"フィルムの片面の中心線平均粗さが10~30nmであり、内部ヘイズが0.2以下であり、フィルム幅方向に対する角度が45°以内、長さが0.3μm以上および深さが0.5μm以上のキズが、フィルムの1m2当たりに両面合わせて10個以下である、ポリエステルフィルム。請求項1のポリエステルフィルムの少なくとも片面に樹脂層が積層された、積層ポリエステルフィルム。基材ポリエステルフィルムと基材ポリエステルフィルムの少なくとも片面に積層された樹脂層とを含む積層ポリエステルフィルムであって、少なくとも一方の樹脂層表面の中心線平均粗さが30nm以下であり、積層ポリエステルフィルムの内部ヘイズが0.2以下であり、フィルム幅方向に対する角度が45°以内、長さが0.3μm以上および深さが0.5μm以上のキズが、基材ポリエステルフィルムの1m2当たりに両面合わせて10個以下である、積層ポリエステルフィルム。請求項1のポリエステルフィルムの製造方法であって、未延伸ポリエステルフィルムをフィルム長手方向に延伸する工程と、フィルム長手方向に延伸されたポリエステルフィルムをフィルム幅方向に延伸する工程とを有し、該フィルム長手方向の延伸工程中にフィルムの延伸とフィルムの冷却とをこの順に行い、該フィルム長手方向の延伸工程が完了した時点でのポリエステルフィルムの片面の中心線平均粗さが50nm以上になるように、該フィルム長手方向の延伸工程におけるフィルムの延伸前、またはフィルムの延伸後かつ冷却前にフィルムの該片面に表面処理を施す、ポリエステルフィルムの製造方法。請求項2または3の積層ポリエステルフィルムの製造方法であって、未延伸ポリエステルフィルムをフィルム長手方向に延伸する工程と、フィルム長手方向に延伸されたポリエステルフィルムをフィルム幅方向に延伸する工程と、該フィルム長手方向の延伸工程と該フィルム幅方向の延伸工程との間、または該フィルム幅方向の延伸工程の後にポリエステルフィルムの少なくとも片面に樹脂を塗布する工程とを有し、該フィルム長手方向の延伸工程中にフィルムの延伸とフィルムの冷却とをこの順に行い、該フィルム長手方向の延伸工程が完了した時点でのポリエステルフィルムの片面の中心線平均粗さが50nm以上になるように、該フィルム長手方向の延伸工程におけるフィルムの延伸前、またはフィルムの延伸後かつ冷却前にフィルムの該片面に表面処理を施す、積層ポリエステルフィルムの製造方法。前記表面処理が、前記フィルム長手方向の延伸工程におけるフィルムの延伸前に、表面の中心線平均粗さが400~900nmであるロールをフィルムの前記片面に押しあて、フィルムの該片面に突起を形成することである、請求項4のポリエステルフィルムの製造方法または請求項5の積層ポリエステルフィルムの製造方法。前記表面処理が、前記フィルム長手方向の延伸工程におけるフィルムの延伸後かつ冷却前に、表面の中心線平均粗さが150~500nmであるロールをフィルムの前記片面に押しあて、フィルムの該片面に突起を形成することである、請求項4のポリエステルフィルムの製造方法または請求項5の積層ポリエステルフィルムの製造方法。しかしながら、これら従来の方法では、逐次二軸延伸フィルムの製膜工程において、特に縦延伸工程において発生するキズに対しては有効な手段ではなかった。本発明の目的は、特に透明性が必要な光学用フィルムにおいて、粒子添加を行わずにフィルム表面を形成することで、キズの少ない低ヘイズでかつハンドリング性の良好なフィルムを提供するものである。上記課題を解決する本発明のポリエステルフィルムは、次のような構成を有する。すなわち、フィルムの片面の中心線平均粗さが10~30nmであり、内部ヘイズが0.2以下であり、フィルム幅方向に対する角度が45°以内、長さが0.3μm以上および深さが0.5μm以上のキズが、フィルムの1m2当たりに両面合わせて10個以下である、ポリエステルフィルムである。また、本発明の積層ポリエステルフィルムは、本発明のポリエステルフィルムの少なくとも片面に樹脂層が積層されている。