"X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子からなる磁気センサ各々から供給される磁界を検知して出力する磁界データを計測する計測部と、前記磁気素子各々が一定磁界を印加されて一定期間内に出力する前記磁界データに対し、当該磁気素子毎の前記磁界データの偏差を求め、いずれか2個の異なる前記磁気センサの磁界データの偏差を加算して単位磁気素子偏差和を算出する単位磁気素子偏差和算出部と、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、いずれか2個の異なる前記磁気センサにおいて同一タイミングで取得した前記磁界データの加算値を求め、この加算値の偏差を加算して複合磁気素子偏差和を算出する複合磁気素子偏差和算出部と、予め複数の磁気センサから、当該磁気センサにおける2軸の組合せ毎に求めた前記単位磁気素子偏差和及び複合磁気素子偏差和の偏差和情報と、当該2軸の磁気素子の磁気検出方向の交角とを対応付けて記憶している対照テーブルを記憶する対照テーブル記憶部と、検出対象の磁気センサの2軸の前記偏差和情報に対し、当該2軸と同一の2軸の偏差和情報を有する磁気センサを前記対照テーブルから抽出し、抽出した磁気センサの交角を検出対象の交角として出力する交角推定部とを備えることを特徴とする方位誤差補償装置。前記対照テーブルにおいて、前記交角と対応して記憶されている前記偏差和情報が、前記単位磁気素子偏差和から前記複合磁気素子偏差和を減算し減算結果を当該複合磁気素子偏差和で除算した偏差データであり、前記交角推定部が、検出対象の磁気センサの前記偏差和情報から前記偏差データを算出し、算出された前記偏差データにより、前記対照テーブルから検出対象の磁気センサの各磁気素子間の磁界の検出方向の交角を求めることを特徴とする請求項1に記載の方位誤差補償装置前記偏差データが前記単位磁気素子偏差和から、前記交角を変数とする増加関数を乗算した前記複合磁気素子偏差和を減算し、減算結果を当該複合磁気素子偏差和で除算して求められることを特徴とする請求項2に記載の方位誤差補償装置。X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子からなる3軸磁気センサに対し、予め設定された一定磁界を、磁界印加装置により印加する磁界印加過程と、計測部が、前記磁気素子の各々が前記一定磁界を検知して出力する磁界データを計測する計測過程と、単位磁気素子偏差和算出部が、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、当該磁気素子毎の前記磁界データの偏差を求め、いずれか2個の異なる前記磁気センサの磁界データの偏差を加算して単位磁気素子偏差和を算出する単位磁気素子偏差和算出過程と、複合磁気素子偏差和算出部が、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、いずれか2個の異なる前記磁気センサにおいて同一タイミングで取得した前記磁界データの加算値を求め、この加算値の偏差を加算して複合磁気素子偏差和を算出する複合磁気素子偏差和算出過程と、交角推定過程が、予め複数の3軸磁気センサから、当該3軸磁気センサにおける2軸の組合せ毎に求めた前記単位磁気素子偏差和及び複合磁気素子偏差和の偏差和情報と、当該2軸の磁気素子の磁気検出方向の交角とを対応付けて記憶している対照テーブルを記憶する対照テーブルから、検出対象の3軸磁気センサの2軸の前記偏差和情報に対し、当該2軸と同一の2軸の偏差和情報を有する3軸磁気センサを抽出し、抽出した3軸磁気センサの交角を検出対象の交角として出力する交角推定過程とを含むことを特徴とする方位誤差補償方法。コンピュータを、X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子からなる3軸磁気センサに対し、予め設定された一定磁界を、磁界印加装置により印加して、前記磁気素子の各々が前記一定磁界を検知した磁界データを用い、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、当該磁気素子毎の前記磁界データの偏差を求め、いずれか2個の異なる前記磁気センサの磁界データの偏差を加算して単位磁気素子偏差和を算出する単位磁気素子偏差和算出手段、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、いずれか2個の異なる前記磁気センサにおいて同一タイミングで取得した前記磁界データの加算値を求め、この加算値の偏差を加算して複合磁気素子偏差和を算出する複合磁気素子偏差和算出手段、予め複数の3軸磁気センサから、当該3軸磁気センサにおける2軸の組合せ毎に求めた前記単位磁気素子偏差和及び複合磁気素子偏差和の偏差和情報と、当該2軸の磁気素子の磁気検出方向の交角とを対応付けて記憶している対照テーブルを記憶する対照テーブルから、検出対象の3軸磁気センサの2軸の前記偏差和情報に対し、当該2軸と同一の2軸の偏差和情報を有する3軸磁気センサを抽出し、抽出した3軸磁気センサの交角を検出対象の交角として出力する交角推定手段として機能させるためのプログラム。請求項1から請求項3のいずれかに記載の方位誤差補償装置を有し、前記方位角誤差補償装置が、検出対照の3軸磁気センサにおける2軸の磁気の検出方向の交角が直角に対して誤差角度を有していると判定した場合、前記誤差角度に応じて、前記2軸の検出する磁界データを前記誤差角度に基づいて補正することを特徴とする誤差角度補償装置。請求項1から請求項3のいずれかに記載の方位誤差補償装置を有し、X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子と検出対象の2個の前記磁気素子による2軸の磁気の検出方向の交角が直角に対して誤差角度を有していると前記方位角誤差補償装置が判定した場合、前記誤差角度に応じて、前記2軸の検出する磁界データを前記誤差角度に基づいて補正する誤差補償部とを備えることを特徴とする3軸磁気センサ。請求項1から請求項3のいずれかに記載の方位誤差補償装置を有し、X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子からなる3軸磁気センサと、検出対象の3軸磁気センサにおける2軸の磁気の検出方向の交角が直角に対して誤差角度を有していると前記方位角誤差補償装置が判定した場合、前記誤差角度に応じて、前記2軸の検出する磁界データを前記誤差角度に基づいて補正する誤差補償部と、地磁気の伏角、偏角及び傾斜角の各々を求める地磁気検出部と、前記誤差保証部の補正した磁界データと、地磁気検出部が求めた伏角、偏角及び傾斜角の各々とから、方位角を算出する方位角算出部とを備えることを特徴とするセンサモジュール。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、計測および算出される方位角に含まれる誤差の要因を判定できる誤差補償方法、および方位誤差補償方法を実施可能とする方位誤差補償装置を提供することにある。本発明の他の目的は、上記の誤差を相殺して正確に方位角を決定できる誤差補償方法、誤差角度補償装置、3軸磁気センサ、およびセンサモジュールを提供することにある。本発明の方位誤差補償装置は、X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子からなる磁気センサ各々から供給される磁界を検知して出力する磁界データを計測する計測部と、前記磁気素子各々が一定磁界を印加されて一定期間内に出力する前記磁界データに対し、当該磁気素子毎の前記磁界データの偏差を求め、いずれか2個の異なる前記磁気センサの磁界データの偏差を加算して単位磁気素子偏差和を算出する単位磁気素子偏差和算出部と、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、いずれか2個の異なる前記磁気センサにおいて同一タイミングで取得した前記磁界データの加算値を求め、この加算値の偏差を加算して複合磁気素子偏差和を算出する複合磁気素子偏差和算出部と、予め複数の磁気センサから、当該磁気センサにおける2軸の組合せ毎に求めた前記単位磁気素子偏差和及び複合磁気素子偏差和の偏差和情報と、当該2軸の磁気素子の磁気検出方向の交角とを対応付けて記憶している対照テーブルを記憶する対照テーブル記憶部と、検出対象の磁気センサの2軸の前記偏差和情報に対し、当該2軸と同一の2軸の偏差和情報を有する磁気センサを前記対照テーブルから抽出し、抽出した磁気センサの交角を検出対象の交角として出力する交角推定部とを備えることを特徴とする。