上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に結合された1つの空気供給口と、上面に開口すると共に前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、該搬送レールの上板の収容孔部に装着された上昇流形成体とからなり、前記下板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合されることを特徴とする非接触搬送装置。上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し前記上板の収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する1つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、前記上板の収容孔部に装着された上昇流形成体とからなり、前記中板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合されていることを特徴とする非接触搬送装置。前記上昇流形成体は、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも1つの流体噴出孔とを備え、前記搬送レールの上板の収容孔部に、前記環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする請求項1又は2に記載の非接触搬送装置。前記流体噴出孔を1つ備え、該流体噴出孔から噴出した流体は、該円筒状基体の円筒内周壁に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項3に記載の上昇流形成体。前記流体噴出孔は、円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向するように2つ設けられ、該2つの流体噴出孔から噴出した流体は、該流体同士が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項3に記載の上昇流形成体。前記上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂から形成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の非接触搬送装置。上記特許文献1に記載された非接触搬送装置は、リング状部材の表面側に該表面側から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせて搬送物パネル等を浮上させるものであるが、旋回流の中心部は負圧が発生し、搬送物の浮き上がり過ぎを防止できる効果を有する反面、搬送物の端部は振幅が大きくなるという欠点と、プロセス工程における旋回流による負圧と真空引きの負圧が重なると旋回流による浮上機能がなくなり、局部的に搬送用レールに接触するという不具合が見出された。また、真空引き用の孔を連通する1つの連続した吸引経路で結び、該吸引経路に結合した1つの真空吸引口を開閉状態とすることにより真空圧力が変化し、被搬送物の浮上量の変動が大きくなるという問題も見出された。本発明は上記諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、負圧の発生を防ぎ、搬送される被搬送物の端部の振幅を小さくできると共に浮上量を大きくすることができ、真空吸引口の開閉操作によっても被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる非接触搬送装置を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明は、非接触搬送装置であって、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に結合された1つの空気供給口と、上面に開口すると共に前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、該搬送レールの上板の収容孔部に装着された上昇流形成体とからなり、前記下板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合されることを特徴とする。本発明の非接触搬送装置によれば、真空引き用の空気吸引経路は、長手方向被搬送物の搬送方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックに空気吸引経路にそれぞれ1つの真空吸引口が結合されているため、真空吸引口の開閉操作により空気吸引経路が全開あるいは全閉されることはなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口の開閉操作が行われるので、被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる。上記作用効果を発揮する本発明の非接触搬送装置は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し前記上板の収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する1つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、前記上板の収容孔部に装着された上昇流形成体とからなり、前記中板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも2つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ1つの真空吸引口が結合されている構成であってもよい。