外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削方法において、前記ウェーハの前記面取部が、砥石における前記ウェーハの前記面取部を研削する面取研削部に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記砥石に対して相対的に移動させ、前記面取研削部により、前記ウェーハの前記面取部を除去し、前記ウェーハの前記平坦部が、前記砥石における前記ウェーハの前記平坦部を研削する平坦研削部に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記砥石に対して相対的に移動させ、前記平坦研削部により、前記ウェーハの前記平坦部を研削する、ウェーハ研削方法。前記ウェーハはベース基材に貼付けられている、請求項1に記載のウェーハ研削方法。前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである、請求項2に記載のウェーハ研削方法。前記ウェーハの前記面取部の除去深さを、前記ウェーハの前記平坦部の研削深さより深く設定する、請求項1から3のいずれか1項に記載のウェーハ研削方法。外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削装置において、前記ウェーハの面取部を研削する面取研削部と前記ウェーハの平坦部を研削する平坦研削部とを含むカップ型研削砥石と、前記ウェーハの前記面取部または前記平坦部が前記カップ型研削砥石の面取研削部及び平坦研削部にそれぞれ対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させる移動機構部と、を具備し、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記面取部を、前記カップ型研削砥石における前記面取研削部に対応した位置に位置決めして前記面取研削部により前記ウェーハの前記面取部を除去した後で、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記平坦部を、前記カップ型研削砥石における前記平坦研削部に対応した位置に位置決めして前記平坦研削部により前記ウェーハの前記平坦部を研削するようにした、ウェーハ研削装置。前記カップ型研削砥石は、前記面取研削部と前記平坦研削部とが互いに同軸に配置されている、請求項5に記載のウェーハ研削装置。前記面取研削部は、前記平坦研削部の外周側に配置されている、請求項5または6に記載のウェーハ研削装置。前記面取研削部と前記平坦研削部とは、互いに段差を持たせて形成されている、請求項5から7のいずれか1項に記載のウェーハ研削装置。前記ウェーハはベース基材に貼付けられている、請求項5から8のいずれか1項に記載のウェーハ研削装置。前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである、請求項9に記載のウェーハ研削装置。しかしながら、特許文献1の手法においては、面取部を除去するための回転ブレードおよび回転ブレードを駆動するためのモータが必要である。そして、特許文献1においてはターンテーブルでウェーハを移動させているので、ウェーハの位置を微調整することができない。ウェーハの位置を微調整する代わりに、特許文献1では、回転ブレードを位置決めするための位置決め機構部を別途必要としている。つまり、特許文献1では、回転ブレード、回転ブレードのためのモータ、および位置決め機構が必要である。従って、特許文献1では装置全体が大型化するという問題があった。また、基板の外周縁部に、裏面から表面に亘って切削加工を行う際に、切削加工を行う深さが微妙になる。すなわち、基板を完全に分離する場合でも、回転ブレードを少し深く入れすぎると、チャックまで到達してチャックを傷つけることになる。ウェーハを完全に切断できなかった場合は、かえって切断できずに薄く残された箇所から割れる場合もある。本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、回転ブレードおよびその関連部材を必要とすることなしに、ウェーハの面取部の除去とウェーハの平坦部の研削の両方を行うウェーハ研削方法およびそのような方法を実施するウェーハ研削装置を提供することを目的とする。前述した目的を達成するために1番目の発明によれば、外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削方法において、前記ウェーハの前記面取部が、砥石における前記ウェーハの前記面取部を研削する面取研削部に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記砥石に対して相対的に移動させ、前記面取研削部により、前記ウェーハの前記面取部を除去し、前記ウェーハの前記平坦部が、前記砥石における前記ウェーハの前記平坦部を研削する平坦研削部に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記砥石に対して相対的に移動させ、前記平坦研削部により、前記ウェーハの前記平坦部を研削する、ウェーハ研削方法が提供される。