"内燃機関の排気通路に設けられ排気中の粒子状物質を捕集するフィルタと、前記フィルタよりも下流側に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から該選択還元型NOx触媒へ還元剤を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合には、何れにも該当しない場合よりも、還元剤の供給量を少なくする減量部と、を備える内燃機関の排気浄化装置。前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度が低いほど多くなり、排気の流量が多いほど多くなり、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が多いほど多くなるものとして、前記減量部は、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度、前記排気の流量、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量の少なくとも1つに基づいて算出し、該選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値未満となるように還元剤の供給量を決定する請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度が低いほど多くなり、排気の流量が多いほど多くなり、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が多いほど多くなるものとして、前記減量部は、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度、前記排気の流量、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量の少なくとも1つに基づいて算出し、該選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上の場合に還元剤の供給を禁止する請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態となって前記減量部により還元剤の供給量が少なくされたときにNOxを還元させる還元剤を、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない状態のときに予め供給しておく増量部を備える請求項1から3の何れか1項に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記増量部は、前記選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない該選択還元型NOx触媒の温度と、現時点における前記選択還元型NOx触媒の温度と、の差に基づいて、供給する還元剤の量を決定する請求項4に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態となってから、通り抜けない状態となるまでの間に、還元剤を供給する時期となった場合には、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない状態となるまで還元剤の供給を延期し、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない状態となった後に供給する還元剤の量を、前回の還元剤の供給時から該選択還元型NOx触媒に流入したNOx量の積算値に基づいて決定する延期部を備える請求項1から5の何れか1項に記載の内燃機関の排気浄化装置。本発明は、上記したような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、PMセンサの検出精度の低下により、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制することにある。上記課題を達成するために本発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、内燃機関の排気通路に設けられ排気中の粒子状物質を捕集するフィルタと、前記フィルタよりも下流側に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から該選択還元型NOx触媒へ還元剤を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合には、何れにも該当しない場合よりも、還元剤の供給量を少なくする減量部と、を備える。ここで、供給装置から還元剤を供給したときに、排気や選択還元型NOx触媒の状態によっては、還元剤の一部が選択還元型NOx触媒を通り抜けてPMセンサに付着することがある。PMセンサに還元剤が付着すると、該PMセンサの出力値が変化してしまい、PMを正確に検出することが困難となる。これに対し減量部は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態の場合には、通り抜けない状態の場合よりも、還元剤の供給量を少なくする。これにより、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けることを抑制できるため、PMセンサに還元剤が付着することを抑制できる。このため、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制できる。そして、たとえば、選択還元型NOx触媒の温度が低い場合、または、排気の温度が低い場合、排気の流量が多い場合、選択還元型NOx触媒に吸着している還元剤の量が多い場合に、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態となり得る。選択還元型NOx触媒の温度が低くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤が反応し難くなるため、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けやすくなる。すなわち、選択還元型NOx触媒の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒よりも上流側の排気の温度が低くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤が反応し難くなるため、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けやすくなる。すなわち、排気の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒を通過する排気の流量が多くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤の反応が終了する前に還元剤が該選択還元型NOx触媒を通り抜けやすくなる。すなわち、排気の流量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒に吸着している還元剤量が多くなると、該選択還元型NOx触媒に還元剤が吸着し難くなるので、還元剤が該選択還元型NOx触媒を通り抜けやすくなる。すなわち、還元剤の吸着量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。このため、選択還元型NOx触媒の温度が閾値以下の場合、排気の温度が閾値以下の場合、排気の流量が閾値以上の場合、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が閾値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合には、還元剤の供給量を少なくしている。そうすると、PMセンサに還元剤が付着することを抑制できるため、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制できる。なお、ここでいう選択還元型NOx触媒の温度における閾値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける温度の上限値、または、PMセンサに還元剤が付着する温度の上限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が許容範囲内となる選択還元型NOx触媒の温度を閾値としてもよい。