リソグラフィ用ペリクルであって、ペリクル膜、該ペリクル膜を展張するためのペリクルフレーム、該ペリクルフレームの一端面に形成されたペリクル膜貼り付け用の接着剤層、該ペリクル膜貼り付け用接着剤層と反対側の端面に形成してなるマスク粘着剤層とからなり、前記マスク粘着剤層の断面が矩形ないしは台形であって、上端に平坦面を持ち、かつ、該マスク粘着剤層の側面がフレーム面となす角が90°以下である事を特徴とするリソグラフィ用ペリクル。請求項1に記載のリソグラフィ用ペリクルの製造方法であって、前記マスク粘着剤層の成形を、粘着剤塗布後に粘着剤の硬化途中に加圧して行うことを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの製造方法。本発明は、上記の事情に鑑みて、ペリクルをフォトマスクに貼り付けるに際して圧力を掛けても、マスク接着剤がペリクルの内方にはみ出さないようにマスク接着剤の成形形状を調整したリソグラフィ用ペリクルを提供すること、ならびにその製造方法を提供することを課題とする。かかる課題を解決するため、本発明の請求項1に係るリソグラフィ用ペリクルは、図1参照ペリクル膜3、該ペリクル膜を展張するためのペリクルフレーム1、該ペリクルフレームの一端面に形成されたペリクル膜貼り付け用の接着剤層2、該ペリクル膜貼り付け用接着剤層と反対側の端面に形成してなるマスク粘着剤層4とからなり、前記マスク粘着剤層4の断面が矩形ないしは台形であって、上端に平坦面を持ち、かつ、該マスク粘着剤層の側面がフレーム面となす角αが90°以下である事を特徴とする。本発明において粘着剤層の側面がフレーム面となす角とは、図3に例示したように、接着剤層の断面形状における台形の底角をいい、側壁面角度と略称する場合がある。接着剤層の断面形が台形をなす理由については、図6を参照して後述する。本発明において、断面形状の矩形ないし台形は、幾何学的に厳密な台形や矩形であることを要せず、台形に類似した形状や矩形に類似した形状であれば足りる。この段落において、図面との対比を容易ならしめるため、図面参照符合をカッコで囲んで付記したが、この符合は本発明の構成を図面どおりに限定するものではない。本発明は、ペリクルフレームの一端に形成するマスク接着剤の成形形状を、その側壁面のフレーム面とのなす角度を90°以下とすることによりマスク粘着剤のペリクルフレームからのはみ出しを防止し、リソグラフィ工程での露光光ないしは迷光に対する暴露を最小に抑え、ヘイズの原因となるガスの発生、及び、マスク接着剤の劣化によるトラブルを防止できるという効果を有する。本発明者は、鋭意検討を重ねた結果、粘着剤層を形成する際に、粘着剤の側壁面のフレーム面とのなす角度を90°以下にする事によって、ペリクルの加圧貼り合わせ時のはみ出しを防止出来る事を見いだし、本発明を完成した。本発明は、ペリクルのマスク接着剤層の側壁面とフレーム面とのなす角度を90°以下にすることによってペリクルをフォトマスクに貼り付けた際に、マスク接着剤がはみ出して種々のトラブルを起こすことを防止することを基本とする。マスク接着剤のはみ出し防止のみに着目すると、側壁面とフレーム面とのなす角度が小さいほど安全であるが、小さくすると接着強度が低下する。従って、はみ出す虞の無い範囲で十分な接着強度を得るための条件としての90°以下という構成に本発明の新規性、進歩性が有る。以下に、図面を参照しつつ、本発明についてさらに詳細に説明する。本発明のペリクルは、図1に示したように、ペリクルフレーム1の上端面にペリクル膜貼り付け用接着剤層2を介してペリクル膜3を張設したもので、この場合、通常、下端面にフォトマスク接着用粘着剤マスク接着剤層4が形成され、該フォトマスク接着用粘着剤層4の下端面にライナー5を剥離可能に貼着してなるものである。なお、ペリクルフレームの上下両端面の稜には、C面が設けられることが好ましい。C面サイズとしては、0.2~0.4mmが採用され得る。これらペリクル構成部材の大きさは、通常のペリクル、例えば半導体リソグラフィ用ペリクル、大型液晶表示板製造リソグラフィ工程用ペリクル等と同様であり、また、その材質も、上述したような公知の材質とする事が出来る。この点を更に詳述すると、ペリクル膜の種類については特に制限はなく、例えば、従来エキシマレーザー用に使用されている、非晶質フッ素ポリマー等が用いられる。