"リング状の光出射部と、該光出射部と検査対象物との間に、該光出射部と同心円状で、かつ、該光出射部の内径より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板とを有したリング照明装置と、前記遮光板の開口部の中心線上に配置され、該開口部を介して前記検査対象物の表面を撮像する撮像部と、を備え、前記撮像部が撮像する前記検査対象物表面上の撮像領域には、前記光出射部から照射された光のうち前記遮光板の開口部縁部で回折した光のみが照射され、前記光出射部と前記検査対象物表面との間の距離は、前記対象物表面上の撮像領域内の平均輝度レベルが所定レベル以上で、かつ、該撮像領域内の輝度レベル差が所定範囲内となるように設定されることを特徴とする表面検査装置。前記検査対象物は長手方向に沿って搬送される帯状材料であり、前記帯状材料固有に設定された連続性欠陥の連続発生長の最低長さ以下の一定長さを有する区間が搬送される間に、前記リング照明装置および前記撮像部を、前記帯状材料の全幅を少なくとも一往復させ、かつ、前記一定長さを有する区間が搬送される毎に同じ動作を繰り返すトラバース部を備え、該帯状材料表面に発生する連続性欠陥を検査することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。前記帯状材料の搬送距離を検出する搬送距離検出部と、前記搬送距離検出部で検出した搬送距離情報に基づいた前記トラバース部の往復動作と、前記撮像部が前記帯状材料を実質的に全幅に亘って撮像するように撮像タイミングを制御する撮像タイミング制御部と、を備えたことを特徴とする請求項2に記載の表面検査装置。前記帯状材料の長手方向に沿って互いに平行をなすように互いに隣接し、かつ、前記撮像部の幅方向視野とほぼ同じ長さの幅を持つ、複数の細長いトラック領域を設定した場合に、前記撮像部は、それぞれの前記トラック領域に属する互いに隣接する部分領域または前記長手方向に互いに離間する前記部分領域を撮像することを特徴とする請求項2または3に記載の表面検査装置。前記撮像部で撮像した各画像内における欠陥有害度を数値データとして抽出する画像処理部と、前記画像処理部で抽出された前記各画像の欠陥数値データとその撮像位置に基づいて帯状材料表面の2次元欠陥発生状況を算出する欠陥分布算出部と、を備えることを特徴とする請求項2~4のいずれか一つに記載の表面検査装置。欠陥分布算出部で算出された欠陥分布状況を前記帯状材料表面の2次元展開図上に表示する欠陥マップ表示部をさらに備えることを特徴とする請求項5に記載の表面検査装置。前記欠陥マップ表示部は、前記帯状材料表面を矩形のメッシュに分割し、各メッシュの欠陥有害度を表示色あるいは表示マークを変えて表示することを特徴とする請求項6に記載の表面検査装置。前記検査対象物は、鋼板であり、該鋼板上の撮像領域内の微小点状欠陥を検査することを特徴とする請求項1~7のいずれか一つに記載の表面検査装置。前記帯状材料は酸洗鋼板であり、前記連続性欠陥がスケール残りであることを特徴とする請求項2~7のいずれか一つに記載の表面検査装置。しかしながら、図18に示した光拡散板102を備えた従来のリング照明装置100を用いると、金属のような微細凹凸構造を有する表面では明暗点の輝度パターンが発生してしまい、これが地合ノイズとなって欠陥検出のSN比を低下させる要因となる。その理由は、この反射光の中には、正反射光101aや、前方拡散反射光101b、および後方拡散反射光101cなどが含まれるからである。図19は、鋼板のような粗面103に光201を入射したときの光反射強度分布203を模式的に示した図である。光反射強度は正反射方向202で最大になる。図19からわかるように、正反射光101aや正反射近傍の反射光は、わずかな角度変動によって反射強度が大きく変動するため、検査対象物103が金属のような微細凹凸構造を有する表面では明暗点の輝度パターンが発生してしまい、これが地合ノイズとなって欠陥検出のSN比を低下させる要因となる。したがって、拡散されて照射される光の一部が正反射光成分となってエリアセンサカメラ105に入り、鋼板表面の微細凹凸に起因する地合ノイズ強度が高くなり、この地合ノイズ内に微小点状欠陥が埋もれ、地合ノイズと微小点状欠陥との分離が困難になる。すなわち、上記特許文献1および特許文献2に開示された技術では、ハレーションを抑止する効果はあるものの、検査対象物の表面状態あるいは検査対象物の材質によっては、微小点状欠陥がない場合であっても、地合ノイズによって微小点状欠陥があるという誤検出を発生させてしまう場合があった。本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、微小点状欠陥を精度良く検査できる表面検査装置を提供することを目的とする。