1つ以上の光学窓を有する真空容器中に配置した試料ホルダの熱を、熱伝導体の熱伝導により低熱源に流すことで該試料ホルダの温度を下げる顕微鏡用クライオスタット装置であって、前記熱伝導体の中間部に熱スイッチを設けることで、前記試料ホルダと前記低熱源との間の熱結合度を変化させることができるようにしたことを特徴とする顕微鏡用クライオスタット装置。前記試料ホルダ上または前記試料ホルダに熱接触した熱交換器上にヒータを設置し、該ヒータに加える電力と前記熱スイッチの熱結合度の両方を制御することで、前記試料ホルダの温度を所定の温度に維持することができることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡用クライオスタット装置。前記熱伝導体が、可撓性の材料で構成されたことを特徴とする請求項1と請求項2に記載の顕微鏡用クライオスタット装置。前記真空容器の壁面上の前記光学窓が位置する部分を凹構造にすることにより、前記光学窓と試料ホルダの距離を小さくしたことを特徴とする請求項1~3に記載の顕微鏡用クライオスタット装置。前記熱伝導体、前記熱交換器、前記試料ホルダのうち、いずれか一つ、またはいずれか二つ、または三つ全てに多孔質物質を熱接触させたことを特徴とする請求項1~4に記載の顕微鏡用クライオスタット装置。このように従来の顕微鏡用試料ホルダ2の冷却装置において、熱伝導で試料を冷却する場合には、試料の温度を上昇させるとヒータからの熱流入が多いため液体窒素を多量に消費するという欠点がある。特に試料の温度が高い場合ほど消費量が増大する。一方、蒸発したガス流による冷却の場合にも、温度コントロールや圧力コントロールが難しく、温度変化に伴い視野が移動しやすく、構造的に倍率を高くしにくいという欠点がある。本発明の目的は、寒剤の沸点付近から室温までの範囲を自由に温度コントロールでき、寒剤の消費量を最少にすることができ、寒剤の蒸発によって生じるガス圧を気にする必要がなく、温度変化に伴う顕微鏡像の移動を極小にし、倍率を高くすることができる顕微鏡用クライオスタット装置を提供することにある。本発明の顕微鏡用クライオスタット装置は、従来の装置のように蒸発した寒剤ガスの流れで試料ホルダを冷却するのではなく、熱伝導を利用して冷却するものである。そのため、ガス圧制御は必要ない。しかし、熱伝導で冷却する場合には、温度コントロールのために試料ホルダに加える熱が寒剤に流れ込むのを減少させるために、熱伝導体の中間部に熱スイッチを設け、該熱スイッチの熱結合度を変化させることにより熱流をコントロールする。具体的な構造は、真空容器の中で、寒剤に近いほうから、熱伝導体A―熱スイッチ―熱伝導体B―熱交換器―試料ホルダの順で各部材が熱接続されており、該熱伝導体Aの一端を寒剤に浸漬することで、熱伝導で試料ホルダの温度を下げることができる。その際、熱スイッチを強く閉じれば、試料ホルダの温度を最低温度すなわち寒剤の温度例えば液体窒素ならば-196°C近くまで下げることができる。試料ホルダの温度を最低温度と室温との間の中間温度にするには、試料ホルダまたは熱交換器の上に設置したヒータにより加熱することで中間温度にすることができる。このとき、熱スイッチを緩く閉じることにより、低いヒータ電力で昇温できる。すなわち、少ない寒剤の蒸発量で中間温度にすることができる。試料ホルダの温度を室温近くまで上げる際には、熱スイッチを開いた状態でヒータに通電することにより、ヒータの熱が寒剤に伝わらないため、寒剤をほとんど蒸発させずに昇温できる。また、一旦温度を室温付近まで上げてそのまま維持しても、熱スイッチが開いているため熱流入はほとんど無く、寒剤の蒸発は自然蒸発分に過ぎない。このように、本発明の装置によれば、試料ホルダを熱伝導により冷却し、熱スイッチを閉じる強度とヒータ電力との組み合わせにより寒剤の沸点から室温の範囲で任意に温度コントロールが可能で、寒剤の蒸発量を最小にするクライオスタットが構成できる。温度の上限は、室温に限る必要はなく、試料ホルダや装置が熱によりダメージを受けない限りより高温にすることもできる。試料ホルダからの熱吸収は、可撓性の熱伝導体を通して行われるため、熱収縮に伴って試料ホルダが視野中で移動することもない。また、ガスを流すパイプが要らないため光学窓を試料ホルダの間際まで近づけることができ、倍率を大きくすることができる。低温部分は、ガスによる熱の流入を少なくするために真空中雰囲気中に置かれなければならない。そのため、多孔質材料を低温になる部材に熱接触させることにより吸着効果で真空を保つことができる。以下図面を参照して、熱伝導により試料ホルダを冷却するクライオスタットシステムについて詳細に説明する。図1は、本発明の概略を示す顕微鏡用試料ホルダを冷却するための液体窒素クライオスタット装置の図である。図1において、符号1で示した部材は、顕微鏡用試料ホルダが収容された真空容器である。真空容器1とその内部の詳細は図3に拡大して示す。