エッチング材料上の銅を電解エッチングするためのエッチング装置であって、銅イオンを含有する酸性電解液及び酸素ガスまたはオゾンガスを収容し、第一の気液混合物を作成するための第一混合装置、該第一混合装置は、第一出口を有し、該第一の気液混合物は該第一出口から、該第一出口に連結されている接続管路へ送り出される、容器内溶液を収容する容器、該容器内に配置され、該容器内溶液に浸かっている第二混合装置、該第二混合装置は、吸引口を有し、吸引口付近に存在する容器内溶液を吸引し、第二混合装置は、上記接続管路に接続されると共に狭窄区域を有し、接続管路からの第一の気液混合物と吸引口からの容器内溶液を該狭窄区域に送り出して、吸引された容器内溶液を第一の気液混合物と混合して第二の気液混合物を作成し、第二混合装置は、第二出口を有し、第二の気液混合物は該第二出口から流出して、第二出口付近に存在する容器内溶液と混合される、及び容器出口管路は、該管路内に存在する容器内溶液を、エッチングモジュール内のエッチング材料に供給する、を有するエッチング装置。第一混合装置がベンチュリノズルまたは液体ジェットガス圧縮機であることを特徴とする、請求項1に記載のエッチング装置。第二混合装置は容器の下半分の位置に配置され、容器出口管路は第二混合装置よりも高い位置に配置されることを特徴とする、請求項1または2に記載のエッチング装置。容器出口管路と第二混合装置との間の距離が少なくとも1m以上であることを特徴とする、請求項1~3のいずれかに記載のエッチング装置。該容器が、少なくとも1.5m以上の高さを有し、容器内溶液を少なくとも400リットル収容できることを特徴とする、請求項1~4のいずれかに記載のエッチング装置。該第一混合装置が、1分間当たり少なくとも100リットルの酸性電解液と1分間当たり少なくとも50リットルの酸素ガスまたはオゾンガスを収容できることを特徴とする、請求項1~5のいずれかに記載のエッチング装置。したがって、本発明の目的は、少量のエッチング流体を使用して、大量の銅を連続的にエッチングすることができ、かつ急峻度の高い側面を有する導体トラックの細く、鋭い輪郭を成形することができる、エッチング装置を提供することである。上記の課題は独立請求項1の対象により達成される。各従属請求項の主題は、本発明の有利な実施形態である。エッチング材料上の銅を電解エッチングする本発明のエッチング装置は、下記のものを有する。銅イオンを含有する酸性電解液及び酸素ガスまたはオゾンガスを収容し、第一の気液混合物を作成するための第一混合装置。該第一混合装置は、第一出口を有し、該第一の気液混合物は該第一出口から、該第一出口に連結されている接続管路へ送り出される。容器内溶液を収容する容器。該容器内に配置され、該容器内溶液に浸かっている第二混合装置。第二混合装置は、吸引口を有し、吸引口付近に存在する容器内溶液を吸引する。第二混合装置は、上記接続管路に接続されると共に狭窄区域を有し、接続管路からの第一の気液混合物と吸引口からの容器内溶液を該狭窄区域に送り出して、吸引された容器内溶液を第一の気液混合物と混合して第二の気液混合物を作成する。第二混合装置は、第二出口を有し、第二の気液混合物は該第二出口から流出して、第二出口付近に存在する容器内溶液と混合される。容器出口管路。容器出口管路は、管路内に存在する容器内溶液を、エッチングモジュール内のエッチング材料に供給する。本発明者は、銅Iイオン及び銅IIイオンを含有する酸性電解液を、酸素ガス、オゾンガスまたは酸素/オゾン混合ガスに混合することは単純なことではないことを見出した。理論的には銅Iイオンの銅IIイオンへの酸化が起こるが、従来のエッチング装置では、二価の銅の量は、電解液の循環を繰り返すにつれて減少する。したがって、電解液のエッチング作用は著しく低下し、十分なエッチングができなくなる。このことが、本発明の出発点である。すなわち、本発明のエッチング装置では、酸性電解液を酸素ガスまたはオゾンガスに供給し、激しく混合することにより、酸素ガスまたはオゾンガスの微小気泡を高濃度に形成する。これにより、電解液中で大量の銅Iイオンが酸化され、銅IIイオンに戻る、という効果が得られる。しかも、この効果は本エッチング装置を1回運転するだけで達成される。したがって、第一に、電解液の再生を効率よく達成することができる。第二に、連続的に高濃度の銅IIイオンを保持するエッチング装置では、銅導体トラック間の非常に狭い凹部であっても、迅速かつ急峻な輪郭を与えるエッチングが可能である。銅イオンを含有する酸性電解液及び酸素ガスまたはオゾンガスを収容する第一混合装置により、最初に該気体が該電解液に混合され、第一の気液混合物を形成する。これにより、銅Iイオンと酸素またはオゾンガスとの最初の接触が起こり、銅Iイオンの一部がこの初期段階において酸化される。本発明のエッチング装置では、十分な量の一価の銅を酸化するために、第一混合装置は、接続管路により連結された第二混合装置に第一の気液混合物を供給する。第二混合装置は、溶液が入った容器内に配置され、容器内の溶液に浸かっている。第二混合装置は吸引口を有し、該吸引口付近に存在する容器内溶液を吸引する。