"加工される被検査物を有するレーザ加工システムであって、コントローラと、前記コントローラに作用的に接続された、第1の視野を有する第1のカメラと、ユーザコマンドを入力可能なタッチスクリーンユーザインタフェイスであって、前記コントローラに作用的に接続されて前記第1のカメラからの画像を表示するタッチスクリーンユーザインタフェイスと、前記コントローラに作用的に接続された、前記被検査物と前記第1の視野との関係を変化させる移動ステージと、を備え、前記コントローラは、前記タッチスクリーンユーザインタフェイスから前記入力されたユーザコマンドを受け取り、前記ユーザコマンドを出力コマンドに変換し、前記出力コマンドを前記移動ステージに通信可能であり、前記移動ステージは、前記出力コマンドに応答して、前記入力されたユーザコマンドに従い前記第1の視野と前記被検査物との関係を変更する、レーザ加工システム。前記レーザ加工システムが、レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析、レーザアブレーション誘導結合プラズマ発光分光、又はマトリックス支援レーザ脱離イオン化飛行時間分光のうちの1つである、請求項1に記載のレーザ加工システム。前記第1のカメラは、光学顕微鏡を利用して前記被検査物を撮像する、請求項1に記載のレーザ加工システム。前記コントローラに作用的に接続された、前記第1の視野よりも広い第2の視野を撮像するための第2のカメラを備えた、請求項1に記載のレーザ加工システム。被検査物を有するレーザ加工システムを制御する方法であって、入力及び出力コマンドを有するコントローラを用意し、前記コントローラに作用的に接続された、第1の視野を有する第1のカメラを用意し、前記コントローラに作用的に接続された、ユーザコマンドを入力可能なタッチスクリーンユーザインタフェイスを用意し、前記コントローラに作用的に接続された、前記被検査物と前記第1の視野との関係を変更する移動ステージを用意し、前記タッチスクリーンユーザインタフェイスからユーザコマンドを入力し、前記入力されたユーザコマンドを前記入力コマンドとして前記コントローラに通信し、前記コントローラを用いて前記入力コマンドを前記出力コマンドに変換し、前記出力コマンドを前記移動ステージに通信し、前記移動ステージは、前記出力コマンドに応答して、前記入力されたユーザコマンドに従い前記第1の視野と前記被検査物との関係を変更し、これにより前記レーザ加工システムを制御する、方法。前記レーザ加工システムは、レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析、レーザアブレーション誘導結合プラズマ発光分光、又はマトリックス支援レーザ脱離イオン化飛行時間分光のうちの1つである、請求項4に記載の方法。前記第1のカメラは、光学顕微鏡を利用して前記被検査物を撮像する、請求項1に記載の方法。前記コントローラに作用的に接続された、前記第1の視野よりも広い第2の視野を撮像するための第2のカメラを用意する、請求項1に記載の方法。したがって、必要とされているものは、システムの視野を変更するためにユーザによる移動ステージへのコマンドの入力が可能で、システム設定を改善し、スループットを増大し、被検査物とレーザビームとの関係を要求されたように変更できることに関連する問題を克服できる、移動ステージに作用的に接続された、コンピュータを利用した顕微鏡システム用のタッチスクリーンユーザインタフェイスである。本発明は、レーザ加工システムにおける光学顕微鏡と一体化したタッチスクリーンインタフェイスに関する。本発明の一態様は、コントローラと視野と検査する被検査物とを有する光学系を含み、また、コントローラに作用的に接続されたタッチスクリーンユーザインタフェイスを含んでいる。本発明の他の態様は、コントローラに作用的に接続され、被検査物を保持し、被検査物と視野の関係を変化させる移動ステージを含んでいる。コントローラは、タッチスクリーンユーザインタフェイスからのユーザコマンドを入力し、ユーザコマンドを出力コマンドに変換し、出力コマンドを移動ステージに出力可能である。移動ステージは、出力コマンドに応答して、タッチスクリーンからの入力ユーザコマンドに従い、視野と被検査物との関係を変更する。