"保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基がケイ素原子と結合する加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、その加水分解縮合物、又はそれらの組み合わせと、溶剤とを含む、溶剤現像型レジストの下層膜形成組成物。シラン化合物として前記加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、その加水分解縮合物、又はそれらの組み合わせを含むレジストの下層膜形成組成物中に、保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基がケイ素原子と結合する前記シラン化合物中のケイ素原子が、全ケイ素原子中で0.1~40モルの割合で含有する、請求項1に記載の下層膜形成組成物。加水分解性オルガノシランが式1:式中、R1は保護された脂肪族アルコール基を含有する一価の有機基であり、且つ式1中のケイ素原子とSi-C結合により結合している有機基を表す。R2はアルキル基、アリール基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基、アルケニル基を表すか、又はエポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、もしくはシアノ基を有する一価の有機基であり且つ式1中のケイ素原子とSi-C結合により結合している有機基を表す。R3はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子を表す。aは1又は2の整数を表し、bは0又は1の整数を表し、abは1又は2の整数を表す。で表されるオルガノシランである、請求項1又は請求項2に記載の下層膜形成組成物。保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基が式2:式中、R4は炭素原子数1~10のアルキレン基を表し、R5は炭素原子数1~10のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数2~10のアルケニル基及びホルミル基から選択される一価の基を表すか、又は、炭素原子数1~10のアルキレン基、炭素原子数2~10のアリーレン基、エーテル基、エステル基、スルフィド基及びカルボニル基の群から選ばれる1つもしくは2つ以上の二価の基が挿入された前記一価の基を表す。で表される有機基である、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の下層膜形成組成物。上記式1の加水分解性オルガノシランと、式3:式中、R6は未置換の又は置換基を有するアルキル基、未置換の又は置換基を有するアリール基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基、アルケニル基、又はエポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、もしくはシアノ基を有する一価の有機基であり且つ式3中のケイ素原子とSi-C結合により結合している有機基を表し、R7はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子を表し、aは0~3の整数を表す。で表されるケイ素化合物、及び式4:式中、R8はアルキル基を表し、R9はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子を表し、Yはアルキレン基又はアリーレン基を表し、bは0又は1の整数を表し、cは0又は1の整数を表し、ここでb=0のときSi-Siの単結合が形成されてなる。で表されるケイ素含有化合物からなる群より選ばれた少なくとも1種のケイ素含有化合物との組み合わせ、それらの加水分解物、又はそれらの加水分解縮合物とを含む、請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の下層膜形成組成物。前記式1で表される加水分解性オルガノシランの加水分解縮合物、又は該式1で表される加水分解性オルガノシランと前記式3で表されるケイ素含有化合物との加水分解縮合物をポリマーとして含む、請求項5に記載の下層膜形成組成物。更に水を含む、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の下層膜形成組成物。請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のレジストの下層膜形成組成物を半導体基板上に塗布し焼成することによって得られる、基板上のレジスト下層膜。請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のレジストの下層膜形成組成物を半導体基板上に塗布し、焼成して、レジスト下層膜を形成する工程、前記下層膜の上にレジスト用組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程、前記レジスト膜を露光する工程、露光後にレジストを溶剤現像し、レジストパターンを得る工程、前記レジストパターンに従いレジスト下層膜をエッチングする工程、及びパターン化されたレジスト膜とレジスト下層膜に従い半導体基板を加工する工程を含む、半導体装置の製造方法。半導体基板上に有機下層膜を形成する工程、前記有機下層膜上に請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のレジストの下層膜形成組成物を塗布し、焼成して、レジスト下層膜を形成する工程、前記下層膜の上にレジスト用組成物を塗布してレジスト層を形成する工程、前記レジスト膜を露光する工程、露光後にレジストを溶剤現像し、レジストパターンを得る工程、レジストパターンに従いレジスト下層膜をエッチングする工程、パターン化されたレジスト下層膜に従い有機下層膜をエッチングする工程、及びパターン化されたレジスト膜と、レジスト下層膜と有機下層膜に従い半導体基板を加工する工程を含む、半導体装置の製造方法。本発明は、半導体装置の製造に使用可能なリソグラフィー用レジストの下層膜形成組成物、詳しくは、ハードマスクとして、また反射防止膜としても使用できるレジストの下層膜を形成するためのリソグラフィー用レジストの下層膜形成組成物を提供することを目的とする。特に本発明は、その上層に形成されるレジストとのインターミキシングを起こさず、レジストに比較して大きなドライエッチング速度を有するリソグラフィー用レジストの下層膜及び該下層膜を形成するためのレジストの下層膜形成組成物を提供することを目的とする。そして、本発明は、溶剤により現像を行うレジストを用いる際に、良好なレジストパターンの形成が可能な溶剤現像型レジストの下層膜及びその形成組成物を提供することを目的とする。本発明は第1観点として、保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基がケイ素原子と結合する加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、その加水分解縮合物、又はそれらの組み合わせと、溶剤とを含む、溶剤現像型レジストの下層膜形成組成物に関する。第2観点として、シラン化合物として前記加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、その加水分解縮合物、又はそれらの組み合わせを含むレジストの下層膜形成組成物中に、保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基がケイ素原子と結合する前記シラン化合物中のケイ素原子が、全ケイ素原子中で0.1~40モルの割合で含有する、第1観点に記載の下層膜形成組成物に関する。第3観点として、加水分解性オルガノシランが式1:式中、R1は保護された脂肪族アルコール基を含有する一価の有機基であり、且つ式1中のケイ素原子とSi-C結合により結合している有機基を表す。R2はアルキル基、アリール基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基、アルケニル基を表すか、又はエポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、もしくはシアノ基を有する一価の有機基であり且つ式1中のケイ素原子とSi-C結合により結合している有機基を表す。R3はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子を表す。aは1又は2の整数を表し、bは0又は1の整数を表し、abは1又は2の整数を表す。で表されるオルガノシランである、第1観点又は第2観点に記載の下層膜形成組成物に関する。第4観点として、保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基が式2:式中、R4は炭素原子数1~10のアルキレン基を表し、R5は炭素原子数1~10のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数2~10のアルケニル基及びホルミル基から選択される一価の基を表すか、又は、炭素原子数1~10のアルキレン基、炭素原子数2~10のアリーレン基、エーテル基、エステル基、スルフィド基及びカルボニル基の群から選ばれる1つもしくは2つ以上の二価の基が挿入された前記一価の基を表す。で表される有機基である、第1観点乃至第3観点のいずれか1項に記載の下層膜形成組成物に関する。第5観点として、上記式1の加水分解性オルガノシランと、式3:式中、R6は未置換の又は置換基を有するアルキル基、未置換の又は置換基を有するアリール基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基、アルケニル基、又はエポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、もしくはシアノ基を有する一価の有機基であり且つ式3中のケイ素原子とSi-C結合により結合している有機基を表し、R7はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子を表し、aは0~3の整数を表す。で表されるケイ素化合物、及び式4:式中、R8はアルキル基を表し、R9はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子を表し、Yはアルキレン基又はアリーレン基を表し、bは0又は1の整数を表し、cは0又は1の整数を表し、ここでb=0のときSi-Siの単結合が形成されてなる。で表されるケイ素含有化合物からなる群より選ばれた少なくとも1種のケイ素含有化合物との組み合わせ、それらの加水分解物、又はそれらの加水分解縮合物とを含む、第1観点乃至第4観点のいずれか1項に記載の下層膜形成組成物に関する。第6観点として、前記式1で表される加水分解性オルガノシランの加水分解縮合物、又は該式1で表される加水分解性オルガノシランと前記式3で表されるケイ素含有化合物との加水分解縮合物をポリマーとして含む、第5観点に記載の下層膜形成組成物に関する。第7観点として、更に水を含む、第1観点乃至第6観点のいずれか1項に記載の下層膜形成組成物に関する。第8観点として、第1観点乃至第7観点のいずれか1項に記載のレジストの下層膜形成組成物を半導体基板上に塗布し焼成することによって得られる、基板上のレジスト下層膜に関する。第9観点として、第1観点乃至第7観点のいずれか1項に記載のレジストの下層膜形成組成物を半導体基板上に塗布し、焼成して、レジスト下層膜を形成する工程、前記下層膜の上にレジスト用組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程、前記レジスト膜を露光する工程、露光後にレジストを溶剤現像し、レジストパターンを得る工程、前記レジストパターンに従いレジスト下層膜をエッチングする工程、及びパターン化されたレジスト膜とレジスト下層膜に従い半導体基板を加工する工程を含む、半導体装置の製造方法に関する。第10観点として、半導体基板上に有機下層膜を形成する工程、前記有機下層膜上に第1観点乃至第7観点のいずれか1項に記載のレジストの下層膜形成組成物を塗布し、焼成して、レジスト下層膜を形成する工程、前記下層膜の上にレジスト用組成物を塗布してレジスト層を形成する工程、前記レジスト膜を露光する工程、露光後にレジストを溶剤現像し、レジストパターンを得る工程、レジストパターンに従いレジスト下層膜をエッチングする工程、パターン化されたレジスト下層膜に従い有機下層膜をエッチングする工程、及びパターン化されたレジスト膜と、レジスト下層膜と有機下層膜に従い半導体基板を加工する工程を含む、半導体装置の製造方法に関する。本発明のレジストの下層膜形成組成物により形成されるレジスト下層膜は、その上層に形成されるレジストにおいて良好なパターンを得ることができる。すなわち、上塗りレジストが溶剤現像用レジストの場合、例えばポジ型レジストを用いた場合にはレジスト膜の未露光部分は非水溶性となって溶剤に可溶となり、一方ネガ型レジストを用いた場合にはレジスト膜の未露光部分が非架橋構造を有し溶剤に可溶となるが、ここで本発明の組成物によって形成されるポリシロキサンを含むレジスト下層膜により、溶剤除去の工程で良好なレジスト形状を得ることができる。また本発明のレジストの下層膜形成組成物により形成される下層膜はポリオルガノシロキサン構造を有していることにより、酸素系ドライエッチングガスに対して十分な耐ドライエッチング性を有するものである。このため、該下層膜は、その下層に存在する有機下層膜のエッチングや、基板の加工エッチングに使用する酸素系ドライエッチングにおけるハードマスクとして有効である。本発明が対象とするレジスト下層膜形成組成物は、具体的には後述するが、以下に示す適用がなされる。すなわち、基板上に前記組成物を用いてレジスト下層膜を塗布法により形成するか、場合によっては基板上に有機下層膜を介してその上に前記組成物を用いてレジスト下層膜を塗布法により形成し、そのレジスト下層膜上にレジスト膜例えば、フォトレジスト、電子線レジストを形成する。そして、露光と現像によりレジストパターンを形成し、そのレジストパターンに従いレジストの下層膜をドライエッチングしてパターンの転写を行い、そのパターンに従って基板を加工するか、又は有機下層膜をエッチングによりパターン転写しその有機下層膜に従って基板の加工がなされる。具体的には、レジストパターン形成後、該パターンをマスクとして、その下層に存在しているシリコン系化合物を含有する本発明のレジスト下層膜をハロゲン含有ガスでドライエッチングしてレジストの下層膜にパターンを転写し、次に、下層膜に転写されたパターンをマスクとしてハロゲン含有ガスを用いて基板加工を行う。あるいは、下層膜に転写されたパターンをマスクとして、その下層の有機下層膜を酸素系ガスでドライエッチングし、有機下層膜にパターン転写を行い、そのパターン転写された有機下層膜をマスクとして、ハロゲン含有ガスを用いて基板加工を行う。近年、微細なパターンを形成する上で、パターン倒れを防ぐためにレジスト膜厚は薄膜化の傾向にあり、レジスト膜の下層に存在する膜下層膜に良好なレジストパターンを転写するには、上層のレジスト膜のドライエッチング速度よりも高いエッチング速度を有する下層膜であることが欠かせないものとなっている。