"一対の電極と、上記両電極を連結し、複数の独立した長尺カーボンナノチューブ分子からなるCNT膜とを備える熱音響装置であって、上記各カーボンナノチューブ分子が、単体で両電極間に電気的に接続されていることを特徴とする熱音響装置。上記CNT膜がストライプ状に形成されている請求項1に記載の熱音響装置。ストライプ状に形成された上記CNT膜のスリットに設けられる放熱用CNT膜をさらに備える請求項2に記載の熱音響装置。上記CNT膜の裏面に積層される断熱層をさらに備える請求項1、請求項2又は請求項3に記載の熱音響装置。上記断熱層の裏面に積層される放熱層をさらに備える請求項4に記載の熱音響装置。本発明は、上述のような事情に基づいてなされたものであり、高速反応性に優れ、高調波歪みが小さい熱音響装置を提供することを目的とする。本発明者らは、鋭意検討した結果、CNTを発熱体として用いた場合、CNT分子同士が連結する部分で接触抵抗が生じ、この接触部分における発熱が発熱状態の不均一性を増加させ、高速反応性及び高調波歪みの発生に影響を与えることを見出し、本発明を完成させるに至った。すなわち、この分子同士の連結部分が多数存在することにより熱容量が大きくなり高速反応性が低下すること、及び、連結部分の発熱により過渡応答性が低下し、高調波歪みが発生し易くなることを見出し、この点を改良することで本発明の完成に至った。上記課題を解決するためになされた発明は、一対の電極と、上記両電極を連結し、複数の独立した長尺カーボンナノチューブ分子からなるCNT膜とを備える熱音響装置であって、上記各カーボンナノチューブ分子が、単体で両電極間に電気的に接続されていることを特徴とする。当該熱音響装置においては、各CNT分子が単体で両電極間に電気的に接続されており、CNT膜にCNT分子同士の連結部分が無い。従って、当該熱音響装置によれば、CNT膜の熱容量が小さくなり、高速反応性に優れる。また、当該熱音響装置によれば、このCNT分子同士の連結部分からの発熱による過渡応答性の低下が抑えられているため、高調波歪みの発生が低減される。さらに、当該熱音響装置によれば、このようにCNT膜に分子同士の連結部分が無いためCNT膜の機械的強度が高い。上記CNT膜がストライプ状に形成されているとよい。当該熱音響装置によれば、CNT膜をストライプ状に形成することで、この膜の放熱性がさらに高まり、その結果、高速反応性をさらに高め、高調波歪みの発生をより低減することができる。ストライプ状に形成された上記CNT膜のスリットに設けられる放熱用CNT膜をさらに備えることが好ましい。当該熱音響装置によれば、放熱用CNT膜がCNT膜に近接して交互に配置されることで、CNT膜の放熱性がさらに高まり、より優れた高速反応性及び高調波歪みの低減能を発揮することができる。上記CNT膜の裏面に積層される断熱層をさらに備えるとよい。当該熱音響装置によれば、CNT膜の裏面が断熱層で被われていることで、発熱した熱が裏面側に流れることを抑制し、高速反応性等、音波の発生能を高めることができる。上記断熱層の裏面に積層される放熱層をさらに備えるとよい。当該熱音響装置によれば、断熱層の裏面にさらに放熱層を備えることで、CNT膜の放熱性をさらに高め、その結果、さらなる高速反応性の向上及び高調波歪みの発生低減を図ることができる。以上説明したように、本発明の熱音響装置は、各CNT分子が単体で両電極間に電気的に接続されており、CNT膜にCNT分子同士の連結部分が無いため、高速反応性に優れ、かつ、高調波歪みが小さい。従って、本発明の熱音響装置は、スピーカー、特に超音波スピーカー等として好適に利用することができる。<第一実施形態>以下、本発明の熱音響装置の実施の形態を、第一~第三実施形態及びその他の実施形態として詳説する。図1の熱音響装置1は、基板2、一対のスペーサー3、CNT膜4及び一対の電極5を備える。基板2は、CNT膜4等の配置状態を固定し、また、CNT膜4の裏面等を保護している。この基板2は、平面視で矩形状の板状体である。基板2のサイズは特に限定されず、当該熱音響装置1の用途等に応じて適宜設定することができるが、例えば、縦及び横の長さが1mm~10cm、厚みが0.1mm~5mm程度である。