互いに長さの異なる第1の辺および第2の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の薬液処理と洗浄処理とを行う基板処理装置において、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第1の辺と平行な第1の方向から前記第2の辺と平行な第2の方向に90度変更する搬送方向変更機構と、前記第1の方向に搬送される基板の両側に配設され、前記第1の辺を洗浄する第1洗浄機構と、前記第2の方向に搬送される基板の両側に配設され、前記第2の辺を洗浄する第2洗浄機構と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。請求項1に記載の基板処理装置において、前記第1洗浄機構は前記第1の辺に向けて洗浄液を噴出する洗浄液噴出ノズルであり、前記第2洗浄機構は前記第2の辺に向けて洗浄液を噴出する洗浄液噴出ノズルである基板処理装置。請求項2に記載の基板処理装置において、前記第1洗浄機構および前記第2洗浄機構は、前記洗浄処理部に配設されている基板処理装置。互いに長さの異なる第1の辺および第2の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の処理と洗浄とを行う基板処理装置において、インデクサ部と、前記インデクサ部から基板を受け取り前記第1の辺と平行な第1の方向に搬送する第1搬送機構と、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第1の方向から前記第2の辺と平行な第2の方向に90度変更する第1搬送方向変更機構と、基板を前記第2の方向に搬送する第2搬送機構と、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第2の方向から前記第1の辺と平行で前記第1の方向と逆方向を向く第3の方向に90度変更する第2搬送方向変更機構と、基板を前記第3の方向に搬送して前記インデクサ部に送る第3搬送機構と、前記洗浄処理部における前記第1搬送機構または前記第3搬送機構により搬送される基板の両側に配設され、前記第1の辺に向けて洗浄液を噴出することにより前記第1の辺を洗浄する洗浄液噴出ノズルと、前記洗浄処理部における前記第2搬送機構により搬送される基板の両側に配設され、前記第2の辺に向けて洗浄液を噴出することにより前記第2の辺を洗浄する洗浄液噴出ノズルと、を備えたことを特徴とする基板処理装置。請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板処理装置において、前記基板は、支持層と、接着層と、電子ペーパ用フィルムとをこの順に積層した電子ペーパ製造用基板である基板処理装置。基板として、例えば、支持層と、接着層と、電子ペーパ用フィルムとをこの順に積層した電子ペーパ製造用基板を使用した場合には、この電子ペーパ製造用基板の端縁に浸入した薬液を洗浄することが困難であるという問題を生ずる。図6は、電子ペーパ製造用基板10を模式的に示す部分断面図である。電子ペーパ製造用基板10は、PETポリエチレンテレフタラート製のフィルム等から構成される電子ペーパ用フィルム11と、ガラスやSUSステンレス鋼等から構成される支持層13とを、接着層12を介して積層した構成を有する。電子ペーパ用フィルム11には、フォトリソ工程によりTFT薄膜トランジスタ等を製造するためのパターンが形成される。図6に示すように、電子ペーパ製造用基板10においては、電子ペーパ用フィルム11と支持層13との間には、接着層12が存在しない領域に1mm程度の段差が形成されている。この段差は、パターン形成後に電子ペーパ用フィルム11を支持層13から剥離するときに利用される。この電子ペーパ製造用基板10に対して薬液を使用して薬液処理を行った後に、洗浄液を使用して洗浄処理を行った場合に、この電子ペーパ製造用基板10に、その表面側と裏面側から洗浄液を噴出したとしても、電子ペーパ製造用基板10の端縁における段差部に浸入した薬液を洗浄液に置換することができず、薬液が後工程に持ち越されて、十分な洗浄処理が行い得ないという問題がある。特許文献2に記載されたように、基板の端縁の洗浄処理のために専用の端縁洗浄装置を設置した場合には、電子ペーパ製造用基板10の端縁における段差部に浸入した薬液を洗浄処理することは可能ではあるが、装置が大がかりとなり、また、広い占有スペースも必要となる。