"第1基板と、上記第1基板に対向して配置された第2基板と、上記第1基板及び第2基板の間において枠状のシール部材によって封入された液晶層と、上記液晶層が封入されている領域に形成され、上記シール部材に沿った枠状の第1領域、及び該第1領域の内側領域である第2領域を有する表示領域と、上記第1領域における上記第1基板に形成され、上記第1基板及び第2基板の間隔を規定するための複数の第1柱状スペーサと、上記第2領域における上記第1基板又は第2基板に形成されると共に、上記第1柱状スペーサよりも上記第1基板及び第2基板が互いに対向する方向に変形し易いように構成され、上記第1基板及び第2基板の間隔を規定するための複数の第2柱状スペーサとを備えていることを特徴とする液晶表示装置。請求項1に記載された液晶表示装置において、上記第1基板には、上記表示領域に平坦化膜が形成され、上記第1柱状スペーサは、上記平坦化膜の表面に形成され、上記第1領域における上記平坦化膜の厚みは、上記第2領域側から上記シール部材側へ向かって徐々に小さくなっていることを特徴とする液晶表示装置。請求項1又は2に記載された液晶表示装置において、上記第1柱状スペーサは、上記第1基板に形成され、上記第2柱状スペーサは、上記第2基板に形成されていることを特徴とする液晶表示装置。請求項1乃至3の何れか1つに記載された液晶表示装置において、上記第1柱状スペーサ及び第2柱状スペーサは、互いに異なる材質によって構成されると共に互いに同じ長さに形成されていることを特徴とする液晶表示装置。請求項1乃至3の何れか1つに記載された液晶表示装置において、上記第1柱状スペーサ及び第2柱状スペーサは、軸方向に直交する断面の断面積及び材質が互いに同じであり、上記第1柱状スペーサは、上記第2柱状スペーサよりも短いことを特徴とする液晶表示装置。請求項1乃至3の何れか1つに記載された液晶表示装置において、上記第1柱状スペーサ及び第2柱状スペーサは、長さ及び材質が互いに同じであり、上記第1柱状スペーサは、軸方向に直交する断面の断面積が、上記第2柱状スペーサよりも大きいことを特徴とする液晶表示装置。第1絶縁性基板に平坦化膜を形成する工程と、上記平坦化膜の周縁部を含む枠状の第1領域において、該平坦化膜の表面に複数の第1柱状スペーサを形成する一方、上記第1領域の内側の第2領域における上記平坦化膜の表面、又は当該第2領域に対向する第2絶縁性基板に、上記第1柱状スペーサよりも軸方向に変形し易い複数の第2柱状スペーサを形成する工程と、上記第1領域の周囲を囲むように、枠状のシール部材を上記第1絶縁性基板に形成する工程と、上記シール部材の内側に液晶材料を供給する工程と、上記液晶材料及び上記シール部材を介して、第2絶縁性基板を上記第1絶縁性基板に押圧して貼り合わせる工程とを有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。第1基板母材における複数の枠状の第1領域にそれぞれ複数の第1柱状スペーサを形成する一方、各上記第1領域の内側の第2領域、又は当該第2領域に対向する第2基板母材に、上記第1柱状スペーサよりも軸方向に変形し易い複数の第2柱状スペーサを形成すると共に、上記第1基板母材における上記複数の第1領域同士の間に上記第2基板母材を支持するための支持体を形成する工程と、各上記第1領域の周囲をそれぞれ囲むように、複数の枠状のシール部材を上記第1基板母材に形成する工程と、各上記シール部材の内側に液晶材料をそれぞれ供給する工程と、真空環境下において、上記液晶材料及び上記複数のシール部材を介して、第2基板母材を上記第1基板母材に押圧して貼り合わせる工程と、互いに貼り合わされた上記第1基板母材及び第2基板母材を、大気圧環境に戻した後に、各上記液晶材料毎に分割する工程とを有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。しかし、上記特許文献1における柱状スペーサには、上層部分と下層部分との境界における剥離強度が著しく低下してしまう問題がある。したがって、各柱状スペーサは、それぞれ二層構造ではなくて単一の材質により構成することが望ましい。ここで、複数の柱状スペーサを有する液晶表示装置は、シール部材近傍において基板間隔が不均一になる虞があり、その結果、シール部材近傍において表示ムラが生じるという問題がある。例えば、図13は、液晶表示装置100の側端部を拡大して示す断面図である。図13に示すように、対向基板101は、ガラス基板102と、ガラス基板102の表面に形成された枠状のシール部材103及び平坦化膜オーバーコート膜104と、平坦化膜104の表面に形成された複数の柱状スペーサ105とを有している。各柱状スペーサ105は、それぞれ同じ材質で且つ同じ長さに形成されている。