"筐体に収容されたポンプデバイスにより、前記筐体の表面に形成された入口を介して前記筐体の外にある流体を前記筐体内部へ入れて、前記筐体に形成された出口を介して前記導入された流体を前記筐体の外へ出すポンプ本体を複数有してなり、上流側の前記ポンプ本体の前記出口に設けられ、噴射口を先端部に有し、下流側の前記ポンプ本体の前記入口の周縁部と前記先端部とによって隙間が形成される位置に配された噴射ノズルを備えたことを特徴とするポンプユニット。前記噴射口と前記入口とが正対することを特徴とする請求項1記載のポンプユニット。下流側の前記ポンプ本体の入口の前記周縁部にて前記筐体の表面から突設され、前記噴射口から噴射された流体の流路を形成する筒状の流路形成部材を備えたことを特徴とする請求項1~2記載のポンプユニット。前記流路形成部材は、前記筐体から前記噴射ノズルに向かう方向において拡開された絞り部を有することを特徴とする請求項3記載のポンプユニット。前記流路形成部材は、前記噴射ノズルから前記筐体に向かう方向において拡開された拡開部を有することを特徴とする請求項3~4記載のポンプユニット。前記噴射口が前記流路形成部材内に位置することを特徴とする請求項3~5いずれか記載のポンプユニット。前記先端部が前記入口に通されたことを特徴とする請求項1記載のポンプユニット。前記噴射ノズルは前記先端部に向かうに従い拡開されたことを特徴とする請求項1~7いずれか記載のポンプユニット。前記ポンプデバイスは前記流体が流入する流入口及び前記流体が流出する流出口を備え、上流側の前記ポンプ本体の前記筐体には、第1の前記入口に直結する前記流入口を有する第1入口側ポンプデバイスと、第2の前記入口に直結する前記流入口を有する第2入口側ポンプデバイスと、前記出口に直結する前記流出口を有する出口側ポンプデバイスと、前記第1~2入口側ポンプデバイスの前記流出口から出た前記流体を合流し、合流した前記流体を前記出口側ポンプデバイスの前記流入口へ送る流路を形成する合流路形成部材と、が収容されたことを特徴とする請求項1~8いずれか記載のポンプユニット。呼気又は吸気の気体が通過する流路と、前記流路内に配置されて呼気又は吸気方向に加速用の気体を噴出するノズルと、前記流路の周囲に固定され、前記ノズルに対して前記加速用の気体を供給する請求項1~9いずれか記載のポンプユニットとを備えたことを特徴とする呼吸補助装置。しかしながら、従来の呼吸補助装置では、このポンプユニットが比較的大きいことから、これを箱状の筐体に収容して使用者の脇に設置して用いる。従って、呼吸補助装置のコンパクト化が難しいという問題があった。また、呼吸補助装置で用いるポンプユニットは、例えば図20に示されるように、吸気動作時は、最初は高い流量で素早く昇圧陽圧化し、その後、更に圧力を高めて吸気をアシストしながら流量を一定に維持する。呼気動作時は、高い流量で素早く減圧負圧化し、圧力が低下したら流量を次第に低下させて肺に負担をかけないように制御する。この制御は一例であり、実際には様々制御モードが要求されるが、この種の細かい制御を行う為には、大きめのブロアやシリンダポンプを利用して、圧力と流量を自在に変更できるようにしなければならない。従って、ポンプユニットの小型化が益々難しいという問題があった。本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、圧力や流量を自在に制御可能としながらも、大幅な小型化を実現できるポンプユニット及びこのポンプユニットを用いた呼吸補助装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するポンプユニットは、筐体に収容されたポンプデバイスにより、前記筐体の表面に形成された入口を介して前記筐体の外にある流体を前記筐体内部へ入れて、前記筐体に形成された出口を介して前記導入された流体を前記筐体の外へ出すポンプ本体を複数有してなり、上流側の前記ポンプ本体の前記出口に設けられ、噴射口を先端部に有し、下流側の前記ポンプ本体の前記入口の周縁部と前記先端部とによって隙間が形成される位置に配された噴射ノズルを備えたことを特徴とする。前記噴射口と前記入口とが正対することが好ましい。