ガラス板に穴を形成する工程と、前記ガラス板の穴に、光学フィルター効果を有し且つガラス軟化点が前記ガラス板より低いガラス小片を配置する工程と、前記ガラス小片を高温下で軟化させて前記穴に充填する工程と、前記ガラス板を研磨する工程と、を含む照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス板に形成する穴が貫通穴であることを特徴とする請求項1に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス板に穴を開ける工程が、成形法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス板に穴を開ける工程が、サンドブラスト法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス板に穴を開ける工程が、ガラスエッチング法であることを特徴とする請求項1又は2に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス小片がビーズ形状であることを特徴とする請求項1から5のうちのいずれか1項に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス小片を高温下で軟化させて前記穴に充填する工程において、前記ガラス板をフラットな型で挟み圧力を加えたことを特徴とする請求項1から6のうちのいずれか1項に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス小片を高温下で軟化させて前記穴に充填する工程の次に、前記ガラス板をフラットな型で挟み高温下で圧力を加える工程を加えたことを特徴とする請求項1から6のうちのいずれか1項に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス板の穴が段差のある錘台形状であることを特徴とする請求項1から8のうちのいずれか1項に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス板の穴が、中央部の径が細い鼓形状であることを特徴とする請求項1から8のうちのいずれか1項に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス板が遮光性を有することを特徴とする請求項1から10のうちのいずれか1項に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記ガラス板が黒色であることを特徴とする請求項11に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。前記黒色のガラス板が、黒色顔料を3~20含むことを特徴とする請求項12に記載の照度センサ用光学フィルターの製造方法。しかしながら、特許文献4や5に示される複数のフォトダイオードを用いた方法では、複数のフォトダイオードを用いることによるコストアップと、補正精度が十分ではないという課題があった。特許文献1に示される光学フィルターを用いた方法では、光学フィルターとして誘電体多層膜による干渉フィルターを使用しているため、更にコストが高く、また光の入射角によってフィルター特性が変化するため、やはり検出精度は十分ではない。対策として、特許文献2および3に、入射光を制限するための窓を設ける方法が提案されているが、窓を作製するためのコストアップが避けられない。本発明は、以上のような問題点を解決し、人間の視感度特性に近い分光特性を持ち、検出精度が高く、しかも低コストで作製可能な照度センサ用光学フィルターの製造方法を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、ガラス板に穴を開ける第一の工程と、前記ガラス板の穴に、光学フィルター効果を有し且つガラス軟化点が前記ガラス基体より低いガラス小片を配置する第二の工程と、前記ガラス小片を高温下で軟化させる第三の工程と、前記ガラス基体の両面を研磨して平坦化する第四の工程と、を備えることにした。また、前記穴を貫通穴にした。また、前記第一の工程に、成形法を用いるようにした。また、前記第一の工程に、サンドブラスト法を用いるようにした。また、前記第一の工程に、ガラスエッチング法を用いるようにした。また、前記ガラス小片は、ビーズ形状を有するようにした。また、前記ガラス小片を高温下で軟化させる第三の工程において、前記ガラス基体を板材で挟み圧力を加えるようにした。また、前記ガラス小片を高温下で軟化させる第三の工程の次に、前記ガラス基体をフラットな型で挟み高温下で圧力を加える工程を加えた。