支持部とミラーを保持すると共に回動軸を介して前記支持部に回動可能に支持された可動部と、前記支持部と前記可動部とを連結すると共に可撓性を有する弾性部材と、を備え、前記可動部は、前記回動軸に平行な方向に変位可能に前記支持部に支持され、前記可動部を前記回動軸に平行な方向に付勢して、前記可動部を前記支持部に当接させる付勢手段をさらに備える、ことを特徴とするミラーアクチュエータ。請求項1に記載のミラーアクチュエータにおいて、前記回転軸に配されると共に前記回転軸に平行な方向において前記可動部に対向する摺接部材をさらに備える、ことを特徴とするミラーアクチュエータ。請求項1または2に記載のミラーアクチュエータにおいて、前記回動軸は、前記可動部が鉛直方向に回動可能となるように配置され、前記可動部は、前記支持部に対して水平方向に変位可能となっている、ことを特徴とするミラーアクチュエータ。請求項1ないし3の何れか一項に記載のミラーアクチュエータにおいて、前記可動部に配されたコイルと、前記コイルに磁界を印加する磁石と、をさらに備え、前記弾性部材は、導電性を有する線材からなっており、前記弾性部材の一端が前記コイルに接続され、前記弾性部材が前記コイルに対する駆動信号の供給経路となっている、ことを特徴とするミラーアクチュエータ。請求項4に記載のミラーアクチュエータにおいて、前記コイルと前記磁石が、前記回動軸に平行な方向に向き合うように配置され、前記付勢手段は、前記磁石と、前記可動部に配置された磁性部材とを有し、前記磁石と前記磁性部材との間の磁力によって、前記可動部が前記回動軸に平行な方向に付勢されるように、前記磁性部材が前記可動部に配置されている、ことを特徴とするミラーアクチュエータ。請求項1ないし5に何れか一項に記載のミラーアクチュエータと、前記ミラーアクチュエータのミラーにレーザ光を供給するレーザ光源と、を備える、ことを特徴とするビーム照射装置。上記ミラーアクチュエータでは、ミラーを保持する可動部と、回動軸を介して可動部を支持する支持部との間に、回動軸に平行な方向の隙間が設けられている。これにより、支持部が熱等により変形した場合にも、支持部が可動部に強く押しつけられることを回避できる。よって、可動部の回動が安定なものとなる。しかし、このような隙間を設けることにより、ミラーの駆動時に、ミラーの回動に伴って可動部が支持部の方向に移動して支持部に衝突するとの問題が生じる。レーザレーダでは、ミラーが高速かつ短周期で回動する。このため、ミラー駆動時には、短周期で支持部に対する可動部の衝突が繰り返される。かかる衝突が繰り返されると、騒音が発生する。また、アクチュエータに小さな衝撃が繰り返し掛かるため、アクチュエータの特性に劣化が生じる惧れもある。本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、支持部に対する可動部の衝突を抑制でき、もって、円滑な動作を実現可能なミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供することを目的とする。本発明の第1の態様は、ミラーアクチュエータに関する。第1の態様に係るミラーアクチュエータは、支持部と、ミラーを保持すると共に回動軸を介して前記支持部に回動可能に支持された可動部と、前記支持部と前記可動部とを連結すると共に可撓性を有する弾性部材と、を備える。前記可動部は、前記回動軸に平行な方向に変位可能に前記支持部に支持される。ミラーアクチュエータは、前記可動部を前記回動軸に平行な方向に付勢して、前記可動部を前記支持部に当接させる付勢手段をさらに備える。本発明の第2の態様はビーム照射装置に関する。第2の態様に係るビーム照射装置は上記第1の態様に係るミラーアクチュエータと、前記ミラーアクチュエータのミラーにレーザ光を供給するレーザ光源と、を備える。本発明によれば、支持部に対する可動部の衝突を抑制でき、もって、円滑な動作を実現可能なミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供することができる。本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。図1は、本実施の形態に係るミラーアクチュエータ1の分解斜視図を示す図である。ミラーアクチュエータ1は、ミラーユニット10と、マグネットユニット20と、サーボユニット30を備えている。図2aを参照して、ミラーユニット10は、ミラーユニットフレーム11と、パンコイル装着板12、13と、サスペンションワイヤー固定基板14a、14b、15と、サスペンションワイヤー16a~16dと、支軸17と、LED18と、ミラー19とを備えている。ミラーユニットフレーム11は、正面視において長方形の輪郭の枠部材からなっている。ミラーユニットフレーム11には、左右の側面にそれぞれ2つのチルトコイル装着部11aが設けられている。各側面のチルトコイル装着部11aは、各側面の中心から上下方向に対称な位置に配置されている。これら4つのチルトコイル装着部11aには、それぞれ、チルトコイル11bが巻回され固着される。また、ミラーユニットフレーム11には、左右に並ぶ軸孔11cと、上下に並ぶ溝11eが形成されている。軸孔11cは、左右の側面の中心位置に配置され、溝11eは上下の側面の中心位置まで延びている。軸孔11cには、それぞれ、左右から軸受け11dが取り付けられる。ミラーユニットフレーム11の左右の内側面には、それぞれ、軸孔11cの上下の位置に開口11jが形成されている。これら4つの開口11jは、それぞれ、内側面からチルトコイル装着部11aを貫通している。なお、ミラーユニットフレーム11の左内側側面には、磁性体40が取り付けられる。磁性体40の構成については、追って、図9を参照して説明する。ミラーユニットフレーム11の底面は、櫛歯状となっており、サスペンションワイヤー16a、16bを通すための2つのワイヤー孔11fと、サスペンションワイヤー16c、16dを通すための2つのワイヤー孔11gと、後述するサスペンションワイヤー26a~26cを通すための3つのワイヤー孔11hと、サスペンションワイヤー26d~26fを通すための3つのワイヤー孔11iが形成されている。なお、ワイヤー孔11h、11iは、サスペンションワイヤー26a~26fを斜め後方向に傾けて固定するために、サスペンションワイヤー26a~26fの径よりもやや大きく形成されている。これにより、サスペンションワイヤー26a~26fを、ミラー19から離れる方向に曲線状に張ることができる。パンコイル装着板12には、2つのパンコイル装着部12aと、サスペンションワイヤー16a、16bを通すための2つのワイヤー孔12cと、サスペンションワイヤー16c、16dを通すための2つのワイヤー孔12dと、支軸17を通すための軸孔12eが設けられている。ワイヤー孔12cは、ワイヤー孔11fと上下方向に直線状に並ぶように形成されており、ワイヤー孔12dは、ワイヤー孔11gと上下方向に直線状に並ぶように形成されている。