"露光光を基板に向けて発光する光源と、この光源からの露光光が入射され露光すべき複数個のパネルに対応するパターンが形成されたマスクと、マスクを透過した露光光が入射され前記マスクのパターンの正立等倍像を基板上に結像させるマイクロレンズアレイと、前記露光光を前記基板上でスキャンする駆動装置と、を有し、前記駆動装置は、前記マイクロレンズアレイと前記光源との位置関係は固定し、前記マスクと前記基板との位置関係は固定した状態で、前記マイクロレンズアレイ及び前記光源の組み合わせと、前記マスクと前記基板との組み合わせとを、第1の方向に相対的に移動させることにより、前記露光光を前記基板上でスキャンさせるものであり、前記露光光の照射領域は前記マイクロレンズアレイの大きさに対応するものであり、前記マイクロレンズアレイは、前記第1の方向に垂直の第2の方向に関し、前記マスクの前記第2の方向の長さ又はその長さの整数分の1の長さに対応する長さを有すると共に、製造せんとするパネルに対応する長さに分割された2個以上のユニットを配列して構成されていることを特徴とするマイクロレンズアレイを使用した露光装置。前記マイクロレンズアレイは前記第2の方向に関して前記マスクの長さに対応する長さを有し、前記マイクロレンズアレイは、前記マスクに対し、1回相対的にスキャンすることにより、前記マスクのパターンを前記基板に転写することを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイを使用した露光装置。前記マイクロレンズアレイは前記第2の方向に関して、nを2以上の整数として、前記マスクの長さの1/nの長さを有し、前記マイクロレンズアレイは、前記マスクに対し、前記第2の方向にn分割された領域を、夫々スキャンすることにより、前記マスクのパターンを前記基板に転写することを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイを使用した露光装置。上述のように、携帯機器用の液晶表示パネルのように、高精細が要求されると共に、小型のパネルの場合、従来のステッパを使用すると、露光パターンのつぎが必要となり、マイクロレンズアレイを使用すると、製造効率が悪いという問題点がある。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、携帯機器用の液晶表示パネルの大きさに合わせて効率的にマイクロレンズアレイを使用することができるマイクロレンズアレイを使用した露光装置を提供することを目的とする。本発明に係るマイクロレンズアレイを使用した露光装置は、露光光を基板に向けて発光する光源と、この光源からの露光光が入射され露光すべき複数個のパネルに対応するパターンが形成されたマスクと、マスクを透過した露光光が入射され前記マスクのパターンの正立等倍像を基板上に結像させるマイクロレンズアレイと、前記露光光を前記基板上でスキャンする駆動装置と、を有し、前記駆動装置は、前記マイクロレンズアレイと前記光源との位置関係は固定し、前記マスクと前記基板との位置関係は固定した状態で、前記マイクロレンズアレイ及び前記光源の組み合わせと、前記マスクと前記基板との組み合わせとを、第1の方向に相対的に移動させることにより、前記露光光を前記基板上でスキャンさせるものであり、前記露光光の照射領域は前記マイクロレンズアレイの大きさに対応するものであり、前記マイクロレンズアレイは、前記第1の方向に垂直の第2の方向に関し、前記マスクの前記第2の方向の長さ又はその長さの整数分の1の長さに対応する長さを有すると共に、製造せんとするパネルに対応する長さに分割された2個以上のユニットを配列して構成されていることを特徴とする。露光光としては、水銀ランプ光等が使用される。このマイクロレンズアレイを使用した露光装置において、例えば、前記マイクロレンズアレイは前記第2の方向に関して前記マスクの長さに対応する長さを有し、前記マイクロレンズアレイは、前記マスクに対し、1回相対的にスキャンすることにより、前記マスクのパターンを前記基板に転写することを特徴とする。