接続流路を介して接続される第1空間および第2空間を形成するケースと、前記ケースの一側に位置し、前記第1空間に接続される流体吸入管と、前記ケースの他側に位置し、前記第2空間に接続される流体吐出管と、前記第1空間を覆うように前記ケースに設けられ、電気信号によって変形する第1変形部材と、前記第2空間を覆うように前記ケースに設けられ、電気信号によって変形する第2変形部材とを含み、前記第2変形部材は、前記第1変形部材より大きく形成され、前記第2変形部材の最大変位は、前記第1変形部材の最大変位より大きいことを特徴とするマイクロポンプ。前記第1変形部材と前記第2変形部材は、圧電アクチュエータからなることを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。前記第1変形部材は、第1導電性弾性板と第1圧電素子とを含み、前記第2変形部材は、第2導電性弾性板と第2圧電素子とを含むことを特徴とする請求項2に記載のマイクロポンプ。前記第1導電性弾性板、前記第1圧電素子、前記第2導電性弾性板、および前記第2圧電素子にそれぞれ接続される複数のリード線と、前記複数のリード線と電気的に接続される制御部とをさらに含むことを特徴とする請求項3に記載のマイクロポンプ。前記第1変形部材と前記第2変形部材は、人工筋肉からなることを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。前記第1変形部材は、第1模倣筋肉部と第1電極部とを含み、前記第2変形部材は、第2模倣筋肉部と第2電極部とを含むことを特徴とする請求項5に記載のマイクロポンプ。前記第1模倣筋肉部と前記第2模倣筋肉部は、電気活性ヒドロゲルで合成されたナノ繊維を含むことを特徴とする請求項6に記載のマイクロポンプ。前記第1電極部と前記第2電極部にそれぞれ接続される一対のリード線と、前記一対のリード線と電気的に接続される制御部とをさらに含むことを特徴とする請求項6に記載のマイクロポンプ。前記第2空間の体積が前記第1空間の体積より大きいことを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。前記接続流路の内部に設けられた開閉バルブと、前記流体吸入管および前記流体吐出管の内部に設けられた逆流遮断部材とをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。前記流体吸入管、前記接続流路、および前記流体吐出管の内部に設けられた逆流遮断部材をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。前記開閉バルブは、前記接続流路と平行に配置された第1圧電ディスクおよび第2圧電ディスクを含む圧電バルブであることを特徴とする請求項10に記載のマイクロポンプ。前記逆流遮断部材は、前記流体吸入管に向かう一側から前記流体吐出管に向かう反対側の一側に向かって、内径が次第に拡大するじょうご状に形成されることを特徴とする請求項10または11に記載のマイクロポンプ。前記逆流遮断部材は、固定端および自由端を備え、薄膜で製造される変形板と、前記流体吸入管から前記流体吐出管に向かう順方向に沿って、前記変形板の自由端の前方に位置する固定突起とを含むことを特徴とする請求項10または11に記載のマイクロポンプ。請求項1~12のいずれか1項に記載のマイクロポンプを作動する方法において、前記第1変形部材を最小変位から最大変位まで膨張させるとともに、前記第2変形部材を最小変位から初期膨張させる第1区間と、前記第1変形部材を最大変位から収縮させるとともに、前記第2変形部材を最大変位まで膨張させる第2区間と、前記第1変形部材を最小変位まで収縮させるとともに、前記第2変形部材を最大変位から収縮させる第3区間とを含むことを特徴とするマイクロポンプの作動方法。前記第1区間において、前記第2変形部材は、前記第1変形部材の最大変位地点と時間差をおいて、最小変位から膨張し始めることを特徴とする請求項15に記載のマイクロポンプの作動方法。