また、排気の温度における閾値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける温度の上限値、または、PMセンサに還元剤が付着する温度の上限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が許容範囲内となる排気の温度を閾値としてもよい。また、排気の流量における閾値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける流量の下限値、または、PMセンサに還元剤が付着する流量の下限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が許容範囲内となる流量を閾値としてもよい。なお、排気の流量に代えて排気の流速としてもよい。また、還元剤の吸着量における閾値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける吸着量の下限値、または、PMセンサに還元剤が付着する吸着量の下限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が許容範囲内となる吸着量を閾値としてもよい。なお、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量に代えて、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着率としてもよい。この吸着率は、吸着している還元剤量を、最大限吸着可能な還元剤量で除算した値である。なお、還元剤には、供給装置から供給される物質、供給装置から供給される物質から最終的に生成される物質、供給装置から供給される物質から最終的に生成される物質に至るまでの中間生成物が含まれる。この何れかが選択還元型NOx触媒においてNOxと反応し、該NOxが還元される。また、還元剤の供給量を少なくすることには、還元剤の供給を行わないことも含むことができる。還元剤の供給を禁止するとしてもよい。還元剤の供給を行わないことにより、PMセンサに還元剤が付着することをより抑制できる。また、本発明においては、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度が低いほど多くなり、排気の流量が多いほど多くなり、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が多いほど多くなるものとして、前記減量部は、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度、前記排気の流量、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量の少なくとも1つに基づいて算出し、該選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値未満となるように還元剤の供給量を決定することができる。ここで、選択還元型NOx触媒の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、選択還元型NOx触媒の温度が低くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、排気の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、排気の温度が低くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、排気の流量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、排気の流量が多くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、吸着量が多くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。これらの関係に基づけば、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を求めることができる。選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量の閾値は、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤量であって、PMセンサの検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの還元剤量とすることができる。また、閾値は、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤量であって、PMセンサの検出値が変化する還元剤量の下限値としてもよい。すなわち、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上となると、PMセンサに付着する還元剤の影響によりフィルタの故障判定の精度が低くなる。これに対し、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値未満となるように還元剤を供給すれば、還元剤がPMセンサの検出値にほとんど影響を与えないため、フィルタの故障判定の精度が低くなることを抑制できる。また、本発明においては、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度が低いほど多くなり、排気の流量が多いほど多くなり、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が多いほど多くなるものとして、前記減量部は、前記選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を、前記選択還元型NOx触媒の温度または排気の温度、前記排気の流量、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量の少なくとも1つに基づいて算出し、該選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上の場合に還元剤の供給を禁止することができる。上述のように、選択還元型NOx触媒の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、選択還元型NOx触媒の温度が低くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、排気の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、排気の温度が低くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、排気の流量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、排気の流量が多くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。また、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係があり、吸着量が多くなるほど、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が多くなる。これらの関係に基づけば、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量を求めることができる。選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量の閾値は、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤量であって、PMセンサの検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの還元剤量とすることができる。また、閾値は、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤量であって、PMセンサの検出値が変化する還元剤量の下限値としてもよい。