ワークを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたワークに砥石を押し当てて研削加工する工具と、該工具を回転させるスピンドルと、該スピンドルを覆うスピンドルカバーと、を有する研削手段と、を有する加工装置であって、該砥石の磨耗量を検出する検出手段を有し、該検出手段は、砥石の先端位置変化を検出する検出部と、該検出部を該スピンドルカバーに固定する固定部とを有する加工装置。しかし、砥石の先端は、1研削手段の上下移動、2砥石の磨耗、の二つの要因によって上下に移動する。従って、2の要因だけを取り出す様に処理を行う必要があり、従来の磨耗の測定は煩雑な構成になりがちであった。本発明は、このような点にかんがみなされたもので、その目的は、砥石がワークに接触してワークの研削が行われる研削装置において、研削加工中においても従来よりも簡素な構成で砥石の磨耗量を測定できるようにすることである。本発明は、ワークを保持する保持手段と、保持手段に保持されたワークに砥石を押し当てて研削加工する工具と工具を回転させるスピンドルとスピンドルを覆うスピンドルカバーとを有する研削手段と、を有する加工装置に関し、砥石の磨耗量を検出する検出手段を有し、検出手段は、砥石の先端位置変化を検出する検出部と、検出部をスピンドルカバーに固定する固定部とを有する。本発明では、砥石の磨耗量を検出する検出手段を、砥石の先端位置変化を検出する検出部と、検出部を研削手段のスピンドルカバーに固定する固定部とで構成し、研削手段の上下移動とともに検出部も上下移動するようにしたため、上記発明が解決しようとする課題の欄の1で示した研削手段の上下移動の影響を受けることなく研削加工中も検出部が常に砥石の先端位置を検出し、磨耗量を測定することができる。第1の実施形態図1に示す加工装置1は、保持手段2に保持されたワークに対して研削手段3が研削加工を施す装置である。保持手段2は、その上面が、ワークを吸引保持する保持面20となっており、この保持面20は、中心を頂点とする傘状に形成されており、保持面20には傾斜がある。この傾斜は、肉眼では視認できないほどのわずかなものであるが、図においては誇張して示している。研削手段3は、鉛直方向の軸心を有するスピンドル30と、スピンドル30を回転可能に支持するとともにスピンドル30を覆うスピンドルカバー31と、スピンドル30の下端に装着された工具32とを備えている。スピンドル30の下端にはスピンドル30よりも大径なマウント300が形成されている。一方、工具32は、マウント300に固定される基台320と、基台320の下面に環状に固着された複数の砥石321とから構成されている。図示していないが、スピンドル30の上端はモータに連結されており、モータに駆動されてスピンドル30が回転することにより工具32も回転する構成となっている。保持手段2と研削手段3とは、鉛直方向に相対移動可能に構成されており、ワークを保持した保持手段2と研削手段3とを接近させ、回転する工具32の砥石321をワークに押し当てることによりワークが研削加工される構成となっている。砥石321がワークに接触する面である先端面321aと斜面である保持面20とは平行となっている。スピンドルカバー31には、砥石の磨耗量を検出する検出手段4が連結されている。検出手段4は、検出手段4をスピンドルカバー31に固定する固定部40と、固定部40によって支持された検出部41とから構成されている。固定部40は、スピンドルカバー31から水平方向に突出するとともに下方に垂下することにより検出部41とスピンドルカバー31とを連結している。固定部40は、工具32に接触しない位置に配設されている。検出部41は、固定部40に連結された基台410と、基台410に固定された投光側プリズム411及び受光側プリズム412とを備えている。投光側プリズム411の投光面411aと受光側プリズム412の受光面412aとは対面しており、投光面411aと受光面412aとの間には、砥石321を非接触状態で収容できる空間である収容部413が形成されている。図1及び図2に示すように、投光側プリズム411に対しては、その下方に位置する発光部414から発光した光が出射される。一方、投光側プリズム411から出射され受光側プリズム412から入射した光は、その下方に位置する受光部415において受光され受光量に応じた電気信号に変換される。受光部415には認識部416が電気的に接続されている。図2に示すように、投光側プリズム411から受光側プリズム412に向かう光417には幅Dがあり、砥石321の先端面321aの鉛直方向の位置が変化することによって受光部415における受光量が変化する構成となっている。認識部416は、受光部415における受光量に応じ、砥石321の先端面321aの先端位置変化を磨耗量として認識することができる。図3に示すように、ワークWは、保持手段2の保持面20にならって吸引保持される。そして、保持手段2が回転するとともに、スピンドル30の回転により工具32が回転し、保持手段2と研削手段3とが接近する方向に相対移動し、砥石321がワークWの被研削面W1に押し当てられることにより、被研削面W1が研削される。