"各画素に設けられ、光電変換が行われる受光部と、1つの面に多層膜によりダイクロイックミラーが形成されており、前記受光部の上方に設けられ、複数個を1組として、前記複数個の組み合わせにより入射光を複数の波長帯域の光に分離して、それぞれの波長帯域の光を異なる画素の前記受光部に入射させる構成であり、前記ダイクロイックミラーの反射面の向きが撮像領域の中央線に対称となるように配置された、ダイクロイックプリズムと、前記ダイクロイックプリズムの下方で、かつ前記受光部上に配置された、カラーフィルタとを含む固体撮像素子。前記1組複数個の前記ダイクロイックプリズムのうち、少なくとも前記入射光が最初に入射するダイクロイックプリズムは、前記反射面が前記撮像領域の中央線の側を向くように配置されている、請求項1に記載の固体撮像素子。隣接する前記画素の前記受光部の間に形成された、遮光材をさらに含む、請求項1に記載の固体撮像素子。前記1組複数個の前記ダイクロイックプリズムは、上下2層に2個ずつ合計4個であり、4個のダイクロイックプリズムのうち、前記入射光が最初に入射するダイクロイックプリズムを含む、上層の2個のダイクロイックプリズムは、前記反射面が前記撮像領域の中央線の側を向くように配置されている、請求項2に記載の固体撮像素子。前記1組複数個の前記ダイクロイックプリズムは、同一層に形成された3個のダイクロイックプリズムであり、前記3個のダイクロイックプリズムは、前記反射面が前記撮像領域の中央線の側を向くように配置されている、請求項2に記載の固体撮像素子。入射光を集光する集光光学部と、各画素に設けられ、光電変換が行われる受光部と、1つの面に多層膜によりダイクロイックミラーが形成されており、前記受光部の上方に設けられ、複数個を1組として、前記複数個の組み合わせにより入射光を複数の波長帯域の光に分離して、それぞれの波長帯域の光を異なる画素の前記受光部に入射させる構成であり、前記ダイクロイックミラーの反射面の向きが撮像領域の中央線に対称となるように配置された、ダイクロイックプリズムと、前記ダイクロイックプリズムの下方で、かつ前記受光部上に配置された、カラーフィルタとを含む固体撮像素子と、前記固体撮像素子で光電変換されて得られた信号を処理する信号処理部とを含む撮像装置。前記固体撮像素子の前記1組複数個の前記ダイクロイックプリズムのうち、少なくとも前記入射光が最初に入射するダイクロイックプリズムは、前記反射面が前記撮像領域の中央線の側を向くように配置されている、請求項6に記載の撮像装置。前記固体撮像素子は、隣接する前記画素の前記受光部の間に形成された、遮光材をさらに含む、請求項6に記載の撮像装置。前記固体撮像素子の前記1組複数個の前記ダイクロイックプリズムは、上下2層に2個ずつ合計4個であり、4個のダイクロイックプリズムのうち、前記入射光が最初に入射するダイクロイックプリズムを含む、上層の2個のダイクロイックプリズムは、前記反射面が前記撮像領域の中央線の側を向くように配置されている、請求項7に記載の撮像装置。前記固体撮像素子の前記1組複数個の前記ダイクロイックプリズムは、同一層に形成された3個のダイクロイックプリズムであり、前記3個のダイクロイックプリズムは、前記反射面が前記撮像領域の中央線の側を向くように配置されている、請求項7に記載の撮像装置。しかしながら、ダイクロイックプリズムに用いられるダイクロイックミラーは、多層膜によって形成されているために、分光特性に入射角度依存性を持っており、撮像領域内の画素の位置によって分光特性の偏りが生じてしまう。即ち例えば、図21に示すように、ダイクロイックプリズム51の向きを撮像領域内で全て同一となるように配置すると、多層膜ダイクロイックミラーに対する入射角は画角中央の左側と右側とで異なり、入射角が左右で非対称となる。さらに、ダイクロイックプリズムを分光構造に持つ固体撮像素子で撮像した場合、ダイクロイックミラーが元々持つ角度依存性により、取得した画像内で色ムラが発生してしまう。この入射角により分光が変化してしまう影響を、最小にすることが必要となる。前記特許文献1の図2に記載された構成では、マイクロレンズの下にコリメータを配置して、プリズムへの入射光を平行光にしている。しかしながら、センサ面への入射光は、固体撮像素子の主面に垂直に入射する平行光が前提になっており、斜めに入射する光は考慮されていない。前記特許文献2の図1に記載された構成では、マイクロレンズとプリズムとの間に設けられたマスク層により、入射光を規制しているが、想定している入射光は、固体撮像素子の主面に垂直に入射する光のみであり、斜めに入射する光は考慮されていない。前記特許文献1及び前記特許文献2に記載されたいずれの構成でも、固体撮像素子の主面に斜めに入射する光は考慮されていない。そのため、角度依存性に対しては脆弱であり、画角面内での分光特性の変化により、色ムラ等が発生してしまう。ところで、ダイクロイックプリズムに用いている多層膜ダイクロイックミラーは、成膜を重ねていくにつれ、透過波長帯や反射波長帯のリップルが低減できるため、一般的に、層数が多いほど、分光特性の良いミラーとなる。しかしながら、多層膜を成膜していくにつれて、製造公差によって、所望の分光特性に対して実際の分光特性にバラツキがでてしまう。また、例えば20層の多層膜を成膜してダイクロイックミラーを作製すると、多層膜全体の層厚が約2μm程度と厚くなることから、現在の微細な画素では、ダイクロイックプリズム上にこのように層数の多い多層膜を成膜するのは困難となる。従って、画素の微細化に対応して、層厚の薄い、層数の少ないダイクロイックミラーで分光する必要がある。しかしながら、一般的に、多層膜の層数が少ないと、分光特性の立ち上がりや立ち下がりにおけるスロープが緩くなってしまう図20Aを参照。このように分光特性のスロープが緩いと、スロープの裾の部分が他の色との混色成分となり、色純度が劣化してしまう。このため、ダイクロイックミラーを少ない層数としても、色純度が劣化しないような分光構造が望まれる。上述した問題の解決のために、本発明においては、色再現性や入射角度依存性に優れた、固体撮像素子及び固体撮像素子を備えた撮像装置を提供するものである。本発明の固体撮像素子は、各画素に設けられ、光電変換が行われる受光部を含む。また、1つの面に多層膜によりダイクロイックミラーが形成されており、受光部の上方に設けられた、ダイクロイックプリズムを含む。さらに、ダイクロイックプリズムの下方で、かつ受光部上に配置された、カラーフィルタを含む。そして、ダイクロイックプリズムは、複数個を1組として、複数個の組み合わせにより入射光を複数の波長帯域の光に分離して、それぞれの波長帯域の光を異なる画素の受光部に入射させる構成である。また、ダイクロイックミラーの反射面の向きが撮像領域の中央線に対称となるように配置されている。本発明の撮像装置は、入射光を集光する集光光学部と、固体撮像素子と、固体撮像素子で光電変換されて得られた信号を処理する信号処理部とを含み、固体撮像素子が、上述した本発明の固体撮像素子の構成であるものである。上述の本発明の固体撮像素子の構成によれば、ダイクロイックプリズムは、複数個を1組として、複数個の組み合わせにより入射光を複数の波長帯域の光に分離して、それぞれの波長帯域の光を異なる画素の受光部に入射させる構成である。