"縦振動モードと屈曲振動モードと、が励振され振動する圧電素子と、前記圧電素子に備える接触部が接触し、前記接触部の振動によって駆動される被駆動体と、前記圧電素子を保持する保持部と、前記保持部を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台と、を備えるアクチュエーターであって、前記保持部は、前記圧電素子の振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方の側に配置される第1支持部と、前記第1支持部に前記圧電素子を介して対向して他方の側に配置される第2支持部と、を有する、ことを特徴とするアクチュエーター。前記第1支持部と前記第2支持部とが支持する前記圧電素子の支持領域は、前記圧電素子の前記縦振動モードの振動の節であって、且つ前記屈曲振動モードとの振動の節である振動の節の少なくとも一つを含む、ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエーター。前記第1支持部および前記第2支持部の少なくとも一方には緩衝部を含む、ことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエーター。前記第1支持部および前記第2支持部の少なくとも一方には弾性部を含む、ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のアクチュエーター。請求項1から4のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備えるロボットハンド。請求項1から4のいずれか一項に記載のアクチュエーター、または請求項5に記載のロボットハンドを備えるロボット。請求項1から4のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える電子部品搬送装置。請求項1から4のいずれか一項に記載のアクチュエーター、または請求項7に記載の電子部品搬送装置を備える電子部品検査装置。請求項1から4のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備えるプリンター。しかし、上述の特許文献1,2では、圧電体の振動方向、特に屈曲振動に対して振動を制限するように圧電体を保持する弾性部材を配置することにより、圧電体の振動が弾性部材を通じて保持ケースに漏れ、被駆動体の駆動エネルギーを多く損失してしまう虞があった。また、特許文献3であっても、圧電体を保持ケースの案内部からの振動漏れを生じ、被駆動体の駆動エネルギーを多く損失してしまう虞があった。そこで、圧電体を保持ケースに保持しながらも、保持ケースへの圧電体の振動漏れを抑制し、圧電体の振動を確実に被駆動体の駆動に変換するアクチュエーターを提供する。本発明は、上述の課題を解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。適用例1本適用例のアクチュエーターは、縦振動モードと屈曲振動モードと、が励振され振動する圧電素子と、前記圧電素子に備える接触部が接触し、前記接触部の振動によって駆動される被駆動体と、前記圧電素子を保持する保持部と、前記保持部を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台と、を備えるアクチュエーターであって、前記保持部は、前記圧電素子の振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方の側に配置される第1支持部と、前記第1支持部に前記圧電素子を介して対向して他方の側に配置される第2支持部と、を有することを特徴とする。本適用例のアクチュエーターによれば、圧電素子を振動方向を含む振動面に対して、交差する方向から力を与えて挟持するように第1支持部、第2支持部を備えることにより、振動を拘束しないので圧電素子の振動が保持材へ漏れることを抑制することができ、高効率の駆動を得ることができる。これによって、圧電素子の振動が無駄なく接触部の揺動を発生させ、接触部に当接される被駆動体の回転もしくは直線運動へ変換することができる。すなわち、駆動効率の高いアクチュエーターを得ることができる。適用例2上述の適用例において、前記第1支持部と前記第2支持部とが支持する前記圧電素子の支持領域は、前記圧電素子の前記縦振動モードの振動の節であって、且つ前記屈曲振動モードとの振動の節である振動の節の少なくとも一つを含むことを特徴とする。上述の適用例によれば、第1支持部および第2支持部の配置を圧電素子の振動の節を含む領域に設けることにより、圧電素子の振動面における振動による移動量の少ない領域、言い換えると振幅の小さい領域であることから、保持ケース20への振動漏れを、なお一層抑制することができる。