"立体造形粉体が載置され、且つ前記立体造形粉体を落下させる複数の孔を有するステージと、前記ステージを昇降させる昇降手段と、前記ステージの下方に配置され、前記ステージから落下した前記立体造形粉体が回収される回収口とを備え、前記ステージに載置された立体造形粉体に造形液を吐出して固化し、且つ固化せずに残存した前記立体造形粉体を前記回収口から回収する立体造形装置であって、前記ステージを振動させて前記立体造形粉体を前記ステージから落下させるピエゾ素子を備えたことを特徴とする立体造形装置。前記ピエゾ素子に印加する駆動信号を制御することで前記ピエゾ素子を振動させる振動制御手段をさらに備え、前記振動制御手段は、前記ピエゾ素子を100Hz以上の周波数で振動させることを特徴とする請求項1に記載の立体造形装置。複数の前記ピエゾ素子を複数の位置に配置したことを特徴とする請求項1または2に記載の立体造形装置。前記ピエゾ素子を前記ステージの下部に配置したことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の立体造形装置。前記ステージは、複数の孔が形成された板状の部材であり、水平に配置される上部ステージと、前記上部ステージの厚みよりも薄く、且つ複数の孔が形成された板状の部材であり、前記上部ステージの下方において前記上部ステージと平行に配置される下部ステージとを備え、前記ピエゾ素子を前記下部ステージに配置したことを特徴とする請求項4に記載の立体造形装置。前記ステージの側面に接し、且つ前記ステージの昇降範囲の外周を取り囲む枠部をさらに備え、前記ピエゾ素子を前記枠部に配置したことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の立体造形装置。モータの振動波形を自由に制御することは困難である。モータの駆動波形を最適な波形に制御できなければ、未硬化粉体を十分にステージから落下させることができず、且つ粉詰まりが生じる可能性も高くなる。従って、従来の立体造形装置は、ステージに加える振動の波形を容易に制御して効率よく未硬化粉体を回収することは困難だった。本発明は、ステージに加える振動の波形を容易に制御して効率よく未硬化粉体を回収することができる立体造形装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明に係る立体造形装置は、立体造形粉体が載置され、且つ前記立体造形粉体を落下させる複数の孔を有するステージと、前記ステージを昇降させる昇降手段と、前記ステージの下方に配置され、前記ステージから落下した前記立体造形粉体が回収される回収口とを備え、前記ステージに載置された立体造形粉体に造形液を吐出して固化し、且つ固化せずに残存した前記立体造形粉体を前記回収口から回収する立体造形装置であって、前記ステージを振動させて前記立体造形粉体を前記ステージから落下させるピエゾ素子を備える。本発明に係る立体造形装置は、ピエゾ素子でステージを振動させることで、未硬化粉体をステージから落下させる。ピエゾ素子の振動波形は、印加する駆動信号に応じて変化する。従って、立体造形装置は、ステージに加える振動の波形を容易に制御して効率よく未硬化粉体を回収することができる。また、前記立体造形装置は、前記ピエゾ素子に印加する駆動信号を制御することで前記ピエゾ素子を振動させる振動制御手段をさらに備え、前記振動制御手段は、前記ピエゾ素子を100Hz以上の周波数で振動させてもよい。ステージに低周波振動のみを加えると、粉体が圧縮されて固まる現象所謂圧粉が生じ、粉詰まりを引き起こす可能性がある。モータによって発生させることができる振動の周波数は、約100Hz以下である。立体造形装置は、ピエゾ素子によって100Hz以上の高周波振動をステージに加えることで、粉詰まりが生じる可能性を低下させることができる。さらに、立体造形装置は、昇降手段によってステージを昇降させることで、高周波振動に加えて低周波振動もステージに加えることができる。よって、周波数が異なる複数の振動をステージに加えることができ、円滑に未硬化粉体を回収できる。また、複数の前記ピエゾ素子を複数の位置に配置してもよい。この場合、粉体の落下のし難さ、振動の伝わり難さ等に応じた適切な位置にピエゾ素子を配置することができる。よって、立体造形装置は、より効率よく未硬化粉体を回収することができる。さらに、複数のピエゾ素子を用いることで、それぞれの位置に適した駆動信号を、複数のピエゾ素子の各々に印加することができる。よって、立体造形装置は、振動の振幅、振動を加えるタイミング等を位置に応じて変えることができ、効率よくステージを振動させることができる。また、前記ピエゾ素子を前記ステージの下部に配置してもよい。ステージは、粉詰まりが生じる場所である。粉詰まりが生じるステージにピエゾ素子を直接配置することで、ピエゾ素子の振動を効率よくステージに伝えて未硬化粉体を回収することができる。また、前記ステージは、複数の孔が形成された板状の部材であり、水平に配置される上部ステージと、前記上部ステージの厚みよりも薄く、且つ複数の孔が形成された板状の部材であり、前記上部ステージの下方において前記上部ステージと平行に配置される下部ステージとを備え、前記ピエゾ素子を前記下部ステージに配置してもよい。下部ステージにかかる立体造形粉体の重量は、上部ステージにかかる重量よりも小さい。