"第1のケーシング内にフィルターが収容され、フィルターと第1のケーシング内壁面との間には半径方向に空間が形成されており、当該半径方向の空間には回転可能な羽根が配置されており、回転可能な羽根は第1のケーシングの中心軸と平行に延在していることを特徴とするフィルター機構。回転式ポンプを収容した第2のケーシングを設け、第2のケーシングは第1のケーシングに連通している請求項1のフィルター機構。第1のケーシングの内壁面に、回転羽根と干渉しない位置にじゃま板を設けた請求項1、2の何れかのフィルター機構。じゃま板は、螺旋状に配置されている請求項3のフィルター機構。前記羽根は螺旋状に形成されている請求項1~4の何れか1項のフィルター機構。本発明は上述した従来技術の問題点に鑑みて提案されたものであり、ポンプ等に設けられるフィルター機構であって、フィルター表面に付着した異物を除去することができ、以って、異物によりフィルターの目詰まりを防止することが出来るフィルター機構の提供を目的としている。本発明のフィルター機構は、第1のケーシングフィルターケーシング3内にフィルターフィルターエレメント51が収容され、フィルター51と第1のケーシング内壁面3iとの間には半径方向に空間Gが形成されており、当該半径方向の空間Gには円周方向へ回転可能な羽根回転羽根61、旋回羽根が配置されており、回転可能な羽根61は第1のケーシング3の中心軸と平行に延在していることを特徴としている図1。本発明において、回転羽根の断面形状は、回転羽根の回転速度や作動流体液体、気体の種類により、適宜、使い分けることが出来る。例えば、回転羽根の回転速度が遅い場合や、作動流体気体の比重や粘性が低い場合には、回転羽根61、61Aの断面形状は、両端部近傍が折曲された板状であるのが好ましい図2、図3。ここで、回転羽根の断面形状を翼状に構成すれば、作動流体の粘性が幅広い範囲の数値であっても対応することが出来るので、好ましい。或いは、回転羽根61B、61Cの断面形状は、翼状図4や円形図5であっても良い。ここで、フィルター51は回転或いは旋回せず、その断面形状は、例えば円形である。本発明の実施に際して、フィルター51の半径方向内方の領域はポンプ例えばトロコイドポンプ22の吸入口235、ポンプ22を経由して、ポンプ吐出口トコロイドポンプ吐出口215に連通しており、フィルター51と第1のケーシング3の内壁面3iとの間の領域は作動流体の低圧吐出口排出口237に連通しているのが好ましい。本発明において、例えば、クーラントタンク内に浸漬された低圧発生部の回転式ポンプ例えば、インペラー460を収容した第2のケーシングインペラーケーシング400を設け、第2のインペラーケーシング400は第1のケーシング3に連通しているのが好ましい図6、図9、図16。ここで、回転式ポンプとしては、例えばインペラー460、460Aを選択することが出来る。そして、インペラー460、460Aとしては、いわゆるセミオープンタイプであっても、いわゆるクローズドタイプであっても良い。なお、インペラー460、460Aに代えて、軸流ポンプ、その他の回転式ポンプを採用することも可能である。また本発明において、第1のケーシングの内壁面3iに、回転羽根61と干渉しない位置にじゃま板フィン9、9Aを設けるのが好ましい図7~図16。ここで、じゃま板9Aは、螺旋状に配置されているのが好ましい図10~図16。これに加えて、本発明において、前記羽根61Eは螺旋状に形成されているのが好ましい図17。上述する構成を具備する本発明によれば、フィルター51とケーシング内壁面3iとの間の羽根61が回転或いは旋回することにより、フィルター51とケーシング内壁3iの間の空間Gに存在する作動流体との間に速度差を生じる。フィルター51とケーシング内壁3iの間の空間Gにおいて、回転する羽根61、61A、61B、61C、61Eが作動流体例えば、クーラント液中を進行する事により、羽根の後方に乱流を生じ、フィルター51内部からフィルター51外部へ作動流体を吸い出す様な流れを生じる。その様な乱流や作動流体を吸い出す流れにより、フィルター51の外周表面から異物が剥離される。回転羽根が回転する速度と、フィルター51とケーシング内壁3iの間の空間Gで作動流体が旋回する速度の速度差が大きいほど、フィルター51の外周表面から異物が剥離させる作用効果も大きくなる。そして、回転羽根と作動流体との速度差が最も大きくなる時、すなわち回転羽根の回転起動時に、フィルター51の外周表面から異物が剥離させる作用効果は最大になる。なお、乱流を発生させるための羽根の構造は、省エネルギーの観点から、羽根構造の厚さ寸法が小さくなる薄くなることが好ましい。フィルター51とケーシング内壁3iの間の空間Gで、作動流体と速度差を生じる様に羽根回転羽根:61,61A、61B、61C、61Eを回転すると、ベルヌーイの定理により、流速が早い領域における作動流体の圧力は低いので、回転する羽根61,61A、61B、61C、61Eが通過する際には、その領域における圧力は低下する。その結果、回転する羽根61,61A、61B、61C、61Eが通過する際には、その領域の圧力は、フィルター51の半径方向内方の領域における圧力よりも低圧になる。そして、フィルター51の半径方向外方と半径方向内方の差圧により、羽根61,61A、61B、61C、61Eが通過する領域において、フィルター51における半径方向内方から半径方向外方へ向かう力Prが発生する。係る力Prにより、フィルター51の半径方向外方表面に付着した異物は、フィルター51から除去剥離される。回転する羽根の断面形状が薄い翼状61Bであれば、上述した半径方向内方から半径方向外方へ向かう力が発生し易くなり、当該力も大きくなり、省エネルギーの観点からも有利となり、好適である。また、フィルター51とケーシング内壁3iの間の空間Gで、作動流体の旋回速度と羽根61,61A、61B、61C、61Eの回転速度で速度差が存在すれば、回転或いは旋回する羽根61,61A、61B、61C、61Eの後方羽根の旋回方向の後方:羽根の下流側には乱流が発生し、渦Vが発生する。羽根61,61A、61B、61C、61Eは、フィルター51の半径方向外方表面の直近を通過するので、羽根61,61A、61B、61C、61Eの後方に発生する乱流及び渦Vによる回転力は、フィルター51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離する作用を奏する。本発明によれば、フィルター51における半径方向内方から半径方向外方へ向かう力Prに代えて、或いは、当該力Prに加えて、羽根61、61A、61B、61C、61Eの後方の乱流及び渦Vの回転力により、フィルター51の半径方向外方表面に付着した異物が剥離されるので、異物がフィルター51の表面に付着することが防止される。ここで本発明によれば、フィルター51の半径方向内方の領域は、例えばトロコイドポンプ22の吸入口235に連通しているので、ポンプ22の吸入圧が常に作用しており、フィルター51の半径方向外方領域の作動流体に対して吸引力を作用している。そのため、作動流体には、フィルター51の半径方向外方から半径方向内方に向かう流れが常に存在し、フィルター51の半径方向内方に付着した異物が剥離する。すなわち、本発明によれば、フィルター51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離すると共に、半径方向内方表面の異物付着も防止され、ポンプ吸入口235に供給される作動流体を確実に濾過して、清浄な作動流体をポンプ22に供給する作用効果も併せ持っている。