内燃機関から排出された排気ガスの流路である排気通路に配置された空燃比センサの異常を診断する、空燃比センサ異常診断装置であって、前記空燃比センサに供給される排気ガスの空燃比を強制的に理論空燃比よりもリーン側とリッチ側との間で交互に変化させる、アクティブ空燃比制御手段と、前記空燃比センサの出力に基づいて取得された、前記アクティブ空燃比制御手段により空燃比を変化させたときの前記空燃比センサの応答性に対応するパラメータである応答パラメータに基づいて、前記空燃比センサの異常の有無を判定する、異常判定手段と、を備え、前記アクティブ空燃比制御手段は、強制的に空燃比を前記リーン側及び前記リッチ側のうちの一方に変化させた直後の第一の時刻における空燃比の理論空燃比との偏差が、前記第一の時刻の後であって次回前記リーン側及び前記リッチ側のうちの前記一方とは異なる他方に変化させる前の第二の時刻における空燃比の理論空燃比との偏差よりも大きくなるように、排気ガスの空燃比を制御することを特徴とする、空燃比センサ異常診断装置。請求項1に記載の、空燃比センサ異常診断装置であって、前記アクティブ空燃比制御手段は、排気ガスの流量が所定量以下である場合に、前記第一の時刻における空燃比の理論空燃比との偏差が前記第二の時刻における空燃比の理論空燃比との偏差よりも大きくなるように、排気ガスの空燃比を制御することを特徴とする、空燃比センサ異常診断装置。請求項1に記載の、空燃比センサ異常診断装置であって、前記アクティブ空燃比制御手段は、強制的に空燃比を前記一方に変化させた直後の所定期間において、前記所定期間の後の期間よりも、空燃比を当該一方側により大きく変化させることを特徴とする、空燃比センサ異常診断装置。請求項3に記載の、空燃比センサ異常診断装置であって、前記アクティブ空燃比制御手段は、排気ガスの流量が所定量以下である場合に、前記所定期間において前記所定期間の後の期間よりも空燃比を前記一方側により大きく変化させることを特徴とする、空燃比センサ異常診断装置。以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、後述するように、本発明が、以下に説明する実施形態の具体的構成に何ら限定されるものではないことは、全く当然である。本実施形態に対して施され得る各種の変更変形例:modificationは、当該実施形態の説明中に挿入されると、一貫した実施形態の説明の理解が妨げられるので、末尾にまとめて記載されている。<システムの構成>図1は、本発明の適用対象である内燃機関システムS以下、単にシステムSと称する。例えば車両がこれに該当する。の概略構成を示す図である。このシステムSは、ピストン往復動型の火花点火式複数気筒4サイクルエンジン1内燃機関:以下、単にエンジン1と称する。と、本発明の空燃比センサ異常診断装置の一実施形態であるエンジン制御装置2と、を含んでいる。なお、図1には、エンジン1の特定の気筒における、気筒配列方向と直交する面による断面図が示されている。<<エンジン>>図1を参照すると、エンジン1は、シリンダブロック11とシリンダヘッド12とを備えている。シリンダブロック11とシリンダヘッド12とは、図示しないボルト等によって、互いに固定されている。また、シリンダヘッド12には、吸気通路13及び排気通路14が接続されている。シリンダブロック11には、気筒を構成する略円柱形状の貫通孔であるシリンダボア111が形成されている。上述の通り、シリンダブロック11には、複数のシリンダボア111が、気筒配列方向に沿って一列に配置されている。各シリンダボア111の内側には、ピストン112が、シリンダボア111の中心軸以下、シリンダ中心軸と称する。に沿って往復移動可能に収容されている。シリンダブロック11内には、クランクシャフト113が、回転可能に支持されている。クランクシャフト113は、気筒配列方向と平行に配置されていて、ピストン112のシリンダ中心軸に沿った往復移動に基づいて回転駆動されるように、コンロッド114を介してピストン112と連結されている。シリンダヘッド12における、シリンダブロック11側の端面には、複数の凹部が、各シリンダボア111に対応する位置に設けられている。