"少なくとも、画像形成に用いられる記録液の液滴を吐出する複数のノズルを含むノズル板と、前記ノズルのそれぞれと連通する加圧液室を複数形成する流路板と、前記加圧液室の一壁面を構成するとともに、ダイアフラム部が配置された振動板と、前記加圧液室を加圧するエネルギーを発生する圧電素子と、を備えた液滴吐出ヘッドであって、前記ダイアフラム部は、前記圧電素子と当接して前記エネルギーを前記加圧液室に伝達するアイランド部と、前記アイランド部の周囲に、前記加圧液室に対応する部分の変形を容易にする第1の薄肉部と、を有し、前記アイランド部には、前記圧電素子と当接せず、かつ、前記ノズルの配列方向と直交する方向に、平行に伸びるスリット状の第2の薄肉部が設けられたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。前記スリット状の第2の薄肉部がアイランド部全長にわたって形成されていることを特徴とする請求項1記載の液滴吐出ヘッド。前記第2の薄肉部によって分離された前記アイランド部のうち最外縁に位置する厚肉部は、前記圧電素子と接する面が外縁方向に前記圧電素子から遠ざかる方向に傾斜したことを特徴とする請求項1又は2記載の液滴吐出ヘッド。前記厚肉部が、前記圧電素子の駆動時に当該圧電素子に押下されて、前記ノズルの配列方向と直交する方向から見て当該ノズルの配列方向に傾斜し、前記最外縁に位置する厚肉部の前記加圧液室側底面が前記ダイアフラム部の外縁方向に変位することで、前記第1の薄肉部が収縮して剛性が低下するとともに、前記第2の薄肉部が伸張し剛性が増加することを特徴とする請求項3記載の液滴吐出ヘッド。前記第2の薄肉部によって分離された前記アイランド部のうち最外縁に位置する厚肉部は、前記圧電素子に接着されていないことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッド。前記第2の薄肉部は、前記第1の薄肉部と同一の肉厚を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッド。前記第2の薄肉部は、前記第1の薄肉部と同一面上に配置されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッド。前記振動板は、2層以上の電鋳ニッケルからなることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッド。前記第2の薄肉部に対応するスリットにおいて、前記圧電素子側開口部の幅が、前記加圧液室側開口部の幅よりも小さいことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッド。請求項1から9のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。請求項1から9のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記液滴吐出ヘッドを構成する振動板の形成工程として、第1のレジスト膜を基板上に塗布する工程と、第1の光学マスクを用いて前記第1のレジスト膜を露光し、第1の膜変質部を形成する工程と、前記第1のレジスト膜上に第2のレジスト膜を塗布する工程と、第2の光学マスクを用いて前記第2のレジスト膜を露光し、第2の膜変質部を形成する工程と、前記第1のレジスト膜及び前記第2のレジスト膜に対して、前記第1のレジスト部及び前記第2のレジスト部以外を除去する工程と、前記基板上に、前記第1のレジスト膜の膜厚より厚く、かつ、前記第1のレジスト膜と前記第2のレジスト膜を合わせた膜厚より薄く、ニッケル電鋳層を形成する工程と、前記第1のレジスト部及び前記第2のレジスト部を除去する工程と、を有し、前記第1のレジスト部は、少なくとも前記第1の薄肉部と前記第2の薄肉部に対応し、前記第2のレジスト部は、少なくとも前記第2の薄肉部に対応することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。特許文献1には、インクジェットヘッドの高応答性と高安定性を得る目的で、圧力室内に吐出時の圧力によって弾性変形可能な薄肉部を設け、薄肉部と対向する領域に対向壁を設けて薄肉部が対向壁に当接する構成が開示されている。この構成では、インク吐出後は圧力室の剛性が低くなり残留圧力振動を緩和させつつも、インク吐出時には圧力室の剛性が低下せずインク吐出効率を低下させないようにはできる。しかし、上述したノズル高密度化による吐出効率低下という問題は解消できていない。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、高密度ノズル化した液滴吐出ヘッドにおいて、振動板の変位を拡大するとともに、クロストークや圧力室内残留振動を抑えることにより、吐出効率及び画像品質を改善できる液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。