補正光学系または撮像素子を搭載した可動部を光軸と直交する方向に移動自在に、保持する支持部材と、前記可動部を光軸と直交する方向に駆動する駆動部材とを備え、前記可動部および支持部材に起因する前記可動部の固有振動数を手ぶれ振動数領域内になるように設定し、前記固有振動数を3Hz乃至9Hzの範囲に設定したことを特徴とする手ぶれ補正装置。請求項1記載の手ぶれ補正装置は、手ぶれ検出信号に基づいて前記駆動手段を駆動する閉ループ制御手段を備えている手ぶれ補正装置。請求項1または2記載の手ぶれ補正装置において、前記支持部材は、前記補正光学系または撮像素子を搭載した可動部を光軸と直交する方向に移動自在に保持する弾性部材からなり、前記駆動部材は、前記弾性部材の弾性応力方向に前記可動部を光軸と直交する方向に駆動する手ぶれ補正装置。請求項1または2記載の手ぶれ補正装置において、前記可動部は撮像素子を搭載し、前記支持部材は、前記可動部を光軸と直交する方向に移動自在に、かつ初期位置に保持する弾性部材からなり、前記撮像素子には、前記可動部の外方から弾性変形可能な信号線または給電線が接続されていて、前記固有振動数は、前記可動部、弾性部材および信号線または給電線に起因する手ぶれ補正装置。請求項1乃至4のいずれか一項記載の手ぶれ補正装置において、前記固有振動数は、前記弾性部材のばね定数の調整によって設定される手ぶれ補正装置。しかしながら、従来の発明は、補正光学系または撮像素子の固有振動数を手ぶれ振動数よりも高く設定している。そのためには、補正光学系または撮像素子を保持するばね部材のばね定数を大きくする必要があるため、補正光学系または撮像素子を駆動するために必要な駆動力が大きくなり、消費電力が多くなっていた。本発明は、手ぶれ防止装置において、可動部を支持するばね定数を大きくすることなく、固有振動数を大きくすることなく消費電力の低減を図ることを目的とする。本発明は、制御系を適切に構成すれば、固有振動数が手ぶれ振動数領域内であっても、手ぶれ振動との共振による影響を避けることができることを見いだしたことによりなされたものである。かかる観点からなされた本発明は、補正光学系または撮像素子を搭載した可動部を光軸と直交する方向に移動自在に、保持する支持部材と、前記可動部を光軸と直交する方向に駆動する駆動部材とを備え、前記可動部および支持部材に起因する前記可動部の固有振動数を手ぶれ振動数領域内になるように設定し、前記固有振動数を3Hz乃至9Hzの範囲に設定したことを特徴としている。実際的には、手ぶれ補正装置は、手ぶれ検出信号に基づいて前記駆動手段を駆動する閉ループ制御手段を備える。前記支持部材は、前記補正光学系または撮像素子を搭載した可動部を光軸と直交する方向に移動自在に保持する弾性部材からなり、前記駆動部材は、前記弾性部材の弾性応力方向に前記可動部を光軸と直交する方向に駆動する。前記可動部は撮像素子を搭載し、前記支持部材は、前記可動部を光軸と直交する方向に移動自在に保持する弾性部材からなり、前記撮像素子には、前記可動部の外方から弾性変形可能な信号線または給電線が接続されていて、前記可動部、弾性部材および信号線または給電線に起因する前記固有振動数を、手ぶれ振動数領域内になるように設定する。その際前記固有振動数は、前記弾性部材のばね定数の調整によって設定する。本発明によると、可動部の固有振動数を手ぶれ振動数領域にとなるように設定するために、可動部を保持する弾性部材のばね定数を小さく設定可能で、可動部を駆動する駆動手段の消費電力が軽減される。以下、図1乃至図7に基づいて、本発明の第1の実施形態について説明する。図1に示すように、デジタルカメラ10内には、複数のレンズL1、L2、L3からなる撮影光学系が配設されており、レンズL3の後方に撮像素子11が配設されている。上記撮影光学系L1、L2、L3の光軸Oに対して直交する撮像素子11の撮像面結像面12の光軸O方向の位置は、該デジタルカメラの予定結像位置と一致している。この実施形態では、デジタルカメラ10に内蔵された手ぶれ補正装置15に撮像素子11が固定されている。撮像素子11は、いわゆるCCDタイプ、CMOSタイプ等の固体撮像素子が一般的である。手ぶれ補正装置15は、カメラボディに対して撮像素子11を光軸Oと直交する方向に移動自在に支持するステージ装置20を備えている。