"複数の流体制御機器が1つのライン支持部材に取り付けられることで形成されたラインを複数有しており、各ライン支持部材が互いに平行となるようにベース部材に着脱可能に取り付けられている流体制御装置において、ベース部材は、それぞれ所要間隔でねじ孔が設けられた第1横枠部材および第2横枠部材とこれらに直交する第1縦枠部材および第2縦枠部材とによって方形の枠状に形成されており、各ライン支持部材は、機器載置部と、その両端に設けられた貫通孔付き取付部とを有し、一端側の取付部は、平板状とされた機器載置部の一端部が折り曲げられることで折曲げ状に形成されており、第1横枠部材のねじ孔が第1横枠部材の外面から内面に向かう方向に設けられており、各ライン支持部材は、折曲げ状に形成された取付部が第1横枠部材の外面に重ねられて、おねじ部材が取付部の外方から第1横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、第1横枠部材に固定されていることを特徴とする流体制御装置。各ライン支持部材の他端側の取付部は、平板状とされた機器載置部の他端部が折り曲げられることで折曲げ状に形成されており、第2横枠部材のねじ孔が第2横枠部材の外面から内面に向かう方向に設けられており、各ライン支持部材は、折曲げ状に形成された取付部が第2横枠部材の外面に重ねられて、おねじ部材が取付部の外方から第2横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、第2横枠部材に固定されていることを特徴とする請求項1の流体制御装置。各ライン支持部材の他端側の取付部は、平板状とされた機器載置部の他端部と面一の平板状に形成されており、第2横枠部材のねじ孔が第2横枠部材の正面側から背面側に向かう方向に設けられており、各ライン支持部材は、平板状に形成された取付部が第2横枠部材の正面側の面に重ねられて、おねじ部材が取付部の正面側から第2横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、第2横枠部材に固定されていることを特徴とする請求項1の流体制御装置。平板状に形成された取付部の貫通孔は、端面に開口するようになされていることを特徴とする請求項3の流体制御装置。流体制御装置が垂直状態で設置されるとともに、第1横枠部材が左右のいずれか一方に、第2横枠部材が同他方に、各ライン支持部材が上下に平行となる並列状に配置されており、第2横枠部材におねじ部材が仮止めされた状態で、ライン支持部材の取付部に設けられた端面に開口した貫通孔が該おねじ部材に嵌め合わせ可能とされていることを特徴とする請求項4の流体制御装置。上下に隣り合うライン支持部材同士が連結部材によって連結されていることを特徴とする請求項5の流体制御装置。少なくとも1つのライン支持部材は、該ライン支持部材の下方において少なくとも一方の横枠部材に取り付けられたダミー部材に隣り合わされており、該ライン支持部材とダミー部材とが連結部材によって連結されていることを特徴とする請求項5の流体制御装置。上記従来の流体制御装置によると、複数の流体制御機器を可動レールに予め組み付けておくことで、筐体内の作業としては、可動レールを固定レールに取り付けるだけでよく、ラインの増設変更を含むが容易に行えるという利点を有している。しかしながら、可動レールの位置決めと締結方法に際し、位置決めと締結を同時に行うため、可動レールライン支持部材を位置決めするのに時間がかかるという問題があった。また、可動レールの端部が固定レールに重ねられることから、流体制御機器を支持する部分の高さが可動レールライン支持部材の高さ固定レールベース部材の高さとなり、これに流体制御機器を加えた流体制御装置の高さが高いものとなり、これを収納するためのスペース筐体が大きくなるという問題もあった。この発明の目的は、ライン支持部材の位置決めを容易にすることで、組立て時間の短縮化を可能とするとともに、流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる流体制御装置を提供することにある。この発明による流体制御装置は、複数の流体制御機器が1つのライン支持部材に取り付けられることで形成されたラインを複数有しており、各ライン支持部材が互いに平行となるようにベース部材に着脱可能に取り付けられている流体制御装置において、ベース部材は、それぞれ所要間隔でねじ孔が設けられた第1横枠部材および第2横枠部材とこれらに直交する第1縦枠部材および第2縦枠部材とによって方形の枠状に形成されており、各ライン支持部材は、機器載置部と、その両端に設けられた貫通孔付き取付部とを有し、一端側の取付部は、平板状とされた機器載置部の一端部が折り曲げられることで折曲げ状に形成されており、第1横枠部材のねじ孔が第1横枠部材の外面から内面に向かう方向に設けられており、各ライン支持部材は、折曲げ状に形成された取付部が第1横枠部材の外面に重ねられて、おねじ部材が取付部の外方から第1横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、第1横枠部材に固定されていることを特徴とするものである。