"第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに貼付する貼付装置であって、前記第1接着シートを介して前記板状部材を支持する第1シート支持手段と、前記第1シート支持手段で支持された板状部材の第2面に前記第2接着シートの一方の面を対向配置可能な第2シート支持手段と、前記第1接着シートの他方の面に当接可能な当接面を有する当接手段と、前記板状部材と第2接着シートとを相対接近させて当該板状部材に第2接着シートを貼付する押圧手段と、前記第1接着シートと前記第2接着シートとの間であって、前記板状部材より外側の領域に接着防止部材を挿入して前記第1接着シートと前記第2接着シートとの接着を防止する接着防止手段と、を備えることを特徴とする貼付装置。前記板状部材は、複数のチップに個片化され、または、複数のチップに個片化可能に形成され、前記第1シート支持手段と前記当接手段とを相対移動させることで前記第1接着シートを引っ張って前記個片化された各チップ、または、前記個片化可能とされた各チップの間隔を拡張可能に設けられたエキスパンド手段を有することを特徴とする請求項1に記載の貼付装置。前記押圧手段は、前記第2接着シートを押圧する押圧ローラを備え、前記押圧ローラは、平面に展開した形状が、前記板状部材の面形状、または、間隔が拡げられた板状部材の面形状と同形状に形成された凸部を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の貼付装置。第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに貼付する貼付方法であって、前記第1接着シートを介して前記板状部材を支持する工程と、前記支持された板状部材の第2面に前記第2接着シートの一方の面を対向配置させる工程と、前記第1接着シートの他方の面に当接面を当接させる工程と、前記第1接着シートと前記第2接着シートとの間であって、前記板状部材より外側の領域に接着防止部材を挿入する工程と、前記板状部材と第2接着シートとを相対接近させて当該板状部材に第2接着シートを貼付する工程と、を有することを特徴とする貼付方法。しかしながら、特許文献1に記載の装置では、第1UVテープに貼り付けられたチップの主面に第2UVテープを貼り付ける際、ウェハの外周より外側の領域にはチップが存在しないため、第1UVテープと第2UVテープとが接着してしまうおそれがある。第1UVテープと第2UVテープとが接着した状態では、第1UVテープを剥離する際に、第1UVテープが第2UVテープから剥離されず、ウェハを破損させてしまうという不都合が生じる。本発明の目的は、第1接着シートに貼付されたウェハを破損させることなく第2接着シートに貼付可能な貼付装置および貼付方法を提供することにある。前記目的を達成するために、本発明の貼付装置は、第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに貼付する貼付装置であって、前記第1接着シートを介して前記板状部材を支持する第1シート支持手段と、前記第1シート支持手段で支持された板状部材の第2面に前記第2接着シートの一方の面を対向配置可能な第2シート支持手段と、前記第1接着シートの他方の面に当接可能な当接面を有する当接手段と、前記板状部材と第2接着シートとを相対接近させて当該板状部材に第2接着シートを貼付する押圧手段と、前記第1接着シートと前記第2接着シートとの間であって、前記板状部材より外側の領域に接着防止部材を挿入して前記第1接着シートと前記第2接着シートとの接着を防止する接着防止手段と、を備える、という構成を採用している。この際、本発明の貼付装置では、前記板状部材は、複数のチップに個片化され、または、複数のチップに個片化可能に形成され、前記第1シート支持手段と前記当接手段とを相対移動させることで前記第1接着シートを引っ張って前記個片化された各チップ、または、前記個片化可能とされた各チップの間隔を拡張可能に設けられたエキスパンド手段を有する、ことが好ましい。さらに、本発明の貼付装置では、前記押圧手段は、前記第2接着シートを押圧する押圧ローラを備え、前記押圧ローラは、平面に展開した形状が、前記板状部材の面形状、または、間隔が拡げられた板状部材の面形状と同形状に形成された凸部を有する、ことが好ましい。