"対向し合う第1及び第2の主面を有する圧電体と、前記圧電体の前記第1の主面側において、第1の主面に平行に形成されている第1の駆動電極と、前記圧電体の前記第2の主面側において、第2の主面に平行に形成されており、前記第1の駆動電極と対向している第2の駆動電極とを有し、前記第1,第2の駆動電極が前記圧電体の厚み方向に対向している領域が活性領域とされており、前記第1の駆動電極と前記第2の駆動電極とが対向していない領域が非活性領域とされている圧電素子と、前記圧電素子が接合される圧電素子接合面を有する支持部材とを備え、前記支持部材は、前記圧電素子接合面に形成されており、前記圧電素子の第1の駆動電極に電気的に接続される第1の配線電極を有し、前記圧電素子の前記第1の駆動電極と、前記支持部材の前記第1の配線電極とを電気的に接続するとともに、前記圧電素子の第1の主面を前記支持部材の圧電素子接合面に接合している第1の接合材層をさらに備える、圧電振動装置。前記圧電素子が、前記圧電体の前記非活性領域において前記圧電体の第1の主面に形成されており、前記第2の主面に形成されている第2の駆動電極と電気的に接続されている接続電極をさらに有し、前記支持部材が、前記圧電素子接合面に形成されており、かつ前記第2の駆動電極に電気的に接続される第2の配線電極をさらに有し、前記接続電極と、前記第2の配線電極とを電気的に接続するとともに、前記圧電素子の第1の主面を前記支持部材の圧電素子接合面に接合している第2の接合材層をさらに備える、請求項1に記載の圧電振動装置。前記支持部材は、前記圧電素子が屈曲モードで振動すると、該圧電素子と共に同じ周波数の屈曲モードで振動するように、前記支持部材を外部から支持するための屈曲モード支持部が存在する、請求項1または2に記載の圧電振動装置。前記屈曲モード支持部は、前記圧電素子が接合されている領域の外側に位置している周辺部に位置し、前記第1の配線電極が前記周辺部に至っている、請求項3に記載の圧電振動装置。前記屈曲モード支持部には、前記支持部材における少なくとも1次屈曲モードの節が位置する、請求項4に記載の圧電振動装置。前記圧電素子が、前記圧電体の第1の主面に形成されており、かつ絶縁性材料からなる保護層をさらに有し、前記保護層が、前記支持部材の圧電素子接合面に接合されている、請求項1~5のいずれか1項に記載の圧電振動装置。前記圧電素子が、前記第2の駆動電極を覆うように前記圧電体の第2の主面に形成されており、かつ絶縁性材料からなる保護層をさらに有する、請求項1~6のいずれか1項に記載の圧電振動装置。前記保護層が、前記圧電体と同じ材料からなる、請求項6または7に記載の圧電振動装置。前記支持部材が対向し合う第1,第2の圧電素子接合面を有し、第1,第2の圧電素子接合面のそれぞれに、前記圧電素子が接合されている、請求項1~8のいずれか1項に記載の圧電振動装置。前記圧電体及び前記支持部材が短辺と長辺とを有する矩形の平面形状を有し、前記支持部材の矩形の短辺の長さと、前記圧電体の矩形の短辺の長さが等しくされており、前記第1,第2の駆動電極が、前記圧電体の前記短辺方向全長にわたり形成されている、請求項1~9のいずれか1項に記載の圧電振動装置。前記第1の駆動電極が前記圧電体の第1の主面に形成されており、前記第2の駆動電極が、前記圧電体の第2の主面の全面に形成されており、前記圧電素子が、前記圧電体の前記非活性領域において前記圧電体の第1の主面上に形成されており、かつ前記第2の駆動電極に電気的に接続されている接続電極をさらに有し、該接続電極が、前記圧電体の前記第1の主面から前記圧電体の側面に至るように形成されており、かつ前記圧電体の側面と第2の主面とのなす稜線において前記第2の駆動電極に接続されている、請求項10に記載の圧電振動装置。前記支持部材の前記矩形の長辺の長さが、前記圧電素子の前記矩形の長辺の長さよりも長くされており、前記支持部材の前記圧電素子が接合されている部分の側方領域に前記第1の配線電極が至っている、請求項11に記載の圧電振動装置。前記支持部材の前記矩形の前記長辺の長さをL1、前記圧電体における活性領域の前記支持部材の前記矩形の長辺方向に沿う長さをL2としたときに、L2/L1×100が75以上である、請求項12に記載の圧電振動装置。特許文献1に記載の圧電振動装置では、圧電振動子1001,1002を電気的に接続するために、上記クランプ1005が用いられている。そのため、ボンディングワイアによる接合等を省略することが可能とされている。