ダイヤフラムによって形成されるポンプ室と、このポンプ室に流体を吸入するための吸入通路と、前記吸入通路に設けられ前記ポンプ室から前記吸入通路への前記流体の逆流を規制する吸入弁と、所定部に設けられた前記流体の逆流を規制する吐出弁とを備えたダイヤフラムポンプにおいて、前記吸入弁を保持する保持枠に位置し、前記吸入弁が接触して前記ポンプ室をシールする座面が、テーパーを有して形成されていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。前記保持枠に前記吸入弁を保持する保持部を設け、前記保持部周辺に段差部を設けたことを特徴とする請求項1記載のダイヤフラムポンプ。ダイヤフラムによって形成されるポンプ室と、このポンプ室に流体を吸入するための吸入通路と、前記吸入通路に設けられ前記流体の逆流を規制する吸入弁と、所定部に設けられた前記流体の逆流を規制する吐出弁とを備えたダイヤフラムポンプにおいて、前記ダイヤフラムとともに前記ポンプ室を形成するホルダーに、リング状凸部を設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。前記リング状凸部に傾斜部を設けたことを特徴とする請求項3記載のダイヤフラムポンプ。前記リング状凸部の外側面に段部を設けたことを特徴とする請求項3記載のダイヤフラムポンプ。しかし、特許文献2のダイヤフラムポンプでは、逆流弁の追加により部品点数が多くなると共に、逆流弁を設けるスペースも必要となる、という第1の問題点があった。さらに、特許文献1及び特許文献2にあるダイヤフラムを、減圧ポンプとして使用する場合、流体を吸引してポンプ室が減圧されたとき、ダイヤフラムにへこみが生じるので、減圧力におのずと限界があり、大きな減圧力を発生できない、という第2の問題点があった。本発明は、第1の問題点に鑑みてなされたもので、弁部のシール性を向上させると共に省スペースかつ簡単な構成で安価なダイヤフラムポンプを提供することを第1の目的とする。本発明は、第2の問題点に鑑みてなされたもので、より大きな減圧力を発生することが出来るダイヤフラムポンプを提供することを第2の目的とする。請求項1の発明のダイヤフラムポンプでは、ダイヤフラムによって形成されるポンプ室と、このポンプ室に流体を吸入するための吸入通路と、前記吸入通路に設けられ前記ポンプ室から前記吸入通路への前記流体の逆流を規制する吸入弁と、所定部に設けられた前記流体の逆流を規制する吐出弁とを備えたダイヤフラムポンプにおいて、前記吸入弁を保持する保持枠に位置し、前記吸入弁が接触して前記ポンプ室をシールする座面が、テーパーを有して形成されていることを特徴とする。請求項2の発明のダイヤフラムポンプでは、前記保持枠に前記吸入弁を保持する保持部を設け、前記保持部周辺に段差部を設けたことを特徴とする。請求項3の発明のダイヤフラムポンプでは、ダイヤフラムによって形成されるポンプ室と、このポンプ室に流体を吸入するための吸入通路と、前記吸入通路に設けられ前記流体の逆流を規制する吸入弁と、所定部に設けられた前記流体の逆流を規制する吐出弁とを備えたダイヤフラムポンプにおいて、前記ダイヤフラムとともに前記ポンプ室を形成するホルダーに、リング状凸部を設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。請求項4の発明のダイヤフラムポンプでは、前記リング状凸部に傾斜部を設けたことを特徴とする。請求項5の発明のダイヤフラムポンプでは、前記リング状凸部の外側面に段部を設けたことを特徴とする。請求項1の発明によれば、シールする為の座面がテーパーを有することで吸入弁が保持枠により接触し、ポンプ室のシール性を向上させることができる。請求項2の発明によれば、段差部により吸入弁を座面に接触するように取り付けることが可能となり、ポンプ室のシール性を向上させることができる。請求項3の発明によれば、減圧時にダイヤフラムのへこみを防止して、より大きな減圧力を発生することができる。請求項4の発明によれば、より大きな減圧力を発生するとともに組立性を改善することができる。請求項5の発明によれば、段部のある領域を調整することにより、吐出弁効果の調整が可能となり、最適条件を設定することにより、より大きな減圧力を発生するダイヤフラムポンプを提供することができる。