酸化スズと酸化インジウムとを含むITO燒結体において、酸化スズを8~12重量、並びに元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物を0.001~0.1重量含み、残部が酸化インジウムであることを特徴とするITO燒結体。酸化スズと酸化インジウムとを含むITO燒結体において、酸化スズを8~12重量、並びに元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物を0.01~0.1重量含み、残部が酸化インジウムであることを特徴とするITO燒結体。前記2a族及び4a族元素の酸化物が、Mg、Ca、Sr、Ba、Ti、Zr及びHfの酸化物であることを特徴とする請求項1又は2記載のITO燒結体。前記2a族及び4a族元素の酸化物が、燒結体の結晶粒界に分散して存在していることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のITO燒結体。請求項1~4のいずれかに記載のITO燒結体からなることを特徴とするITOスパッタリングターゲット。酸化インジウム、酸化スズ、並びに元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物を、酸化スズ8~12重量、元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物0.001~0.1重量、並びに酸化インジウム残部の割合で配合して混練した後、乾燥造粒し、この造粒粉を静水圧プレスし、次いで大気中で焼成することを特徴とするITOスパッタリングターゲットの製造方法。前記2a族及び4a族元素の酸化物が、Mg、Ca、Sr、Ba、Ti、Zr及びHfの酸化物であることを特徴とする請求項6記載のITOスパッタリングターゲットの製造方法。本発明の課題は、上述の従来技術の問題点を解決し、高い強度を有するITO燒結体、ITOスパッタリングターゲット及びその製造方法を提供することにある。本発明のITO燒結体は、酸化スズと酸化インジウムとを含むITO燒結体において、酸化スズを8~12重量、並びに元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物を0.001~0.1重量含み、残部が酸化インジウムであることを特徴とする。本発明のITO燒結体はまた、酸化スズと酸化インジウムとを含むITO燒結体において、酸化スズを8~12重量、並びに元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物を0.01~0.1重量含み、残部が酸化インジウムであることを特徴とする。2a族及び4a族元素の酸化物は、Mg、Ca、Sr、Ba、Ti、Zr及びHfの酸化物であることが好ましい。2a族及び4a族元素の酸化物は、燒結体の結晶粒界に分散して存在している。本発明のITOスパッタリングターゲットは、上記ITO燒結体からなることを特徴とする。本発明のITOスパッタリングターゲットの製造方法は、酸化インジウム、酸化スズ、並びに元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物を、酸化スズ8~12重量、元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物0.001~0.1重量、並びに酸化インジウム残部の割合で配合して混練した後、乾燥造粒し、この造粒粉を静水圧プレスし、次いで大気中で焼成することを特徴とする。この2a族及び4a族元素の酸化物は、Mg、Ca、Sr、Ba、Ti、Zr及びHfの酸化物であることが好ましい。本発明によれば、高い強度を有するITO燒結体及びITOスパッタリングターゲットを提供できるという効果を奏する。本発明によれば、酸化インジウム及び酸化スズに対して特定の元素の酸化物を特定量配合することにより、高い強度を有するITO燒結体及びこの燒結体からなるITOスパッタリングターゲットを提供できる。すなわち、酸化スズ及び酸化インジウムを含むITO燒結体において、酸化スズを5~15重量、好ましくは8~12重量、並びに周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物を0.001~0.1重量、好ましくは0.01~0.1重量含み、残部が酸化インジウムである高強度燒結体及びこの燒結体からなるITOスパッタリングターゲットを提供できる。ここで、2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物とは、2a族及び4a族元素のいずれか一方の少なくとも1種の元素の酸化物、又は2a族及び4a族元素のそれぞれの少なくとも1種の元素の酸化物を意味する。すなわち、2a族元素だけの場合も4a族元素だけの場合も、両方の場合も含まれる。本発明によれば、酸化スズ含量を8~12重量の範囲とすることが好ましいが、酸化スズ含量が7重量以下及び13重量以上であるITOスパッタリングターゲットを用いてスパッタリングすると、得られるITO膜の膜抵抗が高くなる傾向がある。2a族元素の酸化物は、Mg、Ca、Sr及びBaの酸化物であり、また、4a族元素の酸化物は、Ti、Zr及びHfの酸化物である。本発明で使用する酸化インジウムとしては、BET比表面積が5~15m2/gである粉末を使用することが好ましく、酸化スズとしては、BET比表面積が5~15m2/gである粉末を使用することが好ましく、また、2a族及び4a族元素の酸化物としては、BET比表面積が5~10m2/gである粉末を使用すること好ましい。これらのBET比表面積の範囲内の酸化物粉末を使用すれば、均一な燒結体が得られる。上記酸化物粉末を適宜選択して、それぞれを所定量配合し、大気雰囲気中又は空気と酸素との混合雰囲気中で1500~1600°Cで焼成すれば、高い強度を有するITO燒結体を得ることができ、この燒結体からITOスパッタリングターゲットを得ることができる。かくして得られた燒結体は、EPMAによって観測したところ、その母相のITO燒結粒子の結晶粒界に2a族元素の酸化物及び/又は4a族元素の酸化物が分散して存在していることが分かる。図1にその結晶構造を模式的に示す。燒結体をバッキングプレートへ接合する時の燒結体の割れ又はスパッタリングプロセス中のターゲットの割れは、クラックの起点から粒界を通じてその割れが拡がって生じるが、本発明のITO燒結体及びこの燒結体から得られたITOスパッタリングターゲットの場合は強度が非常に高いためか、その割れは結晶粒界に存在する分散粒子が抑えているものと考えられる。一般的に強度が高いと割れ難くなることは知られている。次に、本発明を実施例及び比較例に基づいて説明する。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.01wt、酸化マグネシウム0.01wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.01wt、酸化カルシウム0.01wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.05wt、酸化カルシウム0.05wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.05wt、酸化ハフニウム0.02wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.002wt、酸化マグネシウム0.002wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.001wt、酸化マグネシウム0.001wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.001wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.1wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化カルシウム0.001wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化カルシウム0.01wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化カルシウム0.1wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.5wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化ジルコニウム0.0005wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601に従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク抵抗値を公知の4探針法にて測定した。BET比表面積10m2/gの酸化スズ10wt、酸化カルシウム0.5wt、及びBET比表面積15m2/gの酸化インジウム残部を配合し、この配合物に、分散剤としての界面活性剤を0.5wt、バインダーとしてのPVAを1wt、所定量の水を加えて、スラリー濃度が75wtになるようにし、これをボールミル中で混練した。得られたスラリーをスプレードライヤーにて乾燥造粒し、造粒粉を得た。この造粒粉をゴム型へ投入し、静水圧プレスでプレスして成形体を得た。この成形体を1600°C大気雰囲気中で焼成し燒結体を得、かくして得られた燒結体から3×4×40mmの試験片を切り出してJISR1601従って4点曲げ試験を実施した。また、燒結体のバルク表面抵抗値を公知の4探針法にて測定した。上記した実施例1~11及び比較例1~3で得られたITO燒結体の試験片に対して測定した曲げ強度及びバルクの表面抵抗値を以下の表1に纏めて示す。なお、表1中では、2a族及び4a族元素の酸化物及びその添加量についても纏めて示す。上記表1から、酸化スズと酸化インジウムとを含むITO燒結体において、元素の周期表の2a族及び4a族元素のうちの少なくとも1種の元素の酸化物を0.001~0.1重量、好ましくは0.01~0.1重量含んでなるITO燒結体の強度は高く、また、そのバルクの表面抵抗は低いことが明らかである。