本発明の非接触搬送装置において、搬送レールを上板、中板及び下板の3層構造とした上で、空気供給経路を中板の上面に、空気吸引経路を下板の上面に設けることにより、あるいは空気供給経路及び空気吸引経路を中板の上、下面に設けることにより、空気供給経路及び空気吸引経路の作製が容易となり、製造コストをより低減させることができる。そして、上記構成からなる被接触搬送装置は、特に搬送工程の高精度な平面度を必要とするプロセス工程に使用されて好適である。上記非接触搬送装置の上板の収容孔部に装着される上昇流形成体は、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも1つの流体噴出孔とを備え、前記搬送レールの上板の収容孔部に、前記環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着される。該上昇流形成体において、流体噴出孔は、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう1つの流体噴出孔であっても、また円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向する2つ流体噴出孔であってもよい。1つの流体噴出孔を備えた上昇流形成体においては、流体噴出孔から噴出した空気は、円筒状基体の円筒内壁面に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成し、また2つの流体噴出孔を備えた上昇流形成体においては、流体噴出孔から噴出した空気は、空気同志が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する。上記した上昇流形成体により生じる噴出空気は、噴霧状に分散して上昇流を形成するので、被搬送物パネル等にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる。上記上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂を射出成形することによって形成されるのが好ましく、熱可塑性合成樹脂としては、ポリフェニレンサルファイド樹脂PPSが挙げられる。以上のように、本発明によれば、被搬送物にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる非接触搬送装置を提供することができる。次に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。尚、以下の説明においては、搬送用流体として空気を用い、被搬送物として液晶ガラス以下ガラスと略称する。を搬送する場合を例にとって説明する。非接触搬送装置1は、図1に示すように、ガラスGを非接触で搬送するために使用され、2つの搬送工程2及び3用の非接触搬送装置2a及び3aと、これら搬送工程2及び3に挟まれたプロセス工程4用の非接触搬送装置4aとから構成される。搬送工程2及び3用の非接触搬送装置2a及び3aは、後述する上昇流形成体6を、搬送レール5に2列にわたって、図1の紙面上で上、下方向に配置して構成され、図1の搬送工程2及び3では、非接触搬送装置2a及び3aをそれぞれ並列に3基配置している。非接触搬送装置1のプロセス工程4用の非接触搬送装置4aは、図2a、bに示すように、空気の上昇流を発生させる上昇流形成体6と、空気を吸い込む真空吸引用の直径1~2mm程度の吸引孔7とが搬送レール8の長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個配置されて形成されている。搬送レール8は、図2bに示すように、上板9と中板10と下板11からなる3層構造を有している。上板9は、図3aに示すように、搬送面としての上面9aに穿設され、該上面9aに開口する平面視円形の開口部9bを有する円筒内壁面部9cと、該円筒内壁面部9cと環状肩部9dを介して拡径し、該上板9の下面9eに開口する拡径円筒内壁面部9fを有する収容孔部9gと、該収容孔部9gと隣接して上板9の上面9aから下面9eに向けて貫通して形成された吸引孔7を、図2に示すように、該上板9の長手方向X及び幅方向Yに沿って交互に複数個備えている。図3に戻り、該上板9の収容孔部9gには、例えばポリフェニレンサルファイド樹脂PPS等の熱可塑性合成樹脂から形成された上昇流形成体6が装着される。上昇流形成体6は、図9a乃至dに示すように、上面に開口する平面視円形の開口部6aを有すると共に、該開口部6aに連通する円筒内壁面6bを有する有底の円筒状基体部6cと、該円筒状基体部6cの開口部6aの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部6dと、該環状鍔部6dの外周面6eに該外周面6eの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に伸びる複数個本実施の形態では4個の係合垂下部6fと、該係合垂下部6fの下端に外方に突出する係合突起部6gと、円筒状基体部6cの外周面6hから円筒内壁面6bに開口すると共に、先端部6iが該円筒状基体部6cの中心Oに向かう少なくとも1つ本実施の形態では1つの流体噴出孔6jを備えている。該上昇流形成体6は、図3bに示すように、環状鍔部6dの外周面6eを該上板9の収容孔部9gの円筒内壁面部9cに圧入嵌合し、係合垂下部6fの係合突起部6gを該収容孔部9gの環状肩部9dに係合させると共に、該環状鍔部6dの上面6kを該上板9の上面9aと面一にして該収容孔部9gに装着されている。この上昇流形成体6は、図10a及びbに示すように、流体噴出孔6jから噴出した空気を円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突させ、該空気に円筒内壁面6bの開口部6aの上方に噴霧状に分散する上昇流図10a及び中の矢印を生じさせ、該上昇流によってガラスGを非接触で搬送する。