プラスチックフィルムからなるバックシート上に金属箔からなる配線パターンを有するバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法であって、少なくとも、片面に感光性粘着層を有するキャリアフィルムに、該キャリアフィルム側から非配線パターン部を形成したマスクを介して紫外線を照射する工程と、前記感光性粘着層に金属箔を貼り合わせる工程と、前記キャリアフィルム側から全面に紫外線を照射する工程と、前記金属箔の裏面に前記バックシートを接着剤を介して貼り合わせる工程と、前記キャリアフィルムを前記バックシートから剥離する工程と、からなることを特徴とするバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法。前記非配線パターン部の紫外線照射後の前記キャリアフィルムと前記金属箔の接着強度が、前記金属箔と前記バックシートの接着強度より大きいことを特徴とする請求項1記載のバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法。前記バックシートが、ガスバリア性を有するポリエチレンテレフタレートフィルム、フッ素樹脂フィルムのいずれか、またはガスバリア性を有するポリエチレンテレフタレートフィルムとフッ素樹脂フィルムの積層体であることを特徴とする請求項1または2記載のバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法。請求項1~3のいずれか1項に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするバックコンタクト回路付きバックシート。請求項4記載のバックコンタクト回路付きバックシートを用いたことを特徴とする太陽電池モジュール。本発明は、製造工程が簡略化され、安定した生産が可能で、生産コストが低減できるバックコンタクト回路付きバックシート製造方法を提供するものである。本発明の請求項1に係る発明は、プラスチックフィルムからなるバックシート上に金属箔からなる配線パターンを有するバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法であって、少なくとも、片面に感光性粘着層を有するキャリアフィルムに、該キャリアフィルム側から非配線パターン部を形成したマスクを介して紫外線を照射する工程と、前記感光性粘着層に金属箔を貼り合わせる工程と、前記キャリアフィルム側から全面に紫外線を照射する工程と、前記金属箔の裏面に前記バックシートを接着剤を介して貼り合わせる工程と、前記キャリアフィルムを前記バックシートから剥離する工程と、からなることを特徴とするバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法である。本発明の請求項2に係る発明は、前記非配線パターン部の紫外線照射後の前記キャリアフィルムと前記金属箔の接着強度が、前記金属箔と前記バックシートの接着強度より大きいことを特徴とする請求項1記載のバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法である。本発明の請求項3に係る発明は、前記バックシートが、ガスバリア性を有するポリエチレンテレフタレートフィルム、フッ素樹脂フィルムのいずれか、またはガスバリア性を有するポリエチレンテレフタレートフィルムとフッ素樹脂フィルムの積層体であることを特徴とする請求項1または2記載のバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法である。本発明の請求項4に係る発明は、請求項1~3のいずれか1項に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするバックコンタクト回路付きバックシートである。本発明の請求項5に係る発明は、請求項4記載のバックコンタクト回路付きバックシートを用いたことを特徴とする太陽電池モジュールである。本発明のバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法は、エッチングとは異なる方法である。感光性粘着層を有するキャリアフィルムを使用し、バックシート上に金属箔の配線パターンをドライ方法で形成するのである。製造工程が簡略化され、安定した生産性が得られ、生産コストも低減できる製造方法である。本発明の請求項1によれば、プラスチックフィルムからなるバックシート上に金属箔からなる配線パターンを有するバックコンタクト回路付きバックシートの製造方法であって、少なくとも、片面に感光性粘着層を有するキャリアフィルムに、該キャリアフィルム側から非配線パターン部を形成したマスクを介して紫外線を照射する工程と、前記感光性粘着層に金属箔を貼り合わせる工程と、前記キャリアフィルム側から全面に紫外線を照射する工程と、前記金属箔の裏面に前記バックシートを接着剤を介して貼り合わせる工程と、前記キャリアフィルムを前記バックシートから剥離する工程と、からなることを特徴とする。キャリアフィルムの感光性粘着層を、非配線パターン部のマスクを介して紫外線照射することにより、配線パターン部の感光性粘着層を感光させ、粘着力を消失させる。