"本願明細書に記載された発明。本発明の実施形態は、従来技術のポンピングシステムおよびポンピング方法の欠点を排除するか、または少なくとも実質的に減らす、流体ポンピングのシステムおよび方法を提供する。本発明の一実施形態は、ディスペンスチャンバ内で移動可能なディスペンスダイアフラムを有するディスペンスポンプと、該ディスペンスポンプと結合したポンプコントローラとを備えるポンピングシステムを含み得る。該ポンプコントローラは、一実施形態によれば、ディスペンスポンプを制御して、ディスペンスチャンバ内のディスペンスダイアフラムを、ディスペンスポンプ定位置に達するように動かすことにより、ディスペンスポンプを部分的に満たすように動作可能である。ディスペンスポンプの定位置に対応する有効容積は、ディスペンスポンプの最大有効容積より少なく、かつ、ディスペンスサイクルにおける該ディスペンスポンプの最大有効容積である。ディスペンスポンプの定位置は、ディスペンス動作のための1つ以上のパラメータに基づいて選択される。本発明の別の実施形態は、供給チャンバ内を移動可能な供給ダイアフラムを有する供給ポンプと、供給ポンプの下流にある、ディスペンスチャンバ内を移動可能なディスペンスダイアフラムを有するディスペンスポンプと、供給ポンプおよびディスペンスポンプを制御するように該供給ポンプおよびディスペンスポンプと結合したポンプコントローラとを備える多段ポンピングシステムを含む。ディスペンスポンプは、ディスペンスポンプがディスペンスチャンバで保持し得る流体の最大体積である、最大有効容積を有し得る。コントローラは、ディスペンスポンプを制御して、ディスペンスチャンバ内のディスペンスダイアフラムを、ディスペンスポンプ定位置に達するように動かすことにより、ディスペンスポンプを部分的に満たすようにし得る。ディスペンスポンプ定位置に対応する、ディスペンスポンプの保持流体のための有効容積は、ディスペンスポンプの最大有効容積より少なく、かつ、ディスペンスサイクルにおけるディスペンスポンプの最大有効容積である。ディスペンスポンプによって保持される流体の量を、特定のディスペンスサイクルにおいてディスペンスポンプによって要求される量または、最大有効容積から他のいくらかの減少量にまで減らすことによって、流体の停滞体積は減らされる。本発明の別の実施形態は、プロセス流体に圧力を加えることと、ディスペンスサイクルの間にディスペンスポンプをディスペンスポンプ定位置まで部分的に満たすことと、ディスペンスポンプからウェーハにディスペンス体積のプロセス流体をディスペンスすることとを含む、ポンプの停滞容積を減らすための方法を含む。ディスペンスポンプは、ディスペンスポンプの最大有効容積より少なく、かつ、ディスペンスサイクルにおけるディスペンスポンプの最大有効容積である、ディスペンスポンプ定位置に対応する有効容積を有する。ディスペンスポンプのディスペンスポンプ定位置に対応する有効容積は、少なくともディスペンス体積である。本発明の別の実施形態は、ポンプを制御するためのコンピュータプログラム製品を含む。コンピュータプログラム製品は、プロセッサによって実行可能な、コンピュータ可読媒体上に格納されるソフトウエア命令を包含する。一組のコンピュータ命令は、ディスペンスポンプに命令して、ディスペンスダイアフラムをディスペンスポンプの定位置に達するように動かすことにより、ディスペンスポンプを部分的に満たし、ディスペンスポンプに命令して、ディスペンスポンプからディスペンス体積のプロセス流体をディスペンスさせるように実行可能な命令を含み得る。ディスペンスポンプ定位置に対応するディスペンスポンプの有効容積は、ディスペンスポンプの最大有効容積より少なく、かつディスペンスサイクルにおける、ディスペンスポンプの最大有効容積である。本発明の実施形態は、単段または多段ポンプの停滞容積を減らすことによって従来技術のポンプシステムおよび方法に勝る利益を提供し、これにより、プロセス流体の停滞を減らす。本発明の実施形態は、小さな体積および試験ディスペンスにおいて、使用されないプロセス流体の浪費を減らすことによって別の利益を提供する。本発明の実施形態は、停滞した流体のより効果的な洗浄を提供することによって、さらに別の利益を提供する。本発明の実施形態は、ポンプダイアフラムの効果的範囲を最適化することによって、さらに別の利益を提供する。例えば、本願発明は以下の項目を提供する。項目1ディスペンスポンプと、該ディスペンスポンプに結合されたポンプコントローラとを備えたポンピングシステムであって、該ディスペンスポンプは、最大有効容積を有し、該ディスペンスポンプは、ディスペンスチャンバ内で移動可能なディスペンスダイアフラムをさらに備え、該ポンプコントローラは、該ディスペンスポンプを制御して、該ディスペンスチャンバ内の該ディスペンスダイアフラムを、ディスペンスポンプ定位置に達するよう動かすことにより、該ディスペンスポンプを部分的に満たすように動作可能であり、該ディスペンスポンプ定位置に対応する有効容積は、該ディスペンスポンプの最大有効容積より少なく、かつ、ディスペンスサイクルにおける該ディスペンスポンプの最大有効容積であり、該ディスペンスポンプ定位置は、該ディスペンス動作のための1つ以上のパラメータに基づいて選択され、該ポンプコントローラは、該ディスペンスポンプを制御して、プロセス流体を該ディスペンスポンプからディスペンスするように動作可能である、ポンピングシステムシステム。項目2前記ディスペンスポンプの下流にあるフィルタと、該ディスペンスポンプの上流にある入口バルブと、該フィルタの下流にあるパージバルブと、該フィルタの下流にある出口バルブとをさらに備える、項目1に記載のシステム。項目3供給ポンプの下流で、かつ前記ディスペンスポンプの上流にあるフィルタと、該供給ポンプの上流にある入口バルブと、該供給ポンプと該フィルタの間にある分離バルブと、該フィルタと該ディスペンスポンプとの間にある障壁バルブと、該ディスペンスポンプの下流にあるパージバルブと、該ディスペンスポンプの下流にある出口バルブとをさらに備える、項目1に記載のシステム。項目4前記コントローラは、さらに前記ディスペンスポンプを制御して、流体のパージ体積をパージするように動作可能であり、前記ディスペンスポンプの定位置に対応する前記有効容積は、少なくともディスペンス体積に該パージ体積を加えたものである、項目1に記載のシステム。項目5前記ディスペンスポンプは、さらにディスペンスダイアフラムを動かすディスペンスモータを備え、前記コントローラは、該ディスペンスモータを制御して、該ディスペンスポンプを部分的に満たす前に、該ディスペンスダイアフラムをハードストップまで動かし、該ディスペンスモータを制御して、ステッパモータを対応するステップ数だけ逆回転させることによって、該ディスペンスダイアフラムを、該ハードストップの位置から該ディスペンスポンプの定位置に動かすようにさらに動作可能である、項目1に記載のシステム。項目6前記ディスペンスポンプは、前記ディスペンスダイアフラムを動かすディスペンスモータと、該ディスペンスモータの位置を示す位置センサとをさらに備える、項目1に記載のシステム。項目7前記位置センサは、線形エンコーダである、項目6に記載のシステム。項目8前記位置センサは、回転エンコーダである、項目6に記載のシステム。項目9前記コントローラは、前記ディスペンスモータを制御して、前記ディスペンスダイアフラムを第1の位置から前記ディスペンスポンプの定位置に動かすように、さらに動作可能である、項目6に記載のシステム。項目10前記コントローラは、さらに、前記位置センサからのフィードバックに基づいて、前記ディスペンスダイアフラムを定位置で停止させるように動作可能である、項目9に記載のシステム。