あるいは、本発明の積層ポリエステルフィルムは、基材ポリエステルフィルムと基材ポリエステルフィルムの少なくとも片面に積層された樹脂層とを含む積層ポリエステルフィルムであって、少なくとも一方の樹脂層表面の中心線平均粗さが30nm以下であり、積層ポリエステルフィルムの内部ヘイズが0.2以下であり、フィルム幅方向に対する角度が45°以内、長さが0.3μm以上および深さが0.5μm以上のキズが、基材ポリエステルフィルムの1m2当たりに両面合わせて10個以下である。本発明によれば、透明性が必要な光学用フィルムにおいて、粒子添加を行わずにフィルム表面の粗さを特定の範囲とすることで、低ヘイズであり、フィルム表面のキズも少なく、かつ製膜工程及び加工工程での搬送性が良好なポリエステルフィルムおよび積層ポリエステルフィルムが提供される。以下、本発明のポリエステルフィルムについて、さらに詳細に説明する。本発明のポリエステルフィルムは、ポリエステル樹脂からなる。ここでいうポリエステルとは、二塩基酸とグリコールを構成成分とするポリエステルであり、二塩基酸としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、アジピン酸、コハク酸、セバシン酸およびダイマー酸などを挙げることができる。また、グリコール成分としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、ジエチレグリコール、ナフタレンジオールおよびシクロヘキサンジメタノールなどを挙げることができる。ポリエステル樹脂の具体的な例としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン-2,6-ナフタレートおよびポリ-1,4-シクロヘキサンジメチレンテレフタレートなどを挙げることができ、特にポリエチレンテレフタレートとポリエチレン-2,6-ナフタレートは、機械強度や寸法安定性などの物理的性質に優れ、かつ生産性にも優れているため、特に好ましく用いられる。また、本発明で用いられるポリエステルは、先に挙げたもののうち1種類単独でも、2種以上の共重合体や、2種以上の混合体であってもかまわない。また、これらポリエステルの中に、目的に応じて各種添加剤を添加することができる。例えば、帯電防止剤や酸化防止剤などが添加されていてもかまわないが、フィルムが、透明性を要求される光学用途に用いられるため、これらの添加物をほとんど添加しないか、もしくは添加するとしても粒径の小さいものを極少量添加することが好ましい。ただし、易滑性付与のためにコロイダルシリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、有機シリコーンおよびポリジビニルベンゼンスルホン酸などの不活性粒子を添加することは、透明性が低下するため好ましくない。本発明のポリエステルフィルムは、長手方向と幅方向の二軸に延伸配向されていると、機械強度などの物理的性質が良好となり、加工工程での工程適正や最終製品とした場合の品位が優れたものとなる。また、二軸延伸後に熱処理することにより、後加工工程での加熱時に収縮しにくくなり、寸法安定性が向上する。二軸延伸の方法としては、未延伸の熱可塑性樹脂フィルムをフィルム長手方向あるいはフィルム幅方向に延伸し、続いて先の延伸方向と直行する方向の延伸を行う逐次二軸延伸や、フィルム長手方向とフィルム幅方向に一度に延伸する同時二軸延伸があるが、フィルムの生産性から逐次二軸延伸の方が好ましい。特に本発明においては、フィルム長手方向に延伸し、次いでフィルム幅方向に延伸する逐次二軸延伸が好ましい。逐次二軸延伸の場合は、押出機を用いて熱可塑性樹脂を溶融し、スリット状の吐出口を有する口金からシート状に押出し、冷却ロール状で冷却して非晶質のフィルムを得る。続いて、この非晶質のフィルムを熱可塑性樹脂のガラス転移温度以上の温度に加熱し、フィルム長手方向に延伸する。このときの延伸倍率は、熱可塑性樹脂がポリエチレンテレフタレートの場合、2~8倍程度である。この場合、延伸は1段階で行っても2段階以上で段階的に行ってもかまわない。本発明のポリエステルフィルムは、このフィルム長手方向に延伸する工程の前または延伸後の冷却工程の前で、表面処理されることが好ましい。フィルム長手方向に延伸を行う工程では、フィルムの予熱、延伸および冷却をこの順に行う。