"透明基材上に、カーボンナノチューブを含む導電層を有する透明導電積層体であって、次のA~Cの少なくとも1つを満たし、かつ、60°C、相対湿度90で1hr湿熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で3min間放置した後における表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合が、0.7~1.3である透明導電積層体。A白反射率75における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下Bカーボンナノチューブ層光吸収率5における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下C全光線透過率90における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下150°Cで1hr熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で24hr放置した後の表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合が、0.7~1.3である請求項1に記載の透明導電積層体。80°Cで500hr熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で3min間放置した後の表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合が、0.7~1.3である請求項1または2に記載の透明導電積層体。前記導電層の下部に無機酸化物を含むアンダーコート層が配置されている請求項1~3のいずれかに記載の透明導電積層体。前記無機酸化物がアルミナおよび/またはシリカを主たる成分とする請求項4に記載の透明導電積層体。前記アンダーコート層が、シリカ微粒子とポリシリケートの複合物を主たる成分とする請求項4に記載の透明導電積層体。前記シリカ微粒子の直径が10nm~200nmの範囲にある請求項6に記載の透明導電積層体。透明基材上に、水接触角が5~25°であるアンダーコート層を設けるアンダーコート層形成工程と、分散剤を含むカーボンナノチューブ分散液をアンダーコート層上に塗布する塗布工程と、アンダーコート層上に塗布された前記カーボンナノチューブ分散液から分散媒を除去する乾燥工程とを有する透明導電積層体の製造方法。前記カーボンナノチューブ分散液のpHが5.5~11の範囲にある請求項8に記載の透明導電体の製造方法。前記塗布工程、および/または、乾燥工程で、カーボンナノチューブ表面および/またはカーボンナノチューブ分散液中から分散剤を、前記アンダーコート層に移行させる請求項8または9に記載の透明導電積層体の製造方法。前記カーボンナノチューブ分散液中のカーボンナノチューブに対する分散剤の質量比が0.5~9である請求項8~10のいずれかに記載の透明導電積層体の製造方法。請求項1~7のいずれかに記載の透明導電積層体を用いた電子ペーパー。請求項1~7のいずれかに記載の透明導電積層体を用いたタッチパネル。しかしながら、特許文献1には、耐熱安定性、耐湿熱安定性に関する開示はない。さらに、水によるリンス工程は環境負荷が高く、量産性、量産安定化の大きな障害となりうる。特許文献2に記載の技術においては、アンダーコート層としてメラミン樹脂を用いているが、耐熱安定性が不十分である。特許文献3に記載の導電層を構成するITOは無機物であり、基材である高分子が耐えうる範囲の温度、湿度領域で特性が悪化することはなく、耐熱安定性、耐湿熱安定性に関する記載は見られない。本発明は、前記問題状況に鑑みてなされたものであり、その課題は、耐熱安定性、耐湿熱安定性に優れ、かつ透明導電性に優れた透明導電積層体を提供することである。上記課題を解決するため本発明の透明導電積層体は次の構成を有する。すなわち、透明基材上に、カーボンナノチューブを含む導電層を有する透明導電積層体であって、次のA~Cの少なくとも1つを満たし、かつ、60°C、相対湿度90で1hr湿熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で3min間放置した後における表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合が、0.7~1.3である透明導電積層体、である。A白反射率75における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下Bカーボンナノチューブ層光吸収率5における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下C全光線透過率90における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下また、本発明の透明導電積層体の製造方法は次の構成を有する。すなわち、透明基材上に、水接触角が5~25°であるアンダーコート層を設けるアンダーコート層形成工程と、分散剤を含むカーボンナノチューブ分散液をアンダーコート層上に塗布する塗布工程と、アンダーコート層上に塗布された前記カーボンナノチューブ分散液から分散媒を除去する乾燥工程とを有する透明導電積層体の製造方法、である。本発明の電子ペーパーは次の構成を有する。すなわち、前記透明導電積層体を用いた電子ペーパー、である。本発明のタッチパネルは次の構成を有する。すなわち、前記透明導電積層体を用いたタッチパネル、である。本発明の透明導電積層体は、150°Cで1hr熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で24hr放置した後における表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合が、0.7~1.3であることが好ましい。本発明の透明導電積層体は、80°Cで500hr熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で3min間放置した後における表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合が、0.7~1.3であることが好ましい。本発明の透明導電積層体は、前記導電層の下部に無機酸化物を含むアンダーコート層が配置されていることが好ましい。本発明の透明導電積層体は、前記無機酸化物がアルミナおよび/またはシリカを主たる成分とすることが好ましい。本発明の透明導電積層体は、前記アンダーコート層が、シリカ微粒子とポリシリケートの複合物を主たる成分とすることが好ましい。本発明の透明導電積層体は、前記シリカ微粒子の直径が10nm~200nmの範囲にあることが好ましい。本発明の透明導電積層体の製造方法は、前記カーボンナノチューブ分散液のpHが5.5~11の範囲にあることが好ましい。本発明の透明導電積層体の製造方法は、前記塗布工程、および/または、乾燥工程で、カーボンナノチューブ表面および/またはカーボンナノチューブ分散液中から分散剤を、前記アンダーコート層に移行させることが好ましい。本発明の透明導電積層体の製造方法は、前記カーボンナノチューブ分散液中のカーボンナノチューブに対する分散剤の質量比が0.5~9であることが好ましい。本発明によれば、カーボンナノチューブを凝集させることなく高分散状態で、透明基材上に塗布できるため、透明導電性の高い透明導電積層体が得られると共に、絶縁物である分散剤をカーボンナノチューブ層からアンダーコート層上に移行させるため、透明導電性、耐熱安定性、耐湿熱安定性に優れた透明導電積層体を得ることができる。すなわち、従来両立させることが容易ではなかった、初期の透明導電性の高さと、耐熱および耐湿熱安定性を、環境負荷が低いプロセスで実現することができる。本発明の透明導電積層体の製造方法は、透明基材上に水接触角が5~25°であるアンダーコート層を設けるアンダーコート層形成工程と、分散剤を含むカーボンナノチューブ分散液以下、単に分散液ということもあるをアンダーコート層上に塗布する塗布工程と、前記分散剤を含むカーボンナノチューブ分散液から分散媒を除去する乾燥工程とを有する。