平坦化膜104はガラス基板102上にスピンコートされている。しかし、ガラス基板102の中央側図13で左側とシール部材103の近傍とは、表示領域又は非表示領域額縁領域であるという違いもあり、例えば、ガラス基板102上の表示領域は着色層や信号配線などの構造物が密に配置される一方、非表示領域は一般に遮光膜や透明導電膜ITO膜などが形成されるのみであり、その膜質や密集度が異なる。そのため、スピンコートされる平坦化膜104は、シール部材103の近傍において広がり易く、ガラス基板102上に形成された平坦化膜104の側端部には、スピン塗布時の膜厚ムラが生じやすい。膜厚ムラが生じた平坦化膜104の側端部は、側端方向図13で左方向へ向かうに連れて厚みが徐々に小さくなる。したがって、柱状スペーサ105のガラス基板102表面からの高さは、平坦化膜104の側端部において徐々に低くなる。よって、当該柱状スペーサ105が形成されると共に液晶材料107が供給された対向基板101にTFT基板106を押圧して貼り合わせると、図13に示すように、シール部材103の近傍におけるTFT基板106の端部が対向基板101側に沈み込むと共に、その沈み込みの反動で当該TFT基板106の端部よりも内側の領域が凸状に浮き上がってしまう。その結果、液晶表示装置の平面図である図14に2点鎖線で示すように、シール部材103に沿った領域107に表示ムラが生じる。また、上述のような平坦化膜を形成しない場合であっても、例えば、複数の液晶表示装置100を大判の基板母材から分割して形成するような場合にも同様の問題が生じる。すなわち、第1及び第2の基板母材111,112の一部を示す断面図である図15に示すように、第1の基板母材111には枠状のシール部材103が複数形成され、各シール部材103の内側には複数の柱状スペーサ105がそれぞれ形成されている。また、第1の基板母材111におけるシール部材103の外側には、第2の基板母材112を支持して、シール部材103の内側領域と外側領域とにおける基板貼り合わせ後の基板間隔を可能な限り揃えるための支持体113が形成されている。そうして、各シール部材103の内側に液晶材料107を滴下した後に、真空環境下で第2の基板母材112を上記第1の基板母材111に貼り合わせて、上記基板母材111,112を大気圧環境に戻す。このとき、図15に示すように、支持体113が設けられているシール部材103の外側では、液晶材料107が充填されておらず負圧となっていることから、大気圧の作用によって第2の基板母材112が凹状に沈み込む。そして、この沈み込みの反動で当該第2の基板母材112におけるシール部材103の内側の近傍領域が凸状に浮き上がってしまう。その結果、図14に2点鎖線で示すように、シール部材103に沿った領域に表示ムラが生じることとなる。尚、貼り合わされた基板母材111,112の外周部は、図示省略のシール部材によって封止されており、大気環境下においてシール部材103の外側領域に負圧を生じさせて基板母材111,112を互いに貼り合わせる押圧力を高めるようになっている。また、シール部材103の高さと柱状スペーサ105の高さとが異なる場合や、シール部材103と柱状スペーサ105との間隔が比較的大きい場合においても、表示ムラの問題が生じる。ここで、図16~図18は、液晶表示装置100の側端部を拡大して示す断面図である。図16に示す液晶表示装置100は、対向基板101を構成するガラス基板102の表示領域に形成された着色層108と、上記ガラス基板102の非表示領域に形成された遮光膜109と、着色層108上に形成された複数の柱状スペーサ105とを有している。ガラス基板102の非表示領域には、シール部材103が設けられている。そして、対向基板101には、シール部材103、柱状スペーサ105及び液晶材料107を介してTFT基板106が貼り合わされている。図16におけるシール部材103は、ガラス基板102からの高さが柱状スペーサ105と同じになっている。しかし、シール部材103と柱状スペーサ105との間隔が比較的大きくなっているので、TFT基板106が対向基板101に押圧して貼り付けられた際に、シール部材103の内側の近傍領域において、柱状スペーサ105が圧縮されて基板間隔が狭くなり、表示ムラが生じ得る。また、図17に示す液晶表示装置100は、シール部材103の高さが柱状スペーサ105の高さよりも低くなっている。一方、図18に示す液晶表示装置100は、シール部材103の高さが柱状スペーサ105の高さよりも高くなっている。図17及び図18における液晶表示装置100についても、TFT基板106が対向基板101側に押圧して貼り付けられた際に、シール部材103の内側の近傍領域において、柱状スペーサ105が圧縮されて基板間隔が狭くなり、表示ムラが生じ得る。