"チタン原子、マグネシウム原子、ハロゲン原子、および一般式Iで表される内部電子供与体dを含むオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法であって、マグネシウム化合物bに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程Pを2回以上行うことを特徴とするオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。I[R1、R2、R3、R4は同一または異なってもよく、炭素原子数1~10のハイドロカルビル基であり、互いに結合していてもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。]マグネシウム化合物bがハロゲン化マグネシウムb-1である請求項1に記載のオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。マグネシウム化合物bがジアルコキシマグネシウムb-2である請求項1に記載のオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。チタン原子、マグネシウム原子、ハロゲン原子および上記一般式Iで表される内部電子供与体dを含むオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法であって、3価のチタン原子、マグネシウム原子、およびハイドロカルビルオキシ基を含有する固体成分cに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程Qを2回以上行うことを特徴とするオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。固体成分cが、Si-O結合を有するケイ素化合物c-1の存在下、一般式ivで表されるチタン化合物c-2を、有機マグネシウム化合物c-3で還元して得られる請求項4に記載のオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。iv[式中、mは1~20の整数を表し;R11は炭素原子数1~20のハイドロカルビル基を表し;X1はハロゲン原子または炭素原子数1~20のハイドロカルビルオキシ基をそれぞれ表し、複数のX1は同一または異なってもよい。]マグネシウム化合物bに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程Pを、チタン化合物aの存在下で行う請求項1~3のいずれかに記載のオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。固体成分cに対して内部電子供与体前駆体eを接触させた後に固液分離する工程Qをチタン化合物aの不存在下で行い、その後に、内部電子供与体dを接触させた後に固液分離する工程Qをチタン化合物aの存在下で行う請求項4または5に記載のオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。一般式IのR1およびR2が同一または異なってもよくメチル基、またはエチル基であり、かつ、R3およびR4が、それぞれ独立に炭素原子数2~6の直鎖状または分岐状アルキル基である請求項1~7のいずれかに記載のオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。内部電子供与体前駆体eが、内部電子供与体dの酸ハライドである請求項1~8のいずれかに記載のオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法。請求項1~9のいずれかに記載の製造方法によって製造されるオレフィン重合用固体触媒成分Aと、有機アルミニウム化合物Bとを接触させる工程からなるオレフィン重合用固体触媒の製造方法。請求項1~9のいずれかに記載の製造方法によって製造されるオレフィン重合用固体触媒成分Aと、有機アルミニウム化合物Bと、外部電子供与体Cとを接触させる工程からなるオレフィン重合用固体触媒の製造方法。請求項10または11に記載の製造方法によって製造されるオレフィン重合用固体触媒の存在下にオレフィンを重合させる工程からなるオレフィン重合体の製造方法。オレフィンが、炭素原子数3~20のα-オレフィンである請求項12記載のオレフィン重合体の製造方法。しかしながら、上記のオレフィン重合用触媒は重合活性と得られるオレフィン重合体のCXS成分の含量の観点から未だ満足できるものではない。本発明の課題は、十分に高い重合活性を示し、且つ、CXS成分の含量の少ない重合体を与えるオレフィン重合用固体触媒成分の製造方法、オレフィン重合用固体触媒およびオレフィン重合体の製造方法を提供することを目的とするものである。本発明は、チタン原子、マグネシウム原子、ハロゲン原子、および一般式Iで表される内部電子供与体dを含むオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法であって、マグネシウム化合物bに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程Pを2回以上行うことを特徴とするオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法である。I[R1、R2、R3、R4は同一または異なってもよく、炭素原子数1~10のハイドロカルビル基であり、互いに結合していてもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。]本発明はさらに、チタン原子、マグネシウム原子、ハロゲン原子および上記一般式Iで表される内部電子供与体dを含むオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法であって、3価のチタン原子、マグネシウム原子、およびハイドロカルビルオキシ基を含有する固体成分cに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程Qを2回以上行うことを特徴とするオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法である。本発明はさらにまた、上記のオレフィン重合用固体触媒成分A、有機アルミニウム化合物Bと、任意に外部電子供与体Cとを接触させる工程からなるオレフィン重合用固体触媒の製造方法である。本発明はさらにまた、上記の製造方法によって製造されるオレフィン重合用固体触媒の存在下にオレフィンを重合させる工程からなるオレフィン重合体の製造方法である。本発明によれば、十分に高い重合活性を示し、且つ、CXS成分の含量の少ない重合体を与えるオレフィン重合用固体触媒成分の製造方法、オレフィン重合用固体触媒の製造方法およびオレフィン重合体の製造方法が提供される。本発明の製造方法により製造されるオレフィン重合用固体触媒成分Aは、チタン原子、マグネシウム原子、ハロゲン原子、および一般式Iで表される内部電子供与体dを含むオレフィン重合用固体触媒成分Aである。I[R1、R2、R3、R4は同一または異なってもよく、炭素原子数1~10のハイドロカルビル基であり、互いに結合していてもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。]<一般式Iで表される内部電子供与体d>一般式IにおけるR1、R2、R3およびR4のハイドロカルビル基としては、アルキル基、アラルキル基、アリール基、アルケニル基等が例示でき、これらはハロゲン原子、ハイドロカルビルオキシ基、ニトロ基、スルホニル基、シリル基等で置換されていてもよい。具体的には、メチル基、エチル基、n-プロピル基、n-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-ヘプチル基、およびn-オクチル基のような直鎖状アルキル基;イソプロピル基、イソブチル基、tert-ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、イソアミル基、および2-エチルヘキシル基のような分岐状アルキル基;シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、およびシクロオクチル基のような環状アルキル基;ベンジル基およびフェネチル基のようなアラルキル基;フェニル基、トリル基、およびナフチル基のようなアリール基;ビニル基、アリル基、3-ブテニル基、および5-ヘキセニル基のような直鎖状アルケニル基;イソブテニル基、および4-メチル-3-ペンテニル基のような分岐状アルケニル基;2-シクロヘキセニル基、および3-シクロヘキセニル基のような環状アルケニル基を例示することができる。一般式IにおけるR1、およびR2のハイドロカルビル基として好ましくは、炭素原子数1~5の直鎖状または分岐状アルキル基であり、より好ましくは炭素数1~2のアルキル基であり、特に好ましくはエチル基である。また一般式IにおけるR3、およびR4のハイドロカルビル基として好ましくは、炭素原子数2~10の直鎖状または分岐状アルキル基であり、より好ましくは炭素数2~6の直鎖状または分岐状アルキル基である。