太陽電池モジュールに取り付けられ電力を取り出すための電子部品を収納する端子ボックスに、ポッティング材を充填する太陽電池モジュールの製造方法において、前記太陽電池モジュールのリード線を前記電子部品に接続する部品接続工程と、少なくとも前記端子ボックスの内部を密閉した空間とする密閉する密閉工程と、少なくとも前記端子ボックスの内部を減圧する減圧工程と、減圧した前記端子ボックスの内部に前記ポッティング材を充填する充填工程と、を含むことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。前記減圧工程では、前記端子ボックスの内部を含む広く前記端子ボックスの周辺を減圧することを特徴とする請求項1に記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記充填工程では、前記端子ボックスの内部に前記ポッティング材を充填するとき、前記端子ボックスを超音波振動させることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池モジュールの製造方法。太陽電池モジュールに取り付けられ電力を取り出すための電子部品を収納する端子ボックスに、ポッティング材を充填する太陽電池モジュールの製造方法において、前記太陽電池モジュールのリード線を前記電子部品に接続する部品接続工程と、前記端子ボックスの内部に前記ポッティング材を充填する充填工程と、を含み前記充填工程では、前記端子ボックスの内部に前記ポッティング材を充填するとき、前記端子ボックスを超音波振動させることを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。前記充填工程では、前記超音波振動を検出して前記電子部品間のはんだ付けの良否を判定することを特徴とする請求項3または4に記載の太陽電池モジュールの製造方法。太陽電池モジュールに取り付けられ電力を取り出すための電子部品を収納する端子ボックスに、ポッティング材を充填する太陽電池モジュールの製造装置において、前記端子ボックスの開口部を覆い少なくとも前記端子ボックスの内部を密閉した空間とする密閉する密閉手段と、少なくとも前記端子ボックスの内部を減圧する減圧手段と、減圧した前記端子ボックスの内部に前記ポッティング材を充填する充填手段と、を含むことを特徴とする太陽電池モジュールの製造装置。前記端子ボックスの内部に前記ポッティング材を充填するとき、前記端子ボックスを超音波振動させる加振手段をさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の太陽電池モジュールの製造装置。しかしながら、上記従来の技術によれば、上述のようなポッティング材の充填を行う工程においては、充填後の硬化時間が短いため、端子ボックス内に均等に行き渡る前に硬化が始まり、電子部品の下方の空間や電子部品間の小さな隙間に気泡が発生することがあった。また、端子ボックスの隅などポッティング材が十分に行き渡らない領域が発生して、ポッティング材の表面の高さが不均一になることがあった。これらの気泡や表面高さの不均一は、太陽電池モジュールの本来想定していた性能を満たさず、信頼性を低下させる可能性があり懸念される。従来は、これらの問題を解消するために、硬化時間の長い材料を用いたり、粘度の低い材料を用いたり、充填後の太陽電池モジュールに振動を加えたりすることにより対応していたが、いずれも作用が十分でなく、さらに効果的な方法が求められていた。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、電子部品の下方の空間や電子部品間の小さな隙間に気泡が発生せず、端子ボックスの隅までポッティング材が十分に行き渡り、ポッティング材の表面の高さが不均一にならず、太陽電池モジュールの本来想定していた性能が十分に発揮され、また信頼性を向上させることができる太陽電池モジュールの製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、太陽電池モジュールに取り付けられ電力を取り出すための電子部品を収納する端子ボックスに、ポッティング材を充填する太陽電池モジュールの製造方法において、太陽電池モジュールのリード線を電子部品に接続する部品接続工程と、少なくとも端子ボックスの内部を密閉した空間とする密閉する密閉工程と、少なくとも端子ボックスの内部を減圧する減圧工程と、減圧した端子ボックスの内部にポッティング材を充填する充填工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明の別の本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、太陽電池モジュールに取り付けられ電力を取り出すための電子部品を収納する端子ボックスに、ポッティング材を充填する太陽電池モジュールの製造方法において、太陽電池モジュールのリード線を電子部品に接続する部品接続工程と、端子ボックスの内部にポッティング材を充填する充填工程とを含み、充填工程では、端子ボックスの内部にポッティング材を充填するとき、端子ボックスを超音波振動させることを特徴とする。また、本発明の太陽電池モジュールの製造装置は、太陽電池モジュールに取り付けられ電力を取り出すための電子部品を収納する端子ボックスに、ポッティング材を充填する太陽電池モジュールの製造装置において、端子ボックスの開口部を覆い少なくとも端子ボックスの内部を密閉した空間とする密閉する密閉手段と、少なくとも端子ボックスの内部を減圧する減圧手段と、減圧した端子ボックスの内部にポッティング材を充填する充填手段とを含むことを特徴とする。本発明によれば、端子ボックス内にポッティング材が良好に充填され、電子部品の下方の空間や電子部品間の小さな隙間に気泡が発生せず、端子ボックスの隅までポッティング材が十分に行き渡り、ポッティング材の表面の高さが不均一にならず、太陽電池モジュールの本来想定していた性能が十分に発揮され、また信頼性を向上させるという効果を奏する。また、ポッティング材の充填時間が短くなり、生産タクトが短縮されるので、コストダウンを図ることができるという効果も奏する。以下に、本発明にかかる太陽電池モジュールの製造方法及び製造装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。実施の形態1.図1は、実施の形態1の太陽電池モジュールの端子ボックスの上面図である。太陽電池モジュールに用いる端子ボックス1は、太陽電池モジュール7から延出する一般にタブ線と呼ばれるリード線2を電気的にはんだ接続する電極3と、太陽電池モジュール7の受光面側に影ができ、局部的に電気抵抗が大きくなってモジュール全体の発電電力が低下するのを最小限に抑えるため、その影ができた部分を電気的に回避するためのバイパスダイオード4と、バイパスダイオード4にて発生する熱を放熱するための放熱板5などの電子部品を内部に収納している。また、端子ボックス1には、電力を取り出すための接続ケーブル6が接続されている。図2は、従来の太陽電池モジュールの製造方法を説明するための太陽電池モジュール製造装置の横断面図であり、特に端子ボックス1にポッティング材10を充填する様子を示す図である。太陽電池モジュール7に接着材8で固定した端子ボックス1へ、太陽電池モジュール7の内部から引き出しているリード線2を端子ボックス1内部の電極3にはんだ付けした状態において、端子ボックス1の開口部の上方に配置した注入ノズル9から、ポッティング材10を圧送して吐出する。これにより、端子ボックス1にポッティング材10が充填される。ポッティング材10は、一般にシリコン系の樹脂が用いられており、一液硬化型や二液混合硬化型のものがある。図3は、実施の形態1の太陽電池モジュールの製造方法を説明するための太陽電池モジュール製造装置の横断面図であり、特に端子ボックス1にポッティング材10を充填する様子を示す図である。図4は、本実施の形態の太陽電池モジュールの製造方法を示すフローチャートである。本実施の形態の太陽電池モジュールの製造方法においては、まず、太陽電池モジュール7から延出するリード線2を電極3などの電子部品に接続し部品接続工程:ステップS1、次いで、端子ボックス1の周囲を含めて少なくとも端子ボックス1の内部を密閉した空間とし密閉工程:ステップS2、さらに密閉した空間を減圧し減圧工程:ステップS3、減圧した端子ボックス1の内部にポッティング材10を充填する充填工程:ステップS4。本実施の形態の太陽電池モジュールの製造装置によれば、端子ボックス1を、その周辺も含めて密閉して覆う真空チャンバー密閉手段12Aを有している。真空チャンバー12Aは、底面の無い概略箱状をなし、上面に注入ノズル充填手段9および排気装置減圧手段11が設けられている。排気装置11は、真空チャンバー12Aに内外を通じて設けられ、真空チャンバー12A内の空気を吸引して外部に排出する。注入ノズル9は、従来と同じ構造のものでよい。