適用例3上述の適用例において、前記第1支持部および前記第2支持部の少なくとも一方には緩衝部材を含むことを特徴とする。上述の適用例によれば、圧電素子を振動面に交差する方向に挟持するように緩衝材料を含む第1支持部、第2支持部を備えることにより、圧電素子の振動が保持材へ漏れることを抑制することができる。これによって、圧電素子の振動が無駄なく接触部の揺動を発生させ、接触部に当接される被駆動体の回転もしくは直線運動へ変換することができる。すなわち、駆動効率の高いアクチュエーターを得ることができる。また、緩衝材は、振動面方向の振動を振動変位として許容することにより、被駆動体の駆動に必要な振動を維持することができる。更に、節を含む領域では振動変位が分布するが、それを許容することにより、被駆動体の駆動に必要な振動を維持することができる。すなわち、駆動効率の高いアクチュエーターを得ることができる。適用例4上述の適用例において、前記第1支持部および前記第2支持部の少なくとも一方には弾性部材を含むことを特徴とする。上述の適用例によれば、第1支持部および第2支持部の少なくともどちらか一方に弾性部材を配置することにより、弾性部材の弾性力に対する保持部材と圧電素子との間の摩擦力によって、振動による保持部材と圧電素子との相対的な位置ずれを抑制することができる。適用例5本適用例のロボットハンドは、上述の適用例によるアクチュエーターを備える。本適用例のロボットハンドは、動作の自由度を多くするためにモーターを多数備えても、電磁式のモーターなどに比べて小型、軽量にすることができる。適用例6本適用例のロボットは、上述の適用例によるアクチュエーターまたはロボットハンドを備える。本適用例のロボットは、駆動分解能が細かく、且つ高速振動のアクチュエーターによる駆動であるため、作業対象物を正確に保持し、目的位置まで正確に高速搬送することができ、ロボットの動作時間の短縮を可能とすることができ、高い生産性が実現できる。また複雑な電子機器の組立作業などを可能にすることができる。適用例7本適用例の電子部品搬送装置は、上述の適用例によるアクチュエーターを備える。本適用例の電子部品搬送装置は、駆動分解能が細かく、且つ高速振動であるため電子部品などを正確な位置に高速で搬送することができ、電子部品の検査時間、組立時間の短縮を可能とすることができる。また複雑な電子機器の組立作業などを可能にすることができる。適用例8本適用例の電子部品検査装置は、上述の適用例によるアクチュエーターまたは電子部品搬送装置を備える。本適用例の電子部品検査装置は、駆動分解能が細かく、且つ高速振動なアクチュエーターまたは電子部品搬送装置を備えることにより、検査対象の電子部品などを正確な位置に高速で搬送することができ、電子部品の検査時間、組立時間の短縮を可能とすることができる。適用例9本適用例のプリンターは、上述の適用例によるアクチュエーターを備える。本適用例のプリンターは、駆動装置部位に駆動分解能が細かく、且つ高速振動のアクチュエーターを備えることで、駆動対象物を目的位置まで正確に高速移動させることができ、プリンターの動作時間の短縮を可能とすることができ、高い生産性が実現できる。また、高速に駆動させることができることから、長い直線駆動を行わせる印刷媒体を切断するカッターの駆動をスムーズに行うことができる。以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。第1実施形態図1は、第1実施形態のアクチュエーターを示し、aは平面図、bはaに示すA-A ́部の断面図、cはaに示すB-B ́部の断面図、である。図1aに示すように、アクチュエーター100は、保持部材としての保持ケース20と、保持ケース20に保持される圧電素子10と、保持ケース20の付勢手段としてのばね60が装着されるばね固定部50aを備える基台50と、被駆動体71もしくは被駆動体72と、を備えている。被駆動体71は図示するR方向に回転駆動され、被駆動体72は図示するH方向に直線駆動される。本実施形態に係るアクチュエーター100では、被駆動体72で示されるH方向の直線駆動によって説明するが、回転駆動される被駆動体71であっても良い。被駆動体72へは、基台50に備えるばね固定部50aに対してばね60によって保持ケース20の付勢部20aが付勢され、付勢された保持ケース20を介して圧電素子10が付勢される。圧電素子10には被駆動体72と接触する接触部を有する突起部10aが設けられ、詳細は後述するが、圧電素子10の振動によって突起部10aが楕円軌道を描いて揺動し、この楕円運動によって被駆動体72がH方向に直線駆動される。保持ケース20は、図1b,cに示すように、ケース本体21と、ケース本体21にねじ23によって固定される押え板22と、を備え、ケース本体21の支持面21aと押え板22との間に第1支持部30と第2支持部40を介して圧電素子10を保持する。