"第1及び第2の主面と、前記第1及び第2の主面に隣接し互いに対向する第1及び第2の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第1の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第1及び第2の溝を交互に形成する工程と、複数の前記第1の溝の内壁面に第1の電極を形成し、複数の前記第2の溝の内壁面に第2の電極を形成する工程と、複数の前記第1の電極と電気的に接続された第1の共通電極と、複数の前記第2の電極と電気的に接続された第2の共通電極と、を形成する工程と、前記第1の共通電極と前記第2の共通電極との間に電圧を印加することによって、前記第1の溝と前記第2の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、前記分極する工程の後、前記第1の電極が前記第1の溝ごとに分離されかつ前記第2の電極が前記第2の溝ごとに分離されるように、前記第1及び第2の共通電極を除去する工程と、を有する、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法。前記第2の共通電極の一部は前記第2の主面に形成され、前記分極する工程は、前記第1の溝と前記第2の主面との間の底板を分極することを含む、請求項1に記載の圧電プレートの製造方法。前記第1及び第2の溝はそれぞれ前記第1の側面から前記第2の側面まで延びるように形成され、前記第1及び第2の電極並びに前記第1及び第2の共通電極は、前記第1及び第2の溝の前記内壁面並びに前記第1及び第2の側面に金属膜を形成し、その後、前記第1の溝と前記第2の側面との境界部及び前記第2の溝と前記第1の側面との境界部の前記金属膜を除去することによって形成される、請求項1または2に記載の圧電プレートの製造方法。前記第1の溝が第1の側面から前記第2の側面の手前まで延びるように形成され、前記第2の溝が前記第2の側面から前記第1の側面の手前まで延びるように形成され、前記第1及び第2の電極は、前記第1及び第2の溝の前記内壁面に金属膜を形成することによって形成され、前記第1及び第2の共通電極は前記第1及び第2の側面に金属膜を形成することによって形成され、前記第1及び第2の共通電極を除去する工程では、前記第1の溝が前記第1の側面と反対側の側面まで達するように、前記圧電体の前記第2の側面側の部分が除去される、請求項1または2に記載の圧電プレートの製造方法。前記第1の共通電極の一部及び第2の共通電極の一部がともに前記第2の主面上に形成される、請求項1から4のいずれか1項に記載の圧電プレートの製造方法。前記第1の共通電極と導通した第1の電極パッドと、第2の共通電極と導通した第2の電極パッドが前記第1の主面上に形成される、請求項1から4のいずれか1項に記載の圧電プレートの製造方法。前記分極する工程は絶縁性オイル中で行われる、請求項1から6のいずれか1項に記載の圧電プレートの製造方法。請求項1から7のいずれか1項に記載の圧電プレートの製造方法によって製造された圧電プレートと、第3の溝が並列して形成された第2の圧電プレートとを、前記第1、第2及び第3の溝が同じ向きに開口するように交互に積層し、前記第1の溝と前記第2の圧電プレートとによって形成される液室と、前記第2の溝と前記第2の圧電プレートとによって形成される第1の空気室と、前記第3の溝と前記第1の圧電プレートとによって形成される第2の空気室とを、前記第2の空気室と前記液室とが積層方向に沿って配列するように形成する工程を有する、液体吐出ヘッドの製造方法。特許文献2に開示されるような筒形状の圧電部材で液室を形成したグールドタイプと呼ばれる筒型圧電アクチュエータは、液室を構成する隔壁を壁厚方向に分極処理する必要がある。分極処理の方法としては、所定の温度環境で、個別液室の隔壁内面側の電極と外面側の電極との間に電界を印加する方法が知られている。基板との接着工程で個別液室を形成し、個別液室の配線パターンや電極パッドなどを基板上に形成した後であれば、複数の液室を構成する複数の隔壁を一括して分極処理することが可能である。しかし、接着工程を経て個別液室を形成した後に分極処理を行うことから、分極時に生じる圧電部材の歪みによって接着強度や液室の位置精度が低下する可能性がある。圧電部材に分極処理を行った後で圧電部材と基板との接着を行えば接着強度の低下は回避することができるが、基板の接着前であるので電極パッドなどの電極パターンが形成されておらず、複数の個別液室を一括して分極処理することが困難である。