基板2の材質としては、一定の強度を有するものであれば特に限定されず、鉄、アルミニウム等の金属材料、ガラス、合成樹脂等の非金属材料などを用いることができる。この基板2は、柔軟性を有していても、有していなくてもよい。なお、基板2が柔軟性を有する場合、当該熱音響装置は、フレキシブルな装置として用途の幅を広げることができる。一対のスペーサー3は平面視で長方形状の板状体である。各スペーサー3は、基板2の表面における対向する両端縁上に、互いに平行に積層されている。この一対のスペーサー3は、基板2とCNT膜4とを離間させ、CNT膜4を基板2から熱絶縁させている。スペーサー3のサイズとしては、特に限定されず、基板2等のサイズ等に応じて適宜設定することができるが、例えば、長さが基板2の一辺の長さと同程度、幅が1mm~1cm程度、厚みが0.05mm~3mm程度である。スペーサー3の材質も、特に限定されず、金属、金属酸化物、その他の無機物、合成樹脂等を用いることができるが、CNT膜4の熱絶縁性を高めるためには、ガラス、シリコン、合成樹脂等の熱伝導性が低い材料が好ましい。なお、スペーサー3が金属等の導電性材料から形成されている場合、スペーサー3を電極として機能させることもできる。また、このスペーサー3としては、接着剤や粘着剤を用いることもでき、この場合、製造の際のCNT膜4の固定が容易である。CNT膜4は、両スペーサー3間に架設されている。また、一対の電極5は、帯状形状を有し、このCNT膜4の端部を挟持するよう、一対のスペーサー3の表面に重畳されている。つまり、CNT膜4は両電極5を連結している。CNT膜4は、複数の独立した長尺のCNT分子6からなる。各CNT分子6は、単体で両電極5間に電気的に接続されている。具体的には、各CNT分子6は、両電極5の対向方向、すなわち、両電極5に対して略垂直に配置されている。当該熱音響装置1においては、このように各CNT分子6が配設されているため、CNT分子6の端部同士の接触部分や、CNT分子6がランダムに重なり合う部分が無い。従って、当該熱音響装置1によれば、CNT膜4の熱容量が小さくなり、高速反応性に優れる。また、CNT膜4には、上述のようにCNT分子6同士の連結部分が存在しないため、当該熱音響装置1においては、CNT分子6同士の連結部分からの発熱による過渡応答性の低下が抑えられている。従って、当該熱音響装置1によれば、高調波歪みの発生が低減される。さらに、当該熱音響装置1によれば、このようにCNT膜4にCNT分子6同士の連結部分が無いためCNT膜4の機械的強度が高い。上記CNT膜4の両電極5の対向方向長さの下限としては、1mmが好ましく、1.5mmがさらに好ましく、2mmが特に好ましい。一方、このCNT膜4の長さの上限としては、10mmが好ましく、6mmがさらに好ましい。なお、このCNT膜4の長さは、このCNT膜4を形成する各独立したCNT分子の長さとなる。CNT膜4のこの長さが上記下限未満の場合は、生じた熱からの音波への変換が困難になる場合がある。逆に、CNT膜4のこの長さが上記上限を超える場合は、このようなCNT分子の製造が困難になる。上記CNT膜4の平均厚みの下限としては、0.05μmが好ましく、0.1μmがさらに好ましい。一方、CNT膜4の平均厚みの上限としては、100μmが好ましく、20μmがさらに好ましい。CNT膜4の平均厚みが上記下限未満の場合は、このような薄膜の形成が困難になるおそれがある。逆に、CNT膜4の平均厚みが上記上限を超える場合は、CNT膜4の放熱性が低下し、高速反応性及び高調波歪みの抑制能が低下するおそれがある。なお、CNT膜4は、CNT分子を平面状に略平行に配置した単層構造からなることが好ましい。単層構造とすることで、CNT膜4の表面積が拡大する。その結果、CNT膜4の熱容量が小さくなり、当該熱音響装置1の高速反応性をより高めることができる。CNT膜4のインピーダンスの下限としては、1Ωが好ましく、5Ωがさらに好ましい。一方、このインピーダンスの上限としては1,000Ωが好ましく、100Ωがさらに好ましい。CNT膜4のインピーダンスが上記下限未満の場合は、電流が流れやすく発火して燃えてしまうおそれがある。