それぞれが面内方向に透過軸を有し、該透過軸が互いに交差するように対向して配置された、無機物よりなる第1および第2の偏光子と、前記第1および第2の偏光子の間に設けられ、入射した直線偏光の偏光方向を回転させる、無機物よりなる波長板と、を有し、前記第1および第2の偏光子はそれぞれ、偏光方向が前記透過軸と平行な光を透過させ、偏光方向が前記透過軸と直交する光を反射する周期構造を有し、前記第1または第2の偏光子の側から見た場合に、前記波長板の遅軸または速軸は、前記第1の偏光子の前記透過軸および前記第2の偏光子の前記透過軸の間に位置する、偏光素子。前記第1および第2の偏光子の前記周期構造は、屈折率が異なる複数の誘電体層を交互に積層した積層部を有し、前記積層の面内方向に構造の周期的変化を有することを特徴とする、請求項1に記載の偏光素子。前記波長板の遅軸方向および速軸方向の屈折率をそれぞれnx、nyとするとき、前記波長板の厚さが所定の波長λに対してλnx-nyで与えられる、請求項1または2に記載の偏光素子。前記波長板は、一軸性の無機結晶よりなる、請求項1から3のいずれか1項に記載の偏光素子。前記波長板は、誘電体よりなり、前記誘電体の積層面内方向に構造の周期的変化を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の偏光素子。前記第1または第2の偏光子側から見た場合に、前記第1および第2の偏光子の前記透過軸が互いに直交し、前記波長板の遅軸または速軸が前記第1または第2の偏光子の前記透過軸と45°で交差する、請求項1から5のいずれか1項に記載の偏光素子。発光部を備え、該発光部からの光が表面より出射される発光素子と、前記発光素子の前記表面と対向する位置に設けられた、請求項1から6のいずれか1項に記載の偏光素子と、を有し、前記発光素子は、前記発光部の前記表面とは反対の側に、前記発光部側から入射した光を前記発光部側へ反射する反射手段を有する、光源ユニット。前記発光素子と前記偏光素子との間に14波長板をさらに有することを特徴とする、請求項7に記載の光源ユニット。前記発光素子と前記偏光素子との間に、前記発光素子から出射された光の方向を変更する角度フィルタを有することを特徴とする請求項7に記載の光源ユニット。前記発光素子における前記偏光素子と対向する面の少なくとも一部に凹凸形状を有することを特徴とする請求項7に記載の光源ユニット。図6に示した偏光素子106においては、特定の入射方向に対する角度トレランスが小さいため、LEDと組み合わせた場合の光利用効率が低下する場合がある。ここで、偏光子の角度トレランスとは、十分な偏光分離特性を維持することができる入射角度の許容度を示す。以下、上記の光利用効率の低下の問題について、具体的に説明する。図7Aに、xz面内方向における入射角の変化に対するTM偏光およびTE偏光それぞれの透過率の変化を示し、図7Bに、yz面内方向における入射角の変化に対するTM偏光およびTE偏光それぞれの透過率の変化を示す。図7Aおよび図7Bにおいて、縦軸は、透過率正規化した値を示し、横軸は、入射角を示す。図7Aにおいて、黒丸の折れ線はTE偏光を示し、黒の菱形の折れ線はTM偏光を示す。図7Bにおいて、黒丸の折れ線はTM偏光を示し、黒の菱形の折れ線はTE偏光を示す。図7Aに示すように、xz面内方向において、偏光子106は、全ての入射角範囲の入射光に対して、TE偏光を十分に反射することができる。TM光の透過率は70°よりも大きい入射角範囲ではやや低下するものの、この範囲で反射されたTM光は再利用が可能であるため、偏光子における直接的な損失にはならない。一方、図7Bに示すように、yz面内方向においては、偏光子106は、入射角が0°~40°の範囲内の入射光に対して、TM偏光とTE偏光を十分に分離することができるが、入射角が40°を超えると、TE偏光の透過率が急激に増大する。すなわち、図7Aおよび図7Bに示した特性によれば、偏光子106は、TM偏光に対しては、入射方向に関係なく、広い角度トレランスを有するが、TE偏光に対しては、yz面内方向における入射角の変化に対して、十分な角度トレランスを有しておらず、yz面内方向における入射角が大きなTE偏光はそのまま偏光子106を透過してしまう。LED表面からの出射光のうち、どの範囲の出射角表面の垂線と出射光線とのなす角度までが利用できるかは、液晶パネルなどのライトバルブや投射レンズのエテンデューによって決まるが、ここでは例として0°~60°の範囲内の出射光が利用できる場合を考える。