ウエハ状物品を処理するための装置であって、密閉処理チャンバと、前記密閉処理チャンバ内に位置するチャックと前記チャンバ内に配された少なくとも1つの処理液体吐出機器と、前記少なくとも1つの処理液体吐出機器のための駆動ユニットであって、前記少なくとも1つの吐出機器を、周縁の待機位置から、前記少なくとも1つの吐出機器の吐出端が前記チャックから半径方向内向きに動かされた1つ以上の作動位置へと動かすために、前記少なくとも1つの吐出機器に駆動式に接続され、前チャンバの外側に装着される、駆動ユニットと、を備える、装置。請求項1に記載の装置であって、前記チャンバは、半導体ウエハの枚葉式ウェット処理のためのプロセスモジュールの構成要素である、装置。請求項1に記載の装置であって、前記チャックは、前記チャンバから下方へ伸びる駆動シャフトを有するスピンチャックである、装置。請求項1に記載の装置であって、前記チャンバは、閉位置から、ウエハ状物品が前記チャンバに導入される又は前記チャンバから取り出されることを可能にする開位置へ可動な蓋を含み、前記蓋は、前記閉位置にあるときに前記チャンバにガスを注入するためのガスノズルを含み、前記少なくとも1つの処理液体吐出機器は、前記蓋が前記閉位置にある間に前記チャンバに液体を吐出するように動作可能である、装置。請求項4に記載の装置であって、更に、前記蓋を前記閉位置から前記開位置へ動かす駆動機構であって、前記蓋を前記チャンバに相対的に上方及び側方の両方に変位させるように適応される、駆動機構を備える、装置。請求項1に記載の装置であって、前記駆動ユニットは、前記チャンバの側方ケースに装着されたモータであり、前記モータの出力シャフトは、前記側方ケースに入り、前記チャンバに入って前記少なくとも1つの処理液体吐出機器に接続するリンクを駆動する、装置。請求項1に記載の装置であって、前記少なくとも1つの処理液体吐出機器は、前記チャンバ内に枢動式に装着された媒質供給アームであって、周縁の待機位置から、前記媒質供給アームの吐出端が前記チャックから半径方向内向きに動かされた1つ以上の作動位置へと動くことが可能である媒質供給アームである、装置。請求項7に記載の装置であって、前記媒質供給アームは、前記チャンバの壁を通るリンクに枢動式に接続された一方の端と、吐出ノズルを提供された反対側の端と、を有する、装置。請求項4に記載の装置であって、前記蓋は、前記ガスノズルを配された領域を含むガスシャワーヘッドであり、前記領域は、前記密閉処理チャンバ内で処理されるべきウエハ状物品の面積の少なくとも50に及ぶ、装置。請求項4に記載の装置であって、前記蓋は、前記チャック上で支えられたウエハ状物品に平行に配置される、装置。請求項1に記載の装置であって、前記チャックは、前記密閉処理チャンバに相対的に垂直に可動であり、少なくとも3つの停止位置を有するように構成され、これらの位置は、前記チャックへの及び前記チャックからのウエハ状物品の取り込み及び取り出しのための最上位置、並びに前記チャンバの別々のプロセスレベルにそれぞれ対応する少なくとも2つの下方位置である、装置。請求項1に記載の装置であって、前記密閉処理チャンバは、重ね合わされた複数のプロセスレベルを含み、前記重ね合わされた複数のプロセスレベルの各レベルは、個々に制御可能なそれぞれの排気口であって前記各レベルに接続された排気口を有する、装置。請求項1に記載の装置であって、前記密閉処理チャンバは、ベース板の上表面上に装着され、前記装置は、更に、前記チャックのための駆動ユニットを含み、前記チャックのための前記駆動ユニットは、前記ベース板の下表面から下垂するケース内に装着される、装置。請求項4に記載の装置であって、前記蓋を前記閉位置から前記開位置へと動かす前記駆動機構は、ベース板の下表面に装着され、前記密閉処理チャンバは、前記ベース板の上表面上に装着される、装置。請求項4に記載の装置であって、前記チャンバは、円形の上方開口を有し、前記蓋は、前記チャンバ開口よりも大きく、前記蓋が前記チャンバ壁に向かって押し下げられたときに前記蓋が前記上方チャンバ壁に密着するようにシールが提供される、装置。図1を参照すると、密閉チャンバモジュール10は、ベース板15上に装着され、好ましくは円筒状のチャンバ壁30と、該チャンバ壁30に一連のネジなどによって固定された環状のチャンバ上カバー32とによって構成される。チャンバモジュール10は、シャワーヘッド蓋10によってその上端を閉じられ、該蓋は、その外周を環状のチャンバ上カバー30の内周に密着させる。蓋20は、蓋アーム22に固定され、該アームは、蓋20を、図1に示された閉位置から図2に示された開位置へ動かし、すると、蓋20は、蓋支持シャフト26上に位置するようになる。