気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、前記クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置であって、前記クライオポンプの再生処理は、1回以上のガスパージ工程を含む基本パージ処理と、ポンプ容器内を真空度保持判定レベルまで真空引きしてから真空度保持状態を判定する1回以上の排気処理と、必要な場合に1回以上追加実施される1回以上のガスパージ工程を含む追加パージ処理と、を含み、本クライオポンプ制御装置は、1回の再生処理において実施が必要となった1回以上の追加パージ処理に含まれる1回以上のガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する劣化判定部を備えることを特徴とするクライオポンプ制御装置。前記劣化判定部は、複数回の再生処理について平均したリパージ回数が、劣化判定基準回数に達したか否か判定することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ制御装置。排気処理制御部と、追加パージ処理の要否を決定する追加パージ処理制御部と、をさらに備え、前記排気処理制御部は、前記真空度保持状態の判定において、ポンプ容器内真空度保持状態が真空度保持基準を満たしていないと判定した場合に、再び排気処理を実施することを決定し、前記追加パージ処理制御部は、排気処理の連続実施回数が、要追加パージ基準回数に達した場合に、追加パージ処理を実施することを決定することを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ制御装置。前記劣化判定部が、リパージ回数が劣化判定基準回数に達したと判定したとき、警告を送信する送信部をさらに備えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ制御装置。気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、前記クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプであって、その再生処理は、1回以上のガスパージ工程を含む基本パージ処理と、ポンプ容器内を真空度保持判定レベルまで真空引きしてから真空度保持状態を判定する1回以上の排気処理と、必要な場合に1回以上追加実施される1回以上のガスパージ工程を含む追加パージ処理と、を含むクライオポンプと、前記クライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置と、を備えるクライオポンプシステムであって、前記クライオポンプ制御装置は、1回の再生処理において実施が必要となった1回以上の追加パージ処理に含まれる1回以上のガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する劣化判定部を備えることを特徴とするクライオポンプシステム。前記クライオポンプが気体を排気するために接続される真空装置をさらに備え、前記クライオポンプ制御装置は、リパージ回数が劣化判定基準回数に達したと判定したとき、警告を送信する送信部をさらに備え、前記真空装置は、前記送信部から送信部された警告を受信して、所定の処理を行うことを特徴とする請求項5に記載のクライオポンプシステム。気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、前記クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプであって、その再生処理は、1回以上のガスパージ工程を含む基本パージ処理と、ポンプ容器内を真空度保持判定レベルまで真空引きしてから真空度保持状態を判定する1回以上の排気処理と、必要な場合に1回以上追加実施される1回以上のガスパージ工程を含む追加パージ処理と、を含むクライオポンプを監視する方法であって、1回の再生処理において実施が必要となった1回以上の追加パージ処理に含まれる1回以上のガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定することを特徴とするクライオポンプ監視方法。クライオポンプを良好な状態で使い続けるためには、再生処理の他にも、例えばオーバーホールなどのメンテナンスが必要である。メンテナンスの頻度やタイミングを決める際には、例えば使用回数や使用時間が目安となる。しかしながら、クライオポンプの各部品の劣化状況や汚染の程度は、使用条件によって大きく異なるため、適切なメンテナンスのタイミングは画一的には決まらない。クライオポンプのメンテナンスによって真空チャンバを使用できないダウンタイムが増え、真空処理システムの稼働率が低下するため、生産性を重視する製造現場において、メンテナンス頻度は最小限に抑えたい。しかしながら、予測よりも早く部品等の劣化が進んだ場合、定期点検やオーバーホールを実施する前に、予期せずクライポンプにトラブルが発生し、突発的に真空装置のダウンタイムが発生する可能性もある。こうした事態は、製造計画に悪影響を及ぼす。本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、効率的にクライオポンプの劣化を把握することができるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの監視方法を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明のある態様のクライオポンプ制御装置は、気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置であって、クライオポンプの再生処理は、1回以上のガスパージ工程を含む基本パージ処理と、ポンプ容器内を真空度保持判定レベルまで真空引きしてから真空度保持状態を判定する1回以上の排気処理と、必要な場合に1回以上追加実施される1回以上のガスパージ工程を含む追加パージ処理と、を含む。