この場合、偏光子106は、少なくとも入射角が0°~60°の範囲内の入射光について、TM偏光とTE偏光を十分に分離するという条件を満たす必要がある。しかし、図7Bに示した特性によれば、yz面内方向において、偏光子106は、入射角が0°~60°の範囲内の入射光のうち、入射角が40°~60°の範囲のTE偏光を透過する。この偏光子106を透過したTE偏光については再利用することができないため、LEDと組み合わせた場合の光利用効率が低下する。一方、金属ワイヤーを所定の間隔波長以下の間隔で周期的に形成したワイヤグリッド構造の偏光子を用いた偏光LEDにおいては、ワイヤグリッド偏光子がいずれの方向に対しても広い角度トレランスを有するため、上記のような問題は生じない。しかし、金属ワイヤーによる光吸収損失が高いため、光利用効率の向上を図ることは困難である。また、特許文献1に記載の偏光素子は、有機化合物により構成されており、入射方向に関係なく広い角度トレランスを有する。このため、本偏光素子においても、上述のような角度トレランスの問題は生じない。しかし、有機フィルムは耐熱性および耐光性が低いため、特許文献1に記載の偏光素子をLED等の固体光源の発光面近傍に配置すると、熱により特性が変化し、十分な偏光分離特性を得られない。特許文献1に記載の2つの偏光素子として、無機物よりなる偏光子、すなわち、図7Aおよび図7Bに示すような特性を有する偏光子を用いれば、耐熱性および耐光性を向上させることが可能である。しかし、この場合には入射方向に関係なく広い角度トレランスを実現することは不可能である。この構成では、第1および第2の波長板の間に面内位相差に比べて厚み方向に大きな位相差を有する波長板が配置されており、この波長板は入射角の小さい光に対しては偏光を回転するが、入射角の大きい光に対しては偏光を維持する。したがって、図7Bのようにyz面内方向から40°以上の角度で第1の偏光子に入射したTE光は偏光方向が維持されたまま波長板を透過する。第2の偏光子は第1の偏光子とは透過軸の方向が直交しているので、上記のように第1の偏光子および波長板を透過したTE光は第2の偏光子に対しては透過軸と平行な偏光、すなわちTM光にあたり、第2の偏光子を透過することとなる。すなわち、特許文献1に記載の構成は、有機フィルムのような、入射方向に関係なく、広い角度トレランスを有する偏光子を用いることが前提条件となっており、角度トレランスが狭い無機物からなる偏光子を使用した場合には、素子全体としての角度トレランスも同様に狭いものとなる。本発明の目的は、光吸収損失が小さく、入射方向に関係なく広い角度トレランスを有する、耐熱性および耐光性に優れた偏光素子およびそれを備えた光源ユニットを提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の偏光素子は、それぞれが面内方向に透過軸を有し、該透過軸が互いに交差するように対向して配置された、無機物よりなる第1および第2の偏光子と、前記第1および第2の偏光子の間に設けられ、入射した直線偏光の偏光方向を回転させる、無機物よりなる波長板と、を有し、前記第1および第2の偏光子はそれぞれ、偏光方向が前記透過軸と平行な光を透過させ、偏光方向が前記透過軸と直交する光を反射する周期構造を有し、前記第1または第2の偏光子の側から見た場合に、前記波長板の遅軸または速軸は、前記第1の偏光子の前記透過軸および前記第2の偏光子の前記透過軸の間に位置するように構成されている。本発明の光源ユニットは、発光部を備え、該発光部からの光が表面より出射される発光素子と、前記発光素子の前記表面と対向する位置に設けられた上記の偏光素子と、を有し、前記発光素子は、前記発光部の前記表面とは反対の側に、前記発光部側から入射した光を前記発光部側へ反射する反射手段を有するように構成されている。本発明によれば、第1および第2の偏光子は、無機物の周期構造より構成される。無機物の周期構造の偏光子は、耐熱性および耐光性に優れており、しかも、ワイヤグリッド構造の偏光子に比べて光吸収損失が小さいという効果を奏する。また、第1および第2の偏光子が互いの角度トレランスの不足を補うように構成されているので、偏光素子全体として、入射方向に関係なく、広い角度トレランスを得ることができる。次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態である偏光素子の構成を示す模式図である。