ガス供給ライン24が、シャワーヘッド蓋20にガスを供給する。後述されるそれぞれの媒質供給アーム用に、第1及び第2の駆動ユニット52、62が提供され、それらの媒質供給アームの枢動機構のためのそれぞれのカバー54、64につながれる。参照符号56は、第1の媒質供給ラインのための引き込みを示している。この実施形態の密閉チャンバモジュールは、3つの内部レベルを有し、各レベルには、排気口が付随している。図1において、参照符号82、84、及び86は、それぞれ下方レベル、中間レベル、及び上方レベルのための付随の排気口を示しており、参照符号81、83、及び85は、これらの排気口のための付随の下方吸気部、中間吸気部、及び上方吸気部を示している。次に、図2を参照すると、密閉チャンバモジュールは、その開位置で示されており、これは、シャワーヘッド蓋をチャンバに相対的に上方へ持ち上げて、該蓋を中空シャフト18を収容している蓋支持シャフト26を中心として枢動させることを伴う。チャンバの内側には、スピンチャック70が見えており、これは、この実施形態では、両面タイプのチャックである。第2の媒質供給アーム63もまた、その待機位置で見えており、上方レベル34、中間レベル35、及び下方レベル36もまた、見えている。図3では、シャワーヘッド蓋20の裏側のシャワーヘッド領域25が示されており、該領域は、複数のガス開口に加えて中央ガスノズル23も含んでいる。モータ27は、リンク29を駆動し、該リンクは、すると、中空シャフト18を駆動する図4参照。モータ27は、こうして、シャワーヘッド蓋20の枢動を駆動する。モータ28が、シャワーヘッド蓋20を昇降させるための巻き上げモータであるのに対し、29は、中空シャフト18に収容されているガス供給ライン21、24のための引き込みを示している。スピンモータ72がスピンチャック70をスピンさせるのに対し、モータ76は、滑動部74を通じてスピンチャック70を昇降させる。後述のように、チャンバ下カバー31は、スピンチャックのベローズ蛇腹状部分を収容している。図4では、上方レベル34、中間レベル35、及び下方レベル36が、より見やすくなっている。これらのレベル、並びにそのそれぞれの排気口86、84、及び82の構造は、共同所有の出願WO2004/084278A1に記載されるようなものであってよい。やはり図4で見えているのは、中央ガスノズル23のためのガス供給ライン21、駆動機構をチャンバの内部環境から隔離する働きをする膨張ベローズ75、チャック駆動機構をチャンバの裏側に接続するフレーム77、チャックの底部ノズルへの供給を行う非回転式ノズルヘッド79、及び底部ノズルヘッド79を収容している非回転式中空シャフト78である。図5の軸方向断面図は、上記の構成要素を、チャンバ底部を画定している板37、待機位置で示されている第1の媒質供給アーム53、及び該アーム53のための収納領域55とともに、更に詳細に示している。なお、シャフト18は、後述のように、シャフト18に付与された回転運動及び並進運動が蓋アーム22及び蓋20にも付与されるように、蓋アーム22に一体に固定されていることがわかる。図6の軸方向断面図では、切断面は、第1の媒質供給アーム53のための枢動機構のカバー54を切り取っている。この角度からは、第2の媒質供給アーム63が、その待機位置で完全に見えている。参照符号17は、ガスシャワーヘッド蓋20を伴う均圧チャンバを示している。環状のチャンバ上カバー32には、シャワーヘッド蓋20との密着を形成するために、Oリング又はVシールなどの環状シール33が付される。次に、図7を参照すると、スピンチャックキャリア73を回転させるための機構は、スピンチャックキャリア73を回転駆動するための回転式中空シャフト71、駆動機構をチャンバの内部環境から遮る膨張ベローズ75、チャック駆動機構をチャンバの裏側に接続するフレーム77、チャックの底部ノズルへの供給を行う非回転式ノズルヘッド79、及び底部ノズルヘッド79を収容している非回転式中空シャフト78を含む。非回転式中空シャフト90は、回転式中空シャフト71を取り囲み、回転式中空シャフト71は、非回転式中空シャフト78を取り囲み、これら3本のシャフトは、互いに同軸である。回転式シャフト密封軸受け91が、これらの同軸シャフトをチャンバ環境から遮断し、相互に接続された回転式中空シャフト78及びチャックキャリア73を支持するのに対し、軸受け92は、非回転式上方リング94を回転式シャフト71に接続する。チャンバ下カバー31には、膜状のカバー93が嵌め込まれ、その内周をベローズ75に密着させるとともに、その外周をチャンバ底部37に密着させる。