"被検出用の永久磁石の列とコイルの列との変位を検出する磁気式変位センサであって、変位の検出方向に沿って、同数のコイルから成り、かつ変位の検出方向に沿っての列の始まりと終わりの位置が等しい少なくとも2列のコイルの列と、永久磁石の列とが設けられ、永久磁石の列とコイルの列との相対速度と、永久磁石の列からの磁界とによる変位センサの出力への影響を、前記少なくとも2列のコイルの列間でキャンセルするように構成されていることを特徴とする、磁気式変位センサ。前記少なくとも2列のコイルの列は、向かい合ったコイルの巻き方が同じで電流の向きが逆か、向かい合ったコイルの巻き方が逆で電流の向きが同じになるようにされていることを特徴とする、請求項1の磁気式変位センサ。前記2列のコイルの列の前後両端に、ダミーのコイルが設けられていることを特徴とする、請求項1の磁気式変位センサ。磁気式変位センサにより、被検出用の永久磁石の列とコイルの列との変位を検出する変位方法であって、磁気式変位センサでは、変位の検出方向に沿って、同数のコイルから成り、かつ変位の検出方向に沿っての列の始まりと終わりの位置が等しい少なくとも2列のコイルの列と、永久磁石の列とが設けられ、永久磁石の列とコイルの列との相対速度と、永久磁石の列からの磁界とによる変位センサの出力への影響を、前記少なくとも2列のコイルの列間でキャンセルすることを特徴とする、変位検出方法。この発明の課題は、永久磁石の列とコイルの列との相対速度が変位センサの出力に影響しないようにすることと、永久磁石の列の長さを短くできるようにすることとにある。この発明の磁気式変位センサは、被検出用の永久磁石の列とコイルの列との変位を検出し、変位の検出方向に沿って、同数のコイルから成り、かつ変位の検出方向に沿っての列の始まりと終わりの位置が等しい少なくとも2列のコイルの列と、永久磁石の列とが設けられ、永久磁石の列とコイルの列との相対速度と、永久磁石の列からの磁界とによる変位センサの出力への影響を、前記少なくとも2列のコイルの列間でキャンセルするように構成されていることを特徴とする。この発明の変位検出方法は、磁気式変位センサにより、被検出用の永久磁石の列とコイルの列との変位を検出する方法であって、磁気式変位センサでは、変位の検出方向に沿って、同数のコイルから成り、かつ変位の検出方向に沿っての列の始まりと終わりの位置が等しい少なくとも2列のコイルの列と、永久磁石の列とが設けられ、永久磁石の列とコイルの列との相対速度と、永久磁石の列からの磁界とによる変位センサの出力への影響を、前記少なくとも2列のコイルの列間でキャンセルすることを特徴とする。磁気式変位センサの出力が相対速度に依存する原因は、永久磁石からの磁界とコイルを流れる電流とにより生じる誘導起電力にある。ここでコイルの列を、永久磁石2個分の長さにすると、1個目の永久磁石と2個目の永久磁石とで、コイルに及ぼす磁界の向きが逆なので、誘導起電力をキャンセルできる。しかし磁石の列の端では、例えば1個の永久磁石のみがコイルの列と向き合う等により、誘導起電力をキャンセルできない。これに対して、2列のコイルの列を設けると、コイルへ流れる電流の向きとコイルの巻き方等により、誘導起電力をコイルの列間でキャンセルできる。このため、相対速度は磁気式変位センサの出力に影響しないようになり、また向き合ったコイル間で誘導起電力をキャンセルするので、永久磁石の列がコイルの列に完全に重なる必要が無くなり、永久磁石の列を短くできる。なおこの明細書において、磁気式変位センサに関する記載はそのまま変位検出方法にも当てはまり、変位検出方法に関する記載はそのまま磁気式変位センサにも当てはまる。好ましくは、前記少なくとも2列のコイルの列は、向かい合ったコイルの巻き方が同じで電流の向きが逆か、向かい合ったコイルの巻き方が逆で電流の向きが同じになるようにされている。例えば差動結線により、コイルの巻き方を同じにして電流の向きを逆にすると、誘導起電力の向きは逆になる。また例えば和動結線により、向かい合ったコイルの巻き方が逆にして電流の向きが同じにしても、誘導起電力の向きは逆になる。また好ましくは、前記2列のコイルの列の前後両端に、ダミーのコイルが設けられていることを特徴とする、請求項1の磁気式変位センサ。列の中央部のコイルでは、両側に他のコイルがあるのに対し、列の端のコイルでは片側にしか他のコイルがない。このため列の中央と端とで、コイル間の相互インダクタンスが異なり、コイルのインピーダンスは不揃いな状態になる。ここでコイルの列の前後両端に、ダミーのコイルを設けると、列の何れの位置の検出用のコイルも左右両側に他のコイルがあり、インピーダンスがコイル間で均一になる。以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。