非晶質フッ素ポリマーの例としては、サイトップ旭硝子株製商品名、テフロンAFデュポン株製商品名等が挙げられる。これらのポリマーは、そのペリクル膜作製時に必要に応じて溶媒に溶解して使用しても良く、例えばフッ素系溶媒などで適宜溶解し得る。本発明において使用される、ペリクルフレームの母材に関しては、従来使用されているアルミ合金材、好ましくは、JISA7075、JISA6061、JISA5052材等が用いられるが、アルミ合金材以外の樹脂、ガラス等であっても、ペリクルフレームとしての強度が確保される限り、特に制限はない。ペリクルフレームの4つの側面の何れかには、通気口図示省略を形成しても良い。該通気口のサイズ、形状については特に制限はないが、該通気口に設置する除塵用フィルターの塵埃濾過サイズ、濾過面積、またはこれらから求められる通気量によって、そのサイズ、形状を選択すればよい。本発明に使用する、除塵用フィルターとしては、前記通気口部分に設置することが出来るものであれば、形状、個数、場所に特に制限はない。除塵用フィルター材質としては、樹脂PTFE、ナイロン66等、金属316Lステンレススチール等、セラミックスアルミナ、チッ化アルミニウム等等が挙げられる。また、該除塵用フィルターの外側部分には、環境中の化学物質を吸着や分解するケミカルフィルターを装備する事も好ましい。ペリクル膜接着用接着剤としては、従来より使用されているものを使用でき、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素シリコーン樹脂接着剤等のフッ素ポリマー、等を挙げることが出来るが、中でもフッ素系ポリマーが好適である。フッ素系ポリマーとしては、具体的には、フッ素系高分子ポリマーCTX809旭硝子株製商品名が挙げられる。フォトマスク接着用粘着剤としては、シリコーン樹脂粘着剤、アクリル系粘着剤、SEBSポリスチレン-ポリエチレン-ブチレン-ポリスチレンを始めとするホットメルト系粘着剤、等を挙げることが出来るが適当な接着強度が得られ、露光中の発ガスの問題等がなければ、特にこれらに制限するものではない。これらの粘着剤層は、フレームの一端面に塗布後にフレーム端面と反対側を平坦に成形加工する。方法としては塗布後に粘着剤を加圧して成形する方法がある。具体例としては、吐出ノズルから粘着剤溶液を吐出してノズル先端にビードを形成し、吐出ノズルを接近してフレーム端面と接触させ、その後ノズルをフレームに沿って移動させる。フレーム全周に渡って均一に粘着剤を塗布した後、熱硬化型粘着剤であれば加熱処理し、半硬化時に粘着剤表面を加圧し平坦化処理をする。また、ホットメルト型粘着剤であれば、塗布硬化後に再度加熱しながら加圧して平坦にする方法がある。図3は、ペリクルフレーム上に成形されたフォトマスク接着用粘着材の断面形状を模式的に描いたもので、Aは側壁面角度先に段落0014で述べたが90°の場合を、Bは側壁面角度が60°の場合を、Cは側壁面角度が45°の場合を表している。読図の便宜上、前掲の図1に比して上下が逆になっていることにご留意を請う。側壁面角度マスク粘着剤層の側面がフレーム面となす角αは、粘着剤塗布量を変えることによって変えることが出来る。図4に、マスク粘着剤層の断面形状における上端面幅と側壁面角度との関係を例示し、図5に、上端面幅と塗布体積の関係を例示した。図6はフォトマスク粘着剤層を成形する場合の粘着材量と側壁面角度αとの関係を説明するための模式図である。図の上段を参照ペリクルフレーム1の下端面にフォトマスク粘着剤4が塗りつけられている。A1は、粘着材の量が比較的に多い場合を、C1は、粘着材の量が比較的に少ない場合を、B1は粘着材の量が両者の中間である場合を、それぞれ表している。フォトマスク接着用粘着剤層の厚さ寸法は規定値本例においては04mmに成形される。A1参照ペリクルフレーム1の下端面に塗りつけられたマスク粘着剤4を成形ジグ面Pに対向させ、下方に押し付けるとA2のようになり、厚さ寸法が04mmに規制される。成形された粘着剤層4の断面形状はほぼ台形になる。図示の角αは側壁面角度に相当し、本例A2では約60°である。この図6A2は前掲の図3Bに対応する。図6C1のように粘着材の量が少ないと、C2のように成形されて側壁面角度αが小さくなり、図6B1のように粘着材の量が中等度であると、B2のように成形されて側壁面角度αが中等度になる。このB2は前掲の図3Cにほぼ対応する。