又は、例えば、前記マイクロレンズアレイは前記第2の方向に関して、nを2以上の整数として、前記マスクの長さの1/nの長さを有し、前記マイクロレンズアレイは、前記マスクに対し、前記第2の方向にn分割された領域を、夫々スキャンすることにより、前記マスクのパターンを前記基板に転写することを特徴とする。本発明によれば、マスクの大きさの枠内で、マイクロレンズアレイを有効に使用して、マスクよりも小さな大きさのパネル基板を、高効率で露光することができる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の第1実施形態に係るマイクロレンズアレイを使用した露光装置を示す斜視図、図2は1個のマスクステージとマイクロレンズアレイを示す斜視図、図3はマスクステージ全体を示す斜視図である。ガラス基板を、スキャン方向第1の方向1及びこのスキャン方向1に垂直の方向第2方向2に移動させることができるX-Yステージ11の上に基板ステージ12が第1方向1に移動可能に設置されている。このX-Yステージ11及び基板ステージ12の上方に、架台13が設置されており、この架台13上に、一例として、4個の光源14が固定設置されている。これらの光源14は、例えば、高圧水銀ランプ光源であり、波長が365nmの紫外光の露光光15を、下方に向けて照射する。この露光光15の照射領域は、図3に示すように矩形である。この露光光15の光源14の下方には、マスクステージ18が配置されている。架台13には、第2方向2に延びる第1ガイド16が懸架されており、このガイド16に第1方向1に延びる第2ガイド17が懸架されている。第1ガイド16は架台13上に固定されており、第2ガイド17は第2方向2に延びる第1ガイド16上に第2方向2に移動可能に支持されている。そして、4個のマスクステージ18は相互にその位置関係を保持したまま、第1方向1に延びる第2ガイド17上に第1方向1に移動可能に支持されている。このマスクステージ18には、矩形の開口が形成されており、この開口にマスク20が支持されている。従って、マスク20は、第1ガイド16及び第2ガイド17により、第1方向1に対して、スキャンすることができ、第2方向2に対して、シフトすることができる。このマスク20の下方には、マイクロレンズアレイホルダ21が設置されており、このホルダ21の開口部内に、マイクロレンズアレイ22が支持されている。マイクロレンズアレイ22は、多数のマイクロレンズが形成されており、各マイクロレンズにより、マスク20のパターンの正立等倍像が、マイクロレンズアレイ22の下方に配置される基板上に結像するようになっている。このマイクロレンズアレイ22におけるマイクロレンズの形成領域は、光源14からの露光光15の矩形の照射領域に一致し、露光光15がマスク20の一部の領域を透過した後、マイクロレンズアレイ22により、基板上に投影される。本実施形態においては、マスクステージ18に支持されたマスク20と、基板ステージ12上の基板とは、同時一体的に第1方向1にスキャンし、第2方向2にシフトする。光源14とマイクロレンズアレイ22とは、光源14からの露光光15の照射領域がマイクロレンズアレイ22の全域光学作用を有する部分の全域に一致する状態で、架台13上に固定されている。従って、光源14からの露光光がマイクロレンズアレイ22により基板上に集光される状態を保持して、マスク20と基板とが第1方向1に移動することにより、基板が露光光によりスキャンされ、マスクパターンが基板上に露光されて転写される。マスクステージ18に保持されるマスク20の大きさは、例えば、第2方向2の幅が400mmであり、マイクロレンズアレイ22の第2方向2の幅も、このマスク幅に合わせて400mmである。そして、仮に、マスク20の幅第2方向2の総長が、3種類の携帯機器用の液晶パネルを採取できるものであるとすると、マイクロレンズアレイ22は、図4に示すように、3分割されている。例えば、携帯電話の4インチパネル23と、携帯情報端末の8インチパネル24と、携帯電話の3インチパネル25とを、1個のマスク20で同時に露光する場合、マイクロレンズアレイ22は、4インチパネル23に幅方向の長さを合わせたユニット28と、8インチパネル24の幅方向の長さに合わせたユニット29と、3インチパネル25の幅方向の長さに合わせたユニット30とを、夫々、幅方向の端縁26,27で接続するように配列して構成されている。