超音波の送信を行うと共に、送信した超音波の障害物からの反射波を受信して受波信号を出力する送受信器と、前記送受信器における振動子を駆動する送波駆動回路と、前記送受信器から出力された受波信号を増幅する受波増幅回路と、前記送波駆動回路による駆動を制御すると共に、前記受波増幅回路から出力された増幅後の受波信号に応じた信号を出力するように制御する制御手段とを備えた超音波センサにおいて、前記制御手段は、前記送波駆動回路が前記送受信器における振動子の共振周波数とは異なる周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から受波信号が入力されたか否かに基づいて、該超音波センサが異常であるか否かを判定することを特徴とする超音波センサ。前記制御手段は、前記送波駆動回路が前記送受信器における振動子の共振周波数とは異なる周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から受波信号が入力されたときに、この入力された受波信号の周波数が、前記振動子の共振周波数と同じである場合に限り、該超音波センサが異常であると判定することを特徴とする請求項1に記載の超音波センサ。前記制御手段は、前記送波駆動回路が前記送受信器における振動子の共振周波数とは異なる周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から受波信号が入力されなかったときに、前記送波駆動回路が前記振動子の共振周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から受波信号が入力されたか否かに基づいて、障害物の有無を判定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超音波センサ。前記制御手段は、前記送波駆動回路が前記送受信器における振動子の共振周波数とは異なる周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から所定のレベルよりも小さい第1の受波信号が入力されたときに、前記送波駆動回路が前記振動子の共振周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に前記受波増幅回路から入力された第2の受波信号のレベルが、前記第1の受波信号のレベルよりも所定の値以上大きい場合に、障害物があると判定することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の超音波センサ。前記制御手段は、該超音波センサの起動時にのみ、前記超音波センサが異常であるか否かの判定を行うことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の超音波センサ。前記制御手段は、前記超音波センサが異常であるか否かの判定を行った後に、障害物の有無の判定処理を繰り返し、この判定処理において接近方向の障害物がある場合に限り、障害物があると判定することを特徴とする請求項5に記載の超音波センサ。けれども、上記従来の超音波センサに異常が発生した場合には、上記の残響信号が、近距離マスク時間終了後の検知ゲート時間にまで延びてしまうことがある。このような現象は、振動子と振動子を保持する筐体とが共振するような場合や、超音波センサの送受信器にごみが付着した場合等の、振動子に寄生する振動部が生じている場合に、発生する。このため、従来の超音波センサは、検知ゲート時間内に受波信号が入力された場合でも、超音波センサの検知可能な距離の範囲内に障害物が存在するのか、超音波センサの異常に起因する残響信号が入力されたのかを判別することができない。従って、検知可能な距離の範囲内に障害物がないのに、障害物が存在すると誤判定してしまう場合があった。また、上記特許文献1に記載の発明では、上記の超音波センサの異常のうち、送受信器の氷結や、送受信器とマイコンとを結ぶワイヤ通信ケーブルの断線しか検知することができない。従って、この発明では、上記のような振動子に寄生する振動部が生じている場合には、障害物が存在するのか、超音波センサの異常に起因する残響信号が入力されたのかを判別することができない。本発明は、上記課題を解決するものであり、超音波センサの異常を判別することができるようにして、障害物に関する正確な情報を得ることが可能な超音波センサを提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明の超音波センサは、超音波の送信を行うと共に、送信した超音波の障害物からの反射波を受信して受波信号を出力する送受信器と、前記送受信器における振動子を駆動する送波駆動回路と、前記送受信器から出力された受波信号を増幅する受波増幅回路と、前記送波駆動回路による駆動を制御すると共に、前記受波増幅回路から出力された増幅後の受波信号に応じた信号を出力するように制御する制御手段とを備えた超音波センサにおいて、前記制御手段は、前記送波駆動回路が前記送受信器における振動子の共振周波数とは異なる周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から受波信号が入力されたか否かに基づいて、該超音波センサが異常であるか否かを判定することを特徴とする。