振動板上に、該振動板と略同形状の共通電極、前記振動板と略同形状の圧電セラミック層および複数の個別電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータユニットであって、前記個別電極は、個別電極本体と該個別電極本体から引き出されている引出電極とを含み、該引出電極は、当該引出電極が引き出されている前記個別電極本体と該個別電極本体に隣接する他の前記個別電極本体との間で外部配線に接続されるとともに、前記引出電極の底面の少なくとも一部が前記個別電極本体の底面より高い位置にあることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。前記引出電極の底面の少なくとも一部が、前記圧電セラミック層の上面上に設けられた絶縁体のランド上にあることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータユニット。前記ランドの誘電率が、前記圧電セラミック層の誘電率よりも低いことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電アクチュエータユニット。前記ランドの厚さが、前記圧電セラミック層の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニット。前記ランドが、アルカリ金属元素、Cu、Mn、Pb、Al、ZrおよびTiのうちの少なくとも1種を含有するホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスであることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニット。前記ホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスが、希土類元素を含有することを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータユニット。前記個別電極本体が、前記圧電セラミック層の上面に設けられている凹部にあることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニット。振動板上に、該振動板と略同形状の共通電極、前記振動板と略同形状の圧電セラミック層および複数の個別電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータユニットであって、前記個別電極は、個別電極本体と該個別電極本体から引き出されている引出電極とを含み、該引出電極は、当該引出電極が引き出されている前記個別電極本体と該個別電極本体に隣接する他の前記個別電極本体との間で外部配線に接続されるとともに、前記引出電極の少なくとも一部は、前記圧電セラミック層に設けられている凹部あるいは貫通孔に設けられている絶縁体の上にあることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。請求項1~8のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニットが、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室が開口している流路部材に、前記個別電極本体と前記液体加圧室とが重なるように積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。請求項9に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送部を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。しかしながら、特許文献1に記載されているような液体吐出ヘッドに用いられる圧電アクチュエータユニットでは、変位素子を駆動すると、液体加圧室と重ならない位置にある個別電極と共通電極との間の圧電セラミック層も圧電変形するため、周囲の変位素子とのクロストークが大きくなってしまうことがあるという問題があった。したがって、本発明の目的は、クロストークが生じ難い圧電アクチュエータユニット、およびそれを用いた液体吐出ヘッド、ならびに記録装置を提供することにある。本発明の圧電アクチュエータユニットは、振動板上に、該振動板と略同形状の共通電極、前記振動板と略同形状の圧電セラミック層および複数の個別電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータユニットであって、前記個別電極は、個別電極本体と該個別電極本体から引き出されている引出電極とを含み、該引出電極は、当該引出電極が引き出されている前記個別電極本体と該個別電極本体に隣接する他の前記個別電極本体との間で外部配線に接続されるとともに、前記引出電極の底面の少なくとも一部が前記個別電極本体の底面より高い位置にあることを特徴とする。前記引出電極の底面の少なくとも一部が、前記圧電セラミック層の上面上に設けられた絶縁体のランド上にあることが好ましい。前記ランドの誘電率が、前記圧電セラミック層の誘電率よりも低いことが好ましい。前記ランドの厚さが、前記圧電セラミック層の厚さよりも厚いことが好ましい。前記ランドが、アルカリ金属元素、Cu、Mn、Pb、Al、ZrおよびTiのうちの少なくとも1種を含有するホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスであることが好ましい。前記ホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスが、希土類元素を含有することが好ましい。前記個別電極本体が、前記圧電セラミック層の上面に設けられている凹部にあることが好ましい。