"アクチュエータで可動体を加圧対象物に衝突するまで移動させて該加圧対象物に対する該可動体の加圧力を制御する機能を備えた生産機械において、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を緩和するために用いる衝撃緩和アクチュエータと、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を検出する衝撃力検出手段と、前記衝撃力検出手段の出力信号から低周波帯域の信号成分を抽出する低周波帯域信号抽出手段と、前記低周波信号抽出手段で抽出した低周波帯域の信号成分と加圧力指令との偏差が小さくなるように前記メインアクチュエータの駆動力を制御する駆動力フィードバック制御手段と、前記衝撃力検出手段の出力信号から高周波帯域の信号成分を抽出する高周波帯域信号抽出手段と、前記高周波信号抽出手段で抽出した高周波帯域の信号成分に基づいて前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を緩和するように前記衝撃緩和アクチュエータの駆動力を制御する衝撃緩和制御手段とを備えていることを特徴とする生産機械。前記衝撃緩和アクチュエータ及び前記衝撃力検出手段は、1つの圧電素子により構成されていることを特徴とする請求項1に記載の生産機械。アクチュエータで可動体を加圧対象物に衝突するまで移動させて該加圧対象物に対する該可動体の加圧力を制御する機能を備えた生産機械において、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を緩和するために用いる衝撃緩和アクチュエータと、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を検出する衝撃力検出手段と、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を緩和するように前記衝撃緩和アクチュエータの駆動力を制御する衝撃緩和制御手段とを備え、前記衝撃緩和アクチュエータ及び前記衝撃力検出手段は、それぞれ別の圧電素子により構成されていると共に、前記可動体の駆動方向に直列に設けられ、前記衝撃緩和制御手段は、前記衝撃力検出手段を構成する圧電素子が加圧対象物との衝突による歪みを検出した瞬間に、前記衝撃緩和アクチュエータを構成する圧電素子が前記歪みの方向とは反対方向に変形するように該圧電素子の駆動電圧を制御することを特徴とする生産機械。アクチュエータで可動体を加圧対象物に衝突するまで移動させて該加圧対象物に対する該可動体の加圧力を制御する機能を備えた生産機械において、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を緩和するために用いる衝撃緩和アクチュエータと、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を検出する衝撃力検出手段と、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を緩和するように前記衝撃緩和アクチュエータの駆動力を制御する衝撃緩和制御手段とを備え、前記衝撃緩和アクチュエータ及び前記衝撃力検出手段は、それぞれ別の圧電素子により構成されていると共に、前記衝撃緩和アクチュエータを構成する圧電素子にはカウンターマスが取り付けられ、前記衝撃緩和制御手段は、前記衝撃力検出手段を構成する圧電素子が加圧対象物との衝突による歪みを検出した瞬間に、前記衝撃緩和アクチュエータを構成する圧電素子の駆動電圧を前記カウンターマスが衝撃力を緩和する方向に移動するように制御することを特徴とする生産機械。アクチュエータで可動体を加圧対象物に衝突するまで移動させて該加圧対象物に対する該可動体の加圧力を制御する機能を備えた生産機械において、位置指令に基づいて前記アクチュエータを駆動して前記可動体の位置を制御する位置制御を実行する位置制御手段と、前記加圧対象物に対する前記可動体の加圧力が加圧力指令と一致するように前記アクチュエータを制御する加圧力制御を実行する加圧力制御手段と、前記可動体が加圧対象物に衝突したことを検出する衝突検出手段と、前記衝突検出手段で前記可動体の衝突を検出する前は前記位置制御手段による位置制御を実行し、前記衝突検出手段で前記可動体の衝突を検出した後は前記駆動力制御手段による加圧力制御を実行する制御方式切換手段とを備えていることを特徴とする生産機械。しかし、上記特許文献1,2のように、ショックアブソーバやダンパ部材によって衝撃力を緩和する手法では、衝撃力が許容値以下に緩和されるまでに、ある程度の時間がかかったり、共振したりする可能性があり、駆動速度の高速化に限界がある。そこで、本発明者らは、アクチュエータを用いて衝撃力を緩和するシステムを研究しているが、衝撃力の振動は高周波振動となるため、制御の処理が高周波振動に追従できなくなり、衝撃力を応答良く緩和することができないばかりか、衝撃力の影響で加圧対象物に対する可動体の加圧力も安定しないという問題がある。そこで、本発明が解決しようとする課題は、可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を応答良く緩和して、加圧対象物に対する可動体の加圧力を安定させることができる生産機械を提供することである。