"ベースと、可動部と、前記ベースと前記可動部とを連結する複数のリンク部と、前記複数のリンク部を駆動する複数のアクチュエータと、を備えるパラレルリンクロボットにおいて、前記複数のアクチュエータのそれぞれは、前記ベースに所定の軸線の回りを回転可能に支持されると共に、本体部及び前記本体部に対して直線運動する軸部を有する直動アクチュエータであり、前記複数のリンク部のそれぞれは、前記ベースに所定の軸線の回りを回転可能に支持されると共に、前記直動アクチュエータに連結される駆動リンクと、前記駆動リンクと前記可動部とを連結する受動リンクと、を備え、前記直動アクチュエータが伸縮することによって、前記駆動リンクが前記ベースに対して前記駆動リンクの前記所定の軸線の回りを回転するパラレルリンクロボット。前記駆動リンクの前記所定の軸線から前記直動アクチュエータと前記駆動リンクとの連結位置までの長さが、前記駆動リンクの前記所定の軸線から前記駆動リンクと前記受動リンクとの連結位置までの長さよりも短いことを特徴とする請求項1に記載のパラレルリンクロボット。前記複数の直動アクチュエータの中心線が、前記ベースに放射状にかつ周方向に均等間隔を空けて配置され、前記複数の駆動リンクそれぞれの中心線が、前記複数の直動アクチュエータそれぞれの中心線と同一の直線上に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のパラレルリンクロボット。前記ベースに3つの直動アクチュエータ及び3つのリンク部が配列され、前記3つのリンク部それぞれの駆動リンクは、前記ベースに対して前記駆動リンクの前記所定の軸線の回りを同期して回転するように、前記直動アクチュエータに回転軸を介して回転可能に連結される一対の分離リンクを備え、前記3つのリンク部それぞれの前記受動リンクは、リンク長さが等しい一対の平行リンクを備え、各平行リンクの一端が各分離リンクにジョイントを介して連結され、各平行リンクの他端が前記可動部にジョイントを介して連結されることを特徴とする請求項3に記載にパラレルリンクロボット。しかし、上記の伸縮型のパラレルリンクロボット、回転型のパラレルリンクロボット、及び直動型のパラレルリンクロボットには、以下の利点及び欠点がある。伸縮型のパラレルリンクロボットにおいては、ベースと可動部との間の全ての伸縮リンクが並列なので、高出力が可能であり、パラレルリンクロボットの剛性が高いという利点がある。しかし、可動部の可動範囲が小さいという欠点がある。回転型のパラレルリンクロボットにおいては、モータの出力軸に結合されたアーム及びリンクが可動部を移動させるので、可動部の可動範囲を広くすることができるという利点がある。しかし、可動部に外力が作用したときにモータが耐える力が小さく、パラレルリンクロボットの剛性が低いという欠点がある。パラレルリンクロボットの剛性を高くするために、モータを大型化すると、パラレルリンクロボットの大型化を招く。直動型のアクチュエータにおいては、可動部を高精度に位置決めできるという利点がある。しかし、可動部に作用する外力が全て直動アクチュエータに作用するので、直動アクチュエータが大きな剛性を必要とし、直動アクチュエータの大型化、ひいてはパラレルリンクロボットの大型化を招くという欠点がある。また、剛性を確保するためにリニアガイドを必要とするという欠点もある。本発明は、上記従来のパラレルリンクロボットの欠点を解消するもので、剛性を高くすることができ、かつ小型化を実現できるパラレルリンクロボットを提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明の一態様は、ベースと、可動部と、前記ベースと前記可動部とを連結する複数のリンク部と、前記複数のリンク部を駆動する複数のアクチュエータと、を備えるパラレルリンクロボットにおいて、前記複数のアクチュエータのそれぞれは、前記ベースに所定の軸線の回りを回転可能に支持されると共に、本体部及び前記本体部に対して直線運動する軸部を有する直動アクチュエータであり、前記複数のリンクのそれぞれは、前記ベースに所定の軸線の回りを回転可能に支持されると共に、前記直動アクチュエータに連結される駆動リンクと、前記駆動リンクと前記可動部とを連結する受動リンクと、を備え、前記直動アクチュエータが伸縮することによって、前記駆動リンクが前記ベースに対して前記駆動リンクの前記所定の軸線の回りを回転するパラレルリンクロボットである。