"i造形プレート上に形成した粉末層の所定箇所に光ビームを照射して該所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、およびii得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、前記新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程を繰り返して行う三次元形状造形物の製造方法であって、粉末層の形成は、造形テーブルとスキージングブレードとの間隔を相対的に広げた後、スキージングブレードを造形テーブル上にてスライド移動させることにより行っており、各粉末層の厚みを相互に一定にすることを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。前記一定の粉末層厚みを形成するために、粉末供給厚みを変えることを特徴とする、請求項1に記載の三次元形状造形物の製造方法。粉末層形成のために供される粉末量につき、第1層目のための粉末供給量が第2層目以降の各粉末層のための粉末供給量よりも多いことを特徴とする、請求項2に記載の三次元形状造形物の製造方法。前記第2層目以降の各粉末層の粉末供給厚みは、第1層目で固化された高さ分に相当する厚みとする、請求項3に記載の三次元形状造形物の製造方法。i造形プレート上に形成した粉末層の所定箇所に光ビームを照射して該所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、およびii得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、前記新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程を繰り返して行う三次元形状造形物の製造方法であって、粉末層の形成は、造形テーブルを下降変位させた後又はスキージングブレードを上昇変位させた後、スキージングブレードを造形テーブル上にてスライド移動させることにより行っており、第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅を第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅とは異なるように変更する、あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅を第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅とは異なるように変更することを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅を第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅よりも小さくする、あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅を第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅よりも小さくすることを特徴とする、請求項5に記載の三次元形状造形物の製造方法。第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅と第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅との差、あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅と第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅との差は、三次元形状造形物製造に際して形成される粉末層のかさ密度に基づいて導出されることを特徴とする、請求項5または6に記載の三次元形状造形物の製造方法。前記導出に際しては、粉末層のかさ密度と共に、粉末層の層厚さおよび該粉末層から得られる固化層の層厚さ光ビームの照射により得られるメルティング層の厚さが用いられることを特徴とする、請求項7に記載の三次元形状造形物の製造方法。本願発明者らは、粉末焼結積層法の複数の粉末層のうち、ある層と別の層とでは同一条件で光ビーム照射を行っているにも拘わらず焼結密度に差が生じるといった現象を見出した特に、一定の層厚みとなるように制御しているにも拘わらず、そのような現象が見られた。そして、鋭意検討した結果、図10に示すように、粉末材料のかさ密度や材料の濡れ性,溶融時の表面張力などと固化層形成時の沈み込み量との間には相関関係があることを本願発明者らは見出した。本発明は、かかる事情に鑑みて為されたものである。即ち、本発明の課題は、固化層形成時の沈み込みに好適に対処した三次元形状造形物の製造方法を提供することである。上記課題を解決するために、本発明では、i造形プレート上に形成した粉末層の所定箇所に光ビームを照射して該所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、およびii得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、前記新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程を繰り返して行い、粉末層の形成は、造形テーブルとスキージングブレードとの間隔を相対的に広げた後、スキージングブレードを造形テーブル上にスライド移動させることにより行っており、かかる粉末層形成に際しては各粉末層の厚みを相互に一定にすることを特徴とする三次元形状造形物の製造方法が提供される。特に本発明は、相互に一定の厚みを形成するために粉末供給厚みを変えるといった特徴を有している。ある好適な態様では、粉末層形成のために供される粉末量につき、第1層目のための粉末供給量を第2層目以降の各粉末層のための粉末供給量よりも多くする。ある好適な態様では、第2層目以降の各粉末層の粉末供給厚みは、第1層目で固化された高さ分に相当する厚みとする。このような本発明の実現する1つの手法としては、造形テーブルの下降程度またはスキージングブレードの上昇程度を調整することが考えられる。つまり、造形テーブルを下降変位させた後またはスキージングブレードを上昇変位させた後にスキージングブレードを造形テーブル上にてスライド移動させて粉末層を形成する場合を想定してみると、かかる造形テーブルの下降変位幅またはスキージングブレードの上昇変位幅を調整して各粉末層の厚みを相互に一定にすることが好ましい。