これにより、カラーフィルタのみの分光方式と比較して、分光の際の光の損失を低減して、光の利用効率を高めることが可能になる。そして、ダイクロイックミラーの反射面の向きが撮像領域の中央線に対称となるように配置されているので、中央線の両側の画素において、入射光の反射面への入射角度を中央線に対称とすることができる。これにより、斜めに入射した光に対する、中央線の両側の画素における分光特性の差異を抑制することが可能になり、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制することが可能になる。また、ダイクロイックプリズムの下方で、かつ受光部上に、カラーフィルタが配置されているので、ダイクロイックミラーの多層膜の製造時の公差によるばらつきや、入射角度の変化によって変化した分光特性を、カラーフィルタで補正することができる。これにより、画素の分光特性を揃えて、色純度を向上させることができる。また、多層膜の層数を低減しても、低減したことにより広がる透過帯域をカラーフィルタで補正することができるので、充分な色純度を実現することが可能になる。上述の本発明の撮像装置の構成によれば、固体撮像素子が本発明の固体撮像素子の構成であるので、撮像される画像において、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制し、色純度を向上させることができる。上述の本発明によれば、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制することが可能になると共に、入射角度や製造公差により変形した分光特性をカラーフィルタにおいて補正して色純度を向上することが可能となる。これにより、色再現性や入射角度依存性に優れた固体撮像素子を実現して、充分な色純度を有していて画質が良好である画像を得ることが可能になる。また、本発明はダイクロイックプリズムとカラーフィルタを共に用いる分光方式を採用しているため、カラーフィルタのみの分光方式よりも、光の利用効率を高めることが可能である。そして、カラーフィルタにも分光特性の制御の役割を持たせることにより、多層膜の層数を増やさなくとも、色純度を高めることができる。以下、発明を実施するための最良の形態以下、実施の形態とするについて説明する。なお、説明は以下の順序で行う。1.本発明の概要2.第1の実施の形態固体撮像素子3.第2の実施の形態固体撮像素子4.第3の実施の形態固体撮像素子5.第4の実施の形態撮像装置<1.本発明の概要>まず、本発明の具体的な実施の形態の説明に先立ち、本発明の概要について説明する。特許文献1や特許文献2に記載された構成のように、ダイクロイックプリズムの向きが撮像領域内で全て同一であると、分光特性が面内で非対称となる。このことを、図21を参照して説明する。ダイクロイックプリズムへの入射角は、固体撮像素子に垂直に入射したときに、ダイクロイックミラーに対して45度の入射角となる。これに対して、図21に示すように、画角中央から左右に広がるように斜めに固体撮像素子に入射した場合、左側のダイクロイックプリズム51ではマイナス方向に入射角が変化し、右側のダイクロイックプリズム52ではプラス方向に入射角が変化する。このときの分光特性を、図22A及び図22Bに示す。図22A及び図22Bにおいて、点線は45度の入射角のときの分光特性を示し、実線は入射角がそれぞれ-10度と10度変化したときの分光特性を示している。入射角がマイナス方向に振れると、図22Aに示すように、透過帯幅が広くなる傾向にある。入射角がプラス方向に振れると、図22Bに示すように、透過帯幅が狭くなる傾向にある。従って、ダイクロイックプリズムを、入射角がマイナスの方に振れるように配置した方が、図22Aに示すように、透過帯幅が広くなり、感度低下を防ぐことができる。そこで、本発明では、ダイクロイックプリズムの向きが入射光の画角中央に対して対称になるように配置する。即ち、ダイクロイックミラーの反射面の向きが、入射光の画角中央に対応する、撮像領域の中心線に対して対称となるように、各画素の受光部上のダイクロイックプリズムを配置する。これにより、垂直に入射した光の入射角に対して、斜めに入射した光の入射角が変化する方向を、撮像領域の中心線の両側のダイクロイックプリズムにおいて揃えることができるので、撮像領域内の位置による分光特性の差を、小さく抑えることができる。なお、本発明において、上述の撮像領域には、いわゆるオプティカルブラック画素のように、光が入射しない画素の領域は含まない。本発明において、ダイクロイックプリズムは、特許文献1及び特許文献2等の従来提案されている構成と同様に、複数個を1組として、複数個の組み合わせにより、入射光を複数の波長帯域例えば、赤、緑、青の3つの波長帯域に分離する構成とする。そして、分離したそれぞれの波長帯域の光を、異なる画素例えば、赤の画素、緑の画素、青の画素の受光部に入射させる。本発明において、さらに好ましくは、1組複数個のダイクロイックプリズムのうち、少なくとも入射光が最初に入射するダイクロイックプリズムの反射面が撮像領域の中心線の側を向くように配置する。このように配置すると、ダイクロイックプリズムの反射面への入射角が、固体撮像素子に垂直に入射した光45度前後よりも、固体撮像素子に斜めに入射した光の方が小さくなる。これにより、緑Gの画素の受光部での分光特性の透過帯幅を広くすることができ、固体撮像素子に斜めに入射することによる感度の低下を防ぐことができる。即ち、例えば図16に示すように、画角中央に対して、左側のダイクロイックプリズム41の入射面が右上を向き、右側のダイクロイックプリズム42の入射面が左上を向くように、配置する。これにより、左右いずれの側のダイクロイックプリズム41,42でも、斜めの入射光にでは入射角がマイナス方向に振れるので、透過帯幅を広くすることができる。このときの分光特性を、図17A及び図17Bに示す。図17A及び図17Bにおいて、点線は45度の入射角のときの分光特性を示し、実線は入射角がそれぞれ-10度と10度変化したときの分光特性を示している。図17A及び図17Bに示すように、左側も右側もいずれの側も、透過帯幅を広くすることができるので、感度低下を防ぐことができる。なお、1組のダイクロイックプリズムの個数や、入射光が最初に入射するダイクロイックプリズム以外のダイクロイックプリズムの反射面の向きは、画素配列画素の色の配列に応じて、適宜選定する。例えば、R,G,B3色をストライプ状に配置した画素配列に対しては、1組の個数を4個として上下2層に2個ずつ配置した構成や、1組の個数を3個として1層に3個配置した構成が考えられる。なお、1組の個数を4個として上下2層に2個ずつ配置した構成では、入射光が最初に入射する1個を含む上層の2個を、反射面が撮像領域の中心線の側を向くように配置する。また、1組の個数を3個として1層に3個配置した構成では、3個をいずれも反射面が撮像領域の中心線の側を向くように配置する。