"スロットアンテナ本体となる空隙と、該空隙に対して十字となるように該空隙の長手方向に対して垂直方向に一つ以上設けたスリットリフレクタ部となる空隙とが、導電性平板に形成されて成り、所望されるインピーダンス又はアドミタンスの周波数特性が得られるように上記スリットリフレクタ部の配置場所、長さ及び幅が定められていることを特徴とする、スロットアンテナ。さらに、前記スロットアンテナ本体の給電点近傍に、スリットリフレクタ部が配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のスロットアンテナ。請求項1又は請求項2に記載のスロットアンテナが多数配列されることで、アレーアンテナとして構成されていることを特徴とする、スロットアンテナ。スロットアンテナ本体となる空隙と、該空隙に対して十字となるように該空隙の長手方向に対して垂直方向に一つ以上設けたスリットリフレクタ部となる空隙とが、導電性平板に形成されて成るスロットアンテナの共振特性の制御方法であって、上記スリットリフレクタ部の配置場所、長さ及び幅のうちの少なくとも一つを変えることによって、前記スロットアンテナのインピーダンス又はアドミタンスの周波数特性を調整し、前記スロットアンテナの共振特性を制御することを特徴とする、スロットアンテナの共振特性の制御方法。前記スリットリフレクタ部の配置場所、又は前記スリットリフレクタの配置場所と長さ及び幅の少なくとも一方とを変えることによって、前記スロットアンテナのインピーダンス又はアドミタンスの周波数特性を調整する、請求項4に記載のスロットアンテナの共振特性の制御方法。直流的な短絡が許されない二つの導体を用いてアンテナもしくは共振回路を構成する必要がある例としては、上記非特許文献5及び6のようなトランジスタ,ダイオード等の半導体素子を用いて、特に基板に集積化した発振器を実現する場合が挙げられる。この場合、負性抵抗回路部分の所定の等価回路特性に対し、それに接続された外部共振回路の特性を調整することで、上記の発振条件を所望の周波数において満足させなくてはならない図12参照。このためには、その共振回路の特性が周波数に対し大きく変化し、かつ、その変化を所望の周波数において生じさせ得ることが望ましい。即ち、鋭い共振とこれに付随する強い電磁界放射の実現と、その共振周波数の制御であるが、これらを可能にするための設計は、アンテナでは一般に行われている。基本的で代表的なアンテナの一つである半波長ダイポールアンテナは、二つの線状導体からなり、比較的共振が鋭く、アンテナ長を変化させることにより共振周波数を変化させられるため、上記のような要求を満足する外部共振回路の候補となり得る。ダイポールアンテナの補対アンテナであるスロットアンテナも同様である。しかしながら、ダイポールアンテナは、それを構成する導体が線状ではなく、例えば平板のようにある程度の広がりを持つ場合は、鋭い共振が得られないという課題がある。特に、ダイオード,トランジスタ等の半導体素子のように基板上に形成された電極を利用して上記の共振回路を構成しようとする場合に障害となる。この電極は、例えば、トランジスタのチャネル幅以上に小さくすることができないことやワイヤボンディングのためにある程度の大きさが必要であることなどの理由から、一般に線状にすることは難しいという課題がある。スロットアンテナの長さは、共振波長を決定するものでもあり、有限でなくてはならない。ダイオードの各電極はアノードとカソードに、トランジスタの各電極はソース、ドレイン、ゲート等に接続されているので、当然、相互の短絡は許されないことから、これらの電極を接続して電極間の細隙の両端を塞いでスロットアンテナの両端とすることはできない。半導体素子として三端子素子を用いる場合には、これらの端子に接続された内の二つの電極によりスロットアンテナを構成しつつ、残る一つの電極を配線するための領域を確保しなくてはならない。上記課題に鑑み、本発明の目的は、所望の周波数において共振特性を良好とする新規なアンテナ及びアンテナの共振特性の制御方法を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明のスロットアンテナは、導電性平板に、スロットアンテナ本体となる空隙と、該空隙に対して十字となるように該空隙の長手方向に対して垂直方向に一つ以上設けたスリットリフレクタ部となる空隙とが形成されて成り、所望されるインピーダンス又はアドミタンスの周波数特性が得られるように上記スリットリフレクタ部の配置場所、長さ及び幅が定められていることを特徴する。