チップを真空吸着する吸着部と、該吸着部の外周縁から内側に離間した位置に開口して設けられ、気体を噴出させる気体噴出口と、を有し、前記気体噴出口から噴出された気体が、前記チップと前記吸着部との間を通って、前記吸着部の外側に向けて流れることを特徴とするコレット。前記吸着部では、前記気体を噴出させないときは前記気体噴出口を介して真空吸引が行われ、前記チップを前記吸着部において真空吸着することを特徴とする請求項1に記載のコレット。前記吸着部では、前記気体噴出口とは別に吸気口が開口して設けられ、前記吸気口を介して真空吸引が行われ、前記チップを前記吸着部において真空吸着することを特徴とする請求項1に記載のコレット。前記吸気口は、前記気体噴出口の周りを囲むように開口していることを特徴とする請求項3に記載のコレット。前記吸気口は、前記気体噴出口の周りに複数設けられていることを特徴とする請求項4に記載のコレット。前記吸着部は、該吸着部の外周縁に沿って延在する突条部を備えていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載のコレット。請求項1乃至6の何れか一項に記載のコレットを備えたピックアップ装置であって、前記吸着部に吸気経路を介して吸気装置と、前記気体噴出口に気体供給経路を介して連通する気体供給装置と、を有することを特徴とするピックアップ装置。前記吸気経路と前記気体供給経路とは、一部が共通経路になっていることを特徴とする請求項7に記載のピックアップ装置。請求項7または8に記載のピックアップ装置を用いたチップのピックアップ方法であって、大型の基板を切断して前記チップを形成した後、前記チップを前記コレットによって吸着する際、前記気体噴出口から気体を噴出する第1ステップと、当該チップを前記吸着部で吸着する第2ステップとを行うことを特徴とするチップのピックアップ方法。請求項9に記載のピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法であって、前記チップは、電気光学物質層を保持する電気光学装置用ガラス基板であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。請求項9に記載のピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法であって、前記チップは、電気光学物質層を保持する一対の電気光学装置用ガラス基板を備えたパネルであることを特徴とする電気光学装置の製造方法。大型基板や大型パネルを切断して得たチップには切り屑が付着していることがあり、このようなチップをコレットで吸着する際にチップと吸着部との間に切り屑が挟まると、チップと吸着部との間に隙間が発生する。その結果、チップと吸着部との間に十分な負圧を発生させることができず、チップを吸着することができないという問題が発生する。かかる問題は、例えば、特許文献1、2に記載のピックアップ装置において圧縮気体を噴出しても、圧縮空気が供給されるのは、チップに対してコレットとは反対側であるので、解消することは困難である。以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、チップに切り屑が付着している場合でもチップを確実に吸着することができるコレット、該コレットを備えたピックアップ装置、該ピックアップ装置によるチップのピックアップ方法、および該ピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明に係るコレットは、チップを真空吸着する吸着部と、該吸着部の外周縁から内側に離間した位置に開口して設けられ、気体を噴出させる気体噴出口と、を有し、前記気体噴出口から噴出された気体が、前記チップと前記吸着部との間を通って、前記吸着部の外側に向けて流れることを特徴とする。本発明を適用したコレットでは、チップを真空吸着する吸着部の外周縁から内側に離間した位置で気体噴出口が開口しているため、気体噴出口から気体を噴出した後、チップを吸着部で吸着することができる。このため、チップに切り屑が付着している場合でも、気体の噴出によって切り屑をチップから除去した後、チップを吸着部で吸着することができる。また、気体噴出口は、吸着部の外周縁から内側に離間した位置で開口しているため、気体噴出口から噴出された圧縮気体は、吸着部の内側から外側に向かって流れる。このため、切り屑は外側に向けて排除されるので、切り屑がチップに再付着することがない。従って、チップに切り屑が付着していた場合でもチップを確実に吸着することができる。