排気経路に配置されたSCRシステムと、前記SCRシステムの下流に配置され、素子部に付着した微粒子量に応じた出力を発する微粒子センサとを備える内燃機関を、制御する制御装置であって、前記素子部に、尿素関連物質が付着した状態を検出する検出手段と、前記尿素関連物質が付着した状態が検出された場合に、前記素子部を、前記尿素関連物質が気化する温度より高く、かつ、前記微粒子が燃焼する温度より低い、第1温度域に上昇させる温度制御手段と、を備えることを特徴とする内燃機関の制御装置。前記検出手段は、前記微粒子センサの出力の変化量に基づいて、前記尿素関連物質が付着した状態を検出することを特徴とする請求項1に記載の内燃機関の制御装置。前記尿素関連物質が付着した状態が検出された場合に、前記SCRシステムの触媒に付着する微粒子を除去する処理を実行する除去手段を、更に、備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の内燃機関の制御装置。前記排気経路の前記微粒子センサの上流には、排気ガス中の微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置され、前記除去手段は、前記微粒子捕集用フィルタに堆積する微粒子を除去する処理を実行することで、前記触媒に付着する微粒子を除去することを特徴とする請求項3に記載の内燃機関の制御装置。前記除去手段は、前記内燃機関の排気ガスの温度を上げる制御を実行することで、前記微粒子の除去を実行することを特徴とする請求項3又は4に記載の内燃機関の制御装置。前記除去手段は、前記検出手段により、前記尿素関連物質が付着した状態が、複数回連続して検出された場合に、前記微粒子を除去する処理を実行することを特徴とする請求項3から5のいずれか1項記載の内燃機関の制御装置。前記排気経路の、前記微粒子センサの上流には、排気ガス中の微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置され、前記微粒子センサの出力に基づいて、前記微粒子捕集用フィルタの故障判定を行う判定手段を、更に備え、前記温度制御手段は、前回、前記検出手段により前記尿素関連物質が付着した状態が検出された場合、今回の前記故障判定が実行される際は、前記素子部を前記第1温度域に昇温させ、前記判定手段は、前記素子部が前記第1温度域に制御された状態で、前記微粒子捕集用フィルタの故障判定を行うことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の内燃機関の制御装置。前記排気経路の、前記微粒子センサの上流には、排気ガス中の微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置され、前記微粒子センサの出力に基づいて、前記微粒子捕集用フィルタの故障判定を行う判定手段を、更に、備え、前記温度制御手段は、前回の故障判定において、前記微粒子捕集用フィルタの故障と判定された場合に、今回、前記微粒子捕集用フィルタの故障判定を実行する際、前記素子部を前記第1温度域に昇温させ、前記判定手段は、前記素子部が前記第1温度域に制御された状態で、今回の前記微粒子捕集用フィルタの故障判定を行うことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の内燃機関の制御装置。前記温度制御手段は、前記尿素関連物質が排出される所定の運転条件であることが検出された場合に、尿素の液相温度域及びビウレットの分解温度域、以外の温度であって、かつ、前記微粒子が燃焼する温度より低い温度に、前記素子部の温度を制御することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の内燃機関の制御装置。排気経路に配置されたSCRシステムと、前記SCRシステムの下流に配置され、素子部に付着した微粒子量に応じた出力を発する微粒子センサとを備える内燃機関を、制御する制御装置であって、尿素関連物質が前記排気経路に排出される所定の運転条件であることが検出された場合に、尿素の液相温度域及びビウレットの分解温度域、以外の温度であって、かつ、微粒子が燃焼する温度より低い温度に、前記素子部の温度を制御することを特徴とする内燃機関の制御装置。ところで、内燃機関の排気経路にNOx浄化のための尿素SCRSelectiveCatalyticReductionシステムが配置され、その下流にPMセンサが配置されるシステムがある。ここでSCRシステムでは、排気経路に尿素水が噴射供給され、尿素水から生成されたアンモニアが触媒に供給されてNOxが還元される。しかし、供給された尿素及び尿素由来の物質以下、尿素及び尿素由来の物質を含んで尿素関連物質とも称することとするが、SCRシステムを通過して、下流側に排出され、PMセンサの電極に付着する場合がある。このような場合、付着した尿素関連物質が導電性を有するものであれば、PMセンサの電極間の抵抗値を大きく変化させ、PMセンサの出力にばらつきを生じさせることが考えられる。PMセンサの出力ばらつきは、例えばDPFの故障判定に誤判定を生じさせるなどの事態を生じ得るため、好ましいものではない。本発明は、上記課題を解決することを目的とし、PMセンサの電極への尿素関連物質の付着を抑制し、より高い精度でPM量の検出やDPFの故障判定を行うことができるように改良した内燃機関の制御装置を提供するものである。