本発明のペリクルは、通常の方法でペリクルフレームの上端面にペリクル膜貼り付け用接着剤層を介してペリクル膜を張設し、又通常、下端面にフォトマスク貼り付け用接着剤層を形成し、このフォトマスク貼り付け用接着剤層の下端面に離型層ライナーを剥離可能に貼り付ける事で製造することが出来る。ここで、ペリクルフレーム上端面に形成されるペリクル膜貼り付け用接着剤層は、必要により、溶媒で希釈してペリクルフレーム上端面に塗布し、加熱して乾燥し硬化させることにより形成することが出来る。この場合、接着剤の塗布方法としては、刷毛塗り、スプレー、自動ディスペンサによる方法等が採用される。本発明に使用する、フォトマスク接着用粘着剤保護用ライナーについては、特に材質を制限するものではない。例えば、PET、PTFE、PFA、PE、PC、塩化ビニル、PP等が挙げられる。以下に、実施例、及び比較例3例を述べる。これらの8例は、同一仕様のペリクルフレームにフォトマスク粘着剤層を形成して、同一仕様のフォトマスク基板に貼り付け、同一条件で露光照射を行なった後、異物発生の有無を検査したものであって、各例ごとに粘着剤層の側面がフレーム面となす角αを変化させてある。実施例、および比較例3例における主要な作業条件、および検査結果を表1に示した。[実施例1]初めに、ペリクルフレームとして、フレーム外寸149mm×122mm×5.8mm、フレーム厚さ2mm、両端面のC面サイズをC:0.2mmとしたA7075-T651のアルミニウム合金製フレームを用意した。このフレームの一側面中央1ヶ所に直径0.5mmの通気孔を設けた。このものを、表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧約147kPa1.5kg/cm2のサンドブラスト装置にて1分間表面処理し、表面を粗化した。次いでこのものを、NaOH処理浴中にて10秒間洗浄処理した後、化成電圧10V1.3Aにて、14硫酸水溶液、液温18°C中で陽極酸化を行った。次いで、黒色染色、封孔処理して表面に黒色の酸化被膜を形成した。この後、5分間超純水と超音波洗浄装置を併用して洗浄した。次いで、このフレームの内面にスプレーコーティング装置を用いて、アクリル系粘着剤を10μmコーティングした。次いで、前記の通気口に、材質がPTFEで、塵埃濾過サイズが0.1μm~3.0μmで99.9999である、巾8mm、高さ2.5mm、厚さ300μmのフィルターを設置した。フィルターは、除塵用のフィルター部とその外側にケミカルフィルターを持つ構造とした。次いで、テフロンAF1600米国デュポン社製商品名をフッ素系溶剤フロリナートFC-75米国スリーエム社製商品名に溶解させて、濃度8の溶液を調製した。次に、この溶液により、直径250mm、厚さ600μmの鏡面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて膜の厚みが0.83μmの透明膜を形成させた。次に、この膜に外寸200mm×200mm×5mm幅、厚さ5mmの枠を、エポキシ系接着剤アラルダイトラピッド昭和高分子株製商品名を用いて接着し、基板面から剥離した。次に、前記のようにして準備した、アルミニウム合金製フレームの一端面にアクリル系粘着剤を塗布した。この場合、塗布量を増やせば側壁面角度が増加し、塗布量を減らせば側壁面角度が減少することを利用して側壁面角度を制御し、粘着剤層厚さが0.4mm、端面幅1.4mm、側壁面角度45°となるように塗布量を設定塗布体積比0.94した。このものを100°Cで3分加熱してプレキュアを行った。半硬化した粘着剤層を面平坦度10μmに仕上げ、表面に離型層を形成した加圧板を持った加圧装置にて加圧し、粘着剤表面を平坦に形成した。出来上がった粘着剤層の側壁面角度は45°、端面幅は1.4mmであった。表1の実施例1の欄を参照また、このアルミニウム合金製フレームの別の一端面上に、フッ素系溶媒CTソルブ180旭硝子株製商品名に希釈したフッ素系高分子ポリマーCTX809旭硝子株製商品名を塗布し、100°Cで10分加熱して乾燥硬化させた。そして、PET製ライナーを用意し、CCDカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー貼り付け装置によってフォトマスク接着用粘着剤に貼り合わせた。次に、用意したテフロンAF1600前出の膜表面に密着させた後、IRランプでフレームを加熱して、フレームと膜とを融着させた。