この上昇流形成体6においては、負圧を生じないので被搬送物であるガラスGの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔6jから噴出した空気は、円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスGにストレスを与えることを極力抑えることができる。中板10は、図4及び図7に示すように、中板10の上面10aに前記上板9に形成された複数個の収容孔部9gにそれぞれ連通する1つの連続した断面半円状の空気供給経路としての空気供給凹溝10bと、一方の端部が該空気供給凹溝10bに開口し、他方の端部が該中板10の下面10cに開口する1つの連通孔10dと、一方の端部が前記上板9に形成された吸引孔7に開口し、他方の端部が該中板10の下面10cに開口する複数個の貫通孔10eとを備えている。下板11は、図5、図6及び図8に示すように、該下板11の上面11aに前記中板10に形成された複数個の貫通孔10e10eの中板10の下面10c側の開口部を長手方向に沿って4つのブロック11b1、11b2、11b3及び11b4に分割図7及び図8参照し、分割された各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4に位置する貫通孔10e1、10e2、10e3、10e4の開口部にそれぞれ連通する連続した四つの断面半円状の空気吸引経路としての空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4と、各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4にそれぞれ結合された真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4と、前記中板10に形成された1つの連通孔10dに結合された空気給気口11eを備えている。そして、図2bに示すように、上板9に形成された複数個の収容孔部9gを中板10の上面10aに開口する1つの連続した断面半円状の空気供給凹溝10bに連通させ、複数個の吸引孔7を中板10の上面10aに開口する複数個の貫通孔10eに連通させて、該上板9を中板10の上面10aに位置せしめ、中板10の下面10cに開口する連通孔10dに下板11に設けられた空気給気口11eを結合させると共に、中板10の下面10cに開口する各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の貫通孔10e1、10e2、10e3及び10e4に断面半円状の空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4を連通させると共に、空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4に真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4を結合させて、中板10を下板11の上面11aに位置させることにより搬送レール8が形成される。該搬送レール8は、上板9、中板10及び下板11をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。上記構成からなるプロセス工程4用の非接触搬送装置4aを示す図11において、搬送レール8の空気給気口11eに供給された圧縮空気は、空気給気口11eに連通する連通孔10dを介して搬送レール8の中板10の上面10aに形成された1つの連続した空気供給凹溝10bに供給される。空気供給凹溝10bに供給された圧縮空気は、搬送レール8の上板9に形成された複数個の収容孔部9gに供給され、該収容孔部9gに装着された上昇流形成体6の流体噴出孔6jからそれぞれ噴出して円筒状基体部6c図3b参照の円筒内壁面6bに衝突し、該円筒内壁面6bの開口部6aの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流によりガラスGを浮上させると同時に、搬送レール8の上板9の上面9aに開口する吸引孔7において、図8に示すように、各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の給気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4に結合された真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4からの吸引が行われ、該上昇流による浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、該ガラスGは高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。上述のように、上記非接触搬送装置4aにおいては、空気吸引経路としての空気吸引凹溝11cは、長手方向Xに沿ってブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の4つのブロックに分割され、各ブロック11b1、11b2、11b3及び11b4の空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4にそれぞれ1つの真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4が結合されているため、真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4の開閉操作を空気吸引凹溝11c1、11c2、11c3及び11c4毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口11d1、11d2、11d3及び11d4の開閉操作が行われるので、ガラスGの浮上量の変動を極力小さくすることができる。