"軸線方向に貫通する軸孔を有する筒状の絶縁体と、前記軸孔の先端側に挿設された中心電極と、前記絶縁体の外周に設けられた筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に配置され、前記中心電極との間に間隙を形成する接地電極とを備えるスパークプラグであって、前記接地電極は、ニッケルを93質量以上含有する金属により形成されるとともに、前記接地電極の中心軸と直交する方向に沿った任意の断面において、前記接地電極の断面積が2.0mm2以下であり、前記接地電極の硬度を、ビッカース硬度で130Hv以上260Hv以下としたことを特徴とするスパークプラグ。前記接地電極の硬度を、ビッカース硬度で150Hv以上240Hv以下としたことを特徴とする請求項1に記載のスパークプラグ。前記接地電極の中心軸と直交する断面における前記接地電極の最大断面積をSmm2とし、前記中心軸に沿った前記接地電極の長さをLmmとしたとき、L/S1/mmが3以上10以下とされることを特徴とする請求項1又は2に記載のスパークプラグ。前記接地電極は、前記中心電極側の平面とは反対側の背面に凸状の湾曲面を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のスパークプラグ。前記接地電極は、前記中心電極側の平面とその反対側の平面との間に位置する両側面に凸状の湾曲面を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のスパークプラグ。前記接地電極の厚みをTmmとし、前記接地電極の幅をWmmとしたとき、T/Wが0.6以上とされることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のスパークプラグ。前記接地電極には、希土類元素が一種以上含有され、希土類元素の総含有量が、0.05質量以上0.45質量以下とされることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のスパークプラグ。前記接地電極のうち少なくとも一部の表面はメッキで覆われていること特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のスパークプラグ。請求項1乃至8のいずれか1項に記載のスパークプラグの製造方法であって、前記接地電極となる接地電極用金属部材を形成する金属部材形成工程を含み、前記金属部材形成工程においては、ニッケルを93質量以上含有する金属からなる中間部材に対して、熱処理を施し、前記中間部材の硬度を低下させる軟化工程と、前記軟化工程の後に、前記中間部材に塑性加工を施し、前記中間部材の硬度を上昇させることで、前記接地電極用金属部材を得る硬化工程とを含むことを特徴とするスパークプラグの製造方法。ところで近年では、スパークプラグの小型化や小径化が要請されており、小径化した主体金具へと接合可能とすべく接地電極をより細いものとすることが要求されている。このような細い接地電極においては、Niメッキ等を設けるための工程や、主体金具に接地電極を接合する工程において、接地電極に曲がりやねじれ等が生じてしまうおそれがある。さらに、比較的細い接地電極では、その先端部の熱が主体金具側へと伝導されにくく、使用に伴い接地電極の先端部が急速に消耗してしまうおそれがある。本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、その目的は、比較的細い接地電極を有するスパークプラグにおいて、接地電極の耐変形性、及び、耐消耗性の双方を向上させることができるスパークプラグ及びその製造方法を提供することにある。以下、上記目的を解決するのに適した各構成につき、項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する構成に特有の作用効果を付記する。構成1.本構成のスパークプラグは、軸線方向に貫通する軸孔を有する筒状の絶縁体と、前記軸孔の先端側に挿設された中心電極と、前記絶縁体の外周に設けられた筒状の主体金具と、前記主体金具の先端部に配置され、前記中心電極との間に間隙を形成する接地電極とを備えるスパークプラグであって、前記接地電極は、ニッケルNiを93質量以上含有する金属により形成されるとともに、前記接地電極の中心軸と直交する方向に沿った任意の断面において、前記接地電極の断面積が2.0mm2以下であり、前記接地電極の硬度を、ビッカース硬度で130Hv以上260Hv以下としたことを特徴とする。上記構成1によれば、接地電極の断面積が2.0mm2以下とされており、接地電極が非常に細いものとされている。そのため、接地電極における耐変形性や耐消耗性の低下が懸念される。この点、上記構成1によれば、接地電極の硬度が130Hv以上とされており、接地電極が十分な機械的強度を有するように構成されている。従って、接地電極の耐変形性を十分に確保することができる。さらに、上記構成1によれば、接地電極の硬度が260Hv以下とされており、接地電極を構成する金属の結晶粒の歪みが抑制されるように構成されている。