本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その主たる目的とするところは、柱状スペーサを有する液晶表示装置について、基板の貼り合わせ工程における基板間隔の変動を抑制して、表示品位の向上を図ることにある。上記の目的を達成するために、第1の発明は、液晶表示装置を対象としている。そして、液晶表示装置は、第1基板と、上記第1基板に対向して配置された第2基板と、上記第1基板及び第2基板の間において枠状のシール部材によって封入された液晶層と、上記液晶層が封入されている領域に形成され、上記シール部材に沿った枠状の第1領域、及び該第1領域の内側領域である第2領域を有する表示領域と、上記第1領域における上記第1基板に形成され、上記第1基板及び第2基板の間隔を規定するための複数の第1柱状スペーサと、上記第2領域における上記第1基板又は第2基板に形成されると共に、上記第1柱状スペーサよりも上記第1基板及び第2基板が互いに対向する方向に変形し易いように構成され、上記第1基板及び第2基板の間隔を規定するための複数の第2柱状スペーサとを備えている。第1の発明によると、シール部材に沿った枠状の第1領域に第1基板及び第2基板が互いに対向する方向以下、基板対向方向とも称するに比較的変形し難い複数の第1柱状スペーサを設ける一方、第1領域の内側の第2領域に第1柱状スペーサよりも基板対向方向に変形し易い複数の第2柱状スペーサを設けることにより、第1基板と第2基板とを押圧して貼り合わせる工程において、第1領域における第2基板の第1基板側への沈み込みが抑制される。その結果、第2基板の沈み込みの反動による第2領域側の第2基板の浮き上がりが抑制されるため、第2基板の平坦性を維持し、第1基板と第2基板との基板間隔の変動を抑制して、表示品位を向上させることが可能になる。第2の発明は、上記第1の発明において、上記第1基板には、上記表示領域に平坦化膜が形成され、上記第1柱状スペーサは、上記平坦化膜の表面に形成され、上記第1領域における上記平坦化膜の厚みは、上記第2領域側から上記シール部材側へ向かって徐々に小さくなっている。第2の発明によると、第1領域における平坦化膜の厚みが第2領域における平坦化膜の厚みより小さくなっていても、第2領域では第2柱状スペーサが第1柱状スペーサよりも大きく縮むので、第2基板の平坦性が好適に維持され、第1基板と第2基板との基板間隔の変動が抑制されることとなる。第3の発明は、上記第1又は第2の発明において、上記第1柱状スペーサは、上記第1基板に形成され、上記第2柱状スペーサは、上記第2基板に形成されている。第3の発明によると、第1柱状スペーサを第1基板に形成する一方、第2柱状スペーサを第2基板にそれぞれ別個独立に形成できるので、基板対向方向における変形し易さが互いに異なる第1及び第2柱状スペーサを容易に形成することが可能になる。第4の発明は、上記第1乃至第3の発明の何れか1つにおいて、上記第1柱状スペーサ及び第2柱状スペーサは、互いに異なる材質によって構成されると共に互いに同じ長さに形成されている。第5の発明は、上記第1乃至第3の発明の何れか1つにおいて、上記第1柱状スペーサ及び第2柱状スペーサは、軸方向に直交する断面の断面積及び材質が互いに同じであり、上記第1柱状スペーサは、上記第2柱状スペーサよりも短い。第6の発明は、上記第1乃至第3の発明の何れか1つにおいて、上記第1柱状スペーサ及び第2柱状スペーサは、長さ及び材質が互いに同じであり、上記第1柱状スペーサは、軸方向に直交する断面の断面積が、上記第2柱状スペーサよりも大きい。これら第4乃至第6の発明によると、第2柱状スペーサが第1柱状スペーサよりも基板対向方向に変形し易くなるため、第2基板の平坦性を維持し、第1基板と第2基板との基板間隔の変動を抑制することが可能になる。また、第7の発明は、液晶表示装置の製造方法を対象としている。そして、上記製造方法は、第1絶縁性基板に平坦化膜を形成する工程と、上記平坦化膜の周縁部を含む枠状の第1領域において、該平坦化膜の表面に複数の第1柱状スペーサを形成する一方、上記第1領域の内側の第2領域における上記平坦化膜の表面、又は当該第2領域に対向する第2絶縁性基板に、上記第1柱状スペーサよりも軸方向に変形し易い複数の第2柱状スペーサを形成する工程と、上記第1領域の周囲を囲むように、枠状のシール部材を上記第1絶縁性基板に形成する工程と、上記シール部材の内側に液晶材料を供給する工程と、上記液晶材料及び上記シール部材を介して、第2絶縁性基板を上記第1絶縁性基板に押圧して貼り合わせる工程とを有する。