"検知装置の開口部内に摺動可能に連結された逃し弁棒と、前記逃し弁棒の第1の端部に連結され、内部逃し弁が閉鎖位置にあるとき、前記検知装置の第1の側と前記検知装置の第2の側との間の流体の流れを阻止するように前記検知装置の前記第1の側に係合するための、逃し弁座と、前記検知装置の表面を通って形成される抽気孔であって、前記抽気孔は、前記検知装置の前記開口部とは別個であり、前記内部逃し弁が開放位置にあるとき、前記検知装置の前記第1の側と前記第2の側との間に制御された流量を提供するように寸法決定される通路を提供する、抽気孔と、前記逃し弁が前記開放位置にあるとき、前記検知装置の前記開口部を介して前記検知装置の前記第1の側と前記検知装置の前記第2の側との間の流体の流れを阻止するように、前記抽気孔および前記弁座から上流の前記逃し弁棒の本体に沿って配置される、シールと、を備える、内部逃し弁。前記検知装置は、ダイヤフラムプレートを備え、前記抽気孔は、前記ダイヤフラムプレートの本体部分内に形成される、請求項1に記載の逃し弁。前記抽気孔は、前記逃し弁棒の縦軸に垂直な軸を有する、請求項1から2のいずれかに記載の逃し弁。前記シールはOリングである、請求項1から3のいずれかに記載の逃し弁。前記逃し弁が前記閉鎖位置にあるとき、前記検知装置の前記第1の側に密封係合するための、逃し弁プラグの表面上に配置されるシールをさらに備える、請求項1から4のいずれかに記載の逃し弁。前記検知装置は、ダイヤフラムプレートによって支持されるダイヤフラムを備える、請求項1から5のいずれかに記載の逃し弁。前記逃がし弁座は、ダイヤフラムアセンブリの押し棒と一体化して形成される、請求項1から6のいずれかに記載の逃し弁。前記シールは、前記逃し弁が前記開放位置にあるとき、前記流体の流れを前記抽気孔を通して誘導するためのものである、請求項1から7のいずれかに記載の逃し弁。前記抽気孔は、前記逃し弁が開放位置にあるとき、比較的少量の流体の流れが前記抽気孔を通ることを可能にするためのものである、請求項1から8のいずれかに記載の逃し弁。圧力が約10水柱インチin-wcのとき、前記比較的少量の流体の流れは約14標準立方フィート/時間scfh未満である、請求項1から9のいずれかに記載の逃し弁。検知チャンバ内の圧力が第1の閾値よりも高いとき、ダイヤフラムの第1の側に隣接する前記検知チャンバと前記ダイヤフラムの第2の側に隣接する負荷チャンバとの間の流体の流れを可能にするように、ダイヤフラムプレートを介してダイヤフラムに動作可能に連結された内部逃し弁であって、前記ダイヤフラムプレートの開口部内に摺動可能に連結された逃し弁棒と、前記検知チャンバと前記負荷チャンバとの間の流体の流れを阻止するために、前記内部逃し弁が閉鎖位置にあるとき、前記ダイヤフラムの前記第2の側に隣接する前記ダイヤフラムプレートに密封係合するように前記逃し弁棒に連結された逃し弁座と、前記内部逃し弁が開放位置にあるとき、前記ダイヤフラムプレートの前記開口部を介して前記検知チャンバと前記負荷チャンバとの間の流体の流れを阻止するように前記ダイヤフラムプレートの前記開口部内に配置されるシールと、前記逃がし弁座と前記シールとの間の位置に前記ダイヤフラムプレートと一体化して形成される抽気孔であって、前記ダイヤフラムプレートの前記開口部とは別個であり、前記内部逃し弁が開放位置にあるとき、前記検知チャンバと前記負荷チャンバとの間に制御された流体の流れを提供する、抽気孔と、を備える、内部逃し弁を備える、流体調整装置。前記抽気孔は、前記逃し弁棒の縦軸に垂直な軸を有する、請求項11に記載の流体調整装置。前記シールはOリングである、請求項11から12のいずれかに記載の流体調整装置。前記逃し弁座は、押し棒と一体化して形成される、請求項11から13のいずれかに記載の流体調整装置。前記押し棒は、前記ダイヤフラムプレートを前記流体調整装置の弁プラグと動作可能に連結する、請求項11から14のいずれかに記載の流体調整装置。前記抽気孔は、前記内部逃し弁が前記開放位置にあるとき、前記検知チャンバと前記負荷チャンバとの間の少量の流体の流れを可能にするように寸法決定される、請求項11から15のいずれかに記載の流体調整装置。前記抽気孔は、前記流体調整装置内の圧力が約10.5水柱インチin-wcであるとき、約14標準立方フィート/時間scfh未満の流量を可能にする、請求項11から16のいずれかに記載の流体調整装置。