一方、本発明の貼付方法は、第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに貼付する貼付方法であって、前記第1接着シートを介して前記板状部材を支持する工程と、前記支持された板状部材の第2面に前記第2接着シートの一方の面を対向配置させる工程と、前記第1接着シートの他方の面に当接面を当接させる工程と、前記第1接着シートと前記第2接着シートとの間であって、前記板状部材より外側の領域に接着防止部材を挿入する工程と、前記板状部材と第2接着シートとを相対接近させて当該板状部材に第2接着シートを貼付する工程と、を有する、という構成を採用している。以上のような本発明によれば、第2接着シートを板状部材に貼付する際、接着防止手段が第1接着シートと第2接着シートとの間における板状部材より外側の領域に挿入されるため、板状部材より外側の領域において第1接着シートと第2接着シートとの接着を防止することができる。したがって、例えば、板状部材に貼付された第1接着シートを剥離する際、板状部材が損傷することを防止することができる。また、第1シート支持手段と当接手段とが相互に作用して各チップの間隔を拡張可能に設けられている構成とすれば、後工程において、チップ間隔を拡げる工程を省略することができる。さらに、板状部材の面形状または、間隔が拡げられた板状部材の面形状に対応する凸部を有する押圧ローラを採用すれば、例えば、板状部材の内側に貫通孔が設けられているような板状部材が採用された場合、当該貫通孔を通じて第1接着シートと第2接着シートとが接着してしまうことを防止できる。以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。また、本実施形態では、特に明示しない限り、上、下、左、右といった方位を示す用語は、図1を基準として用いる。図1において、貼付装置1は、第1面W1が第1接着シートS1の一方の面上面に貼付された板状部材としてのウェハWの第2面W2を第2接着シートS2の一方の面下面に貼付して、ウェハWを第2接着シートS2に貼付するものであり、第1接着シートS1を介してウェハWを支持する第1シート支持手段2と、第1シート支持手段2で支持されたウェハWの第2面W2に第2接着シートS2の一方の面下面を対向配置可能な第2シート支持手段3と、第1接着シートS1の他方の面下面に当接可能な当接面41を有する当接手段4と、ウェハWと第2接着シートS2とを相対接近させてウェハWに第2接着シートS2を貼付する押圧手段5と、第1接着シートS1と第2接着シートS2との接着を防止する接着防止手段6と、第1シート支持手段2と当接手段4とを相対移動可能に設けられたエキスパンド手段7とを備えている。第1接着シートS1の一方の面には、接着剤層AD1が設けられており、当該接着剤層AD1にウェハWおよび、フレーム部材としての第1リングフレームRL1が貼付されている。ここで、ウェハWの第2面W2には、図示しない回路が形成されている。また、第2接着シートS2の一方の面には、接着剤層AD2が設けられており、当該接着剤層AD2に第2リングフレームRL2が貼付されている。第1シート支持手段2は、支持板21と、この支持板21の下面に設けられた駆動機器であるリニアモータ22と、リニアモータ22の出力軸23に設けられた略L字板状の押さえ部材24とを備え、エキスパンド手段7で支持されている。第2シート支持手段3は、支持板31と、この支持板31の上面に設けられた駆動機器であるリニアモータ32と、リニアモータ32の出力軸33に設けられた略L字板状の押さえ部材34とを備え、図示しない駆動機器である多関節ロボット等の搬送手段に支持されている。当接手段4は、支持フレーム4A上部のフランジ部4Bの上面に設けられた平面視円形の吸引テーブル42を備えている。吸引テーブル42の上面は、第1接着シートS1に当接する当接面41を構成し、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって当接面41から空気を吸引することで、第1接着シートS1を吸引保持可能に設けられている。押圧手段5は、左右方向に延びる駆動機器であるリニアモータ51と、リニアモータ51のスライダ52に設けられた駆動機器であるエアシリンダ53と、エアシリンダ53により上下方向に移動する支持部54と、支持部54に支持されて前後方向紙面直交方向に延びる支持軸55に回転可能に支持された押圧ローラ56とを備えている。