"ウエハを冷却する冷却部を備えるロードロックモジュールにおいて、前記ウエハの外周上の複数の点の位置を測定するセンサ、前記複数の点によって規定される円の中心位置を算出する中心位置算出部、算出した円の中心位置と前記冷却部または前記ウエハにおける所定の位置との距離を算出する距離算出部及び前記冷却部による冷却後に前記中心位置と前記距離とに基づいて前記ウエハの反りを検出する検出部を備えることを特徴とするロードロックモジュール。前記冷却部は、前記検出部の検出結果に基づいて、さらに前記ウエハを冷却するよう構成してあることを特徴とする請求項1に記載のロードロックモジュール。前記検出部はさらに、前記ウエハの位置と前記冷却部上における前記ウエハが載置されるべき位置とのずれを検出するよう構成してあることを特徴とする請求項1または2に記載のロードロックモジュール。前記冷却部と接続され、載置された前記ウエハを昇降及び回転するテーブルをさらに備え、前記検出部は前記テーブルによって回転された前記ウエハの周縁形状に関する情報を取得することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のロードロックモジュール。ウエハの加工処理を行う加工処理モジュール、該加工処理モジュールにて加工処理されたウエハを搬送する搬送モジュール及び該搬送モジュールによって前記ウエハが搬入される請求項1ないし4のいずれかに記載のロードロックモジュールを備えることを特徴とするウエハ加工処理システム。ウエハを載置して請求項1から4までのいずれかに記載のロードロックモジュールに搬送するアームを有するモジュール、該モジュールに設けられ、載置されたウエハの位置を測定する測定部、該測定部が測定した前記載置されたウエハの位置とアームにおける所定の位置とのずれを算出するアーム位置ずれ算出部及び前記アームが前記ウエハを搬送する際に移動する位置を、前記アーム位置ずれ算出部が算出したずれに基づいて制御する制御部をさらに備えることを特徴とするウエハ加工処理システム。前記測定部はウエハにおける中心と異なる位置に設けられた標識の位置を測定するよう構成してあり、ウエハの中心から前記測定部が測定した前記標識への方向とアームにおける所定の方向とのずれを算出するアーム方向ずれ算出部及び、前記冷却部上に設けられ、載置されたウエハを回転させる回転部をさらに備え、前記制御部は、前記回転部の回転する角度を前記アーム方向ずれ算出部が算出したずれに基づいて制御するよう構成してあることを特徴とする請求項6に記載のウエハ加工処理システム。ウエハの加工処理を行う加工処理モジュール、ウエハを搬送する搬送モジュール及びウエハを冷却するロードロックモジュールを備えるウエハ加工処理システムで行うウエハの加工処理方法において、前記加工処理モジュールにてウエハの加工処理を行う加工処理工程、前記搬送モジュールにて前記ウエハを加工処理モジュールからロードロックモジュールへ搬送する搬送工程、前記ロードロックモジュールにて前記ウエハを冷却する冷却工程及び前記ウエハの外周上の複数の点によって規定される円の中心位置と前記冷却部または前記ウエハにおける所定の位置との距離を算出することにより前記ウエハの反りを検出する検出工程を備えることを特徴とするウエハの加工処理方法。前記検出工程の検出結果に基づいて、前記ウエハを冷却する第2冷却工程をさらに備えることを特徴とする請求項8に記載のウエハの加工処理方法。前記搬送工程によって搬送されたウエハの位置と前記冷却部上における前記ウエハが載置されるべき位置とのずれを検出する工程をさらに備えることを特徴とする請求項8または9に記載のウエハの加工処理方法。ウエハは冷却されることにより反りが生じることがある。ウエハに反りが生じていると、ロードロックモジュール1からウエハを搬出する際にローダーモジュール3に備えられたアームからウエハが落下したり、ウエハに塗布された膜が破損することがあり、ウエハの生産効率が低下する。しかし特許文献1のウエハ加工処理システムでは、ロードロックモジュール1においてウエハの反りを検出することができない。本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、ウエハの冷却による反りを検出し、ウエハの落下または破損を未然に防ぐことができるロードロックモジュール、該ロードロックモジュールを備えるウエハ加工処理システム、該ウエハ加工処理システムで行うウエハの加工処理方法を提供することを目的とする。本発明にかかるロードロックモジュールは、ウエハを冷却する冷却部を備えるロードロックモジュールにおいて、前記ウエハの外周上の複数の点の位置を測定するセンサ、前記複数の点によって規定される円の中心位置を算出する中心位置算出部、算出した円の中心位置と前記冷却部または前記ウエハにおける所定の位置との距離を算出する距離算出部及び前記冷却部による冷却後に前記中心位置と前記距離とに基づいて前記ウエハの反りを検出する検出部を備えることを特徴とする。本発明によれば、冷却部がウエハを冷却することにより生じるウエハの反りを検出することができるので、ウエハの反りにより搬送の際にウエハが落下又は破損するという従来生じていた問題を未然に防ぐことができる。本発明にかかるロードロックモジュールは、前記冷却部は、前記検出部の測定結果に基づいて、さらに前記ウエハを冷却するよう構成してあることを特徴とする。本発明によれば、冷却部が冷却を続けることによりウエハに生じた反りをなくすことができるので、ウエハの生産効率を向上させることができる。本発明にかかるロードロックモジュールは、前記検出部はさらに、前記ウエハの位置と前記冷却部上における前記ウエハが載置されるべき位置とのずれを検出するよう構成してあることを特徴とする。本発明によれば、ウエハの位置と冷却部上におけるウエハが載置されるべき位置とのずれを検出することができるので、ウエハのずれにより搬送の際にウエハが落下又は破損するという従来生じていた問題を未然に防ぐことができる。本発明にかかるロードロックモジュールは、前記冷却部と接続され、載置された前記ウエハを昇降及び回転するテーブルをさらに備え、前記検出部は前記テーブルによって回転された前記ウエハの周縁形状に関する情報を取得することを特徴とする。本発明によれば、テーブルによってウエハを回転することにより、前記ウエハ10の中心位置とノッチ位置とを検出することができる。本発明にかかるウエハ加工処理システムは、ウエハの加工処理を行う加工処理モジュール、該加工処理モジュールにて加工処理されたウエハを搬送する搬送モジュール及び該搬送モジュールによって前記ウエハが搬入される前述の発明にかかるロードロックモジュールを備えることを特徴とする。本発明によれば、ウエハ加工処理システムにおいて本発明におけるロードロックモジュールを備えるので、ロードロックモジュールにおける上述した効果をウエハ加工処理システムにおいても奏することができる。