"枠に囲われた空間が検知空間になっている四角枠状の光導波路と、この枠状光導波路の1つの角部の外縁に配設される光源と、複数の受光素子を備える受光手段と、上記光源から出射される光を互いに隣接する上記枠の2辺に所定の比率で分配する二分岐状の発光側光導波路コアと、上記枠の他の2辺に配置されて上記検知空間を通った光を受光手段に導く複数の受光側光導波路コアとを備え、この発光側光導波路コアの光出射側端部から対応する上記受光側光導波路コアの光入射側端部に到達する光が入力体により遮蔽されたことを検知することにより、上記検知空間内に位置する上記入力体の位置情報を取得する入力デバイスであって、上記発光側光導波路コアが、上記角部に配置される光入射側の共通部と、この共通部の終端側から二股状に分岐して上記枠の2辺に配置される分岐コア部とを有するとともに、この発光側光導波路コアが、下記のAおよびBの少なくとも一方の形状に形成されていることを特徴とする入力デバイス。A上記発光側光導波路コアにおける分岐前の共通部に、光路を曲げる湾曲部位を有する形状。B上記発光側光導波路コアにおける分岐後の各分岐コア部の両方に、光路を曲げる湾曲部位を有する形状。上記発光側光導波路コアにおける上記共通部の湾曲部位の曲率半径、または、上記分岐コア部の湾曲部位の曲率半径が、この湾曲部位のコア幅の15倍以上になっている請求項1記載の入力デバイス。上記分岐後の各分岐コア部が、上記枠の角部から各辺方向に光を伝達する連絡路と、枠の辺の長手方向に沿って配置される主路と、上記辺の長手方向に沿った所定のピッチごとに上記主路から分岐する複数の光出射路とを備え、上記主路が、枠の辺の長手方向に沿った終端側に向かって徐々にコア幅が狭くなる略三角形状に形成されている請求項1または2記載の入力デバイス。ところで、本発明者の研究によれば、上記のような枠状の光導波路を使用するとともに、その二分岐状の発光側光導波路コアを用いて、光源からの光を枠の2辺に分配する入力デバイスにおいては、例えば図6bのように、光源20発光素子20aの光軸Oが、発光側光導波路コア11における光入射側端面共通部13端部の光結合面の中心軸一点鎖線に対して、光導波路の水平方向図中の矢印A方向または矢印B方向にずれた場合、発光側光導波路コア11の各光出射側先端出光部14xおよび15yから出射されるそれぞれの光の量強度が枠の辺の長手方向にばらついて、均一性ユニフォーミティが低下する場合があることが分かった。具体的には、図7の受光素子アレイ30の受光強度分布スペクトルに示すように、光源20を発光側光導波路コア11の共通部13の中心軸に対してずらして配置した場合、上記発光側光導波路コア11の各光出射側先端x方向の出光部14xおよびy方向の出光部15yから出射されるそれぞれの光量強度が、枠の辺の長手方向にばらつき、上記受光側光導波路コア12に繋がる受光素子アレイ30においては、図のように、上記辺の長手方向に沿った受光素子位置連番の番号順ごとに異なった強度の光が受信される現象が見られた。このように、各出光部14x,15yから出射される光量にばらつきが生じると、例えば図7における領域Division06や08等、検出空間S内において入力体を検出できない部分的な領域いわゆる検出の死角が生じるおそれがあり、その改善が求められている。本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、光源と二分岐状の発光側光導波路コアとの間の調芯にずれが生じた場合でも、枠状の検知空間の長手方向に光強度の揃った均一な光の格子を形成することのできる、検出能力の高い入力デバイスの提供をその目的とする。上記の目的を達成するため、本発明の入力デバイスは、枠に囲われた空間が検知空間になっている四角枠状の光導波路と、この枠状光導波路の1つの角部の外縁に配設される光源と、複数の受光素子を備える受光手段と、上記光源から出射される光を互いに隣接する上記枠の2辺に所定の比率で分配する二分岐状の発光側光導波路コアと、上記枠の他の2辺に配置されて上記検知空間を通った光を受光手段に導く複数の受光側光導波路コアとを備え、この発光側光導波路コアの光出射側端部から対応する上記受光側光導波路コアの光入射側端部に到達する光が入力体により遮蔽されたことを検知することにより、上記検知空間内に位置する上記入力体の位置情報を取得する入力デバイスであって、上記発光側光導波路コアが、上記角部に配置される光入射側の共通部と、この共通部の終端側から二股状に分岐して上記枠の2辺に配置される分岐コア部とを有するとともに、この発光側光導波路コアが、下記のAおよびBの少なくとも一方の形状に形成されている構成をとる。A上記発光側光導波路コアにおける分岐前の共通部に、光路を曲げる湾曲部位を有する形状。B上記発光側光導波路コアにおける分岐後の各分岐コア部の両方に、光路を曲げる湾曲部位を有する形状。すなわち、本発明の発明者は、前記課題を解決するために、枠状の光導波路の光路に関する研究を重ね、枠の角部に配置された光源の光を隣接する枠の2辺方向に分配する二分岐状の発光側光導波路コアを備える入力デバイスにおいて、光源のずれにより、入力体を検出するのが難しくなる部位が発生する場合があることに着目した。