電気泳動を用いてボンディングワイヤを脱脂するボンディングワイヤの脱脂方法であって、第1のアルカリ溶液が収容され、該第1のアルカリ溶液内に前記電気泳動を行うための陽極が設けられた第1の槽内に前記ボンディングワイヤを浸漬させて通過させる第1の脱脂工程と、第2のアルカリ溶液が収容され、該第2のアルカリ溶液内に前記電気泳動を行うための陰極が設けられた第2の槽内に、前記第1の槽内を通過した前記ボンディングワイヤを浸漬させて通過させる第2の脱脂工程と、を有することを特徴とするボンディングワイヤ脱脂方法。前記第1の脱脂工程及び前記第2の脱脂工程において、前記ボンディングワイヤには通電が行われないことを特徴とする請求項1に記載のボンディングワイヤの脱脂方法。前記ボンディングワイヤは、プーリーにより支持及び搬送され、該プーリーは、絶縁体であることを特徴とする請求項2に記載のボンディングワイヤの脱脂方法。前記第1のアルカリ溶液と前記第2のアルカリ溶液は同一のアルカリ溶液であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のボンディングワイヤの脱脂方法。前記陽極と前記陰極との間に印加される電圧が3.0V以上5.0V以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のボンディングワイヤの脱脂方法。前記陽極と前記陰極との間に印加される電圧が3.5V以上4.4V以下であることを特徴とする請求項5に記載のボンディングワイヤの脱脂方法。前記陽極及び前記陰極には、スラッジ除去用のバッグが装着されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のボンディングワイヤの脱脂方法。請求項1乃至7のいずれか一項に記載のボンディングワイヤの脱脂方法によりボンディングワイヤの脱脂を行う脱脂工程と、脱脂後の前記ボンディングワイヤを芯材とし、前記ボンディングワイヤの周囲に被覆材をめっきするめっき工程と、を有することを特徴とする被覆ボンディングワイヤの製造方法。前記ボンディングワイヤは銅であり、前記被覆材はパラジウムであることを特徴とする請求項8に記載の被覆ボンディングワイヤの製造方法。ところで、パラジウム被覆銅ワイヤの信頼性は、パラジウム膜の厚さとその厚さばらつきに強く影響される。パラジウム膜の厚さを一定にするためには、パラジウム被膜を形成する際の被膜厚を一定にする必要がある。パラジウム被膜をめっきで形成する場合には、めっきの前に行われる脱脂工程で表面の有機物を完全に除去し、次の酸化膜除去工程で完全に酸化膜を除去しなければならない。一般的に、脱脂工程は、炭化水素系や塩化水素系などの有機溶媒に銅ワイヤを浸漬させて脱脂を行う方法や、酸やアルカリ溶液に銅ワイヤを浸漬させて脱脂を行う浸漬脱脂方法がある。図1は、従来の浸漬脱脂による脱脂工程の一例を示した図である。図1において、第1の槽110と第2の槽120が設けられ、その中には上述の有機溶媒や、酸又はアルカリ溶液等の脱脂液130、140が満たされる。なお、脱脂液130と脱脂液140は、同一の液体であってもよいし、異なる液体であってもよい。また、第2の槽120を設けず、第1の槽110のみとして構成されてもよい。かかる第1の槽110及び第2の槽120に、銅ワイヤ105がプーリー190、191により支持されて搬送され、第1の槽110と第2の槽120を通過し、脱脂液130、140に順次浸漬され、脱脂工程が行われる。しかしながら、こうした脱脂液に銅ワイヤを浸して脱脂を行うと、伸線潤滑剤の焼き付きがあった場合などは、その部分の脱脂が不十分となり、その後の酸化膜除去工程では酸化膜の除去が不完全となり易い。そうすると、その後のパラジウムめっきの吸着が弱くなり、その後の伸線工程においてパラジウム被膜がはがれたりして、パラジウム膜の薄い部分が発生してしまうという問題があった。一方、リードフレーム等の製造工程では、脱脂工程と酸化膜除去工程との間で電解脱脂を行い、脱脂能力を高める方法が採用されている。