対象物を滅菌する滅菌装置であって、対象物を収納するための真空チャンバーである滅菌室と、前記滅菌室に投入する前に滅菌剤を気化するための気化室と、前記滅菌室および前記気化室を真空引きするための真空機器と、前記気化室と大気との導通の制御するために開け閉めする第一大気開放弁とを備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通させることを特徴とする滅菌装置。前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、その後、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させることを特徴とする請求項1記載の滅菌装置。前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、所定時間後に、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させることを特徴とする請求項2記載の滅菌装置。前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、前記滅菌室の圧力が所定の圧力に達した後に、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させることを特徴とする請求項2記載の滅菌装置。前記真空機器により前記気化室を真空引きすることでなる第一の減圧状態の前記気化室で前記滅菌剤を気化し、前記真空機器により前記滅菌室を真空引きすることでなる前記第一の減圧状態よりも圧力の低い第二の減圧状態の前記滅菌室に、前記気化室で気化された滅菌剤を投入し、その後、前記滅菌室と大気との導通を行うことを一連のプロセスとし、前記滅菌室と大気との導通を行うことで前記滅菌室の圧力が大気圧に達した後で、前記真空機器による前記気化室の真空引きを開始することで前記一連のプロセスを所定回数繰り返すことにより滅菌処理を行う請求項1乃至4のいずれか1項に記載の滅菌装置。前記滅菌剤は、過酸化水素であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の滅菌装置。対象物を収納するための真空チャンバーである滅菌室と、前記滅菌室に投入する前に滅菌剤を気化するための気化室と、前記滅菌室および前記気化室を真空引きするための真空機器と、前記気化室と大気との導通の制御するために開け閉めする第一大気開放弁とを備える滅菌装置における滅菌方法であって、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通させることを特徴とする滅菌方法。前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備える滅菌装置における滅菌方法であって、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、その後、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させることを特徴とする請求項7記載の滅菌方法。前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備える滅菌装置における滅菌方法であって、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、所定時間後に、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させることを特徴とする請求項8記載の滅菌方法。前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備える滅菌装置における滅菌方法であって、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、前記滅菌室の圧力が所定の圧力に達した後に、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させることを特徴とする請求項8記載の滅菌方法。前記真空機器により前記気化室を真空引きすることでなる第一の減圧状態の前記気化室で前記滅菌剤を気化し、前記真空機器により前記滅菌室を真空引きすることでなる前記第一の減圧状態よりも圧力の低い第二の減圧状態の前記滅菌室に、前記気化室で気化された滅菌剤を投入し、その後、前記滅菌室と大気との導通を行うことを一連のプロセスとし、前記滅菌室と大気との導通を行うことで前記滅菌室の圧力が大気圧に達した後で、前記真空機器による前記気化室の真空引きを開始することで前記一連のプロセスを所定回数繰り返すことにより滅菌処理を行う請求項7乃至10のいずれか1項に記載の滅菌方法。前記滅菌剤は、過酸化水素であることを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1項に記載の滅菌方法。特許文献1には、内腔を有する滅菌対象物に対しても、その内腔を滅菌するために、滅菌剤をチャンバーに投入し一定時間経過した後に、不活性ガスを更に投入することで、滅菌剤のガスを内腔の中に更に押し出す技術思想が開示されている。しかしながら特許文献1には、滅菌剤である過酸化水素蒸気がどのように生成されるのか、また、滅菌室であるチャンバーとどのように接続され、不活性ガスがどのように投入されるのか開示されていない。そこで本出願人は、滅菌室である真空チャンバーに滅菌剤を投入する前に、気化室を設け、滅菌剤を気化ガス化した後、気化室と真空チャンバーの間の気化弁を開くことにより、ガス化した滅菌剤を真空チャンバーに投入し、真空チャンバー内にある対象物を滅菌する仕組みを考えた。ここで、過酸化水素溶液をガス化する気化室から管を通じて滅菌室であるチャンバーに過酸化水素蒸気を投入した場合に、過酸化水素蒸気の投入元である気化室に一部の過酸化水素蒸気が残留してしまうことが予想される。その場合、気化室にガス化した滅菌剤の一部が残留しているために滅菌室に投入される滅菌剤の量が多少減ってしまう。それを見越して十分な滅菌剤をガス化することも考えられるが、滅菌剤の無駄を減らし、かつ、滅菌室に投入される滅菌剤が減ることによる滅菌効果が得られないという問題を減らすことが望まれる。また、滅菌剤を滅菌室であるチャンバーに投入した後、大気を投入することで、内腔の中に滅菌剤を押し込む場合に、一定時間あたりに投入する大気の量を多くすることで、滅菌効率をあげることが期待される。本発明の第1の目的は、滅菌剤をガス化する気化室に残留している滅菌剤を滅菌室に送り込む仕組みを設けることで、滅菌剤の無駄を減らしつつも滅菌作用を促す仕組みを提供することである。本発明の第2の目的は、気化室に残留している滅菌剤を滅菌室に送り込むことに加え、更に、滅菌剤を滅菌室に投入した後投入する一定時間あたりの大気の量を増やすことで、内腔の中に滅菌剤を押し込む効果を強くする仕組みを提供することである。上記目的を達成するため、本発明に係る対象物を滅菌する滅菌装置は、対象物を収納するための真空チャンバーである滅菌室と、前記滅菌室に投入する前に滅菌剤を気化するための気化室と、前記滅菌室および前記気化室を真空引きするための真空機器と、前記気化室と大気との導通の制御するために開け閉めする第一大気開放弁とを備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通させる。また、前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、その後、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させる。また、前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、所定時間後に、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させる。