ある好適な態様では、第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅を第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅とは異なるように変更する。あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅を第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅とは異なるように変更する。好ましくは、第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅を第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅よりも小さくする。あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅を第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅よりも小さくするここで、第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅と第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅との差、あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅と第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅との差は、三次元形状造形物製造に際して形成される粉末層のかさ密度に主に基づいて導出することができる。好ましくは、かかる導出に際しては、粉末層のかさ密度と共に、粉末層の層厚さおよびその粉末層から得られる固化層の層厚さ即ち、光ビームの照射によって得られるメルティング層の厚さなどが用いられる。本発明の製造方法では、第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅を第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅よりも小さくすることを通じて、あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅を第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅よりも小さくすることを通じて、粉末層厚みを各層ごとに一定にすることができる。より具体的には、図10に示すように材料のかさ密度と沈み量との間には相関があるので、材料のかさ密度から沈み込み量を算出し、それに基づいて、第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅または第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅を決定することができる。つまり、上記相関から決定された下降変位幅または上昇変位幅に基づいて、所望の一定厚みとなる粉末量を追加供給できる。本願発明に従って真に一定の厚みを各粉末層において実現できると、同一条件の光ビーム照射にもかかわらず焼結密度に差が生じるといった不都合を回避することができ、結果的に、品質の点で望ましい三次元形状造形物を得ることができる。以下では、図面を参照して本発明をより詳細に説明する。本明細書において粉末層とは、例えば金属粉末から成る金属粉末層または樹脂粉末から成る樹脂粉末層などを指している。また粉末層の所定箇所とは、製造される三次元形状造形物の領域を実質的に意味している。従って、かかる所定箇所に存在する粉末に対して光ビームを照射することによって、その粉末が焼結又は溶融固化して三次元形状造形物の形状を構成することになる。更に固化層とは、粉末層が金属粉末層である場合には焼結層を実質的に意味しており、粉末層が樹脂粉末層である場合には硬化層を実質的に意味している。[粉末焼結積層法]まず、本発明の製造方法の前提となる粉末焼結積層法について説明する。説明の便宜上、材料粉末タンクから材料粉末を供給し、スキージングブレードを用いて材料粉末を均して粉末層を形成する態様を前提として粉末焼結積層法を説明する。また、粉末焼結積層法に際しては造形物の切削加工をも併せて行う複合加工の態様を例に挙げて説明するつまり、図2bではなく図2aに表す態様を前提とする。尚、本発明では、複合加工するための切削機構が光造形複合加工機に必ずしも備わっている必要はない点付言しておく。1,3および4には、粉末焼結積層法と切削加工とを実施できる光造形複合加工機の機能および構成が示されている。光造形複合加工機1は、金属粉末および樹脂粉末などの粉末を所定の厚みで敷くことによって粉末層を形成する粉末層形成手段2と外周が壁27で囲まれた造形タンク29内において上下に昇降する造形テーブル20と造形テーブル20上に配され造形物の土台となる造形プレート21と光ビームLを任意の位置に照射する光ビーム照射手段3と造形物の周囲を削る切削手段4とを主として備えている。粉末層形成手段2は、図1に示すように、外周が壁26で囲まれた材料粉末タンク28内において上下に昇降する粉末テーブル25と造形プレート上に粉末層22を形成するためのスキージングブレード23とを主として有して成る。光ビーム照射手段3は、図3および図4に示すように、光ビームLを発する光ビーム発振器30と光ビームLを粉末層22の上にスキャニング走査するガルバノミラー31スキャン光学系とを主として有して成る。必要に応じて、光ビーム照射手段3には、光ビームスポットの形状を補正するビーム形状補正手段例えば一対のシリンドリカルレンズと、かかるレンズを光ビームの軸線回りに回転させる回転駆動機構とを有して成る手段やfθレンズなどが具備されている。切削手段4は、造形物の周囲を削るミーリングヘッド40とミーリングヘッド40を切削箇所へと移動させるXY駆動機構4141a,41bとを主として有して成る図3および図4参照。光造形複合加工機1の動作を図1、図5および図6を参照して詳述する。図5は、光造形複合加工機の一般的な動作フローを示しており、図6は、光造形複合加工プロセスを模式的に簡易に示している。光造形複合加工機の動作は、粉末層22を形成する粉末層形成ステップS1と、粉末層22に光ビームLを照射して固化層24を形成する固化層形成ステップS2と、造形物の表面を切削する切削ステップS3とから主に構成されている。粉末層形成ステップS1では、最初に造形テーブル20をΔt1下げるS11。