検出素子と、前記検出素子に与えられた慣性力に対応する慣性量を検出する検出回路と、前記検出回路の出力側に接続された第1のローパスフィルタと、前記第1のローパスフィルタの出力を補正する補正回路と、を備え、前記補正回路は、前記第1のローパスフィルタの出力側に接続された補正量生成部と、前記補正量生成部の出力側に接続された補正量保持部と、前記第1のローパスフィルタの出力側及び前記補正量保持部の出力側に接続された補正部と、を有し、前記補正部は、前記補正量保持部が保持する補正量に基づいて前記第1のローパスフィルタの出力値を補正する慣性力センサ。前記補正量生成部は、前記第1のローパスフィルタの出力側に接続されたハイパスフィルタと、前記第1のローパスフィルタの出力側及び前記ハイパスフィルタの出力側に接続され、前記第1のローパスフィルタの出力値と前記ハイパスフィルタの出力値との差分値を出力する演算回路と、を備えた請求項1に記載の慣性力センサ。前記補正量生成部は、前記第1のローパスフィルタの出力側に接続された第2のローパスフィルタを備え、前記第2のローパスフィルタのカットオフ周波数は前記第1のローパスフィルタのカットオフ周波数よりも小さい請求項1に記載の慣性力センサ。前記補正回路は、指示信号を出力する慣性量判断部を有し、前記補正量保持部は、前記慣性量判断部が前記指示信号を出力した場合に前記補正量を保持する請求項1に記載の慣性力センサ。前記補正量生成部は、前記第1のローパスフィルタの出力側に接続され、前記第1のローパスフィルタの出力値を所定値にマスクするデータマスク回路と、前記データマスク回路の出力側に接続されたハイパスフィルタと、前記データマスク回路の出力側及び前記ハイパスフィルタの出力側に接続され、前記データマスク回路の出力値と前記ハイパスフィルタの出力値との差分値を出力する演算回路と、を備え、前記演算回路の出力が、前記補正量保持部に接続され、前記第1のローパスフィルタの出力、及び前記演算回路の出力が前記慣性量判断部に接続された請求項4に記載の慣性力センサ。前記慣性量判断部は、第1のWINDOWと第2のWINDOWを有し、前記第1のローパスフィルタの出力値が前記第1のWINDOWの範囲から外れる期間は、第1のWINDOWフラグを生成し、前記補正量生成部の出力値が前記第2のWINDOWの範囲から外れる期間は、第2のWINDOWフラグを生成し、前記慣性量判断部は前記第1のWINDOWフラグ及び前記第2のWINDOWフラグの一方又は両方に基づいて前記指示信号を生成する請求項4に記載の慣性力センサ。前記第1のWINDOWのセンター値は、前記補正部の出力値である請求項6に記載の慣性力センサ。実施の形態1図1は、実施の形態1における慣性力センサのブロック図である。図1において、慣性力センサ8は、検出素子9と、検出素子9に与えられた慣性力に対応する慣性量を検出する検出回路10と、検出回路10の出力側に接続された第1のローパスフィルタ11と、第1のローパスフィルタ11の出力を補正する補正回路12と、を備える。補正回路12は、第1のローパスフィルタ11の出力側に接続された補正量生成部13と、補正量生成部13の出力側に接続された補正量保持部14と、第1のローパスフィルタ11の出力側及び補正量保持部14の出力側に接続された補正部15と、を有する。補正部15は、補正量保持部14が保持する補正量に基づいて第1のローパスフィルタ11の出力値を補正する。この構成により、出荷時に補正値が補正量保持部14に書き込まれた後でも、慣性力が入力されていない状態における出力オフセットを低減することができる。また、検出素子9に対して慣性力以外の応力が加わることによる出力オフセットに限らず、温度変動や筐体図示せず、検出素子9及び検出回路10などの経時変化に起因する出力変動に対しても、出力オフセットを低減することができる。以下、慣性力センサ8の具体的構成について、音叉型の角速度センサを例に説明する。図2は本発明の実施の形態1における角速度センサ素子を示す図である。図2は、検出素子9の一例である音叉型の角速度センサ素子101を示す。図3は図2における一点鎖線3-3線の断面図である。