試料に照射して前記試料を蛍光させる照明光を集光する複数の集光素子と当該集光素子により集光される照明光を通過させる複数の開口部とを有し、前記開口部を通過した前記照明光を前記試料に走査させる複数の光走査ユニットと、前記光走査ユニットを移動して前記光走査ユニットのうち1つの光走査ユニットを選択させる移動機構と、前記光走査ユニットのうち選択した光走査ユニットに応じて、この光走査ユニットに対する前記照明光の入射角を調整する入射角調整部と、を備えたことを特徴とする共焦点光スキャナ。前記移動機構に固定して取り付けられ、前記照明光を前記光走査ユニットに向けて反射する前記光走査ユニットごとに設けられる反射ミラーと、前記移動機構に固定して取り付けられ、前記反射ミラーの角度調整を行う前記光走査ユニットごとに設けられる前記入射角調整部としてのミラー調整部と、を備えたことを特徴とする請求項1記載の共焦点光スキャナ。前記光走査ユニットごとに設けられ、前記照明光を前記光走査ユニットに向けて反射する反射ミラーと、前記光走査ユニットごとに設けられ、前記反射ミラーの角度調整を行う前記入射角調整部としてのミラー調整部と、選択された前記光走査ユニットに応じた前記反射ミラーに切替を行うミラー切替部と、を備えていることを特徴とする請求項1記載の共焦点光スキャナ。前記照明光を前記光走査ユニットに向けて反射する1枚の反射ミラーと、選択された前記光走査ユニットに応じて前記反射ミラーの角度を変化させて調整を行うミラー駆動部と、を備えていることを特徴とする請求項1記載の共焦点光スキャナ。前記入射角調整部は、選択された前記光走査ユニットに応じて、前記照明光を回折させて進行方向を変化させる音響光学素子を有していることを特徴とする請求項1記載の共焦点光スキャナ。前記入射角調整部は、選択された前記光走査ユニットに応じて、前記照明光に対する前記光走査ユニットの配置角度を調整する光走査ユニット角度調整部を有していることを特徴とする請求項1記載の共焦点光スキャナ。前記光走査ユニットごとに前記入射角が調整された複数の前記照明光を合流するハーフミラーを備え、前記複数の照明光のうち、選択された前記光走査ユニットに応じた照明光を前記光走査ユニットに入射させることを特徴とする請求項1記載の共焦点光スキャナ。前記光走査ユニットは、前記集光素子をらせん状に且つ多条に配列した集光ディスクと、前記開口部としてのピンホールを前記集光素子と同じパターンで配列したピンホールディスクと、前記集光ディスクと前記ピンホールディスクとを一体的に回転させる連結回転モータと、を備えていることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の共焦点光スキャナ。請求項1乃至8の何れか1項に記載の共焦点光スキャナを有する共焦点顕微鏡であって、前記共焦点光スキャナと、前記照明光を発振する光源と、前記蛍光を戻り光として検出する検出部と、を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。特許文献1の共焦点光スキャナは、所謂ニポウディスク方式の共焦点光スキャナを用いた構成としたことで、ガルバノミラー等のような往復回転鏡を用いた方式よりも、高速に走査することが可能になる。対物レンズの倍率に応じて最適なピンホールを配列したピンホールディスクを選択することで、照明光の利用効率が高く、S/N比にも優れた高い分解能の共焦点画像を得ることができる点で極めて有利な効果を奏する。図11は、集光ディスク101に配列されたマイクロレンズ101Mの集光効果によって、照明光Lがピンホールディスク102に配列されたピンホールディスク102Pに集光している状態を示している。マイクロレンズ101Mにより集光された照明光Lの集光スポットSPがピンホール102Pの中心と一致したときに、最もS/N比に優れた高い分解能の共焦点画像を得ることができる。逆に、集光スポットSPがピンホール102Pの中心からずれるほど、光量損失が発生して共焦点画像のS/N比が低下する。例えば、ピンホール102Pの直径を50μmとし、マイクロレンズ101Mの焦点距離FLが14mmのときに、光量損失を10以下に抑制する場合には、集光スポットSPのピンホール102Pからの位置ずれは、ピンホール102Pのおおよそ20分の1以下、すなわち2.5μm以下としなければならない。