多接合型太陽電池セルの分光感度測定方法であって、白色バイアス光源を前記多接合型太陽電池セルに照射するステップと、前記白色バイアス光源の照射によって各前記サブセルに発生する電流について、前記複数のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより前記各サブセルに発生する電流を整合するステップと、前記複数の第1の単色光光源のうち、前記複数のサブセルのうちの測定対象となるサブセルに対応する第1の単色光光源の照度を低減させるステップと、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、前記測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定するステップとを備える、分光感度測定方法。前記整合するステップは、前記複数のサブセルのうち発生する電流が最も大きいサブセルの発生電流と、残余のサブセルの発生電流とを整合する、請求項1記載の分光感度測定方法。前記低減させるステップは、前記測定対象となる前記サブセルに前記第2の単色光光源からの単色光を所定の波長範囲で走査して照射した場合に発生する電流のピーク値に基づいて、前記測定対象となるサブセルに対応する前記第1の単色光光源の照度を低減させる、請求項1または請求項2記載の分光感度測定方法。前記測定するステップは、前記第2の単色光光源からの単色光を所定の波長範囲にて走査し、前記多接合型太陽電池セルに直列に接続された抵抗の両端の電圧を測定する、請求項1~3のいずれか1項に記載の分光感度測定方法。多接合型太陽電池セルの分光感度測定装置であって、前記多接合型太陽電池セルに照射するための白色バイアス光源と、前記複数のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源と、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源と、前記白色バイアス光源と、前記複数の第1の単色光光源と、前記第2の単色光光源とを制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記白色バイアス光源を前記多接合型太陽電池セルに照射し、前記白色バイアス光源の照射によって各前記サブセルに発生する電流について、前記複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより前記各サブセルに発生する電流を整合させ、前記複数の第1の単色光光源のうち、前記複数のサブセルのうちの測定対象となるサブセルに対応する第1の単色光光源の照度を低減させ、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、前記測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定する、分光感度測定装置。前記制御手段は、測定対象である多接合型太陽電池セルに照射される前記第2の単色光光源からの単色光をチョッピングして通過させるチョッパーと、前記多接合型太陽電池セルに直列接続された抵抗と、前記チョッパーからの同期信号に応答して、前記抵抗に印加される電圧を増幅するロックインアンプとを備える、請求項5に記載の分光感度測定装置。前記チョッパーは、第2の単色光光源からの単色光をチョッピングして通過させる、第1の通過区間と第2の通過区間とを有し、前記第1の通過区間は前記第2の通過区間と区間幅が異なる、請求項6に記載の分光感度測定装置。前記白色バイアス光源は、照射強度が1sun以上である請求項5~7のいずれか1項に記載の分光感度測定装置。前記第2の単色光光源のセル表面における照射領域は、前記複数の第1の単色光光源の照射領域内に存在する請求項第5~8のいずれか1項に記載の分光感度測定装置。前記複数の第1の単色光光源の個数は3つであり、かつ3つの前記第1の単色光光源のそれぞれの波長範囲は、300~500nm、660~820nmおよび900~1800nmである請求項5~9のいずれか1項に記載の分光感度測定装置。前記複数の第1の単色光光源の個数は3つであり、かつ3つの前記第1の単色光光源のそれぞれの波長範囲は、300~400nm、680~740nmおよび920~1000nmである請求項5~9のいずれか1項に記載の分光感度測定装置。多接合型太陽電池セルの分光感度測定装置の制御プログラムであって、白色バイアス光源を前記多接合型太陽電池セルに照射するステップと、前記白色バイアス光源の照射によって各前記サブセルに発生する電流について、前記複数のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより前記各サブセルに発生する電流を整合するステップと、前記複数の第1の単色光光源のうち、前記複数のサブセルのうちの測定対象となるサブセルに対応する第1の単色光光源の照度を低減させるステップと、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、前記測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定するステップとを、コンピュータに実行させる分光感度測定装置の制御プログラム。多接合型太陽電池セルの分光感度測定方法であって、白色バイアス光源を前記多接合型太陽電池セルに照射するステップと、前記白色バイアス光源の照射によって各前記サブセルに発生する電流について、前記複数のサブセルのうち、前記白色バイアス光源を照射した際に発生する電流が最も大きいサブセルを測定対象として前記測定対象となるサブセルの分光感度を測定するときに、前記測定対象となるサブセル以外の残余のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより、前記残余のサブセルの発生電流が前記測定対象となるサブセルの発生電流よりも所定量だけ増加するように調整するステップと、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、前記測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定するステップとを備える、分光感度測定方法。多接合型太陽電池セルの分光感度測定装置であって、前記多接合型太陽電池セルに照射するための白色バイアス光源と、前記白色バイアス光源の照射によって各前記サブセルに発生する電流について、前記複数のサブセルのうち、前記白色バイアス光源を照射した際に発生する電流が最も大きいサブセルを測定対象として前記測定対象となるサブセルの分光感度を測定するときに、前記測定対象となるサブセル以外の残余のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源と、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源と、前記白色バイアス光源と、前記第1の単色光光源と、前記第2の単色光光源とを制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記白色バイアス光源を前記多接合型太陽電池セルに照射し、前記複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより、前記残余のサブセルに発生する電流が前記測定対象となるサブセルに発生する電流よりも所定量だけ増加するように調整し、前記第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、前記測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定する、分光感度測定装置。