こうした事情を鑑み、本発明者らは、基板上に有機下層膜を介するか、又は有機下層膜を介さずに、その上層を無機系成分の組成物を用いて被覆して下層膜を形成し、そして該下層膜の上に有機レジスト膜を形成するという構成について検討した。これは、有機系成分の膜は酸素系ガスでドライエッチング速度が高くなり、無機系成分の膜はハロゲン含有ガスでドライエッチング速度が高くなるという点に着目したものであり、これらのエッチングガスを適宜選択することで、積層されてなる二層のドライエッチング速度を大きく異なるものとすることが可能となる。そして本発明らは、上記無機系成分としてシリコン系化合物、さらに具体的には上記式1で表される保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基を分子内に有する加水分解性オルガノシランを採用することにより、該シリコン系化合物の構造中の加水分解性基アルコキシ基、アシルオキシ基、ハロゲン基等が加水分解乃至部分加水分解した後、シラノール基の縮合反応により、ハードマスクとして十分な機能を有するポリシロキサン構造のポリマーを形成し、且つ、フッ素系ガスのドライエッチング速度を高め、レジスト溶剤現像後も良好なパターンを維持できるレジスト下層膜が形成できることを見出し、本発明を完成させた。以下、本発明について詳述する。本発明は溶剤現像型レジストの下層膜形成組成物に関し、詳細には、保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基を分子内に有する加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、又はその加水分解縮合物と、溶剤とを必須の成分として含む。[オルガノシラン成分]本発明の下層膜形成組成物において、上述したように、保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基がケイ素原子と結合する加水分解性オルガノシラン、該加水分解性オルガノシランの加水分解物、そして得られた加水分解物を縮合した加水分解縮合物は、それらの混合物の形態としても用いることができる。また、加水分解縮合物を得る際に原料となる加水分解性オルガノシラン化合物、加水分解が完全に完了していない部分加水分解物、そして加水分解縮合物とが混合した混合物を用いることもできる。上記加水分解縮合物はポリシロキサン構造を有するポリマーであり、すなわち、このポリシロキサンに保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基がケイ素原子に結合した構造を有するポリマーである。本発明において、シラン化合物として前記加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、その加水分解縮合物、又はそれらの組み合わせを含むレジストの下層膜形成組成物中に、保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基がケイ素原子と結合する前記シラン化合物中のケイ素原子が、全ケイ素原子中で0.1~40モルの割合で含有してなることが好ましい。本発明のレジストの下層膜形成組成物には、任意成分として後述する硬化触媒、酸、水、アルコール、ビスフェノールS、その他の有機ポリマー、酸発生剤、吸光性化合物及び界面活性剤等を含むことができる。そして本発明のレジストの下層膜形成組成物における固形分は、例えば0.5~50質量、1~30質量、又は1~25質量である。ここで固形分とはレジストの下層膜膜形成組成物の全成分から溶剤成分を除いたものである。固形分中に占める全ての加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、及びその加水分解縮合物の割合は、20質量以上であり、例えば50~100質量、60~100質量、70~100質量である。本発明のレジスト下層膜形成組成物に含まれる加水分解性オルガノシランは、例えば前記式1の構造を有するオルガノシランである。式中、R1は保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基であり、且つ式1中のケイ素原子とSi-C結合により結合している有機基を表す。R2はアルキル基、アリール基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基、アルケニル基、又はエポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、もしくはシアノ基を有する有機基であり且つ式1中のケイ素原子とSi-C結合により結合してい有機基を表す。R3はアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子を表す。aは1又は2の整数を表し、bは0又は1の整数を表し、abは1又は2の整数を表す。式1における前記アルキル基としては直鎖又は分枝鎖を有する炭素原子数1~10のアルキル基が挙げられ、例えばメチル基、エチル基、n-プロピル基、i-プロピル基、シクロプロピル基、n-ブチル基、i-ブチル基、s-ブチル基、t-ブチル基、シクロブチル基、1-メチル-シクロプロピル基、2-メチル-シクロプロピル基、n-ペンチル基、1-メチル-n-ブチル基、2-メチル-n-ブチル基、3-メチル-n-ブチル基、1,1-ジメチル-n-プロピル基、1,2-ジメチル-n-プロピル基、2,2-ジメチル-n-プロピル基、1-エチル-n-プロピル基、シクロペンチル基、1-メチル-シクロブチル基、2-メチル-シクロブチル基、3-メチル-シクロブチル基、1,2-ジメチル-シクロプロピル基、2,3-ジメチル-シクロプロピル基、1-エチル-シクロプロピル基、2-エチル-シクロプロピル基、n-ヘキシル基、1-メチル-n-ペンチル基、2-メチル-n-ペンチル基、3-メチル-n-ペンチル基、4-メチル-n-ペンチル基、1,1-ジメチル-n-ブチル基、1,2-ジメチル-n-ブチル基、1,3-ジメチル-n-ブチル基、2,2-ジメチル-n-ブチル基、2,3-ジメチル-n-ブチル基、3,3-ジメチル-n-ブチル基、1-エチル-n-ブチル基、2-エチル-n-ブチル基、1,1,2-トリメチル-n-プロピル基、1,2,2-トリメチル-n-プロピル基、1-エチル-1-メチル-n-プロピル基、1-エチル-2-メチル-n-プロピル基、シクロヘキシル基、1-メチル-シクロペンチル基、2-メチル-シクロペンチル基、3-メチル-シクロペンチル基、1-エチル-シクロブチル基、2-エチル-シクロブチル基、3-エチル-シクロブチル基、1,2-ジメチル-シクロブチル基、1,3-ジメチル-シクロブチル基、2,2-ジメチル-シクロブチル基、2,3-ジメチル-シクロブチル基、2,4-ジメチル-シクロブチル基、3,3-ジメチル-シクロブチル基、1-n-プロピル-シクロプロピル基、2-n-プロピル-シクロプロピル基、1-i-プロピル-シクロプロピル基、2-i-プロピル-シクロプロピル基、1,2,2-トリメチル-シクロプロピル基、1,2,3-トリメチル-シクロプロピル基、2,2,3-トリメチル-シクロプロピル基、1-エチル-2-メチル-シクロプロピル基、2-エチル-1-メチル-シクロプロピル基、2-エチル-2-メチル-シクロプロピル基及び2-エチル-3-メチル-シクロプロピル基等が挙げられる。式1における前記アリール基としては炭素原子数6~20のアリール基が挙げられ、例えばフェニル基、ベンジル基、フェネチル基、o-メチルフェニル基、m-メチルフェニル基、p-メチルフェニル基、o-クロロフェニル基、m-クロロフェニル基、p-クロロフェニル基、o-フルオロフェニル基、p-フルオロフェニル基、o-メトキシフェニル基、p-メトキシフェニル基、p-ニトロフェニル基、p-シアノフェニル基、α-ナフチル基、β-ナフチル基、o-ビフェニリル基、m-ビフェニリル基、p-ビフェニリル基、1-アントリル基、2-アントリル基、9-アントリル基、1-フェナントリル基、2-フェナントリル基、3-フェナントリル基、4-フェナントリル基及び9-フェナントリル基等が挙げられる。式1における前記アルケニル基としては炭素原子数2~10のアルケニル基が挙げられ、例えばエテニル基ビニル基、1-プロペニル基、2-プロペニル基、1-メチル-1-エテニル基、1-ブテニル基、2-ブテニル基、3-ブテニル基、2-メチル-1-プロペニル基、2-メチル-2-プロペニル基、1-エチルエテニル基、1-メチル-1-プロペニル基、1-メチル-2-プロペニル基、1-ペンテニル基、2-ペンテニル基、3-ペンテニル基、4-ペンテニル基、1-n-プロピルエテニル基、1-メチル-1-ブテニル基、1-メチル-2-ブテニル基、1-メチル-3-ブテニル基、2-エチル-2-プロペニル基、2-メチル-1-ブテニル基、2-メチル-2-ブテニル基、2-メチル-3-ブテニル基、3-メチル-1-ブテニル基、3-メチル-2-ブテニル基、3-メチル-3-ブテニル基、1,1-ジメチル-2-プロペニル基、1-i-プロピルエテニル基、1,2-ジメチル-1-プロペニル基、1,2-ジメチル-2-プロペニル基、1-シクロペンテニル基、2-シクロペンテニル基、3-シクロペンテニル基、1-ヘキセニル基、2-ヘキセニル基、3-ヘキセニル基、4-ヘキセニル基、5-ヘキセニル基、1-メチル-1-ペンテニル基、1-メチル-2-ペンテニル基、1-メチル-3-ペンテニル基、1-メチル-4-ペンテニル基、1-n-ブチルエテニル基、2-メチル-1-ペンテニル基、2-メチル-2-ペンテニル基、2-メチル-3-ペンテニル基、2-メチル-4-ペンテニル基、2-n-プロピル-2-プロペニル基、3-メチル-1-ペンテニル基、3-メチル-2-ペンテニル基、3-メチル-3-ペンテニル基、3-メチル-4-ペンテニル基、3-エチル-3-ブテニル基、4-メチル-1-ペンテニル基、4-メチル-2-ペンテニル基、4-メチル-3-ペンテニル基、4-メチル-4-ペンテニル基、1,1-ジメチル-2-ブテニル基、1,1-ジメチル-3-ブテニル基、1,2-ジメチル-1-ブテニル基、1,2-ジメチル-2-ブテニル基、1,2-ジメチル-3-ブテニル基、1-メチル-2-エチル-2-プロペニル基、1-s-ブチルエテニル基、1,3-ジメチル-1-ブテニル基、1,3-ジメチル-2-ブテニル基、1,3-ジメチル-3-ブテニル基、1-i-ブチルエテニル基、2,2-ジメチル-3-ブテニル基、2,3-ジメチル-1-ブテニル基、2,3-ジメチル-2-ブテニル基、2,3-ジメチル-3-ブテニル基、2-i-プロピル-2-プロペニル基、3,3-ジメチル-1-ブテニル基、1-エチル-1-ブテニル基、1-エチル-2-ブテニル基、1-エチル-3-ブテニル基、1-n-プロピル-1-プロペニル基、1-n-プロピル-2-プロペニル基、2-エチル-1-ブテニル基、2-エチル-2-ブテニル基、2-エチル-3-ブテニル基、1,1,2-トリメチル-2-プロペニル基、1-t-ブチルエテニル基、1-メチル-1-エチル-2-プロペニル基、1-エチル-2-メチル-1-プロペニル基、1-エチル-2-メチル-2-プロペニル基、1-i-プロピル-1-プロペニル基、1-i-プロピル-2-プロペニル基、1-メチル-2-シクロペンテニル基、1-メチル-3-シクロペンテニル基、2-メチル-1-シクロペンテニル基、2-メチル-2-シクロペンテニル基、2-メチル-3-シクロペンテニル基、2-メチル-4-シクロペンテニル基、2-メチル-5-シクロペンテニル基、2-メチレン-シクロペンチル基、3-メチル-1-シクロペンテニル基、3-メチル-2-シクロペンテニル基、3-メチル-3-シクロペンテニル基、3-メチル-4-シクロペンテニル基、3-メチル-5-シクロペンテニル基、3-メチレン-シクロペンチル基、1-シクロヘキセニル基、2-シクロヘキセニル基及び3-シクロヘキセニル基等が挙げられる。また式1における前記ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基としては、前記アルキル基又はアリール基において、1つ以上の水素原子がフッ素原子、塩素原子、臭素原子、又はヨウ素原子等のハロゲン原子で置換したアルキル基又はアリール基が挙げられる。式1における前記エポキシ基を有する有機基としては、グリシドキシメチル基、グリシドキシエチル基、グリシドキシプロピル基、グリシドキシブチル基、エポキシシクロヘキシル基、エポキシシクロエキシルメチル基、エポキシシクロエキシルエチル基、エポキシシクロエキシルプロピル基、エポキシシクロエキシルブチル基等が挙げられる。式1における前記アクリロイル基を有する有機基としては、アクリロイルメチル基、アクリロイルエチル基、アクリロイルプロピル基等が挙げられる。式1における前記メタクリロイル基を有する有機基としては、メタクリロイルメチル基、メタクリロイルエチル基、メタクリロイルプロピル基、メタクリロイルオキシプロピル等が挙げられる。式1における前記メルカプト基を有する有機基としては、メルカプトエチル基、メルカプトブチル基、メルカプトヘキシル基、メルカプトオクチル基等が挙げられる。式1における前記シアノ基を有する有機基としては、シアノエチル基、シアノプロピル基等が挙げられる。式1における前記アルコキシ基としては、炭素原子数1~20の直鎖、分岐、環状のアルキル部分を有するアルコキシ基、炭素原子数6乃至10のアリール部分を有するアルコキシ基が挙げられ、例えばメトキシ基、エトキシ基、n-プロポキシ基、i-プロポキシ基、n-ブトキシ基、i-ブトキシ基、s-ブトキシ基、t-ブトキシ基、n-ペンチルオキシ基アミルオキシ基、1-メチル-n-ブトキシ基、2-メチル-n-ブトキシ基、3-メチル-n-ブトキシ基、1,1-ジメチル-n-プロポキシ基、1,2-ジメチル-n-プロポキシ基、2,2-ジメチル-n-プロポキシ基、1-エチル-n-プロポキシ基、n-ヘキシルオキシ基、1-メチル-n-ペンチルオキシ基、2-メチル-n-ペンチルオキシ基、3-メチル-n-ペンチルオキシ基、4-メチル-n-ペンチルオキシ基、1,1-ジメチル-n-ブトキシ基、1,2-ジメチル-n-ブトキシ基、1,3-ジメチル-n-ブトキシ基、2,2-ジメチル-n-ブトキシ基、2,3-ジメチル-n-ブトキシ基、3,3-ジメチル-n-ブトキシ基、1-エチル-n-ブトキシ基、2-エチル-n-ブトキシ基、1,1,2-トリメチル-n-プロポキシ基、1,2,2-トリメチル-n-プロポキシ基、1-エチル-1-メチル-n-プロポキシ基、1-エチル-2-メチル-n-プロポキシ基、フェノキシ基、ベンジルオキシ基、フェネチルオキシ基等が挙げられる。