本発明によって利益を得る例示的なレーザ加工システムは、レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析、レーザアブレーション誘導結合プラズマ発光分光、及びマトリックス支援レーザ脱離イオン化飛行時間分光を含んでいる。本発明の実施形態の模式図を図1に示す。これらのシステムは、光学顕微鏡を用いて、処理される被検査物をすべて検査できる。動作中、被検査物はシステム内に配置され、レーザビームが被検査物に当たり処理を始める開始位置を選択するために光学顕微鏡が使用される。これは、被検査物の視野画像を取得し、それをタッチスクリーンモニタに表示することにより実現できる。この表示は、生及び連続的であり、カメラ視野内のあらゆる変化がタッチスクリーンモニタ上に表示されることを意味する。このタッチスクリーン表示の例を図2aに示す。モニタ上で、グラフィックオーバーレイは、レーザビームが最初に被検査物に当たる位置を示している。また、モニタは、レーザビームがその後被検査物に当たるように沿わせるツール経路を示すグラフィックオーバーレイを表示する。レーザビームが被検査物に当たる位置を変更するために、ユーザはスクリーンに触れて、スクリーン上で指をドラッグする。コントローラは、スクリーン上におけるユーザの指の移動を検出し、タッチスクリーン上の被検査物の画像が、試料を視野内で再配置していると言うよりも、ユーザが画像自体を動かしているかのように見せるため、カメラの視野に対して被検査物を動かすように移動ステージを導く。図2a及び図2bは、本発明を用いてレーザ加工のための新しい開始点を選択する方法を示している。ユーザが、図2aにおけるレーザ加工用の開始点を変更したいと思っているとすると、ユーザは、被検査物の画像を示すスクリーン上のどこかに触れることにより始めることができる。ユーザがスクリーン上の指をドラッグすると、タッチスクリーンインタフェイスは、スクリーン上のユーザの指の動きを検出し、光学顕微鏡の視野内で被検査物を物理的に動かすように移動ステージを導き、モニタ上で検査する画像を変化させる。コントローラを適切にプログラミングすることにより、スクリーンに触れ、スクリーン上で指をドラッグすれば、スクリーン上の画像データを指によりドラッグされたかのように見せることができる。実際には、コントローラは、カメラの視野内の被検査物を動かすように移動ステージを導き、タッチスクリーン上で指をドラッグすると言うよりも、ユーザが手で被検査物を動かしたかのように見える動きをシミュレートすることができる。図2bに、レーザビーム衝突点を示すオンスクリーングラフィックオーバーレイに対する画像データの移動を示すユーザ入力後のタッチスクリーンを示している。コントローラは、ユーザタッチスクリーン入力に応答するための多くの異なるオプションを提供するようにプログラムされ得る。コントローラは、画像データをスクリーンから入力された動きよりも速く又は遅く動かすように、移動ステージを動かすことができる。これは、被検査物の移動を加速するか、微調整のために微少な動きに対して被検査物を敏感にさせる効果がある。また、コントローラは、スクリーン上で指を上下に動かすことにより、例えば、視野内で被検査物が上下に動き、被検査物に焦点が合ったり、被検査物から焦点が外れたりするZ軸移動に関連する動きを読み取ることができる。必要に応じて、三次元で被検査物を動かすように他の動きをプログラムすることができる。あるいは、ユーザタッチスクリーン入力に応答して、カーソル又は他のスクリーングラフィックを動かすようにコントローラをプログラムすることもできる。例えば、このモードにおいては、ユーザは、スクリーンに触れ、レーザビームの位置を示すグラフィックデバイスを動かすことによりレーザビームが被検査物に当たる点を動かすことができる。次に、コントローラは、レーザビームを選択された位置に当てるために、レーザビームに対して被検査物を動かすように移動ステージを導く。タッチスクリーンインタフェイス、コントローラ、及び移動ステージを、光学顕微鏡を備えたレーザ加工システムに付加することにより、ユーザは、タッチスクリーンと相互に作用し、被検査物を直接操作しているように見せることができる。これは2つの理由により有意義である。1つ目の理由は、被検査物は、加工のための特定環境において密閉される場合があるからである。レーザ加工システムでは、加工を可能にするために、窒素やアルゴンなどの不活性ガス雰囲気内に被検査物を密閉する必要が生じる場合があり、この場合、被検査物を直接操作することが困難である。