電気絶縁部材を介して測定対象物との接触部を備え、前記接触部に作用する荷重を測定する荷重センサを有する荷重測定システムであって、前記荷重センサは、電極が形成された一対の基板と、前記一対の基板の電極間に挟持され、電圧を印加した状態で荷重を負荷することにより電気抵抗値が変化する特性及び1000°Cオーダーの高温環境下で耐熱性を兼ね備えた導電性複合材料からなる導電性部材と、を有することを特徴とする荷重測定システム。前記導電性部材は、グラッシーカーボンを含む導電性複合材料からなることを特徴とする請求項1記載の荷重測定システム。前記一対の基板は、一方又は双方の基板上に形成された電極が、複数に分割されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の荷重測定システム。前記一対の基板のうち、一方又は双方の基板が、前記電極と一体的に構成されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の荷重測定システム。前記一対の基板のうち、一方又は双方の基板が、前記導電性部材により電極を兼ねて一体的に形成された構成に置き換えられることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の荷重測定システム。前記電極が形成された一対の基板及び前記導電性部材は、いずれも生体適合性材料から構成されることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の荷重測定システム。前記電極が形成された一対の基板は生体適合性材料のチタンTiからなり、前記導電性部材は生体適合性材料のグラッシーカーボンGCからなることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の荷重測定システム。前記荷重センサに任意荷重Pが負荷されるときに、前記複数に分割された各電極ゾーンの電圧変化の検出値から前記任意荷重Pの水平成分であるせん断荷重Ptと垂直成分である垂直荷重Pnに分離して演算処理を行う演算処理システムの一部又は全体が、前記荷重センサの構成の一部として荷重センサの内部又は/及び外部に設けられることを特徴とする請求項3乃至請求項7のいずれか1項記載の荷重測定システム。しかし、上記特許文献に記載の従来の荷重センサは、いずれも耐熱性が一つの弱点となっている。例えば、一般的な歪ゲージを用いたロードセルなどのセンサは使用温度範囲の上限値が40°Cから60°C程度であり、それよりも高い温度条件下での荷重測定が必要なケースが増えつつある。特に近年、MEMSMicroElectroMechanicalSystems:微小電気機械システム技術の発達に伴い、μm単位の高度な微細加工技術として熱ナノインプリントが注目されており、熱ナノインプリントに用いるモールドに加わる荷重分布を測定しようとする場合などには、測定対象物は300°C乃至1500°C程度まで加熱されるため、前記従来の荷重センサでは耐えられないという問題がある。また、特許文献7、8記載の三軸方向荷重を測定する荷重センサは、荷重方向の成分毎に、一軸荷重センサを配置する構成になっているため、装置が複雑化、大型化する傾向があり、例えば、対象物が微小、脆弱な物である場合や、荷重センサを薄型化する必要がある場合に、その適用が困難となる等の問題もある。特許文献9記載のセンサシート201は、図24に示すように、帯状であり且つ互いに離隔するように配置された複数の第1電極211が配置された基板210と、基板220の上方に配置された支持部材230と、支持部材230及びカバー層231よりも硬い材質からなる複数の円柱形状のコア部材240と、外部から加えられる力を受ける平坦な凹凸のないカバー層231と、基板210の上面に形成された帯状であり且つ互いに離隔すると共に平面視において複数の第1電極211と交差するように配置されており、外部から加えられる力に伴って第1電極211に近接する方向に変位可能である複数の第2電極221と、複数の第1電極211と複数の第2電極221とをそれぞれ覆うように配置された複数の感圧抵抗体212、222と、を備えており、部品点数が多く煩雑な構成となっている。このように、部品点数が多く積層された煩雑な構成のセンサシート201は、前記耐熱性に乏しいという問題点の他に、小型軽量化が難しいとともに製作コストも高くなるという問題点がある。特許文献10記載の柔軟接触型荷重測定センサは、接触体側に配置される弾性体及びスキン層からなる層と、物体側に配置される荷重測定層とを具備し、荷重測定層は、可撓性を有する弾性体側の基板と、それから間隔を隔てて対向配置した物体側の基板と、弾性体側の基板の下面に形成されマイクロスイッチをオン状態とする電極と、電極と対向する基板の上面に形成されたマイクロスイッチSの端子306と、からなり、接触体から物体に作用する接触荷重に応じてオン状態となるマイクロスイッチSの位置に基づいて、前記接触荷重の大きさ及びその荷重方向を検出するユニットとなるセンサセルが、図示しないが、複数連接された、部品点数が多く煩雑な構成となっている。