式1における前記アシルオキシ基としては、炭素原子数2~20のアシルオキシ基が挙げられ、例えばメチルカルボニルオキシ基アセトキシ基、エチルカルボニルオキシ基、n-プロピルカルボニルオキシ基、i-プロピルカルボニルオキシ基、シクロプロピルカルボニルオキシ基、n-ブチルカルボニルオキシ基、i-ブチルカルボニルオキシ基、s-ブチルカルボニルオキシ基、t-ブチルカルボニルオキシ基、シクロブチルカルボニルオキシ基、1-メチル-シクロプロピルカルボニルオキシ基、2-メチル-シクロプロピルカルボニルオキシ基、n-ペンチルカルボニルオキシ基、1-メチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、2-メチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、3-メチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、1,1-ジメチル-n-プロピルカルボニルオキシ基、1,2-ジメチル-n-プロピルカルボニルオキシ基、2,2-ジメチル-n-プロピルカルボニルオキシ基、1-エチル-n-プロピルカルボニルオキシ基、シクロペンチルカルボニルオキシ基、1-メチル-シクロブチルカルボニルオキシ基、2-メチル-シクロブチルカルボニルオキシ基、3-メチル-シクロブチルカルボニルオキシ基、1,2-ジメチル-シクロプロピルカルボニルオキシ基、2,3-ジメチル-シクロプロピルカルボニルオキシ基、1-エチル-シクロプロピルカルボニルオキシ基、2-エチル-シクロプロピルカルボニルオキシ基、n-ヘキシルカルボニルオキシ基、1-メチル-n-ペンチルカルボニルオキシ基、2-メチル-n-ペンチルカルボニルオキシ基、3-メチル-n-ペンチルカルボニルオキシ基、4-メチル-n-ペンチルカルボニルオキシ基、1,1-ジメチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、1,2-ジメチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、1,3-ジメチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、2,2-ジメチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、2,3-ジメチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、3,3-ジメチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、1-エチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、2-エチル-n-ブチルカルボニルオキシ基、1,1,2-トリメチル-n-プロピルカルボニルオキシ基等が挙げられる。式1における前記ハロゲン原子としてはフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。前記式1のR1は保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基であって、好ましく有機基として、前記式2で表される有機基を挙げることができる。式2中でR4は炭素原子数1~10のアルキレン基を表す。R5は炭素原子数1~10のアルキル炭素原子数6~20のアリール基、炭素原子数2~10のアルケニル基及びホルミル基から選択される一価の基を表すか、又は、炭素原子数1~10のアルキレン基、炭素原子数2~10のアリーレン基、エーテル基-O-、エステル基-COO-、スルフィド基-S-及びカルボニル基-CO-の群から選ばれる1つもしくは2つ以上の二価の基が挿入された前記一価の基を表す。上記アルキレン基は、アルキル基から誘導される2価の有機基であり、該アルキル基としては式1において直鎖又は分枝鎖を有する炭素原子数1~10のアルキル基として例示した基を挙げることができる。上記アリーレン基は、アリール基から誘導される2価の有機基であり、該アリール基としては式1においては炭素原子数6~20のアリール基として例示した基を挙げることができる。上記アルケニル基は、式1において炭素原子数2~10のアルケニル基として例示した基を挙げることができる。上記式1で表される加水分解性オルガノシランの具体例として、下記式A-1~式A-39で表される化合物を挙げることができる。下記式A-1~式A-39において、Xは上述のアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子を表す。これらの保護された脂肪族アルコール基を含有する有機基を含む加水分解性オルガノシランは、ゲレストGelest社から市販品として入手することができる。また入手できないものについてはヒドロシリル化法によって合成することが出来る。即ち、炭素と炭素の二重結合を有する化合物と、水素-ケイ素結合を有する加水分解性シランとを反応させて合成することができる。本発明の下層膜形成組成物では、上記式1で表される加水分解性オルガノシランと、上記式3及び上記式4で表されるケイ素含有化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種のケイ素含有化合物との組み合わせ、それらの加水分解物、又はそれらの加水分解縮合物を使用することができる。また、上記式1で表される加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、又はその加水分解縮合物と、式3及び式4で表される群より選ばれる少なくとも1種のケイ素含有化合物、その加水分解物、又は加水分解縮合物とを併用して使用することができる。すなわち本発明において、上記式1で表される加水分解性オルガノシラン、その加水分解物、及びその加水分解縮合物のうちの少なくとも1つと、上記式3及び上記式4で表されるケイ素含有化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種のケイ素含有化合物、その加水分解物、及びその加水分解縮合物のうちの少なくとも1つとを、組み合わせて使用することができ、さらに、上記式1で表される加水分解性オルガノシランと上記式3及び上記式4で表されるケイ素含有化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種のケイ素含有化合物との加水分解縮合物である。上述の式1で表される加水分解性オルガノシラン及びそれから誘導される加水分解物、加水分解縮合物と、式3及び/又は式4で表されるケイ素含有化合物及びそれから誘導される加水分解物、加水分解縮合物との割合は、モル比で1:0~1:100000の範囲で、又は、1:0.1~1:10とすることができる。本発明の下層膜形成組成物においては、式3及び式4で表される化合物から成る群より選ばれるケイ素含有化合物のなかでも、式3で表されるケイ素含有化合物を使用することが好ましい。これらは加水分解縮合物ポリオルガノシロキサンとして使用することが好ましく、特に式1で表される加水分解性オルガノシランと式3で表されるケイ素含有化合物との加水分解縮合物ポリオルガノシロキサンとして用いることが好ましい。式3及び式4で表されるケイ素含有化合物中のR6、R8におけるアルキル基、アリール基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アリール基、アルケニル基又はエポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、もしくはシアノ基を有する有機基、更には加水分解性基であるR7及びR9におけるアルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン原子の具体例は、上述の式1においてそれぞれ例示した基を挙げることができる。また、R6における置換基としては、アルキル基又はアルキレン基、或いはこれらのいずれか基と、アルキレン基、アリーレン基、エーテル基、エステル基及びカルボニル基のうちの少なくとも1つの基とを組み合わせた基これらの基によってアルキル基又はアルキレン基が中断されていてもよいを挙げることができる。またYにおけるアルキレン基又はアリーレン基としては、上記式1において直鎖又は分枝鎖を有する炭素原子数1~10のアルキル基として例示した基から誘導される2価の有機基、上記式1においては炭素原子数6~20のアリール基として例示した基から誘導される2価の有機基を、それぞれ挙げることができる。式3で表されるケイ素含有化合物としては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラクロロシラン、テトラアセトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラn-プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラn-ブトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリクロロシラン、メチルトリアセトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、メチルトリアミロキシシラン、メチルトリフェノキシシラン、メチルトリベンジルオキシシラン、メチルトリフェネチルオキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、α-グリシドキシエチルトリメトキシシラン、α-グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β-グリシドキシエチルトリメトキシシラン、β-グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、α-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリプロポキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリフェノキシシラン、α-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ-グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ-グリシドキシブチルトリエトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルトリメトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルトリエトキシシラン、β-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、β-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリエトキシシラン、β-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリプロポキシシラン、β-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリブトキシシラン、β-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリフェノキシシラン、γ-3,4-エポキシシクロヘキシルプロピルトリメトキシシラン、γ-3,4-エポキシシクロヘキシルプロピルトリエトキシシラン、δ-3,4-エポキシシクロヘキシルブチルトリメトキシシラン、δ-3,4-エポキシシクロヘキシルブチルトリエトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、α-グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、α-グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、β-グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、β-グリシドキシエチルエチルジメトキシシラン、α-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、α-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β-グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジプロポキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジブトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジフェノキシシラン、γ-グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルビニルジメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルビニルジエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリクロロシラン、フェニルトリアセトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、メトキシフェニルトリメトキシシラン、メトキシフェニルトリエトキシシラン、メトキシフェニルトリアセトキシシラン、メトキシフェニルトリクロロシラン、メトキシベンジルトリメトキシシラン、メトキシベンジルトリエトキシシラン、メトキシベンジルトリアセトキシシラン、メトキシベンジルトリクロロシラン、メトキシフェネチルトリメトキシシラン、メトキシフェネチルトリエトキシシラン、メトキシフェネチルトリアセトキシシラン、メトキシフェネチルトリクロロシラン、エトキシフェニルトリメトキシシラン、エトキシフェニルトリエトキシシラン、エトキシフェニルトリアセトキシシラン、エトキシフェニルトリクロロシラン、エトキシベンジルトリメトキシシラン、エトキシベンジルトリエトキシシラン、エトキシベンジルトリアセトキシシラン、エトキシベンジルトリクロロシラン、イソプロポキシフェニルトリメトキシシラン、イソプロポキシフェニルトリエトキシシラン、イソプロポキシフェニルトリアセトキシシラン、イソプロポキシフェニルトリクロロシラン、イソプロポキシベンジルトリメトキシシラン、イソプロポキシベンジルトリエトキシシラン、イソプロポキシベンジルトリアセトキシシラン、イソプロポキシベンジルトリクロロシラン、t-ブトキシフェニルトリメトキシシラン、t-ブトキシフェニルトリエトキシシラン、t-ブトキシフェニルトリアセトキシシラン、t-ブトキシフェニルトリクロロシラン、t-ブトキシベンジルトリメトキシシラン、t-ブトキシベンジルトリエトキシシラン、t-ブトキシベンジルトリアセトキシシラン、t-ブトキシシベンジルトリクロロシラン、メトキシナフチルトリメトキシシラン、メトキシナフチルトリエトキシシラン、メトキシナフチルトリアセトキシシラン、メトキシナフチルトリクロロシラン、エトキシナフチルトリメトキシシラン、エトキシナフチルトリエトキシシラン、エトキシナフチルトリアセトキシシラン、エトキシナフチルトリクロロシラン、γ-クロロプロピルトリメトキシシラン、γ-クロロプロピルトリエトキシシラン、γ-クロロプロピルトリアセトキシシラン、3、3、3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリエトキシシラン、β-シアノエチルトリエトキシシラン、クロロメチルトリメトキシシラン、クロロメチルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルメチルジエトキシシラン、γ-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ-クロロプロピルメチルジエトキシシラン、ジメチルジアセトキシシラン、γ-メタクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-メタクリロイルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ-メルカプトメチルジエトキシシラン、メチルビニルジメトキシシラン、メチルビニルジエトキシシラン等が挙げられる。