しかしながら、圧電振動装置において、圧電振動子1001,1002の厚みを薄くしていった場合、クランプ1005に挟まれて支持された圧電振動子1001,1002が、圧電振動装置を振動させるときに発生する振動により、圧電振動子1001,1002が支持される部分に応力が集中して、圧電振動子1001,1002の破損や変形が生じるという問題があった。他方、従来、ボンディングワイアを圧電振動子の駆動電極に電気的に接続する方法も用いられているが、圧電振動子の振動に伴い、ボンディングワイアの接合部分においてボンディングワイアが外れるおそれがあった。また、ボンディングワイアの接合部分の強度を高めると、接合材の剛性と、圧電振動子の駆動電極の剛性の差異により、応力集中によって圧電振動子が破損するおそれもあった。さらに、駆動電極や配線電極の剥離が生じることもあった。本発明の目的は、圧電板の両主面に駆動電極が形成されている圧電素子を用いた圧電振動装置であって、駆動電極の電気的接続部分における導通不良が生じ難く、圧電素子等の破壊が生じ難く、さらに電極の剥離が生じ難い、信頼性に優れた圧電振動装置を提供することにある。本発明に係る圧電振動装置は、対向し合う第1及び第2の主面を有する圧電体と、圧電体の第1の主面側において、第1の主面と平行に形成されている第1の駆動電極と、圧電体の第2の主面側において、第2の主面と平行に形成されており、第1の駆動電極と対向されている第2の駆動電極とを有し、第1,第2の駆動電極が圧電体の厚み方向に対向している領域が活性領域とされており、第1の駆動電極と第2の駆動電極とが対向していない領域が非活性領域とされている圧電素子と、圧電素子が接合される圧電素子接合面を有する支持部材とを備える。本発明においては、支持部材は、圧電素子接合面に形成されており、圧電素子の第1の駆動電極に電気的に接続される第1の配線電極を有する。また、本発明では、圧電素子の第1の駆動電極と、支持部材の第1の配線電極とを電気的に接続するとともに、圧電素子の第1の主面を支持部材に圧電素子接合面に接合している第1の接合材層がさらに備えられている。本発明に係る圧電振動装置のある特定の局面では、圧電素子が、圧電体の非活性領域において圧電体の第1の主面に形成されており、第2の主面に形成されている第2の駆動電極と電気的に接続されている接続電極をさらに有する。また、支持部材が、圧電素子接合面に形成されており、かつ第2の駆動電極に電気的に接続される第2の配線電極をさらに有する。さらに、接続電極と、第2の配線電極とを電気的に接続するとともに、圧電素子の第1の主面を支持部材の圧電素子接合面に接合している第2の接合材層がさらに備えられている。この場合には、第1の接合材層だけでなく、第2の接合材層をも利用して、圧電素子が圧電素子接合面に強固に接合される。同時に、第1,第2の駆動電極が、支持部材に設けられた第1,第2の配線電極に電気的に接続される。本発明に係る圧電振動装置の他の特定の局面では、支持部材は、圧電素子が屈曲モードで振動すると、該圧電素子と共に同じ周波数の屈曲モードで振動するように、支持部材を外部から支持するための屈曲モード支持部が存在する。この場合には、外部から屈曲モード支持部により支持部材を上記のように支持するだけで、圧電素子及び支持部材を屈曲モードで振動させることができる。好ましくは、屈曲モード支持部は、圧電素子が接合されている領域の外側に位置している周辺部に位置し、第1の配線電極が周辺部に至っている。この場合には、第1の配線電極を外部と容易に電気的に接続することができる。また、好ましくは、屈曲モード支持部には、支持部材における少なくとも1次屈曲モードの節が位置する。この場合には、屈曲モードによる振動が阻害され難い。本発明に係る圧電振動装置のさらに他の特定の局面では、圧電素子が、圧電体の第1の主面に形成されており、かつ絶縁性材料からなる保護層をさらに有する。前記保護層は、支持部材の圧電素子接合面に接合されている。この場合には、保護層により圧電素子の第1の主面側において、第1の駆動電極と第2の駆動電極との短絡を確実に防止することができる。また、保護層により、圧電素子を支持部材の圧電素子接合面に強固に接合することができる。本発明に係る圧電振動装置のさらに他の特定の局面では、圧電素子が、第2の駆動電極を覆うように圧電体の第2の主面に形成されており、かつ絶縁性材料からなる保護層をさらに有する。この場合には、第2の駆動電極が保護層により覆われているため、第2の駆動電極が手指に直接接触することを防止することができる。従って、感電を防止することができる。