上記構成によれば、スロットアンテナ本体にスリットリフレクタ部が付加されているので、スリットリフレクタ部のスロットアンテナ本体への配置場所と、その長さL1及び幅W1を変えることで、スロットアンテナにおけるインピーダンスの周波数特性を変化させることができ、その共振特性を制御することができる。上記構成において、好ましくは、さらに、スロットアンテナ本体の給電点近傍に、スリットリフレクタ部が配置される。この場合、スロットアンテナ本体の給電点に配置されるスリットリフレクタ部が所謂スタブとして動作し、給電点に接続される交流電源とスロットアンテナとの整合特性を改善することができる。したがって、給電点近傍に設けるスリットリフレクタ部の長さや幅を調整することで、交流電源からの電力を効率良くスロットアンテナに供給することができる。上記記載の何れかによるスロットアンテナを多数配列することで、アレーアンテナとして構成されてもよい。多数配列した各アンテナ素子間の距離や相対的な配置等を調整することにより放射指向性の制御や利得の向上を可能とする。同様に各アンテナ素子は一般には相互結合し、それらの等価回路特性も各アンテナ素子が単一に存在する場合とは異なる変化をする。これを前記のような共振とその度合いの調整に利用することができる。また、上記目的を達成するため、本発明のスロットアンテナの共振特性の制御方法は、スロットアンテナ本体となる空隙と、該空隙に対して十字となるように該空隙の長手方向に対して垂直方向に一つ以上設けたスリットリフレクタ部となる空隙とが、導電性平板に形成されて成るスロットアンテナの共振特性の制御方法であって、上記スリットリフレクタ部の配置場所、長さ及び幅のうちの少なくとも一つを変えることによって、前記スロットアンテナのインピーダンス又はアドミタンスの周波数特性を調整し、前記スロットアンテナの共振特性を制御することを特徴とする。上記方法において、スリットリフレクタ部の配置場所、又はスリットリフレクタの配置場所と長さ及び幅の少なくとも一方とを変えることによって、スロットアンテナのインピーダンス又はアドミタンスの周波数特性を調整するようにすることが好ましい。本発明のスロットアンテナによれば、スロットアンテナ本体にスリットリフレクタ部を設けることにより共振の鋭さの度合いやそれが生じる周波数等を調整可能な、即ち入力インピーダンス等の特性を制御可能なスロットアンテナを提供することができる。以下、図面に示した実施形態に基づいて本発明を詳細に説明する。各図において同一又は対応する部材には同一符号を用いる。本発明の第1の実施形態に係るアンテナについて説明する。図1は、本発明によるスロットアンテナの構成を模式的に示す図であり、Aはその構成を示す斜視図であり、BはAのスロットアンテナの給電部に交流電源を接続した様子を示す平面図である。図1Aに示すように、本発明のスロットアンテナ1は、スロットアンテナ本体2となる長さがL0で幅がW0の空隙と、この空隙2の長手方向図1のY方向に対して垂直な方向図1のX方向に配置され長さがL1で幅がW1の空隙からなるスリットリフレクタ部3と、から構成されている。図示の場合にはスリットリフレクタ部3はスロットアンテナ本体2に対して十字となるように、X方向の空隙3A及び3Bとから形成されている。空隙3Aの長さL1’及び3Bの長さL1’’は同じとしてもよい。スロットアンテナ1は、導電性が良好な導電性平板5にスロットアンテナ本体2及びスリットリフレクタ部3となる空隙を設けることで形成することができる。図示の場合には、スリットリフレクタ部となる空隙3はスロットアンテナ1が形成される導電性平板5の左側及び右側に設けている。上記導電性平板5は、図示するように基板6上に形成してもよい。このような基板6としては、絶縁体や半導体などの材料を用いることができる。導電性平板5の厚さは使用する周波数において損失が生じない厚さとし、導電性平板5の導電率と使用周波数で決まる表皮深さ以上の厚みとすればよい。図1Bに示すように、本発明によるスロットアンテナ1のスロットアンテナ本体2における給電部2Aは、スロットアンテナ本体2の中央部に設けられている。この給電部2Aには交流電源7が接続されることでスロットアンテナ1が励振される。