また、式3で表されるケイ素含有化合物としては、下記式B-1~式B-32で表される化合物も使用することができる。Xは上述のアルコキシ基、アシルオキシ基、及びハロゲン原子を示す。式4で表されるケイ素含有化合物としては例えば、メチレンビストリメトキシシラン、メチレンビストリクロロシラン、メチレンビストリアセトキシシラン、エチレンビストリエトキシシラン、エチレンビストリクロロシラン、エチレンビストリアセトキシシラン、プロピレンビストリエトキシシラン、ブチレンビストリメトキシシラン、フェニレンビストリメトキシシラン、フェニレンビストリエトキシシラン、フェニレンビスメチルジエトキシシラン、フェニレンビスメチルジメトキシシラン、ナフチレンビストリメトキシシラン、ビストリメトキシジシラン、ビストリエトキシジシラン、ビスエチルジエトキシジシラン、ビスメチルジメトキシジシラン等が挙げられる。式1で表される加水分解性オルガノシランと式3で表されるケイ素含有化合物との加水分解縮合物の具体例としては、例えば下記式C-1~C-6に示す単位構造を含むポリマーを挙げることができる。式1で表される加水分解性オルガノシランの加水分解縮合物ポリオルガノシロキサン、又は式1で表される加水分解性オルガノシランと式3及び/又は式4で表されるケイ素含有化合物との加水分解縮合物ポリオルガノシロキサンは、重量平均分子量1,000~1,000,000、又は1,000~100,000であることが好ましい。なお、これら加水分解縮合物の分子量はGPC分析によるポリスチレン換算で得られる分子量であり、GPCの測定条件は、例えばGPC装置商品名:HLC-8220GPC、東ソー株製、GPCカラム商品名:ShodexKF803L、KF802、KF801、昭和電工株製、カラム温度は40°C、溶離液溶出溶媒はテトラヒドロフラン、流量流速は1.0ml/分、標準試料はポリスチレン昭和電工株製を用いて行うことができる。上記式1で表される加水分解性オルガノシランの加水分解縮合物、又は式1で表される加水分解性オルガノシランと式3及び/又は式4で表されるケイ素含有化合物との加水分解縮合物を得るには、有機溶媒中で、これらオルガノシラン、ケイ素含有化合物中の加水分解性基R3-Si-基、R7-Si-基、R9-Si-基であるアルコキシシリル基、アシルオキシシリル基、又はハロゲン化シリル基合計1モル当たり、0.5~100モル、好ましくは1~10モルの水を用いて加水分解を行う。このとき、上記加水分解性基の1モル当たり0.001~10モル、好ましくは0.001~1モルの加水分解触媒を用いることができる。加水分解と縮合を行う際の反応温度は、通常20~80°Cである。加水分解は完全に加水分解を行うことも、部分加水分解することでも良く、即ち、前述したように加水分解縮合物中に加水分解物やモノマーが残存していても良い。加水分解縮合反応後、得られた加水分解縮合物ポリマーを減圧蒸留等により、副生成物のアルコールや、加水分解触媒、水を同時に除去することができる。また、加水分解に用いた酸や塩基触媒は、中和やイオン交換により取り除くことができる。上記加水分解触媒としては、金属キレート化合物、有機酸、無機酸、有機塩基、無機塩基を挙げることができる。加水分解触媒としての金属キレート化合物としては、例えばトリエトキシモノアセチルアセトナートチタン、トリ-n-プロポキシモノアセチルアセトナートチタン、トリ-i-プロポキシモノアセチルアセトナートチタン、トリ-n-ブトキシモノアセチルアセトナートチタン、トリ-sec-ブトキシモノアセチルアセトナートチタン、トリ-t-ブトキシモノアセチルアセトナートチタン、ジエトキシビスアセチルアセトナートチタン、ジ-n-プロポキシビスアセチルアセトナートチタン、ジ-i-プロポキシビスアセチルアセトナートチタン、ジ-n-ブトキシビスアセチルアセトナートチタン、ジ-sec-ブトキシビスアセチルアセトナートチタン、ジ-t-ブトキシビスアセチルアセトナートチタン、モノエトキシトリスアセチルアセトナートチタン、モノ-n-プロポキシトリスアセチルアセトナートチタン、モノ-i-プロポキシトリスアセチルアセトナートチタン、モノ-n-ブトキシトリスアセチルアセトナートチタン、モノ-sec-ブトキシトリスアセチルアセトナートチタン、モノ-t-ブトキシトリスアセチルアセトナートチタン、テトラキスアセチルアセトナートチタン、トリエトキシモノエチルアセトアセテートチタン、トリ-n-プロポキシモノエチルアセトアセテートチタン、トリ-i-プロポキシモノエチルアセトアセテートチタン、トリ-n-ブトキシモノエチルアセトアセテートチタン、トリ-sec-ブトキシモノエチルアセトアセテートチタン、トリ-t-ブトキシモノエチルアセトアセテートチタン、ジエトキシビスエチルアセトアセテートチタン、ジ-n-プロポキシビスエチルアセトアセテートチタン、ジ-i-プロポキシビスエチルアセトアセテートチタン、ジ-n-ブトキシビスエチルアセトアセテートチタン、ジ-sec-ブトキシビスエチルアセトアセテートチタン、ジ-t-ブトキシビスエチルアセトアセテートチタン、モノエトキシトリスエチルアセトアセテートチタン、モノ-n-プロポキシトリスエチルアセトアセテートチタン、モノ-i-プロポキシトリスエチルアセトアセテートチタン、モノ-n-ブトキシトリスエチルアセトアセテートチタン、モノ-sec-ブトキシトリスエチルアセトアセテートチタン、モノ-t-ブトキシトリスエチルアセトアセテートチタン、テトラキスエチルアセトアセテートチタン、モノアセチルアセトナートトリスエチルアセトアセテートチタン、ビスアセチルアセトナートビスエチルアセトアセテートチタン、トリスアセチルアセトナートモノエチルアセトアセテートチタン、等のチタンキレート化合物;トリエトキシモノアセチルアセトナートジルコニウム、トリ-n-プロポキシモノアセチルアセトナートジルコニウム、トリ-i-プロポキシモノアセチルアセトナートジルコニウム、トリ-n-ブトキシモノアセチルアセトナートジルコニウム、トリ-sec-ブトキシモノアセチルアセトナートジルコニウム、トリ-t-ブトキシモノアセチルアセトナートジルコニウム、ジエトキシビスアセチルアセトナートジルコニウム、ジ-n-プロポキシビスアセチルアセトナートジルコニウム、ジ-i-プロポキシビスアセチルアセトナートジルコニウム、ジ-n-ブトキシビスアセチルアセトナートジルコニウム、ジ-sec-ブトキシビスアセチルアセトナートジルコニウム、ジ-t-ブトキシビスアセチルアセトナートジルコニウム、モノエトキシトリスアセチルアセトナートジルコニウム、モノ-n-プロポキシトリスアセチルアセトナートジルコニウム、モノ-i-プロポキシトリスアセチルアセトナートジルコニウム、モノ-n-ブトキシトリスアセチルアセトナートジルコニウム、モノ-sec-ブトキシトリスアセチルアセトナートジルコニウム、モノ-t-ブトキシトリスアセチルアセトナートジルコニウム、テトラキスアセチルアセトナートジルコニウム、トリエトキシモノエチルアセトアセテートジルコニウム、トリ-n-プロポキシモノエチルアセトアセテートジルコニウム、トリ-i-プロポキシモノエチルアセトアセテートジルコニウム、トリ-n-ブトキシモノエチルアセトアセテートジルコニウム、トリ-sec-ブトキシモノエチルアセトアセテートジルコニウム、トリ-t-ブトキシモノエチルアセトアセテートジルコニウム、ジエトキシビスエチルアセトアセテートジルコニウム、ジ-n-プロポキシビスエチルアセトアセテートジルコニウム、ジ-i-プロポキシビスエチルアセトアセテートジルコニウム、ジ-n-ブトキシビスエチルアセトアセテートジルコニウム、ジ-sec-ブトキシビスエチルアセトアセテートジルコニウム、ジ-t-ブトキシビスエチルアセトアセテートジルコニウム、モノエトキシトリスエチルアセトアセテートジルコニウム、モノ-n-プロポキシトリスエチルアセトアセテートジルコニウム、モノ-i-プロポキシトリスエチルアセトアセテートジルコニウム、モノ-n-ブトキシトリスエチルアセトアセテートジルコニウム、モノ-sec-ブトキシトリスエチルアセトアセテートジルコニウム、モノ-t-ブトキシトリスエチルアセトアセテートジルコニウム、テトラキスエチルアセトアセテートジルコニウム、モノアセチルアセトナートトリスエチルアセトアセテートジルコニウム、ビスアセチルアセトナートビスエチルアセトアセテートジルコニウム、トリスアセチルアセトナートモノエチルアセトアセテートジルコニウム等のジルコニウムキレート化合物;トリスアセチルアセトナートアルミニウム、トリスエチルアセトアセテートアルミニウム等のアルミニウムキレート化合物;などを挙げることができる。加水分解触媒としての有機酸としては、例えば酢酸、プロピオン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、シュウ酸、マレイン酸、メチルマロン酸、アジピン酸、セバシン酸、没食子酸、酪酸、メリット酸、アラキドン酸、2-エチルヘキサン酸、オレイン酸、ステアリン酸、リノール酸、リノレイン酸、サリチル酸、安息香酸、p-アミノ安息香酸、p-トルエンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、モノクロロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、ギ酸、マロン酸、スルホン酸、フタル酸、フマル酸、クエン酸、酒石酸等を挙げることができる。加水分解触媒としての無機酸としては、例えば塩酸、硝酸、硫酸、フッ酸、リン酸等を挙げることができる。加水分解触媒としての有機塩基としては、例えばピリジン、ピロール、ピペラジン、ピロリジン、ピペリジン、ピコリン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、ジメチルモノエタノールアミン、モノメチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジアザビシクロオクタン、ジアザビシクロノナン、ジアザビシクロウンデセン、テトラメチルアンモニウムヒドロオキシド等を挙げることができる。無機塩基としては、例えばアンモニア、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化バリウム、水酸化カルシウム等を挙げることができる。これら加水分解触媒の中でも、金属キレート化合物、有機酸、無機酸が好ましく、また、これらは1種あるいは2種以上を同時に使用しても良い。加水分解に用いられる有機溶媒としては、例えばn-ペンタン、i-ペンタン、n-ヘキサン、i-ヘキサン、n-ヘプタン、i-ヘプタン、2,2,4-トリメチルペンタン、n-オクタン、i-オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼン、メチルエチルベンゼン、n-プロピルベンセン、i-プロピルベンセン、ジエチルベンゼン、i-ブチルベンゼン、トリエチルベンゼン、ジ-i-プロピルベンセン、n-アミルナフタレン等の芳香族炭化水素系溶媒;メタノール、エタノール、n-プロパノール、i-プロパノール、n-ブタノール、i-ブタノール、sec-ブタノール、t-ブタノール、n-ペンタノール、i-ペンタノール、2-メチルブタノール、sec-ペンタノール、t-ペンタノール、3-メトキシブタノール、n-ヘキサノール、2-メチルペンタノール、sec-ヘキサノール、2-エチルブタノール、sec-ヘプタノール、3-ヘプタノール、n-オクタノール、2-エチルヘキサノール、sec-オクタノール、n-ノニルアルコール、2,6-ジメチル-4-ヘプタノール、n-デカノール、sec-ウンデシルアルコール、トリメチルノニルアルコール、sec-テトラデシルアルコール、sec-ヘプタデシルアルコール、フェノール、シクロヘキサノール、メチルシクロヘキサノール、3,3,5-トリメチルシクロヘキサノール、ベンジルアルコール、フェニルメチルカルビノール、ジアセトンアルコール、クレゾール等のモノアルコール系溶媒;エチレングリコール、プロピレングリコール、1,3-ブチレングリコール、2,4-ペンタンジオール、2-メチル-2,4-ペンタンジオール、2,5-ヘキサンジオール、2,4-ヘプタンジオール、2-エチル-1,3-ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、グリセリン等の多価アルコール系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、メチル-n-プロピルケトン、メチル-n-ブチルケトン、ジエチルケトン、メチル-i-ブチルケトン、メチル-n-ペンチルケトン、エチル-n-ブチルケトン、メチル-n-ヘキシルケトン、ジ-i-ブチルケトン、トリメチルノナノン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、2,4-ペンタンジオン、アセトニルアセトン、ジアセトンアルコール、アセトフェノン、フェンチョン等のケトン系溶媒;エチルエーテル、i-プロピルエーテル、n-ブチルエーテル、n-ヘキシルエーテル、2-エチルヘキシルエーテル、エチレンオキシド、1,2-プロピレンオキシド、ジオキソラン、4-メチルジオキソラン、ジオキサン、ジメチルジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、エチレングリコールモノ-n-ヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノ-2-エチルブチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、ジエチレングリコールジ-n-ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-ヘキシルエーテル、エトキシトリグリコール、テトラエチレングリコールジ-n-ブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、テトラヒドロフラン、2-メチルテトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒;ジエチルカーボネート、酢酸メチル、酢酸エチル、γ-ブチロラクトン、γ-バレロラクトン、酢酸n-プロピル、酢酸i-プロピル、酢酸n-ブチル、酢酸i-ブチル、酢酸sec-ブチル、酢酸n-ペンチル、酢酸sec-ペンチル、酢酸3-メトキシブチル、酢酸メチルペンチル、酢酸2-エチルブチル、酢酸2-エチルヘキシル、酢酸ベンジル、酢酸シクロヘキシル、酢酸メチルシクロヘキシル、酢酸n-ノニル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、酢酸エチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノプロピルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノブチルエーテル、酢酸ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジ酢酸グリコール、酢酸メトキシトリグリコール、プロピオン酸エチル、プロピオン酸n-ブチル、プロピオン酸i-アミル、シュウ酸ジエチル、シュウ酸ジ-n-ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸n-ブチル、乳酸n-アミル、マロン酸ジエチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル等のエステル系溶媒;N-メチルホルムアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、アセトアミド、N-メチルアセトアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチルプロピオンアミド、N-メチルピロリドン等の含窒素系溶媒;硫化ジメチル、硫化ジエチル、チオフェン、テトラヒドロチオフェン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、1,3-プロパンスルトン等の含硫黄系溶媒等を挙げることができる。