また、前記ガラス基体の穴は、段差のある錘台形状とした。また、前記ガラス基体の穴は、中央部の径が細い鼓形状とした。また、前記ガラス板は、遮光性を有するガラス板にした。また、前記ガラス板は、黒色のガラス板にした。また、前記黒色のガラス材料は、黒色顔料を3~20含むようにした。本発明の照度センサ用光学フィルターの製造方法は、ガラスの穴あけ工程、ガラス小片の配置工程、ガラス小片の軟化工程および研磨工程からなり、いずれも簡便な製造工程であるため従来の方式に比べて製造コストを大幅に低減できる。また、ガラス小片として視感度補正特性に近いフィルター効果を有するガラスを選択することにより、優れた補正特性が得られるとともに、干渉フィルターのように光の入射角によってフィルター特性が変化することがなく、更には入射光を制限する窓を設けているため、非常に精度の高い照度センサを安価に提供することができる。本発明の照度センサ用光学フィルターの製造方法は、センサ素子に合わせてガラス板の所定の位置および大きさに穴を開け、次いで光フィルター効果を有するガラス小片を加熱して埋め込み、光学フィルターを作製する。この光フィルター効果を有するガラス小片は、センサ素子の特性、照度センサの用途によって使用するガラスを選択する。また、ガラス小片埋め込み後のガラス基体を研磨する工程で、ガラス基体の厚さをコントロールすることにより、所望の光フィルター効果を有する光学フィルターが作製される。具体的には、この照度センサ用光学フィルターの製造方法は、穴あけ工程、配置工程、埋め込み工程、および研磨工程を備えている。穴あけ工程では、表面に凸部を持つ型でガラス板をガラスの軟化点以上の温度で加熱押圧して、穴を設ける。もしくは、サンドブラスト法や、ガラスエッチング法で穴を設ける。配置工程では、光フィルター効果を有するガラス小片をガラス基体の穴に配置する。埋め込み工程では、ガラス小片の軟化点とガラス基体の軟化点の間の温度になるよう加熱し、ガラス小片を軟化させて穴に埋め込む。研磨工程では、軟化後のはみ出したガラス小片を研磨により平坦化するとともに、前記穴が有底穴の場合は底面を研磨してガラス小片を露出させ、更にはガラス基体を所定の厚さに調整する。以下に、本発明の発光デバイスの製造方法について、図面を用いて詳細に説明する。図2は、本実施例の光学フィルターの製造工程を模式的に示す断面図である。また図1は、本実施形態で作製した光学フィルターを用いた照度センサの構成を、模式的に示す断面図および平面図である。<穴あけ工程>図2aは、穴あけ工程を示す断面図である。ガラス板10を、表面に凸部13を持つ上型11と、表面がフラットな下型12の間に設置する。次いで上型11、下型12及びガラス板10加熱してガラス板10を軟化させる。ガラス板10としてソーダガラスを使用する場合には、約700°C~900°Cに加熱する。そして上型11及び下型12を矢印の方向に押圧する。これにより、図2bに示す中央に穴を有するガラス基体14が形成される。穴の形状は、成形性、次工程の配置工程の振込み性の容易さの点から、錘台形が望ましい。他の方法として、ガラス基板10にアルミナ等の研磨剤を吹き付けて穴を開ける、いわゆるサンドブラスト法を用いてもよい。この場合も穴の開いたガラス基体14形成することができる。また、ガラス基板10の表面に穴部を除いてレジストを印刷し、ガラス裏面は全面にレジストを塗布し、次いでフッ酸等のガラスエッチング液に浸漬して穴を開け、最後にレジストを除去しても、同様に穴の開いたガラス基体14を形成することができる。<配置工程>図2cは、光フィルター効果を有するガラス小片7をガラス基体14の穴に配置した状態を示している。照度センサに必要な光フィルター効果としては、視感度補正曲線に合わせるのが理想的であるが、その場合にはフィルターの透過率が低下するため、感度を重視する場合は赤外線だけをカットするフィルターが用いられる。後社の場合は、リン酸塩系ガラスが、前者の場合はリン酸塩系ガラスにCuOなどの金属酸化物を添加したガラスが用いられる。リン酸塩系ガラスは耐湿性が弱い傾向にあるため、耐候性を要求する場合は、ケイ酸塩系のガラスに無機顔料を添加して調整してもよい。いずれの場合も、ガラス基体14のガラス材料より低い軟化点になるよう、ガラス組成を調整する。光フィルター効果を有するガラスは、ガラス基体14の穴に合わせた径のガラス棒を作製し、埋め込み量に合わせた体積になるようにカッティングすることにより、円柱形状のガラス小片7が得られる。なお、ガラス小片7は直方体や立方体の形状でも使用可能であり、この場合はインゴット状態のガラスをスライサーやワイヤーカットでスライスし、次いで所定の体積になるようカッティングすればよい。