"平板状のろ過シートと平板状のスペーサーシートとを交互に多数積層するとともに、積層方向の貫通孔からなる少なくとも一つの第一柱状流路と、前記第一柱状流路に近接し積層方向の貫通孔からなる複数の第二柱状流路とを備える積層型ろ過体であって、前記ろ過シートが表面平滑な多角形または円形の環状ろ過部と、前記環状ろ過部の外縁に接続し、前記環状ろ過部の中心から放射方向に間隔を置いて延設した複数の第一支持部と、前記第一支持部の延設方向の全ての先端部に一括して接続し、前記第一支持部の放射方向に延設した第一台座部とを備えるとともに、前記スペーサーシートが前記第一台座部と略同形の第二台座部と、前記第二台座部の内縁に接続し、前記第一支持部と略同形で見当一致して延設した複数の第二支持部とを備えるとともに、前記環状ろ過部の内縁が前記第一柱状流路を構成し、前記環状ろ過部と前記第一支持部と前記第一台座部と前記第二支持部と前記第二台座部とが前記第二柱状流路を構成することを特徴とする積層型ろ過体前記ろ過シートが前記環状ろ過部の内径の異なる2種類のろ過シートAおよびろ過シートBとからなるとともに、前記ろ過シートAおよびろ過シートBが前記スペーサーシートを介して交互に多数積層していることを特徴とする請求項1に記載の積層型ろ過体前記環状ろ過部の厚みが、前記環状ろ過部の内縁から外縁に向かって減少していることを特徴とする請求項1~2のいずれかの項に記載の積層型ろ過体前記積層型ろ過体がその両端面を押圧する固定枠を備えるとともに、前記固定枠の内少なくとも一方が前記ろ過シートの開口パターンと略同形の貫通した開口を有する固定枠であることを特徴とする請求項1~3のいずれかの項に記載の積層型ろ過体平板状のろ過シートと平板状のスペーサーシートとを交互に多数積層するとともに、積層方向の貫通孔からなる複数の柱状流路とを備える積層型ろ過体であって、前記ろ過シートが表面平滑な多角形または円形の環状ろ過部と、前記環状ろ過部の内縁に接続し、前記環状ろ過部の中心方向に間隔を置いて延設した複数の第一支持部と、前記第一支持部の延設方向の全ての先端部に一括して接続した第一台座部とを備えるとともに、前記スペーサーシートが前記第一台座部と略同形の第二台座部と、前記第二台座部の外縁に接続し、前記第一支持部と略同形で見当一致して延設した複数の第二支持部とを備えるとともに、前記環状ろ過部と前記第一支持部と前記第一台座部と前記第二支持部と前記第二台座部とが前記柱状流路を構成することを特徴とする積層型ろ過体前記ろ過シートが、前記環状ろ過部の外径の異なる2種類のろ過シートCおよびろ過シートDとからなるとともに、前記ろ過シートCおよびろ過シートDが前記スペーサーシートを介して交互に多数積層していることを特徴とする請求項5に記載の積層型ろ過体前記環状ろ過部の厚みが、前記環状ろ過部の外縁から内縁に向かって減少していることを特徴とする請求項5~6のいずれかの項に記載の積層型ろ過体前記積層型ろ過体がその両端面を押圧する固定枠を備えるとともに、前記固定枠の内少なくとも一方が前記ろ過シートの開口パターンと略同形の貫通した開口を有する固定枠であることを特徴とする請求項5~7のいずれかの項に記載の積層型ろ過体前記スペーサーシートの前記第二台座部および前記第二支持部が、前記第一台座部および前記第一支持部と見当一致して前記ろ過シート上に一括形成された印刷塗膜であるとともに、前記印刷塗膜の膜厚が1μm~30μmの範囲であることを特徴とする請求項1~8のいずれかの項に記載の積層型ろ過体円柱形の内壁を有するサイクロン式ろ過装置内の流体の回転軸上に前記積層型ろ過体を設置し、前記サイクロン装置内に流入した流体内の重量の大きい粒子を遠心力で分離するとともに、遠心力で分離し難い低重量の粒子を前記積層型ろ過体でろ過することを特徴とする請求項1~9のいずれかの項に記載の積層型ろ過体を用いたろ過方法本発明が解決しようとする課題は、流体中のミクロンオーダーの粒子をろ過しようとするとろ過速度が極めて遅くなる点であり、またろ過精度の高い装置に使用される濾材は加工組立てが難しく量産効率が低くなっている点であり、またろ過速度の大きい装置は装置容積が大きくなる点である。