本発明の一態様によれば、直動アクチュエータ及び駆動リンクがベースに所定の軸線を回転可能に支持されており、直動アクチュエータを伸縮させることによって、駆動リンクが所定の軸線の回りに回転する。このため、可動部に作用する外力は直動アクチュエータの中心線方向の力に変換されて直動アクチュエータに作用する。直動アクチュエータが、可動部に作用する大きな外力に耐えることができるので、パラレルリンクロボットの剛性が向上する。また、駆動リンクがベースに所定の軸線の回りを回転可能に支持されるので、可動部にかかる外力の一部をベースで受けることができる。可動部にかかる外力の一部をベースで受ける分、直動アクチュエータに作用する外力が減り、直動アクチュエータの小型化、ひいてはパラレルリンクロボット全体としての小型化が図れる。以下添付図面に基づいて、本発明の一実施形態におけるパラレルリンクロボットを説明する。図1は、実施形態のパラレルリンクロボットの斜視図を示し、図2は平面図を示し、図3は側面図を示す。図1に示すように、本実施形態のパラレルリンクロボットは、ベース1と、可動部2と、ベース1と可動部2とを連結する3つのリンク部5と、3つのリンク部5を駆動する3つの直動アクチュエータ6を備える。可動部2は3自由度を持つ。ベース1はパラレルリンクロボットの図示しないハウジングに収容される。3つの直動アクチュエータ6を動作させることによって、可動部2がX,Y,Z方向にベース1に対して平行に並進運動を行う。並進運動とは、可動部2に固定された仮想的なすべての線が、そのもともとの方向に対して平行を保つような可動部2の動きをいう。なお、後述するように直動アクチュエータ6及びリンク部5の個数を6つにすることによって、可動部2に6自由度を持たせることも可能である。可動部2の下面には所定の作業を行うエンドエフェクタ図示せずが取り付けられる。エンドエフェクタを把持部、工具等にすることによって、例えば電子部品の基板への実装、機械部品の組み立て、機械部品の加工、製品の搬送箱詰め等の各種の作業が可能になる。ベース1は例えば平面六角形の板状に形成される。ベース1には、3つの直動アクチュエータ6が放射状にかつ周方向に120度の均等間隔を空けて配置される。3つの直動アクチュエータ6の中心線は中心角120度でベース1の中心で交わる図2参照。各直動アクチュエータ6は、ベース1上に所定の軸線としての回転軸9a,9bの軸線の回りに回転可能に支持される。ベース1には、各直動アクチュエータ6に対応して平行な一対の受板11a,11bが結合される。一対の受板11a,11bにはベアリングを介して直動アクチュエータ6の回転軸9a,9bが回転可能に支持される。3つの直動アクチュエータ6の3つの軸線A1はベース1の上面と平行な同一平面内に存在する。パラレルリンクロボットの上から見て、直動アクチュエータ6の回転軸9a,9bの軸線A1は直動アクチュエータ6の中心線C1に直交する図2参照。ベース1の三辺からはリンク支持梁1aが片持ち状に突出する。リンク支持梁1aの先端には、リンク部5の駆動リンク3が回転可能に支持される。リンク支持梁1aの先端には、回転軸13が結合される。回転軸13はリンク支持梁1aの先端部から左右に水平方向に突出する。駆動リンク3は所定の軸線としての回転軸13の軸線A2の回りを回転する。パラレルリンクロボットを上から見て、回転軸13の軸線A2は直動アクチュエータ6の中心線C1と直交する図2参照。図1に示すように、各直動アクチュエータ6は、略直方体の本体部8と、本体部8に対して中心線方向に直線運動する軸部7と、を備える。