ガラス小片7は、ガラス基体14の上に散布して振動させることにより、ガラス基体の穴に容易に振り込むことが可能である。<埋め込み工程>図2dは、ガラス小片7をガラス基体に埋め込んだ状態を示す断面図である。図2cに示す配置工程が終了したガラス基体14およびガラス小片7を、ガラス基体14の軟化点より低く、ガラス小片7の軟化点より高い温度に加熱する。リン酸塩系ガラスでは、軟化点が500°Cから650°C程度になるため、ガラス基板10にソーダガラスを用いた場合は、550~700°Cに加熱することにより、ガラス小片7だけが軟化し、図2dに示すように、穴を埋めた状態になる。ガラス基体14とガラス小片7の熱膨張係数は、前者が大きい場合はガラス小片にクラックが入りやすくなり、後者が大きい場合はガラス小片が抜けやすくなるため、両者の差は30×107/°C以内であることが望ましい。<研磨工程>ガラス小片7を軟化させて埋め込みが終了したガラス基体14およびガラス小片7は、表面は平坦化、裏面はガラス小片7を底面で露出させるとともに、ガラス小片7が所定の厚さになるよう研磨し、図2eの光学フィルター基板6が完成する。図1は、実施例1の光学フィルターを用いた照度センサ1の構成を示す、模式的な断面図と平面図である。光学フィルター基板6には照度センサ素子4を実装するための実装電極5が設けられている。照度センサ素子4は光フィルター効果を有するガラス小片の下に配置して実装される。もう一方のキャビティ基板2は、配線電極8、貫通電極3を有しており、センサ素子4から実装電極5、配線電極8、貫通電極3を経て外部電極端子9に接続される。キャビティ基板2もガラス材料で製作すれば、すべてガラス材料からなるパッケージになるため、耐久性の極めて高い照度センサデバイスを提供することができる。図3は、参考までに本発明者らが特開2008249484に開示してなるキャビティ基板2の製造工程を模式的に示す断面図である。図3aのように、ガラス板20を、表面にキャビティ用の凸部15および貫通電極用の凸部16を持つ上型17と、貫通電極用の凸部18を持つ下型19の間に設置する。次いで上型17、下型19及びガラス板20を加熱してガラス板20を軟化させる。そして上型17及び下型19を矢印の方向に押圧する。これにより、図3bに示すキャビティと貫通穴を有するキャビティ基板21が得られる。貫通穴は、図3cに示すようにAgペースト等の導電性材料で埋めることにより貫通電極3になり、さらに配線電極、外部電極端子を作製することにより、図1に示すキャビティ基板2を容易に得ることができ、本発明の光学フィルターと組み合わせることによって低コストで耐久性の高いパッケージを提供することができる。図4は本実施例の製造工程を模式的に示す断面図である。<穴あけ工程>図4aは、穴あけ工程を示す断面図である。ガラス板10を、表面に凸部22を持つ上型23と、表面に凹部24を持つ下型25の間に設置する。次いで上型23、下型25及びガラス板10加熱してガラス板10を軟化させる。そして上型23及び下型25を矢印の方向に押圧する。これにより、図4bに示す中央に貫通穴を有するガラス基体26が形成される。<配置工程>図4cは、光フィルター効果を有するガラス小片7をガラス基体26の穴に配置した状態を示している。板材27の上にガラス基体26を載せ、実施例1と同様にガラス小片7をガラス基体26の上に散布して振動させることにより、ガラス基体の穴に容易に振り込むことが可能である。穴の形状とガラス小片のサイズを調整すれば、ガラス小片は穴にひっかかって落下しないため、板材27は不要である。<埋め込み工程>図4cに示す配置工程が終了したガラス基体26およびガラス小片7を、ガラス基体26の軟化点より低く、ガラス小片7の軟化点より高い温度に加熱する。その結果、図4dに示すように、ガラス小片7を穴に埋め込むことができる。<研磨工程>次いで、研磨によって、表面の平坦化および厚さ調整を行い、図4eの光学フィルター基板6を得ることができる。本実施例では、埋め込み工程でガラス小片が裏面にも露出しているため、実施例1に比較して研磨工程での研磨量を減らすことができ、研磨コストの低減が可能である。図5は本実施例の製造工程を模式的に示す断面図である。穴あけ工程は実施例2と同じであるため省略し、以下配置工程以降を説明する。<配置工程>図5aは、本実施例の埋め込み工程を示す。ガラス小片7が配置されたガラス基体26を、表面がフラットな上型28および下型29の間に設置する。次いで上型28、下型29、ガラス基体26およびガラス小片7を、ガラス基体26の軟化点より低く、ガラス小片7の軟化点より高い温度に加熱し、そして上型21及び下型22を矢印の方向に押圧する。