前記第3区間において、前記第1変形部材の最小変位地点は、前記第2変形部材の最大変位地点と時間差を有することを特徴とする請求項15に記載のマイクロポンプの作動方法。前記マイクロポンプの接続流路に開閉バルブが位置し、前記開閉バルブは、前記第2変形部材の膨張と同時に作動して前記接続流路を開放させ、前記第2変形部材が最大変位に達すると同時に作動して前記接続流路を閉鎖させることを特徴とする請求項15に記載のマイクロポンプの作動方法。請求項1~12のいずれか1項に記載のマイクロポンプを作動する方法において、前記第1変形部材を最小変位から最大変位まで膨張させるとともに、前記第2変形部材を最小変位から初期膨張させる第1区間と、前記第1変形部材を最大変位から最小変位まで収縮させるとともに、前記第2変形部材を最大変位まで膨張させる第2区間と、前記第1変形部材を最小変位から初期膨張させるとともに、前記第2変形部材を最小変位まで収縮させる第3区間とを含むことを特徴とするマイクロポンプの作動方法。前記第1区間において、前記第2変形部材は、前記第1変形部材の最大変位地点と時間差をおいて、最小変位から膨張し始めることを特徴とする請求項19に記載のマイクロポンプの作動方法。前記第2区間において、前記第1変形部材の最小変位地点は、前記第2変形部材の最大変位地点と一致することを特徴とする請求項19に記載のマイクロポンプの作動方法。前記マイクロポンプの接続流路に開閉バルブが位置し、前記開閉バルブは、前記第2変形部材の膨張と同時に作動して前記接続流路を開放させ、前記第2変形部材が最大変位に達すると同時に作動して前記接続流路を閉鎖させることを特徴とする請求項19に記載のマイクロポンプの作動方法。請求項1~12のいずれか1項に記載のマイクロポンプを作動する方法において、前記第1変形部材を最小変位から最大変位まで膨張させて前記第1空間に流体を吸入する第1区間と、前記第1変形部材を最大変位から最小変位まで収縮させるとともに、前記第2変形部材を最小変位から最大変位まで膨張させて前記第1空間と前記第2空間に流体を吸入する第2区間と、前記第2変形部材を最大変位から最小変位まで収縮させて前記第1空間と前記第2空間の流体を排出する第3区間とを含むことを特徴とするマイクロポンプの作動方法。前記第1変形部材の最大変位地点は、前記第2変形部材の最小変位地点と一致することを特徴とする請求項23に記載のマイクロポンプの作動方法。前記マイクロポンプの接続流路に開閉バルブが位置し、前記開閉バルブは、前記第2変形部材の膨張と同時に作動して前記接続流路を開放させ、前記第2変形部材が最大変位に達すると同時に作動して前記接続流路を閉鎖させることを特徴とする請求項23に記載のマイクロポンプの作動方法。本発明は、全体の大きさを縮小しながらも、流体のポンピング性能を向上させることができるマイクロポンプおよびその作動方法を提供するためのものである。本発明の一実施形態にかかるマイクロポンプは、接続流路を介して接続される第1空間および第2空間を形成するケースと、ケースの一側に位置し、第1空間に接続される流体吸入管と、ケースの他側に位置し、第2空間に接続される流体吐出管と、第1空間を覆うようにケースに設けられ、電気信号によって変形する第1変形部材と、第2空間を覆うようにケースに設けられ、電気信号によって変形する第2変形部材とを含む。第2変形部材は、第1変形部材より大きく形成され、第2変形部材の最大変位は、第1変形部材の最大変位より大きい。第1変形部材と第2変形部材は、圧電アクチュエータからなることができる。第1変形部材は、第1導電性弾性板と第1圧電素子とを含むことができ、第2変形部材は、第2導電性弾性板と第2圧電素子とを含むことができる。マイクロポンプは、第1導電性弾性板、第1圧電素子、第2導電性弾性板、および第2圧電素子にそれぞれ接続される複数のリード線と、複数のリード線と電気的に接続される制御部とをさらに含むことができる。他方で、第1変形部材と第2変形部材は、人工筋肉からなることができる。第1変形部材は、第1模倣筋肉部と第1電極部とを含むことができ、第2変形部材は、第2模倣筋肉部と第2電極部とを含むことができる。