また、本発明の圧電アクチュエータユニットは、該振動板と略同形状の共通電極、前記振動板と略同形状の圧電セラミック層および複数の個別電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータユニットであって、前記個別電極は、個別電極本体と該個別電極本体から引き出されている引出電極とを含み、該引出電極は、当該引出電極が引き出される前記個別電極本体と該個別電極本体に隣接する他の前記個別電極本体との間で外部配線に接続されるとともに、引出電極の少なくとも一部は、前記圧電セラミック層に設けられている凹部あるいは貫通孔に設けられている絶縁体の上にあることを特徴とする。また、本発明の液体吐出ヘッドは、前記圧電アクチュエータユニットが、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室が開口している流路部材に、前記個別電極本体と前記液体加圧室とが重なるように積層されていることを特徴とする。さらに、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送部を制御する制御部とを備えていることを特徴とする。本発明の圧電アクチュエータユニットによれば、引出電極と共通電極との間の電位差により生じる圧電駆動が小さくなるので、周囲の変位素子との間にクロストークを生じさせ難くできる。また、本発明の液体吐出ヘッドは、液体の吐出特性のばらつきを小さくできる。さらに、本発明の記録装置によれば、記録精度を高くすることができる。図1は、本発明の一実施形態である記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1以下、プリンタ1とするは、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む、互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端に液体吐出ヘッド本体13を有している。液体吐出ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔8が設けられている図3参照。1つの液体吐出ヘッド2に設けられた液体吐出孔8からは、同じ色の液滴インクが吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2の液体吐出孔8は一方方向印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタM、イエローY、シアンCおよびブラックKである。各液体吐出ヘッド2は、液体吐出ヘッド本体13の下面と搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成する液体吐出ヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a~122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体13について説明する。図2は、図1に示された液体吐出ヘッド本体13を示す上面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、液体吐出ヘッド本体13の一部である。図4は、図3と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔8の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき液体加圧室10液体加圧室群9、しぼり12および液体吐出孔8を実線で描いている。図5は図3のV-V線に沿った縦断面図である。液体吐出ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、アクチュエータユニットである圧電アクチュエータユニット21とを有している。圧電アクチュエータユニット21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に平行になるように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータユニット21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータユニット21により吐出された液滴が混在して着弾することになる。流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線仮想線のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータユニット21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータユニット21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータユニット21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータユニット21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータユニット21に対向する領域に互いに隣接して液体吐出ヘッド本体13の長手方向に延在している。流路部材4は、複数の液体加圧室10がマトリクス状すなわち、2次元的かつ規則的に形成されている4つの液体加圧室群9を有している。液体加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータユニット21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室10によって形成された各液体加圧室群9は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータユニット21が接着されることで閉塞されている。本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1~E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。