膜厚が05~20μmであり、孔径が005~05μmの貫通孔が形成された貫通孔膜部と、前記貫通孔膜部よりも厚さが大きく前記貫通孔膜部の周囲を囲む構造補強部を備える樹脂製のフィルターであって、前記構造補強部の上面にフィルター破損防止構造を備え、前記フィルター破損防止構造が、凹凸構造体、前記構造補強部よりも低表面エネルギーの低表面エネルギー層、または、前記構造補強部よりも弾性率の低い低弾性率層のうち、いずれか1つであることを特徴とするフィルター。請求項1に記載のフィルターにおいて、前記貫通孔の方向が前記貫通孔膜部の面に対して法線方向に沿って配置されていることを特徴とするフィルター。請求項1に記載のフィルターにおいて、前記凹凸構造体が上側に凸の曲面であることを特徴とするフィルター。請求項1の記載のフィルターにおいて、前記凹凸構造体が上側に凸の曲面であることを特徴とするフィルター。請求項1に記載のフィルターにおいて、前記低表面エネルギー層の表面エネルギーが30mJ/m2以下であることを特徴とするフィルター。請求項1に記載のフィルターにおいて、前記低弾性率層の弾性率が500MPa以下であることを特徴とするフィルター。請求項5に記載のフィルターにおいて、前記低表面エネルギー層が前記貫通孔膜部の表面にも設けられていることを特徴とするフィルター。請求項1に記載のフィルターにおいて、前記貫通孔膜部の貫通孔の淵に、高さが2~20nmの突起を有することを特徴とするフィルター。請求項1に記載のフィルターにおいて、前記貫通孔膜部と前記構造補強部が同一の樹脂で形成されていることを特徴とするフィルター。請求項9に記載のフィルターにおいて、前記貫通孔膜部と前記構造補強部が一体成型されていることを特徴とするフィルター。サイズ分別によるろ過やガスの拡散速度の違いを利用したフィルターを量産するためには、可とう性のある樹脂材料を用いることが有効である。一方で、微細な貫通孔を有するフィルターは、フィルタリング後の気体の透過速度増加の観点から、貫通孔膜部の膜厚を05~2μm程度に薄くする必要がある。そのため、力学的強度が弱く、フィルターを重ねて使用する場合や製造時にリールで巻き取る際にフィルターが破損しないように工夫する必要がある。微細な貫通孔を有するフィルターに力学的強度を付与するための一般的な方法として、膜厚の大きい構造補強部を貫通孔膜部と並列してフィルター中に形成する方法がある。しかし、例えばリール巻取り時では、構造補強部の上面が、隣接するフィルターを破損し、微細な貫通孔を有するフィルターの歩留まりを低下させる問題が懸念される。本発明の目的は、破損低減が可能な微細な貫通孔を有する樹脂製のフィルターを提供することである。上記の課題を解決するために、本発明では、膜厚が05~20μmであり、孔径が005~05μmの貫通孔が形成された貫通孔膜部と、前記貫通孔膜部よりも厚さが大きく前記貫通孔膜部の周囲を囲む構造補強部を備える樹脂製のフィルターであって、前記構造補強部の上面にフィルター破損防止構造を備え、前記フィルター破損防止構造が、凹凸構造体、前記構造補強部よりも低表面エネルギーの低表面エネルギー層、または、前記構造補強部よりも弾性率の低い低弾性率層のうち、いずれか1つであることを特徴とする。また、上記のフィルターにおいて、前記貫通孔膜部の貫通孔の淵に、高さが2~20nmの突起を有することを特徴とする。本発明により、微細な貫通孔を有する樹脂製のフィルターの破損を低減できる。本発明に係る微細な貫通孔を有するフィルターの実施形態を説明する。本実施形態の微細な貫通孔を有するフィルターは、微細な貫通孔が形成された貫通孔膜部と、貫通孔膜部の周囲を囲む構造補強部と、構造補強部の上面に設けられたフィルター破損防止構造を有する。ここで、本実施形態のフィルターは、可とう性があり、取り扱いが容易な樹脂で形成されている。フィルターの強度向上などのために、樹脂中に可とう性を損なわない程度の無機材料が混合されていてもよい。