被計測物の絶対位置を計測するエンコーダであって、前記被計測物とともに移動可能に構成されたスケールと、前記スケールに形成され、異なるピッチのパターンを有するトラックと、前記スケールに対する相対的な変位を検出して、前記パターンの前記ピッチに応じた第1の2相正弦波信号を出力する第1のセンサおよび第2の2相正弦波信号を出力する第2のセンサと、前記第1の2相正弦波信号および前記第2の2相正弦波信号に基づいて前記第1のセンサおよび前記第2のセンサに対応する第1の位相および第2の位相をそれぞれ算出する位相演算手段と、前記第1の位相と前記第2の位相との位相差に基づいて前記被計測物の粗位置を計測する粗位置計測手段と、前記被計測物の粗位置に基づいて、前記第1の2相正弦波信号および前記第2の2相正弦波信号に含まれる位相差誤差を補正する補正手段と、前記補正手段で補正された前記第1の2相正弦波信号および前記第2の2相正弦波信号に基づいて前記被計測物の絶対位置を計測する位置計測手段と、を有することを特徴とするエンコーダ。前記エンコーダは、前記スケールが直線状であるリニア型エンコーダであり、前記パターンの前記ピッチは、前記トラックの一方の端から他方の端に向けて単調増加するように変化していることを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。前記位相演算手段は、前記補正手段で補正された前記第1の2相正弦波信号および前記第2の2相正弦波信号に基づいて前記第1の位相および前記第2の位相をそれぞれ算出することを特徴とする請求項1または2に記載のエンコーダ。以下の式を満たすことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のエンコーダ。nλ1≦d<n1λ1n-1λ2≦d<nλ2d<λ1λ2/λ2-λ1ただし、λ1は前記トラックの全領域のうち前記第1のセンサまたは前記第2のセンサによる検出範囲における前記ピッチの最小値、λ2は該検出範囲における該ピッチの最大値、dは該第1のセンサと該第2のセンサの間隔、nは整数である。以下の式を満たすことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のエンコーダ。nλ1≦d<n1λ1nλ2≦d<n1λ2ただし、λ1は前記トラックの全領域のうち前記第1のセンサまたは前記第2のセンサによる検出範囲における前記ピッチの最小値、λ2は該検出範囲における該ピッチの最大値、dは該第1のセンサと該第2のセンサの間隔、nは整数である。しかしながら、特許文献1の絶対位置検出装置のように格子パターンを不等間隔にすると、格子パターンのピッチと複数のセンサの検出ピッチとが合わなくなり、正弦波および余弦波の2相信号に位相差誤差が生じてしまう。すなわち、2相信号の位相差がπ/2からずれることになる。このため、arctan演算などを用いて算出される位相情報には誤差が含まれる。その結果、絶対位置検出装置による計測位置に誤差が含まれ、計測位置の精度が劣化する。そこで本発明は、被計測物の絶対位置を高精度に計測可能なエンコーダを提供する。本発明の一側面としてのエンコーダは、被計測物の絶対位置を計測するエンコーダであって、前記被計測物とともに移動可能に構成されたスケールと、前記スケールに形成され、異なるピッチのパターンを有するトラックと、前記スケールに対する相対的な変位を検出して、前記パターンの前記ピッチに応じた第1の2相正弦波信号を出力する第1のセンサおよび第2の2相正弦波信号を出力する第2のセンサと、前記第1の2相正弦波信号および前記第2の2相正弦波信号に基づいて前記第1のセンサおよび前記第2のセンサに対応する第1の位相および第2の位相をそれぞれ算出する位相演算手段と、前記第1の位相と前記第2の位相との位相差に基づいて前記被計測物の粗位置を計測する粗位置計測手段と、前記被計測物の粗位置に基づいて、前記第1の2相正弦波信号および前記第2の2相正弦波信号に含まれる位相差誤差を補正する補正手段と、前記補正手段で補正された前記第1の2相正弦波信号および前記第2の2相正弦波信号に基づいて前記被計測物の絶対位置を計測する位置計測手段とを有する。