レンズL3の直後に位置する状態でカメラボディ固定体に固定されたステージ装置20は、ABS樹脂やポリカーボネート樹脂等の合成樹脂製であり、図3のX方向左右方向に延びる上下一対のスペーサ21、22を備え、両スペーサ21、22の先端部に穿設された取付孔23、24を貫通するボルト図示略によってカメラボディにねじ止めされる。スペーサ21とスペーサ22の前面には対をなす取付用凹部25、26がそれぞれ形成されており、スペーサ21とスペーサ22の後面には、取付用凹部25と同形状の取付用凹部27と、取付用凹部26と同形状の取付用凹部28がそれぞれ形成されている。両スペーサ21、22は、図3のY方向上下方向に延びる固定支持板29によって連結されている。固定支持板29の上下両端からは上下一対のX方向板ばね30、31がX方向左向きに延びており、X方向板ばね30、31の左端部同士がY方向に延びる可動支持板32によって連結されている。図示するように、X方向板ばね30、31のY方向の肉厚は、固定支持板29および可動支持板32のX方向の肉厚より薄く、固定支持板29と可動支持板32は弾性変形しないが、X方向板ばね30、31はY方向に弾性変形可能に形成されている。そして、これら固定支持板29、X方向板ばね30、31、および可動支持板32によってY方向変形体が構成されている。可動支持板32の固定支持板29と対向する内側面の下端部からは、X方向板ばね31から所定長離反した位置から支持板33がX方向右向きに延出している。支持板33の左端部は可動支持板32との接続部をなす支持板接続部33aとなっており、支持板33の右端部は固定支持板29から所定長離れた位置まで延びている。支持板33の支持板接続部33aを除く部分の上面両端部からは左右一対のY方向板ばね34、35がY方向上向きに延出しており、Y方向板ばね34、35の上端部同士がX方向に延びる連結部36によって連結されている。各Y方向板ばね34、35は、固定支持板29、可動支持板32から所定長離反して非接触となっている。図示するように、Y方向板ばね34、35のX方向の肉厚は、支持板33および連結部36のY方向の肉厚より薄く、支持板33と連結部36は弾性変形しないが、Y方向板ばね34、35はX方向に弾性変形可能に形成されている。そして、これら支持板33、Y方向板ばね34、35、および連結部36によってX方向変形体が構成されている。連結部36の支持片33と対向する内側面には、Y方向板ばね34、35の間に位置する取付部37が設けられており、取付部37の下端部には正面視長方形の収納保持部38が設けられ、収納保持部38の下端には取付部39が設けられている。取付部37と取付部39は、後面がXY平面X方向およびY方向に平行な平面と平行な同一平面上に位置しており、共に2つの取付孔40、41が穿設されている。収納保持部38は、その後面全体が開口する箱状部材であり、その前面中央部には窓孔42が穿設されている。なお取付部37、収納保持部38および取付部39は、Y方向板ばね34、35に対して所定長離反させて非接触に設けられ、取付部39は支持板33に対して所定長離反させて非接触に設けられている。以上説明したX方向変形体とY方向変形体と、これらによってZ方向と直交するX方向およびY方向に移動自在に支持された取付部37、収納保持部38および取付部39とからステージ装置20が構成されている。このステージ装置20は、成形型図示略を利用した射出成形により、全体を一体的に成形できる。収納保持部38の内部には後方から窓孔42を閉塞するように正面視長方形の光学ローパスフィルタ45が嵌合され、さらに、収納保持部38の内部には、XY平面と平行なコイル板50の前面に固定された上記撮像素子11が嵌合されている。コイル板50に穿設された4つのねじ孔51には、ステージ装置20の取付孔40、41に挿通された4本のボルト図示略がそれぞれ螺合され、ステージ装置20とコイル板50が一体化されている。つまり、光学ローパスフィルタ45、撮像素子11およびコイル板50が、ステージ装置20によりXY方向に移動可能に支持されている。なお、コイル板50には、図示しないがカメラボディの電源、制御基板に接続された給電線および信号線が接続されている。給電線および信号線は、コイル板50のX方向およびY方向移動を許容するように、例えばフレキシブルプリント基板、ビニール皮膜線などで形成されている。