アンダーコート層形成工程は、乾式または湿式コーティングを適用することができる。アンダーコート層は1~500nmの厚みとすることが好ましい。塗布工程では、アンダーコート層の上にカーボンナノチューブ層を形成するため分散剤を含むカーボンナノチューブ分散液を湿式コーティングによって設ける。ここで用いられるカーボンナノチューブ分散液は、カーボンナノチューブと分散剤と分散媒である水の混合物であり、カーボンナノチューブに対する分散剤の質量比が0.5~9で含まれることが好ましい。この分散液を、アンダーコート層上にカーボンナノチューブが乾燥後質量で1~40mgm2となるように塗布することが好ましい。塗布工程の後、塗布された分散剤を含むカーボンナノチューブ分散液から分散媒を除去する乾燥工程としては、熱風を基材に当てる対流熱風乾燥、赤外線乾燥装置からの輻射で基材に赤外線を吸収させて熱に変え加熱し乾燥させる輻射電熱乾燥、熱媒体で加熱された壁面からの熱伝導で加熱し乾燥させる伝導電熱乾燥、などが挙げられる。対流熱風乾燥は乾燥速度が大きいため好ましい。そして、本発明においては、前記塗布工程、および/または、乾燥工程で、分散剤を前記アンダーコート層に移行させることが好ましい。一般にカーボンナノチューブ分散液中ではカーボンナノチューブの側壁間に働く高いπ電子相互作用よって、カーボンナノチューブの凝集が生じバンドル束状態となりやすい。このバンドル状態を解消させ1本1本に分散させた分散液を塗布することで、得られるカーボンナノチューブ層の導電性が向上することが期待される。また、カーボンナノチューブが長いほど、カーボンナノチューブ同士の接点数が増え、カーボンナノチューブ層の導電性が高くなる。しかしながら、カーボンナノチューブ分散液を透明基材上に塗布後乾燥させて作製する透明導電積層体においては、分散液中の分散剤量を増加させると、上述のようなバンドル状態が解消され、かつカーボンナノチューブ分散時のカーボンナノチューブ切断が抑制されるという導電性向上への寄与がある一方、そのような分散液を適用するとカーボンナノチューブ層において絶縁物である分散剤の割合が多くなり、導電性に悪影響するため、効果が相殺されるという問題があった。また、カーボンナノチューブ層中の分散剤量が多くなると、熱処理時や高温高湿状態においたときの、抵抗値安定性が悪化するという問題もあった。本発明の好ましい態様では、分散液中においては分散剤量を増加させて、カーボンナノチューブを高分散状態とするとともに切断を抑制し、かかるカーボンナノチューブ分散液を、親水性のアンダーコート層上に塗布および/または乾燥させる工程において、分散剤をアンダーコート層に移行させることにより、分散剤をカーボンナノチューブ層から低減することができ、従来と比較して透明導電性および抵抗値安定性にさらに優れた透明導電積層体を得ることができたものである。[透明基材]本発明に用いられる透明基材の素材としては、樹脂、ガラスなどを挙げることができる。樹脂としては、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPENなどのポリエステル、ポリカーボネートPC、ポリメチルメタクリレートPMMA、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、アラミド、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ乳酸、ポリ塩化ビニル、ポリメタクリル酸メチル、脂環式アクリル樹脂、シクロオレフィン樹脂、トリアセチルセルロースなどを用いることができる。ガラスとしては、通常のソーダガラスを用いることができる。また、これらの複数の透明基材を組み合わせて用いることもできる。例えば、樹脂とガラスを組み合わせた透明基材、2種以上の樹脂を積層した透明基材などの複合透明基材であってもよい。樹脂フィルムにハードコートを設けたようなものであっても良い。透明基材の種類は前記に限定されることはなく、用途に応じて耐久性やコスト等から最適なものを選ぶことができる。透明基材の厚みは特に限定されるものではないが、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス、電子ペーパーなどのディスプレイ関連の電極に用いる場合、10μm~1,000μmの間にあることが好ましい。[アンダーコート層]本発明においては前記透明基材上にアンダーコート層を設ける。アンダーコート層の素材としては、親水性の高い素材であることが好ましい。具体的には、水接触角が5~25°の範囲にある素材が好ましい。具体的には無機酸化物を用いることが好ましい。より好ましくは、チタニア、アルミナ、シリカである。これらの物質は、表面に親水基OH基を有しており、高い親水性が得られるため好ましい。さらに、アンダーコート層が、シリカ微粒子とポリシリケートの複合物を主たる成分とするのがより好ましい。また、アンダーコート層表面に凹凸をつけることがより好ましい。凹凸をつけることにより、塗布工程、および/または、乾燥工程で、分散剤をアンダーコート層に移行させることのできる面積が増え、移行する分散剤量を増やすことができる。その結果、透明導電積層体の透明導電性、抵抗値安定性をより向上させることができる。簡便に所望の範囲の凹凸をつけるには、アンダーコート層中に含有させる無機酸化物微粒子の直径が10~200nmの範囲にあることが、好ましい。また、これらのアンダーコート層をさらに親水化するため、表面親水化処理により前記親水性の官能基を表出させても良い。表面親水化方法としてコロナ処理、プラズマ処理、フレーム処理などの物理処理、酸処理やアルカリ処理などの化学的処理が挙げられる。この中でもコロナ処理、プラズマ処理が好ましい。コロナ処理は、例えば、図1に示すような装置を用いて行うことができる。高電圧印加装置101で、グラウンド図示しないと電極102間に10~100kVの直流電圧を発生させた上で電極102と透明基材104間に50~200μmの距離を隔てた上で隔壁103を設け、1~10cmsecの早さで、図1中にAと表示した矢印の方向に電極を移動させることにより行うことができる。これらの操作により、前記水接触角の範囲となる表面性状を得ることができる。[アンダーコート層の形成方法]本発明において、アンダーコート層を透明基材上に設ける方法は特に限定されない。既知の湿式コーティング方法、例えば吹き付け塗装、浸漬コーティング、スピンコーティング、ナイフコーティング、キスコーティング、グラビアコーティング、スロットダイコーティング、ロールコーティング、バーコーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、パット印刷、他の種類の印刷などが利用できる。また、乾式コーティング方法を用いてもよい。乾式コーティング方法としては、スパッタリング、蒸着などの物理気相成長や化学気相成長などが利用できる。また塗布は、複数回に分けて行ってもよく、異なる2種類の塗布方法を組み合わせても良い。好ましい塗布方法は、湿式コーティングであるグラビアコーティング、バーコーティングである。[アンダーコート層厚みの調整]アンダーコート層厚みはカーボンナノチューブ分散液塗布時に分散剤が移行できる厚みであれば、限定されない。光学干渉による反射防止効果が有効に得られる厚みであれば、光線透過率が向上するため好ましい。このため、後述するオーバーコート層の厚みと合わせて80~120nmの範囲にあることが好ましい。[アンダーコート層の水接触角]水接触角は市販の接触角測定装置を用いて測定することができる。水接触角の測定は、JISR3257に従い、室温25°C、相対湿度50の雰囲気下で、アンダーコート層表面に1~4μLの水をシリンジで滴下し、液滴を水平断面から観察し、液滴端部の接線と膜平面とのなす角を求める。[カーボンナノチューブ]本発明において用いられるカーボンナノチューブは、実質的にグラファイトの1枚面を巻いて筒状にした形状を有するものであれば特に限定されず、グラファイトの1枚面を1層に巻いた単層カーボンナノチューブ、多層に巻いた多層カーボンナノチューブいずれも適用できるが、中でもグラファイトの1枚面を2層に巻いた特に2層カーボンナノチューブが100本中に50本以上含まれているカーボンナノチューブであると、導電性ならびに塗布用分散液中でのカーボンナノチューブの分散性が極めて高くなることから好ましい。