以下、本発明に係るダイヤフラムポンプの好ましい各実施例を、添付図面に基づいて説明する。図1乃至図3は、本発明のダイヤフラムポンプの実施例1を示すものである。本実施例のダイヤフラムポンプは、ダイヤフラム1によって形成され膨張収縮するポンプ室2と、このポンプ室2に空気または液体等の流体を吸入するための吸入通路3と、ポンプ室2内の空気または液体を排出するための排出通路4と、吸入通路3に設けられポンプ室2から吸入通路3への空気または液体の逆流を規制する吸入弁5と、排出通路4に設けられたポンプ室2への空気または液体の逆流を規制する吐出弁6とを備えたものである。このダイヤフラムポンプは、略有底筒状に形成されたケース7を備え、このケース7の底部8にはモータ9が取り付けられており、このモータ9の出力軸10が底部8に設けた孔11からケース7内に臨んでいる。12は、クランク台であり、モータ9の出力軸10に回転自在に軸着されており、出力軸10が挿入された中心部から偏心した位置には、駆動軸13が鉛直方向に対して傾斜した状態で保持されている。14は駆動体であり、互いに反対方向に一体に突設された一対の駆動子15を備えて構成されており、駆動体14の中央部の軸穴14Aには駆動軸13が軸装されている。一対の駆動子15のそれぞれの先端部には、前記ダイヤフラム1が取り付けられている。前記ダイヤフラム1は、柔軟性を有する弾性材料から形成され薄板状に形成されたダイヤフラム本体1Aと、ダイヤフラム本体1Aの下面から下方に延設させて一体に形成された釣鐘形状を有する一対のダイヤフラム部1Bとを有している。ダイヤフラム1は、ダイヤフラム本体1Aの上面及び下面をそれぞれダイヤフラムホルダー16及びバルブホルダー17によって挟持された状態で固定されるとともに、各ダイヤフラム部1Bの先細形状に形成された下端1Cを駆動子15にそれぞれ固定されている。ここで、前記ポンプ室2は、ダイヤフラム部1Bとダイヤフラムホルダー16の底部17B下面によって画設されて形成したものである。また、吐出弁6は、ダイヤフラム本体1Aとダイヤフラム部1Bとの境界部分であるダイヤフラム部1Bの上部開口部分周縁を上方へ薄板状に延設して設けたものである。前記ダイヤフラムホルダー16は、ダイヤフラム本体1Aを当接支持可能に形成された平坦な上面部16Aを備えるとともに、この上面部16Aには各ダイヤフラム部1Bを下端1Cを保持する保持用貫通部16Bを備えている。またダイヤフラムホルダー16の中央下側には出力軸10と同軸上に配置され、駆動体14の上部中央に半円弧状に設けた凹部14Bを上方から回転自在に軸支可能とする軸部16Cを備えている。前記バルブホルダー17は、上部を開口した有底筒状の保持枠17Aを一体に備えている。また、吐出弁6と保持枠17A外側面は、互いに面接触可能に設けられており、吐出弁6と保持枠17A外側面とが面接触した状態を吐出弁が閉じた状態とし、さらに前記排出通路4は吐出弁6と保持枠17Aとの間に設けられるものとする。18はケース7の上方を覆う蓋体であり、この蓋体18は下方に開口部分を有しており、蓋体18内部に上下方向に立設され、蓋体18内部を内側と外側に区画する仕切壁18Aを一体に備えている。また、蓋体18の上部中央には、蓋体18内部の仕切壁18Aの内側と蓋体18外部とを連通して設けた筒状の排出口19を備えるとともに、蓋体18の上部における排出口19周辺には、蓋体18内部における仕切壁18Aの外側と蓋体18外部とを連通して設けた筒状の吸入口20を備えている。21は、蓋体18とバルブホルダー17を気密または液密にシールするパッキンである。ここで、バルブホルダー17、蓋体18及びパッキン21の間の内部空間には、保持枠17A、仕切壁18A及びパッキン19を境界として、内側に排出通路4と連通する排出空間22と備え、外側に吸入通路3と連通する吸入空間23を備えている。図2に基づいて吸入弁5及び保持枠17A付近の詳細な説明をする。保持枠17Aの底部17Bの中央には、上下に貫通して形成され吸入弁5の保持軸24を保持可能とする吸入弁保持孔17Cを一体に備えており、前記吸入通路3は吸入弁保持孔17Cの周辺に上下に貫通して形成され底部17Bの下側から吸入弁5の薄板状の弁体25によって閉塞可能な貫通部として設けられている。