"マイクロレンズが基板上に互いに隣接し合うように配設された固体映像素子の製造方法であって、第1のマイクロレンズを基板表面上に、第2のマイクロレンズが設けられる空間を介して形成する第1工程と、該第1のマイクロレンズが形成された基板表面上にオーバーコート材料を塗布し、続いて乾燥し、これをグレースケールマスクを用いて露光し、続いて露光されたオーバーコート材料を現像することにより、第2のマイクロレンズを第1のマイクロレンズとその隣の第1のマイクロレンズとの間の空間に形成する第2工程とを含む固体撮像素子の製造方法。前記第2工程において、露光後に第2のマイクロレンズを軟化点温度以下の温度で加熱する操作を更に含む請求項1に記載の製造方法。前記第1のマイクロレンズの外縁部と前記第2のマイクロレンズの外縁部とが重なり合う重ね部を生じるように、第2のマイクロレンズを形成する請求項1又は請求項2に記載の製造方法。第1のマイクロレンズ及び第2のマイクロレンズは円形のマイクロレンズであり、前記重ね部の最大の幅は円形の該マイクロレンズの半径の1~85である請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の製造方法。前記第1のマイクロレンズの成分と前記第2のマイクロレンズの成分が異なる請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の製造方法。前記第1のマイクロレンズの成分と前記第2のマイクロレンズの成分が同一である請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の製造方法。請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の方法で製造されたマイクロレンズを有する固体撮像素子。本発明は、マイクロレンズ形成時の隣接レンズ間ギャップの解消、レンズ間重なり構造の形成に優れ、またレンズの曲率制御性に優れ、マイクロレンズ形成安定性を高めることにより、実効感度が高い固体撮像素子及びその製造方法の提供を目的とする。本発明は第1観点として、マイクロレンズが基板上に互いに隣接し合うように配設された固体映像素子の製造方法であって、第1のマイクロレンズを基板表面上に、第2のマイクロレンズが設けられる空間を介して形成する第1工程と、該第1のマイクロレンズが形成された基板表面上にオーバーコート材料を塗布し、続いて乾燥し、これをグレースケールマスクを用いて露光し、続いて露光されたオーバーコート材料を現像することにより、第2のマイクロレンズを第1のマイクロレンズとその隣の第1のマイクロレンズとの間の空間に形成する第2工程とを含む固体撮像素子の製造方法、第2観点として、前記第2工程において、露光後に第2のマイクロレンズを軟化点温度以下の温度で加熱する操作を更に含む第1観点に記載の製造方法、第3観点として、前記第1のマイクロレンズの外縁部と前記第2のマイクロレンズの外縁部とが重なり合う重ね部を生じるように、第2のマイクロレンズを形成する第1観点又は第2観点に記載の製造方法、第4観点として、第1のマイクロレンズ及び第2のマイクロレンズは円形のマイクロレンズであり、前記重ね部の最大の幅は円形の該マイクロレンズの半径の1~85である第1観点乃至第3観点のいずれか一つに記載の製造方法、第5観点として、前記第1のマイクロレンズの成分と前記第2のマイクロレンズの成分が異なる第1観点乃至第4観点のいずれか一つに記載の製造方法、第6観点として、前記第1のマイクロレンズの成分と前記第2のマイクロレンズの成分が同一ある第1観点乃至第4観点のいずれか一つに記載の製造方法、及び第7観点として、第1観点乃至第6観点のいずれか一つに記載の方法で製造されたマイクロレンズを有する固体撮像素子である。本発明の固体撮像素子の製造方法によれば、隣接マイクロレンズ間にギャップを有することなく重なり構造を形成し、且つ2次元方向から見た曲率が均一なマイクロレンズアレイを確実に形成することが出来るため、集光効率の向上が実現できる。第2のマイクロレンズ形成工程をグレースケールマスクを介する方法で行うことにより、隣接レンズ間の接合形状を損なうことなく第2のマイクロレンズを形成できるため、従来の方法では困難であった形状を有するマイクロレンズアレイの形成が可能となる。基板上に市松模様となるように第1のマイクロレンズが既に形成され、その隣の空間に第2のマイクロレンズを形成する為の材料を第1のマイクロレンズが形成された基板面に塗布する。固体の第1のマイクレンズに液体の材料を塗布してもインターミキシングすることなく第2のマイクロレンズを形成できる。