"下記の工程を、液温を5°C以上20°C以下に保ちつつ、順次実行することを特徴とする過酸化水素水溶液の精製製方法。a過酸化水素原料液を大孔吸着樹脂を吸着材とする大孔樹脂吸着カラム2で処理し、有機不純物含有量を、有機炭素換算で、20ppmに以下とする工程。b陽イオン交換樹脂カラム3を通し、イオン交換を行なわせる工程。c陰イオン交換樹脂カラム4を通し、イオン交換を行なわせる工程。d陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂とを含む陰陽イオン交換樹脂混合カラム6,7を通し、イオン交換を行なわせる工程。eマイクロフイルター8でろ過し、残存固形不純物を除去する工程。フイルター2に充填される大穴吸着樹脂がポリスチレン、ポリジビニルベンゼン又はこれらの混合物である請求項1に記載の過酸化水素水溶液の精製方法。陰陽イオン交換樹脂混合カラム6,7で、陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂との体積比が1:1以上、1:2以下である請求項1又は2に記載の過酸化水素水溶液の精製方法。イオン交換樹脂カラム3、4、6,7の内径と長さ内法の比が1:8以上、1:10以下であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一に記載の過酸化水素水溶液の精製方法。陽イオン交換樹脂が強酸性陽イオン交換樹脂であり、陽イオン交換樹脂が強いアルカリ性イオン交換樹脂である請求項1乃至4の何れか一に記載の過酸化水素水溶液の精製方法。マイクロフィルター8のろ過膜の穴径が01μm以下である請求項1乃至5の何れか一に記載の過酸化水素水溶液の精製方法。イオン交換樹脂カラム3、4、6,7内の温度変化が±2.5K以下に制御された請求項1乃至6の何れか一に記載の過酸化水素水溶液の精製方法。過酸化水素水溶液が、イオン交換樹脂カラム3、4、6,7を通過する流量が200kg/h以上、400kg/h以下である請求項1乃至7の何れか一に記載の過酸化水素水溶液の精製方法。原料となる過酸化水素水溶液をろ過する大孔樹脂吸着カラム2と、陽イオン交換樹脂カラム3と、陰イオン吸着カラム4と、陰陽イオン交換樹脂混合カラム6,7と、マイクロフィルター8と、を順次連結して成り、請求項1乃至8の何れか一に記載の過酸化水素水溶液の精製方法を実施する過酸化水素水溶液の精製装置。本発明は、過酸化水素の高純度精製方法を提供するものである。本発明は、原料とする工業級過酸化水素を、大孔吸着樹脂で前処理してから、イオン交換樹脂吸着の方法で精製して高純度の過酸化水素を得る。そのイオン交換処理の方法の特徴は、原料となる工業級過酸化水素水溶液を、先ず陽イオン交換樹脂によりイオン交換処理し、次いで陰イオン交換樹脂によるイオン交換処理を行った後、更に陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂との混合物によりイオン交換処理を施腰、最後にマイクロフィルターでろ過し、精製品を得ることにある。この本発明のプロセスフローの組合せ順序が合理的で、このため連続且つ大規模で安定した操業が可能となり、そのためSEMIC12標準に適合する高品質の精製品が得られる。尚、本明細書で、大孔とは、通常のマイクロフィルターなどの孔に比して径が大きいと言う程度の意味である。本発明に係る過酸化水素水溶液精製プロセスの流れは下記の通りである。工業級過酸化水素原料を大孔吸着樹脂で吸着ろ過処理することによって、原料となる過酸化水素水溶液中の有機不純物含有量有機炭素で計算されるを20ppm以下とし、次いで必要に応じて所定温度まで冷却した後、順次、陽イオン交換樹脂カラム、陰イオン交換樹脂カラム及び多段式最適が二段陰陽イオン交換樹脂混合カラムを通し、パーフッ素樹脂膜を具備するマイクロフィルターでろ過して超高純度過酸化水素を得る。このマイクロフィルターとしてはその孔径が01μm以下のものを用いることが望ましい。上述の精製プロセス中、各カラム内過酸化水素水溶液の温度を5°C以上、20°Cに以下の範囲内で定めた温度に制御する。液の温度がこの範囲内であると安全に操業でき、且つ効率よく最高品質の精製品が得られる。又各カラム内の経時的及び場所的液温変化を平均温度に対し±2.5以内に保持することが望ましい。これは安定した操業を維持するためである。このため、装置内に適宜冷却装置を設けることが推奨される。