図2及び図3に示す如く、角速度センサ素子101は、音叉型のシリコン基板102、103の上に下部電極108、109、110、111、112、113が形成されている。下部電極108、109、110、111、112、113それぞれの上に圧電薄膜114、115、116、117、118、119が形成されている。更に圧電薄膜114、115、116、117、118、119それぞれの上に上部電極120、121、122、123、124、125が形成されている。上部電極120、122、123、125は駆動電極である。上部電極121、124は検出電極である。また、下部電極108、109、110、111、112、113は全て基準電位に接続されている。角速度センサ素子101は、駆動電極120、122、123、125に所定の駆動電圧が印加されることで、図2のX軸方向に振動する。角速度センサ素子101がX軸方向に振動している状態で、Y軸周りの角速度が印加されるとコリオリ力が発生する。コリオリ力により、アーム106、107がZ軸方向に撓み、圧電薄膜115、118が同じく撓むことで検出電極121、124に電荷が発生する。この電荷の量がコリオリ力に比例することから、角速度を検出することが可能となる。ここで、角速度センサ素子101のアーム106、107がX軸方向でそれぞれ逆方向に動くように振動している。そのため、Y軸周りに角速度が印加された場合のコリオリ力は、アーム106、107でそれぞれZ軸方向の逆の方向に撓むことになる。このため、検出電極121、124にコリオリ力に応じて発生する電荷、または検出電極121、124を回路に接続したときに流れる電流は、それぞれ逆極性となる。また、図2のモニタ電極126は駆動振動に同期した周波数の信号を取り出すための電極であり、このモニタ電極126により検出された信号を後述する検出回路での検波に用いる。図4は本発明の実施の形態1における検出回路及び駆動回路のブロック図である。図4の検出回路67は図1の検出回路10の例である。図4に示すように、検出回路67は、入力端子60、61と、センス電流電圧変換器62、63と、差動増幅器64と、同期検波器65と、検波出力端子66とを備える。入力端子60、61は角速度センサ素子101の検出電極121、124にそれぞれ電気的に接続される。角速度センサ素子101の検出電極121、124において発生した、互いに逆極性の電流はセンス電流電圧変換器62、63によって電圧に変換され、差動増幅器64で差動演算されることにより、実質的に合算される。差動増幅器64の出力は、同期検波器65に入力され、駆動回路51のクロック生成器50から出力されるクロック信号で同期検波され、検波出力端子66から出力される。駆動回路51は図2、3に示す角速度センサ素子101を駆動する為の回路である。図4に示すように、駆動回路51は、モニタ入力端子40と、モニタ電流電圧変換器41と、DC変換器42と、AGC回路43と、バンドパスフィルタ44と、出力増幅器45と、反転増幅器46と、位相器49と、クロック生成器50と、駆動出力端子47、48とを備える。モニタ入力端子40はモニタ電極126に電気的に接続され、駆動振動に同期し、モニタ電極126に発生する電荷によるモニタ電流を駆動回路51に入力する。モニタ電流電圧変換器41はモニタ電流を電圧に変換する。DC変換器42は電圧に変換されたモニタ電流以下、モニタ信号をDC信号に変換する。AGC回路43はモニタ電流電圧変換器41から入力されたモニタ信号を、DC変換器42の出力レベルに応じた利得で増幅する。バンドパスフィルタ44は不要な周波数成分を除去する。出力増幅器45はバンドパスフィルタ44の出力を増幅する。反転増幅器46は出力増幅器45の出力を反転させる。駆動出力端子47、48は角速度センサ素子101の駆動電極120、122、123、125の所定の電極に接続される。この駆動回路51のモニタ入力端子40及び駆動出力端子47、48を角速度センサ素子101に接続することで駆動ループが形成され、自励発振により角速度センサ素子101に駆動電圧が印加される。