前記第1の閾値は、前記ダイヤフラムの前記第1の側に隣接する前記ダイヤフラムプレートに動作可能に連結された閉鎖ばねによって提供される、請求項11から17のいずれかに記載の流体調整装置。前記シールは、前記開口部内で移動するための前記逃し弁棒の一部に沿って配置される、請求項11から18のいずれかに記載の流体調整装置。流体調整装置とともに使用するための内部逃し弁アセンブリであって、流体調整装置の出口で圧力を検知するための手段であって、前記流体調整装置の前記出口と流体連通する第1の側と、通気孔と流体連通する第2の側と、を有する、検知のための手段と、前記出口の圧力が前記調整装置をロックアップ状態に移動させる圧力を越えて増加した場合に、前記検知のための手段の前記第1の側と前記検知のための手段の前記第2の側との間の流体の流れを可能にするための手段であって、前記検知のための手段の開口部内に摺動可能に連結され、前記抽気孔を通る流体の流れを可能にするために前記開口部とは別個である抽気孔を含む、流体の流れを可能にするための手段と、前記開口部を介して前記検知のための手段の前記第1の側と前記第2の側との間の流体の流れを阻止し、前記可能にするための手段が前記検知のための手段の前記第1の側と前記第2の側との間の流体の流れを許容する場合、前記抽気孔に向かって流体の流れを誘導するための手段と、を含む、内部逃し弁アセンブリ。前記開口部を通る流体の流れを阻止するための前記手段は、前記開口部内に配置された密封するための手段を備える、請求項20に記載の内部逃し弁アセンブリ。しかしながら、いくつかの例では、例えば、温度変化による流体圧力の増大は、超過圧力保護デバイスの所望されないまたは不要な起動を引き起こし得る。超過圧力保護デバイスの不要な起動を防止するために、いくつかの公知のバネ負荷流体調整装置は、内部逃し弁を有している場合がある。しかしながら、内部逃し弁は、過剰な流体例えば、天然ガスを大気に抽気させる可能性がある。特定の用途および/または政府の規制例えば、欧州の規制は、大気に放出してもよい漏洩排出量を制限している。よって、規制によって課せられた限界値を超える流体を大気に放出する内部逃し弁は、ある用途に使用することができない。一例において、内部逃し弁は、逃し弁棒の第1の端部に連結され、内部逃し弁が閉鎖位置にあるとき、検知装置の第1の側と検知装置の第2の側との間の流体の流れを阻止するように検知装置の第1の側に係合するための、逃がし弁座を含む。検知装置の表面内にあり、検知装置の開口部とは別個である抽気孔は、内部逃し弁が開放位置にあるとき、検知装置の第1の側と第2の側との間に制御された流量を提供するように寸法決定される。逃し弁が開放位置にあるとき、検知装置の開口部を介して検知装置の第1の側と検知装置の第2の側との間の流体の流れを阻止するために、抽気孔および弁座から上流の逃し弁棒の本体に沿ってシールが配置される。別の例において、流体調整装置は、検知チャンバ内の圧力が第1の閾値よりも高いとき、ダイヤフラムの第1の側に隣接する検知チャンバとダイヤフラムの第2の側に隣接する負荷チャンバとの間の流体の流れを可能にするように、ダイヤフラムプレートを介してダイヤフラムに動作可能に連結された内部逃し弁を含む。内部逃し弁アセンブリは、ダイヤフラムプレートの開口部内に摺動可能に連結された逃し弁棒を含む。逃し弁座は、検知チャンバと負荷チャンバとの間の流体の流れを阻止するために、内部逃し弁が閉鎖位置にあるとき、ダイヤフラムの第2の側に隣接するダイヤフラムプレートに密封係合するように逃し弁棒に連結される。内部逃し弁が開放位置にあるとき、ダイヤフラムプレートの開口部を介して検知チャンバと負荷チャンバとの間の流体の流れを阻止するようにダイヤフラムプレートの開口部内にシールが配置される。抽気孔は、逃がし弁座とシールとの間の位置にダイヤフラムプレートと一体化して形成され、抽気孔は、ダイヤフラムプレートの開口部とは別個である。抽気孔は、内部逃し弁が開放位置にあるとき、検知チャンバと負荷チャンバとの間に制御された流体の流れを提供する。本明細書に記載される例示的な流体調整装置は、制御されたまたは所定の流体の流れもしくは抽気量を提供する内部逃し弁を用いる。