光源からの光を反射するミラーと、該ミラーを支持する弾性支持手段と、該弾性支持手段を捻り変形させて上記ミラーを回動させる駆動手段とを備えた光偏向装置において、一端は前記ミラーの端部の一部に取り付けられ、他端は自由端であり、かつ長手方向に延びた変形可能な検出部材を設け、該検出部材に圧電部材を固着し、前記ミラーの揺動に伴い前記圧電部材に発生するピーク間電圧に基づいて前記ミラーの最大回転角度を検出することを特徴とする光偏向装置。請求項1記載の光偏向装置において、前記検出部材の固定端は、前記弾性支持手段によって前記ミラーを支持する支持箇所の近傍に取り付けられていることを特徴とする光偏向装置。請求項1又は2に記載の光偏向装置において、前記検出部材の自由端の先端に錘を設けることを特徴とする光偏向装置。請求項1~3のいずれかに記載の光偏向装置において、前記検出部材は、前記ミラーの回転中心軸と直交する長手方向に延びて形成されていることを特徴とする光偏向装置。請求項1~4のいずれかに記載の光偏向装置において、前記検出部材の固定端は、前記ミラーの回転の略中心軸上に配置されていることを特徴とする光偏向装置。請求項1記載の光偏向装置において、前記検出部材の厚さは、前記弾性支持手段を構成する部材の厚さより薄いことを特徴とする光偏向装置。請求項1~6のいずれかに記載の光偏向装置において、前記弾性支持手段は、一端が前記ミラーの一方側に接続された第1の弾性支持部材と、一端が前記ミラーの他方側に接続された第2の弾性支持部材とを備えることを特徴とする光偏向装置。請求項1~6のいずれかに記載の光偏向装置において、前記弾性支持手段は、前記ミラーの回転の中心軸に直交する方向に長手方向とする複数の部材が繰り返され各部材が接続された蛇行状を形成し、前記各部材上に複数の圧電部材が固着されていることを特徴とする光偏向装置。請求項1~6のいずれかに記載の光偏向装置において、前記検出部材を複数設けることを特徴とする光偏向装置。光源と、該光源からの光ビームを往復偏向させる請求項1~9のいずれかに記載の光偏向装置と、該光偏向装置により偏向された光ビームを被走査面に結像する結像光学系と、を備えることを特徴とする光走査装置。請求項10記載の光走査装置と、該光走査装置による光ブームの走査により潜像を形成する像担持体と、該像担持体上の潜像をトナーで顕像化する現像手段と、前記像担持体上のトナー像を直接又は中間転写体を介して記録材に転写する転写手段と、を有することを特徴とする画像形成装置。光源と、該光源から光を画像信号に応じて変調する変調器と、請求項1~9のいずれかに記載の光偏向装置と、を有することを特徴とする画像投影装置。しかしながら、上記特許文献1では、検出部材及びミラーが共に板状の上記構造体の同一面上に設けられている。検出部材の検出感度を大きくするために検出部材を変形し易くすると、検出部材の変形が上記構造体を変形させる。これに伴ってミラーも平面精度の許容値以上に変形し、ミラーにおける反射面の平面精度が低下する。逆に、ミラーにおける反射面の平面精度を確保するために検出部材を変形しにくくすると検出部材の検出感度が低下してしまうという問題があった。本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、ミラーの最大回転角度を検出する検出部材の検出感度を大きくしてもミラーにおける反射面の平面精度の低下を抑制できる光偏向装置、該光偏向装置を用いた光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置を提供することである。上記目的を達成するために、請求項1の発明は、光源からの光を反射するミラーと、該ミラーを支持する弾性支持手段と、該弾性支持手段を捻り変形させて上記ミラーを回動させる駆動手段とを備えた光偏向装置において、一端は前記ミラーの端部の一部に取り付けられ、他端は自由端であり、かつ長手方向に延びた変形可能な検出部材を設け、該検出部材に圧電部材を固着し、前記ミラーの揺動に伴い前記圧電部材に発生するピーク間電圧に基づいて前記ミラーの最大回転角度を検出することを特徴とするものである。また、請求項2の発明は、請求項1記載の光偏向装置において、前記検出部材の固定端は、前記弾性支持手段によって前記ミラーを支持する箇所の近傍であることを特徴とするものである。更に、請求項3の発明は、請求項1又は2に記載の光偏向装置において、前記検出部材の自由端の先端に錘を設けることを特徴とするものである。