また、上記非接触搬送装置4aにおける上昇流形成体6においては、負圧を生じないのでガラスGの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔6jから噴出した空気は、円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスGにストレスを与えることを極力抑えることができる。図12a、bは、上昇流形成体6の他の実施の形態を示すもので、上昇流形成体60は、上面に開口する平面視円形の開口部60aを有すると共に、該開口部60aに連通する円筒内壁面60bを有する有底の円筒状基体部60cと、該円筒状基体部60cの開口部60aに周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部60dと、該環状鍔部60dの外周面60eに該外周面60eの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に伸びる複数個本実施の形態においては4個の係合垂下部60fと、該係合垂下部60fの下端に外方に突出する係合突起部60gと、該円筒状基体部60cの外周面60hから円筒内壁面60bに開口すると共に、先端部60iを該円筒状基体部60cの中心Oに向かって相対向する2つの流体噴出孔60j及び60jを備えている。該上昇流形成体60は、図示しないが前記図2bあるいは図bに示した上昇流形成体6の収容孔部9gへの装着と同様に、環状鍔部60dの外周面60eを該収容孔部9gの円筒内壁面部9cに圧入嵌合し、係合垂下部60fの係合突起部60gを該収容孔部9gの環状肩部9dに係合させると共に、該環状鍔部60dの上面60kを該上板9の上面9aと面一にして該収容孔部9gに装着される。この上昇流形成体60は、図12及び図13a、bに示すように、流体噴出孔60j、60jから噴出した空気を円筒状基体部60cの外周面60hから円筒内壁面60bに開口すると共に、先端部60i、60iが該円筒状基体部60cの中心Oに向かって相対向する流体噴出孔60j、60jから噴出して空気同志を衝突させ、該空気に円筒内壁面60bの開口部60aの上方に噴霧状に分散する上昇流を生じさせるものであり、当該上昇流によってガラスGを非接触で搬送する。この上昇流形成体60においても、前記した上昇流形成体6と同様に、負圧を発生しないので搬送時のガラスGの浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔60j、60jから噴出した空気は、空気同志が衝突することにより空気の噴出速度を低下させると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスGにストレスを与えることを極力抑えることができる。図14a、bは、前記図1に示す非接触搬送装置1のプロセス工程4用の非接触搬送装置4aにおける搬送レール8の他の実施の形態を示すもので、搬送レール80は、前記搬送レール8と同様、上板90、中板100及び下板110とからなる3層構造を有している。搬送レール80の上板90は、図15a、bに示すように、前記搬送レール8の上板9と同様、搬送面としての上面90aに穿設され、該上面90aに開口する平面視円形の開口部90bを有する円筒内壁面部90cと、該円筒内壁面部90cと環状肩部90dを介して拡径し、上板90の下面90eに開口する拡径円筒内壁面部90fを有する収容孔部90gと、該収容孔部90gに隣接して該上板90の上面90aから下面90eに向けて貫通して形成された吸引孔70を、図14に示すように、該上板90の長手方向X及び幅方向Yに沿って交互に複数個備えている。該上板90の収容孔部90gには、前記上昇流形成体6が環状鍔部6dの外周面6eを該収容孔部90gの円筒内壁面部90cに圧入嵌合し、係合垂下部6fの係合突起部6gを該収容孔部90gの環状肩部90dに係合させると共に、該環状鍔部6dの上面6kを該上板90の上面90aと面一にして該収容孔部90gに装着される。中板100は、図16a、bに示すように、中板100の上面100aに形成された上方に開口する断面半円状の空気供給経路としての空気供給凹溝100bと、該中板100の下面100cに形成された下方に開口する断面半円状の空気吸引経路としての空気吸引凹溝100dを備えている。空気供給凹溝100bは、図17に示すように、上昇流形成体6の配置図14aに合わせ、平面視菱形格子状に形成される。空気供給凹溝100bの底部には、図16bに示すように、中板100の下面100cに開口する連通孔100eが連通して設けられ、この連通孔100eは、図17に示すように、中板100の全体を通して1つのみが設けられる。空気供給凹溝100bは、図14bに示すように、上板90、中板100及び下板110を積層させた際に、上板90の収容孔部90gのそれぞれと連通している。空気吸引凹溝100d1、100d2は、図14b、図16a、b、図17及び図18に示すように、上板90に形成された吸引孔70と同径で、一方の端部が中板100の上面100aに開口して形成された複数個の連通孔100fの他方の端部の開口部を該中板100の長手方向に沿って2つのブロック100g、100hに分割し、分割された各ブロック100g、100hに位置する複数個の連通孔100f1100f1、100f2の開口部をそれぞれ連通して形成されている。下板110は、図14bに示すように、下板110の上面110aに開口し、かつ前記中板100の空気供給凹溝100bに連通する連通孔100eに開口すると共に、下板110の下面110bに開口する1つの空気給気口110cと、下板110の上面110aに開口し、かつ前記中板100の下面100cに開口して形成された各ブロック100g、100hの空気吸引凹溝100d1、100d2に連通すると共に、下板110の下面110bに開口する真空吸引口110d1不図示、110d2を備えている。