反磁性の性質を持つ反磁性部と磁束を透過する非磁性部とを交互に有するシート状の可動子と、この可動子に対向して所定方向に移動磁界を発生する電磁石装置とを備え、前記電磁石装置に発生する移動磁界に同期して前記可動子が連れ動く反磁性アクチュエータであって、前記所定方向に対する前記反磁性部の幅寸法をW1、前記所定方向に対する前記電磁石装置の磁極幅をW2とすると、W1≧W2........................1上記1の関係が成立することを特徴とする反磁性アクチュエータ。反磁性の性質を持つ反磁性部と磁束を透過する非磁性部とを円周方向に交互に有し、且つ、回転軸と一体に回転可能に設けられた円板状の可動子と、この可動子と軸方向に対向して配置され、且つ、前記可動子に対向して円周方向に回転磁界を発生する円盤型の電磁石装置とを備え、前記電磁石装置に発生する回転磁界に同期して前記可動子が連れ動く反磁性アクチュエータであって、前記可動子の回転中心と前記反磁性部の円周方向の両端とで形成される中心角をθ1、前記電磁石装置の1磁極ピッチに対応する中心角をθ2とすると、θ1≧θ2........................2上記2の関係が成立することを特徴とする反磁性アクチュエータ。反磁性の性質を持つ反磁性部と磁束を透過する非磁性部とを円周方向に交互に有し、且つ、回転軸と一体に回転可能に設けられた円筒状の可動子と、この可動子と同心に配置され、且つ、前記可動子に対向して円周方向に回転磁界を発生する円筒型の電磁石装置とを備え、前記電磁石装置に発生する回転磁界に同期して前記可動子が連れ動く反磁性アクチュエータであって、前記円周方向に対する前記反磁性部の周方向長さをL1、前記電磁石装置の1磁極ピッチに対応する周方向長さをL2とすると、L1≧L2........................3上記3の関係が成立することを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項1~3に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、前記可動子は、前記非磁性部を介して隣り合う前記反磁性部同士が2箇所以上で非磁性部材により連結されていることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項1~3に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、前記可動子は、反磁性を有するシート状あるいはフィルム状の反磁性素材にスリットを打ち抜いて前記非磁性部を形成していることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項1に記載した反磁性アクチュエータにおいて、前記所定方向と直交する前記可動子の幅方向両外側に前記可動子の移動を案内するガイド部材を設けていることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項2または3に記載した反磁性アクチュエータにおいて、前記可動子は、前記回転軸に非磁性のハブ部を介して連結されていることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項1~4に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、前記可動子は、前記反磁性部がカーボン材で形成されていることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項8に記載した反磁性アクチュエータにおいて、前記反磁性部は、グラファイト素材をシート状に加工したグラファイトシートによって形成されていることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項1~9に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、前記電磁石装置は、複数のスロットが等間隔に形成された鉄心と、前記スロットを介して前記鉄心に巻