"ロボットアーム又はNC制御装置を有する機械に取り付けられた各種工具によって、工作物を加工する工作機械であって、該工作機械は、筒状のピストンを備えた中空シリンダー部と、該中空シリンダー部の内部空間に少なくとも一部が固定され前記各種工具を駆動させる工具駆動部と、該工具駆動部と前記中空シリンダー部との間に介在するフローティング部とを備え、該フローティング部の一部が、前記中空シリンダー部の筒状のピストンに接触すると共に、該筒状のピストンにより所定圧で押圧されることを特徴とするフローティング機構を備えた工作機械。ロボットアーム又はNC制御装置を有する機械に取り付けられた各種工具によって、工作物を加工する工作機械であって、該工作機械は、筒状のピストンを備えた中空シリンダー部と、前記各種工具を固定して駆動させる工具駆動部と、該工具駆動部と前記中空シリンダー部との間に介在するフローティング部とを備え、該フローティング部は、外周面部と上面部と底面部とを有する中空円板状の内輪と、内周面部と内輪受け部とを有する外輪とを備え、該外輪は、前記ロボットアーム側に固定され、前記内輪は、前記工具駆動部側に固定されてあると共に、前記内輪の外周面は、中空円板の中心点から等距離にある球面にて形成されていることを特徴とするフローティング機構を備えた工作機械。中空円板状の内輪の底面部は、外輪の内輪受け部と接触する部分にテーパー形状部が形成されていることを特徴とする請求項2に記載のフローティング機構を備えた工作機械。中空円板状の内輪の底面部と接触する筒状のピストンの先端部分にテーパー形状部が形成されていることを特徴とする請求項2又は3に記載のフローティング機構を備えた工作機械。中空円板状の内輪の底面部に形成された外輪の内輪受け部と接触する部分のテーパー形状部の傾斜角度と、筒状のピストンの先端部分に形成されたテーパー形状部の傾斜角度とが略同一の角度としたことを特徴とする請求項3又は4に記載のフローティング機構を備えた工作機械。中空円板状の内輪の底面部と接触する筒状のピストンの先端部分にOリングが備えられていることを特徴とする請求項2~5のいずれか1項に記載のフローティング機構を備えた工作機械。外輪の内周面部には、内輪の外周面部と接触する位置に回り止め片が形成されていることを特徴とする請求項2~6のいずれか1項に記載のフローティング機構を備えた工作機械。筒状のピストンの外周面と接触する位置にツイスターリングが備えられていることを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載のフローティング機構を備えた工作機械。ここで、特許文献1に記載の工作機械は、スプリング機構と、球面ベアリングとの構成を備え、砥石やドリル等の各種工具の傾く軸の方向以下、ラジアル方向と言う。の荷重に対して、球面ベアリングの中心を支点として受ける構成となっている。しかしながら、上記工作機械の球面ベアリングでは、ラジアル方向に対して垂直な方向以下、スラスト方向と言う。の荷重によって、クサビのように球面ベアリングの外輪側を広げようとする方向に力が加わるため、球面ベアリングに変形が生じて動作不良の原因となり易かった。また、剛性を確保するためには、大きくならざるを得ず、重量が重くなることから、切削能力で必要とされる力よりも大型の搬送重量を持つ装置が必要であった。本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、ラジアル方向とスラスト方向の両方向に生じる荷重に対する受けを備えて、フローティング機構の変形を少なくすると共に、剛性を確保しつつ、全体を小型化し、軽量化することができるフローティング機構を備えた工作機械を提供することを目的とする。上記従来の課題を解決する為に、請求項1の発明は、ロボットアーム又はNC制御装置を有する機械に取り付けられた各種工具によって、工作物を加工する工作機械であって、該工作機械は、筒状のピストンを備えた中空シリンダー部と、該中空シリンダー部の内部空間に少なくとも一部が固定され前記各種工具を駆動させる工具駆動部と、該工具駆動部と前記中空シリンダー部との間に介在するフローティング部とを備え、該フローティング部の一部が、前記中空シリンダー部の筒状のピストンに接触すると共に、該筒状のピストンにより所定圧で押圧されることを特徴としている。したがって、筒状のピストンを備えた中空シリンダーを採用することによって、中空シリンダーの内部に工具駆動部を設置する事が出来、その結果として、工具駆動部の重心付近に、フローティング部の可動部の可動中心が位置するので工作機械の移動による慣性による荷重の変化に対して影響を受けず、移動中の急激な加速度が生じる切削方向の変化に対しても一定の圧力での切削加工が可能となっている。また、ピストンのエアー受圧面が、薄く円筒形にできるため、剛性を確保しながらも、工作機械を小型化し、軽量化することができる。また従来型の円周上に小型のピストンを多数配置した工作機械よりも、部品点数を減らし、ラジアル方向の360度のいずれの方向に対しても押し付け圧力が変化をすることも無く、構造も簡素化することができる。