第7の発明によると、シール部材に沿った枠状の第1領域に複数の第1柱状スペーサを設ける一方、第1領域の内側の第2領域に第1柱状スペーサよりも変形し易い複数の第2柱状スペーサを設けるようにしたので、平坦化膜の周縁部に厚みムラが生じて当該周縁部の厚みが比較的薄くなったとしても、第1領域では第1柱状スペーサが縮みにくい一方、第2領域では第2柱状スペーサが第1柱状スペーサよりも大きく縮むこととなる。その結果、第2基板の平坦性が維持されるため、第1基板と第2基板との基板間隔の変動を抑制して、表示品位を向上させることが可能になる。また、第8の発明は、液晶表示装置の製造方法を対象としている。そして、上記製造方法は、第1基板母材における複数の枠状の第1領域にそれぞれ複数の第1柱状スペーサを形成する一方、各上記第1領域の内側の第2領域、又は当該第2領域に対向する第2基板母材に、上記第1柱状スペーサよりも軸方向に変形し易い複数の第2柱状スペーサを形成すると共に、上記第1基板母材における上記複数の第1領域同士の間に上記第2基板母材を支持するための支持体を形成する工程と、各上記第1領域の周囲をそれぞれ囲むように、複数の枠状のシール部材を上記第1基板母材に形成する工程と、各上記シール部材の内側に液晶材料をそれぞれ供給する工程と、真空環境下において、上記液晶材料及び上記複数のシール部材を介して、第2基板母材を上記第1基板母材に押圧して貼り合わせる工程と、互いに貼り合わされた上記第1基板母材及び第2基板母材を、大気圧環境に戻した後に、各上記液晶材料毎に分割する工程とを有する。第8の発明によると、互いに貼り合わされた第1基板母材及び第2基板母材を真空環境から大気圧環境に戻したときに、シール部材の外側の支持体が形成された領域では、大気圧により押圧されて第2基板母材が第1基板母材側へ凹状に沈み込む虞がある。このとき、上記第2基板母材が沈み込む反動により、第1領域におけるシール部材の内側近傍では、第2基板母材が第1基板母材と反対側へ浮き上がろうとする応力が生ずる。しかし、本発明では、第1領域の第1柱状スペーサがその軸方向に比較的変形し難い一方、第2領域の第2柱状スペーサがその軸方向に比較的変形し易いので、第1領域における第2基板母材の浮き上がりを抑制することが可能になる。その結果、第2基板母材の平坦性が維持されるため、第1基板母材と第2基板母材との基板間隔の変動を抑制して、表示品位を向上させることが可能になる。本発明によれば、第1基板と第2基板とを押圧して貼り合わせる工程において、第1領域では第1柱状スペーサがその軸方向に比較的変形し難い一方、第2領域では第2柱状スペーサが第1柱状スペーサよりも軸方向に変形し易いので、第2基板の平坦性を維持し、第1基板と第2基板との基板間隔の変動を抑制して、表示品位を向上させることが可能になる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。《発明の実施形態1》図1~図5は、本発明の実施形態1を示している。図1は、本実施形態1における液晶表示装置1の平面図である。図2は、液晶表示装置1の構造を模式的に示す断面図である。図3は、ガラス基板41に形成された平坦化膜43を示す断面図である。図4は、平坦化膜43の表面に形成された第1及び第2柱状スペーサ31,32を示す断面図である。図5は、対向基板11に形成されたシール部材13を示す断面図である。本実施形態1における液晶表示装置1は、図1及び図2に示すように、第1基板としての対向基板11と、対向基板に対向して配置されたTFT基板12と、対向基板11及びTFT基板12の間において枠状のシール部材13によって封入された液晶層14とを有している。TFT基板12には、図示を省略するが、マトリクス状に配置された複数の画素を有し、各画素には液晶層を駆動するための画素電極と、画素電極に接続されたTFTとがそれぞれ形成されている。一方、対向基板11には、図示を省略するが、RGB等の複数色の着色層を有するカラーフィルタと、上記各画素電極に共通して設けられた共通電極とが形成されている。液晶表示装置1は、液晶層14が封入されている領域に形成された表示領域20と、表示領域20の周囲に形成された額縁状の非表示領域25とを有している。表示領域20には、図示を省略するが、複数の画素がマトリクス状に形成されている。上記シール部材13は、非表示領域25に配置されて矩形枠状に形成されている。また、非表示領域25には、図1に示すように、表示領域20における液晶層14の駆動等を制御するための駆動回路IC16が実装されている。表示領域20は、シール部材13に沿った枠状の第1領域21と、第1領域21の内側領域である第2領域22とを有している。すなわち、第1領域21は矩形枠状の領域に形成され、第2領域22は第1領域21に内接する矩形状の領域に形成されている。図2に示すように、対向基板11は、第1絶縁性基板としてのガラス基板41を有している。表示領域20におけるガラス基板41の液晶層14側には、平坦化膜オーバーコート膜43が形成されている。