"ポンプ入口に流体を引き入れ、かつポンプ出口から流体を分配するための1つまたは複数のモーターと、前記ポンプ入口および前記ポンプ出口の間の流体流路に取り外し可能なろ過器を配置することができるような、取り外し可能なろ過器のための接続部と、前記取り外し可能なろ過器がポンプに接続された場合に、前記取り外し可能なろ過器上の電子タグからろ過器情報を読み取るよう配置かつ構成された電子タグリーダーと、前記電子タグリーダーからろ過器情報を受け取り、前記ポンプのさらなる運転を決定するために前記ろ過器情報に1つまたは複数の規則を適用するよう構成された、ポンプコントローラと、を備えるポンプ。前記ポンプに接続された取り外し可能なろ過器のプライミングを行うかどうかを判断するために、前記ポンプコントローラが前記ろ過器情報に前記1つまたは複数の規則を適用するよう構成されている、請求項1に記載のポンプ。前記ポンプに接続された取り外し可能なろ過器が適切なろ過器であるかを判断するために、前記ポンプコントローラが前記1つまたは複数の規則を適用するよう構成されている、請求項1に記載のポンプ。前記電子タグリーダーがRFIDリーダーを備えている、請求項1に記載のポンプ。前記ろ過器情報が、部品番号を備えている、請求項1に記載のポンプ。前記ポンプに接続された前記取り外し可能なろ過器のプライミングを行うかどうかを判断するために、前記1つまたは複数の規則の適用が、前記ポンプに接続された取り外し可能なろ過器の受信された部品番号と予定された部品番号とを比較するステップをさらに備えている、請求項5に記載のポンプ。前記ポンプに接続された前記取り外し可能なろ過器のプライミングを行うかどうかを判断するために、前記1つまたは複数の規則の適用が、前記ポンプに接続された取り外し可能なろ過器に特有の情報に前記1つまたは複数の規則を適用するステップを備える請求項1に記載のポンプ。ポンプ入口に流体を引き入れ、かつポンプ出口から流体を分配するための1つまたは複数のモーターと、前記ポンプ入口および前記ポンプ出口の間の流体流路にある取り外し可能なろ過器であって、前記取り外し可能なろ過器のろ過器情報を記憶する電子タグを有する、取り外し可能ろ過器と、前記電子タグから前記ろ過器情報を読み取るよう配置、かつ構成された電子タグリーダーと、前記電子タグリーダーに結合されたポンプコントローラであって、前記電子タグリーダーからろ過器情報を受けとり、前記ポンプのさらなる運転を決定するために、前記ろ過器情報に1つまたは複数の規則を適用するよう構成された、ポンプコントローラと、を備えるポンプ。前記取り外し可能なろ過器のプライミングを行うかどうかを判断するために、前記ポンプコントローラが前記ろ過器情報に前記1つまたは複数の規則を適用するよう構成されている、請求項8に記載のポンプ。前記取り外し可能なろ過器が適切なろ過器であるかを判断するために、前記ポンプコントローラが前記1つまたは複数の規則を適用するよう構成されている、請求項8に記載されたポンプ。前記電子タグリーダーがRFIDリーダーを備え、かつ前記電子タグがRFIDタグを備えている、請求項8に記載のポンプ。前記ろ過器情報が部品番号を備えている、請求項8に記載のポンプ。前記取り外し可能なろ過器のプライミングを行うかどうかを判断するために、前記1つまたは複数の規則の適用が、前記取り外し可能なろ過器の受信された部品番号と予定された部品番号とを比較するステップをさらに備える、請求項12に記載のポンプ。前記ポンプのさらなる運転を決定するために、前記取り外し可能なろ過器に特有の情報に前記1つまたは複数の規則を適用するよう前記ポンプコントローラが構成されている、請求項8に記載のポンプ。ポンプの運転を制御する方法であって、ろ過器情報を記憶する電子タグを有するろ過器をポンプに接続するステップと、電子タグリーダーによって前記電子タグから前記ろ過器情報を読み取るステップと、前記電子タグリーダーから前記電子タグリーダーに連結されたポンプコントローラへ前記ろ過器情報を伝えるステップと、前記ポンプのさらなる運転を決定するために、前記ろ過器情報に1つまたは複数の規則を適用するステップと、を備える、方法。前記ポンプコントローラによって前記1つまたは複数の規則が適用される、請求項15に記載の方法。前記ポンプコントローラと通信するシステムによって前記1つまたは複数の規則が適用される、請求項15に記載の方法。前記タグがRFIDタグであり、かつ前記電子タグリーダーがRFIDリーダーである、請求項15に記載の方法。前記ろ過器情報の部品番号が予定された部品番号に整合しているかを判断するために、前記ろ過器情報に1つまたは複数の規則を適用するステップが、前記ろ過器情報の部品番号と、予定された部品番号とを比較するステップを備えている、請求項15に記載の方法。今日半導体産業に使用される多くの光化学物質は、非常に高価であり、しばしば1リットル当たり1000ドル以上かかる。したがって、化学物質加工装置が正常に運転していることを確実にすることが好ましい。ここに開示される実施形態は、ポンプに接続されたろ過器に関する情報を使用してポンプの運転を制御するシステムおよび方法を提供する。ここに開示される一実施形態は、ポンプの入口に流体を引き入れ、かつポンプの出口から流体を分配するための1つまたは複数のモーターを有するポンプを含むことができる。ポンプは、取り外し可能なろ過器をポンプの入口およびポンプの出口の間の流体流路に配置することができるように、取り外し可能なろ過器のための接続部をさらに含むことができる。ポンプは、取り外し可能なろ過器がポンプに接続された場合に、取り外し可能なろ過器の電子タグからろ過器情報を読み取るよう配置および構成された電子タグリーダーをさらに備えることができる。ポンプは、電子タグリーダーからろ過器情報を受けとり、かつポンプのさらなる運転を決定するために1つまたは複数の規則をろ過器情報に適用するよう構成されたポンプコントローラをさらに含むことができる。他の実施形態は、流体をポンプ入口に引き入れ、かつポンプ出口から流体を分配するための1つまたは複数のモーターを有するポンプを備えることができる。ポンプは、またポンプ入口およびポンプ出口の間の流体流路に取り外し可能なろ過器を含むことができる。ろ過器は、取り外し可能なろ過器のためのろ過器情報を保存する電子タグを有することができる。ポンプは、電子タグからろ過器情報を読み取るよう配置および構成された電子タグリーダーを含むことができる。ポンプコントローラは、電子タグリーダーに連結されることが可能であり、かつ電子タグリーダーからろ過器情報を受け取り、かつポンプのさらなる運転を決定するために1つまたは複数の規則をろ過器情報に適用するよう構成されることができる。他の実施形態は、ポンプの運転を決定する方法を含むことができる。方法は、ろ過器情報を記憶する電子タグを有するろ過器をポンプに接続するステップと、電子タグリーダーによって電子タグからろ過器情報を読み取るステップと、電子タグリーダーから電子タグリーダーに連結されたポンプコントローラにろ過器情報を伝えるステップと、およびポンプのさらなる運転を決定するために1つまたは複数の規則をろ過器情報に適用するステップと、を含むことができる。