"搬送コンベアによって搬送される光学部材と、搬送装置により搬送されるフィルム材とを貼り合わせる貼合工程の手前に、搬送される前記光学部材の塵埃を吸引除去する集塵工程を備えたことを特徴とするフィルム材の貼合方法。貼合対象となる光学部材が搬送される搬送コンベアと、前記光学部材に貼合されるフィルム材が搬送される搬送装置と、前記搬送装置によって搬送される前記フィルム材を、前記搬送コンベアから搬送される前記光学部材の表面に貼り合わせる貼合部と、前記貼合部の前記光学部材搬送方向上流側に配置され、前記光学部材の塵埃を吸引除去する集塵装置とを備えたことを特徴とするフィルム材の貼合装置。前記集塵装置が、搬送される前記光学部材の搬送方向の少なくとも一部を上下から覆いバッファー室を形成する集塵装置本体と、前記バッファー室に連通接続され内部雰囲気を吸引する吸引装置とを備えていることを特徴とする請求項2記載のフィルム材の貼合装置。前記吸引装置が、前記集塵装置本体の下部に接続されていることを特徴とする請求項3に記載のフィルム材の貼合装置。前記集塵装置が、前記集塵装置本体内に搬送される前記光学部材の除電を行う除電装置を備えていることを特徴とする請求項2~4の何れか一項に記載のフィルム材の貼合装置。従来のフィルム材の貼合装置にあっては、光学表示装置に貼合されるフィルム材の貼合面の粘着材と光学表示装置との間に空気が入り混まないようにニップロールで挟持しつつ貼り合わせているが、この貼合面に異物が混入すると、その部分が品質上の問題となってしまう。そこで、この発明は、光学部材にフィルム材を貼合する際に塵埃等の異物が混入するのを確実に防止し、かつ光学部材の搬送に悪影響を与えることがないフィルム材の貼合方法及びフィルム材の貼合装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、この発明のフィルム材の貼合方法は、搬送コンベアによって搬送される光学部材と、搬送装置により搬送されるフィルム材とを貼り合わせる貼合工程の前に、搬送される前記光学部材の塵埃を吸引除去する集塵工程を備えたことを特徴とする。また、この発明のフィルム材の貼合装置は、貼合対象となる光学部材が搬送される搬送コンベアと、前記光学部材に貼合されるフィルム材が搬送される搬送装置と、前記搬送装置によって搬送される前記フィルム材を、前記搬送コンベアから搬送される前記光学部材の表面に貼り合わせる貼合部と、前記貼合部の前記光学部材搬送方向上流側に配置され、前記光学部材の塵埃を吸引除去する集塵装置とを備えたことを特徴とする。また、前記集塵装置が、搬送される前記光学部材の搬送方向の少なくとも一部を上下から覆いバッファー室を形成する集塵装置本体と、前記バッファー室に連通接続され内部雰囲気を吸引する吸引装置とを備えていてもよい。また、前記吸引装置が、前記集塵装置本体の下部に接続されていてもよい。また、前記集塵装置が、前記集塵装置本体内に搬送される前記光学部材の除電を行う除電装置を備えていてもよい。この発明によれば、集塵工程の集塵装置で塵埃を除去した後に貼合工程の貼合部において光学部材とフィルム材とを貼合できるため、塵埃を除去した後に、塵埃が光学部材に付着する余地を最小限にした状態で貼合を行うことができ、製品品質を高めることができる。次に、この発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。図1、図2はこの発明の実施形態のフィルム材の貼合装置1を示している。フィルム材の貼合装置1は液晶パネルPの製造ラインの一工程として設けられ、液晶パネルPの表裏面に、互いに偏光軸を直交する方向に向けた偏光フィルムF1を貼り合わせる装置である。図3に示すように、液晶パネルPは、テレビ等の光学表示装置に使用されるものであって長方形状に形成され、第1基板P1と、第1基板P1に対向して配置された第2基板P2と、これら第1基板P1と第2基板P2との間に封入された液晶層P3とで構成されている。液晶層P3の外周の内側に収まる範囲が表示領域P4となっている。