本クライオポンプ制御装置は、1回の再生処理において実施が必要となった1回以上の追加パージ処理に含まれる1回以上のガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する劣化判定部を備える。この態様によると、例えば、クライオポンプの通常の運転サイクルの一環として行われる再生処理を利用してクライオポンプの劣化状態を判定することができる。本発明の別の態様は、クライオポンプシステムである。このクライオポンプシステムは、気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプであって、その再生処理は、1回以上のガスパージ工程を含む基本パージ処理と、ポンプ容器内を真空度保持判定レベルまで真空引きしてから真空度保持状態を判定する1回以上の排気処理と、必要な場合に1回以上追加実施される1回以上のガスパージ工程を含む追加パージ処理と、を含むクライオポンプと、クライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置と、を備えるクライオポンプシステムであって、クライオポンプ制御装置は、1回の再生処理において実施が必要となった1回以上の追加パージ処理に含まれる1回以上のガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する劣化判定部を備える。本発明のさらに別の態様は、クライオポンプ監視方法である。この方法は、気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、クライオパネルを収容するポンプ容器とを備えるクライオポンプであって、その再生処理は、1回以上のガスパージ工程を含む基本パージ処理と、ポンプ容器内を真空度保持判定レベルまで真空引きしてから真空度保持状態を判定する1回以上の排気処理と、必要な場合に1回以上追加実施される1回以上のガスパージ工程を含む追加パージ処理と、を含むクライオポンプを監視する方法であって、1回の再生処理において実施が必要となった1回以上の追加パージ処理に含まれる1回以上のガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する。なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。本発明によれば、効率的にクライオポンプの劣化を監視することができる。はじめに、本発明の実施形態の概要を説明する。効率的にクライオポンプの劣化状況を把握するためには、クライオポンプシステムに監視機能または自己診断機能を搭載し、クライオポンプの運転状態を監視することが好ましい。本発明者は、クライオポンプの通常のオペレーションの一環として行われる再生処理を利用してクライオポンプの動作を監視することで、クライオポンプの劣化状況を監視し、メンテナンス時期の的確な把握ができることに想到した。図1は、実施形態にかかるクライオポンプの再生処理1および立上処理2を示す。再生処理1は、クライオポンプ内に溜め込まれた気体を液化または気化させる昇温処理3と、クライオパネル上に凝縮または吸着された気体の離脱を促進するために窒素などのパージ用気体以下、パージガスともいうを導入するパージ処理と、クライオポンプ内の気体を排気する排気処理5とを含む。パージ処理には、原則として毎回実施すべき基本パージ処理4と、その後、必要に応じて実施する追加パージ処理6がある。各処理の後の状態が基準を満たさないと判断された場合、同じ処理が繰り返し実施されたり、追加の処理が実施される。図1において、破線で表されている処理は、必要な場合にのみ実施される。昇温処理3は昇温工程と、温度判定とを含む。昇温工程では、クライオポンプの冷却運転を停止して放置したり、ヒータで加熱したり、あるいは冷凍機のディスプレーサのストロークとガスの吸排気のタイミングを変化させることによる断熱圧縮で得られる熱を利用して、クライオパネルの温度を再生温度まで上昇させる。再生温度は、典型的には、クライオポンプが設置される場所やその近傍の温度以下、環境温度ともいうであり、例えば300K程度である。クライオパネル温度の測定値が再生温度に達するまで昇温処理3が継続され、再生温度に達したと判定されると昇温処理3は終了する。基本パージ処理4は、クライオポンプ10内にパージ用気体を導入するガスパージ工程と、パージ用気体の導入を停止して、クライオポンプ10内の気体を排気する粗引き工程とを、それぞれ予め設定された回数含む。図1の基本パージ処理4では、ガスパージ工程が粗引き工程を挟んで3回繰り返される。追加パージ処理6は、1回のガスパージ工程を含む。基本パージ処理4や追加パージ処理6にはバリエーションがあり、例えば、基本パージ処理4においてガスパージ工程が1回のみ実施されてもよく、追加パージ処理6において、複数回のガスパージ工程が粗引き工程を挟んで繰り返されてもよい。基本パージ処理4および追加パージ処理6の後には、それぞれ排気処理5が実施される。排気処理5は、クライオポンプ10内を真空引きする粗引き工程と、所定時間内に所定の真空度まで到達したか判定する真空到達時間判定と、真空引きを停止した状態で真空度が保持されているかチェックする真空度保持判定とを含む。真空度保持判定の結果、さらなる排気処理5が必要と判断された場合、排気処理5が繰り返し実施される。図1の例においては、基本パージ処理4のあとに、排気処理5a、5b、5cが実施され、追加パージ処理6の後に排気処理5dが実施される。本明細書において、個々の排気処理5a~5dを総称して、単に排気処理5ともいう。なお、後述するように、排気処理5は、第1のレベルまで排気する第1排気処理と、第2のレベルまで排気する第2排気処理とに分けて実施されてもよい。排気処理5が終了すると再生処理1は終了し、冷却処理7を含む立上処理2を経て、再びクライオポンプが使用可能な状態となる。再生処理1において、各処理後の状態が基準を満たさずに、同じ処理が繰り返し実施されたり、追加の処理が実施される場合には、クライオポンプの性能が劣化している可能性がある。実施形態にかかるクライオポンプ制御装置は、例えば、追加パージ処理6として実施されたガスパージ工程の回数を監視することにより、クライオポンプの性能劣化を検知する。以下、図面を参照して、本発明の実施形態にかかるクライオポンプシステムの構成について説明する。図2は、実施形態にかかるクライオポンプシステム100を模式的に示す。クライオポンプシステム100は、クライオポンプ10、圧縮機34、パージガス供給装置60、粗引ポンプ70、およびクライオポンプ制御装置80を備える。クライオポンプ10は、例えばイオン注入装置やスパッタリング装置等の真空装置の真空チャンバに取り付けられ、真空チャンバ内部の真空度を所望のプロセスに要求されるレベルまで高めるために使用される。クライオポンプ10は、ポンプ容器36と、放射シールド44と、クライオパネル48と、冷凍機20と、を含む。冷凍機20は、例えばギフォードマクマホン式冷凍機いわゆるGM冷凍機などの冷凍機である。冷凍機20は、第1シリンダ22、第2シリンダ24、第1冷却ステージ26、第2冷却ステージ28、バルブ駆動モータ30を備える。第1シリンダ22と第2シリンダ24は直列に接続される。第1シリンダ22の第2シリンダ24との結合部側には第1冷却ステージ26が設置され、第2シリンダ24の第1シリンダ22から遠い側の端には第2冷却ステージ28が設置される。図1に示す冷凍機20は、二段式の冷凍機であり、シリンダを直列に二段組み合わせてより低い温度を達成する。冷凍機20は冷媒管32を介して圧縮機34に接続される。圧縮機34は、ヘリウム等の冷媒ガス、すなわち作動気体を圧縮して、冷媒管32を介して冷凍機20に供給する。冷凍機20は、作動気体を蓄冷器を通過させることにより冷却しつつ、まず第1シリンダ22の内部の膨張室で、次いで第2シリンダ24の内部の膨張室で膨張させてさらに冷却する。蓄冷器は膨張室内部に組み込まれている。これにより、第1シリンダ22に設置される第1冷却ステージ26は第1の冷却温度レベルに冷却され、第2シリンダ24に設置される第2冷却ステージ28は第1の冷却温度レベルよりも低温の第2の冷却温度レベルに冷却される。例えば、第1冷却ステージ26は65K~100K程度に冷却され、第2冷却ステージ28は10K~20K程度に冷却される。膨張室で順次膨張することで吸熱し、各冷却ステージを冷却した作動気体は、再び蓄冷器を通過し、冷媒管32を経て圧縮機34に戻される。圧縮機34から冷凍機20へ、また冷凍機20から圧縮機34への作動気体の流れは、冷凍機20内のロータリバルブ図示せずにより切り替えられる。バルブ駆動モータ30は、外部電源から電力の供給を受けて、ロータリバルブを回転させる。ポンプ容器36は、一端に開口を有し他端が閉塞されている円筒状の形状に形成された部位以下、胴部と呼ぶ38を有する。ポンプ容器36の開口は、クライオポンプが接続される真空装置の真空チャンバから排気されるべき気体を受け入れるためのポンプ口42として、設けられている。ポンプ口42はポンプ容器36の胴部38の上端部内面により画定される。またポンプ容器36の胴部38の上端には径方向外側に向けて取付フランジ40が延びている。クライオポンプ10は、取付フランジ40を用いて、図示しないゲートバルブを介して真空装置の真空チャンバに取り付けられる。ポンプ容器36は、クライオポンプ10の内部と外部とを隔てるために設けられている。ポンプ容器36の内部は共通の圧力に気密に保持される。これによりポンプ容器36は、クライオポンプ10の排気運転中は真空容器として機能する。ポンプ容器36の外面は、クライオポンプ10の動作中、すなわち冷凍機が冷却動作を行っている間も、クライオポンプ10の外部の環境にさらされるため、放射シールド44よりも高い温度に維持される。典型的にはポンプ容器36の温度は環境温度に維持される。また、ポンプ容器36の内部に圧力センサ50が設けられている。圧力センサ50は、ポンプ容器36の内部の圧力を定期的に、あるいは指示を受けたタイミングで測定し、測定圧力を示す信号をクライオポンプ制御装置80に送信する。圧力センサ50とクライオポンプ制御装置80は通信可能に接続される。圧力センサ50は、クライオポンプ10により実現される高い真空レベルと大気圧レベルの両方を含む広い計測範囲を有する。少なくとも再生処理1の間に生じうる圧力範囲を計測範囲に含むことが望ましい。なお、真空レベルの測定用の圧力センサと、大気圧レベルの測定用の圧力センサとが、個別にクライオポンプ10に設けられていてもよい。放射シールド44は、ポンプ容器36の内部に配設されている。放射シールド44は、一端に開口を有し他端が閉塞されている円筒状の形状、すなわちカップ状の形状に形成されている。ポンプ容器36の胴部38及び放射シールド44はともに略円筒状に形成されており、同軸に配設されている。ポンプ容器36の胴部38の内径が放射シールド44の外径を若干上回っており、放射シールド44はポンプ容器36の胴部38の内面との間に若干の間隔をもってポンプ容器36とは非接触の状態で配置される。すなわち、放射シールド44の外面は、ポンプ容器36の内面と対向している。放射シールド44は、第2冷却ステージ28およびこれに熱的に接続されるクライオパネル48を主にポンプ容器36からの輻射熱から保護する放射シールドとして設けられている。第2冷却ステージ28は、放射シールド44の内部において放射シールド44のほぼ中心軸上に配置される。放射シールド44は、第1冷却ステージ26に熱的に接続された状態で固定され、第1冷却ステージ26と同程度の温度に冷却される。クライオパネル48は、例えば、それぞれが円すい台の側面の形状を有する複数のパネルを含む。クライオパネル48は、第2冷却ステージ28に熱的に接続される。クライオパネル48の各パネルの裏面、すなわちポンプ口42から遠い側の面には、通常、活性炭等の吸着剤図示せずが接着されている。放射シールド44の開口側の端部には、真空チャンバ等からの輻射熱から第2冷却ステージ28およびこれに熱的に接続されるクライオパネル48を保護するために、バッフル46が設けられている。