本発明に係る圧電振動装置のさらに他の特定の局面では、保護層が、圧電体と同じ材料からなる。この場合には、材料の種類を増加させることなく、保護層が設けられた圧電振動装置を提供することができる。本発明に係る圧電振動装置のさらに別の特定の局面では、支持部材が対向し合う第1,第2の圧電素子接合面を有し、第1,第2の圧電素子接合面のそれぞれに、圧電素子が接合されている。この場合には、支持部材の両面に圧電素子が接合されているため、大きな変位量を得ることができ、かつ音圧を高めることができる。本発明に係る圧電振動装置のさらに別の特定の局面では、圧電体及び支持部材が短辺と長辺とを有する矩形の平面形状を有する。支持部材の矩形の短辺の長さと、圧電体の矩形の短辺の長さが等しくされている。第1,第2の駆動電極は、圧電体の短辺方向全長にわたり形成されている。この場合には、マザーの圧電体及びマザーの支持部材を積層してなるマザーの積層体を、上記支持部材の矩形の短辺の長さ及び圧電体の矩形の短辺の長さに等しい間隔で切断することにより、圧電振動装置を容易に得ることができる。従って、圧電振動装置の量産性を高めることができる。本発明に係る圧電振動装置のさらに別の特定の局面では、第1の駆動電極が圧電体の第1の主面に形成されており、第2の駆動電極が、圧電体の第2の主面の全面に形成されている。圧電素子が、圧電体の非活性領域において圧電体の第1の主面上に形成されており、かつ第2の駆動電極に電気的に接続されている接続電極をさらに有する。該接続電極は、圧電体の第1の主面から圧電体の側面に至るように形成されており、かつ圧電体の側面と第2の主面とのなす稜線において第2の駆動電極に接続されている。この場合には、圧電素子の駆動効率を低めることなく、支持部材の圧電素子接合面において、第1の駆動電極を第2の配線電極に容易に接合することができる。本発明に係る圧電振動装置のさらに別の特定の局面では、支持部材の矩形の長辺の長さが、圧電素子の矩形の長辺の長さよりも長くされており、支持部材の圧電素子が接合されている部分の側方領域に第1の配線電極が至っている。この場合には、第1の配線電極を外部と容易に電気的に接続することができる。本発明に係る圧電振動装置のさらに他の特定の局面では、支持部材の矩形の長辺の長さをL1、圧電体における活性領域の支持部材の矩形の長辺方向に沿う長さをL2としたときに、L2/L1×100が75以上である。この場合には、屈曲モードで振動する圧電素子の変位量を低下させることなく、圧電素子を支持部材に接合しかつ圧電部材の電気的接続を図ることができる。本発明に係る圧電振動装置は、圧電素子の第1の駆動電極が支持部材の第1の配線電極に第1の接合材層により電気的に接続されており、かつ第1の接合材層により、圧電素子が支持部材の圧電素子接合面に接合されているので、圧電素子が支持部材に強固に接合される。従って、圧電振動装置を屈曲モードで振動させた場合、電気的接続部分の破壊や電極の剥がれが生じ難く、圧電振動装置の信頼性を効果的に高めることが可能となる。以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。図1a及びbは、本発明の第1の実施形態に係る圧電振動装置1の斜視図及び分解斜視図である。圧電振動装置1は、ユニモルフ型の圧電振動装置である。圧電振動装置1は、振動板として機能する矩形板状の支持部材2を有する。支持部材2は、本実施形態では、絶縁性材料からなる矩形板状の基板により構成されている。このような絶縁性材料からなる基板として、本実施形態では、ガラスエポキシ基板が用いられている。ガラスエポキシ基板は切削性に優れている。従って、後述するように、マザーの基体から容易にかつ正確に切り出すことができる。よって、圧電振動装置1を高精度に量産することができる。もっとも、大きな変位量を実現する適宜の絶縁性材料により支持部材2を構成することができる。また、支持部材2は、金属板により構成されてもよく、その場合には、金属板の上面に後述の第1,第2の配線電極間の短絡を防止するために絶縁層を設ければよい。上記支持部材2は、矩形板状の形状を有するが、この矩形の平面形状の長さ方向寸法をL1とし、幅方向寸法をWとする。支持部材2の上面が圧電素子接合面2aである。支持部材2の上面には、第1の配線電極3と、第2の配線電極4とが形成されている。第1,第2の配線電極3,4は、互いに電気的に絶縁され、ギャップを隔てて対向している。上記第1,第2の配線電極3,4に第1,第2の接合材層5,6を介して、圧電素子7が接合されている。