"液体を押圧して液滴状に吐出する液体吐出ヘッドであって、液体を押圧する第1部材と、前記第1部材に対向して配置され、前記第1部材とともに液体が貯留される貯留室を形成する第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間に配置されて前記貯留室の外周部を規定し、前記第1部材により前記第2部材側に押圧されて弾性変形されることによって前記貯留室の容積を増減させる弾性部材と、前記第1部材を前記第2部材に対して近接及び離隔する押圧方向に相対的に変位させることにより、前記弾性部材を弾性変形させる作動部材と、を備え、前記第1部材の前記押圧方向における前記貯留室の断面形状は、円形状又は楕円形状であり、前記押圧方向に直交する方向の前記弾性部材の内側の面における前記貯留室の一端側には、液体を前記第1部材側より前記貯留室に供給する供給孔が連通され、前記押圧方向に直交する方向の前記弾性部材の内側の面における前記貯留室の他端側には、前記貯留室内の液体を前記第2部材側に吐出する吐出孔が連通され、前記供給孔の中心軸線は、前記吐出孔の中心軸線からずれた位置に配置されている液体吐出ヘッド。前記供給孔は、前記第1部材の内部に設けられ、前記第1部材の内部には、さらに、前記供給孔に連通され、且つ、液体を前記供給孔に供給する供給流路が形成され、前記供給流路の直径は前記供給孔の直径よりも大きく構成され、前記供給流路の中心軸線は、前記供給孔の中心軸線上よりも前記吐出孔の中心軸線側に配置されている請求項1に記載の液体吐出ヘッド。前記供給孔及び前記供給流路の各々の中心軸線は、前記押圧方向に直交する方向に互いにずれて、且つ、前記第1部材の前記押圧方向に対して略平行に延びている請求項2に記載の液体吐出ヘッド。前記貯留室の厚みtは、0.05mm以上0.5mm以下である請求項1~3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。請求項1~4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドと、大気圧以上の圧力を有する液体を前記液体吐出ヘッドの供給孔に供給する供給部と、前記液体吐出ヘッドの作動部材の動作を制御する作動制御部と、を備える液体吐出装置。液体を押圧する第1部材と、前記第1部材に対向して配置され、前記第1部材とともに液体が貯留される貯留室を形成する第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間に配置されて前記貯留室の外周部を円形状又は楕円形状に規定し、前記第1部材により前記第2部材側に押圧される押圧方向に弾性変形されることによって前記貯留室の容積を増減させる弾性部材と、を備える液体吐出ヘッドを用いて、液体を押圧して液滴状に吐出する液体吐出方法であって、前記第1部材を前記第2部材に対して前記押圧方向の近接する方向に相対的に変位させることにより、前記弾性部材を弾性変形させて前記貯留室の容積を減少させ、前記貯留室内の液体を前記第2部材側に吐出する液体吐出ステップと、前記第1部材を前記第2部材に対して前記押圧方向の離隔する方向に相対的に変位させることにより、前記弾性部材の弾性変形を復元させて前記貯留室の容積を増大させ、液体を前記第1部材側より前記貯留室に供給する液体供給ステップと、を含み、前記液体供給ステップでは、前記押圧方向に直交する方向の前記弾性部材の内側の面における前記貯留室の一端側に連通された供給孔より液体を前記貯留室に供給し、前記液体吐出ステップでは、前記押圧方向に直交する方向の前記弾性部材の内側の面における前記貯留室の他端側に連通された吐出孔より前記貯留室内の液体を吐出し、前記液体供給ステップにおいて液体が供給される前記供給孔の中心軸線は、前記液体吐出ステップにおいて液体が吐出される前記吐出孔の中心軸線から前記押圧方向に直交する方向にずれた位置に配置されている液体吐出方法。近年、上述したインクジェット技術は、例えば半導体デバイスの製造過程及び発光ダイオードの製造過程にも応用されようとしている。半導体デバイスの製造過程では、高粘度の熱硬化性樹脂を吐出する必要がある。また、発光ダイオードの製造過程では、固形の蛍光体が分散された液体を吐出する必要がある。しかしながら、上述した従来の液体吐出ヘッド50を半導体デバイスの製造過程及び発光ダイオードの製造過程等に用いた場合には、次のような問題が生じる。従来の液体吐出ヘッド50では、貯留室503の容積が比較的大きく、これに伴って弾性部材504の厚みtが比較的大きくなる。