本発明の方位誤差補償装置は、前記対照テーブルにおいて、前記交角と対応して記憶されている前記偏差和情報が、前記単位磁気素子偏差和から前記複合磁気素子偏差和を減算し減算結果を当該複合磁気素子偏差和で除算した偏差データであり、前記交角推定部が、検出対象の磁気センサの前記偏差和情報から前記偏差データを算出し、算出された前記偏差データにより、前記対照テーブルから検出対象の磁気センサの各磁気素子間の磁界の検出方向の交角を求めることを特徴とする。本発明の方位誤差補償装置は、前記偏差データが前記単位磁気素子偏差和から、前記交角を変数とする増加関数を乗算した前記複合磁気素子偏差和を減算し、減算結果を当該複合磁気素子偏差和で除算して求められることを特徴とする。本発明の方位誤差補償方法は、X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子からなる3軸磁気センサに対し、予め設定された一定磁界を、磁界印加装置により印加する磁界印加過程と、計測部が、前記磁気素子の各々が前記一定磁界を検知して出力する磁界データを計測する計測過程と、単位磁気素子偏差和算出部が、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、当該磁気素子毎の前記磁界データの偏差を求め、いずれか2個の異なる前記磁気センサの磁界データの偏差を加算して単位磁気素子偏差和を算出する単位磁気素子偏差和算出過程と、複合磁気素子偏差和算出部が、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、いずれか2個の異なる前記磁気センサにおいて同一タイミングで取得した前記磁界データの加算値を求め、この加算値の偏差を加算して複合磁気素子偏差和を算出する複合磁気素子偏差和算出過程と、交角推定過程が、予め複数の3軸磁気センサから、当該3軸磁気センサにおける2軸の組合せ毎に求めた前記単位磁気素子偏差和及び複合磁気素子偏差和の偏差和情報と、当該2軸の磁気素子の磁気検出方向の交角とを対応付けて記憶している対照テーブルを記憶する対照テーブルから、検出対象の3軸磁気センサの2軸の前記偏差和情報に対し、当該2軸と同一の2軸の偏差和情報を有する3軸磁気センサを抽出し、抽出した3軸磁気センサの交角を検出対象の交角として出力する交角推定過程とを含むことを特徴とする。本発明のプログラムは、コンピュータを、X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子からなる3軸磁気センサに対し、予め設定された一定磁界を、磁界印加装置により印加して、前記磁気素子の各々が前記一定磁界を検知した磁界データを用い、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、当該磁気素子毎の前記磁界データの偏差を求め、いずれか2個の異なる前記磁気センサの磁界データの偏差を加算して単位磁気素子偏差和を算出する単位磁気素子偏差和算出手段、前記磁気素子各々が一定期間内に出力する前記磁界データに対し、いずれか2個の異なる前記磁気センサにおいて同一タイミングで取得した前記磁界データの加算値を求め、この加算値の偏差を加算して複合磁気素子偏差和を算出する複合磁気素子偏差和算出手段、予め複数の3軸磁気センサから、当該3軸磁気センサにおける2軸の組合せ毎に求めた前記単位磁気素子偏差和及び複合磁気素子偏差和の偏差和情報と、当該2軸の磁気素子の磁気検出方向の交角とを対応付けて記憶している対照テーブルを記憶する対照テーブルから、検出対象の3軸磁気センサの2軸の前記偏差和情報に対し、当該2軸と同一の2軸の偏差和情報を有する3軸磁気センサを抽出し、抽出した3軸磁気センサの交角を検出対象の交角として出力する交角推定手段として機能させるためのプログラムである。本発明の誤差角度補償装置は、上記いずれかに記載の方位誤差補償装置を有し、前記方位角誤差補償装置が、検出対照の3軸磁気センサにおける2軸の磁気の検出方向の交角が直角に対して誤差角度を有していると判定した場合、前記誤差角度に応じて、前記2軸の検出する磁界データを前記誤差角度に基づいて補正することを特徴とする。本発明の3軸磁気センサは、上記いずれかに記載の方位誤差補償装置を有し、X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子と検出対象の2個の前記磁気素子による2軸の磁気の検出方向の交角が直角に対して誤差角度を有していると前記方位角誤差補償装置が判定した場合、前記誤差角度に応じて、前記2軸の検出する磁界データを前記誤差角度に基づいて補正する誤差補償部とを備えることを特徴とする。本発明のセンサモジュールは、上記いずれかに記載の方位誤差補償装置を有し、X方向、Y方向及びZ方向の磁界を検知する磁気素子からなる3軸磁気センサと、検出対象の3軸磁気センサにおける2軸の磁気の検出方向の交角が直角に対して誤差角度を有していると前記方位角誤差補償装置が判定した場合、前記誤差角度に応じて、前記2軸の検出する磁界データを前記誤差角度に基づいて補正する誤差補償部と、地磁気の伏角、偏角及び傾斜角の各々を求める地磁気検出部と、前記誤差保証部の補正した磁界データと、地磁気検出部が求めた伏角、偏角及び傾斜角の各々とから、方位角を算出する方位角算出部とを備えることを特徴とする。本発明によれば、3軸磁気センサに対して任意の一定磁界任意の環境磁界を与え、それぞれの磁気素子の磁界データを計測し、この磁界データの偏差を用いることにより、計測された3軸磁気センサの磁界データの2軸の検知方向の交角における、直角に対してずれた誤差角度を、複雑な計算を用いずに簡易に求めることができ、この誤差角度を用いて容易に磁界データの補正が行えるため、任意の環境磁界下において高速に正確な方位角を求めることができる。本発明は、磁場が0あるいは磁気素子の磁界検知範囲の一定磁場の環境下において、3軸磁気センサの磁気素子の各々が検出する磁界データを取得し、磁気素子毎に取得した磁界データの偏差を算出し、3軸磁気センサの2個の磁気素子の検知方向の交角を求める。すなわち、3軸磁気センサを構成する磁気素子毎に、n個ずつの磁界データを所定の期間内に測定する。そして、磁気センサ毎に、n個の磁界データの標準偏差を算出する。次に、磁界の検出方向の交角を求める2つの磁気素子の組合せにおいて、2つの磁気素子の標準偏差の合計値である単位磁気素子偏差和を求める。また、上記2個の磁気素子の出力する磁界データの和の標準偏差である複合磁気素子偏差和を求める。この単位磁気素子偏差和と複合磁気素子偏差和との対応関係、例えば単位磁気素子偏差和と複合磁気素子偏差和との差分を用いて誤差角度θを求める。なお、本発明においては、上記3軸磁気センサにおけるX軸用磁気素子、Y軸用磁気素子及びZ軸用磁気素子の3つの磁気素子の感度は、全て揃うように規格化されていることを前提とする。<第1の実施形態>以下、図面を参照して、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、この発明の一実施形態による方位誤差補償装置を用いた3軸磁気センサの構成例を示す概略ブロック図である。図1において、本実施形態の3軸磁気センサは、磁気センサ部1及び方位誤差補償装置2とを備えている。磁気センサ部1は、3軸磁気センサであり、それぞれの磁界の検知方向の交角が設計上において直角とされている3個の磁気素子から構成されており、X方向の磁界を検出するX方向磁気素子11、Y方向の磁界を検出するY方向磁気素子12、Z方向の磁界を検出するZ方向磁気素子13とから構成されている。ここで、すでに述べたように、X軸方向磁気素子11の検知方向とY軸方向磁気素子12の磁界検知方向との交角αは、理想的には直角である。また、このX軸方向磁気素子11の磁界検知方向とY軸方向磁気素子12の磁界検知方向との各々の軸が形成する2次元平面に対して、Z方向磁気素子12の検知方向も、理想的には直角である。