下流側の前記ポンプ本体の入口の前記周縁部にて前記筐体の表面から突設され、前記噴射口から噴射された流体の流路を形成する筒状の流路形成部材を備えたことが好ましい。また、前記流路形成部材は、前記筐体から前記噴射ノズルに向かう方向において拡開された絞り部を有することが好ましい。さらに、前記流路形成部材は、前記噴射ノズルから前記筐体に向かう方向において拡開された拡開部を有することが好ましい。加えて、前記噴射口が前記流路形成部材内に位置することが好ましい。前記先端部が前記入口に通されたことが好ましい。前記噴射ノズルは前記先端部に向かうに従い拡開されたことが好ましい。前記ポンプデバイスは前記流体が流入する流入口及び前記流体が流出する流出口を備え、上流側の前記ポンプ本体の前記筐体には、第1の前記入口に直結する前記流入口を有する第1入口側ポンプデバイスと、第2の前記入口に直結する前記流入口を有する第2入口側ポンプデバイスと、前記出口に直結する前記流出口を有する出口側ポンプデバイスと、前記第1~2入口側ポンプデバイスの前記流出口から出た前記流体を合流し、合流した前記流体を前記出口側ポンプデバイスの前記流入口へ送る流路を形成する合流路形成部材と、が収容されたことが好ましい。上記目的を達成する呼吸補助装置は、呼気又は吸気の気体が通過する流路と、前記流路内に配置されて呼気又は吸気方向に加速用の気体を噴出するノズルと、前記流路の周囲に固定され、前記ノズルに対して前記加速用の気体を供給する上記ポンプユニットとを備えたことを特徴とする。本発明によれば、圧力や流量を自在に制御可能としながら、ポンプユニットを大幅に小型化することが可能になるという優れた効果を奏し得る。以下、図面を参照しながら本発明の実施形態の例について詳細に説明する。図1に示すように、ポンプユニット10は、マイクロポンプ11と、アシスト機構12とを備える。マイクロポンプ11として、例えば、特許文献WO2008/069266で提案されているものを用いることができる。図1~2に示すように、マイクロポンプ11は、流入口11A及び流出口11Bが形成された筐体16と、筐体16に内蔵され、流入口11Aから流出口11Bまで流体を搬送するポンプデバイス32と、筐体16の外部に露出する給電用端子33とを備え、ポンプデバイス32の作動により、流入口11Aから流体を吸引して、流出口11Bから流体を噴出する。ポンプデバイス32は、給電用端子33と電気的に接続され、電圧の印加により変形可能な圧電素子32Aと、圧電素子の作動によって変形可能な変形箱32Bとを備える。変形箱32Bは、ダイアフラム32BAと振動壁32BBとを有する。ダイアフラム32BAは、変形箱32Bのうち流入口11Aに対向する部分に設けられる。振動壁32BBは、変形箱32Bのうち流出口11Bに対向する部分に設けられる。変形箱32Bの内部、すなわち、ダイアフラム32BAと振動壁32BBとの間には、一次ブロア室32Kが形成される。振動壁32BBには、一次ブロア室32Kの内外で流体を移動させるための開口32BDが、流出口11Bと正対する位置に形成される。ダイアフラム32BAの流入口11Aに対向する面には、圧電素子32Aが取り付けられる。圧電素子32Aによってダイアフラム32BAを振動すると、変形箱32B及びポンプデバイス32によって形成された二次ブロア室32Lと一次ブロア室32Kとの間で流体が移動する。流体の移動により、振動壁32BBが共振する。ダイアフラム32BAと振動壁32BBの振動によって、流入口11Aから流体が吸い込まれる。流入口11Aから吸い込まれた流体は、二次ブロア室32Lを通過して、流出口11Bから放出される。マイクロポンプ11は、流体を搬送するブロア用途に適しており、逆止弁を用いることなく搬送できる。ダイアフラム32BAの振動数は、例えば、1kHz以上であり、非可聴領域例えば、18kHz以上27kHz以下であることが好ましい。ダイアフラム32BAの振動数が非可聴領域であることにより、ポンプデバイス32を有する装置例えば、呼吸補助装置を患者の所定の部位特に、耳に近い部位に着用させても、患者にはポンプデバイス32の動作音が聞こえない結果、動作音による不快感を患者に与えずに済む。さらに、マイクロポンプ11は、センサユニット35、36を備える。