"流体を搬送すべく往復動するダイヤフラムを設けたダイヤフラム駆動室と、前記ダイヤフラムを往復動させるための駆動力を供給する駆動力供給部とを備えた往復動ポンプであって、前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの回転によって往復動する第一ピストン部および第二ピストン部とを用いて構成され、前記ダイヤフラム駆動室内には、第一ダイヤフラムおよび第二ダイヤフラムが設けられ、前記第一および第二ピストン部の駆動力が、作動油を介して、前記第一および第二ダイヤフラムに伝達されるべく構成され、前記ダイヤフラム駆動室内の流体搬送室に前記流体を搬送すべく、補助駆動部が設けられていることを特徴とする往復動ポンプ。前記補助駆動部が、流体を搬送すべく往復動する第一補助ダイヤフラムおよび第二補助ダイヤフラムと、前記第一および第二補助ダイヤフラムを往復動させる補助偏心カムとを有し、前記補助偏心カムが、前記偏心カムを駆動させる駆動力伝達軸を用いて、回転駆動させられる請求項1に記載の往復動ポンプ。しかしながら、上記従来技術特開昭61-61990号公報に開示された往復動ポンプにおいては、作動油の制御を行うためのリリーフ弁逃がし弁27と、作動油中に混入あるいは発生した空気等のガスを抜くためのガス抜き部排気弁18とが必須であって、特にこのガス抜き部を用いたガス抜き作業が煩雑であるという問題があった。上記従来技術にかかる往復動ポンプにおいては、作動油にてダイヤフラムを往復動させる構成であるため、ポンプ組み立て時あるいはポンプ駆動時に、作動油中に空気等のガスが混入等する場合がある。作動油にてダイヤフラムを往復動させる構成の往復動ポンプにおいて、かかるガス混入等は避け難い。そこで、従来技術においては、ダイヤフラムと弁ユニットとの間にガス抜きのための機構ガス抜き部を設け、往復動ポンプ組み立て後の初期作動時、および継続駆動中のガス混入時に、適宜ガス抜きを行うべく構成されている。上記機構を用いて行われるガス抜きは、ガス抜き部上に設けられた蓋部ボルト等を取り外し、このガス抜き部に吸引具等を連通させることによって行われる。なお、このガス抜きの際には、ガス抜き部からガスと共に作動油が溢流すると考えられるため、ガス抜き部の周囲には油受け等を用意しなければならない。また、弁ユニット近傍に設けられたリリーフ弁においても、作動油と共に混入等したガスが取り除かれる場合もあるが、従来技術特開昭61-61990号公報においては、リリーフ弁の構造が不明であるため、作動油の調整とガス抜きとの関係は明確に認識することができない。すなわち、従来技術においては、ガス抜きを行うためのガス抜き部、あるいは結果的にガス抜きを行うことが可能であるリリーフ弁が設けてあるが、前者は、ガス抜きのための煩雑な作業が必要であり、後者は、構造が不明で且つ積極的にガス抜きを行うものではないため、その効果等を明確に把握することができないという問題があった。また、従来技術にかかる逆止弁特許文献2参照においては、流路の閉塞を確実に行うために、スプリング等の付勢手段を用いて弁体であるボールの移動がなされるが、このような構成の場合には、弁体と弁座との間の抵抗力が増加し、吸込工程時にキャビテーション等が発生して、ポンプ能力が低下するおそれがあった。さらに、強力なスプリング等を用いると、ポンプ始動時、流体を自給しないため、呼び液を行う必要がある。また、流路の閉塞時にスプリング等によってボールが弁座に押し付けられるため、ボールや弁座等が局部的に摩耗するという問題があった。さらに、従来技術にかかる往復動ポンプを用いた場合には、高粘度の流体粘着性液体を搬送させる際には、上記逆止弁等を用いた場合であっても、流体を適切に定量的に搬送することができないという問題があった。具体的に、流体の粘度が高い場合には、流体が流れにくく、単にダイヤフラム等の往復動手段を駆動させるだけでは流体を適切に吸い込むことができないため、定量搬送を実現することが困難であるという問題があった。そこで、本発明は、上記従来技術にかかる問題を解決するためになされたものであって、煩雑な作業等を行うことなく、ガスを適切に且つ自動的に排出することが可能なガス排出機構を備えた往復動ポンプを提供することを課題とする。また、本発明は、上記従来技術にかかる問題を解決するためになされたもので、流路の閉塞を確実に行うことが可能であって、呼び液等を行うことなく、ボールや弁座等の局部的な摩耗を減少させることが可能な弁座を提供することを課題とする。さらに、本発明は、上記従来技術にかかる問題を解決するためになされたもので、高粘度の流体を搬送する場合であっても、定量搬送を実現可能な往復動ポンプを提供することを課題とする。本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、流体を搬送すべく往復動するダイヤフラムを設けたダイヤフラム駆動室と、前記ダイヤフラムを往復動させるための駆動力を供給する駆動力供給部とを備えた往復動ポンプであって、前記駆動力供給部の駆動力が作動油を介して前記ダイヤフラム駆動室内のダイヤフラムに伝達されるべく構成され、前記駆動力供給部と前記ダイヤフラム駆動室との間には前記作動油を制限する作動油制限室が設けられており、前記作動油制限室内の上方位置に設けられた第一ガス排出部と、前記ダイヤフラム駆動室内の上方位置に設けられた第二ガス排出部とを有し、前記第一ガス排出部と前記第二ガス排出部とが連通されて一のガス排出機構が構成されており、前記ガス排出機構には、前記第一ガス排出部から前記第二ガス排出部への流体の逆流を防止すべく逆流防止体が設けられていることを特徴としている。このような構成によれば、複数のガス排出部第一および第二ガス排出部が連通されて一のガス排出機構が構成されているため、複数のガス排出部から排出されるガスを、一のガス排出機構の調整を行うのみで、適切に排出可能である。また、本発明においては、前記作動油制限室には、前記ダイヤフラムに連接されてダイヤフラムと共に駆動する弁体と、前記弁体と嵌合して前記ダイヤフラム駆動室に供給される前記作動油を制限し得る弁座とが設けられており、前記作動油制限室内における前記駆動力供給部と前記弁座との間に前記第一ガス排出部の一方端部が設けられ、前記ダイヤフラム室内における前記弁座と前記ダイヤフラムとの間に前記第二ガス排出部の一方端部が設けられている構成が好ましい。この好ましい構成によれば、前記弁体等を用いることによって、前記ダイヤフラムに対する過負荷等を適切に制限し、この弁体および弁座の前後ダイヤフラム駆動室および作動油制限室にそれぞれ第一ガス排出部および第二ガス排出部が設けられているため、ダイヤフラム周辺のガスを適切に排出することが可能となる。また、本発明においては、前記第一ガス排出部の他方端部と前記第二ガス排出部の他方端部とが近接して設けられており、前記第一ガス排出部から流体が排出される際には、その流体の圧力によって前記第二ガス排出部の他方端部を閉塞すべく、前記第二ガス排出部の他方端部に押圧され、前記第二ガス排出部から流体ガス等が排出される際には、その流体ガス等の圧力によって前記第二ガス排出部の他方端部を開放すべく、前記第二ガス排出部の他方端部から持ち上げられるように、前記第二ガス排出部の他方端部上に前記逆流防止体が設けられている構成が好ましい。この好ましい構成によれば、二つのガス排出部を連通させた構成としても、前記逆流防止体が設けられているため、ダイヤフラム駆動室側へのガスおよび作動油の逆流を防止し、往復動ポンプを適切に駆動させることができる。また、本発明においては、前記ガス排出機構が、前記第一ガス排出部、前記第二ガス排出部、前記逆流防止体、および流体排出調整部とを用いて構成されており、前記流体排出調整部は、前記逆流防止体の上部に設けられたボール体と、前記ボール体のリフト量を調整し得る調整バルブとを用いて構成されている構成が好ましい。この好ましい構成によれば、前記調整バルブを用いて、適宜、必要なときにガス排出を行うことができる。さらに、本発明においては、前記逆流防止体のリフト量と前記ボール体のリフト量とを、それぞれ所定間隔として、前記第一ガス排出部および前記第二ガス排出部から自動的にガス排出が行われる構成が好ましい。そして、この場合には、前記逆流防止体のリフト量が0.5mm~2.0mm程度であって、前記ボール体のリフト量が0.5mm~2.0mm程度である構成が好ましい。また、前記逆流防止体のリフト量としては、1.0mm~1.5mm程度がより好ましく、さらに、前記ボール体のリフト量としては、0.5mm~1.0mm程度がより好ましい。また、前記逆流防止体がボール体であって、作動油の比重に近い比重を有する材料を用いて構成されていることが好ましい。作動油の比重に近い比重を有する材料としては、例えば、ポリプロピレン等があげられる。また、本発明においては、前記第一ガス排出部および前記第二ガス排出部の少なくとも一方から排出される作動油を補充すべく、作動油補充機構が設けられている構成が好ましい。前記作動油補充機構としては、例えば、ガス排出時における作動油の流出を予め想定してその分の作動油を供給すべく構成された補助プランジャ機構や、ダイヤフラム駆動室内の圧力変動に応じて、適宜作動油を供給可能な作動油補給弁補充圧力を可変可能な作動油補給弁があげられる。この好ましい構成によれば、上記作動油補充機構補助プランジャ機構、作動油補給弁等が設けられているため、ガス排出時における作動油の流出を予め勘案してそれに応じた作動油の補給、あるいはダイヤフラム駆動室が過剰な負圧状態になったときの作動油の補給を適切に行うことが可能となって、ポンプ効率を低下させずに、安定した状態で往復動ポンプの運転を維持することができる。本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、流体の流通経路を有する本体部と、前記流通経路を開閉させるべく前記本体部内に設けられた弁体と、前記弁体に付勢力を作用させるべく前記本体部内に設けられた付勢手段とを用いて構成された逆止弁であって、前記付勢手段が、前記流通経路における前記流体の入口側に前記弁体を付勢すべく設けられ、前記弁体にて前記流通経路が閉塞された際に、前記弁体と前記付勢手段との間に所定間隔を有することを特徴としている。このような構成によれば、前記弁体が前記付勢手段によって、前記流体の入口側に付勢されているため、前記弁体における前記流通経路の閉塞性を高めることができる。