"第1の電極と第2の電極との間に有機光電変換層が挟まれた構造を有し、上記第1の電極および上記第2の電極のうちの少なくとも受光面側の一方がグラフェンからなる有機光電変換素子。基板上に上記第1の電極が設けられ、上記第1の電極上に上記有機光電変換層が設けられ、上記有機光電変換層上に上記第2の電極が設けられ、上記第2の電極が上記グラフェンからなる請求項1記載の有機光電変換素子。基板上に第1の電極を形成する工程と、上記第1の電極上に有機光電変換層を形成する工程と、上記有機光電変換層上に第2の電極を形成する工程とを有し、上記第1の電極および上記第2の電極のうちの少なくとも受光面側の一方をグラフェンにより形成する有機光電変換素子の製造方法。別の基板上にグラフェンを成長させ、このグラフェンを上記有機光電変換層上に転写することにより上記第2の電極を形成する請求項3記載の有機光電変換素子の製造方法。第1の電極と第2の電極との間に有機光電変換層が挟まれた構造を有する受光部を有し、上記第1の電極および上記第2の電極のうちの少なくとも受光面側の一方がグラフェンからなる固体撮像素子。基板上に上記第1の電極が設けられ、上記第1の電極上に上記有機光電変換層が設けられ、上記有機光電変換層上に上記第2の電極が設けられ、上記第2の電極が上記グラフェンからなる請求項5記載の固体撮像素子。基板上に第1の電極を形成する工程と、上記第1の電極上に有機光電変換層を形成する工程と、上記有機光電変換層上に第2の電極を形成する工程とを有し、上記第1の電極および上記第2の電極のうちの少なくとも受光面側の一方をグラフェンにより形成する固体撮像素子の製造方法。別の基板上にグラフェンを成長させ、このグラフェンを上記有機光電変換層上に転写することにより上記第2の電極を形成する請求項7記載の固体撮像素子の製造方法。ところで、有機光電変換素子において光電変換電流光電流を増大させるためには、有機光電変換層への入射光量を増加させることが重要である。しかしながら、上述のITOやIZOなどの透明導電性酸化物の透過率は可視光領域で80以下と低いため、有機光電変換層への入射光量を増加させることは難しいのが実情である。また、透明導電性酸化物の成膜にはスパッタリング法や真空蒸着法などが用いられるが、これらの方法を用いると成膜時に有機光電変換層にダメージが発生してしまう。このため、所望の特性を有し、しかも長寿命の有機光電変換素子を得ることができないという問題があった。そこで、本開示が解決しようとする課題は、有機光電変換層への入射光量を増加させることができ、しかも特性が良好で長寿命の有機光電変換素子およびその製造方法を提供することである。本開示が解決しようとする他の課題は、有機光電変換層への入射光量を増加させることができ、しかも特性が良好で長寿命の固体撮像素子およびその製造方法を提供することである。すなわち、上記課題を解決するために、本開示は、第1の電極と第2の電極との間に有機光電変換層が挟まれた構造を有し、上記第1の電極および上記第2の電極のうちの少なくとも受光面側の一方がグラフェンからなる有機光電変換素子である。また、本開示は、基板上に第1の電極を形成する工程と、上記第1の電極上に有機光電変換層を形成する工程と、上記有機光電変換層上に第2の電極を形成する工程とを有し、上記第1の電極および上記第2の電極のうちの少なくとも受光面側の一方をグラフェンにより形成する有機光電変換素子の製造方法である。また、本開示は、第1の電極と第2の電極との間に有機光電変換層が挟まれた構造を有する受光部を有し、上記第1の電極および上記第2の電極のうちの少なくとも受光面側の一方がグラフェンからなる固体撮像素子である。また、本開示は、基板上に第1の電極を形成する工程と、上記第1の電極上に有機光電変換層を形成する工程と、上記有機光電変換層上に第2の電極を形成する工程とを有し、上記第1の電極および上記第2の電極のうちの少なくとも受光面側の一方をグラフェンにより形成する固体撮像素子の製造方法である。本開示においては、典型的には、基板上に第1の電極が設けられ、第1の電極上に有機光電変換層が設けられ、有機光電変換層上に第2の電極が設けられ、第2の電極がグラフェンからなる。この場合、典型的には、別の基板上にグラフェンを成長させ、このグラフェンを有機光電変換層上に転写することにより第2の電極を形成するが、これに限定されるものではない。基板は透明であっても透明でなくてもよく、基板の材料は従来公知の材料の中から必要に応じて選ばれる。第1の電極および第2の電極のうちの受光面側と反対側の他方は透明であっても透明でなくてもよく、その材料は従来公知の材料の中から必要に応じて選ばれる。本開示においては、グラフェンの可視光領域の透過率は、使用するグラフェンの層数にもよるが、例えば80から90にもなる。