一方、このインピーダンスが上記上限を超えると、電流が流れにくくなり発熱しにくく発音せず、電流を流そうとする場合には高電圧が必要となる。CNT膜4を構成するCNT分子としては、単層のシングルウォールナノチューブSWNTや、多層のマルチウォールナノチューブMWNTのいずれも用いることができるが、導電性及び熱容量等の点から、MWNTが好ましく、直径1.5nm以上100nm以下のMWNTがさらに好ましい。なお、CNT分子は個々の分子が独立した、紡がれていない状態のものである。このような独立したCNT分子を用いることで、CNT膜4の均一性が高まると共に、表面積が拡がるため、CNT膜4の温度変化速度が速く、高速反応性をより高めることができる。上記CNT分子は、公知の方法で製造することができ、例えば、CVD法、アーク法、レーザーアブレーション法、DIPS法、CoMoCAT法等により製造することができる。これらの中でも、所望するサイズのCNTMWNTを効率的に得ることができる点から、鉄を触媒かつ基板とし、エチレンガスを用いたCVD法により製造することが好ましい。この場合、石英ガラス基板や酸化膜付きシリコン基板等の基板に、触媒となる鉄あるいはニッケル薄膜を成膜した上に、垂直配向成長した所望する長さのCNT分子の結晶を得ることができる。一対の電極5の材質としては、導電性を有する限り特に限定されず、例えば銀粒子を含有する導電性接着剤等を用いることができる。一対の電極5は、CNT膜4に通電し、発熱させる。当該熱音響装置1においては、一対の電極5に交流の信号電圧を印加することで、CNT膜4が発熱する。この発熱により、CNT膜4の表面の空気層の温度変化が生じ、この温度変化による空気の疎密により音波が発生する。当該熱音響装置1は、各CNT分子6が単体で両電極5間に電気的に接続されているため、高速反応性に優れ、かつ、高調波歪みが小さい。従って、当該熱音響装置1は、スピーカー、特に超音波スピーカー等として好適に利用することができる。製造方法当該熱音響装置1は、例えば以下の方法で好適に製造することができる。基板2の表面両端縁に粘着剤を積層させ、これを一対のスペーサー3とする。このスペーサー3間にCNT分子を架け渡し、CNT膜4を形成する。具体的には、例えば上述した垂直配向したCNT分子を、触媒として鉄やニッケルが成膜された基板から剥がして、このCNT分子をスペーサー3としての粘着剤間に固定させることで、CNT膜4を形成することができる。その後、CNT膜4の両端縁スペーサー3上に導電性接着剤を積層させること等により一対の電極5を形成し、熱音響装置1を得ることができる。なお、上記工程において、垂直に配向したCNT分子を鉄製基板から剥がした後、複数のCNT分子からなるCNTの束に対して、例えばイソプロピルアルコール等の溶媒を噴霧する、又はこの溶媒に浸した後、乾燥させたものをCNT膜として使用しても良い。このような工程を経ることで、CNTの束がシュリンクする。このようなシュリンクしたCNTの束は、高温環境での抵抗の経時変化が小さく、CNT膜として使用することで、得られる熱音響装置の高速反応性や、高調波歪みの発生抑制能がさらに向上する。<第二実施形態>図2の熱音響装置11は、CNT膜4、一対の電極5、断熱層7及び放熱層8を備える。CNT膜4及び一対の電極5は、図1の熱音響装置1が備えるものと同様であるので、説明を省略する。断熱層7は、CNT膜4の裏面に積層されている。当該熱音響装置11によれば、CNT膜4の裏面が断熱層7で被われていることで、発熱した熱が裏面側に流れることを抑制し、高速反応性等、音波の発生能を高めることができる。断熱層7を形成する材料としては、断熱性を有するものであれば特に限定されないが、優れた断熱性を発揮させるべく、多孔質状の材料を用いることが好ましい。また、電流がこの断熱層7側へ流れることを防ぐべく、電気絶縁性を有する材料を用いることが好ましい。このような材料としては、例えば、ガラス、ゼオライト、アルミナ、シリカ、セラミックス、その他金属酸化物、エンジニアリングプラスチック、炭素材料カーボン、炭化ケイ素、炭化チタン等、窒素材料窒化ケイ素等や、表面が酸化物などの絶縁材で被覆されたポーラス金属等を挙げることができる。