各ライン支持部材の他端側の取付部は、平板状とされた機器載置部の他端部が折り曲げられることで折曲げ状に形成されており、第2横枠部材のねじ孔が第2横枠部材の外面から内面に向かう方向に設けられており、各ライン支持部材は、折曲げ状に形成された取付部が第2横枠部材の外面に重ねられて、おねじ部材が取付部の外方から第2横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、第2横枠部材に固定されていることがあり第1実施形態、また、各ライン支持部材の他端側の取付部は、平板状とされた機器載置部の他端部と面一の平板状に形成されており、第2横枠部材のねじ孔が第2横枠部材の正面側から背面側に向かう方向に設けられており、各ライン支持部材は、平板状に形成された取付部が第2横枠部材の正面側の面に重ねられて、おねじ部材が取付部の正面側から第2横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、第2横枠部材に固定されていることがある第2実施形態。流体制御機器としては、開閉弁流体通路の遮断開放を行う弁、減圧弁、圧力表示機、流量調整機マスフローコントローラなどが使用される。1つのラインは、例えば、下段層となる複数のブロック状継手部材がおねじ部材によってライン支持部材に取り付けられ、隣り合う継手部材にまたがるように上段層となる複数の流体制御機器が上方からのおねじ部材によって継手部材に取り付けられる。このようにすると、上方からのおねじ部材を外すことにより、上段層の流体制御機器を単独で上方に取り出すことができる。1つのラインの構成は、下段層と上段層とからなるものに限られるものではなく、種々の構成を採用することができる。流体制御装置は、方形の枠状に形成されたベース部材が垂直Y方向となるように設置されることがあり、また、方形の枠状に形成されたベース部材が水平X方向,Z方向となるように設置されることもある。垂直状態で設置される場合、第1横枠部材が上に、第2横枠部材が下に、各ライン支持部材が左右に平行となる並列状に配置されることがあり、また、第1横枠部材が左右のいずれか一方に、第2横枠部材が同他方に、各ライン支持部材が上下に平行となる並列状に配置されることがある。各ライン支持部材は、例えば、本体部分がU字構造に折り曲げられた板金製とされ、横枠部材は、例えば、ステンレス鋼などの金属製フラットバーとされる。また、縦枠部材は、通常、ライン支持部材と類似の形状とされる。この流体制御装置を組み立てるには、まず、上側に配置された第1横枠部材の外面に折曲げ状に形成された一端側の取付部を重ねることで、ライン支持部材を第1横枠部材に支持させるとともに、他端側の取付部を第2横枠部材に重ね、この状態で、おねじ部材を一端側の取付部の外方から第1横枠部材のねじ孔にねじ込んで、ライン支持部材を第1横枠部材に固定し、さらに、おねじ部材を他端側の取付部の外方から第2横枠部材のねじ孔にねじ込んで、ライン支持部材を第2横枠部材に固定すればよい。このようにすると、ライン支持部材の自重が第1横枠部材によって支持されるので、作業者への重量の負担が軽減され、作業の手間や作業時間が軽減される。折曲げ状に形成された取付部に設けられる貫通孔は、通常、円形の孔とされ、その大きさは、おねじ部材を脱落しないように予め嵌め合わせておくことができる大きさとされてもよく、これより大きくてもよい。折曲げ状に形成された取付部に設けられる貫通孔は、閉じた孔ではなく、端面に開口するようになされていてもよい。平板状に形成された取付部の貫通孔は、折曲げ状に形成された取付部に設けられる貫通孔と同様に、閉じた円形の孔であっても、端面に開口する孔であってもよいが、端面に開口するようになされていることが好ましい。このようにすると、第2横枠部材におねじ部材を仮止めした状態で、ライン支持部材の取付部に設けられた端面に開口した貫通孔を該おねじ部材に嵌め合わせ可能であり、おねじ部材の締付け作業の手間が軽減される。平板状に形成された取付部の貫通孔が端面に開口するようになされていることで、流体制御装置が垂直状態で設置されるとともに、第1横枠部材が左右のいずれか一方に、第2横枠部材が同他方に、各ライン支持部材が上下に平行となる並列状に配置されており、第2横枠部材におねじ部材が仮止めされた状態で、ライン支持部材の取付部に設けられた端面に開口した貫通孔が該おねじ部材に嵌め合わせられている構成とすることが容易になる。