P含有量、S含有量およびC含有量がいずれも0.0015質量以下の高純度鋼を溶製する高純度鋼の製造方法であって、少なくとも、P含有量が0.06質量以下の溶銑を転炉に装入して精錬する精錬工程と、前記精錬工程によって精錬されたP含有量が0.0020質量以下、かつ、S含有量が0.005質量以下の溶鋼を、液相線温度に90~115°Cを足した温度で取鍋に出鋼させ、出鋼中に脱Pフラックスを用いて脱P処理を施す出鋼脱P処理工程と、取鍋からPを含むスラグを除滓する第1除滓工程と、取鍋に更にフラックスを添加し、前記フラックスを加熱により溶融させて、取鍋に残存するスラグ中のPを希釈するLF昇熱工程と、取鍋からPを含むスラグを再び除滓する第2除滓工程と、取鍋に脱Sフラックスを添加し、脱S処理を施すLF脱S処理工程と、MgOを含むフラックスを添加した脱ガス槽を用いて脱C処理を施し、前記高純度鋼を得るRH脱C処理工程と、をこの順に有する高純度鋼の製造方法。前記LF脱S処理工程の後、取鍋からSを含むスラグを除滓し、取鍋に更にフラックスを添加し、加熱により前記フラックスを溶解させた後に、前記RH脱C処理工程を行う請求項1に記載の高純度鋼の製造方法。しかしながら、特許文献1には、RH処理による脱Cの処理条件が明示されておらず、脱C処理中のスラグなどからの溶鋼への復Pおよび復Sを抑制することができないため、特許文献1に記載された製造方法と従来公知の脱C処理とを単に組み合わせるだけでは、高純度鋼の安定的な溶製は困難であることが分かった。また、特許文献2に記載の製造方法は、溶銑予備処理脱P処理の際にホタル石などのフッ素系の滓化促進剤を用いる必要があるが、フッ素を用いない溶銑予備処理では0.04質量程度までしか脱Pできず、環境への悪影響を配慮した現在においては適用できないことが分かった。更に、この方法では、RH脱C工程において復Pおよび復Sが発生することがあり、高純度鋼の安定的な溶製は困難であることが分かった。そこで、本発明は、P含有量、S含有量およびC含有量がいずれも0.0015質量以下、特に、P含有量が0.0010質量以下、S含有量が0.0012質量以下、C含有量が0.0014質量以下の高純度鋼を安価で安定的な方法で溶製する高純度鋼の製造方法を提供することを課題とする。本発明者は、上記課題を解決するため、転炉製鋼法における低温出鋼、出鋼脱P処理、LF処理、RH処理、除滓の条件等を詳細に検討した結果、Pの含有量が0.06質量以下の溶銑を用いた場合でも、溶鋼中のP、SおよびCの含有量を低減する処理条件と、いったん含有量を低減させた後に後続するプロセスにおいて鋼中の不純物が再び増加することを極力抑える処理方法を確立することにより、上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成させた。すなわち、本発明は、下記1および2を提供するものである。1P含有量、S含有量およびC含有量がいずれも0.0015質量以下の高純度鋼を溶製する高純度鋼の製造方法であって、少なくとも、P含有量が0.06質量以下の溶銑を転炉に装入して精錬する精錬工程と、上記精錬工程によって精錬されたP含有量が0.0020質量以下、かつ、S含有量が0.005質量以下の溶鋼を、液相線温度に90~115°Cを足した温度で取鍋に出鋼させ、出鋼中に脱Pフラックスを用いて脱P処理を施す出鋼脱P処理工程と、取鍋からPを含むスラグを除滓する第1除滓工程と、取鍋に更にフラックスを添加し、上記フラックスを加熱により溶融させて、取鍋に残存するスラグ中のPを希釈するLF昇熱工程と、取鍋からPを含むスラグを再び除滓する第2除滓工程と、取鍋に脱Sフラックスを添加し、脱S処理を施すLF脱S処理工程と、MgOを含むフラックスを添加した脱ガス槽を用いて脱C処理を施し、上記高純度鋼を得るRH脱C処理工程と、をこの順に有する高純度鋼の製造方法。2上記LF脱S処理工程の後、取鍋からSを含むスラグを除滓し、取鍋に更にフラックスを添加し、加熱により上記フラックスを溶解させた後に、上記RH脱C処理工程を行う上記1に記載の高純度鋼の製造方法。以下に示すように、本発明によれば、P含有量、S含有量およびC含有量がいずれも0.0015質量以下、特に、P含有量が0.0010質量以下、S含有量が0.0012質量以下、C含有量が0.0014質量以下の高純度鋼を安価で安定的な方法で製造することができる。