"ダスト及びSOxが取り込まれたミストを含むガスが流通する流通路に、上流側から順に前記ダストを帯電させる予備荷電部と前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを捕集する湿式静電フィルタとを備え、前記湿式静電フィルタが、前記湿式静電フィルタの前記ガスの入り口に設けられ、前記湿式静電フィルタに流入するガス中に水ミストを噴霧する水ミスト噴霧装置と、前記水ミスト噴霧装置の下流側に捕集部とを備え、前記捕集部は、放電電極と、前記放電電極に電圧を印加する電源と、前記放電電極の周囲に前記放電電極と離間させて設置され、前記ガスが流通する際に前記水ミストと前記ダストと前記SOxが取り込まれたミストとを捕集するフィルタ層と、前記ガスが流通可能であり、前記フィルタ層を挟んで前記放電電極と反対側に設けられるアース極とを備える集塵装置。前記フィルタ層が円筒形状とされ、前記フィルタ層の内側に前記放電電極が収納される請求項1に記載の集塵装置。前記フィルタ層が2枚の平板形状とされ、該2枚のフィルタ層が離間して対抗するように設置され、該2枚のフィルタ層の間に前記放電電極が収納される請求項1に記載の集塵装置。前記フィルタ層に接触し、前記ガスが流通可能であり、前記放電電極に対抗する前記フィルタ層の面が所定の表面形状となるように、前記フィルタ層を担持する表面形状保持材を更に備える請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の集塵装置。前記フィルタ層の底部に、前記フィルタ層で捕集された前記水ミストとともに、前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを回収するドレイン回収部を備える請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の集塵装置。前記フィルタ層から前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを除去するための液体を前記フィルタ層に供給する配管を更に備える請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の集塵装置。複数の前記捕集部が、前記ガスの流れに対して並列に設置される請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の集塵装置。前記複数の捕集部の下流側に、前記フィルタ層を通過した前記ガスの流量を制御する複数のダンパが接続される請求項6に記載の集塵装置。請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の集塵装置を用いて、前記ガス中の前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを捕集する集塵方法であって、前記予備荷電部が、前記流通路から流入した前記ガス中に含まれる前記ダスト及びSOxミストを帯電させる工程と、前記湿式静電フィルタ中の前記水ミスト及びSOxミストの量が所定量より低い場合に、前記予備荷電部から前記湿式静電フィルタに流入した前記ガス中に、前記水ミスト供給装置が前記水ミストを噴霧する工程と、前記電源が前記放電電極に電圧を印加し、前記放電電極と前記アース極との間に電界を発生させて、前記水ミスト及びSOxミストを誘電分極させる工程と、前記ガスが前記フィルタ層を通過する間に、前記フィルタ層が前記水ミストとともに前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを捕集する工程とを含む集塵方法。前記水ミストを噴霧する工程において、前記水ミスト供給装置が前記水ミストを間欠的に噴霧する請求項9に記載の集塵方法。前記電源が前記放電電極に対する電圧の印加を切断するとともに、前記配管が前記フィルタ層に前記液体を供給し、前記液体が前記フィルタ層内部を流通して、前記フィルタ層に捕集された前記水ミストが前記フィルタ層から除去される工程を更に含む請求項9または請求項10に記載の集塵方法。