"検査用プローブをそれぞれ保持する複数のプローブ保持部を検査対象の基板の表面に沿って移動させて当該基板に当該検査用プローブをプロービングさせるプロービング部と、当該プロービング部を制御する制御部と、前記プロービング部によってプロービングさせられた各検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えた基板検査装置であって、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が予め決められた上限距離以上となる離反状態を検出する検出部を備え、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記離反状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記上限距離未満となる状態を維持させる基板検査装置。前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離を前記上限距離よりも短く規定された規定距離以下に維持した状態で初期位置から目的位置に当該各プローブ保持部を移動させるための移動経路を特定すると共に、前記移動経路に沿った前記各プローブ保持部の移動中に当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記規定距離を超えたときには前記移動経路を修正して当該各プローブ保持部の移動を継続させ、前記移動経路に沿った前記各プローブ保持部の移動中に前記検出部によって前記離反状態が検出されたときには当該各プローブ保持部の移動を停止させる請求項1記載の基板検査装置。前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が予め決められた下限距離以下となる近接状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記近接状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記下限距離を超える状態を維持させる請求項1または2記載の基板検査装置。前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の第1方向に沿った距離が第1上限距離以上となる前記離反状態としての第1離反状態、および前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記第1方向に直交する第2方向に沿った距離が第2上限距離以上となる前記離反状態としての第2離反状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記第1離反状態および第2離反状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記第1方向に沿った距離が前記第1上限距離未満でかつ当該各検査用プローブ間の前記第2方向に沿った距離が前記第2上限距離未満となる状態を維持させる請求項1から3のいずれかに記載の基板検査装置。前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間のA方向に沿った距離が第1下限距離以下となる前記近接状態としての第1近接状態、および前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記A方向に直交するB方向に沿った距離が第2下限距離以下となる前記近接状態としての第2近接状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記第1近接状態および第2近接状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記A方向に沿った距離が前記第1下限距離を超えかつ当該各検査用プローブ間の前記B方向に沿った距離が前記第2下限距離を超える状態を維持させる請求項1から4のいずれかに記載の基板検査装置。ところが、上記の基板検査装置を含む従来のこの種の基板検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この種の基板検査装置では、制御情報処理部が予め入力されたCADデータ等に基づいて各X-Yロボットを制御し、各コンタクトプローブを個別に移動させてプロービングを行っている。一方、例えば、抵抗値の僅かな差に基づいて対象体の良否を判定するような、ノイズの影響を受け易い検査を、この種の基板検査装置を用いて行うときには、ノイズの影響を抑制するために、各コンタクトプローブにそれぞれ設けられているシールド同士をケーブルで接続することがある。ここで、ケーブル自体によるノイズの拾い込みを低減するため、この種のケーブルの長さは比較的短く規定される。このため、各コンタクトプローブ同士間の離間距離がケーブルの長さケーブル長を超えたときには、ケーブルが切断したり、ケーブルの端部が接続されている部分コンタクトプローブの端部や、コンタクトプローブを保持している保持部が衝撃を受けて破損したりするおそれがある。この場合、ケーブル長を予め入力しておき、各コンタクトプローブをプロービングさせるべき各プロービングポイント間の距離が既に入力されているケーブル長よりも長いときには、コンタクトプローブを停止させるようにまたは、移動を開始させないように制御情報処理部がX-Yロボットを制御することで、このような不都合を解消する方法も考えられる。