請求項1に係る積層型ろ過体は、平板状のろ過シートと平板状のスペーサーシートとを交互に多数積層するとともに、積層方向の貫通孔からなる少なくとも一つの第一柱状流路と、前記第一柱状流路に近接し積層方向の貫通孔からなる複数の第二柱状流路とを備える積層型ろ過体であって、前記ろ過シートが表面平滑な多角形または円形の環状ろ過部と、前記環状ろ過部の外縁に接続し、前記環状ろ過部の中心から放射方向に間隔を置いて延設した複数の第一支持部と、前記第一支持部の延設方向の全ての先端部に一括して接続し、前記第一支持部の放射方向に延設した第一台座部とを備えるとともに、前記スペーサーシートが前記第一台座部と略同形の第二台座部と、前記第二台座部の内縁に接続し、前記第一支持部と略同形で見当一致して延設した複数の第二支持部とを備えるとともに、前記環状ろ過部の内縁が前記第一柱状流路を構成し、前記環状ろ過部と前記第一支持部と前記第一台座部と前記第二支持部と前記第二台座部とが前記第二柱状流路を構成するものである。本発明で表面平滑な環状ろ過部用いる理由は微細な粒子を高速でろ過するためである。流体の接触表面に凹凸があれば流体の接触抵抗が増し、流体の通過距離が長いとやはり摩擦による接触抵抗が増し共にろ過抵抗が大きくなる要因となる。多角形または円形の環状ろ過部の帯幅は狭い程ろ過抵抗が小さくなるため有利であるが環状ろ過部の剛性は小さくなる。環状ろ過部の剛性を保持するため本発明では複数の第一支持部を環状ろ過部の外縁に接続している。また複数の第一支持部を一括して固定する第一台座部を設けることでさらに剛性を大きくしている。本発明でスペーサーシートに複数の第二支持部を設ける理由は、第一支持部と第二支持部を見当一致して積層することで環状ろ過部の固定を強固にするためである。さらに第一台座部と第二台座部の積層により環状ろ過部の固定剛性が一層強化される。また本発明ではろ過シートおよびスペーサーシートの積層によりろ過体を形成するため、ろ過シートを薄くすることにより容易にろ過流量を大きくすることができ、小型化が可能である。また請求項2に係る積層型ろ過体は、請求項1に記載の積層型ろ過体であって、前記ろ過シートが前記環状ろ過部の内径の異なる2種類のろ過シートAおよびろ過シートBとからなるとともに、前記ろ過シートAおよびろ過シートBが前記スペーサーシートを介して交互に多数積層しているものである。多角形または円形の環状ろ過部の帯幅は狭い程ろ過抵抗が小さくなるため有利であるが剛性は小さくなる。しかし帯幅を変えず剛性を保つとともに、ろ過抵抗を小さくすることが可能である。本発明では環状ろ過部の内径が異なる2種類のろ過シートを交互に積層して、隣接する環状ろ過部が積層面に水平に交互にずれた構造を形成している。このため隣接する環状ろ過部の隙間を流れる流体の流路を短縮してろ過抵抗を小さくすることが可能となる。また本発明では、隣接するろ過シートAおよびろ過シートBの環状ろ過部の内縁によって形成される凹部空間によりろ過時に生成するケーク層の固定およびケーク層の厚みの制御が可能となる。また請求項3に係る積層型ろ過体は、請求項1~2のいずれかの項に記載の積層型ろ過体であって、前記環状ろ過部の厚みが、前記環状ろ過部の内縁から外縁に向かって減少しているものである。本発明では、ろ過シートの環状ろ過部の厚みをその内縁から外縁に向かって徐々に薄くすることにより、環状ろ過部の外縁に向かうろ過流路の断面積を拡大して、ろ過抵抗を小さくすることができる。また請求項4に係る積層型ろ過体は、請求項1~3のいずれかの項に記載の積層型ろ過体であって、前記積層型ろ過体がその両端面を押圧する固定枠を備えるとともに、前記固定枠の内少なくとも一方が前記ろ過シートの開口パターンと略同形の貫通した開口を有する固定枠であるものである。本発明では積層型ろ過体を一体として固定するために、固定枠を使用する。少なくとも一方の固定枠をろ過シートと略同形の開口パターンを有するものにすれば、流路断面積を一定に保つとともに、積層型ろ過体の端面と固定枠との接触面積が最大になるためろ過体の固定と剛性とを共に強化することができる。