また、例えば、縦2画素×横2画素の4画素の配列パターンを繰り返し配置した画素配列に対しては、1組4個を上下2層に2個ずつ配置して、下層の2個の反射面の向きが上層の2個の反射面の向きに対して90度異なるように配置した構成が考えられる。ダイクロイックプリズムに用いる多層膜ダイクロイックミラーは、例えば、誘電体であるTiO2、Ta2O5、SiO2等の材料を用いて形成することができる。また、多層膜ダイクロイックミラーは、蒸着法、IADIonbeamAssistedDeposition法、スパッタリング法、CVD法等によって、成膜することが可能である。さらに本発明では、ダイクロイックミラーの分光特性を補正するために、ダイクロイックプリズムの下、かつ受光部の上に、カラーフィルタを設ける。多層膜によるダイクロイックミラーは、ミラーへの入射角度や多層膜の製造時の公差によって分光特性が変化する。本発明では、ダイクロイックプリズムの下に、かつ受光部の上に、カラーフィルタを配置したことにより、ダイクロイックミラーにおいて上述のように変化した分光特性を、カラーフィルタにより補正する。分光特性をカラーフィルタによって補正するので、色純度を高めることができる。色純度を高めるためには、ダイクロイックミラーの多層膜の層数を増やすことも考えられるが、カラーフィルタを併用することにより、多層膜の層数を増やすことなく色純度を高めることができる。ここで、本発明の固体撮像素子の一形態の分光構造部を抜粋して、図18に断面図を示す。図18では、左の青の画素の受光部1Bと、中央の緑の画素の受光部1Gと、右の赤の画素の受光部1Rとを、1組として並べて示しており、これら3画素に対応する、カラーフィルタとダイクロイックプリズムを示している。中央の緑の画素に配置されたダイクロイックプリズム11と、右の赤の画素に配置されたダイクロイックプリズム12とにより、上層の第1層のダイクロイックプリズム10が構成されている。これら上層の第1層のダイクロイックプリズム1011,12は、入射面が右上を向くように配置されている。中央の緑の画素に配置されたダイクロイックプリズム21と、左の青の画素に配置されたダイクロイックプリズム22とにより、下層の第2層のダイクロイックプリズム20が構成されている。これら下層の第2層のダイクロイックプリズム2021,22は、入射面が左上を向くように配置されている。各ダイクロイックプリズム11,12,21,22の上面には、多層膜から成るダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dが設けられている。受光部1の上には、カラーフィルタ2B,2G,2Rと、遮光材から成る画素間遮光部3が配置されている。画素間遮光部3は、隣接する2つの画素の間に設けられており、画素間遮光部3を設けることにより、光学的な混色成分を減らすことができる。上層の第1層のダイクロイックプリズム10によって、緑Gと青Bの光は透過し、赤Rの光は反射されて赤Rの画素の受光部1Rへ導かれる。即ち、ダイクロイックプリズム11のダイクロイックミラー4Aは、緑Gと青Bの光は透過し、赤Rの光は反射する特性を有しており、ダイクロイックプリズム12のダイクロイックミラー4Bは、赤Rの光を反射する特性を有する。透過した緑Gと青Bの光は下層の第2層のダイクロイックプリズム2021,22によって、緑Gの光は透過し、青Bの光は反射され、それぞれの色の受光部1G,1Bに導かれる。即ち、ダイクロイックプリズム21のダイクロイックミラー4Cは、緑Gの光は透過し、青Bの光は反射する特性を有しており、ダイクロイックプリズム22のダイクロイックミラー4Dは、青Bの光を反射する特性を有する。なお、図18は、図16及び図17Aに示した画角中央の左側の画素の分光構造部を示している。画角中央の右側の画素では、図18とは左右逆の配置とする。即ち、青Bの画素を緑Gの画素の右に配置し、赤Rの画素を緑Gの画素の左に配置する。そして、上層の第1層のダイクロイックプリズム1011,12の入射面を左上向きにして、下層の第2層のダイクロイックプリズム2021,22の入射面を右上向きにする。通常、カラーフィルタは、単独で固体撮像素子の各画素の分光に使用されている。これに対して、本発明においては、カラーフィルタ自身単独で分光を行うのではなく、カラーフィルタをダイクロイックプリズムと組み合わせて分光を行う。ところで、通常の固体撮像素子のように、吸収型カラーフィルタを用いて分光を行うと、所望の色以外の色は吸収によって損失となってしまう。例えば、赤のカラーフィルタの場合、青と緑の波長帯は吸収し、赤の波長帯のみを透過するような分光特性を持っているため、入射してきた3原色の1/3しか利用することができない。これに対して、ダイクロイックプリズムを用いた分光においては、入射光を3色に分割するため、理論的には損失を生じない。本発明において、カラーフィルタは、ダイクロイックプリズムによって分光された光を、カラーフィルタの持つ分光特性で補正して、色純度を向上させるために設けられている。このことを、図19A~図19Cを参照して説明する。まず、上述したように、入射光が角度分布を持つ場合に、画角中央に対称にダイクロイックプリズムを配置することにより、分光特性の入射角依存性を対称にして、かつ、緑Gの光の透過帯域が広がるように、ダイクロイックプリズムの入射面を向ける。これにより、図19Aに示すように、緑Gの光の透過帯域が広がる。カラーフィルタは、入射光角度が0度のとき画角中央に対応するの分光特性と同じになるように補正できる分光特性を持たせておく。例えば、図19Bに示すように、入射光角度が0度のときの透過帯域の透過率が高く、その前後の帯域の透過率が低くなっている分光特性を持たせる。すると、ダイクロイックプリズムによる分光と吸収型カラーフィルタとの掛け合わせにより、図19Cに示すように、補正後の分光特性実線を、入射光角度が0度のときの分光特性細線に対して、同様の分光特性をすることができる。即ち、入射角依存性によって変化した分光特性を、画角中心と同様の分光特性を持たせるように補正することができるようになる。なお、本発明において、カラーフィルタの分光特性は、単独で分光させるものではないので、補正用に最適な分光特性を持てばよい。そのため、カラーフィルタの材料や分光特性は、通常の固体撮像素子に使用されているカラーフィルタの材料や分光特性と同じでなくても構わない。また、通常の固体撮像素子に使用されているカラーフィルタと比較して、薄い膜としても構わない。吸収型カラーフィルタ単体で分光を行うと光量が1/3になってしまうが、本発明においては、ダイクロイックプリズムによる分光後の単色光をカラーフィルタで補正するため、入射角度によって変化した分のみが吸収されるので、吸収損失は少ない。さらにまた、カラーフィルタを用いることにより、分光特性の入射角依存性を補正する他に、多層膜ダイクロイックミラーの層数の低減効果も期待できる。このことを、赤Rの画素を例として、図20を参照して説明する。図20Aには、層数が多く十分な分光特性を有する、理想的なダイクロイックミラーと、少層数のダイクロイックミラーと、赤色のカラーフィルタ厚さt=150nm、300nmとの、4つの構成の分光特性を並べて示している。