回転軸に外挿されて該回転軸を支持するラジアルフォイル軸受であって、前記回転軸に対向して配置される円筒状のトップフォイルと、前記トップフォイルの径方向外側に配置されるバックフォイルと、前記トップフォイル及び前記バックフォイルを内挿した状態に収容する円筒状の軸受ハウジングと、を備え、前記軸受ハウジングの内周面には、その軸方向に沿って係合溝が形成され、前記トップフォイルは、矩形状で、一方の辺側に凸部と凹部とを有してなる第1の凹凸部を有し、前記一方の辺と反対の他方の辺側に、前記第1の凹凸部の凸部に対応する位置に凹部を形成し、かつ前記第1の凹凸部の凹部に対応する位置の少なくとも一部に凸部を形成する第2の凹凸部を有する金属箔が、前記第1の凹凸部と前記第2の凹凸部とが重なるように円筒状に巻かれるとともに、前記第1の凹凸部および前記第2の凹凸部における各凸部が、それぞれ対応する前記第2の凹凸部および前記第1の凹凸部における各凹部を通って前記軸受ハウジング側に引き出されて形成され、前記軸受ハウジング側に引き出された凸部が、それぞれ対応する前記係合溝に係合していることを特徴とするラジアルフォイル軸受。前記トップフォイルには、前記一方の辺側と前記他方の辺側とに、これらの間の中央部に比べて薄厚な薄肉部が形成されていることを特徴とする請求項1記載のラジアルフォイル軸受。前記薄肉部は、その外周面が前記中央部の外周面より凹んだ状態に形成されていることを特徴とする請求項2記載のラジアルフォイル軸受。前記係合溝の少なくとも一つは、前記軸受ハウジングの軸方向の全長に渡って形成されることなく、その一部に形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のラジアルフォイル軸受。しかし、トップフォイルを溶接すると、入熱があるためトップフォイルに歪みが生じる可能性が高い。また、溶接に代えて機械的に固定を行うべく、トップフォイルの一端部止端部を曲げ加工したものも知られているが、その場合には、曲げ加工によってトップフォイルに歪みが生じてしまう。さらに、前記特許文献1では、トップフォイルの両端を止め壁に突き当てているため、トップフォイルにその両端部から中心部に向かう反力が加えられ、歪みが生じてしまう。ところが、回転軸の回転によって該回転軸とトップフォイルとの間に形成されるフォイル軸受の流体潤滑膜は、10μm前後と非常に薄いため、トップフォイルに少しでも歪みが生じると、軸受の負荷能力や動特性に影響が及び、設計通りの性能が得られなくなる。また、一端部をスポット溶接によって軸受ハウジングに固定する一般的なトップフォイルでは、その両端付近が軸受ハウジングの内周面を構成する曲面になじみ難く、平面に近い状態になる。すると、平面に近い当該部位では回転軸を締め付ける力局所的なプリロードが発生し、その結果、始動トルクが高くなったり、運転中の発熱が設定以上に高くなるなどの不都合が起こる。また、前記特許文献1では、前記反力によってトップフォイルに歪みが生じるため、トップフォイルが軸受ハウジングの内周面に沿って真円に近い形状になることなく、歪みによって部分的に平面部を有する角形に近い形状になってしまう。すると、平面部に近い部位が回転軸に対して強く当接することにより、回転軸を締め付ける力局所的なプリロードが発生し、始動トルクが高くなったり、運転中の発熱が設定以上に高くなってしまう。このような回転軸を締め付ける力局所的なプリロードを小さくするには、例えばトップフォイルの両端付近を支えているバンプフォイルバックフォイルの山を無くす方法が考えられる。しかし、バンプフォイルの山を無くすと、山を無くした部位における回転軸の支持剛性が大幅に下がるため、衝撃荷重などによって回転軸が当該部位に向かって動こうとしたときに抑制が効かず、回転軸に設けられたインペラなどの回転部分が静止部ハウジングと接触を起こす可能性が高まってしまう。また、当該部位における回転軸の支持剛性を下げ過ぎないようにするには、当該部位のバンプフォイルを1山のみ低くする方法が考えられる。しかし、低くする量が数十μmのオーダーと小さいため、その製作は極めて困難である。本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、トップフォイルに生じる歪みを充分に少なくし、軸受の負荷能力や動特性について設計通りの良好な性能が得られるようにした、ラジアルフォイル軸受を提供することを第1の目的とする。