しかしながら、すでに述べたように、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々における磁界の検出方向の交角がそれぞれ直角に対して誤差角度θを有して配置された場合、上記方位誤差補償装置2がこの誤差角度θを検出する。以下の説明において、X方向磁気素子11の磁界の検出方向と、印加されるX軸方向の磁界とが同一の方向であり、このX軸の方向に対する交角からのずれがY方向磁気素子の磁界の検出方向のずれにあるとする。方位誤差補償装置2は、計測部21、単位磁気素子偏差和算出部22、複合磁気素子偏差和算出部23、交角推定部24、対照テーブル記憶部25及び磁界データ記憶部26を備えている。計測部21は、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12及びZ方向磁気素子が各々検出する磁界データX、磁界データY、磁界データZを、所定の測定期間中における同一タイミングでn個ずつ検出する。すなわち、計測部21は、例えば、A/Dアナログ/デジタル変換器が内蔵されており、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12及びZ方向磁気素子が出力する磁界データの各々を、同一タイミングでサンプリングし、サンプリングしたアナログデータをデジタルデータに変換する。また、計測部21は、デジタルデータに変換した磁界データX、磁界データY及び磁界データZの各々を、磁界データ記憶部26に書き込んで記憶させる。次に、図2は、磁界データ記憶部26に記憶される際の磁界データのデータ構造を示している。この図において、X方向磁気素子11が出力し、計測部21がA/D変換したn個の磁界データすなわち、磁界データX1から磁界データXnが、計測部21により書き込まれて記憶される。また、Y方向磁気素子12が出力し、計測部21がA/D変換したn個の磁界データY1からYnが、計測部21により書き込まれて記憶される。同様に、Z方向磁気素子12が出力し、計測部21がA/D変換したn個の磁界データZ1からZnが、計測部21により書き込まれて記憶される。また、同一タイミングで計測部21が検出したX方向磁気素子11の磁界データとY方向磁気素子12の磁界データとの加算値として、XY方向磁界データ加算値X1Y1からXnYnまでのn個が記憶される。同様に、同一タイミングで計測部21が検出したY方向磁気素子12の磁界データとZ方向磁気素子13の磁界データとの加算値として、YZ方向磁界データ加算値Y1Z1からYnZnまでのn個が記憶される。同一タイミングで計測部21が検出したZ方向磁気素子13の磁界データとX方向磁気素子11の磁界データとの加算値として、ZX方向磁界データ加算値Z1X1からZnXnまでのn個が記憶される。図1に戻り、単位磁気素子偏差和算出部22は、X方向磁気素子11の磁界検知方向と、Y方向磁気素子12の磁界検知方向と、Z方向磁気素子13の磁界検知方向とにおける、2つの磁気素子の磁界検知方向の各々の交角を求めるため、それぞれの磁気素子の検出した磁界データの標準偏差を求める。すなわち、単位磁気素子偏差和算出部22は、磁界データX1から磁界データXnのn個のデータと、磁界データY1から磁界データYnまでのn個のデータとを、磁界データ記憶部26から読み込む。また、単位磁気素子偏差和算出部22は、磁界データX1から磁界データXnの標準偏差σXと、磁界データY1から磁界データYnの標準偏差σYと、磁界データZ1から磁界データZnの標準偏差σZを算出する。また、単位磁気素子偏差和算出部22は、標準偏差σX、標準偏差σY及び標準偏差σZの各々を、磁界の検出方向の交角を求める2つの磁気素子の組合せにおいて、2つの磁気素子の標準偏差の合計値である単位磁気素子偏差和σXσY/21/2後述するa_xy、σYσZ/21/2後述するa_yz及びσZσX]/21/2後述するa_zxの各々を算出する。図3は、標準偏差σX及び標準偏差σYと、複合磁気素子偏差和σXYとの関係を示すベクトル図である。比較する際の双方の標準偏差のベクトルの大きさを規格化するため、単位磁気素子偏差和算出部22は、例えば、単位磁気素子偏差和a_xyを求める際、標準偏差σX及び標準偏差σYの加算値を21/2で除算している。複合磁気素子偏差和算出部23は、X方向磁気素子11の磁界検知方向と、Y方向磁気素子12の磁界検知方向と、Z方向磁気素子13の磁界検知方向とにおける、2つの磁気素子の検知方向の各々の交角を求めるため、2個の磁気素子の出力する磁界データの和の標準偏差である複合磁気素子偏差和を算出する。すなわち、複合磁気素子偏差和算出部23は、磁界データX1から磁界データXnのn個のデータと、磁界データY1から磁界データYnまでのn個のデータと、磁界データを、磁界データ記憶部26から読み込む。また、複合磁気素子偏差和算出部23は、磁界データX1から磁界データXnの各々と、磁界データY1から磁界データYnの各々とを、同一タイミングで読み込んだ磁界データ毎に加算する。また、複合磁気素子偏差和算出部23は、上述した加算結果のXY方向磁界データ加算値X1Y1からXnYn、YZ方向磁界データ加算値Y1Z1からYnZn及びZX方向磁界データ加算値Z1X1からZnXnを、磁界データ記憶部26に書き込んで記憶させる。また、複合磁気素子偏差和算出部23は、XY方向磁界データ加算値X1Y1からXnYn、YZ方向磁界データ加算値Y1Z1からYnZn、及びZX方向磁界データ加算値Z1X1からZnXnの各々を順次磁界データ記憶部26から読み出し、各々の標準偏差として、複合磁気素子偏差和σXY後述するb_xy、σYZ及びσZXの各々を算出する。交角推定部24は、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角における誤差角度θxyを求める際、複合磁気素子偏差和算出部23から供給されるb_xyを、単位磁気素子偏差和算出部22の出力する単位磁気素子偏差和a_xyから減算し、この減算結果を複合磁気素子偏差和算出部23から供給されるb_xyにより除算し、除算結果を偏差データc_xyとして出力する。同様に、交角推定部24は、Y方向磁気素子12及びZ方向磁気素子13の磁界検出方向の交角における誤差角度θyzを求める際、複合磁気素子偏差和算出部23から供給されるb_yzを、単位磁気素子偏差和算出部22の出力する単位磁気素子偏差和a_yzから減算し、この減算結果を複合磁気素子偏差和算出部23から供給されるb_yzにより除算し、除算結果を偏差データc_yzとして出力する。また、交角推定部24は、Z方向磁気素子13及びX方向磁気素子11の磁界検出方向の交角における誤差角度θzxを求める際、複合磁気素子偏差和算出部23から供給されるb_zxを、単位磁気素子偏差和算出部22の出力する単位磁気素子偏差和a_zxから減算し、この減算結果を複合磁気素子偏差和算出部23から供給されるb_zxにより除算し、除算結果を偏差データc_zxとして出力する。次に、図4は、対照テーブル記憶部25に記憶されている、単位磁気素子偏差和a、複合磁気素子偏差和b及び偏差データcのデータ組合せX-Y、Y-Z、Z-Xと、誤差角度θとの対応が示された対照テーブルの構造を示す図である。対照テーブル記憶部25には、データ組合せX-YとX方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角における誤差角度θxyとの対応を示す対照テーブル、データ組合せY-ZとY方向磁気素子12及びZ方向磁気素子13の磁界検出方向の交角における誤差角度θyzとの対応を示す対照テーブル、及びデータ組合せZ-XとZ方向磁気素子13及びX方向磁気素子11の磁界検出方向の交角における誤差角度θzxとの対応を示す対照テーブルとの各々が記憶されている。この対照テーブルは、誤差角度θを測定する被測定対象の3軸磁気センサの種類毎に準備されており、磁気センサ部1に使用されている磁気素子、計測部21などの電子回路の構成が同一であり、磁界データの時間変動値を測定する際に印加する磁界も同一としている。