"処理空間部内に対設した電極部同士間に設けられる線材に、通電し蒸発させることでナノ粒子を製造するナノ粒子製造装置であって、前記電極部には、前記線材の端部を囲繞する囲繞部が設けられていることを特徴とするナノ粒子製造装置。請求項1記載のナノ粒子製造装置において、前記囲繞部を絶縁性部材で構成したことを特徴とするナノ粒子製造装置。請求項1,2いずれか1項に記載のナノ粒子製造装置において、前記囲繞部は、電極を露出状態とした底部に周壁部を立ち上がり形成した凹状部であることを特徴とするナノ粒子製造装置。請求項3記載のナノ粒子製造装置において、前記周壁部は、開口部側程径大となるテーパー凹部の円周壁であることを特徴とするナノ粒子製造装置。請求項1~4いずれか1項に記載のナノ粒子製造装置において、前記電極部同士間に配設される所定長さの線材を、前記電極部同士間に供給する線材供給部が設けられていることを特徴とするナノ粒子製造装置。しかしながら、従来例は、図9に図示したように製造されるナノ粒子P’の粒子径が安定せず歩留まりが悪く、また、所定材質の線材53から同質のナノ粒子P’を得る場合でなく、例えば複数種の材質合金から成る線材53を蒸発させたり、或いは、線材53を特殊ガス雰囲気内で蒸発させるなど、蒸発の際に適宜反応させたナノ粒子P’を得ようとした場合には、未反応のナノ粒子P’が多く発生してしまうという問題点がある。従って、従来例は、有効な径の粒子とそうでない粒子とに分ける作業が必要となり、この作業は非常に厄介でコスト高となり量産性が悪く、しかも、適宜反応させたナノ粒子P’を得ようとする場合には品質が安定しないなどの問題点があった。本発明者等は、前述した問題点に着目し、種々の実験を繰り返し行い、その結果、従来にない作用効果を発揮する画期的なナノ粒子製造装置を開発した。添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。処理空間部5内に対設した電極部1,2同士間に設けられる線材3に、通電し蒸発させることでナノ粒子を製造するナノ粒子製造装置であって、前記電極部1,2には、前記線材3の端部を囲繞する囲繞部4が設けられていることを特徴とするナノ粒子製造装置に係るものである。また、請求項1記載のナノ粒子製造装置において、前記囲繞部4を絶縁性部材4Aで構成したことを特徴とするナノ粒子製造装置に係るものである。また、請求項1,2いずれか1項に記載のナノ粒子製造装置において、前記囲繞部4は、電極1a,2aを露出状態とした底部4aに周壁部4bを立ち上がり形成した凹状部であることを特徴とするナノ粒子製造装置に係るものである。また、請求項3記載のナノ粒子製造装置において、前記周壁部4bは、開口部側程径大となるテーパー凹部の円周壁であることを特徴とするナノ粒子製造装置に係るものである。また、請求項1~4いずれか1項に記載のナノ粒子製造装置において、前記電極部1,2同士間に配設される所定長さの線材3を、前記電極部1,2同士間に供給する線材供給部6が設けられていることを特徴とするナノ粒子製造装置に係るものである。本発明は上述のように構成したから、前述した従来例と異なり、製造されるナノ粒子の粒子径が安定して非常に歩留まりが良く、製造コスト安にして量産性に秀れることになり、また、例えば複数種の材質合金から成る線材を蒸発させたり、或いは、線材を特殊ガス雰囲気内で蒸発させるなど、蒸発の際に適宜反応させたナノ粒子を得ようとした場合には、未反応のナノ粒子の発生を可及的に低減することができて品質が安定することになるなど、従来にない作用効果を発揮する画期的なナノ粒子製造装置となる。好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。本発明者等は、線材3が蒸発する際の温度に注目し、前述した従来例の問題点は、各電極部51,52に当接させる線材3の端部、即ち、中央部に比して各電極部51,52に当接する線材3の端部の温度が上がらず、この低温部位では線材3が十分に細分化粒子化されないことが原因で生じるのではないかと考えた。そこで、本発明の電極部1,2には、線材3の端部を囲繞する囲繞部4が設けることとした。