さらに、複雑な移動ステージを用いて部品を動かす場合には、所望の位置変化をもたらすように、2つ以上のアクチュエータ/ステージ/エンコーダユニットの移動を調整する必要が生じ得る。適切にプログラムされたタッチスクリーンインタフェイスを追加することにより、これらの移動のすべてを簡単なスクリーン接触に低減することができる。ここで述べる改良をレーザ加工システムに付与することにより、システムの動作をより容易にし、システムスループットを増大させることができる。本発明は、レーザ加工システムにおける光学顕微鏡と一体化したタッチスクリーンインタフェイスに関する。本発明の実施形態を図1に示す。本実施形態は、被検査物10と、レーザビーム14を有するレーザ12とを含んでいる。レーザビーム14は、光学顕微鏡16により被検査物10に導かれる。この光学顕微鏡16は、レーザ10の光軸とカメラ視野20とを組み合わせて、視野20内に収まる被検査物10の一部をカメラ18で撮像できるようにした例示的な光学装置である。例えば半透鏡図示せずなどの他の光学装置を用いてレーザビーム14とカメラ視野20とを組み合わせることもできる。さらに、このシステムは、カメラ視野20とレーザビーム14とが同一の光軸上に無いものとして構成することができ、このため、レーザビーム14及びカメラ視野20を導くために別個の光学装置図示せずを必要とし得る。この場合において、コントローラ22は、カメラ視野20とレーザビーム14との間の実際のオフセットを計算し、このオフセットをその後の計算に適用する。カメラ18は、画像データを取得し、それをコントローラ22に送信するようにカメラに指示するコントローラ22に接続されている。コントローラ22は、カメラ18からの画像データをタッチスクリーンモニタ24に表示する。カメラ18は、典型的には、画像データを連続的に取得できるか、あるいは連続的に見えるのに十分なほど高いフレームレートで画像データを取得できるビデオタイプカメラである。コントローラ22は、レーザビーム14とカメラ視野20に対して被検査物10を移動する移動ステージ26にも接続されている。本実施形態では、被検査物10が移動ステージ26により動かされる例を示すが、このシステムは、被検査物10に対してレーザビーム14及び視野20を移動することもでき、あるいはそれぞれに移動ステージ図示せずを取り付けることにより、これらの要素間の移動を分割することもできる。本発明の実施形態は、レーザビーム14及び視野20に対して被検査物10の位置を最大三次元X、Y及びZ及び3つの軸周りの3つの回転軸ロー、ファイ及びシータにおいて変更することができ、システムが被検査物10の所望の部分にレーザビーム14を照射できるようになっている。本発明の一実施形態では、レーザビーム14を用いて被検査物10から物質を切除し、切除した物質の検査が可能となっている。典型的には、検査用に切除するためにユーザが被検査物10の特定の1以上の部分を選択したいと思う場合を考える。例えば、被検査物10が2種類以上の物質からなり、ユーザが、1つの物質のみの調査を望む場合がある。ユーザは、タッチスクリーン24に表示された視野20に収まる被検査物10の画像を利用して、タッチスクリーン24に触れることによりコントローラ22を通じて移動ステージ26に命令して、レーザビーム14及び視野20に対して被検査物10を動かし、被検査物10上でレーザビーム14を位置決めする。この工程を図2a及び図2bに示す。図2aは、被検査物32の画像を表示するタッチスクリーンディスプレイ30を有する本発明の一実施形態を示している。タッチスクリーンディスプレイ30上の被検査物の画像32には、レーザビームを放出するようにレーザを導いた際にレーザビーム14が被検査物に当たる点34を示しているオーバーレイグラフィックがオーバーレイされている。図2bは、レーザビームが被検査物10上に当たる点34をユーザが変更する方法を示している。図2bにおいて、ユーザは、スクリーン上の点38に触れて、矢印に示す経路に沿ってスクリーン上で指を点40にドラッグする。これにより、コントローラ22は、被検査物10を視野20内に移動するように移動ステージ26を導き、タッチスクリーンディスプレイ30上で被検査物の画像32を変化させ、これによりレーザが当たる被検査物10の点34を移動することができる。