予熱ゾーンでは、シート状に押出された非晶質のフィルムを温度制御された数本のロールに接触通過させる方法や、赤外線ヒーターなどのヒーターの輻射熱による加熱などの方法により、熱可塑性樹脂のガラス転移温度以上の温度に加熱を行う。延伸ゾーンでは、前後するロールの周速差などを用いて非晶質のフィルムを所望の特性を持つフィルムとなるように長手方向に延伸を行う。冷却ゾーンでは加熱したフィルムを冷却する。冷却ゾーンにおいては、温度制御された数本のロールに接触通過させて冷却する場合、加熱されたフィルムを冷却することから、フィルムが収縮することにより、搬送中のロール表面との擦過キズが発生し易くなる。フィルムの収縮は、フィルム長手方向は搬送するために保持されていることから収縮が起こりにくいが、フィルム幅方向は機械的に把持されていないことから、収縮が起こり易く、キズが発生し易くなる。キズのフィルム幅方向に対する角度は、フィルムの幅方向に収縮する速度とフィルムの搬送速度の関係によるが、一般的にフィルム幅方向に収縮する速度の方が搬送する速度よりも早いため、フィルムの幅方向に対する角度が45°以内になるキズが発生し易い。この冷却ゾーンでは、所望の温度に冷却するまでに通過するロールの本数が多いため、ロールとの接触が多くなることから、キズが発生し易くなる。フィルムの表面が平滑であると、これらのキズがさらに発生し易いことから、冷却ゾーンに入る前にフィルム表面に表面処理を施し、フィルム表面を滑り易くすることが好ましい。また、延伸ゾーンにおいては、フィルムを所望の物性が発現するようにフィルム長手方向に延伸を行うが、フィルム長手方向の延伸倍率が大きいほど、フィルム幅方向のフィルムの収縮量が多くなる。ロール上でフィルム幅方向のフィルム収縮が起きるとフィルム長手方向にフィルムが搬送されているため、結果としてフィルム幅方向に対して角度を持ったキズが発生する。フィルム幅方向に対する角度は、フィルムの幅方向に収縮する速度とフィルムの搬送速度の関係によるが、一般的にフィルム幅方向に収縮する速度の方が搬送する速度よりも早いため、フィルムの幅方向に対する角度が45°以内になるキズが発生し易い。これらのキズを防ぐためには、延伸ゾーンに入る前にフィルム表面に表面処理を施し、フィルム表面を滑り易くすることが好ましい。また、延伸ゾーンに入る前にフィルム表面を滑り易くしていれば、後に続く冷却ゾーンにおいてもフィルム表面が滑り易くなっているので、キズの発生を抑制できる。また、予熱ゾーンでも、温度制御された数本のロールに接触通過させて加熱する場合、フィルムが加熱されることにより、ロール表面上でもフィルムが膨張するため、ロールの表面との速度差が発生し、擦過キズが発生したり、フィルムが蛇行することにより、キズが発生しやすくなることがある。また、加熱し過ぎるとロールの材質やフィルムの表面粗さによって、フィルムがロールに粘着し、粘着キズが発生し易くなる。これらのキズを防ぐために、予熱ゾーンに入る前にフィルム表面に表面処理を施し、フィルム表面を滑り易くしてもよい。同時二軸延伸の場合は、オーブン内で縦と横に延伸されるため、延伸工程における擦過キズの発生は無いが、オーブン通過後の搬送工程において、ロールとの接触があるため、この予熱処理前にフィルム表面に表面処理を施し、フィルム表面を滑り易くしてもよい。フィルム表面への表面処理は、フィルムの両面に施してもよいが、フィルムの片面に施すだけでも十分効果がある。フィルムの両面が滑りにくいと、フィルム幅方向への収縮力がフィルムとロールの密着力より大きくなった時に、フィルムが滑りにくい状態のまま、フィルム幅方向への収縮が起こるために、キズが発生してしまう。それに対して、フィルムの片面に表面処理を施し、その面が滑り易くなっていると、この滑り易い面がロールと接触しているときにフィルムの幅方向への収縮が起こるので、フィルム表面にキズが発生しにくくなる。そして、フィルムの滑り易い面とロールとが接触しているときにフィルムの幅方向の収縮が起こることにより、フィルムの収縮力が緩和されるため、フィルムの滑りにくい面とロールとが接触しているときには、フィルムの幅方向への収縮が抑えられ、この面でのキズの発生が抑制される。