特許文献1に開示されている、圧電せん断モードを利用した液体吐出ヘッドでは、平板状の圧電部材の1方向厚さ方向に対しては一括した分極処理が可能である。しかし、上述したようなグールドタイプで求められる、複数の方向に対する一括した分極処理を行うのは困難である。本発明は、分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理することができる、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法を提供することを目的とする。本発明の液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法は、第1及び第2の主面と、第1及び第2の主面に隣接し互いに対向する第1及び第2の側面と、を有する平板状の圧電プレートの第1の主面に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第1及び第2の溝を交互に形成する工程と、複数の第1の溝の内壁面に第1の電極を形成し、複数の第2の溝の内壁面に第2の電極を形成する工程と、複数の第1の電極と電気的に接続された第1の共通電極と、複数の第2の電極と電気的に接続された第2の共通電極と、を形成する工程と、第1の共通電極と第2の共通電極との間に電圧を印加することによって、第1の溝と第2の溝とを仕切る隔壁を分極する工程と、分極する工程の後、第1の電極が第1の溝ごとに分離されかつ第2の電極が第2の溝ごとに分離されるように、第1及び第2の共通電極を除去する工程と、を有している。複数の第1の電極と電気的に接続された第1の共通電極と、複数の第2の電極と電気的に接続された第2の共通電極とが形成され、第1の共通電極と第2の共通電極との間に分極のための電圧が印加される。このため1回の電圧印加によって、複数の隔壁を一括して簡便に分極することができる。しかも、第1の溝に第1の電極が、第2の溝に第2の電極が形成されているため、いずれの隔壁も第1の溝側が同じ極性を持つように壁厚方向に分極される。本発明によれば、分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理することができる、液体吐出ヘッド用の圧電プレートの製造方法を提供することができる。本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。本発明は以下の実施形態によって限定されるものではない。図1に、本発明が適用される好ましいインクジェット記録装置の概略構成を示す。記録装置100は、搬送ローラー103に張架された無端ベルト状の搬送ベルト104の上に記録媒体102が載置され、搬送ベルト104を駆動して記録媒体102を矢印方向Aに走査するものである。図1に示したインクジェット記録装置の例では、液体吐出ヘッドユニット101が用いられている。図の例では4個の、例えばイエローY、マゼンタM、シアンC及びブラックBkの4色に対応した液体吐出ヘッドユニット101が、記録媒体搬送方向Aに並置されている。インクタンク106から供給された各色インクを、記録媒体102を搬送しながら液体吐出ヘッドユニット101で吐出させることによって、高速にフルカラー記録が行われる。図2に、液体吐出ヘッドユニット101の吐出口308の配置を示す。インク色毎に設けられている各液体吐出ヘッドユニット101の構造は各色で共通している。図2に示すように、短尺の液体吐出ヘッド309には、インク液滴を吐出する吐出口308が2次元アレー状に高密度で配列されている。この短尺の液体吐出ヘッド309を複数繋ぎ合わせ、全体で記録媒体102の全幅に対応する長さとなるようにして、1つの長尺のフルラインヘッドを備えた液体吐出ヘッドユニット101が構成されている。次に、上述したインクジェット記録装置に搭載されている液体吐出ヘッドユニット101の構成について説明する。図3は液体吐出ヘッドユニット101の分解斜視図、図4は液体吐出ヘッドユニット101を組み立てた状態で示す斜視図である。液体吐出ヘッドユニット101は、オリフィスプレート304、液体吐出ヘッド303、流体制御プレート302及び共通液室301をこの順番で積層し、互いに接合することによって構成されている。流体制御プレート302及び液体吐出ヘッド303は各液室内の電極と電気的に接続されている。液体吐出ヘッド303に接続された配線は、流体制御プレート302から引き出されたフレキシブルケーブル310によって外部と接続されている。オリフィスプレート304は、加圧されたインクが液滴として吐出される吐出口308を備えている。