"測定対象物の測定面の法線に対して所定角度で光を照射し、前記測定対象物からの反射光を測定する斜入射干渉計であって、光源からの光を測定対象物に照射する測定光と測定の基準となる参照光とに分割するとともに前記測定対象物で反射した測定光と参照光との偏光方向を直交させた後、合成して合成光とする光束分割合成部と、前記合成光を複数系統の分割光に分割する光束分割部と、前記複数系統の分割光により形成される複数の干渉縞画像を撮像する複数の撮像部と、前記光束分割部の入射側または出射側に設けられた1/4波長板と、前記複数の撮像部の各撮像面側に配置されかつ偏光軸が互いに異なる複数の偏光板と、前記各偏光板および撮像部間に配置されて各系統の干渉縞画像をその一軸方向に拡張する画像拡張手段と、を備えたことを特徴とする斜入射干渉計。請求項1に記載の斜入射干渉計において、前記画像拡張手段は、光軸に対して傾斜配置された透過型または反射型のスクリーンであることを特徴とする斜入射干渉計。請求項1に記載の斜入射干渉計において、前記画像拡張手段は、光軸に対して傾斜配置された透過型または反射型の三角プリズムであることを特徴とする斜入射干渉計。請求項1に記載の斜入射干渉計において、前記画像拡張手段は、画素密度または画素数の縦横比が異なる撮像素子であることを特徴とする斜入射干渉計。請求項1から請求項4の何れかに記載の斜入射干渉計において、前記干渉縞画像を前記撮像部の一画素以内の振幅で振動させる振動手段を備えていることを特徴とする斜入射干渉計。請求項5に記載の斜入射干渉計において、前記振動手段は、前記スクリーンまたは前記三角プリズムの内部に封入された流体のブラウン運動または密度変動を利用するものであることを特徴とする斜入射干渉計。ところで、特許文献2の斜入射干渉計においても、特許文献1が解決しようとする縦横比および空間解像度の問題が生じる。従って、特許文献2の斜入射干渉計において、特許文献1に基づいてスクリーンを光軸に対して傾斜させることが考えられる。しかし、測定対象物からの反射光を、光軸に斜めに配置されたスクリーンに投影した場合、映像が拡張されるため、その後に配置される3分割プリズム、偏光板、撮像素子などを大型のものにする必要があった。本発明の目的は、測定の空間分解能を向上しつつ装置の大型化を回避できる2直交偏光式の斜入射干渉計を提供することにある。本発明の斜入射干渉計は、測定対象物の測定面の法線に対して所定角度で光を照射し、前記測定対象物からの反射光を測定する斜入射干渉計であって、光源からの光を測定対象物に照射する測定光と測定の基準となる参照光とに分割するとともに前記測定対象物で反射した測定光と参照光との偏光方向を直交させた後、合成して合成光とする光束分割合成部と、前記合成光を複数系統の分割光に分割する光束分割部と、前記複数系統の分割光により形成される複数の干渉縞画像を撮像する複数の撮像部と、前記光束分割部の入射側または出射側に設けられた1/4波長板と、前記複数の撮像部の各撮像面側に配置されかつ偏光軸が互いに異なる複数の偏光板と、前記各偏光板および撮像部間に配置されて各系統の干渉縞画像をその一軸方向に拡張する画像拡張手段とを備えたことを特徴とする。本発明において、前記画像拡張手段は、光軸に対して傾斜配置された透過型または反射型のスクリーンであることが望ましい。本発明において、前記画像拡張手段は、光軸に対して傾斜配置された透過型または反射型の三角プリズムとしてもよい。本発明において、前記画像拡張手段は、画素密度または画素数の縦横比が異なる撮像素子であるとしてもよい。本発明において、前記干渉縞画像を前記撮像部の一画素以内の振幅で振動させる振動手段を備えていることが望ましい。このような振動手段としては、画像拡張手段の支持構造に圧電素子を配置し、外部の駆動電圧により圧電素子を伸縮させてスクリーンを振動させる構成などが採用できる。画像拡張手段を振動させるのではなく、光束分割部から撮像部までの間にスクリーンを設置し、このスクリーンを振動させてもよい。このような振動手段により、干渉縞画像が振動によりいわゆるソフトフォーカス状態とされ、スペックルノイズの影響が低減されて安定した干渉縞が得られる。本発明において、前記振動手段は、前記スクリーンまたは前記三角プリズムの内部に封入された流体のブラウン運動または密度変動を利用するものであることが望ましい。このような構成では、専用の外部動力が省略でき、例えば光源の廃熱を有効利用することができる。本発明によれば、2直交偏光式の斜入射干渉計においても、画像の拡張により測定の空間分解能を向上することができ、かつ装置の大型化を回避することができる。第1実施形態図1には、本発明の第1実施形態に係る斜入射干渉計1が示されている。斜入射干渉計1は、測定対象物20の表面の測定を行うものであり、照射部10および検出部30を有する。