この超音波センサにおいて、前記制御手段は、前記送波駆動回路が前記送受信器における振動子の共振周波数とは異なる周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から受波信号が入力されたときに、この入力された受波信号の周波数が、前記振動子の共振周波数と同じである場合に限り、該超音波センサが異常であると判定することが好ましい。この超音波センサにおいて、前記制御手段は、前記送波駆動回路が前記送受信器における振動子の共振周波数とは異なる周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から受波信号が入力されなかったときに、前記送波駆動回路が前記振動子の共振周波数と同じ周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から受波信号が入力されたか否かに基づいて、障害物の有無を判定することが好ましい。この超音波センサにおいて、前記制御手段は、前記送波駆動回路が前記送受信器における振動子の共振周波数とは異なる周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に、前記受波増幅回路から所定のレベルよりも小さい第1の受波信号が入力されたときに、前記送波駆動回路が前記振動子の共振周波数と同じ周波数で前記振動子を駆動するように制御し、この結果、検知ゲート時間内に前記受波増幅回路から入力された第2の受波信号のレベルが、前記第1の受波信号のレベルよりも所定の値以上大きい場合に、障害物があると判定することが好ましい。この超音波センサにおいて、前記制御手段は、該超音波センサの起動時にのみ、前記異常であるか否かの判定を行ってもよい。この超音波センサにおいて、前記制御手段は、前記超音波センサが異常であるか否かの判定を行った後に、障害物の有無の判定処理を繰り返し、この判定処理において接近方向の障害物がある場合に限り、障害物があると判定してもよい。本発明の超音波センサによれば、振動子の共振周波数とは異なる周波数で、振動子が駆動され、この結果、検知ゲート時間内に、受波増幅回路から受波信号が入力されたか否かに基づいて、超音波センサが異常であるか否かを判定する。ここで、振動子の共振周波数とは異なる周波数で振動子を駆動した場合、送信される超音波送波の振幅が小さくなり、しかも、反射波の周波数が、振動子の共振周波数とは異なる周波数になるので、振動子を効率的に振動させることができない。このため、送受信器が障害物からの反射波に基づいて出力する受波信号は、無視し得る程微小なレベルのものになる。これに対して、共振周波数とは異なる周波数で振動子を駆動した場合でも、残響振動は、振動子の共振周波数になるので、振動子を効率的に振動させることができる。従って、受波増幅回路から出力される、残響振動に起因する受波信号残響信号のレベルは、共振周波数で振動子を駆動させた場合に生じる残響信号のレベルと大差がなく、残響振動が継続する時間残響時間も、共振周波数で振動子を駆動させた場合と殆ど変わらない。このため、振動子の共振周波数とは異なる周波数で振動子を駆動したときに、検知ゲート時間内に、受波増幅回路から受波信号が入力された場合、その受波信号は、反射波に起因する受波信号ではなく、残響振動に起因する受波信号残響信号であるとみなすことができる。しかも、上記のように、共振周波数とは異なる周波数で振動子を駆動した場合と、共振周波数で振動子を駆動させた場合とでは、残響時間が殆ど変わらないので、共振周波数とは異なる周波数で振動子を駆動したときに、検知ゲート時間内に、残響信号が入力されたということは、共振周波数で振動子を駆動させた場合にも、検知ゲート時間内に、残響信号が入力されるということを意味する。そして、共振周波数で振動子を駆動させた場合に、検知ゲート時間内に、残響信号が入力されるということは、超音波センサに、振動子に寄生する振動部が生じていることに起因する異常が発生していることを意味する。従って、本発明のように、振動子の共振周波数とは異なる周波数で、振動子を駆動させ、検知ゲート時間内に、受波増幅回路から受波信号が入力されたか否かに基づいて、超音波センサが異常であるか否かを判定することにより、超音波センサが異常であるか否かを正確に判別することができる。これにより、障害物の正確な検知や、障害物までの距離の正確な検出を行うことができるので、障害物に関する正確な情報を得ることができる。しかも、上記特許文献1に記載の発明と異なり、振動子と振動子を保持する筐体とが共振するような場合や、超音波センサの送受信器にごみが付着した場合等の、振動子に寄生する振動部が生じていることに起因する異常が発生している場合でも、超音波センサの異常を判別することができる。