試料構造34の顕微鏡像を取得する装置20、20’であって、前記試料構造34及び参照構造50を撮像する光学系30、38、54、56、58と、撮像された前記参照構造50に基づいて、前記光学系30、38、54、56、58に対する前記試料構造34のドリフトを感知するドリフト感知ユニット42、52と、を有し、前記光学系30、38、54、56、58は、前記試料構造34を撮像する第1の鮮鋭平面46と、同時に、前記第1の鮮鋭平面46に対して位置を変更可能な、前記参照構造50を撮像する第2の鮮鋭平面60とを備えて構成される、装置20、20’。前記光学系30、38、54、56、58は、前記試料構造34を撮像する対物レンズ30と、前記参照構造50を撮像するために前記対物レンズ30と共に動作して、前記第2の鮮鋭平面60の位置を変更するように調整可能な下位光学系54、56、58とを備えて構成される、請求項1に記載の装置20、20’。前記下位光学系54、56、58は、互いに移動可能な少なくとも2枚のレンズ56、58を含む、請求項2に記載の装置20、20’。前記下位光学系54、56、58は、前記試料構造34の撮像を目的とする主光路から逸れた補助光路に配置される、請求項2又は3に記載の装置20、20’。前記主光路に配置され、前記試料構造34を撮像可能な第1の光検出器40と、前記補助光路に配置され、前記参照構造50を撮像可能な第2の光検出器52とを特徴とする、請求項4に記載の装置20、20’。前記補助光路を前記主光路から逸らし、前記第2の光検出器52に向ける光分離光学要素36、36’を特徴とする、請求項4又は5に記載の装置20、20’。前記第2の鮮鋭平面60を前記参照構造50上に調整するオートフォーカス装置42、61を特徴とする、請求項1~6のいずれか一項に記載の装置20、20’。前記参照構造50は試料ホルダ44のカバースリップ70に具現される、請求項1~7のいずれか一項に記載の装置20、20’。前記光学系30、38、54、56、58及び/又は試料ホルダ44の少なくとも一部分を移動させて、ドリフトを補償するため、前記ドリフト感知ユニット42、52により生成されるドリフト信号を介して制御を適用可能である位置決め部材48を特徴とする、請求項1~8のいずれか一項に記載の装置20、20’。前記対物レンズ30を通して、前記試料構造34を照明し、同時に前記参照構造50を照明する光源22を特徴とする、請求項2~9のいずれか一項に記載の装置20。前記装置20、20’が蛍光顕微鏡である、請求項1~10のいずれか一項に記載の装置20、20’。光学系30、38、54、56、58により試料構造34及び参照構造50を撮像し、撮像された参照構造50に基づいて、前記光学系30、38、54、56、58に対する前記試料構造34のドリフトを感知する、試料構造34の顕微鏡像を取得する方法であって、前記試料構造34は、前記光学系30、38、54、56、58の第1の鮮鋭平面46に撮像され、同時に、前記参照構造50が、前記光学系30、38、54、56、58の第2の鮮鋭平面60上で撮像され、前記第2の鮮鋭平面60は、前記第1の鮮鋭平面46に対して位置を変更可能である、方法。前記試料構造34を含む試料は、前記参照構造50を構成する粒子49を用いて準備される、請求項12に記載の方法。前記参照構造50は、試料ホルダ44の一部分、特にカバースリップ70に具現される、請求項12に記載の方法。本発明の目的は、撮像光学系に対する試料構造のドリフトの信頼性の高い感知を、技術的複雑性が殆ど伴わずに可能にする試料構造の顕微鏡像を取得する装置及び方法を記載することである。本発明は、請求項1及び12のそれぞれの特徴部の特徴構成によりこの目的を達成する。本発明は、撮像光学的に、互いに物理的に離間され、互いに対してシフト可能な2つの鮮鋭平面又は焦点面を提供し、そのうちの第1の鮮鋭平面又は焦点面は試料構造を撮像するように機能し、第2の鮮鋭度面又は焦点面は参照構造を撮像するように機能する。平面という用語は当然、ここでは、厳密に数学的な意味での平面、すなわち、厳密に二次元の幾何学的空間ではなく、むしろ、物体この場合、試料構造又は参照構造のそれぞれが画像平面に鮮鋭に撮像される、通常は光学系の焦点深度により特徴付けられる光学系の物体空間内の領域として理解されたい。