また、回転軸を締め付ける力局所的なプリロードが生じるのを防止した、ラジアルフォイル軸受を提供することを第2の目的とする。本発明のラジアルフォイル軸受は、回転軸に外挿されて該回転軸を支持するラジアルフォイル軸受であって、前記回転軸に対向して配置される円筒状のトップフォイルと、前記トップフォイルの径方向外側に配置されるバックフォイルと、前記トップフォイル及び前記バックフォイルを内挿した状態に収容する円筒状の軸受ハウジングと、を備え、前記軸受ハウジングの内周面には、その軸方向に沿って係合溝が形成され、前記トップフォイルは、矩形状で、一方の辺側に凸部と凹部とを有してなる第1の凹凸部を有し、前記一方の辺と反対の他方の辺側に、前記第1の凹凸部の凸部に対応する位置に凹部を形成し、かつ前記第1の凹凸部の凹部に対応する位置の少なくとも一部に凸部を形成する第2の凹凸部を有する金属箔が、前記第1の凹凸部と前記第2の凹凸部とが重なるように円筒状に巻かれるとともに、前記第1の凹凸部および前記第2の凹凸部における各凸部が、それぞれ対応する前記第2の凹凸部および前記第1の凹凸部における各凹部を通って前記軸受ハウジング側に引き出されて形成され、前記軸受ハウジング側に引き出された凸部が、それぞれ対応する前記係合溝に係合していることを特徴としている。このラジアルフォイル軸受にあっては、第1の凹凸部と第2の凹凸部とを有する金属箔を、前記第1の凹凸部と前記第2の凹凸部とが重なるようにして円筒状に巻き、各凹凸部の凸部をそれぞれ軸受ハウジング側に引き出し、これら引き出した凸部を、軸受ハウジングの内周面に形成した係合溝に係合させているので、トップフォイルに対してスポット溶接や曲げ加工を行うことなく、また、両端部から中心部に向かう強い反力を生じさせることなく、トップフォイルを軸受ハウジング内に収容固定することができる。したがって、トップフォイルに歪みが生じるのを防止し、トップフォイルの歪みを充分に少なくすることができる。また、前記ラジアルフォイル軸受において、前記トップフォイルには、前記一方の辺側と前記他方の辺側とに、これらの間の中央部に比べて薄厚な薄肉部が形成されていることが好ましい。このようにすれば、トップフォイルの両端部が弾性変形し易くなり、当該両端部において回転軸を締め付ける力局所的なプリロードが生じるのが抑制される。また、前記ラジアルフォイル軸受において、前記薄肉部は、その外周面が前記中央部の外周面より凹んだ状態に形成されていることが好ましい。このようにすれば、この薄肉部では、その外周面側を支持するバックフォイルとの間に隙間が形成され、したがって該薄肉部において回転軸を締め付ける力局所的なプリロードが生じるのが確実に防止される。また、前記ラジアルフォイル軸受において、前記係合溝の少なくとも一つは、前記軸受ハウジングの軸方向の全長に渡って形成されることなく、その一部に形成されていることが好ましい。このようにすれば、トップフォイルと軸受ハウジングとの間で軸方向のずれが生じた際にも、軸受ハウジングの軸方向の一部に形成されている係合溝に係合する凸部が、該係合溝の端部に規制されてその移動が停止させられることにより、それ以上のずれが防止される。したがって、トップフォイルが軸受ハウジングから脱落することが確実に防止される。本発明のラジアルフォイル軸受によれば、トップフォイルに歪みが生じるのを防止し、トップフォイルの歪みが充分に少なくなるようにしたので、軸受の負荷能力や動特性について、設計通りの良好な性能を得ることができる。以下、図面を参照して本発明のラジアルフォイル軸受を詳しく説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。図1は、本発明のラジアルフォイル軸受が適用されるターボ機械の一例を示す側面図であり、図1中符号1は回転軸、2は回転軸の先端部に設けられたインペラ、3は本発明に係るラジアルフォイル軸受である。なお、図1では省略してラジアルフォイル軸受を一つしか記載していないが、通常は回転軸1の軸方向にラジアルフォイル軸受が二つ設けられて、回転軸1の支持構造が構成される。したがって、本実施形態においてもラジアルフォイル軸受3が二つ設けられているものとする。