本発明のスロットアンテナ1によれば、給電点における二端子対のインピーダンス又はアドミタンスの周波数特性は、上記スリットリフレクタ部3のスロットアンテナ本体への配置場所と、その長さL1及び幅W1を変えることで調整することができる。したがって、本発明のスロットアンテナ1によれば、インピーダンスの周波数特性を変化させることで、その共振特性を制御することができる。本発明の第2の実施形態に係るスロットアンテナについて説明する。図2は、本発明による第2の実施形態に係るスロットアンテナ10の構成を模式的に示す斜視図である。図2に示すように、本発明の第2の実施形態に係るスロットアンテナ10は、幅がW0の間隔の空隙を形成するように2枚の導電性平板11,12が配置されており、上記空隙の長手方向図2のY方向に対して垂直な方向図2のX方向に配置され長さがL1で幅がW1の空隙細隙とも呼ぶからなる第1のスリットリフレクタ部3と、これと同様の空隙から形成される長さがL2で幅がW2の空隙からなる第2のスリットリフレクタ部13と、から構成されている。ここで、第1及び第2のスリットリフレクタ部3,13は、導電性平板11,12のそれぞれに空隙が形成されることで形成されているので、2組のスリットリフレクタ部と呼ぶ。上記の2つのスリットリフレクタ部3,13とに挟まれる空隙は、幅がW0で長さがL0の空隙であり、スロットアンテナ本体2となり、その給電点はスロットアンテナ本体2の中央部となっている。スリットリフレクタ部3はスロットアンテナ本体2の長手方向に対して垂直方向に配置されているが、空隙の幅と長さは同じ寸法としてもよい。本発明の第2の実施形態に係るスロットアンテナ10においては、近接して配置された二つの導体平板11,12を隔てる幅がW0の空隙は、一種のスロット導波路スロット線路とも呼ばれている。非特許文献3参照とみなせる。ここで、このスロット導波路の一部に上記のように第1及び第2のスリットリフレクタ部3,13を設けると、スロット導波路本来のインピーダンスとは異なる状態となり不整合が生じる。不整合の程度が充分大きい場合には、このスロット導波路、つまり、スロットアンテナ本体を伝搬する電磁界は、その不整合部分で反射され、エネルギーの殆どがそれより先には伝搬しない。これは、第1及び第2のスリットリフレクタ部3,13が、スロットアンテナ本体に設けられた終端として作用する。スロットアンテナ10においては、第1及び第2のスリットリフレクタ部3,13により終端された有限長のスロット導波路とも考えられる。本発明のスロットアンテナ10によれば、共振周波数は上記の第1及び第2のスリットリフレクタ部3,13で両端を区切られたスロットアンテナ本体部分の長さL0に理想的には反比例し、また、その共振の様子、つまり、給電点における二端子対のインピーダンス又はアドミタンスの周波数特性は、第1及び第2のスリットリフレクタ部3,13の長さ及び幅Wを変えることで調整することができる。したがって、本発明のスロットアンテナ10によれば、インピーダンスの周波数特性を変化させることで、その共振特性を制御することができる。スリットリフレクタ部3,13によって実現される不整合の度合いは、その幅、長さ、導電性平板の厚み等の寸法によって異なるため、これを調節して、電磁界伝搬に対して必ずしも前記のような反射の実現ではない制御を加えることも可能となる。この場合は、スリットリフレクタ部3,13が、必ずしも完全に近いリフレクタ、つまり、反射器ではないとみなせる場合であってもよい。次に、本発明の第2の実施形態に係るアンテナの第1の変形例について説明する。図3は、本発明の第2の実施形態に係るスロットアンテナの第1変形例の構成を模式的に示す斜視図である。図3に示すように、第2の実施形態に係るスロットアンテナの第1変形例においては、スロットアンテナ15が、図2に示すスロットアンテナ10と比較すると、さらに2組のスリットリフレクタ部14,14を備えている点が異なっている。上記スロットアンテナ20によれば、共振周波数特性は、第1及び第2のスリットリフレクタ部3,13にさらに2組のスリットリフレクタ部14,14を備えているので、共振特性をより細かく制御することができる。本発明の第2の実施形態に係るアンテナの第2変形例について説明する。図4は、本発明の第2の実施形態に係るスロットアンテナの第2形例の構成を模式的に示す斜視図である。