管状に形成されて管外面にて流下液膜を沸騰蒸発するように構成された流下液膜式蒸発器用伝熱管において、前記伝熱管の外面の円周方向に環状または螺旋状に連続して形成された複数のフィンと、前記各フィンの先端部が隣のフィンに近接するよう前記伝熱管の管軸方向と略平行に折り曲げられ、該折り曲げられた先端部で前記隣のフィンとの間に隙間を設けて形成される複数の空洞部と、を備えた流下液膜式蒸発器用伝熱管。前記フィンの先端部に当該フィンの連続方向に沿って所定間隔で切欠き部が形成され、前記空洞部は、前記先端部に形成された切欠き部と、前記切欠き部が形成されていない先端部と前記隣のフィンとの間に形成される前記隙間とによって外部に連通されるよう構成され、前記伝熱管の管軸方向にて隣り合う前記空洞部同士の配置ピッチは0.4mm以上0.8mm以下であり、前記空洞部の深さは0.2mm以上0.8mm以下である請求項1に記載の流下液膜式蒸発器用伝熱管。前記切欠き部は、前記フィンの先端部に溝付きロールを押圧することにより形成されている請求項2に記載の流下液膜式蒸発器用伝熱管。前記先端部と前記隣のフィンとの間に形成される前記隙間が0.05mm以上0.5mm以下である請求項1ないし3のいずれかに記載の流下液膜式蒸発器用伝熱管。前記フィンが、前記伝熱管の外面をバイトにより削り起こして形成されている請求項1ないし4のいずれかに記載の流下液膜式蒸発器用伝熱管。前記空洞部は、平ロールを前記フィンに押圧して前記フィンの先端部を折り曲げることにより形成されている請求項1ないし5のいずれかに記載の流下液膜式蒸発器用伝熱管。前記伝熱管の内面に螺旋状のリブが設けられている請求項1ないし6のいずれかに記載の流下液膜式蒸発器用伝熱管。流下液膜式蒸発器を備えたターボ冷凍機において、前記流下液膜式蒸発器は、請求項1ないし7のいずれかに記載の流下液膜式蒸発器用伝熱管が多数列配置されてなる伝熱管群と、該伝熱管群の上部に設置された液冷媒散布装置とを有し、該液冷散布装置から散布される液冷媒が流下しながら前記伝熱管群の外面に液膜を形成し、各伝熱管上で沸騰蒸発を行って各伝熱管内部を流動する熱源媒体と熱交換を行うよう構成されているターボ冷凍機。前記液冷媒散布装置は、これから散布される前記液冷媒の散布量が調整し得るよう構成されている請求項8に記載のターボ冷凍機。流下液膜式蒸発器では、冷媒を散布させるためにポンプ、散布器、及びポンプを運転させるための動力が必要となり、COP成績係数の低下を招くほか、機器のコストアップに繋がる。このポンプの動力分以上に熱交換器の性能を向上させることができれば、満液式の場合と同様のCOPが得ることができる。さらに、冷媒封入量の削減は、今後の環境問題を考えるとその意義は大きく、機器のコストアップ以上の効果をもたらす。しかしながら、伝熱管の外面に突起やフィンを形成した特許文献1のものでは、熱交換性能が十分でない。また伝熱管の外面に空洞部を形成した特許文献2ものは、高さの異なる一対のフィンを形成し、背の高い方のフィンのみを折り曲げたりして空洞部を形成しているので、構造が複雑で形成方法も容易でない。したがって、これらを流下液膜式蒸発器用伝熱管に適用したり、ターボ冷凍機に採用したりするには、なお改善の余地があった。本発明の目的は、構造が簡単で形成も容易な流下液膜式蒸発器用伝熱管、及びそれを用いた高性能のターボ冷凍機を提供することにある。本発明の一実施の形態によれば、管状に形成されて管外面にて流下液膜を沸騰蒸発するように構成された流下液膜式蒸発器用伝熱管において、前記伝熱管の外面の円周方向に環状または螺旋状に連続して形成された複数のフィンと、前記各フィンの先端部が隣のフィンに近接するよう前記伝熱管の管軸方向と略平行に折り曲げられ、該折り曲げられた先端部で前記隣のフィンとの間に隙間を設けて形成される複数の空洞部と、を備えた流下液膜式蒸発器用伝熱管が提供される。