画像データに付加情報を付し、第1の伝送プロトコルに従って出力する撮像部と、前記第1の伝送プロトコルにより前記撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、前記付加情報に基づいて、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第2の伝送プロトコルの画像データに変換して出力する画像出力部とを有する画像分配部と、前記画像出力部から入力された画像データを処理する画像処理部とを有する検査装置。一つの画像分配部に対して複数の画像処理部を接続した請求項1に記載の検査装置において、前記画像分配部は、各画像処理部に対し、同じ伝送プロトコルに従って画像データを出力することを特徴とする検査装置。一つの画像分配部に対して複数の画像処理部を接続した請求項1に記載の検査装置において、前記画像分配部は、前記複数の画像処理部のうち少なくとも一部の画像処理部に対し、互いに異なる伝送プロトコルに従って画像データを出力することを特徴とする検査装置。一つの画像分配部に対して複数の撮像部を接続した請求項1に記載の検査装置において、前記画像分配部は、前記複数の撮像部のそれぞれから、同じ伝送プロトコルに従って画像データを入力することを特徴とする検査装置。一つの画像分配部に対して複数の撮像部を接続した請求項1に記載の検査装置において、前記画像分配部は、前記複数の撮像部の少なくとも一部から、互いに異なる伝送プロトコルに従って画像データを入力することを特徴とする検査装置。検査装置におけるデータ分配方法において、撮像部が、画像データに付加情報を付し、第1の伝送プロトコルに従って出力する処理と、画像分配部が、前記第1の伝送プロトコルに従って受信した画像データを所定のデータ形式に変換する処理と、画像分配部が、前記付加情報に基づいて、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する処理と、画像分配部が、前記制御に従って、所定のデータ形式のデータを第2の伝送プロトコルの画像データに変換して出力する処理とを有するデータ分配方法。データの分配を制御する方法は、用いる伝送プロトコルによっても異なる。例えば画像データの取得に使用されるセンサ等の構成やデータを処理する処理プロセッサの構成によっても異なる。このように、データの画像分配部は、画像データの送信側の伝送プロトコルと受信側の伝送プロトコルの両方の影響を受ける。このため、どちらか一方でも、伝送プロトコルに変更があると、画像分配部を再開発する必要がある。また、並列化されたデータ処理部に対するデータの分配方法は同じでも、伝送プロトコルにより、その制御方法や効率の良い分配サイズ、タイミングは異なる。このため、伝送プロトコルに最適化された分配機能が必要となる。なお、性能を重視する場合、分配部をハードウェアで構成することになるが、この手法は変更が難しく、再開発負担が大きい。この課題を解決するため、本発明においては、画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部の間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第1の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第2の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。本発明によれば、撮像部が使用する伝送プロトコルと画像処理部が使用する伝送プロトコルのいずれか一方に変更が生じた場合にも、画像分配部の変更に要する作業量を従来に比して低減することができる。上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。なお、本発明の実施態様は、後述する形態例に限定されるものではなく、その技術思想の範囲において、種々の変形が可能である。半導体検査装置の構成図1に、形態例に係る検査装置の概略構成を示す。検査装置には、光学式検査装置、SEMScanningElectronMicroscope検査装置、SEM測長装置などがある。図1は、光学式の半導体検査装置を示す。図1に示す半導体検査装置100は、照明部110、検出部120、Xスケール130、Yスケール140、座標管理装置150、画像分配部160、画像処理部170、入力装置180、表示装置190を備えている。照明部110は、例えば所定波長のレーザ光等の検査光を発生する光源と対物レンズその他の光学系で構成される。勿論、電子線やイオンビーム等の荷電粒子線をウェハ101に照射する場合には、荷電粒子源や偏向レンズ等が使用される。表面にチップ102がマトリクス状に形成されたウェハ101はXYステージに搭載されており、少なくともXY方向への移動が可能である。不図示のXYステージがX方向及び又はY方向に移動することにより、照明部110から照射された検査光がウェハ101の表面を走査する。ウェハ101の表面に照射された検査光は、ウェハ101の表面に形成されたパターンや欠陥により散乱され、散乱光を発生する。散乱光は、検出部120により検出される。検出部120は、対物レンズ121、空間フィルタ122、結像レンズ123、撮像部124で構成される。