ヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法であって、ヘキサクロロジシラン含有蒸気を、900~1100hPa及び25°Cで液体の無極性炭化水素と、尿素と、900~1100hPa及び25°Cで液体のアルコールとを含有する混合物へ通すことを特徴とする、ヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。炭化水素が常圧900~1100hPaで100°C未満の沸点を有する、請求項1記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。炭化水素が炭素原子1~20個を有する、請求項1又は2記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。炭化水素が炭素原子6~12個を有する、請求項3記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。炭化水素がキシレンである、請求項1から4までのいずれか1項記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。アルコールが、炭素原子1~6個を有するアルコールである、請求項1から5までのいずれか1項記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。アルコールが、1-ペンタノール、2-ペンタノール、3-ペンタノール、1-ブタノール、2-ブタノール、3-ブタノール、1-プロパノール、2-プロパノールから選択される、請求項1から6までのいずれか1項記載のヘキサクロロジシラン含有蒸気の廃棄処理方法。ヘキサクロロジシラン含有廃ガスの処理ヘキサクロロジシランが窒素下に蒸留される装置からの廃ガスを、キシレン50ml、t-ブタノール50ml及び尿素10gの混合物に通す。混合物を、マグネチックスターラーを用いて撹拌する。ガス出口で、廃ガスをシリコーン油のみに通す装置とは異なり、金属と接触する際に発火する白色付着物は形成されない。本発明の範囲内で、それぞれ他に記載されない場合には、全ての量及びパーセントの記載は質量を基準としており、かつ全てのパーセントの記載は、全質量を基準としており、全ての温度は室温25°Cであり、かつ全ての圧力は周囲大気、すなわち900~1100hPaである。全ての粘度は、25°Cで測定される。