また、請求項2の発明は、ロボットアーム又はNC制御装置を有する機械に取り付けられた各種工具によって、工作物を加工する工作機械であって、該工作機械は、筒状のピストンを備えた中空シリンダー部と、前記各種工具を固定して駆動させる工具駆動部と、該工具駆動部と前記中空シリンダー部との間に介在するフローティング部とを備え、該フローティング部は、外周面部と上面部と底面部とを有する中空円板状の内輪と、内周面部と内輪受け部とを有する外輪とを備え、該外輪は、前記ロボットアーム側に固定され、前記内輪は、前記工具駆動部側に固定されていると共に、前記内輪の外周面は、中空円板の中心点から等距離にある球面にて形成されていることを特徴としている。したがって、先端の工具に工作物からラジアル方向に荷重がかかると、工具駆動部側に固定されている内輪が傾くことになる。この時、内輪の外周面部が球面にて形成されていることから、外輪の内周面部への接触部分の形状及び接触面積が常に一定となる。また、接触面積を広くとることができることから、内輪及び外輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、筒状のピストンを備えた中空シリンダーを採用することによって、ピストンのエアー受圧面が、薄く円筒形にできるため、剛性を確保しながらも、工作機械を小型化し、軽量化することができる。また従来型の円周上に小型のピストンを多数配置した工作機械よりも、部品点数を減らし、構造を簡素化することができる。また、請求項3の発明は、請求項2の発明において、中空円板状の内輪の底面部は、外輪の内輪受け部と接触する部分にテーパー形状部が形成されていることを特徴としている。したがって、内輪の底面部が平面状の場合と比較して、内輪が傾いた時に、外輪の内輪受け部と接触する部分の面積受圧面積を大きくすることができるので、内輪及び外輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、請求項4の発明は、請求項2又は3の発明において、中空円板状の内輪の底面部と接触する筒状のピストンの先端部分にテーパー形状部が形成されていることを特徴としている。したがって、テーパー形状部によって、内輪が傾いた時に、筒状のピストンの先端部分と接触する部分の面積受圧面積を大きくすることができるので、ピストン及び内輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、請求項5の発明は、請求項3又は4の発明において、中空円板状の内輪の底面部に形成された外輪の内輪受け部と接触する部分のテーパー形状部の傾斜角度と、筒状のピストンの先端部分に形成されたテーパー形状部の傾斜角度とが略同一の角度としたことを特徴としている。一例として、工作物の工作面に対して垂直な方向に工具の軸が位置している状態を基準とし、最大傾斜角度を工具の軸が5度傾いた状態とした場合には、中空円板状の内輪の底面部に形成された外輪の内輪受け部と接触する部分のテーパー形状部の傾斜角度と、筒状のピストンの先端部分に形成されたテーパー形状部の傾斜角度を同じ5度の傾斜角度と設定することができる。このように構成することによって、各テーパー形状部の接触部分の強度を高めることができると共に、各接触部分に加わる応力を分散させることができる。また、各接触部分を同一の応力分布とすることができるので、余計な変形を防ぐことができる。また、請求項6の発明は、請求項2~5いずれかの発明において、中空円板状の内輪の底面部と接触する筒状のピストンの先端部分にOリングが備えられていることを特徴としている。したがって、Oリングによって、内輪が傾いた時に、筒状のピストンの先端部分と接触する部分の面積受圧面積を大きくすることができ、ピストンの剛性を確保しながらも金属接触しないので、ピストン及び内輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、請求項7の発明は、請求項2~6のいずれかの発明において、外輪の内周面部には、内輪の外周面部と接触する位置に回り止め片が形成されていることを特徴としている。回り止め片は、外輪部に埋め込まれるように固定されているため、内輪の荷重変化によってずれることなく、回り止め片で回転方向にかかるトルクを受けることができ、ラジアル荷重とトルク荷重とを分散して別々に受ける構造となっていることから、ピストン、外輪及び内輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、請求項8の発明は、請求項1~7のいずれかの発明において、筒状のピストンの外周面と接触する位置にツイスターリングが備えられていることを特徴としている。Oリングを往復運動に用いた場合には、Oリングを収容する溝内でねじれを生じる場合があるが、ツイスターリングXリングは、X形状断面を有しているので、ねじれを心配する必要がない。