平坦化膜43は、スピン塗布によってガラス基板41上に形成されており、その平坦化膜43の周縁部分には膜厚ムラが生じている。すなわち、第1領域21における平坦化膜43の厚みは、第2領域22側からシール部材13側へ向かって徐々に小さくなっている。ここで、ガラス基板41の中央側とシール部材13の近傍とは、表示領域又は非表示領域額縁領域であるという違いもあり、例えば、ガラス基板41上の表示領域は着色層や信号配線などの構造物が密に配置される一方、非表示領域は一般に遮光膜や透明導電膜ITO膜などが形成されるのみであり、その膜質や密集度が異なる。その結果、スピンコートされる平坦化膜43は、シール部材13の近傍において広がり易く、ガラス基板41上に形成された平坦化膜43の側端部には、スピン塗布時の膜厚ムラが生じ易くなる。第1領域21における対向基板11には、図2に示すように、対向基板11及びTFT基板12の間隔を規定するための複数の第1柱状スペーサ31が平坦化膜43の表面に形成されている。各第1柱状スペーサ31は、互いに同じ長さを有している。第1柱状スペーサ31は、例えば、アルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、及び光重合性開始剤を主成分としたネガ型レジスト等の感光性樹脂組成物によって構成されている。アルカリ可溶性樹脂としてはメタアクリル系樹脂を適用することができる。光重合性モノマーとしては多官能アクリレートの一群が好適である。特に、光重合性開始剤としては、チオキサンソン系の光重合開始剤をα-アミノケトン系光重合開始剤と併用することができる。一方、第2領域22における対向基板11には、図2に示すように、対向基板11及びTFT基板12の間隔を規定するための複数の第2柱状スペーサ32が形成されている。第2柱状スペーサ32は、第1柱状スペーサ31よりも対向基板11及びTFT基板12が互いに対向する方向以下、基板対向方向とも称するに変形し易いように構成されている。すなわち、第2柱状スペーサ32は、第1柱状スペーサ31よりも軟らかい。第2柱状スペーサ32は、上記第1柱状スペーサの構成材料に例えばメラミン樹脂を添加することによって、弾性変形量が比較的大きく柔軟であり且つ塑性変形量が比較的小さい柱状スペーサを形成することができる。こうして、第1柱状スペーサ31及び第2柱状スペーサ32は、互いに異なる材質によって構成されている。また、第1柱状スペーサ31及び第2柱状スペーサ32は、互いに同じ長さに形成されている。尚、弾性変形率が大きく且つ塑性変形率が小さい第2柱状スペーサ32としては、ポリマー、多官能アクリレートモノマー、及び光重合開始剤を含有し、多官能アクリレートモノマーの含有量が50~70重量の範囲である構成とすることも可能である。-製造方法-次に、上記液晶表示装置1の製造方法について説明する。液晶表示装置1は、例えば、対向基板11に第1及び第2柱状スペーサ31,32及び枠状のシール部材13を形成し、そのシール部材の枠内に液晶を滴下した後に、上記対向基板11にTFT基板12を貼り合わせることによって製造する。したがって、まず、図3に示すように、対向基板11を構成するガラス基板41にカラーフィルタ図示省略及び平坦化膜43等を形成する。平坦化膜43は、スピン塗布によってガラス基板41上に形成する。平坦化膜43の周縁部分には、スピンムラによる膜厚ムラが生じており、第1領域21における平坦化膜43の厚みは、第2領域22側からガラス基板41の端部側へ向かって徐々に小さくなっている。次に、図4に示すように、平坦化膜43の周縁部を含む枠状の第1領域21において、この平坦化膜43の表面に複数の第1柱状スペーサ31を形成する一方、第1領域21の内側の第2領域22における平坦化膜43の表面に複数の第2柱状スペーサ32を形成する。第2柱状スペーサ32は、第1柱状スペーサ31よりも当該柱状スペーサ32の軸方向長さ方向に変形し易いように構成されている。本実施形態では、第1柱状スペーサ31及び第2柱状スペーサ32を互いに同じ長さに形成する一方、第2柱状スペーサ32は、第1柱状スペーサの構成材料に例えばメラミン樹脂を添加することによって、第1柱状スペーサ31よりもその軸方向に変形し易い構成とする。そして、第1領域21では、平坦化膜43の厚みが第2領域22側からガラス基板41の端部へ向かって徐々に小さくなっているため、第1柱状スペーサ31のガラス基板41表面からの高さは、第2領域22側からガラス基板41の端部へ向かって徐々に小さくなっている。第1柱状スペーサ31及び第2柱状スペーサ32は、例えば、それぞれフォトリソグラフィによって形成する。