これにより、弾性部材504が圧縮され弾性変形する際の圧力のかかる体積が増大し、その変形量撓み量が大きくなるので、貯留室503内の吐出される液体の圧力上昇にロスが生じ、液体の吐出能力特に、吐出速度が低下する。そのため、従来の液体吐出ヘッド50では、高粘度の液体を反応良く吐出させることが難しい即ち、高粘度の液体吐出能力が低下する。本発明は、上述した従来の課題を解決するものであり、その目的は、高粘度の液体を反応良く吐出することができ、且つ、貯留室内における液体の充填性を高めることができる液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出方法を提供することである。本発明に係る液体吐出ヘッドの一態様は、液体を押圧して液滴状に吐出する液体吐出ヘッドであって、液体を押圧する第1部材と、前記第1部材に対向して配置され、前記第1部材とともに液体が貯留される貯留室を形成する第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間に配置されて前記貯留室の外周部を規定し、前記第1部材により前記第2部材側に押圧されて弾性変形されることによって前記貯留室の容積を増減させる弾性部材と、前記第1部材を前記第2部材に対して近接及び離隔する押圧方向に相対的に変位させることにより、前記弾性部材を弾性変形させる作動部材と、を備え、前記第1部材の前記押圧方向における前記貯留室の断面形状は、円形状又は楕円形状であり、前記押圧方向に直交する方向の前記弾性部材の内側の面における前記貯留室の一端側には、液体を前記第1部材側より前記貯留室に供給する供給孔が連通され、前記押圧方向に直交する方向の前記弾性部材の内側の面における前記貯留室の他端側には、前記貯留室内の液体を前記第2部材側に吐出する吐出孔が連通され、前記供給孔の中心軸線は、前記吐出孔の中心軸線からずれた位置に配置されている。本態様によれば、供給孔は貯留室の一端側に連通され、吐出孔は貯留室の他端側に連通されている。さらに、供給孔の中心軸線は、吐出孔の中心軸線からずれた位置に配置されている。このような構成によって、供給孔より貯留室に供給された液体は、貯留室内の空気を吐出孔に押しやりながら、貯留室の一端側から他端側に向けて流れる。これにより、貯留室内に空気溜まりが生じるのが抑制され、貯留室内における液体の特に初期の充填性を高めることができる。従って、例えば弾性部材の厚みを縮小するなどして、貯留室の容積を小さくすることによって、高粘度の液体を反応良く吐出することができるとともに、貯留室内における液体の充填性を高めることができるという、2つの効果を同時に得ることができる。また、一般に、貯留室の容積が小さくなると、貯留室内を流れる液体に作用する抵抗が大きくなる傾向にある。本態様によれば、貯留室の断面形状が円形状又は楕円形状であるので、液体が貯留室の外周部に沿って澱みなく流れるようになり、また、貯留室内を液体が流れる際の流路の断面積が大きくなり、そのため貯留室内を流れる液体に作用する抵抗の大きさをより低減することができる。また、本発明に係る液体吐出ヘッドの一態様において、前記供給孔は、前記第1部材の内部に設けられ、前記第1部材の内部には、さらに、前記供給孔に連通され、且つ、液体を前記供給孔に供給する供給流路が形成され、前記供給流路の直径は前記供給孔の直径よりも大きく構成され、前記供給流路の中心軸線は、前記供給孔の中心軸線上よりも前記吐出孔の中心軸線側に配置されていることが好ましい。本態様によれば、第1部材の直径を小さく抑えながら、第1部材の内部に供給流路及び供給孔を形成することができる。また、本発明に係る液体吐出ヘッドの一態様において、前記供給孔及び前記供給流路の各々の中心軸線は、前記押圧方向に直交する方向に互いにずれて、且つ、前記第1部材の前記押圧方向に対して略平行に延びていることが好ましい。本態様によれば、供給流路の中心軸線に対して供給孔の中心軸線が平行にずれているため、供給孔の加工が容易であり、洗浄等のメンテナンス性を向上することができる。また、本発明に係る液体吐出ヘッドの一態様において、前記貯留室の厚みtは、0.05mm以上0.5mm以下であることが好ましい。本態様によれば、高粘度の液体を反応良く吐出することができる程度に、弾性部材を弾性変形させることができるとともに、貯留室の容積を小さくすることができる。貯留室の厚みtが0.05mmよりも小さい場合には、弾性部材を弾性変形させるのが困難となり、貯留室の厚みtが0.5mmよりも大きい場合には、弾性部材が弾性変形する際の厚み方向の変形量撓み量が増大し、貯留室の容積変化の応答性が低下する。