駆動電極、第1の検出電極、第2の検出電極およびモニター電極を設けた振動子と、この振動子を所定の振動数に振動駆動させるようにモニター電極からの出力信号を基に駆動信号を出力する駆動回路と、前記振動子における第1の検出電極から出力される電荷を電圧に変換する第1の電荷増幅器と前記振動子における第2の検出電極から出力される電荷を電圧に変換する第2の電荷増幅器と前記第1の電荷増幅器と第2の電荷増幅器との出力信号の差値を出力する差動回路とからなる検出回路とを備え、前記振動子に角速度が働いていない状態において、差動増幅器から出力される出力信号と逆極性で同一振幅であるキャンセル信号を第1の電荷増幅器または第2の電荷増幅器のいずれか一方の後段に注入するキャンセル信号出力回路を設けた角速度センサ。前記駆動回路にバンドパスフィルタを設けるとともに検出回路における差動回路の後段に位相器を設けかつキャンセル信号出力回路に比較回路を設け、前記バンドパスフィルタからの出力信号のゼロクロス点を基に、位相器からの出力を比較するようにした請求項1記載の角速度センサ。しかしながら、上記従来の構成では、振動子1の重量が不釣合の場合には振動子1が斜めに駆動振動することとなり、その結果、角度変換部図示せずから不要な信号が発生してしまうという課題を有していた。本発明は上記従来の課題を解決するもので、振動子の重量が不釣合の場合であっても不要な信号が発生してしまうということのない角速度センサを提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、駆動電極、第1の検出電極、第2の検出電極およびモニター電極を設けた振動子と、この振動子を所定の振動数に振動駆動させるようにモニター電極からの出力信号を基に駆動信号を出力する駆動回路と、前記振動子における第1の検出電極から出力される電荷を電圧に変換する第1の電荷増幅器と前記振動子における第2の検出電極から出力される電荷を電圧に変換する第2の電荷増幅器と前記第1の電荷増幅器と第2の電荷増幅器との出力信号の差値を出力する差動回路とからなる検出回路とを備え、前記振動子に角速度が働いていない状態において、差動増幅器から出力される出力信号と逆極性で同一振幅であるキャンセル信号を第1の電荷増幅器または第2の電荷増幅器のいずれか一方の後段に注入するキャンセル信号出力回路を設けたもので、この構成によれば、差動増幅器に発生した不要信号と逆相のキャンセル信号を電荷増幅器の後段に注入することとなり、その結果、ドリフト信号を除去することができるのでノイズが軽減するという作用効果が得られるものである。本発明の請求項2に記載の発明は、特に、前記駆動回路にバンドパスフィルタを設けるとともに検出回路における差動回路の後段に位相器を設けかつキャンセル信号出力回路に比較回路を設け、前記バンドパスフィルタからの出力信号のゼロクロス点を基に、位相器からの出力を比較するようにしたもので、この構成によれば、不要信号の振幅量を正確に測定できるという作用効果を有するものである。以上のように本発明の角速度センサは、駆動電極、第1の検出電極、第2の検出電極およびモニター電極を設けた振動子と、この振動子を所定の振動数に振動駆動させるようにモニター電極からの出力信号を基に駆動信号を出力する駆動回路と、前記振動子における第1の検出電極から出力される電荷を電圧に変換する第1の電荷増幅器と前記振動子における第2の検出電極から出力される電荷を電圧に変換する第2の電荷増幅器と前記第1の電荷増幅器と第2の電荷増幅器との出力信号の差値を出力する差動回路とからなる検出回路とを備え、前記振動子に角速度が働いていない状態において、差動増幅器から出力される出力信号と逆極性で同一振幅であるキャンセル信号を第1の電荷増幅器または第2の電荷増幅器のいずれか一方の後段に注入するキャンセル信号出力回路を設けたもので、この構成によれば、差動増幅器に発生した不要信号と逆相のキャンセル信号を電荷増幅器の後段に注入することとなり、その結果、ドリフト信号を除去することができるのでノイズが軽減することが可能な角速度センサを提供することが出来るという効果を有するものである。以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施の形態における角速度センサの斜視図、図2は同角速度センサの駆動回路および検出回路を示すブロック図である。図1、図2において、11は振動子で、この振動子11は四角柱状の駆動電極振動体12と、四角柱状の検出電極振動体13と、接続部14とにより構成されている。そして前記駆動電極振動体12には、4つの側面に金属からなる駆動電極15aおよび駆動電極15bが設けられている。また前記検出電極振動体13は駆動電極振動体12と平行に設けられているもので、その表面および裏面には金からなるモニター電極16が設けられている。そしてまた前記検出電極振動体13には、内側の側面に金からなるGND電極17が設けられ、かつ外側の側面に金からなる第1の検出電極18aおよび第2の検出電極18bが設けられている。19は駆動回路で、この駆動回路19は前記振動子11のモニター電極16の電荷を入力する増幅器20と、この増幅器20の出力信号を入力するバンドパスフィルタ21と、このバンドパスフィルタ21の出力信号を入力する整流器22と、この整流器22の出力信号を入力する平滑回路23とにより構成されている。24はAGC回路で、このAGC回路24は前記駆動回路19における平滑回路23の出力信号を入力し、前記バンドパスフィルタ21の出力信号を増幅あるいは減衰させるものである。25は駆動制御回路で、この駆動制御回路25は前記AGC回路24の出力信号を入力するとともに、前記振動子11における駆動電極15aに駆動信号を入力するものである。26は反転アンプで、この反転アンプ26は前記駆動制御回路25の出力信号を入力するとともに、前記振動子11における駆動電極15bに駆動制御回路25の出力信号を反転させた駆動信号を入力するものである。