振動板上に、内部電極、圧電セラミック層および表面電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータであって、前記表面電極の下の前記振動板、前記内部電極および前記圧電セラミック層の厚さの合計が、前記表面電極の周囲の前記振動板、前記内部電極および前記圧電セラミック層の厚さの合計よりも厚くなっており、前記表面電極の下の前記振動板および前記内部電極の厚さの合計が、前記表面電極の周囲の前記振動板および前記内部電極の厚さの合計より厚くなっていることを特徴とする圧電アクチュエータ。前記表面電極の下の前記圧電セラミック層の厚さが、前記表面電極の下の前記振動板の厚さ以下であることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。前記表面電極の下の前記圧電セラミック層の上面が、前記表面電極の周囲の前記圧電セラミック層の上面よりも高い位置にあり、前記圧電セラミック層の上面が凸形状となっていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電アクチュエータ。前記表面電極の下の前記振動板の下面が、前記表面電極の周囲の前記振動板の下面よりも高い位置にあり、前記圧電セラミック層の下面が凹形状となっていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。前記表面電極を複数備え、前記内部電極が、複数の前記表面電極と対向している請求項1~4のいずれかに記載の圧電アクチュエータが、複数の吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の加圧室が開口している流路部材に、前記表面電極と前記加圧室との位置を合わせて積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。前記圧電アクチュエータを平面視した場合、前記振動板、前記内部電極および前記圧電セラミック層の厚さの合計が周囲よりも厚くなっている部位が、前記加圧室内に納まっていることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッド。請求項5または6に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。特許文献1に記載されているような圧電アクチュエータでは、変位量が小さいために、吐出する液滴量が所望の量より少なかったり、吐出する液滴の飛翔速度が所望の速度より低かったりする場合があった。したがって、本発明の目的は、変位量の大きい圧電アクチュエータ、およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供することにある。本発明の圧電アクチュエータは、振動板上に、内部電極、圧電セラミック層および表面電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータであって、前記表面電極の下の前記振動板、前記内部電極および前記圧電セラミック層の厚さの合計が、前記表面電極の周囲の前記振動板、前記内部電極および前記圧電セラミック層の厚さの合計よりも厚くなっており、前記表面電極の下の前記振動板および前記内部電極の厚さの合計が、前記表面電極の周囲の前記振動板および前記内部電極の厚さの合計より厚くなっていることを特徴とする。前記表面電極の下の前記圧電セラミック層の厚さが、前記表面電極の下の前記振動板の厚さ以下であることが好ましい。前記表面電極の下の前記圧電セラミック層の上面が、前記表面電極の周囲の前記圧電セラミック層の上面よりも高い位置にあり、前記圧電セラミック層の上面が凸形状となっていることが好ましい。前記表面電極の下の前記振動板の下面が、前記表面電極の周囲の前記振動板の下面よりも高い位置にあり、前記圧電セラミック層の下面が凹形状となっていることが好ましい。本発明の液体吐出ヘッドは、前記圧電アクチュエータが前記表面電極を複数備えているとともに、前記内部電極が、複数の前記表面電極と対向しており、前記圧電アクチュエータが、複数の吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の加圧室が開口している流路部材に、前記表面電極と前記加圧室との位置を合わせて積層されていることを特徴とする。前記圧電アクチュエータを平面視した場合、前記振動板、前記内部電極および前記圧電セラミック層の厚さの合計が周囲よりも厚くなっている部位が、前記加圧室に納まっていることが好ましい。前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して相対的に搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。本発明によれば、変位素子が、周囲の振動板、圧電セラミック層から受ける拘束力が少なくなるので、変位量が大きくなる。図1は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1以下、プリンタ1とするは、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端に液体吐出ヘッド本体13を有している。液体吐出ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の吐出孔8が設けられている図4および5参照。1つの液体吐出ヘッド2に設けられた吐出孔8からは、同じ色の液滴インクが吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2には図示しない外部液体タンクから液体が供給される。各液体吐出ヘッド2の吐出孔8は、吐出孔面に開口しており、一方方向印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタM、イエローY、シアンCおよびブラックKである。