上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる表面検査装置は、リング状の光出射部と、該光出射部と検査対象物との間に、該光出射部と同心円状で、かつ、該光出射部の内径より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板とを有したリング照明装置と、前記遮光板の開口部の中心線上に配置され、該開口部を介して前記検査対象物の表面を撮像する撮像部と、を備え、前記撮像部が撮像する前記検査対象物表面上の撮像領域には、前記光出射部から照射された光のうち前記遮光板の開口部縁部で回折した光のみが照射され、前記光出射部と前記検査対象物表面との間の距離は、前記対象物表面上の撮像領域内の平均輝度レベルが所定レベル以上で,かつ、該撮像領域内の輝度レベル差が所定範囲内となるように設定されることを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記の発明において、前記検査対象物は長手方向に沿って搬送される帯状材料であり、前記帯状材料固有に設定された連続性欠陥の連続発生長の最低長さ以下の一定長さを有する区間が搬送される間に、前記リング照明装置および前記撮像部を、前記帯状材料の全幅を少なくとも一往復させ、かつ、前記一定長さを有する区間が搬送される毎に同じ動作を繰り返すトラバース部を備え、前記帯状材料表面に発生する連続性欠陥を検査することを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記の発明において、前記帯状材料の搬送距離を検出する搬送距離検出部と、前記搬送距離検出部で検出した搬送距離情報に基づいた前記トラバース部の往復動作と、前記撮像部が前記帯状材料を実質的に全幅に亘って撮像するように撮像タイミングを制御する撮像タイミング制御部と、を備えたことを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記の発明において、前記帯状材料の長手方向に沿って互いに平行をなすように互いに隣接し、かつ、前記撮像部の幅方向視野とほぼ同じ長さの幅を持つ、複数の細長いトラック領域を設定した場合に、前記撮像部は、それぞれの前記トラック領域に属する互いに隣接する部分領域または前記長手方向に互いに離間する前記部分領域を撮像することを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記の発明において、前記撮像部で撮像した各画像内における欠陥有害度を数値データとして抽出する画像処理部と、前記画像処理部で抽出された前記各画像の欠陥数値データとその撮像位置に基づいて帯状材料表面の2次元欠陥発生状況を算出する欠陥分布算出部と、を備えることを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記の発明において、欠陥分布算出部で算出された欠陥分布状況を前記帯状材料表面の2次元展開図上に表示する欠陥マップ表示部をさらに備えることを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記の発明において、前記欠陥マップ表示部は、前記帯状材料表面を矩形のメッシュに分割し、各メッシュの欠陥有害度を表示色あるいは表示マークを変えて表示することを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記の発明において、前記検査対象物は鋼板であり、鋼板上の撮像領域内の微小点状欠陥を検査することを特徴とする。また、本発明にかかる表面検査装置は、上記の発明において、前記帯状材料は酸洗鋼板であり、前記連続性欠陥がスケール残りであることを特徴とする。本発明によれば、リング状の光出射部と、該光出射部と検出対象物との間に、該光出射部と同心円状で、かつ、該光出射部の内径より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板とを有したリング照明装置と、前記遮光板の開口部の中心線上に配置され、該開口部を介して前記検査対象物の表面を撮像する撮像部と、を備え、前記撮像部が撮像する前記検査対象物表面上の撮像領域には、前記光出射部から照射された光のうち前記遮光板の開口部縁部で回折した光のみが照射され、前記光出射部と前記検査対象物表面との間の距離は、前記検査対象物表面上の撮像領域内の平均輝度レベルが所定レベル以上で、かつ、検査撮像領域内の輝度レベル差が所定範囲内となるように設定されるため、撮像領域内の輝度が平坦化され、かつ、地合ノイズが抑制され、微小点状欠陥を精度よく検査することができる。以下、図面を参照して、本発明の実施の形態である表面検査装置について説明する。実施の形態1この実施の形態1では、回折光の発生メカニズムを用いて検査対象物表面の微小点状欠陥を高精度で検査できるようにしている。図1は、この発明の実施の形態1である表面検査装置1の概要構成を示す断面模式図である。また、図2は、検出対象物である鋼板2の表面上の照明光の分布と撮像部4による撮像領域Aとを説明する説明図である。さらに、図3は、リング照明装置の幾何学的配置を説明する説明図である。図1に示すように、この表面検査装置1は、リング照明装置3と撮像部4と画像処理装置5とを有する。画像処理装置5は撮像部4に接続される。リング照明装置3は、リング状の光出射部3Aと遮光板3Bとを備える。また、撮像部4は、エリアセンサカメラ4Aとレンズ4Bとを備える。なお、遮光板3Bは、光出射部3Aと鋼板2との間に配置される。