かかる目的を達成するために、本発明の液滴吐出ヘッドは、少なくとも、画像形成に用いられる記録液の液滴を吐出する複数のノズルを含むノズル板と、ノズルのそれぞれと連通する加圧液室を複数形成する流路板と、加圧液室の一壁面を構成するとともに、ダイアフラム部が配置された振動板と、加圧液室を加圧するエネルギーを発生する圧電素子と、を備えた液滴吐出ヘッドであって、ダイアフラム部は、圧電素子と当接してエネルギーを加圧液室に伝達するアイランド部と、アイランド部の周囲に、加圧液室に対応する部分の変形を容易にする第1の薄肉部と、を有し、アイランド部には、圧電素子と当接せず、かつ、ノズルの配列方向と直交する方向に、平行に伸びるスリット状の第2の薄肉部が設けられたことを特徴とする。本発明の画像形成装置は、上記本発明の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする。本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、上記本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、液滴吐出ヘッドを構成する振動板の形成工程として、第1のレジスト膜を基板上に塗布する工程と、第1の光学マスクを用いて第1のレジスト膜を露光し、第1の膜変質部を形成する工程と、第1のレジスト膜上に第2のレジスト膜を塗布する工程と、第2の光学マスクを用いて第2のレジスト膜を露光し、第2の膜変質部を形成する工程と、第1のレジスト膜及び第2のレジスト膜に対して、第1のレジスト部及び第2のレジスト部以外を除去する工程と、基板上に、第1のレジスト膜の膜厚より厚く、かつ、第1のレジスト膜と第2のレジスト膜を合わせた膜厚より薄く、ニッケル電鋳層を形成する工程と、第1のレジスト部及び第2のレジスト部を除去する工程と、を有し、第1のレジスト部は、少なくとも第1の薄肉部と第2の薄肉部に対応し、第2のレジスト部は、少なくとも第2の薄肉部に対応することを特徴とする。本発明によれば、高密度ノズル化した液滴吐出ヘッドにおいて、振動板の変位を拡大するとともに、クロストークや圧力室内残留振動を抑えて、吐出効率及び画像品質を改善できる。以下、本発明を実施するための形態実施形態について添付図面を参照して詳細に説明する。まず、本発明の概要について説明する。本発明は、振動板のダイアフラム部のうち、圧電素子と当接する厚肉部の一部に、ノズル配列方向と直交する方向にスリット状の第2の薄肉部を設けた液室構成にすることを特徴とする。この特徴により、第2の薄肉部の弾性変形によって個別液室内圧力変動や、隣接ノズルとのクロストークを吸収する効果が得られ、吐出効率及び画像品質を改善できる。また、本発明は、第2の薄肉部によって仕切られた厚肉部群のうち最外縁の位置にあるものは、圧電素子と接する面が外縁方向に下がるように傾斜し、その傾斜による変動量は圧電素子の駆動変位量以上とすることを特徴とする。この特徴により、上記最外縁の厚肉部が、圧電素子駆動時に圧電素子に押されて傾斜し、厚肉部の圧力室側底面がダイアフラム外縁方向に変位するので、第1の薄肉部領域を十分に確保できない高密度ヘッドにおいても第1の薄肉部が緩んで圧電素子の変位を制限することがなくなるので、圧電素子本来の変位量で厚肉部を変位させることができる。同時に、第2の薄肉部は引っ張られて剛性が増加するので、厚肉部内に設けたとしても吐出効率が低下することはない。このような本発明の特徴について、以下、図面を参照しながら詳細に解説する。本実施形態の液滴吐出ヘッドの一例について図1~図4を参照して説明する。図1は、本実施形態の液滴吐出ヘッドの分解斜視説明図、図2は本実施形態の液滴吐出ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図、図3はバイピッチ構造にした場合の、本実施形態の液滴吐出ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図、図4はノーマルピッチ構造にした場合の、本実施形態の液滴吐出ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図である。本実施形態の液体吐出ヘッドは、例えばシリコン部材からなる流路形成部材である流路板1と、この流路板1の上面に接合したノズル形成部材である金属部材からなるノズル板2と、この流路板1の下面に接合した金属部材からなる振動板3とを有し、これらによって液滴画像形成に用いられる記録液の液滴。例えばインク滴を吐出するノズル4が連通路5を介して連通する加圧液室6圧力室。単に液室ともいう、流体抵抗部7、この流体抵抗部7を介して液室6と連通する導入部8を形成し、導入部8に振動板3に形成した供給口9を介して後述するフレーム部材17に形成した共通液室10から記録液例えばインクを供給する。