非配線パターン部は、そのまま感光性粘着層で残る。次にキャリアフィルムの感光性粘着層の全面に金属箔を貼り合わせる。非配線パターン部の感光性粘着層を介して、キャリアフィルムと金属箔が接着される。次に前記マスクを取り外し、キャリアフィルム上側から全面に紫外線を照射して、非配線パターン部の感光性粘着層を硬化させ、該感光性粘着層を介してキャリアフィルムと金属箔を接着させる。次に金属箔の裏面に接着剤を介して、バックシートを貼り合わせる。接着剤は、二液反応型の接着剤を用いてドライラミネート方式で貼り合わせることができる。また感光性粘着層を使用して貼り合わせることもできる。バックシートを貼り合わせた後に、キャリアフィルムをバックシートから剥離し、非配線パターン部の金属箔をキャリアフィルムと一緒に剥離して配線パターン、即ち電気的回路を形成する。配線パターン部の粘着層は、粘着力を消失しているために剥離が容易に行われ、配線パターンが形成される。感光性粘着層を有するキャリアフィルムを使用することにより、製造工程が簡略化され、生産性が向上し、生産コストも低減できる製造方法である。本発明の請求項2によれば、前記非配線パターン部の紫外線照射後の前記キャリアフィルムと前記金属箔の接着強度が、前記金属箔と前記バックシートの接着強度より大きいことを特徴とする。キャリアフィルムと金属箔の接着強度が、金属箔とバックシートとの接着強度より大きいことにより、キャリアフィルムをバックシートから剥離する際に、非配線パターン部の金属箔がキャリアフィルムに追随して剥離される。配線パターン部がバックシートに形成される。本発明の請求項3によれば、前記バックシートが、ガスバリア性を有するポリエチレンテレフタレートフィルム、フッ素樹脂フィルムのいずれか、またはガスバリア性を有するポリエチレンテレフタレートフィルムとフッ素樹脂フィルムの積層体であることを特徴とする。バックシートは、太陽電池モジュールの裏面保護シートとして使用される。金属箔、導電性材料などの酸化を防ぐために、ガスバリア性として水蒸気バリアが必要である。水蒸気バリアを向上させるためには、無機酸化物を蒸着したポリエチレンテレフタレートフィルムを使用することが好ましい。また耐候性、耐薬品性などからフッ素樹脂フィルムを使用することもできる。また該ポリエチレンテレフタレートフィルムと該フッ素樹脂フィルムを積層した積層体も使用できる。本発明の請求項4によれば、請求項1~3のいずれか1項に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするバックコンタクト回路付きバックシートである。バックシートは、該バックシート上に金属箔の配線パターンをドライ方法で形成されている。製造工程が簡略化され、安定して生産が可能で、かつ生産コストが低減できる。バックコンタクト型太陽電池セルの電極と電気的に接続され使用することができる。本発明の請求項5によれば、請求項4記載のバックコンタクト回路付きバックシートを用いたことを特徴とする太陽電池モジュールである。バックコンタクト型太陽電離セルにバックコンタクト回路付きバックシートが組み込まれた太陽電池モジュールである。例えば、バックコンタクト型太陽電離セルとして、MWTMetalWrapThrough、EMTEmitterWrapThroughなどに使用できる。該バックシート上に該太陽電池セルを置いて、該バックシート上の所定の位置の電極と該太陽電池セルの裏面の所定の位置の電極と、を電気的に接続し、また隣り合う該太陽電池セル同士を電気的に直列に接続して該太陽電池セルを複数形成する。該複数の太陽電池セルを、受光側から透光性基板、裏面側からバックコンタクト回路付きバックシートで挟み、封止用フィルムを挿入し、密封し封止する。全体をアルミ額枠で囲い太陽電池モジュールが形成される。以下に、本発明を実施するための形態について具体的に説明する。図1は、バックコンタクト回路付きバックシートの一例を示す断面図である。本発明の製造方法で形成された配線パターン部が形成されたバックコンタクト回路付きバックシート50である。配線パターン部11の金属箔5が接着層7を介してバックシート8に接着されて形成されている。このバックコンタクト回路付きバックシートは、太陽電池モジュールの裏面保護シートの役目を有している。図2~7は、図1のバックコンタクト回路付きバックシートの製造工程のそれぞれの工程の一例を示す説明図である。図2は、感光性粘着剤が片面に形成されたキャリアフィルムの一例を示す説明図である。キャリアフィルム2の片面に感光性粘着層3が形成され、該感光性粘着層面にセパレーター4が貼り合わされている。キャリアフィルム2は紫外線を透過させる必要があるために透明性が必要である。またセパレーター4にはフィルムセパレーターが好ましい。図3は、キャリアフィルムにマスクを介して紫外線照射する工程の一例を示す説明図である。非配線パターン部10を形成したマスク9を、キャリアフィルム2の上部に配置して、マスク9の上側から紫外線6を照射した一例である。感光性粘着層のマスク部は感光性粘着層3、紫外線で照射された部分配線パターン部は硬化粘着層12となり粘着性を消失する。図4は、キャリアフィルムの感光性粘着層に金属箔を貼り合わせる工程の一例を示す説明図である。