センサユニット35は、流入口11Aにおける流体の静圧Pを検知する圧力センサと、流入口11Aにおける流体の流量Qを検知する流量センサとを有する。センサユニット36は、流出口11Bにおける流体の静圧Pを検知する圧力センサと、流出口11Bにおける流体の流量Qを検知する流量センサとを有する。マイクロポンプ11は、板状に形成され、極めて小さい例えば、縦20mm×横20mm×厚み2mm程度ものの、入力正弦波を15VppVoltpeaktopeakで26kHzとした場合で、最大約1L/分の流体を搬送でき、また最大静圧2kPaを得ることが出来る図3参照。また、マイクロポンプ11の流出口11Bの内径は、比較的細く、例えば、2mm以下であり、1mm以下であることが好ましい。マイクロポンプ11は、圧電素子32Aによるダイアフラム32BAの振動で流体を搬送することから、搬送可能な流体の体積に自ずと限界があり、この静圧/流量特性も図3に示すような傾向例えば、比例乗数が負の一次関数、またはそれに近いものを示す。例えば約1kPaの静圧を得ようとすると、流量Qは0.5L/分となる。なお、入力正弦波を10Vpp、20Vppとすれば、圧電素子32Aの振幅が変化するので、入力正弦波に応じた流量Q及び静圧Pを得ることができる。すなわち、入力正弦波のVppを滑らかに変化させた場合には、流量Q及び静圧Pを滑らかに変化させることができる。あるいは、入力正弦波の周波数を変化させれば、流量Q及び静圧Pを変化させることができる。すなわち、入力正弦波の周波数を滑らかに変化させた場合には、流量Q及び静圧Pを滑らかに変化させることができる。ただし、流量Q及び静圧Pには、圧電素子32Aの能力やマイクロポンプ11の構成部品の強度や耐久性によって上限がある。通常は定格のVpp及び周波数で使用される。なお、マイクロポンプ11は、上述したような、1つの圧電素子32Aをダイアフラム32BAに貼り付けたモノモルフユニモフル構造を有するものでもよいし、2つの圧電素子32Aを互いに貼り合わせて振動量を増やすバイモフル構造を有するものでもよい。マイクロポンプ11の構造は、流体の搬送等、目的に応じて最適なものを採用すれば良い。なお、マイクロポンプ11は、逆止弁を用いることなく気体を搬送できるが、マイクロポンプ11に代えて、流入口又は流出口に逆止弁を備えるマイクロポンプを適用しても良い。図1に戻って、アシスト機構12は、流体を取り込む取り込み口12BA及び流体を送り出す送り出し口12BBを備えたポンプ本体12BDと、送り出し口12BDに取り付けられポンプ本体12BDに取り込まれた流体を噴射する噴射ノズル12Nと、を備える。噴射ノズル12Nの先端部12NSには噴射口12NAが開口する。さらにポンプユニット10は流路形成筒40を備える。流路形成筒40は、噴射口12から噴射された流体の経路を形成するためのものであり、流入口11Aの周縁部において、アシスト機構12と対向する筐体16の対向面16Sから突出するように形成される。噴射口12NAは流路形成筒40内に位置する。流路形成筒40は、マイクロポンプ11からアシスト機構12に向かって拡開するように形成される。なお、図1に示された流路形成筒40は、一定の割合で拡開しているが、マイクロポンプ11から離れるにしたがって拡開の度合いが大きくなる形状であってもよい。アシスト機構12は、マイクロポンプ11の外部にある流体が流通可能な隙間47が先端部12NSと流路形成筒40との間に形成されるように配される。噴射口12NAが流入口11Aに近接することが好ましい。また、噴射口12NAは流入口11Aに正対することが好ましい。噴射口12NAの開口サイズは流入口11Aに比べて小さい、すなわち、噴射口12NAの開口形状は流入口11Aの開口形状の範囲内に収まる図4参照。流入口11A及び噴射口12NAの開口形状は、円形、楕円形、多角形などいずれでもよい。アシスト機構12としては、例えば、ポンプ本体12BDとしてのマイクロポンプ11と、マイクロポンプ11の出口11Bに取り付けられた噴射ノズル12Nであってもよい。図5に示すように、ポンプユニット10は、コントローラ50を備える。