そして、液室6の壁面を形成する振動板3の面外側液室6と反対面側に、各加圧液室6に対応して、振動板3に形成したアイランド部を介して駆動素子アクチュエータ手段、圧力発生手段としての積層型圧電素子12単に圧電素子ともいうの上端面を接合している。また、積層型圧電素子12の下端面はベース部材13に接合している。ここで、圧電素子12は、圧電材料層21と内部電極22a、22bとを交互に積層したものであり、内部電極22a、22bをそれぞれ端面に引き出して端面電極外部電極23a、23bに接続し、端面電極23a、23bに電圧を印加することで積層方向の変位を生じる。そして、圧電素子12には駆動信号を与えるために半田接合又はACF異方導電性膜接合若しくはワイヤボンディングでFPCケーブル15を接続する。このFPCケーブル15には各圧電素子12に選択的に駆動波形を印加するための図示しない駆動回路ドライバICを実装する。なお、液室短手方向ノズル4の並び方向では、図3に示すように、圧電素子12と支柱部12Aを交互に配置したバイピッチ構造とすることもできるし、あるいは、図4に示すように、支柱部12を設けないノーマルピッチ構造とすることもできる。本実施形態の液滴吐出ヘッドでは、圧電素子12の圧電方向としてd33方向の変位を用いて液室6内インクを加圧する構成とし、さらに、液滴の吐出方向が液室6での記録液の流れ方向と異なるサイドシュータ方式で液滴を吐出させる構成としている。サイドシュータ方式とすることで、圧電素子12の大きさが略ヘッドの大きさとなり、圧電素子12の小型化を直接ヘッドの小型化に結びつけることができ、ヘッドの小型化を図り易いが、本発明はこの形態に限るものではない。さらに、これらの圧電素子12、ベース部材13及びFPC15などで構成されるアクチュエータ部の外周側には、エポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したフレーム部材17を接合している。そして、このフレーム部材17には上記共通液室10を形成するとともに、この共通液室10に外部から記録液を供給するための供給口19を形成し、この供給口19はさらに図示しないサブタンクや記録液カートリッジなどの記録液供給源に接続される。ここで、流路板1は、シリコンの異方性エッチングにより、連通路5となる貫通穴、加圧液室6、流体抵抗部7、連通部8などを構成する溝部をそれぞれ形成している。なお、加圧液室6はそれぞれ隔壁6aにて隔てられている。ノズル板2は、ニッケルNi電鋳でノズル4となるノズル孔を形成している。このノズル板2のノズル4は、例えば直径10~35μmの孔で形成され、流路板1に接着剤接合している。そして、このノズル板2の液滴吐出側面吐出方向の表面:吐出面、又は液室6側と反対の面には撥水処理を施している。振動板3は、ニッケル電鋳例えば2層以上で形成している。図5に示すように、この振動板3には、ダイアフラム部51が設けられている。ダイアフラム部51は、加圧液室6に対応する部分の変形を容易にするための第1の薄肉部51c、51dと、中央部には圧電素子12と接合するためのアイランド部51bとを有する。第1の薄肉部51c、51dは、ノズル4が形成された方向ノズル面方向から見てアイランド部51bを包含する。なお、図5に示すダイアフラム部51の構成は、従来技術で用いられるものである。本実施形態では、図5に示す構成において、アイランド部51bに第2の薄肉部を設ける構成とする。これについては図6を用いて後述する。圧電素子12は、積層型圧電素子部材をベース部材13の接合した後、ダイシングソーなどによって溝加工を施すことによって分割して形成したものである。前述した図3のバイピッチ構造をとるときの支柱部12Aは、溝加工によって形成される圧電素子部材であるが、駆動電圧を印加しないので単なる支柱として機能するだけである。以上のように構成された本実施形態の液滴吐出ヘッドは、例えば押し打ち方式で駆動する場合には、図示しない制御部から記録する画像に応じて複数の圧電素子12に20~50Vの駆動パルス電圧を選択的に印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子12が変位して振動板3をノズル板2方向に変形させ、液室6の容積体積変化によって液室6内の液体を加圧することで、ノズル板2のノズル4から液滴が吐出される。そして、液滴の吐出に伴って液室6内の圧力が低下し、このときの液流れの慣性によって液室6内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子12への電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板2が元の位置に戻って液室6が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室10から液室6内に記録液が充填され、次の駆動パルスの印加に応じて液滴がノズル4から吐出される。