本発明にかかるウエハ加工処理システムは、ウエハを載置して前述のロードロックモジュールに搬送するアームを備えるモジュール、該モジュールに設けられ、載置されたウエハの位置を測定する測定部、該測定部が測定した前記載置されたウエハの位置とアームにおける所定の位置とのずれを算出するアーム位置ずれ算出部及び前記アームが前記ウエハを搬送する際に移動する位置を、前記アーム位置ずれ算出部が算出したずれに基づいて制御する制御部をさらに備えることを特徴とする。本発明によれば、アームに載置されたウエハの位置及び方向のずれを算出し、ずれに基づいてアームを制御するので、特に位置のずれが大きい場合であっても適切に位置を補正することができる。本発明にかかるウエハ加工処理システムは、前記測定部はウエハにおける中心と異なる位置に設けられた標識の位置を測定するよう構成してあり、ウエハの中心から前記測定部が測定した前記標識への方向とアームにおける所定の方向とのずれを算出するアーム方向ずれ算出部及び、前記冷却部上に設けられ、載置されたウエハを回転させる回転部をさらに備え、前記制御部は、前記回転部の回転する角度を前記アーム方向ずれ算出部が算出したずれに基づいて制御するよう構成してあることを特徴とする。本発明によれば、制御部がアームに載置されたウエハの位置方向のずれを算出し、ずれに基づいて回転部を制御するので、位置と共に方向のずれも算出することができ、両者の算出の際に重複する処理を併せて行うことができる。本発明にかかるウエハの加工処理方法は、ウエハの加工処理を行う加工処理モジュール、ウエハを搬送する搬送モジュール及びウエハを冷却するロードロックモジュールを備えるウエハ加工処理システムで行うウエハの加工処理方法において、前記加工処理モジュールにてウエハの加工処理を行う加工処理工程、前記搬送モジュールにて前記ウエハを加工処理モジュールからロードロックモジュールへ搬送する搬送工程、前記ロードロックモジュールにて前記ウエハを冷却する冷却工程及び前記ウエハの外周上の複数の点によって規定される円の中心位置と前記冷却部または前記ウエハにおける所定の位置との距離を算出することにより前記ウエハの反りを検出する検出工程を備えることを特徴とする。本発明によれば、冷却部がウエハを冷却することにより生じるウエハの反りを検出することができるので、ウエハの反りにより搬送の際にウエハが落下又は破損するという従来生じていた問題を未然に防ぐことができる。本発明にかかるウエハの加工処理方法は、前記検出工程の検出結果に基づいて、前記ウエハを冷却する第2冷却工程をさらに備えることを特徴とする。本発明によれば、冷却を続ける工程ことによりウエハに生じた反りをなくすことができるので、ウエハの生産効率を向上させることができる。本発明にかかるウエハの加工処理方法は、前記搬送工程によって搬送されたウエハの位置と前記冷却部上における前記ウエハが載置されるべき位置とのずれを検出する工程をさらに備えることを特徴とする。本発明によれば、ウエハの位置と冷却部上におけるウエハが載置されるべき位置とのずれを検出することができるので、ウエハのずれにより搬送の際にウエハが落下又は破損するという従来生じていた問題を未然に防ぐことができる。本発明のロードロックモジュール、ウエハ加工処理システム及びウエハの加工処理方法によれば、ロードロックモジュールが半導体ウエハを冷却することにより生じるウエハの反りを検出することができるので、反りを検出した場合に警告を行うことにより、ウエハ加工処理システムを監視する者が適宜行動することができ、ウエハの反りにより搬送の際にウエハが落下又は破損するという従来生じていた問題を未然に防ぐことができる。<第1の実施の形態>第1の実施の形態について説明する。図1は第1の実施の形態におけるウエハ加工処理システムを表す模式的な上面図であり、図2は第1の実施の形態におけるロードロックモジュール1を表す模式的な側断面図である。ウエハ10は加工処理システム外から搬入されると、FOUPに収容された状態でロードポート2に載置され、ローダーモジュール3によってロードポート2からロードロックモジュール1に搬送される。ロードロックモジュール1内を大気圧雰囲気から真空雰囲気に切り替えた後、ウエハは搬送モジュール4によって加工処理モジュール5に搬送され、加工処理が行われる。加工処理が行われたウエハは上記したところと逆の経路によって加工処理システム外へ搬出される。こうした処理は後述する制御部6が制御する。加工処理システムにおける各モジュールのうち、ロードロックモジュール1についてさらに説明する。ロードロックモジュール1を構成するチャンバ13は直方体状の密閉容器である。チャンバ13内部の底壁上には円柱形状であり、上面が平坦で水平な冷却部12が設けてある。大きさの一例は、加工処理の対象であるウエハ10の直径が300mmの場合、冷却部12の上面は直径350mm程度である。また、冷却部12は内部に冷却管18を備え、給水ポンプ19により冷却管18内に水が循環する。この冷却部12上にウエハ10を載置することによりウエハ10は冷却される。チャンバ13の外部に設けられた真空ポンプ14は、チャンバ13の内部と排気管16で連結されており、排気管16の途中には開閉弁15が設けてある。チャンバ13の一の側壁にはウエハ10を搬出入するゲートバルブ17aが設けてある。ゲートバルブ17aは、開放時にはローダーモジュール3がウエハ10をロードポート2との間で搬出入する際の出入口となる。また、一の側壁と対向するチャンバ13の別の側壁には、ウエハ10を搬出入するゲートバルブ17bが設けてある。ゲートバルブ17bは、開放時には搬送モジュール4がウエハ10を加工処理モジュール5との間で搬出入する際の出入口となる。冷却部12内部には通常は埋設してあるが、制御部6の指示により垂直上部に伸び、先端でウエハ10を支持するよう構成されているリフトピン20が備えてある。次に、チャンバ13内に備えられたラインセンサを構成する発光部11a及び受光部11bについて説明する。図3はラインセンサの配置例を表す模式図である。発光部11aは発光素子を備え、また受光部11bは長方形であり、受光部11bの長さは各々100mm程度である。受光部11b、11b、11bは、長手方向が冷却部12上面の半径方向になるよう3等配してあり、冷却部12の上面が面一になるよう冷却部12上面に埋設してある。受光部11b、11b、11bは、冷却部12の上面の外周から10mm程度冷却部12の中心方向に離れた場所に一端を設けてある。したがってウエハ10が、該ウエハ10の中心と冷却部12の上面の中心とが一致するよう配置されると受光部11bの長手方向の中央付近がウエハ10の外周上の点と重なる。発光部11a、11a、11aは受光部11b、11b、11b各々の真上であってチャンバ13の上壁に設けてある。