この光出射部3Aと遮光板3Bとは一体構成されたリング照明装置3としてもよい。さらに、リング照明装置3と撮像部4とは一体構成されてもよい。撮像部4は、その光軸C4が光出射部3Aの開口部の中心軸と一致するように、光出射部3Aの上方に配置されている。また、撮像部4のエリアセンサカメラ4Aは、鋼板2の表面で反射した回折光の反射光をレンズ4Bで結像するように設定されている。遮光板3Bは、光出射部3Aの開口部の内径寸法より小さい径寸法の、円状の光学的な開口部を有する。遮光板3Bの開口部とリング状の光出射部3Aは、同心円状であり、同一の中心軸Cを有する。また、中心軸Cは、撮像部4の光軸C4と一致する。この遮光板3Bの材質としては、光学的に不透明なものであれば種類を問わないが、例えば表面を黒アルマイト処理したアルミ材などを用いることができる。図3に示すように、光出射部3Aから出た照明光は、所定の拡がり角をもって鋼板2表面に向けて照射されるが、その一部が遮光板3Bによって遮られる。遮光板3Bの設置条件としては、光出射部3Aから出た拡がりをもった光が、鋼板2の表面上の撮像領域A内に直接照射されないようにする。そして、遮光板3Bの内側縁部で回折した光が撮像領域Aに照射されるようにする。すなわち、図3において、次式を満たすように配置する。Htanθ-R>rここで、Rは、光出射部3Aの中心軸Cから光出射部3Aの光出射位置までの距離である。また、rは、光出射部3Aの中心軸Cから撮像領域Aの縁部までの距離である。Hは、光出射部3Aの光出射位置から鋼板2の表面までの距離を表す。θは、遮光板3Bによって遮られた直接光の光路方向と中心軸Cとのなす角である。次に、リング照明および遮光板3Bを用いる理由について述べる。照明としてリング状の照明を用いるのは、鋼板2の表面を全方位から対称的に照射することによって、鋼板2表面の微細な凹凸に起因する陰影を相殺するためである。特に酸洗鋼板のような表面性状の悪い検査対象物表面で微小な欠陥を検査する場合、地合ノイズを抑制する効果がある。また、遮光板3Bを設けるのは、図1および図2に示すように、リング照明装置3から出射される直接光の一部に含まれる正反射光成分が,鋼板2表面上の撮像領域A内に入らないようにするためである。すなわち、遮光板3Bに遮られずに鋼板2表面に照射される直接光照射領域B図2のハッチング部には、正反射成分が含まれるが、撮像領域Aを直接光照射領域Bの内側になるように設定することにより、撮像領域A内には遮光板3Bでの回折光のみが照射される。この結果、遮光板3Bを設けたリング照明装置3を用いると、撮像部4は、撮像領域Aを撮像し、撮像部4が受光するのは、遮光板3Bで遮られた部分に生ずる回折光からの反射光だけになって、正反射光が撮像部4に結像されなくなる。したがって、鋼板2のような表面性状の悪い粗面であっても、地合ノイズを抑制して微小点状欠陥を高SN比で検出できるようになる。ここで、図4および図5に示すように、撮像部4の光軸C4を中心とする撮像領域A内の輝度分布は、光出射部3Aから検査対象物2の表面までの距離Hによって変化する。図5aに示すように、距離Hが適正な所定値Dthよりも小さい場合、撮像領域Aの周辺に光出射部3Aからの直接光が映り込み、この周辺部分の輝度が極めて高くなる。一方、光軸C4近傍の輝度は低くなる。この結果、撮像領域A内の輝度差が大きくなって、輝度が不均一となり、精度の高い欠陥検査を行うことができない。一方、図5cに示すように、距離Hが適正な所定値Dthよりも大きい場合、撮像領域A内の輝度は均一となるが、撮像領域A内への回折光の強度が弱くなり、撮像領域A内の平均輝度レベルが低くなる。この結果、特に高光沢の鋼板表面などを検査する場合、極めて高輝度の照明が必要となり、検査装置の導入コストおよびランニングコストがともに高価となる。そこで、図5bに示すように、距離Hを適正な所定値Dthとすることによって、輝度を高く維持しつつ、平坦な輝度分布を得ることができ、精度の高い表面検査を行うことができる。ここで、適正な所定値Dthは、リング照明装置3の寸法や出射指向性、さらには検査対象物表面の光反射特性によって変化するため、検査対象物に応じて予め所定値Dthを決定しておくことが好ましい。また、所定値Dthは、撮像領域A内の平均輝度レベルが所定レベル以上で、かつ、撮像領域A内の輝度レベル差が所定範囲内、たとえば±10以内になるときの値として設定するのが好ましい。なお、画像処理装置5での処理内容は、公知のものを使用することができる。たとえば、シェーディング補正などの前処理後に、2値化あるいは多値化処理により、所定しきい値レベルを超える画素を抽出し、画素連結処理、孤立点除去、ラベリング処理後、画像特徴量を計算して欠陥を抽出判定すればよい。また、ライン搬送される帯状材料の鋼板2を検査対象物とする場合、光出射部3Aの光源としては、帯状の鋼板2をブレなく撮像するため、キセノンストロボ光源などを用いることが好ましい。さらに、光出射部3Aとしては、LEDをドーナッツ状に配置したもの、あるいは、照明光源に連結した光ファイバー束をドーナッツ状に分配して構成したものなどを用いることができる。