よって、下部ステージは、薄く形成しても立体造形粉体の重量に耐え得る。立体造形装置は、薄い下部ステージにピエゾ素子を配置することで、ピエゾ素子の振動を効率よく伝播させることができる。また、前記立体造形装置は、前記ステージの側面に接し、且つ前記ステージの昇降範囲の外周を取り囲む枠部をさらに備え、前記ピエゾ素子を前記枠部に配置してもよい。立体造形装置は、ステージに側面から振動を伝えることができ、効果的にステージを振動させることができる。また、立体造形装置は枠部も振動させることができるので、枠部に付着した未硬化粉体も容易に回収することができる。以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、参照する図面は、本発明が採用し得る技術的特徴を説明するために用いられるものである。図面に記載されている装置の構成、各種処理のフローチャート等は、それのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例である。図1および図2の左下側および右上側は、それぞれ、立体造形装置1の正面側および背面側である。図1および図2の左右方向および上下方向は、それぞれ、立体造形装置1の左右方向および上下方向である。図3の左側、右側、上側、下側、紙面手前側、紙面奥側は、それぞれ、立体造形装置1の正面側、背面側、上側、下側、右側、左側である。図4の左側、右側、上側、下側、紙面右手前側、紙面左奥側は、それぞれ、立体造形装置1の正面側、背面側、上側、下側、右側、左側である。立体造形装置1の右方をX座標の正方向、後方をY座標の正方向、上方をZ座標の正方向とする。図1を参照して、立体造形装置1の概略構成について説明する。立体造形装置1は、座標データおよび色データを含む立体造形データに従ってヘッド20等を駆動することで、立体造形物を造形することができる。パーソナルコンピュータ以下、PCという。100は、物体の三次元形状を示す立体データに基づいて立体造形データを作成し、ネットワーク等を介して立体造形装置1に送信する。立体造形装置1は、PC100から受信した立体造形データに従って立体造形物を造形する。なお、立体造形装置1は、立体データを他のデバイスから取得し、取得した立体データに基づいて自ら立体造形データを作成することもできる。立体造形装置1は、土台2と、造形台6と、粉体供給部15と、平坦化ローラ16と、ヘッド20と、ヘッドクリーニング機構22と、粉体回収部23とを主に備える。土台2は、左右方向X軸方向を長手方向とする矩形板状に形成されており、立体造形装置1の全体を支持する。造形台6はステージ11を備え、ステージ11上で立体造形物が造形される。粉体供給部15は、造形台6のステージ11上に立体造形粉体を供給する。平坦化ローラ16は、ステージ11上に載置された立体造形粉体の上面を平坦化し、立体造形粉体の層以下、粉体層という。を形成する。ヘッド20は、ステージ11上に形成された粉体層に造形液を吐出する。ヘッドクリーニング機構22は、ヘッド20の吐出口をワイプし、また、密着して造形液を吸引する。粉体回収部23は、造形物周辺で固化せずに残存した余分な立体造形粉体以下、未硬化粉体という。を回収する。以下、各構成について説明する。造形台6について説明する。図2に示すように、造形台6は、造形台6を支持する基部7と、基部7の上部に支持される枠部9とを備える。基部7の左右の各々には、前後方向Y軸方向に貫通する貫通孔8が形成されている。図1に示すように、土台2の略中央には、前後方向に平行に延びる2本のレール3が設けられている。2本のレール3は、土台2の正面側端部に設けられた支持部4と、背面側端部に設けられた支持部図示せずとによって、土台2の上面から所定の高さで支持されている。2本のレール3の各々は、造形台6の基部7に形成された2つの貫通孔8の各々を貫通する。さらに、土台2の背面側端部には、造形台6を前後動させるための造形台前後動モータ41図8参照が設けられる。造形台前後動モータ41が駆動すると、キャリッジベルト図示せずを介して動力が造形台6に伝わり、造形台6は2本のレール3に沿って前後方向Y軸方向に移動する。つまり、造形台前後動モータ41が駆動すると、粉体供給部15、平坦化ローラ16、およびヘッド20は、造形台6のステージ11に対して前後方向ステージ面と平行な方向に相対移動する。図2に示すように、枠部9は、略立方体の箱型形状を成す。枠部9は、上面が開放された平面視矩形状の凹部であるステージ保持部10を有している。ステージ保持部10の内側には、立体造形物が造形されるステージ11が昇降可能に保持される。ステージ11は、ステージ保持部10の内周面に接するように平面視矩形状に形成されており、且つ、ステージ11の上面は水平に保たれている。つまり、枠部9は、ステージ11の側面に接し、且つステージ11の昇降範囲の外周を取り囲む。枠部9の右側面には、未硬化粉体をステージ保持部10内から粉体回収部23図1参照に導くための回収路12が接続している。ステージ保持部10の背面側には、上面が開放された平面視矩形の凹部である粉体落下口13が設けられている。粉体落下口13には、粉体層を形成する際に平坦化ローラ16によって集積された余剰粉体が落下する。粉体落下口13に落下した余剰粉体は、作業者によって、造形台6の上方に位置する粉体供給部15図1、図3、および図4参照内に戻される。