"a機枠上に左右方向に設けられた案内レール上を左右方向に往復移動できるように設けられたワークテーブル、bこのワークテーブル上に左右に分離して搭載された主軸台と心押台の一対よりなるクランプ装置、c前記クランプ装置に支架されたワークを搭載した前記ワークテーブルを左右方向に往復移動させる駆動機構、dカップホイール型砥石を軸承する前後移動および上下移動可能な砥石軸の一対を前記ワークテーブルに直角になる位置に在って、前記クランプ装置に支架されたワークを挟んで前記2個のカップホイール型砥石のホイール状砥石刃が相対向する向きに設けられている円筒研削装置を用い、次の工程を経て四角柱状インゴットブロックワークの四隅R面を面取り加工する方法。1.前記クランプ装置の主軸台と心押台間にワークを支架し、ワークのR面の円弧の中間点の一対を結ぶ線がクランプ装置の主軸台のワーク支持軸と心押台の支持軸を結ぶC軸を含む水平面に含まれるよう主軸台の支持軸をサーボモータで回転させてワークの芯出しを行う。2.カップホイール型砥石を軸承する砥石軸の一方を上昇させ、他方のカップホイール型砥石を軸承する砥石軸を下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型砥石の直径Hより20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸の高さ位置を決める。3前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。4.上記カップホイール型砥石を軸承する砥石軸の一対をワークのR面に接する距離まで前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型砥石を回転させる。5.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架され前後に揺動回転ワークのR面がカップホイール型砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。6.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。7.ワークのR面のトラバース研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。8.上記研削開始待機位置にあるワークテーブルに搭載された前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。9.前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。10.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型砥石側へ移動させ、クランプ装置に支架され前後に揺動回転ワークのR面がカップホイール型砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。11.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。12.上記ワークのR面のトラバース研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。上記特許文献1記載の面取り加工装置は、ワーク四隅R面を平面に研削するため、研削葛の発生量が多い欠点がある。本件特許出願人は、前記特許文献3記載の円筒研削装置を製作し、2011年6月に太陽光発電池用シリコン基板加工メーカーに評価依頼したところ、市販の面取り加工装置と比較してインゴットの面取り加工時間は半減し、得られる製品の表面平滑物性もワイヤーカット時にチッピングを生じさせない十分な値を示す。研削屑フロストの発生量は市販品機械より少なく優れている。しかし、ワークの四隅R円筒研削加工時間がさらに、2~5分短くなるなら、この円筒研削装置の改造機を2台買い増しする発注を行う。との回答を受けた。本願発明者らは、カップホイール型研削砥石によるワークの四隅R円筒研削加工時間中、カップホイール型研削砥石がワークの四隅Rを円筒研削加工している時間割合は、14であり、残りの86はワークの四側面からカップホイール型研削砥石は離れて回転していることに着目し、この空ら回転の割合を減らすことができるワークのC軸回転方法を検討したところ、ワークのR面の弧がワークのC軸と結ぶ角度θが18~20度であることから、ワークのC軸回転が21~26度となるように、かつ、このワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動させながらワークを回転しているカップホイール型研削砥石の一対間を通過させてワークのR面取り加工を行うことにより、直径200mm、450mm長さのインゴットで四隅R研削加工時間を8分短縮できることを実施確認し、本発明に想到した。請求項1に記載の発明は、a機枠上に左右方向に設けられた案内レール上を左右方向に往復移動できるように設けられたワークテーブル、bこのワークテーブル上に左右に分離して搭載された主軸台と心押台の一対よりなるクランプ装置、c前記クランプ装置に支架されたワークを搭載した前記ワークテーブルを左右方向に往復移動させる駆動機構、dカップホイール型砥石を軸承する前後移動および上下移動可能な砥石軸の一対を前記ワークテーブルに直角になる位置に在って、前記クランプ装置に支架されたワークを挟んで前記2個のカップホイール型砥石のホイール状砥石刃が相対向する向きに設けられている円筒研削装置を用い、次の工程を経て四角柱状インゴットブロックワークの四隅R面を面取り加工する方法を提供するものである。