さらに好ましくは100本中75本以上が二層カーボンナノチューブ、最も好ましくは100本中80本以上が二層カーボンナノチューブである。なお、2層カーボンナノチューブが100本中に50本含まれていることを、2層カーボンナノチューブの割合が50と表示することもある。また、二層カーボンナノチューブは酸処理などによって表面が官能基化されても導電性などの本来の機能が損なわれない点からも好ましい。カーボンナノチューブは、例えば次のように製造される。マグネシアに鉄を担持した粉末状の触媒を、縦型反応器中、反応器の水平断面方向全面に存在させ、該反応器内にメタンを鉛直方向に供給し、メタンと前記触媒を500~1,200°Cで接触させ、カーボンナノチューブを製造した後、カーボンナノチューブを酸化処理することにより、単層~5層のカーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブを得ることができる。カーボンナノチューブは、製造した後、酸化処理を施すことにより単層~5層の割合を、特に2層~5層の割合を増加させることができる。酸化処理は例えば、硝酸処理する方法により行われる。硝酸はカーボンナノチューブに対するドーパントとして作用するため、好ましい。ドーパントとは、カーボンナノチューブに余剰の電子を与える、または電子を奪ってホールを形成する作用をなすものであり、自由に動くことのできるキャリアを生じさせることにより、カーボンナノチューブの導電性を向上させるものである。硝酸処理法は本発明のカーボンナノチューブが得られる限り、特に限定されないが、通常、140°Cのオイルバス中で行われる。硝酸処理時間は特に限定されないが、5hr~50hrの範囲であることが好ましい。[分散剤]カーボンナノチューブの分散剤としては、界面活性剤、各種高分子材料水溶性高分子材料等等を用いることができるが、分散性が高いイオン性高分子材料が好ましい。イオン性高分子材料としてはアニオン性高分子材料やカチオン性高分子材料、両性高分子材料がある。カーボンナノチューブ分散能が高く、分散性を保持できるもので有ればどの種類も用いることができるが、分散性、および分散保持性に優れることから、アニオン性高分子材料が好ましい。なかでも、カルボキシメチルセルロースおよびその塩ナトリウム塩、アンモニウム塩等、ポリスチレンスルホン酸の塩がカーボンナノチューブ分散液においてカーボンナノチューブを効率的に分散することができ好ましい。本発明において、カルボキシメチルセルロース塩、ポリスチレンスルホン酸塩を用いる場合、塩を構成するカチオン性の物質としては、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属のカチオン、カルシウム、マグネシウム、バリウム等のアルカリ土類金属のカチオン、アンモニウムイオン、あるいはモノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モルホリン、エチルアミン、ブチルアミン、ヤシ油アミン、牛脂アミン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、ポリエチレンイミン等の有機アミンのオニウムイオン、または、これらのポリエチレンオキシド付加物を用いることができるが、これらに限定されるものではない。[分散媒]本発明において用いられる分散媒は、前記分散剤を安全に溶解できる点、廃液の処理が容易である等の観点から、水が好ましい。[カーボンナノチューブ分散液]本発明において用いるカーボンナノチューブ分散液の調製方法は、特に限定されないが、例えば次のような手順で行うことができる。分散時の処理時間が短縮できることから、一旦、分散媒中にカーボンナノチューブを0.003~0.15質量の濃度範囲で含まれる分散液を調製した後、希釈することで、所定の濃度とすることが好ましい。本発明において、カーボンナノチューブに対する分散剤の質量比は10以下であることが好ましい。かかる好ましい範囲であると、均一に分散させることが容易である一方、導電性低下の影響がない。質量比は0.5~9であることがより好ましく、1~6であることがさらに好ましく、質量比が2~3であれば、高い透明導電性を得ることができるので特に好ましい。調製時の分散手段としては、カーボンナノチューブと分散剤を分散媒中で塗装製造に慣用の混合分散機例えばボールミル、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ホモジナイザー、超音波ホモジナイザー、高圧ホモジナイザー、超音波装置、アトライター、デゾルバー、ペイントシェーカー等を用いて混合することが挙げられる。また、これら複数の混合分散機を組み合わせて段階的に分散を行ってもよい。中でも、振動ボールミルで予備的に分散を行った後、超音波装置を用いて分散する方法が、得られる塗布用分散液中のカーボンナノチューブの分散性が良好であることから好ましい。[カーボンナノチューブ分散液の特性]本発明に用いる分散液は、pHが5.5~11の範囲にあることが好ましい。カーボンナノチューブ分散液のpHが5.5~11であると、カーボンナノチューブ表面を修飾しているカルボン酸など酸性官能基や、カーボンナノチューブの周りに位置している分散剤に含まれるカルボン酸などの酸性官能基の電離度が向上し、その結果、カーボンナノチューブ、あるいはカーボンナノチューブ周りの分散剤がマイナス電荷を帯びる。このようにして、カーボンナノチューブ、あるいはカーボンナノチューブ周りの分散剤が互いに静電反発することで、カーボンナノチューブの分散性がさらに増し、バンドル径を小さくすることが可能である。前記混合分散機を用いて分散剤と混合、分散する工程でpH調整を行うことが好ましいが、分散工程以降で調整を行っても同様の効果が得られる。カーボンナノチューブ分散液のpHは、アレニウスの定義による酸性物質や塩基性物質をカーボンナノチューブ分散液に添加することで調整できる。酸性物質は、例えば、プロトン酸としては、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、ホウフッ化水素酸、フッ化水素酸、過塩素酸等の無機酸や、有機カルボン酸、フェノール類、有機スルホン酸等が挙げられる。さらに、有機カルボン酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、ショウ酸、安息香酸、フタル酸、マレイン酸、フマル酸、マロン酸、酒石酸、クエン酸、乳酸、コハク酸、モノクロロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、ニトロ酢酸、トリフェニル酢酸等が挙げられる。有機スルホン酸としては、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸、アルキルナフタレンスルホン酸、アルキルナフタレンジスルホン酸、ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物、メラミンスルホン酸ホルマリン重縮合物、ナフタレンジスルホン酸、ナフタレントリスルホン酸、ジナフチルメタンジスルホン酸、アントラキノンスルホン酸、アントラキノンジスルホン酸、アントラセンスルホン酸、ピレンスルホン酸などが挙げられる。この中でも好ましいのは、塗布乾燥時に揮発する揮発酸であり、例えば塩酸、硝酸などである。塩基性物質としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、アンモニアなどが挙げられる。この中でも好ましいのは、塗布乾燥時に揮発する揮発塩基であり、例えばアンモニアである。[カーボンナノチューブ分散液のpH調整]カーボンナノチューブ分散液のpH調整は、pHを測定しながら、上記酸性物質および/または塩基性物質を所望のpHとなるまで添加することで行う。pH測定法としては、リトマス試験紙などのpH試験紙を用いる方法、水素電極法、キンヒドロン電極法、アンチモン電極法、ガラス電極法などが挙げられるが、この中でもガラス電極法が簡便であり、必要な精度を得られるため好ましい。