複数の薄板と、前記複数の薄板を連結する連結部と、前記複数の薄板の少なくとも一部に設置された圧電体とを有する振動子を用いた圧電式ファンにおいて、前記複数の薄板を各々屈曲振動させるための複数の駆動電極と、前記連結部に設置されたモニタ電極とを備え、前記モニタ電極から得られる信号により、前記複数の駆動電極に加える電圧を個々に調整することを特徴とする圧電式ファン。前記複数の薄板と前記連結部とが同一の平板内に一体として形成され、前記複数の駆動電極と前記モニタ電極が、前記平板の同一面上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電式ファン。発振回路から得られる出力電圧、または前記発振回路から得られる出力電圧を反転した電圧と、前記モニタ電極から得られる信号を電流検出回路および移相回路を経由させて得られる電圧とを加算して、前記複数の駆動電極に印加することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電式ファン。しかしながら、従来の圧電式ファンの振動子では、製造ばらつきや温度変化などの環境変化が生じた場合に、複数の薄板の振動エネルギーのバランスが崩れ、その結果、支持固定部から外部に振動が漏れ、送風能力が低下したり、周辺機器へ悪影響を及ぼしたりする恐れがあった。そこで本発明の課題は、製造ばらつきや、温度変化などの環境変化が生じた際においても、一定の大きさ以上の風力を安定して維持できる圧電式ファンを提供することにある。上記の課題を解決するために、本発明の圧電式ファンは、複数の薄板と、前記複数の薄板を連結する連結部と、前記複数の薄板の少なくとも一部に設置された圧電体とを有する振動子を用いた圧電式ファンにおいて、前記複数の薄板を各々屈曲振動させるための複数の駆動電極と、前記連結部に設置されたモニタ電極とを備え、前記モニタ電極から得られる信号により、前記複数の駆動電極に加える電圧を個々に調整することを特徴とする。ここで、前記複数の薄板と前記連結部とが同一の平板内に一体として形成され、前記複数の駆動電極と前記モニタ電極が、前記平板の同一面上に形成されていてもよい。また、発振回路から得られる出力電圧、または前記発振回路から得られる出力電圧を反転した電圧と、前記モニタ電極から得られる信号を電流検出回路および移相回路を経由させて得られる電圧とを加算して、前記複数の駆動電極に印加してもよい。上記のように、本発明においては、複数の薄板の支持部である連結部にモニタ電極を備え、そのモニタ電極から得られる信号を基に、それぞれの薄板を振動させるための駆動電極に加える電圧を個々に調整することとした。これにより、製造のばらつきや温度変化などの環境変化が生じた場合にも、常に複数の薄板の振動エネルギーのバランスを保つように調整することができるので、支持固定部への振動漏れがなく、一定の大きさ以上の風力を安定して維持できる圧電式ファンが得られる。また、複数の薄板と連結部とを同一の平板内に一体として形成し、複数の駆動電極とモニタ電極を、その平板の同一面上に形成することにより、振動子の構造を簡素化でき、製造が容易でありながら一定の大きさ以上の風力を安定して維持できる圧電式ファンが得られる。さらに、本発明において、発振回路から得られる出力電圧、または発振回路から得られる出力電圧を反転した電圧と、モニタ電極から得られる信号を電流検出回路および移相回路を経由させて得られる電圧とを加算して、前記複数の駆動電極に印加することにより、振動子を駆動制御するための回路を簡素化でき、制御部も含めて安価でありながら一定の大きさ以上の風力を安定して維持できる圧電式ファンが得られる。以上のように、本発明により、製造ばらつきや、温度変化などの環境変化が生じた際においても、一定の大きさ以上の風力を安定して維持できる圧電式ファンが得られる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明による圧電式ファンの第1の実施の形態に用いる振動子の平面図である。図1において、本実施の形態の振動子は、3個の薄板、薄板1、薄板2、薄板3と、それらの薄板を連結する連結部4と、薄板1、2、3のそれぞれの上に設置された圧電素子5、6、7とを有している。