レーザの入射面と反対側の表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記入射面への入射方向と異なる方向に反射可能に形成されているマイクロチップ。前記表面は、前記入射面に対して非平行な面を含んで形成されている請求項1記載のマイクロチップ。前記表面は、曲率を有する面を含んで形成されている請求項1記載のマイクロチップ。熱可塑性樹脂からなる請求項2記載のマイクロチップ。射出成形により形成されている請求項4記載のマイクロチップ。微小粒子が通流される流路が形成されたマイクロチップと、光源から出射されるレーザを前記マイクロチップの前記流路に導光する照射系と、を備え、前記マイクロチップは、前記レーザの入射面と反対側の表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記入射面への入射方向と異なる方向に反射可能に形成されているマイクロチップ型微小粒子測定装置。前記レーザを照射された前記微小粒子から発生する蛍光及び/又は散乱光を検出する検出器と、前記蛍光及び/又は前記散乱光を前記検出器に導光する検出系と、を備え、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記検出器の検出範囲外に反射可能に形成されている請求項6記載のマイクロチップ型微小粒子測定装置。前記検出系は、前記微小粒子から発生する前記蛍光及び/又は前記散乱光を前記検出器に伝送する光ファイバと、該光ファイバに前記蛍光及び/又は前記散乱光をカップルするレンズとを含んで構成され、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを、前記光ファイバの入射端における前記蛍光及び/又は前記散乱光のスポットと光学的に共役な領域の外に反射可能に形成されている請求項7記載のマイクロチップ型微小粒子測定装置。前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを、前記流路を通流する前記微小粒子を照射しない方向に反射可能に形成されている請求項6記載のマイクロチップ型微小粒子測定装置。前記微小粒子から発生する前方散乱光を検出する検出器を備え、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面に対して非平行な面を含んで形成されるとともに、前方散乱光を検出する前記検出器が、前記入射面に対する前記表面の傾きに応じて、前記入射面へ入射する前記レーザの光軸に対して斜めに配置されている請求項8記載のマイクロチップ型微小粒子測定装置。微小粒子の光学特性を高精度に測定するため、微小粒子測定装置は、レーザ照射によって微小粒子から発生する蛍光及び散乱光を高効率で検出する一方、反射光及び干渉光などのノイズとなる光が検出器に入らないような検出系を備えることが求められる。特に、石英ガラス製のフローセルに比べて光学特性に劣るプラスチック製のマイクロチップを用いたフローサイトメータでは、検出系に対する上記要請は一層大きい。そこで、本技術は、ノイズとなる光の検出を抑制し、シグナルとなる微小粒子から発生する蛍光及び散乱光を選択的に検出することが可能な微小粒子測定装置用マイクロチップを提供することを主な目的とする。上記課題解決のため、本技術は、レーザの入射面と反対側の表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記入射面への入射方向と異なる方向に反射可能に形成されているマイクロチップを提供する。このマイクロチップにおいて、前記表面は、前記入射面に対して非平行な面あるいは曲率を有する面を含んで形成される。このマイクロチップでは、上記の非平行な面あるいは曲率を有する面によって入射面を透過したレーザを入射方向と異なる方向に反射させることで、反射光によるノイズを抑制できる。このマイクロチップは、熱可塑性樹脂からなり、射出成形により形成されたものとできる。