このときの、マイクロレンズ101Mに対する照明光Lの入射角θは0.01度=Arctan2.5μm/14mm以下としなければならない。従って、入射角θは極めて高精度に調整されていなければならない。一方で、特許文献1で開示されているように、対物レンズの開口数NAに応じてピンホールユニットを交換可能に構成している。これにより、対物レンズの開口数NAに応じたピンホール径を有するピンホールユニットが選択され、共焦点画像の分解能や明るさ等の光学条件を最適にすることができる。このために、ピンホールユニットは移動機構により移動可能に構成している。このとき、移動機構の直進性やピンホールユニットの外形加工精度のばらつき等により、ピンホールユニットの取り付け角度にもばらつきを生じる。また、2つのピンホールユニットのうち1つのピンホールユニットに対して入射角θが0.01度以下となるような最適な調整を行うと、もう1つのピンホールユニットは入射角θを最適に調整できなくなることがある。これにより、このピンホールユニットを使用したときの照明光Lの入射角θは0.01度超えることになる。よって、全てのピンホールユニットについて最適な調整を行うことができない、という問題がある。そこで、本発明は、複数の光走査ユニットのうち1つを選択可能にした共焦点光スキャナを使用したときに、光走査ユニットに入射する照明光の入射角を常に最適にすることを目的とする。以上の課題を解決するため、本発明の共焦点光スキャナは、試料に照射して前記試料を蛍光させる照明光を集光する複数の集光素子と当該集光素子により集光される照明光を通過させる複数の開口部とを有し、前記開口部を通過した前記照明光を前記試料に走査させる複数の光走査ユニットと、前記光走査ユニットを移動して前記光走査ユニットのうち1つの光走査ユニットを選択させる移動機構と、前記光走査ユニットのうち選択した光走査ユニットに応じて、この光走査ユニットに対する前記照明光の入射角を調整する入射角調整部と、を備えたことを特徴とする。この共焦点光スキャナによれば、入射角制御部は選択した光走査ユニットに応じて照明光の入射角を制御している。これにより、照明光の入射角を制御することで、使用する光走査ユニットに対して入射する照明光の入射角を最適に調整することができる。従って、対物レンズの開口数NAに応じた光走査ユニットを選択できると共に、S/N比に優れた高い分解能の共焦点画像を得ることができる。また、前記移動機構に固定して取り付けられ、前記照明光を前記光走査ユニットに向けて反射する前記光走査ユニットごとに設けられる反射ミラーと、前記移動機構に固定して取り付けられ、前記反射ミラーの角度調整を行う前記光走査ユニットごとに設けられる前記入射角調整部としてのミラー調整部と、を備えたことを特徴とする。光走査ユニットごとに反射ミラーを設けており、且つ光走査ユニットに応じてミラー調整部が反射ミラーの角度調整を行っている。反射ミラーおよびミラー調整部は移動機構に固定して取り付けられていることから、1つの光走査ユニットを選択するために移動機構により移動したとしても、選択された光走査ユニットと反射ミラーおよびミラー調整部との相対関係は変化しない。これにより、選択した光走査ユニットに応じて入射角を最適に調整することができる。また、前記光走査ユニットごとに設けられ、前記照明光を前記光走査ユニットに向けて反射する反射ミラーと、前記光走査ユニットごとに設けられ、前記反射ミラーの角度調整を行う前記入射角調整部としてのミラー調整部と、選択された前記光走査ユニットに応じた前記反射ミラーに切替を行うミラー切替部と、を備えていることを特徴とする。反射ミラーは固定式にすることもできるが、ミラー切替部により、選択した光走査ユニットに応じた反射ミラーに切り替えることで、使用する光走査ユニットに対して入射する照明光の入射角を最適に調整することができる。また、前記照明光を前記光走査ユニットに向けて反射する1枚の反射ミラーと、選択された前記光走査ユニットに応じて前記反射ミラーの角度を変化させて調整を行うミラー駆動部と、を備えていることを特徴とする。ミラー駆動部により反射ミラーの角度を変化させることで、選択した光走査ユニットに応じた最適な角度で照明光を反射させることができる。