発光部11a、11a、11aは後述する制御部6の指示により発光し、該光を受光部11b、11b、11bは受光する。本実施の形態における加工処理システムには各モジュール1ないし5に、ウエハ10を搬送させ、各モジュールにウエハ10を搬出入するゲートバルブを開閉させ、モジュール内の圧力を維持または開放させ、ウエハ10を冷却させ、ウエハ10の反りを検出させるよう指示する制御部6が備えてある。制御部6は、加工処理システムの外部からロードポート2へウエハ10が搬入されると、ローダーモジュール3に設けてあり、ウエハを搬送するためのアーム3dによりウエハ10をロードポート2から搬出させる。アーム3dによりウエハ10をロードポート2から搬出させると、ゲートバルブ17aを開けさせ、冷却部12上にウエハ10を載置させる。ウエハ10を載置させると、ゲートバルブ17aを閉じさせ、一方で真空ポンプ14を作動させ開閉弁15を開けさせることにより、排気管16を通じてチャンバ13内部を排気させ真空雰囲気にさせる。チャンバ13内を真空雰囲気にさせるとゲートバルブ17b及び密閉容器である搬送モジュール4におけるウエハ10の搬出入口であるゲートバルブ5cを開けさせ、搬送モジュール4に設けられたウエハ10を搬送するためのアーム4dによりウエハ10を密閉容器である加工処理モジュール5へ搬出させる。搬送モジュール4及び加工処理モジュール5は、モジュール外部に図示しない真空ポンプを備えてモジュール内部を排気しており、常に真空雰囲気を維持してある。制御部6は、ウエハ10をアーム4dによってロードロックモジュール1から搬出させると、ゲートバルブ17bを閉じさせる。一方で、加工処理モジュール5のゲートバルブ5cを開けさせ、アーム4dによってウエハ10を加工処理モジュール5内の適宜の場所に載置させる。制御部6は、ゲートバルブ5cを閉じさせ、加工処理モジュール5によりウエハ10の加工処理を行わせる。ウエハ10の加工処理が終了すると、ゲートバルブ5cを開けさせ、アーム4dによってウエハ10を加工処理モジュール5から搬出させる。一方で、ゲートバルブ17bを開けさせ、アーム4dにより冷却部12上にウエハ10を載置させる。制御部6は、ウエハ10を載置させるとゲートバルブ17bを閉じさせ、チャンバ13内を真空雰囲気から大気雰囲気に切り替えつつ、ウエハ10を一定時間冷却させる。一定時間経過すると、ウエハ10をリフトピン20により冷却部12上面から持ち上げて発光部11aに発光させ、後述するウエハ10の反りの検出を開始させる。リフトピン20は冷却部12内部には通常埋設してあるが、制御部6の指示により垂直上部に伸びるよう構成されている。反りの検出を終了すると、ゲートバルブ17aを開けさせ、アーム3dによりウエハ10をロードポート2へ搬出させる。次に、制御部6が行うウエハ10の反りの検出について説明する。図4は第1の実施の形態における制御部6がウエハ10の反りを検出する際の処理を表すフローチャートである。なお、本実施の形態におけるウエハ10の冷却前の位置は、ウエハ10の中心と冷却部12の中心とが一致する位置であるとする。制御部6は、リフトピン20上のウエハ10を冷却部12上に載置して、ウエハ10の冷却を開始するステップS11。ウエハ10をリフトピン20により冷却部12上面から持ち上げて一定時間の冷却を終了するステップS12。制御部6は、ウエハ10を支持したまま発光部11a、11a、11aを発光させるステップS13。制御部6は、受光部11b、11b、11bより、発光部11a、11a、11aが発した光をどれだけ受光したかの情報を取得するステップS14。制御部6は、受光部11b、11b、11bが受光した光量に基づいて、受光部11b、11b、11bが設けられた箇所とウエハ10の外周とが真上から見た際に重なる3点の位置を測定するステップS15。受光部11b、11b、11bが設けられた箇所とウエハ10の外周とが真上から見た際に重なる3点の位置の算出方法について説明する。図5は、ウエハ10と受光部11b、11b、11bの位置関係について示した模式的な上面図である。制御部6は、冷却部12上面の中心位置を原点とし、1つの受光部11bの長手方向をy軸と一致させたxy座標系を想定して以下の演算を行う。原点と受光部11bの原点に近い方の端との距離をαとし、受光部11bの長手方向の長さをβとする。制御部6には、原点である冷却部12上面の中心の位置情報、距離α、長さβを予め設定してある。図5におけるウエハ10、受光部11bの位置関係から、受光部11bの一部はウエハ10に遮られて発光部11aが発した光を受光することができない。受光部11bは遮光されなければ発光部11aが発光した光から光量Lの光を受光することができるとする。本件において受光部11bが1-m1Lの光を受光したときは、受光部11bの長手方向のうち長さm1βの部分がウエハ10により遮光された状態である。このとき、受光部11bが設けられた箇所とウエハ10の外周とが真上から見た際に重なる点の位置は1で表される。前述したとおり、受光部11b、11b、11bは、長手方向が冷却部12上面の半径方向になるよう3等配してあるので、受光部11bの1つの長手方向をy軸の方向と一致させると、他の一つの受光部11bは長手方向がy軸の正の方向を反時計回りに120°回転した方向にある。また、他のもう一つの受光部11bは長手方向がy軸の正の方向を時計回りに120°回転した方向にある。すると、他の受光部11b、11bが各々1-m2L、1-m3L受光したとき、受光部11bが設けられた箇所とウエハ10の外周とが真上から見た際に重なる点の位置は各々2及び3で表される。さらに制御部6は、1ないし3式で求められる3点を通る仮想円の中心位置を算出するステップS16。制御部6は、次の4ないし6式より規定される仮想円の中心位置の座標x0,y0及び仮想円の半径rを算出することができる。図6はウエハ10の反りにより外周の位置が変化することを表す模式図である。ウエハ10が図6Aのように反りのない状態から図6Bのように反った状態になると、xy座標系における外周の位置も変化する。なお、ウエハ10は図6Bのように凹型に反るとは限らず、凸型に反ることもある。ここで、ウエハ10はウエハ10面内で温度が不均一なために反りが生じる。ウエハ10は冷却すると外周付近の温度が中心付近に比べて低下しやすい。したがってウエハ10に反りが生じるときは外周付近に生じるが、通常はウエハ10の一部分に局所的に温度の低い部分ができるため、ウエハ10の外周付近の一部に他の外周付近の部分と比べて大きな反りが生じる。すなわち、通常はウエハ10が反るとウエハ10の外周付近の一部にのみ大きな位置の変化が生じ、受光部11bが設けられた箇所とウエハ10の外周とが真上から見た際に重なる点の位置の変化に偏りが生じるため、仮想円の中心位置x0,y0は反りが大きいほど原点から離れると考えてよい。