"表面に配線が形成された検査対象物の前記表面を撮像し、撮像した画像に含まれる配線パターンを検出し、検出した前記配線パターンのうち撮像した前記画像の規則的な画素の配列方向に対して傾斜した配線像のみを抽出し、抽出した前記配線像の欠陥の有無を判定することを特徴とする配線検査方法。前記検査対象物又は前記撮像を行う撮像装置のいずれかを、前記検査対象物の前記表面に対して直交する軸のうち、前記検査対象物のほぼ中心を通る軸又は前記撮像装置のほぼ中心を通る軸のいずれかを中心として90°の整数倍を除く角度回転させた後、撮像、配線パターンの検出、配線像の抽出及び欠陥の有無の判定を再び行うことを特徴とする請求項1の配線検査方法。前記検査対象物がウエハであることを特徴とする請求項1または2の配線検査方法。前記検査対象物がステージの上面に載置され、前記ステージは、前記ステージの面と平行な一方の方向であるX方向及び前記ステージの面と平行で且つ前記X方向に対して90°回転したY方向に沿って移動可能に設けられると共に、X方向及びY方向の両方に直交する軸のうち、前記ステージのほぼ中心を通る前記軸を中心として回転可能に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項の配線検査方法。前記撮像装置がステージの上方に配置されて下方を向いている電子カメラであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項の配線検査方法。抽出した前記配線像のエッジが途切れているか否かにより、前記欠陥の有無を判定することを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項の配線検査方法。ところで、配線の微細化が進むと、実際の配線幅に比較して画像中の配線の幅方向のピクセル数が不十分になり、検査精度が低下する。検査精度を向上させるために、撮影倍率を向上させると、処理能力が落ちて、生産性が落ちてしまう。そこで、本発明が解決しようとする課題は、検査精度の向上を図ることである。以上の課題を解決するために、本発明に係る配線検査方法は、表面に配線が形成された検査対象物の前記表面を撮像し、撮像した画像に含まれる配線パターンを検出し、検出した前記配線パターンのうち撮像した前記画像の規則的な画素の配列方向に対して傾斜した配線像のみを抽出し、抽出した前記配線像の欠陥の有無を判定することを特徴とする。本発明によれば、検査精度が向上する。以下に、本発明を実施するための形態について、図面を用いて説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。図1は、配線検査装置1の概略斜視図である。図1に示すように、配線検査装置1は、ステージ2、XYθ駆動装置3、電子カメラ撮像装置4、制御コンピュータ5、表示部6及び操作部7を備える。図1に示すように、例えば平面視して矩形の形をしたステージ2の場合、ステージ2の一方の辺の方向をX方向と定義し、ステージ2の一方の辺の方向と直交するステージ2の他方の辺の方向をY方向と定義する。なお、平面視したステージ2の形状は円形等、矩形以外でも構わない。更に、X方向及びY方向の両方に直交する軸をZ方向と定義する。ステージ2が、互いに直交する水平なX方向及びY方向に沿って移動可能に設けられているとともに、X方向及びY方向の両方に直交する軸であるZ方向のうち、平面視してステージ2のほぼ中心を通るZ方向の軸を中心としてθ方向に回転可能に設けられている。即ち、平面視してステージ2のほぼ中心を通るZ方向の軸を中心とした回転方向をθと定義する。ステージ2のほぼ中心は検査対象物のほぼ中心とも一致する。なお、補正可能であれば、平面視してステージ2のほぼ中心を通らないZ方向の軸を中心とした回転方向をθと定義しても構わない。また、X方向及びY方向の両方に直交する軸は、電子カメラ4の光軸に対して平行である。ステージ2の上面には、検査対象物たるウエハ8が載置される。ウエハ8の表面9には、配線が形成されている。