これにより、使用する光走査ユニットに対して入射する照明光の入射角を最適に調整することができると共に、使用する反射ミラーの枚数を削減できる。また、前記入射角調整部は、選択された前記光走査ユニットに応じて、前記照明光を回折させて進行方向を変化させる音響光学素子を有していることを特徴とする。音響光学素子は入射した照明光を回折して、透過した照明光の進行方向を変更することができる。これにより、使用する光走査ユニットに対して入射する照明光の入射角を最適に調整することができる。また、前記入射角調整部は、選択された前記光走査ユニットに応じて、前記照明光に対する前記光走査ユニットの配置角度を調整する光走査ユニット角度調整部を有していることを特徴とする。光走査ユニットに対する照明光の入射角を調整するためには、照明光を調整する他に、光走査ユニットの配置角度を調整することでも実現できる。つまり、照明光と光走査ユニットとの相対関係が最適になっていればよく、このために光走査ユニットの配置角度を調整してもよい。また、前記光走査ユニットごとに前記入射角が調整された複数の前記照明光を合流するハーフミラーを備え、前記複数の照明光のうち、選択された前記光走査ユニットに応じた照明光を前記光走査ユニットに入射させることを特徴とする。複数の光走査ユニットごとに入射角が最適になるように調整された複数の照明光をハーフミラーで合流させて、選択した光走査ユニットに応じた照明光を使用することができる。これにより、照明光を光走査ユニットに最適な角度で入射させることができる。また、前記光走査ユニットは、前記集光素子をらせん状に且つ多条に配列した集光ディスクと、前記開口部としてのピンホールを前記集光素子と同じパターンで配列したピンホールディスクと、前記集光ディスクと前記ピンホールディスクとを一体的に回転させる連結回転モータと、を備えていることを特徴とする。光走査ユニットは、所謂ニポウディスク方式の共焦点光スキャナに適用することができる。これにより、前述の効果を得ると同時に、高速に共焦点画像を生成することができる。また、本発明の共焦点顕微鏡は、前述した共焦点光スキャナのうち何れか1つを有する共焦点顕微鏡であって、前記共焦点光スキャナと、前記照明光を発振する光源と、前記蛍光を戻り光として検出する検出部と、を備えたことを特徴とする。これにより、対物レンズの開口数NAに応じた光走査ユニットを選択できると共に、S/N比に優れた高い分解能の共焦点画像を得ることができる。本発明は、入射角制御部は選択した光走査ユニットに応じて照明光の入射角を制御している。これにより、照明光の入射角を制御することで、使用する光走査ユニットに対して入射する照明光の入射角を最適に調整することができる。従って、対物レンズの開口数NAに応じた光走査ユニットを選択できると共に、S/N比に優れた高い分解能の共焦点画像を得ることができる。以下、本発明の実施形態について説明する。図1は、本発明の共焦点顕微鏡を示している。この共焦点顕微鏡は、光源1と共焦点光スキャナ2と対物レンズ3とディッシュ4と結像レンズ5とカメラ6とを備えて構成している。また、共焦点光スキャナ2には制御部Cが接続されている。光源1はディッシュ4に搭載されている観察対象としての試料Sを励起させる波長を有する照明光Lを発振する。なお、発振した照明光Lはコリメート光平行光となっている。または、図示しないコリメートレンズにより照明光Lを平行光にする。共焦点光スキャナ2はディッシュ4に搭載されている試料Sに照明光Lを走査させるための走査部である。対物レンズ3は共焦点光スキャナ2により走査される照明光Lをディッシュ4に搭載している試料Sに焦点を結ばせる。照明光Lが試料Sに焦点を結ぶことにより、試料Sが励起されて蛍光を発生する。この蛍光が戻り光Rとなって、再び対物レンズ3に入射する。結像レンズ5は共焦点光スキャナ2から出射した戻り光Rをカメラ6に結像させる。カメラ6は戻り光Rの光量を光電変換することにより、画像データを生成する検出部である。カメラ6が受光した戻り光Rの光量データに基づいて、所定の画像処理を行うことにより、試料Sの画像が生成される。制御部Cは共焦点光スキャナ2の各部をコントロールするコンピュータ等である。