コイル板50の上部と右側部からは共にXY平面と平行な突片52、53が突設されており、突片52、53の前面には、それぞれX方向ホール素子X方向の位置検出センサ54とY方向ホール素子Y方向の位置検出センサ55が設けられている。さらに、突片52、53の前面には、X方向ホール素子54、Y方向ホール素子55を囲むように、コイル線が百回以上渦巻き状に巻かれたXY平面と平行なX方向駆動用平面コイルCXとY方向駆動用平面コイルCYがプリントパターン等により形成されている。X方向駆動用平面コイルCXとY方向駆動用平面コイルCYを挟む前後一対のヨーク60、65は、正面視略L字形をなす平板状に、鉄等の強磁性体により形成されている。ヨーク60、65の対向面は共にXY平面と平行であり、ヨーク60のX方向片61およびY方向片62のヨーク65との対向面には、それぞれ永久磁石63と永久磁石64が固着されている。永久磁石63は、そのN極とS極がY方向に並んでおり、永久磁石64は、そのN極とS極がX方向に並んでいる。上記ホール素子54、55は永久磁石63、64のNS極境界付近の磁束変化を検出してコイル板50のX方向位置情報およびY方向位置情報を得るものである。なお、X方向駆動用平面コイルCXと永久磁石63、Y方向駆動用平面コイルCYと永久磁石64はそれぞれX方向、Y方向に長く形成して、コイル板50をY方向、X方向に平行移動させる磁力が作用するように設定してある。そして、ヨーク60のY方向片62およびヨーク65のY方向片67は、突片52を挟む状態で、ステージ装置20の取付用凹部25、26、および取付用凹部27、28に嵌合固定されている。Y方向片X方向片61とX方向片66は、X方向板ばね30の上方において、突片52を挟む状態でZ方向X方向およびY方向に直交する方向。即ち、前後方向に対向しており、X方向片61とX方向片66の左端部同士が、合成樹脂製の連結部材68によって連結されている。Y方向片62および永久磁石64とY方向片67との間にはX方向磁気回路が形成され、X方向片61および永久磁石63とX方向片66との間にはY方向磁気回路が形成されている。上記ヨーク60、永久磁石64、およびヨーク65によってX方向用磁力発生部材が、ヨーク60、永久磁石63、およびヨーク65によってY方向用磁力発生部材がそれぞれ構成され、このX方向用磁力発生部材とX方向駆動用平面コイルCXによりXアクチュエータが構成され、Y方向用磁力発生部材とY方向駆動用平面コイルCYによりYアクチュエータが構成されている。そして、以上説明した全部材と後述する制御回路により手ぶれ補正装置15が構成されている。次に、手ぶれ補正装置15の動作について図8に示した制御回路ブロック図を参照して説明する。手ぶれ補正は、撮影者の手ぶれによる撮影レンズ光軸Oの角度ぶれによる撮像面上の画像の揺れを打ち消すように行われる。撮影レンズ光軸Oの角度ぶれは通常、カメラ内に搭載されたX方向角速度センサ201とY方向角速度センサ202とで2方向X方向とY方向に分けて検出される。撮影レンズ系レンズL1乃至L3を透過した被写体光は、光学ローパスフィルタ45を透過して撮像素子11の撮像面12に被写体像を形成する。撮影の際に、デジタルカメラ10の手ぶれ補正スイッチ不図示がONにされていると、X方向角速度センサ201振動検出センサとY方向角速度センサ202振動検出センサの出力をそれぞれ対応する積分回路203、204で予め設定された時定数間積分し、光軸のX方向とY方向の角度ぶれ量デジタルカメラ10の振動量に相当する電圧に変換して出力する。積分回路203の出力角度ぶれ量とX方向ホール素子54の出力撮像素子11の移動量が誤差増幅器205で比較され、出力差に応じた電圧が誤差増幅器205によってX方向駆動用平面コイルCXに印加され、出力差が小さくなるように撮像素子11がX方向に移動される。同様に積分回路204の出力とY方向ホール素子55の出力が誤差増幅器206で比較され、出力差に応じた電圧が誤差増幅器206によってコイルCYに印加され、出力差が小さくなるように撮像素子11がY方向に移動される。すなわち、手ぶれによる光軸Oの角度ぶれ量に追従して撮像素子11がXY方向に移動され、手ぶれによる撮像素子11の撮像面12上の像ぶれが軽減される。