本発明によれば、構造が簡単で形成も容易な流下液膜式蒸発器用伝熱管、及びそれを用いた高性能のターボ冷凍機を提供できる。本発明の一実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。<第一の実施の形態>[流下液膜式蒸発器用伝熱管]図1は、本発明の一実施の形態による流下液膜式蒸発器用伝熱管の管外面形状を示す部分説明図である。流下液膜式蒸発器用伝熱管は、管状に形成されて、伝熱管の周囲を未蒸発の液冷媒が流下しながら伝熱管上に液膜を形成し、伝熱管上で沸騰蒸発を行って伝熱管内部を流動する熱源媒体と熱交換を行う機能を有する。このような機能を有する流下液膜式蒸発器用伝熱管は、表面にフィンから構成される空洞部を備える。フィンは、伝熱管の外面の管周方向に環状または螺旋状に連続して複数形成される。空洞部は、前記各フィンの先端部が隣のフィンに近接するよう前記伝熱管の管軸方向と略平行に折り曲げられ、折り曲げられた先端部と隣のフィンとの間に隙間が設けられるように複数形成される。前記フィンの先端部に当該フィンの連続方向に沿って所定間隔で切欠き部が形成され、前記空洞部は、前記先端部に形成された切欠き部と先端部と隣のフィンとの間に形成される隙間とによって外部に連通されるよう構成される。実施の形態によっては、フィン及び空洞部は伝熱管を加工することによって形成される。図1に示す実施の形態の流下液膜式蒸発器用伝熱管では、例えば銅製の伝熱管本体30の伝熱素面加工前は平滑面である。を加工することによって、以下に述べる伝熱管外面形状を有する。複数のフィン31は、伝熱管本体30の外面を切削加工で削り起こして形成されている。削り起こして形成されていることにより、伝熱管本体30の外周面に相当する管外面には、当該管外面の周方向図中矢印参照へ環状あるいは螺旋状に連続するフィン31が、隆起した状態に形成されている。また、フィン31は、削り起こして形成されているため、その先端部31aはテーパ状に形成された鋭利なものとなる。後に折り曲げられるフィン31には、当該フィン31の先端部31aから基端部31bに向けて形成された谷状の切欠き部36が、当該フィン31の連続方向に沿って所定間隔で配されている。フィン31間の切欠き部36の配列は、管軸方向と平行になるようにしてもよいが、図示するように管軸方向に対してずらすようにしてもよい。複数の空洞部38は、各フィン31を折り曲げることによって管周方向に環状に連続して複数形成される。各空洞部38は、折り曲げられたフィン31の内周面38aと、折り曲げられた隣接するフィン31の背面38bと、削り起こしによって新たに露出された伝熱管外面38cとによって形成されている。折り曲げられたフィン31の先端部31aは新たな伝熱面となり、折り曲げられていないフィン31の基端部31bは伝熱壁を構成する。フィン31の折り曲げは、各フィン31の先端部31aを前記伝熱管本体30の管軸方向と平行になるよう実行される。各フィン31の先端部31aは隣のフィン31と近接するよう折り曲げられて、この折り曲げられた先端部31aと前記隣のフィン31との間に隙間37が形成されている。空洞部38は、この隙間37と前述した切欠き部36とによって外部に連通されるよう構成されている。空洞部38が、切欠き部36と、先端部31aと隣のフィン31との間に形成される隙間37とによって外部に連通されるよう構成されていると、液冷媒の空洞部38内への誘導、及び蒸気泡の空洞部38外への放出が容易になる。