"金属箔上に、炭素単体を10~10000ppm含有するシリコンからなる気孔率3~20のシリコン膜を備えたリチウムイオン二次電池用の負極。前記シリコン膜の厚さが1~50μmの範囲である請求項1記載のリチウムイオン二次電池用の負極。請求項1または2に記載の負極を備えるリチウムイオン二次電池。しかしながら、CVD法、レーザー蒸着などによってシリコンを金属箔上に成膜した場合、高容量化すべくシリコン膜の厚さを厚くすると、充放電に伴う膨張と収縮の繰り返しによって金属箔から剥離しやすくなる。このため高容量化とサイクル特性の両立が困難であった。本発明の目的は、高容量と高いサイクル特性を実現するリチウムイオン二次電池用の負極およびかかる負極を備えるリチウムイオン二次電池を提供することにある。本発明によれば、上記の目的は金属箔上に、炭素単体を10~10000ppm含有するシリコンからなる気孔率3~20のシリコン膜を備えるリチウムイオン二次電池用の負極、およびかかる負極を備えるリチウムイオン二次電池を提供することによって達成される。本発明の負極が備える上記シリコン膜の厚さは1~50μmの範囲であることが好ましい。本発明によれば、高容量で高いサイクル特性を実現できるリチウムイオン二次電池用の負極およびかかる負極を備えるリチウムイオン二次電池を提供できる。本発明に用いるシリコン中の炭素単体の含有率は10~10000ppmの範囲であり、好ましくは10~8000ppmの範囲である。炭素単体は、シリコンに添加、混合しても良いし、シリコンウエハ製造時に切削された炭素単体を含むシリコン屑のように、炭素単体がシリコン上に付着したものを本発明で用いてもよい。また本発明で用いるシリコンは、鉄、ニッケルなどの微量の遷移金属、ホウ素、リンなどを含んでいてもよい。かかるシリコンから形成されるシリコン膜は、導電性が良好である。上記炭素単体としては、グラファイト、カーボンナノチューブ、フラーレン、アモルファスカーボンなどが挙げられ、導電性、入手性の観点からグラファイトが好ましい。本発明の負極は、金属箔の少なくとも片面に上記シリコン膜を備える。本発明の負極が備えるシリコン膜の気孔率は3~20の範囲であり、好ましくは5~18の範囲である。気孔率が20を超えると、金属箔の接点が減少することで剥離しやすくなり、気孔率が3を下回ると、充放電に伴う膨張と収縮の繰り返しによって金属箔から剥離しやすくなる。本発明の負極が備えるシリコン膜の厚さは、好ましくは1~50μm、より好ましくは1~40μmの範囲である。シリコン膜の厚さが50μmを超えると、充放電に伴う膨張と収縮によって金属箔から剥離しやすくなる場合がある。一方、シリコン膜の厚さが1μmを下回ると、リチウムイオンの吸蔵量が少なくなるだけでなく、シリコン膜の均一性低下による局所的な過電流が引き起こされる。本発明の負極が備えるシリコン膜は金属箔へのシリコンの溶射によって形成できる。溶射の方法としては、フレーム溶射、爆発溶射、電気式溶射、ガス溶射、コールドスプレーなどが挙げられ、このうち操作性、原材料の選択の観点から、電気式溶射が好ましい。電気式溶射としては、アーク溶射方式、減圧プラズマ式溶射方式、大気プラズマ溶射方式、水プラズマ式溶射方式が挙げられ、このうち操作性、緻密性制御の観点から、大気プラズマ溶射方式が好ましい。上記シリコン膜を溶射によって形成する場合、溶射ガンで発生したプラズマ炎の中にシリコン粒子を供給口よりアルゴンあるいは窒素ガス圧により投入し、金属箔の表面に吹き付ける。シリコン膜の気孔率は溶射ガンの出力および溶射ガンと金属箔との距離溶射距離によって調整できる。プラズマ溶射を行う場合、一般に、溶射ガンの出力は1~80kW、溶射距離100~500mmの条件で行われる。出力が高い場合および溶射距離が近い場合は、気孔率が低下する傾向となり、出力が低い場合および溶射距離が遠い場合は、気孔率が上昇する傾向となる。上記溶射に用いるシリコン粒子の粒径は、通常0.05~10μmであり、好ましくは0.05~6μmの範囲である。