各液体吐出ヘッド2は、液体吐出ヘッド本体13の下面と搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成する液体吐出ヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a~122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体13について説明する。図2は、図1に示された液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体13の平面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、加圧室10の位置が分かり易いように、一部の流路を省略して描いている。図4は、図3と同じ位置の拡大図であり、吐出孔8の位置が分かり易いように、一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ21の下方にあって破線で描くべき加圧室10加圧室群9、しぼり12および吐出孔8を実線で描いている。図5aは図3のV-V線に沿った縦断面図であり、図5bは、図5aの要部の拡大図であり、図5cは図5aの要部を拡大した平面図である。液体吐出ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、圧電アクチュエータ21とを有している。圧電アクチュエータ21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に沿うように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータ21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータ21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータ21により吐出された液滴が混在して着弾することになる。流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び、細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線仮想線のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータ21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータ21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータ21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータ21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータ21に対向する領域に互いに隣接して液体吐出ヘッド本体13の長手方向に延在している。流路部材4は、複数の加圧室10がマトリクス状すなわち、2次元的かつ規則的に形成されている4つの加圧室群9を有している。加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータ21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの加圧室10によって形成された各加圧室群9は圧電アクチュエータ21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、圧電アクチュエータ21は複数の加圧室10を覆うように積層されるので、各加圧室10の開口は、圧電アクチュエータ21で閉塞されている。本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1~E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。全体では、マニホールド5から繋がる加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔8もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。つまり、流路部材4の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔8を投影すると、図3に示した仮想直線のRの範囲に、各副マニホールド5aに繋がっている4つの吐出孔8、つまり全部で16個の吐出孔8が600dpiの等間隔になっている。また、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である以下の間隔で個別流路32が形成されているということである。圧電アクチュエータ21の上面における各加圧室10に対向する位置には後述する個別電極35がそれぞれ形成されている。すなわち、個別電極35は、圧電アクチュエータ21の上面に、第1の方向および第1の方向とは異なる方向にわたって形成されている。個別電極35は、個別電極本体表面電極35aと個別電極本体35aから引き出された引出電極35bとを含む。個別電極本体35aは、加圧室10より一回り小さく、加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータ21の上面における加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。流路部材4の下面には多数の吐出孔8が形成されている。これらの吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータ21と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔群7は圧電アクチュエータ21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ21の変位素子50を変位させることにより吐出孔8から液滴が吐出できる。吐出孔8の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の吐出孔8は、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。