本体部8の側面に上記回転軸9a,9bが結合される。本体部8の内部には、軸部7の外周面に形成されるねじ溝に螺合するボールねじナット、及びボールねじナットを軸部7の中心線の回りに回転駆動するモータとして例えばステッピングモータが組み込まれる。ステッピングモータは、与えられたパルス数に比例して、一定の角度だけ回転する機能をもったモータである。ステッピングモータがボールねじナットを回転させると、軸部7が中心線方向に直線運動する。ステッピングモータは軸部7の直線運動量を制御するドライバに接続される。軸部7の先端には、駆動リンク3に連結される直動アクチュエータ6の連結軸15を保持するホルダ7aが取り付けられる。3つの直動アクチュエータ6の構造は同一であるので、同一の符号を附してその説明を省略する。ベース1には3つのリンク部5が放射状にかつ周方向に120度の均等間隔を空けて配置される。3つのリンク部5の駆動リンク3の中心線C2は、3つの直動アクチュエータ6の中心線C1と同一の直線上に配置される図2参照。図1に示すように、各リンク部5は、直動アクチュエータ6に連結される駆動リンク3と、駆動リンク3と可動部2とを連結する受動リンク4と、を備える。駆動リンク3のリンク長さは受動リンク4のリンク長さよりも短い。駆動リンク3は、互いに分離する一対の分離リンク3a,3bを備える。受動リンク4は、リンク長さが等しい平行な一対の平行リンク4a,4bを備える。各分離リンク3a,3bに各平行リンク4a,4bが連結される。一対の分離リンク3a,3bによってベース1のリンク支持梁1aが挟まれるように、一対の分離リンクの一方3aがリンク支持梁1aから左右に突出する回転軸の一方9aに回転可能に支持され、一対の分離リンクの他方3bがリンク支持梁1aから左右に突出する回転軸の他方9bに回転可能に支持される。図3に示すように、パラレルリンクロボットの側方から見て、分離リンク3a,3bはL字形に形成され、短辺側の一片3a1,3b1とこの一片3a1,3b1に直交する長辺側の一片3a2,3b2を備える図3参照。分離リンク3a,3bの短辺側の一片3a1,3b1には、直動アクチュエータ6の軸部7が回転可能に連結される。分離リンク3a,3bの長辺側の一片3a2,3b2には、平行リンク4a,4bが回転可能に連結される。図1に示すように、分離リンク3a,3bには、ベアリングを介して回転軸13が挿入される。分離リンク3a,3bは回転軸13の軸線A2の回りのみを回転可能であり、ベース1に対して鉛直な仮想平面内を揺動する。また、分離リンク3a,3bには、ベアリングを介して直動アクチュエータ6の連結軸15が挿入される。一対の分離リンク3a,3bはベース1に対して鉛直な仮想平面内を同期して揺動可能となっている。分離リンク3a,3bには、ボールジョイントとしての球面軸受21a,21bを介して平行リンク4a,4bが回転可能に連結される。球面軸受は3自由度を持ち、平行リンク4a,4bは分離リンク3a,3bに対してX,Y,Z軸の回りに回転可能である。なお、球面軸受の替わりにカルダン型のジョイントを用いてもよい。平行リンク4a,4bの下端部にはジョイントとしての球面軸受22a,22bを介して可動部2が連結される。球面軸受22a,22bは3自由度を持ち、平行リンク4a,4bは可動部2に対してX,Y,Z軸の回りに回転可能である。球面軸受22a,22bの替わりにカルダン型のジョイントを用いてもよい。一対の平行リンク4a,4bは三角形の可動部2の一辺に連結される。一対の平行リンク4a,4bの長さは互いに等しく、一対の平行リンク4a,4b、球面軸受21a,21b、及び球面軸受22a,22bによって平行四辺形が形成される。可動部2が移動しても平行四辺形は維持されるので、可動部2はベース1に対してX,YZ軸方向に並進運動する。直動アクチュエータ6を伸縮させすなわち軸部7を往復運動させ、軸部7で駆動リンク3を押し引きすると、駆動リンク3が回転軸13の回りを回転する。