その結果、図5bに示すように、軟化したガラス小片7は圧力によって貫通穴に完全に埋め込まれるとともに、表面がフラットな形状になる。<平坦化工程>次いで、研磨によって、表面の平坦化および厚さ調整を行い、図5cの光学フィルター基板6を得ることができる。本実施例では、埋め込み工程後のガラス小片の出っ張りが小さく且つ平坦なため、研磨工程でのガラス割れを防止することができ、実施例1および2に比較して研磨時の不良率を大幅に減少させることができる。図8は本実施例の製造工程を模式的に示す断面図である。穴あけ工程および配置工程は実施例2と同じであるため省略し、埋め込み工程および研磨工程を説明する。また、図6および7は、本実施例の効果を説明するための光学フィルター不良例を示す模式的断面図である。<埋め込み工程>図6は、実施例2の埋め込み工程後の一例の断面図を示す。円柱状のガラス小片7は軟化して丸くなり、ガラス基体26に埋め込まれるが、ガラス小片7の軟化時の粘度が高い場合には穴に隙間41ができ、研磨してもこの隙間が残ることがある。図7は、実施例3の埋め込み工程後の一例の断面図を示す。配置工程において円柱状のガラス小片7が傾いて配置され、且つガラス小片7の軟化時の粘度が高い場合は、埋め込み工程においてフラットな型でプレスしたときに傾きが補正できず、片側だけに隙間41ができることがある。研磨してもこの隙間が残ると、歩留まりを低下させる原因になる。本実施例の埋め込み工程は、上記欠点を除去するため、実施例2の埋め込み工程第1の埋め込み工程の後に実施例3の埋め込み工程第2の埋め込み工程を実施した。図8aは、第2の埋め込み工程を示す断面図である。第1の埋め込み工程が終了したガラス小片7は、配置工程において円柱状のガラス小片7が傾いて配置された場合にも、ガラス小片軟化時に表面張力により穴の中心で丸くなる。このガラス基体26およびガラス小片7を表面がフラットな上型28および下型29の間に設置し、ガラス基体26の軟化点より低く、ガラス小片7の軟化点より高い温度に加熱し、そして上型28及び下型29を矢印の方向に押圧する。その結果、図8bに示すように、軟化したガラス小片7は圧力によって隙間なく貫通穴に埋め込まれるとともに、表面がフラットな形状になる。<研磨工程>次いで、研磨によって、表面の平坦化および厚さ調整を行い、図8cの光学フィルター基板6を得る。このように第1および第2の埋め込み工程を行うにより、配置工程での配置バラツキやガラス小片の軟化時の粘度に関係なく、ガラス小片を隙間なく貫通穴に埋め込むことができ、より安定した生産が可能になる。図9は本実施例の製造工程を模式的に示す断面図である。穴あけ工程、配置工程および研磨工程は実施例2と同じであるため省略し、配置工程と埋め込み工程を説明する。<配置工程>図9aは、光フィルター効果を有するビーズ形状のガラス小片30をガラス基体26の穴に配置した状態を示している。ビーズ形状にすることにより、ガラス基体26の穴にガラス小片30を振り込みしやすくなるため、配置工程が容易になる。なお、ビーズ形状は球でも楕円でも構わないが、球のほうが穴への振り込み性が良好である。<埋め込み工程>図9bは、本実施例の埋め込み工程を示す。ビーズ状のガラス小片7が配置されたガラス基体26を、表面がフラットな上型28および下型29の間に設置する。次いで上型28、下型29、ガラス基体26およびガラス小片7を、ガラス基体26の軟化点より低く、ガラス小片7の軟化点より高い温度に加熱し、そして上型28及び下型29を矢印の方向に押圧する。その結果、図9cに示すように、軟化したガラス小片7は圧力によって貫通穴に完全に埋め込まれるとともに、表面がフラットな形状になる。<研磨工程>次いで、研磨によって、表面の平坦化および厚さ調整を行い、図9dの光学フィルター基板6を得る。ガラス小片7がビーズ形状の場合は、円柱や直方体のときのように配置工程で斜めに配置されることがないため、実施例4の第一の埋め込み工程が不要であり、短い工程で安定した生産が可能になる。図10は、本実施例の製造工程を模式的に示す断面図である。<穴あけ工程>図10aは、穴あけ工程を示す断面図である。ガラス板10を、表面に凸部31と32を持つ上型33と、表面がフラットな下型34の間に設置する。次いで上型33、下型34及びガラス板10加熱してガラス板10を軟化させる。そして上型33及び下型34を矢印の方向に押圧する。これにより、図10bに示す中央に段差のある錘台貫通穴を有するガラス基体35が形成される。<配置工程>図10bは、光フィルター効果を有するビーズ形状のガラス小片30をガラス基体35の穴に配置した状態を示している。