"断面円形の工作物を支持して中心軸回りに回転させる工作物支持機構と、前記工作物の内周面または外周面となる被加工面を砥石によって研削する砥石駆動機構と、前記工作物支持機構および砥石駆動機構を制御する制御装置を備えた研削盤において、加工中に、前記工作物の前記被加工面の径を測定する装置であって、前記工作物の被加工面における直径方向に離れた2か所を少なくとも含む円周方向複数箇所にそれぞれ接して接触箇所の径方向位置をそれぞれ測定する複数の測定ヘッドを有する定寸装置と、この定寸装置の前記複数の測定ヘッドの測定値から前記被加工面の径を演算する寸法演算手段と、前記被加工面における直径方向に離れた2か所の位置を測定する2つの測定ヘッドの測定値の差を求め、この測定値差が設定許容範囲から外れると測定異常と判定する測定異常判定手段とを備えた研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。請求項1において、前記制御装置は、前記被加工面の研削の開始から完了までの間に、一時的に前記砥石の切り込み方向につき、砥石を被加工面から離すか、または砥石の被加工面に対する押し付け力を弱める動作を行わせる離反緩め過程を行い、前記測定異常判定手段は、前記離反緩め過程の間は、測定異常の判定を行わない研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。請求項2において、前記工作物支持機構が、前記工作物の一端面を磁力によって求心作用が生じるように吸着して回転するマグネットチャックと、工作物の周面の半周以内の2か所にそれぞれ接触して工作物をマグネットチャックの回転中心から僅かに偏心させて支持する2つのシューとを有し、前記測定異常判定手段が測定異常の判定を行わない前記離反緩め過程が、砥石の切り込みの進行を止めて砥石支持具に生じている弾性変形の弾性復元力で加工するスパークアウト工程である研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。請求項1ないし請求項3のいずれか1項において、加工中における定められた基準演算用測定期間に取得した前記2つの測定ヘッドの測定値の差につき、定められた統計的処理を行って基準値を求め、この基準値を基に前記設定許容範囲の限界値である閾値を演算する閾値演算手段を設け、前記測定異常判定手段は、前記閾値の演算よりも後の加工時に測定異常の判定を行う研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。請求項4において、前記閾値演算手段で行う前記統計的処理が、前記定められた基準演算用測定期間に取得した前記2つの測定ヘッドの測定値の差の平均値を求める処理である研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。請求項4または請求項5において、前記制御装置は、工作物を粗加工する粗研削工程と、この粗研削工程よりも砥石の切り込み速度を遅くして工作物を精加工する精研削工程とを行わせ、前記基準演算用測定期間は、前記粗研削工程の終了直前の期間とする研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。請求項1ないし請求項6のいずれか1項において、前記制御装置は、工作物を粗加工する粗研削工程と、この粗研削工程よりも砥石の切り込み速度を遅くして工作物を精加工する精研削工程と、砥石の切り込みの進行を止めて砥石支持具に生じている弾性変形の弾性復元力で加工するスパークアウト工程とを行わせ、前記測定異常判定手段が測定異常の判定を行う期間が、精研削工程、または精研削工程およびスパークアウトの両工程である研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。