光ソースから生成される1次電子PrimaryElectronを試料に入射させ、前記1次電子が入射された後、試料から放出される放出電子を検出するための走査電子顕微鏡において、前記光ソースと前記試料との間に配置され、磁場及び電場を発生させることによって、前記放出電子を2次電子SecondaryElectronと反射電子BackScatteredElectronに分離するウィーンフィルタ部と、前記ウィーンフィルタ部から分離される2次電子と反射電子をそれぞれディテクティングするディテクティング部とを含むことを特徴とする反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡。前記ディテクティング部は、前記ウィーンフィルタWienfilter部の上側に配置され、前記2次電子をディテクティングする第1検出部と、前記第1検出部と前記光ソースとの間に配置され、前記反射電子をディテクティングする第2検出部を含むことを特徴とする請求項1に記載の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡。前記第1検出部の前記2次電子が入射される側端部の面または前記第2検出部の前記反射電子が入射される側端部の面は傾斜を形成することを特徴とする請求項2に記載の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡。前記第1検出部の2次電子が入射される側端部と地面がなす角度は、前記第2検出部の反射電子が入射される側端部と地面がなす角度よりさらに大きいことを特徴とする請求項3に記載の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡。前記ディテクティング部は、前記2次電子を前記第1検出部側に誘引したり、前記反射電子を前記第2検出部側に誘引するために、前記第1検出部または前記第2検出部の端部から所定間隔に離隔配置される電子誘引部材をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡。前記ディテクティング部は、前記反射電子が前記電子誘引部材によって、前記第1検出部側に誘引されることが防止されるように前記反射電子の移動経路上に配置される誘引防止部材をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡。前記光ソースと前記ウィーンフィルタ部と前記ディテクティング部とを収容し、前記光ソースから走査される1次電子が出射される端部側は真空状態に隔離される鏡筒をさらに含むことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡。したがって、本発明の目的は、このような従来の問題点を解決するためのものであり、ウィーンフィルタWienfilterを利用して2次電子と反射電子を分離してディテクティングすることができる反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡を提供することにある。前記目的は、本発明により、光ソースから生成される1次電子PrimaryElectronを試料に入射させ、前記1次電子が入射された後、試料から放出される放出電子を検出するための走査電子顕微鏡において、前記光ソースと前記試料との間に配置され、磁場及び電場を発生させることによって、前記放出電子を2次電子SecondaryElectronと前記反射電子BackScatteredElectronに分離するウィーンフィルタ部と、前記ウィーンフィルタ部から分離される2次電子と反射電子をそれぞれディテクティングするディテクティング部とを含むことを特徴とする反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡によって達成される。また、前記ディテクティング部は、前記ウィーンフィルタ部の上側に配置され、前記2次電子をディテクティングする第1検出部と、前記第1検出部と前記光ソースとの間に配置され、前記反射電子をディテクティングする第2検出部を含むことができる。また、前記第1検出部の前記2次電子が入射される側端部の面または前記第2検出部の前記反射電子が入射される側端部の面は傾斜を形成することができる。また、前記第1検出部の2次電子が入射される側端部と地面がなす角度は、前記第2検出部の反射電子が入射される側端部と地面がなす角度よりさらに大きいこともある。また、前記ディテクティング部は、前記2次電子を前記第1検出部側に誘引したり、前記反射電子を前記第2検出部側に誘引するために、前記第1検出部または前記第2検出部の端部から所定間隔に離隔配置される電子誘引部材をさらに含むことができる。