そして、枠の2辺のそれぞれに出射される光のスペクトル図7参照の形状の違いに注目して、上記光源のずれと検出能力との相関について実験を重ね、その結果、光が枠の辺に沿って多分岐し始める前の光路上に、光を分散させるための湾曲部を設け、上記光を必ず1回以上この湾曲部を通すことにより、上記発光側光導波路コアから出射される光の強度が、枠の辺の長手方向に安定することを見出し、本発明に到達した。なお、本発明におけるコアの幅とは、枠状光導波路の辺に沿って延びるコアの長手方向と直交する方向の長さのことをいう。この長さは、枠の辺の面水平面上にあらわれる。また、端面と分岐点との距離等における距離もこれと同様、上記枠の水平面上における長さをいい、コアの厚さとは、上記枠の水平面に垂直な上下方向の長さをいう。以上のように、本発明の入力デバイスは、発光側の二分岐状の光導波路コアの共通部が、光源に接する角部に配置され、この共通部の終端側の分岐点で分岐した2つの分岐コア部が、上記角部に隣接する2辺にそれぞれ配置されているとともに、上記二分岐状の発光側光導波路コアにおける分岐前の共通部および分岐後の各分岐コア部の両方の少なくとも一方が、光路を曲げる湾曲状に形成されている。そのため、この入力デバイスは、光導波路製造時の製造誤差や光源取付時の製作公差等に起因する、光源と発光側光導波路コアとの間の相対的な光軸のずれ調芯ずれが生じた場合でも、コア内を通過する光が、上記湾曲部位でコアの断面幅方向断面全体に拡散均一化され、上記分岐コア部の光出射側端部出光部から検知空間に向かって出射されるそれぞれの光の量強度も、枠の辺の長手方向に平均化される。これにより、本発明の入力デバイスは、枠検知空間の長手方向全域にわたって検出感度の揃った、死角のない高精度な入力体の位置検出を行うことができる。また、上記湾曲部位が分岐前の共通部に形成されている場合は、この共通部から分岐する2つの分岐コア部に分配される光量の比の変動が抑えられるという利点もある。さらに、本発明の入力デバイスのなかでも、上記発光側光導波路コアにおける上記共通部の湾曲部位の曲率半径、または、上記分岐コア部の湾曲部位の曲率半径が、この湾曲部位のコア幅の15倍以上になっているものは、この湾曲部位における光損失曲げ損失が低減され、より効率的に光を分岐コア部に伝達できる。そして、本発明の入力デバイスのなかでも、上記分岐後の各分岐コア部が、上記枠の角部から各辺方向に光を伝達する連絡路と、枠の辺の長手方向に沿って配置される主路と、上記辺の長手方向に沿った所定のピッチごとに上記主路から分岐する複数の光出射路とを備え、上記主路が、枠の辺の長手方向に沿った終端側に向かって徐々にコア幅が狭くなる略三角形状に形成されているものは、上記分岐コア部の各光出射側端部から出射される光量を、枠の辺の長手方向により均一なものとすることができる。つぎに、本発明の実施の形態を、図面にもとづいて詳しく説明する。図1a,bは、二分岐状の発光側光導波路コアC1における分岐後の各分岐コア部連絡路2,3に湾曲形状を備える本発明の入力デバイスの構成例第1実施形態であり、図2a,bは、二分岐状の発光側光導波路コアC1における分岐前の共通部1に湾曲形状を備える本発明の入力デバイスの構成例第2実施形態である。図1a,図2aに全体像を示す入力デバイスは、例えば、フラットパネルディスプレイ等の表示装置の画面の周囲に配置され、その枠状の光導波路10の中央部の空間検知空間Sから露呈する上記画面の領域に、指やペン等の入力体で触れることにより、この入力体の位置を、上記検知空間S内の座標x-y座標として取得し、その位置情報をコンピュータやATM等の情報機器に出力するものである。上記枠状の光導波路10は、上記ディスプレイの画面のサイズに合わせて、横長長辺Xの長さ:短辺Yの長さ=16:9の長方形状に形成されたクラッド層6と、このクラッド層6に埋没するようにして形成された光路としてのコアC1,C2とからなり、その1つの角部10zの外縁に、光源20としての発光素子が、所定の向きに取り付けられている。なお、この枠状光導波路10は、別個に作製した4つの光導波路部材10A10E,10B,10C,10D等を組み合わせて構成されている。また、上記枠状光導波路10には、上記クラッド層6の角部10zに隣接する枠の2辺図においては長辺10Xと短辺10Yに、上記光源20から出射される光を、互いに直交する上記2辺10X,10Y方向に所定の比で分配する発光側光導波路コアC1が設けられ、上記辺10X,10Yにそれぞれ対向する他の2辺10X’,10Y’に、上記発光側光導波路コアC1からの光を入射させて受光素子受光素子アレイ30に導くための複数の受光側光導波路コアC2が設けられている。