インクを吐出させるエネルギーを発生するインク吐出圧エネルギー発生素子が設けられた基板上に、感光性樹脂層を形成し、前記感光性樹脂層を露光及び現像することによって、インク流路となる部分を占有する型材を形成する工程と、前記基板および前記型材の上に、ノズル形成部材材料層を形成する工程と、前記ノズル形成部材材料層に、前記インク流路に連通するインク吐出口を形成する工程と、前記型材を除去して、前記インク流路を形成する工程と、を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記型材を形成する工程の前に、前記エネルギー発生素子が設けられた基板上の、ノズル壁の一部となる位置に、第1の面および第2の面を有する三角部材を形成する工程を有し、ただし、前記第1の面は、前記第2の面より、前記エネルギー発生素子のエネルギーがインクに作用するエネルギー作用室側に形成され、かつ前記三角部材の外部に前記基板と直角または鋭角を成し、前記第2の面は、前記三角部材の外部に前記基板と鈍角を成し、前記型材を形成する工程において、前記基板および前記三角部材の上に、前記感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層を露光する際に発生する回折光を前記三角部材の第2の面で反射させ、前記回折光の反射光を前記ノズル壁となる部分に位置する感光性樹脂層によって吸収させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。前記三角部材が、耐インク性をもつことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。前記三角部材が、前記型材の消衰係数よりも低い消衰係数をもつことを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。しかしながら、上記の方法では発泡室等のエネルギー作用室内に構造部材が入り込む構造となる場合があり、構造部材によってエネルギー作用室体積が減少することがある。また、感光材料を露光する時の入射光は、構造部材表面で散乱することが懸念され、発生した散乱光によって型材となる感光材料の側面が露光され、エネルギー作用室の体積を減少させてしまう可能性がある。上記のように、エネルギー作用室体積が減少すると、リフィル性が低下しインクを良好に吐出させることができなくなってしまうと考えられる。そこで本発明は、エネルギー作用室体積を損なうことなくノズル密度を向上させ、インクを良好に吐出させることができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。本発明は、インクを吐出させるエネルギーを発生するインク吐出圧エネルギー発生素子が設けられた基板上に、感光性樹脂層を形成し、前記感光性樹脂層を露光及び現像することによって、インク流路となる部分を占有する型材を形成する工程と、前記基板および前記型材の上に、ノズル形成部材材料層を形成する工程と、前記ノズル形成部材材料層に、前記インク流路に連通するインク吐出口を形成する工程と、前記型材を除去して、前記インク流路を形成する工程と、を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記型材を形成する工程の前に、前記エネルギー発生素子が設けられた基板上の、ノズル壁の一部となる位置に、第1の面および第2の面を有する三角部材を形成する工程を有し、ただし、前記第1の面は、前記第2の面より、前記エネルギー発生素子のエネルギーがインクに作用するエネルギー作用室側に形成され、かつ前記三角部材の外部に前記基板と直角または鋭角を成し、前記第2の面は、前記三角部材の外部に前記基板と鈍角を成し、前記型材を形成する工程において、前記基板および前記三角部材の上に、前記感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層を露光する際に発生する回折光を前記三角部材の第2の面で反射させ、前記回折光の反射光を前記ノズル壁となる部分に位置する感光性樹脂層によって吸収させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。本発明により、エネルギー作用室体積を損なうことなくノズル密度を向上させ、インクを良好に吐出させることができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することが可能となる。