このように、部品点数が多く積層された煩雑な構成の柔軟接触型荷重測定センサは、小型軽量化が難しいとともに製作コストも高くなるという問題点がある。さらに、柔軟接触型荷重測定センサは、荷重に応じてマイクロスイッチSがON-OFF反応することを利用して荷重を検出するように構成しているため、荷重分解能があまりよくはなく荷重測定値が階段状になるとともに、マイクロスイッチS用の配線が煩雑になる等々の問題点がある。さらに、特許文献3に記載の触覚センサは、硬質材料で形成され、変位可能な接触子と、この接触子を表面に設け、接触子の変位を検出ポイントで検出して出力する感圧素子とを備え、感圧素子は、シート状に形成した感圧導電シートと、この感圧導電シートの表面に設けた複数の第一電極と、第一電極と感圧導電シートを介して交差するように感圧導電シートの裏面に設けた複数の第二電極とを有するユニットであるセンサセルが、図示しないが、複数連接された、特に交叉する複数の第一電極及び第二電極の部品点数が多く煩雑な構成となっている。このような構成の触覚センサは、前記耐熱性に乏しいという問題点の他に、各センサセルが互いに異なる複数の方向に対応した多数の櫛型又は平行電極複数の交叉する第1電極及び第2電極を有しているので、小型化が難しいとともに、特に多数のセンサセルが近接するように配置した場合には、多数の第1電極及び第2電極の全てからリード線を引き出すことは非常に困難である。また、各センサセルの構成が煩雑であり、センサセルの密度を高める場合の効率が非常に悪い。さらに、各センサセルで検出した荷重をその大きさに比例した電圧に変換する場合に、全ての接触抵抗に対して1:1の比率で抵抗を電圧に変換するR/V変換回路が必要となり、変換回路が大がかりなものとなり、小型軽量化が難しいとともに製作コストも高くなる等々の問題点がある。本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、簡潔な小形軽量構造で設計の自由度を有し、例えば熱ナノインプリントなどにおける高温環境を含む様々な環境下で安定して三軸荷重あるいは荷重分布を測定することが可能な荷重センサを有する荷重測定システムを提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の荷重測定システムは、電気絶縁部材を介して測定対象物との接触部を備え、前記接触部に作用する荷重を測定する荷重センサを有する荷重測定システムであって、前記荷重センサは、電極が形成された一対の基板と、前記一対の基板の電極間に挟持され、電圧を印加した状態で荷重を負荷することにより電気抵抗値が変化する特性及び1000°Cオーダーの高温環境下で耐熱性を兼ね備えた導電性複合材料からなる導電性部材と、を有することを特徴とする。また、前記導電性部材は、グラッシーカーボンを含む導電性複合材料からなることを特徴とする。また、前記一対の基板は、一方又は双方の基板上に形成された電極が、複数に分割されていることを特徴とする。また、前記一対の基板のうち、一方又は双方の基板が、前記電極と一体的に構成されることを特徴とする。また、前記一対の基板のうち、一方又は双方の基板が、前記導電性部材により電極を兼ねて一体的に形成された構成に置き換えられることを特徴とする。また、前記電極が形成された一対の基板及び前記導電性部材は、いずれも生体適合性材料から構成されることを特徴とする。また、前記電極が形成された一対の基板は生体適合性材料のチタンTiからなり、前記導電性部材は生体適合性材料のグラッシーカーボンGCからなることを特徴とする。さらに、前記荷重センサに任意荷重Pが負荷されるときに、前記複数に分割された各電極ゾーンの電圧変化の検出値から前記任意荷重Pの水平成分であるせん断荷重Ptと垂直成分である垂直荷重Pnに分離して演算処理を行う演算処理システムの一部又は全体が、前記荷重センサの構成の一部として荷重センサの内部又は/及び外部に設けられることを特徴とする。本発明に係る荷重センサは、導電性部材として例えばグラッシーカーボンGC:GlassLikeCarbon又はグラッシーカーボンGCを含む例えば気相成長炭素繊維VGCF:VaporGrownCarbonFiberを添加したGC/VGCFなどの導電性複合材料が有する性質のうち、1000°Cを超える環境下でも安定しているという耐熱性、及び電圧を印加しながら荷重を負荷すると電気抵抗値が変化するという性質を利用したものである。