"駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと前記従動プーリとの間に掛け渡され前記駆動プーリの回転に伴って回転する無端ベルトと、軸方向に延びるガイドレールと、前記無端ベルトに接続され且つ前記無端ベルトの回転に伴って前記ガイドレールに沿って前記軸方向に直線移動する軸受と、を備え、前記軸受に搭載物を搭載して直線移動させるアクチュエータにおいて、前記軸受は、前記軸方向に並んだ3個以上の軸受部材を有してなり、該軸受部材は、第1の連結部材によって前記無端ベルトに連結される1個以上のベルト接続用軸受部材と、該ベルト接続用軸受部材を前記軸方向に挟むように2個以上配置されると共に第2の連結部材によって相互に連結され、前記軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能である第3の連結部材によって前記ベルト接続用軸受部材に連結され、前記第2の連結部材に前記搭載物を搭載する搭載物用軸受部材とを有することを特徴とするアクチュエータ。第1の連結部材及び第2の連結部材の少なくともいずれか一方が前記軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能であることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。第1の連結部材が、平板を曲げ加工した板ばねであることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。第2の連結部材及び第3の連結部材の少なくともいずれか一方が平板状をなすことを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のアクチュエータ。前記ベルト接続用軸受部材と前記搭載物用軸受部材とが、前記軸受の重心位置において連結されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載のアクチュエータ。前記ガイドレールの形状は断面略U字状であり、前記ガイドレールの凹部内に前記無端ベルトの少なくとも一部が配されていることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載のアクチュエータ。しかしながら、上記のような従来のアクチュエータは、前記のような振動抑制が図られていても、軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合には、微振動が発生するおそれがあった。そのため、直線移動する軸受の運動精度が若干低下する場合があった。通常の用途であれば、運動精度が若干低下しても大きな悪影響が生じない場合が多いが、高精度用途のアクチュエータの場合は、無端ベルトを介して軸受に伝わる微振動が搭載物に悪影響を及ぼすおそれがあった。そのため、振動抑制のさらなる向上が求められていた。そこで、本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供することにある。上記課題を解決するための請求項1に係る発明は、駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと前記従動プーリとの間に掛け渡され前記駆動プーリの回転に伴って回転する無端ベルトと、軸方向に延びるガイドレールと、前記無端ベルトに接続され且つ前記無端ベルトの回転に伴って前記ガイドレールに沿って前記軸方向に直線移動する軸受とを備え、前記軸受に搭載物を搭載して直線移動させるアクチュエータにおいて、前記軸受は、前記軸方向に並んだ3個以上の軸受部材を有してなり、該軸受部材は、第1の連結部材によって前記無端ベルトに連結される1個以上のベルト接続用軸受部材と、該ベルト接続用軸受部材を前記軸方向に挟むように2個以上配置されると共に第2の連結部材によって相互に連結され、前記軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能である第3の連結部材によって前記ベルト接続用軸受部材に連結され、前記第2の連結部材に前記搭載物を搭載する搭載物用軸受部材とを有することを特徴としている。このような構成であれば、無端ベルトからの微振動は、ベルト接続用軸受部材には伝わるが、搭載物用軸受部材に直接伝わることはない。ベルト接続用軸受部材に伝わった微振動は、連結部材を介して搭載物用軸受部材に伝わるが、前記のように変形可能な連結部材の変形によって微振動が緩衝されるので、搭載物用軸受部材に伝わる微振動は大幅に抑制される。よって、軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、無端ベルトから搭載物に伝わる微振動は僅かであり、したがって軸受に搭載された搭載物に微振動が悪影響を及ぼすおそれはほとんどない。また、請求項2に係る発明は、請求項1に記載のアクチュエータにおいて、第1の連結部材及び第2の連結部材の少なくともいずれか一方が前記軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能であることを特徴としている。