"放電により、並設された複数本のワイヤ電極の間隔で被加工物を薄片にスライスするワイヤ放電加工装置であって、前記並設された複数本のワイヤ電極を同一方向に走行させる走行手段と、前記被加工物の近傍で、前記走行による前記複数本のワイヤ電極の振動を吸収する吸収部と、を備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。前記吸収部は、前記同じ方向に走行する複数本のワイヤ電極がなす平面に、対向する平面を具備し、前記なす平面と前記対向する平面とが面接触することにより、前記対向する平面が前記振動を一括で吸収することを特徴とする請求項1に記載のワイヤ放電加工装置。前記対向する平面は、毛を有する繊維を具備し、前記毛により、前記対向する平面上での前記ワイヤ電極の水平移動を抑制することで前記振動を吸収することを特徴とする請求項2に記載のワイヤ放電加工装置。前記なす平面と前記対向する平面とが面接触する位置が変更可能なように、前記吸収部を配置する配置手段をさらに備え、前記被加工物の近傍で、前記複数本のワイヤ電極が走行する位置が変動するように前記吸収部を配置することで、前記複数本のワイヤ電極の走行距離を伸ばすことを特徴とする請求項2または請求項3に記載のワイヤ放電加工装置。前記被加工物と前記複数本のワイヤ電極とが浸漬する加工液を貯留する加工槽を具備し、前記吸収部が、前記被加工物の近傍にある加工槽の一部に設置されていることを特徴とする請求項1乃請求項4のいずれか1項に記載のワイヤ放電加工装置。前記吸収部の素材が、絶縁性の布紙シートであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のワイヤ放電加工装置。前記薄片にスライスされた被加工物の厚みが、50μm乃至1mmであることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のワイヤ放電加工装置。前記の複数本のワイヤ電極の径が、20μm乃至300μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のワイヤ放電加工装置。前記走行する複数のワイヤ電極の走行速度が、10m分乃至1000m分であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載のワイヤ放電加工装置。前記被加工物は太陽電池用のシリコンインゴットであることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載のワイヤ放電加工装置。放電により、並設された複数本のワイヤ電極の間隔で被加工物を薄片にスライスするワイヤ放電加工方法であって、前記並設された複数本のワイヤ電極を同一方向に走行させる走行工程と、前記被加工物の近傍で、前記走行による前記複数本のワイヤ電極の振動を吸収する吸収工程と、を含むことを特徴とするワイヤ放電加工方法。放電により、並設された複数本のワイヤ電極の間隔で被加工物を薄片にスライスするワイヤ放電加工方法であって、前記並設された複数本のワイヤ電極を同一方向に走行させる走行手段と、前記被加工物の近傍で、前記走行による前記複数本のワイヤ電極の振動を吸収する吸収部と、を備え、前記吸収部は、前記同じ方向に走行する複数本のワイヤ電極がなす平面に、対向する平面を具備し、前記なす平面と前記対向する平面とが面接触することにより、前記対向する平面が前記振動を一括で吸収することを特徴とするワイヤ放電加工方法。しかしながら特許文献1には、走行するワイヤ電極の振動により切断しろが広くなってしまい、被加工物で放電加工されてしまう無駄な部材がワイヤ電極の本数が多くなるにつれて増大してしまうという問題を解決する方法に関しては何ら開示されていない。本願発明は、複数本のワイヤ電極にて放電し被加工物を複数枚にスライスする放電加工において、被加工物の切断しろを低減することができる仕組みを提供すること。本願発明は、放電により、並設された複数本のワイヤ電極の間隔で被加工物を薄片にスライスするワイヤ放電加工装置であって、前記並設された複数本のワイヤ電極を同一方向に走行させる走行手段と、前記被加工物の近傍で、前記走行による前記複数本のワイヤ電極の振動を吸収する吸収部と、を備えることを特徴とする。また、前記吸収部は、前記同じ方向に走行する複数本のワイヤ電極がなす平面に、対向する平面を具備し、前記なす平面と前記対向する平面とが面接触することにより、前記対向する平面が前記振動を一括で吸収することを特徴とする。