しかし、立体造形装置1は、粉体落下口13に落下した余剰粉体を吸引等によって回収し、粉体供給部15に自動的に戻してもよい。造形台6の内部構造の詳細については後述する。粉体供給部15について説明する。図3および図4に示すように、粉体供給部15は、上方へ向けて徐々に前後方向の幅が広がる箱状に形成されており、内部に立体造形粉体を収容する。粉体供給部15は、造形台6の上方に位置するように、粉体回収部23図1参照の左側面に固定されている。粉体供給部15の下面には、左右方向を長手方向とする開口である供給口図示せずが形成されている。供給口は、ステージ11上の左右方向に線状に延びる全領域に立体造形粉体を供給できるように、ステージ11の左右方向の幅以上の幅に形成されている。供給口には、供給口を開閉するシャッター図示せずが設けられている。立体造形装置1は、粉体供給モータ44図8参照によってシャッターの開閉を制御することで、ステージ11上に立体造形粉体を供給する。平坦化ローラ16について説明する。平坦化ローラ16は、ステージ11上に供給された立体造形粉体の上面を平坦化して粉体層を形成するために設けられる。図3および図4に示すように、平坦化ローラ16の回転軸17は、ステージ11の上面と平行な状態で、造形台6の移動方向と交差する方向左右方向に延びる。回転軸17は、粉体回収部23図1参照に配置されたローラ回転モータ43図8参照に接続している。ローラ回転モータ43が駆動すると、平坦化ローラ16は、図4に示す矢印方向右側面視反時計回りの方向に回転する。立体造形装置1は、粉体層を形成する場合、粉体供給部15のシャッターを開放させた状態で、平坦化ローラ16を回転させながら造形台6を後方から前方へY軸の負の方向へ移動させる。その結果、ステージ11図2参照に載置された立体造形粉体の上面は、平坦化ローラ16によって平坦化される。平坦化ローラ16の背面側に集積した余剰粉体は、造形台6の背面側に形成された粉体落下口13に落下する。図3および図4に示すように、粉体供給部15の正面には板状のブレード18が固定されている。ブレード18は、平坦化ローラ16に付着した立体造形粉体を除去するために設けられる。ブレード18は、粉体供給部15の正面の壁面から前方斜め下方へ延び、平坦化ローラ16の背面側に隙間無く接触している。図4に示すように、平坦化ローラ16のうち、ブレード18が接触する位置Pは、回転軸17の高さH以下の高さに調整されている。従って、立体造形粉体は、ブレード18と平坦化ローラ16との間に堆積することなく、平坦化ローラ16の表面から容易に剥がれ落ちる。さらに、ブレード18の板面は、平坦化ローラ16の正面側の空間と背面側の空間との間を遮断する。従って、ブレード18は、平坦化ローラ16の背面側の立体造形粉体が正面側に飛散することを防止することができる。よって、平坦化ローラ16によって形成された粉体層の上面は平坦に保たれる。飛散した立体造形粉体がヘッド20に付着する可能性も低下する。ヘッド20について説明する。図示しないが、ヘッド20は、シアンヘッド、マゼンタヘッド、イエローヘッド、ブラックヘッド、およびクリアヘッドを備える。立体造形装置1の左胴部25図1参照の内部には、シアン造形液、マゼンタ造形液、イエロー造形液、ブラック造形液、およびクリア造形液の各々を収容した複数のタンクが装着されている。ヘッド20が備える各色のヘッドの各々は、可撓性を有するチューブ図示せずによって、対応する色の造形液を収容したタンクに接続されている。ヘッド20は、CPU30図8参照の制御によって、各色の造形液を粉体層に吐出する。なお、吐出する造形液の種類は変更できる。例えば、シアンヘッド、マゼンタヘッド、イエローヘッド、およびクリアヘッドによって、4種類の造形液を吐出してもよい。この場合、シアン、マゼンタ、およびイエローを混色させて黒色を再現する。4種類の液体を吐出するヘッドは、シアン、マゼンタ、イエロー、およびブラックのインクを吐出する通常の印刷装置で一般に用いられている。通常の印刷装置のヘッドのうち、ブラックのインクを吐出するヘッドをクリア造形液用に用いれば、印刷装置のヘッドを立体造形装置1にそのまま転用することができる。図1に示すように、造形台6の上方、且つ粉体供給部15の前方には、ヘッド20の左右方向の移動を案内するためのガイドレール21が設けられている。ガイドレール21は、立体造形装置1の左胴部25の右側面から右方へ真っ直ぐに水平に延び、粉体回収部23の左側面に接続する。ガイドレール21は、ヘッド20を左右方向に貫通しており、ヘッド20はガイドレール21に沿って左右に移動できる。立体造形装置1の左胴部25には、ヘッド20を移動させるためのヘッド移動モータ45図8参照が設けられている。ヘッド移動モータ45が駆動すると、キャリッジベルト図示せずを介して動力がヘッド20に伝わり、ヘッド20が左右方向X軸方向に移動する。ヘッドクリーニング機構22は、ヘッド20の下方のノズル面をワイプ拭き取りし、また、密着し、ノズルに各色の造形液が達するまで吸引を行う。また、ヘッドクリーニング機構22は、造形液の吐出が行われない場合にヘッド20のノズル面を覆い、造形液が乾燥することを防止する。粉体回収部23は、図1に示すように、造形台6と右胴部26との間に配置される。