マルチチャンネル高周波RF発生器モジュールであって、N個の高周波出力をそれぞれ生成するN個の電力増幅器と、M個のドライバ制御信号にそれぞれ基づき、上記N個の電力増幅器を駆動するM個のドライバと、交流AC入力電力を受電し、L個のレール電圧設定値にそれぞれ基づき、上記N個の電力増幅器へL個のレール電圧を入力する電力供給モジュールと、上記L個のレール電圧設定値およびM個のドライバ制御信号を設定する制御モジュールとを備え、Nは1より大きい整数であり、LおよびMは0より大きい整数であり、かつN以下であることを特徴とするマルチチャンネル高周波発生器モジュール。L、M、およびNは、2に等しいことを特徴とする、請求項1に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。LおよびMの一方が2に等しく、LおよびMのもう一方が1に等しいことを特徴とする、請求項1に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。N個の高周波出力に応じたN個の反射係数をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールをさらに備え、上記制御モジュールは、上記N個の反射係数にそれぞれ基づき、上記M個のドライバ制御信号を決定し、MはNに等しいことを特徴とする、請求項1に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記N個の高周波出力に応じたN個の反射係数をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールと、分配モジュールとをさらに備え、上記制御モジュールは、上記N個の反射係数のうちの最大のものに基づき、一つのドライバ制御信号を決定し、Mは1に等しく、上記一つのドライバ制御信号に基づき、一つのドライバが一つのドライバ信号を生成し、上記分配モジュールは、上記一つのドライバ信号からN個のドライバ信号を生成し、上記N個のドライバ信号にそれぞれ基づき、上記N個の電力増幅器を駆動することを特徴とする、請求項1に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記N個の高周波出力に応じたN個の実効的な入射電力およびN個の反射係数をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールをさらに備え、上記制御モジュールは、上記N個の実効的な入射電力にそれぞれ基づき、上記L個のレール電圧設定値を設定し、LはNに等しいことを特徴とする、請求項1に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記N個の高周波出力に応じたN個の実効的な入射電力をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールと、上記N個の実効的な入射電力に基づき、上記マルチチャンネル高周波発生器モジュールの全入射電力を決定するフィードバックモジュールとをさらに備え、上記制御モジュールは、上記全入射電力に基づき、上記L個のレール電圧設定値を設定することを特徴とする、請求項1に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記パラメータ決定モジュールは、上記N個の高周波出力に応じたN個の反射係数をさらにそれぞれ決定し、上記フィードバックモジュールは、上記N個の実効的な入射電力と上記N個の反射係数の関数に基づき、上記全入射電力を決定することを特徴とする、請求項7に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記フィードバックモジュールは、上記全入射電力を、上記N個の実効的な入射電力の平均に等しく設定することを特徴とする、請求項7に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記パラメータ決定モジュールは、上記N個の高周波出力に応じたN個の反射係数をさらにそれぞれ決定し、上記フィードバックモジュールは、上記N個の高周波出力のうちの一つの反射係数の第一の絶対値が、上記N個の高周波出力のうちの別の反射係数の第二の絶対値に比べて大きいとき、上記全入射電力を、上記N個の高周波出力のうちの一つと関連するN個の入射電力のうちの一つと等しく設定することを特徴とする、請求項7に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記パラメータ決定モジュールは、上記N個の高周波出力に応じたN個の反射係数をさらにそれぞれ決定し、上記フィードバックモジュールは、上記全入射電力を、に等しく設定し、Nは2に等しく、ΓNは上記N個の反射係数のうちのN番目のものであり、PFwdNは上記N個の実効的な入射電力のうちのN番目のものであることを特徴とする、請求項7に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記パラメータ決定モジュールは、上記N個の高周波出力に応じたN個の反射係数をさらにそれぞれ決定し、上記フィードバックモジュールは、上記全入射電力を、に等しく設定し、Nは2に等しく、ΓNは上記N個の反射係数のうちのN番目のものであり、PFwdNは上記N個の実効的な入射電力の内のN番目のものであることを特徴とする、請求項7に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。