すなわち、シリンダヘッド12がシリンダブロック11に接合及び固定された状態における、ピストン112の頂面よりもシリンダヘッド12側図中上側のシリンダボア111の内側の空間と、上述の凹部の内側の空間と、によって、燃焼室CCが形成されている。シリンダヘッド12には、吸気ポート121及び排気ポート122が、燃焼室CCに連通するように設けられている。吸気ポート121には、インテークマニホールド及びサージタンク等を含む吸気通路13が接続されている。同様に、排気ポート122には、エキゾーストマニホールドを含む排気通路14が接続されている。また、シリンダヘッド12には、吸気バルブ123と、排気バルブ124と、吸気バルブ制御装置125と、排気カムシャフト126と、点火プラグ127と、イグナイタ128と、インジェクタ129と、が装着されている。吸気バルブ123は、吸気ポート121を開閉するためのバルブである。排気バルブ124は、排気ポート122を開閉するためのバルブである。吸気バルブ制御装置125は、図示しない吸気カム及び吸気カムシャフトの回転角度位相角度を制御するための機構かかる機構の具体的な構成については周知なので、本明細書においてはその説明を省略する。を備えている。排気カムシャフト126は、排気バルブ124を駆動するように構成されている。点火プラグ127は、その先端部の火花発生電極が、燃焼室CC内に露出するように設けられている。イグナイタ128は、点火プラグ127に与える高電圧を発生するためのイグニッションコイルを備えている。インジェクタ129は、燃焼室CC内に供給するための燃料を、吸気ポート121内にて、エンジン制御装置2による制御下で噴射するように、構成及び配置されている。<<吸排気通路>>吸気通路13における、エアフィルタ131と吸気ポート121との間の位置には、スロットルバルブ132が装着されている。スロットルバルブ132は、スロットルバルブアクチュエータ133によって回転駆動されることで、吸気通路13の開口断面積を可変とするように構成されている。排気通路14には、上流側触媒コンバータ141及び下流側触媒コンバータ142が装着されている。上流側触媒コンバータ141は、燃焼室CCから排気ポート122に排出された排気ガスが最初に流入する排気浄化触媒装置であって、下流側触媒コンバータ142よりも排気流動方向排気通路14内における排気ガスの流動方向における上流側に設けられている。上流側触媒コンバータ141及び下流側触媒コンバータ142は、酸素吸蔵機能を有する三元触媒を内部に備えていて、排気ガス中の有害成分CO及びHC等の未燃成分、並びにNOxを同時に浄化可能に構成されている。<<制御装置>>エンジン制御装置2は、本発明の各手段を構成する電子制御ユニット200以下、単にECU200と称する。を備えている。ECU200は、CPU201と、ROM202と、RAM203と、バックアップRAM204と、インターフェース205と、双方向バス206と、を備えている。CPU201、ROM202、RAM203、バックアップRAM204、及びインターフェース205は、双方向バス206によって互いに接続されている。ROM202には、CPU201が実行するルーチンプログラム、このルーチンの実行時に参照されるテーブルルックアップテーブル、マップを含む、等が、予め格納されている。RAM203は、CPU201がルーチンを実行する際に、必要に応じてデータを一時的に格納するようになっている。バックアップRAM204は、電源が投入された状態でCPU201がルーチンを実行する際にデータを格納するとともに、格納したデータを電源遮断後も保持するようになっている。具体的には、バックアップRAM204は、取得検出又は推定された運転状態パラメータの一部、上述のテーブルの一部、当該テーブルの補正学習結果、等を、上書き可能に格納するようになっている。インターフェース205は、システムSにおける動作部吸気バルブ制御装置125、イグナイタ128、インジェクタ129、スロットルバルブアクチュエータ133、等及び後述する各種センサと、電気的に接続されている。すなわち、インターフェース205は、後述する各種センサからの検出信号をCPU201に伝達するとともに、上述の動作部を駆動するための駆動信号これはCPU201にて上述のルーチンの実行時に上述の検出信号に基づいて演算が行われることで発生する。