多接合型太陽電池セルの分光感度測定装置の制御プログラムであって、白色バイアス光源を前記多接合型太陽電池セルに照射するステップと、前記白色バイアス光源の照射に従って各前記サブセルに発生する電流について、前記複数のサブセルのうち、前記白色バイアス光源を照射した際に発生する電流が最も大きいサブセルを測定対象として前記測定対象となるサブセルの分光感度を測定するときに、前記測定対象となるサブセル以外の残余のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより、前記残余のサブセルに発生する電流が前記測定対象となるサブセルに発生する電流よりも所定量だけ増加するように調整するステップと、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、前記測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定するステップとを、コンピュータに実行させる分光感度測定装置の制御プログラム。しかしながら、上記の従来の測定方式によると、分光感度測定時には測定対象のサブセルの感度帯域波長を有するカラーバイアス光が照射されていないので、少数キャリアの高注入状態が達成されない。したがって、実際の太陽光下に近似した動作状態における測定対象セルの測定を精度良く行なうことができなかった。なぜなら、上記の非特許文献には、測定対象の要素セルサブセルの短絡電流が最小となるよう、カラーバイアス光の分光放射照度を調整する。測定対象の要素セルを通常の使用条件と同等の放射照度で照射し、他の要素セルはそれよりも強い照度で照射することが望ましいと記載されてはいるが、サブセルと同じ数だけの、通常の使用条件と同等およびそれより強い放射照度を有する光源を準備することが、設置スペースやコストなどの制約上から実際には困難であることに起因する。また、発明者らが行なった、従来技術における分光感度測定では、測定対象のサブセルに印加される電気バイアス値が適切でないことが判明した。たとえば、GaInPトップセルの分光感度測定時の室温におけるVf1の典型的な測定値は2.43Vであった。この値はGaAsミドルセル、Geボトムセルで推定される出力電圧の和:約1.4Vより明らかに大きく、この値を印加することが適切でないと判断された。原因としては、フィルターF1のカットオフ波長をはずれた650~680nmの光によってトップセルが動作し、トップセルによる出力電圧が発生したためであると考えられ、同様の現象がミドルセル、ボトムセル測定時にも確認された。すなわち、実際の各サブセルの感度帯域波長が少しでも重なっている限り、フィルタで波長を完全に分離できないことから、上記の非特許文献に記載されている測定対象外のすべての要素セルの開放電圧を測定条件下で正確に測定できない。したがって、測定対象セルを短絡条件にすることが事実上不可能であり、従来技術では正確な分光感度の測定が困難であった。本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであって、多接合型太陽電池の分光感度特性を測定する際に、精度よく分光感度特性の測定を行なうことが可能な分光感度測定方法、分光感度測定装置およびその制御プログラムを提供することを目的とする。本発明によると、多接合型太陽電池セルの分光感度測定方法が提供される。分光感度測定方法は、白色バイアス光源を多接合型太陽電池セルに照射するステップと、白色バイアス光源の照射によって各サブセルに発生する電流について、複数のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより各サブセルに発生する電流を整合するステップと、複数の第1の単色光光源のうち、複数のサブセルのうちの測定対象となるサブセルに対応する第1の単色光光源の照度を低減させるステップと、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定するステップとを含む。好ましくは、整合するステップは、複数のサブセルのうち発生する電流が最も大きいサブセルの発生電流と、残余のサブセルの発生電流とを整合する。好ましくは、低減させるステップは、測定対象となるサブセルに第2の単色光光源からの単色光を所定の波長範囲で走査して照射した場合に発生する電流のピーク値に基づいて、測定対象となるサブセルに対応する第1の単色光光源の照度を低減させる。好ましくは、測定するステップは、第2の単色光光源からの単色光を所定の波長範囲にて走査し、多接合型太陽電池セルに直列に接続された抵抗の両端の電圧を測定する。本発明の別の局面に従うと、多接合型太陽電池セルの分光感度測定装置が提供される。分光感度測定装置は、多接合型太陽電池セルに照射するための白色バイアス光源と、複数のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源と、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源と、白色バイアス光源と、複数の第1の単色光光源と、第2の単色光光源とを制御する制御手段とを含む。制御手段は、白色バイアス光源を多接合型太陽電池セルに照射し、白色バイアス光源の照射によって各サブセルに発生する電流について、複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより各サブセルに発生する電流を整合させ、複数の第1の単色光光源のうち、複数のサブセルのうちの測定対象となるサブセルに対応する第1の単色光光源の照度を低減させ、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定する。好ましくは、制御手段は、測定対象である多接合型太陽電池セルに照射される第2の単色光光源からの単色光をチョッピングして通過させるチョッパーと、多接合型太陽電池セルに直列接続された抵抗と、チョッパーからの同期信号に応答して、抵抗に印加される電圧を増幅するロックインアンプとを含む。好ましくは、チョッパーは、第2の単色光光源からの単色光をチョッピングして通過させる、第1の通過区間と第2の通過区間とを有し、第1の通過区間は第2の通過区間と区間幅が異なる。好ましくは、白色バイアス光源は、照射強度が1sun以上である。好ましくは、第2の単色光光源のセル表面における照射領域は、複数の第1の単色光光源の照射領域内に存在する。好ましくは、複数の第1の単色光光源の個数は3つであり、かつ3つの第1の単色光光源のそれぞれの波長範囲は、300~500nm、660~820nmおよび900~1800nmである。