"試料に対して右円偏光及び左円偏光を交互に出射する円偏光光源と、前記円偏光光源により出射されて前記試料により透過された前記右円偏光を第1直線偏光に変換して出射すると共に、前記円偏光光源により出射されて前記試料により透過された前記左円偏光を前記第1直線偏光と直交する第2直線偏光に変換する1/4波長板と、前記第1直線偏光と前記第2直線偏光とを入射し、互いに異なる方向へ出射する偏波分離手段と、前記偏波分離手段により出射された前記第1直線偏光による画像を撮像する右円偏光画像撮像手段と、前記偏波分離手段により出射された前記第2直線偏光による画像を撮像する左円偏光画像撮像手段と、前記右円偏光画像撮像手段により撮像された画像を格納する右円偏光画像格納手段と、前記左円偏光画像撮像手段により撮像された画像を格納する左円偏光画像格納手段と、前記右円偏光画像格納手段に格納された前記右円偏光画像と、前記左円偏光画像格納手段に格納された前記左円偏光画像との差分を求め、その結果を円二色性イメージとして出力する出力手段と、を備えることを特徴とする円二色性イメージング装置。前記円偏光光源は、試料に対して光を出射する光源と、前記光源からの光を右円偏光と左円偏光とに交互に変換して出射する円偏光変調手段と、から構成され、前記光源と前記円偏光変換手段との間の光路上に単色フィルタを更に備えることを特徴とする請求項1記載の円二色性イメージング装置。しかしながら、上記特許文献1,2に記載の方法は、いずれも試料を走査して測定を行うことから測定に時間を要するため、例えば経時変化が速い試料の測定を精度よく行うことは困難である。また、特許文献3に記載の方法は、左右の円偏光を自由に発生できる光として放射光を想定していることから、装置を容易に作成することができない。さらに、特許文献4に記載の方法は、偏光板の回転等のメカニカルな機構が必要となるため、装置由来の誤差を考慮すると、より高い精度での測定が困難である。また、特許文献5に記載の方法は、円二色性の測定には適用できるものの画像取得を想定しておらず、特許文献5記載の円二色性分散計の構成を円二色性イメージの形成に適用することは困難であった。本発明は上記を鑑みてなされたものであり、高速且つ高精度に円二色性イメージを撮像することが可能な円二色性イメージング装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明に係る円二色性イメージング装置は、試料に対して右円偏光及び左円偏光を交互に出射する円偏光光源と、前記円偏光光源により出射されて前記試料により透過された前記右円偏光を第1直線偏光に変換して出射すると共に、前記円偏光光源により出射されて前記試料により透過された前記左円偏光を前記第1直線偏光と直交する第2直線偏光に変換する1/4波長板と、前記第1直線偏光と前記第2直線偏光とを入射し、互いに異なる方向へ出射する偏波分離手段と、前記偏波分離手段により出射された前記第1直線偏光による画像を撮像する右円偏光画像撮像手段と、前記偏波分離手段により出射された前記第2直線偏光による画像を撮像する左円偏光画像撮像手段と、前記右円偏光画像撮像手段により撮像された画像を格納する右円偏光画像格納手段と、前記左円偏光画像撮像手段により撮像された画像を格納する左円偏光画像格納手段と、前記右円偏光画像格納手段に格納された前記右円偏光画像と、前記左円偏光画像格納手段に格納された前記左円偏光画像との差分を求め、その結果を円二色性イメージとして出力する出力手段と、を備えることを特徴とする。上記の円二色性イメージング装置によれば、円偏光光源から出射された右円偏光は、試料を透過した後に1/4波長板により第1直線偏光に変換され、さらに偏波分離手段により第1直線偏光の光のみ分離されて右円偏光画像撮像手段により撮像される。また、円偏光光源から出射された左円偏光は、試料を透過した後に1/4波長板により第1直線偏光と直交する第2直線偏光に変換され、さらに偏波分離手段により第2直線偏光の光のみ分離された後に左円偏光画像撮像手段により撮像される。そして、上記の結果得られた右円偏光画像と左円偏光画像とから円二色性イメージを作成出力される。このように上記の円二色性イメージング装置では、右円偏光及び左円偏光が試料を透過した後に、互いに直交する直線偏光に変換され、その後、偏波分離手段によりそれぞれ分離された後に互いに異なる2つの撮像手段によって撮像される。したがって、上記の円二色性イメージング装置によれば、試料を走査して測定する場合と比較してより高速に、且つ、より簡易な装置を用いて高精度の円二色性イメージを撮像することができる。ここで、上記の円二色性イメージング装置は、円偏光光源は、試料に対して光を出射する光源と、光源からの光を右円偏光と左円偏光とに交互に変換して出射する円偏光変調手段と、から構成され、光源と円偏光変換手段との間の光路上に単色フィルタを更に備える態様とすることができる。上記のように、光源と円偏光変換手段との間に特定の波長の光のみを通過させる単色フィルタを設ける構成とすることで、ノイズ成分となる光を除去することができるため、撮像手段において右円偏光画像及び左円偏光画像を精度よく撮像することができ、より高精度な円二色性イメージを得ることができる。さらに、単色フィルタにより目的とする波長のみが選別されるため、光源が非単色光源であっても、目的の波長における円二色性イメージを得ることも可能となる。