かかるリードフレーム等の分野で採用されている電解脱脂の方法を銅ワイヤに応用すると、1つの槽の中に脱脂溶液を満たし、溶液中で銅ワイヤを陽極の電極として設けて酸素を発生させて洗浄する方法や、逆に、溶液中で銅ワイヤを陰極の電極として設けて水素を発生させて洗浄する方法が考えられる。図2は、従来のリードフレーム等の分野で行われている電解脱脂を、銅ワイヤの電解脱脂に適用した一例を示した図である。図2において、脱脂槽210が1つ設けられ、脱脂溶液230が満たされている。脱脂溶液230中には、整流器270の陽極又は陰極の一方の電極250が設けられ、脱脂槽210の外部には、プーリーを兼ねた陽極又は陰極の他方の電極290が設けられている。また、脱脂溶液230内には、銅ワイヤ205を支持及び搬送するためのプーリー291が設けられるとともに、電極250を覆うスラッジ除去用のバッグ280が設けられている。かかる構成において、電極250、290間に電圧を印加し、電気泳動により酸素ガス又は水素ガスを脱脂溶液230内で発生させ、気泡の発生により銅ワイヤに付着した油脂を取り去り、脱脂を行う。しかしながら、かかる電解脱脂では、脱脂の対象である銅ワイヤ205に通電を行うため、銅ワイヤ205を電極290と接触させる必要がある。かかる銅ワイヤ205の電極290との接触は、銅ワイヤ205にキズを発生させる要因となり得、キズのある銅ワイヤ205にパラジウムめっきを施すと、キズの部分のパラジウム被覆が剥がれ易くなるという問題があった。そこで、本発明は、脱脂対象であるボンディングワイヤにキズを発生させず、かつ十分な脱脂効果が得られるボンデシィングワイヤの脱脂方法及びこれを用いた被覆ボンディングワイヤの製造方法を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明の一態様に係るボンディングワイヤの脱脂方法は、電気泳動を用いてボンディングワイヤを脱脂するボンディングワイヤの脱脂方法であって、第1のアルカリ溶液が収容され、該第1のアルカリ溶液内に前記電気泳動を行うための陽極が設けられた第1の槽内に前記ボンディングワイヤを浸漬させて通過させる第1の脱脂工程と、第2のアルカリ溶液が収容され、該第2のアルカリ溶液内に前記電気泳動を行うための陰極が設けられた第2の槽内に、前記第1の槽内を通過した前記ボンディングワイヤを浸漬させて通過させる第2の脱脂工程と、を有することを特徴とする。また、前記第1の脱脂工程及び前記第2の脱脂工程において、前記ボンディングワイヤには通電が行われないことが好ましい。また、前記ボンディングワイヤは、プーリーにより支持及び搬送され、該プーリーは、絶縁体であることが好ましい。また、前記第1のアルカリ溶液と前記第2のアルカリ溶液は同一のアルカリ溶液であることが好ましい。ここで、前記陽極と前記陰極との間に印加される電圧が3.0V以上5.0V以下であることが好ましい。更に、前記陽極と前記陰極との間に印加される電圧が3.5V以上4.4V以下であることがより好ましい。また、前記陽極及び前記陰極には、スラッジ除去用のバッグが装着されていることが好ましい。本発明の他の態様に係る被覆ボンディングワイヤの製造方法は、前記ボンディングワイヤの脱脂方法によりボンディングワイヤの脱脂を行う脱脂工程と、脱脂後の前記ボンディングワイヤを芯材とし、前記ボンディングワイヤの周囲に被覆材をめっきするめっき工程と、を有することを特徴とする。ここで、前記ボンディングワイヤは銅であり、前記被覆材はパラジウムであってもよい。本発明によれば、ボンディングワイヤにキズを付けることなく十分な脱脂を行うことができる。以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。図3は、本発明の実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法及びこれを用いた被覆ボンディングワイヤの脱脂工程の一例を示した図である。