"半導体基板又は少なくとも1つの太陽電池が形成された半導体基板のいずれかである板状部材を保持して表面が伸縮するように湾曲させる保持部と、保持部により表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する検出センサとを備える太陽電池の検査装置。保持部は、板状部材の表面の周縁部を解放可能に吸着する周縁吸着部と、前記表面の中央部を解放可能に吸着する中央吸着部と、板状部材の表面に直交する方向に周縁吸着部と中央吸着部とを相対的に移動させる移動部とを備える請求項1記載の太陽電池の検査装置。保持部は、周縁吸着部および中央吸着部によって板状部材の上面を吸着し、移動部により周縁吸着部を中央吸着部に対して上昇させて板状部材を湾曲させた後、周縁吸着部を解放させる請求項2記載の太陽電池の検査装置。板状部材が4つの角部を有する請求項2又は3記載の太陽電池の検査装置。周縁吸着部の吸着する周縁部が前記4つの角部の内の1つの対角線上の2つの角部である請求項4記載の太陽電池の検査装置。板状部材が4つの角部を有し、保持部は板状部材の4つの角部をそれぞれ吸着する4つの吸着部と、各吸着部を板状部材の表面に直交する方向に互いに相対移動させる4つの移動部とを備える請求項1記載の太陽電池の検査装置。保持部は4つの吸着部によって板状部材の上面を吸着し、前記4つの角部の内の対角線上の2つの角部を吸着する2つの吸着部を移動部により上昇させて板状部材を湾曲させた後、解放させる請求項6記載の太陽電池の検査装置。保持部は4つの吸着部によって板状部材の上面を吸着し、前記4つの角部の内の対角線上の2つの角部を吸着する2つの吸着部を移動部により上昇させて板状部材を湾曲させた後、前記2つの吸着部を下降させると共に残り2つの吸着部を上昇させて板状部材を逆に湾曲させる請求項6記載の太陽電池の検査装置。請求項1に記載の検査装置と、前記検査装置の保持部を搬送する搬送装置と、前記検査装置と搬送装置を制御する制御部とを備え、制御部は、搬送装置に保持部を板状部材が載置された箇所へ移動させ、板状部材を保持させた後、板状部材の廃棄箇所の上へ移動させ、保持部材によって板状部材を湾曲させた後に、検出センサに破壊の有無を検出させ、破壊が検出された時には保持部から板状部材を解放させて板状部材を廃棄箇所へ落下させ、破壊が検出されない時には板状部材を、次の工程のために載置する箇所へ搬送させる太陽電池検査システム。半導体基板又は半導体基板上に形成された太陽電池セルのいずれかである板状部材を、表面が伸縮するように湾曲させる工程と、表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する工程とを備えた太陽電池の検査方法。請求項10記載の太陽電池セル検査方法を用いた太陽電池製造方法。しかしながら、太陽電池セルの内部割れの原因を調査する従来の方法や装置は、太陽電池の割れの防止対策に適用できるが、実際の太陽電池の製造工程ラインを速やかに流れる太陽電池セルの良否の選別には適用が難しいという問題点があった。この発明はこのような事情を考慮してなされたもので、実際の太陽電池の製造ラインを流れる太陽電池セルの良否の選別に容易に適用することが可能な太陽電池の検査装置および検査方法を提供するものである。この発明は、半導体基板又は少なくとも1つの太陽電池が形成された半導体基板のいずれかである板状部材を保持して表面が伸縮するように湾曲させる保持部と、保持部により表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する検出センサとを備える太陽電池の検査装置を提供するものである。この発明は、前記板状部材がマイクロクラックを有する場合、板状部材を表面が伸縮するように湾曲させると、その衝撃によってマイクロクラックを起点として割れる、つまり破壊するという現象を見出すことによってなされたものである。この発明によれば、板状部材は表面又は裏面にマイクロクラックを有すると、保持部による湾曲動作により破壊されてしまうので、それを検出センサが検出したとき、その板状部材をそのまま廃棄すればよい。従って、この発明は、マイクロクラックの発見とその処理を迅速に行うことができるので、容易に太陽電池の製造ラインに効果的に適用することができる。