相互に直交するX方向及びY方向に配列し、Z方向にレーザビームを出射する複数のレーザ出射面を含む光源と、前記X方向に並ぶ前記レーザ出射面の列に対応して配置され、対応する列の前記レーザ出射面から出射したレーザビームを、YZ面内において平行光線束にする第1のシリンドリカルレンズと、前記第1のシリンドリカルレンズを透過した複数のレーザビームが入射し、前記複数のレーザビームを、X方向に長い長尺領域に重ね合わせる第2のシリンドリカルレンズとを有し、前記第2のシリンドリカルレンズは、X方向に配列された複数の光学部材を含み、前記光学部材の各々は、X方向に平行な母線からなる柱面と、鏡面研磨されたX方向に垂直な端面とを含み、相互に隣り合う前記光学部材は、前記端面同士が密着しているレーザ照射装置。さらに、前記複数の光学部材を支持するレンズホルダを有し、前記レンズホルダは、X方向に配列した前記光学部材の列にX方向の圧縮力を印加する加圧機構を有する請求項1に記載のレーザ照射装置。前記レンズホルダは、前記光学部材の各々に対して設けられたY方向微調機構を有し、前記Y方向微調機構は、対応する前記光学部材のY方向の位置を微調整する請求項2に記載のレーザ照射装置。前記レンズホルダは、前記光学部材の各々に対して設けられたZ方向微調機構を有し、前記Z方向微調機構は、対応する前記光学部材のZ方向の位置、及びX方向に平行な方向を回転中心とした回転方向の姿勢を微調整する請求項2または3に記載のレーザ照射装置。液晶パネルの大型化に伴い、アニール対象の基板も大型化が進んでいる。大きな基板を短時間にアニールするために、ビーム断面の長尺化が要求される。ビーム断面の長尺化を進めるためには、シリンドリカルレンズも長くしなければならない。ところが、高品質で大型の硝材を高い精度で研磨することは、コスト増に繋がる。本発明の目的は、ビーム断面が長尺化しても、シリンドリカルレンズのコスト増を抑制することができるレーザ照射装置を提供することである。本発明の一観点によると、相互に直交するX方向及びY方向に配列し、Z方向にレーザビームを出射する複数のレーザ出射面を含む光源と、前記X方向に並ぶ前記レーザ出射面の列に対応して配置され、対応する列の前記レーザ出射面から出射したレーザビームを、YZ面内において平行光線束にする第1のシリンドリカルレンズと、前記第1のシリンドリカルレンズを透過した複数のレーザビームが入射し、前記複数のレーザビームを、X方向に長い長尺領域に重ね合わせる第2のシリンドリカルレンズとを有し、前記第2のシリンドリカルレンズは、X方向に配列された複数の光学部材を含み、前記光学部材の各々は、X方向に平行な母線からなる柱面と、鏡面研磨されたX方向に垂直な端面とを含み、相互に隣り合う前記光学部材は、前記端面同士が密着しているレーザ照射装置が提供される。第2のシリンドリカルレンズを複数の光学部材で構成しているため、シリンドリカルレンズのコスト増を抑制することができる。図1Aに、実施例によるレーザ照射装置の斜視図を示す。レーザ照射装置が配置される空間に、XYZ直交座標系を定義する。複数の光ファイバ11の出射端が、XY面に平行な平面上に配置されている。光ファイバ11の各々の出射端は、レーザ出射面として機能する。光ファイバ11の他端は、レーザ光源図1Aでは図示されていない、例えばレーザダイオードに結合している。レーザ光源から出射されたレーザビームが光ファイバ11内を導光され、レーザ出射面から、Z軸の負の向きに出射される。レーザ出射面は、X方向及びY方向に、行列状に配置されている。X方向に並ぶレーザ出射面の列以下、X列という。に対応して、第1のシリンドリカルレンズ12が配置されている。図1Aでは、レーザ出射面のX列が4列である場合を示している。X列の数と同一の4個の第1のシリンドリカルレンズ12が配置される。第1のシリンドリカルレンズ12の各々は、X軸に平行な母線を有する柱面を含む。レーザ出射面から出射されたレーザビームが、第1のシリンドリカルレンズ12によって、YZ面内において収束され、平行光線束になる。具体的には、第1のシリンドリカルレンズ12の前側焦点の位置に、レーザ出射面が配置されている。第1のシリンドリカルレンズ12によって平行光線束にされたレーザビームが、第2のシリンドリカルレンズ10に入射する。4個の第1のシリンドリカルレンズ12に対して1個の第2のシリンドリカルレンズ10が配置されている。第2のシリンドリカルレンズ10も、X軸に平行な母線を有する柱面を含む。第2のシリンドリカルレンズ10は、第1のシリンドリカルレンズ12を透過したレーザビームを、アニール対象である基板15の表面において、X方向に長い線状領域16に重ね合わせる。