また、ツイスターリングは、Oリングに比べて半径方向のしめ代が小さくてすむため、接触圧力が小さくなり、摩擦及び摩耗も小さくなるため、耐久性に優れており、シール性も良くすることができる。さらに、フローティング機構において、低圧力での反応を良くすることができるため、低圧力から高圧力まで工作機械の安定した動きを確保することができる。請求項1の発明では、剛性を確保しながらも、工作機械を小型化し、軽量化することができ、移動による慣性の力の影響を無くすことができる。また従来型の円周上に小型のピストンを多数配置した工作機械よりも、部品点数を減らし、傾く方向に関係なく定圧制御することができ、構造を簡素化することができる。また、請求項2の発明では、内輪及び外輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、剛性を確保しつつ、工作機械を小型化し、軽量化し、構造を簡素化することができる。また、請求項3の発明では、内輪及び外輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、請求項4の発明では、ピストン及び内輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、請求項5の発明では、各テーパー形状部の接触部分の強度を高めることができると共に、各接触部分に加わる応力を分散させることができる。また、各接触部分が同一の応力分布とすることができるので、余計な変形を防ぐことができる。また、請求項6の発明では、ピストン及び内輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、請求項7の発明では、ピストン、外輪及び内輪の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、請求項8の発明では、フローティング機構において、低圧力での反応を良くすることができるため、低圧力から高圧力まで工作機械の安定した動きを確保することができる。図1は、本発明に係る工作機械の概要を示す説明図である。この図に示すように、本発明に係る工作機械20は、一例としてロボットアーム1に取り付けられている。尚、ロボットアーム1にかえてNC制御装置を有する機械に、本発明に係る工作機械20を取り付けることもできる。この工作機械20は、筒状のピストンを備えた中空シリンダー部2と、各種工具10を固定して駆動させる工具駆動部3と、この工具駆動部3と中空シリンダー部2との間に介在するフローティング部4とを備えている。工具駆動部3は、各種工具10と、この各種工具10を把持するチャック部材5と、ベアリング機構6と、モーター7とから構成されており、モーター7の回転軸7aとチャック部材5とがベアリング機構6を介して連結されている。尚、モーター7の駆動は、エアーによるものと、電気によるものの、どちらも採用することができる。また、各種工具10とは、バリ取り、研磨、切削等の各種加工を行うことができる工具を意味するものであり、各種加工に対応してチャック部材5から取り外され、対応する工具に交換される。ここで、筒状のピストンを備えた中空シリンダー部2と、工具駆動部3との位置関係は、中空シリンダー部2の内部空間に工具駆動部3の少なくとも一部が、フローティング部4を介して固定されているものである。そして、上述したように、工具駆動部3は、チャック部材5に固定された各種工具10を駆動させる構造となっている。図2aは、本発明に係る工作機械20のフローティング部4を示す説明図であり、図2bは、図2aの一部拡大図である。この図に示すように、フローティング部4は、外輪8と、内輪9とを備えている。ここで、外輪8は、図1に示したロボットアーム1側に固定されており、内輪9は、くさび部材11と、締付部材12と、ボルト13とによって、工具駆動部3側に固定されている。そして、外輪8は、内周面部8aと内輪受け部8bとを有している。内周面部8aは、中空円筒状の曲面からなるものであり、内輪受け部8bは、内輪9の底面部9cと接触する平面からなるものである。次に、内輪9は、外周面部9aと上面部9bと底面部9cとを有する中空円板状のものである。ここで、外周面部9aは、図2に示す中空円板の中心点14から等距離にある球面二点鎖線で示す。に一致するように球面加工がなされている。尚、中空円板の中心点14とは、内輪9の上面部9bの平面と、底面部9cの内側の平面とに平行で、等距離にある平面上に有り、外周面部9aから等距離にある点として定義される。次に、上面部9bは、後述する円筒状のピストンと接触する平面からなるものである。また、底面部9cの外側の平面は、前述した外輪8の内輪受け部8bと接触する部分が傾斜面となるように、テーパー形状部15が形成されている。フローティング部4は、上述したように構成されているので、先端の工具に工作物からラジアル方向に荷重がかかると、工具駆動部3側に固定されている内輪9が傾くことになる。この時、内輪9の外周面部9aが球面にて形成されていることから、外輪8の内周面部8aへの接触部分の形状及び接触面積が常に一定となる。