"軸と、内周に軸が挿入された外側部材と、軸の外周面と外側部材の内周面との間に配置され、可撓性のある軸受面を有するフォイル部材とを備え、フォイル部材の軸受面で軸受隙間を形成し、前記軸受隙間に生じる流体膜で軸部材と外側部材との相対回転を支持するフォイル軸受であって、軸の外周面及び外側部材の内周面に互いに対向する一対のテーパ面を設け、一方のテーパ面に前記フォイル部材を取り付けると共に、他方のテーパ面と前記軸受面との間に前記軸受隙間を形成するフォイル軸受。軸の外周面及び外側部材の内周面に、互いに対向し、軸方向一方側に大径部を配した一対の第1テーパ面と、互いに対向し、軸方向他方側に大径部を配した一対の第2テーパ面とを設けた請求項1記載のフォイル軸受。それぞれの大径部が軸方向外側に配されるように、第1テーパ面及び第2テーパ面を軸方向に並べて配置した請求項2記載のフォイル軸受。請求項1~3の何れかに記載のスラストフォイル軸受を有するガスタービン。請求項1~3の何れかに記載のスラストフォイル軸受を有する過給機。しかし、回転部材をラジアル方向に支持するフォイル軸受とスラスト方向に支持するフォイル軸受とを別々に設けると、部品数が多くなってコスト高を招く。また、上記のように、フォイル軸受は、転がり軸受や一般的な空気動圧軸受よりも軸受隙間を大きく設定できるが、軸受隙間を大きくした分だけ軸の相対的な移動許容量が大きくなる。特に、ガスタービンや過給機の軸を支持するスラスト軸受としてフォイル軸受使用した場合、軸のスラスト方向の移動許容量が大きいと、軸に取り付けられた羽根タービン、圧縮機のスラスト方向の移動許容量も大きくなるため、羽根がケーシングと干渉しないように、羽根とケーシングとの間の隙間を予め大きめに設定する必要が生じる。羽根とケーシングとの間の隙間を大きくすると、この隙間から空気が漏れてしまうため、圧縮機における圧縮率、あるいは、タービンにおける変換効率が低下してしまう。本発明は、軸をラジアル方向及びスラスト方向に相対支持するフォイル軸受において、部品数を削減すると共に、軸のスラスト方向の相対的な移動許容量を小さくすることを目的とする。上記の目的を達成するため、本発明は、軸と、内周に軸が挿入された外側部材と、軸の外周面と外側部材の内周面との間に配置され、可撓性のある軸受面を有するフォイル部材とを備え、フォイル部材の軸受面で軸受隙間を形成し、軸受隙間に生じる流体膜で軸部材と外側部材との相対回転を支持するフォイル軸受であって、軸の外周面及び外側部材の内周面に互いに対向する一対のテーパ面を設け、一方のテーパ面にフォイル部材を取り付けると共に、他方のテーパ面と軸受面との間に軸受隙間を形成する。このように、本発明に係るフォイル軸受では、一方のテーパ面に取り付けたフォイル部材の軸受面と他方のテーパ面との間に軸受隙間を形成する。この場合、テーパ面の法線方向に支持力が発生するため、この支持力のラジアル方向成分及びスラスト方向成分により、軸をラジアル方向及びスラスト方向に相対支持することができる。従って、上記のフォイル軸受を用いれば、ラジアル方向支持用の軸受とスラスト方向支持用の軸受とを別々に設ける場合と比べて、部品数を削減することができる。また、上記のフォイル軸受では、スラスト方向に対して傾斜した方向テーパ面の法線方向に軸受隙間が形成されるため、外側部材に対する軸のスラスト方向の移動許容量を抑えることができる。すなわち、例えば図8に示すように、固定部材101に取り付けられたフォイル102の軸受面102aと、回転軸103のフランジ部104の端面104aとの間にスラスト方向の軸受隙間が形成される場合、このスラスト軸受隙間の大きさX’が、回転軸103のスラスト方向の移動許容量x’となるx’=X’。これに対し、図9に示す例では、固定部材201の端面201a及び回転軸203のフランジ部204の端面204aを、軸方向に対して角度θだけ傾斜したテーパ面とし、固定部材201の端面201aに取り付けたフォイル202の軸受面202aとフランジ部204の端面204aとの間に軸受隙間が形成される。この場合、軸受隙間の大きさXのスラスト方向成分が回転軸203のスラスト方向の移動許容量xとなるx=Xsinθ。