"誘電体基体に対して順列的に配列されるとともに絶縁性膜で被覆され、並び順に一定相数nを周期として、当該周期毎に共通に接続された複数の線状電極と、時間経過にともない、周期的に変化するn相のパルス電圧を前記線状電極に印加する周期パルス電源と、を備えた気体搬送装置であって、前記周期パルス電源は、前記n相分の駆動回路を有し、前記駆動回路は、一端が定電圧源の一方の電極側に接続され、他端が線状電極に接続された第1スイッチング素子と、一端が前記定電圧源の他方の電極側に接続され、他端がインピーダンス素子を介して前記線状電極に接続された第2スイッチング素子と、一端が前記定電圧源の前記他方の電極側に接続され、他端が前記線状電極に接続された第3スイッチング素子と、を有し、前記第1スイッチング素子、前記第2スイッチング素子及び前記第3スイッチング素子の各々を制御するスイッチ制御手段と、を備えた気体搬送装置。誘電体基体に対して順列的に配列されるとともに絶縁性膜で被覆され、並び順に一定相数nを周期として、当該周期毎に共通に接続された複数の線状電極と、時間経過にともない、周期的に変化するn相のパルス電圧を前記線状電極に印加する周期パルス電源と、を備えた気体搬送装置であって、前記周期パルス電源は、前記n相分の駆動回路を有し、前記駆動回路は、一端が定電圧源の一方の電極側に接続され、他端がインピーダンス素子を介して線状電極に接続された第1スイッチング素子と、一端が前記定電圧源の他方の電極側に接続され、他端が前記線状電極に接続された第2スイッチング素子と、を有し、前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子の各々を制御するスイッチ制御部と、を備えた気体搬送装置。前記インピーダンス素子は直列接続された抵抗素子およびインダクタである、請求項2に記載の気体搬送装置。前記インピーダンス素子は抵抗素子である、請求項1または2に記載の気体搬送装置。特許文献1に記載の気体搬送装置において、搬送量風量を増大させるには、周期パルス電源が出力するパルス電圧を高めることが有効である。しかしながら、線状電極にパルス電圧を印加した場合、パルス電圧の立ち上がりおよび立下りの両方で放電現象が起こることが判明し、その結果、パルス電圧の立ち上がりおよび立下りにおいて、気体の搬送方向が互いに逆方向となり、その結果、一方向に対する風量が減少し、効率の良い気体搬送が行えないといった問題が生じることを本発明者は見出した。そこで、本発明の目的は、効率よく気体搬送を行う気体搬送装置を提供することにある。本発明に係る気体搬送装置は、誘電体基体に対して順列的に配列されるとともに絶縁性膜で被覆され、並び順に一定相数nを周期として、当該周期毎に共通に接続された複数の線状電極と、時間経過にともない、周期的に変化するn相のパルス電圧を前記線状電極に印加する周期パルス電源と、を備えた気体搬送装置であって、前記周期パルス電源は、前記n相分の駆動回路を有し、前記駆動回路は、一端が定電圧源の一方の電極側に接続され、他端が線状電極に接続された第1スイッチング素子と、一端が前記定電圧源の他方の電極側に接続され、他端がインピーダンス素子を介して前記線状電極に接続された第2スイッチング素子と、一端が前記定電圧源の前記他方の電極側に接続され、他端が前記線状電極に接続された第3スイッチング素子と、を有し、前記第1スイッチング素子、前記第2スイッチング素子及び前記第3スイッチング素子の各々を制御するスイッチ制御手段と、を備えたことを特徴とする。この構成では、第1、第2および第3スイッチング素子の切り替え制御を行い、インピーダンス素子による減衰を利用することで、線状電極に印加するパルス電圧の立下りを鈍らせることができる。これにより、パルス電圧の立下り時の放電をなくす、又は抑制することができ、パルス電圧の立ち上がりおよび立下り時に生じる放電により、気体の搬送方向が互いに逆となり、その結果、一方向に対する気体の搬送量の低下を防止できる。本発明に係る気体搬送装置は、誘電体基体に対して順列的に配列されるとともに絶縁性膜で被覆され、並び順に一定相数nを周期として、当該周期毎に共通に接続された複数の線状電極と、時間経過にともない、周期的に変化するn相のパルス電圧を前記線状電極に印加する周期パルス電源と、を備えた気体搬送装置であって、前記周期パルス電源は、前記n相分の駆動回路を有し、前記駆動回路は、一端が定電圧源の一方の電極側に接続され、他端がインピーダンス素子を介して線状電極に接続された第1スイッチング素子と、一端が前記定電圧源の他方の電極側に接続され、他端が前記線状電極に接続された第2スイッチング素子と、を有し、前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子の各々を制御するスイッチ制御部と、を備えたことを特徴とする。