項目11供給チャンバ内を移動可能な供給ダイアフラムを含む供給ポンプを備え、前記ポンプコントローラは、該供給ポンプに接続されており、該供給ポンプを制御して、前記プロセス流体に圧力を加えることにより、該プロセス流体を前記ディスペンスポンプに供給するように動作可能である、項目1に記載のシステム。項目12前記コントローラは、さらに、前記供給ポンプを制御して、前記供給ダイアフラムを供給ポンプ定位置に動かすことにより、該供給ポンプを部分的に満たすように動作可能である、項目11に記載のシステム。項目13前記コントローラは、さらに、前記供給ポンプを制御して、流体の排出体積を排出するように動作可能である、項目12に記載のシステム。項目14前記供給ダイアフラムが前記供給ポンプ定位置にあるときの前記供給ポンプの有効容積は、ディスペンス体積と排出体積とパージ体積とに少なくとも等しい、項目13に記載のシステム。項目15前記ディスペンスポンプ定位置に対応する前記ディスペンスポンプの有効容積は、ユーザー特定の体積と少なくとも等しい、項目1に記載のシステム。項目16前記コントローラは、ユーザー特定の体積を受信し、該ユーザー特定の体積に誤差体積を加えて、前記ディスペンスポンプ定位置に対応する前記ディスペンスポンプの有効容積を決定するように、さらに動作可能である、項目15に記載のシステム。項目17供給チャンバ内で移動可能な供給ダイアフラムを含む供給ポンプをさらに備え、前記ポンプコントローラは、該供給ポンプに接続されており、該供給ポンプを制御して、プロセス流体に圧力を加えることにより、前記ディスペンスポンプに前記プロセス流体を提供し、該供給ポンプに対するユーザー特定の体積を受信し、該ユーザー特定の体積に誤差体積を加えて、前記供給ポンプ定位置に対応する供給ポンプの有効容積を決定する、ように動作可能である、項目1に記載のシステム。項目18前記ディスペンスポンプ定位置は、前記ディスペンスダイアフラムの効果的領域を利用するために選択される、項目1に記載のシステム。項目19ポンプシステムにおけるプロセス流体の停滞容積を減らす方法であって、該方法は、ディスペンスポンプにプロセス流体を提供することと、ディスペンス動作のための1つ以上のパラメータに基づいて、該ディスペンスポンプに対するディスペンスポンプ定位置を選択することと、ディスペンスサイクルに対してディスペンスポンプ定位置までディスペンスポンプを部分的に満たすことであって、該ディスペンスポンプは、該ディスペンスポンプの最大有効容積より少なく、かつ、ディスペンスサイクルに対する該ディスペンスポンプの最大有効容積である有効容積を有する、ことと、該ディスペンスポンプからウェーハにプロセス流体をディスペンスすることであって、プロセス流体のディスペンス体積は、該ディスペンス体積の少なくとも一部が該ウェーハにディスペンスされて該ディスペンスポンプからディスペンスされ、該ディスペンスポンプの該ディスペンスポンプ定位置に対応する有効容積は、少なくとも該ディスペンス体積である、こととを包含する、方法。項目20前記ディスペンスポンプからパージ体積の流体をパージすることをさらに含む、項目19に記載の方法。項目21前記ディスペンスポンプ定位置に対応する前記ディスペンスポンプの有効容積は、少なくとも前記パージ体積を加えた前記ディスペンス体積である、項目20に記載の方法。項目22パージすることは、ディスペンスの前のディスペンスサイクルで生ずる、項目21に記載の方法。項目23パージすることは、ディスペンスの後のディスペンスサイクルで生ずる、項目19に記載の方法。項目24供給ポンプを供給ポンプ定位置まで部分的に満たすことをさらに含み、該供給ポンプは、該供給ポンプの最大有効容積より少なく、かつ前記ディスペンスサイクルの間の、該供給ポンプの最大有効容積である、前記供給ポンプ定位置に対応する有効容積を有し、該供給ポンプ定位置に対応する有効容積は、少なくとも前記ディスペンス体積である、項目19に記載の方法。項目25排出体積のプロセス流体を排出することをさらに含み、前記供給ポンプ定位置に対応する有効容積は、少なくとも該排出体積に前記ディスペンス体積を加えたものである、項目24に記載の方法。項目26前記ディスペンスポンプからパージ体積のプロセス流体をパージすることをさらに含み、前記供給ポンプ定位置に対応する有効容積は、少なくとも前記排出体積に前記ディスペンス体積を加え、パージ体積を加えたものである、項目25に記載の方法。項目27前記ディスペンスポンプにて、サックバック体積のプロセス流体をサックバックすることをさらに含み、前記供給ポンプ定位置に対応する、前記供給ポンプの有効容積は、少なくとも、前記排出体積に前記ディスペンス体積を加え、前記パージ体積を加え、サックバック体積を引いたものである、項目26に記載の方法。項目28前記ディスペンスダイアフラムの効果的範囲に基づいて前記ディスペンスポンプ定位置を選択することをさらに含む、項目19に記載の方法。項目29コンピュータ可読媒体に格納された一組のコンピュータ命令を包含するコンピュータプログラム製品であって、該コンピュータ命令は、ディスペンス動作のために1つ以上のパラメータを受信することと、該1つ以上のパラメータに基づいてディスペンスポンプのディスペンスポンプ定位置を選択することと、ディスペンスポンプに命令して、ディスペンスダイアフラムを、該ディスペンスポンプ定位置に達するよう動かすことにより、プロセス流体で該ディスペンスポンプを部分的に満たすことであって、該ディスペンスポンプ定位置に対応する有効容積は、該ディスペンスポンプの最大有効容積より少なく、かつ、ディスペンスサイクルにおける、該ディスペンスポンプの最大有効容積である、ことと、該ディスペンスポンプに命令して、該ディスペンスポンプから該プロセス流体をディスペンスすることとをプロセッサによって実行可能な命令を包含する、コンピュータプログラム製品。項目30前記一組のコンピュータ命令は、さらに、前記ディスペンスポンプに命令してパージ体積の流体をパージさせるように実行可能な命令を含み、前記ディスペンスポンプ定位置に対応する該ディスペンスポンプの有効容積は、少なくともディスペンス体積に該パージ体積を加えたものである、項目29に記載のコンピュータプログラム製品。項目31前記一組のコンピュータ命令は、さらに、前記ディスペンスポンプに命令して、前記ディスペンスポンプを部分的に満たす前に、前記ディスペンスダイアフラムをハードストップまで動かし、該ディスペンスポンプに命令して、ステッパモータを対応するステップ数だけ逆回転させることによって、該ディスペンスダイアフラムを該ハードストップ位置から該ディスペンスポンプ定位置まで動かす、ように実行可能な命令をさらに包含する、項目29に記載のコンピュータプログラム製品。項目32前記一組のコンピュータ命令は、前記ディスペンスモータを制御して前記ディスペンスダイアフラムを第1の位置から該ディスペンスダイアフラムの定位置まで動かすように実行可能な命令をさらに包含する、項目29に記載のコンピュータプログラム製品。項目33前記一組のコンピュータ命令は、さらに、前記ディスペンスポンプにて位置センサからフィードバックを受信し、該位置センサからの該フィードバックに基づいて該ディスペンスダイアフラムを該定位置で停止する、ように実行可能な命令をさらに包含する、項目32に記載のコンピュータプログラム製品。項目34前記一組のコンピュータ命令は、さらに、供給ポンプに命令してプロセス流体に圧力を加えることにより、前記ディスペンスポンプに前記プロセス流体を提供し、該供給ポンプに命令して供給ダイアフラムを供給段階定位置に動かすことにより、該供給ポンプを部分的に満たす、ように実行可能な命令をさらに包含する、項目29に記載のコンピュータプログラム製品。