内部逃し弁の流体の流れまたは抽気量を制御することにより、大気中に放出することのできる制御流体例えば、天然ガスの量に規制を課す商業用途または業種例えば、病院、学校、介護施設等において本明細書に記載される例示的な流体調整装置を使用することができる。さらに、本明細書に記載される例示的な流体調整装置は、大気に排出または放出されてもよい漏洩排出量に対する厳しい制限を有するある政府の規制または制約例えば、欧州の規制に準拠する。例えば、流体の流れまたは抽気量を制御することにより、本明細書に記載される例示的な内部逃し弁は、比較的低い流体流量例えば、16in-wcの圧力で14scfh未満で流体が大気に放出できるようにする。本明細書に記載される例示的な内部逃し弁装置の詳細について論じる前に、図1と併せて既知の流体調整装置100について説明する。流体調整装置100は、設定制御圧に基づいて下流圧力を許容圧力範囲および/または一定の圧力範囲内に維持するように流体の流れを調整または調節する。具体的には、流体調整装置100の入口102は、典型的には、比較的高圧の供給流体を受容し、出口104では比較的より低い圧力および/または実質的に一定の圧力を提供する。入口102と出口104との間の流体の流れを制御するために、流体調整装置100はアクチュエータ106を用いる。アクチュエータ106は、負荷チャンバ112および検知チャンバ114を画定するようにアクチュエータ筐体110内に拘束されるダイヤフラム108を含む。負荷チャンバ112は、ダイヤフラム108の第1の側120に、例えば、設定もしくは制御負荷または設定もしくは制御圧を提供する制御ばね118等の負荷アセンブリ116を含む。典型的には、負荷装置116によって提供される制御負荷または制御圧力は、流体調整装置100によって提供される所望の出口圧力に対応する。負荷装置116によってダイヤフラム108にわたって提供される圧力差と、検知チャンバ114によって検知される出口圧力により、ダイヤフラムが弁プラグ122を弁座124に対して移動させ、流体の流れを調節する。プロセス流体に対する下流要求量が減少するおよび/または下流源が遮断されるすなわち、下流要求量が実質的にゼロになると、流体調整装置100内の弁プラグ122が弁座124に密封係合し、流体調整装置100を通る流体の流れを阻止するすなわち、ロックアップ状態。下流要求量が減少すると、下流圧力が増加する。いくつかの例では、腐食、調整装置の構成要素への損傷、グリット、配管スケール等のために、弁プラグ122が弁座124に対して適切に密封できない場合があり、それによって流体調整装置100の入口102と出口104との間で流体が連続的に流れ、下流圧力例えば、制御圧を増加させる。流体調整装置100が有害なプロセス流体例えば、天然ガスとともに使用される場合、流体調整装置100は、しばしば超過圧力保護装置またはデバイス126を用いる。超過圧力保護デバイス126例えば、遮断デバイス等は、流体調整装置100に連結され、下流源における超過圧力の蓄積を防止するために、下流圧力が不要な圧力レベル例えば、安全ではないレベルに達すると起動する。起動されると、超過圧力保護デバイス126は、流体調整装置100を閉鎖して流体調整装置100を通る流体の流れを防止する。出口104と下流源との間の流体の圧力が、例えば、超過圧力保護デバイス126の制御ばね128によって設定された所定の安全圧力レベルを下回ると、超過圧力保護デバイス126は起動しない。しかしながら、プロセス流体が、流体調整装置100の弁プラグ122の出口104側と下流源との間に滞留する。いくつかの例では、出口104と下流源との間の流体の圧力は、例えば、周囲温度の上昇のために、圧力の増加を経験する可能性がある。出口104における流体の圧力の増加は、超過圧力保護デバイス126を起動させる場合がある。温度変化による超過圧力保護デバイス126の不要な起動を防止するために、流体調整装置100は、大気に流体的に連結された通気孔130を含む。出口104と通気孔130を流体的に連結するために、流体調整装置100は、ダイヤフラム108に動作可能に連結された内部逃し弁132を用いる。超過圧力保護デバイス126は、通常、内部逃し弁132の圧力設定よりも高い圧力設定を有し、出口104における流体の圧力が内部逃し弁132の圧力設定を実質的に超えた場合に起動する。