また、切り屑は外側に向けて排除されるので、切り屑によってチップが傷つくことを防止することもできる。本発明において、前記吸着部では、前記気体を噴出させないときは前記気体噴出口を介して真空吸引が行われ、前記チップを前記吸着部において真空吸着することが好ましい。かかる構成によれば、気体噴出口と吸気口とが共通であるので、コレットの構成が簡素である。また、コレットに接続する吸気経路や圧縮気体供給経路についても一部を共通経路とすることができる等、ピックアップ装置の構成を簡素化することもできる。本発明において、前記吸着部では、前記気体噴出口とは別に吸気口が開口して設けられ、前記吸気口を介して真空吸引が行われ、前記チップを前記吸着部において真空吸着する構成を採用してもよい。この場合、前記吸気口は、前記気体噴出口の周りを囲むように開口していることが好ましい。例えば、前記吸気口は、前記気体噴出口の周りに複数設けられていることが好ましい。かかる構成によれば、気体噴出口が吸着部の中央や中央付近に位置する場合でも、吸気口は、吸着部の全体にわたって負圧を適正に発生させることができる。本発明において、前記吸着部は、該吸着部の外周縁に沿って延在する突条部を備えていることが好ましい。かかる構成によれば、吸着部とチップとの隙間が狭いので、噴出した気体の流速が高い。それ故、チップにおいて突条部が接する部分から切り屑を確実に除去することができる。また、吸着部がチップに接するのが突条部に限定されるので、チップに切り屑が残っていても、吸着部とチップとの間に切り屑が挟まって隙間が発生するという事態が発生しにくい。本発明に係るコレットを備えたピックアップ装置は、前記吸着部に吸気経路を介して吸気装置と、前記気体噴出口に気体供給経路を介して連通する気体供給装置と、を有することを特徴とする。本発明において、前記吸気経路と前記気体供給経路とは、一部が共通経路になっていることが好ましい。かかる構成によれば、ピックアップ装置の構成を簡素化することができる。本発明に係るピックアップ装置を用いたチップのピックアップ方法では、大型の基板を切断して前記チップを形成した後、前記チップを前記コレットによって吸着する際、前記気体噴出口から気体を噴出する第1ステップと、当該チップを前記吸着部で吸着する第2ステップとを行うことを特徴とする。かかるピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法では、前記チップは、電気光学物質層を保持する電気光学装置用ガラス基板である構成を採用することができる。また、本発明に係るピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法では、前記チップは、電気光学物質層を保持する一対の電気光学装置用ガラス基板を備えたパネルである構成を採用してもよい。図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明では、各種の電気光学装置のうち、液晶装置の製造方法に本発明を適用した場合を中心に説明する。また、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。[電気光学装置の全体構成]図1は、本発明を適用した液晶装置電気光学装置に用いた液晶パネルの説明図であり、図1a、bは各々、液晶パネルを各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのH-H′断面図である。図1a、bに示すように、液晶装置1は、素子基板10と対向基板20とが所定の隙間を介してシール材107によって貼り合わされた液晶パネル3を有している。素子基板10および対向基板20はいずれも、ガラス基板や、石英基板石英ガラス基板からなる。液晶パネル3において、シール材107は対向基板20の外縁に沿うように枠状に設けられており、素子基板10と対向基板20との間においてシール材107により囲まれた領域内に液晶層30が保持されている。シール材107は、光硬化樹脂や熱硬化性樹脂等からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバーあるいはガラスビーズ等のギャップ材が配合されている。本形態において、素子基板10および対向基板20はいずれも四角形であり、素子基板10は、X方向に延在するとともにY方向で互いに対向する2つの端部10a、10bと、Y方向に延在するとともにX方向で互いに対向する2つの端部10c、10dとを備えている。