前記水ミストがフィルタ層から除去される工程において、前記複数の捕集部のうち一の捕集部に接続する前記ダンパが、前記フィルタ層を通過する前記ガスの流量を低減する、または、前記フィルタ層を通過する前記ガスを遮断することを更に含む請求項11に記載の集塵方法。特許文献1の湿式脱硫装置によるダストの集塵は、除去効率が低いという問題点がある。また、SOxガス吸収効率を高くするために充填材部の流速を3~4m/sと低くする必要があるが、所定の除去効率を得るために装置を大きくすることになり、処理コストが増加してしまう。また、デミスタ部は折れ板方式や多層フィルタメッシュ方式などが採用されるが、いずれも1μm以下の微細粒径のミストの除去効率が悪い。湿式脱硫装置で除去しきれなかったダスト及びミストを捕集するために、湿式脱硫装置の下流側に湿式電気集塵装置を設置する場合がある。湿式電気集塵装置は、微細粒子の除去効率が高いという特徴がある。一方で、装置内部を流通するガスの流速を1~2m/sと低くする必要があるため、装置が大きくなり、処理コストが高くなってしまう。特許文献2のガス浄化装置では、イオン風により主ガス流れに直交する二次流れを発生させ、集じん効率を向上させて集塵電極にてダスト等を捕集する。しかし、フィルタ方式の集塵器に比べて除去効率が低いことが欠点であった。これは、フィルタ方式はガス中に含まれる全ダストがフィルタ部を通過する為に除塵効率が高いが、特許文献2の方式では、主ガス流速が二次流れに比べて速い条件においては主ガスが装置内を通過する時間内にダスト等が集塵電極に到達しないものが存在するためである。本発明は、ガス中に含まれるダスト及びミストを効率良く除去できる集塵装置及び集塵方法を提供することを目的とする。本発明は、ダスト及びSOxが取り込まれたミストを含むガスが流通する流通路に、上流側から順に前記ダストを帯電させる予備荷電部と前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを捕集する湿式静電フィルタとを備え、前記湿式静電フィルタが、前記湿式静電フィルタの前記ガスの入り口に設けられ、前記湿式静電フィルタに流入するガス中に水ミストを噴霧する水ミスト噴霧装置と、前記水ミスト噴霧装置の下流側に捕集部とを備え、前記捕集部は、放電電極と、前記放電電極に電圧を印加する電源と、前記放電電極の周囲に前記放電電極と離間させて設置され、前記ガスが流通する際に前記水ミストと前記ダストと前記SOxが取り込まれたミストとを捕集するフィルタ層と、前記ガスが流通可能であり、前記フィルタ層を挟んで前記放電電極と反対側に設けられるアース極とを備える集塵装置を提供する。また本発明は、上記の集塵装置を用いて、前記ガス中の前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを捕集する集塵方法であって、前記予備荷電部が、前記流通路から流入した前記ガス中に含まれる前記ダスト及びSOxミストを帯電させる工程と、前記湿式静電フィルタ中の前記水ミスト及びSOxミストの量が所定量より低い場合に、前記予備荷電部から前記湿式静電フィルタに流入した前記ガス中に、前記水ミスト供給装置が前記水ミストを噴霧する工程と、前記電源が前記放電電極に電圧を印加し、前記放電電極と前記アース極との間に電界を発生させて、前記水ミスト及びSOxミストを誘電分極させる工程と、前記ガスが前記フィルタ層を通過する間に、前記フィルタ層が前記水ミストとともに前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを捕集する工程とを含む集塵方法を提供する。上記集塵方法において、前記水ミストを噴霧する工程において、前記水ミスト供給装置が前記水ミストを間欠的に噴霧しても良い。本発明の集塵装置は、ボイラなどの燃焼設備の下流側に設置される。燃焼排ガスにおいては、ダストとして浮遊煤塵や煙道中に噴霧された水溶液から析出した溶解塩微粒子が含まれる。また、噴霧された水溶液の液滴にガス中のSOxSO2、SO3が取り込まれたミストが含まれる。本発明の集塵装置及び集塵方法は、排ガスに含まれるダストやSOxが取り込まれたミストを除去するものである。あるいは、本発明の集塵装置は環境集塵を実施する集塵機として使用され、空気中の粉塵、ウィルス、菌類等を捕集するものとして使用されても良い。