本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。本発明によれば、被計測物の絶対位置を高精度に計測可能なエンコーダを提供することができる。以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。まず、図1を参照して、本実施例におけるエンコーダの構成について説明する。図1は、本実施例におけるエンコーダ100のブロック図である。エンコーダ100は、被計測物の絶対位置を計測するエンコーダである。図1に示されるように、エンコーダ100は、スケール1、センサ21、22、arctan演算部31、32、粗位置信号生成部41、位相補正部51、52、arctan演算部61、62、および、出力信号生成部71を備えて構成される。スケール1は、被計測物不図示とともに移動可能に構成されている。またスケール1には、異なるピッチ間隔のパターン格子パターンを有するトラック11が形成されている。パターンのピッチは、トラック11の一方の端例えば、図1中の左端から他方の端例えば、図1中の右端に向けて単調増加するように変化している。センサ21、22はそれぞれ、トラック11スケール1に対して相対的に変位し、この相対的変位に応じて2相正弦波信号余弦波A、正弦波Bを出力する。このようにセンサ21第1のセンサは、スケール1に対する相対的な変位を検出して、パターンのピッチに応じた第1の2相正弦波信号を出力する。同様にセンサ22第2のセンサは、スケール1に対する相対的な変位を検出して、パターンのピッチに応じた第2の2相正弦波信号を出力する。センサ21、22から出力された2組の2相正弦波信号第1の2相正弦波信号、第2の2相正弦波信号はそれぞれ、arctan演算部31、32位相演算手段に入力される。arctan演算部31、32は、トラック11とセンサ21、22の相対的な位置関係に応じた位相を算出する。このようにarctan演算部31、32は、2組の2相正弦波信号に基づいてセンサ21、22それぞれに対応する位相第1の位相、第2の位相を算出する。続いて粗位置信号生成部41粗位置計測手段は、arctan演算部31、32で算出された2つの位相第1の位相、第2の位相の位相差に基づいて被計測物スケール1の粗位置を計測するすなわち、粗位置信号を生成する。位相補正部51、52補正手段は、粗位置信号生成部41で計測生成された粗位置粗位置信号に基づいて、センサ21、22から出力された2組の2相正弦波信号に含まれる位相差誤差をそれぞれ補正する。続いて、arctan演算部61、62位相計測手段はそれぞれ、位相補正部51、52により位相差誤差が補正された2組の2相正弦波信号の位相を算出する。そして、出力信号生成部71位置計測手段は、arctan演算部61、62で算出された位相を用いて被計測物スケール1の絶対位置エンコーダ計測位置を計測生成する。すなわち出力信号生成部71は、位相補正部51、52で補正された2組の2相正弦波信号に基づいて被計測物の絶対位置を計測する。次に、本実施例におけるエンコーダ100の動作について説明する。トラック11には、格子状の反射部と非反射部とが交互に並んで配置されており、トラック11の格子ピッチピッチは、一方の端から他方の端に向けて単調増加する。2つのセンサ21、22はそれぞれ、受光素子を備えて構成されており、光源不図示から照射されてトラック11の反射部で反射した光束が受光素子上に照射する光量分布を検出する。そして、センサ21、22は、センサ21、22とトラック11との相対的な変位に応じて変化する光量分布の変化を、2相正弦波信号としてそれぞれ出力する。図2は、エンコーダ100のトラック11のピッチを示す図である。図2に示されるように、本実施例では、トラック11の長さトラック長をLとし、格子の長手方向に垂直な方向図2の左右方向に、ピッチの広い端側を正としてx軸をとり、トラック11の中央をx=0とする。そして、トラック11のピッチがλ-Δλx=-L/2からλΔλx=L/2に変調しているものとするただし、0<Δλ≪λ。このとき、位置xにおけるトラック11のピッチPxは、以下の式1のように表される。Px=λ2Δλx/L...1また、センサ21、22はそれぞれセンサアレイから構成され、このセンサアレイの周期は、スケール1上でのピッチが共に等しくλとなるように構成されている。