本発明において、インペラー460を収容したインペラーケーシング400を設ければ、ポンプ例えばトロコイドポンプ22の吸入圧により、作動流体をポンプ装置内に吸入することが出来ると共に、インペラー460の回転力により、作動流体をフィルター51の半径方向内方の領域へ加圧することが出来る。また、インペラー460Aにより付加された圧力により、フィルター51から剥離した異物を、ケーシング3に設けられた異物用の排出口237、31aから効率良く排出することが出来る。本発明によれば、羽根61、61A、61B、61C、61Eが回転或いは旋回する方向フィルター51の円周方向について、時計回りであるか反時計回りであるかと、フィルター51とケーシング内壁3iの間の空間で作動流体が旋回する方向とは一致している。そして、フィルター51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離する作用は、作動流体の旋回速度と羽根61、61A、61B、61C、61Eの回転旋回速度の速度差が大きいほど、顕著となる。そのため、上述する構成を具備する本発明においては、羽根61、61A、61B、61C、61Eの回転旋回直後において、フィルター51の半径方向外方表面に付着した異物が最も剥離する。これに対して、本発明において、ケーシングの内壁面3i、3Ai、3Bi、3Ciにじゃま板フィン9、9Aを設ければ、当該じゃま板9、9Aにより作動流体の旋回流速度が低減されるので、作動流体の旋回速度と羽根61、61A、61B、61C、61Eの回転旋回速度の速度差が大きくなる。そのため、羽根61、61A、61B、61C、61Eの旋回直後、旋回停止直後以外でも、フィルター51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離する作用が良好に発揮される。そして、じゃま板9Aを、螺旋状に配置すれば、当該螺旋に沿って、異物を包含する作動流体を、フィルター51の半径方向外方の領域において、上昇或いは下降させることが出来る。換言すれば、フィルター51とケーシング内壁3Ciとの間の領域Gにおいて、螺旋状に配置されたじゃま板9Aに沿って、フィルター51から剥離した異物を包含する作動流体を、ケーシング3Cの上方或いは下方に設けられた異物用の排出口31aに向かって上昇或いは、下降させて、排出することが可能となる。さらに本発明において、羽根6Eを螺旋状に構成すれば、フィルター51の半径方向外方表面から剥離した異物が繊維等の比較的長いものである場合に、羽根車の縁部に絡まったとしても、繊維等の異物は、螺旋状の羽根6Eの縁部に沿って上昇して、ケーシング3の上方に設けられた異物用の排出口237に向かって移動することが出来る。そのため、繊維等の比較的長尺の異物が羽根に絡み付いたとしても、羽根6Eの縁部に沿って異物用の排出口237近傍まで移動するので、当該排出口237から本発明のフィルター機構を備えたポンプ装置の外部に排出することが出来る。繊維等の異物が回転羽根に絡み付いてしまうことを防止するため、羽根6Eを螺旋状に構成する場合には、異物排出口237はケーシング3の上方に設けることが好ましい。本発明のポンプのフィルター機構は、マシニングセンタ500やNC旋盤等に適用する場合において、低圧発生部によってクーラント液の低圧流を吐出し、高圧発生部からクーラント液の高圧流を吐出する様に構成することが出来る。その様に構成すれば、低圧流を発生する低圧用のポンプと、高圧流を吐出する高圧用ポンプの2種類を設ける必要がなくなり、単一のポンプクーラントポンプ101によって、クーラント液の低圧流と高圧流を発生することが出来る。そして、低圧のクーラント液をノズル540からワークW全体に向けて噴出することにより、加工中の切粉を除去することが出来る。また、高圧のクーラント液をツール520先端から噴出して、切削片のワークWへの噛み込み等を防止することも出来る。これにより、ワークの加工精度を向上させることが出来る。以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。最初に、図1~図5を参照して、本発明の第1実施形態について説明する。図1において、全体を符号101で示すクーラントポンプは、ポンプ駆動用の電動モータ1と、ポンプ部分2と、フィルターケーシング3と、フィルターケーシング下端閉塞板4と、フィルター5と、回転羽根6と、ストレーナプレート7とを有している。ポンプ部分2は、上方ハウジング21と、高圧発生部以下、トロコイドポンプと言う22と、下方ハウジング23とを有している。上方ハウジング21には、中央空間部211と、オイルシール格納部212と、シャフト貫通孔213と、吐出側流路入口214と、吐出口215と、吐出側流路216が形成されている。上方ハウジング21の上端側にはフランジ217が形成されており、フランジ217の上面側には、公知の手段例えば取り付けボルトによって、電動モータ1が取り付けられている。上方ハウジング21の下端面21uには、雌ねじが形成された複数のねじ孔218が設けられている。図1において、符号219は、クーラントポンプ101を図示しないクーラントタンクに取り付けるための取り付け座面を示す。上方ハウジング21における中央空間部211は上端側が開放された形状であり、中央空間部211内にカップリングCが配置されている。カップリングCは、電動モータ1の回転軸S1と、ポンプシャフトS2とを接続している。オイルシール格納部212は、中央空間部211の下方側で、中央空間部211と隣接して形成されており、その内部にオイルシールOs1を格納している。上方ハウジング21において、シャフト貫通孔213は、中央空間部211と、オイルシール格納部212と、下端面21uとを連通している。上方ハウジング21において、吐出側流路入口214は、上方ハウジング21の下端面21uに開口し、吐出口215は上方ハウジング21の外周側に開口している。吐出側流路入口214と吐出口215とは、吐出側流路216によって連通している。ポンプ部分2のトロコイドポンプ22は、上方ハウジング21と下方ハウジング23とによって挟まれる様に配置されている。そして、複数の通しボルトB1が、下方ハウジング23、トロコイドポンプ22のケーシング221、上方ハウジング21を貫通し、以って、下方ハウジング23、トロコイドポンプ22、上方ハウジング21を一体に構成している。トロコイドポンプ22は、ケーシング221と、インナーロータ222と、アウターロータ223とを有している。インナーロータ222は、公知の手段例えば、キーやピン、コッター等によって、ポンプシャフトS2に固定され、ポンプシャフトS2によって回転する。トロコイドポンプ22のケーシング221の外周近傍には、複数のボルト貫通孔224が形成されている。当該ボルト貫通孔224の配置水平面に対する投影位置は、上方ハウジング21の下端面21uに形成されたねじ孔218の配置水平面に対する投影位置と一致している。同一の通しボルトB1を挿入するためである。ポンプ部分2の下方ハウジング23には、円筒状突出部231と、中央円筒空間部232と、円環状空間233と、シャフト貫通孔234と、トロコイドポンプ22用の吸い込み口235と、フィルターケーシング嵌合部236と、低圧吐出口237とが形成されている。中央円筒空間部232は円筒状突出部231によって包囲されており、中央円筒空間部232の上方は、トロコイドポンプ22用の吸い込み口235を除き、閉塞している。