本発明の集塵装置では、予備荷電部と集塵を実施する湿式静電フィルタを別装置としている。湿式静電フィルタにおいて、フィルタ層は放電電極とアース極との間に配置されている。すなわち、フィルタ層は放電電極とアース極との間に発生している電界内に配置されている。湿式静電フィルタの入口に水ミスト噴霧装置が設けられ、ガス中に水ミストが噴霧される。水ミストは、放電電極とアース極との間に発生している電界により、誘電分極される。また、SOxが取り込まれたミストも誘電分極され、ミストの周囲に電界が発生することにより、グレーディエント力が発生し、ミストがフィルタ層に付着しやすくなる。また、フィルタ層に予備荷電部で帯電させたダストが飛来し、フィルタ層に保持されている誘電分極されたミストに近づくことで、ダストとミストが付着して、ガス中から除去される。本発明の集塵装置及び集塵方法では、上記の通り静電気力を利用することにより、特許文献1に記載されているような排煙脱硫装置に比べ、ガス流速を低下させることなく煤塵等のダストの除去効率を高めることができる上に、SOxを含むミストの除去効率を大幅に向上させることができる。また、本発明の集塵装置及び集塵方法は、ガス中に含まれる全ダストがフィルタ部を通過する為に、特許文献2に記載される集塵装置に比べ、除塵効率が高くなる。上記集塵装置において、前記フィルタ層が円筒形状とされ、前記フィルタ層の内側に前記放電電極が収納されることが好ましい。あるいは、前記フィルタ層が2枚の平板形状とされ、該2枚のフィルタ層が離間して対抗するように設置され、該2枚のフィルタ層の間に前記放電電極が収納されることが好ましい。上記集塵装置において、前記フィルタ層に接触し、前記ガスが流通可能であり、前記放電電極に対抗する前記フィルタ層の面が所定の表面形状となるように、前記フィルタ層を担持する表面形状保持材を更に備えることが好ましい。上記集塵装置において、前記フィルタ層の底部に、前記フィルタ層で捕集された前記水ミストとともに、前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを回収するドレイン回収部を備えることが好ましい。上記集塵装置において、前記フィルタ層から前記ダスト及び前記SOxが取り込まれたミストを除去するための液体を前記フィルタ層に供給する配管を更に備えることが好ましい。また、上記集塵方法において、前記電源が前記放電電極に対する電圧の印加を切断するとともに、前記配管が前記フィルタ層に前記液体を供給し、前記液体が前記フィルタ層内部を流通して、前記フィルタ層に捕集された前記水ミストが前記フィルタ層から除去される工程を更に含むことが好ましい。このような構成とすることにより、フィルタ層を適宜洗浄することができるため、フィルタ層での除去効率の低下を抑制することができる。上記集塵装置において、複数の前記捕集部が、前記ガスの流れに対して並列に設置される。この場合、前記複数の捕集部の下流側に、前記フィルタ層を通過した前記ガスの流量を制御する複数のダンパが接続されることが好ましい。また、上記集塵方法において、前記水ミストがフィルタ層から除去される工程では、前記複数の捕集部のうち一の捕集部に接続する前記ダンパが、前記フィルタ層を通過する前記ガスの流量を低減する、または、前記フィルタ層を通過する前記ガスを遮断することを更に含むことが好ましい。複数の捕集部を備える湿式静電フィルタでは各捕集部の下流側にダンパを設け、ダンパによりフィルタ層を通過するガスの量を低減する、または、ガスを遮断することによって、捕集部毎にフィルタ層の洗浄を実施することが可能となる。従って、一つの捕集部のフィルタ層を洗浄している間でも、他の捕集部での集塵を継続させることが可能となる。本発明の集塵装置及び集塵方法は、ガス流速を低下させることなく、ガス中のダスト及びSOxが取り込まれたミストを高効率で捕集することができる。<第1実施形態>図1は本発明の第1実施形態に係る集塵装置の概略を示す図である。集塵装置1は、上流側から順に予備荷電部2と湿式静電フィルタ3とを備える。なお図1は、湿式静電フィルタ3を正面から見た図である。第1実施形態の集塵装置1は、発電プラント、焼却炉等の産業用燃焼設備に接続される他、環境集塵を実施する集塵機にも適用可能である。