"一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を他方の面から保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、前記貼付手段は、前記移動手段による相対移動方向の剥離開始側であって、前記接着シートの外縁に沿った所定長さを有する貼付領域を当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成し、当該接着シートと前記剥離用テープとを貼付可能に設けられ、前記貼付領域は、前記接着シートの外縁よりも前記相対移動方向の剥離終了側に後退した後退部と、この後退部から剥離開始側に突出した突出先端が当該接着シートの外縁に位置する少なくとも1つの突出部とを有して形成されていることを特徴とするシート剥離装置。前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成され、この押圧ヘッドの押圧面の形状に従って前記貼付領域の後退部および突出部が形成されることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。前記貼付領域における1つの突出部は、その先端が前記接着シートにおける前記相対移動方向の剥離開始側の最外縁に位置して形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、他方の面から前記被着体を保持して前記剥離用テープを繰出し、前記接着シートの外縁よりも剥離終了側に後退した後退部と、この後退部から剥離開始側に突出した突出先端が当該接着シートの外縁に位置する少なくとも1つの突出部とを有する貼付領域を形成して前記剥離用テープを当該接着シートに貼付し、前記剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて前記貼付領域の突出部から前記接着シートの剥離を開始することを特徴とするシート剥離方法。ところで、特許文献1に記載されたような従来の剥離方法では、接着シートの端部における剥離用テープの接着領域としては、ウェハの外周に沿った周方向の長さと、ウェハの中心に向かう径方向の長さ特許文献1では、距離dであり、d≦3mmとで規定され、この接着領域は、回路面が形成されることのない外周部の余剰領域を基に設定されている。また、従来の剥離装置は、ウェハを保持するテーブルを有し、このテーブルに設けた吸引口等の吸引手段によって吸引することでウェハを保持するようになっている。ここで、図5Aに示すように、感熱接着性の接着剤を有する剥離用テープTを用いて接着シート91を剥離する場合、接着領域90に接着剤を溶着すると、接着剤は経時とともに硬化する傾向がある。このように硬化した剥離用テープTを引っ張って接着シート91の剥離を行うと、図5Bに示すように、剥離用テープTで引っ張られた接着領域90が面状に同時に起き上がろうとする。その結果、接着領域90に隣り合うウェハWの境界部分W1に作用する応力が大きくなってしまい、境界部分W1でウェハWが剥離用テープTとともに起き上がってしまう。さらに、ウェハWの起き上がりが大きくなると、場合によってはウェハWが割れてしまう可能性もあった。このようなウェハWの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域90のウェハWの中心に向かう径方向の長さ距離d0を短くすれば、解消されるが、ウェハWの全面から接着シート91を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープTが接着シート91から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。本発明の目的は、ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明のシート剥離装置は、一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を他方の面から保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、前記貼付手段は、前記移動手段による相対移動方向の剥離開始側であって、前記接着シートの外縁に沿った所定長さを有する貼付領域を当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成し、当該接着シートと前記剥離用テープとを貼付可能に設けられ、前記貼付領域は、前記接着シートの外縁よりも前記相対移動方向の剥離終了側に後退した後退部と、この後退部から剥離開始側に突出した突出先端が当該接着シートの外縁に位置する少なくとも1つの突出部とを有して形成される、という構成を採用している。