フィルム表面を表面処理する方法としては、フィルム表面に微粒子を噴射して表面処理を行うウェットブラスト法やサンドブラスト法、微粒子を添加した水または液体をフィルム表面に噴射して表面処理を行う液体ホーニング法、アルカリまたは酸などの薬液を用いて表面処理を行う化学的方法、エンボス加工等がなされたロール以下、突起付与処理ロールとすると平坦なロール以下、バックアップロールとするとの間にフィルムを通過させる方法等がある。これらの中でも、生産性の観点から突起付与処理ロールとバックアップロールとの間にフィルムを通過させる方法が好ましい。突起付与処理ロールに用いられるロール材質は、アクリルゴム、ニトリルゴムアクリルニトリルとブタジエンの共重合体、クロロプレンゴムポリクロルプレン、イソプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、シリコーンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴムなどから選択された少なくとも1つのゴムであることが好ましい。より好ましくはシリコーンゴムを用いることである。シリコーンゴムは、耐熱性、適度なグリップ力を得ることができる点、表面処理を効果的に施すことができる点で好ましい。冷却ゾーンに入る前、つまり、延伸ゾーンと冷却ゾーンとの間に表面処理を行う場合は、フィルムが十分に加熱されてTgガラス転移温度を越えており、ロール表面の形状が転写しやすいことから、突起付与処理ロールの表面の中心線平均粗さは150~500nmが好ましく、200~450nmがさらに好ましく、250~400nmが特に好ましい。ロール表面の硬度は50~70°が好ましく、55~65°がさらに好ましい。50~70°の範囲内であると、ロール表面の形状が転写されやすくなる。延伸ゾーンに入る前に表面処理を行う場合は、フィルムが加熱されているか、加熱している最中のため、転写されにくいことから、突起付与処理ロールの表面の中心線平均粗さは400~900nmが好ましく、450~850nmがさらに好ましく、500~800nmが特に好ましい。ロール表面の硬度は、70~80°が好ましく、75~85°がさらに好ましい。バックアップロールの材質は、硬質クロムメッキ、セラミック、ポリテトラフルオロエチレンゴム、シリコンゴムなどを表面に被覆したロールなどが挙げられる。これらの中でも硬質クロムメッキやセラミックなどは熱伝導性がよく、加熱や冷却効率が良好であり、硬質であるため寿命が長く、また表面粗度が小さいため、ロールとの摩擦により発生するフィルム表面の掻傷や引っ掻きなどを抑えることができるため好ましい。バックアップロールの表面粗さは、フィルムへ突起付与を行う際に表面粗さが粗いとフィルムに擦過起因のキズが増えてしまうことから、表面の中心線平均粗さは5.0μm以下が好ましく、1.0μm以下がさらに好ましく、0.3μm以下が特に好ましい。また、突起付与処理ロールとバックアップロールを圧着し、これらロール間にフィルムを通過させて表面処理を行うが、その時のフィルムの表面温度は50~130°Cが好ましく、55~125°Cがさらに好ましく、60~120°Cが特に好ましい。55°C未満であると、フィルムの温度が低すぎて転写しにくくなり表面処理が行えない場合がある。125°Cより高いと、フィルムがロールに粘着し、粘着キズが発生し易くなる場合がある。また、突起付与処理ロールとバックアップロールを圧着する時の圧力は、1~30kN/mが好ましく、3~25kN/mがさらに好ましい。圧力が30kN/mを越えるとフィルム表面にキズが発生し易くなる場合がある。圧力が1kN/mであると転写が起こりにくくなる場合がある。フィルム長手方向の延伸工程におけるフィルム表面のキズの発生を抑えるためには、上記の表面処理を施し、フィルム長手方向の延伸工程が完了した時点でのフィルムの片面の中心線平均粗さを50nm以上にすることが好ましい。中心線平均粗さが50nm以上であると、フィルム長手方向の延伸工程中でのフィルム表面のキズ発生が抑えられるだけでなく、その後の製膜工程や、製膜工程が終わってからの加工工程においても、フィルムの搬送性がよく、フィルム表面にキズが発生するのを抑えられるので好ましい。フィルムの片面の中心線平均粗さの上限については特に限定するものではないが、表面粗さが大きすぎるとフィルムの全ヘイズが大きくなるので、500nm以下が好ましい。