よって、例えば、温度変化のために、プロセス流体の圧力が増加すると、内部逃し弁132は、プロセス流体を、例えば、大気に放出する。プロセス流体の下流圧力が内部逃し弁132の設定を超えた場合、通気孔130を介して流体を大気に放出するために内部逃し弁132が開放する。プロセス流体が内部逃し弁132を通って放出しているにもかかわらず、出口圧力が所定の圧力を超えた場合に、超過圧力保護デバイス126が起動する。このように、内部逃し弁132は、例えば、プロセス流体の温度変化による超過圧力保護デバイス126の不要な起動または引き外しを防止する。図2および3は、図1の例示的な内部逃し弁132を示す。図2は、閉鎖位置200にある内部逃し弁132を示す。図3は、開放位置300にある内部逃し弁132を示す。図2および3を参照すると、内部逃し弁132はダイヤフラム108に連結されている。内部逃し弁132は、押し棒204に連結された逃がし弁座202を有する。逃がし弁座202は、内部逃し弁132が図2に示される閉鎖位置200にあるときにダイヤフラム108に密封係合する密封リムまたはエッジ206を有する。内部逃し弁132は、ダイヤフラムプレート212およびダイヤフラム108の開口部210内に摺動可能に連結された逃し弁棒208を含む。さらに、逃し弁棒202は、押し棒204に連結される。内部逃し弁ばね214は、所望の圧力除去点または排出圧を確立するための所望の前負荷を提供するように、アジャスタ216とダイヤフラムプレート212との間に拘束される。アジャスタ216は、ダイヤフラムプレート212から離れて逃し弁棒202に係合または連結する。動作において、流体調整装置100がロックアップ状態にあり、出口104における圧力が、内部制御ばね214によって印加される前負荷力を超える力をダイヤフラム108に印加する圧力までさらに増加すると、ダイヤフラム108は、逃がし弁座202の密封リムまたはエッジ206との密封係合から移動もしくは偏向して離れるか、離脱するか、または抜け出し、図3に示される開放位置300になる。結果として、検知チャンバ114内の加圧流体がリムまたはエッジ206を越え、ダイヤフラムプレート212およびダイヤフラム108の開口部210を通って、逃し弁棒208を超えて逃し弁棒208に沿って負荷チャンバ112まで進む。次いで、逃し弁アセンブリ132を通過する加圧流体が、後に通気孔130を介して大気へと送られてもよい。具体的には、内部逃し弁132が開放位置300にあるとき、弁棒208と開口部210との間の間隙218によって流路が提供される。この間隙218は、例えば、逃し弁棒208および/またはダイヤフラム108の開口部210および/またはダイヤフラムプレート212の製造上の公差に起因して、未制御の断面積または流路を提供する可能性がある。さらに、間隙218は、規制または基準例えば政府の規制等によって課せられた最大許容限界値例えば、漏洩排出量を超える流量を許容する可能性がある。いくつかの政府の規制は、大気に排出してもよい制限流体例えば、天然ガスの量を制限している。よって、これらの用途において、例示的な内部逃し弁132は、規制によって課せられた許容限界値を超える量の流体例えば、天然ガスを大気に放出する可能性がある。内部逃し弁132は、たとえ、逃し弁棒208の外面220に対する開口部210のサイズが比較的小さい場合であっても、政府による限界値を超える可能性があるよって、政府の規制を遵守していない場合がある。図4は、本明細書に記載される例示的な内部逃し弁402とともに実装される例示的な流体調整装置400を示す。例示的な流体調整装置400は、入口408と出口410との間の流体通路406を画定する弁体404を含む。入口408は、流体調整装置400から上流の分配システム例えば、天然ガス分配システムに流体的に連結されてもよく、出口410は、例えば、流体調整装置400から下流のボイラー等の消費源に流体的に連結されてもよい。流体調整装置100は、設定制御圧に基づいて、下流圧力を許容圧力範囲および/または一定の圧力範囲内に維持するように流体の流れを調整または調節する。流体調整装置400の入口408は、典型的には、比較的高圧の供給流体を受容し、出口410では比較的より低い圧力および/または実質的に一定の圧力を提供する。