"ペリクル枠体の一縁面にペリクル膜が展張されたペリクルを載置するトレイと、該トレイの上部から被せる蓋と、を有するペリクル収納容器であって、該トレイは、トレイ中央底面と、該トレイ中央底面から上部側に隆起してペリクルを載置する略角環状の載置台と、該載置台の外周縁から水平方向に延びる外延部と、を有し、該トレイ中央底面と該載置台の間と、該載置台と該外延部の間とに、それぞれに緩衝部を有することを特徴とする、ペリクル収納容器。該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部は、該トレイ中央底面及び該載置台とは異なる高さ位置で2以上の段差に分ける段差部であり、該載置台と該外延部の間の該緩衝部は、該載置台及び該外延部とは異なる高さ位置で2以上の段差に分ける段差部であることを特徴とする、請求項1に記載のペリクル収納容器。該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部のうち、該載置台の角部付近に形成された該緩衝部の面積が、該トレイ中央底面方向に広がることによって、相対的に大きくなっていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のペリクル収納容器。該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部であって、該載置台の角部付近に形成された該緩衝部は、該トレイ中央底面から該ペリクル枠体の該載置台方向に立ち上がるとともに該トレイ外形の対角線を横切る垂直面を有することを特徴とする、請求項1~3の何れか1項に記載のペリクル収納容器。該トレイ中央底面の該載置台近傍に、該ペリクル枠体の高さ方向の第二の段差部が形成されることを特徴とする、請求項1~4の何れか1項に記載のペリクル収納容器。上述したように、ペリクル収納容器は、通常、ABS、アクリル等の樹脂を射出成形または真空成形することによって製造される。このため、別の補強板で剛性を上げる従来の場合、剛性は十分得られるが、重量が増加するため、ペリクル膜の面積が大きくなればなるほど、十分な剛性を確保するために、容器本体よりも補強板の方が重くなるという問題があった。しかも、補強板自体だけでなく補強板を容器本体に締結するための部品が必要になり、更には、この部品を容器本体に組み付ける工数も必要になるため、容器本体だけの場合と比較してコストが大幅に増加する。また、補強板を利用せずにリブで剛性を上げる従来の場合、上記のような重量の増加の問題を低減することができる。しかしながら、特許文献2のように、リブの形状を、外形の対角線を結ぶ方向に設けられたX字型とすると、リブに交差部が存在することによって、捩れ方向の剛性が極度に低下して、何れか一方の対角線に沿ってトレイが捻れて、対頂点が近づくように曲がってしまう恐れがあった。また、特許文献3のようなリブの配置はトレイの斜めの捩れ方向の剛性に効果的であるが、リブの頂点付近が辺の中央付近に存在したり、または、辺の中央付近にリブが存在しないため、トレイを持ち運ぶ際に、両短辺側か両長辺側の嵌合部付近を人手で運搬したり、中央付近をフォークリフトで動かす場合等に、辺の中央付近の応力がかかり辺に対して垂直の折れ目方向への剛性に弱い傾向があるという問題があった。また、大型ペリクルをマスクに貼り付ける際に自動取り出し機を利用する場合は、トレイの底面を吸着保持する必要があるため、トレイの底面は比較的平面な方が良い傾向にある。これに対し、特許文献3のようにリブを配置すると、ペリクル収納容器を大型化するほど、リブを複数設ける必要があるため、比較的平面な面が少なくなり、トレイの底面を吸着保持するのが難しくなるという問題があった。更に、特許文献4に開示されたペリクル収納容器は、載置台の外側または内側のどちらか一方にしか段差部を有さないため、ペリクル収納容器全体に外力が加わった場合には、ペリクルの載置台の平坦性が維持されず、ペリクルを運搬する際に発生するペリクル膜のシワを防止しきれなかった。なお、特許文献4に開示されたペリクル収納容器は、後述する比較例1に相当する。このようなことから、例えば、展張されたペリクル膜の面積以下、単に面積ともいう。が5000cm2を越え8000cm2、更には10000cm2以上に及ぶような大型ペリクルを収納するペリクル収納容器の場合には、補強体を用いずペリクル容器本体だけで十分な剛性と底面の平面性を持たせ、ペリクル膜のシワの発生を防止することができなかった。