外側マウント部1および内側マウント部2を有する調整可能マウントアセンブリ7であって、a前記内側マウント部2が、光軸に対して垂直な平面にて調整ねじ3によって変位可能かつ固定可能であるように前記外側マウント部1に配置され、両方のマウント部1、2がまとめて第1調整マウントを形成し、b前記外側マウント部1が第2調整可能マウントを形成し、前記内側マウント部2が第3調整可能マウントを形成し、c前記外側マウント部1および前記内側マウント部2が、それぞれ外側マウント枠1.1、2.1および内側マウント枠1.2、2.2を備え、それらの枠に、それぞれにおいて光学部品1.5、2.5が固定され、前記外側マウント枠1.1、2.1および前記内側マウント枠1.2、2.2が、それぞれにおいて、前記マウント部1、2を操作するマニピュレータ1.4、2.4を有する少なくとも3つのマニピュレータユニット1.3、2.3によって互いにモノリシックに結合されており、d前記外側マウント部1の前記内側マウント枠1.2が、摩擦係合をもたらす解除可能な締付装置4を介して、前記内側マウント部2の前記外側マウント枠2.1と連通し、それにより、e前記締付装置4が解除され、前記調整ねじ3が締め付けられると、前記外側マウント部1および/または前記内側マウント部2を操作することによって前記2つの光学部品1.5、2.5を互いに調整することができ、そしてf前記締付装置4が、前記内側マウント部2を前記外側マウント部1に締め付けるように、摩擦係合するよう軸方向に作用し、前記調整ねじ3が緩められると、前記2つの光学部品1.5、2.5が、前記内側マウント部2を操作することによって互いに調整可能であり、前記2つの光学部品1.5、2.5が、前記外側マウント部1を操作することによって基準ベースに対して連帯的に調整可能である、調整可能マウントアセンブリ7。前記外側マウント部1が、前記軸5に対して垂直に延在する複数のねじボア穴1.6を有し、その中に前記調整ねじ3を挿入することができることを特徴とする、請求項1に記載の調整可能マウントアセンブリ7。前記2つの光学部品1.5、2.5が微小光学部品であることを特徴とする、請求項1に記載の調整可能マウントアセンブリ7。前記内側マウント部2に取り付けられた前記光学部品2.5がマイクロレンズアレイであり、前記外側マウント部1に取り付けられた前記光学部品1.5が空間フィルタアレイであることを特徴とする、請求項3に記載の調整可能マウントアセンブリ7。本発明の目的は、光学アセンブリを形成する2つの光学部品を、広い調整範囲にわたって高精度に互いに対して調整することができ、アセンブリを基準ベースに対して調整することができる調整可能マウントを提供することである。外側マウント部と、軸に対して垂直な平面において調整ねじによって外側マウント部に変位可能かつ固定可能であるように配置される内側マウント部とを備える第1調整可能マウントを有し、かつ、摩擦係合式に軸方向に作用する解除可能締付装置4を備える、調整可能マウントアセンブリにおいて、本発明の目的は、外側マウント部が第2調整可能マウントを具現化し、内側マウント部が第3調整可能マウントを具現化し、それらが、本発明に従って構成されるとともに互いに対して連通しているという点で、満たされる。外側マウント部および内側マウント部は、マニピュレータを除いて、各々モノリシックであり、すなわち一部品から製作されている。各々、外側マウント枠および内側マウント枠から形成され、それらは、それぞれにおいて、少なくとも3つのマニピュレータユニットによって互いにモノリシックに結合されている。それぞれにおいて、内側マウント枠に光学部品が固定される。マニピュレータユニットを作動させることによってマウント部を操作する目的で、各マニピュレータユニットに対してマニピュレータが設けられている。外側マウント部の内側マウント枠は、内側マウント部の外側マウント枠に締付装置によって連通している。したがって、締付装置が解除され、調整ねじが固定され、すなわち締め付けられると、外側マウント部および内側マウント部を操作することにより、または2つのマウント部のうちの一方のみを操作することによっても、2つの光学部品を互いに対して調整することができる。