図7は制御部6が求めた仮想円及び仮想円の中心位置を表すxy座標である。図7Aはウエハ10に反りがないときに測定した3点を通る仮想円及び仮想円の中心x0,y0を表している。反りがない場合1ないし3にてm1=m2=m3であり、x0,y0は原点と一致する。一方、図7Bはウエハ10に反りがある場合に測定した3点を通る仮想円及び仮想円の中心を表している。反りがある場合、m1、m2、m3は異なる値になり、x0,y0は原点から離れる。制御部6は閾値の情報を予め設定してある。閾値は、ウエハ10に反りが生じていないとみなしてよい限界の値に設定してある。制御部6は、仮想円の中心位置と冷却部12上面の中心位置との距離p0を算出し、該距離p0が閾値以下か否かを判断するステップS17。距離p0は以下の7式で表される。制御部6は、距離p0が閾値以下であると判断した場合ステップS17でYESは、処理を終了する。制御部6は、距離p0が閾値より大きいと判断した場合はステップS17でNO、警告を行うステップS18。警告の例は、ウエハ加工処理システム外に設けてある図示しない表示装置に警告文を表示させる、ウエハ加工処理システム外に設けてある図示しない鳴動装置に警告音を鳴動させるなどである。制御部6は、警告を行うとウエハ10の反りの検出についての処理を終了する。なお、本実施の形態において、制御部6が仮想円の中心位置との距離を測定する対象は冷却部12上面の中心位置に限られず、中心位置以外の冷却部12上面における点のほか、ウエハ10における所定の位置や冷却部12以外のチャンバ13内における所定の位置であってもよい。ウエハ10における所定の位置の一例は冷却前のウエハ10の中心である。通常、ウエハ10は冷却前には反りが生じず、冷却によって反りが生じたとしてもウエハ10全体の位置は移動しない。また、前述したとおりウエハ10は外周付近に反りが生じるので、中心は反りが生じても位置が変化しにくい。したがってウエハ10の冷却前にウエハ10の中心位置を測定しておけば、仮想円の中心位置との距離を算出することにより反りを検出することができる。測定用のセンサである発光部11a及び受光部11bは、ウエハ10の外周上の3以上の点の位置を測定できるものであればよく、本実施の形態より長手方向が長いラインセンサを2つT字型あるいは平行に設け、少なくとも1つのラインセンサでウエハ10の外周上の点を2点測定することができるようにしてもよい。また、ラインセンサに限られず2次元センサであってもよい。本実施の形態によれば、冷却により生じるウエハ10の反りをロードロックモジュール1が検出することができる。したがって、反りを検出した場合に警告を行うことにより、ウエハ加工処理システムを監視する者が適宜行動することができ、ウエハ10の反りにより搬送の際にウエハ10が落下又は破損するという従来生じていた問題を未然に防ぐことができる。<第2の実施の形態>第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態は、制御部6がウエハ10の反りを検出した場合、制御部6は再びウエハ10を冷却させ、反りの検出を再度行う。図8は第2の実施の形態における制御部6がウエハ10の反りを検出する際の処理を表すフローチャートである。以後、前述した構成及び工程と同様の構成及び工程については同じ番号を付し、その説明を省略する。制御部6は、冷却を行うに先立ち冷却回数をカウントするステップS21。制御部6は冷却回数をカウントすると、ステップS11ないしS16の工程を行う。制御部6は、距離p0が閾値以下か否かの判断を行いステップS17、閾値以下と判断した場合はステップS17でYES、処理を終了する。制御部6は、距離p0が閾値より大きいと判断した場合ステップS17でNOであって、さらに冷却回数が所定回数以下と判断した場合はステップS22でYES、再びステップS21及びS11ないしS17の工程を行う。一方、冷却回数が所定回数を超えても距離p0が閾値より大きいと判断した場合はステップS22でNO、警告を行いステップS18、処理を終了する。前述したとおり、ウエハ10が反る原因はウエハ10面内で温度が不均一なことにある。したがってウエハ10にいったん反りが生じたとしても、ウエハ10の冷却を再度行うことによりウエハ10内部の温度差がなくなり、ウエハ10の反りがなくなることがある。本実施の形態によれば、ウエハ10の冷却を再度行うことにより生じた反りをなくすことができるので、ウエハの生産効率を向上させることができる。なお、制御部6は、ステップS21にて冷却回数をカウントするのではなく、ウエハ10が冷却される時間の合計を求め、また、ステップS22にて冷却回数が所定回数以下か否かで判断を行うのではなく、冷却時間の合計が所定の時間以内か否かで判断を行うようにしてもよい。本実施の形態における冷却時間は冷却回数によって異なってもよく、例えば、1回目はウエハ10を60秒冷却し、2回目以降は30秒冷却するように制御部6を設定してもよい。<第3の実施の形態>第3の実施の形態について説明する。第3の実施の形態は、ウエハ10をアーム4dにより加工処理モジュール5から搬出し冷却部12上に載置させる際に生じるウエハ10の位置のずれを検出する。制御部6は、アーム4dにより、本来、冷却部12上面の中心位置とウエハ10の中心位置が一致するようにウエハ10を載置させる。しかし、ウエハ10の加工処理モジュール5における配置が本来の配置からずれている場合、冷却部12上面に載置された際にもウエハ10の位置が本来載置されるべき位置からずれることがある。また、アーム4dにより加工処理モジュール5からウエハ10を搬出させて冷却部12上面に搬入させる際にアーム4dが傾く、ウエハ10がアーム4dから滑るなどの原因により、ウエハ10の位置が本来載置されるべき位置からずれることがある。このような場合に対処するためウエハ10の位置のずれの検出を行う。図9は第3の実施の形態における制御部6がウエハ10の位置のずれを検出する際の処理を表すフローチャートである。制御部6はウエハ10を冷却部12上面に載置させると、冷却に先立って発光部11a、11a、11aを発光させるステップS31。制御部6は、受光部11b、11b、11bより、発光部11a、11a、11aが発した光を受光部11b、11b、11bが受光した光量の情報を取得するステップS32。制御部6は、受光部11bが受光した光量に基づいて、受光部11b、11b、11bが設けられた箇所とウエハ10の外周とが真上から見た際に重なる3点の位置を測定するステップS33。さらに制御部6は、ステップS33で測定された3点を通る仮想円の中心位置x1,y1を測定するステップS34。ウエハ10が本来載置されるべき位置に載置されたとき、ウエハ10の中心と冷却部12上面の中心は一致する。