この際、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成され、この押圧ヘッドの押圧面の形状に従って前記貼付領域の後退部および突出部が形成されることが好ましい。また、本発明のシート剥離装置では、前記貼付領域における1つの突出部は、その先端が前記接着シートにおける前記相対移動方向の剥離開始側の最外縁に位置して形成されていることが好ましい。一方、本発明のシート剥離方法は、一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、他方の面から前記被着体を保持して前記剥離用テープを繰出し、前記接着シートの外縁よりも剥離終了側に後退した後退部と、この後退部から剥離開始側に突出した突出先端が当該接着シートの外縁に位置する少なくとも1つの突出部とを有する貼付領域を形成して前記剥離用テープを当該接着シートに貼付し、前記剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて前記貼付領域の突出部から前記接着シートの剥離を開始することを特徴とする。以上のような本発明によれば、接着シートの外縁に位置する少なくとも1つの突出部を有した貼付領域を形成し、この突出部を始点として接着シートの剥離を開始することで、貼付領域の全体面積と比較して相対的に小さな面積となる突出部の先端を剥離の切っ掛けとし、この切っ掛け部分における接着シートを被着体から確実に剥離することができる。その後、貼付領域の突出部から後退部に向かって剥離を継続することで、貼付領域が面として接着シートを引っ張ってしまうことによる被着体端部の起き上がりを抑制することができ、被着体の起き上がりや割れを防止しつつ、接着シートを被着体から確実かつ円滑に剥離することができる。また、剥離用テープが感熱接着性の接着テープであれば、感圧接着性の接着テープに比較して高い接着力が得られるため、貼付領域の面積を小さくすることができるため、被着体の起き上がりをさらに抑制することができるとともに、感熱接着性の接着テープを用いることで、所定の貼付領域のみを正確に接着することができることから、突出部の先端形状を鋭く形成することができ、突出部の先端から接着シートを確実に剥離することができる。さらに、感熱接着性の接着テープは常温で接着力がないことから、感圧接着性の接着テープを採用したときのように装置各所に非接着処理を施すといった装置の構成に注意を払う必要がなくなる。さらに、1つの突出部の先端が接着シートにおける移動方向の剥離開始側の最外縁に位置して形成されていれば、さらに確実に突出部から剥離を開始することができる。以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を基準としている。図1において、シート剥離装置1は、被着体としてのウェハWの表面に貼付された接着シートSを剥離用テープTを用いて剥離する装置であって、ウェハWを保持する保持手段であるテーブル2と、剥離用テープTを繰出す繰出手段3と、繰出された剥離用テープTを接着シートSに貼付する貼付手段4と、ウェハWと剥離用テープTとを相対移動させる移動手段5とを備えて構成されている。ここで、ウェハWは、例えば、内周部が薄く研削されるとともに、その一方の面上面に回路が形成された半導体ウェハであり、ウェハWの外周部にリング状の凸部WAが形成されている。テーブル2は、図示しない吸引口を介してウェハWの凸部WAを他方の面下面から吸着保持する平板状のテーブル本体21を備えて構成されている。繰出手段3は、図示しない離脱装置に支持されて上下方向移動可能に設けられたフレーム31と、このフレーム31に設けられた支持ローラ32およびガイドローラ33,34と、フレーム31下部に設けられて剥離用テープTを下方から支持するテープ支持部35と、剥離用テープTを把持する一対の把持爪36を含むチャック部材37と、テープ支持部35の上方に設けられて繰り出された剥離用テープTを切断するテープ切断部38とを備えて構成されている。剥離用テープTは、感熱接着性の接着テープであり、ロール状に巻取られた状態で支持ローラ32に支持されている。テープ支持部35は、フレーム31に固定されるブッシュ351と、このブッシュ351に進退自在に支持されるロッド352と、このロッド352の先端に固定されるとともにカッター溝353を有するテープ受け板354と、テープ受け板354をブッシュ351から突出する方向に付勢するコイルばね355とを有して構成されている。