次に、液体吐出ヘッド303の構成について説明する。図5に液体吐出ヘッド303の構成を示す。同図aは、一対の第1及び第2の圧電プレート501,502の分解斜視図及び組立図であり、同図bは複数の第1及び第2の圧電プレート501,502が積層された液体吐出ヘッド303の部分分解斜視図及び組立図である。第1の圧電プレート501の第1の主面S1には、吐出口308と連通する個別液室11となる第1の溝503と、第1の空気室12となる第2の溝504とが、交互にかつ平行にすなわち並列に形成されている。第1の溝503の内壁面には第1の電極SIG505が形成され、第2の溝504の内壁面には第2の電極GND506が形成されている。ここで、SIGは信号、GNDは接地を意味する。第1及び第2の溝503,504が形成されている第1の主面S1の裏面である第2の主面S2には、その全面に第3の電極GND508が形成されている。第3の電極GND508は省略することも可能である。第2の圧電プレート502には、第1の圧電プレート501の個別液室11に対応する位置に、第2の空気室13となる第3の溝507が、互いに平行にすなわち並列に複数本形成されている。第1の圧電プレート501と第2の圧電プレート502を積層すると、図5bに示すように、第2の空気室13と液室11とが積層方向Pに沿って一列に配列する。第2の圧電プレート502の第3の溝507が設けられた面には、第3の溝507の内壁面を含めた全面に、第4の電極GND509が形成されている。第2の圧電プレート502の裏面の、第1の圧電プレート501に設けられた液室11の直上となる位置には、第5の電極SIG512が形成されている。図5aに示すように、第1の圧電プレート501と第2の圧電プレート502は、第1、第2及び第3の溝503,504,507が同じ向きに開口するように接合されている。この接合体を一つのユニットとして、複数のユニットを積層接合し、天板となる第1の基板510及び第2の基板511で挟み、これらの複数のユニットに接合することで液体吐出ヘッド303が作製される。この結果、第1の圧電プレート501と第2の圧電プレート502は交互に積層されている。第1の溝503と第2の圧電プレート502によって液室11が形成され、第2の溝504と第2の圧電プレート502によって第1の空気室12が形成される。また、第3の溝507と第1の圧電プレート501または第1の基板510によって第2の空気室13が形成される。第2の空気室13と液室11は積層方向Pに沿って一列に配列している。第1の基板510及び第2の基板511はパターンが形成されていない平板のプレートである。第1の基板510及び第2の基板511は圧電体である必要はないが、接合時に加熱を要する場合には熱膨張率が第1の圧電プレート501及び第2の圧電プレート502に近い材料によって形成されることが望ましい。次に流体制御プレート302について図3を用いて説明する。流体制御プレート302は、各個別液室11に対応した位置に後方絞り不図示を備えている。後方絞りは駆動によって生じるインクの流動が吐出口308側に強く生じるようにインクの逆流を制限する。流体制御プレート302内には駆動回路が形成されている。駆動回路は液体吐出ヘッドの第1の電極SIG505及び第2の電極GND506と電気的に接続され、流体制御プレート302内に形成された圧電アクチュエータの駆動回路に配線されている。さらに各配線はフレキシブルケーブル310に電気的に接続され、外部にあるインクジェット記録装置の制御部不図示へと接続されている。共通液室301にはインクタンク106からインクを供給するためのインク供給口305が形成され、共通液室301は各個別液室11と連通している。次に液体吐出ヘッド303の駆動動作について説明する。図6は図5bの領域Aの断面拡大図である。図6aに示すように、個別液室11を形成する第1の溝503は第2及び第3の空気室12,13を形成する第2及び第3の溝504,507に対して区画され、2次元アレー状に形成されている。第1の溝503を構成する隔壁513は第1の溝503から外向きの分極方向601、602、603、すなわち第1の溝503側が正、第2の溝504側が負となるように分極方向601に分極されている。また、第1の溝503と第2の主面S2との間の底板514は、その第1の溝503側が隔壁513の第1の溝503側と同じ極性を持つように、すなわち第1の溝503側が正、第2の主面S2側が負となるように分極方向602に分極されている。