"調節弁の作動軸に設けられた連結ピンが摺動自在に挿通される長孔を有し前記作動軸の上下動に応じて回動するフィードバックレバーと、このフィードバックレバーの回動に伴ってその回転軸が回転する角度センサと、前記フィードバックレバーに両端部を掛止されて装着され、前記連結ピンを前記長孔の長手方向に延びる一側壁に圧接させるピン押圧用ばねとを備えたポジショナのフィードバック機構における角度センサの回転軸の固着検知方法であって、前記角度センサの回転軸の回転量から検出される前記調節弁の実開度と前記調節弁に対する設定開度とに基づいて生成される前記調節弁の操作器への前記ポジショナからの出力空気圧を検出する出力空気圧検出ステップと、前記角度センサの回転軸の回転量と前記ポジショナの出力空気圧の検出値との関係を調べ、前記ポジショナの出力空気圧の検出値が所定値以上変化しても、前記角度センサの回転軸の回転量が変化しない場合を、前記角度センサの回転軸の固着と判断する固着判断ステップとを備えることを特徴とする角度センサの回転軸の固着検知方法調節弁の作動軸に設けられた連結ピンが摺動自在に挿通される長孔を有し前記作動軸の上下動に応じて回動するフィードバックレバーと、このフィードバックレバーの回動に伴ってその回転軸が回転する角度センサと、前記フィードバックレバーに両端部を掛止されて装着され、前記連結ピンを前記長孔の長手方向に延びる一側壁に圧接するピン押圧用ばねとを備えたポジショナのフィードバック機構における角度センサの回転軸の固着検知装置であって、前記角度センサの回転軸の回転量から検出される前記調節弁の実開度と前記調節弁に対する設定開度とに基づいて生成される前記調節弁の操作器への前記ポジショナからの出力空気圧を検出する出力空気圧検出部と、前記角度センサの回転軸の回転量と前記ポジショナの出力空気圧の検出値との関係を調べ、前記ポジショナの出力空気圧の検出値が所定値以上変化しても、前記角度センサの回転軸の回転量が変化しない場合を、前記角度センサの回転軸の固着と判断する固着判断部とを備えることを特徴とする角度センサの回転軸の固着検知装置。しかしながら、角度センサを単体で防爆構造とする場合、軸受の内周面と回転軸の外周面との隙間を防爆すきとするために、回転軸を軸受の内周面にオイルレスで軸支させると共に、軸受および回転軸として耐摩耗性の高い材料剛性の高い材料を使う必要がある。また、防爆すきは金属で構成しなければならないという規定があるため、軸受の材料として含油焼結金属などを用いてオイルレスとする外からの注油を不要とするが、この軸受に含まれる油にゴミなどが吸着されて、回転軸と軸受との間で固着が発生することがある。回転軸と軸受との間で固着が発生すると、回転軸が回転できなくなり、調節弁の弁軸の変位量に応じた電気信号をポジショナ送れなくなり、その結果、ポジショナによる適切な弁開度制御が不能となってしまう。なお、回転軸と軸受間で固着が生じ始める初期段階においては、更に大きな回転力が加わるとその固着が解消して再び動くようになるが、その大きな回転力が消失すると再び回転軸と軸受間が固着する現象が知られている。このような回転軸の固着を検知する場合、固着が生じ始める初期段階から、その固着を検知することが望まれる。本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、角度センサの回転軸の固着を初期段階から早期に検知することが可能な角度センサの回転軸の固着検知方法および装置を提供することにある。このような目的を達成するために本発明は、調節弁の作動軸に設けられた連結ピンが摺動自在に挿通される長孔を有し作動軸の上下動に応じて回動するフィードバックレバーと、このフィードバックレバーの回動に伴ってその回転軸が回転する角度センサと、フィードバックレバーに両端部を掛止されて装着され、連結ピンを長孔の長手方向に延びる一側壁に圧接させるピン押圧用ばねとを備えたポジショナのフィードバック機構における角度センサの回転軸の固着検知方法であって、角度センサの回転軸の回転量から検出される調節弁の実開度と調節弁に対する設定開度とに基づいて生成される調節弁の操作器へのポジショナからの出力空気圧を検出する出力空気圧検出ステップと、角度センサの回転軸の回転量とポジショナの出力空気圧の検出値との関係を調べ、ポジショナの出力空気圧の検出値が所定値以上変化しても、角度センサの回転軸の回転量が変化しない場合を、角度センサの回転軸の固着と判断する固着判断ステップとを備えることを特徴とする。