"複数の異なる周波数信号を重畳した試験信号を出力する試験信号出力部と、前記試験信号に対する測定信号をサンプリング周波数fsでサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部により得られたサンプルデータから、周波数成分を抽出する周波数成分抽出部とを備え、前記試験信号出力部が出力する試験信号は、前記サンプリング周波数fsのナイキスト周波数以下であるf1...fqの周波数信号と、ナイキスト周波数超であるfq1...fnの周波数信号とを重畳した信号であり、かつfq1...fnについて折り返しで出現する周波数それぞれが、前記f1...fqのいずれの周波数および折り返しで出現する他のいずれの周波数とも異なる信号であり、前記周波数成分抽出部は、折り返しで出現した周波数のそれぞれを、その周波数に基づいてfq1...fnのいずれかの周波数に対応付けて周波数成分を抽出すること、を特徴とする測定装置。前記測定信号は、電流信号と電圧信号であり、抽出された周波数成分毎にインピーダンスを算出するインピーダンス演算部をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。複数の異なる周波数信号を重畳した試験信号を出力する試験信号出力ステップと、前記試験信号に対する測定信号をサンプリング周波数fsでサンプリングするサンプリングステップと、前記サンプリング部により得られたサンプルデータから、周波数成分を抽出する周波数成分抽出ステップとを含み、試験信号出力ステップにおいて出力する試験信号は、前記サンプリング周波数fsのナイキスト周波数以下であるf1...fqの周波数信号と、ナイキスト周波数超であるfq1...fnの周波数信号とを重畳した信号であり、かつfq1...fnについて折り返しで出現する周波数それぞれが、前記f1...fqのいずれの周波数および折り返しで出現する他のいずれの周波数とも異なる信号であり、前記周波数成分抽出ステップは、折り返しで出現した周波数のそれぞれを、その周波数に基づいてfq1...fnのいずれかの周波数に対応付けて周波数成分を抽出すること、を特徴とする信号測定方法。複数の周波数信号を重畳した合成波形を用いることにより、それぞれの周波数信号を1つずつ掃引する測定法よりも測定時間を短縮することができる。しかしながら、測定信号のサンプリングデータの取得に際し、最も周波数の高い信号成分に対しても十分なサンプル点数を確保する必要から、最高周波数の少なくとも2倍、現実的には10倍程度のサンプリングレートが要求される。このため、高性能のAD変換器を用いなければならず、コスト上昇を招来する。また、最も周波数の高い信号成分に対して十分なサンプル点数を確保すると、他の周波数の信号成分に対しては過剰なサンプル点数でデータが取得され、結果として、DFT演算やデータ転送の負荷が大きくなり、DFT演算やデータ転送に長い時間を要することになっていた。そこで本発明は、複数の異なる周波数信号を重畳した試験信号を出力し、試験信号に対する測定信号から各周波数成分を抽出する際の処理負荷を軽減することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明の測定装置は、複数の異なる周波数信号を重畳した試験信号を出力する試験信号出力部と、前記試験信号に対する測定信号をサンプリング周波数fsでサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部により得られたサンプルデータから、周波数成分を抽出する周波数成分抽出部とを備え、前記試験信号出力部が出力する試験信号は、前記サンプリング周波数fsのナイキスト周波数以下であるf1...fqの周波数信号と、ナイキスト周波数超であるfq1...fnの周波数信号とを重畳した信号であり、かつfq1...fnについて折り返しで出現する周波数それぞれが、前記f1...fqのいずれの周波数および折り返しで出現する他のいずれの周波数とも異なる信号であり、前記周波数成分抽出部は、折り返しで出現した周波数のそれぞれを、その周波数に基づいてfq1...fnのいずれかの周波数に対応付けて周波数成分を抽出することを特徴とする。ここで、前記測定信号は、電流信号と電圧信号であり、抽出された周波数成分毎にインピーダンスを算出するインピーダンス演算部をさらに備えるようにしてもよい。上記課題を解決するため、本発明の信号測定方法は、複数の異なる周波数信号を重畳した試験信号を出力する試験信号出力ステップと、前記試験信号に対する測定信号をサンプリング周波数fsでサンプリングするサンプリングステップと、前記サンプリング部により得られたサンプルデータから、周波数成分を抽出する周波数成分抽出ステップとを含み、試験信号出力ステップにおいて出力する試験信号は、前記サンプリング周波数fsのナイキスト周波数以下であるf1...fqの周波数信号と、ナイキスト周波数超であるfq1...fnの周波数信号とを重畳した信号であり、かつfq1...fnについて折り返しで出現する周波数それぞれが、前記f1...fqのいずれの周波数および折り返しで出現する他のいずれの周波数とも異なる信号であり、前記周波数成分抽出ステップは、折り返しで出現した周波数のそれぞれを、その周波数に基づいてfq1...fnのいずれかの周波数に対応付けて周波数成分を抽出することを特徴とする。