なお、注入ノズル9の吐出口には減圧時の液漏れを防止するための開閉機構を設けてもよい。本実施の形態の太陽電池モジュールの製造装置は、端子ボックス1に離接可能とされた超音波振動子加振手段14を有している。超音波振動子14は超音波発振器13に接続されており、超音波発振器13で発生した超音波を端子ボックス1に伝達させて端子ボックス1を超音波振動させる。このときの超音波は単一波でも同時多重波でもよい。本実施の形態の太陽電池モジュールの製造方法の手順は、太陽電池モジュール7の裏面に接着材8で端子ボックス1を固定した後から始まる。太陽電池モジュール7に端子ボックス1が接着材8で固定された状態において、最初に、部品接続工程として、太陽電池モジュール7の内部から引き出したリード線2を端子ボックス1内部の電極3にはんだ付けする。その後、密閉工程として、端子ボックス1を覆う位置に真空チャンバー12Aを移動させて開口部を太陽電池モジュール7の裏面に密着させ、端子ボックス1の周囲も含めて端子ボックス1内の空間を密閉された空間とする。その後、減圧工程として、真空チャンバー12Aの内部を排気装置11を使用して減圧する。最後に、充填工程として、注入ノズル9からポッティング材10を圧送して吐出する。本実施の形態においては、密閉工程にて、真空チャンバー12Aを移動させる際に超音波振動子14を端子ボックス1に接触させる。そして、充填工程にて、ポッティング材10を吐出する際に端子ボックス1へ振動を与える。さらに、吐出完了後一定時間の間も端子ボックス1へ振動を与える。なお、端子ボックス1へ与えた超音波振動を検出する図示しないセンサを設けて、検出した超音波振動を解析してリード線2と電極3のはんだ付け、電極3とバイパスダイオード4とのはんだ付け、などのはんだ接続状態の良否を判定する機能を付加してもよい。本実施の形態の太陽電池モジュールの製造方法によれば、端子ボックス1の内部に供給されたポッティング材10が均等に行き渡り、端子ボックス1内にある電子部品の下部に発生する気泡および表面レベルの不均一を抑制することができる。実施の形態2.図5は、実施の形態2の太陽電池モジュールの製造方法を説明するための太陽電池モジュール製造装置の横断面図である。本実施の形態では、図3に示した実施の形態1に対し、真空チャンバー12Bの形状を小型化し、端子ボックス1の開口部縁に直接接続できるようにしている。また、超音波振動子14は、真空チャンバー12Bとの干渉を避けた位置で端子ボックス1に接触させる。その他の機構、動作および製造工程手順は実施の形態1と同様である。本実施の形態によれば、真空チャンバー12Bの内部の密閉された空間の体積が低減できるため、実施の形態1の場合より減圧するための動力および時間を低減できる効果がある。実施の形態3.図6は、実施の形態3の太陽電池モジュールの製造方法を説明するための太陽電池モジュール製造装置の横断面図である。なお、図中の実施の形態1と同じ記号の説明は省略する。本実施の形態では図3に示した実施の形態1に対し、超音波発振器13および超音波振動子14を省略した構造となっており、端子ボックス1周辺の減圧のみでポッティングを行う方法である。その他の機構、動作および製造工程手順は実施の形態1と同様である。本実施の形態によれば、超音波を発生させる動力が無くなることから、実施の形態1に対し製造コストを低減できる効果がある。実施の形態4.図7は、実施の形態4の太陽電池モジュールの製造方法を説明するための太陽電池モジュール製造装置の横断面図である。なお、図中の実施の形態1と同じ記号の説明は省略する。本実施の形態では図6に示した実施の形態3に対し、真空チャンバー12Bの形状を小型化し、端子ボックス1に直接設置する方法である。その他の機構、動作および製造工程手順は実施の形態3と同様である。本実施の形態では、真空チャンバー12B内部の体積が低減できるため、実施の形態3の場合より減圧するための動力および時間を低減できる効果がある。実施の形態5.図8は、実施の形態5の太陽電池モジュールの製造方法を説明するための太陽電池モジュール製造装置の横断面図である。なお、図中の実施の形態1と同じ記号の説明は省略する。本実施の形態では図3、5~7に示した実施の形態1~4に対し、真空チャンバー12A12Bを省略した構造となっており、端子ボックス1への振動のみでポッティングを行う方法である。その他の機構、動作および製造工程は手順実施の形態1と同様である。減圧を発生させる動力および時間が無くなることから、実施の形態1に対し製造コストを低減できる効果がある。