"螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転動路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路を、前記ナットの円柱面状の内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成するとともに、前記ナットの外周面のうち前記凹溝に相対する部分に、外周形成物を一体的に形成したことを特徴とするボールねじ。前記外周形成物は、フランジ,エンコーダ,歯車用歯列,回り止め,キー,キー溝,モータロータ,ワンウエイクラッチの内輪,軸受用軌道溝,ねじ,周方向溝,及び異形外周面のうちの少なくとも一つであることを特徴とする請求項1に記載のボールねじ。前記ナットは、円柱状の金属製素材を加工して前記ナットと略同一形状の粗成形ナットを得て、前記粗成形ナットの円柱面状の内周面の一部を凹化させ、前記ボール循環路をなす凹溝を形成するとともに、前記粗成形ナットの外周面に前記外周形成物を形成することにより得られたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のボールねじ。前記ナットは、円柱状の金属製素材を加工して前記ナットと略同一形状の粗成形ナットを得て、前記粗成形ナットの円柱面状の内周面の一部を塑性加工により凹化させ、前記ボール循環路をなす凹溝を形成するとともに、前記粗成形ナットの外周面に前記外周形成物を形成することにより得られたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のボールねじ。前記ナットの軸方向端面に突出部を設けたことを特徴とする請求項1に記載のボールねじ。前記ナットの外周面に圧入によって被嵌されたナット被嵌部材を備えることを特徴とする請求項1に記載のボールねじ。前記ナット被嵌部材と前記ナットとの圧入による締め代が、当該ナット被嵌部材の被嵌される前記ナットの外周面の外形寸法の0.02超過であることを特徴とする請求項6に記載のボールねじ。前記ナット被嵌部材と前記ナットとの圧入による締め代が、当該ナット被嵌部材の被嵌される前記ナットの外周面の外形寸法の0.02超過且つ0.16未満であることを特徴とする請求項6に記載のボールねじ。前記ナット被嵌部材を前記ナットに圧入する場合、当該ナット被嵌部材を加熱して前記ナットに被嵌する焼き嵌めであることを特徴とする請求項6~8のいずれか一項に記載のボールねじ。前記ナット被嵌部材が、円筒形状の内周面を有するスリーブ及び転がり軸受及び歯車の何れか又はそれらの組合せであることを特徴とする請求項6~8のいずれか一項に記載のボールねじ。インサート成形によって前記ナットの外周面に形成されたナット被嵌部材を備えることを特徴とする請求項1に記載のボールねじ。内周面に螺旋溝が形成され外周面に突出部を有するナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじの、前記ナットを製造する方法であって、前記ナットの内周面への前記凹部の形成と前記ナットの外周面への突出部の形成を、冷間鍛造で同時に行うことを特徴とするボールねじ用ナットの製造方法。円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹溝に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、この外周面を受ける内周面に凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹溝を形成し、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の外周部を突出させることで、前記外周形成物を形成したことを特徴とする請求項1に記載のボールねじ。前記外周形成物又は前記外周形成物の内周面に形成された凹部若しくはテーパ面を、基準面又は保持部として使用して、前記金型を用いたプレス法による工程の次工程以降の加工が行われたことを特徴とする請求項13に記載のボールねじ。前記外周形成物が軸力伝達部、トルク伝達部、位置決め部、又は取付部であることを特徴とする請求項13に記載のボールねじ。螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転動路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路を、前記ナットの円柱面状の内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成するとともに、前記ナットの軸方向端面に突出部を形成したことを特徴とするボールねじ。円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹溝に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、前記ナット素材の軸方向端面を受ける端面に凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹溝を形成し、前記凹溝の形成により生じる前記ナット素材の余肉を前記拘束部材の凹み部に突出させることで、前記突出部を形成したことを特徴とする請求項16に記載のボールねじ。インサート成形によって前記ナットの外周面に形成されたナット被嵌部材を備え、前記ナット被嵌部材は、前記凹溝の形成に伴って生じた前記ナットの外周面の外周形成物を覆うように形成されていることを特徴とする請求項13に記載のボールねじ。前記ナット被嵌部材が、円筒形状の内周面を有するスリーブ及び歯車の何れか一方又は双方であることを特徴とする請求項11又は請求項18に記載のボールねじ。しかしながら、チューブ式の場合は、リターンチューブがナットの外周面に固定されており、コマ式の場合は、コマを嵌め込むコマ穴がナットの外周面に開口しているので、ナットの外周面のうちボール循環路が設けられている部分には、フランジ等の外周形成物を形成することは困難であった。すなわち、ナットの外周面を任意の形状に設計することは困難であった。また、ナットの外周面のうちボール循環路が設けられている部分には、別部材を自由に取り付けることは困難であった。このように、従来のボールねじにおいては、ナットの外径部の構造が制限されていた。そこで、本発明は上記のような従来技術が有する問題点を解決し、ナットの外径部の構造の自由度が高いボールねじを提供することを課題とする。また、そのようなボールねじを構成するナットを製造することが可能なボールねじ用ナットの製造方法を提供することを併せて課題とする。前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明の一態様に係るボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転動路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路を、前記ナットの円柱面状の内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成するとともに、前記ナットの外周面のうち前記凹溝に相対する部分に、外周形成物を一体的に形成したことを特徴とする。ここで、前記外周形成物は、フランジ,エンコーダ,歯車用歯列,回り止め,キー,キー溝,モータロータ,ワンウエイクラッチの内輪,軸受用軌道溝,ねじ,周方向溝,及び異形外周面のうちの少なくとも一つとすることができる。また、前記ナットは、円柱状の金属製素材を塑性加工して前記ナットと略同一形状の粗成形ナットを得て、前記粗成形ナットの円柱面状の内周面の一部を凹化させ、前記ボール循環路をなす凹溝を形成するとともに、前記粗成形ナットの外周面に前記外周形成物を形成することにより得られたものとすることができる。あるいは、前記ナットは、円柱状の金属製素材を塑性加工して前記ナットと略同一形状の粗成形ナットを得て、前記粗成形ナットの円柱面状の内周面の一部を塑性加工により凹化させ、前記ボール循環路をなす凹溝を形成するとともに、前記粗成形ナットの外周面に前記外周形成物を形成することにより得られたものとしてもよい。また、前述した本発明の一態様に係るボールねじにおいては、前記ナットの軸方向端面に突出部を設けてもよい。さらに、前述した本発明の一態様に係るボールねじにおいては、前記ナットの外周面に圧入によって被嵌されたナット被嵌部材を備えることができる。このとき、前記ナット被嵌部材と前記ナットとの圧入による締め代は、当該ナット被嵌部材の被嵌される前記ナットの外周面の外形寸法の0.02超過であることが好ましい。あるいは、前記ナット被嵌部材と前記ナットとの圧入による締め代は、当該ナット被嵌部材の被嵌される前記ナットの外周面の外形寸法の0.02超過且つ0.16未満であることが好ましい。また、前記ナット被嵌部材を前記ナットに圧入する場合、当該ナット被嵌部材を加熱して前記ナットに被嵌する焼き嵌めであることが好ましい。さらに、圧入によって被嵌された前記ナット被嵌部材は、円筒形状の内周面を有するスリーブ及び転がり軸受及び歯車の何れか又はそれらの組合せであることが好ましい。さらに、前述した本発明の一態様に係るボールねじにおいては、インサート成形によって前記ナットの外周面に形成されたナット被嵌部材を備えることができる。また、本発明の一態様に係るボールねじ用ナットの製造方法は、内周面に螺旋溝が形成され外周面に突出部を有するナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじの、前記ナットを製造する方法であって、前記ナットの内周面への前記凹部の形成と前記ナットの外周面への突出部の形成を、冷間鍛造で同時に行うことを特徴とする。さらに、前述した本発明の一態様に係るボールねじにおいては、円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹溝に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、この外周面を受ける内周面に凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹溝を形成し、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の外周部を突出させることで、前記外周形成物を形成してもよい。このとき、前記外周形成物又は前記外周形成物の内周面に形成された凹部若しくはテーパ面を、基準面又は保持部として使用して、前記金型を用いたプレス法による工程の次工程以降の加工が行われていてもよい。また、前記ナット素材の外周部を突出させることで形成された前記外周形成物は、軸力伝達部、トルク伝達部、位置決め部、又は取付部とすることができる。さらに、本発明の別の態様に係るボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転動路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備え、前記ボール循環路を、前記ナットの円柱面状の内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成するとともに、前記ナットの軸方向端面に突出部を形成したことを特徴とする。このとき、円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹溝に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、前記ナット素材の軸方向端面を受ける端面に凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹溝を形成し、前記凹溝の形成により生じる前記ナット素材の余肉を前記拘束部材の凹み部に突出させることで、前記突出部を形成してもよい。また、インサート成形によって前記ナットの外周面に形成されたナット被嵌部材を備え、前記ナット被嵌部材は、前記凹溝の形成に伴って生じた前記ナットの外周面の外周形成物を覆うように形成されていることが好ましい。このようなインサート成形によって形成された前記ナット被嵌部材は、円筒形状の内周面を有するスリーブ及び歯車の何れか一方又は双方であることが好ましい。本発明のボールねじは、ナットの内周面の一部を凹化させて形成した凹溝でボール循環路を構成したので、ナットの外径部の構造の自由度が高い。また、本発明のボールねじ用ナットの製造方法は、外径部の構造の自由度が高いボールねじ用ナットを製造することができる。本発明に係るボールねじの実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態のボールねじの断面図軸方向に沿う平面で切断した断面図である。図1に示すように、ボールねじ1は、螺旋状のねじ溝3aを外周面に有するねじ軸3と、ねじ軸3のねじ溝3aに対向する螺旋状のねじ溝5aを内周面に有するナット5と、両ねじ溝3a,5aにより形成される螺旋状のボール転動路7内に転動自在に装填された複数のボール9と、ボール9をボール転動路7の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路11と、を備えている。すなわち、ボール9は、ボール転動路7内を移動しつつねじ軸3の回りを回ってボール転動路7の終点に至り、そこでボール循環路11の一方の端部から掬い上げられてボール循環路11内を通り、ボール循環路11の他方の端部からボール転動路7の始点に戻されるようになっている。なお、ねじ軸3,ナット5,及びボール9の素材は特に限定されるものではなく、一般的な材料を使用可能であり、例えば鋼等の金属やセラミックがあげられる。また、ねじ溝3a,5aの断面形状は、円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。このようなボールねじ1は、ボール9を介してねじ軸3に螺合されているナット5とねじ軸3とを相対回転運動させると、ボール9の転動を介してねじ軸3とナット5とが軸方向に相対移動するようになっている。そして、ボール転動路7とボール循環路11により無端状のボール通路が形成されており、ボール転動路7内を転動するボール9が無端状のボール通路内を無限に循環するようになっているため、ねじ軸3とナット5とは継続的に相対移動することができる。ここで、ボール循環路11について詳細に説明する。ボール循環路11は、ナット5の内周面に一体的に形成されている。詳述すると、ナット5の円柱面状の内周面の一部を、塑性加工又は切削加工により凹化させて形成した凹溝を、ボール循環路11としている。本実施形態のボールねじ1は、このようなボール循環路11を用いたボール循環形式を採用しているので、ボール循環路を構成する別部材をナット5に取り付ける必要がない。なお、ボール循環路11の断面形状は、円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。ボール循環形式がチューブ式やコマ式である場合は、ボール循環路を構成する部材とナットとが別体であり、チューブ式の場合はリターンチューブがナットの外周面に、コマ式の場合はコマがコマ穴に取り付けられる。そのため、ナットの外周面のうちリターンチューブやコマが設けられている部分には、フランジ等の外周形成物を形成することはできず、ナットの外周面の設計に制限があった。これに対して、本実施形態のボールねじ1は、ボール循環路11がナット5の内周面に形成されており、ナット5の外周面にはボールの循環のためのいかなる部材も取り付ける必要がないので、ボール循環路11が設けられた位置や回路数に拘束されず、ナット5の外周面全体にわたって任意の形状に設計することができる。よって、ナット5の外周面のうち、ボール循環路11やねじ溝5aに相対する部分にも、外周形成物を一体的に形成することができる。本実施形態のボールねじ1は、外周形成物としてフランジ13が形成されている。また、リターンチューブ,コマ等の部材が取り付けられていないので、これらが脱落する心配が無く、ボールねじ1の信頼性が優れている。外周形成物の種類は特に限定されるものではないが、フランジの他には、歯車用歯列,キー溝,軸受用軌道溝,異形外周面等があげられる。例えば、周方向に並ぶ複数の歯からなる歯車用歯列をナット5の外周面に形成すれば、ナット5を歯車として機能させることができる。また、ナット5の外周面にキー溝を形成すれば、他部材に設けられたキーを該キー溝に係合させることにより、その他部材とナット5を連結することができる。さらに、ナット5の外周面に軸受用軌道溝を形成すれば、ナット5を転がり軸受の内輪として機能させることができる。さらに、ナット5の外周面は通常は断面円形であるが、断面多角形,断面楕円形等の異形外周面とすることもできる。なお、これらの外周形成物の中の1つをナット5の外周面に形成してもよいし、2つ以上を形成してもよい。例えば、本実施形態のボールねじ1のように、ナット5の外周面にフランジ13を形成し、そのフランジ13の外周面に歯車用歯列15を形成してもよい。これらの外周形成物の形成方法は特に限定されるものではなく、冷間鍛造等の鍛造で形成してもよいし、切削加工で形成してもよい。これらの形成方法によれば、外周形成物を容易に形成することができるので、外周形成物を備えるボールねじを安価に製造することができる。また、外周形成物とボール循環路11の形成順序は特に限定されるものではなく、どちらを先に形成してもよいが、外周形成物を例えば冷間鍛造にて形成した後にボール循環路11を形成すれば、ボール循環路11の形状精度をより高く確保できる。このような本実施形態のボールねじ1の用途は特に限定されるものではないが、自動車,二輪車,位置決め装置等に組み込まれる電動アクチュエータに特に好適に使用することができる。ここで、本実施形態のボールねじ1のナット5の製造方法の一例を、図6を参照しながら簡単に説明する。まず、円柱状の鋼製素材図示せずを冷間鍛造により加工し、略円筒形状ナット5と略同一形状のブランクを得る。そして、ブランクの内周面に鍛造等の塑性加工により凹溝を形成し、ボール循環路11とする。次に、ブランクの外周面に突出するフランジ13の外周面に、周方向に並ぶ複数の歯からなる歯車用歯列15を形成する。最後に、ブランクの内周面に切削加工によりねじ溝5aを形成すると、ナット5が得られる。