請求項7において、前記工作物支持機構が、前記工作物の一端面を磁力によって求心作用が生じるように吸着して回転するマグネットチャックと、工作物の周面の半周以内の2か所にそれぞれ接触して工作物をマグネットチャックの回転中心から僅かに偏心させて支持する2つのシューとを有し、前記制御装置は、前記粗研削工程と精研削工程との間に、砥石をドレス装置へ移動させてドレスし、この後、ドレス前の位置へ砥石を戻す動作を行わせる過程を行わせ、加工中における定められた基準演算用測定期間に取得した前記2つの測定ヘッドの測定値の差につき、定められた統計的処理を行って閾値を演算する閾値演算手段を設け、前記定められた基準演算用測定期間を前記粗研削工程の終了直前の期間とし、かつ前記統計的処理が前記定められた基準演算用測定期間に取得した前記2つの測定ヘッドの測定値の差の平均値を求める処理である研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。請求項1ないし請求項8のいずれか1項において、前記制御手段は、測定異常判定手段で測定異常と判定されると、前記測定ヘッドを前記被加工面から離した後に再度接触させ、この再度接触させた後の2つの測定ヘッドの測定値の差が、前記設定許容範囲内であると加工を続行させる研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置。特許文献1では、定寸装置の径寸法の測定値が急激に増加したときに異物が噛み込んだと判別している。しかし、加工途中にドレス工程を設定する場合や、スパークアウト時には、砥石の押付け圧力が開放されることにより、工作物の変形が開放され、あるいは工作物が移動する。そのため定寸装置の測定値が急激に変化して、測定異常であると誤検出してしまう。このように急激な速度変化に対しても測定異常であると誤検出するため、閾値を大きく取らざるを得ず、噛み込んだ異物が微細な場合は確実に判別できず、仕上寸法に誤差を生んでしまうことがある。特許文献2には、定寸装置の測定異常の検出時に、触子を被加工面から一旦離すことで異物の噛み込みを解除することが提案されている。しかし、異常判定については、特許文献1と同じく、定寸装置の径寸法の測定値の急激な増加で異物が噛み込んだと判別している。そのため、上記と同様に、ドレス工程やスパークアウト時の急激な測定値変化で誤検出することがあり、閾値を大きく取らざるを得ない。この発明は、加工中の工作物の被加工面の径寸法を測定するにつき、異物噛み込み等の異常による定寸装置の出力変動と、ドレス時等の出力変動とを区別して異常検出できて、微細な異物噛み込み等による測定異常であっても検出することができる研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置を提供することである。この研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置は、断面円形の工作物を支持して中心軸回りに回転させる工作物支持機構と、前記工作物の内周面または外周面となる被加工面を砥石によって研削する砥石駆動機構と、前記工作物支持機構および砥石駆動機構を制御する制御装置を備えた研削盤において、加工中に、前記工作物の前記被加工面の径を測定する装置であって、前記工作物の被加工面における直径方向に離れた2か所を少なくとも含む円周方向複数箇所にそれぞれ接して接触箇所の径方向位置をそれぞれ検出する複数の測定ヘッドを有する定寸装置と、この定寸装置の前記複数の測定ヘッドの測定値から前記被加工面の径を演算する寸法演算手段32と、前記被加工面における直径方向に離れた2か所の位置を測定する2つの測定ヘッドの測定値の差を求め、この測定値差が設定許容範囲から外れると測定異常と判定する測定異常判定手段34とを備える。なお、測定異常判定手段34による測定異常の判定は、加工中における定められた期間に連続して行うようにしても良く、また工作物の1個の加工中に1回または複数回、非連続で行うようにしても良い。前記工作物は、例えば円筒状素材、または軸状素材、またはリング状素材である。この構成によると、被加工面の径は、寸法演算手段32により、定寸装置の複数の測定ヘッドの測定値から演算する。例えば、直径方向に離れた2か所の測定ヘッドの出力を加算することで、被加工面の直径を計算する。異常検出については、2か所の測定ヘッドの出力の加算値ではなく、2つの測定ヘッドの測定値の差により判定する。