"印刷対象物となる基材を載置する基材テーブルと、表面に印刷パターンに対応する凹部が形成された印版部材を載置する印版テーブルと、前記基材にインクを印刷するための印刷ユニットと、前記印刷ユニットを水平方向に往復移動させる印刷ユニット移動手段と、を備えており、前記印刷ユニットは、前記印版テーブル上に載置された印版部材表面に供給されたインクを一様に均すとともに前記印版部材の前記凹部にインクを供給し、前記印版部材表面の余分なインクを掻き取る、ドクターブレードを備えるスキージと、前記凹部に供給されたインクを表面に転写するとともに該転写されたインクを前記基材表面に印刷するブランケットロールと、が一体化されてなり、前記基材テーブルと前記印版テーブルは固定され、前記印刷ユニットが前記印刷ユニット移動手段により水平方向に往復移動することによって前記基材に印刷することを特徴とする微細印刷装置。前記ブランケットロールを昇降させるブランケットロール昇降手段と、前記スキージを昇降及び回転させるスキージ駆動手段と、を備えることを特徴とする請求項1記載の微細印刷装置。前記スキージが、ハの字型を形成する2つのドクターブレードを備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の微細印刷装置。前記印刷ユニット移動手段がサーボモータを備えることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の微細印刷装置。前記スキージ駆動手段がサーボモータを備えることを特徴とする請求項2乃至4いずれかに記載の微細印刷装置。本発明は、前記問題点を解決すべく達成されたものであり、装置の小型化を達成することができ、高精度の微細印刷が可能であり、タクトタイムの短縮化により生産性の向上を達成することができる微細印刷装置を提供するものである。請求項1に係る発明は、印刷対象物となる基材を載置する基材テーブルと、表面に印刷パターンに対応する凹部が形成された印版部材を載置する印版テーブルと、前記基材にインクを印刷するための印刷ユニットと、前記印刷ユニットを水平方向に往復移動させる印刷ユニット移動手段と、を備えており、前記印刷ユニットは、前記印版テーブル上に載置された印版部材表面に供給されたインクを一様に均すとともに前記印版部材の前記凹部にインクを供給し、前記印版部材表面の余分なインクを掻き取る、ドクターブレードを備えるスキージと、前記凹部に供給されたインクを表面に転写するとともに該転写されたインクを前記基材表面に印刷するブランケットロールと、が一体化されてなり、前記基材テーブルと前記印版テーブルは固定され、前記印刷ユニットが前記印刷ユニット移動手段により水平方向に往復移動することによって前記基材に印刷することを特徴とする微細印刷装置に関する。請求項2に係る発明は、前記ブランケットロールを昇降させるブランケットロール昇降手段と、前記スキージを昇降及び回転させるスキージ駆動手段と、を備えることを特徴とする請求項1記載の微細印刷装置に関する。請求項3に係る発明は、前記スキージが、ハの字型を形成する2つのドクターブレードを備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の微細印刷装置に関する。請求項4に係る発明は、前記印刷ユニット移動手段がサーボモータを備えることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の微細印刷装置に関する。請求項5に係る発明は、前記スキージ駆動手段がサーボモータを備えることを特徴とする請求項2乃至4いずれかに記載の微細印刷装置に関する。請求項1に係る発明によれば、スキージとブランケットロールが一体化されてなる印刷ユニットを水平方向に往復移動させる印刷ユニット移動手段を備え、基材テーブルと印版テーブルは固定され、印刷ユニットが印刷ユニット移動手段により水平方向に往復移動することによって基材に印刷することにより、従来の微細印刷装置のように印版テーブルや基材テーブルの移動スペースを必要としないため、装置の小型化を達成できる。また、テーブルが移動して転写及び印刷を行う従来の印刷装置に比べて移動距離が小さいため、タクトタイムを短縮することができ、これにより印刷物の生産性の向上を達成することができる。請求項1に係る発明によれば、一つのスキージにより印版部材へのインクの供給と余分なインクの掻き取りを行うので、駆動部品の数を減らすことができ、また動作が単純化するのでインク供給の再現性が良くなり印刷精度を向上させることができる。請求項2に係る発明によれば、スキージを昇降及び回転させるスキージ駆動手段、を備えることにより、印版部材表面のインクの均し及び掻き取りの際に、スキージのみを昇降させることができるので、ブランケットロールが印版部材表面及び基材表面に接触してしまうことを防ぐことができる。請求項2に係る発明によれば、ブランケットロールを昇降させるブランケットロール昇降手段を備えることにより、印版部材からブランケットロールへの転写及びブランケットロールから基材表面への印刷の際に、ブランケットロールのみを昇降させることができるので、スキージが印版部材表面及び基材表面に接触してしまうことを防ぐことができる。これらにより、印版部材表面のインクの均しから基材へのインクの印刷まで、簡単な構成で連続的に確実に行うことが可能となる。