このため、このグラフェンからなる電極を透過して有機光電変換層に入射する光の量を増加させることができる。また、グラフェンは化学気相成長CVD法により容易に成長させることができるため、グラフェンの成膜時に有機光電変換層にダメージが発生するおそれがない。有機光電変換素子は、例えば有機フォトダイオードであるが、これに限定されるものではない。本開示によれば、有機光電変換層への入射光量を増加させることができ、しかも特性が良好で長寿命の有機光電変換素子を得ることができる。また、有機光電変換層への入射光量を増加させることができ、しかも特性が良好で長寿命の固体撮像素子を得ることができる。以下、実施の形態について説明する。なお、説明は以下の順序で行う。1.第1の実施の形態有機フォトダイオードおよびその製造方法2.第2の実施の形態有機フォトダイオードおよびその製造方法1.第1の実施の形態[有機フォトダイオード]第1の実施の形態による有機フォトダイオードを図1に示す。図1に示すように、この有機フォトダイオードにおいては、基板11上に所定形状の第1の電極12が設けられている。この第1の電極12を覆うように所定形状の絶縁層13が設けられている。この絶縁層13には、第1の電極12上の所定部分に所定形状の開口13aが設けられている。この開口13aを通じて第1の電極12と電気的に接続され、かつ絶縁層13上に延在するように所定形状の有機光電変換層14が設けられている。この有機光電変換層14上に、基板11上に延在するように所定形状の第2の電極15が設けられている。この有機フォトダイオードにおいては、第2の電極15側が受光面となっており、入射光は、この第2の電極15を透過して有機光電変換層14に入射するようになっている。第2の電極15はグラフェンからなる。グラフェンは一層であっても二層以上の複数層であってもよいが、一層増えるごとに可視光透過率が2.3低下するため、グラフェンの層数は第2の電極15に必要とされる透過率に応じて適宜決められる。基板11は、検出しようとする光に対して透明であっても透明でなくてもよく、その材料は従来公知の材料の中から必要に応じて選ばれる。基板11の材料は、例えば、ガラス基板、石英基板、シリコン基板、プラスチック基板などが用いられる。プラスチック基板としては、例えば、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルサルフォンなどからなるものが用いられる。有機フォトダイオードの電気特性の面内分布の均一性や信頼性の向上を図るために、好適には、基板11上に形成される第1の電極12の表面粗度Raは、可能な限り小さく抑える必要がある。これに関し、一般的なシリコン基板や石英基板では、表面粗度Raが1nm以下となっているため、好適には、シリコン基板や石英基板などが用いられる。基板11の厚さは必要に応じて選ばれ、特に限定されない。第1の電極12は、検出しようとする光に対して透明であっても透明でなくてもよく、その材料は従来公知の材料の中から必要に応じて選ばれる。第1の電極12の材料としては、具体的には、例えば、銅Cu、チタンTi、アルミニウムAlなどの各種の金属や、スズドープ酸化インジウムITO、インジウムドープ酸化亜鉛IZO、インジウムガリウムドープ酸化亜鉛IGZO、アルミニウムドープ酸化亜鉛AZO、二酸化チタンTiO2などの透明導電性金属酸化物などの一種または二種類以上を混合したものを用いることができる。第1の電極12としては、そのほか、グラフェンなどの炭素材料を用いてもよい。第1の電極12の厚さは必要に応じて選ばれ、特に限定されない。絶縁層13の材料としては、従来公知の材料を用いることができ、無機材料であっても有機材料であってもよく、必要に応じて選ばれる。絶縁層13の材料としては、具体的には、例えば、酸化シリコンSiO2あるいはSiOx、窒化シリコンSi3N4あるいはSiNxなどの無機材料やレジストなどの有機材料などである。絶縁層13の厚さは必要に応じて選ばれ、特に限定されない。有機光電変換層14の材料としては従来公知の各種のものを用いることができ、検出しようとする光の波長などに応じて適宜選ばれる。有機光電変換層14の材料は、具体的には、例えば、次のようなものを用いることができるが、これに限定されるものではない。有機光電変換層14は、一種類の材料で構成してもよいし、二種類以上の材料を組み合わせて、例えば二種類以上の材料混合して構成してもよい。有機光電変換層14には、必要に応じて、無機材料、例えばフラーレンC60などを混在させてもよい。有機光電変換層14の厚さは必要に応じて選ばれるが、例えば、50nm以上200nm以下である。