また、前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、前記滅菌室の圧力が所定の圧力に達した後に、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させる。また、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることでなる第一の減圧状態の前記気化室で前記滅菌剤を気化し、前記真空機器により前記滅菌室を真空引きすることでなる前記第一の減圧状態よりも圧力の低い第二の減圧状態の前記滅菌室に、前記気化室で気化された滅菌剤を投入し、その後、前記滅菌室と大気との導通を行うことを一連のプロセスとし、前記滅菌室と大気との導通を行うことで前記滅菌室の圧力が大気圧に達した後で、前記真空機器による前記気化室の真空引きを開始することで前記一連のプロセスを所定回数繰り返すことにより滅菌処理を行う。また、前記滅菌剤は、過酸化水素である。上記目的を達成するため、本発明に係る滅菌方法は、対象物を収納するための真空チャンバーである滅菌室と、前記滅菌室に投入する前に滅菌剤を気化するための気化室と、前記滅菌室および前記気化室を真空引きするための真空機器と、前記気化室と大気との導通の制御するために開け閉めする第一大気開放弁とを備える滅菌装置における滅菌方法であって、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通させる。以上説明したように、本発明に係る滅菌装置は、その構成により、以下の効果を有する。すなわち、対象物を滅菌する滅菌装置は、対象物を収納するための真空チャンバーである滅菌室と、前記滅菌室に投入する前に滅菌剤を気化するための気化室と、前記滅菌室および前記気化室を真空引きするための真空機器と、前記気化室と大気との導通の制御するために開け閉めする第一大気開放弁とを備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通させる様に構成したことにより、滅菌剤をガス化する気化室に残留している滅菌剤を滅菌室に送り込む仕組みを設けることで、滅菌剤の無駄を減らしつつも滅菌作用を促すことができる。また、前記滅菌室と大気との導通の制御するために開け閉めする第二大気開放弁を更に備え、前記真空機器により前記気化室を真空引きすることにより前記気化室内の気化された滅菌剤ガスを前記滅菌室に投入した後、前記気化室と前記滅菌室が導通している状態で、前記第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、その後、前記第二大気開放弁を開けて前記滅菌室と大気とを導通させる様に構成したことにより、気化室に残留している滅菌剤を滅菌室に送り込むことに加え、更に、滅菌剤を滅菌室に投入した後投入する一定時間あたりの大気の量を増やすことで、内腔の中に滅菌剤を押し込む効果を強くすることができる。図面を用いて、本発明の滅菌の対象物を滅菌する滅菌装置、及び滅菌方法について、説明する。<図1の説明>まず、図1を用いて、本発明に係る滅菌装置の外観について説明する。図1は、本発明に係る滅菌装置の外観を正面から見た図である。100は、本発明に係る滅菌措置であり、101は、カートリッジ取付用扉であり、102は、表示部であり、103は、印刷部103であり、104は、滅菌室の扉である。カートリッジ取付用扉101は、滅菌剤過酸化水素、又は過酸化水素溶液の液体が充填された容器であるカートリッジを取り付けるための扉である。カートリッジ取付用扉101を開くと、カートリッジの取り付け場所があり、ユーザは、そこにカートリッジを取り付けることができるようになる。表示部102は、液晶ディスプレイなどのタッチパネルの表示画面である。印刷部103は、滅菌処理の履歴や印刷結果を印刷用紙に印刷するプリンタであり、適宜、滅菌処理の履歴や印刷結果を印刷用紙に印刷する。滅菌室の扉104は、例えば医療用器具などの被滅菌対象物被滅菌物を滅菌するために、該被滅菌物を滅菌室に入れるための扉である。滅菌室の扉104を開くと、滅菌室があり、そこに該被滅菌物を入れて、滅菌室の扉104を閉じることで、滅菌室内に被滅菌対象物を入れることができる。滅菌室は、所定の容量の筐体である。滅菌室内の圧力は大気圧から真空圧までの圧力を維持することが可能である。また、滅菌室内の温度は、滅菌処理中において、所定の範囲の温度に維持されている。<図2の説明>次に、図2を用いて、本発明に係る滅菌装置のハードウエアの構成の一例について説明する。図2は、本発明に係る滅菌装置のハードウエアの構成の一例を示す図である。本発明に係る滅菌装置100は、演算処理部MPU等201と、表示部102と、印刷部103と、ロック動作制御部202と、抽出針動作制御部203と、滅菌室の扉101と、液センサー204と、カートリッジ205と、RF-IDリーダ/ライタ206と、液送ロータリーポンプ207と、濃縮炉208と、気送加圧ポンプ209と、吸気用HEPAフィルタ210と、弁V1211と、弁V3212と、弁V4213と、計量管214と、弁V2215と、気化炉216と、弁V5217と、弁V9227と、弁V7226と、滅菌室真空チャンバーとも言う219と、気送真空ポンプ220と、排気用HEPAフィルタ221と、滅菌剤分解装置222と、液送ロータリーポンプ223と、排気蒸発炉224とから構成されている。演算処理部MPU等201は、演算処理を行い、滅菌装置100を構成する各ハードウエアを制御する。表示部102、印刷部103、滅菌室の扉101は、既に図1を用いて説明しているため、ここでは説明を省略する。ロック動作制御部202は、カートリッジ取付用扉101の施錠、開錠の動作を行う部であり、カートリッジ取付用扉101を施錠することにより、カートリッジ取付用扉101を開かないようにし、また、カートリッジ取付用扉101を開錠することにより、カートリッジ取付用扉101を開けることができるようにする。カートリッジ205は、滅菌剤過酸化水素、又は過酸化水素溶液の液体が充填され、密閉された容器である。また、カートリッジ205の下側にはRF-IDの記憶媒体を備えており、その記憶媒体には、該カートリッジを識別する情報としてのシリアル番号と、該カートリッジの製造年月日、該カートリッジが初めて滅菌装置で使用された日時初回使用日時、該カートリッジ内に充填されている滅菌剤の残量が記憶されている。抽出針動作制御部203は、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するための抽出針注射針をカートリッジの上部から刺すために、当該抽出針を動作する部である。すなわち、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するための抽出針注射針をカートリッジの上部から刺す場合は、抽出針注射針をカートリッジに向けて、該カートリッジの上部から降ろすように動作することで、抽出針注射針をカートリッジの上部から刺すことができる。また、抽出針注射針をカートリッジから抜く場合は、該カートリッジの上部に抽出針注射針を上げるように動作することで、抽出針注射針をカートリッジから抜くことができる。液センサー204は、カートリッジ205内の液体の滅菌剤が、抽出針注射針から液送ロータリーポンプ207、液送ロータリーポンプ223に導通している管導管を通っているかを検出する装置である。具体的には、該管に赤外線を照射して得られるスペクトルから滅菌剤が該管を通っているかを検出することができる。RF-IDリーダ/ライタ206は、カートリッジ205の下側に備え付けられているRF-IDから、シリアル番号、製造年月、初回使用日時、滅菌剤の残量を読み取ることができる装置である。また、RF-IDリーダ/ライタ206から、カートリッジ205の下側に備え付けられているRF-IDに、初回使用日時、滅菌剤の残量を書き込むことができる装置である。また、RF-IDリーダ/ライタ206は、カートリッジ取付用扉101の裏にあるカートリッジの取り付け場所の下部に設置されており、カートリッジ205の下側に備え付けられているRF-IDを読み取ること、及び初回使用日時、滅菌剤の残量等のデータをRF-IDに書き込むことが可能である。