対物レンズ121は散乱光を集光するレンズである。空間フィルタ122は、検査対象以外の散乱光を遮蔽するために設けられる。例えば欠陥や異物を検査対象とする場合、空間フィルタ122は繰り返しパターンに起因して発生する回折光の遮蔽に用いられる。結像レンズ123は、倍率を可変できるレンズ又は倍率の異なる複数のレンズとその切り替え機構により構成される。この構成により、結像レンズ123は、検査対象の種類や大きさに応じて検査感度を変更することができる。撮像部124は、TDITimeDelayIntegrationセンサやCCDChargeCoupledDeviceセンサで構成される。Xスケール130及びYスケール140は、例えばレーザスケールで構成される。Xスケール130及びYスケール140は、ウェハ101を搭載したウェハステージのX方向位置及びY方向位置をそれぞれ検出し、それらを座標情報として座標管理装置150に出力する。なお、座標管理装置150は、ウェハステージの座標情報に基づいて検査光が現に照射している位置の座標を算出し、検査位置座標として画像処理部170に与える。画像分配部160は、撮像部124と画像処理部170の間に配置される。画像分配部160は、撮像部124が画像データの伝送に使用する伝送プロトコルと画像処理部170が画像データの入力に使用する伝送プロトコルの違いを吸収する機能と、画像データを並列伝送する際におけるデータの分配機能を提供する。この形態例の場合、撮像部124はデジタルデータを出力する。すなわち、画像データの伝送はデジタル伝送である。画像処理部170は、撮像部124から出力される画像データを処理し、ウェハ表面の欠陥の有無等を検出する。画像処理部170におけるデータ処理自体は既知であるため、詳細な説明は省略する。なお、画像処理装置170に対するユーザの操作入力は入力装置180を通じて行われる。また、画像処理装置170の処理結果は表示装置190に出力される。撮像部及び画像分配部の構成図2に、撮像部124と画像分配部160の内部構成を示す。撮像部124は、散乱光の光量を電気信号の強度に変換する撮像素子125と、アナログ形式の電気信号をデジタル形式に変換するA/D変換部AnalogtoDigitalconvertor126と、デジタル化された画像データにヘッダ、フッタ等の情報を付与し、伝送プロトコルに応じたデータに変換する情報付加部127と、不図示の伝送インターフェースとを有している。図2の場合、撮像部124は、データの転送に伝送プロトコルAを使用する。伝送プロトコルAは、撮像素子125の種類、画像転送の必要帯域、撮像素子125と画像分配部160までの距離に応じて開発したもの又は既存のものから選定される。伝送プロトコルAには、高速伝送が可能なシリアル形式の伝送プロトコルが用いられる。図3Aに、伝送プロトコルAのデータ構造の一例を示す。画像データ202に対してAヘッダ201とAフッタ203が付与されている。Aヘッダ201とAフッタ203は、任意の取得画像単位毎に付加される。Aヘッダ201とAフッタ203には、画像データ202の分配に必要な情報が格納される。例えば、Aヘッダ201には、画像素子125で得られた画像データ202の取得位置情報として、画像取得開始位置情報が付加される。また、Aフッタ203には、画像素子125で得られた画像データ202の欠陥検出対象に対する位置情報として、画像取得終了位置情報が付加される。ここでの座標系には、例えばステージ座標系を使用する。このように、Aヘッダ201、画像データ202、Aフッタ203を一組として扱うことにより、画像分配部160における画像データ202の分配制御が実現される。なお、図3Bに示すデータ構造を、伝送プロトコルAのデータ構造に採用しても良い。図3Bの場合、Aヘッダ201に、撮像素子125で得られた画像データ202の欠陥検出対象に対する位置情報として、画像取得開始位置情報とデータ取得サイズ情報を格納する。この場合も、Aヘッダ201と画像データ202を一つの組として扱うことにより、画像分配部160における画像データ202の分配制御が実現される。また、後述する前処理部162に前処理を実行させる場合、画像データ202に対応するAヘッダ201又はAフッタ203に前処理指示情報が与えられる。前処理の内容については後述する。画像分配部160は、画像入力部161、前処理部162、前処理テーブル163、分配制御部164、分配テーブル165、画像出力部166で構成する。画像入力部161は、画像データの入力に使用されている伝送プロトコルを、前処理部162で使用するデータ形式に変換する。一般的に、高速伝送プロトコルであるシリアル形式はデータ処理が行い難い。このため、画像入力部161は、シリアル形式のプロトコルAをパラレル形式に変換する。Aヘッダ201、画像データ202、Aフッタ203のそれぞれもパラレル形式に変換され、システム同期の下、前処理部162に出力される。図4に、複数の伝送プロトコルに準拠する画像入力部161の内部構成の一例を示す。この画像入力部161は、複数のインターフェース301と、スイッチ302と、スイッチ制御部303で構成される。なお、インターフェース301は1つだけでも良く、その場合にはスイッチ302及びスイッチ制御部303は不要である。インターフェース301は、それぞれ撮像部124との通信に使用する伝送プロトコルのデータを内部処理用のデータ形式に変換する機能を提供する。