セラミックス製の角パイプを複数本組み合わせて立方体の各辺を構成する立方体基準器であって、隣接する角パイプは、一方の角パイプの長手方向の端面が他方の角パイプの長手方向の側面と当接して角部を形成するように配置され、一方の角パイプと他方の角パイプとが垂直になるように位置決めして固定する固定部材により固定されてなることを特徴とする立方体基準器。前記当接される一方の角パイプと他方の角パイプとが、当接する面で接着されることを特徴とする請求項1に記載の立方体基準器。前記他方の角パイプの側面に当接する側の、前記一方の角パイプの長手方向の端部に、当該端部から挿入されて接着固定され、端面を形成するブロック状のプラグが設けられ、該端面が前記他方の角パイプと当接して接着されていることを特徴とする請求項2に記載の立方体基準器。前記プラグはプラグを当接する側面にボルト固定するためのボルト固定部を備えており、プラグが当接する側面に形成された貫通孔を介してボルト固定可能に構成されていることを特徴とする請求項3に記載の立方体基準器。前記角パイプはアルミナ基のセラミックス材料からなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載の立方体基準器。前記角パイプの中空部断面形状は円形であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載の立方体基準器。セラミックス製の角パイプからなる2本の補強パイプが、立方体の鉛直方向の辺を構成する隣接する1組の角パイプの間の中央及び立方体の鉛直方向の辺を構成する残りの1組の角パイプの間の中央に長手方向が鉛直方向となるようにそれぞれ配置され、固定部材により立方体の水平方向の辺を構成する角パイプにそれぞれ固定されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載の立方体基準器。本発明に係る精密基準器について図を参照して説明する。図1に示すように、立方体基準器1は、セラミックス製の第1角パイプ10及び第2角パイプ11を組み合わせて立方体の各辺が構成されている。隣接する角パイプは、一方の角パイプの長手方向の端面が他方の角パイプの長手方向の側面と当接して角部を形成するように配置されており、当接する面を接着するとともに、固定部材12により隣接する第1角パイプ10同士、または第1角パイプ10と第2角パイプ11とが垂直になるように位置決めしてステンレス鋼製のボルト20により固定されている。第1角パイプ10の一端の開口部は蓋材14により封じられている。ここで、接着とは、接着剤による接着だけでなく、両面テープなどによる接着、シート状のインサート材、ろう材、ガラスフリットなどのペーストを接着界面に配置し加熱することによる接着、拡散接着などを含む概念である。本実施形態では、エポキシ系接着剤を用いた接着を行っている。高い接着強度が必要な場合には、拡散接着を採用することもできる。立方体基準器1は、高精度の測定を行う場合には、本実施形態のように手前2か所の角部と対向する辺の中央部に配置される3つの支点Sに載置されて用いられる。なお、立方体基準器1は、工作機械のテーブルに直接載置して用いることもできる。立方体基準器1の水平面は水平方向に配置される第1角パイプ10により構成され、鉛直面は水平方向に配置される第1角パイプ10及び鉛直方向に配置される第2角パイプ11により構成されている。立方体基準器1の各辺は直角度、平行度、真直度、平面度が所定の精度、例えば、550mm角の立方体基準器1では3μm以下、1000mm角の立方体基準器1では8μm以下になるように、各構成部材の組み付け後に研削加工により仕上げられている。第1角パイプ10及び第2角パイプ11はセラミックス製であるため弾性率が高く、中空形状としても立方体基準器1として必要な高い剛性を発現させることができる。これにより、従来の中実の立方体基準器に比べて立方体基準器1を大幅に軽量化することができる。