大孔樹脂吸着カラムとイオン交換樹脂槽の内壁面にはフッ素樹脂被覆を施し、カラム内の部品をフッ素樹脂製とすることにより、装置を過酸化水素から保護する。過酸化水素水溶液のイオン交換樹脂カラムでの流量を200kg/h以上、400kg/h以下の範囲に制御することが望ましい,大孔吸着樹脂の材料は、ポリスチレン、ポリジビニルベンゼン又はこれらの混合物から選ぶことが推奨される。陰陽イオン交換樹脂混合カラムの中で、陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂との混合比は、処理される液中のイオン成分比と各イオン交換樹脂の性質に応じて定められるが、通常、体積比は1:1以上、1:2以下となる。このような配合比によれば、最高のイオン交換効率が得られる。更に、生産プロセスで、イオン交換樹脂カラムの内径と長さ内法との比を1:8以上、1:10以下とすることが望ましい。これも精製度を高めるため有効である。陽イオン交換樹脂としては強酸性陽イオン交換樹脂が使用でき、陰イオン交換樹脂には強アルカリ性イオン交換樹脂が使用できる。マイクロフィルターのフッ素樹脂膜の穴径は01μm又はその前後若しくはそれ以下とすることが望ましい。パーフッ素樹脂炭素原子と結合している水素原子が全部フッ素原子により置換された高分子材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリヘキサフルオロプロピレン、フッ化エチレンとフッ化プロピレンの共重合体、テトラフルオロエチレンとパーフッ素化アルコキシルビニルエーテル共重合体等が用いられる。本発明に係る過酸化水素水溶液の精製方法では、処理条件が温和で、樹脂吸着カラム及びマイクロフィルター等の筐体内面保護膜及びろ過膜にフッ素樹脂を用いることによって、樹脂が保護され、樹脂損失量を減少できるようになる。そして、樹脂吸着カラムとイオン交換樹脂カラムの組合せ順序が合理的で、各カラムとイオン交換樹脂の機能が最大限度に発揮され、パーフッ素樹脂膜を備えたマイクロフィルターの作用により、Fe、Al、Cr、P、Snその他の不純物イオンが有効に除去できされる。本発明に係る過酸化水素精製法によれば、従来技術の問題点であった、操業の非連続性、安全性保証不能、精製度が低く製品品質が不安定であるなどの欠点を克服することができる。本発明は、簡単な設備で足り、高い空間利用率及び操作安全性等の優位性を持っており、長時間に亘る連続的大規模操業に適する。試験運転の結果、表1に示したように、本発明方法で精製された超高純度過酸化水素製品の有機炭素の含有量は20ppm以下であり、各金属類の残留陽イオン濃度は01ppbより低く、各非金属塩類の残留陰イオン濃度量は30ppbより低く、05ミクロンより大きい固形粒子の含有量は150pcs/mlより少なく、依ってSEMIC12標準に適合することが判明した。図中、1はポンプ、2は大孔樹脂吸着カラム、3は陽イオン交換樹脂カラム、4は陰イオン交換樹脂カラム、5は温度制御装置冷却装置、6及び7は陰陽イオン交換樹脂混合カラム、8はマイクロフィルター、9はサンプル採取器、10は製品タンク、11は原料液タンクである。図1を参照して、本発明の連続超高純度過酸化水素精製方法及び装置を説明する。原料タンク11に貯蔵された工業級酸化水素原液は、ポンプ1により、大孔樹脂吸着カラム2に送られて、不純物の一部が吸着除去され、次いで陽イオン交換樹脂カラム3、陰イオン交換樹脂カラム4に送られ、これらの樹脂によりイオン交換が行なわれ、不純物が除かれる。次いで、中間処理された酸化水素溶液は冷却装置として機能する温度制御装置5に送られ、5°C以上、20°C以下の範囲内に適宜に定められる操業温度まで冷却され、陰陽イオン交換樹脂混合カラム6及び7を順次通過して、イオン交換により不純物が除かれ、最終的に望ましくは膜ろ過器であるマイクロフィルター8によりろ過され製品タンク10に送られ、貯蔵されるものである。又、サンプル採取器9は装置配管の要所要所に設けられ、定期的に作動してサンプル液を採取する。採取されたサンプルは図示されていない分析装置により分析される。工業級過酸化水素水溶液を原料として、大孔樹脂吸着カラム2で接触処理することによって、有機不純物有機炭素で計算される含有量を20ppm以下とし、次いで陽イオン交換樹脂カラム、陰イオン交換樹脂カラム、多段式陰陽イオン交換樹脂混合カラムを通してイオン交換処理をし、最後にパーフッ素化樹脂膜を備えたマイクロフィルター器を通じて超高純度過酸化水素を得、これを製品タンク10に貯留する。