また、AGC回路43では、DC変換器42の出力が増加すればAGC回路43のゲインが下がり、DC変換器42の出力が減少すればAGC回路43のゲインが増加するような制御がされる。これによって、AGC回路43への入力であるモニタ信号が概略一定のレベルになるように制御がされ、結果的に駆動振動振幅が一定のレベルに保たれる。また、位相器49はモニタ電流電圧変換器41で電圧に変換されたモニタ信号の位相を90度回転させる。クロック生成器50はその出力を用いて同期検波用の方形波形のクロック信号を作る。クロック生成器50の出力を用いて前述の検出回路67における同期検波が行われる。図1の第1のローパスフィルタ11は、検出回路10の出力を入力し、所定のカットオフ周波数以上の周波数成分を減衰させることで、必要な角速度成分が含まれる周波数帯域に帯域を制限し、不要な信号の一部を抑圧するフィルタである。図5は、図1の補正量生成部の一構成例を示した図である。補正量生成部13aは、ハイパスフィルタ13bと、演算回路13cを有している。ハイパスフィルタ13bは、第1のローパスフィルタ11の出力側に接続される。演算回路13cは、第1のローパスフィルタ11の出力側及びハイパスフィルタ13bの出力側に接続され、第1のローパスフィルタ11の出力値とハイパスフィルタ13bの出力値との差分値を出力する。ここで、第1のローパスフィルタ11のカットオフ周波数は、ハイパスフィルタ13bのカットオフ周波数よりも高くする。この構成により、補正量生成部13aはハイパスフィルタ13bのカットオフ周波数よりも低い周波数成分を、出力オフセットとして抽出することができる。ここで、検出素子9や検出回路10の経時変化に伴う出力オフセットは、所望の角速度の周波数成分に比べて低い周波数であり、例えば0.001Hz以下またはDC成分である。例えば、慣性力センサ8を実装する基板の反りにより発生する外部応力に起因する出力オフセットは、所望の角速度の周波数成分に比べて十分に低く、ほぼDC成分として現れる。従来の慣性力センサ1では、出荷時に補正量保持部6に書き込まれた補正値によって補正するため、このような検出素子2や検出回路3の経時変化に伴う出力オフセットを補正することができなかった。しかし、本実施の形態における慣性力センサ8を用いることにより、出荷時に補正量保持部14に補正値が書き込まれた後でも、出力オフセットを低減することができる。例えば、所望の角速度入力が、0.001Hz~20Hzの周波数範囲にある場合、第1のローパスフィルタ11のカットオフ周波数を20Hz以上、ハイパスフィルタ13bのカットオフ周波数を0.001Hz以下とする。これにより、慣性力センサ8は、0.001Hz~20Hzの周波数範囲にある角速度を検出しつつ、0.001Hz以下の不要なオフセット成分を除去することが可能となる。尚、補正量生成部13を設けず、第1のローパスフィルタ11と補正部15の間に所望の角速度入力の周波数帯域の下限周波数以下のカットオフ周波数を持つハイパスフィルタを直列に挿入することによりカットオフ周波数以下のオフセット成分を除去することができる。あるいは補正量生成部13を設けず、第1のローパスフィルタ11と補正部15の間にDC成分を除去するコンデンサを直列に設けることでも、DC付近のオフセット成分のみを除去することは可能である。しかし、これらの構成では、検出信号自体、つまり実使用帯域の信号自体がハイパスフィルタ或いはコンデンサを通過するため、検出信号の遅延が発生してしまう。一方、本実施の形態のように構成することにより第1のローパスフィルタ11と補正部15の間にハイパスフィルタやコンデンサのような遅延量の大きい回路を設けずに不要なオフセット成分を除去することができる。実施の形態2次に、本発明の実施の形態2の特徴部分について、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図6は、本発明の実施の形態2における慣性力センサのブロック図である。図6において、慣性力センサ19は、第2のローパスフィルタ13eを有する補正量生成部13dを備えている。