第2のシリンドリカルレンズ12は、X方向に並ぶ複数の光学部材14を含む。図1Bに、1つの光学部材14の斜視図を示す。光学部材14は、レーザビームの入射側の表面Z軸の正の方向を向く表面14A、レーザビームの出射側の表面Z軸の負の方向を向く表面14B、Y軸に垂直な一対の側面14C、及びX軸に垂直な一対の端面14Dを有する。入射側の表面14Aは、X軸に平行な母線の集合からなる円柱面であり、出射側の表面14Bは、Z軸に垂直な平面である。すなわち、光学部材14の各々も、シリンドリカルレンズとして機能する。光学部材14のX軸に垂直な断面の形状及び寸法は、すべて同一である。なお、入射側の表面を平面とし、出射側の表面を円柱面としてもよい。一対の端面14Dは鏡面研磨されている。図1Aに示したように、相互に隣り合う光学部材14の端面14D同士が密着している。複数の光学部材14がX方向に配列した状態では、光学部材14の円柱面14Aが、相互に滑らかに連続してX方向に長い1つの円柱面を構成する。また、出射側の表面14Bは、Z軸に垂直な1枚の平面を構成する。ここで、密着は、接着剤等で脱離不可能に接着されていることを意味するのではなく、2つの端面が隙間なく接触していることを意味する。第1のシリンドリカルレンズ12及び第2のシリンドリカルレンズ10の各々を、Z方向に2枚以上のシリンドリカルレンズを配置した組レンズとしてもよい。図2Aに、実施例によるレーザ照射装置の、Y軸に平行な視線で見た正面図を示す。光ファイバ11の出射端とは反対側の入射端が、レーザ光源13に結合している。レーザ光源13は、光ファイバ11の本数と同数配置されており、光ファイバ11と1対1に対応する。レーザ光源13には、青色半導体レーザ等を用いることができる。レーザ光源13から出射したレーザビームが、対応する光ファイバ11の入射端に入射する。X方向に、7個のレーザ出射面18が並んでいる。なお、X方向に配列するレーザ出射面18の個数は7個に限定されず、2~6個でもよいし、8個以上でもよい。ZX面内に関して、第1のシリンドリカルレンズ12及び第2のシリンドリカルレンズ10は、収束及び発散作用を有しない。従って、レーザ出射面18から出射したレーザビームは、Z軸の負の方向に伝搬するに従って。X方向に広がる。X方向に隣り合うレーザ出射面18から出射したレーザビームは、基板15の表面の線状領域16において、X方向に関して相互に部分的に重なる。基板15は、XYステージ20に保持されている。基板15をY方向に移動させながらレーザ照射を行うことにより、広い領域をアニールすることができる。図2Bに、基板15の表面におけるX方向の光強度分布を示す。1つのレーザ出射面18から出射したレーザビームのビームプロファイルは、例えばガウス分布で近似される。複数のレーザビームが重なることにより、X方向に関してほぼフラットな光強度分布が得られる。図3Aに、実施例によるレーザ照射装置の、X軸に平行な視線で見た側面図を示す。Y方向に4個のレーザ出射面18が並んでいる。Y方向に並ぶレーザ出射面18の列を、Y列ということとする。なお、レーザ出射面18のY列の数は4個に限定されず、2~3個でもよいし、5個以上でもよい。レーザ出射面18の1つのX列に対して、1つの第1のシリンドリカルレンズ12が配置されている。レーザ出射面18から出射したレーザビームが、対応する第1のシリンドリカルレンズ12に入射する。第1のシリンドリカルレンズ12は、YZ面内に関してレーザビームをコリメートする。コリメートされたレーザビームが第2のシリンドリカルレンズ10に入射する。第2のシリンドリカルレンズ10は、入射したレーザビームを収束し、基板15の表面において複数のレーザビームを重ね合わせる。例えば、YZ面内に関して、第1のシリンドリカルレンズ12と第2のシリンドリカルレンズ10とが、光ファイバ11のレーザ出射面18を、基板15の表面に結像させる。これにより、基板15の表面において、レーザビームが、X方向に長い線状領域16に重ね合わされる。図3Bに、基板15の表面におけるY方向の光強度分布を示す。Y方向に関しては、光ファイバ11のレーザ出射面18が基板15の表面に結像する。このため、レーザ出射面18におけるY方向の光強度分布が、基板15の表面に投影される。図4Aに、第2のシリンドリカルレンズ10及びレンズホルダ30の平断面図を示す。図4B及び図4Cに、それぞれ図4Aの一点鎖線4B-4Bにおける断面図、及び一点鎖線4C-4Cにおける断面図を示す。図4Aは、図4Bの一点鎖線4A-4Aにおける断面図、及び図4Cの一点鎖線4A-4Aにおける断面図に相当する。