本発明の構成によれば、型材の形成前にノズル壁の内部のうちの型材に接する位置に前記三角部材を設けることができ、露光光の解像力が低下する影響を受けることなく型材のパターンを形成することができる。加えて、前記三角部材はノズル壁の内部において型材に接するように設けることができるため、三角部材がエネルギー作用室に入り込む構造となることがなく、エネルギー作用室体積を減少させることがない。また、前記三角部材の第2の面において回折光を反射させるため、型材となる感光性樹脂層の側面が露光されにくい。なお、本発明において記録とは、文字や図形などの意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味する。以下に、本発明の製造方法を図面を参照して説明する。インクジェット記録ヘッド図1は、本発明の一実施形態により製造されたインクジェット記録ヘッドの模式的な斜視図である。このインクジェット記録ヘッドは、インク吐出圧エネルギー発生素子2が所定のピッチで2列に並んで形成されたシリコン基板1を有している。このように通常、インクジェット記録ヘッドには、インク吐出圧エネルギー発生素子2が複数設けられる。シリコン基板1には、共通インク供給口3が、インク吐出圧エネルギー発生素子2の2つの列の間に開口されている。シリコン基板1上に設けられたノズル形成部材としてのノズル層9には、図2に示すように各インク吐出圧エネルギー発生素子2の紙面上方に開口するインク吐出口5と、共通インク供給口3から各インク吐出口5に連通するインク流路14が形成されている。このインクジェット記録ヘッドは、ノズル層9のインク吐出口5が形成された面ノズル層9の表面が被記録媒体の記録面に対面するように配置される。そして共通インク供給口3を介してインク流路内、より具体的には後述するエネルギー作用室の一例としての発泡室内に充填されたインクに、インク吐出圧エネルギー発生素子2によって発生する圧力を加える。それによって、インク吐出口5からインク液滴を吐出させ、被記録媒体に付着させることによって記録を行う。図2は図1のA-A’線に沿った部分断面図である。このインクジェット記録ヘッドは、インク吐出エネルギー発生素子2を有するシリコン基板1の表面上のノズル壁6の一部となる位置に、三角部材4が配置されている。また、シリコン基板1と、三角部材4との間に、層間絶縁膜13、保護膜12、および耐キャビテーション膜11を有しており、ノズル層9をシリコン基板1に密着させるノズル密着向上層10が、基板1の所定の部分にパターニングされて配置されている。なお、三角部材4は、第1の面4aおよび第2の面4bを有し、第1の面4aは、第2の面4bよりエネルギー作用室側に形成される。また、第1の面4aは、三角部材の外部に基板1と直角または鋭角の角βを成す。第2の面4bは、第1の面4aよりノズル壁6の内側の位置に形成される。また、第2の面4bは、三角部材4の外部に、基板1と鈍角の角δを成す。第1の面4aおよび第2の面4bは平面とすることができる。なお、ノズル壁6となる部分に位置するノズル層9のエネルギー作用室に接する面は、基板1に対して垂直に形成されることが好ましく、平面であることができる。また、三角部材4の第1の面4aは、エネルギー作用室に接することが好ましい。さらに、三角部材の第1の面4aと第2の面4bとの接触部分が、ノズル壁6となる部分に位置するノズル層9のエネルギー作用室に接する面に接することが好ましい。即ち、図2に示すように、このノズル層9のエネルギー作用室に接する面と、第1の面4aと、第2の面4bとが、図1のA-A’線に沿ってインクジェット記録ヘッドを切断した際の切断面において、1点で交わることが好ましい。なお、エネルギー作用室とは、吐出させるためにインクを一時的に滞留させるための空間を意味し、このエネルギー作用室において、エネルギー発生素子のエネルギーが液体インクに作用する。また、エネルギー作用室はインク吐出圧エネルギー発生素子2上に位置することができる。図2では、エネルギー作用室として発泡室14aが記載されている。三角部材4は、感光性樹脂層露光時に発生する回折光を第2の面4bで反射させることで、反射光が型材部分の感光性樹脂層を露光してしまうことを抑制する役割をもつ。一方エネルギー発生素子側発泡室側の第1の面4aは型材方向への光の反射を抑制するために基板1と垂直または鋭角に形成される。第1の面4aが基板1と鋭角をなす場合には、エネルギー作用室の型材が第1の面4aに接するように入り込んで形成されるので、エネルギー作用室体積を十分に確保できる。この三角部材4は、後述する製造工程中に見られる型材の解像力が不足する箇所に配置することができる。