図1を用いて本発明の高純度鋼の製造方法以下、本発明の製造方法という。を説明する。図1に示すように、本発明の製造方法は、高炉で製銑された後に溶銑予備処理された溶銑に対して、少なくとも、転炉における精錬S10と、出鋼脱P処理S11と、除滓S12と、LF昇熱S13と、除滓S14と、LF脱S処理S15と、任意の除滓S16およびLF造滓S17と、RH脱C処理S18とをこの順に施す溶製法である。以下に、上記溶銑および上記各処理工程について、詳述する。<溶銑>転炉に装入される溶銑は、P含有量が0.06質量以下であれば特に限定されない。本発明においては、溶銑中のP含有量は、トピード等の溶銑容器を用いた脱燐方法によって、フッ素化合物を用いない条件で調製することができる。また、溶銑中のP含有量は、フッ素化合物を用いた予備脱燐処理が不要となり、環境負荷が小さくなるという理由から、0.03質量以上であるのが好ましい。<精錬工程>転炉における精錬工程は、上記溶銑をP含有量が0.0020質量以下、かつ、S含有量が0.005質量以下の溶鋼とする工程である。PとSの含有量が上記範囲であると、精錬以降の各処理工程で不純物濃度を低下させることが容易となり、最終製品高純度鋼での要求を達成することができる。本発明においては、S含有量の調整は、トピードでの脱硫や、インペラー脱硫を行なうことが好ましい。また、上記精錬工程は、主に脱燐を行なう精錬と、主に脱炭を行なう精錬の2回に分けて行なうことが好ましい。なお、上記精錬工程における吹練は、従来公知の吹練モデルを利用して制御することができる。<出鋼脱P処理工程>出鋼脱P処理工程は、転炉から上記溶鋼を取鍋に出鋼させ、その際に脱P処理を施す工程である。出鋼本発明においては、上記溶鋼の出鋼は、図2に示すように、スラグへのP分配比logLpは大きくなり、脱Pが進行しやすくなる理由から、液相線温度に90~115°Cを足した温度通常の鋼種では1630~1650°C程度で行う。また、出鋼時の温度が上記範囲であると、上記溶鋼の固化やスラグの硬質化を抑制し、上記出鋼脱P処理工程後に施す除滓の作業性が向上し、復Pも抑制することができる。ここで、上記液相線温度は、公知の式例えば、平居の式等で計算できる。また、本発明においては、上記溶鋼の出鋼は、上記溶鋼中の酸素濃度やスラグ中の酸素濃度の低下がスラグからの復Pを起こしやすくするため、未脱酸出鋼するのが好ましい。なお、転炉スラグからの復Pを抑制する観点から、出鋼時に溶鋼を転炉内に残し、スラグを流出させない方法をとってもよい。脱P処理本発明においては、上記出鋼脱P処理工程における脱P処理は、取鍋への出鋼中に脱Pフラックスを用いて施す処理である。上記脱P処理は、CaOおよびCaF2など混合粉末;メタ珪酸ソーダ;等の脱Pフラックスを添加し、スラグの酸素濃度塩基度を上昇させることにより行う。また、上記脱Pフラックスの添加量溶鋼1トンあたりの量は、フラックスの種類によって異なるため特に限定されないが、例えば、CaOおよびCaF2の混合物を脱Pフラックスとして用いる場合は、CaOを1.8~4.0kg/t程度、CaF2を0.5~1.0kg/t程度添加するのが好ましく、メタ珪酸ソーダを脱Pフラックスとして用いる場合は、2.3~4.6kg/t程度添加するのが好ましい。このような出鋼脱P処理工程により、上記溶鋼のP含有量を0.0015質量以下まで低減することができる。<除滓第1除滓工程>上記出鋼脱P処理工程の後に施す除滓第1除滓工程は、取鍋からPを含むスラグを除滓する工程であり、従来公知の方法により施すことができる。このような除滓を施すことにより、上記出鋼脱P処理後の復Pを抑制し、脱酸に必要なAl等の還元剤の使用量を抑制することができる。<LF昇熱工程>LF昇熱工程は、取鍋に更に新たなフラックスを添加し、上記フラックスを加熱により溶融させて、取鍋に残存するスラグ中のPを希釈する工程である。本発明においては、上記LF昇熱工程および後述する除滓第2除滓工程は、上記出鋼脱P処理工程における低温液相線温度90~110°C出鋼による影響、すなわち、上記第1除滓工程における除滓率の低下や後述するLF脱S処理工程における復Pを抑制するために施される処理工程である。また、上記LF昇熱工程における加熱昇熱は、取鍋に設置された電極を用いて行うことができ、当該加熱を前提とすることで、低温出鋼が可能となり、上述したようにP含有量の低減が達成できる。