"重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリと、シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段と、前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段と、前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバと、を備える露光装置。請求項1記載の露光装置であって、前記シーケンス制御手段は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータを読み出す順序命令により順序を制御する順序制御手段を備えることを特徴とする露光装置。請求項2記載の露光装置であって、前記シーケンス制御手段は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを読み出すメモリ読み出し命令および該順序命令とに基づき、前記ベクタデータメモリからメモリを読み出すメモリ読み出し制御手段を備えることを特徴とする露光装置。請求項3に記載の露光装置であって、前記メモリ読み出し制御手段では、該メモリ読み出し命令に基づき前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを複数回読み出すことを特徴とする露光装置。請求項1乃至4のいずれかに記載の露光装置であって、ベクタデータを格納するベクタデータメモリと、シーケンス制御命令を格納するインストラクションメモリとを備えることを特徴とする露光装置。請求項3記載の露光装置であって、前記メモリ読み出し制御手段では、一の順序命令に基づき前記ベクタデータメモリから複数の図形のベクタデータメモリを含むベクタデータ情報を読み出すことを特徴とする露光装置。重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータ格納工程と、シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータ工程にて格納したベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御工程と、前記シーケンス制御工程にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算工程と、前記座標演算工程により変換されたラスタデータに基づき露光する露光工程と、を備える露光方法。請求項7記載の露光方法であって、前記シーケンス制御工程は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータを読み出す順序命令により順序を制御する順序制御工程を備えることを特徴とする露光方法。請求項8記載の露光方法であって、前記シーケンス制御工程は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを読み出すメモリ読み出し命令および該順序命令とに基づき、前記ベクタデータメモリからメモリを読み出すメモリ読み出し制御工程を備えることを特徴とする露光方法。請求項9に記載の露光方法であって、前記メモリ読み出し制御工程では、該メモリ読み出し命令に基づき前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを複数回読み出すことを特徴とする露光方法。請求項9記載の露光方法であって、前記メモリ読み出し制御工程では、一の順序命令に基づき前記ベクタデータメモリから複数の図形のベクタデータメモリを含むベクタデータ情報を読み出すことを特徴とする露光方法。近年の液晶パネルの需要拡大により、大型ガラス基板露光装置においては、液晶パネルの大型化、高精細化とコスト低減が必須である。特許文献1に開示された従来のプロキシミティ露光方式においては、パターンを基板へ転写するためのマスクのコストが必要である。また、特許文献2に開示された従来のマスクフィルムを用いずにマスクパターンを露光する装置においては、ベクタデータをハードディスクから読み出してラスタデータへ変換するため、リアルタイムで高速にラスタデータへ変換することが難しく、液晶パネルの大型化、高精細化への対応が困難である。本発明の目的は、液晶パネルの大型化、高精細化に対応し、且つ液晶パネルのコストを低減する描画技術を提供することである。本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。1重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリと、シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段と、前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段と、前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバと、を備える露光装置である。本発明によれば、液晶パネルの大型化、高精細化に対応し、マスクコストの低減を実現することができる。以下、本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。図1は、本発明に係る直描装置露光装置の制御ブロック図である。