項目35前記一組のコンピュータ命令は、さらに、前記供給ポンプに命令して、排出体積の流体を排出させるように実行可能なコンピュータ命令を含む、項目34に記載のコンピュータプログラム製品。項目36前記供給ダイアフラムが前記供給段階定位置であるときの前記供給ポンプの有効容積は、少なくとも前記ディスペンス体積に前記排出体積を加えて前記パージ体積を加えたものに等しい、項目35に記載のコンピュータプログラム製品。項目37前記ディスペンスダイアフラムが前記ディスペンスポンプ定位置にあるときの前記ディスペンスポンプの有効容積は、少なくともユーザー特定のディスペンスポンプ体積に等しい、項目29に記載のコンピュータプログラム製品。項目38前記ディスペンス動作のための前記1つ以上のパラメータは、ユーザー特定のディスペンスポンプ体積を含み、前記一組のコンピュータ命令は、さらに、誤差体積を該ユーザー特定のディスペンスポンプ体積に加えて、前記ディスペンスダイアフラム定位置に対応する有効容積を決定するように実行可能な命令を含む、項目37に記載のコンピュータプログラム製品。項目39前記供給ポンプが前記供給ポンプ定位置にあるときの該供給ポンプの有効容積は、少なくともユーザー特定の供給ポンプ体積に等しい、項目29に記載のコンピュータプログラム製品。項目40前記ディスペンス動作のための前記1つ以上のパラメータは、前記ユーザー特定の供給ポンプ体積を含み、前記一組のコンピュータ命令は、さらに、該ユーザー特定の供給ポンプ体積に誤差体積を加えて、前記ディスペンスダイアフラム定位置に対応する有効容積を決定するように実行可能な命令を包含する、項目38に記載のコンピュータプログラム製品。項目41前記一組のコンピュータ命令は、さらに、前記ディスペンスポンプ定位置を選択して、前記ディスペンスダイアフラムの効果的範囲を利用するように実行可能な命令を包含する、項目29に記載のコンピュータプログラム製品。本発明の好ましい実施形態は、図において説明され、同一の番号は、様々な図の同一および対応する部分を参照するために用いられる。本発明の実施形態は、ポンプの停滞容積を減らすシステムおよび方法を提供する。より詳しくは、本発明の実施形態は、ディスペンスポンプおよび/または供給ポンプの停滞容積を減らす定位置を決定するシステムおよび方法を提供する。ダイアフラムのための定位置は、ディスペンスポンプおよび/または供給ポンプにあるチャンバの体積が、ディスペンスサイクルの様々なステップを行うのに充分な流体を含み、一方で停滞容積を最小限に留めるように選択され得る。さらに、ダイアフラムの定位置は、現実的な置換の効果的範囲を最適化するために選択され得る。図1は、ポンピングシステム10の概略図である。ポンピングシステム10は、流体源15、ポンプコントローラ20、および多段マルチステージポンプ100を備え、それらは協同して動作して、ウェーハ25に流体をディスペンスする。多段ポンプ100の動作は、ポンプコントローラ20によって制御され、該コントローラは、多段ポンプ100に搭載され得るか、または、制御信号、データ、または他の情報を通信するための1つ以上の通信リンクを介して多段ポンプ100に接続され得る。ポンプコントローラ20は、多段ポンプ100の動作を制御するための一組の制御命令30を包含する、コンピュータ可読媒体27例えば、RAM、ROM、フラッシュメモリ、光学的ディスク、磁気ドライブ、または他のコンピュータ可読媒体を備え得る。プロセッサ35例えば、CPU、ASIC、RISC、または他のプロセッサは、該命令を実行し得る。図1の実施形態において、コントローラ20は、通信リンク40および45を介して多段ポンプ100と通信する。通信リンク40および45は、ネットワーク例えば、イーサネット登録商標、無線ネットワーク、グローバルエリアネットワーク、DeviceNetネットワーク、または当該技術分野で公知の、または開発された他のネットワーク、バス例えば、SCSIバス、または他の通信リンクであり得る。ポンプコントローラ20は、適切なインターフェース例えば、ネットワークインターフェース、I/Oインターフェース、AD変換機、および他のコンポーネントを含み得、ポンプコントローラ20が多段ポンプ100と通信することを可能とする。ポンプコントローラ20は、プロセッサ、メモリ、インターフェース、ディスプレイデバイス、周辺機器、または他のコンピュータ成分を含む、当該技術分野で公知の様々なコンピュータコンポーネントを備えている。ポンプコントローラ20は、多段ポンプの様々なバルブおよびモータを制御し、多段ポンプに、低粘度流体すなわち、5センチポイズ未満または他の流体を含む流体を正確にディスペンスさせる。図1が多段ポンプの例を用いるのに対して、ポンピングシステム10は、単段ポンプも用い得ることに留意されたい。図2は、多段ポンプ100の概略図である。多段ポンプ100は、供給段階部分105および別ディスペンス段階部分110を備える。流体の流れの点から見て、供給段階部分105とディスペンス段階部分110との間には、処理過程の流体から不純物を濾過するフィルタ120が配置されている。例えば、入口バルブ125、分離バルブ130、障壁バルブ135、パージバルブ140、排出バルブ145、および出口バルブ147を含むいくつものバルブは、多段ポンプ100を介する流体の流れを制御し得る。ディスペンス段階部分110は、さらにディスペンス段階110で流体の圧力を決定する圧力センサ112を備え得る。供給段階105およびディスペンス段階110は、多段ポンプ100に流体を汲み上げる回転ダイアフラムポンプを備え得る。供給段階ポンプ150供給ポンプ150は、例えば、流体を収集する供給チャンバ155、供給チャンバ155内を動き、流体を置換する供給段階ダイアフラム160、供給段階ダイアフラム160を動かすピストン165、導入スクリュー170、および供給モータ175を備える。導入スクリュー170は、ナット、ギア、またはモータから導入スクリュー170に動力を伝えるための他の機構を介して供給モータ175と結合する。一実施形態によれば、供給モータ175は、次に導入スクリュー170を回転させるナットを回転させ、ピストン165を動かす。ディスペンス段階ポンプ180ディスペンスポンプ180は、同様に、ディスペンスチャンバ185、ディスペンス段階ダイアフラム190、ピストン192、導入スクリュー195、およびディスペンスモータ200を備える。他の実施形態によれば、供給段階105およびディスペンス段階110は、それぞれ、空気式作動ポンプ、液圧ポンプ、または他のポンプを含む、様々な他のポンプを備え得る。供給段階のために空気式作動ポンプを用いる多段ポンプ、およびステッパモータ駆動式ディスペンスポンプの一例は、米国特許出願第11/051,576号に記述されており、その内容は本明細書中に参考として充分に援用される。供給モータ175およびディスペンスモータ200は、あらゆる適切なモータであり得る。一実施形態によれば、ディスペンスモータ200は、位置センサ203を伴う永久磁石同期モータPMSMである。PMSMは、モータ200のフィールドオリエンテッド制御FOC、多段ポンプ100搭載のコントローラ、または分離式ポンプコントローラを利用して、デジタル信号プロセッサDSPによって制御され得る例えば、図1に表示。位置センサ203は、モータ200の位置の実時間フィードバックのためのエンコーダ例えば、ファインライン回転位置エンコーダであり得る。位置センサ203の使用は、ピストン192の位置の正確かつ反復可能な制御をもたらし、その結果として、ディスペンスチャンバ185の流体運動に対する正確かつ反復可能な制御につながる。