すなわち、測定異常判定手段34により、直径方向に離れた2か所の位置をそれぞれ測定する2つの測定ヘッドの測定値の差を求め、この測定値差が設定許容範囲から外れると測定異常と判定する。測定ヘッドと被加工面との間に異物研削屑や砥石の砥屑等が噛み込んだ場合は、その噛み込みが生じた片方の測定ヘッドの測定値のみが大きくなり、2つの測定ヘッドの測定値の差が大きくなる。これに対し、ドレス時やスパークアウト時は、2つの測定ヘッドの測定値が同様に変化し、2つの測定ヘッドの測定値差は、変化しない。そのため、測定値差により異常判定を行うと、ドレスやスパークアウトによる誤検知が生じず、したがって異常判定の設定許容範囲、つまり閾値を小さく設定することができる。このため、微細な異物噛み込み等による測定異常であっても検出することができ、異常検出の精度を高めることができる。これにより、従来では測定異常発生時に加工していた工作物の廃棄が少なくなり、誤検出による手直し無駄が少なくなる。前記工作物支持機構が、前記工作物の一端面を磁力によって求心作用が生じるように吸着して回転するマグネットチャックと、砥石による工作物の押し付けによって工作物の周面の半周以内の2か所にそれぞれ接触して工作物をマグネットチャックの回転中心から僅かに偏心させて支持する2つのシューとを有する場合に、前記測定異常判定手段34が測定異常の判定を行わない前記離反緩め過程が、砥石の切り込みの進行を止めて砥石支持具に生じている弾性変形の弾性復元力で加工するスパークアウト工程であっても良い。円筒状の工作物の周面の研削加工では、上記のようなマグネットチャックとシューとを用いて支持することが一般的である。しかし、この支持方法では、工作物がシュー側に押し付けられるように、僅かではあるが偏心して支持される。スパークアウト工程では、砥石による押し付けが緩むことによって、その偏心が戻ることになる。そのため、直径方向に離れた2つの測定ヘッドの触子は互いに同じ方向に移動することになって、この移動による各測定ヘッドの測定値の変動は、差を取った場合に加算されることになる。したがって、スパークアウト時に測定値の差が急激に大きくなり、誤検出が生じ易くなる。このため、スパークアウト時も、前記差で判定する測定異常判定手段34による測定異常の判定は、行わないことが好ましい場合がある。この発明において、加工中における定められた基準演算用測定期間に取得した前記2つの測定ヘッドの測定値の差につき、定められた統計的処理を行って基準値を求め、この基準値を基に前記設定許容範囲の限界値である閾値を演算する閾値演算手段33を設け、前記測定異常判定手段34は、前記閾値の演算よりも後の加工時に測定異常の判定を行うようにしても良い。適切な設定許容範囲の閾値を求める方法としては、模範を用いて測定し、その模範の測定値を用いて定めても、または設計上の計算で求めても良い。しかし、多数の工作物を順次研削するについて、研削盤の電源オン時から経過時間に応じて加工熱等による熱変位が生じる。このような場合、異常判定を行うには、熱変位が生じた状態の測定値を用いることで、より適切な閾値が定められる。また、複数回の測定値を統計的処理することで、個々の測定値の間でばらつきが生じていても、安定した適切な閾値が定められる。これにより、閾値をより小さな値としても、誤検出されることがなくなり、より一層信頼性の高い異常検出が行える。前記閾値演算手段33で行う前記統計的処理は、例えば、前記定められた基準演算用測定期間に取得した前記2つの測定ヘッドの測定値の差の平均値を求める処理であっても良い。平均値によると、簡単な演算で適切な基準値を求めることができる。上記のように統計的処理を行う場合に、前記制御装置は、工作物を粗加工する粗研削工程と、この粗研削工程よりも砥石の切り込み速度を遅くして工作物を精加工する精研削工程とを行わせ、前記基準演算用測定期間は、前記粗研削工程の終了直前の期間とするのが良い。研削加工する工作物は、前工程として熱処理されて黒皮が生じている場合があり、また黒皮がない場合でも、表面が粗い。また、粗研削工程では異物噛み込みの異常検出を行う必要性が低い。そのため、粗研削工程の終了直前の期間を基準演算用測定期間とするのが、最も適切となる。