この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、電子ペーパ製造用基板のように端縁に段差を有する基板を処理する場合であっても、端縁を十分清浄に洗浄処理することが可能な基板処理装置を提供することを目的とする。請求項1に記載の発明は、互いに長さの異なる第1の辺および第2の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の薬液処理と洗浄処理とを行う基板処理装置において、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第1の辺と平行な第1の方向から前記第2の辺と平行な第2の方向に90度変更する搬送方向変更機構と、前記第1の方向に搬送される基板の両側に配設され、前記第1の辺を洗浄する第1洗浄機構と、前記第2の方向に搬送される基板の両側に配設され、前記第2の辺を洗浄する第2洗浄機構とを備えたことを特徴とする。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記第1洗浄機構は前記第1の辺に向けて洗浄液を噴出する洗浄液噴出ノズルであり、前記第2洗浄機構は前記第2の辺に向けて洗浄液を噴出する洗浄液噴出ノズルである。請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記第1洗浄機構および前記第2洗浄機構は、前記洗浄処理部に配設されている。請求項4に記載の発明は、互いに長さの異なる第1の辺および第2の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の処理と洗浄とを行う基板処理装置において、インデクサ部と、前記インデクサ部から基板を受け取り前記第1の辺と平行な第1の方向に搬送する第1搬送機構と、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第1の方向から前記第2の辺と平行な第2の方向に90度変更する第1搬送方向変更機構と、基板を前記第2の方向に搬送する第2搬送機構と、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第2の方向から前記第1の辺と平行で前記第1の方向と逆方向を向く第3の方向に90度変更する第2搬送方向変更機構と、基板を前記第3の方向に搬送して前記インデクサ部に送る第3搬送機構と、前記洗浄処理部における前記第1搬送機構または前記第3搬送機構により搬送される基板の両側に配設され、前記第1の辺に向けて洗浄液を噴出することにより前記第1の辺を洗浄する洗浄液噴出ノズルと、前記洗浄処理部における前記第2搬送機構により搬送される基板の両側に配設され、前記第2の辺に向けて洗浄液を噴出することにより前記第2の辺を洗浄する洗浄液噴出ノズルとを備えたことを特徴とする。請求項5に記載の発明は、請求項1から請求項4のいずれかに記載の発明において、前記基板は、支持層と、接着層と、電子ペーパ用フィルムとをこの順に積層した電子ペーパ製造用基板である。請求項1および請求項4に記載の発明によれば、基板における第1の辺を第1洗浄機構で洗浄処理し、第2の辺を第2洗浄機構で洗浄処理することにより、基板の端縁を十分清浄に洗浄処理することが可能になる。このとき、基板の搬送と端縁の洗浄処理とを同時に行うことができるので、端縁の洗浄処理に余分な時間を要することなく、また、装置構成が複雑となることもなく、さらには、端縁の洗浄処理のための占有スペースが必要となることもない。請求項2および請求項4に記載の発明によれば、洗浄液噴出ノズルから噴出する洗浄液により、基板を搬送しながらその端縁を洗浄処理することが可能となる。請求項3および請求項4に記載の発明によれば、洗浄液噴出ノズルから噴出された洗浄液を洗浄処理部で使用される洗浄液とともに回収することが可能となる。請求項5に記載の発明によれば、電子ペーパ製造用基板における端縁の段差部に浸入した薬液を洗浄液に置換して、清浄に洗浄処理することが可能となる。以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、この発明に係る基板処理装置の概要図である。また、図2は、電子ペーパ製造用基板10を搬送する様子を模式的に示す説明図である。この基板処理装置は、上述した矩形状の電子ペーパ製造用基板10に対して、薬液として剥離液を使用したレジストの剥離処理と、洗浄液を使用した洗浄処理とを行うものである。