"間隔を隔てて平行に配置されており、第1の方向に延びる第1,第2の振動部と、前記第1,第2の振動部の端部同士をそれぞれ連結しており、第1の方向と直交する第2の方向に延びる第1,第2の連結部と、前記第1,第2の振動部及び前記第1,第2の連結部で囲まれた開口部と、前記第1の連結部から前記第2の連結部側に向かって前記第1の方向に延ばされている第1の支持部と、前記第2の連結部から前記第1の連結部側に向かって前記第1の方向に延ばされている第2の支持部とを有する枠体と、前記第1,第2の振動部の表面に設けられており、前記第1,第2の振動部をそれぞれ励振する第1,第2の励振部材と、前記第1,第2の振動部の表面に設けられており、前記枠体の振動を検出する検出部材と、前記枠体の外側であって、前記第1,第2の振動部にそれぞれ接続された第1,第2の質量付加部材と、前記第1,第2の振動部と前記第1,第2の質量付加部材とを接続している第1,第2の接続部材とを備える、振動ジャイロ。前記第1,第2の励振部材によって前記第1,第2の振動部を励振することによって前記枠体が座屈音叉振動モードで振動する駆動モードと、前記第1及び第2の方向と直交する第3の方向周りの角速度によって前記枠体が振動する検出モードとを有し、前記第1,第2の支持部に、前記駆動モード及び前記検出モードの振動のノードが存在する、請求項1に記載の振動ジャイロ。前記枠体が矩形枠状であり、前記第1,第2の振動部において、前記第1,第2の振動部の中心を通り前記第1の方向に延びる中心線の一方側の領域に前記第1,第2の励振部材が配置されており、他方側の領域に前記検出部材が配置されている、請求項1または請求項2に記載の振動ジャイロ。前記駆動モードで前記枠体が振動する際の応力反転部が、前記第1の方向において前記第1,第2の振動部を三等分する位置に存在し、前記第1,第2の励振部材が応力反転部間に設けられている、請求項3に記載の振動ジャイロ。前記第1,第2の励振部材及び前記検出部材が、前記第1,第2の振動部の前記第1の方向及び第2の方向に延びる一対の主面のうち一方の主面に形成されている、請求項1~4のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。前記第1,第2の励振部材が、圧電体と、前記圧電体に電圧を印加するための一対の電極とを備える、請求項1~5のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。前記検出部材が、圧電体と、前記圧電体で発生した電荷を取り出すように前記圧電体に設けられた一対の電極とを有する、請求項1~6のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。前記第1,第2の質量付加部材が、矩形板状の形状を有する、請求項1~7のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。前記枠体、前記第1,第2の接続部材及び前記第1,第2の質量付加部材が同じ材料により一体に形成されている、請求項1~8のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。特許文献1に記載の振動ジャイロ1001では、振動部1002a,1002bが屈曲振動し、従って矩形枠状の振動体1002が全体として座屈音叉振動モードで振動する。このような振動ジャイロ1001では、小型化を図った場合、検出感度が低くなるという問題があった。振動ジャイロ1001において、小型化を進めると、振動ジャイロを構成する構造物の寸法及び形状を安定した精度で加工することが難しくなり、感度が変動するものと考えられる。本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、小型化を進めた場合であっても簡略な構造で、感度の変動を生じ難くさせ得る振動ジャイロを提供することにある。本発明に係る振動ジャイロは、枠体と、第1,第2の励振部材と、検出部材と、第1,第2の質量付加部材と、第1,第2の接続部材とを備える。