この液晶パネルPの表裏に貼り付けられる偏光フィルムは、ロール状に巻装した偏光フィルムシートを巻き出しながら切り出したものである。図4は偏光フィルムシートの断面図を示している。尚、図4では図示都合上断面ハッチングを省略する。図4において、偏光フィルムシートFは、偏光フィルムF1と、偏光フィルムF1の一方の面図では上面に塗布された粘着層F2を介して剥離可能に積層されたセパレータF3と、偏光フィルムF1の他方の面図では下側に積層された表面保護フィルムF4後に分離されるとで構成されている。偏光フィルムF1は偏光板として機能し、液晶パネルPの表示領域P4の全域とその周辺領域とにわたって貼合される。偏光フィルムF1は、セパレータF3を剥離して露出した粘着層F2により液晶パネルPに貼合される。尚、偏光フィルムシートFからセパレータF3を除いた部分が貼合シートF5となる。偏光フィルムF1は、偏光子F6の両面を第1フィルムF7と第2フィルムF8で挟み込んで構成されている。ここで、偏光フィルムシートFが表面保護フィルムF4を含まない構成であったり、表面保護フィルムF4が偏光フィルムF1から分離されない構成であってもよい。また、偏光フィルムF1は、1層の光学層からなる単層構造でもよく、複数の光学層が互いに積層された積層構造でもよく、第1フィルムF7と第2フィルムF8の少なくとも一方を含まなくてもよい。例えば、第1フィルムF7を省略した場合、セパレータF3を偏光フィルムF1の一方の面に粘着層F2を介して貼り合わせてもよい。図1に示すように、フィルム材の貼合装置1は、図中右側の液晶パネルPの搬送方向上流側から図中左側の液晶パネルPの搬送方向下流側に至り、液晶パネルPを水平状態で搬送する駆動式のローラコンベア5を備えている。ローラコンベア5は、後述する第1反転装置15を境に、上流側コンベア6と下流側コンベア7とに分かれる。上流側コンベア6では、液晶パネルPは表示領域P4の短辺を搬送方向に沿うようにして搬送され、下流側コンベア7では、液晶パネルPは表示領域P4の長辺を搬送方向に沿うようにして搬送される図2参照。この液晶パネルPの表裏面に対して、帯状の偏光フィルムシートFから所定長さに切り出した貼合シートF5が貼合される。フィルム材の貼合装置1の各部は、不図示の制御部により統括制御される。尚、上流側コンベア6は、後述する第1吸着装置11では、下流側に独立したフリーローラコンベア24を備えており、下流側コンベア7は、後述する第2吸着装置20では、下流側に独立したフリーローラコンベア24を備えている。フィルム材の貼合装置1は、搬送される液晶パネルPを上下から覆うようにして設けられた第1集塵装置12と、この液晶パネルPを吸着して上流側コンベア6に搬送すると共に液晶パネルPのアライメント位置決めを行う第1吸着装置11と、第1吸着装置11よりもパネル搬送下流側に設けられる第1貼合装置13と、第1貼合装置13よりもパネル搬送下流側に配置される第1ズレ検査装置14と、第1ズレ検査装置14よりもパネル搬送下流側に配置されて上流側コンベア6の搬出端に達した片面貼合パネルP11を下流側コンベア7の搬入端に至る位置に、表裏反転しかつ90°旋回した状態で搬送する第1反転装置15とを備えている。また、フィルム材の貼合装置1は、下流側コンベア7の搬入端よりもパネル搬送下流側に片面貼合パネルP11を上下から覆うようにして設けられた第2集塵装置16と、第2集塵装置16よりもパネル搬送下流側に配置されて搬送される片面貼合パネルP11を吸着して下流側コンベア7に搬送すると共に片面貼合パネルP11のアライメント位置決めを行う第2吸着装置20と、第2吸着装置20よりもパネル搬送下流側に配置される第2貼合装置17と、第2貼合装置17よりもパネル搬送下流側に配置される第2ズレ検査装置18と、第2ズレ検査装置18よりもパネル搬送下流側に配置される第2反転装置19と、第2反転装置19よりもパネル搬送下流側に配置される欠陥検査装置21とを備えている。欠陥検査装置21は欠陥検出用のカメラ21aを備えている。