さらに、上記発光側光導波路コアC1は、枠状光導波路10の角部10zに配置された光入射側の共通部1A,1Bと、上記共通部1A,1Bの分岐点Jで分配された光を枠の一辺10X方向および枠の他辺10Y方向に伝達する第1連絡路2A,2Bおよび第2連絡路3と、広幅の主路4a,5aおよびこの主路4a,5aから所定のピッチで分岐する複数の分岐状光出射路4b,5bからなる第1分岐コア部4および第2分岐コア部5と、から形成されている。そして、第1実施形態の入力デバイスにおいては、図1bのように、上記二分岐状の発光側光導波路コアC1は、その共通部1Aから分岐後の第1連絡路2A第1分岐コア部4の一部および第2連絡路3第2分岐コア部5の一部のそれぞれが、緩やかにカーブする湾曲形状に形成されている。また、第2実施形態の入力デバイスにおいては、図2bのように、上記発光側光導波路コアC1は、その分岐前の共通部1Bが、緩やかにカーブする湾曲形状に形成されている。これが、本発明の入力デバイスの特徴である。上記各入力デバイスについて、さらに詳しく説明すると、これら各入力デバイスに用いられる枠状光導波路10は、例えば、ポリマー系光導波路の場合、樹脂材料を用いて形成された枠状のクラッド層6オーバークラッド層6aおよびアンダークラッド層6bからなるの間に、フォトリソグラフィ法等により上記形状にパターニングされた発光側光導波路コアC1および上記複数の受光側光導波路コアC2が形成されている。上記第1実施形態図1における光導波路10の発光側光導波路コアC1は、上記光源20から出射される光を、互いに直交する上記2辺10X,10Y方向に所定の比で分配できるように、光源20に接する光入射側の端部共通部1A:直線状から、枠のx方向長辺10X側の第1連絡路2A湾曲状と、y方向短辺10Y側の第2連絡路3湾曲状の2方向に分岐する、二分岐形状に形成されており、これら第1連絡路2Aおよび第2連絡路3の終端側光出射側にそれぞれ、上記枠の長辺10Xおよび短辺10Yに沿った形状の第1分岐コア部4および第2分岐コア部5が形成されている。上記発光側光導波路コアC1の共通部1Aは、図1bのように、第1連絡路2Aコア幅W2と第2連絡路3コア幅W3とを合わせたコア幅W1この例においてはW2:W3=1:1に形成され、その一端側図示右側の端面1cは、光源20からの光白抜き矢印が入射する光結合面水平方向の幅W1となっている。なお、光入射側の端面1cの幅W1は、上記光源20との光結合を容易にするために、通常、光源20発光素子の発光部幅Hよりも広くなっている。例えば、発光素子の発光部幅Hが10μm程度である場合、上記光入射側端面1cの幅は、40~1000μmに設計される。また、上記光入射側端面1cと発光素子の発光部との間の距離間隙は、通常300μm程度に設定され、上記共通部1Aの光軸一点鎖線方向の長さLその一端面光接続面1aから上記分岐点Jまでの長さは、150~5000μmに設定される。上記共通部1Aから分岐した一方の第1連絡路2A第1分岐コア部4の一部は、分岐点Jにおける分岐後に、緩やかに湾曲する形状この例ではコア幅W2,曲率半径R2の湾曲部が2個所に形成されており、この湾曲部位を通過する光がコアの断面全体に均一に拡散混合されるようになっている。なお、この例では、光導波路10の角部10zのスペース効率を上げ、上記湾曲を設け易くするために、第1連絡路2Aの形状を、後記の主路4aより幅細の形状コア幅W2としたが、スペースに余裕があれば、より幅広の主路4aと同幅の形状としてもよく、この第1連絡路2Aを、主路4aに近づくにしたがって拡幅する三角状またはラッパ形状としてもよい。上記分岐点Jで第1連絡路2Aと分岐した第2連絡路3第2分岐コア部5の一部も、その分岐後に緩やかに湾曲する形状コア幅W3,曲率半径R3に形成されており、この例では、図1bのように、分岐点Jの直後から、1/4円形状アーチ形状に湾曲し、それより終端側が枠の短辺10Y側に直線状に延びる形状に形成されている。そして、光出射側の終端が、他方の分岐コア部第2分岐コア部5に接続されている。なお、この第2連絡路3も、上記第1連絡路2Aと同様、第2分岐コア部5の主路5aに近づくにしたがって拡幅する三角状またはラッパ形状、または、全体にわたって主路5aと同幅としてもよい。また、上記第2連絡路3は、上記第1連絡路2Aと同幅に形成されており、そのコア幅W3およびコア幅W3は、好ましくは20~500μm、さらに好ましくは40~300μmである。上記発光側光導波路コアC1における第1分岐コア部4は、上記第1連絡路2Aと、この第1連絡路2Aを通じて供給された光を、枠の一辺長辺10Xに沿って分散させる細長の略三角形状の主路第1主路4aと、この主路4aから分岐する多数の光出射路4b,4b,とからなる。これら光出射路4bは、辺10Xの長手方向に沿って所定のピッチごとに主路4aから次々と分岐する多分岐状に形成されており、その各先端終端側に設けられた光出射側端部出光部4xが、枠状光導波路10の検知空間S側内縁図1aにおいては上側縁の所定位置に、それぞれ位置決めされている。なお、上記例では、各出光部4xからの出光量を辺長手方向に揃えるために、上記主路4aの外縁側が、光入射側の始端部から終端側にかけて徐々に幅が狭くなる所定角で傾斜する形状に形成されているが、この上記主路4aは、全体のコア幅が長手方向に同じ同幅であってもよい。