被処理水を貯水する原水槽と、前記原水槽から供給される前記被処理水を生物分解及び濾過して第一処理水を得る濾過槽と、前記濾過槽で濾過された第一処理水を貯溜する第一水槽と、前記第一水槽から供給される前記第一処理水に紫外線による酸化処理を行い第二処理水を得る紫外線酸化部と、前記紫外線酸化部で酸化された前記第二処理水を活性炭で濾過して最終処理水を得る活性炭濾過部と、前記紫外線酸化部で酸化された第二処理水の一部を前記濾過槽へ戻す第一循環路とを備えたことを特徴とする水処理装置。前記活性炭濾過部で濾過された最終処理水の一部を前記第一水槽へ戻す第二循環路を備えたことを特徴とする請求項1に記載の水処理装置。前記紫外線酸化部へ供給される前記第一処理水へ酸化剤を投入する酸化剤供給部を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の水処理装置。前記紫外線酸化部は、前記第一処理水が注入される反応槽を備え、当該反応槽内に筒形の石英ジャケットを設け、前記石英ジャケット内に低圧水銀灯と外部から空気を供給する空気供給管とを設け、さらに、前記石英ジャケット内で低圧水銀灯と前記空気が接触して生成するオゾンを含有する空気を前記反応槽の下部から前記第一処理水に放出するオゾン化空気管を備えたことを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の水処理装置。しかしながら、上記の技術のうち、生物処理後に残留した分解困難な有機物ついては活性炭吸着または化学的酸化、促進酸化の処理が行われているが、設備費や維持費が高くなるという問題点があり、水処理装置の小型化やランニングコストの低減が望まれている。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、生分解可能な有機物を完全に分解すること及び難分解性物質の分解を化学的な酸化と生物的な酸化分解との適切な組み合わせを実行できる水処理装置を提供することを目的とする。本発明の一態様に係る水処理装置は、被処理水を貯水する原水槽と、前記原水槽から供給される前記被処理水を生物分解及び濾過して第一処理水を得る濾過槽と、前記濾過槽で濾過された第一処理水を貯溜する第一水槽と、前記第一水槽から供給される前記第一処理水に紫外線による酸化処理を行い第二処理水を得る紫外線酸化部と、前記紫外線酸化部で酸化された前記第二処理水を活性炭で濾過して最終処理水を得る活性炭濾過部と、前記紫外線酸化部で酸化された第二処理水の一部を前記濾過槽へ戻す第一循環路とを備えたことを特徴とする。この水処理装置では、第一循環路の循環により、紫外線酸化部で部分的な酸化を受けた有機物が濾過槽に生息する微生物に分解される効果がある。また、上記水処理装置では、前記活性炭濾過部で濾過された最終処理水の一部を前記第一水槽へ戻す第二循環路を備えても良い。この場合には、第二循環路の循環により、残留する難分解性物質が比較的低濃度の場合に有効である。このことによる効果は以下の通りである。1活性炭濾過部の活性炭に吸着された有機物は活性炭内で増殖した微生物により分解される。2紫外線酸化部の酸化によって生成したOHラジカルにより活性炭に吸着された有機物がさらに酸化分解を受ける。第二循環路の循環を行うことにより、12の効果が繰り返され有機物の分解が促進する。また、上記水処理装置では、前記紫外線酸化部へ供給される前記第一処理水へ酸化剤を投入する酸化剤供給部を備えても良い。この場合には、紫外線酸化部で酸化剤と紫外線によって生成したOHラジカルにより活性炭に吸着された有機物がさらに酸化分解を受けることができる。また、上記水処理装置では、前記紫外線酸化部は前記第一処理水が注入される反応槽を備え、当該反応槽内に筒形の石英ジャケットを設け、前記石英ジャケット内に低圧水銀灯と外部から空気を供給する空気供給管とを設け、さらに、前記石英ジャケット内で低圧水銀灯と前記空気が接触して生成するオゾンを含有する空気を前記反応槽の下部から前記第一処理水に放出するオゾン化空気管を備えても良い。低圧水銀灯の発する主な紫外線は254nmであり、この場合には、さらに酸化剤と反応して、OHラジカルを生成するこのOHラジカルが有機物を分解する。また、この低圧水銀灯は、185nmの紫外線も発し、この紫外線は酸素空気との接触によりオゾンを生成することができる。以下、本発明の水処理装置の一実施形態である水処理装置1について、図面に基づいて説明する。先ず、図1を参照して、水処理装置1の構成を説明する。