二つのフレームは、ペリクルフレームの接着面を上向きにして固定用の治具に取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次いで、ペリクルフレーム外側の枠を引き上げて固定し、ペリクルフレーム外側の膜部に約0.5N/m0.5g/cmの張力を与えた。次いでスカラーロボットに取り付けたカッターにチューブ式ディスペンサを用いて、フッ素系溶剤フロリナートFC75デュポン社製商品名を毎分10マイクロリットル滴下しながら、前記ペリクルフレームの接着剤部分の周辺部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクルフレーム外側の不要膜部分を切断除去した。完成したペリクルを、表面残留酸成分の濃度が1ppb以下になる条件で洗浄した、Crテストパターンを形成した石英ガラス製6インチフォトマスク基板に貼り付けた。次いでこのものを、ArFエキシマレーザースキャナーNSRS306C株式会社ニコン製商品名に装着し、フォトマスク面上露光強度0.01mJ/cm2/pulse、繰り返し周波数4000Hzにて500J/cm2の照射量まで照射した。照射した6インチフォトマスク上の観察をレーザー異物検査装置にて行ったところ、テストパターン部、ガラス部分共にヘイズ、異物の発生はなかった。[実施例2]初めに、ペリクルフレームとして、フレーム外寸149mm×122mm×5.8mm、フレーム厚さ2mm、両端面のC面サイズをC:0.2mmとしたA7075-T651のアルミニウム合金製フレームを用意した。このフレームの一側面中央1ヶ所に直径0.5mmの通気孔を設けた。このものを、表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧約147kPa1.5kg/cm2のサンドブラスト装置にて1分間表面処理し、表面を粗化した。次いでこのものを、NaOH処理浴中にて10秒間洗浄処理した後、化成電圧10V1.3Aにて14硫酸水溶液、液温18°C中で陽極酸化を行った。次いで、黒色染色、封孔処理して表面に黒色の酸化被膜を形成した。この後、5分間超純水と超音波洗浄装置を併用して洗浄した。次いで、このフレームの内面にスプレーコーティング装置を用いて、シリコーン系粘着剤:KR-3700信越化学工業株製商品名を10μmコーティングした。次いで、前記の通気口に、材質がPTFEで、塵埃濾過サイズが0.1μm~3.0μmで99.9999である、巾8mm、高さ2.5mm、厚さ300μmのフィルターを設置した。フィルターは除塵用のフィルター部と、その外側にケミカルフィルターを持つ構造とした。次いで、テフロンAF1600米国デュポン社製商品名をフッ素系溶剤フロリナートFC-75米国スリーエム社製商品名に溶解させて、濃度8の溶液を調製した。次に、この溶液により、直径250mm、厚さ600μmの鏡面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて膜の厚みが0.83μmの透明膜を形成させた。次に、この膜に外寸200mm×200mm×5mm幅、厚さ5mmの枠を、エポキシ系接着剤アラルダイトラピッド昭和高分子株製商品名を用いて接着し、基板面から剥離した。次に、前記のようにして準備した、アルミニウム合金製フレームの一端面にシリコーン系粘着剤:KR-3700信越化学工業株製商品名を塗布した。塗布量については、粘着剤層厚さが0.4mm、端面幅1.49mm、側壁面角度60°となるように塗布量を設定塗布体積比0.96した。このものを100°Cで3分加熱してプレキュアを行った。半硬化した粘着剤層を面平坦度10μmに仕上げ、表面に離型層を形成した加圧板を持った加圧装置にて加圧し、粘着剤表面を平坦に形成した。出来上がった粘着剤層の側壁面角度は60°、端面幅は1.49mmであった。また、このアルミニウム合金製フレームの別の一端面上に、フッ素系溶媒CTソルブ180旭硝子株製商品名に希釈したフッ素系高分子ポリマーCTX旭硝子株製商品名を塗布し、100°Cで10分加熱して乾燥硬化させた。そして、PET製ライナーを用意し、CCDカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー貼り付け装置によってマスク接着剤に貼り合わせした。