液送ロータリーポンプ207は、濃縮炉208と導管により導通しており、また、液センサ204と導管により導通している。液送ロータリーポンプ207は、カートリッジ205内の液体の滅菌剤をポンプにより吸引して、導管を通して滅菌剤を濃縮炉208に送る装置である。また、液送ロータリーポンプ207は、液センサ204と連携して、カートリッジ205から、滅菌剤の所定量を吸引することができる。濃縮炉208は、液送ロータリーポンプ207と、気送加圧ポンプ209と、計量管214と、排気用HEPAフィルタ221と、計量管214と、それぞれ導管により導通している。濃縮炉208は、後述する図10でも説明するが、液送ロータリーポンプ207から導管を通じて送り込まれた滅菌剤を、ヒーターを用いて加熱し、滅菌剤に含まれる水分などを蒸発気化させ滅菌剤を濃縮する。また、気化した水は、気送加圧ポンプ209から導管を通して送り込まれる空気により、排気用HEPAフィルタ221に導通している導管に押し出され、濃縮炉208内から排気される。また、計量管214と濃縮炉208との間の導管の間には弁1211が設けられている。気送加圧ポンプ209は、それぞれ、濃縮炉208と、吸気用HEPAフィルタ210と、導管により導通している。気送加圧ポンプ209は、滅菌装置100の外気空気を、吸気用HEPAフィルタ210を介して、吸気用HEPAフィルタ210との導管により導通して濃縮炉208に送る装置である。吸気用HEPAフィルタ210は、それぞれ、気送加圧ポンプ209と、滅菌室219と、気化炉216と、導管により導通している。吸気用HEPAフィルタ210は、滅菌装置100の外の外気空気中のちりやほこり、雑菌などを、HEPAHighEfficiencyParticulateAirFilterフィルタでフィルタリングして空気を清浄する。そして、その清浄された空気は、気送加圧ポンプ209により導管を通して濃縮炉208に送られる。また、清浄された空気は、気化炉216との導管により導通して気化炉216に送り込まれたり、滅菌室219との導管により導通して滅菌室219に送り込まれる。すなわち、吸気用HEPAフィルタ210は、滅菌装置100の外の外気空気と導通している。そのため、気送加圧ポンプ209と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管と、滅菌室219と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管と、気化炉216と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管は、吸気用HEPAフィルタ210を介して、外気空気と導通している。また、吸気用HEPAフィルタ210と気化炉216との間の導管には、弁V9227が設けられている。また、吸気用HEPAフィルタ210と滅菌室219との間の導管には、弁V7226が設けられている。弁V1211は、濃縮炉208と計量管214との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで濃縮炉208と計量管214との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで濃縮炉208と計量管214との間の導管による導通を不可能にする弁である。弁V3212は、計量管214と滅菌室219との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで計量管214と滅菌室219との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで計量管214と滅菌室219との間の導管による導通を不可能にする弁である。また、この弁は、計量管214の近くに設けられており、少なくとも後述する弁V4よりも計量管214側の位置に設けられている。弁V4213は、計量管214と滅菌室219との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで計量管214と滅菌室219との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで計量管214と滅菌室219との間の導管による導通を不可能にする弁である。また、この弁は、滅菌室219の近くに設けられており、少なくとも後述する弁V3よりも滅菌室210側の位置に設けられている。本実施例では、弁V4213、弁V3213の開け閉めにより、計量管と滅菌室との間の導管の導通を可能にするか、不可能にするかを行っているが、弁V4213、弁V3213のどちらか一方の弁の開け閉めにより、計量管と滅菌室との間の導管の導通を可能にするか、不可能にするかを行うようにしてもよい。計量管214は、濃縮炉208と、気化炉216と、滅菌室219のそれぞれとの間の導管により導通している。計量管214は、弁V1211を開くことにより、濃縮炉208から滅菌剤が流入し、弁V3212、及び弁V4213を開くことにより、カートリッジ205内から吸入した不要な空気、及び/又は濃縮炉208内から流入した不要な空気を、計量管214により取り除く装置である。計量管214の詳細については、図10を用いて、後で説明する。弁V2215は、計量管214と、気化炉216との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで計量管214と気化炉216との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで計量管214と気化炉216との間の導管による導通を不可能にする弁である。気化炉216は、計量管214と、吸気用HEPAフィルタ210と、滅菌室219とのそれぞれとの間の導管により導通している。気化炉216は、本発明の気化室の適用例である。気化炉216は、気送真空ポンプ220により減圧されることで、滅菌室に投入する前に滅菌剤を気化するための装置である。弁V5217は、気化炉216と、滅菌室219との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで気化炉216と滅菌室219との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで気化炉216と滅菌室219との間の導管による導通を不可能にする弁である。弁V9227本発明の第一大気開放弁に相当は、気化炉216と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで気化炉216と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで気化炉216と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管による導通を不可能にする弁である。すなわち、弁V9227は、気化炉216と外気大気との導通を開閉できる弁である。弁V7226は、滅菌室219と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで滅菌室219と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで滅菌室219と吸気用HEPAフィルタ210との間の導管による導通を不可能にする弁である。すなわち、弁V7226は、滅菌室219と外気大気との導通を開閉できる弁である。滅菌室真空チャンバーとも言う219は、図1でも説明したが、例えば医療用器具などの被滅菌対象物を滅菌する所定の容量の筐体であり、対象物を収納するための真空チャンバーである。滅菌室内の圧力は大気圧から真空圧までの圧力を維持することが可能である。また、滅菌室内の温度は、滅菌処理中において、所定の範囲の温度に維持されている。