全体では、マニホールド5から繋がる液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔8もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の液体吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である以下の間隔で個別流路32が形成されているということである。圧電アクチュエータユニット21の上面における各液体加圧室10に対向する位置には後述する個別電極35がそれぞれ形成されている。個別電極35は液体加圧室10より一回り小さく、液体加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。流路部材4の下面には多数の液体吐出孔8が形成されている。これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータユニット21と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔群は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット21の変位素子50を変位させることにより液体吐出孔8から液滴が吐出できる。液体吐出孔8の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔8は、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。液体吐出ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャしぼりプレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。液体吐出ヘッド本体13は、図5に示されているように、液体加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、液体吐出孔8は下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室10を介して副マニホールド5aと液体吐出孔8とが繋がる構成を有している。各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された液体加圧室10である。第2に、液体加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23詳細には液体加圧室10の入り口からサプライプレート25詳細には副マニホールド5aの出口までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。第3に、液体加圧室10の他端から液体吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ部分流路と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23詳細には液体加圧室10の出口からノズルプレート31詳細には液体吐出孔8までの各プレートに形成されている。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27~30に形成されている。このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口副マニホールド5aの出口から液体吐出孔8に至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室10の一端部に至る。さらに、液体加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔8へと進む。圧電アクチュエータユニット21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の液体加圧室10を跨ぐように延在している図3参照。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛PZT系のセラミックス材料からなる。圧電アクチュエータユニット21は、Ag-Pd系などの金属材料からなる共通電極34、Au系などの金属材料からなる個別電極35を有している。個別電極35は上述のように圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する位置に配置されている。個別電極35は、液体加圧室10と対向している個別電極本体35aと、この個別電極本体35aに接続され、液体加圧室10と対向している領域外に引き出された引出電極35bとを有している。また、引出電極35bの一部は、圧電セラミック層21bの上面上に設けられた絶縁体のランド40の上に位置している。また、引出電極35bの一部の上には接続電極36が形成されている。接続電極36は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが15μm程度で凸状に形成されている。また、接続電極36は、変位素子50と隣接する変位素子50との間で図示されていない外部配線であるFPCFlexiblePrintedCircuitに設けられた電極と電気的に接合される。変位素子50と隣接する他の変位素子50との間とは、より正確には、1つの変位素子50の周囲の変位素子50図5bでは6個あるの個別電極本体35aの面積重心を結んでできる多角形の内側ということである。このような位置で外部との電気的接続を行なうことで、引出電極35bの引き回しが簡単になるとともに、引出電極35bの面積が少なくなるので、それにより発生する圧電駆動を小さくし、クロストークを少なくできる。なお、圧電アクチュエータユニット21の変位する部分変位素子50の厚さは40μm程度であり、100μm以下であることにより、変位量を大きくすることができるようになっている。圧電セラミック層21a、bおよび共通電極34は、それぞれ略同じ形状であることにより、これらを同時焼成により作製する場合に、反りを小さくできる。100μm以下の圧電アクチュエータユニット21は焼成過程で反りが生じやすく、その量も大きくなる。