この実施の形態1では、撮像領域Aに、光出射部3Aから照射された光のうち遮光板3Bの開口部縁部で回折した光のみが照射され、しかも光出射部3Aと検査対象物表面との間の距離Hは、撮像領域A内の平均輝度レベルが所定輝度レベル以上で、かつ、撮像領域A内の輝度レベル差が所定範囲内、たとえば±10以内となるようして輝度分布を平坦化しているので、撮像領域A内で輝度の不均一がなくなり、微小点状欠陥を高精度で検査することができる。実施の形態2この実施の形態では、上述したリング照明装置3および撮像部4を用いて、ライン搬送される帯状の鋼板帯状鋼板2表面上の搬送方向に連絡的に発生する微小欠陥を簡易な構成で検査する表面検査装置について説明する。ところで、搬送ラインで搬送される帯状鋼板2aの表面に発生する連続性欠陥を検査する例としては、例えば、酸洗した鋼板の表面に発生するスケール残り欠陥を検査する工程がある。酸洗を行うラインでは、硫酸などの強酸を入れた液槽中に帯状鋼板2aを通過させて表面のスケールFeO、Fe3O4、Fe2O3などを除去している。このラインでは、鋼板の搬送速度が速過ぎる場合、あるいは、鋼板表面に所謂肌荒れが生じ、この肌荒れ部分にスケールが喰い込んだりする場合に表面にスケールが残ることが稀にある。このようなスケール残り欠陥は、直径0.05~0.3mm程度の微小点状欠陥が密集して形成されるものであり、帯状鋼板2aの搬送中に目視で認識することが困難である。このため、スケール残りの発生を表面検査装置によって自動検査することは、酸洗鋼板の表面品質保証上、極めて重要である。スケール残り欠陥の発生形態の特徴として、同一幅方向位置に、鋼板の搬送方向に沿って所定長さ以上連続的に発生するということがある。またスケール残り欠陥に限らず、帯状材料の表面に発生する連続性欠陥は、その製造ラインに固有な連続発生長の範囲が経験的に分かっていることが多い。本実施の形態2ではこのような連続性欠陥の検査に好適な検査装置に関するものである。従来の酸洗鋼板の製造ラインにおける表面検査装置としては、鋼板の幅方向搬送方向と直交する方向に沿って線状照明が配置され、鋼板に対向する位置に鋼板の幅方向に沿って全幅を隈なく検査できるように、数台から十数台のラインセンサカメラを鋼板の全幅に亘って設置した装置がよく知られている。この表面検査装置では、それぞれのラインセンサカメラで得られたカメラ出力信号を鋼板の搬送方向に連結し、画像処理によって表面欠陥部分を抽出している。しかしながら、高速で搬送される酸洗鋼板表面上に発生する上記のような微小点状欠陥を検査する場合、ラインセンサカメラを用いた表面検査装置では、搬送方向のカメラ分解能が不足して、十分な欠陥検査性能が得られないという問題がある。例えば、直径0.05mmの点状欠陥を検出するには、カメラ分解能を概略0.025mm以下にする必要がある。しかし、通常使用される4096素子を用いたビデオレート40MHzのラインセンサカメラでは、搬送速度2m/秒の酸洗ラインでの搬送方向のカメラ分解能は約0.2mmに過ぎず、必要分解能に約1桁も不足する。一方、搬送方向のカメラ分解能を向上させる手段としては、ストロボ照明などを用いて、高精細のエリアセンサカメラによって鋼板表面を静止画として撮像する装置が考えられる。しかし、このようなストロボ照明を用いた装置を搬送する帯状材料の検査に適用する場合、搬送方向の撮像タイミングをどのように制御するかが問題となる。例えば、特許文献3には、検査対象を一定速度で搬送し、等時間間隔でカメラ撮像を行うことにより、カメラの撮像視野が検査対象表面の搬送方向で一定になるようにした表面検査装置が開示されている。また、特許文献4には、等時間間隔でカメラ撮像を行うとともに、検査対象の搬送距離を常時計測して、各画像の撮像タイミング間に移動した搬送距離を求めると共に、各画像内でこの搬送距離に対応した一部分のみを有効領域とし、この領域のみの画像処理を行うようにした表面検査装置が開示されている。上記の特許文献3に開示された検査装置は、酸洗鋼板製造ラインのように搬送速度が絶えず変動するラインには適用できないものである。また、特許文献4に開示された装置では、各画像内で搬送速度に応じて画像処理する範囲を変化させるため、画像処理が複雑になって処理時間が長くなり、高速搬送ラインでリアルタイムの処理が困難である。また、特許文献3,4に開示された装置を含む従来の検査装置でスケール残り欠陥を検査する場合の課題としては、以下の1および2に説明するようなものがある。1帯状材料の幅方向のカメラ分解能を微細な点状欠陥サイズの半分以下とする必要があるため、幅方向に多数のカメラを設置しなければならず、検査装置が非常に高価となり、またカメラの調整や保守に多大の労力を要する。2微小な点状欠陥が群生して形成されるスケール残り欠陥の場合、個々の点状欠陥の寸法、輝度、形状などの特徴量を逐一計算して処理すると、画像処理に莫大な負荷がかかり、リアルタイムの処理が困難になる。そこで、この実施の形態2では、微小点状欠陥を精度良く検査することができ、微小点状欠陥が群生して形成されるスケール残り欠陥のような検査対象でも、搬送方向に連続的に発生するという特徴を利用して、簡易な構成で、かつリアルタイムで処理可能な表面検査装置を得るようにしている。