集塵装置1が発電プラント、焼却炉等の産業用燃焼設備と接続して設けられる場合、集塵装置1は不図示のボイラ燃焼炉の下流側のガス流通路煙道に設置される。湿式静電フィルタ3の下流側には、煙突不図示が設けられる。予備荷電部2は、ケース10内に予備荷電部放電極11が収納されている。ケース10は接地されている。予備荷電部放電極11は、支持体12と、支持体12に支持された複数の突起状の放電部13とで構成される。直流の高圧電源14が、碍子室15a及び碍子15bを介して予備荷電部放電極11に接続される。湿式静電フィルタ3は、予備荷電部2を流出したガスが流入するガス入口21に、水ミスト噴霧装置22が設置される。水ミスト噴霧装置22は、1つまたは複数のノズル23で構成される。水ミスト噴霧装置22の下流側に、捕集部24が設置される。捕集部24の内部に、放電電極25、フィルタ層26、表面形状保持材27、及び、アース極28が収納される。捕集部24のフィルタ層26外側の空間29に、ガス出口30が接続される。放電電極25は、碍子室30a及び碍子30bを介して高圧電源31に接続される。高圧電源31は、直流方式でも交流方式でも良い。放電電極25の周囲にフィルタ層26が設けられる。放電電極25とフィルタ層26とは、所定の間隔で離間している。フィルタ層26には、非導電性を示し、誘電体であり、更に撥水性を有する多孔質材料が選定される。例えば、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレン製の多孔質材料などが挙げられる。フィルタ層26は低圧損であることが好ましい。フィルタ層26の孔は、通過粒径が数μm~数十μm程度とされる。フィルタ層26の空隙率は、90以上、好ましくは95以上とされる。フィルタ層26は、多層構造とされても良い。この場合、各層で材質や孔径を変更しても良い。特に、ガスの上流側で孔径が大きい粗いフィルタ層を、下流側で孔径が小さい細かいフィルタ層を積層させて使用すると、圧損低減の観点から好ましい。フィルタ層26を挟んで放電電極25と反対側に、アース極28が設置される。アース極28は導電性を有する材料からなり、フィルタ層26側内側から外側に向かってガスが流通可能なように、メッシュ状の複数の孔を有する。アース極28の具体的例として、ステンレス製とされる金網やパンチングメタルが挙げられる。フィルタ層26及びアース極28は、ガスの流れを均一化するのに必要な最低限の圧力損失を有する。具体的に、フィルタ層26及びアース極28の組み合わせにより、圧力損失は196Paから294Pa20mmAqから30mmAq程度とされる。上記圧力損失を達成するのであれば、アース極28の孔の大きさや形状は特に制限されない。アース極28はフィルタ層26に接触しても良いし、所定間隔で離間して配置されていても良い。フィルタに付着したミストが誘電分極の状態を維持するために、フィルタ材質は非導電性物質であり、アース極とは絶縁された状態であることが好ましい。更に、フィルタが誘電体であり、且つ、電気的抵抗を持つ材料であれば、フィルタ自体も誘電分極する為、更にミストが付着しやすくなる。フィルタ層26は、例えば円筒形状または平板形状とされる。図2は、円筒形状のフィルタ層26aを設けた場合に、図1のA-A’断面を上部から見た概略図である。円筒形状のフィルタ層26aの場合、フィルタ層26aの中心部に放電電極25aが収納される。フィルタ層26aの形状に倣って、アース極28aも円筒形状とされる。なお、捕集部の壁24aの形状は、図2のように円筒形状に限定されず、他の形状も採用可能である。図3は、平板形状のフィルタ層26bを設けた場合に、上部から見た断面の概略図である。本図において、ガスは奥側から手前側に向かって流れるものとする。2枚のフィルタ層26bが所定の間隔を有して対向して設置される。一対のフィルタ層26bの間に、放電電極25bが設置される。図3では平板形状の放電電極25bを設ける例としたが、放電電極25bは、図2のように円柱状の電極を1本配置したものや、複数本の円柱状電極をフィルタ層26bに沿って配列させたものであっても良い。フィルタ層26がそれ自体で形状を保持できない場合、表面形状保持材2727a,27bがフィルタ層26に接触して、フィルタ層26を担持する。