第1,第2の接合材層5,6は、導電性フィラーを含有している適宜の導電性接着剤からなる。もっとも、導電性フィラーを含まない接着剤でも、電極同士が部分的に直接接触すれば導通を確保できる。従って、絶縁性接着剤を用いてもよい。または、第1,第2の接合材層5,6に、圧電素子7に印加する交流電界が圧電素子7を駆動できる電気エネルギーを伝達できる交流インピーダンス値を有していれば、必ずしも、電極同士が互いに直接接触していなくともよく、キャパシタのような電磁界結合であってもよい。上記圧電素子7は、矩形板状の平面形状を有する。圧電素子7の幅方向寸法は、支持部材2の幅方向寸法Wと等しくされている。より具体的には、圧電素子7は、矩形板状の圧電体8を有する。圧電体8は、第1の主面としての下面8aと、第2の主面としての上面8bとを有する。圧電体8は、チタン酸ジルコン酸鉛PZTまたは非鉛含有圧電体、例えば、ニオブ酸カリウムナトリウムKNN系などの圧電体からなり、本発明の第1の実施形態では圧電セラミックスからなり、厚み方向に分極処理されている。圧電体8の下面8aには、第1の駆動電極9が形成されている。圧電体8の上面8bには、全面に第2の駆動電極10が形成されている。第1の駆動電極9と、第2の駆動電極10とが圧電体8を介して対向している圧電体部分が圧電効果により駆動される活性領域である。圧電体8の活性領域以外の部分は非活性領域である。本実施形態では、第1の駆動電極9は、下面8aの全面には形成されていないので、圧電体8には上記活性領域と非活性領域とが存在する。下面8aにおいては、第1の駆動電極9とギャップを隔てて対向するように接続電極10aが形成されている。接続電極10aは、圧電体8の下面8aから側面を経て、側面と上面8bとのなす稜線に至っている。該稜線において接続電極10aが第2の駆動電極10に接続されている。上記第1,第2の駆動電極9,10及び接続電極10aは、適宜の導電性材料により形成することができる。すなわち、Ag、Cu、Ni、Cr、Pdまたはこれらの合金などからなる1以上の導電層により、第1,第2の駆動電極9,10及び接続電極10aを形成することができる。圧電素子7では、第1,第2の駆動電極9,10が圧電体8を介して対向しているので、第1,第2の駆動電極9,10から交流または任意の波形の電圧を印加することにより、圧電素子7と振動板としての支持部材2との積層体を屈曲モードで振動させることができる。他方、第1の駆動電極9は、第1の接合材層5により、第1の配線電極3に接合されている。同様に、接続電極10aは、第2の接合材層6により、第2の配線電極4に接合されている。第1の接合材層5及び第2の接合材層6による接合は、圧電素子接合面2aである支持部材2の上面において行われる。従って、第1,第2の接合材層5,6により圧電素子7を第1,第2の配線電極3,4に強固に固定することができる。しかも、第1,第2の接合材層5,6が、上記のように導電性接着剤からなる。よって、第1の駆動電極9を第1の配線電極3に確実に電気的に接続することができ、並びに接続電極10a、ひいては第2の駆動電極10を第2の配線電極4に確実に電気的に接続することができる。図17に示した従来の圧電振動装置では、クランプ1005を用いて、電気的な接続が図られていたため、圧電振動子1001,1002の破損や変形が生じるという問題があった。これに対して、本実施形態では、第1,第2の接合材層5,6により、圧電素子7が、支持部材2に接合されると共に、電気的接続が図られている。従って、圧電素子7において振動が阻害され難いので、変位量の低下等が生じ難く、良好な振動特性を得ることができる。加えて、クランプなどによる応力集中が生じ難いため、第1,第2の駆動電極9,10の剥離、圧電体8や支持部材2の破壊等も生じ難い。また、印刷法により、第1,第2の駆動電極9,10を高精度にかつ安価に形成することができる。加えて、圧電素子7の第1,第2の駆動電極9,10に半田付け等を行う必要がないため、圧電素子7の薄型化を図ることができる。さらに、上記支持部材2は、絶縁性材料からなるため、漏電が生じ難く、圧電振動装置1が搭載された電子機器を操作する人間の感電も生じ難い。加えて、従来の圧電振動装置では、支持部材として、金属からなる振動板が用いられていたため、絶縁層の形成が必要であったが、本実施形態では、支持部材2が絶縁性材料からなるため、このような絶縁層の形成も不要となる。上記支持部材2には、好ましくは、圧電素子7が屈曲モードで振動した場合に、圧電素子7と共に屈曲モードで振動するように、外部から支持部材2を支持する屈曲モード支持部が存在している。