内燃機関の排気経路に配置された微粒子センサの素子部の温度を昇温させて、前記素子部に堆積した微粒子を燃焼除去する除去処理を行う手段と、前記除去処理を開始する前の、前記微粒子センサの出力に基づいて、前記微粒子センサの素子部に堆積した微粒子の量を検出する第1検出手段と、前記除去処理中に、前記微粒子の燃焼によって生じた発熱量を検出する手段と、前記発熱量に応じて、前記除去処理を開始する前に前記素子部に堆積していた微粒子の量を検出する第2検出手段と、前記第1検出手段により検出された第1微粒子量と、前記第2検出手段により検出された第2微粒子量との差異に基づいて、前記微粒子センサの異常の有無を判定する異常判定手段と、を、備えることを特徴とする内燃機関の制御装置。前記内燃機関の排気ガスの温度が基準温度より低温となるまでの間、前記除去処理の開始を禁止する手段を、更に備えることを特徴とする請求項1に記載の内燃機関の制御装置。前記素子部に堆積した微粒子の量が基準量に達するまでの間、前記除去処理の開始を禁止する手段を、更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の内燃機関の制御装置。前記排気経路の前記微粒子センサの上流には、前記微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置され、前記微粒子センサの出力に基づき、前記微粒子捕集用フィルタの故障の有無を判定する手段と、前記微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定のための微粒子センサの出力を検出する検出タイミングを設定するタイミング設定手段と、を、更に備え、前記タイミング設定手段は、前記微粒子センサが異常と判定された場合であって、前記第1微粒子量が前記第2微粒子量より小さい場合に、前記検出タイミングを、前記微粒子センサが正常と判定された場合の検出タイミングよりも遅くし、前記微粒子センサが異常と判定された場合であって、前記第1微粒子量が前記第2微粒子量より大きい場合に、前記検出タイミングを、前記微粒子センサが正常と判定された場合の検出タイミングよりも早くすることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の内燃機関の制御装置。前記排気経路の前記微粒子センサの上流には、前記微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置され、前記微粒子センサの出力に基づき、前記微粒子捕集用フィルタの故障の有無を判定する手段と、前記微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定に際し、微粒子センサに印加する微粒子捕集用の電圧の大きさを設定する電圧設定手段と、を更に備え、前記電圧設定手段は、前記微粒子センサが異常と判定された場合であって、前記第1微粒子量が前記第2微粒子量より小さい場合の前記微粒子捕集用の電圧を、前記微粒子センサが正常と判定された場合に印加される微粒子捕集用の電圧よりも大きくし、前記微粒子センサが異常と判定された場合であって、前記第1微粒子量が前記第2微粒子量より大きい場合の前記微粒子捕集用の電圧を、前記微粒子センサが正常と判定された場合に印加される微粒子捕集用の電圧より小さくすることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の内燃機関の制御装置。内燃機関の排気経路に配置された微粒子センサの素子部の温度を昇温させて、前記素子部に堆積した微粒子を燃焼除去する除去処理を行う工程と、前記除去処理を開始する前の、前記微粒子センサの出力に基づいて、前記微粒子センサの素子部に堆積した微粒子の量を検出する第1検出工程と、前記除去処理中に、前記微粒子の燃焼によって生じた発熱量を検出する工程と、前記発熱量に応じて、前記除去処理を開始する前に前記素子部に堆積していた微粒子の量を検出する第2検出工程と、前記第1検出工程において検出された第1微粒子量と、前記第2検出工程において検出された第2微粒子量との差異に基づいて、前記微粒子センサの異常の有無を判定する異常判定工程と、を、備えることを特徴とする内燃機関の制御方法。前記内燃機関の排気ガスの温度が、基準温度より低温となるまでの間、前記除去処理の開始を禁止することを特徴とする請求項6に記載の内燃機関の制御方法。前記素子部に堆積した微粒子の量が基準量に達するまでの間、前記除去処理の開始を禁止することを特徴とする請求項6又は7に記載の内燃機関の制御方法。前記排気経路の前記微粒子センサの上流には、前記微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置され、前記微粒子センサの出力に基づき、前記微粒子捕集用フィルタの故障の有無を判定する工程を、更に備え、前記微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定のための微粒子センサの出力を検出する検出タイミングは、前記微粒子センサが異常と判定された場合であって、前記第1微粒子量が前記第2微粒子量より小さい場合、前記微粒子センサ正常と判定された場合の検出タイミングよりも遅くし、前記微粒子センサが異常と判定された場合であって、前記第1微粒子量が前記第2微粒子量より大きい場合、前記微粒子センサが正常と判定された場合の検出タイミングよりも早くする、ことを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載の内燃機関の制御方法。