これらの溶剤は1種又は2種以上の組み合わせで用いることができる。これらの中でも、特に、アセトン、メチルエチルケトン、メチル-n-プロピルケトン、メチル-n-ブチルケトン、ジエチルケトン、メチル-i-ブチルケトン、メチル-n-ペンチルケトン、エチル-n-ブチルケトン、メチル-n-ヘキシルケトン、ジ-i-ブチルケトン、トリメチルノナノン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、2,4-ペンタンジオン、アセトニルアセトン、ジアセトンアルコール、アセトフェノン、フェンチョン等のケトン系溶媒が、溶液の保存安定性の点で好ましい。[溶剤]本発明のレジストの下層膜形成組成物に使用される溶剤としては、前記のオルガノシラン成分並びに後述する硬化触媒等のその他の成分を溶解できる溶剤であれば、特に制限なく使用することができる。そのような溶剤としては、例えば、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、メチルイソブチルカルビノール、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエテルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、2-ヒドロキシプロピオン酸エチル、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2-ヒドロキシ-3-メチルブタン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテル、プロピレングリコールジブチルエーテル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸イソプロピル、乳酸ブチル、乳酸イソブチル、ギ酸メチル、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、ギ酸イソプロピル、ギ酸ブチル、ギ酸イソブチル、ギ酸アミル、ギ酸イソアミル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸ヘキシル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸プロピル、プロピオン酸イソプロピル、プロピオン酸ブチル、プロピオン酸イソブチル、酪酸メチル、酪酸エチル、酪酸プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、3-メトキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシ-3-メチル酪酸メチル、メトキシ酢酸エチル、3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシプロピルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルプロピオネート、3-メチル-3-メトキシブチルブチレート、アセト酢酸メチル、メチルプロピルケトン、メチルブチルケトン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン、4-ヘプタノン、N、N-ジメチルホルムアミド、N-メチルアセトアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン、及びγ-ブチロラクトン等を挙げることができる。これらの溶剤は単独で、又は二種以上の組み合わせで使用することができる。[硬化触媒]本発明のレジストの下層膜形成組成物には、さらに硬化触媒を含有することができる。硬化触媒は、加水分解縮合物からなるポリオルガノシロキサンを含有する塗布膜を加熱し硬化させる時に硬化を促進させる働きをする。硬化触媒としては、アンモニウム塩、ホスフィン類、ホスホニウム塩、スルホニウム塩等を用いることができる。前記アンモニウム塩としては、下記式D-1~式D-5で表される第4級アンモニウム塩、及び下記式D-6で表される第3級アンモニウム塩を挙げることができる。式中、mは2~11の整数を表し、nは2~3の整数を表し、R11はアルキル基又はアリール基を表し、Zは陰イオンを表す。式中、R12、R13、R14及びR15は、それぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、Nは窒素原子を表し、Zは陰イオンを表し、なおR12、R13、R14及びR15は式中の窒素原子とそれぞれC-N結合により結合されている。式中、R16及びR17はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、Zは陰イオンを表す。式中、R18はアルキル基又はアリール基を表し、Zは陰イオンを表す。式中、R19及びR20はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、Zは陰イオンを表す。式中、oは2~11、pは2~3の整数を、Hは水素原子を表し、Zは陰イオンを表す。また、前記ホスホニウム塩としては、下記式D-7で表される第4級ホスホニウム塩が挙げられる。式中、R21、R22、R23及びR24はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、Pはリン原子を表し、Zは陰イオンを表し、なおR21、R22、R23及びR24は式中のリン原子とそれぞれC-P結合により結合されている。また、前記スルホニウム塩としては、下記式D-8で表される第3級スルホニウム塩が挙げられる。式中、R25、R26及びR27はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、Sは硫黄原子を表し、Zは陰イオンを表し、なおR25、R26及びR27は式中の硫黄原子とそれぞれC-S結合により結合されている。上記の式D-1で表される化合物は、アミンから誘導される第4級アンモニウム塩であり、式中のR11は炭素原子数1~18、好ましくは2~10のアルキル基、又はアリール基を表し、例えば、エチル基、プロピル基、ブチル基等の直鎖アルキル基や、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基等の分枝鎖アルキル基、ベンジル基等のアリール基、またジシクロペンタジエニル基等が挙げられる。また陰イオンZは、塩素イオンCl、臭素イオンBr、ヨウ素イオンI等のハロゲンイオンや、カルボキシラート-COO、スルホナート-SO3、アルコラート-O等のアニオン性基を含むイオンを挙げることが出来る。上記の式D-2で表される化合物はアミンから誘導される第4級アンモニウム塩であり、式中のR12、R13、R14及びR15は、それぞれ独立して、炭素原子数1~18のアルキル基、アリール基、又は、Si-C結合によりケイ素原子と結合しているシラン化合物を表す。これらアルキル基、アリール基、並びに陰イオンZの具体例としては、上記式D-1で挙げたものを挙げることができる。上記式D-2で表される第4級アンモニウム塩は、市販品として入手する事が可能であり、例えばテトラメチルアンモニウムアセテート、テトラブチルアンモニウムアセテート、塩化トリエチルベンジルアンモニウム、臭化トリエチルベンジルアンモニウム、塩化トリオクチルメチルアンモニウム、塩化トリブチルベンジルアンモニウム、塩化トリメチルベンジルアンモニウム等が例示される。上記の式D-3で表される化合物は、1-置換イミダゾールから誘導される第4級アンモニウム塩であり、式中のR16及びR17は、それぞれ独立して、炭素原子数1~18の有機基を表し、ここでR16及びR17の炭素原子数の総和が7以上で有ることが好ましい。例えばR16はメチル基、エチル基、プロピル基、フェニル基、ベンジル基等を、R17はベンジル基、オクチル基、オクタデシル基等を例示する事が出来る。陰イオンZの具体例としては、上記式D-1で挙げたものを挙げることができる。上記式D-3で表される化合物は、市販品で入手する事も可能であり、或いは、例えば1-メチルイミダゾール、1-ベンジルイミダゾール等のイミダゾール系化合物と、臭化ベンジル、臭化メチル等のハロゲン化アルキルやハロゲン化アリールを反応させて製造する事ができる。上記の式D-4で表される化合物は、ピリジンから誘導される第4級アンモニウム塩であり、式中のR18は炭素原子数1~18、好ましくは炭素原子数4~18のアルキル基又はアリール基を表し、例えばブチル基、オクチル基、ベンジル基、ラウリル基等を例示する事が出来る。陰イオンZの具体例としては、上記式D-1で挙げたものを挙げることができる。上記式D-4で表される化合物は、市販品として入手する事も可能であり、或いは、例えばピリジンと、塩化ラウリル、塩化ベンジル、臭化ベンジル、臭化メチル、臭化オクチル等のハロゲン化アルキル、又はハロゲン化アリールを反応させて製造する事が出来る。上記化合物は例えば、塩化N-ラウリルピリジニウム、臭化N-ベンジルピリジニウム等を例示する事が出来る。上記の式D-5で表される化合物は、ピコリンメチルピリジン等に代表される置換ピリジンから誘導される第4級アンモニウム塩である。式中のR19は炭素原子数1~18、好ましくは4~18のアルキル基又はアリール基を表し、例えばメチル基、オクチル基、ラウリル基、ベンジル基等を例示する事が出来る。またR20は炭素原子数1~18のアルキル基又はアリール基を表し、例えばピコリンから誘導される第4級アンモニウムである場合はR20はメチル基である。陰イオンZの具体例としては、上記式D-1で挙げたものを挙げることができる。上記式D-5で表される化合物は市販品として入手する事も可能であり、或いは、例えばピコリン等の置換ピリジンと、臭化メチル、臭化オクチル、塩化ラウリル、塩化ベンジル、臭化ベンジル等のハロゲン化アルキル、又はハロゲン化アリールを反応させて製造する事が出来る。上記化合物は例えば、N-ベンジルピコリニウムクロリド、N-ベンジルピコリニウムブロミド、N-ラウリルピコリニウムクロリド等を例示することが出来る。上記の式D-6で表される化合物は、アミンから誘導される第3級アンモニウム塩であり、式中の陰イオンZの具体例としては、上記式D-1で挙げたものを挙げることができる。上記式D-6で表される化合物は、例えばアミンとカルボン酸やフェノール等の弱酸との反応によって製造する事が出来る。カルボン酸としてはギ酸や酢酸が挙げられ、ギ酸を使用した場合は、陰イオンZはHCOOとなり、酢酸を使用した場合は、陰イオンZはCH3COOとなる。またフェノールを使用した場合は、陰イオンZはC6H5Oとなる。上記の式D-7で表される化合物において、式中のR21、R22、R23及びR24は炭素原子数1~18のアルキル基又はアリール基、又はSi-C結合によりケイ素原子と結合しているシラン化合物を表す。好ましくはR21~R24の4つの基のうちの3つがフェニル基又は置換されたフェニル基であり、例えばフェニル基やトリル基を例示する事が出来、また残りの1つは炭素原子数1~18のアルキル基、アリール基、又はSi-C結合によりケイ素原子と結合しているシラン化合物である。陰イオンZの具体例としては、上記式D-1で挙げたものを挙げることができる。上記式D-7で表される化合物は市販品として入手する事が可能であり、例えばハロゲン化テトラn-ブチルホスホニウム、ハロゲン化テトラn-プロピルホスホニウム等のハロゲン化テトラアルキルホスホニウム;ハロゲン化トリエチルベンジルホスホニウム等のハロゲン化トリアルキルベンジルホスホニウム;ハロゲン化トリフェニルメチルホスホニウム、ハロゲン化トリフェニルエチルホスホニウム等のハロゲン化トリフェニルモノアルキルホスホニウム;ハロゲン化トリフェニルベンジルホスホニウム等のハロゲン化トリフェニルモノアリールホスホニウム;ハロゲン化テトラフェニルホスホニウム;ハロゲン化トリトリルモノフェニルホスホニウム等のハロゲン化トリトリルモノアリールホスホニウム、或いはハロゲン化トリトリルモノメチルホスホニウム等のハロゲン化トリトリルモノアルキルホスホニウム等以上、ハロゲン原子は塩素原子又は臭素原子が挙げられる。特に、ハロゲン化トリフェニルメチルホスホニウム、ハロゲン化トリフェニルエチルホスホニウム等のハロゲン化トリフェニルモノアルキルホスホニウム;ハロゲン化トリフェニルベンジルホスホニウム等のハロゲン化トリフェニルモノアリールホスホニウム;ハロゲン化トリトリルモノフェニルホスホニウム等のハロゲン化トリトリルモノアリールホスホニウム;ハロゲン化トリトリルモノメチルホスホニウム等のハロゲン化トリトリルモノアルキルホスホニウム以上、ハロゲン原子は塩素原子又は臭素原子が好ましい。また、ホスフィン類としては、メチルホスフィン、エチルホスフィン、プロピルホスフィン、イソプロピルホスフィン、イソブチルホスフィン、フェニルホスフィン等の第一ホスフィン;ジメチルホスフィン、ジエチルホスフィン、ジイソプロピルホスフィン、ジイソアミルホスフィン、ジフェニルホスフィン等の第二ホスフィン;トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、ジメチルフェニルホスフィン等の第三ホスフィン等が挙げられる。上記の式D-8で表される化合物において、式中のR25、R26及びR27は、それぞれ独立して、炭素原子数1~18のアルキル基又はアリール基を表し、好ましくはR25~R27の3つの基のうちの2つがフェニル基又は置換されたフェニル基であり、例えばフェニル基やトリル基を例示する事が出来、また残りの1つは炭素原子数1~18のアルキル基、又はアリール基である。陰イオンZの具体例としては、上記式D-1で挙げたものを挙げることができる。上記式D-8で表される化合物は市販品として入手する事が可能であり、例えばハロゲン化トリn-ブチルスルホニウム、ハロゲン化トリn-プロピルスルホニウム等のハロゲン化トリアルキルスルホニウム;ハロゲン化ジエチルベンジルスルホニウム等のハロゲン化ジアルキルベンジルスルホニウム;ハロゲン化ジフェニルメチルスルホニウム、ハロゲン化ジフェニルエチルスルホニウム等のハロゲン化ジフェニルモノアルキルスルホニウム;ハロゲン化トリフェニルスルホニウム等以上、ハロゲン原子は塩素原子又は臭素原子;トリn-ブチルスルホニウムカルボキシラート、トリn-プロピルスルホニウムカルボキシラート等のトリアルキルホスフォニウムカルボキシラート;ジエチルベンジルスルホニウムカルボキシラート等のジアルキルベンジルスルホニウムカルボキシラート;ジフェニルメチルスルホニウムカルボキシラート、ジフェニルエチルスルホニウムカルボキシラート等のジフェニルモノアルキルスルホニウムカルボキシラート;トリフェニルスルホニウムカルボキシラート等が挙げられる。