この構成にすると、各横枠部材が左右に平行となる並列状に配置された流体制御装置を設置する場合であっても、各ライン支持部材取付け時に自重によってライン支持部材が落下することを防止でき、流体制御装置の設置場所および設置方法の汎用性を高めることができる。各横枠部材が左右に平行となる並列状に配置された流体制御装置を設置するに際しては、上下に隣り合うライン支持部材同士が連結部材によって連結されていることがあり、また、少なくとも1つのライン支持部材は、該ライン支持部材の下方において両横枠部材に取り付けられたダミー部材に支持されていることがある。連結部材は、例えば、金属製板材とされて、ボルトおねじ部材によって対応するライン支持部材に取り付けられる。ダミー部材としては、例えば、流体制御機器が設けられていないライン支持部材を使用することができ、また、各ライン支持部材のいずれか一方の端部に対応する短い部材とすることもできる。連結部材またはダミー部材を使用することで、流体制御機器が取り付けられて重くなったライン支持部材が傾くことが防止され、各横枠部材が左右に平行となる並列状に配置する際の不具合自重によって傾く可能性が解消される。なお、この明細書において、壁面に固定された方形状の枠に流体制御機器が取り付けられたライン支持部材を流体制御機器を手前にして取り付けた状態を正面図というものとし、正面および背面は、この状態図1を基準にしていうものとする。この発明の流体制御装置によると、ベース部材は、それぞれ所要間隔でねじ孔が設けられた第1横枠部材および第2横枠部材とこれらに直交する第1縦枠部材および第2縦枠部材とによって方形の枠状に形成されており、各ライン支持部材は、機器載置部と、その両端に設けられた貫通孔付き取付部とを有し、一端側の取付部は、平板状とされた機器載置部の一端部が折り曲げられることで折曲げ状に形成されており、第1横枠部材のねじ孔が第1横枠部材の外面から内面に向かう方向に設けられており、各ライン支持部材は、折曲げ状に形成された取付部が第1横枠部材の外面に重ねられて、おねじ部材が取付部の外方から第1横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、第1横枠部材に固定されているので、各ライン支持部材の位置決めは、取付部の貫通孔と第1横枠部材のねじ孔とを合わせるだけでよいことから、簡単かつ容易に行うことができ、組立て時間の短縮化が可能となる。また、各ライン支持部材の折曲げ状に形成された取付部が第1横枠部材の外面に重ねられることで、流体制御装置における流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる。この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下左右は図1の上下左右をいうものとし、前後正面および背面については、図1の紙面表側を前正面、図1の紙面裏側を後背面というものとする。なお、この上下は、流体制御装置の典型的な設置状態を示すものであるが、この発明の流体制御装置は、この設置状態に限られるものではなく、水平X,Z方向および垂直Y方向のいずれでの使用も可能であり、その際の上下左右も特に限定されない。図1から図5までに、この発明による流体制御装置の第1実施形態を示す。この流体制御装置は、図1から図3までに示すように、下段層となる複数のブロック状継手部材がライン支持部材に取り付けられ、隣り合う継手部材にまたがるように上段層となる複数の流体制御機器が継手部材に取り付けられていることで形成されたラインを複数有しており、各ライン支持部材が互いに平行となるようにベース部材に着脱可能に取り付けられている。なお、各流体制御機器は、それぞれ異なる機能を有しているものであるが、公知のものであるので、符号で総称し、個別の説明は省略する。ベース部材は、例えば筐体の垂直な壁面などに固定されており、ラインの変更や増設は、継手部材および流体制御機器が組み込まれたライン支持部材を着脱することで行われる。ベース部材は、上側に配置された第1横枠部材および下側に配置された第2横枠部材と、これらに直交する左側の第1縦枠部材および右側の第2縦枠部材とによって、方形の枠状に形成されている。図2および図3に示すように、各流体制御機器は、上方からのおねじ部材によって対応する継手部材に固定されている。また、各継手部材は、上方からのおねじ部材図には表れずによってライン支持部材に固定されている。