"下記化学式1で表される組成を有し、かつCuのKα1で回折させたX線回折パターンで、第1強度ピークが回折角2θ30.5°±1.0°に位置し、第2強度ピーク~第6強度ピークが、回折角2θ24.8°±1.0°、32.0°±1.0°、35.0°±1.0°、39.3°±1.0°および48.5°±1.0°に順序なしに位置する緑色蛍光体:前記化学式1中、M1は、Mg、Ca、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Dは、Eu、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、M2は、Si、Ge、AlおよびGaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Aは、Cl、F、BrおよびIからなる群より選択される少なくとも1種のハロゲン原子であり、2.7≦p≦3.3、0.7≦q≦1.3、3.5≦r≦4.5、1.7≦s≦2.3、0<x≦0.1である。前記緑色蛍光体が空間群Pnmaの斜方晶系構造を有し、格子定数が、10.5Å≦a≦12.2Å、9.5Å≦b≦11Å、4.8Å≦c≦6.2Åの範囲を有し、単位格子内で、前記化学式1中のM1またはDが、0.33±0.1、0.08±0.1、0.36±0.1および0.04±0.1、0.25±0.1、0.62±0.1の2個の配位いずれにも存在し、前記化学式1中のM2が、0.28±0.1、0.25±0.1、0.81±0.1に存在し、前記化学式1中のOが、0.33±0.1、0.25±0.1、0.08±0.1、0.21±0.1、0.12±0.1、0.73±0.1および0.38±0.1、0.25±0.1、0.62±0.1の3個の配位いずれにも存在し、前記化学式1中のAが、0.07±0.1、0.07±0.1、0.25±0.1に存在する結晶構造を有することを特徴とする、請求項1に記載の緑色蛍光体。Mg、Ca、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物、Si、Ge、AlおよびGaからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物、ならびにEu、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Ho、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物を混合する段階と、前記混合する段階で得られた混合物を大気雰囲気下で900~1,500°Cで熱処理する段階と、前記熱処理する段階で得られた生成物、ならびにCa、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属のハロゲン化物を混合する段階と、前記ハロゲン化物を混合する段階で得られた混合物を還元雰囲気下で1,080~1,200°Cで焼結処理する段階と、前記焼結処理する段階で得られた生成物を粉砕する段階と、を含む、緑色蛍光体の製造方法。発光ダイオードLEDと、請求項1もしくは2に記載の緑色蛍光体、または請求項3に記載の製造方法により得られる緑色蛍光体と、を含む、発光素子。前記発光ダイオードが、青色発光ダイオードまたは紫外線発光ダイオードであることを特徴とする、請求項4に記載の発光素子。青色蛍光体および赤色蛍光体の少なくとも一方の蛍光体をさらに含むことを特徴とする、請求項4または5に記載の発光素子。前記青色蛍光体は、Sr,Ba,Ca5PO43Cl:Eu2、BaMg2Al16O27:Eu2、Sr4Al14O25:Eu2、BaAl8O13:Eu2、BaMgAl10O17:Eu2、Sr2Si3O82SrCl2:Eu2、Ba3MgSi2O8:Eu2、およびSr,Ca10PO46nB2O3:Eu2からなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする、請求項6に記載の発光素子。