圧電素子5、6、7は、それぞれ、圧電体とその圧電体を挟むように設置された駆動電極とを有し、それらの駆動電極に交流電圧を印加することにより、それぞれの薄板を屈曲振動させるよう構成されている。また、連結部4にはモニタ電極を備えたモニタ用圧電素子8が設置されている。図1のように、本実施の形態の振動子においては、3個の薄板、薄板1、2、3と連結部4とが同一の平板内に一体として形成され、3個の圧電素子5、6、7の駆動電極とモニタ用圧電素子8のモニタ電極が、その平板の同一面上に形成されている。また、本実施の形態の圧電式ファンにおいては、モニタ用圧電素子8のモニタ電極から得られる信号により、圧電素子5、6、7の駆動電極に加える電圧を個々に調整する。本実施の形態においては、振動子の薄板1及び薄板3と薄板2とが逆位相で、且つZ軸方向に1次の屈曲振動モードを生じさせるように駆動する。この場合、モニタ用圧電素子8のモニタ電極から得られる信号を、圧電素子5、6、7の駆動電極に加える個々の駆動電圧信号にフィードバックさせ、薄板1及び薄板3の振動エネルギーの総和と薄板2の振動エネルギーを等しくすることにより、連結部4からの振動漏れを抑えることができる。図4は、本発明による圧電式ファンの第2の実施の形態に用いる振動子の平面図である。図4において、本実施の形態の振動子は、2個の薄板、薄板11、薄板12と、それらの薄板を連結する連結部14と、薄板11、12のそれぞれの上に設置された圧電素子16、17とを有している。圧電素子16、17は、それぞれ、圧電体とその圧電体を挟むように設置された駆動電極とを有し、それらの駆動電極に交流電圧を印加することにより、それぞれの薄板を屈曲振動させるよう構成されている。また、連結部14にはモニタ電極を備えたモニタ用圧電素子18が設置されている。図4のように、本実施の形態の振動子においては、2個の薄板11、12と連結部14とが同一の平板内に一体として形成され、2個の圧電素子16、17の駆動電極とモニタ用圧電素子18のモニタ電極が、その平板の同一面上に形成されている。また、本実施の形態の圧電式ファンにおいては、モニタ用圧電素子18のモニタ電極から得られる信号により、圧電素子16、17の駆動電極に加える電圧を個々に調整する。本実施の形態の圧電式ファンの振動子は2つの薄板を用いた振動子である。本実施の形態の圧電式ファンにおいては、圧電素子16、17に逆相の交流電圧を印加することにより、互いに逆相のZ軸方向の屈曲振動を薄板11、12に励起する。連結部14に設けたモニタ用圧電素子18の出力を反転させ、圧電素子16、17にフィードバックすることにより、薄板11、12に励起する振動のバランスを制御でき、製造のばらつきや温度変化などの環境変化が生じた場合にも、高い振幅を安定維持できる。なお、本発明は2個以上の薄板を有する振動子であれば実現可能であり、薄板の数は4個以上であってもよい。図5は、本発明による圧電式ファンの第3の実施の形態に用いる振動子の平面図である。図5において、本実施の形態の振動子は、2個の薄板、薄板21、薄板22と、それらの薄板を連結する連結部24と、薄板21を挟むように接合された圧電素子26a、26bと、薄板22を挟むように接合された圧電素子27a、27bとを有している。圧電素子26a、26b、27a、27bは、それぞれ、圧電体とその圧電体を挟むように設置された駆動電極とを有し、それらの駆動電極に交流電圧を印加することにより、それぞれの薄板を屈曲振動させるよう構成されている。また、連結部24にはモニタ電極を備えたモニタ用圧電素子28a、28bが設置されている。図5のように、本実施の形態の振動子は、モニタ用圧電素子28a、28bを除けば、図7に示した従来の音叉型の振動子構造と同様な構造を有している。また、本実施の形態の圧電式ファンにおいては、モニタ用圧電素子28a、28bのモニタ電極から得られる信号により、圧電素子26a、26b、27a、27bの駆動電極に加える電圧を個々に調整する。すなわち、モニタ用圧電素子28a、28bから得られるモニタ信号を、駆動用の圧電素子26a、26b、27a、27bの個々の駆動電圧信号にフィードバックさせれば、薄板21、22に励起する振動のバランスを制御でき、製造のばらつきや温度変化などの環境変化が生じた場合にも、高い振幅を安定維持できる。