"材料表面の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置であって、前記材料表面に接触する触針を有するスタイラスと、前記触針が前記材料表面上を接触しながら移動して該触針が前記材料表面の表面粗さの凹凸に従って上下動するように、前記スタイラスを前記材料表面に対して並行に走査するキャリッジと、前記スタイラスに設けられ、前記触針の前記上下動に応じて上下動する光反射部材であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材と、第1端面を有する第1端部、及び前記第1端面とは反対側の第2端面を有する第2端部を有し、前記第1端面が前記光反射部材の前記反射面に面するように前記第1端部が前記キャリッジに固定された細長い導光部材であって、前記第2端面から入射された光を前記第1端面まで導き該第1端面から出射して前記反射面に照射し、前記反射面で反射して前記第1端面に入射する反射光を前記第2端面まで導く導光部材と、を備える表面粗さ測定装置。前記キャリッジは、前記材料表面上を摺動するようにされている請求項1に記載の測定装置。前記キャリッジの前後方向に間隔をあけて設けられ、前記材料表面に接触して当該キャリッジの該材料表面に対する姿勢を規定する複数のスキッドを有する姿勢保持装置を備える請求項1又は2に記載の表面粗さ測定装置。前記測定表面が孔の内周面であり、当該表面粗さ測定装置は、前記キャリッジ及び前記スタイラスを前記孔の中に設定して該孔の軸線方向に動かすことによって、該軸線方向での該孔の内周面の表面粗さを測定する装置とされ、前記姿勢保持装置が、前記キャリッジの周囲に設けられた弾性保持部材であって、前記内周面と弾性係合しながら前記キャリッジの軸線方向での移動に伴って前記内周面上を摺動して、前記複数のスキッドとともに前記内周面に対する当該キャリッジの姿勢を保持する弾性保持部材をさらに有する、請求項3に記載の表面粗さ測定装置。前記弾性保持部材がバネ部材であり、該バネ部材は、前記キャリッジと前記内周面との間で付勢され、それによって前記複数のスキッドが前記内周面に押し付けられるように、前記キャリッジに配置されている、請求項4に記載の表面粗さ測定装置。前記導光部材は、前記内周面の測定中に前記第2端面が前記孔の外に位置するのに十分な長さを有する光ファイバーであり、前記光ファイバーの前記第2端面に入射する光の光源と、前記光反射部で反射して戻ってきて前記第2端面から出射される反射光の光強度を検出する受光素子と、を有する制御部をさらに備えており、該制御部は前記キャリッジから離れて前記孔の外側に配置されるようになっている、請求項4又は5に記載の表面粗さ測定装置。前記スタイラスは、前記キャリッジに枢着されて該キャリッジから当該表面粗さ測定装置の前方に向かって延びる細長い支持部材を有し、前記触針が該支持部材の前端部分に設けられている請求項1乃至6のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記スタイラスの前記支持部材と前記キャリッジのどちらか一方がV字状の溝を有し、他方が尖端縁をもつ突起部を有しており、前記スタイラスの前記枢着が、前記尖端縁と前記V字状の溝とが枢動可能に係合することによりなされる、請求項7に記載の表面粗さ測定装置。前記スタイラスの前記支持部材は前記キャリッジに弾性部材を介して保持されており、前記スタイラスの前記枢着が前記弾性部材の弾性変形によりなされる、請求項7に記載の表面粗さ測定装置。前記スタイラスは第1端部と第2端部を有する細長い支持部材を有し、該支持部材は前記第1及び第2端部において前記キャリッジに弾性部材を介して保持されており、該弾性部材が弾性変形することで前記触針が前記上下方向に略直線状に動くようになされる、請求項1乃至6のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記複数のスキッドが前記触針を間に挟んで前記キャリッジの前後方向に間隔をあけて配置されている、請求項3乃至6のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記スタイラスは前記支持部材に配置された荷重調整機構を備えており、該荷重調整機構は前記触針の前記材料表面