図4に示すように、第2の実施形態に係るスロットアンテナの第2変形例においては、スロットアンテナ20が、図2に示すスロットアンテナ10と比較すると、第1のスリットリフレクタ部3に隣接してスリットリフレクタ部16を備えている点が異なっている。このスリットリフレクタ部16を2組備えていてもよい。上記スロットアンテナ20によれば、第1及び第2のスリットリフレクタ部3,13に隣接してさらにスリットリフレクタ部16を備えているので、共振周波数特性をより細かく制御することができる。本発明の第2の実施形態に係るアンテナの第3変形例について説明する。図5は、本発明によるスロットアンテナの第3変形例の構成を模式的に示す斜視図である。図5に示すように、本発明によるスロットアンテナの第3変形例25が、図4に示すスロットアンテナ20と異なるのは、さらに、給電点2Aの近傍にスリットリフレクタ部18を備えている点である。図示の場合にはスリットリフレクタ部18は給電点2Aの片側に設けている。さらに、スリットリフレクタ部18は給電点の両側に、1組又は複数組設けてもよい。上記スロットアンテナ25によれば、給電点に配置されるスリットリフレクタ部18が所謂スタブとして動作し、給電点に接続される交流電源とスロットアンテナ25との整合特性を改善することができる。したがって、給電点近傍に設けるスリットリフレクタ部18の長さや幅を調整することで、交流電源からの電力を効率良くスロットアンテナに供給することができる。この給電点付近に設けるスリットリフレクタ部18は、スロットアンテナ10,15,20も適用することができる。次に、本発明の第3の実施形態に係るスロットアンテナを用いたアレーアンテナについて説明する。上記構成の本発明によるスロットアンテナ10,15,20,25を多数並べて配置して、アレーアンテナとすることができる。図6は、本発明の第3の実施形態に係るスロットアンテナを用いたアレーアンテナの一構成例を模式的に示す斜視図である。図6に示すように、アレーアンテナ30は、多数のスロットアンテナ15を線状に間隔dで並べて構成されている。アレーアンテナ30は線状のほかには面状の二次元配列や立体配列とすることができる。上記アレーアンテナ30によれば、各スロットアンテナ15間の間隔dや相対的な配置等を調整することにより放射指向性の制御や利得の向上を可能とする。各スロットアンテナ15はそれぞれが相互に結合し、これらのインピーダンス特性も各スロットアンテナ15が単一に存在する場合とは異なる変化をするので、アレーアンテナを構成する各アンテナの共振特性の調整に利用することができる。次に、本発明の第4の実施形態に係る本発明のスロットアンテナを用いた発振器について説明する。図7~10は、本発明によるスロットアンテナを用いた発振器を模式的に示す斜視図である。図7に示すように、本発明のスロットアンテナ10を用いた発振器35は、図2に示すスロットアンテナ10と能動素子33とから構成されている。スロットアンテナ10及び能動素子33は、基板31上に形成されており、基板31上には能動素子を含む層32が形成されており、図示しない絶縁層上に形成される能動素子の電極がスロットアンテナの導電性平板11,12を兼ねている。つまり、図2に示したスロットアンテナ本体の給電部に能動素子が接続されて構成されている。スロットアンテナ10の構成は既に説明しているので詳細な説明は省略する。能動素子がダイオードの場合には、そのアノード電極及びカソード電極を、それぞれ導電性平板11,12を兼ねるようにすればよい。能動素子がトランジスタの場合には、そのソース電極及びドレイン電極を、それぞれ導電性平板11,12を兼ねるようにすればよい。ゲート電極はスロットアンテナ本体2の空隙中に細線を用いて配線をすればよい。図8は、本発明によるスロットアンテナ15を用いた発振器40を示しており、図7の発振器35との違いは、スロットアンテナ15が、さらに、スリットリフレクタ部14を備えている点にある。図9は、本発明によるスロットアンテナ20を用いた発振器45を示しており、図8の発振器35との違いは、スロットアンテナ20が、さらに、スリットリフレクタ部16を備えている点にある。図10は、本発明によるスロットアンテナを用いた発振器50を示しており、図9の発振器45との違いは、スロットアンテナ20の給電点2A近傍に、さらに、スリットリフレクタ部18を備えている点にある。ここで、スリットリフレクタ部18は上記発振器35,40に設けてもよい。