第1集塵装置12は、第1貼合装置13の貼合位置である挟圧ロール23の、液晶パネルPの搬送方向上流側に配置され、挟圧ロール23に導入される前の片面貼合パネルP11の周辺の塵埃、特に下面側の塵埃を除去するため、静電気の除去及び集塵を行う。第1吸着装置11は、駆動コンベアにより下流側のストッパSに当接した液晶パネルPを上下方向及び水平方向に移動可能に保持すると共に液晶パネルPのアライメントを行うパネル保持部11aと、パネル保持部11aに保持された状態で液晶パネルPのアライメントを行うためのアライメントカメラ11bと、レールRとを有する。パネル保持部11aは、第1集塵装置12を通過した液晶パネルPを吸着テーブル25の吸着パッド26で真空吸着によって吸着保持し、その状態でレールR上を移動して液晶パネルPを搬送し、搬送が終わると液晶パネルPの吸着状態を解除して液晶パネルPをフリーローラコンベア24に受け渡す。アライメントカメラ11bは、ストッパSに当接した液晶パネルPをパネル保持部11aが保持し、上昇した状態で液晶パネルPのアライメントマークや先端形状等を撮影する。アライメントカメラ11bによる撮像データは制御装置に送信され、この撮像データに基づき、パネル保持部11aが作動して搬送先のフリーローラコンベア24に対する液晶パネルPのアライメントがなされる。つまり、液晶パネルPは、フリーローラコンベア24に対する搬送方向、搬送方向と直交する方向、及び液晶パネルPの垂直軸回りの旋回方向でのズレ分を加味した状態でフリーローラコンベア24に搬送される。ここで、パネル保持部11aによりレールR上を搬送された液晶パネルPは吸着パッド26に吸着された状態で後述する貼合シートF5と共に先端部を挟圧ロール23に挟持される。第1貼合装置13は、貼合位置に導入された液晶パネルPの下面に対して、所定サイズにカットした貼合シートF5の貼合を行う。第1貼合装置13は、偏光フィルムシートFが巻回されたロールR1から偏光フィルムシートFを巻き出しつつ偏光フィルムシートFをその長手方向に沿って搬送する搬送装置22と、搬送装置22が偏光フィルムシートFから分離させた所定長さの貼合シートF5を上流側コンベア6により搬送される液晶パネルPの下面に貼合する挟圧ロール23とを備えている。搬送装置22は、セパレータF3をキャリアとして貼合シートF5を搬送するもので、帯状の偏光フィルムシートFを巻回したロールR1を保持すると共に偏光フィルムシートFをその長手方向に沿って繰り出すロール保持部22aと、ロールR1から巻き出した偏光フィルムシートFを所定の搬送経路に沿って案内するために偏光フィルムシートFを巻き掛ける複数のガイドローラ22bと、搬送経路上の偏光フィルムシートFにハーフカットを施す切断装置22cと、ハーフカットを施した偏光フィルムシートFを鋭角に巻きかけてセパレータF3から貼合シートF5を剥離させつつこの貼合シートF5を貼合位置に供給するナイフエッジ22dと、ナイフエッジ22dを経て単独となったセパレータF3を巻き取るセパレータロールR2を保持する巻き取り部22eを有する。搬送装置22の搬入端に位置するロール保持部22aと搬送装置22の搬出端に位置する巻き取り部22eとは互いに同期して駆動する。これにより、ロール保持部22aが偏光フィルムシートFをその搬送方向へ繰り出しつつ、巻き取り部22eがナイフエッジ22dを経たセパレータF3を巻き取る。以下、搬送装置22における偏光フィルムシートFセパレータF3の搬送方向上流側をシート搬送上流側、搬送方向下流側をシート搬送下流側という。各ガイドローラ22bは、搬送中の偏光フィルムシートFの進行方向を搬送経路に沿って変化させると共に、複数のガイドローラ22bの少なくとも一部が搬送中の偏光フィルムシートFのテンションを調整するべく可動する。切断装置22cは、偏光フィルムシートFが所定長さ繰り出された際、偏光フィルムシートFの長手方向と直交する幅方向の全幅にわたって、偏光フィルムシートFの厚さ方向の一部を切断するハーフカットを行う。