以下、本発明を具体化した実施形態による超音波センサについて、図面を参照して説明する。図1は、本実施形態による超音波センサの回路構成を示す。超音波センサ1は、振動子2を有する送受信器3と、送受信器3における振動子2を駆動する送波駆動回路4と、受波増幅回路5と、装置全体の制御用のマイクロプロセッサ6制御手段とを備えている。送受信器3は、超音波の送信を行うと共に、送信した超音波の障害物20からの反射波を受信して受波信号を出力する。上記の振動子2は、例えば、圧電セラミックで形成されたバイモルフ振動子である。受波増幅回路5は、送受信器3から出力された受波信号を増幅する。マイクロプロセッサ6は、マイクロプロセッサ6内の制御演算を行うCPUコア11と、送波駆動用周波数切換モジュール12と、レベル判定モジュール13と、時間計測モジュール14とを有している。送波駆動用周波数切換モジュール12は、CPUコア11の制御指示に基づき、送波駆動回路4に対して、振動子2の共振周波数f0と、共振周波数f0とは異なる周波数f1とのいずれの周波数で振動子2を駆動するかの指示を行う。なお、本明細書において、モジュールとは、マイクロプロセッサ6における、ひとまとまりの機能要素を実現するためのハードウェアやソフトウェアを指す。また、レベル判定モジュール13は、受波増幅回路5からマイクロプロセッサ6に入力された増幅後の受波信号のレベルが、ノイズとはみなせない所定のレベル図3中の閾値電圧Vthに達しているか否かを判定する。レベル判定モジュール13は、受波増幅回路5から送られた受波信号のレベルが、上記の閾値電圧Vthに達している場合には、受波増幅回路5から受波信号が入力されたことを通知するための通知信号を、時間計測モジュール14に送信する。なお、請求項における受波増幅回路から受波信号が入力されたか否かに基づいてとは、受波増幅回路からノイズとはみなせない所定のレベル上記の閾値電圧Vthに相当以上の受波信号が入力されたか否かに基づいてという意味である。時間計測モジュール14は、上記の通知信号を受信すると、タイマを用いて算出した、超音波の送信送波から受波信号の受信までの時間に相当するカウンタ値を、CPUコア11に入力する。CPUコア11は、このカウンタ値を用いて、障害物20までの距離の算出や、所定の距離内に障害物20が存在するか否かの検知を行う。図2abは、それぞれ振動子2の共振周波数f070kHzと、振動子2の共振周波数f0と異なる周波数f160kHzとで、振動子2を駆動した場合における、振動子2の振動面の振動レベルと、受波増幅回路5から出力される受波信号電圧を示す。上記の共振周波数f070kHzと、これとは異なる周波数f160kHzとは、本来の障害物検知動作用に振動子2を駆動する場合の周波数と、超音波センサ1の異常判定用に振動子2を駆動する場合の周波数である。なお、図2ab中の正常時減衰カーブ21、31と異常時減衰カーブ22、32とは、正常時と異常時とにおける、振動子2の振動面の振動レベルを模式的に表したものである。図3は、1超音波センサ1の正常時に、障害物20がなかったときと、2超音波センサ1の異常時に、障害物20がなかったときと、3超音波センサ1の正常時に、障害物20があったときに、受波増幅回路5から出力される受波信号電圧を示す。図3の左段には、共振周波数f070kHzで振動子2を駆動した場合における受波信号電圧を示し、右段には、共振周波数f0と異なる周波数f160kHzで振動子2を駆動した場合における受波信号電圧を示す。図2aの正常時減衰カーブ21に示されるように、振動子2の振動面は、送波駆動回路4から共振周波数f0による送波のための駆動信号が送受信器3に与えられたときは、大きく振動し、上記の駆動信号が停止した後は、ある一定の減衰カーブで終息していく。これが、いわゆる残響振動である。図2a中の送波振動信号24は、送波のための駆動信号が送受信器3に与えられているときの駆動振動に起因する受波信号であり、正常時残響信号25は、正常時の残響振動に起因する受波信号である。ここで、受波信号が、図2abに示されるような形になるのは、以下の理由による。すなわち、振動子2の振動面における振動が、アンプ飽和ラインL3よりも大きくて、送受信器3から出力される受波信号の振幅が所定のレベルより大きいときは、受波増幅回路5から出力される受波信号の電圧は、アンプである受波増幅回路5に与えられる電源電圧でクランプされるからである。超音波センサ1が正常であれば、残響振動も、図2aの正常時減衰カーブ21に示されるように、単一の減衰カーブに沿って、比較的短時間で終息していく。このため、図3の1正常時障害物なしの左段と3正常時障害物ありの左段に示されるように、正常時残響信号25は、近距離マスク時間内に終息し、検知ゲート時間にまでは延びない。なお、近距離マスク時間は、図2a及び図3に示される正常時残響信号25を、障害物20からの反射波に基づく反射波信号27図3の3参照と誤検知しないようにするために設けられている、障害物の有無を判定検知しない期間を意味する。