また、前記ディテクティング部は、前記反射電子が前記電子誘引部材によって、前記第1検出部側に誘引されることが防止されるように前記反射電子の移動経路上に配置される誘引防止部材をさらに含むことができる。また、前記光ソースと前記ウィーンフィルタ部と前記ディテクティング部とを収容し、前記光ソースから走査される1次電子が出射される端部側は真空状態に隔離される鏡筒をさらに含むことができる。本発明によると、ウィーンフィルタ部によって、試料から放出される2次電子と反射電子を容易に分離し、それぞれディテクティングすることができる反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡が提供される。また、別途の追加的な構成なしでウィーンフィルタ部を利用して2次電子及び反射電子を容易に分離することができる。また、2次電子と反射電子を同時に検出することにより、試料の表面特性及び内部特性を同時に把握することができる。また、2次電子及び反射電子をディテクティングするディテクティング部が鏡筒内に備えられるようにすることにより、全体的にコンパクトに構成することができる。また、ディテクティング部の電子が入射される端面が傾斜するようにして、電子が垂直に入射されるようにすることにより、電子の入射率及び試料の特性測定精度を向上させることができる。説明に先立ち、様々な実施形態において、同一の構成を有する構成要素については、同一の符号を使用して代表的に第1実施形態で説明し、その他の実施形態では第1実施形態と異なる構成について説明することにする。以下、添付の図面を参照して本発明の第1実施形態に係る反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡について詳細に説明する。図2は、本発明の第1実施形態に係る反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡の概略的な端面図である。図2を参照すると、本発明の第1実施形態に係る反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡100は、鏡筒110と光ソース120と集束レンズ130とアパーチャー140とディテクティング部150とウィーンフィルタ部160と対物レンズ170と試料ホルダー180とを含む。前記鏡筒110は、後述する光ソース120、集束レンズ130、アパーチャー140、ディテクティング部150、ウィーンフィルタ部160、対物レンズ170を内部に収容するための外装材として、1次電子PrimaryElectron:peが出射する側の端部、すなわち、試料Sが設けられる試料ホルダー180側の端部は、真空状態を維持する。前記光ソース120は、鏡筒110内の陰極を加熱して発生する1次電子peを下方の試料Sが装着されている試料ホルダー180側に走査するための部材である。前記集束レンズ130は、前述した光ソース120から放出される1次電子peを一点に集束するための部材である。前記アパーチャー140は、集束レンズ130を通過することにより集束された1次電子peを、波長が一定の形態でするための部材である。前記ディテクティング部150は、1次電子peが入射された後、試料Sから放出される2次電子SecondaryElectron:se及び反射電子BackScatteredElectron:bseを含む放出電子eeを検出するための部材として、第1検出部151と第2検出部152とを含む。前記第1検出部151は、試料Sから放出される放出電子eeの中、2次電子seのみをディテクティングするためのものであって、光ソース120と後述するウィーンフィルタ部160との間に配置される。2次電子seは、試料Sから上側に移動する途中で側方に偏向され、第1検出部151に入射されるため、第1検出部151の端面は2次電池が垂直に入射されるように傾斜するように形成される。前記第2検出部152は、試料Sから放出される放出電子eeの中、反射電子beのみを検出するためのものであって、光ソース120と第1検出部151との間、すなわち、第1検出部151の上側に設けれる。一方、第2検出部152の端面も前述した第1検出部151と同様に傾斜を形成することができ、反射電子beの偏向程度は2次電子seより小さいため、第2検出部の端面の傾斜角も第1検出部151の端面より小さく形成されることが好ましい。もう一度説明すると、第1検出部151の2次電子seが入射される面が地面となす角度θ1は、第2検出部152の反射電子beが入射される面と地面がなす角度θ2より大きく形成されることが好ましい。前記ウィーンフィルタ部160は、第1検出部151と試料ホルダー180との間、すなわち、第1検出部151の下側に設けられるものであって、試料Sから放出される放出電子eeの移動経路がディテクティング部150側に偏向されるようにする部材である。