センサ21、22のスケール1上での検出位置におけるx軸方向測長方向の間隔センサ間隔をdとし、センサ21、22から検出される2相正弦波信号の余弦波をA、正弦波をBとする。続いて、arctan演算部31、32の動作について説明する。arctan演算部31、32はそれぞれ、センサ21、22から出力される2相正弦波信号に対してarctan演算を行い、対応する位相を算出する。上述のように2相正弦波信号の余弦波をA、正弦波をBとすると、位相θ0≦θ<2πは、A、Bの符号に応じて、以下の式2、3、4により求めることができる。A≧0、B≧0のときθ=tan-1A/B...2A≧0、B<0のときθ=tan-1A/B2π...3A<0のときθ=tan-1A/Bπ...4次に、粗位置信号生成部41の動作について説明する。粗位置信号生成部41は、arctan演算部31、32のそれぞれから出力される2つの位相の差に基づいて粗位置信号を求める。センサ21から得られた位相θをθ1、センサ22から得られた位相θをθ2、位相θ1と位相θ2の位相差をα0≦α<2πとすると、位相差αは位相θ1、θ2の関係に応じて以下の式5、6で表される。θ1≦θ2のときα=θ2-θ1...5θ1>θ2のときα=θ2-θ12π...6以下、2つの位相の関係がθ1≦θ2の場合を例として説明する。ところで、本実施例のエンコーダ100は、トラック11とセンサ21、22との相対的な変位に基づいてスケール1被計測物の位置を計測する。したがって、十分なセンサ検出範囲を確保するには、トラック長Lとセンサ間隔dとの関係において、L≫dが成立する必要がある。このような構成において、センサ21とセンサ22の間におけるトラック11のピッチの変化量は、トラック11の全域におけるトラック11のピッチの変化量と比較して十分に小さい。このため、センサ21とセンサ22の間におけるトラック11のピッチが一定であるとみなしても、発生する誤差は十分に小さい。したがって、求める粗位置信号をcとすると、センサ21とセンサ22の間におけるトラック11のピッチは、一定値λp=Pcと表すことができる。粗位置信号cの算出方法に関し、図3参照してさらに説明を加える。図3は、エンコーダ100のセンサ21、22の位置とトラック11の位相との関係図である。図3において、横軸は位置、縦軸はトラックの位相を示している。dはセンサ間隔センサ間距離、λpは上述のように仮定したトラックのピッチ一定のピッチ、x1はセンサ21の位置検出位置、x2はセンサ22の位置検出位置である。また、x3はセンサ22が読み取っているピッチλp内において位相がセンサ21の位相と等しくなる位置、nλpは位置x1と位置x3と間の距離、θ1は位置x1、x3に対応するトラックの位相、θ2は位置x2に対応するトラックの位相である。まず、以下の式7を満たす整数nを、センサ21とセンサ22の間に存在するピッチ数nとして定める。nλp≦d<n1λp...7このとき、センサ22の位相θ2とセンサ21の位相θ1との位相差θ2-θ1は、以下の式8のように表される。θ2-θ1=2π×d-nλp/λp...8式8に関し、トラック11の位相の1周期分0から2πまでの変化に対応する距離はピッチλpである。このため、センサ22の読み取っているトラックのピッチ内で、位相がθ1となる位置をx3とすると、位置x1から位置x3までの距離はnλpとなる。また、センサ間隔はdであるから、位置x2における位相と位置x3における位相の位相差は位置x2と位置x3の間の距離に比例し、2π×d-nλp/λpとして求められる。この結果、上述の式8が得られる。ここで、λp=Pc=λ2Δλc/L、α=θ2-θ1である。これらの値を式8に代入して変形すると、以下の式9が得られ、粗位置信号cを求めることができる。c=L2πd-2πnλ-αλ/2Δλα2πn...9以上、2つの位相の関係がθ1≦θ2である場合について説明したが、位相の関係がθ1>θ2の場合にも同様に、式9と同じ式が得られる。続いて、位相補正部51、52の動作について説明する。位相補正部51、52は、センサ21、22のそれぞれから出力される2相正弦波信号に対して、位相差誤差の補正を行う。