また、反りが生じていると、流路部材4に積層した際に、その反りを変形させて接合することになり、その際の変形が変位素子50の特性変動に影響し、ひいては液体吐出特性のばらつきにつながるため、反りは、圧電アクチュエータユニット21の厚さと同程度以下に小さいことが望ましい。そして、内部電極のある場所とない場所の焼成収縮挙動の差による反りを少なくするために内部電極34は内部にパターンのないベタで形成される。なお、ここで略同じ形状であると、外周の寸法の差がその部分の幅の1以内であることを言う。圧電セラミック層21a、bの外周は、基本的に焼成前に重ねられた状態で切断して形成されるので、加工精度の範囲内で同じ位置になる。内部電極34も、ベタ印刷した後に、圧電セラミック層21a、bと同時に切断することで形成されると反りが生じ難いが、圧電セラミック層21a、bと相似形状で少し小さいパターンで印刷することにより、圧電アクチュエータ21の側面に内部電極34が露出しなくなるため、電気的信頼性が高くなる。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100から外部配線であるFPCを通じて駆動信号駆動電圧が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータユニット21に対向する領域内の全ての液体加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なる表面電極不図示が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に外部配線と接続されている。なお、後述のように、個別電極35に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極35に対応する液体加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する液体吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット21における各液体加圧室10に対向する部分は、各液体加圧室10および液体吐出口8に対応する個別の変位素子50アクチュエータに相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図5に示されているような構造を単位構造とする変位素子50が液体加圧室10毎に、液体加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、個別電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット21には変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって液体吐出口8から吐出される液体の量は5~7pLピコリットル程度である。平面視したとき、個別電極本体35aは液体加圧室10と重なるように配置されており、液体加圧室10の中央に位置している部位の、個別電極35と共通電極34とに挟まれている圧電セラミック層21bは、圧電アクチュエータユニット21の積層方向に分極されている。分極の向きは上下どちらに向かっていてもよく、その方向に対応し駆動信号を与えることで駆動できる。図5に示されるように、共通電極34と個別電極35とは、最上層の圧電セラミック層21bのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層21bにおける個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット21においては、最上層の圧電セラミック層21bのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック21aは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット21はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極35を共通電極34より高い電位以下高電位と称すにしておき、吐出要求がある毎に個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位以下低電位と称すとし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、bが元の形状に戻り、液体加圧室10の容積が初期状態両電極の電位が異なる状態と比較して増加する。このとき、液体加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から液体加圧室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、bが液体加圧室10側へ凸となるように変形し、液体加圧室10の容積減少により液体加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極35に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室10内において圧力波がマニホールド5から液体吐出孔8まで伝播する時間長さであるALAcousticLengthが理想的である。これによると、液体加圧室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。以上のような液体吐出ヘッド2においては、変位素子50の変位を大きくするために個別電極35、より詳しくは、個別電極35のうち平面視した際に液体加圧室10と重なっている部分である個別電極本体35aの大きさを液体加圧室10よりも小さい所定の大きさにする。液体加圧室10の形状や、他の部分の流路の構造によって多少の違いが生じることもあるが、個別電極本体の面積を液体加圧室10の面積の6割程度にすることで、変位を極大し、ひいては、液滴の吐出速度を速くしたり、液適量を多くしたりできる。引出電極35bは、外部配線を個別電極本体35aに直接接続すると、変位が妨げらるので、液体加圧室10の外側に引き出されている。