インゴットの製造方法において、質量でCaO≦15、1≦TiO2≦15、5≦Al2O3≦30、残部CaF2のスラグを用いて、質量で0.5≦Ti≦5.0、0.1≦Al≦2.0を含む合金材を不活性ガス雰囲気中でエレクトロスラグ再溶解することを特徴とするインゴットの製造方法。前記スラグに、Alを3質量以下、および/またはLiFを15質量以下添加することを特徴とする請求項1に記載のインゴットの製造方法。前記スラグが、式1を満足することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のインゴットの製造方法。式13.2≦0.81log{[Ti]3/[Al]4}-log[NTiO23/NAl2O32]≦4.5但し[]=合金中質量、N=スラグ中モル分率上述した特許文献1に開示されるESR法は、ESR用消耗電極に対する得られるインゴット中のTi、Alの歩留安定化という点では有利であるものの、得られるインゴットの表面にしわや疵が発生し、平滑で良好な表面肌のインゴットが得られない場合がある。良好な表面肌を持たないインゴットは、不良部を製品部に混入させないために、健全な表面肌が得られるまでその表面を切削や旋削等で削り落とす必要があり、インゴット歩留の極端な悪化を招き、工業製品を量産する上で大きな問題となる。本発明の目的は、インゴットの表面肌の悪化の問題を解決し、インゴット歩留が良好で、尚且つインゴット長手方向に対し、Ti、Alの成分変動を極力抑えた、成分偏析の少ないインゴットを得るための製造方法を提供することである。本発明者は、インゴットの表面肌の悪化の問題を検討し、以下のスラグ組成を採用することでインゴットの歩留を大きく改善でき、尚且つインゴット長手方向に対し、Ti、Alの成分変動を極力抑えた、成分偏析の少ないインゴットを得ることができることを見出し本発明に到達した。すなわち本発明は、質量でCaO≦15、1≦TiO2≦15、5≦Al2O3≦30、残部CaF2のスラグを用いて、質量で0.5≦Ti≦5.0、0.1≦Al≦2.0を含む合金材を不活性ガス雰囲気中でエレクトロスラグ再溶解するインゴットの製造方法である。本発明のインゴットの製造方法は、前記スラグに、Alを3質量以下、および/またはLiFを15質量以下添加することが好ましい。また、本発明のインゴットの製造方法は、前記スラグが、式1を満たすことがより好ましい。式13.2≦0.81log{[Ti]3/[Al]4}-log[NTiO23/NAl2O32]≦4.5但し、[]=合金中のTi、Al質量、N=スラグ中のTi、Alのモル分率本発明のインゴットの製造方法は、良好な表面肌のインゴットを得ることができるため、インゴットの表面肌不良による歩留の低下を極限まで抑える効果がある。また、本発明で得られるインゴットは、インゴットの長手方向の成分変動が極少で均一であることにより、インゴットのトップ側とボトム側の切り捨て量を低減することができ、より良好なインゴット歩留を得ることが可能となり、産業的価値は大きい。本発明の特徴は、Ti、Alを特定量含有するインゴットの製造にエレクトロスラグ再溶解法を適用した際に、質量でCaO≦15、1≦TiO2≦15、5≦Al2O3≦30、残部CaF2のスラグという特定の成分を特定範囲含有させることにある。以下、各成分質量の限定理由について詳しく説明する。CaF2本発明の最も重要な特徴は、エレクトロスラグ再溶解法で適用するスラグの主成分にCaF2を適用したことにある。これは、インゴットの表面肌の悪化を防ぐためである。CaF2が70を超えると、スラグの電気伝導度の上昇から、スラグの発熱量不足によりスラグスキンが増加することでインゴットの表面肌の悪化を招くという問題が生じる場合がある。このため本発明では、CaF2は70以下の範囲が好ましい。より好ましくは、65以下である。一方、CaF2が55未満になると、スラグの融点上昇とスラグ流動性の低下によるスラグスキンの増加から、得られるインゴットの表面肌が悪化する場合がある。このため本発明では、CaF2は55以上が好ましい。CaO≦15CaOを15以下としたのは、インゴット表面肌の悪化を防ぐという理由である。CaOが15を超えるとCaO/Al2O3のバランスが崩れ、発熱量不足を招くためスラグスキンが増加し、インゴットの表面肌が悪化するという問題が生じる。また、CaOは吸湿性があるため、インゴットの水素ピックアップによる水素欠陥を防ぐ必要がある。したがって本発明では、CaOを15以下の範囲とした。1≦TiO2≦15TiO2を1~15の範囲にしたのは、インゴット中のTiをコントロールするためである。TiO2が1未満であると、インゴット中の活性元素の酸化を有効に阻止できないという問題が生じる。一方、TiO2が15を超えると、TiO2の過剰な還元により、インゴット中のAlが著しく減少し、インゴット中のAl量の制御が困難になるという問題が生じる。したがって本発明では、TiO2を1~15の範囲とした。5≦Al2O3≦30Al2O3を5~30の範囲にしたのは、インゴット中のAlをコントロールするためである。Al2O3が5未満であると、インゴット中のAlの酸化を有効に阻止できないという問題と、スラグによる発熱量が不足し、スラグスキンが増加することでインゴットの表面肌が悪化するという問題が生じる。