すなわち、中央円筒空間部232の上方は、トロコイドポンプ22用の吸い込み口235に連通している。円環状空間233は、円筒状突出部231及び中央円筒空間部232と同心に形成されており、円筒状突出部231の半径方向外方に形成されている。シャフト貫通孔234は、下方ハウジング23の中心部、すなわち、中央円筒空間部232の中心に形成されている。そしてシャフト貫通孔234は、下方ハウジング23の天井部分を貫通している。シャフト貫通孔234にはポンプシャフトS2が挿入されており、ポンプシャフトS2は回転自在に軸支されている。円筒状突出部231の下端側における半径方向内周面には、フィルター上部支持部材52の上端が嵌合されている。そして、円筒状突出部231の半径方向内周面と、フィルター上部支持部材52の上端とは、いわゆるインロー状に結合されている。フィルターケーシング嵌合部236は円環状空間233の半径方向外側に配置されており、フィルターケーシング嵌合部236の半径方向外周面は、フィルターケーシング3上端における半径方向内周面3iと嵌合している。すなわち、フィルターケーシング嵌合部236の半径方向外周面と、フィルターケーシング3上端の半径方向内周面3iとは、いわゆるインロー状に結合されている。低圧吐出口237は、下方ハウジング23の半径方向外周側であって、比較的上方の位置に開口している。そして低圧吐出口237は、円環状空間233に連通している。円環状空間233の上方の複数個所にボルト挿通孔238が形成されており、ボルト挿通孔238は、ハウジング2の中心軸図1では図示せず:図1では上下方向に延在していると平行に延在している。そしてボルト挿通孔238は、円環状空間233と下方ハウジング23の上端面とを連通している。下方ハウジング23の半径方向外方縁部の近傍には、複数のねじ孔239が形成されている。ねじ孔239は、その上端部側に雌ねじが形成されている。ねじ孔239にはボルトB2が挿入され、ボルトB2はフィルターケーシング3を下方ハウジング23に固定する。図1において、クーラントポンプ101の下方端部には、フィルターケーシング下端閉塞板以下、ケーシング閉塞板と言う4が設けられている。ケーシング閉塞板4は、いわゆる浅い皿を上下逆に伏せたような形状に構成されており、ケーシング閉塞板4の中央には、断面円形のクーラント吸い込み口41が開口している。ケーシング閉塞板4の上面側には円形段部42が形成され、円形段部42の半径方向寸法は、ケーシング閉塞板4の半径方向外縁よりも若干小さく設定されている。そして、円形段部42の半径方向外周面側面が、フィルターケーシング3下端における半径方向内周面3iと嵌合している。ケーシング閉塞板4の下方には空間部43が形成されており、空間部43の開口部図1では下方の開口端近傍にはストレーナプレート7が設けられ、ストレーナプレート7は空間部43の開口部全域を覆っている。ストレーナプレート7は、クーラントタンクT図18、図19参照内のクーラントに含まれる大きな異物が、図1のクーラントポンプ101内に吸い込まないように設けられている。ストレーナプレート7をケーシング閉塞板4の下方に取り付けるには、溶接、かしめ、その他の従来公知の手法で為される。ケーシング閉塞板4における半径方向外方縁部の近傍には、複数の貫通孔44が形成されている。この貫通孔44の数及びその配置水平面の投影位置は、下方ハウジング23に形成されたねじ孔239の数及びその配置水平面の投影位置と一致している。貫通孔44を介して、ボルトB2をねじ孔239に挿入するためである。フィルターケーシング3を下方ハウジング23に取り付けるに際しては、下方ハウジング23の嵌合部236をフィルターケーシング3の上端の半径方向内周面3iに嵌合する。そして、フィルターケーシング3の下端の半径方向内周面3iにケーシング閉塞板4の円形段部42を嵌合する。そして、ケーシング閉塞板4を回転して、ケーシング閉塞板4の貫通孔44の中心と、下方ハウジング23のねじ孔239の中心とが整合する一直線上に配置される様に位置調整を行う。そして、ボルトB2を、貫通孔44及びねじ孔239に挿入し、所定の締め付けトルクを付加する。これにより、フィルターケーシング3とケーシング閉塞板4が、下方ハウジング23に締結される。フィルター5は、フィルター本体以下、フィルターエレメントと言う51と、フィルター上方支持部材52と、フィルター下方支持部材53とで構成されている。フィルターエレメント51は、半径方向に所定の厚みを持った円筒状の部材である。フィルターエレメント51の半径方向外周面と、フィルターケーシング3の半径方向内周面3iとの間には、断面が円環状の筒状空間Gが形成されている。フィルター上方支持部材52は、図1においてフィルターエレメント51の上方に設けられており、ハッチングを付して示されている。フィルター上方支持部材52は、下方ハウジング23における円筒状突出部231の半径方向内周面に勘合している。以って、フィルター上方支持部材52は、中央円筒空間部232に配置される。フィルターエレメント51は、フィルター上方支持部材52とフィルター下方支持部材53によって挟持されている。フィルター下方支持部材53は、図1においてフィルターエレメント51の下方に設けられており、ハッチングを付して示されている。フィルター上方支持部材52の中心には、図1では明示しないシャフト貫通孔が形成されており、当該シャフト貫通孔内を、ポンプシャフトS2の下端と円筒状回転軸S3の上端が貫通している。フィルター上方支持部材52には複数の貫通孔52Hが形成されている。この貫通孔52Hを経由して、フィルターエレメント51の半径方向内方の領域は、下方ハウジング23における中央円筒空間部232及びトロコイドポンプ22用の吸い込み口235に連通している。図1において、フィルター下方支持部材53の下方にはオイルシール格納部材55が設けられ、オイルシール格納部材55にはオイルシールOs2が設けられている。オイルシール格納部材55の中心には貫通孔が形成され、当該貫通孔には円筒状回転軸S3が回転自在に軸支されている。そして、円筒状回転軸S3が回転すると、回転羽根6が回転、旋回する。回転羽根6は、複数例えば、2枚のブレード61と、水平部材62と、ブレード61を支持する垂直支持部材63とを備えている。水平部材62は全体が矩形の板状に形成されて、クーラントポンプ101の直径方向に延在しており、水平部材62の直径方向の中央領域には円形の座面が設けられている図2~図5参照。ブレード61図示の例では2枚は、水平部材62と直交するように、水平部材62の直径方向両端部において、垂直支持部材63により固設されている。水平部材62の直径方向の中央領域水平部材62の円形の座面の中心には、貫通孔62aが形成されている。水平部材62は円筒状回転軸S3に固定されており、以って、回転羽根6はトロコイドポンプ22のインナーロータ223と一体的に回転し、回転羽根6のブレード61は円周方向に移動する。本明細書では、ブレード61の円周方向移動を回転或いは旋回と表現する場合がある。回転羽根6をトロコイドポンプ22のインナーロータ223と一体で回転させるために、軸部の長い挿通ボルトB3と、厚みのある円環状の座金8が設けられている。挿通ボルトB3は、水平部材62の中心の貫通孔62aを通り、座金8を貫通して、円筒状回転軸S3内に挿通されている。そして、挿通ボルトB3の先端図1では上端の雄ねじが、ポンプシャフトS2の下端に形成された雌ねじと螺合している。