この発明において、前記制御装置が、工作物を粗加工する粗研削工程と、この粗研削工程よりも砥石の切り込み速度を遅くして工作物を精加工する精研削工程と、砥石の切り込みの進行を止めて砥石支持具に生じている弾性変形の弾性復元力で加工するスパークアウト工程とを行わせる場合に、前記測定異常判定手段34が測定異常の判定を行う期間が、精研削工程、または精研削工程およびスパークアウトの両工程であっても良い。異物噛み込み等の測定異常が問題となるのは、精研削工程およびスパークアウトの工程であるため、このときに測定異常の判定を行うことが好ましい。この場合に、前記工作物支持機構が、前記工作物の一端面を磁力によって求心作用が生じるように吸着して回転するマグネットチャックと、工作物の周面の半周以内の2か所にそれぞれ接触して工作物をマグネットチャックの回転中心から僅かに偏心させて支持する2つのシューとを有し、前記制御装置は、前記粗研削工程と精研削工程との間に、砥石をドレス装置へ移動させてドレスし、この後、ドレス前の位置へ砥石を戻す動作を行わせる過程を行わせ、加工中における定められた基準演算用測定期間に取得した前記2つの測定ヘッドの測定値の差につき、定められた統計的処理を行って閾値を演算する閾値演算手段33を設け、前記定められた基準演算用測定期間を前記粗研削工程の終了直前の期間とし、かつ前記統計的処理が前記定められた基準演算用測定期間に取得した前記2つの測定ヘッドの測定値の差の平均値を求める処理であっても良い。この構成の場合、上記の統計的処理による適切な閾値を求め、かつ適切な期間に測定値異常が判定できる。この発明において、前記制御手段は、測定異常判定手段34で測定異常と判定されると、前記測定ヘッドを前記被加工面から離した後に再度接触させ、この再度接触させた後の2つの測定ヘッドの測定値の差が、前記閾値未満または閾値以下であると加工を続行させるようにしても良い。測定異常と判定されたときに、測定ヘッドを被加工面から一旦離すことで、異物の噛み込みが解消される場合がある。そのため、再度接触させた後の2つの測定ヘッドの測定値の差が異常でない場合は、加工を続行させることで、無駄に加工を停止させることなく、また測定異常の問題を生じることなく、研削加工が行える。この発明の研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置は、断面円形の工作物を支持して中心軸回りに回転させる工作物支持機構と、前記工作物の内周面または外周面となる被加工面を砥石によって研削する砥石駆動機構と、前記工作物支持機構および砥石駆動機構を制御する制御装置を備えた研削盤において、加工中に、前記工作物の前記被加工面の径を測定する装置であって、前記工作物の被加工面における直径方向に離れた2か所を少なくとも含む円周方向複数箇所にそれぞれ接して接触箇所の径方向位置をそれぞれ測定する複数の測定ヘッドを有する定寸装置と、この定寸装置の前記複数の測定ヘッドの測定値から前記被加工面の径を演算する寸法演算手段と、前記被加工面における直径方向に離れた2か所の位置を測定する2つの測定ヘッドの測定値の差を求め、この測定値差が設定許容範囲から外れると測定異常と判定する測定異常判定手段とを備えるため、従来技術では防げなかったドレス工程等への移行時により発生する、加工途中に定寸装置の測定値が急激に変化することによる誤検出が防止できて、異常判定の閾値を小さな値として、より的確に異物噛み込み等の異常を検出できる。そのため、測定異常発生時に加工していた工作物の廃棄が少なくなり、誤検出による手直し無駄が少なくなる。この発明の一実施形態を図面と共に説明する。この実施形態は内面研削盤に適用した例を示す。この研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置は、研削盤1に定寸装置2を設けると共に、研削盤1の制御装置3に測定異常判定手段34等を設けたものである。研削盤1は、断面円形の工作物Wを支持して中心軸回りに回転させる工作物支持機構4と、工作物Wの内周面となる被加工面Waを砥石5によって研削する砥石駆動機構6と、これら工作物支持機構4および砥石駆動機構6を制御する前記制御装置3とを備える。定寸装置2は定寸装置移動機構7によって移動させられる。