次に、用意したテフロンAF1600前出の膜表面に密着させた後、IRランプにてフレームを加熱して、フレームと膜を融着させた。二つのフレームは、ペリクルフレームの接着面を上向きにして固定用の治具に取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次いで、ペリクルフレーム外側の枠を引き上げて固定し、ペリクルフレーム外側の膜部に約0.5N/m0.5g/cmの張力を与えた。次いでスカラーロボットに取り付けたカッターにチューブ式ディスペンサを用いて、フッ素系溶剤フロリナートFC75デュポン社製商品名を毎分10マイクロリットル滴下しながら、前記ペリクルフレームの接着剤部分の周辺部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクルフレーム外側の不要膜部分を切断除去した。完成したペリクルを、表面残留酸成分の濃度が1ppb以下になる条件で洗浄した、Crテストパターンを形成した石英ガラス製6インチフォトマスク基板に貼り付けした。次いでこのものを、ArFエキシマレーザースキャナーNSRS306C株式会社ニコン製商品名に装着し、フォトマスク面上露光強度0.01mJ/cm2/pulse、繰り返し周波数4000Hzにて500J/cm2の照射量まで照射した。照射した6インチフォトマスク上の観察をレーザー異物検査装置にて行ったところ、テストパターン部、ガラス部分共にヘイズ、異物の発生はなかった。設定塗布体積比0.94した。[実施例3]次に、前記の実施例2と同様のフレームを用い、実施例2と同様の工程により、粘着剤の塗布量を変えて、粘着剤層厚さが0.4mm、端面幅1.55mm、側壁面角度75°となるように塗布量を設定塗布体積比0.98に設定したところ、形成された粘着剤層の側壁面角度は76°であった。設定値75°と実測値76°との誤差は実験目的に鑑みて許容されるので操作を続行し、ArFエキシマレーザースキャナーNSRS306C株式会社ニコン製商品名に装着し、フォトマスク面上露光強度0.01mJ/cm2/pulse、繰り返し周波数4000Hzにて500J/cm2の照射量まで照射した。照射した6インチフォトマスク上の観察をレーザー異物検査装置にて行ったところ、テストパターン部、ガラス部分共にヘイズ、異物の発生はなかった。[実施例4]更に、本発明における許容限度の側壁面角度90°を確認すべく、前記の実施例3と同様のフレームを用い、実施例3と同様の工程により、粘着剤の塗布量を変えて、粘着剤層厚さが0.4mm、端面幅1mm、側壁面角度90°となるように塗布量を設定塗布体積比1.0に設定した。ArFエキシマレーザースキャナーNSRS306C株式会社ニコン製商品名に装着し、フォトマスク面上露光強度0.01mJ/cm2/pulse、繰り返し周波数4000Hzにて500J/cm2の照射量まで照射した。照射した6インチフォトマスク上の観察をレーザー異物検査装置にて行ったところ、テストパターン部、ガラス部分共にヘイズ、異物の発生はなかった。本発明における側壁面角度の限界値である90°を目標として、前述の実施例においては、より小さい角度45°から順次に90°まで接近した。比較例においては90°を目標として、より大きい角度135°から順次に接近する。[比較例3]初めに、ペリクルフレームとして、フレーム外寸149mm×122mm×5.8mm、フレーム厚さ2mm、両端面のC面サイズをC:0.2mmとしたA7075-T651のアルミニウム合金製フレームを用意した。このフレームの一側面中央1ヶ所に直径0.5mmの通気孔を設けた。このものを、表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧約147kPa1.5kg/cm2のサンドブラスト装置にて1分間表面処理し、表面を粗化した。次いでこのものを、NaOH処理浴中にて10秒間洗浄処理した後、化成電圧10V1.3Aにて14硫酸水溶液、液温18°C中で陽極酸化を行った。次いで、黒色染色、封孔処理して表面に黒色の酸化被膜を形成した。この後、5分間超純水と超音波洗浄装置を併用して洗浄した。次いで、このフレームの内面にスプレーコーティング装置を用いて、シリコーン系粘着剤:KR-3700信越化学工業株製商品名を10μmコーティングした。