バッフル46は、例えば、ルーバ構造やシェブロン構造に形成される。バッフル46は、放射シールド44に熱的に接続され、放射シールド44と同程度の温度に冷却される。クライオポンプ制御装置80は、第1冷却ステージ26または第2冷却ステージ28の冷却温度に基づいて冷凍機20を制御する。そのために、第1冷却ステージ26または第2冷却ステージ28に温度センサ図示せずが設けられていてもよい。クライオポンプ制御装置80は、バルブ駆動モータ30の運転周波数を制御することにより冷却温度を制御してもよい。クライオポンプ制御装置80は、また、後述する各バルブを制御する。ポンプ容器36と粗引ポンプ70は、ラフ排気管74で接続される。ラフ排気管74には、ラフバルブ72が設けられる。クライオポンプ制御装置80により、ラフバルブ72の開閉が制御されて、粗引ポンプ70とクライオポンプ10とが導通または遮断される。粗引ポンプ70は、例えば、クライオポンプで排気を開始する前の準備段階としてポンプ容器36内を粗く真空引きするために用いられる。ラフバルブ72を開き、かつ粗引ポンプ70を動作させることにより、粗引ポンプ70によって、ポンプ容器36の内部を真空引きすることができる。ポンプ容器36と、例えば窒素ガスなどのパージ用ガスを供給するパージガス供給装置60は、パージガス導入菅64で接続される。パージガス導入菅64には、パージバルブ62が設けられる。パージバルブ62の開閉は、クライオポンプ制御装置80により制御される。パージバルブ62を開閉することにより、パージガスのクライオポンプ10への供給が制御される。ポンプ容器36は、いわゆる安全弁として機能するベントバルブ図示せずと接続されてもよい。また、ラフバルブ72およびパージバルブ62は、それぞれ、ポンプ容器36の、ラフ排気管74またはパージガス導入菅64と接続される部分に設けられてもよい。クライオポンプ10の排気運転を開始する際には、まずは、その作動前に、ラフバルブ72を通じて粗引ポンプ70でポンプ容器36の内部を1Pa程度にまで粗引きする。圧力は圧力センサ50により測定される。その後、クライオポンプ10を作動させる。クライオポンプ制御装置80による制御のもとで、冷凍機20の駆動により第1冷却ステージ26及び第2冷却ステージ28が冷却され、これらに熱的に接続されている放射シールド44、バッフル46、クライオパネル48も冷却される。冷却されたバッフル46は、真空チャンバからクライオポンプ10内部へ向かって飛来する気体分子を冷却し、その冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体例えば水分などを表面に凝縮させる。バッフル46の冷却温度では蒸気圧が充分に低くならない気体はバッフル46を通過して放射シールド44内部へと進入する。進入した気体分子のうちクライオパネル48の冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体は、クライオパネル48の表面に凝縮される。その冷却温度でも蒸気圧が充分に低くならない気体例えば水素などは、クライオパネル48の表面に接着され冷却されている吸着剤により吸着される。このようにしてクライオポンプ10は取付先の真空チャンバの真空度を所望のレベルに到達させる。排気運転が開始されてから所定時間が経過したときや、排気された気体がクライオパネル48上に積層したために排気能力の低下が見られたときに、クライオポンプ10の再生処理1が行われる。クライオポンプ10の再生処理1は、クライオポンプ制御装置80により制御される。図3は、実施形態にかかるクライオポンプシステム100を模式的に示す。クライオポンプシステム100は、クライオポンプが接続される真空装置110を含んで構成されてもよい。既述の構成要素には、図3においても同じ符号を付し、説明は省略する。図3は、クライオポンプ制御装置80の構成、特に、再生処理1に関連する構成を示す。クライオポンプ制御装置80は、昇温処理制御部86、パージ処理制御部90、排気処理制御部84、劣化判定部88、および、送信部96を備える。クライオポンプシステム100において、クライオポンプ制御装置80とクライオポンプ制御装置80により制御される装置との間にI/Oモジュール図示せずを設け、クライオポンプ制御装置80を離れた場所に設置してもよい。クライオポンプ10の再生処理1を開始する際、昇温処理制御部86は、冷凍機20の冷却運転を中止し、昇温運転を開始させる。昇温処理制御部86は、冷凍機20内のロータリバルブを冷却運転のときとは逆回転させ、作動気体に断熱圧縮を生じさせるよう作動気体の吸排気のタイミングを異ならせる。こうして得られる圧縮熱でクライオパネル48を加熱させる。昇温処理制御部86は、クライオポンプ10内に備えられた温度センサ図示せずから、ポンプ容器36内の温度の測定値を取得し、再生温度に達したとき昇温工程を終了する。パージ処理制御部90は、基本パージ処理制御部92、および、追加パージ処理制御部94を備える。基本パージ処理制御部92は、昇温工程終了後、ラフバルブ72を閉じてパージバルブ62を開くことでガスパージ工程を開始する。基本パージ処理制御部92は、ガスパージ工程開始後、所定時間経ったとき、または、圧力が所定の値に達したとき、パージバルブ62を閉じ、ラフバルブ72を開くことで、ガスパージ工程を終了させ、粗引き工程を開始する。粗引き工程開始後、所定時間経ったとき、または、圧力が所定の値に達したとき、基本パージ処理制御部92は再びパージバルブ62を開き、ラフバルブ72を閉じて、ガスパージ工程を開始する。このようにして、基本パージ処理制御部92は、基本パージ処理4に含まれるガスパージ工程をその回数分、粗引き工程を間に挟んで繰り返して実施する。追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6の要否を決定し、追加パージ処理6を実施することを決定した場合、パージバルブ62およびラフバルブ72の開閉を制御して、追加パージ処理6を実施する。追加パージ処理6は、例えば、30秒間、パージガスを導入する1回のガスパージ工程を含む。