"内燃機関の排出ガスが流通されるとともに、前記排出ガスが供給される上流側端部と、前記排出ガスが排出される下流側端部と、前記上流側端部および前記下流側端部の間に設けられ前記排出ガスが流通される方向に延在される環状に形成された壁部と、を備えたステンレス鋼からなる排気系部品において、前記壁部の内周側の表層にCrOxNy膜からなる酸窒化クロム膜が形成されていることを特徴とする排気系部品。前記酸窒化クロム膜は、前記壁部の前記内周側のうちの前記排出ガスが接触する部位の全域に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の排気系部品。前記酸窒化クロム膜は、前記表層に予め形成されていた酸化膜を除去して前記表層に窒素を添加することにより、前記表層と前記窒素とが反応して前記表層に窒化処理が施されて形成されたものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の排気系部品。前記酸窒化クロム膜は、付着した酸性水溶液に窒素を溶出し、前記窒素が前記酸性水溶液中で水素と化合してアンモニウムイオンを生成し、前記酸性水溶液の水素イオン濃度を低下させる機能を有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の排気系部品。ケースと、前記ケースに冷却媒体を流入させる冷却媒体流入管と、前記ケースから前記冷却媒体を流出させる冷却媒体流出管と、前記ケースに収容される管からなるとともに、内燃機関の排出ガスを内部に流通させ、外部を流通する前記冷却媒体と前記排出ガスとで熱交換して前記排出ガスを冷却する排出ガス冷却管と、前記ケースの外部で前記排出ガス冷却管の前記排出ガスの流通方向の上流側端部に連結される排出ガス流入管と、前記ケースの外部で前記排出ガス冷却管の前記排出ガスの流通方向の下流側端部に連結されるとともに、前記排出ガス冷却管で冷却された前記排出ガスを前記内燃機関の吸気装置に供給する排出ガス流出管と、を備えたEGRクーラにおいて、前記排出ガス冷却管、前記排出ガス流入管および前記排出ガス流出管のうちの少なくともいずれか1つが請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の排気系部品であることを特徴とするEGRクーラ。内燃機関の排出ガスが流通されるとともに、前記排出ガスが供給される上流側端部と、前記排出ガスが排出される下流側端部と、前記上流側端部および前記下流側端部の間に設けられ前記排出ガスが流通される方向に延在される環状に形成された壁部と、を備えたステンレス鋼からなる排気系部品の前記壁部の内周側の表層に窒化処理を施す排気系部品の窒化処理方法において、前記表層に予め形成されていた酸化膜を除去する除膜工程と、窒化処理ガスを充填した空間内において前記排気系部品を昇温することにより前記表層に窒素を添加する昇温工程と、前記排気系部品を所定時間均熱保持することにより前記表層と前記窒素とを反応させて前記表層にCrOxNy膜からなる酸窒化クロム膜を形成する均熱保持工程と、前記排気系部品を冷却する冷却工程とを備えることを特徴とする排気系部品の窒化処理方法。しかしながら、上述のような炭酸カルシウムからなる中和剤層を設けた排気系部品では、ある程度の濃度の塩酸に対しては中和剤層によって中和が可能であるものの、高濃度の塩酸に対しては十分な中和は困難であった。このため、EGRクーラの排気接触部で高濃度の塩酸が生成された時は、排気接触部が腐食する虞があるという問題があった。本発明は、上述のような従来の問題を解決するためになされたもので、耐食性の高い排気系部品およびこれを利用するEGRクーラ、ならびに排気系部品の窒化処理方法を提供することを目的とする。