図1~図10に、実施例の磁気式変位センサ22とその変形とを示し、センサ22は移動体システム2での移動体8の位置を検出する。各図において、4は移動体8が走行する軌道で、直線区間5とカーブ区間6とを備えている。移動体8は例えば3輪の車輪9,10,10により軌道4に沿って走行し、カーブ区間6では軌道4によりガイドされるガイドローラ11,11によりガイドされる。カーブ区間6で軌道4は90°向きを変えるが、カーブ区間6は1/4円ではなく、入口付近と出口付近で曲率半径が大きく、中心部で曲率半径が小さい。C1はカーブ区間6の入口付近の曲率中心、C2は中心付近の曲率中心、C3は出口付近の曲率中心である。実施例では軌道4はカーブ区間6の両側に直線区間5,5を設けたL字状の軌道であるが、軌道のレイアウト,種類,及び構造は任意で、例えば直線状の軌道でも良い。また移動体8の種類と構造も任意で、例えば建屋の天井スペースに沿って周回走行する天井走行車、あるいはボールネジで移動する移動体等でもよい。移動体8は永久磁石の列12を備えており、これはリニアモータの可動子である。以下では、永久磁石の列12を単に永久磁石12ということがある。永久磁石12の側方に、移動体8は被検出用磁石の列14を備えており、以下、この列14を単に磁石の列14ということがある。Gは移動体8の中心から成る制御中心であり、永久磁石12の中心でもあって、この位置Gを基準にリニアモータを制御する。15は制御中心Gの軌道で、16は被検出用磁石14の軌道で、正確には被検出用磁石14の長さ方向の中心部の軌道である。図2に軌道4と移動体8とを示し、リニア同期モータの1次側コイル18は可動子の永久磁石12に推力を加え、移動体8を走行させる。なおリニアモータの種類は任意で、リニア誘導モータ等でも良く、またリニアモータに代えて通常の走行モータを移動体8に搭載しても良い。さらに移動体8にリニアモータの1次側コイル18を、軌道4に可動子を設けても良い。20はコイル駆動部で、1次側コイル18を駆動する。22は磁気式変位センサで、単に変位センサ22ということがあり、被検出用磁石の列14を検出する。また移動体8は、軌道4側から非接触給電を受け、24はリッツ線、25は受電用のコイルである。26は軌道4の支柱で、非接触給電に代えて、接触式の給電方式としても良く、あるいはリチウムイオン電池などを移動体8に搭載しても良い。図3に1次側コイル18と変位センサ22等の配置を示す。1次側コイル18は制御中心の軌道15に沿って配置され、変位センサ22は被検出用磁石の軌道16に沿って配置されている。カーブ区間での複数の変位センサ22の出力は、統合ユニット27中のセレクタ28へ入力され、セレクタ28は振幅が最大となるセンサの出力により、LUT30参照表から制御中心の位置を読み出す。LUT30はカーブ区間での制御中心の位置を、カーブ区間6での何番目の変位センサ22を用いているかと、用いている変位センサからの出力とを見出しとして記憶し、読み出した制御中心の位置は統合ユニット27からコントローラ32へ出力される。実施例では1個のLUT30を用いるが、各変位センサ22に個別のLUTを設けて、各変位センサ22からカーブ区間6での制御中心の位置とセンサの出力の振幅を出力し、セレクタ28で選択するようにしても良い。なお隣り合った一対の変位センサ22が同程度の振幅を出力する場合、2つのセンサの出力から各々制御中心の位置を求めて例えば平均しても、あるいは2個のセンサの一方の出力により制御中心の位置を求めても良い。図4に示すように、統合ユニット27への入力は、カーブ区間での変位センサの番号と変位センサの出力とで、前記のようにセレクタ28で変位センサを選択し、LUT30で制御中心の位置に変換する。なおカーブ区間のみでなく、直線区間にも、複数の変位センサの出力を統合し制御中心の位置に変換する統合ユニットを設けても良い。直線区間5では、変位センサ22は変位センサ22よりも間隔を空けて配置されており、例えば変位センサ22により求まる制御中心の座標を直接にコントローラ32へ出力する。以上の結果、直線区間5及びカーブ区間6で移動体8の制御中心の座標が求まり、コントローラ32はこの座標を元にコイル駆動部20を介して1次側コイル18をフィードバック制御し、移動体8を走行させる。図5に変位センサ22の構造を示す。永久磁石の列14ではN極の磁石34とS極の磁石35とが交互に並び、変位センサ22は少なくとも2列のコイルの列40,42を備えている。以下の各図での黒点はコイルの巻き始めを示し、図5の各コイルは時計回りに巻かれて、列40のコイル44,45は図の左から右への向きに巻かれ、列42のコイル46,47は図の右から左への向きに巻かれている。