密封された絶縁筒状真空容器内に、内端部に固定側電極を有し上記真空容器外に気密に貫通された固定側電極棒、及びこの固定側電極と接離可能な可動側電極を内端部に有し伸縮ベローズを介し上記真空容器外に気密に貫通されると共に伸縮ベローズの蛇腹部で進退自在になされた可動側電極棒を備えた真空バルブであって、上記伸縮ベローズに、上記蛇腹部を常に覆うと共にこの蛇腹部の山部に摺接する保持部材、及び上記蛇腹部の谷部に嵌め込み固定され、上記蛇腹部の伸縮動作時に上記保持部材の内周面を摺動する摺動部材を設けたことを特徴とする真空バルブ。上記保持部材は、上記伸縮ベローズの両端部に互いに対向して配置された一対の第1、第2円筒体部で構成され、伸縮ベローズ内端側の第1円筒体部は、上記伸縮ベローズと共に上記真空容器側に固定され、伸縮ベローズ外端側の第2円筒体部は、上記伸縮ベローズと共に上記可動側電極棒に装着され進退可能にしたことを特徴とする請求項1記載の真空バルブ。上記保持部材の上記第1円筒体部と第2円筒体部とが対向する側の両開口部に、それぞれ上記蛇腹部の収縮時に互いに噛合し両円筒体部の筒長を伸縮する櫛状の凹凸部を互いにずらせて設けたことを特徴とする請求項2記載の真空バルブ。上記保持部材の第1及び第2円筒体部には、それぞれ互いに噛合する少なくとも3個の櫛状の凹凸部を設けたことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の真空バルブ。上記摺動部材は、複数の扇状部材で構成され、上記蛇腹部の谷部に嵌め込み固定したことを特徴とする請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の真空バルブ。上記伸縮ベローズは、軸方向に分割された複数の蛇腹部で構成され、これら蛇腹部間を上記摺動部材で連結し一体化したことを特徴とする請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の真空バルブ。上記保持部材の第1円筒体部には、当該第1円筒体部を上記真空容器側に固定する第1支持部を設けると共に、上記第2円筒体部には、当該第2円筒体部を上記可動側電極棒側に固定する第2支持部を設けたことを特徴とする請求項1~請求項6のいずれか1項に記載の真空バルブ。従来の座屈防止部品は、真空バルブをロウ付けにて形成した後に組み込まれる。この時、可動側電極棒はベローズによって真空バルブ本体に接続されているだけであり、また、大気圧によって可動電極を固定電極に押し付ける力が作用している。したがって、冶具による大きな力で可動電極棒を引き出した状態で、座屈防止冶具の位置決め、及び取り付け状況の確認を行う必要がある。また、可動電極棒とベローズ間の空間が狭いため作業性が悪い。さらに、ベローズと可動側電極棒の間の隙間が座屈防止部品を組み込むのにちょうど良いとは限らず、隙間が大きすぎる場合は、座屈防止部品のために電極棒を無駄に太くする必要がある。一方、隙間が小さい場合は、スペース確保のためベローズを大きくする必要があり、その結果、真空バルブの径も大きくなってしまうということが生じる。座屈対策としてベローズを外圧式内側が真空で外側がガスとすることが有効である。しかし、真空バルブの定格電圧が高くなると、開極距離の増大のためにベローズが長くなり、さらに、開極スピードの増加によって、開極時の衝撃で伸縮ベローズ自身に発生する振動のエネルギーが増大すると、最大振幅部に局部的な応力が発生するためベローズの寿命が短くなるという問題がある。また、真空バルブの周囲の絶縁ガスの圧力を上げて沿面耐圧を向上させ、遮断器の小型化を図ろうとすると、ベローズ内外の圧力差も大きくなって応力はいっそう増大し、ベローズの局所的な変形から座屈へと発展してしまう。外圧式伸縮ベローズに対して、従来技術のようにベローズの内径側の可動電極棒に樹脂を設けようとすると、ロウ付け前に仕込んでおく必要があるが、樹脂はロウ付けの温度に耐えられないので適用できない。