また、検知ゲート時間は、近距離マスク時間終了後における障害物を検知可能な期間を意味する。これに対して、振動子2と振動子2を保持する筐体とが共振するような場合や、超音波センサ1の送受信器3にごみが付着した場合等の、振動子2に寄生する振動部が生じている場合には、以下のようになる。すなわち、この寄生する振動部の残響振動は、その振動レベルは振動子2の振動面に比べて大きくないものの、図2aの異常時減衰カーブ22に示されるように、正常時減衰カーブ21に比べて、長い時間をかけて減衰する。そして、この減衰に要する時間が所定の長さを超えると、図3の2異常時障害物なしに示されるように、検知ゲート時間に重なる検知ゲート時間にまで延びる異常時残響信号26になる。次に、超音波センサ1の異常を検知するために、振動子2の共振周波数f0と異なる周波数f160kHzで、振動子2を駆動した場合における、振動子2の振動面の振動レベルと、受波増幅回路5から出力される受波信号電圧について説明する。図2b中の送波振動信号34は、周波数f1による送波のための駆動信号が送受信器3に与えられているときの駆動振動に起因する受波信号であり、正常時残響信号35は、正常時の残響振動に起因する受波信号である。振動子2の共振周波数f0と異なる周波数f1で振動子2を駆動した場合には、駆動信号印加時における振動子2の振動面の振動レベルは、共振周波数f0で振動子2を駆動した場合に比べて小さい。けれども、図3の右段の<異常判定用駆動>に示されるように、周波数f1で振動子2を駆動した場合でも、送波駆動回路4からの駆動信号が停止した後の残響振動は、振動子の共振周波数f0になるので、振動子2を効率的に振動させることができる。従って、図2bに示すように、周波数f1で振動子2を駆動した場合における正常時減衰カーブ31、異常時減衰カーブ32は、いずれも、共振周波数f0で振動子2を駆動した場合の正常時減衰カーブ21、異常時減衰カーブ22とほぼ同じ傾きで減衰する。このため、図2bに示すように、全体の残響時間は、共振周波数f0で振動子2を駆動した場合に比べて、駆動信号印加時における振動面の振動レベルの差L1-L2に対応する時間t1の分だけ短いだけで、全体として大きな差がない。ここで、上記の時間t1は、共振周波数f0で駆動した場合の振動面の振動レベルL1が、周波数f1で駆動した場合の振動面の振動レベルL2に減衰するのに要する時間を意味する。これに対して、振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動した場合、送受信器3が障害物20からの反射波に基づいて出力する受波信号図3の3の右段の反射波信号37は、無視し得る程微小なレベルのものになる。具体的には、反射波信号37は、図3の3の右段に示される、正規のノイズではない反射波信号37であるか否かの判定用の閾値電圧Vthよりも低いレベルのものになる。何故なら、振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動した場合、送信される超音波送波の振幅が小さくなり、しかも、反射波の周波数が、振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1になるので、振動子2を効率的に振動させることができないからである。このため、周波数f1で振動子2を駆動したときに、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力された場合、その受波信号は、反射波信号37ではなく、残響振動に起因する受波信号残響信号であるとみなすことができる。しかも、上記のように、周波数f1で振動子2を駆動した場合と、共振周波数f0で振動子2を駆動した場合とでは、残響時間が殆ど変わらないので、周波数f1で振動子2を駆動したときに、検知ゲート時間内に残響信号が入力されたということは、共振周波数f0で振動子2を駆動させた場合にも、検知ゲート時間内に残響信号が入力されるということを意味する。そして、共振周波数f0で振動子2を駆動させた場合に、検知ゲート時間内に残響信号が入力されるということは、超音波センサ1に、振動子に寄生する振動部が生じていることに起因する異常が発生していることを意味する。従って、振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動させて、検知ゲート時間内に、受波増幅回路5から受波信号が入力されたか否かを判定することにより、超音波センサ1が異常であるか否かを判定することができる。図3の2の右段に示すように、周波数f1で振動子2を駆動させて、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力された場合、その受波信号は、超音波センサ1が異常である場合に生じる異常時残響信号36である。本超音波センサ1では、振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動させて、検知ゲート時間内に、受波増幅回路5から受波信号異常時残響信号36が入力されたか否かに基づいて、超音波センサが異常であるか否かを判定している。