"モータ及び振動可能要素を有する制御対象の動作を制御するモータ制御装置であって、前記制御対象の振動特性に関連した前記制御対象の状態を表す状態情報に応じて、前記制御対象の振動特性を表す第1のパラメータを生成する生成部と、前記生成部により生成された前記第1のパラメータの時間変化量に応じた第2のパラメータを演算する第1の演算部と、動作目標値と前記第1のパラータと前記第2のパラメータとに応じて、前記制御対象が振動を励起しないようにモデルトルクを演算する第2の演算部と、前記第2の演算部により演算された前記モデルトルクに応じて、前記制御対象の動作を前記動作目標値に追従させる前記モータに対するトルク指令を発生させる発生部と、を備えたことを特徴とするモータ制御装置。前記第2の演算部は、前記動作目標値と前記第1のパラータと前記第2のパラメータとを用いて、前記制御対象が振動せずに追従することが可能な速度であるモデル速度を演算し、前記発生部は、前記制御対象の速度が前記第2の演算部により演算された前記モデル速度に追従するように、前記トルク指令を発生させることを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。前記第2の演算部は、前記動作目標値と前記第1のパラータとを用いて、前記制御対象が振動せずに追従することが可能な位置であるモデル位置を演算し、前記発生部は、前記制御対象の位置を前記第2の演算部により演算された前記モデル位置に追従させる前記トルク指令を発生させることを特徴とする請求項2に記載のモータ制御装置。前記第1のパラメータは、前記制御対象の振動周波数を含み、前記第2のパラメータは、前記制御対象の振動周波数の時間変化量を含むことを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。前記状態情報の複数の値と前記第1のパラメータの複数の値とが対応付けられたテーブルを記憶する記憶部をさらに備え、前記生成部は、前記記憶部に記憶された前記テーブルを参照することにより、受けた前記状態情報に対応する前記第1のパラメータを生成することを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。前記状態情報の値と前記第1のパラメータの値との関係を示す関数を記憶する第2の記憶部をさらに備え、前記生成部は、前記第2の記憶部に記憶された前記関数を参照することにより、前記生成部に入力された前記状態情報に対応する前記第1のパラメータを生成することを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。前記第1の演算部は、nを1より大きな整数とするとき、前記第1のパラメータのn階微分もしくはn階差分を行うことにより前記第2のパラメータを演算することを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。前記制御対象は、複数の前記モータを有し、前記生成部が受ける前記状態情報は、前記複数のモータのうち前記モータ制御装置により制御されていないモータの位置に応じた前記振動可能要素の状態を含むことを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。前記第2の演算部は、前記トルク指令から前記制御対象の位置までの動特性の逆特性に基づき、前記制御対象の位置を前記動作目標値に追従させるために必要な前記トルク指令を演算し、演算結果により前記モデルトルクを演算することを特徴とする請求項1に記載のモータ制御装置。前記第2の演算部は、前記制御対象の速度が前記動作目標値に応じた速度に追従しているときのモータ速度を推定して前記モデル速度として演算することを特徴とする請求項2に記載のモータ制御装置。前記第2の演算部は、前記制御対象の位置が前記動作目標値に応じた速度に追従しているときのモータ位置を推定して前記モデル位置として演算することを特徴とする請求項3に記載のモータ制御装置。モータ及び振動可能要素を有する制御対象の動作を制御するモータ制御装置であって、前記制御対象の振動特性に関連した前記制御対象の状態を表す状態情報に応じて、前記制御対象の振動特性を表す第1のパラメータを生成する生成部と、動作目標値から前記第1のパラメータに対応する周波数成分を取り除いた動作補償信号を生成する第2の生成部と、前記第2の生成部により生成された動作補償信号を時間的に2階微分することにより、モデルトルクを生成する第3の演算部と、前記制御対象の動作が前記動作目標値に追従するように、前記第3の演算部により演算された前記モデルトルクに応じて前記モータに対するトルク指令を発生させる発生部と、を備えたことを特徴とするモータ制御装置。前記第3の演算部は、前記第2の生成部により生成された動作補償信号を時間的に1階微分することにより、前記制御対象を振動させず動作させるモデル速度を演算し、前記発生部は、前記制御対象の速度を前記第3の演算部により演算された前記モデル速度に追従させる、前記トルク指令を発生させることを特徴とする請求項12に記載のモータ制御装置。特許文献1に記載された機械制御装置では、スライド部からアーム先端の重量物までの距離についての位置情報から振動周波数に応じて変化するパラメータゲイン定数を出力し、位置指令の2階微分とパラメータゲイン定数の積として補正量を求め、求めた補正量を位置指令に加算することで、動作中に機械固有振動数が変化する制御対象に対しても振動を励起しないようにした指令生成法が開示されている。しかしながら変化する機械固有振動数に正確に対応させながらパラメータゲイン定数を変化させても振動抑制効果が十分に得られない場合があるという問題がある。特許文献2に記載された制御システムでは、荷振れが生じないようにするために、搬送指令から共振周波数の成分を除去することしか行われていないので、振動抑制効果が十分に得られない可能性がある。しかも、クレーンの駆動装置においても、ロープ長に応じて変化する共振周波数付近の信号を取り除くだけでは振動抑制効果が十分ではないという問題がある。また、特許文献2に記載された制御システムでは、フィルタ係数をシミュレーションにより繰り返し演算して決定していると考えられるため、係数の決定が難しく、時間がかかる傾向にある。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、動作中に振動特性が変化する制御対象を動作させる際の振動抑制効果をさらに向上できるモータ制御装置を得ることを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の1つの側面にかかるモータ制御装置は、モータ及び振動可能要素を有する制御対象の動作を制御するモータ制御装置であって、前記制御対象の振動特性に関連した前記制御対象の状態を表す状態情報に応じて、前記制御対象の振動特性を表す第1のパラメータを生成する生成部と、前記生成部により生成された第1のパラメータの時間変化量に応じた第2のパラメータを演算する第1の演算部と、動作目標値と前記第1のパラータと前記第2のパラメータとを用いて、前記制御対象が振動を励起しないようにモデルトルクを演算する第2の演算部と、前記制御対象の動作が前記動作目標値に追従するように、前記第2の演算部により演算されたモデルトルクに応じてトルク指令を発生させる発生部とを備えたことを特徴とする。本発明によれば、第1のパラメータだけではなく、第1のパラメータの時間変化量に応じた第2のパラメータも用いてモデルトルクを演算するので、振動特性のみならず振動特性の変化率も考慮してトルク指令を発生させることができる。これにより、動作中に振動特性が変化する制御対象を動作させる際の振動抑制効果をさらに向上できる。以下に、本発明にかかるモータ制御装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。実施の形態1.実施の形態1にかかるモータ制御装置100の構成について図1を用いて説明する。図1は、実施の形態1にかかるモータ制御装置100の構成を示すブロック図である。モータ制御装置100は、駆動する制御対象1の位置目標値を表す動作目標値位置指令prefを外部例えば、図示しない上位コントローラから受けるとともに、検出器2例えば、エンコーダにより検出されたモータ1aの位置例えば、モータ1a内におけるロータの回転位置又は可動子の駆動位置を表すモータ動作検出値pMを検出器2から受ける。また、モータ制御装置100は、制御対象1の振動特性に関連した制御対象1の状態を表すパラメータ変更信号状態情報MLを検出器3から受ける。モータ制御装置100は、パラメータ変更信号MLに応じた動作を行うとともに、モータ動作検出値pMが動作目標値prefへ追従するようにトルク指令τMを発生させて電流制御器4へ出力する。これにより、電流制御器4がトルク指令τMに応じた電流Iに依存した電力を制御対象1内部にあるモータ1aへ供給するので、モータ1aは、トルク指令τMに応じたモータトルクを発生して制御対象1内部にあるバネ振動可能要素1b及び機械負荷1cを動作させる。具体的には、モータ制御装置100は、フィードフォワード制御部111、フィードバック制御部112、及びトルク加算器発生部113を備える。フィードフォワード制御部111は、動作目標値prefを外部から受けるとともに、パラメータ変更信号MLを検出器3から受ける。検出器3は、例えば、アーム長検出器であり、z軸アーム1b1図3参照の長さをパラメータ変更信号MLとして検出する。