テープ切断部38は、剥離用テープTを切断するカッター刃381と、剥離用テープTを切断する際にカッター刃381を上下方向に駆動させて当該カッター刃381をカッター溝353内に案内する駆動機器である上下用シリンダ382と、カッター刃381を図1中紙面直交方向に駆動して剥離用テープTを切断する駆動機器である切断用シリンダ383とを有して構成されている。貼付手段4は、図示しないフレームに支持されて繰出手段3の左側に設けられている。この貼付手段4は、図示しない駆動機器である押圧用モータの出力軸41の下端部に設けられる押圧ヘッド42と、この押圧ヘッド42下端の押圧面部43を加熱する加熱手段としてのヒータ44とを備えて構成されている。押圧ヘッド42は、図2,に示すように、押圧面部43がウェハWの外周縁に沿って剥離用テープTを接着シートSの端部に押圧して貼付し、このように貼付された剥離用テープTと接着シートSとの間には、接着シートSの外縁に沿った所定の長さLを有する貼付領域R1が形成されるようになっている。移動手段5は、繰出手段3の紙面奥側に設けられた駆動機器である単軸ロボット51、およびそのスライダ52と、テーブル2の下方に設けられた駆動機器である単軸ロボット53、およびそのスライダ54とから構成されている。単軸ロボット51は、図示しない駆動機器に支持されて上下方向に移動可能とされている。スライダ52には、駆動機器としてのチャック部材37が取り付けられ、このスライダ52は、左右方向に移動可能とされるとともに、スライダ54には、テーブル本体21が固定され、このスライダ54は、左右方向に移動可能とされる。これにより、チャック部材37が接着シートSに貼付された剥離用テープTを把持してウェハWとの相対移動を可能とし、この相対移動方向が接着シートSの剥離方向Aとなる。以上のシート剥離装置1によって形成される貼付領域R1は、押圧ヘッド42の押圧面部43と略同一形状の平面視略五角形に形成されるものであって、図2に示すように、ウェハWの凸部WAに対応した範囲に設けられ、移動手段5による剥離方向Aの剥離開始側図中左側における接着シートSの外縁よりも剥離終了側図中右側に後退した後退部Raと、この後退部Raよりも剥離開始側に突出した突出先端であり接着シートSの外縁に位置する1つの突出部P1とを有して形成されている。すなわち、貼付領域R1では、剥離方向Aの剥離開始側にて、後退部Raが剥離方向Aと傾斜する一対の傾斜辺で構成され、これら一対の傾斜辺が交わる交点によって突出部P1が構成され、この突出部P1の先端が点として接着シートSの外縁と接するように形成されている。次に、本実施形態における接着シートSの剥離方法として、シート剥離装置1の動作を図3も参照して説明する。ウェハWから接着シートSを剥離する手順としては、先ず、図1に示すように、ウェハWをテーブル2の所定位置に保持するとともに、シート剥離装置1の各部を初期位置設定した状態において、テープ切断部38および貼付手段4が上方に移動して退避してから、単軸ロボット51を介してチャック部材37が繰出手段3に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪36がテープ受け板354に当接すると、テープ受け板354をブッシュ351方向に押し込み、剥離用テープTの先端を上下の把持爪36間に受け入れる。そして、チャック部材37は、把持爪36を閉じて剥離用テープTの先端を把持するとともに、剥離用テープTを把持したまま繰出手段3から離れる方向に移動し、剥離用テープTを所定長さ引き出して停止することで、繰出手段3から剥離用テープTを繰出す。次に、図2,に示すように、貼付手段4は、押圧用モータを作動させて押圧ヘッド42を押し下げ、押圧ヘッド42の押圧面部43で剥離用テープTの中間部を接着シートSに押圧する。この際、押圧面部43は、ヒータ44により加熱され、剥離用テープTの貼付領域R1を接着シートSに貼付する。剥離用テープTを接着シートSに貼付したら、テープ切断部38が上下用シリンダ382によってカッター刃381をカッター溝353内に下降させ、切断用シリンダ383を駆動してカッター刃381によって剥離用テープTを切断してから、貼付手段4は、押圧用モータを作動させて押圧ヘッド42を上昇させる。次に、繰出手段3および貼付手段4を上方に退避させた後、単軸ロボット51は、剥離用テープTの先端を把持した状態のチャック部材37を剥離方向Aの右方向に移動させ、突出部P1の先端角部Pを始点とした剥離を可能とするように剥離用テープTを折り返す。次いで、単軸ロボット51、53が同期して、ウェハWと剥離用テープTとを同時に同速度で反対方向、つまり、テーブル2を左方向に、チャック部材37を右方向に移動させることで、接着シートSを順次ウェハWから剥離していき、接着シートS全体を剥離する。