座金8は、ボルトヘッドB3hの裏面図1では上方の面と、回転羽根6の水平部材62下面との間に位置しており、挿通ボルトB3のボルトヘッドB3hを所定トルクで締め付けた際に、緩み止めの作用を奏する。そして、挿通ボルトB3を締め付けることにより、円筒状回転軸S3及び回転羽根6の水平部材62が、ポンプシャフトS2に結合される。図1において、電動モータ1の回転は、回転軸S1とポンプシャフトS2に伝達され、ポンプシャフトS2に結合された円筒状回転軸S3及び回転羽根6にも伝達される。そのため、回転羽根6はトロコイドポンプ22と一体に回転する。回転羽根6の一例を、図2第1実施形態及び図3第1実施形態の第1変形例に例示している。図2第1実施形態において、回転羽根6のブレード61が円周方向に移動、旋回することにより、フィルターケーシング3とフィルターエレメント51とで囲われた円環状の領域Gには、円周方向の流れFが発生する。図2の例第1実施形態では、回転羽根6のブレード61の断面形状は、半径方向内方側が流れFの下流側となる様に、流れFの流線に対して傾斜している。それに対して、図3の例第1実施形態の第1変形例では、回転羽根6のブレード61Aは、流れFに対して、直交する様に配置されている。図2において、ブレード61の断面両端が鈍角に折り曲げられている。一方、図3では、ブレード61Aの断面両端は直角に折り曲げられている。流れFはブレード61の旋回によって生じるが、フィルターエレメント51及びフィルターケーシング3の内周面3iの粘性抵抗により、ブレード61の回転速度よりも、流れFの旋回速度の方が遅くなる。ブレード61の回転速度と流れFの旋回速度の速度差により、異物を剥離させる流れをブレード61後方に発生させる。図2の例は、作動流体クーラントの粘性が高い場合に適用される。ブレード61を流れFの流線に対して傾斜を与えることにより、粘度が高いクーラントに対するブレード61の受圧面積を小さくして、ブレード61の抵抗を少なくするためである。一方、図3の例第1変形例は、クーラントの粘性が低い場合に適用される。粘性が低いクーラントの流れFの流線に対して直交する様にブレード61Aを配置することにより、粘性が低いクーラントに対するブレード61Aの受圧面積を大きくして、旋回流渦を発生し易くするためである。図2、図3ではブレード61、61Aは別の部材として説明されている。しかし、図示の実施形態において、ブレード61、61Aを同一の部材で構成して、クーラントの粘性に対応して、流れFの流線に対するブレード61、61Aの傾斜を可変に構成しても良い。すなわち、羽根車6の垂直部材63図1参照とブレード61、61Aが為す角度を調節可能に構成することが出来る。その様に構成すれば、複数種類のクーラントに対して、同一の羽根車ブレードを使用することが出来る。図2、図3で示すように、ブレード61、61Aの流れ方向の背面側上流側には、ブレード61、61Aが流体を攪拌することにより、円環状の領域G内に旋回流渦Vが発生する。回転羽根ブレード61、61Aの後ろ側に乱流或いは渦が発生することにより、フィルターエレメント51の半径方向外側表面に付着した異物が、半径方向外側フィルターケーシング3とフィルターエレメント51とで囲われた円環状の領域図1で符号Gで示す領域に吸い出される。その結果、フィルターエレメント51の半径方向外側表面から、異物ゴミが、半径方向外側に引き剥がされる。フィルターエレメント51の半径方向内方の領域は、フィルター上方支持部材52の貫通孔52Hを介してトロコイドポンプ22の吸入口235に連通しており、トロコイドポンプ22の吸入圧が常に作用している。そのため、フィルターエレメント51の半径方向外方領域に存在している作動流体に対して、フィルターエレメント51の半径方向内方側に吸引する力が常時作用している。フィルターエレメント51を透過して、濾過された作動流体クーラントは、フィルターエレメント51の半径方向内方の領域、フィルター上方支持部材52の貫通孔52H、トロコイドポンプ22の吸入口235を経由して、トロコイドポンプ22に吸入される。トロコイドポンプ22により昇圧されたクーラントは、吐出側流路入口214、吐出側流路216を経由して、高圧のクーラントとして吐出口215から吐出される。また、フィルターエレメント51の半径方向外側における円環状の領域Gに存在するクーラントは、低圧のクーラントとして、低圧吐出口237から吐出される。フィルターエレメント51の半径方向外側表面から剥離された異物ゴミは、回転羽根6が旋回して円環状の領域Gに生じる円周方向の流れFにより、低圧吐出口237からクーラントポンプ101の外部へ排出することが出来る。そのために、低圧吐出口237が連通している円環状空間233の径は、フィルターケーシング3の下端閉塞板4のクーラント吸い込み口41の径よりも、十分に大きくする必要がある。換言すれば、クーラント吸い込み口41の径を、円環状空間233の径よりも十分に小さくする必要がある。クーラント吸い込み口41の径が大きいと、クーラントポンプ101内に吸い込まれたクーラントが吸い込み口41からクーラントポンプ101の外部に落下してしまうからである。なお、クーラントポンプ101の使用に際しては、低圧吐出口237が作動流体液体に浸漬していることが好ましい。トロコイドポンプ22の吸引力により、低圧吐出口237からエアを吸い込んでしまうことを防止するためである。図4で示す第1実施形態の第2変形例では、ブレード61Bの断面形状を、翼状に流線形で構成した例を示している。図4の例では、図2の例第1実施形態と同様に、作動流体例えば、クーラントの粘性が高い場合に適用される。そして、翼面後方に乱流を発生させずに、揚力や圧力差によりフィルターエレメント51の半径方向外側表面から、異物ゴミを、半径方向外側に引き剥がすことが可能となり、回転数が高い場合でも省エネルギーの観点から有利となる。図4の変形例において、上述した以外の構成や作用効果については、図1~図3の実施形態と同様である。図5は第1実施形態の第3変形例を示している。図5の例では、ブレード61Cの断面形状は円形である。図5の第3変形例は、作動流体の粘性が比較的低い場合に適用される。図5の第3変形例における上述した以外の構成や作用効果については、図1~図4の第1実施形態変形例を含むと同様である。なお、図2~図5では、ブレードの断面形状を明確にするため、実際の寸法よりも、ブレード断面を大きく表示している。そして、図2、図3、図5で示すブレードの断面形状は、例えば、回転羽根6の回転数が数百rpmという低回転であるか、或いは、作動流体が空気等の様に粘性が低く且つ軽い流体である場合に、適用するのが好ましい。図1~図5の第1実施形態変形例を含むによれば、フィルターエレメント51とケーシング内壁面3iとの間のブレード61、61A、61B、61Cが回転或いは旋回することにより、フィルターエレメント51とケーシング内壁3iの間の円環状の空間G図1参照に、作動流体の旋回流F図2~図5参照が発生する。係る旋回流Fは、異物を低圧排出口237から排出する遠心力を付与する点で有効であるが、ブレード61、61A、61B、61C図2~図5との速度差を小さくして、異物剥離効果を低下させる。しかしながら、フィルターエレメント51及びフィルターケーシング3の内周面3iの粘性抵抗により、旋回流Fはブレード61、61A、61B、61Cよりも遅くなり、ブレード表面を後方へ流れる流れが発生する。