中心線平均粗さは75~300nmの範囲がさらに好ましい。フィルム長手方向の延伸工程が完了したフィルムは、引き続きオーブンによりフィルム幅方向に延伸される。フィルムはオーブン内のレール上を走行するクリップに把持された状態で、オーブン中で再びポリエステルフィルムのガラス転移温度以上に加熱されて、クリップが走行するレールの広がりに伴い、フィルム幅方向に延伸される。フィルム幅方向の延伸倍率は、ポリエステルフィルムの場合、2~5倍程度延伸される。フィルム長手方向とフィルム幅方向に延伸されたポリエステルフィルムは、引き続き熱処理される。熱処理は、フィルム幅方向の延伸に引き続き同じオーブン内で行っても良いし、フィルム幅方向の延伸を行ったオーブンとは別のオーブンで行ってもよい。熱処理の温度は、ポリエステルフィルムの場合、180°C~250°C程度の比較的高温で行うことができる。熱処理を行うことにより、その後の加工工程や最終製品として使用時に高温下に晒されたときの寸法安定性が向上する。また、熱処理後に、フィルム長手方向または/およびフィルム幅方向に、フィルムを数弛緩させることにより、さらに寸法安定性を向上させることができる。二軸方向に延伸されたフィルムは、一旦広幅の巻き取り機で中間製品として巻き取られた後、スリッターにより、必要な幅と長さに裁断される。本発明においては、二軸方向に延伸して最終的に得られるポリエステルフィルムの片面の中心線平均粗さを10nm以上にする。最終的な片面の中心線平均粗さが10nm以上のフィルムは、製膜工程中や製膜工程後の加工工程において、フィルム表面のキズ発生が少なく、さらにフィルム巻き取り時に皺の発生も少ないフィルムとなる。最終的な片面の中心線平均粗さが10nm以上のフィルムを得るには、前述のようなフィルム長手方向の延伸工程が完了した時点でのフィルムの片面の中心線平均粗さを50nm以上にすることが好ましい。また、表面粗さが粗すぎると全光線透過率が低下し、光学用フィルムとして好ましくないので、本発明においては、二軸方向に延伸して最終的に得られるポリエステルフィルムの片面の平均表面粗さを30nm以下にする。このようにして得られた本発明のポリエステルフィルムは、フィルム表面のキズが非常に少なく、フィルム1m2当たりに存在するフィルム幅方向に対する角度が45°以内、長さが0.3μm以上および深さが0.5μm以上のキズが、フィルム両面合わせて10個以下である。長さが0.3μm以上および深さが0.5μm以上のキズは、透明性が必要な光学用フィルムとして用いた場合、加工工程後に欠点として検出され、製品としての歩留まりを悪化させる原因となる。キズの個数はフィルム両面合わせて20個/m2以下が好ましく、15個/m2以下がさらに好ましく、10個/m2以下が特に好ましい。なお、後述するように、本発明のポリエステルフィルムの片面または両面に樹脂層を形成した場合には、このキズの個数は、基材であるポリエステルフィルムの1m2当たりの両表面に存在するキズの個数である。本発明のポリエステルフィルムは、透明性が必要な光学用フィルムにおいて好適に使用するために、内部ヘイズが0.2以下であることが必要である。内部ヘイズが0.2より高いと透明性が悪くなってしまう。前述したように、片面の平均表面粗さが30nm以下のポリエステルフィルムであれば、内部ヘイズを0.2以下にすることができる。本発明のポリエステルフィルムの厚みは、10μm以上500μm以下が好ましく、25μm以上400μm以下がさらに好ましい。フィルム厚みが10μm未満であると、フィルムの巻き取り直後にキズが発生することがある。フィルム厚みが500μmを越えると、フィルムの巻き取り直後にフィルムに巻き癖が発生することがある。本発明のポリエステルフィルムには、反射防止層、ハードコート層、光拡散のためのマット層などとの接着性を向上させるため、フィルムの片面または両面に、接着性付与などを目的として各種塗材を塗布して樹脂層を形成してもよい。平均表面粗さが10~30nmであるポリエステルフィルムの面に樹脂層を形成した場合、塗布した塗材によりポリエステルフィルム表面の凹凸が平坦になるので、その樹脂層表面の平均表面粗さは30nm以下となる。