"液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板と、前記面と対向する対向部を有し、該対向部を貫通する複数の貫通孔が設けられた部材と、を備え、前記複数の貫通孔は、前記エネルギー発生素子に対応した液体の吐出口を含み、前記面の、前記複数の貫通孔のうちの一部の貫通孔に対向する部分には、受光する光の強度によって出力する電流値が変化する受光素子が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。前記部材は、エポキシ樹脂の硬化物からなることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。前記複数の貫通孔は、前記部材の前記面と対向する第1の面に設けられた第1の開口部と、前記第1の面の裏面である第2の面に設けられた第2の開口部と、を連通して設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。前記複数の貫通孔は、感光性を有する樹脂材料に露光及び現像を行うことにより、複数個一括して形成されたものであることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。前記受光素子は、該受光素子に対応して設けられた前記貫通孔を前記面に投影した領域を含む領域に設けられていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。220nm以上360nm以下の波長の光に対して、前記部材の前記貫通孔の外周部の透過率は、5以上95以下であることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。前記受光素子は、光を受光して抵抗値が変化する材料からなる複数の配線で設けられていることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド前記材料は、化合物半導体、非晶質半導体及び多結晶半導体のいずれか1つであることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ヘッド。前記受光素子は、光を受光することで電荷が蓄積する半導体素子からなることを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。前記受光素子は、CCD素子又はCMOS素子であることを特徴とする請求項9に記載の液体吐出ヘッド。請求項1~10のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを搭載可能な液体吐出装置であって、前記液体吐出ヘッドの前記部材の上側から光を照射する手段を有することを特徴とする液体吐出装置。請求項1~10のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを検査する液体吐出ヘッドの検査方法であって、前記一部の貫通孔を通して前記受光素子に向かって光を照射し、前記受光素子から出力される電流値を検査することを特徴とする液体吐出ヘッドの検査方法。しかしながら、本発明者らの検討によれば、特許文献1に開示される方法では、顕微鏡にて液体吐出ヘッドの画像取り込み、画像処理にて画素を2値化してカウントするとことが必要であり、開口径を見積もるのに時間がかかり、大量生産に不向きであるという懸念があった。また、特許文献2に開示される方法は、吐出口の開口形状をスリットの形状に置き換えて確認するという間接的な測定法である。吐出口の開口形状に影響を与える要因が、常に同程度にスリットの形状にも影響を与えるわけではなく、吐出口の形状によっては高精度な評価が困難な場合がある。本発明は、このような課題を鑑みて発明されたものであり、液滴を吐出することなく、吐出口の開口の状態をより正確に確認することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的としている。本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板と、前記面と対向する対向部を有し、該対向部を貫通する複数の貫通孔が設けられた部材と、を備え、前記複数の貫通孔は、前記エネルギー発生素子に対応した液体の吐出口を含み、前記複数の貫通孔の一部の貫通孔に対向する部分の上には、受光する光の強度によって出力する電流値が変化する受光素子が設けられていることを特徴とする。以上のように第2の貫通孔と対向する位置に、光を受光することで出力される電流値が変化する受光素子を設けることにより、液体を吐出することなく、より正確に吐出口の形状を確認できる信頼性の高い液体吐出ヘッドを提供することができる。