本発明に係る露光装置において、マスクパターンをマザーガラスに直接描画する制御ブロックを示している。直描装置の制御ブロックは、描画図形のベクタデータを格納するベクタデータメモリ1、ベクタデータをラスタデータビットマップデータへ変換するラスタデータ変換手段2、ラスタデータを格納する露光データメモリ10、DMDデジタルマイクロミラーデバイス及びDMDを駆動するDMDドライバ11、CADステーションで得られた回路パターンデータベクタデータをラスタデータ変換手段へ出力するPCパソコン9で構成されている。ベクタデータメモリ1には、ベクタデータが格納されている。DMD及びDMDドライバ11による描画動作に先立ち、予めPC9からPCインタフェース8を介して描画図形のベクタデータが格納される。このとき、ベクタデータメモリ1に格納されるベクタデータは、共用できるデータを削除データ圧縮したデータである。ここで、ベクタデータメモリ1は、ラスタデータ変換手段2によりリアルタイムで高速にラスタデータへ変換されることができるよう、例えばDRAMDynamicRandomAccessMemory等の高速アクセスが可能で大容量のメモリであることが望ましい。DRAMの容量はモジュールDIMM:DualInlineMemoryModuleで4GBGigabyte、動作速度は、DDRDoubleDataRateの第3世代DDR3で、800Mbps~1600MbpsMbps:Megabitpersecondと高速化している。ラスタデータ変換手段2は、メモリインタフェース3、シーケンス制御手段4、座標演算手段5、露光データメモリ10へラスタデータを出力するインタフェース6、制御部7、PCインタフェース8とを備えて構成される。以下、ラスタデータ変換手段2の概要について説明する。メモリインターフェース3は、ベクタデータメモリ1に対するラスタデータ変換手段2側のインターフェースの役割を果たすものであり、PCインターフェース8とともにPC9からベクタデータメモリ1にベクタデータを送る。シーケンス制御手段4には、ベクタデータメモリ1に格納された共用できるデータを再利用する命令であるシーケンス制御命令が格納される。PC9によりベクタデータをベクタデータメモリ1に格納した後、シーケンス制御手段4は、制御命令に基づきベクタデータメモリ1からベクタデータの読み出しを行う。ここで、例えばシーケンス制御命令がベクタデータの所定の部分を複数回読み出すことを命令する内容である場合には、シーケンス制御命令によりベクタデータメモリ1の所定部分のデータを複数回読み出す等して、必要なベクタデータを得ることができる。また、例えばシーケンス制御命令が、必要なベクタデータ群重複するデータを含むを示すものである場合には、シーケンス制御命令のベクタデータ群のうち重複するデータについては、ベクタデータメモリ1の当該箇所を複数回読み出すことにより、必要なベクタデータを得ることができる。座標演算手段5は、シーケンス制御手段4で読み出したベクタデータをラスタデータに変換し、変換されたラスタデータをインターフェース6に送る。座標演算手段5は、シーケンス制御手段4によって読みだされたベクタデータから座標毎の0または1の2値化されたラスタデータビットマップデータに変換するための演算を行う。インターフェース6は、座標演算手段5から送られた変換されたラスタデータを露光データメモリ10に出力する。露光データメモリ10は、ラスタデータ変換手段2から送られてきたラスタデータを露光データメモリとして格納するとともに、DMDDMDドライバ手段に該ラスタデータを送信する。DMDDMDドライバ11は、露光データメモリ10から送られてきたラスタデータに基づき露光処理を行う。このように、ベクタデータメモリ1には共用できるデータを削除データ圧縮したベクタデータを格納するためベクタデータメモリは高速アクセスが可能で、描画動作に先立ち描画する図形データを予め一括して格納しておくことが可能である。また、シーケンス制御手段4により、ベクタデータメモリ1に格納されたデータを再利用同じデータを繰返し読出ししながら、座標演算手段5にてベクタデータをラスタデータに変換することができるため、リアルタイムで高速にラスタデータへ変換することができる。図2は、本発明に係るベクタデータメモリ及びシーケンス制御手段へのデータ格納形態を示した図である。シーケンス制御手段4は、インストラクションメモリ14、順序制御手段15、メモリ読出し制御手段16、座標前処理手段17を備えて構成される。また、前述の通り、ベクタデータメモリ1には共用できるデータを削除データ圧縮したベクタデータが格納され、シーケンス制御手段4にはシーケンス制御命令が格納されている。ベクタデータとしては、CADステーションから例えばGDSIICADツール用に開発されたLSIレイアウトデータのフォーマット等のフォーマット12で出力されたものをソフトウエア処理13により予め描画図形データとして解析し、その中から共用できるデータ重複するデータを削除したものを用いる。シーケンス制御命令は、ソフトウエア処理13により、ベクタデータを再利用する命令等をPC9からPCインタフェース8を介してインストラクションメモリ14へ格納する。インストラクションメモリ14は、PCインターフェース8からのシーケンス制御命令を受けて、順序命令、メモリ読み出し命令および座標前処理命令をそれぞれ順序制御手段15、メモリ読み出し制御手段16、座標前処理手段17に入力する。図3は、本発明に係るシーケンス制御手段の構成を示す図である。