撮像すべき試料構造が、例えば、試料ホルダに取り付けられた合焦駆動装置により運ばれる光学系の第1の鮮鋭平面が固定されると仮定すると、本発明による光学系は、所望に応じて適した参照構造への第2の鮮鋭平面を調整できるようにする。特に、参照構造は、試料構造が配置される第1の鮮鋭平面の物理的な直近に配置する必要がない。これにより、ドリフトを感知するために参照構造として撮像試料構造と固定された空間関係を有する任意の所望の構造を使用することが可能になる。例えば、試料又は試料ホルダにすでに存在する構造を光学顕微鏡法で撮像可能である。参照構造は特に、通常、試料ホルダのキャリアの試料を不動化するために使用されるカバースリップに具現することができる。或いは、参照構造を、キャリア自体に具現、例えば、キャリア自体にインプリントすることができる。試料の自己蛍光構造も同様に、ドリフト感知に使用することができる。上述したように、明状態及び暗状態を有する局在顕微鏡法で使用されるマーカーは、参照構造を構成することもできる。したがって、例えば、すべてのマーカーを暗状態から明状態にすることにより、参照構造を生成することが可能である。次に、光学系の限られた解像能力により、試料構造の撮像に適さない、それにより生成された構造に基づいてドリフトを特定することができる。本発明による装置の文脈の中では、光学系の第2の鮮鋭平面が、第1の鮮鋭平面に対して所望のように調整可能なことにより、適した参照構造を見つけ、ドリフトの感知に使用することは常に容易である。これは特に、異物、例えば、金ミクロスフィアを構成する参照マーカーが試料に導入される場合に有利である。光学系の第2の鮮鋭平面を変位させることにより、十分な参照マーカーが存在する試料領域を見つけることが容易である。結果として、試料に導入する必要がある参照マーカーの集中度が低減し、これは特に、生きている細胞構造を撮像する場合に有利である。これは試料準備をさらに簡易化する。撮像光学系自体を使用する本発明によるドリフトの光学感知には、既存の分野から既知の外部センサを使用する場合よりも低い技術的複雑性が関連付けられる。試料自体に存在する構造が参照構造として使用される場合、上述した外部センサを使用して可能な信頼性及び精度よりも高い信頼性及び精度で試料構造のドリフトを感知することができる。上述した外部センサを使用する場合、例えば、センサで測定されるドリフトが実際に試料構造のドリフトに対応することが常に保証されるわけではない。これは特に熱膨張が、センサが通常取り付けられる試料ホルダで発生する場合に言えることである。光学系は、好ましくは、試料構造を撮像する対物レンズと、対物レンズと共に動作して、参照構造を撮像し、第2の鮮鋭平面の位置を変更するように調整可能な下位光学系とを備える。したがって、この実施形態では、対物レンズは、試料構造の撮像及び参照構造の撮像の両方に寄与し、その一方で、下位光学系は参照構造の撮像のみに使用され、第1の鮮鋭平面に対して第2の鮮鋭平面を調整するように機能する。好ましい改良形態では、下位光学系は互いに対して移動可能な少なくとも2枚のレンズを含む。これらのレンズを互いに対してシフトすることにより、下位光学系及び対物レンズにより構成される光学システムの焦点長、ひいては第2の鮮鋭平面を容易に調整することができる。或いは、下位光学系を静止、すなわち非シフト可能な光学系として提供し、光軸に沿って移動可能な、参照構造が下位光学系により撮像される光検出器を具現することも可能である。この場合、光検出器の変位、ひいては撮像平面の変位も、下位光学系の鮮鋭領域、すなわち、第2の鮮鋭平面をシフトさせる。下位光学系は好ましくは、試料構造の撮像を目的とする主光路から逸れた補助光路に配置される。補助光路内への下位光学系の配置により、第2の鮮鋭平面の単純で確実な調整が可能であり、それにより、試料構造の撮像に影響することがない。さらなる好ましい実施形態は、主光路に配置され、試料構造を撮像可能な第1の光検出器と、補助光路に配置され、参照構造を撮像可能な第2の光検出器とを提供する。2つの光検出器を使用して、例えば、第1の波長領域の光を使用して試料構造を撮像し、第1の波長領域とは異なる第2の波長領域の光を使用して参照構造を撮像することができる。