これと同時に、ウィーンフィルタ部160は、試料Sから放出される放出電子eeに含まれる2次電子seと反射電子beの移動速度が互いに差があることを利用して、2次電子seと反射電子beとを物理的に分離する役割を遂行する。すなわち、ウィーンフィルタ部160は、試料Sから放出される放出電子eeの移動方向と垂直の面上に互いに垂直する電場と磁場を発生させることにより、2次電子se及び反射電子beの移動軌跡を偏向させる。前記対物レンズ170は、光ソース120で発生して下方に移動する1次電子peの焦点を試料S表面に合わせる役割をする部材である。前記試料ホルダー180は、鏡筒の下方に配置され、試料Sを支持する部材である。一方、試料ホルダー180は、3軸方向に沿って移動可能であり、回転及び傾き等により、試料Sの観察が容易になるように制御することができる。ここからは、前述した反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡100の第1実施形態の作動について説明する。図3は、図2の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡でウィーンフィルタ部を通過する1次電子の動作を示す図であり、図4は、図2の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡で試料から放出される放出電子の移動軌跡で示す図であり、図5は、図2の反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡でウィーンフィルタ部を通過する放出電子の動作を示す図である。まず、図2を参照すると、鏡筒110内の光ソース120から発生する1次電子peは、高電圧が印加されて加速されることによって、下方の試料Sが装着される試料ホルダー180側に走査される。ただし、この時、鏡筒110の内部に所定のリフレクター図示せずを利用して1次電子peの走査方向を制御する。光ソース120から走査される1次電子peは、集束レンズ130、アパーチャー140を通過した後、ウィーンフィルタ部160に到達する。この時、ウィーンフィルタ部160では、地面と平行な所定の面上で互いに垂直する方向に沿って磁場と電場を発生させる。ウィーンフィルタ部160から発生する電場により、1次電子に加えられる力を説明している図3aに示すように、下方に移動する1次電子peは、ウィーンフィルタ部160を通過しながら、ウィーンフィルタ部160から発生する電場20によってx軸方向の力を受ける。これと同時に、ウィーンフィルタ部160から発生する磁場30により、1次電子に加えられる力を説明している図3bを参照すると、1次電子peは、ウィーンフィルタ部160で発生する磁場30と反応して、フレミングの左手法則によって-x軸方向の力を受けるようになる。この時、1次電子peが電場20によって受ける力と磁場30によって受ける力の絶対値が同一になるようにウィーンフィルタ部160を制御する。したがって、ウィーンフィルタ部160の磁場30によって1次電子peに加えられる力は、ウィーンフィルタ部160の電場20によって1次電子peに加えられる力によって相殺され、x-y平面上で偏向せず下方-z方向に垂直移動する。ウィーンフィルタ部160を通過した1次電子peは、前述した過程により、垂直下方-z軸方向に移動して試料Sに最終的に入射される。この時、試料Sに入射される1次電子peは、試料S表面での深さに応じて互いに異なる機作mechanismを示し、試料Sの深さに応じて互いに異なる形態の電子が放出される。例えば、1次電子peが試料Sの表面に入射され、表面と反応して2次電子seが放出され、1次電子peが試料Sの表面から深く入射されると、反射電子beが放出され、その他に1次電子peが入射された後試料Sからx-rayなどが放出される。ただし、本実施形態においては、1次電子peが入射された後、試料Sから放出される放出電子eeは試料Sの表面と反応して放出される2次電子seと試料Sの表面から比較的深く入射されて放出される反射電子beのみを含むことにして説明する。図4に示すように、2次電子seと反射電子beに区分される放出電子eeが試料Sから上側z軸方向に垂直放出されると、このような放出電子eeはウィーンフィルタ部160を通過する前までは、1次電子peが走査された経路と同じ経路に沿って移動するようになる。試料Sから放出される放出電子eeがウィーンフィルタ部160に到達すると、1次電子peが下方に走査される場合に、ウィーンフィルタ部160から発生したことと同じ方向の電場20及び磁場30が放出電子eeに加えられる。