前記赤色蛍光体は、Ba,Sr,Ca2Si5N8:Eu2、Sr,CaAlSiN3:Eu2、Y2O3:Eu3,Bi3、Ca,SrS:Eu2、CaLa2S4:Ce3、Sr,Ca,Ba2P2O7:Eu2,Mn2、Ca,Sr10PO46F,Cl:Eu2,Mn2、Y,Lu2WO6:Eu3,Mo6、Gd,Y,Lu,La2O3:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,La2O2S:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,LaBO3:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,LaP,VO4:Eu3,Bi3、およびBa,Sr,CaMgP2O7:Eu2,Mn2からなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする、請求項6または7に記載の発光素子。前記緑色蛍光体の放出スペクトルのピーク波長が、490~560nmであることを特徴とする、請求項4~8のいずれか1項に記載の発光素子。信号灯用、通信機器の光源用、ディスプレイ装置のバックライト用または照明用であることを特徴とする、請求項4~9のいずれか1項に記載の発光素子。青色発光ダイオードまたは紫外線発光ダイオードと、赤色蛍光体、下記化学式1で表される組成を有する緑色蛍光体、および必要に応じて青色蛍光体と、を含む白色発光素子であり、前記緑色蛍光体をCuのKα1で回折させたX線回折パターンで、第1強度ピークが回折角2θ30.5°±1.0°に位置し、第2強度ピーク~第6強度ピークが、回折角2θ24.8°±1.0°、32.0°±1.0°、35.0°±1.0°、39.3°±1.0°、および48.5°±1.0°に順序なしに位置する白色発光素子:前記化学式1中、M1は、Mg、Ca、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Dは、Eu、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、M2は、Si、Ge、AlおよびGaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Aは、Cl、F、BrおよびIからなる群より選択される少なくとも1種のハロゲン原子であり、2.7≦p≦3.3、0.7≦q≦1.3、3.5≦r≦4.5、1.7≦s≦2.3、0<x≦0.1である。前記青色蛍光体は、Sr,Ba,Ca5PO43Cl:Eu2、BaMg2Al16O27:Eu2、Sr4Al14O25:Eu2、BaAl8O13:Eu2、BaMgAl10O17:Eu2、Sr2Si3O82SrCl2:Eu2、Ba3MgSi2O8:Eu2、およびSr,Ca10PO46nB2O3:Eu2からなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする、請求項11に記載の白色発光素子。前記赤色蛍光体は、Ba,Sr,Ca2Si5N8:Eu2、Sr,CaAlSiN3:Eu2、Y2O3:Eu3,Bi3、Ca,SrS:Eu2、CaLa2S4:Ce3、Sr,Ca,Ba2P2O7:Eu2,Mn2、Ca,Sr10PO46F,Cl:Eu2,Mn2、Y,Lu2WO6:Eu3,Mo6、Gd,Y,Lu,La2O3:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,La2O2S:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,LaBO3:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,LaP,VO4:Eu3,Bi3、およびBa,Sr,CaMgP2O7:Eu2,Mn2からなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする、請求項11または12に記載の白色発光素子。前記緑色蛍光体の放出スペクトルのピーク波長が490~560nmであることを特徴とする、請求項11~13のいずれか1項に記載の白色発光素子。本発明目的は、熱安定性に優れて製造が容易である緑色蛍光体を提供することである。本発明の他の目的は、前記緑色蛍光体の製造方法を提供することである。本発明のさらに他の目的は、熱安定性に優れる白色発光素子を提供することである。