1.前記クランプ装置の主軸台と心押台間にワークを支架し、ワークのR面の円弧の中間点の一対を結ぶ線がクランプ装置の主軸台のワーク支持軸と心押台の支持軸を結ぶC軸を含む水平面に含まれるよう主軸台の支持軸をサーボモータで回転させてワークの芯出しを行う。2.カップホイール型砥石を軸承する砥石軸の一方を上昇させ、他方のカップホイール型砥石を軸承する砥石軸を下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型砥石の直径Hより20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸の高さ位置を決める。3前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。4.上記カップホイール型砥石を軸承する砥石軸の一対をワークのR面に接する距離R面研削開始待機位置まで前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型砥石を回転させる。5.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型砥石側へ移動左方向移動させ、クランプ装置に支架され前後に揺動回転ワークのR面がカップホイール型砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。6.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。7.ワークのR面のトラバース研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。8.上記研削開始待機位置にあるワークテーブルに搭載された前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。9.前記クランプ装置の主軸台の支持軸をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に10.5~13度、後方向に10.5~13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に30~50回/分の割合で揺動する回転を開始する。10.前記クランプ装置を搭載するワークテーブルを前記カップホイール型砥石側へ移動左方向移動させ、クランプ装置に支架され前後に揺動回転ワークのR面がカップホイール型砥石の刃先に当接したら前記一対の砥石軸を所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。11.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブルを前記の回転しているカップホイール砥石の一対の間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。12.上記ワークのR面のトラバース研削加工が終了したら、前記ワークテーブルを右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。本発明の円柱状シリコンインゴットブロックの四隅R面取り円筒研削方法は、円筒研削加工されたインゴットブロックの表面粗さRaが0.2~0.3μmと優れた値を示し、後工程でのワイヤーカットによる厚み750~900μmのウエハ製造時にチッピングが生じることはない。一対のカップホイール型砥石により揺動されるワークのR面取りを行うので、カップホイール型砥石の空転時間が特許文献3記載のR面取り研削加工の時間と比較して削減され、対角線長さが200mm、長さ450mmの四角柱状シリコンインゴットブロックのR面取り研削加工時間が特許文献3記載のR面取り研削加工時間より8分短縮できた。一対のカップホイール型砥石により揺動されるワークのR面取りを行うので、R面取り研削加工に利用されるカップホイール型砥石の刃先位置が広い域に拡がる。それゆえ、カップホイール型砥石の交換時期寿命が特許文献3記載のR面取り研削加工方法で使用されるカップホイール型砥石の寿命の6倍前後に延びた。特許文献3記載のR面取り研削加工方法では、R面取り研削加工に利用されるカップホイール型砥石の刃先位置が刃先コーナー部に集中していたからである。本発明のワークのR面取り研削加工に用いることができる円筒研削装置1は、例えば、特許文献3記載の円筒研削装置1を用いることができ、図2に示されるように、機枠ベース2に左右方向に延びて敷設された一対の案内レール3,3上を左右方向に往復移動できるように設けられたワークテーブル4を設けてある。このワークテーブル4の左右往復移動は、サーボモータ5による回転駆動をボールネジ6が受けて回転し、このボールネジに螺合された固定台図示されていないが左方向または右方向に前進することにより、この固定台表面にワークテーブル4の裏面が固定されているワークテーブル4が左方向または右方向に前進する。ワークテーブル4の左方向または右方向の前進は、サーボモータ5の回転軸が時計廻り方向か、逆時計廻り方向かに依存する。