枠体は、間隔を隔てて平行に配置されており、第1の方向に延びる第1,第2の振動部と、第1,第2の振動部の端部同士をそれぞれ連結しており、第1の方向と直交する第2の方向に延びる第1,第2の連結部と、第1,第2の振動部及び第1,第2の連結部で囲まれた開口部と、第1の連結部から第2の連結部側に向かって第1の方向に延ばされている第1の支持部と、第2の連結部から第1の連結部側に向かって第1の方向に延ばされている第2の支持部とを有する。第1,第2の励振部材は、第1,第2の振動部の表面に設けられており、第1,第2の振動部をそれぞれ励振する。検出部材は、第1,第2の振動部の表面に設けられており、枠体の振動を検出する。第1,第2の質量付加部材は、枠体の外側であって、第1,第2の振動部にそれぞれ接続されている。第1,第2の接続部材は、第1,第2の振動部と第1,第2の質量付加部材とを接続している。本発明に係る振動ジャイロのある特定の局面では、第1,第2の励振部材によって第1,第2の振動部を励振することによって枠体が座屈音叉振動モードで振動する駆動モードと、第1及び第2の方向と直交する第3の方向周りの角速度によって枠体が振動する検出モードとを有し、第1,第2の支持部に、駆動モード及び検出モードの振動のノードが存在する。本発明に係る振動ジャイロの他の特定の局面では、枠体が矩形枠状であり、第1,第2の振動部において、第1,第2の振動部の中心を通り前記第1の方向に延びる中心線の一方側の領域に第1,第2の励振部材が配置されており、他方側の領域に前記検出部材が配置されている。本発明に係る振動ジャイロのさらに他の特定の局面では、駆動モードで枠体が振動する際の応力反転部が、第1方向において第1,第2の振動部を三等分する位置に存在し、第1,第2の励振部材が応力反転部間に設けられている。本発明に係る振動ジャイロのさらに他の特定の局面では、第1,第2の励振部材及び検出部材が、第1,第2の振動部の第1の方向及び第2の方向に延びる一対の主面のうち一方の主面に形成されている。この場合には、枠体の一方の主面に、励振部材及び検出部材を形成すればよいため、振動ジャイロの製造工程の簡略化を図ることができる。本発明に係る振動ジャイロのさらに他の特定の局面では、第1,第2の励振部材が、圧電体と、圧電体に電圧を印加するための一対の電極とを備える。この場合には、圧電効果により上記第1,第2の振動部を有する枠体を座屈音叉振動モードで効率よく振動させることができる。本発明に係る振動ジャイロの他の特定の局面では、検出部材が、圧電体と、圧電体で発生した電荷を取り出すように圧電体に設けられた一対の電極とを有する。この場合には、圧電効果により、枠体の振動モードの変化に基づき加わった角速度を電気振動として取り出すことができる。本発明に係る振動ジャイロのさらに別の特定の局面では、第1,第2の質量付加部材が、矩形板状の形状を有する。この場合には、枠体の両側に、単純な矩形板状の形状の第1,第2の質量付加部材を連結するだけでよいため、振動ジャイロを容易に製造することができる。特に、枠体と、第1,第2の質量付加部材と、第1,第2の接続部材を、同じ材料を用いて一体に形成した場合には、製造工程のより一層の簡略化を図ることができる。本発明に係る振動ジャイロでは、枠体の外側であって、第1,第2の振動部にそれぞれ接続された第1,第2の質量付加部材と、第1,第2の振動部と第1,第2の質量付加部材とを接続している第1,第2の接続部材とを備えるため、振動ジャイロにおいて、小型化を進めた場合であっても感度の低下を抑制することができる。従って、小型であり、かつ高感度の振動ジャイロを提供することができる。以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。図1は、本発明の第1の実施形態に係る振動ジャイロ1の斜視図である。図1において、直交座標形のX軸、Y軸、Z軸が付記されている。ここで、X軸方向を第1の方向とし、X軸に直交するY軸方向を第2の方向とし、X軸及びY軸に直交するZ軸方向を第3の方向とする。