また、請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載のアクチュエータにおいて、第1の連結部材が、平板を曲げ加工した板ばねであることを特徴としている。また、請求項4に係る発明は、請求項1~3のいずれかに記載のアクチュエータにおいて、第2の連結部材及び第3の連結部材の少なくともいずれか一方が平板状をなすことを特徴としている。また、請求項5に係る発明は、請求項1~4のいずれかに記載のアクチュエータにおいて、前記ベルト接続用軸受部材と前記搭載物用軸受部材とが、前記軸受の重心位置において連結されていることを特徴としている。このような構成であれば、加減速時に無端ベルトの駆動力により軸受に無用なモーメントが発生することが抑制されるので、軸受の振動がより一層抑制される。なお、軸受に搭載物が搭載されている場合は、搭載物が搭載された軸受の重心位置すなわち、軸受と搭載物とを組み合わせたものの重心位置を、軸受の重心位置というものとする。また、請求項6に係る発明は、請求項1~5のいずれかに記載のアクチュエータにおいて、前記ガイドレールの形状は断面略U字状であり、前記ガイドレールの凹部内に前記無端ベルトの少なくとも一部が配されていることを特徴としている。このような構成であれば、ガイドレールの凹部と搭載物とが対向しないようにして、無端ベルトから発生する塵埃が搭載物に付着することを抑制することができる。本発明によれば、軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図1は、本発明に係るアクチュエータの一実施形態における構成を示す平面図である。また、図2は、本発明に係るアクチュエータの一実施形態における構成を示す側面図である。また、図3は、本発明に係るアクチュエータの一実施形態における軸受の構成を示す平面図である。また、図4は、本発明に係るアクチュエータの一実施形態における軸受の構成を示す軸方向に沿う断面図である。また、図5は、図3を軸方向からみた正面図である。アクチュエータの構成図1及び図2に示すように、本実施形態のアクチュエータは、モータ10により回転駆動される駆動プーリ1と、回転自在に支持された従動プーリ2と、駆動プーリ1と従動プーリ2との間に掛け渡された環状の無端ベルト3と、軸方向に延びるガイドレール4と、無端ベルト3の回転に伴ってガイドレール4に沿って軸方向に直線移動する軸受5とを備えている。ここで、ガイドレール4の一方の端部には、モータ10が取り付けられている。このモータ10の回転軸10aは、水平且つガイドレール4の軸線軸方向に直交する方向に延びており、その先端には駆動プーリ1が取り付けられている。さらに、ガイドレール4の他方の端部には、従動プーリ2を回転自在に支持するプーリハウジング11が取り付けられている。そして、駆動プーリ1と従動プーリ2との間には、ガイドレール4に沿う方向軸方向に無端ベルト3が掛け渡されている。無端ベルト3の表面内側面には、周方向に沿って並ぶ複数の歯図示せずが形成されており、駆動プーリ1及び従動プーリ2の外周面に形成された歯図示せずと噛み合わされている。そのため、無端ベルト3は、駆動プーリ1の回転により回転駆動されるようになっている。また、軸受5はその一部が無端ベルト3に接続されているとともに、ガイドレール4に係合されているので、無端ベルト3の回転に伴って軸受5はガイドレール4に案内されて軸方向に直線移動可能となっている。<ガイドレール>ガイドレール4の形状は特に限定されるものではないが、図5に示すように、略U字状であることが好ましい。すなわち、ガイドレール4は、帯状の底壁4aと該底壁4aの両側部から垂直に立設された一対の側壁4b,4bとからなり、軸方向に直交する面で切断した断面は略U字状をなしている。<軸受>軸受5は、軸方向に並んだ3個以上本実施形態においては4個の軸受部材5A,5B,5C,5Dより構成される。そして、各軸受部材5A,5B,5C,5Dはほぼ同形状である。軸受部材5A,5B,5C,5Dの形状は、ガイドレール4に係合する形状であれば特に限定されるものではないが、ガイドレール4が上記のような断面略U字状である場合は、ガイドレール4を内包できるような矩形筒状の部材である。すなわち、各軸受部材5A,5B,5C,5Dは、ガイドレール4の底壁4aに対向する底板5aと、ガイドレール4の側壁4b,4bの側面にそれぞれ対向する側板5b,5bと、ガイドレール4の側壁4b,4bの平面にそれぞれ対向する頂板5cと、が連結してなる矩形筒状の部材である。このように、軸受5は、ガイドレール4を内包するようにして、ガイドレール4に係合されている。[軸受部材]4個の軸受部材5A,5B,5C,5Dのうち、軸方向中央の軸受部材5B,5Cは、第1の連結部材7によって無端ベルト3を連結されるベルト接続用軸受部材である。すなわち、軸受部材5B,5Cには、搭載物は搭載されない。なお、ベルト接続用軸受部材は1個以上であればよく、本実施形態においては2個の軸受部材5B、5Cをベルト接続用軸受部材として採用したが、これらが一体とされてもよい。