二端子素子としては、所謂負性抵抗ダイオードを用いることができ、例えば、江崎ダイオードトンネルダイオード、ガンダイオード、インパットダイオード、タンネットダイオード、バリットダイオード、共鳴トンネルダイオードなどが挙げられる。三端子素子のトランジスタとしては、各種の電界効果トランジスタ、例えば、FET,MESFET,MOSFET,SIT,HEMT、負性抵抗デュアルチャネルトランジスタなどが挙げられる。本発明の発振器の動作について説明する。図11は、本発明の発振器35,40,45,50の等価回路を示す図である。図11に示すように、本発明の発振器は、能動素子のアドミタンス以下、適宜にYaと呼ぶ上記本発明のスロットアンテナ10,15,20の各アドミタンス以下、適宜に区別しないでYdと呼ぶとの並列回路で表わすことができる。この発振回路が発振するためには、能動素子部分のアドミタンスYdとスロットアンテナのアドミタンスYaについて、以下の二つの発振条件、すなわち、利得条件及び位相条件が同時に成り立たなくてはならない。利得条件:ReYdReYa≦0ここで、ReYd<0:負性抵抗位相条件:ImYdImYa=0ここで、Re及びImはそれぞれアドミタンスの実部及び虚部を示している。利得条件では、ReYdReYaが零より小さいほど良い。図12は、本発明の発振器の能動素子及びスロットアンテナのアドミタンスの周波数特性の概略を示す図であり、それぞれ、Aが発振条件を満たさない場合を、Bが発振条件を満たす場合を示している。図12において、横軸は周波数を縦軸はアドミタンスを示している。図12Bに示すように、スロットアンテナのアドミタンスの実部コンダクタンスは共振周波数で最大となり、その虚部サセプタンスは共振周波数frで0となり、その前後の周波数でC性からL性に変わる。一方、能動素子のアドミタンスは符号を反転して、つまり、-1を乗じた値で示しているが、上記利得及び位相条件を満たす周波数foが能動素子の発振周波数である。したがって、本発明の発振器は能動素子のアドミタンス特性を得て、スロットアンテナのアドミタンスを、上記発振条件を満たすようにすれば発振する図12B参照。本発明の各発振器35,40,45によれば、2組のスリットリフレクタ部3,13の間隔がほぼ共振周波数を決定することができ、2組のスリットリフレクタ部3,13の幅や長さを調整することで共振器特性を適宜に設計することができる。さらに、発振器40,45の場合には、さらにスリットリフレクタ部14または16が付加されているので、共振器特性の細かい調整が可能となる。本発明の各発振器50によれば、さらに、給電点近傍に少なくとも1組以上のスリットリフレクタ部18が付加できるので、能動素子33とスロットアンテナ部との整合状態を良くし、発振器の出力を向上させることができる。したがって、共振器特性の細かい調整が可能となる。次に、本発明の第4の実施形態に係るスロットアンテナを用いた発振器の具体例について説明する。図13は、本発明によるスロットアンテナを用いた発振器の具体例を模式的に示す斜視図である。図13に示すように、本発明のスロットアンテナ10を用いた発振器35は、図2に示すスロットアンテナ10と能動素子33とが、半導体基板上に形成されている。図示の場合には、ドレイン電極をスロットアンテナの導電性平板11とし、ソース電極をスロットアンテナの導電性平板12としている。ゲート電極は、ドレイン電極とソース電極の上方に形成されており、細隙中の中央部に設けたゲート配線を介して能動素子33のゲートに接続されている。図14は、図13に示す発振器のA-A線に沿う能動素子を含む構造の断面図である。図14に示すように、この能動素子は、例えば負性抵抗デュアルチャネルトランジスタであり、InPの100基板上に、厚さが10nmのInAlAsバッファ層と、厚さが10nmのInGaAsからなる高移動度層と、InAlAsからなるバリヤ層と、InGaAsからなる低移動度層と、InAlAsからなるスペーサ層と、δドーピング層と、厚さが15nmのInAlAsからなるショットキー層と、コンタクト層と、が順に積層されており、その詳細は非特許文献6に記載されている。負性抵抗デュアルチャネルトランジスタは、例えば、InPの100基板上に分子線エピタキシャル成長法MBEなどにより能動層を形成し、ソース、ドレイン、ゲートの各電極を形成して製造することができる。