EUV光の生成が行われるチャンバ内にターゲット物質を出力するためのノズルを、チャンバ内で物理的にクリーニングするためのノズルのクリーニング機構。請求項1に記載のノズルのクリーニング機構において、前記ノズルから出力される前記ターゲット物質との接触角が、前記ノズルと前記ターゲット物質との接触角よりも小さいクリーニング部材と、前記クリーニング部材の温度を前記ターゲット物質の融点以上の温度に調節するための温度調節部と、前記クリーニング部材と前記ノズルとが接触可能なように、前記クリーニング部材と前記ノズルとを相対移動させるための接触移動機構と、を備えるノズルのクリーニング機構。請求項1に記載のノズルのクリーニング機構において、前記ノズルから出力される前記ターゲット物質との接触角が、前記ノズルと前記ターゲット物質との接触角よりも小さいクリーニング部材と、前記クリーニング部材の温度を前記ターゲット物質の融点以上の温度に調節するための温度調節部と、前記クリーニング部材と前記ノズルとが接近可能なように、前記クリーニング部材と前記ノズルとを相対移動させるための接近移動機構と、前記ノズルから前記ターゲット物質を出力させるための出力調整部と、を備えるノズルのクリーニング機構。請求項1に記載のノズルのクリーニング機構において、液体金属を貯留するための容器と、前記液体金属と前記ノズルとが接触可能なように、前記容器と前記ノズルとを相対移動させるための接触移動機構と、を備えるノズルのクリーニング機構。請求項4に記載のノズルのクリーニング機構において、前記液体金属は、前記ノズルから出力される前記ターゲット物質と同種の物質であり、前記容器に貯留された前記物質の温度を該物質の融点以上の温度に調節するための温度調節部をさらに備えるノズルのクリーニング機構。EUV光の生成が行われるチャンバ内にターゲット物質を出力するためのノズルと、前記チャンバ内で、前記ノズルを物理的にクリーニングするための請求項1から請求項5のいずれかに記載のノズルのクリーニング機構と、前記ノズルと前記クリーニング機構とを一体化するためのユニット部と、を備えるターゲット供給装置。EUV光の生成が行われるチャンバ内にターゲット物質を出力するためのノズルをクリーニングするためのノズルのクリーニング方法において、大気圧よりも低い圧力の前記チャンバ内で、前記ノズルを物理的にクリーニングすることを含むノズルのクリーニング方法。請求項7に記載のノズルのクリーニング方法において、前記ノズルから出力される前記ターゲット物質との接触角が、前記ノズルと前記ターゲット物質との接触角よりも小さいクリーニング部材を用い、前記ノズルを物理的にクリーニングすることは、前記クリーニング部材の温度を前記ターゲット物質の融点以上の温度に調節することと、前記クリーニング部材と前記ノズルとを接触させることと、前記クリーニング部材と前記ノズルとを離間させることと、を含むノズルのクリーニング方法。請求項7に記載のノズルのクリーニング方法において、前記ノズルから出力される前記ターゲット物質との接触角が、前記ノズルと前記ターゲット物質との接触角よりも小さいクリーニング部材を用い、前記ノズルを物理的にクリーニングすることは、前記クリーニング部材の温度を前記ターゲット物質の融点以上の温度に調節することと、前記クリーニング部材と前記ノズルとを接近させることと、前記ノズルから所定量の前記ターゲット物質を出力させることと、前記クリーニング部材と前記ノズルとを離間させることと、を含むノズルのクリーニング方法。請求項7に記載のノズルのクリーニング方法において、前記ノズルから出力される前記ターゲット物質との接触角が、前記ノズルと前記ターゲット物質との接触角よりも小さいクリーニング部材を用い、前記ノズルを物理的にクリーニングすることは、前記クリーニング部材の温度を前記ターゲット物質の融点以上の温度に調節することと、前記ノズルから所定量の前記ターゲット物質を出力させることと、前記クリーニング部材と前記ノズルとを接近させることと、前記クリーニング部材と前記ノズルとを離間させることと、を含むノズルのクリーニング方法。請求項7に記載のノズルのクリーニング方法において、液体金属が貯留された容器を用い、前記ノズルを物理的にクリーニングすることは、前記容器内の液体金属と前記ノズルとを接触させることと、前記容器内の液体金属と前記ノズルとを離間させることと、を含むノズルのクリーニング方法。請求項11に記載のノズルのクリーニング方法において、前記液体金属として、前記ノズルから出力される前記ターゲット物質と同種の物質を用い、前記ノズルを物理的にクリーニングすることは、前記容器内の前記物質と前記ノズルとを接触させることと、前記容器内の前記物質の温度を該物質の融点以上の温度に調節することと、前記容器内の前記物質と前記ノズルとを離間させることと、をさらに含むノズルのクリーニング方法。