測定対象物の被測定面に空気を噴射して被測定面から飛散したパーティクルを含む空気を吸入するプローブと、プローブにより吸入された空気に含まれるパーティクルを計数する計数器とを備えるパーティクル測定装置において、前記プローブは、その内部に圧縮空気を導入する圧縮空気導入口と、圧縮空気導入口から導入された圧縮空気を被測定面に噴射する噴射口を下端面に有し、前記プローブ内に上下動自在に配置された少なくとも1つの柱状のフローティングパッドとを備え、前記フローティングパッドは、前記噴射口から噴射されて前記下端面と被測定面との間の隙間を流れる圧縮空気の2次圧により前記下端面に作用する上向きの力で被測定面に対して非接触に保持されるように構成したことを特徴とするパーティクル測定装置。前記フローティングパッドは上部よりも下部が拡径された段付き円柱状に形成され、前記フローティングパッドの拡径した部分の上端の段部に前記圧縮空気導入口から導入された圧縮空気の1次圧による下向きの力が作用するようにしたことを特徴とする請求項1記載のパーティクル測定装置。前記フローティングパッド内に形成された前記噴射口に連通する流路に絞り部材を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載のパーティクル測定装置。前記プローブの下面に、前記隙間を流れる空気の一部を排気する排気口を設けたことを特徴とする請求項1~3の何れか1項記載のパーティクル測定装置。前記プローブは、前記排気口に接続された排気路と、排気路から分岐した分岐路とを更に備え、分岐路を前記計数器に連通させたことを特徴とする請求項4記載のパーティクル測定装置。前記排気口に連通するファンを更に備えたことを特徴とする請求項4又は5記載のパーティクル測定装置。前記計数器は、前記プローブから吸入された空気の流量を検出する流量検出部を備え、前記流量検出部の検出結果に基づいて、前記ファンの回転速度が調整されることを特徴とする請求項6記載のパーティクル測定装置。本発明は、以上の点に鑑み、測定対象物の被測定面に凹凸があっても、被測定面に付着したパーティクルを精度良く測定することが可能なパーティクル測定装置を提供することをその課題とする。上記課題を解決するために、本発明は、測定対象物の被測定面に空気を噴射して被測定面から飛散したパーティクルを含む空気を吸入するプローブと、プローブにより吸入された空気に含まれるパーティクルを計数する計数器とを備えるパーティクル測定装置において、プローブは、その内部に圧縮空気を導入する圧縮空気導入口と、圧縮空気導入口から導入された圧縮空気を被測定面に噴射する噴射口を下端面に有し、プローブ内に上下動自在に配置された少なくとも1つの柱状のフローティングパッドとを備え、フローティングパッドは、噴射口から噴射されて上記下端面と被測定面との間の隙間を流れる圧縮空気の2次圧により該下端面に作用する上向きの力で被測定面に対して非接触に保持されるように構成したことを特徴とする。本発明によれば、圧縮空気導入口から導入された圧縮空気を噴射口から被測定面に噴射することで、被測定面に付着したパーティクルが飛散し、飛散したパーティクルを含む空気がプローブにより吸引され、吸引された空気に含まれるパーティクルが計数器により計数される。このとき、フローティングパッドにはその上端面に作用する大気圧と自重とによる下向きの力が作用するが、フローティングパッドの下端面には圧縮空気の2次圧による上向きの力が作用する。そして、下向きの力と上向きの力がつり合う位置にフローティングパッドが移動し、被測定面に対して非接触に保持される。ここで、プローブの走査中に被測定面に凹部があると、フローティングパッドの噴射口すなわち、下端面と被測定面との間の隙間が広がり、該隙間を流れる圧縮空気の2次圧が低くなる。このため、フローティングパッドの下端面に作用する上向きの力が減少し、フローティングパッドが下方に移動する。一方、プローブの走査中に被測定面に凸部があると、フローティングパッドの下端面と被測定面との間の隙間が狭くなり、該隙間を流れる圧縮空気の2次圧が高くなる。このため、フローティングパッドの下端面に作用する上向きの力が増加し、フローティングパッドが上方に移動する。このようにプローブを走査する被測定面に凹凸があっても、凹凸に追従してフローティングパッドが上下動することで、フローティングパッドの下端面と被測定面との間の隙間が一定に保たれる。従って、被測定面に凹凸があっても、被測定面に付着したパーティクルを精度良く測定することができる。被測定面に付着したパーティクルを飛散させるためには、噴射口から噴射される圧縮空気の2次圧を高くすることが望ましいが、圧縮空気の2次圧を高くすると、上向きの力が大きくなり過ぎて、フローティングパッドの下端面が被測定面から離れ過ぎてしまう。この場合、フローティングパッドを比重の大きい材料で形成して、下向きの力を大きくすれば、2次圧を高くしたとしても、フローティングパッドの下端面と被測定面との間の距離を適切に確保できる。