図1に示すように、共焦点光スキャナ2は、光走査ユニット10と移動機構11とミラー保持具12とミラー13とミラー調整部14とを備えて構成している。光走査ユニット10は集光ディスク15とピンホールディスク16と連結回転モータ17とダイクロイックミラー18とを備えて構成している。また、移動機構11は固定部19と可動部20とを備えて構成している。図2に示すように、集光ディスク15は円盤状の回転ディスクであり、多条且つらせん状に多数の集光素子マイクロレンズ15Mを配列している。ピンホールディスク16は円盤状の回転ディスクであり、多条且つらせん状に多数のピンホール16P図示せずを配列している。集光ディスク15の集光素子15Mとピンホールディスク16のピンホール16Pとは略同一のパターンで配列している。集光素子15Mは、入射した照明光Lを集光させる。このとき、集光ディスク15の集光素子15Mとピンホールディスク16のピンホール16Pとは対応していることから、集光素子15Mに入射した照明光Lは対応するピンホール16Pに集光する。また、集光ディスク15とピンホールディスク16とは連結回転モータ17により連結されている。連結回転モータ17は回転力を付与することにより回転する。これにより、集光ディスク15とピンホールディスク16とは一体的に回転を行う。ダイクロイックミラービームスプリッタ18は照明光Lの波長を透過し、試料Sの蛍光戻り光Rの波長を反射する光学素子である。このダイクロイックミラー18は集光ディスク15とピンホールディスク16との間に形成される空間に配置される。これらにより、光走査ユニット10が構成される。図2に示すように、共焦点光スキャナ2は、第1の光走査ユニット10aと第2の光走査ユニット10bとを有して構成している。ここでは、2つの光走査ユニットを設けた例を示しているが、勿論3つ以上の光走査ユニットを設けて、3つ以上の光走査ユニットから1つの光走査ユニットを選択してもよい。第1の光走査ユニット10aと第2の光走査ユニット10bとは異なる光走査ユニットになっている。ここでは、ピンホール16Pの開口面積が異なっている場合を例示するが、これに限定されず例えば集光素子15Mやピンホール16Pの配列パターンが異なるものであってもよい。つまり、第1の光走査ユニット10aのピンホール16Pの開口面積は大径になっており、第2の光走査ユニット10bのピンホール16Pの開口面積は小径になっている。勿論、開口面積の大小は逆であってもよい。第1の光走査ユニット10aと第2の光走査ユニット10bとは何れか1つが選択されるようになっており、対物レンズ3の開口数NAを基準に選択がされる。移動機構11は、光走査ユニット10を移動させる光走査ユニット移動機構である。移動機構11は固定部19と可動部20とを有して構成している。固定部19は可動部20が移動するときにガイドされるガイドレール等である。可動部20はボールネジやリニアモータ等の可動部材であり、固定部19にガイドされてスライドされる。可動部20が移動することにより、第1光走査ユニット10aと第2光走査ユニット10bとのうち何れかが選択される。図2に示すように、可動部20は第1光走査ユニット10aおよび第2光走査ユニット10bを搭載可能なテーブルを有しており、このテーブル自体が移動する。そして、このテーブルには正面から見て略L字状のミラー保持具12が取り付けられている。ミラー保持具12はミラー13を保持する手段であり、可動部20に固定的に取り付けられている。ミラー13は反射ミラーである。光源1から発振した照明光Lを反射する位置にミラー13を設けており、このミラー13により照明光Lは90度或いは90度近傍の角度で反射する。ミラー13にはミラー調整部14が取り付けられている。このミラー調整部14は調整ネジ等を適用することができ、ミラー調整部14を用いてミラー13の配置角度を変更することで、ミラー13の反射角度を変化させることができる。これにより、ミラー13で反射した後の照明光Lの進行方向を変化させることができる。なお、ミラー13は反射プリズムであってもよい。図2に示すように、ミラー保持具12は上面から見て略T字状になっており、ミラー保持具12の両端にそれぞれ第1ミラー13a、第2ミラー13bおよび第1ミラー調整部14a、第2ミラー調整部14bが取り付けられている。