このとき、典型的にユーザはレーザを導いてビーム14を照射して物質を切除する。この移動では、スクリーン38,40上のユーザの指の移動が、被検査物10とカメラ視野20との関係の移動に正確に一致するようにプログラムすることができ、これにより、ユーザが、被検査物10とカメラ視野20との関係を変更し、したがって、スクリーン38,40上のユーザの指の移動に対して一対一対応でタッチスクリーンディスプレイ30に表示された被検査物の画像32の位置を変更できることに留意されたい。他の実施形態では、システムは、スクリーン38,40上におけるユーザ入力指移動を拡大又は縮小するようにプログラムされる。これらの場合において、タッチスクリーンディスプレイ30上の被検査物の画像32をユーザ入力の指移動38,40よりも速く又は遅く動かすように、被検査物10と視野20との関係をプログラムすることができ、これにより、入力移動を誇張してより広い被検査物領域における動きを加速することができ、あるいは入力移動を遅くして正確性を向上することができる。このようなタッチスクリーン30からのユーザ入力に応答して移動ステージ26を導くためには、移動ステージに対するコマンドを出力するために、例えば、スクリーン座標における点38から点40に指をドラッグすることにより生成される入力ユーザコマンドをコントローラ22が変換する必要が生じる。これは、移動ステージの複数の軸間の移動を分割することを伴う場合がある。例えば、被検査物10が一組のX,Yステージ上に保持される場合には、コントローラ22により、タッチスクリーン30上の斜め方向移動入力を移動ステージ26のX軸及びY軸の双方に対する出力コマンドに変換し、斜め方向ユーザコマンドに対応する被検査物10の斜め方向移動を生じさせる必要がある。被検査物が三次元の表面細部を有する場合には、他の例を用いてもよい。この場合には、新たな領域に撮像領域を移動して被検査物の高さがわずかでも変化すれば、カメラの視野の移動により、光学顕微鏡の焦点がずれてしまう。システムが焦点を再び合わせる必要があることを示す出力コマンドをコントローラ22により生成する必要がある。焦点を再び合わせることは、移動ステージにより顕微鏡16内の光学部品を移動させるか、被検査物10を上下に動かすか、顕微鏡16を上下に動かすか、あるいはこれらの動きを組み合わせること図示せずにより実現できる。図3は、本発明のさらなる実施形態を示すもので、タッチスクリーンディスプレイ41が被検査物42の画像を表示する。被検査物42の画像上には、被検査物から物質を切除するためにレーザが導かれる複数の位置を示す例示的なツール経路44,46,48が示されている。ラスタパターン44、点集合46、及び任意の経路48が示されている。これらの例示のツール経路44,46,48は、ユーザにより設計され、グラフィック入力ソフトウェア図示せずを用いて被検査物の画像と関連づけられる。これらのツール経路と図2a及び図2bに示された点との違いは、これらのパターンが被検査物の位置と関連づけられ、ユーザがこのタッチスクリーン42を使って被検査物42の画像を移動させる際には、ツール経路44,46,48は被検査物の画像と一緒に移動し、視野内で被検査物がどこに移動したかを問わずに、レーザは被検査物の同じ位置から物質を除去することになる。本発明の他の実施形態を図4に示す。本実施形態は、より広い視野52を有する第2のカメラ50を備え、タッチスクリーン54を有する第2のモニタ上に視野52が表示される。このタッチスクリーンモニタ54は、変換されて移動ステージ26の移動を生じさせるコマンドを入力するためにコントローラ22と通信を行う。高解像度カメラ18は、顕微鏡16を介して被検査物10の高解像度の映像の検査を続ける。本実施形態では、広視野カメラ50及びタッチスクリーンモニタ54を用いてレーザ加工システムに対して被検査物を移動することができ、狭視野高解像度カメラ18及びモニタ24を用いて被検査物を検査できる。作動中、システムは、1つ又は2つのタッチスクリーンインタフェイスを持っていてもよく、あるいは1つのモニタ上で表示を合成してもよい。本発明の主題がここに開示されており、それらの教示から種々の本発明の修正、置換、及び変形が可能であることは明らかであろう。したがって、本発明は、具体的に説明されたのとは異なる方法で実施されてもよく、その幅及び範囲は特許請求の範囲によってのみ限定されることが理解される。"