ここで、吸入通路3は通路径たる通路幅Dと通路長Lの関係をL/D=1.5以下つまり、L/D≦1.5として形成されている。また、底部17B下面には、底部17B下面を上方に凹設して吸入弁5の弁体25に当接可能に形成され、底部17B下面より保持枠17A内部に弁体25を収容可能にする弁座面26を備えており、この弁座面26は、弁座面26の略中央に位置する吸入弁保持孔17C付近を略最高地点として弁座面26の外周端からこの吸入弁保持孔17C付近にかけて下方から上方へと略円弧面状または略曲面状に傾斜させたテーパー状に形成されている。さらに、吸入弁5の弁体25と保持軸24はゴム等の弾性材料で形成されている。ここで、図3に示すように保持枠17Aの弁座面26には、吸入弁5の弁体25と保持軸24との接続部27の段差に合わせて吸入弁保持孔17C周辺を上方に凹設して凹部27を形成し、底部17B上面の吸入弁保持孔17C周辺を上方に凸設して前記吸入弁保持孔17Cを備えた筒状の凸部28を形成し、この凹部27と凸部28によって吸入弁保持孔17C周辺の段差部29を構成している。ここで凹部27は、吸入弁保持孔17Cを底部17B下面に向けて階段状に二段階に拡径して形成したもので、上段部分27Aを吸入弁保持孔17Cの内径を下方に向けて漸次拡径して形成し、下段部分27Bを吸入弁保持孔17Cの内径より大きな径に拡径して形成したものである。凹部27の変形例としては、図4に示すように凹部27を吸入弁保持孔17Cの内径より大きな径に拡径して形成したものや、図5に示すように凹部27を吸入弁保持孔17Cの内径を下方に向けて漸次拡径して形成したものであっても構わないものとする。続いて、上記構成のダイヤフラムポンプの動作について説明する。モータ9の駆動による出力軸10の回転に伴い、このクランプ台12が出力軸10と一体的に回転すると、駆動軸13は出力軸10を中心としてその傾斜方向を変えるようにして偏心回転する。駆動軸13の偏心回転に伴って、駆動体14の一対の駆動子15は出力軸10の軸方向と平行となるように交互に上下方向に揺動し、各駆動子15に固定されたダイヤフラム1のダイヤフラム部1Bも各駆動子15の揺動動作に追従して交互に上下方向に揺動する。これにより、一方のダイヤフラム部1Bの下端が下方に移動してダイヤフラム部1Bの容積が増加すると、ポンプ室2は拡張して大気圧より低い減圧状態となって、吐出弁6は閉じ、反対に吸入弁5の弁体25がポンプ室2内部へと吸引されて下方に移動すると、この弁体25によって閉鎖されていた吸入通路3が開放されて、流体が吸入口20から吸入通路3を通ってポンプ室2内に吸入される。その後、モータ9の出力軸10がさらに回転すると、拡張したポンプ室2のダイヤフラム部1Bの下端1Cが上方に移動して、ダイヤフラム部1Bの容積が減少するとポンプ室2は収縮するので、ポンプ室2内の流体の圧力が上昇し、流体により吸入弁5の弁体25が押し上げられて弁体25が上方に移動すると吸入弁5は閉じ、反対に吐出弁6が開いてポンプ室2の流体は排出通路4を通って排出口19から吐出される。このようにポンプ室2の膨張収縮動作は、各ポンプ室2においてダイヤフラム部1Bの伸縮に応じて交互に連続して行われ、各排出通路4から排出された流体は、排出空間22で合流して排出口19から連続して吐出される。また、吸入通路3において、通路幅Dと通路長Lの関係をL/D=1.5以下つまり、L/D≦1.5として形成したことにより、例えば吸入通路3を多数備え、各吸入通路3の通路幅Dを小径に構成した場合においても、通路長LをL/D≦1.5となるように設計することで、ポンプ室2の収縮時に吸入通路3を通過してポンプ室2内部に吸入される流体の吸入通路3での圧力損失を小さくすることが可能となり、流体を吸入通路3を通じてポンプ室2内部へ効率の良く吸入させることが可能となる。ここで、通路幅Dと通路長Lの関係をL/D=1.5より大きいものつまり、L/D>1.5とすると、吸入通路3を通過してポンプ室2内部に吸入される流体への圧力損失が大きくなり、効率の良い吸入が出来なくなるので、通路幅Dと通路長Lの関係はL/D=1.5以下つまり、L/D≦1.5とすることが好ましい。