このワークテーブル4上に左右に分離して搭載された主軸台7aと心押台7bの一対よりなるクランプ機構7が搭載されている。よって、ワークテーブル4の左方向または右方向の移動に付随してこのクランプ機構7も左方向または右方向に移動し、クランプ機構7の主軸台センター支持軸7a1と心押台センター支持軸7b1により支架されて宙吊り状態となったワークwが第二円筒研削ステージ10、第一円筒研削ステージ11、ロードポート8位置へと移動することが可能となっている。クランプ機構7は非特許文献1に記載されるように公知のチャック機構であり、円筒研削装置で広く利用されている。主軸台7aは主軸台センター支持軸7a1をサーボモータ7amで回転させることによりワークwをC軸周りに回転させる機能を有する。心押台7bは空気シリンダー7e駆動でガイドレール上を左右に移動できる移動台7bt上に設けられ、ワークをクランプ機構7で支架したのち、レバーを押し下げることにより固定し、ワークテーブル4の移動により心押台7bを搭載する移動台7btが移動するのを防ぐ。前記第二円筒研削ステージ10および第一円筒研削ステージ11は、カップホイール型砥石の配置を示し、第一円筒研削ステージ11で粗円筒研削加工粗R面取り研削加工を、第二円筒研削ステージ10で仕上げ円筒研削加工仕上げR面取り研削加工を実施できるようそれぞれのカップホイール型砥石の砥番を選択する。これら第二円筒研削ステージ10、第一円筒研削ステージ11は、密閉カバー12で覆われている。また、ロードポート8は片手横スライド扉12aにより閉じられる。密閉カバー12で覆われた各研削ステージ10,11の空間には排気ダクトが接続され、この空間内に浮遊するミストや研削屑を外部へ排出する。各々の研削ステージ10,11、およびロードポート8の位置関係は、前記ワークテーブル4を正面側から直角に見る方向であって、かつ、左側方向より右側方向へ向かって、第一研削ステージ11、第二研削ステージ10、ロードポート8を設ける。第二研削ステージ10は、サーボモータ10m,10mの回転駆動により前後移動可能なツールテーブル10t,10t上に設けられた砥石軸の一対10a,10aに軸承されたカップホイール型砥石の一対10g,10gをその研削砥石面の砥石刃10gs,10gsが相対向するようにワークテーブル4を挟んでワークテーブル4前後に対称にかつ砥石軸芯10o,10oが同一線上となる位置に設け、これら砥石軸10a,10aはサーボモータ10M,10Mの回転駆動により回転される構造となっている。カップホイール型砥石の一対10g,10gの直径は他方のカップホイール型砥石の直径より10~25mm小さい直径である。このカップホイール型砥石の砥番は800~2,000番が好ましい。サーボモータ10m,10mによる回転駆動をボールネジが受けて回転し、このボールネジに螺合された固定台が前方向または後方向に前進または後退することにより、この固定台表面にツールテーブル10t,10tの裏面が固定されているツールテーブル10t,10tが前進移動または後退移動する。このツールテーブルの前進または後退の移動方向は、サーボモータ10m,10mの回転軸が時計廻り方向か、逆時計廻り方向かに依存する。第一研削ステージ11は、サーボモータ11m,11mの回転駆動により前後移動可能なツールテーブル11t,11t上に設けられた砥石軸の一対11a,11aに軸承されたカップホイール型砥石の一対11g,11gをその研削砥石面の砥石刃11gs,11gsが相対向するようにワークテーブル4を挟んでワークテーブル4前後に対称にかつ砥石軸芯11o,11oが同一線上となる位置に設け、これら砥石軸11a,11aはサーボモータ11M,11Mの回転駆動により回転される構造となっている。カップホイール型砥石の一対11g,11gの直径は一方のカップホイール型砥石の直径より10~25mm小さい直径のカップホイール型砥石を用いる。砥番は100~600番が好ましい。前記10~25mmの長さは、カップホイール型砥石の砥石刃横幅の2倍を超え5倍以下の長さであるのが円筒研削中のインゴットのヨーイングを抑える効果が大きい。小さい径のカップホイール型砥石の回転速度を大きい径のカップホイール型砥石の回転速度と同じとするために、小さい径のカップホイール型砥石の回転数を大きい径のカップホイール型砥石の直径/小さい径のカップホイール型砥石の直径倍の回転数に設定して用いる。サーボモータ11m,11mによる回転駆動をボールネジが受けて回転し、このボールネジに螺合された固定台が前方向または後方向に前進移動または後退移動することにより、この固定台表面にツールテーブル11t,11tの裏面が固定されているツールテーブル11t,11tが前進または後退する。このツールテーブルの前進または後退の移動方向は、サーボモータ11m,11mの回転軸が時計廻り方向か、逆時計廻り方向かに依存する。第一研削ステージ11は、前記第二研削ステージ10の右横側に平行に設けられる。即ち、両研削ステージ10,11の砥石軸芯10o,11oが平行である。なお、前記第二研削ステージ10で使用する砥石および前記第二研削ステージ11で使用する砥石は、第二研削ステージ10で使用する砥石が仕上げ研削カップホイール型砥石10gであり、第一研削ステージ11で使用する砥石は粗研削カップホイール型砥石11gを用いた例を示す。研削カップホイール型砥石10g,10g,11g,11gのカップホイール型砥石の直径は、同一径であり、直径が四角柱状ワークの対角線長さの1.05~1.3倍の直径が好ましい。