例えば、2000ラインエンコーダを用いて、正確に.045度の回転を計測し、かつ制御することが可能である。さらに、PMSMは、微少または皆無の振動で、低速で運転し得る。供給モータ175は、PMSMまたはステッパモータでもあり得る。多段ポンプ100のバルブは、開閉され、多段ポンプ100の様々な部分への流体の流れを許可または制限する。一実施形態によれば、これらのバルブは、空気式作動すなわち、気体駆動式ダイアフラムバルブであり、圧力か、またはバキュームが加えられるかによって開閉する。しかし、本発明の他の実施形態において、あらゆる適切なバルブが用いられ得る。動作において、ディスペンスサイクル多段ポンプ100は、レディreadyセグメント、ディスペンスセグメント、充填セグメント、前濾過セグメント、濾過セグメント、排出セグメント、パージpurgeセグメント、および静的パージセグメントを備える。追加のセグメントは、また、バルブ開閉の遅延を考慮するために含まれ得る。他の実施形態において、ディスペンスサイクルすなわち、多段ポンプ100がウェーハにディスペンスする準備ができているときから、多段ポンプ100が前回のディスペンスの後に再びウェーハにディスペンスする準備ができているときまでの間の一連のセグメントは、多少のセグメントを要求し得、また、様々なセグメントは、異なる順番で行われ得る。供給セグメントの間、入口バルブ125は開かれ、供給段階ポンプ150は供給段階ダイアフラム160を動かし例えば、引き、供給チャンバ155に流体を引き入れる。一度充分な量の流体が供給チャンバ155を満たすと、入口バルブ125は閉められる。濾過セグメントの間、供給段階ポンプ150は、供給段階ダイアフラム160を動かし、供給チャンバ155から流体を置換する。分離バルブ130および障壁バルブ135は開かれて、流体を、フィルタ120を介してディスペンスチャンバ185に流す。分離バルブ130は、一実施形態によれば、最初に例えば、前濾過セグメントにおいて開かれ得、フィルタ120において圧力を高めさせ、その次に、障壁バルブ135は開かれて、流体をディスペンスチャンバ185に流し込ませる。さらに、ポンプ150は、ポンプ180が引っ込む前に、流体に圧力を加え得、これによっても、圧力が高められる。排出セグメントの始まりにおいて、分離バルブ130は開いており、障壁バルブ135は閉じており、排出バルブ145は開いている。別の実施形態において、障壁バルブ135は、排出セグメントの間、開いたままであり得、排出セグメントの終わりにおいて、閉まり得る。供給段階ポンプ150は、排気孔に流体を押しやることによって流体に圧力を加え、フィルタ120から開いた排出バルブ145を介して気泡を取り除く。供給段階ポンプ150は、予め定義されたレートで排出を起こさせるように制御され得、より長い排出時間とより低い排出レートを可能とする。この結果として、排出廃棄物の量の、正確な制御を可能とする。パージセグメントの始まりにおいて、分離バルブ130は閉じており、障壁バルブ135は、排出セグメントで開いているのなら、閉じており、排出バルブ145は閉じており、パージバルブ140は開いている。ディスペンスポンプ180は、ディスペンスチャンバ185内の流体に圧力を加える。該流体は、多段ポンプ100の外を経由し得、あるいは、流体供給器または供給ポンプ150に戻り得る。静的パージセグメントの間、ディスペンスポンプ180は、停止されるが、パージバルブ140は開いたままで、パージセグメント間に高まった圧力を軽減する。パージセグメントまたは静的パージセグメント間に取り除かれたあらゆる過剰な流体は、多段ポンプ100の外を経由し得例えば、流体源に戻ったり、廃棄される、または供給段階ポンプ150にリサイクルされ得る。レディセグメントの間、全てのバルブは閉められ得る。ディスペンスセグメントの間、出口バルブ147は開き、ディスペンスポンプ180は、ディスペンスチャンバ185内の流体に圧力を加える。出口バルブ147は、ディスペンスポンプ180よりも遅く制御に反応し得るので、出口バルブ147は、最初に開かれ得、所定の期間の経過後、ディスペンスモータ200は始動され得る。これは、ディスペンスポンプ180が、部分的に開いた出口バルブ147から流体を押し出すことを防ぐ。他の実施形態において、該ポンプは、出口バルブ147が開かれる前に始動され得、または、出口バルブ147は開かれ得、ディスペンスポンプ180によって、同時にディスペンスは始められ得る。追加のサックバックsuckbackセグメントが、行われ得、流体を引き戻すことによって、ディスペンスノズル内の過剰な流体が取り除かれる。サックバックセグメントの間、出口バルブ147は、閉じ得、過剰な流体を出口ノズルから吸い出すために、2次的モータまたはバキュームが用いられ得る。あるいは、出口バルブ147は、開いたままで、ディスペンスモータ200は、ディスペンスチャンバに流体を吸い戻すために逆回転され得る。サックバックセグメントは、ウェーハ上に過剰な流体をドリップすることを防ぐのに役立つ。図3A~図3Gは、多段ポンプ100が停滞容積を補償しない、様々なセグメントの動作の間の多段ポンプ100の概略図を提供する。例の目的で、ディスペンスポンプ180および供給ポンプ150は、それぞれ、最大20mL利用可能な容積を有し、ディスペンス処理は、4mLの流体をディスペンスし、排出セグメントは.5mLの流体を排出し、パージセグメント静的パージを含むは、1mLの流体をパージし、サックバック体積は1mLである。レディセグメントの間図3A、分離バルブ130および障壁バルブ135は開いており、一方で入口バルブ125、排出バルブ145、パージバルブ140、および出口バルブ147は閉じている。ディスペンスポンプ180は、その最大体積例えば、19mlすなわち、前回のサイクルからパージされた1mLを最大体積から差し引いたものに近づき得る。ディスペンスセグメントの間図3B、分離バルブ130、障壁バルブ135、パージバルブ140、排出バルブ145、および入口バルブ125は閉じており、出口バルブ147は開いている。ディスペンスポンプ180は、予め定義された量の流体例えば、4mLをディスペンスする。この例において、ディスペンスセグメントの終わりに、ディスペンスポンプ180は、15mLの体積を有し得る。サックバックセグメント図3Cの間、ディスペンスセグメントの間にディスペンスされた流体の幾分か例えば、1mLは、ディスペンスポンプ180に吸い戻され得、ディスペンスノズルをきれいにする。例えば、これは、ディスペンスモータを逆回転させることによってなされ得る。他の実施形態において、追加の1mLの流体は、バキュームまたは別のポンプによって、ディスペンスノズルから取り除かれ得る。1mLがディスペンスポンプ180に吸い戻される例を用いて、サックバックセグメントの後、ディスペンスポンプ180は、16mLの体積を有し得る。供給セグメント図3Dにおいて、出口バルブ147は、閉められ、入口バルブ125は、開いている。供給ポンプ150は、従来のシステムにおいて、流体をその最大体積例えば、20mLまで満たす。濾過セグメントの間、入口バルブ125は閉められ、分離バルブ130および障壁バルブ135は開かれる。供給ポンプ150は、供給ポンプ150からフィルタ120を介して流体を押し出し、その結果として、流体をディスペンスポンプ180に入れる。従来のシステムにおいて、ディスペンスポンプ180は、このセグメントの間、その最大体積例えば、20mLまで満たされる。ディスペンスセグメントの間、および前の例から続けて、供給ポンプ150は、4mLの流体を置換し、ディスペンスポンプ180が16mLサックバックセグメントの終わりの体積から20mLディスペンスポンプ180の最大体積に満たされる。