次いで、前記の通気口に、材質がPTFEで、塵埃濾過サイズが0.1μm~3.0μmで99.9999である、巾8mm、高さ2.5mm、厚さ300μmのフィルターを設置した。フィルターは除塵用のフィルター部と、その外側にケミカルフィルターを持つ構造とした。次いで、テフロンAF1600米国デュポン社製商品名をフッ素系溶剤フロリナートFC-75米国スリーエム社製商品名に溶解させて濃度8の溶液を調製した。次に、この溶液により、直径250mm、厚さ600μmの鏡面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて膜の厚みが0.83μmの透明膜を形成させた。次に、この膜に外寸200mm×200mm×5mm幅、厚さ5mmの枠を、エポキシ系接着剤アラルダイトラピッド昭和高分子株製商品名を用いて接着し、基板面から剥離した。次に、前記のようにして準備した、アルミニウム合金製フレームの一端面にアクリル系粘着剤を塗布した。塗布量については、予め塗布量を変えて塗布した。この際、端面幅1.8mm、側壁面角度135°となるよう、体積比で1.06倍の塗布量を設定した。このものを100°Cで3分加熱してプレキュアを行った。半硬化した粘着剤層を面平坦度10μmに仕上げ、表面に離型層を形成した加圧板を持った加圧装置にて加圧し粘着剤表面を平坦に形成した。出来上がった粘着剤層の側壁面角度は135°、端面幅は1.8mmであった。このアルミニウム合金製フレームの別の一端面上に、フッ素系溶媒CTソルブ180旭硝子株製商品名に希釈したフッ素系高分子ポリマーCTX旭硝子株製商品名を塗布し、100°Cで10分加熱して乾燥硬化させた。そして、PET製ライナーを用意し、CCDカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー貼り付け装置によってマスク接着剤に貼り合わせた。次に、用意したテフロンAF1600前出の膜表面に密着させた後、IRランプにてフレームを加熱して、フレームと膜を融着させた。二つのフレームは、ペリクルフレームの接着面を上向きにして固定用の治具に取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次いで、ペリクルフレーム外側の枠を引き上げて固定し、ペリクルフレーム外側の膜部に約0.5N/m0.5g/cmの張力を与えた。次いでスカラーロボットに取り付けたカッターにチューブ式ディスペンサを用いて、フッ素系溶剤フロリナートFC75デュポン社製商品名を毎分10マイクロリットル滴下しながら、前記ペリクルフレームの接着剤部分の周辺部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクルフレーム外側の不要膜部分を切断除去した。完成したペリクルを、表面残留酸成分の濃度が1ppb以下になる条件で洗浄した、Crテストパターンを形成した石英ガラス製6インチフォトマスク基板に貼り付けた。次いでこのものを、ArFエキシマレーザースキャナーNSRS306C株式会社ニコン製商品名に装着し、フォトマスク面上露光強度0.01mJ/cm2/pulse、繰り返し周波数4000Hzにて500J/cm2の照射量まで照射した。照射した6インチフォトマスク上の観察をレーザー異物検査装置にて行ったところ、テストパターン中央部にはヘイズ、異物の発生は無かったが、フレーム近傍のパターン部分にヘイズの発生が認められた。このものをレーザーラマン分光分析装置により分析したところ、炭化水素系化合物であることが判明した。この炭化水素系化合物は、アクリル系粘着剤が分解して生成されたものと推定される。[比較例2]次に、ペリクルフレームとして、フレーム外寸149mm×122mm×5.8mm、フレーム厚さ2mm、両端面のC面サイズをC:0.2mmとしたA7075-T651のアルミニウム合金製フレームを用意した。このフレームの一側面中央1ヶ所に直径0.5mmの通気孔を設けた。このものを、表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧約147kPa1.5kg/cm2のサンドブラスト装置にて1分間表面処理し、表面を粗化した。次いでこのものを、NaOH処理浴中にて10秒間洗浄処理した後、化成電圧10V1.3Aにて14硫酸水溶液、液温18°C中で陽極酸化を行った。次いで、黒色染色、封孔処理して表面に黒色の酸化被膜を形成した。この後、5分間超純水と超音波洗浄装置を併用して洗浄した。