撮像素子11のX方向とY方向への移動は以下のように行われる。仮にX方向駆動用平面コイルCXだけに一方向の電流が誤差増幅器205から流れると、Y方向片62および永久磁石64とY方向片67との間に形成されたX方向磁気回路の磁力とX方向駆動用平面コイルCXに発生した磁力により、X方向駆動用平面コイルCXにX方向右向きの力が作用する。すると、Y方向板ばね34とY方向板ばね35がZ方向から見てS字状に弾性変形し、連結部36が固定支持板29と可動支持板32に当接しない範囲で支持板33に対してX方向右側に略直線的に移動するので、コイル板50および撮像素子11が右側に略直線的に移動する。参考のために、Y方向板ばね34とY方向板ばね35がS字状に弾性変形する様子を図9に示した。なお、本図では、分かりやすくするために、Y方向板ばね34とY方向板ばね35の曲がり具合を誇張して描いている。一方、X方向駆動用平面コイルCXだけに反対方向の電流が流れると、X方向磁気回路の磁力の影響により、X方向駆動用平面コイルCXにX方向左向きの力が作用し、X方向板ばね30とX方向板ばね31がZ方向から見てS字状に弾性変形し、連結部36が固定支持板29と可動支持板32に当接しない範囲で支持板33に対してX方向左側に略直線的に移動し、コイル板50および撮像素子11がX方向左側に略直線的に移動する。なお、図ではX方向板ばね30、31、Y方向板ばね34、35がそれぞれS字状に弾性変形するとして示したが、X方向板ばね30、31、Y方向板ばね34、35が樽型または糸巻き型に弾性変形する構成としてもよい。なお、上記の説明のようにX方向駆動用平面コイルCXだけに電流を流すと、連結部36はX方向に完全に直線的でなくY方向変位を伴った略直線的に移動するが、実際には図8の制御回路によってY方向変位分をホール素子55が検出し、平面コイルCYにも電流が流れY方向変位分を補正するので手ぶれ補正は正確に行われる。同様にY方向駆動用平面コイルCYだけに特定の一方向に誤差増幅器206から電流が流れると、X方向片61および永久磁石63とX方向片66との間に形成されたY方向磁気回路の磁力の影響により、Y方向駆動用平面コイルCYにY方向上向きの力が作用する。すると、X方向板ばね30とX方向板ばね31がZ方向から見てS字状に弾性変形し、可動支持板32がカメラボディに当接しない範囲で固定支持板29に対してY方向上側に略直線的に移動し、コイル板50および撮像素子11が上方に移動する。一方、Y方向駆動用平面コイルCYだけに反対方向の電流が流れると、Y方向磁気回路の磁力の影響により、Y方向駆動用平面コイルCYにY方向下向きの力が作用し、X方向板ばね30とX方向板ばね31がZ方向から見てS字状に弾性変形し、可動支持板32がカメラボディに当接しない範囲で固定支持板29に対してY方向下側に略直線的に移動し、コイル板50および撮像素子11が下方に移動する。なお、上記の説明のように平面コイルCYだけに電流を流すと、連結部36はY方向に完全直線的でなくX方向変位を伴った略直線的に移動するが、実際には図8の制御回路によってX方向変位分をホール素子54が検出し、X方向駆動用平面コイルCXにも電流が流れX方向変位分を補正するので手ぶれ補正は正確に行われる。このようにコイル板50のX方向とY方向への移動に伴って撮像素子11のX方向位置およびY方向位置が変化することにより、手ぶれ補正が行われる。説明では、X方向およびY方向の補正を別個に説明したが、通常はこれらの補正が並行して実行されるので、XY平面内において360 ゚いかなる方向の像ぶれも補正される。この実施形態では、撮像素子11を光軸Oに対して直交するXY平面内において平行移動させるために、撮像素子11を、一対のX方向板ばね30、31およびY方向板ばね34、35で保持し、これらのX方向板ばね30、31およびY方向板ばね34、35の弾性応力方向に、X方向、Y方向に移動させている。そのため、ステージ装置20、撮像素子11およびその他の可動部品を含む可動部100の質量と、X方向板ばね30、31、Y方向板ばね34、35および図示しない給電線および信号線の弾性で決まるX方向、Y方向の固有振動数を有する。可動部100をX方向またはY方向に移動するときのばね定数をK0とする。可動部100の質量をMとすると、可動部100の固有振動は、K0/M12/2πとなる。