図6は、この発明の実施の形態2に係る表面検査装置の概略構成を示す模式図である。また、図7は、この表面検査装置の一例を示すブロック図である。この実施の形態2は、酸洗鋼板の製造ラインで搬送される帯状鋼板2aに対する表面検査装置として説明する。[表面検査装置の概略構成]図6に示すように、表面検査装置11は、搬送される帯状鋼板2aの表面を、実施の形態1で説明した、遮光板を装備したリング照明装置3および撮像部4によって撮像する。リング照明装置3および撮像部4は検出ヘッド1aの中に固定して配置されている。また、表面検査装置11は、この検出ヘッド1aを帯状鋼板2aの幅方向に移動させるトラバース部6と、画像処理部7と、搬送距離検出部8と、撮像タイミング制御部9と、欠陥分布算出部10と、欠陥マップ表示部12と、を備える。[検出ヘッド]検出ヘッド1aは、実施の形態1に示したリング照明3と撮像部4を搭載するものである。なお、撮像部4は、高精細なエリアセンサカメラを用いることにより、酸洗鋼板のスケール残り検査のように、高速搬送ラインにおいても微小点状欠陥を検出することが可能となる。撮像部4は、検査対象とする欠陥の最小サイズのおよそ半分以下の分解能を有するものを用いることが好ましい。この撮像部4は、帯状鋼板2aにおける鋼板固有に設定された連続性欠陥の連続発生長の最低長さ以下の一定長さを有する区間が搬送される間に、帯状鋼板2aの全幅を少なくとも一往復すると共に、その間に帯状鋼板2aを実質的に全幅に亘って撮像するように設定されている。[トラバース部]図8に示すように、トラバース部6は、検出ヘッド1aに設けられたリング照明装置3および撮像部4を帯状鋼板2aの幅方向トラバース方向Yに沿って往復移動させる機能を持つ。具体的には、トラバース部6は、帯状鋼板2aを搬送するラインを幅方向Yに跨ぐように架設されたガイドレール61と、このガイドレール61を走行する検出ヘッド1aを帯状鋼板2aの幅方向Yに往復駆動させる油圧シリンダ62と、を備えて構成されている。図6に示すように、トラバース部6では、撮像タイミング制御部9からの制御信号により駆動を行う。そして、図8に示すように、トラバース部6は、撮像部4の光軸破線で示すが帯状鋼板2aを完全に横断するように、帯状鋼板2aの幅寸法wよりも長い検査範囲寸法Wのストロークで検出ヘッド1aを往復駆動するようになっている。なお、この検査範囲寸法Wは、ライン搬送される帯状鋼板2aの蛇行代も含むことが好ましい。このトラバース部6は、帯状鋼板2aに固有に設定された連続性欠陥Dの連続発生長DLの最低長さd図9参照以下の一定長さを有する区間が搬送される間に、検出ヘッド1aを、ストロークW分だけ一往復させ、且つ一定長さを有する区間が搬送される毎に同じ動作を繰り返すように設定されている。[搬送距離検出部]搬送距離検出部8は、帯状鋼板2aの搬送距離を検知するものであり、帯状鋼板2aの搬送距離情報を撮像タイミング制御部9に出力する。搬送距離検出部8としては、公知のロータリーエンコーダなどを用いることができる。[撮像タイミング制御部]図7に示すように、撮像タイミング制御部9は、搬送方向撮像タイミング制御部91と、幅方向タイミング制御部92と、撮像位置記憶部93を備えている。撮像タイミング制御部9全体としては、搬送距離検出部8から帯状鋼板2aの搬送距離情報が搬送方向撮像タイミング制御部91に入力され、またトラバース部6から撮像部4の幅方向位置情報が幅方向撮像タイミング制御部92にそれぞれ入力される。この撮像タイミング制御部9は、これらの入力に同期して、搬送距離およびトラバース幅方向Yの横断距離に同期した撮像トリガ信号を撮像部4に出力する。この詳細については後述する。また撮像位置記憶部93は、各画像の帯状鋼板2a上での撮像位置を記憶し、欠陥分布算出部10に出力する。[画像処理部]図7に示すように、画像処理部7は、撮像部4から画像データが入力される画像入力部71と、画像データ記憶部72と、欠陥抽出部73と、欠陥パラメータ算出部74と、を備えている。具体的には、画像処理部7では、撮像部4から撮像画像データが画像入力部71に入力される。画像入力部71に入力された撮像画像データは、画像データ記憶部72に記憶される。欠陥抽出部73では、画像データ記憶部72に記憶された撮像画像データの画像内から欠陥を抽出し、欠陥パラメータ算出部74で欠陥有害度を反映した欠陥パラメータを算出して、欠陥分布算出部10に出力する。ここで、欠陥の抽出は、周知の方法、すなわち、例えばシェーディング補正などの前処理を行った後、所定のしきい値を超える画素を欠陥部として抽出する方法などを用いることができる。欠陥パラメータの算出は、各画像毎に欠陥の有害度を数値データとして表すためのものである。この数値データとしては、例えば、画像内の平均輝度、しきい値を超えた画素数、あるいはしきい値を超えた画素を画像輝度で重み付けした画素数などの中から、欠陥の有害度と相関の高いものを選択するようにする。なお、リアルタイムで、あるいは事後で画像を確認できるように、画像処理手段7には画像データ記憶部72を設け、撮像した全画像、あるいはその中の欠陥のある画像を記憶できるようにするのが好ましい。