第2実施形態ボールねじにおいては、ボール循環路を用いたボールの循環形式には、チューブ式、コマ式などの種々の形式がある。例えば、チューブ式の場合は、ボール転動路の始点と終点とを連通させるリターンチューブがナットの外周面に固定されており、コマ式の場合は、ボール転動路の始点と終点とを連通させる溝の形成されたコマが、ナットの外周面と内周面を貫通するコマ穴に嵌め込まれている。また、ナットの内周面の一部を凹化させて凹溝を形成し、この凹溝をボール循環路とする循環形式も知られている。このようなボールねじを製造する際には、円柱状の鋼製素材を冷間鍛造によって加工し、略円筒形状ナットと略同一形状のブランクを得て、該ブランクに切削加工を施してナットを製造している。詳述すると、リターンチューブを挿通する貫通穴やコマ穴の形成、前記凹溝の形成、及びナットの外周面への歯車用歯列などの外周形成物の形成を、切削加工により行っている。また、特許文献2には、所望の形状のナットを焼結合金により製造する技術が提案されている。しかしながら、切削加工によるナットの製造は、材料歩留まりが低く、高コストであるという問題を有する。また、焼結金属は密度が低いことに加えて、気孔が存在するため、ナットとして十分な強度を有することが難しいという問題を有する。第2実施形態は、上記のような問題点に着目してなされたものであり、材料歩留まりが高いことに加えて、安価で且つ高強度なボールねじを製造可能なボールねじの製造方法及びボールねじを提供することを目的とするものである。上記課題を解決するために、第2実施形態のボールねじの製造方法は、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転動路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、前記ナットの外周面に一体的に形成された外周形成物と、を備えるボールねじの製造方法であって、円柱状の金属製素材から前記ナットと略同一形状の粗成形ナットを得る粗成形工程と、前記粗成形ナットの円柱面状円筒面状の内周面の一部を凹化させて、前記ボール循環路をなす凹溝を形成するボール循環路形成工程と、前記粗塑性ナットの外周面に前記外周形成物を形成する外周形成物形成工程と、を備え、前記外周形成物が、キー、エンコーダ、歯車、回り止め、ねじ、周方向溝、モータロータ、ワンウエイクラッチの内輪のうちの少なくとも1つであることを特徴とするものである。また、前記粗成形工程、前記ボール循環路形成工程、及び前記外周形成物形成工程のうち少なくとも1つの工程が塑性加工によるものであることを特徴とするものである。また、前記塑性加工が冷間鍛造であることを特徴とするものである。また、第2実施形態のボールねじは、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転動路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、を備えるボールねじにおいて、前記ボール循環路を、前記ナットの円柱面状円筒面状の内周面の一部を凹化させて形成した凹溝で構成すると共に、前記ナットの外周面に外周形成物が一体的に形成され、前記外周形成物が、キー、エンコーダ、歯車、回り止め、ねじ、周方向溝、モータロータ、ワンウエイクラッチの内輪のうちの少なくとも1つであることを特徴とするものである。而して、第2実施形態のボールねじの製造方法及びナットによれば、材料歩留まりが高いことに加えて、安価で且つ高強度なボールねじを製造することができる。次に、第2実施形態のボールねじについて、図面を用いて説明する。図4は、第2実施形態のボールねじの第1例を示すものであり、aは正面図、bは縦断面図軸線と平行な縦断面であり、以下、軸平行縦断面とも記すである。また、図5は、図4のボールねじのナットのみの詳細を示すものであり、aは右側面図、bは軸平行縦断面図である。同図に示すように、ボールねじ1は、螺旋状のねじ溝3aを外周面に有するねじ軸3と、ねじ軸3のねじ溝3aに対向する螺旋状のねじ溝5aを内周面に有するナット5と、両ねじ溝3a、5aにより形成される螺旋状のボール転動路7内に転動自在に装填された複数のボール9と、ボール9をボール転動路7の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路11と、を備えている。即ち、ボール9は、ボール転動路7内を移動しつつねじ軸3の回りを回ってボール転動路7の終点に至り、そこでボール循環路11の一方の端部から掬い上げられてボール循環路11内を通り、ボール循環路11の他方の端部からボール転動路7の始点に戻されるようになっている。なお、ねじ軸3、ナット5、及びボール9の素材は特に限定されるものではなく、一般的な材料を使用可能であり、例えば鋼などの金属やセラミックが挙げられる。また、ねじ溝3a、5aの断面形状は、円弧状でもよいし、二以上の円弧を接続した、所謂ゴシックアーク状でもよい。このようなボールねじ1は、ボール9を介してねじ軸3に螺合されているナット5とねじ軸3とを相対回転運動させると、ボール9の転動を介してねじ軸3とナット5とが軸方向に相対移動するようになっている。そして、ボール転動路7とボール循環路11により無端状のボール通路が形成されており、ボール転動路7内を転動するボール9が無端状のボール通路内を無限に循環するようになっているため、ねじ軸3とナット5とは継続的に相対移動することができる。ここで、ボール循環路11について詳細に説明する。ボール循環路11は、ナット5の内周面に一体的に形成されている。詳述すると、ナット5の内周面の一部を、例えば塑性加工により凹化させて形成された凹溝を、ボール循環路11としている。なお、ボール循環路11の断面形状は、円弧状でもよいし、前述したゴシックアーク状でもよい。本実施形態のボールねじ1は、このようなボール循環路11を用いたボール循環形式を採用しているので、ボール循環路を構成するリターンチューブやコマなどの別部材をナット5に取付ける必要がない。また、ボール循環路を構成するリターンチューブやコマなどの別部材を取付けるための貫通穴やコマ穴などの穴をナット5に形成する必要がない。ボール循環形式がチューブ式やコマ式である場合は、ボール循環路を構成する部材とナットとが別体であり、チューブ式の場合はリターンチューブがナットの外周面に取付けられ、コマ式の場合はコマがコマ穴に取付けられる。そのため、ナットの外周面のうちリターンチューブやコマが設けられている部分には、フランジなどの外周形成物を形成することができず、ナットの外周面の設計に制限があった。これに対して、本実施形態のボールねじ1は、ボール循環路11がナット5の内周面に形成されており、ナット5の外周面には、ボールを循環するための如何なる部材も取付ける必要がなく、またボールを循環する部材を取り付けるための如何なる穴を形成する必要もないので、ボール循環路11が設けられた位置やボール循環路11の数に拘束されず、ナット5の外周面全体にわたって外周面を任意の形状に設計することができる。よって、ナット5の外周面のうち、ボール循環路11やねじ溝5aに相対する部分にも、外周形成物を当該ナット5の外周面に一体的に形成することができる。また、リターンチューブ、コマなどの部材が取付けられていないので、これらが脱落する心配がなく、ボールねじ1の信頼性が優れている。ナット5の外周形成物の種類は特に限定されるものではないが、フランジの他には、平はすば歯車用歯列、エンコーダ、キー、傘歯車、回り止め、ねじ雄ねじ、周方向溝、モータロータ、ワンウエイクラッチの内輪などが挙げられる。例えば、ナット5の外周面にフランジを一体的に形成し、そのフランジの外周面に、周方向に並ぶ複数の歯からなる平はすば歯車用歯列を形成すれば、ナット5を歯車として機能させることができる。また、ナット5の外周面にエンコーダを一体的に形成すれば、ナット5の回転状態を直接的に検出することが可能となる。また、ナット5の外周面にキーを一体的に形成すれば、他部材に設けたキー溝に係合させることにより、その他部材とナット5を連結することができる。また、ナット5の外周面に傘歯車を一体的に形成すれば、噛合する傘歯車と動力伝達を行うことができる。また、ナット5の外周面に回り止めを形成すれば、その回り止めを係止するだけで、ナット5とねじ軸3の相対回転運動時、ねじ軸3の直進運動を得ることができる。また、ナット5の外周面にねじ雄ねじを一体的に形成すれば、そのねじに螺合するねじとの間でねじ運動を得ることができる。また、ナット5の外周面に周方向溝を一体的に形成すれば、例えばその周方向溝にウエアリングを装着することで、ナット5の外周面に軸受機能を得ることができる。また、ナット5の外周面にモータロータを一体的に形成すれば、ナット5自体をモータロータとして機能させることができ、これをモータステータ内に装着することにより、ナット5への回転力を簡潔に或いは直接的に得ることができる。また、ナット5の外周面にワンウエイクラッチの内輪を一体的に形成すれば、例えばナット5か、又はワンウエイクラッチの外輪の何れか一方への回転を規制することが可能となる。なお、これらの外周形成物の中の1つをナット5の外周面に形成してもよいし、2つ以上を形成してもよい。例えば本実施形態のボールねじ1では、ナット5の外周面にフランジ13を形成し、そのフランジ13の外周面に歯車用歯列15を形成すると共に、前記フランジ13の図示軸方向左側にエンコーダロータリエンコーダ17を一体的に形成した。これにより、本実施形態のボールねじ1のナット5は、歯車として機能すると共に、エンコーダ17によって、その回転状態を検出することができる。このような本実施形態のボールねじ1の用途は特に限定されるものではないが、自動車、二輪車、位置決め装置などに組込まれる電動アクチュエータに特に好適に使用することができる。次に、本実施形態のボールねじ1の製造方法の一例を、図6を参照しながら説明する。本実施形態では、まず所定の長さ又は質量の円柱状の鋼製素材20を例えば冷間鍛造などの塑性加工により加工し、ナット5と略同一形状略円筒形状のブランク21粗成形ナットを得る粗成形工程。このとき、塑性加工により、ブランク21の外周面にはフランジ13も形成される。よって、この場合の粗成形工程は、同時の外周形成物形成工程を兼ねている。次に、ブランク21の円柱面状の内周面の一部を例えば冷間鍛造などの塑性加工により凹化させて、ボール転動路7の終点と始点を連通するボール循環路11をなす凹溝22を形成したボール循環路形成工程。凹溝22を形成する具体的な方法としては、以下のようなものが挙げられる。即ち、凹溝22に対応する形状の凸部を有するパンチをブランク21内に挿入し、ブランク21の内周面にパンチの凸部を接触させ、ブランク21の内周面に向かってパンチを強く押圧することにより、凹溝22を形成することができる。なお、外周形成物とボール循環路11の形成順序は特に限定されるものではなく、どちらを先に形成してもよいが、本実施形態においては外周形成物であるフランジ13を塑性加工にて形成した後にボール循環路11を形成したので、ボール循環路11の形状精度をより高く確保することができる。次に、ブランク21の外周面に突出するフランジ13の外周面に、例えば冷間鍛造などの塑性加工により、周方向に並ぶ複数の歯からなる歯車用歯列15を形成すると共に、ナット5の外周面に直接的に、例えば冷間鍛造などの塑性加工により、エンコーダ17を形成した。なお、これらの形成には塑性加工が好ましいが、切削加工によって形成することもできる。そして、ブランク21の内周面に切削加工によりねじ溝5aを形成したねじ溝形成工程。最後に、所望の条件で焼入れ,焼戻し等の熱処理を施してナット5を得た。この熱処理の例としては、浸炭処理,浸炭窒化処理,高周波熱処理等があげられる。このようにして製造されたナット5と、慣用の方法によって製造されたねじ軸3及びボール9を組合せて、本実施形態のボールねじ1を製造した。本実施形態では、前述の粗成形工程、ボール循環路形成工程、外周形成物形成工程の全てを塑性加工で行ったので、このボールねじ1の製造方法は、材料歩留まりが高いことに加えて、高精度のボールねじを安価に製造することができる。また、塑性加工により製造するため、鋼製素材20が有するメタルフロー鍛流線が殆ど切断されず、また、加工硬化するので、高強度のナット5が得られる。塑性加工の種類は特に限定されるものではないが、鍛造が好ましく、特に冷間鍛造が好ましい。熱間鍛造を採用することも可能であるが、冷間鍛造は熱間鍛造に比べて高精度な仕上げが可能であるので、後加工を施さなくても十分に高精度なナット5を得ることができる。その結果、ボールねじ1を安価に製造することができる。また、粗成形工程、ボール循環路形成工程、外周形成物形成工程のうち、全ての工程における塑性加工を冷間鍛造とすることが好ましいが、何れか1つ又は2つの工程における塑性加工を冷間鍛造としてもよい。その場合、冷間鍛造などの塑性加工以外の加工法として、例えば旋盤加工、研削加工等の切削加工や、放電加工、或いはこれらの組合せや、これらとショットブラストとの組合せを用いることも可能である。また、前記ボール循環路形成工程では、粗加工と仕上げ加工のように加工工程を二以上に分けてもよい。その場合、例えば粗加工として旋盤でおおむねの形状を形成しておき、研削或いは研磨若しくはバニシ加工により仕上げ加工を行うこととしてもよい。次に、第2実施形態のボールねじの第2例について図7を用いて説明する。図7は、前記図4~6の第2実施形態の第1例と同様の製造工程で製造されたボールねじのうちのナットのみを示すものであり、aは正面図、bは軸平行縦断面図である。本実施形態のボールねじのねじ軸及びボールなどは前記図4に示す第2実施形態の第1例のものと同様である。また、ボールねじの機能としてナット5に形成される循環路11やねじ溝5aも、形状は若干異なるものの、機能としては同等であるから、その詳細な説明を省略する。本実施形態では、前記図6の外周形成物形成工程で、例えば塑性加工により、ナット5の外周面にキー31を一体的に形成している。このキー31は、図示しない他部品のキー溝に係合することにより、その他部品とナット5を連結する。キー31は、切削加工や研削加工によって形成してもよい。また、キー31に代えてキー溝を形成してもよい。次に、第2実施形態のボールねじの第3例について図8を用いて説明する。図8は、前記図4~6の第2実施形態の第1例と同様の製造工程で製造されたボールねじのうちのナットのみを示すものであり、aは正面図、bは軸平行縦断面図である。本実施形態のボールねじのねじ軸及びボールなどは前記図4に示す第2実施形態の第1例のものと同様である。また、ボールねじの機能としてナット5に形成される循環路11やねじ溝5aも、形状は若干異なるものの、機能としては同等であるから、その詳細な説明を省略する。本実施形態では、前記図6の外周形成物形成工程で、例えば塑性加工により、ナット5の外周面に傘歯車33を一体的に形成している。この傘歯車33は、噛合する傘歯車と軸直角方向への動力伝達を行うことができる。傘歯車33は、切削加工や研削加工によって形成してもよい。次に、第2実施形態のボールねじの第4例について図9を用いて説明する。図9は、前記図4~6の第2実施形態の第1例と同様の製造工程で製造されたボールねじのうちのナットのみを示すものであり、aは正面図、bは軸平行縦断面図である。本実施形態のボールねじのねじ軸及びボールなどは前記図4に示す第2実施形態の第1例のものと同様である。また、ボールねじの機能としてナット5に形成される循環路11やねじ溝5aも、形状は若干異なるものの、機能としては同等であるから、その詳細な説明を省略する。本実施形態では、前記図6の外周形成物形成工程で、例えば塑性加工により、ナット5の外周面に立方体状の回り止め35を一体的に形成している。この回り止め35は、図示しない他部品によって係止されることにより、ナット5の回転を規制し、例えばナット5とねじ軸との相対回転運動時にねじ軸の軸線方向への直進運動を得ることができる。なお、回り止め35をボール循環路11の径方向外側に設定すれば、前述のようにパンチでボール循環路11のための凹溝を形成する際、ダイス側に凹部を形成しておくことにより、ナット5の径方向外側に膨出しようとする素材によって自動的に回り止め35が形成される。回り止め35は、切削加工や研削加工によって形成してもよい。次に、第2実施形態のボールねじの第5例について図10を用いて説明する。図10は、前記図4~6の第2実施形態の第1例と同様の製造工程で製造されたボールねじのうちのナットのみを示すものであり、aは正面図、bは軸平行縦断面図である。本実施形態のボールねじのねじ軸及びボールなどは前記図4に示す第2実施形態の第1例のものと同様である。また、ボールねじの機能としてナット5に形成される循環路11やねじ溝5aも、形状は若干異なるものの、機能としては同等であるから、その詳細な説明を省略する。本実施形態では、前記図6の外周形成物形成工程で、例えば塑性加工により、ナット5の外周面にねじ雄ねじ37を一体的に形成している。このねじ雄ねじ37は、図示しない他部品のねじ例えば雌ねじと螺合することにより、ねじ運動を得ることができる。ねじ37は、切削加工によって形成してもよい。次に、第2実施形態のボールねじの第6例について図11を用いて説明する。図11は、前記図4~6の第2実施形態の第1例と同様の製造工程で製造されたボールねじのうちのナットのみを示すものであり、aは正面図、bは軸平行縦断面図である。本実施形態のボールねじのねじ軸及びボールなどは前記図4に示す第2実施形態の第1例のものと同様である。また、ボールねじの機能としてナット5に形成される循環路11やねじ溝5aも、形状は若干異なるものの、機能としては同等であるから、その詳細な説明を省略する。本実施形態では、前記図6の外周形成物形成工程で、例えば塑性加工により、ナット5の外周面に周方向溝39を一体的に形成し、この周方向溝39内にウエアリング40を装着している。ウエアリング40は、周知のように、図示しない他部品との間で軸受の機能を果たすものであるから、ナット5を当該他部品の内部に収納すればナット5と他部品との間を支持することができる。周方向溝39は、切削加工や研削加工によって形成してもよい。次に、第2実施形態のボールねじの第7例について図12を用いて説明する。図12は、前記図4~6の第2実施形態の第1例と同様の製造工程で製造されたボールねじのナットのみを示すものであり、aは正面図、bは軸平行縦断面図である。本実施形態のボールねじのねじ軸及びボールなどは前記図4に示す第2実施形態の第1例のものと同様である。