従って、接地電極の内部において熱がスムーズに伝導されることとなり、接地電極の熱伝導性を向上させることができる。また、接地電極は、熱伝導性に優れるNiを93質量以上含む金属により形成されているため、接地電極の熱伝導性を一層向上させることができる。すなわち、接地電極の硬度を260Hv以下としつつ、Ni含有量が93質量以上の金属により接地電極を形成することで、接地電極の熱伝導性を飛躍的に向上させることができる。その結果、断面積が2.0mm2以下とされ、耐消耗性の低下が特に懸念される接地電極においても、優れた耐消耗性を実現することができる。構成2.本構成のスパークプラグは、上記構成1において、前記接地電極の硬度を、ビッカース硬度で150Hv以上240Hv以下としたことを特徴とする。上記構成2によれば、接地電極の硬度が150Hv以上とされているため、接地電極の機械的強度をより向上させることができ、ひいては接地電極の耐変形性を一層高めることができる。また、上記構成2によれば、接地電極の硬度が240Hv以下とされており、接地電極を構成する金属の結晶粒の歪みがより一層抑制されるように構成されている。従って、接地電極の熱伝導性をさらに向上させることができ、その結果、一層優れた耐消耗性を実現することができる。構成3.本構成のスパークプラグは、上記構成1又は2において、前記接地電極の中心軸と直交する断面における前記接地電極の最大断面積をSmm2とし、前記中心軸に沿った前記接地電極の長さをLmmとしたとき、L/S1/mmが3以上10以下とされることを特徴とする。上記構成3によれば、L/Sが101/mm以下とされており、長さLが過度に大きなものとならないように構成されている。従って、メッキ工程時等において、接地電極に加わる応力を低減させることができる。その結果、接地電極の耐変形性を一層向上させることができる。尚、L/Sが過度に小さい場合には、接地電極の先端部を中心電極に対して十分に接近させることができず、接地電極の先端部と中心電極との間で、前記間隙火花放電の生じる間隙を形成できないことが懸念されるが、上記構成3によれば、L/Sが31/mm以上とされているため、このような懸念を払拭することができる。構成4.本構成のスパークプラグは、上記構成1乃至3のいずれかにおいて、前記接地電極は、前記中心電極側の平面とは反対側の背面に凸状の湾曲面を有することを特徴とする。上記構成4によれば、接地電極の背面に凸状の湾曲面が形成されている。従って、接地電極を回り込む形で間隙に対して燃料ガスが入り込みやすくなり、着火性の向上を図ることができる。一方で、断面矩形状の接地電極と異なり、湾曲面を有する接地電極は、外周に角部が形成されなかったり、また、形成される角部の角度が比較的大きなものとなってしまったりする。そのため、接地電極の機械的強度が低下してしまうおそれがあるが、上記構成1等を採用することで、接地電極の機械的強度を十分に維持することができ、接地電極の曲がり等をより確実に抑制することができる。換言すれば、上記構成1等は、接地電極の背面に凸状の湾曲面が形成されたスパークプラグにおいて、特に有意である。構成5.本構成のスパークプラグは、上記構成1乃至4のいずれかにおいて、前記接地電極は、前記中心電極側の平面とその反対側の平面との間に位置する両側面に凸状の湾曲面を有することを特徴とする。上記構成5によれば、接地電極の両側面に凸状の湾曲面が形成されているため、間隙に対して燃料ガスが入り込みやすくなり、ひいては着火性を一層向上させることができる。また、接地電極が湾曲面を有するように構成することで、接地電極の機械的強度の低下が懸念されるが、上記構成1等を採用することで、機械的強度を十分に維持することができ、接地電極の曲がり等をより確実に抑制することができる。構成6.本構成のスパークプラグは、上記構成1乃至5のいずれかにおいて、前記接地電極の厚みをTmmとし、前記接地電極の幅をWmmとしたとき、T/Wが0.6以上とされることを特徴とする。上述の通り、メッキ工程等において接地電極に曲がり等が生じ得るが、接地電極の曲がりは特に接地電極の厚さ方向に沿って生じやすい。この点を鑑みて、上記構成6によれば、接地電極の厚みTが、接地電極の幅Wの0.6倍以上とされており、接地電極の厚みTが過度に小さなものとならないように構成されている。従って、接地電極が、厚み方向の負荷に対して十分な強度を有することとなり、接地電極の曲がりをより確実に防止することができる。尚、接地電極の幅Wに対して接地電極の厚みTが過度に大きい場合には、接地電極が接合される主体金具の肉厚を大きくする必要が生じる。しかしながら、主体金具の肉厚を大きくすると、絶縁体に対して主体金具が接近してしまい、中心電極と主体金具との間で火花放電が生じやすくなる等の不具合が発生してしまうおそれがある。従って、この点を考慮して、T/Wを1.0以下とすることが好ましいといえる。構成7.本構成のスパークプラグは、上記構成1乃至6のいずれかにおいて、前記接地電極には、希土類元素が一種以上含有され、希土類元素の総含有量が、0.05質量以上0.45質量以下とされることを特徴とする。