請求項5に係る積層型ろ過体は、平板状のろ過シートと平板状のスペーサーシートとを交互に多数積層するとともに、積層方向の貫通孔からなる複数の柱状流路とを備える積層型ろ過体であって、前記ろ過シートが表面平滑な多角形または円形の環状ろ過部と、前記環状ろ過部の内縁に接続し、前記環状ろ過部の中心方向に間隔を置いて延設した複数の第一支持部と、前記第一支持部の延設方向の全ての先端部に一括して接続した第一台座部とを備えるとともに、前記スペーサーシートが前記第一台座部と略同形の第二台座部と、前記第二台座部の外縁に接続し、前記第一支持部と略同形で見当一致して延設した複数の第二支持部とを備えるとともに、前記環状ろ過部と前記第一支持部と前記第一台座部と前記第二支持部と前記第二台座部とが前記柱状流路を構成するものである。本発明で表面平滑な環状ろ過部用いる理由は微細な粒子を高速でろ過するためである。流体の接触表面に凹凸があれば流体の接触抵抗が増し、流体の通過距離が長いとやはり摩擦による接触抵抗が増し共にろ過抵抗が大きくなる要因となる。多角形または円形の環状ろ過部の帯幅は狭い程ろ過抵抗が小さくなるため有利であるが環状ろ過部の剛性は小さくなる。環状ろ過部の剛性を保持するため本発明では複数の第一支持部を環状ろ過部の内縁に接続している。また複数の第一支持部を一括して固定する第一台座部を設けることでさらに剛性を大きくしている。本発明でスペーサーシートに複数の第二支持部を設ける理由は、第一支持部と第二支持部を見当一致して積層することで環状ろ過部の固定を強固にするためである。さらに第一台座部と第二台座部の積層により環状ろ過部の固定剛性が一層強化される。また本発明ではろ過シートおよびスペーサーシートの積層によりろ過体を形成するため、ろ過シートを薄くすることにより容易にろ過流量を大きくすることができ、小型化が可能である。また請求項6に係る積層型ろ過体は、請求項5に記載の積層型ろ過体であって、前記ろ過シートが前記環状ろ過部の外径の異なる2種類のろ過シートCおよびろ過シートDとからなるとともに、前記ろ過シートCおよびろ過シートDが前記スペーサーシートを介して交互に多数積層しているものである。多角形または円形の環状ろ過部の帯幅は狭い程ろ過抵抗が小さくなるため有利であるが剛性は小さくなる。しかし帯幅を変えず剛性を保つとともに、ろ過抵抗を小さくすることが可能である。本発明では環状ろ過部の外径が異なる2種類のろ過シートを交互に積層して、隣接する環状ろ過部が積層面に水平に交互にずれた構造を形成している。このため隣接する環状ろ過部の隙間を流れる流体の流路を短縮してろ過抵抗を小さくすることが可能となる。また本発明では、隣接するろ過シートCおよびろ過シートDの環状ろ過部の外縁によって形成される凹部空間によりろ過時に生成するケーク層の固定およびケーク層の厚みの制御が可能となる。また請求項7に係る積層型ろ過体は、請求項5~6のいずれかの項に記載の積層型ろ過体であって、前記環状ろ過部の厚みが、前記環状ろ過部の外縁から内縁に向かって減少しているものである。本発明では、ろ過シートの環状ろ過部の厚みをその外縁から内縁に向かって徐々に薄くすることにより、環状ろ過部の内縁に向かうろ過流路の断面積を拡大して、ろ過抵抗を小さくすることができる。また請求項8に係る積層型ろ過体は、請求項5~7のいずれかの項に記載の積層型ろ過体であって、前記積層型ろ過体がその両端面を押圧する固定枠を備えるとともに、前記固定枠の内少なくとも一方が前記ろ過シートの開口パターンと略同形の貫通した開口を有する固定枠であるものである。本発明では積層型ろ過体を一体として固定するために、固定枠を使用する。少なくとも一方の固定枠をろ過シートと略同形の開口パターンを有するものにすれば、流路断面積を一定に保つとともに、積層型ろ過体の端面と固定枠との接触面積が最大になるためろ過体の固定と剛性とを共に強化することができる。