図3において、本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法及びこれを用いた被覆ボンディングワイヤの脱脂工程を行うための脱脂装置の全体構成が示されている。図3に示すように、本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法を実施するための脱脂装置は、第1の槽10と、第2の槽20と、第1の脱脂溶液30と、第2の脱脂溶液40と、陽極50と、陰極60と、整流器70と、バッグ80と、プーリー90、91とを備える。また、図1において、脱脂対象としてボンデシィングワイヤ5が示されている。また、図3において、第1の槽10の内部には、第1の脱脂溶液30が満たされて収容されている。第1の槽10の第1の脱脂溶液30中には、2つの陽極50が浸漬されている。陽極50には、バッグ80が装着されており、バッグ80が陽極50を覆っている。同様に、第2の槽20の内部には、第2の脱脂溶液40が満たされて収容されている。第2の槽20の第2の脱脂溶液40中には、2つの陰極60が浸漬されている。また、陰極60にもバッグ80が装着され、バッグ80が陰極60を覆っている。第1の槽10及び第2の槽20の外部には、プーリー90が設けられ、第1の槽10及び第2の槽20の内部には、プーリー91が設けられている。プーリー90、91には、ボンディングワイヤ5が搬送可能に支持されている。ボンディングワイヤ5の搬送方向は、図3中の左側から右側であり、第1の槽10から第2の槽20に向かう方向である。プーリー90は、搬送方向において第1の槽10の入口側左側と出口側右側、及び第2の槽20の入口側左側と出口側右側にそれぞれ設けられ、合計4個設けられている。一方、第1の槽10及び第2の槽20の内部には、プーリー90よりも径の大きいプーリー91が第1の脱脂溶液30及び第2の脱脂溶液40内にそれぞれ1個ずつ設けられている。各プーリー91は、搬送方向において、入口側と出口側のプーリー90の間に配置され、ボンディングワイヤ5を左から右に第1の脱脂溶液30、第2の脱脂溶液40を通過させて搬送するように構成されている。また、第1の槽10及び第2の槽20の外部には整流器70が設けられ、陽極50及び陰極60が接続されている。一方、整流器70は、プーリー90、91には接続されておらず、ボンディングワイヤ5には通電が行われていない構成となっている。ボンディングワイヤ5は、本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法の脱脂対象となるワイヤである。本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法は、被覆ボンディングワイヤの製造方法におけるめっき工程の前処理として行われるものであるので、ボンディングワイヤ5は、被覆ボンディングワイヤの芯材となる材料から構成される。ボンディングワイヤ5は、芯材となり得る種々の金属材料で構成されてよいが、例えば、銅で構成されてもよい。第1の槽10は、第1の脱脂溶液30を保持し、第1の脱脂溶液30中にボンディングワイヤ5が浸漬されたときに第1の脱脂工程を行うための脱脂処理槽である。第1の槽10は、第1の脱脂溶液30を保持することができ、第1の脱脂工程に必要な電極50等を収容できれば、種々の材料を用いて種々の形状で構成することができる。第2の槽20は、第2の脱脂溶液40を保持し、第1の脱脂溶液40中にボンディングワイヤ5が浸漬されたときに第2の脱脂工程を行うための脱脂処理槽である。第2の槽20の構成、機能等は、第1の槽10と同様であるのでその説明を省略する。なお、第1の槽10及び第2の槽20は、オーバーフロー方式の槽であってもよいし、各々で第1の脱脂溶液30及び第2の脱脂溶液40を循環供給する方式の槽であってもよい。第1の脱脂溶液30は、電気泳動による電解脱脂を行うための脱脂溶液である。