2つのパンコイル装着部12aには、それぞれ、2つのパンコイル12bが巻回され固着される。また、パンコイル装着板13には、2つのパンコイル装着部13aと支軸17を通すための軸孔13cが設けられている。パンコイル装着部13aには、2つのパンコイル13bが巻回され固着される。サスペンションワイヤー固定基板14a、14bには、それぞれ、サスペンションワイヤー16a、16bを通すための2つの端子穴14cと、サスペンションワイヤー16c、16dを通すための2つの端子穴14dが形成されている図2b参照。端子穴14c、14dの位置において、後述のように、パンコイル12b、13bと、LED18に電流を供給するための導線が、サスペンションワイヤー16a~16dに半田等で電気的に接続される。サスペンションワイヤー固定基板14a、14bは、2つの端子穴14c、14dとワイヤー孔12c、12dが整合するように、パンコイル装着板12に接着して固定される。サスペンションワイヤー固定基板15には、サスペンションワイヤー16a、16bを通すための2つの端子穴15aと、サスペンションワイヤー16c、16dを通すための2つの端子穴15bと、サスペンションワイヤー26a~26cを通すための3つの端子穴15cと、サスペンションワイヤー26d~26f図1参照を通すため3つの端子穴15dが形成されている。なお、3つの端子穴15c、15dは、ワイヤー孔11h、11iと同様に、サスペンションワイヤー26a~26fを曲線状に張るために、サスペンションワイヤー26a~26fの径よりもやや大きく形成されている。図2cを参照して、サスペンションワイヤー固定基板15には、2つの端子穴15aと3つの端子穴15cのうちの2つとを電気的に接続する回路パターンP1、P2が形成されている。また、サスペンションワイヤー固定基板15には、2つの端子穴15bと3つの端子穴15dのうちの2つとを電気的に接続する回路パターンP3、P4が形成されている。これらの端子穴と、各端子穴に通されたサスペンションワイヤー16a~16dおよびサスペンションワイヤー26a、26b、26d、26eとを半田付けすることにより、サスペンションワイヤー16a~16dと、サスペンションワイヤー26a、26b、26d、26eとが、上記回路パターンを介して、電気的に接続される。3つの端子穴15cの残り一つと、3つの端子穴15dの残り一つの位置において、後述のように、左右のチルトコイル11bと、サスペンションワイヤー26c、26fとが、半田等で電気的に接続される。図2aに戻り、サスペンションワイヤー固定基板15は、端子穴15aとワイヤー孔11f、端子穴15bとワイヤー孔11g、端子穴15cとワイヤー孔11h、および、端子穴15dとワイヤー孔11iが、それぞれ互いに整合するように、ミラーユニットフレーム11に接着して固定される。サスペンションワイヤー16a~16dは、りん青銅、ベリリウム銅等からなり、導電性に優れ、ばね性を有する。サスペンションワイヤー16a~16dは、断面が円形状となっている。サスペンションワイヤー16a~16dは、互いに同じ形状および特性を持ち、後述するように、パンコイル12b、13bとLED18への電流供給と、ミラー19のPan方向の回動時において、安定した負荷を与えるために利用される。支軸17には、LED基板固定アーム18bを挿入するための孔17aと、パンコイル13bとLED18を電気的に接続する導線を通すための孔17b、17cと、ミラー19を嵌め込むための段部17dが形成されている。また、支軸17内は、パンコイル13bとLED18を電気的に接続する導線を通すため、空洞となっている。なお、支軸17は、後述するように、ミラー19をPan方向に回動させる回転軸として利用される。LED18は、拡散タイプ広指向タイプであり、広い範囲に光を拡散させることができる。LED18からの拡散光は、後述するように、走査用のレーザ光の目標領域内での走査位置を検出するために利用される。LED18は、LED基板18aに取り付けられている。LED基板18aは、LED基板固定アーム18bに接着された後、支軸17の孔17aに取り付けられる。ミラーユニット10の組立時には、支軸17にミラー19が嵌め込まれた後、支軸17の両端の軸に軸受け17e、ポリスライダーワッシャ17fが取り付けられる。そして、この状態で、2つの軸受け17eが、ミラーユニットフレーム11に形成された溝11eに嵌め込まれる。さらに、上下からパンコイル装着板12の軸孔12eとパンコイル装着板13の軸孔13cが、支軸17に通され、支軸17に接着固定される。その後、サスペンションワイヤー16a、16bが、サスペンションワイヤー固定基板14aの2つの端子穴14cと、2つのワイヤー孔12cと、2つのワイヤー孔11fを介して、サスペンションワイヤー固定基板15の端子穴15aに通される。同様に、サスペンションワイヤー16c、16dが、サスペンションワイヤー固定基板14bの2つの端子穴14dと、2つのワイヤー孔12dと、2つのワイヤー孔11gを介して、サスペンションワイヤー固定基板15の端子穴15bに通される。サスペンションワイヤー16a~16dは、それぞれ、パンコイル12b、13bと、LED18に電流を供給するための導線とともにサスペンションワイヤー固定基板14a、14b、15に半田付けられる。これにより、図1に示すように、ミラーユニット10の組立が完了する。この状態で、ミラー19は、支軸17の周りにPan方向に回動可能となる。なお、サスペンションワイヤー固定基板14a、14bは、ミラー19のPan方向の回動に伴って、Pan方向に回動する。組み立てられたミラーユニット10は、マグネットユニットフレーム21の開口に収容される。なお、サスペンションワイヤーを用いた電流の供給方法については、別途、図8を参照して、説明する。図1に戻り、マグネットユニット20は、マグネットユニットフレーム21と、8つのパンマグネット22と、8つのチルトマグネット23と、2つの支軸24と、サスペンションワイヤー固定基板25と、サスペンションワイヤー26a~26fと、保護カバー27とを備えているマグネットユニットフレーム21は、正面視において長方形の輪郭の枠部材からなっている。マグネットユニットフレーム21の左右の側面の中央には、支軸24を通すための軸孔21aと、支軸24を固定するためのネジ穴21bが形成されている。マグネットユニットフレーム21の上面には、サスペンションワイヤー固定基板25を固定するための2つのネジ穴21cが形成されている。また、マグネットユニットフレーム21の上下の内側面の前端には、マグネットユニットフレーム21の内側に突出した4つの鍔部が形成され、これら4つの鍔部には、保護カバー27を固定するためのネジ穴21dが形成されている。さらに、マグネットユニットフレーム21の上下の内側面の後端には、マグネットユニットフレーム21の内側に突出した4つの鍔部が形成され、これら4つの鍔部には、サーボユニットフレーム31を固定するためのネジ穴21eが形成されている。