基板と、信号線に接続され、前記基板を伝搬する弾性波の伝搬方向に延びている第1信号接続バスバーと、グランドに接続され、前記第1信号接続バスバーと対向する位置に位置した第1接地バスバーと、前記第1信号接続バスバーおよび前記第1接地バスバーからこれらの対向方向に延びている複数の第1電極指とを有し、前記基板の主面に位置した第1IDT電極と、信号線に接続され、前記第1接地バスバーの長手方向に沿って該第1接地バスバーの隣に位置した第2信号接続バスバーと、前記第2信号接続バスバーと対向する位置に位置し、かつ前記第1信号接続バスバーの長手方向に沿って該第1信号接続バスバーの隣に位置した、グランドに接続される第2接地バスバーと、前記第2信号接続バスバーおよび前記第2接地バスバーからこれらの対向方向に延びる複数の第2電極指とを有し、前記基板の主面に位置した第2IDT電極と、前記第1接地バスバーと前記第2信号接続バスバーとの間、および前記第1信号接続バスバーと前記第2接地バスバーとの間の少なくとも一方の間に位置し、前記第1接地バスバー、前記第2信号接続バスバー、前記第1信号接続バスバー、および前記第2接地バスバーのいずれのバスバーとも接続されない、前記基板の主面に位置した浮き部材と、を有する弾性波装置。前記浮き部材は、ダミー電極指をさらに有し、前記第1信号接続バスバーから延びる前記第1電極指の先端と前記第2接地バスバーから延びる前記第2電極指の先端とを結ぶラインと、前記第1接地バスバーおよび前記第2信号接続バスバーとの間の領域を第1領域とし、前記第1接地バスバーから延びる前記第1電極指の先端と前記第2信号接続バスバーから延びる前記第2電極指の先端とを結ぶラインと、前記第1信号接続バスバーおよび前記第2接地バスバーとの間の領域を第2領域としたときに、前記ダミー電極指は、前記第1領域および前記第2領域のいずれかの領域内に位置している請求項1に記載の弾性波装置。前記第1電極指および前記第2電極指の少なくとも一方が2本以上前記浮き部材と対向して位置し、前記浮き部材の前記弾性波の伝搬方向における幅は、前記浮き部材と対向して位置している電極指が位置している領域の幅と同一、もしくはそれ以上である請求項1または2に記載の弾性波装置。前記浮き部材は、前記弾性波の伝搬方向と直交する方向における幅が、その両隣のバスバーの前記直交する方向における幅よりも小さい請求項1~3のいずれか1項に記載の弾性波装置。前記第1接地バスバーと前記第2信号接続バスバーとの間、および前記第1信号接続バスバーと前記第2接地バスバーとの間のそれぞれの間に前記浮き部材を有する請求項1~4のいずれか1項に記載の弾性波装置。前記第1IDT電極、前記第2IDT電極、および前記浮き部材は、同じ金属材料から成る請求項1~5のいずれか1項に記載の弾性波装置。前記第1接地バスバーの長手方向に沿って該第1接地バスバーの前記第2信号接続バスバーが位置する隣とは反対側の隣に位置した、信号線に接続される第3信号接続バスバーと、該第3信号接続バスバーと対向する位置に位置し、かつ前記第1信号接続バスバーの長手方向に沿って該第1信号接続バスバーの前記第2接地バスバーが位置する隣とは反対側の隣に位置した、グランドに接続される第3接地バスバーと、前記第3信号接続バスバーおよび前記第3接地バスバーからこれらの対向方向に延びる複数の第3電極指とを有し、前記基板の主面に位置した第3IDT電極をさらに有し、前記第1信号接続バスバーに接続されている前記信号線には、不平衡信号が流れ、前記第2信号接続バスバーに接続されている前記信号線には、平衡信号の一方の信号が流れ、前記第3信号接続バスバーに接続されている前記信号線には、前記平衡信号の他方の信号が流れ、前記第1接地バスバーと前記第2信号接続バスバーとの間、前記第1接地バスバーと前記第3信号接続バスバーとの間、前記第1信号接続バスバーと前記第2接地バスバーとの間、および前記第1信号接続バスバーと前記第3接地バスバーとの間のうち、前記第1接地バスバーと前記第2信号接続バスバーとの間、および前記第1接地バスバーと前記第3信号接続バスバーとの間においてのみ、いずれのバスバーとも接続されない浮き部材が設けられている請求項1~6のいずれか1項に記載の弾性波装置。以下、本発明の実施形態に係るSAW装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。また、説明の対象となる比較例や実施形態において、既に説明された比較例または実施形態の構成と同一または類似する構成については、既に説明された比較例または実施形態の構成と同一の符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。符号は、同一または類似する構成のものについて、IDT電極11A、IDT電極11Bなどのように、同一の数字の符号と、互いに異なる大文字のアルファベットの付加符号とが組み合わされたものが使用されることがある。また、この場合において、上記の付加符号が省略されることがあるものとする。以下では、IDT電極の数、および、入力-出力の形式不平衡-不平衡型などなどが互いに異なる複数の比較例および実施形態について説明がなされる。説明は、以下の順に行う。13IDT、不平衡-不平衡型11-1第1の実施形態第1の比較例1-2第2の実施形態1-3第3の実施形態23IDT、不平衡-不平衡型22-1第4の実施形態33IDT、不平衡-平衡型13-1第5の実施形態3-2第6の実施形態43IDT、不平衡-平衡型24-1第7の実施形態4-2第8の実施形態57IDT5-1第9の実施形態62段のIDT6-1第10の実施形態なお、例えば、不平衡-平衡型は、SAW装置において、不平衡信号が入力され、平衡信号が出力されることを意味する。不平衡信号は、基準電位に対する電位を信号レベルとする信号である。一方、平衡信号は、2つの信号からなり、2つの信号の電位差を信号レベルとする信号である。