回転軸1には、インペラ2が形成された側にスラストカラー4が固定されており、このスラストカラー4の両側には、このスラストカラー4に対向してそれぞれの側にスラスト軸受5が配置されている。また、インペラ2は静止側となるハウジング6内に配置されており、ハウジング6との間にチップクリアランス7を有している。また、回転軸1には、スラストカラー4より中央側に、ラジアルフォイル軸受3が外挿されている。図2a~dは、このような構成のターボ機械に適用されたラジアルフォイル軸受の第1実施形態を示す図である。この第1実施形態のラジアルフォイル軸受3は、図2aに示すように回転軸1に外挿されて該回転軸1を支持する円筒状のもので、回転軸1に対向して配置される円筒状のトップフォイル10と、該トップフォイル10の径方向外側に配置されるバックフォイル11と、該バックフォイル11の径方向外側に配置される軸受ハウジング12とを備えて構成されている。軸受ハウジング12は、ラジアルフォイル軸受3の最外部を構成する金属製で円筒状のもので、内部にバックフォイル11およびトップフォイル10を収容したものである。この軸受ハウジング12には、その内周面に、該軸受ハウジング12の軸方向に沿って複数の係合溝13が形成されている。すなわち、軸受ハウジング12の内周面を示す図2bに示すように、軸受ハウジング12の内周面には、該軸受ハウジング12の軸方向の全長に渡って第1係合溝13aが形成されている。また、第1係合溝13aの側方には、軸受ハウジング12の軸方向の全長に渡って形成されることなく、その一部のみに、第2係合溝13bが形成されている。本実施形態においては、第2係合溝13bは第1係合溝13aの側方の同一直線上に、二つ形成されている。これら第2係合溝13bのうちの一方は、軸受ハウジング12の一方の側端から中心側に向かって延びて形成されており、他方は、軸受ハウジング12の他方の側端から中心側に向かって延びて形成されている。したがって、これら第2係合溝13bは、軸受ハウジング12の中心側において互いに連通しておらず、これら係合溝13bの中心側には、該溝の中心側を塞ぐ土手部14が形成されている。なお、係合溝13a、13bの深さは、0.1mm~数mm程度とされる。図2aに示すようにバックフォイル11は、フォイル薄板で形成されてトップフォイル10を弾性的に支持するものである。このようなバックフォイル11としては、例えばバンプフォイルや、特開2006-57652号公報や特開2004-270904号公報などに記載されているスプリングフォイル、特開2009-299748号公報などに記載されているバックフォイルなどが用いられる。本実施形態では、バックフォイル11としてバンプフォイルを用いている。ただし、前記のスプリングフォイルやバックフォイルを、本発明のバックフォイルとして用いてもよいのはもちろんである。バンプフォイルバックフォイル11は、図2aに示すようにフォイル薄板が波板状に成形され、さらに軸受ハウジング12の内周面に沿って円筒状に形成配置されたものである。ただし、本実施形態においては、このバンプフォイル11はその両端部間を所定間隔あけた状態に配設されている。すなわち、このバンプフォイル11は、軸受ハウジング12の内周面上を、前記係合溝13、13上及びこれらの間を覆うことなく、その他の面上のみを覆って配置されている。また、波板状に成形されたバンプフォイル11は、ラジアルフォイル軸受3の周方向に沿って、軸受ハウジング12と接する谷部と、トップフォイル10に接する山部とを交互に形成している。これによってバンプフォイル11は、特にトップフォイル10に接する山部により、トップフォイル10を弾性的に支持している。また、ラジアルフォイル軸受3の軸方向に、山部や谷部による流体の通路を形成している。なお、このバンプフォイル11は、従来と同様に、スポット溶接等によって軸受ハウジング12に固定されている。トップフォイル10は、バックフォイルバンプフォイル11の内面に沿って円筒状に巻かれたもので、一方の端部側に形成された凸部15aと、他方の端部側に形成された凸部15bとが、それぞれ軸受ハウジング12に形成された前記係合溝13に係合するよう配設されたものである。