また、本技術は、微小粒子が通流される流路が形成されたマイクロチップと、光源から出射されるレーザを前記マイクロチップの前記流路に導光する照射系と、を備え、前記マイクロチップは、前記レーザの入射面と反対側の表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記入射面への入射方向と異なる方向に反射可能に形成されているマイクロチップ型微小粒子測定装置を提供する。このマイクロチップ型微小粒子測定装置は、前記レーザを照射された前記微小粒子から発生する蛍光及び/又は散乱光を検出する検出器と、前記蛍光及び/又は前記散乱光を前記検出器に導光する検出系と、を備え、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記検出器の検出範囲外に反射可能に形成されていることが好ましい。このマイクロチップ型微小粒子測定装置の前記検出系は、前記微小粒子から発生する前記蛍光及び/又は前記散乱光を前記検出器に伝送する光ファイバと、該光ファイバに前記蛍光及び/又は前記散乱光をカップルするレンズとを含んだものとでき、この場合には、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを、前記光ファイバの入射端における前記蛍光及び/又は前記散乱光のスポットと光学的に共役な領域の外に反射可能に形成されていることが好ましい。このマイクロチップ型微小粒子測定装置では、前記表面によって入射面を透過したレーザを上記検出器の検出範囲外あるいは上記共役領域の外に反射させることで、反射光によるノイズの発生を抑制し、前記微小粒子から発生する蛍光及び/又は散乱光を選択的に検出できる。あるいは、このマイクロチップ型微小粒子測定装置は、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを、前記流路を通流する前記微小粒子を照射しない方向に反射可能に形成されたものとしてもよい。入射面を透過したレーザを、微小粒子を照射しない方向に反射させることで、反射光によるノイズの発生を防止し、前記微小粒子から発生する蛍光及び/又は散乱光を選択的に検出できる。このマイクロチップ型微小粒子測定装置に、前記微小粒子から発生する前方散乱光を検出する検出器を設ける場合において、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面に対して非平行な面を含んで形成される場合には、前方散乱光を検出する前記検出器は、前記入射面に対する前記表面の傾きに応じて、前記入射面へ入射する前記レーザの光軸に対して斜めに配置される。本技術において、微小粒子には、細胞や微生物、リポソームなどの生体関連微小粒子、あるいはラテックス粒子やゲル粒子、工業用粒子などの合成粒子などが広く含まれるものとする。生体関連微小粒子には、各種細胞を構成する染色体、リポソーム、ミトコンドリア、オルガネラなどが含まれる。細胞には、動物細胞および植物細胞が含まれる。微生物には、大腸菌などの細菌類、タバコモザイクウイルスなどのウイルス類、イースト菌などの菌類などが含まれる。さらに、生体関連微小粒子には、核酸やタンパク質、これらの複合体などの生体関連高分子も包含され得るものとする。また、工業用粒子は、例えば有機もしくは無機高分子材料、金属などであってもよい。有機高分子材料には、ポリスチレン、スチレンジビニルベンゼン、ポリメチルメタクリレートなどが含まれる。無機高分子材料には、ガラス、シリカ、磁性体材料などが含まれる。金属には、金コロイド、アルミなどが含まれる。これら微小粒子の形状は、一般には球形であるのが普通であるが、非球形であってもよく、また大きさや質量なども特に限定されない。本技術により、ノイズとなる光の検出を抑制し、シグナルとなる微小粒子から発生する蛍光及び散乱光を選択的に検出することが可能な微小粒子測定装置用マイクロチップが提供される。以下、本技術を実施するための好適な形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本技術の代表的な実施形態の一例を示したものであり、これにより本技術の範囲が狭く解釈されることはない。説明は以下の順序で行う。1.マイクロチップ型微小粒子測定装置2.マイクロチップ1第一実施形態に係るマイクロチップ2第二実施形態に係るマイクロチップ1.