第1配管にH2Seを流し、前記第1配管に設けた第1流量計で前記H2Seの流量を計測し、第2配管に希釈ガスを流し、前記第2配管に設けた第2流量計で前記希釈ガスの流量を計測し、ミキサー部で前記H2Seに前記希釈ガスを混合して所定濃度の希釈H2Seを得、この希釈H2Seをセレン化炉に供給し、前記セレン化炉で電池半製品の前駆体をセレン化する太陽電池用成膜装置において、前記第1流量計より上流側にて前記第1配管に第1上流側バルブを設け、前記第1流量計より下流側にて前記第1配管に第1下流側バルブを設け、前記第2流量計より上流側にて前記第2配管に第2上流側バルブを設け、前記第2流量計より下流側にて前記第2配管に第2下流側バルブを設け、前記第2上流側バルブと前記第2流量計との間にて前記第2配管からバイパス配管を延ばし、前記第1上流側バルブと前記第1流量計との間にて前記第1配管に前記バイパス配管を接続し、前記バイパス配管に第3バルブを設け、前記H2Seを流す時は、前記第3バルブを閉じ、その他のバルブを開き、前記H2Seの流れを止める時は、前記第1上流側バルブ及び前記第2下流側バルブを閉じ、前記第1下流側バルブ及び前記第2上流側バルブを開いた上で、前記第3バルブを開くバルブ開閉制御部を備え、前記H2Seの流れを止めている時に希釈ガスで第1流量計を満たすようにしたことを特徴とする太陽電池用成膜装置。第1配管にH2Seを流し、前記第1配管に設けた第1流量計で前記H2Seの流量を計測し、第2配管に希釈ガスを流し、前記第2配管に設けた第2流量計で前記希釈ガスの流量を計測し、ミキサー部で前記H2Seに前記希釈ガスを混合して所定濃度の希釈H2Seを得、この希釈H2Seをセレン化炉に供給し、前記セレン化炉で電池半製品の前駆体をセレン化する太陽電池用成膜装置において、前記第1流量計より上流側にて前記第1配管に第1上流側バルブを設け、前記第1流量計より下流側にて前記第1配管に第1下流側バルブを設け、前記第2流量計より下流側にて前記第2配管に第2下流側バルブを設け、前記第1上流側バルブと前記第1流量計との間にて前記第1配管へ希釈ガスを吹き込む希釈ガス吹き込み管を接続し、この希釈ガス吹き込み管に第3バルブを設け、前記H2Seを流す時は、前記第3バルブを閉じ、その他のバルブを開き、前記H2Seの流れを止める時は、前記第1上流側バルブ及び前記第2下流側バルブを閉じ、前記第1下流側バルブを開いた上で、前記第3バルブを開くバルブ開閉制御部を備え、前記H2Seの流れを止めている時に希釈ガスで前記第1流量計を満たすようにしたことを特徴とする太陽電池用成膜装置。請求項1記載の太陽電池用成膜装置を用いて実施する太陽電池用成膜方法において、前記第3バルブを閉じ、前記第1上流側バルブ、前記第1下流側バルブ、前記第2上流側バルブ及び前記第2下流バルブを開いて、前記セレン化炉へ前記希釈H2Seを供給してセレン化を実施するセレン化実施工程と、前記第1上流側バルブ及び前記第2下流側バルブを閉じて前記希釈H2Seの供給を停止しセレン化の休止を開始するセレン化休止開始工程と、前記第1下流側バルブ及び前記第2上流側バルブを開いたままで、前記第3バルブを開いて、前記希釈ガスを前記第1流量計へ流す希釈ガス供給工程と、前記希釈ガスを所定時間又は所定量流した後に、前記第1下流側バルブを閉じて、前記第1流路計に前記希釈ガスを封入する希釈ガス封入工程と、からなることを特徴とする太陽電池用成膜方法。請求項2記載の太陽電池用成膜装置を用いて実施する太陽電池用成膜方法において、前記第3バルブを閉じ、前記第1上流側バルブ、前記第1下流側バルブ、前記第2上流側バルブ及び前記第2下流バルブを開いて、前記セレン化炉へ前記希釈H2Seを供給してセレン化を実施するセレン化実施工程と、前記第1上流側バルブ及び前記第2下流側バルブを閉じて前記希釈H2Seの供給を停止しセレン化の休止を開始するセレン化休止開始工程と、前記第1下流側バルブ及び前記第2上流側バルブを開いたままで、前記第3バルブを開いて、前記希釈ガスを前記第1流量計へ流す希釈ガス供給工程と、前記希釈ガスを所定時間又は所定量流した後に、前記第1下流側バルブを閉じて、前記第1流路計に前記希釈ガスを封入する希釈ガス封入工程と、からなることを特徴とする太陽電池用成膜方法。本発明は、金属Seがガス流量計に詰まり難くすることができる太陽電池用成膜技術を提供することを課題とする。