一般にNiを多量に含有する金属は高温下で粒成長しやすい。従って、上記構成1のように、Niを多量に含む金属により接地電極を形成する場合には、使用時において、接地電極を構成する金属の粒成長が懸念される。この点、上記構成7によれば、接地電極に希土類元素が一種以上含有されるとともに、希土類元素の総含有量が0.05質量以上とされている。従って、接地電極を構成する金属の粒成長をより確実に抑制することができ、耐消耗性をより一層向上させることができる。また、粒成長の抑制が図られることで、接地電極に対して高温下で振動が加わった場合であっても、その折損をより確実に防止することができる。一方で、希土類元素の総含有量を過度に大きなものとしてしまうと、使用時において接地電極の表面に発汗粒が生じやすくなってしまう。発汗粒が生じてしまうと、その発汗粒の存在により中心電極と接地電極との間に形成された間隙が局所的に狭くなってしまい、ひいては着火性の低下を招いてしまうおそれがある。この点、上記構成7によれば、希土類元素の総含有量が0.45質量以下と十分に小さなものとされている。従って、発汗粒の発生を効果的に抑制することができ、着火性の低下をより確実に防止することができる。構成8.本構成のスパークプラグは、上記構成1乃至7のいずれかにおいて、前記接地電極のうち少なくとも一部の表面はメッキで覆われていること特徴とする。上記構成8によれば、接地電極の表面の少なくとも一部はメッキで覆われているため、接地電極の耐食性を向上させることができる。一方で、断面積が2.0mm2以下の接地電極においては、メッキが施される際の負荷により曲がりやねじれが生じてしまいやすいが、上記構成1等を採用することで、曲がり等の発生を効果的に抑制することができる。換言すれば、上記構成1等は、接地電極の表面がメッキで覆われるすなわち、接地電極にメッキ加工が施されるスパークプラグにおいて、特に有意である。構成9.本構成のスパークプラグの製造方法は、上記構成1乃至8のいずれかに記載のスパークプラグの製造方法であって、前記接地電極となる接地電極用金属部材を形成する金属部材形成工程を含み、前記金属部材形成工程においては、Niを93質量以上含有する金属からなる中間部材に対して、熱処理を施し、前記中間部材の硬度を低下させる軟化工程と、前記軟化工程の後に、前記中間部材に塑性加工を施し、前記中間部材の硬度を上昇させることで、前記接地電極用金属部材を得る硬化工程とを含むことを特徴とする。金属材料を所定の硬度とするための手法としては、金属材料に熱処理を加えることで、金属材料の硬度を低減させることにより、金属材料を所定の硬度とする手法が考えられる。しかしながら、熱処理により硬度を調節する手法では、熱処理時の加熱温度や加熱時間などに若干の変動が生じただけで、金属材料の硬度が所定の硬度よりも低くなってしまったり、その硬度を所定の硬度まで低減させることができなかったりしてしまうおそれがある。すなわち、熱処理による硬度の調節手法では、温度管理等を極めて慎重に行う必要があり、所定の硬度を有する金属材料を容易に得ることができない。この点、上記構成9によれば、熱処理を施し中間部材を一旦軟化させた上で、塑性加工により中間部材を硬化させることにより、所定の硬度を有する接地電極用金属部材が得られるように構成されている。すなわち、塑性加工により硬度を上昇させることで、部材の硬度を調節し、その硬度を所定の硬度とするように構成されている。ここで、塑性加工では、部材の加工率を調節することで、部材の硬度を容易に調節することができる。従って、所定の硬度を有する接地電極用金属部材を容易に得ることができ、生産性の向上を図ることができる。以下に、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。図1は、スパークプラグ1を示す一部破断正面図である。尚、図1では、スパークプラグ1の軸線CL1方向を図面における上下方向とし、下側をスパークプラグ1の先端側、上側を後端側として説明する。スパークプラグ1は、筒状をなす絶縁体としての絶縁碍子2、これを保持する筒状の主体金具3などから構成されるものである。絶縁碍子2は、周知のようにアルミナ等を焼成して形成されており、その外形部において、後端側に形成された後端側胴部10と、当該後端側胴部10よりも先端側において径方向外向きに突出形成された大径部11と、当該大径部11よりも先端側においてこれよりも細径に形成された中胴部12と、当該中胴部12よりも先端側においてこれよりも細径に形成された脚長部13とを備えている。加えて、絶縁碍子2のうち、大径部11、中胴部12、及び、大部分の脚長部13は、主体金具3の内部に収容されている。そして、中胴部12と脚長部13との連接部にはテーパ状の段部14が形成されており、当該段部14にて絶縁碍子2が主体金具3に係止されている。さらに、絶縁碍子2には、軸線CL1に沿って延びる軸孔4が貫通形成されており、当該軸孔4の先端側には中心電極5が挿入、固定されている。当該中心電極5は、銅又は銅合金からなる内層5Aと、ニッケルNiを主成分とするNi合金からなる外層5Bとを備えている。