セパレータ―を剥離した後に、感光性粘着層3に金属箔5を貼り合わせた一例である。貼り合わせは、圧力を掛けながら空気が入らないように貼り合わせる。図5は、キャリアフィルムの上側から前面に紫外線を照射する工程の一例を示す説明図である。キャリアフィルム2の上側から全面に紫外線6を照射し、非配線パターン部の感光性粘着層が硬化粘着層13となり、キャリアフィルム2と金属箔5を接着させた一例である。図6は、金属箔の裏面にバックシートを貼り合わせる工程の一例を示す説明図である。金属箔5の裏面にバックシート8を接着層7を介して貼り合わせた一例である。硬化粘着層13を介したキャリアフィルム2と金属箔5の接着強度が、金属箔5とバックシート8の接着強度より大きいことが必要である。図7は、キャリアフィルムを剥離する工程の一例を示す説明図である。キャリアフィルム2をバックシート8から剥離した状態の一例である。キャリアフィルム2を剥離すると、該キャリアフィルム2と一緒に非配線パターン部10の金属箔5も剥離し、バックシート8には配線パターン部11の金属箔5が形成される。図1に示したバックコンタクト回路付きバックシート50が形成される。図8は、バックコンタクト回路付きバックシートの製造ラインの一例を示す説明図である。感光性粘着層付きキャリアフィルムロール31から、連続的に該フィルムが送り出され、キャリアフィルムの上部に非配線パターン部を形成するマスク9を配置して、該マスク9の上側の紫外線照射装置40から紫外線を照射する工程がある。次にセパレータ―を感光性粘着層から剥がし、セパレーター巻取りロール32にて巻取る。次に該感光性粘着層面に金属箔ロール33から金属箔を送り出し、圧ロール34にて圧力を掛けながら貼り合わせる工程がある。次にキャリアフィルムの上側から全面に別の紫外線照射装置40から紫外線を照射する工程がある。マスク部の感光性粘着層が硬化してキャリアフィルムと金属箔を接着させる。次に金属箔の裏面に塗布ロール36を用い、接着剤35を塗布し、乾燥部加熱部37にて乾燥し、バックシートロール38から送り出されたバックシートを、圧力を掛けながら貼り合わせる工程がある。その後キャリアフィルムを剥離する工程がある。該キャリアフィルムをキャリアフィルム巻取りロール39にて巻取る。非配線パターンの金属箔を剥離することにより、バックシート上に配線パターンが形成される。その後エージング加熱部を通す。して巻取りロール47にて巻取られる。バックコンタクト回路付きバックシートを形成する一連の工程からなる製造ラインである。図9は、バックコンタクト回路付きバックシートの製造ラインの一例を示す説明図である。図8の製造ラインの金属箔とバックシートの貼り合わせを、感光性粘着層を介して行う製造ラインを示している。金属箔の裏面に感光性粘着層付きフィルムロール43から該フィルムを送り出し、金属箔に接着させる。次いで該感光性粘着層付きフィルム42のフィルムを剥がしてフィルム巻取りロール44にて巻取り、感光性粘着層を露出させ、該感光性粘着層面にバックシートロール38からバックシートを送り出し、貼り合わせる。次に別の紫外線照射装置40から紫外線を照射し、感光性粘着層を硬化させ金属箔とバックシートを接着させる製造方法である。接着剤を使用しないために、塗布部、乾燥部加熱部を必要としない。図10は、バックコンタクト回路付きバックシートを使用した太陽電池モジュールの一例を示す説明図である。該バックシート50上に太陽電池セル14を置いて、該バックシートの所定の位置の電極15と該太陽電池セルの裏面の所定の位置の電極15を導電性材料18により電気的に接続し、また隣り合う太陽電池セル14同士を電気的に直列に接続して、電気的に接続された太陽電池セルを複数形成する。これを受光側から透光性基板19、裏面側からバックコンタクト回路付きバックシート50で挟み、封止用フィルム20を挿入し、密封し封止する。全体をアルミ額枠21で囲い太陽電池モジュール24が形成される。MWT型、EWT型の太陽電池のバックコンタクト回路付きバックシートを使用した太陽電池モジュールの一例を示している。太陽電池の裏面にp電極とn電極の両方が配置され、貫通部16が形成されている。図11は、バックコンタクト回路付きバックシートを使用した太陽電池モジュールの一例を示す説明図である。裏面にp型電極22とn型電極23とが交互に並行方向に配置された太陽電池セル17を示し、該太陽電池セルを用いた太陽電池モジュール24の一例を示している。この太陽電池モジュール化は、図9で示したMWT型、EWT型と同様にして可能である。図12は、紫外線照射装置の一例を示す説明図である。マスクの上側から紫外線を照射するには、マスクに紫外線が平行に照射され、該マスクを透して平行に感光性粘着層に照射されることが必要である。そのために、紫外線光源41から発信される紫外線6をコリメートレンズ45により並行にし、マスクを透して感光性粘着層に照射する。紫外線を並行にした紫外線照射装置40である。図13は、紫外線照射装置の一例を示す説明図である。ガラス円筒形シリンダー46の外側にマスク9を巻きつけ、該シリンダー内部に配置された紫外線光源41から発信された紫外線6をコリメートレンズ45により並行にし、マスクを透して感光性粘着層に照射する。この場合、マスクを円筒状にするために、照射工程の場所を狭くすることができる。