制振対象物に固定された固定部構造体と、前記固定部構造体の上部及び下部に固定部ヨークを介して固定された上部及び下部固定部磁石列と、前記固定部構造体の内部に設置された非磁性体からなる第1可動部構造体と、前記固定部磁石列と対向するように前記第1可動部構造体の上部及び下部に固定された上部及び下部の第1可動部磁石列と、前記第1可動部構造体の内部に設置された非磁性体からなる第2可動部構造体と、前記上部及び下部の第1可動磁石列と対向するように前記第2可動部構造体に固定された第2可動部磁石列と、前記上部及び下部の第1可動部磁石列と前記第2可動部磁石列との間の隙間に配置された導体板と、を有する動吸振器において、前記制振対象物、第1可動部構造体及び第2可動部構造体にそれぞれ取付けられた振動検出器と、前記第2可動部磁石列を構成する磁石の少なくとも一部が電磁石である第2可動部磁石列と、前記振動検出器からの検出値を演算処理し前記電磁石に制御信号を出力する制御装置と、を具備することを特徴とする動吸振器。前記上部及び下部の第1可動部磁石列をそれぞれ構成する磁石の少なくとも一部を電磁石とすることを特徴とする請求項1記載の動吸振器。前記前記上部及び下部の第1可動部磁石列の電磁石を前記第2可動部磁石列の永久磁石の対向するように配置し、前記第2可動部磁石列の電磁石を前記前記上部及び下部の第1可動部磁石列の永久磁石に対向するように配置したことを特徴とする請求項2記載の動吸振器。前記第2可動部磁石列を構成する磁石を全て永久磁石とするとともに、前記上部及び下部の第1可動部磁石列をそれぞれ構成する磁石の少なくとも一部を電磁石とすることを特徴とする請求項1記載の動吸振器。制振対象物に固定部ヨークを介して固定された下部固定部磁石列と、非磁性体からなる第2可動部構造体に可動部ヨークを介して固定された第2可動部磁石列と、前記下部固定部磁石列と前記第2可動部磁石列との間に配置された非磁性体からなる第1可動部構造体と、前記下部固定部磁石列と前記第2可動部磁石列に対向するように前記第1可動部構造体に固定された第1可動部磁石列と、前記第1可動部磁石列と前記第2可動部磁石列との間の隙間に配置された導体板と、を有する動吸振器において、前記制振対象物、第1可動部構造体及び第2可動部構造体にそれぞれ取付けられた振動検出器と、前記第2可動部磁石列を構成する磁石の少なくとも一部が電磁石である第2可動部磁石列と、前記振動検出器からの検出値を演算処理し前記電磁石に制御信号を出力する制御装置と、を具備することを特徴とする動吸振器。前記制御装置は、前記第1可動部磁石列及び/又は前記第2可動部磁石の複数の電磁石に対し、それぞれ個別に制御信号を出力することを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載の動吸振器。前記制御装置は、位相差検出部、振動数差検出部及び制御量演算部を備えることを特徴とする請求項1乃至6いずれかに記載の動吸振器。前記制振対象物は回転機械であり、前記回転機械に回転数検出器を取付けるとともに、前記制御装置は、前記回転数検出器の検出値並びに第1可動部構造体及び第2可動部構造体にそれぞれ取付けられた振動検出器からの検出値を演算処理し前記電磁石に制御信号を出力することを特徴とする請求項1乃至6いずれかに記載の動吸振器。従来の磁気ばねダンパ要素を用いた従来の動吸振器では、磁気ばね定数が一定に保たれているため、制振対象物に動吸振器を設置した後に、温度などの環境条件の変化、あるいは機械などでは運転条件の変化に伴い、制振対象物の固有振動数が変化した場合、動吸振器の最適調整状態が崩れることによる制振効果の低下を防ぐことが困難であった。また、回転機械など振動源を持つ対象物の定常振動を抑制するために、磁気ばね要素と可動質量からなる付加質量系の固有振動数を、制振対象物の振動数に一致させることにより、反共振を利用して対象物の振動を抑制する制振装置においても、制振装置を設置した後、振動源の振動数変化があると追従できないため、制振効果の低下を防ぐことが困難であった。