追加パージ処理6は、複数回のガスパージ工程と、それらの間に実施される粗引工程を含んでもよい。本明細書において、追加パージ処理6として実施されるガスパージ工程のことを、リパージ工程、またはリパージと呼ぶ。パージ処理終了後、排気処理制御部84は、パージ処理において導入されたパージ用気体や、パージ処理によってクライオパネル48の表面から再気化した気体を、粗引ポンプ70を使用してクライオポンプ10の外部へ排出する。そして、排気処理制御部84は、圧力センサ50から取得したクライオポンプ10の内部の圧力測定値が、所定の真空度条件を満たすか否か判定し、満たす場合、排気処理5を終了する。なお、パージ中などポンプ容器36内の圧力が大気圧より高い状態では図示しないベントバルブを使用し、大気圧よりも低い状態では粗引ポンプ70を使用して気体をクライオポンプ10の外部へ排出してもよい。真空度条件の判定は、ラフバルブ72を開けて真空引きを開始してから所定時間内に所定の圧力まで真空引きできたか否か判定する真空到達時間判定と、排気を停止した後、所定時間経過後の圧力上昇値が所定の許容範囲内であるかを判定する真空度保持判定とを含む。排気処理制御部84は、真空到達時間判定において、真空引きを開始してから所定時間内に所定の圧力まで真空引きできていない、すなわち真空度到達時間基準が満たされないと判定した場合、追加パージ処理6の実施を決定する。排気処理制御部84は、真空度到達時間基準が満たされていると判定した場合、続いて、真空度保持判定をする。真空度保持判定において、排気処理制御部84は、ポンプ容器36の圧力が真空度保持判定を開始する圧力に達したときにラフバルブ72を閉じて排気を停止し、所定時間経過後の圧力上昇値が所定の許容範囲内であるか判定する。所定時間経過後の圧力上昇値が所定の許容範囲を超えている場合、排気処理制御部84は、真空度保持基準が満たされていないと判定し、再び排気処理5を実施する。一方、所定時間経過後の圧力上昇値が所定の許容範囲内である場合、排気処理制御部84は、真空度保持基準が満たされていると判定し、排気処理5を終了する。排気処理5が終了すると、再生処理1は終了し、クライオポンプ10の立上処理2の冷却処理7が開始される。追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6の要否を決定する。具体的には、追加パージ処理制御部94は、排気処理5が連続して実施された回数である排気処理連続実施回数が事前に設定された要追加パージ基準回数に達した場合、追加パージ処理6の実施を決定する。基本パージ処理4、および排気処理5を実施した後も、クライオパネル48に少量の残留気体が付着している場合、排気処理5を数回繰り返すことで、残留していた気体をクライオポンプ10の外に排出することができる。しかしながら、クライオパネル48に残留している気体の量が多かったり、離脱しにくい状態で付着している場合、排気処理5を何度も繰り返すよりも、追加パージ処理6を1回実施した方が、残留気体を早く排気できることも多い。要追加パージ基準回数は、再生処理1に要する時間の平均がより短くなるように定める。例えば、要追加パージ基準回数は1回~20回の範囲で定めてもよく、5回~10回の範囲で定めてもよい。最適な要追加パージ基準回数は、クライオポンプ10の使用条件、排気する気体の種類などによって異なるため、経験則ないし実験により要追加パージ基準回数を定めてもよい。劣化判定部88は、1回の再生処理1において実施が必要となった追加パージ処理6に含まれるガスパージ工程の合計数以下、リパージ回数ともいうが、劣化判定基準回数以上であるか否か、判定する。追加パージ処理6を実施した後も、真空度条件を満たしていないと判定され、再度の追加パージ処理6が必要となる場合、クライオポンプ10の部品などに劣化が起きている可能性がある。したがって、リパージ回数を監視することで、部品劣化の可能性を事前に察知することができる。その結果、次回のメンテナンスにて適切に対処したり、必要な場合には運転を停止して点検を行うことができ、既述の目的が達成できる。ここで、劣化判定基準回数とは、通常の1回の再生処理1において実施されるリパージ回数よりも有意に多く、クライオポンプ10の部品などに劣化が疑われるリパージ回数である。劣化判定基準回数は、クライオポンプ10に問題が発見されない状態におけるリパージ回数の平均値に、例えば1~2の上乗せ値を足した回数であり、例えば2~4回である。劣化判定基準回数は、新品のクライオポンプ10が稼働を開始してから、1週間から1ヶ月程度の一定の監視期間に実施された再生処理1におけるリパージ回数の平均値に、上乗せ値を足した回数であってもよい。この際、クライオポンプ10を真空装置に接続して稼動を開始した直後の一定期間例えば1~2週間程度は再生処理1におけるリパージ回数を計数しない期間とし、その後の一定期間のリパージ回数を計数して平均値を求めてもよい。このように、実際に使用するクライオポンプ10を用いて、実際の使用環境におけるリパージ回数の平均値を利用して劣化判定基準回数を定めることにより、判定条件にクライオポンプ10の個体差や使用環境を反映させ、より正確に劣化やメンテナンス時期を検知することができる。最適な劣化判定基準回数は、使用条件、排気する気体の種類などによって異なるため、経験則ないし実験により劣化判定基準回数を定めてもよい。劣化判定部88は、直近の複数回の再生処理1について平均したリパージ回数が、劣化判定基準回数以上であるか否か判定してもよい。再生処理1におけるリパージ回数の増加は、クライオポンプ10の劣化のみに起因するわけではなく、例えば、使用時間、排気対象気体の種類や量などの様々なパラメータに依存する。このため、ある再生処理1のリパージ回数が劣化判定基準回数以上であったとしても、必ずしも、メンテナンスが必要であるとはいえない。しかし、複数回の再生処理1を継続的に監視したときに、リパージ回数が劣化判定基準回数以上となることが多い傾向がある場合には、クライオポンプ10に劣化が発生している可能性が高く、メンテナンスの必要性が高いといえる。