例えば、第1領域21に複数の第1柱状スペーサ31をフォトリソグラフィによって形成した後に、第2領域22に複数の第2柱状スペーサ32をフォトリソグラフィによって形成する。尚、第2柱状スペーサ32を形成した後に、第1柱状スペーサ31を形成するようにしてもよい。また、第1柱状スペーサ31及び第2柱状スペーサ32の形成は、フォトリソグラフィに限られない。上述のように、第1柱状スペーサ31の弾性係数は、第2柱状スペーサ32の弾性係数よりも大きくなっている。また、第1柱状スペーサ31及び第2柱状スペーサ32は、互いに同じ長さとなるように形成する。次に、図5に示すように、第1領域21の周囲を囲むように、枠状のシール部材13をガラス基板41に形成する。シール部材13は、例えば紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂又はその併用型樹脂によって形成することが可能である。次に、シール部材13の内側に液晶材料を供給する。液晶材料は、ODFOneDropFill法により、シール部材13の枠内に滴下して供給する。その後、図2に示すように、液晶材料及びシール部材13を介して、TFT基板12を構成している第2絶縁性基板としてのガラス基板42をガラス基板41に押圧して貼り合わせる。このとき、シール部材13と第1及び第2柱状スペーサ31,32とは、それぞれ基板間隔方向に圧縮されて僅かに縮む。そして、第1領域21では、第1柱状スペーサ31のガラス基板41表面からの高さが第2柱状スペーサ32よりも低くなっているものの、第1柱状スペーサ31が第2柱状スペーサ32よりもその軸方向に変形し難いため、第1領域21におけるTFT基板12の対向基板11側への沈み込みが抑制され、TFT基板12と対向基板11との基板間隔が一定に維持される。尚、本実施形態1では、ODF法による液晶表示装置1の製造方法について説明したが、シール部材13に形成した切欠部によって液晶材料の注入口を構成し、第1及び第2柱状スペーサ31,32を介して対向基板11とTFT基板12とを貼り合わせた後に、注入口から液晶材料を注入して液晶表示装置を製造するようにしてもよい。-実施形態1の効果-この実施形態1によると、図1及び図2に示すように、シール部材13に沿った枠状の第1領域21に基板対向方向に比較的変形し難い複数の第1柱状スペーサ31を設ける一方、第1領域21の内側の第2領域22に第1柱状スペーサ31よりも基板対向方向に変形し易い複数の第2柱状スペーサ32を設けるようにした。したがって、対向基板11とTFT基板12とを押圧して貼り合わせる工程において、第1領域21における平坦化膜の厚みが第2領域22における平坦化膜の厚みより小さくなっていても、第2領域22では第2柱状スペーサ32が比較的大きく縮む一方、第1領域21では第1柱状スペーサ31が比較的小さく縮むため、第1領域21におけるTFT基板12の対向基板11側への沈み込みを抑制することができる。その結果、TFT基板12の沈み込みの反動による第2領域22側のTFT基板12の浮き上がりを抑制できるため、TFT基板12の平坦性を維持し、対向基板11とTFT基板12との基板間隔の変動を抑制して、表示品位を向上させることができる。また、対向基板11又はTFT基板12が押圧された場合など、液晶層14の体積が変動した場合にも、第2柱状スペーサ32が第1柱状スペーサ31よりも基板対向方向に変形し易い材質によって構成され、その第2柱状スペーサ32が液晶層14の体積変動に追随して伸縮することが可能であるため、従来のように同一構成の複数の柱状スペーサを設ける場合に比べて、シール部材13の内側に滴下する液晶材料の量にマージンを設ける必要がない。《発明の実施形態2》図6は、本発明の実施形態2を示している。図6は、対向基板11に形成された第1柱状スペーサ31と、TFT基板12に形成された第2柱状スペーサ32を示す断面図である。尚、以降の各実施形態では、図1~図5と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。上記実施形態1における液晶表示装置1は、第2柱状スペーサ32が第1柱状スペーサ31と共に対向基板11に形成されていたのに対し、本実施形態における液晶表示装置1は、第2柱状スペーサ32がTFT基板12に形成されている点で相違している。すなわち、本実施形態における液晶表示装置1は、第1柱状スペーサ31が第1領域21における対向基板11に形成される一方、第2柱状スペーサ32が第2領域22におけるTFT基板12に形成されている。第1及び第2柱状スペーサ31,32は、上記実施形態1におけるものと同じ構成を有している。そうして、TFT基板12と対向基板11との基板間隔は、第1及び第2柱状スペーサ31,32によって規定されている。