しかし、一対の粗研削カップホイール型砥石11g,11gは直径を変えてもよく、大きい方の粗研削カップホイール型砥石11gの直径がワークの対角線長さの1.2~1.3倍の直径で、小さい方の粗研削カップホイール型砥石11gの直径はワークの対角線長さの1.05~1.1倍の直径であってもよい。例えば、ワークの対角線長さが200mmの四角柱状シリコンインゴットを研削するときは大きい方の直径が230mm、小さい方の直径が210mmである。カップホイール型砥石の砥石片10gs、1gsの幅は3~10mm、高さは4~15mmであるのがシリコンインゴットの研削焼け防止の観点から好ましい。研削砥石10g,11gの砥粒は、ダイヤモンド砥粒、CBN砥粒が好ましく、結合剤ボンドはメタルボンド、ビトリファイドボンド、エポキシレジンボンドがよい。例えば、カップホイール型仕上げ研削砥石10gは、例えば特開平9-38866号公報、特開2000―94342号公報や特開2004-167617号公報等に開示される有底筒状砥石台金の下部環状輪に砥石刃の多数を研削液が散逸する隙間間隔で環状に配置したカップホイール型砥石で、台金の内側に供給された研削液が前記隙間から散逸する構造のものが好ましい。このカップホイール型砥石10g,11gの環状砥石刃の直径は、四角柱状シリコンインゴットの対角線長さの1.2~1.5倍の直径であることが好ましい。前記カップホイール型粗研削砥石11gの環状砥石刃は、砥番100~600番のダイヤモンドレジンボンド砥石、またはダイヤモンドビトリファイドボンド砥石が好ましい。また、カップホイール型仕上げ研削砥石10gの環状砥石刃は、砥番300~2,000番のダイヤモンドレジンボンド砥石、ダイヤモンドビトリファイドボンド砥石、またはダイヤモンドメタルボンド砥石が好ましい。研削液としては、純水、コロイダルシリカ水分散液、セリア水分散液、SC-1液、SC-2液、あるいは、純水とこれら前記の水分散液または研削液を併用する。なお、研削液としては、環境を考慮した水処理の面から純水のみを利用するのが好ましい。ロードポート8は、第二研削ステージ10の右横側であってワークテーブル4の前側に位置するハウジング材にワークwを前記クランプ機構への移出入を可能とする開口部を設けることにより形成される。図2に示すように、前記円筒研削装置1は、前記ワークテーブル4の前側であって前記ロードポート8と前記第二研削ステージ10との空間部にワークローディング/アンローディング装置13およびインゴット3本を貯えるワークストッカー14を機枠2上に並設している。前記ワークローディング/アンローディング装置13は、ワークストッカー14V字棚段に保管されているワークw1本を1対の爪で挟持し、両爪を上昇させることによりワークを吊り上げ、ついで、後退、右方向への移動、下降してロードポート8前に位置させ、さらに後退させることによりこのロードポート8からワークをクランプ装置7の主軸台7aと心押台7b間へと搬送する。ワークの一端を主軸台7aのセンター支持軸7a1に当接させた後、心押台7bを空気シリンダー7eで右方向に移動させてセンター支持軸7b1に他端を当接させワークを宙吊り状態に支架する。ついで、前記爪13a,13bを離間させてワークの把持を開放し、ついで、両爪13a,13bを支持する固定台13fを上昇させ、左方向に移動させ、さらに、前方向に後退させ両爪13a,13bを待機位置へと戻す。また、前記クランプ装置7に両端を支架されて宙吊り状態となっている円筒研削加工および洗浄風乾されたワークを両爪で把持し、ついで、両爪を支持する固定台13fを上昇させ、左方向に移動させ、さらに、前方向に後退させ両爪13a,13bをワークストッカー14の空棚上方へ移動したのち、下降させてワークを前記空棚に載置下後、両爪を離間してワークを開放したのち、前記待機位置へと両爪を戻す。上記シリコンインゴットブロックワークwの円筒研削装置1を用い、ワークwとして両端C軸面が平面切断された四角柱状シリコンインゴットブロックの四隅R面を面取り研削加工するwを円筒研削加工する作業は、次の工程を経て四角柱状インゴットブロックワークの四隅R面を面取り加工する。1.ワークローディング/アンローディング装置13を用い、ワークをクランプ装置7の主軸台7aと心押台7b間に移送し、次いで、心押台7bを前進させてワークwを主軸台7aの支持軸7a1と心押台7bの支持軸7b1間に支架し、ワークのR面の円弧の中間点の一対を結ぶ線がクランプ装置の主軸台のワーク支持軸7a1と心押台の支持軸7b1を結ぶC軸を含む水平面に含まれるよう主軸台の支持軸7a1をサーボモータで回転させてワークの芯出しを行う。2.直径が250mmと直径が230mmの一対のカップホイール型砥石11g,11gを軸承する前後移動可能な砥石軸11o,11oの一方を上昇させ、他方のカップホイール型砥石11gを軸承する砥石軸11oを下降させて双方の砥石軸間距離がカップホイール型砥石の直径Hより20~75mm差し引いた高さと成るよう砥石軸の高さ位置を決める。3前記クランプ装置の主軸台の支持軸7a1をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に13度、後方向に13度の角度で前後合計26度に揺動回転することをR面円筒研削加工中に40回/分の割合で揺動する回転を開始する。4.