本発明に係る液体吐出装置の一態様は、請求項1~4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドと、大気圧以上の圧力を有する液体を前記液体吐出ヘッドの供給孔に供給する供給部と、前記液体吐出ヘッドの作動部材の動作を制御する作動制御部と、を備える。本態様によれば、供給孔は貯留室の一端側に連通され、吐出孔は貯留室の他端側に連通されている。さらに、供給孔の中心軸線は、吐出孔の中心軸線からずれた位置に配置されている。このような構成によって、供給孔より貯留室に供給された液体は、貯留室内の空気を吐出孔に押しやりながら、貯留室の一端側から他端側に向けて流れる。これにより、貯留室内に空気溜まりが生じるのが抑制され、貯留室内における液体の特に初期の充填性を高めることができる。従って、例えば弾性部材の厚みを縮小するなどして、貯留室の容積を小さくすることによって、高粘度の液体を反応良く吐出することができるとともに、貯留室内における液体の充填性を高めることができるという、2つの効果を同時に得ることができる。また、一般に、貯留室の容積が小さくなると、貯留室内を流れる液体に作用する抵抗が大きくなる傾向にある。本態様によれば、貯留室の断面形状が円形状又は楕円形状であるので、液体が貯留室の外周部に沿って澱みなく流れるようになり、また、貯留室内を液体が流れる流路の断面積が大きくなり、そのため貯留室内を流れる液体に作用する抵抗の大きさをより低減することができる。本発明に係る液体吐出方法の一態様は、液体を押圧する第1部材と、前記第1部材に対向して配置され、前記第1部材とともに液体が貯留される貯留室を形成する第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間に配置されて前記貯留室の外周部を円形状又は楕円形状に規定し、前記第1部材により前記第2部材側に押圧される押圧方向に弾性変形されることによって前記貯留室の容積を増減させる弾性部材と、を備える液体吐出ヘッドを用いて、液体を押圧して液滴状に吐出する液体吐出方法であって、前記第1部材を前記第2部材に対して前記押圧方向の近接する方向に相対的に変位させることにより、前記弾性部材を弾性変形させて前記貯留室の容積を減少させ、前記貯留室内の液体を前記第2部材側に吐出する液体吐出ステップと、前記第1部材を前記第2部材に対して前記押圧方向の離隔する方向に相対的に変位させることにより、前記弾性部材の弾性変形を復元させて前記貯留室の容積を増大させ、液体を前記第1部材側より前記貯留室に供給する液体供給ステップと、を含み、前記液体供給ステップでは、前記押圧方向に直交する方向の前記弾性部材の内側の面における前記貯留室の一端側に連通された供給孔より液体を前記貯留室に供給し、前記液体吐出ステップでは、前記押圧方向に直交する方向の前記弾性部材の内側の面における前記貯留室の他端側に連通された吐出孔より前記貯留室内の液体を吐出し、前記液体供給ステップにおいて液体が供給される前記供給孔の中心軸線は、前記液体吐出ステップにおいて液体が吐出される前記吐出孔の中心軸線から前記押圧方向に直交する方向にずれた位置に配置されている。本態様によれば、液体供給ステップでは、貯留室の一端側に連通された供給孔より液体を貯留室に供給し、液体吐出ステップでは、貯留室の他端側に連通された吐出孔より貯留室内の液体を吐出する。さらに、液体供給ステップにおいて液体が供給される供給孔の中心軸線は、液体吐出ステップにおいて液体が吐出される吐出孔の中心軸線からずれた位置に配置されている。このような構成によって、供給孔より貯留室に供給された液体は、貯留室内の空気を吐出孔に押しやりながら、貯留室の一端側から他端側に向けて流れる。これにより、貯留室内に空気溜まりが生じるのが抑制され、貯留室内における液体の特に初期の充填性を高めることができる。従って、例えば弾性部材の厚みを縮小するなどして、貯留室の容積を小さくすることによって、高粘度の液体を反応良く吐出することができるとともに、貯留室内における液体の充填性を高めることができるという、2つの効果を同時に得ることができる。また、一般に、貯留室の容積が小さくなると、貯留室内を流れる液体に作用する抵抗が大きくなる傾向にある。本態様によれば、貯留室の断面形状が円形状又は楕円形状であるので、液体が貯留室の外周部に沿って澱みなく流れるようになり、また、貯留室内を液体が流れる流路の断面積が大きくなり、そのため貯留室内を流れる液体に作用する抵抗の大きさをより低減することができる。