また、このような構成によれば、前記弁体によって前記流通経路を閉塞した際において、前記付勢手段と前記弁体との間に前記所定間隔が設けられているため、前記付勢手段によって前記弁体が弁座に強制的に押さえ付けられることがない。よって、このような構成によれば、前記弁体および弁座等の摩耗を効果的に減少させることができる。また、本発明は、流体の流通経路を有する本体部と、前記流通経路を開閉させるべく前記本体部内に設けられた弁体とを用いて構成された逆止弁であって、前記本体部および前記本体部外部の少なくとも一方に電磁石が設けられ、前記弁体が磁性体材料を用いて構成されており、前記弁体にて行われる前記流通経路の開閉タイミングに応じて、前記電磁石に対する通電タイミングおよび極性切換タイミングの少なくとも一方が決定されることを特徴としている。このような構成によれば、前記電磁石を用いて前記弁体が移動させられるため、前記電磁石に対する通電タイミング等を調節することによって、前記弁体を適切に移動可能である。つまり、高い応答性を有する逆止弁を得ることが可能となるため、前記流体の粘性が高い場合等であっても、流通経路を適切なタイミングで開閉することができる。また、この構成においては、前記弁体が前記電磁石によって移動可能であるため、前記弁体を持ち上げて、前記流通経路をオープンにすることができる。したがって、この構成によれば、ライン洗浄後におけるライン内の洗浄液、あるいはライン内の搬送流体を、前記弁体を持ち上げることによって流通経路をオープンにすることによって、必要に応じて容易に排出、回収等することができる。また、本発明にかかる逆止弁においては、前記電磁石に対する電力供給ラインにキャパシタが設けられた構成が好ましい。この好ましい構成によれば、前記電磁石に対して瞬間的に大きな電力供給を行うことができ、前記電磁石においては大きな電磁力を発生し得るので、より応答性の高い逆止弁を得ることができる。さらに、本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、流体を搬送すべく往復動するダイヤフラムを設けたダイヤフラム駆動室と、前記ダイヤフラムを往復動させるための駆動力を供給する駆動力供給部とを備えた往復動ポンプであって、前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの回転によって往復動する第一ピストン部および第二ピストン部とを用いて構成され、前記ダイヤフラム駆動室内には、第一ダイヤフラムおよび第二ダイヤフラムが設けられ、前記第一および第二ピストン部の駆動力が、作動油を介して、前記第一および第二ダイヤフラムに伝達されるべく構成され、前記ダイヤフラム駆動室内の流体搬送室に前記流体を搬送すべく、補助駆動部が設けられていることを特徴としている。本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記補助駆動部が、流体を搬送すべく往復動する第一補助ダイヤフラムおよび第二補助ダイヤフラムと、前記第一および第二補助ダイヤフラムを往復動させる補助偏心カムとを有し、前記補助偏心カムが、前記偏心カムを駆動させる駆動力伝達軸を用いて、回転駆動同期回転駆動させられる構成が好ましい。さらに、本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、流体を搬送すべく往復動するダイヤフラムを設けたダイヤフラム駆動室と、前記ダイヤフラムを往復動させるための駆動力を供給する駆動力供給部とを備えた往復動ポンプであって、前記ダイヤフラムの上流側および下流側に、それぞれ逆止弁が設けられており、前記逆止弁が、流体の流通経路を有する本体部と、前記流通経路を開閉させるべく前記本体部内に設けられた弁体と、前記弁体に付勢力を作用させるべく前記本体部内に設けられた付勢手段とを用いて構成され、前記付勢手段が、前記流通経路における前記流体の入口側に前記弁体を付勢すべく設けられ、前記弁体にて前記流通経路が閉塞された際に、前記弁体と前記付勢手段との間に所定間隔を有することを特徴としている。また、本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、流体を搬送すべく往復動するダイヤフラムを設けたダイヤフラム駆動室と、前記ダイヤフラムを往復動させるための駆動力を供給する駆動力供給部とを備えた往復動ポンプであって、前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの回転によって往復動する第一ピストン部および第二ピストン部とを用いて構成され、前記ダイヤフラム駆動室内には、第一ダイヤフラムおよび第二ダイヤフラムが設けられ、前記第一および第二ピストン部の駆動力が、作動油を介して、前記第一および第二ダイヤフラムに伝達されるべく構成され、前記ダイヤフラム駆動室内の流体搬送室に前記流体を搬送すべく、補助駆動部が設けられており、前記補助駆動部が、流体を搬送すべく往復動する第一補助ダイヤフラムおよび第二補助ダイヤフラムと、前記第一および第二補助ダイヤフラムを往復動させる補助偏心カムとを有し、前記補助偏心カムが、前記偏心カムを駆動させる駆動力伝達軸を用いて、回転駆動同期回転駆動させられ、前記第一および第二ダイヤフラムの上流側および下流側に、それぞれ逆止弁が設けられており、前記逆止弁が、流体の流通経路を有する本体部と、前記流通経路を開閉させるべく前記本体部内に設けられた弁体と、前記弁体に付勢力を作用させるべく前記本体部内に設けられた付勢手段とを用いて構成され、前記付勢手段が、前記流通経路における前記流体の入口側に前記弁体を付勢すべく設けられ、前記弁体にて前記流通経路が閉塞された際に、前記弁体と前記付勢手段との間に所定間隔を有することを特徴としている。さらに、本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、流体を搬送すべく往復動するダイヤフラムを設けたダイヤフラム駆動室と、前記ダイヤフラムを往復動させるための駆動力を供給する駆動力供給部とを備えた往復動ポンプであって、前記ダイヤフラムの上流側および下流側に、それぞれ逆止弁が設けられており、前記逆止弁が、流体の流通経路を有する本体部と、前記流通経路を開閉させるべく前記本体部内に設けられた弁体とを用いて構成され、前記本体部および前記本体部外部の少なくとも一方に電磁石が設けられ、前記弁体が磁性体材料を用いて構成されており、前記弁体にて行われる前記流通経路の開閉タイミングに応じて、前記電磁石に対する通電タイミングおよび極性切換タイミングの少なくとも一方が決定されることを特徴としている。また、本発明は、上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、流体を搬送すべく往復動するダイヤフラムを設けたダイヤフラム駆動室と、前記ダイヤフラムを往復動させるための駆動力を供給する駆動力供給部とを備えた往復動ポンプであって、前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの回転によって往復動する第一ピストン部および第二ピストン部とを用いて構成され、前記ダイヤフラム駆動室内には、第一ダイヤフラムおよび第二ダイヤフラムが設けられ、前記第一および第二ピストン部の駆動力が、作動油を介して、前記第一および第二ダイヤフラムに伝達されるべく構成され、前記ダイヤフラム駆動室内の流体搬送室に前記流体を搬送すべく、補助駆動部が設けられており、前記補助駆動部が、流体を搬送すべく往復動する第一補助ダイヤフラムおよび第二補助ダイヤフラムと、前記第一および第二補助ダイヤフラムを往復動させる補助偏心カムとを有し、前記補助偏心カムが、前記偏心カムを駆動させる駆動力伝達軸を用いて、回転駆動させられ、前記第一および第二ダイヤフラムの上流側および下流側に、それぞれ逆止弁が設けられており、前記逆止弁が、流体の流通経路を有する本体部と、前記流通経路を開閉させるべく前記本体部内に設けられた弁体とを用いて構成され、前記本体部および前記本体部外部の少なくとも一方に電磁石が設けられ、前記弁体が磁性体材料を用いて構成されており、前記弁体にて行われる前記流通経路の開閉タイミングに応じて、前記電磁石に対する通電タイミングおよび極性切換タイミングの少なくとも一方が決定されることを特徴としている。本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記電磁石に対する電力供給ラインにキャパシタが設けられた構成が好ましい。このような構成によれば、閉め切り応答性等の高い逆止弁を有する往復動ポンプを得ることが可能となり、高精度の定量搬送を実現することができる。また、本発明は、搬送される流体と接した状態で往復動するダイヤフラムを二つ用いて構成された往復動ポンプにおいて、一のダイヤフラムの接液面と他のダイヤフラムの接液面とが、搬送経路を有するポンプヘッドを介して略平行に対向し得るべく設けられており、前記一のダイヤフラムの接液面と前記他のダイヤフラムの接液面と前記ポンプヘッドとを用いて流体搬送領域が形成されていることを特徴としている。ここで、流体搬送領域とは、各ダイヤフラム一のダイヤフラム、他のダイヤフラムを駆動させることによって、前記ポンプヘッドの搬送経路ポンプヘッド内に設けられた流体が搬送される経路に接続された配管部外に対しては漏洩させることなく、前記流体を適切に搬送させることが可能である領域をいう。このような構成によれば、前記ポンプヘッドを介して二つのダイヤフラムを対向して設けているため、単に二つの独立したポンプヘッド部を有するポンプと比較して、往復動ポンプを構成する際の部品点数を大幅に減少させることができる。また、部品点数の減少に伴い、封止部の数も削減可能であるため、封止部の減少分だけ、液洩れの可能性を低減させることができる。さらに、部品点数を少なくすることが可能となるため、各構成要素の製作誤差、組立誤差の発生確率を低減させることができる。また、このような構成によれば、対向するダイヤフラム間に前記ポンプヘッドが設けられているため、一のダイヤフラムの動きが他のダイヤフラムに対して悪影響を及ぼすことなく、各ダイヤフラムがそれぞれ所定の動きを適切に実施することができる。よって、このような構成の往復動ポンプによれば、各ダイヤフラムにおける吐出流量が適切に保持され、効果的に搬送流体の脈動を防止することができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記ダイヤフラムおよび前記ポンプヘッドを用いて構成される搬送流体流通ブロックが、前記流体搬送領域から前記流体を漏洩させることなく、分離可能である構成が好ましい。