このような伝熱管外面形状を有することで、流下液膜式蒸発器用伝熱管の管外面には、その管周方向に連続して形成された空洞部38が、その管軸方向に複数個所定ピッチで並ぶ。その空洞部38の上端部の管周方向に隙間37が配される。さらに複数の切欠き部36が各空洞部38の連続方向に沿って所定間隔で配され、これらの切欠き部36は各空洞部38間でずれていくように配されていることになる。この場合において、先端部31aで構成される空洞部38の新たな伝熱面は、テーパ面を有するだけで凹凸部や溝を有さず、平滑面で構成される。したがって、1つのフィンから空洞部を形成する本実施の形態の流下液膜式蒸発器用伝熱管は、高さの異なる一対のフィンから空洞部を形成するものと比べて、構造が簡単で形成も容易になる。また、本実施の形態で説明する流下液膜式蒸発器用伝熱管は、上述した構造を有することに加えて、前記伝熱管本体30の内面に螺旋状のリブ45が設けられている。リブ45の形成手法は、特に限定されることはなく、公知の手法を用いて行えばよい。そのため、ここでは、リブ45の形成手法に関する詳細な説明を省略する。このようなリブ45を管内面に有する流下液膜式蒸発器用伝熱管では、当該リブ45がない場合に比べて、流下液膜式蒸発器用伝熱管と伝熱管内を流れる熱源媒体との間の熱伝達効率が向上する。したがって、熱源媒体との熱伝達効率向上を通じて、流下液膜式蒸発器用伝熱管における蒸発性能熱伝達性能の向上に寄与することになる。上述したような構成の流下液膜式蒸発器用伝熱管において、伝熱管本体30の周囲を流下する液冷媒は伝熱管本体30上で加熱される。その加熱された液冷媒は、切欠き部36、隙間37から空洞部38内へと誘導され、その空洞部38内で核沸騰を起こす。そこで、発生した沸騰核は、空洞部38内に停滞し、蒸気泡が発達して大きくなり、切欠き部36、隙間37から空洞部38外へと放出される。流下する液冷媒が、空洞部38外へ放出された蒸気泡に代わって空洞部38内へと誘導されていくため、伝熱管本体30上で液冷媒がドライアウトするのを防止できる。したがって、伝熱管本体30上の冷媒の濡れが確保され、伝熱管本体30の熱交換性能をより向上できる。なお、満液式蒸発器用伝熱管の場合も同様に、伝熱管内部を流れる熱源媒体によって加熱されるわけであるが、満液式蒸発器用伝熱管では液冷媒の充填量が多く、この加熱に必要なエネルギーは流下式の倍以上となるため好ましくないことは上述した通りである。図1に示す実施の形態では、具体例には、前記伝熱管の管軸方向にて隣り合う前記空洞部38同士の配置ピッチPは0.4mm以上0.8mm以下であり、前記空洞部38の深さDは0.2mm以上0.8mm以下である。管軸方向の空洞部38同士の配置ピッチPは、0.4mmよりも狭すぎると沸騰領域が減少してしまい、逆に0.8mmよりも広すぎると伝熱壁となる基端部31bとしてのフィン31からの熱伝達が悪くなるため、空洞部38同士の配置ピッチPは0.4mm以上0.8mm以下が好ましい。また、空洞部38の深さDは、0.2mmよりも浅すぎると沸騰核を停滞させておくことが困難となり、逆に0.8mmよりも深すぎると伝熱壁基端部31bからの熱伝達が悪くなるため、0.2mm以上0.8mm以下が好ましい。また、前記切欠き部36が形成されていない先端部31aと前記隣のフィン31との間に形成される前記隙間37の幅Gは0.05mm以上0.5mm以下であることが好ましい。隙間37の幅Gは、0.05mmよりも狭すぎると液冷媒流入の抵抗となり、0.5mmよりも広すぎると液冷媒を空洞部38内に残存させることができなくなるため0.05mm以上0.5mm以下が好ましい。[流下液膜式蒸発器用伝熱管の製造方法]上述した実施の形態の流下液膜式蒸発器用伝熱管は、図2に示す方法によって製造することができる。