粒径が10μmよりも大きいと目的の膜厚に制御することが難しく、0.05μmよりも小さいと膜厚ムラが生じやすい。本発明で用いる金属箔としては、銅、ニッケル、アルミニウムなどの金属箔が挙げられるが、銅箔が好ましい。また、金属箔の表面を機械加工などで粗面化することが、シリコン膜との剥離を抑制する上で好ましい。本発明で用いる金属箔の厚さは、通常0.1~100μmの範囲であり、好ましくは1~50μmの範囲である。金属箔の厚さが0.1μmを下回ると溶射による熱によって金属箔が収縮、変形する傾向にあり、100μmを上回るとリチウムイオン二次電池に占める負極の体積が大きくなり、電池容量が小さくなる。次に、本発明のリチウムイオン二次電池の製造方法を説明する。かかるリチウムイオン二次電池は、電池ケース内に、正極と負極との間にセパレータを配置してなる電池構造体とともに、電解液を入れてなる。本発明のリチウムイオン二次電池が備える正極は、通常、正極活物質、導電助剤、樹脂製の結着剤、増粘剤及び溶媒を混合してスラリーを調製し、アルミ箔などの金属箔の少なくとも片面に塗布乾燥することで製造できる。正極活物質としては、通常、リチウム金属酸化物が用いられ、かかるリチウム金属酸化物としては、LiCoO2、LiMn2O4、LiMnO2、LiNiO2、LiFeO2、LiFePO4、Li2FePO4F、LiCo13Ni13Mn13O2が挙げられる。上記導電助剤としてはカーボンブラックが挙げられる。上記結着剤としてはフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレンコポリマー、ポリフッ化ビニリデン、ポリアクリロニトリル、ポリメチルメタクリレート、ポリテトラフルオロエチレン、およびスチレンブタジエンゴム系ポリマーが挙げられる。上記増粘剤としてはポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロースなどが挙げられる。また、正極活物質の組成物に用いる溶媒としてはN-メチルピロリドンNMP、アセトン、および水が挙げられる。本発明のリチウムイオン二次電池が備えるセパレータとしては、正極と負極の電子伝導を絶縁する機能を有する、リチウムイオン二次電池で通常用いられるものを使用できる。かかるセパレータの例としては、多孔質ポリプロピレン層/多孔質ポリエチレン層/多孔質ポリプロピレン層の3層からなる複層膜が挙げられる。かかるセパレータの厚さは、電解質のイオン移動に対する抵抗の低さ、リチウムイオン二次電池の容量向上の観点から、好ましくは0.5~30μm以下、より好ましくは1~20μmである。本発明のリチウムイオン二次電池に用いる電解液としては、炭酸プロピレン、炭酸エチレン、炭酸ブチレン、ベンゾニトリル、アセトニトリル、テトラヒドロフラン、2-メチルテトラヒドロフラン、γ-ブチロラクトン、ジオキソラン、4-メチルオキソラン、N,N-ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ジオキサン、1,2-ジメトキシエタン、スルホラン、ジクロロエタン、クロロベンゼン、ニトロベンゼン、炭酸ジメチル、炭酸メチルエチル、炭酸ジエチル、炭酸メチルプロピル、炭酸メチルイソプロピル、炭酸エチルプロピル、炭酸ジプロピル、炭酸ジブチル、ジエチレングリコール、ジメチルエーテルなどから選ばれる溶媒または混合溶媒にLiPF6、LiBF4、LiSbF6、LiAsF6、LiClO4、LiCF3SO3、LiCF3SO22N、LiC4F9SO3、LiAlO4、LiAlCl4、LiNCxF2x1SO2CyF2y1SO2ただし、x,yは自然数、LiCl、LiIなどのリチウム塩からなる電解質の少なくとも1種を溶解した溶液を用いる。上記した正極と負極との間にセパレータを配置して、電池構造体を形成する。