また請求項9に係る積層型ろ過体は、請求項1~8のいずれかの項に記載の積層型ろ過体であって、前記スペーサーシートの前記第二台座部および前記第二支持部が、前記第一台座部および前記第一支持部と見当一致して前記ろ過シート上に一括形成された印刷塗膜であるとともに、前記印刷塗膜の膜厚が1μm~30μmの範囲であるものである。本発明では、スペーサーシートの厚みが薄くなると製造時のハンドリングが難しくなり、またパターン加工の際の歩留まりが低下するためにスペーサーシートを印刷法による塗膜で形成する。塗膜厚が1μm以下ではピンホール等が発生し印刷品質が悪くなり、30μm以上では重ね刷り回数が多くなり量産性が悪くなる。また請求項10に係る積層型ろ過体を用いたろ過方法は、請求項1~9のいずれかの項に記載の積層型ろ過体を用いたろ過方法で、円柱形の内壁を有するサイクロン式ろ過装置内の流体の回転軸上に前記積層型ろ過体を設置し、前記サイクロン装置内に流入した流体内の重量の大きい粒子を遠心力で分離するとともに、遠心力で分離し難い低重量の粒子を前記積層型ろ過体でろ過するものである。本発明では積層型ろ過体をサイクロン式ろ過装置の内部に設置し、サイクロン装置のみでは重量が小さくて遠心力で分離し難い粒子を積層型ろ過体でろ過するものである。本発明による積層型ろ過体は小型で、かつろ過流量を大きくすることが可能であり、粒子径の差によりろ過するものであるため、サイクロンろ過装置の容器内に装着してサイクロン装置の欠点を補完することが可能である。本発明の積層型ろ過体を用いると、表面平滑な環状ろ過部をスペーサーシートにより一定の間隔に保ちつつ、第一支持部により環状ろ過部が中に浮いた構造を形成することができる。従って、ろ過抵抗が小さくなりより微細な粒子をより高速でろ過することができる。また本発明の積層型ろ過体を用いると、環状ろ過部の内径差によりろ過面に凹型の空間を形成するため、ケーク層を固定しその厚みをコントロールして、より微細な粒子を高速でろ過することができる。また本発明の積層型ろ過体を用いると、環状ろ過部の断面にテーパーを形成するため、ろ過抵抗が小さくなり高速でろ過することができる。また本発明の積層型ろ過体は、少なくとも一方の固定枠がろ過シートと略同形の開口パターンを有するため剛性を高くすることができる。また本発明による積層型ろ過体は、ろ過シートを薄くすることによりろ過面積を大きくすることが可能で小型化が容易である。また本発明による積層型ろ過体は、汎用材料と汎用加工技術を用いて、簡易に製造することができるため、量産効率が高く、低コストである。本発明を実施するための最良の形態を、図に基づいて説明する。図3、図3に本発明によるろ過シート2とスペーサーシート3の一例を示す。ろ過シート2とスペーサーシート3は一対のパターンを有し交互に多数積層するものである。ここでろ過シート2とスペーサーシート3を交互に積層するのは、積層体の剛性を保ちつつ、ろ過シート間の間隔を一定に保つためである。ろ過シート2の材質は特に限定されないが、例えばポリオレフィン系、ポリエステル系、アクリル系、ポリアミド系、ポリカーボネイト系、ポリ塩化ビニル系、PEN、PEI、PEEK、PAI、PES等の樹脂シートや、アルミニウム、鉄、ステンレス、真鍮、ニッケル、亜鉛、チタンあるいはそれらの合金等の金属シートを用いることができる。スペーサーシート3の材質は特に限定されないが、例えばポリオレフィン系、ポリエステル系、アクリル系、ポリアミド系、ポリカーボネイト系、ポリ塩化ビニル系、PEN、PEI、PEEK、PAI、PES等の樹脂フィルムや、アルミニウム、鉄、ステンレス、真鍮、ニッケル、亜鉛、チタンあるいはそれらの合金等の金属フィルムを用いることができる。スペーサーシート3の厚みはろ過粒子の大きさを基に設計するもので限定されない。多角形または円形の環状ろ過部21は1流体のろ過抵抗を出来るだけ小さくするためにその表面を平滑にし、2流体のろ過流路を出来るだけ短くするためにその帯幅Lを狭くするほうが良い。ただし剛性を保持するため材質により帯幅Lは05mm~5mm程度とするのが好ましい。