直近の複数回の再生処理1について平均したリパージ回数を用いることで、劣化以外の要因によるリパージ回数の偏差を平均化して、より正確にクライオポンプ10の劣化の可能性を検知することができる。ここで、直近の複数回以下、累積回数ともいうとは、リパージ回数の偏差を平均化することが可能な回数であり、例えば2回~10回程度である。クライオポンプ10の使用状況、例えば、使用毎の排気対象気体や排気量の異同などにより、最適な累積回数は異なるため、経験則ないし実験により累積回数を定めてもよい。劣化判定部88が、リパージ回数が劣化判定基準回数に達したと判定した場合、送信部96は、真空装置110に警告を送信する。ここで、真空装置110とは、クライオポンプ10と直接接続される真空チャンバを有する装置のみならず、その装置を制御するための装置をも含む。これにより、クライオポンプ制御装置80が突然故障した場合などに影響を受ける真空装置110のユーザに、適切にクライオポンプ10の状態を通知することができる。送信部96は、また、クライオポンプ制御装置80の本体に設けられる表示部図示せずやクライオポンプ制御装置80に接続される表示装置図示せずに警告を送信し、表示させてもよい。これにより、クライオポンプ制御装置80の近傍にいるユーザに直接、クライオポンプ10の状態を通知できる。送信部96が送信する警告には、緊急度情報が含まれてもよい。緊急度情報は、例えば、リパージ回数が、劣化判定基準回数以上である場合に、その差が大きいほど、緊急度が高くなるように定められてもよい。これにより、ユーザや装置に対してクライオポンプ10のメンテナンスの要否や時期についての適切な判断材料を提示することができる。送信部96から送信された警告を受信すると、真空装置110は所定の処理を実施する。所定の処理とは、警告メッセージの表示や警告音の発生で、ユーザへの注意喚起処理である。別の例として、真空チャンバで処理中の製品や試作品、実験材料などに悪影響がないように安全に真空装置110の運転を停止する処理であってもよい。真空装置110は、警告が緊急度情報を含むときには、緊急度情報に応じて異なる処理を実施してもよい。すなわち、真空装置110は、緊急度が低い警告を受信した場合には注意喚起処理を、緊急度が高い警告を受信した場合には運転停止処理を実施してもよい。これにより、クライオポンプ10に劣化の可能性がある場合、より迅速に対応することができる。したがって、真空装置のダウンタイムの突発的発生、ないしクライオポンプが真空プロセスに与える悪影響を抑制できる。以上の構成による動作は以下のとおりである。図4は、実施形態にかかるクライオポンプ10の再生処理1および、その後の立上処理2を示す。まず、昇温処理制御部86が昇温処理3S10を実施する。続いて基本パージ処理制御部92は基本パージ処理4を実施するS12。基本パージ処理4においては、所定回数のガスパージ工程が、粗引き工程を挟んで実施される。その後、排気処理制御部84は排気処理5を実施する。排気処理5は、クライオポンプ10を真空引きする粗引き工程S14と、真空到達時間判定および真空度保持判定によって排気処理5が完了したか否か判定する真空度条件判定S16とを含む。真空度条件が満たされない場合S16のN、追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6を実施するS20。そして、再び排気処理5が実施されるS14およびS16。真空度条件が満たされている場合S16のY、排気処理5は終了する。そして、冷凍機20が冷却運転を開始し、クライオパネル48を再冷却するS18。冷却処理7が完了すると、クライオポンプ10の真空排気運転の再開が可能となる。図5は、実施形態にかかるクライオポンプ10の再生処理1の排気処理5の詳細を示す。排気処理制御部84は、パージガスや、パージ処理によって再気化した気体をクライオポンプ10の外部へ排出するために、ラフバルブ72を開け、粗引ポンプ70によってポンプ容器36内の真空引きを開始するS30。排気処理制御部84は、真空引きを開始してから所定時間経過したときに、クライオポンプ10内の圧力を所定の圧力まで真空引きできているか判定する真空到達時間判定を行うS32。排気処理制御部84が、真空度到達時間基準が満たされないと判定した場合S32のN、追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6を実施する図4のS20。排気処理制御部84は、真空度到達時間基準が満たされていると判定した場合S32のY、ラフバルブ72を閉じて真空引きを停止するS34。続いて、排気処理制御部84は、真空度保持判定を行うS36。所定時間経過したときの圧力上昇値が、所定の許容範囲を超えている場合、排気処理制御部84は、真空度保持基準が満たされていないと判定するS36のN。この場合、追加パージ処理制御部94が、排気処理5の連続実施回数に基づいて追加パージ処理6の要否を決定するS38。排気処理5の連続実施回数が、要追加パージ基準回数に達していない場合S38のN、追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6を行わないことを決定し、排気処理制御部84は、再び排気処理5を実施するS30。一方、排気処理5の連続実施回数が、要追加パージ基準回数に達している場合S38のY、追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6を実施することを決定する。劣化判定部88は、再生処理1におけるリパージ回数が、劣化判定基準回数以上であるか否か、判定するS40。リパージ回数が劣化判定基準回数以上である場合S40のY、送信部96は、真空装置110に警告を送信し、追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6を実施する図4のS20。リパージ回数が劣化判定基準回数に達していない場合S40のNには、警告は送信されない。この場合も、追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6を実施する図4のS20。