金属磁性粉末と絶縁性結着材とを混合して混合粉を作製するステップと、前記混合粉を加圧成形して成形体を作製するステップと、前記成形体を80°C以上400°C以下の酸化雰囲気下で熱処理して前記成形体の表面に酸化皮膜を形成するステップとによって製造される複合磁性体であって、前記金属磁性粉末がSi、Fe、成分Aからなり、組成が重量で、5.5≦Si≦9.5、10≦Si成分A≦13.5、残部がFeであり、成分Aは、Ni、Al、Ti、Mgの内の少なくとも一つからなる複合磁性体。金属磁性粉末と絶縁性結着材とを混合して混合粉を作製するステップと、前記混合粉を加圧成形して成形体を作製するステップと、前記成形体を80°C以上400°C以下の酸化雰囲気下で熱処理して前記成形体の表面に酸化皮膜を形成するステップと、を含み、前記金属磁性粉末がSi、Fe、成分Aからなり、組成が重量で、5.5≦Si≦9.5、10≦Si成分A≦13.5、残部がFeであり、成分Aは、Ni、Al、Ti、Mgの内の少なくとも一つからなる複合磁性体の製造方法。前記複合磁性体の飽和磁束密度が、0.9T以上であることを特徴とする請求項2記載の複合磁性体の製造方法。前記酸化皮膜の厚みが、30nm以上200nm以下であることを特徴とする請求項2記載の複合磁性体の製造方法。前記金属磁性粉末の平均粒径が1μm以上100μm以下であることを特徴とする請求項2記載の複合磁性体の製造方法。前記成分AはAlである請求項2に記載の複合磁性体の製造方法。以下、本発明の実施の形態における複合磁性体の製造法の一例について説明する。複合磁性体の製造方法は、金属磁性粉末と絶縁性結着材とを混合して混合粉を得るステップと、混合粉を加圧成形して成形体を得るステップと、成形体を80°C以上400°C以下の酸化雰囲気下で熱処理して前記成形体の表面に酸化皮膜を形成するステップとを有する。用いる金属磁性粉末は、Si、Fe、成分Aからなり、特に重量で、5.5≦Si≦9.5、10≦Si成分A≦13.5、残部はFeである。成分Aは、Ni、Al、Ti、Mgの内の少なくとも一つからなる。本実施の形態の複合磁性体を製造する際には、まず金属磁性粉末と絶縁性結着材とを混合し、トルエン等の溶媒とともに混練する。この際、必要に応じて絶縁助剤等をくわえても良い。ここで絶縁性結着材は金属磁性粉末の表面を覆う構成となり、高温で熱処理後も酸化物として残存するため絶縁材として残り、加圧成形、熱処理後も金属磁性粉末が外気と接触することにより発生する、錆を防止する役割を担うものである。また、成分Aとして、少なくともAlを含むことが好ましく、より好ましくはAlから成ることが好ましい。金属磁性粉末としてAlを含むことで、他元素と比較して磁気特性を損なわず安定な酸化皮膜を形成し易い。また、用いる金属磁性粉末の平均粒径は1μm以上、100μm以下であることが好ましい。上記範囲の平均粒径の金属磁性粉末を用いることで渦電流を低減でき、高周波領域で優れた磁気特性を示す複合磁性体が得られる。平均粒径が1μmより小さい場合、成形体の成形密度が低くなり、比透磁率が低下する。一方、平均粒径が100μmより大きくなると高周波領域での渦電流損失が大きくなる。より好ましくは平均粒径が50μm以下であることが良い。これにより、さらに優れた磁気特性の複合磁性体が得られる。絶縁性結着材としては、シラン系、チタン系、クロム系、アルミニウム系カップリング剤、シリコーン樹脂等を用いるのが好ましい。これらの材料は、高温で熱処理後も酸化物として残存するため絶縁材としての効果が高い。なお、さらに助剤としてエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、フェノール樹脂等を添加することも可能である。