この構成では、第1および第2スイッチング素子の切り替え制御を行い、インピーダンス素子による減衰を利用することで、線状電極に印加するパルス電圧の立ち上がりを鈍らせることができる。これにより、パルス電圧の立ち上がり時の放電をなくす、又は抑制することができ、パルス電圧の立ち上がりおよび立下り時に生じる放電により、気体の搬送方向が互いに逆となり、その結果、一方向に対する気体の搬送量の低下を防止できる。本発明に係る気体搬送装置において、前記インピーダンス素子は直列接続された抵抗素子およびインダクタである構成が好ましい。この構成では、インダクタを直列接続して共振を利用することで、共振電圧のピーク値近傍では放電するが、共振が終わった後の電圧では放電しないようにして、電圧の立下り時に放電を生じさせないようにする。これにより、パルス電圧の立ち上がりおよび立下り時に生じる放電により気体の搬送方向が互いに逆となり、その結果、一方向に対する気体の搬送量が低下する現象を防止できる。本発明に係る気体搬送装置において、前記インピーダンス素子は抵抗素子である構成でもよい。この構成では、パルス電圧の立下り時に抵抗を通過させることで、立下りを鈍らせることができ、立下り時に放電が生じないようにできる。本発明によれば、パルス電圧の立ち上がりおよび立下り時に生じる放電により気体の搬送方向が互いに逆となり、その結果、一方向に対する気体の搬送量が低下するといった現象を防止でき、気体搬送量を高めることができる。実施形態1以下に、実施形態1に係る気体搬送装置について各図を参照して説明する。図1は複数の線状電極とそれらに対して電圧を印加する電源の構成を示す図であり、図1Aは線状電極を形成した誘電体基板の平面図、図1Bはその断面図である。図1では、線状電極52の配列の向きとしてxの向きを図示している。誘電体基板51の上面には複数の線状電極52が平行且つ一定間隔に配列形成されている。周期パルス電源40は4相のパルス電圧V1~V4を出力する。線状電極52はその並び順に4本ごとに共通接続されるとともに周期パルス電源40の出力端子にそれぞれ接続されている。また、線状電極52の奇数本目と偶数本目とで、周期パルス電源40に対する接続端の引き出し方向を交互に切り替えている。誘電体基板51の上面の全面には、線状電極52を覆うように、樹脂被膜や珪酸ガラス被膜などの絶縁性膜54が形成されている。この構成により、電極の酸化や硫化が抑制されて長期に亘って安定した特性が維持できる。なお、図1に示した線状電極52は4周期=16本分であるが、実際の応用では、周期数以下、Nとおくはもっと多く、例えばN=100である。図2は周期パルス電源の構成を示すブロック図である。図2Aは気体搬送装置全体のブロック図であり、図2Bは周期パルス電源40の構成を示すブロック図である。図2Aにおいて配列電極基板50は、図1に示した誘電体基板51、それに形成された線状電極52、及びそれらを所定間隔で並列接続する接続部で構成されている。図2Bに示すように、周期パルス電源40は定電圧直流電源回路42、ゲートドライバ回路43及びスイッチ制御部41で構成されている。スイッチ制御部41は、後述するゲートドライバ回路43の各スイッチング素子を切り替える。ゲートドライバ回路43は、スイッチ制御部41による切り替えタイミングに応じて、定電圧直流電源回路42から入力されるグランド電位又はVボルトの電圧を切り替えてパルス電圧V1~V4をそれぞれ端子電極P1~P4に出力する。図3は、ゲートドライバ回路43の構成を模式的に示す回路図である。ゲートドライバ回路43は、端子電極P1~P4に接続されている駆動回路431,432,433,434を備えている。以下では、駆動回路431,432,433,434はそれぞれ同様の構成を有しているため、駆動回路431に関して説明する。駆動回路431は、スイッチング素子S1H、S1L1、S1L2と、抵抗R1とから構成されている。スイッチング素子S1H、S1L1、S1L2は、例えばパワーMOSFETであって、スイッチ制御部41によりオンオフが切り替えられる。スイッチング素子S1Hは、一端が定電圧直流電源回路42のV電位に接続され、他端が端子電極P1に接続されている。