一方、Al2O3が30を超えると、スラグの融点が上がり、スラグスキンが増加することによりインゴットの表面肌が悪化するという問題を生じる。したがって本発明では、Al2O3を5~30の範囲とした。また、本発明のインゴットの製造方法は、用いるスラグにAlを3質量以下、および/またはLiFを15質量以下添加することが好ましい。以下、その理由について説明する。Al:3質量以下本発明で適用するスラグには、Alを3以下添加することが好ましい。これは、Alの添加により、溶解初期におけるTiO2の還元を促進し、インゴットボトム側におけるTiの歩留低下を防止することができるためである。一方、Alを3以上を越えて添加すると、インゴットボトム側において、極端にAlが上昇するという問題が生じやすい。このため、Alを3以下添加することが好ましい。LiF:15質量以下本発明で適用するスラグには、LiFを15以下添加することが好ましい。これは、LiFの添加により、スラグ融点を下げ、スラグスキンを減少させてインゴット表面肌の悪化を防ぐという理由である。一方、LiFが15を超えると、電気伝導度の上昇による発熱量の不足から、スラグスキンが増加しインゴット表面肌が悪化するという問題が生じやすくなる。このため、LiFを15以下添加することが好ましい。TiおよびAlを含有する超耐熱合金等をESRする際に用いるスラグは、特許文献1にも開示されているように、合金中のTi質量、Al質量と、スラグ中のTiO2、Al2O3のモル分率の相関を関係式化することが一般的に行なわれている。本発明のインゴットの製造方法は、合金中のTi質量およびAl質量をそれぞれ[Ti]、[Al]とし、スラグ中のTiO2およびAl2O3のモル分率をそれぞれNTiO2、NAl2O3としたときに、前記スラグが、式1を満たすことがより好ましい。以下、その理由について説明する。式13.2≦0.81log{[Ti]3/[Al]4}-log[NTiO23/NAl2O32]≦4.5式1の上限下限を超えると、ESR用消耗電極中のTi、Alと、スラグ中のTiO2、Al2O3のバランスが不適切となり、ESR用消耗電極中のAlおよびTiに対する、ESR後のインゴットのAlおよびTiの値が極端に変動し、インゴット成分の制御が困難になる場合があるため、本発明の範囲内に管理することが好ましい。本発明のインゴットの製造方法は、インゴット中のTiおよびAlの歩留低下や成分バラツキを引き起こすことを抑制するために不活性ガス雰囲気中でESRを行なう。本発明でいう不活性ガスとは、アルゴン等の希ガスをいう。また、本発明のインゴットの製造方法は、インゴットサイズの大小によらず、あらゆるサイズのインゴットにも適用可能である。本発明の製造方法が適用できる合金としては、例えばJISG4901で規定されるA286相当等のFe基の超耐熱合金や、NCF80A相当等のNi基の超耐熱合金があり、中でもAlloy718相当といった超耐熱合金に最適である。以下の実施例で本発明を更に詳しく説明する。先ず、表1に示す超耐熱合金のESR用消耗電極を作製した。尚、表1に示す合金A、合金B、合金C、合金Dは、以下の組成質量である。合金AC:0.05、Si:0.55、Mn:1.80、Ni:10.5、Cr;17.5、Mo:0.2、Cu:0.2、Al:0.15、Ti:0.55、残部Fe及び不可避的不純物合金B=C:0.04、Cr:15.0、Ni:26.0、Mo:1.3、Al:0.3、Ti:2.2、残部Feおよび不可避的不純物合金C=C:0.3、Cr:19.0、Ni:53、Mo:3.0、Al:0.55、Ti:0.95、残部Feおよび不可避的不純物合金D=C:0.05、Cr:20.0、Al:1.35、Ti:2.3、残部Niおよび不可避的不純物次に、上記で得たESR用消耗電極を、表1に示す組成のスラグを用いて、Ar雰囲気のもとでESRを行い、表1に示すインゴットを製造した。得られたインゴットの表面肌状態については、有害となる深さが10mm以上のしわや疵といった凹凸がないものを○、あるものを×として評価を行ない、その結果を表1に示す。また、各インゴットの上端部相当位置から試料を採取し、TiおよびAlの成分分析を実施し、ESR用消耗電極中のTiおよびAl含有量を基準とする変動率として表1に示した。このとき、各インゴットのトップおよびボトムの成分濃度差も確認し、その結果を表1に示す。本発明のインゴットの製造方法によると、スラグ組成を本発明の範囲内とすることで、インゴット表面には深さが10mm以上の有害なしわや疵といった凹凸がなく、平滑で良好な外観のインゴットが得られた。一方、本発明のスラグ組成から外れるスラグを用いた比較例では、インゴット表面に深さが10mm以上の有害なしわや疵が確認された。また、本発明のインゴットの製造方法によると、スラグ組成を本発明の範囲内とすることで、ESR用消耗電極に対してインゴット長手方向のTiおよびAlの変動が0.13以下と少なく、健全なインゴットが得られることが確認できた。一方、本発明のスラグ組成から外れるスラグを用いた比較例では、電極Al成分に対するインゴットAl成分の変動率が大きくなり、インゴット成分の制御が困難であった。