このトップフォイル10は、その展開図である図2cに示すように、軸受周方向を長辺とし、軸受長方向を短辺とする矩形状の金属箔が、その側面図である図2d中の矢印方向長辺の長さ方向:軸受周方向に円筒状に巻かれて、形成されたものである。このトップフォイル10には、図2cに示したように、一方の辺側短辺側に一つの凸部15aと二つの凹部16aとを有してなる第1の凹凸部17aが形成され、前記一方の辺短辺と反対の他方の辺側短辺側に、二つの凸部15bと一つの凹部16bとを有してなる第2の凹凸部17bが形成されている。第2の凹凸部17bの凹部16bは第1の凹凸部17aの凸部15aに対応して形成され、第1の凹凸部17aの凹部16aは第2の凹凸部17bの凸部15bに対応して形成されている。すなわち、第2の凹凸部17bの凹部16bは、第1の凹凸部17aと第2の凹凸部17bとが重なるようにトップフォイル10を円筒状に巻いた際、該凹部16b内を凸部15aが通り抜けるように形成されている。同様に、第1の凹凸部17aの凹部16aは、トップフォイル10を円筒状に巻いた際、該凹部16a内を凸部15bがそれぞれ通り抜けるように形成されている。このようにして凹部16b、16aを通り抜けた凸部15a、15bは、図2aに示すようにそれぞれ軸受ハウジング12側に引き出され、その先端部が軸受ハウジング12の前記係合溝13に係合させられる。これにより、トップフォイル10はその周方向への移動が規制され、その移動量が僅かとなるように配設されている。すなわち、凸部15a、15bは、その先端が係合溝13の側壁面や底面に強く突き当てられることなく、近接する程度となるように配設される。したがって、回転軸1の定常運転時には、凸部15a、15bは係合溝13から大きな反力を受けないため、トップフォイル10は歪みを生じないようになっている。また、ラジアルフォイル軸受3に回転軸1の軸ぶれなどによる不測の外力が加わった際にも、トップフォイル10は軸受ハウジング12内を回転することなく、さらに、軸受ハウジング12と回転軸1との間から脱落しないようになっている。つまり、不測の外力が加わった際には、凸部15a、15bが係合溝13の側壁面や底面に係止することにより、これら凸部15a、15bが係合溝13から外れてしまうことがなく、したがってトップフォイル10が回転したり、過剰に変形して前記凸部15a、15bが凹部16b、16aから抜け出てしまい、トップフォイル10が軸受ハウジング12から脱落してしまうようなことが防止されている。また、図2b中二点鎖線で示すように、特に第2係合溝13bに係合する凸部15bは、第2係合溝13bによって軸方向中心側内側への移動が規制されている。すなわち、第2係合溝13bには、軸受ハウジング12の中心側に土手部14が形成されているため、トップフォイル10と軸受ハウジング12との間で軸方向のずれが生じた際にも、二つの凸部15bのいずれかが係合溝13bの土手部14に当接してこれに規制されるため、その移動が停止させられる。これにより、トップフォイル10は軸受ハウジング12から外に飛び出すことが防止されている。また、トップフォイル10は、図2dに示すように、第1の凹凸部17aを形成した側一方の辺側と第2の凹凸部17bを形成した側他方の辺側とに、これらの間の中央部に比べて薄厚薄肉な薄肉部18が形成されている。これら薄肉部18は、図2aに示すように、その外周面バンプフォイル11側の面が前記中央部の外周面より凹んだ状態となるよう、薄厚化薄肉化されて形成されている。薄肉部18を形成するには、例えばエッチング加工によってトップフォイル10の両端部を、十μmオーダーでコントロールして所望の厚さ薄さに形成する。具体的には、軸受径φ35mmとした場合、トップフォイル10の厚さを100μmとすると、薄肉部18の厚さは80μm程度となるようにする。なお、このようなエッチング加工では、曲げ加工などに比べてトップフォイル10に生じる応力が極めて小さく、したがってトップフォイル10に歪みが生じることもほとんどない。また、図2dに示す、薄肉部18の周方向の長さLは、図2aに示すように、周方向に隣り合う二つの係合溝13と、バンプフォイル11の端部の山一つ分までに対応する長さとされる。このようにトップフォイル10の両端部に薄肉部18を形成したことにより、これら両端部薄肉部18は弾性変形し易くなり、したがってこれら両端部は軸受ハウジング12の内周面を構成する曲面に倣って曲面となる。