そこで、本発明者は、上述の課題を解決するために、トレイ中央底面と、該トレイ中央底面から上部側に隆起してペリクルを載置する略角環状の載置台と、該載置台の外周縁から水平方向に延びる外延部とを有するペリクル収納容器において、該トレイ中央底面と該載置台との間と、該載置台と該外延部の間とに、それぞれ緩衝部を有することで、前記課題を解決できることを見出し、本発明を想到するに至った。すなわち、本発明に係るペリクル収納容器は、ペリクル枠体の一縁面にペリクル膜が展張されたペリクルを載置するトレイと、該トレイの上部から被せる蓋と、を有するペリクル収納容器であって、該トレイは、トレイ中央底面と、該トレイ中央底面から上部側に隆起してペリクルを載置する略角環状の載置台と、該載置台の外周縁から水平方向に延びる外延部と、を有し、該トレイ中央底面と該載置台の間と、該載置台と該外延部の間とに、それぞれに緩衝部を有することを特徴とする。本発明に係るペリクル収納容器によれば、載置台のトレイの外縁側及びトレイ中央底面側の両側に緩衝部が形成されることで、補強板を用いずともペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保することができる。さらに、該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部は、該トレイ中央底面及び該載置台とは異なる高さ位置で2以上の段差に分ける段差部であり、該載置台と該外延部の間の該緩衝部は、該載置台及び該外延部とは異なる高さ位置で2以上の段差に分ける段差部であることが好ましい。このように緩衝部を段差部で構成することで、簡易な構成で、ペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保することができる。さらに、該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部のうち、該載置台の角部付近に形成された該緩衝部の面積が、該トレイ中央底面方向に広がることによって、相対的に大きくなっていることが好ましい。このように、トレイ中央底面と載置台の間に形成されるとともに載置台の角部付近に形成された緩衝部の面積が、トレイ中央底面方向に広がるように配置することで、ペリクル収納容器の捩れ戻し方向の剛性を上げることができる。さらに、該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部であって、該載置台の角部付近に形成された該緩衝部は、該トレイ中央底面から該ペリクル枠体の該載置台方向に立ち上がるとともに該トレイ外形の対角線を横切る垂直面を有することが好ましい。このように、トレイ中央底面と載置台の間に形成されるとともに載置台の角部付近に形成された緩衝部の垂直面をトレイ外形の対角線を横切る方向に配置することで、ペリクル収納容器の捩れ方向の剛性を上げることができる。さらに、該トレイ中央底面の該載置台近傍に、該ペリクル枠体の高さ方向の第二の段差部が形成されることも好ましい。このように、トレイ中央底面の載置台近傍に、ペリクル枠体の高さ方向の第二の段差部を形成することで、ペリクル収納容器の捩れ方向の剛性を更に向上させることができる。本発明に係るペリクル収納容器によれば、補強板を用いずともペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保できるため、ペリクルを運搬する際のペリクル膜のシワの発生を防止することができる。[第1実施形態]以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図1は、第1の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。図2は、図1に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。図3は、図2に示すIII-III線断面図である。なお、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。以下の説明では、数値範囲を示す~の記号を、上限値及び下限値を含むものとして使用する。