第1模倣筋肉部と第2模倣筋肉部は、電気活性ヒドロゲルで合成されたナノ繊維を含むことができる。マイクロポンプは、第1電極部と第2電極部にそれぞれ接続される一対のリード線と、一対のリード線と電気的に接続される制御部とをさらに含むことができる。第2空間の体積は、第1空間の体積より大きく形成できる。マイクロポンプは、接続流路の内部に設けられた開閉バルブと、流体吸入管および流体吐出管の内部に設けられた逆流遮断部材とをさらに含むことができる。他方で、マイクロポンプは、流体吸入管、接続流路、および流体吐出管の内部に設けられた逆流遮断部材をさらに含むことができる。開閉バルブは、接続流路と平行に配置された第1圧電ディスクおよび第2圧電ディスクを含む圧電バルブであり得る。逆流遮断部材は、流体吸入管に向かう一側から流体吐出管に向かう反対側の一側に向かって、内径が次第に拡大するじょうご状に形成できる。他方で、逆流遮断部材は、固定端および自由端を備え、薄膜で製造される変形板と、流体吸入管から流体吐出管に向かう順方向に沿って、変形板の自由端の前方に位置する固定突起とを含むことができる。本発明の一実施形態にかかるマイクロポンプの作動方法は、第1変形部材を最小変位から最大変位まで膨張させるとともに、第2変形部材を最小変位から初期膨張させる第1区間と、第1変形部材を最大変位から収縮させるとともに、第2変形部材を最大変位まで膨張させる第2区間と、第1変形部材を最小変位まで収縮させるとともに、第2変形部材を最大変位から収縮させる第3区間とを含む。第1区間において、第2変形部材は、第1変形部材の最大変位地点と時間差をおいて、最小変位から膨張し始めることができる。第3区間において、第1変形部材の最小変位地点は、第2変形部材の最大変位地点と時間差を有することができる。本発明の他の実施形態にかかるマイクロポンプの作動方法は、第1変形部材を最小変位から最大変位まで膨張させるとともに、第2変形部材を最小変位から初期膨張させる第1区間と、第1変形部材を最大変位から最小変位まで収縮させるとともに、第2変形部材を最大変位まで膨張させる第2区間と、第1変形部材を最小変位から初期膨張させるとともに、第2変形部材を最小変位まで収縮させる第3区間とを含む。第1区間において、第2変形部材は、第1変形部材の最大変位地点と時間差をおいて、最小変位から膨張し始めることができる。第2区間において、第1変形部材の最小変位地点は、第2変形部材の最大変位地点と一致することができる。本発明のさらに他の実施形態にかかるマイクロポンプの作動方法は、第1変形部材を最小変位から最大変位まで膨張させて第1空間に流体を吸入する第1区間と、第1変形部材を最大変位から最小変位まで収縮させるとともに、第2変形部材を最小変位から最大変位まで膨張させて第1空間と第2空間に流体を吸入する第2区間と、第2変形部材を最大変位から最小変位まで収縮させて第1空間と第2空間の流体を排出する第3区間とを含む。第1変形部材の最大変位地点は、第2変形部材の最小変位地点と一致することができる。前述したマイクロポンプの作動方法のすべてにおいて、マイクロポンプの接続流路に開閉バルブが位置することができ、開閉バルブは、第2変形部材の膨張と同時に作動して接続流路を開放させ、第2変形部材が最大変位に達すると同時に作動して接続流路を閉鎖させることができる。本発明のマイクロポンプは、大きさが異なる2つの変形部材を用いることにより、逆方向の流れを効果的に遮断しながら、流体のポンピング性能を向上させることができる。したがって、粘性流体を順方向に速やかにポンピングすることができ、変形部材の個数を減少させることにより、マイクロポンプ全体の大きさを小型化することができる。以下、添付した図面を参考にして、本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は、様々な形態で実現可能であり、ここで説明する実施形態に限定されない。図1と図2は、本発明の第1実施形態にかかるマイクロポンプの平面図と断面図である。