第2のローパスフィルタ13eは第1のローパスフィルタ11の出力側に接続され、第2のローパスフィルタ13eの出力は補正量保持部14に接続される。この際、第1のローパスフィルタ11のカットオフ周波数は第2のローパスフィルタ13eのカットオフ周波数よりも高い周波数に設定する。この構成により、第2のローパスフィルタ13eのカットオフ周波数よりも低い周波数成分を、出力オフセットとして抽出することができる。このように、補正量生成部13dを第2のローパスフィルタ13eにより構成することで、図5に示す構成における演算回路13cを省略することが可能であり、回路面積及び消費電流の低減をすることができる。実施の形態3次に、本発明の実施の形態3の特徴部分について、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図7は、本発明の実施の形態3における慣性力センサのブロック図である。図7において、慣性力センサ20は、補正回路12内に慣性量判断部16を備える。慣性量判断部16は、補正量保持部14が保持している補正量が、慣性量であるか否かを判断し、慣性量であると判定した場合には指示信号を出力し、慣性量でないと判定した場合には指示信号を出力しない。これにより補正量保持部14は慣性量判断部16から指示信号が入力された場合に補正量生成部13から出力された補正量を保持し、補正量の更新を行わない。一方、補正量保持部14は慣性量判断部16から指示信号が入力されない場合に補正量生成部13から出力された補正量を保持せずに、補正量の更新を行う。なお、慣性量判断部16は、慣性量でないと判定した場合に保持しないことを表す指示信号を出力してもよい。この構成により補正量保持部14が保持している補正量が慣性量であるかどうかを判断して、補正量の更新が必要な場合にのみ更新することで、誤補正のリスクを低減させることが可能である。図8は本発明の実施の形態3における補正回路のブロック図である。図8は慣性量判断部16を含んだ補正回路の一構成例である補正回路12aのブロック図を示す。第1のローパスフィルタ11の出力及び演算回路13cの出力が慣性量判断部16への入力される構成となっている。この構成により、演算回路13cの出力が慣性量であるか否かを判定することができ、ハイパスフィルタ13bのカットオフ周波数よりも低い周波数成分を更に慣性量であるかどうかを判定することができる。その結果、ハイパスフィルタ13bの周波数よりも低い周波数成分の一部も慣性量として検出可能な成分とすることが可能となる。具体的には、例えば慣性量判断部16への入力信号が所定時間でどれだけの変動をするかによって、その入力信号の周波数成分を推定する。そして、ハイパスフィルタ13bのカットオフ周波数よりも低い周波数を閾値として、その閾値よりも低い周波数成分の変動のみを慣性量として判断し、補正を行うことが可能となる。これにより、ハイパスフィルタ13bのカットオフ周波数を変更することなく、検出周波数範囲の調整が可能となり、誤補正確率が低減すると共に、設計自由度が向上する。また、図8の第1ローパスフィルタ11の出力である検出信号の大きさにより検出信号が慣性量か否かを判定してもよい。すなわち、所定の範囲を有するWINDOWを設定し、検出信号がこのWINDOWの範囲から外れる場合には、検出信号は慣性量であると判定して補正には使用せず、WINDOWの範囲に入る検出信号のみを補正に使用するようにしてもよい。また、後述するように検出信号がWINDOWから外れる期間では、補正量生成部13fのデータマスク回路18により検出信号をマスクしてハイパスフィルタ13bに入力してもよい。データマスク回路18は、第1のローパスフィルタ11の出力とハイパスフィルタ13bの入力とに接続されている。さらに、データマスク回路18には補正量保持部14から、後述するWINDOW1のセンター値が入力されている。また、データマスク回路18の動作は慣性量判断部16により制御される。図9~図10Cを用いて、慣性量判断部16の具体的動作を詳細に説明する。図9は本発明の実施の形態3における補正回路の動作を示すフローチャートである。