以下の、シリコン製のロッドを準備する工程aと、鋸引き装置によって前記ロッドから規定の厚さの板状物を順次切り取る工程bと、その際、前記ロッドは、連続する2つの切断の間にそれぞれ90 ゚だけ又は180 ゚だけ軸上で回転され、こうして連続する4つの切断のうち、該4つの切断のそれぞれ2つが対になって、ロッドの半径方向に向かい合う側で行われるか、又は板状物の切り取りが、共通して同時に前記ロッドの半径方向に向かい合う側で行われ、切り取られた板状物を鋸引きして矩形の断面を有する複数の細棒とする工程cとを含む、シリコン細棒の製造方法。鋸引き装置は、バンドソーもしくはワイヤソーであるか、又は複数の切断工具を含む1つもしくは複数のシャフトである、請求項1に記載の方法。以下の、シリコン製のロッドを準備する工程aと、多数の垂直な切断を、第一の鋸引き装置によって前記ロッドの全長にわたって作成する工程bと、前記ロッドの長手方向において第二の鋸引き装置によって水平な切断を作成して、矩形の断面を有する複数の細棒を前記ロッドから分離する工程cとを含み、前記工程bにおいて、個々の切断部は互いに間隔が開けられており、その切断部の間隔と切断深さは、矩形の断面を有する作成されるべき細棒の所望の辺長に従って行われ、その際、前記工程b及びcは、順次、何度も続けて行われ、かつ前記ロッドは、相次いでの工程cによる2つの切断の間にそれぞれ90 ゚だけ又は180 ゚だけ軸上で回転され、こうして、相次いでの工程cによる4つの切断のうち、該4つの切断のそれぞれ2つが対になって、前記ロッドの半径方向に向かい合う側で行われる、シリコン細棒の製造方法。第一の鋸引き装置が、複数の鋸刃を備えた1つもしくは複数のシャフトを含む、請求項3に記載の方法。第一の鋸引き装置が、複数の液体中で誘導されるレーザを含む、請求項3に記載の方法。第二の鋸引き装置が、バンドソーもしくはワイヤソー又は複数の切断工具を含む1つもしくは複数のシャフトを含む、請求項3から5までのいずれか1項に記載の方法。鋸引きによってシリコンロッドから複数の細棒を作成するための装置であって、多数の切断工具及び該切断工具の冷却のための冷却液を含む第一のユニットと、加工されるべき工作物の切断隙間に追加の冷却液を導入するためのノズルを含む第二のユニットと、バンドソーもしくはワイヤソー又は複数の切断工具を有する1もしくは複数のシャフトを含む第三のユニットとを含む前記装置。第一のユニットにおける冷却が、スリット付の管を含み、そのスリット中に複数の切断工具が潜り込む、請求項7に記載の装置。第一のユニットの切断工具が、複数の鋸刃を含み、それらは、1つもしくは複数のシャフト上に設けられている、請求項7又は8に記載の装置。第一のユニットの切断工具が、複数の液体中で誘導されるレーザを含む、請求項7に記載の装置。従って、本発明の課題は、細棒の製造におけるシリコンロッド中の熱応力による前記欠点を、費用のかかる熱処理を用いる必要なく回避することにあった。前記課題は、以下の、シリコン製のロッドを準備する工程aと、鋸引き装置によって前記ロッドから規定の厚さの板状物を順次切り取る工程bと、その際、前記ロッドは、連続する2つの切断の間にそれぞれ90 ゚だけ又は180 ゚だけ軸上で回転され、こうして連続する4つの切断のうち、該4つの切断のそれぞれ2つが対になって、ロッドの半径方向に向かい合う側で行われるか、又は板状物の切り取りは、共通して同時に前記ロッドの半径方向に向かい合う側で行われ、切り取られた板状物を鋸引きして矩形の断面を有する複数の細棒とする工程cとを含む、シリコン細棒の製造方法によって解決される。