ベローズは、非常に薄い金属でできているため磨耗に弱く、さらに、小さなゴミなどの粒子がベローズと座屈防止部品との間に入り込んでも傷の元となる。したがって、座屈防止部品とベローズが直接接触した状態で滑る構造は、伸縮ベローズの寿命を短くする危険がある。この発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、開閉時の衝撃でベローズに発生する振動エネルギーを散逸させて伸縮ベローズの応力緩和を図ることで長寿命のベローズを得て、真空バルブの信頼性を向上させることを目的とする。この発明に係わる真空バルブは、密封された絶縁筒状真空容器内に、内端部に固定側電極を有し上記真空容器外に気密に貫通された固定側電極棒、及びこの固定側電極と接離可能な可動側電極を内端部に有し伸縮ベローズを介し上記真空容器外に気密に貫通されると共に伸縮ベローズの蛇腹部で進退自在になされた可動側電極棒を備えた真空バルブであって、上記伸縮ベローズに、上記蛇腹部を常に覆うと共にこの蛇腹部の山部に摺接する保持部材、及び上記蛇腹部の谷部に嵌め込み固定され、上記蛇腹部の伸縮動作時に上記保持部材の内周面を摺動する摺動部材を設けたものである。この発明の真空バルブによれば、開閉時の衝撃で伸縮ベローズに発生する振動エネルギーを、摺動部材と保持部材の摩擦で散逸させることにより伸縮ベローズの応力緩和を図ることができ、また、保持部材によって伸縮ベローズが横ずれして座屈が発生するのを防止できるので、伸縮ベローズの寿命が伸び真空バルブの信頼性が向上する。以下、図面にもとづいて、この発明の各実施の形態を説明する。なお、各図間において、同一符号は同一あるいは相当部分を示す。実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による真空バルブを示す断面図で、図2は伸縮ベローズ8と保持部材9の外面図で、伸縮ベローズ8が伸びた状態を示し、図3は摺動部材11と保持部材9の拡大断面図である。まず、絶縁ガスを封入した収納タンク図示せず内に並設された真空バルブの全体構成を説明する。図1に示す真空バルブは、内端部に固定側電極18aを有し真空容器外に気密に貫通された固定側電極棒3a、及びこの固定側電極と接離可能な可動側電極18bを内端部に有し伸縮ベローズ8を介し真空容器外に気密に貫通されると共に伸縮ベローズの蛇腹部8aで進退自在になされた可動側電極棒3bを備えたものである。以下、図1~図3にもとづいて詳述する。円筒形状の絶縁筒2a、2bの上下両端には、薄い輪状の金属部材であるメタライズ層5が接合されている。絶縁筒2は、絶縁筒2a、2bの接合部6でアークシールド7を挟み固定する。絶縁筒2aには、固定側フランジ4を介して固定側端板1aが固定され、固定側端板1aの中央には、固定側電極棒3aが貫通しその先端には固定側接点18aが取り付けられている。メタライズ層5は、薄い金属で端部が尖っているため、セラミック端部は高電界となる。固定側端板1aには、絶縁筒2aの上端メタライズ層5の電界緩和のため固定側電界緩和シールド19を取り付ける。絶縁筒2bには、可動側フランジ12が接合される。可動側フランジ12は折れまがって段構造を持っており、電界緩和部12aは、アークシールド7と絶縁筒2bと対向する部分であるので曲率を持たせて電界緩和を図る。伸縮ベローズカバー12bは、先端が屈曲し屈曲部12cを形成することで、遮断時に接点18で発生する粒子が伸縮ベローズ8に入り込んで伸縮ベローズを損傷するのを防止する。電界緩和シールド19は、絶縁筒2bの下側メタライズ層5の電界緩和を行う。伸縮ベローズ8は、上端を後述する保持部材第1円筒体部91を介して可動側フランジ12に固定し、下端を後述する保持部材第2円筒体部92を介して可動側電極棒3bに固定する。真空バルブ内部の気密性特に伸縮ベローズの周囲は、以下の部材をロウ付けによって一体に封止することによって確保している。