また、交角推定部24は、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角の誤差角度θxyを求める場合、算出した偏差データc_xyに対応する偏差データc_xyiを、対照テーブル記憶部25の対照テーブルから検索する。また、交角推定部24は、対照テーブルにある偏差データc_xy1からc_xymのなかから、偏差データc_xyと同様の偏差データc_xyi1≦i≦mが検索されると、この偏差データc_xyiと対応して記憶されている誤差角度θxyiを読み出す。そして、交角推定部24は、この読み出した誤差角度θxyiを、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角の誤差角度θxyとして出力する。また、交角推定部24は、Y方向磁気素子12及びZ方向磁気素子13の磁界検出方向の交角の誤差角度θyz、及びZ方向磁気素子13及びX方向磁気素子11の磁界検出方向の交角の誤差角度θzxの各々の算出も、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角の誤差角度θxyと同様に求める。次に、図5は、本実施形態における方位誤差補償装置による誤差角度θを求める処理の流れを示すフローチャートである。以下の説明においては、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向のなす交角における誤差角度θxyを算出する処理を例として、方位誤差補償装置の動作を説明する。このとき、磁気センサ部1のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々の磁界検知可能な磁界範囲における任意の一定磁界を、方位誤差補償装置に対して印加する。この任意の一定磁界は、後述する対照テーブル記憶部25に記憶されている誤差角度を示す対照テーブルを作成した際に用いた磁界と同一の条件で与える。ステップS1:計測部21は、磁気センサ部1から、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12及びZ方向磁気素子13の各々から、それぞれ磁界データX、磁界データY及び磁界データZを、一定時間内にn個ずつ読み込む。そして、計測部21は、読み込んだ磁界データX1から磁界データXn、磁界データY1から磁界データYn及び磁界データZ1から磁界データZnのそれぞれを、磁界データ記憶部26に書き込んで記憶させ、処理をステップS2へ進める。ステップS2:次に、単位磁気素子偏差和算出部22は、磁界データ記憶部26から、順次、磁界データX1から磁界データXnを読み込む。同様に、単位磁気素子偏差和算出部22は、磁界データ記憶部26から、順次、磁界データY1から磁界データYnを読み込む。ここで、単位磁気素子偏差和算出部22は、磁界データX1から磁界データXnと磁界データY1から磁界データYnとの全ての磁界データのなかから、順次磁界データを抽出する。次に、単位磁気素子偏差和算出部22は、抽出した磁界データと、全ての磁界データの平均値との差分を、この全ての磁界データの平均値で除算することにより、各磁界データの規格化を行う。そして、単位磁気素子偏差和算出部22は、規格化された磁界データX1から磁界データXnを用い、時間変動による磁界データの標準偏差σXを算出する。同様に、単位磁気素子偏差和算出部22は、規格化された磁界データY1から磁界データYnを用い、時間変動による磁界データの標準偏差σYを算出し、処理をステップS3へ進める。ステップS3:次に、単位磁気素子偏差和算出部22は、標準偏差σX及び標準偏差σYの2つが、いずれも予め設定した標準偏差閾値を超えているか否かの判定を行う。このとき、単位磁気素子偏差和算出部22は、標準偏差σX及び標準偏差σYのいずれか一方でも標準偏差閾値を超えている場合、誤差要因である誤差角度θxyの評価を中止する。一方、単位磁気素子偏差和算出部22は、標準偏差σX及び標準偏差σYともに標準偏差閾値を超えていない場合、誤差要因である誤差角度θxyの評価を行うため、処理をステップS4へ進める。また、磁界データの標準偏差が予め設定された標準偏差閾値を超えている場合、測定対象の3軸磁気センサに印加する電源電圧、電源線と接地線との間に設けられる抵抗及びコンデンサの数値等を調整し、再度、ステップS1の処理から誤差要因の評価を開始する。ステップS4:次に、単位磁気素子偏差和算出部22は、標準偏差σXと標準偏差σYとを加算し、加算結果を単位磁気素子偏差和a_xyとして出力し、処理をステップS5へ進める。ステップS5:次に、複合磁気素子偏差和算出部23は、磁界データX1から磁界データXnと、磁界データY1から磁界データYnとを、磁界データ記憶部26から順次読み出し、自身内部の記憶部に書き込んで記憶させる。そして、複合磁気素子偏差和算出部23は、磁界データX1から磁界データXn及び磁界データY1から磁界データYnの各々と、磁界データX1から磁界データXnと磁界データY1から磁界データYnとの全ての磁界データの平均値との差分を、磁界データX1から磁界データXnと磁界データY1から磁界データYnとの全ての磁界データの平均値により除算することで規格化を行う。また、複合磁気素子偏差和算出部23は、規格化した磁界データを、自身内部の記憶部に書き込んで記憶させる。次に、複合磁気素子偏差和算出部23は、同一タイミングで計測部21が磁気センサ部1から読み込んだ磁界データX及び磁界データYを、順次加算して、磁界データ記憶部26に書き込んで記憶させる。例えば、複合磁気素子偏差和算出部23は、磁界データX1と磁界データY1とを加算し、XY方向磁界データ加算値X1Y1、X2Y2、...、XnYnを算出する。そして、複合磁気素子偏差和算出部23は、XY方向磁界データ加算値X1Y1からXnYnまでの標準偏差である複合磁気素子偏差和b_xyを求め、処理をステップS6へ進める。ステップS6:交角推定部24は、単位磁気素子偏差和a_xyから複合磁気素子偏差和b_xyを減算し、この減算結果a_xy-b_xyを複合磁気素子偏差和b_xyにより減算し、a_xy-b_xy/b_xyを算出する。そして、交角推定部24は、上述の減算結果であるa_xy-b_xy/b_xyを、偏差データc_xyとして出力し、処理をステップS7へ進める。ステップS7:次に、交角推定部24は、求めた偏差データc_xyが予め設定されている偏差データ閾値を超えているか否かの判定を行う。このとき、交角推定部24は、偏差データc_xyが偏差データ閾値を超えている場合、誤差角度θxyを求める範囲を超えて評価不能として、誤差要因の評価を中止する。一方、交角推定部24は、偏差データc_xyが偏差データ閾値以下の場合、誤差角度θxyを求める処理が可能であるため、処理をステップS8へ進める。ステップS8:次に、交角推定部24は、対照テーブル記憶部25の対照テーブルから、偏差データc_xyと対応する偏差データc_xyiを検索する。そして、交角推定部24は、この対照テーブルにおいて検索された偏差データc_xyiに対応して記憶されている誤差角度データθxyiを、対照テーブル記憶部25の対照テーブルから読み込む。交角推定部24は、対照テーブル記憶部25から読み込んだ誤差角度θxyiを、誤差補償の対象の3軸磁気センサにおけるX方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向のなす交角の直角からのずれとして出力する。次に、図4における対照テーブル記憶部25に記憶されている対照テーブルの生成について、以下に説明する。対照テーブルの生成においては、直交する3軸方向に均一な磁界を印加できるコイル以下、3軸ヘルムホルツコイルと称すなどにより、直交する3軸方向に対して、特定の空間領域で任意の均一な磁界を発生することのできる環境を用意し、当該環境下に磁気センサ部1を設置する。ここで、直交する3軸方向とは、それぞれの交角が直角となるX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12及びZ方向磁気素子13の各々の磁界検出方向である。なお、3軸ヘルムホルツコイルにおいては、各コイルに任意磁界を発生させて周囲環境の磁界を調整し、所望の磁界強度下の環境以下、無磁場環境と称すを形成することが可能であるが、本実施形態では、磁気感度の測定を実施するので、必ずしも無磁場環境を形成する必要はない。