粉体回収部23は、造形台6のステージ保持部10図2参照内の未硬化粉体を吸引するための粉体吸引ポンプ48図8参照を備える。粉体吸引ポンプ48が吸引を開始すると、ステージ保持部10内の未硬化粉体は、回収路12図2および図4参照および粉体回収部23を通じて、粉体供給部15に戻される。なお、立体造形装置1の右胴部26の正面には操作パネル27が設けられている。操作パネル27は、各種操作キーと表示部とを有する。作業者は、表示部を見ながら操作キーを操作することで、立体造形装置1に対する操作指示を入力する。図5から図7を参照して、造形台6の内部構造について説明する。まず、ステージ11の詳細な構造について説明する。ステージ11は、上部ステージ51および下部ステージ52を備える。上部ステージ51は矩形板状の部材であり、水平に配置される。上部ステージ51には、厚み方向に貫通する孔71図2参照が複数設けられている。下部ステージ52は、上部ステージ51と略同一形状の板状部材であり、且つ、上部ステージ51の厚みよりも薄く形成されている。下部ステージ52は、上部ステージ51の下方において、上部ステージ51と平行に配置される。下部ステージ52にも、上部ステージ51と同様に複数の孔72図7参照が設けられている。しかし、平面視において、上部ステージ51に設けられた孔71の位置と、下部ステージ52に設けられた孔72の位置とが重複しないように、上部ステージ51および下部ステージ52が形成されている。従って、上部ステージ51に立体造形粉体が載置されると、孔71が設けられていない位置では、上部ステージ51の上面に立体造形粉体が堆積する。孔71が設けられている位置では、立体造形粉体は孔71から下部ステージ52に落下する。しかし、落下地点には下部ステージ52の孔72は形成されていない。よって、上部ステージ51から落下した立体造形粉体は、下部ステージ52の上面に堆積する。その結果、ステージ11上に立体造形粉体が堆積する。下部ステージ52には、下部ステージ52と上部ステージ51との間に位置する立体造形粉体の重さが僅かに加わる程度である。従って、下部ステージ52は、積層される粉体層の重さが加わる上部ステージ51に比べて、薄く形成することができる。詳細は後述するが、立体造形物の造形が完了すると、立体造形装置1はステージ11を振動させる。ステージ11が振動すると、下部ステージ52と上部ステージ51との間に位置する未硬化粉体は、下部ステージ52の孔72から受け皿53に落下する。これに伴い、上部ステージ51上に堆積していた未硬化粉体は、孔71から下部ステージ52に落下し、さらに下部ステージ52の孔72から受け皿53に落下する。未硬化粉体を回収する機構、および、ステージ11を昇降させる機構について説明する。受け皿53は、下部ステージ52の全体の下部を覆うように、平面視略矩形状に形成されている。受け皿53の右端部近傍における前後方向略中心には、下部ステージ52から落下した未硬化粉体を回収路12に導く誘導口55が形成されている。受け皿53は、誘導口55に近づく程高さが低くなるように傾斜している。従って、受け皿53が振動すると、未硬化粉体は誘導口55に向かって移動する。受け皿53の中心下部にはボールねじ57が接続している。ボールねじ57は、受け皿53から鉛直下方へ延び、ナット図示せずに装着されている。造形台6の下部には、ボールねじ57を回転させるためのステップモータであるステージ昇降モータ42図8参照が設けられている。ステージ昇降モータ42が駆動すると、ボールねじ57が回転して昇降し、ボールねじ57に接続している受け皿53が昇降する。その結果、受け皿53によって支持されているステージ11が昇降する。受け皿53の誘導口55の鉛直下方には、回収路12の入口である回収口65が配置されている。回収口65は、未硬化粉体が振動によって集積される部位である。枠部9の内周面のうち、回収口65よりもやや高い位置に、内側に突出する接触部67が設けられている。本実施形態の接触部67は、下降した受け皿53の下部に接触してステージ11の昇降経路の下端を遮断するように、矩形環状に形成されている。接触部67の左部の内側には、ステージ11が昇降範囲の下端に位置しているか否かを検出するためのステージ位置検出センサ36が設置されている。本実施形態のステージ位置検出センサ36は周知の光学センサであるが、ステージ11の下降による押圧によって機械的に近接を検知したりする近接スイッチ等の他のセンサやスイッチを用いることも可能である。図5に示すように、立体造形装置1は、立体造形物を造形する場合、回収口65よりも高い位置にステージ11を位置させる。詳細には、立体造形装置1は、昇降範囲の上端からステージ11を徐々に下降させながら立体造形物を造形する。立体造形装置1は、立体造形物の造形が完了すると、ステージ11を昇降範囲の下端まで下降させる。図6に示すように、ステージ11が昇降範囲の下端に達すると、受け皿53の外周縁部が、枠部9に形成された接触部67に接触衝突する。その結果、ステージ11に衝撃が加えられて、ステージ11は振動する。さらに、立体造形装置1は、ステージ11が昇降範囲の下端に達すると、後述するピエゾ素子60の駆動を開始する。ピエゾ素子60は、ステージ11、受け皿53、枠部9、および回収口65に高周波振動を加えることができる。その結果、未硬化粉体は、誘導口55から直下の回収口65を経て回収路12に円滑に流れ込む。