この発明において、角度センサの回転軸が回転可能のときには、調節弁の作動軸に設けられた連結ピンがピン押圧用ばねによって、フィードバックレバーの長孔の一側壁例えば、下側の側壁に圧接されている。これに対し、角度センサの回転軸が回転不能に陥ると、調節弁の作動軸の移動に伴って、連結ピンがピン押圧用バネの付勢力に抗して、フィードバックレバーの長孔の一側壁と対向する反対側の他側壁例えば、上側の側壁側へ移動し、ついには、フィードバックレバーの長孔の他側壁に接するようになる。この場合、フィードバックレバーの長孔の一側壁から他側壁に連結ピンが移動するまでの間は、ポジショナの出力空気圧が変化しても角度センサの回転軸の回転量は変化しない。本発明では、このような現象に着目し、ポジショナの出力空気圧が所定値以上変化しても角度センサの回転軸の回転量が変化しない状態が生じた場合を、角度センサの回転軸の固着と判断する。回転軸と軸受間で固着が生じ始める初期段階においては、更に大きな回転力が加わるとその固着が解消して再び動くようになるが、その大きな回転力が消失すると再び回転軸と軸受間が固着する。本発明では、ポジショナの出力空気圧の検出値が所定値以上変化しても角度センサの回転軸の回転量が変化しない場合を角度センサの回転軸の固着と判断することから、そのような状態が生じた場合を回転軸と軸受間で固着が生じ始めた初期段階として、回転軸と軸受間の固着を早期に検知することが可能となる。本発明は、上述した角度センサの回転軸の固着検知方法を適用した装置として構成することもできる。この場合、ポジショナに出力空気圧検出部や固着判断部を設けるようにするが、ポジショナの上位装置に固着判断部を設けるなどしてもよい。本発明によれば、ポジショナの出力空気圧を検出するようにし、角度センサの回転軸の回転量とポジショナの出力空気圧の検出値との関係を調べ、ポジショナの出力空気圧の検出値が所定値以上変化しても角度センサの回転軸の回転量が変化しない場合を角度センサの回転軸の固着と判断するようにしたので、角度センサの回転軸の固着を初期段階から早期に検知することが可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る角度センサの回転軸の固着検知方法を適用したポジショナの一実施の形態を示すブロック図である。同図において、100はポジショナ、200はこのポジショナ100によってその弁開度が制御される調節弁である。調節弁200は、弁軸作動軸20を駆動する操作器21を有しており、弁軸20には連結ピン22が設けられ、この連結ピン22にその長孔23aを摺動自在に挿通させてフィードバックレバー23が設けられている。フィードバックレバー23は、弁軸20の上下動に応じて、すなわち連結ピン22の上下動に応じて、支点P1を中心として回動する。ポジショナ100は、上位装置図示せずから送られてくる調節弁200に対する設定開度θspと調節弁200からフィードバックされてくる実開度θpvとの偏差を求め、この偏差に応じた電気信号を制御信号として生成する制御演算部1と、空気圧の供給源400から供給される空気圧Psを受けて、制御演算部1が生成した制御信号を空気圧信号ノズル背圧Pnに変換する電空変換部2と、電空変換部2が変換した空気圧信号Pnを増幅し出力空気圧Poutとして調節弁200の操作器21へ出力する空気圧信号増幅部パイロットリレー3と、調節弁200の弁軸20の変位量を検出する角度センサ変位検出部4と、空気圧信号増幅部3からの操作器21への出力空気圧Poutを検出する圧力センサ11と、角度センサ4の回転軸の固着を判断する固着判断部12と、固着判断部12での判断結果を表示する表示部13とを備えている。このポジショナ100において、角度センサ4は、調節弁200のヨーク24図2参照にブラケット25を介して固定され、その回転軸41図3参照がフィードバックレバー23と連結されている。