図2aは、本発明の第1の実施形態に係る振動ジャイロ1の平面図である。図2bは、本発明の第1の実施形態に係る振動ジャイロ1の下面側の電極形状を示す模式的平面図である。なお、図2bは、振動ジャイロ1を上方から平面視した際の透視図である。図3aは、本発明の第1の実施形態に係る振動ジャイロ1の図2a中のA-A線に相当する部分であって、電極構造を除いた部分を示す断面図である。振動ジャイロ1は、枠体2を有する。枠体2は、本実施形態では、矩形枠状の形状を有する。枠体2は、第1,第2の振動部2a,2bと、第1,第2の連結部2c,2dとを有する。第1,第2の振動部2a,2bは、それぞれ図1のX軸方向に延びるストリップ状部分である。すなわち、第1,第2の振動部2a,2bは四角柱状の形状を有する。第1,第2の振動部2a,2bの各一端同士が、X軸方向と直交するY軸方向に延びる第1の連結部2cにより連結されている。同様に、第1,第2の振動部2a,2bの各他端同士が、Y軸方向に延びる第2の連結部2dにより連結されている。それによって、矩形の開口部Aを有する枠体2が構成されている。本実施形態では、第1,第2の振動部2a,2b及び第1,第2の連結部2c,2dは一体に形成されている。また、本実施形態では、第1,第2の振動部2a,2bがX軸方向に延びる四角柱状の形状を有する。第1,第2の連結部2c,2dはY軸方向に延びる四角柱状の形状を有している。もっとも、第1,第2の振動部2a,2b及び第1,第2の連結部2c,2dは、それぞれ、枠体2の中心を通るX軸方向に延びる中心線及びY軸方向に延びる中心線に対して線対称である限り、直線上のストリップラインから若干ずれた形状を有していてもよい。従って、枠体2は略矩形枠状の形状であってもよい。第1,第2の振動部2a,2bの上面には、第1の連結部2cのから、第2の連結部2dに向かって延びるように第1の支持部2eが連ねられている。同様に、第2の連結部2dのから、第1の連結部2cに向かって延びるように第2の支持部2fが連ねられている。第1,第2の支持部2e,2fは振動ジャイロ1を外部に固定する部分である。すなわち、第1,第2の支持部2e,2fにより、振動ジャイロ1が外部の部材により支持される。本実施形態では、後述するように、第1,第2の支持部2e,2fに、駆動モード時及び検出モード時の振動のノードが位置している。従って、駆動モード及び検出モードの振動を妨げずに、振動ジャイロ1を支持することができる。本実施形態では、第1,第2の支持部2e,2fは、第1,第2の連結部2c,2dの開口部A側端縁から開口部Aの中央に向かって延びる舌片の形態である。また、第1,第2の支持部2e,2fの平面形状は、本実施形態では矩形とされている。もっとも、第1,第2の支持部2e,2fの形状は矩形に限定されるものではない。また、上記枠体2の第1,第2の振動部2a,2bには、接続部材としての第1,第2の接続部13,14を介して、質量付加部材としての第1,第2の質量付加部11,12が接続されている。第1,第2の質量付加部11,12は、本実施形態ではX軸方向が長辺方向であり、Y軸方向が短辺方向である矩形の平面形状を有する。ここで、第1,第2の質量付加部11,12のX軸方向長辺の長さ寸法をL1とし、第1,第2の質量付加部11,12のY軸方向短辺の長さ寸法をL2とする。また、第1,第2の接続部13,14の延びる方向はY軸方向である。第1,第2の接続部13,14のX軸方向の長さ寸法、すなわち、幅をL3とすると、L3は、第1,第2の接続部13,14のY軸方向の長さ寸法よりも短くされている。また、枠体2のX軸方向長辺の長さ寸法をL4とすると、L3は、L1及びL4よりも短くされている。すなわち、ブリッジ状の第1,第2の接続部13,14により第1,第2の質量付加部11,12がそれぞれ枠体2に連結されている。本実施形態では、上記枠体2、第1,第2の質量付加部11,12及び第1,第2の接続部13,14は、一体に形成されている。