請求項1に係る発明は、第1配管にH2Seを流し、第1配管に設けた第1流量計でH2Seの流量を計測し、第2配管に希釈ガスを流し、第2配管に設けた第2流量計で希釈ガスの流量を計測し、ミキサー部でH2Seに希釈ガスを混合して所定濃度の希釈H2Seを得、この希釈H2Seをセレン化炉に供給し、セレン化炉で電池半製品の前駆体をセレン化する太陽電池用成膜装置において、第1流量計より上流側にて第1配管に第1上流側バルブを設け、第1流量計より下流側にて第1配管に第1下流側バルブを設け、第2流量計より上流側にて第2配管に第2上流側バルブを設け、第2流量計より下流側にて第2配管に第2下流側バルブを設け、第2上流側バルブと第2流量計との間にて第2配管からバイパス管を延ばし、第1上流側バルブと第1流量計との間にて第1配管にバイパス配管を接続し、バイパス配管に第3バルブを設け、H2Seを流す時は、第3バルブを閉じ、その他のバルブを開き、H2Seの流れを止める時は、第1上流側バルブ及び第2下流側バルブを閉じ、第1下流側バルブ及び第2上流側バルブを開いた上で、第3バルブを開くバルブ開閉制御部を備え、H2Seの流れを止めている時に希釈ガスで第1流量計を満たすようにしたことを特徴とする。請求項2に係る発明は、第1配管にH2Seを流し、第1配管に設けた第1流量計でH2Seの流量を計測し、第2配管に希釈ガスを流し、第2配管に設けた第2流量計で希釈ガスの流量を計測し、ミキサー部でH2Seに希釈ガスを混合して所定濃度の希釈H2Seを得、この希釈H2Seをセレン化炉に供給し、セレン化炉で電池半製品の前駆体をセレン化する太陽電池用成膜装置において、第1流量計より上流側にて第1配管に第1上流側バルブを設け、第1流量計より下流側にて第1配管に第1下流側バルブを設け、第2流量計より下流側にて第2配管に第2下流側バルブを設け、第1上流側バルブと第1流量計との間にて第1配管へ希釈ガスを吹き込む希釈ガス吹き込み管を接続し、この希釈ガス吹き込み管に第3バルブを設け、H2Seを流す時は、第3バルブを閉じ、その他のバルブを開き、H2Seの流れを止める時は、第1上流側バルブ及び第2下流側バルブを閉じ、第1下流側バルブを開いた上で、第3バルブを開くバルブ開閉制御部を備え、H2Seの流れを止めている時に希釈ガスで第1流量計を満たすようにしたことを特徴とする。請求項3に係る発明は、請求項1記載の太陽電池用成膜装置を用いて実施する太陽電池用成膜方法において、第3バルブを閉じ、第1上流側バルブ、第1下流バルブ、第2上流側バルブ及び第2下流バルブを開いて、セレン化炉へ希釈H2Seを供給してセレン化を実施するセレン化実施工程と、第1上流側バルブ及び第2下流側バルブを閉じて希釈H2Seの供給を停止しセレン化の休止を開始するセレン化休止開始工程と、第1下流側バルブ及び第2上流側バルブを開いたままで、第3バルブを開いて、希釈ガスを第1流量計へ流す希釈ガス供給工程と、希釈ガスを所定時間又は所定量流した後に、第1下流側バルブを閉じて、第1流路計に希釈ガスを封入する希釈ガス封入工程とからなることを特徴とする。請求項4に係る発明は、請求項2記載の太陽電池用成膜装置を用いて実施する太陽電池用成膜方法において、第3バルブを閉じ、第1上流側バルブ、第1下流バルブ、第2上流側バルブ及び第2下流バルブを開いて、セレン化炉へ希釈H2Seを供給してセレン化を実施するセレン化実施工程と、第1上流側バルブ及び第2下流側バルブを閉じて希釈H2Seの供給を停止しセレン化の休止を開始するセレン化休止開始工程と、第1下流側バルブ及び第2上流側バルブを開いたままで、第3バルブを開いて、希釈ガスを第1流量計へ流す希釈ガス供給工程と、希釈ガスを所定時間又は所定量流した後に、第1下流側バルブを閉じて、第1流路計に希釈ガスを封入する希釈ガス封入工程とからなることを特徴とする。請求項1に係る発明では、H2Seの流れを止めている時に希釈ガスで第1流量計を満たすようにした。第1流量計が希釈ガスで満たされているため、第1流量計内で金属Seが生成されることはなく、金属Seに起因する詰まりは発生しない。また、希釈ガス源が1個で済むため、希釈ガス源のメンテナンスが容易になる。請求項2に係る発明では、H2Seの流れを止めている時に希釈ガスで第1流量計を満たすようにした。第1流量計が希釈ガスで満たされているため、第1流量計内で金属Seが生成されることはなく、金属Seに起因する詰まりは発生しない。