すなわち、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上となると、PMセンサに付着する還元剤の影響によりフィルタの故障判定の精度が低くなる。これに対し、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量が閾値以上の場合に、還元剤の供給を禁止すれば、フィルタの故障判定の精度が低くなることを抑制できる。また、本発明においては、前記選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態となって前記減量部により還元剤の供給量が少なくされたときにNOxを還元させる還元剤を、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない状態のときに予め供給しておく増量部を備えることができる。ここで、減量部により還元剤の供給量が少なくされている間は、選択還元型NOx触媒に流入するNOxにより、選択還元型NOx触媒に吸着しているNOx量が減少していく。この状態が長く続き、選択還元型NOx触媒に吸着していた還元剤を全て消費してしまうと、NOxの浄化ができなくなる虞がある。これに対し、増量部は、減量部により還元剤の供給量が少なくされる前に、予め、選択還元型NOx触媒に通常よりも多くの還元剤を吸着させておく。ここでいう通常とは、排気中のNOx量に応じた還元剤を供給する場合である。通常では、たとえば、選択還元型NOx触媒において消費された還元剤を補うように、還元剤の供給量が決定される。一方、増量部は、選択還元型NOx触媒において消費された還元剤の量よりも多くの還元剤を供給する。このときには、選択還元型NOx触媒に最大限吸着可能な還元剤の量を超えないようにする。このように、予め多くの還元剤を選択還元型NOx触媒に吸着させておくことで、減量部により還元剤の供給量が少なくされているときに、還元剤が不足することを抑制できる。これにより、NOxの浄化率が低下することを抑制できる。また、本発明においては、前記増量部は、前記選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない該選択還元型NOx触媒の温度と、現時点における前記選択還元型NOx触媒の温度と、の差に基づいて、供給する還元剤の量を決定することができる。上述のように、排気の流量が多い場合や選択還元型NOx触媒の温度が低い場合には、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けやすい。ここで、排気の流量が増加すると、排気の温度が上昇するため、選択還元型NOx触媒の温度が徐々に高くなる。このため、排気の流量が増加して選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態となっても、選択還元型NOx触媒の温度が高くなれば還元剤が通り抜けない状態となる。すなわち、現時点では選択還元型NOx触媒の温度が低いために還元剤が通り抜けるとしても、温度が上昇すれば還元剤が通り抜けなくなる。そして、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない状態となれば、還元剤の供給量を少なくする必要はない。したがって、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けなくなる温度まで上昇する間の還元剤を補うように、増量部が予め選択還元型NOx触媒に還元剤を吸着させておけば、該還元剤が通り抜けなくなる温度まで上昇する間のNOxの浄化率が低下することを抑制できる。また、本発明においては、前記選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける状態となってから、通り抜けない状態となるまでの間に、還元剤を供給する時期となった場合には、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない状態となるまで還元剤の供給を延期し、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない状態となった後に供給する還元剤の量を、前回の還元剤の供給時から該選択還元型NOx触媒に流入したNOx量の積算値に基づいて決定する延期部を備えることができる。たとえば、増量部が予め還元剤を吸着させておくことができなかった場合、又は、還元剤の供給がある程度長い間隔で供給される場合には、減量部により還元剤の供給量が少なくされているときに還元剤が不足する虞がある。一般に、還元剤の供給は、選択還元型NOx触媒に流入するNOx量の積算値が規定値に達した場合、または、規定期間ごとに行われる。還元剤の供給を規定期間ごとに行う場合には、一般的には、規定期間内に選択還元型NOx触媒に流入したNOx量の積算値に基づいて還元剤の量が決定される。このように、選択還元型NOx触媒に流入するNOx量の積算値が規定値に達した場合、または、前回の還元剤の供給から規定期間が経過した場合に、還元剤を供給する時期となる。そして、減量部により還元剤の供給量が少なくされる期間に、還元剤を供給する時期となっても、このときには還元剤の供給を行わない。そして、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けない状態となってから還元剤を供給する。そして、還元剤を供給するときには、還元剤を供給する時期となったときのNOx量の積算値ではなく、実際に還元剤を供給するときのNOx量の積算値を用いて還元剤の供給量を決定する。すなわち、還元剤の供給を延期していた間に選択還元型NOx触媒に流入したNOx量に対応する還元剤を加えて供給する。これにより、選択還元型NOx触媒に吸着している還元剤の量を速やかに増加させることができるため、NOxの浄化率が低下することを抑制できる。本発明によれば、PMセンサの検出精度の低下により、フィルタの故障判定の精度が低下することを抑制できる。以下、本発明に係る内燃機関の排気浄化装置の具体的な実施態様について図面に基づいて説明する。図1は、本実施例に係る内燃機関の排気浄化装置の概略構成を示す図である。図1に示す内燃機関1は、ディーゼル機関であるが、ガソリン機関であってもよい。内燃機関1には、吸気通路2及び排気通路3が接続されている。吸気通路2には、該吸気通路2を流通する吸気の量を検出するエアフローメータ11が設けられている。一方、排気通路3には、排気の流れ方向の上流側から順に、酸化触媒4、フィルタ5、噴射弁6、選択還元型NOx触媒7以下、NOx触媒7という。が設けられている。酸化触媒4は、酸化能を有する触媒であればよく、たとえば三元触媒であってもよい。酸化触媒4は、フィルタ5に担持されていてもよい。フィルタ5は、排気中のPMを捕集する。なお、フィルタ5には、触媒が担持されていてもよい。フィルタ5によってPMが捕集されることで、該フィルタ5にPMが徐々に堆積する。そして、フィルタ5の温度を強制的に上昇させる、所謂フィルタの再生処理を実行することで、該フィルタ5に堆積したPMを酸化させて除去することができる。たとえば、酸化触媒4にHCを供給することでフィルタ5の温度を上昇させることができる。また、酸化触媒4を備えずに、フィルタ5の温度を上昇させる他の装置を備えていてもよい。さらに、内燃機関1から高温のガスを排出させることでフィルタ5の温度を上昇させてもよい。噴射弁6は、還元剤を噴射する。還元剤には、例えば、尿素水等のアンモニア由来のものが用いられる。たとえば、噴射弁6から噴射された尿素水は、排気の熱で加水分解されアンモニアNH3となり、その一部又は全部がNOx触媒7に吸着する。以下では、噴射弁6から還元剤として尿素水を噴射するものとする。なお、本実施例においては噴射弁6が、本発明における供給装置に相当する。NOx触媒7は、還元剤が存在するときに、排気中のNOxを還元する。例えば、NOx触媒7にアンモニアNH3を予め吸着させておけば、NOx触媒7をNOxが通過するときにNOxをアンモニアにより還元させることができる。酸化触媒4よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第一排気温度センサ12が設けられている。