端縁が接着剤によって架台に固定されウエハが積層された架台接着ウエハ群から1枚1枚のウエハを分離する半導体ウエハの分離装置であって、前記架台接着ウエハ群を、その全体が水槽の水に浸かるように架台を上にしてガイドするガイド装置と、架台とウエハとの接着部の接着剤を加熱し接着剤の接着力を低下させる加熱手段と、前記加熱手段によって接着剤の接着力が低下ことによって落下するウエハを前記水槽中で受容して搬送する搬送手段とを備えることを特徴とする、半導体ウエハの分離装置。前記加熱溶解手段は、前記積層されたウエハのうち先頭のウエハの端縁全体を同時に温水を噴射するスリットノズルであることを特徴とする、請求項1に記載の半導体ウエハの分離装置。端縁が接着剤によって架台に固定されウエハが積層された架台接着ウエハ群から1枚1枚のウエハを分離する半導体ウエハの分離方法であって、前記架台接着ウエハ群をその全部が水槽の水に浸かるように配置し、架台とウエハとの接着部の接着剤を加熱し、前記加熱溶解によって接着材の接着力を低下させることによって落下するウエハを前記水槽中で受容して搬送することを特徴とする、半導体ウエハの分離方法。前記加熱を、前記積層されたウエハのうち先頭のウエハの端縁全体を同時に温水を噴射するスリットノズルによって行うことを特徴とする、請求項4に記載の半導体ウエハの分離方法。解決しようとする課題は、架台に固定された状態のウエハを、架台から分離し、カセットに1枚1枚収納するための効率的な装置及び方法を提供することである。本発明の半導体ウエハの分離装置は、端縁が接着剤によって架台に固定されウエハが積層された架台接着ウエハ群から1枚1枚のウエハを分離する半導体ウエハの分離装置であって、前記架台接着ウエハ群をその全体が水槽の水に浸かるように架台を上にしてガイドするガイド装置と、架台とウエハとの接着部の接着剤を加熱し接着剤の接着力を低下させウエハを剥離する加熱剥離手段と、前記加熱剥離によって接着剤の接着力を低下させることによって落下するウエハを前記水槽中で受容して搬送する搬送手段とを備えることを特徴とする。図1は、半導体ウエハの分離装置を示す図である。架台接着ウエハ群1は、ウエハが架台2に固定されて積層されたものであり、ガイド装置3によって支えられ、位置を制御されている。架台接着ウエハ群1の全体は水槽4の水に浸かっている。温水を噴射するスリットノズル以下、温水噴射スリットノズルと略称する5は、架台接着ウエハ群1のうちの先頭のウエハ図において最も左側にあるウエハに係る接着剤を加熱しウエハを容易に剥離させるものである。ローラー6は、ウエハの剥離をより容易にし、剥離したウエハを真下に落下させるためのものである。ガイド装置3は、この剥離によって1枚のウエハが落下する度に、ウエハ1枚分だけ図の左側に架台接着ウエハ群1を移動させる。落下したウエハ8は、搬送手段7によって1枚1枚水槽4の外に搬送され、カセットに収容される。本発明の半導体ウエハの分離装置は、前記加熱剥離手段は、前記積層されたウエハのうち先頭のウエハの接着部分端縁全体に温水を同時に噴射するスリットノズルであることを特徴とする。先頭の1枚のウエハに係る接着剤の接着力を低下させウエハを剥離させて、そのウエハを分離する。接着剤としては、60°C~90°Cにまで加熱することで接着力が弱まるものを用いればよい。例えば、エポキシ系又はアクリル系のものを用いればよい。ウエハの接着部分端縁全体に温水を噴射するスリットノズルを用いることにより、短時間で端縁全体の接着剤の接着力を低下させてウエハを分離することができる。ウエハ1枚当たり数秒以下の処理時間で分離することが可能である。図2は、温水噴射スリットノズルの使用方法を示す図である。ウエハ8a、8b、...が積層されて、架台2に接着されている。