次いで、このフレームの内面にスプレーコーティング装置を用いて、シリコーン系粘着剤:KR-3700信越化学工業株製商品名を10μmコーティングした。次いで、前記の通気口に、材質がPTFEで、塵埃濾過サイズが0.1μm~3.0μmで99.9999である、巾8mm、高さ2.5mm、厚さ300μmのフィルターを設置した。フィルターは除塵用のフィルター部と、その外側にケミカルフィルターを持つ構造とした。次いで、テフロンAF1600米国デュポン社製商品名をフッ素系溶剤フロリナートFC-75米国スリーエム社製商品名に溶解させて濃度8の溶液を調製した。次に、この溶液により、直径250mm、厚さ600μmの鏡面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて膜の厚みが0.83μmの透明膜を形成させた。次に、この膜に外寸200mm×200mm×5mm幅、厚さ5mmの枠を、エポキシ系接着剤アラルダイトラピッド昭和高分子株製商品名を用いて接着し、基板面から剥離した。次に、前記のようにして準備した、アルミニウム合金製フレームの一端面にアクリル系粘着剤を塗布した。塗布量については、予め塗布量を変えて塗布した。この際、端面幅1.72mm、側壁角度120°となるよう、体積比で1.04倍の塗布量を設定した。このものを100°Cで3分加熱してプレキュアを行った。半硬化した粘着剤層を面平坦度10μmに仕上げ、表面に離型層を形成した加圧板を持った加圧装置にて加圧し粘着剤表面を平坦に形成した。出来上がった粘着剤層の側壁面角度は121°、端面幅は1.72mmであった。設定値120°と実測値121°との誤差は実験目的に鑑みて許容されるので操作を続行した。このアルミニウム合金製フレームの別の一端面上に、フッ素系溶媒CTソルブ180旭硝子株製商品名に希釈したフッ素系高分子ポリマーCTX旭硝子株製商品名を塗布し、100°Cで10分加熱して乾燥硬化させた。そして、PET製ライナーを用意し、CCDカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー貼り付け装置によってマスク接着剤に貼り合わせた。次に、用意したテフロンAF1600前出の膜表面に密着させた後、IRランプにてフレームを加熱して、フレームと膜を融着させた。二つのフレームは、ペリクルフレームの接着面を上向きにして固定用の治具に取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次いで、ペリクルフレーム外側の枠を引き上げて固定し、ペリクルフレーム外側の膜部に約0.5N/m0.5g/cmの張力を与えた。次いでスカラーロボットに取り付けたカッターにチューブ式ディスペンサを用いて、フッ素系溶剤フロリナートFC75デュポン社製商品名を毎分10マイクロリットル滴下しながら、前記ペリクルフレームの接着剤部分の周辺部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクルフレーム外側の不要膜部分を切断除去した。完成したペリクルを、表面残留酸成分の濃度が1ppb以下になる条件で洗浄した、Crテストパターンを形成した石英ガラス製6インチフォトマスク基板に貼り付けた。次いでこのものを、ArFエキシマレーザースキャナーNSRS306C株式会社ニコン製商品名に装着し、フォトマスク面上露光強度0.01mJ/cm2/pulse、繰り返し周波数4000Hzにて500J/cm2の照射量まで照射した。照射した6インチフォトマスク上の観察をレーザー異物検査装置にて行ったところ、テストパターン中央部にはヘイズ、異物の発生は無かったが、フレーム近傍のパターン部分にヘイズの発生が認められた。このものをレーザーラマン分光分析装置により分析したところ、炭化水素系化合物であることが判明した。この炭化水素系化合物は、アクリル系粘着剤が分解して生成されたものと推定される。以上の実験によって、粘着剤層の側壁面角度が135°や121°ではヘイズが発生することが確認された。更に、側壁面角度の限界値90°に接近した状態を確認するため、比較例1を実施した。[比較例1]ペリクルフレームとして、フレーム外寸149mm×122mm×5.8mm、フレーム厚さ2mm、両端面のC面サイズをC:0.2mmとしたA7075-T651のアルミニウム合金製フレームを用意した。