図20Aに示すように、理想的なダイクロイックミラーに比べ、少層数のダイクロイックミラーは、一般に傾斜がなだらかな分光となる。ここで、少層数のダイクロイックミラーに赤色のカラーフィルタ厚さt=150nm、300nmを組み合わせると、図20Bに示す分光特性となる。図20Bからわかるように、少層数でのダイクロイックミラーにおいても、カラーフィルタを組み合わせれば、理想的なダイクロイックミラーの分光特性に近づけることが可能となる。なお、カラーフィルタで吸収される光量損失は、カラーフィルタが厚いほど多くなる。分光特性の向上と単独でカラーフィルタを用いる場合での光損失とを考慮すると、このカラーフィルタで吸収される光量損失よりも、分光特性の向上と光利用効率の向上の恩恵の方が大きい。即ち、トータルでは、カラーフィルタを組み合わせることで、高い効果が得られる。ダイクロイックミラー多層膜の分光とカラーフィルタとを併用することにより、色純度を向上させることができる。カラーフィルタのみで分光する構成と違い、ダイクロイックミラーによって色を分離した後に入射光が吸収されるので、光量ロスは少なく、余分な混色成分が吸収され、色純度向上が望める。カラーフィルタにも分光の役割を持たせることで、多層膜ダイクロイックミラーの層数を減らしつつも分光特性を補正できる。そして、多層膜ダイクロイックミラーの層数を低減することにより、製造プロセスを簡素化することができる。なお、本発明において、カラーフィルタについては、前述したように、通常の固体撮像素子に使用されている吸収型カラーフィルタとは異なる材料から成る吸収型カラーフィルタを使用することも可能である。また、吸収以外の原理により分光するカラーフィルタを使用することも可能である。例えば、ダイクロイックミラーにも使用されている多層膜の原理を用いて、特定の波長帯域を透過させて、他の波長帯域は反射させる、或いは、干渉により減衰させる構成のカラーフィルタが考えられる。<2.第1の実施の形態固体撮像素子>本発明の第1の実施の形態の固体撮像素子の概略構成図を、図1~図5に示す。本実施の形態では、画素配列を、x方向にR/G/Bの3色を並べたストライプ画素配列とした場合である。図1は3画素分の断面構造図を示し、図2は撮像領域の画素配置の平面図と、対応するダイクロイックプリズムの配置を示し、図3はダイクロイックプリズムの平面図を示す。また、図4はマイクロレンズの配置の一形態の平面図を示し、図5はマイクロレンズの配置の他の形態の平面図を示す。本実施の形態の固体撮像素子は、図1に示すように、半導体層に形成されたフォトダイオードから成り、光電変換が行われる受光部1と、受光部1上に設けられたカラーフィルタ2B,2G,2Rとを有する。青の画素の受光部1B上には青のカラーフィルタ2Bが配置され、緑の画素の受光部1G上には緑のカラーフィルタ2Gが配置され、赤の画素の受光部1R上には赤のカラーフィルタ2Rが配置されている。隣接する画素の境界付近には、受光部1上に遮光材から成る画素間遮光部3が形成されている。画素間遮光部3の遮光材としては、金属や合金の膜等を使用することができる。カラーフィルタ2B,2G,2Rの上には、下層の第2層のダイクロイックプリズム2021,22と、上層の第1層のダイクロイックプリズム1011,12とが設けられている。それぞれのダイクロイックプリズム11,12,21,22において、光が入射する1つの面上側の面には、多層膜によるダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dが形成されている。即ち、1組4個のダイクロイックプリズム11,12,21,22の組み合わせによって、入射光を、赤、緑、青の3色の波長帯域に分離する構成である。なお、受光部1、カラーフィルタ2B,2G,2R、ダイクロイックプリズム11,12,21,22の配置関係は、図18と同様になっている。また、ダイクロイックプリズム11の真上に、入射した光を平行光にするコリメートレンズ5が設けられている。さらに、コリメートレンズ5の上方に、入射光を集束するマイクロレンズ6が設けられている。ダイクロイックプリズム11,12,13,14は、従来公知の方法を用いて形成することができる。例えば、特許文献1の図12に記載されているように、樹脂層をパターニング加工してプリズムの形状とした後に、エッチバックにより樹脂膜の下のプリズムの材料膜にプリズムの形状を転写する方法を用いることができる。また例えば、エッチング等の半導体プロセスにより、プリズムの材料膜を直接加工して、プリズムの形状とすることも可能である。プリズムの材料膜としては、例えば、SiO2膜等の透明な酸化膜を使用することができる。多層膜によるダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dは、例えば、誘電体であるTiO2、Ta2O5、SiO2等の材料を用いて形成することができる。また、多層膜によるダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dは、蒸着法、IADIonbeamAssistedDeposition法、スパッタリング法、CVD法等によって、成膜することが可能である。本実施の形態の固体撮像素子において、入射光は、マイクロレンズ6により、R/G/Bの3画素分の光を、緑Gの画素の上部に集光させて、コリメートレンズ5により、平行光になるように屈折させる。そして、第1層のダイクロイックプリズム1011,12によって、緑Gと青Bの光は透過し、赤Rの光は反射されて赤Rの画素の受光部1Rへ導かれる。即ち、ダイクロイックプリズム11のダイクロイックミラー4Aは、緑Gと青Bの光は透過し、赤Rの光は反射する特性を有しており、ダイクロイックプリズム12のダイクロイックミラー4Bは、赤Rの光を反射する特性を有する。さらに、透過した緑Gと青Bの光は、第2層のダイクロイックプリズム2021,22によって、緑Gは透過され、青Bは反射されて、それぞれの色の受光部1Gと1Bに導かれる。即ち、ダイクロイックプリズム21のダイクロイックミラー4Cは、緑Gの光は透過し、青Bの光は反射する特性を有しており、ダイクロイックプリズム22のダイクロイックミラー4Dは、青Bの光を反射する特性を有する。なお、ダイクロイックミラー4Aとダイクロイックミラー4Bは、同一構成であっても構わない。また、ダイクロイックミラー4Cとダイクロイックミラー4Dも、同一構成であっても構わない。このように、ダイクロイックミラーを同一構成とすることにより、ダイクロイックミラーを画素毎に作り分ける必要がなく、第1層もしくは第2層の同じ層のダイクロイックミラーを1回の多層膜成膜プロセスで作製することができる。本実施の形態においては、図1に示す3画素分の分光構造を1ユニットとして、多数のユニットが固体撮像素子の撮像領域内に配置される。そして、図2の平面図に示すように、y方向所謂垂直方向には、同じ色の画素をストライプ状に配置する。一方、x方向所謂水平方向には、前述した画角中央に対応する、撮像領域の中央線Cに対称に、3色R,G,Bの画素を配置する。そして、ダイクロイックプリズム11,12,22,21の配置は、図2の上図に模式的に示すように、x方向は撮像領域の中央に対称に配置する。