また、ボールねじの機能としてナット5に形成される循環路11やねじ溝5aも、形状は若干異なるものの、機能としては同等であるから、その詳細な説明を省略する。本実施形態では、前記図6の外周形成物形成工程で、例えば塑性加工により、モータロータ41を一体的に形成している。このモータロータ41を図示しないモータステータ内に収納することによりモータが構成されるので、簡潔且つ直接的にナット5への回転力を得ることができる。モータロータ41は、切削加工や研削加工によって形成してもよい。次に、第2実施形態のボールねじの第8例について図13を用いて説明する。図13は、前記図4~6の第2実施形態の第1例と同様の製造工程で製造されたボールねじ1を示すものであり、aは軸線と直角な縦断面図以下、軸直角縦断面図とも記す、bは軸平行縦断面図である。本実施形態のボールねじ1のねじ軸3及びボール9などは前記図1に示す第2実施形態の第1例のものと同様である。また、ボールねじ1の機能としてナット5に形成される循環路11やねじ溝5aも、形状は若干異なるものの、機能としては同等であるから、その詳細な説明を省略する。本実施形態では、前記図6の外周形成物形成工程で、例えば塑性加工により、ナット5の外周面にワンウエイクラッチ48の内輪43を一体的に形成している。本実施形態のワンウエイクラッチ48の内輪43自体は円筒体である。このワンウエイクラッチ48は、例えば本出願人が先に提案した日本国特許公報第4214371号に記載されるように、前記内輪43の径方向外側に被嵌される外輪44と、内輪43と外輪44との間に配設される複数の転動体としてのローラ45とを備え、本実施形態では、ナット5の外周面の前記内輪43の軸線方向両側に転がり軸受46を介装して内輪43と外輪44とを回転自在に支持している。本実施形態では、外輪44の内周面にカム面47が形成されており、図13aの矢印A方向に内輪43及び外輪44が相対回転するとき、ローラ45がカム面47に噛み込み、楔作用によって両者の相対回転が規制される。一方、内輪43及び外輪44が矢印A方向と逆方向に相対回転するときには、ローラ45とカム面47との楔作用が解除され、自在に相対回転する。従って、ワンウエイクラッチ48によって、ナット5と外輪44又は当該外輪44に取付けられる図示しない他部品との一方向への相対回転のみが規制される。内輪43は、切削加工や研削加工によって形成してもよい。図14は、前記図13のボールねじ1の変形例であり、ワンウエイクラッチ48の内輪43がナット5と別体なものである。このような場合でも、本実施形態のナット5は、外周面に突起物がないので、円筒形状の内輪43をそのままナット5の外周面に被嵌することができ、例えば内輪43をナット5の外周に圧入すれば、両者を一体化することができる。また、嵌合による内輪43の変形を抑制することができる。第3実施形態ボールねじにおいては、ボール循環路を用いたボールの循環形式には、チューブ式,コマ式等の種々の形式がある。例えば、チューブ式の場合は、ボール転動路の始点と終点とを連通させるリターンチューブがナットの外周面に固定されており、コマ式の場合は、ボール転動路の始点と終点とを連通させる溝が形成されたコマが、ナットの外周面と内周面を貫通するコマ穴に嵌め込まれている。また、ナットの内周面の一部を凹化させて凹溝を形成し、この凹溝をボール循環路とする循環形式も知られている。このようなボールねじを製造する際には、円柱状の鋼製素材を冷間鍛造により加工し、略円筒形状ナットと略同一形状のブランクを得て、該ブランクに切削加工を施してナットを製造していた。詳述すると、リターンチューブを挿通する貫通孔やコマ穴の形成、前記凹溝の形成、及びナットの外周面への歯車用歯列等の外周形成物の形成を、切削加工により行っていた。また、特許文献2には、所望の形状のナットを焼結合金により製造する技術が提案されている。しかしながら、切削加工によるナットの製造は、材料歩留まりが低く高コストであるという問題点を有していた。また、焼結合金は密度が低いことに加えて気孔が存在するため、ナットとして十分な強度を有することが難しいという問題点を有していた。そこで、第3実施形態は上記のような従来技術が有する問題点を解決し、材料歩留まりが高いことに加えて、安価で且つ高強度なボールねじを製造可能なボールねじの製造方法を提供することを課題とする。前記課題を解決するため、第3実施形態は次のような構成からなる。すなわち、第3実施形態のボールねじの製造方法は、螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有するナットと、前記両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路に転動自在に装填された複数のボールと、前記ボールを前記ボール転動路の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路と、前記ナットの外周面に一体的に形成された外周形成物と、を備えるボールねじを製造する方法であって、円柱状の金属製素材から塑性加工により前記ナットと略同一形状の粗成形ナットを得る粗成形工程と、前記粗成形ナットの円柱面状の内周面の一部を塑性加工により凹化させて、前記ボール循環路をなす凹溝を形成するボール循環路形成工程と、前記粗成形ナットの外周面に塑性加工により前記外周形成物を形成する外周形成物形成工程と、を備えることを特徴とする。このような第3実施形態のボールねじの製造方法においては、前記粗成形工程,前記ボール循環路形成工程,及び前記外周形成物形成工程のうち少なくとも一つの工程における前記塑性加工が冷間鍛造であることが好ましい。また、前記外周形成物は、フランジ,歯車用歯列,キー溝,軸受用軌道溝,異形外周面等のうちの少なくとも一つとすることができる。第3実施形態のボールねじの製造方法は、材料歩留まりが高いことに加えて、安価で且つ高強度なボールねじを製造することができる。次に、第3実施形態のボールねじについて、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、第3実施形態のボールねじの断面図軸方向に沿う平面で切断した断面図である。図1に示すように、ボールねじ1は、螺旋状のねじ溝3aを外周面に有するねじ軸3と、ねじ軸3のねじ溝3aに対向する螺旋状のねじ溝5aを内周面に有するナット5と、両ねじ溝3a,5aにより形成される螺旋状のボール転動路7内に転動自在に装填された複数のボール9と、ボール9をボール転動路7の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路11と、を備えている。すなわち、ボール9は、ボール転動路7内を移動しつつねじ軸3の回りを回ってボール転動路7の終点に至り、そこでボール循環路11の一方の端部から掬い上げられてボール循環路11内を通り、ボール循環路11の他方の端部からボール転動路7の始点に戻されるようになっている。なお、ねじ軸3,ナット5,及びボール9の素材は特に限定されるものではなく、一般的な材料を使用可能であり、例えば鋼等の金属やセラミックがあげられる。また、ねじ溝3a,5aの断面形状は、円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。このようなボールねじ1は、ボール9を介してねじ軸3に螺合されているナット5とねじ軸3とを相対回転運動させると、ボール9の転動を介してねじ軸3とナット5とが軸方向に相対移動するようになっている。そして、ボール転動路7とボール循環路11により無端状のボール通路が形成されており、ボール転動路7内を転動するボール9が無端状のボール通路内を無限に循環するようになっているため、ねじ軸3とナット5とは継続的に相対移動することができる。ここで、ボール循環路11について詳細に説明する。ボール循環路11は、ナット5の内周面に一体的に形成されている。詳述すると、ナット5の円柱面状の内周面の一部を、塑性加工により凹化させて形成した凹溝を、ボール循環路11としている。なお、ボール循環路11の断面形状は、円弧状でもよいしゴシックアーク状でもよい。本実施形態のボールねじ1は、このようなボール循環路11を用いたボール循環形式を採用しているので、ボール循環路を構成する別部材リターンチューブやコマをナット5に取り付ける必要がない。また、ボール循環路を構成する別部材リターンチューブやコマを取り付けるための孔前述の貫通孔やコマ穴をナット5に形成する必要がない。ボール循環形式がチューブ式やコマ式である場合は、ボール循環路を構成する部材とナットとが別体であり、チューブ式の場合はリターンチューブがナットの外周面に、コマ式の場合はコマがコマ穴に取り付けられる。そのため、ナットの外周面のうちリターンチューブやコマが設けられている部分には、フランジ等の外周形成物を形成することはできず、ナットの外周面の設計に制限があった。これに対して、本実施形態のボールねじ1は、ボール循環路11がナット5の内周面に形成されており、ナット5の外周面にはいかなる部材も取り付ける必要がなく、前述の貫通孔,コマ穴等の孔を形成する必要もないので、ボール循環路11が設けられた位置や回路数に拘束されず、ナット5の外周面全体にわたって任意の形状に設計することができる。よって、ナット5の外周面のうち、ボール循環路11やねじ溝5aに相対する部分にも、外周形成物を一体的に形成することができる。本実施形態のボールねじ1は、外周形成物としてフランジ13が形成されている。また、リターンチューブ,コマ等の部材が取り付けられていないので、これらが脱落する心配が無く、ボールねじ1の信頼性が優れている。外周形成物の種類は特に限定されるものではないが、フランジの他には、歯車用歯列,キー溝,軸受用軌道溝,異形外周面等があげられる。例えば、周方向に並ぶ複数の歯からなる歯車用歯列をナット5の外周面に形成すれば、ナット5を歯車として機能させることができる。また、ナット5の外周面にキー溝を形成すれば、他部材に設けられたキーを該キー溝に係合させることにより、その他部材とナット5を連結することができる。さらに、ナット5の外周面に軸受用軌道溝を形成すれば、ナット5を転がり軸受の内輪として機能させることができる。さらに、ナット5の外周面は通常は断面円形であるが、断面多角形,断面楕円形等の異形外周面とすることもできる。なお、これらの外周形成物の中の1つをナット5の外周面に形成してもよいし、2つ以上を形成してもよい。例えば、本実施形態のボールねじ1のように、ナット5の外周面にフランジ13を形成し、そのフランジ13の外周面に歯車用歯列15を形成してもよい。このような本実施形態のボールねじ1の用途は特に限定されるものではないが、自動車,二輪車,位置決め装置等に組み込まれる電動アクチュエータに特に好適に使用することができる。次に、本実施形態のボールねじ1の製造方法の一例を、図15を参照しながら説明する。まず、所定の長さ又は質量の円柱状の鋼製素材20を冷間鍛造等の塑性加工により加工し、ナット5と略同一形状略円筒形状のブランク21本発明の構成要件である粗成形ナットに相当するを得た粗成形工程。このとき、塑性加工により、ブランク21の外周面にはフランジ13も形成される。よって、この場合の粗成形工程は、同時に外周形成物形成工程を兼ねている。次に、ブランク21の円柱面状の内周面の一部を冷間鍛造等の塑性加工により凹化させて、ボール転動路7の終点と始点を連通するボール循環路11をなす凹溝22を形成したボール循環路形成工程。凹溝22を形成する方法の具体例としては、以下のようなものがあげられる。すなわち、凹溝22に対応する形状の凸部を有するパンチをブランク21内に挿入し、ブランク21の内周面にパンチの凸部を接触させ、ブランク21の内周面に向かってパンチを強く押圧することにより、凹溝22を形成することができる。なお、外周形成物とボール循環路11の形成順序は特に限定されるものではなく、どちらを先に形成してもよいが、本実施形態においては外周形成物であるフランジ13を塑性加工にて形成した後にボール循環路11を形成したので、ボール循環路11の形状精度をより高く確保できる。次に、ブランク21の外周面に突出するフランジ13の外周面に、冷間鍛造等の塑性加工により、周方向に並ぶ複数の歯からなる歯車用歯列15を形成した外周形成物形成工程。なお、歯車用歯列15は塑性加工により形成することが好ましいが、切削加工により形成することもできる。そして、ブランク21の内周面に切削加工によりねじ溝5aを形成したねじ溝形成工程。最後に、所望の条件で焼入れ,焼戻し等の熱処理を施すと、ナット5が得られた。この熱処理の例としては、浸炭処理,浸炭窒化処理,高周波熱処理等があげられる。このようにして製造されたナット5と、慣用の方法により製造されたねじ軸3及びボール9とを組み合わせて、ボールねじ1を製造した。前述の粗成形工程,ボール循環路形成工程,外周形成物形成工程の全てを塑性加工で行ったので、このボールねじ1の製造方法は、材料歩留まりが高いことに加えて、高精度のボールねじを安価に製造することができる。また、塑性加工により製造するため、鋼製素材20が有するメタルフロー鍛流線がほとんど切断されず、また、加工硬化するので、高強度のナット5が得られる。塑性加工の種類は特に限定されるものではないが、鍛造が好ましく、特に冷間鍛造が好ましい。熱間鍛造を採用することも可能であるが、冷間鍛造は熱間鍛造に比べて高精度な仕上げが可能であるので、後加工を施さなくても十分に高精度なナット5を得ることができる。よって、ボールねじ1を安価に製造することができる。粗成形工程,ボール循環路形成工程,及び外周形成物形成工程のうち、全ての工程における塑性加工を冷間鍛造とすることが好ましいが、いずれか1つ又は2つの工程における塑性加工を冷間鍛造としてもよい。第4実施形態第4実施形態は、ボールねじを構成するナット及びその製造方法に関する。ボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。ボールねじのボール戻し経路には循環チューブ方式やコマ方式などがあり、コマ方式の場合は、ボール戻し経路をなす凹部が形成されたコマをナットの貫通穴に嵌めている。これに対して、特許文献3には、ボール戻し経路をなす凹部循環溝を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成することが記載されている。その形成方法を、図28を用いて説明する。先ず、循環溝の形状に対応するS字状の凸部137,138を有する円筒状の加工ヘッド130を備えた金型を用意する。そして、ナット素材101を、その軸方向を水平方向に向けて台190の上に置き、ナット素材101の内部に加工ヘッド130を入れて、凸部137,138を上に向け、基端部130aと先端部130bを固定する。次に、この状態で、金型の上部材120にプレス圧を掛けて下降させ、凸部137,138をナット素材101の内周面111に押し当てることで、ナット素材101の内周面111を塑性変形させる。このようなボールねじ用ナットの製造方法において、ナットの外周面に突出部フランジや、回転または軸方向のストッパー、加工時または取付時の位置決め、動力伝達、トルク伝達等を目的とした突起などを形成する場合には、切削加工を採用している。また、特許文献2には、ボール戻し経路をなす凹部戻り溝と螺旋溝内ねじ溝と外周面の突出部外径面を形成する部分を有するナットを、焼結合金で一体に成形することが提案されている。しかしながら、切削加工によるナットの製造は、材料歩留まりが低く高コストであるという問題点を有する。また、焼結合金は密度が低いことに加えて気孔が存在するため、ナットとして十分な強度を有することが難しいという問題点を有する。第4実施形態の課題は、上記のような従来技術が有する問題点を解決し、材料歩留まりが高いことに加えて、安価で且つ高強度なボールねじ用ナットを製造可能な方法を提供することである。上記課題を解決するために、第4実施形態の第1のボールねじ用ナットの製造方法は、内周面に螺旋溝が形成され外周面に突出部を有するナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじの、前記ナットを製造する方法であって、前記ナットの内周面への前記凹部の形成と前記ナットの外周面への突出部の形成を、冷間鍛造で同時に行うことを特徴とする。また、第4実施形態の第2のボールねじ用ナットの製造方法は、内周面に螺旋溝が形成され外周面に突出部を有するナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじの、前記ナットを製造する方法であって、円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹部に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、前記外周面を受ける内周面に凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法冷間鍛造により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹部を形成し、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の外周部を突出させることで、前記ナット素材の外周面に突出部を形成することを特徴とする。この方法は以下の問題点を解決する。すなわち、特許文献3では、ナットの軸方向寸法が長く内径が小さい場合、金型の加工ヘッドが細長くなるため、強度が不足して破損し易くなるという問題点がある。また、前記凹部の形成に伴う材料の流れが制御できず、前記ナット素材の軸方向に向かうことで、ナット素材の軸方向両端面が変形して凸状になる。ナット素材の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面となるため、凸状になるとそのままでは螺旋溝の加工精度が低下するという問題点もある。この方法によれば、前記金型を用いたプレス法により、カム機構をなす斜面でカムドライバの前記軸方向への運動が前記径方向へ方向を変えてカムスライダに伝達され、カムスライダに形成された凸部がナット素材の内周面を押して塑性変形させることで、前記ナット素材の内周面に前記凹部が形成される。そして、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、特許文献3の方法と比較して前記金型に破損が生じ難い。