また金属磁性粉末には、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム等各種酸化物や、窒化ホウ素、窒化珪素、窒化アルミニウム等各種窒化物、タルク、雲母、カオリン等各種鉱物をさらに添加することも可能である。これらを添加することで、絶縁性がさらに向上する。但し、これらの材料は15vol程度の含有率までであることが好ましい。次に、金属磁性粉末と絶縁性結着材とを混合して得られた混合粉を、所定の金型に充填し、加圧成形して成形体を形成する。加圧成形時の圧力は、5~15ton/cm2程度であることが好ましい。この加圧後の離型時に成形体と金型が擦れ、成形体表面に金属磁性粉末が露出してしまいそこから錆が発生してしまうことが問題となる。そこで次に、成形後に酸化雰囲気下での酸化処理を施すことにより、成形体の表面に安定した酸化皮膜を形成することができ、軟磁性合金粉末のFe成分が多く含まれ錆が発生し易い組成の金属磁性粉末を用いた複合磁性体においても、錆の発生及び脱落を抑えることができる。酸化雰囲気での熱処理の温度条件としては、80°C以上400°C以下が好ましい。400°Cより高い温度での酸化処理は、酸素等の拡散が金属磁性粉の磁気特性を劣化させるため、好ましくない。また、80°Cよりも低い温度で酸化処理を行うと、酸化皮膜の形成が十分にされず好ましくない。また、ここで酸化雰囲気とは、大気雰囲気下のことを指す。ただし、必ずしも大気雰囲気下である必要はなく、酸素濃度が酸化処理温度における成分Aの平衡酸素濃度以上であれば良い。特に、酸素濃度が0.1atm以上であることが好ましい。このような雰囲気で酸化処理することで、成形体の表面により安定的に酸化皮膜を形成できる。また、酸化処理の時間は、温度条件にもよるが30分以上であることが好ましい。次に、酸化皮膜が形成された成形体を、非酸化雰囲気下で熱処理する。熱処理温度は600°C以上900°C以下であることが好ましい。また、非酸化雰囲気下とは、例えば窒素等の不活性ガス雰囲気であることが好ましい。これにより、成形体にできた歪みを除去することができる。また、熱処理の時間は、温度条件にもよるが30分以上であることが好ましい。なお、酸化皮膜を形成するステップの後に、成形体の全体を含浸、モールド等の方法で樹脂等で覆うのがより好ましい。酸化皮膜と樹脂層とが併せて形成されることでより高い耐食性が得られる。また、酸化雰囲気下で熱処理する形成ステップは、加圧成形ステップの後に行えば良く、非酸化雰囲気下での熱処理ステップの前後は特に選ばない。また、複合磁性体の飽和磁束密度が、0.9T以上であることが好ましい。このような性質を有する複合磁性体とすることで優れた直流重畳特性を示す。また、酸化雰囲気下で熱処理するステップにおいて形成される酸化皮膜の厚みは、30nm以上200nm以下であることが好ましい。加圧成形時に金型から成形体を離型する際に、金型面と接触する成形体の側面の絶縁材が剥がれても、熱処理で形成された酸化皮膜の厚みが、30nm以上200nm以下であれば、磁気特性を損なうことなく、耐食性にも優れた複合磁性体が得られる。以下、具体的な実施例にて本実施の形態の複合磁性体の製造方法を説明する。本実施例では、異なる組成の金属磁性粉末を用いた複合磁性体を複数作製する。まず、表1に示すサンプルNo.1-61に記載の各種金属磁性粉末を準備する。準備した金属磁性粉末100重量部に対し、絶縁性結着材としてシリコーン樹脂を0.5重量部、結合助剤としてブチラール樹脂を1.0重量部添加した後、トルエンを少量加え混合混練する。その後、ふるいに通して整粒し混合粉を形成する。得られた混合粉を所定の金型に充填し12ton/cm2で加圧成形し成形体を形成する。得られた成形体を大気雰囲気下、340°C、60分で熱処理を行い、成形体表面に酸化皮膜を形成する。