本発明によれば、高粘度の液体を反応良く吐出することができ、且つ、貯留室内における液体の充填性を高めることができる。以下、本発明の実施の形態に係る液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出方法について、図面を参照しながら説明する。本発明は、特許請求の範囲の記載に基づいて特定される。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、特許請求の範囲に記載されていない構成要素は、本発明の課題を達成するのに必ずしも必要ではないが、より好ましい形態を構成するものとして説明される。なお、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示したものではない。図1は、本発明の実施の形態に係る液体吐出装置の構成を示す斜視図である。図示の液体吐出装置10は、装置基台101と、装置基台101に対して主走査方向図1におけるX軸方向に往復移動自在に支持されたヘッド102と、装置基台101に対して副走査方向図1におけるY軸方向に往復移動自在に支持されたステージ103と、を備えている。装置基台101には、ヘッド移動機構104が支持されている。このヘッド移動機構104は、主走査方向に延びるキャリッジ軸105と、キャリッジ軸105に往復移動自在にガイドされるキャリッジ106と、を含んでいる。キャリッジ106には、ヘッド102が支持されている。例えばモータ等の駆動源図示せずによりキャリッジ106がキャリッジ軸105上を往復移動することによって、ヘッド102は、装置基台101に対して主走査方向に往復移動される。なお、ヘッド102には、例えばシリコン樹脂等の液体を押圧して液滴状に吐出する液体吐出ヘッド20後述するが1個又は複数個設けられている。また、装置基台101には、ステージ移動機構107が支持されている。このステージ移動機構107は、副走査方向に延び、且つ、間隔を置いて配置された一対のステージ軸108a,108bを含んでいる。一対のステージ軸108a,108bには、ステージ103が往復移動自在にガイドされている。ステージ103の上面には、例えば記録紙等の被吐出物109が支持されている。例えばモータ等の駆動源図示せずによりステージ103が一対のステージ軸108a,108b上を往復移動することによって、ステージ103は、装置基台101に対して副走査方向に往復移動される。本実施の形態の液体吐出装置10では、ヘッド102とステージ103上の被吐出物109とをそれぞれ装置基台101に対して相対的に移動させながら、ヘッド102から液体を被吐出物109に向けて液滴状に吐出する。これにより、被吐出物109上に液体がドット状に付着し、例えば被吐出物109上に所望のパターン又は薄膜等を形成することができる。次に、図2~図6を用いて、本実施の形態の液体吐出ヘッド20の構成について説明する。図2は、本発明の実施の形態に係る液体吐出ヘッドの外観を示す斜視図である。図3は、本発明の実施の形態に係る液体吐出ヘッドを分解した状態で示す斜視図である。図4は、図2中のA-A線により切断した液体吐出ヘッドの断面図である。図5Aは、作動部材が伸長状態に保持された状態での、液体吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図5Bは、作動部材が収縮状態に保持された状態での、液体吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図6は、図5A中のB-B線により切断した、吐出される液体が充填され押圧される貯留室の断面図である。図示の液体吐出ヘッド20は、ヘッド本体201を備えている。ヘッド本体201は、相互に組み合わされた保持体202及び蓄熱体203を有している。蓄熱体203は、上面が開口された箱形状に構成されている。蓄熱体203の底部には、第2部材206後述するの吐出孔214を外部に露出させるための開口部203aが設けられている。蓄熱体203は、熱伝導性の高い材質、例えば銅やステンレス等で構成されている。蓄熱体203の内面には、蓄熱体203を加熱するためのヒータ204が取り付けられている。ヒータ204は、例えば電気ヒータ及びセラミックスヒータ等で構成される。ヒータ204からの熱が蓄熱体203に伝達されることによって、蓄熱体203が所定の温度例えば、30~80°Cに保たれる。