本実施形態における液晶表示装置1を製造する場合には、上記実施形態1と同様に、第1絶縁性基板としてのガラス基板41に平坦化膜43をスピン塗布により形成し、図6に示すように、平坦化膜43の周縁部を含む枠状の第1領域21において、平坦化膜43の表面に複数の第1柱状スペーサ31をフォトリソグラフィによって形成する。一方、第1領域21の内側の第2領域22に対向する第2絶縁性基板としてのガラス基板42に複数の第2柱状スペーサ32をフォトリソグラフィによって形成する。第2柱状スペーサ32は、第1柱状スペーサ31よりも当該柱状スペーサ32の軸方向長さ方向に変形し易い構成とする。次に、第1柱状スペーサ31が形成された対向基板11に枠状のシール部材13を形成した後に、上記シール部材13の枠内に液晶材料を滴下して供給する。その後、液晶材料が供給された対向基板11に対して、第2柱状スペーサ32が形成されているTFT基板12を押圧して貼り合わせる。-実施形態2の効果-したがって、この実施形態2によると、上記実施形態1と同様に、第1領域21に基板対向方向に比較的変形し難い複数の第1柱状スペーサ31が設けられる一方、第1領域21の内側の第2領域22に第1柱状スペーサ31よりも基板対向方向に変形し易い複数の第2柱状スペーサ32が設けられることになる。したがって、対向基板11とTFT基板12とを押圧して貼り合わせる工程において、第1領域21における平坦化膜の厚みが第2領域22における平坦化膜の厚みより小さくなっていても、第1領域21におけるTFT基板12の対向基板11側への沈み込みを抑制することができる。その結果、TFT基板12の沈み込みの反動による第2領域22側のTFT基板12の浮き上がりを抑制できるため、TFT基板12の平坦性を維持し、対向基板11とTFT基板12との基板間隔の変動を抑制して、表示品位を向上させることができる。そのことに加え、第1柱状スペーサ31を対向基板11に形成する一方、第2柱状スペーサ32をTFT基板12にそれぞれ別個独立に形成できるので、軸方向における変形し易さが互いに異なる第1及び第2柱状スペーサ31,32を容易に形成することができる。《発明の実施形態3》図7~図10は、本発明の実施形態3を示している。図7は、互いに貼り合わされた第1及び第2基板母材51,52を示す断面図である。図8は、第1基板母材51に形成された第1及び第2柱状スペーサ31,32と支持体54とを示す断面図である。図9は、第1基板母材51に形成されたシール部材13を示す断面図である。図10は、互いに貼り合わされた第1及び第2基板母材51,52を示す平面図である。本実施形態では、複数の第1柱状スペーサ31が形成された第1領域21と、複数の第2柱状スペーサ32が形成された第2領域22とを有する液晶表示装置1を、大判の基板母材を分割することによって製造する。第1基板母材51は、複数の対向基板11となる領域を有している。一方、第2基板母材52は、複数のTFT基板12となる領域を有している。第1及び第2基板母材51,52は、例えばそれぞれガラス基板によって構成されている。図7及び図10に示すように、第1基板母材51と第2基板母材52との間には、複数の枠状のシール部材13がマトリクス状に配置されている。シール部材13の内側に沿った枠状の第1領域には、複数の第1柱状スペーサ31が形成されている。第1領域21の内側領域である第2領域22には、複数の第2柱状スペーサ32が形成されている。第1及び第2柱状スペーサ31,32は、上記実施形態1と同様の構成を有している。すなわち、第2柱状スペーサ32は、第1柱状スペーサ31よりも当該柱状スペーサ32の軸方向に変形し易くなっている。また、第1及び第2柱状スペーサ31,32は、互いに同じ長さを有している。そして、第1領域21及び第2領域22からなる表示領域20には、液晶材料が充填された液晶層14が形成されている。互いに隣り合うシール部材13同士の間の領域である周辺領域23には、複数の支持体54が形成されている。周辺領域23は、液晶材料が充填されておらず空隙になっている。-製造方法-次に、液晶表示装置1の製造方法について説明する。まず、図8に示すように、大判の第1基板母材51における複数の枠状の第1領域21にそれぞれ複数の第1柱状スペーサ31をフォトリソグラフィによって形成する。複数の第1領域21は第1基板母材51にマトリクス状に設けられている。また、各第1領域21の内側領域である第2領域22に、第1柱状スペーサ31よりも軸方向に変形し易い複数の第2柱状スペーサ32をフォトリソグラフィによって形成する。第2柱状スペーサ32は、第1柱状スペーサ31と異なる材質によって構成され且つ第1柱状スペーサ31と同じ長さを有する。また、第1基板母材51における複数の第1領域21同士の間の領域である周辺領域23に第1柱状スペーサ31と同じ高さを有する支持体54をフォトリソグラフィによって形成する。