第2のマイクロレンズの形成にはマイクロレンズの軟化点温度以上の温度で加熱するリフロー法を用いないため、第1のマイクロレンズとの融着がなく理想形状レンズ間の断面形状がV字のマイクロレンズを形成できる。これは第2のマイクロレンズをグレースケールマスクを用いて形成するために、マイクロレンズの軟化点温度以上の温度に加熱するリフロー工程の必要がなく、マイクロレンズの軟化点温度以下の温度で硬化させることができるためである。また、第2のマイクロレンズをグレースケールマスクを用いて形成するために所望の形状でマイクロレンズを形成することができる。これにより、隣同士のマイクロレンズが互いに外縁部を共有し合って、基板上にギャップの少ない集光率の高いマイクロレンズアレイを形成できる。従来技術の一つとされる方法である、最初からグレースケールマスクを用いて一度にマイクロレンズを形成する方法では、隣接するマイクロレンズ間に露光時の光の干渉が生じ、隣り合うマイクロレンズ間の断面形状はV字構造が形成されずに、U字構造が形成されるため、レンズ間の集光効率が低下する。本発明では第1のマイクロレンズを形成第1工程した後に、オーバーコート材料を被覆して乾燥し、その後にグレースケールマスクで露光を行う第2工程ことから、隣り合う第1及び第2のマイクロレンズ間に光の干渉が発生せず、このマイクロレンズ間の断面形状はU字構造にならずにV字構造を形成し、十分に集光効率が向上する。これにより、本発明の製造法で製造されたマイクロレンズを有する固体撮像素子は実効感度が高いものとなる。本発明は、マイクロレンズが基板上に互いに隣接し合うように配設された固体映像素子の製造方法であって、第1のマイクロレンズを基板表面上に、第2のマイクロレンズが設けられる空間を介して形成する第1工程と、該第1のマイクロレンズが形成された基板表面上にオーバーコート材料を塗布し、続いて乾燥し、これをグレースケールマスクを用いて露光し、続いて露光されたオーバーコート材料を現像することにより、第2のマイクロレンズを第1のマイクロレンズとその隣の第1のマイクロレンズとの間の空間に形成する第2工程とを含む固体撮像素子の製造方法に関する。本発明における第1工程で用いられる第1のマイクロレンズを形成するための組成物は通常用いられるマイクロレンズ形成用組成物を用いることができる。組成物としては、例えば、ビニル系化合物又はその誘導体を用い、必要によりアクリル酸、アクリル酸エステル等を共重合した熱架橋可能なポリマーとナフトキノンジアジド等の感光剤を含み、所望により架橋剤を含むことができるポジ型レジスト組成物1、ノボラック系樹脂又はヒドロキシスチレン系樹脂を用い、必要によりアクリル酸、アクリル酸エステル等を共重合した熱架橋可能なポリマーとナフトキノンジアジド等の感光剤を含み、所望により架橋剤を含むことができるポジ型レジスト組成物2が挙げられる。熱架橋可能な熱架橋形成基の組み合わせとしては例えば、カルボキシル基や水酸基等の官能基1と、エポキシ基、オキセタン基、イソシアネート基やアルコキシ基等の官能基2との組み合わせが挙げられ、官能基1と官能基2との反応により熱架橋が行われる。本発明において熱架橋可能なポリマーと感光剤を含む場合には、上記官能基1と官能基2が含まれるポリマー間で熱架橋が行われる。また熱架橋可能なポリマーと感光剤と架橋剤を含む場合には、ポリマーと架橋剤のどちらか一方が官能基1を有し、他方が官能基2を有し、ポリマーと架橋剤間で熱架橋が行われる。第1のマイクロレンズは、メルト法、エッチバック法、グレースケール法のいずれの方法で形成することが可能である。ガラス基板、シリコンウェハー、酸化膜、窒化膜、アルミニウムやモリブデンやクロムなどの金属が被覆された基板上に第1のマイクロレンズ形成用組成物を、回転塗布、流し塗布、ロール塗布、スリット塗布、スリットに続いた回転塗布、インクジェット塗布などによって塗布する。例えばスピンコート法により塗布する。スピンコートの回転速度は500~4000rpmで行うことができる。塗布液の膜厚は例えば0.1~3.0μmとすることができる。その後、50~130°Cの温度で加熱乾燥を行った後、パターンマスクを用いて露光を行う。このパターンマスクは第1のマイクロレンズと第2のマイクロレンズが配置可能な空間とが交互に配置される様に形成されるためのマスクパターンいわゆる市松模様を有するマスクを用いて行われる。第1のマイクロレンズは、直径は通常、1.0~3.0μmであり、例えば1.7μm程度の直径を有する高さ0.5~1.0μmの半球状に形成される。隣に隣接する第2のマイクロレンズを形成するための第1のマイクロレンズに囲まれた空間は、第1のマイクロレンズを形成した空間と同程度の空間である。