この後、剥離した接着シートSが接着された剥離用テープTをチャック部材37から離脱させて回収するとともに、接着シートSを剥離したウェハWを適宜な搬送装置でテーブル2から搬出し、シート剥離装置1の各部を初期位置に復帰させて接着シートSの剥離手順が完了する。以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。すなわち、突出部P1の先端を始点として貼付領域R1を引っ張って接着シートSの端部をウェハWから剥離することで、剥離用テープTとともにウェハWが起き上がることを抑制することができ、接着シートSの端部をウェハWから確実に剥離することができる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は前記記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され且つ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状などの詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は本発明に含まれるものである。例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハである場合を示したが、被着体は半導体ウェハWに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示でき、この被着体に貼付された接着シートシート、フィルム、テープ等を剥離する剥離装置や剥離方法にも本発明を適用することができる。また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の剥離用テープTを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートSを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。さらに、繰出手段として、帯状の剥離用テープTを供給するように図示、説明したが、剥離用テープTは帯状のものに限らず、例えば、剥離用テープTを適宜な長さにカットした枚葉のテープを採用してもよい。また、前記実施形態では、平面視略五角形状の貼付領域R1を形成したが、図4に示すように、接着シートSの外縁に略沿った円弧状の後退部Raと、この後退部Raの略中央から平面視略三角形状に突出した1つの突出部P2とを有した貼付領域R2を形成してもよい。この貼付領域R2の場合には、前記実施形態と同様に、突出部P2の先端を始点として接着シートSの端部をウェハWから剥離することができる。また、図4に示すように、接着シートSの外縁から離隔して剥離方向Aに略直交した直線状の後退部Raと、この後退部Raの両端部から平面視略三角形状に突出した2つの突出部P3とを有した貼付領域R3を形成してもよい。この貼付領域R3の場合には、2箇所の突出部P3をほぼ同時に、それらの先端を始点として接着シートSの端部をウェハWから剥離することができる。また、図4に示すように、接着シートSの外縁に略沿った円弧状の後退部Raと、この後退部Raの略中央から平面視略三角形状に突出した突出部P4、および後退部Raの両端部から平面視略三角形状に突出した突出部P4からなる3つ突出部P4とを有した貼付領域R4を形成してもよい。この貼付領域R4の場合には、中央1箇所の突出部P4を先行させてその先端を始点とするとともに、これに続いて両端部2箇所の突出部P4の先端を合わせた3箇所において、接着シートSの端部をウェハWから剥離することができる。さらに、図4に示すように、剥離方向Aに傾斜した直線状の後退部Raと、この後退部Raの一端部であり接着シートSの外縁に接する角部で構成された突出部P5とを有し、平面視略台形状の貼付領域R5を形成してもよい。この貼付領域R5の場合には、突出部P5の先端を始点とするとともに、これに続いて後退部Raに沿って徐々に剥離位置を拡大しつつ、接着シートSの端部をウェハWから剥離することができる。また、前記実施形態では、ウェハWと剥離用テープTとの両方を移動させて相対移動させる移動手段5を構成したが、これに限らず、ウェハWと剥離用テープTとのいずれか一方のみを移動させるように構成してもよい。さらに、突出部P1の先端角部Pを始点とした剥離を可能とするために、テーブル本体21と移動手段5とをウェハWの表面と同一面内で回転移動させる適宜な回動モータ等の駆動機器を設けてもよい。この場合、図示しないカメラや光学センサ等のセンサ等で突出部P1の先端角部Pが所定の位置に配置されたことを認識できるように構成することもできる。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。"