酸化触媒4よりも下流で且つフィルタ5よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第二排気温度センサ13が設けられている。フィルタ5よりも下流で且つ噴射弁6よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第三排気温度センサ14及び排気中のNOx濃度を検出する第一NOxセンサ15が設けられている。NOx触媒7よりも下流の排気通路3には、排気中のNOx濃度を検出する第二NOxセンサ16及び排気中のPM量を検出するPMセンサ17が設けられている。これらセンサの全てが必須というわけではなく、必要に応じて設けることができる。以上述べたように構成された内燃機関1には、該内燃機関1を制御するための電子制御ユニットであるECU10が併設されている。このECU10は、内燃機関1の運転条件や運転者の要求に応じて内燃機関1を制御する。ECU10には、上記センサの他、アクセルペダルの踏込量に応じた電気信号を出力し機関負荷を検出可能なアクセル開度センサ18、及び機関回転数を検出するクランクポジションセンサ19が電気配線を介して接続され、これらセンサの出力信号がECU10に入力されるようになっている。一方、ECU10には、噴射弁6が電気配線を介して接続されており、該ECU10により噴射弁6が制御される。ECU10は、フィルタ5に堆積しているPM量が所定量以上になると、前記フィルタの再生処理を実施する。なお、フィルタの再生処理は、内燃機関1が搭載されている車両の走行距離が所定距離以上となったときに行ってもよい。また、規定期間ごとにフィルタの再生処理を実施してもよい。また、ECU10は、PMセンサ17により検出されるPM量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行う。ここで、フィルタ5が割れる等の故障が発生すると、該フィルタ5を通り抜けるPM量が増加する。このPM量の増加をPMセンサ17により検出すれば、フィルタ5の故障を判定することができる。たとえば、フィルタ5の故障判定は、PMセンサ17の検出値に基づいて算出される所定期間中のPM量の積算値と、フィルタ5が所定の状態であると仮定した場合における所定期間中のPM量の積算値とを比較することで行われる。ここで図2は、PMセンサ17の概略構成図である。PMセンサ17は、自身に堆積したPM量に対応する電気信号を出力するセンサである。PMセンサ17は、一対の電極171と、該一対の電極171の間に設けられる絶縁体172と、を備えて構成されている。一対の電極171の間にPMが付着すると、該一対の電極171の間の電気抵抗が変化する。この電気抵抗の変化は、排気中のPM量と相関関係にあるため、該電気抵抗の変化に基づいて、排気中のPM量を検出することができる。このPM量は、単位時間当たりのPMの質量としてもよく、所定時間におけるPMの質量としてもよい。なお、PMセンサ17の構成は、図2に示したものに限らない。すなわち、PMを検出し、且つ、還元剤の影響により検出値に変化が生じるPMセンサであればよい。次に、図3は、PMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。内燃機関1の始動直後のAで示される期間は、排気通路3内で凝縮する水がPMセンサ17に付着する虞がある期間である。PMセンサ17に水か付着すると、該PMセンサ17の検出値が変化したり、PMセンサ17が故障したりするため、この期間ではPMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Aで示される期間の後のBで示される期間では、前回の内燃機関1の運転時にPMセンサ17に付着したPMを除去する処理を行う。この処理は、PMセンサ17の温度を、PMが酸化する温度まで上昇させることにより行われる。このBで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。Bで示される期間の後のCで示される期間は、PMの検出に適した温度となるまでに要する期間である。すなわち、Bで示される期間においてPMセンサ17の温度がPMの検出に適した温度よりも高くなるため、温度が低下してPMの検出に適した温度となるまで待っている。このCで示される期間においても、PMセンサ17によるPM量の検出は行われない。そして、Cで示される期間の後のDで示される期間でPMの検出が行われる。なお、Dで示される期間であっても、PMセンサ17にある程度のPMが堆積するまでは、検出値が増加しない。すなわち、ある程度のPMが堆積して、一対の電極171の間に電流が流れるようになってから検出値が増加を始める。その後は、排気中のPM量に応じて検出値が増加していく。ここで、PMセンサ17は、フィルタ5よりも下流側に設けられている。そのため、PMセンサ17には、フィルタ5に捕集されずに、該フィルタ5を通過したPMが付着する。従って、PMセンサ17におけるPM堆積量は、フィルタ5を通過したPM量の積算値に対応した量となる。ここで、図4は、フィルタ5が正常な場合と故障している場合とのPMセンサ17の検出値の推移を示したタイムチャートである。フィルタ5が故障している場合には、PMセンサ17にPMが早く堆積するため、検出値の増加が始まる時点Eが、正常なフィルタ5と比較して早くなる。このため、たとえば、内燃機関1の始動後から所定時間Fが経過したときの検出値が閾値以上であれば、フィルタ5が故障していると判定できる。この所定時間Fは、正常なフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加しておらず、且つ、故障しているフィルタ5であればPMセンサ17の検出値が増加している時間である。この所定時間Fは、実験等により求められる。また、閾値は、フィルタ5が故障しているときのPMセンサ17の検出値の下限値として予め実験等により求められる。ところで、PMセンサ17をフィルタ5よりも下流で且つNOx触媒7よりも上流に設けることも考えられる。しかし、このような位置にPMセンサ17を設けると、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が短くなる。このため、フィルタ5の割れている箇所を通過したPMが排気中に分散しないままPMセンサ17の周辺に到達する虞がある。そうすると、フィルタ5が割れている位置によっては、PMセンサ17にPMがほとんど付着しないために、PMが検出されないこともあり、故障判定の精度が低下する虞がある。これに対して本実施例では、NOx触媒7よりも下流にPMセンサ17を設けているため、フィルタ5からPMセンサ17までの距離が長い。このため、PMセンサ17の周辺では、フィルタ5を通過したPMが排気中に分散している。したがって、フィルタ5の割れている位置によらずにPMを検出することができる。しかし、噴射弁6よりも下流側にPMセンサ17を設けているため、該噴射弁6から噴射される還元剤がPMセンサ17に付着する虞がある。このPMセンサ17に付着する還元剤は、たとえば、尿素、及び、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物ビウレット、シアヌル酸である。このようにPMセンサ17に還元剤が付着すると、PMセンサ17の検出値が変化する虞がある。ここで図5は、PMセンサ17の検出値が正常な場合と、異常な場合との推移を示したタイムチャートである。異常な検出値は、PMセンサ17に還元剤が付着したときの検出値とすることができる。正常な検出値は、時間の経過とともに検出値が増加する。すなわち、PMセンサ17に付着したPM量に応じて検出値が増加していく。一方、異常な検出値は、検出値が増加するだけでなく減少する場合がある。ここで、PMセンサ17に前記中間生成物が付着して所定量以上堆積すると、PMが堆積したときと同じように、PMセンサ17の検出値が増加する。ここで、中間生成物であるビウレットは、132-190°Cのときに生成され、それよりも温度が高くなると気化する。また、中間生成物であるシアヌル酸は、190-360°Cで生成され、それよりも温度が高くなると気化する。このように、PMと比較すると中間生成物は低温で気化する。このため、PMセンサ17に付着していた中間生成物は、内燃機関1の排気の温度が高いときに気化する。そうすると、中間生成物の堆積量が減少するため、PMセンサ17の検出値が減少する。これは、PMセンサ17にPMのみが堆積しているときには起こらない現象である。