2番目の発明によれば、1番目の発明において、前記ウェーハはベース基材に貼付けられている。3番目の発明によれば、2番目の発明において、前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである。4番目の発明によれば、前記ウェーハの前記面取部の除去深さを、前記ウェーハの前記平坦部の研削深さより深く設定することができる。5番目の発明によれば、外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削装置において、前記ウェーハの面取部を研削する面取研削部と前記ウェーハの平坦部を研削する平坦研削部とを含むカップ型研削砥石と、前記ウェーハの前記面取部または前記平坦部が前記カップ型研削砥石の面取研削部及び平坦研削部にそれぞれ対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させる移動機構部と、を具備し、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記面取部を、前記カップ型研削砥石における前記面取研削部に対応した位置に位置決めして前記面取研削部により前記ウェーハの前記面取部を除去した後で、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記平坦部を、前記カップ型研削砥石における前記平坦研削部に対応した位置に位置決めして前記平坦研削部により前記ウェーハの前記平坦部を研削するようにした、ウェーハ研削装置が提供される。6番目の発明によれば、5番目の発明において、前記カップ型研削砥石は、前記面取研削部と前記平坦研削部とが互いに同軸に配置されている。7番目の発明によれば、5番目または6番目の発明において、前記面取研削部は、前記平坦研削部の外周側に配置されている。8番目の発明によれば、5番目から7番目の発明において、前記面取研削部と前記平坦研削部とは、互いに段差を持たせて形成されている。9番目の発明によれば、5番目から8番目の発明において、前記ウェーハはベース基材に貼付けられている。10番目の発明によれば、9番目の発明において、前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである。1番目および5番目の発明においては、ウェーハの面取部および平坦部を、それぞれ、砥石の面取研削部と平坦研削部とに対応して位置決めできるので、単一の砥石を用いてウェーハの面取部の除去と平坦部の研削との両方を行うことができる。従って、回転ブレードおよびその関連部材の必要性を排除できる。また、ウェーハの面取部の除去深さと平坦部の研削深さを、1つの軸についた砥石を使用して任意に設定できるため、例えば面取部の除去深さを所望の平坦研削量よりも少し深く設定しておくことで、平坦研削時におけるシャープエッジからの割れの影響を大幅に低減することが可能となる。2番目および9番目の発明においては、ウェーハの面取部を除去する際に、ベース基材の一部分が一緒に削除できる。このため、ベース基材を保持する保持部が損傷するのを避けられる。なお、ベース基材は接着剤などによってウェーハに貼付けられるのが好ましい。3番目および10番目の発明においては、ウェーハと同一寸法のベース基材を容易に準備することができる。6番目の発明においては、面取研削部と平坦研削部とを同軸に配置することで、一つのスピンドル軸で面取部の除去と平坦部の研削が可能であり、一連の面取部および平坦部の研削を続けて行うことができる。7番目の発明においては、面取研削部を砥石外周側に配置することで、外周砥石の表面のみならず、外周面も効率的に使用することができる。8番目の発明においては、内外周で段差を持たせることで、面取部の研削と、平坦部の研削とを使い分けすることができる。以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。図1は、本発明に基づくウェーハ研削装置の略斜視図である。図1に示されるように、ウェーハ研削装置10は、カップ型研削砥石36を備えるアーチ型のコラムユニット12と、コラムユニット12の下方部に配置された移動機構部としての搬送ユニット11とを主に含んでいる。ウェーハ研削装置10は、ウェーハ60、例えばシリコンウェーハを研削する。