"観測するための試料を搭載し、移動して試料の観測位置を変更することのできる試料台を備えた荷電粒子顕微鏡と荷電粒子顕微鏡で計測した信号を画像として取得する画像入力装置と、入力した画像を保存するための記憶装置と、画像に処理を施し種々の補正を行うための演算装置と補正を行う条件を入力するための入力装置と、補正を行った画像を出力するための出力装置を備えた荷電粒子顕微鏡システムにおいて、試料観測中に発生する試料台の移動に起因する観測画像の歪を補正して、歪を軽減した画像を出力することを特徴とする荷電粒子顕微鏡システム。請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡システムにおいて、1枚の観測画像の歪を補正するために、補正用参照画像を1枚取得することを特徴とする荷電粒子顕微鏡システム。請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡システムにおいて、観測画像より補正用参照画像を短時間で計測することを特徴とする荷電粒子顕微鏡システム。請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡システムにおいて、観測画像の横方向の歪を補正用参照画像との比較により、画像の横方向のドリフト量を検出し、観測画像の歪を補正することを特徴とする荷電粒子顕微鏡システム。請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡システムにおいて、観測画像の縦方向の歪を補正用参照画像との比較により、画像の縦方向のドリフト量を検出し、観測画像の歪を補正することを特徴とする荷電粒子顕微鏡システム。請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡システムにおいて、検出した画像の横方向および縦方向のドリフト量において、ノイズか形状変化に伴う検出誤差の影響を軽減するため、ドリフト量より近似曲線を算出してドリフト補正量に用いることを特徴とする荷電粒子顕微鏡システム。請求項1に記載の荷電粒子顕微鏡システムにおいて、検出した画像にドリフトの有無かを操作画面上に警告画面を表示させ、ユーザに示すことを特徴とする荷電粒子顕微鏡システム。試料台の移動が停止するまで待ってから計測を開始する方法では、試料台を移動するたびに、試料台が完全に停止するまで待つ必要があるため、観察の操作性を著しく低下させる。一方、特許文献1に記載されたドリフト補正方法では、少なくとも3枚の画像を使用して、その中の1枚の画像を補正するが,撮像枚数は直接装置のスループット,試料へのダメージに関連するため、できるだけ少ない枚数でドリフト補正を実現するドリフト補正方法が望まれる。本発明は、できるだけ少ない撮像枚数でドリフト補正を実現することを目的とする。この課題を解決するため、観察のために取得する画像と同一の位置と倍率で、歪補正のための参照用画像を計測する。このとき、参照用画像においては、ドリフトの影響を低減するため、本来の観測用画像より短時間で計測を実行する。参照用画像は、観測用画像に比べて短時間で計測を行うため、信号量が減少し観測用には使用できない。しかし、観測用画像に比べて歪量は少ないため、試料の形状を正しく反映している。参照用画像と観測用画像の形状を比較し、観測用画像の形状を、参照用画像の形状に合わせて補正することにより、観測用画像の形状を補正する。本発明によれば、観察開始を試料台が完全に停止するまで待つ必要がない。さらに、従来補正のために3枚の画像を取得する必要があったが、2枚の画像で補正を行うことが可能となる。実施例1以下に、本発明の実施形態を図を用いて説明する。図1は、本発明を実施するための装置構成を示す図である。荷電粒子顕微鏡101は、荷電粒子を用いた顕微鏡であり、荷電粒子を試料に照射することにより高倍率の画像を取得することができる。一般には、電子線を利用した、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡が知られている。荷電粒子顕微鏡101で取得した画像は、画像入力装置102により取得する。画像入力装置102で取得した画像は、記憶装置105に格納することができる。荷電粒子顕微鏡101,画像入力装置102を用いて計測した画像は、補正条件入力装置103より入力した補正条件により、演算装置104で補正を行い、画像出力装置106により出力する。図2は、本発明の実施内容を示す図である。観察用画像201は、荷電粒子顕微鏡101を用いて観察のために計測された画像であり、高い画質を得るために数秒から数十秒と長い時間をかけて計測するため、大きな歪が含まれている。補正用参照画像202も観察用画像201と同様に荷電粒子顕微鏡101を用いて計測した画像である。補正用参照画像202は、試料台のドリフトの影響を低減するため、観察用画像201より高速に計測する。たとえば、観察用画像201が40秒で計測し、補正用参照画像202を40ミリ秒で計測した場合、試料台ドリフトの影響は1000分の1となる。観察用画像201を補正用参照画像202と形状を比較し補正することにより、補正後観察用画像203を得る。ここで、試料台のドリフトは、横方向に移動する場合と縦方向へ移動する場合、さらに、横と縦両方の成分をもち斜め方向に移動する場合がある。図3により横方向のドリフトを補正する手順を説明する。観察用画像201上の横方向の任意の場所に画像の形状を確認するためのライン上のプロファイル位置301を設定する。補正用参照画像202上にも観察用画像上に設定したプロファイル位置301と同一位置にプロファイル位置302を設定する。プロファイル303は観察用画像201上に設定したプロファイル位置301における画像プロファイルであり、プロファイル304は補正用参照画像202上に設定したプロファイル位置302における画像プロファイルである。