に対する荷重を調整するとともに、非測定時には前記触針を前記材料表面から離間させることができるようになされている、請求項7乃至10のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記光反射部材がシリンドリカルミラーである、請求項1乃至12のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記キャリッジが、内孔を有し外径が1mm以下の細管であり、前記スタイラスが、該スタイラスの少なくとも一部が前記内孔の中に位置し前記触針が該細管の前端面から突き出た位置となるように配置されている、請求項1乃至13のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記キャリッジに取り付けられ、前記内周面の表面粗さの測定中に前記孔の外にまで延在するのに十分な長さを有する細長い剛性部材をさらに備え、該細長い剛性部材を押し引きすることによって、前記孔内に設定された前記キャリッジを前後方向に駆動するようになされている、請求項4乃至6に記載の表面粗さ測定装置。前記キャリッジは超音波振動素子をさらに有しており、該超音波振動素子の超音波振動によって前記キャリッジを前記内周面に沿って前後方向に駆動するようになされている、請求項4乃至6のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。前記キャリッジは磁石をさらに有しており、前記孔の外側から印加される磁界によって前記キャリッジを前記内周面に沿って前後方向に駆動するようになされている、請求項4乃至6のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。そこで、本発明は、細管内部などの狭い部分の奥深くにまでスタイラスを挿入することができるように小型化が可能な測定部を備えた表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。また、細管内での表面粗さの測定を安定して行うことができる構成を有する表面粗さ測定装置を提供することも一つの目的とする。すなわち本発明は、材料表面の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置であって、前記材料表面に接触する触針を有するスタイラスと、前記触針が前記材料表面上を接触しながら移動して該触針が前記材料表面の表面粗さの凹凸に従って上下動するように、前記スタイラスを前記材料表面に対して並行に走査するキャリッジと、前記スタイラスに設けられ、前記触針の前記上下動に応じて上下動する光反射部材であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材と、第1端面を有する第1端部、及び前記第1端面とは反対側の第2端面を有する第2端部を有し、前記第1端面が前記光反射部材の前記反射面に面するように前記第1端部が前記キャリッジに固定された細長い導光部材であって、前記第2端面から入射された光を前記第1端面まで導き該第1端面から出射して前記反射面に照射し、前記反射面で反射して前記第1端面に入射する反射光を前記第2端面まで導く導光部材と、を備える表面粗さ測定装置を提供する。この装置は、測定表面の凹凸に伴うスタイラスの上下動を光反射部材で反射した光の光量の変化によって検出するものであり、反射光はキャリッジに取り付けられた細長い導光部材により、所要の検出装置まで送ることがでるようにしてある。従って、測定表面上を移動するスタイラス及び該スタイラスを支持するキャリッジからなる測定部は、前述の従来装置の測定部に較べて大幅に小型化することができ、当該測定部を上述のような細管などの狭い場所の奥にまで送って表面粗さの測定を行うことできる。また、光反射部材の反射面がスタイラスの上下動方向で湾曲した曲面であるので、スタイラスの僅かな上下動でも反射方向が大きく変化して受光される反射光の光量が大きく変わるので、測定感度を向上させることもできる。また、前記キャリッジは、前記材料表面上を摺動するようにされているようにすることができる。スタイラスを支持するキャリッジを材料表面上で摺動することで、測定表面の大きなうねりや測定装置又は測定材料の振動などに対してスタイラスとキャリッジが共に移動するので、そのような変動をスタイラスの上下動から相殺することができるようになる。