複数設ける第一支持部22は環状ろ過部21を安定して支持するため三つ以上設ける。第一支持部22の数は多いほど環状ろ過部21を支持する効果は大きくなるが、ろ過流体の流路断面積が狭くなるためろ過流量を考慮して設計する。また、各々の第一支持部22の幅は、剛性を保持できる程度で、その数と共にろ過流量を考慮して設計する。スペーサーシート3の第二支持部31および第二台座部32は、ろ過シート2のパターンから環状ろ過部のパターンを除いたものと基本的に同一パターンとすればよい。しかし量産積層時の剛性を確保する一方、積層時の位置合わせのバラツキを考慮して第一支持部22と第二支持部31の幅を変えることもできる。本発明によるろ過シート2およびスペーサーシート3のパターン加工法は特に限定されず、汎用工法を利用することができるため量産性が高い。例えば、汎用工法である金型による打ち抜き加工や印刷エッチング加工等を利用して製造することができる。また、成形後のバリ取り等に関しても化学研磨法や電解研磨法を利用することができる。スペーサーシート3の厚みが薄くなると剛性が低くなり加工や組立て時のハンドリング性が悪くなる場合がある。スペーサーシート3にシート材が使用し難い場合、本発明ではスペーサーシートとして印刷膜あるいはメッキ膜を利用することができる。印刷法を利用する場合は、ろ過シート2上に第二台座部32および第二支持部31を直接印刷形成することができる。印刷法はスクリーン印刷、グラビア印刷、平版印刷、インクジェット印刷等の中から必要な膜厚にあわせて適宜選択する。またメッキ法を利用する場合は、ろ過シート2が金属シートであればアディティブ電気メッキ法が使用できる。例えば、打抜き等によりパターン成形され、バリ取りされた金属ろ過シート2上に印刷レジストを使用して、環状ろ過部21をマスキングし、第二台座部32および第二支持部31を必要な膜厚になるよう電気メッキ法でメッキ形成した後、レジストを剥離すれば良い。またサブトラクティブ法であれば、打抜き等によりパターン成形され、バリ取りされた金属ろ過シートを電気メッキにより全面メッキし、片面の第一支持部および第一台座部のみをマスキングし、マスキング部以外のメッキ膜をエッチング除去した後、マスキングを剥離すればよい。図4、図5に本発明による一例のろ過シート2およびスペーサーシート3が積層される様子を示す。環状ろ過部21は複数の第一支持部22のみにより周囲から支持され、スペーサーシート3により一定の間隔で空間に浮いた状態で保持される。第一台座部23は第二台座部32とともに表面積が大きく積層時の剛性を大きく保つ効果がある。さらにスペーサーシート3に第一支持部22と見当一致した第二支持部31を設けることで、積層時の環状ろ過部21の固定効果および剛性が十分に大きくなる。図6に本発明によるろ過体の一例を示す。流体は第一柱状流路24から入り、隣接する表面平滑な環状ろ過部21の隙間を通過してろ過され柱状流路25から出る。流体のろ過抵抗は環状ろ過部21の間隔Sと帯幅Lと表面性状で決定される。ここで本発明の第一の主眼は、表面平滑な環状ろ過部21を用いるとともに帯幅Lを短くして、ろ過抵抗を小さくし、ろ過速度を上げることである。またろ過時に生成するケーク層を第一柱状流路24を通る流体で積極的に除去し、ケーク層の成長を抑制することである。従って、連続ろ過時のろ過流量の低下が抑制され、ろ過速度が向上する。ろ過粒子の大きさはスペーサーシートの厚みを利用することで簡易かつ正確に制御することができる。図7に本発明によるろ過体の別の例を示す。環状ろ過部21の内径がH2、H1と異なるろ過シートA2Aとろ過シートB2Bを、スペーサーシート3を介して交互に積層したものである。内径差H2-H1は隣接する環状ろ過部21の重なりが保てる範囲であれば限定されない。ここで本発明の第二の主眼は隣接する環状ろ過部21を交互にずらすことにより、環状ろ過部21の剛性を保持しつつろ過流路を短縮して、ろ過抵抗を小さくしろ過速度を上げることである。またろ過時に生成するケーク層を積極的に利用して、隣接する環状ろ過部21の間隔Sより小さな粒子をろ過することである。