"供給水の加熱手段と、加熱した供給水から純蒸気を発生させる蒸発缶と、蒸発させた純蒸気の気水分離手段と、蒸発缶から排出した循環水を一時的に貯留する循環水受槽とを備え、加熱した供給水を循環水受槽、蒸発缶及び循環水受槽の経路で循環させつつ蒸発缶から純蒸気を発生させるようにした純蒸気発生装置の運転方法であって、循環水受槽と蒸発缶とを接続する循環水配管から分岐して供給水配管の基端部へと戻る供給水循環配管を設けて、装置の運転に先立ち、供給水を、供給水配管、加熱器、循環水受槽、循環水配管、供給水循環配管及び元の供給水配管の経路で循環させて、かかる経路を熱水で殺菌することを特徴とする純蒸気発生装置の運転方法。循環水受槽に水位センサを設け、水位センサには供給水の供給を停止する上限値と供給水の供給を開始する下限値とを設定して、装置の運転中、供給水量を、供給水の供給回数と、水位センサの上限値と下限値との間における循環水受槽の容量との積で求めるようにする請求項1記載の純蒸気発生装置の運転方法。本発明が解決しようとする課題は、装置内を充分に熱水殺菌することができ、また純蒸気の発生量を正確に管理することができる純蒸気発生装置の運転方法を提供することにある。前記の課題を解決する本発明は、供給水の加熱手段と、加熱した供給水から純蒸気を発生させる蒸発缶と、発生させた純蒸気の気水分離手段と、蒸発缶から排出した循環水を一時的に貯留する循環水受槽とを備え、加熱した供給水を循環水受槽、蒸発缶及び循環水受槽の経路で循環させつつ蒸発缶から純蒸気を発生させるようにした純蒸気発生装置の運転方法であって、循環水受槽と蒸発缶とを接続する循環水配管から分岐して供給水配管の基端部へと戻る供給水循環配管を設けて、供給水を、供給水配管、加熱器、循環水受槽、循環水配管、供給水循環配管及び元の供給水配管の経路で循環させて、かかる経路を熱水で殺菌することを特徴とする純蒸気発生装置の運転方法に係る。また本発明は、前記の本発明に係る純蒸気発生装置の運転方法であって、循環水受槽に水位センサを設け、水位センサには供給水の供給を停止する上限値と供給水の供給を開始する下限値とを設定して、装置の運転中、供給水量を、供給水の供給回数と、水位センサの上限値と下限値との間における循環水受槽の容量との積で求めるようにしたことを特徴とする純蒸気発生装置の運転方法に係る。本発明に係る純蒸気発生装置の運転方法以下、単に本発明の運転方法というで用いる純蒸気発生装置も、従来の純蒸気発生装置と同様、供給水の加熱手段と、加熱した供給水から純蒸気を発生させる蒸発缶と、発生させた純蒸気の気水分離手段と、蒸発缶から排出した循環水を一時的に貯留する循環水受槽とを備え、加熱した供給水を循環水受槽、蒸発缶及び循環水受槽の経路で循環させつつ蒸発缶から純蒸気を発生させるようになっている。気水分離手段としては、蒸発缶の下流側に気水分離器を接続することもできるし、蒸発缶の下部室に気水分離機構を設けることもできる。本発明の運転方法でも、従来の純蒸気発生装置の運転方法と同様、発生させた蒸気の通路に相当する蒸発缶内や各配管内等の滅菌を自己発生蒸気で行なうが、本発明の運転方法では、循環水受槽と蒸発缶とを接続する循環水配管から分岐して供給水配管の基端部へと戻る供給水循環配管を設けて、装置の運転に先立ち、供給水を、供給水配管、排熱回収器、循環水受槽、循環水配管、供給水循環配管及び元の供給水配管の経路で循環させて、かかる経路を熱水で殺菌する。また本発明の運転方法では、循環水受槽に水位センサを設け、水位センサには供給水の供給を停止する上限値と供給水の供給を開始する下限値とを設定して、装置の運転中、供給水量を、供給水の供給回数と、水位センサの上限値と下限値との間における循環水受槽の容量との積で求める。