この発明の太陽電池の検査装置は、半導体基板又は少なくとも1つの太陽電池が形成された半導体基板のいずれかである板状部材を保持して表面が伸縮するように湾曲させる保持部と、保持部により表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する検出センサとを備えることを特徴とする。保持部は、板状部材の表面の周縁部を解放可能に吸着する周縁吸着部と、前記表面の中央部を解放可能に吸着する中央吸着部と、板状部材の表面に直交する方向に周縁吸着部と中央吸着部とを相対的に移動させる移動部とを備えてもよい。保持部は、周縁吸着部および中央吸着部によって板状部材の上面を吸着し、移動部により周縁吸着部を中央吸着部に対して上昇させて板状部材を湾曲させた後、周縁吸着部を解放させてもよい。検出センサには、例えば、透過形又は反射形のフォトインタラプタを使用し、湾曲動作の前後に得られる光強度の変化から板状部材が破壊されたか否かを検出してもよいし、CCDカメラを使用し、湾曲動作の前後で板状部材の画像を撮像し、前後に得られた画像を比較して板状部材が破壊されたか否かを検出するようにしてもよい。さらに、周縁吸着部の吸着力の変化を検出するセンサを使用し、湾曲動作の前後に得られる吸着力の変化から板状部材の破壊の有無を検出してもよい。板状部材は4つの角部を有してもよい。周縁吸着部の吸着する周縁部が前記4つの角部の内の対角線上の2つの角部であってもよい。周縁吸着部の吸着する周縁部は、隣接する2つの角部であってもよい。周縁吸着部の吸着する周縁部は、3つ又は4つの角部であってもよい。板状部材が4つの角部を有し、保持部は板状部材の4つの角部をそれぞれ吸着する4つの吸着部と、各吸着部を板状部材の表面に直交する方向に互いに相対移動させる4つの移動部とを備えてもよい。保持部は4つの吸着部によって板状部材の上面を吸着し、前記4つの角部の内の対角線上の2つの角部を吸着する2つの吸着部を移動部により上昇させて板状部材を湾曲させた後、解放させてもよい。保持部は4つの吸着部によって板状部材の上面を吸着し、前記4つの角部の内の対角線上の2つの角部を吸着する2つの吸着部を移動部により上昇させて板状部材を湾曲させた後、前記2つの吸着部を下降させると共に残り2つの吸着部を上昇させて板状部材を逆に湾曲させてもよい。この発明は、別の観点から、上記検査装置と、前記検査装置の保持部を搬送する搬送装置と、前記検査装置と搬送装置を制御する制御部とを備え、制御部は、搬送装置に保持部を板状部材が載置された箇所へ移動させ、板状部材を保持させた後、板状部材の廃棄箇所の上へ移動させ、保持部材によって板状部材を湾曲させた後に、検出センサに破壊の有無を検出させ、破壊が検出された時には保持部から板状部材を解放させて板状部材を廃棄箇所へ落下させ、破壊が検出されない時には板状部材を、次の工程のために載置する箇所へ搬送させる太陽電池検査システムを提供するものである。この発明は、さらに別の観点から、半導体基板又は半導体基板上に形成された太陽電池セルのいずれかである板状部材を、表面が伸縮するように湾曲させる工程と、表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する工程とを備えた太陽電池の検査方法を提供するものである。また、この発明は、上記太陽電池セル検査方法を用いた太陽電池製造方法を提供するものである。以下、図面に示す第1および第2実施形態に基づいてこの発明を詳述する。第1実施形態図1Aはこの発明の第1実施形態の保持ハンド保持部の上面図、図1Bは図1Aの保持ハンドの側面図である。これらの図に示すように保持ハンド1は、四角形の支持板2と、支持板2の4隅から下方へ突出する4本の保持脚4a~4dと、保持脚4a~4dをそれぞれ矢印EおよびF方向に昇降させる4つの昇降シリンダ7a~7bとを備える。保持脚4a~4dは各下端に吸着パッド5a~5dを備え、支持板2はその中央部から下方に突出する中央吸着器6と、中央部から上方に突出する吊下げ部材3を備える。