ここで、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおけるダイアフラム部51の例について、図6~図8を参照して説明する。図6は、振動板3を圧電素子接合面方向から見た平面図である。図6に示すように、本実施形態では、振動板3上にノズル配列方向に配置されたダイアフラム部51において、圧電素子12と当接するアイランド部51b内に、圧電素子12と当接せず、かつ、ノズル配列方向と直交する方向にアイランド部51b全長にわたって平行に伸びるスリット状の、第2の薄肉部51eを設けている。このような第2の薄肉部51eを形成することにより図8に示すように駆動前後は第2の薄肉部51eが撓んで、効率よく液室6内の圧力変動を減衰することができる。これにより隣接ノズルとのクロストークも抑制することができる。一方で駆動中は圧電素子12の変位により第2の薄肉部51eには引っ張る方向にテンションがかかるため剛性があがり厚肉部とほぼ同様の効果を示す。これにより駆動中は厚肉部で形成した場合と同等の吐出効率を達成するとともに、駆動前後では液室6内に面する薄肉部面積を稼いで速やかに圧力変動を減衰することができる。また、この第2の薄肉部51eによって仕切られたアイランド部51のうち最外縁位置にあるスリット状の第2の薄肉部の両外側にある厚肉部51fは、図7に示すように、圧電素子12と接する面が外縁方向に下がるように傾斜させることが好ましい。このように傾斜させることで図8に示すように、駆動時に厚肉部51fが外方向に傾斜し第2薄肉部をより効率的に引き伸ばすことができるために第2薄肉部の剛性をより高めることができる。また合わせて、第1の薄肉部は収縮する方向に変位することになるため、第1の薄肉部の幅が十分にとれないような高密度ノズルヘッドにおいても、第1の薄肉部で圧電素子の駆動を阻害することがない。具体的に第1の薄肉部と厚肉部のみの構成では、第1の薄肉部領域が狭いと圧電素子の変位分だけ第1の薄肉部が伸びることができず、圧電素子は十分に変位することができない。これに対し、このような傾斜構成があれば駆動時に厚肉部51fが傾くことにより第1の薄肉部が撓み、その撓み分が伸びる分だけ圧電素子の変位をより大きく許容できる。これにより高密度ノズルヘッドにおいても十分な吐出効率を得ることができる。このとき、圧電素子12と振動板3はアイランド部51bとの接着により接合保持されており、圧電素子12と厚肉部51fは接着されていないことが好ましい。先端が接着されていたとしても接着点を支点に変形して上記の効果を奏するが、非接着で圧電素子上を摺動できるような構成とすることでより厚肉部51fを動きやすくでき、上記効果を高めることができる。また、第1の薄肉部51c、51dと第2の薄肉部51eとの肉厚は優先される特性により差をもたせればよく、圧力変動抑制を優先するならば第2の薄肉部51eを第1の薄肉部51c、51dよりも薄く、吐出効率向上を優先するならば厚く形成すればよい。しかし、好ましくは第2の薄肉部51eは、第1の薄肉部51c、51dと同一の肉厚で形成し、第2の薄肉部51eは、第1の薄肉部51c、51dと同一面上に配置することがよい。このように形成することで第1の薄肉部51c、51dと第2の薄肉部51eを同一工程で形成することが可能となり、通常の振動板と同等のコストで形成することができる。また、第2の薄肉部51eに対応するスリットにおいて、圧電素子12側の開口部の幅が、加圧液室6側の開口部の幅よりも小さくすることが好ましい。このようにすることで、圧電素子との接合面積を広く確保し薄肉部面積を広く確保したまま厚肉部の剛性を高めることができる。図8は、本実施形態における、吐出前後のダイアフラム部51の挙動を説明する断面図である。図8では、圧電素子12の駆動前、駆動中、駆動直後のそれぞれにおけるダイアフラム部51の挙動を示している。なお、図8において、ダイアフラム部51を構成する各部については図示を省略しているが、図7に示す図示と同様である。まず、図示はしていないが、例えば図5に示した従来技術のダイアフラム部51の挙動について説明する。図5に示す振動板3の構成では、圧電素子12がその駆動変位量80aだけノズル面方向に変位することで、加圧液室6が加圧される。このような、圧電素子12によりダイアフラム部51が80aだけノズル面方向に変位した状態では、第1の薄肉部51dは張力が増加している。特に、従来技術のような高密度ノズルヘッドにおいて、空間的制約から第1の薄肉部51dの幅例えば図8の81d参照は小さく、せいぜい10μm程度である。したがって、圧電素子12の駆動状態液滴吐出状態においては、第1の薄肉部51dの張力上昇も、その幅が小さい場合は顕著となり、圧電素子12の変位を抑制するため、吐出効率が低下する一因となる。