そして、図14bに示すように、上板90に該上板90の長手方向X及び幅方向Yに沿って複数個形成された収容孔部90gのそれぞれに中板100の上面100aに開口する連続した1つの空気供給凹溝100bを連通させ、吸引孔70を中板100の上面100aに開口する複数個の連通孔100fに連通させて該上板90を中板100の上面100aに位置せしめ、中板100に形成された空気供給凹溝100bに連通すると共に、該中板100の下面100cに開口する1つの連通孔100eに下板110に形成された空気給気口110cを結合させ、中板100の下面100cに分割して形成された2つのブロック100g、100hからなる空気吸引凹溝100d1、100d2の各ブロック100g、100hに位置する連通孔100f1、100f2に下板110に形成された真空吸引口110dを結合させて該中板100を下板110の上面110aに位置させることにより搬送レール80が形成される。搬送レール80は、上板90、中板100及び下板110をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。上記構成からなるプロセス工程4用の非接触搬送装置4aを示す図19において、搬送レール80の下板110に設けられた空気給気口110cに供給された圧縮空気は、空気給気口110cに連通する連通孔100eを介して搬送レール80の中板100の上面100aに形成された1つの連続した空気供給経路としての断面半円状の空気供給凹溝100bに供給される。空気供給凹溝100bに供給された圧縮空気は、搬送レール80の上板90に形成された複数個の収容孔部90gに供給され、該収容孔部90gに装着された上昇流形成体6の流体噴出孔6jから噴出し、該流体噴出孔6jから噴出した空気は、図10に示すように、円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突して円筒内壁面6bの開口部6aの上方に噴霧状に分散する上昇流を生じ、この上昇流によりガラスGを浮上させると同時に、搬送レール80の上板90の上面90aに開口する吸引孔70において、図18に示すように、搬送レール80の中板100の下面100cに形成された各ブロック100g及び100hの空気吸引凹溝100d1、100d2に結合された真空吸引口110d1不図示、110d2からの吸引が行われ、該上昇流形成体6において生じる上昇流による浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、ガラスGは高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。上記非接触搬送装置4aにおいては、空気吸引凹溝100dは、長手方向Xに沿ってブロック100g、100hの2つのブロックに分割され、各ブロック100g、100hの空気吸引凹溝100d1、100d2にそれぞれ1つの真空吸引口110d1、110d2が結合されているため、真空吸引口110d1、110d2の開閉操作を空気吸引凹溝100d1、100d2毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口110d1、110d2の開閉操作が行われるので、ガラスGの浮上量の変動を極力小さくすることができる。また、上記非接触搬送装置4aにおける上昇流形成体6においては、負圧を生じないのでガラスGの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔6jから噴出した空気は、円筒状基体部6cの円筒内壁面6bに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスGにストレスを与えることを極力抑えることができる。尚、上昇流形成体6として、上昇流形成体60を使用しても同様の作用効果を得ることができる。上述したプロセス工程4に搬送されたガラスGは、上昇流形成体6又は60によって生じる上方に噴霧状に分散する上昇流によって浮上すると共に、各上昇流形成体6又は60間に位置せしめられた吸引孔7又は70で周囲の空気を真空吸引することで、30~50μmの浮上高さに高精度に制御される。このプロセス工程4では、ガラスGに対する各種検査や加工が行われる。検査や加工が終了したガラスGは、搬送工程3に搬送され、その後、浮上した状態で次工程へ搬送される。以上説明したように、本発明の非接触搬送装置は、搬送レールの搬送面に該搬送レールの長手方向及び幅方向に沿って交互に設けられた複数個の上昇流形成体と吸引孔と、各上昇流形成体に連通する1つの連続した空気供給経路としての空気供給凹溝と該空気供給凹溝に結合された空気給気口と、搬送面に開口する吸引孔の他方の端部の開口部を該搬送レールの長手方向に沿って少なくとも2つのブロックに分割し、分割した各ブロックに位置する吸引孔の開口部にそれぞれ連通する連続した1つの空気供給経路としての空気供給凹溝と該空気吸引凹溝に結合された真空吸引口を備え、空気給気口から供給された圧縮空気は空気供給凹溝を通って上昇流形成体に供給され、上昇流形成体において該上昇流形成体の開口部の上方に噴霧状に分散する上昇流を生じさせ、この上昇流によって被搬送物を浮上させると共に、吸引孔において、空気吸引凹溝を介して真空吸引口からの吸引が行われ、該上昇流形成体において生じる浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、被搬送物を高精度な平面度をもって非接触で搬送するものである。上記構成からなる本発明の非接触搬送装置によれば、空気吸引凹溝は、長手方向に沿って少なくとも2つのブロックに分割され、各ブロックの空気吸引凹溝にそれぞれ1つの真空吸引口が結合されているため、真空吸引口の開閉操作を空気吸引凹溝毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる。また、上記非接触搬送装置における上昇流形成体においては、負圧を生じないので被搬送物の搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔から噴出した空気は、空気の噴出速度を低下させると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、被搬送物にストレスを与えることを極力抑えることができる。