上記目的を達成するため、本発明の内燃機関の制御装置において、制御される内燃機関は、排気経路に配置されたSCRシステムと、SCRシステムの下流に配置され、素子部に付着した微粒子量に応じた出力を発する微粒子センサとを備えるものとする。本発明の内燃機関の制御装置は、素子部に尿素関連物質が付着した状態を検出する検出手段を有し、また、尿素関連物質が付着した状態が検出された場合に、素子部を第1温度域に上昇させる温度制御手段を有する。ここで、第1温度域は、尿素関連物質が気化する温度より高く、かつ、微粒子が燃焼する温度より低い温度域とする。また、尿素関連物質とは、尿素と尿素に由来する物質とを含む。ここで、検出手段は、微粒子センサの出力の変化量に基づいて、尿素関連物質が付着した状態を検出するものとしてもよい。また、本発明の内燃機関の制御装置は、尿素関連物質が付着した状態が検出された場合に、SCRシステムの触媒に付着する微粒子を除去する処理を実行する除去手段を、更に、備えるものとしてもよい。また、本発明は、排気経路の微粒子センサの上流に、排気ガス中の微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置された内燃機関を制御するものである場合、除去手段は、微粒子捕集用フィルタに堆積する微粒子を除去する処理を実行することで、触媒に付着する微粒子を除去するものとしてもよい。除去手段は、内燃機関の排気ガスの温度を上げる制御を実行することで、微粒子の除去を実行するものとしてもよい。除去手段は、検出手段により、尿素関連物質が付着した状態が複数回連続して検出された場合に、微粒子を除去する処理を実行するものとしてもよい。また、本発明は、排気経路の微粒子センサの上流に、排気ガス中の微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置された内燃機関を制御するものである場合、微粒子センサの出力に基づいて、微粒子捕集用フィルタの故障判定を行う判定手段を、更に備えるものとし、温度制御手段は、前回、検出手段により尿素関連物質が付着した状態が検出された場合、今回の故障判定が実行される際は、素子部を第1温度域に昇温させるものとしてもよい。この場合、判定手段は、素子部が第1温度域に制御された状態で、微粒子捕集用フィルタの故障判定を行う。また、本発明は、排気経路の微粒子センサの上流に、排気ガス中の微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置された内燃機関を制御するものである場合、微粒子センサの出力に基づいて、微粒子捕集用フィルタの故障判定を行う判定手段を、更に備えるものとし、温度制御手段は、前回の故障判定において、微粒子捕集用フィルタの故障と判定された場合に、今回、微粒子捕集用フィルタの故障判定を実行する際、素子部を第1温度域に昇温させるものとしてもよい。この場合、判定手段は、素子部が第1温度域に制御された状態で、今回の微粒子捕集用フィルタの故障判定を行う。また、本発明において温度制御手段は、尿素関連物質が排出される所定の運転条件であることが検出された場合に、尿素の液相温度域及びビウレットの分解温度域、以外の温度であって、かつ、微粒子が燃焼する温度より低い温度に、素子部の温度を制御するものとしてもよい。あるいは、上記目的を達成するため、本発明の内燃機関の制御装置において、制御される内燃機関は、排気経路に配置されたSCRシステムと、SCRシステムの下流に配置され、素子部に付着した微粒子量に応じた出力を発する微粒子センサとを備えるものとする。本発明の内燃機関の制御装置は、尿素関連物質が排気経路に排出される所定の運転条件であることが検出された場合に、尿素の液相温度域及びビウレットの分解温度域、以外の温度であって、かつ、微粒子が燃焼する温度より低い温度に、微粒子センサの素子部の温度を制御する。SCRシステム下流に排出された尿素関連物質が素子部に付着した場合、PMセンサの出力が急変し、正しく、微粒子量を検出できない状態となる場合がある。この点、本発明の、尿素関連物質が付着した状態を検出した場合に、素子部を第1温度域に上昇させるものであれば、この温度制御により、素子部に付着した尿素関連物質を除去することができる。従って、尿素関連物質の排出に伴うPMセンサの出力ばらつきを抑制することができる。また、尿素関連物質の付着を、センサ出力の変化量に基づいて検出するものについては、特別な部品を追加することなく、センサの異常、正常を判定することができる。また、尿素関連物質付着した状態が検出された場合に、SCRシステムの触媒に付着する微粒子を除去するものであれば、SCR触媒の浄化性能を回復させることができ、SCRシステム下流への尿素関連物質の排出を抑制することができる。また、前回、尿素関連物質が付着した状態が検出された場合や、前回の故障判定で微粒子捕集用フィルタの故障が判定された場合に、素子部を第1温度に昇温させて、故障判定を行うものの場合、尿素関連物質の影響を抑えた状態で、故障判定の結果を確認することができる。従って、微粒子捕集用フィルタの故障判定の精度を向上させることができる。