また、滅菌室219内には、圧力センサーが備えられており、圧力センサーにより滅菌室219内の圧力気圧を測定することができる。滅菌装置100は、この圧力センサーにより測定された滅菌室219内の気圧を用いて、滅菌室219内等の圧力気圧が所定の気圧になっているかを判定する。気送真空ポンプ220は、滅菌室219内、気化炉216内、計量管214内、計量管214と気化炉216との間の導管内、気化炉216と滅菌室219との間の導管内、計量管214と滅菌室219との間の導管内の空間の気体を吸引して、それぞれの空間内を減圧し真空状態大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態にする装置である。気送真空ポンプ220は、滅菌室219との間で導管により導通されており、排気用HEPAフィルタ221との間で導管により導通されている。排気用HEPAフィルタ221は、気送真空ポンプ220との間で導管により導通されている。また、排気用HEPAフィルタ221は、排気蒸発炉224との間で導管により導通されている。また、排気用HEPAフィルタ221は、滅菌剤分解装置222との間で導管により導通されている。また、排気用HEPAフィルタ221は、濃縮炉208との間で導管により導通されている。排気用HEPAフィルタ221は、気送真空ポンプ220により、滅菌室219内等から吸引された気体を、気送真空ポンプ220との間の導管から送られた気体内のちりやほこり、雑菌などを、HEPAHighEfficiencyParticulateAirFilterフィルタでフィルタリングして、吸引された気体を清浄する。そして、清浄された気体は、滅菌剤分解装置222と排気用HEPAフィルタ221との間の導管を通り、滅菌剤分解装置222に送られ、滅菌剤分解装置222により該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置100の外に放出する。また、排気用HEPAフィルタ221は、濃縮炉208と排気用HEPAフィルタ221との間の導管により濃縮炉208から排気される気体を清浄する。この気体は、濃縮炉208で、滅菌剤が過熱されて、気化された水であるが、微量の滅菌剤を含むため、滅菌剤分解装置222と排気用HEPAフィルタ221との間の導管を通り、滅菌剤分解装置222に送られる。そして、滅菌剤分解装置222により該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置100の外に放出する。また、排気用HEPAフィルタ221は、排気蒸発炉224から、排気蒸発炉224と排気用HEPAフィルタ221との間の導管を通り送られてくる気化された滅菌剤を清浄する。そして、その洗浄された滅菌剤気体は、滅菌剤分解装置222と排気用HEPAフィルタ221との間の導管を通り、滅菌剤分解装置222に送られ、滅菌剤分解装置222により該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置100の外に放出する。滅菌剤分解装置222は、排気用HEPAフィルタ221との間の導管により導通されている。滅菌剤分解装置222は、滅菌剤分解装置222と排気用HEPAフィルタ221との間の導管から送られてくる気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解して生成される分子を滅菌装置100の外に放出する。滅菌剤分解装置222は、例えば、滅菌剤が過酸化水素、又は過酸化水素溶液である場合、気化された過酸化水素を、二酸化マンガンを触媒として用いて、水と酸素に分解することができる装置である。液送ロータリーポンプ223は、排気蒸発炉224と導管により導通しており、また、液センサ204と導管により導通している。液送ロータリーポンプ223は、カートリッジ205内の全ての液体の滅菌剤をポンプにより吸引して、液センサ204と液送ロータリーポンプ223との間の導管を通して送られるその全ての滅菌剤を、液送ロータリーポンプ223と排気蒸発炉224との間の導管を通して、排気蒸発炉224に送る装置である。排気蒸発炉224は、液送ロータリーポンプ223と導管により導通しており、また、排気用HEPAフィルタ221と導管により導通している。排気蒸発炉224は、液送ロータリーポンプ223と排気蒸発炉224との間の導管を通して送られる、カートリッジ205内の全ての液体の滅菌剤を、排気蒸発炉224に備え付けられたヒーターにより加熱し、その滅菌剤の全てを気化させる。そして、気化された滅菌剤は、排気用HEPAフィルタ221と排気蒸発炉224との間の導管を通して、排気用HEPAフィルタ221に送られる。<図4の説明>次に、図4を用いて、本発明に係る滅菌装置による滅菌処理の各工程の一例について説明する。図4に示す各工程処理は、滅菌装置100の演算処理部201により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。図4は、本発明に係る滅菌装置による滅菌処理の各工程の一例を示す図である。滅菌装置100は、電源が入れられると、まず、RF-IDリーダ/ライタ206が、カートリッジ205の下側に設けられたRF-ID記憶媒体から、データを読み取るステップS101。ステップS101で、RF-ID記憶媒体から読み取られるデータとしては、該カートリッジを識別する情報としてのシリアル番号と、該カートリッジの製造年月日と、該カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時初回使用日時と、該カートリッジ内に充填されている滅菌剤の残量とがある。すなわち、カートリッジ205に設けられたRF-ID記憶媒体には、予め、シリアル番号、製造年月日、初回使用日時、滅菌剤の残量が記憶されている。次に、滅菌装置100は、ステップS101でRF-IDからデータが読み取れたと判定された場合はステップS102:YES、滅菌装置100内のカートリッジの取り付け場所にカートリッジが設置されていると判断し、カートリッジ取付用扉101を施錠するステップS103。そして、滅菌装置100は、カートリッジ内に滅菌1回分の滅菌剤の所定の量があるか否かを判定する。具体的には、RF-IDから取得した滅菌剤の残量が、滅菌1回分の所定の量よりも多いか否かを判定する。すなわち、滅菌剤の残量が、滅菌1回分の所定の量よりも多いと判定された場合は、カートリッジ内に滅菌1回分の滅菌剤の所定の量がある十分な滅菌処理を実行できると判断しステップS104:YES、ステップS105の処理を行う。一方、滅菌剤の残量が、滅菌1回分の所定の量例えば、8ミリリットルよりも少ないと判定され場合は、カートリッジ内に滅菌1回分の滅菌剤の所定の量がない十分な滅菌処理を実行できないと判断しステップS104:NO、ステップS112の処理を行う。滅菌装置100は、ステップS105において、RF-IDから取得したカートリッジの製造年月日から、所定の期間例えば、13か月を経過しているかを判断する。そして、製造年月日から所定の期間を経過していると判定された場合はステップS105:YES、十分な滅菌処理を実行できないと判定し、ステップS112の処理を行う。一方、製造年月日から所定の期間を経過していないと判定された場合はステップS105:NO、十分な滅菌処理を実行できると判定し、ステップS106の処理を行う。滅菌装置100は、ステップS106において、RF-IDから取得した初回使用日時から、所定の期間例えば、2週間を経過しているかを判断する。そして、RF-IDから取得した初回使用日時から、所定の期間例えば、2週間を経過していると判定された場合はステップS106:YES、十分な滅菌処理を実行できないと判定し、ステップS112の処理を行う。一方、所定の期間例えば、2週間を経過していないと判定された場合はステップS106:NO、十分な滅菌処理を実行できると判定し、ステップS107の処理を行う。滅菌装置100は、ステップS107において、滅菌開始画面図3の301を表示部102に表示する。図3は、滅菌装置100の表示部102に表示される画面の一例を示す図である。