また、前記拘束部材により、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面が拘束され、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の外周部を突出させて前記突出部を形成するため、前記凹部の形成時に、前記ナット素材の軸方向両端面が変形しにくくなる。ナット素材の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面となるため、そのまま使用した場合の螺旋溝加工精度が向上する。また、この方法によれば、冷間鍛造で、前記凹部の形成と同時にナット素材の外周面に突出部が形成されるため、前記突出部を切削加工で形成した場合のように材料を無駄にすることがない。第4実施形態の第1又は第2のボールねじ用ナットの製造方法においては、前記突出部又は前記突出部の内周面に形成された凹部若しくはテーパ面を、基準面又は保持部として使用して次工程以降の加工を行うことができる。第4実施形態の第1又は第2の方法で製造されたボールねじ用ナットとして、前記突出部が、軸力伝達部、トルク伝達部、位置決め部、または取付部であるボールねじ用ナットが挙げられる。第4実施形態の第1の方法によれば、材料歩留まりが高いことに加えて、加工コストも低減でき、安価で且つ高強度なボールねじ用ナットを製造することができる。第4実施形態の第2の方法によれば、ボール戻し経路をなす凹部を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記凹部を形成できるとともに、前記ナット素材の軸方向両端面の変形を抑制できる。また、前記凹部の形成と同時にナット素材の外周面に突出部が形成されるため、前記突出部を切削加工で形成した場合と比較して材料コストを低くすることができる。以下、第4実施形態について詳細に説明する。[第1例]この第1例では、図16に示す方法で、ナット素材101の内周面にS字状凹部ボール戻し経路をなす凹部115を形成すると同時に、ナット素材101の外周面に突出するストッパー191をS字状凹部115の径方向外側に形成する。この第1例で使用する金型は、図16に示すように、ナット素材101を保持する凹部121を有する素材ホルダ102と、ナット素材101の上端面を拘束する蓋部材122と、ナット素材101の内部に配置するカムスライダ103およびカムドライバ104と、を備えている。素材ホルダ102の凹部121の内周面に、ストッパー191に対応する形状の凹み部121aが形成されている。素材ホルダ102の凹部121と蓋部材122が、ナット素材101の軸方向両端面と外周面を拘束する拘束部材を構成する。カムスライダ103は、図17aおよびbに示すように、外周面131と軸方向に平行な平面132を有する略半円柱状部材であって、外周面131をなす円の径は、ナット素材101の内周面111をなす円111aの径より僅かに小さい。カムスライダ103の平面132には、径方向の中央部に、軸方向に延びる斜面133が形成されている。この斜面133は、軸方向一端上端の凹部134の底面ライン134aと、平面132の下端をなすライン132dを結ぶ平面に相当する。また、S字状凹部115に対応するS字状凸部135が、カムスライダ103の外周面131に形成されている。カムドライバ104は、図17cに示すように、長尺な板状部材であって、一方の側面141がカムスライダ103の斜面133と同じ傾斜の斜面になっている。他方の側面142は、ナット素材101の内周面111をなす円111aに沿った円周面となっている。カムドライバ104の軸方向寸法は、カムスライダ103の軸方向寸法より長い。また、カムドライバ104の厚さは、カムスライダ103の凹部134の開口幅斜面133の両側面間の寸法に相当する厚さより僅かに薄い。カムスライダ103の斜面131とカムドライバ104の傾斜した側面141が、金型のカム機構を構成する。この金型を用い、先ず、素材ホルダ102の凹部121にナット素材101を配置し、ナット素材101の上端面に蓋部材122を載せて、ナット素材101の軸方向両端面と外周面を拘束する。次に、ナット素材101の内部に、カムスライダ103を、凹部134側を上にし、S字状凸部135をナット素材101の内周面111に向けて挿入する。その際に、カムスライダ103のS字状凸部135を素材ホルダ102の凹み部121aに合わせる。次に、カムスライダ103とナット素材101の間にカムドライバ104を挿入する。その際に、カムスライダ103の凹部134にカムドライバ104の側面141側の部分を嵌めて、カムスライダ103の斜面133とカムドライバ104の傾斜した側面141を接触させる。図16aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ104を上から押すと、カムドライバ104の傾斜した側面141からカムスライダ103の斜面133に力が伝達される。これに伴い、カムドライバ104の下向きの力がカムスライダ103を径方向外側へ動かす力に変換されて、カムスライダ103に形成されたS字状凸部135が、ナット素材101の内周面111を押して塑性変形させる。これに伴って、ナット素材101の外周部に存在する材料が、素材ホルダ102の凹み部121aに押し込まれる。図16bはこの状態を示す。これにより、ナット素材101の内周面111にS字状凹部115が形成され、凹み部121aにナット素材101の外周部が突出して、ナット素材101の外周面にストッパー191が形成される。このナット素材101を金型から外した状態を図18に示す。よって、この第1例の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ104に破損を生じさせずにS字状凹部115を形成することができる。また、S字状凸部135により径方向外側に押されたナット素材101の材料が凹み部121aに向かうため、ナット素材101の軸方向両端面に変形が生じにくい。ナット素材101の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面としてもよいので、そのまま使用して螺旋溝の加工を行った場合でも加工精度が良好となる。さらに、S字状凹部115の形成と同時にナット素材101の外周面にストッパー突出部191が形成されるため、ストッパー191を切削加工で形成した場合と比較して材料コストを低くすることができる。また、ナット素材101をなす材料が径方向に流れることでストッパー191が形成されるため、メタルフロー鍛流線がほとんど切断されず、また、加工硬化するので、このストッパー191は軸力やトルクに対する強度が高いものとなる。[第2例]この第2例では、図19に示す方法で、ナット素材101の内周面にS字状凹部ボール戻し経路をなす凹部115を形成すると同時に、ナット素材101の外周面に突出するストッパー192を軸方向一端に形成する。この第2例で使用する金型は、図19に示すように、ナット素材101を保持する凹部121を有する素材ホルダ102と、ナット素材101の上端面を拘束する蓋部材122と、ナット素材101の内部に配置するカムスライダ103Aおよびカムドライバ104と、を備えている。素材ホルダ102の凹部121の内周面の上端に、ストッパー192に対応する形状の凹み部121bが形成されている。素材ホルダ102の凹部121と蓋部材122が、ナット素材101の軸方向両端面と外周面を拘束する拘束部材を構成する。カムスライダ103Aは、図20aおよびbに示すように、外周面131と軸方向に平行な平面132を有する略半円柱状部材であって、外周面131をなす円の径は、ナット素材101の内周面111をなす円111aの径より僅かに小さい。カムスライダ103Aの平面132には、径方向の中央部に、軸方向に延びる斜面133が形成されている。この斜面133は、軸方向一端上端の凹部134の底面ライン134aと、平面132の下端をなすライン132dを結ぶ平面に相当する。カムスライダ103Aの外周面131に、S字状凹部115に対応するS字状凸部135が形成されている。カムスライダ103Aの外周面131には、さらに、凹み部121bに対応する位置にストッパー192形成用の凸部136が形成されている。カムドライバ104は、図20cに示すように、長尺な板状部材であって、一方の側面141がカムスライダ103Aの斜面133と同じ傾斜の斜面になっている。他方の側面142は、ナット素材101の内周面111をなす円111aに沿った円周面となっている。カムドライバ104の軸方向寸法は、カムスライダ103Aの軸方向寸法より長い。また、カムドライバ104の厚さは、カムスライダ103Aの凹部134の開口幅斜面133の両側面間の寸法に相当する厚さより僅かに薄い。カムスライダ103Aの斜面131とカムドライバ104の傾斜した側面141が、金型のカム機構を構成する。この金型を用い、先ず、素材ホルダ102の凹部121にナット素材101を配置し、ナット素材101の上端面に蓋部材122を載せて、ナット素材101の軸方向両端面と外周面を拘束する。次に、ナット素材101の内部に、カムスライダ103Aを、凹部134側を上にし、S字状凸部135および凸部136をナット素材101の内周面111に向けて挿入する。その際に、カムスライダ103Aの凸部136を素材ホルダ102の凹み部121bに合わせる。次に、カムスライダ103Aとナット素材101の間にカムドライバ104を挿入する。その際に、カムスライダ103Aの凹部134にカムドライバ104の側面141側の部分を嵌めて、カムスライダ103Aの斜面133とカムドライバ104の傾斜した側面141を接触させる。図19aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ104を上から押すと、カムドライバ104の傾斜した側面141からカムスライダ103Aの斜面133に力が伝達される。これに伴い、カムドライバ104の下向きの力がカムスライダ103Aを径方向外側へ動かす力に変換されて、カムスライダ103Aに形成されたS字状凸部135と凸部136が、ナット素材101の内周面111を押して塑性変形させる。これに伴って、ナット素材101をなす材料のS字状凸部135に押された部分が上側に移動し、凸部136で径方向外側に押された部分ナット素材1の外周部に存在する材料が素材ホルダ102の凹み部121bに押し込まれる。図20bはこの状態を示す。これにより、ナット素材101の内周面111にS字状凹部115が形成され、凹み部121bにナット素材101の外周部が突出して、ナット素材101の外周面にストッパー192が形成される。また、ストッパー192の内側に、凸部136に対応する凹部116が形成される。このナット素材101を金型から外した状態を図21に示す。よって、この第2例の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ104に破損を生じさせずにS字状凹部115を形成することができる。また、S字状凸部135と凸部136により押されたナット素材101をなす材料が凹み部121bに向かうため、ナット素材101の軸方向両端面に変形が生じにくい。ナット素材101の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面としてもよいので、そのまま使用して螺旋溝の加工を行った場合でも加工精度が良好となる。さらに、S字状凹部115の形成と同時にナット素材101の外周面にストッパー突出部192が形成されるため、ストッパー192を切削加工で形成した場合と比較して材料コストを低くすることができる。また、ナット素材101をなす材料が径方向に流れることでストッパー192が形成されるため、メタルフロー鍛流線がほとんど切断されず、また、加工硬化するので、このストッパー192は軸力やトルクに対する強度が高いものとなる。[第3例]この第3例では、図22に示す方法で、ナット素材101の内周面の2カ所にS字状凹部ボール戻し経路をなす凹部115a,115bを形成すると同時に、ナット素材101の外周面に突出する一対のストッパー193を軸方向一端に形成する。この第3例で使用する金型は、図22に示すように、ナット素材101を保持する凹部121を有する素材ホルダ102と、ナット素材101の上端面を拘束する蓋部材122と、ナット素材101の内部に配置する1対のカムスライダ105A,105Bと、両カムスライダ105A,105Bの間に配置するカムドライバ106を備えている。素材ホルダ102の凹部121の内周面の上端に、一対のストッパー193に対応する形状の一対の凹み部121cが形成されている。素材ホルダ102の凹部121と蓋部材122が、ナット素材101の軸方向両端面と外周面を拘束する拘束部材を構成する。各カムスライダ105A,105Bは、図23aおよびbに示すように、ナット素材101の内径より僅かに小さい径の外周面151を有する略半円柱状部材であって、外周面151の反対面をなすライン152はナット素材101の内径より小さい。よって、図23aに示すように、両カムスライダ105A,105Bの外周面151を、ナット素材101の内周面111をなす円111aに合わせて配置すると、両カムスライダ105A,105Bのライン152間に隙間152aが生じる。両カムスライダ105A,105Bの対向面ライン152に沿った面152bには、ライン152の中央部に、軸方向に延びる斜面153が形成されている。斜面153は、軸方向一端上端の凹部154の底面ライン154aと、下端のライン152を結ぶ平面に相当する。また、2カ所の各S字状凹部115a,115bに対応させたS字状凸部155a,155bが、各カムスライダ105A,105Bの外周面151にそれぞれ形成されている。各カムスライダ105A,105Bの外周面151には、さらに、各凹み部121cに対応する位置に、ストッパー193形成用の凸部156が形成されている。カムドライバ106は、図23cに示すように、長尺な四角柱であって、両側面が斜面161a,161bになっている傾斜部161と、両側面が互いに平行な面になっている基端部162とからなる。カムドライバ106の斜面161a,161bは、カムスライダ105A,105Bの斜面153と同じである。カムドライバ106の斜面161a,161bの幅は、カムスライダ105A,105Bの斜面153の幅より少し小さい。よって、カムスライダ105A,105Bの凹部154にカムドライバ106の傾斜部161が入る。カムスライダ105A,105Bの斜面153とカムドライバ106の斜面161a,161bが、金型のカム機構を構成する。この金型を用い、先ず、素材ホルダ102の凹部121にナット素材101を配置し、ナット素材101の上端面に蓋部材122を載せて、ナット素材101の軸方向両端面と外周面を拘束する。次に、ナット素材101の内部に、1対のカムスライダ105A,105Bを両斜面153が向かい合うように挿入する。その際に、カムスライダ105A,105Bの凸部156を素材ホルダ102の各凹み部121cに合わせる。次に、両カムスライダ105A,105Bの凹部154間にカムドライバ106を挿入して、両カムスライダ105A,105Bの斜面153とカムドライバ106の斜面161a,161bを接触させる。図22aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ106を上から押すと、カムドライバ106の斜面161a,161bから両カムスライダ105A,105Bの斜面153に力が伝達される。これに伴い、カムドライバ106の下向きの力が各カムスライダ105A,105Bを径方向外側へ動かす力に変換されて、各カムスライダ105A,105Bに形成されたS字状凸部155a,155bと凸部156が、ナット素材101の内周面111を押して塑性変形させる。これに伴って、ナット素材101をなす材料のS字状凸部155a,155bに押された部分が上側に移動し、凸部156で径方向外側に押された部分ナット素材101の外周部に存在する材料が素材ホルダ102の凹み部121cに押し込まれる。図22bはこの状態を示す。これにより、ナット素材101の内周面111の2カ所にS字状凹部115a,115bが形成され、凹み部121cにナット素材101の外周部が突出して、ナット素材101の外周面にストッパー193が形成される。また、ストッパー193の内側に、凸部156に対応する凹部117が形成される。このナット素材101を金型から外した状態を図24に示す。よって、この第3例の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ106に破損を生じさせずにS字状凹部115を形成することができる。また、S字状凸部155と凸部156により押されたナット素材101をなす材料が凹み部121cに向かうため、ナット素材101の軸方向両端面に変形が生じにくい。ナット素材101の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面となるため、そのまま使用して螺旋溝の加工を行った場合でも加工精度が良好となる。また、ナット素材101の軸方向端面が加工硬化するため、加工基準面として適している。さらに、S字状凹部115の形成と同時にナット素材101の外周面にストッパー突出部193が形成されるため、ストッパー193を切削加工で形成した場合と比較して材料コストを低くすることができる。また、ナット素材101をなす材料が径方向に流れることでストッパー193が形成されるため、メタルフロー鍛流線がほとんど切断されず、また、加工硬化するので、このストッパー193は軸力やトルクに対する強度が高いものとなる。このストッパー193にボルト挿入穴を設けることで、ナットの取付フランジとして使用できる。[第4例]この第4例では、図25に示す方法で、ナット素材101の内周面の2カ所にS字状凹部ボール戻し経路をなす凹部115a,115bを形成すると同時に、ナット素材101の軸方向一端の外周部にフランジ194を、内周部にテーパ面118を形成する。この第4例で使用する金型は、図25に示すように、ナット素材101を保持する凹部121を有する素材ホルダ102と、ナット素材101の上端面を拘束する蓋部材122と、ナット素材101の内部に配置する1対のカムスライダ107A,107Bと、両カムスライダ107A,107Bの間に配置するカムドライバ108を備えている。素材ホルダ102の凹部121の内周面の上端に、フランジ194に対応する形状の周溝凹み部121dが形成されている。素材ホルダ102の凹部121と蓋部材122が、ナット素材101の軸方向両端面と外周面を拘束する拘束部材を構成する。