本発明に係る排気系部品は、上記目的達成のため、内燃機関の排出ガスが流通されるとともに、前記排出ガスが供給される上流側端部と、前記排出ガスが排出される下流側端部と、前記上流側端部および前記下流側端部の間に設けられ前記排出ガスが流通される方向に延在される環状に形成された壁部と、を備えたステンレス鋼からなる排気系部品において、前記壁部の内周側の表層にCrOxNyx,yは任意の数。以下、同じ。膜からなる酸窒化クロム膜が形成されていることを特徴とする。この構成により、壁部の内周側の表層に酸窒化クロム膜が形成されるようになる。このため、従来のステンレス鋼の表層に形成された酸化膜からなる不動態皮膜よりも強固な酸窒化クロム膜からなる皮膜が表層に形成される。これにより、排気系部品の壁部の内周側の耐食性が向上される。よって、壁部の内周側が高濃度の塩酸に暴露されても壁部の腐食が抑制される。また、壁部の内周側に付着した酸性水溶液に、酸窒化クロム膜から窒素が溶出する。この窒素が酸性水溶液中で水素と化合してアンモニウムイオンを生成する。アンモニウムイオンの生成のために水素が使用されるので、酸性水溶液の水素イオン濃度が低下する。このため、排気系部品の壁部での酸性水溶液による浸食作用が弱められる。好ましくは、前記酸窒化クロム膜は、前記壁部の前記内周側のうちの前記排出ガスが接触する部位の全域に形成されていることを特徴とする。この構成により、排出ガスが接触して酸性水溶液が付着する可能性のある部位の全域に酸窒化クロム膜からなる皮膜が形成される。このため、壁部の全域において酸性水溶液による腐食が抑制される。好ましくは、前記酸窒化クロム膜は、前記表層に予め形成されていた酸化膜を除去して前記表層に窒素を添加することにより、前記表層と前記窒素とが反応して前記表層に窒化処理が施されて形成されたものであることを特徴とする。この構成により、壁部の内周側の表層には、従来のステンレス鋼の表層に形成された酸化クロム膜からなる不動態皮膜よりも強固な酸窒化クロム膜からなる皮膜が形成される。これにより、壁部の内周側が高濃度の塩酸に暴露されても壁部の腐食が抑制される。好ましくは、前記酸窒化クロム膜は、付着した酸性水溶液に窒素を溶出し、前記窒素が前記酸性水溶液中で水素と化合してアンモニウムイオンを生成し、前記酸性水溶液の水素イオン濃度を低下させる機能を有することを特徴とする。この構成により、酸窒化クロム膜は、酸性水溶液の水素イオン濃度を低下させることができる。このため、排気系部品の壁部での酸性水溶液による浸食作用が弱められる。さらに、本発明に係るEGRクーラは、ケースと、前記ケースに冷却媒体を流入させる冷却媒体流入管と、前記ケースから前記冷却媒体を流出させる冷却媒体流出管と、前記ケースに収容される管からなるとともに、内燃機関の排出ガスを内部に流通させ、外部を流通する前記冷却媒体と前記排出ガスとで熱交換して前記排出ガスを冷却する排出ガス冷却管と、前記ケースの外部で前記排出ガス冷却管の前記排出ガスの流通方向の上流側端部に連結される排出ガス流入管と、前記ケースの外部で前記排出ガス冷却管の前記排出ガスの流通方向の下流側端部に連結されるとともに、前記排出ガス冷却管で冷却された前記排出ガスを前記内燃機関の吸気装置に供給する排出ガス流出管と、を備えたEGRクーラにおいて、前記排出ガス冷却管、前記排出ガス流入管および前記排出ガス流出管のうちの少なくともいずれか1つは上記に記載の排気系部品であることを特徴とする。この構成により、EGRクーラの排出ガス冷却管、排出ガス流入管および排出ガス流出管のうちの排気系部品とされたものの壁部の内周側の表層に、酸窒化クロム膜からなる皮膜が形成されるようになる。このため、この皮膜を有する排気系部品の壁部の内周側の耐食性が向上される。これにより、壁部の内周側が高濃度の塩酸に暴露されても、壁部の腐食が抑制される。