空気を送風するファンと駆動モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを固定するファンモータ支持部と、前記ファンモータを収納し、上面に空気吸込口を下面には供給口を備えたチャンバーと、前記ファンユニットの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、前記チャンバーは、空気吸込口を有した上面部を構成するトップパネルと、上面の一部と側面部とを一体にして形成されるサイドパネルAと、サイドパネルAに隣接した側面を形成するサイドパネルBとで構成され、前記トップパネルは、サイドパネルAの上面部分ではさむようにして固定されたファンフィルターユニット。前記トップパネルは、対向する二辺を断面ほぼCの字型の形状に折り曲げ、前記サイドパネルAは、前記トップパネルを挟むときに前記トップパネルに対向する辺をL字型の形状に折り曲げ、この端部のL字型形状の部分で受けるようにトップパネルを固定した請求項1記載のファンフィルターユニット。前記サイドパネルBは上面側にくし型に折り曲げ部を形成して、前記トップパネルの上面部分と結合される請求項1または2記載のファンフィルターユニット。前記サイドパネルA及び前記サイドパネルB下面側に、内周側に突出する断面コの字形状のフィルタ取付フランジを形成し、このフィルタ取付フランジにフィルター固定用の穴を設けた請求項1~3いずれか一つに記載のファンフィルターユニット。近年フラットパネルの大型化に伴い、パネルを製造する製造装置、パネルを搬送する搬送装置、パネルを保管する保管庫クリーンストッカーは大型化の傾向にあり、従来の構造のファンフィルターユニットでは、一つの薄板でチャンバー壁面を構成していたため大型化が困難であった。すなわち、一つの薄板でチャンバーを大型化すると、チャンバーの上面部にたわみが生じ、この上面部のたわみにより、上面部に固定されたファンモータとチャンバーと隣接して取り付けられたフィルターの上面が接触することにより、製品の性能低下を招く恐れがあった。そこで、本発明は、ファンモータを収納するチャンバー部を複数の薄板を連結して構成することでチャンバーの大型化を図り、ファンフィルターユニットの大型化を容易に実現し、チャンバーの上面部のたわみを抑える大型のファンフィルターユニットを提供することを目的とするものである。この目的を達成するために、本発明のファンフィルターユニットは、空気を送風するファンと駆動モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを固定するファンモータ支持部と、前記ファンモータを収納し、上面に空気吸込口を下面には供給口を備えたチャンバーと、前記ファンユニットの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、前記チャンバーは、空気吸込口を有した上面部を構成するトップパネルと、上面の一部と側面部とを一体にして形成されるサイドパネルAと、サイドパネルAに隣接した側面を形成するサイドパネルBとで構成され、サイドパネルAとサイドパネルBには前記フィルターの固定用の穴が設けられ、前記トップパネルは、サイドパネルAの上面部分ではさむようにして固定されたものであって、これにより初期の目的を達成するものである。以上のように本発明は、複数の薄板を連結してチャンバー部を構成することで、ファンフィルターユニットの大型化を図り、チャンバーの上面部のたわみを抑えるファンフィルターユニット提供することを目的とするものである。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。実施の形態1図1、図2に示すのは、ファン1とモータ2とを有しているファンモータユニット6である。ファン1はモータ2の回転軸に取り付けられてファンモータ3を構成している。そして、ファンモータ3は支持具4に支えられてオリフィス5に取り付けられている。次に、チャンバー7の構成について説明する。図3に示すようにチャンバー7は吸込口11を有したトップパネル8と、チャンバー7の上面の一部と側面とを一体にした2つのサイドパネルA9と、サイドパネルA9に隣接した側面を形成する2つのサイドパネルB10とで構成される。トップパネル8とサイドパネルA9とサイドパネルB10は、リベットで締結され、上面には吸込口を、下面にはクリーンルームへの清浄空気の供給口を備えた箱型形状のチャンバー7を形成する。図4に示すように、トップパネル8は、2つのサイドパネルA9の上面部分ではさむようにして固定される。さらに詳細に説明する。トップパネル8の長辺側の端部には、断面をほぼCの字型の形状に折り返したトップパネル折曲部12が設けられている。そして、トップパネル8に対向するサイドパネルA9の上面部分の端部には、L字型の形状に折り曲げたサイドパネル折曲部13が設けられている。言い換えれば、このサイドパネル折曲部13は、サイドパネルA9の天面部分から階段状に二度折り曲げられていることになる。そして、その下の段天面と平行な面でトップパネル8のトップパネル折曲部12を受けるように固定される。図5に示すように、トップパネル8とサイドパネルA9が固定された状態のものにサイドパネルB10が固定される。詳細に説明すると、サイドパネルB10には、トップパネル8、サイドパネルA9側に折り曲げ、トップパネル8とサイドパネルA9の接合部分に対応する部分を切り欠いてくし型にした接合部14が設けられている。この接合部14は、その切欠き部分にトップパネル8とサイドパネルA9の接合部分を挿入する。そして、トップパネル8サイドパネルA9と、サイドパネルB10の上面部分とをネジなどで結合する。このくし型の接合部14によれば、トップパネル8とサイドパネルA9との接合部分トップパネル折曲部12とサイドパネル折曲部13との干渉を無くすことが可能な構成となる。このようにして、図6に示すように、上面には吸込口を、下面には供給口を備えた箱型形状のチャンバー7を形成する。図7には、サイドパネルA9とサイドパネルB10の下面側に設けられたフィルター20の固定用のフィルター固定穴21と、フィルター固定穴21が設けられたコの字型形状のフィルター取付フランジ部となるフィルター固定部15を示す。このフィルター固定部15は、コの字型にしてチャンバー7の内周側に突出した内フランジ形状になっているので、フィルター20とチャンバー7との接合面を確保することができる。さらに、図8に示すようなチャンバー7の外寸よりフィルター20の外寸が小さい構造を実現することが可能となる。また、図示しないが、フィルター固定穴21には、ナットが取り付けられ、フィルター20とチャンバー7は、シール材を介してチャンバー7とねじで締結される。次にファンモータユニット6の取り付けについて説明する。図4に示すように、ファンモータユニット6はトップパネル折曲部12に固定される。トップパネル8は、トップパネル折曲部12がサイドパネルA9の端部のサイドパネル折曲部13で支えられて固定される。そのため、ファンモータユニット6は、トップパネル8のトップパネル折曲部12とサイドパネルA9のサイドパネル折曲部13によって支えられることになる。従って、チャンバー7の上面のたわみを抑えることができ、チャンバー7が大型化しても、ファンモータユニット6がフィルター20の上面が接触することにより、製品の性能低下を招く恐れを無くすことができる。