外部からの支持部材2の支持構造は、片持ち梁あるいは両持ち梁など任意である。いずれにしても、支持部材2を屈曲モード支持部で支持することにより、支持部材2が圧電素子7と共に同じ周波数を有する屈曲モードで振動する。本実施形態では、上記屈曲モード支持部が、圧電素子7が接合されている領域の外側に位置している周辺部である、延長部2b,2cに存在する。そして、第1,第2の配線電極3,4が、延長部2b,2cに至っている。また、本実施形態では、好ましくは、上記屈曲モード支持部に、支持部材2における少なくとも一次屈曲モードのノード点節が位置することが望ましい。それによって、少なくとも一次屈曲モードの振動を阻害し難い。次に、本実施形態の圧電振動装置1の製造方法の一例を説明する。圧電振動装置1の製造に際しては、マザーの支持部材と、マザーの圧電素子とを用意する。すなわち、多数の支持部材2及び圧電素子7がマトリックス状に集合されているマザーの支持部材及びマザーの圧電素子を用意する。このマザーの支持部材においては、上面に第1,第2の配線電極3,4を形成するマザーの第1,第2の配線電極を形成する。このマザーの第1,第2の配線電極の形成は、銅箔付きガラスエポキシ基板を用意し、銅箔をパターニングする方法、ガラスエポキシ基板上にスクリーン印刷や薄膜形成法によりマザーの第1,第2の配線電極を形成する方法など適宜の方法により行い得る。同様に、マザーの圧電素子を得るにあたっても、マザーの圧電体の上面及び下面に、マザーの第1,第2の駆動電極を同様の方法で形成する。しかる後、マザーの圧電素子と、マザーの支持部材とを第1,第2の接合材層5,6を構成するための導電性接着剤により接着する。このようにしてマザーの積層体を得る。このマザーの積層体を、厚み方向に切断する。しかる後、圧電体8の側面に、接続電極10aの側面部分を形成する。このようにして、圧電振動装置1を容易に量産することができる。すなわち本実施形態では、矩形板状の支持部材2の短辺の長さ方向の寸法である幅方向寸法Wと、圧電素子7の幅方向寸法とが等しくされているので、上記のようにマザーの積層体から切断することにより多数の圧電振動装置1を容易にかつ高精度に量産することができる。上記支持部材2の長さ方向寸法L1は、圧電素子7の長さ方向寸法よりも長くされている。そして、図1aに示すように、支持部材2の圧電素子接合面2aにおいて、圧電素子7が積層されている部分の側方に至るように支持部材2が延びている。この側方に至っている延長部2b,2cに至るようにそれぞれ、第1,第2の配線電極3,4が形成されている。よって、延長部2b,2cが外部から支持され、かつ、導通されることによって、支持される箇所が圧電素子7ではないため、特に、圧電素子7の活性領域ではないため、電界印加による圧電体の応力と、支持部に集中する振動の応力とが足し合わせされて圧電素子7にクラックなどの破損又は変形を発生させることなく、かつ、圧電素子7の活性領域の局所的な電気的接続箇所に応力集中を発生させることなく、第1,第2の配線電極3,4を外部端子と容易に電気的に接続することができる。例えば、外部端子として金属クリップを用いればよい。金属クリップが延長部2b,2cに形成された第1,第2の配線電極3,4のそれぞれに挟持されれば、第1,第2の配線電極3,4を介して、第1,第2の駆動電極9,10を外部端子に容易に電気的に接続できる。この場合、金属クリップが延長部2b,2cを挟持して支持するため、圧電素子7が金属クリップによる振動の応力集中で破損や変形が生じる問題が改善され、また、金属クリップの剛性と、圧電振動子の駆動電極の剛性の差異による、駆動電極や配線電極の剥離が生じる問題が改善される。上記圧電素子7における上記活性領域長さ方向寸法をL2とする。すなわち、第1,第2の駆動電極9,10が対向している活性領域の上記矩形の長辺方向の寸法をL2とする。上記支持部材2の長さ方向寸法L1に対する上記活性領域の長さ方向寸法L2の比L2/L1×100を種々変化させ、多数の上記実施形態の圧電振動装置1を作製し、その変位量及び発生力を測定した。なお、ここでは、支持部材2の両端部を厚み方向にエッジ状の部材で挟みつけて支持部材2の端面から圧電素子7の端面までの2つの延長部2b,2cの距離が等しくなるように、支持部材2の中央部に圧電素子7を固定することによってその部分が厚み方向に変位しないように拘束して、部材間の間隔をL1とし、所定の電圧200Vを印加しながら、部材間中央部の厚み方向への変位量をレーザー変位計にて測定してその値を変位量とした。