管体の内部空間を介して、気体により粉体を前記管体に沿った所定方向に輸送する粉体輸送装置であって、前記管体を取り囲んで設けられ、前記内部空間に周方向の全体に亘って前記所定方向の磁場を形成する発磁部材を備えることを特徴とする粉体輸送装置。請求項1記載の粉体輸送装置において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含むことを特徴とする粉体輸送装置。請求項1記載の粉体輸送装置において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含むことを特徴とする粉体輸送装置。請求項1から3のいずれか一項に記載の粉体輸送装置において、前記磁場の強度をB、前記粉体の粒子の質量をm、前記粉体の帯電量をq、前記粉体の速度をv、前記管体の内周面の半径をRとすると、B>mv/qRを満足することを特徴とする粉体輸送装置。請求項1から4のいずれか一項に記載の粉体輸送装置において、前記管体は、透磁性を有する材料で形成されていることを特徴とする粉体輸送装置。管体の内部空間を介して、気体により粉体を前記管体に沿った所定方向に輸送する粉体輸送方法であって、前記管体を取り囲んで設けた発磁部材により、前記内部空間に周方向の全体に亘って前記所定方向の磁場を形成する工程を有することを特徴とする粉体輸送方法。請求項6記載の粉体輸送方法において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含み、前記発磁部材に前記管体を挿通させる工程を有することを特徴とする粉体輸送方法。請求項6記載の粉体輸送方法において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含み、前記複数の発磁部材を、前記周方向に接合する工程を有することを特徴とする粉体輸送方法。請求項6から8のいずれか一項に記載の粉体輸送方法において、前記磁場の強度をB、前記粉体の粒子の質量をm、前記粉体の帯電量をq、前記粉体の速度をv、前記管体の内周面の半径をRとすると、B>mv/qRを満足することを特徴とする粉体輸送方法。請求項6から9のいずれか一項に記載の粉体輸送方法において、前記管体を、透磁性を有する材料で形成することを特徴とする粉体輸送方法。請求項6から10のいずれか一項に記載の粉体輸送方法において、前記粉体は、10nm以下の半径を有する微粒子を含むことを特徴とする粉体輸送方法。しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。特許文献2に記載された技術では、例えば、管路内で観察窓と逆側に位置する壁面に粒子が付着して凝集が生じる可能性がある。また、粒子の帯電を抑制するために、管路にアース線や加湿装置を設けることも考えられるが、設置したアース線に粒子が付着したり、加湿が粒子の2次凝集を招くといった不具合を起こしかねない。このように、管路内の壁面に粉体の微粒子が付着することで生じる問題は、上述したエアロゾルデポジション法を用いる場合に限られず、管体を用いて粉体を輸送する際には同様に生じる可能性がある。本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、管体の内部に粉体の微粒子が付着することを抑制できる粉体輸送装置及び粉体輸送方法を提供することを目的とする。本発明の第1の態様に従えば、管体の内部空間を介して、気体により粉体を前記管体に沿った所定方向に輸送する粉体輸送装置であって、前記管体を取り囲んで設けられ、前記内部空間に周方向の全体に亘って前記所定方向の磁場を形成する発磁部材を備える粉体輸送装置が提供される。本発明の第2の態様に従えば、第1の態様の粉体輸送装置において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含む粉体輸送装置が提供される。本発明の第3の態様に従えば、第1の態様の粉体輸送装置において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含む粉体輸送装置が提供される。本発明の第4の態様に従えば、第1から第3のいずれかの態様の粉体輸送装置において、前記磁場の強度をB、前記粉体の粒子の質量をm、前記粉体の帯電量をq、前記粉体の速度をv、前記管体の内周面の半径をRとすると、B>mv/qRを満足する粉体輸送装置が提供される。