前記排気経路の前記微粒子センサの上流には、前記微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置され、前記微粒子センサの出力に基づき、前記微粒子捕集用フィルタの故障の有無を判定する工程を、更に備え、前記微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定に際し、微粒子センサに印加される微粒子捕集用の電圧の大きさは、前記微粒子センサが異常と判定された場合であって、前記第1微粒子量が前記第2微粒子量より小さい場合、前記微粒子センサが正常と判定された場合に印加される微粒子捕集用の電圧よりも大きくし、前記微粒子センサが異常と判定された場合であって、前記第1微粒子量が前記第2微粒子量より大きい場合、前記微粒子センサが正常と判定された場合に印加される微粒子捕集用の電圧よりも小さくする、ことを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載の内燃機関の制御方法。PMセンサは高温の排気ガス中に晒され高電圧が印加された状態で使用される。このため、例えば、電極の蒸散や、電極へのAsh等の絶縁物の付着、マイグレーションによる電極間隔の変化等が起こる場合がある。その結果、PMセンサの電極間の抵抗が変化し、PM量と抵抗値との相関が崩れ、PMセンサがPM量に応じた正しい出力を発しない状態となることが考えられる。PMセンサの出力にずれが生じた場合、DPF故障判定において、正しく故障の有無が判定されないなど、PMセンサ出力に基づく制御の精度が低下する事態が起こり得る。本発明は、上記課題を解決することを目的とし、PMセンサの劣化による異常を検出すると共に、より高い精度でPMセンサの出力に基づく制御が実行されるように改良した内燃機関の制御装置及び制御方法を提供するものである。第1の発明は、上記目的を達成するため、内燃機関の制御装置であって、内燃機関の排気経路に配置された微粒子センサの素子部の温度を昇温させて、素子部に堆積した微粒子を燃焼除去する除去処理を行う手段と、除去処理中に微粒子の燃焼によって生じた発熱量を検出する手段とを備える。また、この内燃機関の制御装置は、微粒子量を検出する第1の検出手段と、第2の検出手段とを備える。第1の検出手段は、除去処理を開始する前の、微粒子センサの出力に基づいて、微粒子センサの素子部に堆積した微粒子の量を検出する。第2の検出手段は、発熱量に応じて、除去処理を開始する前に素子部に堆積していた微粒子の量を検出する。更に、この内燃機関の制御装置は、第1検出手段により検出された第1微粒子量と、第2検出手段により検出された第2微粒子量との差異に基づいて、微粒子センサの異常の有無を判定する異常判定手段を備える。第2の発明は、第1の発明において、内燃機関の排気ガスの温度が基準温度より低温となるまでの間、除去処理の開始を禁止する手段を、更に備える。第3の発明は、第1又は第2の発明において、素子部に堆積した微粒子の量が基準量に達するまでの間、除去処理の開始を禁止する手段を、更に備える。第4の発明は、第1から第3のいずれかの発明において、排気経路の微粒子センサの上流には、微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置される。第4の発明の内燃機関の制御装置は、微粒子センサの出力に基づき、微粒子捕集用フィルタの故障の有無を判定する手段と、微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定のための微粒子センサの出力を検出する検出タイミングを設定するタイミング設定手段とを、更に備える。タイミング設定手段は、微粒子センサが異常と判定された場合であって、第1微粒子量が第2微粒子量より小さい場合に、検出タイミングを、微粒子センサが正常と判定された場合の検出タイミングよりも遅くする。一方、タイミング設定手段は、微粒子センサが異常と判定された場合であって、第1微粒子量が第2微粒子量より大きい場合に、検出タイミングを、微粒子センサが正常と判定された場合の検出タイミングよりも早くする。第5の発明は、第1から第3の発明において、排気経路の微粒子センサの上流には、微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置される。第5の発明の内燃機関の制御装置は、微粒子センサの出力に基づき、微粒子捕集用フィルタの故障の有無を判定する手段と、微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定に際し、微粒子センサに印加する微粒子捕集用の電圧の大きさを設定する電圧設定手段とを備える。電圧設定手段は、微粒子センサが異常と判定された場合であって、第1微粒子量が第2微粒子量より小さい場合の微粒子捕集用の電圧を、微粒子センサが正常と判定された場合に印加される微粒子捕集用の電圧よりも大きくする。一方、電圧設定手段は、微粒子センサが異常と判定された場合であって、第1微粒子量が第2微粒子量より大きい場合の微粒子捕集用の電圧を、微粒子センサが正常と判定された場合に印加される微粒子捕集用の電圧より小さくする。第6の発明は、内燃機関の制御方法であって、内燃機関の排気経路に配置された微粒子センサの素子部の温度を昇温させて、素子部に堆積した微粒子を燃焼除去する除去処理を行う工程と、除去処理中に、微粒子の燃焼によって生じた発熱量を検出する工程とを備える。また、この内燃機関の制御方法は、微粒子の量を検出する第1検出工程と、第2検出工程とを備える。第1検出工程は、除去処理を開始する前の微粒子センサの出力に基づいて、微粒子センサの素子部に堆積した微粒子の量を検出する。一方、第2検出工程は、発熱量に応じて、除去処理を開始する前に素子部に堆積していた微粒子の量を検出する。更に、この制御方法は、第1検出工程において検出された第1微粒子量と、第2検出工程において検出された第2微粒子量との差異に基づいて、微粒子センサの異常の有無を判定する異常判定工程を備える。