このような構造は、図3aに示すように、シリコン基板2g上に圧電膜2hを成膜した後、ウェットエッチング、反応性イオンエッチングまたはサンドブラストなどの方法で加工することにより得ることができる。なお、圧電膜2hのシリコン基板2g上への形成は、スパッタリング法などの薄膜形成法や、圧電材料ペーストを印刷した後焼成する方法やシリコン基板にバルクの圧電セラミックスを張り合わせた後、圧電セラミックスをグラインディングにより薄くする方法などを用いることができる。また、圧電膜2hは、チタン酸ジルコン酸鉛からなるものであってもよいし、ニオブ酸カリウムナトリウムなどのアルカリニオブ酸系圧電体からなるものであってもよく、これらの圧電体により適宜構成され得る。また、図2aに示した平面形状への加工は、ウェットエッチング、反応性イオンエッチングまたはサンドブラストに限らず、打ち抜き加工などの機械加工を用いて形成することもできる。さらなる実施形態としては、シリコン基板2gを枠体の形状に加工した圧電性を有する結晶体や焼結体により構成して、その枠体の表裏面に電極を配置することもできる。圧電性を有する結晶体としては、LiTaO3、LiNbO3、水晶などが挙げられ、LiTaO3およびLiNbO3では128°Yカットのものを用い、水晶ではX板またはZ板を用いればよい。通常、水晶は周波数温度特性が良いためZ板を用いるが、本発明では駆動モードと検出モードの周波数が差検出できればよいので、駆動モードと検出モードの圧電の方位が同じため周波数温度特性の差を相殺できる。よって、X板を用いることもできる。また、水晶のZ板の電極は側面に検出電極の形成が必要であるが、X板であれば、枠他の表裏に電極を形成する圧電セラミックスと製造工程を共用できるので生産性に優れ、好ましい。第1,第2の振動部2a,2bの上面には、第1,第2の励振部材として第1,第2の駆動電極3,4が形成されている。第1,第2の駆動電極3,4は、第1,第2の振動部2a,2bの上面において、開口部Aと反対側の外側端縁側に形成されている。本実施形態では、第1の駆動電極3は、第1の振動部2aの上面において、第1の振動部2aの中心を通りX軸方向に延びる中心線の外側開口部Aと反対側の領域に形成されている。同様に、第2の駆動電極4も、第2の振動部2bの上面において、第2の振動部2bの中心を通り、X軸方向に延びる中心線の外側開口部Aと反対側の領域に形成されている。また、第1,第2の駆動電極3,4は、第1,第2の振動部2a,2bの長さ方向すなわちX軸方向において中央に形成されている。言い換えれば、第1,第2の振動部2a,2bの上面の中心を通りY軸方向に延びる中心線に対して対称な形状に、第1,第2の駆動電極3,4が形成されている。他方、第1の振動部2aの上面には、第1,第2の検出部材として第1の検出電極5及び第2の検出電極7が形成されている。第1の検出電極5及び第2の検出電極7は、第1の振動部2aの上面において、第1の振動部2aの中心を通りX軸方向に延びる中心線の内側開口部A側の領域に形成されている。また、第1の検出電極5が、第1の振動部2aの上面の中心を通りY軸方向に延びる中心線の一方側に設けられており、第2の検出電極7が該中心線の他方側に設けられている。第1の検出電極5と第2の検出電極7とはストリップ状の形状を有し、かつ第1の振動部2aの上面の中心を通りY軸方向に延びる中心線に対して線対称に配置されている。同様に、第2の振動部2bの上面においても、第1,第2の検出部材として第1の検出電極6及び第2の検出電極8が形成されている。第1の検出電極6及び第2の検出電極8は、第1の振動部2a上の第1の検出電極5及び第2の検出電極7と同様に構成されている。もっとも、X軸方向において、第1の検出電極6及び第2の検出電極8は、第1の検出電極5及び第2の検出電極7とは反対に配置されている。すなわち、第1の検出電極6が第1の連結部2c側に、第2の検出電極8が第2の連結部2d側に配置されている。第1,第2の検出電極5,7と第1の駆動電極3とは、第1の振動部2aの上面において電気的に分離されて設けられている。