フィルターエレメント51とケーシング内壁3iの間の円環状の空間Gにおいて、回転するブレード61、61A、61B、61Cが通過する際には、回転するブレード61、61A、61B、61Cが通過しない場合に比較して、作動流体がブレード後方へ流れる断面積流路断面積は、小さくなっている。そして、断面積が小さければ流速は早くなるので、回転するブレード61、61A、61B、61Cが通過する領域においては、ブレード61、61A、61B、61Cが通過しない領域に比較して、作動流体のブレード61、61A、61B、61Cに対する相対流速が速くなる。ベルヌーイの定理により、流速が早い領域における作動流体の圧力は低いので、回転するブレード61、61A、61B、61Cが通過する際には、その領域における圧力は低下する。その結果、回転するブレード61、61A、61B、61Cが通過する領域の圧力は、フィルター5の半径方向内方の領域における圧力よりも低圧になり、差圧が生じる。すなわち、ブレード61、61A、61B、61Cが通過する際に、フィルターエレメント51の半径方向外方の領域と、半径方向内方の領域とでは、差圧が生じる。係る差圧により、フィルターエレメント51における半径方向内方から半径方向外方へ向かう力Pr図2~図5参照が発生する。係る力Prにより、フィルターエレメント51の半径方向外方表面に付着した異物は、フィルターエレメント51から除去剥離される。特に、回転するブレード61Bの断面形状が翼状ブレード61B:図4参照であれば、上述した半径方向内方から半径方向外方へ向かう力Prが発生し易くなり、力Pr自体が大きくなる。図2~図5で示すように、回転或いは旋回するブレード61、61A、61B、61Cの後方ブレードの旋回方向後方には乱流が発生し、渦Vが発生する。ブレード61、61A、61B、61Cは、フィルターエレメント51の半径方向外方表面の直近を通過する。そのため、ブレード61、61A、61B、61Cの後方に発生する乱流及び渦Vによる回転力は半径方向外方に向かう力揚力を発生し、係る力は、フィルターエレメント51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離する作用を奏する。図1~図5の実施形態によれば、ブレード61、61A、61B、61Cがフィルターエレメント51の半径方向外方表面の直近を通過する際に、上述した差圧による力Prや、ブレード61、61A、61B、61Cの旋回方向後方の乱流及び渦Vの回転力による力揚力により、フィルターエレメント51の半径方向内方から半径方向外方へ向かう力が生じる。係る力により、フィルターエレメント51の半径方向外方表面に付着した異物が、半径方向外方の領域に剥離されるので、異物がフィルターエレメント51の表面に付着することが防止される。一方、図1~図5を参照して説明した実施形態によれば、フィルターエレメント51の半径方向内方の領域は、フィルター上方支持部材52の貫通孔52Hを介してトロコイドポンプ22の吸入口235に連通しているので、トロコイドポンプ22の吸入圧が常に作用している。そのため、フィルターエレメント51の半径方向外方領域に存在している作動流体に対して、フィルターエレメント51の半径方向内方側に吸引する力が常時作用している。すなわち、図1~図5のクーラントポンプ101では、フィルターエレメント51の半径方向外方から半径方向内方に向かう作動流体の流れが、常に存在している。その結果、図1~図5の実施形態によれば、トロコイドポンプ22の吸入口235に供給される作動流体を確実に濾過して、清浄な作動流体をトロコイドポンプ22に供給すると共に、フィルターエレメント51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離して、濾過性能を維持するという作用効果を奏している。次に、図6を参照して、本発明の第2実施形態を説明する。図6において、第2実施形態を適用したクーラントポンプは全体を符号102で示されており、フィルターケーシング3とケーシング閉塞板4との間の領域に、インペラー460を内装したインペラーケーシング400を配置している。そして、図6の第2実施形態は、フィルターケーシング3とケーシング閉塞板4との間にインペラー460を設けた点で、図1の第1実施形態を適用したクーラントポンプ101とは異なっている。以下、図6を参照して、クーラントポンプ102が図1~図5の第1実施形態と異なる点を、主として説明する。図6において、フィルターケーシング3下端の内周面3iに、インペラーケーシング400が嵌合されている。インペラーケーシング400は全体が回転体形状をしており、天蓋部410と、円筒状の下方空間420と、中心貫通孔430と、複数の流体通過孔440と、ケーシング嵌合部450とを備えている。中心貫通孔430は、天蓋部410の中心に形成されている。複数の流体通過孔440は、天蓋部410におけるインペラー460の外周近傍に、円周方向に均等ピッチで形成されている。円筒状の下方空間420内には、インペラー460が回転自在に配置されている。ケーシング嵌合部450は、天蓋部410の上面に形成された円環状の突起により構成されている。ケーシング嵌合部450の半径方向外方端面外周面は、フィルターケーシング3下端の内周面3iに嵌合している。インペラー460は、円筒状回転軸S3に結合されており、トロコイドポンプ22と一体に回転する。インペラー460の上方には押圧部材80が設けられており、インペラー460の下方には作動流体クーラント吸入口461が形成されている。インペラー460下方の作動流体吸入口461から吸入されたクーラントは、インペラー460によって圧力を付加されて、インペラー460の半径方向外方へ吐出され、複数の流体通過孔440を経由して、フィルターエレメント51とケーシング内壁3iの間の円環状の空間Gに流入する。インペラー460を円筒状回転軸S3に結合させるために、座金8と円筒状中間押圧部材80が設けられている。円筒状中間押圧部材80は、円筒部材の外周に円環状のフランジが形成されている。円筒状中間押圧部材80の円筒部材の上端は、回転羽根6の水平部材62の下面に当接している。そして、インペラー460は、その半径方向中央部の円盤状部材が、円筒状中間押圧部材80のフランジと座金8により、を挟み込む様にして固定されている。挿通ボルトB3のボルトヘッドB3hを所定トルクで締め込み、挿通ボルトB3の先端図6では上端の雄ねじを、ポンプシャフトS2の下端に形成された雌ねじに螺合することにより、インペラー460は、円筒状中間押圧部材80のフランジと座金8を介して、回転羽根6の水平部材62に固定される。図1を参照して上述した様に、回転羽根6の水平部材62は円筒状回転軸S3に結合されているので、インペラー460も、水平部材62、円筒状中間押圧部材80のフランジ、座金8を介して、円筒状回転軸S3に結合される。その結果、インペラー460は、回転羽根6及びトロコイドポンプ22と一体に回転することができる。図示の実施形態において、インペラー460は、いわゆるセミオープンタイプであっても良いし、いわゆるクローズドタイプであっても良い。また、明確には図示されていないが、インペラーに代えて、軸流ポンプ、その他の回転式ポンプを採用しても良い。図6の第2実施形態によれば、インペラー460を、フィルターケーシング3とケーシング閉塞板4との間の領域に設け、インペラー460の回転力により、作動流体クーラントは、流体通過孔440を経由して、フィルターエレメント51とケーシング内壁3iの間の円環状の空間Gへ押圧される様に構成している。