カムスライダ107A,107Bは、前記第3例のカムスライダ105A,105Bから、軸方向で凸部156が形成されている側の端部が凸部156を含めて切り取られた形状であり、カムスライダ105A,105Bの斜面153を同じ斜面173と、2カ所の各S字状凹部115a,115bに対応させたS字状突起175a,175bを有している。カムドライバ108は、カムスライダ107A,107Bの斜面173と同じ斜面181a,181bを有する傾斜部181と、テーパ面118に対応するテーパ面182aが形成された基端部182からなる。カムスライダ107A,107Bの斜面173とカムドライバ108の斜面181a,181bが、金型のカム機構を構成する。この金型を用い、先ず、素材ホルダ102の凹部121にナット素材101を配置し、ナット素材101の上端面に蓋部材122を載せて、ナット素材101の軸方向両端面と外周面を拘束する。次に、ナット素材101の内部に、1対のカムスライダ107A,107Bを両斜面173が向かい合うように挿入する。次に、両カムスライダ107A,107Bの斜面173が形成された凹部カムスライダ105A,105Bの凹部154と同じ間にカムドライバ108を挿入して、両カムスライダ107A,107Bの斜面173とカムドライバ108の斜面181a,181bを接触させる。図25aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ108を上から押すと、カムドライバ108の斜面181a,181bから両カムスライダ107A,107Bの斜面173に力が伝達される。これに伴い、カムドライバ108の下向きの力が各カムスライダ107A,107Bを径方向外側へ動かす力に変換されて、各カムスライダ107A,107Bに形成されたS字状凸部175a,175bが、ナット素材101の内周面111を押して塑性変形させる。さらに、カムドライバ108のテーパ面182aが、ナット素材101の内周面111の上部を押して塑性変形させる。これに伴って、ナット素材101をなす材料のS字状凸部175a,175bに押された部分が上側に移動し、テーパ面182aで径方向外側に押された部分ナット素材101の外周部に存在する材料が素材ホルダ102の周溝121dに押し込まれる。図25bはこの状態を示す。これにより、ナット素材101の内周面111の2カ所にS字状凹部115a,115bが形成され、周溝121dにナット素材101の外周部が突出して、ナット素材101の外周面にフランジ194が形成される。また、フランジ194の内側に、テーパ面182aに対応するテーパ面118が形成される。このナット素材101を金型から外した状態を図26に示す。よって、この第4例の方法によれば、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ108に破損を生じさせずにS字状凹部115a,115bを形成することができる。また、S字状凸部175a,175bとテーパ面118により押されたナット素材101をなす材料が周溝121dに向かうため、ナット素材101の軸方向両端面に変形が生じにくい。ナット素材101の軸方向端面は、次工程である螺旋溝加工で加工基準面となるため、そのまま使用して螺旋溝の加工を行った場合でも加工精度が良好となる。また、ナット素材101の軸方向端面が加工硬化するため、加工基準面として適している。さらに、S字状凹部115a,115bの形成と同時にナット素材101の外周面にフランジ突出部194が形成されるため、フランジ194を切削加工で形成した場合と比較して材料コストを低くすることができる。また、ナット素材101をなす材料が径方向に流れることでフランジ194が形成されるため、メタルフロー鍛流線がほとんど切削されず、また、加工硬化するので、このフランジ194は軸力やトルクに対する強度が高いものとなる。このフランジ194は、ナットの外周に軸受などの部品を取り付けるツバとして使用できる。テーパ面118はナット素材101の外周面に研磨加工を行う場合のセンタ円筒研磨の際の回転中心を出す面として使用できる。また、このフランジ194にボルト挿入穴を設けることで、ナットの取付フランジとして使用できる。また、このフランジ194の外周部に歯切りを行って歯車を形成することもできる。[第5例]図27に示すように、金型の上部材120の下面に凹部196を形成しておけば、図28の場合と全く同様の方法により、ナット素材101の内周面111への凹部197の形成と、ナット素材101の外周面への突出部198の形成を、冷間鍛造で同時に行うことができる。第5実施形態第5実施形態は、ボールねじを構成するナットの製造方法及びその製造方法によって作製されたボールねじのナットに関する。ボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動する装置である。このようなボールねじは、一般的な産業用機械の位置決め装置等だけでなく、自動車、二輪車、船舶等の乗り物に搭載される電動アクチュエータにも使用されている。ボールねじのボール戻し経路には循環チューブ方式やコマ方式などがあり、コマ方式の場合は、ボール戻し経路をなす凹部が形成されたコマをナットの貫通穴に嵌めている。これに対して、特許文献3には、ボール戻し経路をなす凹部循環溝を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成することが記載されている。その形成方法については、第4実施形態で説明した通りである。しかしながら、特許文献3に記載された方法では、ナットの軸方向寸法が長く内径が小さい場合、金型の加工ヘッドが細長くなるため、強度が不足して破損し易くなるという問題点があった。そこで、本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、ボール戻し経路をなす凹部を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記凹部を形成できるとともに、前記ナットの外径精度への影響を少なくするボールねじのナットの製造方法を提供することにある。また、本発明のもう一つの目的は、前記ナットとハウジング等との突き当たり時の固着を防止し、衝突エネルギーを抑制できるボールねじ及びその製造方法を提供することにある。上記課題を解決するため、第5実施形態のボールねじのナットの製造方法は、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじのナットの製造方法であって、円筒状のナット素材に内挿され、その軸方向に沿って移動するカムドライバと、前記ナット素材とカムドライバとの間に配置され、前記凹部に対応する凸部が形成され、前記カムドライバの移動により前記凸部が前記ナットの径方向に移動するカムスライダと、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面を拘束し、前記ナット素材の軸方向両端面を受ける端面に凹み部が形成された拘束部材と、を有するカム機構の金型を用いたプレス法により、前記凸部で前記ナット素材の内周面を押すことで、前記ナット素材の内周面に前記凹部を形成し、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材余肉を突出させることを特徴としている。第5実施形態のナットの製造方法によれば、前記金型を用いたプレス法により、カム機構をなす斜面でカムドライバの前記軸方向への運動が前記径方向へ方向を変えてカムスライダに伝達され、カムスライダに形成された凸部がナット素材の内周面を押して塑性変形させることで、前記ナット素材の内周面に前記凹部が形成される。そして、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、特許文献3の方法と比較して前記金型に破損が生じ難い。また、前記拘束部材により、前記ナット素材の軸方向両端面と外周面が拘束され、前記拘束部材の凹み部に前記ナット素材の端面部を突出させるため、前記ナットの外径精度への影響を少なくすることができる。また、第5実施形態のボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道の間に配置されたボールと、前記ナットの内周面に凹部として形成された、前記ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備えるボールねじであって、前記ナットの軸方向の端面に凸部が形成されたことを特徴としている。この第5実施形態のボールねじによれば、前記ナット素材の端面部を突出させるため、前記ナットとハウジング等との突き当たり時の固着を防止し、衝突エネルギーを抑制できる。第5実施形態によれば、ボール戻し経路をなす凹部を、ナット素材の内周面に塑性加工で直接形成する方法として、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、金型を破損することなく前記凹部を形成できるとともに、前記ナットの外径精度への影響を少なくすることができる。また、前記ナット素材の端面部を突出させるため、前記ナットの突き当たり時の固着を防止し、衝突エネルギーを抑制したボールねじを提供することができる。[第1例]以下、第5実施形態のボールねじの製造方法の第1例について、図面を参照して説明する。図29は、第5実施形態の製造方法の第1例における構成を示す断面図である。また、図30は、第1例で使用するカムドライバを示す斜視図aと、カムスライダを示す平面図b及び斜視図cである。また、図31は、第1例で使用する拘束部材を構成する分割体を示す平面図aと、そのA-A断面図b及び台の断面図cである。また、図32は、第1例において、S字状凹部と凸部が形成されたナット素材を示す正面図aと、そのA-A断面図bと、斜視図cである。<金型>図29~31に示すように、第1例に使用する金型は、ナット素材201の内部に挿入するカムドライバ202と、ナット素材201とカムドライバ202との間に配置されるカムスライダ203A~203Dと、ナット素材201と同じ内径の凹部241が上面の中心に形成された台204と、ナット素材201の上端面と外周面を拘束する拘束部材205と、拘束部材205の外側への移動を規制する外方部材206と、を備えている。<カムドライバ>カムドライバ202は、図30aに示すように、断面が正方形の棒状部材であって、断面の正方形の大きさが軸方向で変化しない基端部221と、断面の正方形の大きさが先端に向けて小さくなる本体部222とからなる。すなわち、基端部221の四つの側面221a~221dは前後と左右でそれぞれ平行な面であり、本体部222の四つの側面222a~222bは、傾斜が同じ斜面になっている。<カムスライダ>カムスライダ203A~203Dは、図30b及びcに示すように、ナット素材201の内径より僅かに小さい径の外周面231を有する円柱を、周方向で四分割した形状の部材であって、外周面231の反対側に、カムドライバ202の四つの側面222a~222bと傾斜が同じ斜面233が形成されている。カムスライダ203A~203Dを、外周面231をナット素材201の内周面211をなす円211aに合わせて配置すると、円211aの中心に、四つの斜面233により、カムドライバ202が挿入される空間が形成される。また、各カムスライダ203A~203Dの外周面231に、四つのボール戻し経路をなすS字状凹部に対応するS字状凸部235A~235Dが形成されている。カムドライバ202の傾斜した側面222a~222dとカムスライダ203の斜面233が、金型のカム機構を構成する。<拘束部材>拘束部材205は、図31aに示すように、外周円直径が軸方向でテーパ状に変化する円筒体が、周方向で四分割された形状の分割体251~254からなる。図31bに示すように、各分割体251~254の内周面は、外周面の大径側が、ナット素材201の外径に対応させた大径部251a~254aに形成され、外周面の小径側が、ナット素材201の内径より少し大きな外径よりは小さい小径部251b~254bに形成されている。これにより、大径部251a~254aと小径部251b~254bの境界に、ナット素材201の上端面214に接触させる拘束面251c~254cが形成されている。これら拘束面251c~254cに、凹み部251d~254dが形成されている図31bにおいて凹み部253dは図示せず。各分割体251~254の内周面の大径部251a~254aが、ナット素材201の外周面213を受ける内周面に相当する。台204は、図31cに示すように、ナット素材201と同じ内径の凹部241が上面204aの中心に形成されており、上面204aの一部は、ナット素材201の下端面215に接触する拘束面として機能する。そして、この拘束面には、凹み部242a~242dが形成されている。図31cでは、凹み部242a~242dが各分割体251~254の内周面側に位置するように形成された態様を示しているため、凹み部242b及び凹み部242dのみが示され、凹み部242a及び凹み部242cは図示されていない。凹み部242a~242dは、ナット素材201の軸方向の少なくとも一方の端面、すなわち、上端面214及び下端面215の少なくともいずれか一方に形成される。第1例では、凹み部242a~242dは、略半球形状をなして上端面214及び下端面215の少なくともいずれか一方の円周方向に連続して設けている。凹み部242a~242dの形状及び数はこのような形態に限られず、ナット素材201の内周面に形成されるS字状凹部212A~212Dの円周方向の円弧長さに対応させて独立に設けてもよい。また、凹み部242a~242dは、それらの面積、深さ、形状等は同一にしてもよいし、個別に異なるものとしてもよい。例えば、S字状凹部212A~212Dから遠い位置に形成される凹み部242a~242dはその面積や深さを小さくし、S字状凹部212A~212Dに近い位置に形成される凹み部242a~242dはその面積や深さを大きくしてもよい。また、S字状凹部の数に依ることなく、凹み部は1つでもよい。外方部材206は、拘束部材205のテーパ状外周面に対応する内周面261と、台204の外形と同じ外形面を有する筒状体である。この金型を用い、以下の方法で、ナット素材201の内周面211に四つのボール戻し経路をなすS字状凹部212A~212Dを形成する。<ボールねじのナットの製造方法>先ず、台204の上の中心にナット素材201を配置し、凹部241の内周面にナット素材201の内周面211を合わせる。次に、拘束部材205の各分割体251~254を台204の上に配置し、内周面の大径部251a~254aをナット素材201の外周面213に接触させ、拘束面251c~254cをナット素材201の上端面214に接触させる。次に、外方部材206を台204の上に配置して、内周面261を拘束部材205のテーパ状外周面に接触させる。この状態で、外方部材206を台204に固定する。これにより、外方部材206で、拘束部材205をなす分割体251~254の径方向外側への移動が規制され、拘束部材205と台204で、ナット素材201の軸方向両端面214,215と外周面が拘束された状態となる。次に、ナット素材201内にカムスライダ203A~203Dを、各外周面231をナット素材201の内周面211に向けて挿入する。これにより、カムスライダ203A~203Dの四つの斜面233で、カムドライバ202が挿入される空間が形成される。次に、この空間にカムドライバ202の本体部222の先端を挿入する。図29aはこの状態を示す。次に、プレス圧を掛けてカムドライバ202を上から押すと、カムドライバ202の傾斜した側面222a~222dから、カムスライダ203A~203Dの斜面233に力が伝達される。これに伴い、カムドライバ202の下向きの力が、各カムスライダ203A~203Dを径方向外側へ動かす力に変換されて、各カムスライダ203A~203Dに形成されたS字状凸部235A~235Dが、ナット素材201の内周面211を押して塑性変形させる。これに伴って、ナット素材201の外周面213に存在する材料が、拘束部材205を構成する分割体251~254の凹み部251d~254d及び台204の凹み部242a~242dに押し込まれる。図29bはこの状態を示す。これにより、ナット素材201の内周面211に、四つのボール戻し経路をなすS字状凹部212A~212Dが形成される。また、拘束部材205を構成する分割体251~254の凹み部251d~254dに、S字状凹部212A~212Dの形成に伴い生じる余肉がナット素材201の上端部214から流入することによって、凸部214A~214Dが形成される。さらに、台204の凹み部242a~242dに、S字状凹部212A~212Dの形成に伴い生じる余肉がナット素材201の下端部215から流入することによって、凸部215A~215Dが形成される。以下、これら凸部214A~214D及び凸部215A~215Dを端面凸部ということがある。ここで、ナット素材201の外径側の金型は、ナット素材201の外径を比較的強固に押さえるものが好ましい。例えば、金型とナット素材201の外径の嵌めあいとしては数μmの隙間嵌めから数十μmの締まり嵌めとなるようにすることが好ましい。かかる方法により塑性加工することで、ナット素材201の外径側への肉の膨出等が抑制されるため、ナット素材201の外径寸法の精度等に影響を与えることなく、S字状凹部212A~212Dの塑性加工が可能となる。なお、ナット素材201の外径側に突出部の形成が許容される場合は、外径側に設けた凹み部と端面側に設けた凹み部を併用することも可能である。この方法で、S字状凹部212A~212Dと凸部214A~214D及び凸部215A~215Dが形成されたナット素材201を図32に示す。図32aは正面図であり、図32bはそのA-A断面図であり、図32cは斜視図である。このナット素材201に螺旋溝やシール取付溝などを形成することで、ボールねじのナットが製造される。ここで、図32b及び図32cに示すように、ナット素材201の一方の端面215には、ナット素材201の鍛造時やその後の切削での位置決めのための切欠部216が形成されている。第1例では、ナット素材201に対する塑性加工時に切欠部216に肉が流れ込まないように、この切欠部216に嵌合又は係合する凸部図示せずが台204や拘束部材205に形成されてもよい。また、凸部214A~214D及び凸部215A~215Dの突出部分の体積の和は、S字状凹部212A~212Dの凹み部分の体積の和と略同じである。この第1例の方法によれば、端面凸部をS字状凹部と同時に形成できる。