スイッチング素子S1L1は、一端が定電圧直流電源回路42のグランド電位に接続され、他端が端子電極P1に接続されている。スイッチング素子S1L2は、一端が定電圧直流電源回路42のグランド電位に接続され、他端が抵抗R1を介して端子電極P1に接続されている。後に詳述するが、周期パルス電源40から出力されるパルス電圧V1~V4は、1/4周期ずつずれて出力されるため、いずれか1つの電圧のみが出力され、同時に2つ以上の電圧が出力されることはない。また、図3において破線で示すキャパシタC1、C2、C3、C4は、配列電極基板50に構成された線状電極52間のキャパシタの合成容量、浮遊容量だけでなく、後述する荷電粒子の移動および壁電荷の生成に起因する容量である。具体的には、キャパシタC1は、パルス電圧V1が印加される線状電極と、パルス電圧V2が印加される線状電極との間のキャパシタの合成容量である。キャパシタC2は、パルス電圧V2が印加される線状電極と、パルス電圧V3が印加される線状電極との間のキャパシタの合成容量である。キャパシタC3は、パルス電圧V3が印加される線状電極と、パルス電圧V4が印加される線状電極との間のキャパシタの合成容量である。キャパシタC4は、パルス電圧V4が印加される線状電極と、パルス電圧V1が印加される線状電極との間のキャパシタの合成容量である。図4は、ゲートドライバ回路43が出力する電圧Vii=1,2,3,4のパルス波形を示す図である。ゲートドライバ回路43が出力する電圧Vii=1,2,3,4は周期Tの周期関数であり、時刻t=0からt=Tの間においては、{T/4×i-1<t<T/4×i-1/2}のときに正の値の電圧をとる。また、正の電圧を出力する期間Hにおいて、初めのH/2は、Vボルトの電圧が出力され、残りのH/2は、徐々に0[V]に下がっていく。すなわち、パルス電圧は、急峻な立ち上がりと、緩やかな立下りとからなっている。図4に示すように、周期パルス電源40から出力される各相の駆動電圧は、0[V]の区間を挟んで正電圧の区間が繰り返し発生する。隣接する相は1/4周期ずつずれている。また、この例ではパルス電圧V1~V4のうちいずれか1つのみ電圧が出力され、同時に2つ以上の端子から出力されることはない。以下に、図4のような急峻な立ち上がりおよび緩やかな立下りとなる電圧パルスの生成について説明する。図5は、各スイッチング素子を切り替えるタイミングを示すタイミングチャートである。端子電極P1から出力される電圧V1を例に挙げて説明すると、スイッチ制御部41は、時刻t=0からt=T/16の間、駆動回路431のスイッチング素子S1Hをオン、スイッチング素子S1L1、S1L2をオフにし、駆動回路432のスイッチング素子S2L2をオンにする。このとき、図3に示す、スイッチング素子S1H、キャパシタC1およびスイッチング素子S2L2の経路が形成される。そして、端子電極P1からは、Vボルトの電圧V1が出力され、端子電極P1からキャパシタC1に蓄電される。これにより、パルス電圧V1の立ち上がりは、図4に示すように急峻となる。次に、スイッチ制御部41は、時刻t=T/16からt=2T/16の間、スイッチング素子S1Hをオフにし、駆動回路431のスイッチング素子S1L1をオンにする。このとき、図3に示す、スイッチング素子S1L1、抵抗R1、キャパシタC1およびスイッチング素子S2L2の閉経路が形成され、キャパシタC1に蓄電された電圧は放電されるが、そして、抵抗R1およびキャパシタC1を含む回路の過渡現象により減衰されるため徐々に0[V]まで下がっていく。これにより、パルス電圧V1の立下りは、図4に示すように緩やかとなる。なお、過渡現象の時定数は抵抗R1およびキャパシタC1により定まる。その後、スイッチ制御部41は、時刻t=T/16×2からt=Tの間、駆動回路431のスイッチング素子S1H、S1L1をオフ、スイッチング素子S1L2をオンにする。これは、端子電極P2,P3,P4から同様のパルス電圧V2,P3,V4を出力させるためである。次に、本実施形態に係る気体搬送装置の作用について説明する。気体に流れが発生する機構については次のaからdの過程作用が関与しているものと考えられる。a各パルス電圧の立ち上がりにおいて、電極間の電界が急峻に増大することにより、気体中で放電が生じる。この放電により、電極間の気体分子が電離し、荷電粒子が発生する。ba及びdに由来する荷電粒子は電界により力を受け、電界の方向に沿って加速される。c加速された荷電粒子は、電離していない他の気体分子と衝突し、その気体分子に運動量を与える。