つまり、外乱の影響を小さくしてより正確な表面粗さの測定ができるようになる。また、前記キャリッジの前後方向に間隔をあけて設けられ、前記材料表面に接触して当該キャリッジの該材料表面に対する姿勢を規定する複数のスキッドを有する姿勢保持装置を備えるようにすることができる。複数のスキッドが材料表面に接触するようにすることで、キャリッジを直接材料表面に接触させる場合に比べてさらにキャリッジの測定表面に対する安定性を向上させることができる。具体的には、前記スタイラスは、前記キャリッジに枢着されて該キャリッジから当該表面粗さ測定装置の前方に向かって延びる細長い支持部材を有し、前記触針が該支持部材の前端部分に設けられているようにすることができる。さらに、前記測定表面が孔の内周面であり、当該表面粗さ測定装置は、前記キャリッジ及び前記スタイラスを前記孔の中に設定して該孔の軸線方向に動かすことによって、該軸線方向での該孔の内周面の表面粗さを測定する装置とされ、前記姿勢保持装置が、前記キャリッジの周囲に設けられた弾性保持部材であって、前記内周面と弾性係合しながら前記キャリッジの軸線方向での移動に伴って前記内周面上を摺動して、前記複数のスキッドとともに前記内周面に対する当該キャリッジの姿勢を保持する弾性保持部材をさらに有するようにすることができる。具体的には、前記弾性保持部材がバネ部材であり、該バネ部材は、前記キャリッジと前記内周面との間で付勢され、それによって前記複数のスキッドが前記内周面に押し付けられるように、前記キャリッジに配置されているようにすることができる。当該装置は細管などの孔の内周面の表面粗さを測定することができ、その場合に孔の内周面と弾性係合する弾性保持部材を備えることで、孔の大きさのある程度の変化に影響されること無く当該装置の姿勢を内周面内で安定的に保持することが可能となる。また、内周面内で保持されるので、スキッドを内周面の側面や上面に接触させた状態で、内周面の側面や上面の表面粗さを測定することもできるようになる。好ましくは、前記導光部材は、前記内周面の測定中に前記第2端面が前記孔の外に位置するのに十分な長さを有する光ファイバーであり、前記光ファイバーの前記第2端面に入射する光の光源と、前記光反射部で反射して戻ってきて前記第2端面から出射される反射光の光強度を検出する受光素子と、を有する制御部をさらに備えており、該制御部は前記キャリッジから離れて前記孔の外側に配置されるようにすることができる。導光部材として光ファイバーを用いることで、その長さを容易に長くすることができる。また、光ファイバーは柔軟性を有するので、測定部の位置を制御部に近い位置から遠い位置にまで比較的に自由に変えることができるようになる。それによって、比較的に小さく構成することが可能な測定部だけを孔内に挿入することが可能となり、孔の奥深くの内周面の表面粗さの測定を行うことができるようになる。前記スタイラスは、前記キャリッジに枢着されて該キャリッジから当該表面粗さ測定装置の前方に向かって延びる細長い支持部材を有し、前記触針が該支持部材の前端部分に設けられているようにすることができる。より具体的には、前記スタイラスの前記支持部材と前記キャリッジのどちらか一方がV字状の溝を有し、他方が尖端縁をもつ突起部を有しており、前記スタイラスの前記枢着が、前記尖端縁と前記V字状の溝とが枢動可能に係合することによりなされるようにすることができる。このような構成とすることで、スタイラスの触針の測定表面に対する追従性を向上させることができる。また、前記スタイラスの前記支持部材は前記キャリッジに弾性部材を介して保持されており、前記スタイラスの前記枢着が前記弾性部材の弾性変形によりなされるようにすることができる。さらにまた、前記スタイラスは第1端部と第2端部を有する細長い支持部材を有し、該支持部材は前記第1及び第2端部において前記キャリッジに弾性部材を介して保持されており、該弾性部材が弾性変形することで前記触針が前記上下方向に略直線状に動くようになされるようにすることができる。スタイラスが第1端部と第2端部の2箇所で保持されることで、振動等の外乱に対する安定性が増すとともに、触針の円弧状の動きを抑制できるため、より正確な測定が可能となる。