さらに、ばね定数K0での弾性部材で支持された質量Mの可動部100を水平方向に運動移動させる場合の駆動力と変位の関係を表す伝達関数は、公知のように、1/Ms2K0となる。この伝達関数に基づくX方向の速度制御回路の一例のブロック線図を、図10に示した。実際の手ぶれ補正装置は2次元的に駆動するので、実際にはこの構成が2組必要である。図10において、ViはX方向角速度センサ201の出力を積分回路203で積分した積分値であって、この積分値が手ぶれ検出信号電圧Viとして入力される。手ぶれ検出信号電圧Viと、可動部100の変位を検出するホールセンサX方向ホール素子54の出力であるホールセンサ出力電圧V0との差電圧が誤差増幅器Aによって増幅され、増幅された駆動コイル印加電圧Vcが駆動コイルX方向駆動用平面コイルCXに印加される。駆動コイル印加電圧Vcの印加により駆動コイルX方向駆動用平面コイルCXに発生した駆動力で可動部100が駆動され、可動部の変位はX方向ホール素子54ホールセンサでホールセンサ出力電圧V0に変換される。つまり、駆動コイル印加電圧Vcは、コイル電圧力変換手段K1で駆動力に変換され、この駆動力が可動部100の伝達関数変換手段1/Ms2K0によって駆動量に変換され、さらに駆動量が変位センサ変位電圧変換手段K2によってホールセンサ出力電圧V0に変換される。微分回路K3sは、ホールセンサ出力電圧V0を微分して可動部100の変位速度に比例した電圧に変化し、手ぶれ検出信号電圧Viと可動部の変位を検出するホールセンサ出力電圧V0との差からさらに可動部の変位速度に比例した電圧を差し引く。実際にはこの差電圧が誤差増幅器Aの入力になる。微分回路K3sは可動部の変位速度が過大にならないように制御するので、安定した動作のために有用である。以上の制御回路により、差電圧が小さくなる方向に、手ぶれ速度に応じた速度で可動部100が移動させられて、手ぶれによる像ぶれが軽減補正される。図10に示した制御回路から、伝達関数GOおよびGCを設定することができる。伝達関数GOを下記数1式に、伝達関数GC数2式に示した。下記数1式の伝達関数GOは、手ぶれ補正装置の制御動作特性、すなわち変位振幅ホールセンサ出力電圧VOと手ぶれ検出信号電圧Viの比を示す伝達関数である。ただし、VO;コイル印加電圧A;誤差増幅率M;可動部の質量K1;コイル電圧力変換係数K2;変位センサ変位電圧変換係数K3;微分回路時定数K0;ばね定数下記数2式の伝達関数GCは、駆動コイル印加電圧VCと手ぶれ検出信号電圧Viの比を示す伝達関数である。図11は、図示手ぶれ補正装置をX方向にフィードバック制御をかけずに駆動するときの制御回路のブロック線図を示している。下記数3式の伝達関数FOは、そのときの変位振幅ホールセンサ出力電圧VOと入力信号手ぶれ検出信号電圧Viの比を示す伝達関数である。図10および数1、数2式で設定された制御回路による制御特性について、図12乃至図18を参照して説明する。図12、図13および図14に、X方向板ばね30、31の厚み等を調整することでばね定数KOを調整し、固有振動数を手ぶれ振動数の上限15Hzより高い30Hz付近にしたときの各伝達関数ボード線図を示した。図12は、伝達関数FOの振幅特性ボード線図を示している。図において、縦軸は変位振幅db、横軸は入力周波数Hzである。入力信号周波数が10Hz程度までは変位振幅は一定を保つが、固有振動数30Hz付近で共振のため急激に変位振幅が増加し、さらに高周波では変位振幅が減少して行くことが分かる。図13のA、Bは、伝達関数GOのボード線図を示していて、Aが振幅特性|VO/Vi|、Bが位相特性に関する図である。Aにおいて、縦軸は変位振幅db、横軸は入力周波数Hzである。Bにおいて、縦軸は位相遅れ ゚、横軸は入力周波数Hzである。ここで振幅特性は、なるべく高周波まで変位振幅0dbを保つように係数K3を調整してある。このボード線図から明らかなように、手ぶれ振動数の上限の15Hzにおいて、振幅特性は0dbを保ち、位相遅れは10 ゚程度に収まっている。図14は伝達関数GCの振幅特性ボード線図を示している。図14において、入力信号周波数が固有振動数30Hz付近のときに振幅に著しい垂下が発生し、コイル印加電圧が極めて少なくなっていることが分かる。