一方、軸方向両端の軸受部材5A,5Dは、搭載物を搭載するための搭載物用軸受部材である。これら軸受部材5A,5Dは、軸受部材5B,5Cを軸方向に挟むように配置されるため、2個以上設けられる。そして、これら軸方向両端の軸受部材5A,5Dは、無端ベルト3とは直接的には接続されていない。搭載物Oは、搭載物用軸受部材本実施例においては軸受部材5A,5Dのみを相互に連結する第2の連結部材8に搭載される。また、第2の連結部材8に搭載物Oを搭載したことにより、軸受5の質量バランスが崩れる場合には、搭載物のモーメントを相殺するバランスウェイトBWを搭載するとよい。図5の例では、軸受5の左側面に搭載物Oを搭載したので、右側面にバランスウェイトBWを搭載している。また、搭載物用軸受部材5A,5Dは、軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能である第3の連結部材9によってベルト接続用軸受部材5B5Cにそれぞれ連結される。<連結部材>以下、上記各連結部材について説明する。[第1の連結部材]第1の連結部材7は、無端ベルト3と軸受5ベルト接続用軸受部材5B,5Cとを連結する部材である。すなわち、第1の連結部材7を介して、無端ベルト3の一部分が軸受部材5B,5Cに固定されている。より詳細に説明すると、第1の連結部材7は、例えば、平板を中央部7aが両端部7b,7bよりも一段高くなるように曲げ加工された金属製の板ばねである。そして、この板ばね形状の第1の連結部材7を、折曲方向を軸方向と略平行にして、中央部7aを軸受部材5B,5Cの頂板5cの内面に、例えばボルト15の慣用の固着手段により取り付けると共に、両端部7b,7bもボルト、接着等の慣用の固着手段により無端ベルト3に固定されている。すなわち、無端ベルト3と第1の連結部材7との連結位置は、ガイドレール4の側壁4b,4bの上端よりも低い位置に、すなわちガイドレール4の凹部内に配されている。このように、無端ベルト3と第1の連結部材7との連結位置を、軸受5の重心位置と一致させることにより、無端ベルト3により軸受5が駆動されるときに、軸受5に無用なモーメントが発生することが抑制される。また、第1の連結部材7は、軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能に設けられることが好ましい。[第2の連結部材]第2の連結部材8は、図3に示すように、搭載物用軸受部材5A5Dを相互に連結する部材である。また、第2の連結部材8は、軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能に設けられることが好ましい。さらに、第2の連結部材8の形状としては、例えば、搭載物用軸受部材5A5Dのそれぞれの側板5b,5b同士を連結する金属製の平板状をなすことが好ましい。[第3の連結部材]第3の連結部材9は、ベルト接続用軸受部材5B5Cと、搭載物用軸受部材5A,5Dとを軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能に連結する部材である。このような第3の連結部材9による連結の態様としては、例えば、搭載物用軸受部材5Aの底板5aとベルト接続用軸受部材5Bの底板5aとが連結されると共に、搭載物用軸受部材5Dの底板5aとベルト接続用軸受部材5Cの底板5aとが連結される。また、この第3の連結部材9によるベルト接続用軸受部材5B5Cと搭載物用軸受部材5A5Dとの連結は、前記軸受の重心位置において連結されていることが好ましい。さらに、第3の連結部材9の形状としては、金属製の平板状をなすことが好ましい。ここで、第3の連結部材9が平板状の部材である場合は、撓む方向によって振動を緩衝する特性が異なり、振動が緩衝されやすい方向とされにくい方向とがある。アクチュエータを実際に使用する場合においては、ローリング方向の振動が最も問題となるので、ヨーイング方向には変形が若干生じにくいものの、ローリング方向及びピッチング方向に変形可能なように、平板状の第3の連結部材9が取り付けられている。その結果、ローリング方向及びピッチング方向の振動が十分に抑制されるようになっている。このように、無端ベルト3の軽量、且つ、無端ベルト3の蛇行等から生じうるミスアライメントや微振動は、第3の連結部材9によって緩衝され、軸受の高速移動及び急激な加速又は減速に耐えられるという効果を奏する。このように、本実施形態のアクチュエータは、軸受5を構成する3個以上の軸受部材が、1個以上のベルト接続用軸受部材とその両側に配置される2個以上の搭載物用軸受部材とにより機能分離され、上述したように第1~第3の連結手段により連結されている。そして、少なくとも第3の連結部材は軸方向以外の方向にのみ弾性変形可能である。このような構成によって、軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供することができる。[噴出口]ここで、各軸受部材5A,5B,5C,5Dの底板5aと、側板5b,5bと、頂板5cのガイドレール4に対向する各内面には、気体を噴出する噴出口が設置されている。