第1ミラー13aおよび第1ミラー調整部14aは第1光走査ユニット10aに対して設けられたものであり、第2ミラー13bおよび第2ミラー調整部14bは第2光走査ユニット10bに対して設けられたものである。以上が構成である。次に、動作について説明する。図1に示した対物レンズ3の開口数NAに適した開口面積を持つピンホール16Pを選択することにより、共焦点画像の分解能や明るさ等の光学条件を最適にすることができる。これにより、S/N比に優れた高い分解能の共焦点画像を得ることができる。このために、図2に示した第1光走査ユニット10aと第2光走査ユニット10bとのうち何れかを選択する。つまり、対物レンズ3の開口数NAに適したピンホール16Pを持つ光走査ユニット10を選択する。ここでは、対物レンズ3の開口数NAに適したピンホール16Pを持つ光走査ユニット10は第1光走査ユニット10a大径のピンホール16Pを形成しているであるものとする。従って、制御部Cは移動機構11を制御して、可動部20を固定部19に沿って移動させる。そして、第1光走査ユニット10aに光源1から発振される照明光Lが入射可能にし、第1光走査ユニット10aから戻り光Rがカメラ6に受光可能にする。この状態で、光源1から照明光Lを発振する。この照明光Lは第1光走査ユニット10aの第1ミラー13aで反射する。反射した照明光Lは集光ディスク15に配列した集光素子15Mによりピンホールディスク16の対応するピンホール16Pに集光する。ピンホール16Pを通過した照明光Lは対物レンズ3によりディッシュ4の試料Sに焦点を結ぶ。これにより、試料Sが励起されて蛍光し、戻り光Rが発生する。戻り光Rは対物レンズ3に入射して、ピンホール16Pを通過する。集光ディスク15とピンホールディスク16との間にはダイクロイックミラー18が配置されている。ダイクロイックミラー18は照明光Lの波長の光を透過し、蛍光戻り光Rの波長の光を反射する光学特性を有している。よって、戻り光Rは反射する。反射した戻り光Rは結像レンズ5に入射する。この結像レンズ5により、戻り光Rはカメラ6に結像される。カメラ6は戻り光Rが結像した領域の光量を光電変換することで、光量データを取得する。集光ディスク15とピンホールディスク16とは連結回転モータ17により一体的に回転を行っている。集光ディスク15には多数の集光素子15Mがらせん状且つ多条に配列され、同様のパターンでピンホールディスク16にはピンホール16Pが配列されている。従って、集光ディスク15とピンホールディスク16とを一体的に回転することで、試料Sの所定領域に高速に照明光Lを走査させることができる。これにより、カメラ6に戻り光Rが走査されて、走査された光量データに基づいて、試料Sの所定領域の画像を高速に生成することができる。なお、連結回転モータ17の制御は制御部Cが行うようにする。照明光Lおよび戻り光Rはピンホール16Pを通過する。これにより、試料Sの焦点面以外の光は排除され、光軸方向に高い分解能を持つ共焦点画像を生成することができる。且つ、対物レンズ3に適した開口面積を持つピンホール16Pを持つ第1光走査ユニット10aを選択している。これにより、S/N比に優れた高い分解能を持つ光学条件の良い画像を生成することができる。従って、対物レンズ3の開口数NAによっては、第2光走査ユニット10bのピンホール16Pの方が適している場合がある。この場合には、移動機構11の可動部20を移動させて、第2光走査ユニット10bを選択する。従って、光源1およびカメラ6に対応する位置に第2光走査ユニット10bを移動させる。ところで、図2に示すように、移動機構11の可動部20には第1光走査ユニット10aのための第1ミラー13aおよび第1ミラー調整部14aを備えており、また第2光走査ユニット10bのための第2ミラー13bおよび第2ミラー調整部14bを備えている。そして、可動部20には第1光走査ユニット10aおよび第2光走査ユニット10bが取り付けられており、且つミラー保持具12も取り付けられている。よって、第1光走査ユニット10aと第1ミラー13aとの位置関係および第2光走査ユニット10bと第2ミラー13bとの位置関係は固定されている。