また、中心電極5は、全体として棒状円柱状をなし、その先端部分が絶縁碍子2の先端から突出している。加えて、軸孔4の後端側には、絶縁碍子2の後端から突出した状態で端子電極6が挿入、固定されている。さらに、軸孔4の中心電極5と端子電極6との間には、円柱状の抵抗体7が配設されている。当該抵抗体7の両端部は、導電性のガラスシール層8,9を介して、中心電極5と端子電極6とにそれぞれ電気的に接続されている。加えて、前記主体金具3は、低炭素鋼等の金属により筒状に形成されており、その外周面にはスパークプラグ1を内燃機関や燃料電池改質器等の燃焼装置に取付けるためのねじ部雄ねじ部15が形成されている。また、ねじ部15の後端側には座部16が外周側に向けて突出形成されており、ねじ部15後端のねじ首17にはリング状のガスケット18が嵌め込まれている。さらに、主体金具3の後端側には、主体金具3を燃焼装置に取付ける際にレンチ等の工具を係合させるための断面六角形状の工具係合部19が設けられている。また、主体金具3の後端部には、径方向内側に向けて屈曲する加締め部20が設けられている。尚、本実施形態においては、スパークプラグ1の小型化を図るべく、主体金具3が小径化されており、ねじ部15のねじ径は比較的小径例えば、M12以下とされている。また、主体金具3の内周面には、絶縁碍子2を係止するためのテーパ状の段部21が設けられている。そして、絶縁碍子2は、主体金具3の後端側から先端側に向かって挿入され、自身の段部14が主体金具3の段部21に係止された状態で、主体金具3の後端側の開口部を径方向内側に加締めること、つまり上記加締め部20を形成することによって主体金具3に固定されている。尚、絶縁碍子2及び主体金具3双方の段部14,21間には、円環状の板パッキン22が介在されている。これにより、燃焼室内の気密性を保持し、燃焼室内に晒される絶縁碍子2の脚長部13と主体金具3の内周面との隙間に入り込む燃料ガスが外部に漏れないようになっている。さらに、加締めによる密閉をより完全なものとするため、主体金具3の後端側においては、主体金具3と絶縁碍子2との間に環状のリング部材23,24が介在され、リング部材23,24間には滑石タルク25の粉末が充填されている。すなわち、主体金具3は、板パッキン22、リング部材23,24及び滑石25を介して絶縁碍子2を保持している。また、図2に示すように、主体金具3の先端面26には、屈曲部27Bにて曲げ返されて、その先端側側面が中心電極5の先端部と対向する断面矩形状の接地電極27が接合されている。加えて、中心電極5の先端部と接地電極27の先端部との間には、間隙としての火花放電間隙28が形成されており、当該火花放電間隙28において、軸線CL1にほぼ沿った方向で火花放電が行われるようになっている。さらに、本実施形態においては、接地電極27は、Niを93質量以上含有する金属により形成されている。また、接地電極27には、希土類元素が一種類以上含有されており、希土類元素の総含有量は、0.05質量以上0.45質量以下とされている。尚、希土類元素としては、イットリウムY、ランタンLa、セリウムCe、プロセオジムPr、ネオジムNd、プロメチウムPm、サマリウムSm、ユウロピウムEu、ガドリニウムGd、テルビウムTb、ジスプロシウムDy、ホルミウムHo、エルビウムEr、ツリウムTm、イッテルビウムYb及びルテチウムLuから成るランタノイド、並びに、スカンジウムScを挙げることができる。さらに、接地電極27には、ケイ素Siが所定量例えば、0.15質量以上2.5質量以下含有されるとともに、マンガンMnが所定量例えば、0.05質量以上2.5質量以下含有されている。SiやMnが前記所定量含有されることで、接地電極27の表面に、デポジットオイルや未燃焼燃料等の付着物に対して強固な酸化膜を形成することができる。併せて、接地電極27には、炭素Cが含有されており、その含有量が0.1質量以下とされている。Cが含有されることで、接地電極27の強度が向上し、耐変形性の向上を図ることができる。尚、接地電極27にCを含有しなくてもよい。また、主体金具3の小径化に伴い、主体金具3の先端面26の径方向に沿った幅肉厚も比較的小さくされている。そのため、図3に示すように、主体金具3に接合される接地電極27の厚さをTmmとしたとき、Tが比較的小さなもの例えば、0.7mm~1.4mmとされている。このように接地電極27が比較的薄肉に形成されているため、接地電極27の中心軸CL2と直交する方向に沿った任意の断面において、接地電極27の断面積は2.0mm2以下となっている。尚、主体金具3に対する接地電極27の接合強度を十分に確保する等の観点から、接地電極27の断面積を0.5mm2以上とすることが好ましい。加えて、本実施形態では、接地電極27の中心軸CL2と直交する断面における接地電極27の最大断面積をSmm2とし、前記中心軸CL2に沿った接地電極27の長さをLmmとしたとき、L/S1/mmが3以上10以下とされている。併せて、接地電極27の厚みをTmmとし、接地電極27の幅をWmmとしたとき、T/Wが0.6以上1.0以下とされている。