支持体54は、周辺領域23において第2基板母材52を支持するためのものである。支持体54は、第1柱状スペーサ31又は第2柱状スペーサ32と同じ材質によって構成し、第1柱状スペーサ31又は第2柱状スペーサ32と同時に形成することが可能である。その他に、支持体54は、金属の配線材料や、着色層の色レジスト材、若しくはブラックマトリクス遮光膜、又はこれらの多層膜によって構成することが可能である。次に、図9に示すように、各第1領域21の周囲をそれぞれ囲むように、複数の枠状のシール部材13を第1基板母材51に形成する。その後、各シール部材13の内側に液晶材料をそれぞれ供給する。液晶材料は、ODF法により、シール部材13の枠内に滴下して供給する。次に、真空環境下において、液晶材料及び複数のシール部材13を介して、第2基板母材52を第1基板母材51に押圧して貼り合わせる。また、第1及び第2基板母材51,52の外周部を図示省略のシール材によって閉塞する。その後、互いに貼り合わされた第1基板母材51及び第2基板母材52を、大気圧環境に戻した後に、各液晶材料毎に分割する。そうして、大判の第1及び第2基板母材51,52から複数の液晶表示装置を製造する。このとき、図7に示すように、大気圧環境に戻された第2基板母材52は、周辺領域23において第1基板母材51側へ凹状に沈み込む。これは、第1及び第2基板母材51,52の外周部がシール材により閉塞されることによって、周辺領域23が気密状に封止され、周辺領域23における第1基板母材51と第2基板母材52との空隙が負圧となることから、支持体54が第2基板母材52を保持しきれずに大きく変形してしまうためである。-実施形態3の効果-この実施形態3によると、互いに貼り合わされた第1基板母材51及び第2基板母材52を真空環境から大気圧環境に戻したときに、シール部材13の外側の周辺領域23では、第1基板母材51と第2基板母材52との空隙に液晶材料が充填されておらず負圧となっていることから、支持体54は、大気圧により押圧される第2基板母材52を支持しきれずに大きく変形してしまう。そのため、周辺領域23において第2基板母材52は、図7に示すように、第1基板母材51側へ凹状に沈み込む。このとき、第2基板母材52が沈み込む反動により、第1領域21におけるシール部材13の内側近傍では、第2基板母材52が第1基板母材51と反対側へ浮き上がろうとする応力が生ずる。しかし、本実施形態によると、第1領域21の第1柱状スペーサ31が軸方向に比較的変形し難い一方、第2領域22の第2柱状スペーサ32が軸方向に比較的変形し易いため、第1領域21における第2基板母材52の浮き上がりを抑制することができる。その結果、第2基板母材52の平坦性を維持できるため、第1基板母材51と第2基板母材52との基板間隔の変動を抑制して、表示品位を向上させることができる。《その他の実施形態》上記実施形態1~3では、第1及び第2柱状スペーサ31,32が互いに同じ長さでありかつ互いに異なる材質を有するように構成したが、本発明はこれに限られない。例えば、第1及び第2柱状スペーサ31,32の断面図である図11に示すように、第1柱状スペーサ31及び第2柱状スペーサ32は、長さ及び材質が互いに同じであり、第1柱状スペーサ31は、軸方向に直交する断面の断面積が、第2柱状スペーサよりも大きくなるように構成してもよい。また、第1及び第2柱状スペーサ31,32の断面図である図12に示すように、第1柱状スペーサ31及び第2柱状スペーサ32は、軸方向に直交する断面の断面積及び材質が互いに同じであり、第1柱状スペーサ31の長さが、第2柱状スペーサ32よりも短くなるように構成してもよい。これらの構成によっても、第1柱状スペーサ31が第2柱状スペーサ32よりも軸方向に比較的変形し難くなるため、TFT基板12の平坦性を維持し、対向基板11とTFT基板12との基板間隔の変動を抑制することができる。また、例えば、上記実施形態3において、第1柱状スペーサ31を第1基板母材51の第1領域21に形成する一方、第2柱状スペーサ32を第1基板母材51の第2領域22に対向する第2基板母材52に形成するようにしてもよい。そのことにより、第1及び第2柱状スペーサ31,32をそれぞれ別個独立に形成できるので、軸方向における変形し易さが互いに異なる第1及び第2柱状スペーサ31,32を容易に形成することができる。また、上記各実施形態では、第1基板を対向基板11とする一方、第2基板をTFT基板12として説明したが、本発明はこれに限らず、第1基板をTFT基板12とする一方、第2基板を対向基板11としてもよい。また、本発明は上記実施形態1~3に限定されるものでなく、本発明には、これらの実施形態1~3を適宜組み合わせた構成が含まれる。"