また、PMセンサ17のカバーに中間生成物が付着して堆積すると、該カバーを閉塞させる虞がある。このカバーが中間生成物により閉塞されると、PMが一対の電極171に到達できなくなるので、PMが検出されなくなる。このため、フィルタ5の故障判定の精度が低下する虞がある。このように、NOx触媒7を還元剤が通り抜けると、フィルタ5の故障判定が困難となる虞がある。一般的に尿素水から熱分解及び加水分解を経てNH3が生成されることを考慮すると、NOx触媒7を還元剤が通り抜ける原因として、以下の3つが考えられる。1NOx触媒7の温度又は排気の温度が低い。すなわち、NOx触媒7または排気の温度が低いと、還元剤の熱分解などの反応に時間がかかるので、還元剤の反応が完了する前にNOx触媒7を通過してしまう。2NOx触媒7を通過する排気の流量が多い。なお、NOx触媒7を通過する排気の流速が速いとしてもよい。すなわち、排気の流量が多いと、還元剤がNOx触媒7と接する時間が短くなるため、還元剤の反応が完了する前にNOx触媒7を通過してしまう。3NOx触媒7に吸着しているNH3量が多い。なお、NH3吸着率が高いとしてもよい。NH3吸着率は、NOx触媒7に最大限吸着可能なNH3量に対して、NOx触媒7に吸着しているNH3量の比である。すなわち、NOx触媒7に吸着しているNH3量が多いほど、加水分解が進み難くなるので、還元剤の反応が完了する前にNOx触媒7を通過してしまう。上記1,2は、反応時間が不足することにより起こる現象であり、3はNH3の吸着量が多いことにより起こる現象である。そして、これら1,2,3に対する対策として以下のことが考えられる。1NOx触媒7の温度または排気の温度が低い場合に、還元剤の供給量を低減させる。2排気の流量が多い場合または排気の流速が高い場合に、必要最小限の還元剤を供給する。なお、排気の流量が多い場合または排気の流速が高い場合に代えて、加速時としてもよい。3NH3の吸着量が多い、またはNH3の吸着率が高い場合に、必要最小限の還元剤を供給する。これに対し本実施例では、たとえば、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速、NOx触媒7の温度または排気の温度、NOx触媒7におけるNH3の吸着率またはNH3の吸着量の少なくとも1つに基づいて、PMセンサ17に到達する還元剤量を算出する。そして、PMセンサ17に到達する還元剤量が閾値以上の場合には、還元剤の供給を禁止する。すなわち、PMセンサ17に到達する還元剤量が閾値未満の場合に限り還元剤を供給する。この閾値は、PMセンサ17の検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの値として予め実験等により求めることができる。そして、本実施例では還元剤の供給を禁止するECU10が、本発明における減量部に相当する。図6は、本実施例に係る還元剤の供給を禁止するフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、ECU10により所定の時間毎に実行される。ステップS101では、還元剤を供給する前提条件が成立しているか否か判定される。本ステップでは、還元剤を供給可能な状態であるか否か判定される。たとえば各種センサが正常であるときに、還元剤を供給する前提条件が成立していると判定される。各種センサが正常であるか否かは、周知の技術により判定することができる。また、たとえば内燃機関1の運転状態が、還元剤の供給に適した運転状態であるときに、還元剤を供給する前提条件が成立していると判定される。ステップS101で肯定判定がなされた場合にはステップS102へ進み、否定判定がなされた場合には本ルーチンを終了させる。ステップS102では、NOx触媒7を通過する排気の流量に基づいて第一係数K1が算出される。この第一係数K1は、NOx触媒7に流入する還元剤量に対して、排気の流量が多いことが原因となってNOx触媒7を通り抜ける還元剤量の割合を示した値である。なお、NOx触媒7を通過する排気の流量に代えて、NOx触媒7を通過する排気の流速に基づいて第一係数K1を算出してもよい。また、NOx触媒7を通過する排気の流量に代えて、排気通路3を流通する排気の流量または排気の流速としてもよい。排気の流量または流速は、エアフローメータ11により検出される吸入空気量に基づいて算出することができる。ここで、図7は、NOx触媒7を通過する排気の流量と、第一係数K1との関係を示した図である。なお、排気の流量に代えて排気の流速としても同様の関係になる。ここで、排気の流量が例えば50g/sになるまでは、還元剤がNOx触媒7を通り抜けることがないものとし、この間の第一係数K1は一定の値とする。そして、排気の流量が例えば50g/s以上となると、排気の流量の増加に従って、第一係数K1が増加する。すなわち、排気の流量が多いほど、還元剤がNOx触媒7を通り抜けやすくなる。このため、排気の流量が多いほど、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量が多くなるので、第一係数K1が大きくなる。この関係は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。ステップS103では、NOx触媒7の温度に基づいて第二係数K2が算出される。この第二係数K2は、NOx触媒7に流入する還元剤量に対して、NOx触媒7の温度が低いことが原因となってNOx触媒7を通り抜ける還元剤量の割合を示した値である。なお、NOx触媒7の温度に代えて、排気の温度に基づいて第二係数K2を算出してもよい。排気の温度は、NOx触媒7よりも下流側の排気の温度、またはNOx触媒7を通過する排気の温度としてもよい。また、NOx触媒7の温度は、第三排気温度センサ14により検出される温度としてもよい。また、NOx触媒7の温度を検出するセンサを備えて、該NOx触媒7の温度を直接検出してもよい。ここで、図8は、NOx触媒7の温度と、第二係数K2との関係を示した図である。なお、NOx触媒7の温度に代えて排気の温度としても同様の関係になる。NOx触媒7の温度が例えば220°C以上となると、NOx触媒7の温度が十分に高いことにより還元剤の反応が促進される。このため、220°C以上では還元剤がNOx触媒7を通り抜けることがないものとし、この間の第二係数K2は一定の値とする。そして、NOx触媒7の温度が例えば220°C未満となると、NOx触媒7の温度が低いほど、第二係数K2が大きくなる。すなわち、NOx触媒7の温度が低いほど、還元剤がNOx触媒7を通り抜けやすくなる。このため、NOx触媒7の温度が低いほど、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量が多くなるので、第二係数K2が大きくなる。この関係は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。ステップS104では、NOx触媒7におけるNH3の吸着率に基づいて第三係数K3が算出される。この第三係数K3は、NOx触媒7に流入する還元剤量に対して、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が高いことが原因となってNOx触媒7を通り抜ける還元剤量の割合を示した値である。NOx触媒7におけるNH3の吸着率は、NOx触媒7に吸着されているNH3量を、NOx触媒7が最大限吸着可能なNH3量で除算した値である。NOx触媒7に吸着されているNH3量は、たとえば還元剤の供給量、NOx触媒7の温度、排気の流量などに基づいて求めることができる。また、NOx触媒7が最大限吸着可能なNH3量は、たとえばNOx触媒7の温度及びNOx触媒7の劣化の度合いに応じて変化する。これらの関係は、予め実験等により求めておくことができる。なお、NOx触媒7におけるNH3の吸着率は、周知の技術により求めることもできる。ここで、図9は、NOx触媒7におけるNH3の吸着率と、第三係数K3との関係を示した図である。なお、NH3の吸着率に代えてNH3の吸着量としても同様の関係になる。NOx触媒7におけるNH3の吸着率が例えば0.8になるまでは、還元剤がNOx触媒7を通り抜けることがないものとし、この間の第三係数K3は一定の値とする。そして、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が例えば0.8以上となると、吸着率の増加に従って、第三係数K3が増加する。