このような樹脂の例としては、アクリル系樹脂、メタクリル樹脂、ポリジメチルシロキサンやシルセスキオキサンなどのシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、フッ素添加樹脂、などが挙げられる。また、樹脂に混合可能な無機材料としては、ケイ素酸化物、アルミニウム酸化物、チタン酸化物、カーボンナノチューブなどが挙げられる。貫通孔膜部の膜厚は、05~2μmが望ましい。膜厚が05μm以下であると、膜強度が不足し、該貫通孔膜部が破損しやすくなり実用に耐えられなくなる。また、2μm以上であると、ガスの透過性が低下するため好ましくない。貫通孔膜部が有する貫通孔の孔径は、005~05μmが望ましく、ろ過するガス、またはガスに含まれるろ過対象の不純物大気浮遊物などのサイズに応じて選ぶことができる。特に貫通孔中のガスの拡散速度の違いによりガス分子を選択遮蔽するフィルターでは、該貫通孔膜部が有する貫通孔の孔径は、005~015μm程度が望ましく、貫通孔のアスペクト比は10程度貫通孔膜部の膜厚は05~15μm程度であることが望ましい。また、貫通孔はフィルター面の法線方向に沿って配置された形状とする。本実施形態のフィルターの開口率貫通孔の面積が全面積に占める割合は、5~15であることが望ましい。本実施形態のフィルターは、貫通孔の向きがフィルター面貫通孔膜部の法線方向に沿って配置されているため、孔の方向が制御されていないフィルターと比べてガスが流れやすく、5~15の開口率で十分なガス透過量を確保できる。開口率が5未満であると、ガスの透過性が低下するため好ましくない。また、開口率が15より大きいと、膜強度が不足し、フィルターが破損しやすくなり実用に耐えられなくなる。構造補強部は、少なくとも貫通孔膜部よりも厚さが厚い構造体であり、貫通孔膜部の周囲を囲むように配置することで貫通孔膜部の強度を補強するものである。該構造補強部の膜厚は、該貫通孔膜部が構造補強できれば特に制限はなく、用途に応じて選ぶことが可能である。構造補強部の面積は、フィルターの強度を確保でき、フィルターの開口率が5~15となるように設定される。なお、フィルターの強度を向上するために、構造補強部と貫通孔膜部は同じ樹脂材料で形成され一体成型されていることが好ましい。すなわち、構造補強部と貫通孔膜部が一体化していることが好ましい。本発明のフィルターは、構造補強部の上面に、フィルター破損防止構造を有する。フィルター破損防止構造は、本発明の貫通孔を有するフィルター、の破損を低減するために設けられる。フィルター破損の主な要因としては、フィルター同士あるいはフィルターと他の部材とが接触後、剥離する際の接触面の接着力に起因する破損、接触部での応力破壊による破損が挙げられる。従って、フィルター面同士が接触した際の接着力低減、応力緩和が達成できる機能のうち、少なくともいずれか1つの機能を備えたフィルター破損防止構造を設けることで、フィルターの破損を低減することができる。フィルター同士が接触した際の接着力低減の機能を備えたフィルター破損防止構造としては、接触面の面積を小さくすることが挙げられる。具体的には構造補強部の断面積よりも上面の面積が小さくなる構造体をフィルター破損防止構造として設ける。具体的には、構造補強部の上面に凹凸構造を有する構造物を設ける。例えば、該構造補強部の上面の両端を節とする、上に凸の面鞍状の曲面や、下に凸の面ハーフパイプ状の曲面を有する構造が挙げられる。フィルター同士が接触した際の接着力低減の機能を備えたフィルター破損防止構造の別の例としては、構造補強部上面の表面エネルギーを小さくし、構造補強部上面の接触力を小さくすることが挙げられる。具体的には、構造補強部の上面に構造補強部よりも低表面エネルギーの低表面エネルギー層を設ける。この際、低表面エネルギー層の表面エネルギーは30mJ/m2以下であることが望ましい。低表面エネルギー層を構成する材料の例としては、パーフルオロポリエーテルなどのフッ素系樹脂などが挙げられる。接触部の応力緩和の機能を備えたフィルター防止構造の例として、構造補強部の上面に構造補強部よりも低弾性率の低弾性率層を設けることが挙げられる。