第1支持部30は押え板22と圧電素子10の間に配置され、圧電素子10に当接する緩衝部としての緩衝部材31と、緩衝部材31と押え板22との間に配置される弾性部としての皿ばね32と、を備えている。また、第2支持部40はケース本体21の支持面21aと圧電素子10との間に緩衝材料を用いて配置されている。このように配置される第1支持部30、圧電素子10、および第2支持部40によって、圧電素子10は第1支持部30の皿ばね32のばね力で押え板22とケース本体21の支持面21aとの間で挟持され、保持ケース20に保持、固定される。緩衝部材31および第2支持部40を構成する緩衝材料としては、圧電素子10に励起される振動を保持ケース20側に漏れさせない性能を有した材料を用いる。その性能は動的粘弾性tanδで表され、本実施形態に係るアクチュエーター100においては、tanδ≦0.05が好ましい。ここで動的粘弾性tanδとは、材料を引っ張りモードにおいて正弦波ひずみεを与えると、材料に生じる応力σの発生には、入力されたひずみに対して遅れの位相δが生じる。この位相δを用いて材料の動的な粘性を定量化しているのが、動的粘弾性tanδである。すなわち動的粘弾性が大きい、すなわち位相δが大きい、ということは与えられたひずみを材料の内部での伝達遅れを生じることとなる。言い換えると、振動の伝達を、より遅くさせ、保持ケース20への振動漏れを抑制することができる。緩衝部材31および第2支持部40を形成する緩衝材料としては、例えばゴム、エラストマー、ポリイミドなどが好適に用いられるが、アクチュエーター100の駆動によって熱が生じやすいため、耐熱性に優れるポリイミドがより好適に用いることができる。また、緩衝材は弾性のみを有している場合であっても、振動変位を減少させる効果があるため、保護ケースに伝わる振動を抑える効果がある。図2は圧電素子10の形態を示す、aは表平面図、bは側面図、cは裏平面図、である。図2aに示すように圧電素子10は、圧電体10bの一方の面10cには屈曲振動を励振させる電極11,12,13,14が形成されている。さらに、他方の面10dには共通電極15が形成されている。圧電体10bとしては、圧電性を有する材料であれば限定されないが、PZTチタン酸ジルコン酸鉛が好適に用いられる。電極としては、導電金属であれば限定されないが、例えばAl,Au,Ag,W,Cuなどをスパッタリング法、蒸着法などの方法で形成される。また、突起部10aは、被駆動体72と接触し、その摩擦によって被駆動体72を駆動させることから被駆動体72との摩擦係数は高く、且つ耐摩耗性の優れた材料により突起部10aを形成し、図示しない方法で固着することで形成される。もしくは、被駆動体72との摩擦係数は高く、且つ耐摩耗性の優れた材料を圧電体10bと一体的に形成した突起部10aの表面にコーティングすることで形成することができる。突起部10aに用いる耐摩耗性に優れた材料として、セラミックス、例えばアルミナなど、が好適に用いられる。図3は圧電素子10の動作を模式図的に説明する平面図である。図3aに示すように、電極11,13と図2に示す共通電極15との間に電荷を掛け、電極12,14には電荷を掛けないことにより、圧電素子10における電極11,13に対応する部位で図示矢印の縦振動が励起される。しかし、電極12,14には電荷を掛けられていないため縦振動は励起されず、その結果、電極11,13による縦振動と、電極12,14の無振動によって圧電素子10は屈曲振動が生じ圧電素子10Aのように振動する。この縦振動と、縦振動による屈曲振動とが圧電素子10に生じ、突起部10aが図示する楕円軌道QRの矢印方向に揺動する。突起部10aの楕円軌道によるQR方向の揺動が、当接される被駆動体72を図示HRに駆動させる。図3bにより説明する圧電素子10の動作は、上述の図3aにより説明したHR方向への被駆動体72の駆動方向が、逆のHL方向に駆動される状態である。図3bに示すように、電極12,14と図2に示す共通電極15との間に電荷を掛け、電極11,13には電荷を掛けないことにより、圧電素子10における電極12,14に対応する部位で図示矢印の縦振動が励起される。しかし、電極11,13には電荷を掛けられていないため縦振動は励起されず、その結果、電極12,14による縦振動と、電極11,13の無振動によって圧電素子10は屈曲振動が生じ圧電素子10Bのように振動する。この縦振動と、縦振動による屈曲振動とが圧電素子10に生じ、突起部10aが図示する楕円軌道QLの矢印方向に揺動する。突起部10aの楕円軌道によるQL方向の揺動が、当接される被駆動体72を図示HLに駆動させる。このように電極11,12,13,14への電荷の付加を切り換えることにより、圧電素子10の屈曲振動の方向を変え、被駆動体72の駆動方向を容易に切り換えることができる。