各横枠部材は、ステンレス鋼製フラットバーとされており、第1横枠部材には、図4に示すように、これを上下に貫通する複数のねじ孔が、第1横枠部材の上面外面から下面内面に向かう方向に所要間隔で設けられている。第2横枠部材は、第1横枠部材と同じ形状とされており、第2横枠部材には、図示省略するが、これを上下に貫通する複数のねじ孔が、第2横枠部材の下面外面から上面内面に向かう方向に所要間隔で設けられている。第1横枠部材および第2横枠部材の複数のねじ孔は、ライン支持部材の配置のピッチよりも小さい間隔で設けられており、複数のねじ孔を1つ置き、2つ置きなどで使用してライン支持部材を固定することができるようになっている。ライン支持部材は、板金を折り曲げることで一体品として形成されたもので、図2、図3および図5に示すように、平板状の機器載置部と、その両端にあって平板状とされた機器載置部の上下端部がそれぞれ折り曲げられることで折曲げ状に形成された上下取付部と、機器載置部の両縁に連なっている補強部とからなる。機器載置部には、継手部材を取り付けるためのねじ孔が所要間隔で設けられている。ライン支持部材の各取付部は、機器載置部の端部と面一の平板状に形成された平板部と、これに直角に連なる直角部とによって、略L字状になっており、直角部にこれを上下方向に貫通する貫通孔が設けられている。補強部は、各取付部の平板部にかからないように設けられており、補強部の各端面と各取付部の直角部とによって、各横枠部材を挟むようになっている。図1においては、ライン支持部材として、2種類の幅のもの幅広と幅狭が使用されており幅以外は同じ形状であるので符号で総称する、ベース部材の右側部分には、追加のラインを設置するためのスペースが確保されている。各ライン支持部材は、図1、図2および図3に示すように、上取付部の直角部が第1横枠部材の上面外面に重ねられて、おねじ部材が上取付部の直角部の上方外方から第1横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、その上端部が第1横枠部材に固定されており、また、下取付部の直角部が第2横枠部材の下面外面に重ねられて、おねじ部材が下取付部の直角部の下方外方から第2横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、その下端部が第2横枠部材に固定されている。上記の各ライン支持部材の固定に際し、各ライン支持部材の位置決めは、その取付部の貫通孔と各横枠部材のねじ孔とを合わせるだけでよいことから、簡単かつ容易に行うことができ、組立て時間の短縮化が可能となる。また、各ライン支持部材の折曲げ状に形成された取付部の直角部が各横枠部材の外面に重ねられるので、ベース部材横枠部材とライン支持部材とを合わせた高さは、ベース部材の高さライン支持部材の高さではなく、ベース部材の高さライン支持部材の機器載置部の高さとなり、従来構造の固定レールベース部材の高さ可動レールライン支持部材の高さに比べて、高さを低くすることができる。図6から図9までに、この発明による流体制御装置の第2実施形態を示す。この流体制御装置は、第1実施形態のものに比べて、ライン支持部材および第2横枠部材の構成が相違している。以下の説明において、第1実施形態と同じ構成には同じ符号を付してその説明を省略する。この実施形態のライン支持部材は、板金を折り曲げることで一体品として形成されたもので、第1実施形態のものと共通な構成として、平板状の機器載置部と、その両端にあって平板状とされた機器載置部の上下端部がそれぞれ折り曲げられることで折曲げ状に形成された上下取付部と、機器載置部の両縁に連なっている補強部とからなる。機器載置部には、継手部材を取り付けるためのねじ孔が所要間隔で設けられている。ここで、ライン支持部材の上取付部は、第1実施形態のものと同様に、機器載置部の端部と面一の平板状に形成された平板部と、これに直角に連なる直角部とによって、略L字状になっており、直角部にこれを上下方向に貫通する貫通孔が設けられている。そして補強部は、上取付部の平板部にかからないように設けられており、補強部の上端面と上取付部の直角部とによって、第1横枠部材を挟むようになっている。ライン支持部材の下取付部は、第1実施形態のものと相違しており、平板状とされた機器載置部の下端部と面一の平板状に形成されている。すなわち、第1実施形態の下取付部から直角部を削除した形状とされている。下取付部には、これを前後に貫通する正面側から背面側にのびるとともに、下端に開口する貫通孔が形成されている。これに対応して、第2横枠部材には、第2横枠部材の正面側から背面側に向かう方向にのびるねじ孔が設けられている。