これは、供給ポンプ150に16mLの体積を残す。排出セグメント図3Fの間、障壁バルブ135は、閉じ得、または開き得、かつ、排出バルブ145は、開いている。供給ポンプ150は、予め定義された量の流体例えば、.5mLを置換し、フィルタ120に集積された過剰な流体または気泡を排出バルブ145から押し出す。このようにして、排出セグメントの終わりには、この例において、供給ポンプ150は15.5mLである。ディスペンスポンプ180は、パージセグメント図3Gの間、開いたパージバルブ140を介して、少量の流体例えば、1mLをパージし得る。該流体は、排泄され得るか、またはリサイクルされ得る。パージセグメントの終わりには、多段ポンプ100は、レディセグメントに戻り、ディスペンスポンプは19mLとなる。図3A~図3Gの例において、ディスペンスポンプ180は5mLの流体のみを用い、4mLは、ディスペンスセグメント1mLはサックバックで回収されるで用いられ、1mLは、パージセグメントで用いられる。同様に、供給ポンプ150は、4mLのみを用いて濾過セグメントのディスペンスポンプ180を再び満たしディスペンスセグメントの間に再び満たす4mLから、サックバックの間に取り戻された1mLを引き、パージセグメントの間に再び満たす1mLを加えたもの、排出セグメントにおいて.5mLを用いる。供給ポンプ150とディスペンスポンプ180とは両方とも、最大有効容積例えば、それぞれ20mLまで満たされるので、比較的大きな停滞容積がある。例えば、供給ポンプ150は、15.5mLの停滞容積を有し、ディスペンスポンプ180は、15mLの停滞容積を有し、合わせた停滞容積は30.5mLとなる。停滞容積は、流体がサックバックセグメントの間にディスペンスポンプに吸い戻されない場合、僅かに減らされる。この場合、ディスペンスポンプ180は、それでも5mLの流体を用い、4mLをディスペンスセグメントで、1mLをパージセグメントで用いる。しかし、上記の例を用いて、供給ポンプ150は、サックバックの間は取り戻されない1mLの流体を再び満たさなくてはならない。結果として、供給ポンプ150は、濾過セグメントの間、5mLの流体をディスペンスポンプ180に再び満たさなくてはならない。この場合、供給ポンプ150は、14.5mLの停滞容積を有し得、ディスペンスポンプ180は15mLの停滞容積を有し得る。本発明の実施形態は、停滞容積を減らすことによって、無駄になる流体を減らす。本発明の実施形態によれば、供給およびディスペンスポンプ定位置は、定義され得、その結果として、ディスペンスポンプの流体容積は、所定のレシピすなわち、ディスペンス動作に作用する一組の要因で、例えば、ディスペンスレート、ディスペンス時間、パージ体積、排出体積、または、ディスペンス動作に作用する他の要因を含む、所定の最大レシピ、または所定の一連のレシピを取り扱うには充分となる。ポンプの定位置は、所定のサイクルに最大の有効容積を有するポンプの位置である。例えば、定位置は、ディスペンスサイクルの間、最大に許容できる体積を与えるダイアフラム位置であり得る。ポンプの定位置に対応する有効容積は、通常、ポンプに対する最大有効容積より少なくなり得る。上記の例を用いて、ディスペンスセグメントは4mL、パージセグメントは1mL、排出セグメントは.5mLの流体を用い、サックバックセグメントは1mLの流体を取り戻すと仮定すると、ディスペンスポンプによって要求される最大体積は:VDMax=VDVPe1[方程式1]VDMax=ディスペンスポンプに要求される最大体積VD=ディスペンスセグメントの間にディスペンスされた体積VP=パージセグメントの間にパージされた体積e1=ディスペンスポンプに加えられる誤差体積供給ポンプ150に要求される最大体積は:VFMax=VDVPVV-Vsuckbacke2[方程式2]VFMax=ディスペンスポンプに要求される最大体積VD=ディスペンスセグメントの間にディスペンスされる体積VP=パージセグメントの間にパージされる体積VV=排出セグメントの間に排出される体積Vsuckback=サックバックの間に取り戻される体積e2=供給ポンプに加えられる誤差体積誤差体積は、なにも加えられないと仮定し、上記の例を用いると、VDmax=41=5mLであり、VFMax=41.5-1=4.5mLである。ディスペンスポンプ180が、サックバックの間、流体を取り戻さない場合、Vsuckback項は0に設定され得るか落とされ得る。e1およびe2はゼロ、予め定義された体積例えば、1mL、計算された体積、または他の誤差要因であり得る。e1およびe2は同一の値、または異なる値前の例においてはゼロと仮定されたを有し得る。図3A~図3Gに戻りVDmax=5mLおよびVFMax=4.5mLの例を用いると、レディセグメントの間図3A、ディスペンスポンプ180は、4mLの体積を有し得、供給ポンプ150は、0mLの体積を有し得る。ディスペンスポンプ180は、ディスペンスセグメントの間図3B、4mLの流体をディスペンスし、かつ、サックバックセグメントの間図3C、1mLを取り戻す。供給セグメントの間図3D、供給ポンプ150は、4.5mLまで再補給する。濾過セグメントの間図3E、供給ポンプ150は、4mLの流体を置換し、ディスペンスポンプ180に5mLの流体を満たす。さらに、排出セグメントの間、供給ポンプ150は、.5mLの流体を排出し得る図3F。ディスペンスポンプ180は、パースセグメントの間図3G、1mLの流体をパージし得、該流体をレディセグメントに戻す。この例において、供給セグメントおよびディスペンスセグメントの流体は全て動かされるので、停滞容積は、なにもない。いくつかの異なるディスペンスレシピに用いられるポンプにとって、ディスペンスポンプおよび供給ポンプの定位置は、最大のレシピを取り扱い得る定位置として選択され得る。下記の表1は多段ポンプに対するサンプルレシピを提供する。上記の例において、サックバックの間、流体はなにも取り戻されないと仮定される。少量の流体がディスペンスチャンバからディスペンスされる、予めのディスペンスサイクルがある、とも仮定される。例えば、予めのディスペンスサイクルは、ディスペンスノズルを介して流体を押し出し、ノズルをきれいにするのに用いられ得る。一実施形態によれば、ディスペンスポンプは、プレディスペンスとメインディスペンスとの間は再補給されない。この場合:VD=VDPreVDMain[方程式3]VDPre=プレディスペンスにおけるディスペンスの量VDMain=メインディスペンスの量結果的に、ディスペンスダイアフラムの定位置は、4.5mL315の体積に対して設定され得、供給ポンプの定位置は、4.75mL31.5.25と設定され得る。これらの定位置により、ディスペンスポンプ180および供給ポンプ150は、レシピ1またはレシピ2に対して充分な容積を有し得る。別の実施形態によれば、ディスペンスポンプまたは供給ポンプの定位置は、アクティブなレシピまたはユーザー定義の位置に基づいて変わり得る。ユーザーがレシピを調整して、ポンプによって要求される最大体積を変えるか、または、ポンプが、ディスペンス動作において新しいアクティブなレシピを調整する場合、例えばレシピ2は4mLの流体を要求されるように変えることによって、ディスペンスポンプまたは供給ポンプは、手動または自動的に調整され得る。例えば、ディスペンスポンプダイアフラム位置は、ディスペンスポンプの容積を3mLから4mLに変えるように移動し得、また、特別な1mLの流体は、ディスペンスポンプに加えられ得る。ユーザーが低体積レシピを指定する場合、例えばレシピ2は2.5mLの流体のみを要求するように変えられる場合、ディスペンスポンプは、ディスペンスが実行されるまで待機し得、低く要求される新容積まで再補充し得る。