この場合、各電極の形成には、絶縁膜を堆積するCVD工程や上記電極となる金属材料の蒸着工程やパターニングを行なうためのリソグラフィ工程やエッチング工程により形成することができる。アレーアンテナやアレーアンテナを用いた発振器については、上記のような単一に切り離されたデバイスを複数用意して所望の配列とすることができる。この場合の配列方法としては、線状、面状、三次元配列の何れかとすることができる。さらには、半導体素子製造時に同一の基板上に同時に作られた複数のデバイスを用いてもよい。また、各アンテナは、半導体素子の電極の一部を共有してもよい。例えば、単一に切り離された複数のデバイスにおいて、ドレイン電極だけを共有するように短絡して構成してもよい。能動素子、特にトランジスタの場合には製造上の制約から不可避な電極除去部分が生じることが多い。例えば、ソース,ドレインの両電極に挟まれたトランジスタのチャネルを横切るゲート電極の作製のために、チャネルの両脇でソース,ドレインの電極を若干取り除かれねばならかった場合、その空隙を本発明のスロットアンテナで用いるスリットリフレクタ部に転用できる。これにより、本発明の発振器は、製造の容易さにより所望のスロットアンテナの共振器特性を実現すると共に、半導体製造上の自由度を向上させることができる。以下に、本発明の発振器の設計例を示す。半導体素子として、非特許文献6に示したNDR-DCTを用い、半導体素子を作製し、その特性の測定及び解析を行い、外部共振器設計のための三次元電磁界解析には有限要素法による数値解析ツールアンソフトジャパン株製、HFSSを用いた。図15は、AがNDR-DCTの等価回路を示し、Bが発振器の等価回路を示している。図15Aに示すように、トランジスタの等価回路において、Rcはソース又はドレイン電極と半導体間の接触抵抗であり、Ccは、ソース又はドレイン電極と半導体間の容量であり、Rchはチャネル抵抗であり、-Gd及びCdは、それぞれ、ゲート直下のデュアルチャネル間の遷移により発現する微分負性コンダクタンスと容量である。Lgはゲート長である。等価回路定数Rc,Cc,Rchとしては下記値を用いた。Rc=139×103ΩCc=024pFRch=12Ω等価回路定数の-Gd及びCdは、非特許文献5を参照し、下記数式1及び2から、Lg=100nm及び200nmのそれぞれについて求めた。ここで、GVAC=a-3b/4VAC2、τGate=Lg/vsであり、GVACは下記3式及び4式から求めた。V0はDCバイアスに相当する。ここで、a=3/2ΔI/ΔV、b=ΔI/ΔV2である。ΔI,ΔVは、NDR-DCTの実際の負性抵抗の測定結果から求めた。キャリアの飽和速度vsは、キャリアがゲート下で高移動度と低移動度のチャネルをそれぞれを同じ距離Lg/2走行すると仮定し、それぞれにおける凡その飽和速度は126×105m/sとした。また、τGate>>τtraと仮定した。ここで、τtraはキャリア電子のデュアルチャネル間遷移に要する時間である。図15Bに示すように、発振器の等価回路は、図14のトランジスタの等価回路を簡略化してアドミタンスYdとし、スロットアンテナアドミタンスYaとの並列回路で表わされる。図16は詳細に設計されたスロットアンテナを有する発振器の平面図である。図示するように、1120μm×1120μmの大きさの半導体基板の中央部には、幅が60μmで長さが4μmのNDR-DCTのチャネルが配置されている。その両端に接続されている大きな二枚の導電性平板3,13が、ソース電極及びドレイン電極であり、これら電極間の細隙に、本発明のスロットアンテナが形成されている。この場合、スロットアンテナ本体2の幅は4μmで、その長さは720μmであり、スロットアンテナ本体に接続しているスリットリフレクタ部3,13は同じ寸法であり、幅が20μmであり、長さが500μmである。能動素子の周辺、つまり、給電点近傍には、間隔が60μmで、15μm×15μmのスリットリフレクタ部18,18を設けている。ソース、ドレイン,ゲートの電極パッド、すなわち、ワイヤボンディングパッドは100μm角である。なお、図中のLgは、半導体素子のチャネルの上を横切って設けられているゲートの幅、つまりゲート長図14参照であり、スロットアンテナ本体2の幅ソース、ドレイン電極間の細隙の幅4μmに比較して十分に小さい。図17は、図16の発振器に対応するアドミタンスの周波数特性を示す図である。図17の横軸は周波数THzであり、縦軸はアドミタンスSを示している。