"直交の関係にあるx方向及びy方向によって規定されるx-y平面に位置する振動子51と、該振動子51から、前記x-y平面に垂直なz方向に離れた基台10と、該基台10から前記振動子51の位置するx-y平面まで延びたアンカー30と、該アンカー30と前記振動子51とを連結する、前記z方向及び該z方向の回りである周方向に弾性を有する連結梁55と、前記周方向に前記振動子51を振動する駆動部53と、前記振動子51のz方向の変位を検出する第1検出部67と、を有する角速度センサであって、前記振動子51は、前記x-y平面の平面形状が環状の外部振動子57と、該外部振動子57の内環面57aによって囲まれた領域内に配置され、前記x-y平面の平面形状が環状の内部振動子56と、を有し、前記連結梁55は、一端が前記外部振動子57の内環面57aに連結され、他端が前記内部振動子56の外環面56bに連結された第1連結梁80と、一端が前記第1連結梁80に連結され、他端が前記アンカー30に連結された第2連結梁81と、を有し、前記駆動部53は、前記外部振動子57と前記内部振動子56とを前記周方向にて互いに逆向きに連成振動させ、前記第2連結梁81の一端が、前記第1連結梁80における前記外部振動子57と前記内部振動子56とが連成振動した際に節となる部位P2に連結されていることを特徴とする角速度センサ。前記外部振動子57の中心と、前記内部振動子56の中心とが一致していることを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。前記外部振動子57の内環面57aと、前記内部振動子56の外環面56bとの間の距離が一定であり、前記外部振動子57と前記内部振動子56とは、複数の前記第1連結梁80を介して連結されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の角速度センサ。前記連結梁55は、1つの前記第1連結梁80当たり、2つの前記第2連結梁81を有し、前記第1連結梁80の前記z方向に沿う2つの側面それぞれに、前記第2連結梁81の一端が接続されていることを特徴とする請求項1~3いずれか1項に記載の角速度センサ。前記第1連結梁80は、前記外部振動子57の内環面57aと前記内部振動子56の外環面56bとを直交する、直線形状を成すことを特徴とする請求項1~4いずれか1項に記載の角速度センサ。前記第2連結梁81は、前記x-y平面の平面形状が矩形を成し、長手方向が、前記第1連結梁80に沿う第1梁部82及び第2梁部83と、前記x-y平面の平面形状が宀部状を成し、前記第1梁部82及び前記第2梁部83よりも剛性が高い剛性部84と、前記x-y平面の平面形状が矩形を成し、長手方向が、前記第1連結梁80と直交する第3梁部85と、を有し、前記剛性部84は、長手方向が前記第1連結梁80に沿う錘部83aと、該錘部83aの中央から前記第1連結梁80とは離れる方向に突出した1つの第1凸部83bと、前記錘部83aの両端部それぞれから前記第1連結梁80に近づく方向に突出した2つの第2凸部83cと、有し、前記第2連結梁81の他端に相当する、前記第1梁部82の両端が、前記アンカー30に連結され、前記第1梁部82の中央が、前記第1凸部83bに連結され、前記第2梁部83の両端が、前記第2凸部83cに連結され、前記第3梁部85の一端が、前記第2梁部83の中央に連結され、前記第2連結梁81の一端に相当する、前記第3梁部85の他端が、前記第1連結梁80における節となる部位P2に連結されていることを特徴とする請求項5に記載の角速度センサ。前記第2連結梁81は、前記x-y平面の平面形状が矩形を成し、長手方向が、前記第1連結梁80と直交する第4梁部86及び第5梁部87と、前記x-y平面の平面形状がコの字状を成し、その両端が、前記第1連結梁80から離れるように位置する第6梁部88及び第7梁部89と、前記x-y平面の平面形状が矩形を成し、前記第6梁部88と前記第7梁部89とを連結する第8梁部90と、を有し、前記第2連結梁81の他端に相当する、前記第4梁部86における前記第1連結梁80から離れた端部が、前記アンカー30に連結され、前記第4梁部86における前記第1連結梁80側の端部が、前記第6梁部88の中央に連結され、前記第6梁部88は、前記第7梁部89よりも小さく、前記第7梁部89の端部の間の領域に位置しており、前記第6梁部88及び前記第7梁部89それぞれの端部が、前記第8梁部90の端部と連結され、前記第5梁部87の一端が、前記第7梁部89の中央に連結され、前記第2連結梁81の一端に相当する、前記第5梁部87の他端が、前記第1連結梁80における節となる部位P2に連結されていることを特徴とする請求項5に記載の角速度センサ。前記駆動部53は、前記振動子51に設けられた可変駆動電極63と、前記基台10に固定され、前記可変駆動電極63と前記周方向に直交する方向において対向する固定駆動電極64と、を有することを特徴とする請求項1~7いずれか1項に記載の角速度センサ。前記可変駆動電極63は、前記外部振動子57及び前記内部振動子56の両方に設けられていることを特徴とする請求項8に記載の角速度センサ。前記可変駆動電極63は、前記外部振動子57及び前記内部振動子56の一方に設けられていることを特徴とする請求項8に記載の角速度センサ。前記第1検出部67は、前記x-y平面に位置する第1可変検出電極70と、該第1可変検出電極70と前記振動子51とを連結する、前記z方向に弾性を有する連結部72と、前記第1可変検出電極70と前記z方向において対向する、前記基台10に固定された第1固定検出電極71と、を有することを特徴とする請求項1~10いずれか1項に記載の角速度センサ。前記第1検出部67は、前記x方向において、前記振動子51を介して対向配置された2つの前記第1可変検出電極70を有することを特徴とする請求項11に記載の角速度センサ。前記第1検出部67は、前記y方向において、前記振動子51を介して対向配置された2つの前記第1可変検出電極70を有することを特徴とする請求項12に記載の角速度センサ。前記連結梁55は、連結部72よりも、z方向の弾性率が小さく、z方向に捩れ易いことを特徴とする請求項12又は請求項13に記載の角速度センサ。前記振動子51のz方向に直交する方向の変位を検出する第2検出部68を有し、該第2検出部68は、前記振動子51に設けられた第2可変検出電極77と、前記基台10に固定され、前記第2可変検出電極77と前記周方向に直交する方向において対向する第2固定検出電極79と、を有することを特徴とする請求項1~14いずれか1項に記載の角速度センサ。