コントローラ50は、ポンプ本体12BDに内蔵されたポンプ部12Pと、ポンプデバイス32と各センサユニット35、36と電気的に接続する。コントローラ50は、センサユニット35、36の各センサからセンシング信号を読み取る。さらに、コントローラ50は、出口12Bにおける静圧P及び流量Qが所定のものとなるように、ポンプデバイス32やポンプ部12を制御する。ポンプデバイス32やポンプ部12における給電条件電圧値や電圧周波数などを適宜設定することにより、ポンプデバイス32やポンプ部12を制御することができる。なお、センサユニット35、36を省略する場合には、コントローラ50は、ポンプデバイス32やポンプ部12における給電条件と出口12Bにおける静圧P及び流量Qとを対応付けたデータに基づいて、制御してもよい。このデータは、例えば、コントローラの内蔵メモリに格納される。なお、マイクロポンプ11をポンプ本体12BDとして用いる場合、ポンプデバイス32がポンプ部12Pに相当する。次に、ポンプユニット10の動作について説明する。コントローラ50図5参照の制御の下、ポンプ部12P及びポンプデバイス32が運転する。図1に示すように、ポンプデバイス32の運転により、流路形成筒40の開口端近傍にある流体は流入口11A、二次ブロア室32Lを順次通過する。ポンプデバイス32の運転により、二次ブロア室32Lへ導入された流体は、流出口11Bから放出される。また、ポンプ部12Pの運転により、噴射口12NAから流体が噴出する。噴射口12NAが流入口11Aに近接するため、噴射口12NAから噴出した流体は、そのまま流入口11Aを通って、二次ブロア室32Lへ流れる。噴射ノズル12N及び流入口11Aの周縁部によって形成された隙間45にある流体は、噴射口12NAから噴出し二次ブロア室32Lに向かって流れる流体に引っ張られるようにして、二次ブロア室32Lに向かって流れる。さらに、隙間47にある流体も、二次ブロア室32Lに向かって流れる流体に引っ張られるようにして、二次ブロア室32Lに向かって流れる。この結果、隙間45や隙間47を負圧にすることができるため、マイクロポンプ11を単独で運転する場合に比べ、流入口11Aにおける流体の流量をより大きなものにすることができる。したがって、ポンプユニット10によれば、マイクロポンプ11を単独で運転する場合に比べ、流出口11Bにおける流体の流量をより大きなものにすることができる。さらに、ポンプ部12やマイクロポンプ32の給電条件を個別に制御することにより、マイクロポンプ11を単独で運転する場合に比べ、流出口11Bにおける流体の流量をより細かく設定することができる。前述のとおり、マイクロポンプ11の流出口11Bの内径がある程度細いため、逆流防止弁がなくとも、ダイアフラム32BAの振動により、流出口11Bから流体を連続して流出することができる。ところが、流出口11Bの内径の細さは、流出口11Bから流出可能な流体の体積を制限する。このため、流出する流体の体積をある程度大きなものとする場合には、マイクロポンプ11を単独で用いるのではなく、マイクロポンプ11図1のマイクロポンプ11に相当の手前に第2のマイクロポンプ図1のアシスト機構12に相当を並べ、そして第2のマイクロポンプの手前に第3のマイクロポンプを並べと、複数のマイクロポンプを直列的に接続させることも可能であるが、多数例えば、3つ以上ののマイクロポンプを直列に接続させることが困難な場合もある。ポンプユニット10によれば、多数のマイクロポンプを直列に接続させなくとも、流出口11Bから流出する流体の体積をある程度大きなものにすることが容易に実現できる。隙間47は、先端部12NSの外周において、環状に形成されることが好ましい。なお、隙間47は、円弧状や楕円弧状に形成されてもよい。上記実施形態では、流路形成筒40をマイクロポンプ11からアシスト機構12に向かって拡開するように形成したが、流路形成筒40をマイクロポンプ11からアシスト機構12に向かうまでほぼ一様の形状、すなわち直線状に形状してもよい図6参照。また、流路形成筒40は、図7に示すように、筐体16の対向面16Sから突設されアシスト機構12からマイクロポンプ11に向かって拡開する拡開部40Kと、拡開部40Kの開口端から連設されマイクロポンプ11からアシスト機構12に向かって拡開する絞り部40Sとを有していてもよい。