"入力光を分光器により分光して、所定ラインに沿ってアレイ配置された複数の受光センサを含むアレイ型受光部により各波長の光を受光する分光装置において、前記複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長を校正する方法であって、第一帯域において既知の第一透過スペクトルを有する第一光フィルタに白色光を入射させて前記第一光フィルタを透過した光を前記分光器により分光し、前記複数の受光センサそれぞれによる受光強度を検出する第一検出ステップと、前記第一検出ステップにおいて検出された前記複数の受光センサそれぞれによる受光強度と前記第一透過スペクトルとに基づいて、前記第一帯域において前記第一透過スペクトルがピークまたはボトムとなる第一波長に対応する前記所定ライン上の第一位置を、前記複数の受光センサの配置間隔より高い位置分解能で求める第一解析ステップと、第二帯域において既知の第二透過スペクトルを有する第二光フィルタに白色光を入射させて前記第二光フィルタを透過した光を前記分光器により分光し、前記複数の受光センサそれぞれによる受光強度を検出する第二検出ステップと、前記第二検出ステップにおいて検出された前記複数の受光センサそれぞれによる受光強度と前記第二透過スペクトルとに基づいて、前記第二帯域において前記第二透過スペクトルがピークまたはボトムとなる第二波長に対応する前記所定ライン上の第二位置を、前記複数の受光センサの配置間隔より高い位置分解能で求める第二解析ステップと、前記第一解析ステップにおいて求められた前記第一位置および前記第一波長と、前記第二解析ステップにおいて求められた前記第二位置および前記第二波長とに基づいて、前記複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長を校正する校正ステップと、を備えることを特徴とする分光装置校正方法。前記第一帯域における前記第一透過スペクトルおよび前記第二帯域における前記第二透過スペクトルそれぞれがガウシアンスペクトルであることを特徴とする請求項1に記載の分光装置校正方法。前記第一検出ステップにおいて、拡散板により拡散させた白色光を前記前記第一光フィルタに入射させ、前記第二検出ステップにおいて、拡散板により拡散させた白色光を前記前記第二光フィルタに入射させる、ことを特徴とする請求項1に記載の分光装置校正方法。特許文献1,3に記載された発明では分光器に入力される光のスペクトルは帯域幅が狭いピークを有する。特許文献2に記載された発明では分光器に入力される光のスペクトルは帯域幅が狭いボトムを有する。しかしながら、分光器に入力される光のスペクトルのピークまたはボトムの帯域幅が狭いと、複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長の校正を正確に行うことができない場合があることを、本発明者は見出した。本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、分光装置において複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長を高精度に校正することができる方法を提供することを目的とする。本発明の分光装置校正方法は、入力光を分光器により分光して、所定ラインに沿ってアレイ配置された複数の受光センサを含むアレイ型受光部により各波長の光を受光する分光装置において、複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長を校正する方法であって、第一帯域において既知の第一透過スペクトルを有する第一光フィルタに白色光を入射させて第一光フィルタを透過した光を分光器により分光し、複数の受光センサそれぞれによる受光強度を検出する第一検出ステップと、第一検出ステップにおいて検出された複数の受光センサそれぞれによる受光強度と第一透過スペクトルとに基づいて、第一帯域において第一透過スペクトルがピークまたはボトムとなる第一波長に対応する所定ライン上の第一位置を、複数の受光センサの配置間隔より高い位置分解能で求める第一解析ステップと、第二帯域において既知の第二透過スペクトルを有する第二光フィルタに白色光を入射させて第二光フィルタを透過した光を分光器により分光し、複数の受光センサそれぞれによる受光強度を検出する第二検出ステップと、第二検出ステップにおいて検出された複数の受光センサそれぞれによる受光強度と第二透過スペクトルとに基づいて、第二帯域において第二透過スペクトルがピークまたはボトムとなる第二波長に対応する所定ライン上の第二位置を、複数の受光センサの配置間隔より高い位置分解能で求める第二解析ステップと、第一解析ステップにおいて求められた第一位置および第一波長と、第二解析ステップにおいて求められた第二位置および第二波長とに基づいて、複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長を校正する校正ステップと、を備えることを特徴とする。本発明の分光装置校正方法では、第一帯域における第一透過スペクトルおよび第二帯域における第二透過スペクトルそれぞれがガウシアンスペクトルであるのが好適である。また、第一検出ステップにおいて、拡散板により拡散させた白色光を第一光フィルタに入射させ、第二検出ステップにおいて、拡散板により拡散させた白色光を第二光フィルタに入射させるのが好適である。本発明によれば、分光装置において複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長を高精度に校正することができる。