上述の圧電素子10の屈曲振動および縦振動の2つの振動モードにおける振動の節について図3cを用いて説明する。図3cは圧電素子10の振動モードの概念図を示す。図3cに示すように、圧電素子10は、図3a,bを用いて説明した振動状態の屈曲振動モードによって圧電素子10A,10Bに示す振動状態となる。この時、振動停止状態の圧電素子10の縦振動モードの振動方向に沿った本実施形態に係る圧電素子10では中心線となる線Lは、振動状態における圧電素子10Aでは線LA,圧電素子10Bでは線LBのように屈曲した軌跡となる。この屈曲振動モードに対応する線LAおよび線LBと、縦振動モードに対応する線Lと、が互いに交差する位置が、振動の節P1,P2,P3以下、節P1,P2,P3というと呼ばれている。この節P1,P2,P3では圧電素子10の振動において振動面内での移動が少ない、すなわち振幅の小さい位置となることから、本実施形態に係るアクチュエーター100に備える圧電素子10を支持する第1支持部30および第2支持部40は、節P1を含む領域を支持するように配置されている。なお、第1支持部30および第2支持部40が支持する位置はこれに限定されず、例えば図1aに示すA-A ́方向の断面図としての図4aに示すように、第1支持部3Aおよび第2支持部4Aのように、節P2,P3の2箇所、もしくは図4bに示すように、第1支持部3Bおよび第2支持部4Bのように、節P1,P2,P3の3箇所を支持しても良い。図5は、第1支持部30および第2支持部40のその他の形態を示し、図1aに示すB-B ́部に相当する断面図である。図5aに示す第1支持部30は、弾性部材としてコイルばね33を配置した。コイルばね33を配置することで、緩衝部材31および緩衝材料の第2支持部40を介した圧電素子10の保持力の調整がし易くなり、また長期に安定した弾性力を維持することができ、安定した圧電素子10の振動を得ることができる。図5bに示す第1支持部30および第2支持部40の双方に、弾性部材としての皿ばね32,42が配置され、皿ばね32,42と圧電素子10との間に緩衝部材31,41が配置されている。このように支持部30,40の双方に皿ばね32,42を配置することで、圧電素子10への緩衝部材31,41を介して付加される押圧力をバランスよく配置させることができる。図5cに示す第1支持部34、第2支持部43は共に緩衝材料により形成され、押え板24とケース本体21の支持面21aとの間で、第1支持部34、圧電素子10、第2支持部43を挟持した際に、図示する押え板24aのように撓ませ、撓みの応力によって押え板24を弾性部材として構成している。このように構成することで、弾性部材としての皿ばね32,33,42やコイルばね33を必要としないため、低コストのアクチュエーター100を得ることができる。図5dに示す第1支持部30には、皿ばね32と、皿ばね32と圧電素子10との間に緩衝部材31が配置されているが、図1に示すアクチュエーター100の第2支持部40は配置されず、ケース本体21に形成した突起部21bを第2支持部とすることもできる。このように構成することにより、更に低コストのアクチュエーター100を得ることができる。本実施形態に係るアクチュエーター100は、圧電素子10を振動面に交差する方向に挟持するように緩衝材料を含む第1支持部30、第2支持部40を備えることにより、圧電素子10の振動が保持ケース20へ漏れることを抑制することができる。これによって、圧電素子10の振動が無駄なく突起部10aの揺動を発生させ、突起部10aに当接される被駆動体71,72の回転もしくは直線運動へ変換することができる。すなわち、駆動効率の高いアクチュエーターを得ることができる。さらに、支持部30,40の配置を圧電素子10の振動の節を含む領域に設けることにより、圧電素子10の振動により移動の少ない領域、言い換えると振幅の小さい領域であることから、保持ケース20への振動漏れを抑制することができる。さらに、第1支持部30および第2支持部40の少なくともどちらか一方に弾性部材としての皿ばね32、コイルばね33、もしくは押え板24の撓み弾性によって保持ケース20内で緩衝部材31、緩衝材料により形成される支持部34,43が押圧され、その反発力に対する保持ケース20と圧電素子10との間の摩擦力によって、振動による相対的な位置ずれを抑制することができる。なお、緩衝部材31、緩衝材料により形成される支持部34,43の圧電素子10の支持領域を接着剤などにより固着しても良い。第2実施形態図6は、第1実施形態に係るアクチュエーター100を備えたロボットハンド1000を示す外観図である。図6に示すロボットハンド1000に備えるアクチュエーター100は、第1実施形態に係るアクチュエーター100であって、回転駆動される被駆動体71を備えている図1参照形態をとり、後述するロボットハンド1000の関節部の回転駆動モーターとして用いられる。