まず、図4を参照して、上記の超音波センサ1が異常であるか否かの判定処理を組み込んだシステムチェック処理を含む障害物検知処理の全体について説明する。超音波センサ1のマイクロプロセッサ6は、装置が起動されるとS1、上記の異常判定処理を組み込んだシステムチェック処理を実行するS2。そして、システムチェック処理を実行した結果、超音波センサ1が異常であるか否かを示すフラグである異常フラグがオンになっている場合にはS3でYES、通常の障害物検知処理を実行せずに、超音波センサ1が異常である旨をユーザに報知するS9。これに対して、システムチェック処理を実行した結果、異常フラグがオフの場合にはS3でNO、マイクロプロセッサ6は、通常の障害物検知処理を実行するモード通常検知モードに移行する。そして、送波駆動回路4により共振周波数f0で振動子2を駆動させて超音波を送信しS4、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されたか否かを判定するS5。そして、受波信号が入力された場合S5でYES、その受波信号に基づいて障害物20までの1回目の距離算出を行った上で、再度、共振周波数f0で振動子2を駆動させて障害物20までの2回目の距離算出を行い、1回目に算出した距離と2回目に算出した距離を比較して、障害物20が接近しているか否かを判定するS6。この結果、障害物20が接近している接近方向の障害物20がある場合にはS6でYES、マイクロプロセッサ6は、障害物があると判定するS7。これに対して、障害物20が接近していない接近方向の障害物20がない場合にはS6でNO、マイクロプロセッサ6は、障害物がないと判定するS8。この後、マイクロプロセッサ6は、装置が超音波センサ1を含むシステムが停止するまで、上記S4乃至S8の処理を繰り返す。上記のように、装置の起動時にのみ、システムチェック処理を実行するようにした理由は、システムチェック処理を行うためには、共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動する必要があるため、ある程度の時間がかかる。従って、障害物検知処理を実行する度に、システムチェック処理を行うと、障害物有無の検知に要する時間が長くなってしまうからである。次に、図5のフローチャートを参照して、上記S2のシステムチェック処理について説明する。システムチェックを開始すると、まず、マイクロプロセッサ6は、送波駆動回路4が振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動するように制御して、超音波を送信する送波させるS11。この結果、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力された場合にはS12でYES、マイクロプロセッサ6は、受波信号の周波数を計測解析して、受波信号の周波数が、振動子2の共振周波数f0と同じであるか否かを判定するS13。この判定の結果、受波信号の周波数が、振動子2の共振周波数f0と同じである場合には、受波信号が図3の2の右段に示される異常時残響信号36であるとみなせる。従って、このとき、マイクロプロセッサ6は、受波信号の周波数が、振動子2の共振周波数f0と同じである場合に限りS13でYES、超音波センサ1が異常であると判定してS14、異常フラグをオンにするS15。これに対して、S12の判定処理において、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されなかった場合にはS12でNO、マイクロプロセッサ6は、異常フラグをオンにしないで初期値のオフのままで、システムチェック処理を終了する。また、S13の判定処理において、受波信号の周波数が、振動子2の共振周波数f0と同じでない場合にもS13でNO、マイクロプロセッサ6は、異常フラグをオンにしないで初期値のオフのままで、システムチェック処理を終了する。ただし、上記S13の判定処理は、必ずしも必要ではなく、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力された場合に、マイクロプロセッサ6が、無条件に、超音波センサ1は異常であると判定してもよい。上記のように、本実施形態の超音波センサ1によれば、振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で、振動子2が駆動される。そして、マイクロプロセッサ6は、少なくとも、上記の周波数f1による送波に応じて検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されたか否かという事実に基づいて、超音波センサ1が異常であるか否かを判定する。