したがって、この性質を有する物質であれば、どの物質であっても本発明の荷重センサの導電性部材として使用することが可能である。また、本発明に係る荷重センサに用いられる電極は、十分な導電性及び前記耐熱性を有している限り、材料に特に限定されない。本発明に係る荷重センサに用いられる電極が形成された基板は、前記耐熱性を有し電極の固定が可能なものであれば、材料に特に限定されない。さらに、基板自体を金属あるいはGCを含む導電性複合材料からなる導電性部材で作製し、前記電極兼ねて一体化させた導電性部材に置き換えてもよい。本発明に係る荷重センサにおいては、電極が形成された一対の基板のうちの一方又は双方の電極を複数に分割して、前記分割された電極をそれぞれゾーン1、2、などと定義して区別する。荷重センサに任意荷重Pが負荷されたときには、前記各ゾーンに荷重が分離されることで各ゾーンの電圧が変化する。これを利用して、各ゾーンの電圧変化の関係から前記荷重センサに負荷される任意荷重Pを水平成分であるせん断荷重Ptと、垂直成分である垂直荷重Pnに分離して測定することが可能になる。また、前記電極の分割数を増やすことにより、各ゾーンの電圧変化の分解能を向上させ、これにより、詳細な荷重分布を正確に測定することが可能になる。さらに、せん断荷重Ptと、垂直荷重Pnの測定には、各ゾーンの電圧検出値を用いての演算処理が必要となるため、この演算処理を行うための、演算処理手段乃至制御手段を有する演算処理システムの一部又は全体を前記荷重センサの構成の一部として荷重センサの内部又は/及び外部に設けても良い。本発明によれば、電極が形成された一対の基板と、一対の基板間に挟持されたグラッシーカーボンを含む物質などの耐熱性及び電圧を印加しながら荷重を負荷すると電気抵抗値が変化するという特性を兼ね備えた導電性複合材料からなる導電性部材と、を有する簡潔な構成の荷重センサを有することから、小形軽量化が容易で設計の自由度を有し、例えば熱ナノインプリントなどにおける高温環境を含む様々な環境下で安定して対象物に加わる荷重のうち、水平荷重と垂直荷重とをそれぞれに分離して三軸荷重あるいは分布荷重を測定することが可能な荷重測定システムを提供できる効果がある。また、本発明に係る荷重センサにおいて、前記電極が形成された一対の基板に生体適合性材料のチタンTi、前記導電性部材に生体適合性材料であるグラッシーカーボンGCを適用することにより、小形軽量で、各種医療用器具に適用可能な把持力とせん断力を測定できる荷重測定システムを提供することが可能となる効果がある。以下、本発明の荷重測定システムを実施するための形態の具体例を、添付図面を参照しながら説明する。これらの添付図中、実施例1乃至3における構成部材の一部形状が異なっていても同じ部材には同一の符号を付してある。本発明の一実施形態による実施例1の荷重測定システム1は、図1に概念的に示すように、図示しない電気絶縁部材を介して測定対象物例えば熱ナノインプリントなどに用いる金型を接触部20として備え、この接触部20に作用する荷重Pを測定する荷重センサ10を有する。荷重センサ10は、電極31、51がそれぞれ形成された上下一対の基板30、50と、一対の基板30、50の電極31、51間に挟持され、電圧を印加した状態で荷重Pを負荷することにより電気抵抗値が変化する特性及び1000°Cを超える高温環境下でも安定しているという耐熱性を兼ね備えた導電性部材40とを有する。電極31、51がそれぞれ形成された一対の基板30、50及び導電性部材40は、荷重検出層を構成する。導電性部材40には、グラッシーカーボン以下、GCという及びGCに気相成長炭素繊維以下、VGCFというを添加した複合材料GC/VGCFを用いた。GC/VGCFは、グラッシーカーボンと同様、高温で使用可能な導電性部材として有効である。また、GC及びGC/VGCFは、導電性複合材料であるため、電圧を印加しながら荷重Pを負荷すると電気抵抗値が変化する性質があり、一対の基板30、50の電極31、51間の電圧変化を測定することで負荷された荷重Pを測定することができる。この実施例では、GCに、VGCFを質量比で12wt添加したGC/12wtVGCFを用いた。この実施例では、電極51が形成された下部基板50を面状に4分割することで荷重検出層を面状の4つのゾーンに分割し、図1に示すように、各ゾーンの対角線上にx軸とy軸を定義し、荷重センサ10に対して垂直方向にz軸を定義する。また、分割された各ゾーンをx軸の正方向を基準にゾーン1とし、反時計回りにゾーン2、ゾーン3、ゾーン4と定義する。この実施例では、図2に示すように、金型20には、10mm×10mm×5mm形状のSKD11材の角柱を用いた。下部基板50にはガラスエポキシ製の基板を用い、エッチング処理によって4つの面状の電極51を形成し導電性部材40を下部電極51上に固定した。