一実施形態によると、ろ過器情報は、RFIDタグに記憶され、かつRFIDタグリーダーによって読み取られることができる。類似の参照符号が類似の機構を示す添付の図面と関連する以下の説明を参照することにより、実施形態および利点のより完全な理解が得られるだろう。この開示および様々な特徴および利点の詳細は、添付の図面に示され、以下の説明に詳述される非限定的な実施形態を参照してより完全に説明される。詳細な開示が余計に不明瞭にならないように、既知の出発原料、処理技術、構成要素、および機器の説明は省略される。しかし、好ましい実施形態を開示する詳細な説明および特定の例は、限定する目的ではなく説明のために示されていることを当業者は理解するだろう。根本的な発明概念の範囲内の様々な置き換え、改良、追加または再構成は、この開示を読むことにより当業者には明らかとなるだろう。ここに記載された様々な実施形態は、ポンプの適切な運転を確実にするためにろ過器情報を利用するポンプシステムに関連する。一実施形態によると、電子的に読み取り可能なタグに記憶されたろ過器情報は、適切なタグリーダーによって読み取られることができる。ポンプの適切な運転を決定するためにろ過器情報は、分析されることができる。図1は、流体を流体リザーバー15からウェハー17上に分配するための半導体製造システム10の一部の一実施形態の図表示である。システム10はまた、ポンプコントローラ20およびポンプ25を含むことができる。ポンプコントローラ20は、ポンプ25に取り付けられるか、または制御信号、データまたは、他の情報を伝えるための1つまたは複数の通信リンクを介してポンプ25に接続される。ポンプコントローラ20は、流体をウェハー17上に分配するためにポンプ25を制御する。システム10はまた、分配ノズルで垂れることを防ぐことができる停止弁/サックバック弁27などの外部弁を含むことができる。ポンプ25は、ろ過器情報45を含む電子的に読み取り可能なろ過器情報タグ40を有する取り外し可能なろ過器35を含む。ろ過器情報45は、ろ過器35に関する任意の情報および電子的に読み取り可能なタグに記憶することができる他の情報を含むことができる。タグリーダー50は、ろ過器情報タグ40からろ過器情報45を読み取り、および情報をポンプコントローラ20、システム管理コンピュータまたは他のコンピュータに提供する。一実施形態において、ろ過器情報タグ40は、能動的または受動的なRFIDタグとすることができ、かつタグリーダー50は、RFIDタグリーダーとすることができる。他の実施形態において、ろ過器情報タグ40は、バーコードまたは他の光学的に読み取り可能なコードとすることができ、かつタグリーダー50は、バーコードスキャナまたはタグ40を読み取ることができる他のスキャナとすることができる。ろ過器情報45の例は、これらに限定されないが、部品番号、設計スタイル、膜タイプ、除去率、ろ過器の世代、ろ過膜の形態、ロット番号、シリアル番号、装置流量、膜の厚さ、膜のバブルポイント、粒子の質,ろ過器の製造者の質情報または他の情報を含む。設計スタイルは、設計されるろ過器用のポンプのタイプ、ろ過器の容量/大きさ、ろ過器内の膜材料の量またはろ過器の設計についての他の情報を示す。膜タイプは、膜の材料および/または厚さを示す。除去率は、特定の効率で膜によって除去されることができる粒子の大きさを示す。ろ過器の世代は、ろ過器が、第1、第2、第3または他の世代のろ過器設計のいずれかであることを示す。ろ過膜の形態は、ろ過器がプリーツであるか、プリーツのタイプ、または膜の設計に関する他の情報を示す。シリアル番号は、個々のろ過器のシリアル番号を提供する。ロット番号は、ろ過器または膜の製造ロットを特定することができる。装置流量は、良好な分配が生じている間にろ過器が処理することができる流速を示す。装置流量は、個々のろ過器に対して製造中に決定されることができる。膜バブルポイントは、ろ過器が処理することができ、かつなおも良好な分配を生じさせる流速/圧力の別の測定値を提供する。膜バブルポイントはまた、個々のろ過器に対して製造中に決定されることができる。上記の例は、説明のために提供されたものであり、ろ過器情報45に含まれる情報を限定するものではない。ろ過器情報45は、多様な情報を伝える部品番号を含むことができる。例えば、部品番号フォーマットの例Aabcdefgの各文字は、異なる部品情報を伝えることができる。下記の表1は、部品番号によって伝わる情報の例を提供する。表1の例を用いると、Impactポンプろ過器の部品番号A2AT2RMR1は、ろ過器のコネクトロジーconnectology、ろ過器は、IntelliGen2登録商標ポンプ用に設計されていることImpactおよびIntelliGenは、ミネソタ州ChaskaのEntegris社の登録商標、膜は、薄いUPEであり、除去率は10nm、ろ過器は、第2型のろ過器であり、ろ過器は、RFIDタグを含み、ろ過膜は、M-プリーツを有し、ろ過器は、O-リング無し、かつ箱にろ過器は1つであることを示している。しかし、情報を伝える部品番号の使用は、一例として提供されており、ろ過器の情報は、他の方法で伝えることができる。運転の際は、ろ過器35は、ポンプ25に連結されることができる。タグリーダー50は、タグ40からろ過器情報45を読み取り、ろ過器情報45をポンプコントローラ20に伝える。ポンプコントローラ20は、ろ過器情報45を処理するか、またはポンプ管理システム後述にろ過器情報45を渡す。ポンプ25を運転するかどうか、およびどのように運転するかを決定するために、ポンプコントローラ20は、ろ過器情報45に規則を適用することができる。そのうえ、ポンプコントローラ20は、ろ過器情報45に基づいて分配サイクル中にポンプ25の運転を調整することができる。ポンプ25は、一段ポンプまたは多数の段階多段ポンプを含む任意の適切なポンプとすることができる。図2は、多段ポンプ25の一実施形態の図表示である。多段ポンプ25は、供給段階部105および個別の分配段階部110を含む。流体の流れの観点から供給段階部105および分配段階部110の間に配置されているのは、ろ過器35であり、プロセス流体から不純物をろ過する。いくつかの弁は、多段ポンプ25を通る流体の流れを制御することができ、例えば、入口弁125、遮断弁130、バリア弁135、パージ弁140、ベント弁145および出口弁147を含む。分配段階部110はさらに、分配段階部110の流体圧力を測定する圧力センサ112を含むことができる。圧力センサ112によって測定される圧力は、後述されるように、様々なポンプの速度の制御に使用することができる。圧力センサの例は、ドイツKorbのMetalluxAGによって製造されるものを含む、セラミックおよびポリマーピエゾ抵抗および容量性の圧力センサを含む。