本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、制振装置を設置した後でも制振対象物の振動特性変化に追従して、動吸振器を構成するばね要素のばね定数を最適状態に自動調整できる小型の動吸振器を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明に係る動吸振器は、制振対象物に固定された固定部構造体と、前記固定部構造体の上部及び下部に固定部ヨークを介して固定された上部及び下部固定部磁石列と、前記固定部構造体の内部に設置された非磁性体からなる第1可動部構造体と、前記固定部磁石列と対向するように前記第1可動部構造体の上部及び下部に固定された上部及び下部の第1可動部磁石列と、前記第1可動部構造体の内部に設置された非磁性体からなる第2可動部構造体と、前記上部及び下部の第1可動磁石列と対向するように前記第2可動部構造体に固定された第2可動部磁石列と、前記上部及び下部の第1可動部磁石列と前記第2可動部磁石列との間の隙間に配置された導体板と、を有する動吸振器において、前記制振対象物、第1可動部構造体及び第2可動部構造体にそれぞれ取付けられた振動検出器と、前記第2可動部磁石列を構成する磁石の少なくとも一部が電磁石である第2可動部磁石列と、前記振動検出器からの検出値を演算処理し前記電磁石に制御信号を出力する制御装置と、を具備することを特徴とする。また、本発明に係る動吸振器は、制振対象物に固定部ヨークを介して固定された下部固定部磁石列と、非磁性体からなる第2可動部構造体に可動部ヨークを介して固定された第2可動部磁石列と、前記下部固定部磁石列と前記第2可動部磁石列との間に配置された非磁性体からなる第1可動部構造体と、前記下部固定部磁石列と前記第2可動部磁石列に対向するように前記第1可動部構造体に固定された第1可動部磁石列と、前記第1可動部磁石列と前記第2可動部磁石列との間の隙間に配置された導体板と、を有する動吸振器において、前記制振対象物、第1可動部構造体及び第2可動部構造体にそれぞれ取付けられた振動検出器と、前記第2可動部磁石列を構成する磁石の少なくとも一部が電磁石である第2可動部磁石列と、前記振動検出器からの検出値を演算処理し前記電磁石に制御信号を出力する制御装置と、を具備することを特徴とする。本発明の実施形態によれば、制振装置を設置した後でも制振対象物の振動特性変化に追従して、動吸振器を構成するばね要素のばね定数を最適状態に自動調整できる小型の動吸振器を提供することができる。まず、本実施形態に係る動吸振器の概念モデルを図2により説明する。図2に示すように、制振対象物1および第1動吸振器と第2動吸振器の可動質量にそれぞれの振動を検出する振動検出器13~15を配置し、制御装置16は振動検出器13~15からの検出値を比較演算処理することにより、第1動吸振器のばね要素と第2動吸振器のばね要素のばね定数を適切に制御する信号を第1及び第2動吸振器に出力する構成としている。以下、本発明に係る動吸振器の実施形態について、図面を参照して説明する。[第1の実施形態]第1の実施形態に係る動吸振器を、図1乃至図3を用いて説明する。構成第1の実施例形態に係る動吸振器は、制振対象物1に対して強固に取付けられた固定部構造体2と、固定部構造体2にベアリング球19及び受け坐20を介して設置された第1可動部構造体3と、第1可動構造体3の内部にベアリング球22及び受け坐23を介して設置された第2可動部構造体4と、制振対象物1、第1可動部構造体3及び第2可動部構造体4にそれぞれ取付けられた振動検出器13~15と、振動検出器13~15からの信号が入力されるとともに第2可動部構造体4に設置された電磁石11に制御信号25を出力する制御装置16とから構成される。固定部構造体2は非磁性材からなり、その上下部には固定部磁石列7が磁性材である固定部ヨーク6を介して固定部構造体2に固定されている。また、固定磁石列7は複数の固定磁石5は隣接する磁石が相互に異磁極となるように縦横に配置されている。第2可動部構造体4は非磁性体からなり、第2可動部磁石列12が固定されている。この第2可動部磁石列12は、複数の第2可動磁石10が隣接する磁石が異磁極となるように縦横に配置されるとともに、複数の電磁石11が配置されている。