"回転自在に設けられた複数のローラ間に巻き付けられたワイヤーを備え、前記ワイヤーを被加工物に相対的に押し付けて前記被加工物をスライスするワイヤーソーにおいて、前記ローラから前記ワイヤーが離れる出口近傍と前記ワイヤーが前記ローラに接触を始める入口近傍とに、前記ワイヤーを前記ローラに押し付ける回転自在な押さえローラを設けた、ワイヤーソー。前記ローラから前記ワイヤーが離れる出口近傍および前記ワイヤーが前記ローラ接触を始める入口近傍の2個所と、この2個所の間とに、前記ワイヤーを前記ローラに押し付ける回転自在な押さえローラを設けた、請求項1に記載のワイヤーソー。前記ワイヤーが前記ローラに接する区間のワイヤー張力をT1とし、前記ワイヤーが前記ローラから離れる区間のワイヤー張力をT2とすると、T1<T2の関係を満たす、請求項1又は請求項2に記載のワイヤーソー。前記複数の押さえローラが互いに連結部材で連結された、請求項1から請求項3いずれか1項に記載のワイヤーソー。回転自在に設けられた複数のローラ間にワイヤーを巻き付け、前記ワイヤーを被加工物に押し付けてスライスしてシリコンを製造するワイヤーソーを用いたシリコン製造方法において、前記ローラから前記ワイヤーが離れる出口近傍と前記ワイヤーが前記ローラに接触を始める入口近傍とに、回転自在な押さえローラを押し付け前記ワイヤーに張力を付与した状態で、被加工物を加工してシリコンを製造する、ワイヤーソーを用いたシリコン製造方法。前記ワイヤーが前記ローラに接する区間のワイヤー張力をT1とし、前記ワイヤーが前記ローラから離れる区間のワイヤー張力をT2とすると、T1<T2の関係を満たす、請求項5に記載のワイヤーソーを用いたシリコン製造方法。前記複数の押さえローラが互いに連結部材で連結された、請求項5又は請求項6に記載のワイヤーソーを用いたシリコン製造方法。しかしながら従来の構成では、複数ある多溝ローラ間の全てに撓み調整ローラが設置されていないため、多溝ローラの一方においては撓み調整ローラがあるためにワイヤーの張力が高くなり、多溝ローラのもう一方ではワイヤーの張力が低いままである。このように、一つの多溝ローラを挟んでワイヤーの張力が一方では高く、もう一方では低いという状態が生じる。その結果、多溝ローラとワイヤーの間では滑りが生じるので、摩耗が生じやすくなり、多溝ローラが急速に損耗する。多溝ローラの損耗が進むと、多溝ローラのV溝からのワイヤーの脱線が生じ、ワイヤーが断線する可能性がある。本発明は、前記従来法の問題点に鑑み、多溝ローラの長寿命化が図れることは勿論のこと、ワイヤー多溝ローラのV溝から脱線を防止することが可能なワイヤーソー用張力付与方法と機構を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明のワイヤーソーは、回転自在に設けられた複数のローラ間に巻き付けられたワイヤーを備え、前記ワイヤーを被加工物に相対的に押し付けて前記被加工物をスライスするワイヤーソーにおいて、前記ローラから前記ワイヤーが離れる出口近傍と前記ワイヤーが前記ローラに接触を始める入口近傍とに、前記ワイヤーを前記ローラに押し付ける回転自在な押さえローラを設けたことを特徴とする。また、上記課題を解決するために、本発明のワイヤーソーを用いたシリコンの製造方法は、回転自在に設けられた複数のローラ間にワイヤーを巻き付け、前記ワイヤーを被加工物に押し付けてスライスしてシリコンを製造するワイヤーソーを用いたシリコン製造方法において、前記ローラから前記ワイヤーが離れる出口近傍と前記ワイヤーが前記ローラに接触を始める入口近傍とに、回転自在な押さえローラを押し付け前記ワイヤーに張力を付与した状態で、被加工物を加工してシリコンを製造することを特徴とする。本発明によれば、多溝ローラを損傷することなく、ワイヤーの張力を高めることが可能となり、多溝ローラの寿命を従来に無く向上させることが可能となる。