然し、これではプローブの総重量が増加し、作業者によるプローブの操作性が悪化する。本発明においては、フローティングパッドを上部よりも下部が拡径された段付き円柱状に形成し、フローティングパッドの拡径した部分の上端の段部に圧縮空気導入口から導入された圧縮空気の1次圧による下向きの力が作用するように構成することが好ましい。これによれば、圧縮空気の2次圧を高くしても、圧縮空気の1次圧によりフローティングパッドに作用する下向きの力が大きくなるため、フローティングパッドの下端面と被測定面との間の距離を適切に確保できる。そして、フローティングパッドを比重の大きい材料で形成する必要がないため、プローブの総重量の増加を招かない。また、本発明においては、フローティングパッド内に形成された噴射口に連通する流路に絞り部材を設けることが好ましい。これによれば、噴射口から噴射される空気の流速が高められて、フローティングパッドの下端面と被測定面との間の距離が長いと、ベルヌーイ効果による下方への吸引力がフローティングパッドに作用する。その結果、フローティングパッドの下端面と被測定面との間の距離がより短くなったところで、下向きの力と2次圧による上向きの力とがつり合うようになる。そして、フローティングパッドの下端面と被測定面との間の距離が短くなると、被測定面に吹き付けられる空気圧が高くなるため、被測定面に付着したパーティクルが飛散しやすくなり、パーティクルの測定精度を一層向上できる。ところで、上記従来例のものでは、プローブから被測定面に噴射される空気流量と、プローブにより吸入され計数器に導かれる空気流量とは概ね等しくされている。ここで、一般に、計数器では空気の許容流量が定められており、この許容流量が多い計数器は高価格であるため、このような許容流量が多い計数器を用いるとコストアップを招来する。他方で、被測定面に噴射される空気流量を少なくすると、被測定面に付着したパーティクルが飛散し難くなるため、測定精度が低下する。これに対して、本発明において、プローブの下部に、前記隙間を流れる空気の一部を排気する排気口を設ければ、計数器に流入する空気流量が少なくなるため、許容流量が少ない安価な計数器を用いることができ、コストアップを招かないという利点が得られる。しかも、被測定面に噴射する空気流量を少なくする必要がないため、測定精度の低下を招かない。本発明においては、排気口に接続された排気路から分岐した分岐路を前記計数器に連通させてもよい。これによれば、排気口を吸入口と兼用できるため、プローブの構造を簡略化できてよい。また、本発明においては、排気口と連通するファンを更に備えることが好ましい。これによれば、ファンを作動させることで排気口から排気される空気量を調整できるため、計数器に流入する空気の流量を調整できる。この場合、計数器は、プローブから流入する空気の流量を検出する流量検出部を備え、流量検出部の検出結果に基づいて、ファンの回転速度を調整することが好ましい。以下、図面を参照して本発明の実施形態のパーティクル測定装置を説明する。図1を参照して、Mは、パーティクル測定装置である。パーティクル測定装置Mは、プローブPと計数器Cとから構成される。ここで、計数器Cとしては、公知構造のものを用いることができるため、ここでは計数器Cの具体的な構造や計数器Cでのパーティクルの計数方法についての説明を省略する。プローブPは、プローブ本体1と、ハンドル2とを備えている。図2、図3も参照して、プローブ本体1は、第1のベース3と、第1のベース3の下側に設けられる第2のベース4と、第2のベース4を囲うジャケット5とから構成される。第1のベース3にはその中心を上下方向に貫通する貫通孔30が形成され、第2のベース4にはその上面の中心から上方に延びる突起40が一体的に形成されている。そして、突起40が貫通孔30に挿通された状態で、第1及び第2のベース3、4とジャケット5とがねじ10で固定されている。ハンドル2の一端には固定板20が設けられている。固定板20は、平面視円形の基部21と、基部21の周囲1箇所から外方に突出する平面視矩形の凸部22とからなる。基部21は、第1のベース3の上面にねじ11で固定されている。基部21には、突起40や後述のフローティングパッド6の上部を挿通する複数の透孔が形成されている。凸部22には、後述の排気管7を挿通する透孔が形成されている。ハンドル2の他端の上側には、グリップ23が取り付けられ、作業者がプローブPを走査できるようにしている。このグリップ23の下側には排気用のファン24が取り付けられている。第1及び第2のベース3、4には、相互に連通する貫通孔31、41が形成され、これらの貫通孔31、41内にフローティングパッド6が挿通されている。本実施形態では、3個のフローティングパッド6が両ベース3、4の中心と同心の円上に周方向に等間隔で配置されている。