締付装置が固定され、すなわち内側マウント部2を外側マウント部1に締め付けるように摩擦係合式に軸方向に作用し、調整ねじが緩められると、内側マウント部を操作することによって、2つの光学部品の互いに対するさらなる高精度の調整が可能であり、外側マウント部を操作することにより、2つの光学部品の基準ベースに対する調整が可能である。外側マウント部は、有利には複数のねじボア穴を有しており、それらは、軸に対して垂直に延在し、その中に調整ねじを挿入することができる。したがって、2つのマウント部を、マウントを事前にハウジングに挿入することなく調整ねじによって互いに対して調整することができる。この代りに、調整ねじを、マウントが挿入されかつ外側マウントがその外側マウント枠によって固定されるハウジングに設けることもできる。有利な方法で、微小光学部品である光学部品が、調整マウントアセンブリによって互いに対して調整される。たとえば、内側マウント部に取り付けられる光学部品をマイクロレンズアレイとすることができ、外側マウント部に取り付けられる光学部品を空間フィルタアレイとすることができる。以下、実施形態例および図面を参照して本発明についてより十分に説明する。本発明によるマウントアセンブリの機能を完全に説明する目的で、ハウジング8および追加の取り付けられた第3光学部品6が、図1においてマウントアセンブリ7に加えて軸5に沿って示されている。追加の取り付けられた第3光学部品6を基準ベースとすることができ、その基準ベースに関して、マウントアセンブリ7に関連する手段によって互いに対して調整される光学部品1.5、2.5を、同様にマウントアセンブリ7に関連する手段によって調整することができる。簡単にするために、以下、1つの軸5のみを参照し、その軸5に関して、変位および回転が、調整の目的でこの軸5に対して垂直に配置された平面において可能になる。軸5を、光学部品1.5、2.5あるいは6のうちの1つの光軸か、または最終的に部品1.5、2.5、6の光軸が配置される共通光軸とすることができる。マウントアセンブリ7は、実質的に、外側マウント部1および内側マウント部2、締付装置4ならびに複数の調整ねじ3を備えている。外側マウント部1および内側マウント部2は、各々モノリシック構成部品であり、スリットによって、外側マウント枠1.1、2.1および内側マウント枠1.2、2.2に分割され、マニピュレータユニット1.3、2.3として構成される材料結合部が、2つのマウント部1、2の外側マウント枠1.1、2.1と内側マウント枠1.1、2.2との間にそれぞれ配置されている。軸5に対して垂直な平面において個々のマニピュレータユニット1.3、2.3にそれぞれ作用するマニピュレータ1.4、2.4が、外側マウント枠1.1、2.1に設けられている。圧電調整要素または調整ねじであり得るマニピュレータ1.4、2.4を選択的に操作することにより、マニピュレータユニット1.3、2.3内に調整経路が導入され、それによって、マニピュレータユニット1.3、2.3の形状および寸法決めによって決まる伝達比による変位および回転を通して、それぞれの内側マウント枠1.2、2.2の位置の変化がもたらされる。内側マウント枠1.2、2.2の各々に光学部品1.5が固定されている。内側マウント部2および外側マウント部1によって具現化されるモノリシックマウントは、本技術分野から既知である。マニピュレータユニット1.3、2.3およびマニピュレータ1.4、2.4の形状および寸法決めの選択は、当業者により、所望の調整範囲、所望の精度、ならびに設計によって課される空間およびアクセスを考慮する制限に基づいて行われる。したがって、本発明の主題は、マニピュレータユニット1.3、2.3の所定の構造を対象としていない。当業者は、従来技術からこの目的に対して種々の提案を導き出すであろう。しかしながら、マウントアセンブリ7を形成する2つのモノリシックマウントの、本発明による所定の構成および結合は、本発明に対して必須である。図3は、外側マウント部1の上面図を示す。外側マウント部1は、放電加工を介してもたらされるスリットによって、外側マウント枠1.1、内側マウント枠1.2およびマニピュレータユニット1.3に分割されることが明らかに示されている。