従って、図8に示すスラスト軸受隙間の大きさX’と図9に示す軸受隙間の大きさXとが等しい場合、テーパ面間に軸受隙間を形成した図9に示す例の方が、回転軸の移動許容量を小さくすることができるx<x’。尚、図8及び図9では、理解の容易化のため、軸受隙間X、X’の大きさを誇張して示している。上記のフォイル軸受において、軸の外周面及び外側部材の内周面に、互いに対向し、軸方向一方側に大径部を配した一対の第1テーパ面と、互いに対向し、軸方向他方側に大径部を配した一対の第2テーパ面とを設ければ、これらの第1テーパ面及び第2テーパ面により、軸を外側部材に対して両スラスト方向に支持することができる。軸と外側部材とが相対回転したとき、一対のテーパ面の相対的な周速は大径側ほど大きくなるため、テーパ面の大径部において軸受隙間に生じる圧力が最大となる。従って、それぞれの大径部が軸方向外側に配されるように、第1テーパ面及び第2テーパ面を軸方向に並べて配置すれば、支持力が高い大径部の軸方向距離軸受スパンを大きくすることができ、フォイル軸受のモーメント剛性が高められる。以上のようなフォイル軸受をガスタービンや過給機のロータ支持用として使用すれば、軸のスラスト方向の移動許容量を小さくすることができる。これにより、タービンや圧縮機の羽根とケーシングとの間の隙間を小さく設定することが可能となり、圧縮機における圧縮率あるいはタービンにおける変換効率を高めることができる。以上のように、本発明によれば、軸をラジアル方向及びスラスト方向に相対支持するフォイル軸受において、部品数を削減できると共に、軸のスラスト方向の相対的な移動許容量を小さくすることができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1に、マイクロガスタービンの構成を概念的に示す。このマイクロガスタービンは、翼列を形成したタービン1及び圧縮機2と、発電機3と、燃焼器4と、再生器5とを主に備える。タービン1、圧縮機2、及び発電機3には、水平方向に延びる共通の軸6が設けられ、この軸6と、タービン1および圧縮機2とで一体回転可能のロータが構成される。吸気口7から吸入された空気は、圧縮機2で圧縮され、再生器5で加熱された上で燃焼器4に送り込まれる。この圧縮空気に燃料を混合して燃焼させ、このときの高温、高圧のガスでタービン1を回転させる。タービン1の回転力が軸6を介して発電機3に伝達され、発電機3が回転することにより発電し、この電力がインバータ8を介して出力される。タービン1を回転させた後のガスは比較的高温であるため、このガスを再生器5に送り込んで燃焼前の圧縮空気との間で熱交換を行うことで、燃焼後のガスの熱を再利用する。再生器5で熱交換を終えたガスは、排熱回収装置9を通ってから排ガスとして排出される。図2に、ロータの支持構造、特に、タービン1と圧縮機2との軸方向間における支持構造を示す。この領域は高温、高圧のガスで回転されるタービン1に隣接しているため、空気動圧軸受、特にフォイル軸受10が適用される。本実施形態のフォイル軸受10は、軸方向に並べて配された第1軸受部20及び第2軸受部20’で構成される。第1軸受部20は、図3の分解図に示すように、軸6から外周に突出して設けられた環状の突出部21と、突出部21の外周に設けられた環状の外側部材22と、突出部21と外側部材22との間に設けられたフォイル部材23とを備える。第2軸受部20は、第1軸受部20を軸方向で反転させた構成を成し、突出部21’、外側部材22’、及びフォイル部材23’とを備える。尚、図3では、フォイル軸受10の円周方向一部を切り欠いて示しているが、実際は、図4に示すように、突出部21、21’及び外側部材22、22’は全周で連続した環状を成し、フォイル部材23、23’はほぼ全周に設けられる。第1軸受部20の突出部21は軸6の外周面6aに固定され、外側部材22はケーシング30の内周に固定される図2参照。第1軸受部20は互いに対向する一対の第1テーパ面を有し、図示例では、突出部21に形成された第1テーパ状外周面21a、及び、外側部材22に形成された第1テーパ状内周面22aを有する。第1テーパ状外周面21aと第1テーパ状内周面22aとは、軸方向に対する傾斜角度が同じである。