第1可動部構造体3の上下部には第1可動部磁石列9が配置固定されており、各第1可動部磁石列9は、複数の可動磁石8が固定部磁石列7と同一の配列で配置され、所定の隙間17を介して、同一形状を持つ異磁極が相互に対向する構成となっている。また、第1可動部構造体3の上下部に設けられた第1可動部磁石列9と第2可動部磁石列12は、個々の第1可動磁石8と第2可動磁石10および電磁石11が一定の隙間18を介して、同一形状を持つ異磁極が相互に対向する構成となっている。さらに、第1可動部構造体9と固定部構造体2の間には、ベアリング球19が受け座20を介して設置され、隙間17が保持されている。また、第1可動部構造体3と第2可動部構造体4の間には、ベアリング球22が受け座23を介して隙間18が形成されるとともに、隙間18には導体板21が配置されている。制御装置16は、制振対象物1、第1可動部構造体3及び第2可動部構造体4にそれぞれ取付けられた振動検出器13~15からの検出信号に基づいて所定の演算処理を実行し、第2可動部構造体4に設置された電磁石11に制御信号25を出力する。図2は上記のように構成された動吸振器の概念モデル図である。作用本第1の実施形態に係る動吸振器の作用を説明する。第1可動部構造体9が固定部構造体2に対し相対移動する場合、すなわち対向する第1可動磁石8と固定磁石5の位置がずれる場合、対向する磁石間に作用する磁気吸引力と磁気反発力が図2のばね要素k1になり、第1動吸振器が構成される。さらに、第2可動部構造体4が第1可動部構造体3に対し相対移動する場合、すなわち対向する第2可動磁石10および電磁石11と第1可動磁石8の位置がずれる場合、対向する磁石間に作用する磁気吸引力と磁気反発力が図2のばね要素k2になるとともに、対向磁石同士のずれ運動に伴い、隙間の磁束24が導体板21に対し相対運動することで減衰要素c2になっている。これにより第2動吸振器が構成される。このように第1可動部磁石列9は、固定部磁石列7と対向することでばね要素k1を構成すると同時に、第2可動部磁石列12と対向することでばね要素k2を構成している。これにより、第1動吸振器のばね要素となる複数の磁石と第2動吸振器のばね要素となる複数の磁石を一部共用することで、磁束の流れを効率化し、磁気回路を構成するバックヨークの一部を省略することが可能となる。また、一対の第2可動部磁石列12において、その両側に第1可動部磁石列9を配置することで、バックヨークを排除して磁束の流れを効率化し、限られたスペースにて並列化してより大きなばね要素k2が得られる。なお、矢印24は磁束の流れを示している。この第1動吸振器と第2動吸振器が構築された本実施形態の動吸振器において、制御装置16は、制振対象物1、第1可動部構造体3及び第2可動部構造体4にそれぞれ取付けられた振動検出器13~15の検出値に基づいて、常時制振対象物1の振動特性変化を監視し、振動特性が変化した場合、第2可動部構造体4に設置された電磁石11に磁気力を調整する制御信号25を出力することで、第2動吸振器のばね要素k2を構成する第1可動部磁石列9と第2可動部磁石列12の間に作用する磁気力を自動調整する。これにより、制振装置を設置した後でも制振対象物1の振動特性変化に追従して、ばね要素k2による磁気ばね定数を自動調整することが可能となるので、制振対象物1の振動を常に効果的に抑制することができる。図3は永久磁石と電磁石の組み合わせにより磁気ばね定数を自動調整する制御装置16の自動調整機能の概念図であり、可動部構造体の変位横軸と磁気復元力縦軸の関係を示している。従来の永久磁石どうしの異磁極が対向した磁気ばね要素による磁気ばね定数PPに対して、永久磁石と電磁石が対向する部位を付加することで、電磁石に印加する電流を調整することにより、永久磁石と電磁石で異磁極が対向する場合PEにはPPを大きくする方向に作用し、永久磁石と電磁石で同磁極が対向する場合PE-にはPPを小さくする方向に作用することになる。このように電磁石に供給する制御電流の向きと大きさを、制振対象物1の振動特性変化に応じて調整することで、磁気ばね定数を自動調整することが可能となり、制振対象物1の振動を常に効果的に抑制することができる。