この実施の形態2では、個々の欠陥ではなく、各画像に対してその有害度を数値パラメータとして評価するようにしたことにより、特にスケール残りのように微小な点状欠陥が群生して形成される連続性欠陥の有害度の評価には極めて有効である。また、スケール残りのような連続性欠陥に対して、従来装置のように個々の点状欠陥の特徴量を評価しようとすると、画像処理部に膨大な負荷がかかり検査装置を安定して稼動することができなくなる。また、スケール残りでは、微小な点状欠陥の発生密集度が高いほど有害度が増すため、個々の欠陥に対して評価するよりも、画像全体に対して面で評価するようにした方が的確な欠陥有害度の評価が可能になる。[欠陥分布算出部]図6および図7に示すように、欠陥分布算出部10には、採取した各画像に対して、欠陥有害度を表す欠陥パラメータを画像処理部7から、また画像を採取した鋼板2上の搬送方向Xおよび幅方向Y位置を撮像タイミング制御部9からそれぞれ入力される。欠陥分布算出部10は、これらの情報から、帯状鋼板2a表面の2次元欠陥発生状況を算出する。[欠陥マップ表示部]欠陥マップ表示部12は、欠陥分布算出部10で算出された欠陥分布状況を、帯状鋼板2a表面の2次元展開図上に表示する。[撮像部の撮像タイミング]次に、撮像部4の撮像タイミングについて説明する。スケール残りなどの連続性欠陥Dは、1幅方向の発生位置は局所的になる場合や全幅に亘る場合があること、2図9に示すように、搬送方向の発生位置は、帯状鋼板2aの搬送方向に所定長さd以上、すなわち帯状鋼板2a固有に設定された連続性欠陥の連続発生長DLの最低長さ以上、連続的に発生するという特性を有する。この発明は、この知見に基づいて、連続性欠陥Dの最低長さd以下のピッチで、帯状鋼板2a表面の実質的に全幅方向を隈なく検査すれば、搬送方向で検査が途切れても、実質上、帯状鋼板2aの全長全幅に亘ってスケール残り連続性欠陥Dの検査ができることに着目した。しかも、この発明は、撮像部4を幅方向に横断トラバースする装置構成にしたことによって、カメラの台数の削減を図ったものである。すなわち、帯状鋼板2aにおける、連続性欠陥Dの連続発生長DLの最低長さd以下の一定長さを有する区間が搬送される間に、撮像部4を、一定長さを有する区間内で撮像された部分領域全体が、実質的に帯状鋼板2aの全幅に亘り、一定長さを有する区間同士は、相対的に撮像位置が一定長さのピッチで対応するようにする。なお、例えば撮像部4を一定速度で幅方向に横断させて検査すると、図10に示すように、搬送速度が低速に変化した領域搬送速度低下部分Eで、搬送方向Xの検査頻度が増加する。この結果、この低速部分では、必要以上に過剰な画像採取を行うことになり、検査装置に無用な負荷をかけ、画像メモリを浪費することになる。また、搬送方向Xの検査頻度が搬送速度に応じて変化するので、鋼板2全体のスケール残り発生分布を搬送方向Xに均一に評価することが困難となる。さらに、操業の異常などによって、帯状鋼板2aの搬送速度が極めて遅くなったり、帯状鋼板2aが一時的に停止したりした場合、帯状鋼板2a表面の同一箇所を重複して検査することになり、同一の欠陥を重複してカウントする不具合が発生する。そこで、図11に示すように、帯状鋼板2aが所定距離ΔLだけ移動する度に撮像部4の幅方向の横断を開始し、帯状鋼板2a全幅を1回だけ検査するようにした。この結果、搬送速度が低速になったり、停止したりした場合でも、搬送方向の検査頻度を一定に保つことが可能になる。なお、図11に示す例では、撮像部4を帯状鋼板2aの幅方向の一方側から他方側へ実質的に全幅に亘って撮像するように移動させ、且つ幅方向の他方側から一方側へ撮像するように移動させて一方側へ復帰する往復動作を、連続性欠陥Dの最低長さdの搬送長さの間に3回行うようにした例である。この実施の形態2では、帯状鋼板2aの連続性欠陥Dの連続発生長DLの最低長さd以下の一定長さ搬送される間に、撮像部4を、帯状鋼板2aを実質的に全幅に亘って撮像するように移動させ、少なくとも一往復させればよい。このような動作を繰り返すことで、連続性欠陥Dの連続発生長DLの最低長さd以下の搬送ピッチで検査が行われるため、最低長さd以上の連続性欠陥Dは実質的に全幅の検査でいずれかの撮像領域で確実に検出できるようになっている。図12は、図11の破線部分を拡大したものである。図中の四角は撮像部4の撮像領域部分領域Aを示している。撮像タイミング制御部9は、搬送距離検出部8から帯状鋼板2aが距離ΔLだけ搬送される毎に信号を受信し、トラバース部6に撮像部4のトラバースの開始信号を出力する。トラバース部6は、この信号を受けると、撮像部4の幅方向Yトラバースを開始するとともに、所定距離ΔWだけトラバースする毎に、撮像部4に撮像開始信号を出力する。なお、図12に示すt1~tNは、帯状鋼板2aの搬送方向Xに沿って互いに平行をなすように互いに隣接し、且つ撮像部4の幅方向視野とほぼ同じ長さの幅ΔWを持つ、複数の細長いトラック領域を便宜的に設定している。図12に示す例では、これらトラック領域t1~tN内の部分領域Aは、互いに幅方向に連続している。そして、トラバース部6は、撮像部4による画像採取が帯状鋼板2a全幅を撮像し終えたら、トラバースを停止し、撮像タイミング制御部9から次のトラバース開始信号が来るまで待機する。