塗材としては、ポリエステル、アクリルポリマー、ポリアミドおよびポリウレタンなどの水溶液または水分散液が用いられる。塗材の塗布方法としては、ロールコーター、グラビアコーター、リバースコーター、キスコーター、バーコーター、カーテンコーター、ロッドコーターなどを用いるのが好ましいが、特に限定されない。樹脂層を塗布する工程は、フィルム長手方向の延伸工程とフィルム幅方向の延伸工程との間や、フィルム幅方向の延伸工程の後、あるいはフィルムの製膜工程が終わってからオフラインで行うなど、必要に応じて選ぶことができるが、フィルム製造工程内で行うと工程を簡略化することができる。塗材を塗布する前に、フィルムにコロナ放電処理などの処理を行うことは、フィルム表面の濡れ性を改善させ塗布を安定させるために有効な手段である。乾燥後の樹脂層の厚みは、10~500nmが好ましく、30~200nmがさらに好ましい。厚みが10nm未満になると、塗布斑が発生しやすく密着性が低下することがある。厚みが500nmを超えると、フィルムの巻き取り時にブロッキングを起こすことがある。樹脂層を形成する塗液の固形分量は、塗液全体に対し0.5~20質量が好ましく、1~10質量がさらに好ましく、3~7質量が特に好ましい。[物性の測定方法および効果の評価方法]本発明における物性の測定方法および効果の評価方法は、次のとおりである。1フィルム厚みソニープレシジョンテクノロジー株式会社製のデジタルマイクロメーターμメイトM-30を用いて、任意の10点のフィルム厚みを測定して、その平均値をフィルム厚みとした。2ヘイズA全ヘイズJISK-71362000に基づいてヘイズメーターHGM-2DPスガ試験器株式会社を用い、3回測定し、その平均値を全ヘイズ値とした。B内部ヘイズ石英セルをテトラリンナカライテスク株製スペクトル用で満たし、フィルムを石英セル中のテトラリンに浸け全ヘイズと同様の方法にてヘイズ値を測定し、この値を内部ヘイズとした。3フィルム表面および樹脂層表面の中心線平均粗さ三次元微細表面形状測定器小坂製作所製ET-30HRを用いて測定し、得られたフィルム表面のプロファイル曲線により、JISB0601-1994に準じ、中心線平均粗さを求めた。なお、測定条件は下記の通りである。X方向測定長さ:0.5mm、X方向送り速度:0.1mm/秒Y方向送りピッチ:5μm、Y方向ライン数:40本。カットオフ:0.25mm。触針圧:0.02N。4傷の判定3波長蛍光灯の下でフィルム1m2の範囲を観察し、目視で基材フィルム表面のキズの有無を確認した。裏側のキズはフィルムを透して確認した。目視で確認出来たキズをサンプリングした。サンプリングしたキズをレーザー顕微鏡で観察し、フィルムの幅方向に対して角度が45°以内、長さが0.3μm以上および深さが0.5μm以上であるキズを不合格レベルの傷と判定した。1m2当たりの基材フィルム両表面にある不合格レベルの傷の数を合計してキズの個数とした。5転写温度フィルムへの転写温度はフィルム幅方向中央部の温度をキーエンス社製放射温度計IT2-100にて、フィルム面に垂直な方向より、フィルム面から50cmの距離から測定した。6ロールの表面の中心線平均粗さJISB0601に準拠し、KosakaLab製表面粗さ計サーフコーダSE-400を用いて送り速さ0.1mm/s、測定長5.0mm、カットオフ値0.8mmでロール表面の中心線平均粗さを測定した。以下、実施例に基づき本発明の実施態様を説明するが、本発明はこれらの態様に限られるものではない。実施例1実質的に不活性粒子を含まないポリエチレンテレフタレート極限粘度0.65dl/gチップを、180°Cの温度で5時間、3torrの減圧下で乾燥し、溶融押出機に投入して280°Cの温度で溶融した後、濾過精度8μmのフィルターで濾過後、T字型口金からシート状に押し出した。押し出されたシート状物を、静電印加キャスト法により表面温度20°Cの温度の鏡面キャストドラム上で冷却固化し、実質的に非晶質の未延伸フィルムを得た。この未延伸フィルムを、連続的に配置されたロール群でまず75°Cに予熱を行った後、95°Cのロールで加熱し、ラジエーションヒーターでフィルム面を加熱しつつ、3.5倍の延伸を行った。その後、突起付与処理ロールとして表面粗さRaが250nmのシリコーンゴムを、バックアップロールとして硬質クロムメッキを用いて、転写圧力10kN/mで表面処理を行った。