d荷電粒子は電極近傍の絶縁性被膜上に付着する。図6は、図1Bに示した誘電体基板51の断面図に対して、隣接する二つの電極間の作用領域を表した図である。4本を1組として互いに平行に配列される線状電極のうち、任意の組をjとし、1相目~4相目までの線状電極をそれぞれE1j~E4jのように添え付き符号で表記する。線状電極E4j-1と線状電極E1jとの間の絶縁性膜上の領域を作用領域S41とする。また、線状電極E1jと線状電極E2jとの間の絶縁性膜上の領域を作用領域S12とする。図7A及び図7Bは、線状電極E1jと線状電極E2jとの間の作用領域S12について、荷電粒子と気体分子の動きを示す図である。前記過程aにおいて、図4に示した電圧V1の立ち上がりの時刻t=0においては、図6中の作用領域S41及びS12で電界が急速に増大して誘電体バリア放電が生じると考えられる。誘電体バリア放電は、電極が誘電体この実施形態では絶縁性膜54により被覆されている場合に生じる放電である。この誘電体バリア放電においては、放電により生じた荷電粒子は、電界によって受けるクーロン力で線状電極へ向かうが、線状電極が絶縁性膜により被覆されているため、線状電極に到達できず、電荷を保持したまま絶縁性膜の表面へ付着し留まる。この絶縁性膜の表面に付着した荷電粒子は、電極が作り出す電界とは逆向きの電界を生じる。一定量の荷電粒子が発生し付着した時点で電極間の電界は十分小さくなり、放電誘電体バリア放電は停止する。したがって放電は極短時間で停止する。このため、通常は放電がアーク放電などの破壊的な放電に至らず、また、発生する電荷量が一定量に制限される。また、前記過程b及びcにおいて、図7Aに模式的に示すように、荷電粒子が生じ、その荷電粒子が電界により加速され、電離していない気体分子に衝突すると考えられる。この衝突によって荷電粒子から気体分子へ運動エネルギーが移ることにより気体が搬送される。ここで、搬送すべき気体が空気である場合、前記荷電粒子は、主に空気中の窒素分子が電離した一価の正イオンと電子であると考えられる。気体の搬送方向は、線状電極E1j~E4jに位相をずらしたパルス電圧図4参照を印加した場合、x方向となる。しかしながら、放電は、パルス電圧の立下り時にも生じる。この立下り時に生じる放電が、気体のx方向への搬送の妨げとなる方向へ作用していると考えられる。前記過程dにおいて、図7Bに模式的に示すように、線状電極のほうへ引き寄せられた荷電粒子は線状電極付近の絶縁性膜上に付着し留まると考えられる。この付着した荷電粒子壁電荷は電界を作るが、電圧の立下り時に生じる放電によって電極が作る電界を打ち消す方向に働く。本発明者は、放電開始電圧はdV/dtの値によって変動し、誘電体バリア放電の場合、dV/dtが大きいほど、放電開始電圧が低下する傾向にあることの知見を得た。そこで、本実施形態では、放電は立ち上がり時間又は立下り時間が早いほど起こりやすいことから、図4で説明したように、パルス電圧の立下りを鈍らせることで、放電を起こさないようにして、気体のx方向への搬送を妨げないようにしている。このため、気体の搬送量が低減されることがない。実施形態2次に、実施形態2について説明する。実施形態1では、パルス電圧の立下りを鈍らせ、立下り時に放電を起こさないようにしているが、実施形態2では、立ち上がりを鈍らせて、立ち上がり時に放電を起こさないようにして、気体の搬送量を低減させないようにしてもよい。図8は、ゲートドライバ回路の構成の他の例を模式的に示す回路図である。ゲートドライバ回路44は、端子電極P1~P4に接続されている駆動回路441,442,443,444を備えている。以下では、駆動回路441,442,443,444はそれぞれ同様の構成を有しているため、駆動回路441に関して説明する。駆動回路441は、スイッチング素子S1H、S1Lと、抵抗R1とから構成されている。スイッチング素子S1Hは、一端が定電圧直流電源回路42のV電位に接続され、他端が抵抗R1を介して端子電極P1に接続されている。スイッチング素子S1Lは、一端が定電圧直流電源回路42のグランド電位に接続され、他端が端子電極P1に接続されている。図9は、各スイッチング素子を切り替えるタイミングを示すタイミングチャートである。図8に示すゲートドライバ回路44の場合、スイッチング素子S1HS2H、S3H、S4Hと、スイッチング素子S1LS2L、S3L、S4Lとは、オンオフが常に反対となるようスイッチ制御部41によりスイッチング制御される。