しかしながら、例えば、2つのコンタクトプローブを初期位置から2つのプロービングポイントにそれぞれ移動させる際に、一方のコンタクトプローブを目的のプロービングポイントに移動させた後に他方のコンタクトプローブを目的のプロービングポイントに移動させるように各コンタクトプローブが離れ離れとなるように移動制御用のプログラムが作成されているときには、移動先である各プロービングポイント間の距離がケーブル長よりも短い場合であっても、コンタクトプローブの移動中に各コンタクトプローブ間の距離がケーブル長を超えるため、依然として、ケーブルの切断やコンタクトプローブの破損などが発生するおそれがあるという問題点が存在する。本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、複数の検査用プローブ同士を接続するケーブル、プローブ保持部および検査用プローブの破損を防止しつつ、各検査用プローブを予め決められた移動範囲内で移動させて検査し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。上記目的を達成すべく請求項1記載の基板検査装置は、検査用プローブをそれぞれ保持する複数のプローブ保持部を検査対象の基板の表面に沿って移動させて当該基板に当該検査用プローブをプロービングさせるプロービング部と、当該プロービング部を制御する制御部と、前記プロービング部によってプロービングさせられた各検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えた基板検査装置であって、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が予め決められた上限距離以上となる離反状態を検出する検出部を備え、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記離反状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記上限距離未満となる状態を維持させる。また、請求項2記載の基板検査装置は、請求項1記載の基板検査装置において、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離を前記上限距離よりも短く規定された規定距離以下に維持した状態で初期位置から目的位置に当該各プローブ保持部を移動させるための移動経路を特定すると共に、前記移動経路に沿った前記各プローブ保持部の移動中に当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記規定距離を超えたときには前記移動経路を修正して当該各プローブ保持部の移動を継続させ、前記移動経路に沿った前記各プローブ保持部の移動中に前記検出部によって前記離反状態が検出されたときには当該各プローブ保持部の移動を停止させる。また、請求項3記載の基板検査装置は、請求項1または2記載の基板検査装置において、前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が予め決められた下限距離以下となる近接状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記近接状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記下限距離を超える状態を維持させる。また、請求項4記載の基板検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載の基板検査装置において、前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の第1方向に沿った距離が第1上限距離以上となる前記離反状態としての第1離反状態、および前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記第1方向に直交する第2方向に沿った距離が第2上限距離以上となる前記離反状態としての第2離反状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記第1離反状態および第2離反状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記第1方向に沿った距離が前記第1上限距離未満でかつ当該各検査用プローブ間の前記第2方向に沿った距離が前記第2上限距離未満となる状態を維持させる。また、請求項5記載の基板検査装置は、請求項1から4のいずれかに記載の基板検査装置において、前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間のA方向に沿った距離が第1下限距離以下となる前記近接状態としての第1近接状態、および前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記A方向に直交するB方向に沿った距離が第2下限距離以下となる前記近接状態としての第2近接状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記第1近接状態および第2近接状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記A方向に沿った距離が前記第1下限距離を超えかつ当該各検査用プローブ間の前記B方向に沿った距離が前記第2下限距離を超える状態を維持させる。請求項1記載の基板検査装置では、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、検出部による離反状態の検出結果に基づいて各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ間の距離が上限距離未満となる状態を維持させる。