上記発光側光導波路コアC1における第2分岐コア部5も、上記第1分岐コア部4と同様、上記第2連絡路3と、この第2連絡路3を通じて供給された光を、枠の他辺短辺10Yに沿って分散させる細長の略三角形状の主路第2主路5aと、この主路5aから分岐する多数の光出射路5b,5b,とからなり、これら各光出射路5bの先端終端側に設けられた光出射側端部出光部5yは、枠状光導波路10の検知空間S側内縁図1aにおいては右側縁の所定位置に、それぞれ位置決めされている。上記主路5aも、上記主路4aと同様、全体のコア幅が長手方向に同じ同幅であってもよい。そして、光源20からの光を上記各出光部4x,5yから出射投射させることにより、図1aのように、上記枠の内側の検知空間Sに、枠の縦横xy方向に交差する光の格子点線、矢印は光の進行方向を示すが形成される。なお、上記図1aにおける各光出射路4b,5bおよび出光部4x,5yは、図示が煩雑になるのを避けるため、その本数を減らして図示している出射される光-点線矢印も同様。上記光出射路4b,5bの本数および出光部4x,5yの個数は、入力デバイスのサイズや解像度等に応じて適宜設計されるが、例えば、上記第1分岐コア部4長辺10X側の光出射路4bの本数は200~800本程度、上記第2分岐コア部5短辺10Y側の光出射路5bの本数は100~600本程度のものが多用される。一方、上記発光側の光導波路コアC1に対して、検知空間Sを挟んで対向する辺長辺10X’,短辺10Y’には、上記各光出射路4b,5bの先端出光部4x,5yのそれぞれに対応する、受光側光導波路コアC2が複数形成されている。これら各受光側光導波路コアC2の光入射側の端部受光部は、上記発光側光導波路コアC1の各光出射側先端対向する枠の内縁図1aにおいては下側縁と左側縁の所定位置にそれぞれ位置決めされており、上記検知空間Sを通過して各受光側光導波路コアC2の先端受光部に入射した光が、これら各受光側光導波路コアC2の1本1本を通じて、受光素子アレイ30中で対応する個々の受光素子に導かれるようになっている。なお、上記入力デバイスに用いられる受光素子アレイ30としては、CCD,CMOS等のイメージセンサや、多数の受光素子が一列に並ぶCMOSリニアセンサアレイ等を用いることができる。また、上記入力デバイスに用いられる光源20には、発光ダイオードLEDまたは半導体レーザー等が用いられ、なかでも、光伝送性に優れるVCSEL垂直共振器面発光レーザーが好適に用いられる。上記光源20から出射される光の波長は、近赤外線波長:700~2500nmが好ましい。そして、この例では、図1aのように、上記光源20が枠状光導波路10の1つの角部10zの所定位置に配置され、その発光が、この角部10zに隣接する枠の2辺10Xと10Yに導かれるようになっている。そのため、このデバイス全体で必要な光を、1つの光源で賄うことができる。上記第1実施形態の入力デバイスにおいては、先に述べたように、発光側光導波路コアC1における分岐後の分岐コアその一部である第1連絡路2Aおよび第2連絡路3が、光路を曲げる湾曲状に形成されている。そのため、この入力デバイスでは、上記分岐コア内を通る光が、上記湾曲部位で拡散され、コアの断面全体に均一化される。これにより、本実施形態における入力デバイスは、製作公差等による光源20と共通部1Aとの間の相対的な位置ずれ調芯ずれが生じた場合でも、これら各分岐コア部4,5の光出射路4b,5b出光部4x,5yから検知空間Sに向かって出射される格子状の光の光量強度を、枠の辺の長手方向に均一なものとすることができる。さらに、格子状の光の光量が辺の長手方向に平均化されることから、本実施形態の入力デバイスは、枠検知空間Sの長手方向全域にわたって検出感度の揃った、死角のない高精度な入力体の位置の検出を行うことが可能になる。なお、上記第1実施形態においては、上記各連絡路2A,3の湾曲部位の曲率半径R2,R3が、それぞれ該コア部のコア幅W2,W3の15倍以上になっており、さらには、それぞれ該コア部のコア幅W2,W3の25倍以上になっていることが望ましい。これにより、上記湾曲部位で発生する光損失曲げ損失を低減することができる。つぎに、第2実施形態図2の入力デバイスについて説明する。上記第2実施形態における光導波路10の発光側光導波路コアC1も、基本的な構成は、前記第1実施形態図1における入力デバイスと同様であり、図2aのように、角部10zに配置された共通部1Bと、分岐点Jから枠の一辺10X方向および枠の他辺10Y方向に分岐する第1連絡路2Bおよび第2連絡路3と、広幅の主路4a,5aおよびこの主路4a,5aから分岐する複数の分岐状光出射路4b,5bからなる第1分岐コア部4および第2分岐コア部5から形成されている。この第2実施形態における発光側光導波路コアC1が第1実施形態と異なる点は、その共通部1Bが、始端側の光入射側端面1cから分岐点Jにかけて緩やかに湾曲する形状コア幅W4,曲率半径R4に形成されており、この湾曲部位を通過する光が、分岐前にコアの断面全体に均一に拡散混合されるようになっている点である。