以下、本発明のマルチワイヤーソーにおけるワイヤーの張力付与方法を、具体的な各実施の形態に基づいて説明する。なお、以下の説明において、同じ構成には同じ符号を付けて、適宜、説明を省略している。実施の形態1図1は、本発明の実施の形態1におけるマルチワイヤーソーを示す基本的な構成であり、マルチワイヤーソーに張力を発生させる多溝ローラ1a,1bを正面からみた図である。このマルチワイヤーソーには、ローラの一例である2つの多溝ローラ1a,1bと、多溝ローラ1a,1bに対して螺旋状に巻き付けられたワイヤー2と、ワイヤー2の上部に配置された被加工物3と、押さえローラ11a1と、押さえローラ11a2と、押さえローラ11b1と、押さえローラ11b2と、被加工物保持具4が設けられている。ここで、ワイヤー2の一例は、ダイヤモンドワイヤーである。また、被加工物3の一例は、シリコンインゴットである。また、押さえローラ11a1は、ワイヤー2が多溝ローラ1aから離れる出口近傍に設けられ、ワイヤー2を多溝ローラ1aに押し付ける回転自在なローラである。また、押さえローラ11a2は、ワイヤー2が多溝ローラ1aに接触を始める入口近傍に設けられ、ワイヤー2を多溝ローラ1aに押し付ける回転自在なローラである。また、押さえローラ11b1は、ワイヤー2が多溝ローラ1bから離れる出口近傍に設けられ、ワイヤー2を多溝ローラ1bに押し付ける回転自在なローラである。また、押さえローラ11b2は、ワイヤー2が多溝ローラ1bに接触を始める入口近傍に設けられ、ワイヤー2を多溝ローラ1bに押し付ける回転自在なローラである。また、被加工物保持具4は、被加工物3とマルチワイヤーソー本体との間に設けられて、被加工物3をワイヤー2に押圧する方向に移動させる保持具である。すなわち、多溝ローラ1a,1bには、ローラごとに2個の押さえローラ11a1,11a2,11b1,11b2が設けられている。ここで、押さえローラ1111a1,11a2,11b1,11b2は、本図で図示していないマルチワイヤーソーの装置本体に、回転自在に取り付けられている。ここではマルチワイヤーソー加工機本体の駆動機構を特に描いてないが、多溝ローラ1a,1bの回転駆動に伴って、工具となるワイヤー2は、概ね毎分1000m近い速度で回転している。そして、この速度で回転しているワイヤー2に加工液を供給しながら、加工プログラムの指示によって上部にある被加工物3を、毎分1mm程度の速度で上から下へ相対的に移動させることで、被加工物3の一例であるシリコンインゴットのスライスを行う。そして、このマルチワイヤーソー加工機本体には、所定位置までの加工が完了した被加工物3を、元の加工スタート位置に戻す加工プログラムが組まれている。また、先述したように、ダイヤモンドワイヤーを使った加工技術においては、ワイヤーを毎分1回程度のサイクルで前進と後退を交互に繰り返す通称バックアンドフォースと呼ばれる交播運動をさせながら、わずかずつワイヤーを繰り出して加工する。本実施の形態における交播運動では、一例として、多溝ローラ1a,1bを正転させることでワイヤー2を409m繰り出した後、多溝ローラ1a,1bを逆転させることでワイヤー2を400m巻き戻した。この交播運動を1分間で1回行うと、1サイクルとなる。また、ワイヤー2は、本実施の形態の場合、毎分9m繰り出し長さと、巻き戻し長さの差の速度で新たなワイヤーが繰り出されている。この時、図1における4つの押さえローラ11a1,11a2,11b1,11b2は、ワイヤー2と接しており、ワイヤー2の走行方向にならって回転するようになっている。続いて、押さえローラ11a1,11a2,11b1,11b2の効果について説明する。図2に、マルチワイヤーソーの加工部の正面図を示す。図2は、多溝ローラ1a,1bにワイヤー2を一様な張力Tで巻き付けた様子を示す図である。図2に示す構成は、マルチワイヤーソーへのワイヤー2の巻き付け状態として、最も一般的である。ここで、ワイヤー2の巻き付け時の張力Tを高くすると、加工初期において多溝ローラ1a,1bのV溝から脱線することは無い。