具体的には、ジメチルマロン酸ジメチル、ジメチルマロン酸ジエチル、ジメチルマロン酸ジイソプロピル、ジメチルマロン酸ジノルマルブチル、ジメチルマロン酸ジイソブチル、ジメチルマロン酸エチルメチル、ジメチルマロン酸ジシクロヘキシル、ジメチルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジエチルマロン酸ジメチル、ジエチルマロン酸ジエチル、ジエチルマロン酸ジイソプロピル、ジエチルマロン酸ジノルマルブチル、ジエチルマロン酸ジイソブチル、ジエチルマロン酸エチルメチル、ジエチルマロン酸ジシクロヘキシル、ジエチルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジイソプロピルマロン酸ジメチル、ジイソプロピルマロン酸ジエチル、ジイソプロピルマロン酸ジイソプロピル、ジイソプロピルマロン酸ジノルマルブチル、ジイソプロピルマロン酸ジイソブチル、ジイソプロピルマロン酸エチルメチル、ジイソプロピルマロン酸ジシクロヘキシル、ジイソプロピルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジノルマルブチルマロン酸ジメチル、ジノルマルブチルマロン酸ジエチル、ジノルマルブチルマロン酸ジイソプロピル、ジノルマルブチルマロン酸ジノルマルブチル、ジノルマルブチルマロン酸ジイソブチル、ジノルマルブチルマロン酸エチルメチル、ジノルマルブチルマロン酸ジシクロヘキシル、ジノルマルブチルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジイソブチルマロン酸ジメチル、ジイソブチルマロン酸ジエチル、ジイソブチルマロン酸ジイソプロピル、ジイソブチルマロン酸ジノルマルブチル、ジイソブチルマロン酸ジイソブチル、ジイソブチルマロン酸エチルメチル、ジイソブチルマロン酸ジシクロヘキシル、ジイソブチルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジ-tert-ブチルマロン酸ジメチル、ジ-tert-ブチルマロン酸ジエチル、ジ-tert-ブチルマロン酸ジイソプロピル、ジ-tert-ブチルマロン酸ジノルマルブチル、ジ-tert-ブチルマロン酸ジイソブチル、ジ-tert-ブチルマロン酸エチルメチル、ジ-tert-ブチルマロン酸ジシクロヘキシル、ジ-tert-ブチルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジアミルマロン酸ジメチル、ジアミルマロン酸ジエチル、ジアミルマロン酸ジイソプロピル、ジアミルマロン酸ジノルマルブチル、ジアミルマロン酸ジイソブチル、ジアミルマロン酸エチルメチル、ジアミルマロン酸ジシクロヘキシル、ジアミルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジシクロヘキシルマロン酸ジメチル、ジシクロヘキシルマロン酸ジエチル、ジシクロヘキシルマロン酸ジイソプロピル、ジシクロヘキシルマロン酸ジノルマルブチル、ジシクロヘキシルマロン酸ジイソブチル、ジシクロヘキシルマロン酸エチルメチル、ジシクロヘキシルマロン酸ジシクロヘキシル、ジシクロヘキシルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、エチルノルマルブチルマロン酸ジメチル、エチルノルマルブチルマロン酸ジエチル、エチルノルマルブチルマロン酸ジイソプロピル、エチルノルマルブチルマロン酸ジノルマルブチル、エチルノルマルブチルマロン酸ジイソブチル、エチルノルマルブチルマロン酸エチルメチル、エチルノルマルブチルマロン酸ジシクロヘキシル、エチルノルマルブチルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、エチルイソブチルマロン酸ジメチル、エチルイソブチルマロン酸ジエチル、エチルイソブチルマロン酸ジイソプロピル、エチルイソブチルマロン酸ジノルマルブチル、エチルイソブチルマロン酸ジイソブチル、エチルイソブチルマロン酸エチルメチル、エチルイソブチルマロン酸ジシクロヘキシル、エチルイソブチルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジフェニルマロン酸ジメチル、ジフェニルマロン酸ジエチル、ジフェニルマロン酸ジイソプロピル、ジフェニルマロン酸ジノルマルブチル、ジフェニルマロン酸ジイソブチル、ジフェニルマロン酸エチルメチル、ジフェニルマロン酸ジシクロヘキシル、ジフェニルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、メチルテキシルマロン酸ジメチル、メチルテキシルマロン酸ジエチル、メチルテキシルマロン酸ジイソプロピル、メチルテキシルマロン酸ジノルマルブチル、メチルテキシルマロン酸ジイソブチル、メチルテキシルマロン酸エチルメチル、メチルテキシルマロン酸ジシクロヘキシル、メチルテキシルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、イソブチルイソプロピルマロン酸ジメチル、イソブチルイソプロピルマロン酸ジエチル、イソブチルイソプロピルマロン酸ジイソプロピル、イソブチルイソプロピルマロン酸ジノルマルブチル、イソブチルイソプロピルマロン酸ジイソブチル、イソブチルイソプロピルマロン酸エチルメチル、イソブチルイソプロピルマロン酸ジシクロヘキシル、イソブチルイソプロピルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、エチルフェニルマロン酸ジメチル、エチルフェニルマロン酸ジエチル、エチルフェニルマロン酸ジイソプロピル、エチルフェニルマロン酸ジノルマルブチル、エチルフェニルマロン酸ジイソブチル、エチルフェニルマロン酸エチルメチル、エチルフェニルマロン酸ジシクロヘキシル、エチルフェニルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ベンジルメチルマロン酸ジメチル、ベンジルメチルマロン酸ジエチル、ベンジルメチルマロン酸ジイソプロピル、ベンジルメチルマロン酸ジノルマルブチル、ベンジルメチルマロン酸ジイソブチル、ベンジルメチルマロン酸エチルメチル、ベンジルメチルマロン酸ジシクロヘキシル、ベンジルメチルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジベンジルマロン酸ジメチル、ジベンジルマロン酸ジエチル、ジベンジルマロン酸ジイソプロピル、ジベンジルマロン酸ジノルマルブチル、ジベンジルマロン酸ジイソブチル、ジベンジルマロン酸エチルメチル、ジベンジルマロン酸ジシクロヘキシル、ジベンジルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ジアリルマロン酸ジメチル、ジアリルマロン酸ジエチル、ジアリルマロン酸ジイソプロピル、ジアリルマロン酸ジノルマルブチル、ジアリルマロン酸ジイソブチル、ジアリルマロン酸エチルメチル、ジアリルマロン酸ジシクロヘキシル、ジアリルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ビス3-ブテニルマロン酸ジメチル、ビス3-ブテニルマロン酸ジエチル、ビス3-ブテニルマロン酸ジイソプロピル、ビス3-ブテニルマロン酸ジノルマルブチル、ビス3-ブテニルマロン酸ジイソブチル、ビス3-ブテニルマロン酸エチルメチル、ビス3-ブテニルマロン酸ジシクロヘキシル、ビス3-ブテニルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジメチル、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジエチル、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジイソプロピル、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジノルマルブチル、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジイソブチル、ビス3-クロロプロピルマロン酸エチルメチル、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジシクロヘキシル、ビス3-クロロプロピルマロン酸ビス2-エチルヘキシル、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジメチル、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジエチル、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジイソプロピル、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジノルマルブチル、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジイソブチル、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸エチルメチル、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジシクロヘキシル、およびシクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ビス2-エチルヘキシルを例示することができる。