このため、この基板検査装置によれば、例えば、各プローブ保持部間にシールド接続用のケーブルが配設されている場合において、ケーブルの長さまたは、ケーブルの長さよりもやや短い長さを予め決められた距離として規定することで、そのケーブルの長さを超えて各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ同士が離間するような移動を確実に防止することができる結果、ケーブルの破損、およびケーブルの端部が接続されているプローブ保持部や検査用プローブの破損を確実に防止しつつ、各検査用プローブを移動させて検査することができる。また、請求項2記載の基板検査装置では、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、移動経路を特定すると共に、移動経路に沿った各プローブ保持部の移動中に各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ間の距離が、規定距離を超えたときには移動経路を修正して各プローブ保持部の移動を継続させ、移動経路に沿った各プローブ保持部の移動中に検出部によって離反状態が検出されたときには各プローブ保持部の移動を停止させる。このため、この基板検査装置によれば、各検査用プローブ間の距離が規定距離を超えた段階、つまり各プローブ保持部間にケーブルが配設されている場合において、そのケーブルが切断するまでにはまだ余裕がある段階では、移動経路を修正してプローブ保持部の移動を継続させ、各検査用プローブ間の距離が上限距離を超えた段階、つまりケーブルが切断するまでに余裕のない段階では、プローブ保持部の移動を直ちに停止させることができる。また、請求項3記載の基板検査装置では、検出部が、各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ間の距離が下限距離以下となる近接状態を検出可能に構成され、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、検出部による検出結果に基づいて各検査用プローブ間の距離が下限距離を超える状態を維持させる。このため、この基板検査装置によれば、各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ同士や各プローブ保持部同士が接触するような移動を確実に防止することができる結果、互いの接触に起因する検査用プローブやプローブ保持部の破損を確実に防止することができる。また、請求項4記載の基板検査装置では、検出部が、各検査用プローブ間の第1方向に沿った距離が第1上限距離以上となる第1離反状態、および各検査用プローブ間の第2方向に沿った距離が第2上限距離以上となる第2離反状態を検出可能に構成され、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、検出部による検出結果に基づいて各検査用プローブ間の第1方向に沿った距離が第1上限距離未満でかつ各検査用プローブ間の第2方向に沿った距離が第2上限距離未満となる状態を維持させる。このため、この基板検査装置によれば、例えば、第1方向についての検出を行う光電センサ、および第2方向についての検出を行う光電センサの2つのセンサを備えた簡易な構成の検出部で第1離反状態および第2離反状態を確実に検出することができる結果、基板検査装置のコストを低減しつつ、各プローブ保持部間に配設されているケーブル、プローブ保持部および検査用プローブの破損を確実に防止することができる。また、請求項5記載の基板検査装置では、検出部が、各検査用プローブ間のA方向に沿った距離が第1下限距離以下となる第1近接状態、および各検査用プローブ間のB方向に沿った距離が第2下限距離以下となる第2近接状態を検出可能に構成され、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、検出部による検出結果に基づいて各検査用プローブ間のA方向に沿った距離が第1下限距離を超えかつ各検査用プローブ間のB方向に沿った距離が第2下限距離Lb2を超える状態を維持させる。このため、この基板検査装置によれば、A方向についての検出を行う光電センサ、およびB方向についての検出を行う光電センサの2つのセンサを備えた簡易な構成の検出部で第1近接状態および第2近接状態を確実に検出することができる結果、基板検査装置のコストを低減しつつ、互いの接触に起因する検査用プローブやプローブ保持部の破損を確実に防止することができる。以下、本発明に係る基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。最初に、基板検査装置の一例としての図1に示す基板検査装置1の構成について説明する。基板検査装置1は、同図に示すように、基板保持部2、プロービング部3、検出部4、検査部5、操作部6、記憶部7、表示部8および制御部9を備えて、例えば、図2に示す基板100に対する電気的検査を実行可能に構成されている。ここで、基板100は、一例として、図2に示すように、検査の終了後に互いに分離される複数この例では、24個のピース101を有する多面取りの基板であって、全体として略長方形に形成されている。基板保持部2は、基板100を載置させる載置台2a図2参照を備えて構成されている。この場合、載置台2aは、一例として、載置された基板100を吸着して保持可能に構成されている。プロービング部3は、図1,2に示すように、第1移動機構11、複数この例では2つの第2移動機構12a,12b以下、区別しないときには第2移動機構12ともいう、および第2移動機構12と同数この例では2つのプローブ保持部13a,13b以下、区別しないときにはプローブ保持部13ともいうを備え、プローブ保持部13a,13bによってそれぞれ保持されている検査用プローブ41,41の先端部を基板100上のプロービングポイントに接触プロービングさせるプロービング処理を実行可能に構成されている。