さらにまた、前記複数のスキッドが前記触針を間に挟んで前記キャリッジの前後方向に間隔をあけて配置されているようにすることができる。スキッドのこのような配置によりキャリッジの安定性が向上するので、測定の安定性をさらに向上させることが可能となる。好ましくは、前記スタイラスは前記支持部材に配置された荷重調整機構を備えており、該荷重調整機構は前記触針の前記材料表面に対する荷重を調整するとともに、非測定時には前記触針を前記材料表面から離間させることができるようにすることができる。触針の荷重を調整できるようにすることで、材料表面の損傷を最小限にとどめることができるようになる。また、非測定時には触針を材料表面に接触させないようにすることで、触針の損傷を抑えることもできるようになる。具体的には、前記光反射部材がシリンドリカルミラーであるようにすることができる。さらに具体的には、前記キャリッジが、内孔を有し外径が1mm以下の細管であり、前記スタイラスが、該スタイラスの少なくとも一部が前記内孔の中に位置し前記触針が該細管の前端面から突き出た位置となるように配置されているようにすることができる。このような構成によりスタイラス及びキャリッジを含む測定部をより小さくすることができるので、より小さな孔の内周面の表面粗さ測定が可能となる。またさらに、前記キャリッジに取り付けられ、前記内周面の表面粗さの測定中に前記孔の外にまで延在するのに十分な長さを有する細長い剛性部材をさらに備え、該細長い剛性部材を押し引きすることによって、前記孔内に設定された前記キャリッジを前後方向に駆動するようにすることができる。また、前記キャリッジは超音波振動素子をさらに有しており、該超音波振動素子の超音波振動によって前記キャリッジを前記内周面に沿って前後方向に駆動するようにすることもできる。さらに、前記キャリッジは磁石をさらに有しており、前記孔の外側から印加される磁界によって前記キャリッジを前記内周面に沿って前後方向に駆動するようにすることもできる。キャリッジを孔の外側から前後方向に駆動するこれらの機構を備えていることで、キャリッジの駆動が容易になると共に、キャリッジの移動距離をより正確に制御することも可能となる。本願発明の第1の実施形態に係る表面粗さ測定装置10は、図1に示すように測定部100と制御部200とに分れている。測定部100は全体的に円筒状とされたキャリッジ110と、該キャリッジに支持されたスタイラス120とを有する。キャリッジ110の内周面底部には、尖端縁114を有する突起部112が設けられている。スタイラス120は、この突起部112に係合支持されるV字状の溝114を有し、キャリッジの長手軸線方向で延びる細長い支持部材122と、この支持部材122の前端部分126に設けられた触針128とを備えている。スタイラス120のV字状の溝114は、キャリッジ110の突起部112の尖端縁114よりも大きな開き角を有しており、尖端縁114と溝の頂部とが係合することにより、スタイラス120がキャリッジ110に対して枢動可能とされ、触針128が測定表面90の凹凸に応じて上下動できるようにされている。なお、スタイラスの枢動可能な支持は、キャリッジ側に設けたV字状の溝にスタイラス側に設けた突起部を係合するなど、他の態様でなされるようにしてもよい。スタイラス120には光反射部材130としてのシリンドリカルミラー130が設けられており、このシリンドリカルミラー130は触針128の上下動に応じて上下動するように、触針128の近くに配置されている。また、当該表面粗さ測定装置10は、導光部材140としての光ファイバー140を備えており、この光ファイバー140はその第1端部144がキャリッジ110に固定されており、その端面である第1端面142がシリンドリカルミラー130の反射面132に面するようにされている。第1端面142の反対側にある第2端面146を有する当該光ファイバー140の第2端部148は後に詳しく説明する制御部200まで伸長している。キャリッジ110は、その外周面下部に、キャリッジ110の前後方向で間隔を空けた位置に複数のスキッド150を備えており、これらのスキッド150が測定表面90に接触してキャリッジ110を支持するようになっている。本実施形態では、キャリッジの前端及び後端付近にそれぞれ、周方向で間隔をあけて設けられた一対のスキッドが設けられている図8参照。