水処理装置1は、被処理水が貯水される原水槽2と、原水槽2から供給される被処理水を生物分解及び濾過して第一処理水を得る濾過槽3と、濾過槽3で濾過された第一処理水が貯水される第一水槽4と、第一水槽4とから供給される第一処理水を紫外線で酸化する紫外線酸化搭5と、紫外線酸化搭5で酸化された第二処理水を活性炭で濾過する活性炭搭6活性炭濾過部に相当と、活性炭搭6で濾過された最終処理水を貯水する処理水槽7と、酸化剤を供給する酸化剤供給部62とを備えている。また、原水槽2と濾過槽3とは第一給水管21により接続され、第一給水管21には、原水槽2から濾過槽3へ被処理水を送る第一ポンプ22が設けられている。また、濾過槽3と第一水槽4とは第二給水管33により接続され、第二給水管33には、第二ポンプ34が設けられている。また、第一水槽4と紫外線酸化搭5とは、第三給水管41により接続され、第三給水管41には、第三ポンプ42が設けられている。紫外線酸化搭5には、第四給水管51が接続され、第四給水管51は、途中から第五給水管52と第六給水管53とに分岐し、第五給水管52の先は濾過槽3に接続され、第六給水管53の先は活性炭搭6に接続されている。また、第五給水管52には、バルブ54が設けられ、第六給水管53にもバルブ55が設けられている。第四給水管51と第五給水管52とバルブ54とで第一循環路を構成する。活性炭搭6には、第七給水管56が接続され、第七給水管56は、途中から第八給水管57と第九給水管58とに分岐し、第八給水管57の先は第一水槽4に接続され、第九給水管58の先は処理水槽7に接続されている。また、第八給水管57には、バルブ59が設けられ、第九給水管58にもバルブ60が設けられている。第七給水管56と第八給水管57とバルブ59とで第二循環路を構成する。また、酸化剤供給部62には酸化剤供給管63が接続され、酸化剤供給部62に内蔵された酸化剤が第三給水管41に供給されて紫外線酸化搭5に送り込まれるようになっている。次に、上記各構成の詳細を説明する。原水槽2は、被処理水である原水の供給源図示せずに接続され、原水を貯水する。原水槽2に貯水された原水は第一ポンプ22により第一給水管21を介して濾過槽3へ送られる。濾過槽3は、第一給水管21を介して原水槽2の下流側に接続されている。濾過槽3は、工場排水等の原水に対して、化学的な酸化処理を行うための前処理である生物処理を行う。具体的には、被処理水である原水に含まれる難分解性物質を処理するには、まず生物的に分解可能な成分を効率よく分解する必要がある。有機物を効率よくかつ低コストで分解するには、まず生分解可能な有機物を生物分解反応においてほぼ完全に分解することが重要である。なぜなら、他の分解方法に比べて生物分解法が最もランニングコストが低いからである。図1に示すように、濾過槽3の底には散気管32が設けられ、散気管32は図示外の空気ポンプから供給される空気を排出して濾過槽3内を攪拌する。また、濾過槽3内には、濾過膜ユニット31が設けられ、濾過膜ユニット31で濾過された第一処理水が第二給水管33を介して第二ポンプ34により第一水槽4へ送られる。尚、濾過膜ユニット31は、膜分離活性汚泥法MBR;メンブレンバイオリアクターにより生物処理を行う。従って、濾過槽3は、生物反応槽と濾過槽を兼ねている。濾過槽3内で、十分に分解した排水を、濾過槽3に浸漬した濾過膜ユニット31で濾過する。濾過膜ユニット31の濾過膜は1μm以下の孔径を持っており、濾過槽3で生成した生物汚泥や懸濁物質を完全に分離する。このため、濾過槽3内には高濃度の汚泥が蓄積され、それに比例して高濃度の微生物が保持される。そのぶん生分解反応が促進され高度に生分解された透明な濾過水が得られる。また、濾過膜ユニット31において完全に懸濁物質が分離されるので通常の活性汚泥法のように沈殿処理が不要である。また、濾過槽3には、第五給水管52が接続され、紫外線酸化搭5で酸化された第二処理水の一部が還流される。第一水槽4は、濾過槽3で生物処理された第一処理水を貯水すると共に、活性炭搭6で濾過された最終処理水の一部が還流される。紫外線酸化搭5では、濾過槽3で生物処理された第一処理水に対して化学的な酸化を行う。紫外線酸化搭5での酸化処理の一例を以下に説明する。難分解性物質を分解するには化学的な酸化が必要であるが、これらの物質が酸化される時、分子形状のままでの酸化から分子の切断が起こり、ついにはH2OとCO2までに分解される。このことを、難分解性物質の一つであるエチレングリコールを例にとって説明する。エチレングリコールの酸化分解は次のような順序でH2OとCO2に分解される。OHCH2-CH2OHO2→2HCOOHO2→2H2O2CO2しかしながら、化学的な酸化によってH2O、CO2まで分解するには多量の酸化剤とエネルギーが必要である。