また、請求項4の発明は、請求項1~3のいずれかに記載の光偏向装置において、前記検出部材は、前記ミラーの回転中心軸と直交する長手方向に延びて形成されていることを特徴とするものである。更に、請求項5の発明は、請求項1~4のいずれかに記載の光偏向装置において、前記検出部材の固定端は、前記ミラーの回転の略中心軸上に配置されていることを特徴とするものである。また、請求項6の発明は、請求項1記載の光偏向装置において、前記検出部材の厚さは、前記弾性支持手段を構成する部材の厚さより薄いことを特徴とするものである。更に、請求項7の発明は、請求項1~6のいずれかに記載の光偏向装置において、前記弾性支持手段は、一端が前記ミラーの一方側に接続された第1の弾性支持部材と、一端が前記ミラーの他方側に接続された第2の弾性支持部材とを備えることを特徴とするものである。また、請求項8の発明は、請求項1~6のいずれかに記載の光偏向装置において、前記弾性支持手段は、前記ミラーの回転の中心軸に直交する方向に長手方向とする複数の部材が繰り返され各部材が接続された蛇行状を形成し、前記各部材上に複数の圧電部材が固着されていることを特徴とするものである。更に、請求項9の発明は、請求項1~6のいずれかに記載の光偏向装置において、前記検出部材を複数設けることを特徴とするものである。また、請求項10の発明は、光源と、該光源からの光ビームを往復偏向させる請求項1~9のいずれかに記載の光偏向装置と、該光偏向装置により偏向された光ビームを被走査面に結像する結像光学系と、を備えることを特徴とするものである。更に、請求項11の発明は、請求項10記載の光走査装置と、該光走査装置による光ブームの走査により潜像を形成する像担持体と、該像担持体上の潜像をトナーで顕像化する現像手段と、前記像担持体上のトナー像を直接又は中間転写体を介して記録材に転写する転写手段と、を有することを特徴とするものである。また、請求項12の発明は、光源と、該光源から光を画像信号に応じて変調する変調器と、請求項1~9のいずれかに記載の光偏向装置と、を有することを特徴とするものである。本発明においては、変形可能な検出部材の一端は固定端としてミラーの端部の一部に取り付けられ、他端は固定端から長手方向に延びている自由端となっている。ミラーが弾性支持部材の捻りによって揺動すると、検出部材の自由端には慣性力が働き検出部材全体はミラーの揺動に応じて揺動し歪む。検出部材には圧電部材が固着されているので、歪む検出部材に伴い圧電部材も歪む。この圧電部材の歪みはミラーの揺動に応じた振幅を有し、圧電部材の圧電効果によって振幅変動のある電圧が発生する。この発生した電圧のピーク間電圧値を測定することでミラーの最大回転角度を検出できる。そして、検出部材の一端だけがミラーの端部の一部に取り付けられているので、検出部材とミラーとの接触面積は非常に小さい。このため、検出部材の歪みはミラー側には影響しにくい。これにより、検出部材の検出感度を大きくするために検出部材を変形し易くしたとしても検出部材の歪みがミラーの反射面に及ぼす影響は少なく、反射面の平面精度の低下は抑制される。以上、本発明によれば、ミラーの最大回転角度を検出する検出部材の検出感度を大きくしてもミラーにおける反射面の平面精度の低下を抑制できるという優れた効果が得られる。以下、本発明を適用した光走査装置の一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は本実施形態の光走査装置における光偏向装置の構成を示す斜視図である。同図に示す光偏向装置10は、1方向に光を偏向する圧電駆動方式の光偏向装置である。光偏向装置10は、光を反射させる反射面11を有するミラー12を有している。このミラー12の両側には、ミラー12の重心からΔS図示せずだけオフセットされた点を通るトーション軸図中一点鎖線で示すに沿って変形可能な弾性支持部材であるトーションバースプリング13がそれぞれ接続されている。つまり、トーション軸はミラー12の重心を通る回転中心軸図中二点鎖線で示すとΔSの離間された平行線となる。各トーションバースプリング13においてミラー12と接続されている端部の反対側の端部はそれぞれ固定ベース14に接続されている。なお、トーション軸が回転中心軸と一致してもよい。また、各トーションバースプリング13の固定ベース14との接続端部の近傍には、駆動梁15a、15bがそれぞれ接続されている。