ここで、振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動した場合、送信される超音波送波の振幅が小さくなり、しかも、反射波の周波数が、振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1になるので、振動子2を効率的に振動させられない。このため、送受信器3が障害物20からの反射波に基づいて出力する受波信号は、無視し得る程微小なレベルのものになる。これに対して、共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動した場合でも、残響振動は、振動子2の共振周波数f0になるので、振動子2を効率的に振動させることができる。従って、受波増幅回路5から出力される、残響振動に起因する受波信号残響信号のレベルは、共振周波数f0で振動子2を駆動させた場合に生じる残響信号のレベルと大差がない。また、残響振動が継続する時間残響時間も、共振周波数f0で振動子2を駆動させた場合と殆ど変わらない。このため、周波数f1で振動子2を駆動したときに、検知ゲート時間内に、受波増幅回路5から受波信号が入力された場合、その受波信号は、反射波に起因する受波信号ではなく、残響振動に起因する受波信号残響信号であるとみなすことができる。ここで、上記のように、共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子を駆動した場合と、共振周波数f0で振動子2を駆動させた場合とでは、残響時間が殆ど変わらない。従って、共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動したときに、検知ゲート時間内に、残響信号が入力されたということは、共振周波数f0で振動子2を駆動させた場合にも、検知ゲート時間内に、残響信号が入力されるということを意味する。そして、共振周波数f0で振動子2を駆動させた場合に、検知ゲート時間内に、残響信号が入力されるということは、超音波センサ1に、振動子2に寄生する振動部が生じていることに起因する異常が発生していることを意味する。従って、本実施形態のように、周波数f1で振動子2を駆動させ、少なくとも、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されたか否かという事実に基づいて、超音波センサ1が異常であるか否かを判定することにより、超音波センサ1が異常であるか否かを正確に判別することができる。これにより、障害物20の正確な検知や、障害物20までの距離の正確な検出を行うことができるので、障害物20に関する正確な情報を得ることができる。しかも、振動子2と振動子2を保持する筐体とが共振するような場合や、超音波センサ1の送受信器3にごみが付着した場合等の、振動子2に寄生する振動部が生じていることに起因する異常が発生している場合でも、超音波センサ1の異常を判別することができる。また、ここで、一般に、超音波センサを自動車の障害物検知に用いた場合について考えると、検知結果をドライバに対して報知するだけであれば、超音波センサの異常に起因して障害物の誤検知が発生した場合でも、ドライバが誤検知と判断して対処可能である。けれども、障害物検知の結果を自動車の制御に直接使用する場合には、より信頼性の高い正確な情報を得ることと、正確な故障検出が必要である。ここで、本実施形態の超音波センサ1は、上記のように、超音波センサ1が異常であるか否かを正確に判別することができ、障害物20に関する正確な情報を得ることができるので、自動車の障害物検知に用いるのに適している。なお、上記図5のS13において、周波数f1で振動子2を駆動したときの受波信号の周波数が振動子2の共振周波数f0と同じであるか否かを確認しているのは、このときの受波信号が残響信号であるか否かを確認するためである。しかしながら、S13の判定処理において、受波信号の周波数が、振動子2の共振周波数f0と同じでないケースは、非常に稀である。ただし、図5の例のように、周波数f1で振動子2が駆動され、この結果、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されたときに、この受波信号の周波数が、共振周波数f0と同じである場合に限り、超音波センサ1が異常であると判定する方がよい。これにより、周波数f1で振動子2を駆動したときの受波信号が残響信号であるか否かを正確に判別することができるので、超音波センサ1が異常であるか否かを、より正確に判定することができるからである。次に、図6のフローチャートを参照して、上記図5で説明したシステムチェック処理の第1の変形例について説明する。図6のシステムチェック処理は、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されなかった場合の処理のみが、図5のシステムチェック処理と異なっており、他の処理は同様である。図6のフローチャートにおけるS21、S22、S27、S28、S29の処理は、それぞれ、図5のフローチャートにおけるS11、S12、S13、S14、S15の処理に相当する。