また、対向基板20は、X方向に延在するとともにY方向で互いに対向する2つの端部20a、20bと、Y方向に延在するとともにX方向で互いに対向する2つの端部20c、20dとを備えている。液晶パネル3の略中央には、画素領域1a画像表示領域が四角形の領域として設けられている。かかる形状に対応して、シール材107も略四角形に設けられ、シール材107の内周縁と画素領域1aの外周縁との間には、略四角形の周辺領域1bが額縁状に設けられている。素子基板10の一方側の基板面において、画素領域1aには、スイッチング素子図示せずや画素電極9aがマトリクス状に形成されており、かかる画素電極9aの上層側には配向膜16が形成されている。また、素子基板10の一方面側において、周辺領域1bには、画素電極9aと同時形成されたダミー画素電極9bが形成されている。素子基板10は、対向基板20の端部20aから一方側Y方向に張り出した張出領域105を備えており、かかる張出領域105には、素子基板10の一方側の端部10aに沿って複数の端子102が形成されている。ここで、張出領域105は、X方向に延在する端部が長辺であり、Y方向に延在する端部が短辺である。張出領域105では、端子102が配列されている領域に対して端部10aが位置する側とは反対側にデータ線駆動回路101が形成されている。また、素子基板10には、一方側Y方向に対して交差する方向X方向で対向する端部10c、10dに沿って走査線駆動回路104が形成されている。なお、端子102には、フレキシブル配線基板図示せずが接続されており、素子基板10には、フレキシブル配線基板を介して各種電位や各種信号が入力される。対向基板20において素子基板10と対向する一方面側には共通電極21が形成されており、共通電極21の上層には配向膜26が形成されている。共通電極21は、対向基板20の略全面あるいは複数の帯状電極として複数の画素に跨って形成されている。本形態において、共通電極21は、対向基板20の略全面に形成されている。また、対向基板20において素子基板10と対向する一方面側には、共通電極21の下層側に遮光層108が形成されている。本形態において、遮光層108は、画素領域1aの外周縁に沿って延在する額縁状に形成されており、見切りとして機能する。ここで、遮光層108の外周縁は、シール材107の内周縁との間に隙間を隔てた位置にあり、遮光層108とシール材107とは重なっていない。なお、対向基板20において、遮光層108は、隣り合う画素電極9aにより挟まれた領域と重なる部分等にも形成されることがある。このように構成した液晶パネル3において、素子基板10には、シール材107より外側において対向基板20の角部分と重なる位置に、素子基板10と対向基板20との間で電気的導通をとるための基板間導通用電極109が形成されている。かかる基板間導通用電極109には、導電粒子を含んだ基板間導通材109aが配置されており、対向基板20の共通電極21は、基板間導通材109aおよび基板間導通用電極109を介して、素子基板10側に電気的に接続されている。かかる構成の液晶装置1において、画素電極9aおよび共通電極21をITO膜等の透光性導電膜により形成すると、透過型の液晶装置を構成することができる。これに対して、共通電極21をITO膜等の透光性導電膜により形成し、画素電極9aをアルミニウム膜等の反射性電極として構成すると、反射型の液晶装置を構成することができる。液晶装置1は、モバイルコンピューター、携帯電話機等といった電子機器のカラー表示装置として用いることができ、この場合、対向基板20には、カラーフィルター図示せずや保護膜が形成される。また、液晶装置1では、使用する液晶層30の種類や、ノーマリホワイトモード/ノーマリブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板等が液晶パネル3に対して所定の向きに配置される。さらに、液晶装置1は、投射型表示装置液晶プロジェクターにおいて、RGB用のライトバルブとして用いることができる。この場合、RGB用の各液晶装置1の各々には、RGB色分解用のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が投射光として各々入射されることになるので、カラーフィルターは形成されない。液晶装置1の製造方法の概要図2は、本発明を適用した液晶装置1の製造工程を示す説明図である。図1および図2において、本形態の液晶装置1を製造するには、素子基板10に対してスイッチング素子や画素電極9a等の形成工程S1を行った後、斜方蒸着法、印刷法、スピンコート法等により配向膜16を形成する配向膜形成工程S2を行う。