すなわち、絶縁筒2bと、可動側フランジ12のフランジ部12dと、電界緩和部12aと、伸縮ベローズカバー12bと、支持部91aと、伸縮ベローズ8の上端部などの部分がロウ付けによって封止される。さらに、伸縮ベローズ8の下端と、支持部92aと、可動側電極棒3bの部分も同様にロウ付けされる。屈曲部12cは、可動側電極棒3bとの間に若干の隙間が開いており、可動電極棒3bの動作時に接触しないようにする。伸縮ベローズ8の内部と可動電極棒3bとのスペースは、真空に保たれており、屈曲部12cと可動側電極棒3bとの間の隙間によって、図面上上部の真空部に通じている。可動側電極棒3bの上端には、可動側接点18bが取り付けられる。以上の構造により絶縁筒2の内部、伸縮ベローズ8の内部は、高真空に維持される。フランジ17は、下端が可動側端板1bに固着され一体となっている。このフランジ17は、可動側フランジ12に溶接、あるいは可動側フランジに環状の板図示されていないをロウ付けしてねじ止めで固定する。可動側端板1bの中央には、ガイド14をボルト15で固定する。これにより、可動側電極棒3bは、中心軸が固定され、伸縮ベローズ8の伸縮により上下にスライドするようになる。フランジ17と伸縮ベローズ8との間のスペースSは絶縁ガスで満たされており、可動側端板1bには、穴16が設けられている。伸縮ベローズ8が縮んでスペースSの体積が大きくなった時には、この穴16を通して収納タンク側の絶縁ガスがスペースSに入り込み、伸縮ベローズ8が伸びてスペースSの体積が小さくなった時にはこの穴16を通してスペースSの絶縁ガスが放出される。この結果、スペースS内の圧力変動が抑制され、伸縮ベローズ8の負担を軽減する。通常の通電時は、固定側接点18aと可動側接点18bは閉じているが、遮断時には可動側電極棒3bが図示されていない機構により高速で引き下げられ開極する。この時、接点間には、アークが発生し接点18の表面から金属蒸気や粒子が発生する。そこで、金属蒸気を補足するために、接点18の周囲を覆うように、SUS製のアークシールド7が設けられている。次に、実施の形態1における主要部の構成を説明する。実施の形態1における主要部は、伸縮ベローズの蛇腹部8aを常に覆うと共にこの蛇腹部の山部8bに摺接する保持部材991、92、及び蛇腹部8aの谷部8cに嵌め込み固定され、蛇腹部8aの伸縮動作時に保持部材991、92の内周面を摺動する摺動部材11で構成されている。伸縮ベローズ8は、外側が絶縁ガス、内側が真空で、このような外圧形態は真空バルブの周囲の絶縁ガスの圧力が高い場合に用いられる。通常の真空バルブでは伸縮ベローズは外側が真空、内側が絶縁ガスという内圧形態で使用される。保持部材9は、図1に示すように伸縮ベローズ8の両端部に互いに対向して配置された一対の第1円筒体部91、第2円筒体部92で構成され、伸縮ベローズ8の内端側の第1円筒体部91は、伸縮ベローズ8と共に真空容器側に固定され、伸縮ベローズ8の外端側の第2円筒体部92は、伸縮ベローズ8と共に可動側電極棒3bに装着され進退自在になされている。第1円筒体部91は、伸縮ベローズ8の上端部に支持部91aを固着し、側面部91bで伸縮ベローズ8の外径を覆い、支持部91aと側面部91bとは一体化され円筒体を構成している。第2円筒体部92は、伸縮ベローズ8の下端部に支持部92aを固着し、側面部92bで伸縮ベローズ8の外径を覆い、支持部92aと側面部92bとは一体化され円筒体を構成している。なお、支持部92aは、可動側電極棒3bに密閉に固定されている。また、図2に示すように、第1円筒体部91と第2円筒体部92とが対向する側の両開口部には、それぞれ櫛歯状の凹凸部が互いにずらせて設けられ、櫛部91c、92cが相互に並ぶことで、ぶつからないよう組み立てられている。したがって、両円筒体部91、92は、蛇腹部8aが収縮する時、互いに干渉することなく噛合し両円筒体部の筒長を変える伸縮動作が行われる。