ウィーンフィルタ部160から発生する電場20及び磁場30により、放出電子eeに加えられる力を詳細に説明すると、まず、ウィーンフィルタ部160から発生する電場によって、放出電子eeに加えられる力を説明している図5aに示すように、試料Sから上方z軸方向に垂直移動する放出電子eeは、電場20によるx軸方向の力を受ける。また、ウィーンフィルタ部160から発生する磁場30によって放出電子eeに加えられる力を説明している図5bに示すように、磁場30と反応して発生する力が前述した1次電子peに加えられる力と互いに反対方向、すなわち、x軸方向に形成される。すなわち、電場20から放出電子eeに加えられる力と同じ方向の力が加えられるため、放出電子eeの移動軌跡は、ディテクティング部150が設けられた位置に偏向される。もう一度説明すると、放出電子eeは、1次電子peと反対の方向に沿って移動するため、磁場30と反応して発生する力及び電場20によって加えられる力を同時に受け、一側に偏向される。この時、放出電子eeに含まれる反射電子beの速度は、2次電子seの速度より大きいが、同じ力を受けることになるので、相対的に遅い速度の2次電子seの移動軌跡が反射電子beの移動軌跡より大きな角度で曲がるようになり、相対的に速い速度の反射電子beの移動軌跡は小さな角度で曲がる。すなわち、電子間の速度差により、ウィーンフィルタ部160を通過した放出電子eeは、比較的急激な角度で偏向される2次電子seと緩やかな角度で偏向される反射電子beに分離される。試料Sから放出される放出電子eeから分離され、急激に偏向される2次電子seはウィーンフィルタ部160のすぐ上側に配置される第1検出部151に入射され、比較的速い速度で移動して緩やかな角度で偏向されて分離される反射電子beは、第1検出部151の上側に配置される第2検出部152に入射される。一方、第1検出部151及び第2検出部152の前端部の電子が入射される面は傾斜を形成することによって、第1検出部151及び第2検出部152の端面に2次電子se及び反射電子beが垂直に入射されて、入射率が向上することができる。また、第1検出部151の2次電子seが入射される面と第2検出部152の反射電子bseが入射される面は、各電子が垂直入射されるように互いに異なる角度を形成されることにより、電子入射率が向上することができる。以下、本発明の第2実施形態に係る反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡について説明する。図6は、本発明の第2実施形態に係る反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡の概略的な端面図である。図6を参照すると、本発明の第2実施形態に係る反射電子検出機能を備えた走査電子顕微鏡200は、鏡筒110と光ソース120と集束レンズ130とアパーチャー140とディテクティング部250とウィーンフィルタ部160と対物レンズ170と試料ホルダー180とを含む。本実施形態の鏡筒110、光ソース120、集束レンズ130、アパーチャー140、ウィーンフィルタ部160、対物レンズ170及び試料ホルダー180は、前述した第1実施形態の構成と同一であるため重複説明は省略する。前記ディテクティング部250は、第1検出部251と第2検出部252と電磁誘導部材251a、252aと誘引防止部材253とを含む。前記第1検出部251は、2次電子seのみを選択的に検出するための部材である。一方、前記第1検出部251の端部には、フィールドを形成する電磁誘導部材251aが配置されることによってウィーンフィルタ部160を2次電子が第1検出部251側に移動するように誘引する。前記第2検出部252は、反射電子bseのみを選択的に検出するための部材である。前記第2検出部252の端部には、フィールドを形成する電磁誘導部材252aが配置されることによってウィーンフィルタ部160を通過した反射電子bseが第2検出部252側に移動するように誘引する。前記誘引防止部材253は、ウィーンフィルタ部160を通過した反射電子bseが第1検出部251の電磁誘導部材251aによって第1検出部251側に移動することを防止するための部材として、反射電子bseの経路上に貫通部が形成されて接地された状態を維持することにより、反射電子bseが第1検出部251側に引かれるいくのを防止する。本発明の権利範囲は、前述した実施形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲内で様々な形態の実施形態で具現することができる。特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば誰でも変形可能な多様な範囲まで本発明の請求範囲の記載の範囲内にあるものとみなす。