図示されるように、コラムユニット12の一方の側面12bには単一の溝13が縦方向に形成されており、この溝13はメインユニット12の頂面12aから下方通路14まで延びている。また、搬送ユニット11は、そのようなウェーハ60をカップ型研削砥石36に対応した所望の二つの位置に位置決めさせられる。さらに、搬送ユニット11は、ウェーハ60の研削部への搬入および研削部からの搬出を行う。図1から分かるように、側面12bには、二つのリニアガイド32、33がそれぞれ溝13の両縁部、もしくは隣接して設けられている。さらに、同様なリニアガイド31が溝13の底部において、リニアガイド32、33に対して平行に設けられている。これらリニアガイド31、32、33は単一のサドルを摺動する案内レールとしての役目を果たす。図2は本発明に基づくウェーハ研削装置の側面図であり、図3は図2に示されるウェーハ研削装置の正面図であり、図4は図2に示されるウェーハ研削装置の頂面図である。これら図面から分かるように、搬送ユニット11は、互いに平行な二つのレール22が配置された搬送台21を含んでいる。レール22上には、ウェーハ60を保持するチャック29が摺動可能に配置されている。チャック29に結合されたスライダ25は、ベルトプーリ機構24を介してモータ26によりボールネジ23を駆動する。これにより、スライダ25はレール22上を摺動するようになる。なお、チャック29は図示しない真空源に接続されており、真空作用などによりウェーハ60を吸着保持する。さらに、搬送台21の下方にはモータ27が配置されており、チャック29はウェーハ60を保持しつつ鉛直軸回りに回転する。さらに、図2および図3から分かるように、メインユニット12のリニアガイド32、33には、サドル34が摺動可能に取付けられている。また、サドル34は、ボールネジ38のナット39を介してリニアガイド31にも摺動可能に取付けられている。図示されるように、サドル34の下方には、カップ型のカップ型研削砥石36が取付けられており、カップ型研削砥石36はサドル34と一体的にリニアガイド31~33に沿って摺動する。カップ型研削砥石36の回転軸はリニアガイド31~33に対して平行に配置されており、サドル34内部に備えられたモータ35が駆動すると、カップ型研削砥石36は回転軸回りに回転する。前述したように、ボールネジ38はサドル34とリニアガイド31との間に配置されている。ボールネジ38は上方に配置されたモータ37により駆動し、カップ型研削砥石36をチャック29のウェーハ60に向かって付加的に送込む研削送り部としての役目を果たす。図2および図4から分かるように、カップ型研削砥石36をウェーハ60に向かって送込む送込み方向上、あるいは送込み方向に隣接して、カップ型研削砥石36の縁部が位置している。ところで、図5はウェーハを示す図である。図5に示されるように、ウェーハ60の表面61には、前工程において複数の回路パターンC、例えば貫通電極が格子状に形成されている。図5から分かるように、全ての回路パターンCはウェーハ60の平坦部67上に形成されており、平坦部67周りに位置するウェーハ60の外周部は面取部68として形成されている。なお、ウェーハ60の裏面62には、このような回路パターンCは形成されていない。そして、図5においては、ウェーハ60の表面21はベース基材70に接着剤などにより貼付けられている。図1等に示されるウェーハ研削装置10には、ベース基材70が下方に位置するようにこのようなウェーハ60が、供給されるものとする。図5に示されるように、ベース基材70はウェーハ60と概ね同一形状の平坦な部材である。ベース基材70として他のウェーハ60を使用するのが好ましく、そのような場合にはベース基材70を容易に準備することができる。ただし、他の形状のベース基材70を使用してもよい。次に、図6に、図1等に示されるウェーハ研削装置10に用いられるカップ型研削砥石36の一例を模式的な要部断面図で示し、以下説明する。このカップ型研削砥石36は、上述のウェーハ60の平坦部67を研削する平坦研削部36aと、平坦部67周りの外周部における面取部68を研削する面取研削部36bとを含んでいる。かかる平坦研削部36aと面取研削部36bとにより、それぞれウェーハ60の平坦部67と面取部68とが研削される。平坦研削部36aと面取研削部36bとは、回転する砥石基体36vの回転軸Oに同軸的に設けられている。この場合、平坦研削部36aは砥石基体36vの回転軸O寄りに、面取研削部36bは平坦研削部36aの外側に配置されている。また、平坦研削部36aの研削先端部が面取研削部36bに比較して図中、下方に突出するように段差が設定されている。なお、平坦研削部36aと面取研削部36bとには、相互に異なる粒度の砥石を用いてもよく、また、同一の粒度の砥石を用いてもよい。例えば平坦研削部36aと面取研削部36bとに、双方ともメタルボンド♯2000の砥石を用いることができる。