液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。そして、この液体吐出ヘッドを用いることによって、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の被記録媒体に記録を行うことができる。本明細書内で用いられる記録とは、文字や図形などの意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味することとする。さらにインクとは広く解釈されるべきものであり、被記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成、被記録媒体の加工、或いはインクまたは被記録媒体の処理に供される液体を言うものとする。ここで、インクまたは被記録媒体の処理としては、例えば、被記録媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。図1aは、本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載可能な液体吐出装置を示す概略図である。図1aに示すように、リードスクリュー5004は、駆動モータ5013の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア5011,5009を介して回転する。キャリッジHCはヘッドユニット40を載置可能であり、リードスクリュー5004の螺旋溝5005に係合するピン不図示を有しており、リードスクリュー5004が回転することによって矢印a,b方向に往復移動される。図1bは、図1aのような液体吐出装置に搭載可能なヘッドユニット40の斜視図である。液体吐出ヘッド41は、電極端子11と接続するフレキシブルフィルム配線基板43により、液体吐出装置と接続するコンタクトパッド44に導通している。また、ヘッド41は、支持基板に接合されることでインクタンク42と接合されることで一体化されヘッドユニット40を構成している。に支持されている。ここで例として示しているヘッドユニット40は、インクタンク42とヘッド41とが一体化したヘッド41の一例を示しているものであるが、インクタンクを分離できる分離型とすることもできる。図2aとbは、本発明の特徴部である液体吐出ヘッド41に係る斜視図である。本発明の液体吐出ヘッド41は、エネルギー発生素子2を備えた液体吐出ヘッド用基板5と、液体吐出ヘッド用基板の上に設けられた流路壁部材4とを有している。流路壁部材4は、光透過可能な樹脂材料からなる透過性部材で設けられている。このような透過性部材としては、エポキシ樹脂等の硬化物を用いることができる。さらに流路壁部材4は、エネルギー発生素子2が設けられた液体吐出ヘッド用基板5の面と対向する対向部を貫通して設けられた複数の貫通孔を有している。このような樹脂材料は感光性を有して設けられおり、複数の貫通孔は樹脂材料を露光現像することで一括して設けられている。ここで、流路壁部材4に設けられた貫通孔は、エネルギー発生素子2が設けられた液体吐出ヘッド用基板5の面と対向する位置第1の面に開口する第1の開口部36aと、液体を吐出する側第1の面の裏面である第2の面に設けられた第2の開口部36bと、を連通することで設けられている。複数の貫通孔の一部の貫通孔第1の貫通孔は、エネルギー発生素子2により発生されるエネルギーを利用して液体を吐出する吐出口3として用いられ、エネルギー発生素子に対応して設けられている。エネルギー発生素子に対応して設けられるとは、例えばエネルギー発生素子と対向して設けられることをいう。これら吐出口が所定のピッチで一列に配列し、吐出口列を構成されている。さらに、複数の貫通孔の他の一部の貫通孔第2の貫通孔は、記録動作には用いられないダミー吐出口6として用いられる。第2の貫通孔は、第1の貫通孔と実質的に互いに同じ寸法及び形状で設けることで、さらに信頼性高く用いることができる。図2aに示すように、吐出口列に沿って連続してダミー吐出口6設けることで、吐出口3の状態とほぼ同じ状態にすることができる。また図2bのように、液体吐出ヘッドに複数のダミー吐出口6を吐出口列の近傍に複数設けることで、液体吐出ヘッド全体の状態を確認することができる。これにより、さらに細かく液体吐出ヘッド全体の吐出口3の状態を見積もることができる。ここで、近傍とは、隣り合う吐出口3の距離程度のことをいう。吐出口列に対向する位置の液体吐出ヘッド用基板には、複数のエネルギー発生素子2が設けられており、複数配列することで素子列となっている。