X方向及びY方向の両方に直交する軸は、ウエハ8の表面9に対しても直交する。XYθ駆動装置3は、ステージ2をX方向、Y方向及びθ方向に移動させる。XYθ駆動装置3は、制御コンピュータ5によって制御される。電子カメラ4は、ステージ2の上方に配置されて、下方に向いている。電子カメラ4は、ウエハ8の表面9の像を電気信号の画像として取得し、その画像を制御コンピュータ5に転送する。なお、電子カメラ4が、XYθ駆動装置によってX方向、Y方向及びθ方向に移動されてもよい。制御コンピュータ5は、CPU11、RAM12、ROM13、記録媒体14、ドライバ15、画像処理部16及び表示制御部17等を備える。記録媒体14は、例えば、不揮発性メモリ又はハードディスクである。ROM13又は記録媒体14には、CPU11にとって実行可能なプログラムが格納されている。CPU11は、ROM13又は記録媒体14に格納されたプログラムに従ってRAM12、ROM13、記録媒体14、ドライバ15、画像処理部16及び表示制御部17の制御を行うとともに、これらの間で信号データの転送を行う。RAM12は、CPU11に作業領域を提供するものである。ドライバ15は、CPU11の指令に従ってXYθ駆動装置3を駆動する。XYθ駆動装置3は、ドライバ15及びCPU11によって制御されることによって間欠的に動作する。つまり、XYθ駆動装置3が、ステージ2をX方向若しくはY方向又はそれらの両方に沿って所定距離だけ移動させて停止させた後に、ステージ2をθ方向に所定角度但し、90°の整数倍を除く。例えば、45°。だけ回転させて停止させる。表示制御部17は、表示部6に映像信号を出力する。表示部6は、入力した映像信号に従った画面を表示する。表示部6に表示される画面には、電子カメラ4によって撮像された画像が含まれる。制御コンピュータ5は、電子カメラ4に静止画の撮像動作を行わせる機能を有する。電子カメラ4の撮像動作のタイミングは、CPU11によって制御される。具体的には、ステージ2が停止している時に、制御コンピュータ5が電子カメラ4に撮像動作を行わせる。ウエハ8の表面9に配線が形成されているので、電子カメラ4によって撮像された画像には配線パターンが含まれている。制御コンピュータ5は、電子カメラ4から入力された画像のデジタル信号処理をする。制御コンピュータ5によってデジタル処理される画像は、複数の画素を水平方向及びそれに直交する垂直方向に配列したものである。デジタル信号処理は、画像処理部16若しくはCPU11又はこれらの両方によって行われてもよい。制御コンピュータ5は、デジタル信号処理された画像から配線パターンを検出する機能を有する。配線パターンの検出機能は、画像処理部16若しくはCPU11又はこれらの両方によって実現される。制御コンピュータ5は、検出した配線パターンのうち、水平方向及び垂直方向に対して傾斜した配線像を抽出する機能を有する。このような斜め抽出機能は、画像処理部16若しくはCPU11又はこれらの両方によって実現される。制御コンピュータ5は、抽出した斜め配線の像に欠陥があるか否か、つまり斜め配線の像が途中で途切れているか否か判定する機能を有する。このような検査機能は、画像処理部16若しくはCPU11又はこれらの両方によって実現される。制御コンピュータ5は、判定結果つまり欠陥の有無を記録媒体14に記録する機能を有する。このような機能は、プログラムに従ったCPU11の処理によって実現される。また、制御コンピュータ5は、その判定結果を表示部6に表示する機能を有する。このような機能は、表示制御部17がCPU11によって指令されることによって表示部6に映像信号を出力することによって実現される。図2を参照して、配線検査装置1の動作及び配線検査装置1を用いた検査方法について説明する。図2は、制御コンピュータ5の処理の流れを示したフローチャートである。ステージ2の上面にウエハ8を載置すると、制御コンピュータ5がXYθ駆動装置3を制御し、ステージ2がXYθ駆動装置3によって初期位置まで移動するステップS1。なお、電子カメラ4がXYθ駆動装置によって初期位置まで移動してもよい。