図3は、マグネットユニットフレーム21を後側から見た斜視図である。図3を参照して、8つのパンマグネット22がマグネットユニットフレーム21の上下の内側面に取り付けられる。さらに、8つのチルトマグネット23がマグネットユニットフレーム21の左右の内側面に取り付けられる。図1に戻り、2つの支軸24の根本には、それぞれ、円柱状の台座24dが形成されている。台座24dに続く板状の部分に2つのネジ孔24bが形成されている。2つの支軸24は、ポリスライダーワッシャ24aが取り付けられた状態で、マグネットユニットフレーム21に形成された軸孔21aを介して、ミラーユニットフレーム11の軸受け11dに嵌め込まれる。このとき、ポリスライダーワッシャ24aと、支軸24の根元に形成された円柱状の台座24dが、軸孔21aに挿入される。この状態で、2つのネジ孔24bを介して2つのネジ24cがマグネットユニットフレーム21の2つのネジ穴21bに螺着される。これにより、2つの支軸24がマグネットユニットフレーム21に固着される。なお、支軸24は、後述するように、ミラー19をTilt方向に回動させる回転軸として利用される。サスペンションワイヤー固定基板25には、2つのネジ孔25aと、サスペンションワイヤー26a~26fを通すための3つの端子穴25c、25dが形成されている。なお、3つの端子穴25c、25dは、サスペンションワイヤー26a~26fを曲線状に張るために、サスペンションワイヤー26a~26fの径よりもやや大きく形成されている。サスペンションワイヤー固定基板25には、端子穴25c、25dに信号を供給するための回路パターンが形成されている。サスペンションワイヤー26a~26fは、りん青銅、ベリリウム銅等からなり、導電性に優れ、ばね性を有する。サスペンションワイヤー26a~26fは、断面が円形状となっている。サスペンションワイヤー26a~26fは、互いに同じ形状および特性を持ち、後述するように、チルトコイル11bとパンコイル12b、13bとLED18への電流供給と、ミラー19のTilt方向の回動時において、安定した負荷を与えるために利用される。マグネットユニット20の組立時には、サスペンションワイヤー固定基板25が、マグネットユニットフレーム21の上面に取り付けられる。この状態で、2つのネジ孔25aを介して、2つのネジ25bを2つのネジ穴21cに螺着する。これにより、サスペンションワイヤー固定基板25がマグネットユニットフレーム21に固着される。その後、サスペンションワイヤー26a~26cが、サスペンションワイヤー固定基板25の3つの端子穴25cと、ミラーユニットフレーム11の3つのワイヤー孔11hを介して、サスペンションワイヤー固定基板15の端子穴15c図2a参照に通される。同様に、サスペンションワイヤー26d~26fが、サスペンションワイヤー固定基板25の3つの端子穴25dと、ミラーユニットフレーム11の3つのワイヤー孔11iを介して、サスペンションワイヤー固定基板15の3つの端子穴15d図2a参照に通される。しかる後、サスペンションワイヤー26a~26fは、それぞれ、チルトコイル11bと、パンコイル12b、13bと、LED18に電流を供給するための導線とともに、サスペンションワイヤー固定基板15、25に半田付けられる。なお、サスペンションワイヤー26a~26fは、ミラー19から離れる方向に曲線状に張られる。すなわち、サスペンションワイヤー26a~26fの上端部は、端子穴25c、25dから離れるに従って後ろ方向に傾くように端子穴25c、25dに固定される。また、サスペンションワイヤー26a~26fの下端部は、ワイヤー孔11h、11iおよび端子穴15b、15cから離れるに従って後ろ方向に傾くようにワイヤー孔11h、11iおよび端子穴15b、15c固定される。これにより、図4に示す構成体が完成する。この状態で、ミラーユニットフレーム11は、支軸24の周りにTilt方向に回動可能となる。なお、サスペンションワイヤー固定基板15は、ミラーユニットフレーム11のTilt方向の回動に伴って、Tilt方向に回動する。図4は、ミラーユニット10がマグネットユニット20に取り付けられた状態の構成体の斜視図である。図4aは、この構成体を図1の前方向から見た斜視図であり、図4bは、この構成体を図1の後方向から見た斜視図である。図4bを参照して、サスペンションワイヤー16aの両端は、それぞれ、2つの端子穴14cの内側の1つと、2つの端子穴15aの内側の1つに接続されている。同様に、サスペンションワイヤー16cの両端は、2つの端子穴14dの内側の1つと、2つの端子穴15bの内側の1つに接続されている。サスペンションワイヤー16bの両端は、2つの端子穴14cの外側の1つと、2つの端子穴15aの外側の1つに接続されている。同様に、サスペンションワイヤー16dの両端は、2つの端子穴14dの外側の1つと、2つの端子穴15bの外側の1つに接続されている。サスペンションワイヤー26aの両端は、3つの端子穴25cの内側の1つと、3つの端子穴15cの内側の1つに接続されている。同様に、サスペンションワイヤー26dの両端は、3つの端子穴25dの内側の1つと、3つの端子穴15dの内側の1つに接続されている。サスペンションワイヤー26bの両端は、3つの端子穴25cの中央の1つと、3つの端子穴15cの中央の1つに接続されている。同様に、サスペンションワイヤー26eの両端は、3つの端子穴25dの中央の1つと、3つの端子穴15dの中央の1つに接続されている。サスペンションワイヤー26cの両端は、3つの端子穴25cの外側の1つと、3つの端子穴15cの外側の1つと接続されている。同様に、サスペンションワイヤー26fの両端は、3つの端子穴25dの外側の1つと、3つの端子穴15dの外側の1つに接続されている。なお、図4aにおいて、25eは、端子である。端子25eを介して、ミラー19をPan方向とチルト方向に駆動するための駆動信号と、LED18を点灯するための駆動信号が供給される。各端子25eは、それぞれ、端子穴25c、25dの何れかと、サスペンションワイヤー固定基板25上の回路パターンを介して接続されている。図1に戻り、サーボユニット30は、サーボユニットフレーム31と、ピンホール取り付け金具32と、ピンホール板33と、PSD基板34と、PSD35とを備えている。サーボユニットフレーム31は、正面視において長方形の輪郭の枠部材からなっている。サーボユニットフレーム31の左右の側面には、ピンホール取り付け金具32を固定するための2つのネジ孔31aが形成されている。また、サーボユニットフレーム31の上下の内側面の前端には、サーボユニットフレーム31の内側に突出した4つの鍔部が形成され、これら4つの鍔部には、それぞれ、ネジ孔31cが形成されている。さらに、サーボユニットフレーム31の左右の内側面の後端には、サーボユニットフレーム31の内側に突出した4つの鍔部が形成され、これら4つの鍔部には、それぞれ、ネジ穴31eが形成されている。