自身に発生する各励磁相が互いに重なり合わずに巻回された複数個のコイルを有する固定部と、該固定部内に配置される、複数個の永久磁石が積層された可動部と、前記可動部に結合された軸と、を備え、前記コイルからの磁束を受け、軸線方向に前記可動部及び前記軸が駆動するリニアモータにおいて、前記コイルは、前記軸線方向に垂直な断面形状が、一側を開放する凹形状をなし、前記軸は、該凹形状の前記コイルが存在しない前記開放部に沿うべく配置しつつ、前記開放部に位置する前記可動部と結合されることを特徴とするリニアモータ。前記コイルは前記可動部の両側面と対向配置するようにコ字形状であることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。前記可動部の両側面に対向配置された前記コイルが形成するスロット数と前記コイルと相互作用する前記永久磁石の磁極数との比は、6n対5n、又は6n対7nnは自然数であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のリニアモータ。前記コイルは、断面がコ字形状であるボビン内に配設されたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のリニアモータ。前記ボビンのコイル固定面には前記コイル間の各境界を区切る複数の凸状の第1段差部を設け、該第1段差部によって複数個の前記コイルが各々電気的に絶縁されることを特徴とする請求項4に記載のリニアモータ。前記ボビンのコイル固定面には前記コイルの各々が固定される各区画内に複数の凸状の第2段差部をさらに設け、該第2段差部によって複数個の前記コイルが有する各スロットが規定されることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のリニアモータ。前記第2段差部は複数個の前記コイルが有する各スロット数を2本に規定することを特徴とする請求項6に記載のリニアモータ。前記可動部は、複数個の前記永久磁石の一方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る摺動部材をさらに有し、前記固定部は、前記摺動部材を摺動可能に支持する前記固定部内面に当接された非磁性材から成るすべり軸受をさらに有し、前記摺動部材は、前記摺動部材の中心軸が前記コイルによって形成される内空間の断面中心軸から前記すべり軸受側に偏心して配置されると共に前記すべり軸受と当接することで、前記永久磁石からの磁気吸引力を偏心方向に作用させることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のリニアモータ。前記固定部の内断面は矩形状であり、前記摺動部材は矩形状であり、前記すべり軸受の断面はL字形状であることを特徴とする請求項8に記載のリニアモータ。従来のリニアモータは、以上のように構成されているので、例えば、集中巻コイルを備えたリニアモータでは、集中巻コイル構造を維持したままリニアモータを小型化しようとすると、シャフト推力伝達部を小径化するためシャフト推力伝達部と可動子磁石配列部間の結合面積が不足する、あるいは可動子磁石配列部とシャフト推力伝達部の剛性確保が難しくなるという問題点があった。一方、コイル構造が分布巻コイルのリニアモータでは、分布巻コイルをコの字形状に成形し、さらに保持部材磁石配列部と可動子推力伝達部の一体結合とすることで、保持部材磁石配列部と可動子推力伝達部の高剛性化は可能となるが、この分布巻コイルを備えたリニアモータを小型化しようとすると、コイル構造が分布巻構造であるため、励磁相の異なるコイル同士が互いに重なり合ってしまい、その結果、コイル構造内部に不要な空間が多数発生し、この多数の空間が分布巻コイルを備えたリニアモータ小型化の阻害要因となっていた。この発明は、上述のような問題を解決するためになされたもので、その目的は、磁石配列部と推力伝達部の間の結合面積を十分に備え、磁石配列部と推力伝達部の高剛性を確保したコイル占積率の高い集中巻コイルを備えたリニアモータを得ることである。