このフレームの一側面中央1ヶ所に直径0.5mmの通気孔を設けた。このものを、表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧約147kPa1.5kg/cm2のサンドブラスト装置にて1分間表面処理し、表面を粗化した。次いでこのものを、NaOH処理浴中にて10秒間洗浄処理した後、化成電圧10V1.3Aにて14硫酸水溶液、液温18°C中で陽極酸化を行った。次いで、黒色染色、封孔処理して表面に黒色の酸化被膜を形成した。この後、5分間超純水と超音波洗浄装置を併用して洗浄した。次いで、このフレームの内面にスプレーコーティング装置を用いて、シリコーン系粘着剤:KR-3700信越化学工業株製商品名を10μmコーティングした。次いで、前記の通気口に、材質がPTFEで、塵埃濾過サイズが0.1μm~3.0μmで99.9999である、巾8mm、高さ2.5mm、厚さ300μmのフィルターを設置した。フィルターは除塵用のフィルター部と、その外側にケミカルフィルターを持つ構造とした。次いで、テフロンAF1600米国デュポン社製商品名をフッ素系溶剤フロリナートFC-75米国スリーエム社製商品名に溶解させて濃度8の溶液を調製した。次に、この溶液により、直径250mm、厚さ600μmの鏡面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて膜の厚みが0.83μmの透明膜を形成させた。次に、この膜に外寸200mm×200mm×5mm幅、厚さ5mmの枠を、エポキシ系接着剤アラルダイトラピッド昭和高分子株製商品名を用いて接着し、基板面から剥離した。次に、前記のようにして準備した、アルミニウム合金製フレームの一端面にアクリル系粘着剤を塗布した。この際、端面幅1.7mm、側壁角度110°となるよう、体積比で1.02倍の粘着剤を塗布した。このものを100°Cで3分加熱してプレキュアを行った。半硬化した粘着剤層を面平坦度10μmに仕上げ、表面に離型層を形成した加圧板を持った加圧装置にて加圧し粘着剤表面を平坦に形成した。出来上がった粘着剤層の側壁面角度は107°、端面幅は1.66mmであった。このアルミニウム合金製フレームの別の一端面上に、フッ素系溶媒CTソルブ180旭硝子株製商品名に希釈したフッ素系高分子ポリマーCTX旭硝子株製商品名を塗布し、100°Cで10分加熱して乾燥硬化させた。そして、PET製ライナーを用意し、CCDカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー貼り付け装置によってマスク接着剤に貼り合わせた。次に、用意したテフロンAF1600前出の膜表面に密着させた後、IRランプにてフレームを加熱して、フレームと膜を融着させた。二つのフレームは、ペリクルフレームの接着面を上向きにして固定用の治具に取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次いで、ペリクルフレーム外側の枠を引き上げて固定し、ペリクルフレーム外側の膜部に約0.5N/m0.5g/cmの張力を与えた。次いでスカラーロボットに取り付けたカッターにチューブ式ディスペンサを用いて、フッ素系溶剤フロリナートFC75デュポン社製商品名を毎分10マイクロリットル滴下しながら、前記ペリクルフレームの接着剤部分の周辺部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクルフレーム外側の不要膜部分を切断除去した。完成したペリクルを、表面残留酸成分の濃度が1ppb以下になる条件で洗浄した、Crテストパターンを形成した石英ガラス製6インチフォトマスク基板に貼り付けた。次いでこのものを、ArFエキシマレーザースキャナーNSRS306C株式会社ニコン製商品名に装着し、フォトマスク面上露光強度0.01mJ/cm2/pulse、繰り返し周波数4000Hzにて500J/cm2の照射量まで照射した。照射した6インチフォトマスク上の観察をレーザー異物検査装置にて行ったところ、テストパターン中央部にはヘイズ、異物の発生は無かったが、フレーム近傍のパターン部分にヘイズの発生が認められた。このものをレーザーラマン分光分析装置により分析したところ、炭化水素系化合物であることが判明した。この炭化水素系化合物は、アクリル系粘着剤が分解して生成されたものと推定される。