なお、図2において、下図の平面図の3色R,G,Bの画素の位置と、上図のダイクロイックプリズム11,12,21,22の位置とは上下に対応しているわけではない。実際には、図1に示したように、ダイクロイックプリズム11及びダイクロイックプリズム21が緑Gの画素に配置され、ダイクロイックプリズム12が赤Rの画素に配置され、ダイクロイックプリズム22が青Bの画素に配置される。1組4個のダイクロイックプリズム11,12,22,21の配置は、撮像領域の中央線Cの左側の画素では、図1と同じ向きになっており、中央線Cの右側の画素では、図1とは反対の向きとなっている。そして、入射光が最初に入射するダイクロイックプリズム11を含む、上層の第1層のダイクロイックプリズム11,12は、ダイクロイックミラー4A,4Bの反射面が中央線Cの側に向くように配置されている。一方、下層の第2層のダイクロイックプリズム21,22は、ダイクロイックミラー4C,4Dの反射面が中央線Cとは反対の側に向くように配置されている。なお、本実施の形態においては、同じ色の画素がy方向にストライプ状に配置されているので、ダイクロイックプリズム11,12,21,22は、y方向には画素ごとに分離する必要はない。従って、図3の平面図に示すように、ダイクロイックプリズム11,12,21,22をy方向に連続した形状とすることも可能である。y方向に連続した形状とすることにより、ダイクロイックプリズムのy方向も画素ごとに分離した場合と比較して、ダイクロイックプリズム11,12,21,22の製造工程を簡略化して、より容易に製造することができる。また、1組4個のダイクロイックプリズム11,12,21,22のうち、光を反射させるだけで、光を透過させない、2つのダイクロイックプリズム12及び22には、ダイクロイックミラー4B,4Dの代わりに、単なる反射ミラーを用いても良い。例えば、金属膜Al膜等や合金膜から成る反射ミラーを使用することができる。次に、本実施の形態の固体撮像素子のマイクロレンズ6の配置の一形態を、図4に示す。図4に示す配置では、正方形の画素に対して、横3個の画素上に1個の横長のマイクロレンズ6が配置されている。マイクロレンズ6は、左から、青Bの画素、緑Gの画素、赤Rの画素、と並んだ3画素の上に配置されている。なお、図4は、図2の撮像領域のうち、中央線Cの左側の画素のマイクロレンズ6の配置を示している。図2の撮像領域の中央線Cの右側の画素では、図4とは反対に、左から、赤Rの画素、緑Gの画素、青Bの画素、と並んだ3画素の上にマイクロレンズ6を配置する。また、本実施の形態の固体撮像素子のマイクロレンズ6の配置の他の形態を、図5に示す。図5に示す配置では、縦が横の3倍の縦長の長方形の画素に対して、横3個の画素上に略正方形のマイクロレンズ6が配置されている。マイクロレンズ6は、左から、青Bの画素、緑Gの画素、赤Rの画素、と並んだ3画素の上に配置されている。なお、図5は、図2の撮像領域のうち、中央線Cの左側の画素のマイクロレンズ6の配置を示している。図2の撮像領域の中央線Cの右側の画素では、図5とは反対に、左から、赤Rの画素、緑Gの画素、青Bの画素、と並んだ3画素の上にマイクロレンズ6を配置する。上述の本実施の形態の固体撮像素子の構成によれば、ダイクロイックプリズム11,12,21,22のダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dの反射面の向きが撮像領域の中央線Cに対称となるように配置されている。このため、中央線Cの両側の画素において、入射光の反射面への入射角度を中央線Cに対称とすることができる。これにより、斜めに入射した光に対する、中央線Cの両側の画素における分光特性の差異を抑制することが可能になり、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制することが可能になる。また、ダイクロイックプリズム11,12,21,22の下方で、受光部1の上に、カラーフィルタ2R,2G,2Bが配置されている。このため、ダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dの多層膜の製造時の公差によるばらつきや、入射角度の変化によって変化した分光特性を、カラーフィルタ2R,2G,2Bで補正することができる。これにより、画素の分光特性を揃えて、色純度を向上させることができる。また、多層膜の層数を低減しても、低減したことにより広がる透過帯域をカラーフィルタ2R,2G,2Bで補正することができるので、充分な色純度を実現することが可能になる。本実施の形態によれば、上述したように、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制することが可能になると共に、入射角度や製造公差により変形した分光特性をカラーフィルタにおいて補正して色純度を向上することが可能となる。これにより、色再現性や入射角度依存性に優れた固体撮像素子を実現することができ、充分な色純度を有していて画質が良好である画像を得ることが可能になる。また、ダイクロイックプリズム11,12,21,22とカラーフィルタ2R,2G,2Bを共に用いる分光方式を採用しているため、カラーフィルタのみの分光方式よりも、光の利用効率を高めることが可能である。そして、カラーフィルタにも分光特性の制御の役割を持たせることにより、ダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dの多層膜の層数を増やさなくとも、色純度を高めることができる。さらに、本実施の形態によれば、入射光が最初に入射するダイクロイックプリズム11を含む、上層の第1層のダイクロイックプリズム11,12が、ダイクロイックミラー4A,4Bの反射面が撮像領域の中央線Cの側に向くように配置されている。これにより、固体撮像素子に斜めに光が入射したときに、中央線Cの両側の画素において共に、ダイクロイックプリズム11のダイクロイックミラー4Aにおける分光特性の変化を、透過帯幅が広くなるようにすることができる。従って、固体撮像素子に斜めに入射することによる感度の低下を防ぐことができ、色純度と感度を向上することができる。<3.第2の実施の形態固体撮像素子>本発明の第2の実施の形態の固体撮像素子の概略構成図を、図6~図10に示す。本実施の形態は、画素配列を、2×2正方画素配列とした場合である。図6は、本実施の形態で使用する、2×2正方画素配列の一形態の配列を示し、図7A及び図7Bは3画素分の断面構造図を示し、図8は撮像領域の画素配置の平面図と、対応するダイクロイックプリズムの配置を示す。また、図9はマイクロレンズの配置の一形態の平面図を示し、図10はマイクロレンズの配置の他の形態の平面図を示す。本実施の形態の固体撮像素子は、図6に示す2×2正方画素配列を採用する。即ち、2×2の4画素を1ユニットとして、緑Gの画素の上下方向に青Bの画素を配置し、緑Gの画素の左右方向に赤Rの画素を配置し、残りの1画素は白Wの画素とする。この白Wの画素には、カラーフィルタは配置しない。図7Aの断面構造図は、図6の緑Gと青Bの各画素を通る、x-z平面における断面図を示している。