さらに、本実施形態では、接地電極27の常温における硬度が、ビッカース硬度で130Hv以上260Hv以下より好ましくは、150Hv以上240Hv以下とされている。尚、接地電極27の硬度を測定する部位として、接地電極27のうち、主体金具3への接合後に加工が施された部位つまり、加工に伴う硬度変化が生じ得る部位は除かれる。従って、接地電極27は、後述するように主体金具3に接合した後に、屈曲加工が施されて中心電極5側へと曲げ返されるため、接地電極27の硬度を測定する部位として、屈曲部27Bは除かれることとなる。加えて、本実施形態では、耐食性の向上を図るべく、主体金具3及び接地電極27の表面に、亜鉛メッキ或いはNiメッキが施されている。次に、上記のように構成されてなるスパークプラグ1の製造方法について説明する。まず、主体金具3を予め加工しておく。すなわち、円柱状の金属素材例えば、鉄系素材やステンレス素材に対して冷間鍛造加工等により概形を形成するとともに、貫通孔を形成する。その後、切削加工を施すことで外形を整え、主体金具中間体を得る。次いで、金属部材形成工程において、接地電極27となる接地電極用金属部材32を製造する。まず、図4aに示すように、Niを93質量以上含有する線状の中間部材31を用意する。次いで、中間部材31に対して熱処理を施すことで、中間部材31の硬度を低減させる。この中間部材31に対して塑性加工圧延加工や伸線加工を施すことで、中間部材31の断面形状を整えるとともに、中間部材31の断面積を2.0mm2以下とし、さらには、中間部材31の硬度を上述の硬度130Hv以上260Hv以下に上昇させる。その後、中間部材31を所定の長さに切断することで、図4bに示すように、接地電極用金属部材32が得られる。続いて、得られた接地電極用金属部材32が、主体金具中間体の先端面に抵抗溶接される。当該溶接に際してはいわゆるダレが生じるので、そのダレを除去した後、主体金具中間体の所定部位にねじ部15が転造によって形成される。これにより、接地電極用金属部材32の溶接された主体金具3が得られる。次いで、接地電極用金属部材32の溶接された主体金具3に、バレルメッキ装置図示せずにより亜鉛メッキ或いはNiメッキが施される。尚、耐食性向上を図るべく、その表面に、さらにクロメート処理が施されることとしてもよい。一方、前記主体金具3とは別に、絶縁碍子2を成形加工しておく。例えば、アルミナを主体としバインダ等を含む原料粉末を用いて、成形用素地造粒物を調製するとともに、当該成形用素地造粒物を用いてラバープレス成形を行うことで、筒状の成形体が得られる。そして、得られた成形体に対し、研削加工が施され整形されるとともに、整形されたものが焼成炉で焼成されることにより、絶縁碍子2が得られる。また、前記主体金具3、絶縁碍子2とは別に、中心電極5を製造しておく。すなわち、中央部に放熱性向上を図るための銅合金等を配置したNi合金に鍛造加工を施すことで中心電極5を作製する。次に、上記のようにして得られた絶縁碍子2及び中心電極5と、抵抗体7と、端子電極6とが、ガラスシール層8,9によって封着固定される。ガラスシール層8,9は、一般的にホウ珪酸ガラスと金属粉末とが混合されて調製されたものが、抵抗体7を挟むようにして絶縁碍子2の軸孔4内に注入された後、後方から前記端子電極6で押圧しつつ、焼成炉内にて加熱されることで焼成される。尚、このとき、絶縁碍子2の後端側胴部10表面には釉薬層が同時に焼成されることとしてもよいし、事前に釉薬層が形成されることとしてもよい。その後、上記のようにそれぞれ作製された中心電極5及び端子電極6を備える絶縁碍子2と、接地電極用金属部材32を備える主体金具3とが固定される。より詳しくは、主体金具3に絶縁碍子2を挿通した上で、比較的薄肉に形成された主体金具3の後端側の開口部を径方向内側に加締めること、つまり上記加締め部20を形成することによって絶縁碍子2と主体金具3とが固定される。そして最後に、接地電極用金属部材32の略中間部分を中心電極5側に屈曲させることで屈曲部27Bを有する接地電極27を形成するとともに、中心電極5及び接地電極27間の火花放電間隙28の大きさを調整することにより上述したスパークプラグ1が得られる。以上詳述したように、本実施形態によれば、接地電極27の硬度が130Hv以上とされており、断面積が2.0mm2以下の接地電極27においても機械的強度が十分に確保されるように構成されている。従って、接地電極27の耐変形性を十分に維持することができる。さらに、接地電極27の硬度が260Hv以下とされており、接地電極27を構成する金属の結晶粒の歪みが抑制されるように構成されている。従って、接地電極27の熱伝導性を向上させることができる。また、接地電極27は、熱伝導性に優れるNiを93質量以上含む金属により形成されているため、接地電極27の熱伝導性を一層向上させることができる。すなわち、接地電極27の硬度を260Hv以下としつつ、Ni含有量が93質量以上の金属により接地電極27を形成することで、接地電極27の熱伝導性を飛躍的に向上させることができる。その結果、断面積が2.0mm2以下とされ、耐消耗性の低下が特に懸念される接地電極27においても、優れた耐消耗性を実現できる。