前記課題は、また、以下の、シリコン製のロッドを準備する工程aと、多数の垂直な切断を、第一の鋸引き装置によって前記ロッドの全長にわたって作成する工程bと、前記ロッドの長手方向において第二の鋸引き装置によって水平な切断を作成して、矩形の断面を有する細棒を前記ロッドから分離する工程cとを含み、前記工程bにおいて、個々の切断部は互いに間隔が開けられており、その切断部の間隔と切断深さは、矩形の断面を有する作成されるべき細棒の所望の辺長に従って行われ、その際、前記工程b及びcは、順次、何度も続けて行われ、かつ前記ロッドは、相次いでの工程cによる2つの切断の間にそれぞれ90 ゚だけ又は180 ゚だけ軸上で回転され、こうして、相次いでの工程cによる4つの切断のうち、該4つの切断のそれぞれ2つが対になって、前記ロッドの半径方向に向かい合う側で行われる、シリコン細棒の製造方法によって解決される。2つの本発明による方法は、特に、100mmを上回る直径を有する単結晶シリコン又は多結晶シリコンからなるロッドのために適している。その際、前記ロッドは、かなりの熱応力を有するであろうが、前記の2つの方法によって細棒へと再加工することができる。好ましくは、かかるロッドは、本発明による方法で使用され、切断プロセスに供給される。前記2つの方法は、第一の本発明による方法においては、交互に板状物をロッドから切り取り、それを後に細棒へと鋸引きする一方で、第二の本発明による方法においては、まず互いに間隔が開けられた複数の溝がロッド中にもたらされ、こうして第一の本発明による方法での板状物の切り取りに相当する水平な切断によって既に完成した細棒が作成されるという点で異なっている。第一の本発明による方法の説明まずは、シリコン製のロッドを準備すべきである。好ましくは、それは、多結晶シリコン製のロッドであり、例えばシーメンス法での析出によって作成できるようなロッドである。このロッドから、順次、規定の厚さの板状物を分離する。好ましくは、この板状物の厚さは、矩形の、好ましくは正方形の断面を有する、作成されるべき細棒の辺長に相当する。本発明に本質的には、前記ロッドは、連続する2つの切断の間にそれぞれ90 ゚だけ又は180 ゚だけ軸上で回転され、こうして連続する4つの切断のうち、該4つの切断のそれぞれ2つが対になって、ロッドの半径方向に向かい合う側で行われるか、又は板状物の切り取りは、共通して同時に前記ロッドの半径方向に向かい合う側で行われる。最終的に細棒を作成するために、切り取られた板状物は相応して鋸引きされる。1つの板状物を複数の細棒へと鋸引きすることは、好ましくは共通して同時に1工程で行われる。好ましくは、まずは1つの板状物をロッドの1つの側面で切り取る。引き続き、該ロッドをその長軸に対して180 ゚だけ回転させる。次いで、更なる1つの板状物を半径方向に向かい合う側で切り取る。最後に、該ロッドを再び180 ゚だけ回転させ、そして後続の板状物を再び向かい合う半径方向の位置で切り取る。それは、最後の板状物まで問題なく続けることができ、熱応力への悪影響は確認できなかった。該ロッドは、この場合、前面の中央において取り付けられたままであってよい。選択的に、該ロッドは、応力に制限された影響を受けることなく、第1表に従って回転させることもできた。それぞれ、切断番号と、長軸に対する回転角を示している。第1表ここでは、第一の切断の後にロッドはまず180 ゚だけ回転され、そして切断される。次いで、ロッドの長軸に対して反対方向に90 ゚だけ回転を行い、引き続き切断3を行う。最後に、180 ゚だけの回転が行われ、こうして、出発位置に対して270 ゚の角度が得られる。切断4は、従ってロッドの切断3と向かい合う位置で行われる。それは、また切断1及び切断2についても当てはまる。好ましくは、ロッドの中心に又は正方形の断面に達するまで進める。次いで、0 ゚と180 ゚の角度の間で交替する。従って、それぞれ2つの相次いでの切断、例えば切断1と切断2、切断3と切断4、切断5と切断6などは、ロッドの側面上の向かい合う位置で行われることが好ましい。