上記の反応式からもわかるように、有機物の酸化は分子内酸化を経て-COOH基を持つカルボン酸、すなわち有機酸を生成する。通常の有機酸が生体内で容易に分解することを考えれば、化学的酸化によってH2O、CO2までの完全な酸化を行わずとも、その中間体までの酸化を行い、そのあと生物分解を行うのがランニングコストを低く出来ることは自明である。このことより、難分解性物質の分解には、化学的な酸化と生物的な酸化分解の適切な組み合わせが重要である。第一水槽4に貯水された第一処理水は第三ポンプ42で吸引され、酸化剤供給部62から酸化剤供給管63を介して送られる酸化剤が加えられて、紫外線酸化搭5へ送られる。このとき加えられる酸化剤の一例としては、オゾン、過酸化水素、次亜塩素酸ナトリウムがある。酸化剤の添加方法については、酸化剤の種類により異なり、以下のようになる。オゾンの場合は、オゾンがガス体であるので、第三ポンプ42後の第三給水管41にエジェクター図示外を設け、これによって生ずる負圧を利用して吸引させる方法、または、紫外線酸化搭5内に、散気管を配しこれより紫外線酸化搭5内にオゾンを供給する方法が考えられる。これらの方法は気体の供給であるので紫外線酸化搭5での気液混合により攪拌効果が十分にできる。一方、過酸化水素や次亜塩素酸ナトリウムの場合は液体であるので紫外線酸化搭5内で十分な混合がなされない可能性がある。このことを解決する手段として以下のように二つの方法が考えられる。第一の方法としては、紫外線酸化搭5の底部に散気管を設けこれより空気を供給し槽内を攪拌する方法が考えられる。第二の方法としては以下の方法が考えられる。図2に示すように、紫外線酸化搭5は、円筒形の密閉された反応筒70反応槽に相当の上部に第三給水管41が接続され第一処理水が注入され、反応筒70の下部に酸化された第二処理水が排出される第四給水管51が接続されている。また、紫外線酸化搭5の内に円筒形の石英ジャケット71を設けて、当該石英ジャケット71内に放電管73と空気供給管72を設け、放電管73には電源76を接続し、空気供給管72には、上部72Aから空気を供給し、放電管73の下方から空気を吐き出す。放電管73と接触して生成するオゾンを含有する空気図2に示す矢印をオゾン化空気管74により、紫外線酸化搭5の下部に設けた散気管75から反応筒70内に放出して拡散する。この方法は、特に185nmの紫外線を発する低圧水銀灯を用いる場合に有効である。尚、放電管73の一例としては、低圧水銀灯を用いる。この低圧水銀灯の発する主な紫外線は254nmであり、この波長には殺菌効果があり、さらに酸化剤と反応して、OHラジカルを生成するこのOHラジカルが有機物を分解する。また、この低圧水銀灯は、185nmの紫外線も発し、この紫外線は酸素空気との接触によりオゾンを生成する。従って、石英ジャケット71内でオゾン化された空気をオゾン化空気管74により取り出し、これを紫外線酸化搭5の反応筒70内に吹き込むことにより撹拌効果を与え、かつOHラジカルを発生させ酸化を助けることができる。次に、活性炭搭6について説明する。活性炭搭6内には、第二処理水を濾過して最終処理水にする活性炭が充填されている。また、活性炭搭6には、第二処理水を流入する第六給水管53と、最終処理水が流出する第七給水管56が接続されているが、通常は、図1に示すように、活性炭搭6の上部に第六給水管53を接続し、下部に第七給水管56を接続して、活性炭搭6の上から下へ第二処理水を流入させる。この場合には、前段の紫外線酸化搭5でオゾンや空気との接触で残ったガスが活性炭内に蓄積する。これを取り除くために定期的な逆流洗浄を行う。一方、活性炭搭6の下部に第六給水管53を接続し、上部に第七給水管56を接続して、活性炭搭6の下から上へ第二処理水を流入させるようにしても良い。この場合には、活性炭搭6内の活性炭層が流動状態になるので、活性炭層内にガスが蓄積しないため逆流洗浄の必要がない。次に、本発明のポイントを説明する。紫外線酸化搭5における酸化剤と紫外線による酸化処理の方法は、酸化剤量と紫外線ランプ本数を多くし滞留時間を長くとれば有機物の殆どをH2O、CO2まで分解できるが、設備コストやランニングコストの増大で実用化が困難である。このことを解決する手段として、本実施の形態の水処理装置1では、以下のような方法を講ずる。先ず、図1に示すように紫外線酸化搭5で酸化処理された第二処理水の一部または大部分を第四給水管51、バルブ54及び第五給水管52第一循環路により濾過槽3へ戻すようにする。この循環により、紫外線酸化搭5で部分的な酸化を受けた有機物が濾過槽3に生息する微生物に分解される効果がある。