あるいは、検出器3は、例えば、ロープ長検出器であり、ロープ1b2図4参照の長さをパラメータ変更信号MLとして検出する。フィードフォワード制御部111は、制御対象1の理想的な動作波形に対応したモデル位置pa、モデル速度vaをフィードバック制御部112へ出力し、モデルトルクτaをトルク加算器113へ出力する。フィードバック制御部112は、フィードフォワード制御部111から出力されたモデル位置pa、モデル速度vaを受けるとともに、検出器2からフィードバックされた制御対象1モータ1aのモータ動作検出値pMを受けて、トルク加算器113へフィードバックトルクτBを出力する。トルク加算器113は、フィードバックトルクτBとモデルトルクτaとの和をトルク指令τMとして発生させて電流制御器4へ出力する。電流制御器4は、トルク加算器113から出力されたトルク指令τMを受けて、トルク指令τMと一致するモータトルクを実現する実電流Iに依存した電力をモータ1aへ加える供給する。そして電流制御器4から出力された実電流Iをモータ1aに流すことにより、制御対象1内のバネ振動可能要素1b及び機械負荷1cが駆動される。また、検出器2により、制御対象1内のモータ1aのモータ動作検出値pMが検出される。次に、フィードフォワード制御部111の内部構成の概略について説明する。フィードフォワード制御部111は、制振パラメータ決定部122、制振パラメータフィルタ第1の演算部123、及び制振フィルタ第2の演算部121を有する。制振パラメータ決定部122は、パラメータ変更信号MLを受けて、制振パラメータ信号θを生成する。すなわち、制振パラメータ決定部122は、パラメータ変更信号MLに基づき、制御対象1の現在の振動特性を表す制振パラメータ信号第1のパラメータθを生成して制振フィルタ121と制振パラメータフィルタ123とへ出力する。制振パラメータフィルタ123は、制振パラメータ信号θを受けて、制振パラメータ変分信号θ’を演算する。すなわち、制振パラメータフィルタ123は、制振パラメータ決定部122から制振パラメータ信号θを受けて、制御対象1の振動特性変化を表す、すなわち制振パラメータ信号θの時間変化量に応じた制振パラメータ変分信号第2のパラメータθ’を演算して、演算した結果を制振フィルタ121へ出力する。制振フィルタ121は、振動を励起せず、かつ定常的には制御対象1を動作目標値prefに追従させるように、モデル位置pa、モデル速度va、及びモデルトルクτaを演算して出力する。具体的には、制振フィルタ121は、動作目標値prefを外部から受け、制振パラメータ信号θを制振パラメータ決定部122から受け、制振パラメータ変分信号θ’を制振パラメータフィルタ123から受ける。制振フィルタ121は、制振パラメータ信号θと制振パラメータ変分信号θ’とによりその特性を逐次変更する。そして、制振フィルタ121は、動作目標値prefの変動に対して、振動を励起しないように、かつ定常的にモデル位置paが動作目標値prefと、モデル速度vaが動作目標値の1階微分値p1refと、モデルトルクτaが動作目標値の2階微分値p2refに制御対象1の慣性モーメントを乗算した値と一致するように、モデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaを演算する。なお、p1refはprefの時間に関する1階微分を、p2refはprefの時間に関する2階微分を表しており、以後各記号の右上にある内の数値は時間に関する微分の回数を表す。そして、制振フィルタ121は、モデル位置paとモデル速度vaとをフィードバック制御部112へ出力し、モデルトルクτaをトルク加算器113へ出力する。モデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaを演算する方法については後述する。次にフィードバック制御部112の内部構成について説明する。フィードバック制御部112は、位置制御器131、速度演算器133、及び速度制御器132を有する。位置制御器131は、フィードフォワード制御部111から出力されたモデル位置paを受けるとともに、検出器2からフィードバックされたモータ動作検出値pMを受ける。位置制御器131は、モータ動作検出値pMがモデル位置paに追従するように速度指令vuを計算する。位置制御器131は、計算した速度指令vuを速度制御器132へ出力する。例えば、位置制御器131が比例制御の場合、位置比例ゲインをKpとして、式1の演算を行い、その結果を速度指令vuとして出力する。vu=Kp×pa-pM1速度演算器133は、検出器2より検出されたモータ動作検出値pMを受ける。速度演算器133は、受けたモータ動作検出値pMに対して差分やフィルタ処理等を行い、モータ速度演算値vMを計算する。速度演算器133は、計算したモータ速度演算値vMを速度制御器132へ出力する。速度制御器132は、フィードフォワード制御部111から出力されたモデル速度vaを受け、位置制御器131から出力された速度指令vuを受け、速度演算器133から出力されたモータ速度演算値vMを受ける。速度制御器132は、モータ速度演算値vMをモデル速度vaに追従させるように、すなわちモータ速度演算値vMがモデル速度vaと速度指令vuとの和に一致するように速度PI制御などの演算によりフィードバックトルクτBを計算する。速度制御器132は、計算したフィードバックトルクτBをトルク加算器113へ出力する。速度制御器132における計算処理の例として、式2のようにPI制御とフィルタとの組み合わせがある。ここでsはラプラス演算子、Kvは速度比例ゲイン、Kiは速度積分ゲインである。フィルタHsは速度制御器132の速度比例ゲイン、速度積分ゲインで決まる制御帯域よりも高い周波数において所定の周波数成分を除去するもので、ローパスフィルタやノッチフィルタと呼ばれるものを用いる。τB=Hs×Kv×sKi/s×vuva-vM2これに応じて、トルク加算器113は、フィードバック制御器112で計算されたフィードバックトルクτBとフィードフォワード制御部111で計算されたモデルトルクτaを加算し、トルク指令τMを計算する。そして、トルク加算器113は、電流制御器4にトルク指令τMを出力する。これにより、制御対象1にあるモータ1aを駆動し、モータ動作検出値pMを動作目標値prefに追従させ、制御対象1に所望の動作を行わせることになる。次に、制振フィルタ121の動作モデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaの演算方法について詳細に説明する。本実施の形態では、図2に示すように制御対象1の特性機械位置特性、機械速度特性をモータ1aがバネ振動可能要素1bを介して機械負荷1cを駆動する2慣性系モデルで表せるものとして説明する。また本実施の形態では、バネ1bのバネ定数が動作中に変化するとする。図2の2慣性系モデルの運動方程式は式3、4で表すことができる。JM×p2M=-km×pM-pLτM3JL×p2L=km×pM-pL4式3、4において、pMはモータ位置例えば、モータ1a内におけるロータの回転位置又は可動子の駆動位置、vMはモータ速度例えば、モータ1a内におけるロータの回転速度又は可動子の駆動速度、pLは機械位置機械負荷1cの位置、JMはモータ1aの慣性モーメント、JLは機械負荷1cの慣性モーメント、τMはモータトルク例えば、モータ1a内におけるロータ又は可動子に作用するトルク、kmはバネ定数を表す。また以後の説明ではvM:P1Mと定義するモータ速度、vL:P1Lと定義する機械速度も用いる。なお、式3、4と図1とにおいて、モータ位置はモータ動作検出値、モータ速度はモータ速度演算値、モータトルクはトルク指令に相当する。このため、本実施の形態では、モータ位置とモータ動作検出値、モータ速度とモータ速度演算値、モータトルクとトルク指令は、同じ記号を用いて表し、それぞれpM、vM、τMとする。また、本実施の形態では、バネ定数kmは固定値ではなく動作中に変化し、それに応じ式5、6で表される2慣性系モデルの共振周波数ωp、反共振周波数ωzも動作中に変化する。ωp=√km×1/JL1/JM5ωz=√km/JL6このようなバネ定数kmが動作中に変化する2慣性系でモデル化ができる機械装置としては、例えば、図3aに示すようなz軸アーム1b1のアーム長が変化する直交2軸x-yロボットや、図4に示すようなロープ1b2のロープ長が変化するクレーンなどが挙げられる。図3aに示す直交2軸x-yロボットでは、x軸モータ1a1及びz軸モータ1a11によりそれぞれ2つのアームすなわちx軸アーム1d1及びz軸アーム1b1が駆動される。x軸アーム1d1をx軸方向に駆動させると、z軸アーム1b1全体がx軸方向へ移動する。また、z軸アーム1b1を駆動させるとz軸方向に負荷1c1が移動する構成になっている。このような直交2軸ロボットでは、x軸方向に負荷1c1を高速駆動させると振動が発生する。その振動特性を表したのが図3b、cのボード線図である。図3b、cのボード線図を見ると、z軸アーム1b1が短い場合と長い場合の両方において、ゲイン特性が山になっている共振特性と、ゲイン特性が谷になっている反共振特性とがあることがわかる。このような共振特性、反共振特性は式3、4で表される2慣性系モデルを用いて表されることは既に良く知られている。なお、図3b、cのボード線図では、z軸アーム1b1の長さが短い場合のx軸方向のゲイン特性が破線で示され、z軸アーム1b1の長さが長い場合のx軸方向のゲイン特性が実線で示されている。