支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離する剥離装置であって、前記剥離装置は、前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラを有し、前記保持ローラは、所定方向への回動により、前記板状部材を前記支持部材から剥離保持する第1の機能と、その保持の完了後に、前記所定方向への回動とは逆方向に回動する第2の機能と、を備えることを特徴とする剥離装置。前記保持ローラは、前記逆方向への回動により、同保持ローラに保持されている前記板状部材を被着体に貼り付けることを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、前記板状部材に当接してその吸引力により当該板状部材を保持し、支持部材からの剥離を行なうことを特徴とする請求項1または2に記載の剥離装置。前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記板状部材に当接することによってその接着力により当該板状部材を保持し、支持部材からの剥離を行なうことを特徴とする請求項1または2に記載の剥離装置。前記板状部材の剥離を行なう前に剥離の切っ掛けを形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の剥離装置。被着体に板状部材を貼り付ける貼付装置であって、前記貼付装置は、前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラを有し、前記保持ローラは、所定方向への回動により、前記板状部材を保持する第1の機能と、その保持の完了後に、前記所定方向への回動とは逆方向に回動することにより、同保持ローラに保持されている前記板状部材を前記被着体に貼り付ける第2の機能と、を備えることを特徴とする貼付装置。本発明は前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、装置全体の小型化を図るのに好適な剥離装置と貼付装置を提供することである。前記目的を達成するために、本発明の剥離装置は、支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離する剥離装置であって、前記剥離装置は、前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラを有し、前記保持ローラは、所定方向への回動により、前記板状部材を前記支持部材から剥離保持する第1の機能と、その保持の完了後に、前記所定方向への回動とは逆方向に回動する第2の機能と、を備えることを特徴とする。前記本発明の剥離装置において、前記保持ローラは、前記逆方向への回動により、同保持ローラに保持されている前記板状部材を被着体に貼り付けることができる。前記本発明の剥離装置において、前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、前記板状部材に当接してその吸引力により当該板状部材を保持し、支持部材からの剥離を行なうように構成してもよい。前記本発明の剥離装置において、前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記板状部材に当接することによってその接着力により当該板状部材を保持し、支持部材からの剥離を行なうように構成してもよい。前記本発明の剥離装置において、前記板状部材の剥離を行なう前に剥離の切っ掛けを形成してもよい。本発明の貼付装置は、被着体に板状部材を貼り付ける貼付装置であって、前記貼付装置は、前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラを有し、前記保持ローラは、所定方向への回動により、前記板状部材を保持する第1の機能と、その保持の完了後に、前記所定方向への回動とは逆方向に回動することにより、同保持ローラに保持されている前記板状部材を前記被着体に貼り付ける第2の機能と、を備えることを特徴とする。