また、接触面積を広くとることができることから、内輪9及び外輪8の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。また、内輪9の底面部9cは、外輪8の内輪受け部8bと接触する部分にテーパー形状部15が形成されていることから、内輪9の底面部9cが平面状の場合と比較して、内輪9が傾いた時に、外輪8の内輪受け部8bと接触する部分の面積受圧面積を大きくすることができるので、内輪9及び外輪8の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。図3は、本発明に係る工作機械20に使用するピストンの例を示す断面図である。図3aのピストン16は、中空部16aと、外周部16bと、先端部16cとから構成されている。そして、内輪9の上面部9bと接触する筒状のピストン16の先端部16cにテーパー形状部21が形成されている。ピストン16を上述のように構成することにより、内輪9が傾いた時に、テーパー形状部21によって、筒状のピストン16の先端部16cと接触する部分の面積受圧面積を大きくすることができるので、ピストン16及び内輪9の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。尚、符号29、30は、中空シリンダーの壁面18a,18bとの間の気密を保つためのOリングであるが、このOリングに替えてツイスターリングXリングを使用することができる。Oリングを往復運動に用いた場合には、Oリングを収容する溝内でねじれを生じる場合があるが、ツイスターリングXリングは、X形状断面を有しているので、ねじれを心配する必要がない。また、ツイスターリングは、Oリングに比べて半径方向のしめ代が小さくてすむため、接触圧力が小さくなり、摩擦及び摩耗も小さくなるため、耐久性に優れており、シール性も良くすることができる。さらに、フローティング機構において、低圧力での反応を良くすることができるため、低圧力から高圧力まで工作機械の安定した動きを確保することができる。また、ピストン16の先端部16cに形成されているテーパー形状部21の傾斜角度は、前述した内輪9の底面部9cに形成されているテーパー形状部15の傾斜角度と略同一の角度とすることが好ましい。一例として、工作物の工作面に対して垂直な方向に工具の軸が位置している状態を基準とし、最大傾斜角度を工具の軸が5度傾いた状態とした場合には、中空円板状の内輪9の底面部9cに形成された外輪8の内輪受け部8bと接触する部分のテーパー形状部15の傾斜角度と、筒状のピストン16の先端部16cに形成されたテーパー形状部21の傾斜角度を同じ5度の傾斜角度と設定することができる。このように構成することによって、各テーパー形状部15,21の接触部分の強度を高めることができると共に、各接触部分に加わる応力を分散させることができる。また、各接触部分を同一の応力分布とすることができるので、余計な変形を防ぐことができる。また、図3bのピストン17は、中空部17aと、外周部17bと、先端部17cとから構成されている。そして、内輪9の上面部9bと接触する筒状のピストン17の先端部17cにOリング22が備えられている。ピストン17を上述のように構成することにより、内輪9が傾いた時に、Oリング22によって、筒状のピストン17の先端部17cと接触する部分が金属同士の直接触とならないので、ピストン17及び内輪9の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。図4は、本発明に係る工作機械20の一部を示す断面図である。この図に示すように、各種工具に所定以上の力が加わると、工具駆動部3が傾いた状態となり、この状態が維持されることとなる。この状態では、図面上、ピストン17の右側の先端部17cは、内輪9の上面部9bと接触した状態となっており、ピストン17の左側の先端部17cは、内輪9の上面部9bと接触していない浮いた状態となっている。ここで、ピストン17には、エアー通り口25から気室26に所定圧のエアーが供給されているので、シリンダー受圧面27は所定圧の力が加わっている。図5は、本発明に係る工作機械20のフローティング部4を内輪9の上面部9b側から視た説明図である。この図に示すように、外輪8の内周面部8aには、内輪9の外周面部9aと接触する位置に、円柱状の回り止め片23が形成されている。この回り止め片23は、内輪9の外周面部9aに形成された円弧状の凹部24に係止される。したがって、円柱状の回り止め片23で、内輪9の回転方向にかかるトルク荷重を受けることができる。また、凹部24が円弧状となっていることから、円柱状の回り止め片23との接触面積を大きくとることができ、複数の回り止め片23、23によってトルク荷重が分散されるので、内輪9の変形、磨耗を抑えることができる。さらに、前述したように、ラジアル荷重とトルク荷重とを分散して別々に受ける構造となっていることから、ピストン16、17、外輪8及び内輪9の変形、磨耗を抑え、安定的に荷重を受けることができる。"