この形態例の場合、N個のインターフェース301は、いずれも異なる伝送プロトコルに準拠しても良いし、一部は同じ伝送プロトコルに準拠しても良い。インターフェース301は、シリアル形式で入力されるデータを前処理部162が対応するパラレル形式のデータに変換する処理も実行する。なお、複数のインターフェース301の出力はスイッチ302に接続されており、スイッチ制御部303によって選択された出力だけが前処理部162に出力される。前処理部162は、Aヘッダ201及び又はAフッタ203に前処理指示情報が含まれる場合、当該情報が指定する前処理を同じ組の画像データ202に適用する。前処理部162は、例えばレベル変換、階調変換、特定画素補正等の画像データ補正を実行し、処理済みの画像データを分配制御部164に出力する。対応する前処理の内容は前処理テーブル163に格納されている。前処理が不要な場合、前処理部162を設ける必要はなく、画像入力部161と分配制御部164を直接接続すれば良い。この場合、Aヘッダ201、Aフッタ203の情報は、そのまま、分配制御部164に出力される。分配制御部164は、分配テーブル165の情報、Aヘッダ201の情報及びAフッタ203の情報に基づいて分配情報210を生成し、画像出力部166に出力する。図3Cに示すように、分配情報210と画像データ202は一組のまま後段の画像出力部166に与えられる。分配テーブル165には、図5に示すチップ分配テーブル400と図6に示す画像処理部分配テーブル410を格納する。チップ分配テーブル400は、図7の左図に示すように、1走査内に3つのチップ102がある場合に使用されるテーブルである。同図は、検査光の走査により取得される画像データに現れるチップの開始位置チップ開始座標及びチップの終了位置チップ終了座標を示している。チップ分配テーブル400は、1走査内に出現するチップの数に応じて用意する。この座標系は、ステージ座標系である。図5に示すように、各チップの開始座標と終了座標がそれぞれ記憶される。画像処理部分配テーブル410は、図7の右図に示すように、走査中に取得された画像イメージを3つの画像処理部に分配する場合に使用されるテーブルである。3つの画像処理部170は、1つの筐体内に存在しても良いし、それぞれ別々の筐体内に存在しても良い。各チップには、同じ画像処理分配テーブルを適用する。また、画像処理分配テーブルの座標は、チップ開始座標を原点とする局所座標系とする。この形態例の場合、図7の右図に示すように、検査光の1回の走査で取得されるチップ内の画像データは9つの領域に分割され、先頭から順番に画像処理部1701、画像処理部1702、画像処理部1703が分配先に指定される。画像出力部166は、画像データ202と分配情報210を同期して受け取る。画像処理部166は、分配情報210から画像データ202の分配先を認識し、画像処理部170が対応する伝送プロトコルにより画像データ202を転送する。この形態例の場合、伝送プロトコルには、高速伝送可能な伝送プロトコルBが用いられる。図8に、複数の伝送プロトコルに準拠する画像出力部166の内部構成の一例を示す。この画像出力部166は、複数のインターフェース311と、スイッチ312と、スイッチ制御部313で構成される。インターフェース311は、それぞれ内部処理用データを、画像処理部170との通信に使用する伝送プロトコルのデータに変換する機能を提供する。M個のインターフェース311は、いずれも異なる伝送プロトコルに準拠しても良いし、一部は同じ伝送プロトコルに準拠していても良い。インターフェース311は、パラレル形式で入力されるデータを伝送プロトコルが対応するシリアル形式のデータに変換する。なお、複数のインターフェース311の入力はスイッチ312に接続されており、スイッチ制御部313によって選択されたインターフェース311にのみデータが出力される。ここで、スイッチ制御部313は、分配情報210に基づいて分配先を認識し、分配先に対応する1つ又は複数のインターフェース311に出力する。画像分配部内での付加情報の変遷図9に、画像分配部160の内部で実行される付加情報の変遷動作を示す。画像分配部160は、撮像部124との通信に使用する伝送プロトコルに準拠したAヘッダ201、Aフッタ203を画像データ202から分離し、当該ヘッダ及びフッタの情報と分配テーブル165とを用いて分配情報210を生成する。その後、画像分配部160は、分配情報210に基づいて画像データ202の分配先である画像処理部170との通信に使用する伝送プロトコルに準拠したBヘッダ221及びBフッタ223を画像データ202に付して出力する。使用形態続いて、前述した画像分配部160の適用により可能となる使用形態の一例を示す。1使用形態1半導体検査装置100の撮像部124を交換又は変更した際に、伝送プロトコルの変更が必要となる場合が考えられる。図10に、撮像部124と画像分配部160の間におけるデータ伝送が伝送プロトコルAから伝送プロトコルCに変更された場合の使用形態を示す。この場合、画像入力部161は、伝送プロトコルCで入力された画像データと付加情報を前処理部162に与えるように動作する。その後の動作は、図2に示す使用形態の場合と同じである。2使用形態2複数の撮像部124で撮像された画像データを画像処理部170で画像処理させたい場合がある。