符号2で示した部材は、顕微鏡観察するための試料ホルダであり内部に試料が装てんされており、上下に光が透過できるようになっている。符号3で示した部材は、光学窓でありサンプルホルダに光を入れたり観察したりするところである。符号4で示した部材は、試料ホルダ1と熱接触した熱交換器であり、上に設置した温度計8で温度を測りながら、可撓性熱結合体5の冷却パワーとヒータ7の加熱パワーをバランスさせ温度制御されている。符号5の熱伝導体が可撓性であるのは、熱交換器4や熱伝導体9が冷えるにつれて熱収縮により試料ホルダ4が引きずられ試料の位置が視野中でずれるのを防ぐためである。符号6で示した部分は、凹構造にした光学窓面である。図2に示した従来のガス流による冷却構造の場合には、熱交換器の下にパイプがあるため、この凹構造にすることができない。本発明の凹構造では、顕微鏡の対物レンズを試料に近づけることができ、結果的に顕微鏡の高い倍率が得られる。なお、図1では凹構造が下側になっているが、上側にすることも可能であり、また上下とも凹構造にすることも可能である。顕微鏡の種類によっては上側に対物レンズが位置するタイプや逆に下側に対物レンズが位置するタイプがあるため、図1中の真空容器1は上下を逆にして便利な状態で使用できる。その際、符号13で示した熱伝導体が変形しない材料で構成された場合には、上下反転することは不可能である。本発明では、多数の銅線を束ねて自由に曲げることができるようにした可撓性熱伝導体である。また、それを包む符号14で示した部材は、自由に曲げることができるフレキシブルチューブであり、内部を真空にして断熱している。このように熱伝導体が可撓性であるため、真空容器1の上下反転が容易にできる。なお、符号5と符号13の可撓性熱伝導体13の材質は、銅以外にも、良熱伝導体であればアルミなど他の材料でもよいことは言うまでもない。符号9で示した部材は、銅棒で構成した熱伝導体であり、試料ホルダからの熱を機械式熱スイッチ10に伝える。機械式熱スイッチ10は、熱結合度調整つまみ12を回すことで機械式熱スイッチの接点11の熱結合度を調整できる。図には示されていないが、外部からの熱輻射による温度上昇を軽減するために低温部材の周りをスーパーインシュレーションで覆ってある。符号15で示した部材は、真空排気用バルブであり、図には示されていないが真空部分には万一のため圧力開放弁が装備されている。符号16で示した部材は、液体窒素デュワーである。符号17で示した部分は、液体窒素である。符号18で示した部材は、真空容器を排気して断熱するための真空ポンプである。図1中の低温になる部分は、真空雰囲気内にあり外部とは断熱されている。デュワー16内に伸びる銅熱伝導体の一端は液体窒素に浸漬されているため-196°Cの温度になっており、それにつながる可撓性熱伝導体13も-196°C近くまで下がっている。ここで、機械式熱スイッチの接点11を閉じると、それより左側につながる熱伝導体9、可撓性熱結合体5、熱交換器3、試料ホルダ2の温度を、-196°C近くまで下げることができる。次に、試料ホルダ2の温度を上げるには、ヒータ7に通電して熱を加える。しかし、熱スイッチ10の熱結合度が大きいと液体窒素への熱流が大きくなるので、熱結合度調整つまみ12を緩めて熱結合度を弱くすることで、小さなヒータ電力で温度を上げることができるようになる。その結果、液体窒素17への熱流量が減り、蒸発速度が減少し長時間の観察が可能となる。さらに温度を室温付近まで上昇させるには、機械式熱スイッチ10をOFFにして試料ホルダ2と液体窒素17との熱結合を無くしてしまう。その結果、ヒータの熱が液体窒素17に流れないため、液体窒素の蒸発量は激減し、ほぼ自然蒸発だけとなる。試料ホルダ2を交換するときには、試料ホルダ2や熱交換器の接点11に霜が付着しないように室温にする必要があり、一般に長時間室温に維持しなければならないことが多い。その際、液体窒素の蒸発量が最少に抑えられるのは、大きなメリットである。符号30と符号31で示した部材は多孔質の活性炭吸着材であり、低温になると空気や水分などのガスを吸着するポンプの役割を果たし、ガスによる低温部材への熱流入を減少させる。図1に示した機械式熱スイッチの接点11より右側では熱伝導体はほとんど液体窒素温度-196°Cであるため、常にガスを吸着して高真空を保っている。一方、図1の機械式熱スイッチの接点11より左側では、約-196°Cから室温まで温度が変化するが、ガスによる熱流入を抑えなければならない低温ほど吸着効果が強く表れるため、低温ほど断熱状態が良くなるように自動的にコントロールされる。なお、図1では活性炭吸着材30は熱交換器4に熱接触しているが、可撓性熱伝導体5や熱伝導体9に熱接触させても同じ結果が得られることは言うまでもない。また、活性炭吸着材は、シリカゲルやゼオライト類など他の多孔質物質でもよい。なお、ここで示した例では低温源として液体窒素寒剤を用いているが、液体ヘリウム等の液化ガスや、ドライアイス、機械式冷凍機のコールドヘッドなどでも同じような機能を持たせることができることは言うまでもない。