光源と、該光源の背後に設けられており、該光源から放射された光を疑似平行光として反射する反射光学素子と、該反射光学素子からの光を低い拡散角度で拡散する低角度光拡散光学素子と、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列してなり、前記低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射する平行光変換光学素子とを備えたことを特徴とするソーラシミュレータ。前記低角度光拡散光学素子の出射面と前記平行光変換光学素子の入射面とが互いに接触しており、前記低角度光拡散光学素子は前記平行光変換光学素子から入射する光を表面で拡散反射するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載のソーラシミュレータ。前記低角度光拡散光学素子の前記拡散角度が、該低角度光拡散光学素子の出射光の半値幅が0.5~5度となる角度であることを特徴とする請求項1に記載のソーラシミュレータ。前記平行光変換光学素子が、パイプ軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収する特性を有する空気パイプを互いに平行に多数配列してなり、前記低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射する空気パイプ光学素子であることを特徴とする請求項1に記載のソーラシミュレータ。前記空気パイプ素子の出射側の面が、光吸収性の粗面で構成されていることを特徴とする請求項4に記載のソーラシミュレータ。前記空気パイプ光学素子の隣接する空気パイプ間に光吸収材料が充填されていることを特徴とする請求項4に記載のソーラシミュレータ。前記平行光変換光学素子が、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を減衰させる特性を有するハニカム状空気孔を互いに平行に多数配列してなり、前記低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射するハニカム光学素子であることを特徴とする請求項1に記載のソーラシミュレータ。前記低角度光拡散光学素子の前記光源側の面に接触して配置されており、該光源及び前記反射光学素子からの光のスペクトル分布特性を調整する特性調整用光学素子をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載のソーラシミュレータ。前記平行光変換光学素子の前記光源側の面とは反対側の面に接触して配置されており、前記光源及び前記反射光学素子からの光のスペクトル分布特性を調整する特性調整用光学素子をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載のソーラシミュレータ。前記反射光学素子と前記低角度光拡散光学素子との間に配置され、該反射光学素子から該低角度光拡散光学素子に印加される光強度分布を調整する光強度分布調整用光拡散光学素子をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載のソーラシミュレータ。前記反射光学素子が放物線状の軸断面を有する反射鏡又は放物線に近似した形状の断面を有する反射鏡であり、前記光源が該軸断面の焦点に位置していることを特徴とする請求項1に記載のソーラシミュレータ。前記光源の前記低角度光拡散光学素子側に配置されており前記光源から入射される光を前記反射光学素子方向に反射する追加の反射鏡をさらに備えており、該追加の反射鏡が部分円形の軸断面を有しており前記光源が該軸断面の焦点に位置していることを特徴とする請求項11に記載のソーラシミュレータ。前記追加の反射鏡の前記低角度光拡散光学素子側の一部にスリットが設けられていることを特徴とする請求項12に記載のソーラシミュレータ。前記反射光学素子が、前記光源に向かって突出した三角形の2辺形状の軸断面を有する反射面を該光源近傍に備えていることを特徴とする請求項11に記載のソーラシミュレータ。光源と、該光源の背後に設けられており、該光源から放射された光を疑似平行光として反射する反射光学素子と、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列してなり、前記反射光学素子から入射した光を平行光に変換する第1の平行光変換光学素子と、該第1の平行光変換光学素子からの光を低い拡散角度で拡散する低角度光拡散光学素子と、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光の少なくとも一部を吸収する特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列してなり、前記低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換する第2の平行光変換光学素子とを備えたことを特徴とするソーラシミュレータ。前記低角度光拡散光学素子の出射面と前記第2の平行光変換光学素子の入射面とが互いに接触しており、前記低角度光拡散光学素子は前記第2の平行光変換光学素子から入射する光を表面で拡散反射するように構成されていることを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記低角度光拡散光学素子の前記拡散角度が、該低角度光拡散光学素子の出射光の半値幅が0.5~5度となる角度であることを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記第1の平行光変換光学素子が、パイプ軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収する特性を有する空気パイプを互いに平行に多数配列してなり、前記反射光学素子から入射した光を平行光に変換して出射する第1の空気パイプ光学素子であり、前記第2の平行光変換光学素子が、パイプ軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収する特性を有する空気パイプを互いに平行に多数配列してなり、前記低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射する第2の空気パイプ光学素子であることを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記第1及び第2の空気パイプ素子の出射側の面が、光吸収性の粗面で構成されていることを特徴とする請求項18に記載のソーラシミュレータ。前記第1及び第2の空気パイプ光学素子の各々の隣接する空気パイプ間に光吸収材料が充填されていることを特徴とする請求項18に記載のソーラシミュレータ。前記第1の平行光変換光学素子が、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を減衰させる特性を有するハニカム状空気孔を互いに平行に多数配列してなり、前記反射光学素子から入射した光を平行光に変換して出射するハニカム光学素子であり、前記第2の平行光変換光学素子が、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を減衰させる特性を有するハニカム状空気孔を互いに平行に多数配列してなり、前記低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射するハニカム光学素子であることを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記低角度光拡散光学素子の前記第1の平行光変換光学素子側の面に接触して配置されており、該第1の平行光変換光学素子から入射する光のスペクトル分布特性を調整する特性調整用光学素子をさらに備えたことを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記第2の平行光変換光学素子の前記光源側の面とは反対側の面に接触して配置されており、前記光源及び前記反射光学素子からの光のスペクトル分布特性を調整する特性調整用光学素子をさらに備えたことを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記第1及び第2の平行光変換光学素子は、互いに異なる周期関数を有していることを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記第1及び第2の平行光変換光学素子は互いに等しい周期関数を有しており、前記照射対象に入射される光量調整を行うべく、該第1の平行光変換光学素子における各空気孔の中心軸と該第2の平行光変換光学素子における各空気孔との中心軸とが互いにずれていることを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記反射光学素子と前記低角度光拡散光学素子との間に配置され、該反射光学素子から該低角度光拡散光学素子に印加される光強度分布を調整する光強度分布調整用光拡散光学素子をさらに備えたことを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記反射光学素子が放物線状の軸断面を有する反射鏡又は放物線に近似した形状の断面を有する反射鏡であり、前記光源が該軸断面の焦点に位置していることを特徴とする請求項15に記載のソーラシミュレータ。