図7Bの断面構造図は、図6の緑Gと赤Rの各画素を通る、y-z平面における断面図を示している。図7A及び図7Bにおいて、配置されている部品は、第1の実施の形態の図1と同様であるが、上層の第1層のダイクロイックプリズム1011,12の向きと、下層の第2層のダイクロイックプリズム2021,22の向きとが、90度異なっている。このようにダイクロイックプリズム11,12,21,22の向きが第1の実施の形態と異なっているが、3色の光のそれぞれが通過するダイクロイックプリズムは第1の実施の形態と同様である。即ち、第1層のダイクロイックプリズム1011,12によって、緑Gと青Bの光は透過し、赤Rの光は反射されて赤Rの画素の受光部1Rへ導かれる。透過した緑Gと青Bの光は、第2層のダイクロイックプリズム2021,22によって、緑Gは透過され、青Bは反射されて、それぞれの色の受光部1Gと1Bに導かれる。即ち、1組4個のダイクロイックプリズム11,12,21,22の組み合わせによって、入射光を、赤、緑、青の3色の波長帯域に分離する構成である。また、詳細を後述するように図9及び図10を参照、本実施の形態では、第1の実施の形態とはマイクロレンズ6の配置が異なる。そのため、図7A及び図7Bにおいて、マイクロレンズ6の大きさは、図1の3画素分に対して、中央の画素全体と左右の画素の約半分ずつの合計約2画素分となっている。本実施の形態においては、図6に示す2×2の4画素分の分光構造を1ユニットとして、多数のユニットが固体撮像素子の撮像領域内に配置される。そして、図8の平面図に示すように、前述した画角中央に対応する、撮像領域の中央線C1,C2に対称になるように、2×2画素のユニットを配置する。即ち、x方向所謂水平方向では撮像領域の中央線C1に対称であり、y方向所謂垂直方向では撮像領域の中央線C2に対称である。左上の領域は図6と同じ画素配置であり、右上、右下、左下の各領域では、撮像領域の中央線C1,C2に対称になるように図6の画素配置の左右又は上下を入れ替えている。即ち、4つの象限で互いに対称になるように配置されている。なお、図8において、平面図の3色R,G,Bの画素の位置と、周囲のダイクロイックプリズム11,12,21,22の位置とは対応しているわけではない。実際には、図7A及び図7Bに示したように、ダイクロイックプリズム11及びダイクロイックプリズム21が緑Gの画素に配置され、ダイクロイックプリズム12が赤Rの画素に配置され、ダイクロイックプリズム22が青Bの画素に配置される。1組4個のダイクロイックプリズム11,12,22,21の配置は、撮像領域の中央線C1の左側の画素では、図7Bと同じ向きになっており、中央線C1の右側の画素では、図7Bとは反対の向きとなっている。また、中央線C2の下側の画素では、図7Aと同じ向きになっており、中央線C2の上側の画素では、図7Aとは反対の向きとなっている。そして、入射光が最初に入射するダイクロイックプリズム11を含む、上層の第1層のダイクロイックプリズム11,12は、ダイクロイックミラー4A,4Bの反射面が中央線C1の側に向くように配置されている。下層の第2層のダイクロイックプリズム21,22は、ダイクロイックミラー4C,4Dの反射面が中央線C2の側を向くように配置されている。なお、本実施の構成に対して、下層の第2層のダイクロイックプリズム21,22を、ダイクロイックミラー4C,4Dの反射面が中央線C2とは反対の側を向くように配置することも可能である。この配置とする場合には、画素配列を、図8に示した配列から、G及びRの行とB及びWの行とを逆にして、G及びRの行が中心線C2に隣接するように配置すればよい。本実施の形態においては、同じ色の画素がストライプ状に形成されていないため、ダイクロイックプリズム11,12,21,22は、x方向及びy方向において、画素ごとに分離して形成する。なお、1ユニットの4つのダイクロイックプリズム11,12,21,22のうち、光を反射させるだけで、光を透過させない、2つのダイクロイックプリズム12及び22には、ダイクロイックミラー4B,4Dの代わりに、単なる反射ミラーを用いても良い。例えば、金属膜Al膜等や合金膜から成る反射ミラーを使用することができる。次に、本実施の形態の固体撮像素子のマイクロレンズ6の配置の一形態を、図9に示す。図9に示す配置では、緑Gの画素を中心として、左右の赤Rの画素の半分ずつと、前後の青Bの画素の半分ずつとにわたって、略正方形のマイクロレンズ6が配置されている。この形態は、白Wの画素を撮像に使用しない場合のマイクロレンズ6の配置を示している。そのため、前後左右の4個のマイクロレンズ6が、白Wの画素上に集まっている。この場合、緑Gの画素に集光させるので、白Wの画素への入射光はないため、白Wの画素には受光部を設ける必要がなく、赤青緑の3色の分光情報のみで信号処理を行うことができる。なお、図9は、図8の撮像領域のうち、中央線C1と中央線C2で区切られた、左上の領域の画素のマイクロレンズ6の配置を示している。図8の撮像領域の、右上の領域、右下の領域、左下の領域では、それぞれ、マイクロレンズ6の下の画素の色の配置を、図8に対応して図9の配置から変更する。また、本実施の形態の固体撮像素子のマイクロレンズ6の配置の他の形態を、図10に示す。図10に示す配置では、緑Gの画素及び白Wの画素をそれぞれ中心として、略正方形のマイクロレンズ6を、対角線が前後左右方向になるように、斜めに配置している。この形態は、白Wの画素を撮像に使用する場合のマイクロレンズ6の配置を示している。そのため、緑Gの画素及び白Wの画素をそれぞれ中心としてマイクロレンズ6が配置され、赤R及び青Bの画素の上にそれぞれ4個のマイクロレンズ6が集まっている。この場合、緑Gの画素と白Wの画素とに集光させて、白の輝度情報と、赤緑青の分光情報とを、信号処理して、画像を出力する。図10の配置を図9の配置と比較すると、画素の大きさが同じであれば、空間解像度が高くなる。なお、図10は、図8の撮像領域のうち、中央線C1と中央線C2で区切られた、左上の領域の画素のマイクロレンズ6の配置を示している。図8の撮像領域の、右上の領域、右下の領域、左下の領域では、それぞれ、マイクロレンズ6の下の画素の色の配置を、図8に対応して図10の配置から変更する。上述の本実施の形態の固体撮像素子の構成によれば、ダイクロイックプリズム11,12,21,22のダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dの反射面の向きが撮像領域の中央線C1,C2に対称となるように配置されている。このため、中央線C1,C2の両側の画素において、入射光の反射面への入射角度を中央線C1,C2に対称とすることができる。これにより、斜めに入射した光に対する、中央線C1,C2の両側の画素における分光特性の差異を抑制することが可能になり、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制することが可能になる。また、ダイクロイックプリズム11,12,21,22の下方で、受光部1の上に、カラーフィルタ2R,2G,2Bが配置されている。