<3IDT、不平衡-不平衡型>第1の実施形態図1は、本発明の第1の実施形態に係るSAW装置1を示す平面図である。SAW装置1は、不平衡信号が入力され、その入力された不平衡信号をフィルタリングし、不平衡信号を出力するフィルタ装置として構成されている。その入力から出力までの過程において、SAW装置1は、電気信号のSAWへの変換、およびSAWの電気信号への変換も行う。SAW装置1は、SAWが伝搬する基板3を有している。また、SAW装置1は、基板3の主面3a上において、不平衡信号が入力される入力端子5と、入力された信号をフィルタリングするSAW素子7と、フィルタリングされた不平衡信号を出力する出力端子9とを有している。この他にも、SAW装置1は、SAW素子上に空間を形成しつつSAW素子を覆うカバー等を有するが、図示は省略する。基板3は、圧電効果を示す圧電体によって構成された、いわゆる圧電基板である。圧電体は、例えばLiNbO3やLiTaO3である。なお、基板3の平面形状は適宜に設定されてよい。SAWは、SAW素子7に励起されて主面3aを矢印で示す伝搬方向D1において伝搬する。なお、以下では、主面3aに沿う方向であって伝搬方向D1に直交する方向を直交方向D2ということがある。入力端子5は、主面3aに1つのみ設けられている。入力端子5には、不平衡信号が入力される。SAW素子7は、縦結合ダブルモード型の共振子SAWフィルタによって構成されている。具体的には、SAW素子7は、伝搬方向D1に配列された複数のIDT電極11と、これら複数のIDT電極11の列の両端に配置された反射器13とを有している。IDT電極11の数は、本実施形態では3個である。各IDT電極11は、1対の櫛歯状電極15を有している。櫛歯状電極15は、伝搬方向D1に延びるバスバー17と、バスバー17から直交方向D2に延びる複数の電極指19と、複数の電極指19間においてバスバー17から直交方向D2に突出するダミー電極指21とを有している。なお、図1は模式図であることから、電極指19の数を実際よりも少なくして示している。1対の櫛歯状電極15は、互いのバスバー17が直交方向D2において対向し、複数の電極指19が互いに噛み合う交差するように配置されている。その交差する範囲Rの幅交差幅Wは例えば一定である。ダミー電極指21の先端は、ダミー電極指21が設けられたバスバー17と対向するバスバー17からダミー電極指21側へ延びる電極指19の先端と所定の間隔で対向している。換言すれば、ダミー電極指21は、範囲Rに向かって範囲Rの手前位置まで延びている。各IDT電極11において、互いに対向する櫛歯状電極15バスバー17の一方は、信号線に接続され、互いに対向する櫛歯状電極15バスバー17の他方はグランドに接続されている。なお、広義には、基準電位が付与されるグランドに接続される配線も信号線であるが、本実施形態において、信号線に接続されているとは、基準電位に対して電位が変動する信号が流れる点に接続されていることをいうものとする。また、基準電位は、0Vとは限らない。以下では、信号線に接続された櫛歯状電極、バスバー、電極指、ダミー電極の符号には、Sの付加符号を付すことがあり、また、信号接続バスバーと呼ぶなど、信号接続の文字を名称の頭に付すことがあるものとする。また、グランドに接続された櫛歯状電極、バスバー、電極指、ダミー電極の符号には、Gの付加符号を付すことがあり、また、接地バスバーと呼ぶなど、接地の文字を名称の頭に付すことがあるものとする。図1では、ハッチングの有無によって、このような接続の相違を表している。すなわち、ハッチングが付されていない櫛歯状電極15は、信号線に接続されたものであり、ハッチングが付されている櫛歯状電極15は、グランドに接続されたものである。複数のIDT電極11のうち、中央に配置されたIDT電極11Bにおいては、信号接続バスバー17Sが入力端子5側に、接地バスバー17Gが出力端子9側に配置されている。また、IDT電極11Bの信号接続バスバー17Sは、入力側信号線6を介して入力端子5に接続されている。IDT電極11Bの両側に配置されたIDT電極11Aおよび11Cにおいては、信号接続バスバー17Sが出力端子9側に配置され、接地バスバー17Gが入力端子5側に配置されている。IDT電極11Aおよび11Cの信号接続バスバー17Sは、出力側信号線8を介して出力端子9に接続されている。入力端子5からの不平衡信号sがIDT電極11Bによって基板3に印加されると、不平衡信号sがSAWに変換され、伝搬方向D1において伝搬する。IDT電極11Aおよび11Cは、そのSAWを電気信号に変換して出力端子9へ出力する。この過程において、隣接する電極指の中心間距離を概ね半波長とする信号が抽出されることによって、フィルタリングが行われる。複数の電極指の中心間距離は、信号の概ね半波長であるから、隣接する電極指19同士は、位相が互いに180°異なる逆相信号に対応することになる。ここで、IDT電極11Bの複数の信号接続電極指19Sと、IDT電極11Aの信号接続電極指19Sとの間に配置された、接地電極指19Gの数は2偶数である。従って、IDT電極11Aの信号接続バスバー17Sは、IDT電極11Bの信号接続バスバー17Sに入力された信号とは位相が180°異なる信号を出力する。換言すれば、IDT電極11Aは、不平衡信号sの位相を反転した反転信号s1を出力する。同様に、IDT電極11Bの複数の信号接続電極指19Sと、IDT電極11Cの信号接続電極指19Sとの間に配置された、接地電極指19Gの数は2偶数である。従って、IDT電極11Cの信号接続バスバー17Sは反転信号s1を出力する。そして、IDT電極11Aからの反転信号s1と、IDT電極11Cからの反転信号s1とは足し合わされて、不平衡信号として出力端子9から出力される。IDT電極11Bの接地バスバー17Gと、IDT電極11Aおよび11Cとの間には、浮き部材23が設けられている。