保持体202は、蓄熱体203の開口された上面を覆うようにして、蓄熱体203の上面に取り付けられている。この保持体202には、第1部材205後述するが挿入される開口部202aが設けられている。保持体202は、断熱性及び剛性を有する材質、例えばpeek等の樹脂で構成されている。上述したヘッド本体201には、第1部材205、第2部材206、弾性部材207及び作動部材208が設けられている。第1部材205はパイプ状に構成され、その内部には、液体が供給される供給流路209が形成されている。第2部材206側に位置する第1部材205の下端部側は、保持体202の開口部202aを通してヘッド本体201の内部に延びている。その下端部側に対して第2部材206側からより離れる側に位置する第1部材205の上端部側は、保持体202の開口部202aを通してヘッド本体201の外部に延びている。第1部材205の内部には、供給流路209の下流側端部と連通されたオリフィス状の供給孔210が形成されている。供給孔210の直径は、供給流路209の直径よりも小さく構成されている。供給流路209の中心軸線C0は、供給孔210の中心軸線C1と吐出孔214後述するの中心軸線C2との間に配置されている。供給流路209の中心軸線C0及び供給孔210の中心軸線C1は、押圧方向図5Aにおいて上下方向に直交する方向に互いにずれて、且つ、第1部材205の押圧方向に対して略平行に延びている。第1部材205の第2部材206側の下端部には、供給孔210と貯留室213後述するとを相互に接続する供給側凹部211が形成されている。供給側凹部211は、その断面積が貯留室213に向けて漸増するテーパ状に構成されている。供給孔210の中心軸線C1に対する第1部材205の供給側凹部211の傾斜角度は、例えば約45度である。なお、第1部材205は、シリコンゴムやフッ素ゴム等の弾性と耐薬品性とを有する部材で構成される弾性部材207に対して剛性の高い材質、例えばステンレス鋼で構成されている。第1部材205に関する寸法として、例えば、第1部材205の外形の直径は約5mm、オリフィス状の供給孔210の直径は約0.15mm、供給孔210の長さは約1mm、供給孔210に液体を供給する供給流路209の直径は約1.5mm、供給孔210と貯留室213とを相互に接続する供給側凹部211の直径の最大値は約0.5mmに構成されている。第2部材206は、第1部材205の下端面と対向するようにして、蓄熱体203の底部側に取り付けられている。第2部材206の上面には、例えば円形状の貯留室形成用凹部212が形成されている。第1部材205の下端面と第2部材206の貯留室形成用凹部212とが協働することによって、液体が貯留される貯留室213が形成される。第1部材205の下端面供給側凹部211を含むは、貯留室213の上面を規定し、第2部材206の貯留室形成用凹部212後述する吐出側凹部215を含むは、貯留室213の下面を規定する。第2部材206の内部には、貯留室213と連通された吐出孔214が形成されている。この吐出孔214は、蓄熱体203の開口部203aを通して外部に露出されている。第2部材206の上端部には、吐出孔214と貯留室213とを相互に接続する吐出側凹部215が形成されている。吐出側凹部215は、その断面積が貯留室213に向けて漸増するテーパ状に構成されている。吐出孔214の中心軸線C2に対する吐出側凹部215の傾斜角度は、例えば約45度である。なお、第2部材206は、吐出孔214に充填される液体に熱を伝達させるために熱伝導性の高い材質、例えばステンレス鋼やセラミック材で構成されている。第2部材206に関する寸法として、例えば、吐出孔214の直径は約0.15mm、吐出孔214の長さは0.03~0.5mm、吐出孔214と貯留室213とを相互に接続する吐出側凹部215の直径の最大値は約1mmに構成されている。また、貯留室213の直径は、第1部材205の供給側凹部211の直径の最大値及び第2部材206の吐出側凹部215の直径の最大値よりも大きく構成されている。弾性部材207は、薄い板状、且つ、XY平面視でリング状に構成されている。この弾性部材207は、第1部材205と第2部材206との間に配置されている。弾性部材207は、上述のように弾性変形可能な材料、例えばフッ素ゴム及びシリコンゴム等で構成される。この弾性部材207は、貯留室形成用凹部212の外周部に配置されることによって、押圧方向に直交する方向である貯留室213の外周部を規定する。図6に示すように、第1部材205が貯留室213に向かって押圧動作する押圧方向である第1部材205の変位方向図4において上下方向における貯留室213の断面形状は、円形状で構成されている。