そこで、第1ミラー調整部14aは、第1光走査ユニット10aに対して入射する照明光Lの入射角θθaとするが所定の角度範囲内となるように第1ミラー13aの角度調整を行う。同様に、第2ミラー調整部14bは、第2光走査ユニット10bに対して入射する照明光Lの入射角θθbとするが所定の角度範囲内となるように第2ミラー13bの角度調整を行う。従って、第1ミラー調整部14aおよび第2ミラー調整部14bは照明光Lの光走査ユニット10に対する照明光Lの入射角を調整する入射角調整部となる。第1ミラー調整部14aと第2ミラー調整部14bとはそれぞれ別個独立にミラーの角度調整を行うことができる。第1光走査ユニット10aが選択されているときに、光源1が発振した照明光Lは第1ミラー13aで反射する。このときの第1ミラー13aの反射角により、集光ディスク15の集光素子15Mに対する照明光Lの入射角θaが決定される。この入射角θaにより、集光素子15Mにより集光されるピンホール16Pの集光スポットSPの位置が決定される。前述したように、集光スポットSPがピンホール16Pの中心と近いほど光量損失が少なくなる。理想的には、集光スポットSPとピンホール16Pの中心とが完全に一致したときに、最も光量損失が少なくなる。光量損失には許容値があり、前述したように光量損失の許容値が10以下の場合には、入射角θaは0.01度以下であることが要求される。そこで、このような入射角θaの条件を満たすように、第1ミラー調整部14aが第1ミラー13aの反射角を調整する。これにより、照明光Lの進行方向は調整され、第1光走査ユニット10aに適した入射角θaで照明光Lを集光ディスク15に入射させることができる。その結果、前記の条件を満たすことができ、S/N比に優れた高い分解能の画像を生成することができる。第1ミラー調整部14aは入射角制御部であり、照明光Lの反射方向を調整している。換言すれば、第1ミラー調整部14aは照明光Lの進行方向を調整する光変向手段となる。第2ミラー調整部14bも同様である。なお、第1ミラー調整部14aがネジによる調整の場合には、第1ミラー13の反射面の裏面に設けた少なくとも2箇所のネジを調整することにより、第1ミラー13の反射面の角度調整を行う。これにより、第1光走査ユニット10aに特化した最適な入射角θaで集光ディスク15に照明光Lを入射させることができる。一方、第2光走査ユニット10bを選択したときには、制御部Cが移動機構11を制御して、光源1が発振した照明光Lが第2光走査ユニット10bに入射し、第2光走査ユニット10bからの戻り光Rがカメラ6に受光されるような位置に第2光走査ユニット10bを移動させる。このとき、第2光走査ユニット10bに特化した第2ミラー13bの反射角の調整を行う。これは、第2ミラー調整部14bが行い、ネジによる調整の場合には少なくとも2箇所に設けたネジを調整する。第2ミラー13bの反射角の調整を行うことで、第2光走査ユニット10bに照明光Lを最適な入射角θbで入射させることができる。これにより、S/N比に優れた高い分解能の画像を生成することができる。移動機構11により、第1光走査ユニット10aと第2光走査ユニット10bとのうち対物レンズ3の開口数NAに応じた光走査ユニット10を選択することができ、且つ第1光走査ユニット10aと第2光走査ユニット10bとのそれぞれについて反射角を調整した第1ミラー13aと第2ミラー13bとを設けている。前述したように、光走査ユニット10や移動機構11の外形加工精度のばらつきや、移動機構11の直進性のばらつき等に起因して、第1光走査ユニット10aと第2光走査ユニット10bとの取り付け角度が異なる場合がある。また、1つの光走査ユニット10に照明光Lの入射角θが最適になるように調整したとしても、それ以外の光走査ユニット10の入射角θが最適にならないことがある。しかしながら、前述した構成を採用することで、第1光走査ユニット10aと第2光走査ユニット10bとを移動機構11により切り替えたとしても、照明光Lの光量損失を抑制することができる。これにより、S/N比に優れた高い分解能の画像を生成することができる。ここでは、照明光Lの光量損失が10以下に抑制した場合を最適な入射角θ前述した条件では0.01度以下としたが、最適な入射角θは光量損失の許容範囲によって任意に変更することができる。