浮き部材23は、信号線入力端子5、出力端子9およびグランドのいずれにも接続されておらず、電気的に浮遊した状態となっている。浮き部材23は、電気的に浮遊した状態となっていれば、平面形状については特に限定されず、矩形状、台形状、円形状、これらを組み合わせたものなど任意の形状が可能である。なお、本実施形態では浮き部材23の平面形状は矩形状である。また、浮き部材23は、直交方向D2における幅が隣接するバスバーの直交方向D2における幅と同じであり、直交方向D2における浮き部材23の両端部は、隣接するバスバーの直交方向D2における両端部の位置と揃っている。このように浮き部材23の直交方向D2における幅を隣接するバスバーの直交方向D2における幅と同じにし、その両端部を隣接するバスバーの直交方向D2における両端部の位置と揃えた配置としておくことによって、隣接するバスバー間の領域において、SAWが伝搬する媒体の不連続性が浮き部材23により緩和されるため、フィルタの損失特性の劣化を抑えることができる。同様に、SAWが伝搬する媒体の不連続性を緩和する観点から、浮き部材23と隣接するバスバーとの間隔は、SAWの波長より小さくしておくことが好ましく、より好ましくはSAWの半波長以下である。さらには、浮き部材23の厚みを隣接するバスバーの厚みと同じにしておくことによっても、SAWが伝搬する媒体の不連続性を緩和することができると考えられる。また、浮き部材23には、ダミー電極指25が接続されている。ダミー電極指25は、浮き部材23から直交方向D2に沿って範囲R側に延びている。ダミー電極指25の先端は、浮き部材23が対向するバスバー17から浮き部材23側へ延びる電極指19の先端と所定の間隔で対向している。浮き部材23のダミー電極指25は所定の領域内に位置している。具体的には、IDT電極11Bの信号接続バスバー17Sから延びる電極指19Sの先端とIDT電極11Aの接地バスバー17Gから延びる電極指19Gの先端とを結ぶラインと、IDT電極11Bの接地バスバー17GおよびIDT電極11Aの信号接続バスバー17Sとの間の第1領域内範囲RとIDT電極11Bの接地バスバー17GおよびIDT電極11Aの信号接続バスバー17Sとの間の領域内に浮き部材23のダミー電極指25が位置している。すなわち、ダミー電極指25は、範囲Rの手前の位置まで延びている。なお、浮き部材23がIDT電極11Bの信号接続バスバー17SとIDT電極11Aの接地バスバー17Gとの間に設けられている場合には、その浮き部材23に設けられるダミー電極指25は、範囲RとIDT電極11Bの信号接続バスバー17SおよびIDT電極11Aの接地バスバー17Gとの間の領域である第2領域内に位置している。浮き部材23の幅伝搬方向D1の大きさは、例えば、電極指19等の各種電極指の幅と概ね同等である。なお、浮き部材23の幅とダミー電極指25の幅とが同等であっても、浮き部材23に隣接するバスバーIDT電極11Bの接地バスバー17GおよびIDT電極11Aおよび11Cの信号接続バスバー17Sよりも、浮き部材23と対向するバスバーIDT電極11Bの信号接続バスバー17SおよびIDT電極11Aおよび11Cの接地バスバー17G側に突出する部分をダミー電極指25として特定可能である。以上の第1の実施形態のSAW装置1の作用を説明する。図2は、第1の比較例に係るSAW装置40を示す平面図である。なお、以降の比較例および実施形態の図においては、基板3の図示は省略するものとする。SAW装置40は、浮き部材23を有しておらず、中央のIDT電極41Bの接地バスバー17Gと、その両側のIDT電極41Aおよび41Cの信号接続バスバー17Sとは互いに隣接している。ここで、複数の電極指19は、フィルタ特性向上の観点から、各IDT電極の伝搬方向D1の端部IDT電極間となる領域において、ピッチIDT電極間のピッチ含むが狭くなるように配置されることがある。この場合、信号接続バスバー17Sと接地バスバー17Gとの間も狭くなる。また、バスバー17は、電極指19よりも面積が広く、電流が流れやすい。従って、第1の比較例のSAW装置40においては、接地バスバー17Gと信号接続バスバー17Sとの間において、ESDが生じやすくなっている。なお、入力側におけるバスバー17間と、出力側におけるバスバー17間との、いずれのバスバー17間においてESDが生じやすいかは、入出力の形式、各IDT電極の構成、複数のIDT電極の配置など、種々の要因によって異なる。第1の比較例では、出力側のバスバー17間IDT電極41Bの接地バスバー17Gと、IDT電極41Aおよび41Cの信号接続バスバー17Sとの間においてESDが生じやすい場合を想定している。一方、第1の実施形態では、IDT電極11Bの接地バスバー17Gと、IDT電極11Aおよび11Cの信号接続バスバー17Sとの間には、浮き部材23が配置されている。そして、IDT電極11Bの接地バスバー17Gと、IDT電極11Aおよび11Cの信号接続バスバー17Sとの間の距離d1は、第1の比較例におけるIDT電極41Bの接地バスバー17Gと、IDT電極41Aおよび41Cの信号接続バスバー17Sとの距離d2よりも大きくなっている。従って、第1の実施形態によれば、IDT電極11Bの接地バスバー17Gと、IDT電極11Aおよび11Cの信号接続バスバー17Sとの間においてESDが生じることを抑制できる。ESDが最も生じやすい箇所においてESDを抑制することによって、SAW装置1全体としてのESD耐性が向上することになる。さらに、接地バスバー17Gと信号接続バスバー17Sとの間のスペースに浮き部材23が配置されることによって、接地バスバー17Gと信号接続バスバー17Sとの間のスペースの多くが浮き部材23で覆われることになる。