また、酸性物質、あるいは、塩基性物質を過剰に添加して所望のpH値を越えてしまった場合には、逆の特性を持つ物質を添加してpHを調整すれば良い。かかる調整に適用する酸性物質としては硝酸が、塩基性物質としてはアンモニアが好ましい。[カーボンナノチューブ層の形成]本発明の透明導電積層体を製造する方法において、カーボンナノチューブ層は、カーボンナノチューブ分散液を透明基材に塗布する塗布工程と、その後分散媒を除去する乾燥工程を経て形成される。塗布工程では、前記方法により得た分散液を、前記アンダーコート層を設けた透明基材上に塗布するとき親水性の部位を持つ分散剤が、親水基を有するアンダーコート層の表面に引き寄せられ、吸着されると考えられる。また、その後分散媒を乾燥させてカーボンナノチューブをアンダーコート層上に固定してカーボンナノチューブ層を形成するが、分散媒がアンダコート層の上に残存しており、分散剤がカーボンナノチューブからアンダーコート層の表面へ移動可能な状態である間は、塗布時と同様、分散剤が親水基を有するアンダーコート層の表面に引き寄せられ、吸着されると考えられる。これらのように、親水基を有するアンダコート層に分散剤が吸着されることで、カーボンナノチューブ層の分散剤量が低下しているものと考えられる。かかるアンダコート層への分散剤の吸着は、水の接触角5°~25°の親水性のアンダーコート層を用いることにより、達成される。また、カーボンナノチューブ分散液を塗布厚み1μm~50μmの範囲で塗布し、分散媒がカーボンナノチューブ層中から乾燥によって除去される時間が0.1sec~100secの範囲であれば、かかるメカニズムによる分散剤の吸着をより効果的に生じさせることができるため好ましい。この現象を確認する方法として、X線光電子分光法XPSが挙げられる。XPSでは物質にX線を照射して、原子軌道の電子を励起させ光電子として系外へ放出し、この光電子のエネルギー値を測定する。光電子のエネルギー値は次式で表される。Ehν-EBE:光電子のエネルギー値、hν:照射X線のエネルギー値、EB:電子の結合エネルギー一定のエネルギー値を持つX線を照射し、光電子のエネルギー値を測定することで、EBを求めることができる。EBは、各元素に固有の軌道エネルギーとなることから、この値から元素の種類を同定することができる。また、同じ元素であっても、その結合状態によってエネルギー値のピークがシフトする。このシフトを測定することにより、結合状態も知ることができる。本発明においては、分散剤に固有のピークから分散剤量を半定量的に測定する。例えば、カルボキシメチルセルロースにおいては、COO、OCO、COといった結合状態をもつ炭素が存在する。これらのピークを測定し、適切なデータ処理を行うことで、分散剤量を比較することができる。また、XPSの検出深さはその物質の平均自由工程にも依存するが、光電子脱出角度試料表面に対する検出器の傾きを調整することで概ね数nm程度にコントロールすることができる。この値は本発明によるカーボンナノチューブ層の想定厚みとほぼ同じとなり、カーボンナノチューブ層の情報を得ることが可能である。XPSによりカーボンナノチューブ層最表面の炭素のEBを測定することで、アンダーコート層が存在する場合のカーボンナノチューブ層の分散剤量は、アンダーコート層が存在しない場合のカーボンナノチューブ層の分散剤量と比較して小さいことが確認でき、アンダーコート層に分散剤が移行していることが裏付けられた。本発明において、分散液を透明基材上に塗布する方法は特に限定されない。既知の塗布方法、例えば吹き付け塗装、浸漬コーティング、スピンコーティング、ナイフコーティング、キスコーティング、グラビアコーティング、スロットダイコーティング、バーコーティング、ロールコーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、パット印刷、他の種類の印刷などが利用できる。また塗布は、複数回に分けて行ってもよく、異なる2種類の塗布方法を組み合わせても良い。最も好ましい塗布方法は、グラビアコーティング、バーコーティングである。[カーボンナノチューブ層の厚みの調整]カーボンナノチューブ分散液を透明基材上に塗布する際の塗布厚みウェット状態の厚みは、カーボンナノチューブ分散液の濃度にも依存するため、望む表面抵抗値が得られるように適宜調整すればよい。本発明におけるカーボンナノチューブ塗布量は、導電性を必要とする種々の用途を達成するために、容易に調整可能である。例えば、塗布量が1mgm2~40mgm2であれば表面抵抗値は1×100~1×104Ω/□とすることができ、好ましい。オーバーコート層本発明においてはカーボンナノチューブ層形成後、この層の上面に透明被膜からなるオーバーコート層を形成しうる。オーバーコート層を形成することにより、さらに透明導電性や耐熱性安定性、耐湿熱安定性が向上できるため好ましい。オーバーコート層の材料としては有機材料、無機材料ともに用いることができるが、抵抗値安定性の観点から無機材料が好ましい。無機材料としては、シリカ、酸化錫、アルミナ、ジルコニア、チタニア等の金属酸化物が挙げられるが、抵抗値安定性の観点からシリカが好ましい。[オーバーコート層の形成方法]本発明において、オーバーコート層をカーボンナノチューブ層上に設ける方法は特に限定されない。既知の湿式コーティング方法、例えば吹き付け塗装、浸漬コーティング、スピンコーティング、ナイフコーティング、キスコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、スロットダイコーティング、バーコーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、パット印刷、他の種類の印刷、または他の種類の印刷などが利用できる。また、乾式コーティング方法を用いてもよい。乾式コーティング方法としては、スパッタリング、蒸着などの物理気相成長や化学気相成長などが利用できる。またオーバーコート層をカーボンナノチューブ層上に設ける操作は、複数回に分けて行ってもよく、異なる2種類の方法を組み合わせても良い。好ましい方法は、湿式コーティングであるグラビアコーティング、バーコーティングである。湿式コーティングを用いてシリカ層を形成する方法として、有機シラン化合物を用いることが好ましく、例えばテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ-n-プロポキシシラン、テトラ-iso-プロポキシシラン、テトラ-n-ブトキシシランなどのテトラアルコキシシランなどの有機シラン化合物を加水分解して作製したシリカゾルを溶媒に溶解したものを塗布液として、前記湿式コーティングを行い、溶媒乾燥時に、シラノール基同士の脱水縮合を生じさせ、シリカ薄膜を形成させる方法が挙げられる。オーバーコート層の厚みは、塗布液中のシリカゾル濃度および塗布時の塗布厚みを調整することで制御する。光学干渉による反射防止効果が有効に得られる厚みであれば、光線透過率が向上するため好ましい。このため、オーバーコート層の厚みとしては、前述した通り、アンダーコート層の厚みと合わせて80~120nmの範囲にあることが好ましい。また、オーバーコート層の厚みを厚くすることで、カーボンナノチューブの導電性を向上させている硝酸などのドーパントの飛散を抑え、長期耐熱性を向上させることができる。このドーパントの飛散を防止するのに有効なオーバーコート層の厚みは40nm以上であり、前記反射防止効果を得るためのアンダーコート層とオーバーコート層の合計厚みの範囲を考慮すると、オーバーコート層の厚みを40nm以上120nm以下とすることがより好ましい[透明導電性上述のようにして透明導電性に優れる透明導電積層体を得ることができる。透明導電性とは透明性と導電性を兼ね備えていることを示す。透明性の指標として代表的なものは、全光線透過率であり、同様の指標として白反射率、及び、カーボンナノチューブ層光吸収率も挙げられる白反射率、及び、カーボンナノチューブ層光吸収率については後述する。全光線透過率は、80~93の範囲にあることが好ましい。より好ましくは90~93の範囲である。本発明においては、透明性の指標として、全光線透過率の他にも、白反射率またはカーボンナノチューブ層光吸収率を用いることができる。