レーザ光を出力するよう構成されたレーザ装置とともに用いられるチャンバ装置であって、前記レーザ光を導入するための導入口を備えるチャンバと、前記チャンバ内の所定領域にターゲット物質を供給するためのターゲット生成器と、前記レーザ光を前記所定領域に集光するための集光光学系と、ガイド光を出力するよう構成されたガイド光出力装置と、前記ガイド光の光路の中心軸を前記レーザ光の光路の中心軸と実質的に一致させるとともに、前記ガイド光を前記ガイド光出力装置から前記所定領域を経由して前記集光光学系に入射させるための光学系と、を備えるチャンバ装置。前記集光光学系を経由した前記ガイド光の像を検出するための検出部をさらに備える、請求項1記載のチャンバ装置。前記集光光学系による集光位置を移動させるための第1駆動機構と、前記検出部で検出された前記ガイド光の前記像が所望の位置となるように、前記第1駆動機構を制御するよう構成された制御部と、をさらに備える、請求項2記載のチャンバ装置。前記ターゲット物質の供給位置を移動させるための第2駆動機構をさらに備え、前記制御部は、前記検出部で検出された前記ガイド光の前記像に含まれる前記ターゲット物質の像が前記所望の位置となるように、前記第2駆動機構を制御するよう構成された、請求項3記載のチャンバ装置。前記ガイド光出力装置は、前記チャンバ外に配置され、前記チャンバは、前記ガイド光を内部に導入するための導入口をさらに備える、請求項1記載のチャンバ装置。前記光学系は、前記チャンバ内に配置される、請求項1記載のチャンバ装置。前記光学系は、前記ガイドレーザ光が通過するためのピンホールが設けられた部材と、前記ピンホールの像を前記所定領域に転写するための第1転写光学系と、前記ピンホールの像を前記検出部に転写するための第2転写光学系と、を備え、前記制御部は、前記検出部で検出された前記ピンホールの前記像が所望の位置となるように、前記第1駆動機構を制御するよう構成された、請求項3記載のチャンバ装置。前記ターゲット物質の供給位置を移動させるための第2駆動機構をさらに備え、前記制御部は、前記検出部で検出された前記ピンホールの前記像に含まれる前記ターゲット物質の像が所望の位置となるように、前記第2駆動機構を制御するよう構成された、請求項7記載のチャンバ装置。第1レーザ光を出力するよう構成された第1レーザ装置および第2レーザ光を出力するよう構成された第2レーザ装置とともに用いられるチャンバ装置であって、前記第1および第2レーザ光を導入するための導入口を備えるチャンバと、前記チャンバ内の所定領域にターゲット物質を供給するためのターゲット生成器と、前記第1および第2レーザ光を前記所定領域に集光するための集光光学系と、ガイド光を出力するよう構成されたガイド光出力装置と、前記ガイド光の光路の中心軸を前記第1または第2レーザ光の光路の中心軸と実質的に一致させるとともに、前記ガイド光を前記ガイド光出力装置から前記所定領域を経由して前記集光光学系に入射させるための光学系と、を備えるチャンバ装置。請求項1記載のチャンバ装置と、レーザ光を出力するよう構成されたレーザ装置と、を備える極端紫外光生成装置。レーザ光を出力するよう構成されたレーザ装置と、前記レーザ光を導入するための導入口を備えるチャンバと、前記チャンバ内の所定領域にターゲット物質を供給するためのターゲット生成器と、前記レーザ光を前記所定領域に集光するための集光光学系と、ガイド光を出力するよう構成されたガイド光出力装置と、前記ガイド光の光路の中心軸を前記レーザ光の光路の中心軸と一致させるとともに、前記ガイド光を前記ガイド光出力装置から前記所定領域を経由して前記集光光学系に入射させるための光学系と、前記集光光学系を経由した前記ガイド光の像を検出するための検出部と、前記集光光学系による集光位置を移動させるための第1駆動機構と、前記検出部による検出結果に基づいて、前記第1駆動機構を制御するよう構成された制御部とを備える極端紫外光生成装置の制御方法であって、前記制御部は、前記検出部で検出された前記ガイド光の前記像が所望の位置となるように、前記第1駆動機構を制御する、極端紫外光生成装置の制御方法。前記極端紫外光生成装置は、前記ターゲット物質の供給位置を移動させるための第2駆動機構をさらに備え、前記制御部は、前記検出部で検出された前記ガイド光の前記像に含まれる前記ターゲット物質の像が前記所望の位置となるように、前記第2駆動機構を制御するよう構成される、請求項11記載の極端紫外光生成装置の制御方法。