を当該動作部に伝達するようになっている。システムSには、冷却水温センサ211、カムポジションセンサ212、クランクポジションセンサ213、エアフローメータ214、上流側空燃比センサ215a、下流側空燃比センサ215b、スロットルポジションセンサ216、及びアクセル開度センサ217、等の各種センサが備えられている。冷却水温センサ211は、シリンダブロック11に装着されていて、シリンダブロック11内の冷却水温Twに対応する信号を出力するようになっている。カムポジションセンサ212は、シリンダヘッド12に装着されていて、吸気バルブ123を往復移動させるための上述の不図示の吸気カムシャフト吸気バルブ制御装置125に含まれているの回転角度に応じたパルスを有する波形の信号G2信号を出力するようになっている。クランクポジションセンサ213は、シリンダブロック11に装着されていて、クランクシャフト113の回転角度に応じたパルスを有する波形の信号を出力するようになっている。エアフローメータ214は、吸気通路13に装着されていて、吸気通路13内を流れる吸入空気の単位時間あたりの質量流量である吸入空気流量Gaに対応する信号を出力するようになっている。上流側空燃比センサ215a及び下流側空燃比センサ215bは、排気通路14に装着されている。上流側空燃比センサ215aは、上流側触媒コンバータ141よりも前記排気流動方向における上流側に配置されている。下流側空燃比センサ215bは、上流側触媒コンバータ141よりも前記排気流動方向における下流側の位置、具体的には、上流側触媒コンバータ141と下流側触媒コンバータ142との間の位置に配置されている。上流側空燃比センサ216a及び下流側空燃比センサ216bは、それぞれが装着された部位を通過する排気ガスの空燃比酸素濃度に対応する信号を出力するようになっている。具体的には、上流側空燃比センサ215aは、限界電流式の酸素濃度センサいわゆるA/Fセンサであって、図2に示されているように、広範囲にわたる空燃比に対してほぼリニアな出力を生じるようになっている。これに対し、下流側空燃比センサ215bは、起電力式濃淡電池式の酸素濃度センサいわゆるO2センサであって、図3に示されているように、理論空燃比にて約0.5Vであってその近傍の空燃比において出力が急変する一方、理論空燃比よりもリッチ側にて約0.9Vで出力が一定となり理論空燃比よりもリーン側にて約0.1Vで出力が一定となるような、空燃比変化に対してステップ状の応答特性Z特性を有する出力を生じるようになっている。スロットルポジションセンサ216は、スロットルバルブ132に対応する位置に配置されている。このスロットルポジションセンサ216は、スロットルバルブ132の実際の回転位相すなわちスロットルバルブ開度TAに対応する信号を出力するようになっている。アクセル開度センサ217は、運転者によるアクセルペダル220の操作量アクセル操作量PAに対応する信号を出力するようになっている。<実施形態の構成による動作の概要>本実施形態のECU200は、エンジン1の空燃比制御、すなわち、インジェクタ129における燃料噴射量噴射時間の制御を行う。具体的には、上流側空燃比センサ215aからの出力信号に基づいて、上流側触媒コンバータ141に流入する排気ガスの空燃比が目標空燃比要求空燃比になるように、燃料噴射量がフィードバック制御されるメインフィードバック制御。また、このメインフィードバック制御と併せて、下流側空燃比センサ215bの出力を燃料噴射量にフィードバックする制御も行われるサブフィードバック制御。このサブフィードバック制御においては、下流側空燃比センサ215bの出力に基づいて、上流側触媒コンバータ141に流入する排気ガスの空燃比、すなわち燃焼室CCに供給される燃料混合気の空燃比要求空燃比が決定される。さらに、上流側空燃比センサ216aの異常を診断する際には、当該上流側空燃比センサ216aに供給される排気ガスの空燃比を強制的に理論空燃比よりもリーン側とリッチ側との間で交互に変化させるアクティブ空燃比制御が実行される例えば、特開2005-121003号公報、特開2010-25090号公報、特開2011-1880号公報、等参照。。図4は、図1に示されているECU200によって実行されるアクティブ空燃比制御の一例を示すタイムチャートである。