前記振動子51の振動状態を観測するモニター部52を有し、該モニター部52は、前記振動子51に設けられた可変モニター電極59と、前記可変モニター電極59と前記周方向に直交する方向において対向する、前記基台10に固定された固定モニター電極61と、を有することを特徴とする請求項1~15いずれか1項に記載の角速度センサ。ところで、上記したように、特許文献1に示される集積微小電気機械構造では、弾性アンカー素子の一端が駆動質量に連結され、他端が、基板に固定されたアンカーに連結されている。これによれば、駆動質量が運動した際に生じる振動が、弾性アンカー素子を介して、アンカーに伝播されることとなる。アンカーに伝播した振動は、基板にて反射され、反射された振動は、アンカーと弾性アンカー素子とを介して、駆動質量に戻ってくる。この結果、駆動質量の運動状態が不安定となり、角速度の検出精度が低下する、という不具合が生じる。そこで、本発明は上記問題点に鑑み、角速度の検出精度の低下が抑制された角速度センサを提供することを目的とする。上記した目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、直交の関係にあるx方向及びy方向によって規定されるx-y平面に位置する振動子51と、該振動子51から、x-y平面に垂直なz方向に離れた基台10と、該基台10から振動子51の位置するx-y平面まで延びたアンカー30と、該アンカー30と振動子51とを連結する、z方向及び該z方向の回りである周方向に弾性を有する連結梁55と、周方向に振動子51を振動する駆動部53と、振動子51のz方向の変位を検出する第1検出部67と、を有する角速度センサであって、振動子51は、x-y平面の平面形状が環状の外部振動子57と、該外部振動子57の内環面57aによって囲まれた領域内に配置され、x-y平面の平面形状が環状の内部振動子56と、を有し、連結梁55は、一端が外部振動子57の内環面57aに連結され、他端が内部振動子56の外環面56bに連結された第1連結梁80と、一端が第1連結梁80に連結され、他端がアンカー30に連結された第2連結梁81と、を有し、駆動部53は、外部振動子57と内部振動子56とを周方向にて互いに逆向きに連成振動させ、第2連結梁81の一端が、第1連結梁80における外部振動子57と内部振動子56とが連成振動した際に節となる部位P2に連結されていることを特徴とする。このように本発明によれば、第2連結梁81の一端が、第1連結梁80における外部振動子57と内部振動子56とが連成振動した際に節となる部位P2に連結され、他端が、基台10に固定されたアンカー30に連結されている。節とは、振動がゼロであり、振幅がゼロの点である。したがって、上記構成によれば、振動子56,57の振動が、連結梁55を介して基台10に伝播することが抑制される。そのため、基台10に伝播した振動が基台10にて反射され、反射された振動が、振動子56,57に戻ってくることが抑制される。この結果、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制され、角速度の検出精度が低下することが抑制される。請求項2に記載のように、外部振動子57の中心と、内部振動子56の中心とが一致した構成が好適である。これによれば、外部振動子の中心と、内部振動子の中心とが不一致の構成と比べて、振動子56,57が偏心運動することが抑制され、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制される。この結果、角速度の検出精度が低下することが抑制される。請求項3に記載のように、外部振動子57の内環面57aと、内部振動子56の外環面56bとの間の距離が一定であり、外部振動子57と内部振動子56とは、複数の第1連結梁80を介して連結された構成が好適である。これによれば、外部振動子57と内部振動子56とを連結する複数の第1連結梁80の形状を同一とすることができる。これにより、各第1連結梁80のバネ定数を一定とすることができ、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制される。この結果、角速度の検出精度が低下することが抑制される。請求項4に記載のように、連結梁55は、1つの第1連結梁80当たり、2つの第2連結梁81を有し、第1連結梁80のz方向に沿う2つの側面それぞれに、第2連結梁81の一端が接続された構成が好適である。これによれば、1つの第1連結梁80に1つの第2連結梁81が接続された構成と比べて、第1連結梁80における節となる部位P2を、第2連結梁81によってより強固に支持することができる。したがって、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制され、角速度の検出精度が低下することが抑制される。請求項5に記載のように、第1連結梁80は、外部振動子57の内環面57aと内部振動子56の外環面56bとを直交する、直線形状を成す構成が好適である。これによれば、周方向の一方向、及び、その逆方向それぞれのバネ定数が同一となるので、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制される。この結果、角速度の検出精度が低下することが抑制される。z方向及びz方向の周方向に弾性を有する連結梁55の具体的な構成としては、請求項6に記載のように、第2連結梁81は、x-y平面の平面形状が矩形を成し、長手方向が、第1連結梁80に沿う第1梁部82及び第2梁部83と、x-y平面の平面形状が宀部状を成し、第1梁部82及び第2梁部83よりも剛性が高い剛性部84と、x-y平面の平面形状が矩形を成し、長手方向が、第1連結梁80と直交する第3梁部85と、を有し、剛性部84は、長手方向が第1連結梁80に沿う錘部83aと、該錘部83aの中央から第1連結梁80とは離れる方向に突出した1つの第1凸部83bと、錘部83aの両端部それぞれから第1連結梁80に近づく方向に突出した2つの第2凸部83cと、有し、第2連結梁81の他端に相当する、第1梁部82の両端が、アンカー30に連結され、第1梁部82の中央が、第1凸部83bに連結され、第2梁部83の両端が、第2凸部83cに連結され、第3梁部85の一端が、第2梁部83の中央に連結され、第2連結梁81の一端に相当する、第3梁部85の他端が、第1連結梁80における節となる部位P2に連結された構成を採用することができる。これによれば、z方向に沿う加速度などの外力が振動子56,57に印加されると、梁部82,83が、z方向に捩れる。すると、その捩れによって、剛性部84がz方向に変位し、第1連結梁80がz方向に変位する。また、第1連結梁80と第2連結梁81とは、全体形状として、十字状、若しくは⊥字状に連結されるので、第1連結梁80の節となる部位P2を中心として、周方向に撓むことが可能と成っている。