制御装置3は、定寸装置移動機構7を制御する機能を備える。工作物Wは、円筒状ないしリング状の素材、例えば転がり軸受の軌道輪となる素材である。図示の例では、工作物Wは軸受内輪となる円筒状の素材であり、その円筒面からなる内周面が被加工面Waとなる。図2は研削盤1の破断正面図を示す。工作物支持機構4は、マグネットチャック8と、このマグネットチャック8を回転させる主軸モータ9と、シュー機構10とでなる。主軸モータ9は、そのモータ出力軸が上向きとなる姿勢で、ボルト等の固定具11によりベッド12に設置されており、マグネットチャック8は主軸モータ9のモータ出力軸の上端に取付けられている。マグネットチャック8は、永久磁石または電磁石からなるチャック本体8aと上向きの円形のバッキングプレート8bとでなり、円筒状の工作物Wの下向きとされた一端面を、磁力によって求心作用が生じるように吸着し、工作物Wと共に回転する。シュー機構10は、ベッド12上に支持部材13を介して、図1のようにフロント側のシュー14およびリア側のシュー15を設けてなる。これら2個のシュー14,15は、マグネットチャック8の中心軸O回りに互いに90°離れて設けられ、工作物Wの外周面をそれぞれ摺接させる。工作物Wがマグネットチャック8の中心Oを回転軸として時計回りに回転する場合には、工作物Wの中心軸をマグネットチャック8の中心Oより微小な距離だけ偏芯させる。偏芯させる方向は、マグネットチャック8の中心Oを中心として、フロントシュー14から反時計回りに45度の方向とする。図2に示すように、砥石駆動機構6は、砥石5を移動させるZ軸スライド16およびX軸スライド17と、砥石5を回転させる砥石軸モータ18とを備える。Z軸スライド16は、ベッド12上に上下方向Z軸方向に案内機構図示せずを介して昇降自在に設置され、Z軸サーボモータ19により、ボールねじ等の回転直線移動変換機構図示せずを介して昇降させられる。X軸スライド17は、Z軸スライド16上に案内機構図示せずを介して切込み方向となる水平方向X軸方向に進退自在に設置され、X軸サーボモータ20により、ボールねじ等の回転直線移動変換機構図示せずを介して進退させられる。砥石軸モータ18は、X軸スライド17にボルト等の固定具21で下向きに設置され、そのモータ軸は、回転砥石からなる円筒状の砥石5の砥石軸5aに直結されている。上記フロントシュー14の上方に位置して、固定ダイヤ22aを有するドレス装置22が前記支持部材13上に設置され、砥石5は、砥石駆動機構6により固定ダイヤ22aに接してドレスされる位置に移動可能である。カバー23は、研削盤1のベッド12上の各機構を覆う。定寸装置2は、図2に示すように、工作物Wの被加工面Waにおける直径方向に離れた2か所にそれぞれ接して接触箇所の径方向位置をそれぞれ検出する複数の測定ヘッド2X,2Yを有する。定寸装置2は、これら測定ヘッド2X,2Yの他に、被加工面Waの他の円周方向箇所に接してその接触箇所の径方向位置を検出する測定ヘッド図示せずを有していても良いが、この例では2つの測定ヘッド2X,2Yを設けた場合につき説明する。これら測定ヘッド2X,2Yは、共通の測定ヘッド支持台27に設置されている。各測定ヘッド2X,2Yは、ヘッド本体25から延びる測定アーム26の先端に、被加工面Waに接する触子Xa,Yaをそれぞれ設けたものである。各触子Xa,Yaは測定アーム26と共に、測定ヘッド本体25内または測定ヘッド支持台27内に設けられた押し付け機構図示せずにより、エア圧によって被加工面Waに押し付け側へ付勢され、エア圧の解除によって被加工面Waから離れる。また、測定ヘッド2X,2Yおよびマグネットチャック8のいずれか一方は、工作物Wをマグネットチャック8に対して着脱するときに工作物Wと干渉しないように、退避機構図示せずによって退避可能とされる。図3は、定寸装置2の概念構成を示すブロック図である。各測定ヘッド2X,2Yは、これら各測定ヘッド2X,2Yに設けられた前記押し付け機構図示せずに空気源28から圧縮エアが送られ、排気チューブ29から排気する。各測定ヘッド2X,2Yは、中継ケーブル31を介して、電子回路で構成される管制部30へ測定値の信号を送る。