第7の発明は、第6の発明において、内燃機関の排気ガスの温度が、基準温度より低温となるまでの間、除去処理の開始を禁止する。第8の発明は、第6又は第7の発明において、素子部に堆積した微粒子の量が基準量に達するまでの間、除去処理の開始を禁止する。第9の発明は、第6から第8のいずれかの発明において、内燃機関の排気経路の微粒子センサの上流には、微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置される。この内燃機関の制御方法は、微粒子センサの出力に基づき、微粒子捕集用フィルタの故障の有無を判定する工程を、更に備える。微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定のための微粒子センサの出力を検出する検出タイミングは、微粒子センサが異常と判定された場合であって、第1微粒子量が第2微粒子量より小さい場合、微粒子センサ正常と判定された場合の検出タイミングよりも遅くされる。一方、検出タイミングは、微粒子センサが異常と判定された場合であって、第1微粒子量が第2微粒子量より大きい場合、微粒子センサが正常と判定された場合の検出タイミングよりも早くされる。第10の発明は、第6から第8のいずれかの発明において、内燃機関の排気経路の微粒子センサの上流には、微粒子を捕集するための微粒子捕集用フィルタが配置される。この内燃機関の制御方法は、微粒子センサの出力に基づき、微粒子捕集用フィルタの故障の有無を判定する工程を、更に備える。微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定に際し、微粒子センサに印加される微粒子捕集用の電圧の大きさは、微粒子センサが異常と判定された場合であって、第1微粒子量が第2微粒子量より小さい場合、微粒子センサが正常と判定された場合に印加される微粒子捕集用の電圧よりも大きくされる。一方、微粒子捕集用の電圧の大きさは、微粒子センサが異常と判定された場合であって、第1微粒子量が第2微粒子量より大きい場合、微粒子センサが正常と判定された場合に印加される微粒子捕集用の電圧よりも小さくされる。この発明によれば、微粒子の除去処理開始前のセンサ出力と、除去処理中の発熱量とのそれぞれに基づいて、微粒子の除去処理開始前に素子部に堆積していた微粒子量を検出することができる。そしてセンサ出力に基づく第1微粒子量と発熱量に基づく第2微粒子量とを比較することで、微粒子センサの出力が正常であるか否かを確認することができ、微粒子センサの異常の有無を判定することができる。また、第2、第3、第7、及び、第8の発明のように、所定の条件が満たされるまでの間、微粒子の除去処理の開始を禁止することで、微粒子除去処理によって生じる発熱量をより正確に検出することができる。従って、第2微粒子量をより正確に求めることができ、微粒子センサの異常の有無の判定を、高い精度で行うことができる。また、第4、第5、第9、及び、第10の発明のように、微粒子センサが異常と判定された場合に、第1微粒子量と第2微粒子量とを比較して、検出タイミングや印加電圧を変更するものについては、微粒子センサに異常が生じている場合にも、その出力感度の変化に対応した状態とすることができ、ある程度正確に微粒子捕集用フィルタの故障判定を行うことができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において、同一または相当する部分には同一符号を付してその説明を簡略化ないし省略する。実施の形態1.本実施の形態1のシステムの全体構成について図1は、この発明の実施の形態1のシステムの全体構成について説明するための図である。図1のシステムは車両等に搭載されて用いられる。図1に示すシステムにおいて、内燃機関2の排気経路4には、微粒子捕集用フィルタであるDPFDieselParticulateFilter6が設置されている。DPF6は、排気ガスに含まれる粒子状物質である微粒子PMparticulatematterを捕集するフィルタである。排気経路4のDPF6の下流には、PMセンサ8微粒子センサが設置されている。なお、内燃機関2の排気経路4には、DPF6の他、各種の排気ガス浄化用の触媒等が設置されるが、ここでの説明は省略する。このシステムは制御装置10を備えている。制御装置10の入力側には、PMセンサ8の他、内燃機関2の各種センサが接続されている。また制御装置10の出力側には、内燃機関2のPMセンサ8の電気回路、その他各種のアクチュエータが接続されている。制御装置10は、各種センサからの入力情報に基づいて所定のプログラムを実行し、各種アクチュエータ等を作動させることにより、内燃機関2の運転に関する種々の制御を実行する。図2は、本実施の形態1のPMセンサ8の素子部の構成について説明するための模式図である。図2に示されるように、PMセンサ8の素子部は絶縁基材12を備えている。絶縁基材12の表面には、一対の電極14、16が形成されている。一対の電極14、16は互いに接触しない状態で、一定の間隔を開けて配置されている。電極14、16それぞれは櫛歯形状に形成された部分を有し、この部分において互いに噛み合うように形成されている。なお、本実施の形態1では櫛歯形状を有する電極20、22を例示したが、本発明においてはこのような形状に限らず、一対の電極が互いに向き合っているものであればよい。絶縁基材12内部の電極14、16の下層には、図示しないヒータが埋め込まれている。一対の電極14、16は電気回路等を介して電源図示せずに接続されている。これにより電極14と電極16との間には高電圧が印加される。またヒータは電気回路等を介して電源図示せずに接続されており、これによりヒータには所定の電力が供給され、その結果、素子部が加熱される。