なお、図2aに示すように、分岐後の他方の第2連絡路3短辺10Y側は、上記第1実施形態と同様、分岐点Jの直後から1/4円形状に湾曲する形状コア幅W3,曲率半径R3に形成されているが、一方の第1連絡路2Bは、長辺10X側に延びる直線状コア幅W5に形成されている。その他の構成は、前記第1実施形態と同様である。以上の構成によっても、この入力デバイスでは、上記分岐コア内を通る光が、上記共通部1Bの湾曲部位で拡散され、コアの断面全体に均一化される。これにより、本実施形態における入力デバイスも、製作公差等による光源20と共通部1Bとの間の相対的な位置ずれ調芯ずれが生じた場合でも、これら各分岐コア部4,5の光出射路4b,5b出光部4x,5yから検知空間Sに向かって出射される格子状の光の光量強度を、枠の辺の長手方向に均一なものとすることができる。そして、枠検知空間Sの長手方向全域にわたって検出感度の揃った、死角のない高精度な入力体の位置の検出を行うことが可能になる。さらに、第2実施形態における入力デバイスでは、上記分岐の前に光がコアの断面全体に均一化されることから、上記光源20の光軸のずれがあった場合でも、この共通部1Bから2辺方向に分岐する各分岐コア部4,5およびそれに繋がる第1連絡路2B,第2連絡路3に分配される光量の比が、上記第1連絡路2Bと第2連絡路3のコア幅の比W5:W3に沿った、所要の設計値どおりに安定する。したがって、本実施形態における入力デバイスは、各分岐コア部4,5の光出射路4b,5b出光部4x,5yから出射される格子状の光の強度が、枠の辺の長手方向により均一なものとなる。また、各各分岐コア部4,5に分配される光量の比の変動が抑えられることから、上記光源20と共通部1B光導波路コアC1との間の調芯の許容範囲が広くなり、結果として、入力デバイスの組み立てを簡素化することもできる。なお、上記第2実施形態においては、上記第1実施形態同様、上記共通部1Bおよび第2連絡路3の湾曲部位の曲率半径R4,R3を、それぞれ該コア部のコア幅W4,W3の少なくとも15倍以上、好ましくは25倍以上にすることが望ましい。これにより、上記湾曲部位で発生する光損失曲げ損失を低減することができる。また、上記第1,第2実施形態では、上記二分岐状の発光側光導波路コアC1における分岐前の共通部1A,1Bおよび分岐後の分岐コア部連絡路2A,2B,3のいずれか一方が湾曲状に形成された入力デバイスを例示したが、勿論、この湾曲部位はその両方に形成してもよい。例えば、図4に示す第3実施形態のように、分岐前の共通部1Bを湾曲状に形成するとともに、分岐後の連絡路として、第1実施形態における第1連絡路2A湾曲状:図1b参照と湾曲状の第2連絡路3とを組み合わせ、分岐点Jの前後始端側と終端側の両方に湾曲部位を有する発光側光導波路コアC1としてもよい。さらに、上記各実施形態においては、発光側光導波路コアC1の光出射側端部各光出射路4b,5b先端の出光部4x,5yと、各受光側光導波路コアC2の光入射側端部受光部とは、枠の内側に向かって反るレンズ状平面視円弧状になっていることが望ましい。上記発光側光導波路コアC1の光出射側端部を上記レンズ状とすることにより、これら光出射側端部から、枠状光導波路10の内縁に垂直でかつ互いに平行な光線を出射することができる。また、上記各受光側光導波路コアC2の光入射側端部を上記レンズ状とすることにより、これら光入射側端部の集光効率を高めることができる。上記各コアC1,C2の出光部および受光部をレンズ状としない場合は、別体のレンズ体を準備し、これを上記枠状光導波路10の検知空間S内の周縁に沿って設置してもよい。また、上記実施形態においては、光導波路10のコアC1,C2が、樹脂材料高分子材料を用いて形成されたポリマー系光導波路を例に説明したが、このコアC1,C2を構成する材料は、例えばガラス等、周囲に配設されるクラッド層6より屈折率の高い材料であればよい。ただし、上記コアC1,C2と周囲のクラッド層6との屈折率の差は、0.01以上であることが好ましく、上記形状のパターンニング性等も考慮すると、紫外線硬化樹脂等の感光性樹脂が最も好ましい。使用する紫外線硬化樹脂としては、アクリル系,エポキシ系,シロキサン系,ノルボルネン系,ポリイミド系等があげられる。さらに、上記コアC1,C2の周囲のクラッド層6は、上記紫外線硬化樹脂等の感光性樹脂のうち、上記コアC1,C2より屈折率の低い材料を用いればよい。その他にも、クラッド層6には、ガラス,シリコン,金属,樹脂等、平坦性を有する基板を兼用する材料を用いることもできる。さらに、クラッド層6は、コアC1,C2の下側のアンダークラッド層後記の6bのみとしてもよく、上記コアC1,C2を覆うオーバークラッド層後記の6aは、形成しなくてもよい。そして、上記枠状光導波路10は、プラズマを用いたドライエッチング法,転写法,露光現像を用いたフォトリソグラフィ法,フォトブリーチ法等により作製することができる。