この好ましい構成によれば、メンテナンス処理を効率的に行うことが可能となる。すなわち、このような往復動ポンプによれば、搬送流体流通ブロックを分解等することなく、配管部等を取り外し、駆動力供給部のメンテナンス例えば、偏心カム、位置規制付勢手段の交換等を行うことが可能となるので、独立した二つのポンプヘッド部を有する従来のポンプのように、二つのポンプヘッド部の分解組立等を行うことなく、メンテナンス処理を行うことができる。よって、前記搬送流体流通ブロック内を流通する搬送流体を予め抜くことなく、前記駆動力供給部等のメンテナンスを行うことが可能な、メンテナンス性に優れた往復動ポンプを得ることができる。また、本発明は、搬送される流体と接した状態で往復動するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを駆動させる駆動力供給部とを備えた往復動ポンプにおいて、前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの回転によって往復動する第一のピストン部および第二のピストン部と、前記第一および第二のピストン部の位置を調整する調整手段とを用いて構成されており、前記調整手段が、前記第一および第二のピストン部を前記偏心カムの位置する方向に付勢させる付勢機能と、前記偏心カムの対角距離の変化に起因する前記第一のピストン部と前記第二のピストン部との間に生ずるずれを吸収し得る緩衝機能とを有することを特徴としている。このような構成によれば、一つの偏心カムにて二つのピストン部を駆動させるべく構成されているため、二つの偏心カムを用いる場合と比較して、偏心カムの形状の同一性等を求められることがなくなる。よって、二つの偏心カムを用いる場合のように、高い組立精度等を要求させず、効率的に往復動ポンプおよび各構成要素を製作組立等することができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記第二のピストン部が中空状に形成されており、前記第二のピストン部の内部に前記偏心カムと前記第一のピストン部とが設けられ、前記第一のピストン部の外面部と前記第二のピストン部の内面部との間に前記調整手段が設けられており、前記偏心カムの回転によって前記第一のピストン部と前記第二のピストン部とが前記調整手段を伴って往復動する構成が好ましい。この好ましい構成によれば、前記偏心カムの回転によって、前記調整手段位置規制付勢手段を挟持した状態で前記ピストン部がそれぞれスライドしつつ、往復動を繰り返すこととなるため、前記ピストン部の往復動距離に対して、前記調整手段の最大撓み距離をかなり小さくすることができる。よって、この好ましい構成によれば、小型で且つ低強度の付勢手段スプリング等を用いて前記調整手段を構成することが可能となるため、延いては、往復動ポンプの小型化を実現することができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記第一および第二のピストン部の往復動方向と、前記調整手段の付勢方向および緩衝方向とが略平行である構成が好ましい。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記調整手段が、一つのスプリング等から成る付勢部材を用いて構成されていることが好ましい。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記第一のピストン部の端面部と一のダイヤフラムとの間に形成された第一の空間と、前記第二のピストン部の端面部と他のダイヤフラムとの間に形成された第二の空間とが、それぞれ略密閉状態に構成されており、前記各空間内には作動油が充填されており、前記第一および第二のピストン部の往復動に基づいて前記作動油に圧力が作用して、前記圧力によって前記一および他のダイヤフラムが往復動する構成が好ましい。この好ましい構成によれば、前記ピストン部からの駆動力を前記ダイヤフラムに対して効果的に伝達することが可能となり、前述した種々の効果を奏する前記駆動力供給部を用いて、小型化等を実現可能な往復動ポンプを得ることができる。また、本発明は、搬送される流体と接した状態で往復動するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを駆動させる駆動力供給部とを備えた往復動ポンプにおいて、前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの回転によって往復動する第一のピストン部および第二のピストン部と、前記偏心カムの駆動力を前記各ピストン部に伝えるべく、前記偏心カムに接する接触転動要素回動軸とを用いて構成されており、前記偏心カムと前記接触転動要素回動軸との間に生ずる圧力角を抑えるべく、前記接触転動要素回動軸が前記偏心カムよりも小さい径にて形成されていることを特徴としている。つまり、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記接触転動要素回動軸は、可能な限り小さく形成されていることが好ましい。このような構成とすれば、前記接触転動要素回動軸をできるだけ小さく形成することによって、前記偏心カムとの間に生ずる圧力角を小さくして、往復動ポンプの長寿命化を図り、長期間の無脈動搬送を実現することができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記各ピストン部にベアリングが設けられており、前記ベアリングの内輪側に前記接触転動要素回動軸が設けられている構成が好ましい。この好ましい構成によれば、前記偏心カムとベアリングの内輪側とが接するので、偏心カムとベアリングの外輪側とが接する場合と比較して、前記偏心カムと前記接触転動要素回動軸との間に生ずる圧力角をより小さくすることができる。そうすることによって、上記のように、往復動ポンプの長寿命化を図ることができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記各ピストン部にそれぞれ二つ以上のベアリングが設けられており、前記各ピストン部においては、前記ベアリングと前記偏心カムとで支持されるべく前記接触転動要素回動軸が設けられている構成が好ましい。この好ましい構成によれば、前記接触転動要素回動軸が所定の強度等を有するものであれば、ベアリングあるいは偏心カム等の大きさに左右されることなく、前記接触転動要素を必要最小限の大きさとすることができる。よって、上記のように、圧力角を小さくして、往復動ポンプの長寿命化を図ることができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記第一のピストン部および前記第二のピストン部の位置を調整する調整手段が設けられており、前記調整手段が、前記第一および第二のピストン部に設けられた前記接触転動要素を前記偏心カムの位置する方向に付勢させる付勢機能と、前記偏心カムの対角距離の変化に起因する前記第一のピストン部と前記第二のピストン部との間に生ずる隙間を吸収し得る緩衝機能とを有する構成が好ましい。前記調整手段は、例えば、スプリング等の付勢手段を用いて構成される。また、本発明は、搬送される流体と接した状態で往復動するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを駆動させる駆動力供給部とを備えた往復動ポンプにおいて、前記駆動力供給部が、一つの偏心カムと、前記偏心カムの回転によって往復動する第一のピストン部および第二のピストン部と、前記偏心カムの駆動力を前記各ピストン部に伝えるべく、前記偏心カムに接する接触転動要素回動軸とを用いて構成されており、前記ダイヤフラムの駆動状態を調整可能な駆動調整機構が設けられていることを特徴としている。このような構成によれば、前記駆動調整機構を設けることによって、前記ダイヤフラムの駆動状態を適宜調整可能であるため、前記往復動ポンプの吐出側にて脈動等が発生したとしても、その脈動部分の減少分を補正すべく、前記ダイヤフラムを駆動させることが可能となり、効果的に脈動を防止可能な往復動ポンプを得ることができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記ピストン部の駆動力が作動油を介して前記ダイヤフラムに伝達されるべく構成されており、前記駆動調整機構が、各ピストン部の動きに応じて駆動する補助プランジャと、前記補助プランジャの作用時間を調整可能な調整用プランジャとを有し、前記補助プランジャが前記作動油を押圧することによって前記ダイヤフラムの駆動状態が調整される構成が好ましい。この好ましい構成によれば、前記往復動ポンプの吐出側にて脈動等が発生したとしても、前記補助プランジャによって前記作動油を押圧することによって、前記脈動部分の補正をすべく、前記ダイヤフラムを駆動させることが可能となる。よって、効果的に脈動を防止可能な往復動ポンプを得ることができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記補助プランジャと前記調整用プランジャとの間隔が前記補助プランジャの作用時間を規制し、前記間隔を任意に設定可能であるべく前記調整用プランジャが構成されていることが好ましい。この好ましい構成によれば、前記補助プランジャの作用時間を任意に設定可能であるため、ポンプの機差等によって、種々の脈動等が生ずる場合であっても、各ポンプ毎に前記調整用プランジャを用いた調整が可能であるため、効果的に脈動を防止可能な往復動ポンプを得ることができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記駆動調整機構が、前記偏心カムを駆動させる可変速モータと、前記偏心カムの位置を検知可能な回転位置検出器と、前記回転位置検出器における位置信号に基づいて前記可変速モータを制御可能な制御手段とを用いて構成されていることが好ましい。この好ましい構成によれば、前記位置信号および前記制御手段を用いて、適宜前記可変速モータを制御可能であるため、前記ダイヤフラムを駆動させる前記偏心カムの回転速度を適切に制御できる。