VatViolet1イソビオラントロンVatViolet2PigmentViolent36VatViolet34,4’,7,7’-テトラメチル-5,5’-ジクロロ-△2,2’3H,3’H-ビ[ベンゾ[b]チオフェン]-3,3’-ジオンVatViolet4VatViolet55,7-ジクロロ-2-[5,6,7-トリクロロ-3-オキソベンゾ[b]チオフェン-23H-イリデン]-1H-インドール-32H-オンVatViolet6VatViolet7PigmentViolet1キサンテン、ローダミンB936bisxanthyliummolybdatetungstatephosphatePigmentViolet34[methyl]benzenamineNMederivsPigmentViolet4カルボニウム、マゼンタPigmentViolet5アントラキノン、スルフォン化キニザリン、アリザリンバイオレットPigmentViolet51アントラキノンアルミニウムレーキ、スルフォン化キニザリンアルミニウムレーキ、アリザリンバイオレットPigmentViolet19無置換キナクリドンPigmentViolet23ジオキサジン、ジオキサジンカルバゾールバイオレット8,18-ジクロロ-5,15-ジエチル-5,15-ジヒドロジインドロ[3,2-b:3’,2’-m]トリフェノジオキサジンPigmentViolet27ferratehexakismethylated4[methyl]benzenaminecoppersaltsPigmentViolet293,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸ジイミドPigmentViolet31ビオラントロン、ブリリアントバイオレットRRジクロロベンゾ[rst]フェナントロ[10,1,2-cde]ペンタフェン-9,10-ジオン;ピグメントバイオレット31;C.I.ピグメントバイオレット31PigmentViolet32N3hydroxy4[[25dimethoxy4[sulphonyl]phenyl]azo]naphtalene2carboxamideジクロロベンゾ[rst]フェナントロ[10,1,2-cde]ペンタフェン-9,10-ジオン;ピグメントバイオレット31;C.I.ピグメントバイオレット31PigmentViolet33bromobenzo[rst]phenanthro[1012cde]pentaphene918dioneTHRENEBRILLIANTVIOLET3BPigmentViolet344-[4-アミノフェニルアゾ]-4’-[2,4-ジヒドロキシフェニルアゾ][1,1’-アゾビスナフタレン]-6’,7-ジスルホン酸二ナトリウムPigmentViolet35PigmentViolet36チオインディゴ5chloro2ylidene7methylbenzo[b]thiophen3on5-クロロ-2-5-クロロ-7-メチル-3-オキソベンゾ[b]チオフェン-23H-イリデン-7-メチルベンゾ[b]チオフェン-32H-オンPigmentViolet37ジオキサジン3-メチルブタン酸2E-3,7-ジメチル-2,6-オクタジエニルPigmentViolet38ALLYL2CHLORO112TRIFLUOROETHYLETHERPigmentViolet40オレイルアミンPigmentViolet424-2,4-ジクロロフェノキシ酪酸2-ブトキシエチルPigmentViolet42キナクリドン、キナクリドン固溶体、キナクリドンマルーンBPigmentViolet434-[[4-ベンゾイルアミノ-2-メトキシ-5-メチルフェニル]アゾ]-N-4-クロロフェニル-3-ヒドロキシ-2-ナフタレンカルボアミドPigmentViolet444-4-メトキシフェニル-2-ブタノンPigmentViolet504-[4-ベンゾイルアミノ-2-メトキシ-5-メチルフェニルアゾ]-3-ヒドロキシ-N-フェニル-2-ナフタレンカルボアミドPigmentBlue1カルボニウム、ビクトリアピュアブルーPigmentBlue52-メチル-4-[[4-[[4-[3-メチルフェニルアミノ]フェニル][4-[3-メチルフェニルイミノ]-2,5-シクロヘキサジエン-1-イリデン]メチル]フェニル]アミノ]ベンゼンスルホン酸PigmentBlue7フタロシアニンコバルトIIPigmentBlue15無置換銅フタロシアニンα型結晶PigmentBlue151低塩素化銅フタロシアニンα型結晶PigmentBlue152NF処理銅フタロシアニンα型結晶NF処理無置換銅フタロシアニンα型結晶、NF処理低塩素化銅フタロシアニンα型結晶PigmentBlue153無置換銅フタロシアニンβ型結晶PigmentBlue154NF処理無置換銅フタロシアニンβ型結晶PigmentBlue155無置換銅フタロシアニンγ型結晶PigmentBlue156無置換銅フタロシアニンε型結晶PigmentBlue16無金属フタロシアニン、PcPigmentBlue17スルホン化銅フタロシアニンレーキPigmentBlue24N-エチル-N-[4-[[4-[エチル[3-スルホフェニルメチル]アミノ]フェニル]2-スルホナトフェニルメチレン]-2,5-シクロヘキサジエン-1-イリデン]-3-スルホベンゼンメタンアミニウム/バリウム,1:1PigmentBlue254,4’-[3,3’-ジメトキシビフェニル-4,4’-ジイルビスアゾ]ビス3-ヒドロキシ-N-フェニル-2-ナフトアミドPigmentBlue562-メチル-4-[[4-[[4-[3-メチルフェニルアミノ]フェニル][4-[3-メチルフェニルイミノ]-2,5-シクロヘキサジエン-1-イリデン]メチル]フェニル]アミノ]ベンゼンスルホン酸PigmentBlue573-メチル-4-[[4-[[4-[2-メチルフェニルアミノ]フェニル][4-[2-メチルフェニルイミノ]-2,5-シクロヘキサジエン-1-イリデン]メチル]フェニル]アミノ]ベンゼンスルホン酸PigmentBlue60インダンスレン、アントラキノン、インダンスレン青PigmentBlue61[[4-[[4-フェニルアミノフェニル][4-フェニルイミノ-2,5-シクロヘキサジエン-1-イリデン]メチル]フェニル]アミノ]ベンゼンスルホン酸PigmentBlue63C.I.アルミニウムレーキPigmentBlue64C28H12Cl2N2O4PigmentBlue65ビオラントレン-5,10-ジオンPigmentBlue66インジゴ、藍PigmentBlue75コバルトフタロシアニンブルー、CoPcPigmentBlue76フタロシアニンブルーグリーン10GN高塩素化フタロシアニンブルーPigmentBlue79アルミニウムフタロシアニンブルー、AlPcPigmentBlue80ベンツイミダゾロンジオキサジンブルーPigmentBlue82インジゴとクレーの混成マヤブルーPigmentRed1βナフトール、モノアゾ、パラレッドPigmentRed2ナフトールAS、モノアゾPigmentRed3PigmentRed4PigmentRed5PigmentRed6ナフトールAS、モノアゾ、カーミンFBPigmentRed7PigmentRed8PigmentRed9ナフトールAS、モノアゾ、パーマネントレッドFRLLPigmentRed12PigmentRed13PigmentRed17PigmentRed21PigmentRed22PigmentRed23ナフトールAS、モノアゾ、カーミンBSPigmentRed24PigmentRed31PigmentRed32PigmentRed38PigmentRed48BONA、モノアゾPigmentRed49PigmentRed50PigmentRed51PigmentRed52PigmentRed53βナフトール、モノアゾ、レーキッドCPigmentRed54βナフトールカルシウムレーキ、モノアゾPigmentRed64PigmentRed68PigmentRed88チオインジゴPigmentRed112ナフトールAS、モノアゾ、パーマネントレッドFGRPigmentRed113カドミウム水銀赤PigmentRed114ナフトールAS、モノアゾ、ブリリアントカーミンBSPigmentRed122キナクリドン、ジメチルキナクリドン、キナクリドンマゼンタPigmentRed123PigmentRed144縮合ジアゾPigmentRed146ナフトールAS、モノアゾ、カーミンFBBPigmentRed147PigmentRed148PigmentRed149ペリレン、ペリレンレッドBLPigmentRed150PigmentRed151PigmentRed168アントラキノン、ジブロムアンサンスロンレッドPigmentRed170ナフトールAS、モノアゾ、ナフトールカーバミドイエローPigmentRed171PigmentRed173PigmentRed174PigmentRed175ベンツイミダゾロン系モノアゾPigmentRed176PigmentRed177アントラキノンPigmentRed178PigmentRed179PigmentRed181PigmentRed184PigmentRed185PigmentRed190PigmentRed195PigmentRed200PigmentRed202キナクリドン、ジクロロキナクリドン、キナクリドンマゼンタPigmentRed206キナクリドン、キナクリドン固溶体、キナクリドンマルーンPigmentRed207キナクリドン、キナクリドン固溶体、キナクリドンスカーレットPigmentRed208PigmentRed209キナクリドン、キナクリドンスカーレットPigmentRed214PigmentRed216ピランスロンレッドPigmentRed221縮合ジアゾPigmentRed224PigmentRed225PigmentRed242縮合ジアゾPigmentRed251ピラゾロキナゾロンPigmentRed254塩素置換ジケトピロロピロール、ジケトピロロピロール、DPPPigmentRed255無置換ジケトピロロピロール、ジケトピロロピロール、DPPPigmentRed259ウルトラマリンピンクPigmentRed264ジケトピロロピロール、DPPPigmentRed266PigmentRed268PigmentRed269PigmentYellow1モノアゾ、ハンザイエローGPigmentYellow3モノアゾ、ハンザイエロー10G2-[4-クロロ-2-ニトロフェニルアゾ]-N-2-クロロフェニル-3-オキソブタンアミドPigmentYellow42-[4-ニトロフェニルアゾ]-3-オキソ-N-フェニルブタンアミドPigmentYellow52-[2-ニトロフェニルアゾ]-3-オキソ-N-フェニルブタンアミドPigmentYellow6モノアゾ、ハンザイエロー10GC16H13ClN4O4PigmentYellow14ジアゾ、ジアゾイエローAAOT、ベンジジンイエロー5G、ベンジジンエローPigmentYellow17ジアゾ、ジアゾイエローAAOA4,4’-ビス[[1-2-メトキシフェニルアミノ-1,3-ジオキソブタン-2-イル]アゾ]-3,3’-ジクロロ-1,1’-ビフェニルPigmentYellow24フラバントロンPigmentYellow55ジアゾ、PigmentYellow2RNPigmentYellow604-[2-クロロフェニルアゾ]-2,4-ジヒドロ-5-メチル-2-フェニル-3H-ピラゾール-3-オンPigmentYellow62ビス[4-[[1-[[2-メチルフェニルアミノ]カルボニル]-2-オキソプロピル]アゾ]-30-ニトロベンゼンスルホン酸]カルシウムPigmentYellow634,4’-ビス[[1-2-クロロフェニルアミノ-1,3-ジオキソブタン-2-イル]アゾ]-3,3’-ジクロロ-1,1’-ビフェニルPigmentYellow64PigmentYellow65モノアゾ2-[4-メトキシ-2-ニトロフェニルアゾ]-N-2-メトキシフェニル-3-オキソブタンアミドPigmentYellow73モノアゾ2-[4-クロロ-2-ニトロフェニルアゾ]-N-2-メトキシフェニル-3-オキソブタンアミドPigmentYellow74モノアゾ、アジシニンイエロー、PermanentYellowGX2-[2-メトキシ-4-ニトロフェニルアゾ]-N-2-メトキシフェニル-3-オキソブタンアミドPigmentYellow75N-4-エトキシフェニル-2-[4-クロロ-2-ニトロフェニルアゾ]-3-オキソブタンアミドPigmentYellow81ジアゾ2,2’-[2,2’,5,5’-テトラクロロ[1,1’-ビフェニル]-4,4’-ジイルビスアゾ]ビス[N-2,4-ジメチルフェニル-3-オキソブタンアミド]PigmentYellow83ジアゾ、ベンジジンイエロー2,2’-[3,3’-ジクロロ-1,1’-ビフェニル-4,4’-ジイルビスアゾ]ビス[N-4-クロロ-2,5-ジトメキシフェニル-3-オキソブタンアミド]PigmentYellow933,3’-[2-クロロ-5-メチル-1,4-フェニレンビスイミノビス1-アセチル-2-オキソ-2,1-エタンジイルビスアゾ]ビス[4-クロロ-N-3-クロロ-2-メチルフェニルベンズアミド]PigmentYellow943,3’-[2,5-ジクロロ-1,4-フェニレンビスイミノビス1-アセチル-2-オキソ-2,1-エタンジイルビスアゾ]ビス[4-クロロ-N-5-クロロ-2-メチルフェニルベンズアミド]PigmentYellow95縮合ジアゾ、ポリアゾイエローGRPigmentYellow97モノアゾN-4-クロロ-2,5-ジトメキシフェニル-2-[[2,5-ジメトキシ-4-[フェニルアミノスルホニル]フェニル]アゾ]-3-オキソブタンアミドPigmentYellow984’-クロロ-2’-メチル-α-4-クロロ-2-ニトロフェニルアゾアセトアニリドPigmentYellow99アントラキノンPigmentYellow100タートラジンイエロー、レーキ型ピラゾロンPigmentYellow1011,2-ビス2-ヒドロキシナフタレン-1-イルメチレンヒドラジンPigmentYellow1045-[4-スルホフェニルアゾ]-6-ヒドロキシ-2-ナフタレンスルホン酸/アルミニウム,3:2PigmentYellow108アントラピリミジンAnthrapyrimidinPigmentYellow109イソインドリノン、PigmentYellow2GLT3,3’-[2-メチル-1,3-フェニレンジイミノ]ビス[4,5,6,7-テトラクロロ-1H-イソインドール-1-オン]PigmentYellow110イソインドリノン4,5,6,7-テトラクロロ-3-[[4-[1-オキソ-4,5,6,7-テトラクロロ-2H-イソインドール-3-イリデンアミノ]フェニル]イミノ]-2H-イソインドール-13H-オンPigmentYellow111モノアゾ、モノアゾイエロー7GPigmentYellow117アゾメチン、銅アゾメチンイエロー、グリニッシュイエローPigmentYellow120ベンツイミダゾロン系モノアゾPigmentYellow1214,4’-ビス[[1-2-クロロフェニルアミノ-1,3-ジオキソブタン-2-イル]アゾ]-3,3’-ジクロロ-1,1’-ビフェニルPigmentYellow1224,4’-ビス[[1-2,4-ジメチルフェニルアミノ-1,3-ジオキソブタン-2-イル]アゾ]-3,3’-ジクロロ-1,1’-ビフェニルPigmentYellow138キノフタロンPigmentYellow139イソインドリンPigmentYellow142C17H12CaN4O6SPigmentYellow147C37H21N5O4PigmentYellow148C39H23N3O2PigmentYellow150アゾメチン、ニッケル錯塩アゾPigmentYellow151ベンツイミダゾロン系モノアゾPigmentYellow152ジアゾPigmentYellow154ベンツイミダゾロン系モノアゾPigmentYellow155ジアゾPigmentYellow168PigmentYellow170PigmentYellow174PigmentYellow175ベンツイミダゾロン系モノアゾPigmentYellow180ベンツイミダゾロン系ジアゾPigmentYellow181ベンツイミダゾロン系モノアゾPigmentYellow183PigmentYellow184バナジン酸ビスマスPigmentYellow185PigmentYellow186PigmentYellow187PigmentYellow188PigmentYellow193PigmentYellow194必要に応じて、第1の電極12と有機光電変換層14との間および/または第2の電極15と有機光電変換層14との間に、第1の電極12または第2の電極15から有機光電変換層14に電荷電子または正孔が注入されるのを防止するためのブロック層が設けられる。より具体的には、例えば、有機光電変換層14に光が入射することにより発生する電子および正孔のうちの電子を第1の電極12に移動させ、正孔を第2の電極15に移動させるように第1の電極12と第2の電極15との間にバイアス電圧を印加する場合には、第1の電極12と有機光電変換層14との間に電子ブロック層が設けられ、第2の電極15と有機光電変換層14との間に正孔ブロック層が設けられる。[有機フォトダイオードの製造方法]この有機フォトダイオードの製造方法について説明する。まず、図1に示すように、基板11上に所定形状の第1の電極12を形成する。第1の電極12の形成には、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、化学気相成長CVD法、塗布法、印刷法などの従来公知の方法を用いることができ、第1の電極12に使用する材料などに応じて適宜選ばれる。次に、第1の電極12を覆うように開口13aを有する所定形状の絶縁層13を形成する。絶縁層13の形成には、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、化学気相成長CVD法、塗布法、印刷法などの従来公知の方法を用いることができ、絶縁層13に使用する材料などに応じて適宜選ばれる。最初に絶縁層13を全面に形成する場合には、例えば、絶縁層13を全面に形成した後、この絶縁層13上にリソグラフィーによりレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとして絶縁層13をエッチングしてパターニングする。次に、絶縁層13の開口13aを通じて第1の電極12と電気的に接続され、かつ絶縁層13を覆うように有機光電変換層14を形成する。この有機光電変換層14の形成には、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、化学気相成長CVD法、塗布法、印刷法などの従来公知の方法を用いることができ、この有機光電変換層14に使用する材料などに応じて適宜選ばれる。