請求項3及び請求項4に係る発明では、希釈ガスを第1流量計へ流す希釈ガス供給工程と、この希釈ガス供給工程の後、第1流路計に希釈ガスを封入する希釈ガス封入工程を加えた。希釈ガス供給工程を続けると、希釈ガスの使用量が増加する。この点、本発明では、希釈ガス供給工程の後希釈ガス封入工程を加えた。希釈ガス封入工程では、希釈ガスを流す必要がない。結果、希釈ガスの量を節約することができる。先ず、本発明の実施例1を図面に基づいて説明する。図1に示すように、化合物薄膜太陽電池10は、ソーダライムガラス以下、SLGとも言うなどのガラス基板11と、このガラス基板11の上に形成され正極として機能するMo裏面電極層12と、このMo裏面電極層12の表面にCu-In-Gaから形成される前駆体をセレン化してなるp型光吸収層13と、このp型光吸収層13の表面にCdS等から形成されるバッファ層14と、このバッファ層14の上にZnO等から形成される透明電極層15とからなる。次に、上記化合物薄膜太陽電池10の製造工程について図1を参照しながら説明する。図中、ST××は、ステップ番号である。図2に示すように、化合物薄膜太陽電池10は、ガラス基板11にMo皮膜を形成するMo成膜工程ST01と、Mo裏面電極層12をスクライブして複数のMo裏面電極層に分割する第1スクライブ工程ST02と、スクライブされた複数のMo裏面電極層の表面にCu、In及びGaを含む前駆体を形成する前駆体形成工程ST03と、前駆体を反応炉内でH2Se雰囲気中で加熱して光吸収層を形成するSe化工程ST04と、バッファ層として硫化Inなどを成膜するバッファ層形成工程ST05と、上記光吸収層とバッファ層をスクライブする第2スクライブ工程ST06と、バッファ層の表面に透明電極を形成する透明電極形成工程ST07と、光吸収層、バッファ層、透明電極をスクライブする第3スクライブ工程ST08とからなる。上記工程中、Se化工程ST04の実施手段について、次図にて詳細に説明する。図3に示すように、太陽電池用成膜装置20は、H2Seを発生するH2Seガス源21と、このH2Seガス源21から延びH2Seを流す第1配管31と、この第1配管31に介在される第1流量計41と、この第1流量計41の上流側及び下流側に設けられ第1配管31を開閉する第1上流側バルブ51及び第1下流側バルブ52と、H2Seを希釈する希釈ガス例えば、窒素、アルゴンなどの不活性ガスを発生する希釈ガス源22と、この希釈ガス源22から延び希釈ガスを流す第2配管32と、この第2配管32に介在される第2流量計42と、この第2流量計42の上流側及び下流側に設けられ第2配管32を開閉する第2上流側バルブ53及び第2下流側バルブ54と、第1配管31と第2配管32とが合流した後接続されH2Seガスと希釈ガスを混合して混合ガスとするミキサー部25と、このミキサー部25に配管35を介して接続され内部にCuInGaの前駆体17を載置しこのCuInGaの前駆体17と混合ガスとを反応させる反応炉としてのSe化炉26と、Se化炉26とミキサー部25の間にて配管35に設けられるバッファタンク27と、このバッファタンク27の下流にて配管35に設けられる第4バルブ57と、第1流量計41の上流側に位置する第1配管31と第2流量計42の上流側に位置する第2配管32間に設けられ、希釈ガスを第1配管31から第2配管32へバイパスさせるバイパス配管35と、このバイパス配管35に介在される第3バルブ56と、各バルブ51、52、53、54、56、57の開閉を制御するバルブ開閉制御部61とからなる。すなわち、H2Seを流す第1配管31に第1流量計41を設け、第1流量計41より上流側にて第1配管31に第1上流側バルブ51を設け、第1流量計41より下流側にて第1配管31に第1下流側バルブ52を設けた。また、希釈ガスを流す第2配管32に第2流量計42を設け、第2流量計42より上流側にて第2配管32に第2上流側バルブ53を設け、第2流量計42より下流側にて第2配管32に第2下流側バルブ54を設けた。さらに、第2上流側バルブ53と第2流量計42との間にて第2配管32からバイパス配管35を延ばし、第1上流側バルブ51と第1流量計41との間にて第1配管31にバイパス配管35を接続し、このバイパス配管35に第3バルブ56を設けた。