請求項3に係る発明によれば、スキージがハの字型を形成する2つのドクターブレードを備えていることにより、印版部材表面のインクの均しと凹部への供給、及び余分なインクの掻き取りを1つのスキージで行うことが可能となり、これにより、均し時のドクターブレードの昇降方向位置と、掻き取り時のドクターブレードの昇降方向位置がずれることがないので、均し及び掻き取りを精度良く行うことができる。請求項4に係る発明によれば、印刷ユニット移動手段がサーボモータを備えることにより、印刷ユニットを精度良く移動させることができ、転写位置のずれ等の印刷精度の低下を防止することができる。請求項5に係る発明によれば、スキージ駆動手段がサーボモータを備えることにより、スキージの調整やセッティングを容易に行うことができる。また、スキージの角度及び昇降位置の精度を向上させることができる。これによりブランケットロールへの転写前に印版部材の表面凸部にインクが残るのを防ぐことができ、印刷精度の低下を防ぐことができる。以下、本発明に係る微細印刷装置の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明に係る微細印刷装置の全体構成を示す概略側面図である。本発明に係る微細印刷装置は、印刷対象物となる基材を載置する基材テーブル1と、表面に印刷パターンに対応する凹部が形成された印版部材を載置する印版テーブル2と、基材にインクを転写するための印刷ユニット3と、を基台4の上部に備えており、印刷ユニット3を水平方向に往復移動させる印刷ユニット移動手段図示せずをさらに備えている。基材は、上面が水平となるように配置された基材テーブル1上に載置固定され、基材テーブル1は、基台4の上部に固定して配設されている。本発明において、印刷対象物となる基材は、半導体デバイスに用いられるガラス基板やシリコンウエハ、樹脂基板、樹脂フィルム等である。印版部材は、上面が水平となるように配置された印版テーブル2上に載置固定され、印版テーブル2は、基台4の上部に固定され、基材テーブル1と並設されている。本発明において、印版部材としては、ガラスが好適に用いられるが、鋼等を用いることもできる。図2は、印版部材の概略拡大断面図である。印版テーブル2上面に載置される印版部材5の表面上面には、印刷パターンに対応する凹部6が形成されている。印版部材5の凹部6にインクが供給され、この凹部6に供給されたインクが、後述するブランケットロール32に転写され、次いでこのブランケットロール32に転写されたインクが基材テーブル1上に載置された基材に印刷される。基材テーブル1と印版テーブル2の上部には、印刷ユニット3が配設される。印刷ユニット3は、印版テーブル2上面に載置された印版部材表面に供給されたインクを一様に均すとともに印版部材の凹部にインクを供給し、印版部材表面の余分なインクを掻き取る、ドクターブレード3334を備えるスキージ31と、印版部材の凹部に供給されたインクを表面に転写するとともにこの転写されたインクを基材表面に印刷するブランケットロール32と、が一体化されてなる。本発明に係る微細印刷装置は、印刷ユニット移動手段図示せずを備え、印刷ユニット3は印刷ユニット移動手段により水平方向に移動することにより、後述する印版部材5の凹部6へのインクの供給、ブランケットロール32へのインクの転写、及び基材へのインクの印刷を行う。本発明に係る微細印刷装置は、基材テーブル1や印版テーブル2が移動しないので、基材テーブル1や印版テーブル2の移動スペースを必要とせず、これにより、装置の小型化を達成することができる。また、印刷ユニット3の移動距離が小さいため、タクトタイムを短縮することができ、これにより印刷物の生産性の向上を達成することができる。また、本発明に係る微細印刷装置は、スキージ駆動手段及びブランケットロール昇降手段を備えており、後述する印版部材5の凹部6へのインクの供給、ブランケットロール32へのインクの転写、及び基材へのインクの印刷の際に、スキージ及びブランケットロールを昇降させることができる。印刷ユニット移動手段、スキージ駆動手段及びブランケットロール昇降手段は、サーボモータ、リニアモータ、油圧シリンダ、空圧シリンダ、ラックアンドピニオン等の任意のレシプロ機構から構成することができ、特にサーボモータが好適に使用される。スキージ31は、印版テーブル2上に載置される印版部材5上面のインクの均し及び掻き取りを行うためのドクターブレードを備えている。ドクターブレードは、図1に示すように2つのドクターブレード3334がハの字型を形成するように配設されるのが好ましい。ドクターブレードとしては、スチール製、プラスチック製及びゴム製のものを用いることができ、特にスチール製のものが好適に用いられる。印刷ユニット移動手段によりスキージ31が印版テーブル2上に載置される印版部材の上に来るところまで印刷ユニット3を水平移動させ、スキージ駆動手段によりスキージ31を降下させ、片側のドクターブレード33の先端を印版テーブル2の表面との間隔が印版テーブル2上に載置される印版部材上面に供給されたインクの厚みよりも小さくなるところまで反時計回り方向に回転させ、この状態で印刷ユニット移動手段によりスキージ31を図1の矢印A方向に移動させることにより、印版部材5表面に供給されたインクを一様に均すとともに印版部材5の凹部6にインクを供給することができる。