図1を参照すると、偏光素子は、対向して配置された2枚の偏光子1、2と、これら偏光子の間に設けられた1/2波長板3とを有する。以下の説明において、xz面に平行な偏光成分をPx波またはPx偏光と呼び、yz面に平行な偏光成分をPy波またはPy偏光と呼ぶ。偏光子1は、Py偏光を反射し、Px偏光を透過させる特性を有する。これとは逆に、偏光子2は、Px偏光を反射し、Py偏光を透過させる特性を有する。偏光子1、2はいずれも、屈折率が異なる複数の誘電体膜を交互に積層した積層部を所定の間隔波長以下の間隔で周期的に形成した誘電体微細構造を有するが、透過軸が互いに交差または直交するように配置されている。図2に、偏光子1の誘電体微細構造の一例を示す。図2に示すように、誘電体微細構造は、ガラス基板5上にTiO2膜6およびSiO2膜7を交互に積層した積層部よりなる。積層部は、所定の間隔dでx方向に周期的に形成されている。所定の間隔dは、光源の波長以下の間隔であり、例えば、200nmである。積層部のx方向の幅長さd1は例えば80nmであり、y方向の幅長さd2は例えば120nmである。このような誘電体微細構造は、フォトリソグラフィーを用いた製造プロセスにより作製することができる。図2に示した誘電体微細構造を備えた偏光子1は、積層部の周期方向x方向に透過軸を有する。偏光子1において、xz面内方向における入射角の変化に対するPx偏光およびPy偏光それぞれの透過率の変化を示す特性は、図7Aに示したような特性となる。また、yz面内方向における入射角の変化に対するPx偏光およびPy偏光それぞれの透過率の変化を示す特性は、図7Bに示したような特性となる。上記の特性によれば、偏光子1は、Px偏光に対しては、入射方向に関係なく、広い角度トレランスを有するが、Py偏光に対しては、yz面内方向における入射角の変化に対して、十分な角度トレランスを有していない。このため、yz面内方向における入射角が大きなPy偏光は偏光子1を透過する。偏光子2も、図2に示した誘電体微細構造を備えるが、積層部の周期方向透過軸がy方向となるように構成されている。偏光子2において、xz面内方向における入射角の変化に対するPx偏光およびPy偏光それぞれの透過率の変化を示す特性は、図7Bにおいて、Px偏光およびPy偏光の関係を反対にしたような特性となる。yz面内方向における入射角の変化に対するPx偏光およびPy偏光それぞれの透過率の変化を示す特性は、図7Aにおいて、Px偏光およびPy偏光の関係を反対にしたような特性となる。上記の特性によれば、偏光子2は、Py偏光に対しては、入射方向に関係なく、広い角度トレランスを有するが、Px偏光に対しては、xz面内方向における入射角の変化に対して、十分な角度トレランスを有していない。このため、xz面内方向における入射角が大きなPx偏光は偏光子2を透過する。1/2波長板3は、例えば、無機の一軸性の結晶例えば、結晶の光学軸に平行にカットしたものよりなる。一般に、一軸性の結晶において、光学軸とそれに直交する軸を速軸および遅軸と呼ぶ。負の一軸性の結晶の場合は、その光学軸が速軸とされ、正の一軸性の結晶の場合は、その光学軸が遅軸とされる。本構成においては、1/2波長板3は、広い角度トレランスを有することが必要である。ここで、1/2波長板3の角度トレランスとは、十分な位相差作用を維持することができる入射角度の許容度を示す。一般に1/2波長板3の厚さtは、遅軸方向および速軸方向における屈折率をそれぞれnx、nyとし、入射光の波長をλとすると、以下の式により与えられる。ここで、mは正の整数である。mの値が小さいほど角度トレランスは大きくなることから、m=1とすることが望ましい。この場合、1/2波長板3の厚さtはλ/{2nx-ny}となり、xz面内およびyz面内のいずれの方向においても、十分に広い角度トレランスを得ることができる。また、上記の式を満たす1/2波長板3の角度トレランスは、偏光子1、2それぞれの角度トレランスよりも大きくなる。偏光子1側または偏光子2側から1/2波長板3を見た場合、1/2波長板3の遅軸または速軸は、偏光子1の透過軸と偏光子2の透過軸との間に位置する。1/2波長板3は、例えば、誘電体よりなる凸部を所定の間隔可視光の波長以下の間隔で形成した周期構造を有するものであってもよい。凸部は、誘電体多層であってもよい。誘電体多層を構成する誘電体として、SiO2、TiO2、SiNx、Nb2O54などを用いることができる。次に、本実施形態の偏光素子の動作原理を説明する。