しかし、駆動信号が入力されると、引出電極35bと共通電極34との間の圧電セラミック層21bも圧電変形し、そのため、周囲の変位素子50との間にクロストークが生じることがある。このクロストークは、圧電セラミック層21bが、隣接する変位素子50との間で繋がっているため、その影響は特に大きくなるので、本発明は、そのような圧電アクチュエータ21で特に有用である。そこで、絶縁体のランド40を設ければ、引出電極35bの底面の少なくとも一部を、個別電極本体35aの底面よりも高い位置に形成でき、圧電セラミック層21bに生じる電界を小さくし、圧電変形を少なくすることでクロストークを少なくできる。ランド40の材質としては、ガラス、セラミックス、ガラスセラミックス、樹脂などの絶縁体であればよい。絶縁体は圧電性でない方が好ましいが、圧電セラミック層21bより圧電定数が小さい圧電体や、圧電セラミック層21bより誘電率が低い圧電体であれば、圧電体であってもかまわない。ランド40として特に好ましいガラスについては、後述する。なお、ここで言う位置が高いとは、その導体の下部に導電性の物質が存在しない状態で位置が高いと言うことである。例えば、個別電極本体を形成した後、個別電極本体の上に一部が重なるように引出電極を形成すると、圧電セラミック層21bが平坦で特に加工していないものであっても、重なった部分の引出電極の底面は、個別電極本体の底面の位置より高くなるが、この場合は、引出電極の下には導電性の個別電極本体が存在するため、引出電極に加わった電圧は個別電極本体に加わるので、このような場合は除かれる。また、ランド40の誘電率が圧電セラミック層21bの誘電率よりも小さいと、電位差は主にランド40の方に生じ、圧電セラミック層21bに生じる電界が低くなるので、圧電駆動によるクロストークはより少なくなる。さらに、ランド40の厚さが圧電セラミック層21bの厚さより厚いと、電位差は主にランド40の方に生じ、圧電セラミック層21bに生じる電界が低くなるので、圧電駆動によるクロストークはより少なくなる。圧電セラミック層21bとしてセラミックスを用いているので、ランド40として、焼付けたガラスを用いると、圧電アクチュエータユニット21の作製が容易になる。特に、圧電セラミック層21bとしてPZT系セラミックスなどを用いる場合、ガラスを次に示す組成にすることで反応を抑制できるともに、接着強度を高くでき、好ましい。ランド40として、アルカリ金属元素、Cu、Mn、Pb、Al、ZrおよびTiのうちの少なくとも1種を含有し、B2O3、SiO2、ZnOおよびBi2O3を主体とするホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスを用いると、PZT系セラミックス上などで焼成した場合に、800~950°Cで焼付け可能で、PZT系セラミックスとの反応も抑制できる。PZT系セラミックスとガラスが反応した場合、ランド40直下の圧電アクチュエータユニット21に変形が生じることがあり、流路部材4に接合した場合に、その変形の分、圧電アクチュエータユニット21の内部に応力が生じ、液体吐出特性の変動の原因になる。そのため、特に圧電アクチュエータユニット21の変位する部分の厚さが100μm以下の場合、反応による変形や、その変形の結果生じる接着の際の応力が大きくなるので、上述のガラスを用いるのが好ましい。また、このようなガラスの比誘電率は10以下になるので、ランド40直下の圧電駆動を抑制し、クロストークを低減できる。続いて、ホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスのより具体的な組成を説明する。BをB2O3換算で15モル以上、より好ましくは20モル以上にすることで、ガラスの軟化点が低くなるので、焼成温度を低くすることができ、圧電セラミック層21bとの反応を抑制できる。BをB2O3換算で40モル以下にすることで、耐湿性や耐酸性などを高くできる以下で、総称して化学的安定性を高くできると言う。SiをSiO2換算で1モル以上、より好ましくは2モル以上にすることで、化学的安定性を高くすることができる。SiをSiO2換算で10モル以下、好ましくは8モル以下にすることでガラスの軟化点を低くすることができる。ZnをZnO換算で5モル以上、より好ましくは8モル以上にすることで、軟化点を低くすることができるとともに、ガラスの熱膨張係数を低くして、PZT系セラミックスなどのセラミックスに近づけることができる。これにより、焼成時の降温過程などで、クラックが生じるのを抑制できる。ZnをZnO換算で15モル以下にすることで、化学的安定性を高くすることができる。BiをBi2O3換算で15モル以上、より好ましくは20モル以上にすることで、軟化点を低くすることができるとともに、PZT系セラミックスとの接合性を高くして、接着強度を高くできる。ただし、過剰に含有されていると、逆に接着強度が低くなるので、Bi2O3換算のBi量は、70モル以下、より好ましくは60モル以下である。以上のようなホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスに、アルカリ金属元素、Cu、Mn、Pb、Al、ZrおよびTiのうちの少なくとも1種を、それぞれの酸化物R2ORはアルカリ金属元素、CuO、MnO2、PbO、Al2O3、ZrO2およびTiO2換算で、合計で1~20モル含有することで、化学的安定性を高くすることができる。これらの中でも、アルカリ金属元素特にLi、Na、Kと、Al、ZrおよびTiのうちのいずれか1種とを、次のように含有するのが好ましい。アルカリ金属元素を酸化物換算で5モル以上含有することで、軟化点を低くでき、20モル以下含有することで、化学的安定性を高くできる。Alを酸化物換算で3モル以上含有することで、化学的安定性を高くでき、15モル以下含有することで、軟化点を低くできる。Zrの含有で化学的安定性を高めるのに効果的な範囲は、酸化物換算で1~10モルである。Tiを酸化物換算で1モル以上含有することで、化学的安定性を高くでき、5モル以下含有することで、軟化点を低くできる。