好ましくは、複数の第1の単色光光源の個数は3つであり、かつ3つの第1の単色光光源のそれぞれの波長範囲は、300~400nm、680~740nmおよび920~1000nmである。本発明のさらに別の局面に従うと、多接合型太陽電池セルの分光感度測定装置の制御プログラムが提供される。分光感度測定装置の制御プログラムは、白色バイアス光源を多接合型太陽電池セルに照射するステップと、白色バイアス光源の照射によって各サブセルに発生する電流について、複数のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより各サブセルに発生する電流を整合するステップと、複数の第1の単色光光源のうち、複数のサブセルのうちの測定対象となるサブセルに対応する第1の単色光光源の照度を低減させるステップと、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定するステップとを、コンピュータに実行させる。本発明のさらに別の局面に従うと、多接合型太陽電池セルの分光感度測定方法が提供される。分光感度測定方法は、白色バイアス光源を多接合型太陽電池セルに照射するステップと、白色バイアス光源の照射によって各サブセルに発生する電流について、複数のサブセルのうち、白色バイアス光源を照射した際に発生する電流が最も大きいサブセルを測定対象として測定対象となるサブセルの分光感度を測定するときに、測定対象となるサブセル以外の残余のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより、残余のサブセルの発生電流が測定対象となるサブセルの発生電流よりも所定量だけ増加するように調整するステップと、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定するステップとを含む。本発明のさらに別の局面に従うと、多接合型太陽電池セルの分光感度測定装置が提供される。分光感度測定装置は、多接合型太陽電池セルに照射するための白色バイアス光源と、白色バイアス光源の照射によって各サブセルに発生する電流について、複数のサブセルのうち、白色バイアス光源を照射した際に発生する電流が最も大きいサブセルを測定対象として測定対象となるサブセルの分光感度を測定するときに、測定対象となるサブセル以外の残余のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源と、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源と、白色バイアス光源と、第1の単色光光源と、第2の単色光光源とを制御する制御手段とを含む。制御手段は、白色バイアス光源を多接合型太陽電池セルに照射し、複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより、残余のサブセルに発生する電流が測定対象となるサブセルに発生する電流よりも所定量だけ増加するように調整し、第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定する。本発明のさらに別の局面に従うと、多接合型太陽電池セルの分光感度測定装置の制御プログラムが提供される。分光感度測定装置の制御プログラムは、白色バイアス光源を多接合型太陽電池セルに照射するステップと、白色バイアス光源の照射に従って各サブセルに発生する電流について、複数のサブセルのうち、白色バイアス光源を照射した際に発生する電流が最も大きいサブセルを測定対象として測定対象となるサブセルの分光感度を測定するときに、測定対象となるサブセル以外の残余のサブセルの分光感度にそれぞれ対応して設けられ、各々が照度調整可能な複数の第1の単色光光源のうちの少なくとも1つの第1の単色光光源の照度を調整することにより、残余のサブセルに発生する電流が測定対象となるサブセルに発生する電流よりも所定量だけ増加するように調整するステップと、所定の波長範囲で波長を走査可能な第2の単色光光源からの単色光の波長を走査して、測定対象となるサブセルの分光感度特性を測定するステップとを、コンピュータに実行させる。以上のように、本発明によれば、多接合型太陽電池の分光感度特性を測定する際に、精度よく分光感度特性の測定を行なうことができる。以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての同一部分については、その詳細な説明は繰り返さない。[1.全体構成]まず、本発明の実施の形態に従う分光感度測定装置の全体構成について説明する。図1は、本発明の実施の形態に従う分光感度測定装置の構成を示す模式図である。図1を参照して、分光感度測定装置1は、主として測定対象である多接合型太陽電池セル10と、出力電流測定回路20と、チョッパー26と、LED光源3232A、32B、32Cと、白色バイアス光源34と、単色光光源36とを含む。多接合型太陽電池セル10以下、多接合セル10とも称すは、分光感度の異なる複数のサブセルを直列接続した太陽電池であり、本発明の実施の形態に従う分光感度測定装置1の測定対象である。たとえば、GaInPトップセル/GaAsミドルセル/Geボトムセルからなる3接合型太陽電池セルである。以下の説明では、当該3接合型太陽電池セルを測定対象の一例として説明するが、分光感度の異なる複数のサブセルからなる多接合型太陽電池セルであればよく、これに限らない。たとえば、2接合型太陽電池セルであれば、トップセルとボトムセルとを測定対象として同様に考えればよい。出力電流測定回路20は、上述した多接合セル10と、抵抗22とロックインアンプ24とを含む。所定の波長の光の照射により多接合セル10の出力電流は、回路に抵抗22を挿入して測定され、多接合セル10の出力電流値は、後述するチョッパー26からの同期信号に応答して、多接合セル10に直列に接続された抵抗22の両端に印加される電圧を増幅するロックインアンプ24で測定し、当該測定された電圧に所定の変換係数を乗じて出力電流を算出する。チョッパー26は、後述する単色光光源36から照射された単色光を所定の周期でチョッピングして通過させ単色光をパルス照射させる。チョッパー26の周波数および位相でロックインアンプ24により同期検波することで、多接合セル10の分光感度特性が得られる。LED光源32は、LED光源32A、32B、32Cを含む。LED光源32Aは、トップセルの感度帯域にあり、ミドルセルおよびボトムセルの感度帯域にない波長λtの第1のLED光を照射する。LED光源32Bは、ミドルセルの感度帯域にあり、トップセルおよびボトムセルの感度帯域にない波長λmの第2のLED光を照射する。LED光源32Cは、ボトムセルの感度帯域にあり、トップセルおよびミドルセルの感度帯域にない波長λbの第3のLED光を照射する。LED光源32は、各サブセルの発生電流を調整するために多接合セル10に照射される。白色バイアス光源34は、上述したように、実際の太陽光下での動作状態における分光感度特性を精査するために、白色バイアス光を多接合セル10に照射する。その白色バイアス光の条件は、例えばAM1.5、1Sunである。