本発明によれば、高速且つ高精度に円二色性イメージを撮像することが可能な円二色性イメージング装置が提供される。以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図1は、本実施形態に係る円二色性イメージング装置の構成を説明する概略構成図である。図1に示すように、円二色性イメージング装置1は、光源10、単色フィルタ40、偏光子20、変調器30、波長板80、偏光プリズム90、カメラ51,52、及び画像処理装置60を含んで構成され、変調器30と波長板80との間に試料100が配置される。光源10は、試料100に対して照射するための光を出射する。この光源10から出射される光は非偏光であり、例えば、波長280nmの光を出射する重水素ランプ等が光源10として用いられる。光源10から出射された光は単色フィルタ40を通過して、偏光子20に入射する。単色フィルタ40は、円二色性イメージの形成には不要な波長成分やノイズ成分等の除去のために設けられている。本実施形態の円二色性イメージング装置1では、波長280nmの光のみを通過させる単色フィルタ40が用いられる。偏光子20では、光源10から出射された光のうち直線偏光のみが取り出される。偏光子20としては、例えば、グランテーラープリズムが用いられる。偏光子20により取り出された直線偏光は、変調器30によって右円偏光又は左円偏光に変換して出射される。変調器30は、円偏光変調器31と変調信号発振器32とを含んで構成されている。変調信号発振器32は、右円偏光への変換を指示する信号と左円偏光への変換を指示する信号とを変調信号とし、これらを周期的に交互に発振する。変調信号発生器は、例えば50kHz周期の変調信号を発振する。そして、変調信号発振器32により発振される変調信号に基づいて、円偏光変調器31に入射した直線偏光が右円偏光又は左円偏光に交互に変換されて出射される。上記により、円偏光変調器31によって出射された右円偏光及び左円偏光が試料100に対して交互に出射される。すなわち、光源10、単色フィルタ40、偏光子20及び変調器30が円偏光光源として機能する。円偏光変調器31により出射されて、試料100を透過した透過光は、波長板80に入射する。波長板801/4波長板は、単色光の波長に対して1/4λの位相変化を行う働きを有する。これにより偏光状態が変換された透過光が、波長板80から出射され、偏光プリズム90偏波分離手段へ入射する。ここで、光源10から出射された光がどのように変調されるかについて図2を用いて説明する。光源10から出射された光は偏光子20を通過することで、図2aに示すように、所定の方向の直線偏光のみが取り出される。そして、変調信号発振器32の変調信号に基づいて円偏光変調器31において周期的に位相変調が行われ、直線偏光に対して-1/4λ~1/4λの位相変化が加えられ、図2bに示すように、プラス方向に位相変化を加えられた時間帯に円偏光変調器31に入射した光は右円偏光となる。一方、マイナス方向に位相変化を加えられた時間帯に円偏光変調器31に入射した光は左円偏光となる。さらに位相変化が加えられない時期に円偏光変調器31に入射した光は、直線偏光のまま出射される。次に、円偏光変調器31により変調された左右の円偏光は波長板80に入射し、波長板80により1/4λの位相変化が加えられる。この結果、図2cに示すように、円偏光変調器31を通過した後に右円偏光だった光は所定の方向の直線偏光第1直線偏光となる。また、円偏光変調器31を通過した後に左円偏光だった光は第1直線偏光に対して直交する方向の直線偏光第2直線偏光となる。なお、波長板80に対しては、円偏光変調器31から直線偏光のまま出射された光も入射するが、この直線偏光は、波長板80により右円偏光に変換されて出射される。図1に戻り、偏光プリズム90光分岐手段は、直線偏光を偏光方向によって互いに異なる方向へ出射するプリズムである。上記のように、偏光プリズム90の前段の波長板80により、右円偏光及び左円偏光はそれぞれ互いに直交する方向の直線偏光に変換されるので、偏光プリズム90によって、右円偏光から変換された直線偏光と、左円偏光から変換された直線偏光と、は互いに異なる方向へ出射される。偏光プリズム90により、その偏光方向に応じて異なる方向へ出射された透過光は、後段のカメラ51,52へ入射する。カメラ51は、右円偏光から変換された直線偏光が出射される方向に設けられ、カメラ52は、左円偏光から変換された直線偏光が出射される方向に設けられる。カメラ51,52は、例えば、CCDChargeCoupledDeviceカメラ等が用いられる。カメラ51,52では、入射した透過光の強度が画像信号に変換され、この信号がカメラ51,52からイメージキャプチャボード61A,61Bへ送られる。画像処理装置60は、カメラ51及びカメラ52により撮像された画像から円二色性イメージを形成出力するための装置である。具体的には、画像処理装置60は、カメラ51と接続されたイメージキャプチャボード61A、カメラ52と接続されたイメージキャプチャボード61B、画像信号切替部62、右円偏光画像格納部63、左円偏光画像格納部64、画像演算部65、出力部66を含んで構成されている。イメージキャプチャボード61Aは、カメラ51からの画像信号を取り込むと共に、画像処理装置60において画像ファイルとして保存使用するための処理を行う。