この2つのプロファイルの形状を比較することにより横方向の移動量を求めることができる。ここで、プロファイルを設定する位置を画像上端から下端までずらしながら各ラインにおけるドリフト量を順次検出することにより、画像全体におけるドリフト量を取得することができる。図4は、画像全体における横方向のドリフト量を示す図である。実際に計測したドリフト量402は、計測における形状の変化やノイズ等の影響により誤差を含んでいる。しかし、ドリフトの原因が試料台移動を停止した後停止するまでのドリフトとした場合、ドリフト量は連続的に変化するはずである。そこで、計測したドリフト量より近似曲線を算出することにより、ノイズ等の影響によるばらつきを軽減することもできる。近似曲線を求める方法としては、最小二乗近似がある。図5は横方向のドリフトを補正する方法を示す図である。観察用画像201において、図4により求めたドリフト量の近似曲線に従い、横方向1ラインずつ、横方向にずらすことより、横方向ドリフト量補正後画像501を得ることができる。図6により、縦方向のドリフト量の補正方法を説明する。横方向のドリフト量は、画像のずれをして計測される特徴があるが、縦方向のドリフトは画像の伸び縮みとして現われる。そのため、単純にライン上のプロファイルを比較する方法では、縦方向のドリフト量を検出することはできない。そこで、観察用画像内の部分領域が、補正用参照画像202のどの部分とマッチングするかを計測することにより、縦方向のドリフト量を算出する。まず、横方向ドリフト量補正後画像501の任意の位置に参照用領域601を設定する。次に、補正用参照画像202上に、横方向ドリフト量補正後画像501上に設定した参照用領域601と同一位置に補正位置検索領域602を設定する。そして、参照用領域601と同一形状の存在する位置を補正位置検索領域602より検索することにより、縦方向のドリフト量を算出することができる。ただし、補正位置検索領域602の内側で参照用領域601と同一形状である部分を検索するため、補正位置検索領域602は参照用領域601より広めの領域を設定することとする。また、同一形状を検索する方法としては、正規化相関を用いたテンプレートマッチングが広く知られている。参照用領域601と補正位置検索領域602の設定位置を上下にずらしながらドリフト量を算出することにより、画像全体におけるドリフト量の算出が可能となる。横方向のドリフト量と同様に、縦方向においても、ノイズ等の影響により、ドリフト量のばらつきが発生することがあるので、縦方向のドリフト量においても、近似曲線を求めることとする。図7により、縦方向のドリフト量を補正する方法を示す。横方向ドリフト量補正後画像501において、図6により求めたドリフト量の近似曲線に従い、縦方向に画像をずらすことにより縦方向のドリフト量の補正を行ってもよい。ただし、縦方向に関するドリフト量の補正は、単純な縦ラインを位置をずらして複写するだけでは実現できない。縦方向のドリフト量は、形状の伸び縮みとして画像上に現れるためである。補正後観察用画像203の各画素が、図6により求めたドリフト量の近似曲線に従い、横方向ドリフト量補正後画像501上のどの位置に該当するかを計算し、横方向ドリフト量補正後画像501上の画素より補間計算により補正後観察用画像203の各画素の値を算出することにより補正後観察用画像203を得ることができる。横方向,縦方向のドリフト量を算出するために、ドリフト量を検出するための領域プロファイル位置301,302,参照用領域601,補正位置検索領域602や検出したドリフト量から補正曲線を求める方法を確定する必要がある。これらを確定する方法としては、あらかじめ固定の領域と方法を決めておく方法がある。また、補正条件入力装置103によりドリフト量を検出するための領域や検出したドリフト量から補正曲線を求める方法を入力することもできる。図8により本発明の処理フローを示す。初めに、参照用画像取得801により補正用参照画像202を取得する。観察用画像取得802により観察用画像201を取得する。横方向ドリフト量算出803により、参照用画像取得801で取得した補正用参照画像202と観察用画像取得802により取得した観察用画像201を用いて、横方向のドリフト量を算出する。横方向ドリフト量近似804で、横方向ドリフト量算出803により算出した横方向のドリフト量を近似し、横方向ドリフト量の近似曲線を算出する。横方向ドリフト補正805では、観察用画像201と横方向ドリフト量の近似曲線を用いて、横方向ドリフト量を補正し、横方向ドリフト量補正後画像501を取得する。縦方向ドリフト量算出806により、参照用画像取得801で取得した補正用参照画像202と横方向ドリフト補正805により補正した横方向ドリフト量補正後画像501を用いて、縦方向のドリフト量を算出する。縦方向ドリフト量近似807では、縦方向ドリフト量算出806により算出した縦方向のドリフト量を近似し、縦方向ドリフト量の近似曲線を算出する。縦方向ドリフト補正808では、横方向ドリフト量補正後画像501,縦方向ドリフト量の近似曲線を用いて、縦方向ドリフト量を補正し、補正後観察用画像203を取得する。実施例2本発明の第2の実施例について図9を用いて説明する。以上の説明で述べた手法に加えて、操作画面上でもユーザにサポートすることが可能となる。警告画面901は、警告用文字列904,第1のボタン902と第2のボタン903から構成される。画像のドリフトが検出された際に、ユーザに警告画面901を表示させて、撮像された画像にドリフトが含まれていることを示す。それと同時に、警告画面901上に撮像された画像のドリフトを補正するかに関して、ユーザがドリフトの実行可否を選択する。選択する際に、第1のボタン902か、第2のボタン903をクリックし、ドリフトの補正可否を確定する。"