また、接地電極27の最大断面積Sに対する、接地電極27の長さLの比が31/mm以上とされており、接地電極27の長さLが十分に大きなものとされている。従って、接地電極27の先端部と中心電極5との間で、火花放電間隙28をより確実に形成することができる。さらに、本実施形態では、L/Sが101/mm以下とされており、長さLが過度に大きなものとならないように構成されている。これにより、メッキ工程時等において、接地電極27に加わる応力を低減させることができ、接地電極27の耐変形性を一層向上させることができる。併せて、本実施形態では、接地電極27の厚みTが、接地電極27の幅Wの0.6倍以上とされており、接地電極27の厚みTが過度に小さなものとならないように構成されている。従って、接地電極27が、厚み方向の負荷に対して十分な強度を有することとなり、接地電極27の曲がりをより確実に防止することができる。加えて、接地電極27に希土類元素が一種以上含有されるとともに、希土類元素の総含有量が0.05質量以上とされている。従って、接地電極27を構成する金属の粒成長をより確実に抑制することができ、耐消耗性をより一層向上させることができる。また、粒成長の抑制が図られることで、接地電極27に対して高温下で振動が加わった場合であっても、その折損をより確実に防止することができる。併せて、希土類元素の総含有量が0.45質量以下と十分に小さなものとされているため、発汗粒の発生を効果的に抑制することができ、着火性の低下をより確実に防止することができる。また、熱処理を施し中間部材31を一旦軟化させた上で、塑性加工により中間部材31を硬化させることにより、所定の硬度を有する接地電極用金属部材32が得られるように構成されている。従って、熱処理により接地電極用金属部材32を所定の硬度とする場合と比較して、その硬度を容易に調節することができる。従って、所定の硬度を有する接地電極用金属部材32を容易に得ることができ、生産性の向上を図ることができる。次いで、上記実施形態によって奏される作用効果を確認すべく、接地電極の断面積が、その長手方向に沿って一定となるように構成した上で、接地電極の硬度及び断面積Smm2、並びに、接地電極の最大断面積mm2;接地電極の断面積Sと等しいに対する接地電極の長さLmmの比L/S及び接地電極の幅Wmmに対する接地電極の厚さTの比T/Wを種々変更したスパークプラグのサンプルを複数作製するとともに、各サンプルについて耐消耗性評価試験を行った。耐消耗性評価試験の概要は次の通りである。すなわち、各サンプルを排気量4000ccの6気筒ガソリンエンジンに組付けた上で、エンジンの燃料として無鉛ガソリンを用いて、スロットル全開状態で、エンジン回転数3000rpmを維持して300時間に亘ってエンジンを動作させた。そして、300時間経過後において火花放電間隙の大きさを測定し、試験前初期状態における火花放電間隙の大きさに対する増加量ギャップ増加量を測定した。ここで、ギャップ増加量が0.10mm以下となったサンプルは、耐消耗性に極めて優れるとして☆の評価を下すこととした。また、ギャップ増加量が0.10mm超0.15mm以下となったサンプルは、耐消耗性に優れるとして◎の評価を下すこととし、ギャップ増加量が0.15mm超0.20mm以下となったサンプルは、十分な耐消耗性を有するとして○の評価を下すこととした。一方で、ギャップ増加量が0.20mm超となったサンプルは、耐消耗性が不十分であるとして×の評価を下すこととした。さらに、硬度及び断面積、並びに、L/S及びT/Wを種々変更した接地電極のサンプルを複数用意して、各サンプルについて耐変形性評価試験を行った。耐変形性評価試験の概要は次の通りである。すなわち、各サンプルをスパークプラグの製造ラインに供給し、主体金具に対する接地電極の接合工程やバレルメッキ装置によるメッキ工程を経た後における、曲がりやねじれが発生した接地電極の本数を測定するとともに、曲がりやねじれの発生率不良率を算出した。ここで、不良率が1.0以下となったサンプルは、耐変形性に極めて優れるとして☆の評価を下し、不良率が1.0超2.0以下となったサンプルは、耐変形性に優れるとして◎の評価を下し、不良率が2.0超3.0以下となったサンプルは、十分な耐変形性を有するとして○の評価を下すこととした。一方で、不良率が3.0よりも大きくなったサンプルは、耐変形性に劣るとして×の評価を下した。表1に、耐消耗性評価試験、及び、耐変形性評価試験の試験結果をそれぞれ示す。尚、各接地電極は、Niを93質量以上含有し、熱処理アニール処理を十分に行った際に、硬度が100Hvとなる合金により形成した。また、接地電極の硬度は、塑性加工の条件を調節することで変更した。加えて、各サンプルともに、ねじ部のねじ径をM14とし、主体金具の先端に対する絶縁碍子の先端の突出長を3mmとし、絶縁碍子の先端に対する中心電極の先端の突出長を3mmとした。また、試験前における火花放電間隙の大きさを0.8mmとし、中心電極の先端の外径を2.5mmとした。