配向膜16がポリイミド膜からなる場合には、配向膜形成工程S2の後、配向膜16に対するラビング工程S3を行う。次に、シール材107を塗布するシール印刷工程S4を行う。かかるシール材107の塗布は、ノズルからシール材を突出しながら、ノズルと素子基板10とを相対移動させて、シール材107を矩形枠状に描画する。次に、プリベーク工程ST5において、シール材107にプリベークを行った後、液晶滴下工程ST6では、シール材107で囲まれた領域内に液晶材料を滴下する。一方、対向基板20に対しては、共通電極21等の形成工程S11を行った後、斜方蒸着法、印刷法、スピンコート法等により配向膜26を形成する配向膜形成工程S12を行う。配向膜26がポリイミド膜からなる場合には、配向膜形成工程S12の後、配向膜26に対するラビング工程S13を行う。次に、基板間導通材塗布工程ST14において基板間導通材109aを塗布する。次に、シール材107によって素子基板10と対向基板20とを真空雰囲気中で貼り合わせる貼り合わせ工程S20を行う。貼り合わせ工程S20では、まず、重ね合わせ工程S21において、シール材107を間に挟んで素子基板10と対向基板20とを重ね合わせ、その後に、シール硬化工程S22においてシール材107を硬化させ、パネルを構成する。かかるシール硬化工程S22では、例えば、対向基板20側からUV光等を照射した後、加熱し、シール材107を硬化させる。その結果、基板間導通材109aも硬化する。切断工程S23の概要図3は、本発明を適用した液晶装置1の製造工程において用いる大型基板の説明図であり、図3a、bは、大型基板同士を貼り合わせて大型パネルパネルを構成した様子を示す説明図、および大型パネルを単品サイズに切断するときの切断予定線を示す説明図である。図4は、本発明を適用した液晶装置1の製造工程において大型パネルを切断した様子を示す説明図であり、図4a、bは、ダイシングテープを引き伸ばす前の様子を示す説明図、およびダイシングテープを引き伸ばした後の様子を示す説明図である。なお、図3bには、大型パネルを矢印Tで示すように反転させた様子を示してある。本形態では、上記のシール硬化工程S22までを素子基板10を多数取りできる大型基板第1大型基板100/図3参照、および対向基板20を多数取りできる大型基板第2大型基板200/図3参照の状態で行う。このため、本形態では、シール硬化工程S22の後、大型パネル300図3参照の状態で第1大型基板100および第2大型基板200を単品サイズに切断する切断工程S23を行う。本形態の液晶装置1の製造方法においては、図3aに示す大型パネル300を形成した後、図3bに示す切断予定線301~303に沿って第2大型基板200を切断するとともに、切断予定線304、305に沿って第1大型基板100を切断して単品サイズの液晶パネル3を得る。第1大型基板100および第2大型基板200としては各種形状のものを用いることができるが、図3には、第1大型基板100および第2大型基板200として四角形の大型基板を用いた形態が表されている。第2大型基板200に対する切断予定線301~303のうち、切断予定線301は、対向基板20において素子基板10の張出領域105が位置する一方側の端部20aに沿ってX方向に延在する切断予定線であり、切断予定線303は、対向基板20においてX方向で対向する端部20c、20dに沿ってY方向に延在する切断予定線である。切断予定線302は、素子基板10において張出領域105が位置する一方側の端部10aに重なる部分に沿ってX方向に延在する切断予定線であり、かかる切断予定線302は、素子基板10の他方側の端部10bに沿ってX方向に延在する切断予定線でもある。これらの切断予定線301~303に沿って第2大型基板200を切断すれば、対向基板20を切り出す領域の周りを切断することができるとともに、第2大型基板200において、素子基板10の張出領域105と重なる除材部分205の周りを切断することができる。また、第1大型基板100に対する切断予定線304、305のうち、切断予定線304は、素子基板10において張出領域105が位置する一方側の端部10aに沿ってX方向に延在する切断予定線であり、かかる切断予定線304は、素子基板10の他方側の端部10bに沿ってX方向に延在する切断予定線でもある。また、切断予定線305は、素子基板10においてX方向で対向する端部10c、10dに沿ってY方向に延在する切断予定線である。