z方向及びz方向の周方向に弾性を有する連結梁55の具体的な構成としては、請求項7に記載のように、第2連結梁81は、x-y平面の平面形状が矩形を成し、長手方向が、第1連結梁80と直交する第4梁部86及び第5梁部87と、x-y平面の平面形状がコの字状を成し、その両端が、第1連結梁80から離れるように位置する第6梁部88及び第7梁部89と、x-y平面の平面形状が矩形を成し、第6梁部88と第7梁部89とを連結する第8梁部90と、を有し、第2連結梁81の他端に相当する、第4梁部86における第1連結梁80から離れた端部が、アンカー30に連結され、第4梁部86における第1連結梁80側の端部が、第6梁部88の中央に連結され、第6梁部88は、第7梁部89よりも小さく、第7梁部89の端部の間の領域に位置しており、第6梁部88及び第7梁部89それぞれの端部が、第8梁部90の端部と連結され、第5梁部87の一端が、第7梁部89の中央に連結され、第2連結梁81の一端に相当する、第5梁部87の他端が、第1連結梁80における節となる部位P2に連結された構成を採用することができる。これによれば、z方向に沿う加速度などの外力が振動子56,57に印加されると、梁部86,87,89が、z方向に捩れる。すると、その捩れによって、第1連結梁80がz方向に変位する。また、第1連結梁80と第2連結梁81とは、全体形状として、十字状、若しくは⊥字状に連結されるので、第1連結梁80の節となる部位P2を中心として、周方向に撓むことが可能と成っている。請求項8に記載のように、駆動部53は、振動子51に設けられた可変駆動電極63と、基台10に固定され、可変駆動電極63と周方向に直交する方向において対向する固定駆動電極64と、を有する構成が良い。これによれば、駆動電極63,64に生じる静電気力によって、振動子51を振動させることができる。外部振動子57と内部振動子56とを連成振動する構成としては、請求項9に記載のように、可変駆動電極63は、外部振動子57及び内部振動子56の両方に設けられた構成が良い。これによれば、振動子56,57それぞれに静電気力が印加されるので、可変駆動電極63が外部振動子57若しくは内部振動子56に設けられた構成と比べて、外部振動子57と内部振動子56との連成振動状態が不安定となることが抑制される。この結果、角速度の検出精度が低下することが抑制される。しかしながら、外部振動子57と内部振動子56とを連成振動する他の構成としては、請求項10に記載のように、可変駆動電極63は、外部振動子57及び内部振動子56の一方に設けられた構成を採用することはできる。請求項11に記載のように、第1検出部67は、x-y平面に位置する第1可変検出電極70と、該第1可変検出電極70と振動子51とを連結する、z方向に弾性を有する連結部72と、第1可変検出電極70とz方向において対向する、基台10に固定された第1固定検出電極71と、を有する構成を採用することができる。これによれば、z方向に直交する方向x-y平面に沿う方向の角速度を検出することができる。請求項12に記載のように、第1検出部67は、x方向において、振動子51を介して対向配置された2つの第1可変検出電極70を有する構成が好ましい。振動子51は、周方向に振動するので、x方向において互いに対向する振動子51の対向部位の振動方向は、互いに逆向きとなる。したがって、x方向において、振動子51を介して対向配置された2つの第1可変検出電極70が、x方向に角速度が印加された際に変位する方向は逆となる。これとは反対に、x方向に加速度などの外力が印加された場合、上記した2つの第1可変検出電極70が変位する方向は同一となる。したがって、一方の第1可変検出電極70と第1固定検出電極71との間の静電容量変化、及び、他方の第1可変検出電極70と第1固定検出電極71との間の静電容量変化の差分を検出すれば、外力による静電容量変化をキャンセルすることができる。これにより、外力による角速度の検出精度の低下が抑制される。請求項13に記載のように、第1検出部67は、y方向において、振動子51を介して対向配置された2つの第1可変検出電極70を有する構成が好ましい。これによれば、x方向の角速度だけではなく、y方向の角速度も検出することができる。また、請求項12に記載の発明と同等の作用効果を奏することができる。請求項12及び請求項13に記載の構成の場合、請求項14に記載のように、連結梁55は、連結部72よりも、z方向の弾性率が小さく、z方向に捩れ易い構成が好ましい。上記したように、xy方向において、振動子51を介して対向配置された2つの第1可変検出電極70は、x方向に角速度が印加された際に逆向きに変位する。しかしながら、その変位量は、各第1可変検出電極70を振動子51に固定する連結部72に製造誤差があるとバラツキが生じる。変位量にバラツキが生じると、外力による静電容量変化を充分にキャンセルすることができなくなり、外力による角速度の検出精度の低下を抑制することができなくなる虞がある。上記したように、振動子51は、連結梁55を介してアンカー30基台10に連結されており、第1可変検出電極70は、連結部72を介して振動子51に連結されている。したがって、対向配置された2つの第1可変検出電極70それぞれは、連結梁55を介してアンカー30に固定されていることとなる。請求項14に記載のように、連結梁55が連結部72よりもz方向に捩れ易い構成では、連結部72ではなく、主として、連結梁55がz方向に捩れるために、第1可変検出電極70がz方向に変位する。このように、各第1可変検出電極70は、互いに共通する連結梁55のz方向への捩れのために、z方向に変位するので、各連結部72に製造誤差があったとしても、各第1可変検出電極70の変位量にバラツキが生じることが抑制される。この結果、外力による静電容量変化を充分にキャンセルすることができ、外力による角速度の検出精度の低下が抑制される。請求項15に記載のように、振動子51のz方向に直交する方向の変位を検出する第2検出部68を有し、該第2検出部68は、振動子51に設けられた第2可変検出電極77と、基台10に固定され、第2可変検出電極77と周方向に直交する方向において対向する第2固定検出電極79と、を有する構成が良い。これによれば、z方向の角速度を検出することができる。請求項16に記載のように、振動子51の振動状態を観測するモニター部52を有し、該モニター部52は、振動子51に設けられた可変モニター電極59と、可変モニター電極59と周方向に直交する方向において対向する、基台10に固定された固定モニター電極61と、を有する構成が良い。これによれば、振動子51の振動状態を観測することができる。