隣接するバスバー間に電極が形成されていない大きな空きスペースがある場合、バスバー上を伝搬するSAWの分布が不連続となりSAWの分布が不安定となるが、接地バスバー17Gと信号接続バスバー17Sとの間のスペースに浮き部材23を配置することによってバスバー上を伝搬するSAWの分布の連続性が保持され、SAWの漏れを抑制し、挿入損失を小さくすることができる。浮き部材23の材料としては、例えば、Al、Al-Cu合金、Cu、またはAuなどの金属材料、Ta2O5、TaSi2などの絶縁材料を用いることができるが、SAW装置の製造プロセスの効率化および挿入損失特性を考慮すると、IDT電極と同一材料によって形成することが好ましい。なお、浮き部材23を設ける代わりに、IDT電極11Aおよび11Cの、IDT電極11B側の端部の接地電極指19Gを、IDT電極11Bの接地バスバー17Gと、IDT電極11Aおよび11Cの信号接続バスバー17Sとの間まで延長させることが考えられる。しかし、この場合、延長部分においても励振が行われるから、本実施形態よりもSAWの漏れが多くなる。また、浮き部材23においても、接地バスバー17Gおよび信号接続バスバー17Sと同様にダミー電極指25が設けられていることによって、SAWの漏れを一層抑制することができる。第2の実施形態図3は、本発明の第2の実施形態に係るSAW装置60を示す平面図である。SAW装置60は、第1の実施形態のSAW装置1と同様に、中央のIDT電極61Bの複数の信号接続電極指19Sと、隣接するIDT電極61Aまたは61Cの複数の信号接続電極指19Sとの間の接地電極指19Gの数が2本偶数となっている。ただし、2本の接地電極指19Gは、いずれも、IDT電極61Aまたは61Cの接地バスバー17Gから延びている。そして、浮き部材73は、伝搬方向D1において、その2本の接地電極指19Gの配置範囲に亘って形成されている。また、浮き部材73に接続されたダミー電極指25は、上記の2本の接地電極指19Gに対応して2本設けられている。第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、浮き部材23が設けられることによって、装置の大型化を抑制しつつ、ESD耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制することができる。さらに、第2の実施形態では、浮き部材73は、伝搬方向D1において電極指19の2本分に亘る長さを有していることから、信号接続バスバー17Sと接地バスバー17Gとの距離がより長くなり、ESD耐性の向上がさらに期待される。第3の実施形態図4は、本発明の第3の実施形態に係るSAW装置90を示す平面図である。SAW装置90は、浮き部材23が、出力側だけでなく、入力側にも設けられている。また、別の観点では、浮き部材23が、直交方向D2の両側に設けられている。具体的には、以下のとおりである。中央のIDT電極91Bと、隣接するIDT電極91Aまたは91Cとの間の接地電極指19Gの構成は、第1の実施形態と同様である。すなわち、当該IDT電極間の接地電極指19Gの数は、2本偶数であり、また、2本の接地電極指19Gの一方は、IDT電極91Bの接地バスバー17Gから延び、他方は、IDT電極91Aまたは91Cの接地バスバー17Gから延びている。そして、浮き部材23は、IDT電極91Bの接地バスバー17Gと、IDT電極91Aおよび91Cの信号接続バスバー17Sとの間に設けられている。また、浮き部材23は、IDT電極91Bの信号接続バスバー17Sと、IDT電極91Aおよび91Cの接地バスバー17Gとの間においても設けられている。第3の実施形態によれば、他の実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、浮き部材23が設けられることによって、装置の大型化を抑制しつつ、ESD耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制することができる。さらに、第3の実施形態では、浮き部材73は、入力側と出力側との双方に設けられていることから、入力側と出力側との双方においてESDに対する耐性を向上させることができる。このような態様は、入力側と出力側とでESDの生じやすさにあまり差がない場合などに有効である。<3IDT、不平衡-不平衡型2>第4の実施形態図5は、本発明の第4の実施形態に係るSAW装置120を示す平面図である。SAW装置120は、第1~3の実施形態と同様に、不平衡信号を出力する。ただし、SAW装置120は、第1~第3の実施形態と電極指19の配置が異なり、入力された不平衡信号sの位相を反転していない不平衡信号s0を出力する。また、SAW装置120は、浮き部材73が1本の接地電極指19Gおよび1本の信号接続電極指19Sの配置範囲に亘って形成されている点も第1~第3の実施形態と相違する。具体的には、以下のとおりである。SAW装置120では、中央のIDT電極121Bの複数の信号接続電極指19Sと、隣接するIDT電極121Aの複数の信号接続電極指19Sとの間の接地電極指19Gの数が1奇数となっている。従って、IDT電極121Aの信号接続バスバー17Sは、IDT電極121Bの信号接続バスバー17Sに入力された信号と同位相の信号を出力する。換言すれば、IDT電極121Aは、不平衡信号sの位相を反転していない非反転信号s0を出力する。同様に、IDT電極121Bの複数の信号接続電極指19Sと、IDT電極121Cの信号接続電極指19Sとの間に配置された、接地電極指19Gの数は1奇数である。従って、IDT電極121Cの信号接続バスバー17Sは非反転信号s0を出力する。そして、IDT電極121Aからの非反転信号s0と、IDT電極112Cからの非反転信号s0とは足し合わされて、不平衡信号として出力端子9から出力される。上記の1本の接地電極指19Gは、IDT電極121AまたはIDT電極121Cの接地バスバー17Gから延びている。