ロボットハンド1000は、基部110に接続された指部120を備えている。基部110と指部120との接続部130と、指部120の関節部140とには、アモーターとしてのアクチュエーター100が組み込まれている。またロボットハンド1000には制御部150を備え、制御部150によってアクチュエーター100の駆動により接続部130および関節部140を回動させ指部120を人間の指のように所望の形態に変形させることができる。第3実施形態図7は、第2実施形態に係るロボットハンド1000備えるロボット2000の構成を示す外観図である。ロボット2000は、本体部210、アーム部220およびロボットハンド1000を備え、図示するロボット2000は、いわゆる多関節型ロボットに分類される。本体部210は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定される。アーム部220は、本体部210に対して可動に設けられており、本体部210にはアーム部220を回転させるための動力を発生させる図示しないアクチュエーターや、アクチュエーターを制御する制御部等が内蔵されている。アーム部220は、第1フレーム221、第2フレーム222、第3フレーム223、第4フレーム224および第5フレーム225から構成されている。第1フレーム221は、回転屈折軸を介して、本体部210に回転可能または屈折可能に接続されている。第2フレーム222は、回転屈折軸を介して、第1フレーム221および第3フレーム223に接続されている。第3フレーム223は、回転屈折軸を介して、第2フレーム222および第4フレーム224に接続されている。第4フレーム224は、回転屈折軸を介して、第3フレーム223および第5フレーム225に接続されている。第5フレーム225は、回転屈折軸を介して、第4フレーム224に接続されている。アーム部220は、制御部の制御によって、各フレーム221~225が各回転屈折軸を中心に複合的に回転または屈折し動く。アーム部220の第5フレーム225のうち第4フレーム224が設けられた他方には、ロボットハンド接続部230が接続されており、ロボットハンド接続部230にロボットハンド1000が取り付けられている。ロボットハンド接続部230にはロボットハンド1000に回転動作を与えるアクチュエーター100が内蔵され、ロボットハンド1000は対象物を把持することができる。小型、軽量のロボットハンド1000を用いることによって、汎用性が高く、複雑な電子機器の組み立て作業や検査等が可能なロボットを提供することができる。第4実施形態図8は、第1実施形態に係るアクチュエーター100を備える、直交ロボットの一実施形態としての電子部品搬送ロボットを備える電子部品検査装置を示す外観図である。図8に示す電子部品検査装置3000以下、検査装置3000というは、電子部品の電気的特性を検査する機能を有する部分3100以下、検査部3100というと、電子部品を所定の位置間を搬送する電子部品搬送ロボットとしての搬送装置部分3200以下、搬送装置部3200というと、を備える装置である。図8に示す検査装置3000は、直方体状の装置基台300を備えている。装置基台300の長手方向をY方向とし、水平面においてY方向と直交する方向をX方向とする。そして、鉛直方向をZ-方向とする。装置基台300上において図中左側には給材装置310が設置されている。給材装置310の上面には、Y方向に延びる一対の案内レール321a,321bが給材装置310のY方向全幅にわたり凸設されている。一対の案内レール321a,321bの上側には直動機構を備えたステージ330が取付けられている。そのステージ330の直動機構は、例えば案内レール321a,321bに沿ってY方向に延びるリニアモーターを備えた直動機構である。そして、この直動機構に所定のステップ数に相対する駆動信号がリニアモーターに入力されると、リニアモーターが前進または後退して、ステージ330が同ステップ数に相当する分だけ、Y方向に沿って往動または復動する。ステージ330のZ方向を向く面は載置面330aであり、載置面330aには電子部品500が載置される。ステージ330には吸引式の基板チャック機構が設置されている。そして、基板チャック機構が電子部品500を載置面330aに固定するようになっている。装置基台300において給材装置310のY方向側には撮像部としての第2撮像部342が設置されている。第2撮像部342は、受光する光を電気信号に変換するCCDChargeCoupledDevices素子等を搭載した電気回路基板、ズーム機構を備えた対物レンズ、落射照明装置、自動焦点合わせ機構を備えている。これにより、第2撮像部342と対向する場所に電子部品500が位置するとき、第2撮像部342は電子部品500を撮影することができる。