例えば、図2では、ノズル壁6の紙面下側の部分、即ち、露光した際に解像力が不足する部分に三角部材4が配置されている。より具体的には、ノズル層9とシリコン基板1との間に、ノズル層9に接触させて三角部材4が配置されている。また、図2では、三角部材4の発泡室に接する面第1の面4aと、ノズル壁6部分に位置するノズル層9の発泡室に接する面とは、同一平面上に形成されており、発泡室の側面6aが、この同一平面で構成されている。なお、ノズル壁6とは、以下の部材を意味する。即ち、ノズル列方向図1では、インクジェット記録ヘッドの長辺A-A’線方向において、互いに隣り合う2つの発泡室14aの間に位置する部材、およびノズル列方向の端に位置する発泡室14aとノズル列方向におけるノズル層の端面との間に位置する部材を意味する。即ち、発泡室14aは、互いに隣り合う2つのノズル壁6の間に位置し、図2には、3つのノズル壁が記載されており、各ノズル壁は、三角部材4、密着向上層10およびノズル層9の一部から構成されている。三角部材4は、直接インクに接することがあるため、耐インク性の材料を用いて形成することが好ましい。また、三角部材4は、型材に比べて光透過率の低い材料を用いて形成することが好ましい。これにより、回折光の一部が三角部材中に透過して三角部材内で散乱することを容易に防ぐことができ、型材が露光されることを容易に防ぐことができる。なお、光透過率は、光学定数により特定することができる。また、三角部材4は、型材露光時の光をできるだけ散乱させないために、型材の消衰係数よりも低い消衰係数をもつことが好ましい。なお、消衰係数とは、光の減衰率を意味し、三角部材4および型材の消衰係数は反射分光膜厚計商品名:FE3000大塚電子株にて測定することができる。三角部材4の形状は、三角柱とすることができる。また、図1のA-A’線に沿ってインクジェット記録ヘッドを切断した際の三角部材4の切断面は、図5に示すように三角形例えば、直角三角形とすることができる。なお、この三角形の辺4d、斜辺4eおよび底辺4fの長さ、並びに、三角形の底辺4fと斜辺4eのなす角は必要に応じて選択することができる。なお、三角部材の高さ三角形の辺4dの長さに相当と幅三角形の底辺4fの長さに相当は、感光性樹脂層の露光工程における解像力が低下する領域寸法に応じて決定することができる。例えば、膜11~13を含めた基板表面、即ち耐キャビテーション膜11表面からの感光性樹脂層の厚みが14μmの場合、三角部材の高さは4.5μm以上、幅は2.0μm以上とすることができる。<インクジェット記録ヘッドの製造方法>以下に本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法を、図3~6を用いて説明する。なお、本発明は、以下の工程を含む。インクを吐出させるエネルギーを発生するインク吐出圧エネルギー発生素子2が設けられた基板1上に、感光性樹脂層22を形成し、この感光性樹脂層22を露光及び現像することによってインク流路14となる部分を占有する型材8を形成する工程。基板1および型材8の上にノズル形成部材材料層を形成する工程。このノズル形成部材材料層に、インク流路14に連通するインク吐出口5を形成して、ノズル形成部材であるノズル層9を形成する工程。型材8を除去して、インク流路14を形成する工程。また、型材8を形成する工程の前に、シリコン基板上に三角部材4を設ける工程を有する。これにより、感光性樹脂層22を露光する際に発生する回折光15を三角部材の第2の面で反射させ、回折光の反射光をノズル壁6となる部分に位置する感光性樹脂層によって吸収させることができ、解像力の低下する影響を受けずに型材8を形成することができる。なお、三角部材4は、シリコン基板1表面に直接形成されても良いし、シリコン基板1と三角部材4との間に他の層層間絶縁膜13等を含んでいても良い。また、感光性樹脂層22は、シリコン基板1の表面およびシリコン基板1上に形成された三角部材4の表面に直接形成されても良い。また、シリコン基板1と感光性樹脂層22との間に他の層層間絶縁膜13等を含んでも良く、三角部材4と感光性樹脂層22との間に他の層密着向上層10等を含んでも良い。さらに、ノズル形成部材材料層も、シリコン基板1、三角部材4および型材8それぞれの表面に直接形成されても良いし、他の層を間に含んでいても良い。続いて、図3および4を用いて各工程を詳しく説明する。なお、図3はこのインクジェット記録ヘッドの三角部材を形成する工程を説明するための模式的断面図であり、図4はこのインクジェット記録ヘッドのその他の製造工程を説明するための模式的断面図である。