この構成から、電極部1,2同士間に線材3を設けた状態で該線材3に電流が流れた際、線材3の端部を囲繞する囲繞部4内はその周辺空間に比して狭い空間故に熱や圧力が籠って熱や圧力が散逸せず高温になり易い環境であり、よって、この囲繞部4に囲繞された線材3の端部はその中央部と同様に良好に高温となって蒸発することになる。実際に試したところ、本発明により得られたナノ粒子Pは非常に粒子径が安定しており図6参照、例えば複数種の材質から成る線材3を蒸発させたり、或いは、線材3を特殊ガス雰囲気内で蒸発させるなど、蒸発の際に適宜反応させたナノ粒子Pを得ようとした場合には、未反応のナノ粒子Pの発生を可及的に低減できることが確認できた。本発明の具体的な一実施例について図面に基づいて説明する。本実施例は、処理空間部5内に対設した電極部1,2同士間に線材3を設け、この線材3に通電して蒸発させることでナノ粒子Pを製造するためのものである。具体的には、処理空間部5は、図1に図示したように適宜なケース体で構成され、この処理空間部5には、ポンプ装置7を介して連設する管状の流体導入部8及び流体導出部9が接続され、ポンプ装置7の作動により流体気体が循環する流体循環路が設けられている。気体導入部8には、ガス供給部10が設けられており、処理空間部5は真空ポンプ16により一時的に真空された後、このガス供給部10から供給される不活性ガス及び反応に必要なガスが気体導入部8を介して処理空間部5内に供給される。この不活性ガス及び反応に必要なガスにより処理空間部5内は十分に充たされ、不必要な元素が取り除かれる。尚、酸化物を製造する際は、処理空間部5内に大気を導入しても良い。気体導出部9には、ナノ粒子回収部11が設けられており、このナノ粒子回収部11は、ポンプ装置7の作動で循環する流体気体により処理空間部5から排出されたナノ粒子Pを回収するように構成されている。符号12は処理空間部5と同一雰囲気となるナノ粒子回収部11で回収したナノ粒子Pを収納するナノ粒子収納部である。また、処理空間部5内には一対の電極部1,2が設けられている。この各電極部1,2は、図1に図示したように処理空間部5内の所定位置に電源装置13パルス電源に接続された電極1a陽極及び電極2a陰極を設けて構成されており、この電極1a,2a同士は上下対向位置に所定間隔を介して設けられている。この各電極1a,2aの径は1~50mm2であり、この電極1a,2aの径が細い程、線材3に入る電流エネルギー密度が大きくなる。また、電極部1,2同士は対向間隔が可変自在に設けられている。具体的には、図2に図示したように各電極部1,2は、夫々処理空間部5に設けられた移動装置15A,15Bに設けられており、各移動装置15A,15Bの進退移動により対向間隔が可変自在に設けられている。従って、後述する線材供給部6から供給される線材3を上下の電極部1,2で挟持保持することになる。尚、電極部1,2は垂直方向の上下対向位置に限らず、傾斜方向の上下対向位置であっても、水平対向位置であっても良い。また、処理空間部5の所定位置には開口部5aが設けられ、この開口部5aはシャッター部材14により開閉自在に設けられている。線材供給部6は、図1に図示したように開口部5aを通過して処理空間部5の内外を進退移動する移動体6aと、この移動体6aの先端に設けられ線材3を挟持保持する挟持体6bとで構成されている。従って、線材3は、挟持体6bで挟持保持された状態で移動体6aの移動により開口部5aから処理空間部5内に配された後、電極部1,2同士間に配され、また、電極部1,2同士で線材3を挟持保持した後、線材3に対する挟持体6bの挟持は解除されて移動体6aは処理空間部5の外に移動する。尚、線材供給部6の近傍には挟持体6bに線材3を自動搬送して装着する図示省略の線材装着部が設けられ、この線材供給部6及び線材装着部は周壁17に囲まれて真空雰囲気内となる。また、処理空間部5内には、電極部1,2同士間に線材3を設けた際、電極部1,2に当接させた線材3の端部を囲繞する囲繞部4が設けられている。具体的には、この囲繞部4は、図1に図示したように各電極1a,2aを露出状態とした底部4aに周壁部4bを立ち上がり形成した凹状部であり、本実施例では、各電極1a,2aを適宜な絶縁性部材4Aで被覆し、この絶縁性部材4Aの先端部に凹部を設けて構成されている。