前記光源の前記低角度光拡散光学素子側に配置されており前記光源から入射される光を前記反射光学素子方向に反射する追加の反射鏡をさらに備えており、該追加の反射鏡が部分円形の軸断面を有しており前記光源が該軸断面の焦点に位置していることを特徴とする請求項27に記載のソーラシミュレータ。前記追加の反射鏡の前記低角度光拡散光学素子側の一部にスリットが設けられていることを特徴とする請求項28に記載のソーラシミュレータ。前記反射光学素子が、前記光源に向かって突出した三角形の2辺形状の軸断面を有する反射面を該光源近傍に備えていることを特徴とする請求項27に記載のソーラシミュレータ。しかしながら、特許文献1及び2に記載されているような従来の疑似太陽光照射装置によると、照射対象に照射される疑似太陽光は、いずれも拡散光であり、平行光では全くなかった。近年、例えば太陽電池においては、集光型と称される太陽電池素子が注目を浴びている。この集光型太陽電池素子は、太陽光を集光した焦点付近に配置され、高温度下において高効率で光電変換を行うことができ、従来のシリコン系や薄膜系の太陽電池パネルに比して、その光電変換効率が数十から数百倍となる可能性を有している。このような新しいタイプの集光型太陽電池素子に対して、疑似太陽光を照射して評価を行うことのできるソーラシミュレータは、今まで存在していなかった。即ち、ソーラシミュレータとして、1大型化する太陽電池パネルのI-V特性評価を短時間で処理するために、瞬時数ミリ秒~数百ミリ秒の閃光で計測を終了できること、2疑似太陽光のスペクトルがJIS規格又は国際規格IEC及び米国規格ASTMに合致していること、及び3工場内に設置できる程度に小型化するべく太陽電池パネルと光源との距離を短距離10センチ~30センチ程度とし、平行度の高い光を発生し、かつ至近距離から均一光を照射できること、が要求される。しかしながら、このようにパルス閃光する光を発する疑似太陽光源を用いて平行度の高い光を出力し、至近距離照射で均一度を満足できる装置は、従来技術では製造不可能であった。その理由は、A光源として用いられるキセノンフラッシュランプは直線形状であり点光源ではないこと、Bこの種のキセノン光源を単体で使用するのみならず複数使用する場合があり、後者の場合に特に光学系が非常に複雑となることもあって、平行度の高い光を得る光学系の設計が非常に複雑となり、製造コストが異常に高くなってしまうこと、及びC太陽電池パネルの評価装置としては、国際規格に合致したスペクトルを有する光を発しなければならないこと、という条件を満足する必要があるからである。換言すれば、直線形状のキセノンフラッシュランプから出た光を太陽電池パネルに入射する際に平行度の高い光とすると共に、非常に広いスペクトル領域において色収差が非常に少ない光を提供する必要がある。最新のレンズ設計技術によれば、このような条件は、達成可能ではあるが、莫大な費用を要することから、製造コスト的に全く見合わない。従って本発明の目的は、平行度が高くかつ均一性が高い光を至近距離から照射できるソーラシミュレータを提供することにある。本発明の他の目的は、製造コストが安価であるソーラシミュレータを提供することにある。本発明によれば、光源と、この光源の背後に設けられており、光源から放射された光を疑似平行光として反射する反射光学素子と、反射光学素子からの光を低い拡散角度で拡散する低角度光拡散光学素子と、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列してなり、低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射する平行光変換光学素子とを備えたソーラシミュレータが提供される。光源からの光は、反射光学素子で反射されて疑似平行光となり、低角度光拡散光学素子によって低い拡散角度で拡散された後、平行光変換光学素子に入って平行光に変換されて照射対象へ出射される。平行光変換光学素子が空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列して構成されているので、平行度の高い光に変換することができ、しかも、その前段に光を低い拡散角度で拡散する低角度光拡散光学素子が設けられているため、平行光変換光学素子から出射される光は均一性が非常に高くなる。即ち、均一な無限遠方から到達した平行光を得ることができる。また、光源からの光が順次通過するこのような反射光学素子、低角度光拡散光学素子及び平行光変換光学素子の構成によれば、パルス閃光可能でありかつ最適なスペクトルを有する例えばキセノンフラッシュランプ等の光源を使用した場合にも、ソーラシミュレータ全体の寸法を小さくすることができ、また、複雑な光学系も不要であることから製造コストを安価にすることができる。低角度光拡散光学素子の出射面と平行光変換光学素子の入射面とが互いに接触しており、低角度光拡散光学素子は平行光変換光学素子から入射する光を表面で拡散反射するように構成されていることが好ましい。照射対象から見て平行光変換光学素子の後に低角度光拡散光学素子が設けられており、照射対象から反射された戻り光が平行光変換光学素子を逆方向に通り抜けたとしても低角度光拡散光学素子の表面において拡散反射されてしまうので、この低角度光拡散光学素子表面で反射され再び平行光変換光学素子に入射してもその内壁で一部が吸収されてしまい、照射対象に至るような不都合は生じない。また、低角度光拡散光学素子と平行光変換光学素子とが接触していることにより、戻り光に対する低角度光拡散光学素子の拡散効果がより良好となる。低角度光拡散光学素子の拡散角度が、この低角度光拡散光学素子の出射光の半値幅が0.5~5度となる角度であることも好ましい。低角度光拡散光学素子の透過光及び反射光に対する拡散の度合をこの範囲とすることにより、平行光変換光学素子の各空気孔内にできるだけ多くの平行光成分を入射させることができる。平行光変換光学素子が、パイプ軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収する特性を有する空気パイプを互いに平行に多数配列してなり、低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射する空気パイプ光学素子であることも好ましい。空気パイプ内においてパイプ軸に対して非平行な入射光を吸収する特性を有しているため、平行度の非常に高い光のみを出射することができる。この場合、空気パイプ光学素子の出射側の面が、光吸収性の粗面で構成されていることも好ましい。これにより、照射対象の表面からの戻り光が空気パイプ光学素子の出射側の面で反射されて照射対象に再入射され、計測に誤差をもたらすような不都合の発生が低減される。さらに、空気パイプ光学素子の隣接する空気パイプ間に光吸収材料が充填されていることも好ましい。これにより、パイプ軸に非平行な光の吸収特性が大幅に高まり、パイプ間のクロストークを完全に排除することができる。平行光変換光学素子が、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を減衰させる特性を有するハニカム状空気孔を互いに平行に多数配列してなり、低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射するハニカム光学素子であることも好ましい。ハニカム状空気孔内において空気孔軸に対して非平行な入射光を乱反射させて減衰させる特性を有しているため、平行度のある程度高い光を出射することができる。また、この種のハニカム光学素子は寸法の大きいものを安価に入手可能であるため、装置の製造コストを大幅に低下させることが可能となる。低角度光拡散光学素子の光源側の面に接触して配置されており、光源及び反射光学素子からの光のスペクトル分布特性を調整する特性調整用光学素子をさらに備えたことも好ましい。このような特性調整用光学素子を挿入することにより、国際規格に合致したスペクトル分布を得ることが容易となる。特に、この特性調整用光学素子が低角度光拡散光学素子の面に接触していることにより、この部分での光学的損失フレネル損失の発生を防止することができる。