表面形状保持材27は、フィルタ層26の接触する面と同じ形状を有しており、円筒形状または平板形状とされる。表面形状保持材27により、フィルタ層26の放電電極25に対抗する面が所定の表面形状になるように保持される。表面形状保持材27は、非導電性材料であり、耐腐食性に優れる材料とされる。具体な材料例として、PTFEやポリプロピレンが挙げられる。また、表面形状保持材27は、放電電極25側内側からフィルタ層26外側に向かってガスが流通可能なように、複数の孔を有する。この時、表面形状保持材27、フィルタ層26及びアース極28の組み合わせで、圧力損失が196Paから294Pa20mmAqから30mmAq程度とする。集塵装置1は、フィルタ層26を洗浄するための液体をフィルタ層26に供給する配管32を備える。図1ではフィルタ層26上部に配管32が設置されているが、これに限定されない。例えば、放電電極25とフィルタ層26との間に配管32が設けられ、配管32からフィルタ層26に液体が噴射される構成とされても良い。捕集部24内部のフィルタ層26の外側に位置する空間29の底部に、ドレイン34が設置される。ドレイン34は、ドレイン34から排出された液体を貯める貯留槽不図示と接続されていても良い。この場合、貯留槽はポンプを介して水ミスト噴霧装置22と接続されていても良い。第1実施形態の集塵装置を用いて、ガス中に含まれるダスト及びSOxが取り込まれたミストを捕集する方法を説明する。以下では、ボイラなどの燃焼設備に集塵装置が接続された例を挙げる。ボイラから排出されるガスには、ダストとして浮遊煤塵が含まれる。また、集塵装置の上流側の流通路煙道に湿式の排煙脱硫装置が設置されている場合は、排煙脱硫装置の吸収塔入口、及び吸収塔内部で、SOxの吸収剤を含む水溶液が噴霧される。吸収剤は、例えば水酸化マグネシウムや水酸化ナトリウムとされる。吸収剤とSOxが反応することにより硫酸塩が生成し、更に飽和水分濃度に達していない高温のガス中であれば、水溶液の液滴から水分が蒸発して、一部溶解塩が析出する。従って、ガス中にはダストとして溶解塩の微粒子も含まれる。また、噴霧された液滴の一部は未蒸発のままで集塵装置1に流入する。未蒸発の液滴ミストにはSOxSO2、SO3が取り込まれている。以下では、SOxを取り込んだミストをSOxミストと称する。なお、第1実施形態の集塵装置が環境集塵を実施する集塵機に適用される場合は、収集された空気中にはウィルスや菌類を含む浮遊煤塵が含まれるが、溶解塩の微粒子やSOxミストは含まれていない。ボイラからの排ガスは、予備荷電部2に流入する。ここで、予備荷電部2の直流高圧電源14は、予備荷電部放電極11に直流電流を供給している。このため、予備荷電部放電極11とケース10との間には、コロナ放電が発生している。予備荷電部放電極11とケース10との間での電界強度は、数kV/cm程度とされる。予備荷電部2内部をガスが流通すると、コロナ放電によりガス中のダスト浮遊煤塵、溶解塩微粒子に負または正の電荷が与えられる。予備荷電部2の上流に湿式排煙脱硫装置が設置されている場合は、SOxミストが飛来する為、SOxミストにも負または正の電荷が与えられる。なお、予備荷電部2ではダストを集塵しないので、帯電したダストが凝集して集塵するのに十分な滞留時間や電流を確保する必要がない。本実施形態において、予備荷電部2でのダストの滞留時間は0.1秒程度とされる。このため、予備荷電部2におけるオゾン発生が抑制される。負または正の電荷を帯びたダストとSOxミストとを含むガスは、予備荷電部2から排出され、ガス入口21から湿式静電フィルタ3内部に流入する。水ミスト噴霧装置22は、ノズル23からガス中に水ミストを噴霧する。本実施形態における噴霧された水ミストの直径は、10μm~100μm程度、好ましくは30μm以下とされる。水ミスト噴霧装置22から噴霧される液体は、水の他、ガス中に含まれているSOxなど酸性ガスを吸収可能な溶解塩を含む水溶液であっても良い。例えば、苛性ソーダNaOH水溶液、水酸化マグネシウムMgOH2水溶液とされる。なお、本実施形態の集塵装置が環境集塵を実施する集塵機に適用される場合は、水ミスト噴霧装置22は、消毒作用のある液体として、エタノールを含む水やオゾン水を噴霧することもできる。