上記本発明の剥離装置にあっては、保持ローラが支持部材から板状部材を剥離し保持する構成を採用した。このため、簡単な構成で板状部材を剥離することができるので、小型の剥離装置を提供しうる。上記本発明の貼付装置にあっては、保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付ける構成を採用した。このため、簡単な構成で板状部材を貼付することができるので、小型の貼付装置を提供しうる。以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の剥離装置と貼付装置を適用した転写装置の平面図、図2は図1の転写装置に設けられている保持ローラ付近の右側面図である。図1の転写装置1は、図2のようにガラス板G第1の支持部材に貼り付けられた半導体ウエハ板状部材W以後、単にウエハWと称すを剥離してリングフレーム第2の支持部材Fに貼り付ける転写装置である。転写装置1は保持ローラとしてのサクションローラ2を備えている。サクションローラ2はその軸心がX軸と平行となるように回転可能に支持されている。また、サクションローラ2は、そのローラ外周面に微小な多数の吸引口図示省略が開口する構造になっていて、その吸引力でダイシングテープT2接着シートを吸引保持する。その際、ダイシングテープT2の非接着剤面がサクションローラ2外周面に貼り付き、ダイシングテープT2の接着剤面T2-1は表に露出した状態でウエハWを保持する構成となっている。また、前記サクションローラ2は、プーリ5とベルト6とを介してサクションローラ駆動用サーボモータ7により回転駆動される。このようなサクションローラ駆動系5、6、7およびサクションローラ2は、図2に示されるようにフレームF1を介して昇降手段X1によって、ダイシングテープT2を吸引保持する位置と、ウエハWを剥離又は貼り付ける位置とでZ軸方向に上下動可能に構成されている。尚、前記サクションローラ2は、具体的には図9に示したように、サクションローラ2外周面全体のうち、ダイシングテープT2の外径より少し小さな面積エリア2Aに多数の吸引口を有し、その面積エリア2AでダイシングテープT2を吸引吸着する構造になっている。サクションローラ2の下方には搬送テーブル搬送手段8が設けられている。この搬送テーブル8は、Y軸テーブル801とX軸テーブル802の2段重ね構造であって、かつ、Y軸方向すなわちサクションローラ2の外周接線方向への移動と、X軸方向すなわちサクションローラ2の外周接線方向と直交する方向への移動が可能に構成されている。この搬送テーブル8は、Y軸方向への移動により、サクションローラ2前方のスタンバイ位置S1とサクションローラ2の下面を通過してサクションローラ2後方の作業エリアS2間とで進退可能となっている。尚、Y軸方向への搬送テーブル8の移動はY軸レール803とY軸スライダ804並びに図示しないY軸方向単軸ロボットを介して行なわれ、またX軸方向への搬送テーブル8の移動はX軸レール805とX軸スライダ806並びにX軸方向単軸ロボット807を介して行なわれる。搬送テーブル8のスタンバイ位置S1前方には多関節ロボット9が設けられている。多関節ロボット9は、その最先端の関節より先のアーム部分が、ウエハ吸着用アーム901とリングフレーム吸着用アーム902によって構成されており、この多関節ロボット9の作業内容は以下の通りである。1ウエハ吸着用アーム901により、Z軸方向へ移動可能な昇降テーブル10上のウエハカセット11内から図示しない紫外線硬化型の両面粘着テープを介して、ガラス板Gに貼り付けられたウエハW以後、ガラス板G付きウエハWと称すを取り出してアライメント装置12のアライメントテーブル120上にセットする。2ウエハ吸着用アーム901により、アライメント完了後のガラス板G付きウエハWをアライメント装置12から取り出して紫外線照射装置13の搬送テーブル130上にセットする。3ウエハ吸着用アーム901により、紫外線照射後のガラス板G付きウエハWを紫外線照射装置13から取り出して搬送テーブル8上にセットする。4リングフレーム吸着用アーム902により、リングフレームFにマウント済みウエハWを昇降テーブル14上のウエハカセット15内に移送し装填する。