このような電池構造体を巻くか、または折って円筒形の電池ケースや角形の電池ケースに入れた後、電解液を注入して、リチウムイオン二次電池とする。本発明のリチウムイオン二次電池は、正極および負極と通電対象をリード線で接続して通電を行う。かかる正極および負極は、リード線との結合を容易にするために、リード線を結んだり、ハンダ付けしたりできる金属製のタブを備えていてもよい。かかるタブに用いる金属としてはアルミニウム、銅、ニッケルなどが挙げられる。以下に実施例を示し、本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。シリコン粒子の粒径測定には堀場製作所製レーザー回折散乱式粒子径分布測定装置商品名:PARTICALA950、炭素含量の測定には堀場製作所製炭素硫黄分析装置商品名:EMIA810Wを使用したシリコン膜の厚さは薄膜断面を電子顕微鏡キーエンス製KEYENCEVE8800で観察し測定した。[実施例1]プラズマ溶射ガン日本ユテク社製テロダインシステム2000に、炭素含量200ppm、粒径0.02~1.5μmのシリコン粒子を供給しながら、プラズマ投入電力30KW、窒素流量40リットル/分、シリコン粒子の供給量1g/分の条件で、高温プラズマ発生部と厚さ20μmの銅箔との距離120mmとして20秒間溶射処理を行い、銅箔の片面に厚さ12μmのシリコン膜を形成した。かかる薄膜の厚さ、使用したシリコンの量、シリコンの密度から算出される気孔率は11であった。このようにして本発明の負極を得た。[実施例2]実施例1において、窒素流量を60リットル/minとした以外は、実施例1と同様に行い、気孔率15、厚さ10μmのシリコン膜を形成した。このようにして本発明の負極を得た。[比較例1]実施例1において、プラズマ投入電力を60KWとした以外は、実施例1と同様に行い、気孔率1、厚さ12μmのシリコン膜を形成した。このようにして本発明の比較例である負極を得た。[実施例3]実施例1で得られた負極を2.5cm×2.5cmの大きさに切り取り、これに銅製導電性テープからなるタブを取り付けた。LiCoO2粉末宝泉製、d5010μm高容量タイプ90質量部、及び導電剤としての人造黒鉛粉末5質量部を、結着剤としてのポリテトラフルオロエチレン5質量部を分散させたN-メチルピロリドン20質量部に混合し、正極活物質の組成物とした。この組成物をドクターブレード法により、アルミニウム箔厚さ18μm;2cm×2cmの片面に塗布した後乾燥し、正極を形成した。正極活物質層を塗布しなかったアルミニウム箔の背面よりアルミニウム製導電性テープからなるタブを取り付けた。炭酸プロピレンと炭酸エチルを9:1の体積比で混合した溶媒に、LiPF6を1モル/リットルとなるように溶解し、電解液を作製した。前記の負極、正極、及び電解液を用いて、リチウム二次電池を作製した。負極のシリコン膜と正極の正極活物質を塗布した面が、セパレータを介して対向するように配置した。セパレータとして、厚さ10μmの単層ポリプロピレン製多孔質フィルム宝泉製、商品名:セルガードを用いた。これらをアルミニウムラミネートからなる外装体宝泉製アルミラミネートフィルムシーラントに挿入し、上記電解液500μLを注液し、外装体の封止部をラミネータにより封止して、リチウムイオン二次電池を作製した。[実施例4]実施例3において、実施例2で作製した負極を用いた以外は、実施例3と同様にしてリチウムイオン二次電池を作成した。[比較例2]実施例3において、比較例1で作製した負極を用いた以外は、実施例3と同様にしてリチウムイオン二次電池を作成した。実施例3、実施例4、比較例2で作成したリチウムイオン二次電池を、25°Cにおいて、電流値10mAで4.2Vまで充電した後、電流値10mAで2.75Vまで放電し、これを1サイクルの充放電とした。得られた放電容量から、負極1gあたりの放電容量mAhを算出し、30サイクル後の放電容量と1回目のサイクルでの放電容量から容量維持率を算出した。結果を表1に示す。"