"インダクターとコンデンサーとを含む共振回路であって、該共振回路は、測定周波数で共振するように構成されている、共振回路と、強磁性コアであって、該強磁性コアは、ギャップを規定する第一の部分であって、該第一の部分は、該第一の部分の外側の磁場が横に広がることが妨げられるように、該インダクターによって確立される磁場を該第一の部分に沿って方向付けることと、該磁場を、該ギャップにわたり概して均一に方向付けることとを行うように構成されている、第一の部分と、第二の部分であって、該第二の部分は、該磁場を該第二の部分に沿って、該第一の部分と協働して閉ループに方向付けるように構成されている、第二の部分とを含む、強磁性コアと、該強磁性コアの該第一の部分によって規定されたギャップに近接する範囲を照射するように構成されている放射線供給源とを含む、装置。前記インダクターは、前記第一の部分の周りに円状に延在する少なくとも1つのコイルを含む、請求項1に記載の装置。前記放射線供給源は、前記ギャップの周りの範囲を照射するように構成されており、該ギャップの周りの範囲は、前記第一の部分によって規定される長手方向軸にわたり対称的である、請求項1に記載の装置。前記第一の部分は、長手方向軸を規定し、前記強磁性コアは、該長手方向軸に関して、概して放射状に対称的である、請求項1に記載の装置。前記放射線供給源は、少なくとも2つの発光ダイオードを含み、該少なくとも2つの発光ダイオードは、それぞれに異なる波長の放射線を放出するように構成されている、請求項1に記載の装置。前記強磁性コアは、対向する第一および第二のパーツを含み、該第一のパーツは、前記第一および第二の部分の少なくとも一部を形成し、該第二のパーツは、該第一および第二の部分の少なくとも一部を形成する、請求項1に記載の装置。前記第一および第二のパーツは、前記強磁性コアの第一の部分によって規定される前記ギャップに沿って方向付けられる面にわたって概して対称的である、請求項6に記載の装置。前記第一および第二のパーツは、それぞれ、細長いベースと、該細長いベースの各々から延在している中央支柱と、1対の側部支柱とを含み、該1対の側部支柱は、該第一および第二のパーツの各々が概してE形状を形成するように、該中央支柱の対向する側部において該細長いベースの各々から延在し、概して該中央支柱に平行であり、前記第一の部分が該中央支柱を含み、前記第二の部分が該側部支柱を含む、請求項6に記載の装置。前記第一および第二のパーツは、それぞれ、概して平面のベースを含み、前記第一の部分は、該ベースから、概して垂直に延在し、前記第二の部分は、概して環状のフランジを形成し、該環状のフランジは、該ベースから、概して垂直に、該第一の部分の周りに円状に延在する、請求項6に記載の装置。前記第二の部分は、ギャップを規定し、該ギャップは、前記第一の部分によって規定された前記ギャップと整列される、請求項9に記載の装置。前記放射線供給源は、発光ダイオードを含み、該発光ダイオードは、前記ベースのうちの1つを通って延在し、前記第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間に配置される、請求項9に記載の装置。前記放射線供給源は、少なくとも2つの発光ダイオードを含み、該少なくとも2つの発光ダイオードは、前記ベースのうちのそれぞれ1つを通って延在し、前記第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間に、それぞれ配置される、請求項9に記載の装置。前記放射線供給源は、複数の発光ダイオードを含み、該複数の発光ダイオードは、前記第一の部分の周りに円状に配置され、前記ベースのうちの1つを通って、該第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間に延在する、請求項9に記載の装置。前記放射線供給源は、別の複数の発光ダイオードを含み、該別の複数の発光ダイオードは、前記第一の部分の周りに円状に配置され、前記ベースのうちの別の1つを通って、該第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間に延在する、請求項13に記載の装置。前記放射線供給源は、スイッチング周波数で放射線を断続的に放出するように構成されている、請求項1に記載の装置。前記装置は、前記強磁性コアの第一の部分によって規定される前記ギャップ内で半導体材料のサンプルを受け取るように構成されており、前記放射線供給源は、該サンプルを断続的に照射するように構成されており、前記放射線は、該サンプル中の光伝導性と該スイッチング周波数とを、該サンプルに対する少数担体の寿命の逆数とほぼ等しくするかまたは該逆数よりも小さくするように構成されており、前記共振回路は、測定周波数電圧に関連しており、駆動電流供給源を含み、該駆動電流供給源は、駆動電流を提供するように構成されており、該駆動電流は、該共振回路にわたる該測定周波数電圧を一定に維持するように調整可能である、請求項15に記載の装置。データ獲得システムをさらに含み、該データ獲得システムは、前記サンプルの少数担体の寿命の逆数よりも大きい数によって、該サンプルの放射を開始および停止した後に、駆動電流値を収集するように構成されている、請求項16に記載の装置。前記データ獲得システムは、前記サンプルの照射を開始および停止した直後に、駆動電流値をデータ収集周波数で収集するようにさらに構成されており、該データ収集周波数は、該サンプルに対する少数担体の寿命の逆数よりも大きい、請求項17に記載の装置。強磁性コアと、該強磁性コアに一体化された放射線供給源とを含む装置であって、該強磁性コアは、ギャップを規定する第一の部分であって、該第一の部分は、該第一の部分の外側の磁場が横に広がることを妨げるように、該第一の部分の周りに巻きつけられたインダクターによって確立される磁場を該第一の部分に沿って方向付けることと、該磁場を、該ギャップにわたり概して均一に方向付けることとを行うように構成されている、第一の部分と、第二の部分であって、該第二の部分は、該磁場を該第二の部分に沿って、該第一の部分と協働して閉ループに方向付けるように構成されている、第二の部分とを含む、装置。前記放射線供給源は、前記強磁性コアの第一の部分によって規定される前記ギャップの周りの放射状に対称的な範囲を照射するように構成されている、請求項19に記載の装置。前記第一の部分は、長手方向軸を規定し、前記強磁性コアは、該長手方向軸に関して、概して放射状に対称的である、請求項19に記載の装置。