ガス放出用穴である穴寸法の縦巾が0.02~0.5mmで横巾が0.02~10mmで、長さが3~30mmで、穴と穴との間隔が0.1乃至2mmの範囲で設けられており、しかも穴内面の表面粗さが0.1s以内で、かつ、穴内面が緻密なAl2O3保護膜を有するAl合金系材料から成るシャワープレート。穴寸法の縦巾が0.02~0.5mmで、横巾が0.02~10mmの溝を多数個有するAl合金系材料のシートを複数枚積層することにより、長方形のガス放出穴を形成した請求項1に記載のシャワープレート。加圧プレス用金型の上型または円柱状のロールに加圧力によって転写した場合の横巾が0.02~10mmで深さ縦巾に相当が0.02~0.5mmの角状突起を多数個設けておき、この上型または加圧用ロールによってAl合金系材料の0.2~1mm厚さの薄板に前記角状突起を加圧力によって転写した後、Al2O3保護膜を生成させ、次いで複数枚を密着状態に積層することにより、請求項1または2に記載したシャワープレートを製造するシャワープレートの製造方法。円柱状の加圧用ロールの軸心方向に角状溝形成用の角状突起を多数個設けておき、加圧用ロールよりも大径の円柱状ロールとの間に0.2~1mm厚さからなる薄板をロール状に巻いたAl合金系材料のシートを連続して送り込んでシートの横巾方向に角状溝を有するシートを作製した後、Al2O3保護膜を生成させておき、次いでこのシートをロール状に積層密着させることにより円板形状を有する請求項1または2に記載したシャワープレートを製造するシャワープレートの製造方法。本発明が解決しようとする課題は、塩素ガス他の不活性ガスや水素ガス及び酸素ガスのような非常に強い活性を有し、かつ、腐食性が極めて強いガスの高密度プラズマに完全な耐腐食性を有するとともに、水分を全く放出しない緻密なAl2O3保護膜を形成した微細なガス放出穴を無数保有するAl合金系材料のシャワープレートを提供することにある。更には、チャンバー内でコンタミや反応生成物を発生させないために、チャンバー内のガスの流れは乱流状態でなく、均一な層流整流状態にする必要があり、特にプラズマ励起ガスやラジカル生成ガスが均一な層流整流状態でチャンバー内に供給され、原料ガスがプラズマ励起領域に戻って分解解離することがないシャワープレートを提供することにある。1本発明のシャワープレートは、ガス放出用穴である穴寸法の縦巾が0.02~0.5mmで横巾が0.02~10mmで、長さが3~30mmで、穴と穴との間隔が0.1乃至2mmの範囲で設けられており、しかも穴内面の表面粗さが0.1s以内で、かつ、穴内面が緻密なAl2O3保護膜を有するAl合金系材料から成るものである。2また、本発明のシャワープレートは、穴寸法の縦巾が0.02~0.5mmで、横巾が0.02~10mmの溝を多数個有するAl合金系材料のシートを複数枚積層することにより、長方形のガス放出穴を形成した1に記載したシャワープレートである。更に、本発明によれば、加圧プレス用金型の上型または円柱状ロールの加圧力によって転写した場合の横巾が0.02~10mmで深さ縦巾に相当が0.02~0.5mmの角状突起を多数個設けておき、この上型または加圧用ロールによってAl合金系材料の0.2~1mm厚さの薄板に前記角状突起を加圧力によって転写した後、Al2O3保護膜を生成させ、次いで複数枚を密着状態に積層することにより、1または2に記載したシャワープレートを製造することができる。また更に、本発明によれば、円柱状の加圧用ロールの軸心方向に角状溝形成用の角状突起を多数個設けておき、加圧用ロールよりも大径の円柱状ロールとの間に0.2~1mm厚さからなる薄板をロール状に巻いたAl合金系材料のシートを連続して送り込んでシートの横巾方向に角状溝を有するシートを作製した後、Al2O3保護膜を生成させておき、次いでこのシートをロール状に積層密着させることにより円板形状を有する1または2に記載したシャワープレートを製造することができる。更に、本発明におけるシャワープレートは、所定巾と深さの角状突起をローラーの軸心方向に多数個形成した円柱状のローラーに加圧力を作用させながら回転運動を与え、定盤または大径のローラーからなる回転定盤との間にAl合金系材料の薄板のロール材を供給することにより、ロール材の横巾方向に多数の溝を有する長さの長いAl合金系材料の薄板を得る。次いで、この多数の溝を有するAl合金系材料の薄板シートをロール状に巻き取りながら積層密着させることにより、多数個の角状穴を有する円板状のシャワープレートを得ることができる。