管制部30は、各測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2を、アナログ信号として出力する。測定値G1,G2は、例えば、マグネットチャック8の中心軸Oからの距離である。図1において、制御系を説明する。制御装置3は、プログラマブルコントーラいわゆるPLCおよびモーションコントローラと、これに実行されるラダー形式等の内部プログラム図示せずとでなり、これらよって次の基本加工制御手段31、寸法演算手段32、閾値演算手段33、測定異常判定手段34、および異常時処理手段35が構成される。閾値演算手段33、測定異常判定手段34、および異常時処理手段35が、測定異常の検出およびその対処のために付加された手段である。基本加工制御手段31は、工作物支持機構4、砥石駆動機構6、および定寸装置移動機構7に、工作物Wに対して研削加工を行う定められた動作を行わせる手段である。寸法演算手段32は、前記定寸装置2から出力される各測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2を加算し、工作物Wの被加工面Waの測定時現在の直径を演算する手段である。基本加工制御手段31は、寸法演算手段32で演算された被加工面Waの現在の直径に応じて加工形式粗研削、精密研削、スパークアウト等の切換を行う。なお、制御装置3は、A/D変換ユニット図示せずを有していて、定寸装置2の管制部30から出力されたアナログ信号の測定値G1,G2を、ディジタル信号の測定値G1,G2に変換し、以後はディジタル値として取り扱う。A/D変換ユニットは、制御装置3の外部に設けられたものであっても良い。なお、スパークアウトは、砥石5の切り込みの進行を止めて砥石支持具となる砥石軸4a等に生じている弾性変形の弾性復元力で行う加工である。異常判定手段34は、制御装置3に取り込まれた2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差分Δαを連続的に演算し、差分Δαの絶対値を設定許容範囲の限界値である閾値aと比較し、閾値aを超える場合に測定異常と判定する。閾値aは、この実施形態では閾値演算手段33で演算した値を用いるが、模範等の測定によって定めても良く、また試験、シミュレーション、設計等によって適宜の閾値を定めても良い。閾値演算手段33は、加工中における定められた基準演算用測定期間T図6に取得した2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差につき、定められた統計的処理を行って基準値Δα0を求め、この基準値Δα0を中心としてプラス側およびマイナス側の定められた範囲となる限界値を閾値aとする。この統計的処理として、この実施形態では、前記定められた基準演算用測定期間に取得した2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差の算術平均による平均値Avを求め、この平均値Avを基準値Δα0とする。閾値演算手段33は、前記統計的処理による基準値Δα0の演算を、幾何学平均や、移動平均、あるいは標準偏差等によって定めても良い。基準演算用測定期間Tは、この例では、工作物Wの粗研削工程と精研削工程とスパークアウト工程で研削する場合に、粗研削工程の終了直前の期間としている。図1において、異常時処理手段35は、異常判定手段34で測定異常と判定された場合に、定められた動作を研削盤1等に行わせる手段である。異常時処理手段35は、測定異常と判定されると、例えば、警報信号を出力し、制御装置3によってアラーム音の発生、アラームランプの点灯、表示装置の表示画面へのアラームの表示等を行う他に、研削盤1を早戻し停止させるようにしても良い。早戻し停止は、砥石5の切り込みを即座に戻して機械停止させる動作である。異常時処理手段35は、上記処理の他に、測定異常と判定されると、測定ヘッド2X,2Yを被加工面Waから離した後に再度接触させ、この再度接触させた後の2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差が、前記閾値a以下であると、加工を続行させるようにしても良い。