ハーフカットは、偏光フィルムシートFの搬送中に働くテンションによって偏光フィルムシートFセパレータF3が破断せずセパレータF3が所定の厚さだけ残るように、切断刃の進退位置を調整し、粘着層F2とセパレータF3との境界面の近傍まで切り込みを入れる。ハーフカット後の偏光フィルムシートFには、偏光フィルムシートFの幅方向の全幅にわたり、厚さ方向で偏光フィルムF1及び表面保護フィルムF4が切断された切込線が形成される。切込線は、帯状の偏光フィルムシートFの長手方向で所定間隔に形成され、偏光フィルムシートFは、複数の切込線によって長手方向で複数の区画に分けられる。偏光フィルムシートFの長手方向で隣り合う一対の切込線に挟まれる区画部分それぞれが、一つのシート片である貼合シートF5となる。ナイフエッジ22dは、上流側コンベア6の下方に配置されて偏光フィルムシートFの幅方向で少なくともその全幅に渡って延在する。ナイフエッジ22dには、ハーフカット後の偏光フィルムシートFのセパレータF3側が摺接するように巻きかけられる。偏光フィルムシートFは、ナイフエッジ22dの先端部で鋭角に折れ曲がるようにして進行方向が変化する際に、セパレータF3からシート片として区画された貼合シートF5を剥離させる。ナイフエッジ22dの先端部は、挟圧ロール23に近接配置され、ナイフエッジ22dによりセパレータF3から剥離した貼合シートF5は、第1吸着装置11に吸着された状態の液晶パネルPの下面に重なりつつ、挟圧ロール23の一対の貼合ローラ23a,23a間に導入される。挟圧ロール23は、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラ23a,23aを有し上の貼合ローラ23aは上下する、これら一対の貼合ローラ23a,23a間には所定の間隙が形成され、この間隙の位置が第1貼合装置13の貼合位置となる。一対の貼合ローラ23a,23aの間隙に、液晶パネルP及び貼合シートF5が重なり合って導入され、これら液晶パネルP及び貼合シートF5が、各貼合ローラ23aに挟圧されつつ上流側コンベア6のパネル搬送下流側に送り出される。これにより、液晶パネルPの下面に貼合シートF5が一体的に貼合されて、片面貼合パネルP11となる。第1ズレ検査装置14は、片面貼合パネルP11において、液晶パネルPに対する貼合シートF5の位置が適正か否か位置ズレが公差範囲内にあるか否かを検査する。第1ズレ検査装置14は、例えば片面貼合パネルP11のパネル搬送上流側及び下流側における貼合シートF5の端縁を撮影する一対のカメラ14aを有する。各カメラ14aによる撮像データは制御装置に送信され、この撮像データに基づき貼合シートF5及び液晶パネルPの相対位置が適正か否かが判定される。この相対位置が適正ではないと判定された片面貼合パネルP11は、不図示の払い出し手段によりライン外に排出される。第1反転装置15は、図2にも示すように、例えば、液晶パネルPの搬送方向に対して平面視で45°に傾斜した回動軸15aと、回動軸15aを介して上流側コンベア6の搬出端と下流側コンベア7の搬入端の間に支持される反転アーム15bとを有する。反転アーム15bは、第1ズレ検査装置14を経て上流側コンベア6の搬出端に達した片面貼合パネルP11を吸着あるいは挟持することにより保持し、この反転アーム15bが回動軸15a回りに180°回動することで、片面貼合パネルP11の表裏を反転させると共に、表示領域P4の短辺に沿う方向に搬送されていた片面貼合パネルP11を表示領域P4の長辺に沿う方向に搬送されるように旋回させる。片面貼合パネルP11は、第1反転装置15により旋回動作を行うことにより、液晶パネルPの表裏面に貼合される各偏光フィルムF1の偏光軸が互いに直角となる。したがって、上流側コンベア6及び下流側コンベア7は、共に図の右側から左側へ向う方向を液晶パネルPの搬送方向とするが、第1反転装置15を経由することで、上流側コンベア6及び下流側コンベア7が平面視で幅方向に所定量オフセットする。