内部電子供与体dとして好ましくは、ジエチルマロン酸エステル、ジイソプロピルマロン酸エステル、イソブチルイソプロピルマロン酸エステル、ジイソブチルマロン酸エステル、およびジ-tert-ブチルマロン酸エステルであり、特に好ましくはジエチルマロン酸ジエチル、イソブチルイソプロピルマロン酸ジエチル、およびジイソブチルマロン酸ジエチルである。<他の内部電子供与体d’>本発明により提供されるオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法により得られるオレフィン重合用固体触媒成分Aは、一般式Iで表される内部電子供与体dに加え、他の内部電子供与体d’としてさらに1種類以上の芳香族カルボン酸エステルおよび/または1,3-ジエーテルを含んでいてもよい。他の内部電子供与体d’なる芳香族カルボン酸エステルは、芳香族カルボン酸とアルコールとがエステル結合した化合物であれば特に制限されないが、具体的には、安息香酸エチル、安息香酸ブチル、トルイル酸メチル、トルイル酸エチル、アニス酸エチルのような芳香族モノカルボン酸エステル;フタル酸モノエチル、フタル酸ジメチル、フタル酸メチルエチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジ-n-プロピル、フタル酸ジイソプロピル、フタル酸ジ-n-ブチル、フタル酸ジイソブチル、フタル酸ジペンチル、フタル酸ジ-n-ヘキシル、フタル酸ジヘプチル、フタル酸ジ-n-オクチル、フタル酸ジ2-エチルヘキシル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ジシクロヘキシル、フタル酸ジフェニルのような芳香族多価カルボン酸エステルを例示することができる。他の内部電子供与体d’なる1,3-ジエーテルは、C-O-C-C-C-O-Cの結合を有する化合物であれば特に制限されないが、具体的には、2,2-ジイソブチル-1,3-ジメトキシプロパン、2-イソプロピル-2-イソペンチル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ビスシクロヘキシルメチル-1,3-ジメトキシプロパン、2-イソプロピル-2-3,7-ジメチルオクチル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ジイソプロピル-1,3-ジメトキシプロパン、2-イソプロピル-2-シクロヘキシルメチル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ジシクロヘキシル-1,3-ジメトキシプロパン、2-イソプロピル-2-イソブチル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ジイソプロピル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ジプロピル-1,3-ジメトキシプロパン、2-イソプロピル-2-シクロヘキシル-1,3-ジメトキシプロパン、2-イソプロピル-2-シクロペンチル-1,3-ジメトキシプロパン、2,2-ジシクロペンチル-1,3-ジメトキシプロパン、および2-ヘプチル-2-ペンチル-1,3-ジメトキシプロパンのような1,3-ジエーテルを例示することができる。<オレフィン重合用固体触媒成分Aの製造時に用いる成分>本発明により提供されるオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法は、マグネシウム化合物bに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを接触させる方法である。また、本発明の別の様態としては、3価のチタン原子、マグネシウム原子、およびハイドロカルビルオキシ基を含有する固体成分cに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを接触させる方法である。マグネシウム化合物b、または固体成分cに対して、内部電子供与体d、および内部電子供与体前駆体e以外の任意の成分を接触させてもよい。マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して接触させる、内部電子供与体dおよび内部電子供与体前駆体e以外の成分として具体的には、チタン化合物a、他の内部電子供与体d’、および、ハロゲン化金属化合物gを例示することができる。<マグネシウム化合物b>マグネシウム化合物bとしては、マグネシウム原子を含有した化合物であれば特に制限はないが、マグネシウム原子の他に、ハイドロカルビル基、ハイドロカルビルオキシ基、および/またはハロゲン原子を含有する化合物を例示することができる。マグネシウム化合物bに含まれるハイドロカルビル基としては、特に制限はないが、メチル基、エチル基、n-プロピル基、n-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-ヘプチル基、およびn-オクチル基のような直鎖状アルキル基;イソプロピル基、イソブチル基、tert-ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、イソアミル基、および2-エチルヘキシル基のような分岐状アルキル基;シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、およびシクロオクチル基のような環状アルキル基;ベンジル基およびフェネチル基のようなアラルキル基;フェニル基、トリル基、およびナフチル基のようなアリール基;ビニル基、アリル基、3-ブテニル基、および5-ヘキセニル基のような直鎖状アルケニル基;イソブテニル基、および4-メチル-3-ペンテニル基のような分岐状アルケニル基;2-シクロヘキセニル基、および3-シクロヘキセニル基のような環状アルケニル基を例示することができる。マグネシウム化合物bに含まれるハイドロカルビルオキシ基としては、特に制限はないが、メトキシ基、エトキシ基、n-プロポキシ基、n-ブトキシ基、n-ペンチルオキシ基、n-ヘキシルオキシ基、n-ヘプチルオキシ基、およびn-オクチルオキシ基のような直鎖状アルキルオキシ基;イソプロポキシ基、イソブトキシ基、tert-ブトキシ基、イソペンチルオキシ基、ネオペンチルオキシ基、イソアミルオキシ基、および2-エチルヘキシルオキシ基のような分岐状アルキルオキシ基;シクロプロポキシ基、シクロブトキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、およびシクロオクチルオキシ基のような環状アルキルオキシ基;ベンジルオキシ基およびフェネチルオキシ基のようなアラルキルオキシ基;フェノキシ基、ナフチルオキシ基、およびトリルオキシ基のようなアリールオキシ基;ビニルオキシ基、アリルオキシ基、3-ブテニルオキシ基、および5-ヘキセニルオキシ基のような直鎖状アルケニルオキシ基;イソブテニルオキシ基、および4-メチル-3-ペンテニルオキシ基のような分岐状アルケニルオキシ基;2-シクロヘキセニルオキシ基、および3-シクロヘキセニルオキシ基のような環状アルケニルオキシ基を例示することができる。マグネシウム化合物bに含まれるハロゲン原子としてはいかなるハロゲン原子を用いてもよい。具体的には、ジメチルマグネシウム、ジエチルマグネシウム、ジイソプロピルマグネシウム、ジブチルマグネシウム、ジヘキシルマグネシウム、ジオクチルマグネシウム、エチルブチルマグネシウム、ジシクロへキシルマグネシウム、およびブチルオクチルマグネシウムのようなジアルキルマグネシウム化合物;ジメトキシマグネシウム、ジエトキシマグネシウム、ジプロポキシマグネシウム、ジブトキシマグネシウム、ジヘキシルオキシマグネシウム、ジオクトキシマグネシウム、およびジシクロヘキシルオキシマグネシウムのようなジアルコキシマグネシウム化合物;メチルマグネシウムクロリド、エチルマグネシウムクロリド、イソプロピルマグネシウムクロリド、イソブチルマグネシウムクロリド、t-ブチルマグネシウムクロリド、ヘキシルマグネシウムクロリド、イソブチルマグネシウムクロリド、ベンジルマグネシウムクロリド、メチルマグネシウムブロミド、エチルマグネシウムブロミド、イソプロピルマグネシウムブロミド、イソブチルマグネシウムブロミド、t-ブチルマグネシウムブロミド、ヘキシルマグネシウムブロミド、イソブチルマグネシウムブロミド、ベンジルマグネシウムブロミド、メチルマグネシウムヨージド、エチルマグネシウムヨージド、イソプロピルマグネシウムヨージド、イソブチルマグネシウムヨージド、t-ブチルマグネシウムヨージド、ヘキシルマグネシウムヨージド、イソブチルマグネシウムヨージド、ベンジルマグネシウムヨージドのようなアルキルマグネシウムハライド化合物;メトキシマグネシウムクロリド、エトキシマグネシウムクロリド、イソプロポキシマグネシウムクロリド、ブトキシマグネシウムクロリド、およびヘキシルオキシマグネシウムクロリドのようなアルコキシマグネシウムクロリド;フェノキシマグネシウムクロリドのようなアリールオキシマグネシウムクロリド;フッ化マグネシウム、塩化マグネシウム、臭化マグネシウム、およびヨウ化マグネシウムのようなハロゲン化マグネシウム化合物を例示することができる。