しかしながら、多溝ローラ1a,1bを構成する材質としてポリウレタンが使用されることが多く、張力Tを高くして多溝ローラ1a,1bのV溝にワイヤー2を巻き付けると、ワイヤー2がV溝に食い込んでV溝が削れてしまうことがある。V溝が削れてしまうと、多溝ローラ1a,1bの寿命を早めることになる。特にワイヤー2にダイヤモンド砥粒が固定されたダイヤモンドワイヤーを用いた場合、この現象が顕著である。ここで、逆に、多溝ローラ1a,1bを長寿命化するために、ワイヤー2の巻き付け時の張力Tを低く設定すると、加工中にワイヤー2の多溝ローラ1a,1bにあるV溝からの脱線外れが生じ易くなり、多溝ローラ1a,1bを継続して使用することができなくなることがある。そこで、本実施の形態においては、多溝ローラ1a,1bへ巻き付けるワイヤー2の張力Tを、多溝ローラに形成されたV溝への損傷を低減した上で、加工時においてもワイヤー2の脱線が生じない張力Tとしている。具体的には、本実施の形態では、ワイヤー2が多溝ローラ1a,1bと接する部分においては低い張力図1中における張力T1となり、ワイヤー2が多溝ローラ1a,1bから離れる区間においては高い張力図1中における張力T2となる構成としている。一本のワイヤー2において、張力の異なる区間を有するという工学的矛盾を解決するために、本実施の形態では、以下に説明する工夫を行っている。本実施の形態では、まず図1に示すように、多溝ローラ1a,1bに、巻き付け張力T1に設定して、ワイヤー2を巻き付ける。このようにすることで、ワイヤー2と多溝ローラ1a,1bの接する区間においては、ワイヤー張力をT1としている。次に、押さえローラ11a1,11a2,11b1,11b2でワイヤー2が多溝ローラ1a,1bから離れる付近を押さえるように構成する。具体的には、図1に示すように、多溝ローラ1a,1bの2つの回転軸を通る垂線の内側同図中L1の間に、4つの押さえローラ11a1,11a2,11b1,11b2の回転軸の中心を設置している。このように構成することで、ワイヤー2が多溝ローラ1a,1bに接する区間のワイヤー張力をT1とし、ワイヤー2が多溝ローラ1a,1bから離れる区間のワイヤー張力をT2とすると、ワイヤー張力を、T1<T2の関係となるように設定することが望ましい。このように設定することで、多溝ローラ1a,1bを損傷させること無く、ワイヤー2がV溝から脱線することが無いマルチワイヤーソー加工機本体を実現できる。直径120μmのワイヤーの場合、一例としてワイヤーの張力T1を10N、張力T2を25Nに設定すると、ワイヤーの張力を一様に25NT1=T2に設定した場合と比較して、多溝ローラ1a,1bの寿命が2倍になることが確認できた。なお、ここで設定するワイヤー2の張力T1,T2の値は、ワイヤー2の破断張力より低い。また、使用するワイヤー2の直径や材質が変わった場合においても、固有の破断強さに応じて、最適値が異なることは言うまでもない。このように設定したマルチワイヤーソーを用いて被加工物であるシリコンインゴットを加工することで、スライスされたシリコンを製造することができる。次にダイヤモンドワイヤーを使った加工で特有の交播運動によって生じる現象において、本実施の形態の有効性について説明する。図3a,図3bに、交播運動によるワイヤーの基本挙動を示す。図3a,図3bに示すマルチワイヤーソーにおいて、多溝ローラ1aは駆動軸に結合され、多溝ローラ1bは従動軸に結合されている。そして、多溝ローラ1a,1bに、ワイヤー2が巻き付けられている。図3aに示すように、多溝ローラ1aが正転図の右回りすると、ワイヤー2の弛みが上部図の上側に生じる。これによって、図3aにAで示す入口側でワイヤー2の脱線が生じる場合がある。逆に、図3bに示すように、多溝ローラ1aが逆転図の左回りすると、ワイヤー2の弛みは下部図の下側に生じる。これによって、図3bにBで示す出口側でワイヤー2の脱線が生じる場合がある。