ステージ2が初期位置で停止したら、制御コンピュータ5が電子カメラ4に静止画の撮像動作を行わせると、ウエハ8の表面9の一部の領域例えば、1つのチップに相当する領域の像が電子カメラ4によって撮像され、その像が制御コンピュータ5に転送されるステップS2。制御コンピュータ5は、電子カメラ4から入力した画像をデジタル信号処理するとともに、デジタル信号処理した画像を表示部6に表示する。図3は、撮像時のウエハ8と電子カメラ4の位置的関係を示した平面図であり、図3中の点線はウエハ8をチップサイズに細分化する際の切断予定線である。図4には、電子カメラ4で撮像された画像の一例が示されている。図4の画像では、画素の配列を格子状の線で表した通り、1つのマスが一画素であり、複数の画素が水平方向u及びそれに直交する垂直方向vに規則的に配列されている。一つ一つの画素はすべて白黒の256階調であり、予め定められた閾値に基き、良か不良かを判断する。図4の画像には、配線パターン31が含まれている。配線パターン31は、水平方向u及び垂直方向vに対して傾斜した配線像32と、垂直方向vに対して平行な配線像33と、からなる。配線パターン31には、水平方向uに対して平行な配線像が含まれていることもある。エッジ32a,32bは、配線の像32のエッジであり、エッジ33a,33bは、配線像33のエッジである。次に、制御コンピュータ5は、デジタル信号処理された画像から配線パターンを検出するステップS3。具体的には、制御コンピュータ5は、デジタル信号処理された画像の中から階調明るさが不連続となる箇所を検出することで、配線パターンのエッジを検出する。これにより、画像の中から配線パターンが制御コンピュータ5によって検出される。ステップS2において撮像された画像が図4に示す場合、エッジ32a,32b,33a,33bが検出されることによって、配線パターン31が検出される。図4に示すように、水平方向uに対して垂直な配線の像33のエッジ33a,33bは、濃い灰色の線と薄い灰色の線の2本で表されている。このため、各エッジ33a,33bの中心が何処に位置するか分からない。これに対し、水平方向u及び垂直方向vに対して傾斜した配線の像32のエッジ32a,32bは、ギザギザではあるが黒色の線1本で表されている。従って、水平方向u及び垂直方向vに対して傾斜した配線の像32及びエッジ32a,32bが、水平方向uに対して垂直な配線の像33及びエッジ33a,33bよりも鮮明に表れている。次に、制御コンピュータ5は、検出した配線パターンのうち、水平方向及び垂直方向に対して傾斜した配線の像のみを抽出するステップS4。具体的には、制御コンピュータ5は、エッジ検出処理で検出された配線パターンのエッジのうち、水平方向及び垂直方向に対して傾斜したエッジのみを抽出する。これにより、画素の配列方向である水平方向u及び垂直方向vに対して傾斜した配線の像のみが制御コンピュータ5によって検出される。ステップS2において撮像された画像が図4に示す場合、エッジ32a,32bが抽出されることによって、配線像32のみが抽出される。次に、制御コンピュータ5は、抽出した斜めの配線の像に欠陥があるか否か判定するステップS5。具体的には、制御コンピュータ5は、抽出した斜めエッジが途切れているか否か判定する。これにより、配線の像の欠陥の有無が制御コンピュータ5によって判定される。ステップS2において撮像された画像が図4に示す場合、エッジ32a,32bが途切れていれば、配線像32に欠陥があると判定され、エッジ32a,32bが途切れていなければ、配線像32が良好であると判定される。ステップS4において鮮明な像32及びエッジ32a,32bが抽出されたので、ステップS5における誤判定の確率が低くなる。次に、制御コンピュータ5は、判定結果を記録媒体14に記録するステップS6。次に、制御コンピュータ5がXYθ駆動装置3を制御し、ステージ2及びウエハ8がXYθ駆動装置3によってX方向若しくはY方向又はそれらの両方に所定距離だけ平行移動するステップS7。