ピエゾ素子60について説明する。ピエゾ素子圧電素子60は、圧電体によって電圧と力学的な力を相互に変換する受動素子である。本発明には、振動を発生させる種々のピエゾ素子60を用いることができる。本実施形態で用いるピエゾ素子60は振動板を備え、電圧が印加されることで振動を発生させる。立体造形装置1は、複数のピエゾ素子60によってステージ11等を振動させることで、未硬化粉体を回収する。ピエゾ素子60の配置位置について説明する。図5および図6に示すように、立体造形装置1は、ステージ11の下部にピエゾ素子60ピエゾ素子60A,60Bを備える。ステージ11の下部は粉詰まりが生じる場所である。立体造形装置1は、粉詰まりが生じるステージ11の下部にピエゾ素子60を直接配置することで、ピエゾ素子60の振動を効率よくステージ11に伝えて未硬化粉体を回収することができる。詳細には、立体造形装置1は、下部ステージ52に複数のピエゾ素子60を備える。前述したように、下部ステージ52は上部ステージ51よりも薄く形成されている。従って、立体造形装置1は、薄い下部ステージ52にピエゾ素子60を備えることで、ピエゾ素子60の振動を効率よく伝播させることができる。図7に示すように、立体造形装置1は、下部ステージ52の底面に配置する6つのピエゾ素子60のうちの4つを、下部ステージ52の右側中央部に集中させている。図5および図6に示すように、下部ステージ52の右側中央部の直下には誘導口55が位置する。図7に示すように、立体造形装置1は、誘導口55の直上の位置Wの周囲を取り囲むように、4つのピエゾ素子60Aを配置する。誘導口55には未硬化粉体が集積されるため、誘導口55の近傍では他の部位に比べて粉詰まりが生じやすい。立体造形装置1は、粉詰まりが生じやすい部位に多くのピエゾ素子60Aを配置することで、粉詰まりが生じる可能性を低下させることができる。図7に示すように、立体造形装置1は、誘導口55から離間した位置下部ステージ52の左側の底面に、2つのピエゾ素子60Bを配置している。詳細は後述するが、立体造形装置1は、誘導口55の近傍のピエゾ素子60Aの駆動を開始し、所定時間経過した後に、誘導口55から離間しているピエゾ素子60Bの駆動を開始する。その結果、大量の未硬化粉体が短時間で誘導口55に集積される可能性は低下する。よって、粉詰まりが生じる可能性はさらに低下する。図5および図6に示すように、立体造形装置1は、受け皿53の底面にピエゾ素子60Cを配置する。ピエゾ素子60Cは、受け皿53に振動を加えることで、受け皿53に落下した未硬化粉体を円滑に誘導口55に移動させることができる。また、立体造形装置1は、回収路12の回収口65にピエゾ素子60Dを備える。回収口65は、誘導口55と同様に未硬化粉体が集積される位置であり、粉詰まりが生じやすい。ピエゾ素子60Dは、回収口65に振動を加えることで、回収口65に粉詰まりが生じる可能性を低下させることができる。図5および図6に示すように、立体造形装置1は、ステージ11の側面に接する枠部9に複数本実施形態では2つのピエゾ素子60Eを備える。ピエゾ素子60Eは、ステージ11に側面から振動を伝えることができ、効果的にステージ11を振動させることができる。また、ピエゾ素子60Eは、枠部9も振動させることができるため、枠部9に付着した未硬化粉体も容易に回収することができる。図6に示すように、ピエゾ素子60Eの高さは、昇降範囲の下端に位置した場合のステージ11の高さに等しい。よって、立体造形装置1は、未硬化粉体の回収中に、ピエゾ素子60Eの振動を効率よくステージ11に加えることができる。図8を参照して、立体造形装置1の電気的構成について説明する。立体造形装置1は、立体造形装置1の制御を司るCPU30を備える。CPU30には、RAM31、ROM32、モータ駆動部33、ピエゾ駆動部34、ヘッド駆動部35、ヘッドクリーニング機構22、粉体吸引ポンプ48、ステージ位置検出センサ36、操作パネル27、および外部通信I/F37が、バス39を介して接続されている。RAM31には、PC100から受信した立体造形データ等の各種データが一時的に記憶される。ROM32には、立体造形装置1の動作を制御するための制御プログラム、初期値等が記憶されている。モータ駆動部33は、造形台前後動モータ41、ステージ昇降モータ42、ローラ回転モータ43、粉体供給モータ44、およびヘッド移動モータ45の各々の動作を制御する。ピエゾ駆動部34は、複数のピエゾ素子60の各々に印加する駆動信号電圧および周波数を制御する。ヘッド駆動部35はヘッド20に接続しており、ヘッド20の各吐出チャンネルに設けられた圧電素子を駆動する。外部通信I/F37は、立体造形装置1をPC100等の外部機器に接続する。なお、立体造形装置1は、USBインタフェース、インターネット等を介して、他のデバイス例えば、USBメモリ、サーバ等からデータを取得することも可能である。図9および図10を参照して、立体造形装置1が実行する立体造形処理について説明する。前述したように、立体造形装置1のROM32には、立体造形装置1の動作を制御するための制御プログラムが記憶されている。立体造形装置1のCPU30は、造形の開始指示を入力すると、制御プログラムに従って、図9に示す立体造形処理を実行する。まず、初期化処理が実行されるS1。