フォイル部材23は、可撓性のある軸受面Aを有し、突出部21の第1テーパ状外周面21aと外側部材22の第1テーパ状内周面22aとの間のテーパ状の空間に配置される。本実施形態では、図4に示すように、固定側に設けられた外側部材22の第1テーパ状内周面22aにフォイル部材23が固定され、回転側に設けられた突出部21の第1テーパ状外周面21aとフォイル部材23の軸受面Aとの間に軸受隙間Sが形成される。尚、実際の軸受隙間Sの幅は数十μm程度の微小なものであるが、図4ではその幅を誇張して描いている。本実施形態のフォイル部材23は、軸受面Aを有する金属製のトップフォイル23aと、トップフォイル23aを弾性支持する金属製のバックフォイル23bとからなる、いわゆるバンプフォイル型である図3参照。トップフォイル23aは、1枚のテーパ状のフォイルからなり、内周面に軸受面Aが設けられる図4参照。軸受面Aは、孔や段差のない平滑なテーパ面状をなす。トップフォイル23aの一端23a1は、外側部材22の内周面22aに形成された溝22bに嵌合固定される。バックフォイル23bは、全体的にテーパ状を成した1枚のフォイルからなり、トップフォイル23aと外側部材22との間に配置される。バックフォイル23bには、円周方向複数箇所から外径に向けて突出した屈曲部23b1が設けられる。バックフォイル23bの一端23b3は、外側部材22の内周面22aの溝22bに嵌合固定される。バックフォイル23bの屈曲部23b1の外径端が外側部材22の第1テーパ状内周面22aと当接すると共に、バックフォイル23bの内周面23b2がトップフォイル23aの外周面に当接することで、トップフォイル23aがバックフォイル23bにより外周から弾性的に支持される。トップフォイル23a及びバックフォイル23bは、ばね性に富み、かつ加工性のよい金属、例えば鋼材料や銅合金からなる薄膜のフォイルで形成される。本実施形態のように流体膜として空気を用いる空気動圧軸受では、雰囲気に潤滑油が存在しないため、油による防錆効果は期待できない。鋼材料や銅合金の代表例として、炭素鋼や黄銅を挙げることができるが、一般的な炭素鋼では錆による腐食が発生し易く、黄銅では加工ひずみによる置き割れを生じることがある黄銅中のZnの含有量が多いほどこの傾向が強まる。そのため、帯状フォイルとしては、ステンレス鋼もしくは青銅製のものを使用するのが好ましい。第2軸受部20’は互いに対向する一対の第2テーパ面を有し、本実施形態では図2に示すように、突出部21’に形成された第2テーパ状外周面21a’、及び、外側部材22’に形成された第2テーパ状内周面22a’を有する。第1軸受部20の第1テーパ面は軸方向一方側タービン1側、図中右側に大径部を配し、第2軸受部20’の第2テーパ面は軸方向他方側圧縮機2側、図中左側に大径部を配している。その結果、第1テーパ面及び第2テーパ面は、大径部が軸方向内側に配され、小径部が軸方向外側に配される。尚、第2軸受部20’の各構成は、第1軸受部20の各構成を軸方向で反転させたものであるため、対応する構成の符号に’を付して示し、詳しい説明は省略する。軸6が円周方向一方に回転すると、フォイル軸受10の第1軸受部20及び第2軸受部20’の軸受面A、A’と突出部21、21’のテーパ状外周面21a、21a’との間に軸受隙間S、S’が形成され、この軸受隙間S、S’に生じる流体膜で、軸6がラジアル方向及びスラスト両方向に非接触支持される図2参照。特に、図2に示すように軸6を地面と平行にして回転させる場合、外側部材22、22’に対して軸6が自重により下方に偏心するため、これらの間に円周方向一方に向けて狭まった楔状の軸受隙間S、S’が形成される。そして、軸6の回転に伴って楔状の軸受隙間S、S’の流体が幅狭側へ押し込まれることにより、流体膜の圧力が高められる。このとき、トップフォイル23a、23a’及びバックフォイル23b、23b’の有する可撓性により、トップフォイル23a、23a’の軸受面A、A’が、荷重や軸6の回転速度、周囲温度等の運転条件に応じて任意に変形するため、軸受隙間Sは運転条件に応じた適切幅に自動調整される。そのため、高温、高速回転といった過酷な条件下でも、軸受隙間Sを最適幅に管理することができ、軸6を安定して支持することが可能となる。