本形態において、第2大型基板200に対する切断予定線302と第1大型基板100に対する切断予定線304とは平面視で重なっており、第2大型基板200に対する切断予定線303と第1大型基板100に対する切断予定線305とは平面視で重なっている。図4aに示すように、切断工程を行う際、大型パネル300の一方面にはダイシングテープ80が貼られており、大型パネル300を単品サイズの液晶パネル3に切断した後も複数の液晶パネル3はいずれもダイシングテープ80に保持されている。ダイシングテープ80ではフィルムの一方面に粘着剤層が設けられており、フィルムは伸縮性を有している。このため、大型パネル300を単品サイズの液晶パネル3に切断した後、図4bに示すように、ダイシングテープ80を外側に向けて引っ張って複数の液晶パネル3の各間に隙間を発生させる。また、粘着剤層については、紫外線照射等によって接着性を低下させる。従って、複数の液晶パネル3の各々については、図5等を参照して以下に説明するピックアップ装置によって、1個ずつ、ダイシングテープ80から引き剥がされた後、次に工程に移送される。ピックアップ装置の説明図図5は、本発明の実施の形態1に係るピックアップ装置500の説明図であり、図5a、bは、ピックアップ装置500の全体構成を示す説明図、およびコレット50の底面図である。図5に示すピックアップ装置500は、切断後の液晶パネル3が保持されたダイシングテープ80を載置するテーブル70と、テーブル70をX方向、Y方向およびZ方向に駆動するテーブル駆動装置図示せずと、テーブル70に対向するヘッド510と、ヘッド510をX方向、Y方向およびZ方向に駆動するヘッド駆動装置図示せずとを有している。ヘッド510は、液晶パネル3チップを真空吸着するコレット50と、コレット50の背面側に連結されたジョイント57と、ジョイント57を介してコレット50に接続された配管58とを備えている。また、配管58には、矢印Aで示すように、吸気経路66が接続されており、吸気経路66には真空ポンプ等の吸気装置61が接続されている。このため、吸気装置61は、吸気経路66、配管58およびジョイント57を介してコレット50に接続されている。コレット50は、液晶パネル3との間の空間を負圧にして液晶パネル3を真空吸着する吸着部55を有している。このように構成したコレット50において、吸着部55の外周縁から内側に離間した位置に圧縮気体噴出口51気体噴出口が開口しており、本形態において、圧縮気体噴出口51は、吸着部55の中央で開口している。圧縮気体噴出口51は、コレット50に設けられた通路52および配管58の内部に連通している。また、配管58には、矢印Bで示すように、圧縮気体供給経路67気体供給経路が接続されており、圧縮気体供給経路67には、乾燥空気や窒素ガス等の圧縮気体を供給する圧縮気体供給装置62気体供給装置が接続されている。このため、圧縮気体供給装置62は、圧縮気体供給経路67、配管58、ジョイント57、および通路52を介してコレット50の圧縮気体噴出口51に連通している。ここで、圧縮気体供給経路67および吸気経路66の下流側コレット50の側は共通経路68になっており、圧縮気体噴出口51は吸気口としても利用される。なお、共通経路68から圧縮気体供給装置62および吸気装置61に分岐する部分には3方コック等のバルブ69が設けられている。また、コレット50の吸着部55には、吸着部55の外周縁に沿って突条部56が設けられている。本形態において、コレット50は、吸着部55の底面が四角形である4サイイドコレットであり、突条部56は、コレット50の4つの辺に沿って形成されている。また、本形態において、突条部56は一定の厚さtをもってテーブル70に向けて突出している。ピックアップ動作図6は、本発明の実施の形態1に係るピックアップ装置500での液晶パネルチップのピックアップ方法を示す説明図である。図5を参照して説明したピックアップ装置500において、図6aに示す待機位置において、ヘッド510は停止している。この状態で、バルブ69は閉状態にあるとともに、吸気装置61および圧縮気体供給装置62は停止状態にある。この状態から、液晶パネル3を1個ずつピックアップするには、図6bに示す第1ステップにおいて、ヘッド510は、テーブル70に向けて下降し、突条部56の下端部561と液晶パネル3との隙間Gが0.1mm~1.0mmになった位置で停止する。そして、バルブ69は、圧縮気体供給経路67を開状態にするとともに、圧縮気体供給装置62は、乾燥空気や窒素ガス等の圧縮気体の供給を開始する。