例えば、一辺の長さが550mmの立方体基準器1を70mm角で中空部の内径が47mmの第1角パイプ10及び第2角パイプ11を用いて形成した場合には約100kg、一辺の長さが1000mmの立方体基準器1を80mm角で中空部の内径が56mmの第1角パイプ10及び第2角パイプ11を用いて図7の構造で形成した場合には約270kgとなり、従来の石製立方体基準器の1/3~1/4程度の大幅な軽量化を達成することができる。第1角パイプ10及び第2角パイプ11を形成するセラミックス材料として、アルミナなどのアルミナ基セラミックスを好適に用いることができる。本実施形態ではアルミナを用いる。アルミナは軽量で弾性率が石材の4倍以上と高く、耐久性に優れている。また、成型や加工も容易であり、低コストで作製することができる。更に、硬度が高いので、測定時に繰り返し接触するプローブによる磨耗に対する耐久性が高い。また、石材製の精密測定器は温湿度の変化の影響により精度が低下するおそれがあり、正確な測定のためには厳密な温湿度管理が必要であるが、立方体基準器1は温湿度変化の影響が小さいため、安定した精度での測定を行うことができる。固定部材12を用いることにより、第1角パイプ10、第2角パイプ11を確実に固定することができるとともに、立方体基準器1の剛性を高くすることができる。また、隣接する角パイプが垂直になるように位置決めすることができるため、部材組み付け時に容易に精度よく組み付けることができる。これにより、部材の組み付けを容易にし、最終仕上げ加工の工数を低減することができるので、低コストで製造することができる。図2に示すように、第1角パイプ10の中空部10aは断面形状が円形または四角形状に形成されている。本実施形態では、断面形状は円形に形成されている。断面形状が円形であるように構成すると、断面積が等しい場合には四角形状等に比べて断面二次モーメントが大きくなるので、剛性を高くすることができる。第1角パイプ10の長手方向の側面に当接する側の端部には、プラグ13を挿入し、接着固定するためのプラグ挿入部10bが形成されている。本実施形態では、プラグ挿入部10bの断面形状は、プラグ13の形状にあわせて、中空部10aの円形断面と同芯で径が大きい円形となるように形成されている。プラグ13は、第1角パイプ10などと同じセラミックス材料からなる円形断面を有するブロック状の部材であり、プラグ挿入部10bに接着固定されて第1角パイプ10の端面を形成する。プラグ13は、当接する第1角パイプ10の側面にプラグ13をボルト固定するためのボルト固定部13aを備えている。第1角パイプ10の長手方向の他端には、ステンレス鋼製のボルト21によりプラグ13を介して、隣接する第1角パイプ10または第2角パイプ11と固定するための固定部10cが、断面形状が正方形状に形成されている。固定部10cには、第1角パイプ10及び第2角パイプ11を組み付けたときにプラグ13のボルト固定部13aに対応する位置に、ボルト21を挿通するためのプラグ固定用貫通孔10eが形成されている。第1角パイプ10の側面には、固定部材12により第1角パイプ10同士、または第1角パイプ10と第2角パイプ11とを固定するためにボルト20を捻じ込んで固定する固定部材用ボルト固定部10dが形成されている。図3に示すように、第2角パイプ11は、第1角パイプ10の中空部10aと同形状の中空部11aを備え、両端に第1角パイプ10のプラグ挿入部10bと同形状のプラグ挿入部11bが形成されている。プラグ挿入部11bには、プラグ13が接着固定されてそれぞれの端面を形成している。また、第2角パイプ11の側面には、固定部材12により第1角パイプ10に固定するためにボルト20を捻じ込んで固定する固定部材用ボルト固定部11dが形成されている。そして、第2角パイプ11は、両端部が第1角パイプ10の側面に当接して立方体の辺を構成するため、第1角パイプ10より第1角パイプ10の幅程度短く形成されている。図4に示すように、固定部材12は第1角パイプ10などと同じセラミックス材料からなり、本体部12aがL字型に形成された部材である。なお、固定部材は、固定部材12を2つ組み合わせたような形状として、2本の第1角パイプと1本の第2角パイプを1つの固定部材でそれぞれの角パイプが垂直になるように位置決めして固定する構造としてもよい。