前記放射線供給源は、少なくとも2つの発光ダイオードを含み、該少なくとも2つの発光ダイオードは、それぞれに異なる波長の放射線を放出するように構成されている、請求項19に記載の装置。前記装置は、前記放射線供給源が前記サンプルを照射可能であるように、前記強磁性コアの第一の部分によって規定される前記ギャップ内で半導体材料の該サンプルを受け取るように構成されている、請求項19に記載の装置。前記強磁性コアは、対向する第一および第二のパーツを含み、該第一のパーツは、前記第一および第二の部分の少なくとも一部を形成し、該第二のパーツは、該第一および第二の部分の少なくとも一部を形成する、請求項19に記載の装置。前記第一および第二のパーツは、前記強磁性コアの第一の部分によって規定される前記ギャップに沿って方向付けられる面にわたって概して対称的である、請求項24に記載の装置。前記第一および第二のパーツは、それぞれ、細長いベースと、該細長いベースの各々から延在する中央支柱と、1対の側部支柱とを含み、該1対の側部支柱は、該第一および第二のパーツの各々が概してE形状を形成するように、該中央支柱の対向する側部において該細長ベースの各々から延在し、該中央支柱に概して平行であり、前記第一の部分が該中央支柱を含み、前記第二の部分が該側部支柱を含む、請求項24に記載の装置。前記第一および第二のパーツは、それぞれ、概して平面のベースを含み、前記第一の部分は、該ベースから概して垂直に延在し、前記第二の部分は概して環状のフランジを形成し、該環状のフランジは、該ベースから概して垂直に延在し、該第一の部分の周りに円状に延在する、請求項24に記載の装置。前記第二の部分は、ギャップを規定し、該ギャップは、前記第一の部分によって規定される前記ギャップと整列される、請求項27に記載の装置。前記放射線供給源は、発光ダイオードを含み、該発光ダイオードは、前記ベースのうちの1つを通って延在し、前記第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間に配置される、請求項27に記載の装置。前記放射線供給源は、少なくとも2つの発光ダイオードを含み、該少なくとも2つの発光ダイオードは、前記ベースのうちのそれぞれの1つを通って延在し、前記第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間にそれぞれ配置される、請求項27に記載の装置。前記放射線供給源は、複数の発光ダイオードを含み、該複数の発光ダイオードは、前記第一の部分の周りに円状に配置され、前記ベースのうちの1つを通って、該第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間に延在する、請求項27に記載の装置。前記放射線供給源は、別の複数の発光ダイオードを含み、該別の複数の発光ダイオードは、前記第一の部分の周りに円状に配置され、前記ベースのうちの別の1つを通って、該第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間を延在する、請求項31に記載の装置。装置を提供することであって、該装置は、インダクターとコンデンサーとを含む共振回路であって、該共振回路は、該共振回路にわたる測定周波数電圧に関連する測定周波数で共振するように構成されている、共振回路と、強磁性コアであって、該強磁性コアは、ギャップを規定する第一の部分であって、該第一の部分は、該第一の部分の外側の磁場が横に広がることが妨げられるように、該インダクターによって確立される該磁場を該第一の部分に沿って方向付けることと、該磁場を、該ギャップにわたり概して均一に方向付けることとを行うように構成されている、第一の部分と、第二の部分であって、該第二の部分は、該磁場を該第二の部分に沿って、該第一の部分と協働して、閉ループに方向付けるように構成されている、第二の部分とを含む、強磁性コアと、該強磁性コアの第一の部分によって規定される該ギャップに近接する範囲を照射するように構成されている放射線供給源とを含む、ことと、サンプルを該共振回路に電磁的に結合することであって、該サンプルの第一の部分は、該インダクターによって確立される磁場が、概して均一に該サンプルの第一の部分を通って延在するように該ギャップ内に配置される、ことと、該共振回路の駆動電流を調整することによって、該測定周波数電圧を一定に維持することと、スイッチング周波数で、該第一の部分に近接する範囲における該サンプルを放射線を用いて、断続的に照射することであって、該放射線は、該サンプル中に光伝導をもたらすように構成されており、該スイッチング周波数は、該サンプルに対する少数担体の寿命の逆数とほぼ等しいかまたは該逆数よりも小さい、こととを含む、方法。前記サンプルに対する少数担体の寿命を決定することをさらに含む、請求項33に記載の方法。前記サンプルに対する少数担体の寿命を決定することは、該サンプルを照射している間と、該サンプルが照射されていないときとの両方において、前記駆動電流を測定することを含む、請求項34に記載の方法。前記駆動電流を測定することは、前記サンプルの照射の開始および停止した直後に該駆動電流をサンプルレートでサンプリングすることをさらに含み、該サンプルレートは、該サンプルに対する少数担体の寿命の逆数よりも大きく、前記方法は、一時的な駆動電流データに対する関数的な近似値を決定することをさらに含み、該一時的な駆動電流データは、該サンプルの照射を停止した後に測定され、該サンプルに対する少数担体の寿命の逆数に等しい時間内に測定される、請求項35に記載の方法。前記駆動電流を測定することは、前記サンプルの照射を開始および停止した後の半安定状態の駆動電流を測定することによって、その間の差を発見することを含み、該駆動電流を測定することは、該差をスケーリングすることと、スケーリングされた差を出力として提供することとをさらに含む、請求項35に記載の方法。前記サンプルを断続的に照射することは、該サンプルを、第一の特性的波長の放射線を用いて断続的に照射することと、続いて、該サンプルを、該第一の特性的波長とは異なる第二の特性的波長の放射線を用いて断続的に照射することとを含む、請求項33に記載の方法。前記サンプルの異なる位置が前記強磁性コアの第一の部分によって規定される前記ギャップに配置されるように、該サンプルを反復して再位置決めすることをさらに含み、前記駆動電流を測定することは、該サンプルの各反復される再位置決めに応答して、該駆動電流を反復して測定することを含む、請求項33に記載の方法。