弁座412は、弁体404の通路406内に装着され、流体がそこを通って入口408と出口410との間を流れることができるオリフィス410を画定する。通路406を通る流体の流れを制御するために、弁体404は、弁座412に対して移動する流れ制御部材または弁プラグ414を含む。流れ制御部材または弁プラグ414は、弁棒418の端部416に連結され、通路406を通る流体の流れを制限または阻止するために、弁棒418および弁プラグ414が弁座412に対して移動されると弁座412の密封面に密封係合する、エラストマー材料でできていてもよい密封ディスク420を含む。アクチュエータ422は、検知アセンブリ428を収容する上部ケーシング424および下部ケーシング426を含む。検知アセンブリ428は、ダイヤフラム430の第1の側432および上部ケーシング424が負荷チャンバ434を画定し、ダイヤフラム430の第2の側436および下部ケーシング426が検知チャンバ438を画定するように、アクチュエータ422の上部ケーシング424とアクチュエータ422の下部ケーシング426との間に拘束される検知装置またはダイヤフラム430を含む。ダイヤフラム430は、レバー440を介して弁プラグ414例えば、密封ディスクを弁座412に対して移動させ、入口408と出口410との間の流体の流れを制御または調整する。レバー440は、弁棒412の第2の端部442に連結され、ダイヤフラムプレート444および押し棒アセンブリ446を介してダイヤフラム430に連結される。ダイヤフラム430に制御圧を提供するために、アクチュエータ422は、負荷チャンバ434内に配置された負荷アセンブリ448を用いる。典型的には、負荷装置448によって提供される制御された負荷また圧力は、流体調整装置400によって提供される所望の出口圧力に対応する。この例において、負荷アセンブリ448は、調節可能なばねシート452と第2のばねシート454例えば、ダイヤフラムプレート444の本体部分との間に配置された制御ばね450を含む。制御ばね450は、弁プラグ414を弁座412から離して例えば、開放位置に移動させるために、ダイヤフラム430の第1の側432を検知チャンバ438に対して付勢する設定負荷または力例えば、下流制御圧を提供する。制御ばね450によってかけられた力の量は、調節可能なばねシート452を介して調節する例えば、増加させるかまたは減少させることができる。検知チャンバ438が弁口またはスロート領域456を介して出口410と流体連通するように、弁体404は、アクチュエータ422の下部ケーシング426に連結される。制御ばね450によって提供される力が検知チャンバ438内の流体の圧力によって提供される力によって克服されると、ダイヤフラム430が負荷チャンバ434に向かって移動し、弁プラグ414を弁座412に向かって移動させ、通路406を通る流体の一定な流れを制限するかまたは提供する。最大入口流体圧力定格よりも低い最大出口流体圧力定格を有する流体調整装置は、通常、超過圧力保護を必要とする。換言すると、出口圧力を超える入口圧力を有するプロセス用途には、下流の流体圧力が所定値例えば、安全ではない圧力を超えること、または入口圧力よりも高くなることを防止するために、しばしば超過圧力保護デバイスが必要である。図示した例において、超過圧力保護デバイスまたは遮断デバイス458は、流体調整装置400に連結されている。よって、流体調整装置400は、例えば、天然ガス等の有害なプロセス流体とともに使用することができる。超過圧力保護デバイス458は、出口圧力下流圧力を検知し、下流圧力が所定の圧力に達すると、通路406を通る流体の流れを阻止するために流体調整装置400を閉鎖する。出口410で下流圧力を検知するために、弁体404は、超過圧力保護デバイス458の検知チャンバ図示せずを弁体404の出口410と流体的に連結するための経路460を含む。例えば、出口410における温度変化によって引き起こされる出口410における流体の圧力増加に起因する超過圧力保護デバイス458の不要な起動を防止するために、流体調整装置400は、大気に流体的に連結された通気孔462を含む。この例において、アクチュエータ422は、通気逃し弁464を有する通気孔462を含む。通気逃し弁464は、負荷チャンバ434内の流体の圧力が通気制御ばね466によって提供される力よりも高いときに開放位置に移動する通気制御ばね466を含む。