ピンホール取り付け金具32の左右の側面には、2つのネジ穴32aが形成されている。また、ピンホール取り付け金具32の背面には、ピンホール板33を固定するための2つのネジ穴32bと、LED18から出射されたサーボ光をピンホール33aを介してPSD35に導くための開口32cが形成されている。ピンホール板33には、ピンホール33aと、2つのネジ孔33bが形成されている。ピンホール33aは、LED18から出射された拡散光のうち、一部の光を通過させる。PSD基板34には、PSD基板34をサーボユニットフレーム31に固定するための4つのネジ孔34aが形成されている。PSD基板34には、PSD35が装着されている。PSD35は、サーボ光の受光位置に応じた信号を出力する。サーボユニット30の組立時には、ピンホール板33が、ピンホール取り付け金具32の背面に当てられる。この状態で、2つのネジ孔33bを介して2つのネジ33cを2つのネジ穴32bに螺着する。これにより、ピンホール板33がピンホール取り付け金具32に固着される。次に、ピンホール取り付け金具32が、サーボユニットフレーム31内に収容される。この状態で、4つのネジ孔31aと4つのネジ穴32aとが合わされ、左右から4つのネジ31bをそれぞれネジ孔31aとネジ穴32aに螺着する。これにより、ピンホール取り付け金具32が、サーボユニットフレーム31に固着される。さらに、PSD基板34が、サーボユニットフレーム31の背部に当てられる。この状態で、4つのネジ孔34aを介して4つのネジ34bを4つのネジ穴31eに螺着する。これにより、PSD基板34が、サーボユニットフレーム31に固着される。こうして、図5に示すサーボユニット30が完成する。図5aは、組み立てられたサーボユニット30を前方から見た斜視図、図5bは、組み立てられたサーボユニット30を後方から見た斜視図である。こうしてサーボユニット30が組み立てられた後、サーボユニット30が、図4に示す構成体の背部に当てられる。この状態で、サーボユニットフレーム31の4つのネジ孔31cを介して、後方から4つのネジ31dをマグネットユニットフレーム21の4つのネジ穴21eに螺着する。これにより、サーボユニット30が図4に示す構成体に固着される。こうして、図6に示すように、ミラーアクチュエータ1の組立が完了する。図6aは、ミラーアクチュエータ1を前方から見た斜視図、図6bは、ミラーアクチュエータ1を後方から見た斜視図である。図7は、ミラー19の回動時における力作用の関係を示す図である。なお、図7では、便宜上、パンコイル装着板12と、サスペンションワイヤー固定基板14a、14bと、サスペンションワイヤー固定基板15と、サスペンションワイヤー固定基板25と、ミラーユニットフレーム11と、支軸17と、支軸24と、ミラー19と、サスペンションワイヤー16a~16dと、サスペンションワイヤー26a~26fのみが図示されている。図7aは、ミラーアクチュエータ1の初期状態を示す図である。ミラー19は、チルトコイル11b、パンコイル12b、13bに電流の印加がされてないとき、ミラー19のミラー面が図1の前後方向に垂直となる位置に位置づけられるよう構成されている。この状態のミラー19の位置を、以下、中立位置という。なお、サスペンションワイヤー26a~26fは、ミラーユニットフレーム11のTilt方向の回動に必要な余裕を持たせるために、ミラー19から離れる方向に曲線状となるように張られている。この状態において、サスペンションワイヤー16a~16dとサスペンションワイヤー26a~26fから可動部に力が付加されず、このため、ミラー19に対する回動力は発生していない。図7bは、ミラーアクチュエータ1をPan方向に駆動させたときの状態を示す図である。8つのパンマグネット22図3参照は、パンコイル12b、13b図2a参照に電流を印加することにより、パンコイル装着板12、13に支軸17を軸とする回動力が生じるよう、配置および極性が調整されている。したがって、パンコイル12b、13bに電流を印加すると、パンコイル12b、13bに生じる電磁駆動力によってパンコイル装着板12、13とともに支軸17が回動し、これにより、ミラー19が、支軸17を軸として回動する。支軸17を軸とするミラー19の回動方向をPan方向という。ミラー19が支軸17を軸として回動すると、これに伴って、パンコイル装着板13に装着されたサスペンションワイヤー固定基板14a、14bが一体的に回動する。一方、サスペンションワイヤー固定基板15は、ミラーユニットフレーム11に固定されており、図7aの状態のままである。これにより、サスペンションワイヤー16a、16bと、サスペンションワイヤー16c、16dは、それぞれ、長手方向に引っ張られながら、支軸17を中心として、ねじれの位置に位置づけられる。したがって、サスペンションワイヤー16a~16dのばね性により、支軸17を中心とした、ミラー19のPan方向の回動方向と逆向きのモーメントが発生する。このモーメントは、サスペンションワイヤー16a~16dのばね定数と支軸17を中心としたミラー19の回動位置とによって算出可能な所定の値となる。このように、ミラー19がPan方向に回動した状態では、常に逆向きのモーメントが発生するため、パンコイル12b、13bへの電流の印加を中止すると、ミラー19は、図7aに示す中立位置に戻される。図7cは、ミラーアクチュエータ1をTilt方向に駆動させたときの状態を示す図である。8つのチルトマグネット23図3参照は、チルトコイル11b図2a参照に電流を印加することにより、ミラーユニットフレーム11に支軸24を軸とする回動力が生じるよう、配置および極性が調整されている。したがって、チルトコイル11bに電流を印加すると、チルトコイル11bに生じる電磁駆動力によって、ミラーユニットフレーム11が、支軸24を軸として回動し、ミラーユニットフレーム11と一体的にミラー19が回動する。支軸24を軸とするミラー19の回動方向をTilt方向という。ミラーユニットフレーム11が支軸24を軸として回動すると、これに伴って、ミラーユニットフレーム11に装着されたサスペンションワイヤー固定基板14a、14bと、サスペンションワイヤー固定基板15が一体的に回動する。一方、サスペンションワイヤー固定基板25は、マグネットユニットフレーム21に固定されており、図7aの状態のままである。これにより、サスペンションワイヤー26a~26fは、図7aの状態から変形し、図7aの状態に復元する復元力がサスペンションワイヤー26a~26fに生じる。したがって、この復元力により、支軸24を中心とした、ミラーユニットフレーム11のTilt方向の回動方向と逆向きのモーメントが発生する。このモーメントは、サスペンションワイヤー26a~26fのばね定数と支軸24を中心としたミラーユニットフレーム11の回動位置とによって算出可能な所定の値となる。