尚、以下の耐消耗性評価試験及び耐変形性評価試験においては、各サンプルともに、ねじ部のねじ径などのサイズを上記と同様のものとした。表1に示すように、接地電極の断面積を2.5mm2又は2.2mm2としたサンプルサンプル1~4は、接地電極の硬度に関わらず、耐消耗性や耐変形性の面で優れていたが、接地電極の断面積を2.0mm2以下としたサンプルにおいては、耐消耗性や耐変形性の面で十分な性能を実現できないおそれがあることが分かった。これは、接地電極を細くしたことで、接地電極の機械的強度や熱伝導性が低下してしまったことによると考えられる。これに対して、接地電極の断面積が2.0mm2以下であっても、接地電極の硬度を130Hv以上260Hv以下としたサンプルサンプル9~32は、耐消耗性及び耐変形性の双方において十分な性能を有することが明らかとなった。これは、硬度を130Hv以上としたことで、接地電極の機械的強度が向上したこと、及び、硬度を260Hv以下としたことで、接地電極を構成する金属の結晶粒の歪みが抑制され、接地電極の先端側から基端側主体金具側へと効率よく熱が伝導されたことに起因すると考えられる。また特に、接地電極の硬度を150Hv以上240HV以下としたサンプルサンプル10~13,16~19,21~32は、耐消耗性及び耐変形性の双方で優れた性能を有することが確認された。さらに、硬度や断面積S、T/Wを同一とした上で、L/Sのみを異なるものとしたサンプルサンプル21~23,27~29に着目してみると、L/Sを10以下とすることで、耐変形性を効果的に向上できることが明らかとなった。これは、長さLが過度に大きなものとならないように構成したことで、メッキ工程時等に、接地電極に加わる応力を低減させることができたためであると考えられる。加えて、硬度や断面積S、L/Sを同一とした上で、T/Wのみを異なるものとしたサンプルサンプル24~26,30~32の試験結果から、T/Wを0.6以上とすることが、耐変形性の向上に寄与することが確認された。これは、接地電極の曲がりは特にその厚さ方向に沿って生じやすいところ、T/Wを0.6以上としたことで、接地電極がその厚み方向の負荷に対して十分な強度を有することとなったためであると考えられる。次いで、Ni含有量を90質量、又は、93質量とし、硬度を種々変更した接地電極について上述の耐変形性評価試験を行うとともに、このような接地電極を有するスパークプラグのサンプルについて上述の耐消耗性評価試験を行った。表2に、両試験の試験結果を示す。尚、接地電極は、Niの他に、Si、Cr、Al、Mn、C、Ti、Mg、Fe、Cu、P、及び、Sのうち少なくとも一種を含有する合金により形成した。表2には、SiやCr等の総含有量を併せて示す。また、当該試験においては、各サンプルともに、L/Sを6とし、T/Wを0.8とした。表2に示すように、Ni含有量を93質量未満としたサンプルサンプル43は、接地電極の硬度を130Hv以上260Hv以下としたものであっても、耐消耗性に劣ることが確認された。これは、Ni含有量が比較的少なかったため、接地電極の熱伝導性が低下してしまったことによると考えられる。これに対して、接地電極の硬度を130Hv以上260Hv以下としつつ、Ni含有量を93質量以上としたサンプルサンプル44~49は、耐消耗性及び耐変形性の双方において十分な性能を有することが明らかとなった。以上の試験結果より、接地電極の断面積が2.0mm2以下とされ、耐消耗性や耐変形性の低下が懸念されるスパークプラグにおいては、耐消耗性及び耐変形性の双方において十分な性能を実現するために、接地電極のNi含有量を93質量以上とするとともに、接地電極の硬度を130Hv以上260Hv以下とすることが好ましいといえる。また、耐消耗性や耐変形性の更なる向上を図るべく、接地電極の硬度を150Hv以上240Hv以下とすることがより好ましいといえる。さらに、耐変形性をより一層向上させるという観点から、L/Sを10以下としたり、T/Wを0.6以上としたりすることがより好ましいといえる。次に、接地電極に希土類元素少なくともYを含むを一種以上含有させるとともに、希土類元素の総含有量を種々変更した接地電極を複数作製し、各接地電極について上述の耐変形性評価試験を行うとともに、このような接地電極を有するスパークプラグのサンプルについて耐消耗性評価試験を行った。また、スパークプラグの各サンプルについて耐発汗性評価試験、及び、耐折損性評価試験を併せて行った。耐発汗性評価試験の概要は次の通りである。すなわち、各サンプルを排気量2000ccの6気筒ガソリンエンジンに組付けた上で、エンジンの燃料として無鉛ガソリンを用いて、スロットル全開状態で、エンジン回転数5000rpmを維持して100時間に亘ってエンジンを動作させた。そして、100時間経過後に接地電極の表面を観察し、接地電極の表面に発汗粒酸化物が発生していたサンプルは、発汗粒の影響による着火性の低下等が懸念されるとして×の評価を下すこととした。また、接地電極の表面に発汗粒が発生していなかったものの、接地電極の表面が荒れた状態酸化物が接地電極の表面上にささくれ立った状態となったサンプルは、外観上好ましくなく、また、より長期間の使用で着火性等に悪影響を与える可能性があるとして、△の評価を下すこととした。