図8では、円筒状のチャンバ壁30を切り取った放射断面が、第1の媒質供給アーム53及び第2の媒質供給アーム63をその待機位置で見せており、図8の破線は、媒質供給アーム53及び63の吐出端が例示の待機位置からスピンチャック上方のおおよそ中央にくる稼働位置へ動かされるときに進む弧状経路を示している。実際は、どの時点でも、媒質供給アームの一方のみが使用状態でその稼働位置にある。すなわち、媒質供給アーム53、63は、例示のように、その両方が待機位置にあることが多いが、使用の際は、その一方又はその他方のみが稼働位置にくるのが一般的である。そうは言っても、媒質供給アーム53、63は、両方が同時に動くこともでき、ただし、中央には交互に到達し、これは、適切なソフトウェアコマンドによって達成することが可能である。媒質供給アーム53、63の稼働位置について言及すると、2つ以上の稼働位置があるかもしれないことも理解され、ついでに言うと、アームは、周縁の待機位置から半径方向内向きに動く間に稼働すると考えられる。したがって、稼働位置は、単に中央の最も内側の位置のみならず、チャック上に支持されているウエハの上方に媒質供給アームの吐出端が位置する任意の位置を言うことができる。例えば、稼働位置は、ウエハの処理中に、中央から縁に向かって動いて再び中央に戻る。図9は、媒質を供給及び吐出するアームをその待機位置と稼働位置との間で駆動するための機構の更なる詳細を示している。駆動機構の内部の構成要素が見えるように、カバー64は、図9では波線でのみ示されている。実際、カバー64は、チャンバの円筒壁30に密着方式で装着される固体材料で作成され、円筒壁30は、リンク67を通らせることができるように、カバー64に取り囲まれた切り抜きを有し、リンク67は、その末端に第2の媒質供給アーム63を乗せて、例えばスプライン接続によって駆動ユニット62の出力シャフト68に接続されている。出力シャフト68は、密閉された軸受けを通じて下方からカバー64に進入し、したがって、駆動ユニット62は、チャンバの外側に配されて、チャンバ内に存在する厳しい化学的環境から保護される。したがって、駆動ユニット62が作動されたときに、リンク67は、駆動ユニット62の作動周期によって決定付けられる運動範囲にわたって枢動される。該運動範囲は、媒質供給アーム63の、その待機位置からその稼働位置への変位に対応する。円筒状のチャンバ壁30の切り抜きは、したがって、その枢動範囲に適応するような大きさに作成される。引き込み66は、チャンバの内側で第2の媒質ライン61に接続する。引き込み66は、例えば、密着方式でチャンバの円筒壁30を横切って、チャンバの外側の端で注入管に、そしてチャンバの内側の端で第2の媒質ライン61に接続する流体継ぎ手であってよい。図9では、円筒状のチャンバ壁30の半径方向内側に位置するチャンバ内壁も見ることができ、これは、壁30とともに、第2の媒質供給アーム63のための収納領域65を画定している。この内壁は、媒質供給アーム63の下垂吐出端が、その待機位置からスピンチャックの中央の上方に位置するその稼働位置へ動かされるのに伴って通り抜けることができるように、切り抜き69を提供されている。第1の媒質供給アーム53及び第2の媒質供給アーム63は、この実施形態では、基本的に同じ駆動機構を備えており、したがって、一方のユニットの各種の構成要素の説明は、もう一方にもあてはまる。ただし、このような説明は、本明細書では繰り返されない。更に、本発明の本実施形態は、2本の媒質供給アームを備えているが、このようなアーム、及びそれらに付随する駆動機構の本数は、1つのみであってもよい、又は反対に3つ以上であってもよい。図10では、第1の媒質供給アーム53が、その待機位置に留まっているのに対し、第2の媒質供給アーム63は、稼働位置へ枢動され、ここでは、アーム63の下垂吐出ノズルが、スピンチャックの中央の上方に位置している。第2の媒質ライン61は、アーム63がその稼働位置にあることによって、より見やすくなっている。ライン61は、図10では概略的に示されているが、ライン61の長さは、リンク67の半径方向内側の端の運動範囲に適応するのに十分な、したがってその可撓性にも適応するのに十分な長さであることがわかる。図11は、図10に対応した斜視図であり、カバー54を、その所定位置で示しているのに対し、カバー64は、媒質供給アーム63のための駆動リンク機構を見せるために取り除かれている。使用の際、チャンバは、そのなかで処理されるべきウエハの取り込みを可能にするために開かれる。これは、モータ28を先ず作動させることを伴う。モータ28は、ベース板15の裏側に支柱によって固定され、ベース板15に対して静止している図3参照が、その出力シャフトは、伸長されたときに、引き込み29を、そしてそれとともにシャフト18、蓋アーム22、及び蓋20を上方へ変位させる。