本発明によれば、複数の異なる周波数信号を重畳した試験信号を出力し、試験信号に対する測定信号から各周波数成分を抽出する際の処理負荷を軽減することができる。本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施形態では、本発明の測定装置をインピーダンス測定装置に適用した場合について説明する。図1は、本実施形態に係るインピーダンス測定装置10の構成例を示すブロック図である。インピーダンス測定装置10は、複数の異なる周波数信号を重畳した試験信号をDUT20に出力し、DUT20に流れる電流およびDUT20の端子電圧を測定する。そして、測定信号をサンプリングして、サンプリングデータからDFT演算によって各周波数成分を抽出する。このときのサンプリングレートは、試験信号に含まれる最高周波数よりも低い周波数とすることができる。このため、サンプルデータ数を減らすことができ、DFT演算やデータ転送の負荷を軽減することができる。そして、抽出された電流と電圧の周波数成分から各周波数におけるDUT20のインピーダンスを算出する。本図に示すように、インピーダンス測定装置10は、試験信号出力部110、電流測定部120、電圧測定部130、サンプリング部140、周波数成分抽出部150、電流データ格納部160、電圧データ格納部170、インピーダンス演算部180、測定結果出力部190を備えている。なお、試験信号出力部110と、サンプリング部140と、周波数成分抽出部150とで本発明の測定装置100として機能する。インピーダンス測定装置10は、CPU、メモリ、補助記憶装置、入出力装置等を備えたPC等の情報処理装置を用いて構成することができ、インピーダンス測定装置10が備える機能ブロックは、ソフトウェアによって実現してもよいし、ハードウェアによって実現してもよい。試験信号出力部140は、複数の異なる周波数信号を重畳した試験信号を生成して、DUT20に出力する。複数の異なる周波数は、後述する条件を満たすように設定されている。電流測定部120は、試験信号を印加されたDUT20に流れる電流を測定する。電圧測定部130は、試験信号を印加されたDUT20の端子電圧を測定する。サンプリング部140は、電流測定部120および電圧測定部130の測定結果を示すアナログ信号を、サンプリング周波数fsでサンプリングする。上述のように、サンプリング周波数fsは、試験信号に含まれる最高周波数よりも低い周波数とすることができる。周波数成分抽出部150は、サンプリング部140で得られた測定電流のサンプルデータと、測定電圧のサンプルデータとに対してDFT演算を施すことにより、所望の周波数成分を抽出する。そして、抽出された周波数成分を試験信号に含まれている周波数に対応付けて、試験信号に含まれているそれぞれの周波数における電流値および電圧値とする。なお、DFT離散フーリエ変換:discreteFouriertransform演算では、対象とする区間を基本周波数の周期とすれば、波形fiにおける基本周波数の倍数成分ckk=1,2,3を、[数1]にしたがって計算することができる。ここで、k=1は基本周波数である。つまり、合波信号において、k=1,2,3...を順次計算することにより、基本周波数の倍数成分の振幅と位相とを抽出することができる。電流データ格納部160は、周波数成分抽出部150により抽出された各周波数における電流値を格納し、電圧データ格納部170は、周波数成分抽出部150により抽出された各周波数における電圧値を格納する。インピーダンス演算部180は、電流データ格納部160に格納された周波数毎の電流値と、電圧データ格納部170に格納された周波数毎の電圧値とから周波数毎のインピーダンスを演算する。測定結果出力部190は、インピーダンス演算部180の演算結果を表示装置に表示したり、電子データとして出力したり、印刷出力する。次に、本実施形態の特徴部分である、試験信号として重畳する周波数信号と、サンプリング周波数fsとの関係について説明する。一般に、サンプリング周波数fsの1/2の周波数は、ナイキスト周波数と呼ばれ、ナイキスト周波数以下の周波数成分は、忠実に再現できるのに対し、ナイキスト周波数を超える周波数成分は、折り返しエイリアシングという現象が生じる。この結果、ナイキスト周波数を超える周波数成分fについて、DFT演算の結果、[数2]に示すようなfimageNという周波数成分が抽出されることになる。ここで、Nは、任意の整数である。