よって、脈動等が発生したとしても、必要に応じて、前記偏心カムの回転を制御し、前記ダイヤフラムの駆動状態を制御することによって、効果的に脈動等を防止可能な往復動ポンプを得ることができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、搬送される流体の吐出側に脈動検知手段が設けられており、前記脈動検知手段にて検出された脈動信号が前記制御手段にフィードバックされるべく構成されており、前記位置信号と前記脈動信号と前記制御手段とに基づいて前記可変速モータが制御される構成が好ましい。ここで、前記脈動検知手段としては、搬送流体の脈動を何等かの形で検知可能な流量計、圧力計等の検知手段を用いることが好ましい。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記可変速モータがステッピングモータである構成が好ましくい。さらに、本発明にかかる往復動ポンプにおいては、前記回転位置検出器が、ロータリエンコーダあるいはタコジェネレータである構成が好ましい。本発明によれば、煩雑な作業等を行うことなく、ガスを適切に且つ自動的に排出することが可能なガス排出機構を備えた往復動ポンプを得ることができる。また、本発明によれば、流路の閉塞を確実に行うことが可能であって、呼び液等を行うことなく、ボールや弁座等の局部的な摩耗を減少させることが可能な弁座を得ることができる。さらに、本発明によれば、高粘度の流体を搬送する場合であっても、定量搬送を実現可能な往復動ポンプを得ることができる。以下、図面に基づき本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の実施形態にかかる往復動ポンプの概略断面図を示したものである。図1に示すように、本実施形態にかかる往復動ポンプは、ダイヤフラム第一のダイヤフラム1Aおよび第二のダイヤフラム1Bを往復動させることによって流体の搬送を実現する流体搬送部10A,10Bと、これらのダイヤフラム1A,1Bを駆動させるべく適切なタイミングで作動油を供給する駆動力供給部40と、この駆動力供給部40の偏心カム42を駆動させる駆動部70等とを用いて構成されている。また、この往復動ポンプを成す駆動部70は、回転運動を生ずる電動モータ71と、この電動モータ71からの回転力を駆動力伝達軸41に伝えるためのギヤ部72等とを用いて構成されている。さらに、本実施形態にかかる往復動ポンプにおいては、駆動力供給部40の左右それぞれに、補助プランジャ機構100A,B本発明の作動油補充機構に相当と作動油補給弁150A,B本発明の作動油補充機構に相当とが設けられている。これらについては、後に詳細に説明する。なお、本実施形態にかかる往復動ポンプは、脈動防止のために、二つの流体搬送部10A,10Bを用いて構成されているが、これらは駆動タイミングが異なるだけで、その構成は基本的に同様である。また、このように二つの流体搬送部10A,Bを有することから、本実施形態においては、その他の要素例えば、上述した補助プランジャ機構100A,Bおよび作動油補給弁150A,B等についても、同様の構成のものがそれぞれの流体搬送部10A,10Bに対応して二つずつ設けられている。そこで、以下、同様の構成要素について説明を行う場合には、同様の符号を用いることとし、それぞれを区別する際には、必要に応じてABの符号を付記する。図2は、図1のII-II断面図を示したものであり、具体的には、駆動力供給部40の断面図を示したものである。なお、この図2においては、補助プランジャの記載は省略している。図2に示すように、駆動力供給部40は、先に述べた駆動部70から駆動力を受ける駆動力伝達軸41と、この駆動力伝達軸41に取り付けられた偏心カム42と、この偏心カム42の動きに応じて往復動するピストン部第一のピストン部43および第二のピストン部44と、第一のピストン部43内のベアリング47の内輪で支持された第一の回動軸45と、第二のピストン部44内のベアリング48の内輪で支持された第二の回動軸46と、第二のピストン部44内にて第一のピストン部43と第二のピストン部44とを適切に付勢して、各ピストン部43,44内に設けられている各回動軸45,46を偏心カム42に接触させるべく機能する調整手段たる位置規制付勢手段49と、これらの各要素を内包しているケーシング部50等とを用いて構成されている。そして、以上のような要素を有する駆動力供給部40においては、ケーシング部50内壁とピストン部43,44との間の密閉空間に、作動油が充填されている。本実施形態にかかる駆動力供給部40においては、第二のピストン部44が中空状に形成されている。すなわち、第二のピストン部44は、その内部に、駆動力伝達軸41、偏心カム42、第一のピストン部43、ベアリング48、および位置規制付勢手段49等が包含可能であるべく形成されている。そして、第二のピストン部44の内壁部内面部44aと第一のピストン部43の外壁部外面部43aとの間には、位置規制付勢手段49が挟持されている。すなわち、この位置規制付勢手段49によって、第一および第二のピストン部43,44が偏心カム42の位置する方向に付勢されることとなる。換言すれば、この位置規制付勢手段49によって、第一のピストン部43内の第一の回動軸45と、第二のピストン部44内の第二の回動軸45とが、常に偏心カム42の外周面に接すべく、適切に付勢されることとなる。また、ケーシング部50には、各配管部後述するに連通すべく、作動油の供給口第一の供給口51および第二の供給口52が形成されている。そして、各ピストン部43,44の端面部から、供給口51,52、配管部21,22等を介して、各ダイヤフラム1,2までの間に形成される空間は、略密閉状態に構成されており、この空間内には、作動油が充填されている。したがって、本実施形態においては、各ピストン部43,44の動きに応じて作動油に対して正圧負圧が作用し、この圧力変動により各供給口51,52を介して作動油が流通することとなる。そして、この作動油によって、ダイヤフラム1,2が往復動することとなる。図3は、図1に示された往復動ポンプの部分拡大図を示したものであり、具体的には、流体搬送部10の拡大図を示したものである。なお、本実施形態にかかる往復動ポンプは、上述したように、二つの流体搬送部10A,10Bを用いて構成されているが、その構成は基本的に同様である。したがって、この図3においては、左右の区別を行うためのABの記載を省略する。そして、説明を行うに際して、左右の区別を必要とする場合には、図1に示したように、図面上の左側の構成要素についてはAを付し、右側の構成要素についてはBを付して説明する。図3に示すように、本実施形態においては、ポンプヘッド32と左右の作動油供給部31A,31Bとを用いて各ダイヤフラム1A,1Bを挟持して、各流体搬送部10A,10Bが構成されている。具体的には、流体搬送部10は、ダイヤフラム1と、ポンプヘッド32と、このポンプヘッド32と共にダイヤフラム1を挟持して支持する作動油供給部31と、この作動油供給部31の上部に設けられたガス排出機構20等とを用いて構成されている。そして、この作動油供給部31とポンプヘッド32とを用いて、ダイヤフラム1を備えたダイヤフラム駆動室2が構成され、作動油供給部31内には、ダイヤフラム1に連接された弁体3およびこれに対応した弁座4を備えた作動油制限室5が構成されている。また、上述したガス排出機構20は、ダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5内の作動油に混入したガス空気等を適切に排出するために設けられたものである。さらに、ポンプヘッド32には、搬送流体を流入させるために機能する流入側逆止弁33および搬送流体を流出させるために機能する流出側逆止弁34が設けられており、これらはそれぞれ、流入経路33aおよび流出経路34aを介して、ダイヤフラム駆動室2の流体搬送室2aに連通されている。ダイヤフラム駆動室2においては、先に説明した駆動部70からの駆動力を、駆動力供給部40を介してダイヤフラム1が受け、この駆動力に基づいてダイヤフラム1が往復動すべく構成されている。具体的には、駆動力供給部40と作動油供給部31とが作動油配管部35を介して連通され、作動油配管部35および作動油供給部31内は作動油で満たされており、駆動力供給部40におけるピストン部43,44の往復動が、作動油配管部35および作動油供給部31内の作動油を介して、ダイヤフラム1に伝達されることとなる。なお、ここで、ダイヤフラム1は、その断面形状が波形形状に形成されているが、本発明はこの構成に限定されず、必要に応じて、種々の形状とすることが可能である。作動油制限室5内には、先に述べたように、弁体3およびこれに対応した弁座4が設けられており、この弁体3は、弁体支持部6にコイルスプリング等の付勢手段7を介して取り付けられ、さらにこの弁体3は、作動油制限室5とダイヤフラム駆動室2との間を連絡するシャフト8に固着されている。シャフト8の一方端部8aは、付勢手段7および弁体3を介してダイヤフラム1側に付勢されるため、通常運転時においては、ダイヤフラム1の作動油供給部31側に当接することとなる。なお、作動油制限室5は、ダイヤフラム1に供給される作動油を制限して、ダイヤフラム1が所定範囲を超えて過剰に往復動することを防止するために設けられたものであって、詳細は後述する。作動油制限室5とダイヤフラム駆動室2との間には、シャフト支持部9が設けられており、このシャフト支持部9には、作動油を流通させるための貫通孔9aが形成されている。また、弁体支持部6についても、作動油を流通させるための貫通孔6aが形成されている。本実施形態においては、図3等に示すように、ダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5が形成されているため、作動油中に空気等のガスが混入した場合には、各室2,5の最上部にガスが貯留しやすい。そこで、本実施形態においては、ダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5内のガスを適切に排出させるために、ガス排出機構20を設けている。以下、ガス排出機構20の構成を図4を用いて説明する。図4は、本実施形態にかかるガス排出機構の拡大図を示したものである。本実施形態にかかるガス排出機構20は、図4に示すように、作動油制限室5に第一ガス排出経路21本発明の第一ガス排出部に相当が設けられ、ダイヤフラム駆動室2に設けられた第二ガス排出経路22本発明の第二ガス排出部に相当が設けられている。より具体的には、作動油制限室5内における弁座4よりも作動油配管部35側の上方位置に第一ガス排出経路21の一方端部21aが設けられ図3参照、ダイヤフラム駆動室2内におけるダイヤフラム1と弁座4との間の上方位置に第二ガス排出経路22の一方端部22aが設けられている図3参照。そして、それぞれの排出経路21,22の他方端部21b,22bは、流体排出調整部25と作動油供給部31とで形成された連通部24に連通すべく近接して設けられている。さらに、第二ガス排出経路22の他方端部22b上には、第一ボール体23本発明の逆流防止体に相当が設けられ、この第一ボール体23の上部には、第一ボール体23のリフト量可動可能領域を規制する規制部26が設けられている。流体排出調整部25には、連通部24からの排出ガスを封止あるいは所定量だけ排出するために機能する、第一調整部排出経路25aに設けられた第二ボール体28本発明のボール体に相当と、この第二ボール体28のリフト量可動可能領域を制限すると共に第一調整部排出経路25aを介して排出される排出ガスを流通させるべく機能する、調整バルブ27とが設けられている。調整バルブ27は、その内部にバルブ内排出経路27aを有している。そして、この調整バルブ27の外周部には流体排出調整部25に対して螺合すべく雄ねじ部が形成されており、第二ボール体28のリフト量は、この調整バルブ27のねじ込み量にて調整されている。また、調整バルブ27のバルブ内排出経路27aは、流体排出調整部25に形成された第二調整部排出経路25bに連通可能に構成されている。さらに、この第二調整部排出経路25bは、駆動力供給部40の作動油貯留部ケーシング50内に接続されたガス排出配管部36に連通されている。また、流体排出調整部25における調整バルブ27の上部には、この調整バルブ27を覆うと共に、調整バルブ27の調整の際に着脱可能あるいは開閉可能な保護カバー29が設けられている。本実施形態にかかる往復動ポンプは、以上の図1から図4に示すように構成されており、通常運転時においては、次のように機能する。本実施形態にかかる往復動ポンプにおいては、まずはじめに、電動モータ71を回転させて、この回転力をギヤ部72を介して駆動力伝達軸41に伝える。次に、この駆動力伝達軸41によって偏心カム42を回転させ、この偏心カム42の回転によって、第一および第二のピストン部43,44を往復動させる。ここでは、上述した構成に基づいて、第一のピストン部43と第二のピストン部44とが一体的に、一つの偏心カム42によって往復動する。そして、このピストン部43,44の往復動によって作動油に対して所定の力および方向の圧力が作用し、その作動油が、供給口51,52を介して配管部35A,35Bに送排出されることとなる。次に、配管部35A,35Bを介して流通する作動油に基づいて、ダイヤフラム1A,1Bが適切なタイミングで往復動し、このダイヤフラム1A,1Bの動きによって、流入側逆止弁33および流出側逆止弁34が作動して、所望の液体が搬送されることとなる。さて、通常運転時において、本実施形態にかかる往復動ポンプは、各構成要素が以上のように機能して、ダイヤフラム1A,1Bの往復動を繰り返し行わせることによって、所望流体を定量的に搬送させることが可能となる。しかしながら、何らかの不具合が生じて、駆動力供給部40から作動油を介して過剰な圧力がダイヤフラム1に作用すると多量の作動油がダイヤフラム駆動室2に供給されると、ダイヤフラム1に亀裂や破損等が発生する場合がある。そこで、本実施形態においては、作動油制限室5が設けられている。以下、具体的に説明する。作動油配管部35を介して作動油供給部31に流入した作動油によって、本実施形態においては、ダイヤフラム1と共に弁体3も往復動する。したがって、通常運転時以上の作動油が作動油供給部31に流入した場合においても、ダイヤフラム1のみが駆動するのではなく、過剰な作動油等によって弁体3もダイヤフラム1側に移動する。そして、本実施形態においては、過剰な作動油等によりダイヤフラム1に不具合亀裂等が生ずる前に、この弁体3が弁座4に接するように構成されており、このように弁体3が弁座4に接することによって、ダイヤフラム駆動室2への作動油の供給が適切に制限されるべく構成されている。本実施形態によれば、以上のように、作動油の供給量圧力に応じて、ダイヤフラム1と共に弁体3も駆動し、必要におうじて、弁体3と弁座4とが接することによって、シャフト支持部9の貫通孔9aを介してダイヤフラム駆動室2に流通される作動油を遮断可能であるため、ダイヤフラム1に対して作動油を介して与えられる圧力を適切に制限することができる。このように、作動油制限室5を成す弁体3および弁座4にて作動油が適切に制限されると、作動油制限室5内の作動油は行き場を失うが、この行き場を失った作動油は、駆動力供給部40と作動油制限室5との間に設けられたリリーフ機構図示省略にて適切に逃がされ、かかる作動油は駆動力供給部40を成すケーシング50内等に戻されることとなる。また、このように、弁体3と弁座4とを用いて作動油が制限された場合には、作動油は、作動油制限室5に設けられた第一ガス排出経路21からも溢流することとなる。この際、第二ボール体28が調整バルブ27にて第一調整部排出経路に隙間なく押圧されている場合には、第一ガス排出経路21に溢流した作動油は、連通部24に貯留されることとなる。そして、本実施形態においては、第二ガス排出経路22の上方端部他方端部22bには第一ボール体23が設けられているため、このように第一ガス排出経路21を介して作動油が溢流した場合であっても、作動油が第二ガス排出経路22に逆流することはない。また、第二ボール体28と調整バルブ27との間に所定の間隔が設けられている場合には、第一ガス排出経路21に溢流した作動油は、連通部24、第一調整部排出経路25a、バルブ内排出経路27a、第二調整部排出経路25b、およびガス排出配管部36を介して、ケーシング50内等に戻されることとなる。なお、この場合においても、上記と同様、第二ガス排出経路22の上方端部他方端部22bに設けられた第一ボール体23によって、作動油の第二ガス排出経路22に対する逆流は防止される。本実施形態においては、何らかの不具合によってダイヤフラム1に過負荷がかかるおそれが生ずる場合には、以上のように弁体3等を機能させてダイヤフラム1を保護している。次いで、本実施形態にかかる往復動ポンプにおいては、上述したダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5内にガスが混入等した場合には、次のようにして、ガスの排出を行っている。具体的に、本実施形態においては、流体排出調整部25等を有するガス排出機構20を用いて、手動あるいは自動にて、上記両室2,5のガス排出を行うことができるように構成されている。まず、手動にてガス排出を行う場合について説明する。手動にて行う場合には、図4等に示したように、基本的に、調整バルブ27を用いて第二ボール体28を第一調整部排出経路25aの上端部に対して押圧した状態とする。この状態においては、ダイヤフラム駆動室2内のガスは第二ガス排出経路22を介して、作動油制限室5内のガスは第一ガス排出経路21を介して、連通部24内に排出され、ここに貯留された状態となる。この際、第二ガス排出経路22の上部には第一ボール体23が設けられているが、この第一ボール体23と規制部26との間には所定間隔例えば、1mmが設けられているため、第一ボール体23は排出ガスの圧力によって持ち上げられて、排出ガスは連通部24に排出、貯留されることとなる。そして、本実施形態においては、必要に応じてガス排出を行う必要が生じたときに、調整バルブ27のねじ込み量を調整して上方に移動させて、第二ボール体28と調整バルブ27との間に所定間隔を設けることとする。このような間隔を設ければ、連通部24内の排出ガス圧力によって第二ボール体28が持ち上げられ、第一調整部排出経路25a、バルブ内排出経路27a、第二調整部排出経路25b、およびガス排出配管部36を介して、ダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5内のガスが適切に排出されることとなる。ガス排出が終了した後、調整バルブ27は再度ねじ込み、第二ボール体28と調整バルブ27と間の間隔第二ボール体28のリフト可能量は零とする。このように、第二ボール体28のリフト量調整バルブ27と第二ボール体28との間隔、換言すれば第二ボール体28のリフト可能量を、通常零とした構成においては、通常運転時、ダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5の密閉状態が保持されているため、ガスおよび作動油等が外部に漏れることがない。したがって、ポンプ性能を最大限発揮可能な状態で、往復動ポンプの運転を実施することができる。また、上述したように、必要に応じて、一の調整バルブ27を操作するだけで、二箇所のガスを適切に排出することが可能であるため、従来よりも容易にガスの排出エア抜き等を行うことができる。なお、ここで説明したガス排出処理調整バルブ27の調整処理は、基本的には、往復動ポンプ製造時に行えば、それ程頻繁に行う必要はない。次に、自動にてガス排出を行う場合について説明する。自動にて行う場合には、第一ボール体23と規制部26との間隔第一ボール体23のリフト可能量以下、第一リフト量という。L1、および第二ボール体28と調整バルブ27二点鎖線仮想線にて示した方との間隔第二ボール体28のリフト可能量以下、第二リフト量という。L2を、それぞれ所定の間隔に設定する必要がある。ここで所定の間隔とは、それぞれのガス排出経路21,22から排出されるガスが適切に排出されると共に、ポンプの吐出効率をあまり低下させず、また脈動も抑えた状態で運転を行うことが可能な間隔であって、これは、ポンプの吐出量等に応じても異なる。例えば、第一リフト量L1としては、0.5mm~2.0mm程度より好ましくは1.0mm~1.5mm程度、第二リフト量L2としては、0.5mm~2.0mm程度より好ましくは0.5mm~1.0mm程度が好ましい。なお、本実施形態においては、規制部26は固定式であり、第一リフト量L1は、約1.0mmに設定されている。そして、第二リフト量L2については、例えば、1.0mm程度に設定されている。ただし、この第二リフト量L2は、調整バルブ27によって可変可能であるため、必要に応じて、より適切な間隔適切にガス排出が行われ、ポンプの吐出効率をあまり低下させない間隔に調整すればよい。