このため、例えば、10~20とは、10以上20以下を意味する。収納容器図1に示すように、ペリクル収納容器1は、ペリクル4が載置されるトレイ2と、トレイ2の天面に被せてトレイ2の天面を覆う蓋3とにより構成される。そして、トレイ2と蓋3とは、粘着テープ等図示しないで密封固定するか、クリップ等図示しないの締結具で固定される。ペリクル収納容器1に収納されるペリクル4は、フォトマスクやレティクルなど不図示の形状に合わせた略角環状のペリクルフレーム4bと、ペリクルフレーム4bの上縁面に展張して接着されたペリクル膜4aと、ペリクルフレーム4bの下縁面に塗着されたマスク用粘着材層4cとを備える。ペリクル膜4aは、厚さ10μm以下のニトロセルロース、セルロース誘導体又は含フッ素ポリマーなどの透明な高分子膜である。ペリクルフレーム4bは、フォトマスクやレティクルなど不図示の形状に合わせた形状を有し、厚さ及び幅が数ミリ程度のペリクル枠体である。マスク用粘着材層4cは、粘着材が塗着された層であり、粘着材の接着力を維持するために、その表面に保護フィルムが粘着されている。このため、ペリクルフレーム4bの高さ方向とは、ペリクル膜4aが持ち上げられるペリクルフレーム4bの厚さ方向であり、図1において上下方向を示す。トレイ2及び蓋3の材質は、エンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、金属等が好ましい。軽量化、成型性の観点から、プラスチック素材が選択される場合が多く、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂等を用いることができる。更に、トレイ2及び蓋3の材質は、上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリルスチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることもできる。上記の樹脂には、静電気による異物付着を防止するために制電性を付与しても良い。また、繊維強化プラスチックも用いることができる。金属を選択する場合、軽量化の観点から、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金等が用いられる。トレイ2及び蓋3は、上述の材質を用いて、真空成形、射出成形、または貼り合せ等の組立にて製造することができる。特に、大型のトレイ2や蓋3を採用する場合は、真空成形により製造することが好ましい。トレイ2や蓋3の厚さは、1mm~10mmが好ましい。トレイ2及び蓋3の寸法は、収納されるペリクル4の大きさに応じて設定されており、収納するペリクル4より少し大きい寸法を有している。また、蓋3は、内部を確認しやすくするために透明または半透明であることが好ましく、トレイ2は、付着した異物を確認しやすくするために黒色であることが好ましい。トレイ2と蓋3とは、互いの周縁部で嵌合するようになっており、トレイ2と蓋3との間の隙間は、外部からの異物侵入を防ぐために出来るだけ狭い方が好ましい。図2及び図3に示すように、トレイ2は、蓋3と対向する側に開口部を有するトレイ中央底面5と、ペリクル4が載置される載置台6と、蓋3との嵌合部7と、を備える。載置台の緩衝部載置台6は、トレイ中央底面5の周囲からトレイ2の天面側であってペリクル4を載置する側に隆起している。そして、載置台6には、ペリクルフレーム4bの高さ方向に変位する緩衝部が形成されており、載置台6の隆起した最も高い水平部分13にペリクル4が載置される。ここで、緩衝部としては、リブや、2つ以上の段差に分ける段差部など、ペリクル収納容器全体に係る外力が直接載置台に及ばないように外力を吸収できる構成であれば、本発明の効果を奏するため、特に制限されない。載置台6におけるトレイ2の外縁側には、水平部分13から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部14aと、第一垂直面部14aの下端からトレイ2の外縁方向に向けて略水平に延出する第一水平面部15aと、第一水平面部15aの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がり嵌合部7に続く第二垂直面部16aと、が形成されている。