これに対し、本実施形態によれば、図8に示すように、厚肉部51fが、圧電素子12の駆動時液滴吐出時に、圧電素子12に押されて接触点51hを中心とするモーメント力により傾斜し、圧肉部51fの圧力室側底面がダイアフラム51外縁方向にΔ81d-82dだけ変位する。これにより、薄肉部51dは緩んで剛性が低下し、圧電素子12及びダイアフラム51の変位を80cだけ増加させると同時に、第2の薄肉部51eは引っ張られて剛性が増加するので、51eによって吐出効率が低下することを防ぐことができる。加えて、吐出直後は第2の薄肉部51eが弾性変形することにより、圧力室内の圧力振動を吸収でき、比較的単位時間に多量の吐出を行った直後においても、比較的安定した吐出が可能となる。以上説明したように、本実施形態の液滴吐出ヘッドによれば、少なくとも、画像形成に用いる液滴を吐出する複数のノズルを含むノズル板と、ノズルのそれぞれと連通する加圧液室を複数形成する流路板と、加圧液室の一壁面を構成するとともに、ダイアフラム部が配置された振動板と、加圧液室を加圧するエネルギーを発生する圧電素子とを備えた液滴吐出ヘッドであって、ダイアフラム部は、圧電素子と当接してエネルギーを加圧液室に伝達するアイランド部と、ノズルが形成された方向から見てアイランド部を包含し、加圧液室に対応する部分の変形を容易にする第1の薄肉部と、を有し、アイランド部には、圧電素子と当接せず、かつ、ノズルの配列方向と直交する方向に、アイランド部全長にわたって平行に伸びるスリット状の第2の薄肉部が設けられたことを特徴とする。これにより、第2の薄肉部が個別液室ダンパとして機能し、圧力変動を吸収できる。すなわち、第2の薄肉部の弾性変形によって個別液室内圧力変動や、隣接ノズルとのクロストークを吸収する効果が得られ、吐出効率及び画像品質を改善できる。また、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、第2の薄肉部によって分離されたアイランド部のうち最外縁に位置する厚肉部は、圧電素子と接する面が外縁方向に下がるように傾斜し、当該傾斜による厚肉部の両端の変動量は、圧電素子の駆動変位量以上であることを特徴とする。また、厚肉部が、圧電素子の駆動時に当該圧電素子に押下されて、ノズルの配列方向と直交する方向から見て当該ノズルの配列方向に傾斜し、最外縁に位置する厚肉部の加圧液室側底面がダイアフラム部の外縁方向に変位することで、第1の薄肉部が収縮して剛性が低下するとともに、第2の薄肉部が伸張し剛性が増加することを特徴とする。このような特徴により、第2の薄肉部は引っ張られて剛性が増加し、第2の薄肉部による吐出効率低下を防ぐ効果が得られる。すなわち、液滴吐出時に第2の薄肉部による液室の剛性低下を防ぐことができ、PZT変位を増加させて吐出効率を向上させることができる。また、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、第2の薄肉部によって分離されたアイランド部のうち最外縁に位置する厚肉部は、圧電素子に接着されていないことを特徴とする。この特徴により、接着剤の節約によるコストダウンを実現できるとともに、上述した厚肉部の傾斜を行い易くできる。また、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、第2の薄肉部は、第1の薄肉部と同一の肉厚を有することを特徴とする。この特徴により、加工を容易にし、コストダウンを実現できる。また、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、第2の薄肉部は、第1の薄肉部と同一面上に配置されていることを特徴とする。この特徴により、加工を容易にし、コストダウンを実現でき、加工方法の自由度を拡大することもできる。次に、上記振動板3のダイアフラム部51の形成方法本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法の一実施形態について、図9を用いて説明する。まず、図9aに示すように、スピンコート等にてウエハ基板91a上に一層目のレジスト部となる第1のレジスト膜91bを均一に塗布するステップS1。ここで、ウエハ基板91aは、同様のニッケル電鋳法等によってあらかじめ土台基板に形成された振動板3の一層目を指す。図9aに示すように第1のマスク91cにより第1のレジスト膜91bを露光し、第1の薄肉部51d及び第2の薄肉部51eに相当する領域を硬化させ、図9bに示すように第1の膜変質部第1のレジスト部92aを形成するステップS2。通常この段階で未硬化部の膜除去を行うが、ここでは未だ除去は行わず、図9bに示すように、再度スピンコート等にて第1のレジスト膜91b上に第2のレジスト膜92bを塗布するステップS3。図9bに示すように、第2のマスク92cにより第2のレジスト膜92bを露光し、第2の薄肉部51eに相当する領域を硬化させ、図9cに示すように第2の膜変質部第2のレジスト部93aを形成するステップS4。