また、絞り部40Sと拡開部40Kとの間に、マイクロポンプ11からアシスト機構12まで直線状の直流部40Dを有していてもよい図8参照。さらに、図7~8に示す流路形成筒40では、噴射口12NAの位置を絞り部40Sに設定することが好ましい。これにより、流入口11Aにおける流体の流量をより大きなものにすることができる。上記実施形態では、噴射口12NAを流路形成筒40内に配したが、本発明はこれに限られず、図9に示すように、噴射口12NAを流路形成筒40の外に配してもよい。流路形成筒40の噴射ノズル12N側の開口端は噴射口12NAに近接する。噴射口12NAの開口サイズは、流路形成筒40の噴射ノズル12N側の開口に比べて小さい。噴射ノズル12N及び流路形成筒40によって形成された隙間47にある流体は、噴射口12NSから噴射し二次ブロア室32Lに向かって流れる流体に引っ張られるようにして、二次ブロア室32Lに向かって流れる。このようにして、ポンプユニット10は、マイクロポンプ11を単独で運転する場合に比べ、流入口11Aにおける流体の流量をより大きなものにすることができる。この結果、ポンプユニット10は、マイクロポンプ11を単独で運転する場合に比べ、流出口11Bにおける流体の流量をより大きなものにすることができる。なお、噴射口12NAは、流路形成筒40の噴射ノズル12N側の開口と正対することが好ましい。流路形成筒40の形状としては、マイクロポンプ11からアシスト機構12に向かって拡開する形状図9参照、マイクロポンプ11からアシスト機構12まで直線状の形状、アシスト機構12からマイクロポンプ11に向かって拡開する形状図10参照のいずれでもよい。流路形成筒40には、スリットが形成されていてもよい。スリットは、流体の流れ方向に延びるように形成されていてもよいし、流体の流れ方向と交差する方向例えば、周方向に延びるように形成されていてもよい。流体の流れ方向に延びるように形成されたスリットは、流路形成筒40のマイクロポンプ11側の一端から他端まで形成されていてもよい。図11に示すように、流路形成筒40を省略してもよい。この場合には、流入口11Aに近接するように噴射口12NAを配する。噴射口12NAの開口サイズは流入口11Aに比べて小さい。また、噴射口12NAは、流入口11Aと正対することが好ましい。また、噴射口12NAから噴射した流体によって噴射ノズル12N及び入口11の周縁部によって形成された隙間45にある流体が二次ブロア室32Lに向かって引っ張られる程度であれば、噴射口12NAを二次ブロア室32Lに位置させてもよい図12~13参照。噴射ノズル12Nの先端部12NSは、基部から噴射口12NAまで一様の大きさでもよいし図12参照、噴射ノズル12Nの基部から噴射口12NAに向かうにしたがって拡開されていてもよい図13参照。なお、図12~13に示すポンプユニット10において、前述した流路形成筒40を設けてもよい。上記実施形態ではポンプ本体としてマイクロポンプ11を用いたが、複数のマイクロポンプ11を有するポンプユニットを用いてもよい。同様に、アシスト機構12として、複数のマイクロポンプ11を有するポンプユニットを用いてもよい。複数のマイクロポンプ11を有するアシスト機構12の別の形態として、つぎのようなものもある。図14に示すように、アシスト機構60は、ポンプ本体と、ポンプ本体に設けられた噴射ノズル68とを備える。ポンプ本体は、マイクロポンプ11と同様の構造のマイクロポンプ61~63と、マイクロポンプ61~63をつなぐ合流路形成部材65と、マイクロポンプ61~63及び合流路形成部材65を収容する筐体67とを有する。筐体67には、筐体67の外にある流体が内部へ入る入口67AX、67AYと、筐体67の内部にある流体が外部へ出る出口67Bと、が設けられる。入口67AXは、マイクロポンプ61の流入口61Aと直結する。入口67AYは、マイクロポンプ62の流入口62Aと直結する。また、出口67Bは、マイクロポンプ63の流出口63Bと直結する。合流路形成部材65は、片端がマイクロポンプ61の流出口61Bに直結する流路71と、片端がマイクロポンプ62の流出口62Bに直結する流路72と、片端がマイクロポンプ63の流入口63Aに直結する流路73と、各流路71~73の他端が直結する合流路74とを有する。