一実施形態によると、プロセス流体に接触する圧力センサ112の面は、パーフロロポリマーperfluoropolymerである。ポンプ25は、供給チャンバ155の圧力を読み取る圧力センサなどの追加的な圧力センサ、温度センサおよび他のセンサを含むことができる。供給段階105および分配段階110は、多段ポンプ25の流体をポンプ送りするローリングダイアフラムポンプを含むことができる。供給段階ポンプ150供給ポンプ150は、例えば、流体を収集する供給チャンバ155と、供給チャンバ155内で動き、流体を移動させる供給段階ダイアフラム160と、供給段階ダイアフラム160を動かすピストン165と、送りねじ170と、ステッピングモーター175と、を含む。エネルギーをモーターから送りねじ170に与えるため、送りねじ170は、ナット、ギアまたは他の機構を介してステッピングモーター175と連結している。一実施形態によると、供給モーター175は、ナットを回転し、ナットは送りねじ170を回転し、ピストン165を作動させる。分配段階ポンプ180分配ポンプ180は同様に、分配室185と、分配段階ダイアフラム190と、ピストン192と、送りねじ195と、分配モーター200とを含むことができる。分配モーター200は、ねじ付きナット例えばTorlon登録商標または他の材料のナットを介して送りねじ195を駆動することができる。他の実施形態によると、供給段階105および分配段階110は、空気圧または油圧で作動するポンプ、油圧ポンプまたは他のポンプを含む多様な他のポンプとすることができる。空気圧で作動するポンプを供給段階に使用し、および油圧ポンプによって駆動されるステッピングモーターを使用する多段ポンプの1つの例は、米国特許出願公開第11/051,576号発明者Zagars他による2005年2月4日出願のPUMPCONTROLLERFORPRECISIONPUMPINGAPPARATUS代理人整理番号ENTG14202、特許番号第7,476,087号として2009年1月13日に特許となるに記載されており、参照することによりここに組み込まれている。しかし、両段階でのモーターの使用により、油圧配管、制御システムおよび流体が不要であり、それにより空間および潜在的な漏れが低減される、といった利益が提供される。供給段階および分配段階の両方でモーターを使用する多段ポンプの例は、米国特許出願公開第11/602,464号発明者Cedrone他による2006年11月20日出願のSYSTEMANDMETHODFORAPUMPWITHREDUCEDFORMFACTOR、[代理人番号ENTG17201]および米国特許出願公開第12/218,325号発明者Cedrone他による2008年7月14日出願のMETHODANDSYSTEMFORHIGHVISCOSITYPUMP、[代理人整理番号ENTG17202]に提供され、参照することによりここに全てが組み込まれている。供給モーター175および分配モーター200は、任意の適切なモーターとすることができる。一実施形態によると、分配モーター200は、永久磁石同期モーターPermanentMagnetSynchronousMotor:PMSMである。PMSMは、モーター200におけるフィールドオリエンテド制御FieldOrientedControl:FOCまたは従来技術において既知の他のタイプ位置/速度制御を用いたデジタルシグナルプロセッサDSP、多段ポンプ25に組み込まれたコントローラまたは例えば図1に示すような個別のポンプコントローラによって制御されることができる。PMSM200はさらに、分配モーター200の位置のリアルタイムフィードバックのためのエンコーダ例えばファインライン回転位置エンコーダを含むことができる。位置センサの使用により、ピストン192の位置の正確かつ反復可能な制御ができ、これは、分配チャンバ185における流体の動きに対する正確かつ反復可能な制御につながる。例えば、一実施形態によると、8000パルスをDSPに与える2000ラインエンコーダを使用することで、0.045度の回転での正確な測定および制御が可能となる。さらに、PMSMは、わずかな振動で、または振動することなく低速で動くことができる。供給モーター175もPMSMまたはステッピングモーターとすることができる。また供給ポンプは、供給ポンプがホームポジションにあることを示すホームセンサを含むことができることに留意すべきである。多段ポンプ25の運転中、多段ポンプ25の様々な部分への流体の流れを許容または制限するために、多段ポンプ25の弁は、開かれているか、または閉じられている。一実施形態によると、これらの弁は、空気圧で作動するすなわち気体で駆動されるダイアフラム弁とすることができ、ダイアフラム弁は、圧力または真空の適用に応じて開かれるまたは閉じられる。全てのまたはいくつかの弁はまた、他のタイプの弁とすることができる。以下に、多段ポンプ25の様々な段階の運転の概要を提供する。しかし、多段ポンプ25は、非限定的だが以下に記載されたものを含む多様な制御方式により制御されることができる。米国特許仮出願第60/741,682号発明者Cedrone他による2005年12月2日出願のSYSTEMANDMETHODFORPRESSURECOMPENSATIONINAPUMP代理人整理番号ENTG1800、米国特許出願第11/502,729号発明者Clarke他による2006年8月11日出願のSYSTEMSANDMETHODSFORFLUIDFLOWCONTROLINANIMMERSIONLITHOGRAPHYSYSTEM代理人整理番号ENTG1840、現在は第7,443,483号として2008年10月28日に特許となる、米国特許出願第11/602,472号発明者Cedrone他による2006年11月20日出願のSYSTEMANDMETHODFORCORRECTINGFORPRESSUREVARIATIONSUSINGAMOTOR代理人整理番号ENTG1420-4、米国特許出願第11/292,559号発明者Gonnella他による2005年12月2日出願のSYSTEMANDMETHODFORCONTROLOFFLUIDPRESSURE代理人整理番号ENTG1630、米国特許出願第11/364,286号2006年2月28日出願の発明者Gonnella他によるSYSTEMANDMETHODFORMONITORINGOPERATIONOFAPUMP代理人整理番号ENTG1630-1、米国特許出願第11/602,508号発明者Cedrone他による2006年11月20日出願のSYSTEMANDMETHODFORPRESSURECOMPENSATIONINAPUMP代理人整理番号ENTG1800-1、米国特許出願第11/602,449号発明者Cedrone他による2006年11月20日出願のIOSYSTEMSMETHODSANDDEVICESFORINTERFACINGAPUMPCONTROLLER代理人整理番号ENTG1810-1。