また、尿素関連物質が排出される運転条件において、素子部の温度を、尿素の液相温度やビウレットの分解温度域以外の温度に制御するものについては、尿素関連物質のうち、特に導電性を有するものが素子部に付着するのを、事前に効果的に抑制することができ、尿素関連物質付着による出力ばらつきを抑制することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において、同一または相当する部分には同一符号を付してその説明を簡略化ないし省略する。実施の形態1.本実施の形態1のシステムの全体構成について図1は、この発明の実施の形態1のシステムの全体構成について説明するための図である。図1に示すシステムにおいて、内燃機関2の排気経路4には、微粒子捕集用フィルタであるDPFDieselParticulateFilter6が設置されている。DPF6は、排気ガスに含まれる微粒子状物質PMparticulatematterを捕集するフィルタである。排気経路4のDPF6の下流には、尿素SCRシステム8以下、SCRシステムとも称するが配置されている。SCRシステム8は、排気経路4に設置された尿素水の噴射弁10と、排気経路4の噴射弁10の下流に配置された選択還元型NOx触媒12以下、単にNOx触媒とも称するとを有している。噴射弁10は、図示しない尿素水タンクに接続されている。噴射弁10は、NOx触媒12上流において排気経路4内に尿素水を噴射する。後述するように、噴射された尿素水は分解されてアンモニアが生成される。NOx触媒12はアンモニアを還元剤として、排気ガス中のNOxを還元し、排気ガスを浄化する。NOx触媒12の下流には、PMセンサ14微粒子センサが設置されている。このシステムは制御装置16を備えている。制御装置16の入力側には、PMセンサ14の他、内燃機関2の各種センサが接続されている。また、制御装置16の出力側には、内燃機関2のPMセンサ14の電気回路、尿素水噴射弁10や、その他各種のアクチュエータが接続されている。制御装置16は、各種センサからの入力情報に基づいて所定のプログラムを実行し、各種アクチュエータ等を作動させることにより、内燃機関2の運転に関する種々の制御を実行する。図2は、本実施の形態1のPMセンサ14の素子部の構成について説明するための模式図である。図2に示されるように、PMセンサ14の素子部は絶縁基材18を備えている。絶縁基材18の表面には、一対の電極20、22が形成されている。一対の電極20、22は互いに接触しない状態で、一定の間隔を開けて配置されている。電極20、22それぞれは櫛歯形状に形成された部分を有し、この部分において互いに噛み合うように形成されている。なお、本実施の形態1では櫛歯形状を有する電極20、22を例示したが、本発明においてはこのような形状に限らず、一対の電極が互いに向き合っているものであればよい。絶縁基材18内部の電極20、22の下層には、図示しないヒータが埋め込まれている。一対の電極20、22は電気回路等を介して電源図示せずに接続されている。これにより電極20と電極22との間には高電圧が印加される。またヒータは、電気回路等を介して電源図示せずに接続されており、これによりヒータには所定の電力が供給され、その結果、素子部が加熱される。これらの電力供給は制御装置16により制御される。本実施の形態1における制御の概要本実施の形態1において、制御装置16が行う制御には、下記のPM量の検出、PMセンサ14のリセット、DPF6の故障判定、及び、DPF6の再生、の制御が含まれる。なお、以下の実施の形態において、DPF6の捕集対象であり、PMセンサ14の計測対象であるPMは、スートカーボン等のすす状物質やSOFSolubleOrganicFraction可溶性有機フラクション等の内燃機関の燃焼に由来する物質や、潤滑油由来のAshすすなど、内燃機関2の運転により内燃機関2から排出された粒子状物質を意味するものとする。1PM量の検出PM排出量の検出に際し、電極20、22間に微粒子を捕集するための高電圧である捕集用電圧が印加される。電極20、22間に捕集用電圧が印加されると、排気ガス中のPMが捕集され電極20、22間に堆積する。電極20、22間に堆積するPMが増加するにつれて、電極20、22間の導通箇所が増加し、電極20、22間の抵抗値が小さくなる。ここでは、PMセンサ14のセンサ出力として電極20、22間の抵抗と相関を有する電気的特性を検出する。電極20、22に堆積するPM量は、排気ガス中に含まれるPM量の変化に連動して変化するものと考える。従って、PMセンサ14の出力に応じて、排気ガス中のPM量が検出される。なお、以下の実施の形態では、便宜的に、センサ出力は、電極20、22間のPM堆積量が増加するにつれて大きくなるものとして説明する。2PMリセット微粒子を燃焼除去する制御PMセンサ14の出力は、電極20、22間へのPM堆積量が増加するにつれて増加する。しかし、電極20、22間への堆積量が限界値に達すると、PMセンサ14の出力は、もはやそれ以上の変化をしなくなる。この状態となると、PMセンサ14は、排気ガス中のPM量に応じた出力を発することができなくなる。従って、所定のタイミングで、素子部に堆積しているPMを一度除去する必要がある。このPMを除去する処理をPMリセットとも称する。PMリセットに際し、制御装置16は、PMセンサ14のヒータに所定の電力を供給し、PMセンサ14の素子部を過熱昇温させる。これにより、PMセンサ14の素子部に付着したPMを燃焼除去させる。なお、ここでPMリセット期間中の素子部の温度は、500°Cより高く、より好ましくは700°Cより高いものとする。