前記装置を提供することは、対向する第一および第二のパーツを有している強磁性コアを含む装置を提供することを含み、該第一のパーツは、前記第一および第二の部分の少なくとも一部を形成し、該第二のパーツは、該第一および第二の部分の少なくとも一部を形成し、該第一および第二のパーツはそれぞれ概して平面のベースを含み、該第一の部分は、該ベースから概して垂直に延在し、該第二の部分は、概して環状のフランジを形成し、該環状のフランジは、該ベースから概して垂直に延在し、該第一の部分の周りに円状に延在する、請求項33に記載の方法。前記装置を提供することは、複数の発光ダイオードを有している放射線供給源を含む装置を提供することを含み、該複数の発光ダイオードは、前記第一の部分の周りに円状に配置され、前記ベースのうちの1つを通って、該第一の部分と、前記第二の部分によって形成される前記フランジとの間に延在する、請求項40に記載の方法。前記装置を提供することは、対向する第一および第二のパーツを有している強磁性コアを含む装置を提供することを含み、該第一および第二のパーツは、それぞれ、細長いベースと、該細長いベースの各々から延在する中央支柱と、1対の側部支柱とを含み、該1対の側部支柱は、該第一および第二のパーツの各々が概してE形状を形成するように、該中央支柱の対向する側部において該細長いベースの各々から延在し、概して該中央支柱に平行であり、前記第一の部分が該中央支柱を含み、前記第二の部分が該側部支柱を含む、請求項33に記載の方法。対向する第一および第二のパーツを含む強磁性コアであって、該対向する第一および第二のパーツは該第一のパーツと第二のパーツとの間にギャップを規定し、該第一および第二のパーツの各々は、ベースと、該ベースから延在する概して環状のフランジと、該ベースから延在し、該フランジの内側に放射状に延在する、管状の部分とを含む、強磁性コアと、該管状の部分の周りに延在する第一の伝導体コイルであって、該管状の部分は、該第一のパーツに関連付けられる、第一の伝導体コイルと、該管状の部分の周りに延在する第二の伝導体コイルであって、該管状の部分は、該第二のパーツに関連付けられる、第二の伝導体コイルと、該第一および第二のパーツ間に規定される前記ギャップの少なくとも一部を照射するように構成されている放射線供給源とを含む装置であって、該第一および第二の伝導体コイルは、該第一の伝導体コイルによって生成される磁場が、該第二の伝導体コイルによって生成される磁場と、概して整列されるように、可変電力供給源に並列で接続されるように構成されている、装置。前記管状の部分は、前記放射線供給源から放出される放射線に対して透過性である、請求項43に記載の装置。概要半導体材料の生成寿命GTAU、光伝導性減衰PCDおよびシート伝導度σ測定を同時に、リアルタイムで提供する新規な非接触分析システムが発展してきた。1つの分析システムへのGTAUとPCDの固有の組合わせは、本明細書に記載される分析システムおよび方法が先行技術よりも大きな利点を有することを可能にする共益関係を提供する。これは、向上したSNR信号対ノイズ比、より短い少数担体の寿命を測定する能力、および自己較正する能力を含むが、それらに限定されない。GTAU測定は、優れたSNRを有しており、非常に短い担体の寿命を測定する能力を有しているという点で有利である。しかし、GTAUは、相対的な測定であるので、いくつかの適用において制限を有している。その制限は、絶対的な測定であるPCD測定をGTAUと組合わせることによって克服される。このようにして、絶対的なPCD測定は、GTAU測定を自動的に較正するために用いられる。要するに、そのように用いられた場合、GTAUおよびPCDは相補的であり、PCD法は、GTAU法の結果を較正する役割をし、次いで、GTAU法は、少数担体の寿命のより大きい範囲に対して、非常に高質な測定を提供する。一局面において、少数担体の寿命測定ツールのような装置が提供される。装置は、インダクターおよびコンデンサーを有している共振回路を含み得る。共振回路は、測定周波数で共振するように構成されている。装置は、第一の部分および第二の部分を有している強磁性コアも含み得る。第一の部分は、ギャップを規定し得、第一の部分の外側の磁場が横に広がることを妨げられるように、インダクターによって確立される磁場を第一の部分に沿って方向付けることとを行うように構成され得、磁場は、ギャップにわたり概して均一に方向付けられる。例えば、インダクターは、第一の部分の周りに円状に延在する少なくとも1つのコイルを含み得る。第二の部分は、第一の部分と協働して、磁場を第二の部分に沿って、閉ループに方向付けるように構成され得る。第二の部分は、第一の部分によって規定されるギャップと整列されるギャップを規定し得る。第一の部分は、長手方向軸を規定し得、強磁性コアは、長手方向軸に関して、概して放射状に対称的であり得る。いくつかの実施形態において、強磁性コアは、対向する第一および第二のパーツを含み得る。第一のパーツは、第一および第二の部分の少なくとも一部を形成する。第二のパーツも、第一および第二の部分の少なくとも一部を形成する。第一および第二のパーツは、強磁性コアの第一の部分によって規定されるギャップに沿って方向付けられる面にわたり概して対称的であり得る。いくつかの実施形態において、第一および第二のパーツは、細長いベースと、細長いベースの各々から延在する中央支柱とをそれぞれ含み得る。1対の側部支柱は、第一および第二のパーツの各々が、概してE形状を形成するように、中央支柱の対向する細長いベースの各々から延在し得、中央支柱に概して平行である。第一の部分は、中央支柱を含み、第二の部分は、側部支柱を含む。いくつかの実施形態において、第一および第二のパーツは、概して平面のベースをそれぞれ含み得る。第一の部分は、ベースから概して垂直に延在し、第二の部分は概して環状のフランジを形成する。フランジは、ベースから、概して垂直に延在し、第一の部分の周りに円状に延在する。放射線供給源は、強磁性コアの第一の部分によって規定されるギャップに近接する範囲を照射するように構成され得る。例えば、放射線供給源は、第一の部分によって規定される長手方向軸にわたり対称的なギャップの周りの範囲を照射するように構成され得る。放射線供給源は、少なくとも2つの発光ダイオードを含み得る。少なくとも2つの発光ダイオードは、それぞれに異なる波長の放射線を放出するように構成されている。放射線供給源は、発光ダイオードを含み得る。発光ダイオードは、第一および第二のパーツに関連するベースのうちの1つを通って延在し、第一の部分と、第二の部分によって形成されるフランジとの間に配置される。いくつか実施形態において、放射線供給源は、少なくとも2つの発光ダイオードを含み得る。