図中、aは目標空燃比のタイムチャートを示す燃料噴射量増減値のタイムチャートも同様となる。aのタイムチャートにおいて、縦軸は空燃比を示し、横軸は時間を示し、水平な一点鎖線は理論空燃比AFsを示す。よって、水平な一点鎖線から上方へ向かう空燃比の変位量は、理論空燃比AFsからのリーン側の空燃比偏差ΔAFLに相当する。一方、水平な一点鎖線から下方へ向かう空燃比の変位量は、理論空燃比AFsからのリッチ側の空燃比偏差ΔAFRに相当する。また、bはこれに対応する上流側空燃比センサ215aの出力電圧のタイムチャートを示す。さらに、a及びbにおいて、実線は本実施形態のアクティブ空燃比制御の場合を示し、破線は比較例従来のアクティブ空燃比制御の場合を示す。図4のaのタイムチャートにおける破線で示されているように、従来のアクティブ空燃比制御においては、空燃比が単純な矩形波状に変化するように制御されていた。すなわち、空燃比がリッチ側に切り換えられる時刻tRと、その次に空燃比がリーン側に切り換えられる時刻tLと、の間で、空燃比が一定理論空燃比AFsとの偏差ΔAFRが一定:ΔAFR0であった。同様に、空燃比がリーン側に切り換えられる時刻tLと、その次に空燃比がリッチ側に切り換えられる時刻tR’と、の間で、空燃比が一定理論空燃比AFsとの偏差ΔAFLが一定:ΔAFL0であった。なお、かかる従来のアクティブ空燃比制御においては、ΔAFR0とΔAFL0とは等しく、具体的には、例えば、理論空燃比AFsが14.6であって、ΔAFR0=ΔAFL0=0.5である。上述のような従来のアクティブ空燃比制御を用いた場合、排気ガスの流量すなわち吸入空気流量Gaが低い運転領域においては、上流側空燃比センサ215aの異常判定の基礎となる応答性が低くなる。具体的には、かかる運転領域においては、空燃比センサ215aの出力の立ち上がりあるいは立ち下がりの部分図中矢印参照の勾配が小さくなる。このため、検出されたセンサ応答性が正常値であるのか異常値であるのかの判定が困難になり、診断精度が低下するおそれがある。これに対し、本実施形態のアクティブ空燃比制御においては、tRからtRcまでの期間tRcはtRとtLとの間の時刻にて、ΔAFRが、tRcからtLまでの期間ΔAFR0よりも大きく設定されている。すなわち、tRとtRcとの間の時刻tR1にて、ΔAFRが、tRcとtLとの間の時刻tR2よりも大きくなるように、アクティブ空燃比制御における空燃比変化パターンが設定されている。同様、本実施形態のアクティブ空燃比制御においては、tLからtLcまでの期間tLcはtLとtR’との間の時刻:tR’はtLの次に空燃比が再度リッチ側に切り換えられる時刻にて、ΔAFLが、tLcからtR’までの期間ΔAFL0よりも大きく設定されている。すなわち、tLとtLcとの間の時刻tL1にて、ΔAFLが、tLcとtR’との間の時刻tL2よりも大きくなるように、アクティブ空燃比制御における空燃比変化パターンが設定されている。具体的には、本実施形態のアクティブ空燃比制御においては、時刻tRにて、要求空燃比が、リーン側の値AFsΔAFL0から、リッチ側の極大値AFs-ΔAFRm:ΔAFRm>ΔAFR0に切り換えられる。時刻tRから時刻tRcまでの間、ΔAFRが絶対値の最大値ΔAFRmから通常値ΔAFR0まで単調減少する直線的に減少する。その後、すなわち、時刻tRcから時刻tLまでの間は、ΔAFRが通常値ΔAFR0に保持される。同様に、本実施形態のアクティブ空燃比制御においては、時刻tLにて、要求空燃比が、リッチ側の値AFs-ΔAFR0から、リーン側の極大値AFsΔAFLm:ΔAFLm=ΔAFRm>ΔAFR0に切り換えられる。時刻tLから時刻tLcまでの間、ΔAFLが絶対値の最大値ΔAFLmから通常値ΔAFL0まで単調減少する直線的に減少する。その後、すなわち、時刻tLcから時刻tR’までの間は、ΔAFLが通常値ΔAFL0に保持される。なお、tRからtRcまでの期間の長さ、tRcからtLまでの期間の長さ、tLからtLcまでの期間の長さ、及びtLcからtR’までの期間の長さは、空燃比切り換え後の燃料噴射回数の積算値、空燃比切り換え後の空気量吸入空気流量Gaあるいはこれから算出される筒内吸入空気量Mcの積算値、等に応じて適宜設定され得る。