押圧ローラ56の外周面には、弾性部材で形成された凸部57が設けられている。この凸部57は、平面に展開した形状が円形であり、間隔が拡げられたウェハWの平面形状と同形状に設定されている。接着防止手段6は、左右方向に延びる駆動機器であるリニアモータ61と、リニアモータ61のスライダ62に設けられた接着防止部材としてのプレート部材63とを備えている。プレート部材63は、一方の端部がスライダ62に支持され、他方の端部が斜め上方向に折曲形成された長尺状の支持部631と、支持部631の他方の端部に連続形成され、ウェハW側に開口する半円環状の本体部632とで形成されている。プレート部材63は、本体部632の先端部633が付き合わされて形成される円環が、ウェハWの外縁と第1リングフレームRL1の内縁との間に収まるように設定されている。エキスパンド手段7は、フランジ部4Bに支持された駆動機器である直動モータ71を備え、直動モータ71の出力軸72に支持板21が支持されている。以上の貼付装置1において、ウェハWを第2接着シートS2に貼付する手順を説明する。なお、ウェハWは、第1接着シートS1の一方の面に貼付された状態でダイシング工程によって複数のチップWAに個片化されている。まず、図1に示すように、第1接着シートS1を介して第1リングフレームRL1と一体化されたウェハWを搬送し、第1リングフレームRL1を左右のリニアモータ22の駆動により支持板21と押さえ部材24とで挟み込んで支持させる。一方、第2リングフレームRL2に貼付された第2接着シートS2を搬送し、第2リングフレームRL2を左右のリニアモータ32の駆動により支持板31と押さえ部材34とで挟み込んで支持させる。次に、直動モータ71の駆動により第1シート支持手段2を下方に移動させ、第1接着シートS1の他方の面に当接面41を当接させ、さらに直動モータ71の駆動を続行させると、図3Aに示すように、第1接着シートS1が引っ張られてチップWAの間隔が拡げられる。チップWAの間隔が予め設定された距離に達したことが図示しないセンサによって検知されると、直動モータ71の駆動が終了するとともに、吸引テーブル42により第1接着シートS1の吸引保持を開始する。そして、リニアモータ61の駆動により各プレート部材63を接近させ、各先端部633が当接したことが図示しないセンサによって検知されると、リニアモータ61の駆動が終了する。次に、図3Bに示すように、図示しない搬送手段の駆動により、第2シート支持手段3がウェハW近傍の予め設定された位置にまで下がったことが図示しないセンサによって検知されると、搬送手段の駆動が終了する。次いで、図3Cに示すように、エアシリンダ53の駆動により押圧ローラ56が下方に移動し、凸部57により第2接着シートS2をチップWAの第2面W2に所定の押圧力で押圧する。その後、リニアモータ51の駆動によって押圧ローラ56を右方向に移動させると、押圧ローラ56が時計回り方向に回転しながら順次チップWAに第2接着シートS2を貼付していく。このとき、ウェハWの外周より外側では、第1接着シートS1と第2接着シートS2との間にプレート部材63が挿入されているため、第1接着シートS1と第2接着シートS2とが接着することはない。そして、図4Eに示すように、エアシリンダ53の駆動により押圧ローラ56を上方に移動させ、第1シート支持手段2による第2リングフレームRF2の把持と、吸引テーブル42の吸引保持が解除され、ウェハWに第2接着シートS2を貼付する動作が完了する。そして、リニアモータ61の駆動によりプレート部材63をウェハWから離れる方向に移動させた後、第1、第2接着シートS1、S2を介して第1、第2リングフレームRF1、RF2と一体化されたウェハWは、図示しない搬送手段および第2シート支持手段3を介して図示しないピックアップ工程等の次工程に搬送される。なお、本実施形態の場合、リニアモータ61の駆動によりプレート部材63をウェハWから離れる方向に移動させた後、図4Fに示すように、図示しない搬送手段の駆動により第2シート支持手段3をさらに上方に移動させ、チップWAを第1接着シートS1から剥離し、第2接着シートS2に転着させる。チップWAが第1接着シートS1から完全に剥離されると、吸引テーブル42による吸引を停止する。そして、第2接着シートS2に貼付されたウェハWは、図示しない搬送手段により、ピックアップ工程等の後工程に搬送される。