また発生力とは、変位量を測定したときと同じ電圧を印加しながら、変位量がゼロになるように部材中央部にエッジ状の部材を支持部材の厚み方向に押し付け、その力をプッシュプルゲージで測定することによって求めた値である。この測定では、実施形態の一例として、L1が53mm、Wが5mm、厚みが0.2mmの矩形状の銅箔付きガラスエポキシ基板からなる支持部材2に、L2が50mm、Wが5mm、厚みが0.2mmである矩形状のPZTからなる圧電体8にスパッタリング法で形成した第1,第2の駆動電極9,10をもつ圧電素子7を搭載した圧電振動装置1を用いた。結果を図2及び図3に示す。なお、図2及び図3の変位量及び発生力は相対値であり、L2/L1×100が100の場合を100として求めた。図2及び図3から明らかなように、L2/L1×100は、75以上であれば、変位量及び発生力が90以上と十分大きくし得ること、かつ、75未満と比べて、変位量及び発生力の値がL2/L1の比の変動に対しても安定であることがわかる。従って、圧電振動装置1の作製工程における変動によって、支持部材2の長さ方向寸法L1と活性領域の長さ方向寸法L2の比が変動しても、変位量及び発生力の値が十分に大きな値で安定する効果を有することから、L2/L1×100は、75以上であることが望ましい。図4及び図5は、本発明の第2の実施形態に係る圧電振動装置21の斜視図及び分解斜視図である。第2の実施形態の圧電振動装置21は、支持部材2の下面2dもまた圧電素子接合面とされており、該下面2dにも圧電素子7が第1,第2の接合材層5,6を介して積層されていることを除いては、第1の実施形態と同様とされている。従って、同一部分については、同一の参照番号を付することにより、第1の実施形態における説明を援用することとする。第2の実施形態の圧電振動装置21では、支持部材2の両面に圧電素子7,7が積層されているので、第1の実施形態と同様の効果を得ることができるだけでなく、第1の実施形態の圧電振動装置1に比べて、大きな変位量や大きな音圧を得ることができる。このように、本発明においては、支持部材の両面が圧電素子接合面とされていてもよい。また、1つの圧電素子接合面に、それぞれ、2以上の圧電素子7が積層されていてもよい。本発明の圧電振動装置で用いられる圧電素子は、圧電素子7に限定されるものではない。図6は、本発明の圧電振動装置で用いられる圧電素子の第1の変形例を示す。積層型圧電素子31は、圧電体32を有する。圧電体32は、対向し合う第1,第2の主面32a,32bを有する。圧電体32は、複数の圧電体層を有する。圧電体32の第1の主面32aには、第1の駆動電極33が形成されており、第2の主面32bには、第2の駆動電極34が形成されている。さらに、圧電体32内に、第1の駆動電極33と圧電体32の端面で共通接続される複数の第1の内部駆動電極35が形成されている。また、第1の駆動電極33または第1の内部駆動電極35と圧電体層を介して重なり合うように、複数の第2の内部駆動電極36が形成されている。複数の第2の内部駆動電極36は、圧電体32の端面において第2の駆動電極34と共通接続されている。このように、本発明においては、複数の内部駆動電極を有する積層型圧電素子31を用いてもよい。積層型圧電素子31を用いることにより、低い駆動電圧で大きな変位量を得ることができる。すなわち、圧電効果による変位は、印加される電界強度に比例する。積層型圧電素子31では、異なる電位に接続される駆動電極間の圧電体層の厚みを薄くすることができるので、より低い電圧で大きな変位量を得ることができる。また、図7は、本発明の圧電振動装置で用いられる圧電素子の第2の変形例を示す。図7に示す圧電素子41では、圧電体42を有する。圧電体42は、対向し合う第1,第2の主面42a,42bを有する。圧電体42は、複数の圧電体層を有する。圧電体42内に、圧電体層を介して対向するように第1,第2の駆動電極43,44が形成されている。第1の駆動電極43は、圧電体42の第1の主面42a側において、第1の主面42aに平行に形成されている。同様に、第2の駆動電極44は、圧電体42の第2の主面42b側において、第2の主面42bに平行に形成されている。すなわち、本発明においては、第1,第2の駆動電極は、圧電体の第1,第2の主面上に直接形成されておらずともよい。第1,第2の駆動電極43,44の外側に、不活性層42c,42dが形成されている。このように、不活性層42c,42dを有する圧電素子41を用いてもよい。