単色光光源36は、多接合セル10の分光感度特性を測定するために、測定波長範囲内で波長を走査して、当該単色光をチョッパー26を介して多接合セル10にパルス状にして照射する。[2.分光感度測定装置の機能構成]次に、本発明の実施の形態に従う分光感度測定装置1の機能構成について説明する。図2は、本発明の実施の形態に従う分光感度測定装置1の機能構成を示す模式図である。図2を参照して、分光感度測定装置1は、その機能構成として、制御部100と、光源制御部102と、データ取得部104と、記憶部106とを含む。そして、上述したように、分光感度測定装置1は、多接合セル10と、出力電流測定回路20と、チョッパー26と、光源部30とを含む。制御部100と、光源制御部102と、データ取得部104とは、図示しないCPUが記憶部106としてのROMReadOnlyMemoryやRAMRandomAccessMemoryやHDDHardDiskDriveに予め格納されていたプログラムを読み出して実行することにより実現されるものである。すなわち、制御部100と、光源制御部102と、データ取得部104とは、分光感度測定装置1のCPUと記憶部106とによって実現される機能である。ただし、制御部100と、光源制御部102と、データ取得部104とは、専用のハードウェア回路によって実現されてもよい。以下、分光感度測定装置1が有する機能ブロックの各々について詳述する。制御部100は、分光感度測定装置1の動作全体を制御する。光源制御部102は、光源部30に含まれる、LED光源32と、白色バイアス光源34と、単色光光源36とを制御する。たとえば、後述する発生電流整合工程において発生電流を整合させるために、LED光源32の照度を調整する。データ取得部104は、ロックインアンプ24で測定された出力電圧を取得し、分光感度特性等のデータを算出する。また、取得したデータ電流を記憶部106に記憶したりする。記憶部106は、ROM、RAM、HDDなどの不揮発性メモリーなどによって実現される。ROMは、CPUで実行されるプログラムを予め格納し、RAMは、CPUのプログラム部分の実行に必要なデータを一時的に記憶する。HDDは、比較的大容量のデータを不揮発的に格納することができ、たとえば、データ取得部104で取得した出力電流の測定データなどを格納する。[3.測定工程の概要]まず、本発明の実施の形態に従う分光感度測定装置1の測定工程の概略について説明する。なお、上述したように多接合セル10の分光感度測定は、各サブセルごとに行なわれ、それらを統合したものが多接合セル10の分光感度特性となる。ここでは、トップセル、ミドルセル、ボトムセルの順に分光感度測定を行なうこととする。分光感度測定装置1の分光感度測定における主たる工程としては、各サブセルごとに以下の3つの工程が存在する。1発生電流整合工程2回路電流設定工程3本測定工程以下、これらの各工程の概略について説明する。図3は、本発明の実施の形態に従う分光感度測定装置1の主な測定工程を示すフローチャートである。まず、分光感度測定装置1は、多接合セル10の各サブセルの発生電流を略一致以下、整合と称すさせる発生電流整合工程を行なうステップS10。具体的には、LED光源32の照度を調整して、各サブセルの発生電流を整合する。次に、本測定の際に単色光光源36からの単色光を照射することで発生する、測定対象のサブセルのピーク電流値分最大電流値分だけ、ステップS10で整合された測定対象のサブセルの発生電流を低減させる回路電流設定工程を行なうステップS20。具体的には、測定対象のサブセルの感度帯域にあるLED光源32の照度を低減することで、サブセルの発生電流を低減する。当該工程は、測定対象のサブセルの発生電流を多接合セル全体の出力電流として観測し、かつ測定対象のサブセルにできるだけ逆バイアス電圧が印加されないようにすることで精度の良い分光感度測定を実現するために行なわれる。次に、単色光光源36を測定波長範囲内で単色光の波長を走査しながら照射することで、測定対象の発生電流の波長依存性、すなわち分光感度特性を得る本測定工程を行なうステップS30。以上の工程を、トップセル、ミドルセル、ボトムセルの各々について行ない、それらの分光感度特性を統合することで多接合セル10の分光感度特性が得られる。[4.各サブセルの測定工程]次に、サブセルごとの上述した各測定工程について詳細に説明する。ここで、太陽光の放射照度分布の一例として公知のAM1.5スペクトルと、図22に示す分光感度特性の一例とから、発明者らによって各サブセルごとに推定される電流発生量が見積もられた。当該電流発生量は、単位時間、単位面積当たりにサブセルに入射する所定の波長範囲の光子数に分光感度を乗じ、その総和を電流に換算することで見積もられた。当該見積もり結果によると、概ねGaInPトップセルでの発生電流は18mA/cm2であり、GaAsミドルセルでの発生電流は19mA/cm2であり、Geボトムセルの発生電流は27mA/cm2であった。したがって、以下では説明のため、各サブセルの発生電流の一例としてこれらの値を用いることとする。図4は、本発明の実施の形態に従う白色バイアス光源から白色バイアス光が多接合セル10に照射された際の出力電流の一例を示す図である。図4を参照して、上記の3接合型太陽電池セルを短絡し、AM1.5スペクトルかつ1sunの擬似太陽光を照射した場合、トップセル2の発生電流Itは18mA/cm2、ミドルセル4の発生電流Imは19mA/cm2、ボトムセル6の発生電流Ibは27mA/cm2であるが、上述したように多接合セル全体の出力電流Iscは各サブセルが直列に接続されているため、各サブセルのうち最も発生電流の小さいものに依存する。すなわち、実際に回路に流れている出力電流は、トップセル2の発生電流Itと同じ18mA/cm2となる。また、このときミドルセル4とボトムセル6の発生電圧がトップセル2に逆方向に印加される。<A.トップセル2の分光感度特性の測定工程>トップセル2の分光感度特性の各測定工程について説明する。a1.発生電流整合工程まず、図4の状態から行なわれる発生電流整合工程について説明する。発生電流整合工程は、上述したように、多接合セル10の各サブセルの発生電流を整合する工程である。図5は、発生電流整合工程後の各サブセルの発生電流が整合された状態を示す図である。図5を参照すると、トップセル2の発生電流Itおよびミドルセル4の発生電流Imが27mA/cm2となり、白色バイアス光のみ照射時図4の状態のボトムセル6の発生電流Ibと略一致しており、かつ多接合セル全体の出力電流Iscもこれと略一致している。この状態は、LED光源32Aから照射される波長λtの第1のLED光の照度以下、LED光源32Aの照度とも称すを増大させることによりItを増大させてIbと略一致させ、またLED光源32Bから照射される波長λmの第2のLED光の照度以下、LED光源32Bの照度とも称すを増大させることによりImを増大させてIbと略一致させることにより得られる。当該状態では、各サブセルの発生電流が略一致しているため、トップセル2はほぼゼロバイアス状態となっている。次に、分光感度測定装置1が、各サブセルの発生電流を整合するためにLED光源32Aおよび32Bの照度を調整する方式について説明する。