この際、低弾性率層の弾性率は500MPa以下であることが望ましい。低弾性率層を構成する材料の例としては、ポリジメチルシロキサンに代表されるシリコーンゴムなどのエラストマー材料が挙げられる。以上のように、本発明のフィルター破損防止構造は、構造補強部の上面に凹凸構造、低表面エネルギー層、低弾性率層のいずれか1つを有する構成を備えたものである。本発明の、微細な貫通孔を有するフィルター、の製造方法の例として、金型の形状を樹脂に転写して構造を形成するナノインプリント法や、金型に流し込んだ樹脂を硬化させて、その後剥離するナノキャスティング法などが挙げられる。本発明のフィルターをナノインプリント法により作製する場合は、犠牲層を塗布した基材フィルム上で、フィルターの材料となる樹脂に金型の構造を転写し、その後犠牲層を溶解することによりフィルターを作製する。犠牲層は、フィルターが溶解しない溶剤に可溶な材料から構成されていれば問題ない。一例として、フィルターが水に溶解しない場合、犠牲層を構成する材料の例として、ポリビニルアルコール、ポリジメチルアクリルアミド、ポリビニルピロリドンなどの、水に溶解する樹脂が考えられる。本発明に係る微細な貫通孔を有するフィルターの他の実施形態を説明する。孔径が005~05μmの微細な貫通孔を有するフィルターでは、通常は問題にならない貫通孔膜部への大気浮遊物質の吸着が、微細な貫通孔を有するフィルターのガス透過性に大きく影響を与える問題も懸念される。これに対して、貫通孔膜部の貫通孔の下面側の淵に、高さが2~20nmの突起を設けることで大気浮遊物質の吸着を抑制することができる。これは、突起が貫通孔の淵に存在すると、フィルター表面貫通孔膜部の表面と大気浮遊物質との間に隙間が形成され、大気浮遊物質とフィルター表面との接触面積が減少する。これにより、大気浮遊物質とフィルター表面との間に働くファンデルワールス力が抑制されるため、大気浮遊物質の吸着が抑制される。この際、突起の高さが2nm以下であると、該貫通孔の下面側の淵に排気ガス粒子などの大気浮遊物質が接触した際に、フィルター表面と大気浮遊物質との間に十分な隙間ができず、フィルター表面と大気浮遊物質との間に働くファンデルワールス力が十分に抑制できないため、大気浮遊物質の吸着抑制効果が得られなくなる。また、突起の高さが20nmよりも大きいと、透過ガスが貫通孔に入り難くなり、ガスの透過性が低下するため好ましくない。このため、貫通孔の淵に設ける突起の高さとしては、2~20nmとすることが望ましい。本突起の高さは、フィルターの作製条件により制御することができる。例えば、ナノインプリント法によりフィルターを作製する場合、金型押圧時の圧力を制御することにより、突起の高さを制御することが可能である。この場合、金型押圧時の圧力が大きいほど、突起は高くなる。以下に実施例、比較例、を用いて本発明及びその効果をさらに説明するが、本発明はこれら実施例により何ら限定されるものではない。本実施例、比較例では、図1に示すロールトゥーロール工程の製造装置を用いて、微細な貫通孔を有するフィルターを作製した。また、ロールトゥーロール工程の各工程における断面模式図を図2に示す。まず、PETフィルム巻出しリール1に巻き取られていたPETフィルム10長さ30m、幅15cm、厚さ100μmをポリビニルアルコール水溶液の浴槽2に浸し、PETフィルム上に厚さ1μmの犠牲層となるポリビニルアルコール樹脂膜22を形成した図2a、b。その後、ポリビニルアルコール樹脂膜上に、樹脂塗工機3を用いて微細な貫通孔を有するフィルターの材料となる樹脂23を塗布した図2c。その後、微細構造転写装置4を用いて、フッ素系離型剤によって離型処理が施されたNi製の金型を押圧/剥離して、金型の構造を樹脂23に転写した図2d、e。この際、貫通孔膜部の貫通孔を形成するための金型の突起部が犠牲層であるポリビニルアルコール樹脂膜22まで到達するように、加圧力や樹脂23の厚さあるいは量が調整されている。また、図2dに示すように構造補強部を形成する金型の凹部内に完全に樹脂が充填されないようにすれば、後述のように構造補強部の上面に鞍状あるいはハーフパイプ状のフィルター破損防止構造を設けることも可能となる。