また、載置台6におけるトレイ中央底面5側には、水平部分13から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部14bと、第一垂直面部14bの下端からトレイ2の中心方向トレイ中央底面5側に向けて略水平に延出する第一水平面部15bと、第一水平面部15bの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がりトレイ中央底面5に続く第二垂直面部16bと、が形成されている。このように、水平部分13、第一垂直面部14a、第一水平面部15a及び第二垂直面部16aにより、載置台6のトレイ2の外縁側に、ペリクルフレーム4bの高さ方向に変位する緩衝部8が形成され、水平部分13、第一垂直面部14b、第一水平面部15b及び第二垂直面部16bにより、載置台6のトレイ中央底面5側に、ペリクルフレーム4bの高さ方向に変位する緩衝部9が形成される。すなわち、緩衝部8は、載置台6水平部分13及び嵌合部7後述する外延部7aとは異なる高さ位置で2段の段差に分ける段差部により構成される。また、緩衝部9は、トレイ中央底面5及び載置台6水平部分13とは異なる高さ位置で2段の段差に分ける段差部により構成される。なお、第一垂直面部14a,14b、第二垂直面部16a,16b、第一水平面部15a,15bの長さは、ペリクルの大きさによって変動するものであり、それぞれ同じであってもよく、違っていてもよい。そして、トレイ中央底面5と載置台6の間の緩衝部9のうち、載置台6の角部6a付近に形成された緩衝部9の面積が、トレイ中央底面方向に広がることによって、相対的に大きくなっていることが好ましい。すなわち、トレイ中央底面5と載置台6の間の緩衝部9のうち、載置台6の角部6a付近に形成された緩衝部9がトレイ中央底面方向に広がることによって、載置台6の角部6a付近に形成された緩衝部9の幅が、他の部分載置台6の辺部付近に形成された緩衝部9の幅よりも相対的に大きくなっていることが好ましい。トレイ中央底面5と載置台6の間に形成されるとともに載置台6の角部付近に形成された緩衝部9の面積が、トレイ中央底面方向に広がるように配置することで、ペリクル収納容器の捩れ方向の剛性を上げることができる。ここでは、載置台6の角部6a付近に配置される第一水平面部15bの4つの角部Aが略三角形状になるように、第二垂直面部16bが、トレイ2外形の対角線を横切る位置に配置されている。すなわち、緩衝部9は、載置台6の角部6a付近に配置される第一水平面部15bの角部Aが略三角形状に形成されるとともに、第二垂直面部16bがトレイ2外形の対角線と交差する位置に配置される。このように緩衝部9を形成することで、トレイ2の捩れに対する剛性が高まり、かつ、載置台6の平坦性をも保つ事ができる。なお、第二垂直面部16bをトレイ2外径の対角線と交差する位置に配置する際、第二垂直面部16bは、トレイ2の捩れに対する剛性が高まり、かつ、載置台6の平坦性を保つ効果を発揮する範囲で構成することができ、必ずしも厳密な垂直性は要求されない。なお、載置台6に形成する緩衝部は、載置台6に対して垂直方向に形成される1段以上の段差であることが好ましく、載置台6自体が狭いことから、この段差は1~3段であることが好ましい。また、成形性等の関係から、載置台6に形成する緩衝部は、載置台6に対して垂直方向に形成される1~3段以上の段差であることが好ましい。また、載置台6に形成する緩衝部が載置台6の両側に形成される為、バランスがよく剛性も高い。そして、水平部分13の平坦性にも優れる。水平部分13はペリクルフレーム4bが載置される場所であるため、水平部分13の平坦性が悪くなると、マスク用粘着材層4cの粘着材が、水平部分13の平坦性の悪さに追随して変形し、マスクへの貼付時に、エアーパス等の問題が発生する場合がある。ここで、図7を参照して、第一水平面部15bの角部Aに形成される略三角形状の寸法等について説明する。図7に示すように、トレイ2外形の長辺の長さをXとし、角部Aに形成される略三角形状におけるトレイ2外形の長辺に平行な辺の長さをxとする。この場合、トレイ2外形長辺の長さXに対するトレイ2外形長辺に平行な三角形状の辺の長さxの割合x/Xは、0.5~50が好ましく、1~45がより好ましく、3~40が更に好ましく、5~30がさらに好ましく、8~25がさらに好ましく、10~20が最も好ましい。