これらの電力供給は制御装置10により制御される。本実施の形態1における制御の概要本実施の形態1において制御装置10が行う制御には、下記のPM量の検出、PMセンサ8のリセット、及び、DPF6の故障判定の制御が含まれる。1PM量の検出PM排出量の検出に際し、電極14、16間にPMを捕集するための高電圧である捕集用電圧が印加される。電極14、16間に捕集用電圧が印加されると、排気ガス中のPMが捕集され電極14、16間に堆積する。電極14、16間に堆積するPMが増加するにつれて、電極14、16間の導通箇所が増加し、電極14、16間の抵抗値が小さくなる。即ち、PMセンサ8の電極14、16間の抵抗値は、電極14、16に堆積したPM量と相関を有する。本実施の形態1では、PMセンサ8の出力として電極14、16間の抵抗と相関を有する電気的特性を検出する。このPMセンサ8の出力以下センサ出力とも称するに基づいて、電極14、16間に堆積したPM量が検出される。電極14、16に堆積するPM量は、排気ガス中に含まれるPM量の変化に連動して変化する。従って、PM量はDPF6の下流に排出されたPMの指標とされる。なお、以下の実施の形態では、便宜的に、センサ出力として検出される電気的特性を、電極14、16間のPM量が増加するにつれて大きくなるものとして説明する。但し、本発明において、PMセンサはこれに限られるものではなく、逆に、PM量が増加するにつれて小さくなる電気的特性を出力するものを用いることもできる。また、以下の実施の形態において、センサ出力に基づいて検出されるPM量を第1PM量第1微粒子量とも称することとする。2PMリセット微粒子の除去処理センサ出力は電極14、16間へのPM堆積量が増加するにつれて増加する。しかし、電極14、16間への堆積量が限界値に達すると、センサ出力は、もはやそれ以上の変化を示さなくなる。この状態になると、PMセンサ8は排気ガス中のPM量に応じた出力を発することができなくなる。従って、所定のタイミングで、素子部に堆積しているPMを一度除去する必要がある。このPMを除去する処理をPMリセットとも称する。PMリセットに際し、制御装置10は、PMセンサ8のヒータに所定の電力を供給し、PMセンサ8の素子部を、PMが燃焼除去される温度にまで過熱昇温させる。これにより、PMセンサ8の素子部に付着したPMを燃焼除去させる。なお、ここでPMリセット期間中の素子部の温度は、500°Cより高く、より好ましくは700°Cより高いものとする。もしくは、PMリセット期間中の素子部の目標温度を500°Cより高く、より好ましくは700°Cより高く設定して、ヒータに電力を供給してもよい。PMが燃焼する温度が約500°C~約650°Cであるため、リセット温度は700°C以上好ましくは700°C~800°Cとすると、PMの燃焼の確実性を高めることができる。なお、このPMリセットにより、PMセンサ8の素子部に堆積していたPMが除去されるため、例えば、以下のDPF6の故障判定の開始前、あるいは開始後、その他、DPF6上に付着したPMの燃焼除去させるDPF6の再生処理後など、種々のタイミングでPMリセットが実行される。3DPFの故障判定微粒子捕集用フィルタの故障の有無の判定DPF6が故障すると、DPF6をすり抜けDPF6の下流に排出されるPM排出量が増加する。従って、DPF6が故障している場合、PMセンサ8の電極14、16間に堆積するPM堆積量は次第に増加し、その分センサ出力は大きくなる。従って、センサ出力に基づいてDPF6の故障判定を行うことができる。具体的に、本実施の形態1のDPF6の故障判定では、制御装置10は、PMリセットを実行して素子部に堆積するPMが除去された状態で、PMセンサ8に捕集用電圧の印加を開始する。捕集用電圧の印加開始後、内燃機関2から排出されたと推定されるPM量の積算値推定排出量が、基準排出量REF1に達したタイミング検出タイミングで、センサ出力を検出する。検出されたセンサ出力と、判定の基準となる基準出力REF2を比較し、センサ出力が基準出力REF2より大きい場合に、DPF6の故障有りと判定される。なお、推定排出量は、たとえば、内燃機関2の機関回転数、トルク、EGR等をパラメータとし、所定のモデルに従って算出される。基準排出量REF1は、PMセンサ8に、PM量に応じた出力を発するのに必要なPMが堆積し、かつ、DPF6の故障の有無を判断するのに十分とされる量に設定され、予め制御装置10に記憶される。また、故障の有無の判定の基準となる基準出力REF2は、DPF6が正常である場合に許容される、DPF6下流へのPMの排出量の積算値に応じたセンサ出力に、許容される誤差分等を含めるなどして適正な値に設定される。この基準出力REF2は、制御装置10に予め記憶される。[本実施の形態1におけるPMセンサの出力の確認制御]ところでPMセンサ8の使用により、電極14、16間の抵抗に変化が生じる場合がある。具体的には、例えば、電極14、16の蒸散により、電極14、16の面積が減少し、電極14、16間の抵抗値が高くなる場合がある。また電極14、16にAsh等の絶縁物が付着することによっても電極14、16間の抵抗値が高くなる場合がある。逆にマイグレーションによって電極14、16間の間隔が狭まり、電極14、16間の抵抗値が低くなる場合もある。このように電極14、16間の抵抗値が変化する場合、センサ出力とPM量との間の相関が崩れることとなり、正しくPM量の検出ができないこととなる。その結果、DPF6の故障判定に誤判定を生じるなど、センサ出力に基づく制御の精度の低下を招く恐れがある。従って、本実施の形態1においては、正しくセンサ出力が出力されているか否かを確認するため、以下の確認制御を実行する。図3は、本発明の実施の形態1におけるPMリセット時の素子部の温度変化について説明するための図である。