本発明における白反射率以降、白反射率と記すとは、白反射板201、粘着層202、透明導電積層体203を図2に示す状態で貼り合せ、透明導電積層体側から波長550nmの光線を照射した場合の入射光に対する反射光の割合を表す。この粘着層の厚み、屈折率がそれぞれ20μm~40μm、1.4~1.6の範囲にあれば本発明で規定する白反射率の測定に適する。粘着材の素材に関しては上記粘着層の厚み、屈折率の範囲に入っていれば特に限定されないが、例えばアクリル、ウレタン、オレフィン、セルロース、エチレンー酢酸ビニル、エポキシ系、塩化ビニル、クロロプレンゴム、酢酸ビニル、シアノアクリレート、シリコーン、フェノール樹脂、ポリイミド、ポリスチレン、メラミンなどの素材を適宜使用することができる。本発明において、透明性の指標として用いることのできる別の指標として、カーボンナノチューブ層光吸収率が挙げられる。カーボンナノチューブ層光吸収率は、波長550nmにおける次式で表される指標である。カーボンナノチューブ層光吸収率=100-光透過率-導電面光反射率-導電面逆面光反射率導電性の指標としては表面抵抗値が用いられ、表面抵抗値が低い方が導電性は高い。表面抵抗値は、1×100~1×104Ω/□の範囲にあることが好ましい。より好ましくは表面抵抗値が1×100~1×103Ω/□の範囲である。かかる導電性表面抵抗値、及び、透明性全光線透過率等は、カーボンナノチューブ塗布量により調整することができる。しかしながら、カーボンナノチューブ塗布量が少ないと、導電性は低くなる一方、透明性は高くなり、塗布量が多いと導電性は高くなる一方、透明性は低くなる。すなわち、両者はトレードオフの関係にあり、両者を共に満たすことは困難である。かかる関係があるため、透明導電性を比較するためには、どちらかの指標を固定化してその上でもう一方の指標を比較する必要がある。本発明において、透明導電性を比較する際には、一定の透明性の下での表面抵抗値を指標とする。すなわち透明性の指標として全光線透過率を採った場合には、全光線透過率90における表面抵抗値を指標とする。本発明の透明導電積層体は、全光線透過率90における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下である。本発明において、透明性の指標として白反射率を採った場合には、白反射率75における表面抵抗値を指標とする。本願により得られる透明導電積層体は、白反射率75における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下である。本発明において、透明性の指標としてカーボンナノチューブ層光吸収率を採った場合には、カーボンナノチューブ層光吸収率5における表面抵抗値を指標とする。本願により得られる透明導電積層体は、カーボンナノチューブ層光吸収率5における表面抵抗値が1.1×103Ω/□以下である。上記透明性の指標として、オーバーコート層、カーボンナノチューブ層、アンダーコート層、透明基材を含んだ積層体の全光線透過率が実用的な意味がある。したがって、特定のオーバーコート層、アンダーコート層を用いて、それを積層したもので相対比較する場合用いることができる。但し、オーバーコート層、アンダーコート層の屈折率、厚みによって導電面の光反射率が変化し、全光線透過率も変化するため、カーボンナノチューブ層単体の比較を行う場合には白反射率、カーボンナノチューブ層光吸収率を用いることが好ましい。[耐湿熱安定性]本発明の透明導電積層体の製造方法によれば、上記の透明導電性を満たしてかつ耐湿熱安定性に優れる透明導電積層体が得られる。本発明における耐湿熱安定性の指標としては、60°C、相対湿度90で、1hr湿熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で3min間放置した後の表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合を用いる。本発明の透明導電積層体は、かかる耐湿熱安定性を0.7~1.3とするものであり、好ましくは0.8~1.2である。[耐熱安定性]本発明の透明導電積層体の好ましい製造方法によれば、さらに耐熱安定性に優れる透明導電積層体が得られる。本発明における耐熱安定性の指標としては、150°C、1hr熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で24hr放置した後の表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合を用いる。なお、150°C熱処理では相対湿度を制御していないが、150°Cでの飽和水蒸気圧は4.8atm、常温である25°Cの飽和水蒸気圧は0.03atmであるため、常温で相対湿度にばらつきがあったとしても、150°Cまで温度を上昇させた場合、相対湿度はほぼ0と見なすことができる。本発明の透明導電積層体は、かかる耐熱安定性を0.7~1.3とするのが好ましく、より好ましくは0.8~1.2である。[長期耐熱安定性]本発明の透明導電積層体のより好ましい製造方法によればさらに長期耐熱安定性に優れる透明導電積層体が得られる。本発明における長期耐熱安定性の指標としては、80°Cで500hr熱処理を行い、次いで25°C、相対湿度50で3min間放置した後の表面抵抗値の、該処理前の表面抵抗値に対する割合を用いる。なお、80°C熱処理では相対湿度を制御していないが、80°Cでの飽和水蒸気圧は0.47atm、常温である25°Cの飽和水蒸気圧は0.03atmであるため、常温で相対湿度にばらつきがあったとしても、80°Cまで温度を上昇させた場合、相対湿度はほぼ0と見なすことができる。本発明の透明導電積層体は、かかる長期耐熱安定性を0.7~1.3とするのが好ましく、より好ましくは0.8~1.2である。以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例により限定されるものではない。本実施例で用いた測定法を以下に示す。特に断らない限り、測定n数は2とし、平均値を採用した。表面抵抗値5cm×10cmにサンプリングした透明導電積層体のカーボンナノチューブ層側の中央部にプローブを密着させて、4端子法により室温下で抵抗値を測定した。使用した装置は、ダイアインスツルメンツ株製の抵抗率計MCPT360型、使用したプローブはダイアインスツルメンツ株製の4探針プローブMCPTPO3Pである。白反射率白反射板として東レ株製ルミラーES6R、粘着層として日東電工株製LUCIACSCS9621Tを用い、図2のように透明導電積層体の導電面が粘着層と接するように積層させた。この積層体の透明導電積層体側から、コニカミノルタセンシング株製CM2500dを用いて、波長550nmにおける反射率を測定し、白反射率とした。カーボンナノチューブ層光吸収率導電面反射率、導電面逆面反射率測定面の反対側表面を60°光沢度が10以下になるように320~400番の耐水サンドペーパーで均一に粗面化した後、可視光線透過率が5以下となるように黒色塗料を塗布して着色した。測定面を株島津製作所製の分光光度計UV3150にて、測定面から5°の入射角で、550nmでの導電面反射率、導電面逆面反射率測定を行った。光透過率株島津製作所製の分光光度計UV3150にて、導電面から光を入射させて550nmにおける光透過率測定を行った。カーボンナノチューブ層光吸収率、で測定した導電面反射率、導電面逆面反射率光透過率、光透過率から下記式を用いて導出した。カーボンナノチューブ層光吸収率=100-光透過率-導電面光反射率-導電面逆面光反射率全光線透過率JISK7361に基づき、日本電色工業株製の濁度計NDH2000を用いて測定した。水接触角室温25°C、相対湿度50の雰囲気下で、膜表面に1~4μLの水をシリンジで滴下した。接触角計協和界面科学株製、接触角計CAX型を用いて、液滴を水平断面から観察し、液滴端部の接線と膜平面とのなす角を求めた。耐熱安定性5cm×10cmにサンプリングした透明導電積層体に以下に記す熱処理を施し、熱処理後のサンプルの表面抵抗値を熱処理前のサンプルの表面抵抗値で除した値を耐熱安定性の指標とした。