軸5が垂直に延在している平面に位置する上述した作動部分と対向して、外側マウント1の縁領域においてその外側マウント枠1.1に突起1.7が形成されている。軸5に対して垂直な平面において、これらの突起1.7にねじボア穴1.6が設けられている。図2は、内側マウント部2から考察されるマウントアセンブリ7の上面図を示す。内側マウント部2の外側輪郭は、内側マウント部2が突起1.7の間に隙間を有し、内側マウント部2を所定調整範囲内で変位させることができるように、突起1.7の位置に対して適合される。変位の目的で、調整ねじ3は一時的にねじ穴1.6に挿入される。調整経路を導入することにより、これらの調整ねじ3は、内側マウント部2を変位させ、最終的に、反対方向に作用する調整ねじ3とともに内側マウント部2を締め付ける。2つのマウント部1、2が締付装置4によって互いに対して固定された後それは、さらなる調整ステップが行われるまでに実施されない、調整ねじ3を取り除くことができる。上述した第1の調整ステップ事前調整により、2つの光学部品1.5、2.5を、広い調整範囲内で、ただし対応して限られた精度で、互いに対して調整することができる。マウントアセンブリの説明した実施形態によれば、2つのマウント部1、2を、マウントアセンブリ7をハウジング8内に挿入する前に互いに対して調整することができる。別の実施形態では、外側マウント部1はハウジング8に固定され、内側マウント部2は、ハウジング8内に配置される調整ねじ3によって事前に調整される。締付装置4は、外側取付部分1および内側取付部分2を摩擦係合によって互いに結合することができる解除可能結合部である。当業者は、従来技術から、この種の締付装置4の構成に対する十分な指標を導き出すであろう。この第1実施形態例では、外側マウント部1は、内側マウント部2に比較して低い精度で、より広い調整範囲にわたって調整可能となる。対応する方法では、2つの光学部品1.5、2.5を、まず外側マウント部1の操作粗調整により、次いで内側マウント部2の操作微調整により、または任意選択的に2つのマウント部1、2のうちの一方の操作のみにより調整することができる。図4によれば、締付装置4は、外側マウント部1の内側マウント枠1.2が内側マウント部2の外側マウント枠2.1に結合されるように配置されている。マウント部1、2のマニピュレータユニット1.3、2.3は、有利には、外側マウント部1を、内側マウント部2に比較して低い精度で、より広い調整範囲にわたって調整することができるように、構成されている。本発明によるマウントアセンブリ7に取り付けられた2つの光学部品1.5、2.5は、以下に記載するように互いに対してかつ基準ベースに対して調整される。軸5に対して垂直な平面における調整横方向位置決めは、複数のステップで行われ、最終的にはおよそ0.050μmの精度で行われる。調整ステップは、精度を徐々に上昇させるために徐々に小さい調整範囲で種々の手段により、かつ調整の状態を確認する種々の測定手段により行われる。段階的に複数のステップで調整する第1ステップでは、内側マウント部2がまず、外側マウント部1に形成された突起1.7の間に配置されるという点で、外側マウント部1に取り付けられる。その際、内側マウント部2は、調整ねじ3を内側マウント部2の外側マウント枠2.1に係合させることにより、外側マウント部1の外側マウント枠1.1に位置決めされる組立て、事前調整。調整は、2つの光学部品1.5、2.5に設けられた調整マークが可能な限り重なるまで行われる。このようにして達成された状態は、顕微鏡で観察しながら対向する調整ねじ3を締め付けることによってロックされる。この事前調整は、およそ5μmから10μmの調整精度で可能である。次のステップにおいて、2μmより優れた調整精度に達するまで調整が行われる粗調整。その際、締付装置4が解除され、調整ねじ3が固定される。外側マウント部1のマニピュレータユニット1.3の作動を通して、外側マウント部1に取り付けられている光学部品1.5を、この時、内側マウント部2に取り付けられている光学部品2.5に対して変位させ回転させることができる。あり得る調整範囲は、第1調整ステップの範囲より小さいが、著しく精度が高い。マニピュレータユニット1.3が自動ロックするため、いかなるロックも不要である。