また、図2の例では、図1における上部基板30を省略して金型20の下面を上部電極31として上部及び下部電極31、51により導電性部材40を挟み込む基本構造とした。電極が形成された下部基板50及び導電性部材40は、いずれも平面大きさ4mm×4mmの4つに分割されて10mm×10mmの平面内に配置した。金型20を荷重センサ10に固定するため、金型の中心に直径2mmのねじ穴を開けM2形状のねじ図示しないにより金型20を固定した。荷重センサ10に使用する導電性部材40をGCとした場合と、GC/12wtVGCFとした場合の2通りの荷重センサ10を作製し、任意荷重Pの測定を行った。荷重センサ10に設置された金型20に任意荷重Pが負荷されたとき、各ゾーンに荷重が分離されることで各ゾーンの電圧が変化する。これにより、各ゾーンの電圧変化の関係から金型20に負荷される任意荷重Pを水平成分であるせん断荷重Ptと垂直成分である垂直荷重Pnに分離して測定することができる。せん断荷重Pt及び垂直荷重Pnの測定には、各ゾーンの電圧検出値を用いての演算処理が必要となるため、この実施例の荷重測定システム1は、各ゾーンの電圧を検出する電圧検出手段120と、この電圧検出手段120からの電圧検出値を取込んで演算処理を行うための演算処理手段又は制御手段110と、上部電極31と下部基板50に形成された電極51への電圧を供給する安定化電源130とを有する演算処理システム100を備えている。演算処理システム100のこれら一部の手段又は全体は、荷重センサ10の構成の一部として、荷重センサ10の内部又は/及び外部に設けてもよい。荷重センサ10は、抵抗値R=100Ωの固定抵抗を荷重検出層にある下部基板50の各ゾーンにそれぞれ接続し、図4に示すように、並列に構成した電気回路である。また、GC/12wtVGCF及びGCは、いずれも荷重Pが負荷されると電気抵抗値が変化するため、可変抵抗R1、R2、R3、R4と考えることができ、図4の電気回路図のように表すことができる。図4中の記号Iは電流、V0は安定化電源130の供給電圧、V1、V2、V3、V4は各ゾーンの上部及び下部電極31、51間の電圧を示す。荷重検出層に形成された各ゾーンに負荷される荷重をP1、P2、P3、P4、各ゾーンでの電圧変化量をdV1、dV2、dV3、dV4と定義すると、ゾーン1に負荷される荷重P1はゾーン1の電圧変化量dV1を用いて式1のようにベクトルとして表すことができる。ゾーン2、ゾーン3、ゾーン4も同様に考えることができるので、各ゾーンに負荷される荷重P2、P3、P4はベクトルとして式2のように表すことができる。これらの関係を模式的に表すと、図3に示すように、荷重センサ10に負荷される任意荷重Pは荷重ベクトル図として表すことができる。図3は4つのゾーンに負荷される荷重Pmm=1、2、3、4と4つのゾーンの電圧変化量dVmm=1、2、3、4の関係を表している。任意荷重Pは、各ゾーンに負荷される荷重Pmm=1、2、3、4の総和となる。このことから、任意荷重Pは、式3に示すように、電圧の変化量dVmm=1、2、3、4で表すことができる。また、任意荷重Pはx、y、z軸成分もつためx、y、z成分の荷重をそれぞれPx、Py、Pzとすれば任意荷重Pは新たに式4のように表すことができる。任意荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnは、式4からPn=Pzとなり各ゾーンの電圧変化量dVmm=1、2、3、4の総和で表すことができる。各ゾーンの電圧変化量dVmの総和をVとすると、各ゾーンの電圧変化量dVmから垂直荷重Pnの大きさを求めることができる任意荷重Pの水平成分であるせん断荷重Ptは、任意荷重Pのx、y成分Px、Pyで表すことができるため、Px、Pyの大きさを求めることでせん断荷重Ptを求めることができる。ここでPx、Pyは式4から各ゾーンの電圧変化量dVmm=1、2、3、4を用いてそれぞれ式6、7のようにVx、Vyとして表すことができる。よって、せん断荷重Ptは式8となり電圧変化ΔVを求めることで、せん断荷重Ptの大きさを求めることができる。任意荷重Pは垂直荷重Pnとせん断荷重Ptの合力であるため、式9によって求めることができる。また、任意荷重Pの水平成分と垂直成分がなす角度をΦ荷重負荷方向角度とすると、式10のように、任意荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnと水平成分であるせん断荷重Ptの比から求めることができる。以上により、荷重センサ10の荷重検出層を4つのゾーンに分割し、各ゾーンの電圧変化量dVmm=1、2、3、4を測定することで任意に負荷される荷重Pを垂直成分である垂直荷重Pnと水平成分であるせん断荷重Ptに分離して測定することを可能とした。