このように、ミラーユニットフレーム11がTilt方向に回動した状態では、常に逆向きのモーメントが発生するため、チルトコイル11bへの電流の印加を中止すると、ミラーユニットフレーム11は、図7aに示す中立位置に戻される。したがって、ミラー19をPan方向およびTilt方向に回動させると、各回動位置において、サスペンションワイヤーのばね性による一定の抗力が生じる。この抗力に応じて、ミラー19を回動させるための駆動力を調整することにより、安定してミラー19を回動させることができる。また、電流を印加しない場合、サスペンションワイヤーのばね性により、ミラー19が中立位置に位置づけられる。このため、振動等の外乱により、ミラーが不定な回動位置に位置づけられることを防ぐことができる。図8は、サスペンションワイヤー16a~16dとサスペンションワイヤー26a~26fを用いて、LED18と、チルトコイル11bと、パンコイル12b、13bへ給電する方法を示す図である。なお、図8では、便宜上、ミラーユニットフレーム11と、パンコイル装着板12、13と、パンコイル12b、13bと、チルトコイル11bと、サスペンションワイヤー固定基板14a、14bと、サスペンションワイヤー固定基板15と、サスペンションワイヤー16a~16dと、支軸17と、LED18と、マグネットユニットフレーム21と、サスペンションワイヤー固定基板25と、サスペンションワイヤー26a~26fのみが図示されており、サスペンションワイヤー16a~16dとサスペンションワイヤー26a~26fは、各部に対する電流の供給に必要なもの以外は省略されている。図8aは、LED18への給電方法を示す図である。サスペンションワイヤー固定基板25には、3つの端子穴25cのうち1つが端子25e図4a参照を介してサーボLED駆動回路302図14参照の流出端子に接続され、3つの端子穴25dのうち1つが端子25eを介してサーボLED駆動回路302図14参照の流入端子と接続されるように、回路パターンが形成されている。また、サスペンションワイヤー固定基板15には、3つの端子穴15cのうち1つが2つの端子穴15aのうち1つと接続され、2つの端子穴15bのうち1つが3つの端子穴15dのうち1つと接続されるよう回路パターンが形成されている。LED18の端子は、支軸17内に形成された空洞と孔17bを介して端子穴14cと導線によって電気的に接続されている。また、LED18の-端子は、支軸17内に形成された空洞と孔17bを介して、端子穴14dと導線によって電気的に接続されている。サーボLED駆動回路302図14参照の流出端子から出力された電流は、端子穴25cに接続されたサスペンションワイヤー26a、端子穴15c、端子穴15a、サスペンションワイヤー16aを通り、端子穴14cに到達する。そして、電流は、端子穴14cに接続された導線を介してLED18の端子に入力される。LED18に到達した後、電流は、LED18の-端子に接続された導線を通り、端子穴14dに到達する。その後、電流は、サスペンションワイヤー16c、端子穴15b、端子穴15d、サスペンションワイヤー26dを通って端子穴25dに至り、端子穴25dからサーボLED駆動回路302図14参照の流入端子へ出力される。これにより、LED18に対して、電流が供給される。図8bは、パンコイル12b、13bへの給電方法を示す図である。サスペンションワイヤー固定基板25には、3つの端子穴25cのうち1つが端子25e図4a参照を介してアクチュエータ駆動回路303図14参照のPan駆動用の流出端子と接続され、3つの端子穴25dのうち1つが端子25eを介してアクチュエータ駆動回路303図14参照のPan駆動用の流入端子と接続されるように、回路パターンが形成されている。また、サスペンションワイヤー固定基板15には、3つの端子穴15cのうち1つが2つの端子穴15aのうち1つと接続され、2つの端子穴15bのうち1つが3つの端子穴15dのうち1つと接続されるよう回路パターンが形成されている。2つのパンコイル12bは、それぞれ、一方の端が端子穴14cに電気的に接続され、他方の端が端子穴14dに電気的に接続されている。また、2つのパンコイル13bは、それぞれ、一方の端が支軸17内に形成された空洞と孔17b、17cを介して、端子穴14cに電気的に接続され、他方の端が支軸17内に形成された空洞と孔17b、17cを介して、端子穴14dに電気的に接続されている。アクチュエータ駆動回路303図14参照のPan駆動用の流出端子から出力された電流は、端子穴25cに接続されたサスペンションワイヤー26b、端子穴15c、端子穴15a、サスペンションワイヤー16bを通り、端子穴14cに到達する。そして、電流は、4並列に、パンコイル12b、13bの一方の端に入力される。パンコイル12b、13bを流れた後、電流は、端子穴14dで合流する。その後、電流は、サスペンションワイヤー16d、端子穴15b、端子穴15d、サスペンションワイヤー26eを通って端子穴25dに至り、端子穴25dからアクチュエータ駆動回路303図14参照のPan駆動用の流入端子へ出力される。これにより、パンコイル12b、13bに対して、電流が供給される。図8cは、チルトコイル11bへの給電方法を示す図である。サスペンションワイヤー固定基板25は、3つの端子穴25cのうち1つが端子25e図4a参照を介してアクチュエータ駆動回路303図14参照のTilt駆動用の流出端子と接続され、3つの端子穴25dのうち1つが端子25eを介してアクチュエータ駆動回路303図14参照のTilt駆動用の流出端子と接続されるように、回路パターンが形成されている。また、サスペンションワイヤー固定基板15は、3つの端子穴15cのうち1つが2つの端子穴15dのうち1つと接続されるよう回路パターンが形成されている。4つのチルトコイル11bは、それぞれ、一方の端が端子穴15cに電気的に接続され、他方の端が端子穴15dに電気的に接続されている。アクチュエータ駆動回路303図14参照のTilt駆動用の流出端子から出力された電流は、端子穴25cに接続されたサスペンションワイヤー26b、端子穴15c、端子穴15a、サスペンションワイヤー16bを通り、端子穴14cに到達する。そして、電流は、4並列に、パンコイル12b、13bの一方の端に入力される。パンコイル12b、13bを流れた後、電流は、端子穴14dで合流する。その後、電流は、スペンションワイヤー16d、端子穴15b、端子穴15d、サスペンションワイヤー26eを通って端子穴25dに至り、端子穴25dからアクチュエータ駆動回路303図14参照のTilt駆動用の流入端子へ出力される。これにより、パンコイル12b、13bに対して、電流が供給される。このように、サスペンションワイヤーを適切に配置することによって、外部からのケーブルやハーネス等を用いずに、ミラーユニットフレーム11、支軸17に対して不安定な負荷をかけることなく、LED18と、パンコイル12b、13bと、チルトコイル11bに対して電流を供給することができる。