なお、図2の櫛部91c、92cは、3つの凸部を持ち、3つ以上の凸部を持つようにしてもよい。蛇腹部8aの谷部8cに嵌め込み固定された摺動部材11は、伸縮ベローズ8を自由長にした時の蛇腹断面形状に適合する断面形状を持つ。また、周方向に扇形形状とし、複数を組み合わせて蛇腹の全周を覆うようにする。図3に示すように、摺動部材11の外径R1は、伸縮ベローズ8の外径R2より大きくする。さらに、摺動部材11の外径R1は、保持部材991、92の内径R3と実質的に等しく、伸縮ベローズ8の伸縮に伴って摺動部材11が移動した際に、保持部材9と接している状態のまま摺動部材11が横滑りするようにする。例えば、摺動部材11の外径R1と保持部材991、92の内径R3の隙間は、加工公差と伸縮ベローズの応力緩和効果を考えて05mm程度以下とする。摺動部材11の外径R1と伸縮ベローズ8の外径R2の差は、伸縮ベローズの横ずれによる座屈の防止のために1mm程度とする。次に、この実施の形態1で使用する材料について説明する。摺動部材11と保持部材9の側面部91b、92bは、焼付き防止のため異なる材料とするべきで、例えば摺動部材をSUS、保持部材9をCuとする。摺動部材11もしくは保持部材9の接触面にAgロウを付着させてもよい。摺動部材11又は円筒体部側面部91b、92bをセラミックアルミナ、窒化ケイ素とし、ロウ付け面にメタライズ層を設けてロウ付けしてもよい。金属の母材にこれらの皮膜を設けてもよい。摺動部材11と円筒体部側面部91b、92bの接触面を上記の金属材料、セラミック材料とし、それ以外の伸縮ベローズ8の横ずれを防止する部分には固体潤滑剤例えばロウ付け温度でも安定である窒化ホウ素の皮膜を設ける構造とすると、摺動部材11と円筒体部側面部91b、92bの摩擦による伸縮ベローズ8の振動エネルギー散逸の効果と、座屈防止のため伸縮ベローズ8が円筒体部側面部91b、92bと接触しても固体潤滑剤であるため磨耗が少ないという効果が得られ、伸縮ベローズ8の寿命がさらに長くなる。次に、この発明に至る従来構造の問題点について説明する。1伸縮ベローズ8の端の方の蛇腹に応力が集中する点について、開極、閉極の際の伸縮ベローズ8の動きを高速度カメラで観測すると、伸縮ベローズ8は数msという高速で動いた後に急に停止するため、蛇腹部8aに粗密波が発生し往復運動を行う。この時、伸縮ベローズ8の両端の蛇腹は、固定端となっているためにその付近で特に大きな応力が発生する。この結果、伸縮ベローズ8の端の方で亀裂が発生する。従来技術は、伸縮ベローズの端から端まで同じように座屈防止冶具を設けているため、伸縮ベローズの端の応力が大きいという問題は解決されておらず、開極距離や開極スピードが増加すると振動のエネルギーは増加し、結局伸縮ベローズの端の方で亀裂が生じてしまう。実施の形態1の構造では、図1や図3のように伸縮ベローズ8の端より少し中央寄りに摺動部材11を設けたので、まず、粗密波が摺動部材11を振動させ、この時、摺動部材11と保持部材9の摩擦でエネルギーを散逸し、エネルギーを減少させた後で伸縮ベローズ8の端部に至る構造となっている。摺動部材11を保持部材9の櫛部91c、92cよりも伸縮ベローズ8端部寄りに設けると、伸縮ベローズ8と保持部材9で囲まれた空間は密閉状態に近くなり、特に絶縁ガスの圧力が例えば06MPa絶対値と高い場合に、エアダンパーの効果が現れてくる。本構造は以上の作用を持つため、開極距離や開極スピードが増加しても伸縮ベローズ8端部の応力は抑制され、伸縮ベローズの寿命が伸びるという効果がある。2伸縮ベローズ8と座屈防止部品との擦れによって金属や絶縁物の粒子が発生する可能性について、従来構造では、これらの粒子が真空バルブ外の絶縁ガス空間に移動する可能性がある。その後、粒子は開閉の振動の影響で移動し、さらに電界の作用により電界の高い沿面に付着する。この結果、耐電圧性能が低下するという問題がある。絶縁物粒子であっても部分放電を発生したり、金属粒子を巻上げるという悪影響がある。