この場合に、ユニット28,29,30は相互に接合する必要はなく、分離可能に配列すればよい。1個のマスク20には、4インチパネル23用のパターンと、8インチパネル24用のパターンと、3インチパネル25用のパターンとが形成されている。また、マイクロレンズアレイ22の端縁26,27は、パネル23とパネル24との間、及びパネル24とパネル25との間に位置するものであり、パネル23,24,25内には位置しないように、その位置が決められる。即ち、通常、マイクロレンズアレイは例えば150mmの幅で生産されており、このマイクロレンズアレイを購入して、パネル23,24,25の幅の大きさに切断する。この場合に、切断位置は、切り代等を考慮して、パネル幅以上の幅を有するマイクロレンズアレイユニットが得られるように、定める。そして、総長がマスク20の幅に対応する例えば400mmになるように、複数個のマイクロレンズユニット28,29,30を組み合わせて、これらのユニット28,29,30を配列することにより、幅が400mmに相当するマイクロレンズアレイ22を構成する。次に、上述のごとく構成されたマイクロレンズアレイを使用した露光装置の動作について説明する。レジスト膜が形成されたガラス基板40は、基板ステージ12上に搬送されてきて、4個のマスクステージ18に支持されたマスク20と正対する位置に設定される。そして、ガイド16,17並びに基板ステージ12及びX-Yステージ11により、基板40とマスク20とは一定の位置関係を保持して、同時に駆動される。本実施形態においては、図3に示すように、4個のマスクステージ18に夫々マスク20が保持されており、4個の光源14からの4個の露光光15は、各マスク20に入射し、露光光15の矩形の照射領域は、その幅方向の長さが、マスク20の第2方向2スキャン方向に直交する方向の全域の長さに対応するようになっている。この露光光15は、図5に示すように、マスク20が第1方向1に露光光15に対して相対的に移動することにより、露光光15は、マスク20を白抜き矢印にて示すスキャン方向にスキャンする。図6は、マスク20を取り除いた状態を示す斜視図である。この図6に示すように、露光光15の矩形の照射領域は、マイクロレンズアレイホルダ21の開口部内に支持されたマイクロレンズアレイ22のマイクロレンズ形成領域に対応している。そして、この露光光15と、マイクロレンズアレイ22とは、その位置関係が固定されており、マスク20及び基板40が一体的に同時に移動する間に、図7に示すように、露光光15が白抜き矢印にて示すスキャン方向にマスク20及び基板40に対して相対的にスキャンされ、マイクロレンズアレイ22は、マスク20を透過してきた露光光15を基板40上に結像させる。これにより、基板40上に、マスク20のパターンが、正立等倍像として転写され、露光パターン41がレジスト上に形成される。本実施形態においては、マイクロレンズアレイ22は、例えば、幅が150mmで製造される既製のマイクロレンズアレイを、携帯機器のパネル23,24,25の大きさに合わせて切断し、得られたユニット28,29,30をその幅方向の端縁26,27で接続するように配列して構成されており、マイクロレンズアレイ22の全体では、例えば、幅が400mmと、マスク20の幅に合わせたものとなっている。よって、ガラス基板40上のレジスト膜に対する1回のスキャン動作により、3種類のパネルを同時に露光することができ、露光動作を高効率化することができる。また、このとき、各パネル28,29,30については、その内部にマイクロレンズアレイの継ぎ目は存在せず、継ぎ目はパネル28,29,30間に位置するため、露光パターンにおいて、従来の所謂つぎの処理を行う必要はない。よって、露光パターンに露光ムラが発生することはない。また、マスクは、通常、幅が400mm程度であるが、このような長寸のマイクロレンズアレイを製造しようとすると、コストが高くなる。マイクロレンズアレイは、通常、150mm程度の長さ幅のものが、単位長あたりの相対的な製造コストは低い。