同様に、第1,第2の検出電極6,8も、第2の駆動電極4とは第2の振動部2bの上面において電気的に分離されている。もっとも、第1,第2の検出電極5,7及び第1,第2の検出電極6,8は、駆動時にも用いられる。さらに、図2bに示すように、第1の振動部2aの下面には、共通電極9が形成されている。共通電極9は、第1の駆動電極3、第1の検出電極5及び第2の検出電極7と表裏対向する形状となるように形成されている。同様に、第2の振動部2bの下面においても、共通電極10が形成されている。共通電極10は、第2の駆動電極4、第1の検出電極6及び第2の検出電極8と表裏対向する形状となるように形成されている。なお、本実施形態では、共通電極9と共通電極10とが独立に形成されていたが、共通電極9及び共通電極10は一体化されてもよい。すなわち、1つの共通電極が、第1,第2の駆動電極3,4と、第1の検出電極5及び第2の検出電極7と、第1の検出電極6及び第2の検出電極8との全てに対向するように形成されていてもよい。この場合、共通電極は、枠体2の下面の全面に形成されていてもよく、さらに枠体2と一体に形成されている第1,第2の接続部13,14及び第1,第2の質量付加部11,12の下面にも至るように形成されていてもよい。図3bは、本発明の第1の実施形態の変形例に係る振動ジャイロであって、図2aのA-A線に沿う部分に相当する部分を示す断面図である。図3bに示すように、図2aに示した構造の下面の全面に一つの共通電極9Aを形成してもよい。共通電極は、少なくとも駆動電極と検出電極とに表裏対向していれば良い。上記第1,第2の駆動電極3,4、第1,第2の検出電極5~8及び共通電極9,10は、Ag、Cuなどの適宜の金属もしくは合金からなる。図4aは、上記実施形態の他の変形例に係る振動ジャイロ1Aを説明するための模式的平面図である。図4aは、図2aと同一であり、同一部分については同一の参照番号を付することとする。図4a中のB-B線に沿う部分を代表して、図4b~dに示す各変形例を説明する。図4bに示すように、非圧電性の基板材料からなる枠体2x上に、共通電極9Bと、圧電層2yとを積層し、圧電層2y上に第1の駆動電極3及び第1の検出電極5を形成してもよい。図4cは、前述した図3bに示した構造に相当する。すなわち、圧電体からなる枠体2の下面に共通電極9Aが、上面に第1の駆動電極3及び第1の検出電極5が形成されている。また、図4dに示すように、圧電体からなる枠体2zにおいて、上面に溝2z1を形成してもよい。ここでは、溝2z1の底面及び両側壁から枠体2zの上面に至るように、第1の検出電極5が形成されている。そして、上記溝2z1を介して隔てられた一方の圧電板部分2z2の上面から外側の側面に至るように、第1の駆動電極3Aが形成されている。同様に、溝2z1を介して隔てられた他方の圧電板部分2z3の上面から外側の側面に至るように、第1の駆動電極3Bが形成されている。この場合には、枠体2zとして、分極方向が枠体2の面方向である圧電セラミックスを用いたり、Z板水晶を用いればよい。図4b~dに示したように、本発明においては、励振部材としての圧電振動部材は様々な構造で実現することができる。本実施形態の振動ジャイロ1を使用するに際しては、第1,第2の駆動電極3,4と、第1,第2の共通電極9,10との間に交番電界を印加する。その結果、第1,第2の振動部2a,2bが屈曲モードで振動し、枠体2全体としては座屈音叉振動モードで振動することとなる。すなわち、第1,第2の振動部2a,2bを励振することによって枠体2が振動しているときの振動モードが駆動モードである。このように、振動ジャイロ1において、枠体2が駆動モードで振動している状態において、振動ジャイロ1にZ軸周りの角速度が印加されると、コリオリ力により、枠体2が駆動モードとは異なる振動モードで振動する。このときの振動モードが検出モードである。枠体2が検出モードで振動している時には、振動ジャイロ1に加わった角速度の大きさに応じた出力が、第1の検出電極5,6と、第2の検出電極7,8とから取り出される。