第1のマイクロレンズを形成した後に基板上に塗布する、第2のマイクロレンズを形成するためのオーバーコート材料は、通常のマイクロレンズ形成用組成物を用いることができ、上述のポジ型レジスト組成物を用いることもできる。そして、第1のマイクロレンズ形成用組成物と同一の組成物とすることも、異なる組成物とすることもできる。第1のマイクロレンズパターンが形成された基板表面上に、第2のマイクロレンズを形成するためのオーバーコート材料が塗布される。第2のマイクロレンズを形成するためのオーバーコート材料は、回転塗布、スリット塗布、スリットに続いた回転塗布、インクジェット塗布法により塗布することができる。塗布した第2のマイクロレンズを形成するためのオーバーコート材料の膜厚は、第1のマイクロレンズの高さと同程度か、それ以上の膜厚とすることができる。オーバーコート材料の塗布後、グレースケールマスクを用いて露光が行われる。グレースケールマスクグラデーションマスクに形成されているマスクパターンはマイクロレンズ部分の縁から中心に向かって遮光性が高くなり、縁から中心に向かって傾斜露光されるものである。遮光性は主にマスクの遮光性金属クロム等濃度により調整される。オーバーコート材料にポジ型レジスト組成物を用いたときに、形成されるマイクロレンズパターンの中心部分では露光量が低くなり、マイクロレンズパターンの縁部分では露光量が高くなるため半球状のマイクロレンズが形成される。第2のマイクロレンズが第1のマイクロレンズの間の空間に形成される。本発明の製造方法では、第1のマイクロレンズと第2のマイクロレンズは、互いにその外縁部が重なり合う重ね部を有することができるため、マイクロレンズの直径を大きくすることができ、その結果、集光効率が向上する。例えば第1及び第2のマイクロレンズが共に直径1.7μmの円形の場合、外縁部同士の重ね部の最大の幅を0.15μmとすることができる。重ね部の幅がマイクロレンズの半径の1~85、又は1~60、又は1~50とすることができる。ここで、マイクロレンズが円形でない場合、マイクロレンズの半径とはマイクロレンズの近似円の半径をいい、外縁部同士の重ね部の幅とは、近似円の半径上における、最も長い重なりあう部分の幅をいうものとする。本発明では、第1のマイクロレンズ間に第2のマイクロレンズを形成するために、オーバーコート材料を塗布した基板をグレースケールマスクを用いて露光後、現像液で現像し、その後にPEB露光後加熱を行えるが、PEBを行ったとしてもリフローする温度軟化点以上の温度で加熱は行わない。マイクロレンズを形成する工程で、多段階例えば二段階の焼成を行う場合は、軟化点以下の温度の第一焼成で架橋反応を伴う硬化をさせて、後の第二焼成でリフローしない程度まで硬化を完了させ、その後に第二焼成を行うことが可能である。架橋形成によりマイクロレンズ自体の軟化点温度が第一焼成前の軟化点温度より上昇する。これにより、マイクロレンズがリフローすることなく、第一焼成前の軟化点温度より高い温度での第二焼成が可能となる。即ち、マイクロレンズの形成工程で、第一焼成温度<第二焼成温度<第一焼成後のマイクロレンズの軟化点温度という関係が成立する。この第一焼成は通常0.5~20分間で達成される。第二焼成は通常0.5~20分間で達成される。第2のマイクロレンズはグレースケール法で形成されるためにリフロー工程がなく、隣接するマイクロレンズ間の断面形状がV字形状を保ち、それによってレンズ曲率を一定に保てるため、集光効率が向上する。上記露光後にアルカリ現像液で現像することで、露光部が洗い出されて端面のシャープなレリーフパターンが得られる。この際、使用される現像液はアルカリ水溶液であれば特に限定されない。その具体例としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウムなどのアルカリ金属水酸化物の水溶液、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリンなどの水酸化四級アンモニウムの水溶液、エタノールアミン、プロピルアミン、エチレンジアミンなどのアミン水溶液を挙げることができる。前記アルカリ現像液は10質量以下の水溶液であることが一般的で、好ましくは0.1~3.0質量の水溶液などが用いられる。さらに上記現像液にアルコール類や界面活性剤等を添加して使用することもでき、これらはそれぞれ、現像液100質量部に対して、好ましくは0.05~10質量部である。この中で、水酸化テトラメチルアンモニウム0.10~2.38質量水溶液は、フォトレジストの現像液として一般的に使用されており、本発明に用いられるマイクロレンズ形成用組成物及びオーバーコート材料からなる塗膜はこの溶液を用い、膨潤などの問題を起こすことなく現像することができる。