第2の圧電プレート502の第1の溝503に面する底板515も、第1の溝503側が正、第3の溝507側が負となるように分極方向603に分極されている。ここで、底板514,515は対応する第1の溝503溝ごとに別々の部分として定義する。分極方向601,602,603はこの逆でもよい。すなわち、隔壁513は、第1の溝503側が負、第2の溝504側が正となるように、底板514が第1の溝503側が負、第2の主面S2側が正となるように、底板515が第1の溝503側が負、第3の溝507側が正となるように分極されてもよい。図6bは駆動電圧印加時の様子を示している。まず、第1の電極SIG505及び第5の電極SIG512を正電位とし、第2の電極506GND、第3の電極508GND及び第4の電極509GNDをGND電位とする。この電位状態で、SIG電極505,512とGND電極506,508,509との間に電圧を印加すると、図示のように、個別液室11を形成している隔壁513及び底板514,515は個別液室11を収縮させるように変形する。この変形によって個別液室11内に充填されているインクの圧力が高められ、吐出口308より液滴が吐出する。第1の電極SIG505及び第5の電極SIG512をGND電位、第2の電極506GND、第3の電極508GND及び第4の電極509GNDを正電位として駆動電圧を印加すると逆の変形が生じる。すなわち、個別液室11が膨張するように隔壁513及び底板514,515が変形する不図示。個別液室11を構成する隔壁513及び底板514,515が上述したような変形をするためには、図6aで示すような分極方向601、602、603に隔壁513及び底板514,515を分極する必要がある。特に第1の圧電プレート501では第1の溝503を構成する隔壁513及び底板514を異なる3方向に分極処理する必要がある。図7に第1の圧電プレート501の分極状態について示す。図7に示すように隔壁513及び底板514を分極方向601、602に分極するには、第1の電極505を正電位、第2の電極506及び第3の電極508をGND電位として、SIG電極505とGND電極506,508との間に高電界を印加する。本発明は、第1の圧電プレート501の複数の個別液室11を構成する隔壁513及び底板514を一括して簡便に分極処理することが可能な製造方法に関するものであり、本実施形態の具体的な構成及び製造方法について以下に説明する。第1の実施形態液体吐出ヘッド用の第1の圧電プレート501の、第1の実施形態に係る製造方法について説明する。本実施形態に係る第1の圧電プレート501の製造方法を、図8a~gの斜視図に示す。まず、工程aで、図8aに示すように、所望の厚みと形状を有する平板状の圧電プレート801を準備する。圧電プレート801は、第1及び第2の主面S1,S2と、第1及び第2の主面S1,S2に隣接し互いに対向する第1及び第2の側面W1,W2と、を有する、平板状で直方体状の圧電部材である。工程bで、図8bに示すように、圧電プレート801の第1の主面S1に、複数の第1の溝503を、互いに平行にすなわち並列に形成する。第1の溝503は第1の側面W1から第2の側面W2まで、第1の主面S1を横断して延びるように形成される。形成された第1の溝503の一部は上述した個別液室11として機能する。第1の溝503は所定の均一の深さで形成する必要があるため、深さ制御の精度が高いダイシング加工などを用いることが望ましい。次に、第2の溝504を第1の溝503が形成された同一の面第1の主面S1に、第1の溝503の長さ方向Lに沿って、第1の溝503と平行にすなわち並列に形成する。第2の溝504は第1の溝503の両隣りに、すなわち複数の第1及び第2の溝503,504が交互に位置するように形成される。第2の溝504は第1の側面W1から第2の側面W2まで、第1の主面S1を横断して延びるように形成される。形成された第2の溝504の一部は上述した第1の空気室12として機能する。第2の溝504の深さ制御及び第1の溝503と第2の溝504の間の隔壁513の厚さ制御は高い精度が要求されるため、ダイシング加工などを適用するのが望ましい。加工の順序は特に限定されない。図では第2の溝504の溝幅が第1の溝503の溝幅よりも広くなっているが、大小関係はこれに限定されない。工程cでは、図8cに示すように、形成された第1の溝503の内壁面に第1の電極SIG505を、第2の溝504の内壁面に第2の電極GND506を形成する。電極のパターニングは、リフトオフで形成することができるほか、レーザーや研磨などを利用することもできる。