これら駆動梁15a、15bは、その長手方向がトーションバースプリング13の軸と略直交する向きに延び、トーションバースプリング13と接続している接続部分Aの両側の端部はそれぞれ固定ベース14に接続部分Bで接続されている。本実施形態ではMEMSmicroelectromechanicalsystemsプロセスによって加工することで、図1に示すミラー12、トーションバースプリング13、駆動梁15を一体で形成している。ミラー12はシリコン基板の表面にアルミニウムなどの金属の薄膜を形成する図示せずことによって反射面を形成している。駆動梁15は平板状のユニモルフ構造となっており、後述する支持梁となる片面に圧電部材が積層された構造となっている。ユニモルフ構造の部分の支持梁の厚さは薄いほうが変形し易いが、図1のミラー12は薄いと反射面が変形し光学的な波面が劣化してしまう、そこで、SOI基板を用いて支持梁は活性層部分のみを残して薄く形成し、ミラー12はSOI基板の活性層と支持基板両方の厚さになるように構成されている。本実施形態では活性層の厚さは0.05[mm]、支持基板の厚さは0.3[mm]としている。図1のトーションバースプリング13の部分の厚さは、SOI基板の活性層の厚さになるように構成してあるが必要な共振周波数やレイアウト上の設計次第で、支持基板部分のみの厚さ、もしくは両方の厚さにしても良い。次に、駆動梁の詳細な構成を説明する。図2は駆動梁の構造説明図である。同図のaは支持梁上に下部電極、圧電部材、上部電極の順に形成した状態を示す要部平面図、同図のbは同図のaに更に絶縁層を設けた状態を示す要部平面図、同図のcは同図のbのA-A’線断面図である。同図に示すように、駆動梁15は、支持梁15-1の上に、接着層15-2、下部電極15-3、圧電部材15-4、上部電極15-5の順でスパッタにより成膜して積層し必要な部分だけが残るようにエッチング加工することで形成されている。接着層15-2の材料はチタンTiを使用し、下部電極15-3及び上部電極15-5は白金Ptを使用している。そして、圧電部材15-4の材料はチタン酸ジルコン酸鉛PZTを使用している。下部電極15-3は駆動梁15の接続部分Bから更に固定ベース14側まで延びて配線されている。固定ベース14及び駆動梁15の全体は絶縁層15-6で覆われている。駆動梁15の接続部分Bから更に固定ベース14側まで延びている下部電極15-3からの配線は絶縁膜15-6の一部を露出させて形成したランド部15-7から引き出されている。下部電極15-3と上部電極15-5との間に電圧を印加すると、圧電部材15-4が圧電特性により、支持梁15-1の表面の面内方向に伸縮することで駆動梁15の全体が反り変形するようになっている。そして、光偏向装置の駆動信号波形を示す図3のように、2つの駆動梁駆動梁15a、15bに積層されている2つの圧電部材15-4に、位相の反転した駆動信号駆動電圧を与えることで、2つの圧電部材15-4は時間的に交互に変形し、図1の各トーションバースプリング13の軸を中心とする捻り方向の振動を加えることでミラー12を揺動回転する。つまり、本実施形態の光偏向装置10にはトーションバースプリング13のトーション軸と平行な回転中心軸を中心としてミラー12が回転する振動モードが存在し、その共振周波数はトーションバースプリング13の剛性とミラー12の慣性モーメントで定まる。厳密にはミラー12の回転モードの共振周波数には駆動梁15の剛性等も影響している。この回転モードの共振周波数に近い周波数の正弦波、もしくはパルス波で駆動梁15を駆動することで、トーションバースプリング13と駆動梁15の接続部分は上下に振動する。上述したように、ミラー12の重心とトーションバースプリング13のトーション軸がオフセットされているため、接続部分の上下振動によりミラー12の回転モードが励起され、小さな駆動電力で大きなミラーの回転振幅を得ることができる。そして、本実施形態では、図1に示すように、板状のミラー12の端部の一部には検出部材16a、16bの一端が取り付けられている。そして、図1の部分拡大図である図4に示すように、各検出部材16a、16bも駆動梁15と同様にユニモルフ構造となっており、片面に圧電部材16-1が積層され形成されている。この検出部材16a、16bでは、接続部分Cにおいて固定端16-4がミラー12の端部の一部に接続されている。