また、底部17B下面には、底部17B下面を上方に凹設して吸入弁5の弁体25に当接可能に形成された弁座面26を備え、この弁座面26を弁座面26の中央に位置する吸入弁保持孔17C付近を略最高地点として弁座面26の外周端からこの吸入弁保持孔17C付近にかけて下方から上方へと略円弧面状または略曲面状に傾斜させたテーパーを有して形成したことにより、ポンプ室2の収縮時に、ポンプ室2内部の流体により押し上げられた吸入弁5は、流体によって弁座面26に押し付けられた弁体25によって吸入通路3を閉じるものであるが、流体によって押し上げられた吸入弁5では、保持軸24が吸入弁保持孔17Cを上昇して、弁体25の略中央部分は保持軸24に引っ張られて上昇すると弁体25の外周縁が相対的に下降し、弁体25上面には略中央部分を略最高地点として弁体25の外周縁からこの略中央部分にかけて下方から上方へと略円弧面状または略曲面状に傾斜したテーパーが形成されるが、このテーパーを有する弁体25上面と対向する弁座面26をテーパーを有して形成することにより、弁体25上面を外周縁から略中央部分にかけ保持枠17Aの弁座面26に密接に面接触させることが可能となり、吸入弁5によるポンプ室2のシール性を向上させることができる。保持枠17Aの弁座面26には、吸入弁5の弁体25と保持軸24との接続部27の段差に合わせて吸入弁保持孔17C周辺を上方に凹設して凹部27を形成したことにより、ダイヤフラムポンプの吸入時に、流体によって保持枠17Aの弁座面26に押し付けられた弁体25では、吸入弁保持孔17C内を移動する保持軸24に伴い、変位量の大きい弁体25と保持軸24の接続部の段差は、凹部27内部に収容されて弁座面26内側に配されるため、弁体25上面と弁座面26との隙間を無くすことができる。また、吸入弁5の弁体25と保持軸24をゴム等の弾性材料で形成し、底部17B上面の吸入弁保持孔17C周辺を上方に凸設して前記吸入弁保持孔17Cを備えた筒状の凸部24として形成したことにより、吸入弁5の取付位置を底部17B上面より上方に配置して、吸入弁5を予め保持軸24が上方へと引っ張られた状態で保持枠17Aに取り付けたことにより、保持軸24の弾性復元力により弁体25が弁座面方向に向けて常時引張られた状態となるように吸入弁5を保持枠17A取り付けることができるので、ダイヤフラムポンプの吸気時にはポンプ室2内部からの流体により押し上げられる力と保持軸24の上向きの弾性復元力により吸入弁5の弁体25が弁座面26により密接に面接触するように押圧することができる。これにより、吸入弁5によるポンプ室2のシール性をさらに向上させることができる。以上のように本実施例では、ダイヤフラム1によって形成され膨張収縮するポンプ室2と、ポンプ室2に気体または液体等の流体を吸入するための吸入通路3と、ポンプ室2内の流体を排出するための排出通路4と、吸入通路3に設けられポンプ室2から吸入通路3への流体の逆流を規制する吸入弁5と、所定部として排出通路4に設けられたポンプ室2への流体の逆流を規制する吐出弁6とを備えたダイヤフラムポンプにおいて、吸入通路3を通路幅Dと通路長Lの関係を通路幅D/通路長L=1.5以下つまり、L/D≦1.5として構成している。この場合、ポンプ室2の収縮時に吸入通路3を通過してポンプ室2内部に吸入される流体の吸入通路3での圧力損失を小さくすることが可能となり、流体を吸入通路3を通じてポンプ室2内部へ効率の良く吸入させることが可能となる。また本実施例では、ダイヤフラム1によって形成され膨張収縮するポンプ室2と、ポンプ室2に気体または液体等の流体を吸入するための吸入通路3と、ポンプ室2内の流体を排出するための排出通路4と、吸入通路3に設けられポンプ室2から吸入通路3への流体の逆流を規制する吸入弁5と、所定部として排出通路4に設けられたポンプ室2への流体の逆流を規制する吐出弁6とを備えたダイヤフラムポンプにおいて、吸入弁5を保持する保持枠17Aに位置し、吸入弁5が密接に接触してポンプ室2をシールする座面としての弁座面26が、テーパーを有して形成されている。