このように、本実施形態のアクティブ空燃比制御においては、空燃比の強制的な変化の度合い振幅が、空燃比の切り換え直後において大きくされる。これにより、図4におけるbのタイムチャートにおける実線で示されているように、空燃比センサ215aの出力の立ち上がりあるいは立ち下がりの部分図中矢印参照の勾配が、従来のアクティブ空燃比制御を用いた場合図中破線参照よりも大きくなる。したがって、本実施形態のアクティブ空燃比制御によれば、排気ガスの流量すなわち吸入空気流量Gaが低い運転領域においても、良好なセンサ異常判定を行うことが可能になる。また、このような低流量領域においてもセンサ異常判定の実行を可能とすることで、診断頻度が良好に確保される。また、本実施形態のアクティブ空燃比制御においては、空燃比の強制的な変化の度合い振幅が、上述のように空燃比の切り換え直後において大きくされた後は、次回の切り換え前に小さくされる。これにより、エミッションを可及的に抑制することができる。なお、排気ガスの流量すなわち吸入空気流量Gaが高い運転領域において、本実施形態のアクティブ空燃比制御に代えて、上述のような従来のアクティブ空燃比制御を用いることで、エミッションをよりいっそう抑制することができる。<動作の具体例>図5は、図1に示されているECU200CPU201によって実行されるセンサ異常診断処理の一具体例を示すフローチャートである。なお、各図のフローチャートにおいて、ステップはSと略記されている。図5に示されているセンサ異常診断ルーチン500は、所定タイミング毎に繰り返し実行される。このルーチン500が起動されると、まず、ステップ510にて、CPU201は、上述の各種センサ上流側空燃比センサ215a以外:例えば冷却水温センサ211、クランクポジションセンサ213、アクセル開度センサ217、等からの検出信号に基づいて、上流側空燃比センサ215aの診断条件冷却水温、回転速度、等が成立したか否かを判定する。診断条件が成立している場合ステップ510=Yes、処理がステップ520以降に進行する。一方、診断条件が成立していない場合ステップ510=No、ステップ520以降の処理がスキップされ、本ルーチンが一旦終了する。よって、以下、診断条件が成立しているステップ510=Yesものとして、動作説明を続行する。ステップ520においては、CPU201は、上述の各種センサ特にエアフローメータ214からの検出信号に基づいて、吸入空気流量Gaが所定値Ga0以下であるか否かを判定する。吸入空気流量Gaが所定値Ga0以下である場合ステップ520=Yes、処理がステップ530に進行し、図4のaのタイムチャートにおける実線で示されているような、本実施形態の変調された矩形波状のアクティブ空燃比制御が実行される。一方、吸入空気流量Gaが所定値Ga0よりも大きい場合ステップ520=No、処理がステップ535に進行し、図4のaのタイムチャートにおける破線で示されているような、従来の単純な矩形波状のアクティブ空燃比制御が実行される。次に、処理がステップ540に進行し、CPU201は、上流側空燃比センサ215aの出力電圧の単位時間あたりの変化量の最大値すなわちセンサ出力の傾きを、応答性パラメータαとして取得算出する。その後、処理がステップ550に進行し、CPU201は、取得した応答性パラメータαが所定値α0よりも大きいか否かを判定する。取得した応答性パラメータαが所定値α0よりも大きい場合ステップ550=Yes、処理がステップ560に進行し、CPU201は、上流側空燃比センサ215aが正常であると判定する。一方、取得した応答性パラメータαが所定値α0以下である場合ステップ550=No、処理がステップ570に進行し、CPU201は、上流側空燃比センサ215aが異常であると判定する。以上のようにステップ550の判定結果に応じて正常判定ステップ560あるいは異常判定ステップ570が行われた後、処理がステップ580に進行してアクティブ空燃比制御が終了され、本ルーチンが一旦終了する。<変形例の例示列挙>なお、上述の実施形態は、上述した通り、出願人が取り敢えず本願の出願時点において最良であると考えた本発明の代表的な実施形態を単に例示したものにすぎない。よって、本発明はもとより上述の実施形態に何ら限定されるものではない。