固定部材12には、固定部材12により隣接する第1角パイプ10同士、または第1角パイプ10と第2角パイプ11とが垂直になるように組み付けたときに、第1角パイプ10の固定部材用ボルト固定部10d及び第2角パイプ11の固定部材用ボルト固定部11dに対応する位置に、ボルト20を挿通するための角パイプ固定用貫通孔12bが形成されている。立方体基準器1の組み付け構造について、図5を参照して説明する。図5は、図1のK部の一部断面透視図である。K部では、図面の垂直方向に配置された第1角パイプ10Aに、図中長手方向が左右方向になるように配置された第1角パイプ10Bと鉛直方向に配置された第2角パイプ11とが組み付けられている。第1角パイプ10Bと第2角パイプ11とは、固定部材12により互いに垂直になるように位置決めされた後に、ボルト20により固定されている。固定部材12を用いることにより、第1角パイプ10Bと第2角パイプ11とを確実に固定することができるとともに、立方体基準器1の剛性を高くすることができる。また、隣接する角パイプが垂直になるように位置決めすることができるため、部材組み付け時に容易に精度よく組み付けることができる。これにより、部材の組み付けを容易にし、最終仕上げ加工の工数を低減することができるので、低コストで製造することができる。なお、固定部材12は、ボルト20による固定だけではなく、接着による固定を用いることもできる。その場合には、第1角パイプ10、第2角パイプ11、および固定部材12に固定部材用ボルト固定部10d、11d、角パイプ固定用貫通孔12bは形成されなくてもよい。また、ボルト20と接着による固定を併用してもよい。立方体基準器1の立方体の角部は、第1角パイプ10Aの側面が、第1角パイプ10Bの端部及び第2角パイプ11の端部とプラグ13により形成された端面において接着されるとともに、プラグ固定用貫通孔10eを介してボルト21により固定されて組み付けられる。プラグ13により端面が形成されているため、第1角パイプ10Aの側面と第1角パイプ10Bの端部及び第1角パイプ10Aの側面と第2角パイプ11の端部の接着面積を増大させることができる。これにより、立方体基準器1の構造強度及び剛性を高くすることができ、高精度の基準器とすることができる。また、プラグ13がボルト固定部13aを備え、ボルト21による固定を行うため、より確実な固定をすることができ、立方体基準器1の構造強度及び剛性をより高くすることができる。なお、第1角パイプ10Bの端部及び第2角パイプ11の端部とプラグ13により形成された端面は、第1角パイプ10Aの側面に接着されなくてもよい。ただし、接着することにより、立方体基準器1の構造強度及び剛性をより高くすることができ、より高精度の基準器とすることができる。十分な剛性が得られる場合、例えば、小型の立方体基準器1ではプラグ13を用いなくともよい。次に、図6を参照して、中空部10a断面形状の円の中心が四角断面の中心からずれる偏芯が立方体基準器1の剛性に及ぼす影響について示す。角パイプ10、11の梁としてのの剛性が高い程、立方体基準器1の剛性が高いので、梁のたわみ量に基づいて、立方体基準器1の剛性を考える。梁の最大たわみ量δは、次式で表される。数1δ=KPfL/E/IK:梁の固定条件により決まる定数P:外力もしくは自重fL:角パイプの長さ、外力の位置による関数E:ヤング率I:断面二次モーメント数1において、孔位置が影響するパラメーターはIのみであるため、立方体基準器1の剛性をIの大きさで評価する。ここで、一辺がaの正方形の断面二次モーメントをIa、直径がdの断面二次モーメントをIdとすると、四角形断面の中心から中空断面の円の中心のずれB=0Y方向、C=0X方向におけるX軸およびY軸周りのIX0、IY0は、次式で表される。数2IX0=IY0=Ia-Id一方、B=b、C=cにおけるX軸周りおよびY軸周りのIX、IYは、次式で表される。なお、ここでは、ずれb、cによる断面の中立軸のずれは微小として、その影響を省略し、計算を簡略化している。数3IX=Ia-Idc2πd2/4数4IY=Ia-Idb2πd2/4数3及び数4に示すように、円の中心が四角断面の中心からずれることにより、IX<IX0、IY<IY0となり、そのずれ量が小さい方が立方体基準器1の剛性が高くなる。