以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図1は、分光装置1の構成を示す図である。分光装置1は、分光器2およびアレイ型受光部3を備える。分光器2は、入力光を分光して、各波長の光を該波長に応じた方向に出力する。アレイ型受光部3は、所定ライン同図中のy方向に平行なラインに沿ってアレイ配置された複数の受光センサを含む。各受光センサは、配置されている位置に応じた波長の光を受光して、その受光強度に応じた電気信号を出力する。本実施形態の分光装置校正方法は、分光装置1のアレイ型受光部3に含まれる複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長を校正する方法であって、第一光フィルタ4A,第二光フィルタ4Bおよび拡散板5を用いる。第一光フィルタ4Aは、第一帯域において既知の第一透過スペクトルを有する。第二光フィルタ4Bは、第二帯域において既知の第二透過スペクトルを有する。第一光フィルタ4Aおよび第二光フィルタ4Bそれぞれはバンドパスフィルタであってもよい。第一光フィルタ4Aおよび第二光フィルタ4Bは、互いに別個のものであってもよいし、共通のものであって互いに異なる第一帯域と第二帯域とを利用するものであってもよい。第一透過スペクトルは、第一帯域内の第一波長においてピークまたはボトムを有する。第二透過スペクトルは、第二帯域内の第二波長においてピークまたはボトムを有する。第一帯域と第二帯域とは、互いに異なっていてもよいし、一部が互いに重なっていてもよい。第一波長と第二波長とは互いに異なる。ピークまたはボトムの帯域幅は任意である。第一帯域における第一透過スペクトルおよび第二帯域における第二透過スペクトルそれぞれはガウシアンスペクトルであるのが好適である。本実施形態の分光装置校正方法では、白色光を光フィルタ4A,4Bに入射させて該光フィルタを透過した光を分光器2により分光して、アレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれによる受光強度を検出する。好適には、拡散板5により拡散させた白色光を光フィルタ4A,4Bに入射させる。図2は、本実施形態の分光装置校正方法のフローチャートである。本実施形態の分光装置校正方法は、第一検出ステップS1、第一解析ステップS2、第二検出ステップS3、第二解析ステップS4および校正ステップS5を備える。第一検出ステップS1では、第一光フィルタ4Aが用いられる図1a。第一検出ステップS1では、この第一光フィルタ4Aに白色光が入射されて第一光フィルタ4Aを透過した光が分光器2により分光され、アレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれによる受光強度が検出される。第一解析ステップS2では、第一検出ステップS1において検出されたアレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれによる受光強度と第一透過スペクトルとに基づいて、第一帯域において第一透過スペクトルがピークまたはボトムとなる第一波長λ1に対応する所定ライン上の第一位置Y1が、アレイ型受光部3の複数の受光センサの配置間隔より高い位置分解能で求められる。第二検出ステップS3では、第二光フィルタ4Bが用いられる図1b。第二検出ステップS3では、この第二光フィルタ4Bに白色光が入射されて第二光フィルタ4Bを透過した光が分光器2により分光され、アレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれによる受光強度が検出される。第二解析ステップS4では、第二検出ステップS3において検出されたアレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれによる受光強度と第二透過スペクトルとに基づいて、第二帯域において第二透過スペクトルがピークまたはボトムとなる第二波長λ2に対応する所定ライン上の第二位置Y2が、アレイ型受光部3の複数の受光センサの配置間隔より高い位置分解能で求められる。校正ステップS5では、第一解析ステップS2において求められた第一位置Y1および第一波長λ1と、第二解析ステップS4において求められた第二位置Y2および第二波長λ2とに基づいて、アレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長が校正される。なお、一般にN個の光フィルタが用いられて、第nの光フィルタについて上記のような検出ステップおよび解析ステップが行われて位置Ynおよび波長λnが求められ、これらからアレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長が校正されてもよい。ここで、Nは2以上の整数であり、nは1以上N以下の各整数である。以下では、N値が4である場合について実施例を説明する。図3および図4は、本実施形態の分光装置校正方法の各検出ステップで検出されたアレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれによる受光強度の分布を示す図である。図3aは、ピーク波長λ1が121729nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第一光フィルタを用いた場合の受光強度分布を示す。