三角部材を形成する工程まず、インク吐出圧エネルギー発生素子2が複数設けられた基板1を用意する。図3aでは、シリコン基板1上には絶縁層である層間絶縁膜13が形成されており、層間絶縁膜13の上には、発熱抵抗体等のインク吐出圧エネルギー発生素子2が複数個配置されている。さらに、インク吐出圧エネルギー発生素子2を覆う保護膜12の上に耐キャビテーション膜11が形成されている。なお、耐キャビテーション膜11は、例えばTaを用いて形成することができ、保護膜12は、例えばSiNを用いて形成することができる。さらに、層間絶縁膜13は、例えばSiOを用いて形成することができる。次に、図3bに示すように、例えばSiCをCVDChemicalVaporDepositionにて成膜し、三角部材材料層19を形成する。この三角部材材料層19をパターニングすることで、後の露光工程において感光性樹脂層の解像力が不足する部分この実施形態ではノズル壁6の紙面下側となる部分に三角部材4を形成することができる。なお、三角部材4を形成する材料、即ち三角部材材料層19には、SiCの他に、SiN、TaSiNを用いることができる。しかし、耐インク性および消衰係数の観点から、SiCを用いることが好ましい。なお、三角部材材料層19の厚みは、感光性樹脂層の厚みおよび解像力が低下する領域寸法に応じて適宜決めることができる。次に、図3cに示すように、基板1上に、エッチングマスクとなる感光性樹脂レジスト7をスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィー法で露光、現像を行って、エッチング開始面20を形成する。このとき、基板1と、形成されたエッチング開始面20とのなす角αは、角βに応じて適宜決めることができる。なお角度βを90°にする場合は、角度αは90°程度とすることが好ましい。しかし、エッチング条件によってαとβの関係は変化するため、必要に応じて設定することができる。なお、図3cでは、角度αは90°である。また、感光性樹脂レジスト7としては、例えばip5700商品名、東京応化工業製を用いることができる。次に、図3dに示すように、三角部材材料層19を異方性ドライエッチングし、図3eに示すように、発泡室の一部と接する面、即ち発泡室の側面の一部6b三角部材の第1の面4aに相当を形成する。この異方性ドライエッチングには、例えば、Ar、CHF3を含むエッチングガスを用いることができる。このとき、基板1と、形成した面6bとのなす角βは前記角度αと同様の90°である。なお、発泡室のリフィル性を向上するために体積を最大にする観点から、角度βは、90°程度とすることが好ましい。また、図3中の矢印は、エッチングガスの進行するベクトルを模式的に表したものである。ついで、レジスト除去液に任意の時間浸漬させることで、エッチングマスク層7を除去する。次に、図3fに示すように、再び、基板1上に、エッチングマスクとなる感光性樹脂レジスト7をスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィー法で露光、現像を行って、エッチング開始面21を形成する。このとき、基板1と、形成された面21とのなす角γは適宜決めることができる。なお、角度δを135度以下にする観点から、角度γは、135度程度とすることが好ましい。しかし、エッチング条件によってγとδの関係は変化するため、必要に応じて設定することができる。なお、図3fでは、角度γは115°である。次に、図3gに示すように、三角部材材料層19を異方性ドライエッチングし、図3hに示すように、基板1に対して傾斜する斜面第2の面4bを有する三角部材4を形成する。この異方性ドライエッチングには、例えば、Ar、CHF3、O2を含むエッチングガスを用いることができる。このとき、基板1と、三角部材4の第2の面4bとのなす角δは基板1とレジスト面21とがなす角度γと同様に115°である。なお、型材の解像力の低下する領域を埋める観点から、角度δは、135°以下とすることが好ましい。ついで、レジスト除去液に任意の時間浸漬させることで、エッチングマスク層7を除去する。以上の工程により、三角部材4が形成された基板1が完成する。型材を形成する工程図4bに示すように、図4a、即ち図3hに示す三角部材4が形成された基板1に、密着向上材料層10aをスピンコート法により塗布する。次に図4cに示すように、密着向上材料層10aに対して、ポジ型レジスト不図示を利用して、フォトリソグラフィー法によってパターンを形成し、このパターンを利用してエッチング技術によって密着向上層10を形成する。