本実施形態の偏光素子は、偏光子1側の面および偏光子2側の面のどちらが入射面とされてもよいが、以下の説明では、固体光源からの光が偏光子1側の面に入射するものと仮定する。加えて、偏光子1の透過軸と偏光子2の透過軸は直交し、偏光子1側から見た場合に、1/2波長板3の遅軸または速軸が偏光子1、2の透過軸と45°で交わるように設定されているものと仮定する。偏光子1、2はいずれも同じ構造を有し、したがって図7Aおよび図7Bに示した特性を有するとする。ただし先に述べたように偏光子1と2は透過軸が直交するように配置されていることから、偏光子1はxz面内方向から入射した光に対する特性が図7A、yz面内方向から入射した光に対する特性が図7Bになるのに対し、偏光子2はそれとは逆にxz面内の入射光に対して図7B、yz面内の入射光に対して図7Aの特性を有することになる。まず、偏光子1にxz面内方向から入射した光に対する動作を説明する。偏光子1に入射した光のうち、Px偏光は偏光子1を透過し、Py偏光は偏光子1によって固体光源側へ反射される。偏光子1を透過したPx偏光は、1/2波長板3に入射する。1/2波長板3は、入射したPx偏光の偏光方向を90°回転させるように作用するので、偏光子1からのPx偏光は1/2波長板3によってPy偏光に変換される。1/2波長板3から出射したPy偏光は、偏光子2を透過する。次に、偏光子1にyz面内方向から入射した光に対する動作を説明する。この場合もPx偏光については上記のxz面内から入射した光と同様に本偏光素子透過する。一方、Py偏光については、0から40°の入射角の場合は上記のxz面内から入射した光と同様に偏光子1に対して反射されるが、40°以上の入射角の光に対しては、図7Bに示したように、十分な反射特性を有さないため、一部は偏光子1によって固体光源側へ反射されるが、一部は偏光子1を透過する。この偏光子1を透過した一部のPy偏光は、1/2波長板3によってPx偏光に変換され、偏光子2に入射する。偏光子2は偏光子1とyz面内に対する特性が図7Aに示したものとなるため、TE光に対して十分なトレランスを示す。したがって前記の12波長板3でPxに変換された光は偏光子2で反射される。その後、1/2波長板3に戻り、Py偏光に変換され、偏光子1を透過して固体光源へ向かう。先に述べたように、本偏光素子では偏光子1と2は透過軸が直交するように配置されていることから、xz面とyz面の入射方向に対する特性が逆になる。これによりそれぞれ片方の方向に対する角度トレランスの不足を、他方の広い角度トレランスで補うことが可能となり、偏光素子全体として、入射方向に関係なく、広い角度トレランスを得ている。より詳細には、本偏光素子は全体として、xz面内、yz面内のいずれの光入射方向に対しても、同じ特性を示す。その特性はPx偏光に対しては図7Aと図7BのTMに対する特性を掛け合わせたもの、Pyに対してはTEに対する特性を掛け合わせたものとなり、十分に広いトレランスが実現される。なお、本実施形態の偏光素子において、固体光源からの光が偏光子2側から入射した場合も、上記と同様に作用効果を奏する。ただし、この場合は、PxとPyの関係は逆になる。すなわち、入射角の大きなPx偏光の一部が偏光子2を透過し、その透過したPx偏光が、1/2波長板3によってPy偏光に変換された後、偏光子1にて1/2波長板3側へ反射される。偏光子1で反射されたPy偏光は、1/2波長板3によってPx偏光に変換された後、偏光子2を透過して固体光源側へ向かう。次に、本発明の偏光素子を備えた光源ユニットについて説明する。図3に、光源ユニットの一例を示す。図3を参照すると、光源ユニットは、LED200と、LEDの発光面に近接して配置された偏光素子201と、LED200と偏光素子201の間に設けられた1/4波長板105とを有する。LED200は、サブマウント100上に、反射層101、P型層102、活性層103、n型層104が順に積層された積層構造部を有する。サブマウント100、反射層101、P型層102、活性層103、n型層104、および1/4波長板105は、図6に示したものと同じである。LED200のn型層104側の面が出射面である。偏光素子201は、図1に示した偏光子1、2および1/2波長板3を有し、LED200の出射面と対向する位置に配置されている。図3に示した光源ユニットでは、LED200からの光は1/4波長板105を介して偏光素子201に入射する。また、偏光素子201にて反射された光は、1/4波長板105を介してLED200に入射する。