次いで、ガス放出穴の縦巾や横巾や長さは、加圧成型用上型または加圧用ロールの角状突起の巾や深さ及び長さを変更することにより、ガス放出穴の穴端面形状が正方形や長方形あるいはスリット状と自由に設計することが可能であり、しかも、ガス放出穴の長さはAl合金系材料の薄板の横巾寸法に相当することになるので、プラズマの逆流を起こさない穴の長さ/穴の縦巾の寸法比に調整することができる。ガス放出孔が丸孔の場合は、孔の直径がDで孔の長さをLとした場合のアスペクト比L/Dは、一定の数値以上で異常放電が発生しないことが明らかにされており、本発明の穴の縦巾がほぼDに該当するとみなすことができる。1.Al合金系のシャワープレートに形成するガス放出用穴を、従来のドリル加工やパンチング加工方法によって形成する場合の穴加工工数に比較して、本発明の製造方法によれば数百分の1の工数でガス放出用穴を形成することができる。2.本発明のガス放出用穴の内面は、表面粗さが0.1s以下と非常に優れているので、ガスが層流整流状態でスムーズに流れる。3.本発明のガス放出用穴は、穴形状が丸穴ではなく、長方形の形状に限定されるが、ドリル加工やパンチング加工法のように穴のコーナー部にかえりが発生しないので、かえり取り作業に要する工数の削減効果が大である。4.本発明の製造方法によれば、ガス放出用穴の縦、横及び長さ寸法を自由に設計製作することができる。また、ガス放出用穴の長さL方向に蛇行したような穴を形成することもできる。5.ガス放出用穴の穴内面に形成するAl2O3保護膜を、穴内全面に渡って均一で緻密に生成させたシャワープレートを得ることができる。6.ガス放出用穴の縦巾に対して横巾を大きくして長方形やスリット形状にすることにより、穴面積を大きくすることができるので、放出ガスの流体抵抗が小さくて安定したガス流が得られる。以下、実施例に基づき本発明の実施の形態を説明する。図1に、本発明の第一の実施例を示す。図1は加圧プレス用金型1の使用形態を示しており、上型2に横巾W、縦巾H及び長さLからなる角状突起の突起と突起とを間隔t毎に多数個設けておき、下定盤4にAl合金系材料の薄板3をセットして、上型2によってAl合金系材料の薄板3を加圧プレスすることにより、横巾W、縦巾H、長さLからなる角状溝が間隔t毎に多数個転写された厚みdを有するAl合金系材料の薄板19が得られる。次いで、図2に示しているように、角状溝が転写された厚みdを有するAl合金系材料の薄板19にAl2O3保護膜を生成させた薄板30を、積層ケース8に複数枚積層状態に挿入して積層加圧プレート9によってボルト10で加圧固定することにより、横巾W、縦巾H及び長さLからなる角状溝6が形成されたシャワープレート本体部7を有するセット状態のシャワープレート5が得られる。なお、図1に示す上型2及び定盤4は、いずれも硬度が高くて耐摩耗性を有する高強度の超硬質合金からなる材料で形成するとともに、Al合金系材料の薄板3と接触加工する面を表面粗さ0.08s以内に研磨したものを使用する。また、図2の積層ケース8と積層加圧プレート9及びボルト10は、いずれもAl合金系材料の表面に緻密なAl2O3保護膜を生成させた部材を使用している。図3において、角状溝を形成するための角状突起部11を多数個有する超硬質合金製の加圧用ロール12と円柱状の定盤用ローラー13とを矢印方向に回転させながら、載置台14の上からAl合金系材料の薄板3を矢印方向に送り込み、加圧用ロール12によって、Al合金系薄板3の横巾方向に角状溝を加圧転写させることにより、溝内面の表面粗さが0.08sの精度を有するシートが得られた。この角状溝を加圧転写した厚みがdからなるAl合金系材料の薄板19を多数枚作製した後、全面に表面粗さが0.1sからなる緻密なAl2O3保護膜を生成させ、次いで図2に示したように積層セットした状態のシャワープレート5を得ることができた。図4に示す略図の連続加工装置15は、ロール状に巻かれたAl合金系材料の薄板18からなるシートに連続的に角状溝を形成加工するものである。まず、超硬質合金製の円柱状ローラー16の軸心方向に角状溝形成用の角状突起11を複数箇所設けた円柱状ローラー16と、円柱状ローラー16より大径からなる対向する円柱状定盤用ローラー17とを矢印方向に回転させながら、厚みdを有するAl合金系材料のシート18を矢印方向に連続的に送り込み、かつ、円柱状ローラー16から定盤用ローラー17の方向に加圧力を作用させておくことにより、Al合金系材料のシート18の横巾寸法L方向に角状溝を形成したAl合金系材料のシート19を製作しておく。