弁の配列および圧力の制御のために、参照することによりそれぞれの全体がここに組み込まれている。一実施形態によると、多段ポンプ25は、準備区分、分配区分、充填区分、前ろ過区分、ろ過区分、ベント区分、パージ区分および静的パージ区分を含むことができる。供給区分の間、入口弁125は開かれ、かつ流体を供給チャンバ155に引き入れるために供給段階ポンプ150は、供給段階ダイアフラム160を動かす例えば引っ張る。一旦十分な量の流体が供給チャンバ155に充填されると、入口弁125は、閉じられる。ろ過区分の間、供給段階ポンプ150は、供給段階ダイアフラム160を動かし、供給チャンバ155から流体を移動させる。遮断弁130およびバリア弁135は開かれ、流体は、ろ過器35を通り分配チャンバ185へ流れることができる。一実施形態によると、例えば前ろ過区分において遮断弁130を初めに開くことができ、ろ過器35内で圧力が立つことができ、その後バリア弁135が開かれ、流体が分配チャンバ185に流れることができる。他の実施形態によると、遮断弁130およびバリア弁135の両方を開き、ろ過器の分配側に圧力が立つように供給ポンプを動かすことができる。ろ過区分の間、分配ポンプ180をそのホームポジションに戻すことができる。参照することによりここに組み込まれている、米国仮特許出願第60/630,384号Laverdiere他による2004年11月23日出願のSystemandMethodforaVariableHomePositionDispenseSystem[代理人整理番号ENTG1590]、米国特許出願第11/666,124号Laverdiere他による2008年9月30日出願のSystemandMethodforaVariableHomePositionDispenseSystem[代理人整理番号ENTG1590-1]およびPCT特許出願第PCT/US2005/042127号出願人Entegris,Incおよび発明者Laverdiere他による2005年11月21日出願のSystemandMethodforVariableHomePositionDispenseSystem[代理人整理番号ENTG1590-WO]に記載されているように、分配ポンプのホームポジションは、分配サイクルとって分配ポンプにおける利用可能な最大限の量だが、分配ポンプが提供可能な利用可能な最大量よりも少ない量を与えるように位置することができる。多段ポンプ25の使用されない保持量を減らすために、ホームポジションは、分配サイクルについての様々なパラメータに基づいて選択される。供給ポンプ150は、同様に利用可能な最大量よりも少ない量を提供するホームポジションに戻すことができる。ベント区分の初めには、遮断弁130が開かれ、バリア弁135が閉じられ、かつベント弁145が開かれる。他の実施形態においては、ベント区分の間バリア弁135を開いたままにし、かつベント区分の終わりに閉じることができる。この間、圧力センサ112によって測定されることができる分配チャンバ内の圧力は、ろ過器35内の圧力によって影響されるため、バリア弁135が開いた場合、圧力は、コントローラによって認識されることができる。供給段階ポンプ150は、流体に圧力を加え、開いたベント弁145を介して気泡をろ過器35から除去する。供給段階ポンプ150は、ベントを所定の割合で発生させるために制御されることができ、より長いベント時間および遅いベント速度を可能にし、それによりベント廃棄量の正確な制御が可能になる。供給ポンプが空気式のポンプである場合、流体の流れ制限をベント流路に配置することができ、ベント設定点圧力を維持するために供給ポンプに加えられる空気の圧力を増加または減少させることができ、別の非制御方法のいくつかの制御をもたらす。パージ区分の初めには、遮断弁130が閉じられ、ベント区分で開かれている場合にはバリア弁135は閉じられ、ベント弁145は閉じられ、かつパージ弁140が開かれ、および入口弁125が開かれる。分配ポンプ180は、分配チャンバ185内の流体に圧力を加え、パージ弁140を介して気泡をベントする。静的パージ区分の間、分配ポンプ180は停止するが、空気のベントを続けるためにパージ弁140は開いたままである。パージまたは静的パージ区分の間に除去された余分な流体は、多段ポンプ25から追い出される例えば流体源に戻るかまたは廃棄される、または供給段階ポンプ150に再循環される。準備区分の間、入口弁125、遮断弁130およびバリア弁135を開くことができ、かつパージ弁140は閉じられ、供給段階ポンプ150は、ソース例えばソースボトルの周囲圧力に達することができる。他の実施形態によると、準備区分において全ての弁を閉じることができる。分配区分の間、出口弁147は開かれ、分配ポンプ180は、分配チャンバ185内の流体に圧力を加える。出口弁147が分配ポンプ180よりもゆっくり制御に反応するため、出口弁147は、第一に開かれ、所定時間の後に分配モーター200がスタートする。これは、分配ポンプ180が部分的に開かれた出口弁147を通じて流体を押しだすことを防ぐ。さらに、これは弁が開くことによって流体が分配ノズルへ上昇することを防ぎ、その後モーターの動作によって流体が前方へ動くことを防ぐ。他の実施形態において、出口弁147を開き、同時に分配ポンプ180によって分配を始めることができる。分配ノズル内の余分な流体を除去する追加的なサックバック区分を実行することができる。サックバック区分の間、出口弁147を閉じ、および余分な流体を出口ノズルから吸引するために第2のモーターまたは真空を使用することができる。あるいは、出口弁147を開いたままにし、分配モーター200を逆回転させこのような流体を分配チャンバに戻すことができる。サックバック区分は、余分な流体がウェハーの上に垂れるのを防ぐことに役立つ。図3を簡単に参照すると、この図は、図2の多段ポンプ25の運転における様々な区分の弁および分配モーターのタイミングの図表示を提供する。他のシーケンスは、図4A~図4Gに示される。区分が変わる間いくつかの弁が、同時に閉じているように示されているが、圧力スパイクを低減するために弁が閉じる時間をわずかに離すことができる例えば100ミリ秒。例えばベントおよびパージ区分の間では、ベント弁145の直前に遮断弁130を閉じることができる。しかし、様々な実施形態においては、他の弁タイミングを利用することができることに留意しなければならない。そのうえ、いくつかの区分を共に実行することができる例えば充填/分配段階を同時に実行することができこの場合、分配/充填区分において入口および出口弁の両方が開かれる。特定の区分は、各サイクルにおいて繰り返す必要はないということにさらに留意しなければならない。例えば、パージおよび静的パージ区分は、サイクルごとに実行しなくてもよい。同様に、ベント区分もサイクルごとに実行しなくてもよい。様々な弁の開口および閉鎖は、多段ポンプ25内の流体における圧力スパイクの原因となり得る。