しかも、EGRクーラの排出ガス冷却管、排出ガス流入管および排出ガス流出管のうちの排気系部品とされたものの壁部の内周側に付着した酸性水溶液に、酸窒化クロム膜から窒素が溶出する。この窒素が酸性水溶液中で水素と化合してアンモニウムイオンを生成する。アンモニウムイオンの生成のために水素が使用されるので、酸性水溶液の水素イオン濃度が低下する。このため、排気系部品の壁部での酸性水溶液による浸食作用が弱められる。さらに、本発明に係る排気系部品の窒化処理方法は、内燃機関の排出ガスが流通されるとともに、前記排出ガスが供給される上流側端部と、前記排出ガスが排出される下流側端部と、前記上流側端部および前記下流側端部の間に設けられ前記排出ガスが流通される方向に延在される環状に形成された壁部と、を備えたステンレス鋼からなる排気系部品の前記壁部の内周側の表層に窒化処理を施す排気系部品の窒化処理方法において、前記表層に予め形成されていた酸化膜を除去する除膜工程と、窒化処理ガスを充填した空間内において前記排気系部品を昇温することにより前記表層に窒素を添加する昇温工程と、前記排気系部品を所定時間均熱保持することにより前記表層と前記窒素とを反応させて前記表層にCrOxNy膜からなる酸窒化クロム膜を形成する均熱保持工程と、前記排気系部品を冷却する冷却工程とを備えることを特徴とする。この構成により、除膜工程と、昇温工程と、均熱保持工程と、冷却工程と、を処理することで、壁部の表層に酸窒化クロム膜が形成されるようになる。また、壁部の内周側の表層には、従来のステンレス鋼の表層に形成された酸化クロム膜からなる不動態皮膜よりも強固な酸窒化クロム膜からなる皮膜が形成される。これにより、壁部の内周側が高濃度の塩酸に暴露されても壁部の腐食が抑制される。本発明によれば、排気系部品の壁部の内周側の表層に窒化処理が施されているので、酸窒化クロム膜からなる皮膜が表層に形成されて耐食性が向上される排気系部品およびこれを利用するEGRクーラ、ならびに排気系部品の窒化処理方法を提供することができる。以下、本発明の排気系部品の実施の形態について、図面を参照して説明する。本実施の形態では、本発明の排気系部品を自動車のEGRクーラに適用した例を示している。まず、本実施の形態に係るEGRクーラ1の構成について説明する。図1に示すように、EGRクーラ1は、ケース2と、冷却媒体流入管4と、冷却媒体流出管5と、排気系部品としての排出ガス冷却管7と、排出ガス流入管8と、排出ガス流出管9とを備えている。冷却媒体Wとしては、エンジンの冷却水を使用している。ケース2は、略円筒形状のケース本体10と、上流側支持プレート11と、下流側支持プレート12とを備えている。ケース本体10の内部では、軸方向に沿って冷却媒体Wが流通する。上流側支持プレート11は、ケース本体10の冷却媒体Wの流通方向の上流側の端部に、該端部を塞ぐように設けられている。上流側支持プレート11は、複数の貫通孔11aを有している。下流側支持プレート12は、ケース本体10の冷却媒体Wの流通方向の下流側の端部に、該端部を塞ぐように設けられている。下流側支持プレート12は、複数の貫通孔12aを有している。上流側支持プレート11の貫通孔11aと下流側支持プレート12の貫通孔12aとは、同数設けられるとともに、ケース本体10を挟んでそれぞれ対向する位置に設けられている。対向する一組の上流側支持プレート11の貫通孔11aおよび下流側支持プレートの貫通孔12aには、排出ガス冷却管7が支持されている。冷却媒体流入管4は、ケース本体10の冷却媒体Wの流通方向の上流側の端部付近に取り付けられている。冷却媒体流入管4は、ケース2に冷却媒体Wを流入させるようになっている。冷却媒体流入管4の上流側端部は、冷却媒体供給管15に連結されている。冷却媒体供給管15の上流側端部は、冷却媒体Wの供給ポンプ図示せずに連結されている。