"光学素子成形用の型セット内に収容された成形素材を加熱する加熱工程と、加熱された前記成形素材を加圧する加圧工程と、加圧された前記成形素材を冷却する冷却工程と、を含み、イオン性液体によって前記型セットを除電する除電工程を更に含む、光学素子の製造方法。前記冷却工程では、前記除電工程で流される前記イオン性液体を用いることにより、前記成形素材を冷却する、請求項1記載の光学素子の製造方法。前記除電工程では、前記型セットに当接する上当接部材及び下当接部材のそれぞれに前記イオン性液体を循環させ、前記上当接部材の内部を通って循環する前記イオン性液体と、前記下当接部材の内部を通って循環する前記イオン性液体とは、正電荷および負電荷のうちの一方を帯びた状態から他方を帯びた状態に同時に切り替えられる、請求項1又は請求項2記載の光学素子の製造方法。光学素子成形用の型セット内に収容された成形素材を加熱する加熱部と、前記成形素材を加圧する加圧部と、イオン性液体によって前記型セットを除電する除電部と、を備える、光学素子の製造装置。前記成形素材を冷却する冷却部を更に備え、前記冷却部は、前記除電部が流す前記イオン性液体を用いることにより、前記成形素材を冷却する、請求項4記載の光学素子の製造装置。しかしながら、アースによる静電気対策は、特に微弱の静電気に対して除電の効果が少なく、上述のように成形素材又は成形後の光学素子が型セットに張り付く。また、イオナイザによる静電気対策は、酸素雰囲気中でないと使用できず、光学素子を成形する非酸化雰囲気においては除電性能を発揮することができない。また、加湿による静電気対策は、光学素子の製造装置の部材に錆を発生させたり光学素子にヤケなどの不具合を発生させたりする。更には、非酸化雰囲気を加湿すると酸素濃度が上昇する。本発明の目的は、雰囲気によらず且つ光学素子の製造に悪影響を与えずに、型セットを確実に除電することができる光学素子の製造方法及び製造装置を提供することである。本発明の光学素子の製造方法は、光学素子成形用の型セット内に収容された成形素材を加熱する加熱工程と、加熱された上記成形素材を加圧する加圧工程と、加圧された上記成形素材を冷却する冷却工程と、を含み、イオン性液体によって上記型セットを除電する除電工程を更に含む。また、上記光学素子の製造方法において、上記冷却工程では、上記除電工程で流される上記イオン性液体を用いることにより、上記成形素材を冷却するようにしてもよい。また、上記光学素子の製造方法において、上記除電工程では、上記型セットに当接する上当接部材及び下当接部材のそれぞれに上記イオン性液体を循環させ、上記上当接部材の内部を通って循環する上記イオン性液体と、上記下当接部材の内部を通って循環する上記イオン性液体とは、正電荷および負電荷のうちの一方を帯びた状態から他方を帯びた状態に同時に切り替えられるようにしてもよい。本発明の光学素子の製造装置は、光学素子成形用の型セット内に収容された成形素材を加熱する加熱部と、上記成形素材を加圧する加圧部と、イオン性液体によって上記型セットを除電する除電部と、を備える。また、上記光学素子の製造装置において、上記成形素材を冷却する冷却部を更に備え、上記冷却部は、上記除電部が流す上記イオン性液体を用いることにより、上記成形素材を冷却するようにしてもよい。本発明によれば、雰囲気によらず且つ光学素子の製造に悪影響を与えずに、型セットを確実に除電することができる。以下、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法及び製造装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施の形態に係る光学素子の製造装置1を示す概略構成図である。光学素子の製造装置1は、搬入側予備室ステージ11を有する搬入側予備室10と、加熱ステージ21、加圧ステージ22、及び冷却ステージ23を有する成形室20と、搬出側予備室ステージ31を有する搬出側予備室30と、を備える。搬入側予備室10、成形室20、及び搬出側予備室30には、図示しない開閉シャッタが設けられ、不活性ガスである窒素が充填されることで非酸化雰囲気低酸素雰囲気の状態が維持されている。光学素子成形用の型セット100は、対向して配置された一対の上型120及び下型130と、これら上型120及び下型130の周囲に配置されたスリーブ140とを有する。型セット100は、例えば炭化タングステンWCからなる。型セット100は、成形素材110を収容する。上型120及び下型130は、円柱形状柱形状を呈し、成形素材110に形状を転写する。スリーブ140は、円筒形状筒形状を呈する。型セット100は、光学素子の製造装置1において、搬入側予備室ステージ11、加熱ステージ21、加圧ステージ22、冷却ステージ23、搬出側予備室ステージ31の順に移送される。成形素材110は、例えばガラス素材株式会社オハラ社製S-BSL7であり、例えば、直径2mmの球状を呈する。型セット100は、例えば直径10mmである。本実施の形態では、搬入側予備室ステージ11が第1の除電部の一例であり、加熱ステージ21が加熱部の一例であり、加圧ステージ22が加圧部の一例であり、冷却ステージ23が第1の冷却部の一例であり、搬出側予備室ステージ31が第2の冷却部及び第2の除電部の一例である。