効果以上説明したように、本第1の実施形態によれば、複数の磁石を共有することで吸振器の小型化を図ることができるとともに、制振装置を設置した後でも制振対象物の振動特性変化に追従してばね要素の磁気ばね定数を自動調整することが可能となるので、制振対象物の振動を常に効果的に抑制することができる。[第2の実施形態]第2の実施形態に係る動吸振器を、図4を用いて説明する。構成本第2の実施形態では、第2可動部磁石列12に複数の電磁石11を配置固定する替わりに、非磁性材からなる第1可動部構造体3の上下部に配置された第1可動部磁石列9に、複数の電磁石26を配置した構成としている。制御装置16は、制振対象物1、第1可動部構造体3及び第2可動部構造体4にそれぞれ取付けられた振動検出器13~15からの検出信号に基づいて所定の演算処理を実行し、第1可動部構造体3に設置された電磁石26に制御信号27を出力する。作用このように構成された本第2の実施形態の動吸振器において、振動検出器13~15によって検出された制振対象物1の振動特性変化に応じて、制御装置16は第1動吸振器のばね要素k1を構成する第1可動部磁石列9と固定部磁石列7の間に作用する磁気力とともに、第2動吸振器のばね要素k2を構成する第1可動部磁石列9と第2可動部磁石列12の間に作用する磁気力を自動調整することができる。効果これにより、制振装置を設置した後でも制振対象物1等の振動特性変化に追従して、ばね要素k1とばね要素k2による磁気ばね定数を自動調整することが可能となり、制振対象物1の振動を常に効果的に抑制することができる。[第3の実施形態]第3の実施形態に係る動吸振器を、図5を用いて説明する。構成本実施形態では、第2可動部構造体4に複数の電磁石11が配置固定するとともに、非磁性材からなる第1可動部構造体3の上下部に配置された第1可動部磁石列9にも複数の電磁石26を配置した構成としている。この電磁石11と電磁石26はそれぞれが対向する位置に配置されている。制御装置16は、制振対象物1、第1可動部構造体3及び第2可動部構造体4にそれぞれ取付けられた振動検出器13~15からの検出信号に基づいて所定の演算処理を実行し、電磁石11と電磁石26にそれぞれ制御信号25と制御信号27を出力する。作用このように構成された本第3の実施形態の動吸振器において、振動検出器13~15によって検出された制振対象物1等の振動特性変化に応じて、制御装置16は電磁石11と電磁石26に制御信号25と制御信号27をそれぞれ出力することにより、第1動吸振器のばね要素k1を構成する第1可動部磁石列9と固定部磁石列7の間に作用する磁気力とともに、第2動吸振器のばね要素k2を構成する第1可動部磁石列9と第2可動部磁石列12の間に作用する磁気力を自動調整することができる。効果これにより、制振装置を設置した後でも制振対象物1等の振動特性変化に追従して、ばね要素k1とばね要素k2による磁気ばね定数をより広い範囲で自動調整することが可能となり、制振対象物1の振動を常に効果的に抑制することができる。また、本実施形態の変形例として、図6に示すように、電磁石11を永久磁石である第1可動磁石8と対向するように配置し、電磁石26も永久磁石である第2可動磁石10と対向する位置に配置してもよい。これにより、上記実施形態と同様に、ばね要素k1とばね要素k2による磁気ばね定数をより広い範囲で自動調整することが可能となる。[第4の実施形態]第4の実施形態に係る動吸振器を、図7を用いて説明する。本実施形態の動吸振器は、第1可動部構造体3に複数の第1可動磁石8と複数の電磁石28を隣接する磁石が異磁極となるように縦横に配置固定してなる第1可動部磁石列9と、複数の固定部磁石5を隣接する磁石が異磁極となるように制振対象物1に固定部ヨーク6を介して固定した固定部磁石列7と、非磁性材からなる第2可動部構造体4に第2可動部ヨーク29を介して固定され、隣接する磁石10が異磁極となるように縦横に配置固定した第2可動部磁石列12と、から構成される。第1可動部磁石列9と固定部磁石列7は一定の隙間17を介して、同一形状を持つ異磁極が対向する構成となっている。また、第2可動部磁石列12と第1可動磁石列9も一定の隙間18を介して、同一形状を持つ異磁極が対向する構成となっている。