そのため、作動流体をクーラントポンプ102内へ供給する力として、トロコイドポンプ22の吸引力に加えて、インペラー460によって付加される圧力も利用することが出来る。そして、フィルターエレメント51から剥離した異物を下方ハウジング23の低圧吐出口237から排出するための力として、インペラー460により付加される圧力が用いられる。これにより、フィルターエレメント51から剥離した異物を、低圧吐出口237から効率良く排出することが出来る。さらに、クーラントポンプ102全体が作動流体中に浸漬していなくても、インペラー460及びインペラーケーシング400が浸漬していれば、起動時には、インペラー460により作動流体を吸い込むことができる。図6の第2実施形態における上述以外の構成及び作用効果は、図1~図5を参照して説明した第1実施形態と同様である。図1~図6の第1実施形態、第2実施形態では、作動流体の旋回速度とブレード61、61A、61B、61Cの回転速度との速度差は、起動時が最も大きく、そのため、起動時には、フィルターエレメント51の表面から異物が剥離する効果が大きくなる。従って、図1~図6の第1実施形態、第2実施形態は、ポンプをON-OFFする頻度が高い使用方法が望ましい。図7、図8を参照して、本発明の第3実施形態を説明する。図7において、第3実施形態に係るフィルター機構を適用したクーラントポンプは、全体が符号103で示されている。図7のクーラントポンプ103は、図1のクーラントポンプ101に対して、フィルターケーシング3Aの内周面3Aiの複数個所に、じゃま板フィン9が設けられている点で相違している。以下、図7に基づいて、第1実施形態と異なる構成について、主に説明する。図7において、クーラントポンプ103のフィルターケーシング3Aの内周面3Aiには、複数のじゃま板いわゆるフィン9が円周方向に均等ピッチで設けられており、じゃま板9はフィルターケーシング3Aの中心軸と平行に延在している。ここで、図示の実施形態において、フィルターエレメント51の外表面に付着した異物を半径方向外方へ剥離する作用は、作動流体が旋回する速度とブレード61の回転速度の速度差が大きいほど、良好に発揮される。図7のフィルターケーシング3Aを水平に切った断面を示す図8で示す様に、ブレード61が回転する方向反時計回り方向と、フィルターエレメント51とフィルターケーシング内壁3Aiの間の円環状の空間Gにおいて作動流体が旋回する方向反時計回り方向とは、同一である。図8は、ブレード61が回転する方向と、空間或いは領域Gで作動流体が旋回する方向が同一であることを示すものであり、ブレード61の断面形状は、図8で示すものに限定される訳ではない。なお、図8でブレード61の断面を、実寸法よりも大きく示している。そのため、図1~図5の第1実施形態では、ブレード61の回転直後が、フィルターエレメント51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離する効果が、最も顕著に発揮される。しかし、図1~図5の第1実施形態では、ブレード61が回転を開始してから相当時間が経過すると、作動流体が旋回する速度とブレード61の回転速度の速度差が小さくなり、フィルターエレメント51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離する効果が小さくなってしまう。これに対して、図7においては、フィルターケーシングの内壁面3Aiにじゃま板9が設けているので、当該じゃま板9により、円環状の空間G内で作動流体が旋回する速度が低減する。その結果、ブレード61が回転を開始してから相当時間が経過しても、作動流体の旋回速度とブレード61の回転速度の速度差は小さくならない。また、じゃま板9を設けたことにより、フィルターケーシング内周面3Aiの近傍において、隣接するじゃま板9、9間の領域では、渦Vが発生し易くなる。係る渦により、ブレード61の進行方向後方作動流体の流れの上流側における乱流や渦が発生し易くなり、フィルターエレメント51の半径方向外方表面に付着した異物を半径方向外方に移動しようとする力も大きくなる。そのため、図7の第3実施形態によれば、ブレード61の旋回直後ではなくても、フィルターエレメント51の半径方向外方表面に付着した異物を剥離する作用が良好に発揮される。図7において、フィルターケーシング3Aの下端近傍に、円柱状のボス31がフィルターケーシング3Aを貫通する様に固着されている。円柱状のボス31の中心には、雌ねじが形成された低圧吐出口31aが形成されている。換言すれば、図1、図6において下方ハウジング23に形成されていた低圧吐出口237に比較して、図7の第3実施形態における低圧吐出口31aは、下方の位置に形成されている。じゃま板9を設けたことにより、フィルターエレメント51の半径方向外周面とフィルターケーシング3の半径方向内周面3iの間の領域Gにおいて、作動流体の旋回流Fの旋回速度は低下し、旋回流Fにより、フィルターエレメント51の外周面から剥離した異物に作用する遠心力は低下する。そのため、低圧吐出口237図1、図6参照の様に比較的高い位置に形成された排出口からは、フィルターエレメント51の外周面から剥離した異物は排出されない。そのため、図7の第3実施形態では、異物排出に用いられる低圧吐出口31aは、下方に配置されているのが望ましい。なお、図10においても、低圧吐出口31aが下方に配置されている。例えば、クーラントポンプの使用状況如何によっては、トロコイドポンプ22の吐出口高圧側吐出口215の位置と、低圧吐出口3131aの相対位置関係が拘束されてしまい、低圧吐出口31aフィルターエレメント51から剥離した異物を排出する排出口の位置を、図1、図6の低圧吐出口237の位置よりも下方にせざるを得ない場合が存在する。ポンプ吸入口と低圧吐出口31aが作動流体液体中に浸漬していれば、トロコイドポンプ22の吸入力により、当該作動流体液体を自吸できるからである。そのため、図7や図10の実施形態では、ポンプ起動に際しては、少なくとも低圧吐出口31aが浸漬している。図1、図6で示すクーラントポンプや、図9で示すクーラントポンプにおいて、その低圧吐出口の位置を、図7或いは図10で示すように、図1、図6、図9で図示された位置よりも下方にすることが可能である。その場合には、図10~図15を参照して後述するように、じゃま板を螺旋状に構成して、当該螺旋に沿って、異物を包含する作動流体が下降するのが好適である。図7、図8の第3実施形態は、じゃま板9により領域Gにおける旋回流Fの旋回速度が低速に抑えられるので、旋回流Fの旋回速度と回転羽根6の回転速度の速度差を大きな値に維持して、ポンプ103の起動時以外においても、フィルターエレメント51から異物が剥離する効果を連続的に発揮させることが出来る。そのため、図7、図8の第3実施形態は、ON-OFFを繰り返す場合は勿論適用することが出来るのに加えて、ポンプ103を連続運転する場合においても、適用することが出来る。図7、図8の第3実施形態における上述した以外の構成及び作用効果は、第1実施形態と同様である。図9を参照して、本発明の第4実施形態を説明する。図9において、第4実施形態に係るフィルター機構を適用したクーラントポンプは、全体を符号104で示されている。クーラントポンプ104は、その下方の吸い込み口にインペラー460を設けた点で、図7のクーラントポンプ103に対して異なっている。