環境集塵を行う場合、空気中に菌類やウィルスが存在する場合がある。これらは予備荷電部でのコロナ放電によりある程度不活性化されるが、消毒作用を有する液体を噴霧することで、後流の捕集部24でより確実に不活性化させることが可能である。水ミスト噴霧装置22から噴霧される液体は、湿式静電フィルタ3外部の系から供給されても良いし、湿式静電フィルタ3の系内で循環させたものでも良い。系内で循環させる場合、水ミスト噴霧装置22から噴霧される液体は、ドレイン34で回収された液体とされる。ダスト、SOxミスト及び水ミストを含むガスは、湿式静電フィルタ3の捕集部24に流入する。ここで、高圧電源31は放電電極25に直流電流または交流電流を供給する。このため、放電電極25とアース極28との間に電界が発生する。発生した電界の中にフィルタ層26が存在する。ここでの電界強度は数kV/cm程度である。図2及び図3に捕集部に流入したガスの流れが矢印で示される。捕集部24a,24bに流入したガスは、放電電極25a,25b側からフィルタ層26a,26bに流入する。ガスはフィルタ層26a,26b内部を通過してアース極28a,28b側から空間29a,29bに流入する。空間29a,29b中のガスは、ガス出口30を通って湿式静電フィルタ3外部に排出される。図4は、ダスト及び水ミストを含むガスが流通する際のフィルタ層26断面の拡大概略図である。図4は、表面形状保持材27を設けた例である。ガスは、表面形状保持材27側からアース極28側に向かってフィルタ層26内部を流通する。図4では、放電電極25に負の電圧がかけられているので、水ミスト50はガス上流側放電電極25側が正、ガス下流側アース極28側が負に誘電分極する。放電電極25に正の電圧がかけられる場合は、水ミストは図4と逆に誘電分極する。図4aに示すように、ガス中の誘電分極した水ミスト50aは、水ミスト周囲に生じる電界により、グレーディエント力が発生し、近くの物体に付着しやすい性質を有するようになる為、表面形状保持材27の孔からフィルタ層26内部に入り込み、フィルタ層26内部でフィルタ層26に付着し保持される。ガス中の負に帯電したダスト51は、フィルタ層26内部に付着した水ミスト50bの正に誘電分極した側に付着することで捕集される。従って、フィルタ層26を通過しアース極28から出たガス中の水ミスト量及びダスト量は大幅に低減される。なお、予備荷電部で帯電したガス中のSOxミストも、水ミストと同様に誘電分極することで、さらに近くの物体に付着しやすい性質を有するようになる。SOxミストはフィルタ層26に付着したり、フィルタ層26に付着した水ミスト50bに取り込まれることで、捕集される。誘電分極したSOxミストにも、ダストが付着して捕集される。フィルタ層26に付着する水ミスト及びSOxミスト50bの量が多くなると、図4bに示すように水ミスト同士が凝集し、大きな液滴50cとなる。ある程度大きな液滴50cとなると、液滴50cはダスト51を捕獲したまま、重力によりフィルタ層26下部へと流れ落ちる。流れ落ちた液滴50c及びダスト51は、ドレイン34を通じて捕集部24外部に排出される。この過程で、水ミスト及びSOxミスト50bに取り込まれたSOxもドレイン34を通じて捕集部24外部に排出される。ここで、ダスト及びSOxミストの捕集の観点から、水ミスト及びSOxミストはフィルタ層26に長期間保持されることが好ましい。このため、水ミストの噴霧量及び噴霧時間は、ダスト及びSOxミストを効率良く捕集できる程度に十分な量の水ミストがフィルタ層26に保持されるように、適宜設定されると良い。例えば、集塵装置1の上流側から十分な量のSOxミストが流入する場合には、水ミストの噴霧は連続的に実施する必要はなく、所定時間毎に水ミストの噴霧と停止を繰り返しても良い。あるいは、湿式静電フィルタ3に流入する排ガス中のSOxミスト量を監視して、水ミスト噴霧のタイミング及び噴霧量を制御しても良い。フィルタ層26は定期的に洗浄されて、フィルタ層26に付着した水ミスト50bが強制的にドレイン34から排出されても良い。フィルタ層26を洗浄する際、放電電極25への電流供給は停止されても良い。