このため、ダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dの多層膜の製造時の公差によるばらつきや、入射角度の変化によって変化した分光特性を、カラーフィルタ2R,2G,2Bで補正することができる。これにより、画素の分光特性を揃えて、色純度を向上させることができる。また、多層膜の層数を低減しても、低減したことにより広がる透過帯域をカラーフィルタ2R,2G,2Bで補正することができるので、充分な色純度を実現することが可能になる。本実施の形態によれば、上述したように、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制することが可能になると共に、入射角度や製造公差により変形した分光特性をカラーフィルタにおいて補正して色純度を向上することが可能となる。これにより、色再現性や入射角度依存性に優れた固体撮像素子を実現することができ、充分な色純度を有していて画質が良好である画像を得ることが可能になる。また、ダイクロイックプリズム11,12,21,22とカラーフィルタ2R,2G,2Bを共に用いる分光方式を採用しているため、カラーフィルタのみの分光方式よりも、光の利用効率を高めることが可能である。そして、カラーフィルタにも分光特性の制御の役割を持たせることにより、ダイクロイックミラー4A,4B,4C,4Dの多層膜の層数を増やさなくとも、色純度を高めることができる。さらに、本実施の形態によれば、入射光が最初に入射するダイクロイックプリズム11を含む、上層の第1層のダイクロイックプリズム11,12が、ダイクロイックミラー4A,4Bの反射面が撮像領域の中央線C1の側に向くように配置されている。これにより、固体撮像素子に斜めに光が入射したときに、中央線C1の両側の画素において共に、ダイクロイックプリズム11のダイクロイックミラー4Aにおける分光特性の変化を、透過帯幅が広くなるようにすることができる。従って、固体撮像素子に斜めに入射することによる感度の低下を防ぐことができ、色純度と感度を向上することができる。<4.第3の実施の形態固体撮像素子>本発明の第3の実施の形態の固体撮像素子の概略構成図を、図11~図14に示す。本実施の形態は、画素配列はx方向にR/G/Bの3色を並べたストライプ画素配列として、かつ、単層のダイクロイックプリズムで分光する場合である。図11は6画素分の断面構造図を示し、図12は撮像領域の画素配置の平面図と、対応するダイクロイックプリズムの配置を示す。また、図13はマイクロレンズの配置の一形態の平面図を示し、図14はマイクロレンズの配置の他の形態の平面図を示す。本実施の形態の固体撮像素子は、図11に示すように、カラーフィルタ2B,2G,2Rの上に、同じ層に配置された3個のダイクロイックプリズム13,14,15が設けられている。それぞれのダイクロイックプリズム13,14,15において、光が入射する表面には、多層膜によるダイクロイックミラー4E,4F,4Gが形成されている。本実施の形態の固体撮像素子において、図11中の太線で記載した枠が基本ユニットとなっている。基本ユニットの1組3個のダイクロイックプリズム13,14,15及びその下の3画素は、x方向に並べて配置される。本実施の形態の固体撮像素子において、入射光は、マイクロレンズ6により、R/G/Bの3画素分の光を、緑Gの画素の上部に集光させて、コリメートレンズ5により、平行光になるように屈折させる。そして、緑Gの画素に配置されたダイクロイックプリズム13によって、青B及び赤Rの光は反射され、緑Gの光は透過して緑Gの画素の受光部1Gへ導かれる。即ち、ダイクロイックプリズム13のダイクロイックミラー4Eは、緑Gの光は透過し、青B及び赤Rの光は反射する特性を有する。次に、青Bの画素に配置されたダイクロイックプリズム14によって、赤Rの光は透過され、青Bの光は反射して青Bの画素の受光部1Bへ導かれる。即ち、ダイクロイックプリズム14のダイクロイックミラー4Fは、青Bの光は反射し、赤Rの光は透過する特性を有する。さらに、赤Rの画素に配置されたダイクロイックプリズム15によって、赤Rの光が反射されて赤Rの画素の受光部1Rへ導かれる。即ち、ダイクロイックプリズム15のダイクロイックミラー4Gは、赤Rの光を反射する特性を有する。本実施の形態においては、図11に太線の枠で示した3画素分の分光構造を1ユニットとして、多数のユニットが固体撮像素子の撮像領域内に配置される。そして、図12の平面図に示すように、y方向所謂垂直方向には、同じ色の画素をストライプ状に配置する。x方向所謂水平方向には、前述した画角中央に対応する、撮像領域の中央線Cに対称に、3色R,G,Bの画素を配置する。これらの点は第1の実施の形態と同様である。ただし、図1と図11の断面構造図を比較してもわかるように、3色R,G,Bの画素の配置の順番が異なっており、図2及び図12の平面図でも3色R,G,Bの画素の配置の順番が異なっている。ダイクロイックプリズム13,14,15の配置は、図12の上図に模式的に示すように、x方向において撮像領域の中央線Cに対称となるように配置する。なお、図12において、下図の平面図の3色R,G,Bの画素の位置と、上図のダイクロイックプリズム13,14,15の位置とは上下に対応しているわけではない。実際には、図11に示したように、ダイクロイックプリズム13が緑Gの画素に配置され、ダイクロイックプリズム14が青Bの画素に配置され、ダイクロイックプリズム15が赤Rの画素に配置される。1組3個のダイクロイックプリズム13,14,15の配置は、撮像領域の中央線Cの左側の画素では、図11と同じ向きになっており、中央線Cの右側の画素では、図11とは反対の向きとなっている。そして、入射光が最初に入射するダイクロイックプリズム13を含む、1組3個のダイクロイックプリズム13,14,15は、ダイクロイックミラー4D,4E,4Fの反射面が中央線Cの側に向くように配置されている。本実施の形態においては、同じ色の画素がy方向にストライプ状に配置されているので、ダイクロイックプリズム13,14,15は、y方向には画素ごとに分離する必要はない。従って、第1の実施の形態の図3と同様に、ダイクロイックプリズム13,14,15をy方向に連続した形状とすることができる。これにより、ダイクロイックプリズムのy方向も画素ごとに分離した場合と比較して、ダイクロイックプリズム13,14,15の製造工程を簡略化して、より容易に製造することができる。なお、1組3個のダイクロイックプリズム13,14,15のうち、光を反射させるだけで、光を透過させない、ダイクロイックプリズム15には、ダイクロイックミラー4Fの代わりに、単なる反射ミラーを用いても良い。例えば、金属膜Al膜等や合金膜から成る反射ミラーを使用することができる。次に、本実施の形態の固体撮像素子のマイクロレンズ6の配置の一形態を、図13に示す。図13に示す配置では、画素とマイクロレンズ6の形状は図4と同じであるが、画素の色の配列の順番とマイクロレンズ6の位置とが図4とは異なっている。マイクロレンズ6は、左から、赤Rの画素、緑Gの画素、青Bの画素、と並んだ3画素の上に配置されている。