もしくは、PMリセット期間中の素子部の目標温度を500°Cより高く、より好ましくは700°Cより高く設定して、ヒータに電力を供給してもよい。PMが燃焼する温度が約500°C~約650°Cであるため、リセット温度は700°C以上好ましくは700°C~800°Cとすると、PMの燃焼の確実性を高めることができる。3DPFの故障判定DPF6が故障すると、DPF6をすり抜けDPF6の下流に排出されるPM量が増加する。これに伴い、PMセンサ14の電極20、22間に堆積するPM堆積量は次第に増加し、センサ出力は大きくなる。つまり、センサ出力に基づいて、DPF6の故障判定を行うことができる。具体的に、本実施の形態1では、制御装置16は、PMリセットを実行して素子部に体積するPMを除去してから所定時間経過した後のPMセンサ14の出力に基づき、この所定時間にDPF6下流に排出されたPM排出量を検出する。一方、DPF6が正常に機能している場合に、その所定の期間に、DPF6の後ろ下流に排出されたと推定されるPM量以下、推定PM排出量とも称するを、モデルに従って推定する。制御装置16は、推定されたPM量と、PMセンサ14の出力に基づくPM排出量とを比較する。その結果、PMセンサ14の出力に基づくPM排出量が推定PM排出量より大きい場合、DPF6の故障有りと判定される。なお、この判定で用いられる推定PM排出量は、許容される誤差等を含めるため、ある程度の余裕分が加算された値となっている。4DPF6の再生DPF6が排気ガス中のPMの捕集をし続けると、やがてDPF6に堆積したPMの量が限界に達し、それ以上PMを捕集できない状態となる。このような状態を避けるため、DPF6のPM堆積量がある程度となった段階で、PMを燃焼除去してDPF6の再生の処理を行う。具体的に、DPF6の再生処理では、制御装置16は、例えば、燃料噴射の後に再度燃料を噴射する制御、噴射タイミングを遅らせる制御等、所定の制御プログラムに従って排気温度を上昇させる制御を行う。これにより、DPF6に堆積したPMが燃焼除去される。このようなPMの燃焼除去を一定時間実行することで、DPF6に堆積したPMの多くが除去され、DPF6の再生が完了する。なお、通常、制御装置16は、内燃機関2から排出される排気ガスのPM量をモデル等により推定することで、DPF6に堆積するPMの量を推定する。そして推定された量が、所定の量に達したときをDPF6の再生時期として、上記の再生処理をおこなう。また、DPF6の再生処理の後には、一度、素子部に堆積したPMを除去するため、PMリセットを実行する。[本実施の形態1の特徴的な制御]ところで、本実施の形態1にはSCRシステム8が配置されている。SCRシステムでは、尿素水噴射弁10から尿素水が排気経路4に噴出される。排気経路4内及びNOx触媒12における、次式1の熱分解反応と、次式2の加水分解反応との結果、尿素水からアンモニアNH3が生成される。CONH22→NH3HCNO1HCNOH2O→NH3CO22NOx触媒12は、上記のように尿素水の分解により生成されたアンモニアを還元剤としてNOxを還元し、排気ガスを浄化する。図3は、尿素水を試料とし、この試料の温度に対する状態変化を説明するための図である。図3に示されるように、約190°Cより高い温度域では、試料は、上記1、2のように十分に分解され、アンモニアが生成されている。一方、約100°Cより低温では、試料は、尿素水の状態で存在するが、約100°Cを超えると水分が蒸発し尿素が結晶化する。このとき試料は絶縁体として存在する。尿素は約130°Cに達すると液化する。さらに、約135°Cで、試料は熱分解反応上記1式を開始する。図3の約130~135°Cの第2温度域T2では、尿素は液体の状態となる。この時、試料は誘導体として存在する。約135°Cに達し、尿素が気化して上記1の熱分解された状態で、試料は再び絶縁体となる。約160°Cで尿素とイソシアン酸とが反応し、ビウレットC2H5N3O2の生成が開始する。更に、ビウレットを含む試料は、約175~190°Cの第3温度域T3において液体となり、試料は導電体となる。その後、約190°Cに達するとビウレットが分解される。約190°Cより高い第1温度域T1において、試料は絶縁体である。上記の変化によれば、上記の尿素水の熱分解反応1や加水分解反応2が不十分な状態でNOx触媒12に供給されると、尿素水やイソシアン酸、ビウレット等、尿素及び尿素由来の物質以下尿素関連物質とも称するがNOx触媒12の下流に排出される場合がある。なお、以下実施の形態において、尿素水に由来する尿素関連物質は、上述した内燃機関2の運転に由来するPMには含まれず、区別して表現されるものとする。排出された尿素関連物質は、上記のように特に導電性を有する状態である場合、PMセンサ14の電極20、22に付着することによって、センサ出力が急激に変動することが考えられる。この場合のセンサ出力の変化には、排気ガス中の実際のPM堆積量と相関が無くなる。従って、このような場合には、高い精度で安定してDPF6の故障判定等を実行することが難しい状態となる。そこで、本実施の形態1では、PMセンサ14の素子部に、センサ出力に影響を及ぼすような尿素関連物質が付着した状態が推定される場合には、尿素関連物質を分解、除去できる温度にまで、素子部の温度を上昇させる制御を行う。