これにより、支点P1を中心とするフィードバックレバー23の回動に伴って角度センサ4の回転軸41が回転し、弁軸20の変位量に応じた電気信号が調節弁200の実開度θpvとして制御演算部1へフィードバックされる。また、フィードバックレバー23には、連結ピン22を長孔23aの長手方向に延びる一側壁この例では、下側の側壁23a1に圧接させるピン押圧用ばね26が、その両端部をフィードバックレバー26の壁面部に掛止させて装着されている。この例では、ピン押圧用ばね26の一端26aおよび他端26bをフック状とし、フック状とした一端26aをフィードバックレバー23の角度センサ4側の壁面部に設けられた丸孔23bに挿通して掛止させ、フック状とした他端26bをフィードバックレバー23の先端側の壁面部にその上方から圧嵌させるようにして掛止させている。これにより、弁軸20の上下動に応じ、弁軸20に設けられた連結ピン22がフィードバックレバー23の長孔23a内を、短手方向への移動を規制されながら、長手方向へ摺動移動する。また、このポジショナ100において、制御演算部1、電空変換部2、空気圧信号増幅部3、圧力センサ11、固着判断部12および表示部14は防爆構造とされたケース5内に収容されている。また、角度センサ4からの電気信号角度センサ4の回転軸41の回転量を示す信号は、ケーブル6を介してケース5内の制御演算部1および固着判断部12に導かれている。また、ケース5内において、圧力センサ11が検出する出力空気圧Poutは、出力空気圧Poutの検出値として固着判断部12に導かれている。図3に角度センサ4へのケーブル6の引き込み部の断面図を示す。ケーブル6は角度センサ4が収容されたケース7内にブッシング8を介して引き込まれている。ブッシング8はナット9によってケース7に締め付け付けられている。ケース7内において、ケーブル6から引き出されたリード線群61は、絶縁スリーブ10によって、角度センサ4からのリード線と圧着接続されている。図4は角度センサ4の内部の構成を示す断面図である。角度センサ4は、円筒状の軸受用シリンダ42を収納固定したケース43内に、ヨーク44をその下端に固定した回転軸41を下方から挿入して、回転軸41の上端をケース43上面の挿通孔45から突出させ、さらに磁気センサ46を取り付けた蓋47によってケース43の下面の開口48を塞いで構成されている。回転軸41に固定されたヨーク44内には2つの永久磁石49,50が収納されており、磁気センサ46は支持台51の上面に固定されている。なお、52はケース43の上面に突出した回転軸41のリング溝に取り付けられた係止リング、53はヨーク44と軸受用シリンダ42との間に挿入されたリング、54,55はパッキン、56はフランジ、57はキャップ、58はフィードバックレバー23を回転軸41に連結するボルト、59は磁気センサ46からの電気信号を取り出す基板である。この角度センサ4において、回転軸41は、軸受用シリンダ42の内周面42aを軸受面として、ヨーク44と一体となって回転する。これにより、磁気センサ46の表面における磁石49,50が作る磁力線の方向が変化し、磁気センサ46の出力抵抗値が変化して、回転軸41の回転量に応じた電気信号が生成される。なお、軸受用シリンダ42の内周面42aと回転軸41の外周面41aとの間の隙間h1は、d隙間×I奥行の防爆すきとされている。例えば、d=0.15mm以下、I=12.5mm以上とした場合、回転軸41の両側に位置する隙間h1の合計軸受用シリンダ42の内径と回転軸41の外径との差が0.15mm以下とされている。このような構成において、弁軸20の上下動に応じて回動するフィードバックレバー23と、このフィードバックレバー23の回動に伴ってその回転軸41が回転する角度センサ4と、フィードバックレバー23にその両端部が掛止されて装着されたピン押圧用バネ26とによってフィードバック機構300が構成されている。角度センサの回転軸が回転可能な場合この実施の形態において、軸受用シリンダ42の内周面42aと回転軸41の外周面41aとの間に固着が生じていない場合、すなわち角度センサ4の回転軸41が回転可能な場合、ピン押圧用バネ26はその正常な取り付け状態を維持し、フィードバックレバー23の長孔23aの一側壁下側の側壁23a1に連結ピン22を圧接させ続ける。