装される多相の励磁コイルとで構成されることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項10に記載した反磁性アクチュエータにおいて、前記励磁コイルに対称多相交流を印加するインバータを備えることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項9に記載した反磁性アクチュエータにおいて、前記可動子は、前記グラファイトシートを厚さ方向に所望の隙間を空けて層状に配置した多層構造であることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項12に記載した反磁性アクチュエータにおいて、前記可動子は、各層の前記反磁性部同士および前記非磁性部同士がそれぞれ層方向に揃っていることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項12に記載した反磁性アクチュエータにおいて、前記可動子は、各層の前記反磁性部同士および前記非磁性部同士がそれぞれ層方向に異なる位置に配されることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項1~14に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、前記電磁石装置の磁極面に対向して軟磁性材のヨークを配置し、前記電磁石装置の磁極面と前記ヨークとの間に前記可動子を配置したことを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項2または3に記載した反磁性アクチュエータにおいて、前記可動子は、前記非磁性部が前記回転軸に対して所定角度傾いて形成されていることを特徴とする反磁性アクチュエータ。請求項1の発明本発明は、反磁性の性質を持つ反磁性部と磁束を透過する非磁性部とを交互に有するシート状の可動子と、この可動子に対向して所定方向に移動磁界を発生する電磁石装置とを備え、電磁石装置に発生する移動磁界に同期して可動子が連れ動く反磁性アクチュエータであって、所定方向に対する反磁性部の幅寸法をW1、所定方向に対する電磁石装置の磁極幅をW2とすると、W1≧W2........................1上記1の関係が成立することを特徴とする。可動子の外部に磁場が発生すると、反磁性部が持つ反磁性の性質により、磁場と反対方向に反磁性部が磁化される。つまり、外部磁場を発生する電磁石装置に対して反磁性部に反発力が作用する。ここで、本発明の反磁性アクチュエータは、上記1式の関係が成立しているので、反磁性部に反発力が作用する一方、反磁性部と反磁性部との間に形成される非磁性部を磁束が通り抜けることにより、所定方向に対して可動子に拘束力が働く。言い換えると、可動子が所定方向に揺れ動くことが抑制されて、可動子の姿勢が安定する。これにより、電磁石装置に移動磁界が生じると、その移動磁界に同期して可動子が連れ動くので、反磁性を利用したアクチュエータを実現できる。請求項2の発明本発明は、反磁性の性質を持つ反磁性部と磁束を透過する非磁性部とを円周方向に交互に有し、且つ、回転軸と一体に回転可能に設けられた円板状の可動子と、この可動子と軸方向に対向して配置され、且つ、可動子に対向して円周方向に回転磁界を発生する円盤型の電磁石装置とを備え、電磁石装置に発生する回転磁界に同期して可動子が連れ動く反磁性アクチュエータであって、可動子の回転中心と反磁性部の円周方向の両端とで形成される中心角をθ1、電磁石装置の1磁極ピッチに対応する中心角をθ2とすると、θ1≧θ2........................2上記2の関係が成立することを特徴とする。可動子の外部に磁場が発生すると、反磁性部が持つ反磁性の性質により、磁場と反対方向に反磁性部が磁化される。つまり、外部磁場を発生する電磁石装置に対して反磁性部に反発力が作用する。ここで、本発明の反磁性アクチュエータは、上記2式の関係が成立しているので、反磁性部に反発力が作用する一方、反磁性部と反磁性部との間に形成される非磁性部を磁束が通り抜けることにより、円周方向に対して可動子に拘束力が働く。