上記シリカとしては、例えば、オルトケイ酸テトラメチルTMOS、アンモニア水及びエタノールの混合反応から得られる水和ゲルを、超臨界乾燥法を用いて乾燥させることで得られるシリカエアロゲルが好ましい。このシリカエアロゲルは、特に優れた断熱性を発揮することができる。上記エンジニアリングプラスチックとしては、ポリイミドPI、ポリフェニレンスルファイドPPS、ポリエーテルイミドPEI、ポリエーテルエーテルケトンPEEK、フッ素樹脂等の耐熱温度が150°C以上、好ましくは200°C以上の樹脂が好ましい。断熱層7を形成する素材の25°C下の熱伝導率としては、0.1W/mK以下が好ましく、0.06W/mK以下がさらに好ましく、0.03W/mK以下が特に好ましい。なお、熱伝導率は、JIS-R16112010に記載のフラッシュ法により測定することができる。断熱層7の空隙率の下限としては、50体積が好ましく、80体積がより好ましく、90体積がさらに好ましい。断熱層7がこのような空隙率を有することで、断熱性能を効果的に発揮することができる。なお、断熱層7の空隙率の上限は、強度の低下を抑えるため、99体積が好ましく、97体積がより好ましい。なお、空隙率は、アルキメデス法により算出することができる。また、断熱層7の孔の平均径の下限としては、5nmが好ましく、10nmがさらに好ましい。一方、断熱層7の孔の平均径の上限としては、1,000nmが好ましく、200nmがさらに好ましい。孔の平均径が5nm未満の場合は、十分な断熱性が発揮されない場合がある。逆に、孔の平均径が1,000nmを超える場合は強度が低下するおそれがある。断熱層7の平均厚さとしては、例えば0.1mm以上3mm以下とすることができる。断熱層7の平均厚さが上記下限未満の場合は、断熱性及び強度が低下するおそれがある。逆に、断熱層7の平均厚さが上記上限を超える場合は、断熱層7の放熱性が低下するおそれがある。放熱層8は、上記断熱層7の裏面に積層されている。当該熱音響装置11によれば、断熱層7の裏面にさらに放熱層8を備えることで、CNT膜4の放熱性をさらに高め、その結果、さらなる高速反応性の向上及び高調波歪みの発生低減を図ることができる。この放熱層8の材質としては特に限定されず、例えば金属、金属酸化物、金属窒化物、これらの粉末が混合された樹脂材料等が挙げられるが、銅、アルミニウム等の熱伝導率の高い金属が好ましい。放熱層8の厚さとしては、特に限定されず、例えば100nm以上1mm以下程度である。なお、表面積を広げ、放熱性を高めるために、放熱層8の裏面断熱層7と接しない側の面に凹凸形状等が形成されていてもよい。<第三実施形態>図3の熱音響装置21は、基板2、一対のスペーサー3、CNT膜24、放熱用CNT膜9及び一対の電極25を備える。基板2及びスペーサー3は、図1の熱音響装置1と同様であるので、説明を省略する。CNT膜24は、両スペーサー3間に架設され、両電極25を連結している。このCNT膜24は、ストライプ状に形成されている。すなわち、複数の帯状のCNT膜24が、平行に、かつ離間して形成されている。当該熱音響装置21によれば、CNT膜24をこのようにストライプ状に形成し、複数のスリットを有することで、このCNT膜24の放熱性がさらに高まり、その結果、高速反応性をさらに高め、高調波歪みの発生をより低減することができる。このストライプ状に形成されたCNT膜24のそれぞれの幅としては、特に限定されないが、例えば、0.1μm以上100μm以下程度である。なお、このCNT膜24は、ストライプ状に形成されていること以外は、図1の熱音響装置1が備えるCNT膜4と同様である。放熱用CNT膜9は、帯状形状であり、上記CNT膜24の各スリットに設けられている。つまり、帯状のCNT膜24と帯状の放熱用CNT膜9とは交互に平面状に配置されている。なお、隣り合うCNT膜24と放熱用CNT膜9とは、接していても、離間していてもよい。また、放熱用CNT膜9は、CNT膜24と同様にスペーサー3の対向方向に配設されたCNT分子からなるが、両端が電極25と接していない。すなわち、放熱用CNT膜9は、発熱しない。一対の電極25は、各スペーサー3の表面にCNT膜24の両端を介して積層されている。