初期化処理では、ヘッドクリーニング機構22によって、ヘッド20の下面がワイプされ、また、ノズルに造形液が達するまで吸引が行われる。吸引によって、ヘッド20が造形液を吐出できる状態となる。また、RAM31に記憶されているデータが一旦消去される。立体造形物を造形するための立体造形データがRAM31に記憶されているか否かが判断されるS2。PC100から立体造形データを受信しておらず、RAM31に立体造形データが記憶されていない場合にはS2:NO、S2の判断が繰り返される。立体造形データが存在する場合S2:YES、立体造形データのうち最小のZ座標の値が、Z座標の座標位置に設定される。設定された座標位置Zにおける立体造形データが読み出されるS4。次いで、粉末供給平坦化処理が行われるS5。詳細には、ステージ11の上面の高さが、形成する粉体層の厚み分だけ造形台6の上端のよりも低い位置に調整される。粉体供給モータ44が駆動されて、ステージ11上への立体造形粉体の供給が開始される。ローラ回転モータ43による平坦化ローラ16の回転が開始される。造形台前後動モータ41が駆動されて、造形台6が後方から前方へ移動される。その結果、立体造形粉体の上面が平坦化されて、粉体層が形成される。粉体層の厚み積層ピッチは、造形台6の上端とステージ11の上面との間の距離に等しくなる。粉体層が形成されると、造形台前後動モータ41およびヘッド移動モータ45が駆動されて、ヘッド20が成形領域の初期位置に相対移動されるS6。設定された座標位置Zにおける立体造形データに応じて、ヘッド20の相対移動および吐出制御が実行され、立体造形データに応じた位置に各色の造形液が吐出されるS7。造形液が吐出された部位では、立体造形粉体に含まれる接着剤が溶解し、溶解した接着剤同士が結合する。その結果、立体造形物の層以下、造形層という。が形成される。造形が完了したか否かが判断されるS9。完了していなければS9:NO、次の層前回処理した層の1つ上の層のZ座標の値に座標位置が変更されるS11。処理はS4へ戻り、次の層の立体造形データが読み出されるS4。次の層の厚み分だけステージ11が下降され、粉体層が積層されるS5。造形液が吐出されて、造形層が積層されるS6、S7。造形が完了するとS9:YES、未硬化粉体回収処理が行われてS12、立体造形処理は終了する。図10を参照して、未硬化粉体回収処理について説明する。まず、ステージ昇降モータ42が駆動され、ステージ11の下降が開始されるS21。ステージ位置検出センサ36図5、図6、および図8参照の検出結果から、ステージ11が昇降範囲の下端に到達したか否かが判断されるS22。下端に到達していなければS22:NO、S22の判断が繰り返される。ステージ11が昇降範囲の下端に到達したと判断されるとS22:YES、粉体吸引ポンプ48図8参照による未硬化粉体の吸引が開始されるS23。回収路12の回収口65に配置したピエゾ素子60D図5および図6参照と、受け皿53に配置したピエゾ素子60C図5および図6参照とに駆動信号が印加され、振動が開始されるS25。誘導口55の近傍のピエゾ素子60A図5から図7参照の振動が開始されるS26。ここで、CPU30は、誘導口55の近傍のピエゾ素子60Aに対し、他のピエゾ素子60に印加する電圧よりも高い電圧を印加する。これにより、粉詰まりが生じやすい誘導口55の近傍に強い振動を加えて、効率よく未硬化粉体を回収することができる。誘導口55の近傍のピエゾ素子60Aの振動を開始してから所定時間が経過したか否かが判断されるS28。所定時間が経過するまでS28:NO、S28の判断が繰り返される。所定時間が経過するとS28:YES、誘導口55から離間しているピエゾ素子60B図5から図7参照の振動が開始されるS29。枠部9のピエゾ素子60E図5および図6参照の振動が開始されるS30。立体造形装置1は、誘導口55回収口65から離間した位置を、誘導口55の近傍よりも後に振動させることで、誘導口55に短時間で未硬化粉体が集積されることを防止することができる。次いで、複数のピエゾ素子60が振動している状態で、昇降範囲の下端部分においてステージ11の昇降が繰り返されるS31。これにより、立体造形装置1は、往復昇降による低周波振動をステージ11に加えることができる。一定の周波数の振動を加えるだけでは、未硬化粉体を回収する際に、未硬化粉体を十分にステージ11から落下させることができず、粉詰まりが生じる可能性も高くなる。立体造形装置1は、ピエゾ素子60による高周波振動に加えて低周波振動を加えることで、円滑に未硬化粉体を回収することができる。立体造形装置1は、立体造形に必要なステージ11の昇降手段ステージ昇降モータ42を利用して低周波振動を加えることができ、低周波振動を加えるための別の機構を備える必要が無い。さらに、立体造形装置1は、ステージ11を下降させて接触部67図5および図6参照に接触させることで、ステージ11にパルス波を加えることができる。よって、立体造形装置1は、簡易な構成で確実に複数種類の振動をステージ11に加えることができ、未硬化粉体を円滑に回収することができる。ステージ11に振動が所定時間加えられると、ピエゾ素子60の駆動およびステージ11の昇降動作が停止されて、未硬化粉体回収処理は終了する。