よって工程を有効に使用できる。本発明の実施する形態を更に詳しく説明する。キャリアフィルム2は、ポリエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリイミドフィルムなどを用いることができる。フィルムの厚みは10~30μmが好ましい。感光性粘着層3を形成する感光性粘着剤は、主にアクリル系粘着剤、光開始剤で構成されている。感光性粘着剤の特性は、紫外線を照射されることにより制御される。紫外線照射前は、高粘着性であり、紫外線を照射後は粘着性が消失する。光開始剤が200~400nmの紫外線を吸収し、ラジカル反応を開始させアクリル系粘着剤を硬化させる。また紫外線型オリゴマーが混合され使用される場合もある。光開始剤は、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノール系などを用いることができる。バックシート8としては、ガスバリア性を有するポリエチレンテレフタレートフィルム、フッ素フィルムのいずれか、またはガスバリア性を有するポリエチレンテレフタレートフィルムとフッ素樹脂フィルムの積層体を用いることができる。ガスバリア性としては、水蒸気バリアが必要であり、無機酸化物を蒸着したポリエチレンテレフタレートフィルムを使用することが好ましい。アルミニウムなどの金属蒸着でも良いが酸化防止の処理が必要になる。無機酸化物としては、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化錫、酸化亜鉛、あるいはそれらの混合物など使用することができる。またポリエチレンテレフタレートフィルムの他に、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ポリビニルフルオライドフィルム、ポリイミドフィルムなども使用できる。また反射効率を上げるために、酸化チタンなどの白色顔料をフィルム中に分散させ白色化してもよい。フィルムの厚みとしては、3~200μmの範囲が好ましい。無機酸化物の蒸着面は、金属箔と貼り合わせる面と反対の面に蒸着を行う。またこれらのフィルムにフッ素樹脂フィルムを積層した積層体も使用できる。該蒸着面とフッ素樹脂フィルムを、接着剤を介して貼り合わせればよい。フッ素樹脂フィルムとしては、フッ化ビニル樹脂フィルム、フッ化ビニリデン樹脂フィルム、三フッ化塩化エチレン樹脂フィルム、エチレン四フッ化エチレン共重合体樹脂フィルム、ポリテトラフルオロエチレン樹脂フィルム、四フッ化エチレンーパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂フィルムなどが挙げられる。また反射効率を上げるために、酸化チタンなどの白色顔料をフィルム中に分散させ白色化してもよい。フィルムの厚みとしては10~200μmの範囲が好ましい。金属箔5としては電気導電性を有する金属箔であればよく、例えば金箔、アルミニウム箔、銅箔、亜鉛箔、ステンレス箔などが使用できる。中でも電気特性および材料コストの点から銅箔が好ましい。金属箔の厚さは、電気特性の点から5μm以上が好ましく、10~50μmがより好ましい。接着剤7としては、二液反応型のポリエーテルポリウレタン系、ポリエステル系、ポリエステルポリウレタン系が使用できる。このような接着剤は、グラビア版を使用し塗布し、ドライラミネート方式により金属箔とバックシートを貼り合わせることができる。また感光性粘着層を使用し貼り合わせてもよい。紫外線照射装置40に用いる光源は、特に限定されない。例えば、水銀ランプ、メタルハライドランプ、紫外線LEDランプなど使用できる。紫外線波長を200~400nmを効率よく発信できればよい。また紫外線照射は、マスクの上側から照射するために、紫外線をコリメートレンズで並行になるようにして照射するのが好ましい。またガラス製の円筒形シリンダーの外側に非配線パターンを巻きつけ、シリンダー内部の光源より発信する紫外線をコリメートレンズで平行になるようにして照射することもできる。特に製造ライン上にて照射するにはどちらでもよい。導電性材料18としては、銀、銅、錫、チタン、ニッケル、ハンダ錫と鉛が主成分である。よりなる群から選ばれる1種以上の金属を含有する導電材料のペーストが使用できる。またハンダを加熱により接着させることもできる。透明性基板19としては、例えばガラス基板、透明性樹脂板などが使用できる。透明性樹脂板を構成する透明樹脂としては、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂が挙げられる。封止用フィルム20としては、太陽光に対し透明な樹脂を特に限定なく用いることができる。中でもエチレンビニルアセテート樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、オレフィン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂およびゴム系からなる群から選択された少なくとも1種の透明樹脂を用いることが好ましい。封止材が耐候性に優れ、太陽電池モジュールの出力を大きく損なうことのない樹脂であればよい。これらの樹脂を用いて押出し機によりフィルムまたはシートにすればよい。