まず、図2aに示すように、外面が平滑で、内面に溝加工を施してある伝熱管本体30を用意し、刃先角が60°のバイト32を使用し、所定の切込角度、切込量、また形成されるフィン31の間隔が所定寸法となるように、バイト32を円周方向に回転させるとともに、伝熱管本体30を管軸方向に移動させ、フィン31を削り起こした。ここでは、バイト32の切込角度を24°とし、バイト32の切込量を0.20mmとした。また、管軸方向の空洞部38の配置ピッチPが、0.5mmとなるようにバイト32の回転速度、伝熱管本体30の送り速度を調整した。次に、図2bに示すように、溝付きロール34を円周方向に回転させるとともに、伝熱管を管軸方向に移動させ、フィン31を溝付きロール34で押圧して先端部31aに深さが0.2mmの切欠き部36を管軸方向に対して45°にて形成した。さらに図2cに示すように、平ロール35を円周方向に回転させるとともに、伝熱管を管軸方向に移動させ、フィン31を平ロール35で押圧して隙間37を有する空洞部38を形成した。ここでは、空洞部38の深さDが0.5mm、前記隙間37の幅Gが0.1mmとなるように平ロール35の押し込む量を調整した。このように本実施の形態による流下液膜式蒸発器用伝熱管の製造方法によれば、バイトによる削り起こしによりフィンを形成し、溝付きロールにより切欠き部を形成し、平ロールにより空洞部を形成するという3つの工程を実行するだけで、本実施の形態の伝熱管外面形状を有する流下液膜式蒸発器用伝熱管を簡単に作成することができる。[蒸発性能評価装置]こうして得られた実施例の伝熱管供試管8を図3に示す蒸発性能評価装置により、伝熱性能を評価した。この評価装置は、長さ300mmのSUS製シェルからなる蒸発器6及び凝縮器5を配管7で接続した構造となっている。蒸発器6には、供試管8が垂直方向に5本設置され、その上部に散布管9を設置している。蒸発器6下部には、下段に配置された供試管8に触れない程度に液冷媒11を充填した。蒸発器6下部には導管12が接続され、蒸発器6内に充填された液冷媒11は、この導管12を通り、ポンプ13によって蒸発器6内に配置された散布管9へと供給され、供試管8に液冷媒を散布する構造となっている。また、ポンプ13はインバータを介して駆動するようになっており、ポンプ吐出量の調整はインバータによって実施し、ポンプ13と散布管9の間に配置した流量計14によって、その散布量をモニタする。供試管8の蒸発性能評価は、供試管8内に熱源媒体としての温水を入口から出口へと通水し、この温水の出入口温度は、測温計の一例である白金測温抵抗体15a、15bにより測定される。温水の流量は、電磁流量計16により測定される。前記散布管9にはφ1.5mmの孔が、管軸方向に15mm間隔で設けられており、ここから液冷媒が供試管8上に散布され、さらに供試管8の外表面では、管内に通水された温水によって液冷媒が加熱され液冷媒が蒸発を始めガス冷媒となる。凝縮器5には、凝縮促進伝熱管10が水平方向に5本設置されている。これらの凝縮促進伝熱管10には、ブラインが、入口側から出口側へ向けて流れるように構成されている。このブラインによって、凝縮促進伝熱管10の管外面が冷媒蒸気の飽和温度以下に冷却されることになる。ブラインの出入口温度は、測温計の一例である白金測温抵抗体15c、15dによって測定される。また、凝縮器5には、径内の圧力を測定する圧力計17が接続されている。蒸発器6から配管7を通って凝縮器5へ上昇してきたガス冷媒は、凝縮器5で凝縮液化され、配管7を下降して蒸発器6に回収される構造となっている。[供試管の蒸発性能評価]具体的に以下の条件により、供試管8の蒸発性能を評価した。