上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、アクチュエータで可動体を加圧対象物に衝突するまで移動させて該加圧対象物に対する該可動体の加圧力を制御する機能を備えた生産機械において、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を緩和するために用いる衝撃緩和アクチュエータと、前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を検出する衝撃力検出手段と、前記衝撃力検出手段の出力信号から低周波帯域の信号成分を抽出する低周波帯域信号抽出手段と、前記低周波信号抽出手段で抽出した低周波帯域の信号成分と加圧力指令との偏差が小さくなるように前記メインアクチュエータの駆動力を制御する駆動力フィードバック制御手段と、前記衝撃力検出手段の出力信号から高周波帯域の信号成分を抽出する高周波帯域信号抽出手段と、前記高周波信号抽出手段で抽出した高周波帯域の信号成分に基づいて前記可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を緩和するように前記衝撃緩和アクチュエータの駆動力を制御する衝撃緩和制御手段とを備えた構成としたものである。この構成によれば、可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を衝撃力検出手段により検出し、衝撃力検出手段の出力信号から低周波帯域信号抽出手段により抽出し、抽出した低周波帯域の信号成分と加圧力指令との偏差が小さくなるようにアクチュエータの駆動力を駆動力フィードバック制御手段により制御する。つまり、衝撃力検出手段の出力信号から低周波帯域の信号成分を抽出することで衝撃力の大きさを抽出し、アクチュエータ13の駆動力加圧対象物に対する可動体の加圧力を加圧力指令に一致させるようにフィードバック制御するものである。これと同時に、衝撃力検出手段の出力信号から高周波帯域信号抽出手段により抽出した高周波帯域の信号成分に基づいて衝撃力を緩和するように衝撃緩和アクチュエータの駆動力を制御することで、可動体が加圧対象物に衝突したときの衝撃力を応答良く緩和して、加圧対象物に対する可動体の加圧力を安定させることができる。この場合、請求項2のように、衝撃緩和アクチュエータ及び衝撃力検出手段は、1つの圧電素子により構成しても良い。1つの圧電素子の圧電効果と逆圧電効果を利用すれば、1つの圧電素子をセルフセンシングアクチュエータとして用いて、衝撃緩和アクチュエータと衝撃力検出手段の両方の機能を1つの圧電素子で実現でき、低コスト化及び省スペース化も実現できる利点がある。或は、請求項3のように、衝撃緩和アクチュエータ及び衝撃力検出手段をそれぞれ別の圧電素子により構成して、可動体の駆動方向に直列に設け、前記衝撃力検出手段を構成する圧電素子が加圧対象物との衝突による歪みを検出した瞬間に、前記衝撃緩和アクチュエータを構成する圧電素子が歪みの方向とは反対方向に変形するように該圧電素子の駆動電圧を制御するようにしても良い。或は、請求項4のように、衝撃緩和アクチュエータ及び衝撃力検出手段をそれぞれ別の圧電素子により構成すると共に、前記衝撃緩和アクチュエータを構成する圧電素子にはカウンターマスを取り付け、前記衝撃力検出手段を構成する圧電素子が加圧対象物との衝突による歪みを検出した瞬間に、前記衝撃緩和アクチュエータを構成する圧電素子の駆動電圧を前記カウンターマスが衝撃力を緩和する方向に移動するように制御するようにしても良い。尚、上記請求項3,4に係る発明においては、低周波帯域信号抽出手段、高周波信号抽出手段及び駆動力フィードバック制御手段を省略した構成としても良いし、請求項1に係る発明と同様、低周波帯域信号抽出手段、高周波信号抽出手段及び駆動力フィードバック制御手段を備えた構成としても良い。また、請求項5のように、位置指令に基づいてアクチュエータを駆動して可動体の位置を制御する位置制御を実行する位置制御手段と、前記加圧対象物に対する前記可動体の加圧力が加圧力指令と一致するように前記アクチュエータを制御する加圧力制御を実行する加圧力制御手段と、前記可動体が加圧対象物に衝突したことを検出する衝突検出手段と、前記衝突検出手段で前記可動体の衝突を検出する前は前記位置制御手段による位置制御を実行し、前記衝突検出手段で前記可動体の衝突を検出した後は前記駆動力制御手段による加圧力制御を実行する制御方式切換手段とを備えた構成としても良い。この構成によれば、位置制御により可動体が加圧対象物に衝突した瞬間に、位置制御から加圧力制御に切り換えることができるため、位置制御により可動体の駆動速度を高速化しながら、衝突後は加圧力制御により衝撃力を効果的に緩和して、加圧対象物に対する可動体の加圧力を安定させることができる。以下、本発明を実施するための形態を具体化した幾つかの実施例を説明する。本発明の実施例1を図1に基づいて説明する。本実施例1の生産機械は、例えば、部品実装機、部品組立機等であり、部品実装機の場合は、吸着ノズルに部品を吸着して回路基板上に該部品を実装する際に、吸着ノズルで部品を回路基板に軽く加圧して実装する動作を本実施例1の制御システムによって制御する。部品組立機の場合は、圧入挿入部品を保持して孔に圧入挿入する動作を本実施例1の制御システムによって制御する。