静的パージ区分中に出口弁147が閉じられているため、静的パージ区分の終わりにパージ弁140を閉じることは、例えば分配チャンバ185内の圧力の増加を生じさせることがある。これは、各弁が閉じられた場合に、少量の流体を動かすことによって起こる。より具体的には、多くの場合、チャンバ185から流体が分配される前に、分配チャンバ185から空気をパージするためにパージサイクルおよび/または静的パージサイクルが用いられ、多段ポンプ25からの流体の分配におけるスパッタリングまたは他の摂動を防ぐ。しかし、静的パージサイクルの終わりに、分配開始の準備で分配チャンバ185を封じるためにパージ弁140が閉じられる。パージ弁140が閉じると、余分な流体の量パージ弁140の保持量にほぼ等しいが分配チャンバ185に押し込まれ、今度は、分配チャンバ185内の流体の圧力を流体の分配のために意図された基準圧力より大きく増加させる原因となる。この過剰な圧力基準を上まわるは、以降の流体の分配に問題を生じる場合がある。パージ弁140が閉まることによっておこる圧力の増加が分配にとって望ましい基準圧力に対して大きな割合を占める場合があるため、これらの問題は、低い圧力での利用において悪化する。より具体的には、パージ弁140の閉鎖により起こる圧力の増加により、圧力が低減されない場合に以降の分配区分の間にウェハー上に流体がパラパラ落ちること、二重の分配または他の好ましくない流体の動きが生じることがある。そのうえ、この圧力増加は、多段ポンプ25の運転中一定ではないため、連続する分配区分の間これらの圧力増加は、分配される流体量または他の分配特性を変化させる原因となり得る。分配におけるこれらの変化は、今度はウェハーの廃棄およびウェハーの再加工を増加させる原因となり得る。様々な実施形態は、分配区分の初めの望ましい開始圧力を達成するためにシステム内の様々な弁の閉鎖による圧力増加を考慮し、分配前に分配チャンバ185におけるほぼ任意の基準圧力を達成することによって、システムからシステムへの異なるヘッド圧力および機器の他の相違点を考慮する。一実施形態において、分配チャンバ185内の流体の望まない圧力増加を考慮するために、静的パージ区分の間、分配モーター200が逆回転して所定の距離だけピストン192を戻し、バリア弁135、パージ弁140および/または分配チャンバ185における圧力増加の原因となり得る任意の他の源の密閉によって生じる任意の圧力増加を補うことができる。したがって、ここに記載された実施形態は、穏やかな流体の取り扱いを特徴とする多段ポンプを提供する。分配区分の前に分配チャンバにおける圧力変動を補償することによって、損傷の可能性がある圧力スパイクを回避、または緩和することができる。多段ポンプの実施形態はまた、プロセス流体における圧力の悪影響を低減するのに役立つ他のポンプ制御機構および弁タイミングを利用することができる。分配サイクルに加えて、ポンプ25は別の運転を行うことができる。新しいろ過器がポンプに接続される場合、分配サイクルを実行する前にろ過膜が完全に湿るようにろ過器が準備されなければならない。図5は、プライミングルーチンprimingroutineのためのステップの説明のための例を提供するが、当業者によって理解されるように他のプライミングルーチンを使用することができる。ステップ205において、流体は、分配チャンバに導入される。次のステップで、ろ過器の上流部分から空気を除去するために、ろ過器は、一定期間上述のようにベントされることができるステップ210。次に、パージ~ベント区分が実行されるステップ215。この区分において、遮断弁およびパージ弁が開かれ、かつバリア弁が閉じられる。分配モーターが駆動され、流体は分配チャンバからおよびベントを介して流れ出る。続いて、ろ過区分ステップ216、ベント区分ステップ217およびパージ区分ステップ218がある。次の区分において、ろ過器は、加圧されることができるステップ220。遮断弁は開かれるがバリア弁およびベント弁を閉じることができ、供給段階モーターは、流体を加圧するように動く。次に、流体がろ過器を通り分配チャンバへ流れ、かつパージ弁から除去される前方洗い流し区分が実行されるステップ225。パージ~ベント区分が再度実行されるステップ230。必要または要求に応じてプライミングルーチンを繰り返すことができる。前述は、プライミングルーチンの例を提供するが、ろ過膜が完全に湿ることを確実にするためにプライミングルーチンは、いくつかの異なるステップを含むことができる。プライミングルーチンで使用することができる区分シーケンスのいくつかの非限定的な例は、これに限定されないが、i充填区分、ベント区分;ii充填区分、パージ~ベント区分、ろ過区分、ベント区分、パージ~入口区分;iii分配区分、充填区分、ろ過区分およびパージ区分を含む。必要または要求に応じて、追加的な、または代替の区分をプライミングルーチンに使用することができる。図6Aは、本体300およびマニホールド325を有するポンプ25の一実施形態のポンプの図表示である。ポンプ25は、図2と関連して上述された充填チャンバ、分配チャンバおよび流路の一部を少なくとも部分的に形成する分配ブロック305を含むことができる。一実施形態による分配ブロック305は、PTFE、改良型PTFE、または他の材料の単一のブロックとすることができる。これらの材料は、多くのプロセス流体に反応しない、またはほとんど反応しないため、これらの材料の使用は、追加のハードウェアを最小限に抑えて、流路およびポンプチャンバを分配ブロック305に直接加工することができる。分配ブロック305は、様々な外部入口および出口を含むことができ、それは例えば、流体が収容される入口310、および分配区分の間流体が分配される分配出口315を含む。図6Aの例の分配ブロック305は、パージされた流体が供給チャンバに戻ることができる外部パージ出口を含んでいない。しかし、他の実施形態においては、流体は、外部にパージされることができる。弁プレート320は、分配ブロック305と協働してポンプ25のいくつかのまたは全ての弁を形成する。弁プレートの一実施形態は、図8に示されている。他の実施形態において、いくつかの、または全ての弁は、外付けとすることができる。カバー322は、供給モーター175および分配モーター200を含むポンプ25の様々な構成要素の保護を提供する。カバー322はまた、ピストン、ポンプコントローラ20、流体ライン、圧縮空気ライン、および他の構成要素の保護を提供することができる。マニホールド325は、ろ過器35の接続部を提供する。ろ過器35は、任意の適切な機構を用いてマニホールド325に接続することができ、その機構は、非限定的だが、米国仮特許出願第60/741,667号発明者Gashgaeeによる2005年12月2日出願のORingLessLowProfileFittingandAssemblyThereof[代理人整理番号ENTG1760]および米国特許出願第11/602,513号発明者Gashgaeeによる2006年11月20日出願のORINGLESSLOWPROFILEFITTINGSANDFITTINGASSEMBLIES、現在は、第7,547,049号として2009年6月16日に特許となるに記載のろ過器接続部を含み、これらは参照することによりここに完全に組み込まれている。