また、直交2軸ロボットの場合、図3b、cのボード線図に示されるように、負荷1c1をx軸方向に駆動させたときの振動周波数が、z軸方向のアーム長に依存する。図3b、cに示すような特性の場合、z軸アーム1b1のアーム長が長い場合は、x軸方向に駆動させたときの負荷1c1による振動周波数が低く、z軸アーム1b1のアーム長が短い場合は、x軸方向に駆動させたときの負荷1c1による振動周波数が高い。つまり、x軸アーム1d1及びz軸アーム1b1の両方を同時に駆動させた場合、負荷1c1による振動特性共振、反共振特性は時間により変化する。このように共振、反共振特性が時間により変化する場合、直交2軸ロボットの特性を、式3、4で表されるばね定数kmが時間変化する2慣性系モデルを用いて表すことが可能である。図4で表されるロープ長が変化するクレーンの場合は、モータ1a2によりスライダ1d2を駆動させることでロープ1b2を介して負荷1c2が水平方向に移動し、ロープ1b2の巻き上げ、巻き下げにより負荷1c2が垂直方向に移動する。この場合、スライダ1d2による水平方向の駆動が上記の直交2軸ロボットにおけるx軸アーム1d1の駆動に対応し、ロープ1b2の巻き上げ及び巻き下げがz軸アーム1b1の駆動に対応する。すなわち、ロープ1b2の長さにより、スライダ1d2を駆動させたときの負荷1c2の振動周波数が異なる。このようにロープ1b2の長さにより振動周波数が異なるが、この場合も、式3、4で表されるばね定数kmが時間変化する2慣性系モデルで表すことが可能である。なお、ここで説明したものは制御対象1の一例であり、図2に示す2慣性系モデルで表すことが可能であればどのような制御対象でも良い。また、制御対象1の運動方程式又は、動特性は、式3、4で表されるものに限定されるものではない。次に、フィードフォワード制御部111の内部構成の詳細について図5を用いて説明する。図5は、フィードフォワード制御部111の内部構成を示すブロック図である。制振パラメータ決定部122は、生成部122aを有する。生成部122aは、制御対象1の振動特性に関連した制御対象1の現在の状態を表すパラメータ変更信号状態情報MLを受ける。パラメータ変更信号MLは、例えば、図3に示すアーム長が変化する直交2軸x-yロボットにおけるz軸モータ1a11の回転位置に応じた負荷の位置を決めるz軸アーム1b1の長さアーム長を含む。あるいは、パラメータ変更信号MLは、例えば、図4に示すクレーンにおけるロープ1b2の長さロープ長を含む。生成部122aは、パラメータ変更信号MLに応じて、制御対象1の現在の振動特性を表す制振パラメータ第1のパラメータθを生成して制振パラメータフィルタ123及び制振フィルタ121へ出力する。制振パラメータ信号θは、例えば、共振周波数ωpや反共振周波数ωzを含む。制振パラメータ信号θは、さらに、負荷慣性モーメント、バネ定数km、ロープ長などを含んでも良い。制振パラメータ決定部122は、記憶部122bをさらに有しても良い。記憶部122bは、パラメータ変更信号MLの複数の値と制振パラメータ信号θの複数の値とが対応付けられた共振反共振テーブル122b1を記憶する。例えば、パラメータ変更信号MLの複数の値と制振パラメータ信号θの複数の値との対応を予め実験的に求めておき、共振反共振テーブル122b1として記憶部122bに予め記憶しておいても良い。共振反共振テーブル122b1は、例えば、図6に示すように、パラメータ変更信号アーム長MLと共振周波数ωp及び反共振周波数ωzとが複数対応付けられたテーブルである。この場合、生成部122aは、記憶部122bに記憶された共振反共振テーブル122b1を逐次参照することにより、検出部3図1参照から受けたパラメータ変更信号アーム長MLに対応する制振パラメータ信号θすなわち共振周波数ωpや反共振周波数ωzを決定して生成する。なお、記憶部122bは、共振反共振テーブル122b1に代えて、パラメータ変更信号MLの値と制振パラメータ信号θの値との関係を示す関数を記憶しても良い。この場合、生成部122aは、記憶部122bに記憶された関数を逐次参照することにより、検出部3図1参照から受けたパラメータ変更信号アーム長MLに対応する制振パラメータ信号θすなわち共振周波数ωpや反共振周波数ωzを決定して生成する。制振パラメータフィルタ第1の演算部123は、制振パラメータ信号θすなわち共振周波数ωpや反共振周波数ωzを制振パラメータ決定部122から受ける。制振パラメータフィルタ123は、制振パラメータ信号θの時間変化量に応じた制振パラメータ変分信号第2のパラメータθ’を演算する。制振パラメータ変分信号θ’は、制振パラメータ信号θの時間変化量に相当するように演算された量であり、制御対象1の振動特性変化を表す。例えば、制振パラメータ変分信号θ’は、制振パラメータ信号θに対し微分、差分、微分平均化フィルタ、ハイパスフィルタなどを用いて演算される。また、制振パラメータ信号θが共振反共振テーブル122b1により記憶されている場合は、予め制振パラメータ信号θの変分量を計算しておき、計算した変分量とパラメータ変更信号MLの時間微分との積から制振パラメータ変分信号θ’を求めてもよい。例えば、制振パラメータフィルタ123は、微分器123a及び微分器123bを有する。微分器123aは、共振周波数ωpや反共振周波数ωzを生成部122aから受ける。微分器123aは、共振周波数ωpや反共振周波数ωzに対して時間的に1階微分を行い、その結果を微分値ω1p、ω1zとして微分器123b及び制振フィルタ121へ出力する。微分器123bは、微分値ω1p、ω1zを微分器123aから受け、微分値ω1pに対してさらに時間的に1階微分を行い、その結果を2階微分値ω2pとして制振フィルタ121へ出力する。制振フィルタ121第2の演算部は、位置演算部121a、速度演算部121b、及びトルク演算部121cを有する。位置演算部121aは、モデル位置演算部141を有する。モデル位置演算部141は、動作目標値prefを外部から受け、反共振周波数ωzを制振パラメータ決定部122から受ける。モデル位置演算部141は、動作目標値prefと反共振周波数ωzとを用いて、後述の数式8に示すようにモデル位置paを演算してフィードバック制御部112図1参照へ出力する。速度演算部121bは、モデル速度演算部142を有する。モデル速度演算部142は、動作目標値prefを外部から受け、反共振周波数ωzを制振パラメータ決定部122の生成部122aから受け、反共振周波数の1階微分値ω1zを制振パラメータフィルタ123の微分器123aから受ける。モデル速度演算部142は、動作目標値prefと反共振周波数ωzと反共振周波数の1階微分値ω1zとを用いて、後述の数式10に示すようにモデル速度vaを演算してフィードバック制御部112図1参照へ出力する。トルク演算部121cは、モデル加速度演算部143及び慣性モーメント乗算部144を有する。モデル加速度演算部143は、動作目標値prefを外部から受け、共振周波数ωpを制振パラメータ決定部122の生成部122aから受ける。また、モデル加速度演算部143は、共振周波数の1階微分値ω1pを制振パラメータフィルタ123の微分器123aから受け、共振周波数の2階微分値ω2pを制振パラメータフィルタ123の微分器123bから受ける。モデル加速度演算部143は、動作目標値prefと共振周波数ωpと共振周波数の1階微分値ω1pと共振周波数の2階微分値ω2pとを用いて、後述の数式13に示すようにモデル加速度aaを演算して慣性モーメント乗算部144へ出力する。慣性モーメント乗算部144は、モデル加速度aaをモデル加速度演算部143から受ける。慣性モーメント乗算部144は、モデル加速度aaを用いて、後述の数式14に示すようにモデルトルクτaを演算してトルク加算器113図1参照へ出力する。なお、共振周波数ωp、反共振周波数ωzが図1の制振パラメータθに相当し、共振周波数の1階微分値ω1p、2階微分値ω2p、反共振周波数の1階微分値ω1zが図1の制振パラメータ変分信号θ’に相当する。次に、制振フィルタ121内部の具体的な動作について説明する。制振フィルタ121のモデル位置演算部141は、反共振周波数ωz制振パラメータ信号θと動作目標値prefとを用いて機械位置pLが動作目標値prefに一致するようモータ1aを動作させたときのモータ位置pMを演算し、その演算結果をモデル位置paとしてフィードバック制御部112図1参照へ出力する。このように演算されたモデル位置paにモータ動作検出値pMを一致させることにより、動作中に共振反共振周波数が変化する制御対象1に対しても制御対象1の機械位置を動作目標値prefに一致させることができ、結果的に振動を抑制することが可能となる。また、モデル位置paは定常的に動作目標値prefと一致するよう計算されるため、モータ動作検出値pMも動作目標値prefに追従させやすい。モータトルクτMから機械位置pLまでの特性を2慣性系モデルで表した場合について詳細に説明すると、機械位置pLを動作目標値prefに一致させたときのモータ位置pMは式4、6より1/ωz2×p2refpref=pM7と演算することが可能である。従って、モデル位置演算部141は、下記の式8を用いてモデル位置paを演算する。つまり、モデル位置paは、動作目標値の2階微分値p2refに反共振周波数ωzの2乗分の1を乗じた値と動作目標値prefとの和となる。pa=1/ωz2×p2refpref8まとめると、モデル位置演算部141は、動作目標値prefと制振パラメータθに相当する反共振周波数ωzとを用いて、式8によりモデル位置paを演算し、演算したモデル位置paをフィードバック制御部112へ出力する。