本発明による装置が蛍光顕微鏡法に使用される場合、第1の光検出器は、試料構造から発せられた蛍光を受け取り、その一方で、第2の光検出器は、例えば、参照構造から反射され、試料構造を励起させて蛍光を発する励起光を受け取る。しかし、同様に、異なる波長領域の光を別個に感知するように設計された1つのみの光検出器を提供することも可能である。これは、試料構造及び参照構造が1つの同じ光路で撮像され、それにより、異なる光路間で生じ得るドリフトの影響をなくすという利点を有する。主光路及び補助光路が提供される場合、装置は、好ましくは、光分離学要素を備え、光分離光学要素を用いて、補助光路が主光路から逸らされ、第2の光検出器に向けられる。この光分離光学要素は、試料構造が第1の波長領域で撮像され、参照構造が第1の波長領域と異なる第2の波長領域で撮像される場合、例えば、ダイクロイックミラーである。2つの構造が1つの同じ波長領域で撮像される場合、光分離光学要素は、例えば、半透明ミラーである。特に好ましい実施形態では、オートフォーカス装置が提供されて、参照構造への第2の鮮鋭平面を調整する。この種のオートフォーカス装置は、例えば、試料ホルダに係合する合焦駆動装置により試料深度方向に試料がシフトした場合、光学系が参照構造に合焦された状態を保ち、関心のある試料構造を第1の鮮鋭平面に持って行くことを保証する。したがって、この種のオートフォーカス装置の効果は、例えば、試料ホルダのカバースリップに具現される参照構造に向けて調整される第2の鮮鋭平面が、試料変位時に自動的に追跡されることである。オートフォーカス装置として、例えば、参照構造から反射された照明光を用いて機能する受動装置及び参照構造を照明する別個の光源を備える能動装置の両方を使用することが可能である。参照構造により感知される光学系に対する試料構造のドリフトを使用して、識別されたドリフトに基づいて、取得された個々の像を事後補正することができる。しかし、試料構造の撮像中にドリフトを補償済みすることも同様に可能である。これは、例えば、ドリフト感知ユニットにより生成されるドリフト信号を介して制御を適用して、光学系及び/又は試料ホルダの少なくとも一部分を移動させて、ドリフトを補償することができる位置決め部材を提供することにより行うことができる。この構成は、制御ループの方式で具現することができ、この構成では、連続した参照/実際の比較が実施され、光学系又は試料ホルダの上記一部分は、その比較に基づいてドリフト信号を参照して駆動される。参照構造の個々の像が、試料構造の個々の各像でも取得され、個々の各像でドリフトが感知される場合、特に厳密なドリフト補正が得られる。しかし、参照構造の像を取得し、より長い所定の時間間隔でのみドリフトを特定することも可能である。これは、像補償が、取得された個々の像に対して事後に実行される場合及び位置決め部材によりドリフト補償が、測定中、すなわち、試料構造の撮像中に達成される場合の両方に当てはまる。前者の場合、個々の像が事後にドリフト補正され、ドリフトが個々の各像ではなく、N番目の個々の各像でのみについて感知される場合nは1よりも大きな自然数、それらの間に配置される像のドリフトは補間により特定することができる。好ましくは、対物レンズを通して試料構造を照明し、同時に参照構造を照明する光源が提供される。この実施形態では、試料構造及び参照構造は、入射光顕微鏡法を使用して照明される。代替の実施形態では、試料構造のみが入射光法を使用して照明されるが、参照構造は透過光法を使用して照明される。この場合、参照構造の照明に別個の光源が提供される。この光源から発せられる照明光の波長は、使用されている参照構造に応じて適宜選択することができる。本発明による装置は、試料構造の拡大表示を可能にし、撮像精度を増大するためにドリフト感知及びドリフト補償が望まれるすべての機器と有効に使用可能である。局在顕微鏡法の用語で先に一緒にグループ化された方法の1つに従って動作する蛍光顕微鏡としての利用が特に好ましい。本発明について図を参照してさらに詳細に後述する。図4は、本発明による装置の第1の例示的な実施形態を構成する蛍光顕微鏡20を示す。蛍光顕微鏡20は、2枚のレンズ24及び26から構成されるレンズ系に励起光を発する光源22を有する。このレンズ系は、光源22から発せられた励起光を所望のようにコリメートするように機能する。