従って、電極部1,2同士間に線材3を設けた状態で該線材3に電流が流れた際、線材3の端部を囲繞する囲繞部4内はその周辺空間に比して狭い空間故に熱や圧力が籠って熱や圧力が散逸せず高温となる。よって、この囲繞部4に囲繞された線材3の端部はその中央部と同様に良好に蒸発することになる。尚、囲繞部4を構成する絶縁性部材4Aは、無機物若しくは有機物のいずれでも良い。また、囲繞部4は、開口部側程径大となるように周壁部4bはテーパー状に形成されている。この周壁部4bの傾斜は45°~120°が望ましい。従って、電極1a,2a付近で蒸発した粒子はテーパー状の周壁部4bに沿って内方へ向けて飛散する図6参照。本実施例では、線材3として、Cu,Ni,Al,Ti,Feなどの導電性を有する線材3が採用され、複数本の金属細線を撚って構成されており、電極部1,2同士間に配設される適宜な長さ30mm~100mmに設定されている。従って、線材3は複数本の金属細線を撚った構成とすることで適度な剛性強度直線状態を保持する強度を有することになる為、挟持体6bで挟持した際や電極部1,2で挟持した際など、直線状態が維持される。また、種類の異なる金属を選択して任意の合金化合物を製造することもできる。以上の構成から成る本実施例に係るナノ粒子製造装置によるナノ粒子Pの製造方法について説明する。先ず、線材供給部6に係る挟持体6bで線材3を挟持し、シャッター部材14が開放して移動体6aが処理空間部5内に移動し、線材3は電極部1,2間に配設される図2参照。続いて、電極部1,2夫々は接近移動して線材3を挟持保持し図3参照、線材3に対する挟持体6bの挟持を解除した後、移動体6aは後退してシャッター部材14が閉塞する図4参照。続いて、電極部1,2から高電圧を印加して線材3に大電流を流すと、線材3は高温となって蒸発しプラズマ蒸気状態となり、その後、冷却する過程で再凝固することでほぼ球形のナノ粒子Pとなる図5参照。尚、この線材3を蒸発させる際、処理空間部5内は、ガス供給部10から不活性ガス及び反応に必要なガスが供給されて適宜なガス雰囲気である。このナノ粒子Pは流体導出部9を通過してナノ粒子回収部11で回収される。以上の工程を繰り返し行うことでナノ粒子Pが順次製造され、粒子径が安定した歩留まりの良いナノ粒子Pの製造が行われる。次に、本実施例に係るナノ粒子製造装置を用いて以下の条件においてナノ粒子Pを製造した。電極部1,2同士間の距離:50mm囲繞部4の材質:セラミックス線材3材質:Cu径0.2mm長さ50mm放電電圧:10kv処理空間部5に供給されるガス:窒素ガス/ガス圧力120kPa図7は前述した条件において製造したナノ粒子Pの拡大写真であり、ドロップレットが少ない状態でナノ粒子Pが製造されることが分かる。即ち、製造されるナノ粒子Pの粒子径が均一であり、且つ、有効径の粒子が多く、また、例えば複数種の材質合金から成る線材3を蒸発させたり、或いは、線材3を特殊ガス雰囲気内で蒸発させるなど、蒸発の際に適宜反応させたナノ粒子Pを得ようとした場合には、所期の通りに反応したナノ粒子Pが多く得られる。本実施例は上述のように構成したため、前述した従来例と異なり、製造されるナノ粒子Pの粒子径が安定して歩留まりが良く、製造コスト安にして量産性に秀れることになり、また、例えば複数種の材質合金から成る線材3を蒸発させたり、或いは、線材3を特殊ガス雰囲気内で蒸発させるなど、蒸発の際に適宜反応させたナノ粒子Pを得ようとした場合には、未反応のナノ粒子Pの発生を可及的に低減することができて品質が安定することになる。また、本実施例は、従来例のように線材3が連続した長尺のものでなく、電極部1,2同士間に配設される長さに設定された線材3であるから、線材3の両端部において同等の蒸発が行われる。即ち、前述した従来例の場合、特に連続した側の端部の温度が上がりにくく、不良が発生し易いが、この点、本実施例は、前述した構成から線材3の両端部において良好な蒸発が行われることになる。尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。"