平行光変換光学素子の光源側の面とは反対側の面に接触して配置されており、光源及び反射光学素子からの光のスペクトル分布特性を調整する特性調整用光学素子をさらに備えたことも好ましい。このような特性調整用光学素子を挿入すること及びこの特性調整用光学素子に入射する光をより平行度の高い平行光変換光学素子の出射光とすることにより、国際規格により正確に合致したスペクトル分布を得ることが容易となる。反射光学素子と低角度光拡散光学素子との間に配置され、反射光学素子から低角度光拡散光学素子に印加される光強度分布を調整する光強度分布調整用光拡散光学素子をさらに備えたことも好ましい。このような光強度分布調整用光拡散光学素子を設けることにより、反射光学素子で反射されて印加される光のピーク強度分布をある程度均一化することが可能となる。即ち、反射光学素子からの光は、その中心部の光強度が最も高く、反射光学素子の周縁部に向かうにつれて弱くなる。このため、中心部において拡散角度が大きく、周縁部において拡散角度が小さい光拡散光学素子を設けることで、その光のピーク強度分布が均一となるように調整される。しかも、光拡散光学素子の透過率ではなく分散角度の相違でこの調整を行うことにより、光の吸収は生じないので全体としての光エネルギは低減しないこととなる。反射光学素子が放物線状の軸断面を有する反射鏡又は放物線に近似した形状の断面を有する反射鏡であり、光源が軸断面の焦点に位置していることも好ましい。光源の低角度光拡散光学素子側に配置されており光源から入射される光を反射光学素子方向に反射する追加の反射鏡をさらに備えており、追加の反射鏡が部分円形の軸断面を有しており光源が軸断面の焦点に位置していることが好ましい。この追加の反射鏡の低角度光拡散光学素子側の一部にスリットが設けられていることもさらに好ましい。反射光学素子が、光源に向かって突出した三角形の2辺形状の軸断面を有する反射面をこの光源近傍に備えていることも好ましい。本発明によれば、さらに、光源と、この光源の背後に設けられており、光源から放射された光を疑似平行光として反射する反射光学素子と、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列してなり、反射光学素子から入射した光を平行光に変換する第1の平行光変換光学素子と、第1の平行光変換光学素子からの光を低い拡散角度で拡散する低角度光拡散光学素子と、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列してなり、低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換する第2の平行光変換光学素子とを備えたソーラシミュレータが提供される。光源からの光は、反射光学素子で反射されて疑似平行光となり、さらに第1の平行光変換光学素子によって平行光に変換された後、低角度光拡散光学素子によって低い拡散角度で拡散され、その後、第2の平行光変換光学素子に入ってもう一度平行光に変換されて照射対象へ出射される。第1の平行光変換光学素子が空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列して構成されているので、平行度の高い光に変換することができる。また、第2の平行光変換光学素子も空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列して構成されているので平行度の高い光に変換することができ、しかも、その前段に光を低い拡散角度で拡散する低角度光拡散光学素子が設けられているため、第2の平行光変換光学素子から出射される光は均一性が非常に高くなる。即ち、均一な無限遠方から到達した平行光を得ることができる。また、光源からの光が順次通過するこのような反射光学素子、第1の平行光変換光学素子、低角度光拡散光学素子及び第2の平行光変換光学素子の構成によれば、パルス閃光可能でありかつ最適なスペクトルを有する例えばキセノンフラッシュランプ等の光源を使用した場合にも、ソーラシミュレータ全体の寸法を小さくすることができ、また、複雑な光学系も不要であることから製造コストを安価にすることができる。低角度光拡散光学素子の出射面と第2の平行光変換光学素子の入射面とが互いに接触しており、この低角度光拡散光学素子は第2の平行光変換光学素子から入射する光を表面で拡散反射するように構成されていることが好ましい。照射対象から見て第2の平行光変換光学素子の後に低角度光拡散光学素子が設けられており、照射対象から反射された戻り光が第2の平行光変換光学素子を逆方向に通り抜けたとしても低角度光拡散光学素子の表面において拡散反射されてしまうので、この低角度光拡散光学素子表面で反射され再び第2の平行光変換光学素子に入射してもその内壁で吸収されてしまい、照射対象に至るような不都合は生じない。また、低角度光拡散光学素子と第2の平行光変換光学素子とが接触していることにより、戻り光に対する低角度光拡散光学素子の拡散効果がより良好となる。低角度光拡散光学素子の拡散角度が、低角度光拡散光学素子の出射光の半値幅が0.5~5度となる角度であることも好ましい。低角度光拡散光学素子の透過光及び反射光に対する拡散の度合をこの範囲とすることにより、第2の平行光変換光学素子の各空気孔内にできるだけ多くの平行光成分を入射させることができる。第1の平行光変換光学素子が、パイプ軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収する特性を有する空気パイプを互いに平行に多数配列してなり、反射光学素子から入射した光を平行光に変換して出射する第1の空気パイプ光学素子であり、第2の平行光変換光学素子が、パイプ軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収する特性を有する空気パイプを互いに平行に多数配列してなり、低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射する第2の空気パイプ光学素子であることも好ましい。空気パイプ内においてパイプ軸に対して非平行な入射光を吸収する特性を有しているため、平行度の非常に高い光のみを出射することができる。この場合、第1及び第2の空気パイプ光学素子の出射側の面が、光吸収性の粗面で構成されていることも好ましい。これにより、照射対象の表面からの戻り光が第2の空気パイプ光学素子の出射側の面で反射されて照射対象に再入射され、計測に誤差をもたらすような不都合の発生が低減される。第1及び第2の空気パイプ光学素子の各々の隣接する空気パイプ間に光吸収材料が充填されていることも好ましい。これにより、パイプ軸に非平行な光の吸収特性が高まり、パイプ間のクロストークを完全に排除することができる。第1の平行光変換光学素子が、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を減衰させる特性を有するハニカム状空気孔を互いに平行に多数配列してなり、反射光学素子から入射した光を平行光に変換して出射するハニカム光学素子であり、第2の平行光変換光学素子が、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を減衰させる特性を有するハニカム状空気孔を互いに平行に多数配列してなり、低角度光拡散光学素子から入射した光を平行光に変換して出射するハニカム光学素子であることも好ましい。ハニカム状空気孔内において空気孔軸に対して非平行な入射光を乱反射させて減衰させる特性を有しているため、平行度のある程度高い光を出射することができる。また、この種のハニカム光学素子は寸法の大きいものを安価に入手可能であるため、装置の製造コストを大幅に低下させることが可能となる。低角度光拡散光学素子の第1の平行光変換光学素子側の面に接触して配置されており、第1の平行光変換光学素子から入射する光のスペクトル分布特性を調整する特性調整用光学素子をさらに備えたことも好ましい。このような特性調整用光学素子を挿入することにより、国際規格に合致したスペクトル分布を得ることが容易となる。特に、この特性調整用光学素子が低角度光拡散光学素子の面に接触していることにより、この部分での光学的損失フレネル損失の発生を防止することができる。第2の平行光変換光学素子の光源側の面とは反対側の面に接触して配置されており、光源及び反射光学素子からの光のスペクトル分布特性を調整する特性調整用光学素子をさらに備えたことも好ましい。このような特性調整用光学素子を挿入すること及びこの特性調整用光学素子に入射する光をより平行度の高い第2の平行光変換光学素子の出射光とすることにより、国際規格により正確に合致したスペクトル分布を得ることが容易となる。