本実施形態では、ナイキスト周波数を超える周波数成分fを、fimageNを抽出することにより間接的に抽出する。このため、試験信号に含まれる周波数信号を、サンプリング周波数fsのナイキスト周波数よりも高くすることができる。これは、本実施形態のインピーダンス測定装置10が、測定データから未知の周波数成分を抽出するのではなく、既知の周波数成分を抽出するものであることから実現できるものである。ただし、得られた周波数成分と元の周波数成分とを対応付けることができるようにするために、試験信号に以下のような制約を設けるものとする。すなわち、本実施形態において試験信号は、サンプリング周波数fsのナイキスト周波数以下であるf1...fqの周波数信号と、ナイキスト周波数超であるfq1...fnの周波数信号とを重畳した信号であり、かつfq1...fnについて折り返しで出現する周波数それぞれが、前記f1...fqのいずれの周波数および折り返しで出現する他のいずれの周波数とも異なる周波数信号を重畳した信号とする。この条件を満たす限り、重畳する周波数信号の数に制限はない。また、周波数成分抽出部150は、DFT演算の結果得られた各周波数成分について、以下のような手順により、試験信号に含まれる周波数信号に対応付けるものとする。すなわち、サンプリング周波数fsのナイキスト周波数以下であるf1...fqの周波数と同じ周波数成分については、そのまま周波数f1...fqに対応付け、それ以外の周波数成分については、得られた周波数成分を折り返しで出現させるfq1...fnいずれかの周波数に対応付ける。例えば、サンプリング周波数fsを100Hzとし、試験信号として、1Hz、10Hz、103Hz、1004Hzの重畳信号を用いた場合について説明する。ここで、試験信号に含まれる1Hz、10Hz、103Hz、1004Hzおよびサンプリング周波数fsの100Hzは、上述の条件を満たしている。すなわち、ナイキスト周波数超の103Hz、1004Hzについて折り返しで出現する周波数は3Hz、4Hzであり、ナイキスト周波数以下である1Hzと10Hzとも異なっている。図2の上段は、試験信号の周波数スペクトラムを示したものであり、サンプリング周波数fsのナイキスト周波数以下に1Hzと10Hzが分布し、ナイキスト周波数超に103Hzと1004Hzとが分布している。図2の下段は、測定信号のサンプリングデータの周波数スペクトラムを示したものである。ナイキスト周波数以下の1Hzと10Hzの成分は、そのまま1Hzと10Hzに表われ、ナイキスト周波数超の103Hzと1004Hzの成分は、折り返されて3Hzと4Hzとに表われている。なお、本例の場合、サンプリング区間は最低周波数1Hzの1周期分とすれば、10Hz、3Hz、4Hzそれぞれの信号の整数周期分となり、正確なDFT演算が可能となる。周波数成分抽出部150は、1Hz、10Hzの周波数成分は、そのまま1Hz、10Hzの周波数成分とし、3Hz、4Hzの周波数成分を、103Hz、1004Hzに対応付けることで、試験信号に含まれる各周波数についての測定データを得ることができる。このように、本実施形態では、サンプリング周波数fsを、試験信号に含まれる最高周波数よりも低い周波数とすることができる。このため、サンプルデータ数を減らすことができ、DFT演算やデータ転送の負荷を軽減することができるのに加え、演算時間も短縮される。また、高価なAD変換器や多量のメモリ容量が不要となるため、コスト削減を実現することができる。ここで、[数3]で表わされる重畳信号を用いたシミュレーション結果について説明する。図3aは、重畳信号の波形を示しており、図3bは、100Hzのサンプリング周波数で重畳信号を1秒間サンプリングした結果を示している。また、図3cは、[数3]において、f1=1Hz、f2=10Hz、f3=3Hz、f4=4Hzとしたときの波形を示しており、図3bにおいて、103Hz、1004Hzが3Hz、4Hzに折り返されて出現していることが分かる。図3dは、サンプリングデータに対して[数4]に示すDFT演算を行ない、演算結果を元の周波数に対応付けて複素平面上にプロットした図である。本図から、f1=1Hz、f2=10Hz、f3=103Hz、f4=1004Hzの各周波数について、振幅情報、位相データとも正確に抽出されていることが分かる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、本実施形態に限られず、種々の態様をとることができる。例えば、試験信号出力部110からの出力信号は、電圧信号だけではなく、電流信号としてもよい。また、電圧測定部130、電流測定部120の信号をフィードバックすることにより、所望の信号をDUT20に印加するようにしてもよい。また、本発明の測定装置100は、電池、コンデンサ等の電子部品、人間の体脂肪、生物の細胞等のインピーダンス測定のみならず、コンクリート、鉄鋼の強度診断等に広く適用することができる。"