まず、蒸発器6内に供試管8をセットし、系内を真空引きした後に、液冷媒となるR134aを封入した。次に供試管8内に入口温度が所定の温度となるように調整された熱源媒体としての温水を、流速が1.5m/sとなるように流量を調整し通水する。その後、ポンプ13を回転させ、液冷媒散布装置を構成する散布管9から液冷媒11を供試管8に散布させる。その後、圧力計17の指示値が、例えば冷媒の飽和温度5°Cとなるように、凝縮器5内の凝縮促進伝熱管10内に流すブラインの温度及び流量をコントロールした。蒸発器6内において、散布管9から液冷媒が散布されると、供試管8の管内を流れる温水によって当該供試管8の管外面が液冷媒の気化温度以上に加熱され、当該供試管40の管外面に接触した液冷媒が蒸発してガス状になる。評価工程では、蒸発工程において供試管8が液冷媒を蒸発する際の当該供試管8の管外面における熱伝達率を測定する。熱伝達率の測定手法は、特に限定されることはなく、公知の手法を用いて行えばよい。そのため、ここでは、測定手法に関する詳細な説明を省略する。図4は本実施例による流下液膜式蒸発器用伝熱管を、流下液膜式蒸発器と満液式蒸発器とに共通使用した場合の伝熱性能の関係を示した図である。図5は、本実施例の流下液膜式蒸発器用伝熱管と比較例による満液式蒸発器用伝熱管とについて、冷媒散布量と蒸発熱伝達率の関係を比較した図である。なお。満液式蒸発器と流下液膜式蒸発器とについては後述する図7、図8参照。図4から明らかなように、実施例による流下液膜式蒸発器用伝熱管は、満液式蒸発器で用いられていた沸騰促進管よりも高い伝熱性能を示し、低熱負荷時低熱流速時においても高い伝熱性能が得られる。また、高熱負荷時高熱流速時においても、満液式同様の伝熱性能を確保できる。また、図5から、実施例による流下液膜式蒸発器用伝熱管は、比較例1、2及び3の各伝熱管の場合と比べて高い伝熱性能を示す。ここで、比較例1、2及び3は、それぞれ表面に多数の突起を加工した伝熱管図6a、伝熱管長手方向にフィンを有する伝熱管図6b、螺旋状にフィンを有する伝熱管図6cを意味する。実施例による流下液膜式蒸発器用伝熱管は、また、満液式蒸発器では困難な伝熱性能の制御を、冷媒散布量を変えることで、実行することが可能となる。したがって、液冷媒散布装置から散布される液冷媒の散布量を調整し得るよう構成すると、当該流下液膜式蒸発器用伝熱管に適した熱交換を行わせることができるので、汎用性や柔軟性などを十分に確保することが可能となる。[第一の実施の形態の効果]本発明の実施の形態によれば、以下に挙げる一つまたはそれ以上の効果を有する。1本発明の一実施の形態によれば、流下液膜式蒸発器用伝熱管において、前記伝熱管の外面の円周方向に環状または螺旋状に連続して形成された複数のフィンと、前記各フィンの先端部が隣のフィンに近接するよう前記伝熱管の管軸方向と平行に折り曲げられ、該折り曲げられた先端部で前記隣のフィンとの間に隙間を設けて形成される複数の空洞部と、を備えた流下液膜式蒸発器用伝熱管が提供される。このように構成することによって、伝熱管の周囲を流下する液冷媒は伝熱管上で加熱され、その加熱された液冷媒は、隙間から空洞部内へと誘導され、その空洞部内で核沸騰を起こす。そこで、発生した沸騰核は、空洞部内に停滞し、蒸気泡が発達して大きくなり、隙間から空洞部外へと放出される。流下する液冷媒が、空洞部外へ放出された蒸気泡に代わって空洞部内へと誘導されていくため、伝熱管上で液冷媒がドライアウトするのを防止できる。したがって、伝熱管上の冷媒の濡れが確保され、伝熱管の熱交換性能をより向上できる。