噴射ノズル68は、筐体67の出口67B近傍に設けられ、先端部に設けられた噴射口68Aと、出口67B及び噴射口68Aを連通する流路68Rとを有する。次に、アシスト機構60の動作について説明する。マイクロポンプ61~62は、それぞれ、個別の入口67AX、67AYから流体を取り込み、圧力が増大された流体をそのまま流出口61B~62Bから出す。このため、アシスト機構60は,1つのマイクロポンプを用いて筐体67に設けられた1つの入口から流体を取り込む場合に比べ、より大きな流量の流体を取り込み、同等の圧力まで増大させることができる。合流路形成部材65により、マイクロポンプ61~62によって圧力が増大された流体は合流し、そのまま、マイクロポンプ63の流入口63Aに流入する。ここで、マイクロポンプ61~62から出る際の流体は、圧力が増大されているため、個別の入口67から取り込まれる際に比べて体積が小さい。したがって、合流路形成部材65を介して、マイクロポンプ63の流入口63Aに流入する流体の流量は、筐体67に設けられた入口から直接マイクロポンプ63に取り込んだ場合に比べ、大きい。マイクロポンプ63の流入口63Aに流入した流体は、マイクロポンプ63によってさらに圧力が増大する。このようにして、アシスト機構60は、より大きな流量の流体をより高い圧力で噴射することができる。そして、アシスト機構60を用いて、図1等に示すようなマイクロポンプ11の流入口11Aに流体を送り込むことにより、マイクロポンプ11を単独で運転する場合に比べ、流出口11Bにおける流体の静圧P及び流量Qをより大きなものにすることができる。なお、筐体67に形成される入口67AX、67AYは、2つに限らず、3つ以上でもよい。そして、筐体67に形成された入口を、筐体67に収容されるマイクロポンプの流入口に直結させればよい。また、マイクロポンプ61~62及びマイクロポンプ63との間に、マイクロポンプを設けてもよい。例えば、図15に示すように、アシスト機構80は、ポンプ本体と、噴射ノズル88とを有する。ポンプ本体は、マイクロポンプ11と同様の構造のマイクロポンプ81~84と、マイクロポンプ81~84をつなぐ合流路形成部材85と、マイクロポンプ81~84及び合流路形成部材85を収容する筐体87とを有する。筐体87には、筐体87の外にある流体が内部へ入る入口87AX、87AY、87AZと、筐体87の内部にある流体が外部へ出る出口87Bと、が設けられる。入口87AXは、マイクロポンプ81の流入口81Aと直結する。同様にして、入口87AYはマイクロポンプ82の流入口82Aと直結し、入口87AZはマイクロポンプ83の流入口83Aと直結する。また、出口87Bは、マイクロポンプ84の流出口84Bと直結する。噴射ノズル88は、筐体87の出口87B近傍に設けられ、先端部に設けられた噴射口88Aと、出口87B及び噴射口88Aを連通する流路88Rとを有する。合流路形成部材85は、マイクロポンプ81~83及びマイクロポンプ84の間に配されたマイクロポンプ91~92と、片端がマイクロポンプ81の流出口81Bに直結する流路93と、片端がマイクロポンプ82の流出口82Bに直結する流路94と、片端がマイクロポンプ83の流出口83Bに直結する流路95と、片端がマイクロポンプ91の流入口91Aに直結する流路96と、片端がマイクロポンプ92の流入口92Aに直結する流路97と、各流路93~97の他端が直結する第1合流路98と、片端がマイクロポンプ91の流出口91Bに直結する流路101と、片端がマイクロポンプ92の流出口92Bに直結する流路102と、片端がマイクロポンプ84の流入口84Aに直結する流路103と、各流路101~103の他端が直結する第2合流路105と、を有する。そして、アシスト機構80を用いて、図1等に示すようなマイクロポンプ11の流入口11Aに流体を送り込むことにより、マイクロポンプ11を単独で運転する場合に比べ、流出口11Bにおける流体の静圧P及び流量Qをより大きなものにすることができる。