第1移動機構11は、図2に示すように、基板保持部2の上方に配置され、基板保持部2によって保持されている基板100の表面つまり、基板保持部2における載置台の載置面に沿って以下、この面に沿った方向をXY方向ともいう各プローブ保持部13を移動可能に構成されている。具体的には、第1移動機構11は、一例として、同図に示すように、ガイドレール21a~21d以下、区別しないときにはガイドレール21ともいう、およびスライダ22a~22f以下、区別しないときにはスライダ22ともいう、並びに図3に示す第1X軸モータ23a、第1Y軸モータ23b、第2X軸モータ23cおよび第2Y軸モータ23dを備えて構成されている。ガイドレール21a,21bは、図2に示すように、平行に配置されている。スライダ22a,22bは、ガイドレール21aの長さ方向第1方向およびA方向に相当し、同図に示すX方向に沿ってスライド可能にガイドレール21aに配設され、スライダ22c,22dは、ガイドレール21bの長さ方向X方向に沿ってスライド可能にガイドレール21bに配設されている。ガイドレール21cは、ガイドレール21a,21bに対して直交するようにして、その両端部がスライダ22a,22cに固定され、ガイドレール21dは、ガイドレール21a,21bに対して直交するようにして、その両端部がスライダ22b,22dに固定されている。スライダ22eは、図2に示すように、ガイドレール21cの長さ方向第1方向に直交する第2方向、およびA方向に直交するB方向に相当し、同図に示すY方向に沿ってスライド可能にガイドレール21cに配設され、スライダ22fは、ガイドレール21dの長さ方向Y方向に沿ってスライド可能にガイドレール21dに配設されている。この場合、スライダ22a,22cは、第1X軸モータ23a図3参照によって駆動され、スライダ22b,22dは、第2X軸モータ23c同図参照によって駆動されて、各々が配設されているガイドレール21に沿ってスライドさせられる。また、スライダ22eは、第1Y軸モータ23b同図参照によって駆動され、スライダ22fは、第2Y軸モータ23d同図参照によって駆動されて、各々が配設されているガイドレール21に沿ってスライドさせられる。第2移動機構12aは、図2に示すように、第1移動機構11のスライダ22eの上に配設され、プローブ保持部13aを上下方向XY方向に直交するZ方向に移動させる。また、第2移動機構12bは、同図に示すように、第1移動機構11のスライダ22fの上に配設され、プローブ保持部13bを上下方向に移動させる。各プローブ保持部13a,13bは、検査用プローブ41を保持可能にそれぞれ構成され、第2移動機構12によって上下方向に移動させられる。また、図2に示すように、各プローブ保持部13a,13bには、ケーブル42が架け渡されている。このケーブル42は、各プローブ保持部13a,13bにそれぞれ保持される各検査用プローブ41に設けられている図外のシールド同士を電気的に接続するためのケーブルであって、両端部がプローブ保持部13a,13bを介して各検査用プローブ41の端部にそれぞれ接続されている。ここで、図2に示す多面取りの基板100における各ピース101に対する電気的検査を行う際には、2つの検査用プローブ41,41間の最大の離間距離をピース101の対角線の長さ程度に規定したとしても、各ピース101上の任意の2つのプロービングポイントに対して各検査用プローブ41,41をそれぞれプロービングさせることができる。一方、ケーブル42自体によるノイズの拾い込みを低減するため、なるべく短いケーブル42を用いるのが好ましい。このため、この例では、その長さLdが基板100のピース101の対角線の長さよりもやや長いケーブル42を用いている。検出部4は、後述する第1離反状態および第2離反状態、並びに後述する第1近接状態および第2近接状態を検出可能に構成されている。具体的には、検出部4は、図2に示すように、一例として、アーム31a~31d、光電センサ32a~32d図3も参照:以下、区別しないときには光電センサ32ともいうおよび反射板33a,33b以下、区別しないときには反射板33ともいうを備えて構成されている。この場合、図2に示すように、アーム31aはスライダ22aに取り付けられ、アーム31bは、スライダ22bに取り付けられている。また、アーム31cは、スライダ22eに取り付けられ、アーム31dは、スライダ22fに取り付けられている。また、光電センサ32a,32bは、アーム31aに取り付けられ、光電センサ32c,32dは、アーム31cに取り付けられている。また、反射板33aは、アーム31bに取り付けられ、反射板33bは、アーム31dに取り付けられている。また、各光電センサ32は、一例として、反射型の光電センサであって、検出用のセンサ光を照射してその反射光の有無強弱を検出する。この場合、光電センサ32の正面対向位置に反射板33が位置しているときには反射光が強く、光電センサ32の正面に反射板33が位置していないときには反射光が弱いため、光電センサ32は、反射光の強弱によって正面に反射板33が位置しているか否かを検出する。なお、以下の説明において、正面に反射板33が位置していることを光電センサ32が検出している状態を第1検出状態ともいい、正面に反射板33が位置していないことを検出している状態を第2検出状態ともいう。また、この検出部4では、光電センサ32a,32bと反射板33aとにより、各プローブ保持部13a,13bによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41,41間のX方向に沿った第1離反状態および第1近接状態が検出され、光電センサ32c,32dと反射板33bとにより、各プローブ保持部13a,13bによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41,41間のY方向に沿った第2離反状態および第2近接状態が検出される。