また、構造補強部を形成する金型の凹部内に凹凸パターンを形成しておくことで、本転写工程により構造補強部の上面に所定の凹凸構造を備えたフィルター破損防止構造を設けることも可能である。次に、微細構造転写装置4で樹脂に凹凸パターンを転写した後、シートを水浴槽5中に浸してポリビニルアルコール樹脂膜22を溶解して、構造が転写された樹脂23をPETフィルム10から剥離した図2f。その後、構造が転写された樹脂は、水浴槽7中に浸してフィルター表面に残存したポリビニルアルコール樹脂を溶解した後、フィルム巻取りリール8で回収した。また、PETフィルムは、PETフィルム巻取りリール6に回収した。ロールトゥーロール工程において、各工程へのフィルムの搬送はフィルム送りロール9により行われる。なお、金型の構造を樹脂に転写する際には、樹脂の種類に応じて、金型押印時に樹脂に紫外光照射して樹脂硬化し金型を剥離するプロセス光硬化プロセス、または、ガラス転移温度以上の樹脂に金型を押圧し冷却後に金型を剥離するプロセス熱プロセスを使用した。光硬化プロセスを用いる場合には、微細構造転写装置4は光硬化性樹脂を硬化させるための光照射手段を備える。また、熱プロセスを用いる場合には、微細構造転写装置4は熱可塑性樹脂を軟化させるための加熱手段とこれを冷却する冷却手段を有する。また、微細構造転写装置4は平板状の金型を用いて加圧する転写装置の他、ロール状、ベルト状の金型を用いたローラタイプの転写装置とすることもできる。本発明の実施例、比較例に用いた金型は、貫通孔膜部を形成する部分11と、構造補強部を形成する部分12から構成される。金型の模式図拡大図、及び金型中の貫通孔膜部を形成する部分11の模式図拡大図を、それぞれ図3、図4に示す。貫通孔膜部を形成する部分11は、構造補強部を形成する部分12によって区切られており、単位区画の面積はAである。また、貫通孔膜部を形成する部分11は、図4に示すように直径D、間隔S、高さdの円柱状ピラーが規則配列した構造を有する。構造補強部は、幅50μm、深さ100μmの溝状の構造を有する。本実施例、比較例では、貫通孔膜部を形成する部分11の円柱状ピラーの直径D、間隔S、高さHが異なる金型を用いてフィルターを作製した。各実施例、比較例で用いた金型のD、S、H、Aを表1に示す。また、作製したフィルターの形状パラメータを原子間力顕微鏡、及び触診型膜厚計で測定した結果を表2に示す。実施例1と比較例では、同一の金型で検討を行った。また、樹脂として、シルセスキオキサン誘導体東亜合成株式会社製AC-SQSI-20と光開始剤BASF製DAROCUR1173:5との混合物樹脂Aを用い、光硬化プロセスで樹脂Aを硬化させた。比較例では、金型が有する空間を埋めるために十分な量の樹脂Aをポリビニルアルコール膜上に塗布した。比較例のフィルターの模式図拡大図と貫通孔膜部の模式図拡大図をそれぞれ図5、図6に示す。一方、実施例1では、金型が有する空間を埋めるために必要な量の90に相当する樹脂Aをポリビニルアルコール膜上に塗布した。実施例1のフィルターの模式図拡大図と貫通孔膜部14の模式図拡大図をそれぞれ図7、図6に示す。比較例の構造補強部13の高さは、構造補強部を形成する金型部分の溝の深さに相当する100μmとなり、構造補強部13の上面は平面となった。一方、実施例1の構造補強部13の高さは、構造補強部を形成する金型部分の溝の深さの9割程度となり、構造補強部13の上面は鞍状の曲面となった。この原因として、樹脂Aと金型の相互作用が強く、金型の押圧時に樹脂Aと金型表面との接触角が90度以下であったことが考えられる。一方、形成されたフィルターの貫通孔15の下面側の淵には高さが5nmの突起16があることが確認できた。この原因として、金型押圧時に、貫通孔膜部を形成するピラー部がポリビニルアルコール膜中に入り込み、その結果ピラー部の淵に存在する樹脂Aもポリビニルアルコール中に入り込んだことが考えられる。