一方で、接地電極の表面に発汗が生じておらず、かつ、接地電極の表面が荒れた状態となっていなかったサンプルは、外観や着火性等の面で優れるとして○の評価を下すこととした。また、耐折損性評価試験の概要は次の通りである。すなわち、接地電極を1000°Cに加熱するとともに、この温度を維持しつつ、各サンプルに対して周波数40Hzで、加速度30Gの振動を8時間に亘って加えた。そして、8時間経過後に、接地電極の折損が生じていたサンプルは、耐折損性に劣るとして×の評価を下すこととし、接地電極に折損は生じていなかったものの、クラックが生じていたサンプルは、耐折損性にやや劣るとして△の評価を下すこととした。一方で、接地電極に折損やクラックが生じていなかったサンプルは、耐折損性に優れるとして○の評価を下すこととした。表3に、耐消耗性評価試験、耐変形性評価試験、耐発汗性評価試験、及び、耐折損性評価試験の試験結果をそれぞれ示す。尚、各試験において、接地電極の断面積を1.5mm2とし、接地電極の硬度を180Hvとした。また、耐発汗性評価試験、及び、耐折損性評価試験においては、各サンプルともに、ねじ部のねじ径をM12とし、主体金具の先端に対する絶縁碍子の先端の突出長を3mmとし、絶縁碍子の先端に対する中心電極の先端の突出長を3mmとした。さらに、試験前における火花放電間隙の大きさを0.8mmとし、中心電極の先端の外径を2.5mmとした。加えて、各サンプルともに、L/Sを6とし、T/Wを0.8とした。表3に示すように、希土類元素の総含有量を0.05質量以上0.45質量以下としたサンプルサンプル52~54は、耐発汗性及び耐折損性の双方において優れることが明らかとなった。上記試験の試験結果より、耐発汗性及び耐折損性の双方を向上させるためには、接地電極に希土類元素を一種以上含有するとともに、希土類元素の総含有量を0.05質量以上0.45質量以下とすることが好ましいといえる。尚、上記実施形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。勿論、以下において例示しない他の応用例、変更例も当然可能である。a上記実施形態において、接地電極27は断面矩形状をなしているが、例えば、図5aに示すように、接地電極37が、中心電極5側の平面37Sとは反対側の背面に凸状の湾曲面37Wを有するように構成することとしてもよい。また、図5bに示すように、接地電極47が、中心電極5側の平面47Sとその反対側の平面47Hとの間に位置する両側面に凸状の湾曲面47W1,47W2を有するように構成することとしてもよい。この場合には、接地電極37,47を回り込む形で、火花放電間隙28に対して燃料ガスが入り込みやすくなり、着火性の向上を図ることができる。一方で、断面矩形状の接地電極27と異なり、接地電極37,47は、外周に形成される角部の角度が比較的大きなものとなってしまうため、その機械的強度がより低下してしまう。すなわち、接地電極37,47は、製造工程における曲がりやねじれの発生がより懸念されるものであるが、本発明を適用することで、曲がり等を効果的に抑制することができる。換言すれば、本発明は、外周面が湾曲状に形成された接地電極において、特に有意である。b上記実施形態では、中心電極5の先端部と接地電極27の先端部との間に火花放電間隙28が形成されている。これに対して、電極5,27の一方又は双方に、貴金属合金例えば、白金合金やイリジウム合金等からなる貴金属チップを接合し、火花放電間隙28を、一方の電極527に設けられた貴金属チップと他方の電極275との間に形成したり、両電極5,27に設けられた両貴金属チップの間に形成したりしてもよい。尚、接地電極27に貴金属チップを設けた場合、接地電極27の硬度は、貴金属チップの接合に伴う硬度変化が生じ得る部位以外の部位例えば、貴金属チップ側面から1.5mm以上離間した部位で測定される。c上記実施形態では、塑性加工圧延加工や伸線加工を施し、中間部材31の硬度を上昇させることで、接地電極27となる接地電極用金属部材32が得られている。これに対して、熱処理を施し、中間部材31の硬度を低減させることで、接地電極用金属部材32を得ることとしてもよい。従って、例えば、塑性加工伸線加工を施すことで、中間部材31の硬度を130Hv以上に上昇させるとともに、中間部材31の断面積を2.0mm2以下と十分に細いものとする。その上で、硬度を低減させるために、中間部材31に対して熱処理アニール処理を行い、その後、中間部材31を所定の長さに切断することで、硬度が130Hv以上260Hv以下とされた接地電極用金属部材32を得ることしてもよい。尚、熱処理時には、中間部材31の硬度が過度に低減しないように、加熱時間や加熱温度を調節することが必要である。また、熱処理を、中間部材31の切断後に行うこととしてもよい。d上記実施形態では、工具係合部19は断面六角形状とされているが、工具係合部19の形状に関しては、このような形状に限定されるものではない。例えば、Bi-HEX変形12角形状ISO22977:2005E等とされていてもよい。"