図6は、本実施形態の3軸磁気センサにおける誤差角度θの手順を示すフローチャートである。以下の処理は、図示しない方位角誤差測定装置が、3軸ヘルムホルツコイルを制御し、X方向磁気素子11、Y軸方向磁気素子12、Z軸方向磁気素子13に対し、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向に磁界を任意に印加し、各々の磁気素子から得られる磁界データから各磁気素子の検知方向の交角を求める処理を説明している。次に、図7は、設計上におけるX方向磁気素子11、Y軸方向磁気素子12、Z軸方向磁気素子13の磁界の検出方向であるX軸、Y軸、Z軸と、実際の磁界の検出方向であるXm軸、Ym軸、Zm軸との対応関係を示している。以下、Xm軸、Ym軸、Zm軸の方向を示すベクトルを求め、Xm軸、Ym軸、Zm軸の各々のなす交角を求める。ステップSS11:テーブルデータ作成装置不図示は、3軸ヘルムホルツコイルに対してX軸方向に磁界を発生させる。テーブルデータ作成装置は、3軸ヘルムホルツコイルのX軸方向に、0からnmaxの異なる強度の磁界を印加したときの、X、Y、Z方向の磁界検知用の磁気素子11X、11Y、11Zの各々から、それぞれの出力値X1i、Y1i、Z1iを読み取る。ここで、0≦i≦nmaxである。この結果、テーブルデータ作成装置は、図8の磁界データのテーブルにおける磁界データX1i、Y1i、Z1iを得る。この図8は、3軸ヘルムホルツコイルのX軸に任意の磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々が出力する磁界データX1i、Y1i、Z1iと、3軸ヘルムホルツコイルのY軸に任意の磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々が出力する磁界データX2i、Y2i、Z2iと、3軸ヘルムホルツコイルのZ軸に任意の磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々が出力する磁界データX3i、Y3i、Z3iとを示している。ステップSS12:次に、テーブルデータ作成装置は、3軸ヘルムホルツコイルに対してY軸方向に磁界を発生させる。テーブルデータ作成装置は、3軸ヘルムホルツコイルのY軸方向に、0からnmaxの異なる強度の磁界を印加したときの、X、Y、Z方向の磁界検知用の磁気素子11X、11Y、11Zの各々から、それぞれ出力値X2i、Y2i、Z2iを読み取る。ここで、0≦i≦nmaxである。この結果、テーブルデータ作成装置は、図8の磁界データのテーブルにおける磁界データX2i、Y2i、Z2iを得る。ステップSS13:次に、テーブルデータ作成装置は、3軸ヘルムホルツコイルに対してZ軸方向に磁界を発生させる。テーブルデータ作成装置は、3軸ヘルムホルツコイルのZ軸方向に、0からnmaxの異なる強度の磁界を印加したときの、X、Y、Z方向の磁界検知用の磁気素子11X、11Y、11Zの各々から、それぞれ出力値X3i、Y3i、Z3iを読み取る。ここで、0≦i≦nmaxである。この結果、テーブルデータ作成装置は、図8の磁界データのテーブルにおける磁界データX3i、Y3i、Z3iを得る。ステップSS14:次に、テーブルデータ作成装置は、図8のテーブルの磁気素子の磁界データから、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々の磁気検知方向を示す空間ベクトルXm、Ym、Zmを計算する。ステップSS15:そして、テーブルデータ作成装置は、上述のステップSS14において求めた空間ベクトルXm、Ym、Zmにおける特定2軸X-Y、Y-Z、Z-X各々のベクトル間の交角θmを算出する。次に、図6のステップSS11におけるX軸方向に磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の磁気素子からの磁界データの読み取りの処理の詳細を、図9を参照して説明する。図9は、X軸方向に磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の磁気素子からの磁界データの読み取り処理の詳細を示すフローチャートである。ステップS11:テーブルデータ作成装置は、データ取得個数を示す計数値nを初期化、すなわち計数値をリセットして0に設定する。また、テーブルデータ作成装置は、3軸ヘルムホルツコイルのX軸方向の磁界を、初期の強度の磁界Hxstartに設定する。ステップS12:次に、テーブルデータ作成装置は、X軸方向に印加する磁界Hxを、計数値nに対応する磁界に設定する。ここで、データ取得個数を示す計数値nの番号毎に磁界Hxの数値が設定されている。また、この磁界Hxは、計数値nが1つ増加する毎に、初期の強度の磁界Hxstartから予め設定された大きさの磁界である単位磁界stepが順次増加するように設定されている。ステップS13:次に、テーブルデータ作成装置は、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々から、それぞれ3軸ヘルムホルツコイルの印加する磁界に対応した磁界データX1i、Y1i、Z1iを、計測部21を介して読み取る。ステップS14:テーブルデータ作成装置は、計数値nを1つ増加インクリメントする。ステップS15:テーブルデータ作成装置は、計数値nと予め設定された設定値nmaxとを比較し、計数値nが設定値nmax以上の場合、処理を終了し、一方、計数値nが設定値nmax未満である場合、処理をステップS12へ進める。この設定値は、nmax個の磁界データの測定数である。上述したフローチャートの処理により、テーブルデータ作成装置は、図7の磁界データのテーブルにおける磁界データX1i、Y1i、Z1iを測定する。次に、図6のステップSS12におけるY軸方向に磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の磁気素子からの磁界データの読み取りの処理の詳細を、図10を参照して説明する。図10は、Y軸方向に磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の磁気素子からの磁界データの読み取り処理の詳細を示すフローチャートである。ステップS21:テーブルデータ作成装置は、データ取得個数を示す計数値nを初期化、すなわち計数値をリセットして0に設定する。また、テーブルデータ作成装置は、3軸ヘルムホルツコイルのY軸方向の磁界を、初期の強度の磁界Hystartに設定する。ステップS22:次に、テーブルデータ作成装置は、Y軸方向に印加する磁界Hyを、計数値nに対応する磁界に設定する。ここで、データ取得個数を示す計数値nの番号毎に磁界Hyの数値が設定されている。また、この磁界Hyは、計数値nが1つ増加する毎に、初期の強度の磁界Hystartから予め設定された大きさの磁界である単位磁界stepが順次増加するように設定されている。ステップS23:テーブルデータ作成装置は、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々から、それぞれ3軸ヘルムホルツコイルの印加する磁界に対応した磁界データX2i、Y2i、Z2iを、計測部21を介して読み取る。ステップS24:テーブルデータ作成装置は、計数値nを1つ増加インクリメントする。ステップS25:テーブルデータ作成装置は、計数値nと予め設定された設定値nmaxとを比較し、計数値nが設定値nmax以上の場合、処理を終了し、一方、計数値nが設定値nmax未満である場合、処理をステップS22へ進める。上述したフローチャートの処理により、テーブルデータ作成装置は、図7の磁界データのテーブルにおける磁界データX2i、Y2i、Z2iを測定する。次に、図6のステップSS13におけるZ軸方向に磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の磁気素子からの磁界データの読み取りの処理の詳細を、図11を参照して説明する。図11は、Z軸方向に磁界を印加した際のX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の磁気素子からの磁界データの読み取り処理の詳細を示すフローチャートである。