出口410を通気孔462と選択的に流体的に連結するために、アクチュエータ422は、検知アセンブリ428に動作可能に連結された内部逃し弁アセンブリ402例えば、トークン逃し弁を用いる。超過圧力保護デバイス458は、内部逃し弁402の圧力設定よりも高い圧力設定を有し、出口410における流体の圧力が内部逃し弁402の圧力設定を実質的に超えた場合に起動する。よって、プロセス流体の圧力が、例えば、温度変化のために増加すると、内部逃し弁402は、プロセス流体を、例えば、大気に放出する。プロセス流体の下流圧力が内部逃し弁の設定を超えた場合、流体を大気に放出または抽気するために内部逃し弁402が開放する。プロセス流体が内部逃し弁402を通って放出または抽気しているにもかかわらず、出口圧力が所定の圧力を超えた場合に、超過圧力保護デバイス458が起動する。このように、内部逃し弁402は、例えば、プロセス流体の温度変化による超過圧力保護デバイスの不要な起動または引き外しを防止する。さらに、または代替として、臭気を有する流体例えば、天然ガスが通気孔462を介して放出したときに、内部逃し弁402は、流体調整装置400が適切に機能していない可能性があるという知覚的警告を提供してもよい。図5および6は、ダイヤフラム430に連結された例示的な内部逃し弁402を示す。図5は、閉鎖位置500にある内部逃し弁402を示す。図6は、開放位置600にある内部逃し弁402を示す。図5および6を参照すると、内部逃し弁402は、ダイヤフラム430の第2の側436に隣接する逃し弁座502を含む。この特定の例において、逃し弁座502は、押し棒アセンブリ446の押し棒504と一体化して形成される。この例では、押し棒504は、ナット505を介してダイヤフラムプレート444に連結される。逃し弁座502がダイヤフラムプレート444に係合したときに内部逃し弁402を通る流体の流れを阻止するために、逃し弁座502は、ダイヤフラムプレート444に密封係合するシール506例えば、Oリングを含む。別の例において、逃し弁座502はダイヤフラム430に密封係合する。例示的な内部逃し弁402は、ダイヤフラムプレート444およびダイヤフラム430の開口部510内に摺動可能に連結された逃し弁棒508を含む。内部逃し弁402をダイヤフラム430と連結するために、逃し弁棒508の第1の端部514が逃し弁座502に連結され、第2の端部516がアジャスタ520に連結される。内部逃し弁の閉鎖ばね518は、所望の圧力除去点または排出圧を確立するための所望の前負荷を提供するように、アジャスタ520とばねシート522との間に拘束される。アジャスタ520は、ダイヤフラムプレート444から離れて逃し弁棒508に係合または連結する。アジャスタ520は、除去圧を調節または設定するために閉鎖ばね518に予め負荷をかけるための、逃し弁棒508上に螺着することができるねじ山付きナット等であってもよい。この例において、ばねシート522は、ダイヤフラムプレート444のカラーまたは円筒状本体部分524と一体化して形成される。本体部分524は、ダイヤフラムプレート444の支持部分またはフランジ526から突出する。この例において、内部逃し弁402は、ダイヤフラムプレート444および/またはダイヤフラム430の開口部510を通る流体の流れを阻止するために、開口部510内に配置されたシール528例えば、Oリングを含む。図示した例において、シール528は、ダイヤフラムプレート444の開口部510内で摺動または移動するための逃し弁棒508の本体に沿った溝または凹部分530内に配置される。シール528は、内部逃し弁402が図6に示される開放位置600にあるとき、流体が開口部510を通って逃し弁棒508を超えて放出するのを防止する。他の例において、シール528は、開口部510の陥凹部または窪みの中に配置されてもよい。さらに他の例において、複数のシールが開口部510内に配置されてもよいか、および/または逃し弁棒508に沿って離間されてもよい。内部逃し弁402が開放位置600にあるとき、検知チャンバ438と負荷チャンバ434との間に流体経路または流路を提供するために、内部逃し弁402は抽気孔または小さな開口部532を含む。