この問題は、定格電圧の高い真空遮断器で重要となる。実施の形態1の構造では、伸縮ベローズ8の摺動部の周りを、フランジ17と可動側端板1bで覆い、擦れによる金属や絶縁物の粒子を閉じ込める構造とした。穴16の前に遮蔽板を設けたり、穴を下側の可動側端板1bではなくフランジ17の側面に設けると、粒子の閉じ込め効果を高めることができる。次に、実施の形態1の作用について説明する。開閉時の衝撃で伸縮ベローズ8に発生する振動エネルギーを、摺動部材11と保持部材9の摩擦で散逸させることにより、伸縮ベローズ8の応力緩和を図る。この結果、伸縮ベローズ8の寿命が伸び、真空バルブの信頼性が増すことができる。特に、摺動部材11を伸縮ベローズ8の端よりは中央寄りに設けることによって、段落番号0029の1で述べたように、開閉の衝撃で発生する粗密波のエネルギーを減衰させ、伸縮ベローズ8の端部に発生する応力を抑制することにより、開極距離や開極スピードが増加しても伸縮ベローズ8の寿命を伸ばすことができる。保持部材9の先端を櫛歯状としたので、伸縮ベローズ8の伸縮状態に関係なく全ての蛇腹の横ずれを防止する。このため伸縮ベローズ8の全長が長い場合でも座屈が防止される。伸縮ベローズ8の摺動部の周りをフランジ17と可動側端板1bで覆い、擦れによる金属や絶縁物の粒子を閉じ込める構造としたため、段落番号0031の2で述べたように、粒子が真空バルブ外の絶縁ガス空間に移動することを防止し耐電圧性能を向上させる。その他の構造について説明する。伸縮ベローズ8は、可動側フランジ12を絶縁筒2bの内側に折り曲げて一部が絶縁筒2bの中に入る構造としたので、真空バルブの全長を短くする効果がある。さらに、可動側フランジ12にはメタライズ層5の電界緩和のための電界緩和シールド19と、アークシールド7及び絶縁筒2bに対向する部位に電界緩和部12aを設けたので、全長を短くしても耐電圧性能は維持されるという効果がある。次に、実施の形態1の製造工程について説明する。多段ロウ付けとし、あらかじめ伸縮ベローズの蛇腹部8aの谷部8cに摺動部材11をロウ付けする。その後、冶具によって、可動側電極棒3bと伸縮ベローズ8、保持部材9第1円筒体部91、第2円筒体部92、可動側フランジ12の軸心を出した状態でロウ付けする。その際、保持部材9の櫛部91c、92cは、保持部材9で干渉しないよう方向に注意する。摺動部材11と保持部材9の隙間は、このロウ付け時に決まるのでロウ付け後に確認する。この段階で、接点18は、大気圧の接圧が印加することによって閉極しているので、冶具を外しても軸心を出した状態を維持できる。続いて、フランジ17と可動側端板1bをロウ付け一体化した部品を製造し、あらかじめロウ付けしておいた真空バルブの可動側フランジ12に溶接またはねじ止めする取り付け構造の詳細は図1では略されている。次に、ガイド14をねじ止めする。実施の形態1の真空バルブでは、以上のように開閉時の衝撃で伸縮ベローズ8に発生する振動エネルギーを、摺動部材11と保持部材9の摩擦で散逸させることにより、伸縮ベローズ8の応力緩和を図る。さらに、保持部材9によって伸縮ベローズ8が横ずれして座屈が発生するのを防止する。この結果、伸縮ベローズ8の寿命が伸び、真空バルブの信頼性が向上するという効果がある。実施の形態2.図4は、実施の形態2による真空バルブの摺動部材11と保持部材9の構造を示す拡大断面図である。実施の形態1では、伸縮ベローズの蛇腹部8aに摺動部材11を設けたが、この実施例では伸縮ベローズ8は、軸方向に分割された複数の蛇腹部8a1、8a2で構成され、これらの蛇腹部8a1、8a2を連結し一体化する。接続部品20は、摺動部材11で兼用することとした。図4では、伸縮ベローズ8の接続部の一実例として、伸縮ベローズ8の溶接部に接続部品20を被せて強化した例を示す。接続部品20と保持部材9の隙間や接続部品20の外径と伸縮ベローズ8の外径の差は、実施の形態1と同じ設定とする。