最初に有機光電変換層14を全面に形成する場合には、例えば、有機光電変換層14を全面に形成した後、この有機光電変換層14上にリソグラフィーによりレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとして有機光電変換層14をエッチングしてパターニングする。次に、有機光電変換層14上に、基板11上に延在するように所定形状のグラフェンからなる第2の電極15を形成する。この第2の電極15は、典型的には、別の基板、好適には銅基板上にCVD法によりグラフェンを成長させ、この基板上のグラフェンを有機光電変換層14上に転写することにより形成することができるが、他の方法によって形成してもよい。以上により、目的とする有機フォトダイオードが製造される。[有機フォトダイオードの動作]この有機フォトダイオードの第1の電極12と第2電極15との間に、第1の電極12の方が第2の電極15よりも電位が高くなるようにバイアス電圧を印加する。この状態で有機フォトダイオードのグラフェンからなる透明な第2の電極15側に光が入射すると、この光は第2の電極15を透過して有機光電変換層14に入射する。こうして有機光電変換層14に光が入射すると電子および正孔が生成され、そのうち電子は第1の電極12に移動し、正孔は第2の電極15に移動してそれぞれ捕集される。これによって、第1の電極12と第2の電極15との間に外部回路を接続した場合、この外部回路に光電流が流れる。この光電流を測定することにより、有機フォトダイオードに入射した光の検出を行うことができる。実施例1基板11としてガラス基板を用いた。このガラス基板の全面にスパッタリング法によりITO膜を形成した後、このITO膜上にリソグラフィーにより所定形状のレジストパターンを形成した後、このレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによりITO膜をパターニングした。こうして第1の電極12として所定形状のITO膜を形成した。次に、こうして第1の電極12としてのITO膜が形成されたガラス基板の全面にリソグラフィーにより所定形状のレジストパターンを形成した。こうして絶縁層13としてレジストパターンを形成した。次に、このレジストパターン上に真空蒸着法によりキナクリドン膜を形成した後、このキナクリドン膜上にリソグラフィーによりレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとしてキナクリドン膜をエッチングによりパターニングした。こうして有機光電変換層14としてのキナクリドン膜を形成した。一方、Cu箔上にCVD法によりグラフェンを一層成長させた。具体的には、Cu箔をCVD装置のCVDチャンバー中に設置し、水素ガスを流しながら1000°Cで30分間保持した後、メタンと水素との混合ガスを流して15分間、Cu箔上にグラフェンを成長させた。成長後、再び水素ガスを流しながら、降温する。その後、グラフェンを成長させたCu箔をCVDチャンバーから取り出す。次に、こうしてグラフェンを一層成長させたCu箔のグラフェン側を上記のようにしてガラス基板上に形成された有機光電変換層14としてのキナクリドン膜上に張り合わせた後、硫酸銅水溶液中で電解エッチングを行うことによりCu箔をエッチング除去した。以上により、有機フォトダイオードを製造した。こうして製造された有機フォトダイオードの光電変換特性を測定した結果を図2に示す。図2は第2の電極15に入射する光量に対して得られた光電流をプロットしたものである。図2には、比較のために、第2の電極15としてITO膜を用いたことを除いて実施例1と同様にして製造した有機フォトダイオードについての同様な測定結果も併せて示す。図2に示すように、第2の電極15としてグラフェンを用いた実施例1では、第2の電極15としてITO膜を用いた従来例と比較して得られる光電流が10以上増加している。これは、グラフェンの光の透過率がITO膜の光の透過率に比べて大きいため、有機光電変換層14としてのキナクリドン膜に入射する光量が増加したためであると考えられる。以上のように、第1の実施の形態によれば、有機フォトダイオードの受光面側の第2の電極15の材料としてグラフェンを用いている。このため、第2の電極15の可視光に対する透過率を、第2の電極15の材料としてITOなどの透明導電性酸化物を用いた場合に比べて大幅に高くすることができる。また、グラフェンはCVD法により容易に形成することができるため、第2の電極15を形成する際にスパッタリング法や真空蒸着法などを用いる必要がなくなり、第2の電極15の形成時に有機光電変換層14にダメージが発生するのを防止することができる。