酸素濃度により光特性が変化する酸素モニタ物質をセル内に固定するとともに光透過窓を備えた燃料電池セルを計測対象とする酸素濃度計測装置において、前記燃料電池セルに励起光を照射する光源と、前記燃料電池セルの温度分布を光学的に測定する温度検出器と、前記温度検出器による温度分布測定と同時に前記酸素モニタ物質からの蛍光を測定して前記燃料電池セルの酸素濃度分布を光学的に測定する酸素濃度検出器と、前記温度検出器と前記酸素濃度検出器により得られる両方の分布測定結果を位置合わせするために、前記温度検出器あるいは前記酸素濃度検出器の少なくとも一方の位置を調整する位置調整用ステージを備えることを特徴とする酸素濃度計測装置。前記酸素モニタ物質が発する蛍光量の温度依存性を示す温度特性テーブルと、前記温度検出器によって得られた温度測定値と前記温度特性テーブルに基づいて温度による酸素濃度測定値への影響を除去する補正手段を備えることを特徴とする請求項1記載の酸素濃度計測装置。ところで、酸素モニタ物質には酸素濃度により光特性が変化する白金ポルフィリン等の発光ルミネッセンス材料が使用されるが、これらの物質は励起光に対する蛍光量が温度によって変化することがわかっている。参考として、図3に白金ポルフィリンの発光量の温度依存性の実験データを示す。一方検査の対象である固体高分子形燃料電池およびダイレクトメタノール型燃料電池は作動温度が常温より高い100°C前後であり、かつ検査物内で温度分布を持っているため、検査物内での温度分布によって同じ酸素濃度でも発光する蛍光量が異なり、温度による補正を行なわないと正確な酸素濃度データを得ることができない。したがって、温度の影響を除いた酸素濃度の計測データを得ることが課題である。酸素濃度により光特性が変化する酸素モニタ物質をセル内に固定するとともに光透過窓を備えた燃料電池セルを計測対象とする酸素濃度計測装置において、前記燃料電池セルに励起光を照射する光源と、前記燃料電池セルの温度分布を光学的に測定する温度検出器と、前記温度検出器による温度分布測定と同時に前記酸素モニタ物質からの蛍光を測定して前記燃料電池セルの酸素濃度分布を光学的に測定する酸素濃度検出器と、前記温度検出器と前記酸素濃度検出器により得られる両方の分布測定結果を位置合わせするために、前記温度検出器あるいは前記酸素濃度検出器の少なくとも一方の位置を調整する位置調整用ステージを備えたものである。さらに本発明は、前記酸素モニタ物質が発する蛍光量の温度依存性を示す温度特性テーブルと、前記温度検出器によって得られた温度測定値と前記温度特性テーブルに基づいて温度による酸素濃度測定値への影響を除去する補正手段を備えることが望ましい。したがって本発明により、前記酸素モニタ物質を介して燃料電池セルの同一領域の温度と酸素濃度を測定できるので、温度補正を行った酸素濃度データを取得することができる。本発明によれば、燃料電池セル内での温度補正を行った酸素の分布を可視化することができる。すなわち、セル内での酸素の挙動や消費状況による酸素分布、あるいは酸素の漏れ分布を解析することができ、セル内での酸素分布とその経時変化を計測することができる。したがって、セル内の酸素分布を改善して電圧特性、寿命等の電池性能に優れた燃料電池開発をするための研究、セル評価に利用することができる。図1に、本発明の一実施例である酸素濃度計測装置の構成の概要を示す。酸素濃度計測装置は、共用ユニット21と、温度計測ユニット22と、酸素濃度計測ユニット23、酸素濃度算出ユニット34および燃料電池単セル1により構成される。共用ユニット21は、ビームスプリッタ24、25と、照明系28およびに光源26より構成される。なお、照明系28は、光源の拡散角調整用レンズと、光源の均一化用拡散板と、蛍光および散乱光の抑制用のフィルタより構成される。ビームスプリッタ24は、波長範囲が5~10μmの赤外線を透過し、それ以外の光線を反射する。これにより、燃料電池単セル1の温度を反映する黒体輻射波長5μm以上の赤外線が、温度計測用赤外線検出器31に導かれる。一方、発光ルミネッセンス材料で構成された酸素モニタ5a~5eより発光した蛍光がビームスプリッタ25で反射され、酸素検出用蛍光検出器36に導かれ、酸素濃度の検出に用いられる。なお、温度計測用赤外線検出器31および酸素検出用蛍光検出器36は、レンズと光を感じる2次元の受光素子などで構成されたカメラである。温度計測ユニット22は、温度計測用赤外線検出器31とステージ機構33より構成され、また酸素濃度計測ユニット23は、酸素検出用蛍光検出器36とステージ機構38より構成される。なお、ステージ機構33とステージ機構38は、温度計測用赤外線検出器31と酸素検出用蛍光検出器36の撮影像を合致させるために両検出器の位置調整を行なうものであり、X方向、Y方向および回転方向の動作が可能である。ところで、温度計測用赤外線検出器31と酸素検出用蛍光検出器36のそれぞれの測定は、測定領域が一致しているとは限らない。したがって、正確な酸素濃度を得るためには、前記測定領域を一致させることが必要であり、温度計測用赤外線検出器31と酸素検出用蛍光検出器36のそれぞれに、ステージ機構33、38が配設される。ステージ機構33、38により、燃料電池単セル1からの蛍光量を撮像する酸素濃度測定の像と赤外線にて温度を観測する温度測定の像を一致させるべく調整がなされる。なお、ステージ機構33、38は温度計測用赤外線検出器31と酸素検出用蛍光検出器36のどちらか一方に配設してもよく、ステージ機構を配設した検出器の像をステージ機構を配設しない検出器の像に合わせるべく調整してもよい。いま、燃料電池単セル1に、光源26から励起光を照射すると、温度計測用赤外線検出器31、酸素検出用蛍光検出器36により温度および酸素濃度を同時かつ独立に測定することができる。それらの温度データおよび酸素濃度データは、酸素濃度算出モジュール61および温度―蛍光量補正テーブル62から構成される酸素濃度算出ユニット34に送られ、酸素モニタを構成する発光ルミネッセンス材料の発光量の温度依存性データ図3参照より作成された温度―蛍光量補正テーブル62を使って、温度の影響を除去した酸素濃度を算出し、そのデータをもとに燃料電池単セル1の酸素濃度分布表および酸素濃度分布図等を作成することができる。なお、燃料電池単セル1は、固体高分子からなる膜電極接合体2をカソード側セパレータ4と、アノード側セパレータ3で挟持し、さらにその外側に両面より密閉固定する導電性平板7、8より構成される。また、導電性平板7の一部に光透過窓6を備えることにより、カソード側セパレータ4内に固定された酸素濃度により光特性が変化する酸素モニタ5a~5eの変化を光学的に測定可能にする。