次に、コリメートされた励起光は集束レンズ28に入射し、集束レンズ28は励起光を対物レンズ30の開口に合焦する。励起光はまず、励起光にとって透明な第1のダイクロイックミラー32を通過する。光源22から発せられた励起光は対物レンズ30の開口に合焦されるため、対物レンズ30からコリメートされた光線束として出射し、したがって、34と記されるシンボルで図1に示される試料構造の比較的広域の均質照明を生じさせる。上述したように、例示的な本実施形態では、試料構造34はマーカー、例えば、蛍光分子を用いて準備される。上述した方法を使用して、これらのマーカーの各部分を明状態にし、それにより、個々の像で撮像されるアクティブサブセットを生成することができる。試料構造34から発せられた蛍光は対物レンズ30を通り、ダイクロイックミラー32に入射する。ダイクロイックミラー32は、試料構造34から発せられた光を反射し、そうして反射光を第2のダイクロイックミラー36に向けるように具現される。ダイクロイックミラー36は、蛍光を透過させ、それにより、蛍光を光検出器40、例えば、CCDカメラに集束するレンズ38に蛍光を入射させるように具現される。したがって、試料構造34の個々の像が光検出器40に生成される。光検出器40は、受け取った蛍光を電気信号に変換し、その電気信号を計算/制御ユニット42に出力し、計算/制御ユニット42においてその信号はさらに処理される。試料構造34は、試料ホルダ44に搭載される試料図4及び図5にさらに示さないの一部分である。図5に示されるように、光学顕微鏡法撮像中、試料構造34は、以下、第1の鮮鋭平面と呼ぶ対物レンズ30の鮮鋭平面46に配置される。試料構造34を第1の鮮鋭平面46に運ぶことができるように、試料ホルダ44は、両矢印で図4に示されるように垂直に移動可能である。この目的のために、計算/制御ユニット42により制御が適用される、試料ホルダ44に結合された合焦駆動装置48が提供される。図5から明らかなように、試料は試料構造34のみならず、参照マーカー49も含み、参照マーカー49は、一連の個々の像の取得中に、撮像光学系、特に対物レンズ30と試料構造34との間で生じるドリフトを光学的に感知できるようにする。これらの参照マーカー49の一部分は、参照構造50として使用される。蛍光顕微鏡20は、このために、上述した光学構成要素に加えて特に、対物レンズ30に加えてさらに詳細に後述する下位光学系を備える。この下位光学系は、試料構造34から、試料構造34から発せられる蛍光の第1の光検出器40まで繋がる光路により画定される主光路からダイクロイックミラー36により逸らされた補助光路に配置される。補助光路は、第2の光検出器52、例えば、CCDカメラに向けられる。第2のダイクロイックミラー36と第2の光検出器52との間には、上述した下位光学系が配置され、下位光学系は、静止レンズ54と、互いに対して変位可能であり、それ自体が可変焦点距離のレンズ系を構成する2枚のレンズ56及び58とで構成される。例示的な本実施形態では、試料に導入されるか、又は試料内に存在する任意の場合、自己蛍光粒子又は構造が、参照マーカー49として使用される。重要なのは、これらの参照マーカー49を、試料構造34が撮像される第1の鮮鋭平面46に配置する必要がないことである。その代わり、レンズ54~58により構成される下位光学系が対物レンズ30と共に動作して、レンズ56及び58をシフトすることにより所望のように図5では上下にシフト可能な第2の鮮鋭平面60を画定する。これにより、試料内の第2の鮮鋭平面60を、光学顕微鏡法で撮像可能な参照構造50として使用可能な十分な参照マーカー49が存在する領域に変位させることが可能である。第2の鮮鋭平面60に配置される参照マーカー49により構成される参照構造50は、対物レンズ30並びにレンズ54~58により第2の光検出器52に撮像される。したがって、参照構造50の個々の像は、第2の光検出器52上に生成され、電気信号に変換される。次に、これらの電気信号は、評価のために計算/制御ユニット42に運ばれる。計算/制御ユニット42において、個々の参照構造像の位置変化が感知され、ドリフト補償値がそこから特定され、前記値は、例示的な本実施形態において、個々の一連の試料構造像に対する測定後のドリフト補償を実行するために使用される。