図1と図2を参照すれば、第1実施形態のマイクロポンプ100は、ケース10と、流体吸入管12と、流体吐出管14と、第1変形部材16と、第2変形部材18と、制御部20とを含む。ケース10は、その内部に一方向に沿って、第1空間101、接続流路103、および第2空間102を順次に形成する。第1空間101と第2空間102は、互いに距離をおいて分離されて位置し、2つの空間101、102の間に2つの空間101、102より大きさの小さい接続流路103が形成され、2つの空間101、102を接続する。流体吸入管12は、第1空間101と接するケース10の一側に固定され、第1空間101に接続される。流体吐出管14は、第2空間102と接するケース10の他側に固定され、第2空間102に接続される。図1と図2では、流体吸入管12がケース10の左側に位置し、流体吐出管14がケース10の右側に位置する場合を例として示した。第1変形部材16は、第1空間101を覆うようにケース10の上側に設けられ、第2変形部材18は、第2空間102を覆うようにケース10の上側に設けられる。第1変形部材16と第2変形部材18は、互いに距離をおいて離れて位置する。本実施形態において、第1変形部材16と第2変形部材18は、圧電アクチュエータからなる。第1変形部材16は、第1導電性弾性板161と第1圧電素子162との積層構造からなり、第2変形部材18は、第2導電性弾性板181と第2圧電素子182との積層構造からなる。第1導電性弾性板161、第1圧電素子162、第2導電性弾性板181、および第2圧電素子182には、それぞれのリード線22が接続され、これらのリード線22は、制御部20に接続される。第1変形部材16と第2変形部材18は、制御部20から起電力が加えられると、極性によって膨張または縮小する変位を起こす。この時、流体吐出管14と近い第2変形部材18の最大変位第2変位は、流体吸入管12と近い第1変形部材16の最大変位第1変位より大きい。その結果、第2変形部材18は、第1変形部材16より大きい圧力勾配を生成し、後述するマイクロポンプ100の作動過程で流体の流れを効果的に制御することができる。第2変形部材18の最大変位を拡大させるために、第2変形部材18を第1変形部材16より大きく形成する。つまり、第2導電性弾性板181は、第1導電性弾性板161より大きく、第2圧電素子182は、第1圧電素子162より大きく形成される。また、第2変形部材18と接する第2空間102の体積は、第1変形部材16と接する第1空間101の体積より大きく形成される。また、マイクロポンプ100は、接続流路103の内部に設けられた開閉バルブ24と、流体吐出管14の内部に設けられた逆流遮断部材26とを含む。逆流遮断部材26は、流体吸入管12の内部にも設置可能である。開閉バルブ24は、アクティブバルブactivevalveであって、制御部20によって動作が制御され、接続流路103を開放または閉鎖させる。開閉バルブ24は、通常の機械的バルブで構成されるか、圧電素子を用いた圧電バルブで構成できる。図3は、図1に示したマイクロポンプにおける開閉バルブを示す概略図である。図3を参照すれば、圧電バルブ240は、接続流路103と平行に配置される第1圧電ディスク241および第2圧電ディスク242を含む。第1圧電ディスク241は、導電性弾性板と圧電素子との積層構造からなり、第2圧電ディスク242も、導電性弾性板と圧電素子との積層構造からなることができる。第1圧電ディスク241と第2圧電ディスク242は、それぞれリード線243を介して制御部20に接続される。第1圧電ディスク241と第2圧電ディスク242は、制御部20から起電力が加えられていない時、互いに密着して接続流路103を閉鎖させ、制御部20から起電力が加えられた時、互いに遠くなるように膨張して接続流路103を開放させる。圧電バルブ240は、このような作用により接続流路103を速やかに開閉させることができる。図3に示す圧電バルブ240は、開閉バルブ24の一例を説明するために示したものであって、本発明の開閉バルブ24は、図示の圧電バルブ240に限定されず、接続流路103を開閉させることができるすべての構成のバルブが適用可能である。