成膜装置を用いて成膜対象物に対しパリレン膜を成膜したとき、この成膜装置の構成部品に付着したパリレン膜を除去する除膜方法において、前記パリレン膜が付着した構成部品表面にペレット状のドライアイスを吹き付けて衝突させるブラスト工程を含むことを特徴とする除膜方法。前記ブラスト工程に先立ち、前記構成部品を加熱する加熱工程を更に含むことを特徴とする請求項1記載の除膜方法。本発明は、以上の点に鑑み、部品の母材を傷付けることなくパリレン膜を効率よく除去することができる除膜方法を提供することをその課題とする。上記課題を解決するために、本発明は、成膜装置を用いて成膜対象物に対しパリレン膜を成膜したとき、この成膜装置の構成部品に付着したパリレン膜を除去する除膜方法において、前記パリレン膜が付着した構成部品表面にペレット状のドライアイスを吹き付けて衝突させるブラスト工程を含むことを特徴とする。本発明によれば、パリレン膜のドライアイスが吹き付けられて衝突した箇所では、急激な熱収縮を起こし、この熱収縮を起こしたパリレン膜が割れると共に、パリレン膜と構成部品表面との間に隙間が生じる。そして、この隙間にドライアイスが入り込み、入り込んだドライアイスが瞬時に気化して急激な体積膨張を起こすことで、パリレン膜が部品表面から簡単に剥離される。このとき、部品表面にもドライアイスが衝突するが、部品表面に衝突したドライアイスは急激に気化するため、構成部品表面に傷を付けることはない。尚、本発明において、ペレット状のドライアイスには、粒状のドライアイスが含まれるものとする。また、本発明においては、前記ブラスト工程に先立ち、前記構成部品を加熱例えば、100~200°Cする加熱工程を更に含むことが好ましい。これによれば、部品とパリレン膜との熱膨張係数の差に起因して、部品表面とパリレン膜との密着性が低下し、上記熱収縮の効果が更に大きくなることと相俟って、パリレン膜をより一層効率よく除去することができる。以下、図面を参照して、構成部品を真空蒸着装置の成膜室に着脱自在に配置される防着板Bとし、この防着板に付着したパリレン膜Pを除去する場合を例に本発明の実施形態の除膜方法について説明する。尚、パリレン膜Pの成膜に用いられる真空蒸着装置の構造等は公知であるため、ここでは詳細な説明を省略する。図1を参照して、1は、本実施形態の除膜方法に利用するドライアイス吹付装置である。ドライアイス吹付装置1は、液化炭酸を収納するタンク2と、タンク2に配管3を介して接続される、液化炭酸からペレット状のドライアイスを形成するペレタイザー4と、このペレタイザー4に配管5を介して接続され、図示省略のコンプレッサーを内蔵する本体6とを備える。本体6には、先端にガンノズル7が設けられた供給ホース8が接続されている。そして、ペレタイザー4から供給されるドライアイスをコンプレッサーで圧縮した空気によりガンノズル7に送り、所定圧力でパリレン膜Pに対して吹き付けられる。以下に、このドライアイス吹付装置1を用いたパリレン膜Pの除去方法を具体的に説明する。先ず、パリレン膜Pが付着した防着板Bを真空蒸着装置から取り外し、所定の位置にセットする。そして、パリレン膜Pの表面に、ガンノズル7を操作してペレット状のドライアイスを吹き付ける。ドライアイスのサイズは、直径がφ0.3mm~3mmであり、かつ、長さが0.3mm~5mmであることが好ましいドライアイスの直径及び長さが共に0.3mmのとき、粒状球状となる。本実施形態では、ガンノズル7の噴射口の口径が、例えば、φ6~16mmであるものを用いている。ガンノズル7の噴射口からパリレン膜Pの表面までの距離は、例えば、50~60mmの範囲内で設定することが好ましい。ドライアイスの吹付圧は、例えば0.1~1.0MPa/cm2の範囲内で設定することができる。そして、パリレン膜Pの表面に対して直交する方向からドライアイスを吹き付ける。以上によれば、パリレン膜Pの表面にペレット状のドライアイスが吹き付けられると、パリレン膜Pのドライアイスが吹き付けられた部分が急激な熱収縮を起こし、熱収縮を起こしたパリレン膜Pが割れると共にパリレン膜Pと防着板B表面との界面に隙間が生じる。そして、この隙間に他のドライアイスが入り込み、入り込んだドライアイスが瞬時に気化して急激な体積膨張750倍を起こすことで、パリレン膜Pが防着板B表面から簡単に剥離される。このとき、防着板B表面にもドライアイスが衝突するが、衝突したドライアイスは急激に気化するため、防着板B母材の表面が傷付くことがない。また、従来例の如くガラスビーズやアルミナビーズを用いることがないため、防着板Bの表面に不純物が残存することがない。このため、その後の洗浄処理は不要となる。また、ドライアイスの吹き付けに先立ち、防着板Bを所定温度例えば、100~200°Cに加熱するようにしてもよい。防着板Bの加熱には、ヒートガンや加熱炉を用いることができる。ヒートガンや加熱炉は公知構造のものを用いることができるため、ここでは詳細な説明を省略する。これにより、防着板Bとパリレン膜Pとの熱膨張係数の差に起因して、防着板B表面とパリレン膜Pとの密着性が低下し、上記熱収縮の効果が更に大きくなることと相俟って、パリレン膜Pをより一層簡単に剥離除去することができる。上記効果を確認するため、以下の実験を行った。本実験では、真空蒸着装置のダイマータンクにおいてパリレン粉末を約160°Cに加熱してダイマータンク内壁にパリレン膜Pを付着させ、付着させたパリレン膜Pに対し、図1の上記ドライアイス吹付装置1を用いてパリレン膜Pを除去した。ここで、ドライアイスとしては直径がφ0.3mmのものを用い、ガンノズル7の噴射口からパリレン膜Pの表面までの距離は約50mmとし、圧縮空気圧力は0.3MPa/cm2とした。本実験によれば、ダイマータンク内壁に付着したパリレン膜を除去でき、しかも、ダイマータンクの母材に傷が無いことが確認された。なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、防着板B表面に付着したパリレン膜を除去する場合について説明したが、構成部品はこれに限定されるものではなく、基板に対する成膜範囲を限定するマスク等、パリレン膜が付着したものであれば、本発明を適用することができる。また、上記実施形態では、真空蒸着装置から防着板を取り外した後、別の場所でパリレン膜を除去する場合を例としているが、真空蒸発装置内で直接ドライアイスを吹き付けるようにしてもよい。