尚、単に貼合対象物の表裏を反転させる場合には、例えば搬送方向と平行な回動軸を有する反転アームを有する反転装置を用いればよい。ここで、反転アーム15bは、第1吸着装置11のアライメントカメラ11bと同様のアライメントカメラ15cを備えており、第1吸着装置11のパネル保持部11aと同様のアライメント機能を有している。第2集塵装置16は、第2貼合装置17の貼合位置である挟圧ロール23の、液晶パネルPの搬送方向上流側に配置され、挟圧ロール23に導入される前の片面貼合パネルP11の周辺の塵埃、特に下面側の塵埃を除去するため、静電気の除去及び集塵を行う。第2吸着装置20は、第1吸着装置11と同様の構成を備えているため同一部分に同一符号を付して説明する。第2吸着装置20は駆動コンベアにより下流側のストッパSに当接した片面貼合パネルP11を上下方向及び水平方向に移動可能に保持すると共に片面貼合パネルP11のアライメントを行うパネル保持部11aと、パネル保持部11aに保持された状態で片面貼合パネルP11のアライメントを行うためのアライメントカメラ11bと、レールRとを有する。パネル保持部11aは、第2集塵装置16を通過しストッパSに当接した片面貼合パネルP11を吸着テーブル25の吸着パッド26で真空吸着によって吸着保持し、その状態でレールR上を移動して片面貼合パネルP11を搬送し、搬送が終わると片面貼合パネルP11の吸着状態を解除して片面貼合パネルP11をフリーローラコンベア24に受け渡す。アライメントカメラ11bは、ストッパSに当接した片面貼合パネルP11をパネル保持部11aが保持し、上昇した状態で片面貼合パネルP11のアライメントマークや先端形状等を撮影する。アライメントカメラ11bによる撮像データは制御装置に送信され、この撮像データに基づき、パネル保持部11aが作動して搬送先のフリーローラコンベア24に対する片面貼合パネルP11のアライメントがなされる。つまり、片面貼合パネルP11は、フリーローラコンベア24に対する搬送方向、搬送方向と直交する方向、及び片面貼合パネルP11の垂直軸回りの旋回方向でのズレ分を加味した状態でフリーローラコンベア24に搬送される。第2貼合装置17は、貼合位置に導入された片面貼合パネルP11の下面に対して、所定サイズにカットした貼合シートF5の貼合を行う。第2貼合装置17は、対象となるワークが片面貼合パネルP11である以外は第1貼合装置13と同様の搬送装置22と挟圧ロール23を備えているので、同一部分に同一符号を付して説明を省略する。片面貼合パネルP11と搬送装置22にて搬送された貼合シートF5が、各貼合ローラ23aに挟圧されつつパネル搬送下流側に送り出されて、片面貼合パネルP11の下面に貼合シートF5が一体的に貼合され、両面貼合パネルP12となる。第2ズレ検査装置18は、両面貼合パネルP12において、片面貼合パネルP11に対する貼合シートF5の位置が適正か否か位置ズレが公差範囲内にあるか否かを検査する。第2ズレ検査装置18は、例えば両面貼合パネルP12のパネル搬送上流側及び下流側における貼合シートF5の端縁を撮影する一対のカメラ18aを有する。各カメラ18aによる撮像データは制御装置に送信され、この撮像データに基づき貼合シートF5及び液晶パネルPの相対位置が適正か否かが判定される。この相対位置が適正ではないと判定された両面貼合パネルP12は、不図示の払い出し手段によりライン外に排出される。次に、第1集塵装置12及び第2集塵装置16について詳細に説明する。尚、第2集塵装置16は第1集塵装置12と同様の構成であるため、以下の説明では、第1集塵装置12を例にして説明し、第2集塵装置16についての説明は省略する。図5は第1集塵装置12を簡略化して示している。図5に示すように、第1集塵装置12は、搬送される液晶パネルPの搬送方向の一部全部でも良いを上下から覆うようにして形成された集塵装置本体27と、この集塵装置本体27内のバッファー室27aに連通接続され内部雰囲気を吸引して塵埃を吸引除去する吸引装置28図6参照とを備えている。