このように、テーパ状の軸受面A、A’とテーパ状外周面21a、21a’との間に軸受隙間S、S’を形成することで、各軸受隙間S、S’に生じる流体膜で軸6をラジアル方向及びスラスト方向に支持することができる。また、第1テーパ面と第2テーパ面とを軸方向対称に設けることで、軸6を両スラスト方向に支持することができる。また、軸受隙間S、S’がスラスト方向に対して傾斜した方向テーパ状の軸受面A、A’の法線方向に形成されるため、軸受隙間がスラスト方向に形成される場合と比べて、軸6のスラスト方向の移動許容量を小さくすることができる図8及び図9参照。これにより、図2に示すように、タービン1とこれを内周に収容するハウジング31との間のスラスト方向隙間T1、及び、圧縮機2とこれを内周に収容するハウジング32との間のスラスト方向隙間T2を小さく設定することができ、タービン1による変換効率、及び、圧縮機2による圧縮率を高めることができる。フォイル軸受10では、軸6の停止直前や起動直後の低速回転時において、トップフォイル23a、23a’の軸受面A、A’や突出部21、21’のテーパ状外周面21a、21a’に表面粗さ以上の厚さの空気膜を形成することが困難となる。そのため、軸受面A、A’とテーパ状外周面21a、21a’との間で金属接触を生じ、トルクの増大を招く。この時の摩擦力を減じてトルク低減を図るため、軸受面A、A’には、表面を低摩擦化する被膜を形成するのが望ましい。この種の被膜としては、例えばDLC膜、チタンアルミナイトライド膜、あるいは二硫化モリブデン膜を使用することができる。DLC膜、チタンやアルミナイトライド膜はCVDやPVDで形成することができ、二硫化モリブデン膜はスプレーで簡単に形成することができる。特にDLC膜やチタンアルミナイトライド膜は硬質であるので、これらで被膜を形成することにより、軸受面A、A’の耐摩耗性をも向上させることができ、軸受寿命を増大させることができる。尚、上記のような被膜を、軸受面A、A’に形成する代わりに、あるいはこれに加えて、これらの面と対向する突出部21、21’のテーパ状外周面21a、21a’に形成してもよい。また、軸受の運転中は、トップフォイル23aの裏面軸受面Aと反対側の面とバックフォイル23bの内周面23b2との間や、バックフォイル23bの屈曲部23b1と外側部材22、22’のテーパ状内周面22a、22a’との間でも微小摺動が生じるため、この摺動部分にも上記の被膜を形成することにより、耐摩耗性の向上を図ってもよい。なお、振動の減衰作用を向上させるためには、この摺動部である程度の摩擦力が存在する方が好都合な場合もあるので、この部分の被膜にはそれほど低摩擦性は要求されない。従って、この部分の被膜としては、DLC膜やチタンやアルミナイトライド膜を使用するのが好ましい。本発明は上記の実施形態に限られない。尚、以下の説明において、上記の実施形態と同様の機能を有する箇所には同一の符号を付して重複説明を省略する。例えば、図5に示す実施形態では、第1軸受部20及び第2軸受部20’を、第1テーパ面及び第2テーパ面の大径部が軸方向外側に配されるように配置している。これにより、軸受隙間S、S’の大径部間の軸方向距離を、図2に示す実施形態よりも大きくすることができる。軸6突出部21、21’の外側部材22、22’に対する周速は、第1テー面及び第2テーパ面の大径側ほど速くなるため、軸受隙間S、S’に生じる流体膜の圧力は、第1テーパ面及び第2テーパ面の大径部で最も高くなる。従って、図5に示すように、軸受隙間S、S’の大径部間の軸方向距離軸受スパンを大きくすることで、フォイル軸受10の軸受剛性、とくにモーメント剛性を高めることができる。また、以上の実施形態では、第1テーパ面と第2テーパ面とが軸方向で対称な形状である場合を示したが、これに限らず、これらの傾斜角度を異ならせてもよい。また、以上の実施形態では、フォイル軸受10の第1軸受部20及び第2軸受部20’をバンプフォイル型のフォイル軸受で構成した場合を示したが、これに限らず、第1軸受部20及び第2軸受部20’の何れか一方又は双方を、複数のリーフフォイルを円周方向に並べて配した、いわゆるリーフ型のフォイル軸受で構成してもよい。