垂直荷重Pnを各ゾーンの電圧変化量の総和V、せん断荷重Ptを電圧変化ΔVで表すことができる。また、測定した垂直荷重Pnとせん断荷重Ptの値から任意荷重Pの大きさと任意荷重Pの荷重負荷方向角度Φが測定できる。また、荷重を算出する際に電圧変化量dVmを求めるため、各ゾーンの可変抵抗と置き換えられた部分に生じる電圧をVmm=1、2、3、4、各ゾーンの初期電圧をVm0m=1、2、3、4と定義し、式11を用い各ゾーンの電圧変化量dVmm=1、2、3、4を求め、荷重の算出を行う。そのため、上部及び下部電極間の電圧を測定した。荷重センサ10の荷重測定結果は、以下の通りである。垂直荷重の測定例荷重測定の原理から各ゾーンの電圧Vmm=1、2、3、4変化を求めることで、荷重センサ10に設置された金型20に負荷される任意荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnを測定することができる。荷重センサ10に設置された金型20の中心に対し任意荷重Pの荷重負荷方向角度Φを0、5、10、15degと変化させ、任意荷重Pを負荷し、各ゾーンの電圧Vm変化と任意荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnの関係を求めた。実験条件は電源電圧V0=5V一定で供給し、センサインタフェース株式会社共和電業生PCD-300Bにより荷重センサ10の電圧Vm変化を測定した。また、金型20の中心に対して任意荷重Pを負荷するため、金型20の中心にあけたいずれも図示しないねじ穴にSUS製の直径5mmの球を設置し、球の頂点に対して荷重負荷方向角度Φを変化させた。荷重の負荷には小型卓上試験島津製作所EZ-500Nを用い、荷重負荷速度0.5mm/minで任意荷重Pを負荷した。このときロードセルによって測定した値からセンサに負荷される垂直荷重Pnとせん断荷重Ptは式12、13によって算出できる。一例としてΦ=0degにおいて任意荷重Pを負荷したときの各ゾーンの電圧Vm変化と任意の荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnの関係を図5に示す。荷重センサ10に使用する導電性部材40をGC/VGCFとした場合、GCとした場合のいずれも、それぞれ図5a、bに示すように、垂直荷重Pnが増加するにしたがい各ゾーンの電圧Vmが減少していることが確認できる。荷重センサ10では各ゾーンの電圧変化量dVmを出力とするため、図5で得られた結果から式11を用い、各ゾーンの電圧変化量dVmを求めた。各ゾーンの電圧変化量dVmと垂直荷重Pnの関係を図6a、bに示す。導電性部材40をGC/VGCFとした場合、GCとした場合のいずれも、垂直荷重Pnが増加するにしたがい各ゾーンの電圧変化量dVmも増加していることが確認できる。荷重測定原理から、垂直荷重Pnを測定するには各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vを求める必要がある。そこで、図6a、bで得られた各ゾーンの電圧変化量dVmから式5により各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vを算出する。これにより、得られた各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vと垂直荷重Pnの関係を図7に示す。図7から、垂直荷重Pnが増加するにしたがい各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vが増加していることが確認できる。ここで図7の両軸を入れ替え、電圧変化量dVmの総和Vと垂直荷重Pnの関係を最小二乗法によって3次式で近似した結果を図8に示す。また、GC/VGCFを導電性部材としたときに得られた実験式を式14に示し、GCを導電性部材としたときに得られた実験式を式15に示す。したがって、各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vを求め、得られた実験式に代入することにより、荷重センサ10は任意の荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnを測定することができる。そこで、各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vを式14、式15に代入して得られた垂直荷重Pnと、別途ロードセルInterface製SM-500により測定した値から式12を用いて算出した垂直荷重Pnを比較した結果を図9に示す。