少なくとも2つの発光ダイオードは、ベースのうちのそれぞれの1つを通って延在し、それぞれ、第一の部分とフランジとの間に配置される。放射線供給源は、複数の発光ダイオードを含み得る。複数の発光ダイオードは、第一の部分の周りに円状に配置され、ベースのうちの1つを通って、第一の部分とフランジとの間に延在する。放射線供給源は、別の複数の発光ダイオードを含み得る。別の複数の発光ダイオードは、同様に、ベースのうちの別の1つを通って延在する。放射線供給源は、放射線をスイッチング周波数で断続的に放出するように構成されている。装置は、強磁性コアの第一の部分によって規定されるギャップにおける半導体材料のサンプルを受け取るように構成され得る。放射線供給源は、サンプルを放射線を用いて、断続的に照射するように構成され得る。放射線は、サンプル中に光伝導をもたらすように構成されている。スイッチング周波数は、サンプルに対する少数担体の寿命の逆数とほぼ等しくなり得るかまたは逆数より小さくあり得る。共振回路は、測定周波数電圧に関連付けされ得、駆動電流供給源を含み得る。駆動電流供給源は、共振回路にわたる測定周波数電圧を一定に維持するように調整可能である駆動電流を提供するように構成されている。装置は、データ獲得システムをさらに含み得る。データ獲得システムは、サンプルの少数担体の寿命の逆数よりも大きい数によって、サンプルの照射を開始および停止した後に、駆動電流値を収集するように構成されている。データ獲得システムは、サンプルに対する少数担体の寿命の逆数よりも大きいデータ収集周波数で、サンプルの照射を開始および停止した直後に駆動電流値を収集するようにも構成され得る。別の局面において、強磁性コアを含む装置が提供される。コアは、ギャップを規定する第一の部分を有し得る。第一の部分は、第一の部分の外側の磁場が横に広がることを妨げられるように、第一の部分の周りに巻きつけられたインダクターによって確立される磁場を第一の部分に沿って方向付けることと、ギャップにわたり概して均一に磁場を方向付けることとを行うように構成されている。コアの第二の部分は、磁場を第二の部分に沿って、第一の部分と協働して、閉ループに方向付けるように構成され得る。放射線供給源は、強磁性コアに一体化され得る。さらに別の局面において、半導体サンプル中の少数担体の寿命を決定する方法が提供される。方法は、共振回路、強磁性コアおよび放射線供給源を有している装置を提供することを含む。共振回路は、インダクターおよびコンデンサーを含み得、共振回路にわたる測定周波数電圧に関連する測定周波数で共振するように構成され得る。強磁性コアは、ギャップを規定する第一の部分を含み得る。第一の部分は、第一の部分の外側の磁場が横に広がることを妨げられるように、インダクターによって確立される磁場を第一の部分に沿って方向付けることと、磁場を、概して均一にギャップにわたり方向付けることとを行うように構成されている。強磁性コアは、第二の部分も含み得る。第二の部分は、磁場を第二の部分に沿って、第一の部分と協働して、閉ループに方向付けるように構成されている。放射線供給源は、強磁性コアの第一の部分によって規定されるギャップに近接する範囲を照射するように構成され得る。サンプルは、共振回路に電磁的に結合され得る。サンプルの第一の部分は、インダクターによって確立される磁場がサンプルの第一の部分を通って、概して均一に延在するように、ギャップに配置される。共振回路の駆動電流は、測定周波数電圧を一定に維持するために調整され得る。サンプルは、スイッチング周波数で、第一の部分に近接する範囲において、放射線を用いて、断続的に照射され得る。放射線は、サンプル中に光伝導をもたらすように構成されている。スイッチング周波数は、サンプルに対する少数担体の寿命の逆数に類似し得るか、または逆数よりも低くあり得る。方法は、例えば、サンプルを照射している間と、サンプルが照射されていないときとの両方において、駆動電流を測定することによって、サンプルに対する少数担体の寿命を決定することをさらに含み得る。駆動電流は、サンプルに対する少数担体の寿命の逆数よりも高いサンプルレートで、サンプルの照射を開始および停止した直後にサンプリングされ得る。サンプルの照射を停止させた後およびサンプルに対する少数担体の寿命の逆数に等しい、または逆数よりも長い時間内に測定される一時的な駆動電流データに対する関数的な近似値が決定され得る。半安定状態の駆動電流は、サンプルの照射を開始および停止した後に測定され得、各セットの条件下の駆動電流間の差を発見する。この差は、スケーリングされ得、出力として提供され得る。いくつかの実施形態において、サンプルは、第一の特性的波長の放射線を用いて断続的に照射され得、続いて、第一の特性的波長とは異なる第二の特性的波長の放射線を用いて断続的に照射され得る。いくつかの実施形態において、サンプルは、サンプルの異なる部分が、強磁性コアの第一の部分によって規定されるギャップに配置されるように、反復して再位置決めされ得る。駆動電流は、各反復されるサンプルの再位置決めに応答して、反復して測定され得る。別の局面において、半導体サンプルにおける少数担体の寿命を測定するツールのような装置が提供される。装置は、対向する第一および第二のパーツを含む強磁性コアを含む。対向する第一および第二のパーツは、第一および第二のパーツの間にギャップを規定する。第一および第二のパーツの各々は、ベース、概して環状のフランジおよび管状の部分を含み得る。環状のフランジは、ベースから延在する。管状の部分は、ベースから延在し、フランジの内側に放射状に延在する。第一の伝導体コイルは、第一のパーツに関連する管状の部分の周りに延在し得、第二の伝導体コイルは、第二のパーツに関連する管状の部分の周りに延在し得る。放射線供給源は、例えば、ギャップに配置されるウェーハを射光するように、第一および第二のパーツ間に規定されるギャップの少なくとも一部を照射するように構成され得る。第一および第二の伝導体コイルは、第一の伝導体コイルによって生成される磁場が、第二の伝導体コイルによって生成される磁場と、概して整列されるように、並列で可変電力供給源に接続されるように構成され得る。いくつかの実施形態において、管状の部分は、放射線供給源から放出される放射線に対して透過性であり得る。したがって、一般的な観点から発明を記載したので、ここで、添付の図面に対して参照がなされる。図面は、必ずしも一定の縮小比ではない。詳細な説明ここで、添付の図面を参照して、本明細書の以下において、本発明がより完全に記載される。図面には、発明の全ての実施形態ではなく、一部の実施形態が示される。