図6に示されるように、システムチェックを開始すると、まず、マイクロプロセッサ6は、送波駆動回路4が振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動するように制御して、超音波を送信するS21。この結果、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力された場合にはS22でYES、マイクロプロセッサ6は、上記図5におけるS13乃至S15と同様な処理を行うS27乃至S29。これに対して、S22の判定処理において、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されなかった場合にはS22でNO、マイクロプロセッサ6は、送波駆動回路4が振動子2の共振周波数f0で振動子2を駆動するように制御するS23。この結果、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されたときにS24でYES、マイクロプロセッサ6は、障害物があると判定するS25。これに対して、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されなかったときはS24でNO、マイクロプロセッサ6は、障害物がないと判定するS26。次に、図7のフローチャートを参照して、上記システムチェック処理の第2の変形例について説明する。図7のシステムチェック処理は、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力された場合の処理のみが、図6のシステムチェック処理と異なっており、他の処理は同様である。図7のフローチャートにおけるS31、S32、S40、S41、S42、S43の処理は、それぞれ、図6のフローチャートにおけるS21、S22、S23、S24、S25、S26の処理に相当する。図7に示されるように、システムチェックを開始すると、まず、マイクロプロセッサ6は、送波駆動回路4が振動子2の共振周波数f0とは異なる周波数f1で振動子2を駆動するように制御して、超音波を送信するS31。この結果、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号が入力されなかった場合にはS32でNO、マイクロプロセッサ6は、上記図6におけるS23乃至S26と同様な処理を行うS40乃至S43。これに対して、S32の判定処理において、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から受波信号第1の受波信号が入力された場合にはS32でYES、マイクロプロセッサ6は、入力された受波信号が所定のレベルよりも小さいか否かを判定するS33。この結果、受波信号が所定のレベルよりも小さい場合には所定のレベルよりも小さい第1の受波信号が入力されたときにS33でYES、マイクロプロセッサ6は、送波駆動回路4が振動子2の共振周波数f0で振動子2を駆動するように制御するS34。この送波の結果、検知ゲート時間内に受波増幅回路5から入力された受波信号第2の受波信号のレベルが、第1の受波信号のレベルよりも所定の値以上大きい場合にはS35でYES、マイクロプロセッサ6は、障害物があると判定するS36。これに対して、第2の受波信号のレベルが、第1の受波信号のレベルよりも所定の値以上大きいとは言えない場合第2の受波信号のレベル-第1の受波信号のレベルの値が所定の値未満の場合S35でNO、マイクロプロセッサ6は、障害物がないと判定するS37。上記S33の判定処理において受波信号が所定のレベルよりも大きい場合にはS33でNO、マイクロプロセッサ6は、受波信号が図3の2の右段の異常時残響信号36であるとみなし、超音波センサ1が異常であると判定するS38。そして、マイクロプロセッサ6は、異常フラグをオンにするS39。上記第2の変形例のシステムチェック処理によれば、共振周波数f0とは異なる周波数f1で駆動したときの受波信号と、共振周波数f0で駆動したときの受波信号とのレベルの差を考慮して、障害物の有無を判定する。従って、障害物の有無をより正確に判定することができる。なお、本発明は、上記実施形態の構成に限られず、発明の趣旨を変更しない範囲で種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、振動子2の共振周波数f0が70kHzであり、共振周波数f0と異なる周波数f1が60kHzである場合の例を示したが、共振周波数f0、及びこれとは異なる周波数f1の値は、これに限られない。また、上記実施形態では、振動子2が、バイモルフ振動子である場合の例を示したが、ユニモルフ振動子であってもよい。さらにまた、本発明の超音波センサは、送受信器、送波駆動回路、受波増幅回路及びマイクロプロセッサを一つのユニットに搭載した、一体型のものであってもよいし、送波駆動回路、受波増幅回路及びマイクロプロセッサだけを一つのユニットに搭載し、このユニットと送受信器とを通信用のケーブルで接続したものでもよい。