制振フィルタ121のモデル速度演算部142は、反共振周波数ωz制振パラメータ信号θとその1階微分値ω1z制振パラメータ変分信号θ’とを用いて、式4により、機械速度vLが動作目標値の1階微分値p1refに一致しているときのモータ速度vMを演算し、その演算結果をモデル速度vaとしてフィードバック制御部112へ出力する。このように演算されたモデル速度vaにモータ速度演算値vMを追従させることにより、動作中に共振反共振周波数が変化する制御対象1に対しても制御対象1における機械速度機械負荷1cの移動速度を動作目標値の1階微分値p1refに偏差なく追従させることが可能である。実際に数式を用いて説明すると、機械速度vLが動作目標値の1階微分値p1refに一致しているときのモータ速度vMは、反共振周波数ωzも時間変化することを考慮し、式7の両辺を時間に関して微分することにより、1/ωz2×p3refp1ref-2×ω1z/ωz3×p2ref=p1M=vM9と求められる。従ってモデル速度演算部142は、下記の式10を用いてモデル速度vaを演算する。そして演算したモデル速度vaをフィードバック制御部112へ出力する。つまり、モデル速度演算部142は、動作目標値の3階微分値p3refに反共振周波数ωzの2乗分の1を掛けた値と、動作目標値の2階微分値p2refと反共振周波数の1階微分値ω1zとの積を2倍した値に反共振周波数ωzの3乗分の1を掛けた値との差に、動作目標値の1階微分p1refを加算した値を、モデル速度vaとしてフィードバック制御部112へ出力する。va=1/ωz2×p3refp1ref-2×ω1z/ωz3×p2ref10数式10において、ωzは、制振パラメータ決定部122から得られる値である。ω1zは、制振パラメータフィルタ123が制振パラメータ決定部122からωzを得て微分または差分等の演算し、制振フィルタ121へ出力する値である。式10より、共振周波数が変動する制御対象1では、機械速度vLが動作目標値の1階微分値p1refに一致するよう、モータ速度vMに相当するモデル速度vaを演算するには、反共振周波数ωzのみならず、反共振周波数の1階微分値ω1zも必要な情報であることがわかる。モデル加速度演算部143と慣性モーメント乗算部144とは、共振周波数ωp制振パラメータ信号θとその1階微分値ω1p、2階微分値ω2p制振パラメータ変分信号θ’とを用いて、動作目標値prefからモデルトルクτaまでの特性をモータトルクτMから機械位置pLまでの特性の逆特性とするように、モデルトルクτaを演算する。慣性モーメント乗算部144は、演算したモデルトルクτaをトルク加算器113へ出力する。このようにモデルトルクτaを演算することにより、摩擦やモデル誤差等の外乱がなければ制御対象1の機械位置を動作目標値prefに偏差なく追従させることが可能となる。その結果、振動を抑制することも可能となる。次に、数式を用いてモデル加速度演算部143と慣性モーメント乗算部144の動作を説明する。まず、式4の両辺を共振周波数ωpも時間変化することも考慮し、時間に関して1階、2階微分の計算を行う。そして、計算した式と式4そのものを式3に代入して、モータトルクτMから機械位置pLまでの動特性を求めると式11となる。1/ωp2×p4L-4×ω1p/ωp3×p3L-2×ω2p/ωp26×ω1p2/ωp4×p2Lp2L=1/JMJL×τM11式11より、共振周波数ωpが変動する制御対象1では、その動特性が共振周波数ωpのみならず、共振周波数の1階微分値ω1p、2階微分値ω2pにも影響されるため、制御対象1の動特性を完全に補償するためには、共振周波数ωpだけでなく、共振周波数の1階微分値ω1p、2階微分値ω2pも必要な情報であることがわかる。そして、動作目標値prefからモデルトルクτaまでの特性をモータトルクτMから機械位置pLまでの特性の逆特性にすれば、動作目標値prefに制御対象の機械位置を偏差なく追従させることができるとともに、モータトルクτMから機械位置pLまで動特性が式11となることから、モデルトルクτaが式12となるように演算する。τa=JMJL×{1/ωp2×p4ref-4×ωp1/ωp3×p3ref-2×ω2p/ωp26×ω1p2/ωp4×p2refp2ref}12したがって、モデル加速度演算部143は、動作目標値prefと、共振周波数ωpと、その1階微分値ω1p、2階微分値ω2pとを用いて、下記の式13によりモデル加速度aaを演算する。モデル加速度演算部143は、演算したモデル加速度aaを慣性モーメント乗算部144へ出力する。慣性モーメント乗算部144は、モデル加速度aaを用いて、下記の式14によりモデルトルクτaを演算する。慣性モーメント乗算部144は、演算したモデルトルクτaをトルク加算器113へ出力する。aa=1/ωp2×p4ref-4×ωp1/ωp3×p3ref-2×ω2p/ωp26×ω1p2/ωp4×p2refp2ref13τa=JMJL×aa14式13において、ωpは、制振パラメータ決定部122から得る制振パラメータ信号θである。ω1p、ω2pは、制振パラメータフィルタ123が制振パラメータ決定部122からωpを得て演算し、制振フィルタ121へ出力する制振パラメータ変分信号θ’である。このように、モデル加速度演算部143が式13を用い、慣性モーメント乗算部144が式14を用いて、モデルトルクτaを演算することにより、摩擦やモデル誤差などの外乱がない場合、機械位置pLを動作目標値prefへ偏差なく追従させることが可能となる。以上のように、実施の形態1では、モータ制御装置100において、制御対象1の振動特性変化に応じて、制振パラメータ決定部122と制振パラメータフィルタ123とが、フィードフォワード制御部111の特性を変化させる。すなわち、制振パラメータ決定部122の生成部122aは、制御対象1の振動特性に関連した制御対象1の現在の状態を表すパラメータ変更信号MLに応じて、制御対象1の振動特性を表す制振パラメータ信号θを生成する。制振パラメータフィルタ123は、生成部122aにより生成された制振パラメータ信号θの時間変化量に応じた制振パラメータ変分信号θ’を演算する。制振フィルタ121は、動作目標値prefと制振パラメータ信号θと制振パラメータ変分信号θ’とを用いて、制御対象1が振動を励起しないようにモデルトルクτaを演算する。すなわち、制振パラメータ信号θは、制御対象1の振動周波数を含み、制振パラメータ変分信号θ’は、制御対象1の振動周波数の時間変化量を含む。このように、制振パラメータ信号振動周波数だけではなく、制振パラメータ変分信号振動周波数の時間変化量も用いてモデルトルクτaを演算するので、振動特性のみならず振動特性の変化率も考慮してフィードフォワード制御を行うことができる。これにより、動作中に振動特性が変化する制御対象に対しても振動抑制制御における高応答化低振動化が実現できる。すなわち、動作中に振動特性が変化する制御対象1を動作させる際の振動抑制効果をさらに向上できる。また、実施の形態1では、制振フィルタ121が、動作目標値prefと制振パラメータ信号θと制振パラメータ変分信号θ’とを用いて、制御対象1を振動させないようにモデル速度vaを演算する。速度制御器132は、制御対象1の速度が制振フィルタ121により演算されたモデル速度vaに追従するように、フィードバックトルクτBを発生させる。これにより、動作中の振動特性が変化する制御対象1に対し外乱が印加される状況においても高い振動抑制効果を得ることができる。さらに、実施の形態1では、制振フィルタ121が、動作目標値prefと制振パラメータ信号θと制振パラメータ変分信号θ’とを用いて、制御対象1が振動を励起しないようにモデル位置paを演算する。位置制御器131は、制御対象1の位置が制振フィルタ121により演算されたモデル位置paに追従するように、フィードバックトルクτBを発生させる。これにより、動作中の振動特性が変化する制御対象1に対し外乱が印加される状況においても高い振動抑制効果を得ることができる。さらに、実施の形態1では、制振フィルタ121の演算に使用する制振パラメータθ振動周波数は、検出器3により検出された制御対象1の特性から簡単に演算又は決定できるものなので、制振フィルタ121の係数すなわち、制振パラメータθを決定する際にシミュレーションを繰り返し行う必要がなく、制振パラメータθの決定を簡単に短時間で行うことができる。例えば、制振パラメータ決定部122の記憶部122bは、パラメータ変更信号MLの複数の値と制振パラメータ信号θの複数の値とが対応付けられた共振反共振テーブル122b1を記憶する。生成部122aは、記憶部122bに記憶された共振反共振テーブル122b1を参照することにより、受けたパラメータ変更信号MLに対応する制振パラメータ信号θを生成する。これにより、制振パラメータθの決定を簡単に短時間で行うことが容易である。あるいは、例えば、制振パラメータ決定部122の記憶部122bは、パラメータ変更信号MLの値と制振パラメータ信号θの値との関係を示す関数を記憶する。生成部122aは、記憶部122bに記憶された関数を参照することにより、受けたパラメータ変更信号MLに対応する制振パラメータ信号θを生成する。これにより、制振パラメータθの決定を簡単に短時間で行うことが容易である。また、実施の形態1では、制振パラメータフィルタ123が、制振パラメータ信号θの1階微分及び2階微分を行うことにより制振パラメータ変分信号θ’を演算する。これにより、制振パラメータ変分信号θ’を簡易に短時間で演算することができる。