ずれ量が大きい方が断面二次モーメントの低下度合いが大きくなり、剛性の低下が大きくなるため、ずれ量が大きい方の断面二次モーメントの低下度合いについて考える。c>bの場合、IXの方が断面二次モーメントの低下度合いが大きくなる。断面二次モーメントの低下度合いは数3を変形して次式で表される。数5IX/IX0=1-c2πd2/4IX0例えば、断面二次モーメントの低下度合いを5以下にしたい場合には、数5の右辺第2項を0.05以下にすればよい。ずれ量の偏差をc/aで表すと、偏差c/aが次式を満足するように立方体基準器1を作製すればよい。数6c/a≦0.2IX0/π1/2/ad本実施形態では、立方体基準器1を構成するセラミックス材料としてアルミナを用いたが、これに限定されるものではなく、窒化けい素、炭化けい素など他のセラミックス材料を採用することができる。変更例図7に示すように、第1角パイプ10などと同じセラミックス材料の角パイプからなる1組の補強パイプ30を長手方向が鉛直方向となるように配置することができる。本変更例では、一方の補強パイプ30は、水平の辺の中央部に配置される支点Sの直上に配置され、他方の補強パイプ30は対向する鉛直面の中央に配置され、それぞれ固定部材12により、第1角パイプ10に固定されている。つまり、補強パイプ30は、立方体の鉛直方向の辺を構成する隣接する1組の第2角パイプ11の間の中央及び残りの1組の第2角パイプ11の間の中央に長手方向が鉛直方向となるようにそれぞれ配置され、固定部材12により立方体の水平方向の辺を構成する第1角パイプ10にそれぞれ固定されている。これにより、立方体基準器1の剛性を効果的に高めることができる。特に、一辺が長い大型の立方体基準器1、例えば、1000mm角の立方体基準器1の剛性を高くするために好適に用いることができる。[実施形態の効果]1本発明の立方体基準器1によれば、軽量で弾性率が高いセラミックス製の第1角パイプ10及び第2角パイプ11を組み合わせて立方体基準器1を構成するため、第1角パイプ10及び第2角パイプ11を中空形状としても立方体基準器1として必要な高い剛性を発現させることができる。これにより、従来の中実の立方体基準器に比べて立方体基準器1を大幅に軽量化することができる。また、一方の角パイプと他方の角パイプとが当接する面が接着されているとともに、固定部材12により一方の角パイプと他方の角パイプとが垂直になるように位置決めして固定するため、第1角パイプ10、第2角パイプ11を確実に固定することができるとともに、立方体基準器1の剛性を高くすることができる。また、隣接する角パイプが垂直になるように位置決めすることができるため、部材組み付け時に容易に精度よく組み付けることができる。これにより、部材の組み付けを容易にし、最終仕上げ加工の工数を低減することができるので、低コストで製造することができる。2角パイプを接着固定する端部にプラグ13により端面が形成されているため、接着面積を増大させることができるので、立方体基準器1の構造強度及び剛性を高くすることができ、高精度の基準器とすることができる。また、プラグ13がボルト固定部13aを備え、ボルト21による固定を行うため、より確実な固定をすることができ、立方体基準器1の構造強度及び剛性をより高くすることができる。3第1角パイプ10、第2角パイプ11の中空部断面形状が円形であるように構成すると、断面積が等しい場合には四角形状等に比べて断面二次モーメントが大きくなるので、立方体基準器1の剛性を高くすることができる。以下、本明細書および図面で用いた主な符号をまとめて示す。1...立方体基準器、10...第1角パイプ10a...中空部10b...プラグ挿入部10c...固定部10d...固定部材用ボルト固定部10e...プラグ固定用貫通孔11...第2角パイプ11a...中空部11b...プラグ挿入部11d...固定部材用ボルト固定部12...固定部材12a...本体部12b...角パイプ固定用貫通孔13...プラグ13a...ボルト固定部20、21...ボルト30...補強パイプ