また、前記対向する平面は、毛を有する繊維を具備し、前記毛により、前記対向する平面上での前記ワイヤ電極の水平移動を抑制することで前記振動を吸収することを特徴とする。また、前記なす平面と前記対向する平面とが面接触する位置が変更可能なように、前記吸収部を配置する配置手段をさらに備え、前記被加工物の近傍で、前記複数本のワイヤ電極が走行する位置が変動するように前記吸収部を配置することで、前記複数本のワイヤ電極の走行距離を伸ばすことを特徴とする。また、前記被加工物と前記複数本のワイヤ電極とが浸漬する加工液を貯留する加工槽を具備し、前記吸収部が、前記被加工物の近傍にある加工槽の一部に設置されていることを特徴とする。また、前記吸収部の素材が、絶縁性の布紙シートであることを特徴とする。また、前記薄片にスライスされた被加工物の厚みが、50μm乃至1mmであることを特徴とする。また、前記の複数本のワイヤ電極の径が、20μm乃至300μmであることを特徴とする。また、前記走行する複数のワイヤ電極の走行速度が、10m分乃至1000m分であることを特徴とする。また、前記被加工物は太陽電池用のシリコンインゴットであることを特徴とする。本願発明により、複数本のワイヤ電極にて放電し被加工物を複数枚にスライスする放電加工において、被加工物の切断しろを低減することができる仕組みを提供することが可能となる。図1を説明する。図1は本願発明のワイヤ放電加工装置1の概略構成を示している。1は、放電により並設された複数本のワイヤ電極の間隔で被加工物28を薄片にスライスするワイヤ放電加工装置である。ワイヤ放電加工装置により薄片にスライスされる被加工物の厚みは、50μmから1mmが望ましい。2はワイヤ電極である。ワイヤ電極2は図2に示すように、ワイヤ電極2は1本の繋がったワイヤであり、ワイヤリール10Aのボビンから繰り出され、ガイドローラ26の外周面のガイド溝図示しないに嵌め込まれながら、当該ガイドローラ26の外側に多数回螺旋状に巻回された後、ワイヤリール10Bのボビンに巻き取られる。ワイヤ電極の内径は、20μmから300μmが望ましい。図示しないガイドローラ駆動モータの回転駆動方向と図示しないボビン駆動モータの回転駆動方向とが正逆に切り替えられた場合には、ワイヤ電極2はワイヤリール10Bのボビンから繰り出され、ガイドローラ26の外周面のガイド溝図示しないに嵌め込まれながら、当該ガイドローラ26の外側外周に多数回螺旋状に巻回された後、ワイヤリール10Aのボビンに巻き取られる。10Aはワイヤリールワイヤ繰出し部である。ワイヤ電極2が巻かれているボビンと、当該ボビンを回転駆動する図示しないボビン駆動モータにて構成される。10Bはワイヤリールワイヤ巻取り部である。ワイヤ電極2が巻かれているボビンと、当該ボビンを回転駆動する図示しないボビン駆動モータにて構成される。20A、20Bはテンションアームワイヤ張力調整部である。ワイヤ電極2に適切な張力を与える。26はガイドローラ4つである。当該ガイドローラを回転駆動する図示しないガイドローラ駆動モータにて構成される。ガイドローラ4つ全てが同じ方向で同じ速度で連動して回転することにより、ワイヤ繰出し部10Aから送られた1本のワイヤ電極がガイドローラ4つの外周においては、並設された複数本のワイヤ電極となって同一方向に走行させる走行手段ことができる。走行する複数のワイヤ電極ワイヤ繰出し部10Aから送られた1本のワイヤ電極の走行速度は10m分~1000m分が望ましい。ガイドローラ駆動モータにより、加工液34に浸漬するように複数本のワイヤ電極を走行させる。28は被加工物ワークである。28は太陽電池用の角柱状のシリコンインゴットである。30は被加工物送り装置である。28の柱軸がガイドローラ26の軸方向といっちするように、28の上端部を保持しつつ、28を下向きに移動させることによって、ワイヤ電極2に対して相対的に移動させる切断送りをする。32は加工槽である。加工槽32はワイヤ電極が放電する場合に複数本のワイヤ電極が浸漬する加工液34を貯留することができる。32は、被加工物と複数本のワイヤ電極とが浸漬する加工液34を貯留することができる。34は加工液である。加工液としては、脱イオン水を用い、温度を20°Cに設定した。そうして、この加工液34の比抵抗を10k~300kΩcmの範囲である。