なお、本実施の形態の圧電式ファンの振動子の圧電体としては、通常の焼成等で得られるバルクの圧電体等を使用し、それを薄板に貼り付けて振動子が構成されている。以下、図1に示した本発明による圧電式ファンの第1の実施の形態に用いる振動子の具体的な一実施例について、詳細に説明する。本実施例において、薄板1、2、3及び連結部4は、単結晶シリコンの平板によって一体的に構成する。また、圧電素子5、6、7およびモニタ用圧電素子8を構成する圧電体としては、チタン酸ジルコン酸鉛以下PZTと称するを用いた。具体的な製造方法は、先ず、ポリッシング加工で鏡面にした4インチの単結晶シリコン基板の表面に厚さ100nmのシリコン酸化膜を熱処理で形成した後、下部電極となる厚さ数十nmのチタン膜および厚さ100nmの白金膜、圧電体となる厚さ2μmのPZT膜、上部電極となる厚さ100nmの白金膜を順次スパッタで成膜した。尚、各電極やPZT膜の成膜方法はスパッタに限定するものではなく、例えばPZT膜の場合、ゾルゲル法、イオンプレーティング法、水熱合成法、MOCVD法、エアロゾル堆積法、スクリーン印刷法等でも成膜することができる。成膜中に加熱処理し結晶成長させられない成膜法については、PZTの圧電性を高めるために成膜後に熱処理する必要がある。熱処理温度は、PZTの内部応力による剥離やシリコンの拡散によるPZT組成ずれ等を考慮する必要があるが、凡そ600°C程度が好ましい。上記の成膜後は、レジスト塗布、露光、現像の工程からなる一般的なフォトリソグラフィー技術を用い、レジストを所望のパターンに形成した。なお、露光の際に使用するマスクのパターンは、4インチの単結晶シリコン基板に百個程度の圧電式ファン用の振動子が作製できるようレイアウトした。次に、レジストが開口している箇所の最表面の白金膜層をドライエッチングで除去した後、レジストを除去する。以下同様に、PZT膜層、白金膜層及びチタン膜層、シリコン層の不要部を、順次フォトリソグラフィー及びドライエッチングにより除去した。図2は、本発明による圧電式ファンの第1の実施の形態に用いる振動子の実施例の断面図であり、図1における圧電素子5、6、7を含むZX面の断面図を示した。上部電極5a、6a、7aは最表面の白金膜層である。圧電体膜5b、6b、7bはPZT膜層である。下部電極5c、6c、7cはチタン膜を下地とした白金膜層である。薄板1、2、3は表面に酸化膜が形成されたシリコン単結晶基板である。なお、モニタ用圧電素子8が設置された連結部4も同様な断面構造を有している。振動子の作製後に下部電極と上部電極間に10V/μmの高電界を数分間印加して、圧電性を高めるための分極処理を施した。以上のような工程で、本発明による圧電式ファンの第1の実施の形態に用いる振動子が作製できた。図3は、本発明による圧電式ファンの第1の実施の形態に用いる駆動回路の一例を示したブロック図である。まず、下部電極はすべて接地もしくは基準電源に接続しておく。発振回路51の出力を加算回路53に入力し、加算回路53の出力を圧電素子6の上部電極に接続し、圧電素子6の上部電極及び下部電極間に交流の駆動電圧信号を印加した。同時に、その駆動電圧信号の位相を反転させる反転回路52を経由してその出力を加算回路54、55に入力し、加算回路54、55の出力をそれぞれ圧電素子5及び圧電素子7に接続した。この場合、駆動電流をモニタすることで自励発振させることができた。尚、振動子の薄板1及び薄板3と薄板2とが逆位相で、且つZ軸方向に1次の屈曲振動モードで共振するように、発振回路の位相特性やフィルタ特性、および圧電素子5、6、7の形状を設計する必要がある。ここで、例えば、上記の実施例において、振動子の薄板の長さを2mm、厚みを80μmとして小型の振動子を構成した場合、1次の屈曲振動の共振周波数は23kHzとなるので、この共振周波数で自励発振させればよい。なお、モニタ用圧電素子8の出力は、電流検出回路56および移相回路57を経由して、加算回路53、54、55に入力される。薄板1及び薄板3の幅の総和と薄板2の幅をほぼ等しくすれば、駆動振動時における薄板1及び薄板3の振動エネルギーの総和と薄板2の振動エネルギーは凡そ等しくでき、連結部4で各々の振動エネルギーを効率良く反射させる状態、すなわち減衰の少ない共振状態にすることができた。