バルブ開閉制御部61は、H2Seを流す時は、第3バルブ56を閉じ、その他のバルブを開き、H2Seの流れを止める時は、第1上流側バルブ51及び第2下流側バルブ54を閉じ、第1下流側バルブ52及び第2上流側バルブ53を開いた上で、第3バルブ56を開く。図4aに、H2Seガス供給時の状態セレン化実施工程が示されている。この工程では、第3バルブ56を閉じ、第1上流側バルブ51、第1下流側バルブ52、第2上流側バルブ53及び第2下流側バルブ54を開いて、セレン化炉図3、符号26へ希釈H2Seを供給してセレン化を実施する。セレン化実施工程の次に、第1上流側バルブ51及び第2下流側バルブ54を閉じて希釈H2Seの供給を停止しセレン化の休止を開始するセレン化休止開始工程が備えられる。セレン化休止開始工程の次に、希釈ガス供給工程が続き、この希釈ガス供給工程の次に希釈ガス封入工程が続く。図4bに、希釈ガス供給時の状態希釈ガス供給工程が示されている。この工程では、第1下流側バルブ52及び第2上流側バルブ53を開いたままで、第3バルブ56を開いて、希釈ガスを第1流量計41へ流す。希釈ガス封入工程では、希釈ガスを所定時間又は所定量流した後に、第1下流側バルブ52を閉じて、第1流量計41に希釈ガスを封入する。第1流量計41に金属Seが析出すると、第1流量計41の表示誤差が大きくなる。表示誤差によって、光吸収層の品質にばらつきが生ずる。この点、本発明では、セレン化休止開始工程と、希釈ガス供給工程と、希釈ガス封入工程とが備えられ、H2Seの流れを止めている時に希釈ガスで第1流量計41を満たすようにした。そのため、第1流量計41で金属Seの析出を抑えることができる。結果、第1流量計41に目詰まりを起こし難くすることができる。次に、本発明の実施例2を図面に基づいて説明する。図5において、H2Seを流す第1配管31に第1流量計41を設け、第1流量計41より上流側にて第1配管31に第1上流側バルブ51を設け、第1流量計41より下流側にて第1配管31に第1下流側バルブ52を設けた。希釈ガスを流す第2配管32に第2流量計42を設け、第2流量計42より上流側にて第2配管32に第2上流側バルブ53を設け、第2流量計42より下流側にて第2配管32に第2下流側バルブ54を設けた。さらに、第1上流側バルブ51と第1流量計41との間にて第1配管31へ希釈ガス源22Bから延びる希釈ガス吹き込み管63を接続し、この希釈ガス吹き込み管63に第3バルブ56Bを設けた。さらに、上記各バルブの開閉を制御するバルブ開閉制御部61を設けた。図6に示すように、太陽電池用成膜装置20は、第1配管31にH2Seを流し、第1配管31に設けた第1流量計41でH2Seの流量を計測し、第2配管32に希釈ガスを流し、第2配管32に設けた第2流量計42で希釈ガスの流量を計測し、ミキサー部25でH2Seに希釈ガスを混合して所定濃度の希釈H2Seを得、この希釈H2Seをセレン化炉反応炉図3、符号26に供給し、反応炉26で電池半製品の前駆体をセレン化する装置である。第1流量計41より上流側にて第1配管31に第1上流側バルブ51を設け、第1流量計41より下流側にて第1配管31に第1下流側バルブ52を設け、第2流量計42より上流側にて第2配管32に第2上流側バルブ53を設け、第2流量計42より下流側にて第2配管32に第2下流側バルブ54を設け、第1上流側バルブ51と第1流量計41との間にて第1配管31へ希釈ガスを吹き込む希釈ガス吹き込み管63を接続し、この希釈ガス吹き込み管63に第3バルブ56Bを設けた。太陽電池用成膜装置20は、H2Seを流す時は、第3バルブ56Bを閉じ、その他のバルブを開き、H2Seの流れを止める時は、第1上流側バルブ51、第2上流側バルブ53及び第2下流側バルブ54を閉じ、第1下流側バルブ52を開いた上で、第3バルブ56を開くバルブ開閉制御部61を備えている。第1流量計41に金属Seが析出すると、第1流量計41の表示誤差が大きくなる。表示誤差によって、光吸収層17の品質にばらつきが生ずる。この点、本発明では、H2Seの流れを止めている時に希釈ガスで第1流量計41を満たすようにしたので、第1流量計41で金属Seの析出を抑えることができる。結果、第1流量計41の目詰まりを起こし難くできる。この他、実施例1と作用、効果に大きな相違はなく説明を省略する。尚、流量計の種類として、差圧式、面積式、超音波式等の流量計があるが、流量計の種類には限定されることはないものとする。