さらに、マグネシウム化合物bとしては、ハイドロカルビル基、ハイドロカルビルオキシ基、およびハロゲン原子の他に、バナジウム原子、クロム原子、マンガン原子、鉄原子、コバルト原子、ニッケル原子、銅原子、亜鉛原子、ガリウム原子、ジルコニウム原子およびハフニウム原子のような金属原子;炭化水素、アルコール、エーテル、およびアミンのような有機化合物;二酸化炭素のような無機化合物を含む混合物をも例示することができる。マグネシウム化合物bはメタノール、エタノール、および2-エチルヘキサノールのようなアルコールまたはクロロベンゼン、トルエン、およびヘキサンのような溶媒に溶解していてもよく、固体状でも良い。マグネシウム化合物bは、担体物質に担持されていてもよい。担体物質として特に制限はないが、SiO2、Al2O3、MgO、TiO2、およびZrO2のような多孔質無機酸化物;ポリスチレン、スチレン-ジビニルベンゼン共重合体、スチレン-エチレングリコール-ジメタクリル酸メチル共重合体、ポリアクリル酸メチル、ポリアクリル酸エチル、アクリル酸メチル-ジビニルベンゼン共重合体、ポリメタクリル酸メチル、メタクリル酸メチル-ジビニルベンゼン共重合体、ポリアクリロニトリル、アクリロニトリル-ジビニルベンゼン共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、およびポリプロピレンのような有機多孔質ポリマーが挙げられる。これらのうち好ましくは、多孔質無機酸化物であり、特に好ましくは、SiO2である。マグネシウム化合物bを有効に固定化する観点から、担体として好ましくは、多孔質担体であり;その担体の細孔分布は、半径20~200nmなる細孔の細孔容積の、半径3.5~7500nmなる細孔の細孔容積に対する比率が、好ましくは35以上であり、より好ましくは40以上であり;かつ、半径20~200nmなる細孔の細孔容量が、好ましくは0.3cm3/g以上であり、より好ましくは0.4cm3/g以上である。マグネシウム化合物bとして好ましくは、およびハロゲン化マグネシウム化合物b-1、ジアルコキシマグネシウム化合物b-2である。ハロゲン化マグネシウム化合物b-1として好ましくは、塩化マグネシウムである。塩化マグネシウムは市販のものをそのまま用いてもよく、市販のものをアルコールに溶解した後溶媒中に滴下する方法で製造してもよい。ジアルコキシマグネシウム化合物b-2として好ましくは炭素原子数1~20のジアルコキシマグネシウムであり、より好ましくは炭素原子数1~10のジアルコキシマグネシウムであり、特に好ましくはジメトキシマグネシウム、ジエトキシマグネシウム、ジプロポキシマグネシウム、ジイソプロポキシマグネシウム、ジブトキシマグネシウムである。ジアルコキシマグネシウム化合物b-2の製造方法としては、例えば、金属マグネシウムとアルコールを触媒の存在下接触させる方法を挙げることができる。アルコールとしては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、およびオクタノールが挙げられる。触媒としては、ヨウ素、塩素、および臭素のようなハロゲン;ヨウ化マグネシウム、および塩化マグネシウムのようなハロゲン化マグネシウム;1,2-ジブロモエタンのようなα,β-ジハロアルカンが挙げられ、好ましくはヨウ素である。<固体成分c>3価のチタン原子、マグネシウム原子およびハイドロカルビルオキシ基を含有する固体成分cとしては、3価のチタン原子、マグネシウム原子およびハイドロカルビルオキシ基を有する固体成分である限りいかなるものであってもよい。固体成分cに含まれるハイドロカルビルオキシ基としては、マグネシウム化合物bに含まれるハイドロカルビルオキシ基と同じものを例示することができる。好ましくは、炭素原子数1~20のアルキルオキシ基または炭素原子数6~20のアリールオキシ基であり、より好ましくは炭素原子数1~20の直鎖状または分岐状アルキルオキシ基であり、特に好ましくはメトキシ基、エトキシ基、n-プロポキシ基、イソプロポキシ基、n-ブトキシ基、イソブトキシ基、ペンチルオキシ基である。3価のチタン原子、マグネシウム原子およびハイドロカルビルオキシ基を含有する固体成分cは、いかなる製造方法で合成されてもよい。例えば、Si-O結合を有するケイ素化合物c-1の存在下に、チタン化合物c-2を、有機マグネシウム化合物c-3で還元する方法が挙げられる。さらに、Si-O結合を有するケイ素化合物c-1の存在下に、チタン化合物c-2を、有機マグネシウム化合物c-3で還元反応時に、任意のエステル基を有する化合物c-4を共存させてもよい。<Si-O結合を有するケイ素化合物c-1>Si-O結合を有するケイ素化合物c-1は、ケイ素原子を含有する化合物であれば特に制限はないが、下式iからiiiで表わされる化合物を例示することができる。SiOR5tR64-tiR7R82SiOuSiR93iiR102SiOviii[式中、R5、R6、R7、R8、R9およびR10はそれぞれ独立した炭素原子数1~20のハイドロカルビル基または水素原子であり、tは0<t≦4を満たす整数であり、uは1~1000の整数であり;vは2~1000の整数である]式iからiiiで示すSi-O結合を有するケイ素化合物c-1におけるR5、R6、R7、R8、R9およびR10のハイドロカルビル基として、マグネシウム化合物bに含まれるハイドロカルビル基と同じものを例示することができる。式iからiiiで示すSi-O結合を有するケイ素化合物c-1におけるR5、R6、R7、R8、R9およびR10は好ましくは、炭素原子数2~18のアルキル基または炭素原子数6~18のアリール基であり、特に好ましくは炭素原子数2~18の直鎖状アルキル基である。式iからiiiで示すSi-O結合を有するケイ素化合物c-1の具体例としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラブトキシシラン、およびテトラフェノキシシランのようなテトラアルコキシシラン;エチルトリエトキシシラン、およびフェニルトリエトキシシランのようなモノアルキルトリアルコキシシラン;ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジプロピルジプロポキシシラン、ジイソプロピルジイソプロポキシシラン、ジブチルジブトキシシラン、およびジエチルジシクロペンチルオキシシランのようなジアルキルジアルコキシシラン;トリエチルエトキシシラン、トリメチルシクロヘキシルオキシシラン、およびトリメチルフェノキシシランのようなトリアルキルモノアルコキシシラン;ヘキサメチルジシロキサン、ヘキサエチルジシロキサン、およびヘキサプロピルジシロキサンのようなジシロキサン;オクタエチルトリシロキサン、ジメチルポリシロキサン、ジフェニルポリシロキサン、メチルヒドロポリシロキサン、およびフェニルヒドロポリシロキサンのようなポリシロキサンを例示することができる。式iからiiiで示すSi-O結合を有するケイ素化合物c-1の中でも、好ましくは式iにおけるtが1≦t≦4を満たす化合物であり、より好ましくは、tが4であるテトラアルコキシシランであり、最も好ましくはテトラエトキシシランである。<チタン化合物c-2>チタン化合物c-2としては、チタン原子を含有する化合物であれば特に制限はないが、下式ivで表される化合物を例示することができる。iv[ただし、式ivにおいて、mは1~20の整数を表し、R11は炭素原子数1~20のハイドロカルビル基を表す。X1はハロゲン原子または炭素原子数1~20のハイドロカルビルオキシ基を表し、X1は互いに同じであっても異なっていてもよい]式ivで示すチタン化合物c-2におけるR11の具体例としては、マグネシウム化合物bに含まれるハイドロカルビル基と同じものを例示することができ、好ましくは、炭素原子数2~18のアルキル基または炭素原子数6~18のアリール基であり、特に好ましくは炭素原子数2~18の直鎖状アルキル基である。式ivにおけるX1のハロゲン原子として、塩素原子、臭素原子およびヨウ素原子を例示することができる。特に好ましくは塩素原子である。式ivにおけるX1の炭素原子数1~20のハイドロカルビルオキシ基は、好ましくは、炭素原子数2~18の直鎖状アルコキシ基であり、より好ましくは炭素原子数2~10の直鎖状アルコキシ基であり、特に好ましくは炭素原子数2~6の直鎖状アルコキシ基である。式ivにおけるmの値として好ましくは1、2または4である。