造方法であって、前記レンズアレイの外周形状が、オリエンテーションフラットを含み、略円形状であるレンズアレイの製造方法。41に記載のレンズアレイの製造方法であって、前記レンズアレイの外周形状が、離型後のアライメントのために前記レンズアレイを保持するホルダに合わせた形状であるレンズアレイの製造方法。51から4のいずれか1つに記載のレンズアレイの製造方法によって製造された前記レンズアレイの前記基板部を切断し、個々にレンズ部に分断してなるレンズモジュール。61から4のいずれか1つに記載のレンズアレイの製造方法によって製造された前記レンズアレイを、複数重ね、重ね合う前記レンズアレイ同士を接着してなるレンズアレイ積層体。76に記載のレンズアレイ積層体を、前記基板部で切断し、複数の前記レンズ部を光軸が一致するように重ねてなるレンズモジュール。"