このように、トレイ2外形長辺の長さXに対するトレイ2外形長辺に平行な三角形状の辺の長さxの割合をこのような範囲とすると、特に剛性が高まり好ましい。そこで、本実施形態では、トレイ2外形長辺の長さXに対するトレイ2外形長辺に平行な三角形状の辺の長さxの割合x/Xを、14とする。また、トレイ2外形の短辺の長さをYとし、角部Aに形成される略三角形状におけるトレイ2外形の短辺に平行な辺の長さをyとする。この場合、トレイ2外形短辺の長さYに対するトレイ2外形短辺に平行な三角形状の辺の長さyの割合y/Yは、0.5~50が好ましく、1~45がより好ましく、3~40が更に好ましく、10~40がさらに好ましく、15~35が最も好ましい。このように、トレイ2外形短辺の長さYに対するトレイ2外形短辺に平行な三角形状の辺の長さyの割合をこのような範囲とすると、特に剛性が高まり好ましい。そこで、本実施形態では、トレイ2外形短辺の長さYに対するトレイ2外形短辺に平行な三角形状の辺の長さyの割合y/Yを、17.5とする。また、トレイ2外形の対角線と第二垂直面部16bとのなす角は、30~110°が好ましく、70~100°がより好ましく、90°が最も好ましい。曲率半径そして、水平部分13と第一垂直面部14a、第一垂直面部14aと第一水平面部15a、第一水平面部15aと第二垂直面部16a、第二垂直面部16aと嵌合部7、水平部分13と第一垂直面部14b、第一垂直面部14bと第一水平面部15b、第一水平面部15bと第二垂直面部16b、第二垂直面部16bとトレイ中央底面5とは、それぞれ所定の曲率半径を持つ接続構造とすることが好ましい。これらが直角に接続されていると、応力は頂点に集中する傾向にあるため、この接続部分に集中応力が作用する。これに対し、この接続部分に若干曲率半径を持たせることで、応力の分散を図ることもでき、成形時の樹脂の流れや離型にも有効に働く。曲率半径は、0.5mm以上あると好ましい。上限は、載置台6の大きさにもより、適宜最適な範囲で設定されるが、300mm以下であればよく、200mm以下であればより好ましく、100mm以下であれば更に好ましい。中でも、2mm~30mmであることが好ましく、より好ましくは2mm~20mm、更に好ましくは2mm~15mmである。更に、これらの緩衝部が成す角度は、必ずしも90°に限定されるものではなく、適宜設定され、トレイ2の製造の観点などから、これらの角度を鈍角としても良い。嵌合部嵌合部7は、載置台6の外周縁から水平方向に延びる外延部7aと、外延部7aの周端部から上方に延びる最外延部7bと、を備えている。そして、この嵌合部7は、蓋3に対応する形状となっており、トレイ2に蓋3が被せられた際に、蓋3と密着可能となっている。なお、嵌合部7は、更に最外延部7bの周端部から外方に延びる縁部不図示を備えても良い。最外延部7bの高さは、外延部7aからの載置台6の高さの0.7倍以上とすることができ、更に1.0倍以上とすると更に容器の剛性を高めることができる。ハンドリング性や容器の扱い性から、最外延部7bの高さは、外延部7aからの載置台6の高さの3.0倍以下が上限値として好ましい。補強材を使用しない場合は、嵌合部7が経時的に反って平坦性が悪くなることがあるが、載置台6付近に緩衝部を設けることと、最外延部7bの高さを上記範囲にすることで、嵌合部7の反りを抑制することが更にできる。[第二実施形態]次に、図4及び図5を参照して、第2の実施形態に係るペリクル収納容器について説明する。図4は、第2の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。図5は、図4に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。図6は、図5に示すVI-VI線断面図である。収納容器ペリクル収納容器21は、基本的に第1の実施形態に係るペリクル収納容器1と同じであり、トレイの形状のみ、第1の実施形態に係るペリクル収納容器1と相違する。このため、以下では、第1の実施形態に係るペリクル収納容器1と相違する部分のみを説明し、その他の説明を省略する。図4に示すように、ペリクル収納容器21は、ペリクル4が載置されるトレイ22と、トレイ22の天面を覆う蓋3とにより構成される。そして、トレイ22と蓋3とは、粘着テープ等図示しないで密封固定するか、クリップ等図示しないの締結具で固定される。