なお、以下の実施の形態において、尿素関連物質が付着した状態は場合に応じ、センサ出力に影響を及ぼし得る尿素関連物質が付着した状態を意味するものとする。本実施の形態1の制御では、具体的に、PMセンサ14の素子部を、ビウレットの分解温度より高い温度であって、かつ、PMが燃焼開始する温度より低い第1温度域T1に上昇させる。より好ましくは、素子部の温度が190°Cより高く、かつ190°C付近の温度である温度域内となるように、素子部を昇温させる。PMは300°C程度で燃焼するが、素子部に付着するPMまで除去すると、DPF6の故障検出に誤差が生じることが考えられる。また、素子温が高温となるとセンサの検出性が低下する。従って、過度な温度上昇を避けるため、ビウレットの分解温度190°Cより高温かつ、分解温度に近い温度に設定する。尿素関連物質が付着した状態は、センサ出力の変化量に基づいて推定することができる。上記したように、センサに影響を及ぼす尿素関連物質、即ち、導電体として存在する尿素関連物質がPMセンサ14の電極20、22間に付着した場合、電極20、22間の導電性の変化により抵抗が大きく変化するため、センサ出力も大きく変化する。この変化は、PMの堆積によるセンサ出力の緩やかな変化に比べ、急激で大きなものとなる。従って本実施の形態1では、尿素関連物質が付着している状態であるか否かを、ある時間のセンサ出力の変化の傾きを検出し、この傾きが第1基準値Ref1より大きいか否かに基づいて判別する。ここでの第1基準値Ref1は、通常のPM堆積時に起きる出力変化の傾きの範囲の上限値よりも大きな値であって、かつ、導電体である尿素関連物質の付着による起きる変化の範囲の下限値付近の値である。第1基準値Ref1として最適な値は、実験等により予め求められ、制御装置16に記憶される。図4は、本発明の実施の形態1において制御装置が実行する制御のルーチンについて説明するためのフローチャートである。図4のルーチンは、内燃機関2の運転中、一定時間ごとに繰り返されるルーチンである。図4のルーチンでは、まず、内燃機関2の始動後の排気経路4の乾燥、排水が完了したか否かが判別されるS102。PMセンサ14の素子割れを防止するため、PMセンサ14は、排気経路4の乾燥、排水が完了してから、使用を開始する必要がある。このため、内燃機関2の始動後、排気経路4の乾燥、排水が完了した状態となるのを待つ必要がある。従って、ステップS102において、乾燥、排水の完了が認められるまで、ステップS102の判別処理が一定時間ごとに繰り返し実行される。ステップS102において、乾燥、排水の完了が認められると、次に、PMセンサ14のセンサ出力が検出されS104、第2基準値Ref2に達したか否かが判別されるS106。第2基準値Ref2は、PMセンサ14の電極20、22間にある程度のPMが堆積し、安定してPM堆積量に応じたセンサ出力が得られる状態となった場合に発せられる出力の下限値付近の値である。この値は、予め実験等により求められ、制御装置16に記憶される。ここで、センサ出力が第2基準値に達していない状態では、センサ出力のばらつきが多く、安定的にDPF6の故障判定を行うことが難しい。従って、ステップS106においてセンサ出力>第2基準値Ref2の成立が認められない場合、ステップS104に戻り、再びステップS104~S106のセンサ出力の検出とそれに基づく判別処理とが実行される。一方、ステップS106において、センサ出力>第2基準値Ref2の成立が認められると、次に、現在のセンサ出力の変化の傾きが算出されるS108。具体的には、センサ出力>第2基準値Ref2となってから、一定時間のセンサ出力が連続して検出され、この間のセンサ出力の変化の平均的な傾きが算出される。次に、ステップS108において算出されたセンサ出力の変化の傾きが、第1基準値Ref1より大きいか否かが判別されるS110。第1基準値Ref1は、上記の通り予め制御装置16に記憶された、素子部に尿素関連物質が付着した状態を判別するための基準値である。ステップS110において、センサ出力変化の傾き>第1基準値Ref1の成立が認められない場合には、尿素関連物質の付着が認められない。つまり、センサ出力は、PM量に応じたものであると判断される。従って、ヒータはOFFの状態が維持されS112、今回の処理は終了する。この場合、他の制御プログラムに従って実行されている、センサ出力に基づくDPF6の故障判定等の処理が継続される。一方、ステップS110において、センサ出力変化の傾き>第1基準値Ref1の成立が認められた場合、センサ出力変化は異常であり、素子部に尿素関連物質が付着した状態であることが推定される。この場合、PMセンサ14の素子部に付着した尿素関連物質を除去するため、素子部の昇温を開始するS114。具体的には、PMセンサ14のヒータへの電力供給をONとする。次に、素子部の昇温を開始してからの保持時間が、基準時間t1より長くなったか否かが判別されるS116。基準時間t1とは、素子部がビウレット分解温度である第1温度域T1にまで昇温され、ビウレットが完全に分解するのに十分な時間である。この時間は、実験等により求められ、予め制御装置16に記憶されている。ステップS116において、保持時間>基準時間t1の成立が認められない場合、ステップS114に戻り、ヒータONとされた状態S114が維持され、ステップS116の判別処理が再び実行される。一方、ステップS116において、保持時間>基準時間t1の成立が認められ場合、素子部に付着した尿素関連物質は除去されたものと判断される。