印版部材5表面のインクの均し及び印版部材5の凹部6へのインクの供給の後、サーボモータ等によりスキージ31は、もう一方のドクターブレード34先端を印版テーブル2の表面との間隔がインクの均し時よりも小さくなるところまで時計回り方向に回転し、この状態でスキージ31をインクの均し時とは逆方向図1の矢印B方向に水平移動させる。これにより、印版部材5表面の余分なインクを掻き取ることができる。本発明においては、一つのスキージで印版部材へのインクの供給及び余分なインクの掻き取りを行うので、駆動部品の数を減らすことができ、また動作が単純化するのでインク供給の再現性が良くなり印刷精度を向上させることができる。さらに、スキージ31の回転及び昇降がサーボモータ駆動であると、ドクターブレード34の先端位置の精度を向上させることができるので、ブランケットロール32への転写前に本来あってはならない余分なインクが、印版部材5表面凸部に残留してしまうことを防ぐことができ、これにより印刷精度の低下を防止することができる。印版テーブル1上に載置された印版部材5上面がブランケットロール32の外周面に当接した状態でブランケットロール32が回転することにより、印版部材5の凹部6に供給されたインクはブランケットロール32の外周面に転写される。ブランケットロール32は、従来公知のグラビアロール印刷装置に設けられたブランケットロールと同様の構造を有しているものであって、その表面はシリコーンゴム等の凹凸のないゴム層で形成されている。ブランケットロール32はサーボモータ等により回転駆動され、サーボモータの駆動は後述する制御装置によって制御することができる。ブランケットロール32の外周面に転写されたインクは、印刷ユニット移動手段及びブランケットロール昇降手段によってブランケットロール32が基材7に当接し、サーボモータ等によってブランケットロール32が回転することにより、基材7表面に印刷される。ブランケットロール32の上部には、クリーニング部材9を備えることができる。クリーニング部材9は昇降可能に設置され、印刷パターンを変更する際に、ブランケットロール32外周面と当接した状態でブランケットローラ32が回転することにより、ブランケットロール32外周面のインクを掻き落とすことができる。印刷ユニット移動手段、印刷ユニット昇降手段、ブランケットロール昇降手段、スキージ駆動手段、及びサーボモータは、コンピュータからなる制御装置8により、予め設定された駆動パターンに従って駆動される。以下、上記構成からなる微細印刷装置の動作について説明する。<1.印版部材上面へのインクの供給>図3は、印版部材へのインクの供給の動作を説明するための概略図である。印版テーブル2上に載置された印版部材5の左端にインクKが供給される。印刷ユニット3は、スキージ31の左側のドクターブレード33先端がインクが供給された印版部材5上に来るように水平移動し、次いでドクターブレード33が印版部材5に近づくように下降する図3矢印1。次いで、ドクターブレード33の先端と印版部材5上面との距離が供給されたインクの厚み以下になるところまで、スキージ31が反時計回り方向に回転し図3矢印2、印刷ユニット3が図3における右方向に水平移動する図3矢印3。これにより、印版部材5表面にインクが一様に均されると共に、印版部材5の凹部6図2参照にインクが供給される。<2.印版部材上面のインクの掻き取り>図4は、印版部材上面のインクの掻き取りの動作を説明するための概略図である。スキージ31は時計回り方向に回転し、元の回転位置に戻る。次いで、スキージ31の右側のドクターブレード34先端が印版部材5上面に均されたインクの右端位置に来るように水平移動する。次いで、ドクターブレード34の先端と印版部材5上面との距離が印版部材5上面の一様に均されたインクの厚み以下になるところまで、スキージ31が時計回り方向に回転し図4矢印1、印刷ユニット3が図4における左方向に水平移動する図4矢印2。これにより、印版部材5上面の余分なインクが掻き取られる。<3.印版部材凹部のインクのブランケットロールへの転写>図5は、印版部材凹部のインクのブランケットロールへの転写の動作を説明するための概略図である。スキージ31は上昇し、印刷ユニット3はブランケットロール32が印版テーブル2上に載置された印版部材5上に来るように図5における左方向に水平移動する。次いで、ブランケットロール32は印版部材5上面に当接するところまで下降する図5矢印1。印刷ユニット3は、ブランケットロール32を時計回り方向に回転させながら図5矢印2,3、図5における右方向に水平移動する。これにより、印版部材5の凹部6に供給されたインクがブランケットロール32外周面に転写される。<4.ブランケットロールから基材への印刷>図6は、ブランケットロールから基材への印刷の動作を説明するための概略図である。印刷ユニット3は、インクが転写されたブランケットロール32を時計回り方向に回転させながら図6矢印1、さらに図6における右方向に水平移動する。ブランケットロール32は基材7に当接しながら回転を続け図6矢印2,3、印刷ユニット3はブランケットロール32が右端に来るまで図6における右方向に水平移動する。印版部材5と基材7の水平方向の位置は、基材7への印刷開始位置が所望の位置となるように、ブランケットロール32の径を考慮して決定される。上記<1>~<4>の工程を経ることにより、印版部材上面に形成された印刷パターンをブランケットロールを介して高精度で基材上に印刷することができる。"