また、平坦研削部36aと面取研削部36bとは、回転する砥石基体36vに一体的に設けるようにしてもよいが、それぞれ個別に取り外せるようにしてもよい。すなわち、カップ型研削砥石36を二つに分けて、平坦研削部36aと面取研削部36bと二つの砥石に分かれるように構成してもよい。面取研削部36bは、平坦研削部36bの外周部に構成しているが、ウェーハ60に対して接線方向に応力を作用させるためである。平面研削部36aで薄片化していく過程で、シャープなエッジが形成されると、そのエッジから割れが起こり、その割れが内側に入り込んでいくようになる。その割れが内側に入り込み、ウェーハ60内部にダメージを及ぼしてしまう最大の要因は、先にも述べたように研削する砥石が、相対的にウェーハ60中心側に向かう半径方向の速度成分が大きくなることに起因する。すなわち、外周部に立ち上がったシャープエッジが微小に振動し、その割れが、相対的に中心に向かう砥石の速度成分に比例して内側に入り込むのである。よって、このような事態を回避するためには、面取研削部36bをウェーハ60に対し、極力接線方向のみに作用させるようにすることが望ましい。特に、面取研削部36bの外径を大きくした方が、接線方向に砥石が作用するようになり、砥石が相対的にウェーハ60中心側に向かう半径方向の速度成分はより小さくなるので好ましい。そして、図7aは面取部を除去するときのウェーハ研削装置の部分断面図であり、図7bは図7aに示されるウェーハ研削装置の部分頂面図である。以下、これら図面を参照して、本発明に基づくウェーハ研削装置10による面取部68の除去動作について説明する。はじめにウェーハ60をチャック29に載置する。チャック29がウェーハ60を真空保持した後で、搬送ユニット11におけるモータ26を駆動させる。これにより、チャック29はスライダ25と一緒にレール22およびネジ23に沿って摺動するようになる。そして、チャック29は、図7aおよび図7bに示されるように、カップ型研削砥石36における面取研削部36bの研削先端部がウェーハ60の面取部68に対応した位置に位置決めされる。次いで、モータ35を駆動してカップ型研削砥石36の砥石基体36vを回転軸O回りに回転させると共に、モータ27を駆動してチャック29を回転軸線回りに回転させる。さらに、モータ37を駆動してカップ型研削砥石36をチャック29のウェーハ60に向かって送込む。これにより、カップ型研削砥石36における面取研削部36bの研削先端部はウェーハ60の面取部68のみを研削するようになる。なお、面取研削の方法としては、カップ型研削砥石36の面取研削部36bの研削先端部を先にウェーハ60に対して所定の加工深さまで下げる。次いで、その状態でウェーハ60を保持するチャック29を、搬送ユニット11におけるモータ26を駆動させて、スライダ25と一緒にレール22およびネジ23に沿って移動させて面取研削部36bの研削先端部に、ウェーハ60の面取部68を近接させる。その場合、先に述べたカップ型研削砥石36の相対的にウェーハ60中心側に向かう半径方向の速度成分が、内周部へのクラック進展の要因となるおそれがあるため、移動機構部である搬送ユニット11にあっては、連続的かつ精密に制御された相対速度でチャック29を移動させることで、カップ型研削砥石36がウェーハ60中心側へ相対的に送られることが求められる。この場合のカップ型研削砥石36とチャック29との相対送り速度は、砥石回転数や番手に依存する。さらに、面取研削の方法としては、面取研削部36bの砥石形状によっては、カップ型研削砥石36の面取研削部36bを、先に所定のウェーハ外周除去部まで入り込ませて、その上でウェーハ60の上側から順に切り込んで所定の深さまで外周部だけを薄く加工するようにしてもよい。そして、カップ型研削砥石36がウェーハ60の面取部68を除去するのに十分な量だけ送込まれると、モータ37を逆回転させて、カップ型研削砥石36をウェーハ60から離間させる。図8は面取部除去後におけるウェーハの部分側面図である。図8に示されるように、カップ型研削砥石36の面取研削部36bは、ウェーハ60の面取部68と、これに対応するベース基材70の一部分を除去する。図8から分かるように、ベース基材70は、面取部68を除去するときに、チャック29が破損するのを防止する役目を果たす。なお、ベース基材70を排除してウェーハ60をチャック29に直接的に保持して面取部68を除去することも可能である。次に、図9は平坦部を研削するときのウェーハ研削装置の部分断面図である。以下、図9を参照して、本発明に基づくウェーハ研削装置10によるウェーハ60の平坦部67の研削動作について説明する。面取部68の除去が終了すると、ウェーハ60およびベース基材70をチャック29に保持させたままで、モータ26を駆動させる。これにより、チャック29はスライダ25と一緒にレール22およびネジ23に沿って摺動する。