スキッド150の測定表面90との接触面は、測定する表面粗さの凹凸に比べて十分に大きな曲率をもっており、これによってスキッド150を測定表面90上で摺動させたときに、キャリッジ110が細かい表面粗さの凹凸の影響を受けることなく測定面のうねりや曲がりに対しては追従するように測定表面90に対して並行に移動するようになる。スタイラス120全体もキャリッジ110と一緒に移動するので、測定表面90に接触している触針128が測定表面90上を走査して、主として測定表面90の表面粗さの凹凸にのみ追従してキャリッジ110に対する上下動をするようになる。このとき、スタイラス120に設けられたシリンドリカルミラー130も上下動する。なお、スキッド150の配置及び数は、測定対象となる表面の形状に合わせて適宜変更されるものである。表面粗さ測定装置10の制御部200には、第1、第2及び第3ポート211、212、213を有する光サーキュレータ210が備えられている。この光サーキュレータ210は、第1ポート211から第2ポート212に進む光、第2ポート212から第3ポート213に進む光、及び第3ポート213から第1ポート211に進む光は低損失で伝送され、それ以外の方向に進む光は高損失で伝送されるようになっている。つまり、上述の方向には光が伝送されるが、それ以外の方向にはほとんど伝送されないようになっている。光ファイバー140の第2端面146は、光サーキュレータ210の第2ポート212に接続されている。第1ポート211には光源としてのレーザーダイオード220が接続されており、レーザーダイオードドライバ230で制御されたレーザーダイオード220からのレーザー光は、光サーキュレータ210を介して光ファイバー140の第2端面146から光ファイバー140内に入射し、第1端面142から出射する。光ファイバー140の第1端面142は、図3に示すように、出射される光がシリンドリカルミラー130の反射面132に集光するようなレンズ面となっている。レンズ面を形成するために、第1端面142をレンズ形状に加工してもよいし、別のマイクロレンズを第1端面142に固定するようにしてもよい。本発明の触針128の上下動の検出原理について図3-5を参照して説明する。図3は、光ファイバー140の第1端面142の正面にシリンドリカルミラー130の円弧状の反射面132の頂部が位置している状態である。このとき、反射面132上に集光している照射光134が当る位置の反射面132は第1端部144に対してほぼ平行であるので、反射面132で反射した反射光136のほとんどが光ファイバー140の第1端面142に再び戻り、光ファイバー140内に導かれる。次に触針128が表面粗さの凹凸に従って下がると、それに伴ってシリンドリカルミラー130の反射面132も下がり、図4の状態となる。このときには、シリンドリカルミラー130の頂部は光ファイバー140の第1端面142の正面からわずかにずれているため、照射光134が集光する位置の反射面132は光ファイバー140の第1端面142に対してある傾きをもつ。そのために、照射光134は全体に図で見て上側の領域に向かって反射することになる。そうなると、反射光136の一部が第1端面142から外れたところに進むことになるため、第1端面142に戻ってくる光量が図3の状態に比べて少なくなる。さらに触針128及びシリンドリカルミラー130が下がって図5のような状態となると、反射光136はさらに上側に向かって反射することになり、光ファイバー140の第1端面142に入射される反射光136の光量はさらに少なくなる。このように、触針128の上下動に伴ってシリンドリカルミラー130が光ファイバー140に対して上下動することで、光ファイバー140の第1端面142からの照射光134が照射される位置の反射面132の傾斜角度が変化し、照射光134が反射される方向が変化する。そうすると、光ファイバー140の第1端面142に再び戻って光ファイバー140内に入射する光量が変化することになる。このように反射面132が上下動の方向で曲がっているような曲面であるため、僅かな上下動に対して大きな光量変化をおこすことができるため、高感度な測定が実現できる。なお、本実施形態では、円弧状の曲面をもつシリンドリカルミラー130を用いているが、放物線などの円弧以外の曲面の反射面132を持つミラーでもよいし、さらには凹面のミラーとしてもよい。