測定ヘッド2X,2Yの被加工面Waに対する離し動作と接触動作は複数回繰り返して行い、その後に測定値G1,G2の差を閾値aと比較しても良い。異常時処理手段35は、この他に、異常検出後に任意の加工動作を加工完了後動作を行うように設定されたものとしても良い。次に、上記構成による加工および測定の動作を、図4のフロー図、図1,図5,図6のグラフを用いて説明する。図1のように、工作物Wの研削時は、X軸スライド17を図1のB方向に移動させ、回転している砥石5を加工物Wに接触させ加工物を研削加工する。研削加工では、定寸装置2を用いて、工作物Wの仕上寸法を管理しており、管制部30からの触子1本毎のアナログ信号による測定値G1,G2を制御装置3に取り込み、仕上寸法になると加工を終了する。図5Aは、研削加工中の管制部30からの制御装置3へ取り込まれ、制御装置3の寸法演算手段32で、K1×G1K2×G2として演算した数値を定寸信号としてグラフ化したものである。K1,K2は、補正係数である。時間の経過とともに、粗研削、ドレス、精研削、スパークアウトの順にX軸スライド17の移動速度等の研削条件を変化させていき、仕上寸法に到達したときに研削加工が完了する。粗研削と精研削とは、同じ砥石5を用い、移動速度切り込み速度を互いに異ならせる加工である。制御フローを図4に示す。工作物Wの位置決めS10、定寸装置2の前進S20、研削加工の開始S30の後、ステップS40では、測定ヘッドXの測定値G1と、測定ヘッドYの測定値G2の差分Δαを連続的に取得し、粗研削終了直前の定められた時間例えば3秒間の平均Avを演算する。この平均Avを基準値Δα0として、プラス側およびマイナス側の設定範囲の限界値を閾値aとする。この演算は、図1の閾値演算手段33が行う。ステップ50では、ドレス工程が完了し、精研削及びスパークアウト工程である間、定められた閾値aと、G1-G2-Avの絶対値を連続的に比較し、G1-G2-Avの絶対値が閾値を超えた場合に、異常時処理手段35により警報信号を出力し、研削盤1を早戻し停止する。この構成の研削盤の測定異常機能付き加工径測定装置によると、異常検出については、2か所の測定ヘッド2X,2Yの出力G1,G2の加算値ではなく、その差G1-G2により判定する。測定ヘッド2X,2Yと被加工面Waとの間に異物研削屑や砥石の砥屑等が噛み込んだ場合は、その噛み込みが生じた片方の測定ヘッド2X,2Yの測定値のみが大きくなり、2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差が大きくなる。これに対し、ドレス時やスパークアウト時は、2つの測定ヘッド2X,2Y2の測定値G1,G2が同様に変化し、2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値差は、変化しない。そのため、測定値差G1-G2により異常判定を行うと、ドレスやスパークアウトによる誤検知が生じず、したがって異常判定の設定許容範囲、つまり閾値を小さく設定することができる。このため、微細な異物噛み込み等による測定異常であっても検出することができ、異常検出の精度を高めることができる。これにより、従来では測定異常発生時に加工していた工作物の廃棄が少なくなり、誤検出による手直し無駄が少なくなる。測定異常判定手段34により異常の判定を行う期間は、異物が噛み込む可能性のある工程であって、図4の流れ図では精研削およびスパークアウトの期間である。スパークアウト工程では、異物の噛み込みの観点からは、異常判定を行うことが好ましいが、研削盤1の機種,構成によっては、誤検知の観点から、異常判定を行わないようにしても良く、異常の判定を行う期間は精研削の間だけとしても良い。ドレス工程やスパークアウト工程等のように、研削の開始から完了までの間に、一時的に砥石5の切り込み方向につき、砥石5を被加工面Waから離すか、または砥石5の被加工面Waに対する押し付け力を弱める動作を行わせる離反緩め過程、特にドレス工程では、測定ヘッド2X,2Yの出力する測定値G1,G2は意味を生じない値となる。そのため、このときは異常判定を行わないようにすることが好ましい。スパークアウト時には次のような問題がある。