照射部10は、光源11と、レンズ12,13と、光束分割素子14と、1/2波長板15と、光束合成素子16とを備える。ここで、光源11からの一部の光は、レンズ12,13および光束分割素子14を介して、測定対象物20の測定面の法線方向に所定角度θ図2参照で照射されるように配置されている。本実施形態においては、光束分割素子14を透過して測定対象物20に照射される光を測定光束とする。また、光束分割素子14で進路を変えて1/2波長板15に照射される光を参照光束とする。検出部30は、1/4波長板31と、レンズ32と、三分割プリズム33と、偏光板34A~34Cと、撮像素子35A~35Cとを備えている。撮像素子35A~35Cには、得られた画像に基づき測定対象物20の表面形状を演算するために、コンピュータシステム等の演算部図示省略が接続されている。光源11から照射された光は、レンズ12,13を介して、平行光束として光束分割素子14に入射し、2つの光束に分割される。光束分割素子14で分割された光束の一方測定光束は、測定対象物20の表面に斜め方向から照射される。光束分割素子14で分割された光束の他方参照光束は、1/2波長板15に通され、通過前の偏光成分に対して直交する偏光成分に変換される。測定対象物20から反射された測定光束と、1/2波長板15で偏光成分を変換された参照光束とは、光束合成素子16により重ね合わせられる。これらの光束分割素子14および光束合成素子16により光束分割合成部が構成されている。光束合成素子16で合成された光束は、1/4波長板31により、右回り円偏光および左回り円偏光に変換される。円偏光とされた光束は、光束分割部である三分割プリズム33により3系統に分割される。この3系統に分割された光束は、透過軸の方向が互いに異なるように配置された偏光板34A~34Cを通過して、互いに異なる量だけ位相がシフトされた干渉縞を発生させる。各系統において、位相シフトされた干渉縞画像は、各系統に対応した撮像素子35A~35Cで取得される。取得された画像は、図示しない演算装置に送られて処理され、公知の位相シフト法に準じた演算処理を施し、これにより測定対象物の表面の形状を得るようになっている。各系統においては、画像傾斜手段として、偏光板34A~34Cと撮像素子35A~35Cとの間には、それぞれ透過型スクリーン36A~36Cが配置されている。透過型スクリーン36A~36Cは、その入射光軸、つまり偏光板34A~34Cから出射される光束の光軸に対して傾斜配置されている。一方、撮像素子35A~35Cは光軸を透過型スクリーン36A~36Cの法線方向に揃えられ、透過型スクリーン36A~36Cに投影される画像を正面から撮影するように設置されている。図2に示すように、透過型スクリーン36A~36Cの法線方向と偏光板34A~34Cからの光束の光軸とは角度θとされ、この角度θは前述した照射部10において測定対象物20の測定面に照射される測定光束の角度と同じとされている。このような透過型スクリーン36A~36Cの傾斜配置により、光束合成素子16から出射された合成光束は一軸方向が拡張して透過型スクリーン36A~36Cに投影される。図2において、光束分割素子14からの測定光束の断面光軸直交方向の映像が略円形であり、縦方向の径寸法をdy、横方向の径寸法をdxする。この光束を測定対象物20に照射する際に傾斜角度θとすることで、測定対象物20における投影像は光軸に沿った方向に長い楕円形になり、横方向である短軸径はDx≒dxとほぼ変化しないのに対し、縦方向である長軸径はDy>dyと大きく拡張される。楕円形の投影像は測定対象物20の表面で全反射して測定光束として光束合成素子16に送られ、参照光束として重ね合わせられる。この際、光束合成素子16は光軸に対して直交配置されているため、測定光束は再び縦横径がdy,dxの円形断面の光束となる。この光束は、レンズ32と、三分割プリズム33と、偏光板34A~34Cを経由し図2では図示省略、透過型スクリーン36A~36Cに投影される。透過型スクリーン36A~36Cは、入射光軸に対して傾斜配置されているため、投影像は再び楕円、つまり縦方向の軸だけ拡張された形状となる。さらに、透過型スクリーン36A~36Cの傾斜角度θは、測定対象物20に対する測定光束の照射角度θと同じとされているため、透過型スクリーン36A~36C上の投影像は長軸,短軸がDy,Dxの楕円形つまり測定対象物20の表面における投影像と同じ寸法での映像が再現される。撮像素子35A~35Cは、透過型スクリーン36A~36C上の投影像を正面からとらえることになるため、縦方向については元のdyではなく、拡張されたDyに現れる干渉縞を検出することができ、その結果解像度を向上することができる。