第1及び第2の平行光変換光学素子は、互いに異なる周期関数を有していることも好ましい。これにより、照射対象への出射光にモアレ縞が発生することを抑止できる。第1及び第2の平行光変換光学素子は互いに等しい周期関数を有しており、照射対象に入射される光量調整を行うべく、第1の平行光変換光学素子における各空気孔の中心軸と第2の平行光変換光学素子における各空気孔との中心軸とが互いにずれていることも好ましい。照射対象への出射光に意図的にモアレ縞を発生させ、照射対象に入射される透過光量を空気孔との中心軸のずれ量によって調整することが可能となる。反射光学素子と低角度光拡散光学素子との間に配置され、反射光学素子から低角度光拡散光学素子に印加される光強度分布を調整する光強度分布調整用光拡散光学素子をさらに備えたことも好ましい。このような光強度分布調整用光拡散光学素子を設けることにより、反射光学素子で反射されて印加される光のピーク強度分布をある程度均一化することが可能となる。即ち、反射光学素子からの光は、その中心部の光強度が最も高く、反射光学素子の周縁部に向かうにつれて弱くなる。このため、中心部において拡散角度が大きく、周縁部において拡散角度が小さい光拡散光学素子を設けることで、その光のピーク強度分布が均一となるように調整される。しかも、光拡散光学素子の透過率ではなく分散角度の相違でこの調整を行うことにより、光の吸収は生じないので全体としての光エネルギは低減しないこととなる。反射光学素子が放物線状の軸断面を有する反射鏡又は放物線に近似した形状の断面を有する反射鏡であり、光源がこの軸断面の焦点に位置していることも好ましい。光源の光拡散光学素子側に配置されており、この光源から入射される光を反射光学素子方向に反射する追加の反射鏡をさらに備えており、追加の反射鏡は部分円形の軸断面を有しており、光源がこの軸断面の焦点に位置していることも好ましい。この追加の反射鏡の低角度光拡散光学素子側の一部にスリットが設けられていることもさらに好ましい。反射光学素子が、光源に向かって突出した三角形の2辺形状の軸断面を有する反射面をこの光源近傍に備えていることも好ましい。本発明によれば、平行光変換光学素子が空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収するか又は減衰させる特性を有する空気孔を互いに平行に多数配列して構成されているので、平行度の高い光に変換することができ、しかも、その前段に光を低い拡散角度で拡散する低角度光拡散光学素子が設けられているため、平行光変換光学素子から出射される光は均一性が非常に高くなる。即ち、均一な無限遠方から到達した平行光を得ることができる。また、光源からの光が順次通過するこのような反射光学素子、低角度光拡散光学素子及び平行光変換光学素子の構成によれば、パルス閃光可能でありかつ最適なスペクトルを有する例えばキセノンフラッシュランプ等の光源を使用した場合にも、ソーラシミュレータ全体の寸法を小さくすることができ、また、複雑な光学系も不要であることから製造コストを安価にすることができる。図1及び図2は本発明の第1の実施形態におけるソーラシミュレータの構成を概略的に示しており、図3は本実施形態における低角度光拡散素子及び空気パイプ素子の部分の構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、照射対象である太陽電池パネルの特性を評価するための疑似太陽光を発生し、この太陽電池パネルに照射するように構成されている。これらの図において、10は直線形状を有する長尺のキセノンフラッシュランプ本発明の光源に対応する、11はキセノンフラッシュランプ10から照射対象方向図にて上方向に放射される直接光を遮光する遮光カバー、12は照射対象に関してキセノンフラッシュランプ10の後側図にて下側に設けられており、キセノンフラッシュランプ10から放射された光を疑似平行光として反射する反射鏡本発明の反射光学素子に対応する、13は透明なガラス板等から構成される支持基板、14は支持基板13上に光学的接着剤で固着されており、反射鏡12からの疑似平行光を出射光の半値幅が0.5~5度という低い拡散角度で拡散する低角度光拡散素子本発明の低角度光拡散光学素子に対応する、15は低角度光拡散素子14上に近接して配置されており、多数の空気パイプが互いに平行に配列してなる空気パイプ素子本発明の空気パイプ光学素子に対応するをそれぞれ示している。本実施形態におけるキセノンフラッシュランプ10は、例えば、5~100msec程度の発光パルス幅を有する閃光を発生可能とする長尺の一般的なキセノンランプである。本実施形態における反射鏡12は、キセノンフラッシュランプ10の軸方向に沿って伸長しており、放物線状の軸断面形状を有している。即ち、反射鏡12は放物面鏡又は放物面鏡に近似した反射面を有している。軸断面において、この反射鏡12の焦点位置に、キセノンフラッシュランプ10が配置されている。反射鏡12としては、鏡面反射全反射の反射面を有するものを用いても良いし、多少拡散した反射面を有するものを用いても良い。本実施形態における空気パイプ素子15は、光を吸収する黒色ガラス板内に、ガラス板の厚み方向と平行に多数の直線状の空気パイプを配列したものであり、パイプ軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収する特性を有している。即ち、図3及び図4に示すように、空気パイプ素子15は、パイプ軸方向が直線であって互いに平行となるように配列されており各パイプ内に空気が満たされている多数の直線状の空気パイプ15aを備えており、これら空気パイプ15aの間には黒色の光吸収ガラス材15bが充填されて構成されている。黒色ガラス板を構成する光吸収ガラス材15bは、非常に高い光吸収率を有するガラスを主体とする材料からなり、図5に示すように、60μm以上の厚さを有する場合に、可視光領域550nm付近の光をほぼ100吸収する能力を有している。このような光吸収ガラス材15bは、市販されている光吸収材料であり、空気パイプ15a及び光吸収ガラス材15bを有する空気パイプ素子15も市販されている。光吸収ガラス材15bである光吸収材料が隣接する空気パイプ15a間に充填されているため、各空気パイプ15aの内壁面は鏡面状であるが光を効率良く吸収し、また、パイプ間のクロストークは完全に排除される。図4に示すように、空気パイプ素子15を構成する黒色ガラス板の光源側の入射面15cより斜めに入射する光16aは、空気パイプ15aの内壁面で吸収されてしまうため、光源とは反対側の出射面15dから出射されることはない。これに対して、入射面15cよりパイプ軸にほぼ平行に入射する光16bは、平行度の高い光16cとして出射面15dから出射される。黒色の光学材料を用いることで、空気パイプ15a内に入射された散乱光を効率良く吸収することができる。また、空気パイプ15aが円筒形であるため、光を等方にかつ均一に吸収することができるため、出射光の均一度を高くすることができる。出射面15dから出射された光は、±2度以内の平行度の非常に高い光となって太陽電池パネルに照射されるが、その表面で正反射された戻り光が出射面15dに入射したとしても、その出射面15dの総面積の16~66の部分が光吸収ガラス材15bによって構成されており残りの部分が空気パイプ15aとして開口している、開口率84~34、しかもその表面がガラス切り出し加工を行ったままの状態としてカット刃による粗面表面荒さが50μm程度のランダムな粗さで構成されており光を乱反射するため、戻り光迷光17aがこの面に当たっても大きく減衰する。例えば、戻り光17aの反射光17bは、紫外線、可視光及び近赤外線領域において、0.1以下の反射率で反射されたものとなる。これにより、この出射面15dに散乱光や平行光による戻り光が入射された場合にも、その多くが減衰され、大きな反射防止、特に正反射防止機能が発揮される。その結果、戻り光による計測誤差の発生がかなり防止される。なお、黒色ガラス板の光源側の入射面15c及びその反対側の出射面15dは互いに平行な平面となっている。これは、出射面15dより出射される光線の平行度が各空気パイプの長さの差によって不均一とならないようにするためであり、適切な研磨によって平行な平面となっている。空気パイプ素子15の長さ、従って黒色ガラス板の厚さは約2~3mmであることが望ましい。また、各空気パイプの直径内径は、製造方法を調整することによって比較的自由に設定可能である。この直径のばらつきは誤差数パーセント以内に収まっていることが望ましい。図6に示すように、幾何学的には、黒色ガラス板60の厚さTは、各空気パイプ61の直径Dと、出射光62が何度以内となるようにするかを表わす出射光平行度Xとによって定まる。出射光62が±2度以内とする出射光平行度XがX=2度、空気パイプ61の直径DがD=0.25mmの場合、D/T=tanXから、T=D/tanX=7.125mmと算出される。