ケーク層を積極的に利用してより小さい粒子をろ過する場合、ろ過助剤を用いて予めケーク層を形成し、その後目的のろ過を実施する。汎用のろ過助剤としてはケイソウ土、パーライト等を用いることができる。生成するケーク層は、一方で第一柱状流路24を通る流体で積極的に除去しその成長を抑制するとともに、他方で環状ろ過部21の内径差が生む凹部空間に適量のケーク層を固定することでその厚さを制御することができる。図8に本発明によるろ過体の別の例を示す。隣接する環状ろ過部21の隙間に形成されるろ過流路の断面積が広いほどろ過抵抗は小さくなる。環状ろ過部21の厚みFをろ過流体の進行方向に沿ってFからFtまで徐々に減少させる。これにより環状ろ過部21の断面は略台形となる。ここで本発明の第三の主眼はケーク層を利用してより小さな粒子をろ過する場合のろ過抵抗を小さくすることである。本発明によれば、ケーク層の厚みを制御しつつろ過抵抗をより小さくすることが可能である。この場合もろ過助剤を用いることができることは言うまでもない。図9、図10に本発明による積層型ろ過体の別の例を示す。ろ過シート2およびスペーサーシート3を交互に多数積層する場合、積層体の両端面から押圧して積層体を固定する必要がある。押圧する際の固定枠4,5は剛性の高い金属、樹脂、セラミック等であれば特に限定されないが、流路パターンに関しては少なくとも一方の固定枠がろ過シートと略同形の開口パターンを有するものが好ましい。これにより流路断面積を一定に保つとともに、積層型ろ過体の端面と固定枠との接触面積が最大になるためろ過体の固定と剛性とを共に強化することができる。ここで押圧の方法としてはボルト締め等図示していないを使用することができる。シート間を恒久的に接着することも可能であるが逆洗、分解洗浄等を考慮して未接着にしてもよい。シート間の位置合わせは各シートに穴明した固定ボルト用の穴を利用することができる。本発明によれば、シートの加工誤差や熱膨張あるいは積層誤差等の発生を不可避なものとした上で簡易にろ過精度の高いろ過体を得ることができる図11に本発明によるろ過シートA2、B2、C2とスペーサーシートA1、B1、C1の構成例を示す。本発明によるろ過シート2およびスペーサーシート3の外形は特に限定されない。多角形または円形であればよい。積層して固定することから、ろ過シート2とスペーサーシート3の外形を同じにするほうがよい。またろ過シートの環状ろ過部21の形状は多角形または円形で、ろ過シートの外形と異なっていてもよい。また本発明によるろ過シートとスペーサーシートは図12のA1、A2に示すように、同一のシートに複数の環状ろ過部を設け、各々の環状ろ過部に対応する支持部、台座部を設けることができる。これにより複数のろ過体を一体化することが可能となる。なお本発明によるろ過シート2およびスペーサーシート3の外形およびパターン形状は例に示されたものに限定されるものではない。次に本発明によるろ過体1でろ過流量を増やす別の例を示す。図13、図13にろ過体1の外周面をろ過面とするろ過シート2とスペーサーシート3の一例を示す。多角形または円形の環状ろ過部21は1流体のろ過抵抗を出来るだけ小さくするためにその表面を平滑にし、2流体のろ過流路を出来るだけ短くするためにその帯幅Lを狭くするほうが良い。ただし剛性を保持するため材質により帯幅Lは05mm~5mm程度とするのが好ましい。環状ろ過部21の内側に複数設ける第一支持部22は環状ろ過部21を安定して支持するため三つ以上設ける。第一支持部22の数は多いほど環状ろ過部21を支持する効果は大きくなるが、スペーサーシート3の第二支持部31の数も多くなり、結果としてろ過流体の流路断面積が狭くなるためろ過流量を考慮して設計する。また、各々の第一支持部22の幅は、剛性を保持できる程度で、その数と共にろ過流量を考慮して設計する。スペーサーシート3の第二支持部31および第二台座部32は、ろ過シート2のパターンから環状ろ過部21のパターンを除いたものと基本的に同一パターンとすればよい。