図9aは、ミラーアクチュエータ1に磁性体40が取り付けられた状態の斜視図である、図9bは、磁性体40の構成を示す図である。図9aでは、便宜上、保護カバー27が外されている。磁性体40は、磁性材料からなる長方形の薄板であり、中心に円形の孔41が形成され、上下に四角形の開口42が形成されている。孔41を、ミラーユニットフレーム11の左内側面に形成された軸孔11c図2a参照に合わせると、上下の開口42と、ミラーユニットフレーム11の左内側面に形成された開口11jとが略整合する。磁性体40は、孔41が軸孔11cに整合し、開口42が対応する開口11jに略整合するように、ミラーユニットフレーム11の左内側面に接着固定される。図9aの組み立て状態において、孔41には、支軸24の端部が嵌まり込んでいる。また、磁性体40の上下の開口42は、それぞれ、チルトマグネット23に略対応する位置に位置付けられる。図10は、ミラーユニットフレーム11の支持状態を説明する図である。同図では、便宜上、保護カバー27が外されている。図中、L1は、左右の台座24dの間隔である。すなわち、左の台座24dの頂上の面から右の台座24dの頂上の面までの距離がL1である。L2は、ミラーユニット10ミラーユニットフレーム11の左右方向の幅の寸法である。本実施の形態では、L1>L2に設定されている。このため、ミラーユニットフレーム11は、支軸24の周りを回動可能であるとともに、支軸24に沿って左右方向に変位可能となっている。これにより、仮に、熱等によりマグネットユニットフレーム21が変形し、L1が縮小したとしても、左右の台座24dの頂上の面が、ポリスライダーワッシャ24aを介してミラーユニットフレーム11の左右の側面に強く押しつけられることを回避できる。その結果、支軸24を軸とするチルト方向のミラー19の回動が安定化する。しかしながら、このように、ミラーユニットフレーム11が、支軸24に沿って左右方向に変位可能である場合、ミラーアクチュエータ1の駆動時に、台座24dにミラーユニットフレーム11の左右の側面が衝突することが起こり得る。この衝突によって、騒音が発生し、さらに、ミラーアクチュエータ1自体の特性に劣化が生じる惧れもある。本実施の形態では、かかる問題を解消するために、ミラーユニットフレーム11に磁性体40が設置されている。図11は、磁性体40による作用を説明する図である。図11aは、図11bの点線で囲んだ部分の拡大図である。上記の如く、磁性体40は、ミラーユニットフレーム11の左側の内側面のみに設置され、ミラーユニットフレーム11の右側の内側面には設置されていない。磁性体40は、チルトマグネット23に対応する位置に配置されているため、図11aの破線矢印のように、チルトマグネット23に吸着される。この吸着力により、ミラーユニットフレーム11全体が左方向に付勢を受け、ミラーユニットフレーム11の左側面が、ポリスライダーワッシャ24aを介して台座24dの頂上の面に軽く押し付けられる。これにより、ミラーアクチュエータ1の駆動時に、ミラーユニットフレーム11が左右に変位することを防ぐことができ、ミラーユニットフレーム11の左右の側面が台座24dに衝突することを防ぐことができる。その結果、騒音の発生や、ミラーアクチュエータ1自体の特性に劣化が生じることを抑制することができる。なお、磁性体40とチルトマグネット23との間に働く磁力は、ミラーユニットフレーム11の左側面が台座24dにあまり強く押し付けられず、且つ、ミラーアクチュエータ1の駆動時に、ミラーユニットフレーム11が左右に変位することを防止できる程度の強さになるように調整される。磁性体40とチルトマグネット23との間に働く磁力が過度に大きいと、ミラーユニットフレーム11の左側面が台座24dに強く押し付けられ、チルト方向におけるミラーユニットフレーム11の動作が不安定となり得る。逆に、かかる磁力が小さすぎると、ミラーアクチュエータ1の駆動時に、ミラーユニットフレーム11が左右に変位し、騒音の発生やミラーアクチュエータ1自体の特性に劣化が生じ得る。かかる調整のために、本実施の形態では、図9a、bに示すように、磁性体40に四角形の開口42が設けられている。開口42の位置および大きさは、磁性体40とチルトマグネット23との間に働く磁力が上記のような強さになるように調整されている。なお、本実施の形態では、磁性体40に開口42を設けたが、磁性体40とチルトマグネット23との間に働く磁力を調整する必要がなければ、開口42が設けられなくても良い。また、開口42を設ける替わりに、磁性体40の材料や、大きさを変えても良い。また、本実施の形態では、ミラーユニットフレーム11の左側の内側面に磁性体40を設置したが、これに代えて、ミラーユニットフレーム11の右側の内側面に磁性体40を設置しても良い。さらに、ミラーユニットフレーム11の左右両側の内側面にそれぞれ磁性体が取り付けられても良い。ただし、この場合は、ミラーユニットフレーム11が左右何れか一方に付勢されるように、左側の磁性体に働く左方向の磁力と右側の磁性体に働く右方向の磁力とを不均衡にする必要がある。このように磁力を不均衡にするために、左右の磁性体の材料や大きさ、形状が調整される。なお、本実施の形態では、上記のように、ミラーユニットフレーム11の左側面がポリスライダーワッシャ24aを介して台座24dの頂上の面に軽く押し付けられた状態において、各チルトコイル11bと、これに対向するチルトマグネット23との間の距離が全て同一となるように、各部の構成が調整されている。また、ミラーユニットフレーム11の左側面がポリスライダーワッシャ24aを介して台座24dの頂上の面に軽く押し付けられた状態において、サスペンションワイヤー26a~26fが、前方から見て、図10のように、上下方向に直線状となるように、各部が調整されている。図12は、ミラーアクチュエータ1が装着された状態の光学系の構成を示す図である。図12において、500は、光学系を支持するベースである。ベース500の上面には、ミラーアクチュエータ1と、レーザ光源101と、ビーム整形レンズ102が配置されている。レーザ光源101は、ベース500の上面に配されたレーザ光源用の回路基板101aに装着されている。レーザ光源101から出射されたレーザ光は、ビーム整形レンズ102によって水平方向および鉛直方向の収束作用を受け、目標領域において所定の形状に整形される。ビーム整形レンズ102を透過したレーザ光は、ミラーアクチュエータ1のミラー19に入射し、ミラー19によって目標領域に向かって反射される。ミラーアクチュエータ1によってミラー19が駆動されることにより、レーザ光が目標領域内においてスキャンされる。ミラーアクチュエータ1は、ミラー19が図7aに示した中立位置にあるときに、ビーム整形レンズ102からの走査レーザ光がミラー19のミラー面に対し水平方向において45度の入射角で入射するよう配置されている。