この間、撮像部4は帯状鋼板2aの全幅に亘る画像G11、G12、、G1Nを採取する。トラバース部6は、次のトラバース開始信号が来たら、再びトラバースを開始し、トラバース距離に応じて撮像部4に撮像開始信号を出力する。この結果、撮像部4は画像G2N、G2N-1、、G21を採取する。以上、撮像部4でトラバースの往路および復路に各1回全幅を検査する場合を説明したが、図13に示すように、往路で検査後、復路のトラバース中は非検査非撮像とするような構成にしてもよい。さらに、トラバース速度がほぼ一定とみなせる場合には、幅方向へ距離Δwだけトラバースする時間に相当する時間間隔で、撮像部4を連続撮像するようにして、各画像採取の撮像開始信号を省略するようにしてもよい。トラバース速度の上限値は、幅方向に検査洩れが生じないような速度になるが、これは、撮像部4の幅方向視野長さと撮像部4の最大許容繰り返し撮像レートによって決定される。なお、図12に示すように、部分領域Aが幅方向で隣接するトラック領域とわずかに重なることが好ましい。また、トラバース速度の下限値は、トラバースのストロークと最大搬送速度、および検査対象とする連続性欠陥Dの連続発生長DLの最小長さdによって決定される。すなわち、例えば図11の場合は、3往復の動作を撮像部4が行い、6ΔL≦dとなるように設定されている。また、図13に示したようなストロークを行う場合には、ΔL≦dとなるように設定してもよい。換言すれば、帯状鋼板2aが、帯状鋼板2aに固有に設定された連続性欠陥Dの連続発生長DLの最低長さdより短い距離搬送される間に、撮像部4を少なくとも1回、帯状鋼板2aの全幅に亘って移動するように設定すればよい。なお、図12および図13に示した例では、部分領域Aが連続する例であるが、図14に示すように、互いに隣接するトラック領域t同士の部分領域Aが搬送方向長手方向に連続していなくてもよい。この場合も、隣接するそれぞれのトラック領域t内に一回は部分領域Aが位置するため、実質的に全幅に亘って撮像を行うことができ、連続性欠陥Dを確実に検出することができる。なお、図14に示すΔLtは、撮像部4が帯状鋼板2aの一方側から他方側へトラバースする間に帯状鋼板2aが進む距離であり、ΔLrは撮像部4が他方側から一方側へ復帰するまでに帯状鋼板2aが進む距離である。このΔLtとΔLrとを加えたΔLを連続性欠陥Dの最低長さd以下の長さ設定すればよい。なお、トラバースのストローク長さは、無駄な画像採取を削減するため、検査対象となる帯状鋼板2aの板幅変化に応じて可変とすることができるが、簡易的には、帯状鋼板2aの板幅に依らずに一定長さとしてもよい。この場合、ストローク長さは想定される帯状鋼板2a板幅の最大値に蛇行代を加えた長さとする。上記のように撮像タイミングを制御することによって、画像処理部7は各画像に対して同じルーチン処理を施せばよいので、画像処理が単純になり、高速搬送ラインにおいても検査システムに過大な負荷がかからないため、安定した信頼性の高い検査を行えるようになる。[欠陥分布算出と欠陥マップの具体例]次に、欠陥分布算出と欠陥マップ表示の具体例について述べる。欠陥分布算出部10は、図12に示す画像G11、G12、、G1N;G2N、G2N-1、、G21;G31、G32、、G3N;のそれぞれに対し、1つの欠陥パラメータを算出して割り当てる。この結果、帯状鋼板2a表面上の幅方向Yおよび搬送方向Xの欠陥発生分布が、欠陥パラメータの数値の大小として定量的に把握可能となる。欠陥マップ表示部12は、この発生分布状況を図15に示す表示例のように、2次元マップ上に表示する。図15の表示例では、実際には帯状鋼板2a表面上をジグザグ走査して得られた画像の座標位置を見やすいように碁盤目状に表示してある。一番左の列は画像G1ii1、2、...Nの、また2番目の列は画像G2ii1、2、...Nの欠陥情報を示しており、黒く塗りつぶしたメッシュは欠陥パラメータが所定のしきい値Th1より大きいこと、斜線を引いたメッシュは欠陥パラメータが所定のしきい値Th2Th2<Th1より大きく、Th1より小さいことを示している。このように帯状鋼板2aの表面を矩形のメッシュに区切り、各メッシュの色やパターンを欠陥パラメータの範囲に応じて塗り分けることにより、連続性欠陥Dの発生分布が一目瞭然に把握できるようになる。マップの表示にあたっては、グレイスケールの濃淡や、カラーの色での塗り分け、あるいは表示マークによって示すようにしてもよい。表示マークで示す場合は、例えば、非常に有害なメッシュを×、中程度に有害なメッシュを△、軽度に有害なメッシュを○、無害なメッシュは空欄にするなどの表記を行えばよい。上記したメッシュの寸法は、必ずしも画像のサイズカメラ視野のサイズに一致させる必要はなく、例えば、搬送方向2画像分と幅方向3画像分を一緒にして1つのメッシュに割り当てるようにしてもよい。この場合、図15のメッシュサイズは、ΔX=2ΔL、ΔY=3ΔWとなる。複数の画像を1つのメッシュに割り当てる処理は、欠陥分布算出部10によって行う。この場合、たとえば、該当する複数画像の欠陥パラメータの平均値あるいは最大値などをメッシュの欠陥有害度として算出するようにする。