シーケンス制御手段4は、インストラクションメモリ14、順序制御手段15、メモリ読出し制御手段16、座標前処理手段17を備えて構成される。また、順序制御手段15は、インストラクションメモリ14のアドレスを出力するアドレスカウンタ18、インストラクションメモリ14からの順序命令に従ってアドレスをカウントするプログラムカウンタ19、繰返し数をカウントするリピートカウンタ20を備えて構成され、メモリ読出し手段16は、メモリへのコマンドを制御するコマンド制御手段21、メモリのアドレスを制御するアドレス制御手段22、データの書き込み及び読出しを制御するデータ制御手段23を備えて構成され、座標前処置手段17は、オフセット演算24を備えて構成される。このように、インストラクションメモリ14から、順序命令、メモリ読出し命令、座標前処理命令が出力され、順序制御手段15は順序命令に、メモリ読出し制御手段16はメモリ読出し命令に、座標前処理手段17は座標前処理命令に従って動作することで、ベクタデータメモリ1からベクタデータを再利用しながら読出して座標演算手段5へ出力する。図4は、本発明に係るシーケンス制御例を示した図である。まず、以下にシーケンス制御について説明する。シーケンス制御における最も基本的な方法は、メモリにすべてのデータを発生順序順に格納し、これをメモリアドレスの0番地から順番に読み出すことである。描画装置におけるデータは、通常、この方法とするのが基本である。しかし、この方法では、繰返しのデータがある場合でもすべてメモリに格納されているためメモリの使用効率が最も悪い。そのため、繰返しデータをメモリに1回分だけ格納し、メモリの読出し順序を制御して一度読みだされたデータを再利用する場合には、同じアドレスに戻って読み出すことでメモリの使用効率を向上させることができる。このメモリ読出し制御を行うために、シーケンス制御命令が必要となる。さらに、メモリにデータと制御命令を格納した場合、制御命令の中で次のシーケンスへ進む命令NOP命令の割合が多く、このNOP命令が連続して格納されるためメモリの使用効率が低下する。そのため、データと制御命令を分離し、制御命令のNOPを一つの命令として格納することでメモリの使用効率が向上する。このように、インストラクションメモリ14はシーケンス制御命令を格納し、ベクタデータメモリ1へはベクタデータを格納する。そして、インストラクションメモリ14は、順序制御手段15への命令をインストラクションメモリ14のアドレスに従って出力する。順序命令の例として、繰返しの始まりを示すLOOP命令、繰返しの終わりを示すLOOPEND命令、次のアドレスへ進むNOP命令、指定された回数まで繰返すREPEAT命令があり、順序制御手段15では、これら命令に従って、ベクタデータメモリ1からベクタデータを再利用しながら読み出す。図5は、本発明に係るベクタデータメモリの格納例を示した図である。ここでは、ベクタデータメモリフォーマットを64bitの幅とし、描画する座標のXアドレス座標30bit、Yアドレス座標30bit、図形の始点及び終点等の座標情報を示すヘッダ4bitで構成している。メモリの深さは格納するベクタデータメモリの容量によって決まり、例えば、1GB容量のDIMMを使用した場合、図形データを128Mまでの深さまで格納することができる。ベクタデータメモリ1へは共用可能なデータを削除データ圧縮したものを格納するため、高速アクセス可能なメモリを使用して予め描画する図形データを一括して格納しておくことが可能である。図6は、本発明に係るシーケンス制御動作フロー概要を示した図である。シーケンス制御はインストラクションメモリ14に格納されたシーケンス制御命令に従って動作する。まず、動作開始後S100,インストラクションメモリのアドレス0番地の命令を読み出しS110、次にインストラクションメモリからのデータ読出し命令により、ベクタデータメモリからベクタデータの読出しを行うS120。その後、ベクタデータメモリから読みだされたリードデータに対し座標前処理を行うS130。このとき、ベクタデータメモリからの読出しは、インストラクションメモリ14からのメモリ読出し命令に従って、メモリ読出し制御手段16にてバースト長をカウントし読出しが終了するまで行うS140。読出しが終了すると、メモリ読出し制御手段16より読出し終了信号を順序制御手段15へ出力するS150。順序制御手段15では、読出し終了信号が入力されると、インストラクションメモリ14からのシーケンス終了命令があるか否かを判定しS160、シーケンス終了命令がない場合には、インストラクションメモリ14のアドレスを更新しS170、シーケンス終了命令がある場合には、シーケンスを終了するS180。以上のシーケンス制御により、ベクタデータメモリ1に格納されたベクタデータを繰返し読み出すことで、ベクタデータを再利用することが可能になる。図7は、本発明に係る描画図形のベクタデータ再利用イメージを示した図であるベクタデータの再利用は、例えば同じ図形の再利用図形1を再利用と、複数の図形を含む描画範囲での再利用図形1と図形2を含む範囲が可能である。再利用するデータは、描画するデータに依存するが、液晶パネルの大型ガラス基板はRGBパターンのような比較的同じ図形のパターンが多く、データの再利用効果が期待できる。以上により、本発明によれば、シーケンス制御手段により、描画図形のベクタデータを再利用しながらリアルタイムで高速にラスタデータへ変換することで、液晶パネルの大型化、高精細化に対応し、マスクパターンをマザーガラスに直接描画することでマスクコストの削減を実現する。"