センサ21、22から出力される2相正弦波信号には、センサ21、22のスケール1上での読み取りピッチλとトラック11のピッチPxとのずれに起因する位相差誤差が含まれる。この位相差誤差は、センサ21、22およびトラック11の設計値に依存する。そして位置xが定まれば位相差誤差も求められるため、位相差誤差の補正が可能である。次に、位相差誤差を位置xの関数exとして、位相差誤差の補正処理について説明する。位相差誤差exを含む2相正弦波信号余弦波A、正弦波Bは、位相をθとして、それぞれ以下の式10、11のように表される。A=cosθex/2...10B=sinθ-ex/2...11そして、式10、11より、余弦波Aと正弦波B2相正弦波信号の和および差を求めると、以下の式12、13で表されるように誤差成分exを分離することができる。AB=2×cosθ-π/4sinex/2-π/4...12-AB=2×sinθ-π/4cosex/2-π/4...13ここで、式12、13中の位置xとして粗位置信号cを代入する。そして、式12、13の振幅成分2×sinex/2-π/4、2×cosex/2-π/4について、それぞれ逆数を乗じる。これにより、以下の式14、15に表されるように、位相差誤差を補正した2相正弦波信号余弦波A2、正弦波B2を求めることができる。ただし、φ=θ-π/4である。A2=AB/2×sinec/2-π/4≒cosφ...14B2=-AB/2×cosec/2-π/4≒sinφ...15また、図4を参照して、位相差誤差exについて説明する。図4は、トラック11の位置xと2相正弦波信号余弦波A、正弦波Bとの関係図である。図4a、b、cはそれぞれ、トラック11の位置がx=-L/2、x=0、x=L/2、すなわちトラック11のピッチPxがλ-Δλ、λ、λΔλである位置における2相正弦波信号余弦波A、正弦波Bを示す。センサ21、22のスケール1上での読み取りピッチはλであるため、2相正弦波信号余弦波A、正弦波Bはそれぞれの位置を基準として、常にλ/4ずれた信号となる。一方、2相正弦波信号の周期は、図4a~cに示されるようにトラック11のピッチに対応する。ここで、位相差はπ/2exであるから、位相差誤差exは以下の式16で表される。π/2ex=λ/4/Px×2π=λ/Px×π/2=π/2-π×Δλx/λLΔλx∴ex=-π×Δλx/λLΔλx...16次に、arctan演算部61、62および出力信号生成部71の動作について説明する。arctan演算部61、62は、位相補正後の2相正弦波信号の位相を算出する。arctan演算部61、62は、arctan演算部31、32と同様に、arctan演算によりセンサ21、22に対応する位相をそれぞれ算出する。位相補正後の2相正弦波信号の余弦波をA2、正弦波をB2とすると、位相φ0≦φ<2πは、A2、B2の符号に応じて、以下の式17、18、19により求めることができる。A2≧0、B2≧0のときφ=tan-1A2/B2...17A2≧0、B2<0のときφ=tan-1A2/B22π...18A2<0のときφ=tan-1A2/B2π...19ここで、センサ21に対応する位相φをφ1、センサ22に対応する位相φをφ2とする。出力信号生成部71は、まずエンコーダ100が読み取っているピッチの境界の位置を求める。続いて、ピッチ内での高精度な位置を求める。なお、ピッチの境界の位置とは、位相が0となる位置である。本実施例では、センサ21の読み取っているピッチおよび位相φ1をエンコーダ計測位置として説明するが、本実施例はこれに限定されるものではない。構成上の位置情報が対応付けられていれば、上記操作はセンサ21に限定されるものではなく、センサ22の読み取っているピッチおよび位相φ2をエンコーダ計測位置としてもよい。まず、エンコーダ100が読み取っているピッチの境界の位置を求めるために、出力信号生成部71は、粗位置信号生成部41と同様の処理により粗位置信号c ́を求める。粗位置信号c ́は、式5、6、9と同様に、式20を計算することにより求められる。c ́=L2πd-2πnλ-βλ/2Δλβ2πn...20ただし、φ1≦φ2のときβ=φ2-φ1であり、φ1>φ2のときβ=φ2-φ12πである。