第1端面142から入射した反射光136は、光ファイバー140内を通って第2端面146にまで到達し光サーキュレータ210の第2ポート212から第3ポート213へと導かれる。光サーキュレータ210の第3ポート213には、光量を測定するため受光素子240としてフォトダイオード240が接続されている。このフォトダイオード240によって測定された光量をもとに触針128の上下動の大きさを求めるようになっている。フォトダイオード240は、照射された光量に応じた電流を出力する。この電流を電流電圧変換器250で電圧出力に変換し、さらにA/D変換器260でデジタル値に変換する。デジタル値に変換された信号は、コンピュータ270に入力され、コンピュータ270内で所定の演算を行って触針128の上下動の大きさを求めるとともに、表面粗さを求めるようになっている。本実施形態では、光源としてレーザーダイオード220を用いているが、LED等の他の光源を用いてもよし、また他の光受光素子を用いてもよい。上述のように構成された本実施形態に係る表面粗さ測定装置10で、4μmの凹凸が周期的に形成された測定試験片の表面粗さを測定したときの測定結果を図6に示す。4μmの凹凸に対して約0.23Vの出力変化が得られた。本実施形態の表面粗さ測定装置10の測定実験においては、温度変化や空気の揺らぎなどの環境ノイズ、振動などの機械ノイズ、及び回路などからの電気ノイズ等の影響により最終的に測定データに表れたノイズはおよそ5mVであったので、測定精度は約87nmということになる。この測定精度は、各種ノイズ対策によりノイズを小さくすることによっても向上するが、シリンドリカルミラー130の曲率を小さくするなどの、構造上の改良によっても向上する。本発明に係る表面粗さ測定装置10は上述のように測定部100と制御部200とが分れており、その間を可撓性のある光ファイバー140で繋いでいるので、当該光ファイバー140を例えばコイル状にし、必要に応じて延出することができるようにすることにより、測定部100を制御部200に近い位置から、例えば数m以上離れた位置まで変位させることが可能となる。このように光源や制御回路などを含み比較的に大きくなってしまう制御部200から測定部100を離すことで、比較的に小さい測定部100のみを狭い空間に挿入することが可能となるので、細管などの狭い領域の表面粗さ測定が可能となる。例えば本実施形態では、直径1mmの細長い孔92の内周面の表面粗さを測定することができるように、キャリッジ110を直径1mm以下の細管マイクロキャピラリ-により形成している。しかし、このように小さくなると、測定部100の重量は非常に軽くなり、測定表面90に対して自重だけで安定的に姿勢を保つことが難しくなるので、このような姿勢の不安定さを軽減するための機構が必要となる。図7及び図8に示す第2の実施形態に係る表面粗さ測定装置20は、特に細長い孔92の中での測定を安定化させるために、キャリッジ110の上部に弾性保持部材160を設けている。この弾性保持部材160は測定対象となる孔92の上面と摺動係合し、キャリッジ110と孔92の上面との間で圧縮されるように設定されており、それによってキャリッジ110の下部に取り付けられているスキッド150を孔92の内周面94に押しつけるように作用する。弾性保持部材160及びスキッド150からなる姿勢保持装置によって、キャリッジ110は孔92内で図8に示すように少なくとも3方向から支持されるようになるので、その姿勢が安定する。具体的には。弾性保持部材160は、孔92の大きさの変化を吸収し且つ付勢力を発生するための弾性部材162と、孔92の内周面94に接触しキャリッジ110の移動時に内周面94に対して摺動する摺動部材164とからなっている。弾性部材162は例えばバネ部材162から構成することができ、摺動部材164はポリテトラフルオロエチレンなどのような低摩擦性の材料から構成することができる。図7及び図8に示す第2の実施形態では、測定部100を丸い孔92の内周面94の軸方向に動かして、同内周面の下面の軸線方向での表面粗さを測定するようになっているが、測定部100を所定角度だけ回転させて内周面94の側面や上面の軸方向での表面粗さを測定したり、また、測定部100を一回転させて内周面の周方向での表面粗さを測定したりすることも可能である。