検出部材16a、16bは変形可能な部材で形成され、自由端は固定端からミラー12の回転中心軸と略直交する方向である長手方向に延びている。略直交する方向でなく所定の角度を持たせた方向であればよい。そして、ミラー12が所定の振幅で揺動すると、固定端16-4を支点にして検出部材16も所定の振幅で揺動する。このため、圧電部材16-1が伸縮するので、この圧電部材16-1の上下面に電位差を生じる。この電位差はミラー12の回転角度とある一定の相関をもっているため、電位差信号を演算することでミラー12の最大回転角度を検出することが可能となっている。光偏向装置10におけるミラー12の振幅は、構造体の寸法ばらつきや、圧電部材の特性ばらつきによって駆動電圧に対応した振幅が得られるとは限らないため、本実施形態における検出信号を利用することによって、システムに必要な振幅となるように制御することが可能となる。検出部材の両面に圧電部材を固着した場合は各圧電部材のピーク間電圧値に基づいてミラー12の最大回転角度を検出する。また、ミラー12の動作に対して、図4に示す検出部材16の梁部材16-2の変形量が小さいと十分なS/Nが取れない。ミラー12の動作に対して、検出部材16の梁部材16-2の変形量が大きくなるように、梁部材16-2の長手方向はミラー12の揺動回転の中心軸と略直交する方向に形成されている。更に、梁部材16-2の自由端の先端に錘16-3を設けることによって、変形量が大きくなり良好な信号を得ることができる。ミラー12と固定端16-4との接続部分Cはトーションバースプリング13に近いため、ミラー12の揺動を感度よく検出部材16に伝えられ、更にはかつ接触面積も小さいため、反射面11に対して影響する変位を最小限に抑えられている。これにより、ミラー部の回転角度を感度良く検出でき、ミラー12の平面精度の低下を抑制することができる。図5は本実施形態の光走査装置における光偏向装置の変形例を示す斜視図である。図6は部分平面図である。両図において、図1と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。図5、図6に示す光偏向装置20において、各駆動梁21a、21bは、その長手方向が回転中心軸に対し同じ方向のみに延び、トーションバースプリング13と接続している接続部分Cの方側の端部はそれぞれ固定ベース14に接続部分Dで接続されている。光偏向装置20は、トーションバースプリング13及び駆動梁21という細長い片持ち梁で支えられている。このような構成の光偏向装置20には、各駆動梁21a、21bと同じ長手方向に延びた各検出部材22a、22bが設けられている。本実施形態における検出信号を利用することによって、システムに必要な振幅となるように制御することが可能となる。図7は本実施形態の光走査装置における光偏向装置の別の変形例を示す斜視図である。図8は図7の部分拡大斜視図である。両図において、図1と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。駆動梁における平板状のユニモルフ構造の変形量は微小であるため、1本の駆動梁の変位角度は非常に小さい。そこで、図7及び図8に示すように、光偏向装置30では、駆動梁を複数折り返して蛇行状の駆動梁31を形成し、駆動梁31の変位を累積させる構造が知られている。非共振の光偏向装置の検出は共振の場合に比べて個々の微小な変位を検出することは難しい。そこで、図7及び図8に示すように、検出部材32a、32bの可動部の動きを直接検出することで良好な検出信号を得ることができる。また、検出信号を大きくするために、検出部材32a、32bのユニモルフ構造の梁部分を支持構造体活性層上に構造用の膜を形成して変形し易くしてもよい。図9に示すように、上記実施形態における検出部材16の圧電部材16-1の梁部材を薄く形成し、圧電部材16-1の裏面には構造膜16-5及び支持構造体16-6が設けられている。また、実施形態においてミラー12を支持する弾性支持部材はトーションバネスプリング13を用いているが、捻りではなく撓み構造による弾性支持部材を用いることもできる。次に、上記実施形態で1方向に光を偏向する光偏向装置を説明したが、この光偏向装置を用いて光書き込みユニットおよび画像形成装置を構成した実施例を図10~図14に示す。図10は実施形態の光偏向装置を利用した光走査装置を有する光書込みユニットを示す概略斜視図である。