ワイヤ電極2は加工液34表面と接触するように配設される。36は給電子である。28を挟んだ両側には、28を挟んだ両側の各ワイヤ毎に2つペアとなる給電子36が配設される。2つペアとなる給電子36を通じてワイヤ電極2にパルス状の電圧が給電される。100はワイヤサブガイドである。105、108はロードセルである。尚、放電により並設された複数本のワイヤ電極の間隔で被加工物を薄片にスライスするワイヤ放電加工方法としては次の工程となる。1並設された複数本のワイヤ電極を同一方向に走行させる走行工程。2被加工物の近傍で、走行による複数本のワイヤ電極の振動を吸収する吸収工程。図2を説明する。図2は本願発明のワイヤ放電加工装置1において、被加工物28の切断スライスを行っている状態を模式的に示している。尚、図2においてはテンションアーム20A、20B、加工槽32、ワイヤサブガイド100、ロードセル105、108を省略する。ワイヤ電極2がガイドローラ26に巻回される数は、図2のように10回に限定されるものではない。ワイヤ電極2には給電子36を通じて所定のパルス幅を有するパルス電圧が所定の周期で給電されているとともに、加工液34と接触している。ワイヤ電極2と被加工物28との間で放電を繰り返しつつ、ワイヤ電極2が、被加工物28の下面側から被加工物の中を横断するように相対移動をすることにより、被加工物28を複数の薄片に切断スライスする。38は個別給電装置である。38は2つペアとなる給電子36に接続され、2つペアとなる給電子36にパルス状の電圧を給電する。1本のワイヤ電極をガイドローラ4つを100μmから1.5mmの間隔で10回から200回の範囲で張架しているので、10回から200回の範囲で張架されたワイヤ電極複数本のワイヤ電極にそれぞれ個別に独立して給電するためには、10個から200個の放電電源個別給電装置が必要となる。よって1本のワイヤ電極がガイドローラに張架された巻回される回数と同数の個別給電装置を備えている。図3を説明する。図3は38の回路構成図を模式的に示している。38は、高電圧回路40300V程度と低電圧回路42100V~120V程度とが並列に設けられている。38は、まず高電圧回路40によりワイヤ電極2と被加工物28との間で放電を発生させる。38は、次に低電圧回路42によりワイヤ電極2と被加工物28との間で通電を維持させる。高電圧回路40と低電圧回路42によって組み合わされたパルス電圧が所定の期間0.1μsから100μsで繰り返される。パルス電圧のデューティーファクターは好ましくは5~50である。図4を説明する図4は加工槽32の周辺部をワイヤ放電加工装置の正面から見た図を模式的に示している。38は、被加工物28の両側にある2つの給電子36対して同時に、図3で説明したパルス電圧を供給している。50Aは走行する複数本のワイヤ電極の振動を吸収する吸収部である。吸収部の表面と複数本のワイヤ電極とが接触することで振動を吸収する。吸収部は、加工槽32の一部に設置されている。50Aは被加工物28の近傍で、走行による複数本のワイヤ電極の振動を吸収する。50Aは、同じ方向に走行する複数本のワイヤ電極がなす平面Aあるいは、同じ方向に走行する複数本のワイヤ電極により形成され、被加工物28の表面に対向する平面に、対向する少なくとも1つの平面Bを持っている。なす平面Aと対向する平面Bとが面接触することにより、対向する平面Bが複数本のワイヤ電極の振動を一括で吸収することができる。対向する平面Bには、毛を有する繊維がある。この毛により対向する平面B上でのワイヤ電極の左右移動水平移動を抑制することで振動を吸収することができる。吸収部は、被加工物の近傍にある加工槽32の一部に設置貼り付け固定されている。吸収部の素材は、絶縁性の布紙シートであり、好ましくは研磨用に使用されるバフ紙である。すわわち、ワイヤ電極は毛の間に挟まれることで、水平移動に対する自由度だけを失い、左右方向の振動を吸収するが、ワイヤ電極は柔らかい毛の間に挟まれるので走行する場合のワイヤ電極の進行方向に対する接触抵抗は小さい。安価なバフ紙を加工槽32の一部に貼り付ける固定するだけで薄片にスライスする場合の切断しろに影響する左右方向の振動を抑止し、かつ低コストで簡単に設置できるといった効果を奏する。50Bは、50Aと同じものである。加工槽32の底部には図示しない加工液を加工槽に随時供給する供給部がある。供給部から随時供給される加工液は加工槽から溢れだす。