図9からロードセルが検出した垂直荷重Pnと荷重センサ10が検出した垂直荷重Pnが一致しており、荷重検出層に使用する導電性材料にGC/VGCF、GCどちらを用いても荷重センサ10は正確に垂直荷重Pnを測定できることがわかった。荷重センサ10の再現性を明らかにするため、垂直荷重Pnを5回負荷したときの垂直荷重Pnと各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vの関係を図10a、bに示す。図10a、bから、5回の測定を行っても、垂直荷重Pnと各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vは同様な傾向を示すため、荷重センサ10の再現性を確認することができた。任意の荷重Pを負荷する方向を変化させても任意の荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnを測定できるか明らかにするため、任意荷重の負荷方向角度Φを0、5、10、15degと変化させたとき、それぞれの角度における垂直荷重Pnと各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vの関係を図11a、bに示す。図11a、bから、各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vと垂直荷重Pnの関係は、任意荷重の負荷方向角度Φを変化させても同様の軌跡をたどることが確認できる。したがって、荷重センサ10は任意の方向から負荷される任意荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnの大きさを測定できることがわかった。せん断荷重の測定例荷重測定原理から、任意荷重Pの水平成分であるせん断荷重Ptを測定するためには電圧変化ΔVを求める必要がある。得られた各ゾーンの電圧変化量dVmから式8を用いて求めた電圧変化ΔVとせん断荷重Ptの関係を図12a、bに示す。図12a、bからせん断荷重Ptが増加するに従い電圧変化ΔVが増加し、せん断荷重Ptが一定の値を超えると電圧変化ΔVは一定の値となっていることが確認できる。電圧変化ΔVが変化し、一致する範囲で電圧変化ΔVとせん断荷重Ptの関係を求め、最小二乗法により2次式で近似した結果を図13a、bに示す。また、GC/VGCFを導電性部材としたときに得られた実験式を式16に示し、GCを導電性部材としたときに得られた実験式を式17に示す。図13a、bから、任意荷重Pの荷重負荷方向角度Φを変化させても電圧変化ΔVとせん断荷重Ptの関係は同様の軌跡で変化していることが確認できる。したがって、各ゾーンの電圧変化ΔVを求め、得られた実験式16、17に代入することにより、荷重センサ10は任意の荷重Pの水平成分であるせん断荷重Ptを測定することができる。そこで、各ゾーンの電圧変化ΔVを式15に代入して得られたせん断荷重Ptと別途ロードセルにより測定した値から式13により算出したせん断荷重Ptを比較した結果を図14a、bに示す。図14a、bから、ロードセルの測定した任意の荷重Pから算出したせん断荷重Ptと荷重センサ10が検出したせん断荷重Ptは一致することが確認できる。したがって、荷重センサ10は電圧変化ΔVが変化する範囲で任意荷重Pの水平成分であるせん断荷重Ptの大きさを測定できることがわかった。任意荷重の測定例任意荷重Pの大きさは式9から測定した任意荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnと水平方向成分であるせん断荷重Ptから求めることができる。そこで、せん断荷重Ptが測定できる範囲で荷重センサ10が検出した任意荷重Pと別途ロードセルにより測定した値を比較した結果を図15a、bに示す。図15a、bから、荷重センサ10が検出した任意荷重Pの値とロードセルが検出した任意荷重Pの値が一致していることが確認できる。したがって、荷重センサ10は任意荷重Pの大きさを測定できることがわかった。荷重測定原理から、任意荷重Pの荷重負荷方向角度Φは、測定した任意荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnと水平方向成分であるせん断荷重Ptの比で表すことができる。測定した垂直荷重Pnとせん断荷重Ptの関係を図16に示す。図16から任意荷重Pの荷重負荷方向角度Φと荷重センサ10が測定した垂直荷重Pnとせん断荷重Ptの比から求めた任意荷重Pの荷重負荷方向角度Φが一致していることが確認できる。以上の荷重測定結果から、次のことが判明した。1各ゾーンの電圧Vm変化を測定することで、金型に負荷される任意荷重Pを垂直成分の垂直荷重Pnと水平成分のせん断荷重Ptに分離できること。