そして、各ライン支持部材は、上取付部の直角部が第1横枠部材の上面外面に重ねられて、おねじ部材が上取付部の直角部の上方外方から第1横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、その上端部が第1横枠部材に固定されており、また、平板状に形成された下取付部が第2横枠部材の前面正面側の面に重ねられて、おねじ部材が下取付部の正面側から第2横枠部材のねじ孔にねじ込まれることで、第2横枠部材に固定されている。この実施形態の流体制御装置では、各ライン支持部材の固定に際し、各ライン支持部材の位置決めは、その取付部の貫通孔と各横枠部材のねじ孔とを合わせるだけでよいことから、簡単かつ容易に行うことができ、組立て時間の短縮化が可能となる。また、各ライン支持部材の折曲げ状に形成された上取付部の直角部が第1横枠部材の外面に重ねられるので、ベース部材横枠部材とライン支持部材とを合わせた高さは、ベース部材の高さライン支持部材の高さではなく、ベース部材の高さライン支持部材の機器載置部の高さとなり、従来構造の固定レールベース部材の高さ可動レールライン支持部材の高さに比べて、高さを低くすることができる。また、この実施形態の流体制御装置によると、上取付部と下取付部とで形状が異なっているので、組付け時に上下を逆にするという取付け間違いが確実に防止される。しかも、この実施形態の流体制御装置によると、おねじ部材の締付け方向が上取付部側で上下方向、下取付部側で前後方向となっていることから、上下取付部をいずれも上下方向からのおねじ部材で取り付ける第1実施形態のものでは、上下のおねじ部材が同じ軸線上にあって、締め付ける方向が逆になっていることから、一方のおねじ部材を締め付けた後に、他方のおねじ部材を締め付けた際、先に締め付けたおねじ部材の締付け力軸力が低下する可能性があるのに対し、上下のおねじ部材の軸線が異なる方向にあることで、このような軸力が低下する可能性をなくすことができる。この実施形態の流体制御装置では、さらに、第1横枠部材と第2横枠部材とでは、おねじ部材の固定位置の中心がずれるようになされており、これにより、Z方向の傾きライン支持部材の回転防止に役立っている。上記において、下取付部に設けられている貫通孔は、下端に開口していない円形の孔であってもよい。下端に開口している貫通孔とされていることで、下記のような順序で流体制御装置を取り付けることが可能となる。まず、第1横枠部材および第2横枠部材におねじ部材を仮止めした状態で、ライン支持部材の下取付部の貫通孔を第2横枠部材のおねじ部材に嵌め合わせ、次いで、上取付部を第1横枠部材の外面に重ねて、事前に嵌め込まれたおねじ部材でライン支持部材を位置決めして仮固定し、第1横枠部材および第2横枠部材の順でおねじ部材をさらに締め付けて固定する。こうして、下取付部が第2横枠部材に嵌め合わすことができない第2実施形態において、貫通孔をおねじ部材に嵌め合わせることで、その位置決めがより容易なものとされる。ここで、図6の上下を上下としてライン支持部材を取り付けるに際しては、上取付部の直角部を第1横枠部材の外面に重ねることで、ライン支持部材のずれ落下が防止されるので、下取付部に直角部が設けられていないことで組立時間が増加することはない。しかしながら、図6の上下を左右として各横枠部材が左右に配置された状態で、ライン支持部材を取り付ける場合、上取付部を第1横枠部材に固定する際に、下取付部が下方にずれる落下することで、固定作業が困難なものとなる。上記のように、下取付部の貫通孔をおねじ部材に嵌め合わせるようにすると、各横枠部材が左右に配置された状態であっても、ライン支持部材の取付けを簡単かつ容易に行うことができ、流体制御装置の設置場所および設置方法の汎用性を高めることができる。各横枠部材が左右に配置された状態で、ライン支持部材を取り付ける場合、おねじ部材が左右に1本ずつしか使用されていないので、複数の継手部材および複数の流体制御機器を含んだ自重によってライン支持部材が傾く可能性がある。この傾きを防止するには、例えば、図11に示すように、隣り合うライン支持部材同士を連結部材で連結すればよい。ここで、連結部材は、例えば、ステンレス鋼製板材とされ、ボルトによって各ライン支持部材に取り付けられる。ライン支持部材の機器載置部には、流体制御機器配置面の延長部としての連結部材配置面が設けられ、連結部材配置面を使用して連結部材が取り付けられる。隣り合うライン支持部材がない場合には、図12に示すように、ダミー部材を使用して、ダミー部材を第2横枠部材に固定し、このダミー部材とライン支持部材とを連結部材で連結すればよい。図12では、ダミー部材は、第2横枠部材に固定するようになっているが、第1横枠部材に固定するようにしてもよい。また、ダミー部材として、継手部材および流体制御機器が組み込まれていないライン支持部材図7bを使用することもできる。"