しかし量産積層時の剛性を確保する一方、積層時の位置合わせのバラツキを考慮して第一支持部22と第二支持部31の幅を変えることもできる。本発明によるろ過シート2およびスペーサーシート3のパターン加工法は特に限定されず、汎用工法を利用することができるため量産性が高い。例えば、汎用工法である金型による打ち抜き加工や印刷エッチング加工等を利用して製造することができる。また、成形後のバリ取り等に関しても化学研磨法や電解研磨法を利用することができる。スペーサーシート3の厚みが薄くなると剛性が低くなり加工や組立て時のハンドリング性が悪くなる場合がある。スペーサーシート3にシート材が使用し難い場合、本発明ではスペーサーシートとして印刷塗膜あるいはメッキ薄膜を利用することができる。印刷法を利用する場合は、第二台座部32および第二支持部31をろ過シート2上に一括して直接印刷形成することができる。また、予め第二台座部32および第二支持部31を印刷した転写シートを用い、ろ過シート2上に一括して転写形成することもできる。本発明による積層型ろ過体はろ過体自体の量産性を解決すべき課題の一つとしているもので、特にスペーサーシートの厚みが30μm以下になりパターン加工時のハンドリング等が難しく量産性が低下する場合、直接印刷法あるいは転写印刷法はスペーサー形成の重要な要素となる。本発明による積層型ろ過体は台座部および支持部の面積が大きくまた積層するために、印刷塗膜の膜厚の面内バラツキは平均化され、一定のろ過シート間隔を保持するのに適している。ここで印刷法としてはスクリーン印刷、グラビア印刷、平版印刷、インクジェット印刷等の中から必要な膜厚にあわせて適宜選択する。特にスペーサーシートの厚みを1μm以下にする場合、印刷法では塗膜品質が悪くなるためメッキ法を利用するとよい。ろ過シート2が金属シートであればアディティブ電気メッキ法が使用できる。例えば、打抜き等によりパターン成形され、バリ取りされた金属ろ過シート2上に印刷レジストを使用して、環状ろ過部21をマスキングし、第二台座部32および第二支持部31を必要な膜厚になるよう電気メッキ法でメッキ形成した後、レジストを剥離すれば良い。またサブトラクティブ法であれば、打抜き等によりパターン成形され、バリ取りされた金属ろ過シートを電気メッキにより全面メッキし、片面の第一支持部および第一台座部のみをマスキングし、マスキング部以外のメッキ膜をエッチング除去した後、マスキングを剥離すればよい。図14、図15に本発明による一例のろ過シート2およびスペーサーシート3が積層される様子を示す。環状ろ過部21は複数の第一支持部22のみにより周囲から支持され、スペーサーシート3により一定の間隔で空間に浮いた状態で保持される。第一台座部23は第二台座部32とともに表面積が大きく積層時の剛性を大きく保つ効果がある。さらにスペーサーシート3に第一支持部22と見当一致した第二支持部31を設けることで、積層時の環状ろ過部21の固定効果および剛性が十分に大きくなる。図16に本発明によるろ過体の一例を示す。流体はろ過体1の外周面から入り、隣接する表面平滑な環状ろ過部21の隙間を通過してろ過され柱状流路26から出る。流体のろ過抵抗は環状ろ過部21の間隔Sと帯幅Lと表面性状で決定される。ここで本発明の第一の主眼は、表面平滑な環状ろ過部21を用いるとともに帯幅Lを短くして、ろ過抵抗を小さくし、ろ過速度を上げることである。またろ過時に生成するケーク層をろ過体1の外周面を通る流体で積極的に除去し、ケーク層の成長を抑制することである。従って、連続ろ過時のろ過流量の低下が抑制され、ろ過速度が向上する。ろ過粒子の大きさはスペーサーシートの厚みを利用することで簡易かつ正確に制御することができる。図17に本発明によるろ過体の別の例を示す。環状ろ過部21の外径がW1、W2と異なるろ過シートC2Cとろ過シートD2Dを、スペーサーシート3を介して交互に積層したものである。隣接する環状ろ過部21の重なりLsが保てる範囲であればW1、W2は限定されない。ここで本発明の第二の主眼は隣接する環状ろ過部21を交互にずらすことにより、環状ろ過部21の剛性を保持しつつろ過流路を短縮して、ろ過抵抗を小さくしろ過速度を上げることである。