保持ハンド1は、吸着パッド5a~5dおよび中央吸着器6を板状部材シリコン基板又は、少なくとも1つの太陽電池が形成されたシリコン基板10に吸着させて板状部材10を保持し、昇降シリンダ7a~7bによって保持脚4a~4dを選択的に矢印E方向に上昇させると、それによって板状部材10を湾曲させることができるようになっている。図2は保持ハンド1の動作の1例を示す動作説明図である。図2Aは、保持ハンド1により、四角形の支持板2が四角形の板状部材10に互いの角部が対向するように位置合せされ、昇降シリンダ7a~7dが4つの吸着パッド5a~5dを下降させ、吸着パッド5a~5dが板状部材10の4つの角部に接触する状態を示す。図2Bは、次に、吸着パッド5a,5cが板状部材10の対角線上の2つの角部を吸着すると共に、中央吸着器6が板状部材10の中央部を吸着する状態を示す。図2Cは、次に、昇降シリンダ7a,7cによって保持脚4a,4cが上昇し、吸着パッド5a,5cが引上げられて板状部材10が湾曲する状態を示す。図2Dは、次に、吸着パッド5a,5cが板状部材10を解放し、板状部材10が中央吸着器6に吸着されたまま逆方向に湾曲する状態を示す。図3はこの発明の検査システムの構成説明図である。図3に示すように、水平レール13に矢印CおよびD方向に移動するキャリッジ12が設けられ、キャリッジ12には昇降アーム11を矢印AおよびB方向に移動させる昇降装置9が搭載されている。昇降アーム11の下端には、板状部材10を保持する保持ハンド1が吊下げ部材3を介して吊下げられている。水平レール13の下方には、搬入される板状部材10を載置する搬入トレイ14と、保持ハンド1に保持された板状部材10が破壊されたか否かを検出する検出センサとしてのCCDカメラ8と、破壊された板状部材10を回収する回収ボックス15と、破壊されなかった板状部材を受入れて次の工程へ搬送するベルトコンベア16が設けられている。図4は図3に示す検査システムの制御系を示すブロック図である。吸着パッド駆動部22は、吸着パッド5a~5dを駆動してそれぞれに吸着動作をさせる。吸着器駆動部23は、中央吸着器6を駆動して吸着動作をさせる。シリンダ駆動部24は、昇降シリンダ7a~7dを駆動してそれぞれに昇降動作をさせる。昇降装置駆動部25は、昇降装置9を駆動して昇降アーム11を昇降させる。キャリッジ駆動部26は、キャリッジ12を駆動して水平移動させる。CCDカメラ8は、板状部材10の破壊の有無を検出するために、保持ハンド1に保持された板状部材10の画像を撮像する。制御部21は所定のプログラムに基づいて、吸着パッド駆動部22、吸着器駆動部23、シリンダ駆動部24、昇降装置駆動部25、キャリッジ駆動部26およびCCDカメラ8を制御する。図5は図3に示す検査システムの動作を示すフローチャートである。図3~図5を用いて検査システムの動作を説明する。まず、ステップS1において、保持ハンド1を搬入トレイ14の上へ移動させ、次に保持ハンド1を搬入トレイ14に載置された板状部材10の上へ下降させて吸着パッド5a~5dを板状部材10に接触させるステップS2。次に、吸着パッド5a~5dおよび中央吸着器6で吸着することにより板状部材10を保持ハンド1で保持し、保持ハンド1を上昇させるステップS3。次に、保持ハンド1を回収ボックス15の上へ移動させステップS4、保持ハンド1に保持された板状部材10をCCDカメラ8で撮像するステップS5。次に、湾曲解放動作、例えば、図2C~図2Dに示すように、保持脚4a,4cを上昇させて板状部材10を湾曲させた後に吸着パッド5a,5cを解放する動作を行うステップS6。そして、逆方向に湾曲して水平状態に戻った板状部材10を再びCCDカメラ8で撮像しステップS7、ステップS5で撮像した板状部材10の画像とステップS7で撮像した板状部材10の画像の面積を比較し、面積が所定値以上異なっている場合には板状部材10は破壊されたものと判定されステップS8、中央吸着器6が板状部材10を解放する。なお、この場合、ステップS5で得られた画像の画素の平均輝度とステップS7で得られた画像の画素の輝度とを比較し、平均輝度と異なる輝度の画素の数割れた部分の面積が所定値以上である場合に板状部材10が破壊されたものと判定してもよい。中央吸着器6から板状部材10が解放されると、板状部材10は回収ボックス15へ落下して回収されるステップS9。