エネルギー発生素子2としては、電気熱変換素子や圧電素子等を用いることができる。2つの素子列の間の領域には、シリコンからなる液体吐出ヘッド用基板5を貫通し、エネルギー発生素子2に液体を供給する供給口45が設けられている。供給口45は、エネルギー発生素子2が設けられた液体吐出ヘッド用基板の表面と裏面とを貫通して設けられている。ここでは、供給口45が一つ設けられた液体吐出ヘッドを用いて説明するが、複数の供給口45を有する液体吐出ヘッドでも同様に本発明を適用することができる。さらに流路壁部材4には、吐出口3やダミー吐出口6と連通する流路46の凹部が設けられており、流路壁部材4と液体吐出ヘッド用基板5とが接することで、流路46が設けられている。図3に示すように、ダミー吐出口6として用いられる貫通孔と対向する位置の液体吐出ヘッド用基板には、吐出口の形状を評価するために用いられる半導体材料からなる、受光する光の強度に伴い出力する電流値が異なる受光素子1が設けられている。受光素子1としては、光を受光することで抵抗値が変化する配線9や、光の強度に伴い蓄積される電荷を電流として出力するCMOS素子やCCD素子といった半導体素子を用いることができる。図3aは、このような液体吐出ヘッド41に設けられている1つのダミー吐出口6の一部透かしの斜視図の一例である。流路壁部材4の液体吐出ヘッド用基板と接する側とは反対側、すなわちダミー吐出口6側に光源12の光を照射すると、流路壁部材4を透過した光が受光素子1で受光される。受光素子1は光の強度の差を認識することができ、第1の開口部36aの開口面積第1の開口面積、第2の開口部36bの開口面積第2の開口面積、吐出口部分の流路壁部材4の厚みZ1、以下吐出口厚みとも称するが変化するのに伴い、光の強度が変化する。光の強度の差を形状に置き換えることでダミー吐出口6の第1の開口部と第2の開口部とテーパー部の状態を確認することができ、流路壁部材4に設けられた貫通孔の立体的な形状を確認することができる。製造時においてダミー吐出口6と吐出口3とは、貫通孔を複数個一括して形成することで設けられており、ばらつきが少なくほぼ同じ形状で形成されるため、ダミー吐出口6の形状から吐出口3の形状を見積もることができる。そのため、ダミー吐出口6の立体的な形状をもとに液体吐出ヘッド41のランクをつけ、この結果をヘッドユニットの情報記録媒体不図示に書込み、これをもとに液体吐出装置で制御を行うことができる。これにより液体吐出ヘッドに固体差が生じていたとしても、記録物の記録品位を一定に保つことができる。なお、上記のような受光素子を有する液体吐出ヘッドを用意し、液体吐出装置搭載し、さらに液体吐出装置に光を照射する手段を設けることで、液体吐出装置に液体吐出ヘッドを搭載した後に、液体吐出ヘッドのランクを検査することもできる。以下、このような受光素子1を有する液体吐出ヘッドを具体的に示す。第一の実施形態本実施形態では受光素子1として、受光する光の強度により抵抗値が変化する半導体材料からなる膜14を、一定領域に渡って線状に等間隔で配置した配線状に設けた構成を示す。膜14に用いるこのような材料としては、光を照射することにより抵抗が下がる材料を用いることができる。具体的には硫化カドミウム、酸化亜鉛、ガリウムヒ素、リン化インジウム、窒化ガリウムなどに代表される化合物半導体、シリコンやゲルマニウムなどに代表される非晶質半導体及び多結晶半導体などを用いることができる。このような膜は、蒸着法やスパッタリング法及びCVD法を用いて約100nm程度の膜厚となるように設け、フォトリソグラフィ-法やドライエッチング法を用いて配線9の形状に形成することができる。配線9は、例えばBPSGBoronPhosphorSilicateGlass:ホウ素燐ケイ酸ガラスなどの光を透過し液体に対して耐性のある保護層17で被覆しておくことが好ましい。図3bは、ダミー吐出口6の一部透かしの斜視図である。図3cは、図3bのA-A’に沿って液体吐出ヘッド用基板の面に垂直に液体吐出ヘッド41を切断した場合の切断面の状態を模式的に示している。受光素子1は、液体吐出ヘッド用基板をダミー吐出口6が設けられた側から見たときに、流路壁部材4の下側に位置するように設けられている。さらに製造時のばらつきにより、ダミー吐出口6の開口の大きさは変化する可能性があるため、受光素子1は、ダミー吐出口6を投影した領域を含む領域、即ち投影した領域をカバーする領域に設けることが好ましい。この場合、受光素子を設ける領域の面積は、投影した領域の面積以上となる。さらに、図3bに示すように液体吐出ヘッド用基板5の流路壁部材4が接している部分にも受光素子1を設けることが好ましい。これにより、受光素子1上の流路壁部材4の厚みZ2、以下流路壁厚みとも称する、及び受光素子1と第1の開口部36aとの間の距離Z3、以下吐出口の高さとも称するを確認することができる。