また、貫通孔膜部14は、金型中の貫通孔膜部を形成する部分の構造が良好に転写された構造となった。実施例2と実施例3では、実施例1と金型中の貫通孔膜部14を形成する部分のピラーの高さが異なる金型を用いて、実施例1と同等の条件でフィルターを作製した。実施例2と実施例3のフィルターの模式図拡大図と貫通孔膜部14の模式図拡大図をそれぞれ図7、図6に示す。実施例2と実施例3のフィルターは、実施例1と同様に、構造補強部13の高さが金型中の構造補強部を形成する部分の溝の深さの9割程度となり、構造補強部13の上面は鞍状の曲面となった。一方、形成されたフィルターの貫通孔15の下面側の淵には突起16があることが確認できた。また、貫通孔膜部14は、金型中の貫通孔膜部を形成する部分の構造が良好に転写された構造となった。実施例4と実施例5では、実施例1と金型中の貫通孔膜部を形成する部分のピラーの直径が異なる金型を用いて、実施例1と同等の条件でフィルターを作製した。実施例4と実施例5のフィルターの模式図拡大図と貫通孔膜部14の模式図拡大図をそれぞれ図7、図6に示す。実施例4と実施例5のフィルターは、実施例1と同様に、構造補強部13の高さが金型中の構造補強部を形成する部分の溝の深さの9割程度となり、構造補強部13の上面は鞍状の曲面となった。一方、形成されたフィルターの貫通孔15の下面側の淵には突起16があることが確認できた。また、貫通孔膜部14は、金型中の貫通孔膜部を形成する部分の構造が良好に転写された構造となった。実施例6と実施例7では、金型中の構造補強部分を形成する部分の溝が貫通孔膜部を囲う面積が実施例1と異なる金型を用いて、実施例1のフィルターと開口率が異なるフィルターを作製した。実施例6と実施例7のフィルターの模式図拡大図と貫通孔膜部14の模式図拡大図をそれぞれ図7、図6に示す。実施例6と実施例7のフィルターは、実施例1と同様に、構造補強部13の高さが金型中の構造補強部を形成する部分の溝の深さの9割程度となり、構造補強部13の上面は鞍状の曲面となった。一方、形成されたフィルターの貫通孔15の下面側の淵には突起16があることが確認できた。また、貫通孔膜部14は、金型中の貫通孔膜部を形成する部分の構造が良好に転写された構造となった。実施例8では、アクリル酸ブチルAldrich製と光開始剤BASF製DAROCUR1173:5との混合物樹脂Bを用いて、実施例1と同じ金型を用いてフィルターを作製した。樹脂Bに対しては、光硬化プロセスを用いて金型の微細構造を転写した。実施例8のフィルターの模式図拡大図と貫通孔膜部14の模式図拡大図をそれぞれ図8、図6に示す。実施例8のフィルターは、構造補強部13の高さが構造補強部を形成する金型部分の溝の深さの9割程度となり、構造補強部13の上面はハーフパイプ状の曲面となった。この原因として、樹脂Bと金型の相互作用が弱く、金型の押圧時に樹脂Bと金型表面との接触角が90度以上であったことが考えられる。一方、形成されたフィルターの貫通孔15の下面側の淵には突起16があることが確認できた。また、貫通孔膜部14は、金型中の貫通孔膜部を形成する部分の構造が良好に転写された構造となった。実施例9では、比較例1と同条件でフィルターを作成し、フィルターを巻き取る前にパーフルオロポリエーテルAusimont製Z-TETRAOLのHFE7100住友スリーエム製溶液濃度01wt中に浸して、フィルター表面に低表面エネルギー材料を塗布した。X線表面反射測定の結果、構造補強部の表面には膜厚が2nmの低表面エネルギー層の形成が確認できた。また、接触角法による表面エネルギー測定の結果、低表面エネルギー層上の表面エネルギーは23mJ/m2であった。実施例10では、比較例1と同条件でフィルターを作製し、フィルターを巻き取る前にフィルター表面を、ポリジメチルシロキサン樹脂反応性シリコーンオイルKF-105信越化学工業株式会社製と硬化剤アデカオプトマーSP172:5重量パーセントとの混合物のフィルムに押し付け、構造補強部の表面に混合物層を転写した。その後、紫外線照射を行い、構造補強部の表面のポリジメチルシロキサン樹脂を硬化した。