つぎに、上記入力デバイスの作製方法の一例について説明する。図3a~eは、本発明の実施形態における入力デバイス用光導波路の製法を模式的に説明する断面図である。なお、図3においては、光導波路の発光側のみを図示しており、これと並行して作製される受光側の図示を省略している。また、図中の符号C1はコア発光側の光導波路コア、6aはオーバークラッド層、6bはアンダークラッド層、21は基台、22は成形型であり、図3のa~eは、光導波路が作製される工程順を表す。まず、枠状の光導波路を形成するための基台21を準備し、平坦な場所に載置する。この基台21の材質は、作製されるポリマー系光導波路を、後に剥離可能な材質が選択される。ついで、図3aに示すように、上記基台21の表面に、アンダークラッド層6bを形成する。このアンダークラッド層6bは、感光性樹脂を形成材料として、フォトリソグラフィ法により形成することができる。アンダークラッド層6bの厚さは、例えば、5~50μmの範囲内に設定される。つぎに、図3bに示すように、上記アンダークラッド層6bの表面に、フォトリソグラフィ法により、パターン形状の発光側光導波路コアC1および受光側光導波路コアC2図示せずを形成する。これらコアC1およびC2の形成材料としては、上記アンダークラッド層6bおよび後記のオーバークラッド層6aの形成材料よりも屈折率が高い感光性樹脂が用いられる。なお、先に述べたように、上記発光側光導波路コアC1および受光側光導波路コアC2の枠の内縁部各光出射路4b,5b先端の出光部4x,5yと各受光側光導波路コアC2の光入射側先端の受光部:図1a,図2a参照は、平面視レンズ状に形成される。ついで、オーバークラッド層6a形成用の、透光性を有する成形型22を準備する。この成形型22には、図3cに示すように、オーバークラッド層6aの表面形状に対応する型面を有する凹部成形キャビティが形成されており、この実施形態では、上記各光出射路4b,5bの先端側端部を覆う部位図3cの右端部分が、上下方向光導波路の厚み方向に1/4円の円弧状のレンズ曲面に形成されているものを使用している。ついで、この成形型22を、上記凹部を上にして天地を逆にして、成形型22を成形ステージ図示せずの上に設置し、まず、上記凹部内にオーバークラッド層6a形成用の感光性樹脂ワニス状を充填する。ついで、アンダークラッド層6b上に形成したコアC1を、上記成形型22の凹部に対して位置決めし、その状態で、上記アンダークラッド層6bを上記成形型22に押圧し、上記ワニス状のオーバークラッド層6a形成用の感光性樹脂の中にコアC1を浸す。そして、この状態で、紫外線等の照射線を、上記成形型22を透して上記感光性樹脂に照射し、その感光性樹脂を露光する。これにより、上記感光性樹脂が硬化して、図3dに示すような、コアC1およびC2の内縁側先端部に対応する部位がレンズ状に形成されたオーバークラッド層6aが形成される。つぎに、上記感光性樹脂の硬化が完了した後、上記成形型22からオーバークラッド層6aをコアC1,アンダークラッド層6bおよび基台21とともに脱型し、上記基台21を剥離させて取り除くことにより、図3eに示すような、枠状の光導波路10を得る。ついで、図1a,図2aに示すように、得られた枠状光導波路10の角部10zの所定位置に、コアC1の共通部1の端面光結合面に正対するように光源20を配置し、共通部1A,1Bの光軸と光源20の光軸とを調芯して位置決めする。また、受光側にも受光素子アレイ30を取り付け、図示しない配線等を接続することにより、本実施形態における入力デバイスを作製することができる。つぎに、本発明の入力デバイスの実施例について、比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。本実施例においては、二分岐状の発光側光導波路における分岐点の前後の一方またはその両方に湾曲部位を有する入力デバイス実施例1~3と、湾曲部位のない入力デバイス比較例1を作製し、これらを用いて、図1b等に示すように、光源20の光軸Oと共通部1A,1Bの中心軸一点鎖線とが一致した状態における枠の辺の一方長辺側に分配される光量受光強度のブランクと、上記光源20の光軸Oが共通部1A,1Bの中心軸に対して水平方向図中の矢印A方向または矢印B方向に50μmずれた状態における一方側の光強度分布図7参照とを測定し、上記光源20の調芯のずれによる影響を検証した。まず、光導波路の形成材料を準備した。アンダークラッド層の形成材料成分A:脂環骨格を含むエポキシ樹脂ダイセル化学工業社製,EHPE315075重量部成分B:エポキシ基含有アクリル系ポリマー日油社製,マープルーフG-0150M25重量部成分C:光酸発生剤サンアプロ社製,CPI-200K4重量部これら成分A~Cを、紫外線吸収剤チバジャパン社製,TINUVIN4795重量部とともに、シクロヘキサノン溶剤に溶解することにより、アンダークラッド層の形成材料を調製した。