熱処理:次の、を続けて行った。150°Cの熱風オーブン内に1hr保持室温25°C、相対湿度50の雰囲気下で24hr放置耐湿熱安定性5cm×10cmにサンプリングした透明導電積層体に以下に記す湿熱処理を施し、湿熱処理後のサンプルの表面抵抗値を熱処理前のサンプルの表面抵抗値で除した値を耐熱安定性の指標とした。湿熱処理:次の、を続けて行った。60°C、相対湿度90の湿熱オーブン内に1hr保持室温25°C、相対湿度50の雰囲気下で3min間放置長期耐熱安定性5cm×10cmにサンプリングした透明導電積層体に以下に記す長期耐熱処理を施し、長期耐熱処理後のサンプルの表面抵抗値を熱処理前のサンプルの表面抵抗値で除した値を耐熱安定性の指標とした。長期耐熱処理:次の、を続けて行った。80°C熱風オーブン内に500hr保持室温25°C、相対湿度50の雰囲気下で3min間放置カーボンナノチューブ層全光線透過率96での表面抵抗値カーボンナノチューブ塗布前後の透明導電積層体の全光線透過率の比カーボンナノチューブ層全光線透過率の値が96以上のサンプルと、96以下のサンプルを、後述する[カーボンナノチューブ層の形成]の項に示した方法で少なくともそれぞれ1水準以上作製し、各々の表面抵抗値、カーボンナノチューブ層全光線透過率を測定、カーボンナノチューブ層全光線透過率96での表面抵抗値を内挿して算出した。白反射率75での表面抵抗値オーバーコート層の形成後の白反射率75以上のサンプルと、75以下のサンプルを、後述する[カーボンナノチューブ層の形成]の項に示した方法で少なくともそれぞれ1水準以上作製し、各々の表面抵抗値、白反射率を測定、白反射率75での表面抵抗値を内挿して算出した。カーボンナノチューブ層光吸収率5での表面抵抗値オーバーコート層の形成後のカーボンナノチューブ層光吸収率5以上のサンプルと、5以下のサンプルを、後述する[カーボンナノチューブ層の形成]の項に示した方法で少なくともそれぞれ1水準以上作製し、各々の表面抵抗値、カーボンナノチューブ層光吸収率を測定、カーボンナノチューブ層光吸収率5での表面抵抗値を内挿して算出した。オーバーコート層の形成後の全光線透過率90での表面抵抗値オーバーコート層の形成後の全光線透過率が90以上のサンプルと、90以下のサンプルを、後述する[カーボンナノチューブ層の形成]の項に示した方法で少なくともそれぞれ1水準以上作製し、各々の表面抵抗値、カーボンナノチューブ層全光線透過率を測定、全光線透過率90での表面抵抗値を内挿して算出した。アンダーコート層の厚み基材であるPETフィルムの上にアンダーコート層のみを設けた状態で、アンダーコート層の設置面の反対側表面を60°光沢度が10以下になるように320~400番の耐水サンドペーパーで均一に粗面化した後、可視光線透過率が5以下となるように黒色塗料を塗布して着色した。測定面を島津製作所製の分光光度計にて、測定面から5°の入射角で、波長領域200nm~1,200nmにおける絶対反射スペクトルを1nm間隔で測定し、200nm~1,200nmの領域での反射率の極小値を示す波長を求めた。dU=λ/4ndU:アンダーコート層の厚みnm、λ:極小反射率を示す波長nm、n:透明保護膜の屈折率、1.44なお、本実施例において、λが200nm未満、1,200nm超となった場合には以下で示すアンダーコート層の理論厚みをアンダーコート層の厚みとして代用した。理論厚みnm=塗液の固形分濃度wt/100×ワイヤーバー番手μm×1.5×1/1000オーバーコート層の厚み基材であるPETフィルムの上にオーバーコート層のみを設けた状態で、オーバーコート層の設置面の反対側表面を60°光沢度JISZ8741が10以下になるように320~400番の耐水サンドペーパーで均一に粗面化した後、可視光線透過率が5以下となるように黒色塗料を塗布して着色した。測定面を株島津製作所製の分光光度計にて、測定面から5°の入射角で、波長領域200nm~1,200nmにおける絶対反射スペクトルを1nm間隔で測定し、200nm~1,200nmの領域での反射率の極小値を示す波長を求めた。dO=λ/4ndO:オーバーコート層の厚みnm、λ:極小反射率を示す波長nm、n:透明保護膜の屈折率、1.44なお、オーバーコート層の厚みにおいても、λが200nm未満、1,200nm超となった場合にはアンダーコート層の理論厚みと同様の方法で導出した理論厚みをオーバーコート層の厚みとして代用した。XPSアルバックファイ株製QuanteraSXMを用いて、励起X線をAlKα1、2線1486.6eVとし、光電子X線角度15°の条件下で、C1sの結合エネルギー測定を行った。この際、横軸補正はC1sのメインピークを284.6eVとして行った。アンダーコートまたはPET基材表面へのカーボンナノチューブ分散液の濡れ性アンダーコートまたはPET基材表面へのカーボンナノチューブ分散液の濡れ性は、カーボンナノチューブ分散液を前記アンダーコートまたはPET基材表面へ塗布し、乾燥固定した後の乾燥カーボンナノチューブ塗膜が均一に形成されていれば良好、均一に形成されていなければ劣ると目視で判断した。[アンダーコート層形成例1]以下の操作によりポリシリケートをバインダーとし、直径約30nmのシリカ微粒子が表出する親水シリカアンダーコート層を形成した。直径約30nmの親水シリカ微粒子とポリシリケートを含む株菱和製メガアクア親水DMコートDM3026GN1をシリカ膜形成用塗液として用いた。ワイヤーバー8を用いて厚さ188μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム東レ株製ルミラーU46上に前記シリカ膜形成用塗液を塗布した。塗布後、80°Cの乾燥機内で1min間乾燥させた。図3に表面AFM像を示す。[アンダーコート層形成例2]ワイヤーバー3を用いた以外は[アンダーコート層形成例1]と同様にして、ポリシリケートをバインダーとし、直径約30nmのシリカ微粒子が表出する親水シリカアンダーコート層を形成した。[アンダーコート層形成例3]直径約30nmの親水シリカ微粒子とポリシリケートを含む株菱和製メガアクア親水DMコートDM3026GN1A[アンダーコート層形成例1]で用いたものより親水性を若干低下させたものをシリカ膜形成用塗液として用いた以外は[アンダーコート層形成例1]と同様にして、ポリシリケートをバインダーとし、直径約30nmのシリカ微粒子が表出する親水シリカアンダーコート層を形成した。[アンダーコート層形成例4]以下の操作によりゾルゲル法で作製したシリカからなる親水シリカアンダーコート層を形成した。100mLポリ容器中に、エタノール20gを入れ、n-ブチルシリケート40gを添加し30min間撹拌した後、0.1N塩酸水溶液を10g添加した後2hr撹拌を行い4°Cで12hr静置した。この溶液をトルエンとイソプロピルアルコールとメチルエチルケトンの混合液で固形分濃度が1.0質量となるように希釈し塗液とした。この塗液をワイヤーバー8を用いて東レ株社製ルミラーU46上に塗布した。塗布後、125°C乾燥機内で1min間乾燥させた。この後、図1に示す方法でコロナ処理を行った。高電圧装置印加装置101としてDENSOKPRECISIONINDUSTRYCORP製タイプHピンホールテスターを用い、グラウンド図示しないと電極102間に10kVの直流電圧を発生させた。その上で電極102と透明基材104間に150μmの距離を隔てた上で隔壁103を設け、約2cmsecの早さで、図1中にAと表示した矢印の方向に電極を移動させる操作を3回行った。[アンダーコート層形成例5]以下の操作によりアルミナからなる親水アルミナアンダーコート層を形成した。図4に示す構造の巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、厚さ12μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム東レ株製ルミラー12T705以下、高分子フィルムを透明基材とし、その片面に、アルミニウムを蒸着材料に用いて抵抗加熱方式によりアルミニウムを蒸気化し、酸素ガスを導入してアルミナ層を設けた。まず、巻き取り式真空蒸着装置403の巻き取り室404の中で、巻き出しロール405にセットされた高分子フィルム401を搬送速度100mminで巻き出し、ガイドロール407,408,409を介して、クーリングドラム410に通す。