すなわち、ミラー19が中立位置にあるとき、ミラー19のミラー面は鉛直方向に対し平行で、且つ、走査レーザ光がミラー面に対し水平方向において45度の入射角で入射する。図13aは、ベース500を上面側から見たときの一部平面図である。図13aには、ミラーアクチュエータ1の一部断面図とレーザ光源101のみが示されている。図示の如く、ミラーアクチュエータ1には、LED18と、ピンホール取り付け金具32と、ピンホール板33と、PSD基板34と、PSD35を有する。LED18、PSD35およびピンホール33aは、ミラーアクチュエータ1のミラー19が上記中立位置にあるときに、LED18がピンホール板33のピンホール33aとPSD35の中心に向き合うように配置されている。すなわち、ミラー19が中立位置にあるとき、LED18から出射されピンホール33aを通るサーボ光が、PSD35の中心に垂直に入射するよう、ピンホール板33およびPSD35が配置されている。また、ピンホール板33は、LED18とPSD35の中間位置よりもPSD35に近い位置に配置されている。ここで、LED18から拡散するように発せられたサーボ光は、その一部が、ピンホール33aを通過し、PSD35によって受光される。ピンホール33a以外の領域に入射されたサーボ光は、ピンホール板33によって遮光される。PSD35は、サーボ光の受光位置に応じた電流信号を出力する。たとえば、図13bのようにミラー19が破線で示す中立位置から矢印方向に回動すると、LED18の拡散光サーボ光のうちピンホール33aを通る光の光路は、LP1からLP2へと変位する。その結果、PSD35上におけるサーボ光の照射位置が変化し、PSD35から出力される位置検出信号が変化する。この場合、LED18からのサーボ光の発光位置と、PSD35の受光面上におけるサーボ光の入射位置は一対一に対応する。したがって、PSD35にて検出されるサーボ光の入射位置によって、目標領域における走査レーザ光の走査位置を検出できる。図14は、レーザレーダの回路構成を示す図である。図示の如く、レーザレーダは、走査部100と、受光部200と、PSD信号処理回路301と、サーボLED駆動回路302と、アクチュエータ駆動回路303と、スキャンLD駆動回路304と、PD信号処理回路305と、DSP306を備えている。走査部100は、図12に示す走査光学系と、図13aに示すサーボ光学系を備えている。なお、図14には、便宜上、走査部100の構成として、レーザ光源101、ミラーアクチュエータ1、LED18およびPSD35のみが図示されている。受光部200は、レーザ光源101から出射されるレーザ光の波長帯域の光のみを透過するバンドパスフィルタ201と、目標領域から反射された走査用レーザ光を集光する受光レンズ202と、集光された走査用レーザ光を受光する光検出器203を備えている。PSD信号処理回路301は、PSD35からの出力信号から受光位置に応じた位置検出信号を生成してDSP306に出力する。サーボLED駆動回路302は、DSP306からの信号をもとに、LED18に駆動信号を供給する。具体的には、走査部100の作動時において、一定出力のサーボ光が、LED18から出力される。アクチュエータ駆動回路303は、DSP306からの信号をもとに、ミラーアクチュエータ1を駆動する。具体的には、目標領域において走査用レーザ光を所定の軌道に沿って走査させるための駆動信号がミラーアクチュエータ1に供給される。スキャンLD駆動回路304は、DSP306からの信号をもとに、レーザ光源101に駆動信号を供給する。具体的には、目標領域内において走査用レーザ光のスキャン位置が所定の位置になったタイミングでレーザ光源101がパルス発光される。PD信号処理回路305は、光検出器203からの信号を増幅およびデジタル化してDSP306に供給する。DSP306は、PSD信号処理回路301から入力された位置検出信号をもとに、目標領域における走査用レーザ光の走査位置を検出し、ミラーアクチュエータ1の駆動制御や、レーザ光源101の駆動制御等を実行する。また、DSP306は、PD信号処理回路305から入力される信号にもとづいて、目標領域内の走査用レーザ光の照射位置に障害物が存在するかを判定し、同時に、レーザ光源101から出力される走査用レーザ光の照射タイミングと、光検出器203にて受光される目標領域からの反射光の受光タイミングの間の時間差をもとに、障害物までの距離を測定する。以上、本実施の形態によれば、磁性体40とチルトマグネット23との間に働く磁力により、ミラーユニットフレーム11の左側面が、ポリスライダーワッシャ24aを介して台座24dの頂上の面に軽く押し付けられるため、ミラーアクチュエータ1の駆動時に、ミラーユニットフレーム11が左右に変位することを防ぐことができ、ミラーユニットフレーム11の左右の側面が台座24dに衝突することを防ぐことができる。その結果、騒音の発生や、ミラーアクチュエータ1自体の特性に劣化が生じることを抑制することができる。また、本実施の形態によれば、ミラーユニットフレーム11の左側面と台座24dとの間にポリスライダーワッシャ24aが介在するため、このようにミラーユニットフレーム11の左側面が台座24dに押し付けられても、支軸24を軸とするミラーユニットフレーム11の回動が円滑に行われ得る。また、本実施の形態によれば、ミラーユニットフレーム11に力を付与するための手段として、チルトコイル11bに磁界を印加するチルトマグネット23が用いられているため、ミラーユニットフレーム11を付勢するための構成を簡素なものとすることができる。なお、上記の説明では特に言及されなかったが、本実施の形態では、支軸17もまた、ミラーユニットフレーム11に対して上下方向に変位可能となっている。このため、支軸17についても、上記実施の形態と同様、支軸17に平行な方向に支軸17を付勢する手段が検討され得る。しかしながら、本実施の形態では、図12に示すように、図10の上下方向が鉛直方向となるようにミラーアクチュエータ1が設置される。このため、支軸17は、支軸17および支軸17に装着される部材ミラー19等に働く重力により、下方向に付勢され、ミラーユニットフレーム11に押し付けられる。このことから、本実施の形態では、支軸17に対しては、付勢手段が配置されていない。しかしながら、ミラーアクチュエータ1の駆動時に支軸17が上下方向に変位するような場合には、支軸17に対しても、付勢手段が配され得る。この場合、たとえば、支軸17の下部に磁性部材を装着し、この磁性部材と下側のパンマグネット22との間に働く磁力により、支軸17を下方向に付勢する構成が用いられ得る。また、本実施の形態によれば、ミラー19をPan方向およびTilt方向に回動させると、各回動位置において、サスペンションワイヤーのばね性による一定かつ安定な抗力が生じる。したがって、この抗力に応じて、ミラー19を回動させるための駆動力を調整することにより、安定してミラー19を回動させることができる。