画素の配置は、図12の中央線Cの左側に示すように、左から緑G、青B、赤Rと配置されているので、マイクロレンズ6の位置が1画素分左にずれている。なお、図13は、図12の撮像領域のうち、中央線Cの左側の画素のマイクロレンズ6の配置を示している。図12の撮像領域の中央線Cの右側の画素では、図13とは反対に、左から、青Bの画素、緑Gの画素、赤Rの画素、と並んだ3画素の上にマイクロレンズ6を配置する。また、マイクロレンズ6の位置は1画素分右にずらす。このようにマイクロレンズ6を配置することから、図12の撮像領域のうち、中央線Cの左右1列ずつの赤Rの画素では、上にマイクロレンズ6がなくても構わない。また、本実施の形態の固体撮像素子のマイクロレンズ6の配置の他の形態を、図14に示す。図14に示す配置では、画素とマイクロレンズ6の形状は図5と同じであるが、画素の色の配列の順番とマイクロレンズ6の位置とが図5とは異なっている。マイクロレンズ6は、左から、赤Rの画素、緑Gの画素、青Bの画素、と並んだ3画素の上に配置されている。画素の配置は、図12の中央線Cの左側に示すように、左から緑G、青B、赤Rと配置されているので、マイクロレンズ6の位置が1画素分左にずれている。なお、図14は、図12の撮像領域のうち、中央線Cの左側の画素のマイクロレンズ6の配置を示している。図12の撮像領域の中央線Cの右側の画素では、図14とは反対に、左から、青Bの画素、緑Gの画素、赤Rの画素、と並んだ3画素の上にマイクロレンズ6を配置する。また、マイクロレンズ6の位置は1画素分右にずらす。このようにマイクロレンズ6を配置することから、図12の撮像領域のうち、中央線Cの左右1列ずつの赤Rの画素では、上にマイクロレンズ6がなくても構わない。その他の構成は、図1~図3に示した第1の実施の形態と同様であるので、重複説明を省略する。上述の本実施の形態の固体撮像素子の構成によれば、ダイクロイックプリズム13,14,15のダイクロイックミラー4E,4F,4Gの反射面の向きが撮像領域の中央線Cに対称となるように配置されている。このため、中央線Cの両側の画素において、入射光の反射面への入射角度を中央線Cに対称とすることができる。これにより、斜めに入射した光に対する、中央線Cの両側の画素における分光特性の差異を抑制することが可能になり、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制することが可能になる。また、ダイクロイックプリズム13,14,15の下方で、受光部1の上に、カラーフィルタ2R,2G,2Bが配置されている。このため、ダイクロイックミラー4E,4F,4Gの多層膜の製造時の公差によるばらつきや、入射角度の変化によって変化した分光特性を、カラーフィルタ2R,2G,2Bで補正することができる。これにより、画素の分光特性を揃えて、色純度を向上させることができる。また、多層膜の層数を低減しても、低減したことにより広がる透過帯域をカラーフィルタ2R,2G,2Bで補正することができるので、充分な色純度を実現することが可能になる。本実施の形態によれば、上述したように、分光特性の差異による色ムラの発生を抑制することが可能になると共に、入射角度や製造公差により変形した分光特性をカラーフィルタにおいて補正して色純度を向上することが可能となる。これにより、色再現性や入射角度依存性に優れた固体撮像素子を実現することができ、充分な色純度を有していて画質が良好である画像を得ることが可能になる。また、ダイクロイックプリズム13,14,15とカラーフィルタ2R,2G,2Bを共に用いる分光方式を採用しているため、カラーフィルタのみの分光方式よりも、光の利用効率を高めることが可能である。そして、カラーフィルタにも分光特性の制御の役割を持たせることにより、ダイクロイックミラー4E,4F,4Gの多層膜の層数を増やさなくとも、色純度を高めることができる。さらに、本実施の形態によれば、入射光が最初に入射するダイクロイックプリズム13を含む、1組3個のダイクロイックプリズム13,14,15が、ダイクロイックミラー4D,4E,4Fの反射面が撮像領域の中央線Cの側に向くように配置されている。これにより、固体撮像素子に斜めに光が入射したときに、中央線Cの両側の画素において共に、ダイクロイックプリズム13のダイクロイックミラー4Dにおける分光特性の変化を、透過帯幅が広くなるようにすることができる。従って、固体撮像素子に斜めに入射することによる感度の低下を防ぐことができ、色純度と感度を向上することができる。さらにまた、本実施の形態では、ダイクロイックミラー13,14,15を1層のみに配置しているので、第1の実施の形態や第2の実施の形態の構成と比較して、受光部1からマイクロレンズ6までの高さを低減することができる。上述の各実施の形態では、ストライプ画素配列や、白Wの画素を含む2×2正方画素配列を採用していた。本発明の固体撮像素子において、撮像領域の画素配列画素の色配列は、これらの画素配列に限定されるものではなく、他の画素配列を採用することも可能である。<5.第4の実施の形態撮像装置>本発明の第4の実施の形態の撮像装置の概略構成図ブロック図を、図15に示す。この撮像装置としては、例えば、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、携帯電話のカメラ等が挙げられる。図15に示すように、この撮像装置500は、固体撮像素子図示せずを備えた撮像部501を有している。この撮像部501の前段には、入射光を集光して像を結像させる結像光学系502が備えられている。また、撮像部501の後段には、撮像部501を駆動する駆動回路、固体撮像素子で光電変換された信号を画像に処理する信号処理回路等を有する信号処理部503が接続されている。また、信号処理部503によって処理された画像信号は、画像記憶部図示せずによって記憶させることができる。このような撮像装置500において、固体撮像素子として、前述した各実施の形態の固体撮像素子等、本発明の固体撮像素子を用いることができる。本実施の形態の撮像装置500によれば、本発明の固体撮像素子、即ち、前述したように、光の利用効率や色純度が充分に得られ、色再現性や入射角度依存性に優れた固体撮像素子を用いている。これにより、固体撮像素子への光の入射角度が斜めに変化しても、色再現性に優れる良質な画像が得られる撮像装置500を構成することができる、という利点がある。なお、本発明の撮像装置は、図15に示した構成に限定されることはなく、固体撮像素子を用いる撮像装置であれば、適用することが可能である。例えば、固体撮像素子は、ワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像部と、信号処理部または光学系とがまとめてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。本発明の撮像装置は、例えば、カメラや撮像機能を有する携帯機器等、各種の撮像装置に適用することができる。また、撮像の広義の意味として、指紋検出装置等も含む。本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。"