また、適切にガス排出を行いつつ、適度な密閉性を保持するためには、各ボール体23,28を構成する材料も適切に選択する必要があり、例えば、第一ボール体23は、作動油の比重に近い比重を有する材料を用いて構成することが好ましく、例えば、ポリプロピレン等を用いて構成することが好ましい。このように、第一リフト量L1と第二リフト量L2とを所定の間隔に定めた構成においては、通常運転時、ダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5内にガスが混入したとしても、各ボール体23,28が所定量だけリフト可能であるため、第一ガス排出経路21、第二ガス排出経路22、連通部24、第一調整部排出経路25a、およびバルブ内排出経路27aを介して、適切に且つ自動的にガスの排出エア抜き等を行うことができる。なお、上述したように、本実施形態においては、手動であっても自動であっても、ガス排出を行う場合には、ガスのみではなく作動油も同時に排出される可能性がある。作動油が排出されると、ポンプの吐出効率が低下し、脈動も大きくなるおそれがある。そこで、本実施形態においては、ガスと共に排出される作動油を補給すべくエア抜き時のポンプ効率低下を防止するために、補助プランジャ機構100図1参照が設けられている。以下、図1、図5および図6を用いてプランジャ機構100を具体的に説明する。図1に示すように、本実施形態においては、第一および第二のピストン部43,44の近傍に補助プランジャ機構100A,100Bが設けられている。偏心カム42の左右に設けられた各補助プランジャ機構100A,100Bは、基本的には、それぞれ同様の構成を有している。よって、以下、図5および図6においては、左側に位置する補助プランジャ機構100Aを用いて説明する。なお、図5および図6においては、左側の要素に付記するAの表記は省略する。先に述べたように、本実施形態にかかる往復動ポンプにおいては、ガス排出が行われる際に若干の作動油もガスに伴って排出される。したがって、本実施形態にかかるプランジャ機構100は、基本的に、この排出される作動油を補い、適切にダイヤフラム1を駆動させるために、作動油の押圧量を調整している。図5は、所定量の補充を行うために構成し、調整された補助プランジャ機構の拡大図を示したものである。図5イは、補助プランジャの駆動開始時を示し、図5ロは、補助プランジャの駆動終了時を示したものである。ここで、所定量とは、ガス排出に伴って作動油が排出されても、適切なポンプ効率および脈動状態を実現しつつ往復動ポンプの運転を行うことが可能となる量である。図5において、本実施形態にかかる補助プランジャ機構は、作動油押圧手段110と、補充量調整手段120とを用いて構成されている。作動油押圧手段110は、第一のピストン部43に取り付けられた押圧部115で押圧される補助プランジャ111と、補助プランジャ111を摺動可能に保持するプランジャ保持部112と、補助プランジャ111に固着されたスプリング保持部113と、プランジャ保持部112とスプリング保持部113との間に設けられ、補助プランジャ111を偏心カム42側に付勢しているスプリング部114とを用いて構成されている。また、補充量調整手段120は、補助プランジャ111の作用時間を調整する調整用プランジャ121と、調整用プランジャ121を摺動可能に保持する調整用プランジャ保持部122と、調整用プランジャ保持部122に固着されたスプリング保持部123と、調整用プランジャ121とスプリング保持部123との間に設けられ、調整用プランジャ121を作動油押圧手段110側偏心カム42側に付勢しているスプリング部124とを用いて構成されている。調整用プランジャ保持部122の外周面には、雄ネジ部が形成されており、この雄ネジ部は、調整手段挿入部125の内周面に形成された雌ネジ部と螺合すべく形成されている。すなわち、本実施形態においては、調整手段挿入部125と調整用プランジャ保持部122との螺合位置螺合状態を調整することによって、補充量調整手段120を矢印X方向図5イ参照に移動させることが可能となる。よって、本実施形態においては、補助プランジャ111の端面と、調整用プランジャ121の端面との距離tを容易に調整できる。本実施形態にかかる補助プランジャ機構においては、補助プランジャ111の端面が、調整用プランジャ121の端面に接するまでが、作動油を補充する工程となる。すなわち、補助プランジャ111の端面と、調整用プランジャ121の端面との距離tが、作動油の補充量を規定することとなる。そして、上述したように、本実施形態においては、距離t補助プランジャ111の作用時間を容易に調整することが可能であるため、作動油の補充量をも容易に調整可能となる。上述したように、図5イは、補助プランジャ111の駆動開始時を示しており、補助プランジャ111は、第一のピストン部43の動きに応じて、プランジャ押圧部115によって押圧され、矢印P方向図5イ参照に摺動する。そして、図5ロの如く、補助プランジャ111が調整用プランジャ121に接すれば、補助プランジャ111は、作動油に対して何も作用しない作動油に対して押圧力等を生じないこととなるため、このように、互いのプランジャ111,121が接した状態が、補助プランジャ111の駆動終了時を示すこととなる。すなわち、本実施形態にかかる往復動ポンプにおいては、ガス排出に伴って排出される作動油の量を補うべく、各プランジャ111,121間隔を定めて、ダイヤフラムを駆動させる作動油の吐出量を増加させている。つまり、本実施形態にかかる往復動ポンプによれば、上記補助プランジャ機構100を用いることによって、ガス排出機構20からガスと共に排出される作動油を補充することが可能となるため、通常運転時において、ポンプ効率を低下させることなく、また特に脈動等も起こさせることなく、手動でまたは自動で適切にガス排出を行うことができる。また、上述した構成において、ガス排出機構20から排出される作動油量と、補助プランジャ機構100にて補給される作動油量とが一致させれば、本実施形態にかかる往復動ポンプは、ポンプ効率100を確保可能となり、さらに、自動的にガス排出を行う構成所定の第一リフト量L1および第二リフト量L2を有する構成においては、ポンプ運転中に作動油制限室5内にエアが混入しても、運転効率を低下させること等なく、エアを速やかにポンプ外に排出することができる。なお、図5および図6においては、補助プランジャ機構100が、ガス排出機構20から排出される作動油量のみを補充する場合について説明したが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、他の部分における作動油の増減にも対応すべく、補助プランジャ機構100の設定量を調整してもよい。例えば、往復動ポンプにおいては、吸込側弁座にチャッキボールが着座するまでの短時間に、わずかな量の液体が液体の流入側に逆流する場合がある。また、作動油の中にわずかに残るエアの圧縮や、超高圧下における作動油自体の体積変化減少によって作動油の効率低下を生じる場合がある。そこで、その逆流や作動油の効率低下による流体量に対応する量をも補充すべく、補助プランジャ機構の調整を行ってもよい。また、図6は、補助プランジャの流量を零に調整した状態の拡大図を示したものである。図6イは、補助プランジャの駆動開始時を示し、図6ロは、補助プランジャの駆動終了時を示したものである。図6に示すべく調整された補助プランジャ111および調整用プランジャ121は、基本的には、図5にて説明した場合と同様に、第一のピストン部43に取り付けられた押圧部115によって駆動する。しかしながら、この図6においては、押圧部115が補助プランジャ111に接する前から、補助プランジャ111と調整用プランジャ121とが互いに接するべく調整されている図6イ参照。具体的には、調整用プランジャ保持部122と調整手段挿入部125との螺合状態を調整することによって、図5イと比較して、補充量調整手段120を、矢印Y方向図6イ参照に移動させている補助プランジャ111と調整用プランジャ121とが接する位置まで、補充量調整手段120調整用プランジャ保持部122を移動させている。したがって、この図6に示すべく調整すれば、補助プランジャ111の駆動開始時図6イから、駆動終了時図6ロに至るまで、補助プランジャ111と調整用プランジャ121とは接した状態となる。すなわち、この図6の調整状態であれば、補助プランジャ111の端面と調整用プランジャ121の端面との距離が零であるため、補助プランジャ111は、作動油に何の作用も及ぼさないこととなる。以上の図5および図6に示すように、本実施形態にかかる補助プランジャ機構は、必要に応じて、補助プランジャ111の作用時間を容易に調整することができる。したがって、本実施形態によれば、往復動ポンプ毎の吐出能力、脈動状態等に応じて、適宜、補充量調整手段120を調整し、効果的に脈動を防止し、高い吐出効率にて運転することが可能な往復動ポンプを得ることができる。さらに、本実施形態にかかる往復動ポンプにおいては、図1に示すように、第一および第二のピストン部43,44の近傍に作動油補給弁150A,150Bが設けられている。この作動油補給弁150A,150Bは、ガス排出機構20等が機能することによって、ダイヤフラム駆動室2内が負圧状態となったときに、適切に作動油を供給すべく機能するものであって、補充圧力を変更可能に構成されている。本実施形態によれば、この作動油補給弁150A,150Bを有するため、何らかの不具合により、ダイヤフラム駆動室2等が過剰な負圧状態となっても、所定の圧力に応じて、作動油補給弁150から補給が開始される。したがって、本実施形態にかかる往復動ポンプは、ポンプ効率を低下させずに、安定した性能を維持することができる。なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態においては、搬送流体との接液部にダイヤフラムを用いる場合について説明したが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、例えば、接液部にピストンあるいはプランジャ等を設けて、往復動ポンプを構成してもよい。また、図7は、他の実施形態にかかる往復動ポンプを成すガス排出機構の拡大図を示したものである。ここで、図7に示した実施形態と、図4等を用いて説明した上記実施形態とは、基本的に同様の構成を有しているが、主に調整バルブ27を設けるために流体排出調整部25に形成された雌ネジ部271周辺の構成が異なる。