マルチチャンネル高周波RF発生器モジュールであって、N個の高周波出力をそれぞれ生成するN個の電力増幅器と、M個のドライバ制御信号にそれぞれ基づき、上記N個の電力増幅器を駆動するM個のドライバと、交流AC入力電力を受電し、L個のレール電圧設定値にそれぞれ基づき、上記N個の電力増幅器へL個のレール電圧を入力する電力供給モジュールと、上記N個の高周波出力に応じたN個の実効的な入射電力をそれぞれ決定し、かつ、上記N個の高周波出力に応じたN個の反射係数をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールと、上記N個の実効的な入射電力および上記N個の反射係数に基づき、上記マルチチャンネル高周波発生器モジュールの全入射電力を決定するフィードバックモジュールと、上記全入射電力に基づき、上記L個のレール電圧設定値を制御する制御モジュールとを備え、Nは1より大きい整数であり、LおよびMは0より大きい整数であり、かつN以下であることを特徴とするマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記フィードバックモジュールは、上記全入射電力を、上記N個の実効的な入射電力の平均に等しく設定することを特徴とする、請求項13に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記フィードバックモジュールは、上記N個の高周波出力のうちの一つの反射係数の第一の絶対値が、上記N個の高周波出力のうちの別の反射係数の第二の絶対値に比べて大きいとき、上記全入射電力を、上記N個の高周波出力のうちの一つと関連する上記N個の実効的な入射電力のうちの一つと等しく設定することを特徴とする、請求項13に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記フィードバックモジュールは、上記全入射電力を、に等しく設定し、Nは2に等しく、ΓNは上記N個の反射係数のうちのN番目のものであり、PFwdNは上記N個の実効的な入射電力のうちのN番目のものであることを特徴とする、請求項13に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記フィードバックモジュールは、上記全入射電力を、に等しく設定し、Nは2に等しく、ΓNは上記N個の反射係数のうちのN番目のものであり、PFwdNは上記N個の実効的な入射電力のうちのN番目のものであることを特徴とする、請求項13に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。LおよびMは2に等しいことを特徴とする、請求項13に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。LおよびMの一方が2に等しく、LおよびMのもう一方が1に等しいことを特徴とする、請求項13に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。分配モジュールをさらに備え、上記制御モジュールは、上記N個の反射係数のうちの最大のものに基づき、一つのドライバ制御信号を生成し、Mは1に等しく、上記一つのドライバ制御信号に基づき、一つのドライバが一つのドライバ信号を生成し、上記分配モジュールは、上記一つのドライバ信号からN個のドライバ信号を生成し、上記N個のドライバ信号にそれぞれ基づき、上記N個の電力増幅器を駆動することを特徴とする、請求項13に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。マルチチャンネル高周波RF発生器モジュールであって、高周波出力をそれぞれ生成する少なくとも二つの電力増幅器と、少なくとも一つのドライバ制御信号に基づき、上記電力増幅器を駆動する少なくとも一つのドライバと、交流AC入力電力を受電し、少なくとも一つのレール電圧設定値に基づき、上記電力増幅器へ少なくとも一つのレール電圧を入力する電力供給モジュールと、上記少なくとも一つのレール電圧設定値を設定し、かつ、上記少なくとも一つのドライバ制御信号を設定する制御モジュールとを備えることを特徴とするマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記少なくとも二つの電力増幅器は二つの電力増幅器を備え、上記少なくとも一つのドライバは二つのドライバを備え、上記少なくとも一つのレール電圧は二つのレール電圧を含むことを特徴とする、請求項21に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記少なくとも二つの電力増幅器の高周波出力に応じた少なくとも