図5aは、本発明の第1の実施形態に係る振動ジャイロ1の駆動モード時の振動モードを示す模式的斜視図であり、図5aのハッチング領域H1~H4で示す部分は、それぞれ以下の意味を表わす。ハッチング領域H1:最も大きく変位している領域ハッチング領域H2:ハッチング領域H1よりも変位が小さい領域ハッチング領域H3:ハッチング領域H2よりも変位が小さい領域ハッチング領域H4:変位0またはほとんど変位していない領域すなわち、変位の大きさは、ハッチング領域H1>ハッチング領域H2>ハッチング領域H3>ハッチング領域H4となる。また、図5bは、本発明の第1の実施形態に係る振動ジャイロ1の検出モード時の振動モードを示す模式的斜視図である。図5bのハッチング領域H1~H4で示す部分は、図5aと同じ意味を表わす。図5aに示すように、駆動モード時には枠体2が座屈音叉振動モードで振動する。そして、振動ジャイロ1に角速度が加わって検出モードとなった場合には、図5bに示すように角速度の方向及び大きさに応じて振動モードが変化する。いずれにしても、本実施形態では、図5a及びbに示すように、変位0またはほとんど変位していない領域であるハッチング領域H4が第1,第2の支持部2e,2f内に位置している。従って、本実施形態の振動ジャイロ1では、第1,第2の支持部2e,2fを外部に接合し、振動ジャイロ1の振動モードにほとんど影響を与えることなく振動ジャイロ1を支持することができる。また、図6aは、有限要素法により測定された本発明の第1の実施形態に係る振動ジャイロ1の駆動モード時の応力分布を示す模式的平面図であり、図6bは、検出モード時の応力分布を示す模式的平面図である。図6aの矢印D1~D4が駆動モード時の応力反転部であり、図6bの矢印E1,E2が検出モード時の応力反転部である。応力反転部とは、2つの振動モード間で振動する場合、その両側の枠体部分間で応力の向きが逆方向となる位置である。図6a及びbでは、第1,第2の振動部2a,2bにおいて、引っ張り応力が加わっている部分のみを斜線のハッチングを付して示すこととする。図6aに示すように、駆動モード時の振動モードの場合、第1の振動部2aでは、第1の振動部2aの長さ方向中央部分の開口部A側の領域と、長さ方向両端近傍の開口部Aと反対側の領域とにおいて引っ張り応力が生じている。従って、矢印D1,D2で示す部分が応力反転部である。また、第2の振動部2bにおいても同様に、駆動モード時の振動モードの場合、第2の振動部2bの長さ方向中央部分の開口部A側の領域と、長さ方向両端近傍の開口部Aと反対側の領域とにおいて引っ張り応力が生じている。従って、矢印D3,D4で示す部分が応力反転部である。図6aに示すように、駆動モード時には、第1の振動部2aでは、応力反転部D1,D2は、第1の振動部2aの長さ方向すなわちX軸方向において第1の振動部2aを三等分する位置に存在する。同様に、第2の振動部2bにおいても、駆動モード時には、応力反転部D3,D4は、第2の振動部2bの長さ方向すなわちX軸方向において第2の振動部2bを三等分する位置に存在する。また、図6bに示すように、検出モード時の振動モードの場合、第1の振動部2aでは、第1の振動部2aの長さ方向中央部分から第1の連結部2c側の端部近傍に至る開口部A側の領域と、第1の振動部2aの長さ方向中央部分から第2の連結部2d側の端部近傍に至る開口部Aと反対側の領域とにおいて引っ張り応力が生じている。従って、矢印E1で示す部分が応力反転部である。また、第2の振動部2bにおいても同様に、検出モード時の振動モードの場合、第2の振動部2bの長さ方向中央部分から第2の連結部2d側の端部近傍に至る開口部A側の領域と、第2の振動部2bの長さ方向中央部分から第1の連結部2c側の端部近傍に至る開口部Aと反対側の領域とにおいて引っ張り応力が生じている。従って、矢印E2で示す部分が応力反転部である。図6bに示すように、検出モード時には、応力反転部E1,E2は、第1,第2の振動部2a,2bの長さ方向すなわちX軸方向において、第1,第2の振動部2a,2bの各中央に存在している。