列40と列42とではコイルは時計回りに巻かれて巻き始めの位置が逆であり、これはコイルの巻き方が逆の例である。なお一方のコイルを時計回りに他方のコイルを反時計回りに巻き、巻き始めの位置を同じにしても、巻き方は逆になる。列40,42の各コイルは互いに向き合って、変位の検出方向の位置は同じで、コイルの列40,42の始まりと終わりは同じ位置にある。コイルの列40,42は各6個のコイルを備え、両端のコイル45,47はインピーダンス調整用のダミーコイルで、中央の各4個のコイル44,46は検出用コイルで、コイル45と47及びコイル44と46は和動結線されて、同じ向きに電流が流れる。48はDAコンバータを用いた交流電源で、電源の種類は任意であり、出力をV0sinωtとする。50は相補バッファで、12V0sinωtと12V0sinωtの2つの出力をコイルの列40,42へ供給し、検出用コイル44,46は各4個で磁石34,35の、変位の検出方向に沿った、1個分の長さとなるように配置されている。磁石の列14に対し、変位センサ22が永久磁石1個分移動すると、センサ22の出力は2πだけ位相が変化する。永久磁石に対する位相をθとすると、コイル44,46の出力は、図の左から右への順に、sinθsinωtとcosθsinωt並びに-sinθsinωtと-cosθsinωtの4種類となる。磁石の列14に対する変位センサ22の相対速度が変化すると、磁石34,35から受けるコイル44,46内の磁界が変動することにより、誘導起電力が生じる。ここで図5のように、向かい合ったコイル44,46間で巻き始めの位置を逆にして和動結線すると、誘導起電力は向かい合ったコイル44,46間で逆になり、この結果、誘導起電力をキャンセルできる。両端にダミーコイル45,47を設けると、検出用コイル44,46はいずれも左右両側に他のコイルがあるので、コイル間の相互インダクタンスが共通になり、検出用コイル44,46のインピーダンスを均一にできる。図5の回路からsinθsinωtとcosθsinωtの出力が得られる。以降の信号処理を図6に示し、ωtの値は交流電源48側で既知なので、変換部52はsinθsinωtをsinθcosωtに変換する。次いでsinθcosωtとcosθsinωtとを加算部54で加算すると、sinが得られる。そして例えばθωt=nπnは整数となる時刻を0クロッシング検出部56で求めて、位相θを検出する。図7は変形例の変位センサを示し、特に指摘した点以外は変位センサ22と同じである。60は新たなコイルの列で、61は検出用コイル、62はダミーコイルで、コイル61,62はコイル44,45と巻き方が同じで、差動結線により逆向きに電流が流れるようにしてある。そしてコイル44,61は変位の検出方向に沿って同じ位置に配置され、同様にコイル45,62も変位の検出方向に沿って同じ位置に配置されている。差動結線のため、コイル44,45とコイル61,62とでは電流の向きが逆で、このため相対速度による誘導起電力はコイル44,61間で互いにキャンセルされる。図8は第2の変形例を示し、磁気式変位センサでの向かい合った1対のコイル80,81のみを示し、コイル80,81が例えば6ペア直列に配置されて、図5のように和動結線されて動作する。コイル80,81は巻き始めの位置が共通で、コイル80は時計回りに、コイル81は反時計回りに巻かれ、図のように電流を加えると、誘導起電力はコイル80とコイル81とで逆向きになってキャンセルされる。実施例の磁気式変位センサは、検出用コイル44,46の一部が永久磁石34,35に向き合っていれば、例えば変位の検出方向に沿って2個以上のコイルが向き合っていれば、変位を検出できる。この状況を図9に示し、右端の検出用コイル44,46は右端の磁石34rからはみ出しているが、磁石34rからの磁界を受けているので、変位を検出できる。これは相対速度による誘導起電力をコイル44,46間でキャンセルしているからである。比較例の磁気式変位センサを図10に示し、実施例と同じ符号は同じものを表す。比較例ではコイル44aとコイル44b間で誘導起電力をキャンセルするので、2個の磁石34,35と向き合うことが必要で、長い磁石の列が必要である。また図10のように一部の検出用コイル44bが磁石34からはみ出すと、誘導起電力をキャンセルできない。実施例では以下の効果が得られる。1永久磁石34,35とコイル44,46との相対速度が、変位の検出結果に影響し難い。2永久磁石の列14が短くても、変位を検出できる。また検出用コイル44,46の一部が永久磁石34,35からはみ出していても、変位を検出できる。3長い範囲に渡って永久磁石とコイルを向かい合わせることが難しく、直線区間に対して減速して走行することが多いカーブ区間でも、変位を容易に検出できる。"