吸引装置28は集塵装置本体27の下部に接続され、バッファー室27aからエアーを吸引する。集塵装置本体27は、下方が解放された上部カバー30と、上方が開放された下部カバー40とで構成されている。上部カバー30は上壁30uと両側壁30s,30sと前壁30fと後壁30rとで箱形に形成され、下部カバー40は下壁40lと両側壁40s,40sと前壁40fと後壁40rとで箱形に形成され、上部カバー30と下部カバー40が互いに開放された部位を対向させ、両者の間に液晶パネルPのスリット状の隙間clを確保した状態で配置されている。上部カバー30と下部カバー40は共にローラコンベア5の図示しないフレームに支持されている。ここで、上部カバー30と下部カバー40の少なくともいずれか一方が他方に対して近接離反して隙間clの間隔を調整できるようにしてもよい。上部カバー30と下部カバー40の両側壁30s,40sの上下縁間の隙間clは、両側壁30s,40sに固定された閉塞板31,31によって覆われている。上部カバー30と下部カバー40の前壁30f,40fの上下縁間の隙間clと後壁30r,40rの上下縁間の隙間clは、共に幅方向中央部が液晶パネルPの搬送用開口部kとして形成され、両側部は上下縁に固定された閉塞ピース32,32によって閉塞されている。図6は図5のB-B線に沿う断面図である。図6に示すように、下部カバー40の下壁40lには、吸入口33が複数配置されている。この吸入口33は1列をなして、ローラコンベア5の幅方向に沿って複数設けられている。各吸入口33はブロワ29の吸引ポートとの間をバキューム配管34で接続され、バッファー室27aがブロワ29と連通接続される。尚、吸入口33の配置列数は複数であってもよい。ブロワ29とバキューム配管34と下部カバー40の吸入口33とで吸引装置28が構成されている。図7は図5のC矢視図である。図7に示すように、集塵装置本体27の配位位置に近接してローラコンベア5の搬送方向上流側と搬送方向下流側とには、各々駆動ローラ35が設けられている。この駆動ローラ35により集塵装置本体27のバッファー室27a内での液晶パネルPの搬送が行われている。これら2つの駆動ローラ35,35間にはフリーローラ36,36,36が設けられている。ここで、ローラコンベア5の搬送方向上流側の駆動ローラ35の近傍、つまりバッファー室27aに液晶パネルPが搬入される直前の位置には除電バー37が設けられている。この除電バー37は、液晶パネルPの通過方向を幅方向でカバーする長さを備えた棒状の電極がパワーユニットに接続されたもので、液晶パネルPの下面に常時あるいは間欠的に接触させて搬送される液晶パネルPの特に下面静電気を除去し帯電を防止する。集塵装置本体27のバッファー室27aでの集塵に先立って、この除電バー37により除電を行い液晶パネルPの塵埃の静電気による再付着を防止できるので、集塵能力が向上する。また、集塵装置本体27のバッファー室27aであって、搬送方向の中央部に幅方向に沿って除電ブラシ38を配置してもよい。この除電ブラシ38を液晶パネルPの下面に接触させることで、粘着性のある塵埃を接触して除去することができる。この実施形態によれば、ローラコンベア5に搬送された液晶パネルPは、第1貼合装置13によって貼合シートF5が貼合されて片面貼合パネルP11となり、次に、第2貼合装置17によって貼合シートF5が貼合されて両面貼合パネルP12となる。ここで、ローラコンベア5によって搬送される液晶パネルPが、貼合工程として配置される第1貼合装置13の挟圧ロール23の手前で、集塵工程として配置される第1集塵装置12を通過する間に、液晶パネルPの集塵装置本体27に対応する部分液晶パネルPの周辺の塵埃が搬送されながら順次吸引除去される。また、ローラコンベア5によって搬送される片面貼合パネルP11が、貼合工程として配置される第2貼合装置17の挟圧ロール23の手前で、集塵工程として配置される第2集塵装置16を通過する間に、片面貼合パネルP11の集塵装置本体27に対応する部分片面貼合パネルP11の周辺の塵埃が搬送されながら順次吸引除去される。