また、本実施の形態における搬送によるずれの測定はウエハ10の冷却前に行うため、ウエハ10に冷却による反りは生じていない。したがって冷却部12上面の中心位置とウエハ10の中心位置との距離p1がウエハ10の位置と本来載置されるべき位置とのずれを表す。距離p1は以下の8式で表される。制御部6は、距離p1を算出し、距離p1が予め設定された閾値以下か否かを判断するステップS35。閾値は、アーム4dで補正することによりウエハ10の位置のずれをなくすことができる限界の値に設定してある。制御部6は、補正の指示によりアーム4dでウエハ10を受け取り、ウエハ10の位置ずれを相殺するように冷却部に載置し直す。制御部6は、距離p1が閾値より大きい場合はステップ35でNO警告を行いステップS36、処理を終了する。警告の例は、ウエハ加工処理システム外に設けてある図示しない表示装置に警告文を表示させる、ウエハ加工処理システム外に設けてある図示しない鳴動装置に警告音を鳴動させるなどである。距離p1が閾値以下である場合はステップ35でYES、冷却回数をカウントしステップS21、ウエハ10を冷却部12上に載置してウエハ10の冷却を行いステップS11、リフトピン20でウエハ10を冷却部12から離間させて冷却を終了するステップS12。制御部6は、ウエハ10をリフトピン20で支持した状態で発光部11a、11a、11aを発光させるステップS13。制御部6は、受光部11b、11b、11bより、発光部11a、11a、11aが発した光をどれだけ受光したかの情報を取得するステップS14。制御部6は、受光部11bが受光した光量に基づいて、受光部11b、11b、11bが設けられた箇所とウエハ10の外周とが真上から見た際に重なる3点の位置を測定するステップS15。さらに制御部6は、1ないし3式で求められる3点を通る仮想円の中心位置を算出するステップS16。測定された仮想円の中心位置がx2,y2のとき、反りによるウエハ10の距離のずれp2は以下の9式で表される。すなわち冷却前におけるウエハ10の中心の位置と、冷却後におけるウエハ10の中心の位置とを比較することにより、冷却によるウエハ10の反りを適切に検出することができる。距離p2が第1閾値以下である場合はステップS41でYES、距離p2が第2閾値以下であるか否かを判断するステップS42。距離p2が第1閾値より大きい場合はステップS41でNO、冷却回数が所定回数以下か否かを判断するステップS22。距離p2が第2閾値以下である場合はステップS42でYES、処理を終了する。距離p2が第2閾値より大きい場合はステップS42でNO、アーム3dに補正の指示を行いステップS44、処理を終了する。冷却回数が所定回数以下である場合はステップS22でYES、ステップS21に戻り、冷却回数をカウントする。冷却回数が所定回数を超えたときはステップS22でNO、警告を行いステップS43、処理を終了する。なお、本実施の形態において、制御部6が仮想円の中心位置との距離を測定する対象は冷却部12上面の中心位置に限られず、中心位置以外の冷却部12上面における点や冷却部12以外のチャンバ13内における所定の位置であってもよい。ウエハ10に搬送による位置のずれが生じた場合、アーム4dが補正を行わずウエハ10をロードロックモジュール1から搬出させるとウエハ10が落下するおそれがある。本実施の形態によれば、ロードロックモジュール1によりウエハ10の位置のずれを検出するので、制御部6がアーム4dに位置の補正を行わせ、ウエハ10の搬送を行わせることができる。もしくは、警告により監視する者が適切な行動をとることができる。したがってウエハ加工処理システムにおいてウエハ10の生産効率が向上する。また、本実施の形態によれば、ウエハ10の冷却前にはウエハ10の位置のずれを検出し、またウエハ10の冷却後にウエハ10の反りを検出することができる。したがって、ウエハ10の反りにより搬送の際にウエハ10が落下するという従来生じていた問題をより効果的に防ぐことができる。<第4の実施の形態>第4の実施の形態について説明する。図10は第4の実施の形態におけるロードロックモジュール1を表す模式的な側断面図である。第4の実施の形態はターンテーブル30がウエハ10を回転させることにより、ウエハ10の中心位置とノッチ位置とを測定する。第4の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるロードロックモジュール1は、第1の実施の形態の構成に加えて、発光ダイオードなどの発光部21a及びCCDセンサなどの受光部21bを備える。発光部21aは発光素子を備え、受光部21bは多数の受光素子が正方形の縦横方向に並んである。一辺の長さは各々100mm程度である。受光部21bは冷却部12上面が面一になるように埋設してあり、受光部11bと重ならず、受光素子からなる正方形の中心と冷却部12の外周とが60mm程度離れた位置に設けてある。受光部21bの正方形は、その中心及び冷却部12上面の中心を通る直線と該正方形の2辺とが平行になるよう設けてある。発光部21aは受光部21bの真上であってチャンバ13の上壁に設けてある。また、本実施の形態におけるロードロックモジュール1は、冷却部12の中心を貫き、冷却部12と一致した中心軸を持つ回転軸31が設けてある。冷却部12は、上面が水平で円盤状のターンテーブル30を有する。ターンテーブル30は受光部21bの受光を遮らない大きさであり、大きさの一例は直径150mm程度である。ターンテーブル30は通常は冷却部12の上面が面一になるよう冷却部12上面に埋設してあり、ターンテーブル30の中心は通常は冷却部12の上面の中心と一致し、ターンテーブル30の下面の中心と回転軸31の上端とは接続されている。回転軸31の下部は冷却部12の内部に設けられた支持台32により支えられている。回転軸31は支持台32の内部に設けられたモータ33と接続してあり、制御部6の指示によりモータ33が作動すると回転軸31が回転し、ターンテーブル30が回転するよう構成してある。また、モータ33はターンテーブル30を冷却部12と面一の高さから図10に示すような所定の高さまで昇降させるように構成されている。ウエハ10の外周を測定するにあたっては、受光部21bによりウエハ10の外周を測定できるよう、ウエハ10を回転させなければならない。しかし、冷却部12内には冷却管18が設けてあることから、冷却部12自体を回転させることは難しい。したがってターンテーブル30によってウエハ10を回転させる。加工処理前のウエハ10がローダーモジュール3のアーム3dによって冷却部12上面に載置されると、制御部6はターンテーブル30を上昇させ、一定の速度で回転させるとともに、チャンバ13内を大気圧雰囲気から真空雰囲気にする。