実際、それらの発明は、多くの異なる形式で具現化され得、本明細書に記載の実施形態に限定されると解釈されるべきでない。むしろ、それらの実施形態は、本開示が、適用可能な法的要件を満たすために提供される。類似の数字は、一貫して類似の要素を指す。図1を参照すると、半導体材料のサンプルsサンプルにおいて、少数担体の寿命測定を行うシステム10の概略図が示される。システムは、例示的実施形態に従って構成されている。システム10は、放射線供給源モジュール14と通信している信号生成モジュール12を含む。以下でさらに述べられるが、信号生成モジュール12は、例えば、振動電磁場の形式でプローブ信号pを生成する役目を務める。プローブ信号pとサンプルsは相互作用する。サンプルsがプローブ信号pと相互作用するので、プローブ信号は、特にサンプル中の少数担体の数に関する量によって減衰される。そのため、信号生成モジュール12は、プローブ信号pを生成するために適切な共に活性および不活性の電気部品および回路を含み得る。以下で述べられるいくつかの実施形態において、信号生成モジュール12は、プローブ信号pおよびサンプルsを効率的に結合する、サンプルインターフェースのような構造体を含み得る。放射線供給源モジュール14は、周期的にサンプルsを照射rする1つ以上の発光ダイオードLEDのような放射線供給源を含み得る。以下でより詳細に述べられるが、放射線rの一部は、サンプルsによって吸収され得ることによって、サンプル中の少数担体の数を変化させる。放射線供給源モジュール14は、そこから提供される放射線の強度を制御するエレクトロニクスも含み得る。例えば、いくつかの場合、放射線供給源モジュール14に関連するエレクトロニクスは、放射線強度センサーおよびフィードバック回路を含み得る。放射線強度センサーおよびフィードバック回路は、放射線強度のスプリアウス変動を一緒に補償する。以下で述べられるいくつかの実施形態において、放射線供給源モジュール14は、サンプルsの照射ならびにサンプルおよびプローブ信号pの効果的な結合を容易にするように構成され得る。システム10は、サンプルsの少数担体の数の一時的な変化を示すデータを収集するデータ収集および処理モジュール16も含む。データ収集および処理モジュール16は、信号生成モジュール12と放射線供給源モジュール14との両方と通信しており、サンプルの少数担体の寿命を示す出力o1、o2、o3を提供するために、データdを処理し得、データをプローブ信号pおよび放射線rと相関させることを含む。いくつかの場合、データ収集および処理モジュール16は、少なくとも部分的には、信号生成モジュール12と一体化され得、プローブ信号の生成およびプローブ信号の減衰の測定または、別のやり方でそのような減衰を回避するために、努力されなければならないが一緒に行われる。図2を参照すると、少数担体の寿命を測定するツール122が示される。ツールは、別の例示的実施形態に従って構成されている。ツール122は、インダクター126およびコンデンサー128を有しているマージナル発振器の形式の共振回路を含む。マージナル発振器124は、測定周波数電圧に関連する測定周波数fmで共振するように構成されている。マージナル発振器124は、電圧および/または電流供給源のような他の回路および部品130も含み得、以下でより詳細に述べられるように、マージナル発振器の動作を容易にする。ツール122は、以下に記載される強磁性コア100も含む。図3~図8を参照すると、強磁性コア100は、第一の部分120および第二の部分104を有し得る。第一の部分は、ギャップ106を規定する。第二の部分104もギャップ108を規定し得、ギャップ108は、第一の部分102におけるギャップ106と整列される。コア100は、対向している第一のパーツ110および第二のパーツ112を含み得る。第一および第二のパーツの各々は、第一の部分102の少なくとも一部および第二の部分104の少なくとも一部を形成する。いくつかの実施形態において、第一のパーツ110および第二のパーツ112は、互いから独立している場合があり、ギャップ106およびギャップ108にもに沿って、方向付けられる面pにわたり、概して対称的である。そのような構成は、ウェーハの形式であるサンプルがギャップ106に配置されることを可能にし得、ギャップにおける部分から横に離間されているサンプルの部分に対して間隔を提供する。コア100は、加えて、または代替的に、第一の部分102によって規定される長手方向軸aに関して、概して放射状に対称的であり得る。いくつかの実施形態において、第一のパーツ110および第二のパーツ112は、それぞれ、概して平面のベース114a、114bを含み得る。第一の部分102は、ベース114a、114bの各々から、概して垂直に延在し得る。第二の部分104は、概して環状のフランジ116を形成し得る。フランジ116は、ベース114a、114bの各々から、概して垂直に延在し、第一の部分102の周りにも円状に延在する。そのような実施形態において、第一のパーツ110および第二のパーツ112の各々は、一般的につぼ形コアと呼ばれる形状を想定する。つぼ形コアにおいて、中央支柱がベースプレートから隆起し、環状のフランジによって取り囲まれる。次いで、コア100は、少なくとも部分的には対向するつぼ形コア118から構成され、第一の部分102は、つぼ形コアの各々の中央支柱120を含み、第二の部分104は、つぼ形コアの各々のベースプレート114a、114bおよび環状のフランジ116を含む。第一の部分102および第二の部分104の各々は、マージナル発振器124が動作している場合、インダクター126によって確立される磁場Bを、それぞれ、第一の部分102および第二の部分104の各々に沿って方向付けるように構成され得る。例えば、インダクター126は、第一の部分102の周りを円状に延在する少なくとも1つのコイルを含み得る。必要に応じて、コイルは、第一の部分102から静電気を遮蔽され得る。図2~図8を参照すると、第一の部分102は、第一の部分に沿って方向付けられた場合、磁場Bが横に広がることを妨げる傾向があり得、磁場をギャップ106にわたり、概して均一に方向付ける傾向があり得る。第二の部分104は、第一の部分102と協働して、閉ループに磁場を方向付けるように構成され得る。もちろん、いずれの物体または力が磁場を方向付ける役目を務めるかに関わらず、磁場線は常に閉ループを形成するが、第一の部分および第二の部分は、特に、磁場が他の方法では受けない態様で、磁場Bを方向付ける役目を務め得る。