具体的には、図2に示すように、各プローブ保持部13a,13bによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41,41間のX方向に沿った第1距離Lm1が第1上限距離La1以上のときには、光電センサ32aが第2検出状態となり、これによって第1距離Lm1が第1上限距離La1以上となる第1離反状態が検出される。また、同図に示すように、各プローブ保持部13a,13bによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41,41間のY方向に沿った第2距離Lm2が第2上限距離La2以上のときには、光電センサ32cが第2検出状態となり、これによって第2距離Lm2が第2上限距離La2以上となる第2離反状態が検出される。また、図8に示すように、各プローブ保持部13a,13bによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41,41間の第1距離Lm1が第1下限距離Lb1以下のときには、光電センサ32bが第1検出状態となり、これによって第1距離Lm1が第1下限距離Lb1以下となる第1近接状態が検出される。また、同図に示すように、各プローブ保持部13a,13bによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41,41間の第2距離Lm2が第2下限距離Lb2以下のときには、光電センサ32dが第1検出状態となり、これによって第2距離Lm2が第2下限距離Lb2以下となる第2近接状態が検出される。この場合、第1上限距離La1および第2上限距離La2は、ケーブル42が架け渡されている各プローブ保持部13a,13b同士つまり、各プローブ保持部13a,13bによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41,41同士をケーブル42の長さLd以上に離間させないために規定される距離であって、一例として、ケーブル42の長さLdに対して1/√2を乗じ、さらに80程度の安全率を乗じた距離が第1上限距離La1および第2上限距離La2として予め決められている。また、第1下限距離Lb1および第2下限距離Lb2は、各プローブ保持部13a,13bにそれぞれ保持されている各検査用プローブ41,41同士を接触させないために規定される距離であって、各プローブ保持部13a,13bの形状や検査用プローブ41の長さ等に基づいて予め決められている。なお、以下の説明において、第1離反状態および第2離反状態を区別しないときには離反状態ともいい、第1近接状態および第2近接状態を区別しないときには近接状態ともいう。また、第1距離Lm1および第2距離Lm2を区別しないときには距離Lmともいう。さらに、第1上限距離La1および第2上限距離La2を区別しないときには上限距離Laともいい、第1下限距離Lb1および第2下限距離Lb2を区別しないときには下限距離Lbともいう。検査部5は、制御部9の制御に従い、基板100にプロービングさせられた検査用プローブ41を介して入力した電気信号Siに基づき、基板100に対する所定の電気的検査を実行する。操作部6は、各種の操作スイッチを備えて構成され、これらの操作スイッチが操作されたときに操作信号を出力する。記憶部7は、基板100についてのプロービング用データDpを記憶する。この場合、プロービング用データDpには、基板100における検査用プローブ41をプロービングさせるべきプロービングポイントの位置XY座標を示す情報等が含まれている。また、記憶部7は、第1上限距離La1よりも短く規定された第1規定距離Lc1図4参照、および第2上限距離La2よりも短く規定された第2規定距離Lc2同図参照:以下、第1規定距離Lc1および第2規定距離Lc2を区別しないときには規定距離Lcともいうを示す距離データDd1を記憶する。この場合、第1規定距離Lc1および第2規定距離Lc2は、XY方向に沿ったプローブ保持部13の移動を開始させるか否かの判別や、プローブ保持部13を移動させる移動経路C図6,7参照を変更するか否かの判別に用いられる。さらに、記憶部7は、第1下限距離Lb1および第2下限距離Lb2を示す距離データDd2を記憶する。表示部8は、制御部9の制御に従って検査結果を表示する。制御部9は、操作部6から出力される操作信号に従い、基板検査装置1を構成する各部を制御する。また、制御部9は、図5に示すプロービング制御処理50を実行し、プロービング部3によるプロービングを制御して、各プローブ保持部13を移動させる。制御部9は、このプロービング制御処理50において、図7に示すように、初期位置P1から目的位置P2に向けて、XY方向に沿って各プローブ保持部13を移動させるための移動経路Cを、記憶部7に記憶されているプロービング用データDpに基づいて特定する。この場合、制御部9、各プローブ保持部13によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41間の距離Lmが、第1規定距離Lc1、第2規定距離Lc2、第1下限距離Lb1および第2下限距離Lb2によって規定される第1許容範囲R1図4に網掛けで示す範囲内となる状態を維持しつつ各プローブ保持部13を移動させるようにこの移動経路Cを特定する。また、制御部9は、移動経路Cに沿った各プローブ保持部13の移動中において、各検査用プローブ41間の距離Lmが第1許容範囲R1外となったときには、移動経路Cを修正して各プローブ保持部13の移動を継続させる。