フローティングパッド6の上端面60の近傍にはストッパ61が設けられ、フローティングパッド6の下方への移動を規制している。ストッパ61は、例えばワッシャ61aと、このワッシャ61aの抜け防止用のEクリップ61bとで構成される。フローティングパッド6は、上部よりも下部が2段階で拡径された円柱状である。図3に示されるフローティングパッド6の上部の径d1は、例えば6mmであり、上部の下の第1段階の拡径部の径d2は、例えば7.7mmであり、最下部の拡径部の径d3は、例えば9mmである。第1段階の拡径部の上端の段部62が第1のベース部3下面に当接することにより、フローティングパッド6の上方への移動が規制される。このため、フローティングパッド6は、図3において符号Dで示す量例えば1mmだけ上下動自在である。第1のベース3の側面には、3個のフローティングパッド6に対応して3個の圧縮空気導入口32が開設されている。各圧縮空気導入口32には図示省略の圧縮空気供給源に通じる配管が接続され、第1のベース3内に圧縮空気を導入できるようにしている。第1のベース3内には、圧縮空気導入口32と連通する流路33が形成されている。流路33は、フローティングパッド6の側面まで水平方向に延びた後、下方に屈曲してフローティングパッド6の段部62に達している。この流路33を介して段部62に圧縮空気が供給されると、段部62に圧縮空気の1次圧例えば、5気圧による下向きの力が作用する。第2のベース4内には、第1のベース3の流路33を下方に延長する流路42が形成されている。フローティングパッド6内には、流路42と連通する流路63が形成されている。流路63は、フローティングパッド6の中心軸近傍まで水平に延び、下方に屈曲して下端面64に達している。フローティングパッド6の下端面64には、流路63に連通する噴射口65が開設され、圧縮空気を噴射できるようにしている。噴射口65から噴射された空気は、フローティングパッド6の下端面64と被測定面Tとの間の隙間Bを流れ、フローティングパッド6の下端面64に圧縮空気の1次圧よりも低圧の2次圧例えば、3気圧による上向きの力が作用する。なお、図3において仮想線で示すように、フローティングパッド6内の流路63に絞り部材66たるオリフィスを配置すれば、噴射口65から噴射される空気の流速を高めることができる。噴射口65から噴射される空気の流速を高めるために、流路63内に絞り部材66たる短管を挿設してもよく、噴射口65に皿ねじを配置してもよい。第2のベース4の下端面43の中心には、上記隙間Bを流れる空気を吸入する吸入口44が開設されている。第2のベース4内には、吸入口44から上方に延びて突起40の上端に達する吸入路45が形成されている。突起40上端面に露出する吸入路45の上端は、図示省略する配管を介して計数器Cに連通している。ジャケット5の下面は開放面となっている。そして、プローブ本体1の下面に、ジャケット5の内周面と第2のベース4の外周面46との間の環状の隙間から成る排気口51を設け、上記隙間Bを流れる空気の一部を排気できるようにしている。ジャケット5内には、排気口51に連通する排気路52が形成されている。ジャケット5上面に露出する排気路52の他端は、排気管7を介して上記ファン24に接続され、ファン24を作動させることにより排気口51からの排気量を増大できるようにしている。なお、計数器Cとして、計数器Cに流入する空気の流量を検出する流量検出部を備えるものを用い、この流量検出部の検出結果に基づいて、図示省略の制御部によりファン24の回転速度を調整するように構成してもよい。排気管7は、ジャケット5の上面から上方に延びて固定板20の凸部22に形成した透孔に挿入されるストレート形状の配管71と、この配管71の上端に接続されるフレキシブル配管72とで構成されている。フレキシブル配管72の一端には、配管71の上端に接続されるフランジ73が設けられており、このフランジ73がねじ73aで凸部22に固定されている。フレキシブル配管72の他端は上記ファン24に接続され、排気口51から吸い込まれた空気を大気中に排気できるようにしている。本実施形態によれば、作業者のハンドル2の操作によりプローブPを被測定面例えばターゲット表面T上で走査しながら、圧縮空気導入口32に圧縮空気を導入すると、噴射口65から噴射された空気が被測定面Tに吹き付けられ、被測定面Tに付着したパーティクルが飛散し、飛散したパーティクルを含む空気が吸引口44から吸引され、吸引された空気に含まれるパーティクルが計数器Cにて計数される。このとき、フローティングパッド6にはその自重と、上端面60に作用する大気圧と、段部62に作用する圧縮空気の1次圧とによる下向きの力が作用し、フローティングパッド6の下端面64には該下端面64と被測定面Tとの間の隙間Bを流れる圧縮空気の2次圧による上向きの力が作用する。そして、下向きの力と上向きの力がつり合う位置にフローティングパッド6が移動し、被測定面Tに対して非接触に保持される。