ここで、図10aに示すように93aに対し92aが所定量95aだけ広くなるようオフセットすれば、図10b、cに示すように機能を損なわずに接着面積を拡大することもできる。第1のレジスト膜91b及び第2のレジスト膜92bに対し、膜変質部レジスト部以外を除去し、図9dのようにするステップS5。ニッケル電鋳を行い、図9e、fに示すように、93b以上93c以下の膜厚となる電鋳層94aを形成するステップS6。最後に、図9gに示すように、レジスト92a、93aを溶解除去しステップS7、表面をポリイミドベーク等によりコートすればステップS8、ダイアフラム部51を有する振動板3が完成する。図9で説明したダイアフラム部51の形成方法を用いて、図9gに示す形状以外のダイアフラム部51を形成することも可能である。この例について、図11及び図12を用いて説明する。図11の例では、振動板3に形成されるダイアフラム部51において、第2の薄肉部51eを1箇所上図ないし3箇所下図にした場合を示している。厚肉部51fがアイランド部51bの中心軸に対し線対称に配置されていれば、図7、図8、図9gで説明したダイアフラム部51の機能を満足する。ただし、第2の薄肉部51eが複数箇所の場合下図は、中央の薄肉部51gは吐出時も端部の薄肉部51eに比べて剛性の上昇が小さいため、51gを増やすと圧力変動吸収機能が増加する一方吐出効率は低下する。図12の例では、振動板3に形成されるダイアフラム部51において、第2の薄肉部51eを、アイランド部51bの長手方向に平行に伸びた上で両端部をさらに連結した環状形状とした場合上図及び下図を示している。上図は1つの環状薄肉部、下図は複数の環状薄肉部を形成した場合を示している。これにより、スリット状の第2の薄肉部51e設置によるアイランド部51bの剛性低下を防ぐことができる。また、アイランド部51bの短手方向にも複数の薄肉部51gを任意配置する下図参照ことで、圧力変動吸収機能、すなわちコンプライアンス値の調整が可能である。ただし、前述同様に薄肉部51gは吐出時も剛性の上昇は比較的小さい構成である。次に、本実施形態の液滴吐出ヘッドを備える画像形成装置の一例について図13及び図14を参照して説明する。なお、図13は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図14は同機構部の要部平面説明図である。この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向キャリッジ主走査方向に移動走査する。このキャリッジ233には、イエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックKの各色のインク滴を吐出するための上述した本実施形態の液滴吐出ヘッドと、同ヘッドに駆動信号を与える電気回路基板と、同ヘッドに供給するインクを収容するタンクを一体化した液体吐出ヘッドユニットからなる記録ヘッド234を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。記録ヘッド234は、それぞれ2つのノズル列を有する液体吐出ヘッドユニット234a、234bを1つのベース部材に取り付けて構成したもので、一方のヘッド234aの一方のノズル列はブラックKの液滴を、他方のノズル列はシアンCの液滴を、他方のヘッド234bの一方のノズル列はマゼンタMの液滴を、他方のノズル列はイエローYの液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは2ヘッド構成で4色の液滴を吐出する構成としているが、1ヘッド当たり4ノズル列配置とし、1個のヘッドで4色の各色を吐出させることもできる。また、記録ヘッド234のタンク235には各色の供給チューブ236を介して、供給ユニット224によって各色のインクカートリッジ210から各色のインクが補充供給される。一方、給紙トレイ202の用紙積載部圧板241上に積載した用紙242を給紙するための給紙部として、用紙積載部241から用紙242を1枚ずつ分離給送する半月コロ給紙コロ243及び給紙コロ243に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド244を備え、この分離パッド244は給紙コロ243側に付勢されている。そして、この給紙部から給紙された用紙242を記録ヘッド234の下方側に送り込むために、用紙242を案内するガイド部材245と、カウンタローラ246と、搬送ガイド部材247と、先端加圧コロ249を有する押さえ部材248とを備えるとともに、給送された用紙242を静電吸着して記録ヘッド234に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト251を備えている。この搬送ベルト251は、無端状ベルトであり、搬送ローラ252とテンションローラ253との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向副走査方向に周回するように構成している。