言い換えると、可動子が円周方向に揺れ動くことが抑制されて、可動子の姿勢が安定する。これにより、電磁石装置に回転磁界が生じると、その回転磁界に同期して可動子が連れ動くので、反磁性を利用したアクチュエータを実現できる。請求項3の発明本発明は、反磁性の性質を持つ反磁性部と磁束を透過する非磁性部とを円周方向に交互に有し、且つ、回転軸と一体に回転可能に設けられた円筒状の可動子と、この可動子と同心に配置され、且つ、可動子に対向して円周方向に回転磁界を発生する円筒型の電磁石装置とを備え、電磁石装置に発生する回転磁界に同期して可動子が連れ動く反磁性アクチュエータであって、円周方向に対する反磁性部の周方向長さをL1、電磁石装置の1磁極ピッチに対応する周方向長さをL2とすると、L1≧L2........................3上記3の関係が成立することを特徴とする。可動子の外部に磁場が発生すると、反磁性部が持つ反磁性の性質により、磁場と反対方向に反磁性部が磁化される。つまり、外部磁場を発生する電磁石装置に対して反磁性部に反発力が作用する。ここで、本発明の反磁性アクチュエータは、上記3式の関係が成立しているので、反磁性部に反発力が作用する一方、反磁性部と反磁性部との間に形成される非磁性部を磁束が通り抜けることにより、円周方向に対して可動子に拘束力が働く。言い換えると、可動子が円周方向に揺れ動くことが抑制されて、可動子の姿勢が安定する。これにより、電磁石装置に回転磁界が生じると、その回転磁界に同期して可動子が連れ動くので、反磁性を利用したアクチュエータを実現できる。請求項4の発明請求項1~3に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、可動子は、非磁性部を介して隣り合う反磁性部同士が2箇所以上で非磁性部材により連結されていることを特徴とする。上記の構成によれば、多極数の電磁石装置を用いることで、磁気反発力および駆動力推進力、回転力を強化できる。請求項5の発明請求項1~3に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、可動子は、反磁性を有するシート状あるいはフィルム状の反磁性素材にスリットを打ち抜いて非磁性部を形成していることを特徴とする。上記の構成では、シート状あるいはフィルム状の反磁性素材にスリットを打ち抜くだけで非磁性部を形成できるので、例えば、反磁性素材をプレス等で加工することにより、可動子を所望の形状に製作することが可能となり、簡素かつ経済的である。請求項6の発明請求項1に記載した反磁性アクチュエータにおいて、所定方向と直交する可動子の幅方向両外側に可動子の移動を案内するガイド部材を設けていることを特徴とする。上記の構成によれば、可動子をガイド部材に沿って移動させることができる、つまり、可動子の推進方向移動方向をガイド部材によって規定できるので、直動あるいは平面運動を行う反磁性アクチュエータを容易に実現できる。請求項7の発明請求項2または3に記載した反磁性アクチュエータにおいて、可動子は、回転軸に非磁性のハブ部を介して連結されていることを特徴とする。これにより、電磁石装置に発生する回転磁界に同期して可動子が回転軸と一体に回転運動を行う反磁性アクチュエータを実現できる。請求項8の発明請求項1~4に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、可動子は、反磁性部がカーボン材で形成されていることを特徴とする。この場合、反磁性部に使用される素材カーボン材の入手が容易であるため、反磁性アクチュエータを低コストに製造可能である。また、資源リスクのあるレアアース磁石を使用することなく、地球上にふんだんに存在する材料で反磁性アクチュエータを実現できるので、いわゆる超伝導デバイスの如く超低温にする必要も無く、室温環境下で可動子に対する推進力を発生させることができる。請求項9の発明請求項8に記載した反磁性アクチュエータにおいて、反磁性部は、グラファイト素材をシート状に加工したグラファイトシートによって形成されていることを特徴とする。