生産機械の可動体11は、軸12にスライド可能に支持され、アクチュエータ13によって駆動される。可動体11を駆動するアクチュエータ13は、サーボモータ、ステップモータ等のモータ、リニアモータ等により構成されている。可動体11の移動方向の所定位置には、加圧対象物14が設置されている。可動体11には、その先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力が加わる位置に圧電素子15が取り付けられている。この圧電素子15は、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を緩和するために用いる衝撃緩和アクチュエータとして機能すると共に、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を検出する衝撃力検出手段としても機能する。すなわち、圧電素子15は、圧電効果と逆圧電効果を利用することで、衝撃緩和アクチュエータと衝撃力検出手段の両方の機能を実現するセルフセンシングアクチュエータとして用いられている。アクチュエータ13の駆動制御系には、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの圧電素子15の出力信号衝撃力の検出信号から低周波帯域の信号成分を抽出する低周波帯域信号抽出フィルタ16低周波帯域信号抽出手段と、この低周波帯域信号抽出フィルタ16で抽出した低周波帯域の信号成分と加圧力指令との偏差が小さくなるようにアクチュエータ13の駆動力加圧対象物14に対する可動体11の加圧力をフィードバック制御するフィードバック制御部17駆動力フィードバック制御手段とが設けられている。圧電素子15の出力信号衝撃力の検出信号から低周波帯域信号抽出フィルタ16で低周波帯域の信号成分を抽出することで、可動体11の先端部11aに加わる衝撃力の大きさを抽出し、フィードバック制御部17によってアクチュエータ13の駆動力加圧対象物14に対する可動体11の加圧力を加圧力指令に一致させるようにフィードバック制御する。一方、衝撃緩和アクチュエータを構成する圧電素子15の駆動制御系には、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの圧電素子15の出力信号衝撃力の検出信号から高周波帯域の信号成分を抽出する高周波帯域信号抽出フィルタ18高周波帯域信号抽出手段と、この高周波帯域信号抽出フィルタ18で抽出した高周波帯域の信号成分に基づいて可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を緩和するように圧電素子15の駆動電圧衝撃緩和アクチュエータの駆動力を制御する衝撃緩和制御部19衝撃緩和制御手段とが設けられている。衝撃緩和制御部19は、高周波帯域信号抽出フィルタ18で抽出した高周波帯域の信号成分と逆位相の波形の駆動信号を生成して、この駆動信号で圧電素子15の駆動電圧を変化させることで、可動体11の先端部11aに加わる衝撃力を緩和するように圧電素子15の駆動電圧を変化させて、可動体11の先端部11aに加わる衝撃力を緩和する。この衝撃緩和制御部19は、ディジタル回路で構成しても良いが、圧電素子15の振動の周波数が高いために、ディジタル処理が振動周波数に十分に追従できない場合は、アナログ回路で構成すると良い。以上説明した本実施例1では、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの圧電素子15の出力信号衝撃力の検出信号から低周波帯域信号抽出フィルタ16で低周波帯域の信号成分を抽出することで、可動体11の先端部11aに加わる衝撃力の大きさを抽出し、フィードバック制御部17によってアクチュエータ13の駆動力加圧対象物14に対する可動体11の加圧力を加圧力指令に一致させるようにフィードバック制御すると共に、圧電素子15の出力信号衝撃力の検出信号から高周波帯域信号抽出フィルタ18で抽出した高周波帯域の信号成分に基づいて可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を緩和するように圧電素子15の駆動電圧衝撃緩和アクチュエータの駆動力を衝撃緩和制御部19によって制御するため、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を応答良く緩和して、加圧対象物14に対する可動体11の加圧力を安定させることができる。しかも、本実施例1では、1つの圧電素子15で、衝撃緩和アクチュエータと衝撃力検出手段の両方の機能を実現しているため、低コスト化及び省スペース化も実現できる利点がある。上記実施例1では、1つの圧電素子15で、衝撃緩和アクチュエータと衝撃力検出手段の両方の機能を実現するように構成したが、図2に示す本発明の実施例2では、可動体11の先端部11aに、加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を緩和するために用いる衝撃緩和アクチュエータを構成する衝撃緩和用の圧電素子21と、加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を検出する衝撃力検出手段を構成する衝撃力検出用の圧電素子22とを可動体11の駆動方向に直列に設け、衝撃力検出用の圧電素子22が加圧対象物14との衝突による歪みを検出した瞬間に、衝撃緩和用の圧電素子21を歪みの方向とは反対方向に変形させるように該圧電素子21の駆動電圧を制御する。