そして、発光部21aはウエハ10が回転する間連続して発光し、多数の受光素子からなる受光部21bは該光を受光する。ウエハ10は円形であることからウエハ10の位置にずれがない場合は、受光部21bは、ターンテーブル30の回転角度によらず同じ受光素子が受光し、また遮光する。一方ウエハ10の位置にずれがある場合は、受光部21bにターンテーブル30の回転角度によって受光したり遮光したりする部分が存在する。制御部6はターンテーブル30でウエハ10を回転させつつ、受光部21bによりウエハ10の周縁形状プロフィルに関する情報を取得する。そして、取得した情報に基づいてターンテーブル30の中心からのウエハ10の偏心量および偏心方向を求め、ウエハ10の周縁形状に関する情報に基づいてウエハ10のノッチ位置を求める。さらに、ターンテーブル30を所定量回転させて、アーム4dに対するノッチ位置の方向のアライメントを行う。制御部6はノッチ位置のアライメントを行うと、ウエハ10をアーム4dによってロードロックモジュール1より搬出させるにあたり、求めたウエハ10の偏心量および偏心方向に基づき、アーム4dを補正するよう指示を行う。また、本実施の形態におけるロードロックモジュール1は、加工処理後のウエハ10については上述したように、発光部11aおよび受光部11bによって、ウエハ10の反りまたは搬送による位置のずれを検出する。本実施の形態によれば、加工処理前のウエハ10の中心位置とノッチ位置とをエリアセンサにより検出し、適宜補正又は警告を行うことができる。また、ロードロックモジュール1内を大気雰囲気から真空雰囲気にする処理と並行して、ウエハ10の中心位置とノッチ位置とを検出することができるので、ウエハ10の生産効率を維持しつつ、ローダーモジュール3から搬送モジュール4へウエハ10を搬入することができる。<第5の実施の形態>第5の実施の形態について説明する。図11は第5の実施の形態におけるウエハ加工処理システムを表す模式的な上面図である。本実施の形態におけるウエハ加工処理システムは、加工処理前のウエハ10に対して1つ、加工処理後のウエハ10に対して2つのロードロックモジュールを用いる。ウエハ10の冷却には時間を要するため、ロードロックモジュール1bはロードロックモジュール1aより処理工程に時間を要する。本実施の形態におけるウエハ加工処理システムは、加工処理前のウエハ10に対して1つ、加工処理後のウエハ10に対して2つのロードロックモジュールを用いることにより生産工程を円滑にし、ウエハ10の生産効率を向上させることができる。本実施の形態における加工処理システムはロードロックモジュール1a、1b、1bを備え、加工処理前のウエハ10には、ウエハ10発光部21a及び受光部21bを備えたロードロックモジュール1aを用い、加工処理後のウエハ10には、発光部11a及び受光部11bを備えたロードロックモジュール1bを用いる。ただしウエハ10の生産状況に鑑みて加工処理後のウエハ10の工程が滞った場合は、ロードロックモジュール1aを加工処理後のウエハ10に用いてもよい。本実施の形態により生産工程を円滑にし、また、加工処理前のウエハ10に対しては発光部21a及び受光部21bを用い、加工処理後のウエハ10には、発光部11a及び受光部11bを用いて上述した測定を行うので、必要な測定を行うにあたって余分な構成を必要とせず、コストを低減することができる。なお、本実施の形態にかかるウエハ加工処理システムにおけるロードロックモジュール1a及び1bの個数は、ロードロックモジュール1bがロードロックモジュール1aより多数であれば制限はない。<第6の実施の形態>第6の実施の形態について説明する。図12は第6の実施の形態におけるウエハ加工処理システムを表す模式的な上面図である。本実施の形態における加工処理システムは、発光部11a及び受光部11b、並びに発光部21a及び受光部21bを備えたロードロックモジュール1c、1c、1cを3つ以上設ける。加工処理前のウエハ10に対して1つ、加工処理後のウエハ10に対して2つ用いるのが通常であるが、例えば加工処理後のウエハ10の工程が滞った場合は、3つとも加工処理後のウエハ10に用いることもできる。本実施の形態におけるロードロックモジュール1cは、ウエハ10の生産工程の状況に鑑みて、加工処理前または加工処理後のウエハ10のうち、生産工程が滞っている方に用いることにより生産工程を円滑にし、ウエハ10の生産効率を向上させることができる。なお、本実施の形態にかかるウエハ加工処理システムにおけるロードロックモジュール1cの個数は、3以上であれば制限はない。<第7の実施の形態>第7の実施の形態について説明する。本実施の形態ではウエハ10を撮影した画像からアーム3dに載置されたウエハ10の位置及び方向のずれを算出し、ずれに基づいてアーム3d及びターンテーブル30を制御する。ウエハ10は、劈開性すなわち平面における結晶方向から特定方向に割れやすい性質を有し、最終的な製品にするためウエハ10を分割するにあたってはこの劈開性を利用してウエハ10を分割する。従って加工処理モジュール5では、洗浄、成膜、エッチング、露光等の加工処理が行われるが、こうした加工処理を行うにあたってウエハ10の位置とともに方向も一定にしなければならない。ここで、ローダーモジュール3におけるアーム3dによってロードポート2からウエハロードロックモジュール1までウエハ10を搬送させる際に、ウエハ10はアーム3dにおける所定の位置及び方向に載置されることが想定されている。しかし、ロードポート2にウエハ10が搬送されるまでの過程又はアーム3dによるウエハ10の搬送の過程で位置又は方向にずれが生じることがある。特にウエハ10の位置のずれが大きい場合には、ロードポート2によりそのままロードロックモジュール1に搬送する際にロードロックモジュール1の搬入口であるゲートバルブ17aに接触し、ウエハ10の位置がさらにずれる、又はウエハ10が落下する若しくは破損するという問題がある。このような問題を解決する手段として、ゲートバルブ17aを大きくすることは困難である。ウエハ加工処理システムの処理能力を向上させるためには、ロードロックモジュール1における気圧の調整を短時間で行う必要があるため、ロードロックモジュール1は小さい容量であることが望ましく、また、それに伴いゲートバルブ17aも可能な限り小さく設計されることが望ましい。従ってウエハ10をロードロックモジュール1に搬入させる前にウエハ10の位置のずれを補正することが解決手段として挙げられる。本実施の形態では、制御部6がアーム3dに載置されたウエハ10の位置及び方向のずれを算出し、ずれに基づいてアーム3d及びターンテーブル30を制御する。また位置のずれとともに方向のずれを算出し、ターンテーブル30に方向のずれを補正させるよう制御する。図14は第7の実施の形態に係るローダーモジュール3を示す模式図である。