但し、加圧ステージ22は、加熱ステージ21の上当接部材21a及び下当接部材21b例えば500°Cよりも高温の上当接部材22a及び下当接部材22b例えば650°Cを有し、成形素材110を加圧するだけでなく加熱する。また、加熱ステージ21及び冷却ステージ23は、シリンダ21c,23c有し、成形素材110を加熱又は冷却するだけでなく加圧する。なお、冷却ステージ23の上当接部材23a及び下当接部材23bは、例えば300°Cである。搬入側予備室ステージ11は、型セット100に当接する下当接部材11aを有する。この下当接部材11aは、例えばステンレスなどの導電体からなる。下当接部材11aの形状は、例えば、プレート状、ブロック状である。加熱ステージ21、加圧ステージ22、及び冷却ステージ23は、それぞれ、型セット100に当接しヒータが配置された上当接部材21a,22a,23a及び下当接部材21b,22b,23bと、上当接部材21a,22a,23aを昇降させるシリンダ21c,22c,23cと、を有する。これらシリンダ21c,22c,23cが上当接部材21a,22a,23aを介して型セット100を押圧する圧力は、例えば0.5~2.0kg/cm2である。搬出側予備室ステージ31は、型セット100に当接する上当接部材31a及び下当接部材31bと、上当接部材31aを昇降させるシリンダ31cとを有する。上当接部材31a及び下当接部材31bは、例えばステンレスなどの導電体からなる。上当接部材31a及び下当接部材31bの形状は、例えば、プレート状、ブロック状である。搬入側予備室ステージ11の下当接部材11aと、搬出側予備室ステージ31の上当接部材31a及び下当接部材31bの内部には、イオン性液体Lの循環路40,50,60が挿入されている。これら循環路40,50,60は、導電体である。図2に示す光学素子の製造システムは、光学素子の製造装置1と、アースされたタンク70と、循環路80と、ポンプ90とを含む。図3に示すように、タンク70は、貯留槽71と、冷却機構72と、正極73と、負極74と、正極側配管75と、負極側配管76と、切り替え弁77とを備える。貯留槽71には、イオン性液体Lが貯留されている。貯留槽71には、イオン性液体Lを左右に分離する分離壁71aが形成されている。イオン性液体Lとしては、例えば、ピリジニウム系イオン性液体、イミダゾリウム系イオン性液体、脂環式アミン系イオン性液体、脂肪族アミン系イオン性液体、脂肪族ホスホニウム系イオン性液体などのいずれか又は混合物といった電気伝導性、イオン電導性、及び熱伝導性が良好であるとともに耐熱性があるものが挙げられるが、特に限定されない。冷却機構72は、貯留槽71の内周面に沿って形成されたらせん状の冷却水の配管であり、光学素子の製造装置1の搬出側予備室30等を通ることで温度が上昇するイオン性液体Lを冷却する。正極73と負極74とは、イオン性液体71の内部において、分離壁71aを挟んで互いに反対側に位置する。正極73は、イオン性液体Lに負電荷を帯びさせイオン性液体L-n、負極74は、イオン性液体Lに正電荷を帯びさせるイオン性液体L-p。循環路80は、ポンプ90によって、光学素子の製造装置1と、タンク70と、ポンプ90とにイオン性液体Lを循環させる。循環路80は、図3に示すように、タンク70においてイオン性液体Lを貯留槽71に放出する。また、循環路80は、負電荷を帯びたイオン性液体L-nを正極側配管75から供給されるか、又は正電荷を帯びたイオン性液体L-pを負極側配管76から供給されるかを切り替え弁77によって切り替えられる。この切り替えを行う間隔は、型セット100のステージごとの処理時間例えば60秒よりも短い時間、好ましくは、処理時間の半分以下の時間例えば20秒である。なお、循環路80は、光学素子の製造装置1において上述の循環路40,50,60の全てに分離するように連結されているが、循環路40,50,60のそれぞれにタンク70及び循環路80を設けることも可能ではある。以下、本実施の形態に係る光学素子の製造方法について、上述の説明と重複する点については適宜省略しながら説明する。まず、図1に示すように、成形素材110を収容する型セット100は、搬入側予備室10に搬入される。搬入側予備室ステージ11では、図4に示すように、下当接部材11aの内部を循環路4080が通ることで、上述のように正電荷および負電荷のうち一方を帯びた状態から他方を帯びた状態に切り替えられるイオン性液体Lにより、導電体である循環路40及び下当接部材11aを介して型セット100の電荷が中和され除電される第1の除電工程。次に、型セット100は、成形室20の加熱ステージ21に移送される。そして、型セット100に収容された成形素材110は、例えば、シリンダ21cによって上当接部材21aが下降して型セット100に当接した状態で、加熱される加熱工程。また、型セット100は加圧ステージ22に移送され、成形素材110は、シリンダ22cによって上当接部材22aを介して型セット100が押圧されることで加圧される加圧工程。