前述した第1実施形態の斜入射干渉計1によれば、2直交偏光式の斜入射干渉計としての効果が得られる。具体的には、機械的な可動部がないために、再現性の高い測定値が得られる、という効果がある。また、干渉縞解析に必要な干渉縞を瞬時に得ることができ、短い時間での測定が可能である。また、高速シャッタを活用することで、動的な対象物の測定や、生産現場や工作機械上などの振動環境下での形状測定が可能となる。また、位相シフトのための高精度な移動機構や光学素子、あるいは波長可変可能な高価な光源が不要であるため、装置の低価格化が期待できる。さらに、前述した第1実施形態の斜入射干渉計1によれば、画像傾斜手段としての透過型スクリーン36A~36Cを入射光軸に対して傾斜させることにより、斜入射干渉計としての空間分解能を向上することができる。また、本実施形態では、既存の2直交偏光式の斜入射干渉計に対して、透過型スクリーン36A~36Cを配置し、かつ撮像素子35A~35Cを傾斜させること、つまり傾斜配置される透過型スクリーン36A~36Cに対して正対させることにより、簡単に実施することができ、大型化を回避することができる。前述した第1実施形態の斜入射干渉計1において、透過型スクリーン36A~36Cは振動手段を有する透過型スクリーンで構成されている。図3において、透過型スクリーン36A~36Cは、それぞれスクリーン361が支持部材362を介して枠体363に支持されている。支持部材362は、枠体363の全周を廻って設置されているが、少なくとも一辺は圧電素子364で構成され、この圧電素子364には外部から交流電圧が印加され、その結果圧電素子364およびスクリーン361が振動するように構成されている。このような振動手段により、スクリーン361が微少振動されることで、投影される画像のスペックルノイズの影響が低減され、安定した計測を行うことができる。なお、前記第1実施形態では、透過型スクリーン36A~36Cの傾斜角度θと測定対象物20に対する測定光束の照射角度θとを一致させ、透過型スクリーン36A~36Cに投影される映像が測定対象物20での映像と同じサイズになるようにしたが、必ずしも一致させる必要はなく、透過型スクリーン36A~36Cにおける投影像において少なくとも一軸方向に画像が拡張されるように傾斜角度を選択すればよい。また、スクリーンの材料としては、スペックルノイズの影響低減が期待できるため、磨りガラスや拡散板など散乱光を発生させるものが好ましい。また、回折格子DOEやホログラム光学素子HOEなど散乱光に指向性を持たせるものも、光量損失を抑えることができるため好ましい。さらに、スクリーンは、液体または気体としてもよい。例えば、透過型スクリーン36A~36Cとして、中空の透明板材に液体または気体を封入したものを用い、一端から加熱することで、内部に封入された流体のブラウン運動または密度変動を利用して投影される画像を振動させることができる。とくに、光源11の廃熱を利用して加熱することで、専用の外部動力が省略できる。第2実施形態図4には、本発明の第2実施形態に係る斜入射干渉計2が示されている。斜入射干渉計2は、前述した第1実施形態の斜入射干渉計1と同様な基本構成とされ、以下共通する部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。前述した第1実施形態では、透過型スクリーン36A~36Cが入射光軸つまり偏光板34A~34Cから出射される光束の光軸に対して傾斜配置され、撮像素子35A~35Cは透過型スクリーン36A~36Cの法線方向に正対して配置されていた。これに対し、本実施形態では、透過型スクリーン36A~36Cが入射光軸に対して直交配置され、撮像素子35A~35Cが透過型スクリーン36A~36Cの法線方向に対して傾斜配置されている。このような本実施形態では、透過型スクリーン36A~36Cに投影される画像が、図2の光束合成素子16に投影されるのと同様な縦横dy,dxの略円形となる。これに対し、傾斜配置された撮像素子35A~35Cにおいては、この透過型スクリーン36A~36Cに投影される略円形の映像を斜めに撮影することになり、図2の透過型スクリーン36A~36Cに投影されるのと同様な縦横Dy,Dx楕円形となり、縦方向がdyからDyに拡張される。このように、第2実施形態の構成によっても、前述した第1実施形態と同様な効果を得ることができる。第3実施形態図5には、本発明の第3実施形態に係る斜入射干渉計3が示されている。斜入射干渉計3は、前述した第1実施形態の斜入射干渉計1と同様な基本構成とされ、以下共通する部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。