冷却媒体流出管5は、ケース本体10の冷却媒体Wの流通方向の下流側の端部付近に取り付けられている。冷却媒体流出管5は、ケース2から冷却媒体Wを流出させるようになっている。冷却媒体流出管5の下流側端部は、冷却媒体排出管16に連結されている。冷却媒体排出管16の下流側端部は、エンジンのウォータージャケット図示せずに連結されている。排出ガス冷却管7はステンレス製で、上流側端部7aと、下流側端部7bと、壁部7cとを備えている。排出ガス冷却管7は排出ガスGを流通させるようになっている。上流側端部7aは、上流側支持プレート11の貫通孔11aに圧入されて支持される。上流側端部7aには、排出ガス流入管8から排出ガスGが供給される。下流側端部7bは、下流側支持プレート12の貫通孔12aに圧入されて支持される。下流側端部7bから排出ガス流出管9に排出ガスGが排出される。壁部7cは、上流側端部7aおよび下流側端部7bの間に設けられるとともに、排出ガスGが流通される方向に延在した環状に形成されている。壁部7cの内周側の表層の全域には、窒化処理が施されている。これにより、壁部7cの内周側の表層の全域には、酸窒化クロム膜17が形成されている。排出ガス冷却管7では、内部を流通する排出ガスGが、外部を流通する冷却媒体Wとの間で熱交換されて冷却される。排出ガス流入管8は、ケース本体10の排出ガスGの流通方向の上流側の端部に取り付けられて、排出ガス冷却管7に連結されている。排出ガス流入管8の上流側端部は、EGRガス供給管13に連結されている。EGRガス供給管13の上流側端部は、排気装置図示せずに連結されている。排出ガス流出管9は、ケース本体10の排出ガスGの流通方向の下流側の端部に取り付けられて、排出ガス冷却管7に連結されている。排出ガス流出管9の下流側端部は、EGRガス排出管14に連結されている。EGRガス排出管14の下流側端部は、吸気装置図示せずに連結されている。次に、本発明の実施の形態に係る排気系部品の窒化処理方法により、排出ガス冷却管7の壁部7cの内周側の表層に酸窒化クロム膜17を形成する手順について、図2に示すフローチャートを参照して説明する。排気系部品の窒化処理方法は、準備工程と、昇温工程と、除膜工程と、均熱保持工程と、冷却工程とを備え、これらを同じ真空炉中で順に処理するものとしている。また、本実施の形態では、酸窒化クロム膜17はガス窒化法により形成されるものとしている。まず、準備工程として、排出ガス冷却管7の外周側に、窒化防止のために軟鋼板製のカバーが取り付けられる。この排出ガス冷却管7が炉に設置されるステップS1。そして、昇温工程として、炉が570°Cまで比較的急速に昇温されるステップ2、図3中符号20。これにより、排出ガス冷却管7および炉内雰囲気が昇温される。次いで、硫化水素H2SガスとアンモニアNH3ガスとの混合ガスが炉内に導入されるステップS3。そして、排出ガス冷却管7の表層において、硫化水素ガスが、予め形成されていた酸化クロムCrOxを主体とする酸化膜と反応して、酸化膜を除去する除膜工程。酸化膜の除去により、酸化膜を形成していたクロムおよび酸素の一部は壁部7cの表層に残留する。また、ここでは除膜工程において硫化水素を使用しているが、これに限られず、酸化膜を除去できる気体であれば何を使用しても良い。さらに、ここでは、昇温工程の開始後に硫化水素ガスとアンモニアガスとの混合ガスを炉内に導入して除膜工程を処理するようにしているが、これには限られず、硫化水素ガスとアンモニアガスとの混合ガスを炉内に導入してから昇温工程を開始して、同時に除膜工程を処理するようにしてもよい。続いて、炉が570°Cに8時間維持される図3中符号21。これにより、排出ガス冷却管7および炉内雰囲気が均熱保持される均熱保持工程。昇温工程および均熱保持工程において、雰囲気中のアンモニアガスの一部が窒素と水素に分解される。