本発明は、下記化学式1で表される組成を有し、かつCuのKα1で回折させたX線回折パターンで、第1強度ピークが回折角2θ30.5°±1.0°に位置し、第2強度ピーク~第6強度ピークが回折角2θ24.8°±1.0°、32.0°±1.0°、35.0°±1.0°、39.3°±1.0°、および48.5°±1.0°に順序なしに位置する緑色蛍光体が提供される。前記化学式1中、M1は、Mg、Ca、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Dは、Eu、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、M2は、Si、Ge、AlおよびGaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Aは、Cl、F、Br及びIからなる群より選択される少なくとも1種のハロゲン原子であり、2.7≦p≦3.3、0.7≦q≦1.3、3.5≦r≦4.5、1.7≦s≦2.3、0<x≦0.1である。また、本発明は、Mg、Ca、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物、Si、Ge、AlおよびGaからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物、ならびに、Eu、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Ho、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物を混合する段階と、前記混合する段階で得られた混合物を大気雰囲気下で、900~1,500°Cで熱処理する段階と、前記熱処理する段階で得られた生成物、およびCa、SrまたはBaのハロゲン化物を混合する段階と、前記ハロゲン化物を混合する段階で得られた混合物を還元雰囲気下で、1,080~1,200°Cで焼結処理する段階と、前記焼結された生成物を粉砕する段階と、を含む緑色蛍光体の製造方法を提供する。さらに、本発明は、紫外線発光ダイオードまたは青色発光ダイオードと、赤色蛍光体、下記化学式1で表される組成を有する緑色蛍光体、および必要に応じて青色蛍光体と、を含み、この際、CuのKα1で前記緑色蛍光体を回折させて得たX線回折パターンで、第1強度ピークが回折角2θ30.5°±1.0°に位置し、第2強度ピーク~第6強度ピークが、回折角2θ24.8°±1.0°、32.0°±1.0°、35.0°±1.0°、39.3°±1.0°、および48.5°±1.0°に順序なしに位置する白色発光素子を提供する。前記化学式1中、M1は、Mg、Ca、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Dは、Eu、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、M2は、Si、Ge、AlおよびGaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Aは、Cl、F、BrおよびIからなる群より選択される少なくとも1種のハロゲン原子であり、2.7≦p≦3.3、0.7≦q≦1.3、3.5≦r≦4.5、1.7≦s≦2.3、0<x≦0.1である。本発明によれば、緑色蛍光体を経済的に製造でき、それを含む発光素子は、熱安定性に優れる。以下、本発明の緑色蛍光体、その製造方法およびそれを含む白色発光素子について詳細に説明する。本発明の一実施形態によれば、下記化学式1で表される組成を有し、かつCuのKα1で回折させたX線回折パターンで、第1強度ピークが、回折角2θ30.5°±1.0に位置し、第2強度ピーク~第6強度ピークが、回折角2θ24.8°±1.0°、32.0°±1.0°、35.0°±1.0°、39.3°±1.0°および48.5±1.0°に順序なしに位置する緑色蛍光体が提供される。前記化学式1中、M1は、Mg、Ca、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Dは、Eu、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、M2は、Si、Ge、AlおよびGaからなる群より選択される少なくとも1種の金属であり、Aは、Cl、F、BrおよびIからなる群より選択される少なくとも1種のハロゲン原子であり、2.7≦p≦3.3、0.7≦q≦1.3、3.5≦r≦4.5、1.7≦s≦2.3、0<x≦0.1である。