このように、ワイヤー2が交播運動する過程では、多溝ローラ1a,1bの回転方向が変化するため、ワイヤー2の張力の変動が生じる。この張力の変動は、多溝ローラ1a,1bの加減速中にも生じることは言うまでもない。このワイヤー2の張力の変動が、多溝ローラ1a,1bのV溝が損傷する原因になっている。そのため、本実施の形態でも使用しているような交播運動を行う構成の装置においては、加減速の速度の設定値を低く設定しないと、多溝ローラ1a,1bの寿命が極端に短くなることがある。多溝ローラ1a,1bが損傷すると、加工時間が必要以上に増加する場合もある。加えて、多溝ローラ1a,1bの加減速中にワイヤー2の張力が低下することが原因で、V溝からの脱線が生じ易くなる。先述したように、ダイヤモンドワイヤーを使用している場合は、V溝からのワイヤー2の脱線が生じ、1つのV溝の中で2本のワイヤー2が折り重なると、お互いのワイヤー2をダイヤモンドで傷つけあい、断線の原因になる。また、ワイヤー2がお互いに傷つけあうことで断線しなかったとしても、ダイヤモンドがワイヤー2から脱落し、ワイヤー2の切れ味が低下する場合もある。ワイヤー2の切れ味が低下してワイヤー2で被加工物3を加工できなくなると、ワイヤー2に大きな撓みが生じ、断線に至る可能性すらある。本実施の形態では、図1に示すように、多溝ローラ1a,1bに、ワイヤー2の巻き付け張力をT1に設定して巻き付けた上で、押さえローラ11でワイヤーが多溝ローラ1a,1bから離れる付近を押さえるように構成している。このように構成することで、多溝ローラ間1aと1bの間のワイヤー張力をT2することができ、さらに、ワイヤー張力がT1<T2の関係となるように設定することで、多溝ローラ1を損傷すること無く、ワイヤー2がV溝から脱線することを防止できる。図3a,図3bにおいては、多溝ローラ1aを駆動軸とし、多溝ローラ1bを従動軸として説明したが、マルチワイヤーソーの種類によっては、複数ある多溝ローラの全軸を駆動軸となるように構成したものもある。そのような構成の場合においても、全軸間の同期ズレが生じ、ワイヤー2の張力は全軸間で均等でない。よって、本実施の形態は、多溝ローラの全軸を駆動軸とした構成のマルチワイヤーソーにおいても有効である。なお、押さえローラ11a1,11a2,11b1,11b2としてポリウレタンなどの弾性材料を使用した場合には、押さえローラ11a1,11a2,11b1,11b2上には特にV溝等は設けなかったが、必要に応じて設けても良い。また、本実施の形態では説明しなかったが、押さえローラ11a1,11a2を図示しない連結部材で連結することで、押さえローラ11a1,11a2の間隔を一定の状態にすることができる。この場合、同様に、押さえローラ11b1,11b2を図示しない連結部材で連結することで、同様に、押さえローラ11b1,11b2の間隔を一定の状態にすることができる。実施の形態2図4~図6を用いて、本発明の実施の形態2について説明する。実施の形態1では多溝ローラ1aに2個の押さえローラ11a1,11a2を設け、多溝ローラ1bに2個の押さえローラ11b1,11b2を設けた。それに対し、この実施の形態2では、図4に示すように、多溝ローラ1aに3個の押さえローラ11a1,11a2,11a3を設け、多溝ローラ1bに3個の押さえローラ11b1,11b2,11b3を設けた点が、実施の形態1とは大きく異なっている。図4において、回転自在な押さえローラ11a3は、多溝ローラ1aからワイヤー2が離れる出口近傍と、ワイヤー2が多溝ローラ1aに接触を始める入口近傍との間で、ワイヤー2を多溝ローラ1aに押し付けるように配置されている。回転自在な押さえローラ11b3は、多溝ローラ1bからワイヤー2が離れる出口近傍と、ワイヤー2が多溝ローラ1bに接触を始める入口近傍との間で、ワイヤー2を多溝ローラ1bに押し付けるように配置されている。