供給ポンプまたはディスペンスポンプの定位置も、特定のポンプの効果的範囲を最適化することのような他の問題を補償するために調整され得る。特定のポンプダイアフラム例えば、回転エッジダイアフラム、フラットダイアフラム、または当該技術分野で公知の他のダイアフラムのための最大および最小範囲は、置換容体積、またはダイアフラムを駆動するための力に対して非線形になり得、なぜなら、ダイアフラムが、例えば伸びるか、または縮み始め得るからである。ポンプの定位置は、大きな流体容積のためには、応力が加わった位置に設定され得、大きな流体容積が要求されない場合は、低い応力位置に設定され得る。応力の問題について言及すると、ダイアフラムの定位置は、ダイアフラムを効果的範囲内に位置付けるように調節され得る。例として、10mLの容積を有するディスペンスポンプ180は、2mLから8mLの間に効果的範囲を有し得る。効果的範囲は、ダイアフラムが大きな負荷を経験しないディスペンスポンプの線形領域として定義され得る。図4A~図4Cは、2mLから8mLの間に6mLの効果的範囲を有する10mLポンプに対する、ディスペンスダイアフラム例えば、図2のディスペンスダイアフラム190の定位置を設定する3例の概略図を提供する。これらの例において、0mLは、ディスペンスポンプに10mLの利用可能な容積を有させ、かつ、10mL位置は、ディスペンスポンプに0mL容積を有させるダイアフラム位置を示すということに留意されたい。言い換えると、該0mL~10mLスケールは置換された体積を指す。図4Aは、応力を受けていない6mLの効果的範囲例えば、8mlから2mlの間を有するポンプに対して、VDmax=3mLの最大体積とVDmax=1.5mLの最大体積を有するレシピを実行するポンプに対する定位置の概略図を提供する。この例において、ディスペンスポンプのダイアフラムは、ディスペンスポンプの体積が5mL205において表示になるように設定され得る。これは、応力を引き起こす0mLから2mLまたは8mLから10mLの使用を必要とすることなく、3mLのディスペンス処理に対する充分な体積を提供する。この例において、低体積で低効果の領域すなわち、ポンプが、低い有効容積を有する低効果の領域の2mL体積は、ポンプの最大VDmaxに加えられ、その結果、定位置は3mL2mL=5mLとなる。このようにして、定位置は、ポンプの応力を受けていない効果的領域を占め得る。図4Bは、第2の例の概略図を提供する。この第2の例において、ディスペンスポンプは、8mLの最大体積ディスペンス処理および3mLの最大体積ディスペンス処理を実行する。この場合、低効果の領域のいくつかが使用されなくてはならない。従って、ダイアフラムの定位置は、両方の処理のために8mLの最大許容体積210において表示を提供するように設定され得るすなわち、8mLの流体を許容する位置に設定され得る。この場合、より少ない体積ディスペンス処理が、効果的範囲内全体で生ずる。図4Bの例において、定位置は、低体積で低効果の領域すなわち、ポンプが空に近いときに起こる低効果の領域を利用するために選択される。他の実施形態において、定位置は、高体積で低効果の領域内にあり得る。しかし、これは、低体積ディスペンスの一部が低効果の領域で起こり得、図4Bの例では、いくらかの停滞容積があり得るということを意味する。図4Cの第3の例において、ディスペンスポンプは、9mLの最大体積ディスペンス処理および4mLの最大体積ディスペンス処理を実行する。再び、該処理の一部は、低効果の範囲で起こり得る。この例において、ディスペンスダイアフラムは、9mLの最大許容体積例えば、215において表示を提供する定位置に設定され得る。上述されるように、それぞれのレシピに対して同一の定位置が用いられた場合、4mLのディスペンス処理の一部は、低効果の範囲で起こり得る。他の実施形態によれば、定位置は、効果的領域への小さなディスペンス処理のためにリセットし得る。上記の例において、ポンプ内の低効果の領域の使用を防ぐため、小さな体積のディスペンス処理に対していくらかの停滞容積がある。ポンプは、該ポンプが、流れの精度がより重要ではない大きな体積のディスペンス処理のために、低効果の領域のみを用いるようにセットアップされ得る。これらの特徴は、i高精度を伴う低体積と、ii低精度を伴う高体積の組み合わせを最適化することを可能にする。効果的範囲は、その次に、所望される停滞容積とつり合いがとられ得る。図2に関連して論議されるように、ディスペンスポンプ180は、位置センサ203例えば、回転エンコーダを伴うディスペンスモータ200を含み得る。位置センサ203は、導入スクリュー195の位置のフィードバックを提供し得、従って、導入スクリュー195の位置は、導入スクリューがダイアフラムを置換する、ディスペンスチャンバ185内の特定の有効容積に対応し得る。結果的に、ポンプコントローラは、導入スクリューのための位置を選択し得、その結果として、ディスペンスチャンバ内の体積は、少なくともVDMaxになる。別の実施形態において、定位置は、ユーザー選択のもの、またはユーザーがプログラムしたものであり得る。例えば、グラフィカルユーザーインターフェースまたは他のインターフェースを用いて、ユーザーは、多段ポンプによって様々なディスペンス処理、またはアクティブディスペンス処理を実行するのに充分な、ユーザー選択の体積をプログラムし得る。一実施形態において、ユーザー選択の体積がVdispenseVpurge未満の場合、誤差が戻され得る。ポンプコントローラ例えば、ポンプコントローラ20は、ユーザー特定の体積に、誤差体積を加え得る。例えば、ユーザーが、ユーザー特定の体積に5ccを選択する場合、ポンプコントローラ20は、誤差を考慮するために1ccを加え得る。このようにして、ポンプコントローラは、6ccの対応する有効容積を有するディスペンスポンプに対する定位置を選択し得る。これは、ポンプコントローラ20または搭載コントローラに格納され得る、対応する導入スクリューの位置に変換され得る。位置センサ203からのフィードバックを用いて、ディスペンスポンプ180は、正確に制御され、その結果として、濾過サイクルの終わりには、ディスペンスポンプ180は、その定位置に位置するようになるすなわち、該ポンプ位置は、ディスペンスサイクルのための最大の有効容積を有する。供給ポンプ150は、位置センサを用いて、同じようなやり方で制御され得るということに留意されたい。別の実施形態によれば、ディスペンスポンプ180および/または供給ポンプ150は、位置センサを伴わないステッパモータによって駆動され得る。ステッパモータの各ステップまたはカウントは、ダイアフラムの特定の置換に対応し得る。図2の例を用いて、ディスペンスモータ200の各カウントは、ディスペンスダイアフラム190を特定の量に置換し得、従って、ディスペンスチャンバ185から特定量の流体を置換し得る。CfullstrokeDが、ディスペンスチャンバ185が最大体積例えば、20mLを有する位置から0mLに、ディスペンスダイアフラムを置換するカウントすなわち、運動の最大範囲を介して、ディスペンスダイアフラム190を動かすカウント数である場合、CPは、VPを置換するカウント数であり、CDはVDを置換するカウント数であり、そして、ステッパモータ200の定位置は、以下となり得る:CHomeD=CfullstrokeD-CPCDCe1[方程式3]Ce1は、誤差体積に対応するカウント数である。