流路壁部材4は光源12の光を透過するような材料で設けられており、具体的にはエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂を硬化させて硬化物として設けることができる。このような樹脂は、光の波長に応じた吸収率透過率を有しており、膜厚が厚くなると吸収する光吸収量が変わるため、吐出口の開口部と流路壁部材の部分では受光素子1に当たる光の強度が変わる。半導体材料からなる受光素子1は、700nm以下の波長の光を受光することで光導電効果を起こすため、光導電効果により光の強度の差を認識することで、X方向ないしY方向の形状を決定することができる。また、光の受光強度と流路壁部材4の膜厚との関係が分かっていれば、受光素子1で認識される値から流路壁部材4の厚みを知ることができる。図4に、膜厚11μmのエポキシ樹脂の硬化物、すなわち流路壁部材4における吸光度の測定データの一例を示す。ここから流路壁部材4は360nm以下の波長の光に対して吸収を持つことがわかる。そのため光源12の光は360nm以下の波長であることが好ましいといえる。具体的には、流路壁部材4のダミー吐出口6の外周部の流路壁厚みを、220nm以上360nm以下の波長を有する光源で、透過率が5以上95以下となるように設けることが好ましい。また、受光素子の受光強度と抵抗の関係より、受光素子の抵抗は受光強度が10分の1になることで抵抗率は最大で5倍に変化する特性を有することから、10以上90以下の透過率を有するように設けると、さらに信頼性の高い検査を行うことができる。次に、液体吐出ヘッドの検査工程について説明する。流路壁部材4が液体吐出ヘッド用基板に接する側とは反対側、すなわち第2の開口部の上側から、ダミー吐出口6に向けて光源12の光を照射すると、流路壁部材4を透過した光が受光素子1となる半導体膜の配線9にて受光される。ここでは配線9は、硫化カドミウムを用いた例で説明する。硫化カドミウムは、受光する光の量が強いほど抵抗値が下がる。つまり受光素子1の各配線の抵抗値は、受光する光の量によって吐出口の第1の開口部36a及び第2の開口部36bの面積、テーパー部の形状、流路壁厚みの変化に伴って変化する。この抵抗値の変化からダミー吐出口6の第1の開口部36a及び第2の開口部36bの面積及び、流路壁厚み、吐出口高さ、を求めることでダミー吐出口6の立体的な形状を液体を吐出することなく確認することができる。この立体的な形状をもとに、液体吐出ヘッドのランクを決定することにより、信頼性の高い記録動作を行うことができる。受光素子1は、図5に模式的に示すように抵抗測定用スイッチ素子13を介して抵抗測定用の電極端子11とアルミニウムAlなどからなる配線層26で接続されている。このスイッチ素子13を用いて回路を順番に切り替えながら、端子11間の抵抗値を測定する。抵抗値が一定の領域では流路壁厚さが一様の場所であり、抵抗が急激に変化する領域では吐出口などが存在し流路壁部材の厚さに変化がある場所となる。測定は配線毎に行われることから配線のピッチ繰り返し幅が吐出口形状の認識精度となる。このような配線ピッチは精度良く設けることができるように細かく設けることが好ましい。また吐出口6の第1の開口部36aの幅が約20μm、第2の開口部36bの幅が約10μmで設けられている場合、片側のテーパー部の幅は約5μmとなるため、少なくともテーパー部を2箇所以上測定できるように、2μmピッチ以下となるように配線ピッチが設けられていることが好ましい。なお、配線のパターニング精度を保つために、配線ピッチは約0.05μm以上とすることが好ましい。さらに、一つ一つの配線の抵抗値を均一にするために全ての配線の長さを一定に設ける。抵抗値は吐出口厚みZ1が等しければ抵抗値はいずれの配線でも同じ数値を示す。吐出口が存在し立体的な形状が変わる部分では受光量が変わるため抵抗値が変化することから、抵抗値の差を読み取ることで立体的な形状を認識することができる。図3bのように受光素子1を流路壁部材4の直下にまで設けることで流路壁厚みZ2を知ることができる。図6aのように第一の受光素子1aを有する第1のダミー吐出口6a図6bの隣接する部分に、第1の受光素子の配線と直交する配線からなる第二の受光素子1bを有する第2のダミー吐出口6bを設けても良い図6c。このように配線の延伸する向きが直交する2つの受光素子1を隣接して設け、2種類の抵抗値から吐出口3の立体的な形状を見積もることで、楕円などの真円でない吐出口3の面積に対しても正確に見積もることができる。図7に光源12から光を照射した場合の抵抗値の変化を示す。