以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。第1実施形態図1は、第1実施形態に係る角速度センサの概略構成を示す上面図である。図2は、図1のII-II線に沿う断面図である。図3は、角速度センサの駆動状態を示す上面図である。図4は、接線部の捩れを説明するための部分斜視図である。図5は、コリオリ力印加時の第1検出部の変位を示す断面図である。図6は、外力印加時の第1検出部の変位を示す断面図である。図7は、外力印加時の第1検出部の変位を示す断面図である。図8は、連結梁の概略構成を示す上面図である。図9は、連結梁の振動状態を示す上面図である。図10は、外力印加時の連結梁の変位を示す断面図である。なお、上記した上面図では、後述する基台10、アンカー30、及び、浮遊部50を区別するために、アンカー30と浮遊部50とにハッチングを入れている。また、以下においては、直交の関係にあるx方向及びy方向によって規定される平面をx-y平面、x-y平面に直交する方向をz方向と示す。角速度センサ100は、図1及び図2に示すように、要部として、基台10と、該基台10からz方向に離れた浮遊部50と、基台10と浮遊部50とを連結するアンカー30と、を有する。浮遊部50は、振動子51と、モニター部52と、駆動部53と、検出部54と、連結梁55と、を有する。アンカー30は、浮遊部50の構成要素51~55を基台10に連結するアンカー31~34を有し、図示しないが、アンカー31~34それぞれに電極が形成されている。振動子51は、連結梁55を介して第1アンカー31に固定され、基台10に対して変位可能となっている。運動状態の振動子51に角速度が印加されると、運動方向と角速度の印加方向とに直交する方向にコリオリ力が生じ、これによって振動子51が変位する。コリオリ力による振動子51の変位量を検出することで、角速度が検出される。振動子51は、x-y平面の平面形状が環状の内部振動子56及び外部振動子57を有し、内部振動子56は、外部振動子57の内環面57aによって囲まれた領域内に配置されている。内部振動子56と外部振動子57とは連結梁55を介して連結され、連結梁55は、第1アンカー31を介して基台10に固定されている。内部振動子56及び外部振動子57はそれぞれ円環状を成し、それぞれの中心が、振動子51の中心点P1図1にバツ印で示す部位で一致している。この結果、内部振動子56と外部振動子57との間の距離が一定となっている。後述するように、内部振動子56及び外部振動子57はそれぞれ、中心点P1をz方向に貫く中心線図2に破線で示す線回りの周方向にて互いに逆向きに連成振動する。なお、第1アンカー31に形成された電極にはDC電圧が入力され、このDC電圧が連結梁55を介して振動子51に入力される。モニター部52は、振動子51から延びた可変モニター梁58と、該可変モニター梁58から周方向に延びた可変モニター電極59と、第2アンカー32に固定された固定モニター梁60と、該固定モニター梁60から周方向に延びた固定モニター電極61と、を有する。本実施形態では、可変モニター梁58が、内部振動子56の内環面56aから中心点P1に向って延び、可変モニター電極59が、可変モニター梁58における周方向に面する側面から櫛歯状に延びている。また、固定モニター梁60及び第2アンカー32が、内部振動子56の内環面56aによって囲まれた領域内に設けられ、固定モニター梁60における可変モニター梁58との対向面から、固定モニター電極61が櫛歯状に延びている。これにより、モニター電極59,61が互いに噛み合わさり、周方向に垂直な方向中心点P1から放射状に延びる放射方向にて互いに対向している。モニター電極59,61はそれぞれ、中心点P1回りの円弧状を成しており、振動子56,57が周方向に振動する際に、モニター電極59,61が互いに衝突しないようになっている。上記したように、可変モニター梁58は振動子51から延びているので、可変モニター梁58から延びた可変モニター電極59はDC電圧となっている。そのため、可変モニター電極59と対向する固定モニター電極61の電位は、DC電圧に依存して変動することとなる。固定モニター電極61は固定モニター梁60から延び、固定モニター梁60は第2アンカー32に固定されているので、第2アンカー32に形成された電極からは、DC電圧に依存する信号が出力されることが期待される。図1に示すように、本実施形態では、4本の可変モニター梁58が、右回りに等間隔で内部振動子56に設けられ、4つの第2アンカー32が中心点P1の周囲に設けられている。また、4本の固定モニター梁60が右回りに等間隔で第2アンカー32に設けられている。4本のモニター梁58,60の内の2本の梁58,60から、周方向における右方向に向ってモニター電極59,61が延び、残り2本のモニター梁58,60から、周方向における左方向に向ってモニター電極59,61が延びている。駆動部53は、振動子51から延びた可変駆動梁62と、該可変駆動梁62から周方向に延びた可変駆動電極63と、第3アンカー33から周方向に延びた固定駆動電極64と、を有する。本実施形態では、可変駆動梁62が、内部振動子56の外環面56bから外部振動子57に向って延びた第1可変駆動梁65と、外部振動子57の内環面57aから内部振動子56に向って延びた第2可変駆動梁66と、を有する。可変駆動梁65,66の間に、第3アンカー33及び固定駆動電極64が位置し、可変駆動梁65,66における第3アンカー33との対向面から第3アンカー33に向って、可変駆動電極63が櫛歯状に延びている。また、第3アンカー33における可変駆動梁65,66との対向面から可変駆動梁65,66それぞれに向って、固定駆動電極64が櫛歯状に延びている。これにより、駆動電極63,64が互いに噛み合わさり、放射方向にて互いに対向している。駆動電極63,64はそれぞれ、中心点P1回りの円弧状を成しており、振動子56,57が周方向に振動する際に、駆動電極63,64が互いに衝突しないようになっている。本実施形態に係る可変駆動梁62は、可変駆動梁65,66それぞれを4つ有し、可変駆動梁65,66それぞれが右回りに等間隔で配置されている。これにより、内部振動子56を介して対向配置する対を成す第1可変駆動梁65及び第2可変駆動梁66それぞれが2組形成されている。また、4つの第3アンカー33が右回りに等間隔で配置されており、内部振動子56を介して対向配置する対を成す第3アンカー33が2組形成されている。すでに述べたように、内部振動子56と外部振動子57とは周方向に振動するが、振動子56,57を振動させる力は、駆動電極63,64の間に働く静電気力である。