本発明における第二混合装置は、第一の気液混合物と吸引した容器内溶液を狭窄区域に送り出すようになっており、そこで吸引した容器内溶液を第一の気液混合物と激しく接触させて、両者を混合し、第二の気液混合物を形成する。第二の気液混合物は、第二の気液混合物のために構想された出口から第二混合装置を出て行く。狭窄区域を通過した第二の気液混合物は、減圧されてベルヌーイ方程式に従う高速で第二混合装置から飛び出す。そのため、出口付近に存在する容器内溶液の一部を取り込み、第二の気液混合物は該容器内溶液と混合される。容器内溶液は銅イオンを含有する酸性電解液である。第二混合装置の狭窄区域と第二混合装置の出口付近での減圧とにより、電解液と気体とは再び激しく混合され、多数の微小気泡を形成する。この微小気泡により、大量の銅Iイオンが酸性電解液により酸化されて、銅IIイオンが得られる。このように作成され、銅IIイオンで富化された気液混合物は、次いで容器出口管路から流出し、エッチングされる物質に供給される。第一混合装置はベンチュリノズルであることが好ましく、液体ジェットガス圧縮機であることがより好ましい。そのようなノズルまたは圧縮機の場合、電解液を動力流として、酸素ガスまたはオゾンガスを吸引流として供給することができ、維持に余り手の掛からない混合機を使用できるなど、可動部なしであっても激しい混合が可能である。ベンチュリノズルまたは液体ジェットガス圧縮機は、比較的安価な、市販の部品をさらに有してもよい。本発明の一実施形態では、第二混合装置は容器の下半分の位置に配置され、容器出口管路は第二混合装置よりも高い位置に配置される。これによって、第二の気液混合物と第二混合装置の出口付近に存在する容器内溶液との混合物が第二混合装置の吸引口より再度吸引され、第二混合装置内で再度混合されるという効果が達成される。この操作を複数回繰り返す場合には、流体をかなり激しく、長時間にわたって混合でき、酸素ガスまたはオゾンガスの微小気泡をさらに形成することができる。最終的に気体の比較的少量部のみが容器出口管路に達し、混合物をエッチングされる物質に供給する。容器出口管路と第二混合装置との間の距離は、少なくとも1m以上あることが好ましい。その結果、第二混合装置を介して容器内溶液を確実に複数回循環させることができる。より好ましくは、容器は、容器内溶液を少なくとも400リットル収容できるように、少なくとも1.5m以上の高さを有する。その結果、容器内溶液は繰り返し第二混合装置内を流れ、少なくとも2分間は容器内を循環し、多数の微小気泡を作成する。他の実施形態では、第一混合装置は、1分間当たり少なくとも100リットルの酸性電解液と1分間当たり少なくとも50リットルの酸素ガスまたはオゾンガスを収容することができる。したがって、通常の大きさの回路基板及びエッチングモジュールであれば、該装置内に形成された多量の銅Iイオンを1回の循環で酸化し、銅IIイオンに戻すことができる。図1は、本発明の好ましい実施形態によるエッチング装置100を非常に簡略化した形で示す、概略図である。エッチング装置100は、銅イオンを含有する酸性電解液3を受け取る第一入口2を有する。酸素ガス、オゾンガスまたは酸素/オゾン混合ガスである気体5が、第二入口4から第一混合装置1に送り込まれ、電解液3と混合される。この混合操作の結果得られた第一の気液混合物6は、第一出口7から第一混合装置1を出て行く。第一の気液混合物6は、接続管路8を通過し、容器11内に配置された第二混合装置10に送られる。該容器には、銅イオンを有する酸性電解液である、容器内溶液12が充填されている。第二混合装置10は、少なくとも1つの吸引口13を有する。この吸引口13を介して、該吸引口付近の容器内溶液14を吸引することができる。第二混合装置10は、流れ断面を狭くする区域15を有するため、第一の気液混合物6と容器内溶液14とが十分に混合され、第二の気液混合物16が形成される。第二の気液混合物16は、第二混合装置10の第二出口17から高速で出て行く。これにより、第二出口17付近に存在する容器内溶液18を取り込み、該溶液と混合される。図2は、第二の気液混合物16と第二出口17の周りに存在する容器内溶液18との間の混合操作を、非常に簡略化した形で示す概略図である。矢印は、容器内溶液の大部分が第二混合装置10の吸引口13に向かって数回流れることを示しており、それによって、接続管路8から流入する第一の気液混合物6と混合される。その結果、大量の微小気泡が容器内溶液12内に分配される。このように激しく混合され、微小気泡を伴う容器内溶液12の比較的少量部のみが、容器の縁に沿って上方に流れ、第二混合装置10よりも高い位置に配置された容器出口管路19に達する。図1から明らかなように、容器出口管路19は、気液混合物をエッチングモジュール30に送り出し、そこで回路基板31などのエッチング材料がエッチングされる。エッチングでは、銅IIイオンが銅Iイオンに還元される。エッチングモジュール30内に存在する銅Iイオン及び銅IIイオンを含有する溶液は、その後ポンプ33により戻り管路32に送り込まれ、第一混合装置1に供給されて、混合操作とエッチング液の再生が、再び開始される。