従って、本実施形態では、第1の駆動電極3は、駆動モード時の応力反転部D1,D2間に位置するように設けられており、第2の駆動電極4は、駆動モード時の応力反転部D3,D4間に位置するように設けられている。また、検出モード時の応力反転部E1が、第1の振動部2aの長さ方向の中央に位置しているため、第1の検出電極5は、第1の振動部2aの長さ方向中央部分から第2の連結部2d側に位置するように設けられており、第2の検出電極7は、第1の振動部2aの長さ方向中央部分から第1の連結部2c側に位置するように設けられている。第2の振動部2bにおいても同様に、検出モード時の応力反転部E2が、第2の振動部2bの長さ方向の中央に位置しているため、第1の検出電極6は、第2の振動部2bの長さ方向中央部分から第1の連結部2c側に位置するように設けられており、第2の検出電極8は、第2の振動部2bの長さ方向中央部分から第2の連結部2d側に位置するように設けられている。また、第1,第2の検出電極5,7と、第1,第2の検出電極6,8とは、開口部Aの中央に対して点対称に位置している。本実施形態の特徴は、上記枠体2の外側に第1,第2の接続部13,14を介して第1,第2の質量付加部11,12が設けられていること、並びに枠体2内の開口部Aに上記第1,第2の支持部2e,2fが設けられていることにある。前記したように、従来の矩形枠状の振動体を有する座屈音叉振動モードを利用した振動ジャイロでは、小型化を進めると、共振周波数が高くなり、検出感度が低下するという問題があった。これに対して、本実施形態の振動ジャイロ1では、第1,第2の質量付加部11,12が第1,第2の接続部13,14を介して枠体2に連結されている。従って、小型化を進めた場合であっても、第1,第2の質量付加部11,12の質量付加作用により変動し難くなる。よって、共振周波数が低くなる。そのため、共振周波数の上昇による感度の低下を抑制することができる。また、本実施形態の振動ジャイロ1では、上記第1,第2の支持部2e,2fに、駆動モード時及び検出モード時の振動のノードが存在する。従って、第1,第2の支持部2e,2fを外部と接続する部分として用い、振動ジャイロ1を支持することができる。その場合であっても、振動のノードで振動ジャイロ1の支持が行われるので、振動の漏洩や振動の抑制が生じ難い。よって、振動ジャイロ1により、角速度を高感度でかつ安定に検出することができる。上記振動ジャイロ1を用いた角速度検出動作を説明する。図5に示すように、駆動モード時には、枠体2は座屈音叉振動モードで振動する。ここで、枠体2の厚み方向すなわちZ軸方向を中心とする角速度が振動ジャイロ1に加わると、枠体2及び第1,第2の質量付加部11,12にコリオリ力が働く。第1,第2の質量付加部11,12は、駆動モード時の振動方向とは垂直な方向であって互いに逆方向に引っ張られることになる。そのため、図5bに示す検出モード時の振動が誘導される。この場合、第1の検出電極5,6と第2の検出電極7,8とでは逆極性の電荷が発生する。その差から角速度に応じた出力を得ることができる。上記のように、本実施形態の振動ジャイロ1では、第1,第2の質量付加部11,12を設けたことにより、小型化を進めた場合であっても共振周波数を低くすることができる。それによって、感度の低下を抑制することができる。しかも、駆動モード時及び検出モード時の双方において振動のノードが位置するように第1,第2の支持部2e,2fが設けられているので、それによっても感度の低下を抑制することができる。しかも、第1,第2の支持部2e,2fで振動ジャイロ1を機械的に支持した場合、振動の漏洩や振動の抑制が生じ難いので、それによっても、検出感度の低下を抑制することができる。また、角速度を安定に検出することが可能となる。図7~図9に、本発明の第2の実施形態に係る振動ジャイロ21を示す。図7は、本発明の第2の実施形態に係る振動ジャイロ21の斜視図である。図8は、本発明の第2の実施形態に係る振動ジャイロ21の駆動モード時の振動モードを示す模式的斜視図である。