マイクロチップ型微小粒子測定装置図1は、本技術に係るマイクロチップ型微小粒子測定装置の照射系と検出系の構成を説明する模式図である。照射系は、マイクロチップ1に形成された流路11を通流する微小粒子PにレーザL1を照射するために機能する。照射系は、光源不図示から出射されるレーザL1を伝送するレーザ伝送ファイバ21と、レーザL1を平行光とするコリメータレンズ22、レーザL1を流路11に対して集光する対物レンズ23と、を含んでなる。図中符号12はマイクロチップ1のレーザL1の入射面を示し、符号13は入射面と反対側の裏面を示す。また、図中矢印F1は、光源から出射されたレーザL1がレーザ伝送ファイバ21に入射する方向を示す。検出系は、レーザL1の照射により微小粒子Pから発生する蛍光及び/又は後方散乱光を検出するために機能する。検出系は、微小粒子Pから発生する蛍光後方散乱光L2を集光する対物レンズ23、蛍光後方散乱光L2を反射するミラー31、蛍光後方散乱光L2を蛍光散乱光伝送ファイバ33の入射端331にカップルする集光レンズ32、蛍光散乱光伝送ファイバ33により伝送される蛍光後方散乱光L2を検出する検出器不図示を含んでなる。図中矢印F2は、蛍光散乱光伝送ファイバ33から出射された蛍光後方散乱光L2が検出器に入射する方向を示す。また、検出系は、微小粒子Pから発生する前方散乱光L3を検出する検出器35も含む。図中符号34は、レーザL1を遮光するマスクを示す。マスク34は、レーザL1を遮断して、前方散乱光L3のみを検出器35に導光するために機能する。照射系及び検出系は、図1に示す構成以外に、通常使用されるレンズ、ダイクロイックミラー及びバンドパスフィルター等の光学素子を含んでいてもよい。また、検出器35を含む検出器は、例えば、PMTphotomultipliertubeや、CCDやCMOS素子等のエリア撮像素子等によって構成できる。検出器で検出された蛍光及び各種散乱光は、電気信号に変換されて出力され、微小粒子Pの光学特性判定に供される。2.マイクロチップ1第一実施形態に係るマイクロチップ図2は、マイクロチップ1として好適な実施形態の一つの構成を説明する模式図である。図中符号1aで示すマイクロチップは、入射面12を透過したレーザL1を入射方向と異なる方向に反射可能に形成された非平行面131aを裏面13の一部に有する。非平行面131aは、入射面12に対して非平行な面として形成される。非平行面131aは、裏面13のうち、少なくとも入射面12を透過したレーザL1と微小粒子Pから発生した前方散乱光L3が到達し得る部分に設けられる。ここでは、同部分に、非平行面131aを一つの面として構成する場合を例に説明するが、図に示される断面図において鋸状に配列した複数の面によって構成することもできる。入射面12を透過したレーザL1が裏面13により反射され、反射光が微小粒子Pを照射すると、反射光によって微小粒子Pから蛍光及び散乱光が発生する場合がある。この反射光による蛍光及び散乱光は、入射面12を透過したレーザL1による直接照射によって微小粒子Pから発生する検出対象の蛍光後方散乱光L2にとってノイズとなる。マイクロチップ1aでは、非平行面131aを設けることにより、入射面12を透過したレーザL1を入射方向と異なる方向に反射させることで、このような反射光による蛍光及び散乱光が生じたとしてもそれらが検出されないようしている。具体的には、非平行面131aが入射面12に対して所定角度傾いていることで、非平行面131aによるレーザL1の反射光L4が入射方向と異なる方向に反射される。非平行面131aの入射面12に対する傾き角度は、反射光L4が、蛍光後方散乱光L2を検出する検出器の検出範囲図中矢印Q-Q参照外に反射されるように設定されることが好ましい。検出器の検出範囲図中矢印Q-Q参照は、蛍光散乱光伝送ファイバ33の入射端331における蛍光後方散乱光L2のスポットと光学的に共役な領域検出窓と称するということができる。従って、上記傾き角度は、換言すれば、反射光L4が、検出窓の外に反射されるように設定されることが好ましい。このように設定することで、反射光L4による蛍光及び散乱光が生じたとしても、それらが蛍光後方散乱光L2を検出する検出器に入ってしまうことを防止できる。