コアの形成材料成分D:ビスフェノールA骨格を含むエポキシ樹脂ジャパンエポキシレジン社製,157S7085重量部成分E:ビスフェノールA骨格を含むエポキシ樹脂ジャパンエポキシレジン社製,エピコート8285重量部成分F:エポキシ基含有スチレン系ポリマー日油社製,マープルーフG-0250SP10重量部これら成分D~Fと上記成分C4重量部とを、乳酸エチルに溶解することにより、コアの形成材料を調製した。オーバークラッド層の形成材料成分G:脂環骨格を有するエポキシ樹脂ADEKA社製,EP4080E100重量部この成分Gと上記成分C2重量部とを混合することにより、オーバークラッド層の形成材料を調製した。[実施例1]<光導波路の作製>アンダークラッド層の形成まず、ステンレス製の基台平板状の表面に、上記アンダークラッド層の形成材料を塗布した後、160°C×2分間の乾燥処理を行い、感光性樹脂層を形成した。ついで、上記感光性樹脂層に対し、紫外線を照射して積算光量1000mJ/cm2の露光を行い、厚さ20μmのアンダークラッド層を形成した図3a参照。コアの形成ついで、上記アンダークラッド層の表面に、上記コアの形成材料を塗布した後、170°C×3分間の加熱処理を行い、溶媒を揮散させてコア形成用の感光性樹脂層を形成した。つぎに、上記分岐状でかつそのコアの分岐点より終端側の各連絡路が湾曲形状になっている開口パターン図1b参照が形成されたフォトマスクを介してギャップ100μm紫外線を照射し、積算光量3000mJ/cm2の露光を行った後、120°C×10分間の加熱処理を行い、樹脂の硬化を完了させた。そして、現像液γ-ブチロラクトンを用いてディップ現像することにより、未露光部分を溶解除去した後、120°C×5分間の加熱乾燥処理を行うことにより、パターニングされた厚さ高さ50μmの分岐状コアを形成した。オーバークラッド層の形成つぎに、オーバークラッド層形成用の、透光性を有する成形型を準備した。この成形型は、オーバークラッド層の表面形状に対応する成形キャビティを備えている。そして、その凹部を上にして、成形型を成形ステージの上に設置し、上記凹部に、前記のオーバークラッド層の形成材料を充填した。ついで、上記アンダークラッド層の表面にパターン形成したコアを、上記成形型の凹部に対して位置決めし、その状態で、上記アンダークラッド層を上記成形型に押圧し、上記オーバークラッド層の形成材料ワニス状に、上記コアを浸した。そして、この状態で、紫外線を、上記成形型を透して上記オーバークラッド層の形成材料に照射して積算光量8000mJ/cm2の露光を行い、コアの先端部に対応するオーバークラッド層の部分が、上下方向に略1/4円弧状のレンズ曲面曲率半径1.5mmに形成されたオーバークラッド層を形成した。つぎに、上記成形型から、上記オーバークラッド層を、アンダークラッド層およびコアとともに脱型させるとともに、上記基台をアンダークラッド層から剥離して、実施例1の入力デバイス作製用の光導波路総厚1mmを得た。なお、実施例1の二分岐状の光導波路コア図1b参照は、共通部1A直線状のコア幅W1が120μm、分岐後の第1連絡路2A湾曲状のコア幅W2が80μm、第2連絡路3湾曲状のコア幅W3が40μmで、上記第1連絡路2Aの湾曲部位2個所の曲率半径R2はそれぞれ3mm3000μm:上記コア幅W2の37.5倍、上記第2連絡路3の湾曲部位1個所の曲率半径R3は1mm1000μm:上記コア幅W3の25倍に形成されている。<供試用入力デバイスの作製>光源の取り付け得られた枠状の光導波路の角部に位置する、発光側の光導波路コアC1の共通部1A,1Bの端部光結合面1cに当接する所定位置図1b等参照に、発光強度または出力が3mWのVCSEL光源Optowell社製を配設し、共通部1A,1Bの中心軸上に上記光源の発光部幅H=10μmの中心がくるように、調芯位置合わせしてこの光源を固定し、供試用の入力デバイスを作製した。なお、上記光源の発光部の発光面とコアC1の共通部1A,1Bの光結合面1cとの距離間隙は300μmとした。また、光導波路のコア幅,コア高さの測定には、レーザー顕微鏡キーエンス社製を、コア中心および光源のずれ量の測定には、光学顕微鏡オリンパス社製MX51を用いた。測定用受光素子ユニットの取り付けついで、光強度測定用の受光素子ユニットOptowell社製CMOSリニアセンサアレイを準備し、上記発光側光導波路コアC1の各光出射路4bの先端出光部4xから出射される光信号が、このセンサアレイの各受光素子に個々に入射するようにすなわち、光出射路1本に対して受光素子1個が対応するように、上記受光素子ユニットを位置決めし、その状態で、上記枠状光導波路に接着剤等で固定して、枠の辺の一方この場合は長辺10X側における各出光部4xごとの光強度を個別に測定できるように準備した。[実施例2]上記光導波路の作製のコアの形成において、コアの分岐前の共通部が湾曲形状になっている開口パターン図2b参照のフォトマスクを使用したこと以外、上記実施例1と同様にして、実施例2の入力デバイス作製用光導波路総厚1mmを得た。