さらに、制御部9は、移動経路Cに沿った各プローブ保持部13の移動中において、検出部4によって離反状態が検出されたとき、つまり、各検査用プローブ41間の距離Lmが、第1上限距離La1、第2上限距離La2、第1下限距離Lb1および第2下限距離Lb2によって規定される第2許容範囲R2図4に一点鎖線で示す範囲外となったときには、各プローブ保持部13の移動を停止させる。なお、同図において、各検査用プローブ41同士の離反によってケーブル42が切断する限界を示す限界範囲R3を破線で示す。次に、基板検査装置1を用いて、図2に示す基板100に対する電気的検査を行う方法、およびその際の基板検査装置1における各部の動作について、添付図面を参照して説明する。なお、記憶部7には、基板100についてのプロービング用データDp、第1規定距離Lc1および第2規定距離Lc2を示す距離データDd1、並びに第1下限距離Lb1および第2下限距離Lb2を示す距離データDd2が予め記憶されているものとする。まず、基板100を基板保持部2の載置台2aに載置して保持させる。続いて、操作部6を操作して、検査の開始を指示する。この際に、制御部9は、操作部6から出力された操作信号に従い、記憶部7からプロービング用データDpおよび距離データDd1,Dd2を読み出す。次いで、制御部9は、図5に示すプロービング制御処理50を実行する。このプロービング制御処理50では、制御部9は、プロービング用データDpに基づいて最初に検査用プローブ41,41をそれぞれプロービングさせるべき2つのプロービングポイントの位置XY座標を特定するステップ51。続いて、制御部9は、特定したXY座標に基づき、2つのプロービングポイント間のX方向に沿った距離およびY方向に沿った距離、つまり、その2つのプロービングポイントに検査用プローブ41,41をそれぞれプロービングさせたと仮定したときの第1距離Lm1および第2距離Lm2を算出するステップ52。次いで、制御部9は、距離データDd1,Dd2によって示される第1規定距離Lc1、第2規定距離Lc2、第1下限距離Lb1および第2下限距離Lb2によって規定される第1許容範囲R1図4参照と、算出した第1距離Lm1および第2距離Lm2とを比較して、第1距離Lm1および第2距離Lm2距離Lmが第1許容範囲R1内か否かを判別するステップ53。制御部9は、上記したステップ53において、第1距離Lm1および第2距離Lm2の双方距離Lmが第1許容範囲R1内であると判別したときには、続いて、上記した第1離反状態、第2離反状態、第1近接状態および第2近接状態のいずれか離反状態または近接状態が検出部4によって検出されたか否か、つまり、距離Lmが、第1上限距離La1、第2上限距離La2、第1下限距離Lb1および第2下限距離Lb2によって規定される第2許容範囲R2図4参照内か否かを判別するステップ54。制御部9は、上記したステップ54において、距離Lmが第2許容範囲R2内であると判別したときには、図7に示すように、各プローブ保持部13の初期位置P1から目的位置P2ステップ51において特定したXY座標であってプロービングポイントの上方の位置に向けて、各検査用プローブ41間の距離Lmを第1許容範囲R1内に維持した状態でプローブ保持部13を移動させるための移動経路Cを特定するステップ55。次いで、制御部9は、プロービング部3の第1移動機構11に対して、特定した移動経路Cに沿って各プローブ保持部13a,13bを移動させる移動処理の開始を指示するステップ56。なお、プロービング制御処理50におけるプローブ保持部13a,13b双方に関する説明では、以下、プローブ保持部13a,13bをプローブ保持部13としても説明する。次いで、制御部9は、プローブ保持部13の移動中に、距離Lmが、第2許容範囲R2内か否か離反状態または近接状態が検出部4によって検出されているか否かを判別するステップ57。制御部9は、このステップ57において、距離Lmが第2許容範囲R2内であると判別したときには、移動中の検査用プローブ41のXY座標を算出しステップ58、続いて算出したXY座標に基づいて距離Lmが第1許容範囲R1内か否かを判別するステップ59。制御部9は、上記したステップ59において、距離Lmが第1許容範囲R1内であると判別したときには、続いて、検査用プローブ41のXY座標とプロービングポイントのXY座標とを比較し、検査用プローブ41がプロービングポイントの上方に到達したか否かを判別するステップ60。制御部9は、このステップ60において、検査用プローブ41がプロービングポイントの上方に到達していないと判別したときには、ステップ57を実行する。つまり、制御部9は、検査用プローブ41がプロービングポイントの上方に到達するまで、ステップ57~60を繰り返して実行する。次いで、検査用プローブ41がプロービングポイントの上方に到達したときには、制御部9は、ステップ58においてその旨を判別し、続いて、第1移動機構11に対して、移動経路Cに沿ったプローブ保持部13の移動処理の停止を指示するステップ61。次いで、制御部9は、プロービング部3の第2移動機構12に対して、基板100上のプロービングポイントに向けて下向きにZ方向に沿ってプローブ保持部13を予め決められた距離だけ移動させる移動処理の実行を指示するステップ62。これに応じて、第2移動機構12が下向きの移動処理を実行し、これにより、プローブ保持部13によって保持されている検査用プローブ41の先端部がプロービングポイントにプロービング接触させられる。続いて、制御部9は、検査部5に対して電気的検査の実行を指示するステップ63。これに応じて、検査部5が、検査用プローブ41を介して入力した電気信号Siに基づいて基板100に対する電気的検査を実行する。次いで、制御部9は、検査部5による検査の結果を表示部8に表示させる。続いて、検査部5による電気的検査が終了したときには、制御部9は、第2移動機構12に対して、上向きにZ方向に沿ってプローブ保持部13を予め決められた距離だけ移動させる移動処理の実行を指示するステップ64。