反磁性部をグラファイトシートシートによって形成することで、可動子の製作が容易であり、且つ、経済的でもある。請求項10の発明請求項1~9に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、電磁石装置は、複数のスロットが等間隔に形成された鉄心と、スロットを介して鉄心に巻装される多相の励磁コイルとで構成されることを特徴とする。この場合、電磁石装置に多相交流電動機の電機子構造を利用できるので、従来の生産設備を流用することが可能であり、電磁石装置の製造が容易である。請求項11の発明請求項10に記載した反磁性アクチュエータにおいて、励磁コイルに対称多相交流を印加するインバータを備えることを特徴とする。上記の構成によれば、電磁石装置の励磁コイルに印加する多相交流の周波数あるいは電圧値、電流値をインバータにより制御することにより、電磁石装置に発生する移動磁界または回転磁界の速度調整を行うことができ、その移動磁界または回転磁界の速度に同期して可動子を移動または回転させることができる。請求項12の発明請求項9に記載した反磁性アクチュエータにおいて、可動子は、グラファイトシートを厚さ方向に所望の隙間を空けて層状に配置した多層構造であることを特徴とする。可動子を多層構造とすることにより、可動子に対する推進力または回転力を強化することが可能である。請求項13の発明請求項12に記載した反磁性アクチュエータにおいて、可動子は、各層の反磁性部同士および非磁性部同士がそれぞれ層方向に揃っていることを特徴とする。これにより、可動子に対する推進力または回転力の強化が容易に可能である。請求項14の発明請求項12に記載した反磁性アクチュエータにおいて、可動子は、各層の反磁性部同士および非磁性部同士がそれぞれ層方向に異なる位置に配されることを特徴とする。これにより、可動子に対する推進力または回転力を強化できると共に、可動子に作用する力の脈動を抑えることができるので、滑らかな運動をする反磁性アクチュエータを容易に実現可能である。請求項15の発明請求項1~14に記載した何れか一つの反磁性アクチュエータにおいて、電磁石装置の磁極面に対向して軟磁性材のヨークを配置し、電磁石装置の磁極面とヨークとの間に可動子を配置したことを特徴とする。ヨークを併用することで、可動子の非磁性部を透過する磁束を増強できるので、可動子に対する推進力または回転力を高めるために一層効果的である。請求項16の発明請求項2または3に記載した反磁性アクチュエータにおいて、可動子は、非磁性部が回転軸に対して所定角度傾いて形成されていることを特徴とする。非磁性部を回転軸に対して所定角度傾けて形成することにより、可動子に所謂スキューを付けることができるので、トルク脈動を低減でき、可動子が滑らかな回転運動を行う反磁性アクチュエータが実現できる。先ず、本発明の実施例を説明する前に、永久磁石を使用した反磁性アクチュエータの参考例を記載する。参考例1この参考例1に示す反磁性アクチュエータ1Aは、図14に示す様に、磁界を発生する磁界発生器10と、反磁性を利用して磁界発生器10の上方天方向に浮上する可動子5後述の実施例と同一番号を付すと、可動子5の移動を案内するガイド部材11とを備える。磁界発生器10は、基板となる平板状のヨーク12と、このヨーク12の表面上に接着剤等によって固定される永久磁石13とで構成される。永久磁石13は、例えば、表面形状が長方形を有する平板状のネオジム磁石であり、その短手方向に隣接して複数配列されている。各永久磁石13は、図15aに示す様に、それぞれ板厚方向図示上下方向に着磁され、且つ、隣り合う磁石同士の極性が交互に異なる方向に配列されている。可動子5は、炭素素材から成るシート状あるいはフィルム状の反磁性部5aと、磁束を透過する非磁性部5bとを交互に配置して構成され、複数枚図14では3枚の反磁性部5aが2本の連結部材14によって連結されている。反磁性部5aは、例えば、0.1mm程度の厚みを有するグラファイトシートを矩形状に切断して使用される。非磁性部5bは、反磁性部5aと反磁性部5aとを一定の距離を空けて配置することで形成される空間である。