同様に、CfullstrokeFが、ディスペンスチャンバ155が最大体積例えば、20mLを有する位置から0mLに、供給ダイアフラム160を置換するカウントすなわち、運動の最大範囲を介して、ディスペンスダイアフラム160を動かすカウント数である場合、CSは、ディスペンスポンプ180で取り戻されたVsuckbackに対応する供給モータ175でのカウント数であり、CVは、VVを置換するための供給モータ175でのカウント数であり、供給モータ175の定位置は以下となり得る:CHomeF=CfullstrokeF-CPCDーCSCe2[方程式4]Ce2は、誤差体積に対応するカウント数である。図5A~図5Kは、本発明の別の実施形態による、多段ポンプ500に対する様々なセグメントの概略図を提供する。一実施形態によれば、多段ポンプ500は、供給段階ポンプ501供給ポンプ501、ディスペンス段階ポンプ502ディスペンスポンプ502、フィルタ504、入口バルブ506、および出口バルブ508を備える。入口バルブ506および出口バルブ508は、3方向バルブであり得る。以下に記述されるように、これは、入口バルブ506が、入口バルブと分離バルブの両方として用いられ、出口バルブ508が、出口バルブとパージバルブとして用いられることを可能とする。供給ポンプ501およびディスペンスポンプ502は、モータ駆動式ポンプ例えば、ステッパモータ、ブラシレスDCモータ、または他のモータであり得る。510および512に示されるものは、それぞれ、供給ポンプ501およびディスペンスポンプ502のモータ位置である。モータ位置は、それぞれのポンプの供給チャンバまたはディスペンスチャンバで利用可能な対応する流体量によって示される。図5A~図5Kの例において、各ポンプは、20ccの最大有効容積を有する。各セグメントに関して、流体の動きは、矢印によって図示される。図5Aは、レディセグメントでの多段ポンプ500の概略図である。この例において、供給ポンプ501は、7ccの有効容積を供給するモータ位置を有し、ディスペンスポンプ502は、6ccの有効容積を供給するモータ位置を有する。ディスペンスセグメントの間図5Bに図示、ディスペンスポンプ502のモータは、出口バルブ508を介して5.5ccの流体を置換するために動く。ディスペンスポンプは、サックバックセグメント図5Cに図示の間、.5ccの流体を取り戻す。パージセグメントの間図5Dに図示、ディスペンスポンプ502は、出口バルブ508を介して1ccの流体を置換する。パージセグメントの間、ディスペンスポンプ502のモータは、ハードストップまで駆動され得るすなわち、有効容積の0ccまで。これは、モータが、その後のセグメントでの適切なステップ数に後退されることを保証する。排出セグメントにおいて図5Eに表示、供給ポンプ501は、フィルタ502を介して少量の流体を押し得る。ディスペンスポンプ遅延セグメント図5Fに表示、供給ポンプ501は、ディスペンスポンプ502が再び満たされる前に、ディスペンスポンプ502に流体を押し始め得る。これは、ディスペンスポンプ502を満たすのに役立つように僅かに流体の加圧を行い、フィルタ504内の負圧を防ぐ。過剰な流体は、出口バルブ508を介してパージされ得る。濾過セグメントの間図5Gに表示、出口バルブ508は、閉じており、流体はディスペンスポンプ502を満たす。表示される例において、6ccの流体は、供給ポンプ501によってディスペンスポンプ502に動かされる。供給ポンプ501は、ディスペンスモータが停止した後、流体への加圧を保持し続け得る例えば、図5Hの供給遅延セグメントに示されるように。図5Hの例において、約.5ccの流体が供給ポンプ501に残っている。一実施形態によれば、供給ポンプ501は、図5Iに示されるように、例えば、0ccの有効容積を伴うハードストップまで駆動され得る。供給セグメントの間図5Jに図示、供給ポンプ501は流体で再び満たされ、多段ポンプ500は、レディセグメントに戻る図5Kおよび図5Aに表示。図5A~図5Kの例において、パージセグメントは、図2の実施形態における排出セグメントの後よりもむしろ、ディスペンスポンプ502をハードストップに持っていくサックバックセグメントの後に直ちに起こる。ディスペンス体積は5.5ccであり、サックバック体積は.5cc、また、パージ体積は1ccである。セグメントの順序に基づいて、ディスペンスポンプ502によって要求される最大体積は以下となる:VDMax=VDispenseVPurge-VSuckbacke1[方程式5]ディスペンスポンプ502がステッパモータを利用する場合、特定のカウント数は、VDMaxの置換という結果になり得る。ハードストップの位置例えば0カウントからVDMaxに対応するカウント数までモータを戻すことによって、ディスペンスポンプは、VDMaxの有効容積を有し得る。供給ポンプ501にとって、VVentは.5ccであり、供給ポンプ501をハードストップに持っていく.5ccの追加の誤差体積がある。方程式2によると:VFMax=5.51.5-.5.5この例において、VFMaxは7ccである。供給ポンプ501がステッパモータを用いる場合、ステッパモータは、再補給セグメントにおいて、7ccに対応するカウント数までハードストップの位置から戻され得る。この例において、供給ポンプ501は、最大20ccのうちの7ccを利用し、ディスペンスポンプ502は、最大20ccのうちの6ccを利用し、その結果として、27ccの停滞容積を省いた。図6は、ユーザー定義の体積を入力するためのユーザーインターフェース600を説明する概略図である。図6の例において、フィールド602にいるユーザーは、ユーザー定義の体積を入力し得、ここでは10.000mLとなっている。誤差体積は、これに追加され得例えば、1mL、その結果として、ディスペンスポンプの定位置は、11mLの対応する有効容積を有するようになる。図6は、ディスペンスポンプに対してユーザー選択の体積を設定することのみを図示しているが、他の実施形態においては、ユーザーは、供給ポンプに対しても体積を選択し得る。図7は、停滞容積を減らすようにポンプを制御する方法の、一実施形態の概略図である。本発明の実施形態は、例えば、供給ポンプおよびディスペンスポンプを制御するためのコンピュータプロセッサによって実行可能な、ソフトウェアプログラミングとして実装され得る。ステップ702にて、ユーザーは、ディスペンス動作のための1つ以上のパラメータを入力し、該パラメータは、多重ディスペンスサイクルを含み得、例えば、ディスペンス体積、パージ体積、排出体積、ディスペンスポンプ体積および/または供給ポンプに対するユーザー特定の体積、および他のパラメータを含む。パラメータは、異なるディスペンスサイクルに対する様々なレシピのためのパラメータを含み得る。ポンプコントローラ例えば、図1のポンプコントローラは、ユーザー特定の体積、ディスペンス体積、パージ体積、またはディスペンスサイクルと関係する他のパラメータを基にして、ディスペンスポンプの定位置を決定し得る。さらに、定位置の選択は、ディスペンスダイアフラムの運動の効果的範囲に基づき得る。同様に、ポンプコントローラは、供給ポンプの定位置を決定し得る。供給セグメントの間、供給ポンプは、プロセス流体を満たすように制御され得る。一実施形態によれば、供給ポンプは、その最大容積まで満たされ得る。別の実施形態によれば、供給ポンプは、供給ポンプの定位置まで満たされ得るステップ704。排出セグメントの間、供給ポンプは、さらに、排出体積を有する流体を排出するように制御され得るステップ706。濾過セグメントの間、供給ポンプは、ディスペンスポンプがその定位置に達するまで、プロセス流体への圧力を保持することにより、ディスペンスポンプを満たすよう制御される。ディスペンスポンプが定位置に達してディスペンスポンプを部分的に満たすまで、ディスペンスポンプ内のディスペンスダイアフラムは、動かされるすなわち、ディスペンスポンプの最大有効容積未満の有効容積までディスペンスポンプを満たすことステップ708。