さらに、図1と図2を参照すれば、逆流遮断部材26は、パッシブバルブpassivevalveであって、流体吸入管12から流体吐出管14に向かう順方向に流体の流入を円滑にするのに対し、その逆方向には流体の流入を抑制する役割を果たす。逆流遮断部材26は、流体吸入管12に向かう一側から流体吐出管14に向かう反対側の一側に向かって、内径が次第に拡大するじょうご状になることができる。この場合、流体は、逆方向の流れ時に上昇する圧力によって逆流遮断部材26を通過することができないため、逆流遮断部材26は、流体の逆方向の流れを効果的に遮断することができる。図4は、図1に示したマイクロポンプにおける逆流遮断部材の変形例を示す概略図である。図4を参照すれば、逆流遮断部材260は、じょうご状の代わりに、変形板28と固定突起30との組み合わせ構造からなることができる。変形板28は、変形しやすい薄膜で製造できる。変形板28は、流体吸入管12と流体吐出管14の内部において、その一部が固定される固定端281と、残りの部分が固定されずに離れて位置する自由端282とを含む。そして、流体吸入管12から流体吐出管14に向かう順方向に沿って、変形板28の自由端282の前方に固定突起30が位置する。したがって、逆流遮断部材260は、流体の順方向の流れ時、変形板28の自由端282が固定突起30から遠くなって流路を開放するのに対し、流体の逆方向の流れ時には、変形板28の自由端282が固定突起30によって閉じられて流路を閉鎖する。その結果、逆流遮断部材260は、流体の逆方向の流れを効果的に遮断することができる。さらに、図1と図2を参照すれば、第1実施形態のマイクロポンプ100は、第2変形部材18の最大変位を第1変形部材16の最大変位より大きく設定することにより、2つの変形部材16、18を備えるだけでも、流体の流れを効果的に制御することができる。したがって、変形部材16、18の個数を減少させることにより、マイクロポンプ100を小型化することができる。また、第1実施形態のマイクロポンプ100は、第1および第2変形部材16、18とともに、開閉バルブ24と逆流遮断部材26を用いて、粘性流体を順方向に速やかにポンピングすることができるため、ポンピング性能を向上させることができる。図5は、本発明の第2実施形態にかかるマイクロポンプの断面図である。図5を参照すれば、第2実施形態のマイクロポンプ200は、接続流路103に逆流遮断部材26が設けられることを除けば、前述した第1実施形態のマイクロポンプ100と同様の構成からなる。第1実施形態と同一の部材については、同一の図面符号を用いる。第2実施形態のマイクロポンプ200は、開閉バルブを備えるのではなく、接続流路103の内部と流体吐出管14の内部に逆流遮断部材26を設ける。逆流遮断部材26は、流体吸入管12の内部にも設置可能である。逆流遮断部材26は、流体吸入管12に向かう一側から流体吐出管14に向かう反対側の一側に向かって、内径が次第に拡大するじょうご状になることができる。他方で、図4に示しているように、逆流遮断部材260は、変形板28と固定突起30との組み合わせ構造からなることができる。図6は、本発明の第3実施形態にかかるマイクロポンプの断面図である。図6を参照すれば、第3実施形態のマイクロポンプ300は、第1変形部材160と第2変形部材180が人工筋肉で形成されることを除けば、前述した第1実施形態のマイクロポンプ100と同様の構成からなる。第1実施形態と同一の部材については、同一の図面符号を用いる。第1変形部材160は、第1模倣筋肉部163と第1電極部164とから構成され、第1電極部164は、当該リード線22を介して制御部20と電気的に接続される。第2変形部材180は、第2模倣筋肉部183と第2電極部184とから構成され、第2電極部184は、当該リード線22を介して制御部20と電気的に接続される。第2模倣筋肉部183は、第1模倣筋肉部163より大きく形成され、第2変形部材180の最大変位が第1変形部材160の最大変位より大きくなるようにする。