その中で、上述の生産プロセスの温度を5°C以上、20°C以下に温度に制御し、イオン交換樹脂カラム内の温度変化幅を±2.5K以内に制御し、過酸化水素のイオン交換樹脂カラム内での流量を200kg/h以上、400kg/h以下に制御することが推奨される。これらの処理条件は温和で、安全性が高く、これらにより高品質の製品が得られるものである。樹脂吸着カラム又はイオン交換樹脂カラム直径と長さの比が1:8以上、1:10以下である。の筐体内面にパーフッ素樹脂被覆加工を施すことによって、パーフッ素樹脂の耐腐食性と良い化学安定性の優位性を利用して、樹脂を保護する。次に具体的な実施例により本発明に係る過酸化水素精製方法を説明する。但し、ここで述べる実施例は、本発明の技術的範囲を制限するものではない。過酸化水死水溶液の温度を5°C、濃度を30wtに制御し、工業級過酸化水素を200kg/hの流量で大孔ポリスチレン樹脂吸着カラム2を通して、工業級過酸化水素原料を前処理して、原料での有機不純物有機炭素で計算される含有量を200ppm以内に下げ、次いで、5°Cに冷却する。同じプロセス条件の下で、前処理後の過酸化水素を強酸性陽イオン交換樹脂カラム2、強アルカリ性陰イオン交換樹脂カラム3を通して、イオン交換後の過酸化水素が陰陽イオン交換樹脂混合カラム6、7陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂の比が1:1であるに入って二級イオン交換を行なう。温度を5~20°Cに保持し、中央制御分析合格になった後の第二級のイオン交換液材料をポリテトラフルオロエチレン限外ろ過膜01μm濾過器8に送り、ろ過後の后過酸化水素に対して純度測定を行なう。具体的な測定結果は、表1に示されている。過酸化水死水溶液の温度を5°C、濃度を30wtに制御し、工業級過酸化水素水溶液を300kg/hの流量で大孔ポリスチレン樹脂吸着カラムを通して、前処理して、有機不純物有機炭素で計算される。含有量を200ppm以下に下げ、必要に応じて冷却する。実施例1と同様に、前処理後の過酸化水素水溶液を強酸性陽イオン交換樹脂カラム3、強アルカリ性陰イオン交換樹脂カラム4を通し、次いでイオン交換後の過酸化水素水溶液を2段式陰陽イオン交換樹脂混合カラム6、7に送り、二級イオン交換を行なわせる。陰陽イオン交換樹脂混合カラム6、7内の陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂の混合比は1:15であった。液温を5°C以上、20°C以下の適温に維持し、中央制御分析で合格した酸化水素水溶液を、ポリテトラフルオロエチレン限外ろ過膜01μmを備えたマイクロフィルター8に送り、ろ過後の過酸化水素水溶液に対して純度測定を行った。具体的な測定結果は、表1に示されている通りであった。温度を5°C,濃度を30wtに制御し、工業級過酸化水素を400kg/hの流量で大孔ポリスチレン樹脂吸着カラム2を通して前処理し、有機不純物有機炭素で計算される含有量を200ppm以内に下げ、冷却して温度を5°Cに保持する。実施例1と同様に、前処理後の過酸化水素水溶液を強酸性陽イオン交換樹脂カラム3及び強アルカリ性陰イオン交換樹脂カラム4を通して、イオン交換を行なわせ、次いで陰陽イオン交換樹脂混合カラム6、7陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂の比が1:2であるで二級イオン交換を行なわせる。温度を5°Cに保持し、中央制御分析合格になった過酸化水素水溶液をポリテトラフルオロエチレン限外ろ過膜01μmを備えたマイクロフィルター8に送り、ろ過後の過酸化水素水溶液に対して純度測定を行った。具体的な測定結果は、表1に示されている通りであった。この表中、過酸化水素の含有量測定方法は以下の通りであった。即ち、有機炭素をTOC分析機TOC‐VCPHで分析し、陽イオンをICP‐MSで分析し、陰イオンをイオン交換クロマトグラフィーICで分析し、0.5μmより大きい固形粒子をレザー粒子計数器RION40KAFで計数した。表1から、本発明方法で精製された過酸化水素はSEMIC12標準に適合し、製品品質が安定であることが判明する。以上、本発明の具体的な実施例に関して詳細に述べたが、これらは、一実施例に過ぎず、本発明は以上で述べられた具体的な実施例に限定されないこと当然である。本発明に関する如何なる変更又は代替も本発明の技術的範囲に属する。"