この力は引力なので、静電気力の印加方向振動子56,57の変位方向は、可変駆動梁65,66が第3アンカー33に近づく方向であり、それは、可変駆動電極63が可変駆動梁65,66から周方向に延びる方向である。図1に示すように、中心点P1から12時の位置を基準として右方向に45°、225°に位置して対を成す第1可変駆動梁65からは右方向に向って可変駆動電極63が延び、対を成す第2可変駆動梁66からは左方向に向って可変駆動電極63が延びている。また、右方向に135°、315°に位置して対を成す第1可変駆動梁65からは左方向に向って可変駆動電極63が延び、第2可変駆動梁66からは右方向に向って可変駆動電極63が延びている。これによれば、45°及び225°に位置する可変駆動梁65,66の間の第3アンカー33に形成された電極に、可変駆動電極63の電位振動子51の電位でありDC電圧よりも低い電位が印加されると、第1可変駆動梁65に右方向の静電気力が生じ、第2可変駆動梁66に左方向の静電気力が生じる。この結果、内部振動子56が右方向に変位し、外部振動子57が左方向に変位する。これとは反対に、135°及び315°に位置する可変駆動梁65,66の間の第3アンカー33に形成された電極に、DC電圧も低い電位が印加されると、第1可変駆動梁65に左方向の静電気力が生じ、第2可変駆動梁66に右方向の静電気力が生じる。この結果、内部振動子56が左方向に変位し、外部振動子57が右方向に変位する。以上、示したように、45°及び225°に位置する第3アンカー33の電極と135°及び315°に位置する第3アンカー33の電極とに印加する電位を反転させることで、振動子56,57の変位方向を逆向きにすることができる。本実施形態では、第3アンカー33に極性が一定周期で変動する駆動電圧Vdされるが、内部振動子56と外部振動子57とを周方向にて互いに逆向きに連成振動させるために、45°及び225°に位置する第3アンカー33の電極と、135°及び315°に位置する第3アンカー33の電極とに印加される駆動電圧Vdの位相が反転している。検出部54は、振動子51のz方向の変位を検出する第1検出部67と、振動子51のz方向に垂直な方向の変位を検出する第2検出部68と、を有する。図1及び図2に示すように、第1検出部67は、可変部69と、該可変部69に設けられた第1可変検出電極70と、該第1可変検出電極70とz方向にて対向する第1固定検出電極71と、可変部69と外部振動子57とを連結する連結部72と、を有する。可変部69における基台10との対向面に、第1可変検出電極70が形成され、基台10における可変部69との対向面に、第1固定検出電極71が形成されている。第1固定検出電極71から、第1検出電極70,71間の静電容量変化が出力される。連結部72は、平面形状が宀部状を成し、周方向の接線方向に延びた直線状の接線部73と、接線部73の両端から外部振動子57に延びた第1延設部74と、接線部73の中央から可変部69に延びた第2延設部75と、を有する。この構成により、接線部73は、周方向に撓み難く、放射方向に撓み易く、z方向に捩れ易くなっている。そのため、第1検出電極70,71間の静電容量変化が、振動子51のz方向の変位に追従し易くなっている。なお、本実施形態に係る連結部72は、連結梁55よりも、z方向の弾性率が高くz方向に捩れ難くなっている。換言すれば、連結梁55は、連結部72よりも、z方向の弾性率が小さくz方向に捩れ易くなっている。上記したように、振動子56,57は、連結梁55を介して第1アンカー31基台10に連結されており、第1可変検出電極70は、連結部72を介して外部振動子57に連結されている。したがって、第1可変検出電極70は、連結梁55を介してアンカー30に固定されていることとなる。上記したように、連結梁55は、連結部72よりもz方向に捩れ易くなっているため、第1可変検出電極70は、連結部72ではなく、主として、連結梁55がz方向に捩れるために、z方向に変位する。図1に示すように、本実施形態では、4つの第1検出部67a~67dが、右回りに等間隔で外部振動子57に設けられており、振動子51を介して、第1検出部67a,67cが対向配置され、第1検出部67b,67dが対向配置されている。上記したように、振動子51は、周方向に振動するが、その対向部位における周方向の接線方向の変位方向は逆向きと成る。したがって、対向配置された第1検出部67a,67c第1検出部67b,67dでは、接線方向の変位方向が逆向きとなる。第2検出部68は、振動子51から延びた可変検出梁76と、該可変検出梁76から周方向に延びた第2可変検出電極77と、第4アンカー34に固定された固定検出梁78と、該固定検出梁78から周方向に延びた第2固定検出電極79と、を有する。可変検出梁76は、外部振動子57の外環面57bから放射方向に延び、第2可変検出電極77は、可変検出梁76における周方向に面する側面から、櫛歯状に延びている。そして、固定検出梁78は、第4アンカー34から可変検出梁76と対向するように振動子51側へ延び、第2固定検出電極79は、固定検出梁78における可変検出梁76との対向面から可変検出梁76に向って櫛歯状に延びている。これにより、第2検出電極77,79が互いに噛み合わさり、放射方向にて互いに対向している。第2検出電極77,79はそれぞれ、中心点P1回りの円弧状を成しており、振動子56,57が周方向に振動する際に、第2検出電極77,79が互いに衝突しないようになっている。第4アンカー34に形成された電極から、第2検出電極77,79間の静電容量変化が出力される。図1に示すように、2つの第2検出部68a,68bが、右回りに等間隔で外部振動子57に設けられており、振動子51を介して、第2検出部68a,68bが対向配置されている。したがって、対向配置された第2検出部68a,68bでは、接線方向の変位方向が逆となる。連結梁55は、第1アンカー31と振動子51とを連結するものである。連結梁55は、一端が外部振動子57の内環面57aに連結され、他端が内部振動子56の外環面56bに連結された第1連結梁80と、一端が第1連結梁80に連結され、他端が第1アンカー31に連結された第2連結梁81と、を有する。これにより、連結梁55は、z方向及び周方向に弾性を有している。本実施形態では、1つの第1連結梁80に2つの第2連結梁81が連結されており、連結梁55の平面形状が十字状を成している。なお、連結梁55は、本実施形態の特徴点なので、後で説明する。次に、角速度センサ100の動作と、角速度の検出原理について説明する。上記したように、第1アンカー31にDC電圧が印加され、45°及び225°に位置する第3アンカー33の電極と、135°及び315°に位置する第3アンカー33の電極とに、逆位相の駆動電圧Vdが印加される。