この基板処理装置は、電子ペーパ製造用基板10を収納したカセット15を載置するインデクサ部31と、カセット15内の電子ペーパ製造用基板10をコンベア部34に搬入し、あるいは、コンベア部42に搬送された電子ペーパ製造用基板10をカセット15に搬出する搬送ロボット33を備えた移載部32と、第1の剥離部35と、第2の剥離部36と、この発明に係る第1洗浄機構としての一対の洗浄液噴出ノズル51を備えた第1洗浄部37と、この発明に係る第2洗浄機構としての一対の洗浄液噴出ノズル52を備えた第2洗浄部38と、第3洗浄部39と、第4洗浄部40と、乾燥部41とを備える。搬送ロボット33によりカセット15から取り出された電子ペーパ製造用基板10は、後述するように、電子ペーパ製造用基板10をその長辺である第1の辺S1と平行な第1の方向に搬送する第1搬送機構により、コンベア部34、第1の剥離部35、第2の剥離部36および第1洗浄部37に順次搬送される。次に、電子ペーパ製造用基板10は、第1搬送方向変更機構により、その搬送方向を、第1の方向から90度変更される。次に、電子ペーパ製造用基板10は、電子ペーパ製造用基板10をその短辺である第2の辺S2と平行な第2の方向に搬送する第2搬送機構により、第1洗浄部37から、第2洗浄部38を介して、第3洗浄部39に順次搬送される。次に、電子ペーパ製造用基板10は、第2搬送方向変更機構により、その搬送方向を、第2の方向から第1の方向と逆方向を向く第3の方向に90度変更される。そして、電子ペーパ製造用基板10は、第3搬送機構により、第3洗浄部39、第4洗浄部40、乾燥部41、コンベア部42に順次搬送された後、搬送ロボット33によりカセット15内に収納される。このとき、電子ペーパ製造用基板10は、第1洗浄部37において一対の洗浄液噴出ノズル51により第1の辺S1を洗浄処理され、第2洗浄部38において一対の洗浄液噴出ノズル52により第2の辺S2を洗浄処理される。図3は、洗浄液噴出ノズル51により電子ペーパ製造用基板10の長辺S1を洗浄処理する様子を模式的に示す説明図である。この洗浄液噴出ノズル51は、第1洗浄部37において、第1搬送機構により搬送される電子ペーパ製造用基板10の長辺S1に向けて洗浄液を噴出するための、図示しない洗浄液の供給部に接続された洗浄液噴出口を有する。洗浄液噴出ノズル51から噴出された洗浄液は、電子ペーパ製造用基板10の長辺S1における段差部内に浸入し、そこに残存する剥離液を洗浄液に置換することにより、電子ペーパ製造用基板10の長辺S1全域を清浄に洗浄処理する。なお、第2洗浄部38に配設された洗浄液噴出ノズル52も、図3に示す洗浄液噴出ノズル51と同様の構成を有し、第2搬送機構により搬送される電子ペーパ製造用基板10の短辺S2に向けて洗浄液を噴出することにより、電子ペーパ製造用基板10の短辺S2全域を洗浄処理する。次に、上述した電子ペーパ製造用基板10の搬送機構および搬送方向変更機構の構成について説明する。図4は、電子ペーパ製造用基板10を搬送するための搬送機構および搬送方向変更機構の要部を示す斜視図である。また、図5は、電子ペーパ製造用基板10の搬送機構による搬送動作を示す概要図である。電子ペーパ製造用基板10は、最初に、複数の搬送ローラ71から成る第1搬送機構61により、その長辺第1の辺S1と平行な第1の方向に搬送される。次に、電子ペーパ製造用基板10は、複数の搬送ローラ72と、複数の搬送ローラ75と、複数の搬送ローラ73とから成る第2搬送機構62により、その短辺第2の辺S2と平行な第2の方向に搬送される。さらに、電子ペーパ製造用基板10は、複数の搬送ローラ74から成る第3搬送機構63により、その長辺S1と平行で第1の方向と逆方向を向く第3の方向に搬送される。特徴的には、図5bに示すように、電子ペーパ製造用基板10が第2の方向に搬送されるときには、第2搬送機構62の一部を構成する複数の搬送ローラ75は、第1搬送機構61を構成する複数の搬送ローラ71や、第3搬送機構63を構成する複数の搬送ローラ74よりも、高い位置に配置されている。そして、第2搬送機構62の一部を構成する複数の搬送ローラ72と、同じく第2搬送機構62の一部を構成する複数の搬送ローラ73とは、第2搬送機構62の一部を構成する複数の搬送ローラ75と同じ高さである上昇位置と、第1搬送機構61を構成する複数の搬送ローラ71や第3搬送機構63を構成する複数の搬送ローラ74よりも低い下降位置との間を昇降可能となっている。