すなわち、吸着率が高いほど、還元剤がNOx触媒7を通り抜けやすくなる。このため、吸着率が高いほど、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量が多くなるので、第三係数K3が大きくなる。この関係は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。また、NOx触媒7におけるNH3の吸着量と、第三係数K3との関係を実験等により求めてECU10に記憶させておいてもよい。ステップS105では、通り抜け係数RMが算出される。通り抜け係数RMは、第一係数K1に第二係数K2及び第三係数K3を乗算した値である。すなわち、通り抜け係数RMは、NOx触媒7に流入する還元剤量に対して、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量の割合を示した値である。ステップS106では、還元剤の供給量QUに、ステップS105で算出される通り抜け係数RMを乗算して、推定発生量QMが算出される。推定発生量QMは、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量の推定値である。還元剤の供給量QUは、ECU10で算出される指令値を用いることができる。還元剤の供給量QUは、たとえば、排気中のNOx量に応じた値に設定される。排気中のNOx量は内燃機関1の運転状態に基づいて推定することができる。ステップS107では、推定発生量QMが閾値QP以上であるか否か判定される。この閾値QPは、NOx触媒7を通り抜ける還元剤量であって、PMセンサ17の検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの還元剤量である。すなわち、推定発生量QMが閾値QP以上となると、PMセンサ17に付着する還元剤の影響によりフィルタ5の故障判定の精度が低くなる。ステップS107で肯定判定がなされた場合にはステップS108へ進み、一方、否定判定がなされた場合にはステップS109へ進む。ステップS108では、還元剤の供給が禁止される。すなわち、還元剤を供給すると、NOx触媒7を通り抜ける還元剤によりPMセンサ17の検出値が変化してしまうので、還元剤の供給を禁止している。ステップS109では、還元剤の供給が許可される。すなわち、NOx触媒7を通り抜ける還元剤がほとんどないため、還元剤によりPMセンサの検出値が変化することはない。なお、図6に示したフローでは、第一係数K1,第二係数K2,第三係数K3の全てを用いて通り抜け係数RMを算出しているが、何れか1つの値を通り抜け係数RMとしてもよい。また、何れか2つの値を乗算して通り抜け係数RMとしてもよい。また、本実施例では通り抜け係数RMを用いて還元剤の供給を禁止するか否か判定しているが、通り抜け係数RMや第一係数K1,第二係数K2,第三係数K3を用いずに判定することもできる。すなわち、NOx触媒7を通り抜ける還元剤の量が閾値以上の場合に、還元剤の供給を禁止すればよい。この場合、上記ステップS102からステップS106は必要ない。そして、ステップS107において、NOx触媒7を通り抜ける還元剤の量が閾値以上か否か判定する。同様に、ステップS107では、たとえば、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速が閾値以上、NOx触媒7の温度または排気の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率またはNH3の吸着量が閾値以上の少なくとも1つに該当するか否か判定してもよい。これらの閾値は、PMセンサ17の検出値に対して与える影響が許容範囲を超えるときの値として予め実験等により求めておく。以上説明したように、本実施例によれば、NOx触媒7を通り抜ける還元剤によりPMセンサ17の検出値の精度が低くなる虞がある場合に、還元剤の供給を禁止することができる。これにより、PMセンサ17の検出値が還元剤により変化することを抑制できるため、フィルタ5の故障判定の精度が低下することを抑制できる。前記図6に示したフローでは、推定発生量QMが閾値以上であるときに還元剤の供給を禁止している。これは、NOx触媒7を通過する還元剤量が許容範囲を超えるときに還元剤の供給を禁止しているともいえる。これに対し、本実施例では、NOx触媒7を通り抜ける還元剤の量によらず、NOx触媒7を還元剤が通り抜ける状態の場合に、還元剤の供給を禁止する。たとえば、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速が閾値以上、NOx触媒7の温度または排気の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率またはNH3の吸着量が閾値以上の少なくとも1つに該当するときに還元剤の供給を禁止する。これら閾値は、還元剤がNOx触媒7を通り抜ける値として設定される。その他の装置等は実施例1と同じため説明を省略する。図10は、本実施例に係る還元剤の供給を禁止するフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、ECU10により所定の時間毎に実行される。なお、図6に示したフローと同じ処理がなされるステップについては、同じ符号を付して説明を省略する。ステップS101で肯定判定がなされた場合にステップS201へ進む。ステップS201では、NOx触媒7を通過する排気の流量が閾値以上、NOx触媒7の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が閾値以上の少なくとも1つに該当するか否か判定される。これらの閾値は、還元剤がNOx触媒7を通り抜ける値として予め実験等により求めておく。排気の流量は、排気の流速としてもよい。NOx触媒7の温度は、排気の温度としてもよい。NOx触媒7におけるNH3の吸着率は、NOx触媒7におけるNH3の吸着量としてもよい。なお、ステップS201では、還元剤がNOx触媒7を通り抜けるか否か判定してもよい。また、ステップS201では、図6に示したフローと同様にして、第一係数K1,第二係数K2,第三係数K3を算出し、これらの何れかの値が閾値以上であるか否か判定してもよい。また、第一係数K1,第二係数K2,第三係数K3のうち、少なくとも2つを乗算した値が閾値以上であるか否か判定してもよい。また、ステップS105で算出される通り抜け係数RMが閾値以上であるか否か判定してもよい。これら閾値は、還元剤がNOx触媒7を通り抜ける値として予め実験等により求めておく。ステップS201で肯定判定がなされた場合にはステップS108へ進み、一方、否定判定がなされた場合にはステップS109へ進む。なお、本実施例では還元剤の供給を禁止するECU10が、本発明における減量部に相当する。以上説明したように、本実施例によれば、NOx触媒7を通り抜けた還元剤によりPMセンサ17の検出値の精度が低くなる虞がある場合に、還元剤の供給を禁止することができる。これにより、PMセンサ17の検出値が還元剤により変化することを抑制できるため、フィルタ5の故障判定の精度が低下することを抑制できる。本実施例では、PMセンサ17に到達する還元剤量が閾値未満となるように還元剤を供給する。この閾値は、PMセンサ17の検出値に与える影響が許容範囲を超えるときの還元剤量である。すなわち、本実施例では、PMセンサ17の検出値に対して与える影響が許容範囲を超えないように還元剤を供給する。NOx触媒7を還元剤が通り抜けないように還元剤を供給してもよい。その他の装置などは実施例1と同じため説明を省略する。たとえば、NOx触媒7を通過する排気の流量が多いほど、または排気の流速が高いほど、還元剤の供給量を少なくする。また、NOx触媒7の温度または排気の温度が低いほど、還元剤の供給量を少なくする。また、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が高いほど、またはNH3の吸着量が多いほど、還元剤の供給量を少なくする。なお、本実施例では還元剤の供給量を少なくするECU10が、本発明における減量部に相当する。図11は、本実施例に係る還元剤の供給量の制御フローを示したフローチャートである。本ルーチンはECU10により所定の時間毎に実行される。なお、図6に示したフローと同じ処理がなされるステップについては、同じ符号を付して説明を省略する。