また、実施の形態1では、制御対象1が図3に示す直交2軸x-yロボットである場合に、制御対象1が複数のモータすなわちx軸モータ1a1及びz軸モータ1a11を含む。制振パラメータ決定部122の生成部122aが受けるパラメータ変更信号MLは、複数のモータx軸モータ1a1及びz軸モータ1a11のうちモータ制御装置100により制御されていないz軸モータ1a11の位置回転位置に応じたz軸アーム振動可能要素1b1の状態アーム長を含む。これにより、複数のモータを有した制御対象における1つのモータを制御中に他のモータの位置に応じて制御対象の振動周波数が変化する場合でも、制御対象1を動作させる際の振動抑制における精度を向上できる。また、実施の形態1では、制振フィルタ121が、動作目標値prefからモデルトルクτaまでの特性がトルク指令モータトルクτMから制御対象1の位置までの特性の逆特性となるように、モデルトルクτaを演算する。これにより、制御対象1の機械位置を動作目標値prefに偏差なく追従させることができる。また、実施の形態1では、制振フィルタ121が、制御対象1の速度が動作目標値prefに応じた速度に追従しているときのモータ速度vMをモデル速度vaとして演算する。これにより、制御対象1の速度をモデル速度vaに偏差なく追従させることができる。また、実施の形態1では、制振フィルタ121が、制御対象1の位置が動作目標値prefに応じた位置に追従しているときのモータ位置pMを推定してモデル位置paとして演算する。これにより、制御対象1の機械位置を動作目標値prefに偏差なく追従させることができる。なお、本実施の形態では、制御対象1としてバネ定数が可変である2慣性系モデルを用いたが、これ以外の制御対象においても、本実施の形態は適用可能である。例えば、慣性モーメントが動作中に変化する制御対象や、ダンパなどの減衰が存在する制御対象であっても良い。また、本実施の形態では、共振周波数、反共振周波数とそれらの微分を逐次変更していたが、バネ定数をテーブル等から参照し、その値に基づき共振周波数、反共振周波数を計算して制振フィルタ121へ出力してもよい。また、本実施の形態では、モータ制御装置100の外部すなわち検出器3からパラメータ変更信号MLを受け取り、これに応じて制振パラメータ信号θ、制振パラメータ変分信号θ’を変更していたが、モータ制御装置100は、制振パラメータ信号θを外部から受けても良い。この場合、モータ制御装置100は、受けた制振パラメータ信号θに応じて、制振パラメータ変分信号θ’を計算しても良い。あるいは、モータ制御装置100は、制振パラメータ信号θと制振パラメータ変分信号θ’との両方を外部から受けても良い。また、本実施の形態では、位置制御器131はP制御、速度制御器132はPI制御とフィルタとを行う構成としているが、これらは、PID制御、H∞制御、μ制御、適応制御、スライディングモード制御のような制御器であっても良い。実施の形態2.次に、実施の形態2にかかるモータ制御装置200について説明する。以下では、実施の形態1と異なる点を中心に説明する。本実施の形態のモータ制御装置200と実施の形態1のモータ制御装置100との差異は、制振フィルタにおける処理内容モデル位置、モデル速度、モデルトルクの演算方法にある。すなわち、共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが略等しいωp≒ωz場合、動作目標値prefから制振パラメータ信号θに対応する周波数成分を取り除いた動作補償信号モデル位置paを生成し、生成した動作補償信号の1階微分、2階微分を行ってモデル速度va、モデルトルクτaを演算する。具体的には、モータ制御装置200は、図7に示すようなフィードフォワード制御部211を備える。図7は、実施の形態2におけるフィードフォワード制御部211の内部構成を示すブロック図である。フィードフォワード制御部211は、制振パラメータフィルタ123を有せず、制振パラメータ決定部222及び制振フィルタ221を有する。制振パラメータ決定部222は、生成部222aを有する。生成部222aは、パラメータ変更信号MLに応じて、反共振周波数ωzをパラメータ変更信号θとして制振フィルタ221へ出力するが、共振周波数ωpを出力しない。この場合、制振パラメータ決定部222の記憶部122bには、共振反共振テーブル122b1における共振周波数の欄が省略された構成のテーブル反共振テーブルが記憶されていても良い。制振フィルタ221は、補償信号生成部第2の生成部221a、変化量演算部第1の演算部221b、及びトルク演算部第2の演算部221cを有する。補償信号生成部221aは、動作目標値prefからパラメータ変更信号θ反共振周波数ωzに対応する周波数成分を取り除いた動作補償信号モデル位置paを生成する。具体的には、補償信号生成部221aは、モデル位置演算部241を有する。モデル位置演算部241は、動作目標値prefを外部から受け、制振パラメータ信号θに相当する反共振周波数ωzを制振パラメータ決定部222の生成部222aから受ける。モデル位置演算部241は、式8により、動作目標値prefから反共振周波数ωzに対応した成分を取り除き、取り除いた信号をモデル位置paとしてフィードバック制御部112及び変化量演算部221bへ出力する。変化量演算部221bは、補償信号生成部221aにより生成された動作補償信号モデル位置paを時間的に1、2階微分した値を、制振パラメータ信号θの時間変化量に応じたパラメータ第2のパラメータとして演算する。具体的には、変化量演算部221bは、モデル位置微分器245及びモデル速度微分器246を有する。モデル位置微分器245は、動作補償信号モデル位置paをモデル位置演算部241から受けて、その1階微分値p1aを演算する。このとき、モデル位置微分器245は、式7~式10に示されるように、補償信号生成部221aにより生成された動作補償信号モデル位置paを時間的に1階微分することにより、制御対象1が振動を励起しないようにモデル速度vaを演算する。モデル位置微分器245は、演算した結果をモデル速度vaとしてフィードバック制御部112及びモデル速度微分器246へ出力する。モデル速度微分器246は、モデル速度vaをモデル位置微分器245から受けて、その1階微分値v1aを演算する。モデル速度微分器246は、その演算結果を、動作補償信号モデル位置paを時間的に2階微分した値としてトルク演算部221cへ出力する。トルク演算部221cは、動作目標値prefと制振パラメータ第1のパラータθと動作補償信号の2階微分値第2のパラメータv1aとに応じて、制御対象1が振動を励起しないようにモデルトルクτaを演算する。具体的には、トルク演算部221cは、慣性モーメント乗算部244を有する。慣性モーメント乗算部244は、動作補償信号の2階微分値モデル速度の1階微分値v1aをモデル速度微分器246から受ける。動作補償信号の2階微分値は、後述の式15に示されるように、動作目標値prefと制振パラメータθ反共振周波数ωzとを含む。すなわち、慣性モーメント乗算部244は、動作目標値prefと制振パラメータ第1のパラータθとを含む動作補償信号の2階微分値v1aに、共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが同じωp=ωzという関係を適用し、さらに慣性モーメントJMJLを乗算することにより、モデルトルクτaを求める。慣性モーメント乗算部244は、求めたモデルトルクτaをトルク加算器113へ出力する。次に、制振フィルタ221の具体的な動作について図7を用いて説明する。モデル位置演算部241は、外部から入力された動作目標値prefと制振パラメータ決定部122から入力された反共振周波数ωzに基づき、動作目標値prefから反共振周波数ωzに対応した成分を取り除いたモデル位置paを式8により演算する。そして、モデル位置演算部241は、演算したモデル位置paをモデル位置微分器245及びフィードバック制御器112へ出力する。モデル位置微分器245は、モデル位置paを受けて、その1階微分値を演算し、演算した結果をモデル速度vaとしてモデル速度微分器246及びフィードバック制御器112へ出力する。つまり、モデル位置微分器245は、モデル位置paの1階微分を直接演算することで、式10で表されるモデル速度vaと同等の信号を求めてモデル速度微分器246及びフィードバック制御器112へ出力する。モデル速度微分器246は、モデル位置微分器245からモデル速度vaを受けて、モデル速度の1階微分値v1aを演算し、その演算結果を慣性モーメント乗算部244へ出力する。つまり、モデル速度微分器246は、モデル速度vaの1階微分を直接演算することで、下記の式15と同等の信号を求めて慣性モーメント乗算部244へ出力する。v1a=1/ωz2×p4ref-4×ωz1/ωz3×p3ref-2×ω2z/ωz36×ω1z2/ωz4×p2refp2ref15慣性モーメント乗算部244は、モデル速度微分器246の出力v1aに慣性モーメントJMJLを乗算し、その積をモデルトルクτaとしてトルク加算器113に出力する。すなわち、共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが略等しいωp≒ωz場合、慣性モーメント乗算部244の出力は、実施の形態1の式12を用いて演算されるモデルトルクτaにおいて、共振周波数ωpと反共振周波数ωzを同じωp=ωzとした場合のモデルトルクτaと一致する。