そして、第2撮像部342は電子部品500に光を照射してピント合わせをした後撮影することにより、焦点の合った画像を撮影することができる。装置基台300において第2撮像部342のY方向側には検査台350が設置されている。検査台350は電子部品500を検査するときに電気信号を送受信するための治具である。装置基台300上において検査台350のY方向側には除材装置360が設置されている。除材装置360の上面にはY方向に延びる一対の案内レール322a,322bが全幅にわたり凸設されている。一対の案内レール322a,322bの上側には直動機構を備えたステージ370が取付けられている。ステージ370の直動機構は、給材装置310が備える直動機構と同様の機構を用いることができる。そして、ステージ370は案内レール322a,322bに沿って往動または復動する。ステージ370のZ方向を向く面は載置面370aであり、載置面370aには電子部品500が載置される。装置基台300のX-方向には略直方体状の支持台400が設置されている。装置基台300に比べて支持台400はZ方向に高い形状となっている。支持台400においてX方向を向く面にはY方向に延びる一対の被駆動体としての駆動レール411a,411bが支持台400のY方向全幅にわたり凸設されている。駆動レール411a,411bのX方向側には、一対の駆動レール411a,411bに沿って移動する直動機構を備えたYステージ420が取付けられている。駆動レール411aもしくは駆動レール411bの少なくともどちらか一方が第1実施形態に係るアクチュエーター100の被駆動体72図1参照であり、Yステージ420の直動機構には駆動レール411aおよび駆動レール411bのどちらか一方もしくは両方に当接される圧電素子10が備えられ、Yステージ420に備える圧電素子10を振動させることにより、固定された駆動レール411a,411bに対して相対的にYステージ420は駆動レール411a,411bに沿って往動または復動する。Yステージ420においてX方向を向く面にはX方向に延在する角柱状の腕部430が設置されている。腕部430において-Y方向を向く面にはX方向に延びる一対の駆動レール412a,412bが腕部430のX方向全幅にわたり凸設されている。一対の駆動レール412a,412bの-Y方向側には駆動レール412a,412bに沿って移動する直動機構を備えたXステージ440が取付けられている。駆動レール412aもしくは駆動レール412bの少なくともどちらか一方が第1実施形態に係るアクチュエーター100の被駆動体72図1参照であり、Xステージ440の直動機構には駆動レール412aおよび駆動レール412bのどちらか一方もしくは両方に当接される圧電素子10が備えられ、Xステージ440に備える圧電素子10を振動させることにより、固定された駆動レール412a,412bに対して相対的にXステージ440は駆動レール412a,412bに沿って往動または復動する。Xステージ440には撮像部としての第1撮像部341およびZ移動装置450が設置されている。第1撮像部341は第2撮像部342と同様な構造と機能を備えている。そして、第1撮像部341および第2撮像部342にて撮像部を構成している。Z移動装置450は内部に直動機構を備え、直動機構はZステージを昇降させる。そして、Zステージには回転装置460が接続されている。そして、Z移動装置450は回転装置460をZ方向に昇降させることができる。Z移動装置450の直動機構は、駆動レール411a,411bに沿って駆動されるYステージ420、駆動レール412a,412bに沿って駆動されるXステージ440、と同様に第1実施形態に係るアクチュエーター100を備えることができる。回転装置460は回転軸460aを備え、回転軸460aには把持部380が接続されている。これにより、回転装置460はZ方向を軸にして把持部380を回転させることができる。回転装置460は第1実施形態に係るアクチュエーター100において被駆動体71図1参照を用いた回転駆動機構を本実施形態では用いられ、減速装置と組み合わせて構成され、回転軸460aを所定の角度に回動させる。なお、回転機構としてはステップモーターまたはサーボモーターを用いることもできる。サーボモーターの場合には、モーターの種類は特に限定されず、ACモーター、DCモーター、コアレスモーター、超音波モーター等を用いることができる。上述の、Yステージ420、Xステージ440、Z移動装置450、回転装置460等により可動部470が構成されている。装置基台300のX方向側には制御部としての制御装置390が設置されている。制御装置390は検査装置3000の動作を制御する機能を備えている。さらに、制御装置390は電子部品500を検査する機能を備えている。各制御装置390は入力装置390aおよび出力装置390bを備えている。