排気処理制御部84が、真空度保持基準が満たされていると判定した場合S36のY、排気処理制御部84は排気処理5を終了する。これにより、再生処理1は終了し、クライオポンプ10の立上処理2の冷却処理7が開始される図4のS18。このように、本実施形態によれば、通常のクライオポンプ10の運転サイクルの一環として行われる再生処理1を利用してクライオポンプ10の劣化を監視することができる。なお、劣化判定部88が、その再生処理1におけるリパージ回数を計数する際に、追加パージ処理6が必要と判断された理由で分類して、それぞれのリパージ回数を計数し、そのいずれか、または両方を用いて劣化を判定してもよい。すなわち、真空到達時間判定条件を満たさないために必要と判定されたS32のN追加パージ処理6のガスパージ工程以下、真空到達時間起因リパージともいうと、排気処理5が連続して所定回数以上実施されたために必要と判定されたS38のY追加パージ処理6のガスパージ工程以下、連続排気処理起因リパージともいうとを、別個にそれぞれ計数してもよい。この場合、真空到達時間起因リパージと、連続排気処理起因リパージのそれぞれについて、異なる劣化判定基準回数を設定してもよい。この場合、単にメンテナンスの必要性を察知するのみならず、クライオポンプ10における不具合個所を絞り込むことができる。図6は、実施形態にかかるクライオポンプ10の再生処理1の変形例、および、その後の立上処理2を示す。変形例にかかる再生処理1も、図1と同様の構成を有するが、排気処理5が、第1排気処理と第2排気処理とを含む。第1排気処理は、クライオポンプ10内を、パージ処理が実施されたときのクライオポンプ10内の圧力から第1の圧力レベルまで排気する。第2排気処理は、クライオポンプ10内を第1の圧力レベルからクライオポンプ10を起動する際のクライオポンプ10内の圧力である第2の圧力レベル以下、ベース圧力ともいうまで排気する。第1の圧力レベルは、パージ処理が実施されたときのクライオポンプ10内の圧力より低く、ベース圧力より高い。なお、本明細書において、第1の圧力レベルのことを、中間圧力ともよぶ。再生処理1においては、まず、昇温処理制御部86が昇温処理3S50を実施する。続いて、基本パージ処理制御部92は基本パージ処理4を実施するS52。基本パージ処理4においては、複数回のガスパージ工程が粗引き工程を挟んで所定回数実施される。続いて、排気処理制御部84は第1排気処理を実施する。第1排気処理は、パージ処理が実施されたときのクライオポンプ10内の圧力から中間圧力近傍まで真空引きする第1粗引き工程S54と、第1真空到達時間判定および第1真空度保持判定によって第1排気処理が完了したか否か判定する第1真空度条件判定S56とを含む。第1真空度条件が満たされない場合にはS56のN、追加パージ処理制御部94が、追加パージ処理6を実施するS64。第1真空度条件判定条件が満たされている場合にはS56のY、第1排気処理は終了する。続いて、排気処理制御部84は第2排気処理を実施する。第2排気処理は、中間圧力からベース圧力まで真空引きする第2粗引き工程S58と、第2真空到達時間判定や第2真空度保持判定によって第2排気処理が完了したか否か判定する第2真空度条件判定S60とを含む。第2真空度条件が満たされない場合にはS60のN、追加パージ処理制御部94が追加パージ処理6を実施するS64。第2真空度条件が満たされている場合にはS60のY、第2排気処理は終了する。第1排気処理および第2排気処理が完了すると、冷却処理7を経て、クライオポンプ10の真空排気運転を再開することができる。図7は、実施形態にかかるクライオポンプ10の再生処理1の変形例における第1排気処理の詳細を示す。排気処理制御部84は、ラフバルブ72を開けて、粗引ポンプ70によるポンプ容器36内の真空引きを開始するS70。排気処理制御部84は、真空引きを開始してから所定時間経過したときに、クライオポンプ10内の圧力が中間圧力に達したか否か判定する第1真空到達時間判定を行うS72。具体的には、例えば1分以内に200Pa以下の圧力まで真空引きされたか否か、判定する。排気処理制御部84が、真空度到達時間基準が満たされないと判定した場合S72のN、追加パージ処理制御部94は追加パージ処理6を実施する図6のS64。排気処理制御部84は真空度到達時間基準が満たされていると判定した場合S72のY、ラフバルブ72を閉じて真空引きを停止するS74。続いて、排気処理制御部84は第1真空度保持判定を行うS76。具体的には、例えば、排気を停止してから30秒後の圧力が230Pa以下であるか、判定する。排気処理制御部84が、第1真空度保持基準が満たされていないと判定した場合S76のN、追加パージ処理制御部94は、第1排気処理の連続実施回数に基づいて追加パージ処理6の要否を決定するS78。第1排気処理の連続実施回数が、第1要追加パージ基準回数に達していない場合S78のN、追加パージ処理制御部94は追加パージ処理6を行わないことを決定する。第1要追加パージ基準回数は1~20回の範囲で定めてよく、例えば5回である。この場合、排気処理制御部84は、再び第1排気処理を実施するS70。一方、第1排気処理の連続実施回数が、第1要追加パージ基準回数に達している場合S78のY、追加パージ処理制御部94は追加パージ処理6を実施することを決定する。劣化判定部88は、第1排気処理において必要と判定されたリパージ回数が、第1劣化判定基準回数以上であるか否か、判定するS80。第1劣化判定基準回数は、例えば、2回である。第1排気処理において必要と判定されたリパージ回数が第1劣化判定基準回数以上である場合S80のY、送信部96は、真空装置110に警告を送信するS82。そして、追加パージ処理制御部94が、追加パージ処理6を実施する図6のS64。リパージ回数が第1劣化判定基準回数に達していない場合S80のNには警告は送信されない。この場合にも、追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6を実施する図6のS64。