このように、共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが略等しいωp≒ωz場合は、実施の形態1の制振フィルタ121が出力するモデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaと、本実施の形態の制振フィルタ221が出力するモデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaとは、その演算方法が異なるだけであり、値としては同じになる。したがって、制振フィルタ221は、図3に示す直交2軸ロボットのように共振周波数ωpと反共振周波数ωzが近いωp≒ωz制御対象に対しては、実施の形態1と同等の効果が、簡単な演算で得ることが可能となる。制振フィルタ221において、反共振周波数ωzの1階微分ω1z、2階微分ω2zを利用せずに実施の形態1と同等の効果が出せる要因は、動作目標値prefから反共振周波数ωzを利用して、反共振周波数ωzに対応した成分を取り除いた後の信号であるモデル位置paを微分する構造演算順序にある。モデル位置微分器245が動作目標値prefから反共振周波数ωzに対応する成分を取り除いた後の信号であるモデル位置paを1階微分することにより、実施の形態1における制振パラメータ変分信号θ’に相当する反共振周波数の1階微分値ω1zを演算し、補償している。同様にモデル速度微分器246がモデル速度vaを1階微分してモデル位置paの2階微分値を求めることにより、実施の形態1における制振パラメータ変分信号θ’に相当する反共振周波数の2階微分値ω2zを演算し、補償している。このように、制振フィルタ221では、制振フィルタ121の内部で制振パラメータ変分信号θ’に相当する反共振周波数の微分ω1z、2階微分ω2zを演算する構成になっているため、実施の形態1の制振フィルタ121と同等の効果を、制振パラメータ変分信号θ’自体を利用しなくても得られるのである。以上のように、実施の形態2によれば、制御対象1の共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが略等しいωp≒ωz場合に、制振パラメータ変分信号θ自体を利用生成せずに、制振パラメータ変分信号θに相当するパラメータ動作補償信号の1階微分値、2階微分値を利用生成して、実施の形態1と同等のモデル速度va、モデルトルクτaを演算することができる。実施の形態3.次に、実施の形態3にかかるモータ制御装置300について説明する。以下では、実施の形態1と異なる点を中心に説明する。本実施の形態のモータ制御装置300と実施の形態1のモータ制御装置100との差異は、制振フィルタにおける処理内容モデル位置、モデル速度、モデルトルクの演算方法にある。すなわち、制御対象1の共振周波数ωp、反共振周波数ωzが異なる場合においても、動作目標値prefから制振パラメータ信号θに対応する周波数成分を取り除いた動作補償信号モデル位置pa、共振周波数補償信号pcpを生成し、生成した動作補償信号モデル位置paの1階微分を行ってモデル速度vaを演算するとともに、動作補償信号共振周波数補償信号pcpの2階微分を行ってモデルトルクτaを演算する。具体的には、モータ制御装置300は、図8に示すようなフィードフォワード制御部311を備える。図8は、実施の形態3におけるフィードフォワード制御部311の内部構成を示すブロック図である。フィードフォワード制御部311は、制振パラメータフィルタ123を有せず、制振パラメータ決定部322及び制振フィルタ321を有する。制振パラメータ決定部322は、生成部322aを有する。生成部322aは、パラメータ変更信号MLに応じて、共振周波数ωp及び反共振周波数ωzをパラメータ変更信号θとして制振フィルタ321へ出力する。制振フィルタ321は、補償信号生成部第2の生成部321a、速度演算部321d、変化量演算部第1の演算部321b、及びトルク演算部第2の演算部321cを有する。補償信号生成部321aは、動作目標値prefからパラメータ変更信号θ共振周波数ωpに対応する周波数成分を取り除いた動作補償信号共振周波数補償信号pcpを生成する。具体的には、補償信号生成部321aは、モデル位置演算部341及び共振補償信号演算部347を有する。モデル位置演算部341は、動作目標値prefを外部から受け、制振パラメータ信号θに相当する反共振周波数ωzを制振パラメータ決定部322の生成部322aから受ける。モデル位置演算部341は、式8により、動作目標値prefから反共振周波数ωzに対応した成分を取り除き、取り除いた信号をモデル位置paとしてフィードバック制御部112及び速度演算部321dへ出力する。共振補償信号演算部347は、動作目標値prefを外部から受け、制振パラメータ信号θに相当する共振周波数ωpを制振パラメータ決定部322の生成部322aから受ける。共振補償信号演算部347は、後述の式16により、動作目標値prefから共振周波数ωpに対応した成分を取り除き、取り除いた信号を共振補償信号pcpとして変化量演算部321bへ出力する。速度演算部321dは、モデル位置微分器345を有する。モデル位置微分器345は、動作目標値prefから反共振周波数成分を取り除いた信号であるモデル位置paをモデル位置演算部341から受ける。モデル位置微分器345は、モデル位置の1階微分値p1aを演算し、演算した結果をモデル速度vaとしてフィードバック制御部112へ出力する。変化量演算部321bは、補償信号生成部321aにより生成された動作補償信号共振周波数補償信号pcpを時間的に2階微分した値を、制振パラメータ信号θの時間変化量に応じたパラメータ第2のパラメータとして演算する。具体的には、変化量演算部321bは、共振補償信号微分器348及び共振補償信号2階微分器349を有する。共振補償信号微分器348は、共振補償信号pcpを共振補償信号演算部347から受けて、その1階微分値p1cpを演算し、演算結果を共振補償信号2階微分器349へ出力する。共振補償信号2階微分器349は、共振補償信号の1階微分値p1cpを共振補償信号微分器348から受けて、その1階微分値p2cpを演算する。共振補償信号2階微分器349は、その演算結果を、動作補償信号共振補償信号pcpを時間的に2階微分した値としてトルク演算部321cへ出力する。トルク演算部321cは、動作目標値prefと制振パラメータ第1のパラータθと動作補償信号の2階微分値第2のパラメータp2cpとに応じて、制御対象1が振動を励起しないようにモデルトルクτaを演算する。具体的には、トルク演算部321cは、慣性モーメント乗算部344を有する。慣性モーメント乗算部344は、動作補償信号の2階微分値共振補償信号の2階微分値p2cpを共振補償信号2階微分器349から受ける。動作補償信号の2階微分値は、後述の式18に示されるように、動作目標値prefと制振パラメータθ共振周波数ωpとを含む。すなわち、慣性モーメント乗算部344は、動作目標値prefと制振パラメータ第1のパラータθとを含む動作補償信号の2階微分値p2cpに、慣性モーメントJMJLを乗算することにより、モデルトルクτaを求める。慣性モーメント乗算部344は、求めたモデルトルクτaをトルク加算器113へ出力する。次に、制振フィルタ321の具体的な動作について図8を用いて説明する。モデル位置演算部341は、外部から入力された動作目標値prefと制振パラメータ決定部322から入力された反共振周波数ωzとに基づき、動作目標値prefから反共振周波数ωzに対応した成分を取り除いたモデル位置paを式8により計算する。そして、モデル位置演算部341は、演算したモデル位置paをモデル位置微分器345及びフィードバック制御器112へ出力する。モデル位置微分器345は、モデル位置paを受けて、その1階微分値p1aを演算し、演算した結果をモデル速度vaとしてフィードバック制御部112へ出力する。そのため、制振フィルタ321で演算するモデル位置pa及びモデル速度vaはそれぞれ式8及び式10で表される。一方、共振補償信号演算部347は、動作目標値prefを外部から受け、制振パラメータ信号θに相当する共振周波数ωpを制振パラメータ決定部322から受けて、下記の式16の演算により動作目標値prefから共振周波数成分を取り除き、演算した結果を共振補償信号pcpとして共振補償信号微分器348へ出力する。pcp=1/ωp2×p2refpref16共振補償信号微分器348は、共振補償信号pcpを共振補償信号演算部347から受けて、その1階微分値p1cpを演算し、演算した結果を共振補償信号2階微分器349へ出力する。すなわち、共振補償信号微分器348の出力は、式17で表される信号と等価である。p1cp=1/ωp2×p3ref-2×ω1p/ωp3×p2refp1ref17共振補償信号2階微分器349は、共振補償信号の1階微分値p1cpを共振補償信号微分器348から受けて、共振補償信号の微分を微分することで、共振補償信号の2階微分p2cpを演算し、演算した結果を慣性モーメント乗算部344へ出力する。すなわち、共振補償信号2階微分器349の出力は、式18で表される信号と等価である。p2cp=1/ωp2×p4ref-4×ωp1/ωp3×p3ref-2×ω2p/ωp36×ω1p2/ωp4×p2refp2ref18慣性モーメント乗算器344は、共振補償信号2階微分器349の出力である共振補償信号の2階微分値p2cpに慣性モーメントJMJLを乗算して、その積をモデルトルクτaとしてトルク加算器113に出力する。つまり、慣性モーメント乗算器344は、式12と同等の信号をトルク加算器113に出力する。