2荷重センサ10に設置された金型20に任意方向から荷重Pを負荷したときに、各ゾーンの電圧変化量dVmの総和Vを測定することで任意荷重Pの垂直成分である垂直荷重Pnの大きさを測定できること。3荷重センサ10に設置された金型20に任意方向から荷重Pを負荷したときに、各ゾーンの電圧変化量dVmの関係を測定することで任意荷重Pの水平成分であるせん断荷重Ptの大きさを測定できること。4荷重センサ10は、測定した垂直荷重Pnとせん断荷重Ptの関係から任意荷重Pの大きさを測定できること。5荷重センサ10は、測定した垂直荷重Pnとせん断荷重Ptの関係から任意荷重Pの負荷される荷重負荷方向角度Φを測定できること。6荷重センサ10に使用する導電性部材をGC/VGCF、GCと変えても同様に荷重の測定が行えること。なお、この実施例の荷重センサ10は、単一な荷重ベクトルは測定できるが荷重ベクトルの分布は測定できない。そこで、荷重検出層に使用する下部電極51の分割数を増やすことで複数の荷重ベクトルの分布を測定できる。本発明の別の実施形態による実施例2の荷重測定システム1Aは、図17に概念的に示すように、三軸荷重測定用柔軟接触センサの原理を利用して把持力とせん断力を測定することができるとともに各種医療用器具に適用可能な生体適合性材料からなる小形軽量な荷重センサ10Aである点を除き、前記実施例1と同様の基本構成である。荷重センサ10Aに用いる導電性部材40Aとして、特にGCを選定した。GCは、耐熱性の他、電気伝導性、加工性、耐薬品性に優れ、発塵が少なく、血液、生体組織適合性が良好であるという生体適合性の特徴と、電圧を印加しながら荷重を負荷することで電気抵抗値が変化する性質とを兼ね備える。この実施例の荷重センサ10Aの基本構成は、上部電極30A、GCからなる導電性部材40A、固定用フィルム60A、下部電極50Aからなる。固定用フィルム60Aは、導電性部材40Aを下部電極50A上面に固定するために用いられ、生体適合性の電気絶縁部材であることが好ましい。この実施例の荷重センサ10Aにおいて、GCからなる導電性部材40Aを各種医療用器具に使用できる荷重センサ10Aに適合する小型サイズに変化させたときの垂直荷重と電圧変化の関係を以下の通り測定し、機能の評価を行った。この実施例の荷重測定システム1Aにおいて、荷重センサ10Aの上部及び下部電極30A、50Aには生体適合性を有するチタンTiを用い、寸法は25mm×25mm、厚さ0.3mmとした。又、GCの導電性部材40Aのサイズを変化させたときの影響を調べるため、10mm×10mm×0.5mm、5mm×5mm×0.5mm、2.5mm×2.5mm×0.5mmの3種類のサイズを比較した。チタンの上部及び下部電極30A、50AでGCの導電性部材40Aを上下から挟みこみ、上部電極30AにR=100Ωの抵抗を配置することで、図18に示すように、分圧回路とした。GCの導電性部材40Aは電圧V0を印加しながら荷重を負荷すると電気抵抗値Rxが変化するため、可変抵抗と考えることができ、上部及び下部電極30A、50A間の電圧をVmと定義し測定を行った。垂直荷重の測定例卓上万能試験機株島津製作所EZ-L-500Nを用いて垂直荷重をPnと定義し、垂直荷重Pnを100Nまで負荷した。荷重負荷速度を0.5mm/min一定とし、図19に示すように、上部電極30Aの上面には電気絶縁部材60Bとしてテフロン登録商標シートを敷き、また、荷重Pnを均一に負荷するため球面座70を設置し、荷重センサ10Aの中心に対して荷重Pnを負荷した。球面座70は直径24.4mm、重さ60.6gである。電圧の供給には安定化電源130を用い図17、供給電圧V0=5V一定とし、上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmの測定を行った。荷重センサ10Aに垂直荷重Pnを負荷した時の上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmと垂直荷重Pnの関係を図20に示す。図20から垂直荷重Pnの増加に伴い、上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmが減少していることがわかる。また、供給電圧V0=5Vであるのに対し、上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmが約2Vから変化している。これは、荷重センサ10Aに球面座70を用いているため、球面座70の自重が初期荷重として負荷されているためである。さらに、電圧Vmと垂直荷重Pnの測定を10回行い、垂直荷重Pnの増加により上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmは同様の変化をしていることから、再現性を有していることがわかる。