本発明の第5の態様に従えば、第1から第4のいずれかの態様の粉体輸送装置において、前記管体は、透磁性を有する材料で形成されている粉体輸送装置が提供される。また、本発明の第6の態様に従えば、管体の内部空間を介して、気体により粉体を前記管体に沿った所定方向に輸送する粉体輸送方法であって、前記管体を取り囲んで設けた発磁部材により、前記内部空間に周方向の全体に亘って前記所定方向の磁場を形成する工程を有する粉体輸送方法が提供される。本発明の第7の態様に従えば、第6の態様の粉体輸送方法において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含み、前記発磁部材に前記管体を挿通させる工程を有する粉体輸送方法が提供される。本発明の第8の態様に従えば、第6の態様の粉体輸送方法において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含み、前記複数の発磁部材を、前記周方向に接合する工程を有する粉体輸送方法が提供される。本発明の第9の態様に従えば、第6から第8のいずれかの態様の粉体輸送方法において、前記磁場の強度をB、前記粉体の粒子の質量をm、前記粉体の帯電量をq、前記粉体の速度をv、前記管体の内周面の半径をRとすると、B>mv/qRを満足する粉体輸送方法が提供される。本発明の第10の態様に従えば、第6から第9のいずれかの態様の粉体輸送方法において、前記管体は、透磁性を有する材料で形成されている粉体輸送方法が提供される。本発明の第11の態様に従えば、第6から第10のいずれかの態様の粉体輸送方法において、前記粉体は、10nm以下の半径を有する微粒子を含む粉体輸送方法が提供される。本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、管体の内部空間をガスによって輸送される粉体は、摩擦等によって帯電するため、管体に沿った方向と交差する方向に移動する粉体の微粒子、すなわち、管体の内周面に接近する方向の成分をもって移動する粉体の微粒子に対しては、垂直方向のローレンツ力が作用することになるが、管体に沿った方向の磁場が周方向の全体に亘って形成されているため、粉体の粒子は管体に沿った方向の軸線周りの螺旋状の軌道で輸送される。従って、本発明では、粉体の微粒子が管体の内周面に付着することを抑制できる。また、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、発磁部材が管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含むことによって、少ない部品点数で粉体の微粒子が管体の内周面に付着することを抑制できる。また、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、発磁部材が、管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含むことによって、例えば、管体が屈曲部を有する場合であっても、管体の所定位置に容易に発磁部材を設置することが可能になる。また、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、磁場の強度をB、粉体の粒子の質量をm、粉体の帯電量をq、粉体の速度をv、管体の内周面の半径をRとすると、B>mv/qRを満足することによって、粉体の微粒子が管体の内周面の半径よりも小さい半径の円運動をもって螺旋状の軌道で輸送されるため、より確実に粉体の微粒子が管体の内周面に付着することを抑制できる。また、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、管体が透磁性を有する材料で形成されていることによって、発磁体が生じる磁場を効率的に管体の内部空間に形成することが可能になる。また、本発明の粉体輸送方法によれば、粉体が10nm以下の半径を有する微粒子を含むことによって、小さな磁場であっても効果的に粉体の微粒子が管体の内周面に付着することを抑制できる。以下、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法の実施の形態を、図1ないし図4を参照して説明する。