図17においては、スロットアンテナのアドミタンスの実部ReYaとその虚部ImYaと、NDR-DCTのLgが100nm及び200nmにおけるアドミタンスの実部ReYdとその虚部ImYdを示している。発振条件が、本発明によって設計されたスロットアンテナが設けられた外部共振器の共振周波数近辺で満足され、012THz、すなわち、120GHz付近で電力条件に余裕をもって発振するというシミュレーション結果となっている。図18は、スロットアンテナを有する発振器の別構成のパターンを示す平面図である。スロットアンテナ本体2の長さを390μmとし、スロットアンテナ本体2に接続しているスリットリフレクタ部3,13の寸法は、長さを300μmとした以外は、図16に示す発振器と同じである。但し、NDR-DCTのLgは100nmとしている。図19は、図18の発振器に対応するアドミタンスの周波数特性を示す図であり、図19の横軸及び縦軸は図17と同じであるので説明は省略する。図19から明らかなように、発振条件は本発明によって設計されたスロットアンテナにより形成された外部共振器の共振周波数近辺で満足され、021THz、すなわち、210GHz付近で電力条件に余裕をもって発振するというシミュレーション結果となっている。図20は、スロットアンテナを有する発振器のさらに別構成のパターンを示す平面図である。スロットアンテナ本体の長さを270μmとし、スロットアンテナ本体に接続しているスリットリフレクタ部3,13の寸法は、長さを200μmとした以外は、図16に示す発振器と同じである。但し、NDR-DCTのLgは100nmとしている。図21は、図20の発振器に対応するアドミタンスの周波数特性を示す図であり、図21の横軸及び縦軸は図17と同じであるので説明は省略する。図21から明らかなように、発振条件は本発明によって設計されたスロットアンテナにより形成された外部共振器の共振周波数近辺で満足され、0305THz、すなわち、約305GHz付近で電力条件に余裕をもって発振するというシミュレーション結果となっている。上記の解析結果からは、スロットアンテナの共振周波数は、スロットアンテナ長にほぼ反比例して変化していることが分かる。したがって、本発明により当該発振デバイスの発振周波数を制御し得ることが分かる。図22は、図20のスロットアンテナの設計パラメータは変えずに、それを構成する電極のサイズを変更したものであり、図23はそのアドミタンスの周波数特性を示す図である。図23から明らかなように、図21に示すアドミタンスの周波数特性と比較すると、両者の相違は少なく、共に発振条件が満足されていることが分かる。シミュレーション上で、本発明が、スリットリフレクタ部3,13に挟まれたスロットアンテナ本体2への電磁界の局在化に成功しており、デバイス全体の大きさに影響されず所望の発振周波数を実現し得ることが分かる。図24は、図20に示した発振器パターンにおいて、小さいスリットリフレクタ部18を除いたパターンを示す図である。図25は、そのアドミタンスの周波数特性を示す図である。図25から明らかなように、図21に示すアドミタンスの周波数特性と比較すると、特性の変化が大きく、図20に示した発振器の場合は満足されていた発振条件が、満足されなくなっていることが分かる。シミュレーション上で、本発明のスリットリフレクタ部18が単なる反射器に留まらず共振の程度を調整する作用があり、スロットアンテナ本体2への電磁界の局在化に成功しており、デバイス全体の大きさに影響されず所望の発振周波数を実現し得ることが分かる。図20の構造に対する図24と同様に、図16の構造から前記のような付加的なスリットリフレクタ部18を除いた場合が図26であり、図27は、そのアドミタンスの周波数特性を示す図である。図27から明らかなように、この場合は、図17と同様に発振条件を満足する周波数を見出すことができ、小さいスリットリフレクタ部18の有無が特性に大きく影響していないことが分かる。これは、スロット部分を挟んだ2組のスリットリフレクタ部3,13のみで充分な共振回路が実現できる例である。本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々の変形が可能であり、例えば、用いる能動素子やその発振周波数はその目的に応じて設定することができ、それらも本発明の範囲内に含まれることはいうまでもない。"