これにより、トップフォイル10は、その両端部においても回転軸1を締め付ける力局所的なプリロードがほとんど発生しないようになる。また、トップフォイル10の両端部の外周面を、前記中央部の外周面より凹んだ状態となるように薄厚化して薄肉部18を形成しているので、その外周面側を支持するバックフォイル11との間において、その端部の山一つ分との間に隙間が形成される。これにより、該薄肉部18においては、回転軸1を締め付ける力局所的なプリロードが生じるのが確実に防止される。なお、薄肉部18の周方向の長さLについては、図2aに示した例に代えて、周方向に隣り合う二つの係合溝13と、バンプフォイル11の端部の山三つ分ぐらいまでに対応する長さとしてもよい。次に、このような構成からなるラジアルフォイル軸受3の作用について説明する。回転軸1が停止した状態では、トップフォイル10はバックフォイル11によって回転軸1側に付勢されることで回転軸1に密着している。なお、本実施形態では、トップフォイル10の両端部が薄肉部18となっているので、これら薄肉部18では回転軸1を締め付ける力局所的なプリロードがほとんど生じないようになっている。そして、回転軸1を図2a中の矢印P方向に始動させると、最初は低速で回転を始め、その後徐々に加速して高速で回転する。すると、図2a中矢印Qで示すように、トップフォイル10の一端凸部15aとバンプフォイル11の一端との間から周囲流体が引き入れられ、トップフォイル10と回転軸1との間に流入する。これにより、トップフォイル10と回転軸1との間に流体潤滑膜が形成される。その際、流体潤滑膜が形成されるまでの過渡状態においては、回転軸1とトップフォイル10との間に固体摩擦が生じ、これが始動時の抵抗になる。しかし、前記したようにトップフォイル10の両端部でプリロードが生じなくなっていることや、周囲流体が流入する側のトップフォイル10が薄肉部18となっていて柔らかくなっており、トップフォイル10と回転軸1との間が開口し易くなっていることにより、回転軸1が始動すると早期に流体潤滑膜が形成され、回転軸1はトップフォイル10に対して非接触状態で回転するようになる。このようなラジアルフォイル軸受3にあっては、凹部16b、16aから引き出した凸部15a、15bを、軸受ハウジング12の内周面に形成した係合溝13に係合させているので、トップフォイル10に対してスポット溶接や曲げ加工を行うことなく、また、両端部から中心部に向かう強い反力を生じさせることなく、トップフォイル10を軸受ハウジング12内に収容固定することができる。したがって、トップフォイル10に歪みが生じるのを防止し、トップフォイル10の歪みを充分に少なくすることができるため、軸受の負荷能力や動特性について、設計通りの良好な性能を発揮させることができる。また、トップフォイル10については、単にエッチング加工による凹凸部17a、17bの形成が増えただけであり、従来のスポット溶接や、歪みを発生させる曲げ加工を無くすことができる。したがって、製作の難易度を低下させ、製造コストを低減化することができる。また、軸受ハウジング12に対するトップフォイル10の溶接が無いため、溶接不良などによる組立て不良や組立てのバラツキが無くなる。したがって、再現性が高くなり、量産性に優れたものとなる。また、従来のようにトップフォイルの一端側を軸受ハウジングにスポット溶接して止端とし、他端側を自由端としたタイプのものでは、回転軸を逆回転させた際、トップフォイルが回転軸に巻き付くおそれがある。これに対して本実施形態のラジアルフォイル軸受3は、図2aに示すようにほとんど左右対称となっているため、回転軸1の正回転にも逆回転にも共に対応して同等に機能するようになる。したがって、回転軸が逆回転する回転機械にも適用可能となる。また、トップフォイル10の両端部に薄肉部18を形成しているので、トップフォイル10は、前記したようにこれら両端部においても回転軸1を締め付ける力局所的なプリロードが発生しないようになる。したがって、プリロードによって始動トルクが高くなったり、運転中の発熱が設定以上に高くなることを防止することができる。また、トップフォイル10の両端部に薄肉部18を形成しているので、例えば従来のようにトップフォイルの両端部を軸受ハウジングの内曲面内周面になじませるための、熱処理工程が不要になる。