この時のフィルム温度は105°Cであった。その後、冷却ロールにてフィルムを冷却し、一軸延伸フィルムを得た。この一軸延伸フィルムをサンプリングし、突起付与処理ロールで凹凸を形成した面の表面粗さを測定したところ、中心線平均粗さは79nmであった。引き続いて、一軸延伸フィルムの両面に、バーコーターを用いて、下記の組成からなる塗液を二軸延伸後の塗材厚みが30nmとなるように塗工した後、ステンターオーブンにより97°Cの温度で3.5倍幅方向に延伸し、引き続いて同オーブン内で228°Cの温度で20秒熱処理し、厚み188μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを得た。[塗液の処方]下記のポリエステル樹脂エマルジョン100質量部に対し、下記のメラミン系架橋剤液を5質量部と、平均粒径が0.1μmのコロイダルシリカ粒子を1質量部添加したものを塗液とした。ポリエステル樹脂下記組成の酸成分とジオール成分を共重合して得られたポリエステル共重合体のエマルジョン。<酸成分>テレフタル酸50モルイソフタル酸40モルトリメリット酸10モル<ジオール成分>エチレングリコール96モルネオペンチルグリコール3モルジエチレングリコール1モル。メラミン系架橋剤イミノ基型メチル化メラミンを、イソプロピルアルコールと水との混合溶媒10/90質量比で希釈した液。この二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの各特性および評価結果は、表1のとおりであり、キズが少なく、透明性の高い良好なフィルムであった。実施例2フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力を表1のとおり変更し、実施例1で用いたポリエステル樹脂を塗布しなかったこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであり、キズが少なく、透明性の高い良好なフィルムであった。しかし、後加工工程において、ハードコート層を塗布したところ、塗布ムラが起き、ハードコート層との密着性の劣るフィルムであった。実施例3フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。突起付与の転写温度を高くしたことから、面粗さが粗くなり、全ヘイズがやや劣るフィルムであった。実施例4フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写ロールの表面粗さがやや平滑であるため、フィルムの表面粗さが平滑なフィルムであった。実施例5フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写ロールの表面粗さが粗いロールであるため、面粗さが粗くなり、全ヘイズがやや劣るフィルムであった。実施例6フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写圧力を高めにして転写させたため、面粗さが粗くなり、全ヘイズがやや劣るフィルムであった。実施例7実施例1と同様に未延伸フィルムを得た後、連続的に配置されたロール群で75°Cに予熱を行った後、突起付与処理ロールとして、表面粗さRaが550nmのシリコーンゴムを、バックアップロールとして、硬質クロムメッキを用いて、転写圧力10kN/mで表面処理を行った。この時のフィルム温度は、75°Cであった。引き続いて、95°Cのロールで加熱し、ラジエーションヒーターでフィルム面を加熱しつつ、3.5倍の延伸を行った。その後、冷却ロールにてフィルムを冷却し、一軸延伸フィルムを得た。この一軸延伸フィルムをサンプリングし、突起付与処理ロールで凹凸を形成した面の表面粗さを測定したところ、中心線平均粗さは95nmであった。その後、一軸延伸フィルムの両面に、バーコーターを用いて、実施例1と同様の組成からなる塗液を塗工した後、ステンターオーブンにより97°Cの温度で3.5倍幅方向に延伸し、引き続いて同オーブン内で228°Cの温度で20秒熱処理し、厚み125μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの中間製品を得た。