入力装置390aはキーボートや入力コネクター等であり、信号やデータの他に操作者の指示を入力する装置である。出力装置390bは表示装置や外部装置に出力する出力コネクター等であり、信号やデータを他装置へ出力する。他にも検査装置3000の状況を操作者に伝達する装置である。上述の構成において、検査部3100の主な構成としては装置基台300、給材装置310、ステージ330、第1撮像部341、第2撮像部342、検査台350、除材装置360、ステージ370、などであり、検査対象となる電子部品500の除給材、画像処理、電気的特性計測、などが行われる。また搬送装置部3200の主な構成としては支持台400、駆動レール411a,b、Yステージ420、腕部430、駆動レール412a,b、Xステージ440、Z移動装置450、回転装置460、などであり、電子部品500を給材装置310から検査台350、そして除材装置360までを搬送する。検査装置3000によって検査される電子部品500は、一般的にクリーン環境、すなわち防塵環境下に設置される。また、図示しないが、検査台350には電子部品500の電気的特性を計測するための複数のプローブが配置され、電子部品500のプローブが接触すべき位置が全てのプローブに対して正確に配置されるように、給材装置310から検査台350に電子部品500が搬送されなければならない。電子部品500の位置は、検査台350に載置される前に、第1撮像部341、第2撮像部342によって得られる電子部品500の画像より、画像処理されて検査台350に備えるプローブ位置に搬送装置部3200によって正確に位置合わせされ、検査台350に載置される。さらに、電子部品500はより小型で精密且つ多機能が進行していることから、いわゆる全数検査が一般的となっている。従って、電子部品500の一連の検査時間は、検査すべき電子部品500の数量が極めて大量であることから、より短時間の検査処理を可能とすることが求められ、特に検査時間に占める電子部品500の搬送時間の短縮が求められていた。そこで、第1実施形態に係るアクチュエーター100を備えたYステージ420、Xステージ440、さらにはZ移動装置450を検査装置3000に備えることにより、所定の移動速度まで加速時間、さらには停止までの減速時間、を短く制御することが可能となり、検査時間の短い電子部品検査装置を得ることができる。なお、電子部品500として、例えば半導体、LCDなどの表示デバイス、水晶デバイス、各種センサーデバイス、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイスなどを検査する電子部品検査装置として適用できる。第5実施形態図9は第5実施形態に係るプリンターを示し、aはプリンターを示す斜視図、bはaに示すプリンターが備えるカッティングヘッドを示す平面図、である。図9aに示すように、プリンター4000は、印刷用紙520へ印刷する印刷部510と、印刷部510との間に印刷用紙520を保持し且つガイドするステージでもあるプラテン530と、印刷された印刷用紙520を切断するためのカッティングヘッド550と、プリンター4000を制御する制御部580と、を備えている。この場合、カッティングヘッド550は、印刷用紙520の搬送される方向と直交する方向に印刷用紙520を切断する方式であって、印刷用紙520切断用のカッター550aを有している。そして、印刷用紙520を切断するための機構は、図9bに示すように、カッティングヘッド550を支持しカッティングヘッド550の移動をガイドするガイドレール540と、ガイドレール540に沿ってカッティングヘッド550を移動させるリング状ベルト560と、リング状ベルト560にカッティングヘッド550を連結させるためのベルト連結部550bと、リング状ベルト560を駆動するために、カッティングヘッド550が移動する始端側および終端側に設けられた駆動軸570aおよび従動軸570bと、を有している。駆動軸570aは、アクチュエーター100により回転して、リング状ベルト560を駆動する。この場合、アクチュエーター100の回転軸の回転は、増速装置590を介して駆動軸570aへ伝達されるようになっている。このような構成のプリンター4000は、アクチュエーター100が駆動すると駆動軸570aが回転し、駆動軸570aの回転により、駆動軸570aと従動軸570bとの間をリング状ベルト560が回転し、回転するリング状ベルト560と連結したカッティングヘッド550がガイドレール540に沿って移動する。これにより、カッティングヘッド550のカッター550aが印刷用紙520を切断する。プリンター4000は、駆動軸570aの駆動にアクチュエーター100を用いることにより、駆動軸570aまわりをコンパクトな構成にすることができるため、小型化が可能であり、併せて高耐久性も有している。"