一方、その接地バスバー17Gに隣接するIDT電極121Bの信号接続バスバー17Sからは、上記の1本の接地電極指19Gに隣接して、信号接続電極指19Sが延びている。そして、浮き部材73は、伝搬方向D1において、上記の1本の接地電極指19Gと、当該1本の接地電極指19Gに隣接するとともに同一方向に延びる信号接続電極指19Sとの配置範囲に亘って形成されている。第4の実施形態によれば、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ESD耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が得られる。また、第2の実施形態と同様に、電極指19の2本分に亘って形成された浮き部材73によって、より効果的なESD耐性の向上が期待される。ただし、第2の実施形態と第4の実施形態とを比較すると、帯域外の減衰は、第2の実施形態のほうがよい。互いに隣接するIDT電極間において配置される接地電極指19Gの数が多いほうが、両電極間に不要な容量が発生しないことからである。<3IDT、不平衡-平衡型1>第5の実施形態図6は、本発明の第5の実施形態に係るSAW装置150を示す平面図である。SAW装置150は、入力された不平衡信号sをフィルタリングするとともに、不平衡-平衡の変換を行い、平衡信号を出力する。具体的には、以下のとおりである。SAW装置150では、中央のIDT電極151Bの複数の信号接続電極指19Sと、隣接するIDT電極151Aの複数の信号接続電極指19Sとの間の接地電極指19Gの数が1奇数となっている。従って、IDT電極151Aの信号接続バスバー17Sは、IDT電極151Bの信号接続バスバー17Sに入力された信号と同位相の信号を出力する。換言すれば、IDT電極151Aは、不平衡信号sの位相を反転していない非反転信号s0を出力する。一方、中央のIDT電極151Bの複数の信号接続電極指19Sと、隣接するIDT電極151Cの複数の信号接続電極指19Sとの間の接地電極指19Gの数は、2偶数となっている。従って、IDT電極151Cの信号接続バスバー17Sは、IDT電極151Bの信号接続バスバー17Sに入力された信号と位相が180°異なる信号を出力する。換言すれば、IDT電極151Cは、不平衡信号sの位相を反転した反転信号s1を出力する。そして、IDT電極151Aからの非反転信号s0は、出力端子29Aから出力される。また、IDT電極151Cからの反転信号s1は、出力端子29Bから出力される。これによって、出力端子29Aおよび出力端子29Bからなる平衡出力端子30においては、平衡信号が出力される。第5の実施形態においても、他の実施形態と同様に、IDT電極151Bの接地バスバー17Gと、IDT電極151Aおよび151Cの信号接続バスバー17Sとの間には、浮き部材23が設けられている。従って、第5の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ESD耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。第5の実施形態においては、IDT電極151Bの信号接続バスバー17Sと、IDT電極151Aおよび151Cの接地バスバー17Gとの間よりも、IDT電極151Bの接地バスバー17Gと、IDT電極151Aおよび151Cの信号接続バスバー17Sとの間においてESDが生じやすい。これは、入力端子5から静電気が流れ込んだ場合には、電流はIDT電極151Bの信号接続バスバー17Sの両端に逃げるのに対し、出力端子29Aまたは29Bから静電気が流れ込んだ場合には、電流はIDT電極151Aまたは151Cの一方端IDT電極151Bの接地バスバー17G側に集中して逃げやすいためである。なお、通常、反射器13とIDT電極151Aの信号接続バスバー17Sとの間隔よりも、IDT電極151Aのバスバー17SとIDT電極151Bの接地バスバー17Gの間隔の方が狭い。反射器13とIDT電極151Cの信号接続バスバー17Sとの間隔についても同様である。そして、第5の実施形態においては、そのESDが生じやすい、IDT電極151Bの接地バスバー17Gと、IDT電極151Aおよび151Cの信号接続バスバー17Sと間においてのみ浮き部材23を設けていることから、SAWの漏れを最小限に抑えつつ、ESDを効果的に抑制できる。また、第3の実施形態のように浮き部材23を入力側と出力側との双方に設ける場合に比較して、浮き部材23を伝搬方向D1において大きくしやすい。なお、出力側信号線8の途中にSAW共振子を配置してもよく、その場合は、IDT電極151Bの信号接続バスバー17SとIDT電極151Aおよび151Cの接地バスバー17Gとの間に、浮き部材23を設けてもよい。第6の実施形態図7は、本発明の第6の実施形態に係るSAW装置180を示す平面図である。SAW装置180においては、伝搬方向D1において1本の電極指19の配置範囲に亘って設けられた浮き部材23と、伝搬方向D1において2本の電極指19の配置範囲に亘って設けられた浮き部材73とが混在している。なお、IDT電極181BとIDT電極181Cとの間における浮き部材23の配置については、第5の実施形態図6と同様である。IDT電極181BとIDT電極181Aとの間における浮き部材73の配置については、第4の実施形態図5と同様である。第6の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ESD耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。<3IDT、不平衡-平衡型2>第7の実施形態図8は、本発明の第7の実施形態に係るSAW装置210を示す平面図である。SAW装置210は、1つのIDT電極211Bから平衡信号s0、s1が出力されるように構成されている。ただし、IDT電極211Bは、2つのIDT電極として概念化することも可能である。