また、この搬送ベルト251の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ256を備えている。この帯電ローラ256は、搬送ベルト251の表層に接触し、搬送ベルト251の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト251は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ252が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。さらに、記録ヘッド234で記録された用紙242を排紙するための排紙部として、搬送ベルト251から用紙242を分離するための分離爪261と、排紙ローラ262及び排紙コロ263とを備え、排紙ローラ262の下方に排紙トレイ203を備えている。また、装置本体の背面部には両面ユニット271が着脱自在に装着されている。この両面ユニット271は搬送ベルト251の逆方向回転で戻される用紙242を取り込んで反転させて再度カウンタローラ246と搬送ベルト251との間に給紙する。また、この両面ユニット271の上面は手差しトレイ272としている。さらに、キャリッジ233の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド234のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む本発明に係るヘッドの維持回復装置である維持回復機構281を配置している。この維持回復機構281には、記録ヘッド234の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材以下キャップという282a、282b区別しないときはキャップ282というと、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード283と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け284などを備えている。また、キャリッジ233の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け288を配置し、この空吐出受け288には記録ヘッド234のノズル列方向に沿った開口部289などを備えている。このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ202から用紙242が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙242はガイド245で案内され、搬送ベルト251とカウンタローラ246との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド237で案内されて先端加圧コロ249で搬送ベルト251に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。このとき、帯電ローラ256に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト251が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト251上に用紙242が給送されると、用紙242が搬送ベルト251に吸着され、搬送ベルト251の周回移動によって用紙242が副走査方向に搬送される。そこで、キャリッジ233を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド234を駆動することにより、停止している用紙242にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙242を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙242の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙242を排紙トレイ203に排紙する。このように、この画像形成装置では、上述した本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、信頼性が向上する。次に、本実施形態の液滴吐出ヘッドを備える画像形成装置の他の例について図15を参照して説明する。なお、図15は同装置の機構部全体の概略構成図である。