その結果、図6bに矢印Cで示すように、コレット50の圧縮気体噴出口51から圧縮気体が噴出される。ここで、圧縮気体噴出口51は、吸着部55の下面において、外周縁から内側に離間した中央で開口している。また、コレット50の下面吸着部55と液晶パネル3との間は、突条部56で囲まれており、突条部56の下端部561と液晶パネル3との間のみが開口している。このため、圧縮気体噴出口51から噴出された圧縮気体は、コレット50の下面吸着部55と液晶パネル3との間で外周側に向かって進行する。その際、突条部56の下端部561と液晶パネル3との間は、0.1mm~1.0mm程度の狭い隙間Gになっており、圧縮気体の流速は、突条部56の下端部561と液晶パネル3との間で増大する。従って、液晶パネル3に切断工程で発生した切り屑Kが付着していても、切り屑Kは圧縮気体によって液晶パネル3から除去される。このような第1ステップが終了すると、バルブ69は閉状態になるとともに、圧縮気体供給装置62は、乾燥空気や窒素ガス等の圧縮気体の供給を停止する。次に、図6cに示す第2ステップにおいて、ヘッド510は、テーブル70に向けてさらに下降し、突条部56の下端部561と液晶パネル3との隙間Gが略0mmになった位置当接された位置で停止する。そして、バルブ69は、吸気経路66を開状態にするとともに、吸気装置61は、吸気を開始する。その結果、コレット50の下面吸着部55と液晶パネル3との間の空間は、圧縮気体噴出口51からの吸気によって、コレット50の下面吸着部55と液晶パネル3との間が負圧状態となる。このため、突条部56の下端部561が液晶パネル3に密着した状態で、液晶パネル3は、コレット50の吸着部55で吸着される。その際、切断工程で発生した切り屑Kが液晶パネル3に付着していても、第1ステップで切り屑Kが液晶パネル3から除去されているため、コレット50の下面吸着部55と液晶パネル3との間で切り屑Kが挟まれ、突条部56の下端部561と液晶パネル3との間に隙間が発生するという事態が発生しない。それ故、コレット50は液晶パネル3を確実に吸着する。次に、ヘッド510は、図6aに示す位置まで上昇する際、液晶パネル3はダイシングテープ80から引き離され、ピックアップされる。しかる後に、ヘッド510は所定の位置で液晶パネル3を解放した後、再び、上記の動作を繰り返す。なお、上記実施の形態では、第1ステップをコレット50が停止した状態で行ったが、コレット50を移動させながら第1ステップを行い、その後、連続して第2ステップを行ってもよい。また、上記実施の形態では、コレット50と液晶パネル3とを接近させる際、コレット50の側ヘッド510を下降させたが、テーブル70を上昇させて、コレット50と液晶パネル3とを接近させてもよい。本形態の主な効果以上説明したように、本形態のコレット50およびピックアップ装置500では、コレット50の吸着部55では、外周縁から内側に離間した位置で圧縮気体噴出口51が開口している。このため、圧縮気体噴出口51から圧縮気体を噴出した後、液晶パネル3チップを吸着部55で吸着することができる。このため、液晶パネル3に切り屑Kが付着している場合でも、圧縮気体の噴出によって切り屑Kを液晶パネル3から除去した後、液晶パネル3を吸着部55で吸着することができる。また、圧縮気体噴出口51は、吸着部55の外周縁から内側に離間した位置で開口しているため、圧縮気体噴出口51から噴出された圧縮空気は、吸着部55の内側から外側に向かって流れる。従って、切り屑Kは外側に向けて排除されるので、切り屑Kが液晶パネル3に再付着することがない。従って、液晶パネルに切り屑Kが付着していた場合でも液晶パネル3を確実に吸着することができる。また、切り屑Kは外側に向けて排除されるので、切り屑Kによって液晶パネル3が傷つくことを防止することもできる。また、本形態において、吸着部55では、圧縮気体噴出口51を介して真空吸引が行われる。すなわち、本形態では、圧縮気体噴出口51と吸気口とが共通である。従って、コレット50の構成が簡素である。また、コレット50に接続する吸気経路66や圧縮気体供給経路67については一部を共通経路68とすることができる等、ピックアップ装置500の構成を簡素化することもできる。また、本形態のコレット50において、吸着部55は、吸着部55の外周縁に沿って延在する突条部56を備えている。このため、突条部56が設けられている分、吸着部55と液晶パネル3との隙間が狭い。従って、圧縮気体噴出口51から気体を噴出した際、突条部56と液晶パネル3との間を圧縮気体が通過する際の流速が高い。