制御装置16は、制振対象物1、第1可動部構造体3及び第2可動部構造体4にそれぞれ取付けられた振動検出器13~15からの検出信号に基づいて所定の演算処理を実行し、電磁石28に制御信号30を出力する。本実施形態によれば、吸振器をさらに小型化することができるとともに、第1動吸振器、第2動吸振器の構成が単純化することで、第1動吸振器、第2動吸振器の構成パラメータの設定自由度が拡がるとともに、制御装置の演算機能も単純化することができる。[第5の実施形態]第5の実施形態に係る動吸振器を、図8を用いて説明する。本実施形態は、図4の第2の実施形態の構成を例に説明するが、上記第1、第3及び第4の実施形態にも適用できる。本第5の実施形態では、制御装置16は第1可動部構造体3に設置された複数の電磁石26に対して位置により異なる制御信号31、32を出力する構成としている。これにより、第1動吸振器のばね要素k1を構成する第1可動部磁石列9と固定部磁石列7の間に作用する磁気力とともに、第2動吸振器のばね要素k2を構成する第1可動部磁石列9と第2可動部磁石列12の間に作用する磁気力が微調整できることとなり、ばね要素k1とばね要素k2による磁気ばね定数の最適調整が容易となる。なお、上述したように、他の実施形態の電磁石に対しても、それぞれの位置により異なる制御信号を出力することにより、ばね要素k1とばね要素k2による磁気ばね定数の最適調整が容易となる。[第6の実施形態]第6の実施形態に係る動吸振器を、図9を用いて説明する。本実施形態は、上記第2の実施形態の構成を例に説明するが、上記第1、第3乃至第5の実施形態にも適用できる。本実施形態の制御装置16は、位相差検出部33、振動数差検出部34及び制御量演算部35を備えている。制御装置16は、制振対象物1、第1可動部構造体3及び第2可動部構造体4にそれぞれ取付けられた振動検出器13~15からの検出信号が入力されると、位相差検出部33において制振対象物1と第1可動部構造体3、第2可動部構造体4の位相差を検出するとともに、振動数差検出部34において制振対象物1と第1可動部構造体3、第2可動部構造体4の振動数および振動数差を検出する。制御量演算部35では、この位相差および振動数差を基に磁気ばね定数の最適ばね定数からのずれ量を算出するとともに、磁気ばね定数と電磁石26に印加する電流の関係から制御量を決定し、制御量演算部35から電磁石26に制御信号27を出力する。なお、図示されていないが、制御装置16は、A/D変換器、D/A変換器および周波数フィルターも備えている。本第6の実施形態によれば、制振対象物1、第1可動部構造体3及び第2可動部構造体4の位相差および振動数差を検出することにより、制振装置を設置した後でも制振対象物1の振動特性変化に追従して、ばね要素k1とばね要素k2による磁気ばね定数を高精度で自動調整することが可能となり、制振対象物の振動を常に効果的に抑制することができる。[第7の実施形態]第7の実施形態に係る動吸振器を、図10を用いて説明する。本実施形態は、上記第6の実施形態の構成を例に説明するが、上記第1乃至第5の実施形態にも適用できる。本実施形態は、制振対象物1は回転機械であり、磁気ばね要素と可動質量からなる付加質量系の固有振動数を、回転機器の回転数に一致させることにより、反共振を利用して回転機器の振動を抑制する。本実施形態において、回転機器に回転数検出器36が取り付けられ、回転数信号は制御量演算部37に入力される。制御量演算部37は、回転数検出器36の信号を受けて回転数と同期する磁気ばね定数を算出するとともに、磁気ばね定数と電磁石26に印加する電流の関係から制御量を決定し、制御量演算部37から電磁石26に制御信号27を出力する。本第7の実施形態によれば、回転機器の回転振動を抑制する場合、回転数変動に追従して、第1動吸振器の磁気ばね定数を自動調整するとともに、第2動吸振器により第1動吸振器の過大な動きを抑え、回転機械の振動を常に効果的に抑制することができる。以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、組み合わせ、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。