具体的には、例えば図6に示すように、外側部材22のテーパ状内周面22aに、フォイル部材としての複数のリーフフォイルリーフ24を円周方向に並べて配することができる。各リーフ24は、金属製の薄膜フォイルで形成され、円周方向一方軸6の回転方向矢印参照先行側の端部24aが自由端とされ、円周方向他方の端部24bが外側部材22に固定される。リーフ24の固定端24bは、外側部材22の内周面22aに形成された溝22cに嵌合固定される。リーフ24の自由端24a側の一部領域は、他のリーフ24と半径方向に重ねて配される。複数のリーフ12の内径側の面は、孔や段差のない平滑な軸受面Aを構成し、各リーフ24の軸受面Aと突出部21の外周面21aとの間に、円周方向一方へ向けて半径方向幅を狭めた楔状の軸受隙間Sが形成される。ところで、バンプフォイル型のフォイル軸受において、軸6を地面と平行にして回転させる場合図2参照、上述のように外側部材22、22’に対して軸6が自重により下方に偏心することでこれらの間に楔状の軸受隙間が形成される。しかし、例えば軸6を地面と垂直にして回転させる場合、軸6が、自重によりテーパ面に沿って軸受中心に調心されるため、楔状の軸受隙間が形成されず、流体膜の圧力が高まりにくい。これに対し、図6に示すリーフ型のフォイル軸受では、軸6が軸受中心に配された状態でも楔状の軸受隙間Sが形成されるため、軸6の偏心状態によらず高い圧力を発生させることができる。従って、部品点数を削減できる点、及び、バックフォイルのバネ性を容易に調整できる観点からは、バンプフォイル型のフォイル軸受を採用することが好ましい。一方、軸6が地面と垂直な場合や、ラジアル荷重よりスラスト荷重の方が大きい場合には、リーフ型のフォイル軸受を採用することが好ましい。また、以上の実施形態では、フォイル軸受10を、軸6をスラスト方向一方に支持する第1軸受部20と、スラスト方向他方に支持する第2軸受部20’とで構成した場合を示したが、これに限らず、フォイル軸受10を何れか一方の軸受部のみで構成してもよい。また、以上の実施形態では、固定側の部材外側部材22、22’にフォイル部材23、23’を固定した場合を示したが、これとは逆に、フォイル部材23、23’を回転側の部材軸6の突出部21,21’に固定してもよい。この場合、フォイル部材23、23’の軸受面Aと外側部材22、22’のテーパ状内周面22a、22a’との間に、軸受隙間S、S’が形成される。ただし、フォイル部材を回転側の部材に固定すると、フォイル部材が高速で回転するため、遠心力によりフォイルが変形する恐れがある。従って、フォイルの変形を回避する観点からは、上記の実施形態のようにフォイル部材を固定側の部材に取り付けることが好ましい。また、以上の実施形態では、本発明に係るスラストフォイル軸受20をガスタービンに適用した場合を示したが、これに限らず、例えば図7に示すような過給機に適用してもよい。この過給機は、エンジン63に空気を送り込むいわゆるターボチャージャであり、圧縮機61と、タービン62とを備える。圧縮機61及びタービン62は軸6で連結されている。軸6は、ラジアルフォイル軸受10とスラストフォイル軸受20とでラジアル方向及び両スラスト方向に支持される。図示例では、ラジアルフォイル軸受10を軸方向に離隔した2箇所に設けている。図示しない吸気口から吸入された空気は、圧縮機61で圧縮され、燃料を混合してエンジン63に供給される。エンジン63で燃料を混合した圧縮空気を燃焼させ、エンジン63から排気された高温、高圧のガスでタービン62を回転させる。このときのタービン62の回転力が、軸6を介して圧縮機61に伝達される。タービン62を回転させた後のガスは、排ガスとして外部に排出される。本発明にかかるフォイル軸受は、マイクロタービンや過給機に限らず、潤滑油などの液体による潤滑が困難である、エネルギー効率の観点から潤滑油循環系の補機を別途設けることが困難である、あるいは液体のせん断による抵抗が問題になる等の制限下で使用される自動車等の車両用軸受、さらには産業機器用の軸受として広く使用することが可能である。なお、以上に述べたフォイル軸受は、圧力発生流体として空気を使用した空気動圧軸受のみならず、圧力発生流体として潤滑油を使用した油動圧軸受としても使用することができる。"