液体吐出ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャしぼりプレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。液体吐出ヘッド本体13は、図5に示されているように、加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、吐出孔8は下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室10を介して副マニホールド5aと吐出孔8とが繋がる構成を有している。各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された加圧室10である。第2に、加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23詳細には加圧室10の入り口からサプライプレート25詳細には副マニホールド5aの出口までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。第3に、加圧室10の他端から吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ部分流路と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23詳細には加圧室10の出口からノズルプレート31詳細には吐出孔8までの各プレートに形成されている。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27~29に形成されている。このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口副マニホールド5aの出口から吐出孔8に至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室10の一端部に至る。さらに、加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔8へと進む。圧電アクチュエータ21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ21の圧電セラミック層21a、21bの積層体の厚さは40μm程度であり、100μm以下であることにより、変位量を大きくすることができる。圧電アクチュエータ21は、流路部材4の加圧室10の開口している平面状の面に積層されており、圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の加圧室10を跨ぐように延在している図3参照。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛PZT系のセラミックス材料からなる。個別電極35の下の振動板21aである第1部位21a-1は、その周囲の振動板21aである第2部位21a-2よりも厚くなっている。個別電極35の下の圧電セラミック層21aである第1部位21b-1とその周囲の圧電セラミック層21bである第2部位21b-2とは、厚さは同じであるが、個別電極35の下部の周囲で屈曲しているので、圧電セラミック層21bの上面は凸形状になっている。これらの構造については後で詳述する。圧電アクチュエータ21は、Ag-Pd系などの金属材料からなる共通電極内部電極34、Au系などの金属材料からなる個別電極35、個別電極35の上に形成されているAu系などの金属材料からなる接続電極36を有している。個別電極35は上述のように圧電アクチュエータ21の上面における加圧室10と対向する位置に配置されている個別電極本体35aと、個別電極本体35aから加圧室10のない位置まで引き出されている引出電極35bとを含んでいる。引出電極35bの加圧室10のない位置には、接続電極36が形成されている。個別電極35の厚さは、0.3~1μmである。接続電極36は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが5~15μm程度で、引出電極35bの上に形成されている。接続電極36はその上部が、凸形状になっている個別電極本体よりも高い位置にされる。また、接続電極36は、図示されていない外部配線であるFPCFlexiblePrintedCircuitに設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100からFPCを通じて駆動信号駆動電圧が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータ21に対向する領域内の全ての加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは1~2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なるグランド接続用表面電極不図示が形成されている。グランド接続用は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に、外部配線内の別の電極と接続されている。なお、以上は、圧電アクチュエータ21が2層の圧電セラミック層の場合の構造であるが、3相層以上の圧電セラミック層を積層して、個別電極35と共通電極34が交互になるように配置してもよい。図5に示されるように、共通電極34と個別電極35とは、最上層の圧電セラミック層21bを挟むように配置されている。圧電セラミック層21bにおける個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータ21においては、最上層の圧電セラミック層21bのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック21aは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータ21はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。