この二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであり、キズが少なく、透明性の高い良好なフィルムであった。実施例8フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力を表1のとおり変更し、実施例1で用いたポリエステル樹脂を塗布しなかったこと以外は、実施例7と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであり、キズが少なく、透明性の高い良好なフィルムであった。しかし、後加工工程において、ハードコート層を塗布したところ、塗布ムラが起き、ハードコート層との密着性の劣るフィルムであった。実施例9フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例7と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写ロールの表面粗さが粗いロールであるため、面粗さが粗くなり、全ヘイズがやや劣るフィルムであった。実施例10フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例7と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写圧力が低いため、フィルムの表面粗さが平滑なフィルムであった。実施例11フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例7と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写温度が低いため、フィルムの表面粗さが平滑なフィルムであった。比較例1フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例2と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。転写温度を高くしたことから、転写ロールとの粘着が起こり、キズが多く、品位の劣るフィルムであった。比較例2フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。内部ヘイズの劣るフィルムであった。比較例3フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写ロールの表面粗さが平滑であり、転写温度が低いため、フィルムの表面粗さが平滑でキズの多いフィルムであった。比較例4フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。フィルム厚みが薄いため、キズが発生しやすく、キズの多いフィルムであった。比較例5一次粒子径が0.02μmで平均粒子径が2.6μmのコロイダルシリカを0.2重量と、平均粒子径が0.4μmのコロイダルシリカを0.15重量添加したポリエチレンテレフタレート極限粘度0.65dl/gチップを用い、フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例1と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。ヘイズが高く、透明性の劣るフィルムであった。比較例6フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例7と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写圧力が低く、フィルムの表面粗さが平滑でキズの多いフィルムであった。比較例7フィルムの厚み、転写温度及び転写圧力、突起付与処理ロールの表面粗さを表1の通りに変更したこと以外は、実施例7と同じ方法でポリエチレンテレフタレートのフィルムを得た。フィルムの各特性および評価結果は、表1の通りであった。転写ロールの表面粗さが粗過ぎるロールであるため、キズが発生しやすく、キズの多いフィルムであった。"