本発明の運転方法によると、供給水循環配管を設けて供給水配管の管路をも熱水で殺菌することができるため、装置内を充分に殺菌することができ、また供給水の供給回数と、水位センサの上限値と下限値との間における循環水受槽の容積との積で供給水量を正確に求めることができるため、結果として純蒸気の発生量を正確に管理することができるという効果がある。図1にしたがって、本発明の運転方法を説明する。図1では、供給水配管1は自動式開閉弁14Bを介して供給水元配管14に接続されている。供給水配管1には、供給水ポンプ1B、圧力センサ1C、流量計1D、自動式開閉弁1E、逆止弁1F、温度センサ1G及び排熱回収器20が設けられている。自動式開閉弁1Eは、後述する水位計30Aからの電気的指示により開閉するようになっている。排熱回収器20は、純蒸気発生運転中に蒸発缶40で発生する蒸気ドレンを冷却するものであり、二重管板式多管円筒型熱交換器となっている。供給水は、排熱回収器20において、伝熱管を通過する際に蒸気ドレンを冷却し、自らは加熱される。排熱回収器20で冷却された蒸気ドレンは逆止弁3Bを介して蒸気ドレン配管3から外部に排出され、排熱回収器20で加熱された供給水は、循環水受槽30に入る。循環水受槽30は、蒸発缶40の下部室40Cから循環水戻り配管41を経て流入する循環水を一時的に貯留する圧力容器である。循環水受槽30には、蒸発缶40の下部室40Cの内圧と圧力を等しくするために均圧配管42が設けられており、圧力センサ30G及び水位センサ30Aが設けられている。水位センサ30Aにより循環水受槽30の水位を検出し、下限値Lで供給水ポンプ1Bの作動を開始して自動式開閉弁1Eを開けることにより循環水受槽30の水位を上限値Hまで上昇させた後、供給水ポンプ1Bの作動を停止して自動式開閉弁1Eを閉じるという操作を繰り返す。水位センサ30Aからの信号による供給水ポンプ1Bの作動の停止及び開始は図示しない演算装置を介して行ない、かかる演算装置において、単位時間当たりの供給水の供給回数と、水位センサ30Aの上限値Hと下限値Lとの間における循環水受槽30の容積との積から、単位時間当たりの供給水量を求め、求めた供給水量から循環水受槽30から外部に排出される循環水量を差し引いた値で、単位時間当たりの純蒸気発生量を管理する。尚、図1においてHHは異常高水位置であり、またLLは異常低水位置であって、これらの水位置で警報を発生するようになっている。循環水ポンプ31Cは、循環水受槽30の水位が上限値Hと下限値Lとの間にある間運転を続ける。循環水受槽30の循環水は、循環水ポンプ31Cにより、循環水受槽30の下部から循環水配管31を通って蒸発缶40の上部室40Aに至る。循環水配管31には、循環水受槽ドレン配管7が接続されている。循環水受槽ドレン配管7は、循環水受槽30の循環水を全量ドレンする場合に使用され、この場合に循環水は循環水配管31の最低部に位置する循環ポンプ31Cの吐出側から分岐して自動式開閉弁7B及び逆止弁7Cを通り外部に排出される。また循環水配管31には、飽和水出口配管5が接続されている。飽和水出口配管5は循環水の一部を抜き出し、飽和水として外部に排出する場合に使用され、この場合に飽和水は循環水ポンプ31Cの吐出側から分岐して自動式開閉弁5B、流量調整用の手動弁5C、逆止弁5D及び飽和水量測定用の手動三方弁5Eを経て外部に排出される。蒸発缶40は供給された循環水を加熱蒸気との熱交換により効率よく蒸発させて純蒸気とする二重管板式多管円筒型熱交換器である。蒸発缶40は、循環水が導入される上部室40Aと、加熱蒸気が導入される加熱室40Bと、純蒸気と蒸発しなかった残りの循環水の混合体が導入される下部室40Cとに区分されていて、加熱室40Bには上部室40Aの循環水を下部室40Cに導く伝熱管40Dが設けられており、下部室40Cには図示しない気水分離機構が設けられている。