ここでは、本発明に係る粉体輸送装置を、例えば、基材の一方の面に原料粒子を高速で吹き付けることにより、基材の一方の面に光電極等の膜を形成するエアロゾルデポジション法AD法の製膜装置に適用する場合について説明する。図1は、製膜装置10の概略構成図である。製膜装置10は、基材21を収容して、その一方の面21aに膜を形成するための製膜室11を備えている。製膜室11内には、基材21を配置するための配置面12aを有するステージ12が設けられている。ステージ12は、基材21を配置した状態で水平方向に移動可能となっている。製膜室11には、真空ポンプ13が接続されている。この真空ポンプ13により、製膜室11内が陰圧にされる。また、製膜室11内には、長方形の開口部14aを持つノズル14が配設されている。ノズル14は、その開口部14aがステージ12の配置面12a、すなわち、ステージ12の面12a上に配置された基材21の一方の面21aと対向するように配設されている。ノズル14は、輸送管管体15を介して、ガスボンベ16と接続されている。輸送管15の中途には、ガスボンベ16側から順に、マスフロー制御器17、エアロゾル発生器18、解砕器19および分級器20が設けられている。これら、輸送管15、ガスボンベ16、マスフロー制御器17、エアロゾル発生器18、解砕器19および分級器20によって粉体輸送装置が構成される。製膜装置10では、例えば、輸送ガスであるヘリウムを、ガスボンベ16から輸送管15へ供給し、そのヘリウムの流速をマスフロー制御器17で調整する。エアロゾル発生器18に吹き付け用の粉体の原料粒子を装填し、輸送管15中を流れるヘリウムに原料粒子を分散させて、原料粒子を解砕器19および分級器20へ搬送する。そして、ノズル14から、原料粒子31が亜音速~超音速の噴射速度で、基材21の一方の面21aに噴射される。また、本実施形態における製膜装置10には、輸送管15の内部空間に、粉体の輸送方向である輸送管15の延在方向に磁場を形成するための発磁部材Mが設けられている。図2aは、発磁部材Mが設けられた輸送管15を長さ方向で断面した部分拡大図であり、図2bは径方向で断面した図である。図2に示すように、発磁部材Mは、ノズル14と分級器20との間における輸送管1515bの外周を取り囲むように環状に輸送管15bが挿通された状態で配置され、粉体の微粒子Cを輸送する方向である輸送管15bに沿った方向の磁場MFを、輸送管15bの内部空間15aに周方向の全体に亘って形成する円筒形状の永久磁石で形成されている。輸送管15のうち、少なくとも永久磁石Mが設けられる箇所の輸送管15bは、PP樹脂、フッ素系樹脂等の透磁性を有する材料で形成されている。続いて、上記の製膜装置10を用いて、例えば、太陽電池の光電極を形成する方法について説明する。なお、発磁部材Mは、輸送管15を組み立てる際に、ノズル14と分級器20との間において輸送管15bを挿通させる工程で、図1に示した所定位置に予め配置されているものとする。まず、製膜室11内のステージ12の配置面12aに、基材21を配置する。基材21としては、特に制限されず、例えば、太陽電池の光電極に使用される透明基材が挙げられる。透明基材としては、例えば、ガラスやプラスチックからなる基板又はフィルムが挙げられる。また、基材21の材料であるガラスとしては、ソーダライムガラス、硼珪酸ガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、バイコールガラス、無アルカリガラス、青板ガラス及び白板ガラス等の一般的なガラスが挙げられる。基材21の材料であるプラスチックとしては、ポリアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂及びポリアミド樹脂等が挙げられる。これらの中でも、ポリエステル樹脂、特にポリエチレンテレフタレートPETは、透明耐熱フィルムとして大量に生産及び使用されている。薄く、軽く、かつフレキシブルな色素増感太陽電池を製造する観点からは、基材21としてはPETフィルムが好ましい。次いで、真空ポンプ13を作動させて、製膜室11内を真空にする。次いで、輸送管15を介して、ガスボンベ16から製膜室11内にヘリウムを供給し、製膜室11内をヘリウム雰囲気とする。次いで、スズドープ酸化インジウムITO、フッ素ドープ酸化スズFTO、酸化亜鉛ZnO、酸化スズ、アンチモンドープ酸化スズATO、酸化インジウム/酸化亜鉛IZO、酸化ガリウム/酸化亜鉛GZOなどの原料粒子を用い、AD法により、基材21の一方の面21aに導電材からなる透明導電層を形成する。