この場合、複数の撮像部124がいずれも同じ伝送プロトコルに準拠する場合と、異なる伝送プロトコルに準拠する場合が考えられる。図11は、2つの撮像部124が同じ伝送プロトコルAに準拠する場合の使用形態を表している。スイッチ302のスイッチング速度が十分速い場合には画像入力部161は1台でも良いが、図11では接続する撮像部124に応じた数だけ画像入力部161を用意する場合を表している。この場合も、前処理部162より後の動作は、図2に示す使用形態の場合と同じである。図12は、2つの撮像部124が異なる伝送プロトコルA及びCに準拠する場合の使用形態を表している。この場合も前処理部162より後の動作は、図2に示す使用形態の場合と同じである。3使用形態3使用形態2とは反対に、1つの撮像部124で撮像された画像データを、複数の画像処理部170に分配したい場合がある。この場合、分配先となる複数の画像処理部170がいずれも同じ伝送プロトコルに準拠する場合と、異なる伝送プロトコルに準拠する場合が考えられる。図13は、2つの画像処理部170が同じ伝送プロトコルに準拠する場合の使用形態を表している。スイッチ312のスイッチング速度が十分速い場合には画像出力部166は1台でも良いが、図13では接続する画像処理部170に応じた数だけ画像出力部166を用意する場合を表している。この場合も、分配制御部164より前の動作は、図2に示す使用形態の場合と同じである。図14は、2つの画像処理部170が異なる伝送プロトコルB及びCに準拠する場合の使用形態を表している。この場合も分配制御部164より前の動作は、図2に示す使用形態の場合と同じである。4使用形態4この他、画像処理部170の台数は1つであるが、同じ筐体内の異なる2つの画像処理領域に同じ画像を送りたい場合が考えられる。この場合、画像出力部166と画像処理部170の間で必要となる転送帯域は、瞬間的に2倍になる。この場合、画像出力部166と画像処理部170を2本の転送経路で接続する。図15に、画像出力部166と画像処理部170を2本の転送経路で接続した使用形態を示す。分配制御部164は、分配情報210の内容に基づいて、2つ画像処理領域に同じ画像データ202を転送するか否か判断する。その後、分配制御部164は、2本の転送経路を使うのか、1本の転送経路を使うのかを示す情報を分配情報210に加え、画像出力部166に渡す。この情報は2ビットで構成する。2ビットであるので、少ない情報量で、どちらの転送経路を使うか、又は、両方使うか、又は、どちらも転送しないかを指定することができる。画像出力部166は、分配情報210から画像データ202の分配先、分配転送時の経路指定情報を受け取り、分配先の画像処理部170が準拠する伝送プロトコルにより画像データを送信する。図15の場合、画像処理部170は、伝送プロトコルBにより画像データを受け取り、画像処理を実行する。まとめ本形態例の場合、画像分配部160の内部を、撮像部124や画像処理部170との間で画像データを受け渡しする伝送プロトコルに関する処理部画像入力部161、画像出力部166と、前処理や分配処理に関する処理部前処理部162、分配制御部164に分割する。このため、半導体検査装置を構成する撮像部124やその画像データを処理する画像処理部170の準拠する伝送プロトコルに変更が生じる場合でも、その影響を、少なくとも前処理部162と分配制御部164の処理動作から切り離すことができる。この結果、半導体検査装置を含むシステム全体の柔軟性を高めることができる。また、分配情報210は、伝送効率に影響を与えない範囲小サイズでヘッダ化又はフッタ化する。また、ヘッダ又はフッタを付加する画像データのサイズは、伝送プロトコルに最適な任意のサイズに調整する。これにより、高伝送効率を保ちつつ、伝送先の変更、伝送領域の変更に対応することができる。他の形態例なお、本発明は上述した形態例に限定されるものでなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上述した形態例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある形態例の一部を他の形態例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある形態例の構成に他の形態例の構成を加えることも可能である。また、各形態例の構成の一部について、他の構成を追加、削除又は置換することも可能である。また、上述した各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路その他のハードウェアとして実現しても良い。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することにより実現しても良い。すなわち、ソフトウェアとして実現しても良い。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリやハードディスク、SSDSolidStateDrive等の記憶装置、ICカード、SDカード、DVD等の記憶媒体に格納することができる。また、制御線や情報線は、説明上必要と考えられるものを示すものであり、製品上必要な全ての制御線や情報線を表すものでない。実際にはほとんど全ての構成が相互に接続されていると考えて良い。