あるいは、非平行面131aの入射面12に対する傾き角度は、反射光L4が流路11を通流する3次元層流微小粒子Pを含むサンプル液の層流の周囲をシース液の層流が取り囲んだ層流にあたらないように設定される。好ましくは、上記傾き角度は、反射光L4が流路11にあたらないように設定される。このように設定することで、反射光L4による蛍光及び散乱光が生じなくなるため、それらが蛍光後方散乱光L2を検出する検出器に入ってしまうことを防止できる。非平行面131aによりレーザL1の反射光L4を検出器の検出範囲外あるいは検出窓の外に反射させることで、マイクロチップ1a及びこれを搭載したマイクロチップ型微小粒子測定装置では、反射光L4によるノイズの発生を抑制し、蛍光後方散乱光L2を選択的に検出できる。従って、マイクロチップ1a及びこれを搭載したマイクロチップ型微小粒子測定装置では、微小粒子Pから発生する蛍光後方散乱光L2を高効率で検出し、微小粒子の光学特性を高精度に測定できる。なお、検出器の検出範囲及び検出窓の大きさは、蛍光散乱光伝送ファイバ33のコア径と検出系の光学倍率によって決定されるものである。なお、マイクロチップ1aを搭載したマイクロチップ型微小粒子測定装置では、非平行面131aの入射面12に対する傾き角度に応じて、前方散乱光L3を検出する検出器35をレーザL1の光軸に対して斜めに配置する。これにより、微小粒子Pと検出器35とが光学的に共役となるような設計とする。ここでは、裏面13のうち、入射面12を透過したレーザL1が到達し得る部分のみに非平行面131aを設ける例を説明したが、裏面13全面を入射面12に対する非平行面としてもよい。マイクロチップ1aは、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル樹脂PMMA、環状ポリオレフィン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン及びポリジメチルシロキサンPDMSなどの熱可塑性樹脂の射出成形によって形成でき、金型を用いて流路11及び非平行面131aを形成した基板層を貼り合わせることによって得ることができる。ただし、マイクロチップ1aの形成方法は射出成形に限定されるものではない。2第二実施形態に係るマイクロチップ図3は、マイクロチップ1として好適な実施形態の他の構成を説明する模式図である。図中符号1bで示すマイクロチップは、入射面12を透過したレーザL1を入射方向と異なる方向に反射可能に形成された曲率面131bを裏面13の一部に有する。曲率面131bは、所定の曲率を有する面として形成される。曲率面131bは、裏面13のうち、少なくとも入射面12を透過したレーザL1と微小粒子Pから発生した前方散乱光L3が到達し得る部分に設けられる。ここでは、同部分を一つの曲率面131bで構成する場合を例に説明するが、同部分に複数の曲率面131bを配列してもよい。マイクロチップ1bでは、曲率面131bを設けることにより、入射面12を透過したレーザL1を広範に発散させ、その大部分を入射方向と異なる方向に反射させることで、反射光の照射による微小粒子Pからの蛍光及び散乱光の発生を抑制している。具体的には、曲率面131bに所定の曲率が付与されていることで、曲率面131bによるレーザL1の反射光L4が多方向に反射され発散される。曲率面131bの曲率は、反射光L4の大部分が、蛍光後方散乱光L2を検出する検出器の検出範囲図中矢印Q-Q参照外に反射されるように設定されることが好ましい。換言すれば、上記曲率は、反射光L4の大部分が、検出窓の外に反射されるように設定されることが好ましい。このように設定することで、反射光L4による蛍光及び散乱光が生じたとしても、それらのうち蛍光後方散乱光L2を検出する検出器に入る比率は大幅に減少する。あるいは、曲率面131bの曲率は、反射光L4の大部分が流路11を通流する3次元層流にあたらないように設定される。好ましくは、上記曲率は、反射光L4の大部分が流路11にあたらないように設定される。このように設定することで、反射光L4による蛍光及び散乱光がほとんど生じなくなるため、それらが蛍光後方散乱光L2を検出する検出器に入ってしまうことを抑制できる。