滅菌開始画面301には、滅菌開始ボタンが表示されている。ステップS107で表示される滅菌開始画面301内の滅菌開始ボタン302は、ユーザにより押下可能にアクティブになっている。そして、滅菌装置100は、ユーザにより、滅菌開始ボタン302が押下されるとステップS108:YES、滅菌モード選択画面図3の303を表示部102に表示する。滅菌モード選択画面303には、滅菌剤を濃縮して滅菌するモードボタン304と、滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモードボタン305とが表示されている。滅菌装置100は、滅菌剤を濃縮して滅菌するモードボタン304と、滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモードボタン305のどちらか一方の選択をユーザから受け付けステップS110、ユーザにより選択されたボタンのモードに従った滅菌処理ステップS111を行う。滅菌処理ステップS111の詳細は、図5を用いて、後で説明する。このように、ユーザの指示により、滅菌処理するモードを1台の滅菌装置で切り替えて使用することが可能となる。すなわち、滅菌剤を濃縮して滅菌するモードボタン304がユーザにより押下された場合は、滅菌剤を濃縮して、滅菌処理を行い、滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモードボタン305が押下された場合は、滅菌剤を濃縮しないで、滅菌処理を行う。そして、滅菌装置100は、滅菌処理ステップS111が終了すると、ステップS110に処理を戻す。また、滅菌装置100は、ステップS112において、滅菌開始画面図3の301を表示部102に表示する。ただし、ステップS112で表示される滅菌開始画面図3の301内の滅菌開始ボタン302は、ユーザにより押下出来ないように表示されている滅菌開始ボタン302がアクティブではない。そのため、ユーザによる、滅菌処理の開始指示を受け付けないようにすること可能となる。そして、滅菌装置100は、ステップS101でRF-IDから取得したシリアル番号から、カートリッジの取り付け場所に設置してあるカートリッジが、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであるか否かを判定するステップS113。具体的には、滅菌装置100内のメモリ記憶部には、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジを識別するシリアル番号が記憶されており、ステップS101でRF-IDから取得したシリアル番号が、該メモリ記憶部に記憶されているシリアル番号に一致するか否かを判定することにより、現在、滅菌装置100に取り付けられているカートリッジが、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであるか否かを判定する。現在、滅菌装置100に取り付けられているカートリッジが、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであると判定された場合はステップS113:YES、ステップS115の処理を行う。一方、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジではないと判定された場合はステップS113:NO、カートリッジ内に残っている液体の滅菌剤の残量の全てを吸い取り、その全ての滅菌剤を分解処理して、滅菌装置100の外に放出する、滅菌剤の排出処理ステップS114を行い、その後、ステップS115の処理を行う。ステップS114の滅菌剤の排出処理の詳細は、図9を用いて、後で説明する。ステップS114の処理を行うと、滅菌装置100内のメモリ記憶部に、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジを識別するシリアル番号として、ステップS101で読み取ったシリアル番号を記憶する。滅菌装置100は、ステップ115において、カートリッジ取付用扉101を開錠する。また、滅菌装置100は、ステップS102において、ステップS101でRF-IDからデータが読み取れなかったと判定された場合はステップS102:NO、滅菌装置100内のカートリッジの取り付け場所にカートリッジが設置されていないと判断し、図11に示すカートリッジ取付要求画面1101を表示するステップS116。図11は、滅菌装置100の表示部102に表示されるカートリッジ取付要求画面1101の一例を示す図である。カートリッジ取付要求画面1101には、OKボタン1102が表示されている。そして、滅菌装置100は、カートリッジ取付要求画面1101のOKボタン1102がユーザにより押下されたかを判定しステップS117、OKボタン1102が押下された場合はYES、カートリッジ取付用扉101を開錠しステップS118、処理をステップS101に戻す。一方、OKボタン1102が押下されていない場合はNO、カートリッジ取付要求画面1101を表示し続ける。カートリッジ取付用扉101の開錠、及び施錠の処理は、ロック動作制御部202による動作により行われる。<図5の説明>次に、図5を用いて、図4のS111に示す滅菌処理の詳細処理の一例について説明する。図5は、図4のS111に示す滅菌処理の詳細処理の一例を示す図である。図5に示す各工程処理は、滅菌装置100の演算処理部201により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。まず、滅菌装置100は、ステップS501において、気送真空ポンプ220を動作し、滅菌室219の気体を吸引し、滅菌室219内の気圧が所定の気圧45パスカルまで減圧する滅菌前工程の処理を行う。滅菌前工程の処理の詳細な処理は、図6を用いて後で説明する。そして、滅菌装置100は、ステップS502において、滅菌室219に、滅菌剤を入れて、被滅菌対象物を滅菌する滅菌工程の処理を行う。滅菌工程の処理の詳細な処理は、図7を用いて後で説明する。次に、滅菌装置100は、ステップS503において、滅菌室219内、及び気化炉216内に含まれている滅菌剤を取り除くための換気工程の処理を行う。換気工程の処理の詳細な処理は、図8を用いて後で説明する。<図6の説明>次に、図6を用いて、図5のS501に示す滅菌前工程の詳細処理の一例について説明する。図6は、図5のS501に示す滅菌前工程の詳細処理の一例を示す図である。図6に示す各工程処理は、滅菌装置100の演算処理部201により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。まず、滅菌装置100は、気送真空ポンプ220を動作し、滅菌室219の気体を吸引する処理を開始するステップS601。そして、滅菌装置100は、ステップS602において、滅菌室219内の圧力気圧が、所定の気圧45パスカルまで減圧されているかを判定する。具体的には、滅菌室219内に備えられた圧力センサーにより測定されている滅菌室219内の圧力気圧が、所定の気圧45パスカルまで減圧されているかを判定する。ステップS602において、滅菌室219内の圧力気圧が、所定の気圧45パスカルまで減圧されていないと判定された場合はNO、気送真空ポンプ220を引き続き動作させ、滅菌室219の気体を吸引し、滅菌室219内の圧力気圧を減圧する。一方、ステップS602において、滅菌室219内の圧力気圧が、所定の気圧45パスカルまで減圧されていると判定された場合はYES、気送真空ポンプ220を引き続き動作させ、滅菌室219の気体を吸引し、ステップS502の処理を開始する。<図7の説明>次に、図7を用いて、図5のS502に示す滅菌工程の詳細処理の一例について説明する。図7は、図5のS502に示す滅菌工程の詳細処理の一例を示す図である。図7に示す各工程処理は、滅菌装置100の演算処理部201により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。