後述するように、弾性部材207が第1部材205により第2部材206側に押圧されて弾性変形された際には、弾性部材207の径方向外側への弾性変形が貯留室形成用凹部212の外周部によって規制される。なお、この弾性部材207は、第1部材205と第2部材206との合わせ面からの液漏れを防止するシール機能をも有している。弾性部材207の寸法として、例えば、厚みtは0.05mm~0.5mm、外径は5.2~7mm、内径は0.2~4.8mmに構成されている。供給孔210は、押圧方向に直交する方向の弾性部材207の内側の面における貯留室213の一端側に連通され、吐出孔214は、押圧方向に直交する方向の弾性部材207の内側の面における貯留室213の他端側に連通されている。吐出孔214の中心軸線C2は、供給孔210の中心軸線C1からずれた位置に配置されている。また、供給孔210の中心軸線C1及び吐出孔214の中心軸線C2はそれぞれ、第1部材205の押圧方向に対して略平行に延びている。供給孔210の中心軸線C1と吐出孔214の中心軸線C2との配置間隔は、例えば1.0~3.6mmに構成されている。作動部材208は、例えば積層型の圧電素子で構成されたアクチュエータである。作動部材208の中央部には貫通孔が設けられ、この貫通孔には第1部材205が挿入されている。これにより、作動部材208は、第1部材205の周囲を取り囲むようにして、ヘッド本体201の内部に配設されている。作動部材208の上端部は、第1部材205の外周面に接着剤等により固定されている。作動部材208の下端部は、第2部材206の上面に弾性部材207の一部を介して接触されている。作動部材208の上端部と保持体202の下面との間には皿ばね216が配置されており、この皿ばね216の付勢力によって、作動部材208の下端部が第2部材206の上面に押し当てられる。作動部材208の外周部には、電極217が配設されている。電極217に電圧が印加されたときには、図5Aに示すように、作動部材208は、Z軸方向に伸長される伸長状態に保持される。このとき、第1部材205は、第2部材206から離隔する押圧方向変位方向に変位される。電極217への電圧の印加が解除されたときには、図5Bに示すように、作動部材208は、Z軸方向に収縮される収縮状態に保持される。このとき、第1部材205は、押圧方向における第2部材206に近接する方向に変位収縮される。なお、作動部材208が伸長又は収縮した際の、第1部材205の押圧方向における変位量は、例えば7~15μmである。本実施の形態の液体吐出装置10は、さらに、液体吐出ヘッド20に液体を供給する供給部110と、作動部材208の動作を制御する作動制御部111と、を備えている。供給部110は、図4に示すように、シリンジ112及びプランジャ113を備えている。シリンジ112は筒状の容器であり、その内部には、プランジャ113が摺動自在に設けられている。このプランジャ113によって、シリンジ112の内部は、液体が充填された液体室114と、空気が密閉された圧力調整室115とに区画されている。液体室114には、液体供給源116より供給された液体が充填される。圧力調整室115には、エアーコンプレッサ117より供給された圧縮空気が充填される。シリンジ112の先端部は、接続チューブ図示せずを介して第1部材205の上端部に接続されている。これにより、シリンジ112の液体室114は、接続チューブを介して第1部材205の供給流路209と連通されている。なお、図4では、シリンジ112は、液体吐出ヘッド20より高い位置に配置されているが、液体吐出ヘッド20より低い位置に配置されていてもよい。これにより、供給部110からの液体吐出ヘッド20への液体の大気圧以上での加圧供給が容易となる。圧力調整室115に供給された圧縮空気の圧力によって、プランジャ113がシリンジ112内を液体室114側に摺動される。これにより、液体室114内の液体がプランジャ113によって加圧され、その圧力は大気圧よりも大きい一定の圧力となる。このように大気圧以上の圧力を有する液体は、第1部材205の供給流路209を通して貯留室213に供給される。なお、液体吐出ヘッド20の貯留室213及び吐出孔214等に供給部110が液体を加圧して供給するタイミングの制御は、図示しない供給制御部により行われる。また、液体吐出ヘッド20の吐出サイクルが比較的遅い場合には、上述の液体供給により貯留室213及び吐出孔214等に液体が充填されれば、吐出毎に、液体吐出ヘッド20への供給部110からの加圧した液体の供給は必ずしも行わなくてもよい。