ボート406上にはアルミニウム等のワイヤーが導入されていて、ボート406からアルミニウムを蒸発させ、ガス導入機構を有するプラズマ電極412から、酸素ガス流量0.6Lmin、プラズマ投入電力は3.0kWの条件で酸素プラズマを照射することにより、このクーリングドラム410上の位置において高分子フィルム401の表面に酸化アルミニウム層図示しないを形成した。その後、このアルミナ層を形成した高分子フィルムをガイドロール413,414,415を介して、巻き取りロール416に巻き取った。[アンダーコート層形成例6]コロナ処理を実施しなかったほかは[アンダーコート層形成例4]と同様にして、ゾルゲル法で作製したシリカからなる親水シリカアンダーコート層を形成した。基材表面処理例1東レ株製ルミラーU46上に[アンダーコート層形成例4]と同様のコロナ処理を実施した。この処理により基材表面の親水性が増し、水接触角が62°から52°に低下した。[触媒調製例:マグネシアへの触媒金属塩の担持]クエン酸アンモニウム鉄和光純薬工業株製2.46gをメタノール関東化学株製500mLに溶解した。この溶液に、酸化マグネシウム岩谷化学工業株製MJ30を100.0g加え、撹拌機で60min間激しく撹拌処理し、懸濁液を減圧下、40°Cで濃縮乾固した。得られた粉末を120°Cで加熱乾燥してメタノールを除去し、酸化マグネシウム粉末に金属塩が担持された触媒体を得た。得られた固形分は篩い上で、乳鉢で細粒化しながら、20~32メッシュ0.5~0.85mmの範囲の粒径を回収した。得られた触媒体に含まれる鉄含有量は0.38質量であった。また、かさ密度は、0.61gmLであった。上記の操作を繰り返し、以下の実験に供した。[カーボンナノチューブ集合体製造例:カーボンナノチューブ集合体の合成]図5に示した装置を用いてカーボンナノチューブの合成を行った。反応器503は内径75mm、長さは1,100mmの円筒形石英管である。中央部に石英焼結板502を具備し、石英管下方部には、不活性ガスおよび原料ガス供給ラインである混合ガス導入管508、上部には廃ガス管506を具備する。さらに、反応器を任意温度に保持できるように、反応器の円周を取り囲む加熱器として3台の電気炉501を具備する。また反応管内の温度を検知するために熱電対505を具備する。触媒調製例で調製した固体触媒体132gをとり、鉛直方向に設置した反応器の中央部の石英焼結板上に導入することで触媒層504を形成した。反応管内温度が約860°Cになるまで、触媒体層を加熱しながら、反応器底部から反応器上部方向へ向けてマスフローコントローラー507を用いて窒素ガスを16.5Lminで供給し、触媒体層を通過するように流通させた。その後、窒素ガスを供給しながら、さらにマスフローコントローラー507を用いてメタンガスを0.78Lminで60min間導入して触媒体層を通過するように通気し、反応させた。この際の固体触媒体の重量をメタンの流量で割った接触時間W/Fは、169mingL、メタンを含むガスの線速が6.55cmsecであった。メタンガスの導入を止め、窒素ガスを16.5Lmin通気させながら、石英反応管を室温まで冷却した。加熱を停止させ室温まで放置し、室温になってから反応器から触媒体とカーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブ含有組成物を取り出した。カーボンナノチューブ集合体の精製および酸化処理カーボンナノチューブ集合体製造例で得られた触媒体とカーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブ含有組成物を130g用いて4.8Nの塩酸水溶液2,000mL中で1hr撹拌することで触媒金属である鉄とその担体であるMgOを溶解した。得られた黒色懸濁液は濾過した後、濾取物は再度4.8Nの塩酸水溶液400mLに投入し脱MgO処理をし、濾取した。この操作を3回繰り返した脱MgO処理。その後、イオン交換水で濾取物の懸濁液が中性となるまで水洗後、水を含んだウェット状態のままカーボンナノチューブ含有組成物を保存した。このとき水を含んだウェット状態のカーボンナノチューブ含有組成物全体の重量は102.7gであったカーボンナノチューブ含有組成物濃度:3.12質量。得られたウェット状態のカーボンナノチューブ含有組成物の乾燥重量分に対して、約300倍の重量の濃硝酸和光純薬工業株製、1級、Assay60~61を添加した。その後、約140°Cのオイルバスで25hr攪拌しながら加熱還流した。加熱還流後、カーボンナノチューブ含有組成物を含む硝酸溶液をイオン交換水で3倍に希釈して吸引ろ過した。イオン交換水で濾取物の懸濁液が中性となるまで水洗後、水を含んだウェット状態のカーボンナノチューブ集合体を得た。このとき水を含んだウェット状態のカーボンナノチューブ組成物全体の重量は3.351gあったカーボンナノチューブ含有組成物濃度:5.29wt。[カーボンナノチューブ分散液1の調製]得られたウェット状態のカーボンナノチューブ集合体乾燥重量換算で25mg、1質量カルボキシメチルセルロースナトリウムダイセルファインケム株製、ダイセル1140重量平均分子量45万水溶液2.5g、ジルコニアビーズ東レ株社製、トレセラム、ビーズサイズ:0.8mm6.7gを容器に加え、28アンモニア水溶液キシダ化学株製を用いてpH10に調整した。この容器を振動ボールミルを用いて2hr振盪させ、カーボンナノチューブペーストを調製した。次にこのカーボンナノチューブペーストをカーボンナノチューブの濃度が0.15質量となるようにイオン交換水で希釈し、その希釈液10gに対して再度28アンモニア水溶液でpH10に調整した。その水溶液を超音波ホモジナイザー家田貿易株製、VCX130の出力を20Wとし、1.5min間1kWming、氷冷下分散処理した。分散中液温が10°C以下となるようにした。得られた液を高速遠心分離機株トミー精工、MX300にて10,000G、15min遠心処理し、カーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液2の調製]得られたウェット状態のカーボンナノチューブ集合体乾燥重量換算で25mg、6質量カルボキシメチルセルロースナトリウム第一工業製薬株製、セロゲン5A重量平均分子量:8万水溶液0.833g、イオン交換水0.8g、ジルコニアビーズ東レ株社製、トレセラム、ビーズサイズ:0.8mm13.3gを容器に加え、28アンモニア水溶液キシダ化学株製を用いてpH10に調整した。分散剤/カーボンナノチューブ質量比=2この容器を振動ボールミルを用いて2hr振盪させ、カーボンナノチューブペーストを調製した。次にこのカーボンナノチューブペーストをカーボンナノチューブの濃度が0.15質量となるようにイオン交換水で希釈し、その希釈液10gに対して再度28アンモニア水溶液でpH10に調整した。その水溶液を超音波ホモジナイザー家田貿易株製、VCX130の出力を20Wとし、1.5min間0.6kWming、氷冷下分散処理した。分散中液温が10°C以下となるようにした。得られた液を高速遠心分離機株トミー精工、MX300にて10,000G、15min遠心処理し、カーボンナノチューブ分散液9gを得た。その後、水を添加して終濃度でカーボンナノチューブ集合体の濃度が0.08質量となるように調製してフィルム塗布液とした。[カーボンナノチューブ分散液3の調製]6質量カルボキシメチルセルロースナトリウム添加量を1.04g分散剤/カーボンナノチューブ質量比=2.5とした以外はカーボンナノチューブ分散液2の調製と同様にしてカーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液4の調製]6質量カルボキシメチルセルロースナトリウム添加量を1.25g分散剤/カーボンナノチューブ質量比=3とした以外はカーボンナノチューブ分散液2の調製と同様にしてカーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液5の調製]6質量カルボキシメチルセルロースナトリウム添加量を2.50g分散剤/カーボンナノチューブ質量比=6とした以外はカーボンナノチューブ分散液2の調製と同様にしてカーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液6の調製]20mLの容器にカーボンナノチューブ含有組成物製造工程で得られたカーボンナノチューブ15mg乾燥時質量換算、30質量のポリスチレンスルホン酸アンモニウム水溶液アルドリッチ社製、重量平均分子量20万、300mg分散剤/カーボンナノチューブ質量比=6を量りとり、蒸留水を加え10gにし、超音波ホモジナイザー家田貿易株製、VCX130の出力を20Wとし、7.5min間で氷冷下分散処理しカーボンナノチューブ液を調製した。