複数の光学部材14がX方向に配列されて、レンズホルダ30内に収容されている。レンズホルダ30は、枠30Aと、枠30Aの内周面から内側に向かって張り出した張り出し部30Bとを含む。枠30Aは、Y軸に垂直で相互に対向する一対の側面、及びX軸に垂直で相互に対する一対の側面を有する。張り出し部30Bは、枠30AのY軸に垂直な側面から内側に向かって張り出しており、Z軸に垂直な支持面を有する。光学部材14の側面14Cが、枠30AのY軸に垂直な側面に接触することにより、Y方向の位置が拘束される。光学部材14の出射側の表面14Bの両端が張り出し部30Bの支持面に接触することにより、光学部材14がレンズホルダ30に支持される。枠30Aに取り付けられた押さえ機構34が、光学部材14に、張り出し部30Bの支持面に向う力を印加する。この力により、光学部材14のZ方向の位置が固定される。押さえ機構34は、例えば板ばねと、板ばねを枠30Aに固定するネジとで構成される。加圧機構31が、光学部材14の列に、X方向の圧縮力を印加する。これにより、光学部材14の端面14D図1B同士が、隙間なく密着する。加圧機構31には、例えばコイルばねが用いられる。光学部材14のそれぞれに対応して、Y方向微調機構32及びZ方向微調機構33が設けられている。Y方向微調機構32は、枠30Aの、Y軸に垂直な側面を有する部分をY方向に貫通するネジを含む。ネジの先端を光学部材14の側面14Cに接触させることにより、光学部材14のY方向の位置を微調整することができる。Z方向微調機構33は、張り出し部30BをZ方向に貫通するネジを含む。ネジの先端を、光学部材14の出射側の表面14Bに接触させることにより、光学部材14のZ方向の位置、及びX軸に平行な直線を回転中心とした回転方向の姿勢を微調整することができる。上記実施例では、光学部材14の端面14D同士が密着している。このため、光学部材14の端面14Dにおけるレーザビームの反射、屈折、損失等を防止することができる。これにより、光学部材14の集合が、単体の硝材を研磨して形成した1つの大きなシリンドリカルレンズと同等の機能を持つことになる。光学部材14の各々は、1つの大きなシリンドリカルレンズに比べて小さな硝材を研磨して形成することができる。このため、研磨コストの低減を図ることが可能になる。単体の硝材を研磨する方法では、長さが1m程度のシリンドリカルレンズを形成することが困難であった。実施例による構造を採用することにより、長さが1m以上のシリンドリカルレンズを形成することも可能である。また、レンズが大きくなると、レンズの自重による歪みが懸念される。実施例の場合には、個々の光学部材14の自重による歪みはほとんど生じない。従って、レンズの歪み対策の煩わしさが軽減される。図5に、他の実施例によるレーザ照射装置の正面図を示す。以下、図2Aに示した実施例によるレーザ照射装置との相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。図2Aに示した実施例では、X方向に関して、レーザ出射面18のY列と光学部材14との相対的な位置関係は、特に規定されていない。また、レーザ出射面18のY列の数と、光学部材14の個数とを等しくする必要もない。図5に示した実施例では、X方向に関して、レーザ出射面18のY列と光学部材14とが1対1に対応する。レーザ出射面18から出射したレーザビームは、当該レーザ出射面18に対応する光学部材14に入射する。レーザビームは、Z軸の負の向きに進むに従ってX方向に広がり、Z軸に垂直な仮想的な平面17よりも基板15側では、相互に隣り合うレーザビームの経路が部分的に重なる。第2のシリンドリカルレンズ10は、仮想的な平面17よりもレーザ出射面18側に配置されている。このため、1つのY列のレーザ出射面18から出射したレーザビームは、1つの光学部材14のみを通過する。レーザビームが、光学部材14の端面14D図1Bと交差しないため、レーザビームが、光学部材14の端面14Dの影響を受けない。例えば、端面14Dに起因する屈折や反射が生じない。この場合、複数の光学部材14が1つのレンズホルダ30図4A~図4Cで支持されているため、光学部材14ごとに光軸調整を行う場合に比べて、光軸の調整が容易である。上記実施例では、第2のシリンドリカルレンズ10を複数の光学部材14で構成したが、第1のシリンドリカルレンズ12の各々も、第2のシリンドリカルレンズ10と同様に、複数の光学部材で構成してもよい。以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。