作動制御部111は、電極217に印加する電圧を制御する。液体吐出ヘッド20から液体を吐出するときには、作動制御部111は、電極217に印加された電圧を解除する。液体吐出ヘッド20から液体を吐出しないときには、作動制御部111は、電極217に電圧を印加する。従って、作動制御部111が所定のサイクルで電極217に対する電圧の印加と解除とを繰り返すことにより、液体吐出ヘッド20からの液体の吐出が上記所定のサイクルで行われる。次に、本実施の形態の液体吐出ヘッド20による液体吐出方法について説明する。図5Aに示すように、液体の吐出直前の状態では、貯留室213には液体が充填されている。この液体の圧力は、上述したように、供給部110によって大気圧以上に加圧されている。また、電極217には電圧が印加され、作動部材208は、皿ばね216の付勢力に抗して伸長状態に保持されている。この状態では、第1部材205は、第2部材206に対して押圧方向に離隔する方向に変位される。これにより、第1部材205による弾性部材207の押圧が解除されている。液体の吐出直前の状態では、さらに、ヒータ204によって蓄熱体203が所定の温度例えば、30~80°Cまで加熱される。蓄熱体203の熱は、第2部材206を介して吐出孔214の近傍に充填された液体に伝達される。これにより、吐出孔214の近傍に充填された液体の温度が上昇して所定の温度に保たれ、相対的に液体の粘度が低下されて液体の粘度が安定し、粘度を一定に保つことによりメニスカスの形状即ち、吐出孔214内の液体の表面によって形成される凸状又は凹状の曲面形状をよりスムーズに安定させることができる。なお、後述する液体吐出ステップ及び液体供給ステップにおいても、ヒータ204によって蓄熱体203の温度が上記所定の温度に保たれる。上述した状態より、液体吐出ヘッド20から液体を吐出する際には、作動制御部111は、電極217に電圧を印加する。図5Bに示すように、作動部材208が伸長状態から収縮状態に変位されることにより、第1部材205は、第2部材206に対して近接する押圧方向変位方向に変位例えば、7~15μmされる。この状態では、弾性部材207は、第1部材205により第2部材206側に押圧されて弾性変形され、第1部材205は、貯留室213内の液体を押圧する。これにより、貯留室213の容積が減少するので、貯留室213内の液体に圧力が加わり、貯留室213内の液体が吐出孔214より液滴状に吐出される液体吐出ステップ。本実施の形態では、例えば粘度が5~6Pasの液体であっても、吐出孔214より吐出される液体の量は20nl/滴とすることが可能となる。また、本実施の形態の構成により、表面張力63.1mN/mである充填性が低く吐出が難しいグリセリンであっても、良好に液体吐出ヘッド20の貯留室213に充填することができ、安定した吐出が可能となった。なお、液体吐出ヘッド20の各構成要素の寸法等を変更することによって、吐出孔214より吐出される液体の量を用途に応じて設定することができる。例えば、第1部材205の直径が約9mm、作動部材208が伸長又は収縮する際の第1部材205の変位量が10.5~22.5μmである場合には、吐出孔214より吐出される液体の量は200nl/滴とすることが可能となる。液体の吐出が完了した際には、作動制御部111によって電極217へ電圧が印加されることにより、図5Aに示すように、作動部材208が収縮状態から伸長状態に変位される。これにより、第1部材205が第2部材206に対して離隔する押圧方向変位方向に変位され、第1部材205による弾性部材207の押圧が解除される。弾性部材207の弾性変形が復元されることにより、貯留室213の容積が増大する。これにより、貯留室213内の液体に作用する圧力が低下し、供給流路209内の液体が供給孔210を通して貯留室213に供給される液体供給ステップ。上述した液体吐出ステップ及び液体供給ステップが交互に繰り返し行われることによって、液体吐出ヘッド20の吐出孔214から液体が被吐出物109に向けて液滴状に吐出される。これにより、液体が被吐出物109上にドット状に付着し、例えば被吐出物109上に所望のパターン又は薄膜等を形成することができる。本実施の形態の液体吐出ヘッド20では、次のような効果が得られる。弾性部材207の厚みtを縮小するとともに、弾性部材207の押圧方向に直交する方向の内径を増大することによって、貯留室213の容積を抑制することができる。