ステップS107で肯定判定がなされた場合にはステップS301へ進み、ステップS301では、通り抜けフラグがONとされる。通り抜けフラグは、推定発生量QMが閾値QPよりも大きいときにONとされるフラグである。なお、通り抜けフラグの初期値はOFFである。また、NOx触媒7を還元剤が通り抜ける状態のときに、通り抜けフラグをONとしてもよい。なお、通り抜けフラグは、後述の実施例において使用するため、本実施例では設定しなくてもよい。ステップS302では、通り抜け量QSが算出される。通り抜け量QSは、推定発生量QMからステップS107で用いられる閾値QPを減算した値である。すなわち、NOx触媒7を通過した還元剤であって、許容範囲を超えた分の還元剤量が通り抜け量QSとして算出される。なお、通り抜け量QSは、後述の実施例において使用する値であるため、本実施例では算出しなくてもよい。ステップS303では、補正係数KQが算出される。補正係数KQは、還元剤の供給量QUを補正するための係数であり、PMセンサ17に到達する還元剤が許容範囲内となるように補正するための係数である。補正係数KQは、閾値QPを推定発生量QMで除算した値である。この補正係数KQは、NOx触媒7を通過する還元剤量が閾値QPまで減少するように設定される。ステップS304では、還元剤の供給量QUに補正係数KQを乗算することにより、最終的な還元剤の供給量QUが算出される。すなわち、ステップS304で算出される新たな還元剤の供給量QUが、実際に供給される還元剤量となる。また、ステップS107で否定判定がなされた場合には、ステップS305へ進み、補正係数KQに1が代入される。すなわち、還元剤の供給量QUが変わらないようにしている。このようにして、NOx触媒7を通り抜ける還元剤の量を許容範囲内に抑えつつ還元剤を供給することができるため、NOxの浄化率の低下を抑制できる。また、PMセンサ17の検出値が還元剤により変化することを抑制できるため、フィルタ5の故障判定の精度が低下することを抑制できる。本実施例においては、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速に応じて還元剤の供給量の上限値を設ける。その他の装置などは実施例1と同じため、説明を省略する。ここで、実施例3では、推定発生量QMに基づいて還元剤の供給量を補正しているが、本実施例では、推定発生量QMを算出しない。また、本実施例では、還元剤の供給量は補正せずに、供給量の上限値を設ける。たとえば、必要とされる還元剤量が上限値より多い場合であっても、実際に供給する還元剤は上限値とする。すなわち、還元剤の供給量を少なくする。この還元剤の供給量の上限値は、PMセンサ17の検出値に与える影響が許容範囲内となる還元剤量の上限値である。還元剤量の上限値と、排気の流量または排気の流速との関係は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。なお、本実施例では還元剤の供給量を少なくするECU10が、本発明における減量部に相当する。図12は、本実施例に係る還元剤の供給量の制御フローを示したフローチャートである。本ルーチンはECU10により所定の時間毎に実行される。なお、図6に示したフローと同じ処理がなされるステップについては、同じ符号を付して説明を省略する。ステップS101で肯定判定がなされた場合に、ステップS401へ進む。ステップS401では、還元剤の供給量の上限値が設定される。還元剤の供給量の上限値は、排気の流量または排気の流速に基づいて求める。たとえば、排気の流量が多いほど、または、排気の流速が高いほど、上限値を小さくする。この関係は、予め実験等により求めてマップ化しておいてもよい。ステップS402では、還元剤の供給量QUが算出される。還元剤の供給量QUは、ECU10で算出される指令値を用いることができる。還元剤の供給量QUは、たとえば、排気中のNOx量に応じた値に設定される。ステップS403では、ステップS402で算出される還元剤の供給量QUが、ステップS401で設定される上限値以下であるか否か判定される。ステップS403で肯定判定がなされた場合にはステップS404へ進み、一方、否定判定がなされた場合にはステップS405へ進む。ステップS404では、ステップS402で算出される還元剤の供給量QUが、最終的な還元剤の供給量QUに設定される。ステップS405では、ステップS401で設定される上限値が、最終的な還元剤の供給量QUに設定される。このようにして、簡易的に還元剤の供給量の上限を設定しても、還元剤がPMセンサ17に付着することを抑制できる。これにより、フィルタ5の故障判定の精度を高めることができる。なお、本実施例では、還元剤の供給量の上限値を、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速に基づいて設定しているが、これに代えて、NOx触媒7の温度、または、排気の温度、NOx触媒7におけるNH3の吸着率、NOx触媒7におけるNH3の吸着量に基づいて、還元剤の供給量の上限値を算出してもよい。NOx触媒7の温度、または、排気の温度、NOx触媒7におけるNH3の吸着率、NOx触媒7におけるNH3の吸着量と、還元剤の供給量の上限値と、の関係は予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。本実施例では、還元剤がPMセンサ17に到達するような運転状態となる前に、予め還元剤をNOx触媒7に吸着させておく。その他の装置などは実施例1と同じため、説明を省略する。前記実施例では、還元剤がPMセンサ17に到達するような運転状態になると、還元剤の供給量を少なくしているが、本実施例では、そのような運転状態となる前にNOx触媒7に還元剤を吸着させておく。たとえば、吸入空気量が現時点における値から最大限増加したときを想定し、NOx触媒7の温度が、現時点の値から該NOx触媒7を還元剤が通り抜けなくなる温度まで上昇するまでの間に、NOx触媒7に流入すると推定されるNOxの量に応じた量の還元剤を予め供給しておく。なお、吸入空気量が増加すると、排気の流量または排気の流速が増加するために、還元剤の供給量が少なくされる状態となるが、吸入空気量が増加することで排気の温度が上昇する。そうすると、NOx触媒7の温度が上昇するために、NOx触媒7を還元剤が通り抜け難くなる。すなわち、NOx触媒7の温度が十分に高くなれば、NOxの量に応じた量の還元剤を供給することができる。したがって、PMセンサ17に還元剤が到達する虞のある温度の最高値を算出し、現時点での温度から該最高値まで上昇するのに要する時間に供給するべき還元剤を予めNOx触媒7に吸着させておく。図13は、本実施例に係る還元剤の供給量の制御フローを示したフローチャートである。本ルーチンはECU10により所定の時間毎に実行される。なお、図6に示したフローと同じ処理がなされるステップについては、同じ符号を付して説明を省略する。ステップS101で肯定判定がなされた場合には、ステップS501へ進む。ステップS501では、PMセンサ17に還元剤が到達する可能性のあるNOx触媒7の最高温度TMが算出される。この最高温度TMは、吸入空気量に応じて変化させてもよい。そして、最高温度TMは、予め実験等により求めてマップ化しECU10に記憶させておく。ステップS502では、最高温度TMから現時点におけるNOx触媒7の温度TPを減算した値である温度増加量ΔTSCRが算出される。この温度増加量ΔTSCRは、内燃機関1の運転状態が変化したときに、PMセンサ17に還元剤が到達しない状態となるまでに上昇しなくてはならない温度である。ステップS503では、NH3増加量URQが算出される。NH3増加量URQは、排気中のNOxを還元させるために必要となる還元剤量に対して、上乗せする還元剤量である。すなわち、通常よりも増加させる分の還元剤の供給量である。NH3増加量URQは、ステップS502で算出される温度増加量ΔTSCRと相関関係にあり、図14で示されるマップにより得られる。ここで、図14は、温度増加量ΔTSCRと、NH3増加量URQと、の関係を示した図である。温度増加量ΔTSCRが大きいほど、NOx触媒7の温度が、PMセンサ17に還元剤が到達しなくなる温度まで上昇するまでに時間を要するため、NH3増加量URQがより大きくなる。この、NH3増加量URQは、還元剤の供給量を少なくしている間に不足する還元剤量とすることができる。図14の関係は予め実験等により求めてマップ化し、ECU10に記憶させておく。