この方法は、残留する難分解性物質が比較的濃度の高い場合に有効である。難分解性物質が紫外線酸化により部分的な酸化を受けると生分解性が向上するため、微生物量の多い濾過槽3へ返送して分解するものである。また、図1に示すように、活性炭搭6から排出される最終処理水の一部または大部分を第七給水管56、バルブ59及び第八給水管57により、第一水槽4に戻すようにする第二循環路。この場合には、残留する難分解性物質が比較的低濃度の場合に有効である。このことによる効果は以下の通りである。1活性炭に吸着された有機物は活性炭内で増殖した微生物により分解される。2酸化剤と紫外線によって生成したOHラジカルにより活性炭に吸着された有機物がさらに酸化分解を受ける。3循環を行うことにより、12の効果が繰り返され有機物の分解が促進する。これらの効果により有機物分解と共に活性炭そのものの再生が起きるため、吸着容量が増大し活性炭の寿命が著しく延びる。上記2種類の循環は、残留有機物が多ければ多いほど原水流入に対する循環比を大きくする必要があるが、通常は1:1~1:10の範囲が好ましい。尤も、流入水の有機物濃度が極めて低い時は循環を行う必要がない。尚、循環比の調整は、第二処理水の濾過槽3への循環はバルブ54及びバルブ55の開度の割合を変えることにより行う。また、最終処理水の第一水槽4への循環はバルブ59及びバルブ60の開度の割合を変えることにより行う。バルブ54及びバルブ55の開度の調整による第五給水管52への流量:第六給水管53への流量比は、一例として、9:1~0:10程度の範囲で残留有機物の量に応じて調整すれば良い。また、バルブ59及びバルブ60の開度の調整による第八給水管57への流量:第九給水管58への流量比は、一例として、5:1~0:5程度の範囲で残留有機物の量に応じて調整すれば良い。次に、上記水処理装置1を使用した実験結果を表1として説明する。難分解性物質としては、ジエチレングリコールを使用した。1処理条件原水組成:ジエチレングリコール200ppm水溶液、pH約6、TOC45ppm通水条件:10L/h濾過槽3:250L、活性汚泥が約5000ppmに保たれている。濾過面積0.5m2紫外線酸化搭5:容量5L、40W低圧水銀灯活性炭搭6:活性炭充填量10L酸化剤:オゾン、注入量100ppm2処理結果酸化剤のあるなし、循環のあるなしについて比較した結果を示す。但し、第一循環路循環1、第二循環路循環2とも循環水量は40L/hであった。上記表1に示すように、酸化剤を加えず、第一循環路循環1、第二循環路循環2とも循環水量無しの場合RUN-1は、ジエチレングリコールの除去率が33と低いが、酸化剤を加えて、第一循環路循環1、第二循環路循環2とも循環水量が40L/hの場合RUN-3は、ジエチレングリコールの除去率が96と高いことが分かる。また、酸化剤を加えて、第一循環路循環1のみの場合RUN-2でも、ジエチレングリコールの除去率が82と高く有効であることが分かる。以上の構成を有する水処理装置1によれば、以下の効果を奏する。即ち、紫外線酸化後の処理水は難分解性有機物が部分的な酸化を受けるだけで、H2OとCO2までには分解されず、生分解が可能な状態になっている場合が大部分なので、これを濾過槽3活性汚泥槽へ返送して生物分解するのがコスト上メリットがある。一方、活性炭搭6で分解する場合は、活性炭内に棲息する微生物量に限界があるので出来るだけ低い濃度の排水に適する。微生物による分解は溶存酸素を必要とするので、常温での溶存酸素は約10ppmであることから、この濃度の酸素が消費される範囲内の有機物濃度が適当である。尚、本発明の水処理装置は上記実施形態に限らず、各種の変形が可能なことは言うまでもない。例えば、pHの調整は以下のようにすれば良い。有機物の分解が進行するとpHが変化する。炭水化物が酸化されると有機物を生成するためpHが下がる。一方アミン類はアンモニアを遊離するのでpHが上昇する。従って、濾過槽3や活性炭搭6では、生物分解が進行しているので、pHは中性付近に調整する。また、紫外線酸化搭5の後に気液分離を行うようにしても良い。オゾンなどの気体を吹き込んだ状態で、そのまま活性炭搭6へ流入させると、上向流型の活性炭搭6では、気泡により活性炭が浮遊、混和し系外に流出する場合がある。一方、下向流の場合でも活性炭搭6内に気泡が蓄積し、急激な濾過圧差圧の上昇が起きる場合がある。従って、紫外線酸化搭5の後の第四給水管51に気液分離機構を設けて、液体のみ活性炭搭6へ流入させるようにしても良い。また、反応筒70や石英ジャケット71は、必ずしも円筒形に限られず、反応筒70や石英ジャケット71は角型の筒等でも良い。