ローダーモジュール3は上面が水平で平坦な機台3eにアーム3dを備える。アーム3dにおける円柱形の駆動装置部41は機台3eの上面と面一になるよう機台3eに埋設されている。また、棒状の第1アーム部43は長手方向の一端が駆動装置部41の上面の中心付近に位置している。該一端付近には垂直方向に延びた第1回転部42の一端が駆動装置部41から伸び、第1アーム部43に埋設されている。第1回転部42の多端付近は機台3eの内部に設けられた図示しないモータと接続されており、モータが第1回転部42を水平方向に回転させる。また、第1アーム部43の長手方向の他端付近には第2回転部44が設けられている。第2回転部44は垂直方向を長手方向とする円柱状であり、下部は第1アーム部43に埋設され、上部は直方体状の第2アーム部45における長手方向の一端付近に埋設されている。制御部6の指示により第2回転部44が周方向に回転するに従って、第2アーム部45は水平方向に回転移動する。第2アーム部45における長手方向の他端付近には、上面が平坦で水平に配置されたピック46が設けられる。ウエハ10を搬送する場合には、ピック46にウエハ10を載置させて第1回転部42及び第2回転部44を回転させることによりアーム部3dが屈伸する。また、駆動装置部41には垂直方向に延び先端が直角に曲がった棒状の支持部47が設けられ、先端には撮影部48が固定されている。支持部47はローダーモジュール3のいずれかに設けられていればよい。例えば駆動装置部41に固定されていてもよく、第1回転部42と同様に回転してもよい。また、支持部47は第1アーム部43に固定されていてもよいし、機台3eに固定されていてもよい。撮影部48は例えばCCDカメラであり、下方を撮影するように固定されている。撮影部48と隣接した位置には発光部49が固定されており、下方に向けて発光する。図15はアーム3dが伸長及び屈折した状態を示す模式図であり、図15Aはアーム3dが屈折した状態を示し、図15Bはアーム3dが伸長した状態を示す。伸長及び屈折した状態は一例であり、アーム3dを伸長した状態は第1アーム部43と第2アーム部45とが直線状になる必要はなく所定の角度をなしていてもよい。屈折した状態も第1アーム部43及び第2アーム部45が所定の角度をなしていればよい。アーム3dはロードポート2からウエハ10を搬出する際はアーム3dを伸長させるよう第2回転部44を回転させる。その後第2回転部44を回転させ、アーム3dを屈折させた後、第1回転部42を所定の角度回転させてウエハ10を移動させる。その後再度第2回転部44を回転させてアーム3dを伸長させ、ロードロックモジュール1にウエハ10を搬入させる。このアーム3dを屈折させた際にウエハ10全体を撮影できる位置に撮影部48は固定されている。アーム3dにウエハ10をピック46に載置させて搬送するにあたり、第2回転部44を回転させアーム3dを屈折させた際に撮影部48によりウエハ10を撮影する。ウエハ10の位置のずれの算出は、撮影部48が撮影した画像からウエハ10の中心位置と基準となる中心位置とのずれを算出することにより行う。一方、本実施の形態に係るウエハ10は外周から中心方向に深さ数mm程度刻まれたV字型のノッチが、ウエハ10の中心からの方向が結晶方向に対して所定の角度をなす位置に設けてあり、方向のずれの算出は、ウエハ10の中心からノッチの最深部にあたる点への方向と基準となる方向とのずれを算出することにより行う。従ってウエハ10にずれが無い場合の中心位置を正確に設定しておく必要があるが、アーム3dは使用を重ねることにより配置にずれが生じることがある。このため制御部6は予めずれが無い場合のウエハ10の中心位置である基準中心位置を適宜設定する。制御部6はウエハ10の画像を撮影するに先立ち所定の位置におけるピック46を撮影部48に撮影させる。制御部6は撮影部48が撮影した画像におけるピック46の所定箇所の位置に基づいて中心位置を算出する。算出した中心位置をxy座標系における原点とする。撮影部48が撮影するタイミングに合わせて発光部49が発光する。これにより撮影した画像はウエハ10に該当する部分とそれ以外の部分とで輝度の差が生じる。制御部6は隣接する点の位置との輝度の差が大きい点の位置を測定することにより、ウエハ10の周辺にあたる点の位置を測定する。位置を測定する点は周辺にあたる全ての点のうち一部を選択する。1点はウエハ10のノッチの部分に該当するように選択する点の数及び間隔を定め、例えば数十から数百点程度を選択する。ウエハ10を完全な円形と擬制すれば、ウエハ10の周辺にあたる3以上の点の位置を測定することによりウエハ10の中心位置を算出することができる。しかしウエハ10にはノッチが設けられているところ、ノッチの部分にあたる点をウエハ10の周辺にあたる点の一つとして中心位置を算出した場合、誤った中心位置を算出することになる。従って一旦求めたウエハ10の周辺にあたる点の位置のうち様々な3点の組み合わせで中心位置を算出する。その算出結果のうち、中心位置の座標が他の算出結果の平均値と所定値以上異なる場合には、組み合わせの3点のうち1点がノッチの部分の点であるとする。他の算出結果と所定値以上異なる場合を複数求め、いずれの場合にも含まれる点を判別することにより、ノッチの部分の1点を検出することができる。一方で、所定値以上異なる場合を除いた中心位置の平均を算出することにより、ウエハ10の中心位置を正確に算出することができる。この中心位置と先に求めた基準中心位置とから位置のずれを算出する。続いてノッチの位置を算出する。ノッチの部分の1点の位置を検出した後、その1点からノッチの前景が把握できる程度の所定の範囲におけるウエハ10の周辺に該当する位置を測定する。制御部6は、ノッチ付近のウエハ10の周辺にあたる各点のうちある1点を選択し、選択した点の周辺に位置する所定数の点を抽出する。抽出したそれらの点の位置に基づいて最小二乗法によって直線を算出する。算出後には前述した選択した点に隣接する点を選択し、同じく選択した点の周辺における所定数の点に基づいて最小二乗法により直線を算出する、という手順を繰り返す。図16は最小二乗法により算出された直線を示す説明図である。この場合、図16における図16A及び図16Bを比較すると、互いに隣接する所定数の点の全てがウエハ10の円形部分にあたる場合には、選択する点を隣接する点にした場合に最小二乗法により算出した直線の傾きの変化は小さい。しかし、図16Cに示すように所定数の点の一部にノッチの一端を含む場合、図16Aと比較して最小二乗法により算出した直線の傾きの変化は大きい。ノッチの他端又は溝の最深部にあたる点を含む場合も同様に傾きが大きく変化する。従って3か所で傾きが大きく変化し、それら3か所の位置関係からノッチの溝の最深部にあたる点を判別することができる。