以上、この発明の実施の形態2について説明したが、この実施の形態2によれば、搬送距離検出部8で検出した搬送距離情報および撮像部4の幅方向位置情報に基づいて撮像部4が帯状鋼板2aに対して実質的に全幅に亘って部分領域を撮像するように撮像タイミングを制御するようにしたため、搬送速度が変化しても帯状鋼板2a表面を一定の距離間隔で検査でき、搬送方向に連続発生する連続性欠陥Dを洩れなく検査することが可能である。この際、複雑な画像処理が不要であると共に、過分な領域を撮像する必要がないため、画像処理に負荷がかからず、高速搬送ラインにおいてもリアルタイムで信頼性の高い検査を行えるようになる。また、この実施の形態2では、トラバース部6で高精細な撮像部4を帯状鋼板2aの幅方向Yに移動させることにより、使用カメラ台数を削減することができる。上記の実施の形態2では、撮像部4を1台にすることができる。また、上記の実施の形態2に係る表面検査装置11によれば、個々の欠陥ではなく、各撮像画像から抽出した数値パラメータによって欠陥の有害度を判定するようにしたので、微小欠陥が群生して形成されるような連続性欠陥を検査する場合、画像処理の負荷が少なくてすみ、高速で安定した画像処理が可能になる。さらに、上記の実施の形態2に係る表面検査装置11によれば、遮光部3Bによって生成される回折光の、帯状鋼板2aの撮像領域内での反射光が撮像部4に入射するように設定されたリング照明装置3を備えることにより、検査対象物表面からの明暗点の輝度パターンの発生を防止でき、地合ノイズを抑止して微小点状欠陥を精度よく検査できる。なお検査対象によっては、検出ヘッド1aは、実施の形態1に示した回折光を用いるものに限らず、通常の拡散照明光を照射するものとすることもできる。なお、リング照明装置3は、図8に示したように、撮像部4と一体化させてトラバースするため、軽量な小型照明を用いることが望ましい。その他の実施の形態以上、この発明の実施の形態1,2について説明したが、上記の実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。例えば、上記の実施の形態では、本発明を酸洗鋼板のスケール残り欠陥の検査に適用する場合について述べたが、本発明の検査対象はこれに限定されるものではなく、冷延鋼板や表面処理鋼板などの他の鋼板、あるいはアルミなどの非鉄金属や紙、フィルム、プラスチックなどの製造ラインにも適用することができる。また、スリ疵や周期性疵など、搬送方向に連続的に発生する特性をもつ他の表面欠陥の検査にも適用することができる。また、上記の実施の形態では、帯状鋼板2aにおける、連続性欠陥Dの連続発生長DLの最低長dさ以下の一定長さを有する区間が、搬送される間に、撮像部4が、幅方向の一方側から他方側へまたは他方側から一方側へトラバースする際に撮像を連続的に行う構成としたが、例えば往路で幅方向の半分を撮像し、復路で他の半分を撮像して、撮像された部分領域全体で実質的に全幅に亘って撮像されていればよい。また、上記の実施の形態では、リング照明装置3の光源としてキセノンストロボ光源などを用いたが、この他に、光出射部3AとしてLEDを用いてもよい。さらに、上記の実施の形態では、トラバース部6がガイドレール61と油圧シリンダ62を備え、油圧シリンダで検出ヘッド1aを幅方向に駆動するようにしたが、実質的に撮像部4およびリング照明装置3を同期して幅方向に移動させる構成であれば、これに限定されるものではない。実施例以下、本発明を酸洗鋼板のスケール残り検査に適用した実施例について述べる。この実施例では、分解能0.03mmのエリアセンサカメラ4とリング照明装置3を検出ヘッド1aに固定し、図16に示すように、2つの検出ヘッド1aを幅方向840mm隔てて設置した装置を用いた。ガイドレール61により、2つの検出ヘッド1aを同時に幅方向に840mmトラバースするようにした。これにより、最大板幅1600mmの酸洗鋼板である帯状鋼板2aの全幅を検査できるようにした。リング照明装置3の光出射部図示省略するの前面には光出射部よりわずかに径の小さな開口部を有するリング状の遮光板図示省略するを設置した。図3に示した幾何学的な配置条件としては、R=38mm、r=21mm、H=100mm、θ=35°である。搬送距離検出部8としては、ロータリーエンコーダを用いた、画像処理部7、欠陥分布算出部10、撮像タイミング制御部9はすべて、画像キャプチャーボード、ディジタル入出力ボード、エンコーダボードを搭載したパソコンで行った。欠陥マップ表示部12としては大型液晶モニターを用いた。帯状鋼板2aが10m搬送される毎に、撮像部4を1回トラバースするようにした。これはスケール残り欠陥Dが搬送方向に30m以上連続して発生する知見に基づいている。検査結果は、欠陥パラメータの大きさに応じて3段階に分けて欠陥マップのメッシュの濃淡を変えて表示するようにした。本実施例による検査結果例を図17に示す。図17により、搬送方向Xおよび幅方向Yのスケール残りの発生分布が明瞭にわかることが確認された。このように、帯状鋼板2a表面の2次元マップ上に数値パラメータに対応した色あるいはマークで表示するようにしたので、材料表面の欠陥発生分布が一目で定量的に把握できるようになり、欠陥発生時の対処が迅速かつ的確に行えるようになる。"