触針計で測定した結果、得られたポリジメチルシロキサン樹脂層の膜厚は1μmであった。また、原子間力顕微鏡DimensionIconBruker製を用いて測定したポリジメチルシロキサン樹脂層の弾性率は30MPaであった。実施例11では、樹脂としてポリイミド日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社製HD-4104樹脂Cを用いて、実施例1と同じ金型を用いてフィルターを作製した。樹脂Cに対しては、光硬化プロセスを用いて金型の微細構造を転写し、その後熱処理してからリールで巻き取った。実施例11のフィルターの模式図拡大図と貫通孔膜部14の模式図拡大図をそれぞれ図6、図5に示す。実施例11のフィルターは、構造補強部13の高さが構造補強部を形成する金型部分の溝の深さの9割程度となり、構造補強部13の上面は鞍状の曲面となった。この原因として、樹脂Cと金型の相互作用が強く、金型の押圧時に樹脂Aと金型表面との接触角が90度以下であったことが考えられる。一方、形成されたフィルターの貫通孔15の下面側の淵には突起16があることが確認できた。また、貫通孔膜部14は、金型中の貫通孔膜部を形成する部分の構造が良好に転写された構造となった。実施例12では、樹脂としてポリスチレンAldrich製樹脂Dを用いて、実施例1と同じ金型を用いてフィルターを作製した。樹脂Dに対しては、熱プロセスを用いて金型の微細構造を転写した。実施例12のフィルターの模式図拡大図と貫通孔膜部14の模式図拡大図をそれぞれ図6、図5に示す。実施例12のフィルターは、構造補強部13の高さが構造補強部を形成する金型部分の溝の深さの9割程度となり、構造補強部13の上面は鞍状の曲面となった。この原因として、樹脂Dと金型の相互作用が強く、金型の押圧時に樹脂Dと金型表面との接触角が90度以下であったことが考えられる。一方、形成されたフィルターの貫通孔15の下面側の淵には突起16があることが確認できた。また、貫通孔膜部14は、金型中の貫通孔膜部を形成する部分の構造が良好に転写された構造となった。<巻き出し後のフィルターの破損量評価>リールに巻き取られたフィルターを常温常圧の環境下で7日間放置し、その後リールからフィルターを巻き出した。その後、フィルター表面の1mm2中に存在する、大きさが1μm以上の欠陥数をレーザー顕微鏡で測定した。結果を表2に示す。この結果から、実施例1~12の欠陥数は、比較例の欠陥数の10程度であることがわかる。この理由として、比較例では、フィルター中の構造補強部の上面が、リール巻取り時に隣接するフィルターを破損する一方で、実施例1~12では、構造補強部上面のフィルター破損防止構造が有効に作用し、フィルターの破損が抑制されたことが考えられる。なお、実施例9のフィルターは、表面全体に低表面エネルギー材料が塗布されているため、貫通孔膜部に形成された低表面エネルギー材料によって、大気浮遊物質の吸着の抑制効果も期待できる。なお、実施例9では、フィルターの表面全体に低表面エネルギー材料が塗布した例を示したが、パーフルオロポリエーテルを4nmの厚さで塗布したフィルム上にフィルター表面を押付けて作製し、構造補強部の表面のみに低表面エネルギー層を形成することも可能である。本実施例では、巻き出し後のフィルターの破損防止を例として説明したが、本発明の効果は巻き出し後のフィルターの破損防止に限定されるものではなく、他の部材と積層して使用される形態などでも破損抑制効果を有する。例えば、粒径の大きい大気浮遊物質を事前に除去するプレフィルターを、本実施例のフィルターと重ねて使用する場合において、本実施例のフィルター破損防止構造により、力学的強度の弱いプレフィルターの破損が抑制することができる。以上より、本発明により、微細な貫通孔を有する樹脂製のフィルターの破損を抑制することができる。また、貫通孔膜部が有する貫通孔の下面側の淵に、高さが2~20nmの突起を有することにより、貫通孔膜部への大気浮遊物質の吸着が抑制された、ガス透過性の高い、微細な貫通孔を有するフィルターを提供することができる。