また、電流を印加しない場合、サスペンションワイヤーのばね性により、ミラー19が中立位置に位置づけられるため、振動等の外乱により、ミラーが不定な回動位置に位置づけられることを防ぐことができる。また、本実施の形態では、サスペンションワイヤー26a~26f、サスペンションワイヤー固定基板25の回路パターン、および、サスペンションワイヤー16a~16dを介して、可動部に電流が供給されるため、可動部に不安定な負荷をかける惧れのあるケーブルやハーネス等を用いずとも、LED18と、パンコイル12b、13bと、チルトコイル11bに対して電流を供給することができる。また、本実施の形態では、支軸17に並ぶように、すなわち、支軸17と略平行となるように、サスペンションワイヤー26a~26fとサスペンションワイヤー16a~16dが配されているため、ミラー19の回動時のサスペンションワイヤー26a~26fとサスペンションワイヤー16a~16dの撓み量を小さくすることができ、ミラー19の回動時に、サスペンションワイヤー26a~26fとサスペンションワイヤー16a~16dから、ミラー19の回動を規制する大きな力が掛るのを防止することができる。また、サスペンションワイヤー26a~26fとサスペンションワイヤー16a~16dの端部がミラーユニットフレーム11の底面近傍に位置付けられるため、平板状のサスペンションワイヤー固定基板25の回路パターンによって、対応するサスペンションワイヤーを容易に接続することができる。また、本実施の形態では、サスペンションワイヤー固定基板25にサスペンションワイヤー26a~26fとサスペンションワイヤー16a~16dの端部を半田付けするのみで、当該端部の固定と、サスペンションワイヤー間の電気的な接続を行うことができる。また、本実施の形態では、図7aに示すように、ミラーが中立位置にある状態において、サスペンションワイヤー26a~26fがミラー19から離れる方向に一様に湾曲するように配置されるため、中立位置からミラー19がチルト方向に回動しても、サスペンションワイヤー26a~26fは、一律に、ミラー19に接近または離間する方向に変形する。このように、サスペンションワイヤー26a~26fの変形方向を一方向に制限することにより、チルト方向におけるミラー19の回動時にサスペンションワイヤー26a~26fに生じる抗力を安定させることができ、よって、ミラー19を安定に駆動することができる。以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。たとえば、上記実施の形態では、合計10本のサスペンションワイヤーサスペンションワイヤー16a~16d、サスペンションワイヤー26a~26fが用いられたが、サスペンションワイヤーの数がこれに限られるものではない。たとえば、上記実施の形態において、給電に用いられないサスペンションワイヤーをさらに配置しても良い。また、可動部にLED18を配置しない場合は、サスペンションワイヤー26b、26eを省略し、合計8本のサスペンションワイヤーを配置するようにしても良い。また、上記実施の形態では、断面が円形状のサスペンションワイヤーが用いられたが、これに替えて、断面が角形状のサスペンションワイヤーや板ばね等が用いられてもよい。このようにサスペンションワイヤーの断面形状を角形状または平板形状にすると、サスペンションワイヤーの曲がり方向を一方向に制限することができる。これにより、チルト方向におけるミラー19の回動時に、サスペンションワイヤーを同じ方向に一様に湾曲させやすくなる。このため、サスペンションワイヤーに生じる抗力を安定させることができ、よって、ミラー19を安定に駆動することができる。たとえば、サスペンションワイヤー26a~26fを所定の長さ、幅、厚みを有する平板形状の可撓性部材から構成する場合、可撓性部材の幅方向が、図1の左右方向となるように、可撓性部材が配置される。こうすると、チルト方向におけるミラー19の回動時に、サスペンションワイヤーを前後方向に一様に湾曲させ易くなる。加えて、このようにサスペンションワイヤー26a~26fを構成すると、ミラーユニットフレーム11が左右方向に変位しにくくなるため、チルトマグネット23と磁性体40との作用と相俟って、左右方向におけるミラーユニットフレーム11の変位をさらに抑制することができる。なお、このようにサスペンションワイヤー26a~26fの形状を変更する場合、必ずしも全長に亘ってサスペンションワイヤー26a~26fを角形状あるいは平板形状にする必要はなく、たとえば中央部分のみ等、一部の領域において、サスペンションワイヤー26a~26fを角形状あるいは平板形状としても良い。この他、可動部に対して、安定的な抗力を与え、かつ導電性を有する部材であれば、サスペンションワイヤーに替えて、どのような部材を用いてもよい。また、上記実施の形態では、サーボ光を拡散発光するための光源として、拡散タイプ広指向タイプのLED18が用いられたが、拡散タイプでないLEDが用いられるようにしても良い。この場合、拡散タイプでないLEDの光出射側には、光拡散作用を有する拡散レンズが配置されるようにしても良い。また、拡散タイプでないLEDが、光拡散作用を有するキャップにより覆われるようにしても良い。また、上記実施の形態では、ミラー19と一体的に駆動するLED18と、ミラーアクチュエータ1内に配されたピンホール板33と、PSD35によって、ミラー19の回動角度が検出された。しかしながら、これに限らず、ベース500に設置された半導体レーザとPSDによりミラーの回動角度が検出されるようにしても良い。すなわち、かかる半導体レーザから出射されミラー19により反射されたレーザ光が、かかるPSDにて受光されるようにしても良い。または、かかる半導体レーザから出射されミラー19と一体的に駆動する透過板を透過したレーザ光が、かかるPSDにて受光されるようにしても良い。また、上記実施の形態では、サスペンションワイヤー固定基板15に、サスペンションワイヤー26a~26fの端部を固定するようにしたが、サスペンションワイヤー固定基板15を省略し、サスペンションワイヤー26a~26fの端部を、ワイヤー孔11f~11iにのみ固定するようにしても良い。この場合、ミラーユニットフレーム11の底面に、サスペンションワイヤー26a、26b、26d、26eとサスペンションワイヤー16a~16dとを接続するための回路パターンが形成されても良い。さらに、上記実施の形態では、ミラーユニットフレーム11がTilt方向に回動し、このミラーユニットフレーム11に対してミラー19がPan方向に回動するように、ミラーアクチュエータ1が構成されたが、ミラーユニットフレーム11がPan方向に回動し、このミラーユニットフレーム11に対してミラー19がTilt方向に回動するように、ミラーアクチュエータ1が構成されても良い。この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。