そして、ルーチンはステップS1へ戻る。また、ステップS8において、板状部材10の画像の面積が、前回撮像分と今回撮像分とで所定値以上異なっていない場合には、板状部材10は破壊されなかったものと判定されて次の工程用のベルトコンベア16へ搬送されるステップS10。そして、ルーチンはステップS1へ戻る。ここで、ステップS6の湾曲解放動作は、次の動作を含むものである。14つの吸着パッド5a~5dの内、いずれか2つを用いて板状部材10を湾曲させた後、解放させる。24つの吸着パッド5a~5dの内、いずれか3つを用いて板状部材10を湾曲させた後、解放させる。34つの吸着パッド5a~5dをすべて用いて板状部材10を湾曲させた後、解放させる。4上記1~3の動作を選択的に組合わせるこの場合、解放動作毎に撮像を行う。なお、マイクロクラックを有する板状部材10が湾曲解放動作により、マイクロクラックを起点として破壊するメカニズムは、次の通りである。板状部材10の表面にマイクロクラックが存在する場合、表面が伸びるように湾曲させるとマイクロクラックが拡がる方向に応力がかかるので板状部材10が割れ易いが、表面が縮むように湾曲させるとマイクロクラックが閉じる方向に応力がかかるので、板状部材10は割れにくい。しかし、この発明のように、板状部材10を、その表面が縮み裏面が伸びるように湾曲させ、次にその湾曲状態を解放すると、その反動で表面が伸びて裏面が縮むように湾曲するので、板状部材10は表面および裏面のいずれにマイクロクラックが存在する場合でも、板状部材10はそのマイクロクラックを起点として破壊する。図6は、この発明の太陽電池製造ラインを示す説明図である。図6に示すように、太陽電池製造ラインは、太陽電池セル製造ライン100と、太陽電池モジュール製造ライン200から構成される。太陽電池セル製造ライン100は、ラインの流れに沿って、基板投入部101、基板選別部102、洗浄工程処理部103、拡散工程処理部104、電極形成工程処理部105およびセル搬出部106を備える。また、太陽電池モジュール製造ライン200は、ラインの流れに沿って、セル投入部201、セル選別部202、配線工程処理部203、封止工程処理部204、端子箱枠など取付処理部205およびモジュール搬出部206を備える。そして、基板選別部102およびセル選別部202にそれぞれ図3に示す検査システムが設置される。次に、ライン100,200の動作を説明する。まず、基板投入部101では、所定サイズのシリコン基板を外部から受入れて搬入トレイ14図3に載置する。次の基板選別部102では、図3に示す検査システムが、搬入トレイ14上のシリコン基板を図5に示す手順で検査し、マイクロクラックのない基板を選別し、次の洗浄工程処理部103へ渡す。洗浄工程処理部103では、選別されたマイクロクラックのない基板に対して酸、アルカリ、純水などを用いたウェット洗浄処理によって基板上の異物やコンタミネーション金属不純物を取り除く処理を施す。次に、拡散工程処理部104では、基板上にp型またはn型不純物を含有するドーパント剤を塗布した後、拡散炉中で加熱することで基板にp型またはn型の不純物拡散層を形成するという処理を施す。ここでpn接合を形成することで光電変換が可能となる。次に、電極形成工程処理部105では、p型層およびn型層の表面に電極ペーストをスクリーン印刷法などで塗布形成した後、加熱乾燥させることで焼成電極を形成するという処理を施す。これによって、基板に入射した光のエネルギーによってpn接合で発生した電力キャリアを外部に取り出すことが出来るようになって、太陽電池セルが完成する。次に、セル搬出部106では、完成した太陽電池セルをベルトコンベア図示しないへ順次搭載し、太陽電池モジュール製造ライン200へ搬出する。次に、太陽電池モジュール製造ライン200では、ライン100からベルトコンベアで搬入される太陽電池セルをセル投入部201において受入れて搬入トレイ14図3に載置する。セル選別部202では、図3に示す検査システムが、搬入トレイ14上の太陽電池セル少なくとも1つの太陽電池が形成されたシリコン基板を図5に示す手順で検査し、マイクロクラックのない基板を選別し、次の配線工程処理部203へ渡す。