すなわち、フィルタ層洗浄時には集塵は停止されても良い。フィルタ層洗浄時に放電電極への電流供給が停止されるのは、次の理由に依る。集塵時において、放電電極25とフィルタ層26との間の空間、絶縁性材料とされるフィルタ層26、アース極28により絶縁が確保されている。一方、フィルタ層の洗浄時に、後述するように水がフィルタ層に供給される。このように多量の水が存在すると、フィルタ層に付着した水滴同士が繋がり、絶縁が保てなくなる場合がある。さらに放電電極に電流供給しながらフィルタ層の洗浄を行った場合、フィルタから放電極側に飛び出した水滴を起点として火花が発生しやすくなってしまう。フィルタ層26洗浄時、配管32から洗浄用の液体がフィルタ層に直接供給され、フィルタ層が洗浄される。供給方法は連続的でも良いし、間欠的でも良い。環境集塵を実施する集塵機に適用される場合は、洗浄用の液体は、主として水とされるが、ウィルスや菌類の捕集をする場合には、捕集されたウィルスや菌類の不活性化、及びフィルタの消毒の目的で、エタノール、オゾン水等の消毒効果のある物質が含まれていても良い。フィルタ層に直接供給する代わりに、フィルタ層26の洗浄を目的として、水ミスト噴霧装置22から水ミストを間欠的に噴霧したり、噴霧量を増加させたりしても良い。フィルタ層26の洗浄が終了してから、放電電極への電流供給が再開される。これによりダストの集塵が再開される。<第2実施形態>図5は本発明の第2実施形態に係る集塵装置における湿式静電フィルタの概略図である。第2実施形態において、予備荷電部は第1実施形態と同じものを採用できる。第2実施形態の湿式静電フィルタ103は、第1実施形態と同様に、ガス入口121に水ミスト噴霧装置122を備える。第2実施形態の湿式静電フィルタ103は、水ミスト噴霧装置122の下流側に複数の捕集部を備える。図5では、4つの捕集部124a~124dを備える例を示す。複数の捕集部124a~124dは、ガスの流れに対して並列になるように設置されている。高圧電源131は、複数の捕集部124a~124dの放電電極125a~125dの各々に接続される。図6は、図5のB-B’断面を上部から見た概略図である。図6は平板形状のフィルタ層を設けた場合である。一つの捕集部124aについて、2枚のフィルタ層126aが所定の間隔で対向して設置され、フィルタ層126aの間に放電電極125aが設置される。図6の放電電極125aは、複数の円柱状電極133a図6では5本がフィルタ層126aに沿って整列したものとされる。一方のフィルタ層126aの外側に位置する空間129abは、隣接する捕集部124bにおける一方のフィルタ層126bの外側に位置する空間と共有される。なお、図5の捕集部のうち端に位置する捕集部例えば、捕集部124a,124dでは、他方のフィルタ層126aの外側に位置する空間129aは他の捕集部と共有されない。図2に例示される円筒形状のフィルタ層を設ける場合、一つの捕集部におけるフィルタ層の外側に位置する空間は、隣接する別の捕集部におけるフィルタ層の外側に位置する空間と接続される。図5及び図6の変形例として、複数の捕集部はそれぞれ独立とする。すなわち、フィルタ層の外側に位置する空間を捕集部毎に独立させ、図6のように隣接する捕集部同士で共有させない構造としても良い。各捕集部124a~124dのフィルタ層126a~126dを洗浄用液体を供給する配管132a~132dが設置される。フィルタ層126a~126dの外側に位置する空間に、ドレイン134が接続される。第2実施形態の湿式静電フィルタ103では捕集部124a~124dの下部にドレインから排出された液体を貯める貯留槽140が設けられる。貯留槽140はポンプ141を通じて水ミスト噴霧装置122に接続される。貯留槽140に、水ミスト噴霧装置122から噴霧される上述の液体水、SOxの吸収剤を含む水溶液、消毒液などを外部から追加で供給できる供給口不図示が接続されても良い。また、貯留槽140に、貯留された液体を排出する排出口不図示が接続されても良い。貯留槽140は、図5においてガス入口121から捕集部124a~124dに通じる流通路の底部に設けられているが、タンク等として煙道外に別途設置されても良い。図7は図5のB-B’断面を上部から見た概略図であり、図6の変形例である。