この発明に係るリニアモータにおいては、自身に発生する各励磁相が互いに重なり合わずに巻回された複数個のコイルを有する固定部と、固定部内に配置される、複数個の永久磁石が積層された可動部と、可動部に結合された軸とを備え、コイルからの磁束を受け、軸線方向に可動部及び軸が駆動し、コイルは、軸線方向に垂直な断面形状が、一側を開放する凹形状をなし、軸は、凹形状のコイルが存在しない開放部に沿うべく配置しつつ、開放部に位置する可動部と結合される。この発明により、リニアモータの磁石配列部と推力伝達部の間の結合面積を大きくすることで、磁石配列部と推力伝達部の高剛性化が可能となるため、その結果、機械とリニアモータの結合強度を高く維持することができ、小型でコイル占積率の高い集中巻コイルを備えたリニアモータを実現することが可能となる。実施例1.図1は、この発明の実施例1を示す集中巻コイルを備えたリニアモータの断面図であり、図2は、この発明の実施例1を示す集中巻コイルを備えたリニアモータの分解斜視図である。図1と図2において、1は集中巻コイルを備えたリニアモータの固定部、2は集中巻コイルを備えたリニアモータの可動部で、固定部1に対して軸線方向に相対変位が可能である。31は可動部2を支え、軸線方向に垂直な断面がL字形状をしたすべり軸受、51は電源用リード線、11は電源用リード線51から電流を流して磁束を発生させるための軸線方向に垂直な面と平行にコの字形状に屈曲し、可動部2の両側面に対向配置された複数個のコイルである。111はコイル11のスロットで、コイル11を構成するX方向上下方向の直線部に該当する。12は複数個のコイル11を各々電気的に絶縁すると共に各々のコイル11を固定する樹脂製の軸線方向に垂直な断面がコの字形状をしたボビン、13は発生した磁束の磁気回路となる上フレーム、14は発生した磁束の磁気回路となる、軸線方向に垂直な断面がU字形状をした下フレーム、15は機械剛性を高くするためのベース、16は軸シャフトを支える軸受、17は軸受16を保持するブラケット、18は異物の侵入を防ぐカバー、41は位置検出器、52は位置検出器用リード線であり、固定部1は、すべり軸受31、コイル11、ボビン12、上フレーム13、下フレーム14、ベース15、軸受16、ブラケット17、カバー18、位置検出器41で構成される。一方、32はすべり軸受31の表面を摺動案内する摺動部材、21は複数個のコイル11の発生磁束との相互作用により推力を発生するために積層された複数個の永久磁石であり、永久磁石21の軸線方向に垂直な断面は矩形状である。22は磁性材もしくは非磁性材からなり、積層された複数個の永久磁石21のN極及びS極の磁極が軸線方向に交互に形成されるように複数個の永久磁石21の間に配置されるスペーサ、27は磁石配列部であり、磁石配列部27は永久磁石21とスペーサ22で構成される。また、可動部2は、摺動部材32と磁石配列部27で構成される。23aはシャフト結合部、23bは永久磁石21とスペーサ22に結合して発生推力を機械に伝達する軸シャフト、23cはリニアモータと機械が連結されるシャフト先端部、28は推力伝達部であり、推力伝達部28はシャフト結合部23aとシャフト23bとシャフト先端部23cで構成される。26はスケール結合部材、42はスケールである。図1と図2において、シャフト結合部23aは可動部2を構成する磁石配列部27の上面に全面にわたって接着結合されている。シャフト23bのもう一方の端部は固定部1の外部に出ており、位置検出用に使われる。可動部2は固定部1の内部に配置され、図1中のZ方向に可動な構造となっている。また、複数個のコイル11は複数個の永久磁石21の外側に対向配置されている。スケール42はスケール結合部材26によって、シャフト先端部23cに結合されており、シャフト23bの動きに合わせて可動する構造となっている。また、スケール42は、その内部には光学的もしくは磁気的な位置情報が記録されており、固定部1に結合された位置検出器41によって、シャフト23bの図1中のZ方向の位置を検出し、位置検出器用リード線52から制御部へ位置信号を伝達する構造となっている。