この場合には、次に、ヒータがOFFとされるS112。その後、今回の処理は終了し、他の制御プログラムに従って実行されている、センサ出力に基づくDPF6の故障判定等の処理が継続される。以上説明したように、本実施の形態1では、尿素関連物質が付着した状態を推定することができる。また、尿素関連物質の付着が推定される場合に、素子部の昇温により導電体である尿素関連物質を除去することができる。図5は、同一のPM量のガスを検出した場合の、実施の形態1のセンサ出力と、従来のセンサ出力とのばらつきを比較する図である。図5に示されるように、本実施の形態1の制御により、素子部の尿素関連物質を適正なタイミングで除去することで、センサ出力のばらつきを抑制することができる。従って、本実施の形態1のシステムによれば、安定的にDPF6の故障判定等を実行することができる。また、本実施の形態1では、PMセンサ14の素子部を昇温するのは、尿素関連物質の付着が推定された場合のみであり、かつ、その昇温時の温度は、尿素関連物質であるビウレットの分解温度付近の温度第1温度域T1である。従って、PMセンサ14の素子部の過度な加熱により、却って検出精度が低下するのを抑制することができる。なお、本実施の形態1では、PMセンサ14への尿素関連物質の付着の推定を、センサ出力の変化の傾きに基づいて行う場合について説明した。しかし、この発明において、尿素関連物質が付着した状態は、他の手法により推定するものであってもよい。また、本発明では、内燃機関2の運転中、図4のルーチンを繰り返し実行する場合について説明した。しかし、この発明はこれに限るものではない。図4のルーチンは、例えばPM量の検出中、DPF6の故障判定の間、あるいは、内燃機関2の始動時の、特に、排気経路4又は素子部が低温の間など、内燃機関2の始動後の特定期間を限定して実行するものであってもよい。実施の形態2.本実施の形態2のシステム及びPMセンサ14は、実施の形態1と同一の構成を有している。実施の形態2のシステムは、実施の形態1の制御に追加して次の制御を行う。実施の形態1のように、センサ出力の変化の傾きに基づき、尿素関連物質が付着した状態と推定された場合、尿素関連物質がNOx触媒12の下流に排出されていると推定される。このように尿素関連物質がNOx触媒12下流に排出される1つの可能性として、DPF6の下流に排出されたPMが、NOx触媒12に付着し、NO触媒12の浄化性能が低下していることが考えられる。従って、尿素関連物質が付着した状態が認められる場合に、本実施の形態2では、NOx触媒12に付着したPMを除去する制御を行う。具体的に、NOx触媒12に付着したPM除去処理は、上記のDPF6の再生処理を実行することで実行される。即ち、DPF6の再生処理を実行することで、NOx触媒12にも高温の排気ガスが流入する。これにより、NOx触媒12に付着したPMを除去することができる。ここで、実施の形態2においても、センサ出力の変化の大きさに基づき尿素関連物質の付着を推定する。しかし、センサ出力の変化が、尿素関連物質とは関係しない、他の要因によるばらつきに起因するものであることも考えられる。従って、本実施の形態2では、例えば、ある回の、尿素関連物質の付着の有無を判定する処理において、尿素関連物質の付着が推定された場合、即ち、センサ出力変化の傾きが第1基準値Ref1より大きかった場合、まずは、実施の形態1のように、素子部の温度を上昇させる処理を行う。そして、次回、尿素関連物質の付着の有無を判定する処理においても、再び、尿素関連物質の付着が推定された場合には、NOx触媒12下流への尿素関連物質の流出と認め、上記のDPF6の再生処理を実行する。つまり、本実施の形態2では、連続して2回、尿素関連物質の付着状態が推定された場合にのみ、DPF6の再生処理を実行するものとする。図6は、本発明の実施の形態2において制御装置が実行する制御のルーチンについて説明するためのフローチャートである。図6のルーチンは、図4のルーチンのS110の処理の後に、S200~S208の処理が組みこまれている点を除き、図4のルーチンと同一である。図6のルーチンでは、図4のルーチンで説明したように、まず、ステップS102~S110の処理が実行される。ステップS110において、センサ出力変化の傾きが、第1基準値Ref1より大きいことが認められない場合には、今回の判定結果が尿素関連物質の付着なしとして記憶されるS200。その後、図4同様に、ヒータがOFF状態とされ、今回の処理はこのまま終了する。一方、ステップS110において、センサ出力変化の傾きが、第1基準値Ref1より大きいことが認められると、次に、前回のステップS110における判定結果が、尿素関連物質の付着有りであったか否かが判別されるS202。前回のステップS110の判別処理の結果は、前回の処理のなかで、それぞれの場合に応じて制御装置16に記憶される。ステップS202において、前回、尿素関連物質の付着有りと判定されたことが認められない場合、図4のルーチン同様に、S114、S116の処理が実行され、その後、今回の判定結果が尿素関連物質の付着有りとして記憶されるS204。その後、S112の処理が実行されて、今回の処理は終了する。即ち、ヒータが通電された状態で基準時間t1の間保持されるS114、S116。これにより、素子部が第1温度域T1に昇温し、電極20、22の尿素関連物質が除去される。