図3bは、ピーク波長λ2が145660nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第二光フィルタを用いた場合の受光強度分布を示す。図4aは、ピーク波長λ3が194540nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第三光フィルタを用いた場合の受光強度分布を示す。また、図4bは、ピーク波長λ4が219049nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第四光フィルタを用いた場合の受光強度分布を示す。図5~図7は、本実施形態の分光装置校正方法の各解析ステップの処理内容を説明する図である。ここでは、ピーク波長λ2が145660nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第二光フィルタを用いた場合について説明する。第二光フィルタの透過スペクトルは、図5に示されるように、ガウシアン型であって、波長145660nmにピークを有し、110nmの半値幅を有する。アレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれが波長間隔33nmに相当するピッチで配置されているとすると、第二光フィルタを用いた場合の受光強度分布は図6に示されるようになる。図6に示されるように、アレイ型受光部3により得られる受光強度分布のピーク位置が示す波長は、光フィルタの透過スペクトルのピーク波長と対応しない場合があり、両者間に波長ずれが生じる場合がある。このような波長ずれがある場合、アレイ型受光部3により得られる受光強度分布のピーク位置が示す波長を光フィルタの透過スペクトルのピーク波長として扱うと、波長校正を正確に行うことができない。そこで、図7に示されるように、解析ステップにおいて、アレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれによる受光強度と第二光フィルタの既知の透過スペクトルとに基づいて、透過スペクトルがピークとなる波長に対応する位置が、アレイ型受光部3の複数の受光センサの配置間隔より高い位置分解能で求められる。解析ステップの具体的な処理内容は以下のとおりである。解析ステップでは、アレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれによる受光強度の分布が下記式のガウシアン分布に非線形最小二乗法によりフィッティングされ、下記式中の係数A,平均値μ,分散σ2および定数dが求められる。このフィッティングにより得られたガウシアン分布のピーク位置すなわち平均値μが、光フィルタの透過スペクトルがピークとなる波長に対応する位置として求められる。f=Aexp-2/2σ2d...図8は、本実施形態の分光装置校正方法の各解析ステップで求められた位置Ynおよび波長λnを纏めた図表である。ピーク波長λ1が121729nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第一光フィルタを用いた場合、この波長λ1に対応する位置Y1は3061である。ピーク波長λ2が145660nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第二光フィルタを用いた場合、この波長λ2に対応する位置Y2は6877である。ピーク波長λ3が194540nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第三光フィルタを用いた場合、この波長λ3に対応する位置Y3は14689である。また、ピーク波長λ4が219049nmであるガウシアン型の透過スペクトルを有する第四光フィルタを用いた場合、この波長λ4に対応する位置Y4は18630である。図9は、本実施形態の分光装置校正方法の各解析ステップで求められた位置Ynおよび波長λnの関係を示すグラフである。校正ステップでは、各解析ステップ位置Ynおよび波長λnに基づいて、アレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長が校正される。具体的には、グラフ中の4つの点Y1,λ1、Y2,λ2、Y3,λ3およびY4,λ4に基づいて、最小二乗近似法により下記式の近似式における係数a,b,cが求められる。その結果、近似式として下記式が得られる。λ=aY2bYc...λ=-00002Y263009Y10245...校正ステップでは、この式に基づいて、アレイ型受光部3の複数の受光センサのうち、Y=1の位置にある受光センサが受光する光の波長λが校正され、Y=2の位置にある受光センサが受光する光の波長λが校正され、同様にして一般に、Y=mの位置にある受光センサが受光する光の波長λが校正される。本実施形態の分光装置校正方法では、このようにしてアレイ型受光部3の複数の受光センサそれぞれが受光する光の波長が校正されることで、高精度の波長校正が可能となる。本実施形態の分光装置校正方法は以下のような効果をも有する。本実施形態では、任意の透過スペクトルを有する光フィルタが分光器の前面に配置されることで波長校正が可能であるので、その透過スペクトルのピークまたはボトムの波長が任意に選択され得る。したがって、既存の波長校正用光源では対応できない波長範囲の分光装置においても波長校正が可能である。また、従来では、一般に安全上の問題を有するHgランプ、Krランプ、Xeランプなどが波長校正用光源として用いられているが、本実施形態では、任意の白色光源が用いられ得るので、安全対策が簡易となり、波長校正作業が容易である。"