そして、チャック29は、図9に示されるように、カップ型研削砥石36における平坦研削部36aの研削先端部がウェーハ60の平坦部67に対応した位置に位置決めされる。次いで、モータ35を駆動してカップ型研削砥石36の砥石基体36vを回転軸O回りに回転させると共に、モータ27を駆動してチャック29を回転軸線回りに回転させる。さらに、モータ37を駆動して平坦研削部36aの研削先端部をチャック29のウェーハ60に向かって所定量ウェーハ60の厚さよりも小さいだけ送込む。これにより、平坦研削部36aの研削先端部によってウェーハ60の平坦部67が研削されるようになる。カップ型研削砥石36における平坦研削部36aの研削先端部がウェーハ60を所定の厚さまで研削する量だけ送込まれると、モータ37を逆回転させて、平坦研削部36aの研削先端部をウェーハ60から離間させる。図10は平坦部研削後におけるウェーハの部分側面図である。図10に示されるように、平坦部67の厚さ部分が研削されると、ウェーハ60は所望の厚さまで薄膜化される。その後、チャック29の保持を解除して、ウェーハ60およびベース基材70を取外す。次いで、所定の治具図示しない等を用いて、ウェーハ60をベース基材70から離間させる。これにより、薄膜化したウェーハ60を得ることができる。このように本発明においては、スライダ25をネジ23上に摺動させることにより、ウェーハ60の面取部68および平坦部67を、それぞれカップ型研削砥石36における面取研削部36bの研削先端部、平坦研削部36aの研削先端部に対応して位置決めできる。従って、カップ型研削砥石36は、ウェーハの面取部の除去を面取研削部36bにより、平坦部の研削を平坦研削部36aにより行うことができる。この場合、カップ型研削砥石36における平坦研削部36aと面取研削部36bとは、砥石基体36vに同軸上に配置されているので、一つのスピンドル軸で面取部の除去と平坦部の研削が可能であり、一連の面取部の除去と平坦部の研削とを続けて行うことができる。また、面取研削部36bを砥石基体36vの外周側に配置することで、外周砥石の表面のみならず、外周面も効率的に使用することができる。ウェーハ60の平坦部67を研削する平坦研削部36aに比較して、面取部68を研削する面取研削部36bが設けられる位置の径が大きいのが有利である。面取研削部36bはウェーハ60の半径方向外側から相対的に内側に向かって入り込む。このため、面取研削部36bが設けられる位置の径が大きくなるほど、ウェーハ60に対し、接線方向から面取研削部36bが進入する作用が支配的になる。それ故、薄いウェーハ60のエッジであっても、ウェーハ60の中心軸側へクラックは進展せず、ウェーハ60に割れが生じるのを極力回避することができる。さらに、面取研削部36bの研削先端部と平坦研削部36aの研削先端部とは、段差があるので面取部の研削と、平坦部の研削とを使い分けすることができる。以上のように、カップ型研削砥石36は、ウェーハ60の面取部68を除去するエッジトリミング用のカッタと、ウェーハ60の裏面62を研削する研削部材としての両方として機能する。このため、本発明では、従来技術のような回転ブレードおよびその関連部材を必要とすることはなく、装置全体を小型化することも可能である。以上、カップ型研削砥石36の一例を挙げて、ウェーハ研削装置10によるウェーハ60の面取部68を除去するエッジトリミングと、ウェーハ60の平坦部67の研削工程について説明した。カップ型研削砥石36は、これに限られないのは勿論である。例えば図11は、カップ型研削砥石の第1の別例を示す部分断面図である。図11においては、カップ型研削砥石36における面取研削部36bと平坦研削部36aとは、同軸的に隣接して、しかも面取研削部36bと平坦研削部36aにおける研削先端部に段差を設けないで面一となるようにしている。この場合、面取研削部36bと平坦研削部36aとで、砥石の種類を異ならしめて用いている。面取部68を除去するエッジトリミング用としての面取研削部36bにビトリファイド磁器質ボンドの♯2000が用いられ、面全体の研削用として平坦研削部36aにメタルボンドの♯2000が用いられる。面取研削部36bは平坦研削部36aの外側に設けられ、面取研削部36bの外周面にもビトリファイド磁器質ボンドの♯2000が用いられる。図12はカップ型研削砥石の第2の別例を示す部分断面図である。カップ型研削砥石36は、図12のように構成することもできる。この場合、砥石は、砥石基体36vに単一の砥石例えばビトリファイドボンド:♯2000によって、エッジトリミング用と平坦部研削用として兼ねるようにすることもできる。すなわち、砥石がエッジトリミング用領域Iと、平坦部研削用の領域IIとを含むようにする。図12から分かるように、領域Iは砥石の下面外側部分及び外周面部分である。領域IIは砥石の下面全体である。