曲率面131bによりレーザL1の反射光L4の大部分を検出器の検出範囲外あるいは検出窓の外に反射させることで、マイクロチップ1b及びこれを搭載したマイクロチップ型微小粒子測定装置では、反射光L4によるノイズの発生を抑制し、蛍光後方散乱光L2を選択的に検出できる。従って、マイクロチップ1b及びこれを搭載したマイクロチップ型微小粒子測定装置では、微小粒子Pから発生する蛍光後方散乱光L2を高効率で検出し、微小粒子の光学特性を高精度に測定できる。なお、マイクロチップ1bを搭載したマイクロチップ型微小粒子測定装置では、曲率面131bがレンズとして作用するため、曲率面131bの曲率に応じて、前方散乱光L3を検出する検出器35のサイズ及び/又は位置を調整する。これにより、微小粒子Pと検出器35とが光学的に共役となるような設計とする。また、マイクロチップ1bと検出器35との間に前方散乱光L3の集光レンズを配置する場合には、曲率面131bのレンズ作用を考慮して集光レンズの設計を行う。ここでは、裏面13のうち、入射面12を透過したレーザL1が到達し得る部分のみに曲率面131bを設ける例を説明したが、裏面13全面を所定の曲率を有する面としてもよい。マイクロチップ1bも、上述の熱可塑性樹脂の射出成形によって形成でき、金型を用いて流路11及び曲率面131bを形成した基板層を貼り合わせることによって得ることができる。ただし、マイクロチップ1bの形成方法は射出成形に限定されるものではない。本技術に係るマイクロチップは以下のような構成をとることもできる。1レーザの入射面と反対側の表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記入射面への入射方向と異なる方向に反射可能に形成されているマイクロチップ。2前記表面は、前記入射面に対して非平行な面を含んで形成されている上記1記載のマイクロチップ。3前記表面は、曲率を有する面を含んで形成されている上記1記載のマイクロチップ。4熱可塑性樹脂からなる上記1~3のいずれかに記載のマイクロチップ。5射出成形により形成されている上記1~4のいずれかに記載のマイクロチップ。また、本技術に係るマイクロチップ型微小粒子測定装置は以下のような構成をとることもできる。6微小粒子が通流される流路が形成されたマイクロチップと、光源から出射されるレーザを前記マイクロチップの前記流路に導光する照射系と、を備え、前記マイクロチップは、前記レーザの入射面と反対側の表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記入射面への入射方向と異なる方向に反射可能に形成されているマイクロチップ型微小粒子測定装置。7前記レーザを照射された前記微小粒子から発生する蛍光及び/又は散乱光を検出する検出器と、前記蛍光及び/又は前記散乱光を前記検出器に導光する検出系と、を備え、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを前記検出器の検出範囲外に反射可能に形成されている上記6記載のマイクロチップ型微小粒子測定装置。8前記検出系は、前記微小粒子から発生する前記蛍光及び/又は前記散乱光を前記検出器に伝送する光ファイバと、該光ファイバに前記蛍光及び/又は前記散乱光をカップルするレンズとを含んで構成され、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを、前記光ファイバの入射端における前記蛍光及び/又は前記散乱光のスポットと光学的に共役な領域の外に反射可能に形成されている上記7記載のマイクロチップ型微小粒子測定装置。9前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面を透過した前記レーザを、前記流路を通流する前記微小粒子を照射しない方向に反射可能に形成されている上記6~8のいずれかに記載のマイクロチップ型微小粒子測定装置。10前記微小粒子から発生する前方散乱光を検出する検出器を備え、前記マイクロチップの前記表面が、前記入射面に対して非平行な面を含んで形成されるとともに、前方散乱光を検出する前記検出器が、前記入射面に対する前記表面の傾きに応じて、前記入射面へ入射する前記レーザの光軸に対して斜めに配置されている上記6~9のいずれかに記載のマイクロチップ型微小粒子測定装置。