この液ではカーボンナノチューブ質量に対する分散剤の質量比は6となる。得られた液を高速遠心分離機株トミー精工、MX300にて10,000G、15min遠心し、カーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液7の調製]カーボンナノチューブペースト調整、カーボンナノチューブ分散液調整時のpHを4.5とした以外はカーボンナノチューブ分散液2の調製と同様にしてカーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液8の調製]カーボンナノチューブペースト調整、カーボンナノチューブ分散液調整時のpHを5.5とした以外はカーボンナノチューブ分散液2の調製と同様にしてカーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液9の調製]カーボンナノチューブペースト調整、カーボンナノチューブ分散液調整時のpHを7とした以外はカーボンナノチューブ分散液2の調製と同様にしてカーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液10の調製]カーボンナノチューブペースト調整、カーボンナノチューブ分散液調整時のpHを9とした以外はカーボンナノチューブ分散液2の調製と同様にしてカーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液11の調製]カーボンナノチューブペースト調整、カーボンナノチューブ分散液調整時のpHを11とした以外はカーボンナノチューブ分散液2の調製と同様にしてカーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ分散液12の調製]得られたウェット状態のカーボンナノチューブ集合体乾燥重量換算で15mg、1wtカルボキシメチルセルロースナトリウムシグマ社製、90kDa,50~200cps水溶液4.5g分散剤/カーボンナノチューブ質量比=3を量りとり、イオン交換水を加え10gにした。硝酸を用いてpHを4.0に合わせ、超音波ホモジナイザー家田貿易株製CX130の出力を20Wとし、7.5min間で氷冷下分散処理しカーボンナノチューブ液を調製した。分散中液温が10°C以下となるようにした。得られた液を高速遠心分離機株トミー精工MX300にて10,000G、15min遠心し、カーボンナノチューブ分散液9gを得た。[カーボンナノチューブ層の形成]前記カーボンナノチューブ分散液にイオン交換水を添加して、0.03質量~0.04質量に調整後、前記アンダーコート層を設けた透明基材またはPET透明基材にワイヤーバーを用いて塗布、80°C乾燥機内で1min間乾燥させカーボンナノチューブ組成物を固定化した。光線透過率の調整は前記カーボンナノチューブ濃度とワイヤーバーの番手を調整して行った。[リンス処理]カーボンナノチューブ層を形成した透明導電積層体をイオン交換水にて30secリンスし、分散剤を除去した。リンス後、フィルムに付着した水滴をエアダスターで除去、その後常温で乾燥させた。[オーバーコート層形成例1]100mLポリ容器中に、エタノール20gを入れ、n-ブチルシリケート40gを添加し30min間撹拌した。その後、0.1N塩酸水溶液を10g添加した後2hr撹拌を行い4°Cで12hr静置した。この溶液をトルエンとイソプロピルアルコールとメチルエチルケトンの混合液で固形分濃度が0.1質量となるように希釈した。この塗液をワイヤーバー8を用いてカーボンナノチューブ層上に塗布後、125°C乾燥機内で1min間乾燥させた。[オーバーコート層形成例2]トルエンとイソプロピルアルコールとメチルエチルケトンの混合液で固形分濃度が1質量となるように希釈した以外は[オーバーコート層形成例1]と同様にしてオーバーコート層を形成した。実施例1[アンダーコート層形成例1]に従って、アンダーコート層を形成した。アンダーコート層上にカーボンナノチューブ分散液1を用いて、カーボンナノチューブ層を形成した。カーボンナノチューブ層上に[オーバーコート層形成例1]の手法でオーバーコート層を設け、透明導電積層体を作製した。実施例2~13、比較例1~6基材表面処理、アンダーコート層の形成、カーボンナノチューブ分散液、オーバーコート層の形成、リンス処理の組み合わせを、表1に示す組み合わせとした以外は、実施例1と同様にして透明導電積層体を作製した。なお、表中基材表面処理またはアンダーコートなしの項目で、なしと記載があるのは、東レ株製ルミラーU46上にアンダーコートを設けることなく、または基材にコロナ処理を実施することなく、直接カーボンナノチューブ分散液を塗布したことを表す。以上、実施例1~13および比較例1~6の、分散剤/カーボンナノチューブ質量比、カーボンナノチューブ分散液pH、アンダーコート層またはPET透明基材表面の水接触角、アンダーコート層の厚み、アンダーコート層またはPET透明基材表面へのカーボンナノチューブ分散液の濡れ性、カーボンナノチューブ層全光線透過率96での表面抵抗値、白反射率75での表面抵抗値、カーボンナノチューブ層光吸収率5での表面抵抗値、オーバーコート層の厚み、オーバーコート層の形成後の全光線透過率90での表面抵抗値、耐熱安定性、耐湿熱安定性、長期耐熱安定性を表2に示す。表2中、-は該当する項目がないこと、NDは評価データがないことを表す。[XPS測定サンプル1][アンダーコート層形成例2]でアンダーコート層を形成した基材上にカーボンナノチューブ分散液3を0.06質量で調整した塗液をワイヤーバー3を用いて塗工した。[XPS測定サンプル2]アンダーコート層を形成していない188U46上に[アンダーコート層形成例4]で実施したコロナ処理を実施し、さらにカーボンナノチューブ分散液3を0.06質量で調整した塗液をワイヤーバー20を用いて塗工した。なお、ワイヤーバー20とXPS測定サンプル1よりもカーボンナノチューブ層厚みを大きくしたのは、X線がPET基材まで進入することを防ぐためであり、このようにすることで、カーボンナノチューブ層中でのカーボンの結合状態に関する情報のみを得ることができる。[XPS測定サンプル1]と[XPS測定サンプル2]について、XPSにより表面分析を行った。その結果を図6に示す。図6より、最表面のカルボキシメチルセルロース起因のカーボンの結合ピークa、b、c、それぞれのカーボンの結合状態については図7参照は[XPS測定サンプル1]よりも[XPS測定サンプル2]の方が高いことがわかり、カーボンナノチューブ層中のカルボキシメチルセルロースはアンダーコート層を設けることにより相対的に減少していることがわかった。より定量的にカルボキシメチルセルロース量の比較を行うため、XPSデータより元素組成比を導出した。その結果を表3に示す。アンダーコート層を設けているXPS測定サンプル1ではシリコン元素が観察され、設けていないXPS測定サンプル2ではシリコン元素が観察されなかった。XPS測定サンプル1では、アンダーコート層中の酸化シリコンSiO2起因の酸素が含まれている。この酸素分を差し引いた結果が表4であり、カーボンナノチューブ層のみの元素分析結果となる。表4の酸素は全てカーボンナノチューブ層中のカルボキシメチルセルロースに含まれる酸素であると考えられるため、この量によりカーボンナノチューブ層中のカルボキシメチルセルロース量を比較することができる。表5から[XPS測定サンプル1]よりも[XPS測定サンプル2]の方が、酸素割合が高く、カーボンナノチューブに対するカルボキシメチルセルロース量が多いことがわかった。"