また、同じサイズの2枚のGCの導電性部材40Aにそれぞれ垂直荷重Pnを負荷した時の上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmと垂直荷重Pnの関係を図21示す。図21から、GCの導電性部材40Aのサイズが同じならば、異なるGCの導電性部材40Aを用いても垂直荷重Pnを負荷したときの上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmは同様の変化をすることがわかる。さらに、GCの導電性部材40Aのサイズを厚さ0.5mmで、10mm×10mm、5mm×5mm、2.5mm×2.5mmの3種類に変化させたときの電圧Vmと垂直荷重Pnの関係を図22に示す。図22から、導電性部材40Aのサイズによらず、垂直荷重Pnが増加すると上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmが減少している同じ傾向を示すことがわかる。しかし、一般的に電気抵抗値は、式18に表されるように、電極との接触面積に反比例して変化する。ここで、R=RxはGCの導電性部材40Aの抵抗値、ρは体積抵抗率、Lは厚さ、Aは電極との接触面積である。式1から導電性部材40Aのサイズが小さいほうが上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmは大きいはずだが、図22ではサイズが小さいと上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmが小さくなる。これは、GCの結晶構造がアモルファスであるため、荷重Pnを負荷したことにより結晶構造が配列され、電流Iが流れ易くなったためだと考えられる。把持力とせん断力を測定することができる生体適合性が良好な荷重センサ10Aは、以上の荷重測定結果から、次のことが判明した。1垂直荷重Pnの増加により、上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmが減少すること。2垂直荷重Pnを繰り返し負荷しても同様の電圧Vm変化が生じることから再現性があること。3同じサイズの2枚のGCの導電性部材40Aにそれぞれ垂直荷重Pnを負荷すると、上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmの変化は同様であることから個体差による影響を無視できること。4GCの導電性部材40Aのサイズを小さく変化させても、垂直荷重Pnを増加させることで上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmは減少すること。5GCの導電性部材40Aのサイズが小さくなると、上部及び下部電極30A、50A間の電圧Vmは大きく変化する傾向があること。以上から、GCサイズを小さく変化させても同様に荷重センサ10Aの導電性部材40Aとして利用できることが判明した。したがって、この実施例に係る荷重センサ10Aは、各種医療用器具に装着可能なように、十分な小型化が必要な場合であっても適用が可能であると認められる。なお、この実施例では、電極などの荷重検出層の分割によるせん断荷重Ptは測定していないが、前記実施例1と同様に、荷重検出層を分割することにより、せん断荷重Ptの測定も十分に可能である。本発明のまた別の実施形態による実施例3の荷重測定システムは、図23に示すように、荷重センサ10Bを下部電極と導電性部材を一体として構成した点を除き、前記実施例2と同様の基本構成である。この実施例の荷重センサ10Bは、チタンTiからなる上部電極30Bと下部電極40Bを兼ね備えるように一体的に構成したGCからなる導電性部材とを使用し、前記実施例における下部基板を省略した構成である。これにより、一層小型軽量化で薄型の各種医療用器具にも適用可能な荷重センサの実現が可能となる。このように下部電極と導電性部材を一体として構成を簡略化した実施例3の荷重センサ10Bの作用を確認するため、前記実施例2と同様に、以下の通り測定を行った。垂直荷重の測定例荷重センサ10Bに垂直荷重Pnを負荷した時の上部及び下部電極30A、40B間の電圧Vmと垂直荷重Pnの関係の一例を図24に示す。図24から、垂直荷重Pnが増加すると、前記実施例と同様に、上部及び下部電極30A、40B間の電圧Vmが減少していることが認められる。したがって、この実施例に係る荷重センサ10Bは、一方又は双方の電極と、それぞれ導電性部材とを一体として構成された場合であっても、荷重センサとして適用が可能であると認められる。なお、この実施例でも、電極などの荷重検出層の分割によるせん断荷重Ptは測定していないが、前記実施例1と同様に、荷重検出層を分割することにより、せん断荷重Ptの測定も十分に可能である。