同図に示す光書込みユニット100において、レーザ素子101からのレーザ光をコリメータレンズ系102を介した後、光偏向装置103によりレーザ光が偏向される。その後、偏向されたレーザ光は、第一レンズ104と第二レンズ105からなる走査レンズ系で感光ドラム等のビーム走査面107にミラー106を介して供給される。図11は光偏向装置の駆動手段を示す斜視図である。同図において、光偏向装置201には、ミラー駆動手段202が配置されている。光偏向装置201の図1~図9に示した駆動梁の圧電部材の上部電極及び下部電極は、それぞれミラー駆動手段202と電気的に接続されている。そして、ミラー駆動手段202は圧電部材の上部電極と下部電極との間に駆動電圧を印加し、光偏向装置201を駆動する。このように本実施形態の光偏向装置を利用した光書込みユニットは写真印刷方式のプリンタや複写機などの画像形成装置のための光書込装置の構成部材として最適である。次に、そのような画像形成装置の一例について図12を参照して説明する。図12に示す画像形成装置300において、光書込みユニット301はレーザビームを被走査面に出射して画像を書き込む。感光体ドラム302は光書込みユニット301による走査対象としての被走査面を提供する像担持体である。光書込みユニット301は、記録信号によって変調された1本又は複数本のレーザビームで感光体ドラム302の表面被走査面を同ドラムの軸方向に走査する。感光体ドラム302は矢印方向に回転駆動され、帯電手段303により帯電された表面に光書込みユニット301により光走査されることによって静電潜像を形成される。この静電潜像は現像手段304でトナー像に顕像化され、このトナー像は転写手段305で記録紙Pに転写される。転写されたトナー像は定着手段306によって記録紙Pに定着される。転写手段305を通過した感光体ドラム302の表面部分はクリーニング部307で残留トナーを除去される。感光体ドラム302に代えてべルト状の感光体を用いる構成も可能である。また、トナー像を記録紙以外の転写媒体に一旦転写し、この転写媒体からトナー像を記録紙に転写して定着させる構成とすることも可能である。光書込みユニット301は記録信号によって変調された1本又は複数本のレーザビームを発する光源308と、光源308を変調する光源駆動手段309と、上記実施形態の光偏向装置310と、この光偏向装置310のミラー基板のミラー面に光源308からの、記録信号によって変調されたレーザビーム光ビームを結像させるための結像光学系311と、ミラー面で反射された1本又は複数本のレーザビームを感光体ドラム302の表面被走査面に結像させるための手段である走査光学系312などから構成される。光偏向装置310は、その駆動のための集積回路313とともに回路基板314に実装された形で光書込みユニット301に組み込まれている。本実施形態による光偏向装置は、回転多面鏡に比べ駆動のための消費電力が小さいため、画像形成装置の省電力化に有利である。光偏向装置のミラー基板の振動時の風切り音は回転多面鏡に比べ小さいため、画像形成装置の静粛性の改善に有利である。光走査装置は回転多面鏡に比べ設置スペースが圧倒的に少なくて済み、また光偏向装置の発熱量もわずかであるため、小型化が容易であり、よって画像形成装置の小型化に有利である。記録紙の搬送機構、感光体ドラムの駆動機構、現像手段、転写手段などの制御手段、光源部の駆動系などは、従来の画像形成装置と同様でよいため図中省略されている。次に、2方向に光を偏向する2次元光偏向装置で画像投影装置を構成した例について説明する。はじめに、2次元光偏向装置の構成について概説すると、ミラー部の両側は支持部材である第1のトーションバースプリングが接続されている。第1のトーションバースプリングのミラーと反対側の端部は、他端が可動枠に接続されている第1の駆動梁の第1の支持梁が接続されている。第1の駆動梁はその長手方向が第1のトーションバースプリングの軸と略直交する向きに、第1のトーションバースプリングの両側に配置されている。更に、可動枠の外周側には、第1のトーションバースプリングと直交する方向に第2のトーションバースプリングが接続されている。第2のトーションバースプリングの可動枠と反対側の端部は、他端が固定ベースに接続されている第2の駆動梁の支持梁が接続されている。図13は画像投影装置の概念図であり、図14は全体斜視図である。