また、ナット外周への鍛造による肉逃げの影響が小さくなる。また、軸方向寸法が長く内径が小さいナットを製造する場合でも、カムドライバ202に破損を生じさせずに、ナット素材201に四つのS字状凹部212A~212Dを同時に形成することができる。また、ナットが軸方向に移動して、ハウジング等にナット端面が突き当たった際に生じ得る、ナットとハウジング等との固着を、端面凸部を形成して、ナットとハウジング等との突き当たり面積を小さくしたことにより防止することができる。また、第1例の方法によれば、ナット端面の凸部以外の部分の平面精度を損なうことがない。[第2例]図33は、第5実施形態のボールねじの製造方法の第2例を示す断面図である。なお、第2例は、分割体の凹み部及び台の凹み部の形成位置を変更した以外は、前述した第1例と同様であるので、第1例と同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。図33に示すように、第2例では、フランジ部207が形成されているナット素材201に対して塑性加工例えば、冷間鍛造を行う場合の凹み部の配置の一例を示すものである。ナット素材201において、フランジ部207等の肉厚部とS字状凹部212A~212Dの軸方向の位相が重なってしまう場合は、外径側に凹み部を設けても、肉厚部に阻まれて、十分な塑性変形がされず、加工しようとするS字状凹部212A~212Dの形状等にまで悪影響を及ぼす可能性もある。また、肉逃げがうまく行かない場合であって、肉薄部図33においてフランジ部と軸方向の位相の重ならない部分がある場合は、当該肉薄部の内径寸法精度が崩れる等の影響も考えられる。そこで、第2例では、フランジ部207と軸方向に位相が重なるS字状凹部212A~212Dに対応する凹み部242aをフランジ部207の端面207aに対向する台204に設けている。なお、フランジ部207と軸方向に位相が重ならない部分の凹部は、フランジ部207とは反対側の端面拘束面251c~254cに設けてもよいし、図33に示すようにナット素材201の外径に対向する大径部面251a~254aのS字状凹部212A~212Dに対応する位置に設けてもよい。ここで、第2例では、端面凸部が形成される側の端面に最も近いS字状凹部と、ナット素材の、端面凸部が形成される側の軸方向端面との間の軸方向の距離をAとし、S字状凹部とナット素材の最外周面との間の半径方向の距離をBとしたとき、A<Bとすることが好ましい。このように規定することによって、特に、フランジ部207を有するナット素材にあっては、突出部を突出させやすくなり、ナット素材201の外径側への影響を少なくすることができる。第2例によれば、ナット素材201にフランジ部207等の肉厚部が形成されていても、ナット素材201の他の部分への悪影響を抑えつつ、端面に突出部が形成されたナットを形成することができる。なお、突出部の面積、深さ、円周方向の位置等は第1例と同様に適宜設定できる。[第3例]図34は、第5実施形態のボールねじの製造方法の第3例を示す断面図である。なお、第3例は、台の構成以外は、前述した第1例と同様であるので、第1例と同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。図34に示すように、第3例では、金型の一部である台204の素材を耐圧ゴムとし、ナット素材201と同じ内径の凹部241が形成されていない。すなわち、台204を上側の押さえ金属製より柔らかくし、かつ多少の弾性変形が可能にしてある。言い換えれば、ナット素材201の外周面への押さえ力よりも端面への押さえ力を弱くしている。そのため、S字状凹部の加工により逃げる余肉は弾性変形しやすいナット素材201の下端面215により多く張り出そうとする。その結果、ナット素材201の軸方向の両端面214,215における余肉の張り出しの結果である大きさの異なる凸部を形成することができる。これにより、鍛造後にナット素材201の上端面214及び下端面215の少なくともいずれか一方が平面になっていないので、平面となっていない側のナット端面とハウジング等の突き当たり時の固着を防止できる。ここで、端面凸部の形状は、前述の第1例及び第2例に示したような突起に限られず、ナット端面がうねった形状も含まれる。また、前記耐圧ゴムとしては、高圧での圧縮に耐える材質が好ましく、ウレタンゴムや、二トリルゴム、アクリルゴム、フッ素ゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム等の各種の合成ゴムが好適に使用できる。また、耐圧ゴムからなる台204とナット素材201とが直接当接することにより、耐圧ゴムの摩耗等が懸念される場合には、ゴムやばね等の弾性部材を介して、ナット素材201の下端面215を受けてもよい。[第4例]図35は、第5実施形態のボールねじの製造方法の第4例を示す断面図である。なお、第4例は、ナット素材に凹み部を形成した以外は、前述した第2例と同様であるので、第2例と同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。図35に示すように、第4例では、フランジ部207が形成されているナット素材201に対して塑性加工を行う場合の凹み部207bをフランジ部207の端面207aに形成している。これにより、台204に凹み部242a~242dを形成しなくても、凹み部207bに肉が逃げるので、好適にS字状凹部212A~212Dの加工が可能となる。ここで、第4例においては、鍛造後にナット素材201の下端面215が平面になっていなくてもよい。すなわち、凹み部207bの体積がS字状凹部212A~212Dと異なる場合は、凹み部207bの位置に凹みや凸部が形成されることで、ナットとハウジング等との突き当たり面積を小さくすることができるので、ナットとハウジング等との固着が防止できる。[第5例]図36,37は、第5実施形態のボールねじの製造方法の第5例を示す断面図である。図36に示すように、ナット素材101の軸方向端面に対向し該軸方向端面を拘束する部材に凹部196を形成しておけば、図28の場合と全く同様の方法により、ナット素材101の内周面111への凹部197の形成と、ナット素材101の軸方向端面への突出部198の形成を、冷間鍛造で同時に行うことができる。また、図37に示すように、ナット素材101の軸方向端面に対向する部材が該軸方向端面を拘束しない場合には、該部材とナット素材101の軸方向端面とが離間しているので、該部材に凹部196が形成されていなくても、図28の場合と全く同様の方法により、ナット素材101の内周面111への凹部197の形成と、ナット素材101の軸方向端面への突出部198の形成を、冷間鍛造で同時に行うことができる。<ボールねじ>以上、第1例~第4例によって製造されたナットを用いたボールねじについて、図面を参照して以下に説明する。図38は、第5実施形態のボールねじの一例の構成を示す図であり、aは断面図、bは斜視図である。図38aに示すように、ボールねじ302は、固定部としての中心開口303aを形成したハウジング303の中心開口に連通する大径孔部303bに軸受304によって回転自在に支持されたナット305と、このナット305に螺合するねじ軸306と、ナット305及びねじ軸306間に介挿された多数のボール307とで構成されている。ナット305は、上述した第1例~第4例のいずれかによって作製される。具体的に、ナット305は、内周面にねじ溝305aが形成された円筒部材305bで構成されている。この円筒部材305bの外周面における一方の端部が軸受304を介してハウジング303に回転自在に支持されて、他方の端部に平歯車305cが外嵌されている。この平歯車305cには、図示しない回転駆動源としての電動モータの回転軸に連結された平歯車305dが噛合されており、電動モータの回転力によってナット305が回転駆動される。また、ナット305には、平歯車305c側の軸方向端面305eにおけるねじ溝305aより半径方向外側位置に、後述するねじ軸306の案内突起306eの円周方向端面に係止される係止部材としての円柱状の係止片310が軸方向に突出形成されている。この係止片310が、前述の第1例~第4例においてナット素材201の端面214215に形成された凸部である。不図示の循環溝は第1例~第4例において形成されたS字状凹部212A~212Dである。また、ねじ溝305aは、切削などにより形成されたものである。なお、係止片310は、前述の第1例~第4例においてナット素材201の端面214215に形成された凸部であるため、これらの突出部分の体積の和は、不図示のS字状凹部212A~212Dの凹み部分の体積の和と略同じである。ねじ軸306は、ハウジング303に形成された中心開口303a内に挿通されており、外周面にねじ溝306aが形成された大径部306bと、この大径部306bの一端に形成された角柱部306cに嵌合された角筒部306d及びその1面から半径方向に大径部306bより外方に突出する案内突起306eと、角柱部306cに連接する小径軸部306fとで構成されている。ここで、ハウジング303のナット305を収納する端部には、ナット305を収納する収納部309aを形成した例えばアルミニウム、アルミニウム合金等をダイキャスト成形して構成された固定部としての固定カバー309がボルト締め等の固定手段によって一体に固定されている。この固定カバー309には、ねじ軸306の小径軸部306f及び大径部306bを挿通するハウジング303の中心開口303aよりは小径でねじ軸306の大径部306bよりは大径の挿通孔309bが形成され、この挿通孔309bの内周面側にねじ軸306の案内突起306eを案内する案内溝309cが形成されている。この案内溝309cは、収納部309a側に開口しており、収納部309aとは反対側では開口することなく案内突起306eが当接するストッパ部309dが形成されている。そして、図38bに示すように、ナット305の係止片310がねじ軸306の案内突起306eの円周方向端面に当接して軸方向のストロークエンドにあるものとし、この状態で、案内突起306eが図38aに示すように、固定カバー309の案内溝309cに軸方向の半分程度が係合しているものとする。この状態から、ナット305を矢印A方向に回転させることにより、ナット305の回転によって、係止片310が案内突起306eから円周方向に離間する。これと同時に、案内突起306eが固定カバー309の案内溝309cに係合していて、ねじ軸306が回り止めされているので、ねじ軸306が軸方向に前進し、案内突起306eも前進する。その後、ナット305の回転が継続されて、ねじ軸306の案内突起306eの小径軸部306f側の端面が固定カバー309のストッパ部309dに当接すると、ねじ軸306の前進が停止されて前方側のストロークエンドに達する。このねじ軸306が前方側のストロークエンドに達している状態からナット305を図38bの矢印Aとは反対方向に逆回転させると、ナット305の逆回転に伴って、ねじ軸306がその案内突起306eが固定カバー309の案内溝309cに係合しているので、回り止めされて軸方向に後退する。そして、ねじ軸306の案内突起306eがナット305の係止片310に対向するストロークエンドの1回転手前位置となった時、ナット305の逆転が許容される。このため、ねじ軸306がさらに後退して、案内突起306eの後端がナット305に形成した係止片310の先端の軌跡内に入り込むことになり、ついには、図38bに示すように係止片310が案内突起306eの円周方向端面に当接することなる。この状態では、図38aに示すように、案内突起306eの軸方向長さの半分程度が案内溝309cに係合しているので、回り止め状態にあり、この案内突起306eに係止片310が所定の係止長さをもって当接するので、係止片310が案内突起306eに係止されてナット305のこれ以上の逆回転が規制され、ねじ軸306が後方側ストロークエンドに達する。このようにして、ねじ軸306のナット305側へのストロークエンドがねじ軸306の回り止め機能を有する案内突起306eに、ナット305に形成した係止片310が係止されてストッパ機能が発揮される。また、前述の方法で案内突起306eを形成することにより、メタルフロー鍛流線がほとんど切断されず、また、加工硬化するので、案内突起306eは高強度となる。したがって、案内突起306eによって回り止め機能とストッパ機能とを兼ね備えることができ、ストッパ機能を別部材で構成する必要がなく、構成を簡易化することができるとともに、部品点数を削減して製品コストを低減することができる。また、ねじ軸306がストロークエンドに達したときに、ねじ軸306の案内突起306eは案内溝309cに係合しており、この案内突起306eの案内溝309cから突出した突出部にナット305に形成した係止片310が係止される。このため、ナット305に伝達される入力トルクが係止片310を介して案内突起306eに伝達されたときに、案内突起306e自体が案内溝309cに係合されていることから、伝達されるトルクは案内突起306eを介して案内溝309cで受けられることになり、ねじ軸306及びナット305にラジアル荷重が作用することを確実に防止することができる。次に、第5実施形態のボールねじの他の例について、図面を参照して以下に説明する。図39は、第5実施形態のボールねじの他の例の構成を示す斜視図である。なお、この例のボールねじは、ナットの軸方向端面に形成された凸部係止部を加工した以外は、上述の例のボールねじと同様であるので、同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。図39に示すように、この例では、係止部材を係止片に代えて螺旋スロープと係止面とで構成するようにしたものである。すなわち、ナット305の平歯車305cの側端面に形成する係止部材が、ナットの軸方向端面に形成された凸部を切削、研磨、及び塑性加工のいずれかを行って形成された螺旋スロープ312と、係止面313とで構成されている。螺旋スロープ312は、ナット305の平歯車305c側端面305eにおける外周縁の1点から半径方向に内周側に所定幅とった始端312aから反時計方向の円周方向に行くに従い軸方向突出長が徐々に長くなるように形成されている。また、係止面313は、螺旋スロープ312の始端312aに対向する最長突出部312bから軸方向に始端312aに向かって軸方向に延長して形成されたねじ軸306の案内突起306eの円周方向端面に係止される。このような構成により、図39に示すように、係止面313がねじ軸306の案内突起306eの円周方向端面に係止されているねじ軸306が後方側ストロークエンドにある状態からナット305を矢印A方向に回転させることにより、ナット305の回転によって、螺旋スロープ312の係止面313が案内突起306eから円周方向に離間する。これと同時に、案内突起306eが固定カバー309の案内溝309cに係合していてねじ軸306が回り止めされているので、ねじ軸306が軸方向に前進し、案内突起306eも前進する。そして、ナット305が一回転すると、ナット305の係止面313が案内突起306eの後端より離間しており、係止面313が案内突起306eの円周方向端面に当接することはなくなる。その後、ナット305の回転が継続されて、ねじ軸306の案内突起306eの小径軸部306f側の端面が固定カバー309のストッパ部309dに当接すると、ねじ軸306の前進が停止されて前方側のストロークエンドに達する。このねじ軸306が前方側のストロークエンドに達している状態からナット305を矢印Aとは反対方向に逆回転させると、ナット305の逆回転に伴って、ねじ軸306がその案内突起306eが固定カバー309の案内溝309cに係合しているので、回り止めされて軸方向に後退する。そして、ねじ軸306の案内突起306eがナット305の係止面313に対向するストロークエンドの1回転手前位置となったとき、前述したように、ナット305の逆転が許容される。このため、ねじ軸306がさらに後退して、案内突起306eの後端がナット305に形成した最長突出部312bの軌跡内に入り込むことになり、ついには、図39に示すように係止面313が案内突起306eの円周方向端面に当接することなる。この状態では、前述した例と同様に、案内突起306eの軸方向長さの半分程度が案内溝309cに係合しているので、回り止め状態にあり、この案内突起306eに係止面313が当接するので、係止面313が案内突起306eに係止されてナット305のこれ以上の逆回転が規制され、ねじ軸306が後方側ストロークエンドに達する。このように、本例においても、ねじ軸306のナット305側へのストロークエンドがねじ軸306の回り止め機能を有する案内突起306eに、ナット305に形成した螺旋スロープ312の係止面313が係止されてストッパ機能が発揮される。したがって、案内突起306eによって回り止め機能とストッパ機能とを兼ね備えることができ、ストッパ機能を別部材で構成する必要がなく、構成を簡易化することができるとともに、部品点数を削減して製品コストを低減することができる。ここで、螺旋スロープ係止部が図29及び図33に示される方法で台204の凹部242aを螺旋スロープと略同形状とし、循環溝と同時に鍛造により形成してもよい。さらに、図38及び図39に示すボールねじの例におけるボールねじの形状は、ナット回転の場合ナットがねじ軸の軸方向に移動しない場合を示したものであるが、ナットの端面に凸部を形成したボールねじはねじ軸が回転し、ナットが軸方向に移動する態様にも有効である。以上、第5実施形態のボールねじのナットの製造方法、及びその製造方法によって製造されるボールねじのナットの例について説明したが、第5実施形態は少なくともナットの軸方向の端面に凸部が形成されたボールねじのナット、及びその製造方法であれば、上記例に限定されるものではなく、第5実施形態のこの趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能である。例えば、第5実施形態に係るボールねじのナットの製造方法、及びその製造方法によって製造されるボールねじのナットは、ねじ軸循環を採用したボールねじのナットにも適用できる。また、上記例においては、ナット素材の内周面に複数のS字状凹部を同時に塑性加工する例を示したが、複数のS字状凹部を順次形成してもよい。また、本例におけるS字状凹部212A~212Dの塑性加工としては、熱間鍛造、冷間鍛造、ハイドロフォーミング等の各種の塑性加工が適用できる。