図3において横軸は時間、縦軸はヒータのON/OFF、又は、素子部の温度を表す。また、図3において実線aは、ヒータONOFFを表し、曲線bはPMが堆積していない場合の素子部の温度変化のプロファイルを表し、曲線cは、PMが堆積している場合の素子部の温度変化を表している。図3に示されるように、ヒータがONとされPMリセットが開始されると、PMが堆積しているPMセンサ8の素子部曲線c参照の方が、PMが堆積していないPMセンサ8の素子部曲線b参照の温度よりも高く上昇する。この素子部の温度差は、PMリセット時のPMの燃焼による発熱に起因するものである。つまりヒータの加熱に起因しない分の温度変化を起こす発熱量Qは、素子部にPMリセット開始直前に付着していたPM量と相関を有すると考えられる。図4は、PMセンサ8の素子部に堆積したPM量と、PMリセット時の発熱量Qとの関係を説明するための図である。図4において横軸はPM量、縦軸は発熱量Qを表している。図4に示されるようにPMリセット中の素子部の発熱量Qは堆積したPM量に概ね比例して大きくなる。この関係に基づき、本実施の形態1では、発熱量Qを検出し、発熱量Qに基づいて、PMリセット前に堆積していたPM量を検出する。なお、本実施の形態1では、発熱量Qに基づいて検出されるPM量を第2PM量とも称することとする。PMリセット中の発熱量Qは、PMリセット時の素子部の温度変化をモニターし、検出された素子部の温度変化から、ヒータ加熱による温度変化分PMが付着していない場合の素子部温度を減算することで検出することができる図3のQ参照。なお、素子部の温度変化は、例えば、ヒータの抵抗の変化を検出することで求められる。あるいは、素子部近傍に温度センサを設置して、温度センサの出力に基づき素子部の温度を検出することもできる。本実施の形態1では、発熱量Q及び、これに基づく第2PM量を正確に検出するため、PMリセットは下記の条件1~条件4を満たす条件下で行うものとする。条件1従来のPMリセット時に比べて、素子部により多くのPMが堆積した状態で行う。これは、PM燃焼による発熱による素子部の温度変化と、ヒータによる素子部の加熱による温度変化との差を明確にして、発熱量Qをより正確に検出するためである。具体的に、本実施の形態1では、DPF6の故障判定が完了した後、センサ出力が、開始出力REF3に達してから、PMリセットを開始する。これにより、素子部により多くのPMが付着した状態で、PMリセットを行うことができる。なお、従来の場合に比較してPM付着量が多くなった分、PMリセットの時間が長く設定される。これにより、PMリセット完了後には、確実にPMが除去される。開始出力REF3は、少なくとも基準出力REF2より大きな値であり、発熱量Qをより正確に検出するために必要なPM量に応じて設定され、予め制御装置10に記憶される。条件2排気ガスの温度が基準温度REF4より低温の運転条件下で行う。本実施の形態1では、PMリセット中の素子部の温度変化に応じて発熱量Qが検出される。ここで素子部のPM燃焼による温度変化は、PMセンサ8の周囲の環境がある程度低温である場合の方がより正確に検出される。従って、発熱量Qをより正確に検出するため、排気ガスの温度が基準温度REF4より低温の運転条件下で行うものとする。基準温度REF4は、PM燃焼による温度変化の正確性が確保できる温度範囲の上限値付近の値に設定される。このような値は実験等により予め求められる値であり、制御装置10に記憶される。条件3PMリセット中の単位時間当たりのPM排出量である推定瞬間排出量が少ない運転条件下で行う。排出されるPM量が多くなると、PMリセット中に排出されるPMの付着により、発熱量Qが変化することが考えられるためである。具体的には、推定瞬間排出量が基準量REF5より少ないか否かにより判別する。ここでの基準量REF5は、PMリセット中の素子部の温度変化への影響が許容範囲となる推定瞬間排出量の範囲の、上限値付近の値に設定される。基準量REF5は、PMセンサごとに実験等により求められる値であり、予め制御装置10に記憶される。条件4EGRシステムによる排気ガスの還流を停止しEGRカット、アクセル開度の変化量を制限した運転条件下で行う。EGRがONとされている状態や、アクセル開度の変化量が大きい状態では、内燃機関2からのPM排出量が多くなる。従って、PMリセット中のPM排出量増加を抑制するため、PMリセット中は、EGRをカットし、アクセル開度の変化が緩やかになるように制限される。ところで、PMセンサ8が正常である場合、理論的には、PMリセット開始直前のセンサ出力に基づいて求められる第1PM量XSと、PMリセット中の発熱量Qに基づいて求められる第2PM量XQとは一致する。本実施の形態1では、これを利用して、PMセンサ8の確認の制御を行う。具体的には、PMリセット開始直前の検出タイミングでセンサ出力を検出し、これに基づき第1PM量XSを求める。一方、上記条件1~条件4を満たす条件下で実行されたPMリセット中の発熱量Qを検出し、これに基づいて第2PM量XQを求める。その後、第1PM量XSと第2PM量XQとの差を求め、このPM量の差が基準値REF6より大きいか否かに従って、PMセンサ8の正常異常を判定する。なお、基準値REF6は、第1PM量XS、第2PM量XQそれぞれに許容される誤差の範囲等を考慮し、両者XS、XQが概ね一致すると判断できる範囲の上限付近の値に設定される。この値は予め制御装置10に記憶される。図5は、本発明の実施の形態1において制御装置10が実行する制御のルーチンについて説明するためのフローチャートである。図5のルーチンは、内燃機関2の運転中、一定時間ごとに繰り返し実行される。図5においては、まず、センサ出力が検出されるS102。次に、検出されたセンサ出力が、開始出力REF3より大きいか否かが判別されるS104。