この場合、弁体25上面を外周縁から略中央部分にかけ保持枠17Aの弁座面26に密接に面接触させることが可能となり、吸入弁5によるポンプ室2のシール性を向上させることができる。さらに本実施例では、保持枠17Aに吸入弁5を保持する保持部として吸入弁保持孔17Cを設け、吸入弁保持孔17C周辺に段差部29として凹部27及び凸部28を設けている。この場合、吸入弁5の弁体25と保持軸24との接続部27の段差に合わせて吸入弁保持孔17C周辺を上方に凹設して凹部27を形成したことにより、ダイヤフラムポンプの吸入時に、流体によって保持枠17Aの弁座面26に押し付けられた弁体25では、吸入弁保持孔17C内を移動する保持軸24に伴い、変位量の大きい弁体25と保持軸24の接続部の段差は、凹部27内部に収容されて弁座面26内側に配されるため、弁体25上面と弁座面26との隙間を無くすことができるとともに、ゴム等の弾性材料で形成された弁体25と保持軸24では、底部17B上面の吸入弁保持孔17C周辺を上方に凸設して前記吸入弁保持孔17Cを備えた筒状の凸部24として形成したことにより、吸入弁5の取付位置を底部17B上面より上方に配置して、吸入弁5を予め保持軸24が上方へと引っ張られた状態で保持枠17Aに取り付けたことにより、保持軸24の弾性復元力により弁体25が弁座面方向に向けて常時引っ張られた状態となるように吸入弁5を保持枠17A取り付けることができるので、ダイヤフラムポンプの吸気時にはポンプ室2内部からの流体により押し上げられる力と保持軸24の上向きの弾性復元力が弁体25に働き、吸入弁5の弁体25を弁座面26により密接に面接触するように押圧させることができる。これにより、吸入弁5によるポンプ室2のシール性をさらに向上させることができる。図6は、本実施例におけるダイヤフラムポンプの構成を示したものであるが、保持枠17A以外の構成については第1実施例と同様である。通路幅Dと通路長Lの関係をL/D=1.5以下つまり、L/D≦1.5とした吸入通路3において、保持枠17Aの底部17B上面の吸入通路3周辺を下方に凹設して、吸入通路3における流体の吸入上流側である底部17B上面側に吸入通路3の通路幅Dより大きな拡幅部3Aを設け、吸入通路3の吸入上流側の通路幅D1を吸入下流側である底部17B下面側の吸入通路3の通路幅D2より拡径して設けているD=D2<D1。また拡幅部3Aは、図7に示すように吸入通路3を底部17B上面に向けて漸次拡径して形成してもよい。このように、通路幅Dと通路長Lの関係をL/D=1.5以下つまり、L/D≦1.5とした吸入通路3において、吸入通路3の所定側たる流体の吸入上流側である底部17B上面側に吸入通路3の通路幅Dより大きい凹部として拡幅部3Aを設けたことにより、吸入通路4の吸入弁5の弁体25に閉塞される座側である吸入下流側の通路幅D2を、吸入上流側の通路幅D1より相対的に小径D2<D1に形成して、吸入弁5とバルブホルダー17の弁座面26との接触を安定させることにより、ポンプ室2から吸入通路3への流体の逆流防止効果をより向上させることができる。図8及び図9は、本実施例におけるダイヤフラムポンプの構成を示したものであるが、保持枠17A以外の構成については第1実施例と同様である。図8はダイヤフラムが上がり、ポンプ室が収縮してポンプ室の空気等を吐出した状態を示し、図9はダイヤフラムが下がり、ポンプ室が拡張してポンプ室の空気等を吸入した状態を示している。30は、保持枠の側面部分を底部の外周縁より下方に凸設して備えたリング状凸部である。このリング状凸部30の外側面において、外側面上部の外径D3に対して外側面下部の外径D4を小さく形成D3>D4して、リング状凸部30の外側面に段部30Aを形成している。リング状凸部30の外側面における少なくとも外側面下部は、ダイヤフラム部1Bの少なくとも側面部分内側面を当接支持可能に設けられている。ここで、リング状凸部30の外側面上部と外側面下部との境界に形成された段部30Aの領域の位置を、リング状凸部30の軸方向の上下に位置調節することにより、リング状凸部30外側面上部と吐出弁6とが面接触可能な領域を、リング状凸部30の軸方向において寸法M=0.5~2mmに調整可能としているが図9参照、この寸法Mは適宜変更可能なものとする。