ここで、上記の順序なしにとは、第1強度ピークは必ず回折角2θ30.5°±1.0°に位置すべきであるが、第2強度ピーク~第6強度ピークは回折角2θ24.8°±1.0°、32.0°±1.0°、35.0°±1.0°、39.3°±1.0°および48.5°±1.0°に位置すればよく、必ず第2強度ピーク、第3強度ピーク、第4強度ピーク、第5強度ピークおよび第6強度ピークの順序にて位置することではなく、任意の順序にて位置することができることを意味する。前記緑色蛍光体は、300nm~480nm波長の光を吸収し、490nm~560nmピーク波長の可視光を発光することができる。したがって、前記緑色蛍光体は、緑色発光を得ることができる物質である。前記化学式1で示される緑色蛍光体は、空間群Pnmaの斜方晶系構造を有し、格子定数が、10.5Å≦a≦12.2Å、9.5Å≦b≦11Å、4.8Å≦c≦6.2Åの範囲を有し、単位格子内で、前記化学式1中のM1およびDが、0.33±0.1、0.08±0.1、0.36±0.1および0.04±0.1、0.25±0.1、0.62±0.1の2個の配位のいずれにも存在し、前記化学式1中のM2が、0.28±0.1、0.25±0.1、0.81±0.1に存在し、前記化学式1中のOが、0.33±0.1、0.25±0.1、0.08±0.1、0.21±0.1、0.12±0.1、0.73±0.1および0.38±0.1、0.25±0.1、0.62±0.1の3個の配位のいずれにも存在し、前記化学式1中のAが、0.07±0.1、0.07±0.1、0.25±0.1に存在する結晶構造を有することができる。本発明の一実施形態による緑色蛍光体、例えば、Ca3SiO4Cl2の場合、従来知られている蛍光体と化学的組成が一致するが、結晶構造が完全に異なるので、新しい物質である。すなわち、前記のように、X線回折スペクトルで、主要ピークの位置が完全に異なり、結晶構造が斜方晶系と単斜晶系とで異なり、構成元素の単位セル内の位置が完全に異なる。前記化学式1で表される緑色蛍光体は、Mg、Ca、SrおよびBaからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物、Si、Ge、AlおよびGaからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物、ならびにEu、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Ho、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物を混合する段階と、前記混合する段階で得られた混合物を大気雰囲気下で900~1,500°Cで熱処理する段階と、前記熱処理する段階で得られた生成物、およびCa、SrまたはBaのハロゲン化物を混合する段階と、前記ハロゲン化物とを混合する段階で得られた混合物を還元雰囲気下で、1,080~1,200°Cで焼結処理する段階と、前記焼結処理する段階で得られた生成物を粉砕する段階と、を含む製造方法によって製造されうる。上記の反応物質で、酸化物として表されているのは出発物質であり、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物または酢酸塩などのいかなるものを使用しても、高温合成時に酸化され、結局酸化物に変わる。したがって、出発物質は、酸化物のモル比が前記の範囲内に入るものであるならば、金属の酸化物だけではなく、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、酢酸塩化物などの他の形態のものでも使用可能である。前記の製造方法において、還元雰囲気下は、水素と窒素との混合ガス雰囲気下であることが好ましく、このとき、混合ガスのうち水素の含有量は、混合ガス全体に対して少なくとも5体積であることが好ましい。上記のEu酸化物単独、またはそれと、Mn、Sb、Ce、Pr、Nd、Sm、Tb、Dy、Ho、Er、YbおよびBiからなる群より選択される少なくとも1種の金属の酸化物との混合物は、熱処理時に、蛍光体結晶内部にイオンとしてドーピングされ、緑色蛍光体が発光するとき、付活剤activatorとして作用する。