研削中は、図3及び図4に示すように、砥石321の円軌道が被研削面W1の中心を常に通るように制御され、被研削面W1に接触していない状態の砥石321は、回転によって収容部413を通過する。すなわち、収容部413は、砥石321の回転軌道上に配設されている。そして、図3に示すように、発光部414からの光が投光側プリズム411の投光面411aから水平方向に出射され、受光側プリズム412の受光面412aから入射した光が受光部415において受光量に対応した電気信号に変換される。研削開始時は、投光面411aから受光面412aに向かう光軸417が砥石321によって完全に遮蔽されるように、投光側プリズム411及び受光側プリズム412の位置が設定される。ワークWの研削により砥石312の先端面321aが磨耗してくると、投光側プリズムの投光面411aから出射した光が受光側プリズム412の受光面412aに入射するようになる。受光部415では、受光した光の量に応じて電気信号を認識部416に送出し、認識部416では砥石321の磨耗量を認識することができる。検出手段4はスピンドルカバー31に固定されているため、研削手段3と検出手段4とは連動する。したがって、研削中は、研削手段3が鉛直方向に移動して砥石321の鉛直方向の位置が変動しても、検出手段4は、その変動の影響を受けることなく、砥石321の磨耗を検出することができる。図示していないが、加工中には研削手段3からワークWに向けて研削液が供給されるため、研削屑が混ざった研削液が収容部413に流れ込むことがある。したがって、ワーク1枚を研削するごとに砥石321の磨耗を測定する場合は、ワーク1枚の研削終了後、次のワークの研削前の研削液が出ていない状態で砥石321の磨耗量を測定するようにしてもよい。第2の実施形態図5に示す加工装置5は、保持手段2に保持されたワークに対して研削手段3が研削加工を施す装置である。加工装置5において、保持手段2及び研削手段3は、図1及び図2に示した加工装置1と同様に構成される。加工装置5において加工装置1と同様に構成される部位については共通する符号を付し、その詳細な説明は省略することとする。スピンドルカバー31には、砥石の磨耗量を検出する検出手段6が連結されている。検出手段6は、検出手段6をスピンドルカバー31に固定する固定部60と、固定部60によって支持された検出部61とから構成されている。固定部60には、水を下方に噴出するノズル62が固定されている。このノズル62の下端は、検出部61の上方に位置している。基台410には、工具32の径方向両端に、起立した一対の壁部610が固定されている。この壁部610の上端610cは、投光側プリズム411から受光側プリズム412に向けて出射される光417よりも鉛直方向の高い位置に位置している。図6に示すように、一対の壁部610は、U字型の断面形状を有しており、互いに向かい合う端面610aは、砥石321との接触を避けるために、砥石321の回転軌道にならって面取りされている。向かい合う端面610aの間には、砥石321を通過させるためのクリアランス610bがある。このように構成される加工装置5においては、図3に示した加工装置1と同様にワークに砥石321を接触させて研削が行われる。図示していないが、研削中には、加工装置1の場合と同様に研削手段3から研削液が供給される。また、研削中は、図5に示したノズル62から水62aが噴出され、図7に示すように、投光面411aと受光面412aとの間の収容部413が一対の壁部610の間に溜まる水620によって水没した状態とする。ワークの研削中は、常時ノズル62から水62aが噴出される。噴出された水は、図6に示したクリアランス610bから流出するが、流出量以上の水をノズル62から噴出しつづけることで、収容部413が常に水620で満ちた状態となる。したがって、水620によって、研削液及び研削屑の収容部413への侵入を阻止することができる。また、壁部610の上端610cが光417よりも高い位置にあるため、水620の水面620aが光417よりも高い位置にあり、光417が研削屑や研削液によって遮蔽されることがないため、砥石321の磨耗量の測定を正確に行うことができる。砥石321の鉛直方向の長さは通常10mm前後であるのに対し、測定したい磨耗のオーダーは数十nm~数百nmであるため、検出部41としては、分解能が高く検出範囲も広いものを使用することが望ましい。このような検出部41を使用することにより、砥石321が大幅に磨耗しても、正確に磨耗量を認識することができる。分解能が高く検出範囲も広い検出部41を構成するのにコストがかかる場合は、検出部41として分解能が高いものを使用し、スピンドルカバー31に対して検出部41を鉛直方向に10mmほどの範囲で移動可能とすれば、砥石321の磨耗の度合いに応じて検出部41を鉛直方向に移動させることにより本実施形態においては、固定部60に対して壁部610が鉛直方向に10mmほどの範囲で移動可能に構成されている。、検出範囲が狭い検出部41を用いても砥石321の大幅な磨耗量を正確に認識することができる。なお、図1乃至図7の例では、投光側プリズム411と受光側プリズム412との間の光の遮蔽により磨耗を検出することとしたが、砥石321に向けて光を出射して砥石321において反射した光を受光し、その反射光の光量に基づいて磨耗を検出する反射型のセンサを用いることもできる。