穴が中央に段差のある錘台貫通穴のため、ガラス小片30は段差で支えられる。したがって、図4cに示す、実施例2の配置工程における板材27は不要になり、配置工程の工数を低減することができる。<埋め込み工程>図10cは、本実施例の埋め込み工程後の状態を示す断面である。埋め込み工程で軟化したガラス小片30は穴の段差で支えられるため、配置工程と同様にガラス基体の下に板材を配する必要がなく、埋め込み工程の工数を低減することができる。<研磨工程>次いで、研磨によって、表面の平坦化および厚さ調整を行い、図10dの光学フィルター基板6を得る。本実施例では、上述した工数低減効果以外に、ガラス小片30とガラス基体35の接触面積が増えるため、温度衝撃試験等の信頼性での耐久性が向上する。図11は、本実施例の製造工程を模式的に示す断面図である。<穴あけ工程>図11aは、穴あけ工程を示す断面図である。ガラス板10を、表面に凸部37を持つ上型36と、表面に凸部38を有する下型39の間に設置する。次いで上型36、下型39及びガラス板10加熱してガラス板10を軟化させる。そして上型36及び下型39を矢印の方向に押圧する。これにより、図11bに示す中央部の径が細い鼓型状の貫通穴を有するガラス基体40が形成される。<配置工程>図11bは、光フィルター効果を有するビーズ形状のガラス小片30をガラス基体40の穴に配置した状態を示している。板材27の上にガラス基体40を載せ、実施例1と同様にガラス小片30をガラス基体26の上に散布して振動させることにより、ガラス基体の穴に容易に振り込むことが可能である。<埋め込み工程>図11cは、本実施例の埋め込み工程後の状態を示す断面である。<研磨工程>次いで、研磨によって、表面の平坦化および厚さ調整を行い、図11dの光学フィルター基板6を得る。本実施例では、中央部の径が細い鼓型状の貫通穴を有しているため、研磨時にガラス小片が穴から抜けることがなく、研磨での不良率が低減できる。また、本実施例では、実施例6と同様に、ガラス小片30とガラス基体40の接触面積が増えるため、温度衝撃試験等の信頼性での耐久性が向上する。実施例1において、ガラス基板10に遮光性のあるガラスを用いた。ガラスの遮光性は、ガラスの中にAl2O3、TiO2、ZrO2などのガラスと屈折率の異なる材料を分散させることによって得られる。たとえばソーダガラスにZrO2を20以上添加すると、0.5mm厚さで透過率5以下のガラスが得られる。遮光性のあるガラスを用いることにより、図1に示す照度センサ素子4への入射光は光学フィルター基板のフィルター効果を有するガラス小片からの入射光だけになり、照度センサとしての精度を高めることが可能になる。また、ガラス板10を遮光ガラスに変えるだけでよいため、工程数を増やすことなく、本発明の特徴である低コストを維持したまま特性改善が可能である。実施例8の遮光性のあるガラスとして、黒色ガラスを用いた。黒色ガラスはガラスに酸化鉄等の顔料を添加することにより得られる。たとえば、ソーダガラスに酸化鉄を主にした黒色顔料を3添加すれば、0.5mm厚さのガラスで透過率5以下が得られ、Al2O3やTiO2などより低濃度の添加量で、必要な遮光率を得ることができる。また、黒色顔料を20添加すれば、光学フィルター基板6を0.2mmの厚さにしても透過率5以下を得ることができ、薄型の照度センサを提供することができる。図12は本実施例の光学フィルターを用いた照度センサ44の構成を示す、模式的な断面図である。光学フィルター基板6は黒色ガラス43とフィルター効果を有するガラス小片7からなっている。もう一方のキャビティ基板2は、貫通電極3を有しており、センサ素子4はキャビティ基板2にダイボンディングされている。センサ素子4と貫通電極3はワイヤ42で接続され、貫通電極3を経て外部電極端子9に接続される。キヤビティ基板2も黒色ガラス材料で製作すれば、センサ素子4に入射する光はガラス小片7を通過した光だけになり、高性能の照度センサを提供できる。特に、図1に示した照度センサ1では、センサ素子4のアクティブエリアがガラス小片7に接しているため黒色ガラスの効果は少ないが、照度センサ43はセンサ素子4が光学フィルター基板6と離れて設置されるため、黒色ガラスによる遮光の効果は極めて大きい。以上、実施例1から実施例9により光学フィルター基板6の単品の製造方法を説明したが、これを多数個取りにより形成することができる。また、ガラス小片を埋め込む穴は円形状で説明したが、センサ素子や、パッケージ仕様、また使用用途によって、三角形、四角形、六角形等の多角形状であってもよいし、傾斜面が円弧状、或いは双曲線状の形状であってもよい。