さらに、図5a,図5bに示すように、押さえローラ11a1~11a3のローラ端部は連結部材の一例である連結棒12a,12aにより連結され、押さえローラ11b1~11b3のローラ端部は連結部材の一例である連結棒12b,12bにより連結されている。この構成において、本実施の形態の効果を得るためには、2つの多溝ローラ1a,1bの回転軸間の区間をL1とすると、多溝ローラ1aを取り巻く3個の押さえローラ11a1,11a2,11a3の内の2個が区間L1に含まれる多溝ローラ1a,1bの回転軸を結ぶ直線と直交する面上に存在する必要がある。同様に、本実施の形態の効果を得るためには、多溝ローラ1bを取り巻く3個の押さえローラ11b1,11b2,11b3の内の2個が区間L1に含まれる多溝ローラ1a,1bの回転軸を結ぶ直線と直交する面上に存在する必要がある。連結棒12a,12bは、引張バネや伸縮性のあるゴムで構成することが望ましい。引張バネや伸縮性のあるゴムで構成することで、3個の押さえローラ11a1~11a3,11b1~11b3の相互間の距離の調整が簡便となる。本実施の形態2では、多溝ローラ1a,1bごとに3個の押さえローラ11a1~11a3、11b1~11b3を設けたが、押さえローラ11a1と押さえローラ11a2の間に押さえローラ11a3と同様の複数の押さえローラを設け、押さえローラ11b1と押さえローラ11b2の間に押さえローラ11b3と同様の複数の押さえローラを設けても良い。すなわち、本実施の形態2では、押さえの押圧力のバランスが取れれば、押さえローラ11の数は、3個以上とすることも可能である。図5a,図5bに示すように、ワイヤー2の張力が上部区間でT2tとなり、下部区間でT2bとなる。図5aに示すように、多溝ローラ1a,1bの回転方向が変わった瞬間においては、上部区間に弛みが生じ、ワイヤー2がV溝から脱線しやすくなる。しかしながら、本実施の形態2の構成にすることで、上下2区間のワイヤー2の張力に張力差が生じると、図5bに示すように3個の押さえローラ11a1~11a3,11b1~11b3が、僅かながら多溝ローラ1a,1bを中心に回転する。このように回転することで、図5bに示すように、上下2区間のワイヤー2の張力T2t、T2bが釣り合う。本実施の形態2のように押さえローラ11a1~11a3,11b1~11b3を、多溝ローラ1a,1bを中心に連結棒12a,12bで連結することにより、自律的にワイヤー2の張力を調整することが可能となる。また、前述の実施の形態1における押さえローラ11a1,11a2,11b1,11b2は、マルチワイヤーソー本体に回転自在に固定する構成が必要であったが、この実施の形態2では、上記のように多溝ローラ1aを取り巻く3個の押さえローラ11a1~11a3を連結棒12aで連結し、多溝ローラ1bを取り巻く3個の押さえローラ11b1~11b3を連結棒12bで連結したので、押さえローラ11a1~11a3,11b1~11b3をマルチワイヤーソー本体に固定する必要がない。本実施の形態2において、連結された押さえローラ11a1~11a3,11b1~11b3は、多溝ローラ1a,1bにそれぞれ回転自在に固定されている。そのため、後述する図6のような構成も可能となる。この実施の形態2を、より実用的にした別の形態を図6に示す。図6に示す本実施の形態2の別の形態では、連結棒12a,12bが、弾性を有するCリング状に設計されている。そのため、図4に示すように、最初に、ワイヤー2を張力T1で多溝ローラ1a,1bに巻き付けた後、図6で示したCリング状の連結棒12a,12bに取り付けられた押さえローラ11a1~11a3,11b1~11b3を、多溝ローラ1a,1bに、はめ込むようにして取り付ける。なお、上記の各実施の形態において押さえローラ11a1~11a3,11b1~11b3としてポリウレタンなどの弾性材料を使用した場合には、押さえローラ11a1~11a3,11b1~11b3上には特にV溝等は設けなかったが、必要に応じて設けても良い。"