更に、出力信号生成部71は、粗位置信号c ́からセンサ21の位相φ1を減算する。ただし、φ1は位相であるため、トラック11のピッチの境界からの距離に変換して減算する。減算結果をtとすると、以下の式21で表される。t=c ́-φ1/2π×Pc ́...21ところで、粗位置信号c ́がエンコーダ計測位置と同じである場合、粗位置信号c ́から、センサ21の位相φ1に対応するトラックのピッチ境界からの距離を減じると、ピッチ境界の位置となる。しかし、粗位置信号c ́は誤差を含むため、エンコーダ計測位置と常に同じであるとは限らず、減算結果はピッチ境界の近傍の位置となる。そこで、トラックのピッチの境界をSmmは0以上の整数とし、センサ21の読み取っているピッチの境界の位置をTとして、Tは式22で求められる。T=Sm...22ただし、m≧1のとき、Sm-1Sm/2≦t<SmSm1/2が成立し、m=0のとき、-S0S1/2≦t<S0S1/2が成立する。なお、SmはS0=-L/2、Sm1=SmPSmの漸化式を解くことにより、以下の式23で与えられる。Sm=L/2×λ/Δλ-112×Δλ/Lm-Lλ/2×Δλ...23ピッチの境界において位相は0である。このため、被計測物の絶対位置最終的なエンコーダ計測位置をABSとすると、センサ21の位相φ1を用いて、絶対位置ABSは以下の式24により求められる。ABS=Tφ1/2π×PT...24本実施例では、arctan演算部31、32、61、62がそれぞれ互いに分離しているものとして説明したが、演算回路等を用いてこれらを共通化してもよい。また、位相補正部51、52についても同様に共通化することが可能である。図5は、本実施例における別形態のエンコーダ100aのブロック図である。本実施例では、補正が一度のみ行われるものとして説明されているが、これに限定されるものではない。図5に示されるように、arctan演算部61、62の出力位相を粗位置信号生成部41に入力し、複数の補正を実行可能とするループ構造にしてもよい。この場合、arctan演算部61、62は、位相補正部51、52で補正された第1の2相正弦波信号および第2の2相正弦波信号に基づいて第1の位相および第2の位相をそれぞれ算出する。このように補正を繰り返すと、より高精度の粗位置が生成できるため、より高精度に位相差誤差を補正することが可能となる。また本実施例では、arctan演算部31、32および位相補正部51、52に入力される信号が同一であるとして説明したが、これに限定されるものではない。連続でセンサ信号を取得し、i番目iは任意の整数に取得したセンサ信号から粗位置信号を生成し、生成した粗位置信号に基づいてi1番目に取得したセンサ信号の位相差誤差を補正してもよい。この場合、センサ信号を取得してからエンコーダ計測位置を求めるまでの処理時間を短縮することができる。また本実施例では、一方のセンサに対応する位相を出力信号生成部71に直接入力しているが、これに代えて、両方のセンサに対応する位相を平均化するなどした位相を入力してもよい。この場合、センサ間隔の変動に伴う誤差などの影響を低減することが可能である。また本実施例は、スケール1トラック11の方向が直線状であるリニア型エンコーダについて説明したが、これに限定されるものではない。本実施例は、例えばスケールが円形状であるロータリ型エンコーダにも適用可能である。本実施例はアブソリュートエンコーダに限定していないが、絶対位置の計測を行うには、センサ21に対応する位相φ1とセンサ22に対応する位相φ2の位相差が任意の位置xと一対一で対応している必要がある。すなわち、位相φ1と位相φ2の位相差をβxとして、センサ検出範囲において位相差βxが常に異なる値となるようにトラックのピッチおよびセンサ間隔を設計する必要がある。次に、本実施例で説明したエンコーダを、絶対位置を計測するアブソリュートエンコーダとするための条件について説明する。まず、トラック長をLとし、トラックの測長方向に、ピッチが広い端側を正として、x軸をとり、トラックの中央をx=0とする。また、センサ21、22の間の測長方向における間隔センサ間隔をd、位置xに対応するトラックのピッチをPxとする。