次いで、粉末テーブル25をΔt1上げた後、図1aに示すように、スキージングブレード23を、矢印A方向に移動させ、粉末テーブル25に配されていた粉末例えば平均粒径5μm~100μm程度の鉄粉または平均粒径30μm~100μm程度のナイロン、ポリプロピレン、ABS等の粉末を造形プレート21上へと移送させつつS12、所定厚みΔt1に均して粉末層22を形成するS13。次に、固化層形成ステップS2に移行し、光ビーム発振器30から光ビームL例えば炭酸ガスレーザ500W程度、Nd:YAGレーザ500W程度、ファイバレーザ500W程度または紫外線などを発しS21、光ビームLをガルバノミラー31によって粉末層22上の任意の位置にスキャニングしS22、粉末を溶融させ、固化させて造形プレート21と一体化した固化層24を形成するS23。光ビームは、空気中を伝達させることに限定されず、光ファイバーなどで伝送させてもよい。固化層24の厚みがミーリングヘッド40の工具長さ等から求めた所定厚みになるまで粉末層形成ステップS1と固化層形成ステップS2とを繰り返し、固化層24を積層する図1b参照。尚、新たに積層される固化層は、焼結又は溶融固化に際して、既に形成された下層を成す固化層と一体化することになる。積層した固化層24の厚みが所定の厚みになると、切削ステップS3へと移行する。図1および図6に示すような態様ではミーリングヘッド40を駆動させることによって切削ステップの実施を開始しているS31。例えば、ミーリングヘッド40の工具ボールエンドミルが直径1mm、有効刃長さ3mmである場合、深さ3mmの切削加工ができるので、Δt1が0.05mmであれば、60層の固化層を形成した時点でミーリングヘッド40を駆動させる。XY駆動機構4141a,41bによってミーリングヘッド40を矢印X及び矢印Y方向に移動させ、積層した固化層24から成る造形物の表面を切削加工するS32。そして、三次元形状造形物の製造が依然終了していない場合では、粉末層形成ステップS1へ戻ることになる。以後、S1乃至S3を繰り返して更なる固化層24を積層することによって、三次元形状造形物の製造を行う図6参照。固化層形成ステップS2における光ビームLの照射経路と、切削ステップS3における切削加工経路とは、予め三次元CADデータから作成しておく。この時、等高線加工を適用して加工経路を決定する。例えば、固化層形成ステップS2では、三次元CADモデルから生成したSTLデータを等ピッチ例えばΔt1を0.05mmとした場合では0.05mmピッチでスライスした各断面の輪郭形状データを用いる。尚、上記説明では、造形テーブルを下降変位させた後、スキージングブレードを造形テーブル上にスライド移動させることによって粉末層形成を行う態様を前提に説明してきたが、造形テーブルとスキージングブレードとの相対的変位関係は逆でもよい。つまり、テーブルが固定され,スキージングブレードの位置が上昇する態様であっても粉末層形成を行うことができる特開2009-007669号参照。[本発明の製造方法]本発明は、上述した粉末焼結積層法のなかでも、粉末層の形成態様に特徴を有している。具体的には、図7~図9に示すように、各粉末層の厚みを相互に一定にすべく粉末供給厚みを変える粉末供給厚みについては図9を参照のこと。これは、粉末層に空隙が存在しているところ、光ビーム照射のメルティングによる固化層形成に際しては厚みが減じられるといった現象沈み込み現象に鑑みている。特に、本発明においては、主に粉末層のかさ密度と沈み込み量との間に相関があることを見出しており、かかる相関関係に着目している。沈み込みを考慮せずに、一定ピッチでテーブルを下降変位またはブレードを上昇変位させる制御を考えてみると従来技術、沈み込みに起因して、後刻の粉末層が想定厚みよりも大きくなってしまう。そこで、本発明では、そのような沈み込み現象に対して好適に対処すべく、造形テーブルの下降変位幅またはスキージングブレードの上昇変位幅を調整して各粉末層の厚みを相互に一定にする。特に、本発明においては、第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅を第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅とは異なるように変更する。あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅を第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅とは異なるように変更する。第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅と第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅との差、あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅と第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅との差は、三次元形状造形物製造に際して形成される粉末層のかさ密度から主に導出することができる図10参照。好ましくは、かかる導出に際しては、粉末層のかさ密度と共に、粉末層の層厚さおよびそれから得られる固化層の層厚さ即ち、光ビームの照射によって得られるメルティング層の厚さなどが用いられる。好ましくは、図7および図8に示すように、第2層目以降の各粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅を第1層目の粉末層を形成するための造形テーブルの下降変位幅よりも小さくする。あるいは、第2層目以降の各粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅を第1層目の粉末層を形成するためのスキージングブレードの上昇変位幅よりも小さくする。換言すれば、粉末層形成のために供される粉末量につき、第2層目以降の各粉末層のための粉末供給量を第1層目のための粉末供給量よりも少なくする。逆に捉えると、第1層目のための粉末供給量が第2層目以降の各粉末層のための粉末供給量よりも多いことを意味している図7および図8参照。尚、図9に示すような粉末供給厚みで考えてみると、第2層目以降の各粉末層の粉末供給厚みは、第1層目で固化された高さ分に相当する厚みとすることが好ましい図10も併せて参照のこと。以上、本発明の実施形態について説明してきたが、あくまでも典型例を例示したにすぎない。従って、本発明はこれに限定されず、種々の改変がなされ得ることを当業者は容易に理解されよう。例えば、第1層目の固化層形成は、造形プレートとの密着性を向上させるためのプロセスとして行ってもよく、かかる場合、薄い膜の形成も考えられる。"