その後、ヒータがOFFとされS112、今回の処理は終了する。一方、ステップS202において、前回、尿素関連物質の付着有りと判定されたことが認められた場合、次に、DPF6の再生処理が実行されるS206。DPF6の再生処理は、本ルーチンと別に制御装置16に記憶された制御プログラムに従って実行される。なお、このDPF6の再生処理では、再生処理終了後、PMリセットも実行される。従って、DPF6再生処理の実行後、今回のステップS110の判定結果は、尿素関連物質の付着なしとして記憶されるS208。その後、今回の処理は終了し、PMセンサ14は、通常計測の継続等、各制御プログラムに従って使用される。以上説明したように、実施の形態2によれば、連続して尿素関連物質の付着状態と判定された場合に、DPF6の再生処理の実行により、NOx触媒12に付着したPMを除去する処理を行う。これによりSCRシステム8による浄化性能を回復し、下流側に排出される尿素関連物質を抑制することができる。なお、本実施の形態2では、NOx触媒12のPMを除去するため、排気ガスの温度を上昇させるDPF6の再生処理を実行する場合について説明した。しかし、この発明においてはNOx触媒12に付着したPM除去の手法は、これに限るものではなく、PMが効率的に除去できる他の手法を用いてもよい。従って、ここでは、DPF6の再生処理の他の手法により、同時にNOx触媒12のPMを除去するものであってもよいし、DPF6の再生とは無関係に、NOx触媒12のみを昇温させる等して、NOx触媒12のPM除去処理を独立して行うものであってもよい。また、本実施の形態2では、2回連続して、尿素関連物質の付着状態と判別された場合に、NOx触媒12のPM除去を行う場合について説明した。しかし、この発明は、これに限るものではなく、例えば、図6のルーチンのS110において、1度、尿素関連物質の付着状態と判別された場合に、S202の処理を実行せず、直ちに、DPF6の再生制御等、NOx触媒12のPM除去処理を行うようにしてもよい。また、2回連続して、尿素関連物質の付着状態と判別された場合に限らず、3回以上複数回連続して付着状態と判別された場合にのみ、DPF6の再生制御を実行するものであってもよい。実施の形態3.本実施の形態3のシステム及びPMセンサは、図1、図2と同一の構成を有している。実施の形態3のシステムにおいて、制御装置16は、実施の形態1の制御に加え、以下の制御を行う。実施の形態1のある回の尿素関連物質の付着の有無を判定する処理において、尿素関連物質の付着が推定された場合、即ち、センサ出力変化の傾きが第1基準値Ref1より大きかった場合、その回では、実施の形態1のように、素子部の温度を上昇させる処理を行う。この場合、次回は、引き続き尿素関連物質が排出されている環境であることが予想される。従って、前回、尿素関連物質の付着が認められた場合には、今回のDPF6の故障判定は、素子温をT1に維持して尿関連物質が付着しない状態で実行する。その結果、例えば、前回のDPF6の故障判定と同一結果が得られた場合には、PMセンサ14及びその判定結果が正常であることが確認される。一方、1回目の判定と2回目の判定とが異なる場合、PMセンサ14に生じた出力ばらつきは、尿素関連物質の影響ではなく、PMセンサ14の故障や他の要因によるものであると考えられる。また、この場合、DPF6の故障検出は誤判定である可能性もある。従って、この場合には、PMリセット等の必要な制御を実行する。図7は、この発明の実施の形態3において制御装置16が実行する制御のルーチンである。図7のルーチンは、S302~S306の処理が組み込まれている点を除き、図4のルーチンと同一である。このルーチンでは、まず、今回の故障判定のためのセンサ出力検出の開始が認められるか否かが判別されるS302。センサ出力の検出開始が認められるまでの間、ステップS302の処理が繰り返される。ステップS302において、センサ検出開始が認められると、次に、排水が完了したかが確認されるS102。排気経路4の排水、乾燥の処理が認められない場合、ステップS102に戻される。即ち、排水完了が認められるまでの間、ステップS102の判別処理が繰り返し実行される。次に、前回、このルーチンが実行された際の判定で、尿素関連物質の付着有りと判定されたか否かが判別されるS304。つまり、前回のルーチンでセンサ出力の変化の傾きが第1基準値Ref1より大きいと認められたか否かが判別される。前回のルーチンでの判別結果は、制御装置16に記憶されている。ステップS304において、前回、尿素関連物質の付着有りとされたことが認められない場合、次に、ステップS104~S116及びS112の処理が、図4と同様に実行される。即ち、センサ出力の傾きが検出され、この傾きが第1基準値Ref1より大きい場合に、素子部が第1温度域に加熱される。なお、このときのステップS110の結果は、今回の処理結果として、制御装置に記憶される。一方、ステップS304において、尿素関連物質の付着が認められた場合、次に、素子温が第1温度域T1に維持されるS306。ここで第1温度域T1は、尿素関連物質であるビウレットが分解される温度より高く、かつPMが燃焼する温度より低い温度域である。素子部が第1温度域T1に維持されることで、素子部に付着した尿素関連物質は除去され、センサ出力に対する、導電体の尿素関連物質による影響を排除することができる。