即ち、出射光62を±2度以内とするためには、幾何学的には、黒色ガラス板60の厚さTを7.125mm以上とする必要がある。しかしながら、黒色ガラス板60の厚さTをこのように厚くすると、空気パイプ61の内壁面61aの反射係数が非常に低いことから光の吸収度が著しく大きくなって出射光の減衰が激しくなり、実用にならないことが判明した。実際に実験を行うと、空気パイプ61の直径DがD=0.25mmの場合に厚さTが2.5mmを超えると、光の減衰が著しくなり、平行度は理論値通りとなるが、実際に出力される光の量が実用にならないほど低下してしまう。従って、黒色ガラス板60の厚さTは2.5mm以下と設定し、むしろ、空気パイプ61への入射光の条件を調整することが重要であることが分かった。即ち、空気パイプ61に入射される光を散乱角の大きないわゆる入射角の大きな拡散光とするよりも、入射角の低い散乱又は拡散光とすることが有効であると判明した。表1は、空気パイプの直径DがD=0.25mm、開口率が84の上述した黒色ガラス板空気パイプ素子について、その空気パイプ素子の厚さと、光透過率と、出射光の平行度との関係を実際に測定した結果を表わしており、厚さの単位はmm、光透過率は1ソーラーのエネルギの光をこの空気パイプ素子に入射した際に出射される光強度の比率、平行度は半値度を表わしている。なお、空気パイプ素子の手前には出射光の半値幅が0.5度の低角度光拡散素子を配置している。出射光の半値幅が1度の低角度光拡散素子を配置した場合も確認した。平行度は、空気パイプ素子から離れた位置では若干低下するが、空気パイプ素子に近い位置では、ほとんど低下しないことが確認できた。この表1から、空気パイプ素子の厚さ空気パイプの長さが2.2mmの場合に、光透過率が充分であり、かつ出射光の平行度が±2度以内半値が2度以下という非常に優れた結果を得られることが分かった。この場合、アスペクトレシオD/Tは、D/T=0.25/2.2=1/8.8となる。実際には、透過率と平行度との兼ね合いから、アスペクトレシオD/Tを、1/8≦D/T≦1/10の範囲に設定すれば望ましい。なお、空気パイプの直径DがD=0.25mmの場合、空気パイプ素子の厚さTは2mm以上かつ2.5mm以下の範囲にあることが最適となる。本実施形態における低角度光拡散素子14は、ポリカーボネート、ポリエステル又は石英などのベース上に、図7に示すように、ランダムな3次元形状の表面構造を有するように構成されている。これにより、太陽電池パネルの計測に必要な紫外線領域から近赤外線領域の有効テスト波長領域全体に渡って90以上の透過率を得ることができる。さらに、反射鏡12から入射する疑似平行光をこの表面構造により屈折させて透過拡散させる第1の機能と、太陽電池パネルによって正反射され、空気パイプ素子15を通ってほぼ垂直に再入射される光をこの表面構造により反射拡散させる第2の機能とを得ることができるように構成されている。また、低角度光拡散素子14をフィルム状に形成することによって、大面積をカバーすることが可能となる。第1の機能を有することにより、1次光源であるキセノンフラッシュランプ10及び反射鏡12の実像が太陽電池パネルの面に結像されることが防止でき、この低角度光拡散素子14が2次光源となるように変換される。さらに、第2の機能を有することにより、太陽電池パネルの面で正反射された戻り光が空気パイプ素子15の空気パイプ15a内を通ってこの低角度光拡散素子14にほぼ垂直な光70となって再入射された場合、この低角度光拡散素子14の表面で反射拡散された光71となるので、この表面で全て正反射されて再び空気パイプ素子15へ戻るような不都合は生じない空気パイプ素子15との組み合わせにより無反射構造体を形成できる。また、低角度光拡散素子14の透過及び反射拡散特性として、その拡散角度及びヘイズ値を調整することによって、出射光又は反射光の半値幅が0.5~5度という低い拡散角度を有するように設定されている。これにより、低角度光拡散素子14からより多くの平行光成分が透過又は反射によって、空気パイプ素子15に入射可能となる。前述したように、出射光の半値幅が0.5度の低角度光拡散素子と、1度の低角度光拡散素子とを用いて、実際に実験を行った。この実験は、低角度光拡散素子を空気パイプ素子の光源側に配置し、この低角度光拡散素子に疑似平行光を入射せしめ、空気パイプ素子より出射する光の平行度を調べるものである。即ち、空気パイプ素子の軸と平行した面に黄色い蛍光物質が含まれたフィルムを安定した支持体に固定し、空気パイプ素子より出射する光が黄色い蛍光物質を含んだフィルムに沿って進む様子を、空気パイプ素子と直交する軸よりカメラ撮影を行い、その結果を解析した。空気パイプ素子は、空気パイプの直径DがD=0.25mm、開口率が84のものである。この解析の結果、出射光の半値幅が0.5度の低角度光拡散素子を用いた場合、空気パイプ素子の上面0mmからその上方30mmの範囲で非常に良好な平行な光を得ることができた。また、1度の低角度光拡散素子を使用した場合も、空気パイプ素子の上面0mmからその上方20mmの範囲で非常に良好な平行な光を得ることができた。なお、出射光の半値幅が5度を超える低角度光拡散素子を用いると、空気パイプ素子に入射される光が散乱角の大きな拡散光となってしまい、この空気パイプ素子から充分な強度の光を得ることができなくなる。従って、低角度光拡散素子14は、出射光又は反射光の半値幅が0.5~5度という低い拡散角度を有することが望ましい。以上述べたように、本実施形態によれば、空気パイプ素子15によって平行度の高い光に変換することができ、しかも、この空気パイプ素子15の光源側の面に接触して低い拡散角度で拡散する低角度光拡散素子14が配置されているため、光源の光学像が完全に拡散され、この低角度光拡散素子14の出射面が均一な光強度の2次光源となる。また、太陽電池パネルから反射されてくる戻り光のうち、空気パイプ素子15の出射面15dにおける光吸収ガラス材15bの部分に戻る光はその部分でほぼ吸収され、空気パイプ15aの部分に戻る光はその正反射成分以外はこの空気パイプ15aによって吸収され、正反射成分は空気パイプ15aを通って低角度光拡散素子14に入射されるが、そのほとんどがこの低角度光拡散素子14の表面で反射拡散されるので、空気パイプ15aを再度通って太陽電池パネルへ再照射される成分はほとんどない。従って、光源として、パルス閃光可能でありかつ最適なスペクトルを有するキセノンフラッシュランプ10を使用した場合にも、ソーラシミュレータ全体の寸法を小さくすることができ、また、複雑な光学系も不要であることから製造コストを安価にすることができる。なお、本実施形態における空気パイプ素子に代えて、後述する第8~第10の実施形態で用いたハニカム光学素子を用いても良いことは明らかである。その場合、製造コストを大幅に低減させることができる。図8及び図9は本発明の第2の実施形態におけるソーラシミュレータの構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、遮光カバーに代えて追加の反射鏡を設けたことを除いて、第1の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第1の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図8及び図9に示すように、本実施形態では、追加の反射鏡81が設けられている。即ち、第1の実施形態における遮光カバー11に代えて追加の反射鏡81が設けられている。この追加の反射鏡81は、キセノンフラッシュランプ10の光軸に円中心が位置する部分円状の軸断面を有する半円筒形状を備えており、キセノンフラッシュランプ10から上方向に放射される光を正反射して反射鏡12へ有効に導く。これにより、第1の実施形態における遮光カバー11では遮蔽及び散乱により損失光となっていた光が有効に利用できることとなる。なお、追加の反射鏡81は反射鏡12に対向するように配置されるが、追加の反射鏡81の両端エッジとキセノンフラッシュランプ10の光軸とを結ぶ線が反射鏡12の反射面内に交差するような位置関係とすることが、光を有効に利用できる点で望ましい。なお、追加の反射鏡81としては、鏡面反射全反射の反射面を有するものを用いても良いし、多少拡散した反射面を有するものを用いても良い。また、本実施形態における追加の反射鏡81にはその軸方向に沿って伸長するスリット状の開口部81aが形成されている。このスリット状の開口部81aは、追加の反射鏡81の中央部に形成されており、キセノンフラッシュランプ10からの光をその真上方向、即ち低角度光拡散素子14の方向に直接的に導くためのものである。