ここではPM燃焼に起因する発熱量Qを、ある程度正確に検出できる程度に、PMが堆積しているか否かが判別される。具体的な開始出力REF3の値は、制御装置10に予め記憶されている。ここで、センサ出力>開始出力REF3の成立が認められない場合、今回の処理は、一旦終了し、その後、再びこのルーチンがステップS102から開始される。一方、ステップS104において、センサ出力>開始出力REF3の成立が認められると、次に、排気ガス温度が検出されるS106。排気ガス温度は、例えば、排気経路4に設置された温度センサ図示せずの出力に基づき検出される。次に、排気ガス温度が、基準温度REF4より低いか否かが判別されるS108。ここでは、PMセンサ8周囲の排気ガス温度が、素子部の温度変化をある程度正確に検出できる程度に低温であるか否かが判断される。なお、具体的な基準温度REF4は、予め制御装置に記憶された値である。ステップS108において、排気ガス温度<基準温度REF4の成立が認められない場合には、ステップS106に戻り、再び排気ガス温度が検出される。つまり、ステップS108において、排気ガス温度が基準温度REF4より低温の環境となったことが認められるまでの間、排気ガス温度の検出と排気ガス温度<基準温度REF4の成否の判定とが繰り返される。ステップS108において、排気ガス温度<基準温度REF4の成立が認められると、次に、推定瞬間排出量が算出されるS110。推定瞬間排出量は、現在の運転状態に応じ、機関回転数、トルク等をパラメータとするモデルに従って算出される値であり、現在の運転状態において予想される、単位時間当たりのPM排出量である。次に、推定瞬間排出量が、基準量REF5より少ないか否かが判別されるS112。ここでは、排出される推定瞬間排出量が、発熱量Qの検出に与える影響が許容範囲の状態であるか否かが判別される。具体的な基準量REF5は、予め制御装置10に記憶された値である。ステップS112において、推定瞬間排出量<基準量REF5の成立が認められない場合、再び、ステップS110に戻り、現在の推定瞬間排出量が算出され、その後、推定瞬間排出量<基準量REF5の成否の判別が行われるS112。つまり、ステップS112において、推定瞬間排出量が基準量REF5より少ない状態となったことが認められるまでの間、ステップS110の推定瞬間排出量の算出と、続くステップS112の判別処理が繰り返し実行される。一方、ステップS112において、推定瞬間排出量<基準量REF5の成立が認められると、次に、EGRがカットされるS114。これにより、EGRシステムによる還流が停止状態に制御される。次に、内燃機関2のアクセル開度の変化量が制限されるS116。アクセル開度は、他の制御プログラムに従って制御されているが、ここではその制御におけるアクセル開度の変化量が所定範囲に制限される。これによりアクセル開度の急激な変化によるPM排出量の増加が抑制される。次に、センサ出力が検出されるS118。次に、ヒータがONされるS120。これによりPMリセットが開始される。次に、ヒータがONとされてからの保持時間が、基準時間REF7より長くなったか否かが判別されるS122。ここでは素子部に付着したPMを燃焼除去するのに十分な時間が経過したか否かが判別される。具体的な基準時間は、制御装置10に予め記憶されている。ステップS122において保持時間>基準時間REF7の成立が認められない場合、ステップS122の保持時間>基準時間REF7の判別が繰り返される。つまり、保持時間が基準時間REF7に達するまでの間、ヒータがONとされた状態で保持されステップS122の判別が繰り返し実行される。ステップS122において、保持時間>基準時間REF7の成立が認められると、次に、発熱量Qが算出されるS124。発熱量Qは、ステップS120においてヒータがONとされてからの素子部の温度変化のプロファイルと、基準の温度変化のプロファイルとの温度差に基づいて検出される。基準の温度変化のプロファイルは、PMが堆積していない状態で、ヒータをONとした場合の素子部の温度変化であり、予め制御装置10に記憶されている。次に、第1PM量XSと第2PM量XQとが求められるS126。第1PM量XSは、ステップS118において検出されたセンサ出力に応じて求められる。一方、第2PM量XQは、ステップ124で検出された発熱量Qに応じて求められる。なお、発熱量Qと第2PM量XQとの関係は、予め制御装置10に記憶されたマップ等に基づいて算出される。次に、ステップS126において算出された第1PM量XSと第2PM量XQとの差の絶対値が、基準値REF6より小さいか否かが判別されるS128。基準値REF6は、PMセンサ8の故障の有無を判別するための基準値であり、予め制御装置10に記憶されている。ステップS128において、PM量の差XSXQが基準値REF6より小さいことが認められた場合、PMセンサ8は正常であると判定されるS130。一方、ステップS128において、PM量の差XSXQが基準値REF6より小さいことが認められない場合、PMセンサ8は異常と判定されるS132。ステップS130又はS132の判定の後、今回の処理は終了する。なお、ステップS132においてPMセンサ8が異常と判定された場合には、例えば、警告灯の表示、PMセンサ8に基づくDPF6の故障判定の禁止等、予め定められた制御が実行される。以上説明したように、本実施の形態1では、PMリセット時の発熱量Qに基づいてPM量を検出することで、PMセンサ8の出力に基づくPM量と比較することができ、これにより、PMセンサ8の正常異常を確認することができる。これにより、PMセンサ8の出力に基づく、例えばDPF6の故障判定等の確認を行うことができる。従って、PMセンサ8が故障している場合のセンサ出力に基づく誤判定を防止することができる。