式ivで表されるチタン化合物c-2の具体例としては、テトラメトキシチタン、テトラエトキシチタン、テトラ-n-プロポキシチタン、テトライソプロポキシチタン、テトラ-n-ブトキシチタン、テトライソブトキシチタン、n-ブトキシチタントリクロライド、ジ-n-ブトキシチタンジクロライド、トリ-n-ブトキシチタンクロライド、ジ-n-テトライソプロピルポリチタナートm=2~10の範囲の混合物、テトラ-n-ブチルポリチタナートm=2~10の範囲の混合物、テトラ-n-ヘキシルポリチタナートm=2~10の範囲の混合物、テトラ-n-オクチルポリチタナートm=2~10の範囲の混合物、およびテトラアルコキシチタンに少量の水を反応して得られるテトラアルコキシチタンの縮合物、ならびにこれらの2以上の組合せを例示することができ、より好ましくは、テトラ-n-ブトキシチタン、テトラ-n-ブチルチタニウムダイマーまたはテトラ-n-ブチルチタニウムテトラマーを例示することができる。<有機マグネシウム化合物c-3>有機マグネシウム化合物c-3は、マグネシウム原子-Cの結合を有する化合物であれば特に制限はないが、下式vまたはviで表わされる化合物を例示することができ、より好ましくは式vで表されるグリニャール化合物である。R12MgX2vR13R14Mgvi[R12、R13およびR14は炭素原子数1~20のハイドロカルビル基を表し、X2はハロゲン原子を表わす]式vおよびviにおけるR12、R13およびR14のハイドロカルビル基は特に制限はないが、マグネシウム化合物bに含まれるハイドロカルビル基と同じものを例示することができる。式vおよびviにおけるR12、R13およびR14としてより好ましくは、炭素原子数2~18のアルキル基または炭素原子数6~18のアリール基であり、特に好ましくは炭素原子数2~18の直鎖状アルキル基である。式vにおけるX2は特に制限はないが、塩素原子、臭素原子およびヨウ素原子を例示することができる。より好ましくは塩素原子である。式vで表されるグリニャール化合物として具体的には、メチルマグネシウムクロリド、エチルマグネシウムクロリド、n-プロピルマグネシウムクロリド、イソプロピルマグネシウムクロリド、n-ブチルマグネシウムクロリド、イソブチルマグネシウムクロリド、tert-ブチルマグネシウムクロリド、n-ペンチルマグネシウムクロリド、イソアミルマグネシウムクロリド、シクロペンチルマグネシウムクロリド、n-ヘキシルマグネシウムクロリド、シクロヘキシルマグネシウムクロリド、n-オクチルマグネシウムクロリド、2-エチルヘキシルマグネシウムクロリド、フェニルマグネシウムクロリド、およびベンジルマグネシウムクロリドを例示することができる。好ましくはエチルマグネシウムクロリド、n-プロピルマグネシウムクロリド、イソプロピルマグネシウムクロリド、n-ブチルマグネシウムクロリド、およびイソブチルマグネシウムクロリドであり、特に好ましくはn-ブチルマグネシウムクロリドである。上記グリニャール化合物は、そのままでも、溶媒に溶解していてもよく、より好ましくはエーテル化合物を溶媒として溶解した状態である。上記エーテル化合物は、C-O-Cの結合を有する化合物であれば特に制限はないが、ジエチルエーテル、ジ-n-プロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジ-n-ブチルエーテル、ジイソブチルエーテル、エチルn-ブチルエーテル、およびジイソアミルエーテルのようなジアルキルエーテル;テトラヒドロフランのような環状エーテルを例示することができる。好ましくはジアルキルエーテルであり、より好ましくはジ-n-ブチルエーテルまたはジイソブチルエーテルである。<エステル基を有する化合物c-4>エステル基を有する化合物c-4としてはいかなるエステル化合物を用いてもよい。例えば、モノまたは多価のカルボン酸エステルを挙げることができ、より具体的には飽和脂肪族カルボン酸エステル、不飽和脂肪族カルボン酸エステル、脂環式カルボン酸エステル、および芳香族カルボン酸エステルを例示することができる。エステル基を有する化合物c-4として具体的には、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸フェニル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、酪酸エチル、および吉草酸エチルのような飽和脂肪族モノカルボン酸エステル;コハク酸ジエチル、コハク酸ジブチル、マロン酸ジエチル、およびマロン酸ジブチルのような飽和脂肪族多価カルボン酸エステル;アクリル酸エチル、およびメタクリル酸メチルのような不飽和脂肪族モノカルボン酸エステル;マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジブチル、イタコン酸ジエチル、およびイタコン酸ジブチルのような不飽和脂肪族多価カルボン酸エステル;安息香酸エチル、安息香酸ブチル、トルイル酸メチル、トルイル酸エチル、およびアニス酸エチルのような芳香族モノカルボン酸エステル;フタル酸モノエチル、フタル酸ジメチル、フタル酸メチルエチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジ-n-プロピル、フタル酸ジイソプロピル、フタル酸ジ-n-ブチル、フタル酸ジイソブチル、フタル酸ジペンチル、フタル酸ジ-n-ヘキシル、フタル酸ジヘプチル、フタル酸ジ-n-オクチル、フタル酸ジ2-エチルヘキシル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ジシクロヘキシル、およびフタル酸ジフェニルのような芳香族多価カルボン酸エステルを例示することができる。中でも好ましくは、フタル酸エステルのような芳香族ジカルボン酸ジエステルである。還元反応における溶媒として特に制限はないが、グリニャール化合物の溶媒として例示したエーテル化合物のほか、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、およびデカンのような脂肪族炭化水素化合物;シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、およびデカリンのような脂環式炭化水素化合物;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、および1,3,5-トリメチルベンゼンのような芳香族炭化水素化合物;塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、1,2-ジクロロエタン、およびテトラクロロエタンのようなハロゲン化炭化水素化合物;クロロベンゼン、クロロメチルベンゼン、およびジクロロベンゼンのようなハロゲン化芳香族炭化水素化合物、ならびに、これらの2種以上の組合せを例示することができる。還元反応における溶媒として好ましくは、脂肪族炭化水素化合物、芳香族炭化水素化合物、または、脂環式炭化水素化合物であり、より好ましくは脂肪族炭化水素化合物、または、脂環式炭化水素化合物であり、さらに好ましくは脂肪族炭化水素化合物であり、特に好ましくはヘキサン、または、ヘプタンである。還元反応において、Si-O結合を有するケイ素化合物c-1の使用量は、使用されるチタン化合物c-2中の総チタン原子1molあたり、ケイ素原子が通常1~500mol、好ましくは1~300mol、特に好ましくは3~100molとなる量である。還元反応において、有機マグネシウム化合物c-3の使用量は、使用される有機マグネシウム化合物c-3中の総マグネシウム原子1molあたり、上記チタン原子と上記ケイ素原子との和が通常0.1~10mol、好ましくは0.2~5.0mol、特に好ましくは0.5~2.0molとなる量である。還元反応におけるチタン化合物c-2、Si-O結合を有するケイ素化合物c-1および有機マグネシウム化合物c-3の使用量はまた、得られる固体成分c中のマグネシウム原子の量が、該前駆体中のチタン原子1molあたり、1~51mol、好ましくは2~31mol、特に好ましくは4~26molとなるように経験的に決定してもよい。還元反応において、エステル基を有する化合物c-4の使用量は、使用されるチタン化合物中の総チタン原子1molあたり、通常0.05~100mol、好ましくは0.1~60mol、特に好ましくは0.2~30molである。還元反応において、Si-O結合を有するケイ素化合物c-1、チタン化合物c-2および溶媒を含有する溶液中に有機マグネシウム化合物c-3を加えるときの温度は、通常-50~100°Cであり、好ましくは-30~70°Cであり、特に好ましくは-25~50°Cの範囲である。有機マグネシウム化合物c-3を加えるときの時間は特に限定されず、通常30分~6時間程度である。良好な形態の触媒を得る観点から、有機マグネシウム化合物c-3は連続的に加えられるのが好ましい。該反応をさらに進めるために、5~120°Cでの反応を追加してもよい。さらに、担体物質に担持させるため、還元反応時に担体物質を存在させてもよい。担体物質として特に制限はないが、マグネシウム化合物bの担体物質と同じものを例示することができる。得られる固体成分cは溶媒で洗浄してもよい。溶媒に特に制限はないが、具体的には、還元反応における溶媒の他、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n-ブタノール、イソブタノール、ヘキサノール、および2-エチルヘキサノールのようなアルコールを例示することができる。好ましくは脂肪族炭化水素および芳香族炭化水素であり、より好ましくは芳香族炭化水素であり、特に好ましくはトルエンまたはキシレンである。