空間を形成する代わりに、紙、フィルム状のプラスチック素材、アルミ箔等を非磁性部5bとして形成することも可能である。連結部材14は、反磁性部5aの長手方向の両端部を連結することで、軟らかい反磁性部5aの形状を安定的に保持する働きを有している。この連結部材14は、例えば、アクリル樹脂あるいは軽量エンプラ等を使用することができる。ガイド部材11は、図15bに示す様に、永久磁石13の長手方向図示左右方向の両端部に1本ずつ平行に配置されて、永久磁石13の表面上に固定されている。2本のガイド部材11の間隔は、可動子5の横幅方向図示左右方向の寸法より若干大きく設定されている。また、ガイド部材11の高さ、つまり、永久磁石13の表面からガイド部材11の上端までの寸法は、永久磁石13に対して浮上する可動子5の高さより高く設定されている。上記の可動子5は、グラファイトシート反磁性部5aが反磁性の性質を有するため、反磁性部5aが永久磁石13に発生する磁場と逆向きに磁化されて、永久磁石13に対し反発力が作用する。この反発力は、永久磁石13の極性によらず、どちらの極に対しても働く。このため、可動子5は、図15に示す様に、永久磁石13の表面上に所定のギャップδを有して非接触で浮くことができる。また、可動子5は、反磁性部5aと非磁性部5bとが交互に配設されているので、反磁性部5aに反発力が作用して可動子5が浮上する一方、反磁性部5aと反磁性部5aとの間に形成される非磁性部5b空間を磁束が透過することにより、図14に示す矢印AA方向に対して可動子5に拘束力が働く。これにより、可動子5は、矢印AA方向に対して所定の位置に浮上したまま静止することが可能となる。可動子5が浮上した状態で、磁界発生器10を公知の手段、例えば、リニアアクチュエータやボール螺子構造の直動機などで、図14に示す矢印AA方向に移動させると、磁界発生器10に発生する磁界が矢印AA方向に移動する。言い換えると、矢印AA方向に移動磁界が発生する。その結果、可動子5は、磁界発生器10に対して図15に示す位置関係を保ちつつ、2本のガイド部材11に案内されながら、移動磁界に同期して矢印AA方向に軌道OOを連れ動く。これにより、反磁性を利用した非接触の直動アクチュエータが実現できる。なお、図14に示す様に、1枚の反磁性部5aの矢印AA方向の幅W1は、1個の永久磁石13の幅W0よりも大きく形成され、且つ、非磁性部5bの幅Wsが永久磁石13の幅W0よりも小さく形成されることが望ましい。図14に示す可動子5は、3枚の反磁性部5aを所定の間隔に配置して、それぞれの両端部を本発明の非磁性部材である連結部材14によって連結する構成であるが、例えば、図16に示す様に、1枚のグラファイトシートに等間隔でスリットを打ち抜いた構成でも良い。つまり、スリットを打ち抜いて形成される空間が非磁性部5bとなる。この場合、3枚の反磁性部5aを連結部材14によって連結する必要はなく、単純な打ち抜きで可動子5を製作できるので、可動子5の製作が容易である。また、連結部材14に相当する部分が反磁性部5aと同じ材質、つまり、グラファイトシートの一部であっても、可動子5に対す推進力に影響はなく、参考例1と同様に、非接触の直動アクチュエータを実現できる。参考例2この参考例2は、可動子5が平面上を任意の方向に移動できる様に構成した反磁性アクチュエータ1Aの一例である。磁界発生器10は、図17に示す様に、基板となる平板状のヨーク12の表面上に複数の永久磁石13を格子状に配置して構成される。永久磁石13は、例えば、表面形状が略正方形を有する平板状に形成されて、その板厚方向図示上下方向に着磁され、且つ、図17に示すXX方向およびYY方向において、それぞれ隣り合う磁石同士の極性が交互に異なる方向に配列されている。可動子5は、例えば、図16に示した一例と同様に、1枚のグラファイトシートにスリット非磁性部5bを打ち抜いて形成される。但し、スリットは、図17に示すXX方向とYY方向とに交差して、つまり、十文字に形成される。作動原理は参考例1と同じであり、磁界発生器10を図17に示すXX方向またはYY方向に移動させて移動磁界を発生させることで、その移動磁界に同期して可動子5がXX方向またはYY方向に連れ動く。