A-A’断面とB-B’断面は、図1に示す集中巻コイルを備えたリニアモータのX-Y面に沿った断面を示す。なお、図1では、コイルのスロット111の数対コイルのスロット111と相互作用する永久磁石21の磁極数が、12スロット対10極6n対5n系列におけるn=2の場合を示している。図3は、この発明の実施例1を示す集中巻コイルを備えたリニアモータのすべり軸受の構造図である。すべり軸受31は樹脂製非磁性材であり、図3のA-A’断面に示すように軸線方向に垂直な断面がL字形状をしている。一方、摺動部材32はS50C等であり、上フレーム13及び下フレーム14はSPCC等のいずれも磁性材である。ここで、摺動部材32と上フレーム13の間、摺動部材32と下フレーム14の間のそれぞれのギャップは、L字形状のすべり軸受31が介在する側は小さく、介在しない側は大きくしており、永久磁石21の作る磁束61によって発生する磁気吸引力62は、L字形状のすべり軸受31が介する側に大きく働く。その結果、摺動部材32とすべり軸受31は、一定の磁気吸引力62で常に接触しながら摺動する構造となっている。図4は、この発明の実施例1を示す集中巻コイルを備えたリニアモータの制御部の構成図である。図4において、90は制御部、100はリニアモータである。91は位置制御回路、92は速度制御回路、93は電流制御回路、99は電流検出器であり、制御部90は位置制御回路91、速度制御回路92、電流制御回路93、電流検出器99で構成される。スケール42及び位置検出器41により検出された位置情報は、リニアモータ100の制御部90にフィードバックされる。位置制御回路91は位置検出器41からの位置フィードバック値と指令値とを比較することによって位置制御し、速度制御回路92は位置制御回路91からの出力値と位置フィードバック値を微分した速度フィードバック値を比較することによって速度制御し、電流制御回路93は速度制御回路92からの出力値と電流検出器99からの電流フィードバック値を比較することによって推力制御することがそれぞれ可能である。図5は、この発明の実施例1を示す集中巻コイルを備えたリニアモータのコイルのスロットの数と永久磁石数の関係を示す図である。図5aは、コイルのスロット111の数対永久磁石21の磁極数が6n対5nの場合を説明する図であり、図5bは、6n対7nの場合を説明する図である。また、図6は、この発明の実施例1を示す集中巻コイルを備えたリニアモータの軸線方向に垂直な面と平行なコの字形状のコイルの作製方法を示す図である。図5において、コイルのスロット111の数と永久磁石21の磁極数の組み合わせが、6n対5n、6n対7nの場合のスロット111で発生する励磁相の配列順は、軸線方向に沿って設計上U、U-、V-、V、W、W-の順となるため、図5に示すように、同じ励磁相のスロット111例えば、U、U-が軸線方向に沿って隣接する必要がある。この同じ励磁相のスロット111が軸線方向に沿って隣接する条件を満足する構造として、図6に示すような、ロの字形状のコイル11の両端部を上方に折り曲げて成形したコの字形状が考えられ、コの字形状のコイル11の開放部例えば、図2の上部、すなわち磁石配列部27の上面にシャフト結合部23aを配置することで、磁石配列部27と推力伝達部28の間の結合面積を大きくすることができ、磁石配列部27と推力伝達部28の高剛性化が可能になり、磁石配列部27と推力伝達部28の結合強度を高くすることができる。従って、この発明は、分布巻コイルからよりコイル占積率の高い集中巻コイルへの置き換えに加えて、コイル11として作製容易な軸線方向に垂直な面と平行なコの字形状の構造を適用することで、磁石配列部27の上面にシャフト結合部23aを配置して磁石配列部27と推力伝達部28の結合強度を高め、その結果、リニアモータと機械との結合強度を高くするものであり、軸線方向に沿って励磁相の異なるコイル11が互いに重なり合うことをなく、リニアモータを小型化することができる。