以上の構成について作用を述べると、図9に示すようにダイヤフラムポンプの吸入時には、吸入弁5は開き、吐出弁6は閉じる。このとき、拡張したダイヤフラム部1Bにより、ポンプ室2は大気圧より低い減圧状態となるが、ダイヤフラム部1B内部が大気圧より低い減圧状態となると、大気圧によりダイヤフラム部1B、特に薄肉状に形成された側面部分にへこみが生じるが、ダイヤフラム部1Bの内面がリング状凸部30に当接支持されることにより、ダイヤフラム部1Bのそれ以上のへこみの発生を防いで、へこみによるダイヤフラム部1Bの容積の減少を防ぐので、ダイヤフラムポンプの吸気時におけるダイヤフラム部1Bの容積の増加量を確保し、より大きな減圧力を発生させることができる。また、図9に示すダイヤフラムポンプの吸気時に、減圧状態となるポンプ室2により、排出通路4内の流体がポンプ室2内に流れ込んで吐出弁6を閉じる際に、リング状凸部30の外側面上部に対して外側面下部を小径D3>D4に形成してリング状凸部30に段部30Aを設けたことにより、リング状凸部30における段部30Aより上側の外側面上部と吐出弁6との面接触可能な領域を、リング状凸部30の軸方向の寸法Mにおいて調節可能となり、吐出弁6によりポンプ室2をシールする吐出弁6の効果の調整が可能となるので、リング状凸部30の外側面と吐出弁6とが密接に面接触することによりポンプ室2の吸気時においてポンプ室2をシールする吐出弁6によるシール効果の最適条件を設定することが可能となり、ポンプ室2の吸気時により大きな減圧力を発生させることができる。以上のように本実施例では、ダイヤフラム1によって形成され膨張収縮するポンプ室2と、ポンプ室2に気体または液体等の流体を吸入するための吸入通路3と、ポンプ室2内の流体を排出するための排出通路4と、吸入通路3に設けられポンプ室2から吸入通路3への流体の逆流を規制する吸入弁5と、所定部として排出通路4に設けられたポンプ室2への流体の逆流を規制する吐出弁6とを備えたダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラム1とともにポンプ室2を形成するホルダーたるバルブホルダー17に、ダイヤフラムに当接支持可能なリング状凸部30を設けている。この場合、ポンプ室2の吸気時に、ダイヤフラム部1Bの内面がリング状凸部30に当接支持されることにより、ダイヤフラム部1Bのそれ以上のへこみの発生を防いで、へこみによるダイヤフラム部1Bの容積の減少を防ぐので、ダイヤフラムポンプの吸気時におけるダイヤフラム部1Bの容積の増加量を確保し、より大きな減圧力を発生させることができる。また本実施例では、リング状凸部30の外側面に段部30Aを設けたことにより、段部30Aより上側の外側面上部と吐出弁6との面接触可能な領域を、リング状凸部30の軸方向の寸法Mにおいて調節することが可能となり、吐出弁6によりポンプ室2をシールする吐出弁6の効果の調整が可能となり、リング状凸部30の外側面と吐出弁6とが密接に面接触することによりポンプ室2の吸気時においてポンプ室2をシールする吐出弁6によるシール効果の最適条件を設定することが可能となり、ポンプ室2の吸気時により大きな減圧力を発生させることができる。図10は、本実施例におけるダイヤフラムポンプの構成を示したものであるが、リング状凸部30以外の構成については第3実施例と同様である。図10はダイヤフラムが上がり、ポンプ室が収縮してポンプ室の空気等を吐出した状態を示している。30Bは、リング状凸部30の外側面下部を下端に向けて縮径して形成した傾斜部である。本実施例では、リング状凸部30に傾斜部30Bを設けたことにより、ダイヤフラムポンプの吸気時におけるダイヤフラム部1Bの容積の増加量を確保し、より大きな減圧力を発生させるとともに、ダイヤフラムポンプの組立時において、バルブホルダー17のリング状凸部30をダイヤフラム部1B内部に挿入する際に、リング状凸部30に傾斜部30Bを設けたことにより、ダイヤフラム部1B内部及び吐出弁6に対するリング状凸部30の引っ掛りを少なくして、ダイヤフラム1の装着を容易にすることにより、ダイヤフラムポンプの組立性を向上することができる。なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。