図10Aは補正回路に入力される検出信号の検出値の時間変化を示す図である。図10Bは図9のステップS1の動作を説明する図である。図10Cは図9のステップS4の動作を説明する図である。図8に示すように、慣性量判断部16には第1ローパスフィルタ11の出力及び補正量生成部13fの出力演算回路13cの出力が入力される。慣性量判断部16は、第1ローパスフィルタ11の出力が慣性量か否かを判定するためのWINDOW1第1のWINDOW、補正量生成部13fの出力が慣性量であるか否かを判定するWINDOW2第2のWINDOWを有し、それぞれのWINDOWで判定された結果に応じて、データマスク回路18のデータマスク処理及び補正量保持部14の補正量の更新を制御する。図10Aは、検出信号を所定の時間間隔でサンプリングした検出サンプル21の検出値と補正値22との関係を示している。検出サンプル21の検出値は本来補正すべき出力オフセット以外に検出すべき慣性量を含んでいる。そこで、検出サンプル21の検出値からこの慣性量を除く処理を行う。図9に示すように、第1のローパスフィルタ11から検出信号が補正回路12aに入力されると、まず、WINDOW1のセンター値をステップS6から受け取り、WINDOW1を生成してデータマスク処理及びデータ更新制御を行う。そして、補正量保持部14においてデータ更新を行うか否か指示するWINDOW1フラグ第1のWINDOWフラグをステップS5へ伝達するステップS1。このデータマスク処理及びデータ更新制御の内容については後ほど詳述する。次に、ハイパスフィルタ13bによりカットオフ周波数以下の検出信号の低周波域を除去するステップS2。その後、データマスク処理された第1ローパスフィルタ11の出力からハイパスフィルタ13bの出力を演算回路13cで減算して低周波を抽出するステップS3。ステップS4では、ステップS3から低周波抽出値を受け取り、WINDOW2を生成し、補正量保持部14においてデータ更新を行うか否か指示するWINDOW2フラグ第2のWINDOWフラグを生成する。WINDOW2フラグをステップS5へ伝達してデータ更新制御を行う。このデータ更新制御の内容は後ほど詳述する。ステップS5ではステップS1からWINDOW1フラグを、ステップS4からWINDOW2フラグを受け取り、補正量保持部14のオフセット値の更新停止を指示する更新コントロール信号指示信号を生成する。ステップS6では、ステップS5から更新コントロール信号を、ステップS3から低周波抽出値オフセット値を受け取り、補正量保持部14のBUFFERのオフセット値の更新を行う。最後に、補正部15において更新されたオフセット値により第1ローパスフィルタ11の出力からオフセットの除去が行われるステップS7。次に、ステップS1のデータマスク処理及びデータ更新制御について説明する。ステップS1においては、まず、第1ローパスフィルタ11の出力である検出信号の各検出値がWNDOW1の範囲内に入っているか否かを判定する。WINDOW1の範囲から外れる期間の検出値は慣性量と見なして、データマスク回路18において検出値データをマスクするとともに、この期間中は補正量保持部14のデータの更新を停止するためのWINDOW1フラグを生成する。ここで、データマスク回路18におけるデータマスク処理は検出値がWINDOW1から外れる直前の検出値に置き換えるものとする。例えば、図10Bに示すように、WINDOW1の範囲は上限閾値23と下限閾値24の間の範囲である。ここで、WINDOW1のセンター値基準レベルはそれぞれの時点での補正値22とする。言い換えれば、WINDOW1の上限閾値23は補正値22をWINDOW幅だけ上方へシフトした値である。下限閾値24は補正値22をWINDOW幅だけ下方へシフトした値である。ここで、WINDOW幅とは上限閾値-下限閾値/2で決まる値である。例えば、図10Bに示すように、検出サンプル21b、21cの検出値が上限閾値23より大きくなってWINDOW1の範囲から外れた場合には、直前の検出サンプル21aの検出値を検出サンプル21b、21cの検出値とする。