また、各フィンを折り曲げて空洞部を形成する本実施の形態の流下液膜式蒸発器用伝熱管は、フィンを1つ置きに折り曲げて空洞部を形成するものと比べて、構造が簡単で形成も容易になる。2この場合、前記フィンが、前記伝熱管の外面をバイトなどの切削工具により削り起こして形成されていることが好ましい。転造加工によってもフィンを形成できるが、バイトによる削り起こしによってフィンを形成すると、伝熱管の外面に伝熱面を容易に形成できる。3また、前記空洞部は、平ロールを前記フィンに押圧して前記フィンの先端部を折り曲げることにより形成されていることが好ましい。平ロールを使ってフィンの先端部を折り曲げることにより、伝熱管の外面に空洞部を容易に形成できる。4また、前記フィンの先端部に当該フィンの連続方向に沿って所定間隔で切欠き部が形成され、前記空洞部は、前記先端部に形成された切欠き部と、前記切欠き部が形成されていない先端部と前記隣のフィンとの間に形成される隙間とによって外部に連通されるよう構成され、前記伝熱管の管軸方向にて隣り合う前記空洞部同士の配置ピッチは0.4mm以上0.8mm以下であり、前記空洞部の深さは0.2mm以上0.8mm以下であることが好ましい。このように空洞部が、切欠き部と、先端部と隣のフィンとの間に形成される隙間とによって外部に連通されるよう構成されていると、液冷媒の空洞部内への誘導、及び蒸気泡の空洞部外への放出が容易になる。この場合において、管軸方向の空洞部同士の配置ピッチは、0.4mmよりも狭すぎると沸騰領域が減少してしまい、逆に0.8mmよりも広すぎると伝熱壁となるフィンからの熱伝達が悪くなるため0.4mm以上0.8mm以下が好ましい。また、空洞部の深さは、0.2mmよりも浅すぎると沸騰核を停滞させておくことが困難となり、逆に0.8mmよりも深すぎると伝熱壁からの熱伝達が悪くなるため、0.2mm以上0.8mm以下が好ましい。5また、前記切欠き部は、前記フィンの先端部に溝付きロールを押圧することにより形成されていることが好ましい。このように溝付きロールを使ってフィンの先端部を押圧することにより、空洞部に外部と連通する切欠き部を容易に形成できる。6また、前記切欠き部が形成されていない先端部と前記隣のフィンとの間に形成される前記隙間が0.05mm以上0.5mm以下であることが好ましい。前記隙間は、0.05mmよりも狭すぎると冷媒液流入の抵抗となり、0.5mmよりも広すぎると冷媒液を空洞内に残存させることができなくなるため0.05mm以上0.5mm以下が好ましい。7また、前記伝熱管の内面に螺旋状のリブが設けられていることが好ましい。伝熱管の内面に螺旋状のリブが設けられていると、伝熱管内部を流動する熱源媒体の伝熱が促進される。8上述した構成の一部または全てを備えた流下液膜式蒸発器用伝熱管によれば、低熱負荷時においても、極めて良好な伝熱性能が得られる。また、高熱負荷時においても、満液式同様の伝熱性能を確保できるため、ターボ冷凍機の高性能化が図れる。同時に、流下液膜式の熱交換器であるため、冷媒封入量の削減を図ることができる。このほかにも、本実施の形態の流下液膜式蒸発器用伝熱管は、その要旨を逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論である。例えば、実施の形態では、バイトによるフィンの削り起こしによって、伝熱面を形成したが、転造加工による方法でも伝熱面を形成できる。<第二の実施の形態>[流下液膜式蒸発器を用いた冷凍機]図7に、上述した実施の形態の流下液膜式蒸発器用伝熱管を備えた冷凍機を示す。圧縮機18から吐出されたガス冷媒が、凝縮器19で凝縮液化し、次いで膨張弁または絞り弁24で気液二相の状態となり、蒸発器20下部に設けられた分配板23を介して蒸発器20に供給される構造となっている。