第一のパーツ110および第二のパーツ112は、コア100の2つのパーツを互いに対して反対に保持する役割をする支持構造体示されていないに結合され得る。支持構造体は、強磁性または非強磁性材料のどちらかによって形成され得、伝導性または絶縁性のどちらかあり得、少なくとも、コア100による磁場Bの形状への影響はほとんど有していない。ツール122は、1つ以上のLED132のような放射線供給源をさらに含み得る。LED132は、第一の部分102におけるギャップ106に近接する範囲を照射するように構成され得る。LED132は、第一の部分102とフランジ116との間に配置されるように、ベース114a、114bのうちの一方または両方を通り延在し得る。LED132は、スイッチング周波数fsで断続的に放射線を放出するように構成され得る。例えば、LED132の動作は、LEDコントローラー134によって制御され得る。LEDコントローラー134は、電力をLEDに供給し得、そのため、射光の強度およびタイミングつまり、LEDが活性化されるときおよび活性化されないときを制御し得る。LEDコントローラー134は、LEDがスイッチング周波数で作動され、作動停止されるように、スイッチング周波数fsで振動する発振器を含み得るか、または発振器と通信し得る。接続は、図8に示されるLEDコントローラー134と、LED132のサブセットとの間に示されるのみであるが、LEDの全ては、LEDコントローラーに接続され得るか、または、複数のLEDコントローラーが採用され得ることが明らかなはずである。LED132は、ギャップ106の周りの概して放射状に対称的な範囲を照射するように、例えば、第一の部分102の周りをリングパターンに配列され得る。それぞれのLED132は、異なる波長の放射線を放出するように構成され得る。例えば、各ベース114a、114bは、第一の波長の放射線が、1つのベースに含まれるLEDから放出され、第二の波長の放射線が、他方のベースに含まれるLEDから放出されるように、ある波長の放射線を放出するLED132を含み得る。代替的に、各ベース114a、114bは、例えば、1つのベースが、第一および第二の波長で放射線を放出するそれぞれのLEDを有し、他方のベースが、第三および第四の波長で放射線を放出するそれぞれのLEDを有するように、複数の波長で放射線を放出するように構成されているそれぞれのLEDを含み得る。ベース114a、114bが、均一な波長の放射線を放出するLED132を含むか、またはさまざまな波長を放出するLED132を含むかに関わらず、LEDは、例えば、異なる波長のLEDの放射状に対称的なリングをインターリーブすることによって、放射状に対称的な放射線を放出するように配列され得る。いくつかの実施形態において、それぞれ異なる波長の放射線を用いて、サンプルを連続して照射することは、利点を有し得る。例えば、異なる波長の放射線は、サンプルを異なる深さまで貫通し得る。放射線が、サンプルの比較的深くまで貫通した場合、放射線とサンプルの表面との間の相互作用の効果は、放射線が比較的浅いままである場合よりも、全測定に対する重要性が低い傾向がある。そのため、異なる放射線周波数のLEDを使用することは、サンプルの表面を特性付けることを可能にし得る。コア100および/または放射線供給源は、光学散光器136も含み得る。光学散光器は、LED132に隣接して配置され、第一の部分102とフランジ116との間のスペースに配置される。散光器136は、LED132の別々の出力を受け取ることと、より空間的に均一な放射線を放出することとの役目を務める。動作の際、少数担体の寿命測定ツール122は、半導体材料のウェーハのようなサンプルsを受け取るように構成され得、サンプルの一部がギャップ106内に配置される。このようにして、機能しているマージナル発振器124のインダクター126によって確立された磁場は、概して均一に、ギャップ106に配置されるサンプルsの一部を通り延在し得ることによって、マージナル発振器にサンプルを電磁的に結合する。発振器124へのサンプルsの電磁結合は、サンプルにおいて、渦電流を誘導する傾向がある。この渦電流は、エネルギーを発振器124から散逸させる。渦電流の大きさおよび結果のエネルギー損失は、サンプルsの伝導率σおよび厚さtに関連する。この伝導率は、サンプル中の担体全ての密度と、それらの担体の移動度の積に関連する。ツール122は、発振器124が受ける損失を複数の方法で監視することを可能にする。ある場合、マージナル発振器124にわたる電圧例えば、図8の点xとyとの間の測定周波数電圧または電圧差の変動が監視され得る。全ての場合において、マージナル発振器124は、必ず電流供給源図8には示されないが、以下でより詳細に述べられるを含む。電流供給源は、マージナル発振器124にわたる電圧を維持するために十分な電流を供給するように構成されている。この電流は、本明細書において、駆動電流と呼ばれることがあり、関連する電流供給源は、駆動電流供給源と呼ばれる。そのため、電流供給源の出力は、発振器124における損失を表し、その量が監視される。そのような測定の基礎をなす理論に関するさらなる詳細は、Millerらへの米国特許第4,286,215号に提供され、本明細書において、その内容は、参照することによって、全体が援用される。サンプルsにおける少数担体の密度は、LED132を用いて変調され得る。サンプルsは、価電子帯からバンドギャップにわたり、伝導帯バンドギャップより上の放射線から電子を励起するために必要とされる周波数以上の周波数の放射線を用いて、射光され得、それによって、サンプル中に電子空孔対を生成する。それらの追加の担体の存在は、結果として、サンプルの伝導率光伝導率と呼ばれるを増加させる。照射が開始されると、伝導率は、単調に増加し、照射が中断されると、放射線がない場合の値つまり、平衡値まで急減少する。照射の開始後の伝導率の増加は、Δσt∝μτ1-e-t/τ1によって記載され得、式中、Δσは、光伝導率によってもたらされたサンプルの伝導率の変化であり、μは、空孔移動度と電子移動度との合計であり、τは、有効な少数担体の寿命に等しい時定数であり、tは、LEDをオンにしてから経過した時間である。ある程度、類似する式が照射の中断後のサンプルの伝導率の減少を決定することに注意されたい。ツール122は、少数担体の寿命を測定する複数の異なる方法を可能にするように構成され得る。第一の方法は、光伝導性減衰PCD法であり、特性付けられるサンプルが、断続的にバンドギャップより上の放射線によって射光される。断続的な射光は、期待される有効な少数担体の寿命の逆数に類似するか、または逆数より低いスイッチングつまり、オン/オフ周波数fsで提供され得る。