これにより、弾性部材207を反応良く弾性変形させることができ、高粘度の液体を反応良く吐出することができる。さらに、本実施の形態の液体吐出ヘッド20では、供給孔210は押圧方向に直交する方向の貯留室213の一端側に連通され、吐出孔214は押圧方向に直交する方向の貯留室213の他端側に連通されている。供給孔210の中心軸線は、吐出孔214の中心軸線からずれた位置に配置されている。このような構成によって、供給孔210より貯留室213に供給された液体は、図6に示すように、押圧方向に直交する方向の貯留室213の一端側から他端側に向けて流れる。これにより、液体は、貯留室213内の空気を吐出孔214に押しやりながら流れるので、貯留室213内に空気溜まりが生じるのが抑制され、効率的に貯留室213内における液体の充填性を高めることができる。従って、本実施の形態の液体吐出ヘッド20では、高粘度の液体を反応良く吐出することができるとともに、貯留室213内における液体の充填性を高めることができるという、2つの効果を同時に得ることができる。また、貯留室213の押圧方向の断面形状が円形状等であり、貯留室213内を液体が流れる断面積を大きくすることができるので、図6において実線で示すように、液体が貯留室213の外周部に沿って澱みなく流れるようになる。これにより、貯留室213内を流れる液体に作用する抵抗の大きさを低減し、貯留室213や吐出孔214への充填性をより向上させることができる。比較例ここで、上述した実施の形態の液体吐出装置10の優れた効果について理解を容易にするために、以下のような2つの比較例について説明する。図8は、比較例1による液体吐出ヘッドの構成の一部を示す断面図である。図8において、図7に示す液体吐出装置50と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。図示の液体吐出ヘッド50Aでは、図7に示す液体吐出ヘッド50に比べて、弾性部材504Aの厚みが小さく構成されるとともに、弾性部材504Aの内径が小さく構成されている。これにより、貯留室503Aの容積を小さくすることができる。しかしながら、このような構成では、弾性部材504Aの押圧方向に直交する方向である貯留室503Aの内側方向への変形量が小さくなり、液体の圧力上昇が低下する。そのため、この比較例1による液体吐出ヘッド50Aでは、高粘度の液体を反応良く吐出することが難しい。図9は、比較例2による液体吐出ヘッドの構成の一部を示す断面図である。図9において、図7に示す液体吐出装置50と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。図示の液体吐出ヘッド50Bでは、図7に示す液体吐出ヘッド50に比べて、弾性部材504Bの厚みが小さく構成されるとともに、弾性部材504Bの内径が増大されている。これにより、第1部材501Aによって押圧されることによる貯留室503Bの容積を抑制し、貯留室503Bの受圧面面積及び弾性部材504Bによる内側方向への変形容積を大きくすることができ、液体の圧力上昇を大きくすることができる。しかしながら、このような構成では、貯留室503Bの形状は、供給孔505の中心軸線C1を中心として円形状等に大きく広がった形状となるため、供給孔505より液体を貯留室503B内に供給する際に、空気溜まりや液体のよどみ領域が生じやすくなり、効率的に液体を貯留室503Bの全域に充填させることが困難となる。以上、本発明の液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。この実施の形態に対して当業者が思い付く変形を施して得られる形態も本発明に含まれる。上記実施の形態では、第1部材205の押圧方向変位方向における貯留室213の断面形状を円形状に構成したが、これを楕円形状に構成することもできる。貯留室213の断面形状を楕円形状に構成した場合であっても、上述と同様の効果を得ることができる。なお、本明細書において、円形状には、真円を僅かに変形した円が含まれ、楕円形状には、長円や、押圧方向に直交する方向の貯留室213の一端側及び他端側の一部を円弧状として一端側と他端側とを押圧方向における貯留室213の厚みに比べて大きい流路で継いだ長円状の形状長穴状、ひし形、ひとみ形状等が含まれる。また、上記実施の形態では、供給孔210は第1部材205の内部に設けられ、吐出孔214は第2部材206の内部に設けられているが、供給孔210を第1部材205の外部に設け、吐出孔214を第2部材206の外部に設けることもできる。"