前述した第1実施形態では、透過型スクリーン36A~36Cが入射光軸つまり偏光板34A~34Cから出射される光束の光軸に対して傾斜され、撮像素子35A~35Cは透過型スクリーン36A~36Cの法線方向に正対して設置されていた。これに対し、本実施形態では、透過型スクリーン36A~36Cが入射光軸に対して傾斜配置され、さらに、撮像素子35A~35Cも透過型スクリーン36A~36Cの法線方向に対して傾斜配置されている。このような本実施形態では、前述した第1実施形態および第2実施形態と同様に、撮像素子35A~35Cで撮影される画像を一軸方向に拡張することができる。さらに、このような拡張を行うために、透過型スクリーン36A~36Cおよび撮像素子35A~35Cの両方を傾斜配置させるため、同じ拡張効果を得るために必要な傾斜角度は透過型スクリーン36A~36Cおよび撮像素子35A~35Cの各々における傾斜角度の和とすることができ、各々における傾斜角度をそれぞれ緩くすることができる。第4実施形態図6には、本発明の第4実施形態に係る斜入射干渉計4が示されている。斜入射干渉計4は、前述した第1実施形態の斜入射干渉計1と同様な基本構成とされ、以下共通する部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。前述した第1実施形態では、透過型スクリーン36A~36Cが入射光軸つまり偏光板34A~34Cから出射される光束の光軸に対して傾斜配置され、撮像素子35A~35Cは透過型スクリーン36A~36Cの法線方向に正対して配置されていた。これに対し、本実施形態では、透過型スクリーン36A~36Cに替えて三角プリズム37A~37Cが設置されている。図6において、三角プリズム37A~37Cは、底辺部を偏光板34A~34Cの表面に対向配置され、斜辺部が偏光板34A~34Cからの出射光軸に対して傾斜配置されている。つまり、三角プリズム37A~37Cの斜辺部の表面が前述した第1実施形態の透過型スクリーン36A~36Cを代替する機能を有する。撮像素子35A~35Cは三角プリズム37A~37Cの斜辺部の表面に正対して配置されている。このような本実施形態では、三角プリズム37A~37Cの斜辺部の表面が前述した第1実施形態の透過型スクリーン36A~36Cを代替するため、前述した第1実施形態および第2実施形態と同様な効果を得ることができる。第5実施形態図7には、本発明の第5実施形態に係る斜入射干渉計5が示されている。斜入射干渉計5は、前述した第4実施形態の斜入射干渉計4と同様な基本構成とされ、以下共通する部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。前述した第4実施形態では、撮像素子35A~35Cは三角プリズム37A~37Cの斜辺部の表面に正対して配置されていた。これに対し、本実施形態では、撮像素子35A~35Cは三角プリズム37A~37Cの斜辺部の法線方向に対して傾斜配置されている。このような本実施形態では、前述した第4実施形態と同様な効果が得られる。さらに、三角プリズム37A~37Cの斜辺部の表面に加えて撮像素子35A~35Cも傾斜配置させるため、同じ拡張効果を得るために必要な傾斜角度は三角プリズム37A~37Cの斜辺部および撮像素子35A~35Cの各々における傾斜角度の和とすることができ、各々における傾斜角度をそれぞれ緩くすることができる。第6実施形態図8には、本発明の第6実施形態に係る斜入射干渉計6が示されている。斜入射干渉計6は、前述した第4実施形態の斜入射干渉計4と同様な基本構成とされ、以下共通する部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。前述した第4実施形態では、撮像素子35A~35Cは三角プリズム37A~37Cの斜辺部の表面に正対して配置され、三角プリズム37A~37Cを透過型プリズムとして用いていた。これに対し、本実施形態では、撮像素子35A~35Cは三角プリズム37A~37Cの側面部に正対して配置され、三角プリズム37A~37Cを反射型プリズムとして用いている。このような本実施形態では、前述した第4実施形態と同様な効果が得られる。さらに、三角プリズム37A~37Cに対する撮像素子35A~35Cの配置を大きく変化させることができ、周囲との機械的干渉などを回避するために利用することもできる。このような反射型プリズムとして用いる構成においても、さらに撮像素子35A~35Cを三角プリズム37A~37Cに対して傾斜配置するようにしてもよい。第7実施形態図9には、本発明の第7実施形態に係る斜入射干渉計7が示されている。斜入射干渉計7は、前述した第6実施形態の斜入射干渉計6と同様な基本構成とされ、以下共通する部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。