このような開口部81aを設けることにより、追加の反射鏡81の真上方向にも配光することが可能となり、追加の反射鏡81の影が上方向に投影されてしまい配光が不均一となるような不都合の発生を防止できる。このスリット状の開口部81aは、連続した開口であっても良いし、不連続な開口であっても良い。この開口部81aを通過する光量は、スリット幅開口部81aのこの反射鏡81の円周方向の長さ自体を調整するか、開口部81aに透過光量を調整するためのメッシュのような透過光量調整部材を設けることにより調整する。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第1の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態における空気パイプ素子に代えて、後述する第8~第10の実施形態で用いたハニカム光学素子を用いても良いことは明らかである。その場合、製造コストを大幅に低減させることができる。図10は本発明の第3の実施形態におけるソーラシミュレータのエアマスフィルタ、低角度光拡散素子及び空気パイプ素子の部分の構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、エアマスフィルタ本発明の特性調整用光学素子に対応するを追加的に備えていることを除いて第1の実施形態又は第2の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第1の実施形態及び第2の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図10に示すように、本実施形態では、低角度光拡散素子14の光源側の表面上に光学的接着剤で固着されたエアマスフィルタ18が設けられている。このエアマスフィルタ18は、通過光のスペクトル分布を調整するためのものであり、これを挿入することにより、国際規格に合致したスペクトル分布を得ることが容易となる。特に、本実施形態では、エアマスフィルタ18が低角度光拡散素子14の入射面に接触していることにより、この部分での光学的損失フレネル損失を防止することができる。なお、本実施形態における低角度光拡散素子14は、エアマスフィルタ18によって調整したスペクトル分布に影響を与えないように、色分離せずに拡散を行える素子であることが望ましい。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第1の実施形態及び第2の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態における空気パイプ素子に代えて、後述する第8~第10の実施形態で用いたハニカム光学素子を用いても良いことは明らかである。その場合、製造コストを大幅に低減させることができる。図11は本発明の第4の実施形態におけるソーラシミュレータの第1の空気パイプ素子、エアマスフィルタ、低角度光拡散素子及び第2の空気パイプ素子の部分の構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、2つの空気パイプ素子を備えていることを除いて第3の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第1の実施形態、第2の実施形態及び第3の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図11に示すように、本実施形態では、第2の空気パイプ素子15とは別個に、エアマスフィルタ18の光源側に第1の空気パイプ素子19が設けられている。この第1の空気パイプ素子19の構成は第2の空気パイプ素子15の構成と全く同じである。即ち、第1の空気パイプ素子19と第2の空気パイプ素子15とは開口率が互いに等しく、従って周期関数が互いに等しくなるように構成されており、第1の空気パイプ素子19及び第2の空気パイプ素子15の空気パイプの中心軸は互いに同軸となっている。反射鏡12からの疑似平行光が第1の空気パイプ素子19により平行度の高い光となり、これがエアマスフィルタ18に入射する。周知の通り、光学フィルタはその入射面に垂直な平行光が入ることを条件に設計されており、エアマスフィルタ18もその条件下で最適なスペクトル分布が得られるように設計されている。従って、本実施形態のように、エアマスフィルタ18に入射する光を高い平行度の平行光とすることにより、国際規格に合致したスペクトル分布を得ることができる。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第1の実施形態、第2の実施形態及び第3の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態における空気パイプ素子に代えて、後述する第8~第10の実施形態で用いたハニカム光学素子を用いても良いことは明らかである。その場合、製造コストを大幅に低減させることができる。図12は本発明の第5の実施形態におけるソーラシミュレータの第1の空気パイプ素子、エアマスフィルタ、低角度光拡散素子及び第2の空気パイプ素子の部分の構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、2つの空気パイプ素子の周期関数が互いに異なることを除いて第4の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第1の実施形態、第2の実施形態、第3の実施形態及び第4の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図12に示すように、本実施形態では、第1の空気パイプ素子19の周期関数fh1/H1と、第2の空気パイプ素子15′の周期関数fh2/H2とが互いに異なっている。具体的には、第1の空気パイプ素子19における空気パイプ19aの内径h1及び外径H1と、第2の空気パイプ素子15′における空気パイプ15a′の内径h2及び外径H2とが互いに異なっている。即ち、両者の開口率が互いに異なっている。これにより、太陽電池パネルの表面にモアレ縞が発生し、照度の不均一な部分が生じることを抑止できる。ただし、第1の空気パイプ素子19及び第2の空気パイプ素子15′が互いに重ね合わさることによって透過率が大幅に低下しないように注意すべきである。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は、第1の実施形態、第2の実施形態、第3の実施形態及び第4の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態における空気パイプ素子に代えて、後述する第8~第10の実施形態で用いたハニカム光学素子を用いても良いことは明らかである。その場合、製造コストを大幅に低減させることができる。図13は本発明の第6の実施形態におけるソーラシミュレータの空気パイプ素子の配置を説明している。本実施形態のソーラシミュレータは、2つの空気パイプ素子における各空気パイプの中心軸が互いにずれていることを除いて第4の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第1の実施形態、第2の実施形態、第3の実施形態及び第4の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。本実施形態では、図11に示すように、即ち、互いに重なり合った第1の空気パイプ素子19と第2の空気パイプ素子15とは開口率が互いに等しく、従って周期関数が互いに等しくなるように構成されている。ただし、第1の空気パイプ素子19及び第2の空気パイプ素子15の空気パイプの中心軸は互いにずれている。中心軸を互いにずらす方法として、図13に示すように、平行移動でずらす方法110及び回転でずらす方法111があるがいずれの方法であっても良い。このような周期関数の等しい空気パイプを重ね合わせることによって太陽電池パネルに弱いモアレ縞を意図的に発生させ、これにより、太陽電池パネルに入射される光量調整を行っている。この光量は、空気パイプとの中心軸のずれ量によって調整することができる。ただし、あまり強いモアレ縞を発生させると、照度むらの原因となるため注意が必要である。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第1の実施形態、第2の実施形態、第3の実施形態及び第4の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態における空気パイプ素子に代えて、後述する第8~第10の実施形態で用いたハニカム光学素子を用いても良いことは明らかである。その場合、製造コストを大幅に低減させることができる。