複数のマイクロポンプ11からなるアシスト機構12は、例えば、格子状に並べられたマイクロポンプ11を備えていてもよい。格子状に並べられたマイクロポンプ11の流入口及び流出口と、筐体に形成された入口と、筐体に形成された出口とは、流路形成機構によってつながっている。流路形成機構は、入口から導入された流体を分岐して行方向に並ぶマイクロポンプ11へ流し、当該行方向に並ぶマイクロポンプ11から出た流体を合流させる並列状態と、入口から導入された流体を列方向に並ぶマイクロポンプ11へ直列的に流す直列状態との間で遷移自在である。流路形成機構が並列状態である場合、ポンプユニットは出口12から出る流体の流量Qが静圧Pに優先して増大する状態流量優先搬送状態となり、流路形成機構が直列状態である場合、出口12から出る流体の静圧Pが流量Qに優先して増大する状態圧力優先搬送状態となる。このように、流路形成機構を、並列状態と、直列状態と、並列状態及び直列状態が併存する状態との間で切り替えることにより、所望の静圧P及び流量Qの流体を出すことが可能となる。ポンプユニット10を、医療用の呼吸補助装置700に適用した例を図16A及び図16Bに示す。この呼吸補助装置700は、呼吸用の気体が通過する流路702と、この流路702内に配置されて、呼気方向及び吸気方向にそれぞれ加速用の空気を放出可能な呼気ノズル704及び吸気ノズル706と、流路702の外表面に周方向に沿って配置されるポンプユニット10と、ポンプユニット10を駆動するバッテリ710を備える。流路702内に配置される呼気及び吸気ノズル704、706の近傍には、それぞれ、ベンチュリー壁720が配置される。なお、バッテリ710については、離れた場所に配置したり、電源ラインを接続することで省略したりすることもできる。更にポンプユニット80の出口87B図15参照近傍には、呼吸切替弁725が配置される。この呼吸切替弁725は、出口87Bから吐出される空気を、噴射ノズル88に設けられた呼気側噴出口704から放出させる場合と、噴射ノズル88に設けられた吸気側噴出口706から放出させる場合を切り換える。図17Aに示されるように、呼気側噴出口704から空気を放出させる場合は、この空気がベンチュリー壁720によって広がることで呼気側が負圧状態となり、吸気側肺側から排出される二酸化炭素を呼び込んで、呼気方向に流す。結果、呼気動作を補助することができる。一方、図17Bに示されるように、吸気側噴出口706から空気を放出させる場合は、この空気がベンチュリー壁720によって広がることで吸気側が負圧状態となり、吸気側から供給される酸素を吸い込んで呼気方向肺側に流れる。結果、吸気動作を補助することができる。この呼吸補助装置700によれば、流路702を構成する配管自体に、小型化されたポンプユニット10が直接固定されるので、呼吸補助装置700を極めてコンパクトに構成することが出来る。更に、流路702とポンプユニット10とが一体化されるので、使用者の体の動作に連動して流路702が動いても、この流路702とポンプユニット10が一緒に動くので、呼気及び吸気ノズル704、706と、ポンプユニット10の接続が途切れないで済む。従って、呼吸補助動作の安定性が増すと同時に、使用者も体を動かしやすくなる。更に、ポンプユニット10から呼気及び吸気ノズル704、706までの距離が短くなるので、呼吸補助動作の応答性を高めることが出来る。なお、この呼吸補助装置700は、使用者の口から気管に向かって挿入される挿管チューブと連続するようにして、用いることが可能であるが、例えば図18に示されるように、鼻マスク830に対して流路702を接続して用いることもできる。更に、鼻マスクに適用する場合は、例えば図19に示される呼吸補助装置800のように、鼻マスク830の外周面にポンプユニット10を直接固定することが好ましく、全体の安定性が増す。また、ここでは、1台のポンプユニット10を呼吸切替弁725で切り換えて、呼気ノズル又は吸気ノズルに供給する場合を例示したが、2台のポンプユニット10を用意して、それぞれ呼気ノズル、吸気ノズルに接続するようにしても良い。尚、本発明のポンプユニット及び呼吸補助装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。"