測定経路端を接地して電気長を測定する半導体試験装置であって、前記測定経路に測定信号を出力する信号発生手段と、前記測定経路から分岐して入力される入力信号と、任意の閾値電圧とを比較する比較手段と、前記信号発生手段に測定信号を出力させ、前記比較手段の入力信号が第1閾値電圧以上となってから第2閾値電圧以下となるまでの時間を計測し、所定時間内に計測された場合には、計測された時間に基づいて前記測定経路の電気長を算出し、所定時間内に計測されなかった場合には、前記比較手段の入力信号が第1閾値電圧以上となってから、第1閾値電圧よりも高い第3閾値電圧以上となるまでの時間を計測して、前記測定経路の異常箇所までの電気長を算出する電気長測定制御手段と、を備えたことを特徴とする半導体試験装置。前記電気長測定制御手段は、前記比較手段の入力信号が、第1閾値電圧以上となってから所定時間内に第2閾値電圧以下とならなかった場合には、前記測定経路に異常が生じている旨の警報を出力することを特徴とする請求項1に記載の半導体試験装置。測定経路の電気長測定方法であって、前記測定経路端を接地するステップと、前記測定経路に測定信号を出力するステップと、前記測定経路から分岐して入力される入力信号が、第1閾値電圧以上となってから第2閾値電圧以下となるまでの時間を計測し、所定時間内に計測された場合には、計測された時間に基づいて前記測定経路の電気長を算出し、所定時間内に計測されなかった場合には、前記入力信号が第1閾値電圧以上となってから、第1閾値電圧よりも高い第3閾値電圧以上となるまでの時間を計測して、前記測定経路の異常箇所までの電気長を算出するステップと、を有することを特徴とする電気長測定方法。ところで、電気長の測定対象となる経路はケーブル600やコネクタを含んであり、断線が生じる場合がある。断線箇所はオープン状態になるため、プローブカード700の先端をオープン状態にして電気長の計測を行なっている場合には、図7aに示すように、第2閾値を検出することができる。これにより、断線箇所までの電気長を算出することができ、算出された値に基づいて断線箇所を推定し、容易に修復することができる。しかしながら、プローブカード700の先端を接地状態にして電気長の計測を行なっている場合には、図7bに示すように、第2閾値を検出することができず、測定結果を得ることができない。このため、断線箇所までの電気長を算出することができず、断線箇所の推定および修復が困難となる。そこで、本発明は、測定経路端を接地して電気長を測定する場合に、経路に断線があっても測定結果を得られるようにすることを目的とする。上記課題を解決するため、本発明の第1の態様である半導体試験装置は、測定経路端を接地して電気長を測定する半導体試験装置であって、前記測定経路に測定信号を出力する信号発生手段と、前記測定経路から分岐して入力される入力信号と、任意の閾値電圧とを比較する比較手段と、前記信号発生手段に測定信号を出力させ、前記比較手段の入力信号が第1閾値電圧以上となってから第2閾値電圧以下となるまでの時間を計測し、所定時間内に計測された場合には、計測された時間に基づいて前記測定経路の電気長を算出し、所定時間内に計測されなかった場合には、前記比較手段の入力信号が第1閾値電圧以上となってから、第1閾値電圧よりも高い第3閾値電圧以上となるまでの時間を計測して、前記測定経路の異常箇所までの電気長を算出する電気長測定制御手段と、を備えたことを特徴とする。ここで、前記電気長測定制御手段は、前記比較手段の入力信号が第1閾値電圧以上となってから所定時間内に第2閾値電圧以下とならなかった場合には、前記測定経路に異常が生じている旨の警報を出力することができる。上記課題を解決するため、本発明の第2の態様である測定経路の電気長測定方法は、前記測定経路端を接地するステップと、前記測定経路に測定信号を出力するステップと、前記測定経路から分岐して入力される入力信号が、第1閾値電圧以上となってから第2閾値電圧以下となるまでの時間を計測し、所定時間内に計測された場合には、計測された時間に基づいて前記測定経路の電気長を算出し、所定時間内に計測されなかった場合には、前記入力信号が第1閾値電圧以上となってから、第1閾値電圧よりも高い第3閾値電圧以上となるまでの時間を計測して、前記測定経路の異常箇所までの電気長を算出するステップと、を有することを特徴とする。本発明によれば、測定経路端を接地して電気長を測定する場合に、経路に断線があっても測定結果を得られるようになる。本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態における電気長測定に関する構成を説明するブロック図である。本図では1ピン分のみを示している。本図に示すように、本実施形態に係る半導体試験装置100は、電気長測定制御部110とピンエレクトロニクスPEカード120とを備えている。PEカード120には、従来と同様に、ケーブル600が接続され、ケーブル600の他端は、試験時にDUTと接触する多数のプローブを備えたプローブカード700がコネクタ等により接続される。なお、半導体試験装置100は、ケーブル600をDUTへの出力信号とDUTからの入力信号とで共有する方式を採用しており、電気長測定は、TDR法TimeDomainReflectometrymethodを使用するものとする。PEカード120は、信号発生手段として機能するドライバ121と比較手段として機能するコンパレータ122と閾値電圧発生回路123とを備えている。ドライバ121は、電気長測定制御部110の指示に基づいて信号波形を発生し、ケーブル600およびコンパレータ122に出力する。コンパレータ122は、入力信号と閾値電圧発生回路123が出力する電圧信号とを比較し、比較結果を電気長測定制御部110に出力する。閾値電圧発生回路123は、電気長測定制御部110の指示に基づいて電圧信号を発生し、コンパレータ122に出力する。半導体試験装置100は、プローブカード700のプローブ先端をオープン状態にして電気長測定を行なう場合には、従来と同様の手順で測定を行なう。