Si-O結合を有するケイ素化合物c-1と、一般式ivで表されるチタン化合物c-2と、任意にエステル基を有する化合物c-4と、有機マグネシウム化合物c-3を加えると、有機マグネシウム化合物によるチタン化合物の還元反応が進行するので、該チタン化合物のチタン原子は4価から3価に還元される。本発明においては、実質上全ての4価のチタン原子が3価に還元されるのが好ましい。得られた固体成分cは、3価のチタン原子、マグネシウム原子およびハイドロカルビルオキシ基を含有し、一般に非晶性または極めて弱い結晶性を有し、好ましくは非晶性の構造である。<内部電子供与体前駆体e>内部電子供与体前駆体eとしては、触媒製造中に他の成分と反応して上述の一般式Iで表される内部電子供与体dに変化することのできる化合物であれば特に制限されないが、具体的には、内部電子供与体dの酸ハライド、酸無水物、パーフルオロアルキルエステルを例示することができる。好ましくは酸ハライドであり、さらに好ましくは酸クロリドである。より具体的には、ジメチルマロン酸ジフルオリド、ジメチルマロン酸ジクロリド、ジメチルマロン酸ジブロミド、ジメチルマロン酸ジヨージド、ジメチルマロン酸無水物、ジメチルマロン酸ジトリフラート、ジエチルマロン酸ジフルオリド、ジエチルマロン酸ジクロリド、ジエチルマロン酸ジブロミド、ジエチルマロン酸ジヨージド、ジエチルマロン酸無水物、ジエチルマロン酸ジトリフラート、ジイソプロピルマロン酸ジフルオリド、ジイソプロピルマロン酸ジクロリド、ジイソプロピルマロン酸ジブロミド、ジイソプロピルマロン酸ジヨージド、ジイソプロピルマロン酸無水物、ジイソプロピルマロン酸ジトリフラート、ジノルマルブチルマロン酸ジフルオリド、ジノルマルブチルマロン酸ジクロリド、ジノルマルブチルマロン酸ジブロミド、ジノルマルブチルマロン酸ジヨージド、ジノルマルブチルマロン酸無水物、ジノルマルブチルマロン酸ジトリフラート、ジイソブチルマロン酸ジフルオリド、ジイソブチルマロン酸ジクロリド、ジイソブチルマロン酸ジブロミド、ジイソブチルマロン酸ジヨージド、ジイソブチルマロン酸無水物、ジイソブチルマロン酸ジトリフラート、ジ-tert-ブチルマロン酸ジフルオリド、ジ-tert-ブチルマロン酸ジクロリド、ジ-tert-ブチルマロン酸ジブロミド、ジ-tert-ブチルマロン酸ジヨージド、ジ-tert-ブチルマロン酸無水物、ジ-tert-ブチルマロン酸ジトリフラート、ジアミルマロン酸ジフルオリド、ジアミルマロン酸ジクロリド、ジアミルマロン酸ジブロミド、ジアミルマロン酸ジヨージド、ジアミルマロン酸無水物、ジアミルマロン酸ジトリフラート、ジシクロヘキシルマロン酸ジフルオリド、ジシクロヘキシルマロン酸ジクロリド、ジシクロヘキシルマロン酸ジブロミド、ジシクロヘキシルマロン酸ジヨージド、ジシクロヘキシルマロン酸無水物、ジシクロヘキシルマロン酸ジトリフラート、エチルノルマルブチルマロン酸ジフルオリド、エチルノルマルブチルマロン酸ジクロリド、エチルノルマルブチルマロン酸ジブロミド、エチルノルマルブチルマロン酸ジヨージド、エチルノルマルブチルマロン酸無水物、エチルノルマルブチルマロン酸ジトリフラート、エチルイソブチルマロン酸ジフルオリド、エチルイソブチルマロン酸ジクロリド、エチルイソブチルマロン酸ジブロミド、エチルイソブチルマロン酸ジヨージド、エチルイソブチルマロン酸無水物、エチルイソブチルマロン酸ジトリフラート、ジフェニルマロン酸ジフルオリド、ジフェニルマロン酸ジクロリド、ジフェニルマロン酸ジブロミド、ジフェニルマロン酸ジヨージド、ジフェニルマロン酸無水物、ジフェニルマロン酸ジトリフラート、メチルテキシルマロン酸ジフルオリド、メチルテキシルマロン酸ジクロリド、メチルテキシルマロン酸ジブロミド、メチルテキシルマロン酸ジヨージド、メチルテキシルマロン酸無水物、メチルテキシルマロン酸ジトリフラート、イソブチルイソプロピルマロン酸ジフルオリド、イソブチルイソプロピルマロン酸ジクロリド、イソブチルイソプロピルマロン酸ジブロミド、イソブチルイソプロピルマロン酸ジヨージド、イソブチルイソプロピルマロン酸無水物、イソブチルイソプロピルマロン酸ジトリフラート、エチルフェニルマロン酸ジフルオリド、エチルフェニルマロン酸ジクロリド、エチルフェニルマロン酸ジブロミド、エチルフェニルマロン酸ジヨージド、エチルフェニルマロン酸無水物、エチルフェニルマロン酸ジトリフラート、ベンジルメチルマロン酸ジフルオリド、ベンジルメチルマロン酸ジクロリド、ベンジルメチルマロン酸ジブロミド、ベンジルメチルマロン酸ジヨージド、ベンジルメチルマロン酸無水物、ベンジルメチルマロン酸ジトリフラート、ジベンジルマロン酸ジフルオリド、ジベンジルマロン酸ジクロリド、ジベンジルマロン酸ジブロミド、ジベンジルマロン酸ジヨージド、ジベンジルマロン酸無水物、ジベンジルマロン酸ジトリフラート、ジアリルマロン酸ジフルオリド、ジアリルマロン酸ジクロリド、ジアリルマロン酸ジブロミド、ジアリルマロン酸ジヨージド、ジアリルマロン酸無水物、ジアリルマロン酸ジトリフラート、ビス3-ブテニルマロン酸ジフルオリド、ビス3-ブテニルマロン酸ジクロリド、ビス3-ブテニルマロン酸ジブロミド、ビス3-ブテニルマロン酸ジヨージド、ビス3-ブテニルマロン酸無水物、ビス3-ブテニルマロン酸ジトリフラート、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジフルオリド、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジクロリド、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジブロミド、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジヨージド、ビス3-クロロプロピルマロン酸無水物、ビス3-クロロプロピルマロン酸ジトリフラート、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジフルオリド、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジクロリド、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジブロミド、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジヨージド、シクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸無水物、およびシクロヘキサン-1,1-ジカルボン酸ジトリフラートを例示することができる。好ましくは、ジエチルマロン酸ジクロリド、イソブチルイソプロピルマロン酸ジクロリド、およびジイソブチルマロン酸ジクロリドである。<チタン化合物a>チタン化合物aは、チタン原子を含有した化合物であれば特に制限はないが、具体的には、四塩化チタン、四臭化チタン、および四ヨウ化チタンのようなテトラハロゲン化チタン;テトラメトキシチタン、テトラエトキシチタン、テトラ-n-プロポキシチタン、テトライソプロポキシチタン、テトラ-n-ブトキシチタン、テトライソブトキシチタン、テトラシクロヘキシルオキシチタン、およびテトラフェノキシチタンのようなテトラアルコキシチタン;メトキシチタントリクロリド、エトキシチタントリクロリド、n-プロポキシチタントリクロリド、n-ブトキシチタントリクロリド、およびエトキシチタントリブロミドのようなアルコキシチタントリハライド;ジメトキシチタンジクロリド、ジエトキシチタンジクロリド、ジイソプロポキシチタンジクロリド、ジ-n-プロポキシチタンジクロリド、およびジエトキシチタンジブロミドのようなジハロゲン化ジアルコキシチタン;トリメトキシチタンクロリド、トリエトキシチタンクロリド、トリイソプロポキシチタンクロリド、トリ-n-プロポキシチタンクロリド、およびトリ-n-ブトキシチタンクロリドのようなモノハロゲン化トリアルコキシチタンを例示することができる。好ましくはテトラハロゲン化チタンおよびアルコキシチタントリクロライドであり、より好ましくテトラハロゲン化チタンであり、更に好ましくは四塩化チタンである。これらのチタン化合物aは、それぞれ単独で用いてもよく、また二種以上を組み合わせて用いてもよい。<ハロゲン化金属化合物g>ハロゲン化金属化合物gは、第13族または第14族元素のハロゲン化物であり、任意にハイドロカルビル基および/またはハイドロカルビルオキシ基を含んでもよい。第13族元素として具体的には、ホウ素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、およびタリウムである。第14族元素として具体的には、ケイ素、ゲルマニウム、錫、および鉛である。第13族または第14族元素として好ましくはケイ素、ゲルマニウムまたは錫であり、特に好ましくはケイ素である。ハロゲン化金属化合物gに含まれるハロゲン原子は、特に制限されないが、好ましくは塩素原子である。ハロゲン化金属化合物gに任意に含まれるハイドロカルビル基として具体的には、マグネシウム化合物bに含まれるハイドロカルビル基と同じものを例示することができる。ハロゲン化金属化合物gに任意に含まれるハイドロカルビルオキシ基として具体的には、マグネシウム化合物bに含まれるハイドロカルビルオキシ基と同じものを例示することができる。