そして、この光導波路に、上記のように光源と測定用受光素子ユニットを取り付けて実施例2の入力デバイスとし、光出射路1本ごとの光強度を測定できるように準備した。なお、実施例2の二分岐状の光導波路コア図2b参照は、共通部1B湾曲状のコア幅W4が120μm、分岐後の第1連絡路2B直線状のコア幅W5が80μm、第2連絡路3湾曲状のコア幅W3が40μmで、上記共通部1Bの湾曲部位1個所の曲率半径R4は5mm5000μm:上記コア幅W4の約41.7倍に形成されている。また、上記第2連絡路3にも湾曲部位1個所が形成されているが、この実験では、長辺側に相当する第1連絡路2B直線状側の光強度のみを測定しているため、測定に関与していない。[実施例3]上記光導波路の作製のコアの形成において、コアの分岐前後の共通部および連絡路の両方が湾曲形状になっている開口パターン図4参照のフォトマスクを使用したこと以外、上記実施例1と同様にして、実施例3の入力デバイス作製用光導波路総厚1mmを得た。そして、この光導波路に、上記のように光源と測定用受光素子ユニットを取り付けて実施例3の入力デバイスとし、光出射路1本ごとの光強度を測定できるように準備した。なお、実施例3の二分岐状の光導波路コア図4参照は、共通部1B湾曲状のコア幅W4が120μm、分岐後の第1連絡路2A湾曲状のコア幅W2が80μm、第2連絡路3湾曲状のコア幅W3が40μmで、上記共通部1Bの湾曲部位1個所の曲率半径R4は5mm5000μm:上記コア幅W4の約41.7倍、上記第1連絡路2Aの湾曲部位2個所の曲率半径R2はそれぞれ3mm3000μm:上記コア幅W2の37.5倍に形成されている。また、先に述べたように、上記第2連絡路3にも湾曲部位1個所が形成されているが、この実験では、長辺側に相当する第1連絡路2A湾曲状側の光強度のみを測定しているため、測定に関与していない。[比較例1]上記光導波路の作製のコアの形成において、コアの分岐前後が直線状になっている開口パターン図5参照のフォトマスクを使用したこと以外、上記実施例1と同様にして、比較例1の入力デバイス作製用光導波路総厚1mmを得た。なお、図5では、分岐後の第2連絡路3に湾曲部位が設けられているが、この実験では、長辺側に相当する第1連絡路2B直線状側の光強度のみを測定しているため、測定光は湾曲部位を経由していないと見なす。そして、この光導波路に、上記のように光源と測定用受光素子ユニットを取り付けて比較例1の入力デバイスとし、光出射路1本ごとの光強度を測定できるように準備した。<光強度の測定および評価>上記各供試用の入力デバイスを用いて、まず、光源の光軸とコアの共通部の中心軸とが一致した状態で、光源を発光させて850nmの赤外線をコアの光結合面から入射させ、枠の辺の一方側における受光強度分布リファレンスを測定した。ついで、上記光源の光軸を水平方向に±50μm図1b等における矢印A方向を側、矢印B方向を-側とする移動させた状態でそれぞれ、枠の辺の一方側における光強度分布図7における右側のX-areaに相当を測定した。なお、光源の光軸をずらすと、全体の合計光量が変化するため、受光強度の辺方向のばらつきの比較を容易にするために、光強度分布スペクトルのベースラインが各実験で略同一となるように補正を行っている。評価は、図7のように、計測した辺の一方側の領域X-areaを、辺の長手方向に対応する11の区画Division01~11に等分し、その区画ごとに、上記光源の光軸と共通部の中心軸とが一致したリファレンスの光強度と、光源の光軸を50μmあるいは-50μmずらした場合の光強度とを比較し、下記式1により、変化率の最大値最小値を求めた。変化率=計測光量-リファレンス光量/リファレンス光量1また、実験における適否の判定は、光源の光軸をすらした場合の最大値最小値がすべて±25以内のものを○、最大値最小値が1つでも25を越えるものを×と判定した。上記実施例の結果を表1に示す。上記表1に示すように、比較例1の入力デバイスは、光源の光軸がコアの中心軸に対してどちらかにずれた状態では、その変化率が34.1,33.4と、基準とする±25を大幅に越えている。これに対して、実施例1~3の入力デバイスは、光源の光軸をずらした場合でも、変化率が基準内±25以内に留まり、枠の辺の長手方向に強度の揃った、均一な光検出光を安定して出射できていることが分かる。また、上記結果から、分岐点の前後の両方に湾曲形状を設けた方が、どちらか一方にのみ湾曲形状を設けるより、出射する光の辺長手方向の均一性が向上する傾向がみられる。なお、別の実験により、上記発光側光導波路コアにおける湾曲部位の曲率半径を、上記湾曲部位のコア幅の15倍以上にすることにより、この湾曲部位における光損失曲げ損失を50以下に低減できることが分かっている。そのため、本発明の入力デバイスは、このような湾曲部位を有する光導波路コアを用いた場合でも、光源の光を出光部まで効率的に伝達することができる。また、光量が低下せず、分岐コアにおける光量バランスの設計および調整が容易なことから、上記直交する2辺に分配される光を、理想的な状態で分配することが可能になる。"