図示した例において、抽気孔532は、逃し弁座502と逃し弁棒508のシール528との間でダイヤフラムプレート444内に配置される。この例において、抽気孔532は、ダイヤフラムプレート444内に形成される。具体的には、図示した例において、抽気孔532は、ダイヤフラムプレート444のカラーまたは円筒状本体部分524内に形成される。よって、抽気孔532は、ダイヤフラムプレート444の開口部510とは別個であり、異なる。図示した例の抽気孔532は、ダイヤフラムプレート444の開口部510の縦軸536に実質的に垂直な軸534を有する。しかしながら、他の例において、抽気孔532の軸534は、縦軸536に対して任意の他の角度で存在してもよい。さらに、図1~3の内部逃し弁132とは異なり、図示した例の例示的な内部逃し弁402は、制御されたまたは所定の流量を提供する。より具体的には、抽気孔532は、制御された流路断面積を提供するようにサイズ決定および寸法決定される。換言すると、抽気孔532は、製造上の公差によって異なる可能性がある間隙例えば、図1~3の間隙218のサイズに依存しない。さらに、抽気孔532は、流体調整装置400が規制または規約に準拠することができるように、図1~3の内部逃し弁132の間隙218によって提供される断面積よりも実質的に小さい断面積とともに提供されてもよい。よって、抽気孔532は、異なる圧力範囲にわたって制御された所定の流量を提供するようにサイズ決定および寸法決定することができる。例えば、抽気孔532は、内部逃し弁402が開放位置600にあるとき、検知チャンバ438と負荷チャンバ434との間の比較的少ない流体の流れを可能にするようにサイズ決定および寸法決定されてもよい。いくつかの例において、たとえ、図2および3の逃し弁棒208がダイヤフラム108およびダイヤフラムプレート212の開口部210内に密接に嵌合されている場合でも、抽気孔532は、図1~3の内部逃し弁132によって提供される流路断面積よりも小さい流路断面積を提供するようにサイズ決定される。よって、例示的な抽気孔532は、大気に放出する流体の量を実質的に制限または制御するようにサイズ決定することができる。結果として、政府の規制例えば、16in-wcの出口圧力で14scfh未満の流体流量に準拠するように流体流量を制御することができる。図7は、流体調整装置400を様々な圧力に暴露した場合に内部逃し弁402によって提供される流体流量の例を示すグラフ700である。例えば、制御ばね450が約8.2in-wcの出口圧力を提供する場合、内部逃し弁402は、約0in-wc~130in-wcの範囲の流体圧力にわたって約1scfh~14scfhの流体流量を提供する。例えば、グラフ700を参照すると、出口410の圧力が約10.5in-wcであるとき、内部逃し弁402が開放位置600に移動し、約10scfhの流量で抽気孔532を介して検知チャンバ438と負荷チャンバ434との間に流体を放出する。いくつかの政府の規制は、16in-wcの圧力で14scfh以下の流量を要求する。よって、例示的な流体調整装置400は政府の規制に準拠しており、したがって、例えば、図1~3の流体調整装置100以外の多様な異なる用途において使用することができる。図4~6を参照すると、動作において、下流負荷によって例えば、消費源によって要求される流体の量を送達する一方で、出口410において必要な下流圧力を維持するように通路406を通る流体の流れを監視することによって流体圧力および流体調整が達成される。アクチュエータ422は、制御ばね450によって提供または設定される所望の出口圧力に従って出口410の圧力を調整する。検知チャンバ438は、スロート領域456における流体の圧力を検知し、該圧力は、ダイヤフラム430の第1の側436に付与される制御ばね450の力または圧力に対向するように、ダイヤフラム430の第2の側436に力または圧力を提供する。同様に、ダイヤフラム430は、レバー440および押し棒アセンブリ446を介して弁プラグ414を弁座412に対して移動させる。ダイヤフラム430にわたる実質的に等しくないかまたは平衡していない圧力差により、ダイヤフラム430が弁プラグ414を弁座412に対して移動させ、制御ばね450によって提供される設定制御圧に対応する実質的に一定なより低い出口圧力を達成するように通路406を通る流体の流れを調節する。