例えば、光量損失が20まで許容されれば、入射角θの調整はそれほどシビアにならず、5以下まで許容されるような場合には、入射角θの調整は極めてシビアになる。以上において、ピンホールディスク16は多条且つらせん状にピンホール16Pを配列したものを例示したが、共焦点セクショニング効果を得ることができれば、ピンホール16Pの共焦点開口は任意の形状とすることができる。例えば、複数のスリット開口が形成されたスリットディスクやトニーウィルソンディスクエンコードを行うための輝度変調を利用したディスク等を用いてもよい。また、共焦点光スキャナ2としては、多数の集光素子15Mと多数のピンホール16Pとを備えて、多数の点を同時に走査して高速に共焦点画像を生成することができれば、任意の構成を採用することができる。例えば、集光素子15Mとピンホール16Pとが同一ディスク上に形成されているような光走査ユニットを用いてもよい。次に、変形例1について説明する。本変形例1は、図3および図4に示すように、ミラー切替部21を設けている。このミラー切替部21はミラー固定部22とミラー可動部23とを有している。ミラー固定部22は可動式のミラー可動部23をガイドするガイドレールであり、ミラー可動部23はミラー固定部22によりガイドされて移動する。移動方向は光走査ユニット10と同じ方向になる。図4に示すように、ミラー固定部22の長手方向に第1ミラー13aと第2ミラー13bとを配列して取り付けている。第1ミラー13aには第1ミラー調整部14aが取り付けられており、第2ミラー13bには第2ミラー調整部14bが取り付けられている。従って、第1ミラー13aと第2ミラー13bとはそれぞれ独立して角度調整を行うことができる。制御部Cが移動機構11を制御することにより、第1光走査ユニット10aと第2光走査ユニット10bとのうち何れかを選択にしている。また、第1ミラー13aは第1光走査ユニット10aに応じて角度調整がされており、第2ミラー13bは第2光走査ユニット10bに応じて角度調整がされている。従って、第1光走査ユニット10aが選択されたときには、制御部Cはミラー切替部21を制御してミラー可動部23を移動させる。そして、光源1が発振した照明光Lを反射する位置に第1ミラー13aを配置する。一方、第2光走査ユニット10bが選択されたときには、制御部Cはミラー切替部21を制御してミラー可動部23を移動させる。そして、光源1が発振した照明光Lを反射する位置に第2ミラー13bを配置する。これにより、選択された光走査ユニット10に応じて第1ミラー13aと第2ミラー13bとを切り替えることができ、使用する光走査ユニット10に対して照明光Lの入射角θが最適になるように調整することができる。これにより、S/N比に優れた高い分解能の画像を生成することができる。次に、変形例2について説明する。本変形例2は、図5および図6に示すように、ピエゾアクチュエータ24とピエゾ固定部24Fとを有している。ピエゾ固定部24Fはピエゾアクチュエータ24を固定しており、2本のピエゾアクチュエータ24がミラー13の角度調整を行っている。ピエゾアクチュエータ24はピエゾ素子により構成されており、圧電効果を利用して、ミラー13の角度調整を行うミラー駆動部である。ピエゾアクチュエータ24の制御は制御部Cが行っている。制御部Cが移動機構11を制御して、第1光走査ユニット10aを選択したときには、制御部Cは第1光走査ユニット10aに応じた反射角となるようにミラー13の角度調整を行う。第2光走査ユニット10bを選択したときには、制御部Cは第2光走査ユニット10bに応じた反射角となるようにミラー13の角度調整を行う。これにより、選択された光走査ユニット10に応じて最適な反射角となるようにミラー13の角度調整を行うことができる。このため、選択した光走査ユニット10に対して照明光Lの入射角θが最適になるように調整することができ、S/N比に優れた高い分解能の画像を生成することができる。なお、ここでは、ミラー駆動部としてピエゾアクチュエータ24を用いたが、ミラー13の角度調整をすることができれば、ミラー駆動部としてモータやリニアアクチュエータやガルバノメーター等を用いてもよい。次に、変形例3について説明する。本変形例3では、図7および図8に示されるように、音響光学素子25を用いている。