なお、密着向上層10は、三角部材4を覆うように配置されても良い。ノズル密着向上層10の材料密着向上材料層10aには、例えば、熱可塑性樹脂であるポリエーテルアミド樹脂HIMAL:商品名、日立化成製を用いることができる。この密着向上層10は、後述するノズル層9との密着性を向上させる役割をしている。次に、図4dに示すように、基板1及び三角部材4上に、感光性樹脂をスピンコートにより塗布し、感光性樹脂層22を形成し、フォトリソグラフィー法により露光する。なお、感光性樹脂としては、例えば、ODUR-1010商品名、東京応化工業製を用いることができる。回折光が感光性樹脂に吸収された領域は現像により除去されるが、上述したように回折光は強度が弱いため基板近くにいくほど樹脂を感光させるエネルギーが不足する傾向がある。そのため、図7に示すように、感光性樹脂層のパターニング箇所が末広がり形状となることがある。しかし、本発明では、三角部材を基板1と感光性樹脂層22との間に形成することにより、解像力が低下する影響を受けることなくパターニングを行うことができる。また、図5に示すように、露光によって発生した回折光15は、三角部材4の第2の面で反射し、発泡室間の領域、すなわちノズル壁6となる部分に位置する感光性樹脂層に吸収される。このため、発泡室14aの側面、即ち型材8となる感光性樹脂層の側面が露光されることを防ぐことができる。なお、図5中の符号16は、回折光による感光性樹脂層の露光領域を表し、符号17は、マスクの開口部を表し、符号18は、回折光以外の光も含めた光による感光性樹脂層の露光領域を表す。次に、図4eに示すように、現像液に所定の時間浸漬させて、感光性樹脂層22のパターンの現像を行い、型材8を形成する。図6はこのときのインクジェット記録ヘッドの部分平面図であり、三角部材4は図6に示すように、インク流路14のうちの発泡室14aとなる型材パターンのノズル列方向の側壁部に接して配置されている。発泡室14aとなる型材パターンのノズル列方向の側壁部とは、型材の列方向、即ち発泡室14aとなる部分を占有する型材8が並ぶ方向図6では紙面左右方向に対して垂直なこの型材8の壁部側面を指す。なお、現像液に浸漬させる時間は、必要に応じて選択することができる。なお、図6中の符号23で表す部分は、後述のノズル形成部材材料によって埋め込まれ、インク中のゴミが発泡室内に流入することを防ぐフィルターの役割を果たす。ノズル形成部材材料層を形成する工程およびインク吐出口を形成する工程次に、図4fに示すように、基板1、三角部材4および型材8上に、感光性樹脂からなるノズル形成部材材料をスピンコート法により塗布し、ノズル形成部材材料層を形成し、フォトリソグラフィー法によりインク吐出口5を形成し、ノズル層9を形成する。ノズル形成部材材料としては、例えばEHPE-3150商品名、ダイセル化学工業株製を用いることができる。インク流路を形成する工程最後に、図4gに示すように、型材除去液に任意の時間浸漬させることで型材8をインク吐出口5から溶出させ、ノズル層9内に発泡室14aを含むインク流路14およびインク吐出口5を含むノズル部を形成する。なお、ノズル部とは、インク滴が吐出される際に通過する流路を意味する。その後、感光性樹脂22及びインク吐出口形成部材の未露光部の現像を行うことで、発泡室とインク供給口3を形成する。このような工程でインクジェットヘッドが完成する。実施例1図3および4に示す工程に従い、インクジェット記録ヘッドを作製した。実施例1では、図3aに示すシリコン基板1を用いた。シリコン基板1上にはSiOからなる層間絶縁膜13が形成されており、層間絶縁膜13の上には、インク吐出圧エネルギー発生素子2としてTaSiNが複数個配置されていた。さらに、インク吐出圧エネルギー発生素子2は、SiNからなる保護膜12で覆われており、保護膜12の上にTaからなる耐キャビテーション膜11が形成されていた。次に、図3bに示すように、三角部材材料層19としてSiC膜をCVDにて成膜した。SiC膜は、上述したように耐インク性をもち、かつ使用する露光波長260nmに対して、反射率14、消衰係数0.01であり、使用する型材8の消衰係数0.00079よりも高く、光を透過しにくく好適であった。なお、反射率および消衰係数は、エリプソメータを用いて特定した。実施例1では後述する感光性樹脂層22の膜11の表面からの厚みを14μmとするため、感光性樹脂層の解像力が低下する領域寸法が符号11~13を含む基板表面膜11の表面から4.5μmまでであることから、SiC膜の厚みは5.3μmとした。