第2の鮮鋭平面60を調整するために互いに対して移動する下位光学系のレンズ54及び56は、この例示的な実施形態では、試料ホルダ44が合焦駆動装置48により移動した場合に第2の鮮鋭平面60を自動的に追跡するオートフォーカス装置に結合される。オートフォーカス装置は、計算/制御ユニット42及び駆動装置61から構成され、駆動装置61は、制御が計算/制御ユニット42により適用され、第2の鮮鋭平面60を追跡するためにレンズ54及び56を移動させる。本明細書に記載される例示的な実施形態では、参照マーカー49の一部分から構成される参照構造50は、自己蛍光参照構造50から発せられる自己蛍光に基づいて生成される。それに従って、第1のダイクロイックミラー32は、一方では、レーザ光源22から発せられた励起光を透過し、他方では、試料構造34から発せられた蛍光及び参照構造から発せられた自己蛍光を反射するように具現される。第2のダイクロイックミラー36は、試料構造34から発せられた蛍光を透過し、参照構造から発せられた自己蛍光を反射するように具現される。しかし、この実施形態は単なる例として理解されたい。例えば、励起光自体を使用して参照構造50を撮像することも可能である。この場合、例えば、試料に導入される反射性金ミクロスフィアを参照マーカー50として使用することができる。この実施形態は、一方では、レーザ光源22から発せられた励起光の強度が一般に比較的高い少なくとも、試料構造34から発せられる蛍光の強度に関連して状況を利用する。他方では、実際に、第1のダイクロイックミラー32で厳密に100の透過率を達成することは略不可能である。その代わり、試料から対物レンズ30に後方散乱した励起光のごく一部分が常に第1のダイクロイックミラー32で反射する。第2のダイクロイックミラー36が、蛍光を透過し、励起光を反射するように具現される場合、第1のダイクロイックミラー32により不可避的に反射された励起光のその部分を使用して、参照構造50を撮像することができる。図6及び図7は、本発明による装置の第2の例示的な実施形態を示す。第1の例示的な実施形態では、参照構造50は入射光法を使用して照明されるが、図6及び図7による第2の例示的な実施形態では、透過光照明が提供される。第1の例示的な実施形態の構成要素と同一の第2の例示的な実施形態の構成要素は、図6及び図7において、第1の例示的な実施形態で利用される参照文字を用いて記される。それらの構成要素については以下、再び説明しない。第1の例示的な実施形態による蛍光顕微鏡20と比較して、第2の例示的な実施形態による蛍光顕微鏡20’は、光源62並びに2枚のレンズ64及び66から構成されるレンズ系をさらに有する。このレンズ系は、光源62から発せられた照明光をコリメートし、対物レンズ30から離れるほうに面する側から試料に向ける。したがって、試料この例では、透明は図6では下から光を透過させ、それにより、参照構造50が、通常の透過光法、例えば位相コントラスト法に従って第2の光検出器52に撮像される。光源62から発せられた照明光の波長は、撮像すべき参照構造50のタイプに応じて適宜選択することができる。例えば、第2の光検出器52に透過光で撮像される金ミクロスフィアを参照マーカー49として使用することができる。2つのダイクロイックミラー32’及び36’は、光源62から発せられる照明光の選択された波長に従って、すなわち、それぞれが光源62の照明光を反射するように変更される。上述した例示的な実施形態は、単に本発明を説明する役割を果たし、本発明はこれらの例示的な実施形態に限定されない。したがって、撮像すべき参照構造は、試料ホルダ44の一部分である、図5及び図7に示されるカバースリップ70に具現することができる。この場合、第2の鮮鋭平面60はカバースリップ70に向けられる。この場合も同様に、オートフォーカス装置は、第2の鮮鋭平面60が、カバースリップ70上に位置決めされた状態を保つように追跡されることを保証することができる。上述した例示的な実施形態は、ドリフト補償が、生成された個々の試料構造像に対して事後に実行されず、その代わり、測定中に、蛍光顕微鏡20又は20’の構成要素、好ましくは、試料ホルダ44が感知されたドリフトに応じてシフトするように変更することもできる。これは、例えば、合焦駆動装置48に適切な制御を適用することにより行うことができる。