制御ばね450を調節することにより、出口410で提供される圧力が変化する。具体的には、ダイヤフラム430の第1の側432に提供される圧力よりも低いダイヤフラム430の第2の側436に提供される圧力が、ダイヤフラム430を検知チャンバ438に向かって移動させる。同様に、ダイヤフラム430が弁プラグ414を弁座412から離れるように移動させ、通路406を通る流体の流れを可能にするかまたは増加させる。第1の側432に提供される圧力よりも高いダイヤフラム430の第2の側436に提供される圧力は、ダイヤフラム430を負荷チャンバ434に向かって移動させる。同様に、ダイヤフラム430は、弁プラグ414を弁座412に向かって移動させ、通路406を通る流体の流れを制限するかまたは阻止する。検知チャンバ438によって検知される圧力が制御ばね450によって提供される制御圧と実質的に等しい場合、流体調整装置400は平衡状態にあり、弁プラグ414が弁座412に向かって移動し、流体の流れを制限し、流体の下流消費量に等しい安定した状態の流れを提供する。下流要求量または消費量が減少するおよび/または下流源が遮断されるすなわち、下流要求量が実質的にゼロになると、弁プラグ414が弁座412に密封係合し、弁体404を通る流体の流れを阻止するすなわち、ロックアップ状態に移動する。ロックアップ状態では、弁プラグ414が弁座412に密封係合し、流体調整装置400を通る流体の流れが実質的にゼロとなる状態を提供する。弁プラグ414が弁座412に密封係合すると、出口410と下流源図示せずとの間に加圧流体が滞留する。しかしながら,いくつかの例では、腐食、調整装置の構成要素への損傷、グリット、配管スケール等のために、弁プラグ414が弁座412に対して緊密に密封できない場合がある。結果として、入口408からの高圧プロセス流体が出口410まで流れ続ける。その結果、下流源の要求量が実質的に減少されるため例えば、実質的に要求量ゼロ、出口410における下流圧力が増加する。出口410における流体の圧力が所定の圧力レベル例えば、所定の安全圧力レベルまで増加すると、超過圧力保護デバイス458が起動する。さらに、いくつかの例では、流体調整装置400がロックアップ状態にあるとき、出口410と下流源との間に滞留するプロセス流体が温度上昇を経験する可能性があり、それによって出口410における流体の圧力を増加させる。内部逃し弁402は、温度変化による超過圧力保護デバイス458の不要な起動例えば、煩わしい引き外しを防止する。より具体的には、検知チャンバ438内の圧力が、逃し閉鎖ばね518によって印加される前負荷力を超える十分な力をダイヤフラム430の第2の側436に印加すると、ダイヤフラム430が負荷チャンバ434に向かって移動し、ダイヤフラムプレート444を上昇させて、逃し弁座502との密封係合から離脱させるかまたは抜け出させる。弁プラグ414は弁座412に密封係合しており、レバー440および押し棒504は負荷チャンバ434に向かってそれ以上移動することができないため、ダイヤフラムプレート444が逃し弁座502から離脱する。結果として、検知チャンバ438上の加圧流体が、逃し弁座502を超えて、ダイヤフラムプレート444の抽気孔532を通って進む。次いで、逃し弁アセンブリ402を通過する加圧流体は、後に通気孔430を介して大気に送られてもよい。よって、例示的な内部逃し弁402は、流体調整装置400がロックアップ状態にあっても、例えば、温度変化のために下流圧力が変動すると、超過圧力保護デバイス458の煩わしい起動を防止する。具体的には、内部逃し弁402は、抽気孔532を通る比較的低い流体流量例えば、ごく少量の流体を可能にする。よって、検知チャンバ438内の圧力が、閉鎖位置500と開放位置600との間で内部逃し弁402を移動させるのに十分なほど大きいが、該圧力が、超過圧力保護装置458を起動させるのに必要な圧力未満であるとき、内部逃し弁402は、流体を大気に放出することができる。ある例示的な装置について本明細書に記載してきたが、本特許が包含する範囲は、それらに限定されない。対照的に、本特許は、文言的にまたは均等論の下に、添付の特許請求の範囲の範囲内に適正に属する全ての装置および製品を包含する。"