また、本発明においては、上記LF昇熱工程において添加する新たなフラックスとしては、脱Pフラックスおよび脱Sフラックスのいずれかに限定されず、例えば、CaO、CaF2およびAl2O3など混合物等が挙げられ、その添加量は、滓化性の観点から、例えば、CaOを3.4~10.2kg/t、CaF2を0~1.35kg/t、Al2O3を0.64~1.92kg/t添加するのが好ましい。<除滓第2除滓工程>上記LF昇熱工程の後に施す除滓第2除滓工程は、取鍋からPを含むスラグを再び除滓する工程であり、上記第1除滓工程と同様の方法により施すことができる。<LF脱S処理工程>上記LF脱S処理工程は、上記第2除滓工程の後に取鍋に脱Sフラックスを添加し、脱S処理を施す工程である。本発明においては、上記脱S処理は、低酸素濃度でS吸収能の高い脱Sフラックスを添加して、強脱酸処理をした溶鋼と十分に撹拌することにより、容易に施すことができる。なお、出鋼中の復P防止の観点から上記溶鋼を未脱酸出鋼するのが好ましいため、上記脱S処理は、金属Al等の還元剤を用いて溶鋼スラグを脱酸するのが好ましい。上記脱Sフラックスとしては、例えば、CaO、CaF2、Al2O3およびMgOなどの混合物等が挙げられ、その添加量は、例えば、CaOを5.1~10.2kg/t、CaF2を0.97~1.94kg/t、Al2O3を1.94~3.88kg/t、MgOを1.09~2.18kg/t添加するのが好ましい。一方、金属Al等の還元剤を添加する場合、その添加量は、LF脱S処理中に測酸した結果に基づいて、例えば、Al添加の場合はAlkg/t=0.001125×酸素濃度ppm等のように決定することができる。このようなLF脱S処理工程により、上記溶鋼のS含有量を0.0015質量以下まで低減することができる。<任意工程>除滓本発明においては、後述するRH脱C処理における送酸による復Sおよび復Pの影響を考慮し、溶鋼中のS含有量をより安定的に低減させることができる理由から、上記LF脱S処理工程の後に、取鍋からSを含むスラグを除滓以下、後除滓ともいう。を施すのが好ましい。造滓本発明においては、上記後除滓を施す場合は、後述するRH脱C処理の際の操業性、すなわち、浸漬管への地金の付着を防止する理由から、取鍋に更にフラックスを添加し、加熱により上記フラックスを溶解させる処理以下、LF造滓ともいう。を施し、溶鋼表面にスラグを形成するのが好ましい。上記LF造滓を施すことにより、浸漬管への地金の付着が防止されるだけでなく、新たなフラックスの添加により、残留スラグ中のSおよびPを希釈し、後述するRH脱C処理の際の復Sおよび復Pを抑制することができる。ここで、上記フラックスとしては、脱Pフラックスおよび脱Sフラックスのいずれかに限定されず、例えば、CaO、CaF2およびAl2O3などの混合物等が挙げられ、その添加量は、例えば、CaOを3.4~10.2kg/t、CaF2を0~1.35kg/t、Al2O3を0.64~1.92kg/t添加するのが好ましい。<RH脱C処理工程>RH脱C処理工程は、MgOを含むフラックスを添加した脱ガス槽を用いて脱C処理を施し、P含有量、S含有量およびC含有量がいずれも0.0015質量以下、特に、P含有量が0.0010質量以下、S含有量が0.0012質量以下、C含有量が0.0014質量以下の高純度鋼を得る工程であり、高真空下において、上記脱ガス槽内で溶鋼表面に酸素を吹付け、鋼中酸素濃度を上げて行うのが好ましい。本発明においては、脱ガス槽内にMgOを含むフラックス以下、MgO含有フラックスを添加しているため、脱C処理中にスラグ-メタル間に高融点層が形成され、酸素ポテンシャルの高い溶鋼とスラグとの反応が抑制されるため、スラグ中に残留したSおよびPのピックアップを防止することができる。ここで、上記MgO含有フラックスにおけるMgOの添加量は、例えば、1.5~2.0kg/tであるのが好ましい。また、上記MgO含有フラックスとしては、例えば、MgOクリンカーが好適に挙げられ、その組成の一例としては、MgO:97.1質量、CaO:1.3質量、Al2O3:0.1質量、SiO2:0.7質量が挙げられる。また、本発明においては、上記脱C処理中の復Pを防止し、脱Pの向上を図る観点から、例えば、脱ガス槽内にメタ珪酸ソーダを2.3kg/t程度添加してもよい。なお、本発明においては、出発溶鋼の品質および要求される製品の品質に応じて上述の操作の一部を省略することができる。