この場合、連結部4に生じる振動漏れを抑えることができ、支持固定部から振動が漏れることによる振動振幅の低下、すなわち風力の低下や周辺機器への悪影響を抑えることができた。なお、振動子の振動は、屈曲の他に捩れの要素もあり複雑であるため、実際には有限要素法解析などを利用し、連結部4の振動振幅が最小となるように、薄板1、2、3の形状を厳密に設計する必要がある。連結部4の支持固定部の近傍に設けたモニタ用圧電素子8は、振動漏れが無い理想的な状態において発生電荷は0ゼロであった。正確には、外側の薄板が撓んだ際に生じる連結部の歪と、中央の薄板が撓んだ際に生じる連結部の歪が、連結部の中で混在する形となり、トータルとして発生電荷が0ゼロとなった。実際には、振動子の加工誤差が原因で振動漏れが生じたり、常温で振動漏れが無い状態でも、温度変化に伴う材料定数変化が原因で振動漏れが生じたりすることがあり、この場合、モニタ用圧電素子8に電荷が発生する。例えば、中央の薄板の振動エネルギーよりも外側の薄板の振動エネルギーが大きい場合、モニタ用圧電素子8には、外側の薄板の駆動用の圧電素子5、7の駆動電圧信号と同位相の信号が発生することとなった。逆に、中央の薄板の振動エネルギーが大きい場合、モニタ用圧電素子8からは、圧電素子6の駆動電圧信号と同位相の信号が発生することとなった。そこで、振動漏れを抑えるためには振動エネルギーが大きい薄板の駆動電圧を下げればよいので、モニタ用圧電素子8の出力を電流検出回路及び移相回路を経由させて圧電素子5、6、7にフィードバックした。基本的には、モニタ用圧電素子8の発生電荷を反転させて得た電圧を駆動用の圧電素子5、6、7の駆動電圧信号に加算すれば良い。具体的には、図3に示すように、モニタ用圧電素子8からの発生電荷を電流検出回路56にて電圧に変換し、移相回路57を経由させて位相を調整した出力と、発振回路51の出力及び反転回路52の出力とを、それぞれ加算回路53、54、55により加算し、それらの出力を各々の駆動用の圧電素子に印加すれば良い。なお、図3の駆動回路において、電流検出回路56の出力が小さくなるように増幅率を自動可変できるオートゲインコントロール回路を付加すると、振動子の加工誤差がばらつきを持ち個体差が生じていても、或いは、シリコン、PZTの材料定数が温度で変化しても、各薄板の振動エネルギーが自動的に調整され、振動漏れが自動的に低減できた。次に、上記の本発明による圧電式ファンの第1の実施の形態に用いる振動子の実施例を上記の製造方法により実際に試作し、本発明の効果の評価を行った結果について説明する。試作した実施例の振動子は、室温において、1次の屈曲振動モードのQm値が1600であり、1Vp-pの駆動電圧信号の印加により生ずる薄板の先端の振動振幅は50μmであった。なお、振動子はガラスエポキシ回路基板にエポキシ樹脂で接着実装し、ワイヤーボンディングで回路部品に接続している。上記の試作した振動子を用い、モニタ用圧電素子8の信号を圧電素子5、6、7の駆動電圧信号にフィードバックする駆動回路を用いて本発明による圧電式ファンを構成した場合と、モニタ用圧電素子8を用いないで圧電素子5、6、7を駆動する従来の圧電式ファンを構成した場合について、薄板先端の振動振幅の温度特性を評価した。この評価においては、ホットプレート上に評価試料をセットして温度を変化させ、レーザドップラー振動計にて振動振幅を測定した。図6は、本発明による圧電式ファンと従来の圧電式ファンの薄板先端の振動振幅の温度特性の測定結果を示す図である。図6のように、本発明による圧電式ファンでは、室温20度を基準とした振動振幅の温度変化の度合を、従来の圧電式ファンに比べて約10分の1に低減できた。なお、本発明は上記の実施の形態や実施例に限定されるものではないことはいうまでもなく、目的や用途に応じて設計変更可能である。例えば、薄板の形状や材料、圧電素子やモニタ用圧電素子の構造、形状、配置場所、薄板の数、等、用途に応じて変更可能である。また、薄板のすべてまたは振動を励起する部分のみを圧電体とすることができ、この場合には振動の駆動部分に電極を設置して、薄板自体に上記の圧電素子やモニタ用圧電素子の機能をもたせることができる。