まず、滅菌装置100は、弁V5217を開けて、滅菌室219と気化炉216との間の導管を導通させるステップS701。これにより、現在、気送真空ポンプ220により滅菌室219の気体を吸引し減圧しているため、滅菌室219内、及び気化炉216内の減圧を開始するステップS702。そして、滅菌装置100は、ステップS110で、滅菌剤を濃縮して滅菌するモードボタン304と、滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモードボタン305のどちらが押下されたのかを判定するステップS703。滅菌剤を濃縮して滅菌するモードボタン304が押下されたと判定された場合はYES、ステップS704の処理を行い、滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモードボタン305が押下されたと判定された場合はNO、ステップS728の処理を行う。ここでは、まず、滅菌剤を濃縮して滅菌するモードボタン304が押下された場合滅菌剤を濃縮して滅菌処理する場合について、説明する。滅菌装置100は、ステップS704において、液送ロータリーポンプ207を動作し、カートリッジ205内の滅菌剤を、所定量2ミリリットル吸い取る。そして、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉208に入れる。ここで吸い取る所定量の滅菌剤は、滅菌室219内の空間を滅菌剤で飽和状態にさせることができる量である。そして、滅菌装置100は、ステップS705において、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ205のRF-IDに、カートリッジ205内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。具体的には、ステップS101で読み取ったカートリッジ205内の滅菌剤の残量から、ステップS704でカートリッジ205から吸い取った所定量2ミリリットルを引いた値をRF-IDに記憶する。また、滅菌装置100は、ステップS101でRF-IDから読み取られた初回使用日時カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時に、日時を示す情報が含まれていない場合は、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定する。このようにカートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定された場合のみ、現在の日時情報もRF-IDに書き込む。次に、滅菌装置100は、滅菌装置100に電源が入っているときは、常に、濃縮炉208に備え付けられたヒータを加熱するため、ステップS704で濃縮炉208に入れられた滅菌剤は、そのヒータの熱により、加熱され、濃縮炉208内の滅菌剤に含まれる水分を蒸発させるステップS706。すなわち、滅菌剤が過酸化水素水過酸化水素水溶液とも言うである場合、濃縮炉208に備え付けられたヒータを、ここでは、具体的には、80度で温める。これにより、主に水分を蒸発気化させることができ、滅菌剤を濃縮させることが可能となる。次に、滅菌装置100は、ステップS707において、ステップS704で濃縮炉208に滅菌剤を入れてから所定の時間6分が経過したかを判定する。そして、濃縮炉208に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過したと判定されるとYES、ステップS708の処理を行う。一方、濃縮炉208に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過していない場合はNO、引き続き、濃縮炉208に滅菌剤を入れたままにしておき、引き続き滅菌剤を濃縮する。次に、滅菌装置100は、ステップS708において、滅菌室219内、及び気化炉216内の気圧が、所定の気圧500パスカルまで減圧されたかを判定する。そして、滅菌装置100は、滅菌室219内、及び気化炉216内の気圧が、所定の気圧まで減圧された場合はYES、ステップS709において、弁V3212と、弁V4213とを所定時間開ける弁V3212と、弁V4213とを所定時間3秒開けて弁V3212と、弁V4213を閉じることで、計量管214内を減圧する。一方、滅菌室219内、及び気化炉216内の気圧が、所定の気圧まで減圧されていない場合はNO、引き続き滅菌剤の濃縮を行う。そして、次に、滅菌装置100は、ステップS710において、ステップS709で、弁V3212と弁V4213とを所定時間開けて弁V3212と弁V4213を閉じた後に、弁V1を所定時間3秒開けると、濃縮炉208外部の気圧よりも計量管214内の気圧の方が低いので濃縮炉208に入っている滅菌剤が計量管214に吸い込まれて入るステップS710。ここでは、弁V1を所定時間開けて閉じることで、濃縮炉208に入っている滅菌剤が計量管214に吸い込まれて入る。ここでは、滅菌剤だけではなく、濃縮炉208内の空気も一緒に計量管214内に吸い込まれてくる。そして、この後も、引き続き、気送真空ポンプ220により、滅菌室219内が減圧されている。そのため、滅菌室219内の気圧は、計量管内の気圧よりも低くなる。具体的には、滅菌室219内の気圧は、400Paであり、計量管内の気圧は大気圧101325Pa位の値である。計量管内の気圧は大気圧近くまで上がる理由は、滅菌剤だけではなく、濃縮炉208内の空気も一緒に計量管214内に吸い込まれてくるためである。次に、滅菌装置100は、ステップS711において、弁V3212と、弁V4213とを所定時間3秒開けて、計量管内の空気液体の滅菌剤は含まないを滅菌室219に吸い出される。すなわち、ここでは、弁V3212と弁V4213とを開けて該所定時間が経過すると、弁V3212と弁V4213とを閉じる。次に、滅菌装置100は、滅菌室219内、及び気化炉216内の気圧が所定の気圧80Paまで減圧されているかを判定し、減圧されていると判定された場合にステップS712、弁V5217を閉めるステップS713。そして、滅菌装置100は、弁V2215を開けるステップS714。これにより、計量管214内の滅菌剤は、気化炉216に吸い込まれ、気化炉内216で気化する。ここで、滅菌剤は、分子クラスターとして気化炉内で気化する。滅菌室内は、気化炉よりも大きい容積であり、気化炉内では、滅菌剤は、分子クラスターとして気化される。これは、気化炉の容積が滅菌室内より小さいため、滅菌室内の滅菌剤の分子間の距離が近く分子間力により、分子クラスターを形成しやすいためである。このときも引き続き、気送真空ポンプ220は、滅菌室219内の気体を吸引し、滅菌室219内を減圧している。計量管214内の滅菌剤が吸い込まれた気化炉216内は、気圧が上昇する。すなわち、気化炉216内の気圧は、滅菌室219内の気圧よりも高くなる。次に、滅菌装置100は、滅菌室219内の気圧が、所定の気圧50Paまで減圧され、かつ、ステップS714で弁V2215を開けてから所定時間が経過したかを判定しステップS715、滅菌室219内の気圧が、所定の気圧50Paまで減圧され、かつ、ステップS714で弁V2215を開けてから所定時間が経過した場合はYES、気送真空ポンプ220による滅菌室219内の吸引真空引きを停止してステップS716、弁V5217を開けるステップS717。これにより、滅菌室219内に気化した滅菌剤が拡散し、被滅菌対象物を滅菌することができる。これは、気化炉216内の気圧よりも、滅菌室219内の気圧50Paの方が、低いため拡散する。ここで拡散する滅菌剤は、気化炉内の分子クラスターが更に細分化され、より滅菌剤を滅菌室内に拡散させることができ、滅菌作用を高めることが可能となる。また、被滅菌対象物などの細かい内腔などを効果的に滅菌することが出来るようになる。そして、ステップS717で、弁V5217を開けてから、所定時間が経過したかを判定し、弁V5217を開けてから、所定時間330秒が経過したと判定されるとステップS718:YES、弁V9227を開けるステップS719。