シャフト18は、それが引き込みとともに持ち上げられる一方で引き込み29に相対的に回転可能であるように、引き込み29内に軸支されていることが好ましい。チャンバを開くために蓋20が持ち上げられたら、次いで、リンク19をシャフト18の軸を中心とした弧状の運動範囲にわたって駆動するために、モータ27が作動される。リンク19は、シャフト18に対して非回転式に固定されているので、この運動は、環状のチャンバ上カバー32によって画定された開口から蓋29が回し外されて図2に示された位置に至るように、シャフト18を、そしてそれとともに蓋アーム22及び蓋20を回転させる。図3に示されるように、モータ27は、それ自体が、リンク19の枢動を可能にするために枢軸を通じてベース板15の裏側に装着されている。リンク19は、シャフト18にスプライン接続されて、モータ28によって駆動されるシャフト18の垂直変位中にシャフト18に相対的に滑動することができる、又はリンク19は、シャフト18に堅固に固定され、その反対側の端を枢着を通じてモータ27によって駆動されて、該枢着上で、モータ28が駆動されたときに垂直方向に滑動することができる。図2に示されるようにチャンバが開かれた後、チャンバ内に、処理されるべきウエハが取り込まれる。ウエハを搬送するための及びウエハをスピンチャック上に載せるための装置は、当該分野で周知である。ウエハを受け取るために、モータ76が作動され、滑動部74を通じて、環状のチャンバ上カバー32に画定された開口付近の位置までスピンチャック70が持ち上げられる。具体的には、スピンチャック70は、カバー32の開口のすぐ下の位置に、又は同開口のすぐ上の位置に、又はその開口と同一平面になる位置に持ち上げることができる。環状の上カバー32の開口の直径は、チャンバ内で処理されるべきウエハの外径よりも明らかに大きくなければならず、ただし、同直径を大幅には上回らないことが好ましい。例えば、300mmシリコンウエハの場合は、カバー32内の開口は、おおよそ320mmの直径を有することが好ましい。総じて、チャンバの上端の開口の直径は、処理されるべきウエハの直径を、50を超えて上回ることはないことが望ましく、好ましくは20以下で、更に好ましくは10以下で上回ることが望ましい。スピンチャック70は、所定の直径のウエハを保持するように適応され、この場合は、300mmである。スピンチャック70は、周縁の一連の把持ピンを含み、これらのピンは、処理中にウエハが側方に滑動しないように阻止する。スピンチャック70がベルヌーイチャックとして実装されるときは、チャックを通じて供給されてウエハ下を半径方向外向きに通過する窒素ガス流が、ウエハを下方から支持する。或いは、保持ピンは、ウエハの周縁に対して相補的な形状を有することによってウエハをチャックに相対的にその作業位置に保持する半径方向内向きの表面を伴うように構成されて、それによって、側方及び下方の両方からの支持を提供することができる。スピンチャック70は、次いで、上方レベル34、中間レベル35、及び下方レベル36の1つにある作業位置へ、モータ76によって下降され、そこで、スピンモータ72は、スピンチャック70のスピンを開始させる。次いで、液体とガスとの任意の望ましい組み合わせが、液体は媒質供給アーム53、63を通じて、そしてガスはシャワーヘッド蓋20を通じてチャンバ内部に供給される。チャンバを密閉する1枚以上のシールは、所定の過圧レベルにおいてチャンバ外にガスが制御漏出されることを可能にするように設計されることが好ましい。そのようにすれば、シャワーヘッド蓋20からガスを供給しながら及び/又は過剰圧力が蓄積したシャフト78を通じて、ウエハの処理中にチャンバ内に実質的に無酸素雰囲気の大気を維持することができる。この設計は、また、真空の使用又は完全に不浸透性のシールの維持に依存する必要なく酸素を排除することも可能にする。この実施形態の設計は、ガスシャワーヘッド及び媒質供給アームがガス及び液体をチャンバ内部に同時に供給することを可能にすることがわかる。更に、媒質供給アーム53、63、及びそれらに付随する駆動機構の設計は、チャンバ内部にアームが配されることを可能にし、それに対し、それらのそれぞれの駆動ユニットは、チャンバの外側に装着される。これは、これらの駆動ユニットが、このような処理モジュール内でしばしば使用される非常に攻撃的な化学物質に曝されることを阻止するという大きな利点を提供する。本発明は、その様々な例示の実施形態との関連のもとで説明されてきたが、これらの実施形態は、添付の特許請求の範囲の真の範囲及び趣旨によって与えられる保護の範囲を制限する口実として使用されるべきでないことが理解される。