リフトオフを用いる場合、レジストを塗布した後、フォトリソグラフィによって、電極パターンを残さない部分を除いてレジストを除去し、その上部からスパッタリングや蒸着によって電極となる金属層をレジストのパターンを含めて全面に形成する。そして、レジストを除去することでレジスト上部に成膜されていた金属膜をレジストと共に剥離して、最終的に所望の金属膜のパターンが得られる。レーザーや研磨を用いる場合は、まず全面にスパッタリング、蒸着、無電解めっきなどの方法で金属膜を成膜する。そして、成膜された金属膜の不要な部分をレーザーや研磨によって除去することで所望の電極パターンが得られる。リフトオフ、レーザー、研磨などのいずれの方法を取る場合も、第1の溝503及び第2の溝504の端部と接している第1の側面W1及び第2の側面W2にも金属膜を成膜する。第1の側面W1の金属膜は第1の共通電極802の一部を、第2の側面W2の金属膜は第2の共通電極803の一部をそれぞれ構成する。第1の電極SIG505及び第2の電極GND506は、第1の側面W1に成膜された第1の共通電極802及び第2の側面W2に成膜された第2の共通電極803と導通している。工程dでは、図8dに示すように、圧電プレート801の第1の主面S1の裏面である第2の主面S2に、金属膜で構成される第1の共通電極802と、同じく金属膜で構成される第2の共通電極803と、を形成する。第2の共通電極803は、図6に示す第3の電極508GNDとして機能する。第1の共通電極802と第2の共通電極803は、第1及び第2の溝503,504の長さ方向Lと垂直な方向に延びる分離帯804によって分断される。この結果、第1の共通電極802は、第2の主面S2の比較的小さな領域と第1の側面W1とに跨って形成され、第2の共通電極803は、第2の主面S2の比較的大きな領域と第2の側面W2とに跨って形成される。第2の主面S2における両共通電極802,803のパターニングは、フォトリソグラフィを利用してフォトレジストをリフトオフする方法、金属膜の不要部分をエッチング、レーザー、ダイシング、フライス加工などで除去する方法によって行うことができる。第1の共通電極802は、各第1の電極SIG505及び各第2の電極GND506と電気的に接続されている。第2の共通電極803も各第1の電極SIG505及び各第2の電極GND506と電気的に接続されている。工程eでは、図8eに示すように、第1の電極SIG505と第2の電極GND506との電気的接続を分断する。電気的接続は、少なくとも第1の溝503と第2の側面W2との境界部及び第2の溝504と第1の側面W1との境界部の金属膜を除去することができる限り、様々な方法を採用できる。本実施形態では、第1の側面W1の一部を切り欠いて切り欠き806、第2の電極GND506を除去している。同様に、図示は省略するが、第2の側面W2の一部を切り欠いて、第1の電極SIG505を除去している。切り欠き806はダイシング、フライス加工、レーザーアブレーションなどによって形成することができる。この工程によって第1の電極SIG505と第2の電極GND506の間は絶縁される。しかし、複数の第1の電極SIG505同士は第1の共通電極802を介して導通し、複数の第2の電極GND506同士は第2の共通電極803を介して導通している。工程fでは、図8fに示すように、隔壁513及び底板514の分極処理を行う。具体的には、圧電プレート801をそのキュリー点付近まで加熱した状態で、第1の電極SIG505と第2の電極GND506の間実際には、第1の共通電極802と第2の共通電極803の間に1~2kVmm程度の高電界を所定の時間印加する。第1の溝503と第2の溝504とを仕切る隔壁513及び第1の溝503と第2の主面S2の間にある底板514は、第1の溝503側が同じ極性を持つように分極される。第2の主面S2に形成された第1の共通電極802及び第2の共通電極803はパターンサイズが大きいので、これらを電極パッドとして利用することができる。このため、第1の共通電極802及び第2の共通電極803を、高電界を発生する電源装置807に容易に接続することができる。各隔壁513及び底板514の厚さは数十~数百μmであり、電極505,506も同等の間隔で配置されているため、空気中で1~2kVmmの高電界を印加すると空中放電や沿面放電を生じる可能性が高い。そのため例えばシリコーンオイル絶縁破壊電圧:10kV/mm以上のような絶縁性の高い絶縁性オイル中で分極処理を行うことが望ましい。シリコーンオイルは分極後にキシレン、ベンゼン、トルエンといった炭化水素系溶剤や塩化メチレン、111トリクロロエタン、クロロベンゼンといった塩素化炭化水素系溶剤によって除去可能である。