排出ガス冷却管7では、加熱されることにより、排出ガス冷却管7の壁部7cの表層に雰囲気中の窒素原子が入り込むようになる。そして、表層において、ステンレスの成分であるクロムと、酸化膜を形成していた酸素と、表層に入り込んだ窒素とが化合して、酸窒化クロムが生成される。これにより、壁部7cの内周側の表層に酸窒化クロム膜17が形成される。均熱保持の後は、排出ガス冷却管7を比較的緩やかに室温程度まで冷却する冷却工程。次いで、EGRクーラ1の動作について説明する。排出ガスGが、エンジンの排気装置からEGRガス供給管13を経てEGRクーラ1に供給される。排出ガスGはEGRクーラ1において、排出ガス流入管8→排出ガス冷却管7→排出ガス流出管9の順に流通される。EGRクーラ1から排出された排出ガスGはEGRガス排出管14を経てエンジンの吸気装置に供給される。また、冷却媒体Wが、供給ポンプから冷却媒体供給管15を経てEGRクーラ1に供給される。冷却媒体WはEGRクーラ1において、冷却媒体流入管4→ケース本体10→冷却媒体流出管5の順に流通される。EGRクーラ1から排出された冷却媒体Wは冷却媒体排出管16を経てエンジンのウォータージャケットに供給される。そして、排出ガス冷却管7では、内部を流通する排出ガスGが、外部を流通する冷却媒体Wとの間で熱交換されて冷却される。この時、排出ガスGに含まれている水蒸気が凝縮されて、排出ガス冷却管7の内周側の表層に形成された酸窒化クロム膜17上で水滴になる。この水滴に亜硫酸ガスや窒素酸化物や塩素が溶解して、硫酸や硝酸や塩酸などが生成される。酸窒化クロム膜17は、硫酸や硝酸や塩酸などに対して高い耐食性を有する。このため、排出ガス冷却管7の壁部7cの腐食が抑制される。また、排出ガス冷却管7の壁部7cの内周側に付着した酸性水溶液に、酸窒化クロム膜17から窒素が溶出する。この窒素が酸性水溶液中で水素と化合してアンモニウムイオンを生成する。アンモニウムイオンの生成のために酸性水溶液中の水素が使用されるので、排出ガス冷却管7内の酸性水溶液の水素イオン濃度が低下する。以上のように、本実施の形態に係るEGRクーラ1によれば、排出ガス冷却管7の壁部7cの内周側の表層に、酸窒化クロム膜17が形成される。このため、排出ガス冷却管7の壁部7cの耐食性が向上される。これにより、壁部7cの内周側が強塩酸に暴露されても、壁部7cの腐食が抑制される。また、排出ガス冷却管7の壁部7cの酸窒化クロム膜17を形成するためにガス窒化法が採用されているので、他の窒化法に比べて設備を簡易にすることができる。このため、コストの増大を抑えることができる。ここで、上述した本実施の形態のEGRクーラ1においては、排出ガス冷却管7の壁部7cの内周側に酸窒化クロム膜17を形成しているが、本発明に係るEGRクーラにおいては、これに限られず、例えば、排出ガス流入管8や排出ガス流出管9の壁部の内周側に酸窒化クロム膜を形成するようにしてもよい。この場合、例えば、排出ガス冷却管7と排出ガス流入管8と排出ガス流出管9との壁部に酸窒化クロム膜を形成するようにしたり、あるいは排出ガス冷却管7と排出ガス流出管9との壁部のみに酸窒化クロム膜を形成するようにできる。さらには、これら排出ガス冷却管7と排出ガス流入管8と排出ガス流出管9以外の部材の壁部に酸窒化クロム膜を形成するようにしてもよい。また、上述した本実施の形態のEGRクーラ1においては、排出ガス冷却管7の壁部7cの内周側の表層の全域に酸窒化クロム膜17が形成されているが、本発明に係るEGRクーラにおいては、これに限られず、例えば、排出ガス冷却管7の壁部7cの内周側の表層の一部のみに酸窒化クロム膜17を形成するようにしてもよい。また、上述した本実施の形態のEGRクーラ1においては、均熱保持工程における均熱保持温度を570°C、均熱保持時間を8時間としたが、本発明に係るEGRクーラにおいては、これに限られず、例えば、均熱保持温度を300°C~590°C、均熱保持時間を6~10時間とすることができる。