図14及び図15は本発明の第7の実施形態におけるソーラシミュレータの構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、反射鏡の一部構造が異なることを除いて、第2の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第2の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図14及び図15に示すように、本実施形態では、第2の実施形態の場合と同様に、追加の反射鏡81が設けられている。この追加の反射鏡81は、キセノンフラッシュランプ10の光軸に円中心が位置する部分円状の軸断面を有する半円筒形状を備えており、キセノンフラッシュランプ10から上方向に放射される光を正反射して反射鏡142へ有効に導く。これにより、第2の実施形態の場合と同様に、第1の実施形態における遮光カバー11では遮蔽及び散乱により損失光となっていた光が有効に利用できる。本実施形態では、さらに、反射鏡142が、キセノンフラッシュランプ10に向かって突出した三角形の2辺の形状の軸断面を有する反射面142aをこのキセノンフラッシュランプ10の真下に備えている。このような意図的に突出した反射形状により、キセノンフラッシュランプ10から照射される光を反射鏡142の縁端部の近傍領域へ反射させ、この領域に光が到達されないことによって生じていた光量低下の問題を改善することができる。なお、追加の反射鏡81は反射鏡142に対向するように配置されるが、追加の反射鏡81の両端エッジとキセノンフラッシュランプ10の光軸とを結ぶ線が反射鏡142の反射面内に交差するような位置関係とすることが、光を有効に利用できる点で望ましい。また、本実施形態における追加の反射鏡81にはその軸方向に沿って伸長するスリット状の開口部81aが形成されている。このスリット状の開口部81aは、追加の反射鏡81の中央部に形成されており、キセノンフラッシュランプ10からの光をその真上方向、即ち低角度光拡散素子14の方向に直接的に導くためのものである。このような開口部81aを設けることにより、追加の反射鏡81の真上方向にも配光することが可能となり、追加の反射鏡81の影が上方向に投影されてしまい配光が不均一となるような不都合の発生を防止できる。このスリット状の開口部81aは、連続した開口であっても良いし、不連続な開口であっても良い。この開口部81aを通過する光量は、スリット幅開口部81aのこの反射鏡81の円周方向の長さ自体を調整するか、開口部81aに透過光量を調整するためのメッシュのような透過光量調整部材を設けることにより調整する。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第1の実施形態、第2の実施形態、第3の実施形態及び第4の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態における空気パイプ素子に代えて、後述する第8~第10の実施形態で用いたハニカム光学素子を用いても良いことは明らかである。その場合、製造コストを大幅に低減させることができる。上述した第1~第7の実施形態においては、空気パイプ素子の開口率入射面又は出射面の総面積に対する空気パイプの開口面積の割合がその表面全体において一定であるとしているが、その表面の一部において開口率を異ならせても良い。例えば、キセノンフラッシュランプ10に近い中心部では光強度が高いので開口率を小さくして透過率を低くし、キセノンフラッシュランプ10から遠い両端部では開口率を大きくして透過率を高めることにより、太陽電池パネルの表面に照射される光強度を均一にすることが可能となる。空気パイプ素子の開口率を部分的に異ならせる代りに、低角度光拡散素子の拡散角度を部分的に異ならせて空気パイプ素子に入射する角度を異ならせても良い。例えば、キセノンフラッシュランプ10に近い中心部では光強度が高いので拡散角度が比較的大きめの低角度光拡散素子を用い、空気パイプの内壁に大きな角度で入射させて吸収を促進し、空気パイプ透過量を低くし、キセノンフラッシュランプ10から遠い両端部では拡散角度が比較的小さめの低角度光拡散素子を用い、空気パイプの内壁に小さな角度で入射させて透過を促進し、空気パイプ透過量を高めることにより、太陽電池パネルの表面に照射される光強度を均一にすることが可能となる。なお、低角度光拡散素子として、拡散角度を変えた場合にも、スペクトル分布に影響を与えないものであることが望ましい。図16及び図17は本発明の第8の実施形態におけるソーラシミュレータの構成を概略的に示しており、図18は本実施形態における低角度光拡散素子及びハニカム光学素子の部分の構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、反射鏡及び追加の反射鏡と低角度光拡散素子との間に光強度調整用光拡散素子を設け、さらに空気パイプ素子に代えてハニカム光学素子を設けたことを除いて、第7の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第7の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図16及び図17に示すように、本実施形態では、反射鏡142及び追加の反射鏡81と低角度光拡散素子14との間に光強度分布調整用光拡散素子164が設けられている。この光強度分布調整用光拡散素子164は、キセノンフラッシュランプ10からスリット状の開口部81aを介して直接的に又は反射鏡142によって反射されて低角度光拡散光学素子14に印加される光のピーク強度分布をできるだけ均一化しようとするものである。即ち、キセノンフラッシュランプ10及び反射鏡142からの光は、その中心部の光強度が最も高く、反射鏡142の周縁部に向かうにつれて弱くなる。このため、光強度分布調整用光拡散素子164として、拡散角度が中心部では大きく周縁部では小さい拡散角度を有する拡散素子を使用する。これにより、低角度光拡散素子14に入射する光のピーク強度を均一化することができる。しかも、光拡散光学素子の透過率ではなく分散角度の相違でこの調整を行うことにより、光の吸収は生じないので全体としての光エネルギは低減しないこととなる。光強度分布調整用光拡散素子164の具体例として、図17に示すように中心部の第1の領域164aでは拡散角度が20°、その外側の第2の領域164bでは拡散角度が10°、その外側の第3の領域164cでは拡散角度が5°、その外側の第4の領域164dでは拡散角度が1°となるような拡散素子を使用する。いずれの領域の拡散素子も透過率は96である。このような光強度分布調整用光拡散素子164は、拡散角度の異なる拡散フィルムを適切な幅に切断し、支持ガラス板上に光学粘着フィルムを用いて貼り付けることによって形成可能である。なお、この例では、拡散角度の異なる4つの領域に分けているが、この領域数は、4つに限定されるものではなく、複数であればいくつであっても良い。また、連続的に拡散角度の変化する1枚の拡散フィルムを用いても良い。ただし、実際の光学系では、反射鏡142及び追加の反射鏡81の反射面の精度やキセノンフラッシュランプ10の形状に応じて微妙な調整が必要であることから、各拡散角度の拡散フィルムを適切な幅に切断して光強度エネルギが均一化するように各領域の幅を調整することが望ましい。このような光強度分布調整用光拡散素子164を設けることにより、最終的に得られる出射光の光不均一度を±3以内とすることができる。図16、図17及び図18に示すように、本実施形態では、多数のハニカム状空気孔が互いに平行に配列してなるアルミニウム製のハニカム光学素子165が低角度光拡散素子14上に近接して配置されている。このハニカム光学素子165は、その厚み方向と平行に多数のハニカム状の空気孔を配列したものであり、空気孔軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を乱反射させて減衰させる特性を有している。即ち、図18及び図19に示すように、ハニカム光学素子165は、軸方向が直線であって互いに平行となるように配列されており各孔内に空気が満たされている多数の直線状の正六角形の断面を有するハニカム状空気孔165aを備えている。ハニカム状空気孔165aの径正六角形の互いに平行な辺間の距離は出力される光に要求される平行度に応じて選択されるが本実施形態では約1mmであり、ハニカム状空気孔165aの長さハニカム光学素子165の厚さはその10倍となっている。隣り合うハニカム状空気孔165a間の壁165bの厚さは約50μmである。ハニカム状空気孔165aの内壁面は鏡面状であるため、図19に示すように、ハニカム光学素子165の光源側の入射面165cより斜めに入射する光166aは、ハニカム状空気孔165aの内壁面で乱反射されて減衰し、光源とは反対側の出射面165dから出射される光量は減少する。