図6は、本発明の実施の形態に従うLED光源32の照度と多接合セル全体の出力電流Iscとの関係の一例を示す図である。図6aは、LED光源32Aの照度LtとIscとの関係の一例を示す図である。図6bは、LED光源32Bの照度LmとIscとの関係の一例を示す図である。図6aを参照して、トップセル2の感度帯域にあり、ミドルセル4およびボトムセル6の感度帯域にない波長λtの第1のLED光をLED光源32Aで多接合セル10に照射すると、トップセルの発生電流Itが多接合セル全体の出力電流Iscを支配しているトップセル2が各サブセルのうち最も発生電流が小さいので、Itが18mA/cm2から増大するため、Iscが増大する。第1のLED光の照度Ltを増大していくと、LtがLt1となったときに、Iscはミドルセル4の発生電流Imの電流値19mA/cm2で飽和する。これは、Imが多接合セル全体の出力電流Iscを支配している状態になったためであり、逆バイアス電圧はミドルセル4に印加されている。続いて、さらに所定の照度だけLtを増大させてLt2となるところで仮設定する。このとき、Itは19mA/cm2以上のIt2となっている。次に、図6bを参照して、ミドルセル4の感度帯域にあり、トップセル2およびボトムセル6の感度帯域にない波長λmの第2のLED光をLED光源32Bで多接合セル10に照射すると、Iscを支配しているImが19mA/cm2から増大するため、Iscが増大する。第2のLED光の照度Lmを増大していくと、LmがLm1となったときに、Iscは上述した第1のLED光の照度を増大することにより得られたトップセル2の発生電流It2=Im1で飽和する。これは、再びItが多接合セル全体の出力電流Iscを支配している状態になったためであり、逆バイアス電圧は再びトップセル2に印加されている。続いて、さらに所定の照度だけLmを増大させてLm2となるところで仮設定する。このとき、ImはIm1=It2以上のIm2となっている。次に、再び第1のLED光の照度Ltを増大させることでIscを増大させていき、Iscが飽和したら第2のLED光の照度Lmを増大させることでIscを増大させていく、という工程を繰り返す。最終的には、Iscがボトムセル6の発生電流Ibの電流値27mA/cm2と略一致するまで繰り返す。このとき、LED光源32Aの照度はLtf、LED光源32Bの照度はLmfであり、各サブセルの発生電流It、ImおよびIbは略一致し、各サブセルには逆バイアス電圧が印加されることなく、ほぼ理想的な短絡状態となっている図5の状態。ここで、上記の短絡状態を確認するために、電流整合後のLED光源32Aの照度Ltfは、わずかでも照度が低減するとIscが低下するような照度であることを確認したり、同様に、LED光源32Bの照度Lmfは、わずかでも照度が低減するとIscが低下するような照度であることを確認しても良い。次に、発生電流整合工程における分光感度測定装置1の具体的な処理手順について説明する。図7は、発生電流整合工程における分光感度測定装置1の処理手順を示すフローチャートである。ここで、多接合セル10には白色バイアス光のみが照射されている状態図4の状態であるとする。まず、光源制御部102は、LED光源32Aからの第1のLED光を多接合セル10に照射してステップS102、第1のLED光の照度を増大するステップS104。次に、制御部100は、多接合セル全体の出力電流Iscが飽和しているか否かを判断するステップS106。具体的には、制御部100は、ロックインアンプ24を介してデータ取得部104が取得した出力電流Iscが飽和しているか否かを判断する。制御部100は、出力電流Iscが飽和していないと判断するとステップS106においてNOの場合、ステップS104からの処理を繰り返す。一方、制御部100が、出力電流Iscが飽和していると判断するとステップS106においてYESの場合、光源制御部102は、LED光源32Aからの第1のLED光の照度を、所定の照度だけ増大して設定するステップS108。次に、光源制御部102は、LED光源32Bからの第2のLED光を多接合セル10に照射してステップS110、第2のLED光の照度を増大するステップS112。次に、制御部100は、多接合セル全体の出力電流Iscが飽和しているか否かを判断するステップS114。制御部100は、出力電流Iscが飽和していないと判断するとステップS114においてNOの場合、ステップS112からの処理を繰り返す。一方、制御部100が、出力電流Iscが飽和していると判断するとステップS114においてYESの場合、光源制御部102は、LED光源32Bからの第2のLED光の照度を、所定の照度だけ増大して設定するステップS116。次に、制御部100は、多接合セル全体の出力電流Iscがボトムセル6の発生電流Ibと略一致しているか否かを判断するステップS118。具体的には、制御部100は、予め記憶部106に記憶されているボトムセル6の推定発生電流値と略一致しているか否かによって判断する。なお。どの程度一致していれば、略一致していると判断するかはユーザが任意に定めることができる。制御部100は、IscがIbと略一致していると判断するとステップS118においてYESの場合、処理を終了する。一方、制御部100は、IscがIbと略一致していないと判断するとステップS118においてNOの場合、ステップS102からの処理を繰り返す。a2.回路電流設定工程次に、発生電流整合工程の次に行なわれる回路電流設定工程について説明する。回路電流設定工程とは、上述したように、単色光光源36からの単色光が照射されることで発生する、トップセル2のピーク電流値分最大電流値分だけ、トップセル2の発生電流を低減させる工程である。すなわち、トップセル2の発生電流Itがセル全体の出力電流Iscを支配しているため、上記のピーク電流値分だけ出力電流Iscを低減させる工程である。また、当該工程は、本測定工程において、トップセル2に逆バイアス電圧ができるだけ印加されていない状態にしてトップセル2の分光感度測定を行なうための準備工程として位置づけられる。なお、測定対象となるトップセル2の感度帯域に対応するLED光源32Aからの第1のLED光の照度を低減することで、回路に流れる出力電流トップセル2の発生電流を低減させる。図8は、回路電流設定工程で低減される出力電流値に応じて、単色光が照射された際に出力電流の波長依存性が変化することを説明するための図である。図8aは、低減された出力電流値が所望よりも小さい場合の出力電流の波長依存性を示す図である。図8bは、低減された出力電流値が所望の場合の出力電流の波長依存性を示す図である。図8cは、低減された出力電流値が所望よりも大きい場合の出力電流の波長依存性を示す図である。発生電流整合状態からLED光源32Aからの第1のLED光の照度を低減することで、出力電流Iscは27mA/cm2からamA/cm2だけ低減させた状態にして、単色光光源36からの単色光が照射されると、トップセル2の分光感度に応じて出力電流Iscが増大するため、図8のようなaの値に応じた3つのパターンの出力電流Iscに対する波長依存性が得られる。このとき、図8aのように、aが所望の値トップセル2のピーク電流値よりも小さいa1である場合には、他のサブセルの発生電流との関係からIscは最大でも27mA/cm2で飽和してしまう。