加熱室40Bの上部には加熱蒸気供給配管2が接続されており、加熱室40Bの下部には加熱蒸気のドレンを加熱器20へと導入する蒸気ドレン配管43が接続されている。下部室40Cの上部は純蒸気出口配管4へと接続されており、下部室40Cの底部には蒸発しなかった循環水を循環水受槽30へと戻す循環水戻り配管41が接続されている。循環水は、循環水配管31を通って蒸発缶40の上部室40Aに入ると、内部に設けられた図示しない脱気機構により、循環水に含まれる非凝縮性気体主に空気の殆どは分離し、上部室40Aの上部から逆止弁6B及び手動弁6Cを介して気体出口配管6から外部に排出させる。加熱室40Bの上端面に設けられた図示しない多孔の分散板を通って伝熱管内部に流入した循環水は、伝熱管を通って下部室40Cに至る間に加熱室40Bの加熱蒸気にて加熱され、気液混合状態となり、下部室40Cに落下し、下部室40Cに内蔵される気水分離機構にて純蒸気と循環水とに分離され、分離された循環水は循環水戻り配管41を通って循環水受槽30へと戻る。一方、分離された純蒸気は、自動式開閉弁4Dを介して純蒸気出口配管4から外部のユースポイントへと至る。装置の運転中、装置内部圧力が高圧0.1~0.8MPaのため、外気吸込管15より出る方向を阻止する逆止弁15Fにより外気吸込配管に純蒸気が流出することはない。一方、装置が停止する場合、内部に残留する純蒸気は自然放置により冷却され、凝縮すると、内部が負圧になり、各所の接続部から汚染物質を吸い込む恐れがある。かかる負圧を防ぐため、外気吸込管15に設けられた逆止弁15Aを介して外気を吸込み、ベントフィルタ15Cに内蔵される図示しないフィルターエレメントにて外気に含まれる微生物や微粒子を取り除いた後、手動弁15E及び逆止弁15Fを介して装置内部に外気を入れ、内部が負圧になるのを防ぐ。図1に例示した本発明の装置では、循環水ポンプ31Cと圧力センサ31Dとの間の循環水配管31から分岐し、比例制御弁11B及び逆止弁14Cを経て供給水配管14の基端部へと戻る供給水循環配管13が配設されている。供給水配管1の基端部には自動式開閉弁14Bを介して供給水元配管14が接続されている。供給水を供給水配管1に戻したとき、供給水ポンプ1Bの出口圧力が供給水元配管14の圧力を超えることがないよう、供給水元配管14に圧力センサ14Aを配設し、常時、循環水ポンプ31Cの出口圧力を、圧力センサ1Cの圧力が圧力センサ14Aの圧力以下となるよう、比例制御弁11Bの開度を調節する。図1に例示した本発明の装置の蒸気滅菌に際しては、装置運転時について前述したように純蒸気を発生させ、かかる自己発生の純蒸気で装置内を蒸気滅菌する。エアフィルタ15C等の滅菌に際しては、自動式開閉弁10B及び手動弁15E,15Bを開き、純蒸気出口配管4の途中から自動式開閉弁10B、手動弁15E、エアフィルタ15C及び手動弁15Bを介して自己発生の純蒸気を流し、更に下流側に設けられた温度センサ10C、オリフィス10D及び逆止弁10Eを介して蒸気ドレン配管10から外部へ排出する。また図1に例示した本発明の装置の供給水配管系の熱殺菌に際しては、自動式開閉弁4Dを閉め、装置の純蒸気発生運転を行ない、発生する純蒸気の圧力が所定圧力まで上がり、装置の純蒸気発生運転が休止した後、自動式開閉弁14Bを閉じ、自動式開閉弁1Eを開いたままにして、比例制御弁11Bを圧力センサ1C,14Aの監視下で開ける。循環水ポンプ31Cは常時作動しており、循環水も高温121~175°Cになっているので、供給水配管1、供給水ポンプ1B、流量計1D、圧力センサ1C、自動式開閉弁1E、排熱回収器20、循環水受槽30、循環水ポンプ31C、飽和水循環配管31、比例制御弁11B、逆止弁14C及び元の供給水配管1の供給水循環管路が構成されるので、ここに熱水80~130°Cを循環させて、供給水配管系を熱水殺菌する。"