そして、複数の搬送ローラ72の昇降動作に伴って、電子ペーパ製造用基板10は、その搬送方向を第1の方向から第2の方向に変更され、複数の搬送ローラ73の昇降動作に伴って、電子ペーパ製造用基板10は、その搬送方向を第2の方向から第3の方向に変更される。すなわち、複数の搬送ローラ72は、電子ペーパ製造用基板10の搬送方向を、この電子ペーパ製造用基板10の方向を変更することなく、第1の方向から第2の方向に90度変更する搬送方向変更機構として機能し、複数の搬送ローラ73は、電子ペーパ製造用基板10の搬送方向を、この電子ペーパ製造用基板10の方向を変更することなく、第2の方向から第3の方向に90度変更する搬送方向変更機構として機能する。すなわち、電子ペーパ製造用基板10は、最初に、第1搬送機構61を構成する複数の搬送ローラ71により第1の方向に搬送される。このときには、図5aに示すように、複数の搬送ローラ72は下降位置に配置されている。そして、電子ペーパ製造用基板10が複数の搬送ローラ72の上方の位置まで搬送されれば、図5bに示すように、複数の搬送ローラ72が上昇位置に移動する。これにより、電子ペーパ製造用基板10は、第1搬送機構61を構成する複数の搬送ローラ71から第2搬送機構62を構成する複数の搬送ローラ72に受け渡される。このときには、図5bに示すように、複数の搬送ローラ73も、上昇位置に移動している。この状態において、第2搬送機構62を構成する各搬送ローラ72、75、73を同期して回転させる。これにより、電子ペーパ製造用基板10は、第2の方向に搬送される。電子ペーパ製造用基板10が複数のローラ74の上方の位置まで搬送されれば、第2搬送機構を構成する各搬送ローラ72、75、73の回転を停止する。そして、図5cに示すように、複数の搬送ローラ73が下降位置に移動する。これにより、電子ペーパ製造用基板10は、第2搬送機構62を構成する複数の搬送ローラ73から第3搬送機構63を構成する複数の搬送ローラ74に受け渡される。そして、電子ペーパ製造用基板10は、第3搬送機構を構成する複数の搬送ローラ74が回転することにより、第3の方向に搬送される。以上のような構成を有する基板処理装置においては、搬送ロボット33によりカセット15から取り出された電子ペーパ製造用基板10は、第1搬送機構61により、コンベア部34を介して第1の剥離部35および第2の剥離部36に搬送され、レジストの剥離処理がなされる。そして、この電子ペーパ製造用基板10は、第1搬送機構61に搬送されている間に、洗浄液噴出ノズル51からその長辺S1に洗浄液が噴出され、その長辺S1を洗浄処理されるとともに、第1洗浄部37における図示しない洗浄液噴出機構により、表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。次に、電子ペーパ製造用基板10は、第2搬送機構62を構成する各搬送ローラ72、75、73により、第1洗浄部37から第2洗浄部38および第3洗浄部39に順次搬送され、それらの洗浄部における図示しない洗浄液噴出機構により、表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。このとき、第2洗浄部38においては、電子ペーパ製造用基板10が第2搬送機構62により搬送されている間に、洗浄液噴出ノズル52からその短辺S2に洗浄液が噴出され、その短辺S2を洗浄処理される。しかる後、電子ペーパ製造用基板10は、第3搬送機構63により、第3洗浄部39から第4洗浄部40に搬送されてさらに洗浄処理されるとともに、乾燥部41に搬送されて乾燥され、コンベア部42に搬送された後、搬送ロボット33によりカセット15内に収納される。このように、この基板処理装置においては、電子ペーパ製造用基板10を搬送しながら、その表面および裏面の洗浄処理と、長辺S1および短辺S2の洗浄処理とを同時に実行することができることから、その端縁の洗浄処理に余分な時間を要することなく、また、端縁の洗浄処理のための占有スペースが必要となることもない。なお、上述した実施形態においては、電子ペーパ製造用基板10が第1搬送機構61に搬送されている間に、洗浄液噴出ノズル51からその長辺S1に洗浄液が噴出して長辺S1を洗浄処理しているが、電子ペーパ製造用基板10が第3洗浄部39または第4洗浄部40において、第3搬送機構63に搬送されている間に、洗浄液噴出ノズルからその長辺S1に洗浄液を噴出して長辺S1を洗浄処理するようにしてもよい。すなわち、全ての洗浄部に搬送され通過した後の電子ペーパ製造用基板10は、その長辺S1と短辺S2の両方の洗浄処理が完了されていればよい。