したがって、このときのIscの波長依存性では、トップセル2の発生電流Itの波長依存性を確認することができない。すなわち、Iscの変化はItの変化を正確に観測できる状態にはなく、精度の良いトップセル2の分光感度特性を得ることはできない。一方、図8bのように、aが所望の値a2である場合には、Iscは27mA/cm2でピーク電流値最大電流値に達する。したがって、このときのIscの波長依存性を観測すれば、トップセル2の発生電流Itの波長依存性を観測することができる。すなわち、精度の良いトップセル2の分光感度特性が得られる。なお、図8cのように、aが所望の値よりも大きいa3である場合には、Iscは27mA/cm2よりも小さい値でピーク電流値に達する。このときのIscの波長依存性を確認することでも、トップセル2の発生電流Itの波長依存性を確認することはできるが、ミドルセル4およびボトムセル6からの逆バイアス電圧の影響が大きくなるため、図8bの状態の方がより精度の良いトップセル2の分光感度特性が得られることになる。以上から、aが所望の値a2となるように、LED光源32Aからの第1のLED光の照度を低減する必要がある。上記では出力電流のピークが単数の場合について説明したが、複数ある場合は最も電流値の大きいピークに基づいてLED光源32Aの照度を低減させる。なお、一般的に、単色光光源36から照射される単色光の照度は数μW/cm2~200μW/cm2程度であり、aは当該単色光の照度が大きいほど設定は容易となる。ただし、当該単色光の照度が大きすぎると、ピーク波長ではない波長での逆バイアス電圧の影響が大きくなったり、セルが局部的に温度上昇したりすることが誤差要因となる可能性がある。一方、小さすぎると信号のSN比が悪くなる可能性があるため、測定環境に応じて適当に選定する必要がある。また、上述したピーク電流値最大電流値は個々のセルで異なるが、セルの材料や構造、大きさが決定すると概ね同様である。したがって、上記の材料などが同様である複数のセルについて測定を行なう場合であれば、最初に測定するセルで回路電流設定工程を行なえば、それ以降のセルの測定では、たとえば、単色光光源36による単色光の波長をすべて走査せずに、所定の範囲のみ走査してピーク電流値のみを確認し、設定してもよい。なお、精度的には27mA/cm2に設定することが望ましいが、上述した図8cの状態であれば、トップセル2の発生電流Itの波長依存性を確認することはできるため、測定対象であるセルや使用装置の性能に応じた許容範囲を決めておけば、必ずしも図8bの状態にする必要はない。次に、回路電流設定工程における分光感度測定装置1の具体的な処理手順の一例について説明する。図9は、回路電流設定工程における分光感度測定装置1の処理手順を示すフローチャートである。ここで、多接合セル10は、発生電流整合状態図5の状態であるとする。光源制御部102は、トップセル2の発生電流が27mA/cm2から、予め決定された所定の電流値だけ低減するように、LED光源32Aからの第1のLED光の照度を低減するステップS202。所定の電流値は、ピーク電流値よりも小さいものとする。次に、光源制御部102が、単色光光源36の単色光を所定の波長範囲で走査して照射することで、データ取得部104は、当該波長範囲でのトップセル2の最大電流値を取得するステップS204。次に、制御部100は、データ取得部104で取得した最大電流値が飽和しているか否かを判断するステップS206。制御部100が、最大電流値が飽和しているピーク電流値が存在しないと判断するとステップS206においてYESの場合、ステップS202からの処理を繰り返す。一方、制御部100が、最大電流値が飽和していないピーク電流値が存在すると判断するとステップS206においてNOの場合、光源制御部102は当該状態のLED光源32Aの照度を、本測定におけるLED光源32Aの照度として設定しステップS208、処理を終了する。上記では、照度を調整しながらピーク電流値を取得してLED光源32Aの照度を調整する処理手順について説明したが、予め実測によってピーク電流値の値を求めており、それに対応するLED光源32Aの照度も記憶部106などに記憶して既知である場合には、制御部100が、記憶部106に記憶された対応するLED光源32Aの照度を読み出し、それに基づいて光源制御部102が照度を設定しても良い。a3.本測定工程次に、回路電流設定工程の次に行なわれる本測定工程について説明する。本測定工程とは、上述したように、単色光光源36を測定波長範囲内で単色光の波長を走査しながら照射することで、測定対象のサブセルの発生電流の波長依存性、すなわち分光感度特性を得る工程である。図10は、トップセル2の回路電流設定工程で出力電流が設定された状態の構成の一例を示す図である。図10を参照して、この状態では、回路電流設定工程によりトップセル2の発生電流Itがaだけ低減されているため、トップセル2の発生電流Itは27-amA/cm2となっている。また、トップセル2の発生電流Itが多接合セル全体の出力電流Iscを支配しているため、Iscも27-amA/cm2となっている。すなわち、当該状態は、トップセル2の発生電流Itをセル全体の出力電流Iscとして観測でき、かつトップセル2にはミドルセル4およびボトムセル6からの逆バイアス電圧がほぼ印加されていない状態ほぼゼロバイアスな状態となっている。図11は、本測定工程で行なわれる分光感度測定装置1の処理手順を示すフローチャートである。このとき、図10の状態であるとする。まず、光源制御部102は、単色光光源36を測定波長範囲内で単色光の波長を走査しながら照射するステップS302。次に、データ取得部104は、ロックインアンプ24を介して得られた各波長に対応する出力電流を取得しステップS304、処理を終了する。すなわち、トップセル2の所望の分光感度特性が精度良く取得することが可能となる。<B.ミドルセル4の分光感度特性の測定工程>次に、ミドルセル4の分光感度測定の各工程について説明する。b1.発生電流整合工程ミドルセル4測定時の発生電流整合工程は、トップセル2の発生電流整合工程と同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。すなわち、図5の状態にする。b2.回路電流設定工程ミドルセル4測定時の回路電流設定工程は、トップセル2の回路電流設定工程と基本的に同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。すなわち、分光感度測定装置1は、所定の照度だけLED光源32Bからの第2のLED光の照度を低減する.次に、光源制御部102が単色光光源36の単色光を所定の波長範囲で走査して照射し、当該波長範囲でのミドルセル4の最大電流値を取得する。次に、分光感度測定装置1は、当該最大電流値が飽和していると判断した場合、さらに所定の照度だけ第2のLED光の照度を低減する。一方、分光感度測定装置1は、当該最大電流値が飽和していないと判断した場合、当該状態のLED光源32Bの照度を、本測定におけるLED光源32Bの照度として設定し、処理を終了する。このとき、出力電流Iscは27mA/cm2から、ミドルセル4のピーク電流値所望の値bmA/cm2だけ低減させた状態となる。