なお、図18は、固有振動数30Hzとし、微分回路時定数K3を最適調整値よりも小さくしたときの伝達関数FOのボード線図であって、Aが振幅特性|VO/Vi|、Bが位相特性に関する図である。微分回路時定数K3を最適調整値よりも小さく設定すると、制御系としての共振点100Hz付近で振幅にピークが現れ、発振気味になりやすく、好ましくないことが分かる。図15、図16および図17には、平行板ばねの厚み等を調整することでばね定数KOを調整し、可動部100の固有振動数を手ぶれ振動数域内の6Hz付近にしたときの実施例の各伝達関数ボード線図を示した。図15は、伝達関数FOの振幅特性ボード線図を示している。図において、縦軸は変位振幅db、横軸は入力周波数Hzである。入力信号周波数が4Hz程度までは変位振幅は一定を保つが、固有振動数6Hz付近で共振のため急激に変位振幅が増加し、さらに高周波では変位振幅は減少して行くことが分かる。図16のA、Bは、伝達関数FOのボード線図を示していて、Aが振幅特性|VO/Vi|、Bが位相特性に関する図である。Aにおいて、縦軸は変位振幅db、横軸は入力周波数Hzである。Bにおいて、縦軸は位相遅れ ゚、横軸は入力周波数Hzである。ここで振幅特性は、なるべく高周波まで変位振幅0dbを保つように係数K3を調整してある。このボード線図から明らかなように、手ぶれ振動数の上限の15Hzにおいて、振幅特性は0dbを保ち、位相遅れは10 ゚程度に収まっているのは、図13に示した実施例と同様であって、動作特性上目立つ差はないことが分かる。つまり、固有振動数が異なっても、本発明の実施例によれば動作特性に差は発生しない。図17は伝達関数GCの振幅特性ボード線図を示している。図17において、入力信号周波数が固有振動数6Hz付近のときに振幅に著しい垂下が発生し、コイル印加電圧が極めて低くなっていることを示している。図14および図17に示した振幅特性ボード線図から、固有振動数にかかわらず、入力信号周波数が固有振動数付近では、コイル印加電圧が極めて低くて済むことが分かる。つまり、固有振動数を手ぶれ振動数領域内に設定すれば、手ぶれ補正のために駆動コイルに印加される電圧が平均的に小さくなり、省電力化に効果がある。また、図14に示した実施例固有振動数30Hzと図17に示した実施例固有振動数6Hzとを比較すると、固有振動数よりもさらに低い手ぶれ振動数領域では振幅特性が、図14の実施例では約2.5db|VO/Vi|=1.3、図17の比較例では約25db|VO/Vi|=0.056となっていることが分かる。すなわち、同じ振幅の手ぶれ信号が入力されても、図17の実施例では図14の実施例に比較して、駆動コイルに0.056/1.3=1/23、すなわち1/23倍の電圧しか必要としないことが分かる。これは、固有振動数を低く設定するとばね定数K0が小さくなるので、ばねの弾性応力に抗して可動部を駆動するために駆動コイルに発生させる磁力が小さくて済むからであり、手ぶれ振動数領域全域全般でも省電力効果がある。逆に、手ぶれ振動数領域よりも高い固有振動数に設定すると、手ぶれ補正制御に必要な消費電力が多くなってしまう。また、固有振動数を、頻繁に発生する手ぶれ振動数領域内の振動数に設定すればさらに省電力化に効果がある。図19は、実際のカメラ撮像面上の像ぶれの周波数分布をFFT測定した結果例である。撮像面上の像ぶれのうち、3Hz程度以下の振動は撮影者の主に身体の振れによるものであり、3Hz程度以上の振動は手ぶれによるものである。手ぶれ振動は個人差があり、撮影姿勢、構え方、カメラボディの重さ、形状等によっても異なるが、図19でわかるように15Hz以上の振動数の手ぶれは殆ど存在しないことと、手ぶれ振動として目立つのは、3Hz~9Hz位の範囲である。したがって、固有振動数を、3Hz~9Hz内に設定するのが省電力化に効果がある。なお、固有振動数を身体振れの振動数領域の例えば1.5Hz程度に設定するのは、保持用弾性体のばね定数が小さすぎて撮像素子の光軸方向位置が安定しなくなるので好ましくない。本発明の手ぶれ補正装置は、図1乃至図7、図9に示したステージ装置に限定されず、補正レンズまたは撮像素子をばね部材によって保持し、ばね部材の弾性応力方向に駆動する駆動機構に適用できる。例えば、撮像素子11を固定し、撮影光学中に配置した補正レンズを光軸と直交する方向に駆動する手ぶれ補正装置にも適用できる。