これにより、XX方向およびYY方向の移動だけでなく、両方向の移動を組み合わせることで、可動子5を平面上の任意の方向に移動させることが可能となる。次に、本発明の実施例を記載する。実施例1図1に実施例1を示す。実施例1に係る反磁性アクチュエータ1は、磁界発生器を参考例1、2に記載した永久磁石13ではなく、電磁石装置2により構成した一例である。電磁石装置2は、図1に示す様に、複数の磁極片3aを有する鉄心3と、この鉄心3に巻装される励磁コイル4とで構成される。鉄心3は、例えば、図1に示す矢印AA方向に直線状に延設されて、複数の磁極片3aが等間隔に設けられている。励磁コイル4は、例えば、図2aに示す様に、位相が120度異なる3相コイルU、V、Wを星形結線して構成され、各磁極片3aに集中巻きされている。各相コイルU、V、Wは、公知のインバータ図示せずに接続され、そのインバータを通じて、図2bに示す対称3相交流が供給される。なお、励磁コイル4の巻線仕様は、集中巻きに限定するものではなく、例えば全節分布巻きでも良い。また、3相交流に限らず、5相、7相等も可能である。可動子5は、例えば、図16に示した例と同じく、1枚のグラファイトシートにスリット非磁性部5bを打ち抜いて形成される。あるいは、図14に示した例と同じく、非磁性部5bを形成する空間を介して等間隔に配置した複数枚の反磁性部5aグラファイトシートを2本の連結部材14によって連結した構成でも良い。なお、参考例1に記載したガイド部材11図14参照を実施例1の構成に適用することもできる。ここで、図1に示す矢印AA方向の反磁性部5aの幅をW1、非磁性部5bの幅をWs、鉄心3の1磁極の幅をW2とすると、下記1式が成立する。Ws<W2W1≧W2........................1上記の構成において、インバータにより電磁石装置2の3相コイルU、V、Wに対称3相交流が供給されると、鉄心3の各磁極片3aが順次磁化されて、図1に示す矢印AA方向例えば、3相コイルU、V、Wの順に通電されるのであれば、図示右矢印方向に移動磁界が発生する。その結果、上記の参考例1と同様に、移動磁界に同期して可動子5が矢印AA方向に連れ動く。本実施例1の反磁性アクチュエータ1は、電磁石装置2を矢印AA方向に移動させる必要がなく、リニアスライダーなどの複雑な機構部品を不要にできるので、製造コストを低く抑えることが可能である。また、磁界発生器として電磁石装置2を用い、且つ、地球上にふんだんに存在する材料実施例1ではグラファイトで可動子5を構成しているので、資源リスクのあるレアアース磁石例えばネオジム磁石を使用する必要はない。さらに、超伝導デバイスの如く超低温にする必要も無く、室温環境下で可動子5に対する推進力を発生させることができる。可動子5は、1枚のグラファイトシートにプレス等でスリットを打ち抜くだけで所望の形状に製作できるので、可動子5の製作が容易であり、且つ、経済的である。また、磁界発生器として電磁石装置2を使用しているので、その電磁石装置2に供給される3相交流の周波数および電圧または電流値をインバータ制御することにより、電磁石装置2に発生する移動磁界の速度および強さを制御でき、それに応じて可動子5の移動速度および推進力を任意に調整できる。さらに、3相コイルU、V、Wに対する通電の順番を変えることによって、可動子5の移動方向を変えることもできるので、アクチュエータとしての取り扱いが容易である。また、電磁石装置2は、電磁リニアモータの一次側電機子の構造を利用して製造できるので、電磁石装置2の製造が容易である。実施例2図3に実施例2を示す。この実施例2は、電磁石装置2および可動子5をそれぞれ円盤型に構成した反磁性アクチュエータ1の一例である。電磁石装置2は、例えば、公知のアキシャルギャップ型電動機の電機子構造を有し、図3に示す様に、軸方向の一端面に複数のスロット3bを有する円環状の鉄心3と、スロット3bを介して鉄心3に巻装される励磁コイル図示せずとで構成される。励磁コイルは、例えば、実施例1と同じく、星形結線された3相コイルU、V、W図2a参照から成り、その3相コイルU、V、Wが所望の仕様例えば、全節分布巻きで巻線されている。