板状物を研磨する研磨パッドであって、基材と、該基材上に繊維が静電植毛によって配設された研磨層と、を具備したことを特徴とする研磨パッド。前記繊維は親水性繊維から構成される請求項1記載の研磨パッド。前記繊維は1mm以下の短繊維から構成される請求項1又は2記載の研磨パッド。ニードルパンチ方式で不織布を製造するには非常に時間がかかる上、例えば1mm以下の短繊維で不織布を製造することがニードルパンチ方式では難しいという問題があった。特に、繊維が綿、又はレーヨン等の親水性を有する繊維の場合、ニードルパンチ方式で不織布を製造することは困難である。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ニードルパンチ方式に比べて短時間で製造できるとともに短繊維で研磨面を形成可能な研磨パッドを提供することである。本発明によると、板状物を研磨する研磨パッドであって、基材と、該基材上に繊維が静電植毛によって配設された研磨層と、を具備したことを特徴とする研磨パッドが提供される。好ましくは、繊維は親水性繊維から構成される。更に、繊維は1mm以下の短繊維であることが好ましい。本発明の研磨パッドは静電植毛法を用いて製造されるため、ニードルパンチ方式に比べて短時間での製造が可能となる。また、親水性を有する繊維で研磨層を形成することで、研磨液が板状物の上面に残り難くしみなどを形成してしまうことを防止できる。更に、1mm以下の短繊維で研磨層を形成すると、研磨面を非常に平坦にすることができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の研磨パッドを装着するのに適した研磨装置2の斜視図を示している。4は研磨装置2のハウジングであり、ハウジング4の後方にはコラム6が立設されている。コラム6には、上下方向に延びる一対のガイドレール一本のみ図示8が固定されている。この一対のガイドレール8に沿って研磨ユニット研磨手段10が上下方向に移動可能に装着されている。研磨ユニット10は、そのハウジング20が一対のガイドレール8に沿って上下方向に移動する移動基台12に取り付けられている。研磨ユニット10は、ハウジング20と、ハウジング20中に回転可能に収容された図示しないスピンドルと、スピンドルを回転駆動するサーボモータ22と、スピンドルの先端に固定された研磨パッド26を有する研磨ホイール24を含んでいる。研磨ユニット10は、研磨ユニット10を一対の案内レール8に沿って上下方向に移動するボールねじ14とパルスモータ16とから構成される研磨ユニット移動機構18を備えている。パルスモータ16をパルス駆動すると、ボールねじ14が回転し、移動基台12が上下方向に移動される。ハウジング4の中間部分には保持テーブル50を有する保持テーブル機構チャックテーブル機構28が配設されており、保持テーブル機構28は図示しない保持テーブル移動機構によりY軸方向に移動される。30は保持テーブル機構をカバーする蛇腹である。ハウジング4の前側部分には、第1のウエーハカセット32と、第2のウエーハカセット34と、ウエーハ搬送ロボット36と、複数の位置決めピン40を有する位置決め機構38と、ウエーハ搬入機構ローディングアーム42と、ウエーハ搬出機構アンローディングアーム44と、スピナユニット46が配設されている。また、ハウジング4の概略中央部には、保持テーブル50を洗浄する洗浄水噴射ノズル48が設けられている。この洗浄水噴射ノズル48は、保持テーブル50が装置手前側のウエーハ搬入搬出領域に位置付けられた状態において、保持テーブル50に向かって洗浄水を噴射する。図2を参照すると、本発明の研磨パッド26の斜視図が示されている。研磨パッド26は、PETポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、塩化ビニル等のプラスチックから形成された基材27と、基材27上にレーヨン等の親水性繊維が静電植毛によって配設された研磨層29とから構成される。ここで、基材はプラスチックに限定されず、例えば金属で構成しても良い。好ましくは、静電植毛する繊維としては、繊維長0.5~1mmのレーヨンが好ましい。他の親水性繊維としては、綿、キュプラ銅アンモニアレーヨンが挙げられる。レーヨンに変わって、ナイロンポリアミド系繊維、又はポリエステルを静電植毛するようにしてもよい。静電植毛加工プロセスは、基材に接着剤を塗布→静電植毛→乾燥→余剰繊維除去の工程から構成される。基材に塗布する接着剤としては、アクリルエマルジョン接着剤、酢酸ビニルエマルジョン接着剤等の水溶性型接着剤が好ましい。また、余剰繊維の除去は、エアガン、ブラシ、超音波除毛装置等を用いて実施される。ここで、静電植毛について簡単に説明する。静電植毛加工はフロッキー加工とも呼ばれ、基本的に静電塗装等と同じ原理で高圧静電界における静電吸引力を利用し、予め接着剤を塗布した基材に短繊維パイル又はフロックを垂直に投錨させるものであり、その後接着剤層を乾燥キュアリングさせることにより投錨したパイルを固定し、必要な強度を得る加工方法であり、通常20000V~100000Vの直流電圧を使用する。平板状の電極間に直流高電圧を印加し、片側の極板上に電着処理をしたパイルを置くとパイルがある電気量に帯電する。このように電解中に電荷を持ったパイルを置くと、パイルはクーロンの法則により静電力を受け、電界と平行にパイルは向きを替えて飛翔する。異極に到達したパイルは極性を変え逆向きに飛翔する。一対の極板間に加工したい基材に接着剤を塗布してセットし、静電吸引力を利用して飛翔しているパイルを接着剤層に投錨することにより、基材上にパイルが静電植毛される。パイルは接着剤層に垂直に投錨されるため、基材上にパイルが規則正しく整列することになり、非常に高い植毛密度を得ることができる。仕上げに植毛された繊維を固定するコーティングを施してもよい。また、静電植毛を複数回繰り返し、基材27上に複数層の研磨層29を積層するようにしてもよい。本発明の研磨パッド26は、単結晶シリコンインゴットからスライスされたシリコンウエーハを、CMP法により研磨するのに特に適しているが、ウエーハの裏面を研削砥石で研削加工した後、この研削により生じた研削歪の除去や抗折強度の向上を目的として、研削後のウエーハの裏面をCMPによって研磨加工する際にも使用することができる。親水性を有するレーヨン等の繊維で研磨層26を形成することにより、研磨液が研磨面に残り難くしみ等を形成してしまうことを防止できる。また、1mm以下の短繊維で研磨層29を形成することにより、研磨面を非常に平坦にすることができる。