即ち、ハニカム状空気孔165aの長さ/径で決まる見込角以上の光が出射面165d側から出射されないように構成されている。一方、入射面165cより孔軸にほぼ平行に入射する光166bは、平行度の高い光166cとして出射面165dから出射される。この出射面165dから出射された光は、±2度程度の平行度の高い光となって太陽電池パネルに照射される。逆に、太陽電池パネルの表面で正反射された戻り光が出射面165dに入射した場合、その表面を粗面とするか、アルマイト処理等によって黒色化することにより、光を乱反射又は吸収することができ、戻り光迷光がこの面に当たっても大きく減衰する。これにより、この出射面165dに散乱光や平行光による戻り光が入射された場合にも、そのある程度減衰させ、大きな反射防止、特に正反射を防止できるように構成可能である。その結果、戻り光による計測誤差の発生をかなり防止できる。以上述べたように、本実施形態によれば、ハニカム光学素子165によって平行度の高い光に変換することができ、しかも、このハニカム光学素子165の光源側の面に接触して低い拡散角度で拡散する低角度光拡散素子14が配置されているため、光源の光学像が完全に拡散され、この低角度光拡散素子14の出射面が均一な光強度の2次光源となる。また、太陽電池パネルから反射されてくる戻り光のうち、ハニカム状空気孔165aの部分に戻る光はその正反射成分以外はこのハニカム状空気孔165aによって乱反射されて減衰され、正反射成分はハニカム状空気孔165aを通って低角度光拡散素子14に入射されるが、そのほとんどがこの低角度光拡散素子14の表面で反射拡散されるので、ハニカム状空気孔165aを再度通って太陽電池パネルへ再照射される成分はほとんどない。従って、光源として、パルス閃光可能でありかつ最適なスペクトルを有するキセノンフラッシュランプ10を使用した場合にも、ソーラシミュレータ全体の寸法を小さくすることができ、また、複雑な光学系も不要であることから製造コストを安価にすることができる。さらに、ハニカム光学素子165は、寸法の大きいものを安価に入手可能であるため、装置の製造コストを大幅に低下させることができ、また、耐久性も高く、製造が容易であるというメリットを有している。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第7の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態のハニカム光学素子165におけるハニカム状空気孔165aを含む全体をアルマイト処理等によって黒色化すれば、第1~第7の実施形態における空気パイプ素子と同様に、ハニカム状空気孔165aの軸に対して平行な入射光を透過し非平行な入射光を吸収する特性が得られ、より高い平行度の出射光が得られる。また、本実施形態におけるハニカム光学素子に代えて、第1~第7の実施形態で用いた空気パイプ素子を用いても良いことは明らかである。その場合、より高い平行度の出射光を得ることができる。図20は本発明の第9の実施形態のソーラシミュレータの構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、追加の反射鏡のスリット状の開口部と光強度調整用光拡散素子との間に追加の光強度調整用光拡散素子を設けたことを除いて、第8の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第8の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図20に示すように、本実施形態では、追加の反射鏡81のスリット状の開口部81aと光強度分布調整用光拡散素子164との間に追加の光強度分布調整用光拡散素子167が設けられている。この追加の光強度分布調整用光拡散素子167は、キセノンフラッシュランプ10からスリット状の開口部81aを介して直接的に出射される光のピーク強度を低減し、最終的に低角度光拡散光学素子14に印加される光のピーク強度分布をさらに均一化しようとするものである。このように、光強度分布調整用光拡散素子を複数重ねることにより光拡散の度合いを調整するものであり、単一の光強度分布調整用光拡散素子では調整しきれない光強度の不均一性を、同じような拡散角度又は異なる拡散角度を有する光拡散素子を重ねて配置ただし、各光拡散素子間には空隙を設けて配置することによって調整している。本実施形態においては、追加の光強度分布調整用光拡散素子167として、拡散角度が約40°、透過率が96の拡散フィルムを支持ガラス板上に光学粘着フィルムで貼り付けたものを用いている。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第8の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態におけるハニカム光学素子に代えて、第1~第7の実施形態で用いた空気パイプ素子を用いても良いことは明らかである。その場合、より高い平行度の出射光を得ることができる。図21は本発明の第10の実施形態のソーラシミュレータの構成を概略的に示しており、図22は本実施形態におけるソーラシミュレータの光拡散光学素子、ハニカム光学素子及びエアマスフィルタの部分の構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、エアマスフィルタ本発明の特性調整用光学素子に対応するを追加的に備えていることを除いて第9の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第9の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図21及び図22に示すように、本実施形態では、ハニカム光学素子165の出射面165d上に光学的接着剤で固着されたエアマスフィルタ218が設けられている。このエアマスフィルタ218は、通過光のスペクトル分布を調整するためのものであり、これを挿入することにより、国際規格に合致したスペクトル分布を得ることが容易となる。特に、本実施形態では、エアマスフィルタ218がハニカム光学素子165の出射面165dに接触していることにより、この部分での光学的損失フレネル損失を防止することができる。また、本実施形態では、ハニカム光学素子165からの平行度の高い出射光がエアマスフィルタ218に入射するため、このエアマスフィルタ218は精度の高いスペクトル分布調整スペクトル合致度がクラスAAAとなる調整を行うことができる。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第9の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態におけるハニカム光学素子に代えて、第1~第7の実施形態で用いた空気パイプ素子を用いても良いことは明らかである。その場合、より高い平行度の出射光を得ることができる。図23は本発明の第11の実施形態のソーラシミュレータの構成を概略的に示している。本実施形態のソーラシミュレータは、エアマスフィルタ本発明の特性調整用光学素子に対応するの設置位置が異なることを除いて第10の実施形態におけるソーラシミュレータとほぼ同様の構成を有している。従って、本実施形態において、第10の実施形態と同様の構成要素については同じ参照符号を使用する。図23に示すように、本実施形態では、光強度分布調整用光拡散素子164の光源側の表面上に光学的接着剤で固着されたエアマスフィルタ238が設けられている。このエアマスフィルタ238は、通過光のスペクトル分布を調整するためのものであり、これを挿入することにより、国際規格に合致したスペクトル分布を得ることが容易となる。特に、本実施形態では、エアマスフィルタ238が光強度分布調整用光拡散素子164の入射面に接触していることにより、この部分での光学的損失フレネル損失を防止することができる。なお、本実施形態における光強度分布調整用光拡散素子164は、エアマスフィルタ238によって調整したスペクトル分布に影響を与えないように、色分離せずに拡散を行える素子であることが望ましい。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は第10の実施形態の場合と同様である。なお、本実施形態におけるハニカム光学素子に代えて、第1~第7の実施形態で用いた空気パイプ素子を用いても良いことは明らかである。その場合、より高い平行度の出射光を得ることができる。以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。