フィルタ層126a~126dの外側に位置する空間129a,129ab,129bc,129cd,129dとガス出口130との間の流通路に、それぞれダンパ150a~150eが設けられている。第2実施形態の集塵装置を用いて、ボイラなどの燃焼設備から排出されるガス中に含まれるダスト及びSOxミストを捕集する方法を以下で説明する。予備荷電部に流入したガス中に含まれるダスト浮遊煤塵、溶解塩微粒子及びミストは、第1実施形態と同様にして負または正の電荷が与えられる。電荷を帯びたダストを含むガスは、予備荷電部から排出されてガス入口121から湿式静電フィルタ103内部に流入する。水ミスト噴霧装置122は、ガス中に水ミストを噴霧する。水ミスト噴霧装置から噴霧される液体は、第1実施形態と同様に、水、SOxの吸収剤を含む水溶液とされる。環境集塵を実施する集塵機の場合、エタノールを含む水、オゾン水等の消毒効果のある液体としても良い。図5のように湿式静電フィルタ103系内で噴霧する液体を循環させる場合は、液体中に含まれる成分の調整を実施することが好ましい。例えば、水ミスト噴霧装置から噴霧する液体として溶解塩水溶液を適用する場合、所定の溶解塩濃度を維持させるために、湿式静電フィルタ103外部の系から供給口不図示を通じて貯留槽に水を供給する、あるいは、貯留槽の液体を排出口不図示系外に放出する。ダスト及び水ミストを含むガスは、湿式静電フィルタ103の捕集部124a~124dの各々に流入する。高圧電源131は放電電極125a~125cに直流電流または交流電流を供給する。このため、放電電極125a~125dと各放電電極に対応するアース極128との間に電界が発生する。捕集部124a~124dに流入したガスは、図5及び図6に示されるように、放電電極125a~125d側からフィルタ層126a~126dに流入し、アース極128側から空間129a,129ab,129bc,129cd,129dに流入する。空間129a,129ab,129bc,129cd,129d中のガスは、ガス出口130を通って湿式静電フィルタ103外部に排出される。この時、第1実施形態と同様に、フィルタ層126a~126dに付着保持された水ミストにダストが捕集される。捕集されたダストは、凝集した水ミストとともにドレイン134を通じて捕集部124a~124d外部に排出される。本実施形態においても、第1実施形態と同様にして、ボイラの排ガス中に含まれるSOxミストもダストと同時に捕集可能である。フィルタ層126a~126dは定期的に洗浄されて、フィルタ層126a~126dに付着した水ミストが強制的にドレイン134から排出される。洗浄方法は第1実施形態と同様である。なお、図7のように各空間129a,129ab,129bc,129cd,129dとガス出口130との間にダンパフィルタ150a~150eが設けられていると、フィルタ層毎に洗浄が実施可能となる。こうすることで、1つのフィルタ層の洗浄を実施している間に、洗浄を行っていない他のフィルタ層での集塵を継続させることができる。フィルタ層毎に洗浄を実施する場合を、図7を用いて説明する。フィルタ層126aを洗浄する場合、空間126aとガス出口130との流通路に設けられるダンパ150aの開度を調整し、図7の左側のフィルタ層126aを流通するガスの流量を低減させるか、0とする。また、空間126abとガス出口130との流通路に設けられるダンパ150bの開度を調整する。このとき、ガスがダンパ150a、150bを流通するようにすれば、空間129a、129ab以外の空間に対応するフィルタ層の集塵を継続させることができる。次いで、放電電極125aへの電流供給は停止される。放電電極125aの電流供給が停止された後、フィルタ層126aに液体が供給されてフィルタ層126aの洗浄が実施される。洗浄方法は第1実施形態と同様とされる。フィルタ層126aの洗浄が終了してから、放電電極125aへの電流供給が再開される。これによりフィルタ層126aでのダストの集塵が再開される。円筒形状のフィルタ層や、各捕集部124a~124dを独立させてフィルタ層の外側に位置する空間を他の捕集部と供給させない場合でも、上記と同様にして個々のフィルタ層を洗浄することができる。"