ステップS31:テーブルデータ作成装置は、データ取得個数を示す計数値nを初期化、すなわち計数値をリセットして0に設定する。また、テーブルデータ作成装置は、3軸ヘルムホルツコイルのZ軸方向の磁界を、初期の強度の磁界Hzstartに設定する。ステップS32:次に、テーブルデータ作成装置は、Z軸方向に印加する磁界Hzを、計数値nに対応する磁界に設定する。ここで、データ取得個数を示す計数値nの番号毎に磁界Hzの数値が設定されている。また、この磁界Hzは、計数値nが1つ増加する毎に、初期の強度の磁界Hzstartから予め設定された大きさの磁界である単位磁界stepが順次増加するように設定されている。ステップS33:テーブルデータ作成装置は、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々から、それぞれ3軸ヘルムホルツコイルの印加する磁界に対応した磁界データX3i、Y3i、Z3iを、計測部21を介して読み取る。ステップS34:テーブルデータ作成装置は、計数値nを1つ増加インクリメントする。ステップS35:テーブルデータ作成装置は、計数値nと予め設定された設定値nmaxとを比較し、計数値nが設定値nmax以上の場合、処理を終了し、一方、計数値nが設定値nmax未満である場合、処理をステップS32へ進める。上述したフローチャートの処理により、テーブルデータ作成装置は、図7の磁界データのテーブルにおける磁界データX3i、Y3i、Z3iを測定する。次に、図6のステップSS14における空間ベクトルXm、Xm、Zmを算出する処理を図12を用いて説明する。図12は、空間ベクトルXm、Xm、Zmを算出する処理の流れを示すフローチャートである。ステップS41:テーブルデータ作成装置は、図7のテーブルにおける磁界データX1i、X2i、X3i0≦i≦nmaxから、空間ベクトルXmを算出する。すなわち、テーブルデータ作成装置は、磁界データX1i、X2i、X3iを座標値X1i,X2i、X3iとし、座標点0からnmaxまでの、nmax個の座標点を3次元空間にプロットし、このnmax個に対する最小二乗法による近似直線を求める。そして、近似曲線の方向を空間ベクトルXmとする。ステップS42:テーブルデータ作成装置は、図7のテーブルにおける磁界データY1i、Y2i、Y3i0≦i≦nmaxから、空間ベクトルYmを算出する。すなわち、テーブルデータ作成装置は、磁界データY1i、Y2i、Y3iを座標値Y1i,Y2i,Y3iとし、座標点0からnmaxまでの、nmax個の座標点を3次元空間にプロットし、このnmax個に対する最小二乗法による近似直線を求める。そして、近似曲線の方向を空間ベクトルYmとする。ステップS43:テーブルデータ作成装置は、図7のテーブルにおける磁界データZ1i、Z2i、Z3i0≦i≦nmaxから、空間ベクトルZmを算出する。すなわち、テーブルデータ作成装置は、磁界データZ1i、Z2i、Z3iを座標値Z1i,Z2i,Z3iとし、座標点0からnmaxまでの、nmax個の座標点を3次元空間にプロットし、このnmax個に対する最小二乗法による近似直線を求める。そして、近似曲線の方向を空間ベクトルZmとする。上述にように求められた空間ベクトルXm、Ym、Zmは、特定磁界X軸、Y軸及びZ軸の各々発生方向に磁界を印加した際の、磁気センサ部1内の3つのX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13による磁界検知方向以下、磁気センサ部1における磁界検知方向と称すを、それぞれ示している。次に、図6のステップSS16における空間ベクトルXm、Xm、Zmのそれぞれ特定2軸の交角と、空間ベクトルXe、Xe、Zeのそれぞれ特定2軸の交角とを算出する処理を以下に説明する。テーブルデータ作成装置は、空間ベクトルXm、Ym、Zmの各々の特定2軸、すなわち空間ベクトルXm及び空間ベクトルYmの交角θmxyと、空間ベクトルYm及び空間ベクトルZmの交角θmyzと、空間ベクトルYm及び空間ベクトルZmの交角θmyzとを、各空間ベクトル間の内積の結果から算出する。すなわち、テーブルデータ作成装置は、空間ベクトルXmと空間ベクトルYmとの交角θmxyを以下の1式により算出する。同様に、テーブルデータ作成装置は、空間ベクトルYmと空間ベクトルZmとの交角θmyzを以下の2式により算出する。また、テーブルデータ作成装置は、空間ベクトルZmと空間ベクトルXmの交角θmzxを以下の3式により算出する。上述したように、空間ベクトルXmと、空間ベクトルYmと、空間ベクトルZmとを用いることにより、空間ベクトルXm及び空間ベクトルYmの交角θmxyと、空間ベクトルYm及び空間ベクトルZmの交角θmyzと、空間ベクトルZm及び空間ベクトルXmの交角θmyzとの各々を求めることができる。そして、テーブルデータ作成装置は、交角θmxy、交角θmyz、交角θmzxの各々の直角からのずれを算出し、それぞれ誤差角度θxy、誤差角度θyz、誤差角度θzxとする。また、テーブルデータ作成装置は、誤差角度を求めた磁気センサに対し、任意の一定磁界を与えて、一定時間内にn個の磁界データを読み込む。すでに、テーブルデータ作成装置は、被測定対象の磁気センサ方位誤差補償装置における磁気センサ部の偏差データcの算出と同様に、磁気の検出方向毎に読み込んだ磁界データX、Y、Zから単位磁気素子偏差和aと、複合磁気素子偏差和bと、偏差データcとを求める。上述した処理を複数の磁気センサに対して行い、テーブルデータ作成装置は、誤差角度の検出範囲及び検出精度を満足する、誤差角度と、単位磁気素子偏差和aと、複合磁気素子偏差和bと、偏差データcとの対応を示す対象テーブルを生成する。このように、誤差角度の対照テーブルを作成する際と、被測定対象の磁気センサの磁界データを作成する際とにおいて、単位磁気素子偏差和aと、複合磁気素子偏差和bと、偏差データcとを求める際に、磁気センサ部1に印加する一定磁場を同一としている。このため、被測定対象の磁気センサ部1におけるX方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の各々の検出方向のなす交角における誤差角度を、対照テーブルから容易に抽出することができる。また、偏差データcと誤差角度との相関が存在する場合、各磁気素子の磁界の検知方向の交角が直角からずれており、かつ交角をなす検知方向での検出する磁界に互いの他軸感度があることが考えられる。この他軸感度は、信号処理用集積回路の駆動方式や、各磁気素子が磁界検知方向以外の方向に対する磁気感度を有している。そのため、偏差データcと誤差角度θとに相関がある場合、ホワイトノイズ以外、すなわち他軸感度を有していること判定できる。例えば、相関が高い程、他軸感度が高いことを示すことになる。<第2の実施形態>以下、図面を参照して、本発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態の構成は、図1に示す第1の実施形態による方位誤差補償装置と同様である。以下、第1の実施形態と異なる動作について説明する。すでに説明した第1の実施形態において、磁界データX、磁界データY、磁界データZの各々の変動が互いに独立でなく、各磁気素子の検知方向に依存して偏差データcが変化する場合に有効である。この磁界データの変動が互いに独立であるか否かは、偏差データcの数値と、誤差角度θとの相関関係を取得することにより解る。すなわち、偏差データcと誤差角度θとの間の相関が無い場合、第1の実施形態における偏差データcを用いた対照表からの誤差角度θの検出を行うことができない。図13は、磁界換算の出力変動値μT:マイクロテスラと、誤差角度度θとの対応を示すグラフである。縦軸が磁界換算の出力変動値を示し、横軸が誤差角度度θを示している。ここで、磁界換算とは、磁気素子において測定した磁界データに対し、磁界強度を示す電圧値を、例えばTテスラなどの磁界強度を示す単位に換算する単位換算を行うことを示している。この図13において、標準偏差σXが○で示され、標準偏差σYが△で示され、単位磁気素子偏差和a’:σXσY/cosθ/21/2が□で示され、単位磁気素子偏差和a:σXσY/21/2が◇で示され、複合磁気素子偏差和b:σXYがで示されている。