これにより、滅菌装置100の外の気圧よりも気化炉216内、及び滅菌室219内の気圧の方が低いため、吸気用HEPAフィルタで清浄された、滅菌装置100の外の外気空気が、気化炉216内に吸い込まれる。そして、気化炉216内に送り込まれた空気により、気化炉216内に気体として残留している滅菌剤、及び、気化炉216の内部の表面に付着した滅菌剤が、滅菌室219内に送り込まれる。これにより、滅菌室219に十分な量のガス化した滅菌剤が送り込まれることになり、滅菌室219内にある被滅菌対象物に対する滅菌作用が高まる。また、例えば、この処理により、被滅菌対象の細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分内腔を有する被滅菌物についても、ガス化した滅菌剤が後から送り込まれた大気により押し込まれることで、内腔の滅菌作用が高まる。すなわち、本願発明の特徴である、気相真空ポンプ220真空機器により気化室216を真空引きすることにより前記気化室内で気化されたガス化した滅菌剤滅菌剤ガスを滅菌室219に投入した後、気化室216と滅菌室219が導通している状態で、弁V9227第一大気開放弁を開けて気化室216と大気とを導通させることになる。これにより滅菌剤をガス化する気化室に残留している滅菌剤を滅菌室に送り込むことができ、十分な滅菌作用を促すことができる。そして、滅菌装置100は、ステップS719で、弁V9227を開けてから所定の時間15秒が経過すると、弁V7226本発明の第二大気開放弁に相当を開けて、更に、吸気用HEPAフィルタ210で清浄された、滅菌装置100の外の外気空気が、滅菌室219内に吸い込まれる。これは、滅菌装置100の外の気圧よりも滅菌室219内、気化炉216内の気圧の方が低いため、滅菌装置100の外の外気空気が、滅菌室219内に吸い込まれる。すなわち、気化室と滅菌室が導通している状態で、第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、その後、第二大気開放弁を開けて滅菌室と大気とを導通させる様に構成したことにより、気化室に残留している滅菌剤を滅菌室に送り込むことに加え、更に、滅菌剤を滅菌室に投入した後投入する一定時間あたりの大気の量を増やすことで、内腔の中に滅菌剤を押し込む効果を強くすることができる。なお、本実施の形態では、第一大気開放弁を開けて前記気化室と大気とを導通し、その一定時間後に、第二大気開放弁を開けて滅菌室と大気とを導通させる様に構成したが、滅菌室の圧力が所定の圧力に達した後に、第二大気開放弁を開けて滅菌室と大気とを導通させるように構成してもよい。いずれの場合にも、第一大気開放弁を開けた後、第二大気開放弁を開けて、多くの量の大気を吸気することで滅菌剤の押し込み効果を上げることができ、内腔を持つ被滅菌物の内腔の滅菌効果を上げることが可能となる。次に、滅菌装置100は、滅菌室219内、及び気化炉216内が大気圧まで上昇したかを判定し、大気圧まで上昇したと判定した場合にステップS721:YES、弁V2215を閉める。次に、滅菌装置100は、弁V7226を閉めステップS723、気送真空ポンプ220による滅菌室219内の吸引真空引きを再開するステップS724。これにより、吸気用HEPAフィルタ210で清浄された、滅菌装置100の外の外気空気が、気化炉216内に吸い込まれる。そして、気化炉216内に送り込まれた空気により、気化炉216内に気体として充満している滅菌剤、及び、気化炉216の内部の表面に付着した滅菌剤が、更に、滅菌室219内に送り込まれる。これにより、被滅菌対象の細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分についての滅菌作用が高まると共に、気化炉216内の滅菌剤を効果的に減少させることが可能となる。そして、滅菌装置100は、ステップS724で、気送真空ポンプ220による滅菌室219内の吸引真空引きを再開してから、所定時間15秒後に、弁V9227を閉めるステップS725。このときも引き続き、気送真空ポンプ220による滅菌室219内の吸引真空引きを行っており、ステップS725により、滅菌室219内、及び気化炉216内が密閉され、滅菌室219内、及び気化炉216内を減圧することとなるステップS726。次に滅菌装置100は、所定回数例えば、4回、ステップS702からステップS726の処理を実行したかを判定しステップS727、実行したと判定された場合はYES、ステップS503の処理を行う。一方、ステップS702からステップS726の処理を、所定回数実行していないと判定された場合は、ステップS702以降の処理を再度行う。このように、所定回数、ステップS702からステップS726の処理を実行することで、被滅菌対象物に対する滅菌作用の効果が高まり、被滅菌対象物を十分に滅菌することが可能となる。次に、ステップS703で、滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモードボタン305が押下されたと判定された場合滅菌剤を濃縮しないで滅菌処理する場合について、説明する。滅菌装置100は、ステップS703で、滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモードボタン305が押下されたと判定された場合NO、滅菌室219内と気化炉216内の気圧が所定の気圧1000Paにまで減圧されたかを判定するステップS728。そして、滅菌装置100は、滅菌室219内と気化炉216内の気圧が所定の気圧100Paにまで減圧されたと判定された場合にステップS728:YES、液送ロータリーポンプ207を動作し、カートリッジ205内の滅菌剤を、所定量2ミリリットル吸い取る。そして、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉208に入れるステップS729。ここで吸い取る所定量の滅菌剤は、滅菌室219内の空間を滅菌剤で飽和状態にさせることができる量である。次に、滅菌装置100は、ステップS730において、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ205のRF-IDに、カートリッジ205内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。具体的には、ステップS101で読み取ったカートリッジ205内の滅菌剤の残量から、ステップS729でカートリッジ205から吸い取った所定量2ミリリットルを引いた値をRF-IDに記憶する。また、滅菌装置100は、ステップS730において、ステップS101でRF-IDから読み取られた初回使用日時カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時に、日時を示す情報が含まれていない場合は、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定する。このようにカートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定された場合のみ、現在の日時情報もRF-IDに書き込む。そして、滅菌装置100は、ステップS730の処理を行うと、既に説明したステップS709以降の処理を行う。ステップS728では、滅菌室219内が1000Paになったら、ステップS729で滅菌剤を吸い始め、ステップS729で滅菌剤を吸い終わる頃には500Paを下回るため、効率的にS709へ移行することができる。このように、滅菌室219内、及び気化炉216内の気圧が、計量管214内の減圧を開始する所定の気圧1000パスカルまで減圧された後に、吸い取られた所定量の滅菌剤を濃縮炉208に入れ、直ぐにステップS709で計量管214内を減圧することができ、その後、ステップS710で濃縮炉208内の滅菌剤を計量管に入れるので、濃縮炉208から、計量管214に直ぐに滅菌剤を入れることが可能となる。