なお、励磁コイルの巻線仕様は、3相全節分布巻きに限るものではなく、m3以上の整数相の集中巻きでも可能である。可動子5は、鉄心3と略同一の外径および内径を有する平板リング状のグラファイトシートに6個のスリットを周方向等間隔に打ち抜いて形成される。すなわち、スリットを打ち抜いて形成される非磁性部5b空間と、グラファイトシートによって形成される反磁性部5aとが円周方向に交互に配置される。なお、鉄心3の極数を2pとした場合に、可動子5に形成されるスリット数はp個になる。図3に示す例では、鉄心3のスロット数が36なので、12極6極対の仕様となり、スリット数は6個となる。この可動子5は、非磁性部材例えばナイロン樹脂製である円盤状のハブ部6を介して回転軸7に固定され、鉄心3のスロット面と軸方向に所定のギャップを有して対向配置される。回転軸7は、図示しない軸受を介してハウジングに固定されて自在に回転する。また、図3に示す様に、可動子5の回転中心と反磁性部5aの円周方向の両端とで形成される中心角をθ1、可動子5の回転中心と非磁性部5bの円周方向の両端とで形成される中心角をθs、電磁石装置2の1磁極ピッチ本実施例では3スロット分に対応する中心角をθ2とすると、下記2式が成立する。θs<θ2θ1≧θ2........................2上記の構成から成る反磁性アクチュエータ1は、実施例1と同様に、インバータにより電磁石装置2の3相コイルU、V、Wに対称3相交流が供給されると、電磁石装置2に回転磁界が生成され、その回転磁界に連れて可動子5が回転軸7を中心に回転する。この時、3相交流の周波数を変えることで可動子5の回転速度が変化し、交流の振幅を変えることで可動子5の回転力を変化させることが可能となる。この実施例2に示す電磁石装置2は、アキシャルギャップ型電動機の電機子構造を利用できるので、従来の生産設備を流用して製造することが可能である。また、本実施例の可動子5は、図4に示す様に、平板リング状のグラファイトシートを軸方向図示上下方向に所定の間隔を有して層状に多数配置した構成でも良い。この場合、図4ではグラファイトシートを2層に配置した例を図示しているが、3層以上でも可能である。こうすることで、可動子5の発生するトルクを増強することが可能となる。また、可動子5を多層構造とする場合は、図4に示す様に、各層のグラファイトシートに形成されるスリット非磁性部5bの位置を円周方向に合わせても良いし、図5に示す様に、各層毎にスリット非磁性部5bの位置を円周方向にずらしても良い。このように構成することで、可動子5のトルクを増強すると共に、トルクムラを低減させ、より滑らかに回転する反磁性アクチュエータ1の実現が可能である。実施例3図6に実施例3を示す。この実施例3は、電磁石装置2および可動子5をそれぞれ円筒型に構成した反磁性アクチュエータ1の一例である。電磁石装置2は、例えば、公知の交流電動機の電機子構造であり、内周に複数のスロット3bを有する円環状の鉄心3と、スロット3bを介して鉄心3に巻装される励磁コイル図示せずとで構成される。励磁コイルは、例えば、実施例1と同じく、星形結線された3相コイルU、V、W図2a参照から成り、その3相コイルU、V、Wが所望の仕様例えば、全節分布巻きで巻線されている。なお、励磁コイルの巻線仕様は、3相全節分布巻きに限るものではなく、m3以上の整数相の集中巻きでも可能である。可動子5は、鉄心3の軸方向長さ図6の上下方向の長さと略同一長さを有する円筒リング状のグラファイトシートに6個のスリットを周方向等間隔に打ち抜いて形成される。すなわち、スリットを打ち抜いて形成される非磁性部5b空間と、グラファイトシートによって形成される反磁性部5aとが円周方向に交互に配置されている。この可動子5は、非磁性部材例えばナイロン樹脂製である円盤状のハブ部6を介して回転軸7に固定され、鉄心3のスロット面内周面と径方向に所定のギャップを有して対向配置される。回転軸7は、図示しない軸受を介してハウジングに固定されて自在に回転する。また、図6に示す様に、可動子5の円周方向に対する反磁性部5aの周方向長さをL1、非磁性部5bの周方向長さをLs、電磁石装置2の1磁極ピッチ本実施例では3スロット分に対応する周方向長さをL2とすると、下記3式が成立する。