図5及び図6に示すように、トレイ22は、蓋3と対向する側に開口部を有するトレイ中央底面25と、ペリクル4が載置される載置台26と、蓋3との嵌合部27と、を備える。トレイ中央底面の第二の段差部トレイ中央底面25には、自動取り出しの吸着に影響が無いように、一対の第二の段差部37がペリクルフレーム4bの高さ方向に形成されている。第二の段差部37は、載置台26の長辺側の近傍に配置された略三角形状の窪みであり、トレイ中央底面25から垂直方向下方に立ち下がる垂直面部37aと、垂直面部37aの下端縁に接続された平面状の底面部37bと、が形成されている。載置台の緩衝部載置台26は、トレイ中央底面25の周縁からペリクル4を載置する側に隆起している。そして、載置台26は、ペリクルフレーム4bの高さ方向に変位する緩衝部を有しており、載置台26の隆起した最も高い水平部分33にペリクル4が載置される。載置台26におけるトレイ22の外縁側には、水平部分33から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部34aと、第一垂直面部34aの下端からトレイ22の外縁方向に向けて略水平に延出する第一水平面部35aと、第一水平面部35aの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がり嵌合部27に続く第二垂直面部36aと、が形成されている。また、載置台26におけるトレイ中央底面25側には、水平部分33から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部34bと、第一垂直面部34bの下端からトレイ22の中心方向トレイ中央底面25側に向けて略水平に延出する第一水平面部35bと、第一水平面部35bの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がりトレイ中央底面25に続く第二垂直面部36bと、が形成されている。このように、水平部分33、第一垂直面部34a、第一水平面部35a及び第二垂直面部36aにより、載置台26のトレイ22の外縁側に、ペリクルフレーム4bの高さ方向に変位する緩衝部28が形成され、水平部分33、第一垂直面部34b、第一水平面部35b及び第二垂直面部36bにより、載置台26のトレイ中央底面25側に、ペリクルフレーム4bの高さ方向に変位する緩衝部29が形成される。そして、載置台26の角部26a付近に配置される第一水平面部35bの4つの角部Bが略三角形状になるように、第二垂直面部36bが、トレイ22外形の対角線を横切る位置に配置されている。ここで、第一水平面部35bの角部Bに形成される略三角形状の寸法等の範囲は、基本的に第1の実施形態で説明した第一水平面部15bの角部Aに形成される略三角形状の寸法等の範囲と同様である図7参照。そこで、第2の実施形態では、トレイ22外形長辺の長さXに対するトレイ22外形長辺に平行な三角形状の辺の長さxの割合x/Xを、15とし、トレイ22外形短辺の長さYに対するトレイ22外形短辺に平行な三角形状の辺の長さyの割合y/Yを、33とする。また、載置台26の長辺側は、第一垂直面部34bのみが形成されており、第一水平面部35b及び第二垂直面部36bは形成されていない。すなわち、緩衝部29は、載置台26の角部26a付近に配置される第一水平面部35bの角部Bが略三角形状に形成されるとともに、第二垂直面部36bがトレイ22外形の対角線と交差する位置に配置される。そして、載置台26の長辺側には緩衝部29が設けられていないが、その代わり、トレイ中央底面25における載置台26の近傍に、ペリクルフレーム4bの高さ方向に変位する第二の段差部37が設けられている。なお、このように、載置台26の長辺側には、片側だけ第二の段差部を設けても良く、両側に第二の段差部を設けてもよい。曲率半径そして、水平部分33と第一垂直面部34a、第一垂直面部34aと第一水平面部35a、第一水平面部35aと第二垂直面部36a、第二垂直面部36aと嵌合部27、水平部分33と第一垂直面部34b、第一垂直面部34bと第一水平面部35b、第一水平面部35bと第二垂直面部36b、第二垂直面部36bとトレイ中央底面25だけでなく、トレイ中央底面25と垂直面部37a、垂直面部37aと底面部37bとも、それぞれ所定の曲率半径を持つ接続構造とすることが好ましい。