"支持ウェハ3の被覆面3bの内側円形面7iを被覆材料9で被覆する装置であって、前記内側円形面7iに、該内側円形面7iを被覆すべき被覆材料9を塗布する塗布手段5と、回転軸線Rを中心として前記支持ウェハ3を支持し、回転させ、前記被覆面3b上に前記被覆材料を分散させる回転手段2,6とを有する装置において、前記内側円形面7iを取り囲む外側円環面7aに、前記被覆材料9の分散中における前記外側円環面7aの被覆を少なくとも抑制する被覆抑制剤を供給する第2の塗布手段4が設けられていることを特徴とする、支持ウェハ3の被覆面3bの内側円形面7iを被覆材料9で被覆する装置。前記被覆抑制剤は、前記被覆材料9を溶解可能な溶剤である、請求項1記載の装置。前記第1の塗布手段5は、前記被覆材料9の塗布が回転の回転軸線Rの領域で、特に前記支持ウェハ3に対して同心的に行われるように、配置されている又は配置可能である、請求項1又は2記載の装置。前記第2の塗布手段は、前記被覆抑制剤の塗布が前記外側円環面7aの少なくとも周区分7uで、前記外側円環面7aの半径方向内側に位置する縁部7rの領域で行われるように配置されている又は配置可能である、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。前記第1の塗布手段5及び/又は第2の塗布手段4の塗布量及び/又は塗布圧及び/又は塗布速度及び/又は塗布角度及び/又は塗布時点を制御する制御手段が設けられている、請求項1から4までのいずれか1項記載の装置。前記被覆材料9を硬化させる硬化手段が設けられている、請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。前記第2の塗布手段4は、出口端部4eを前記外側円環面7aに向けて配置可能な少なくとも1つの管路4lを有している、請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。前記第2の塗布手段4は、特に各出口端部4eに、特に制御可能なノズル4dを有している、請求項1から7までのいずれか1項記載の装置。支持ウェハ3の被覆面3bの内側円形面7iを被覆材料9で被覆する方法であって、第1の塗布手段5によって前記内側円形面7iに前記被覆材料9を塗布し、回転手段2,6による回転軸線Rを中心とした支持ウェハ3の回転により前記被覆材料9を分散させる、ステップ、特に経過を有している、支持ウェハ3の被覆面3bの内側円形面7iを被覆材料9で被覆する方法において、前記被覆材料9の分散中に、第2の塗布手段4によって、前記内側円形面7iを取り囲む外側円環面7aに、該外側円環面7aの被覆を少なくとも抑制する被覆抑制剤を供給することを特徴とする、支持ウェハ3の被覆面3bの内側円形面7iを被覆材料9で被覆する方法。前記被覆材料9の塗布を、回転軸線Rの領域で、特に前記支持ウェハ3に対して同心的に行う、請求項9記載の方法。前記溶剤の塗布を、外側円環面7aの少なくとも周区分7uで、外側円環面7aの半径方向内側に位置する縁部7rの領域において、特に、前記被覆材料9の塗布と時間的にずらして行う、請求項9又は10記載の方法。"