この磁界換算の出力変動において、誤差角度θが大きくなるにつれ、σXは一定であるが、標準偏差σYは誤差角度θと同様に増加する。また、誤差角度θが増加するにつれ、単位磁気素子偏差和aと複合磁気素子偏差和bとが同様に増加し、両者の差分はほぼ0であり、偏差データcが一定となり、偏差データcから誤差角度θの推定を行うことはできない。しかしながら、偏差データc’は、誤差角度θの増加に対応して増加している。この偏差データc’は、単位磁気素子偏差和aと、増加関数例えば、1/cosθなどがσbに乗算されている複合磁気素子偏差和b’とから求められる。この偏差データc’を用いることにより、対照テーブルから誤差角度θを求めることができる。上述した各磁気素子が出力する磁界データの変動値は、種々の要因により発生する。この変動値には、磁気素子の駆動方式や、また磁気素子のアナログ出力特性に起因しない変動以下、ホワイトノイズとするが含まれている。これらの変動値は、主に、磁気素子が検出して出力した値を、アナログ値やデジタル値の磁界データとして出力する信号処理過程において発生する。しかしながら、変動値の要因がホワイトノイズのみである場合にも、変動値は各磁気素子から発生するため、原因の如何にかかわらず、各磁気素子の出力する磁界データの変動として検出されることになる。また、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子の各々が理想的に配置されている場合、すなわち各磁気素子の磁界の検出方向の交角が直角である場合、特定2軸において、磁界換算により規格化したa及びbは理論的には同一となる。また、磁界の検出方向が直角からずれている場合であっても、同一の手法により磁界換算により規格化すると、標準偏差σXは変化せずに一定となる。一方、Y方向磁気素子12の磁界の検出方向と、Y軸設計上の期待される磁界の検出方向との誤差角度θxyの増加に応じて、実効的な磁界分解能が増加するため、標準偏差σYは増加することになる。次に、図14は、デジタル出力の出力変動値LSBと、誤差角度θとの対応を示すグラフである。縦軸がデジタル出力に磁界データを換算変換した後の出力変動値を示し、横軸が誤差角度度θを示している。この図14において、標準偏差σXが○で示され、標準偏差σYが△で示され、単位磁気素子偏差和a’:σXσY/cosθ/21/2が□で示され、単位磁気素子偏差和a:σXσY/21/2が◇で示され、複合磁気素子偏差和b:σXYがで示されている。しかしながら、認識可能な磁気素子の出力する磁界データは、実際の磁界値ではなく、磁界値を測定分解能によって換算したアナログ量やデジタル量である。この磁界値がアナログ量やデジタル量に換算された換算値は、磁界分解能に依存するため、各磁気素子の感磁方向が直交している場合の磁界分解能を用いて換算した数値である。図14に示すように、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界の検知方向の交角における直角からずれである誤差角度θによらず、標準偏差σYは一定となる。このため、誤差角度θに伴う標準偏差σYの変化がないため、単位磁気素子偏差和aも複合磁気素子偏差和bも誤差角度θに対して変動することがない。すなわち、磁界換算値の場合、また磁界換算を行う前のアナログ量やデジタル量の場合でも、単位磁気素子偏差和aと複合磁気素子偏差和bとの差が誤差角度θの値によらずに一定となる。したがって、単位磁気素子偏差和aと複合磁気素子偏差和bとの差である偏差データcも誤差角度θの変動に対して一定値をとるため、偏差データcから誤差角度θを求めることはできない。一方、標準偏差σYに対して、誤差角度θの増加関数を乗算した後、単位磁気素子偏差和a’を求めた場合、この単位磁気素子偏差和a’は、誤差角度θの増加に対応して増加することになる。本実施形態においては、増加関数として1/cosθを用いたが、誤差角度θの検出範囲例えば、0度から45度において、θの増加関数であれば何を用いても良い。例えば、増加関数としてcosθ以外に、sinθ、tanθなどを用いる。本実施形態の場合、第1の実施形態で用いた単位磁気素子偏差和aに比較して、単位磁気素子偏差和a’は角度θの増加に対応して、単調に増加する。このため、θ=0近傍の各磁気素子の測定値による単位磁気素子偏差和a’を基準として作成した対照テーブルから、被誤測定対象の磁気センサ部1の単位磁気素子偏差和a’から算出した偏差データc’から誤差角度θを求めることができる。したがって、本実施形態における対照テーブルは図15に示す構造をしている。図15は、対照テーブル記憶部25に記憶されている、単位磁気素子偏差和a’、複合磁気素子偏差和b及び偏差データc’のデータ組合せX-Y、Y-Z、Z-Xと、誤差角度θとの対応が示された対照テーブルの構造を示す図である。対照テーブル記憶部25には、データ組合せX-YとX方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角における誤差角度θxyとの対応を示す対照テーブル、データ組合せY-ZとY方向磁気素子12及びZ方向磁気素子13の磁界検出方向の交角における誤差角度θyzとの対応を示す対照テーブル、及びデータ組合せZ-XとZ方向磁気素子13及びX方向磁気素子11の磁界検出方向の交角における誤差角度θzxとの対応を示す対照テーブルとの各々が記憶されている。また、対照テーブルにおける単位磁気素子偏差和a’は、標準偏差σXと、対応する誤差角度θを代入した増加関数の数値が乗算された標準偏差σYを加算して求められている。また、対照テーブルにおける偏差データc’は、単位磁気素子偏差和a’から複合磁気素子偏差和bを減算し、この減算結果を複合磁気素子偏差和bにより除算して求めた数値である。この対照テーブルは、誤差角度θを測定する被測定対象の3軸磁気センサの種類毎に準備されており、磁気センサ部1に使用されている磁気素子、計測部21などの電子回路の構成が同一であり、磁界データの時間変動値を測定する際に印加する磁界も同一としている。したがって、単位磁気素子偏差和算出部22は、標準偏差σXと、対応する誤差角度θを代入した増加関数の数値が乗算された標準偏差σYを加算し、加算結果を単位磁気素子偏差和a’として出力する。交角推定部24は、単位磁気素子偏差和算出部22から供給される単位磁気素子偏差和a’から、複合磁気素子偏差和算出部23から供給される複合磁気素子偏差和bを除算し、除算結果をこの複合磁気素子偏差和bにより除算し、除算結果を偏差データc’として求める。そして、交角推定部24は、例えば、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角の誤差角度θxyを求める場合、算出した偏差データc’_xyに対応する偏差データc’_xyiを、対照テーブル記憶部25の対照テーブルから検索する。また、交角推定部24は、対照テーブルにある偏差データc’_xy1からc’_xymのなかから、偏差データc’_xyと同様の偏差データc’_xyi1≦i≦mが検索されると、この偏差データc’_xyiと対応して記憶されている誤差角度θxyiを読み出す。そして、交角推定部24は、この読み出した誤差角度θxyiを、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角の誤差角度θxyとして出力する。また、交角推定部24は、Y方向磁気素子12及びZ方向磁気素子13の磁界検出方向の交角の誤差角度θyz、及びZ方向磁気素子13及びX方向磁気素子11の磁界検出方向の交角の誤差角度θzxの各々の算出も、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の磁界検出方向の交角の誤差角度θxyと同様に求める。この構成により、本実施形態によれば、偏差データcと誤差角度θとの相関が低い場合にも、増加関数を乗算した標準偏差σYを用いた単位磁気素子偏差和a’により求めた偏差データc’を用いることにより、従来例に比較して容易に、磁界の検出方向の交角の直角からずれた誤差角度θを検出することができる。<第3の実施形態>以下、図面を参照して、本発明の第3の実施形態について説明する。