工程gでは、図8gに示すように、第1の電極505が第1の溝503ごとに分離され、かつ第2の電極506が第2の溝504ごとに分離されるように、第1及び第2の共通電極802,803を除去する。除去方法としては、ダイシング、フライス加工、研磨、レーザーアブレーションなどを利用することができる。ダイシングを用いる場合、図8fに示すように、両側側面W1,W2よりも内側のa-a線及びb-b線に沿ってダイシングすることで、両側側面W1,W2上の切り欠き806を合わせて除去することができる。また、分離帯804の内側境界線付近でダイシングすることで、分極の際に第1の共通電極802または分離帯804に面していたすなわち、第3の電極508に面していなかった底板514の部分を除去することができる。上述した液体吐出ヘッドの製造方法を用いることによって、各液室11に対応して平板状の圧電プレート上に形成された複数の電極を、同一平面上に設けられた大面積の電極パッドに、電位の正負ごとに集約することが可能になる。従って、分極処理時の電源装置807と圧電プレートの各電極との配線が容易になり、複数の隔壁513及び底板514をそれぞれの壁厚方向に一括して分極処理することが可能になる。このようにして製造された圧電プレートが複数積層されて、液体吐出ヘッドユニット101が形成される。圧電プレートを積層接着し、各種配線などを形成した後に一括して分極処理をする場合、分極時の圧電プレートの歪みによって各圧電プレート間の接着強度が低下する可能性がある。本実施形態では、圧電プレートを積層接着する前に分極処理を行うので、分極時の圧電プレートの歪みによる接着強度の低下を回避することができる。第2の実施形態次に、液体吐出ヘッド303を構成する第1の圧電プレート501の、第2の実施形態に係る製造方法について説明する。本実施形態に係る第1の圧電プレート501の製造方法を、図9a~hの斜視図を示す。ここでは第1の実施形態との差異を主に説明する。説明のない点は第1の実施形態と同様である。まず、工程aでは、図9aに示すように、所望の厚みと形状を有した平板状の圧電プレート801を準備する。工程bでは、図9bに示すように、平板状の圧電プレート801に、複数の第1の溝503を形成する。形成された第1の溝503の一部が個別液室11として機能する。第1の実施形態では第1の溝503は第1の側面W1から第2の側面W2まで、第1の主面S1を貫通するように形成した。本実施形態では、ダイシング加工時にダイシングブレード不図示を第2の側面W2の手前で引き上げることによって、第1の溝503を第1の側面W1から第2の側面W2の手前まで延びるように形成する。工程cでは、図9cに示すように、平板状の圧電プレート801に、複数の第2の溝504を長さ方向Lに沿って平行にすなわち並列に形成する。第2の溝504は第2の側面W2から第1の側面W1の手前まで延びるように形成され、長さ方向Lの一部で第1の溝503と互いに隣接する。つまり第2の溝504は第1の溝503の両隣りに、すなわち複数の第1及び第2の溝503、504が交互に位置するように形成される。形成された第2の溝504の一部は第1の空気室12として機能する。第1の実施形態と同様、第2の溝504は第1の溝503の両隣りに、第1の溝503と交互にかつ平行にすなわち並列に形成される。第1の溝503が連通している第1の側面W1には第2の溝504が連通しておらず、第2の溝504が連通している第2の側面W2には第1の溝503が連通していない。工程dでは、図9dに示すように、形成された第1の溝503に第1の電極SIG505を、第2の溝504に第2の電極GND506を形成する。電極となる金属膜の成膜方法とパターニング方法は第1の実施形態と同様である。金属膜成膜時に、第1の溝503が連通する第1の側面W1及び第2の溝504が連通する第2の側面W2にも金属膜が成膜される。第1の溝503内に形成された各第1の電極SIG505は、第1の側面W1に成膜された金属膜第1の共通電極802の一部となるを介して互いに導通している。第2の溝504内に形成された各第2の電極GND506は、第2の側面W2に成膜された金属膜第2の共通電極803の一部となるを介して互いに導通している。工程eでは、図9eに示すように、第1の実施形態と同様に、第2の主面S2に分離した金属膜を成膜し、第1の共通電極802と第2の共通電極803を形成する。第2の主面S2に形成された第1の共通電極802は、第1の側面W1に形成された第1の共通電極802を介して第1の電極SIG505と導通している。