この画像形成装置は、ライン型画像形成装置であり、装置本体401の内部に画像形成部402等を有し、装置本体401の下方側に多数枚の記録媒体用紙403を積載可能な給紙トレイ404を備え、この給紙トレイ404から給紙される用紙403を取り込み、搬送機構405によって用紙403を搬送しながら画像形成部402によって所要の画像を記録した後、装置本体401の側方に装着された排紙トレイ406に用紙403を排紙する。また、装置本体401に対して着脱可能な両面ユニット407を備え、両面印刷を行うときには、一面表面印刷終了後、搬送機構405によって用紙403を逆方向に搬送しながら両面ユニット407内に取り込み、反転させて他面裏面を印刷可能面として再度搬送機構405に送り込み、他面裏面印刷終了後排紙トレイ406に用紙403を排紙する。ここで、画像形成部402は、例えばイエローY、マゼンタM、シアンC,ブラックKの各色の液滴を吐出する、ライン型の4個の本実施形態に係る液滴吐出ヘッドと当該液体吐出ヘッドにインクを供給するサブタンクを一体化して構成した記録ヘッド411y、411m、411c、411k色を区別しないときには記録ヘッド411という。を備え、各記録ヘッド411は液滴を吐出するノズルを形成したノズル面を下方に向けてヘッドホルダ413に装着している。なお、1つの記録ヘッド411は、図16に示すように、複数この例では6個のサブタンク一体型の本実施形態に係る液滴吐出ヘッド501A~501Fをベース部材502に所定の位置関係で配列して構成しているが、1つのフルライン型の液滴吐出ヘッドで構成することもできる。また、各記録ヘッド411に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構412y、412m、412c、412k色を区別しないときには維持回復機構412という。を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド411と維持回復機構412とを相対的に移動させて、記録ヘッド411のノズル面に維持回復機構412を構成するキャッピング部材などを対向させる。給紙トレイ404の用紙403は、給紙コロ半月コロ421と図示しない分離パッドによって1枚ずつ分離され装置本体401内に給紙され、搬送ガイド部材423のガイド面423aに沿ってレジストローラ425と搬送ベルト433との間に送り込まれ、所定のタイミングでガイド部材426を介して搬送機構405の搬送ベルト433に送り込まれる。また、搬送ガイド部材443には両面ユニット407から送り出される用紙403を案内するガイド面423bも形成されている。更に、両面印刷時に搬送機構405から戻される用紙403を両面ユニット407に案内するガイド部材427も配置している。搬送機構405は、駆動ローラである搬送ローラ431と従動ローラ432との間に掛け渡した無端状の搬送ベルト433と、この搬送ベルト433を帯電させるための帯電ローラ434と、画像形成部402に対向する部分で搬送ベルト433の平面性を維持するプラテン部材435と、搬送ベルト433から送り出す用紙403を搬送ローラ431側に押し付ける押さえコロ436と、その他図示しないが、搬送ベルト433に付着した記録液インクを除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなるクリーニングローラなどを有している。なお、搬送機構としては例えばエアー吸引によって搬送ベルトに被記録媒体を吸着させるものなども使用できる。この搬送機構405の下流側には、画像が記録された用紙403を排紙トレイ406に送り出すための排紙ローラ438及び拍車439を備えている。このように構成した画像形成装置において、搬送ベルト433は矢示方向に周回移動し、高電位の印加電圧が印加される帯電ローラ434と接触することで帯電され、帯電した搬送ベルト433上に用紙403が給送されると、用紙403は搬送ベルト433に静電的に吸着される。このようにして、搬送ベルト433に強力に吸着した用紙403は反りや凹凸が校正され、高度に平らな面が形成される。そして、搬送ベルト433を周回させて用紙403を移動させ、記録ヘッド411から液滴を吐出することで、用紙403上に所要の画像が形成され、画像が記録された用紙403は排紙ローラ438によって排紙トレイ406に排紙される。このように、この画像形成装置では、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを備えているので、吐出効率及び画像品質を改善でき、画像形成の信頼性が向上する。なお、上記実施形態では、プリンタ構成の画像形成装置を例に説明したが、これに限るものではなく、前述したように、例えば、プリンタ/ファックス/コピア複合機などの画像形成装置に適用することができ、また、前述したように狭義のインク以外の液体や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、上記説明に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。"