スタイラス120の支持部材122には荷重調整機構図示せずが備えられており、触針128の材料表面に対する荷重を調整できるようになっている。これにより、例えば材料表面に触針128による傷を残したくないような測定対象の場合などには荷重を小さく設定したり、測定部を回転させて孔の上面を測定するときなどには上面に対する触針の接触圧を適正に制御したりするなど、測定対象や測定状態に合わせて荷重を選択できるようになる。また、この荷重調整機構は触針128を材料表面から離間させて非接触状態とすることもできるようになっており、例えば細長い孔92の奥深くの表面を測定したい場合などに測定位置まで測定部100を移動させる間は触針を材料表面から離間させるようにして、不必要な触針128の損傷や材料表面の損傷を防ぐことができるようになる。荷重調整機構は種々の構成により実現でき、例えばコイルばねやボイスコイルで実現することができる。細長い孔92内で表面粗さを測定する場合には、孔92の外部からキャリッジ110を含む測定部100を前後方向で駆動する必要がある。前後方向での駆動は、測定部100から制御部200まで延びる光ファイバー140を押し引きすることによって行なうことができる。しかし、光ファイバー140は必ずしも高い剛性を有するわけではないので別の機構を設けることが望ましい。一つの例として、金属ワイヤーなどの細長い剛性部材をキャリッジ110に取り付けて孔92の外側まで延在するようにし、この外側に延在している部分を押し引きすることで測定部100を前後方向で駆動するようにすることができる。前後方向での駆動機構の別の例として、キャリッジ110又はスキッド150に超音波振動素子を設けて、超音波モータの場合のように、スキッド150の測定表面90との接触点に微視的な楕円運動を発生させてスキッド150と測定表面90との間の摩擦力により測定部100を駆動することもできる。さらに別の例として、キャリッジ110に永久磁石を設置し、孔92の外周面の外側から磁界を印加して磁力で測定部100を駆動することもできる。図9に示す第3の実施形態に係る表面粗さ測定装置30は、キャリッジがそれぞれ半円柱状とされた下側キャリッジ310及び該下側キャリッジの上に取り付けられた上側キャリッジ311の2つの部材から構成されており、光ファイバー340がその間に把持されて固定されるようになっている。また、スタイラス320は、その支持部材322の基端が弾性部材326を介してキャリッジに保持されるようになっている。本実施形態では、弾性部材326として板バネを用いているが、スタイラスをキャリッジに対して枢動可能に保持できるものであればそれ以外の構成でもよい。図10に示す第4の実施形態に係る表面粗さ測定装置40は、上述の第3の実施形態に対して、上側キャリッジ411がスタイラス420の前端よりもさらに前方に延在しており、スキッド450がスタイラス420を間に挟んだ前後の位置に配置されるようになっている点で異なる。ただし、スタイラス420を弾性部材426により保持する代わりに第1及び第2の実施形態のような尖端縁とV字状の溝とにより保持するようにしてももちろん良い。図11に示す第5の実施形態に係る表面粗さ測定装置50は、スタイラス520が、その支持部材522の第1端部523及び第2端部524において,弾性部材526を介して下側キャリッジ510に保持されて両持ち支持されるようになっている。触針528が支持部材522下側の前後方向のほぼ中央に配置されており、シリンドリカルミラー530は触針528のほぼ直上に配置されている。このような構成により、上述の実施形態のようにスタイラスが片持ち支持される場合に比べて、触針の円弧状の移動を抑えて触針を直線状に上下動させることができるようになる。以上、本発明の測定装置の実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、キャリッジは細管マイクロキャピラリ-に限定されるものではなく、スタイラスを上下動可能に支持し、且つ、導光部材を支持で来るものであれば、種々の形状とすることができる。また、スタイラスの保持は、実施形態に示した構造に限らず、例えばベアリングで回転可能に保持するなど、スタイラスの触針が上下動できるようにするものであればどのような機構のものでもよい。"