但し、この電極25は、放熱用CNT膜9とは接していない。一対の電極25は、CNT膜24に通電し、発熱させる。当該熱音響装置21によれば、このように放熱用CNT膜9がCNT膜24に近接して交互に配置されることで、CNT膜24の放熱性がさらに高まり、より優れた高速反応性及び高調波歪みの低減能を発揮することができる。<その他の実施形態>本発明の熱音響装置は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、図4aの熱音響装置31のように、CNT膜34を形成する各CNT分子が、一対の電極5に対して垂直に配置されていなくてもよい。また、図4bの熱音響装置41のように、CNT膜44を、電極5上で折り曲げたCNT分子から形成してもよい。さらには、図4cの熱音響装置51のように、一対の電極55を平行に設けなくてもよい。また、図1の熱音響装置1において、スペーサー3は無くても、本発明の熱音響装置を構成することができる。上記いずれの熱音響装置においても、各CNT分子が単体で両電極間に電気的に接続されているため、高速反応性に優れ、また、高調波歪みの発生が低減される。さらには、断熱材をCNT膜の裏面に断熱層として設けるだけではなく、CNT膜の側面側や表面側にも設けてもよい。このようにCNT膜を断熱材で囲う、又は、断熱材の内部にCNT膜を配置した構造とすることで、CNT膜の断熱性を高め、熱音響装置の高速反応性をさらに高めることができる。以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。[実施例]縦60mm、横60mm、厚さ0.5mmのサイズの基板を用意した。この基板表面に、2mm弱の間隔を設けて、2本の両面テープスペーサーを平行に貼った。石英ガラスに触媒として鉄を成膜した基板上に垂直配向したCNTMWNT:長さ2mm、平均径25nmを側面から剥がし、上記両面テープ間に架け渡すように貼り付け、CNT膜を形成した。このCNT膜のサイズは横2mm、縦50mmであった。この横方向に、長さ2mmのCNT分子が配置されている。また、CNT膜の厚みは、SEMで測定したところ、0.05μm~0.5μmであった。上記両面テープ上に、CNT分子の両端を介して銀粒子を含む銅電線接着剤を積層して一対の電極を形成し、実施例の熱音響装置を得た。[比較例]図5に示すように、石英ガラスに触媒として鉄を成膜した基板101上に垂直配向したCNT102を側面から引き出し、CNT分子同士の連結する部分103が多数存在するCNT束104を形成した。このCNT束をCNT膜として用いたこと以外は、実施例と同様の操作をして比較例の熱音響装置を得た。図6にCNTを基板から引き出している状態のSEM写真を示す。[評価]図7の装置を組み、実施例及び比較例の熱音響装置の評価を行った。入力信号は、Vdc=10V、Vp-p=10Vとした。周波数10kHzのサイン波の入力に対して、発生された実施例の熱音響装置を用いた場合の音圧は、比較例のものより約1.7倍と大きかった。[参考例]CNT膜として1CNT束、2シュリンクさせたCNT束CNT束S、3カーボンファイバーCF及び比較としての4紡糸されたCNTCNT紡糸の温度変化に対する抵抗変化率を測定した。なお、1のCNT束は、上記実施例におけるCNT膜である。2のCNT束Sは、1のCNT束にイソプロピルアルコールを噴霧した後、乾燥させたものである。3のCFは、東レ製のトレカT700である。4のCNT紡糸は、上記比較例におけるCNT膜である。測定は、ホットプレート上に各CNT膜CNT束等を乗せて温度変化させ、デジタルマルチメータを用いて、各温度毎の抵抗を測定した。図8に温度毎の抵抗値及び抵抗値の変化率を示す。また、図9に、2CNT束S、3CF及び4CNT紡糸において、温度を120°Cに20分間保持した間の抵抗値及び抵抗値の変化率を示す。図8に示されるように、1CNT束、及び2CNT束Sは昇温時と高温時の抵抗変化率が等しく、熱音響膜として好適であることがわかる。また、図9に示されるように、CNTSはCNT束に比べ高温環境での抵抗の経時変化が小さく、安定していることがわかる。"