ハロゲン化金属化合物gとして好ましくは、エチルアルミニウムジクロライド、エチルアルミニウムセスキクロライド、ジエチルアルミニウムクロライド、トリクロロアルミニウム、テトラクロロシラン、フェニルトリクロロシラン、メチルトリクロロシラン、エチルトリクロロシラン、ノルマルプロピルトリクロロシラン、またはp-トリルトリクロロシランであり、より好ましくはテトラクロロシランおよびフェニルトリクロロシランである。<オレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法>本発明により提供されるオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法は、マグネシウム化合物bに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程Pを2回以上行うことを特徴とする。また別の様態としては、3価のチタン原子、マグネシウム原子、およびハイドロカルビルオキシ基を含有する固体成分cに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程Qを2回以上行うことを特徴とする。工程Pまたは工程Qを行う回数は、好ましくは2回以上10回以下であり、より好ましくは2回以上5回以下である。上記特徴を有する限り、本発明において用いられるオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法は特に制限されず、他の任意の工程を行うことができる。具体的には、内部電子供与体dおよび内部電子供与体前駆体e以外の任意の成分を、溶液中で接触させた後に固液分離する工程R;およびマグネシウム化合物bまたは固体成分cを、溶媒により洗浄する工程ωを例示することができる。マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して接触させる、内部電子供与体dおよび内部電子供与体前駆体eは、ただ1種類のみを用いてもよく、複数を併用してもよい。マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して接触させる、内部電子供与体dおよび内部電子供与体前駆体e以外の成分は、用いなくてもよく、ただ1種類のみを用いてもよく、複数を併用してもよい。マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して接触させる、内部電子供与体d、内部電子供与体前駆体e、およびその他の成分は、順次別々の工程でマグネシウム化合物bまたは固体成分cに接触させてもよく、あるいは同一の工程で2種以上の組み合わせを同時に接触させてもよい。<接触工程Pおよび接触工程Q>マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程P、Qにおいては、内部電子供与体dおよび内部電子供与体前駆体eのほか、任意の成分を共存させてもよい。接触工程P、Qとしてより具体的には、以下の工程を例示することができる。[工程β]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して内部電子供与体dを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程[工程γ]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して内部電子供与体前駆体eを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程[工程βγ]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して内部電子供与体dおよび内部電子供与体前駆体eを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程[工程αβ]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対してチタン化合物a、および内部電子供与体dを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程[工程αγ]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対してチタン化合物a、および内部電子供与体前駆体eを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程[工程αβγ]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して、内部電子供与体d、内部電子供与体前駆体eおよびチタン化合物aを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程<接触工程R>マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して、内部電子供与体dおよび内部電子供与体前駆体e以外の成分を、溶液中で接触させた後に固液分離する工程Rは、マグネシウム化合物bまたは固体成分cと、内部電子供与体dおよび内部電子供与体前駆体e以外の成分が実質的に接触している限り、いかなる様態であってもよい。接触工程Rとしてより具体的には、以下の工程を例示することができる。[工程α]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対してチタン化合物aを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程[工程δ]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して他の内部電子供与体d’を、溶液中で接触させた後に固液分離する工程[工程ε]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対してハロゲン化金属化合物gを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程[工程αε]マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対してチタン化合物a、およびハロゲン化金属化合物gを、溶液中で接触させた後に固液分離する工程<接触工程P、Q、Rの実施方法>接触工程P、Q、Rの実施方法は特に制限されないが、公知の方法としては、以下の方法を例示することができる。[スラリー法]溶媒中に分散した固体状のマグネシウム化合物bまたは固体成分cと、内部電子供与体d、内部電子供与体前駆体eや、その他の成分とを混合した後に固液分離する方法[溶液法]溶媒に溶解したマグネシウム化合物bまたは固体成分cと、内部電子供与体d、内部電子供与体前駆体eや、その他の成分を混合した後に固液分離する方法<スラリー法>スラリー法において用いる装置に特に制限はないが、公知の装置としては攪拌翼を具備する反応容器や、スプレードライヤーを例示することができる。スラリー法における溶媒は、マグネシウム化合物bまたは固体成分cを完全に溶解させない限り特に制限はないが、具体的にはペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、およびデカンのような脂肪族炭化水素化合物;シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、およびデカリンのような脂環式炭化水素化合物;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、および1,3,5-トリメチルベンゼンのような芳香族炭化水素化合物;塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、1,2-ジクロロエタン、およびテトラクロロエタンのようなハロゲン化炭化水素化合物;クロロベンゼン、クロロメチルベンゼン、およびジクロロベンゼンのようなハロゲン化芳香族炭化水素化合物;ジエチルエーテル、ジ-n-プロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジ-n-ブチルエーテル、ジイソブチルエーテル、エチルn-ブチルエーテル、およびジイソアミルエーテルのようなジアルキルエーテル;テトラヒドロフランのような環状エーテル;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n-ブタノール、イソブタノール、ヘキサノール、および2-エチルヘキサノールのようなアルコールを例示することができる。好ましくは芳香族炭化水素化合物およびハロゲン化芳香族炭化水素化合物であり、より好ましくはトルエン、およびクロロベンゼンである。スラリー法において、マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して接触させる成分が液体である場合、当該成分を溶媒として接触工程を行ってもよい。