第6実施形態第6実施形態は、ボールねじ軸とボールねじナットの間にボールを介装してなるボールねじに関し、特にボールねじナットの内周面に循環溝をなす凹部が形成されたボールねじに好適なものである。ボールねじは、ボールねじ軸に雄ボールねじ溝を形成すると共に、ボールねじナットに雌ボールねじ溝を形成し、それら雌雄ボールねじ溝間にボールを介装し、ボールが転動することにより滑らかな回転-直動運動を可能とするものである。このようなボールねじの使用に際し、例えば特許文献4では、ボールねじナットの外周面に転がり軸受を圧入することが記載されている。しかしながら、一般的なボールねじでは、例えば雌ボールねじ溝に沿って転動するボールをボールねじナットの転動終点部から転動始点部に戻す、所謂ボール戻し経路が必要であり、そのボール戻し経路は、雌ボールねじ溝が形成されているボールねじナットの内周面までボールねじナットの外周面から差し込まれた個別のボール循環部材によって構成される。即ち、ボールねじナットにはボールを循環するための貫通孔が形成されており、この貫通孔の開設されたボールねじナットに転がり軸受などを圧入すると、圧入にともなってボールねじナットに係る圧縮応力が円周方向に不均一となる。例えば、ボールねじナットの内周面、即ち雌ボールねじ溝の真円度に影響を及ぼす可能性がある。第6実施形態は、上記のような問題点に着目してなされたものであり、ボールねじナットにナット被嵌部材を圧入しても、圧入に伴うボールねじナットの圧縮応力が円周方向に均一化し易いボールねじを提供することを目的とするものである。上記課題を解決するために、第6実施形態のボールねじは、転動体であるボールと、前記ボールが収納される転動溝として外周面に雄ボールねじ溝が形成されたボールねじ軸と、前記ボールが収納される転動溝として内周面に雌ボールねじ溝が形成され且つ前記ボールねじ軸に被嵌され且つ内周面と外周面とが非貫通なボールねじナットと、前記ボールねじナットの外周面に圧入によって被嵌されたナット被嵌部材とを備えたことを特徴とするものである。また、前記ナット被嵌部材とボールねじナットとの圧入による締め代が、当該ナット被嵌部材の被嵌されるボールねじナットの外周面の外形寸法の0.02を超えることを特徴とするものである。また、前記ナット被嵌部材とボールねじナットとの圧入による締め代が、当該ナット被嵌部材の被嵌されるボールねじナットの外周面の外形寸法の0.02を超え且つ0.16未満であることを特徴とするものである。また、前記ナット被嵌部材をボールねじナットに圧入する場合、当該ナット被嵌部材を加熱してボールねじナットに被嵌する焼き嵌めであることを特徴とするものである。また、前記ボールねじナットの内周面にボール戻し経路をなす循環溝が形成されたことを特徴とするものである。また、前記ナット被嵌部材が、円筒形状の内周面を有するスリーブ及び転がり軸受及び歯車の何れか又はそれらの組合せであることを特徴とするものである。而して、第6実施形態のボールねじによれば、ボールねじ軸に被嵌され且つ内周面と外周面とが非貫通なボールねじナットの外周面にナット被嵌部材を圧入によって被嵌することとしたため、ナット被嵌部材の固定が容易であると共に、ナット被嵌部材の圧入に伴うボールねじナットの圧縮応力が円周方向に均一化し易い。また、ボールねじナットの内周面、即ち雌ボールねじ溝に適正な圧縮応力を付与することができ、これによりボールねじナットの雌ボールねじ溝の転がり疲労の耐久性を向上することができる。また、ナット被嵌部材とボールねじナットとの圧入による締め代を、当該ナット被嵌部材の被嵌されるボールねじナットの外周面の外形寸法の0.02を超えることとしたため、ナット被嵌部材をボールねじナットの外周面に圧入によって固定することができる。また、ナット被嵌部材とボールねじナットとの圧入による締め代を、当該ナット被嵌部材の被嵌されるボールねじナットの外周面の外形寸法の0.02を超え且つ0.16未満としたため、ナット被嵌部材をボールねじナットの外周面に圧入によって固定することができると共に、ボールねじナット及びナット被嵌部材に生じる圧縮応力を適正なものとすることができる。また、ナット被嵌部材をボールねじナットに圧入する場合、当該ナット被嵌部材を加熱してボールねじナットに被嵌する焼き嵌めとしたため、ナット被嵌部材とボールねじナットとの圧入による締め代を大きくすることができる。また、ボールねじナットの内周面にボール戻し経路をなす循環溝が形成されたものとすることにより、ボールねじナットの内周面と外周面とを非貫通状態とし易く、またナット被嵌部材が圧入被嵌されるボールねじナットの外周面の真円度を容易に高めることができる。また、ナット被嵌部材を、円筒形状の内周面を有するスリーブ及び転がり軸受及び歯車の何れか又はそれらの組合せとすることにより、発明を実施化し易い。次に、第6実施形態のボールねじの例について、図面を用いて説明する。図40は、第6実施形態のボールねじの第1例を示す縦断面図である。図中の符号401は、ボールねじ軸である。このボールねじ軸401には、ボールねじナット402が被嵌されている。ボールねじ軸401の外周面403には雄ボールねじ溝404が形成されている。また、ボールねじナット402の内周面405には雌ボールねじ溝406が形成されている。そして、雄ボールねじ溝404と雌ボールねじ溝406との間に複数のボール407が介装されている。従って、例えばボールねじ軸401又はボールねじナット402が回転すると雄ボールねじ溝404及び雌ボールねじ溝406内でボール407が転動し、それに伴ってボールねじナット402又はボールねじ軸401が直動する。これにより、滑らかな回転-直動運動が達成される。また、第1例では、例えば本出願人が先に提案した前記特許文献3に記載されるように、ボールねじナット402の内周面405に、ボール戻し経路をなす循環溝408が塑性加工で直接形成されている。循環溝408は、ボールねじナット402の内周面405に形成されたS字状の凹部からなる。従って、第1例では、ボールねじナット402の内周面405と外周面とを非貫通状態とすることができる。そして、第1例では、このボールねじナット402の外周面の一部を、例えば研削加工などによって高い真円度の外周面409を形成すると共に当該外周面409に隣接して突き当て端面410を形成し、外周面409にナット被嵌部材として転がり軸受411を圧入によって被嵌し、当該転がり軸受411の端面を突き当て端面410に当接させて位置決めした。転がり軸受411の内輪の内周面は、一般に高い真円度に仕上げてあるので、ボールねじナット402の外周面409の真円度を高くすれば、ボールねじナット402に転がり軸受411を緊密に圧入することができる。その際、ボールねじナット402の内周面405と外周面409とが非貫通状態であるため、転がり軸受411の圧入に伴うボールねじナット402の圧縮応力が円周方向に均一化し易い。特に、ボールねじナット402の外周面409の真円度を高くすれば、前述のように転がり軸受411の内輪の内周面の真円度は高いので、転がり軸受411の圧入に伴うボールねじナット402の圧縮応力が円周方向にほぼ均一化する。ナット被嵌部材である転がり軸受411の内輪の内周面の真円度及びボールねじナット402の外周面409の真円度は、共に10μm以下、好ましくは5μm以下、より好ましくは1μm以下とする。また、ナット被嵌部材である転がり軸受411の内輪の内周面及びボールねじナット402の外周面の表面粗さは3μmRa以下が好ましく、1μmRa以下がより好ましい。このように、第1例のボールねじでは、ボールねじ軸401に被嵌され且つ内周面405と外周面とが非貫通なボールねじナット402の外周面409にナット被嵌部材である転がり軸受411を圧入によって被嵌することにより、転がり軸受411の固定が容易であると共に、転がり軸受411の圧入に伴うボールねじナット402の圧縮応力が円周方向に均一化し易い。また、ボールねじナット402の内周面405、即ち雌ボールねじ溝406に適正な圧縮応力を付与することができ、これによりボールねじナット402の雌ボールねじ溝406の転がり疲労の耐久性を向上することができる。また、ナット被嵌部材である転がり軸受411とボールねじナット402との圧入による締め代を、当該転がり軸受411の被嵌されるボールねじナット402の外周面409の外形寸法の0.02を超えることとすれば、転がり軸受411をボールねじナット402の外周面409に圧入によってより強固に固定することができる。また、ナット被嵌部材である転がり軸受411とボールねじナット402との圧入による締め代を、当該転がり軸受411の被嵌されるボールねじナット402の外周面409の外形寸法の0.16未満とすれば、ボールねじナット402及び転がり軸受411に生じる圧縮応力を適正なものとすることができる。前記締め代が、0.16以上となると、転がり軸受411の内輪に過大な引張応力が発生し易く、内輪の割れなどが生じる可能性が高くなるため好ましくない。なお、ナット被嵌部材である転がり軸受411とボールねじナット402との圧入による締め代は、当該転がり軸受411の被嵌されるボールねじナット402の外周面409の外形寸法の0.05~0.15が好ましい。更に、ナット被嵌部材である転がり軸受411やボールねじナット402に負荷される荷重が大きいときには、当該転がり軸受411の被嵌されるボールねじナット402の外周面409の外形寸法の0.08~0.15が好ましい。また、ボールねじナット402の内周面405にボール戻し経路をなす循環溝408が形成されたものとすることにより、ボールねじナット402の内周面405と外周面とを非貫通状態とし易く、またナット被嵌部材である転がり軸受411が圧入被嵌されるボールねじナット402の外周面409の真円度を容易に高めることができる。また、循環溝408に対応する位置にも転がり軸受411を圧入することができる。図41は、第6実施形態のボールねじの第2例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。また、ボールねじ自体の構成は、第1例の図40と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。第2例では、第1例と同様に、ナット被嵌部材に転がり軸受411を用い、当該転がり軸受411を圧入被嵌するための外周面409をボールねじナット402の軸線方向両端部に研削加工などによって高い真円度で形成し、それらの外周面409の軸線方向内側に突き当て端面411を隣設した。そして、夫々の外周面409に軸線方向外側から転がり軸受411を圧入して被嵌した。ナット被嵌部材である転がり軸受411をボールねじナット402の外周面409に圧入被嵌する場合の両者の真円度、両者の表面粗さ、両者の締め代などの詳細は、前記第1例と同様である。なお、ボールねじナット402の外周面409に転がり軸受411を複数圧入被嵌する場合、それらの転がり軸受411の諸元を異なるものとしてもよい。また、転がり軸受411は、図示した玉軸受の他、ころ軸受など、種々の転がり軸受を用いることができる。図42は、第6実施形態のボールねじの第3例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。また、ボールねじ自体の構成は、前記第1例の図40と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。第3例では、ナット被嵌部材にスリーブ412を用いた。スリーブ412の内周面413は軸線方向全長にわたって同一径とし、スリーブ412の内周面413が被嵌されるボールねじナット402の外周面409も軸線方向全長にわたって同一径とした。スリーブ412を圧入被嵌するための外周面409をボールねじナット402の軸線方向全長にわたって研削加工などによって高い真円度で形成し、スリーブ412の内周面413も研削加工などによって高い真円度で形成し、ボールねじナット402の外周面409に軸線方向一方からスリーブ412を圧入して被嵌した。ナット被嵌部材であるスリーブ412をボールねじナット402の外周面409に圧入被嵌する場合の両者の真円度、両者の表面粗さ、両者の締め代などの詳細は、前記第1例の転がり軸受411の場合と同様である。なお、ナット被嵌部材としてスリーブ412をボールねじナット402の外周面409に圧入被嵌する場合、スリーブ412でボールねじナット402の外周を強化することができるため、ボールねじナット402の肉厚を薄くすることができる。そして、ボールねじナット402の肉厚を薄くすることができれば、例えばS字状の凹部からなる循環溝408の塑性加工が容易になるというメリットもある。また、ナット被嵌部材であるスリーブ412をボールねじナット402に圧入する場合、当該スリーブ412を加熱して内径を拡げてからボールねじナット402に被嵌する焼き嵌めとすれば、両者の圧入による締め代を大きくすることができる。図43は、第6実施形態のボールねじの第4例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。また、ボールねじ自体の構成は、前記第1例の図40と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。第4例では、ナット被嵌部材にスリーブ412と転がり軸受411を用いた。スリーブ412の内周面413は、転がり軸受411の内輪の内周面に合わせて、軸線方向全長にわたって同一径とし、転がり軸受411の内輪及びスリーブ412の内周面413が被嵌されるボールねじナット402の外周面409も軸線方向全長にわたって同一径とした。スリーブ412を圧入被嵌するための外周面409をボールねじナット402の軸線方向全長にわたって研削加工などによって高い真円度で形成し、スリーブ412の内周面413も研削加工などによって高い真円度で形成し、ボールねじナット402の外周面409に軸線方向一方からスリーブ412を圧入して被嵌し、転がり軸受411は軸線方向他方からボールねじナット402の外周面409に圧入して被嵌し、転がり軸受411の端面をスリーブ412の軸線方向端面に当接させた。ナット被嵌部材であるスリーブ412をボールねじナット402の外周面409に圧入被嵌する場合の両者の真円度、両者の表面粗さ、両者の締め代などの詳細は、前記第1例の転がり軸受411の場合と同様である。また、ナット被嵌部材としてスリーブ412をボールねじナット402の外周面409に圧入被嵌する場合のメリットや圧入方法は前記第3例と同様である。なお、スリーブ412及びボールねじナット402の圧入に関する真円度、表面粗さ、締め代と、転がり軸受411及びボールねじナット402の圧入に関する真円度、表面粗さ、締め代を同等とした場合、スリーブ412の肉厚と転がり軸受411の内輪の肉厚とを同等にすることによって、両者が圧入被嵌される部分のボールねじナット402の圧縮応力を同等にすることができる。図44は、第6実施形態のボールねじの第5例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。また、ボールねじ自体の構成は、前記第1例の図40と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。第5例では、ナット被嵌部材に歯車414を用いた。第5例の歯車414は、スリーブ状の円筒体の外周面の軸線方向全長にわたって歯が形成されたものである。歯車414の円筒体の内周面415は軸線方向全長にわたって同一径とし、歯車414の内周面415が被嵌されるボールねじナット402の外周面409も軸線方向全長にわたって同一径とした。歯車414を圧入被嵌するための外周面409をボールねじナット402の軸線方向全長にわたって研削加工などによって高い真円度で形成し、歯車414の内周面415も研削加工などによって高い真円度で形成し、ボールねじナット402の外周面409に軸線方向一方から歯車414を圧入して被嵌した。ナット被嵌部材である歯車414をボールねじナット402の外周面409に圧入被嵌する場合の両者の真円度、両者の表面粗さ、両者の締め代などの詳細は、前記第1例の転がり軸受411の場合と同様である。なお、歯車414は、平歯車や斜歯歯車などを始め、スプラインやセレーションなども適用可能である。図45は、第6実施形態のボールねじの第6例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。また、ボールねじ自体の構成は、前記第1例の図40と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。第6例では、前記第3例と同様に、ナット被嵌部材にスリーブ412を用いたが、第6例のスリーブ412は、円筒体の外周面の軸線方向端部に歯車414が形成されている。この歯車414付きのスリーブ412の内周面413は軸線方向全長にわたって同一径とし、スリーブ412の内周面413が被嵌されるボールねじナット402の外周面409も軸線方向全長にわたって同一径とした。スリーブ412を圧入被嵌するための外周面409をボールねじナット402の軸線方向全長にわたって研削加工などによって高い真円度で形成し、スリーブ412の内周面413も研削加工などによって高い真円度で形成し、ボールねじナット402の外周面409に軸線方向一方からスリーブ412を圧入して被嵌した。ナット被嵌部材であるスリーブ412をボールねじナット402の外周面409に圧入被嵌する場合の両者の真円度、両者の表面粗さ、両者の締め代などの詳細は、前記第1例の転がり軸受411の場合と同様である。なお、歯車414は、平歯車や斜歯歯車などを始め、スプラインやセレーションなども適用可能である。前述した各例のボールねじナット402の材質は、炭素鋼、軸受鋼、ステンレス鋼などが適用できる。また、ボールねじナット402に圧入被嵌する転がり軸受411、スリーブ412、歯車414も同様の材質が適用できる。また、これらの部材は、少なくとも圧入部分が適切な熱処理によって硬化されていることが好ましい。また、前記各例のボールねじでは、ナット被嵌部材の圧入によってボールねじナット402の内周面405の内径が小さくなる場合があるため、それを見込んでボールねじの内部隙間を設定することが好ましい。第7実施形態第7実施形態は、ボールねじ軸とボールねじナットの間にボールを介装してなるボールねじに関し、特にボールねじナットの内周面に循環溝をなす凹部が形成されたボールねじに好適なものである。ボールねじは、ボールねじ軸に雄ボールねじ溝を形成すると共に、ボールねじナットに雌ボールねじ溝を形成し、それら雌雄ボールねじ溝間にボールを介装し、ボールが転動することにより滑らかな回転-直動運動を可能とするものである。