換言すれば、図9の第4実施形態を適用したクーラントポンプ104は、図1の第1実施形態を適用したクーラントポンプ101に対して、吸い込み口にインペラー460を設け、且つ、フィルターケーシング内周面3Biにじゃま板9を設けた実施形態である。図9の第4実施形態によれば、インペラーハウジング400及びその内部にインペラー460を設けたことによって、クーラントポンプ104内にクーラントを吸い込む力として、トロコイドポンプ22の吸入圧に加えて、インペラー460による回転力加圧が付加される。これにより、トロコイドポンプ22或いはクーラントポンプを更に小型化することが可能となる。また、例えば工作機械のクーラントを循環するに際して、その消費エネルギーを抑制して、ランニングコストを低減することもできる。さらに、インペラー460によりクーラントがクーラントポンプ104内に積極的に押し込まれるので、じゃま板9で旋回流Fの速度が低下していても、比較的高い位置にある当該排出口から異物が効率良く排出される。そのため、図7の低圧排出口31aとは異なり、第4実施形態では、異物排出に用いられる低圧吐出口237を、図9で示す様に、比較的高い位置に設けることが出来る。図9の第4実施形態における上述した以外の構成及び作用効果は、図1~図8の実施形態と同様である。次に、図10~図15を参照して、本発明の第5実施形態について説明する。図10~図15において、本発明のフィルター機構の第5実施形態を適用したクーラントポンプでは、図7におけるじゃま板9を、螺旋状により詳細には、螺旋の一部を構成するように捻っている。以下、図10~図15の第5実施形態について、図7、図8の第3実施形態と異なる構成について、主として説明する。図10は、フィルター5と、回転羽根6Dと、複数のじゃま板9Aと、じゃま板9Aを設けたフィルターケーシング3Cを含む縦断面を示している。そして図11は図10のY矢視を示し、図12は図10のXX断面矢視を示している。ただし、図12では、フィルター5及び回転羽根6Dを省略している。図12において、符号9Atは、じゃま板9Aの上端面を示している。上述した様に、じゃま板9Aは螺旋状に螺旋の一部を構成するように捻られている。第5実施形態では、じゃま板9Aが構成する螺旋或いは、螺旋の一部は、フィルター5の半径方向外方の領域Gにおける作動流体の旋回流が、当該螺旋に沿って、図10の下方へ向う様に捻られている。図11において、回転羽根のブレード61Dは、ブレード断面がその中央部でわずかに折り曲げられている。図11の例では、ブレード断面の折れ曲がり角度θは、半径方向外方に向かって5°である。図11、図13は、ブレードの好適な断面形状を示している。そして、図11、図13において、回転羽根のブレード61D、61Bの回転方向は、矢印CCWで示されている。図11の例ブレード断面が板幅の中心で5°折り曲げられているでは、ブレード61Dは、フィルターエレメント51の表面から1~2mm程度離れた位置に設けられている。ブレード61Dを、フィルターエレメント51の表面から極めて近接した位置フィルターエレメント51の表面から1~2mm程度離れた位置に配置することにより、ブレード61Dが旋回する際に、周囲の流体との速度差によって発生する力と、ベルヌーイの定理によって生じる差圧によって、フィルター表面からごみが剥離し易くなるからである。ここで、図11で示す折り曲げ角度θは、作動流体の粘度や比重に対応して、適宜変更することが好ましい。例えば、比重が水より軽く粘度が低くない油例えば、VG32:ISO規格であれば、ブレード61Dの円周方向長さを20mmとして、折り曲げ角度5°とする。一方、水性クーラントでは、ブレード61Dの円周方向長さを15mm、折り曲げ角度0~-5°半径方向外方に向かって5°とするのが好ましい。図13は、図4と同様に、断面が翼形状のブレード61Bを用いた変形例である。図12では、じゃま板9Aは6枚設けられている。ここで、じゃま板9Aの数は、3~8枚が望ましく、作動流体の粘性が高い場合には、じゃま板9Aの数を減少して、作動流体の粘性が低い場合には、じゃま板9Aの数を増加するのが好ましい。図10、図12では明示されていないが、図14、図15に示すように、6枚のじゃま板9Aは、螺旋状に螺旋の一部を構成するように捻られた状態で、フィルターケーシング3Cの内周面3Ciに固設されている。例えば、1枚のじゃま板9Aの下端を、その上端に対して、ケーシング内周面3Ci上で、円周方向に60度変位回転移動した位置まで捻っても良い。その様な例では、1枚のじゃま板9Aの下端は、そのじゃま板9Aに隣接するじゃま板9Aの上端と、水平面の投影位置が一致することになる。図10~図15の第5実施形態によれば、じゃま板9Aを、フィルターケーシングの内周面3Ciに螺旋状に配置している。そして、じゃま板9Aが構成する螺旋或いは、螺旋の一部は、フィルター5の半径方向外方の領域Gにおける作動流体の旋回流が、当該螺旋に沿って下方へ向う様に捻られている。そのため、螺旋状のじゃま板9Aの形状を適宜設定することによって、フィルターエレメント51の半径方向外側表面から剥離した異物を包含する作動流体を、フィルターエレメント51の半径方向外方における円環状の領域G図10参照において、下降させることが出来る。図10では、図7のクーラントポンプ103と同様に、低圧排出口ごみ排出口31aは、フィルターケーシング3Cの底部近傍で、隣接するじゃま板9Aの間の領域に形成されている。作動流体が円環状の領域G中を旋回する際にじゃま板9Aに沿って下降すれば、作動流体に包含される異物は、フィルターケーシング3Cの底部近傍に形成された低圧排出口31aから、クーラントポンプ外部に容易に排出される。図10~図15の第5実施形態は、図7と同様に、じゃま板9Aは設けているが、インペラー460図6、図9参照を有していない。そのため、フィルター5の半径方向外方の領域Gにおける作動流体の旋回流の旋回速度は、図7の実施形態よりは高速になる可能性があるがさほど高速にはならず、フィルター5の半径方向外方表面から剥離した異物には十分な遠心力が作用しない。そのため、当該異物の排出口を比較的高い位置に設けてしまうと、当該異物は効率的に排出されなくなってしまう。そのため、比較的下方に低圧排出口31aを形成している。図9で示すクーラントポンプの様に、低圧排出口237がフィルターケーシング3Bの上方の領域に形成されている場合に、じゃま板9Aが構成する螺旋或いは、螺旋の一部を、作動流体が円環状の領域G中で当該螺旋に沿って上昇する様に捻って構成し、以って、円環状の領域G中で作動流体をじゃま板9Aに沿って上昇せしめ、作動流体に包含される異物をフィルターケーシング3Bの上方の領域に形成された低圧排出口237から、クーラントポンプ外部に排出することも可能である。図10~図15の第5実施形態におけるその他の構成及び作用効果については、図1~図9の実施形態と同様である。図16を参照して、本発明の第6実施形態を説明する。図16の第6実施形態では、図10~図15の第5実施形態を適用したクーラントポンプにおいて、フィルターケーシング図10~図15では3C、図16では3Dの下部に、インペラー460Aを設けている。換言すれば、図16の第6実施形態は、第5実施形態と第2実施形態とを組み合わせた実施形態である。ここで、インペラー460Aについては、いわゆるセミオープンタイプであっても、いわゆるクローズドタイプであっても良い。また、インペラー460Aに代えて、軸流ポンプ、その他の回転式ポンプを採用することも可能である。