すると、内部振動子56と外部振動子57それぞれに、周方向にて逆方向に静電引力が印加され、内部振動子56と外部振動子57とが周方向で逆方向に連成振動する。すなわち、図3に実線矢印で示すように、内部振動子56が右方向に変位した場合、外部振動子57は左方向に変位し、図3に破線矢印で示すように、内部振動子56が左方向に変位した場合、外部振動子57は右方向に変位する。この際、第1連結梁80は、振動子51との連結端を固定端、第2連結梁81との連結部位を節として振動するように湾曲する。また、第2連結梁81は、第1アンカー31との連結端を固定端、第1連結梁80との連結部位を節として振動するように湾曲する。この振動状態において、例えば、z方向に直交する方向x-y平面に沿う方向に角速度が印加されると、z方向に沿うコリオリ力が振動子51に生じる。すると、図4に示すように、接線部73の中央第2延設部75を介して可変部69と連結された部位がz方向に捩れ、振動子51がz方向に変位する。これにより、第1検出電極70,71間の相対距離が変動し、その静電容量も変化する。上記したように、振動子51の対向部位における周方向の接線方向の変位方向は逆向きである。したがって、振動子51の対向部位に印加されるコリオリ力の印加方向は互いに逆向きとなる。例えば、第1検出部67bから第1検出部67dに向う角速度が印加されると、図5に示すように、第1検出部67bが上方に変位し、第1検出部67dが下方に変位する。また、図示しないが、第1検出部67aから第1検出部67cに向う角速度が印加されると、第1検出部67aが上方に変位し、第1検出部67cが下方に変位する。これによれば、振動子51を介して、対向配置された第1検出部67b,67d第1検出部67a,67cの変位方向が互いに逆向きとなるので、コリオリ力による第1検出電極70,71間の相対距離の変動も逆となり、その静電容量も逆に変化する。したがって、第1検出部67b,67d第1検出部67a,67cそれぞれにて検出された静電容量変化の差分をとることで、コリオリ力角速度が検出される。なお、z方向に沿う加速度などの外力が振動子51に印加された場合、この外力によっても第1検出電極70,71間の相対距離が変動し、静電容量も変化する。しかしながら、図6及び図7に示すように、外力による第1検出部67b,67d第1検出部67a,67cの変位方向は同一であり、第1検出電極70,71間の相対距離の変動も同一となる。したがって、上記したように、第1検出部67b,67d第1検出部67a,67cにて検出された静電容量変化の差分をとることで、外力による静電容量変化はキャンセルされる。また、上記した振動状態において、z方向に角速度が印加されると、z方向に直交する方向に沿うコリオリ力が振動子51に生じ、振動子51がx-y平面に沿う方向に変位する。上記したように、振動子51を介して、対向配置された第2検出部68a,68bの変位方向は互いに逆向きなので、第2検出部68a,68bそれぞれにて検出された変位量静電容量変化の差分をとることで、コリオリ力角速度が検出される。なお、z方向に直交する外力が振動子51に印加された場合、第2検出部68a,68bは同方向に変位するので、第2検出電極77,79の静電容量も変化する。しかしながら、外力による第2検出部68a,68bの変位方向は同一であり、第2検出電極77,79間の相対距離の変動も同一となる。したがって、上記したように、第2検出部68a,68bにて検出された静電容量変化の差分をとることで、外力による静電容量変化はキャンセルされる。次に、本実施形態の特徴点である連結梁55について図8~図10に基づいて説明する。上記したように、連結梁55は、内部振動子56と外部振動子57とを連結する第1連結梁80と、第1連結梁80と第1アンカー31とを連結する第2連結梁81と、を有する。図8に示すように、第1連結梁80は、外部振動子57の内環面57aと内部振動子56の外環面56bとを直交する直線形状を成し、第1連結梁80のz方向に沿う2つの側面それぞれに、1つの第2連結梁81が接続されている。第2連結梁81は、平面形状が矩形を成し、長手方向が、第1連結梁80に沿う第1梁部82及び第2梁部83と、平面形状が宀部状を成し、第1梁部82及び第2梁部83よりも剛性が高い剛性部84と、平面形状が矩形を成し、長手方向が、第1連結梁80と直交する第3梁部85と、を有する。剛性部84は、長手方向が第1連結梁80に沿う錘部84aと、該錘部84aの中央から第1連結梁80とは離れる方向に突出した1つの第1凸部84bと、錘部84aの両端部それぞれから第1連結梁80に近づく方向に突出した2つの第2凸部84cと、有する。第1梁部82の両端が、第1アンカー31に連結され、第1梁部82の中央が、第1凸部84bに連結され、第2梁部83の両端が、第2凸部84cに連結されている。そして、第3梁部85の一端が、第2梁部83の中央に連結され、第3梁部85の他端が、第1連結梁80に連結されている。図3に示すように、振動子56,57が逆方向に連成振動すると、連結梁55は振動するように湾曲するが、第2連結梁81第3梁部85の一端は、第1連結梁80における振動子56,57が連成振動した際に節となる部位P2黒丸で示す部位に連結されている。これにより、連結梁55の概略的な全体形状が、第1連結梁80の節となる部位P2を中心とする十字状を成している。なお、第2連結梁81の節となる部位は、第1連結梁80の節となる部位P2と一致している。この構成の場合、第1連結梁80と第2連結梁81とは、全体形状として十字状に連結されているので、第1連結梁80の節となる部位P2を中心として、周方向に撓むことが可能と成る。図9に示すように、第1連結梁80と第3梁部85とがそれぞれ部位P2を中心として弓形に湾曲する。また、z方向に沿う加速度などの外力が振動子56,57に印加されると、図10に示すように、梁部82,83が、z方向に捩れる。すると、その捩れによって、剛性部84がz方向に変位し、第1連結梁80がz方向に変位する。本実施形態では、4つの連結梁55が、右回りに等間隔で、内部振動子56と外部振動子57との間に設けられており、内部振動子56を介して対向配置する対を成す連結梁55が2組形成されている。上記したように、内部振動子56と外部振動子57との間の距離が一定となっており、4つの連結梁55それぞれの形状は、同一となっている。したがって、各連結梁55における第1連結梁80の節となる部位P2と中心点P1との距離は一定となっている。次に、本実施形態に係る角速度センサ100の作用効果を説明する。上記したように、第2連結梁81第3梁部85の一端が、第1連結梁80における振動子56,57が連成振動した際に節となる部位P2に連結されている。