このように、実施の形態1の制振フィルタ321が出力するモデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaと、本実施の形態の制振フィルタ321が出力するモデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaとは、その演算方法が異なるだけであり、値としては同じになる。したがって、制振フィルタ321は、共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが近いωp≒ωz制御対象に対しても、共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが異なるωp≠ωz制御対象に対しても、実施の形態1と同等の効果が、簡単な演算で得ることが可能となる。制振フィルタ321において、共振周波数ωpの1階微分ω1p、2階微分ω2pを利用せずに実施の形態1と同等の効果が出せる要因は、共振周波数ωpに対応した成分を取り除いた後の信号である共振補信号ω1pを微分することにより、実施の形態1における制振パラメータ変分信号θ’に相当する共振周波数の1階微分値ω1p、2階微分値ω2pを制振フィルタ321自身が演算する構成に成っているためである。以上のように、実施の形態3によれば、制御対象1の共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが略等しいωp≒ωz場合でも、制御対象1の共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが異なるωp≠ωz場合でも、制振パラメータ変分信号θ’自体を利用生成せずに、制振パラメータ変分信号θ’に相当するパラメータ動作補償信号の1階微分値、2階微分値を利用生成して、実施の形態1と同等のモデル速度va、モデルトルクτaを演算することができる。実施の形態4.次に、実施の形態4にかかるモータ制御装置400について説明する。以下では、実施の形態1と異なる点を中心に説明する。本実施の形態のモータ制御装置400と実施の形態1のモータ制御装置100との差異は、制振フィルタにおける処理内容モデル位置、モデル速度、モデルトルクの演算方法にある。すなわち、制御対象1の共振周波数ωp、反共振周波数ωzが異なる場合においても、動作目標値prefから制振パラメータ信号θに対応する周波数成分を取り除いた動作補償信号モデル位置paを生成し、生成した動作補償信号モデル位置paの1階微分及び2階微分を行ってそれぞれモデル速度va及びモデルトルクτaを演算する。具体的には、モータ制御装置400は、図9に示すようなフィードフォワード制御部411を備える。図9は、実施の形態4におけるフィードフォワード制御部411の内部構成を示すブロック図である。フィードフォワード制御部411は、制振パラメータフィルタ123を有せず、制振パラメータ決定部422及び制振フィルタ421を有する。制振パラメータ決定部422は、生成部422aを有する。生成部422aは、パラメータ変更信号MLに応じて、共振周波数ωp及び反共振周波数ωzをパラメータ変更信号θとして制振フィルタ421へ出力する。制振フィルタ421は、補償信号生成部第2の生成部421a、変化量演算部第1の演算部421b、及びトルク演算部第2の演算部421cを有する。補償信号生成部421aは、動作目標値prefからパラメータ変更信号θ反共振周波数ωzに対応する周波数成分を取り除いた動作補償信号モデル位置paを生成する。具体的には、補償信号生成部421aは、モデル位置演算部441を有する。モデル位置演算部441は、動作目標値prefを外部から受け、制振パラメータ信号θに相当する反共振周波数ωzを制振パラメータ決定部422の生成部422aから受ける。モデル位置演算部441は、式8により、動作目標値prefから反共振周波数ωzに対応した成分を取り除き、取り除いた信号をモデル位置paとしてフィードバック制御部112及び変化量演算部421bへ出力する。変化量演算部421bは、補償信号生成部421aにより生成された動作補償信号モデル位置paを時間的に2階微分した値を、制振パラメータ信号θの時間変化量に応じたパラメータ第2のパラメータとして演算する。具体的には、変化量演算部421bは、モデル位置微分器445及びモデル速度微分器446を有する。モデル位置微分器445は、動作補償信号モデル位置paをモデル位置演算部441から受けて、その1階微分値p1aを演算する。このとき、モデル位置微分器445は、式7~式10に示されるように、補償信号生成部421aにより生成された動作補償信号モデル位置paを時間的に1階微分することにより、制御対象1が振動を励起しないようにモデル速度vaを演算する。モデル位置微分器445は、演算した結果をモデル速度vaとしてフィードバック制御部112及びモデル速度微分器446へ出力する。モデル速度微分器446は、モデル速度vaをモデル位置微分器445から受けて、その1階微分値v1aを演算する。モデル速度微分器446は、その演算結果を、動作補償信号モデル位置paを時間的に2階微分した値としてトルク演算部421cへ出力する。トルク演算部421cは、動作目標値prefと制振パラメータ第1のパラータθと動作補償信号の2階微分値第2のパラメータv1aとに応じて、制御対象1が振動を励起しないようにモデルトルクτaを演算する。具体的には、トルク演算部421cは、目標値微分器4410、目標値2階微分器4411、モデルトルク減算部4412、モデルトルク補償部4413、モデルトルク加算器4414、及び慣性モーメント乗算部444を有する。目標値微分器4410は、動作目標値prefを外部から受けて、動作目標値の1階微分値p1refを演算して、演算した結果を目標値2階微分器4411へ出力する。目標値2階微分器4411は、動作目標値の1階微分値p1refを目標値微分器4410から受けて、その1階微分値を演算して、演算した結果を動作目標値の2階微分値p2refとしてモデルトルク減算器4412及びモデルトルク加算器4414へ出力する。モデルトルク減算器4412は、動作目標値の2階微分値p2refを目標値2階微分器4411から受け、モデル速度vaの1階微分値v1aをモデル速度微分器446から受ける。モデルトルク減算器4412は、モデル速度vaの1階微分値v1aから動作目標値の2階微分値p2refを減算し、その減算結果をモデルトルク補償部4413へ出力する。モデルトルク補償部4413は、減算結果をモデルトルク減算器4412から受け、制御対象1の現在の共振周波数ωp、反共振周波数ωzを制振パラメータ決定部422から受ける。モデルトルク補償部4413は、モデルトルク減算器4412による減算結果に反共振周波数ωzの2乗を乗算し、共振周波数ωpの2乗を除算した値を演算して、その演算結果をモデルトルク加算器4414へ出力する。モデルトルク加算器4414は、演算結果をモデルトルク補償部4413から受け、動作目標値の2階微分値p2refを目標値2階微分器4411から受け、それらの値を加算し、その加算結果を慣性モーメント乗算部444へ出力する。慣性モーメント乗算部444は、モデルトルク加算器4414による加算結果に慣性モーメントを乗算して、その積をモデルトルクτaとしてトルク加算器113へ出力する。次に、制振フィルタ421の具体的な動作について図9を用いて詳細に説明する。モデル速度微分器446は、モデル速度vaをモデル位置微分器445から受け、モデル速度の1階微分値v1aを演算し、その演算結果をモデルトルク減算器4412へ出力する。つまり、モデル速度微分器446は、モデル速度vaの1階微分を直接演算することで、下記の式15と同等の信号を求めてモデルトルク減算器4412へ出力する。v1a=1/ωz2×{p4ref-4×ωp1/ωp×p3ref-2×ω2p/ωp6×ω1p2/ωp2×p2ref}p2ref19式19において、ω1p/ωp=ω1z/ωz,ω2p/ωp=ω2z/ωz20という仮定を用いている。もし制御対象1をバネ定数kmが動作中に変化する2慣性系モデルで表すことが可能ならば、ωp=√kmJLJM、ωz=√km/JLより式20の仮定は厳密に成り立つ。モデルトルク減算器4412は、モデル速度の1階微分値v1aをモデル速度微分器446から受け、動作目標値の2階微分値p2refを目標値2階微分器4411から受ける。モデルトルク減算器4412は、モデル速度の1階微分値v1aから動作目標値の2階微分値p2refを減算し、その減算結果をモデルトルク補償部4413へ出力する。つまり、モデルトルク減算器4412は、下記の式21の値をモデルトルク補償部4413へ出力することになる。p4ref-4×ωp1/ωp×p3ref-2×ω2p/ωp6×ω1p2/ωp2×p2ref21モデルトルク補償部4413は、モデルトルク減算器4412による減算結果に反共振周波数ωzの2乗を乗算し、共振周波数ωpの2乗を除算して、その演算結果をモデルトルク加算器4414へ出力する。よって、式22で計算される値がモデルトルク加算器4414へ出力される。1/ωp2×p4ref-4×ω1p/ωp3×p3ref-2×ω2p/ωp26×ω1p2/ωp4×p2ref22モデルトルク加算器4414は、モデルトルク補償器4413による演算結果に、動作目標値の2階微分値p2refを加算する。モデルトルク加算器4414は、その和を慣性モーメント乗算部444へ出力する。よって式23で計算される値と同等の値を持つ信号が慣性モーメント乗算部444へ出力されることになる。