SAW装置210の構成は、具体的には、以下のとおりである。SAW装置210は、伝搬方向D1に配列された複数のIDT電極211を有している。複数のIDT電極211の数は、本実施形態では3個である。両側のIDT電極211Aおよび211Cは、他の実施形態と同様に、互いに概ね同等の大きさを有する一対の櫛歯状電極15を有している。中央のIDT電極211Bは、共通櫛歯状電極215Gと、分割櫛歯状電極215Saおよび215Sbとを有している。分割櫛歯状電極215Saおよび215Sbは、伝搬方向D1における大きさが概ね共通櫛歯状電極215Gの伝搬方向D1における大きさの半分となっている。そして、分割櫛歯状電極215Saおよび215Sbは、それぞれ共通櫛歯状電極215Gと電極指19が噛み合うように配置されている。IDT電極211Aおよび211Cの信号接続櫛歯状電極15Sは、共に入力端子5に接続されており、不平衡信号sが入力される電極となっている。一方、信号接続櫛歯状電極である分割櫛歯状電極215Saおよび215Sbは、それぞれ、別個の出力端子29に接続され、平衡出力端子30に平衡信号を出力する電極となっている。本実施形態においても、信号が入力される複数の信号接続電極指19Sと、信号を出力する複数の信号接続電極指19Sとの間に配置された、接地電極指19Gの数が奇数または偶数に設定されることによって、位相の非反転または反転が実現される。具体的には、IDT電極221Aの信号接続電極指19Sと、分割櫛歯状電極215Saの信号接続電極指19Sとの間の接地電極指19Gの間の本数は、1本奇数となっている。IDT電極221Cの信号接続電極指19Sと、分割櫛歯状電極215Sbの信号接続電極指19Sとの間の接地電極指19Gの間の本数は、0本偶数となっている。従って、分割櫛歯状電極215Saは非反転信号s0を出力し、分割櫛歯状電極215Sbは反転信号s1を出力する。すなわち、IDT電極211Bからは平衡信号が出力される。なお、分割櫛歯状電極215Saと、分割櫛歯状電極215Sbとの間においては、接地電極指19Gの数は、0偶数に設定されており、SAWが互いに打ち消し合わないようになっている。SAW装置210においても、他の実施形態と同様に、浮き部材23が設けられている。具体的には、分割櫛歯状電極215Saの信号接続バスバー17SとIDT電極211Aの接地バスバー17Gとの間には、1本の接地電極指19Gの配置範囲に対応する浮き部材23が設けられている。分割櫛歯状電極215Sbの信号接続バスバー17SとIDT電極211Cの接地バスバー17Gとの間には、1本の信号接続電極指19Sの配置範囲に対応する浮き部材23が設けられている。第7の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ESD耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。また、第7の実施形態は、第7の実施形態と同様に不平衡-平衡変換を行う第5および第6の実施形態と比較すると、出力される平衡信号のバランス度がよい。これは、第7の実施形態においては、平衡出力端子30に接続される櫛歯状電極215Saおよび215Sbと噛み合う櫛歯状電極215Gが共通化されており、電位が安定していることからである。第8の実施形態図9は、本発明の第8の実施形態に係るSAW装置240を示す平面図である。SAW装置240は、第7の実施形態図8と同様に、分割櫛歯状電極215Saおよび215Sbを有している。また、SAW装置240では、第6の実施形態図7と同様に、伝搬方向D1において1本の電極指19の配置範囲に亘る浮き部材23と、伝搬方向D1において2本の電極指19の配置範囲に亘る浮き部材73とが混在している。第8の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、耐電力性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。<7IDT>第9の実施形態図10は、本発明の第9の実施形態に係るSAW装置270を示す平面図である。既に説明されたSAW装置が3つのIDT電極を有していたのに対し、SAW装置270は、7つのIDT電極271を有している。また、SAW装置270は、第5~第8の実施形態と同様に、不平衡信号が入力され、平衡信号を出力するように構成されている。具体的には、以下のとおりである。入力端子5は、7つのIDT電極271のうち、1つ置きに配置された、IDT電極271B、271Dおよび271Fに接続されている。これら3つのIDT電極271の非配置位置に1つ置きに配置された、IDT電極271A、271C、271Eおよび271Gは、平衡出力端子30に接続されている。また、7つのIDT電極271の各電極間における接地電極指19Gの数は、IDT電極271A側から順に、2偶数、2偶数、2偶数、3奇数、3奇数、3奇数となっている。従って、不平衡信号sが入力されるIDT電極271Bおよび271Dに対して、偶数本の接地電極指19Gを介在させて隣接するIDT電極271Aおよび271Cは、反転信号s1を出力する。一方、不平衡信号sが入力されるIDT電極271Dおよび271Fに対して、奇数本の接地電極指19Gを介在させて隣接するIDT電極271Eおよび271Gは、非反転信号s0を出力する。第9の実施形態においても、他の実施形態と同様に、接地バスバー17Gと、信号接続バスバー17Sとの間には、浮き部材73が設けられている。従って、第9の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ESD耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。<2段のIDT>第10の実施形態図11は、本発明の第10の実施形態に係るSAW装置300を示す平面図である。