また現像方法は液盛り法、ダイナミックディスペンス法、ディッピング法、揺動浸漬法などのいずれを用いても良い。その際、現像時間は、通常15~180秒間である。現像後、流水洗浄を20~90秒間行い、圧縮空気や圧縮窒素、もしくはスピンにより風乾させることによって、基板上の水分を除去し、パターンが形成された塗膜が得られる。その後、このパターンが形成された塗膜に、高圧水銀灯などを用いた紫外線等の光を全面に照射し、パターン状塗膜中に残存する感光剤成分1,2-ナフトキノンジアジド化合物を完全に分解させることにより、塗膜の透明性を向上させる。このようにして目的とする良好なパターン形状を有する硬化膜を得ることができる。この硬化膜は耐熱性、耐溶剤性、透明性に優れ、マイクロレンズの他に層間絶縁膜、各種絶縁膜及び各種保護膜等にも好適に用いることができる。次に本発明について図面を参照して説明する。図面は本発明の実施例であるマイクロレンズアレイの製造工程を示した平面構造及び断面構造の模式図である。本実施例では単位画素ピッチが2.0μmのサイズのカラーフィルターを有する基板を用いた。実施例1第1工程として、基板上に熱硬化性マイクロレンズ形成用組成物を塗布して形成される塗膜塗膜の軟化点温度は170°Cである。に、グレースケールマスクを介して露光し、現像して第1のマイクロレンズとなるパターンを形成した図1のb、図2のb’。この際、パターン膜はカラーフィルター上に市松模様に形成した。次に140°C、更に180°Cの焼成により前述の露光及び現像により形成されたレンズ状パターン膜を硬化した。レンズパターンの直径は2.5μmであった。その後、第2工程として、第1工程においてパターン膜を形成していない部分のカラーフィルターの上に同様にグレースケールマスクを介して、第1工程と同一の熱硬化性マイクロレンズ形成用組成物を用いて、第2のレンズ状パターン膜を形成し、続いて140°C5分間の焼成を行い架橋反応を伴う硬化を完了させ、更に180°C5分間の焼成によりレンズ状パターン膜を形成した。これにより、レンズ開口率が高く、且つ隣接レンズ間に重なり重なり部分の幅は0.5μmを持つ、理想的な形状のマイクロレンズアレイを形成した。実施例2実施例1と同一の基板上に第1工程として、熱可塑性マイクロレンズ形成用組成物組成物からなる塗膜の軟化点温度は120°Cである。を用い、バイナリマスクを介してドットパターン膜第1のマイクロレンズを形成した図1のb、図2のb’。この際、ドットパターン膜はカラーフィルター上に市松模様に形成した。次に160°Cの熱処理により前述の形成されたドットパターン膜を熱流動させ、レンズ状パターン膜を形成した。その後、200°Cの焼成により硬化した。レンズ状パターン膜の直径は2.5μmであった。その後、第2工程として、第1工程においてパターン膜を形成していない部分のカラーフィルター上に同様にグレースケールマスクを介して第1工程と異なる熱硬化性マイクロレンズ形成用組成物組成物からなる塗膜の軟化点温度は170°Cである。を用いて第2のレンズ状パターン膜を形成し、続いて140°C5分間の焼成を行い架橋反応を伴う硬化を完了させ、更に180°C5分間の焼成によりレンズ状パターン膜を硬化した。これにより、レンズ開口率が高く、且つ隣接レンズ間に重なり重なり部分の幅は0.5μmを持つ、理想的な形状のマイクロレンズアレイを形成した。比較例1実施例1と同一の基板上に第1工程として、熱可塑性マイクロレンズ形成用組成物組成物からなる塗膜の軟化点温度は120°Cである。を用い、バイナリマスクを介してドットパターン膜第1のマイクロレンズを形成した図1のb、図2のb’。この際、パターン膜はカラーフィルター上に市松模様に形成した。次に160°Cの熱処理により前述の露光により形成されたドットパターン膜を熱流動させ、レンズ状パターン膜を形成した。その後、200°Cの焼成により硬化した。レンズ状パターン膜の直径は2.0μmであった。その後、第2工程として、第1工程においてパターン膜を形成していない部分のカラーフィルター上に同様にバイナリマスクを介して第1工程と同一の熱可塑性マイクロレンズ形成用組成物を用いて直径が2.0μmのドットパターン膜第2のマイクロレンズを形成し、続いて160°C5分間の焼成を行い架橋反応を伴う硬化を完了させ、更に200°C5分間の焼成によりレンズ状パターン膜を硬化し、隣接レンズ間に0.2μmのギャップを有するマイクロレンズアレイを形成した。形成したレンズは2次元方向から見た曲率が均一ではなく、且つレンズ開口率が低かった。"