このノッチの溝の最深部にあたる点と既に求めたウエハ10の中心位置とからウエハ10の方向を算出する。また、制御部6にはウエハ10の基準となる方向についての情報が予め保存されており、基準となる方向と算出したウエハ10の方向とのずれを算出する。制御部6はウエハ10の位置及び方向のずれを算出した後、ずれを補正する。制御部6はウエハ10をロードロックモジュール1に搬入させる前に、一旦アーム3dをゲートバルブ17a付近で待機させる。この際に位置のずれを補正する。制御部6はずれた位置の分アーム3dを移動させて位置の補正を行うため、第1回転部42、第2回転部44及びピック46を回転させる角度を制御する。図17はアーム3dの長さ及び角度を示す上面図である。xy座標のずれ量をx3,y3、第1アーム部43及び第2アーム部45の長さをa1、a2及びピック46の接合部からウエハ10の中心までの距離をa3とし、補正が無い場合におけるアーム3dがゲートバルブ17a付近で待機している際の第1アーム部43、第2アーム部45及びピック46の角度をθ1、θ2及びθ3とする。この場合、第1回転部42、第2回転部44及びピック46がずれを補正するために回転する角度θ1 ́、θ2 ́及びθ3 ́は以下の式10及び11に加えて可動範囲などの諸要素を考慮して算出する。制御部6は位置のずれ量を補正するためアーム3dを移動させた後、ゲートバルブ17aを開け、ウエハ10をロードロックモジュール1における冷却部12上に載置させる。本実施の形態におけるロードロックモジュール1は第4の実施の形態における構成と同様にターンテーブル30を備える。制御部6はターンテーブル30を作動させ、算出した方向のずれの分だけ回転させ、ウエハ10の方向のずれを補正する。続いて本実施の形態における制御部6の処理について説明する。図18は第7の実施の形態における制御部6の処理を示すフローチャートである。制御部6は第2回転部44を回転させてアーム3dを屈折させステップS51、撮影部48によりピック46を撮影するステップS52。撮影したピック46の位置に基づいて基準中心位置を算出するステップS53。制御部6はアーム3dを伸長させステップS54、ウエハ10をピック46に載置させてステップS55、ロードポート2から搬出させるステップS56。制御部6は、第2回転部44を回転させてアーム3dを屈折させた状態でステップS57、撮影部48にウエハ10を撮影させるステップS58。撮影した位置からウエハ10の周辺にあたる所定数の点の位置を測定しステップS59、ウエハ10の中心位置を算出しステップS60、基準中心位置との位置のずれを算出するステップS61。またノッチ部分に該当する点の位置を測定するステップS62。制御部6はその1点を中心とする所定の範囲内におけるウエハ10の各点の位置を測定するステップS63。求めた各点の位置から最小二乗法による計算を行うことにより、ノッチの溝の最深部にあたる点の位置を検出するステップS64。ウエハ10の中心からノッチの溝の最深部にあたる点への方向を算出するステップS65。保存されている基準方向の情報から方向のずれを算出するステップS66。制御部6はアーム3dを伸長する際にウエハ10の位置のずれを補正するような位置にアーム3dを伸長するステップS67。また、制御部6はアーム3dによりウエハ10を冷却部12上に載置させた後ステップS68、ターンテーブル30を方向のずれの量だけ回転させ、方向の補正を行うステップS69。また、アーム3dによりウエハ10をロードポート2からロードロックモジュール1へ搬送する際に、ウエハ10に位置又は方向のずれが生じる場合がある。しかし制御部6が前述したずれの算出を行うには処理に一定の時間を要するので、ロードロックモジュール1にウエハ10を搬入させる直前にずれの算出を開始するとウエハ10の搬送が滞るという問題がある。こうした問題に対処するため、撮影部48はウエハ10の搬送中に連続して複数のウエハ10の画像を撮影し、これら複数の画像から搬送中にウエハ10にずれが生じたか否かを判定するようにしてもよい。この場合、制御部6は最初に撮影した画像に基づいて前述した位置及び方向のずれの検出を行い、その後に画像によりウエハ10が最初に撮影した画像の位置及び方向からずれが生じているか否かを判定するようにしてもよい。この判定は例えば、最初の画像のうちウエハ10の周辺における点の位置が移動したか否かによって判定するようにしてもよい。ウエハ10にノッチの代わりに直線的な切り欠きであるオリエンテーションフラットを設けてもよい。この場合、制御部6が前述の通り所定数の点について最小二乗法により直線を算出した場合には、直線の傾きが2か所で大きく変化する。2か所のうちいずれか1か所の位置に基づいてウエハ10の方向を算出する。また、ノッチやオリエンテーションフラット以外にもウエハ10の方向を示す標識を設けてもよく、標識の位置はウエハ10の中心から所定の距離を置いたウエハ10の内部であってもよい。この場合、制御部6はウエハ10の中心の位置を算出した後、ウエハ10の中心から所定の距離を置いた位置における、周囲の点との輝度の差が大きい1点を検出する。この検出した点は標識の一部にあたる。検出した1点の周辺から所定範囲内における周辺の点との輝度の差が大きい各点の位置を測定し、測定の結果、標識のうち所定の1点の位置を検出する。ウエハ10の中心からその所定の1点への方向を算出し、基準となる方向とのずれを算出する。なお、本実施の形態におけるローダーモジュール3は、ウエハ10の加工後にロードロックモジュール1から搬出する際に本実施の形態における位置のずれを検出し、アーム3dによりずれを補正してもよい。本実施の形態におけるアーム3dと同様の構成を搬送モジュール4におけるアーム4dが備えてもよい。円板状のターンテーブル30の代わりに円板に中空が設けられたリフターリングを用いてもよい。また、撮影部48はウエハ10の一部を撮影する装置を複数備えてもよい。この場合複数の撮影部48の画像を合成することによりウエハ全体の画像を撮影する。アーム3dは、載置されたウエハ10が垂直方向に移動することができるように構成してもよい。また、ローダーモジュール3はアーム3dを複数設けてもよい。本実施の形態によれば、本実施の形態では制御部6がアーム3dに載置されたウエハ10の位置及び方向のずれを算出し、ずれに基づいてアーム3d及びターンテーブル30を制御するので、特に位置のずれが大きい場合であっても適切に位置を補正することができる。また、位置と共に方向のずれも算出するので、両者の算出の際に重複する処理を併せて行うことができる。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味では無く、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"