なお、感光性樹脂層の解像力が低下する領域寸法は、感光性樹脂層の膜厚及び感度によって変化するため、三角部材を用いない系で事前に実験を行い、そのときの形状観察により特定した。次に、図3cに示すように、基板1上に、エッチングマスクとして用いる感光性樹脂レジスト7をスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィー法で露光、現像を行って、エッチング開始面20を形成した。なお、感光性樹脂レジスト7として、ジアゾナフトキノンを含有するi線用ポジ型感光性レジスト商品名iP5700HP、東京応化工業製を用いた。このとき、形成された開始面20と基板1とのなす角αは約90°であった。次に、図3dおよびeに示すように、SiC膜19をAr、CHF3を含むエッチングガスで異方性ドライエッチングし、発泡室の側面の一部6bを形成した。このとき、この形成した面6bと基板1とのなす角βは前記レジスト角αと同様の約90°であった。ついで、レジスト除去液としてリムーバー1112A商品名、関東化学製を用いて、この除去液に30分浸漬させることで、エッチングマスク層7を除去した。次に、図3fに示すように、再び、基板1上に、エッチングマスクとして用いる感光性樹脂レジスト7をスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィー法で露光、現像を行って、エッチング開始面21を形成した。この感光性樹脂レジストとしては、ノボラック樹脂商品名:OFPR-800東京応化工業株を用いた。このとき、形成された面21と基板1とのなす角γは約115°であった。次に、図3gおよびhに示すように、SiC膜19をAr、CHF3、O2を含むエッチングガスで異方性ドライエッチングし、基板1に対して傾斜する斜面第2の面4bを有する三角部材4を形成した。このとき、第2の面4bと基板1とのなす角δはレジスト面21と基板1とがなす角度γと同様に約115°であった。ついで、レジスト除去液を用いて、この除去液に任意の時間浸漬させることで、エッチングマスク層7を除去した。以上の工程により、三角部材4が形成された基板1を得た。なお、この三角部材4が形成された基板1を、基板1の長辺方向図1のA-A’線に沿って切断した際の三角部材4の断面は三角形であり、この三角形の底辺4fの長さは2.5μmであり、辺4dの長さは5.3μmであった。また、この三角形の底辺4fと斜辺4eとのなす角180°-δは65°であった。続いて、図4bに示すように、この三角部材4が形成された基板1に、熱可塑性樹脂であるポリエーテルアミド樹脂をスピンコート法により塗布し、ポリエーテルアミド樹脂からなる密着向上材料層10aを形成した。次に図4cに示すように、このポリエーテルアミド樹脂に対して、ポジ型レジスト不図示を利用して、フォトリソグラフィー法によってパターンを形成し、エッチング技術によって密着向上層10を形成した。この密着向上層10は、後述するノズル層9との密着性を向上させる役割をしている。次に、図4dに示すように、基板1および三角部材4上に、感光性樹脂商品名:ODUR-1010東京応化工業製をスピンコートにより塗布し、感光性樹脂層22を形成した。ついで、この感光性樹脂層22をフォトリソグラフィー法により露光した。次に、図4eに示すように、メチルイソブチルケトン/キシレン=2/1からなる現像液に60分浸漬させて、感光性樹脂層22のパターンの現像を行い、型材8を形成した。次に、図4fに示すように、基板1、三角部材4および型材8上に感光性樹脂EHPE-3150商品名、ダイセル化学工業株製からなるノズル形成部材材料層をスピンコート法により塗布し、フォトリソグラフィー法によりインク吐出口5を形成し、ノズル層9を形成した。最後に、図4gに示すように、乳酸メチルからなる型材除去液に60分浸漬させることで型材8をインク吐出口5から溶出させ、ノズル層9内に発泡室14aを含むインク流路14およびインク吐出口5を含むノズル部を形成した。本発明によれば、上述したように、型材の形成前に前記三角部材4をノズル壁内の位置に設けることで、感光性樹脂層の露光時に回折光によって解像力が低下する影響を受けることなく型材のパターンを形成することが可能となる。また、本発明により、ノズル壁を、基板に対して垂直に形成することができる。この実施例では、基板上に型材を形成するより先に上記三角部材を設けることで、型材の壁側面を基板に対して垂直に形成することができ、発泡室面積を損なうことなくノズル密度を向上させることができた。これにより、インクのリフィル性が向上し、良好な吐出を得ることができた。