さらに、トップフォイル10の両端部に薄肉部18を形成したことで、周囲流体が流入する側のトップフォイル10の端部側が柔らかくなっているため、前記したように周囲流体がトップフォイル10と回転軸1との間に流入し易くなる。したがって、より低い回転数で流体潤滑膜が形成されるようになり、始動性が向上する。次に、本発明のラジアルフォイル軸受の第2実施形態を説明する。図3a~dは、図1に示したターボ機械に適用されたラジアルフォイル軸受の第2実施形態を示す図であり、図3a中符号20はラジアルフォイル軸受である。このラジアルフォイル軸受20が図2aに示したラジアルフォイル軸受3と異なるところは、トップフォイルの形状、及びこれに対応する軸受ハウジングの係合溝の形状である。すなわち、本実施形態のラジアルフォイル軸受20のトップフォイル21は、図3cに示すように、一方の辺側短辺側に一つの凸部22aと一つの凹部23aとを有してなる第1の凹凸部24aが形成され、前記一方の辺短辺と反対の他方の辺側短辺側に、一つの凸部22bと一つの凹部23bとを有してなる第2の凹凸部24bが形成されている。第2の凹凸部24bの凹部23bは、第1の凹凸部24aの凸部22aに対応して形成され、第1の凹凸部24aの凹部23aは、第2の凹凸部24bの凸部22bに対応して形成されている。すなわち、第2の凹凸部24bの凹部23bは、第1の凹凸部24aと第2の凹凸部24bとが重なるようにトップフォイル21を円筒状に巻いた際、該凹部23b内を凸部22aが通り抜けるように形成されている。同様に、第1の凹凸部24aの凹部23aは、トップフォイル21を円筒状に巻いた際、該凹部23a内を凸部22bが通り抜けるように形成されている。なお、本実施形態では、凹部23b、23aの幅が、対応する凸部22a、22bの幅より充分広くなるように形成されている。また、軸受ハウジング25の内周面には、図3aに示すようにこのような凸部22a、22bの配置に対応して、係合溝26が形成されている。すなわち、軸受ハウジング25の内周面を示す図3bに示すように、軸受ハウジング25の内周面には、軸方向の全長に渡って形成されることなく、その一部にのみ形成された二つの係合溝26が形成されている。これら係合溝26のうちの一方は、軸受ハウジング12の一方の側端から中心側に向かって延びて形成されており、他方は、軸受ハウジング12の他方の側端から中心側に向かって延びて形成されている。ただし、これら係合溝26は、同一直線上に配置されることなく、所定間隔をあけた異なる直線上にそれぞれ配置されている。このような構成のラジアルフォイル軸受20にあっても、図2に示したラジアルフォイル軸受3と同様の作用効果を得ることができる。すなわち、凹部23b、23aから引き出した凸部22a、22bを、軸受ハウジング25の内周面に形成した係合溝26に係合させているので、トップフォイル21に対してスポット溶接や曲げ加工を行うことなく、また、両端部から中心部に向かう強い反力を生じさせることなく、トップフォイル21を軸受ハウジング21内に収容固定することができる。したがって、トップフォイル21に歪みが生じるのを防止し、トップフォイル21の歪みを充分に少なくすることができるため、軸受の負荷能力や動特性について、設計通りの良好な性能を発揮させることができる。また、トップフォイル21の両端部に薄肉部18を形成しているので、トップフォイル21は、前記したようにこれら両端部においても回転軸1を締め付ける力局所的なプリロードが発生しないようになる。したがって、プリロードによって始動トルクが高くなったり、運転中の発熱が設定以上に高くなることを防止することができる。また、図3b中二点鎖線で示すように、係合溝26に係合する凸部22a、22bの、軸方向中心側内側への移動を、係合溝26の土手部14によって規制しているので、トップフォイル21が軸受ハウジング25から外に飛び出すことを防止することができる。なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では第1の凹凸部、第2の凹凸部を、それぞれ一つ又は二つの凸部と凹部とによって形成したが、これら凸部と凹部の数については、三つ以上であってもよい。また、薄肉部18については、例えばその表裏両面をエッチング加工し、薄厚薄肉に形成してもよい。