Ls<L2L1≧L2........................3上記の構成から成る反磁性アクチュエータ1は、実施例1と同様に、インバータにより電磁石装置2の3相コイルU、V、Wに対称3相交流が供給されると、電磁石装置2に回転磁界が生成され、その回転磁界に連れて可動子5が回転軸7を中心に回転する。この時、3相交流の周波数を変えることで可動子5の回転速度が変化し、3相交流の振幅を変えることで可動子5の回転力を変化させることが可能となる。この実施例3に示す電磁石装置2は、多相交流電動機の電機子構造を利用できるので、従来の生産設備を流用して製造することが可能である。また、本実施例の可動子5は、図7に示す様に、円筒リング状のグラファイトシートを半径方向に所定の間隔を有して層状に多数配置した構成でも良い。この場合、図7ではグラファイトシートを2層に配置した例を図示しているが、3層以上でも可能である。こうすることで、可動子5の発生するトルクを増強することが可能となる。また、可動子5を多層構造とする場合は、図7に示す様に、各層のグラファイトシートに形成されるスリット非磁性部5bの位置を円周方向に合わせても良いし、図8に示す様に、各層毎にスリット非磁性部5bの位置を円周方向にずらしても良い。このように構成することで、可動子5のトルクを増強すると共に、トルクムラを低減させ、より滑らかに回転する反磁性アクチュエータ1の実現が可能である。さらに、円筒リング状のグラファイトシートに形成されるスリット非磁性部5bは、図9に示す様に、回転軸7に対してγだけ傾けても良い。これにより、回転方向のトルク分布を均一化でき、回転ムラを低減することが可能である。この実施例3に記載した反磁性アクチュエータ1は、電磁石装置2の径方向内側に円筒型の可動子5を配置した構造であるが、電磁石装置2の径方向外側に円筒型の可動子5を配置した構造磁石電動機の分野の俗称で言えば、アウタロータ型に相当でも同じ機能を実現することが可能である。実施例4図10に実施例4を示す。この実施例4は、実施例1の応用例であり、実施例1の構成に対し、ヨーク8を付加した一例である。ヨーク8は、軟磁性材例えば鉄により板状に形成され、図10に示す様に、電磁石装置2の磁極面と対向して配置される。つまり、電磁石装置2の磁極面とヨーク8との間に可動子5が配設される。上記の構成によれば、図11に実線矢印で示す様に、電磁石装置2で発生する磁束φがヨーク8を通って鉄心3へ還流するので、可動子5に加わる磁界が増強され、結果として、可動子5に対する推進力を強化することが可能である。実施例5図12に実施例5を示す。この実施例5は、実施例3の応用例であり、実施例3の構成に対し、ヨーク8を付加した一例である。電磁石装置2と可動子5の構成は実施例3と同じである。なお、図12に示す可動子5は、3層構造であるが、図6に示した1層構造もしくは3層以外の多層構造でも良い。ヨーク8は、軟磁性材例えば鉄により円筒状に形成され、図12に示す様に、可動子5の半径方向内側に配置される。つまり、電磁石装置2とヨーク8との間に可動子5が配設される。本実施例の構成によれば、実施例4と同様に、磁界強度を増強でき、トルクを強化することが可能である。実施例6図13に実施例6を示す。この実施例6は、実施例1の応用例であり、図13に示す様に、鉄心3の各磁極片3aにそれぞれ独立した励磁コイル4を巻装した一例である。実施例1に記載した電磁石装置2は、星型結線された3相コイルU、V、Wに対称3相交流を供給することで移動磁界を発生させているが、この実施例6に示す電磁石装置2は、図13の矢印AA方向に配列される各励磁コイル4をそれぞれインバータ制御することにより、矢印AA方向に順番に交番磁界を発生させている。これにより、交番磁界に同期して可動子5が矢印AA方向に連れ動く反磁性アクチュエータ1を実現できる。なお、図13に示す矢印AA方向の反磁性部5aの幅をW1、非磁性部5bの幅をWs、鉄心3の磁極幅をW3とすると、下記4式が成立している。Ws<W3W1≧W3........................4