前記アライメント装置12では、アライメントテーブル120上にガラス板G付きウエハWがセットされると、ウエハWのオリエンテーションフラットまたはVノッチ等をカメラ121で検出し、ガラス板G付きウエハWを適正な姿勢に修正し、その中心位置を検出する。前記紫外線照射装置13においては、同装置内の搬送テーブル130上にガラス板G付きウエハWがセットされ、紫外線ランプ131の下方を通過することにより、ガラス板Gを透過してガラス板GとウエハWとの間の前記両面粘着テープに紫外線が照射され、両面粘着テープの粘着力が低下される。また、転写装置1にはカッタ刃16が設けられている。このカッタ刃16は、ガラス板GからウエハWを剥離する際の剥離の切っ掛けを形成する手段として設けたものであり、移動する搬送テーブル8と干渉しないように上方から吊り下げられる形式で上下動可能に設置されている。前記サクションローラ2の後方斜め上部にはダイシングテープ繰出し装置17が設けられている。このダイシングテープ繰出し装置17は、ドライブローラ170の回転駆動により、ダイシングテープ原反ロールRからピールプレート171の方向に向かって掛け回わされたダイシングテープ原反Tをピールプレート方向へ走行させ、ピールプレート171での鋭角な折り曲げにより、ダイシングテープT2を剥離シートT1から剥離してサクションローラ2へ供給する構成になっている。尚、ダイシングテープ剥離済みの剥離シートT1はロール状に巻き取られて回収される。また、前記ダイシングテープT2は、ウエハWより大径に形成されて、剥離シートT1上に接着剤層図示省略を介して仮着されているものである。サクションローラ2後方の作業エリアS2では、搬送テーブル8へのリングフレームFのセット作業と、搬送テーブル8からのガラス板Gの取り除き作業とが同時並列的に行なわれる。これらの作業を行なう手段として、作業エリアS2にはリングフレーム吸着パッド180とガラス板吸着パッド181を有する搬送ロボット18が設けられている。搬送ロボット18は、X軸方向へ移動可能なX軸スライダ182を有する単軸ロボットからなり、X軸スライダ182の左右両側に上下用シリンダ183、184を具備する構造になっている。図1中左側の上下用シリンダ183はリングフレーム吸着パッド180をZ軸方向に上下動させる手段であり、また、同図中右側の上下用シリンダ184はガラス板吸着パッド181をZ軸方向に上下動させる手段である。以上の構造からなる搬送ロボット18の作業内容は以下の通りである。1リングフレーム吸着パッド180により、リングフレームストッカ19からリングフレームFを取り出して搬送テーブル8上にセットする。2ガラス板吸着パッド181により、搬送テーブル8上にあるウエハ剥離済みのガラス板Gをガラスストッカテーブル20へ移動する。サクションローラ2の外周面と所定の間隔を隔てて対向する位置には、一対のON/OFFセンサ21、22が設けられている。これら一対のON/OFFセンサ21、22は、図3に示したように、搬送テーブル8上のウエハWの中心線C1を基準にウエハWの直径より短い配置間隔Dで、左右等間隔に並列に配置されている。また、この両ON/OFFセンサ21、22は、作業エリアS2側からサクションローラ2外周面をポイントで監視し図2参照、サクションローラ2に保持されているウエハWの監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じてON又はOFFの信号を出力する。具体的には、サクションローラ2に保持されているウエハWが監視ポイントに進入するとON信号を出力し、監視ポイントを当該ウエハWが通過するとOFF信号を出力する。また、ON/OFFセンサ21、22からの出力信号ON信号、OFF信号は、パーソナルコンピュータ等からなる図2に示す制御装置23に入力される。制御装置23は、ウエハの剥離から貼付までの一連の動作を制御する装置剥離および貼付制御装置であって、サクションローラ駆動用サーボモータ7に対し回転指令信号を出力したり、搬送テーブル8に対し移動指令信号を出力したりする等、本転写装置の各種構成機器に指令信号を出力する機能を有するほか、図12のようにパルスカウント機能、弦長演算機能、ずれ量演算機能、補正機能補正手段を有している。