駆動リンク3が回転軸13の回りを回転すると、駆動リンク3に受動リンク4を介して連結される可動部2がベース1に対してX,YZ軸方向に並進運動する。図4には、図3の可動部を水平方向に移動させた状態を示す。3つの直動アクチュエータ6のステッピングモータを制御するドライバは、一つのマスタードライバと二つのスレーブドライバとに分類される。上位コントローラは、マスタードライバのみに指令を送信する。マスタードライバは、上位コントローラから送信された指令を受信し、スレーブドライバに送信する。スレーブドライバは、マスタードライバから送信された指令を受信する。マスタードライバ及びスレーブドライバは、指令を実行し、3つのステッピングモータ間での同期制御を実現する。なお、マスタースレーブ制御を行うことなく、上位コントローラから3つのドライバに指令を送信するようにしてもよい。可動部2には、必要に応じてエンドエフェクタの姿勢を変化させる姿勢制御機構が設けられる。姿勢制御機構は例えばエンドエフェクタをX,Y,Z軸の少なくとも一つの回りに回転させる回転ユニットを備え、例えば把持ユニットからなるエンドエフェクタの姿勢を変化させる。回転ユニットや把持ユニットを制御するドライバは可動部2に搭載するのが望ましい。上位コントローラからの指令を無線通信を介してドライバに通信すれば、可動部2上のドライバへの配線が不要になる。本実施形態のパラレルリンクロボットによれば、以下の効果を奏する。図1に示すように、直動アクチュエータ6及び駆動リンク3がベース1に回転軸9a,9b,13の回りを回転可能に支持されており、直動アクチュエータ6を伸縮させることによって、駆動リンク3が回転軸13の回りに回転するようになっている。このため、可動部2に作用する外力は直動アクチュエータ6の中心線方向の力に変換されて直動アクチュエータ6に作用する。直動アクチュエータ6には減速比の高いボールねじが組み込まれるので、直動アクチュエータ6は可動部2に作用する大きな外力に耐えることができる。したがって、パラレルリンクロボットの剛性が向上する。また、駆動リンク3がベース1に回転軸13の回りを回転可能に支持されるので、可動部2にかかる外力の一部をベース1で受けることができる。可動部2にかかる外力の一部をベース1で受ける分、直動アクチュエータ6に作用する外力が減り、直動アクチュエータ6の小型化、ひいてはパラレルリンクロボット全体としての小型化が図れる。図2に示すように、3つの直動アクチュエータ6の中心線C1が、ベース1に放射状にかつ周方向に均等間隔を空けて配置され、かつ3つの駆動リンク3それぞれの中心線C2が3つの直動アクチュエータ6それぞれの中心線C1と同一の直線上に配置されるので、直動アクチュエータ6に無理な力が働くのを防止できる。図3に示すように、駆動リンク3の回転軸13から直動アクチュエータ6の連結軸15までの長さが回転軸13から受動リンク4の球面軸受21a,21bまでの長さよりも短いので、直動アクチュエータ6のストロークが小さくても、受動リンク4の移動量、すなわち可動部2の可動範囲を広くすることができる。図1に示すように、駆動リンク3を回転軸13の回りを同期して回転する一対の分離リンク3a,3bから構成することで、駆動リンク3に球面軸受21a,21bを介して一対の平行リンク4a,4bを連結するのが容易になる。なお、本発明は上記実施形態のパラレルリンクロボットに具現化されるのに限られることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲でさまざまな実施形態に変更可能である。例えば、上記実施形態では、ベースに3つの直動アクチュエータ及び3つのリンク部を設け、可動部を3軸並進運動させているが、ベースに6つの直動アクチュエータ及び3つのリンク部を設け、可動部を3軸並進運動かつ可動部を3軸回りに回転させてもよい。上記実施形態では、駆動リンクを互いに分離された一対の分離リンクから構成したが、一対の分離リンクを連結棒等で結合させてもよい。"