図7に示す圧電素子41では、不活性層42c,42dが設けられているため、圧電体42内部の活性領域のクランプを抑制することができる。また、圧電素子41では、第1,第2の駆動電極43,44が不活性層42c,42dによって覆われるため、外部の水分に晒され難い。従って、製品の寿命を長くすることができる。加えて、漏電が生じ難く、圧電振動装置が搭載された電子機器を操作する人間の感電も生じ難くすることができる。さらに、図8は、本発明の圧電振動装置で用いられる圧電素子の第3の変形例を示す。図8に示す積層型圧電素子51は、圧電体52を有する。圧電体52は、対向し合う第1,第2の主面52a,52bを有する。圧電体52は、複数の圧電体層を有する。圧電体52内に、圧電体層を介して対向するように第1,第2の駆動電極53,54が形成されている。第1の駆動電極53は、圧電体52の第1の主面52a側において、第1の主面52aに平行に形成されている。同様に、第2の駆動電極54は、圧電体52の第2の主面52b側において、第2の主面52bに平行に形成されている。また、積層型圧電素子51は、図7に示す圧電素子41のように、圧電体52の第1,第2の主面52a,52b側に不活性層52c,52dを有する。そして、第1,第2の駆動電極53,54間に、複数の内部駆動電極55が形成されている。図6~図8に示したように、本発明の圧電振動装置において用いる圧電素子は、第1の駆動電極及び第2の駆動電極の外側に不活性層を有するものであってもよく、また第1,第2の駆動電極間にさらに他の駆動電極が形成されている積層型圧電素子であってもよい。図9は、本発明の第3の実施形態に係る圧電振動装置の斜視図である。第3の実施形態の圧電振動装置61では、圧電素子7上に絶縁性材料からなる保護層62が形成されている。その他の点については、圧電振動装置61は、第1の実施形態の圧電振動装置1と同様である。従って、同一部分については同一の参照番号を付することにより圧電振動装置1の説明を援用することとする。保護層62は、絶縁性材料からなり、第2の駆動電極10の上面の全面を被覆するように設けられている。従って、圧電振動装置が搭載された電子機器を操作する人間の第2の駆動電極10による感電の発生を防止することができる。なお、上記保護層62を構成する絶縁性材料は特に限定されず、合成樹脂や絶縁性セラミックスなどを用いることができる。もっとも、圧電素子7の変位を抑制しないためには、弾力性に優れた絶縁性材料を用いることが望ましい。もっとも、保護層62は、圧電体8と同じ圧電材料により形成されていてもよい。その場合には、圧電振動装置61を形成するための材料の種類を増加させることなく、また製造工程の煩雑さを招くことなく保護層62を形成することができる。図10は、本発明の第4の実施形態に係る圧電振動装置を示す正面断面図である。第4の実施形態の圧電振動装置71では、第3の実施形態の保護層62に代えて、圧電素子7の下面側に保護層72が形成されている。そして、上記保護層72が絶縁性の接合材からなる。また、圧電振動装置71は、保護層72が形成されていることに伴い、第1,第2の接合材層5,6よりも厚く形成されている第1,第2の接合材層5A,6Aを有する。従って、図10に示すように、上記保護層72により、圧電素子7が支持部材2の圧電素子接合面2aに接合されてもいる。よって、第1の接合材層5Aの面積が小さくされている。このように、保護層72を設けた場合、第1の接合材層5Aの面積を小さくしたとしても、圧電素子7を支持部材2に強固に接合することができる。保護層72を設けた場合、保護層72として耐湿性に優れた絶縁性接着剤を用いることにより、圧電素子7の下面側からの水分の進入による特性の劣化を抑制することができる。保護層72として、第1の駆動電極9と接続電極10aとを電気的に絶縁できる部材、例えば絶縁性の接着剤や異方導電性接着剤などを用いる場合には、支持部材2と圧電素子7との間に隙間なく保護層72が配置されてもよい。なお、図9に示した保護層62と図10に示した保護層72の双方を形成してもよい。その場合には、圧電素子7の上面及び下面のいずれの側においても、保護層62,72により保護を果たすことができる。本発明に係る圧電振動装置は、各種圧電アクチュエータや、圧電スピーカーなどの圧電発音体として用いることができる。また、近年、携帯電子機器の入力装置の一種としてタッチパネル式入力装置が多用されてきている。このタッチパネル式入力装置において、人間による入力に対する反力がクリック感を与えるHapticsと称されている装置が注目されている。