そして、検出サンプル21b、21cの期間では慣性量判断部16は補正量保持部14のデータ更新を停止する。同様に、検出サンプル21fの検出値が下限閾値24より小さくなってWINDOW1の範囲から外れた場合には、直前の検出サンプル21eの検出値を検出サンプル21fの検出値とする。そして、検出サンプル21fの期間では慣性量判断部16は補正量保持部14のデータ更新を停止する。なお、データマスク回路18は、WINDOW1から外れた検出サンプル21の検出値をWINDOW1の上限閾値23または下限閾値24の値としてもよい。次に、ステップS4のデータ更新制御について説明する。ステップS4では、ステップS3で生成された低周波抽出値がWINDOW2の範囲に入っているか否かを判定して、WINDOW2の範囲から外れる期間中は補正量保持部14のデータ更新を停止するためのWINDOW2フラグを生成する。例えば、図10Cに示すように、WINDOW2の範囲は上限閾値33と下限閾値34との間の範囲である。WINDOW2の範囲から外れる低周波抽出値は慣性量によるものと判定し、WINDOW2の範囲に入る低周波抽出値は慣性量以外によるものと判定する。例えば、図10Cにおいて、低周波抽出値31がWINDOW2の範囲から外れる期間、言い換えれば、低周波抽出値31が上限閾値33より大きい期間35では、慣性量判断部16は低周波抽出値31が慣性量によるものと判定して補正量保持部14のデータ更新を停止する。同様に、低周波抽出値31が下限閾値34より小さい期間では、慣性量判断部16は低周波抽出値31が慣性量によるものと判定して補正量保持部14のデータ更新を停止する。このような構成の慣性量判断部16を設けることにより、慣性力センサ20は、低域の補正値にハイパスフィルタ13bのカットオフ周波数付近の慣性量が混入するのを防止することができる。また、データマスク回路18を備えることにより、必要以上に大きな検出信号がハイパスフィルタ13bに入力されるのを抑制することが可能となりハイパスフィルタ13bの収束時間を短縮することができる。ここで、WINDOW2の幅は、WINDOW1の幅よりも小さくするのが好ましく、より好ましくは、WINDOW1の幅の1/2程度とするのがよい。また、上記説明では、慣性量判断部16は、WINDOW1フラグ及びWINDOW2フラグの両方に基づいて補正量保持部14のデータ更新を停止する更新コントロール信号を生成するとしたが、慣性力センサ20の使用環境によっては、WINDOW1フラグ及びWINDOW2フラグのいずれか一方に基づいて更新コントロール信号を生成してもよい。さらに、上記説明では、補正量生成部13fは、第1のローパスフィルタ11の出力とハイパスフィルタ13bの入力に接続されたデータマスク回路18を有するとしたが、補正量生成部13fは、データマスク回路18を有しない構成でもよい。図11は本発明の実施の形態3における補正回路のブロック図である。図11は慣性量判断部16を含んだ補正回路の別の構成例である補正回路12bのブロック図を示す。補正回路12bは、慣性量判断部16への入力として補正トリガ入力17を備えている。補正回路12bの構成によりユーザが補正を実行したタイミングで補正量保持部14における補正量の更新が可能となり、利便性及び機能の自由度が向上する効果がある。例えば、補正トリガ入力17に対して、温度センサ図示せずや応力センサ図示せずの出力と連動したトリガ信号を入力することが可能である。これにより、一定以下の応力や温度条件下では補正をしない、補正量を限定するなど、誤補正を低減するシステムを組むことが可能となる。尚、出力オフセットは慣性力センサに掛かる温度や応力に密接に関係している為、温度センサや応力センサを例えば慣性力センサと同一のパッケージ内、あるいは実装基板上など慣性力センサの近傍に設けることが望ましい。これにより補正回路12bでの誤補正を低減できる。尚、加速度センサや角速度センサなどの第2の慣性力センサ図示せずの出力に基づいて補正トリガ入力17にトリガ信号を入力しても良い。これにより別途温度センサや応力センサなどの補正用のセンサを設けることなく、トリガ信号を生成することができる。