具体的には、透明導電層を形成するには、エアロゾル発生器18に装填されている上記の原料粒子を、輸送管15中を流れるヘリウムに分散させて、解砕器19および分級器20へ搬送する。そして、ノズル14の開口部14aから、基材21の一方の面21aに、原料粒子を吹き付ける。基材21表面に衝突した微粒子は、少なくともその一部が基材21表面に食い込んで、容易には剥離しない状態となる。また、この衝突により、基材21表面と微粒子表面に新生面が形成されて、主にこの新生面において、基材と微粒子とが接合する。続いて、さらに吹き付けを継続することにより、基材21表面に食い込んだ微粒子に対して、別の微粒子が衝突する。微粒子同士の衝突によって、互いの微粒子表面に新生面が形成されて、主にこの新生面において微粒子同士が接合する。この微粒子同士の衝突においては、微粒子が溶融するような温度上昇は発生し難いため、微粒子同士が接合した界面には、ガラス質からなる粒界層は実質的に存在しない。微粒子の吹き付けを継続することによって、次第に、基材21表面に多数の微粒子が接合してなる薄膜が形成される。形成された薄膜は、色素増感太陽電池DSSCの透明導電層として充分な強度を有するので、焼成による焼き締めを必要としない。次いで、基材21の一方の面21aに形成された透明導電層上に、酸化チタンTiO2、酸化亜鉛ZnO、酸化スズSnO2などの金属酸化物からなる光電変換層を形成する。光電変換層を形成するには、エアロゾル発生器18に、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズなどの金属酸化物からなる原料粒子を装填し、その原料粒子を、輸送管15中を流れるヘリウムに分散させて、解砕器19および分級器20へ搬送する。そして、ノズル14の開口部14aから、基材21の一方の面21aに形成された透明導電層の表面透明導電層の基材21と接している面とは反対側の面に、原料粒子を吹き付ける。本実施形態では、基材21の一方の面21aに形成された透明導電層の表面に、例えば、アナターゼ型TiO2粒子を高速で吹き付けて、透明導電層とアナターゼ型TiO2粒子とを接合させると共に、アナターゼ型TiO2粒子同士を接合させることによって、透明導電層上にアナターゼ型TiO2粒子からなる薄膜を形成する。一般に、産業上利用されるTiO2はアナターゼ型とルチル型とに大別され、その他にブルッカイト型や非晶質アモルファスのTiO2が知られる。本実施形態では、主にアナターゼ型TiO2を使用する。アナターゼ型TiO2を使用することにより、DSSCの光電極に適した強度を有する多孔質の薄膜を、透明導電層上に製膜できる。得られた薄膜は、いわゆる圧粉体とは異なり、圧粉体よりも強度が強く、圧粉体よりも透明導電層から剥離し難いものである。ここで、透明導電層及び光電変換層を製膜する際に、ノズル14の開口部14aから基材21の一方の面21aに向けて吹き付けられる粉体の微粒子は、輸送管15bの内部空間15aを輸送される際に、図2aに示すように、多くが輸送方向所定方向と平行に移動する微粒子C1であるが、輸送方向と平行な方向の成分に加えて、輸送方向と交差する方向の成分を有して移動する微粒子C2も存在する。粉体の微粒子C2は、輸送管15b15を輸送される摩擦粉体同士の摩擦や、ガスと輸送管との摩擦により帯電する。このように帯電した状態で輸送管15b15の内部空間15aを移動する微粒子のうち、輸送方向と平行すなわち、磁場MFと平行に移動する微粒子C1については、ローレンツ力が作用しないが、輸送方向と交差する方向の成分を有して移動する微粒子C2については、図2bに示すように、フレミングの左手の法則に則した方向動きに対して垂直方向のローレンツ力Fが作用する。そして、磁場MFが周方向の全体に亘って形成されているため、ローレンツ力Fが作用することで移動方向が変更された微粒子C2に対しては連続的に動きに対して垂直方向のローレンツ力Fが作用することで、微粒子C2は周方向に円運動する。従って、微粒子C2は、輸送方向と平行な方向への移動と、周方向への移動とが合わさって、輸送方向と平行な軸回りの螺旋運動で移動することになる。ここで、磁場MFの強度をB、粉体の微粒子の質量をm、粉体の帯電量をq、粉体の速度をv、輸送管15bの内周面の半径をRとすると、ローレンツ力Fは以下の式1で近似される。