節とは、振動がゼロであり、振幅がゼロの点である。したがって、上記構成によれば、振動子56,57の振動が、連結梁80,81を介して基台10に伝播することが抑制される。そのため、基台10に伝播した振動が基台10にて反射され、反射された振動が、振動子56,57に戻ってくることが抑制される。この結果、振動子51の振動状態が不安定となることが抑制され、角速度の検出精度が低下することが抑制される。内部振動子56の中心と、外部振動子57の中心とが一致している。これによれば、内部振動子の中心と、外部振動子の中心とが不一致の構成と比べて、振動子56,57が偏心運動することが抑制され、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制される。この結果、角速度の検出精度が低下することが抑制される。4つの連結梁55が、内部振動子56と外部振動子57との間に設けられており、4つの連結梁55それぞれの形状は、同一となっている。これによれば、各連結梁55のバネ定数が一定となるので、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制され、角速度の検出精度が低下することが抑制される。第1連結梁80に、2つの第2連結梁81が接続されている。これによれば、1つの第1連結梁に1つの第2連結梁が接続された構成と比べて、第1連結梁80における節となる部位P2を、第2連結梁81によってより強固に支持することができる。したがって、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制され、角速度の検出精度が低下することが抑制される。第1連結梁80は、外部振動子57の内環面57aと内部振動子56の外環面56bとを直交する直線形状を成している。これによれば、第1連結梁80の右方向及び左方向それぞれのバネ定数が一致するので、振動子56,57の振動状態が不安定となることが抑制される。この結果、角速度の検出精度が低下することが抑制される。内部振動子56の外環面56bから外部振動子57に向って第1可変駆動梁65が延び、外部振動子57の内環面57aから内部振動子56に向って第2可変駆動梁66が延び、可変駆動梁65,66それぞれから可変駆動電極63が延び、可変駆動電極63が固定駆動電極64と対向している。これによれば、第1可変駆動梁65が内部振動子56だけに設けられた構成、若しくは、第2可変駆動梁66が外部振動子57だけに設けられた構成とは異なり、静電引力が振動子56,57に印加されるので、振動子56,57の連成振動状態が不安定となることが抑制される。この結果、角速度の検出精度が低下することが抑制される。可変駆動梁65,66の間に、第3アンカー33及び固定駆動電極64が位置し、第3アンカー33から可変駆動梁65,66に向って、固定駆動電極64が延びている。これによれば、第1可変駆動梁及び第2可変駆動梁それぞれに対して第3アンカーと固定駆動電極とが設けられた構成と比べて、駆動部53の構成が簡素化される。第1検出部67は、z方向にて対向する第1検出電極70,71を有し、4つの第1検出部67a~67dが、振動子51を介して対向配置されている。これによれば、z方向に直交する方向の角速度を検出することができる。また、上記したように、対向配置された第1検出部67a,67c第1検出部67b,67dでは、接線方向の変位方向が逆向きとなり、コリオリ力による第1検出電極70,71間の相対距離の変動も逆となる。そのため、静電容量も逆に変化する。これとは反対に、外力が印加された場合、対向配置された第1検出部67a,67c第1検出部67b,67dが変位する方向は同一となる。したがって、第1検出部67a,67c第1検出部67b,67dそれぞれにて検出された静電容量変化の差分をとることで、外力の影響が除去されたコリオリ力角速度を検出することができる。これにより、外力による角速度の検出精度の低下が抑制される。上記したように、振動子51を介して対向配置された第1検出部67a,67c第1検出部67b,67dそれぞれの第1可変検出電極70は、z方向に直交する方向に角速度が印加された際に逆向きに変位する。しかしながら、その変位量は、各第1可変検出電極70を振動子51に固定する連結部72に製造誤差があるとバラツキが生じる。変位量にバラツキが生じると、外力による静電容量変化を充分にキャンセルすることができなくなり、外力による角速度の検出精度の低下を抑制することができなくなる虞がある。これに対して、本実施形態では、連結梁55が連結部72よりもz方向に捩れ易くなっている。そのため、第1検出部67a,67c第1検出部67b,67dそれぞれの第1可変検出電極70は、連結部72ではなく、主として、連結梁55がz方向に捩れるために、z方向に変位する。このように、各第1可変検出電極70は、互いに共通する連結梁55のz方向への捩れのために、z方向に変位するので、各連結部72に製造誤差があったとしても、各第1可変検出電極70の変位量にバラツキが生じることが抑制される。この結果、外力による静電容量変化を充分にキャンセルすることができ、外力による角速度の検出精度の低下が抑制される。第2検出部68は、z方向に直交する方向にて対向する第2検出電極77,79を有し、2つの第2検出部68a,68bが、振動子51を介して対向配置されている。これによれば、z方向の角速度を検出することができる。また、上記したように、対向配置された第2検出部68a,68bでは、接線方向の変位方向が逆向きとなり、コリオリ力による第2検出電極77,79間の相対距離の変動も逆となる。そのため、静電容量も逆に変化する。これとは反対に、外力が印加された場合、対向配置された第2検出部68a,68bが変位する方向は同一となる。したがって、第2検出部68a,68bそれぞれにて検出された静電容量変化の差分をとることで、外力の影響が除去されたコリオリ力角速度を検出することができる。これにより、外力による角速度の検出精度の低下が抑制される。浮遊部50は、振動子51の振動状態をモニターするモニター部52を有する。これによれば、振動子51の振動状態を観測することができる。なお、本実施形態では、浮遊部50が検出部54を有すると記載した。しかしながら、前述したように、検出部54は、基台10に固定された第1固定検出電極71を有するので、厳密に言えば、浮遊部50が、検出部54の全てを有しているわけではない。しかしながら、説明を簡便とするために、浮遊部50は検出部54を有する、と記載した。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。