図7aは図6aのダミー吐出口6aを基板の面に垂直に液体吐出ヘッド41をB-B’に沿って切断した場合の切断面図、及び配線の抵抗値プロファイル8aをプロットしたものである。図7bは図6aのダミー吐出口6bを基板の面に垂直に液体吐出ヘッド41をC-C’に沿って切断した場合の切断面図、及び配線の抵抗値プロファイル8bをプロットしたものである。第2の開口部36bの内側には、流路壁部材4が無いため光源12からの光は吸収されることなく受光素子1aに届く。そのため、抵抗値プロファイル8の領域22の抵抗値は一番下がっている状態となる。第1の開口部36aと第2の開口部36bとの間のテーパー部に対応する領域23は、流路の上面に対応する領域24から領域22にかけて、抵抗値が同様に徐々に変化していく。さらに、受光素子1と流路壁部材4とが接している部分に対応する抵抗値プロファイル8aの領域25は、一番流路壁部材4の膜厚が厚くいため高抵抗となっている。このような抵抗値プロファイル8aと抵抗値プロファイル8bとの抵抗値の変化から、図7cに示すように吐出口3の第1の開口部36aの面積、第2の開口部36bの面積、吐出口厚み、流路壁厚み、吐出口高さなどの立体的な形状28を見積もることができる。この立体的な形状28から液体吐出ヘッドのランク付けを行うことができる。この検査結果をもとに、液体吐出ヘッドの状態を液体吐出装置の情報記録媒体不図示等に書込み、これに則して液体吐出ヘッド毎に吐出制御を行うことで、液体吐出ヘッドに固体差が生じていたとしても、記録物の記録品位を一定に保つことができる。液体吐出ヘッドは1枚のウエハーに複数の液体吐出ヘッドを、半導体プロセスを用いて一括して作成し、ウエハーから切り出して用いられる。このような液体吐出ヘッドにおいて、流路壁部材4は受光素子1に比べて膜厚が厚いため、ウエハー面内で製造時にばらつきが生じやすく、液体吐出ヘッドごとに吐出口3ダミー吐出口6の大きさがばらつきやすい。そのため、ばらつきの小さい受光素子1を用いて、ダミー吐出口6の開口状態を立体的に確認することで、吐出口3部分の体積すなわち吐出されるであろう液体の量を確実に評価することができる。これにより、実際に液体を吐出することなく液体吐出装置に搭載した際に記録物の色ムラを防止するための制御を行うことができる、信頼性の液体吐出ヘッドを提供することができる。また、図9のように複数の液体吐出ヘッド41を1つのヘッドユニット40に設ける場合には、液体吐出ヘッドのランクをそろえ、液体吐出ヘッド毎に制御を行って吐出量を均一にすることで、記録物の記録品位の向上させることもできる。第2の実施形態本実施形態においては受光素子1としてCCD素子ChargeCoupledDevice:電荷結合素子などの半導体素子を用いた場合を説明する。それ以外の構成は第1の実施形態と同様である。図8aに示すように受光素子1としてCCD素子を用いた場合も、CCD素子の1画素が測定の最小単位となり、1画素の大きさがそのまま吐出口形状の認識精度となる。このようなCCD素子を用いることにより、X方向とY方向の両方向のプロファイルを同時に見積もることができる。図8bにインターライン型と呼ばれるCCD素子の模式図を示す。この図を用いてCCD素子の動作を簡単に説明する。受光素子1を構成する複数のフォトダイオード109は夫々トランスファーゲート100を介して電荷転送を行う垂直転送CCD101と接続して設けられている。この複数のフォトダイオード109と垂直転送CCD101とは、交互に配置されており垂直列を形成している。複数の垂直転送CCD101の端部は水平転送CCD102に接続されて設けられている。フォトダイオード109で、光を受光すると電荷が発生し、トランスファーゲート100を開くことで電荷を垂直転送CCD101へと転送する。垂直転送CCD101へ送られた電荷は水平転送CCD102へと転送され、さらにこの電荷をCDSCorrelatedDoubleSampling部103へ転送する。つまりフォトダイオード109が受光する光の強度に応じて、転送される電荷すなわち出力される電流値に違いが生じるため、ダミー吐出口6の流路壁部材4の膜厚に応じて、出力される電流の値が変化することになる。この電流値の変化からダミー吐出口6の開口部の面積及び、流路壁厚み、吐出口高さ、を見積もることでダミー吐出口6の立体的な形状、すなわち吐出されるであろう液滴の量を確認することができる。これにより液滴を吐出すること無くその液体吐出ヘッドのランクを決定することができる。以上の動作を経て、光の強度と領域からダミー吐出口6の立体的な形状を知ることができる。なお、CCD素子の代わりに、CMOS素子ComplementaryMetalOxideSemiconductor:相補型金属酸化膜半導体を用いて同様に立体的な形状を確認することもできる。"