したがって、本発明の本質的部分を変更しない範囲内において、上述の実施形態に対して種々の変形が施され得ることは、当然である。以下、代表的な変形例について、幾つか例示する。もっとも、言うまでもなく、変形例とて、以下に列挙されたものに限定されるものではない。また、複数の変形例が、技術的に矛盾しない範囲内において、適宜、複合的に適用され得る。本発明特に、本発明の課題を解決するための手段を構成する各構成要素における、作用的あるいは機能的に表現されているものは、上述の実施形態や、下記変形例の記載に基づいて限定解釈されてはならない。このような限定解釈は、先願主義の下で出願を急ぐ出願人の利益を不当に害する反面、模倣者を不当に利するものであって、許されない。本発明は、上述の実施形態にて開示された具体的な装置構成に限定されない。例えば、吸気ポート121内に燃料を噴射するインジェクタ129とともに、あるいはこれに代えて、燃焼室CC内に燃料を直接噴射するための筒内噴射弁が設けられていてもよい例えば特開2007-278137号公報等参照。かかる構成に対しても、本発明は好適に適用される。また、上流側空燃比センサ216aや下流側空燃比センサ216bは、上流側触媒コンバータ141の筐体に装着されていてもよい。本発明は、上記の実施形態にて開示された具体的な処理態様に限定されない。例えば、或るセンサで取得検出された運転状態パラメータは、他のセンサで取得検出された他の運転状態パラメータや、これを用いたオンボード推定値に代用され得る。すなわち、例えば、図5におけるステップ520において、吸入空気流量Gaに代えて、負荷率KL、スロットルバルブ開度TA、あるいはアクセル操作量PAが用いられ得る。応答性パラメータαについては、リッチ側からリーン側への転換の際の値αRLと、リーン側からリッチ側への転換の際の値αLRとが、それぞれ取得されてもよい。この場合、αRL及びαLRの双方を用いて、センサ異常判定が行われる。さらに、応答性パラメータαについては、特開2010-25090号公報や特開2011-1880号公報等と同様にして取得されたものも用いられ得る。図5のステップ520及び535の処理は、省略され得る。すなわち、排気ガスの流量すなわち吸入空気流量Gaが高い運転領域においても、本実施形態のすなわち通常のものとは異なるアクティブ空燃比制御が行われ得る。本実施形態のすなわち通常のものとは異なるアクティブ空燃比制御は、図4に示された態様に限定されない。例えば、図4のaのタイムチャートにおける実線で示された空燃比変化において、時刻tRやtLの近傍の角が若干丸められてもよいこの場合、最大値ΔAFRmやΔAFLmは、時刻tRやtLから微小時間遅れた時刻に発生する。。また、リッチ側の波形とリーン側の波形とが非対称ΔAFLm>ΔAFRm、ΔAFLm<ΔAFRm、tRからtRcまでの期間>tLからtLcまでの期間、tRからtRcまでの期間<tLからtLcまでの期間、及びこれらの適宜組み合わせであってもよい。さらに、tRからtRcまでの期間やtLからtLcまでの期間に対応する、空燃比が直線状に変化する部分は、ステップ状や曲線状の変化例えば図6参照に置き換えられ得る。図7~図9は、アクティブ空燃比制御の他の例を示すタイムチャートである。例えば、図7に示されているように、時刻tRから時刻tRcまでの間、ΔAFRが絶対値の最大値ΔAFRmに保持され、同様に、時刻tLから時刻tLcまでの間、ΔAFLが絶対値の最大値ΔAFLmに保持されてもよい。また、図8や図9に示されているように、空燃比が、時刻tRから時刻tLまで連続的に変化するとともに、時刻tLから時刻tR’まで連続的に変化するようになっていてもよい図8においては空燃比が直線的に変化し、図9においては空燃比が曲線的に変化している。。その他、特段に言及されていない変形例についても、本発明の本質的部分を変更しない範囲内において、本発明の範囲内に含まれることは当然である。また、本発明の課題を解決するための手段を構成する各要素における、作用的あるいは機能的に表現されている要素は、上述の実施形態や変形例にて開示されている具体的構造の他、当該作用あるいは機能を実現可能ないかなる構造をも含む。さらに、本明細書にて引用した各公報の内容明細書及び図面を含むは、技術的に矛盾しない範囲において、本明細書の一部を構成するものとして適宜援用され得る。