なお、PM排出量の増加を抑制するため、EGRのカットS114とアクセル開度の変化量の制限S116とを、行う場合について説明した。しかし、本発明においては、これに限るものではなく、例えば、EGRのカットとアクセル開度の制限とのいずれか一方を行うものであってもよい。また、本実施の形態1では、発熱量Qの検出時のPMリセットを上記条件1~条件4の条件がすべて全て満たされた状態で行う場合について説明した。これは発熱量Qに基づく第2PM量XQをできるだけ正確に検出し、PMセンサ8の故障の有無の判定を正確に行うためである。ただし、この発明において発熱量Qの検出は、上記条件1~条件4の条件を全て満たす場合に限るものではなく、条件1~条件4のうち1又は複数の条件を満たすものとしてもよく、あるいは、これらの条件を設定しないものであってもよい。また、条件1~条件4の条件に限るものではなく、発熱量Qの検出性を高める他の条件を設定したものであってもよい。これは以下の実施の形態についても同様である。また、本実施の形態1では、発熱量Qを検出する場合のPMリセットの条件として、センサ出力が開始出力REF3より大きくなっていることを設定した条件1。しかし、この発明においてはこれに限るものではなく、例えば、DPF6の故障判定のセンサ出力を検出するタイミングを判断する基準排出量REF1を、通常の値より大きくしてもよい。これによって、DPF6の故障判定の時間が長くなり、PMリセット開始時により多くのPMが堆積した状態とすることができる。また、DPF6の故障判定完了後、所定時間経過後にPMリセットを開始するものとし、この所定時間を通常のPMリセット開始より確実に長くなるように設定したものでもよい。これは以下の実施の形態についても同様である。また、本実施の形態1では、推定排出量が基準排出量REF1より大きくなった場合のセンサ出力に基づき、DPF6の故障の有無を判定する場合について説明した。しかし、この発明において、DPF6の故障判定法はこれに限るものではない。例えば、DPF6の故障検出完了後から所定時間経過後のセンサ出力を検出し、これに基づきDPF6の故障の有無を判定するものであってもよい。この場合において、PMリセット中の発熱量Qを検出する場合には、更に、所定時間を通常より長く設定することでPMが多く堆積した状態とするものでもよい。なお、この場合にも従来の場合に比較して素子部へのPM付着量が多くなるが、PMリセットの時間を長く設定することで、多く付着したPMを除去するようにする。これは、以下の実施の形態についても同様である。また、本実施の形態1では、第1PM量XSと第2PM量XQとの差の絶対値|XSXQ|が、基準値REF6より小さいか否かに基づいて、PMセンサ8が正常であるかを判定する場合について説明した。しかし、この発明はこれに限るものではなく、PMセンサ8が正常であるか否かの確認は、第1PM量XSと第2PM量XQとを比較する他の手法で行うものであってもよい。具体的には、例えば、第1PM量XSと第2PM量XQとの差、比などの差異を検出し、これに基づきPMセンサ8が正常か否かを確認するものでもよい。また、第1PM量XSと第2PM量XQの検出を複数回行い、それぞれの平均値を求めた後、両者の差異を検出して、PMセンサ8の正常性を確認するものであってもよい。これは以下の実施の形態についても同様である。実施の形態2.実施の形態2のシステムは、実施の形態1のシステムと同様の構成を有している。実施の形態2のシステムでは、実施の形態1と同様の制御により、PMセンサ8が異常と判別された場合にもPMセンサ8を使用するための制御が実行される。図6は、本実施の形態2における、推定排出量とセンサ出力との関係を説明するための図である。図6において、横軸はPMの推定排出量を表し、縦軸はセンサ出力を表している。また、図6において、曲線aは、正常なセンサ出力を表し、bは感度が高くなっている場合のセンサ出力、cは感度が低下している場合のセンサ出力を表している。実施の形態2においては発熱量Qから算出された第2PM量XQは、実際に素子部に堆積していたPM量に即したものとして用いられる。そして第2PM量XQに対して、第1PM量XSが大きい場合、例えば、電極14、16のマイグレーションにより、電極14と電極16との間隔が狭まるなどの原因により、電極14、16間自体の抵抗値が小さくなっていると考えられる。この場合、PMセンサ8の感度は高くなっている状態にあり、PMセンサ8は、実際のPM量よりも大きな出力を発する状態と判断される。この場合、図6の曲線bに示されるように、例えば、通常時のDPF6の故障判定において、センサ出力を検出するタイミングとなる基準排出量REF1に対するセンサ出力は、PMセンサ8が正常な場合に比べると大きくなる。つまり、DPF6の故障判定において、センサ出力と基準出力REF2とを比較してDPF6の故障の有無を判定する場合、その判定の時期を早める必要がある。従って、DPF6の故障判定において、センサ出力を検出するタイミングを決定する基準値は、PMセンサ8が正常である場合の基準排出量REF1よりも小さな基準排出量REF1Sとする。これにより、PMセンサ8の感度が高くなっている場合、DPF6の故障判定におけるセンサ出力検出は、推定排出量が、基準排出量REF1Sに達した早いタイミングで実行される。一方、第2PM量XQに対して、第1PM量XSが小さい場合、例えば、電極14、16の蒸散や、電極14、16への絶縁物の付着等の原因により、電極14、16間の抵抗が大きくなっていると考えられる。この場合、PMセンサ8の感度が低下した状態であり、PMセンサ8は、実際のPM量よりも小さな出力を発する状態と判断される。センサ出力の感度が低下している場合、図6の曲線cに示されるように、例えば、基準排出量REF1に対するセンサ出力は、PMセンサ8が正常な場合に比べると、低くなる。