特に、ハロゲン化トリフェニルスルホニウム、トリフェニルスルホニウムカルボキシラートが好ましい。これら硬化触媒を配合する場合、その添加量は、前述の加水分解縮合物からなるポリオルガノシロキサン100質量部に対して、0.01~10質量部、又は0.01~5質量部、又は0.01~3質量部である。<有機酸等の安定剤>また本発明のリソグラフィー用レジストの下層膜形成組成物において、その安定化のために有機酸、水、アルコール、又はそれらの2種以上の組み合わせを添加することができる。上記有機酸としては、例えばシュウ酸、マロン酸、メチルマロン酸、コハク酸、マレイン酸、リンゴ酸、酒石酸、フタル酸、クエン酸、グルタル酸、乳酸、サリチル酸等が挙げられる。中でも、シュウ酸、マレイン酸等が好ましい。有機酸を添加する場合、その添加量は前述の加水分解縮合物ポリオルガノシロキサン100質量部に対して0.1~5.0質量部である。また添加する水としては、純水、超純水、イオン交換水等を用いることができ、その添加量はレジストの下層膜形成組成物100質量部に対して1~20質量部とすることができる。また添加するアルコールとしては、塗布後の加熱により飛散しやすいものが好ましく、例えばメタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール等が挙げられる。その添加量は、レジストの下層膜形成組成物100質量部に対して1~20質量部とすることができる。<ビスフェノールS>本発明の下層膜形成組成物には、保存安定性の向上を目的として、ビスフェノールSを配合することができる。これらビスフェノールSとしては、例えば下記式E-1~E-23で表される化合物を例示することができる。上記ビスフェノールSは、前述の加水分解縮合物からなるポリオルガノシロキサン100質量部に対して、0.01~30質量部の割合で配合することができる。本発明のリソグラフィー用下層膜形成組成物は、上記の成分の他、必要に応じて有機ポリマー化合物、光酸発生剤及び界面活性剤等を含むことができる。<有機ポリマー化合物>有機ポリマー化合物を使用することにより、本発明のリソグラフィー用下層膜形成組成物から形成されるレジストの下層膜のドライエッチング速度単位時間当たりの膜厚の減少量、減衰係数及び屈折率等を調整することができる。なお有機ポリマー化合物にヒドロキシル基が含有されている場合は、このヒドロキシル基はポリオルガノシロキサンと架橋反応を形成することができる。有機ポリマー化合物としては特に制限はなく、種々の有機ポリマーを使用することができ、例えば、ポリエステル、ポリスチレン、ポリイミド、アクリルポリマー、メタクリルポリマー、ポリビニルエーテル、フェノールノボラック、ナフトールノボラック、ポリエーテル、ポリアミド、ポリカーボネート等の付加重合ポリマー及び縮重合ポリマーを使用することができる。有機ポリマー化合物として付加重合ポリマーが使用される場合、そのポリマー化合物は単独重合体、共重合体のいずれであってもよい。付加重合ポリマーの製造には付加重合性モノマーが使用される。そのような付加重合性モノマーとしてはアクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル化合物、メタクリル酸エステル化合物、アクリルアミド化合物、メタクリルアミド化合物、ビニル化合物、スチレン化合物、マレイミド化合物、マレイン酸無水物、アクリロニトリル等が挙げられる。アクリル酸エステル化合物としては、メチルアクリレート、エチルアクリレート、ノルマルヘキシルアクリレート、イソプロピルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ベンジルアクリレート、フェニルアクリレート、ナフチルアクリレート、アントリルメチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、3-クロロ-2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2,2,2-トリフルオロエチルアクリレート、2,2,2-トリクロロエチルアクリレート、2-ブロモエチルアクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレート、2-メトキシエチルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、2-メチル-2-アダマンチルアクリレート、5-アクリロイルオキシ-6-ヒドロキシノルボルネン-2-カルボキシリック-6-ラクトン、3-アクリロキシプロピルトリエトキシシラン及びグリシジルアクリレート等が挙げられる。メタクリル酸エステル化合物としては、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ノルマルヘキシルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルメタクリレート、アントリルメタクリレート、アントリルメチルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート、2,2,2-トリフルオロエチルメタクリレート、2,2,2-トリクロロエチルメタクリレート、2-ブロモエチルメタクリレート、4-ヒドロキシブチルメタクリレート、2-メトキシエチルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、2-メチル-2-アダマンチルメタクリレート、5-メタクリロイルオキシ-6-ヒドロキシノルボルネン-2-カルボキシリック-6-ラクトン、3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、グリシジルメタクリレート、2-フェニルエチルメタクリレート、ヒドロキシフェニルメタクリレート及びブロモフェニルメタクリレート等が挙げられる。アクリルアミド化合物としては、アクリルアミド、N-メチルアクリルアミド、N-エチルアクリルアミド、N-ベンジルアクリルアミド、N-フェニルアクリルアミド、N,N-ジメチルアクリルアミド及びN-アントリルアクリルアミド等が挙げられる。メタクリルアミド化合物、メタクリルアミド、N-メチルメタクリルアミド、N-エチルメタクリルアミド、N-ベンジルメタクリルアミド、N-フェニルメタクリルアミド、N,N-ジメチルメタクリルアミド及びN-アントリルアクリルアミド等が挙げられる。ビニル化合物としては、ビニルアルコール、2-ヒドロキシエチルビニルエーテル、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、ビニル酢酸、ビニルトリメトキシシラン、2-クロロエチルビニルエーテル、2-メトキシエチルビニルエーテル、ビニルナフタレン及びビニルアントラセン等が挙げられる。スチレン化合物としては、スチレン、ヒドロキシスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレン、メトキシスチレン、シアノスチレン及びアセチルスチレン等が挙げられる。マレイミド化合物としては、マレイミド、N-メチルマレイミド、N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド及びN-ヒドロキシエチルマレイミド等が挙げられる。ポリマーとして縮重合ポリマーが使用される場合、そのようなポリマーとしては、例えば、グリコール化合物とジカルボン酸化合物との縮重合ポリマーが挙げられる。グリコール化合物としてはジエチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、ブチレングリコール等が挙げられる。ジカルボン酸化合物としては、コハク酸、アジピン酸、テレフタル酸、無水マレイン酸等が挙げられる。また縮重合ポリマーとしては、例えば、ポリピロメリットイミド、ポリp-フェニレンテレフタルアミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、或いはフェノールノボラックやナフトールノボラック等も挙げられる。中でも、吸光部位として機能するベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、トリアジン環、キノリン環、及びキノキサリン環等の芳香環構造を有する有機ポリマーが好ましく使用される。そのような有機ポリマー化合物としては、例えば、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレート、ナフチルアクリレート、アントリルメタクリレート、アントリルメチルメタクリレート、スチレン、ヒドロキシスチレン、ベンジルビニルエーテル及びN-フェニルマレイミド等の付加重合性モノマーをその構造単位として含む付加重合ポリマーや、フェノールノボラック及びナフトールノボラック等の縮重合ポリマーが挙げられる。上記有機ポリマー化合物としては、重量平均分子量が、例えば1,000~1,000,000であり、又は3,000~300,000であり、又は5,000~200,000であり、又は10,000~100,000であるポリマー化合物を使用することができる。有機ポリマー化合物は一種のみを使用することができ、又は二種以上を組み合わせて使用することができる。有機ポリマー化合物が使用される場合、その割合としては、前記加水分解縮合物ポリオルガノシロキサン100質量部に対して、1~200質量部、又は5~100質量部、又は10~50質量部、又は20~30質量部である。<光酸発生剤>本発明のレジストの下層膜形成組成物では酸発生剤を含有することができる。酸発生剤としては、熱酸発生剤や光酸発生剤が挙げられ、本発明では光酸発生剤の使用が好ましい。光酸発生剤は、レジストの露光時に酸を生ずることから、下層膜の酸性度の調整ができ、すなわち光酸発生剤の添加は、下層膜の酸性度を上層のレジストとの酸性度に合わせるための一方法である。また、下層膜の酸性度の調整によって、上層に形成されるレジストのパターン形状の調整も可能となる。本発明のレジストの下層膜形成組成物に含まれる光酸発生剤としては、オニウム塩化合物、スルホンイミド化合物、及びジスルホニルジアゾメタン化合物等が挙げられる。オニウム塩化合物としてはジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート、ジフェニルヨードニウムノナフルオロノルマルブタンスルホネート、ジフェニルヨードニウムパーフルオロノルマルオクタンスルホネート、ジフェニルヨードニウムカンファースルホネート、ビス4-tert-ブチルフェニルヨードニウムカンファースルホネート及びビス4-tert-ブチルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート等のヨードニウム塩化合物、及びトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムノナフルオロノルマルブタンスルホネート、トリフェニルスルホニウムカンファースルホネート及びトリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート等のスルホニウム塩化合物等が挙げられる。スルホンイミド化合物としては、例えばN-トリフルオロメタンスルホニルオキシスクシンイミド、N-ノナフルオロノルマルブタンスルホニルオキシスクシンイミド、N-カンファースルホニルオキシスクシンイミド及びN-トリフルオロメタンスルホニルオキシナフタルイミド等が挙げられる。ジスルホニルジアゾメタン化合物としては、例えば、ビストリフルオロメチルスルホニルジアゾメタン、ビスシクロヘキシルスルホニルジアゾメタン、ビスフェニルスルホニルジアゾメタン、ビスp-トルエンスルホニルジアゾメタン、ビス2,4-ジメチルベンゼンスルホニルジアゾメタン、及びメチルスルホニル-p-トルエンスルホニルジアゾメタン等が挙げられる。光酸発生剤は一種のみを使用することができ、又は二種以上を組み合わせて使用することができる。光酸発生剤を使用する場合、その割合としては、上記加水分解縮合物ポリオルガノシロキサン100質量部に対して、0.01~5質量部、又は0.1~3質量部、又は0.5~1質量部である。<界面活性剤>界面活性剤は、本発明のリソグラフィー用レジストの下層膜形成組成物を基板に塗布した際に、ピンホール及びストレーション等の発生を抑制するのに有効である。本発明のレジストの下層膜形成組成物に含まれる界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤;商品名エフトップEF301、EF303、EF352株トーケムプロダクツ現:三菱マテリアル電子化成株製、商品名メガファックF171、F173、R-08、R-30DIC株製、フロラードFC430、FC431住友スリーエム株製、商品名アサヒガードAG710,サーフロンS-382、SC101、SC102、SC103、SC104、SC105、SC106旭硝子株製等のフッ素系界面活性剤;及びオルガノシロキサンポリマーKP341信越化学工業株製等を挙げることができる。これらの界面活性剤は単独で使用してもよいし、また二種以上の組み合わせで使用することもできる。界面活性剤が使用される場合、その割合としては、上記加水分解縮合物ポリオルガノシロキサン100質量部に対して0.0001~5質量部、又は0.001~1質量部、又は0.01~0.5質量部である。また、本発明のレジストの下層膜形成組成物には、レオロジー調整剤及び接着補助剤等を添加することができる。レオロジー調整剤は、下層膜形成組成物の流動性を向上させるのに有効である。接着補助剤は、半導体基板又はレジストと下層膜の密着性を向上させるのに有効である。[半導体装置の製造方法]本発明のレジストの下層膜形成組成物を用いた半導体装置の製造方法は、本発明のレジストの下層膜形成組成物を半導体基板上に塗布し、焼成して、レジストの下層膜を形成する工程、前記下層膜の上にレジスト用組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程、前記レジスト膜を露光する工程、露光後にレジストを溶剤現像し、レジストパターンを得る工程、レジストパターンによりレジストの下層膜をエッチングする工程、及びパターン化されたレジストとレジストの下層膜により半導体基板を加工する工程を含む。こうした本発明のレジストの下層膜形成組成物を用いた半導体装置の製造方法も本発明の対象である。以下各工程に沿って詳述する。半導体装置の製造に使用される基板としては、例えば、シリコンウエハー基板、シリコン/二酸化シリコン被覆基板、シリコンナイトライド基板、ガラス基板、ITO基板、ポリイミド基板、及び低誘電率材料low-k材料被覆基板等が挙げられる。この基板上に、スピナー、コーター等の適当な塗布方法により本発明のレジストの下層膜形成組成物を塗布し、その後、焼成することによりレジストの下層膜が形成される。焼成する条件としては、焼成温度80°C~250°C、焼成時間0.3~60分間の中から適宜、選択される。好ましくは、焼成温度150°C~250°C、焼成時間0.5~2分間である。