電解脱脂には、アルカリ溶液を用いられるので、第1の脱脂溶液30は、アルカリ溶液を用いる。また、第1の脱脂溶液30は、種々のアルカリ溶液を用いることができるが、例えば、NaOHを用いるようにしてもよい。第2の脱脂溶液40も、第1の脱脂溶液30と同様に、電気泳動による電解脱脂を行うための脱脂溶液である。第2の脱脂溶液40も、種々のアルカリ溶液を用いることができるが、例えば、NaOHを用いるようにしてもよい。第1の脱脂溶液30と第2の脱脂溶液40は、種類、濃度とも同じ同一のアルカリ溶液を用いるようにしてもよい。陽極50と陰極60はともに整流器70に接続された同一電源の電極であるので、陽極50側と陰極60側で行われている電気泳動のバランスを保つためには、第1の脱脂溶液30と第2の脱脂溶液40を同一のアルカリ溶液とすることが好ましい。陽極50は、電気泳動を行うために整流器70に接続された電極であり、第1の槽10内に配置されている。本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法においては、陽極50が第1の槽10内の第1の溶液30内に浸漬されているので、第1の槽10内においては、ボンディングワイヤ5は相対的に陰極となる。そうすると、水の電気分解を利用した電気泳動においては、ボンディングワイヤ5から電子が供給されてボンディングワイヤ5の周辺で水素が発生するが2H2e-→H2、水素は一価であり、2つの電子供給で1分子の水素ガスを発生させるため、2価の酸素よりもガス発生量が多い。本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法においては、第1の槽10で油脂を可能な限り多く除去し、第2の槽20で、第1の槽10で取り切れなかった油脂を除去するようにするプロセスの方が効果的に作用する。よって、陽極50は、整流器70との電気的な接続のみを考慮すれば、陽極又は陰極のいずれとすることも可能であるが、本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法においては、第1の槽10内に陽極50を配置している。陰極60は、陽極50とともに、電気泳動を行うために整流器70に接続された電極であり、第2の槽20内に配置されている。第2の槽20内の陰極60も、整流器70への電気的接続のみを考えれば、第1の槽10内の電極を陰極とし、第2の槽20内の電極を陽極とすることも可能である。しかしながら、第2の槽20内の電極を陽極とすると、第2の槽20中のボンディングワイヤ5は、相対的に陰極となる。そうすると、第2の脱脂溶液40中にボンディングワイヤ5を構成する金属が溶け出している場合、金属は陽イオンとなるので、その溶け出した金属をボンディングワイヤ5にめっきしてしまうという事態が発生するおそれがある。かかる事態が発生すると、第1の槽10で行った脱脂による洗浄を無駄にしてしまうおそれがあるので、第2の槽20内の電極を陽極とすることは好ましくない。また、上述のように、第1の槽10で脱脂の大部分を行い、第2の槽20で仕上げの脱脂を行うプロセスの方が、望ましい脱脂効果が得られる。よって、第2の槽20内の電極は陰極60としている。なお、第2の槽20内に陰極60を配置したことにより、第2の槽20中のボンディングワイヤ5は陽極となるので、水の電気分解を利用した電気泳動においては、溶液中の電子を取り込んでボンディングワイヤ5の周辺で酸素ガスを発生させる2OH-→O21/2H22e-。つまり、第2の槽20では酸素ガスが発生することになる。整流器70は、交流電力を直流電力に変換し、陽極50及び陰極60に直流電力を供給するための直流電源である。整流器70により、陽極50と陰極60との間に直流電圧が印加される。なお、整流器70は、陽極50と陰極60との間に直流電圧を印加できればよいので、電池等の直流電源を用いてもよい。