そして、トラックの全領域のうちセンサ21による検出範囲トラック読み取り可能な範囲におけるピッチの最小幅最小値をλ1=P-L/2、その最大幅最大値をλ2=PL/2-dとする。ここで、λ2=PL/2でないのは、センサ21、22は一体となってトラックに対して相対的に変位するため、位置を計測するには、センサ21、22の検出範囲はともにトラックを読み取り可能な範囲になければならないためである。すなわち、エンコーダ100におけるセンサの検出範囲がL-dということであり、センサ21、22の検出可能な位置をx1、x2とすると、位置x1、x2の範囲はそれぞれ、-L/2<x1<L/2-d、-L/2d<x2<L/2となる。そして式7と同様に、センサ21とセンサ22の間に存在するピッチ数n、すなわち、nPx≦d<n1Pxを満たす整数nを定め、式8と同様に考えると、位相差βxは以下の式25で与えられる。βx=2π×d-nPx/Px...25図6は、トラックのピッチPxとセンサ21、22の位相差βxとの関係図である。図6aは以下の式26の条件を満たす場合、図6bは以下の式27の条件を満たす場合を示している。nλ1≦d<n1λ1かつn-1λ2≦d<nλ2...26nλ1≦d<n1λ1かつnλ2≦d<n1λ2...27また、βx=0を満たすピッチPx=λ0となる位置では、d=nλ0を満たす整数nが存在することを示している。ここで、式26は位置によってセンサ21、22の間に存在するピッチ数が変化することを表しており、式27は位置に関わらずピッチ数が一定であることを表している。図6aでは、ピッチPxがλ1のときの位相差βxが、ピッチPxがλ2のときの位相差βxよりも小さい場合、センサ21、22それぞれに対応する位相φ1、φ2の位相差βxが任意の位置xで互いに異なる値となる。すなわち、位置xと位相差βxとが一対一で対応する。ここで、センサ21の読み取り位置をエンコーダ計測位置とすると、この条件はトラックのピッチλ1、λ2とセンサ間隔dとを用いて以下の式28で表され、この条件を満たす場合、アブソリュートエンコーダが成立する。β-L/2<βL/2-d2π×d-nλ1/λ1<2π×d-n-1λ2/λ2∴d<λ1λ2/λ2-λ1...28一方、図6bでは、ピッチPxがλ1のときの位相差βxが、ピッチPxがλ2のときの位相差βxよりも大きい場合、センサ21、22それぞれに対応する位相φ1、φ2の位相差βxが任意の位置xで互いに異なる値となる。すなわち、位置xと位相差βxとが一対一で対応する。図6bから明らかなように、この場合には、常にアブソリュートエンコーダが成立する。以上に説明したように、式26および式28の両方の条件を満たすか、または、式27の条件を満たすことにより、アブソリュートエンコーダが実現可能である。例えば、λ1=230.4μm、λ2=278.3μm、λ=256μm、d=1280μm、L=20000μmとする。このとき、5λ1=1152μm、6λ1=1382.4μm、4λ2=1113.2μm、5λ2=1391.5μm、λ1λ2/λ2-λ1≒1338.6μmとなる。このため、n=5のとき式26および式28を満たす。このときの位置計測誤差の計算結果を図7に示す。図7は、位相差誤差の補正前後におけるエンコーダの位置計測誤差を示す図であり、位相差誤差を除く誤差をないものと仮定して、横軸は位置、縦軸は位置計測誤差を示している。なお、図7中の横軸で示される位置は、トラックの測長方向に、ピッチが広い端側を正として、トラックのピッチが狭い端の位置を-10000μmとしている。また、センサ21の読み取り範囲の位置x[μm]は、-10000≦x≦8720である。位相差誤差の補正を行っていない場合の誤差破線は±3μmであるが、位相差誤差を補正することにより、補正後の誤差実線は±0.2μmに低減される。本実施例では、トラックのピッチを変化させ、複数のセンサから検出される位相の位相差を用いて位置計測を行うエンコーダにおいて、センサの検出ピッチとトラックのピッチとのずれに伴う位相差誤差を補正することで、計測位置の高精度化が可能である。このため本実施例によれば、被計測物の絶対位置を高精度に計測可能なエンコーダを提供することができる。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。