すなわち、滅菌剤が濃縮炉208で濃縮されることなく、計量管214に入れることが可能となる。<図8の説明>次に、図8を用いて、図5のS503に示す換気工程の詳細処理の一例について説明する。図8は、図5のS503に示す換気工程の詳細処理の一例を示す図である。図8に示す各工程処理は、滅菌装置100の演算処理部201により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。まず、滅菌装置100は、弁V7226を開けるステップS801。そして、滅菌装置100は、気送真空ポンプ220による滅菌室219内の吸引真空引きを引き続き行うステップS802。ステップS802で、気送真空ポンプ220による滅菌室219内の吸引真空引きを開始してから、所定時間を経過すると、弁V7226を閉めてステップS804、気送真空ポンプ220による滅菌室219内の吸引真空引きを行う。これにより、滅菌室219内が減圧される。次に、滅菌装置100は、滅菌室219内が所定の気圧50Paまで減圧されるとステップS806:YES、弁V7226を開けるステップS807。これにより、吸気用HEPAフィルタ210で清浄された、滅菌装置100の外の外気空気が、滅菌室219内に吸い込まれる。これは、滅菌装置100の外の気圧よりも滅菌室219内の気圧の方が低いため、滅菌装置100の外の外気空気が、滅菌室219内に吸い込まれる。そして、滅菌装置100は、滅菌室219内の気圧が、大気圧まで上昇したかを判定し、滅菌室219内の気圧が、大気圧まで上昇したと判定された場合ステップS808:YES、ステップS804からステップS808の処理を所定回数例えば、4回行ったかを判定しステップS809、ステップS804からステップS808の処理を所定回数例えば、4回行った場合はYES、弁V7226を閉めてステップS810、換気工程を終了する。一方、ステップS804からステップS808の処理を所定回数例えば、4回行っていない場合はNO、再度、ステップS804の処理から行う。これにより、滅菌室219内の表面に付着している滅菌剤、及び、滅菌室219内に気体として残っている滅菌剤を気送真空ポンプ220により吸引される。ここで吸引された気体滅菌剤を含むは、排気用HEPAフィルタ221を通り、滅菌剤分解装置222で滅菌剤は分解され、分解後の分子が外部に放出される。<図9の説明>次に、図9を用いて、図4のS114に示す滅菌排出処理の詳細処理の一例について説明する。図9は、図4のS114に示す滅菌排出処理の詳細処理の一例を示す図である。図8に示す各工程処理は、滅菌装置100の演算処理部201により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。まず、滅菌装置100は、液送ロータリーポンプ223により、カートリッジ205内の全ての液体の滅菌剤をポンプにより吸引して、液センサ204と液送ロータリーポンプ223との間の導管を通して送られるその全ての滅菌剤を、液送ロータリーポンプ223と排気蒸発炉224との間の導管を通して、排気蒸発炉224内に送るステップS901。そして、滅菌装置100は、排気蒸発炉224により、液送ロータリーポンプ223と排気蒸発炉224との間の導管を通して送られる全ての液体の滅菌剤排気蒸発炉224内に溜められた滅菌剤を、排気蒸発炉224に備え付けられたヒーターにより加熱し、その滅菌剤の全てを気化させる。そして、気化された滅菌剤は、排気用HEPAフィルタ221と排気蒸発炉224との間の導管を通して、排気用HEPAフィルタ221に送られるステップS902。ここで、排気蒸発炉224に備え付けられたヒーターは、滅菌剤過酸化水素の沸点過酸化水素の沸点は141度よりも高い温度に加熱されている。そのため、排気蒸発炉224により、滅菌剤は全て気化されることとなる。そして、滅菌装置100は、排気用HEPAフィルタ221により、排気蒸発炉224と排気用HEPAフィルタ221との間の導管を通り送られてくる気化された滅菌剤を清浄し、清浄された気体滅菌剤を含むは、滅菌剤分解装置222と排気用HEPAフィルタ221との間の導管を通り、滅菌剤分解装置222に送られる。そして、滅菌剤分解装置222は、滅菌剤分解装置222と排気用HEPAフィルタ221との間の導管から送られてくる気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解して生成される分子を滅菌装置100の外に放出するステップS903。<図10の説明>次に、図10を用いて、本発明に係る滅菌装置100の濃縮炉208、弁V1211、弁V3212、弁V4213、計量管214、弁V2215、気化炉216、弁V5217、弁V9227のハードウエア構成に係るブロック構成について説明する。図10は、本発明に係る滅菌装置100の濃縮炉208、弁V1211、弁V3212、弁V4213、計量管214、弁V2215、気化炉216、弁V5217、弁V9227のハードウエア構成に係るブロック構成図の一例を示す図である。図10に示す各ハードウエアは、図2に示す各ハードウエアと同一のハードウエアについては、同一の符号を付している。ステップS704、ステップS729で、液送ロータリーポンプ207を動作し、カートリッジ205内の滅菌剤を、所定量2ミリリットル吸い取り、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉208に入れられる。ステップS706では、濃縮炉208は、図10に示すように、濃縮炉208の下部にヒータが設けられており、このヒータの熱により、滅菌剤が加熱される。滅菌剤が過酸化水素水溶液の場合、このヒータの熱により、水が気化される。そして、気化した水は、気送加圧ポンプ209から導管を通して送り込まれる空気により、排気用HEPAフィルタ221に導通している導管に押し出され、濃縮炉208内から排気される。これにより、滅菌剤過酸化水素水溶液が濃縮される。図7で説明した通り、ステップS710で、濃縮炉208内の滅菌剤は、計量管215内に入る。この計量管215は、図10に示すように、直管部1001と枝管部1002とから構成されている。直管部1001は、直線の管状の部分である。直管部1001の管は、重力方向に配置されている。また、枝管部1002は、直管部1001の中間部又は上部から、枝状に延びた管状の部分である。直管部1001は、直管部の軸心と、枝管部1002の軸心とが垂直になる様に据え付けられる。このような構成にしているため、濃縮炉208から入ってきた滅菌剤は、計量管215内の直管部1001に溜まるように構成されている。直管部1001に滅菌剤が溜まる部分を滅菌剤溜まり部1003と言う。すなわち、滅菌剤溜まり部1003は、濃縮炉208から入ってくる滅菌剤が入るために十分な空間を有する。そのため、濃縮炉208から入ってきた滅菌剤は、滅菌剤溜まり部1003に溜まり、滅菌剤と共に濃縮炉208から入ってきた空気は、滅菌剤溜まり部1003に溜まっている滅菌剤の空間以外の空間に、充満することとなる。すなわち、その滅菌剤の空間以外の空間は、枝管部1002内の空間でもり、枝管部1002内の空間と通じた空間であるため、ステップS711で弁V3212と弁V4213とを開けることで、滅菌装置219内にその空気が吸い取られる。そして、ステップS714で弁V9を開けることで、滅菌剤溜まり部1003に溜まっていた滅菌剤が、気化炉216に吸い込まれて、気化する。図10に示すように、気化炉216の上部から液体の滅菌剤が気化炉216に入ることで、滅菌剤が気化しやすい。また、吸気用HEPAフィルタ210と気化炉216との間の導管は、図10に示すように、気化炉216の上部に備え付けられている。そのため、ステップS719で弁V9を開けると、空気外気が気化炉216の上部から、気化炉216の下部にある滅菌室219に抜けるため、気化炉216の内部に付着している滅菌剤、及び気化炉216内の気化した滅菌剤を広範囲に取り除きやすくなり、その取り除いた滅菌剤をより多く滅菌室219に流すことが可能となる。