すなわち、軸受5とガイドレール4との間に気体軸受が形成されている。気体の種類は特に限定されるものではないが、空気が好ましい。また、本実施形態とは逆に、ガイドレール4の外面に気体を噴出する噴出口を設置してもよい。本実施形態においては、図5に示すように、グラファイト多孔質で形成された板状の静圧パッドSPが、噴出口として配置されている。静圧パッドSPには、図示しない空気源から圧縮空気が供給されるため、静圧パッドSPからガイドレール4の外面に向かって噴出された空気の圧力によって、ガイドレール4に対し軸受5がわずかに離隔するようになる。そのため、軸受5は殆ど摩擦なく移動できるようになっている。なお、気体軸受を設ける代わりに、軸受5とガイドレール4との間にすべり軸受や転がり軸受を設けてもよい。アクチュエータの動作次に、本実施形態のアクチュエータの動作について説明する。まず、図示しない空気源から各静圧パッドSPに供給された圧縮空気によって、ガイドレール4に対し軸受5がわずかに離隔した状態に維持される。ここで、モータ10が駆動プーリ1を駆動すると、無端ベルト3を介して、ガイドレール4に沿って軸受5が殆ど摩擦なく移動される。そして、駆動プーリ1の駆動を制御することにより、ガイドレール4の両端間で軸受5を往復直線運動させることができる。さらに、本実施形態においては、軸受部材5A,5Dを介して搭載物Oを搭載する第2の連結部材8と無端ベルト3に連結された軸受部材5B,5Cとが別体であるが、従来品は一体であり、搭載物Oを搭載した軸受に無端ベルトを接続し駆動力を伝達している。よって、従来品においては、無端ベルトからの振動が搭載物に伝わり、搭載物に悪影響が出るおそれがあった。しかしながら、本実施形態においては、軸受部材5A,5Dを介して搭載物Oを搭載する第2の連結部材8と無端ベルト3に連結された軸受部材5B,5Cとが別体であり、これらを連結する第3の連結部材9により、無端ベルト3からの振動が緩衝されるので、無端ベルト3からの振動が搭載物に伝わりにくい。詳述すると、無端ベルト3からの振動は軸受部材5B,5Cに伝わるが、第3の連結部材9は平板状の部材であり、軸方向には弾性変形せず、軸方向以外の方向には弾性変形可能であるという性質を有しているので、伝達された振動によって第3の連結部材9が軸方向に弾性変形することはなく、軸方向以外の方向径方向には撓む弾性変形することとなる。厳密に言えば、第3の連結部材9は軸方向に僅かに伸縮するが、径方向の撓みと比較すると無視できるレベルの変形量であるので、実質的には軸方向に変形することは無いと言える。よって、無端ベルト3からの振動のうち軸方向の振動は第3の連結部材9を介して軸受部材5A,5Dに若干伝わるものの、軸方向以外の方向の振動は第3の連結部材9の変形によって緩衝され、軸受部材5A,5Dにはほとんど伝わらない。その結果、軸受5が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、移動中の軸受5の微振動は抑制され、高い真直性が得られる。また、軸受5に搭載された搭載物Oに微振動が伝達しにくいので、無端ベルト3からの振動により搭載物Oに悪影響が出るおそれがほとんどない。そして、第3の連結部材8は平板状の部材であるため、径方向であればどの方向に撓む場合でも、振動を緩衝する特性は同一であり、撓む方向によって振動の緩衝されやすさが異なるということがない。さらに、ガイドレール4は断面略U字状であり、したがって側壁4b,4bと底壁4aの外表面は平面からなるので、加工精度特に真直精度を向上させ易いという利点がある。このようなアクチュエータは、製造装置,検査装置,搬送装置等において好適に使用可能であり、特に、軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される条件で直線案内軸受装置が運転されても、軸受の高精度な直線移動が求められる各種装置に対して好適である。以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに、種々の変更、改良を行うことができる。例えば、本実施形態においては、軸受5は4個の軸受部材5A,5B,5C、5Dが連結されてなるものであったが、軸受部材の個数は3個以上であれば特に限定されるものではない。また、4個の軸受部材5A,5B,5C、4Dのうち、2個がベルト接続用軸受部材であり、2個が搭載物用軸受部材であったが、ベルト接続用軸受部材が1個以上であり、搭載物用軸受部材が軸方向にベルト接続用軸受部材を挟む態様で配置される2個以上の軸受部材であれば、これらの個数は特に限定されるものではない。さらに、4個の軸受部材5A,5B,5C,5Dのうち、軸方向中央の軸受部材5B,5Cをベルト接続用軸受部材としたが、軸方向中央以外の軸受部材5A,5Dをベルト接続用軸受部材とし、かつ軸方向中央の軸受部材5B,5Cを搭載物用軸受部材としてもよい。すなわち、3個以上の軸受部材がベルト接続用軸受部材及び搭載物用軸受部材に機能分離されていれば各軸受部材の軸方向位置は特に限定されるものではない。"