なお、電子カメラ4がXYθ駆動装置によってX方向若しくはY方向又はそれらの両方に所定距離だけ移動してもよい。次に、制御コンピュータ5が、ウエハ8の表面9の全体についての検査を終了したか否かを判定するステップS8。ウエハ8の表面9の全体についての検査が終了していなければステップS8:No、制御コンピュータ5の処理がステップS2に戻る。こうして、ウエハ8の表面9の全体についての検査が終了するまで、上記のステップS2~ステップS8の処理が繰り返される。ウエハ8の表面9の全体についての検査が終了するとステップS8:Yes、制御コンピュータ5は、既にステージ2及びウエハ8の回転移動が行われたか否か判断するステップS9。具体的には、制御コンピュータ5は、回転済みを表すフラグが立てられてRAM12に記憶されているか否かを判定するステップS9。回転済みのフラグは後のステップS10において立てられるので、制御コンピュータ5がステージ2及びウエハ8の回転移動がまだ行われていないと判断するステップS9:No。そして、制御コンピュータ5は、XYθ駆動装置3を制御し、ステージ2及びウエハ8がXYθ駆動装置3によって所定角度但し、90°の整数倍を除く。だけ回転するステップS10。更に、制御コンピュータ5は、回転済みを表すフラグを立ててRAM12に記憶する。図5は、回転後のウエハ8のθ方向の位置を示した平面図であり、図5中の点線はウエハ8をチップサイズに細分化する際の切断予定線である。なお、電子カメラ4がXYθ駆動装置によって所定角度但し、90°の整数倍を除く。だけ回転してもよい。ステージ2及びウエハ8の回転後又は、電子カメラ4の回転後、制御コンピュータ5の処理がステップS1に戻る。そして、制御コンピュータ5は、ウエハ8の表面9の全体についての検査が終了するまで、上記のステップS2~ステップS8の処理を繰り返す。図6には、画素の配列を格子状の線で表したように、複数の画素が水平方向u及びそれに直交する垂直方向vに配列されており、ウエハ8をθ方向に45°だけ回転させた後に電子カメラ4で撮像された画像の一例が示されている。図6の画像には、配線パターン41が含まれている。配線パターン41は、水平方向u及び垂直方向vに対して傾斜した配線の像42と、水平方向uに対して平行な配線の像43と、からなる。配線パターン41には、垂直方向vに対して平行な配線の像が含まれていることもある。エッジ42a,42bは、配線の像42のエッジであり、エッジ43a,43bは、配線の像43のエッジである。ウエハ8が45°だけ回転されたので、図6に示す像43と図4に示す像32が同じ配線を表し、図6に示す像42と図4に示す像32が同じ配線を表す。従って、ウエハ8の回転前に抽出されなかった配線もウエハ8の回転後に抽出されて、検査される。ウエハ8の表面9の全体についての検査が終了するとステップS8:Yes、制御コンピュータ5は、既にステージ2及びウエハ8の回転移動が行われたと判断してステップS9:Yes、処理を終了する。この実施の形態によれば、以下のような効果が得られる。撮像された画像の中の配線パターンのうち、水平方向及び垂直方向の画素の配列方向に対して傾斜した配線の像が鮮明であり、そのような斜め配線の像のみを抽出して検査したから、検査の精度及び安定性が向上する。ウエハ8又は電子カメラ4をθ方向に回転させれば、ウエハ8又は電子カメラ4の回転前に画素の配列方向に対して水平又は垂直な配線が水平方向又は垂直方向に対して傾斜して、検査される。そのため、検査から漏れる配線が無い。ウエハ8又は電子カメラ4のθ方向の位置を変えて撮像を行って、それぞれの角度での画像認識により検査を行うため、角度ごとに画像認識性が異なる場合でも、検査不良を防ぎことができる。また、画素の配列方向に対して水平又は垂直な配線の像と画素の配列方向に対して斜めな配線の像での同じ配線幅の誤検出も防ぐことが出来るため、外観検査としての信頼性、安定性が向上する。電子カメラ4の撮影倍率を上げずとも、誤検査を防ぐことができる。電子カメラ4の撮影倍率を上げなくても済むので、検査の処理能力の低下を招きにくい。