第2表は、更なる好ましい一実施形態を示している。ここで、切断1と切断3並びに切断2と切断4は、ロッドの向かい合う位置で行われる。第2表好ましくは、ロッドの中心に又は正方形の断面に達するまで進める。次いで、0 ゚と180 ゚の角度の間で交替する。更なる殊に好ましい一実施形態は、ロッドを、2つの平行の切断によって応力をかけずに分離することにある。この場合に、更なる1つの板状物を向かい合う側で同時に切断する。それは、第3表に示されている。第3表ここで、切断1と切断2の2つは、向かい合う側で平行に行われる。引き続き、ロッドを90 ゚だけ回転させる。それから切断3と切断4を同様に向かい合う側で行う。好ましくは、ロッドの中心に又は正方形の断面に達するまで進める。次いで、材料がもはや存在しなくなるまで、0 ゚と180 ゚の角度の間で交替する。第4表は、更なる好ましい一実施形態を示している。ここで、平行な切断はいつも同じ位置で行われる。第4表好ましくは、材料がもはや存在しなくなるまで、平行な切断を、0 ゚と180 ゚の角度で行う。第二の本発明による方法と本発明による装置の説明まずは、シリコン製のロッドを準備する。それは、好ましくは多結晶シリコン、例えばシーメンス法での析出によって製造された多結晶シリコンである。第一工程において、多数の垂直の切断を、ロッドの全長にわたって、第一の鋸引き装置を用いて作成する。その際、個々の切断部は互いに間隔が開けられている。切断部の間隔は、それが生成されるべき細棒の所望の辺長約5~10mmに相当するように選択される。その際に当然のように、切断工具の切断幅は考慮されるべきである。第一工程で作成される切断部の切断深さも、生成されるべき細棒の所望の辺長に従って選択される。生成されるべき細棒は、矩形の、好ましくは正方形の断面を有する。従って、第一工程において、事実上、生成されるべき細棒の断面が鋸引きされる。次いで、次の工程において、ロッドの長手方向での水平な切断は、第二の鋸引き装置によって行われる。それによって、最後には、矩形の断面を有する細棒が前記ロッドから分離される。本発明に本質的には、前記ロッドは、相次いでの2つの水平な切断の間にそれぞれ90 ゚だけ又は180 ゚だけ軸上で回転させ、こうして、相次いでの水平な4つの切断のうち、該4つの切断のそれぞれ2つが対になって、前記ロッドの半径方向に向かい合う側で行われる。前記方法の実施のための装置に関して本発明に実質的には、切り取られた板状物を同時にほどくのを可能にする手段が存在することである。本発明の課題は、また、鋸引きによって多結晶シリコンロッドから複数の細棒を作成するための装置であって、多数の切断工具及び該切断工具の冷却のための冷却液を含む第一のユニットと、加工されるべき工作物の切断隙間に追加の冷却液を導入するための複数のノズルを含む第二のユニットと、バンドソーもしくはワイヤソー又は複数の切断工具を有する1もしくは複数のシャフトを含む第三のユニットとを含む前記装置によって解決される。前記装置は、ロッドの長手方向に延び、その切断深さが切り取られる板状物の厚さよりもいくらか大きい多数の垂直な溝の平行の切断のための第一のユニットと、前記切断された溝へと好適な冷却液を供給するための第二のユニットと、ロッドの水平の長手方向切断Laengsschnittをもたらすための第三のユニットといった3つのユニットを含む。第一のユニットは、好ましくは複数の鋸刃を備えたシャフトである。同様に、切断工具として液体誘導式レーザを使用することが好ましい。第三のユニットは、複数の鋸刃を有する単軸ソー又は二軸ソーであってよい。かかる装置を用いて、本方法の実施は、横たわったロッドでも直立したロッドでも行うことができる。以下では、横たわったロッドでの装置の使用が考えられる。本発明を、図1~6をもとに説明する。