蒸発器20内部には、熱源媒体が流動する多数の流下液膜式蒸発器用伝熱管21が設置され、その上部には上昇するガス冷媒26に随伴される液滴の圧縮機への流入を防止するためにエリミネータ22が設けられている。蒸発器20に設置された多数の流下液膜式蒸発器用伝熱管21の上部に散布管29が設置され、この散布管29と蒸発器20下部に溜まった液冷媒25とは導管28で連結され、この導管28に介設された循環ポンプ27により液冷媒としてR134aが供給される。循環ポンプ27は、図示せぬインバータを介して駆動されるようになっており、そのインバータによってポンプ吐出量が調整される。また、循環ポンプ27と散布管29との間の導管28の経路途中には、液冷媒25の流量をモニタする流量計図示せずが配置されており、そのモニタ結果に基づきポンプ吐出量をフィードバック制御することで、散布管29への液冷媒25の供給量を調整し得るように構成されている。上述した散布管29、導管28、循環ポンプ27、流量計で液冷媒散布装置が構成される。また、散布管29には、凝縮器19から膨張弁または絞り弁24を流出した気液二相状態の液冷媒25が蒸発器20下部へ供給され、蒸発器20下部から循環される液冷媒とともに伝熱管21上に散布される。散布管29からR134aを散布する際には、その散布量が所望量となるように、ポンプ吐出量の制御を通じて散布管29へのR134aの供給量を調整する。このように散布管29からのR134aの散布量をコントロールすることで、流下液膜式蒸発器用伝熱管21の管外面を覆うR134aの量を調整するのである。散布管29から散布されて流下した液冷媒は、各伝熱管21の外面に薄い液膜を形成しながら、供試管8内部を流動する熱源媒体との間で熱交換を行い、蒸発する。このような流下液膜式の蒸発器では、蒸発器内の冷媒量が熱負荷に応じた蒸発量の数倍程度でよいため、満液式の蒸発器と比較すると冷媒量は非常に少なくてすむ。したがって、ターボ冷凍機の冷媒封入量の削減を図ることができる。また、伝熱管上に未蒸発の液冷媒を流下させながら熱源媒体との間で熱交換を行わせるのに適した流下液膜式蒸発器用伝熱管を用いたターボ冷凍機を実現でき、しかも従来の満液式蒸発器用伝熱管以上に高性能なターボ冷凍機を提供することが可能になる。[比較例としての満液式蒸発器]満液式蒸発器を備えた冷凍機を図8に示す。冷凍サイクルの構成は流下式のそれと同様であるが、蒸発器20内部には、熱源媒体が流動する多数の伝熱管21が液冷媒25に浸されるように設置されている。このような構造の満液式蒸発器は、伝熱管内部を流動する熱源媒体との間の熱交換を、伝熱管外面に活発に生じる沸騰熱伝達によって行うため、伝熱特性は優れている。その反面、蒸発器には伝熱管が液冷媒に浸されるように多くの液冷媒を封入する必要があった。[第二の実施の形態の効果]本実施の形態によれば、上述した流下液膜式蒸発器用伝熱管を多数列の伝熱管群として配置し、該伝熱管群の上部に設置された液冷媒散布装置から散布される液冷媒が流下しながら前記伝熱管群の外面に液膜を形成し、各伝熱管上で沸騰蒸発を行って各伝熱管内部を流動する熱源媒体と熱交換を行うよう構成された流下液膜式蒸発器を有するターボ冷凍機が提供される。このように上述した流下液膜式蒸発器用伝熱管を適用した流下液膜式蒸発器をターボ冷凍機に採用すると、液冷媒を散布させるために必要なポンプの動力分以上に熱交換機の性能を向上させることが可能となるので、満液式蒸発器を採用したターボ冷凍機と比べて、安価で高性能化を図ることができる。また、低熱負荷時においても良好な伝熱性能が得られ、高熱負荷時においても満液式同様の伝熱性能を確保できるため、ターボ冷凍機の高性能化が図れる。