スリットノズル5から発せられた温水は、先頭のウエハ8aが架台2に接着された端縁の全体に同時に噴射されるため短時間で端縁全体の接着剤の接着力が低下しウエハを分離することが可能となる。上記操作でウエハが容易に剥離しない場合は、ウエハに若干の力を加えて分離を促すことも次善の手段として有効である。本発明の半導体ウエハの分離方法は、端縁が接着剤によって架台に固定されウエハが積層された架台接着ウエハ群から1枚1枚のウエハを分離する半導体ウエハの分離方法であって、前記架台接着ウエハ群をその全体が水槽の水に浸かるように配置し、架台とウエハとの接着部の接着剤を加熱し、前記加熱によって接着剤の接着力が低下し剥離して、落下するウエハを前記水槽中で受容して搬送することを特徴とする。本発明の半導体ウエハの分離装置は、架台に固定された状態のウエハを、架台から分離し、カセットに1枚1枚収納するための効率的な装置及び方法を提供する。接着剤を効率的に加熱して架台からウエハを分離するので、1枚当たりの処理時間が短いという特徴を有する。また、カセットに収納されたウエハを容易に洗浄することができる。以下に、温水噴射スリットノズルを用いる実施例1を示す。図1は、半導体ウエハの分離装置を示す図である。架台接着ウエハ群1の架台2がガイド装置3によって位置決めされている。ガイド装置3の一端には、温水噴射スリットノズル5が設けられている。水槽4内の架台接着ウエハ群1の先頭のウエハの下部に接する位置に補助ローラー6が設けられている。補助ローラー6はウレタン製である。水槽4には界面活性剤を含有した水が張られ、架台接着ウエハ群1の下端は水に浸かっている。搬送手段7コンベアが、温水噴射スリットノズル5の下から水槽4の外までウエハ8を搬送する位置に設けられている。ガイド装置3は、制御手段図示しないによって架台接着ウエハ群1の先頭のウエハ8aの端縁図2において上にある辺が温水噴射スリットノズル5による温水を受ける位置に移動する。所定の時間にわたり温水噴射スリットノズル5から温水を噴射すると、先頭のウエハ8aの端縁の接着剤の接着力が低下し、ウエハ8aが落下する。落下したウエハは搬送手段7によって水槽4の外に搬送される。上記落下の後、制御手段は次のウエハ8bの端縁が温水噴射スリットノズル5による温水を受ける位置に移動する。ここで、1枚のウエハが温水噴射スリットノズル5による温水の噴射を受ける位置に移動してから次のウエハが温水噴射スリットノズル5による温水の噴射を受ける位置に移動するまでの時間ターンアラウンドタイムを短くすることが重要である。以下、このための方法について述べる。図2は、温水噴射スリットノズルの使用方法を示す図である。棒状の温水噴射スリットノズル5から噴射された温水は、先頭のウエハ8aが架台2に接着された端縁の全体を、まんべんなく同時に加熱する。その結果短時間で端縁全体の接着剤が加熱され、接着力が低下する。接着剤としてはエポキシ系又はアクリル系の60°C以上で接着力が低下するものを使用する。ウエハ1枚当たり数秒以下の短時間でウエハを剥離させることが可能である。補助ローラー6を図1において時計回りに回転させることで、ウエハ8aの隣接するウエハ8bからの分離を促進する。補助ローラー6はウレタン製であるので、ウエハとの間に十分な摩擦力が発生して分離を促進し、ウエハを傷めることがない。以上により、ウエハ8aは接着剤の溶解直後に落下する。落下したウエハは、搬送手段7によって、水槽内で搬送される。これにより、ウエハはウエットな状態に保たれる。また、水槽内の界面活性剤による洗浄効果も期待できる。落下したウエハは、その後、水槽の外まで搬送され、図示しない手段によって1枚ずつカセットに収納される。出願人は、ウエハ8aの接着部分を60~90°Cに加熱できるように温水噴射スリットノズルの位置や、温水噴出し量、噴出しの温水温度を調整し、接着剤種を選定して数秒以下のターンアラウンドタイムを実現した。