前記制御装置23のパルスカウント機能は、一対のセンサ21、22ごとに、各センサの出力信号がON信号からOFF信号になるまでのサクションローラ駆動用サーボモータ7の回転パルスをカウントする機能である。前記制御装置23の弦長演算機能は、前記回転パルスのカウント値分に相当するサクションローラ2の回転角度を求め、その回転角度を基に、図3に示すようにサクションローラ2に保持されているウエハWの弦の長さa、bを算出する機能である。尚、図3中のaは図中左側のセンサ21からの出力信号に基づき算出される弦の長さ、図3中のbは図中右側のセンサ22からの出力信号に基づき算出される弦の長さである。前記制御装置23のずれ量演算機能は、下記の式1、2に基づき図3中のAとBの長さを算出し、式3によって前記A、Bの差の半分をウエハWの中心線C2のX軸方向ずれ量Cと特定して記憶する機能である。尚、下記の式1、2のrはウエハWの半径であり、ウエハWの半径が変わればそれに応じて式内のrの値も適宜変更される。A=r2-a/221/2...1B=r2-b/221/2...2C=A-B/2...3また、ウエハWのX軸方向ずれ量Cは、ON/OFFセンサ21、22の配置間隔Dを用いて下記の式4でも算出することもできる。C=D-A又はC=D-B...4前記制御装置23のずれ量演算機能は、更に図4に示すようにa/2またはb/2という計算式より、ウエハWの中心位置が、サクションローラ2の円弧方向に、貼付中心からどれだけずれているか以下中心ずれ角θというを特定して記憶するという機能も含んでいる。ここで、貼付中心とは、剥離したウエハWをリングフレームFへ貼り付ける際の基準位置であり、当該貼付中心が前記リングフレームFの中心と合致するように貼り付ける所定の位置を意味する。本実施形態では、サクションローラ2の中心を通るY軸と平行な位置を貼付中心と設定しているため、a/2またはb/2で算出されたウエハWの中心がY軸からサクションローラ2の円弧方向にどれだけずれているかが中心ずれの角θとなる。中心ずれ角θはサクションローラ駆動用サーボモータ7の回転パルス数に換算して記憶されるものとする。前記制御装置23の補正機能は、上記X軸方向ずれ量を補正する機能と、前記中心ずれ角を補正する機能とに大別される。これらの補正機能は以下のようなものである。X軸方向ずれ量の補正機能は、ガラス板GからのウエハWの剥離時にX軸方向ずれが生じた場合、そのX軸方向ずれ量をなくして転写するため、X軸方向ずれ量Cを算出してその分だけ移動するようにX軸方向単軸ロボット807に指令し、搬送テーブル8を移動させ、補正して貼り付けるものである。X軸方向にずれが生じたままダイシングテープT2を介してリングフレームFにウエハWが貼り付けられてしまうと、後で行なわれるウエハWのダイシング作業に支障が生じるが、本実施形態ではX軸方向ずれ量を補正するため、かかる支障は生じない。中心ずれ角の補正機能は、上記同様に、ガラス板GからのウエハWの剥離時にサクションローラ2の所定位置本実施形態では、Y軸と平行な位置とウエハWとの中心にずれが生じた場合、そのずれをなくして転写するため、中心ずれ角θを算出して補正するものである。つまり、リングフレームFへの貼付後のウエハWのY軸方向へのずれ量を補正する。この補正は、中心ずれ角θを考慮に入れて、リングフレームFへの貼付開始位置を前後させるものである。また、サクションローラ2が貼付動作に入る前に、ウエハWの中心をY軸と平行となるように中心ずれ角θを進角または退角させてからリングフレームFに貼り付けるようにしてもよい。中心ずれ角θを無視してウエハWの貼り付けが行なわれると、リングフレームFとウエハWの中心位置にY軸方向のずれが生じ、後で行なわれるウエハWのダイシング作業に支障が生じるが、本実施形態ではリングフレームFに貼付前にY軸方向への補正を行なうため、かかる支障は生じない。次に、前記の如く構成された図1の転写装置の動作について、図1乃至図8を用いて説明する。