ステップS504では、現時点でのNH3増加量UEXが読み込まれる。ステップS505では、ステップS503で算出されるNH3増加量URQが、ステップS504で読み込まれる現時点でのNH3増加量UEXよりも多いか否か判定される。本ステップでは、現時点よりも還元剤を増量する必要があるか否か判定される。すなわち、現時点でのNH3増加量UEXが十分多ければ、新たに増量する必要はなく、また、無駄に還元剤を消費する虞もあるため、本ステップの判定がなされる。ステップS505で肯定判定がなされた場合にはステップS506へ進み、一方、否定判定がなされた場合には還元剤を増量する必要はないため本ルーチンを終了させる。ステップS506では、還元剤を増量分UADだけ増量させる。この増量分UADは、還元剤が急激に増加しないように設定される。ここで、NH3増加量URQを一度に上乗せすると、還元剤の一部がNOx触媒7に吸着せずに該NOx触媒7から流出する虞があるため、還元剤の流出を抑えるように増量分UADが決定される。そして、NH3増加量URQよりも増量分UADが小さい場合には、本ルーチンが複数回実行されるたびに増量分UADだけ増量されていき、最終的にNH3増加量URQに達することになる。この増量分UADは規定の値であり、最適値を予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。ステップS507では、現時点でのNH3増加量UEXに増量分UADを加算した値が、新たに現時点でのNH3増加量UEXとされる。なお、本実施例においては図13に示すフローを処理するECU10が、本発明における増量部に相当する。このように、還元剤の供給量を少なくするのに備えて、予めNOx触媒7により多くの還元剤を吸着させておく。これにより、還元剤の供給量を減少させた場合であっても、還元剤が不足することを抑制できるため、NOxの浄化率が低下することを抑制できる。また、還元剤がPMセンサ17に到達する虞があるときには、還元剤の供給量を減少させることができるため、PMセンサ17の検出値が還元剤の影響を受けて変化することを抑制できる。このため、フィルタ5の故障判定の精度を高めることができる。本実施例では、実施例5で説明した還元剤の増量が間に合わない場合、または、規定期間ごとに還元剤を供給する場合について説明する。その他の装置などは実施例1と同じため、説明を省略する。一般に、還元剤の供給は、NOx触媒7に流入したNOx量の積算値が閾値に達したときに行うか、または、規定期間毎に行う。NOx触媒7に流入したNOx量の積算値が閾値に達したときに還元剤の供給を行う場合には、該NOx量の積算値に対応した規定量の還元剤が供給される。また、規定期間毎に還元剤の供給を行う場合には、規定期間にNOx触媒7に流入したNOx量の積算値に応じて還元剤が供給される。これに対し本実施例では、PMセンサ17に還元剤が到達する虞があるときには、還元剤を供給する時期となった場合であっても、還元剤の供給をすぐには行わない。すなわち、還元剤の供給量が通常よりも少なくされている場合に還元剤を供給する時期となっても、還元剤の供給を行わない。そして、還元剤がPMセンサ17に到達する虞がなくなってから還元剤を供給する。すなわち、還元剤の供給を延期する。このときの還元剤の供給量は、還元剤の供給を延期している期間にNOx触媒7に流入したNOxを浄化可能な分だけ増量して行われる。すなわち、供給される還元剤の量は、前回の還元剤の供給から、現時点までにNOx触媒7に流入したNOx量に応じて決定される。これは、NOx触媒7に吸着している還元剤の減少分に応じた量の還元剤を供給するとしてもよい。図15は、一般的な供給フラグおよびNOx触媒7に流入するNOx量の積算値の推移を示したタイムチャートである。図15は、還元剤の供給量が少なくされていないときの図としてもよい。また、図15は、還元剤の一般的な供給時期を示した図としてもよい。供給フラグがONとなると、還元剤が供給される。供給フラグがOFFとなっているときには、NOx触媒7に流入するNOx量が積算される。図15では、規定期間ごとに供給フラグがONとされる。この規定期間は、還元剤の供給が必要となる期間として予め設定されており、たとえば、数秒から数十秒である。供給フラグがONとなると、そのときのNOx量の積算値に応じて還元剤の供給量が決定される。すなわち、すでにNOx触媒7に流入したNOxにより、NOx触媒7に吸着していた還元剤が消費されているため、この消費された分の還元剤を補うように還元剤を供給する。なお、NOx触媒7に流入するNOx量の積算値が閾値に達すると、供給フラグがONとなり、還元剤の供給を行うようにしてもよい。図16は、本実施例に係る還元剤の供給制御を行った場合の供給フラグおよびNOx触媒7に流入するNOx量の積算値の推移を示したタイムチャートである。なお、図16中の通過フラグがONとなっているときには、還元剤がNOx触媒7を通り抜ける虞がある。たとえば、吸入空気量が閾値以上で、且つ、NOx触媒7の温度が閾値未満のときに通過フラグがONとなる。この通過フラグがONとなっている間は、還元剤の供給を行わない。すなわち、供給フラグをONとせずに還元剤の供給を延期させる。そして、還元剤の供給を延期している間もNOx量が積算され、通過フラグがOFFとなったときに、供給フラグがONとされると共に、このときのNOx量の積算値に応じた量の還元剤が供給される。図17は、本実施例に係る還元剤の供給量の制御フローを示したフローチャートである。本ルーチンはECU10により所定の時間毎に実行される。なお、図6に示したフローと同じ処理がなされるステップについては、同じ符号を付して説明を省略する。ステップS101で肯定判定がなされた場合には、ステップS601へ進む。ステップS601では、還元剤の供給時期であるか否か判定される。還元剤の供給は、予め設定されている規定期間ごとに行われるため、前回の還元剤の供給から規定期間が経過しているときに還元剤の供給時期であると判定される。ステップS601で肯定判定がなされた場合にはステップS602へ進み、一方、否定判定がなされた場合にはステップS606へ進み、NOx触媒7に流入するNOx量が積算される。そして、ステップS606が実行された後にステップS601へ戻る。すなわち、ステップS601で肯定判定がなされるまで、NOx触媒7に流入するNOx量が積算される。ステップS602では、通過フラグがONとなっているか否か判定される。すなわち、PMセンサ17に還元剤が到達する虞のある状態であるか否か判定される。たとえば、NOx触媒7を通過する排気の流量または排気の流速が閾値以上、NOx触媒7の温度または排気の温度が閾値以下、NOx触媒7におけるNH3の吸着率またはNH3の吸着量が閾値以上の少なくとも1つに該当するときに通過フラグがONとなる。これは、実施例2で説明した還元剤の供給を禁止する条件と同じとしてもよい。そして、ステップS602で肯定判定がなされた場合にはステップS607へ進む。ステップS607では、NOx触媒7に流入するNOx量が積算される。そして、ステップS607が実行された後にステップS602へ戻る。すなわち、ステップS602で否定判定がなされるまで、NOx触媒7に流入するNOx量が積算される。一方、ステップS602で否定判定がなされた場合には、ステップS603へ進む。ステップS603では、還元剤の供給量が算出される。還元剤の供給量は、ステップS606で算出されるNOx量の積算値と、ステップS607で算出されるNOx量の積算値と、を加算した値に基づいて算出される。NOx量の積算値と還元剤供給量との関係は、予め実験等により求めてECU10に記憶させておく。ステップS604では、供給フラグがONとされる。そして、ステップS605では、ステップS603で算出される還元剤の供給量にしたがって、還元剤が供給される。なお、本実施例においては図17に示すフローを処理するECU10が、本発明における延期部に相当する。このように、PMセンサ17に還元剤が到達する虞のある場合には、還元剤の供給を禁止することで、PMセンサ17の検出値が還元剤から影響を受けて変化することを抑制できる。これにより、フィルタ5の故障判定の精度が低下することを抑制できる。また、還元剤の供給を禁止した後に還元剤を供給するときには、還元剤の供給量を増量することにより、NOx触媒7に吸着している還元剤の量を速やかに回復させることができる。これにより、NOx浄化率が低下することを抑制できる。"