これに応じて、第2移動機構12が上向きの移動処理を実行し、これにより、プローブ保持部13によって保持されている検査用プローブ41の先端部がプロービングポイントから離反する。以上により、最初のプロービングポイントに対するプロービング処理およびそのプロービングポイントについての電気的検査が終了する。次いで、制御部9は、上記した各ステップを実行して、次のプロービングポイントに対するプロービング処理およびそのプロービングポイントについての電気的検査を実行させる。一方、制御部9は、上記したステップ53において距離Lm第1距離Lm1および第2距離Lm2の少なくとも一方が第1許容範囲R1外であると判別したときには、プロービング部3を制御してプローブ保持部13を停止状態に維持させ、次いで、距離Lmが第1許容範囲R1外である旨、およびその理由として考えられるプロービングポイントの座標が誤っている旨を示す表示座標エラー表示を表示部8に行わせてステップ65、プロービング制御処理50を終了する。また、制御部9は、上記したステップ54において、距離Lmが第2許容範囲R2外であると判別したときにも、プロービング部3を制御してプローブ保持部13を停止状態に維持させる。ここで、距離Lmが第2許容範囲R2外であるときには、何らかの原因で初期状態において各検査用プローブ41が第2許容範囲R2を超えて離間している可能性がある。このため、制御部9は、この場合には、その旨を示す表示現在位置エラー表示を表示部8に行わせてステップ66、プロービング制御処理50を終了する。また、制御部9は、図6のaに示す初期位置P1から移動経路Cに沿ってプローブ保持部13を移動させている途中移動中において、同図のbに示すように、距離Lmが第2許容範囲R2外となったときには、上記したステップ57においてその旨を判別し、プロービング部3を制御して、プローブ保持部13の移動を停止緊急停止させると共にステップ67、その旨を表示してプロービング制御処理50を終了する。さらに、制御部9は、図7のaに示す初期位置P1から同図のcに示す目的位置P2に向けて、移動経路Cに沿ってプローブ保持部13を移動させている途中移動中において、同図のbに示すように、何らかの原因で距離Lmが第2許容範囲R2内でかつ第1許容範囲R1外となったときには、移動経路Cを、例えば同図に示す移動経路Cmに修正した後にステップ68、ステップ57に戻ってプローブ保持部13の移動を継続させる。なお、プローブ保持部13の移動が停止状態である旨やその原因の報知方法として、上記した表示部8による表示に代えてまたは、表示に加えて、その旨を報知する音やアナウンスを図外の音声発生部から出力させる方法を採用することもできる。ここで、この基板検査装置1では、上記したように、移動処理を開始させる以前において、計算上の距離Lmが第1許容範囲R1内か否かを判別するステップ53の処理を行うことに加えて、距離Lmが第2許容範囲R2内か否か離反状態または近接状態が検出部4によって検出されているか否かを判別するステップ54の処理を行っている。このため、この基板検査装置1では、例えば、演算ミスによって誤った距離Lmが算出され、この距離Lmが第1許容範囲R1内であったとしても、実際の距離Lmが第2許容範囲R2外のときには、プローブ保持部13の移動が開始されない結果、各プローブ保持部13によって保持されている検査用プローブ41同士が上限距離Laケーブル42の長さLdを超えて離間するような移動が確実に防止される。また、この基板検査装置1では、上記したようにプローブ保持部13の移動中において、離反状態または近接状態が検出部4によって検出されているか否かを判別するステップ57の処理、すなわち、実際の距離Lmが第2許容範囲R2内か否かを判別する処理を行っている。このため、この基板検査装置1では、例えば、2つのプローブ保持部13を初期位置P1から2つの目的位置P2にそれぞれ移動させる場合において、本来であれば、2つの各プローブ保持部13間の距離Lmが第1許容範囲R1内である状態を維持しつつ2つの各プローブ保持部13を同時に移動させるように移動制御用のプログラムを作成すべきところ、一方のプローブ保持部13を目的の位置に移動させた後に他方のプローブ保持部13を目的の位置に移動させるような各プローブ保持部13が離れ離れとなるような誤った移動制御用のプログラムが作成されていたとしても、プローブ保持部13の移動中において実際の距離Lmが第2許容範囲R2外となったときには、プローブ保持部13の移動が停止される。したがって、この基板検査装置1では、このような場合においても、ケーブル42の長さLdを超えて各プローブ保持部13同士が離間するような移動や、各プローブ保持部13同士および各プローブ保持部13によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41同士が接触するような移動が確実に防止される。このように、この基板検査装置1では、制御部9が、各プローブ保持部13を基板100の表面に沿って移動させる際に、検出部4による離反状態の検出結果に基づいて各プローブ保持部13によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41間の距離Lmが上限距離La未満となる状態を維持させる。このため、この基板検査装置1によれば、各プローブ保持部13間にシールド接続用のケーブル42が配設されている場合において、例えば、ケーブル42の長さLdに対して1/√2を乗じた長さまたは、その長さよりもやや短い長さを上限距離Laとして規定することで、そのケーブル42の長さLdを超えて各プローブ保持部13によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41同士が離間するような移動を確実に防止することができる結果、ケーブル42の破損、およびケーブル42の端部が接続されているプローブ保持部13や検査用プローブ41の破損を確実に防止しつつ、各検査用プローブ41を移動させて検査することができる。