<ガラス板付きウエハのアライメント>図1の転写装置1においては、最初に、図1に示すウエハカセット11からガラス板G付きウエハWが取り出されアライメント装置12内に移送され、同装置12で当該ウエハWのアライメントが行なわれる。<紫外線照射>前記アライメントが終了すると、ガラス板G付きウエハWが紫外線照射装置13内に移送され、同装置13内でガラス板GとウエハWとの間の紫外線硬化型の両面粘着テープに紫外線が照射される。これにより当該両面粘着テープの粘着力が低下し、ウエハWが簡単に剥離可能な状態になる。<剥離の切っ掛け形成>また、ウエハWの剥離準備の一環として、剥離の切っ掛けを形成する動作も行なわれる。すなわち、紫外線照射が完了すると、ガラス板G付きウエハWはスタンバイ位置S1にある搬送テーブル8上に吸着セットされる。この状態でカッタ刃16が図示しない移動機構によってガラス板G付きウエハWの外周面側から、ウエハWと紫外線硬化型の両面粘着テープとの間に刃先が入り込み、剥離の切っ掛けとなる切り込みが形成される詳しくは特願2004-237332号参照。<ダイシングテープのセット>さらに、ウエハWの剥離準備の一環として、サクションローラ2にダイシングテープT2をセットする動作も行なわれる。すなわち、サクションローラ2が図2のようにダイシングテープT2を吸引保持する位置で同図矢印イの方向に所定の回転角回転し、この回転動作に同期してダイシングテープ繰出し装置17からサクションローラ2の外周面にダイシングテープT2が一枚繰出される。このとき、サクションローラの吸引力でダイシングテープT2がその外周面に吸引されて保持される。尚、サクションローラ2外周面に当接するのはダイシングテープT2の非接着面であり、ダイシングテープT2の接着剤面T2-1は表に露出することとなる。<ウエハの剥離>上記の剥離準備が完了すると、ガラス板G付きウエハWからウエハWを剥離する動作が行なわれる。すなわち、図5のようにスタンバイ位置S1にある搬送テーブル8がガラス板G付きウエハWをサクションローラ2の方向に搬送する。搬送テーブル8が所定位置に達したことを図示しないセンサが検知して、昇降手段X1によってサクションローラ2が下降し、搬送テーブル8の搬送と同期してサクションローラ2が図5中矢印イで示す方向に回転し、ダイシングテープT2の接着剤面T2-1でウエハWを徐々に剥離し保持する。つまり、ここではダイシングテープT2の接着剤面T2-1がウエハWに当接することによってその接着力により当該ウエハWを保持する。剥離が完了し、所定角度回転した位置でサクションローラ2の回転は停止し、昇降手段X1によってサクションローラ2は上昇して待機する。このときの状態を示したものが図6である。<リングフレームのセット>以上のようにしてウエハWの剥離が完了すると、ウエハWをリングフレームFに貼り付ける準備に入る。すなわち、図7に示したように、搬送テーブル8が作業エリアS2まで更に前進し、搬送ロボット18が搬送テーブル8上からのガラス板Gの除去と、リングフレームFのセットとを同時に行なう。<ウエハのアライメント>また、ウエハWの貼付準備の一環として、サクションローラ2に保持されているウエハWについてアライメントが行なわれる。このアライメントは前述の通り、ウエハWのX軸方向ずれ量と、ウエハWの中心ずれ角θを特定するものである。<ウエハの貼付>上記のアライメントが完了すると、その後、ダイシングテープT2を介してウエハWをリングフレームFに貼り付ける動作が行なわれる。すなわち、図8に示したように作業エリアS2にある搬送テーブル8がリングフレームFを前記剥離時とは逆の方向に搬送する。この搬送の動作に同期してサクションローラ2が前記剥離時とは逆の方向図中矢印ハで示す方向に回転する。これらの動作により、サクションローラ2に保持されているウエハWがダイシングテープT2を介してリングフレームFに貼り付けられていく。尚、この貼り付けに際して、前記ウエハのアライメントで特定されたウエハWのX軸方向のずれ量と、ウエハWの中心ずれ角θの補正が行われる。すなわち、X軸方向単軸ロボット807によってX軸方向のズレ量が補正され、昇降手段X1の下降による貼付け開始位置を前後させることによってY軸方向のズレ量が補正される。