マニホールド325の流路は、分配ブロック305の流路の内部または外部に接続することができる。マニホールド325は、ろ過器のろ過器情報タグが読めるよう配置された一体化したタグリーダー50を含むことができる。一実施形態によると、分配ブロック305からの出口330は、マニホールド325の入口335に流体連通することができ、かつマニホールド325からの出口340は、分配ブロック305の入口345に流体連通することができ、マニホールド325に接続されたろ過器35の流路を完成させる。図6Aの実施形態においては、マニホールド325は、外部のベント弁に流体連通することができるベント出口350を含むことができる。マニホールド325およびポンプ本体300は、一体化したタグリーダー50がポンプコントローラに電気的に接続することができるような接続部355および360を含むことができる。ポンプ25はまた真空源および圧力源に接続することができる入口365および出口370を含むことができる。一実施形態によると、真空または圧力の選択的な利用は、弁プレート320によって形成された様々な弁の開閉に使用されることができる。図6Bは、ポンプ25が様々な通信リンクおよび電力のための接続部375を含むことができることを示す。一実施形態による接続部375は、ポンプ25がポンプのための既存の電気路に接続することができるように構成されることができる。図7は、マニホールド325に接続されたろ過器35の一実施形態の図表示である。マニホールド325は、ろ過器のための急速交換機構377を含むことができ、ろ過器は、マニホールド325に容易に接続すること、またはマニホールド325から容易に取り外すことができる。ろ過器35をマニホールド325に接続するため、またはろ過器35をポンプに接続するために、任意の急速交換機構または従来技術において既知のまたは開発された他の機構を使用することができる。ろ過器の接続機構の一実施形態は、PCT特許出願第PCT/US2008/082289号国際公開第WO2009/059324号2008年11月3日出願のTowle他によるORinglessSealCouplings、米国仮出願第60/985,103号の優先権を主張するに記載されており、参照することにより全てがここに組み込まれている。一実施形態によると、ろ過器35は、ボウル380およびヘッド387を含むことができる。ボウル380は、ろ過器カートリッジを収容するよう形成されることができ、かつヘッド387は、マニホールド325の急速交換機構を収容するよう形成されることができる。タグリーダー50は、ろ過器35に取り付けられた、または組み込まれたろ過器情報タグを読み取れるように位置している。図8は、ろ過器35の一実施形態を示す。ヘッド387は、マニホールド325のポートを補完するような大きさと形の出口ポート389、ベントポート390および入口ポート392を含むことができる。漏れを防ぐために、Oリングを出口ポート389、ベントポート390および入口ポート392に設けることができる。一実施形態によると、ヘッド387は、ろ過器情報タグ40を含むことができる。例えば、RFID、Bluetooth登録商標、IR、他の無線プロトコルまたは他の識別装置をろ過器35に配置することができる。識別装置は、ろ過器についての製造者情報ろ過器のタイプ、除去率、ろ過器の運転プロトコル非限定的な一例としてろ過器を使用した運転の処方変数、パラメータ、方程式、曲線、ろ過器の圧力降下特性のためのプライミング/充填シーケンス、流速、穴の大きさまたは他の情報を含むことができる。ヘッド387は、ポンプの急速交換装置に挿入することができるような形および大きさにすることができる。設置を簡単にするために、ヘッド387は、ロボットまたは人間が簡単につかむことができる機構を含むハンドル部395を含むことができる。ろ過器情報タグ40がろ過器35の側面に取り付けられているように示されているが、ろ過器情報タグ40はまた他の方法によってろ過器35に取り付けることができる。例えば、ろ過器情報タグ40は、ボウル380またはヘッド387のタグ受容部に圧入されることができる。他の実施形態においては、ろ過器情報タグ40は、ヘッド387またはボウル380を形成する材料に組み込まれることができる。ろ過器情報タグは、別の方法でろ過器35に結合されることができる。図9は、分配ブロック305および弁400を形成する弁プレート320を備える弁アセンブリの一実施形態の図表示である。弁プレート320は、1つまたは複数の入口弁125、遮断弁130、バリア弁135およびパージ弁140を含む弁システムの弁ハウジングを提供することができる。一実施形態によると、各弁は、弁プレート320に少なくとも部分的に一体化され、かつ対応するダイアフラムに圧力または真空が適用されることよって開くまたは閉じるダイアフラム弁である。他の実施形態においては、いくつかの弁は、分配ブロック305に外付けされる、追加的な弁プレートに配置される、または別な方法で設けられることができる。一実施形態によると、材料シート405は、弁プレート320および分配ブロック305の間に挟まれ、様々な弁のダイアフラムを形成する。一実施形態によると、材料305は、PTFEまたは他の可撓性材料のシートとすることができる。弁プレート320は、材料405が移動することができる弁座410を形成している。一実施形態によると、弁座410は、デッドスペースを残すことなく、材料405がぴったり合う形を有する。Oリング415を各弁の縁の周りの環状溝420に設置することができる。Oリング415を弁プレート側、または分配ブロック側に設置することができ、またはOリングを両方の側に設置することができる。流体は、流体流路425および430を通じて弁400に流入、かつ弁から流出することができる。必要または要求に応じて流路425および430の配置および大きさを決めることができる。一実施形態によると、弁プレート320は、弁の滞留量、真空変動による除去量変動を低減し、真空の必要を減らし、かつ弁ダイアフラムに対する圧力を減らすように構成されることができる。弁の構成の例は、米国特許出願第11/602,464発明者Cedrone他による2006年11月20日出願のSYSTEMANDMETHODFORAPUMPWITHREDUCEDFORMFACTOR[代理人整理番号ENTG1720-1]、および米国特許出願第12/218,325号発明者Cedrone他による2008年7月14日出願のMETHODANDSYSTEMFORHIGHVISCOSITYPUMP[代理人整理番号ENTG1720-2]に記載され、参照することによりそれらのすべてはここに組み込まれている。