なお、後述のように、個別電極35に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極35に対応する加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する液体吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ21における各加圧室10に対向する部分は、各加圧室10および液体吐出口8に対応する個別の変位素子50に相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層体中には、図5に示されているような構造を単位構造とする変位素子50が加圧室10毎に、加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、個別電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータ21には変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって液体吐出口8から吐出される液体の量は5~7pLピコリットル程度である。本実施形態における圧電アクチュエータ21の液体吐出時の駆動方法の一例を、個別電極35に供給される駆動電圧駆動信号に関して説明する。個別電極35を共通電極34と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層21bは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層21aは、個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により個別電極35を共通電極34に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分活性部が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21bは加圧室10側へ凸となるように変形ユニモルフ変形する。本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極35を共通電極34より高い電位以下高電位と称すにしておき、吐出要求がある毎に個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位以下低電位と称すとし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、bが元の形状に戻り、加圧室10の容積が初期状態両電極の電位が異なる状態と比較して増加する。このとき、加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から加圧室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、bが加圧室10側へ凸となるように変形し、加圧室10の容積減少により加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極35に供給することになる。このパルス幅は、圧力波がしぼり12から吐出孔8まで伝播する時間長さであるALAcousticLengthが理想的である。これによると、加圧室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。以上のような液体吐出ヘッド2においては、変位素子50の変位を大きくするために個別電極35、より詳しくは、個別電極35のうち平面視した際に加圧室10と重なっている部分で、個別電極本体35aから引き出されている引出電極35を除いた個別電極本体35aの大きさを加圧室10より小さい所定の大きさにする。加圧室10の形状や、他の部分の流路の構造によって多少の違いが生じることもあるが、個別電極本体35aの面積を加圧室10の面積の6割程度にすることで、変位量を極大化し、ひいては、液滴の吐出速度を速くしたり、液適量を多くしたりできる。さらに、個別電極本体35aの下部の圧電アクチュエータ21と個別電極本体35aの周囲の圧電アクチュエータ21の構造を変えることにより、変位量を大きくできる。具体的には、個別電極本体35aの下の振動板の第1部位21a-1、共通電極34および圧電セラミック層の第1部位21b-1の厚さの合計が、個別電極本体35aの周囲の振動板の第2部位21a-2、共通電極34および圧電セラミック層の第2部位21b-2の厚さの合計よりも厚いことにより、変位素子50に対する周囲の拘束が小さくなるとともに、個別電極本体35aの下部の厚さの厚い部分が個別電極本体35aの下の振動板の第1部位21a-1および共通電極34の厚さの合計が、個別電極本体35aの周囲の振動板の第1部位21a-2および共通電極34の厚さの合計より厚くなっていることにより実現されているため、圧電変形する部分である圧電セラミック層の第1部位21b-1の位置が上方にずれたかたちになるので、その伸縮が効率よく変位に変換でき、変位量を大きくできる。振動板の第1部位21a-1および共通電極34の厚さは、どちらか一方を厚くしてもよいし、両方を厚くしてもよく、さらに、どちらか一方を薄くして、他方をその薄くした分よりも厚くしてもよい。個別電極35は、個別電極本体35aと引出電極35bとを含むが、個別電極本体35aの全体の下部の厚みが厚くなっていることにより、より変位量を大きくできる。厚みが厚くなっている部分は、個別電極本体35aより少し大きくすれば、個別電極本体35aの形成ばらつきに対する、変位量のばらつきを低減できる。引出電極35bの下部の厚みは、拘束を小さくし、変位を大きくする点では、他の周囲の部分と同様に薄くなっていることが好ましいが、外部配線との接続性をよくすために、個別電極本体35aの部分と同じ厚さにしてもよい。また、厚みの厚くなっている部位、すなわち個別電極本体35aの下の振動板の第1部位21a-1、共通電極34および圧電セラミック層の第1部位21b-1が、圧電アクチュエータ21を平面視した場合、加圧室10の内部に納まっていることにより、変位素子50が変位する際に、変形を阻害する加圧室10の壁面近くの厚みが薄くなるので、変位量をより大きくできる。