なお、陽極50は第1の脱脂溶液30中に浸漬され、陰極60は第2の脱脂溶液40中に浸漬されており、陽極50と陰極60は異なる溶液中にあるが、ボンディングワイヤ5が導体であるので、全体としては回路を形成し、アルカリ溶液中の粒子が移動し、電気泳動により間接的に電流が流れることになる。バッグ80は、スラッジ沈殿物を除去するための手段である。脱脂工程を行っている間に、陽極50及び陰極60にスラッジ沈殿物が溜まるため、スラッジを第1及び第2の脱脂溶液30、40中に拡散したり、スラッジがボンディングワイヤに再付着したりするのを防止するため、バッグ80が陽極50及び陰極60に装着されている。バッグ80は、スラッジの除去を行うことができれば、種々の材料で構成されてよいが、例えば、電解ニッケルめっき等で用いられているアノードバッグと同様に、布製のバッグ80が用いられてもよい。なお、バッグ80は、必須ではなく、必要に応じられて設けられてよい。例えば、ボンディングワイヤ5、第1及び第2の脱脂溶液30、40、陽極50及び陰極60の組み合わせによっては、スラッジの対策が不要な場合もあり得る。そのような場合には、例えば、バッグ80を設けず、陽極50及び陰極60をそのまま用いることとしてもよい。プーリー90、91は、ボンディングワイヤ5を支持及び搬送するための手段である。プーリー90、91は、上述のように電極としては用いられていないため、絶縁体を含む任意の材料を用いることができる。プーリー90、91は、ボンディングワイヤ5にキズを発生させないため、プラスチック等の樹脂材料で構成してもよい。また、プーリー90、91は、弾力性を有する材料で構成されてもよい。また、プーリー90、91は、ボンディングワイヤ5の第1の脱脂溶液30及び第2の脱脂溶液40への浸漬時間の調整を行う役割も有する。例えば、ボンディングワイヤ5をある程度長い時間第1及び第2の脱脂溶液に浸漬するためには、プーリー91にボンディングワイヤ5を複数回巻回させた状態でボンディングワイヤ5を供給するようにする。一方、ボンディングワイヤ5を早く通過させたい場合には、プーリー90、91にボンディングワイヤ5を巻回させずに沿わせるだけとすれば、ボンディングワイヤ5はプーリー90、91間をそのまま進み、素早い処理及び搬送を行うことができる。かかる構成の脱脂装置を用いて本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法を実行する際には、図3に示すように、プーリー90、91を用いて、ボンディングワイヤ5を第1の槽10、第2の槽20に順次供給する。第1の槽10では、第1の脱脂溶液30に浸漬されたボンディングワイヤ5に対して、第1の脱脂工程が行われる。そして、第1の槽10を通過したボンディングワイヤ5は、一旦空中に引き上げられた後、連続的に第2の槽20の内部に供給される。第2の槽20においては、第2の脱脂溶液40に浸漬されたボンディングワイヤ5に対して、第2の脱脂工程が行われる。ここで、陽極50、陰極60間に印加される電圧は、3.0V以上5.0V以下であることが好ましく、3.5V以上4.4V以下であることが更に好ましい。なお、この点については、実施例を用いて後述する。なお、プーリー90、91は電極として機能させないため、ボンディングワイヤ5にキズを発生させないような任意の材料で構成することができ、例えば、プラスチック材料等を用いることができる。このように、本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法によれば、ボンディングワイヤ5にキズを発生させることなく電解脱脂により十分な脱脂効果を得ることができる。また、本実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法によりボンディングワイヤ5の脱脂を行い、その後、被覆材でめっきを行ってボンディングワイヤ5を被覆するようにすれば、油脂が適切に除去されたボンディングワイヤ5の表面上にめっきを行うため、十分な密着力で適切にめっきを行うことができ、高品質の被覆ボンディングワイヤを製造することができる。