ここで、形成される下層膜の膜厚としては、例えば、10~1000nmであり、又は20~500nmであり、又は50~300nmであり、又は100~200nmである。次いでその下層膜の上に、例えばフォトレジスト等のレジスト層を形成する。レジスト層の形成は、周知の方法、すなわち、レジスト組成物溶液の下層膜上への塗布及び焼成によって行なうことができる。レジスト層の膜厚としては例えば50~10000nmであり、又は100~2000nmであり、又は200~1000nmである。本発明のレジストの下層膜の上に形成されるフォトレジストとしては、露光に使用される光に感光するものであれば特に限定はない。ネガ型フォトレジスト及びポジ型フォトレジストのいずれも使用できる。露光後、溶剤により現像することが可能なフォトレジストであれば使用可能である。例えば、JSR株製、商品名AR2772JNや、富士フイルム株製、商品名FAiRS-9521NT05等を挙げることができる。また、本発明ではレジストとしてフォトレジスト替えて電子線リソグラフィー用レジストを用いることができる。電子線レジストとしてはネガ型、ポジ型いずれも使用でき、露光後、溶剤により現像することが可能な電子線レジストであればいずれも使用可能である。次に、所定のマスクを通して露光を行なう。露光には、KrFエキシマレーザー波長248nm、ArFエキシマレーザー波長193nm及びF2エキシマレーザー波長157nm等を使用することができる。露光後、必要に応じて露光後加熱postexposurebakeを行なうこともできる。露光後加熱は、加熱温度70°C~150°C、加熱時間0.3~10分間から適宜、選択された条件で行われる。また、前述の電子線レジストを用いた場合においても、照射源を電子線とすることにより、フォトレジストを用いた場合と同様にレジストパターンを形成することができる。次いで、現像液溶剤によって現像が行なわれる。これにより、例えばポジ型レジストが使用された場合は、露光されない部分のレジストが除去され、レジストのパターンが形成される。現像液としては、例えば、酢酸メチル、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸アミル、酢酸イソアミル、メトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、2-メトキシブチルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、4-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-エチル-3-メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、2-エトキシブチルアセテート、4-エトキシブチルアセテート、4-プロポキシブチルアセテート、2-メトキシペンチルアセテート、3-メトキシペンチルアセテート、4-メトキシペンチルアセテート、2-メチル-3-メトキシペンチルアセテート、3-メチル-3-メトキシペンチルアセテート、3-メチル-4-メトキシペンチルアセテート、4-メチル-4-メトキシペンチルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、蟻酸メチル、蟻酸エチル、蟻酸ブチル、蟻酸プロピル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、ピルビン酸ブチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸プロピル、プロピオン酸イソプロピル、2-ヒドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチル、メチル-3-メトキシプロピオネート、エチル-3-メトキシプロピオネート、エチル-3-エトキシプロピオネート、プロピル-3-メトキシプロピオネート等を例として挙げることができる。さらに、これらの現像液に界面活性剤などを加えることもできる。現像の条件としては、温度5~50°C、時間10~600秒から適宜選択される。そして、このようにして形成されたフォトレジストのパターンを保護膜として本発明の組成物を用いて形成された下層膜のエッチング除去を実施する。次いでパターン化されたフォトレジスト及び下層膜からなる膜を保護膜として、半導体基板の加工を行なう。まず、フォトレジストが除去された部分の下層膜をドライエッチングによって取り除き、半導体基板を露出させる。本発明の組成物を用いて形成された下層膜のドライエッチングには、テトラフルオロメタンCF4、パーフルオロシクロブタンC4F8、パーフルオロプロパンC3F8、トリフルオロメタンCHCF3、ジフルオロメタンCH2F2一酸化炭素、アルゴン、酸素、窒素、六フッ化硫黄、ジフルオロメタン、三フッ化窒素及び三フッ化塩素、塩素、トリクロロボラン及びジクロロボラン等のガスを使用することができる。なかでも、ハロゲン系ガスによるドライエッチングでは、基本的に有機物質からなるフォトレジストは除去されにくく、また、シリコン原子を多く含む下層膜はハロゲン系ガスによって速やかに除去されることから、本発明の組成物を用いて形成された下層膜のドライエッチングにおいては、ハロゲン系ガスを使用することが好ましい。これにより、下層膜のドライエッチングに伴うフォトレジストの膜厚の減少を抑えることができ、その結果、フォトレジストを薄膜で使用することが可能となる。本発明の組成物を用いて形成された下層膜のドライエッチングには、特にフッ素系ガスを用いることが好ましく、例えば前述の、テトラフルオロメタンCF4、パーフルオロシクロブタンC4F8、パーフルオロプロパンC3F8、トリフルオロメタンCHCF3、及びジフルオロメタンCH2F2等が挙げられる。その後、パターン化されたフォトレジスト及び本発明の組成物を用いて形成された下層膜からなる膜を保護膜として、半導体基板の加工を行う。半導体基板の加工はフッ素系ガスによるドライエッチングによって行なわれることが好ましい。フッ素系ガスとしては、例えば、テトラフルオロメタンCF4、パーフルオロシクロブタンC4F8、パーフルオロプロパンC3F8、トリフルオロメタンCHCF3、及びジフルオロメタンCH2F2等が挙げられる。また本発明では基板上に有機下層膜を成膜した後、この上に本発明のレジストの下層膜を成膜し、更にその上にフォトレジストを被覆することができる。すなわち、本発明の別の半導体装置の製造方法は、半導体基板上に有機下層膜を形成する工程、前記有機下層膜上に本発明のレジストの下層膜形成組成物を塗布し、焼成して、レジストの下層膜を形成する工程、前記下層膜の上にレジスト用組成物を塗布してレジスト層を形成する工程、前記レジスト膜を露光する工程、露光後にレジストを溶剤現像し、レジストパターンを得る工程、レジストパターンによりレジストの下層膜をエッチングする工程、パターン化されたレジストの下層膜により有機下層膜をエッチングする工程、及びパターン化された有機下層膜により半導体基板を加工する工程を含むものである。上記有機下層膜は、下層膜やレジスト膜と同様の手順を用いて成膜可能である。そして有機下層膜のエッチングにあたっては、シリコン原子を多く含む本発明の組成物を用いて形成した下層膜が酸素系ガスによるドライエッチングでは除去されにくい点を考慮し、有機下層膜を酸素系ガスによるドライエッチングによって行なうことが好ましい。最後に、パターン化されたフォトレジスト、下層膜及び有機下層膜を保護膜として、半導体基板の加工を行なう。本発明において、基板の上に有機下層膜を形成することにより、フォトレジストのパターン幅を狭くすることができ、パターン倒れを防ぐ為にフォトレジストを薄く被覆した場合でも、適切なエッチングガスを選択することにより基板の加工が可能になる。すなわち、本発明の組成物を用いて形成した下層膜には、フォトレジストに対して十分に早いエッチング速度を有するフッ素系ガスをエッチングガスとして用い、有機下層膜には、本発明の組成物を用いて形成した下層膜に対して十分に早いエッチング速度を有する酸素系ガスをエッチングガスとして用い、更に、基板には、有機下層膜に対して十分に早いエッチング速度となるフッ素系ガスをエッチングガスとして用いることにより、下層膜、有機下層膜そして基板をそれぞれ選択適に加工することが可能である。また、本発明の組成物を用いて形成した下層膜の上層には、フォトレジストの形成前に、有機系の反射防止膜を形成することができる。そこで使用される反射防止膜形成組成物としては特に制限はなく、これまでリソグラフィープロセスにおいて慣用されているものの中から任意に選択して使用することができ、また、慣用されている方法、例えば、スピナー、コーターによる塗布及び焼成によって反射防止膜の形成を行なうことができる。また、本発明の下層膜形成組成物を塗布する基板は、その表面にCVD法などで形成された有機系又は無機系の反射防止膜を有するものであってもよく、その上に本発明の下層膜を形成することもできる。本発明のレジストの下層膜形成組成物より形成されるレジストの下層膜はまた、リソグラフィープロセスにおいて使用される光の波長によっては、その光に対する吸収を有し得る。そのため、そのような場合には、基板からの反射光を防止する効果を有する反射防止膜として機能することができる。さらに、本発明の下層膜は、基板とフォトレジストとの相互作用の防止するための層、フォトレジストに用いられる材料又はフォトレジストへの露光時に生成する物質の基板への悪作用を防ぐ機能とを有する層、加熱焼成時に基板から生成する物質の上層フォトレジストへの拡散を防ぐ機能を有する層、及び半導体基板誘電体層によるフォトレジスト層のポイズニング効果を減少させるためのバリア層等として使用することも可能である。また、本発明のレジストの下層膜形成組成物より形成されるレジストの下層膜は、デュアルダマシンプロセスで用いられるビアホールが形成された基板に適用され、ホールを隙間なく充填することができる埋め込み材として使用できる。また、凹凸のある半導体基板の表面を平坦化するための平坦化材として使用することもできる。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、これによって本発明が限定されるものではない。原料合成例1:加水分解性オルガノシランの合成12-メチル-4,9,6-トリオキサ-1-デケン8.01g50mol、ヘキサクロロ白金IV酸水和物0.026g0.05mol、テトラヒドロフラン100gを200mlのフラスコに入れ、窒素気流下で混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここにトリメトキシシラン7.94g65molを滴下した。添加後常温下で24時間反応後、反応混合物を蒸留し3-2-メトキシエトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリメトキシシラン8.47g式A-29で表される化合物に相当するを得た。原料合成例2:加水分解性オルガノシランの合成22-メチル-4,6-ジオキサ-1-ヘプテン5.81g50mol、ヘキサクロロ白金IV酸水和物0.026g0.05mol、テトラヒドロフラン100gを200mlのフラスコに入れ、窒素気流下で混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここにトリエトキシシラン10.68g65molを滴下した。添加後常温下で24時間反応後、反応混合物を蒸留し3-メトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリエトキシシラン5.60g式A-23で表される化合物に相当するを得た。合成例1テトラエトキシシラン14.58gシラン化合物全体で70mol、以下同様、メチルトリエトキシシラン3.57g20mol、フェニルトリメトキシシラン0.99g5mol、原料合成例1で得た3-2-メトキシエトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリメトキシシラン1.41g5mol、アセトン30.83gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mol/lの塩酸6.76gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート42gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーA式C-1に示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,600であった。合成例2テトラエトキシシラン14.58g70mol、メチルトリエトキシシラン2.60g15mol、フェニルトリメトキシシラン0.99g5mol、原料合成例1で得た3-2-メトキシエトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリメトキシシラン1.41g5mol、アセトン30.83gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mol/lの塩酸6.85gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート42gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここに、プロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーB式C-1に示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,360であった。合成例3テトラエトキシシラン14.58g70mol、メチルトリエトキシシラン3.57g20mol、フェニルトリメトキシシラン0.99g5mol、原料合成例2で得た3-メトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリエトキシシラン1.40g5mol、アセトン30.81gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mol/lの塩酸6.76gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート42gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーC式C-2に示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,400であった。合成例4テトラエトキシシラン14.58g70mol、メチルトリエトキシシラン3.57g20mol、4-メトキシメトキシ-トリメトキシシリルベンゼン1.29g5mol、原料合成例1で得た3-2-メトキシエトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリメトキシシラン1.41g5mol、アセトン30.83gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mol/lの塩酸6.76gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート42gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーD式C-3に示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,600であった。