S25、S26、S29、S30において、CPU30は、ピエゾ素子60に印加する駆動信号を制御することで、100Hz以上の高い周波数例えば、100Hz~1kHzの範囲で各ピエゾ素子60を振動させる。つまり、立体造形装置1は、モータによって加えることができない高周波振動をステージ11等に加えることができる。CPU30は、各ピエゾ素子60の振動周波数を、100Hz~1kHzの範囲で周期的に変化させる。その結果、様々な周波数の振動がステージ11等に加わり、円滑に未硬化粉体が回収される。なお、ピエゾ素子60の振動周波数が100Hz~1kHzの範囲に限定されず、適宜設定できることは言うまでもない。例えば、ピエゾ素子60の周波数の範囲に、100Hzより低い周波数が含まれていてもよい。以上説明したように、本実施形態に係る立体造形装置1は、ピエゾ素子60でステージ11を振動させることで、未硬化粉体をステージ11から落下させる。ピエゾ素子60の振動波形は、印加する駆動信号に応じて変化する。従って、立体造形装置1は、ステージ11に加える振動の波形を容易に制御して効率よく未硬化粉体を回収することができる。また、ステージ11に振動モータを装着すると、ステージ11の昇降精度の悪化、ステージ11の傾き等が、振動モータの重さによって引き起こされる可能性がある。一方で、本実施形態の立体造形装置1は、重さが振動モータよりも大幅に小さいピエゾ素子60を、ステージ11等に装着する。従って、立体造形装置1は、ステージ11の傾きの発生および昇降精度の悪化を防止しつつ、ステージ11を効率よく十分に振動させることができる。ステージ11等に低周波振動のみを加えると、立体造形粉体が圧縮されて固まる現象所謂圧粉が生じ、粉詰まりを引き起こす可能性がある。振動モータによって発生させることができる振動の周波数は、約100Hz以下である。立体造形装置1は、ピエゾ素子60によって100Hz以上の高周波振動をステージ11等に加えることで、粉詰まりが生じる可能性を低下させることができる。さらに、立体造形装置1は、ステージ11を昇降させることで、高周波振動に加えて低周波振動もステージ11等に加えることができる。よって、周波数が異なる複数の振動をステージ11等に加えることができ、円滑に未硬化粉体を回収できる。立体造形装置1は、複数のピエゾ素子60を複数の位置に配置する。つまり、立体造形装置1は、立体造形粉体の落下のし難さ、振動の伝わり難さ、粉詰まりの生じ易さ等に応じた適切な位置にピエゾ素子60を配置することができる。よって、立体造形装置1は、より効率よく未硬化粉体を回収することができる。さらに、立体造形装置1は、複数のピエゾ素子60を用いることで、それぞれの位置に適した駆動信号を、複数のピエゾ素子60の各々に印加することができる。よって、立体造形装置1は、振動の大きさ、周波数、振動を開始するタイミング等を位置に応じて変えることができ、効率よくステージ11等を振動させることができる。立体造形装置1は、粉詰まりが生じる場所であるステージ11の下部にピエゾ素子60を直接配置することで、振動を効率よくステージ11に伝えて未硬化粉体を回収することができる。詳細には、立体造形装置1は、上部ステージ51よりも薄く形成された下部ステージ52にピエゾ素子60を配置する。下部ステージ52にかかる立体造形粉体の重量は、上部ステージ51にかかる重量よりも小さい。よって、下部ステージ52は、上部ステージ51よりも薄く形成しても、立体造形粉体の重量に耐え得る。立体造形装置1は、薄い下部ステージ52にピエゾ素子60を配置することで、ピエゾ素子60の振動を効率よく伝播させることができる。立体造形装置1は、ステージ11の昇降範囲の外周を取り囲む枠部9にピエゾ素子60を配置する。従って、立体造形装置1は、ステージ11に側面から振動を伝えることができ、効果的にステージ11を振動させることができる。立体造形装置1は、枠部9も振動させることができるので、枠部9に付着した未硬化粉体も容易に回収することができる。また、立体造形装置1は、ステージ11が昇降範囲の下端に到達した際に、粉体吸引ポンプ48の駆動を開始する。つまり、CPU30は、ステージ11に振動が加えられるタイミングで、粉体吸引ポンプ48による吸引を開始する。ステージ11を振動させずに粉体吸引ポンプ48のみを駆動すると、回収路12等に粉詰まりが生じやすい。また、ステージ11のみを振動させて、回収路12の回収口65図5および図6参照に大量の未硬化粉体が集積されると、その後に吸引を開始しても十分に吸引できない可能性がある。立体造形装置1は、ステージ11に振動が加えられるタイミングで吸引を開始することで、粉詰まりが生じる可能性を低下させて円滑に未硬化粉体を回収することができる。上記実施形態において、ステージ昇降モータ42が本発明の昇降手段に相当する。図10のS25、S26、S29、S30でピエゾ素子60に印加する駆動信号を制御するCPU30が、本発明の振動制御手段として機能する。本発明は上記実施形態に限定されることはなく、様々な変形が可能であることは言うまでもない。図11を参照し、上記実施形態の変形例について説明する。上記実施形態では、ステージ11の昇降経路に固定された接触部67は、昇降経路の下端を遮断する形状に形成されている図5および図6参照。一方で、図11に示す変形例では、造形台6図2参照の枠部9の内側面に、内側へ突出する複数の接触部70が設けられている。