第3の実施形態の構成は、図1に示す第1の実施形態による方位誤差補償装置と同様である。以下、第1の実施形態と異なる動作について説明する。すでに説明した第1の実施形態あるいは第2の実施形態において、磁界データの標準偏差が予め設定された標準偏差閾値を超えている場合、測定対象の3軸磁気センサに印加する電源電圧、電源線と接地線との間に設けられる抵抗及びコンデンサの数値等を変更し、標準偏差の値を調整している。本実施形態においては、磁界データの標準偏差が予め設定された標準偏差閾値を超えている場合、抵抗及びコンデンサの数値の変更に加え、各磁気素子が1つの磁界データを出力する際、この磁界データを作成するときに平均化する磁界データの数の設定を変更する。この平均化する磁界データの数の設定を変更することにより、所定時間において取得する磁界データの標準偏差が変化することになる。すなわち、平均化する磁界データの数を多くするにつれ、所定時間において取得する磁界データの標準偏差が減少し、逆に、平均化する磁界データの数を少なくするにつれ、所定時間において取得する磁界データの標準偏差が増加することが考えられる。したがって、対照テーブルを生成する際に、この平均化を行う生データの数を換えて、偏差データcあるいは偏差データc’と、誤差角度θとの相関を求める。この相関の結果から、対照テーブルから偏差データcあるいは偏差データc’により誤差角度θを求めることが可能な、平均化する磁界データの数の範囲を示す平均化数範囲を予め決めておく。そして、被測定対象の方位誤差補償装置の磁界データの標準偏差が予め設定された標準偏差閾値を超えている場合、各磁気素子X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13における平均化数の調整をこの平均化数範囲のなかで行う。また、上述した第1の実施形態から第3の実施形態において、磁気素子の駆動方式によっては、信号処理用集積回路に関連する種々の設定などにより、X方向磁気素子11、Y方向磁気素子12、Z方向磁気素子13の磁界データにおける変動値が変化する。磁界データの変動値が大きくなるにつれ、所望の検出範囲における誤差角度を求めるための磁気感度の線形性が得られなくなる。この結果、磁界データの変動値により、磁気素子の磁気感度における磁界換算の精度が低下することで、検出方向の磁界データの精度が低下し、検出方向における磁界データの線形性が失われることになる。このため、磁気センサ部1における各磁気素子の磁界の検出方向において、この検出方向の特定2軸の交角を、上述した1式から3式を用いて求めるための評価が困難となる。したがって、磁界データの変動値が大きい場合、高い精度で誤差角度を求めることができる対照テーブルの作成を行うことができなくなる。精度の高い対照テーブルを生成するため、特定2軸における磁界の検出方向のなす交角の評価を行う場合、誤差角度の数値によらずに、磁気素子の磁界データにおける変動値の閾値である変動値閾値を設定しておくことが望ましい。すなわち、対照テーブルを生成する際に、所望の検出範囲における誤差角度を求めることが可能な磁気感度の線形性が得られる変動値の幅に設定する。この変動値の幅とは、対照テーブルを作成する際に、磁界の強度を変化させて、磁気素子毎の磁界データを用いて最小二乗法で評価直線を生成し、この評価直線と磁界データとの差分を示す数値である。例えば、上記変動値閾値を求めるため、電源線と接地線との間の抵抗の抵抗値及びコンデンサの容量値、磁界データを取得する際の平均化回数などを調整することで、上述した変動値の幅を、より小さい値に変化させる。そして、変動値の幅を変化させる毎に、測定した磁界データにより上記評価曲線を生成する。ここで、変動値の幅毎の評価曲線の傾き変化を検出し、変動値の幅の減少率が低下し、減少率が平衡となる変動値の幅を検出し、この平衡となる変動値の幅を変動値閾値として設定する。この変動値閾値を設け、この変動値閾値の範囲内となるように、磁界データの変動値を調整することにより、磁気素子の検出方向の磁気感度の線形性を保持させることができる。そして、この結果、1式から3式を用いて、磁気センサ部1の特定2軸の磁界の検出方向の交角を高い精度で求めることができ、偏差データθから誤差角度θを高い精度で求めることが可能な対照テーブルを生成することができる。<第4の実施形態>以下、図面を参照して、本発明の第4の実施形態について説明する。第4の実施形態の構成は、第1の実施形態から第3の実施形態のいずれかの方位誤差補償装置2を用いたセンサモジュールである。図16は、第4の実施形態のセンサモジュール500の構成例を示す図である。センサモジュール500は、磁気センサ部1、方位誤差補償装置2、傾斜角算出部3及び方位データ算出部4を備えている。方位誤差算出部2は、第1の実施形態、第2の実施形態及び第3の実施形態のいずれかの構成であり、磁気センサ部1から出力される磁界データX、磁界データY及び磁界データZにより、誤差角度θxy、誤差角度θyz、誤差角度θzxを求める。傾斜角算出部3は、内部に傾斜角センサを備えており、センサモジュール500の傾斜角を求めて出力する。方位データ算出部4は、傾斜角算出部3から供給される傾斜角と、方位誤差補償装置2から出力される誤差角度θxy、θyz、θzx及び磁界データX、Y、Zとにより、センサモジュール500の磁北の方位データを出力する。また、方位データ算出部4は、磁界データX、磁界データY、磁界データZの各々を、それぞれ誤差角度θxy、誤差角度θyz、誤差角度θzxにより、他軸成分を補正することにより、磁界データX’、磁界データY’、磁界データZ’を求める。そして、方位データ算出部4は、得られた磁界データX’、磁界データY’、磁界データZ’によりセンサモジュール500の磁気検出方向地磁気方向を求める。また、方位データ算出部4は、内部記憶部に対して、偏角βと伏角αとが予め書き込まれて記憶されている。そして、方位データ算出部4は、内部記憶部の伏角αを読み出し、読み出した伏角αを、傾斜角により補正し、補正後の伏角α’を求める。次に、方位データ算出部4は、図18に示す磁界データX’Hx及び磁界データY’Hyとが含まれる2次元平面に対し、補正後の伏角α’を用いて磁気検出方向のベクトルを投影する。次に、方位データ算出部4は、2次元平面に投影された方位ベクトルを、偏角βにより補正し、補正の結果得られたベクトルの方位データとして出力する。なお、図21bのずれも考慮する場合、X方向磁気素子11あるいはY方向の磁気素子を基準に、いずれかの磁気素子の磁界の検出方向に磁界を印加して、設計上の検出方向とのずれを検出して縫製する必要がある。例えば、X方向磁気素子11及びY方向磁気素子12の特定の2軸各々の検出方向がなす交角が直角である場合、3軸ヘルムホルツコイルにより、設計上のX軸方向に対する磁界を印加する。そして、X方向磁気素子11とY方向磁気素子12との各々が検出する磁界データX及び磁界データYにより、設計上の検出方向とのずれ角を検出し、磁界データを補正する。本実施形態によれば、偏差データcあるいは偏差データc’から簡易に、かつ高い精度で誤差角度θを検出することができる方位誤差補償装置2を用いることにより、複雑な工程を経なくとも容易に方位データを得ることが可能なセンサモジュールを提供することができる。また、図1における方位誤差補償装置2の誤差角度θを求める機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、誤差角度θを求める処理を行ってもよい。なお、ここでいうコンピュータシステムとは、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、コンピュータシステムは、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境あるいは表示環境も含むものとする。また、コンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD-ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらにコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。"