本実施形態では、振動子56,57がそれぞれ円環状である例を示した。しかしながら、振動子56,57の形状としては上記例に限定されず、振動子56,57の形状が異なっていても良い。したがって、内部振動子56と外部振動子57との間の距離が一定でなくとも良い。ただし、各連結梁55の形状を一致させ、振動子56,57の周方向の振動状態を安定化させるためには、内部振動子56と外部振動子57との間の距離が一定である構成が好ましい。本実施形態では、内部振動子56の中心と、外部振動子57の中心とが一致した例を示した。しかしながら、内部振動子56の中心と、外部振動子57の中心とが不一致の構成を採用することはできる。ただし、本実施形態で示したように、振動子56,57が偏心運動することを抑制するためには、振動子56,57それぞれの中心が一致する構成が好ましい。本実施形態では、図1に示すように、可変モニター梁58が内部振動子56の内環面56aから延び、第2アンカー32が、内部振動子56の内環面56aによって囲まれた領域内に設けられた例を示した。しかしながら、図11に示すように、可変モニター梁58が内部振動子56の外環面56bから延び、第2アンカー32が、内部振動子56の外環面56bと外部振動子57の内環面57aとの間の領域に設けられた構成を採用することもできる。また、図示しないが、可変モニター梁58が外部振動子57の内環面57aから延び、第2アンカー32が、外環面56bと内環面57aとの間の領域に設けられた構成を採用することもできる。更には、可変モニター梁58が外部振動子57の外環面57bから延び、第2アンカー32が、外部振動子57の外環面57bよりも外側の領域に設けられた構成を採用することもできる。図11は、角速度センサの変形例を示す上面図である。本実施形態では、図1に示すように、第1検出部67a~67dそれぞれが、放射方向において、連結梁55と並ばない例を示した。しかしながら、図11に示すように、第1検出部67a~67dと連結梁55とが並んでも良い。図11では、第1検出部67a,67cが、2つの連結梁55と共にy方向で並び、第1検出部67b,67dが、2つの連結梁55と共にx方向で並んでいる。本実施形態では、図1に示すように、外環面56bから第1可変駆動梁65が延び、内環面57aから第2可変駆動梁66が延び、外環面56bと内環面57aとの間の領域に第3アンカー33が位置する例を示した。しかしながら、図11に示すように、内環面56aから中心点P1に向って第1可変駆動梁65が延び、外環面57bから外に向って第2可変駆動梁66が延び、内環面56aによって囲まれた領域及び外環面57bよりも外側の領域それぞれに、第3アンカー33が位置しても良い。また、図示しないが、内環面56aから第1可変駆動梁65が延び、内環面57aから第2可変駆動梁66が延び、内環面56aによって囲まれた領域及び外環面56bと内環面57aとの間の領域それぞれに、第3アンカー33が位置しても良い。更に言えば、外環面56bから第1可変駆動梁65が延び、外環面57bから外に向って第2可変駆動梁66が延び、外環面56bと内環面57aとの間の領域及び外環面57bよりも外側の領域それぞれに、第3アンカー33が位置しても良い。本実施形態では、内部振動子56から第1可変駆動梁65が延び、外部振動子57から第2可変駆動梁66が延びた例を示した。しかしながら、内部振動子56から第1可変駆動梁65のみが延びた構成、若しくは、外部振動子57から第2可変駆動梁66のみが延びた構成を採用することができる。しかしながら、この変形例と比べて、本実施形態で示した構成の方が、振動子56,57の振動状態が安定するので、より好ましい。本実施形態では、図1に示すように、第2検出部68a,68bが、放射方向において、連結梁55と並ぶ例を示した。しかしながら、図11に示すように、第2検出部68a,68bと連結梁55とは並んでいなくとも良い。本実施形態では、角速度センサ100が4つの第1検出部67a~67dを有する例を示したが、第1検出部67の数としては上記例に限定されず、1つ以上であれば良い。しかしながら、加速度などの外力成分を除去するには、振動子51を介して2つの第1検出部67が対向配置された構成が良い。また、x-y平面において、互いに直交の関係にある2つの方向の角速度を検出する場合、本実施形態で示したように、2つの第1検出部67が周方向にて90°離れて配置された構成が良い。本実施形態では、角速度センサ100が2つの第2検出部68a,68bを有する例を示したが、第2検出部68の数としては上記例に限定されず、1つ以上であれば良い。しかしながら、加速度などの外力成分を除去するには、振動子51を介して2つの第2検出部68が対向配置された構成が良い。なお、z方向の角速度を検出しなくとも良い場合、第2検出部68はなくとも良い。本実施形態では、4つの連結梁55を介して、振動子51が第1アンカー31基台10に連結された例を示した。しかしながら、振動子56,57が連成振動可能であれば、連結梁55の数としては上記例に限定されない。本実施形態では、連結梁55の形状として、図8に示す形状を例示した。しかしながら、z方向及び周方向に弾性を有する連結梁55の具体的な構成としては、上記例に限定されない。例えば、図12に示す形状を採用することができる。図12においては、第1連結梁80の形状は本実施形態と同一だが、第2連結梁81の形状が異なる。第2連結梁81は、平面形状が矩形を成し、長手方向が、第1連結梁80と直交する第4梁部86及び第5梁部87と、平面形状がコの字状を成し、その両端が、第1連結梁80から離れるように位置する第6梁部88及び第7梁部89と、平面形状が矩形を成し、第6梁部88と第7梁部89とを連結する第8梁部90と、を有する。第4梁部86における第1連結梁80から離れた端部が、第1アンカー31に連結され、第4梁部86における第1連結梁80側の端部が、第6梁部88の中央に連結され、第6梁部88は、第7梁部89よりも小さく、第7梁部89の端部の間の領域に位置している。そして、第6梁部88及び第7梁部89それぞれの端部が、第8梁部90の端部と連結され、第5梁部87の一端が、第7梁部89の中央に連結され、第5梁部87の他端が、第1連結梁80における節となる部位P2に連結されている。これによれば、z方向に沿う加速度などの外力が振動子56,57に印加されると、梁部86,87,89が、z方向に捩れる。すると、その捩れによって、第1連結梁80がz方向に変位する。また、第1連結梁80と第2連結梁81とは、全体形状として十字状に連結されるので、第1連結梁80の節となる部位P2を中心として、周方向に撓むことが可能と成る。図12は、連結梁の変形例を示す上面図である。"