なお、脱脂工程とめっき工程の間には、酸化膜除去工程等の必要な工程を追加することができる。次に、実施例を用いて本発明に係るボンディングワイヤの脱脂方法及びこれを用いた被覆ボンディングワイヤの製造方法の実施結果について説明する。なお、本実施例においては、脱脂工程を行う対象となるボンディングワイヤ5自体の製造方法についても言及している。また、本実施例において、上述の実施形態に係るボンディングワイヤの脱脂方法で説明した構成要素に対応する構成要素には、図3と同一の参照符号を付してその説明を簡略化又は省略する。まず、銅材料を連鋳し、伸線ダイスを用いて約1mmφまで縮径し、さらに引き続き直径約200μmφまで縮径して、中間アニールをした。中間アニール時に使用するガス種は、大気や窒素やフォーミングガスでもかまわないが、今回は大気ガスを用いて製造した。次に、中間アニール後にめっきをするが、めっき工程は、前処理として、脱脂工程、塩酸洗工程、化学研磨工程、硫酸洗工程を行った。また、めっき工程は、ストライクめっき工程及びめっき工程を含む。各工程ともに市販されている薬剤を使用しており、脱脂工程における脱脂液はユケン工業株式会社製パクナCu3濃度10~80g/lを溶解させた液にアルニオン119濃度0.1~30ml/lを添加した混合液で、35±15°Cで使用した。また、塩酸洗浄液は35塩酸水溶液を希釈塩酸濃度10~100g/lして室温で使用した。化学研磨液はメルテックス株式会社製のメルポリッシュカパー6161A濃度:6-110g/l、61B濃度:30~200ml/l、硫酸濃度:10~50g/lで35±15°Cで使用した。硫酸洗浄液は70硫酸を希釈硫酸濃度:50~400g/lして室温にて使用した。ストライクめっき及びめっきにおいては、日本高純度化学株式会社製SST-LPd濃度:2~12g/l、pH:6.5~8.2をメーカー推奨条件にて使用し、ストライクめっきは室温で使用し、めっきは60±5°Cで使用した。脱脂工程は、図3に示したような構成の脱脂装置を用いて行った。即ち、連続する第1の槽10と第2の槽20があり、第1及び第2の槽10、20内には銅ワイヤ5にアルカリ溶液30、40中の粒子の電気泳動によって間接的に電流を流すための陽極50、陰極60が設置され、銅ワイヤ5に電流を流した。電極50、60にはバッグ80を装着し、電極50、60に溜まったスラッジをアルカリ溶液30、40中に拡散させず、また、スラッジが銅ワイヤ5に再付着しないようにした。また、第1の槽と第2の槽との間に印加する電圧は3.5ボルトとした。本実施例に係るボンディングワイヤの脱脂方法を実施した後、表面酸化膜厚については、脱脂工程後のサンプルをECITECHNOLOGY社製酸化膜測定器QC―200、SequentialElectrochemicalReductionAnalysis:連続電気化学還元法によって測定した。酸化膜測定の場合、一定の電流をサンプルにかけ、薬液ホウ酸四ホウ酸ナトリウムでサンプルを還元していき、そのときの電圧の変化を捉え金属の酸化膜を同定し、測定時間によりその厚みを検出する。連続電気化学還元法は金属固有の還元電位に着目した測定方法である。図4は、本発明の実施例に係るボンディングワイヤの脱脂方法実施後の酸化膜厚の測定結果を、従来の浸漬脱脂方法との比較において示した図である。図4において、酸化膜厚は、上述の測定器の印加電圧の時間変化として示されている。なお、図4において、印加電圧の範囲毎に存在する酸化膜の種類が分かり、酸化皮膜、Cu2O及びCuOが図4に示されている。少ない時間で各膜の範囲の電圧値を示さなくなったものが、存在する酸化膜が少ないことを意味している。また、曲線Aが従来の浸漬脱脂方法の特性、曲線Bが印加電圧を3.0Vとした場合の本実施例に係る脱脂方法の特性、曲線Cが印加電圧を3.5Vとした場合の本実施例に係る脱脂方法の特性を示している。