ディスペンスポンプがステッパモータを用いる場合、ディスペンスダイアフラムは、最初に、ハードストップまで持って行かれ得、ステッパモータは、ディスペンスポンプの定位置に対応するカウント数まで戻され得る。ディスペンスポンプが位置センサ例えば、回転エンコーダを用いる場合、ダイアフラムの位置は、位置センサからのフィードバックを用いて制御され得る。ディスペンスポンプは、その次に少量の流体をパージするように命令され得るステップ710。ディスペンスポンプは、さらに予め定義された量例えば、ディスペンス体積の流体をディスペンスするように制御され得るステップ712。ディスペンスポンプは、さらに少量の流体をサックバックするように制御され得、または、流体は、別のポンプか、バキュームか、他の適切な機構によってディスペンスノズルから取り除かれ得る。図7のステップは、異なる順序に前もって決められ得、また、必要に応じて、または所望されるように繰り返され得るということに留意されたい。多段ポンプの点から主に論議されたが、本発明の実施形態は、また、単段ポンプにも利用され得る。図8は、単段ポンプ800の一実施形態の概略図である。単段ポンプ800は、ディスペンスポンプ802と、ディスペンスポンプ802とディスペンスノズル804との間のフィルタ820とを備え、プロセス流体から不純物を濾過する。いくつかのバルブは、単段ポンプ800を介して流体の流れを制御し得、例えば、パージバルブ840および出口バルブ847を含む。ディスペンスポンプ802は、例えば、流体を収集するディスペンスチャンバ855、ディスペンスチャンバ855内を動き、流体を置換するダイアフラム860、ディスペンス段階ダイアフラム860を動かすピストン865、導入スクリュー870、およびディスペンスモータ875を備え得る。導入スクリュー870は、ナット、ギア、またはモータから導入スクリュー870に動力を伝えるための他の機構を介してモータ875と結合する。一実施形態によれば、供給モータ875は、次に導入スクリュー870を回転させるナットを回転させ、ピストン865を動かす。他の実施形態によれば、ディスペンスポンプ802は、空気式作動ポンプ、液圧ポンプ、または他のポンプを含む、様々な他のポンプを備え得る。ディスペンスモータ875は、あらゆる適切なモータであり得る。一実施形態によれば、ディスペンスモータ875は、位置センサ880を伴うPMSMである。PMSMは、モータ875のDSPFOC、ポンプ搭載のコントローラ800、または分離式ポンプコントローラによって制御され得る例えば、図1に示すように。位置センサ880は、モータ875の位置の実時間フィードバックのためのエンコーダ例えば、ファインライン回転位置エンコーダであり得る。位置センサ880の使用は、ディスペンスポンプ802の位置の正確かつ反復可能な制御をもたらす。単段ポンプ800のバルブは、開閉され、単段ポンプ800の様々な部分への流体の流れを許可または制限する。一実施形態によれば、これらのバルブは、空気式作動すなわち、気体駆動式ダイアフラムバルブであり、加圧されるか、または減圧されるかによって開閉する。しかし、本発明の他の実施形態において、あらゆる適切なバルブが用いられ得る。動作において、単段ポンプ800のディスペンスサイクルは、レディセグメント、濾過/ディスペンスセグメント、排出/パージセグメント、および静的パージセグメントを含む。追加のセグメントは、また、バルブ開閉の遅延を考慮するために含まれ得る。他の実施形態において、ディスペンスサイクルすなわち、単段ポンプ800がウェーハにディスペンスする準備ができているときから、単段ポンプ800が前回のディスペンスの後に再びウェーハにディスペンスする準備ができているときまでの間の一連のセグメントは、より多くのまたはより少ないセグメントを要求し得、また、様々なセグメントは、異なる順番で行われ得る。供給セグメントの間、入口バルブ825は、開かれ、ディスペンスポンプ802はダイアフラム860を動かし例えば、引き、供給チャンバ855に流体を引き入れる。一度充分な量の流体が供給チャンバ855を満たすと、入口バルブ825は閉められる。ディスペンス/濾過セグメントの間、ポンプ802は、ダイアフラム860を動かし、供給チャンバ855から流体を置換する。出口バルブ847は、流体がフィルタ820を介してノズル804から流れ出ることを可能にするために開かれる。出口バルブ847は、ポンプ802がディスペンスを始める前か、後か、または同時に開かれ得る。パージ/排出セグメントの始まりにおいて、パージバルブ840は、開かれ、出口バルブ847は閉められている。ディスペンスポンプ802は、流体に圧力を加え、開いたパージバルブ840を介して流体を動かす。該流体は、単段ポンプ800の外を経由し得、あるいは、流体供給器またはディスペンスポンプ802に戻り得る。静的パージセグメントの間、ディスペンスポンプ802は、停止されるが、しかしパージバルブ140は開いたままで、パージセグメントの間に高まった圧力を軽減する。追加のサックバックセグメントが、行われ得、流体を引き戻すことによって、ディスペンスノズル内の過剰な流体が取り除かれる。サックバックセグメントの間、出口バルブ847は、閉じ得、過剰な流体を出口ノズル804から吸い出すために2次的モータまたはバキュームが用いられ得る。あるいは、出口バルブ847は、開いたままで、ディスペンスモータ875は、逆回転され得、ディスペンスチャンバに流体を吸い戻す。サックバックセグメントは、ウェーハ上に過剰な流体をドリップさせることを防ぐのに役立つ。ディスペンスサイクルの他のセグメントも行われ得、単段ポンプは、上述の順序で上述のセグメントを行うことに限定されないということに留意されたい。例えば、ディスペンスモータ875がステッパモータである場合、1つのセグメントが、供給セグメントの前に、モータをハードストップに持っていくために加えられ得る。さらに、結合したセグメント例えば、パージ/排出は、個別のセグメントとして行われ得る。他の実施形態によれば、ポンプは、サックバックセグメントを行い得ない。さらに、単段ポンプは、異なる構成を有し得る。例えば、単段ポンプは、フィルタを含み得ないか、または、パージバルブを有するよりむしろ、出口バルブ147の代わりにチェックバルブを有し得る。本発明の一実施形態によれば、充填セグメントの間、ディスペンスポンプ802は、定位置まで満たされ得、その結果として、ディスペンスチャンバ855は、ディスペンスサイクルのセグメントのそれぞれを行うのに充分な体積を有する。上記に挙げられる例において、定位置に対応する有効容積は、少なくとも、ディスペンス体積にパージ体積を加えたものとなるすなわち、パージ/排出セグメントおよび静的パージセグメントの間に放出された体積。ディスペンスチャンバ855に取り戻されたあらゆるサックバック体積は、ディスペンス体積およびパージ体積から減じられ得る。多段ステップのときと同様に、定位置は、1つ以上のレシピ、またはユーザー特定の体積に基づいて決定され得る。ディスペンスポンプの定位置に対応する有効容積は、ディスペンスポンプの最大有効容積より少なく、かつディスペンスサイクルにおけるディスペンスポンプの最大有効容積である。本発明が、特定の実施形態を参照して記述されてきたが、実施形態は実例になるものであり、本発明の範囲はこれらの実施形態に限定されないということを理解されたい。上述の実施形態に対する多くの変形、修正、追加、および改良が、可能である。これらの変形、修正、追加、および改良は、特許請求の範囲に詳述されるような、本発明の範囲に含まれるということに熟慮されたい。"