音響光学素子25は制御部Cにより制御がされており、照明光Lの光路に設けている。音響光学素子25を駆動することにより、照明光Lは回折がコントロールされて、進行方向が変化する。前述した実施形態、実施例1並びに実施例2はミラー13を用いて、光走査ユニット10に対する照明光Lの入射角θを制御する反射タイプであったが、本変形例3は音響光学素子25を透過する照明光Lの進行方向を変化させて入射角θを制御する透過タイプである。よって、図7に示すように、光源1の位置が前述した実施形態、実施例1並びに実施例2とは異なっている。これにより、選択した光走査ユニット10に対して照明光Lの入射角θが最適になるように調整することができ、S/N比に優れた高い分解能の画像を生成することができる。音響光学素子25は照明光Lの進行方向をコントロールする光変向手段である。ここでは、光変向手段として音響光学素子25を用いたが、照明光Lの進行方向を変化させることができるものであれば、電気光学素子や磁気光学素子等を用いてもよい。次に、変形例4について説明する。本変形例4では、図9に示すように、光走査ユニット角度調整部26を設けている。前述した実施形態並びに変形例1乃至変形例3では、照明光Lの進行方向を変化させていたが、本変形例では光走査ユニット10の角度調整を行う。この角度調整は光走査ユニット角度調整部26が行う。光走査ユニット角度調整部26は角度調整ネジ等により実現することができる。すなわち、第1光走査ユニット10aが選択されたときには、この第1光走査ユニット10aに応じた角度調整を光走査ユニット角度調整部26が行う。また、第2光走査ユニット10bが選択されたときには、この第2光走査ユニット10bに応じた角度調整を光走査ユニット角度調整部26が行う。これにより、第1光走査ユニット10aと第2光走査ユニット10bとの何れが選択されても、それに応じた光走査ユニット10の角度調整を行うことができる。従って、入射角θを最適に調整することができ、S/N比に優れた高い分解能の画像を生成することができる。ここでは、光走査ユニット角度調整部26は角度調整ネジにより実現する例を示したが、モータやリニアアクチュエータ、ピエゾアクチュエータ等の可動機構を光走査ユニット角度調整部26に適用してもよい。このとき、可動機構の制御は、選択された光走査ユニット10に応じて、最適な光走査ユニット10の配置角度となるように、制御部Cが行うようにする。次に、変形例5について説明する。この変形例5では、2つの光源1a、1bを設けている。また、共焦点光スキャナ2にはハーフミラー27とミラー28とを設けている。光源1aは第1光走査ユニット10aに入射する照明光L1とするの入射角θaが最適になる方向に照明光Lを出射する。光源1bは第2光走査ユニット10bに入射する照明光L2とするの入射角θbが最適になる方向に照明光Lを出射する。第1光走査ユニット10aが選択されたときには、光源1aから照明光L1が発振される。光源1aから発振された照明光L1はハーフミラー27を透過して、第1光走査ユニット10aに入射する。照明光L1の出射方向は第1光走査ユニット10aに応じて最適に調整されているため、入射角θaを最適にすることができる。第2光走査ユニット10bが選択されたときには、光源1bから照明光L2が発振される。光源1bから発振された照明光Lはミラー28で全反射をして、ハーフミラー27で反射する。そして、第2光走査ユニット10bに照明光L2が入射する。このときに、光源1bからの照明光L2の出射方法は第2光走査ユニット10bに応じて最適に調整されているため、入射角θbを最適にすることができる。従って、第1光走査ユニット10aに最適な入射角θで入射させる照明光L1と第2光走査ユニット10bに最適な入射角θで入射させる照明光L2とはハーフミラー27で合流している。そして、選択された光走査ユニットに応じて、照明光L1と照明光L2とのうち何れかを使用することで、何れの光走査ユニットが選択されても最適な入射角θで照明光L1またはL2を入射させることができる。従って、本変形例5においても、選択した光走査ユニット10に応じて最適な入射角θで照明光Lが入射するため、S/N比に優れた高い分解能の画像を生成することができる。