b3.本測定工程ミドルセル4測定時の本測定工程は、トップセル2の本測定工程と同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。図12は、ミドルセル4の回路電流設定工程で出力電流が設定された状態の構成の一例を示す図である。すなわち、回路電流設定工程によりミドルセル4の発生電流Imがbだけ低減されているため、ミドルセル4の発生電流Imは27-bmA/cm2となっている。また、ミドルセル4の発生電流Imが多接合セル全体の出力電流Iscを支配しているため、Iscも27-bmA/cm2となっている。このような状態でトップセル2と同様の本測定工程を行なう。<C.ボトムセル6の分光感度特性の測定工程>次に、ボトムセル6の分光感度測定の各工程について説明する。c1.発生電流整合工程ボトムセル6測定時の発生電流整合工程について説明する。各サブセルのうち、ボトムセル6の発生電流が最も高いことから、ボトムセル6の発生電流整合工程はトップセル2とミドルセル4の発生電流整合工程とは異なる。すなわち、トップセル2およびミドルセル4の発生電流整合工程の場合には、最も発生電流の高いボトムセル6の発生電流に残余のサブセルトップセル2およびミドルセル4の発生電流を整合させたが、ボトムセル6の発生電流整合工程の場合には、ボトムセル6の発生電流よりも大きい電流値に整合させる点が異なる。これは、本測定において単色光を照射したときに、ボトムセル6の発生電流の変化が多接合セル全体の出力電流の変化として観測できるようにするためである。ここでは、たとえば、白色バイアス光の照射時のボトムセル6の発生電流値27mA/cm2以上である28mA/cm2に整合するとする。ただし、当該値は回路設定工程で取得される単色光照射時のボトムセル6のピーク電流値よりも大きいものとする。図13は、ボトムセル6の発生電流整合工程後の各サブセルの発生電流が整合された状態を示す図である。図13を参照すると、トップセル2の発生電流It、ミドルセル4の発生電流Imおよびボトムセル6の発生電流Ibが28mA/cm2となり略一致しており、かつセル全体の出力電流Iscもこれと略一致している。これは、LED光源32Aから照射される波長λtの第1のLED光の照度Ltを増大させることによりItを増大させて28mA/cm2と略一致させ、またLED光源32Bから照射される波長λmの第2のLED光の照度Lmを増大させることによりImを増大させて28mA/cm2と略一致させ、またLED光源32Cから照射される波長λbの第3のLED光の照度Lbを増大させることによりIbを増大させて28mA/cm2と略一致させることにより得られる。この状態においては、各サブセルの発生電流が整合しているため、各サブセルともにほぼゼロバイアス状態となっている。次に、分光感度測定装置1が、各サブセルの発生電流を整合するためにLED光源32A、32Bおよび32Cの照度を調整する方式について説明する。図14は、LED光源32Cの照度Lbと多接合セル全体の出力電流Iscとの関係の一例を示す図である。なお、図14では、LtおよびLmが所定の値まで増大されており、ItおよびImが28mA/cm2と略一致している状態であるとする。このとき、LbがLbfとなるまで増大すると、Iscが28mA/cm2まで増大する。次に、発生電流整合工程における分光感度測定装置1の具体的な処理手順の一例について説明する。図15は、発生電流整合工程における分光感度測定装置1の処理手順を示すフローチャートである。ここで、多接合セル10は、トップセル2またはミドルセル4の発生電流整合工程における発生電流整合が行なわれた状態図5の状態であるとする。まず、光源制御部102は、LED光源32Aからの第1のLED光およびLED光源32Bからの第2のLED光の照度をそれぞれ所定の照度だけ増大するステップS152。次に、光源制御部102は、LED光源32Cからの第3のLED光を多接合セル10に照射してステップS154、第3のLED光の照度を増大するステップS156。次に、制御部100は、データ取得部104によって取得された多接合セル全体の出力電流Iscが飽和しているか否かを判断するステップS158。制御部100は、Iscが飽和していないと判断するとステップS158においてNOの場合、ステップS156からの処理を繰り返す。一方、制御部100は、Iscが飽和していると判断するとステップS158においてYESの場合、Iscが所定の値28mA/cm2と略一致するか否かを判断するステップS160。制御部100は、Iscがその所定の値と略一致しないと判断するとステップS160においてNOの場合、ステップS152の処理から繰り返す。一方、制御部100は、Iscがその所定の値と略一致すると判断するとステップS160においてYESの場合、処理を終了する。このとき、各サブセルの発生電流It、ImおよびIbは略一致し、各サブセルには逆バイアス電圧が印加されることなく、ほぼ理想的な短絡状態となっている。ここで、上記の短絡状態を確認するために、発生電流整合後のLED光源32Aの照度Ltf、LED光源32Bの照度Lmf、LED光源32CのLbfの各々が、わずかでも照度が低減するとIscが低下するような照度であることを確認しても良い。c2.回路電流設定工程ボトムセル6の回路電流設定工程は、トップセル2の回路電流設定工程と基本的に同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。すなわち、分光感度測定装置1は、所定の照度だけLED光源32Cからの第3のLED光の照度を低減する。次に光源制御部102が単色光光源36の単色光を所定の波長範囲で走査して照射し、当該波長範囲でのボトムセル6の最大電流値を取得する。次に、分光感度測定装置1は、当該最大電流値が飽和していると判断した場合、さらに第3のLED光の照度を低減して同様の処理を繰り返す。一方、分光感度測定装置1は、当該最大電流値が飽和していないと判断した場合、当該状態のLED光源32Cの照度を、本測定におけるLED光源32Cの照度として設定し、処理を終了する。このとき、出力電流Iscは28mA/cm2から、ボトムセル6のピーク電流値所望の値cmA/cm2だけ低減させた状態となる。c3.本測定工程ボトムセル6の本測定工程は、トップセル2の本測定工程と同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。図16は、ボトムセル6の回路電流設定工程で出力電流が設定された状態の構成の一例を示す図である。すなわち、回路電流設定工程によりボトムセル6の発生電流Ibがcだけ低減されているため、ボトムセル6の発生電流Ibは28-cmA/cm2となっている。また、ボトムセル6の発生電流Ibが多接合セル全体の出力電流Iscを支配しているため、Iscも28-cmA/cm2となっている。このような状態でトップセル2と同様の本測定工程を行なう。c4.変形例上記では、トップセル2およびミドルセル4に対して設けられたLED光源32Aおよび32Bに加え、LED光源32Cを設けてボトムセル6の各工程を行なう例について説明した。