工作物支持機構4が、工作物Wを求心作用が生じるように吸着して回転するマグネットチャック8と、シュー14,15とでなる場合、工作物Wがシュー14,15側に押し付けられるように、僅かではあるが偏心して支持される。スパークアウト工程では、砥石5による押し付けが緩むことによって、その偏心が戻ることになる。そのため、直径方向に離れた2つの測定ヘッド2X,2Yの触子Xa,Yaは互いに同じ方向に移動することになって、この移動による各測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の変動は、差を取った場合に加算されることになる。したがって、スパークアウト時に測定値の差が急激に大きくなり、誤検出が生じ易くなる。このため、スパークアウト時も、前記差で判定する測定異常判定手段34による測定異常の判定は、行わないことが好ましい場合がある。スパークアウト時は精研削時よりも大きな閾値を用いて測定異常の判定を行うようにしても良い。また、この実施形態では、加工中における定められた基準演算用測定期間に取得した2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差につき、定められた統計的処理を行って基準値G0を求め、この基準値G0を基に前記設定許容範囲の限界値である閾値Δα0を定めている。そのため、より一層、信頼性の高い異常検出が行える。すなわち、適切な設定許容範囲の閾値aを求める方法としては、模範を用いて測定し、その模範の測定値を用いて定めても、または設計上の計算で求めても良い。しかし、多数の工作物を順次研削するについて、研削盤1の電源オン時から経過時間に応じて加工熱等による熱変位が生じる。このような場合、異常判定を行うには、熱変位が生じた状態の測定値を用いることで、より適切な閾値が定められる。また、複数回の測定値を統計的処理することで、個々の測定値の間でばらつきが生じていても、適切な基準値Δα0が求められる。この基準値Δα0を基に閾値aを定めることで、閾値aをより小さな値としても、誤検出されることがなくなり、信頼性の高い異常検出が行える。前記閾値演算手段33で行う前記統計的処理は、この例では、2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差の平均値で求めているが平均値によると、簡単な演算で適切な閾値を求めることができる。また、この実施形態では、前記基準演算用測定期間は、粗研削工程の終了直前の期間としているため、適切な基準値が得られる。研削加工する工作物Wは、前工程として熱処理されて黒皮が生じている場合があり、また黒皮がない場合でも、表面が粗い。また、粗研削工程では異物噛み込みの異常検出を行う必要性が低い。そのため、粗研削工程の終了直前の期間を基準演算用測定期間とするのが、最も適切となる。前記異常時処理手段35が、前述のように、測定異常判定手段34で測定異常と判定されると、測定ヘッド2X,2Yを被加工面Waから離した後に再度接触させ、この再度接触させた後の2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差が、前記設定許容範囲内である場合は、前述のように加工を続行させるのが良い。測定異常と判定されたときに、測定ヘッド2X,2Yを被加工面Waから一旦離すことで、異物の噛み込みが解消される場合がある。そのため、再度接触させた後の2つの測定ヘッド2X,2Yの測定値G1,G2の差が異常でない場合は、加工を続行させることで、無駄に加工を停止させることなく、また測定異常の問題を生じることなく、研削加工を行うことができる。なお、上記実施形態では、定寸装置2は、2本の測定ヘッド2X,2Yを有するものとしたが、定寸装置2は、それぞれが独立して定寸装置となるものを2台用いて、一つの定寸装置2として機能させるようにしても良い。また、上記実施形態では、内周研削の場合につき説明したが、この発明は外周研削の場合にも適用することができる。その場合、測定ヘッドは外周面とする被加工面に接触させせる。さらに、上記実施形態では、制御装置3をプログラマブルコントーラとモーションコントローラとで構成したが、他の種々の演算処理装置を前記制御装置3として用いることができる。"