ここで、プローブPの走査中に被測定面Tに凹部があると、フローティングパッド6の下端面64と被測定面Tとの間の隙間Bの上下方向幅が広がり、この隙間Bを流れる圧縮空気の2次圧が低くなるため、フローティングパッド6の下端面64に作用する上向きの力が減少し、フローティングパッド6が下方に移動する。そして、下方への移動に伴い2次圧が上昇し、隙間Bの上下方向幅が所定量に減少したところで、下向きの力と上向きの力がつり合う。また、プローブPの走査中に被測定面Tに凸部があると、隙間Bの上下方向幅が狭くなり、この隙間Bを流れる圧縮空気の2次圧が高くなるため、フローティングパッド6の下端面64に作用する上向きの力が増加し、フローティングパッド6が上方に移動する。そして、上方への移動に伴い2次圧が低下し、隙間Bの上下方向幅が所定量に増加したところで、下向きの力と上向きの力がつり合う。このように被測定面Tに凹凸があっても、凹凸に追従してフローティングパッド6が上下動することで、フローティングパッド6の下端面64と被測定面Tとの間の隙間Bが一定に保たれる。従って、被測定面Tに凹凸があっても、被測定面Tに付着したパーティクルを精度良く測定することができる。ところで、フローティングパッド6の噴射口65から噴射された空気を全て吸入口44から吸入すると、計数器Cに流入する空気の流量が多くなり、許容流量の多い計数器Cを用いなければならず、結果としてコストアップを招く虞がある。それに対して、本実施形態では、フローティングパッド6の下端面64すなわち、プローブPの下面と被測定面Tとの間の隙間Bを流れる空気の一部が吸入口44から吸入され、残りの空気は排気口51に吸い込まれ、排気管7とファン24とを介して大気中に排気される。このため、計数器Cに流入する空気の流量を抑えることができて、許容流量の比較的少ない計数器を用いることが可能になり、コストアップを防ぐことができるという利点もある。また、噴射口65に連通する流路63に絞り部材66を設ければ、噴射口65から噴射される空気の流速が高められて、フローティングパッド6の下端面64と被測定面Tとの間の距離が比較的長いと、ベルヌーイ効果による下方への吸引力がフローティングパッド6に作用する。その結果、フローティングパッド6の下端面64と被測定面Tとの間の距離がより短くなったところで、下向きの力と2次圧による上向きの力とがつり合うようになる。そして、フローティングパッド6の下端面64と被測定面Tとの間の距離が短くなると、被測定面Tに付着したパーティクルが飛散しやすくなり、パーティクルの測定精度を一層向上できる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではない。例えば、上記実施形態においては、3個のフローティングパッド6を有するプローブ本体1を例に説明したが、プローブ本体1は少なくとも1個のフローティングパッド6を有していればよい。上記実施形態においては、段付き円柱状のフローティングパッド6を用いる場合について説明したが、フローティングパッド6の形状はこれに限定されず、柱状例えば円柱状であればよい。この場合、フローティングパッドには上端面に作用する大気圧と自重とによる下向きの力と、フローティングパッドの下端面に作用する圧縮空気の2次圧による上向きの力とが作用する。そして、下向きの力と上向きの力がつり合う位置にフローティングパッドが移動し、被測定面に対して非接触に保持される。但し、パーティクルを飛散させやすくするために圧縮空気の2次圧を高めると、下向きの力よりも上向きの力が大きくなり過ぎて、フローティングパッド6の下端面64が被測定面Tから離れ過ぎてしまう。この場合、フローティングパッド6を比重の大きい材料で形成して、下向きの力を大きくすれば、2次圧を高くしても、フローティングパッド6の下端面64と被測定面Tとの間の距離を適切に確保できる。然し、これではプローブの総重量が増加し、作業者によるプローブPの操作性が悪化する。そのため、圧縮空気の2次圧を高くする場合には、上記実施形態の如く、フローティングパッド6を段付き円柱状に形成し、拡径部の上端の段部62に圧縮空気の1次圧による下向きの力が作用するように構成することが好ましい。これによれば、圧縮空気の2次圧を高くしても、圧縮空気の1次圧によりフローティングパッド6に作用する下向きの力が大きくなるため、フローティングパッド6の下端面64と被測定面Tとの間の距離を適切に確保できる。そして、フローティングパッド6を比重の大きい材料で形成する必要がないため、プローブPの総重量の増加を招かない。上記実施形態においては、排気口51とは別個に計数器Cに連通する吸入口44を設けているが、排気口51に接続された排気管7から分岐した分岐管を計数器Cに連通させてもよい。これによれば、排気口51を吸入口と兼用でき、第2のベース3に吸入口44や吸入路45を形成しなくてもよいため、プローブPの構造を簡略化でき、コストを抑えることができる。