しかし、本測定工程においてボトムセル6が単色光光源36からの単色光を照射された際に増加する発生電流の最大値αピーク電流値が予め推定できる場合には、LED光源32Aおよび32Bのみで各工程を行なうこともできる。変形例におけるボトムセル6の発生電流整合工程は、トップセル2の発生電流整合工程と同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。すなわち、図5の状態とする。変形例におけるボトムセル6の回路電流設定工程では、トップセル2およびミドルセル4の発生電流整合工程における発生電流整合状態図5の状態で、LtおよびLmの照度を大きくして、トップセル2およびミドルセル4の発生電流を、単色光が照射された際のボトムセル6の最大電流値である27αmA/cm2以上の発生電流とする。ここで、トップセル2およびミドルセル4の発生電流は、互いに略一致しており、かつ単色光が照射された際のボトムセル6の発生電流の最大電流値27αmA/cm2と略一致していることが望ましいが、27αmA/cm2以上であれば27βmA/cm2と27γmA/cm2のように異なっていてもよい。図17は、変形例におけるボトムセルの回路電流設定工程で出力電流が設定された状態の構成の一例を示す図である。図17を参照して、この状態は、各サブセルのうちボトムセル6の発生電流が最も小さく多接合セル全体の出力電流を支配している、かつボトムセル6に逆バイアス電圧ができるだけ印加されていない状態が達成されている。なお、変形例におけるボトムセルの本測定工程は、トップセル2の本測定工程と同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。以上から、ボトムセル6の分光感度特性を精度良く測定できるとともに、LED光源32Cを新たに設ける必要がないため、コスト的なメリットが生じる。[5.その他]上記で説明した、白色バイアス光の照度は、いわゆる高注入状態とみなすことができる一定の照度であり、1sun付近0.5~1.5sunさらには0.8~1.2sunであることが望ましい。また、集光条件下の場合は、10sun付近9.5~10.5sunさらには9.8~10.2sunであることが望ましい。また、LED光源32A、32Bおよび32CからのそれぞれのLED光の波長λt、λm、λbは、測定対象外のサブセルの感度帯域にない波長が望ましいが、サブセルの特性に応じて、測定対象外の感度帯域にある波長の場合でも影響が極めて小さいと判断される場合は、当該波長を選択してもよい。ここで、GaInP/GaAs/Ge3接合太陽電池セルの場合は、λtは300~500nm、λmは660~820nm、λbは900~1800nmの範囲で選ぶことが望ましい。さらには、λtは300~400nm、λmは680~740nm、λbは920~1000nmの範囲であることが望ましい。さらに、白色バイアス光源からの白色バイアス光およびLED光源からのLED光は、多接合セル10の全面に照射されるのが望ましいが、LED光については単色光光源36からの単色光が照射される範囲であれば部分的な照射であってもよい。この理由として、測定対象外のサブセルを動作状態にする場合は、基本的に多接合太陽電池セル面積内であればどこで少数キャリアを励起してもよいが、測定対象のサブセルでは少なくとも測定範囲における電流整合の精度を高めておくことが望ましいためである。さらには、測定対象のサブセルの逆方向特性が悪く、漏れ電流が大きいこと、測定対象のサブセルに印加される逆バイアス電圧が大きいことなどに起因して信号の同期が安定して取れない場合がある。このような場合には、信号の重み付けをするために、単色光光源36からの単色光を所定の周期でチョッピングして通過させるチョッパーのON/OFFの区間を調整してもよい。図18は、本発明の実施の形態に従うチョッパーのON/OFF周期の概略を示す図である。図18を参照して、一般的にはチョッパー26は単色光の通過区間ON区間と非通過区間OFF区間とを半周期ごとに対称にチョッピングする。しかし、上述したように信号の同期が安定して取れない場合もある。このような場合には、信号の重み付けをするために、図18bのように、一周期におけるON区間通過区間幅とOFF区間非通過区間幅とを非対称にしたり、図18cのように半周期ごとに、ON/OFFが短い周期で繰り返した後OFF区間が続くようにチョッピングして制御してもよい。このように試料の状態や、測定環境電源の周波数、ノイズ等に応じてチョッパー26はON/OFF区間を制御する。さらに、測定対象のサブセルの逆方向特性が著しく悪い場合は、補助的に前述の電気バイアスを追加してもよい。実測結果発明者らによって、λt:470nm、λm:660nm、λb:940nmのLED光源32、単色光照度:100μW/cm2の単色光光源36およびスポット面積1cm2で、測定を行った場合、トップセル2測定時の図10の状態におけるピーク電流値aの値は約35μA、ミドルセル4測定時の図12の状態におけるピーク電流値bの値は約60μA、ボトムセル測定時の図16の状態におけるピーク電流値cの値は約68μAであった。この条件によって、測定した結果、図22に示した分光感度特性と近似する分光感度特性が得られている。その他の形態なお、コンピュータを機能させて、上述のフローで説明したような制御を実行させるプログラムを提供することもできる。このようなプログラムは、コンピュータに付属するフレキシブルディスク、CD-ROMCompactDiskReadOnlyMemory、ROMReadOnlyMemory、RAMRandomAccessMemoryおよびメモリカードなどの一時的でないコンピュータ読取り可能な記録媒体にて記録させて、プログラム製品として提供することもできる。あるいは、コンピュータに内蔵するハードディスクなどの記録媒体にて記録させて、プログラムを提供することもできる。また、ネットワークを介したダウンロードによって、プログラムを提供することもできる。なお、プログラムは、コンピュータのオペレーティングシステムOSの一部として提供されるプログラムモジュールのうち、必要なモジュールを所定の配列で所定のタイミングで呼出して処理を実行させるものであってもよい。その場合、プログラム自体には上記モジュールが含まれずOSと協働して処理が実行される。このようなモジュールを含まないプログラムも、本発明にかかるプログラムに含まれ得る。また、本発明にかかるプログラムは他のプログラムの一部に組込まれて提供されるものであってもよい。その場合にも、プログラム自体には上記他のプログラムに含まれるモジュールが含まれず、他のプログラムと協働して処理が実行される。このような他のプログラムに組込まれたプログラムも、本発明にかかるプログラムに含まれ得る。[6.利点]本実施の形態によれば、以下のような利点が得られる。すなわち、各サブセルに1sun以上の照度の光が照射されるので、太陽光下の状態に近い条件下での分光感度測定を実施することができる。また、各サブセルを極めて短絡に近い状態に設定できるため、逆バイアス電圧の影響を小さくすることができ、精度の良い分光感度測定が可能となる。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。