他の部品構造、例えば保持部品の先端の櫛形などは実施の形態1と同じとする。実施の形態2では、伸縮ベローズ8の製造段階で摺動部材11が形成されているので、伸縮ベローズ8に摺動部材11をロウ付けする工程を省略することができる。伸縮ベローズ8の応力緩和と座屈防止による真空バルブの信頼性が向上するという効果は実施の形態1と同様である。実施の形態3.図5はこの実施の形態3による真空バルブを示す断面図である。実施の形態1及び2では、保持部材9を他の部品と同時にロウ付けしたが、実施の形態3では、他の部品のロウ付け終了後に保持部材9を取り付ける形態とした。伸縮ベローズ8に摺動部材11を設ける点は、実施の形態1と同じである。伸縮ベローズ8の内端側は、伸縮ベローズ固定板22を介して可動側フランジ12に固定する。伸縮ベローズ8の外端側は、伸縮ベローズ固定板21によって可動側電極棒3bに固定する。実施の形態1、2では、伸縮ベローズカバー12bと伸縮ベローズ8の間に、支持部材91aと側面部91bで構成される第1円筒体部91を設けたが、この実施の形態3では、支持部材91aと側面部91bを分離した。すなわち、支持部材91aに相当するのが部材21aである。この部材21aは、伸縮ベローズカバー12bの強度補強のために設けた補強部材である。保持部材9の第1円筒体部91は、側面部91bに設けた支持部91aaを、可動側フランジ12に設けたフランジ補強板22にねじ止めすることにより固定される。側面部91bの開口側端部には、実施の形態1と同様に櫛部91cを持つ。このため、支持部91aaは櫛部91cに設けられた構造となり、支持部91aaとフランジ補強板22とによって第1支持部を構成している。図5は、断面図であるため中心線の右側には支持部91aaと櫛部91cの断面が見えているが、中心線の左側には見えていない。保持部材9の第2円筒体部92は、支持部92aを可動側電極棒3bに固定された伸縮ベローズ固定板21にねじ止めすることにより固定され、支持部92aと伸縮ベローズ固定板21とによって第2支持部を構成している。こちらは中心線の左側に櫛部92cが見えているが、右側には見えていない。図5は、開極状態の図であるので、第1円筒体部91の櫛部91cと第2円筒体部92の側面部92bの間、及び第2円筒体部92の櫛部92cと第1円筒体部91の側面部91bの間は、大きく開いている。次に、この実施の形態3で使用する材料について説明する。摺動部材11と保持部材9の側面部91b、92bは、焼付き防止のため異なる材料とするべきであるという点は実施の形態1と同じである。本構造では、保持部材9はロウ付け温度ほどの高温にならないので、エンジニアリングプラスチックPPE、PC、PA、POM、PBTで形成する。窒化ケイ素などの硬質皮膜を用いて磨耗の少ない摩擦状態としてもよい。保持部材9の側面部91b、92bの内、摺動部材11と接触する面は、エンジニアリングプラスチックとし、それ以外の伸縮ベローズの横ずれを防止する部分は、固体潤滑材料として一体化すれば、摺動部材11と保持部材9の摩擦による伸縮ベローズ8の振動エネルギー散逸の効果と、伸縮ベローズ8が保持部材9と接触しても固体潤滑剤であるため磨耗が少ないという効果が得られ、伸縮ベローズ8の寿命がさらに長くなる。次に、実施の形態3の製造工程について説明する。他の部品のロウ付け後、下端から保持部材9の第1円筒体部91を挿入し、支持部91aaをフランジ補強板22に固定する。続いて、第2円筒体部92を下端から挿入し支持部92aを伸縮ベローズ固定板21にねじ止めする。その後、フランジ17と可動側端板1bを一体化した部品をフランジ補強板22にねじ止めする。最後にガイド14をボルト15で固定する。実施の形態3では、保持部材9を後から取り付けるようにしたので、ロウ付け時に軸心出しをする部品の数が減り冶具が簡略化される。保持部材9としてプラスチックなど適用できる材料が増えるので、開極距離や開極スピードに合せて最適な材料を選ぶことができる。