合成例5テトラエトキシシラン14.58g70mol、メチルトリエトキシシラン3.21g18mol、フェニルトリメトキシシラン0.99g5mol、原料合成例1で得た3-2-メトキシエトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリメトキシシラン1.41g5mol、3-トリエトキシシリルプロピル-無水コハク酸1.52g2molアセトン30.29gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mol/lの塩酸6.65gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート40gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーE式C-4示す単位構造を含むポリマーに相当するに相当のGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,800であった。合成例6テトラエトキシシラン14.58g70mol、フェニルトリメトキシシラン0.99g5mol、原料合成例1で得た3-2-メトキシエトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリメトキシシラン7.06g25mol、アセトン30.83gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mollの塩酸6.76gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート42gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーF式C-5に示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,510であった。合成例7テトラエトキシシラン14.58g70mol、メチルトリエトキシシラン2.76g15mol、フェニルトリメトキシシラン0.99g5mol、原料合成例1で得た3-2-メトキシエトキシメトキシ-2-メチルプロピルトリメトキシシラン1.41g5mol、3-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン1.18g5mol、アセトン30.48gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.07mol/lの硝酸6.69gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート42gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーG式C-6示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,490であった。比較合成例1テトラエトキシシラン14.58g70mol、メチルトリエトキシシラン4.46g25mol、フェニルトリメトキシシラン0.99g5mol、アセトン30.05gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mol/lの塩酸6.67gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート40gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーa下記式F-1に示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,500であった。比較合成例2テトラエトキシシラン14.58g70mol、メチルトリエトキシシラン4.46g25mol、4-メトキシメトキシ-トリメトキシシリルベンゼン1.29g5mol、アセトン30.83gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mol/lの塩酸6.67gを滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート42gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーb下記式F-2に示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,550であった。比較合成例3テトラエトキシシラン14.58g70mol、メチルトリエトキシシラン3.57g20mol、フェニルトリメトキシシラン0.99g5mol、4-トリエトキシシリルブタン-1-オール2.36g10mol、アセトン30.92gを200mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら、ここに0.01mol/lの塩酸6.85gを混合溶液に滴下した。添加後、85°Cに調整されたオイルバスにフラスコを移し、加温還流下で240分反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート42gを加え、反応副生物であるメタノール、エタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物ポリマープロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。ここにプロピレングリコールモノエチルエーテルを加え、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル20/80の溶媒比率として、140°Cにおける固形残物換算で15質量パーセントとなるように調整した。得られたポリマーc式F-3に示す単位構造を含むポリマーに相当するのGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1,750であった。レジストの下層膜の調整上記合成例1~7及び比較合成例1~3で得られたケイ素含有ポリマーポリマーA~ポリマーG、ポリマーa~ポリマーc、並びに酸、硬化触媒、添加剤、溶媒、水を下記表1に示す割合で混合し、0.1μmのフッ素樹脂製のフィルタで濾過することによって、実施例1~実施例11及び比較例1~比較例3のレジストの下層膜形成用組成物の溶液をそれぞれ調製した。実施例及び比較例のレジストの下層膜形成用組成物において使用した酸、硬化触媒、添加剤、溶媒、水表1参照は以下のとおりである。酸:マレイン酸A硬化触媒:塩化トリエチルベンジルアンモニウムA、N-3-トリエトキシシリルプロピル-4,5-ジヒドロイミダゾールB、マレイン酸モノトリフェニルスルホニウムC添加剤:ビスフェノールSA、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネートB水:超純水A溶剤:プロピレングリコールモノエチルエーテルA、プロピレングリコールモノメチルエーテルB、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートCまた表1中のカッコ内の数字は各添加量質量部である。耐溶剤性試験実施例1~実施例11、比較例1~比較例3のレジストの下層膜形成組成物を、スピンコート法にてシリコンウェハー上にそれぞれ塗布し、240°Cのホットプレート上で1分間焼成させ、レジストの下層膜を形成した。その後、上塗りレジスト組成物の溶剤に用いられるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMEAに1分間浸漬し、浸漬の前後でのレジストの下層膜の膜厚の変化が1nm以下である場合は良好○と判断し、膜厚変化がそれ以上である場合は不良×と判断した。得られた結果を表2に示す。光学定数測定実施例1~実施例11、比較例1~比較例3のレジストの下層膜形成組成物を、スピナーを用い、シリコンウェハー上にそれぞれ塗布した。ホットプレート上で240°C1分間加熱し、レジストの下層膜膜厚0.05μmを形成した。そして、これらのレジストの下層膜を分光エリプソメーターJ.A.Woollam社製、VUV-VASEVU-302を用い、波長193nmでの屈折率n値及び光学吸光係数k値、減衰係数とも呼ぶを測定した。得られた結果を表2に示す。ドライエッチング速度の測定実施例1~実施例11、比較例1~比較例3のレジストの下層膜形成組成物の溶液をスピナーを用い、シリコンウェハー上に塗布した。ホットプレート上で240°C1分間加熱し、レジストの下層膜膜厚0.08μmCF4ガスでのエッチング速度測定用、0.05μmO2ガスでのエッチング速度測定用をそれぞれ形成した。また、酸素系ガス耐性を評価する対照試料として、同様の手順にて、有機下層膜形成組成物下記参照をスピナーを用いてシリコンウェハー上に塗膜膜厚0.05μmを形成した。これら下層膜及び塗膜のドライエッチングを行い、フッ素系ガスのエッチングレートエッチング速度:nm/分を測定し、また酸素系ガスO2ガス耐性については、対照試料に対するエッチングレート比、すなわち、[実施例1~11、及び比較例1~3のそれぞれのレジストの下層膜のエッチング速度]/[有機下層膜のエッチング速度]を算出した。得られた結果を表2に示す。なお、ドライエッチング速度の測定に用いたエッチャー及びエッチングガスは以下のものを用いた。ES401日本サイエンティフィック製:CF4RIE-10NRサムコ製:O2有機下層膜形成組成物の調製200mLのフラスコにアセナフチレンを16.5g、4-ヒドロキシスチレンを1.5g、溶媒として1,2-ジクロロエタンを60g添加した。重合開始剤としてトリフルオロホウ素を1g加え、60°Cまで昇温後、24時間反応させた。この溶液にメタノール1L、水500gを加え再沈殿精製を行い、得られた白色個体をろ過後、乾燥し、白色重合体11gを得た。下記の得られたポリマー下記式G-1に示す単位構造を含むポリマーに相当するを13C-NMR、1H-NMR及びGPC測定したところ、アセナフチレン:4-ヒドロキシスチレン=86:14モル比、Mw:6000、Mw/Mn=1.5であった。得られたポリマーをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/シクロヘキサノン/γ-ブチロラクトン=15/80/5質量比に溶解し、有機下層膜形成組成物として用いた。表2に示すように、実施例1~実施例11の組成物より形成されたレジスト下層膜は溶剤に対する耐性に優れるものであった。また、屈折率n値は1.60~1.66、光学吸光係数k値は0.12~0.22の範囲であった。すなわち膜厚0.05μmで十分な反射防止効果を発揮できるだけの最適な屈折率n値と光学吸光係数k値を有していることが示された。さらにドライエッチング速度に関して、実施例1~実施例11の組成物より形成されたレジスト下層膜のフッ素系ガスのエッチング速度は最大で26.4nm/分実施例10、酸素系ガスの耐性についても最大で0.09実施例10といずれも高い値を示し、比較例の組成物より形成されたレジスト下層膜のエッチング速度及び耐性に比べ同等以上の結果を示した。レジストパターニング評価1上述の有機下層膜形成組成物上記式G-1に示す単位構造を含むポリマー含有組成物をシリコンウエハー上に塗布し、ホットプレート上で215°Cで1分間加熱し、膜厚200nmの有機下層膜A層を形成した。その上に、実施例1~実施例11、比較例1~比較例3のレジストの下層膜形成組成物を塗布し、ホットプレート上で215°Cで1分間加熱し、レジストの下層膜B層を形成した。なお、実施例1~実施例6、実施例8~実施例11、比較例1~比較例3の組成物より形成したレジストの下層膜B層の膜厚は45nm、実施例7の組成物より形成したレジストの下層膜B層の膜厚は50nmであった。さらにその上に市販のフォトレジスト溶液JSR株製、商品名AR2772JNをスピナーによりそれぞれ塗布し、ホットプレート上で100°Cにて1分間加熱し、膜厚100nmのフォトレジスト膜C層を形成した。続いて、株ニコン製NSR-S307Eスキャナー波長193nm、NA、σ:0.85、0.93/0.85を用い、現像後にフォトレジストのライン幅及びそのライン間の幅が0.065μm、すなわち0.065μmのラインアンドスペースL/S=1/1のデンスラインが形成されるように設定されたマスクを通して露光を行った。その後、ホットプレート上105°Cで60秒間ベークし、冷却後、2.38質量濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液アルカリ現像液を用いて60秒現像し、レジストの下層膜B層上にポジ型のパターンを形成した。また同様にA層、B層、及びC層を形成し、同条件で露光後、その後、ホットプレート上105°Cで60秒間ベークし、冷却後、酢酸ブチル溶剤現像液を用いて60秒現像し、レジストの下層膜B層上にネガ型のパターンを形成した。得られたフォトレジストパターンについて、大きなパターン剥がれやアンダーカットが発生しないものを良好と評価した。得られた結果を表3に示す。レジストパターニング評価2上述の有機下層膜形成組成物上記式G-1に示す単位構造を含むポリマー含有組成物をシリコンウエハー上に塗布し、ホットプレート上で215°Cで1分間加熱し、膜厚200nmの有機下層膜A層を形成した。その上に、実施例1~実施例11、比較例1~比較例3のレジストの下層膜形成組成物を塗布し、ホットプレート上で215°Cで1分間加熱し、レジストの下層膜B層を形成した。なお実施例1~実施例6、実施例8~実施例11、比較例1~比較例3の組成物より形成したレジストの下層膜B層の膜厚は45nm、実施例7の組成物より形成したレジストの下層膜B層の膜厚は50nmであった。その上に市販のフォトレジスト溶液富士フイルム株製、商品名FAiRS-9521NT05をスピナーによりそれぞれ塗布し、ホットプレート上で100°Cにて1分間加熱し、膜厚100nmのフォトレジスト膜C層を形成した。続いて、株ニコン製NSR-S307Eスキャナー波長193nm、NA、σ:0.85、0.93/0.85を用い、現像後にフォトレジストのライン幅及びそのライン間の幅が0.065μm、すなわち0.065μmのラインアンドスペースL/S=1/1のデンスラインが形成されるように設定されたマスクを通して露光を行った。その後、ホットプレート上105°Cで60秒間ベークし、冷却後、2.38質量濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液アルカリ現像液を用いて60秒現像し、レジストの下層膜B層上にポジ型のパターンを形成した。また同様にA層、B層、及びC層を形成し、同条件で露光後、その後、ホットプレート上105°Cで60秒間ベークし、冷却後、酢酸ブチル溶剤現像液を用いて60秒現像し、レジストの下層膜B層上にネガ型のパターンを形成した。得られたフォトレジストパターンについて、大きなパターン剥がれやアンダーカットが発生しないものを良好と評価した。得られた結果を表4に示す。表3及び表4に示すように、本発明の組成物を用いて形成した下層膜上に形成したレジスト膜は、溶剤現像によって良好なレジスト形状が得られた。"