LED200、1/4波長板105、偏光素子201の動作は、前述した通りである。偏光素子201を構成する2つの偏光子および1/4波長板3はいずれも無機材料より成っているので、耐熱性および耐光性に優れており、上記例のようにLED等の固体光源の発光面に近接して配置しても特性の劣化が生じない。また従来の誘電体からなる偏光子と比べて角度トレランスが大きく、さらにワイヤグリッド偏光子に比べて光吸収損失が小さい。したがって本構成ではこれらの偏光子を用いた場合に比べて、光利用効率を向上することができる。次に、本発明の偏光素子を備えた別の光源ユニットについて説明する。図4に、別の光源ユニットの構成を示す。図4に示す光源ユニットは、1/4波長板105とLED200の間に設けられた角度フィルタ107を有し、この点が図3に示した光源ユニットと異なる。角度フィルタ107以外の構成は、図3に示したものと同じである。角度フィルタ107は、LED200の出射面から出射された光の方向がその出射面の垂線に沿った方向へ近づくように角度変換を行うためのものであって、例えば回折格子よりなる。例えば、本光源ユニットをプロジェクタ等の表示装置に適用した場合に、光源ユニットの出射光が効率的に光学系に入射するように、角度フィルタ107による角度の調整範囲が設定される。図4に示した光源ユニットでは、LED200からの光は角度フィルタ107および1/4波長板105を介して偏光素子201に入射する。また、偏光素子201にて反射された光は、角度フィルタ107および1/4波長板105を介してLED200に入射する。LED200、1/4波長板105、偏光素子201の動作は、前述した通りである。偏光素子201は、先に述べたように図7Aと図7BのTM同士、TE同士をそれぞれ掛け合わせた特性を有する。上記の例では、TM偏光はPx偏光の入射光に対応し、TE偏光はPy偏光の入射光に対応する。したがって、偏光素子201は、あらゆる入射角のPy偏光を反射する。一方、Px偏光については、70°程度から除々に透過率は下がるものの、全入射角度範囲に渡って偏光素子201を透過する。これに対し、例えばプロジェクタで利用できる光が、光源ユニットから60°内で出射された範囲だとすると、60°以上の透過光は利用されず、無駄が生じる。そこで、上記例のように角度フィルタ107で透過光の角度を制限し、それを越える角度の光をLED側に反射して再利用することにより、この無駄を防止することが可能となる。なお、この場合、LEDでの反射時に光の角度が変化する必要が生じる。この角度変化は、一般には、LEDの内部の構造により行われるが、それが不十分な場合には、LED200と角度フィルタ107の間に、回折格子などの光学素子を挿入することで角度変化を生じさせることが可能である。次に、本発明の偏光素子を備えた他の光源ユニットについて説明する。図5に、他の光源ユニットの構成を示す。図5に示す光源ユニットは、1/4波長板105を削除し、n型層104の表面を粗面104とした点が図3に示した光源ユニットと異なる。図5に示した光源ユニットでは、LED200の粗面104aから出射した光は偏光素子201に入射する。また、偏光素子201にて反射された光は、LED200の粗面104aに入射する。LED200、1/4波長板105、偏光素子201の動作は、前述した通りである。n型層104の粗面104aは、不規則な凹凸形状の面であって、入射する光を拡散する作用および入射する直線偏光を無偏光に変換する作用を有する。したがって、1/4波長板がなくても偏光子201から入射したPy偏光が、LED200での反射の過程でPy偏光とPx偏光の各成分を概ね半分ずつ有する無偏光に変換されて偏光子201に再入射し、そのうちPx偏光は偏光素子201を透過することとなる。これを繰り返すことにより光の大部分がPx偏光として透過される。以上説明した実施形態の偏光素子は、本発明の一例であって、その構成は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者が理解し得る変更を適用することができる。例えば、図1に示した構成において、偏光子1、2と1/2波長板3とは密着しているが、偏光子1、2と1/2波長板3との間に空気層または中間層が介在してもよい。また、偏光子としては、図3のように誘電体多層膜が周期的に形成された構造の他に、周期的な凹凸が形成された基板上に、誘電体多層膜がその凹凸構造を保ったまま積層されたような、いわゆるフォトニック結晶構造であっても良い。