すなわち、ドライバ121から測定用の信号を出力し、経路R1を通ってコンパレータ122に直接届くまでの時間T1を計測する。次に、ドライバ121から試験信号を再度出力し、経路R2を通ってコンパレータ122に届くまでの時間T2を計測する。経路R2は、ケーブル600を経由して、プローブカード700のオープン端で反射し、またケーブル600を経由して戻ってくる経路である。時間T2と時間T1との差は、測定すべき電気長の2倍に相当するため、電気長測定制御部110は、時間T2と時間T1とを測定し、その差分を2で割ることにより、測定対象の電気長を算出することができる。プローブカード700のプローブ先端をオープン状態にしたときには、時間T2は、反射波が重畳されることによる入力信号の上昇を検出すればよい。経路に断線が生じた場合も断線箇所で反射した信号が重畳されるため、経路に断線が生じた場合でも、断線箇所までの電気長を計測することができる。本実施形態に係る半導体試験装置100は、プローブカード700のプローブ先端を接地状態にして電気長測定を行なう場合には、まず、従来と同様の手順により電気長の測定を行なう。そして断線により電気長の測定結果が得られなかった場合に、断線を想定した電気長測定を行なう。これにより、測定経路端を接地して電気長を測定する場合に、経路に断線があっても測定結果を得ることができるようになる。具体的には、図2のフローチャートに示す手順で測定を行なう。まず、電気長測定制御部110は、第1閾値条件を設定するS101。ここで、第1閾値条件は、コンパレータ122への入力信号が第1閾値以上となることとする。すなわち、閾値電圧発生回路123に第1閾値の電圧を発生させ、コンパレータ122で入力信号の立ち上がりエッジを検出する。なお、第1の閾値は、従来と同様であり、測定信号電圧より低い値とし、例えば、測定信号電圧の25程度とすることができる。そして、電気長測定制御部110は、ドライバ121から電気長の測定信号として矩形波を出力すると同時に時間T1の計測を開始するS102。コンパレータ122の出力変化により第1閾値条件が充足されたことを検出するとS103:Yes、時間T1の測定を終了しS104、計測された時間T1を記録するS105。次に、電気長測定制御部110は、第2閾値条件を設定するS106。第2閾値条件は、プローブカード700のプローブ先端を接地状態としているため、第1閾値とほぼ同じ第2閾値を設定して、入力信号が第2閾値以下となることを第2閾値条件とする。すなわち、閾値電圧発生回路123に第2閾値の電圧を発生させ、コンパレータ122で入力信号の立ち下がりエッジを検出する。そして、電気長測定制御部110は、ドライバ121から電気長の測定信号として矩形波を出力すると同時に時間T2の計測を開始するS107。コンパレータ122の出力変化により第2閾値条件が充足されたことを検出するとS108:Yes、時間T2の測定を終了しS109、計測された時間T2を記録するS110。時間T2が計測された場合には、記録された時間T2と時間T1との差を2で割ることにより、測定すべき電気長を算出するS111。すなわち、断線が生じていない場合には、図3aに示すように、コンパレータ122の入力信号は、プローブカード700の接地端からの反射波により0Vに落ちるため、第2閾値を用いてこの変化を検出することにより電気長を測定することが可能となる。一方、所定時間内に第2閾値条件が充足されなかった場合S112:Yesには、時間T2の測定を終了するS113。所定時間は、想定される最大時間長を超える時間程度とすることができる。所定時間内に第2閾値条件が充足されなかったことにより、経路に断線が生じているものと判断することができる。そこで、本実施形態では、断線を想定した電気長測定を行なう。このため、第1閾値よりも高い第3閾値を用い、コンパレータ122への入力信号が第2閾値以上となる第3閾値条件を設定するS114。第3閾値は、プローブ先端をオープン状態としたときの第2閾値と同様の値であり、第1閾値よりも高く、測定信号電圧より低い値とし、例えば、測定信号電圧の75程度とすることができる。そして、電気長測定制御部110は、ドライバ121から電気長の測定信号として矩形波を出力すると同時に時間T3の計測を開始するS115。コンパレータ122の出力変化により第3閾値条件が充足されたことを検出するとS116:Yes、時間T3の測定を終了しS117、計測された時間T3を記録するS118。そして、記録された時間T3と時間T1との差を2で割ることにより、電気長を算出する。S119。算出された電気長は、断線箇所までの電気長であるため、断線が検出された旨の警報を出力することが望ましい。すなわち、断線が生じている場合には、図3bに示すように、コンパレータ122の入力信号は、断線箇所からの反射波により重畳されるため、第3閾値を用いてこの変化を検出することにより断線箇所までの電気長を測定することが可能となる。断線を想定した電気長測定は、第2閾値を用いた電気長測定で測定結果が得られなかった場合にのみ行なうようにしているため、経路に異常がなければ、従来と同じ時間で電気長測定を行なうことができる。プローブ先端をオープン状態にして電気長を測定する場合には、断線が生じているか否かは算出された電気長に基づいて判断しなければならなかったが、本実施形態の半導体試験装置100を用いてプローブ先端を接地状態にして電気長を測定する場合には、断線が生じているか否かの判定結果も得ることができる。したがって、断線箇所の推定、修復のみならず断線の発見も容易となる。なお、上記の例では、第3閾値の値を固定としていたが、例えば、完全に断線しておらず、接触不良が生じている場合等に対応できるように、ユーザから第3閾値の値の設定を受け付けることができるようにしてもよい。あるいは、第3閾値の値を自動的に変更しながら処理S114から処理S119までの電気長測定処理を複数回繰り返すようにしてもよい。以上説明したように、本実施形態の半導体試験装置によれば、測定経路端を接地して電気長を測定する場合に、経路に断線があっても測定結果を得ることができるようになる。