なお、本発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。以下、変形例を挙げる。以下に挙げる変形例は、可能な限り組み合わせてもよい。変形例1作業者が、ステップS2において撮像された画像であって表示部6に表示された画像から配線パターンを目視で抽出し、抽出された配線パターンに欠陥があるか否かを判定してもよい。その場合、作業者は、抽出された配線パターンのうち、水平方向及び垂直方向に対して傾斜した配線像に欠陥があるか否かを判断することになる。変形例2ステップS10においてステージ2又は電子カメラ4をθ方向に回転させるのではなく、ウエハ8をステージ2から別のステージに載せ換えて、別の電子カメラで撮像してもよい。その場合、ウエハ8をステージ2に載せてウエハ8を撮像する際のウエハ8のθ方向の位置と、ウエハ8を別のステージに載せ換えてウエハ8を撮像する際のウエハ8のθ方向の位置とは、所定角度但し、90°の整数倍を除く。例えば、45°。だけずれている。また、別のステージにウエハ8を載せ換えて検査する際は、制御コンピュータ5がステップS2~ステップS8の処理を行ってもよいし、別の制御コンピュータがステップS2~ステップS8の処理を行ってもよい。変形例3検査対象物としてウエハ8を挙げたが、プリント配線板、フレキシブル配線シートFPC:Flexibleprintedcircuits等を検査対象物としてもよい。変形例4上述の実施の形態では、所定角度の回転ステップS10が1回だけ行われたが、所定角度の回転が2回以上行われてもよい。その場合、2回目以降の各回の回転の後も、1回目の回転の後と同様に、検査ステップS2~ステップS8が行われる。本発明のいくつかの実施形態を説明したが、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限定するものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲とその均等の範囲を含む。以下に、この出願の願書に最初に添付した特許請求の範囲に記載された発明を付記する。付記に記載された請求項の項番は、この出願の願書に最初に添付した特許請求の範囲の通りである。付記<請求項1>表面に配線が形成された検査対象物の前記表面を撮像し、撮像した画像に含まれる配線パターンを検出し、検出した前記配線パターンのうち撮像した前記画像の規則的な画素の配列方向に対して傾斜した配線像のみを抽出し、抽出した前記配線像の欠陥の有無を判定することを特徴とする配線パターン検査方法。<請求項2>前記検査対象物又は前記撮像を行う撮像装置のいずれかを、前記検査対象物の前記表面に対して直交する軸のうち、前記検査対象物のほぼ中心を通る軸又は前記撮像装置のほぼ中心を通る軸のいずれかを中心として90°の整数倍を除く角度回転させた後、撮像、配線パターンの検出、配線像の抽出及び欠陥の有無の判定を再び行うことを特徴とする請求項1の配線検査方法。<請求項3>前記検査対象物がウエハであることを特徴とする請求項1または2の配線検査方法。<請求項4>前記検査対象物がステージの上面に載置され、前記ステージは、前記ステージの面と平行な一方の方向であるX方向及び前記ステージの面と平行で且つ前記X方向に対して90°回転したY方向に沿って移動可能に設けられると共に、X方向及びY方向の両方に直交する軸のうち、前記ステージのほぼ中心を通る前記軸を中心として回転可能に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項の配線検査方法。<請求項5>前記撮像装置がステージの上方に配置されて下方を向いている電子カメラであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項の配線検査方法。<請求項6>抽出した前記配線像のエッジが途切れているか否かにより、前記欠陥の有無を判定することを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項の配線検査方法。"