その後、窒素雰囲気下にて、780°C、30分の熱処理を行う。なお、外形14mm、内径10mm、高さ2mm程度のトロイダルコア形状の成形体と、一辺15mm、高さ5mm程度のE型形状コア形状の成形体とを各サンプルについてそれぞれ作製する。トロイダルコア形状の成形体は、磁気特性測定に用い、E型形状コアの成形体は耐食性試験に用いる。作製した各サンプルについて、磁気特性と耐食性とをそれぞれ測定する。磁気特性としては比透磁率とコア損失とを測定する。比透磁率は、LCRメータを用いて、測定周波数10kHzにて測定する。またコア損失は交流BHカーブ測定機を用いて、測定周波数120kHz、測定磁束密度0.1Tで測定する。なお、各測定結果の評価基準は、用途によって若干異なるが、高周波数領域での使用を考えた場合、比透磁率40以上、コア損失1500kW/m3以下が好ましい。また、耐食性は、温度85°C、湿度85の高温高湿条件下で試験時間1000時間の耐食性試験により測定する。結果は、試験後の成形体の外観を光学顕微鏡及び目視によって検査して評価する。光学顕微鏡及び目視で錆が確認できないものを最良、光学顕微鏡では錆が確認できるものの肉眼では錆が確認できないものを良、光学顕微鏡および肉眼ともに錆が確認できるものを不良とする。回路基板上に実装した状態での耐食性試験において、肉眼で錆が確認できないもの、すなわち最良及び良のサンプルについては基板上への錆の脱落等はなく、実用上問題がない。各サンプルについての、磁気特性測定及び耐食性試験の結果を表1A表1Bに示す。表1A表1Bの結果より明らかなように、金属磁性粉末がSi、Fe、成分Aからなり、組成が重量で、5.5≦Si≦9.5で、10≦Si成分A≦13.5、残部はFeからなり、成分Aは、Ni、Al、Ti、Mgの内の一つからなる複合磁性体において、優れた磁気特性と耐食性を示すことが分かる。また、特に、金属磁性粉末の組成が重量で、5.5≦Si≦7.5で、10≦Si成分A≦13.5、そして残部はFeからなり、成分Aは、Ni、Al、Ti、Mgのうちの少なくとも一つからなる複合磁性体のとき、より高透磁率の優れた磁気特性と耐食性を示している。なお、成分AがNi、Al、Ti、Mgのうちの二つ以上からなる場合にも、金属磁性粉末全体として10≦Si成分A≦13.5の組成範囲内であれば、同様な効果が得られることは、言うまでもない。また、金属磁性粉末には、微量の不純物、あるいは添加物が含まれているが数パーセント以内であれば、同様な効果が得られることも、言うまでもない。本実施例においては、成形体形成時の圧力を変化させることで異なる飽和磁束密度を有するサンプルを複数作製する。平均粒径18μm、組成が重量で5.0Ni、7.5Si、残りFeからなる金属磁性粉末を準備する。そして、金属磁性粉末100重量部に対し、絶縁性結着材としてシリコーン樹脂を1.5重量部添加した後、トルエンを少量加え混合混練する。その後ふるいを通して整粒し、混合粉を作製する。得られた混合粉を所定の金型に充填し、試料No.62及びNo.63をそれぞれ5~15ton/cm2の圧力で加圧成形し、成形体を作製する。得られた成形体を大気雰囲気下、280°C、90分間で酸化処理を行い、成形体の表面に酸化皮膜を形成する。その後、窒素雰囲気下で、820°C、30分の熱処理を行う。このようにして、異なる飽和磁束密度を有する複数のサンプルを作製する。成形体は、外形14mm、内径10mm、高さ2mm程度のトロイダルコア形状に形成する。それぞれのサンプルについて、比透磁率とコア損失と直流重畳特性と飽和磁束密度を測定する。比透磁率は、LCRメータを用いて、測定周波数10kHzにて測定する。コア損失は交流BHカーブ測定機を用いて、測定周波数120kHz、測定磁束密度0.1Tで測定する。