図4において、従来の浸漬脱脂と比較すると、本実施例に係る脱脂方法では、CuOの酸化膜が著しく減少していることが確認できる。また、図4において、更に0.2-0.3V付近に新たな酸化皮膜が形成され、通常工程より簡単に化学研磨しやすい状態となっている。この酸化皮膜は、電解脱脂処理をしないと発生しない酸化膜であり、本実施例に係るボンディングワイヤの脱脂方法により、電解脱脂処理が適切になされたことが示されている。また、電極50、60間に印加された電圧が3.0Vの曲線Bと3.5Vの曲線Cを比較すると、CuO、Cu2Oとも、印加電圧3.5Vの曲線Cの方が曲線Bよりも減少していることが分かる。つまり、電極50、60間の印加電圧が3.5Vである方が、3.0Vの場合よりも酸化膜が少なく、脱脂の効果が大きい。図5は、図4に示した測定結果を、酸化膜の存在量に換算して示した図である。図5において、従来の浸漬脱脂方法と、本実施例に係る脱脂方法の印加電圧3.0Vの場合と3.5Vの場合が示されている。図5において、従来の脱脂方法と比較して、本実施例に係る脱脂方法のCuOの存在量は大幅に減少しており、脱脂効果が示されているが、更に本実施例の3.0V印加と3.5V印加を比較すると、3.5V印加の方がCuOの残量が少ないことが分かる。このように、電極50、60間の印加電圧は、3.0Vよりも3.5Vの方が好ましい。なお、電圧を更に上げて実験した所、4.4Vまでは3.5Vとほぼ同様の特性を示すことが確認された。よって、電極50、60への印加電圧は、3.5V以上4.4V以下であることがより好ましい。また、電圧を更に上げると、電極50、60と整流器70との接続点の発熱等が発生するおそれがあるので、印加電圧の上限は、5.0V以下とすることが好ましい。よって、電極50、60への印加電圧は、3.0V以上5.0V以内の範囲内にあることが好ましい。また、印加する電圧は、同じ脱脂効果が得られるのであれば、低い方が好ましいので、3.5V以上としない場合には、3.0V以上3.5V未満とする方が好ましい。本実施例に係る脱脂工程に続いて、塩酸洗工程により表面の中和および酸化膜除去をする。化学研磨工程で、銅ワイヤ5の表面および酸化膜を完全に除去する。硫酸洗工程にて化学研磨残渣除去および銅ワイヤ5の表面活性化をする。ストライク工程にて銅素材とパラジウムめっきとの密着性を上げる。めっき工程にて約1μm厚のパラジウムめっきをする。図6は、従来の浸漬脱脂方法と本実施例に係る脱脂方法のめっき後の断面を示した写真である。図6Aは、従来の浸漬脱脂方法が実施されたパラジウム被覆銅ボンディングワイヤのめっき後の断面写真であり、図6Bは、本実施例に係る脱脂方法が実施されたパラジウム被覆銅ボンディングワイヤのめっき後の断面写真である。なお、本実施例に係る脱脂方法では、電極50、60間の印加電圧は3.5Vとしてある。図6Aに矢印で示すように、従来の浸漬脱脂方法においては、パラジウムめっき皮膜と銅ワイヤの界面にボイドが発生している。一方、図6Bに示すように、本実施例に係る脱脂方法が用いられた本実施例に係る被覆ボンディングワイヤの製造方法においては、図6Aに示されるようなボイドの発生は観察されなかった。また、めっき後の製品を約20μmまで縮径し、最終アニールし、外観を金属顕微鏡にて確認したところ、パラジウムが剥離したような形跡は観察されなかった。このように、本実施例に係るボンディングワイヤの脱脂方法及び被覆ボンディングワイヤの製造方法によれば、脱脂工程において油脂及びCuOを効果的に除去し、めっき後にボイドが発生しない高品質の被覆ボンディングワイヤを製造することができる。なお、本実施例においては、ボンディングワイヤが銅ボンディングワイヤであり、被覆ボンディングワイヤがパラジウム被覆銅ボンディングワイヤである例を挙げて説明したが、他の金属材料を用いたボンディングワイヤ及び被覆ボンディングワイヤにも適用可能であることは言うまでもない。以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。