照射の各中断の直後、時間の関数としてのサンプルsの伝導率σの減少が測定され得る。それらのデータに指数関数的減衰をフィッテイングすることによって、有効な少数担体の寿命が決定され得る。PCD法は、自己較正的な有益な特徴を示し、この方法を用いて得られた結果は、担体の寿命の相対的な測定値ではなく、客観的な測定値であることを意味する。しかし、この方法は、サンプルの寿命と比較して、応答が非常に速い測定システムを必要とする。そのため、PCD法は、例えば、10μm以上に類似する比較的長い有効な少数担体の寿命を有している、大きい半導体における、単結晶のインゴットおよび/またはサンプルの寿命の決定に容易に適用可能であるが、この方法は、有効な少数担体の寿命が比較的短い例えば、≦約5μsサンプル中の有効な少数担体の寿命を測定するためには、有用性が低い傾向がある。なぜなら、典型的に、そのようなサンプルの感度は、許容可能な信号対ノイズ比を求めるためには不十分であるからである。上記のように構成されているツールによって可能にされる担体の寿命を測定する第二の方法は、GabrielL.Millerへの米国特許番号第4,286,215号に記載される方法であり、その内容は、本明細書において、参照することによって、全体が援用される。PCD法の場合のように、この方法は、本明細書において、GTAU法と呼ばれるが、期待される有効な少数担体の寿命の逆数に類似するか、または逆数以下であるスイッチング周波数fsで断続的に、サンプルsをバンドギャップより上の放射線によって照射することを含む。しかし、GTAU法において、サンプルsの伝導率σは、τと比較して、多量な時間によって、LED132の作動および作動中断後の間に、測定される。そのため、測定される伝導率は、射光状態つまり、LED132が放射線を放出している場合の伝導率および非射光または減光状態にそれぞれ対する有効に安定した状態の伝導率である。式1から、射光状態の安定している状態の伝導率と減光状態の安定している状態の伝導率との差は、積μτに比例することが明らかである。さらに、サンプルの放射の発端での伝導率の増加は、照射の停止の際の伝導率の減少に見られるように兆候なく、安定状態値に近づく。以上で述べられたような適切な条件下では、PCD法およびGTAU法の一方、または両方が、少数担体の寿命測定ツール122と協働して用いられ得る。データ獲得および処理部品138は、マージナル発振器にわたる電圧の指示つまり、測定周波数電圧、または発振器の振動の大きさを公称上の大きさに維持するために必要とされる駆動電流の大きさのようなデータをマージナル発振器124から受け取るように構成されて得る。データ獲得および処理部品138もLED132の強度およびスイッチング周波数を示すデータをLEDコントローラー134から受け取るように構成され得る。これらのデータの全ては、後の分析のために格納され得るか、またはサンプルの伝導率に関する出力をユーザーに提供するために用いられ得る。いくつかの実施形態において、サンプルの異なる部分がフェライトのつぼ形コア106の2つの半部分間のギャップに配置されるように、サンプルsは、ツール122に反復して再位置決めされ得る。サンプルsの伝導率は、サンプルの各再位置決めに対して、測定され得る。少数担体の寿命がサンプル内の空間的な位置に相関され得ることによって、少数担体の寿命マップを作成するように、データ獲得および処理部品138は、伝導率データに加えて、サンプルの動きに関するデータを受け取るように構成され得る。以上で言及したように、上記の実施形態に従って構成されているツールは、磁場を実質的に均一にコアの第一の部分によって規定されるギャップにわたり方向付ける傾向があり得る。いくつかの場合、これは、ギャップ内のサンプルのスペーシングおよびコアの第一の部分のうちの一方の部分に関するサンプルのスペーシングに対する測定の感度を減らし得る。GTAUおよびPCD測定法の両方を、以上で述べられたことに従って構成されている実施形態に提供され得るような1つのツールで行う能力は、非常に有益である。先に言及したように、GTAU法は、比較的優れたSNRを有しており、PCD法と比較して、より短い少数担体の寿命を測定する能力を有している。しかし、GTAU測定の結果は、光の強度に依存するので、絶対ではない。代替的に、PCD法は、SNRと、短い担体の寿命を測定する能力との両方で比較的劣るものの、絶対的な測定である。そのため、それらの方法は、相補的であり得る。PCD法は、GTAU法の結果を較正する役割をし、次いで、GTAU法は、短い少数担体の寿命に対する高質な測定を提供する。図9を参照すると、少数担体の寿命を測定するツール222が示される。ツールは、別の例示的実施形態に従って構成されている。ツールは、インダクター226およびコンデンサー228を有しているマージナル発振器224を含み、測定周波数電圧と関連する測定周波数fmで共振するように構成されている。インダクター226は、例えば、インダクターによって発生された磁場がサンプル中に延在するように配置されることによって、マージナル発振器224への半導体サンプルsの電磁結合を容易にするように構成され得る。以上で述べたようなコア100は、マージナル発振器224へのサンプルsの電磁結合を強化する。マージナル発振器224は、必ず、電圧調節回路240を含む。電圧調節器240は、比較器242を含み得る。比較器242は、整流器244によって出力されるような発振器224にわたる電圧と、基準電圧供給源246との間の差を出力する。比較器242からの出力は、エラー積分器248まで通過される。エラー積分器248は、電流供給源駆動電流供給源250を制御することによって、インダクター226にわたる電圧と基準電圧供給源246との間の差を最小化することを意図される電流駆動電流を出力する。マージナル発振器224の実施形態は、先に開示される半導体の少数担体の寿命測定システムに対する性能と比較して、強化された性能を提供し得る。例えば、実施形態は、発振器の向上した信号対ノイズ比SNRを示し得る。ツール222は、LEDドライバー254と通信している1つ以上のLED232も含む。LEDドライバー254は、LEDの動作を制御するように構成されている。LEDドライバー254は、LED232のスイッチング周波数fsが発振器の振動の周波数に一致するように、発振器256から信号を受信し得る。LED232は、LEDドライバー254によって、例えば、公称上100Hzのスイッチング周波数fsつまり、5ミリ秒オンとなり、続いて、5ミリ秒オフとなるで駆動され得る。