よって、複数枚のマイクロレンズアレイをつなぎ合わせて、マスク幅に対応するマイクロレンズアレイを構成するか、又は、マイクロレンズアレイホルダ21に例えば長さが150mmのマイクロレンズアレイを設け、このマイクロレンズアレイが存在しない領域のマスク部分には、Cr膜を形成して、露光光の透過を遮断するという作業が必要である。後者の場合は、ガラス基板40に使用しない領域パネルとならない領域が生じてしまうので、無駄である。そこで、複数枚のマイクロレンズアレイをつなぎ合わせて、マスク幅に対応したマイクロレンズアレイを構成することが好ましいが、このとき、本実施形態のように、汎用的な長さが150mmのマイクロレンズアレイをパネルに合わせて切断し、切断後のパネルをつなぎ合わせることにより、マスク20の幅に合わせた長さのマイクロレンズアレイ22を構成することにより、所謂つぎがパネルの露光パターン内に存在せず、しかも可及的に多数及び他種類のパネルを一度に露光処理できるため、効率的である。なお、図4に示すマイクロレンズアレイ22は、3種類の大きさのパネル23,24,25に対応するものであるが、本発明はこれに限らず、例えば、図8に示すように、同一種類の例えば4インチパネル23を同時に露光するように構成することもできる。この場合に、マイクロレンズアレイ22は、4インチパネル23に合わせた大きさのユニット28を2枚と、マスクの幅から2枚のユニット28の幅を差し引いた大きさのユニット28aとから構成される。このユニット28aはユニット28より大きく、4インチパネル23の全体の一度による露光に使用することができる。各ユニット28,28aの端縁の位置は、パネル23の内部に位置しないことは勿論である。次に、本発明の第2実施形態について、図9乃至図12を参照して、説明する。図1乃至図7に示す第1実施形態が、4個のマスク20を4個のマスクステージ18に設置していた場合のものであるが、本第2実施形態は、大きなマスクを使用して、ガラス基板上のレジスト膜を露光しようとするものである。なお、図9乃至図12において、マスクはマイクロレンズアレイ22を示すために図示していないが、マスクステージ42の枠に支持されている。図9に示すように、基板40上に、1個のマスクステージ42に支持された1個のマスク図示せずが配置され、露光光15は、マスクを介してマイクロレンズアレイ22に入射され、マスクを透過した露光光がマイクロレンズアレイ22により、集光されて基板40上に収束し、マスクのパターンの正立等倍像が、基板40上に結像して、露光パターン41が形成される。本実施形態においては、4ショットにより、基板40の全域が露光される。先ず、図9に示すように、基板マスクを縦横4分割して、16の等面積の領域に分割し、各光源14からの各露光光を、その分割領域の左上の領域を、白抜き矢印方向にスキャンする1ショット目。次いで、図10に示すように、露光光15は、1ショット目の右隣第2方向の右側の基板領域を、1ショット目とは逆方向に、白抜き矢印にて示す方向にスキャンする2ショット目。その後、図11に示すように、2ショット目の第1方向に隣接する基板領域を、2ショット目とは逆方向に、白抜き矢印にて示す方向にスキャンする3ショット目。その後、図12に示すように、3ショット目の第2方向に隣接する基板領域を、3ショット目とは逆方向に、白抜き矢印にて示す方向にスキャンする4ショット目。これにより、基板40の全領域が露光される。本実施形態は、nを2以上の整数とすると、マスクの幅の1/n即ち、本実施形態はn=4で、1/nは1/4の大きさのマイクロレンズアレイ22を4個使用して、4ショットで、基板の全領域を露光する。本実施形態においても、マイクロレンズアレイ22は、パネルの大きさに合わせて切断した複数個のユニットを接続して構成されており、基板上に露光されたパネル間の領域に、ユニット間の接続線ユニットの端縁に対応する線が存在し、パネル内には、ユニット間の接続線に対応する線は存在しない。よって、パネル内には、つぎによる露光ムラは発生しない。従って、本実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を奏する。"