弁プレート320は、対応するダイアフラムまたはダイアフラムの一部に圧力または真空を適用するために、各弁についての弁制御入口435を含むことができる。圧力または真空を入口に選択的に適用することにより、対応する弁が開閉し、入口425から出口430への流体の流れが制限または許容される。一実施形態によると、圧力または真空の適用は、圧力源450からの圧力、または真空源455からの真空のどちらかに対して弁制御供給ライン445を開口するソレノイド弁440によって調整することができる。図10は、ポンプ25および他の構成要素への接続の一実施形態の図表示である。図10の実施形態においては、ポンプ25は、ポンプトラック460に接続することができるオンボードポンプコントローラを含む。ポンプトラック460によって、多数のポンプをコンパクトな空間に設置することができ、かつI/O信号465によって示される、シリアル通信470によって示されるおよび電気接続475によって示されるのための接続を提供することができる。トラック460はまた弁の開閉に使用される圧力/真空のための空気圧の接続480によって示されるを提供することができる。ポンプ25の入口は、レジストボトルまたは他の流体供給15などの流体供給に接続されることができる。ポンプ25の出口は、ポンプ25の出口およびウェハーの間の停止弁およびサックバック弁に接続されることができる。ポンプ25は、マニホールド325およびポンプ25の他の部分の間の内部または外部の流体接続495によって示されるを含むことができる。そのうえ、ポンプ25は、マニホールド325のタグリーダーおよびポンプコントローラまたはポンプ25の他の電子機器の間の電気接続497によって示されるを含むことができる。図11は、ポンプ25の運転を制御するシステムの一実施形態の図表示を示す。ポンプコントローラ20は、ポンプ25に取り付けられるか、または制御信号、データまたは他の情報を通信するための1つまたは複数の通信リンクを介してポンプ25に接続されることができる。ポンプコントローラ20は、オンボードPCB基板、遠隔のコントローラまたは他の適切な方法として実装されることができる。そのうえ、ポンプコントローラ20の機能は、オンボードコントローラおよび他のコントローラに分散させることができる。一実施形態によると、ポンプコントローラ20は、多段ポンプ20の運転を制御するための1組の制御命令60を含むコンピュータが読み取れる媒体55例えばRAM、ROM、フラッシュメモリ、光ディスク、磁気ドライブまたは他のコンピュータが読み取れる媒体を含むことができる。プロセッサ65例えばCPU、ASIC、RISC、DSPまたは他のプロセッサは、命令を実行することができる。プロセッサの一例は、TexasInstrumentsのTMS320F2812PGFA16-bitDSPTexasInstrumentsはテキサス、ダラスの会社であるである。他の実施形態において、命令60はハードウェアとして実行されることができるそのうえ、ポンプコントローラ20は、簡略化のために図示しない追加的なプロセッサ、メモリ、インターフェース、ディスプレイ装置、周辺機器または他のコンピュータ構成要素を含む周知技術の多様なコンピュータ構成要素を含むことができる。1組のインターフェース70により、ポンプコントローラ20は、モーター、弁、または他の構成要素にシリアル、パラレル、またはアナログデータ/信号を通信することができ、かつセンサ、タグリーダー50、コントローラまたはポンプ25の他の構成要素からデータ/信号を受信することができる。例えば、ポンプコントローラ20は、供給モーター175図2参照、分配モーター200図2参照、ソレノイド弁440図9参照を制御するソレノイドおよびポンプ25の他の構成要素に信号を送信することができる。ポンプコントローラ20は、構成要素を直接制御するための信号を生成することができ、またはポンプ25の構成要素を作動するために弁、モーターまたは他のコントローラによって解釈される信号を生成することができる。ポンプコントローラ20はまた、圧力センサ112図2参照などのセンサ、タグリーダー50およびポンプ25の他の構成要素からのアナログまたはデジタル信号を受信することができる。インターフェース70は、必要に応じてアナログおよびデジタルインターフェースを含むことができ、かつインターフェース70および非限定的にアナログデジタルコンバーター、フィルタおよび他の信号処理部品などのプロセッサ65の間に追加的な構成要素がある場合がある。一実施形態によると、ポンプコントローラ20はまた、ポンプ管理システムに接続するためのインターフェース80を含むことができる。インターフェース80により、ポンプコントローラ20は、ネットワーク例えばイーサネット登録商標、無線ネットワーク、グローバルエリアネットワーク、DeviceNetネットワークまたは周知技術の他のネットワーク、バス例えばSCSIバスまたは他の通信リンクに接続することができる。ポンプコントローラ20を多様なインターフェースおよび製造ツールに接続するためにI/Oインターフェースコネクタを使用することができる。I/Oインターフェースコネクタの例は、米国仮特許出願第60/741,657号Cedrone他による2005年12月2日出願のIOInterfaceSystemandMethodforaPump[代理人整理番号ENTG1810]、および米国特許出願第11/602,449号Cedrone他による2006年11月20日出願のIOSYSTEMSMETHODSANDDEVICESFORINTERFACINGAPUMPCONTROLLERに見い出すことができ、参照することにより、その全体はここに組み込まれている。ポンプコントローラ20は、ポンプ25の運転についてポンプコントローラ20に命令を提供することができるポンプ管理システム85に接続することができる。ポンプ管理システム85は、分配レシピまたは他の情報をポンプコントローラ20に提供するためにポンプコントローラ20に接続するコンピュータまたはコンピュータネットワークとすることができる。ポンプ管理システム85はまた、ポンプコントローラ20から運転データを収集することができる。ポンプ管理システム85は、集中型制御およびデータ収集を提供するために、多数のポンプに接続することができる。一実施形態によると、ポンプ管理システム85は、多数のポンプから収集された運転データ97のデータ記憶部90を保持することができる。データ保存部は、データベース、ファイルシステムまたは他のデータ保存システムとすることができる。運転において、ポンプコントローラ20は、タグリーダー50からろ過器情報45を受信することができる。ポンプコントローラ20は、情報45を分析するために命令60を実行することができかつポンプ25を運転するかどうか、またはどのように運転するかを決定することができる。一実施形態によると、ポンプコントローラ20は、情報45に規則を適用することができる。