二つの反射係数をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールをさらに備え、上記制御モジュールは、上記反射係数に基づき、上記少なくとも一つのドライバ制御信号を設定することを特徴とする、請求項21に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記少なくとも二つの電力増幅器の高周波出力に応じた少なくとも二つの反射係数をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールと、分配モジュールとをさらに備え、上記制御モジュールは、上記反射係数のうちの最大のものに基づき、一つのドライバ制御信号のみを決定し、上記少なくとも一つのドライバは一つのドライバのみを備え、上記ドライバは、上記一つのドライバ制御信号に基づき、一つのドライバ信号を生成し、上記分配モジュールは、上記一つのドライバ信号から少なくとも二つのドライバ信号を生成し、上記少なくとも二つのドライバ信号にそれぞれ基づき、上記少なくとも二つの電力増幅器を駆動することを特徴とする、請求項21に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記少なくとも二つの電力増幅器の高周波出力に応じた、少なくとも二つの実効的な入射電力および少なくとも二つの反射係数をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールをさらに備え、上記制御モジュールは、上記実効的な入射電力に基づき、上記少なくとも一つのレール電圧設定値を設定することを特徴とする、請求項21に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。上記少なくとも二つの電力増幅器の高周波出力に応じた少なくとも二つの実効的な入射電力をそれぞれ決定するパラメータ決定モジュールと、上記少なくとも二つの実効的な入射電力に基づき、上記マルチチャンネル高周波発生器モジュールの全入射電力を決定するフィードバックモジュールとをさらに備え、上記制御モジュールは、上記全入射電力に基づき、上記少なくとも一つのレール電圧設定値を設定することを特徴とする、請求項21に記載のマルチチャンネル高周波発生器モジュール。マルチチャンネル高周波RF発生器モジュールであって、高周波出力をそれぞれ生成するための少なくとも二つの電力増幅手段と、少なくとも一つのドライバ信号に基づき、上記電力増幅手段を駆動するための少なくとも一つのドライバ手段と、交流AC入力電力を受電し、少なくとも一つのレール電圧設定値に基づき、上記電力増幅手段へ少なくとも一つのレール電圧を入力するための電力供給手段と、上記少なくとも一つのレール電圧設定値を設定し、かつ、上記少なくとも一つのドライバ信号を設定するための制御手段とを備えることを特徴とするマルチチャンネル高周波発生器。上記少なくとも二つの電力増幅手段は二つの電力増幅手段を備え、上記少なくとも一つのドライバ手段は二つのドライバ手段を備え、上記少なくとも一つのレール電圧は二つのレール電圧を含むことを特徴とする、請求項27に記載のマルチチャンネル高周波発生器。上記少なくとも二つの電力増幅器の高周波出力に応じた少なくとも二つの反射係数をそれぞれ決定するための決定手段をさらに備え、上記制御手段は、上記反射係数にそれぞれ基づき、上記少なくとも一つのドライバ制御手段を設定するためのものであることを特徴とする、請求項27に記載のマルチチャンネル高周波発生器。上記少なくとも二つの電力増幅器の高周波出力に応じた少なくとも二つの反射係数をそれぞれ決定するための決定手段と、分配手段とをさらに備え、上記制御手段は、上記反射係数のうちの最大のものに基づき、一つのドライバ制御信号のみを決定するためのものであり、上記少なくとも一つのドライバ手段は、上記一つのドライバ制御信号に基づき、一つのドライバ信号のみを生成するための一つのドライバ手段のみを備え、上記分配手段は、上記一つのドライバ信号から少なくとも二つのドライバ信号を生成し、上記少なくとも二つのドライバ信号にそれぞれ基づき、上記少なくとも二つの電力増幅器を駆動するためのものであることを特徴とする、請求項27に記載のマルチチャンネル高周波発生器。上記少なくとも二つの電力増幅器の高周波出力に応じた少なくとも二つの実効的な入射電力および少なくとも二つの反射係数を決定するための決定手段をさらに備え、上記制御手段は、上記実効的な入射電力に基づき、上記少なくとも一つのレール電圧設定値を設定するためのものであることを特徴とする、請求項27に記載のマルチチャンネル高周波発生器。上記少なくとも二つの電力増幅器の高周波出力に応じた少なくとも二つの実効的な入射電力をそれぞれ決定するための決定手段と、上記少なくとも二つの実効的な入射電力に基づき、上記マルチチャンネル高周波発生器の全入射電力を決定するためのフィードバック手段とをさらに備え、上記制御モジュールは、上記全入射電力に基づき、上記少なくとも一つのレール電圧設定値を設定するためのものであることを特徴とする、請求項27に記載のマルチチャンネル高周波発生器。