これらが直角に接続されていると、応力は頂点に集中する傾向にあるため、この接続部分に集中応力が作用する。これに対し、この接続部分に若干曲率半径を持たせることで、応力の分散を図ることもでき、成形時の樹脂の流れや離型にも有効に働く。曲率半径は、0.5mm以上あると好ましい。上限は、載置台6の大きさにもより、適宜最適な範囲で設定されるが、300mm以下であればよく、200mm以下であればより好ましく、100mm以下であれば更に好ましい。中でも、2mm~30mmであることが好ましく、より好ましくは2mm~20mm、更に好ましくは2mm~15mmである。更に、これらの段差が成す角度は、必ずしも90°に限定されるものではなく、適宜設定され、トレイ22の製造の観点などから、これらの角度を鈍角としても良い。嵌合部嵌合部27は、載置台26の外周縁から水平方向に延びる外延部27aと、外延部27aの周端部から上方に延びる最外延部27bと、を備えている。そして、この嵌合部27は、蓋3に対応する形状となっており、トレイ22に蓋3が被せられた際に、蓋3と密着可能となっている。なお、嵌合部27は、更に最外延部7bの周端部から外方に延びる縁部不図示を備えても良い。以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。例えば、第1の実施形態において、載置台6の第二垂直面部16bは、直線状平面状であるものとして説明したが、その形状に限定されるものではなく、例えば、図7の16b’に示すように、凹型の円弧状曲面状であってもよく、図7の16b’’に示すように、凸型の円弧状曲面状であってもよい。この場合、トレイ2外形の対角線と第二垂直面部16bとのなす角は、トレイ2外形の対角線と第二垂直面部16bとが交差する位置における第二垂直面部16bの接線と、トレイ2外形の対角線とのなす角で表される。なお、第2の実施形態の第二垂直面部36bも同様である。また、載置台6は、必ずしも完全な環状である必要は無く、例えば、トレイ2外形の短辺に平行な部分のみで形状されても良く、トレイ2外形の長辺に平行な部分のみやトレイ2外形の短辺に平行な部分のみで形成されても良い。また、この載置台6は、トレイ2外形の短辺又は長辺に平行な部分を中心としたコの字型であって、互いに向かい合った形に形成されても良い。以下に具体的な実施例及び比較例を示すと共に、それらの評価について詳細に説明する。[実施例1]実施例1は、第2の実施形態に係るペリクル収納容器を採用し、このペリクル収納容器のトレイは、外径寸法が幅1000mm×奥行き1600mm、高さ60mm、厚さ6mmとなるように、ABS樹脂製の真空成型品を用いた。そして、トレイ中央底面と載置台との間と、載置台と外延部の間とに、それぞれに緩衝部を設け、更に、載置台の角部付近の第一水平面部を三角形状とし、更に、トレイ中央底面に、三角形状の第二の段差部を設けた図4及び図5参照。実験室の机上に、上述した実施例1のペリクル収納容器を設置し、ペリクル収納容器の3箇所の角部を机と一緒に挟み込み固定し、残った1箇所の角部を吊り量りで2.5kgfの力で引っ張って、ペリクル収納容器の反り変形量を金尺で測定した。その時の膜シワを確認した。計測結果を表1に示す。[実施例2]実施例2は、第1の実施形態に係るペリクル収納容器を採用し、このペリクル収納容器のトレイは、外径寸法が幅950mm×奥行き1400mm、高さ85mm、厚さ5mmとなるように、ABS樹脂製の真空成型品を用いた。そして、トレイ中央底面と載置台との間と、載置台と外延部の間とに、それぞれに緩衝部を設け図2及び図3参照、それ以外は、実施例1と同様の実験を行った。計測結果を表1に示す。[比較例1]比較例1は、実施例1のペリクル収納容器において、載置台を隆起させず、載置台の内側に配置されるトレイ中央底面と載置台の間にのみ緩衝部を設けたものを採用し、実施例1と同様に行った。計測結果を表1に示す。[比較例2]比較例2は、実施例1のペリクル収納容器において、隆起した載置台に緩衝部がないものを採用し、実施例1と同様に行った。計測結果を表1に示す。[比較例3]比較例3は、実施例2のペリクル収納容器において、隆起した載置台に緩衝部がないものを採用し、実施例1と同様に行った。計測結果を表1に示す。表1に示すように、比較例1~3は、何れも膜シワが確認されたが、実施例1及び2は、何れも膜シワが確認されなかった。"