焼結は二段階にわたって実施されるが、一次焼結は、混合原料に含まれた水分、有機物または一部塩の錯化合物のような不純物を除去させつつ、結晶成長を促進させるためである。もし、一次焼結温度が900°C未満であるならば、結晶が良好に形成されず、1,500°Cを超えれば、混合原料の昇華が起こり、化学量論比が崩れたり、溶けてガラス相を作り、最終的な蛍光体の結晶性を落とし、蛍光体の波長変換効率を低下させうる。特に、二次焼結時に、温度範囲を1,080°C~1,200°Cとすることによって、斜方晶系結晶構造を得ることができる。このようにして得られた焼結体を粉末に粉砕し、蒸留水で洗浄し、所望の蛍光体を得ることができる。本発明の他の側面によれば、発光ダイオードLED:lightemittingdiodeと、前記緑色蛍光体とを含む発光素子が提供される。前記発光素子において、前記発光ダイオードは、青色発光ダイオードまたは紫外線発光ダイオードUVLEDであって、励起光源のピーク波長帯域が、300~480nmの範囲でありうる。前記発光素子において、前記緑色蛍光体の放出スペクトルのピーク波長は、490~560nmでありうる。前記発光素子は、青色蛍光体および赤色蛍光体の少なくとも一方をさらに含むことができる。前記青色蛍光体の例としては、例えば、Sr,Ba,Ca5PO43Cl:Eu2、BaMg2Al16O27:Eu2、Sr4Al14O25:Eu2、BaAl8O13:Eu2、BaMgAl10O17:Eu2、Sr2Si3O82SrCl2:Eu2、Ba3MgSi2O8:Eu2、およびSr,Ca10PO46nB2O3:Eu2からなる群より選択される少なくとも1種が挙げられる。前記赤色蛍光体の例としては、例えば、Ba,Sr,Ca2Si5N8:Eu2、Sr,CaAlSiN3:Eu2、Y2O3:Eu3,Bi3、Ca,SrS:Eu2、CaLa2S4:Ce3、Sr,Ca,Ba2P2O7:Eu2,Mn2、Ca,Sr10PO46F,Cl:Eu2,Mn2、Y,Lu2WO6:Eu3,Mo6、Gd,Y,Lu,La2O3:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,La2O2S:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,LaBO3:Eu3,Bi3、Gd,Y,Lu,LaP,VO4:Eu3,Bi3、およびBa,Sr,CaMgP2O7:Eu2,Mn2からなる群より選択される少なくとも1種が挙げられる。白色発光素子は、緑色蛍光体だけではなく、赤色蛍光体および青色蛍光体を含む場合は、青色LEDまたはUVLEDが用いられ、白色発光素子が、緑色蛍光体および赤色蛍光体のみを含む場合は、青色LEDが用いられる。この方法によって、白色発光素子は、青色発光ダイオードまたは紫外線発光ダイオード、赤色蛍光体、前記化学式1で示された緑色蛍光体、および必要に応じて青色蛍光体を含む。図1は、本発明の一実施形態による白色発光素子の構造を示した概略図であり、高分子レンズタイプの表面実装型発光素子を示したものである。ここで、高分子レンズの一実施形態として、エポキシレンズを使用する。図1を参照すれば、UVLEDチップ10は、金ワイヤ20を介して電気リード線30とダイボンディングされ、ハロシリケート蛍光体を含有する蛍光体組成物40を含むように、エポキシモールド層50が形成されている。そして、成形モールド60の内部は、アルミニウムまたは銀でコーティングされた反射膜からなり、これは、ダイオードから放出された光を上に反射させる役割、および適量のエポキシを閉じ込める役割を果たす。前記エポキシモールド層50の上部には、エポキシドームレンズ70が形成されており、このエポキシドームレンズ70は、所望の指向角によって形態が変化しうる。本発明の一実施形態による白色発光素子は、図1の構造にのみ限定されるということを意味するものではなく、それ以外の他の構造、例えば、白色発光素子に蛍光体が実装されるタイプ、砲弾型、PCBprintedcircuitboardタイプの表面実装型の構造を有する白色発光素子でありうる。本発明の発光素子は、信号灯、通信機器の光源、ディスプレイ装置のバックライトまたは照明に用いられうる。本発明の一実施形態による緑色蛍光体は、前述の白色発光素子以外に、水銀ランプ、キセノンランプのようなランプ、または自発光液晶表示素子にも適用可能である。