つまり、ブロワ29によってエアーが吸引されると、第1集塵装置12、第2集塵装置16のバッファー室27aが全体としてほぼ均一に負圧になるため、バッファー室27aに浮遊する塵埃や、液晶パネルP、片面貼合パネルP11の方面に付着した塵埃等が順次吸引除去される。したがって、集塵工程として用いられる第1集塵装置12、第2集塵装置16で塵埃を除去した後に、貼合工程として用いられる挟圧ロール23において、液晶パネルPと貼合シートF5、あるいは片面貼合パネルP11と貼合シートF5とを貼合できるため、塵埃が液晶パネルPや片面貼合パネルP11に付着する余地を最小限にし、塵埃等の異物の混入を確実に防止して製品品質を高めることができる。また、集塵装置本体27が上部カバー30と下部カバー40とで囲まれ、かつ閉塞板31、閉塞ピース32によって、できる限り閉塞された状態を確保したバッファー室27aが形成されているため、吸引装置28のブロワ29によって、バッファー室27aの雰囲気を吸引すると、第1集塵装置12の液晶パネルPあるいは第2集塵装置16の片面貼合パネルP11の上方、下方においてほぼ均等に負圧領域を形成できる。これにより、バッファー室27aを設けないで、単に液晶パネルPあるいは片面貼合パネルP11の下側からのみエアーを吸引した場合のように、液晶パネルPあるいは片面貼合パネルP11のローラコンベア5への張り付きが生ずることはない。したがって、液晶パネルPあるいは片面貼合パネルP11の搬送に悪影響を与えることがなくなり、フリーローラ36が配置されていることもあって、スムーズな搬送を行うことができる。そして、第1集塵装置12、第2集塵装置16の直前に除電バー37が配置され、液晶パネルPあるいは片面貼合パネルP11の静電気を予め除去することができるので、バッファー室27aに存在する塵埃が、液晶パネルPあるいは片面貼合パネルP11の貼合面である下面に静電気により再付着するのを防止して、塵埃を確実に吸引装置28によって吸引除去できる。また、吸入口33が下部カバー40の下壁40lに設けられているため、その後に貼合される貼合面である液晶パネルPや片面貼合パネルP11の下面側と吸入口33との距離が短くなり、したがって、貼合対象である液晶パネルPや片面貼合パネルP11のパネル面の塵埃を迅速かつ確実に吸引除去できる。また、集塵装置本体27のバッファー室27aであって、搬送方向の中央部に幅方向に沿って除電ブラシ38を配置した場合には、更に、除電バー37では除去できない粘着性のある塵埃等の異物をも接触により除去することができる。実験によれば、集塵装置本体27の全幅910mm、搬送方向長さ80mm、高さ60mm、搬送される液晶パネルPの幅605mm、長さ1060mm、厚さ1.4mm、液晶パネルPの両側に50mmの余裕を持たせた集塵装置本体27の搬送用開口部kの開口長さ655mm、搬送用開口部kの上下幅5.4mm、液晶パネルPから搬送用開口部kの上下縁までの長さ各2mm、集塵容量であるブロワ29の吸引風量5立方メートルで吸引を行い、液晶パネルPの投入側と液晶パネルPの払出側の搬送用開口部kでの風速を測定したところ、以下のような結果を得られた。尚、表1において、Pos1~Pos5は風速度の測定部位である。このPos1~Pos5は、図6において搬送用開口部kを等間隔で分けた部位に設定されている。したがって、実験結果から、搬送用開口部kから投入側、払出側で十分にエアーが引き込まれていることがわかるため、バッファー室27a内の液晶パネルPの周辺雰囲気が十分に吸引されることが確認された。尚、この発明は前記実施形態に限られるものではなく、例えば、液晶パネルに偏光フィルムを貼合する場合について説明したが、フィルム材が貼り付けられる部材としては液晶パネルに限られず、有機ELパネルにも適用でき、貼合されるフィルム材としては偏光フィルムに限られず、反射防止フィルム、光拡散フィルム等にも適用できる。"