SAW装置300は、縦接続された2段のSAW素子307を有している。また、SAW装置300は、不平衡信号が入力され、平衡信号を出力するように構成されている。具体的には、以下のとおりである。SAW装置300は、入力端子5に接続された第1段のSAW素子307Aと、第1段のSAW素子307に接続されるとともに平衡出力端子30に接続された第2段のSAW素子307Bとを有している。第1段のSAW素子307Aは、第5および第6の実施形態図6、図7と同様に、入力された不平衡信号sを平衡信号s0、s1に変換して出力する3つのIDT電極311を有している。各IDT電極311は、伝搬方向D1における大きさが概ね同等の一対の櫛歯状電極15を有している。第1段のSAW素子307Aにおいて、中央のIDT電極311Bは、入力端子5に接続されている。IDT電極311Bの両側のIDT電極311Aおよび311Cは、第2段のSAW素子307Bに接続されている。また、第1段のSAW素子307Aの各IDT電極311間における接地電極指19Gの数は、IDT電極311A側から順に、1奇数、2偶数となっている。従って、不平衡信号sが入力されるIDT電極311Bに対して、奇数本の接地電極指19Gを介在させて隣接するIDT電極311Aは、非反転信号s0を出力する。一方、IDT電極311Bに対して、偶数本の接地電極指19Gを介在させて隣接するIDT電極311Cは、反転信号s1を出力する。第2段のSAW素子307Bは、第7および第8の実施形態図8、図9と同様に、分割櫛歯状電極215Saおよび215Sbを有するIDT電極312Bを含む3つのIDT電極312を有している。第2段のSAW素子307Bにおいて、両側のIDT電極312Aおよび312Cは、それぞれ、中間信号線310を介して、第1段のSAW素子307AのIDT電極311Aおよび311Bに接続されている。分割櫛歯状電極215Saおよび215Sbは、それぞれ、出力端子29Aおよび29Bに接続されている。IDT電極312Aの信号接続電極指19Sと、分割櫛歯状電極215Saの信号接続電極指19Sとの間の接地電極指19Gの間の本数は、1本奇数となっている。IDT電極312Cの信号接続電極指19Sと、分割櫛歯状電極215Sbの信号接続電極指19Sとの間の接地電極指19Gの間の本数は、1本奇数となっている。従って、非反転信号s0が入力されるIDT電極312Aに隣接する分割櫛歯状電極215Saは、非反転信号s0を出力する。また、反転信号s1が入力されるIDT電極312Cに隣接する分割櫛歯状電極215Sbは、反転信号s1を出力する。従って、平衡出力端子30からは平衡信号s0、s1が出力される。なお、分割櫛歯状電極215Saと、分割櫛歯状電極215Sbとの間においては、接地電極指19Gの数は、0偶数に設定されており、SAWが互いに打ち消し合わないようになっている。第10の実施形態においても、他の実施形態と同様に、接地バスバー17Gと、信号接続バスバー17Sとの間には、浮き部材73が設けられている。従って、第9の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ESD耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。浮き部材73は、第1段のSAW素子307Aにおいては入力側に設けられ、第2段のSAW素子307Bにおいては出力側に設けられている。すなわち、第1段のSAW素子307Aにおいては、浮き部材73は、入力端子5に接続されたIDT電極311Bの信号接続バスバー17Sと、IDT電極311Bに隣接するIDT電極311Aおよび311Cの接地バスバー17Gとの間に設けられている。第2段のSAW素子307Bにおいては、浮き部材73は、出力端子29に接続されたIDT電極312Bの信号接続バスバー17Sと、IDT電極312Bに隣接するIDT電極312Aおよび311Cの接地バスバー17Gとの間に設けられている。一方、ESDは、端子を介してSAW素子307に流れ込む電流によって生じることが多い。第1段のSAW素子307Aにおいては、出力端子29との間には第2段のSAW素子307Bが介在することから、入力端子5側からの電流によってESDが生じやすい。第2段のSAW素子307Bにおいては、入力端子5との間には第1段のSAW素子307Aが介在することから、出力端子29側からの電流によってESDが生じやすい。そして、ESDが生じやすい側に浮き部材73を設けることによって、効果的にESD耐性を向上させることができる。<浮き部材の形状の変形例>第1変形例図12aは、浮き部材73の形状の第1変形例を示す平面図である。第1変形例において、バスバー17は、電極指19とは反対側の伝搬方向D1に延びる辺が、電極指19側の伝搬方向D1に延びる辺よりも短くなっており、概ね、台形状に形成されている。そして、伝搬方向D1において配列された信号接続バスバー17Sと接地バスバー17Gとの距離は、概ね、電極指19とは反対側になるほど、長くなっている。より具体的には、当該距離は、電極指19側においては一定であり、途中から、電極指19とは反対側になるほど、長くなっている。このようにバスバー17が形成されているのは、SAWの漏れを抑制しつつ、寄生容量を少なくして減衰特性をよくするためである。浮き部材73は、直交方向D2における大きさが、バスバー17の直交方向D2における大きさよりも小さくなるように形成され、電極指19側の端部の直交方向D2における位置は、バスバー17の電極指19側の辺の直交方向D2における位置と一致している。より具体的には、バスバー17は、互いに隣接する信号接続バスバー17Sと接地バスバー17Gとの距離伝搬方向D1が一定となっている範囲に亘って設けられている。第1変形例によれば、比較的簡素な形状の浮き部材によって、効果的にSAWの漏れを抑制することができる。