このようなボールねじの使用に際し、例えば特許文献5では、ボールねじナットの外周面に別体の樹脂製歯車を嵌合して取付けることが記載されている。しかしながら、ボールねじナットの外周面に歯車などのナット被嵌部材を嵌合して取付ける場合には、両者の嵌合精度の管理が重要であり、加工や組立に手間がかかるという問題がある。第7実施形態は、上記のような問題点に着目してなされたものであり、ボールねじナットの外周面にナット被嵌部材を容易に被嵌して固定することができるボールねじを提供することを目的とするものである。上記課題を解決するために、本発明者は鋭意検討の結果、以下の知見を得て、第7実施形態を開発した。即ち、ボールねじナットの外周面に歯車などのナット被嵌部材をインサート成形によって被嵌形成することができれば、加工や組立の手間を軽減することができる。インサート成形は、金型内に鋳込まれるもの、この場合はボールねじナットを装入しておき、その金型内に樹脂を射出するなどしてボールねじナットと一体的にナット被嵌部材を形成するものである。しかしながら、一般的なボールねじでは、例えば雌ボールねじ溝に沿って転動するボールをボールねじナットの転動終点部から転動始点部に戻す、所謂ボール戻し経路が必要であり、そのボール戻し経路は、雌ボールねじ溝が形成されているボールねじナットの内周面までボールねじナットの外周面から差し込まれた個別のボール循環部材によって構成される。即ち、ボールねじナットにはボールを循環するための貫通孔が形成されており、貫通孔が形成されたボールねじナットの外周面に樹脂を射出するなどすると射出成形圧が貫通孔から抜けてしまってインサート成形できない。これに対し、本出願人が先に提案した特許文献3に記載されるボールねじでは、ボールねじナットの内周面に、ボール戻し経路をなす循環溝が塑性加工で直接形成されている。循環溝は、ボールねじナットの内周面に形成されたS字状の凹部からなるため、ボールねじナットの内周面と外周面は貫通していない。従って、このような内周面と外周面が非貫通なボールねじナットであれば、その外周面にナット被嵌部材をインサート成形によって形成することができる。而して、第7実施形態のボールねじは、転動体であるボールと、前記ボールが収納される転動溝として外周面に雄ボールねじ溝が形成されたボールねじ軸と、前記ボールが収納される転動溝として内周面に雌ボールねじ溝が形成され且つ前記ボールねじ軸に被嵌され且つ内周面と外周面とが非貫通なボールねじナットと、インサート成形によって前記ボールねじナットの外周面に形成されたナット被嵌部材とを備えたことを特徴とするものである。また、前記ボールねじナットの内周面にボール戻し経路をなす循環溝が形成されたことを特徴とするものである。また、前記ナット被嵌部材は、前記循環溝形成に伴って生じたボールねじナットの外周面の凸部を覆うようにインサート成形によってボールねじナットの外周面に形成されたものであることを特徴とするものである。また、前記ナット被嵌部材が、円筒形状の内周面を有するスリーブ及び歯車の何れか一方又は双方であることを特徴とするものである。而して、第7実施形態のボールねじによれば、ボールねじ軸に被嵌され且つ内周面と外周面とが非貫通なボールねじナットの外周面にナット被嵌部材をインサート成形によって被嵌することとしたため、射出成形圧が抜けることもなく、ナット被嵌部材はボールねじナットの外周面に一体的に被嵌形成され、ナット被嵌部材は容易に固定される。また、ボールねじナットの内周面にボール戻し経路をなす循環溝が形成されたものとすることにより、ボールねじナットの内周面と外周面とを非貫通状態とし易い。また、循環溝形成に伴って生じたボールねじナットの外周面の凸部を覆うようにナット被嵌部材をインサート成形によってボールねじナットの外周面に形成することにより、ナット被嵌部材と凸部が係止して、より一層、ナット被嵌部材をボールねじナットに固定し易い。また、ナット被嵌部材を、円筒形状の内周面を有するスリーブ及び歯車の何れか又は双方とすることにより、発明を実施化し易い。次に、第7実施形態のボールねじの実施形態について、図面を用いて説明する。図46は、第7実施形態のボールねじの第1例を示す縦断面図である。図中の符号501は、ボールねじ軸である。このボールねじ軸501には、ボールねじナット502が被嵌されている。ボールねじ軸501の外周面503には雄ボールねじ溝504が形成されている。また、ボールねじナット502の内周面505には雌ボールねじ溝506が形成されている。そして、雄ボールねじ溝504と雌ボールねじ溝506との間に複数のボール507が介装されている。従って、例えばボールねじ軸501又はボールねじナット502が回転すると雄ボールねじ溝504及び雌ボールねじ溝506内でボール507が転動し、それに伴ってボールねじナット502又はボールねじ軸501が直動する。これにより、滑らかな回転-直動運動が達成される。また、第1例では、例えば本出願人が先に提案した特許文献3に記載されるように、ボールねじナット502の内周面505に、ボール戻し経路をなす循環溝508が塑性加工で直接形成されている。循環溝508は、ボールねじナット502の内周面505に形成されたS字状の凹部からなる。従って、第1例では、ボールねじナット502の内周面505と外周面509とを非貫通状態とすることができる。そして、第1例では、このボールねじナット502の外周面509に、ナット被嵌部材として、スリーブ状の歯車基部512が一体化された歯車511をインサート成形によって被嵌形成した。インサート成形は、前述したように、鋳込まれる対象物、この場合はボールねじナット502を金型内に装入し、その金型内に樹脂を射出するなどして、ボールねじナット502と一体的にナット被嵌部材である歯車511及び歯車基部512を被嵌形成した。第1例のボールねじのボールねじナット502は、前述のように内周面505と外周面509とが非貫通状態であるため、ボールねじナット502の外周面509に歯車511及び歯車基部512をインサート成形しても射出成形圧が抜けてしまうことがなく、それらをボールねじナット502の外周面509に強固に一体的に被嵌形成することができる。このように、第1例のボールねじでは、ボールねじ軸501に被嵌され且つ内周面505と外周面とが非貫通なボールねじナット502の外周面509にナット被嵌部材である転がり軸受511をインサート成形によって被嵌形成することにより、射出成形圧が抜けることもなく、ナット被嵌部材である歯車511及び歯車基部512はボールねじナット502の外周面に一体的に被嵌形成され、当該歯車511及び歯車基部512は容易に固定される。また、ボールねじナット502の内周面505にボール戻し経路をなす循環溝508を形成することにより、ボールねじナット502の内周面505と外周面509とを非貫通状態とし易い。図47は、第7実施形態のボールねじの第2例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。このボールねじナット502は、内周面505に雌ボールねじ溝が形成されていない状態を示しているが、ボールねじナット502自体の構成は、前記第1例の図46と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。第2例では、第1例と同様に、ボールねじナット502の外周面509にスリーブ状の歯車基部512及び歯車511をインサート成形によって一体的に被嵌形成するのであるが、第2例のボールねじナット502の外周面には凸部510が予め形成されている。この凸部510は、図48に示すように、ボールねじナット502の内周面505に循環溝508を塑性加工した際に生じたものである。第2例の循環溝508は、例えばボールねじナット502の素材ブランクの内周面505内に循環溝508を押圧成形するための型を装入する。その後、例えばカム面を有する棒材を型の内部に押し込むと、型にスライド自在に取付けられたスライド凸子がボールねじナット502の内周面505を押圧し、その押圧力でボールねじナット502の内周面505を窪ませて循環溝508が塑性変形によって形成される。循環溝508の押圧成形に伴ってボールねじナット502の素材が外側に膨らみ、外周面509に凸部510となって膨出する。このように循環溝508の形成に伴って生じたボールねじナット502の外周面509の凸部510を覆うようにナット被嵌部材である歯車基部512及び歯車511をインサート成形によってボールねじナット502の外周面509に形成することにより、歯車基部512及び歯車511と凸部510が係止してそれらの軸線方向への移動を規制し、より一層、歯車基部512及び歯車511をボールねじナット502に固定し易い。また、ボールねじナット502の軸線方向両端面の外側部分を覆うように歯車基部512をインサート成形によって被嵌形成することで、歯車基部512及び歯車511の軸線方向への移動を規制し、歯車基部512及び歯車511をボールねじナット502の外周面に強固に固定することができる。図49は、第7実施形態のボールねじの第3例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。このボールねじナット502は、内周面505に雌ボールねじ溝が形成されていない状態を示しているが、ボールねじナット502自体の構成は、前記第1例の図46と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。第3例では、第1例と同様に、ボールねじナット502の外周面509に歯車基部512及び歯車511をインサート成形によって一体的に被嵌形成するのであるが、第3例のボールねじナット502の外周面には前記第2例と同様に凸部510が予め形成されている。凸部510の形成理由は前記第2例と同様である。第3例では、歯車511のベースとなる歯車基部512を、ボールねじナット502の図示左方端面から凸部510を覆う部分までに設定した。このように歯車基部512がボールねじナット502の何れか一方の端面を覆い且つ何れかの凸部510を覆うようにすれば、前記第2例と同様に、歯車基部512及び歯車511の軸線方向への移動を規制し、より一層、歯車基部512及び歯車511をボールねじナット502に固定し易い。図50は、第7実施形態のボールねじの第4例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。このボールねじナット502は、内周面505に雌ボールねじ溝が形成されていない状態を示しているが、ボールねじナット502自体の構成は、前記第1例の図46と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。また、第4例のボールねじナット502の外周面には前記第2例と同様に凸部510が予め形成されている。凸部510の形成理由は前記第2例と同様である。第4例では、ボールねじナット502の外周面509にナット被嵌部材としてスリーブ513をインサート成形によって一体的に被嵌形成した。スリーブ513の軸線方向長さは、ボールねじナット502の軸線方向長さに一致させた。このようにボールねじナット502の外周面509にスリーブ513を一体的に被嵌形成することにより、例えば凸部510を研削や切削によって除去することなく、ボールねじナット502の外周面正確にはスリーブ513の外周面を同一径の円形とすることができる。ボールねじナット502スリーブ513の外周面を同一径の円形とすることができれば、その外周面に軸受や歯車などを容易に被嵌することができる。この場合、スリーブ513を比較的硬い樹脂で形成することで、軸受や歯車の嵌合が適切なものとなる。また、スリーブ513の外周面は円形に限られるものではなく、多角形などであってもよい。また、キー溝やエンコーダ、フランジ、楕円などの異形部とすることも可能である。図51は、第7実施形態のボールねじの第5例を示す縦断面図である。なお、縦断面の下半分は、上半分と対称形であるから図示を省略している。このボールねじナット502は、内周面505に雌ボールねじ溝が形成されていない状態を示しているが、ボールねじナット502自体の構成は、前記第1例の図46と同様であるから、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。また、第5例のボールねじナット502の外周面には前記第2例と同様に凸部510が予め形成されている。凸部510の形成理由は前記第2例と同様である。第5例では、ボールねじナット502の外周面509にナット被嵌部材としてスリーブ513及び歯車511をインサート成形によって一体的に被嵌形成した。スリーブ513の軸線方向長さはボールねじナット502の図示左方端部を覆い且つ図示右方端部に到達しない長さとした。また、スリーブ513の径方向の厚さは凸部510を覆う程度の厚さとした。このようにボールねじナット502の外周面509にスリーブ513を一体的に被嵌形成することにより、前記第4例と同様に、例えば凸部510を研削や切削によって除去することなく、ボールねじナット502の外周面正確にはスリーブ513の外周面を同一径の円形とすることができる。前述した第7実施形態の各例のボールねじナット502の材質は、炭素鋼、軸受鋼、ステンレス鋼などが適用できる。また、インサート成形によってボールねじナット502の外周面に被嵌形成される歯車511やスリーブ513などのナット被嵌部材は、射出成形に適した熱可塑性樹脂が好ましく、熱可塑性樹脂に充填材や繊維強化材を混合したものでもよい。好適な樹脂材料としては、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、フッ素樹脂などが使用できる。また、好適な繊維強化材としては、ガラスファイバーや炭素繊維が挙げられる。そして、好ましくはポリアミド、ポリフェニレンサルファイド樹脂に5~50質量の含有率となるようにガラス繊維又は炭素繊維を混合したものを使用することができる。特に、歯車の歯を形成したり、嵌め合い面としたりする場合には、ガラス繊維や炭素繊維の含有率を20~50質量、より好ましくは30~50質量とする。ガラス繊維や炭素繊維の含有率が20質量未満では、歯車の歯としての強度が不足する可能性があり、含有率が50質量を超えると射出成形が困難となる。なお、第7実施形態の各例においては、前述のようにボールねじナット502の内周面505と外周面509とが非貫通状態であるため、比較的高い射出成形圧での加工が可能である。そのため、ガラス繊維や炭素繊維などの強化充填材の含有率を高め、より強固な歯車などの樹脂成形物とすることができる。例えば、歯車を形成する場合、強化充填材を40~50質量とすることが最も好ましい。また、射出成形圧を高められることにより、ボールねじナット502の外周面509に、複数の凸部510が存在しても、樹脂の良好な流動を確保することができ、隙間なく樹脂を充填することができる。また、前記第2例~第5例では、循環溝508の形成時に生じたボールねじナット502の外周面509の凸部を歯車511やスリーブ513などのナット被嵌部材の係止部として利用したが、予めボールねじナット502の外周面509に、例えばローレット加工による溝やキー溝を形成し、それをナット被嵌部材の回り止めとしてもよい。また、ボールねじナット502の外周面にインサート成形によって被嵌形成するナット被嵌部材は、前記各例の他にも、例えば射出成形で形成できるものであれば如何様なものであってもよい。また、インサート成形によって形成したナット被嵌部材を後加工して所望の形状にすることも可能である。なお、第2~第7実施形態の各例において示したボールねじは、第1実施形態において示したボールねじに対して適用することができる。また、第1~第7実施形態において示したボールねじは、電動パワーステアリング装置特にラック式電動パワーステアリング装置に好適に使用することができる。図52は、電動パワーステアリング装置のステアリングギヤの一部断面図である。図52において、ステアリングギヤケースを構成するラックピニオンハウジング621内には、ラックピニオン機構を構成するラックシャフト623や図示しないピニオンが内装され、ピニオンはロアシャフト622に連結されている。ラックシャフト623は、ピニオンに噛合するラック625が図の左方に形成されていると共に、両端部には、タイロッド615を揺動自在に支持する球面継手627が固定されている。ボールねじのねじ軸は、このラックシャフト623に使用されている。ラックピニオンハウジング621の図示右方端部には、ボールねじハウジング633が取付けられている。ボールねじハウジング633には、その下部に電動モータ635の前端がボルトで固定されると共に、電動モータ635のシャフトに固定されたドライブギヤ637と、そのドライブギヤ637に噛合するドリブンギヤ639とが収納されている。また、ボールねじハウジング633には、複列アンギュラ玉軸受を介して、ボールナット645が回転自在に保持されている。ボールナット645はドリブンギヤ639の内径内に収納されている。そして、ドリブンギヤ639の軸心内径側と、ボールナット645の外径側との間には、スプライン嵌合部661が設けてある。これにより、ドリブンギヤ639とボールナット645とは、自由に相対摺動することができる。ラックシャフト623の図示右方には、雄ボールねじ溝ねじ部651が形成される。一方、ボールナット645には、雌ボールねじ溝653が形成され、雄ボールねじ溝651と雌ボールねじ溝653との間には、循環ボールを構成する多数個の鋼球655が介装されている。また、ボールナット645には、鋼球655を循環させるための図示しない循環溝が装着されている。この電動パワーステアリング装置では、運転者によってステアリングホイールが操舵されると、その操舵力がロアシャフト622からピニオンに伝達され、それに噛合するラック625に伴ってラックシャフト623が図の左右の何れかの方向に移動し、左右のタイロッドを介して転舵輪が転舵する。同時に、図示しない操舵トルクセンサの出力に基づき、電動モータ635が正逆何れかの方向に所定の回転トルクをもって回転し、その回転トルクがドライブギヤ637、ドリブンギヤ639を介してボールナット645に伝達される。そして、このボールナット456を回転することにより、雌ボールねじ溝653に係合した鋼球655を介してラックシャフト623の雄ボールねじ溝651にスラスト力が作用し、これにより操舵アシストトルクが発現する。"