そして、型セット100は冷却ステージ23に移送され、成形素材110は、シリンダ23cによって上当接部材23aを介して型セット100が押圧された状態で冷却される第1の冷却工程。次に、型セット100は、成形室20から搬出側予備室30に移送される。搬出側予備室ステージ31では、シリンダ31cによって上当接部材31aが下降して型セット100に当接する。型セット100は、上当接部材31a及び下当接部材31bの内部を循環路50,6080が通ることで、上述のように正電荷および負電荷のうち一方を帯びた状態から他方を帯びた状態に切り替えられるイオン性液体Lにより、導電体である循環路50,60、上当接部材31a、及び下当接部材31bを介して型セット100の電荷が中和され除電される第2の除電工程。この第2の除電工程において、イオン性液体Lは、熱伝導性が良好であるため、上当接部材31a及び下当接部材31bの内部を循環することで、型セット100の熱が上当接部材31a及び下当接部材31bと循環路50,60を介してイオン性液体Lに伝導し、成形素材110の冷却も行われる第2の冷却工程。なお、循環路50,60が上述のように単一の循環路80に連結されている場合、循環路50を循環するイオン性液体L及び循環路60を循環するイオン性液体Lは、負電荷を帯びたイオン性液体L-nを正極側配管75から供給されるか、又は正電荷を帯びたイオン性液体L-pを負極側配管76から供給されるかを、同時に、切り替え弁77によって切り替えられる。以上説明した本実施の形態では、光学素子の製造方法は、加熱工程と、加圧工程と、冷却工程とを含み、イオン性液体Lによって型セット100を除電する除電工程を更に含む。そのため、アースのみによる除電の場合よりも確実に、且つイオナイザによる除電の場合のように雰囲気を制限されず、型セット100を除電することができる。また、加湿による除電の場合のように、光学素子の製造装置の部材に錆を発生させたり光学素子にヤケなどの不具合を発生させたり、雰囲気の酸素濃度が上昇したりするのを防ぐことができる。よって、本実施の形態によれば、光学素子の雰囲気によらず且つ光学素子の製造に悪影響を与えずに、型セット100を確実に除電することができる。また、本実施の形態の冷却工程第2の冷却工程では、除電工程第2の除電工程で流すイオン性液体Lを用いることにより、成形素材110を冷却する。そのため、型セット100の除電と成形素材110の冷却とを同時に行うことができるため、光学素子の製造を効率良く行うことができる。また、本実施の形態の除電工程では、型セット100に当接する搬出側予備室ステージ31の上当接部材31a及び下当接部材31bのそれぞれにイオン性液体Lが循環する。そして、上当接部材31aの内部を通って循環するイオン性液体Lと下当接部材31bの内部を通って循環するイオン性液体Lとは、例えば、循環路40,50が同一の循環路80に連結されることにより、正電荷及び負電荷のうち一方を帯びた状態から他方を帯びた状態に同時に切り替えられる。そのため、型セット100をより確実に除電することができる。なお、本実施の形態では、冷却ステージ23による第1の冷却工程と、搬出側予備室ステージ31のイオン性液体Lの循環による第2の冷却工程とが別のステージで行われているが、成形室20内の冷却ステージ23の温度に耐えられれば、冷却ステージ23にイオン性液体Lを循環させ、冷却ステージ23で上述の第1の冷却工程と第2の冷却工程とを同時に行うようにしてもよい。また、本実施の形態では、搬入側予備室ステージ11と搬出側予備室ステージ31との両方にイオン性液体Lの循環路40,50,60が配置される例について説明したが、一方のみに循環路が配置されるようにしてもよい。但し、搬出側予備室ステージ31のように冷却工程と除電工程とを同時に行うのが光学素子の製造の上では効率的である。また、搬入側予備室ステージ11にも上当接部材が配置されるようにしてもよい。また、本実施の形態では、加熱ステージ21、加圧ステージ22、冷却ステージ23に型セット100を順次移送する循環型の光学素素子の製造装置1を例に説明したが、単一のステージにおいて、成形素材110に成形加熱、加圧及び冷却を行う光学素子の製造装置にも本実施の形態のイオン性液体Lを用いた型セット100の除電は有効である。なお、その場合には、単一のステージが加熱部、加圧部、冷却部、及び除電部を兼ねる。また、成形素材110の加熱を行うステージ加熱ステージ21と加圧を行うステージ加圧ステージ22とを共通の単一のステージとしたり、成形素材110の加圧を行うステージ加圧ステージ22と冷却を行うステージ冷却ステージ23とを共通の単一のステージとしたりしてもよい。また、加熱,加圧,冷却の各ステージが複数ずつ配置されるようにしてもよい。また、自然冷却により冷却工程を行うことができるため、冷却部は省略可能であるが、イオン性液体により冷却が行われる場合には、イオン性液体が循環するステージが冷却部として機能する。また、本実施の形態では、イオン性液体Lを循環させる場合について説明したが、例えば、循環させることなくイオン性液体Lを一方的に流すことも可能である。"