以下、本発明を、下記実施例を挙げてさらに詳細に説明するが、本発明の範囲は、下記実施例にのみ限定されるものではない。実施例1~6[斜方晶系Ca3SiO4Cl2:xEu2以下、o-Ca3SiO4Cl2:xEu2とするx=a0.00033、b0.00066、c0.0013、d0.0033、e0.0066、f0.0133の蛍光体の製造]CaCO32.00g、SiO21.2g、およびEu2O3を、a0.0035g実施例1、b0.007g実施例2、c0.014g実施例3、d0.035g実施例4、e0.07g実施例5、f0.14g実施例6の分量で、乳鉢に入れ30分間混合した。混合された粉末を、アルミナ反応容器に入れ、大気雰囲気下、1,300°Cで5時間熱処理し、Ca2SiO4:xEu2x=a0.0005、b0.001、c0.002、d0.005、e0.01、f0.02を得た。得られたCa2SiO4:xEu22.32gとCaCl22H2O2.16gとを、乳鉢を利用して30分ほど混合し、最終的に、H2/N2=5/95体積比雰囲気下、1,100°Cで8時間焼成して炉冷させた。焼成が終わったサンプルを乳鉢で粉砕して、常温の蒸留水で粉末を洗浄し、残っているCaCl2残留物を除去し、最終的に斜方晶系Ca3SiO4Cl2:xEu2x=a0.00033実施例1、b0.00066実施例2、c0.0013実施例3、d0.0033実施例4、e0.0066実施例5、f0.0133実施例6の蛍光体を得た。比較例1[mI-Ca3SiO4Cl2:Eu2蛍光体の製造]CaCO32.00g、SiO21.2gおよびEu2O30.14gを、乳鉢を利用して30分間混合した。混合された粉末をアルミナ反応容器に入れ、H2/N2=5/95体積比雰囲気下、900°Cで8時間焼成して炉冷させた。焼成が終わったサンプルを乳鉢で粉砕し、常温の蒸留水で粉末を洗浄し、残っているCaCl2残留物を除去し、最終的に単斜晶系mI-Ca3SiO4Cl2:0.0133Eu2蛍光体を得た。比較例2[mII-Ca3SiO4Cl2:Eu2蛍光体の製造]H2/N2=5/95体積比雰囲気下での焼成時、1,050°Cで8時間焼成することを除いては、比較例1と同様の方法により蛍光体を得た。比較例3[β-SiAlON:Eu2蛍光体の製造]Si3N43.00g、AlN0.09g、Eu2O30.03gを、乳鉢を利用して30分間混合した。混合された粉末を窒化ホウ素BN反応容器に入れ、N2雰囲気下で2,000°C、10気圧で5時間焼成して炉冷させた。焼成が終わったサンプルを乳鉢で粉砕し、最終的にβ-SiAlON:Eu2蛍光体を得た。比較例4[Sr,Ba2SiO4:Eu2蛍光体の製造]SrCO32.46g、BaCO33.22g、SiO21g、Eu2O30.12gを、乳鉢を利用して30分間混合した。混合された粉末をアルミナ反応容器に入れ、H2/N2=5/95体積比雰囲気下、900°Cで8時間焼成して炉冷させた。焼成が終わったサンプルを乳鉢で粉砕し、最終的にβ-SiAlON:Eu2蛍光体を得た。前記実施例1~6で得られた蛍光体の発光スペクトルを図2に示した。図2に示されているように、本発明の一実施形態による蛍光体は、300~480nmの光を吸収し、約525nmの発光を行うために、UVLEDおよび青色LEDに適した緑色蛍光体として使われうる。図3は、比較例1で得られた蛍光体の370nmで励起した発光スペクトルおよび510nm発光に係わる励起スペクトルを示し、図4は比較例2で得られた蛍光体の435nmで励起した発光スペクトル、および615nm発光に係わる励起スペクトルを示している。図2、図3および図4を比較すれば、本発明で提供される蛍光体と、比較例1および2の蛍光体とは、その組成が同一であるとしても、結晶構造が異なり、それぞれ固有の吸収および発光特性を示すということが分かる。図5は、実施例6で得られた蛍光体の、CuのKα1で回折させたXRDx-raydiffractionスペクトルを示す図である。第1強度ピークが30.77°、第2強度から第6強度までのピークが、それぞれ32.185°、35.01°、39.32°、24.90°、48.46°で観察されている。図6および図7は、それぞれ比較例1および比較例2で得られた蛍光体の、CuのKα1で回折させたXRDスペクトルを示す図である。