動作の際、ツール222は、サンプルが、測定周波数電圧に関連する測定周波数fmで振動するマージナル発振器224に電磁的に結合されるように、半導体ウェーハのような半導体材料のサンプルsを受け取るように構成され得る。発振器224がエネルギーをサンプル中に伝送するので、駆動電流は、電圧調節器240によって自動的に調整され、測定周波数電圧を一定に維持する。上記で述べたように、駆動電流供給源250によって供給される駆動電流は、測定されるサンプルのシート伝導率を表す。サンプルsは、バンドギャップより上の放射線によって、断続的に照射され得る。断続性は、サンプルに対する少数担体の寿命の逆数に類似するか、または逆数より低いスイッチング周波数fsであり得る。サンプルsの照射の各開始および中断に対して、サンプルの伝導率は変動し、結果として、発振器224への負荷も変動する。この発振器224にかかる負荷の変化は、振動の大きさを減少させ、駆動電流供給源250は、共振回路にわたる測定周波数電圧を一定に維持つまり、安定化させる役目を務める。駆動電流供給源250によって提供される駆動電流は、サンプルの伝導率を決定し、そこから、サンプルの少数担体の寿命を決定するために、継続して監視され得る。駆動電流を監視することは、恐らくは、データ獲得デバイスを用いて、駆動電流データを、時間およびLED232の状態の関数例えば、LED232から放射される放射線の強度として格納することを含み得る。測定周波数電圧も、駆動電流データとの相関のために記録され得る。駆動電流は、サンプルに対する少数担体の寿命の逆数より高いサンプルレートでサンプリングされ得ることによって、十分なデータ収集を可能にし、照射中断直後の伝導率の低下に対するPCD曲線のあてはめを有効化する。例えば、駆動電流は、高速アナログ-デジタルコンバーター例えば、毎秒106回の変換を提供するによって、デジタル化され得る。いくつかの実施形態において、駆動電流データに対するサンプリングレートは、LED232がオンおよびオフにされる際に、高いサンプリングレートが採用され、より低いサンプリングレートは、その他の場合に採用されるように、発振器256に同期される。ツール222によって収集されるデータは、さまざまな方法で提供され得る。一時的な駆動電流データは、直接、長い寿命のサンプルに対して少数担体の寿命を得るために、式1および信号の減衰に対する関連式が当てはまり得る。これは、PCD出力図9参照と呼ばれる。代替的に、駆動電流変調が少数担体の寿命に比例する場合、駆動電流自身が例えば、発振器256と同期されたロックイン増幅器を用いて適切に増幅され得、少数担体の寿命を示す。この出力は、GTAU出力と呼ばれる。さらに別の代替物として、サンプルこのサンプルからGTAU出力が導出されたの伝導率が報告され得る。この出力は、シート伝導度出力と呼ばれ、既知のシート伝導度の1つのサンプルを用いることによって、計算される。これらの出力のうちのいずれか、または全てが1つのサンプルに基本的には、同時に提供され得ることに注意されたい。全体的に、上記の実施形態に従って構成されているシステムは、10分の1マイクロ秒未満から1ミリ秒までの半導体の少数担体の寿命の測定を可能にし得、各測定は、およそ0.5秒を要する。測定は、PCD法およびGTAU法を用いて行われ得、PCD法は、固有較正を提供し、GTAU法は、短い寿命の測定を容易にし、向上したSNRを提供する。シート伝導度も報告され得、全ての3つの測定PCD、GTAUおよびシート伝導度からの出力がユーザーに利用可能であり得る。図10を参照すると、少数担体の寿命を測定するツール例えば、図2のツール122の一部としての使用のためのコア300の概略的な断面図が示される。コアは、別の例示的実施形態に従って構成されている。コア300は、対向する第一のパーツ310および第二のパーツ312を含み得る。対向する第一のパーツ310および第二のパーツ312は、離間され、ギャップ306を形成する。ギャップ306は、ウェーハwを受け取るように構成されている。ウェーハwに対して、少数担体の寿命が測定される。第一のパーツ310および第二のパーツ312の各々は、概して平面のベース314および概して環状のフランジ316を有し得る。LED332は、先に述べたように、ベース314を通って延在し得る。各パーツ310、312も、それぞれの管状の部分360a、360bを含み得る。管状の部分360a、360bは、ベース314から延在し、フランジ316の内側に放射状に配置される。管状の部分360a、360bは、LED332によって放出された光または、ウェーハwを照射するために用いられるいずれの放射線に対してもに対して透過性であり得る。例えば、管状の部分360a、360bは、透過性プラスチック材料から形成され得る。ワイヤー326aのような伝導体は、管状の部分360aの周りに巻きつけられ得、ワイヤー326bのような別の伝導体が管状の部分360bの周りに巻きつけられ得る。そのため、ワイヤー326a、326bは、可変電力供給源示されていないに接続された場合、インダクターを形成し得る。ワイヤー326a、326bは、電源に並列で接続され得、各ワイヤーによって発生される磁場が他のワイヤーによって発生される磁場と整列されるように構成され得る。このようにして、磁場は、互いに対立するよりも、むしろ互いを補い得る。いくつかの実施形態において、ワイヤー326a、326bは、ギャップ306に近い場所で、それぞれの管状の部分360a、360bの周りに巻かれ得ることによって、ギャップにわたる集合磁場の均一性を増加させる。発明の複数の代替的な実施形態が、本明細書に記載された測定システムの原理および利益を維持しつつ、可能であり得る。特に、強磁性コアの代替的な構成は、例えば、対向するU形状またはE形状のコアを、本明細書に記載された対向するスプリットカップ型コアの代わりに含み得る。それらおよび他の代替的な実施形態の適否を評価する際、評価される必要がある3つの重要なパラメータがある。半導体サンプルへの誘導結合の硬さ、光源の均一性、および所望の測定範囲外の任意の半導体材料から生じる信号への遮蔽である。スプリットカップ型コアの実施形態は、代替的な構成に比較して、それらの重要なパラメータのうちの1つ以上に対して、利点を有効にし得ることが本明細書において主張される。そのため、発明は、開示される特定の実施形態に限定されないことと、改変および他の実施形態が添付の請求項の範囲内に含まれることとを理解されたい。特定の用語が本明細書において採用されたが、それらは、一般的な説明的意味のみとして用いられ、限定を目的としていない。"