一方、図7は、この発明の実施例1を示す集中巻コイルを備えたリニアモータのコイルのスロットと永久磁石数の組み合わせが3n対2n及び9n対8nの場合のコイル形状を示す図である。図7aは、コイルのスロット111の数対永久磁石21の磁極数が3n対2nの場合のコイル形状を示す図であり、図7bは、9n対8nの場合のコイル形状を示す図である。組み合わせが3n対2nの場合、スロット111で発生する励磁相の配列順は、軸線方向に沿って設計上U、V、Wの順となるが、図6に示すようなコの字形状のコイル11では、同じ励磁相のスロット111例えば、U、U-が軸線方向に沿って2本隣接してしまうため、軸線方向に沿って互いに異なる励磁相のスロット111が連なる必要があるU、V、Wの配列順に対しては、コの字形状のコイル11は適用できない。従って、組み合わせが3n対2nの場合の適用可能なコイル形状は、図7aに示すようなロの字形状のコイルとなる。また、組み合わせが9n対8nの場合、スロット111で発生する励磁相の配列順は、軸線方向に沿って設計上U-、U、U-、V-、V、V-、W-、W、W-の順となり、同じ励磁相のスロット111例えば、U-、U、U-が軸線方向に沿って3本隣接する必要があるが、この場合、コイル11の形状は図7bに示すように、形状が軸線方向に沿って3本のスロット111が連なる必要があり、従って、同じ励磁相のスロット111例えば、U、U-が軸線方向に沿って2本隣接するコの字形状のコイルは適用できない。図8は、この発明の実施例1を示す集中巻コイルを備えたリニアモータのボビンの斜視図である。図8に示すように、この発明の実施例1における樹脂製のボビン12は、軸線方向に垂直な断面がコの字形状であり、さらにボビン12には、複数個のコイル11をそれぞれ位置決めして固定するために、コイル11とコイル11の各境界に複数の凸状の第1段差部である段差部71と、コイル11が有する各スロット数を2本に規定する複数の凸状の第2段差部である段差部72がそれぞれ設けられている。複数の段差部71によって、複数個のコイル11は各コイル11が固定される区画内に区切られて位置決めされ、各コイル11が電気的に絶縁される。また、複数の段差部72によって、コイル11が有する各スロット数を2本に規定するように成形される。このように、軸線方向に垂直な断面がコの字形状のボビン12は、複数の段差部72によるコイル11が有する各スロット数を2本に規定するように成形する治具と、複数の段差部71による隣接するコイル11間の位置決め機能を兼用した構造を有している。その結果、この発明の実施例1におけるボビン12を適用することで、リニアモータを小型化する際に小型で高精度の固定部1を製作することができる。なお、実施例1では、この発明を細長いシャフト状の機構に推力を伝える構造を有したリニアモータに適用する場合について説明したが、これに限るものではなく、例えば、テーブル状の機構に推力を伝える構造を有したリニアモータに適用しても同様の効果を得ることができる。さらに、図3で説明した集中巻コイルを備えたリニアモータにおいては、摺動部材32と断面がL字形状のすべり軸受31が、一定の磁気吸引力62でもって常に接触した状態となるため、摺動部材32とすべり軸受31の間にはギャップが存在せず、その結果、従来の集中巻コイルを備えたリニアモータの構成では生じていたギャップに起因したがたつきや変動もなく、シャフト先端部23cの位置決め精度を高くすることが可能となる。また、従来の集中巻コイルを備えたリニアモータの構成のままでギャップを小さくしようとした場合、摺動部材32とすべり軸受31の寸法を高精度に加工する必要があったが、この実施例1における集中巻コイルを備えたリニアモータの構成では、その加工も必要もない。このように、この発明の集中巻コイルを備えたリニアモータの構成によれば、リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることができるので、表面実装機や基板検査機へのリニアモータの適用が可能となり、例えば、電子基板に実装する部品の高密度化が可能となる。