また、グラフェンはガスバリア性に優れているため、第2の電極15を通して酸素などが有機光電変換層14に拡散するのを防止することができことから、有機光電変換層14の特性の劣化を防止することができる。以上により、光電変換特性、電気的特性および信頼性に優れた高性能かつ長寿命の有機フォトダイオードを実現することができる。また、第2の電極15の材料として環境に優しい炭素材料の一種であるグラフェンを用いており、ITOなどのレアメタルを含む材料を用いないため、地球資源の枯渇を抑えることができ、対環境面にも優れている。2.第2の実施の形態[有機フォトダイオード]第2の実施の形態による有機フォトダイオードを図3に示す。図3に示すように、この有機フォトダイオードにおいては、基板21上に所定形状の第1の電極22が設けられている。この第1の電極22の外周部を覆うように所定形状の絶縁層23が設けられている。この絶縁層23には、第1の電極22の外周部を除いた部分に所定形状の開口23aが設けられている。この開口23aを通じて第1の電極22と電気的に接続され、かつ絶縁層23上に延在するように所定形状の有機光電変換層24が設けられている。この有機光電変換層24上に所定形状の第2の電極25が設けられている。この有機フォトダイオードにおいては、第2の電極25側が受光面となっており、入射光は、この第2の電極25を透過して有機光電変換層24に入射するようになっている。基板21、第1の電極22、絶縁層23、有機光電変換層24および第2の電極25はそれぞれ第1の実施の形態における基板11、第1の電極12、絶縁層13、有機光電変換層14および第2の電極15と同様であるので、説明を省略する。[有機フォトダイオードの製造方法]この有機フォトダイオードの製造方法について説明する。まず、図4に示すように、基板21上に所定形状の第1の電極22を形成する。第1の電極22の形成方法は、第1の実施の形態における第1の電極12の形成方法と同様である。次に、第1の電極22を覆うように開口23aを有する所定形状の絶縁層23を形成する。絶縁層23の形成方法は、第1の実施の形態における絶縁層13の形成方法と同様である。次に、絶縁層23の開口23aを通じて第1の電極22と電気的に接続され、かつ絶縁層23を覆うように有機光電変換層24を形成する。この有機光電変換層24の形成方法は、第1の実施の形態における有機光電変換層14の形成方法と同様である。一方、図5に示すように、CVD装置のCVDチャンバー31内に銅基板、例えば銅箔などからなる基板32を設置し、図6に示すように、基板32上にCVD法により第2の電極25としてのグラフェンを形成する。次に、図7に示すように、第2の電極25としてのグラフェンが形成された基板32を容器33内に入れられた溶剤34中に浸漬することにより、図8に示すように、第2の電極25としてのグラフェンから基板32を剥離し、あるいは基板32を溶解除去する。こうして剥離された第2の電極25としてのグラフェンは溶剤34の表面に浮いている。次に、図9および図10に示すように、剥離能を有する基板35を溶剤34中に入れて第2の電極25としてのグラフェンを下からすくい取る。こうして、基板35上に第2の電極25としてのグラフェンが転写される。次に、こうして第2の電極25としてのグラフェンを転写した基板35を溶剤34から取り出した後、図11に示すように、乾燥炉36内で乾燥を行うことにより第2の電極25としてのグラフェンおよび基板35に付着した溶剤34を乾燥させて除去する。次に、図12に示すように、第2の電極25としてのグラフェンが転写された基板35のグラフェン側を有機光電変換層24上に吸着させて張り合わせる。次に、図13に示すように、第2の電極25としてのグラフェンから基板35を剥離する。以上により、目的とする有機フォトダイオードが製造される。[有機フォトダイオードの動作]この有機フォトダイオードの動作は第1の実施の形態による有機フォトダイオードと同様である。この第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様な利点を得ることができる。以上、実施の形態および実施例について具体的に説明したが、本開示は、上述の実施の形態および実施例に限定されるものではない。例えば、上述の実施の形態および実施例において挙げた数値、構造、構成、形状、材料などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれらと異なる数値、構造、構成、形状、材料などを用いてもよい。なお、第1の実施の形態における第2の電極15および第2の実施の形態における第2の電極25は、グラファイト、非晶質カーボン、ダイアモンドライクカーボンなどにより形成してもよい。"