この場合、均熱保持温度が高いほど、均熱保持時間を短くすることができる。また、上述した本実施の形態のEGRクーラ1においては、酸窒化クロム膜17を形成するためにガス窒化法を採用したが、本発明に係るEGRクーラにおいては、これに限られず、例えば、プラズマ窒化法、塩浴窒化法、ガス軟窒化法など他の窒化法を採用してもよい。また、上述した本実施の形態の排気系部品においては、排気系部品をEGRクーラ1に適用しているが、本発明に係る排気系部品においては、これに限られず、例えば、排気マニホールドや排気管など、排気装置を構成する部品の全般に適用することができる。以上説明したように、本発明に係る排気系部品とこれを利用するEGRクーラは、耐食性を向上する場合に好適な排気系部品とこれを利用するEGRクーラ全般に有用である。表層に各種の窒化処理を施したステンレス鋼SUS316Lを試料として、耐食試験が行われた。耐食試験では、試料を硫酸と塩酸の混合液に浸漬加熱して、乾固し、湿潤するという処理を1サイクルとした。10サイクルおよび/または20サイクルの終了時点で、試料の表層における最大浸食深さが測定された。最大浸食深さは、比較例1の測定値を基準値として1.0に設定するとともに、他の例の測定値は基準値に対する比として換算して無単位で示した。実施例1試料の窒化処理はプラズマ窒化法により行われた。処理雰囲気は窒素ガスおよび水素ガスとされた。加熱温度は570°Cとされた。均熱保持時間は4時間とされた。この試料について、耐食試験が10サイクル行われた。その結果、図4に示すように、試料の表層における最大浸食深さは0.0であった。実施例2試料の窒化処理はA窒化法により行われた。処理雰囲気は一般的な窒素処理ガスとされた。加熱温度は500°C~600°Cとされた。均熱保持時間は1時間~3時間とされた。この試料について、耐食試験が10サイクルおよび20サイクル行われた。その結果、図4に示すように、いずれの場合も試料の表層における最大浸食深さは0.0であった。実施例3試料の窒化処理はB窒化法により行われた。処理雰囲気は一般的な窒素処理ガスとされた。加熱温度は350°C~450°Cとされた。均熱保持時間は40時間~60時間とされた。この試料について、耐食試験が10サイクル行われた。その結果、図4に示すように、試料の表層における最大浸食深さは0.0であった。比較例1試料の窒化処理は行われなかった。この試料について、耐食試験が10サイクル行われた。その結果、図4に示すように、試料の表層における最大浸食深さは1.0であった。比較例2試料の窒化処理は行われなかった。この試料について、耐食試験が10サイクル行われた。その結果、図4に示すように、試料の表層における最大浸食深さは1.1であった。比較例3試料の窒化処理は行われなかった。この試料について、耐食試験が20サイクル行われた。その結果、図4に示すように、試料の表層における最大浸食深さは1.4であった。比較例4試料の窒化処理は行われなかった。この試料について、耐食試験が20サイクル行われた。その結果、図4に示すように、試料の表層における最大浸食深さは2.2であった。比較例5試料の窒化処理は行われなかった。この試料について、耐食試験が20サイクル行われた。その結果、図4に示すように、試料の表層における最大浸食深さは3.1であった。比較例6試料の窒化処理は行われなかった。この試料について、耐食試験が20サイクル行われた。その結果、図4に示すように、試料の表層における最大浸食深さは3.4であった。以上の結果より、窒化処理を施した試料は、20サイクル以下では浸食はみられず、窒化処理を施さない試料に比べて高い耐食性を有することが確認された。"