第1および第2模倣筋肉部163、183は、電気的刺激に反応可能なナノ繊維で製造でき、第1および第2電極部164、184を介して受信される電気的刺激によって物理的に収縮または膨張する。第1および第2模倣筋肉部163、183は、ナノ繊維を電気活性ヒドロゲルで合成する方法によって製造できる。第1および第2模倣筋肉部163、183の素材と製造方法は、前述した例に限定されず、多様に変化可能である。図7は、本発明の第4実施形態にかかるマイクロポンプの断面図である。図7を参照すれば、第4実施形態のマイクロポンプ400は、第1変形部材160と第2変形部材180が人工筋肉で形成されることを除けば、前述した第2実施形態のマイクロポンプ200と同様の構成からなる。第2実施形態と同一の部材については、同一の図面符号を用いる。第1変形部材160と第2変形部材180の構成は、第3実施形態と同一であるので、詳細な説明は省略する。図8は、第1実施形態~第4実施形態にかかるマイクロポンプの第1の作動方法を説明するための、第1変形部材と第2変形部材の印加信号を示す波形図である。図8aでは、1サイクルの波形図を示しており、bでは、連続波形図を示した。図8aにおいて、縦軸は、第1変形部材と第2変形部材の変位であって、平坦な状態を0と仮定する時、上方へ突出する最大変形量を意味する。図8を参照すれば、マイクロポンプの作動方法は、第1区間、第2区間、および第3区間を含む。第1区間は、第1変形部材に電気信号を印加して第1変形部材を最大変位第1変位まで膨張させるとともに、第1変形部材と時間差をおいて、第2変形部材に電気信号を印加して第2変形部材を初期膨張させる区間である。第2区間は、第1変形部材を最大変位から収縮させるとともに、第2変形部材を最大変位第2変位まで膨張させる区間である。第3区間は、第1変形部材を最小変位まで収縮させるとともに、第2変形部材を収縮させる区間である。図2と図8を参照すれば、第1区間において、第1変形部材16は、最小変位から最大変位まで膨張する。これにより、第1空間101に吸入力が発生し、流体吸入管12から第1空間101に流体が吸入される。ここで、最小変位は、ゼロ変位を意味する。第1区間において、第2変形部材18は、第1変形部材16が最大変位に達する前に、図8aに示すaだけの時間差をおいて、最小変位から膨張し始める。すると、第1空間101の流体が順方向に慣性を維持する時、第2空間102を開けて第1空間101の流体を第2空間102に吸入することができるため、マイクロポンプ100のエネルギー効率を向上させることができる。第2区間において、第1変形部材16は最大変位から収縮し始め、第2変形部材18は最大変位まで膨張する。これにより、第2空間102に最大の吸入力が発生し、第1空間101と接続流路103とを経て、第2空間102に流体が吸入される。この時、第2変形部材18の最大変位が第1変形部材16の最大変位より大きいため、第2変形部材18は、第1変形部材16より大きい圧力勾配を生成する。第3区間において、第1変形部材16は最小変位まで収縮し、第2変形部材18も収縮する。第2変形部材18の最小変位は、次のサイクルの第1区間に存在することができる。第1変形部材16と第2変形部材18が収縮することにより、第1空間101と第2空間102の流体は、流体吐出管14に送出される。第3区間中に第1変形部材16が最小変位を維持する時、第1変形部材16は、流体吸入管12を介した逆方向の排出を抑制する機能を果たす。接続流路103に開閉バルブ24が位置する場合、開閉バルブ24は、第1区間中に第2変形部材18の膨張と同時に作動して接続流路103を開放させる。そして、開閉バルブ24は、第2区間と第3区間との間で第2変形部材18が最大変位に達すると同時に作動して接続流路103を閉鎖させる。開閉バルブ24は、第1空間101から第2空間102へ流体が通過する時点を能動的に調整する役割を果たす。