以下、このような構成とした理由について、上記実施形態と対比して説明する。図4等に示したガス排出機構において、往復動ポンプ立ち上げ時におけるエア抜き作業を行う場合には、作動油補充機構の一つである作動油補給弁の設定圧力を極力低く設定し、調整バルブ27のリフト量を最大にしてポンプを駆動させる。そうすると、ダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5中のガスは駆動力供給部40の駆動力によって圧縮され、バルブ内排出経路27aから排出される。そして、ガスが排出されて、ダイヤフラム駆動室2および作動油制限室5の圧力が下がると、作動油補給弁を介して作動油が補給される。往復ポンプ立ち上げ時には、この操作を繰り返すことによって、ガスを排出させると共に作動油を充填させることができる。しかしながら、往復動ポンプ1回転の容積移動が少ない場合小径のピストン部等が用いられる場合は、ガス全量を排出するまでに、かなりの時間例えば数十分を要することがある。また、図4等に示されたガス排出機構においては、可能な第二ボール体28がガス圧によって調整バルブ27の端部に接触するまでの間のみ、バルブ内排出経路27aからガスの排出が可能であるため、何らかの原因で、第二ボール体28が調整バルブ27に接すると、バルブ内排出経路27aが封止されて、ガスを適切に排出することができない場合がある。このように、図4等に示した実施形態においては、ガス排出を短時間で適切に行えない場合がある。そこで、上記問題を解決するために、図7においては、調整バルブ27を取り付ける雌ネジ部271が、図4等とは異なるべく構成されている。すなわち、図7によれば、雌ネジ部271の上部271aと下部271bとが異なる寸法内径に形成されている。具体的には、雌ネジ部下部271bは、調整バルブ27に設けられたOリング27cによって、調整バルブ27と雌ネジ部271との間をガス等の流体が流通しないようにシールされる内径に形成されている。また、雌ネジ部上部271aは、調整バルブ27のリフト量を多くした際に、Oリング27cのシール能力を解除可能な内径に形成されている。つまり、この図7に示した実施形態によれば、必要に応じて、調整バルブ27と雌ネジ部271との間をガス等の流体が流通すべく、調整バルブ27の調整を行うことが可能となる。したがって、本実施形態によれば、図7の実線に示すように、第二ボール体28が調整バルブ27に接触し、バルブ内排出経路27aが封止された状態となっても、ガス等は、調整バルブ27と雌ネジ部271との間、およびバイパス排出経路25cを介してガス排出配管部36から適切に排出されることとなる。また、この図7に示すような構成であれば、小径のピストン部等が用いられて、吐出能力ガス排出能力が少ない往復動ポンプの場合には、ガス排出配管部36に外部から負圧を作用させて、ガスを強制的に抜き出すこともできる。さらに、図8は、他の実施形態にかかる往復動ポンプを成すガス排出機構の拡大図を示したものである。ここで、図8に示した実施形態と、図7等を用いて説明した上記実施形態とは、基本的に同様の構成を有しているが、本実施形態においては、第一ガス排出経路21および第二ガス排出経路22の上方に、それぞれボール体231,232が設けられている点が異なる。この図8に示すような構成とすれば、各ボール体231,232の形成材料を作動油の比重に近い材料に限定することなく、セラミック等の作動油よりも比重が大きく真球度の高いボール体を使用することができる。すなわち、このように両方のガス排出経路21,22上方にボール体231,232を設けることによって、例えば、第一ガス排出経路21を介して作動油が溢流した場合であっても、ボール体232によって、第二ガス排出経路22に作動油が逆流することはない。先の図4および図7等にて説明したポリプロピレン等のボール体を用いて構成されたガス排出機構は、比較的低圧力のポンプを構成する際に適用され、この図8にて説明したセラミック等のボール体を用いて構成されたガス排出機構は、高圧力ポンプを構成する際に適用される。つまり、この図8に示したガス排出機構によれば、セラミック等の比較的大きな比重を有するボール体231,232を各ガス排出経路21,22の上方に設けているため、高圧力の流体についても適切に逆止を行うことができる。図9は、本発明の実施形態にかかる逆止弁の第一態様を示す概略断面図であり、具体的には、図9aは、弁体が弁座に着座して流体経路を閉塞した状態を示し、図9bは、弁体が弁座から離れて流体経路を開放した状態を示している。この図9に示すように、本実施形態にかかる逆止弁は、弁本体部310を成す上部本体部311および下部本体部312と、各本体部311,312間に設けられたパッキン313と、弁体314と、この弁体314をガイドする上部ガイド部315および下部ガイド部316と、上部本体部311と上部ガイド部315との間に設けられたスプリング等の付勢手段317等とを用いて構成されている。また、この逆止弁を構成する各本体部311,312には、流体を流通させるための流通経路311A,312Aが形成されている。本実施形態において、下部ガイド部316は下部本体部312に固着されており、上部ガイド部315は付勢手段317を介して上部本体部311に取り付けられている。そして、この逆止弁は、閉塞状態図9a参照にある場合には、上部ガイド部315と下部ガイド部316とが接することによって図9aのS部参照、上部ガイド部315と弁体314との間に所定の間隔t1図9a参照が設けられるように構成されている。以上のように構成された逆止弁は、流体が供給されない場合には、図9aに示すように、弁体314が下部本体部312の弁座312Bに着座し、流通経路311A,312Aが閉塞されるように機能する。この際、上述したように、上部ガイド部315は、弁体314との間に所定間隔t1が設けられるように構成されているため、弁体314が弁座312Bに押さえ付けられることはない。一方、下部本体部312側から逆止弁内に流体が供給されると、図9bに示すように、逆止弁を構成する弁体314は、その流体の圧力に応じて弁座312Bから離れると共に、付勢手段317の付勢力に抗して、上部ガイド部315を上方に持ち上げ、逆止弁内における流体の流通経路311A,312Aが開放状態となる。逆止弁の流通経路311A,312Aが開放状態となった後、流体の供給が停止されると、流体供給停止に伴い、弁体314は、自重および付勢手段317の付勢力により、弁座312Bに着座することとなって、再び逆止弁の流通経路311A,312Aが閉塞状態となる。すなわち、本実施形態にかかる逆止弁の流通経路311A,312Aは、流体の供給状態圧力状態に応じて、以上のような閉塞状態および開放状態が繰り返されることとなる。さて、この図9に示された逆止弁は、以上のように構成され機能するため、次のような効果を得ることができる。すなわち、本実施形態にかかる逆止弁は、流通経路311A,312A閉塞時においても、付勢手段317によって強制的に弁座312Bに押さえ付けているわけではなく、付勢手段317に取り付けられた上部ガイド部315と弁体314との間には、所定の間隔t1が設けられている。したがって、本実施形態によれば、流通する流体によって弁体314球状の弁体自身が容易に自転することとなるため、弁体314を均等に摩耗させることができる。従来であれば、例えば、弁体は付勢手段によって弁座に押さえ付けられていたため、弁体が偏摩耗するおそれがあった。また、本実施形態においては、付勢手段の付勢力を従来よりも強力にすることができるため、閉め切り応答性の高い逆止弁を得ることができる。これは、従来であれば、弁体の偏摩耗を極力抑えるために、付勢手段の付勢力に所定の制限を設ける必要があったが、本実施形態においては、上述したように、所定間隔t1を設ける構成として、弁体314の自転を可能としたからである。さらに、本実施形態にかかる逆止弁は、以上のように、閉め切り応答性が高まるため、高粘度の流体を搬送する場合であっても、効果的に定量搬送を実現することができる。図10は、本発明の実施形態にかかる逆止弁の第二態様を示す概略断面図であり、具体的には、図10aは、弁体が弁座に着座して流体経路を閉塞した状態を示し、図10bは、弁体が弁座から離れて流体経路を開放した状態を示している。この図10に示すように、本実施形態にかかる逆止弁は、弁本体部320と、弁体324と、この弁体324をガイドする上部ガイド部325と、上部ガイド部325に設けられたスプリング等の付勢手段327等とを用いて構成されている。また、この逆止弁を構成する弁本体部320には、流体を流通させるための流通経路320Aが形成されている。本実施形態において、上部ガイド部325には付勢手段327が取り付けられており、この付勢手段327は、逆止弁が閉塞状態図10a参照にある場合弁体324が弁座320Bに着座している場合には、付勢手段327と弁体324との間に、所定の間隔t2図10a参照が設けられているように構成されている。この図10に示された逆止弁についても、先に図9にて説明した逆止弁と同様に、流体が供給されない場合には、弁体324が弁座320Bに着座し、流通経路320Aが閉塞されるように機能し、付勢手段327は、弁体324との間に所定間隔t2を有しているため、弁体324が弁座320Bに押さえ付けられることはない。また、逆止弁内に流体が供給されると、図10bに示すように、逆止弁を構成する弁体324は、その流体の圧力に応じて弁座320Bから離れると共に、付勢手段327の付勢力に抗して、付勢手段327を上方に撓ませ、逆止弁内における流体の流通経路320Aが開放状態となる。逆止弁の流通経路320Aが開放状態となった後、流体の供給が停止されると、流体供給停止に伴い、弁体324は、自重および付勢手段327の付勢力により、弁座320Bに着座することとなって、再び逆止弁の流通経路320Aが閉塞状態となる。すなわち、本実施形態にかかる逆止弁も、図9の逆止弁と同様に、流体の供給状態圧力状態に応じて、以上のような閉塞状態および開放状態が繰り返されることとなる。この図10に示した逆止弁は、付勢手段327と弁体324とが接するように構成されているが、弁体324が弁座320Bに着座しているときに、弁体324と弁座320Bとの間に所定の間隔t2を有するのは、先の逆止弁図9参照と同様である。したがって、この図10に示した逆止弁についても、図9の場合と同様の効果を得ることができる。