1/ωp2×p4ref-4×ω1p/ωp3×p3ref-2×ω2p/ωp26×ω1p2/ωp4×p2refp2ref23慣性モーメント乗算部444は、モデルトルク加算器4414による加算結果に慣性モーメントJMJLを乗算し、その積をモデルトルクτaとしてトルク加算器113に出力する。すなわち、慣性モーメント乗算部444の出力は実施の形態1の慣性モーメント乗算部144と同様に式12で計算される値となる。よって、制振フィルタ421から出力されるモデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaの値はそれぞれ式8、10、12となる。そのため、実施の形態1でのフィードフォワード制御部111が出力するモデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaと、本実施の形態におけるフィードフォワード制御部411が出力するモデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaとは、演算方法が異なるだけであり、値としては同じである。したがって、実施の形態4の方式においても実施の形態1と同等の効果を得ることが可能となる。以上のように、実施の形態4によれば、制御対象1の共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが略等しいωp≒ωz場合でも、制御対象1の共振周波数ωpと反共振周波数ωzとが異なるωp≠ωz場合でも、制振パラメータ変分信号θ自体を利用生成せずに、制振パラメータ変分信号θに相当するパラメータ動作補償信号の1階微分値、2階微分値を利用生成して、実施の形態1と同等のモデル速度va、モデルトルクτaを演算することができる。実施の形態5.次に、実施の形態5にかかるモータ制御装置500について図10を用いて説明する。図10は、実施の形態5にかかるモータ制御装置500の構成を示すブロック図である。以下では、実施の形態1と異なる点を中心に説明する。本実施の形態と実施の形態1との差異は、実施の形態1がモータ動作検出値pMを所望の動作目標値位置指令prefに追従させる位置制御であるのに対し、本実施の形態は、モータ速度演算値vMを動作目標値速度指令vrefに追従させる速度制御であることである。すなわち、モータ制御装置500は、駆動する制御対象1の速度目標値を表す動作目標値速度指令vrefを外部例えば、図示しない上位コントローラから受けて、モータ動作検出値pMに応じたモータ速度演算値vMが動作目標値vrefへ追従するようにトルク指令τMを発生させて電流制御器4へ出力する。具体的には、モータ制御装置500は、フィードフォワード制御部511及びフィードバック制御部512を備える。フィードバック制御部512は、位置制御器131図1参照を有さず、速度演算器133、及び速度制御器132を有する。また、フィードフォワード制御部511は、制振フィルタ第2の演算部521を有する。制振フィルタ521は、図11に示すように、その内部構成が実施の形態1と異なる。図11は、フィードフォワード制御部511の内部構成を示すブロック図である。制振フィルタ521は、位置演算部121a図5参照を有さず、速度演算部521b及びトルク演算部521cを有する。速度演算部521bは、モデル速度演算部542は、動作目標値vrefを外部から受け、反共振周波数ωzを制振パラメータ決定部122の生成部122aから受け、反共振周波数の1階微分値ω1zを制振パラメータフィルタ123の微分器123aから受ける。モデル速度演算部542は、動作目標値vrefと反共振周波数ωzと反共振周波数の1階微分値ω1zとを用いて、後述の数式24に示すようにモデル速度vaを演算してフィードバック制御部512図10参照へ出力する。トルク演算部521cは、モデル加速度演算部543及び慣性モーメント乗算部544を有する。モデル加速度演算部543は、動作目標値vrefを外部から受け、共振周波数ωpを制振パラメータ決定部122の生成部122aから受ける。また、モデル加速度演算部543は、共振周波数の1階微分値ω1pを制振パラメータフィルタ123の微分器123aから受け、共振周波数の2階微分値ω2pを制振パラメータフィルタ123の微分器123bから受ける。モデル加速度演算部543は、動作目標値vrefと共振周波数ωpと共振周波数の1階微分値ω1pと共振周波数の2階微分値ω2pとを用いて、後述の数式27に示すようにモデル加速度aaを演算して慣性モーメント乗算部544へ出力する。慣性モーメント乗算部544は、モデル加速度aaをモデル加速度演算部543から受ける。慣性モーメント乗算部544は、モデル加速度aaを用いて、後述の数式28に示すようにモデルトルクτaを演算してトルク加算器113図10参照へ出力する。次に、制振フィルタ521の動作モデル位置pa、モデル速度va、モデルトルクτaの演算方法について詳細に説明する。モデル速度演算部542は、反共振周波数ωz制振パラメータ信号θと動作目標値vrefとを用いて、式6と式4を時間的に微分した式とにより、機械速度vLが外部速度指令vrefに一致しているときのモータ速度vMを演算し、その演算結果をモデル速度vaとしてフィードバック制御部512に出力する。実際に数式を用いて説明すると、機械速度vLが外部速度指令vrefに一致しているときのモータ速度vMは反共振周波数ωzも時間変化することを考慮し、式4の両辺を時間に関して微分することによりva=1/ωz2×v2ref-2×ω1z/ωz3×v1refvref24と求められる。ここで式6も用いている。モデル速度演算部542は、この式24を用いてモデル速度vaを演算する。モデル速度演算部542は、演算したモデル速度vaをフィードバック制御部512へ出力する。つまり、モデル速度演算部542は、動作目標値の2階微分値v2refに反共振周波数ωzの2乗分の1を掛けた値と、動作目標値の1階微分値v1ref及び反共振周波数の1階微分値ω1zの積を2倍した値に反共振周波数ωzの3乗分の1を掛けた値との差に、動作目標値vrefを加算した値を、モデル速度vaとしてフィードバック制御部512へ出力する。モデル加速度制御器543と慣性モーメント乗算部544とは、共振周波数ωp制振パラメータ信号θとその1階微分値ω1p、2階微分値ω2p制振パラメータ変分信号θ’とを用いて、動作目標値vrefからモデルトルクτaまでの特性をモータトルクτMから機械速度vLまでの動特性の逆特性とするように、モデルトルクτaを演算する。慣性モーメント乗算部544は、演算結果をトルク加算器113へ出力する。このようにモデルトルクτaを演算することにより、摩擦やモデル誤差等の外乱がなければ制御対象1の機械速度vLを動作目標値vrefに偏差なく追従させることが可能となる。その結果、振動を抑制することも可能となる。次に、数式を用いてモデル加速度演算部543と慣性モーメント乗算部544との動作を説明する。まず、式4の両辺を共振周波数ωp、反共振周波数ωzも時間変化することも考慮し、時間に関して1階微分及び2階微分の演算を行う。そして、演算した式と式4そのものとを式3に代入して、モータトルクτMから機械速度vLまでの動特性を求めると式25となる。1/ωp2×v4L-4×ω1p/ωp3×v3L-2×ω2p/ωp26×ω1p2/ωp4×v2Lv2L=1/JMJL×τM25動作目標値vrefからモデルトルクτaまでの特性をモータトルクτMから機械速度vLまでの特性の逆特性にすれば、動作目標値vrefに制御対象の機械速度を偏差なく追従させることができるとともに、モータトルクτMから機械速度vLまでの動特性が式25となることから、モデルトルクτaが下記の式26となるように演算する。τa=JMJL×{1/ωp2×v4ref-4×ωp1/ωp3×p3ref-2×ω2p/ωp26×ω1p2/ωp4×v2refv2ref}26したがって、モデル加速度演算部543は、動作目標値vrefと、共振周波数ωpと、その1階微分ω1p、2階微分ω2pとを用いて、下記の式27によりモデル加速度aaを演算する。モデル加速度演算部543は、演算したモデル加速度aaを慣性モーメント乗算部544へ出力する。慣性モーメント乗算部544は、実施の形態1と同様にモデル加速度aaを用いて、式28によりモデルトルクτaを演算し、モデルトルクτaをトルク加算器113へ出力する。aa=1/ωp2×v4ref-4×ωp1/ωp3×v3ref-2×ω2p/ωp26×ω1p2/ωp4×v2refv2ref27τa=JMJL×aa28このように、モデル加速度演算部543が式27を用い、慣性モーメント乗算部544が式28を用いて、モデルトルクτaを演算することにより、摩擦やモデル誤差などの外乱がない場合、制御対象の機械速度vLを動作目標値vrefへ偏差なく追従させることが可能となる。以上のように、実施の形態5によれば、実施の形態1と同等の効果を速度制御においても得ることが可能となり、本発明のモータ制御装置の用途を広げることが可能となる。なお、本実施の形態では、エンコーダなどの検出器2によりモータ動作目標値pMを検出し、それを速度演算器133によってモータ速度演算値vMを計算しているが、レゾルバやタコジェネレータ、ホール素子等を用いて直接モータ速度演算値vMを計測してもよい。また、動作目標値vrefの積分値を位置についての動作目標値prefとみなして、本実施の形態2~実施の形態4と同様の計算方法によりモデル速度vaとモデルトルクτaを計算してもよい。"