つまり、DPF6の故障判定において、センサ出力と基準出力REF2とを比較してDPF6の故障の有無を判定するためには、その判定の時期を遅延させる必要がある。従って、DPF6の故障判定において、センサ出力を検出するタイミングを決定する基準値は、PMセンサ8が正常である場合の基準排出量REF1よりも大きな基準排出量REF1Lとする。これにより、PMセンサ8の感度が低下している場合、DPF6の故障判定におけるセンサ出力検出は、推定排出量が、基準排出量REF1Lに達した遅いタイミングで実行される。なお、PMセンサ8の感度が高くなっている場合の小さな基準排出量REF1S、及び、感度が低下している場合の大きな基準排出量REF1Lとして適正な値が、それぞれの場合ごとに実験等により求められて設定される。この値は、通常時の基準排出量REF1と共に予め制御装置10に記憶される。図7は、この発明の実施の形態2において制御装置10が実行する制御のルーチンについて説明するためのフローチャートである。図7のルーチンは、図5のルーチンのセンサの正常異常の判定の後、続けて実行される。図7のルーチンでは、まず、PMセンサ8が異常と判定されたか否かが判別されるS202。PMセンサ8が異常と判定されたことが認められない場合には、今回の処理は終了する。一方、ステップS202において、PMセンサ8が異常と判定されたことが認められると、次に、第1PM量XSが、第2PM量XQより大きいか否かが判別されるS204。ステップS204において、第1PM量XS>第2PM量XQの成立が認められる場合、PMセンサ8の感度が高くなっていると考えられる。従って、この場合には、DPF6の故障判定のタイミングが早期化されるS206。具体的には、DPF6の故障判定における基準排出量が、通常より小さな値である基準排出量REF1Sに設定される。なお、変更される基準排出量REF1Sは、予め制御装置10に記憶されている。その後、今回の処理は終了する。一方、ステップ204において、第1PM量XS>第2PM量XQの成立が認められない場合、PMセンサ8のセンサ感度が低下していると考えられる。従ってこの場合には、DPF6の故障判定のタイミングが遅延化されるS208。具体的には、DPF6の故障判定における基準排出量が、通常より大きな値である基準排出量REF1Lに設定される。ここでの変更される基準排出量REF1Lは、予め制御装置10に記憶されている。その後、今回の処理は終了する。以上説明したように、本実施の形態2によれば、センサ出力の感度に異常が生じている場合にも、PMセンサ8の感度の変化に合わせて、故障判定のタイミングを変更することができる。これにより、PMセンサ8の出力にずれが生じている場合にも、それを補正し、DPF6の故障判定をある程度高い精度で継続して行うことができる。なお、本実施の形態2では、PMセンサ8の感度の変化に対し、DPF6の故障判定におけるセンサ出力検出のタイミングを判断する基準となる基準排出量を変更することで対応する場合について説明した。しかし、この発明においてはこれに限るものではない。例えば、DPF6の故障判定のタイミングは同じものとし、DPF6の故障判定中、電極14、16間に印加する捕集用電圧の大きさを変更するものであってもよい。具体的には、PMセンサ8の感度が低下している即ち、XS<XQと判断される場合には印加電圧を高くし、感度が高くなっている即ち、XS>XQと判断される場合には印加電圧を低く設定することで対応することができる。また、本発明においてDPF6の故障判定は、例えば、捕集用電圧の印加を開始してから所定時間経過後のセンサ出力を検出し、これに基づき故障の有無を判定するものであってもよい。この場合、更に、PMセンサ8の感度が低下していると判断される場合には、この所定時間を長く設定し、感度が高くなっている場合には所定時間を短く設定するものとすることができる。また、本実施の形態2では、PMセンサ8の感度変化に応じて、故障判定におけるセンサ出力検出タイミングを変化させる場合において、PMセンサ8が正常の場合に対し、感度が低下している場合と高くなっている場合とのそれぞれで、タイミングを一律例えばREF1S又はREF1Lに変化させる場合について説明した。しかし、この発明はこれに限るものではなく、例えば、感度のずれの大きさに応じて、段階的に、センサ出力検出タイミングを変化させるものであってもよい。例えば、第1PM量XSと第2PM量XQとの差XSXQをパラメータとし、この差に応じて、上記の故障検出タイミング決定のための、基準排出量や、所定時間、あるいは、印加電圧を段階的あるいは、無段階に徐々に変化させるものとしてもよい。また、本実施の形態2では、図5のルーチンのステップS128~S132においてPMセンサ8の異常の有無が判定された後、異常がある場合に、図7のステップS204~S208に従って、感度の変化に応じて検出タイミングを変化させる場合について説明した。しかし、この発明は、PMセンサ8の異常判定を行わず、第1PM量XSと第2PM量XQとの差異に応じて検出タイミングを変化させる処理のみ行うものであってもよい。具体的にこのような処理は、例えば、図5のルーチンのS126までを実行し、第1PM量XSと第2PM量XQとを検出し、続けて図7のステップS204~S208の処理を実行して検出タイミングを変更することにより、実現することができる。以上の実施の形態において各要素の個数、数量、量、範囲等の数に言及した場合、特に明示した場合や原理的に明らかにその数に特定される場合を除いて、その言及した数に、この発明が限定されるものではない。また、この実施の形態において説明する構造や製造工程等は、特に明示した場合や明らかに原理的にそれに特定される場合を除いて、この発明に必ずしも必須のものではない。