第2調整ステップの完了まで内側マウント部2および外側マウント部1を互いに対して固定していた調整ねじ3を取り除く前に、締付装置4がロックされる。通常、ロックするとき、締付装置4を作動させるために必要なトルクまたは力たとえばねじに加えられる締付トルクのために、またはマウント部1、2の引張りのために、調整状態が変化する。これを、マウント部1、2に軸方向の力のみを加える締付装置4によってさえも完全に回避することはできない。0.05μmの所望の精度を達成し、第2調整ステップにおいて達成される調整状態の固定からもたらされる影響を回避するために、内側マウント部1を操作することにより、第3調整ステップ微調整が行われる。結果としての調整は、内側マウント部2のマニピュレータユニット2.3の自動ロックによって固定される。これにより、2つの光学部品1.5、2.5の調整が終了する。2つの光学部品1.5、2.5の互いに対する調整が完了すると、2つの光学部品1.5、2.5によって形成される光学アセンブリを、2つの光学部品1.5、2.5の互いに対する調整状態を変化させる必要なしに、基準ベースに対して調整することができる。この調整は、30μmの調整範囲において約0.2μmの精度で行われる。これは、外側マウント部1を再度操作することにより、ただし締付装置4をロックした状態で行われる。図1を参照すると、完全に調整されたマウントアセンブリ7がハウジング8にねじ込まれ、ハウジング8には第3光学部品6がすでに取り付けられている。この調整もまた、外側マウント部1のマニピュレータユニット1.3が自動ロック式であるため、ロックする必要はない。温度の影響下で必要な安定性を達成するために、マウント部1、2に対して使用される材料は、可能な限り近い熱膨張係数を有しているべきであることが明らかであり、すなわち、光学部品が溶融シリカ石英から製造される場合、マウント部1、2は、有利にはインバーから生成される。しかしながら、好ましくは降伏強度が少なくとも800MPaである高強度高級鋼からマウント部1、2を構成することも有利である。特に有利なマウントアセンブリ7では、調整されるべき光学部品1.5、2.5または1.5、2.5、6は、微小光学素子である。したがって、たとえば、ウェハのマスクレス露光用の露光装置では、第1光学部品1.5を空間フィルタアレイまたはピンホールアレイとすることができ、第2光学部品2.5をマイクロレンズアレイとすることができ、ある場合は第3光学部品6を、マイクロレンズアレイまたは別のフィルタとすることができる。厳密に言えば、この種の部品は複数の光軸を有しているが、以下では、簡潔にする理由で、1つの軸5のみを再び参照する。この軸は、重心軸であり得る。この種の部品の互いに対する位置決めを、それらがおよそ数ミクロンたとえば±3μmの精度で組み込まれている光学系の光軸の方向で行わなければならない。マウントアセンブリ7に対して、第1光学部品1.5と第2光学部品2.5との間の軸方向距離は、マウント部1、2の光軸の方向における互いに対する位置と、したがって間接的に、光学部品1.5、2.5の互いに対する距離とを定義するように、締付機構4にスペーサを挿入することによって具現化される。距離および平行度の調整は、3点支持体としてのスペーサの構造によって可能となる。結合されるマウント部1、2の引張りが、同時に回避される。マウントアセンブリ7は、温度変化または衝撃に対する安定性とともに、操作面における、ただし光軸方向にもおける極めて限られた取付空間制限を考慮する、もっとも厳しい要件を満たす。必要な取付空間を最小限にするために、微調整のための操作は、小さい取付空間で、あり得る最大の精度で行われる。この目的で、マニピュレータユニット2.3の調整範囲を最小限まで低減する必要がある。これは、調整を、上述したように種々の手段によって行われる3つの調整ステップに分割することによって達成される。所与の空間条件のために、マウントアセンブリ7は、すべての動作操作、ロックが、上部または底部からすなわち光軸の方向ではなく側部から行われるように構成されている。マウントアセンブリ7が完成した光学系に取り付けられた後、調整手段は装置内に残っているため、調整を繰り返すこともできる。