図9は、本発明の第2の実施形態に係る振動ジャイロ21の検出モード時の振動モードを示す模式的斜視図である。図8及び図9に示すハッチング領域H1~H4は、図5に示したハッチング領域H1~H4と同様の意味を表わしている。本実施形態の振動ジャイロ21では、第1,第2の支持部2e,2fが設けられていないことを除いては、第1の実施形態と同様である。従って、同一部分については、同一の参照番号を付することにより、第1の実施形態において行った説明を引用することとする。第2の実施形態の振動ジャイロ21においても、第1,第2の接続部13,14を介して第1,第2の質量付加部11,12が枠体2に連結されている。従って、小型化を進めた場合であっても、共振周波数の上昇を抑制し、あるいは共振周波数を低くすることができる。従って、第1の実施形態と同様に、小型化を進めた場合であっても、角速度を高い感度で検出することができる。もっとも、図8及び図9に示すように、駆動モード時及び検出モード時において、ほとんど振動しない、すなわち振動のノード点が共通の位置に現れ難い。従って、本実施形態の振動ジャイロ21に比べて、第1の実施形態の振動ジャイロ1が好ましい。図10~図12に、本発明の第3の実施形態に係る振動ジャイロ31を示す。図10は、本発明の第3の実施形態に係る振動ジャイロ31の斜視図である。図11は、本発明の第3の実施形態に係る振動ジャイロ31の駆動モード時の振動モードを示す模式的斜視図である。図12は、本発明の第3の実施形態に係る振動ジャイロ31の検出モード時の振動モードを示す模式的斜視図である。図11及び図12に示すハッチング領域H1~H4は、図5に示したハッチング領域H1~H4と同様の意味を表わしている。第3の実施形態の振動ジャイロ31は、第1,第2の支持部2e,2fのX軸方向の長さ寸法及び第1,第2の連結部2c,2dのX軸方向の長さ寸法幅が第1の実施形態と異なることを除いては、第1の実施形態と同様に構成されている。従って、同一部分については同一の参照番号を付することにより第1の実施形態の説明を援用することにより、その詳細な説明は省略する。第3の実施形態の振動ジャイロ31では、第1,第2の支持部2e,2fのX軸方向の長さ寸法及び第1,第2の連結部2c,2dのX軸方向の長さ寸法幅が、第1の実施形態の振動ジャイロ1よりも長くされている。具体的には、第1,第2の連結部2c,2dの幅が0.2mmとされており、第1,第2の支持部2e,2fの長さが1.4mm、幅が0.5mmとされている。このように、第1,第2の連結部2c,2dの幅及び第1,第2の支持部2e,2fの形状を変更した場合であっても、図11及び図12から明らかなように、駆動モード時及び検出モード時において、第1,第2の支持部2e,2fに、ハッチング領域H4すなわちほとんど変位しない振動のノードが位置していることがわかる。従って、第3の実施形態においても、第1の実施形態と同様に、第1,第2の支持部2e,2fを利用して外部と接合し、振動ジャイロ31を機械的に支持することができる。振動の漏洩や振動の抑制が生じ難いため、本実施形態においても、角速度を高い感度で検出することが可能となる。加えて、本実施形態においても、第1,第2の質量付加部11,12が設けられているので、小型化を進めた場合であっても、共振周波数の上昇を抑制し、あるいは共振周波数を低めることができる。従って、それによっても、角速度を高い感度で検出することが可能となる。上記実施形態では、シリコン基板2g上に圧電膜2hを形成したが、枠体2を金属板で構成し、枠体2上に上記第1,第2の駆動電極及び第1,第2の検出電極構成部分にそれぞれ圧電素子を積層した構造であってもよい。すなわち、圧電効果により枠体2を振動させ、かつ枠体2の振動による電荷を圧電効果により取り出し検出するための圧電素子部分は、枠体2とは別の圧電素子により形成されてもよい。その場合、枠体2を構成する金属板などの上面に、共通電極、圧電層及び検出もしくは駆動電極を積層し、圧電素子を構成すればよい。"