ただし、前述のように引出電極35bの下部については、個別電極本体35aの下部と同じように厚くなっていてもよい。また、個別電極本体35aの下の圧電セラミック層の第1部位21b-1の厚さが、個別電極本体35aの下の振動板の第1部位21a-1の厚さ以下であることにより、変位素子50が屈曲変形する際に、圧電変形が屈曲を阻害しなくできる。これは、例えば、圧電セラミック層の第1部位21b-1が縮んで、変位素子50が下側に変位する際には、圧電アクチュエータ21の厚みのほぼ半分の位置を境にして、その下側では伸長応力が加わるが、その際、圧電セラミック層の第1部位21b-1がその下側に位置していると、圧電セラミック層の第1部位21b-1は縮もうとするので、その部分の圧電変形が変位を低くしてしまうという状態を避けることができるということである。さらに、これにより個別電極本体35aの下において、圧電変形する部分である圧電セラミック層の第1部位21b-1が、より上部に近い位置に位置するため、圧電変形がより変位に有効に利用されるので、変位をより大きくできる。同様に、個別電極本体35aの下の圧電セラミック層の第1部位21b-1の上面が、個別電極本体35aの周囲の圧電セラミック層の第2部位21b-2の上面によりも高い位置にあり、凸形状となっていることにより、圧電変形する部位である個別電極本体35aの下の圧電セラミック層の第1部位21b-1の周囲からの拘束をより小さくできるとともに、圧電変形の生じる部分の位置をより高くできるので、変位量をより大きくできる。続いて、本発明の他の液体吐出ヘッドの実施形態を図6を用いて説明する。図6に示す液体吐出ヘッドは、基本構造は図1~5で示したものと同じであるが、圧電アクチュエータの構造が異なっている。変わりがない部位については、同じ符号を付けて、説明を省略する。図6の圧電アクチュエータでは、個別電極本体35aの下の振動板221aの第1部位221a-1の下面が、個別電極本体35aの周囲の下の振動板221aの第2部位221a-2の下面よりも高い位置にある。別の言い方をすれば、個別電極本体35aの下の振動板221aの下面には、振動板凹部221cが設けられており、凹形状をしている。これにより、変位する際の伸縮を阻害する部分の量が減り、より変位を大きくできる。以上のような圧電アクチュエータ21は、例えば、以下に示す工程により作製することができる。まず、圧電セラミック層21bおよび振動板21aに用いる圧電材料をチタン酸ジルコン酸鉛PZTとし、PZT粉末とバインダと溶剤とを混合してスラリーを作成し、このスラリーから、成形方法としてロールコーター法を採用して、グリーンシートを作製する。焼成後に振動板21aとなるグリーンシートの、後で個別電極本体35aが形成される位置に、前述のスラリーをスクリーン印刷乾燥して、その部分の振動板の第1部位21a-1が厚くなるようにする。次に、共通電極34となる導体ペートを塗布し、乾燥させる。この際、後で個別電極本体35aが形成される位置に、導体ペーストをパターンニングして形成し、個別電極本体35aの下の共通電極34を厚くしてもよい。これに、焼成後に圧電セラミック層21bとなるグリーンシートを積層し、加圧して生積層体を作製する。グリーンシートを積層する替わりには前述のスラリーを塗布乾燥して形成してもよい。また、前述のスラリーをパターンニングして印刷乾燥し、表層電極本体35aの下の圧電セラミック層の第1部位21b-1の厚さを、周囲の圧電セラミック層の第2部位21b-2の厚さと変えてもよい。生積層体は、例えば1020°Cの温度で焼成し、その後、導体ペーストを印刷乾燥し、焼き付けて、個別電極35を形成する。図6に示した振動板凹部221cが設けられた圧電アクチュエータは、加圧積層時に、個別電極35aの下側の振動板の第1部位21a-1となる部分のグリーシートに凸形状の金型を当てて加圧したり、平面形状の金型で加圧積層した後に、そのような形状の金型で加圧したりして、変形させることで作製できる。シミュレーションにより圧電アクチュエータの各部の厚みを変えた場合の変位量を確認した。シミュレーションでは、表1および次に示す形状の2次元の圧電アクチュエータ、別の言い方をすれば無限に長い形状の圧電アクチュエータの変位量を調べた。なお、個別電極本体35aおよび共通電極34の厚さは、ゼロとしてシミュレーションを行なった。加圧室10の幅:760μm個別電極本体35aの幅:560μm以上のような基本構造のアクチュエータに対して、一定の電圧を加えた場合の変位量を比較した。なお、圧電セラミック層21bの上面の高さについては、振動板凹部221cが形成されている試料以外は、圧電アクチュエータの下面は平坦であり、振動板凹部221cが形成されている試料も、圧電アクチュエータの下面は、振動板凹部221c以外は平坦であるので、各部の厚さを加えれば分かる。例えば、試料No.5の圧電アクチュエータでは、個別電極本体35aの下の圧電セラミック層の第1部位21b-1の上面の位置は、2018=38μmであり、個別電極35aの周囲の圧電セラミック層の第2部位21b-2の上面の位置は、2010=30μmであるので、圧電セラミック層の第2部位21b-1の上面は、周囲より8μm高い凸形状をしている。本発明の範囲の試料である試料No.5~13では、個別電極本体35aの下の圧電セラミック層の第1部位21b-1、共通電極34、振動板の第1部位21a-1の厚さの合計が、個別電極本体35aの周囲の圧電セラミック層の第2部位21b-2、共通電極34、振動板の第2部位21a-2の厚さの合計より厚くなっており、共通電極34、振動板の第1部位21a-1の厚さの合計が、個別電極本体35aの周囲の共通電極34、振動板の第2部位21a-2の厚さの合計より厚くなっていることにより、変位量が大きくなった。また、個別電極本体35aの下の圧電セラミック層の第1部位21b-1の厚さが20μmである試料No.5~10において、振動板の第1部位21a-1の厚さが、圧電セラミック層の第1部位21b-1の厚さ以上である試料No.6~10、は変位量が354nm以上と大きくなった。さらに、個別電極35aの下の振動板321aを凹形状とした試料No.11の変位量は372nmと、凹形状としていない試料No.7の変位量の364nmより大きくなった。