これにより、リングフレームF内に正確にウエハWが貼り付けられることとなる。この貼付の動作はサクションローラ2の回転角度に応じて進行し、リングフレームFにウエハWが貼り付けマウントされ、所定角進んだ位置で、サクションローラ2の回転は停止し、昇降手段X1が上昇し、初期位置に復帰する。その後、次の転写のため前述したダイシングテープのセット動作が行なわれる。リングフレームFにマウントされたウエハWはリングフレームFとともにウエハカセット15内に収容される。以上で一枚のウエハWについての剥離から貼付という一連の転写動作が完結する。図10は本発明の剥離装置と貼付装置を適用した他の転写装置の説明図である。同図の転写装置1は、剥離シート第1の支持部材Kに貼り付けられた粘着ラベル板状部材Lを剥離してラベル貼付対象物第2の支持部材Mに貼り付ける装置である。この装置の基本的な構成は図1の転写装置と同様なため、それと同一部材には同一の符号を付し、その詳細説明は省略する。図10の転写装置が図1の転写装置と異なるところは以下の点である。すなわち、図10の転写装置においては、サクションローラ2外周面そのもので剥離シートK付き粘着ラベルLから粘着ラベルLを剥離し、保持するようになっている。尚、剥離シートK付き粘着ラベルLは、その粘着剤層図示省略を介して剥離シートKに仮着されたものである。図10の転写装置において、上記のような剥離シートK付き粘着ラベルLから粘着ラベルLを剥離する動作や、その剥離した粘着ラベルLをラベル貼付対象物Mに貼り付ける動作については、図1の転写装置と基本的に同様であるが、これらの動作を以下に簡単に説明する。剥離の動作は、搬送テーブル8が剥離シートK付き粘着ラベルLを搬送し、所定の位置でサクションローラが下降し、搬送テーブル8の搬送と同期してサクションローラ2がその軸心回りに回動し、所定角度回転した位置で停止することにより、ラベルLを剥離し保持するものである。貼付の動作は、剥離時とは逆方向に前記搬送テーブル8がラベル貼付対象物Mを搬送し、所定の位置でサクションローラが下降し、搬送テーブル8の搬送と同期してサクションローラ2がその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、そのサクションローラ2に保持されている粘着ラベルLがラベル貼付対象物Mに貼り付けられるものである。図11は図10の転写装置で採用したサクションローラの説明図であり、このサクションローラ2は、サクションローラ2外周面全体のうち、粘着ラベルLの外形より少し小さな面積エリア2Aに多数の吸引口が開口し、その面積エリア2Aで粘着ラベルLを吸引吸着する構造になっている。また、図11のサクションローラ2においては、前記面積エリア2A内の小面積部分2A-1を他の部分とは別個独立の吸引系とすることにより、粘着ラベルLの剥がし始めに十分な吸引力が当該粘着ラベルLに作用しうる構成を採っている。図1の転写装置では、ダイシングテープT2を貼り付けていないリングフレームFが搬送テーブル8により搬送される構成を採用したが、これに代えて、図13のように予めダイシングテープT2が貼り付けられているリングフレームFを搬送テーブル8が搬送する構成も採用できる。この場合、搬送ロボット18がリングフレームFを搬送テーブル8にセットする前段で、ダイシングテープ貼付装置によってそのリングフレームFにダイシングテープT2を貼り付け、接着剤面T2-1が上面となる状態で、リングフレームFが搬送テーブル8上にセットされるようにし、また、サクションローラ2によるウエハWの保持は、図10に示す粘着ラベルLと同様に、図13のようにサクションローラ2外周面そのもので直接ウエハWを保持するように構成すればよい。そして、そのように保持されたウエハWは、図1の転写装置と類似の動作、すなわち搬送テーブル8がダイシングテープT2付きリングフレームFを搬送する動作に同期してサクションローラ2がその軸心回りに回動することにより、保持されているウエハWが、ダイシングテープT2を介してリングフレームFに貼り付けられる。