なお、第1接着シートS1の接着力は、第2接着シートS2の接着力より弱いものが採用されたり、紫外線等のエネルギー線によって接着力が低下する接着剤AD1が採用され、予めエネルギー線照射によってその接着力が弱められたりしているとよい。本実施形態によれば、次のような効果がある。すなわち、第2接着シートS2をウェハWに貼付する際、プレート部材63が第1接着シートS1と第2接着シートS2との間におけるウェハWより外側の領域に挿入されるため、ウェハWの外周より外側の領域で第1接着シートS1と第2接着シートS2との接着を防止することができる。これにより、例えば、ウェハWに貼付された第1接着シートS1を剥離する際、ウェハWの破損を防止することができる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、ウェハWのダイシング後に第1リングフレームRL1を第1接着シートS1から剥離し、第1接着シートS1のみを第1シート支持手段2で支持してもよい。また、第2シート支持手段3も、第1シート支持手段2と同様に、第2接着シートS2のみを支持する構成としても良い。そして、ウェハWは、チップWAに個片化された状態で、第1接着シートS1に貼付されている構成を例示したが、レーザによってチップWAに個片化可能とされた改質された状態で、第1接着シートS1に貼付されていてもよい。このような構成にすれば、エキスパンド手段7の駆動により第1接着シートS1が引っ張られることで、ウェハWをチップWAに個片化できる。また、第2接着シートS2を第1接着シートS1に近づけた後に、第1接着シートS1を引っ張り、チップWAを個片化するようにしてもよい。このような構成にすれば、チップWAに個片化する際、くず等が発生しても、第2接着シートS2がチップWAを覆うため、そのくず等が飛散することを防止できる。さらに、押圧ローラ56の凸部57は、平面に展開した形状が、ウェハWの面形状と同形状である構成を例示したが、ウェハWの面形状よりも大きい形状であっても良い。また、板状部材の内側に貫通孔が形成されているような場合、凸部57を平面に展開した形状が、当該貫通孔が形成された板状部材の面形状と同形状であると、貫通孔を介して第1接着シートS1と第2接着シートS2とが接着することを防止することができる。第1シート支持手段2と直動モータ71の個数としては、2個に限らず3個以上としてもよいし、1個としてもよい。また、第1シート支持手段2と直動モータ71の個数は、異なっていてもよい。例えば連結部材で連結された2個の第1シート支持手段2を、1個の直動モータ71で移動させてもよい。さらに、板状部材はダイシングされていないウェハWであってもよい。また、本発明における第1,第2接着シートS1,S2の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートと接着剤層AD1,AD2との間に中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよい。また、第1,第2接着シートS1,S2は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シートなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、板状部材としては、光ディスク、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、押圧手段5は、ブレード材、エア噴き付け、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができる。さらに、押圧手段5や接着防止手段6は、前記実施形態で示したもの以外のもので構成してもよく、押圧手段5は板状部材に接着シートが貼付できる限りにおいて、接着防止手段6は、第1接着シートS1と第2接着シートS2とが接着することを防止することができる限りにおいて何ら限定されるものではない。また、第2接着シートS2を固定しておき、ウェハWを移動させて接近させる構成としてもよいし、第2接着シートS2およびウェハW双方を移動させて接近させる構成としてもよい。さらに、第1シート支持手段2を固定しておき、当接手段4を移動させてエキスパンドしてもよいし、第1シート支持手段2および当接手段4双方を移動させてエキスパンドしてもよい。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。"