第2変形例図12bは、浮き部材73の形状の第2変形例を示す平面図である。第2変形例においては、浮き部材73は、直交方向D2における大きさが、バスバー17の直交方向D2における大きさと同等となるように形成されている。また、浮き部材73は、伝搬方向D1において配列された信号接続バスバー17Sと接地バスバー17Gとの間のスペースが、電極指19とは反対側ほど広くなることに応じて、電極指19とは反対側が広くなるように形成されている。なお、以上の実施形態において、IDT電極11Bの電極指19は本発明の第1電極指の一例であり、IDT電極11Aの電極指19は本発明の第2電極指の一例であり、IDT電極11Cの電極指19は本発明の第3電極指の一例である。<実施例>実施例1実施形態に係るSAW装置を製作し、ESD耐性を調べる実験を行った。具体的には、第9の実施形態図10のSAW装置270について寸法や材料を具体的に設定した実施例1のSAW装置を製作し、実験を行った。また、図13に示す第2比較例のSAW装置340について寸法や材料を具体的に設定した比較例1に係るSAW装置を製作して、同様の実験を行った。なお、第2比較例のSAW装置340は、IDT電極341間において、浮き部材73が設けられておらず、信号接続バスバー17Sと接地バスバー17Gとは隣接している。その他の構成については、第2比較例のSAW装置340は、第9の実施形態のSAW装置270と同様である。材料、寸法等圧電基板:42°YカットX伝搬LiTaO3各種電極:膜厚80ÅのTi層の上に膜厚1570ÅのAl-Cu層を形成した2層構造電極試験方法実施例1および比較例1のSAW装置について、それぞれ16個の試験サンプルを準備し、ESD試験を行った。試験環境環境温度23°C、湿度40ESD試験モデルMachinemodelMM:機械帯電モデル、規格EIAJを採用した。当該試験では、200pFのコンデンサを充電し、充電後、そのコンデンサと試験サンプルとを接続し、静電気放電を発生させる。この条件のもと、出力端子29Bと接地電極の間に電圧Vを印可し、IDT電極の電極指が破壊に至るまでの試験サンプルのESDの耐性を評価する。破壊されたときの電圧値Vをヒストグラムで比較した。評価方法電極指の破壊の判定は、フィルタの透過量の変化をモニタリングし、0.3dBの損失が発生したか否かによって行った。試験結果図14aに比較例1における破壊時の電圧値Vのヒストグラムを示す。図14bに実施例1における破壊時の電圧値Vのヒストグラムを示す。図14aおよび図14bにおいて、横軸は電圧値V、縦軸はサンプル数である。実施例1のSAW装置は、平均441Vの電圧値で電極指が破壊に至ったのに対して、比較例1のSAWフィルタは、平均413Vであった。この結果から、実施例1の構成でESDの耐性を向上することが確認できた。また、バラつきσについても、実施例1のSAWフィルタは46Vであるのに対して、比較例のSAWフィルタは50Vであり、実施例1の構成でESDの耐性のバラつきを低減させることが確認できた。実施例2実施形態に係るSAW装置を製作し、透過特性を調べる実験を行った。具体的には、第9の実施形態図10のSAW装置270について寸法や材料を具体的に設定した実施例2のSAW装置を製作し、当該SAW装置をデュプレクサのRxフィルタとして使用して、実験を行った。また、実施例2第9の実施形態のSAW装置270から浮き部材73および当該浮き部材73から延びるダミー電極指を無くした比較例2に係るSAW装置を製作して、同様の実験を行った。浮き部材73は、図12bに示す形状のものとした。材料、寸法等圧電基板:42°YカットX伝搬LiTaO3各種電極および浮き部材:膜厚80ÅのTi層の上に膜厚1570ÅのAl-Cu層を形成した2層構造浮き部材と隣接するバスバーとの間隔:0.56μmIDT電極の電極指の本数:伝搬方向D1の端部側のIDT電極から順に、32本、45本、58本、45本、58本、48本、33本反射器の電極指の本数:100本、100本隣接する電極指の中心間距離の平均値:0.925μm電極指の伝搬方向D1の幅:0.53μm交差幅W、図1参照:62μm通過帯域:2110MHz~2170MHzUMTSBand1実施例2もしくは比較例2のSAW装置によって構成されたRxフィルタを含む素子を高温焼成セラミック基板HTCC基板に実装し、デュプレクサを作製した。当該デュプレクサを評価ボードに実装して、ネットワークアナライザーによってアンテナ端子入力端子5と出力端子29との間の透過特性を測定した。試験結果図15に試験結果を示す。図15において、横軸は周波数MHz、縦軸は透過特性dBを示している。線L1で示した範囲は、通過帯域2110MHz~2170MHzを示している。図15において、実線で示された実施例2の透過特性は、点線で示された比較例2の透過特性に比較して、改善されている。以上のとおり、浮き部材が設けられることによって、透過特性が改善されることが確認された。本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。弾性波装置は、狭義のSAW装置に限定されない。例えば、弾性波装置は、弾性境界波装置広義のSAW装置に含まれる。であってもよい。換言すれば、弾性波は、圧電基板の表面を伝搬する狭義のSAWに限定されず、圧電基板と当該圧電基板を覆う媒体層との境界を伝搬する弾性境界波広義のSAWに含まれるであってもよい。IDT電極の数、入出力の形式、IDT電極間の接地電極指の数、浮き部材が設けられる位置入力側、出力側、浮き部材に対向する電極指の数、浮き部材に対向する電極指の種類信号接続、接地等の組み合わせは、実施形態において例示した組み合わせ以外にも種々可能であり、適宜に設定されてよい。本発明は、直列分割型のIDT電極を有する弾性波装置に適用されてもよい。また、交差幅が弾性波の伝搬方向において変化する弾性波装置に適用されてもよい。