またさらに、以上のようなホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラス100重量部に対して、希土類元素が酸化物換算で0.1~0.3重量部含有されていると、焼付け時のガラスの粘度が高くなり、バンプ40の形状を崩れ難くすることができる。希土類元素は、YまたはCeのうちの少なくとも1種であることが好ましい。本発明の他の実施形態を図6a~cを用いて説明する。図6a~cは液体吐出ヘッドの変位素子周辺の要部の縦断面図であり、これらの液体吐出ヘッドの図示した部分以外の基本的構造は、図1~5に示したものと同じである。図6aの液体吐出ヘッドでは、圧電セラミック層121bに凹部121cが形成されており、凹部121cに個別電極本体135aが形成されている。これにより、引出電極135bの底面の一部は、個別電極本体135aの底部よりの高い位置になり、引出電極135bと共通電極134との間で生じる圧電駆動によるクロストークを少なくできる。凹部121cは、焼成前に打ち抜いたグリーンシートを積層するなどして形成してもよいし、焼成後にレーザなどにより形成してもよい。焼成前に形成すると反りの要因となることがあるため、焼成後に形成することが好ましい。図6bの液体吐出ヘッドでは、圧電セラミック層221に貫通孔240が形成されており、貫通孔240には絶縁体が充填されており、引出電極235bの一部が貫通孔240上に形成されている。絶縁体として圧電体でないもの、圧電体であっても圧電定数の低いものを用いることで、引出電極235bと共通電極334との間で生じる圧電駆動によるクロストークを少なくできる。図6cの液体吐出ヘッドでは、圧電セラミック層321に凹部340が形成されており、凹部340には絶縁体が充填されており、引出電極335bの一部が凹部340上に形成されている。絶縁体として圧電体でないもの、圧電体であっても圧電定数の低いものを用いることで、引出電極335bと共通電極334との間で生じる圧電駆動によるクロストークは少なくできる。貫通孔240および凹部340は、焼成前に形成してもよいし、焼成後に形成してもよい。焼成後の形成は、例えばレーザにより行なうことができる。以上のような液体吐出ヘッド2は、例えば、以下のようにして作製する。ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層21a、21bとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極34となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を充填する。ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、圧電アクチュエータユニット素体を作製した。続いて、圧電アクチュエータユニット素体にランド40となるエポキシ樹脂を印刷した後、硬化し、個別電極35をスパッタで形成し、圧電アクチュエータユニット21を作製する。次に、圧延法等により得られプレート22~31を、接着層を介して積層して流路部材4を作製する。プレート22~31に、マニホールド5、個別供給流路6、液体加圧室10およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。これらプレート22~31は、Fe―Cr系、Fe-Ni系、WC-TiC系の群から選ばれる少なくとも1種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Fe-Cr系がより好ましい。圧電アクチュエータユニット21と流路部材4とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータユニット21や第1の流路部材4への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が100~150°Cのエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも1種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータユニット21と流路部材4とを加熱接合することができ、液体吐出ヘッドを得ることができる。他のランド40を含む圧電アクチュエータユニット21の製造方法としては次のような方法がある。上述の圧電アクチュエータユニット素体に対して、ガラス粉末、溶剤およびバインダなどを含むガラスペーストを塗布し、900°Cで焼成して、厚さ5~20μmのランド40を形成する。続いてAuペーストを塗布し、800°Cで焼成して個別電極35を作製し、さらに、Agペーストを塗布して、600°Cで焼成して接続電極36を形成する。ランド40を、組成をB2O3が36.48モル、SiO2が9.6モル、ZnOが15モル、Bi2O3が30モル、Al2O3が3モル、ZrO2が0.92モル、Na2Oが2モル、K2Oが2モル、Li2Oが1モルの成分100重量部に対してY2O3を0.2重量部としたガラスを用いて、厚さ10μmで形成して、図1~5に示す液体吐出ヘッド2を作製し、変位素子50の変位量を測定した。また、比較対照として、ランド40が形成されておらず、それ以外の点は同じ液体吐出ヘッドを作製し、変位素子の変位量を測定した。ランド40が形成されていない液体吐出ヘッドでは、1つの変位素子だけを駆動した場合に対して、周囲の変位素子を駆動した場合の変位量は4.4低下した。これに対しては、ランド40が形成されている本発明の液体吐出ヘッドでは、変位量の低下は3.3となり、クロストークが低減できることが確認できた。なお、ランド40の直下の圧電セラミック層21bを分極していない状態における変位量の低下を、別途、シミュレーションで調べたところ、変位の低下量は3.2であった。つまり、ランド40を形成した、本発明の液体吐出ヘッドでの3.3の変位量の低下は、液体加圧室10上の圧電セラミック層21bの圧電駆動に起因するクロストークの結果であり、ランド40直下の圧電セラミック層21bの圧電駆動に起因するクロストークの影響のかなりの部分をなくすことができた。