イメージキャプチャボード61Bは、カメラ52からの画像信号を取り込むと共に、画像処理装置60において画像ファイルとして保存使用するための処理を行う。イメージキャプチャボード61Aに送られた画像信号は、右円偏光画像格納部63へ送られる。また、イメージキャプチャボード61Bに送られた画像信号は、左円偏光画像格納部64へ送られる。右円偏光画像格納部63右円偏光画像格納手段は右円偏光画像を格納する領域であり、左円偏光画像格納部64左円偏光画像格納手段は左円偏光画像を格納する領域である。画像演算部65は、右円偏光画像格納部63に格納された右円偏光画像と、左円偏光画像格納部64に格納された左円偏光画像との差分を求める機能を有する。画像演算部65による演算結果は、出力部66から円二色性イメージとして出力される。円二色性イメージは出力部66から例えばモニタに表示する方法や、プリンタに出力する方法等によって、画像処理装置60から外部へ出力される。このように画像演算部65及び出力部66は、出力手段として機能する。ここで、上記の構成を有する円二色性イメージング装置1として好適に用いられる装置を例示する。例えば、光源10として重水素ランプ型番L630150::浜松ホトニクス社製、変調器30として、光弾性変調器型番PEM100:HindsInstruments社製、カメラ51,52として、ICCDカメラ型番V4183ICCD:浜松ホトニクス社製が好適に用いられる。次に、円二色性イメージング装置1による円二色性イメージングの方法について図3を用いて説明する。図3は、円二色性イメージング装置1による処理を説明するフローチャートである。図3に示すように、試料100に対して右円偏光を照射し、右円偏光画像の撮像S11と、試料100に対して左円偏光を照射することによる左円偏光画像の撮像S12とを並行して行う。すなわち、変調信号発振器32が所定の間隔で右円偏光と左円偏光とを交互に出射するように動作し、円偏光変調器31から右円偏光と左円偏光とを交互に出射する。この試料100を照射することによる透過光が、波長板80により直線偏光に変換され、さらに偏光プリズム90によって、右円偏光が変換された直線偏光はカメラ51が設けられた方向へ出射されることでカメラ51に入射する。一方、左円偏光が変換された直線偏光は、偏光プリズム90によって、カメラ52が設けられた方向へ出射されることでカメラ52に入射する。このため、カメラ51で撮像された画像は右円偏光の照射時の画像となり、カメラ52で撮像された画像は左円偏光の照射時の画像となる。そして、カメラ51で撮像された画像はイメージキャプチャボード61Aを介して右円偏光画像格納部63へ格納される。また、カメラ52で撮像された画像はイメージキャプチャボード61Bを介して左円偏光画像格納部64へ格納される。次に、画像演算部65において、右円偏光画像格納部63に格納された右円偏光画像と、左円偏光画像格納部64に格納された左円偏光画像との差分を演算するS13。具体的には、画像演算部65によって、右円偏光画像と左円偏光画像との間で減算処理が行われる。そして、この結果が画像演算部65から出力部66へ送られ、出力部66から円二色性イメージとして出力されるS14。以上の処理により円二色性イメージの撮像及び出力が行われる。なお、右円偏光画像の撮像と左円偏光画像の撮像とは、それぞれ変調1サイクル分に限られず、複数サイクル分の画像を撮像する構成であってもよい。このように、本実施形態に係る円二色性イメージング装置1によれば、円偏光光源から出射された右円偏光は、試料100を透過した後に波長板80により第1直線偏光に変換され、さらに偏光プリズム90により分岐された後にカメラ51により撮像される。また、円偏光光源から出射された左円偏光は、試料100を透過した後に波長板80によって第1直線偏光に対して直交する第2直線偏光に変換され、さらに偏光プリズム90により分岐された後にカメラ52により撮像される。そして、上記の結果得られた右円偏光画像と左円偏光画像とから円二色性イメージを作成出力される。このように上記の円二色性イメージング装置1では、右円偏光及び左円偏光が試料を透過した後に、互いに直交する直線偏光に変換され、その後、偏光プリズム90により分岐された後に互いに異なる2つのカメラ51,52によって撮像される。したがって、上記の円二色性イメージング装置1によれば、試料を走査して測定する場合と比較してより高速に、且つ、より簡易な装置を用いて高精度の円二色性イメージを撮像することができる。また、上記の円二色性イメージング装置1では、光源10と偏光子20との間に、特定の波長の光のみを通過させる単色フィルタ40を設ける構成とされていることから、ノイズ成分となる光を単色フィルタ40で排除することができ、カメラ51,52において撮像される画像をより高精度とすることができる。さらに、光源10がキセノンランプのような非単色光源であっても、単色フィルタにより目的とする波長のみが選別されるため、目的の波長における円二色性イメージを得ることも可能である。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されず、種々の変更を行うことができる。例えば、上記実施形態では、単色フィルタ40を光源10と偏光子20との間に設けた構成としたが、単色フィルタ40は光源10とカメラ51,52との間の光路上であればどの場所に設けてもよい。"