前述した第6実施形態では、撮像素子35A~35Cは三角プリズム37A~37Cの側面部に正対して配置され、三角プリズム37A~37Cを反射型プリズムとして用いていた。これに対し、本実施形態では、三角プリズム37A~37Cに替えて反射型スクリーンであるミラー38A~38Cを用い、偏光板34A~34Cからの光束を反射する際に、光軸に対して反射面を傾斜されることで、投影像の一軸方向の拡張を実現している。このような本実施形態では、前述した第6実施形態と同様な効果が得られる。さらに、透過型スクリーン36A~36Cを用いる第1実施形態に比べて撮像素子35A~35Cの配置を大きく変化させることができ、周囲との機械的干渉などを回避するために利用することもできる。第8実施形態図10には、本発明の第8実施形態に係る斜入射干渉計8が示されている。斜入射干渉計8は、前述した第7実施形態の斜入射干渉計7と同様な基本構成とされ、以下共通する部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。前述した第7実施形態では、反射型スクリーンであるミラー38A~38Cを用い、偏光板34A~34Cからの光束を反射する際に、光軸に対して反射面を傾斜されることで、投影像の一軸方向の拡張を実現している。本実施形態では、反射型スクリーンであるミラー38A~38Cにおける傾斜に加えて、さらに撮像素子35A~35Cをミラー38A~38Cに対して傾斜配置するようにしている。このような本実施形態では、前述した第7実施形態と同様な効果が得られる。さらに、ミラー38A~38Cにおける傾斜に加えて撮像素子35A~35Cも傾斜配置させるため、同じ拡張効果を得るために必要な傾斜角度はミラー38A~38Cにおける傾斜および撮像素子35A~35Cの各々における傾斜角度の和とすることができ、各々における傾斜角度をそれぞれ緩くすることができる。第9実施形態図11および図12には、本発明の第9実施形態に係る斜入射干渉計9が示されている。斜入射干渉計9は、前述した第1実施形態の斜入射干渉計1と同様な基本構成とされ、以下共通する部分については同じ符号を付して重複する説明を省略する。前述した第1実施形態では、撮像素子35A~35Cと偏光板34A~34Cとの間に、画像拡張手段としての透過型スクリーン36A~36Cを設けていた。これに対し、本実施形態では、図11に示すように、透過型スクリーン36A~36Cが省略され、撮像素子35A~35Cと偏光板34A~34Cとは互いに隣接している。一方、本実施形態では、撮像素子35A~35Cとして、投影された画像を検出するCCD電荷結合素子等の光検出アレイ351がXY各軸方向に均等ではなく、X軸方向の線密度よりもY軸方向が密となるように構成されている。図12に示すように、光検出アレイ351の各検出セルは、X軸方向の幅がY軸方向の幅よりも2倍程度と大きく形成され、線密度ではY軸方向がX軸方向よりも密に形成されている。このような光検出アレイ351に、例えば縦横dy,dxのサイズが均等な画像が投影されると、同じ寸法の映像であっても、線密度の細かいつまり解像度の高いY軸方向での検出感度が高くなる。そして、検出画像を、例えば縦横比が同じ表示画面に表示したとすると、表示画面での縦横の線密度は同じであるから、投影時に縦横dy,dxであった画像は縦横Dy,Dxの画像とされ、このとき横寸法Dxがほぼdxと同じとすると、縦寸法Dyはdxの2倍程度に拡張される。本実施形態においては、このような撮像素子35A~35Cの光検出アレイ351によって本発明の画像拡張手段が構成される。そして、本実施形態によっても、画像の拡張の結果、前述した各実施形態と同様な効果を得ることができる。さらに。本実施形態では、撮像素子35A~35Cとして専用の機器が必要になるが、装置としての機器構成を簡略化することができる。変形例以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、様々な変更、追加、置換等が可能である。例えば、光束分割素子14としては、回折格子あるいはビームスプリッタを用いてもよい。また、1/2波長板15は参照光路ではなく、測定光路上に設けてもよく、これらの何れかではなく、それぞれに互いに偏光面を直交して透過させる偏光板を用いてもよい。また、光束分割素子14として、透過光と反射光で偏光面を直交させて分離する偏光ビームスプリッタを使用することで、1/2波長板15を省略することもできる。その際、干渉縞のS/N比に応じて、参照光路及び/または測定光路に偏光板を配置するとよい。その他、前述した各実施形態における構成を、他の実施形態と適宜組み合わせて用いるようにしてもよい。"