また、この基板検査装置1では、制御部9が、各プローブ保持部13を基板100の表面に沿って移動させる際に、移動経路Cを特定すると共に、移動経路Cに沿った各プローブ保持部13の移動中に各プローブ保持部13によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41間の距離Lmが規定距離Lcを超えたときには移動経路Cを修正して各プローブ保持部13の移動を継続させ、移動経路Cに沿った各プローブ保持部13の移動中に検出部4によって離反状態が検出されたときには各プローブ保持部13の移動を停止させる。このため、この基板検査装置1によれば、距離Lmが規定距離Lcを超えた段階、つまりケーブル42が切断するまでにはまだ余裕がある段階では、移動経路Cを修正して、プローブ保持部13の移動を継続させ、距離Lmが上限距離Laを超えた段階、つまりケーブル42が切断するまでに余裕のない段階では、プローブ保持部13の移動を直ちに停止させることができる。また、この基板検査装置1では、検出部4が、各プローブ保持部13によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41間の距離Lmが下限距離Lb以下となる近接状態を検出可能に構成され、制御部9が、各プローブ保持部13を基板100の表面に沿って移動させる際に、検出部4による検出結果に基づいて距離Lmが下限距離Lbを超える状態を維持させる。このため、この基板検査装置1によれば、各プローブ保持部13によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ41同士や各プローブ保持部13同士が接触するような移動を確実に防止することができる結果、互いの接触に起因する検査用プローブ41やプローブ保持部13の破損を確実に防止することができる。また、この基板検査装置1では、検出部4が、各検査用プローブ41間のX方向に沿った第1距離Lm1が第1上限距離La1以上となる第1離反状態、および各検査用プローブ41間のY方向に沿った第2距離Lm2が第2上限距離La2以上となる第2離反状態を検出可能に構成され、制御部9が、各プローブ保持部13を基板100の表面に沿って移動させる際に、検出部4による検出結果に基づいて第1距離Lm1が第1上限距離La1未満でかつ第2距離Lm2が第2上限距離La2未満となる状態を維持させる。このため、この基板検査装置1によれば、X方向についての検出を行う光電センサ32a、およびY方向についての検出を行う光電センサ32cの2つのセンサを備えた簡易な構成の検出部4で第1離反状態および第2離反状態を確実に検出することができる結果、基板検査装置1のコストを低減しつつ、各プローブ保持部13間に配設されているケーブル42、プローブ保持部13および検査用プローブ41の破損を確実に防止することができる。また、この基板検査装置1では、検出部4が、各検査用プローブ41間のX方向に沿った第1距離Lm1が第1下限距離Lb1以下となる第1近接状態、および各検査用プローブ41間のY方向に沿った第2距離Lm2が第2下限距離Lb2以下となる第2近接状態を検出可能に構成され、制御部9が、各プローブ保持部13を基板100の表面に沿って移動させる際に、検出部4による検出結果に基づいて第1距離Lm1が第1下限距離Lb1を超えかつ第2距離Lm2が第2下限距離Lb2を超える状態を維持させる。このため、この基板検査装置1によれば、X方向についての検出を行う光電センサ32b、およびY方向についての検出を行う光電センサ32dの2つのセンサを備えた簡易な構成の検出部4で第1近接状態および第2近接状態を確実に検出することができる結果、基板検査装置1のコストを低減しつつ、互いの接触に起因する検査用プローブ41やプローブ保持部13の破損を確実に防止することができる。なお、基板検査装置1の構成は上記の構成に限定されない。例えば、反射型の光電センサ32と反射板33とを備えて検出部4を構成した例について上記したが、光電センサ32および反射板33に代えて、投光器および受光器を有する透過型の光電センサを備えて検出部4を構成することもできる。また、距離Lmが上限距離La以上のときに信号を出力するまたは、それまで出力していた信号の出力を停止するスイッチ、および距離Lmが下限距離Lb以下のときに信号を出力するまたは、それまで出力していた信号の出力を停止するスイッチを、光電センサ32および反射板33に代えて備えて検出部4を構成することもできる。また、X方向第1方向に沿った第1離反状態と、Y方向に沿った第2離反状態とを別々に検出する検出部4を備えて、第1離反状態および第2離反状態の少なくとも一方が検出部4によって検出されているときに各プローブ保持部13を停止状態に維持させる構成例について上記したが、各検査用プローブ41間のX方向に沿った距離、および各検査用プローブ41間のY方向に沿った距離ではなく、各検査用プローブ41間の最短距離が予め決められた距離以上となる離反状態を検出する検出部を備え、離反状態が検出されたときに各プローブ保持部13を停止状態に維持させる構成を採用することができる。一例として、一方のプローブ保持部13によって保持されている検査用プローブ41から他方のプローブ保持部13によって保持されている検査用プローブ41までの最短距離を非接触で測定する距離センサレーザ変位計を備えて、その距離センサによって測定された距離が予め決められた距離例えば、ケーブル42の長さLdに対して80程度の安全率を乗じた距離以上のときに、制御部9がプロービング部3を制御して各プローブ保持部13を停止状態に維持させるように構成することができる。"