一例として、ポンプコントローラ20は、ポンプを運転するかどうかを決定するために、情報45を記憶された情報95と比較することができる。一例として、しかし限定されないが、これは、部品番号と予定された部品番号との比較を含むことができ、ろ過器をポンプ25と共に使用することができるかを判断する。そのうえ、ろ過器が許容された場合に、ポンプコントローラ20は、ろ過器情報45に基づいてどのようにポンプ25を運転するかを決定することができる。他の実施形態において、ポンプコントローラ20は、ろ過器情報45をポンプ管理システム85に送ることができ、かつポンプ管理システム85は、ポンプ25を運転するかどうか、またはどのように運転するかを決定するために、規則を適用することができる。記憶された情報95は、ポンプ管理システム85によってユーザインターフェースを介してポンプコントローラ20に提供されることができる、または他の別な方法で提供されることができる。一実施形態において、ポンプコントローラ20は、特定のろ過器からの情報95を記憶することができる。例えば、ポンプ25に使用される第1ろ過器は、適切なろ過器であり、ポンプコントローラ20は、このろ過器からのろ過器情報45を記憶された情報95として記憶することができるということが知られている。ポンプコントローラ20はまた運転データ97を記憶することができ、かつ運転データ97とろ過器情報45とを相互に関連づけることができる。他の実施形態において、ポンプコントローラ20は、運転データ97をポンプ管理システム85へ転送することができ、かつポンプ管理システム85は、運転データ97とろ過器情報45とを相互に関連付けることができる。様々なろ過器特性に対する運転データの分析は、ポンプ25を運転するかどうか、およびどのように運転するかを決定するための規則をヒューリスティックに更新することに使用することができる。例えば、ポンプコントローラ20は、特定の部品番号を有するろ過器を許容するように最初に規則を適用することができる。しかし、時間と共に、ろ過器がある部品番号および良好な分配をもたらす膜のバブルポイントの第1範囲を有しているが、ろ過器が、同じ部品番号で分配不良を数多く引き起こす膜のバブルポイントの第2範囲を有していることを発見した場合、ポンプコントローラ20またはポンプ管理システム85は、ろ過器が許容された部品番号を有していても、膜のバブルポイントの第2範囲の膜のバブルポイントを有するろ過器でポンプコントローラ20が運転しないように規則を更新することができる。したがって、ポンプコントローラ20またはポンプ管理システム85の意思決定を更新するためにデータ分析を使用することができる。図12は、ろ過器情報に基づいてポンプの運転を制御する方法の一実施形態の図表示である。図12における様々な処理ステップは、ポンプコントローラ20、ポンプ管理システム85または他の装置によって実行されることができる。新しいろ過器がポンプに接続されるステップ505と、電子タグリーダーがタグから1組のろ過器情報を読み取ることができるステップ510。ろ過器が適切であるかを判断するために、1組の規則をろ過器情報に適用することができるステップ515。ろ過器が適切であるかを判断する規則は、ろ過器情報およびプロセス流体、環境特性、所望の周期時間また他の要因などの他の要因に依存することができる。例えば、プロセス流体がある粘性を有している場合、ろ過器は、特定の部品番号またはある部品番号およびバブルポイントを有している場合のみが適切であると判断されるように、規則を適用することができる。したがって、適用される規則は、ろ過器情報および他の情報の多数の部分に依存することができる。ろ過器が適切なろ過器でない場合は、対応する動作をとることができるステップ520。そうでなければ、ポンプの運転を開始することができるステップ525。一実施形態によると、ろ過器の部品番号は、部品番号が整合しているかを判断するために、予定された、または許可された部品番号と比較されることができるステップ515。部品番号が整合すると、ポンプの運転を開始することができるステップ525。部品番号が整合しないと、ポンプコントローラまたは他の装置は、ポンプの運転が開始されるべきではないことを決定することができるステップ520。ポンプに接続されたろ過器が適切ではないことをポンプ管理システムまたは使用者に知らせるために、警告または通知を発生させることができる。必要または要求に応じて図12のステップは繰り返される。ろ過器が分配運転に適切である場合は、ろ過器情報をポンプの運転ルーチンの決定に使用することができる。ここに使用される備えるcomprises、備えているcomprising含むincludes、含むincluding有するhas有しているhavingまたは他の変化形は、非排除的な包括をカバーするよう意図されている。例えば、要素リストを備えるプロセス、製品、物品、または装置は、それらの要素のみに限定される必要はなく、明白に示されていない、またはこのようなプロセス、物品、または装置に固有の他の要素を含むことができる。さらに特に断らない限り、またはは、包括的なまたは、および非排除的なまたはを意味する。例えば条件AまたはBは、以下の任意の1つによって満たされる:Aは真または存在するおよびBは偽または存在しない、Aは偽または存在しないおよびBは真または存在する、およびAおよびB両方が真または存在する。そのうえここで与えられた任意の例または説明は、制限、限定または利用される任意の用語の定義を表すものであると見なされるべきではない。その代りに、これら例または説明は、1つの特定の実施形態に関する説明、および説明のためのみのものとして見なされるべきである。当業者は理解するだろうこれらの例または説明に使用される任意の用語は、明細書のどこかに与えられる、または与えられない他の実施形態および実施方法、適応を包含し、全てのこのような実施形態が用語の範囲内に含まれるように意図されている。このような非限定的な例および説明を指す言葉は、これらに限定されないが、例えばforexample、例えばforinstance例えばe.g.、一実施形態において等を含む。開示の様々な態様のさらなる改良および代替の実施形態は、この説明から当業者には明らかであろう。したがって、この記載は、説明のためのみであると解釈されるべきであり、開示を実行する一般的な方法を当業者に教示することを目的とする。例えば、上記は主に多段ポンプの例を使用しているが、ここに記載された実施形態はまた、一段ポンプまたは他のポンプと共に使用することができる。ここに示され説明された開示の形は、現在の好ましい実施形態として取られるべきであることを理解されるべきである。要素および材料は、ここに示され説明されたものに代えることができ、部品および工程を逆にすることができ、かつ開示の特定の機構は、独立して利用されることができ、全ては開示のこの説明の利益を有した後で当業者には明らかとなるだろう。以下の請求項に記載されたような開示の精神と技術範囲を逸脱することなくここに示された要素を変えることができる。"