第2の共通電極803は、第2の側面W2に形成された第2の共通電極803を介して第2の電極GND506と導通している。本実施形態では、第1の溝503が第1の側面W1に形成された第1の共通電極802だけに連通し、第2の溝504が第2の側面W2に形成された第2の共通電極803だけに連通している。このため、第1の実施形態の工程eのような、第1及び第2の側面W1,W2で第1の共通電極802と第2の共通電極803を分離する工程は不要である。工程fでは、図9fに示すように、隔壁513及び底板514の分極処理を行う。分極処理の方法は第1の実施形態と同様である。工程gでは、図9gに示すように、第1の溝503が第1の側面W1と反対側の側面まで達するように、ダイシングブレード901によって圧電プレートの第2の側面W2側の部分が除去される。第1の溝503は個別液室11として機能するので両側の側面と連通する必要がある。このとき、第2の側面W2上の第2の共通電極803も除去される。除去方法としてはダイシングのほか、研磨やレーザーアブレーションなどが挙げられる。この結果、各第2の溝504内の第2の電極GND506及び第2の主面S2の第2の共通電極803は電気的に互いに分離される。工程hでは、図9hに示すように、第1の側面W1上の第1の共通電極802を除去する。除去方法としてはダイシング、研磨やレーザーアブレーションなどが挙げられる。この工程によって第1の側面W1上の第1の共通電極802が除去されるため、各第1の溝503内の第1の電極SIG505は電気的に互いに分離される。上述した液体吐出ヘッドの製造方法を用いることによって、第1の空気室12となる第2の溝504が第1の側面W1に連通しない形状で分極処理を行うことが可能となる。図5bに示すように、圧電プレートを積層接着して、個別液室11である第1の溝503を2次元アレー状に配列する際、各個別液室11からの個別配線は積層した圧電プレートの側面から引き出す必要があり、そのための配線スペースを確保する必要がある。本実施形態によれば、積層接着された圧電プレートの第1の側面W1上に第1の空気室12となる第2の溝504が形成されないため、そのスペースを配線スペースとして充当することができ、各個別液室11からの配線引き出しが容易となる。第3の実施形態液体吐出ヘッド303を構成する第1の圧電プレート501の、第3の実施形態に係る製造方法について説明する。本実施形態に係る第1の圧電プレート501の製造方法を、図10a~hの斜視図に示す。本実施形態は第2の実施形態の一部を変更したものであり、説明のない点は第2の実施形態と同様である。第2の実施形態では、第1及び第2の溝の形成と、溝内への電極形成を行った後に、第2の主面S2に共通電極を形成していたが、本実施形態では第2の主面S2に共通電極を形成し、その後で第1及び第2の溝の形成と溝内への電極形成を行う。すなわち、本実施形態では、図9の工程eが工程bとして実施され、それ以外の工程については図9と同じ順序で行われる。第2の実施形態と異なる他の点は、工程e図10eにおいて、第1の主面S1の第1及び第2の溝503,504が形成されている部分とは異なる位置に、第1の電極パッド1101及び第2の電極パッド1102が形成されることである。これらの電極パッド1101,1102は、第1及び第2の溝503,504内に第1の電極SIG505及び第2の電極GND506を形成する際に同時に形成され、工程f図10fにおいて分極時の電極パッドとして用いられる。第1の電極パッド1101は第1の側面W1上に形成された第1の共通電極802と導通し、第2の電極パッド1102は第2の側面W2上に形成された第2の共通電極803と導通するように形成される。工程fにおける分極処理は、この第1の電極パッド1101、第2の電極パッド1102に電源装置807を配線し行うことができる。上述した液体吐出ヘッドの製造方法によれば、第2の主面S2の共通電極を形成した後に圧電プレートを反転することなく工程を進めることができる。PZTのような圧電セラミックスは脆性材料であり、工程途中のハンドリングに注意を要する。特に、圧電プレートに溝を形成した後は圧電プレート自体が非常に脆弱になるため、工程途中のハンドリングの際に圧電プレート自体が破損するおそれがある。本実施形態の製造方法では、第2の主面S2に共通電極を形成した後に、圧電プレートよりも剛性の高いハンドリング用の支持基板不図示に圧電プレートを仮接着して、以降の製造工程を進めることができる。上述した第1の電極パッド1101、第2の電極パッド1102は第1の実施形態と組み合わせることもできる。"