それ故、液晶パネル3において突条部56が接する部分から切り屑Kを確実に除去することができるので、コレット50によって液晶パネル3を確実に吸着することができる。また、突条部56は、一定の厚さtをもって突出しているので、吸着部55と液晶パネル3との間隔は、吸着部55の外周側で急激に狭まっている。従って、突条部56と液晶パネル3との間を圧縮気体が通過する際の流速が高いので、液晶パネル3において突条部56が接する部分から切り屑Kを確実に除去することができる。さらに、また、突条部56が設けられている分、吸着部55が液晶パネル3に接するのが突条部56に限定されている。従って、液晶パネル3に切り屑Kが残っていても、吸着部55と液晶パネル3との間に切り屑が挟まって隙間が発生するという事態が発生しにくい。[実施の形態2]図7は、本発明の実施の形態2に係るピックアップ装置500の説明図であり、図7a、bは、ピックアップ装置500の全体構成を示す説明図、およびコレット50の底面図である。なお、本形態の基本的な構成は実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。図7に示すピックアップ装置500は、実施の形態1と同様、切断後の液晶パネル3が保持されたダイシングテープ80を載置するテーブル70と、テーブル70をX方向、Y方向およびZ方向に駆動するテーブル駆動装置図示せずと、テーブル70に対向するヘッド510と、ヘッド510をX方向、Y方向およびZ方向に駆動するヘッド駆動装置図示せずとを有している。ヘッド510は、液晶パネル3チップを真空吸着するコレット50を有しており、コレット50の吸着部55では、吸着部55の外周縁から内側に離間した位置に圧縮気体噴出口51が開口している。本形態において、コレット50の吸着部55では、圧縮気体噴出口51とは別に吸気口53が開口している。また、吸気口53は、圧縮気体噴出口51の周りを囲むように開口している。より具体的には、コレット50の吸着部55において、吸気口53は、圧縮気体噴出口51の周りに複数設けられている。このため、コレット50には、圧縮気体噴出口51に連通する通路52に加えて、吸気口53に連通する複数の通路54が形成されている。また、コレット50には、ジョイント57を介して配管58が接続されているともに、ジョイント57を介して、通路54に連通する通路が形成された流路構成ブロック59が連結されている。また、本形態のピックアップ装置500では、配管58に対して圧縮気体供給経路67を介して圧縮気体供給装置62が接続され、圧縮気体供給経路67にはバルブ670が設けられている。また、本形態のピックアップ装置500では、流路構成ブロック59に対して吸気経路66を介して吸気装置61が接続されており、吸気経路66にはバルブ660が設けられている。このように構成したピックアップ装置500においても、圧縮気体噴出口51から圧縮気体を噴出した後、液晶パネル3チップを吸着部55で吸着することができる。このため、液晶パネル3に切り屑Kが付着している場合でも、圧縮気体の噴出によって切り屑Kを液晶パネル3から除去した後、液晶パネル3を吸着部55で吸着することができる等、実施の形態1と同様な効果を奏する。また、本形態のコレット50の吸着部55では、圧縮気体噴出口51とは別に吸気口53が開口しているが、吸気口53は、圧縮気体噴出口51の周りを囲むように開口している。このため、圧縮気体噴出口51が吸着部55の中央や中央付近に位置する場合でも、吸気口53は、吸着部55の全体にわたって負圧を適正に発生させることができる。[実施の形態2の変形例]実施の形態2では、圧縮気体噴出口51の周りを囲むように吸気口53を設けるにあたって、圧縮気体噴出口51の周りに複数の吸気口53を設けたが、吸気口53が圧縮気体噴出口51の周りで円周状に開口している構成を採用してもよい。[他の電気光学装置]上記実施の形態では、コレット50によって吸着されるチップが液晶パネル3の例であったが、大型基板から切断した液晶装置用基板電気光学装置用基板をチップとしてコレット50によって吸着する場合に本発明を適用してもよい。また、上記実施の形態では、電気光学装置として液晶装置を例示したが、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出を用いた装置FieldEmissionDisplay、DLPDigitalLightProcessing等の電気光学装置を製造する際、切断後のパネルや、切断後の電気光学装置用基板をチップとしてコレット50によって吸着する場合に本発明を適用してもよい。