配線工程処理部203では、例えばエチレンビニルアセテートEVAなどの封止材が戴置されたガラス基板上に複数の太陽電池セルを配線にて電気的に接続して配列する。次に、封止工程処理部204では、上述の配列された太陽電池セル上に封止材と保護シートを戴置した後、それらを加圧して密着させつつ加熱することで封止材を溶融して封止処理を行うラミネート装置による封止処理が行われる。なお、この時点で太陽電池セルは太陽電池モジュールと呼ばれることもある。次に、端子箱枠など取付処理部205では、基板端部の余剰の保護シートをガラス基板端部に沿って切断除去した後、端面にブチルゴムなどの端面保護材を接着する。次に、太陽電池セルの発電電力を外部に取り出すために保護シートから引き出されたリード線と外部接続用のコネクタを備えた端子箱を電気的に接続するとともに端子箱を固定する。次に、ガラス基板の外周に補強用の金属枠を取り付けるという処理を施す。以上によって、太陽電池モジュールがパネルとして完成する。最後にモジュール搬出部206は、完成した太陽電池モジュールを、次の図示しない検査ラインや梱包ラインなどへ搬出する。このようにして、この発明の検査システムは太陽電池の製造ラインに組込まれ、シリコン基板や太陽電池セルの選別を効率よく行うことができる。第2実施形態図7Aはこの発明の第2実施形態の保持ハンドの上面図、図7Bは図7Aの保持ハンドの側面図である。これらの図に示すように保持ハンド1aは、四角形の支持板2と、支持板2の4隅から下方へ突出する4本の保持脚4a~4dと、保持脚4a~4dをそれぞれ矢印EおよびF方向に昇降させる4つの昇降シリンダ7a~7bとを備える。保持脚4a~4dは各下端に吸着パッド5a~5dを備え、支持板2は中央部から上方に突出する吊下げ部材3を備える。つまり、この実施形態では、第1実施形態における中央吸着器6図1が除去されている。保持ハンド1aは、吸着パッド5a~5dを板状部材シリコン基板やシリコン基板上に形成された太陽電池セル10に吸着させて板状部材10を保持し、昇降シリンダ7a~7bによって保持脚4a~4dを選択的に矢印EおよびF方向に昇降させると、それによって板状部材10をその表面が伸縮するように湾曲させることができるようになっている。図8は図7に示す保持ハンド1aの動作の1例を示す動作説明図である。図8Aは、保持ハンド1aにより四角形の支持板2が四角形の板状部材10に互いの角部が対向するように位置合せされ、昇降シリンダ7a~7dが4つの吸着パッド5a~5dを下降させ、吸着パッド5a~5dが板状部材10の4つの角部に接触する状態を示す。図8Bは、4つの吸着パッド5a~5dがそれぞれ板状部材10の4つの角部を吸着する状態を示す。図8Cは、次に、昇降シリンダ7a,7cによって保持脚4a,4cが上昇し、吸着パッド5a,5cが引上げられて板状部材10が湾曲する状態を示す。図8Dは、次に、吸着パッド5a,5cが板状部材10を解放し、板状部材10が吸着パッド5b,5dに吸着されたまま逆方向に湾曲する状態を示す。図9は図7に示す保持ハンド1aの動作の他の例を示す動作説明図である。図9Aは、保持ハンド1aにより四角形の支持板2が四角形の板状部材10に互いの角部が対向するように位置合せされ、昇降シリンダ7a~7dが4つの吸着パッド5a~5dを下降させ、吸着パッド5a~5dが板状部材10の4つの角部に接触する状態を示す。図9Bは、4つの吸着パッド5a~5dがそれぞれ板状部材10の4つの角部を吸着する状態を示す。図9Cは、次に、昇降シリンダ7a,7cによって保持脚4a,4cが上昇し、吸着パッド5a,5cが引上げられて板状部材10が湾曲する状態を示す。図9Dは、次に、昇降シリンダ7a,7cが下降すると共に、昇降シリンダ4b,4dが上昇し、板状部材10が4つの吸着パッド5a~5dに吸着されたまま逆方向に湾曲する状態を示す。なお、第2実施形態では、第1実施形態の図1に示す保持ハンド1が図7に示す保持ハンド1aに置換されると共に、それに対応して第1実施形態の図2に示す保持ハンド1の動作が図8又は図9に示す保持ハンド1aの動作に置換されている。その他の構成および動作は第1実施形態と同等であるので、説明を省略する。"