排気処理制御部84は、第1真空度保持基準が満たされていると判定した場合S76のY、第1排気処理を終了させ、第2排気処理を開始する図6のS58。図8は、実施形態にかかるクライオポンプ10の再生処理1の変形例における第2排気処理の詳細を示す。排気処理制御部84は、ラフバルブ72を開けて、粗引ポンプ70によるポンプ容器36内の真空引きを開始するS84。排気処理制御部84は、真空引きを開始してから所定時間経過したときに、クライオポンプ10内の圧力がベース圧力まで真空引きできたか否か判定する第2真空到達時間判定を行うS86。具体的には、例えば、5分以内にベース圧力以下に真空引きされたか否か判定する。ベース圧力は、例えば1~50Paの範囲で定める。一例としてベース圧力は10Pa程度である。排気処理制御部84が、真空度到達時間基準が満たされないと判定した場合S86のN、追加パージ処理制御部94は追加パージ処理6を実施する図6のS64。排気処理制御部84は、真空度到達時間基準が満たされていると判定した場合S86のY、ラフバルブ72を閉じて真空引きを停止するS88。続いて、排気処理制御部84は、排気を停止してから所定時間経過したときの圧力上昇値が、所定の許容範囲内であるか判定する第2真空度保持判定を行うS90。許容される圧力上昇の上限値は、例えば1~50Paの範囲で定める。一例として5Pa程度と定めてもよい。ベース圧力を10Paとし、許容される圧力上昇の上限値を5Paとした場合、排気処理制御部84は例えば、1分後の圧力が15Pa以下であるか否か判定する。排気処理制御部84が、第2真空度保持基準が満たされていないと判定した場合S90のN、追加パージ処理制御部94は、第2排気処理の連続実施回数に基づいて追加パージ処理6の要否を決定するS92。第2排気処理の連続実施回数が、第2要追加パージ基準回数に達していない場合S92のN、追加パージ処理制御部94は追加パージ処理6を行わないことを決定する。第2要追加パージ基準回数は、1~20回の範囲で定めてよく、例えば10回である。この場合、排気処理制御部84は、再び第2排気処理を実施するS84。一方、第2排気処理の連続実施回数が、第2要追加パージ基準回数に達している場合S92のY、追加パージ処理制御部94は、追加パージ処理6を実施することを決定する。劣化判定部88は、第2排気処理において必要と判定されたリパージ回数が第2劣化判定基準回数以上であるか否か、判定するS94。第2劣化判定基準回数は、例えば3回である。第2排気処理において必要と判定されたリパージ回数が第2劣化判定基準回数以上である場合S94のY、送信部96は真空装置110に警告を送信するS96。そして、追加パージ処理制御部94が追加パージ処理6を実施する図6のS64。リパージ回数が第2劣化判定基準回数に達していない場合S94のNには警告は送信されない。この場合にも、追加パージ処理制御部94は追加パージ処理6を実施する図6のS64。排気処理制御部84は、第2真空度保持基準が満たされていると判定した場合S90のY、第2排気処理を終了させる。そして、冷却処理7が開始される図6のS62。このように、排気処理5が二段階に分けて実施されるとき、それぞれの排気行程において別々に劣化判定を行うことにより、メンテナンスの必要性の察知、およびクライオポンプ10における不具合個所の絞り込みができる。以上、本発明を実施形態にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解される。実施形態においては、リパージ回数を用いてクライオポンプ10の劣化状況を監視する例について説明したが、この他の再生処理1におけるパラメータを用いてクライオポンプ10の劣化状況を監視してもよい。例えば、再生処理1の昇温処理3に要する昇温時間、および、再生処理1終了後の冷却処理7に要する冷却時間をパラメータとしてもよい。この場合、昇温処理制御部86は、再生処理1における実際の昇温時間が昇温劣化基準時間よりも長いか否か判定し、実際の昇温時間が昇温劣化基準時間よりも長い場合、送信部96が警告を送信する。同様に、昇温処理制御部86は、再生処理1における実際の冷却時間が冷却劣化基準時間よりも長いか否か判定し、実際の冷却時間が冷却劣化基準時間よりも長い場合、送信部96が警告を送信する。ここで、昇温時間とは、例えば、再生処理1において、冷凍機20が冷却運転を停止して逆回転運転を開始してから、クライオポンプ10の温度が再生温度に達するまでに要する時間である。また、冷却時間とは、再生処理1終了後、冷凍機20が冷却運転を開始してから、所定のクライオポンプ動作温度まで、クライオパネル48を冷却するために要する時間である。昇温劣化基準時間、および冷却劣化基準時間は、クライオポンプ10の機種毎に定められてもよく、あるいは、新品のクライオポンプ10が稼働を開始してから、一週間から1ヶ月程度の一定期間において実施された再生処理1における昇温時間または冷却時間の平均値に、所定の係数をかけることにより算出してもよい。所定の係数は、例えば、1.5~2程度であってもよい。この際、クライオポンプ10を真空装置110に接続して稼動を開始した直後例えば1週間~1ヶ月程度の再生処理1における昇温時間および冷却時間は、平均値を求めるにあたって考慮しない期間とし、その後一定期間の昇温時間および冷却時間を計測し、平均値を求めてもよい。この変形例によると、通常のクライオポンプ10の運転サイクルの一環として行われる再生処理1およびその後の立上処理2における昇温時間と冷却時間の測定値を利用してクライオポンプ10の劣化を監視することができる。これにより、点検のための時間を特に設けることなく、また、特別に監視用の装置を設けることなく、メンテナンスの必要性を事前に察知でき、真空装置110のダウンタイムの突発的発生を抑制できる。また、リパージ回数を用いた監視と、昇温時間および冷却時間を用いた監視を組み合わせて実施してもよい。このように、複数のパラメータを併せて用いることにより、単にメンテナンスの必要性の察知のみならず、クライオポンプ10における不具合個所を絞り込むことができ、交換が必要な部品を予測することもできるなど、よりきめ細かい監視を実現できる。