本願発明における加工槽は吸収部50の表面上を加工槽32から溢れた加工液34が流れるような形状をしていることから、走行するワイヤ電極との摩擦で発生する吸収部50の表面の熱を加工液34で冷却することもできるといった効果を奏する。吸収部50の表面上及び加工液34の表面上をワイヤ電極が走行するので、加工槽32にワイヤ電極が走行する通過するための穴空間を開ける必要がなくなるという効果を奏する。100は複数本のワイヤ電極が走行する高さ位置を調整するサブガイドである。サブガイドは走行するワイヤ電極とともに回転している。サブガイドの役割は複数本のワイヤ電極を押さえつけることで、対向する平面Bに対してワイヤ電極の上下方向垂直移動の振動を抑制することである。図5を説明する。図5は加工槽32の周辺部をワイヤ放電加工装置の上面から見た図を模式的に示している。被加工物28の両側にある2つの給電子36対が、複数本のワイヤ電極の数と同数だけ配置されている。複数本のワイヤ電極の各ワイヤ電極毎に個別給電装置38が個別に給電している。図6を説明する。図6は吸収部50Aの周辺部をワイヤ放電加工装置の正面から見た図を模式的に示している。60は吸収部の高さ位置配置位置を変更することができる。60は、加工槽32の一部に設置されている。60の表面に張り付けられた吸収部の部材はシート状の布紙バフ紙が好ましい。2はワイヤ電極であり、並設された複数本に並設されている。被加工物送り装置30が被加工物28を下向きに移動させることによって並設されたワイヤ電極の間隔で被加工物28をスライスすることができる。走行する複数本のワイヤ電極の前記加工液への浸漬を維持しながら、調整部が走行する前記複数本のワイヤ電極の高さを調整する位置と異なるように、60により吸収部の高さ位置を変更することができる。60は,なす平面Aと対向する平面Bとが面接触する位置が変更可能なように、吸収部を配置する配置手段である。60が、被加工物の近傍で、複数本のワイヤ電極が走行する位置が変動する高さが異なるようにように吸収部を配置することで、位置が変動しない高さが同じ場合と比べて、複数本のワイヤ電極が走行する距離経路は変わる。つまりワイヤ電極が延びることで、で結果的に複数本のワイヤ電極が走行する距離経路は伸びる。ここで、ワイヤ電極は自らの張力により縮む作用が働き、さらに左右方向の振動をしないようになる。60がワイヤ電極の高さを調整する位置第1の位置と吸収部60の表面の高さ位置第2の位置が相対的に等しい場合に0.0mmとする。吸収部60の表面の高さ位置第2の位置が60のワイヤ電極の高さを調整する位置第1の位置よりも相対的に2.0mm高い場合には2.0mmとする。図7を説明する。図7は、被加工物28の近傍で、複数本で走行する中の1本のワイヤ電極2の左右方向の振動をハイスピードカメラで観察した際の配置図である。ワイヤ放電加工装置の側面から見た図である。図8を説明する。図8は吸収部を使用しない場合の、ワイヤ電極2の走行速度を上昇させた場合の振幅振動結果を示している。ハイスピードカメラを用いて、走行するワイヤ電極の挙動をワイヤ放電加工装置の上面から撮影した写真である。ワイヤ電極の走行速度が、50m分から700m分の範囲においてワイヤ電極の左右方向の振動が確認された。左右方向の振動とは切断しろを広げてしまう方向の振動である。図9を説明する。図9は吸収部を使用し、さらに配置位置高さ位置を上昇させた場合に、ワイヤ電極2の振幅結果を示している。ハイスピードカメラを用いて、走行するワイヤ電極の挙動を撮影した写真である。走行速度が300msの場合には、吸収部を使用することで、第2の位置と第1の位置よりも相対的に等しい0.0mm高さであっても吸収部が振動を吸収している。次に第2の位置が第1の位置よりも相対的に1.0mm高い場合においては、吸収部が振動をさらに吸収している。次に第2の位置が第1の位置よりも相対的に2.0mm高い場合においては、吸収部が振動を完全に振幅の幅が約40分の1程度なるようにに吸収している。図10を説明する。図10は吸収部の配置位置高さ位置を上昇させた後に、ワイヤ電極2の走行速度を上昇させた場合の振幅振動結果を示している。ハイスピードカメラを用いて、走行するワイヤ電極の挙動を撮影した写真である。第2の位置が第1の位置よりも相対的に2.0mm高い場合においては、ワイヤ電極の走行速度が、50m分から700m分の範囲においてワイヤ電極の振幅左右方向の振動がなく吸収部が振動を完全に吸収している。"