この場合、固着判断部12は、角度センサ4の回転軸41の回転量と出力空気圧Poutの検出値との関係を調べ、角度センサ4の回転軸41の回転量と出力空気圧Poutの検出値とが追従して変化している出力空気圧Poutの検出値が所定値以上変化しても角度センサ4の回転軸41の回転量が変化しない状態が発生してしないことから、角度センサ4の回転軸41に固着が生じていないと判断する。この固着判断部12での判断結果は表示部13に表示される。角度センサの回転軸が回転不能な場合これに対し、軸受用シリンダ42の内周面42aと回転軸41の外周面41aとの間に固着が生じると、すなわち角度センサ4の回転軸41が回転不能に陥ると、弁軸20の移動に伴う連結ピン22のピン押圧用バネ26の付勢力に抗する長孔23aの一側壁下側の側壁23a1と対向する反対側の他側壁上側の側壁23a2側への移動によって、ピン押圧用バネ26が押し上げられる図5参照。この場合、固着判断部12は、角度センサ4の回転軸41の回転量と出力空気圧Poutの検出値との関係を調べ、出力空気圧Poutの検出値が所定値以上変化しても、角度センサ4の回転軸41の回転量が変化しない状態が生じたことを検出し、角度センサ4の回転軸41に固着が生じたと判断する。すなわち、角度センサ4の回転軸41に固着が生じると、連結ピン22がピン押圧用バネ26の付勢力に抗してフィードバックレバー23の長孔23aの他側壁23a2までの隙間X図6参照を動く間、出力空気圧Poutが変化しても角度センサ4の回転軸41の回転量が変化しない状態が生じる。図7に固着が生じ始める初期段階におけるポジショナ出力出力空気圧Poutと角度センサ4によって検出される弁軸20のリフト位置との関係を示す。角度センサ4の回転軸41に固着が生じると、連結ピン22がフィードバックレバー23の長孔23aの他側壁23a2までの隙間Xを動く間、出力空気圧Poutが変化しても、角度センサ4によって検出される弁軸20のリフト位置が変わらない、という状態が生じる。なお、固着が生じ始める初期段階では、連結ピン22が他側壁23a2に接して大きな回転力が加わると、固着が解消されて角度センサ4の回転軸41が動くようになり、角度センサ4によって検出される弁軸20のリフト位置が変化するようになる。固着判断部12は、フィードバックレバー23の長孔23aの他側壁23a2までの隙間Xを連結ピン22が動く間の圧力ΔPを検出し、この圧力ΔPが所定値以上となった場合に、角度センサ4の回転軸41に固着が生じ始めたと判断する。これにより、角度センサ4の回転軸41に固着が生じ始める初期段階から、その固着を早期に検知することができるようになる。この固着判断部12での判断結果は表示部13に表示される。このようにして、本実施の形態では、角度センサ4の回転軸41の回転量とポジショナ100の出力空気圧Poutの検出値との関係を調べ、ポジショナ100の出力空気圧Poutの検出値が所定値以上変化しても角度センサ4の回転軸41の回転量が変化しない場合を角度センサ4の回転軸41の固着と判断することにより、角度センサ4の回転軸41の固着を初期段階から早期に検知することが可能となる。なお、上述した実施の形態では、ポジショナ100に固着判断部12と表示部13を設けるようにしたが、ポジショナ100の上位装置に固着判断部12や表示部13を設けるようにしてもよい。また、上述した実施の形態では、ピン押圧用ばね26によって連結ピン22をフィードバックレバーの長孔23aの下側の側壁23a1に圧接させるようにしたタイプで説明したが、上側の側壁23a2に圧接させるようにしたタイプでも、同様にして構成することが可能である。この場合、長孔23aの上側の側壁23a2が本発明でいう一側壁、長孔23aの下側の側壁23a1が本発明でいう他側壁となる。また、上述した実施の形態では、角度センサ4をポジショナ100のケース5から出した分離型のポジショナを例にとって説明したが、角度センサ4をポジショナ100のケース5内に収納した一体型のポジショナでも、同様の構成をとるようにすることが可能であることは言うまでもない。実施の形態の拡張以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。"