ステージ11の上部ステージ51の外周縁部には、外側へ突出する凸部56が形成されている。ステージ11が昇降すると、変形例の接触部70はステージ11の凸部56に接触するが、ステージ11の昇降経路を遮断することはない。従って、ステージ11が昇降すると、ステージ11の凸部56は複数の接触部70に連続して接触する。その結果、ステージ11には、ピエゾ素子60による振動よりも周波数が低い低周波振動が加えられる。以上のように、接触部の形状、個数、位置は適宜変更することができる。接触部の形状、個数、位置を変更することで、ステージ11に加える振動の態様を調整し、効率よく未硬化粉体を回収することができる。上記実施形態はその他の変更も可能である。まず、ピエゾ素子60の配置位置、配置個数を適宜変更できることは言うまでもない。例えば、ステージ11のうち、造形される立体造形物の直下では、粉詰まりが生じやすい。従って、ステージ11のうち、立体造形物の造形を行う位置をあらかじめ固定しておき、造形を行う位置の直下に多くのピエゾ素子60を集中して配置してもよい。この場合、立体造形物の直下で生じる粉詰まりを防止して、未硬化粉体を円滑に回収することができる。また、上記実施形態のように、立体造形装置1は複数のピエゾ素子60を備えることが望ましい。しかし、ピエゾ素子60の数を1つにすることも可能である。この場合、最適な1つの箇所にピエゾ素子60を配置し、印加する駆動振動を適宜制御して未硬化粉体を回収すればよい。立体造形装置1は、複数のピエゾ素子60を備えた場合、それぞれのピエゾ素子60の振動周波数を配置位置に応じて変化させてもよい。例えば、それぞれの位置に最適な振動周波数を実験等によってあらかじめ割り出しておき、割り出された振動周波数でそれぞれの位置のピエゾ素子60を駆動するとよい。この場合、立体造形装置1は、未硬化粉体を回収するための最適な振動をステージ11等に加えることができる。上記実施形態の立体造形装置1は、粉体吸引ポンプ48による吸引を行うことで未硬化粉体を回収する。しかし、未硬化粉体を回収する方法も変更できる。例えば、上面が傾斜したトレーをステージ11の下方に配置し、トレーの傾斜部の下端に設けられた回収口によって未硬化粉体を回収してもよい。つまり、吸引を用いずに未硬化粉体を回収する場合でも、本発明は適用できる。また、ステージ11の下部の全てを覆う回収口を用いてもよい。この場合、下部ステージ52の孔72から落下した未硬化粉体の全てが、回収口に直接落下する。上記実施形態の立体造形装置1は、各ピエゾ素子60の振動周波数を周期的に変化させる。しかし、一定の周波数でピエゾ素子60を駆動してもよい。また、ピエゾ素子60による振動と、ステージ11の昇降による振動とを別々にステージ11に加えてもよい。例えば、立体造形装置1は、ステージ11を停止させたままピエゾ素子60の高周波振動を加える。その後、ピエゾ素子60の振動を停止させて、ステージ11の昇降による低周波振動を加える。この場合、立体造形装置1は、高周波振動と低周波振動とを別々にステージ11に加えて未硬化粉体を回収することができる。上記実施形態の接触部67は、ステージ11の昇降範囲の下端を遮断する形状であればよい。つまり、ステージ11に接触または係止することでステージ11の下方への移動を規制する形状であればよい。よって、接触部67の形状は矩形環状に限られず、凸状の部材、棒状等の形状に形成してもよい。同様に、変形例に係る接触部70図11参照の形状も凸状に限られず、環状、棒状等であってもよい。上記実施形態では、ステージ11が昇降範囲の下端に到達すると、ピエゾ素子60の振動が開始する。従って、立体造形装置1は、ステージ11が昇降範囲の下端に到達したタイミングで、粉体吸引ポンプ48による吸引を開始し、粉詰まり等を防止する。しかし、吸引を開始するタイミングは変更することができる。例えば、粉体吸引ポンプ48に駆動開始の信号を出力してから、実際に吸引が開始されるまでに、所定の遅延時間が生じる場合がある。この場合、立体造形装置1は、ステージ11の振動が開始するタイミングを予測し、予測したタイミングよりも所定の遅延時間だけ前に、駆動開始の信号を粉体吸引ポンプ48に出力するとよい。また、図11に示す変形例の接触部70が、昇降範囲の下端よりも上方に位置する場合には、ステージ11が昇降範囲の下端に到達する前にステージ11が振動する。この場合、立体造形装置1は、ステージ11が接触部70に接触するタイミングで吸引を開始してもよい。また、ステージ11の振動開始のタイミングと吸引開始のタイミングは全く同時でなくてもよく、多少ずれていてもよい。立体造形装置1の他の構成も適宜変更できる。例えば、ステージ11上の立体造形粉体を平坦化して粉体層を形成する場合、平坦化ローラ16とステージ11が相対的に移動すればよい。従って、立体造形装置1は、造形台6を固定した状態で平坦化ローラ16を移動させてもよい。同様に、ヘッド20から造形液を吐出する場合、立体造形装置1は、ヘッド20を固定したまま造形台6を左右方向X軸方向に移動させてもよい。また、スキージ棒、板等を平坦化ローラ16の代わりに用いても、立体造形粉体を平坦化することができる。また、本発明は、未硬化粉体の回収以外の目的でステージ11を振動させる場合にも適用できる。例えば、粉体層における粉同士の隙間を埋めるためにステージ11を振動させる場合でも、本発明は適用できる。"