F=qvB...1また、微粒子の回転半径をrとすると、微粒子の等速円運動のつり合いから以下の式2が得られる。F=mv2/r...2従って、式1、2から以下の式3が得られる。r=mv/qB...3微粒子の回転半径rが輸送管15bの内周面の半径Rより小さければ、当該微粒子は、輸送管15bに接触せず付着が抑制されるため、式3を用いて以下の関係式4が得られる。B>mv/qR...4従って、式4を満足する大きさの磁場強度磁束密度Bで磁場MFを形成することにより、微粒子の輸送管15bへの付着を効果的に抑制することができる。ここで、速度vを1[m/sec]、電荷qを1.6E-18[C]、輸送管15bの半径Rを5.00E-3[m]とし、アナターゼTiO2の場合の微粒子の密度3900[kg/m3]から、式4を満足するための磁場強度と微粒子の半径との臨界を求めた。図3に、式4を満足させるための磁場強度と微粒子の半径との臨界の関係を示す。図3に示されるように、微粒子の半径が大きくなると質量も大きくなるため、当該質量に対応する磁場強度も大きくする必要がある。一般的な永久磁石では磁場強度が1T=Wb/m2を超えるものがほとんど存在しないことから、微粒子の半径が10nm以下のものを含む場合に、特に効果的に作用することになる。以上説明したように、本実施形態では、輸送管15bの内部に輸送方向に沿った磁場が周方向の全体に亘って形成されるため、輸送管15の内部空間15aを介して輸送される粉体の微粒子が輸送管15bの内周面に向かう方向の成分をもって移動する場合でも、当該微粒子に対して連続的に移動方向を変更する向きのローレンツ力Fを作用させることが可能となり、輸送管15bの内周面に微粒子が付着することを抑制できる。また、本実施形態では、発磁部材Mとして永久磁石を用いているため、簡単な構成で効果的に管内部への微粒子付着を抑制できる。特に、本実施形態では、容易に入手できる永久磁石を用いた場合に、微粒子の半径が10nm以下のものを含む粉体に対して効果的に管内部への微粒子付着を抑制できる。加えて、本実施形態では、透磁性を有する材料で輸送管15bが形成されているため、輸送管15bの内部空間15aに効果的に磁場を形成することが可能になる。加えて、本実施形態では、円筒形状の永久磁石を用いているため、部品点数を少なくすることができ、装置の小型化低価格化に寄与できる。以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。例えば、上記実施形態では、発磁部材として円筒形状の永久磁石を用いる構成を例示したが、これに限定されるものではなく、輸送管15bを取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状とすることも可能である。具体的には、図4aに示すように、輸送管15bの中心軸線を含む仮想平面で2分割された発磁部材Ma、Mbとする構成や、4分割された発磁部材Ma~Mdとする構成であってもよい。このように、複数に分割した発磁部材を用いた場合には、円筒形状の発磁部材Mを用いた場合のように、輸送管15bを挿通させる必要がなく、輸送管15bに屈曲部が存在して挿通させることが困難な場合でも、容易に輸送方向の所望の位置に発磁部材を設置することが可能になる。さらに、上記実施形態では、ノズル14と分級器20との間の輸送管15bの中途に一つの発磁部材Mを設ける構成としたが、輸送管15bに対して長さ方向輸送方向の全体に亘って発磁部材を設ける構成や、間隔をあけて複数設ける構成であってもよい。また、上記実施形態における発磁部材は、周方向の全体に亘る周長で設けられているが、上述した複数に分割した形状とする場合には、輸送管15bの内部空間15aにおいて周方向の全体に亘って磁場が形成されるのであれば、必ずしも周方向の全体に亘る周長で設ける必要はなく、例えば周方向に一定の隙間をあけて発磁部材を設ける構成であってもよい。また、上記実施形態では、発磁部材として永久磁石を用いる構成を例示したが、これに限定されるものではなく、電磁石を用いる構成であっても本発明を適用可能である。また、上記実施形態では、本発明をエアロゾルデポジション法を用いる製膜装置10に適用し、太陽電池の光電極を形成する例を示したが、太陽電池以外のデバイスを製造する場合等、輸送管を介して粉体を輸送する構成工程を有して製膜する場合に広く適用可能である。