またろ過時に生成するケーク層を積極的に利用して、隣接する環状ろ過部21の間隔Sより小さな粒子をろ過することである。ケーク層を積極的に利用してより小さい粒子をろ過する場合、ろ過助剤を用いて予めケーク層を形成し、その後目的のろ過を実施する。汎用のろ過助剤としてはケイソウ土、パーライト等を用いることができる。生成するケーク層は、一方でろ過体1の外周面を通る流体で積極的に除去しその成長を抑制するとともに、他方で環状ろ過部21の内径差が生む凹部空間に適量のケーク層を固定することでその厚さを制御することができる。図18に本発明によるろ過体の別の例を示す。隣接する環状ろ過部21の隙間に形成されるろ過流路の断面積が広いほどろ過抵抗は小さくなる。環状ろ過部21の厚みFをろ過流体の進行方向に沿ってFからFtまで徐々に減少させる。これにより環状ろ過部21の断面は略台形となる。ここで本発明の第三の主眼はケーク層を利用してより小さな粒子をろ過する場合のろ過抵抗を小さくすることである。本発明によれば、ケーク層の厚みを制御しつつろ過抵抗をより小さくすることが可能である。この場合もろ過助剤を用いることができることは言うまでもない。図19に本発明による積層型ろ過体1の別の例を示す。ろ過シート2およびスペーサーシート3を交互に多数積層する場合、積層体の両端面から押圧して積層体を固定する必要がある。押圧する際の固定枠4,5は剛性の高い金属、樹脂、セラミック等であれば特に限定されないが、流路パターンに関しては少なくとも一方の固定枠5がろ過シートと略同形の開口パターンを有するものが好ましい。これにより流路断面積を一定に保つとともに、積層型ろ過体1の端面と固定枠5との接触面積が最大になるためろ過体の固定と剛性とを共に強化することができる。ここで押圧の方法としてはボルト締め等を使用することができる。シート間を恒久的に接着することも可能であるが逆洗、分解洗浄等を考慮して未接着にしてもよい。シート間の位置合わせは各シートに穴明した固定ボルト用の穴を利用することができる。本発明によれば、シートの加工誤差や熱膨張あるいは積層誤差等の発生を不可避なものとした上で簡易にろ過精度の高いろ過体を得ることができる図20に本発明による外周面でろ過するろ過体1を用いたろ過方法の一例を示す。本発明による容器6の外形は特に限定されない。角柱または円筒であればよい。流入口61から流入した流体は容器5の内側面を通りろ過体1の外周面でろ過され、柱状流路26を通り流出口62から出る。分離された粒子等は容器6の排出口63から取り出す。時間とともにろ過体1に形成されるケーク層は容器5の内側面とろ過体の外周面との間を流れる流体により積極的に掻き落とすことができる。図21に本発明による外周面でろ過するろ過体1を用いたろ過方法の別の例を示す。サイクロン式ろ過装置7内の流体の回転軸上にろ過体1を設置して用いる方法である。前記サイクロン装置7の流入口71から流入した流体は螺旋状に回転し、流体内の粒子は遠心力により分離される。重量が小さくて遠心力のみで分離し難い粒子はろ過体1の外周面でろ過される。ろ過された流体は柱状流路26を通り、流出口72から出る。本発明によればろ過体1の容積を小さくし、かつろ過流量を大きくすることができるため、サイクロン装置内にろ過体1を装着することができる。従ってサイクロン装置で分離し難い重量の小さい粒子をろ過体1によりろ過することが可能となる。またろ過体1の外表面に形成されるケーク層は、流体の旋回流により積極的に掻き落とされるためケーク層の成長が抑制される。また本発明によれば、図10に例示したろ過体1もサイクロン装置7の内部に装着することが可能で、第一柱状流路24の内側面でろ過するようにすることができることは明らかである。図示していない図22に本発明による別のろ過シートD1、E1とスペーサーシートD2、E2の構成例を示す。なお本発明によるろ過シート2およびスペーサーシート3の外形およびパターン形状は例示されたものに限定されるものではない。"