なお、この図10においては、弁本体部320の弁座320B近傍に弁体324のガイド部が設けられていないが、本発明はこの構成に限定されず、必要に応じて、弁座320B近傍にガイド部を設けてもよい。図11は、本発明の実施形態にかかる逆止弁の第三態様を示す概略断面図である。ここでは、破線で示した弁体334が、弁座330Bに着座して流通経路330Aを閉塞している状態を示し、実線で示した弁体334が、弁座330Bから離れて流通経路330Aを開放している状態を示している。この図11に示すように、本実施形態にかかる逆止弁は、弁本体部330と、弁体334と、この弁体334をガイドする上部ガイド部335と、弁本体部330の外部に設けられたコイル部339等とを用いて構成されている。また、この逆止弁を構成する弁本体部330には、流体を流通させるための流通経路330Aが形成されている。図11に示すように構成された逆止弁においては、コイル部339に供給される電力に応じて、弁体334に作用する電磁力が発生し、供給電力の極性を適切に切り替えることによって、強制的に弁体334を移動本実施形態においては上下動、図11の矢印Y参照させることができる。すなわち、本実施形態にかかる逆止弁は、弁体334が磁力を受ける材料を用いて構成され、弁本体部330の外部に設けられたコイル部339における電磁力が弁体334に作用する。したがって、コイル部339に通電される電流の極性を適宜制御反転等させることによって、本実施形態によれば、応答性の高い逆止弁を得ることができる。なお、必要に、応じて、コイル部339電磁石に対する電力供給ラインにキャパシタを設ければ、電流が短時間で供給されることとなるため、より応答性の高い逆止弁を得ることが可能となる。つまり、本実施形態にかかる逆止弁によれば、スプリング等の付勢手段を用いることなく、強制的に弁体334を上下動させることが可能となって、着座時にいおいては、コイル部339に対する通電をなくすことによって、弁体334が弁座330Bに押さえ付けられることもない。よって、先に説明した図9および図10と同様に、この図11に示した逆止弁についても、弁体334の偏摩耗をなくし、高粘度の流体の搬送時においても効果的に定量搬送を実現することができる。さらに、本発明にかかる往復動ポンプは、上記図1から図7にて示した構造に限定されず、必要に応じて、図12から図15等に示すように構成することも可能である。なお、以下に説明する往復動ポンプは、基本的な構成については先の図1から図7にて説明した往復動ポンプと同様であるため、同様の構成要素については同様の符号を用いることとし、ここでは、主に異なる構成要素についての説明を行う。図12は、本発明の他の実施形態にかかる往復動ポンプの外観正面図であり、図13は、図12に示された往復動ポンプの外観側面図である。また、図14は、図12のA-A断面概略図であり、図15は、図13のB-B断面概略図である。この図12~図15にて示された往復動ポンプは、上述したように、基本的には先に説明した往復動ポンプと同様の構成を有しており、ダイヤフラム駆動室内の流体搬送室にに流体を搬送すべく、補助駆動部が設けられている点が異なっている。そこで、以下においては、主に補助駆動部の構成について説明する。図14および図15に示すように、本実施形態にかかる往復動ポンプは、ダイヤフラム1を往復動させることで流体を搬送させる流体搬送部10と、ダイヤフラム1を駆動させるべく適切なタイミングで作動油を供給する駆動力供給部40と、この駆動力供給部40の偏心カム42を駆動させる駆動部70と、流体搬送部10における流体搬送室2aに流体を搬送する補助駆動部400等とを用いて構成されている。本実施形態においては、駆動部70が、回転運動を生ずる電動モータ71と、この電動モータ71からの回転力を駆動力伝達軸410に伝えるためのギヤ部72等とを用いて構成される。そして、この駆動力伝達軸410は、駆動力供給部40を成す偏心カム42、および補助駆動部400を成す補助偏心カム402に対して、回転力を供給すべく構成されている。すなわち、本実施形態にかかる駆動力伝達軸410は、図14に示すように、偏心カム42を回転させる第一軸部411と、補助偏心カム402を回転させる第二軸部412とが一体となるべく構成されている。補助駆動部400は、上記のようにして回転駆動する第二軸部412に取り付けられた補助偏心カム402と、この補助偏心カム402の動きに応じてそれぞれ駆動する補助ダイヤフラム401本発明の第一補助ダイヤフラムおよび第二補助ダイヤフラムに相当等とを用いて構成されている。より具体的には、補助偏心カム402に接し、この補助偏心カム402の回転に応じて左右に往復動する補助可動体403と、この補助可動体403の動きによってダイヤフラム1を往復動させるべく、補助可動体403に取り付けられた可動シャフト第一可動シャフト405、第二可動シャフト406等とを用いて構成されている。また、各ダイヤフラム1の上流側には、それぞれ補助流入側逆止弁430が設けられており、各ダイヤフラム1の往復動状態に基づいて、この補助流入側逆止弁430の開閉状態が制御される。さらに、本実施形態においては、所定量圧力以上の流体が流体搬送室に搬送されることを防止すべく、補助リーク部440が設けられている。この補助リーク部440は、各逆止弁430の下流側に設けられ、リーク支持部441と、このリーク支持部441に離接して流体流路を開閉する開閉部443と、この開閉部443をリーク支持部441に接すべく付勢するスプリング等の付勢手段442とを用いて構成されている。本実施形態にかかる往復動ポンプは、以上のように構成されて、次のように機能する。すなわち、この図12から図15にて示される往復動ポンプにおいては、単にダイヤフラム1が往復動して流体を搬送させるのみではなく、補助駆動部400を用いて、流体搬送室2a内に流体が搬送されている。より具体的には、例えば、同一流体搬送経路中のダイヤフラム1および補助ダイヤフラム401は例えば、図15の左側に位置するダイヤフラム1および補助ダイヤフラム401は、それぞれ、一方が吐出工程のときには、他方が吸込工程であるべく機能する。ここで、図16は、それぞれのダイヤフラム1,401の吐出吸込工程の圧力波形を示したものである。図16aは、ダイヤフラム1にて得られる圧力波形を示し、図16bは、補助ダイヤフラム401にて得られる圧力波形を示したものである。そして、図16cは、この図16aおよび図16bの圧力波形を重ね合わせて示したものである。この図16においては、破線および実線が、それぞれ同一流体搬送経路中のダイヤフラム1および補助ダイヤフラム401を示しており、例えば、実線が図15の右側に位置するダイヤフラム1B右ポンプおよび補助ダイヤフラム401B右加圧ポンプを示し、破線が図15の左側に位置するダイヤフラム1A左ポンプおよび補助ダイヤフラム401A左加圧ポンプを示している図15参照。以上のように、本実施形態においては、ダイヤフラム1と補助ダイヤフラム401とが、交互に吐出吸込を繰り返すこととなり、ダイヤフラム1の吸込時は、補助ダイヤフラム401の吐出時であるため、流体搬送室2aには、必要とされる流体が適切に搬送される。高粘度流体等を搬送させる場合には、ダイヤフラム1のみを駆動させるようなポンプでは、流体が高粘度であるが故に、流体搬送室2aまで必要量の流体を吸い込むことができず、定量搬送を実現できない場合があった。しかしながら、本実施形態によれば、仮にダイヤフラム1のみによる吸い込み不足があったとしても、補助駆動部400を駆動させることによって、流体搬送室2aに対する搬送量が補充されるため、適切に流体を定量搬送することができる。また、本実施形態においては、上記のように、流体を適切に補充すべく機能する補助駆動部400が、駆動力供給部40を駆動させる駆動源である駆動部70にて駆動させられる。つまり、本実施形態によれば、新たな駆動源を用いることなく、補助駆動部400を構成することができる。さらに、本実施形態においては、補助流入側逆止弁430の下流側の圧力が、所定圧力例えば、0.45MPa以上になった際に、補助リーク部440が機能して、開閉部443がリーク支持部441から離れるように構成されている。つまり、付勢手段442の付勢力を調整して、流路内の圧力が所定圧力以上となった場合には、流体がリークするように構成されている。したがって、本実施形態によれば、流体搬送室2a内の圧力を必要以上に高めることがなくなり、ダイヤフラム1および補助ダイヤフラム401等の破損防止等を図ることができる。また、この補助リーク部440における所定圧力は、ダイヤフラム1における定量搬送量に応じて定められるため、つまり、過剰供給等がないようにも配慮して定められるため、この補助リーク部440を設けることによって、高精度の定量搬送を実現することができる。なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、図1~図7、および図12~図15にて示した往復動ポンプには、それぞれ複数の逆止弁33,34,430が設けられており、これらの逆止弁33,34,430としては、弁体ボール体が流体圧力にて弁座から離れて流体の流通経路が開放され、流体圧力の減少に伴って弁体が自重にて弁座に着座して流通経路が閉塞される構成のものが示されている。しかしながら、本発明は、この構成に限定されず、必要に応じて、例えば、図9から図11に示したような逆止弁を用いて、往復動ポンプを構成してもよい。これらの逆止弁は、いずれも、流通経路の閉塞開始時においては、弁体が強制的に弁座側に移動させられるため、高い閉め切り応答性を有している。したがって、このような逆止弁を用いれば、先に説明した逆止弁の作用効果を有する往復動ポンプを構成可能である。具体的には、高精度に定量搬送を行うことが可能な往復動ポンプ、および弁体の偏摩耗がなくなることにより、長寿命化を図ることが可能な往復動ポンプを得ることができる。なお、図11に示すように、コイル部339を用いてすなわち、電磁力を用いて往復動ポンプを構成する際には、図17に示すように、エンコーダ500を利用することが好ましい。つまり、このエンコーダ500を用いることによって、逆止弁内の弁体334の着座タイミング等を検知し、この検知結果に基づいて、コイル部339に対する電力供給タイミングおよび極性反転タイミング等を制御することが可能となる。ここで、着座タイミングは、例えば、駆動力伝達軸41,410の回転位置を検知することによって把握することができる。"