両図に示す構成の画像投影装置400では、画像情報401に応じて画像生成部402で画像信号を生成し、この画像信号が変調器403を介して光源駆動回路404とスキャナ駆動回路405に送られる。3波長のレーザ光源406は、光源駆動回路404によりそれぞれ本実施形態の光偏向装置407によって走査されるタイミングに合わせて強度変調されており、投影面408に二次元の画像情報を投影する。強度変調はパルス幅を変調してもよいし、振幅を変調してもよい。この変調された信号を光源駆動回路404によりレーザ光を駆動できる電流に変換してレーザ光源406を駆動している。図14に示すように、レーザ光源501から出射されたR、G、Bの3波長のレーザ光は集光レンズ502により略平行光になり、ミラー503やハーフミラー504などを介して合成プリズム505に入射し、合成プリズム505によって合成され、本実施形態の光偏向装置506により偏向走査されて投影面507に投射され、画像を投影する。略平行になったレーザ光はプリズムによって合成され、MEMSの2次元偏光ミラーに入射される。2次元偏光ミラーは直交した2つの方向に所定角度例えば10[deg]程度の振幅で共振振動をする。2次元偏光ミラーは一個で二次元のものではなく一次元走査のものを二つ組み合わせても良い。また、ポリゴンミラーなどの回転走査ミラーを組み合わせて使用することもできる。以上説明したように、実施形態によれば、図1に示すように、ミラー12とトーションバースプリング13との接続部分の近傍で検出部材16a、16bの一端がミラー12と接続されている。図4に示すように、各検出部材16a、16bはユニモルフ構造となっており、片面に圧電部材16-1が積層され形成されている。この検出部材16a、16bでは、接続部分Cにおいて固定端16-4がミラー12の一部の端部に接続されている。この検出部材16a、16bの他端である自由端はミラー12の回転軸と略直交する方向に延びている。ミラー12が揺動すると、固定端16-4を介して検出部材16の自由端がミラーの揺動による慣性力を受けて各検出部材16a、16bが揺動し、圧電部材16-1が伸縮する。このため、圧電部材16-1の上下面に電位差を生じ、この電位差はミラー12の変形とある一定の相関をもっている。これにより、電位差信号を演算することでミラー12の回転角度を検出することが可能となる。また、実施形態によれば、図4に示すように、検出部材16における梁部材の自由端の先端に錘16-3を設けることで、検出部材16の変形量が大きくなり検出感度が向上する。更に、実施形態によれば、図1に示すように、検出部材16における梁部材16-1は、ミラー12の揺動回転の中心軸と直交する長手方向に延びて形成されていることで、検出部材16がミラー12の揺動とより等価な揺動を行うことができ、検出感度を上げることができる。また、実施形態によれば、図1及び図4に示すように、検出部材16がミラー12の一部に接続する固定端16-4は、ミラー12の揺動回転の略中心軸上に配置されている。これにより、ミラー12の揺動状態により近い揺動することで、検出部材16の揺動の検出感度を上げることができる。更に、実施形態によれば、図7及び図8に示すように、トーションバースプリング13がミラー12の揺動回転の中心軸に直交する方向に長手方向とする複数の駆動梁31が繰り返し接続され、各駆動梁上に複数の圧電部材が形成されている。このような蛇行状の駆動梁の光偏向装置にも本実施形態は適用可能である。また、実施形態によれば、図10に示すように、光走査装置100では、上記のような光偏向装置103によって光源であるレーザ素子101からの光ビームを往復偏向させる。この光偏向装置103により偏向された光ビームを感光体ドラムのビーム走査面107に結像する。更に、実施形態によれば、図12に示す画像形成装置300では、光書込みユニット301による光ブームの走査により像担持体である感光体ドラム302に潜像を形成する。現像手段304によってこの像担持体上の潜像をトナーで顕像化し、転写手段305によって像担持体上のトナー像を直接又は中間転写体を介して記録材に転写する。また、実施形態によれば、図13に示す画像投影装置400では、変調器403によってレーザ光源406から光を画像信号に応じて変調し、変調された光ビームは上記のような光偏向装置407によって偏向、走査され投影面408に投影される。