27は検出回路で、この検出回路27は、前記振動子11における第1の検出電極18aにコリオリ力により発生する電荷を電圧に変換する電荷増幅器28aと、第2の検出電極18bにコリオリ力により発生する電荷を電圧に変換する電荷増幅器28bと、これらの電荷増幅器28aおよび28bの出力信号を入力する差動増幅器29と、この差動増幅器29の出力信号を入力する位相器30と、この位相器30の出力信号を入力する同期検波器31と、この同期検波器31の出力信号を入力する平滑回路32と、この平滑回路32の出力信号を入力するとともに、増幅して角速度信号を出力する直流アンプ33とにより構成されている。35はキャンセル信号出力回路で、このキャンセル信号出力回路35は、比較器36と発振器37とで構成されている。そして、前記キャンセル信号出力回路35における比較器36は駆動回路19におけるバンドパスフィルタ21からの出力信号と、位相器30からの出力信号とを比較して、比較信号を出力している。そしてまた、前記キャンセル信号出力回路35における発振器37は、前記比較器36からの比較信号を基に出力信号を出力し、電荷増幅器28bの後段に出力するものである。以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次にその動作を説明する。振動子11の駆動電極15aおよび15bに交流電圧を加えると、振動子11が共振し、そしてこの振動子11のモニター電極16に電荷が発生する。このモニター電極16に発生した電荷は、駆動回路19における増幅器20に入力され、正弦波形の出力電圧として出力される。そしてこのモニター電極16の出力電圧を前記バンドパスフィルタ21に入力し、振動子11の共振周波数のみを抽出し、ノイズ成分を除去して、図3aに示すような正弦波形を出力する。そしてまた前記バンドパスフィルタ21の出力信号を整流器22に入力することにより、負電圧成分を正電圧に変換した後、平滑回路23に入力することにより、直流電圧信号に変換する。そしてAGC回路24は前記平滑回路23の直流電圧信号が大の場合には前記バンドパスフィルタ21の出力信号を減衰させるような信号を、一方、前記平滑回路23の直流電圧信号が小の場合には前記バンドパスフィルタ21の出力信号を増幅させるような信号を駆動制御回路25に入力し、前記振動子11の振動を一定振幅になるように調整するものである。ここで、振動子11の駆動電極振動体12が振動方向に速度vで屈曲振動している状態において、前記振動子11の長手方向の中心軸周りに前記振動子11が角速度ωで回転すると、この振動子11の検出電極振動体13にF=2mv×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により前記検出電極振動体13の一対の検出電極18における一方の検出電極18aに図3bに示すような電荷が発生するとともに、他方の検出電極18bに図3cに示すような電荷が発生する。そしてこの一対の検出電極18に発生する電荷はコリオリ力により発生するため、前記モニター電極16に発生する信号より、一方の検出電極18aに生じる電荷の位相が90度進むとともに、他方の検出電極18bに生じる電荷の位相が270度進んでいる。そして前記差動増幅器29により、一方の検出電極18aから発生する電荷を図3dに示すような出力電圧に変換する。増幅器28bは、他方の検出電極18bから発生する電荷を増幅し、図3eに示すような出力電圧に変換する。そして、電荷増幅器28aおよび電荷増幅器28bの出力信号を差動増幅器29に入力するとともに、差動をとることにより、差動増幅器29が差動からなる出力信号を出力する。さらに位相器30により、前記差動増幅器29の出力電圧を90度遅らせて図3fに示すような出力電圧に変換する。そしてこの位相器30の出力信号を同期検波器31に入力し、前記駆動回路19におけるバンドパスフィルタ21の振動の周期で位相検波させるとともに、前記位相器30の出力電圧の負電圧成分を正電圧に変換し、図3gに示すような出力信号を得る。そしてこの同期検波器31の出力電圧を前記平滑回路32および直流アンプ33により平滑化するとともに、増幅し、図3hに示すような出力信号を得る。そして直流アンプ33の出力信号を角速度の信号として、相手側のコンピュータ図示せず等に入力し、角速度を検出するものである。ここで、角速度センサに角速度が加わらない状態において振動子11の重量バランスの不釣合いから振動子11が斜めに振動する場合を考える。検出回路27における電荷増幅器28aからは図4aに示す出力信号が出力され、一方、電荷増幅器28bからは図4bに示す出力信号が出力される。そうすると、差動増幅器29からは図4aと図4bとの差値に相当する図4cに相当する出力信号が出力される。そして、位相器30により90度位相を遅らせ、位相器30から図4dに示す出力信号が出力される。比較器36は駆動回路19におけるバンドパスフィルタ21からのゼロクロス点を基に、図4dの最大振幅値を検出し、さらに、発振器37により、位相を90度早めて、図4eに示す出力信号を得る。この発振器37からの出力信号は、図4cに示す出力信号を反転させた信号に相当する。すなわち、図4eに示す出力信号を電荷増幅器28bの後段に注入することにより、差動増幅器29に発生する不要なノイズ信号を除去することが出来る。本発明の一実施の形態における角速度センサにおいては、角速度センサに角速度が負荷されない状態において、差動増幅器29から出力される出力信号と逆極性で同一振幅であるキャンセル信号を電荷増幅器28bの後段に注入するキャンセル信号出力回路35を設けたため、差動増幅器29に発生した不要信号と逆相のキャンセル信号を第一の電荷増幅器28bの後段に注入することとなり、その結果ドリフト信号を除去することができるので、ノイズを軽減することができるという作用効果が得られるものである。