特に、開閉バルブ24が、図3に示しているように、圧電バルブ240からなる場合、圧電バルブ240は、自ら膨張可能な構造からなるため、圧電バルブ240自体で吸入力を発生させ、マイクロポンプ100のポンピング性能とエネルギー効率を向上させるのに寄与することができる。また、流体吸入管12の内部と流体吐出管14の内部に位置する逆流遮断部材26は、マイクロポンプ100の作動過程で流体の逆方向の流れを防止する役割を果たす。このように、第1区間、第2区間、および第3区間が1つのポンピングサイクルを構成し、第2変形部材18が第1変形部材16より大きい変位を形成することにより、第1変形部材16より大きい圧力勾配を生成する。したがって、本実施形態のマイクロポンプ100は、ポンピング性能を向上させ、流体吸入管12から流体吐出管14につながる順方向に流体を効果的に移送することができ、変形部材16、18の個数を減少させることにより、全体の大きさを小型化することができる。図8に示すマイクロポンプの作動方法において、第2変形部材18の最大変位地点と第1変形部材16の最小変位地点とは一致しない。つまり、第2変形部材18が最大変位に膨張した後、第1変形部材16が最小変位に収縮する。そして、第1変形部材16の最大変位地点と第2変形部材18の最大変位地点は、第2区間だけの時間差を維持する。図9は、第1実施形態~第4実施形態にかかるマイクロポンプの第2の作動方法を説明するための、第1変形部材と第2変形部材の印加信号を示す波形図である。図9aでは、1サイクルの波形図を示しており、bでは、連続波形図を示した。図9を参照すれば、マイクロポンプの作動方法は、第1区間、第2区間、および第3区間を含む。第1区間は、第1変形部材に電気信号を印加して第1変形部材を最大変位第1変位まで膨張させるとともに、第1変形部材と時間差をおいて、第2変形部材に電気信号を印加して第2変形部材を初期膨張させる区間である。第2区間は、第1変形部材を最大変位から最小変位まで収縮させるとともに、第2変形部材を最大変位第2変位まで膨張させる区間である。第3区間は、第1変形部材を最小変位から初期膨張させるとともに、第2変形部材を最小変位まで収縮させる区間である。マイクロポンプの第2の作動方法は、第1変形部材の最小変位地点と第2変形部材の最大変位地点とが一致することと、第3区間で第1変形部材が初期膨張することを除けば、前述した第1の作動方法と同様の過程を含む。このように、第1変形部材の最小変位地点と第2変形部材の最大変位地点とが一致すると、第3区間で第2変形部材が収縮する時、第1変形部材が完全なバルブの役割を果たすため、流体の逆方向の流れを防止することができ、流体のポンピング性能を向上させることができる。また、第2の作動方法によれば、第1変形部材から第2変形部材に伝達される流量が前述した第1の作動方法の場合より多くなるため、マイクロポンプの大きさを拡大させることなく、マイクロポンプの処理流量を増大させることができる。図10は、第1実施形態~第4実施形態にかかるマイクロポンプの第3の作動方法を説明するための、第1変形部材と第2変形部材の印加信号を示す波形図である。図10aでは、1サイクルの波形図を示しており、bでは、連続波形図を示した。図10を参照すれば、マイクロポンプの作動方法は、第1区間、第2区間、および第3区間を含む。第1区間は、第1変形部材に電気信号を印加して第1変形部材を最大変位第1変位まで膨張させる区間である。第2区間は、第1変形部材を最大変位から最小変位まで収縮させるとともに、第2変形部材に電気信号を印加して第2変形部材を最大変位第2変位まで膨張させる区間である。第3区間は、第1変形部材を最小変位に維持しながら、第2変形部材を最小変位まで収縮させる区間である。マイクロポンプの第3の作動方法は、第1変形部材の最大変位地点と第2変形部材の最小変位地点とが一致することを除けば、前述した第2の作動方法と同様の過程を含む。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明および添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属するのは当然である。