例えば、端子電極P1から出力される電圧V1を例に挙げて説明すると、スイッチ制御部41は、時刻t=0からt=T/8の間、駆動回路441のスイッチング素子S1Hをオン、スイッチング素子S1Lをオフにし、駆動回路442のスイッチング素子S2Lをオンにする。このとき、図8に示す、スイッチング素子S1H、抵抗R1、キャパシタC1およびスイッチング素子S2Lの経路が形成される。このとき、抵抗R1およびキャパシタC1を含む回路に入力されたパルス電圧V1の立ち上がりは緩やかとなる。なお、立ち上がりは、抵抗R1およびキャパシタC1により定まる。次に、スイッチ制御部41は、時刻t=T/8からt=2T/8の間、スイッチング素子S1Hをオフにし、駆動回路441のスイッチング素子S1Lをオンにする。このとき、図3に示す、スイッチング素子S1L、キャパシタC1およびスイッチング素子S2Lの閉経路が形成され、キャパシタC1に蓄電された電圧は放電されるが、このとき、抵抗R1が介在しないため、パルス電圧V1の立下りは急峻となる。図10は、ゲートドライバ回路44が出力する電圧Vii=1,2,3,4のパルス波形を示す図である。図9で説明したようにスイッチング制御を行うことで、図10に示すように、穏やかな立ち上がりおよび急峻な立下りとなるパルス電圧が出力されるようになる。このように、パルス電圧の立ち上がりを鈍らせることで、立ち上がり時の放電を抑制することで、立ち上がり時と立下り時とにおいて、気体の搬送方向が逆方向となり、その結果、一方向に対する気体の搬送量が軽減されることを防止できる。また、図8に示す変形例の場合、駆動回路441,442,443,444それぞれを構成するスイッチング素子の数を減らすことができる。実施形態3以下に、実施形態3に係る気体搬送装置について各図を参照して説明する。図11は、ゲートドライバ回路45の構成を模式的に示す回路図である。ゲートドライバ回路45は、端子電極P1~P4に接続されている駆動回路451,452,453,454を備えている。以下では、駆動回路451,452,453,454はそれぞれ同様の構成を有しているため、駆動回路451に関して説明する。駆動回路451は、スイッチング素子第1スイッチング素子S1H、スイッチング素子第2スイッチング素子S1Lと、抵抗R1と、インダクタL1とから構成されている。スイッチング素子S1Hは、一端が定電圧直流電源回路42のV電位に接続され、他端が抵抗R1およびインダクタL1を介して端子電極P1に接続されている。スイッチング素子S1Lは、一端が定電圧直流電源回路42のグランド電位に接続され、他端が端子電極P1に接続されている。図12は、各スイッチング素子を切り替えるタイミングを示すタイミングチャートである。図11に示すゲートドライバ回路45の場合、スイッチング素子S1HS2H、S3H、S4Hと、スイッチング素子S1LS2L、S3L、S4Lとは、オンオフが常に反対となるようスイッチ制御部41によりスイッチング制御される。例えば、端子電極P1から出力される電圧V1を例に挙げて説明すると、スイッチ制御部41は、時刻t=0からt=T/8の間、駆動回路451のスイッチング素子S1Hをオン、スイッチング素子S1Lをオフにし、駆動回路452のスイッチング素子S2Lをオンにする。このとき、図8に示す、スイッチング素子S1H、抵抗R1、キャパシタC1およびスイッチング素子S2Lの経路が形成される。このとき、抵抗R1およびインダクタL1は、キャパシタC1と共に直列RLC回路を構成している。この直列RLC回路は、ステップ入力において減衰振動が生じる。抵抗R1およびインダクタL1は、キャパシタC1は、共振電圧のピーク値近傍では放電するが、共振が終わった減衰した後の電圧では放電しないような電圧値になるよう定数設定されている。図13は、ゲートドライバ回路45が出力する電圧Vii=1,2,3,4のパルス波形を示す図である。図12で説明したようにスイッチング制御を行うことで、図13に示すように、共振電圧のピーク値近傍では放電するが、共振が終わった後の電圧では放電しないような電圧値になるよう定数設定することで、実施形態1との対比において、スイッチング素子を減らせ、スイッチング制御を容易にすることができる。なお、配列電極基板の具体的構成などは、適宜設計変更可能であり、上述の実施形態に記載された作用及び効果は、本発明から生じる最も好適な作用及び効果を列挙したに過ぎず、本発明による作用及び効果は、上述の実施形態に記載されたものに限定されるものではない。"