これを実現するために、衝撃緩和用の圧電素子21の駆動制御系は、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力検出用の圧電素子22の出力信号衝撃力の検出信号から高周波帯域の信号成分を抽出する高周波帯域信号抽出フィルタ18高周波帯域信号抽出手段と、この高周波帯域信号抽出フィルタ18で抽出した高周波帯域の信号成分に基づいて可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を緩和するように衝撃緩和用の圧電素子21の駆動電圧を制御する衝撃緩和制御部19衝撃緩和制御手段とから構成すれば良い。その他の事項は、前記実施例1と同じであり、同一部分には同一符号を付して説明を省略する。図3に示す本発明の実施例3では、可動体11の先端部11aには、加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を検出する衝撃力検出手段を構成する衝撃力検出用の圧電素子23のみが設けられ、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を緩和するために用いる衝撃緩和アクチュエータを構成する衝撃緩和用の圧電素子24は、可動体11の先端部11aの周囲に位置するように可動体11に取り付けられ、この衝撃緩和用の圧電素子24には、カウンターマス25が取り付けられている。衝撃緩和用の圧電素子24とカウンターマス25は、それぞれリング状に形成されたものであっても良いし、複数個のものであっても良く、要は、可動体11の中心線に関してカウンターマス25の荷重が均等に可動体11に作用するように設ければ良い。本実施例3では、衝撃力検出用の圧電素子23が加圧対象物14との衝突による歪みを検出した瞬間に、衝撃緩和用の圧電素子24の駆動電圧をカウンターマス25が衝撃力を緩和する方向に移動するように制御する。これを実現するために、衝撃緩和用の圧電素子23の駆動制御系は、可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力検出用の圧電素子23の出力信号衝撃力の検出信号から高周波帯域の信号成分を抽出する高周波帯域信号抽出フィルタ18高周波帯域信号抽出手段と、この高周波帯域信号抽出フィルタ18で抽出した高周波帯域の信号成分に基づいて可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突したときの衝撃力を緩和するように衝撃緩和用の圧電素子24の駆動電圧を制御する衝撃緩和制御部19衝撃緩和制御手段とから構成すれば良い。その他の事項は、前記実施例1と同じであり、同一部分には同一符号を付して説明を省略する。図4に示す本発明の実施例4では、可動体11を駆動するアクチュエータ13の駆動制御系には、位置指令に基づいてアクチュエータ13を駆動して可動体11の位置を制御する位置制御を実行する位置制御部31位置制御手段と、加圧対象物14に対する可動体11の加圧力が加圧力指令と一致するようにアクチュエータ13を制御する加圧力制御を実行する加圧力制御部32加圧力制御手段と、アクチュエータ13の制御方式を位置制御部31による位置制御と加圧力制御部32による加圧力制御との間で切り換える制御方式切換部33制御方式切換手段とが設けられている。可動体11には、その先端部11aが加圧対象物14に衝突したことを検出する衝突検出手段を構成する衝突検出用の圧電素子34が設けられ、この圧電素子34の出力信号が衝突検出部35に入力される。可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突して圧電素子34の出力信号が変化した瞬間に、衝突検出部35から衝突検出信号が制御方式切換部33へ出力される。衝突検出部35から衝突検出信号が出力される前衝突が検出される前は、制御方式切換部33が位置制御部31の位置制御信号をアクチュエータ13へ出力する状態に維持されて、可動体11の位置が位置指令と一致するようにアクチュエータ13が駆動され、衝突検出部35から衝突検出信号が出力された瞬間衝突が検出された瞬間に、制御方式切換部33が加圧力制御部32の加圧力制御信号をアクチュエータ13へ出力する状態に切り換えられて、加圧対象物14に対する可動体11の加圧力が加圧力指令と一致するようにアクチュエータ13が駆動される。以上説明した本実施例4によれば、位置制御により可動体11の先端部11aが加圧対象物14に衝突した瞬間に、位置制御から加圧力制御に切り換えることができるため、位置制御により可動体11の駆動速度を高速化しながら、衝突後は加圧力制御により衝撃力を効果的に緩和して、加圧対象物14に対する可動体11の加圧力を安定させることができる。尚、上記実施例4は、前述した実施例1~3のいずれかと組み合わせて実施しても良い。その他、本発明は、可動体11の構造等を適宜変更して実施しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。"