次いで、前記角状溝を形成したAl合金系材料のシート19に対して連続的にAl2O3保護膜を生成させた加工済みのシートを、密着状態でロール状にロール芯材22に巻き付けながら積層することにより、図5abで示すように長さ寸法がLからなる直径が350mmの円板状のシャワープレート本体部材21を得た。シャワープレート本体部材21において、角状溝が転写されたAl合金系材料のシートを積層することによって形成されたガス放出用穴6は、横巾Wが1mmで縦巾Hが0.3mmの寸法で形成されており、かつ、Al2O3保護膜を生成させた角状溝内面の面粗さをレーザー面粗さ測定機で10箇所測定した結果、いずれも0.09s~0.10sの範囲内であることが判明した。次いで、図5bに示すように、シャワープレート本体部材21を保持固定ケース23に収納し、締付けボルト25で固定用リング24を締付け固定することにより、本発明の円板状のシャワープレートを得た。なお、各実施例において使用した角状溝形成用の超硬質合金製の部材は、いずれも硬さがHv1100以上で、曲げ強さが2000MPa以上の特性を有する炭化物、窒化物や硼化物あるいは、これらの2種以上を主成分とする材料を用いることができる。本発明の実施例においては、WC-Co系の超硬質合金を用い、Al合金系材料のシートを加工または接触する面、特に角状溝形成用の突起部を有する全面を表面粗さが0.08s以内、より好ましくは0.05s以内に研磨しておくことにより、加圧力によってAl合金系材料に転写された角状溝内面の表面粗さは、0.1s以内で形成することができ、かつ、Al2O3保護膜を生成させた面も0.1s以内のスムーズな面を有するシャワープレートが得られる。次に、本発明の長方形形状に形成されたガス放出用穴の製造方法として、更に詳細な説明を以下に示す。まず、金属Al合金系材料からなる薄板材料に穴をあける方法として一般的に採用されているドリル加工法は、仮に、直径が0.2mmの穴を厚み10mmのAl板材に対して貫通穴を加工するのに、少なくとも一穴当たり約180秒の工数を要し、かつ、穴のコーナー部にかえりが発生するので、無数のガス放出穴を有するシャワープレートの製造方法としては、非現実的である。一方、パンチング法によって、ガス放出孔を形成した場合においても、加工した穴のエッヂ部にかえりが形成されるので、かえり取り作業が必要となる。また、一穴当たりの穴あけに約0.5秒程度の工数を要するので、加工工数的にもシャワープレートの製造費用は多大なものとなる。また、パンチングで穴あけした穴内面の表面粗さは2μm以上の非常に粗いものとなる。更に、ドリルによる微細穴加工上の問題点は、直径が0.1~0.2mm程度のマイクロドリルの切れ味が劣化したり、加工中にドリルが折れ込む頻度が高いので、加工穴精度が悪くなったり、特に折れ込んだドリルの除去が非常に困難な作業となる欠点がある。また更に、パンチング法においても、直径寸法の小さな工具が磨耗して、打ち抜きが困難となるとともに、無数のガス放出穴を形成する為には、数多くの工具を磨耗することになり、前記ドリル加工の場合と同様に、パンチング用工具が折れ込むトラブルが多くて、折れ込んだ工具の除去が非常に困難となる問題点を有している。これに対し、本発明の場合、例えば、1000個の角状溝を形成する加圧プレス用上型でプレス速度1回/秒で加圧プレスすることにより、角状溝形成加工済みのAl合金系材料のシートを積層する工数をαと仮定すれば、ガス放出用穴の一穴当たりの加工工数は1秒α/1000穴となり、非常な高能率であることが明らかである。本発明の孔内面の表面粗さは、角状突起を形成した加圧プレス用上型あるいは加圧用ロールに形成した角状突起部を研磨加工しておくことにより、Al合金系材料の薄板に転写された溝からなる角状穴内面の表面粗さは0.1s以内の優れた平滑面を有している。このことにより、ガス放出用穴内面に0.4~1μm程度の厚さで生成させるAl2O3保護膜は、Al合金系基材の溝内面の表面粗さに近い表面状態を維持するため、表面粗さが0.1s以内の均一で緻密なAl2O3保護膜となり、放出するガスが完全に均一で整流状態で流れるので、半導体基板に形成する膜が非常に均一でコンタミが極めて少ない半導体を得ることができ、更に、異常放電等も発生しないので、寿命の長いシャワープレートが得られる。