また、直流重畳特性は、LCRメータで測定周波数10kHzで直流磁界が2400A/m時の比透磁率の変化率を求めることで評価する。飽和磁束密度は、VSM試料振動型磁力計を用いて、磁界が12MA/m時の値を求める。なお、各測定結果の評価基準は用途によって若干異なるが、高周波数領域での利用を考えると、比透磁率40以上、コア損失1500kW/m3以下、直流重畳特性の変化率は60以上であることが好ましい。各サンプルについての、測定結果を表2に示す。表2の結果より明らかなように、複合磁性体の飽和磁束密度が、0.9T以上である時、優れた直流重畳を示す。これは、高飽和磁束密度のため直流重畳をかけられたときに、コアの磁気飽和がしにくいためである。本実施例では、酸化雰囲気下の熱処理における熱処理温度及び非酸化雰囲気下での熱処理温度を変化させてサンプルを複数作製する。平均粒径が25μmで、組成が重量で4.5Al、6.5Si、残りFeからなる金属磁性粉末を準備する。準備した金属磁性粉末100重量部に対し、絶縁性結着材としてシリコーン樹脂を0.9重量部、結合助剤としてアクリル樹脂を1.0重量部をそれぞれ添加し、トルエンを少量加え混合混練する。その後、整粒し、混合粉を作製する。得られた混合粉を所定の金型に充填し10ton/cm2の圧力で加圧し成形体を作製する。その後、成形体を表3に示す各温度条件に基づき、酸化雰囲気下で酸化処理するステップ、非酸化雰囲気下で熱処理ステップをそれぞれ行う。なお、酸化処理時間は90分、熱処理時間は30分とする。なお、磁気特性測定用として、外形14mm、内径10mm、高さ2mm程度のトロイダルコア形状の成形体と、耐食性試験用として一辺15mm、高さ5mm程度のE型形状コア形状の成形体とを形成する。磁気特性測定及び耐食性試験は実施例1と同様の方法で測定し、評価した。各測定結果を表3に示す。表3より、酸化雰囲気下において80°C以上400°C以下の温度範囲で酸化処理を行い、非酸化雰囲気下において600°C以上900°C以下の温度範囲で熱処理を行って製造された複合磁性体のサンプル65-67及び70-71は、優れた磁気特性と耐食性を示すことが分かる。これは、上記温度範囲で処理を行うことで熱処理のステップにおいては成形時にできた成形体の歪みを取り除くことが出来、また酸化処理のステップにおいては、金属磁性粉末の表面に安定な酸化皮膜を形成できるためである。本実施例では、酸化処理における処理時間を変化させてサンプルを複数作製する。平均粒径が23μmで、組成が重量で5.0Al、6.5Si、残りFeからなる金属磁性粉末を準備する。準備した金属磁性粉末100重量部に対し、絶縁性結着材としてシリコーン樹脂を1.2重量部添加した後、トルエンを少量加え混合分散を行い、混合粉を作製する。得られた混合粉を所定の金型に充填し13ton/cm2の圧力にて加圧し成形体を作製する。その後、成形体を大気雰囲気下で380°Cの条件において処理時間を変化させて、酸化処理を行う。さらに窒素雰囲気下で840°C、で30分間の熱処理を行う。成形体は各サンプルについて、磁気特性測定用として、外形14mm、内径10mm、高さ2mm程度のトロイダルコア形状のものを作製し、また、耐食性試験用として一辺15mm、高さ5mm程度のE型形状コア形状のものを作製する。酸化皮膜の厚みは、最終製品のE型形状コアの金型面と接触するコア最外面に露出している金属酸化皮膜の厚みを、オージェ電子分光法AESを用いて測定して評価する。それ以外の磁気特性測定及び耐食性試験は実施例1と同様の測定条件で測定する。測定結果を表4に示す。表4より、サンプル75-76のように金属酸化皮膜の厚みが、30nm以上であれば、金属磁性粉末の表面に安定な酸化皮膜が形成されるため複合磁性体は、優れた磁気特性と耐食性を示すことが分かる。