この状態で、別途、制御装置16に記憶された制御プログラムに従ってDPF6の故障判定が継続状態とされS308、今回の処理は終了する。その後、例えば、他の制御プログラムに従って、前回と今回のDPF6の故障判定結果が同一であるか否か等が確認される。これにより、DPF6の故障判定の精度が高められる。以上説明したように、本実施の形態3では、前回、尿素関連物質の付着有りと認められた場合に、今回素子温を第1温度域T1に維持してPM量の検出を行う場合について説明した。しかし、この発明は、これに限るものではない。例えば、ステップS304に替えて、前回の故障判定において、DPF6の故障有りと判別されたか否かを判別し、DPF6の故障有りと判別されていた場合に、素子温を第1基準温度域T1に制御するようにしてもよい。この場合にも、前回の故障判定結果を、再度、尿素関連物質の付着の影響を抑えた状態で確認することができる。従って、より高い精度で、DPF6の故障検出を実現することができる。実施の形態4.実施の形態4のシステム及びPMセンサは、図1、図2のPMセンサと同様の構成を有している。実施の形態4のシステムでは、図1の尿素関連物質が付着した場合にその尿素関連物質を除去する処理に加え、尿素関連物質が付着しない状態を維持する処理を実行する。ここで、例えば、吸入空気量Gaが大きい場合には、排気ガスの流れも速くなるため、尿素関連物質がSCRシステム8下流へ排出されやすい。同様に、尿素当量比が高い、即ち尿素の投入量が多い場合や、NOx触媒12の温度が低温である場合などにも、尿素関連物質がSCRシステム8下流へ排出されやすい。従って、実施の形態4のシステムでは、上記のような尿素関連物質の排出が予測される環境において、素子部への尿素関連物質の付着を事前に抑制する処理を実行する。具体的には、尿素関連物質の排出量増加が予想される運転条件下において、素子部の温度が、尿素の液相温度である130~135°Cの第2温度域T2、ビウレットの分解温度域である175~190°Cの第3温度域T3とならないように制御する。これにより、特にセンサ出力に影響を与える導電性の尿素関連物質の付着を予め防ぎ、センサ出力のばらつきを抑制することができる。図8は、この発明の実施の形態4において制御装置が実行する制御のルーチンについて説明するためのフローチャートである。図8のルーチンは、図4のルーチンに先駆けて実行されるルーチンである。具体的に図8のルーチンでは、まず、現在、尿素関連物質の排出が予想される運転状態であるか否かが判別されるS402。尿素関連物質の排出が予想される運転状態とされる条件は、予め定められ制御装置16に記憶されている。従って、ここでは、制御装置16に記憶された条件が満たされる運転状態であるか否かが判別される。ステップS402において、尿素関連物質の排出が予想されることが認められない場合、今回の処理は終了する。一方、ステップS402において、尿素が排出される環境であることが認められると、次に、現在の素子温が検出されるS404。ここで素子温はヒータの抵抗を検出することで求められる。次に、素子温が第2温度域T2又は第3温度域T3内の温度であるか否かが判別されるS406。温度域T2は、尿素の液相温度域であり、温度域T3はビウレットの分解温度域である。ステップS406において、温度が第2温度域T2内又は第3温度域T3内であることが認められない場合、ヒータがOFFとされるS408。その後、今回の処理が終了する。一方、ステップS406において、素子温が第2温度域T2内、又は第3温度域T3内にあることが認められると、次に、ヒータが通電され、素子部が昇温されるS410。これにより、例えば温度が第2温度域T2にある場合には、素子温は、第2温度域T2より高く第3温度域T3より低い範囲あるいは、第3温度域T3より高温である第1温度域T1に制御される。また、素子温が第3温度域T3内にある場合には、素子温は、第1温度域T1に制御される。これにより、尿素関連物質が、導電体の状態で、素子部に付着するのを抑制することができる。その後、今回の処理が終了する。本実施の形態4では、以上の図8のルーチンの終了後、続けて図4のルーチンが実行される。ここでは、仮に尿素関連物質が排出されやすい環境下であっても、素子部への導電性物質が付着されにくいように予め制御されている。従って、ステップS110において、尿素関連物質の付着なしの判別がされやすく即ち、出力変化の傾き>第1基準値Ref1と判別されやすく、この場合、効率的に、PM量の計測、及びこれに基づくDPF6の故障判定を続行させることができる。ただし、この発明は、図8のルーチンの後、直ちに図4のルーチンを直ちに実行する場合に限るものではない。図8に説明した本実施の形態4の制御は、図4とは無関係に、尿素関連物質の付着が好ましくない環境において、適宜独立して実行することができる。これにより、必要に応じて、PMセンサ14の素子部に、導電体の状態で存在する尿素関連物質が付着するのを効果的に抑制することができる。以上の実施の形態において各要素の個数、数量、量、範囲等の数に言及した場合、特に明示した場合や原理的に明らかにその数に特定される場合を除いて、その言及した数に、この発明が限定されるものではない。また、この実施の形態において説明する構造や製造工程等は、特に明示した場合や明らかに原理的にそれに特定される場合を除いて、この発明に必ずしも必須のものではない。