次に、実施例によって本発明の作用効果をさらに具体的に説明する。実施例1~3、比較例1~6まず、高炉から出銑された溶銑に予備処理を施して、P含有量を0.03~0.06質量とした後、転炉に装入し、脱P処理および脱C処理を施した。その後、下記表1-1実施例および表1-2比較例に示す処理条件で各処理を施し、下記表2-1実施例および表2-2比較例に示す純度の溶鋼を溶製した。なお、転炉、LFおよびRHは、いずれも220tの溶鋼の処理を行なった。また、LF昇熱で用いたフラックスは、CaOを3.4kg/t、CaF2を0.45kg/t、Al2O3を0.64kg/tであり、LF脱Sで用いたフラックスは、CaOを8.4kg/t、CaF2を1.6kg/t、Al2O3を3.2kg/t、MgOを1.8kg/tであり、LF造滓で用いたフラックスは、CaOを3.4kg/t、CaF2を0.45kg/t、Al2O3を0.64kg/tである。また、実施例および比較例のいずれにおいてもRH脱C処理を施しており、下記表1-1および表1-2のRH脱C処理の欄には、RH脱C処理の際に使用したフラックスの有無量を記載している。表1-1および表2-1に示すように、実施例においては、LF脱S処理後の除滓後除滓およびLF造滓の有無にかかわらず、P含有量、S含有量およびC含有量がいずれも0.0015質量以下、具体的には、P含有量が0.0010質量以下、S含有量が0.0012質量以下およびC含有量が0.0014質量以下の高純度鋼が製造できた実施例1~3。ここで、実施例1と2との対比から、LF脱S処理後の徐滓の有無によってRH脱C処理の際に復Sに影響を与えることが分かるが、LF脱S処理が十分であれば、LF脱S処理後の除滓は必須ではないことが分かる。また、実施例3においては、出鋼時脱P処理前のP含有量は0.019質量であったが、その後の処理によって最終的なP含有量は10ppm以下まで低減できることが分かる。これに対し、表1-2および表2-2に示すように、比較例1においては、LF昇熱処理を施さないことから、出鋼温度を高くする必要があり、出鋼時の溶鋼中のPおよびSの含有量が高くなっていることが分かる。また、LFにおける一切の処理を行なっていないため、RH脱C処理後のPおよびSの含有量も本発明の範囲を満足できていないことが分かる。また、比較例2および3は、比較例1よりも低温で出鋼し、出鋼脱P処理後に徐滓およびLF昇熱を施しているため、P含有量が低下しているが、S含有量の低減が達成できていないことが分かる。また、比較例4では、出鋼脱P処理後に徐滓を施したが、LF昇熱を施していないため、LF脱S処理における復Pの防止が十分でなく、また、出鋼時の溶鋼中のP含有量が高いこともあって、RH脱C処理後のPの含有量が本発明の範囲を満足できていないことが分かる。なお、比較例4では、LF脱S処理を施したため、RH脱C処理前のS含有量は低減したが、LF脱S処理後に徐滓を行なっていないため、RH脱C処理工程において大幅な復Sが発生し、最終的なS含有量も本発明の範囲を満足できていないことが分かる。また、比較例5では、比較例4の各処理に加えてLF脱S処理後の徐滓を実施したため、RH脱C処理工程における復Sを防止できているが、LF昇熱を行なっていないため、P含有量が本発明の範囲を満足できていないことが分かる。また、比較例6では、RH脱C処理の際にMgOおよびメタ珪酸ソーダを添加しなかったため、復Pおよび復Sが大きくなり、P含有量およびS含有量が本発明の範囲を満足できていないことが分かる。なお、実施例および比較例の傾向をまとめると、P含有量は、出鋼脱P処理とそれにつづく徐滓およびLF昇熱スラグ希釈を施すことにより大きく低下することが分かる。また、S含有量は、LF脱S処理によって低下するが、その後の徐滓によってRH脱C処理工程での復Sを防ぐことにより、より十分な低減を図ることができる。しかし、上記の方法を単に組み合わせただけでは、PおよびSの含有量を低減した溶鋼の安定的な溶製は必ずしも達成できない。これは、特にPおよびSの含有量が低い場合には、脱P処理で生成したスラグや、容器内の残鋼や残スラグから復Pおよび復Sが発生しやすくなるためである。そして、本発明の製造方法によれば、脱ガス槽内にMgOを含有するフラックスを添加することで効果的に不純物濃度の増加を抑えることができ比較例6と実施例を参照、これにより高純度鋼の安定的な製造が可能となることが分かる。