実施例1比較例1および比較例2の蛍光体は、蛍光体ホストの化学組成がCa3SiO4Cl2と共通しているが、図5、図6および図7のXRDスペクトルを比較すれば分かるように、本発明の一実施形態による蛍光体は、従来の蛍光体とは完全に異なる結晶構造を有する。本発明の一実施形態による蛍光体は、JCPDSJointCommitteeonPowderDiffractionStandardsに報告されていない新しい結晶構造を有するために、SynchrotronXRDで測定した結果をリートベルトRietveld法で分析することによって、具体的な結晶構造を明らかにすることができた。明らかになった結晶構造を図8に示した。図8のaは、a軸方向に投射したものであり、bは、c軸方向に投射したものである。図8から分かるように、この物質は、斜方晶系Pnma空間群を有し、a=11.620Å、b=10.287Å、c=5.5736Åの格子定数を有し、単位セルは2種のCa配位を有する。図9および図10には、それぞれ比較例1および比較例2で得られた蛍光体のSychrotronXRDで測定した結果をリートベルト法で分析して得られた結晶構造を示す図である。図9のaは、c軸方向に投射したものであり、bは、b軸方向に投射したものである。図10のaは、a軸方向に投射したものであり、bは、b軸方向に投射したものである。比較例1の蛍光体の結晶構造はすでに公知であり、比較例1の蛍光体は、単斜晶系P21/c空間群を有し、a=9.7820Å、b=6.7380Å、c=10.799Å、β=106.0Åの格子定数を有し、単位セル内に三種のCa配位を有する。比較例2の蛍光体は、結晶構造が具体的に知られておらず、本発明者らが明らかにしたところでは、比較例1の蛍光体と同様に単斜晶系空間群を有するが、原子の具体的な位置が異なり、a=5.9125Å、b=10.201Å、c=10.989Å、β=90.34Åと、異なる格子定数を有し、単位セル内に三種のCa配位を有する。前記実施例1~6で得られた蛍光体を200°Cまで加熱して、発光特性の変化を観察した。比較のために、比較例1のmI-Ca3SiO4Cl2:Eu2蛍光体、比較例2のmII-Ca3SiO4Cl2:Eu2蛍光体、従来の緑色蛍光体として知られた比較例3のβ-SiAlON:Eu2、および比較例4のSr,Ba2SiO4:Eu2蛍光体についても同じ試験を行った。図11と図12は、発光特性の変化を試験した結果を示すグラフである。図11には、本発明の実施例6で得られた蛍光体と、比較例1および比較例2の蛍光体の熱特性を示したが、mI-Ca3SiO4Cl2:Eu2、o-Ca3SiO4Cl2:Eu2、mII-Ca3SiO4Cl2:Eu2の順序で、それぞれ200°Cで、初期輝度の92、89、82の優秀な効率維持特性を示している。図12から分かるように、Sr,Ba2SiO4:Eu2蛍光体比較例4は、200°Cで、初期効率の40まで落ちるのに対し、実施例6の蛍光体は、200°Cで、初期効率の89ほどに維持され、熱特性に非常に優れると知られているβ-SiAlON:Eu2比較例3よりも優秀な熱安定性を示している。図13および下記表1は、実施例6の蛍光体、比較例3の蛍光体、および比較例4の蛍光体の、LCDliquidcrystaldisplayバックライトユニット用カラーフィルタ適用前△と、適用後○の色座標を示している。図13および表1から分かるように、本発明の一実施形態によるo-Ca3SiO4Cl2:Eu2蛍光体は、LCDバックライトユニットに使用されている従来のSr,Ba2SiO4:Eu2およびβ-SiAlON:Eu2とも類似した位置の色座標を示し、LCDバックライトとしても適するということを確認することができる。図14および図15は、それぞれ5000K色温度、3000K色温度の照明用白色発光素子に、実施例6の蛍光体を使用したとき発光スペクトルaおよび演色指数bを示している。実施例6の蛍光体は、多少広い半値幅を有しており、ディスプレイ用としては、比較例3および比較例4の蛍光体より色純度が多少劣るといえるが、3000Kのウォームホワイトwarmwhiteでも、90以上の演色指数を示すほどに、照明用として適した特性を示している。5000Kのコールドホワイトcoldwhiteでは、95.7の自然光にほとんど近接したレベルの白色光の具現も可能である。"