図16において、フィルターケーシング3Dの下方にインペラー460Aを設けることにより、インペラー460Aを回転させることによって作動流体を加圧して、フィルターケーシング3Dとフィルター5の間の円環状の領域Gに流入せしめることが出来る。その結果、第5実施形態に係るフィルター機構を適用したクーラントポンプでは、トロコイドポンプ22図1、図6、図7、図9参照の吸入圧力に加えて、インペラー460Aの加圧力により、作動流体をクーラントポンプ内に吸入することが出来る。また、インペラー460Aにより付加された圧力により、円環状の領域Gに存在するフィルター5から剥離した異物を、フィルターケーシング3Dの低圧吐出口31aから効率よく排出することが可能になる。図16の第6実施形態における上述以外の構成及び作用効果は、図10~図15の第5実施形態と同様である。図17を参照して、本発明の第7実施形態を説明する。図17の第7実施形態は、回転羽根6Eのブレード61Eを、螺旋状により詳細には、螺旋の一部を構成するように捻っている。当該螺旋は、ポンプの中心軸周りに捻った形状となっており、回転羽根6Eが回転すると繊維等の異物がブレード61Eに沿って上昇する機能を有している。換言すれば、回転羽根6Eの回転方向は、回転羽根6Eが回転すると繊維等の異物がブレード61Eに沿って上昇する様に設定されている。図17において、ブレード61Eは、直接、円盤状の支持部材62Eの上面に固設されている。図17の第7実施形態によれば、ブレード61Eを螺旋状に構成しているため、フィルター図示を省略の半径方向外方表面から剥離した異物が、例えば繊維等の比較的長いものである場合に、ブレード61Eの縁部に絡みついたとしても、当該繊維等の異物は、螺旋状のブレード61Eの縁部に沿って移動して、垂直方向に上昇する。そして、ケーシング図17では図示せずの上方に設けられた異物用の排出口図9で示す低圧吐出口237に向かって移動する。ここで、回転羽根6Eが回転すると異物である繊維がブレード61Eに沿って下降する様に構成し、且つ、ケーシング下方の低圧吐出口31aを異物用排出口として構成すると、繊維がポンプ下方の領域に集合してしまい、回転羽根6Eに絡み付いてしまうので、ポンプ外に排出されなくなってしまう。そのため、図17の実施形態では、回転羽根6Eのブレード61Eの螺旋螺旋の一部は回転羽根6Eが回転すると繊維等の異物がブレード61Eに沿って上昇する様に捻られており、且つ、異物用の排出口は上方に設けられた低圧吐出口237図9参照によって構成されているのである。図17において、回転羽根6Eが逆方向に回転逆転してしまうと、繊維等の異物がブレード61Eに沿って下降して、回転羽根6Eに絡み付いてしまう恐れがある。そのため、図17の第7実施形態では、回転羽根6Eは逆転させないことが望ましい。図17の第7実施形態における上述した以外の構成及び作用効果については、図1~図16の実施形態と同様である。図18を参照して、例えば、工作機械で使用されたクーラントを図1で示すクーラントポンプ101を用いて濾過して、清浄化されたクーラントを再び工作機械に供給し、クーラントポンプ101で捕集した異物いわゆるコンタミを分離する機器設備を示している。図18において、クーラントタンクTにクーラントポンプ101が取り付けられており、クーラントタンクTには、工作機械図18では図示せずから、戻しラインRLを介して、使用後のクーラントが戻される。そして、クーラントポンプ101の吐出口215には、クーラント供給ラインCLが、工作機械図18では図示せずまで連通している。クーラントポンプ101の低圧吐出口237図1参照には処理ラインXLが接続され、処理ラインXLにはフィルターFTが介装されている。フィルターFTでは、クーラントに混在した各種異物コンタミ異物が除去される。フィルターFTで異物が除去された後、フィルターFTで濾過されたクーラントは、クーラントタンクTに戻される。クーラントポンプ101を用いてクーラントタンクTから工作機械図18では図示せずにクーラントを供給すれば、クーラント供給ラインCLを介して工作機械に供給されるクーラントは、クーラントポンプ101内のフィルターエレメント51図1参照により濾過される。一方、クーラントポンプ101内には吸入されたが工作機械には供給されなかったクーラントは、クーラントポンプ101の低圧吐出口237図1参照、処理ラインXLを介してクーラントタンクTに戻される途中で、フィルターFTにより濾過される。その結果、クーラントタンクTに戻されるクーラント内に混在する異物が除去される。図18において、クーラントポンプ101に代えて、図6~図17の各実施形態に係るクーラントポンプを使用することが可能である。次に、図19を参照して、図示の実施形態に係るフィルター機構を有するポンプ装置クーラントポンプ101を、工作機械のクーラント液用のポンプとして適用した場合について、説明する。図1~図3を参照して上述した様に、クーラントポンプ101は、高圧のクーラントを吐出口215から吐出し、低圧のクーラントを吐出口237から吐出する。図19において、マシニングセンタ500は、加工用テーブル505、主軸510、ツール520、クーラントノズル540を備えている。加工用テーブル505上には、被加工物であるワークWが固定されている。クーラントポンプ101の高圧ラインLhは、吐出口215図1参照に接続され、ツール520に連通している。そして、クーラントポンプ101の低圧ラインL1は、吐出口237図1参照に接続され、クーラントノズル540に連通している。図19において、クーラントポンプ101は、クーラント液の貯留タンクTに取り付けられている。図19のマシニングセンタ500において、クーラントポンプ101から吐出された低圧のクーラント液はノズル540に供給され、ノズル540からワークW全体に向けて噴出される。ノズル540からワークW全体へ噴出されたクーラント液は、加工中の切粉を除去する。一方、クーラントポンプ101から吐出された高圧且つ清浄なクーラント液は、ツール520の先端から噴出する。ツール520先端からクーラント液を高圧で噴出することにより、切削片がワークWへ噛み込んでしまうこと等を防止して、加工精度を向上させることが出来る。図19から明らかなように、図1~図5を参照して説明したクーラントポンプ101をマシニングセンタ500に適用すれば、ノズル540へ低圧のクーラント液を供給する低圧ポンプと、ツール520先端から高圧のクーラント液を供給する高圧ポンプを合計2台のポンプ、別個に設ける必要が無い。すなわち、図示の実施形態を適用したクーラントポンプ例えば、図1で示すクーラントポンプ101を用いれば、一台のクーラントポンプ101のみで、低圧のクーラント及び高圧のクーラントを、加工機械例えば、マシニングセンタ500に対して供給することが出来る。なお、図1~図5のクーラントポンプ101以外のクーラントポンプ図6~図17で示すクーラントポンプを、マシニングセンタやNC旋盤等に適用した場合においても、図19を参照して上述したのと同等な作用効果を奏する。図示の実施形態はあくまでも例示であり、本発明の技術的範囲を限定する趣旨の記述ではない旨を付記する。例えば、図示の実施形態において、ポンプの作動流体としてはクーラントが例示されているが、クーラント以外の流体を作動流体とする場合においても、本発明のフィルター機構を適用することが出来る。また、図示の実施形態では、ポンプのフィルター機構を説明しているが、ポンプ以外の流体機械であっても、作動流体の濾過を必要とする場合について、本発明のフィルター機構を適用することが可能である。"