上記カップホイール型砥石を軸承する砥石軸の一対をワークのR面に接する距離R面研削開始待機位置まで前進させ、ついで、一対の前記カップホイール型砥石を2,800~4,000min-1の回転数域の値であってワークに対し砥石軸11o,11oが異なった回転方向となるよう回転させる。5.前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型砥石11g,11g側へ350mm/分の移動速度で左方向に移動させ、クランプ装置7に支架され前後に26度の揺動角度で揺動回転しているワークのR面がカップホイール型砥石11g,11gの刃先11gSに当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。インフィード研削加工がなされている間、研削液20~1,000cc/分の量がカップホイール型砥石とワークが接する作業点に供給される。6.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。1回のワークテーブル4の左方移動で粗面取り研削加工ができないときは、ワークのR面のトラバース研削加工の終了後、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。ついで、前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架され前後に26度の揺動角度で揺動回転しているワークのR面がカップホイール型砥石11g,11gの刃先11gSに当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う操作を繰り返し、R面取り粗研削加工を終了させる。トラバース研削加工がなされている間、研削液20~1,000cc/分の量がカップホイール型砥石とワークが接する作業点に供給される。7.ワークのR面のトラバース研削加工が終了したら、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。8.上記研削開始待機位置にあるワークテーブル4に搭載された前記クランプ装置7の主軸台の支持軸7a1をサーボモータで90度回転させて前記ワークの芯出しを行う。9.前記クランプ装置7の主軸台の支持軸7a1をサーボモータで前記ワークのC軸回転をワークのR面弧の中間点とワークのC軸心を結ぶ基準線に対して前方向に13度、後方向に13度の角度で前後に揺動回転することをR面円筒研削加工中に40回/分の割合で揺動する回転を開始する。10.前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型砥石11g,11g側へ350mm/分の移動速度で左方向に移動させ、クランプ装置7に支架され前後に26度の揺動角度で揺動回転しているワークのR面がカップホイール型砥石11g,11gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。インフィード研削加工がなされている間、研削液20~1,000cc/分の量がカップホイール型砥石とワークが接する作業点に供給される。11.ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う。1回のワークテーブル4の左方移動で粗面取り研削加工ができないときは、ワークのR面のトラバース研削加工の終了後、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。ついで、前記クランプ装置7を搭載するワークテーブル4を前記カップホイール型砥石11g,11g側へ移動左方向移動させ、クランプ装置7に支架され前後に26度の揺動角度で揺動回転しているワークのR面がカップホイール型砥石11g,11gの刃先に当接したら前記一対の砥石軸11o,11oを所望の研削取り代量まで前進させてワークに切り込みを掛けるインフィード研削を開始する。ワークへの切り込み量が所望量の値となったら前記ワークテーブル4を前記の回転しているカップホイール砥石の一対11g,11gの間を通過させる左方向の移動をさせて前記のC軸前後方向に揺動回転されているワークのR面のトラバース研削加工を行う操作を繰り返し、R面取り粗研削加工を終了させる。トラバース研削加工されている間、研削液20~1,000cc/分の量が作業点に供給される。12.上記ワークのR面のトラバース研削加工が終了したら、前記ワークテーブル4を右方向に後退させ、研削開始待機位置まで戻す。カップホイール型砥石10g,10g一対を用いて、第二研削ステージ10でワークの粗研削面取り加工が施されたR面の仕上げ研削面取り加工を行うときは、仕上げ研削取り代量が少ないので、上記6工程および11工程において、ワークテーブル4の左方向移動は1回で行うことができる。13上記インゴットの表面面取り研削加工が終了した後、クランプ機構7をロードポート8位置へ後退させ、そこで面取り研削加工がなされたワークを360度回転させながら圧空をインゴット表面に噴き付けて風乾させる。風乾が終えたらクランプ機構7によるワークの回転を終了させる。14.ワークローディング/アンローディング装置13の両爪を用いてクランプ機構7に支架されている面取り研削下降四角柱状シリコンインゴットブロックwを把持し、ついで、心押台7bを左方向へ後退させて支架を解いたのち、両爪をワークストッカー14V字棚段上方へ移動させ、下降してワークをワークストッカー14V字棚段に載置し、その後、両爪を離間してワークwの把持を解く。"