本発明の圧電振動装置は、このようなHapticsにおいて反力を与えるアクチュエータとして好適に用いることができる。図12は、第1の実施形態の圧電振動装置1の変形例である圧電振動装置1Aを説明するための斜視図であり、図13は、その分解斜視図である。本変形例の圧電振動装置1Aは、第1の実施形態の支持部材2に代えて、支持部材2Aを有する。本変形例では、第1の実施形態と同じ圧電素子7が用いられている。もっとも、支持部材2Aの幅が圧電素子7の幅よりも広くされている。この支持部材2Aの上面に、図13に示すように、第1の配線電極3Aと、第2の配線電極4Aとが形成されている。第1,第2の配線電極3A,4Aは、互いに電気的に絶縁され、ギャップを隔てて対向している。圧電素子7が、第1,第2の接合材層5,6を介して、第1,第2の配線電極3A,4Aに接合されている。第1の配線電極3Aは、接合部3aと、端子部3bと、連結部3cとを有する。接合部3aには、第1の接合材層5が積層される。接合部3aは、支持部材2Aの幅方向全幅に至っている。端子部3bは、第2の配線電極4A側に設けられている。端子部3bは、第2の配線電極4Aと支持部材2Aの幅方向においてギャップを隔てて対向している。また、端子部3bは、第2の配線電極4Aと同様に、支持部材2Aの一端側に寄せられて形成されている。接合部3aと端子部3bとは、連結部3cによって接続されている。そして、端子部3b及び第2の配線電極4Aが、図12に示すように該支持部材2Aの一端側において露出している。従って、外部との電気的接続を容易に行うことができる。図14は、本発明の第1の実施形態に係る圧電振動装置の他の変形例で用いられる支持部材2Bを説明するための斜視図である。図13に示した圧電振動装置1Aでは、端子部3bと第2の配線電極4Aとの短絡を防止するために、支持部材2Aの幅が、圧電素子7の幅よりも広くされていた。もっとも、図14に示すように、第1の配線電極3Bを有し、圧電素子7の幅と同じ幅の支持部材2Bを用いることも可能である。この場合には、第1の配線電極3Bは、接合部3dと、端子部3eと、連結部3fとを有する。接合部3dには、第1の接合材層5が積層される。接合部3dは、支持部材2Bの幅方向全幅に至っている。端子部3eは、第2の配線電極4A側に設けられている。端子部3eは、第2の配線電極4Aと支持部材2Bの幅方向においてギャップを隔てて対向している。また、端子部3eは、第2の配線電極4Aと同様に、支持部材2Aの一端側に寄せられて形成されている。接合部3dと端子部3eとは、支持部材2Bの一方の端面から下面を経て他方の端面に至っている連結部3eによって接続されている。なお、図14に示した支持部材2Bにおいても、その全幅は、圧電素子7の幅よりも大きくてもよい。図15は、第1の実施形態の圧電振動装置1の変形例である圧電振動装置1Bを説明するための斜視図であり、図16は、その分解斜視図である。圧電振動装置1Bは、図8に示した積層型圧電素子51を、支持部材2Aに積層してなる。支持部材2Aは、図13に示した支持部材2Aとほぼ同様とされている。もっとも、ここでは、支持部材2Aの幅は、積層型圧電素子51の幅と同じ寸法としているが、図13の場合と同様に、積層型圧電素子51よりも広幅の支持部材2Aを用いてもよい。図15及び図16に示す変形例においても、第1の配線電極3Aの端子部3bが第2の配線電極4Aと、支持部材2Aの長さ方向一端側に寄せられて設けられている。従って、支持部材2Aの長さ方向一端側において外部との電気的接続を容易に行うことができる。加えて、図15に示すように、端子部3b及び第2の配線電極4Aが支持部材2Aの一端側において露出しているため、外部との接続をより一層容易に行うことができる。図11は、本発明の圧電振動装置を用いた振動モジュール81の模式的分解斜視図である。この振動モジュール81では、基板82の上面に第1の実施形態の複数の圧電振動装置1,1が接合材層83,84により実装されている。そして、複数の圧電振動装置1,1の上方に、タッチパネル式入力装置で用いられる可撓性基板85が配置される。このような振動モジュールはHapticsに好適に用いることができる。なお、上記実施形態の圧電振動装置1では、矩形板状の圧電体を用いたが、本発明の圧電振動装置の圧電体は矩形板状以外の形状、例えば円板状等の他の形状であってもよい。同様に、支持部材についても、ユニモルフ振動装置の振動板として機能する限り、矩形板状に限らず、円板状等の形状を有していてもよい。"