スラリー法においてマグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して接触させる成分の使用量は特に制限されず、接触工程の様態によって経験的に決定される。接触させる成分が低分子である場合、公知の方法においては、使用されるマグネシウム化合物bまたは固体成分c中の総マグネシウム原子1molあたり、通常0.1~1000mmol、好ましくは0.3~500mmol、特に好ましくは0.5~300mmolである。スラリー法における接触時間は特に制限されず、接触工程の様態によって経験的に決定される。公知の方法においては通常10分~12時間であり、好ましくは30分~10時間であり、より好ましくは1時間~8時間である。スラリー法における接触温度は特に制限されず、接触工程の様態によって経験的に決定される。公知の方法においては通常-50°C~200°Cであり、好ましくは-20°C~170°Cであり、より好ましくは0°C~150°Cであり、特に好ましくは50°C~130°Cの範囲である。固液分離の方法は特に制限されないが、具体的には、ガラスフィルターにより濾過する方法や、デカンテーション法を例示することができる。<溶液法>溶液法において用いる装置に特に制限はないが、公知の装置としては攪拌翼を具備する反応容器や、スプレードライヤーを例示することができる。溶液法において、マグネシウム化合物bを溶解させる溶媒に特に制限はないが、具体的にはスラリー法における溶媒と同じものを例示することができる。好ましくはアルコール、および脂肪族炭化水素化合物とアルコールとの混合溶媒であり、より好ましくはヘプタンと2-エチルヘキシルアルコールとの混合溶媒である。溶液法において、マグネシウム化合物bに接触させる成分は、そのまま用いてもよく、また当該成分を溶媒に溶解させた状態で用いてもよい。溶媒として特に制限はなく、マグネシウム化合物bの溶媒と同一であっても異なっていてもよい。具体的には、スラリー法における溶媒と同じものを例示することができる。溶媒法においては、工程実施中途でマグネシウム化合物bを主とする固体成分を析出させてもよい。通常は、マグネシウム化合物bを主とする固体成分が析出するように、溶媒、接触させる成分、温度、時間が経験的に決定される。固液分離の方法は特に制限されないが、具体的には、ガラスフィルターにより濾過する方法や、デカンテーション法を例示することができる。<洗浄工程ω>マグネシウム化合物bまたは固体成分cを、溶媒により洗浄する工程ωにおける溶媒は、マグネシウム化合物bを完全に溶解させない限り特に制限はないが、具体的にはスラリー法における溶媒と同じものを例示することができる。好ましくは脂肪族炭化水素化合物、芳香族炭化水素化合物、ハロゲン化脂肪族炭化水素化合物、および芳香族炭化水素化合物であり、より好ましくはヘキサン、ヘプタン、トルエン、塩化メチレン、およびクロロベンゼンであり、特に好ましくはヘキサンおよびトルエンである。洗浄工程ωは、マグネシウム化合物bと溶媒が接触している限りいかなる様態であってもよいが、マグネシウム化合物bと溶媒を効果的に接触させる観点から、通常、スラリー法により行われる。洗浄工程ωにおける洗浄時間は特に制限されず、洗浄工程ωの様態によって経験的に決定される。公知の方法においては通常1分未満~1時間であり、より好ましくは1分~30分であり、さらに好ましくは5分~20分である。洗浄工程ωにおける洗浄温度は特に制限されず、洗浄工程ωの様態によって経験的に決定される。公知の方法においては通常0°C~150°Cである。洗浄工程ωにおいては、マグネシウム化合物bと溶媒を接触させた後、溶媒が除去される。除去の方法は特に制限されないが、公知の方法としてはデカンテーションやろ過を例示することができる。本発明により提供されるオレフィン重合用固体触媒成分Aの製造方法においては、マグネシウム化合物bまたは固体成分cに対して内部電子供与体dおよび/または内部電子供与体前駆体eを、溶媒中で接触させた後に固液分離する工程Pを2回以上行う。この他の工程は、行わなくともよく、1回だけ行ってもよく、複数回行ってもよい。工程を行う順序は特に制限されず、いかなる順序で行ってもよい。以下、本発明におけるオレフィン重合用固体触媒成分Aを製造するに好ましい様態を例示するが、以下の例示によって本発明が制限されるものではない。オレフィン重合用固体触媒成分Aを製造するある一つの方法は、ジアルコキシマグネシウムb-2を用いる方法である。ジアルコキシマグネシウムb-2に対して、スラリー法による工程αβ、洗浄工程ω、スラリー法による工程αβ、洗浄工程ωを順次行うことで、オレフィン重合用固体触媒成分Aを得ることができる。オレフィン重合用固体触媒成分Aを製造するまた別の方法は、3価のチタン原子、マグネシウム原子、およびハロゲン原子を含有する固体成分cを用いる方法である。固体成分cに対して、スラリー法による工程γ、洗浄工程ω、スラリー法による工程αβ、洗浄工程ω、スラリー法による接触工程α、洗浄工程ω、スラリー法による接触工程α、洗浄工程ωを順次行うことで、オレフィン重合用固体触媒成分Aを得ることができる。本発明の固体触媒成分Aは、公知方法によって有機アルミニウム化合物Bおよび任意の外部電子供与体Cと反応させることにより、オレフィン重合用固体触媒を形成する。本発明で用いられる有機アルミニウム化合物Bとして、米国特許6903041号公報に記載された化合物を例示することができる。中でも、好ましくは、トリアルキルアルミニウム、トリアルキルアルミニウムとジアルキルアルミニウムハライドとの混合物、または、アルキルアルモキサンであり、さらに好ましくはトリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリエチルアルミニウムとジエチルアルミニウムクロライドとの混合物またはテトラエチルジアルモキサンである。本発明で任意に用いられる外部電子供与体Cとしては、特開平7-216017公報、特開2006-96936公報、特開2009-173870公報、および特開2010-168545公報に記載の電子供与体を例示することができる。好ましくは酸素含有化合物および窒素含有化合物である。酸素含有化合物として、アルコキシケイ素、エーテル、エステル、およびケトンを例示することができる。中でも、好ましくはアルコキシケイ素またはエーテルである。外部電子供与体Cとしてのアルコキシケイ素は、下式viiで表される化合物が好ましい。R15hSiOR164-hvii[式中、R15は炭素原子数1~20のハイドロカルビル基、水素原子またはヘテロ原子含有置換基を表し、R16は炭素原子数1~20のハイドロカルビル基を表す。hは0≦h<4を満たす整数を表し、R15およびR16が複数存在する場合、それぞれのR15およびR16は同じか又は異なる。]外部電子供与体Cとしてのエーテルは、より好ましくは環状エーテル化合物である。環状エーテル化合物とは、環構造内に少なくともひとつのC-O-Cの結合を有する複素環式化合物であり、更に好ましくは環構造内に少なくともひとつのC-O-C-O-Cの結合を有する環状エーテル化合物である。外部電子供与体Cは、特に好ましくは、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、シクロヘキシルエチルジメトキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシラン、tert-ブチルエチルジメトキシシラン、tert-ブチル-n-プロピルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジシクロブチルジメトキシシラン、ジシクロペンチルジメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、イソブチルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、sec-ブチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリエトキシシラン、シクロペンチルトリエトキシシラン、ジエチルアミノトリメトキシシラン、ジエチルアミノトリエトキシシラン、1,3-ジオキソラン、および1,3-ジオキサンである。外部電子供与体Cは、1種類を用いても、あるいは2種以上の組合せを用いてもよい。オレフィン重合用固体触媒成分Aと、有機アルミニウム化合物Bと、任意に外部電子供与体Cとを接触させる方法は、オレフィン重合用固体触媒が生成される限り、特に限定されない。接触は溶媒の存在下または不在下で行われる。これらの接触混合物を重合槽に供給してもよいし、これらを別々に重合槽に供給して重合槽中で接触させてもよいし、任意の二成分の接触混合物と残りの成分とを別々に重合槽に供給してもよい。本発明のオレフィン重合体の製造方法で用いられるオレフィンとして、エチレンおよび炭素原子数3以上の1-オレフィンを例示することができる。1-オレフィンとして、プロピレン、1-ブテン、1-ペンテン、1-ヘキセン、1-ヘプテン、1-オクテン、および1-デセンのような直鎖状モノオレフィン;3-メチル-1-ブテン、3-メチル-1-ペンテン、および4-メチル-1-ペンテンのような分岐鎖状モノオレフィン;ビニルシクロヘキサンのような環状モノオレフィン;ならびに、これらの2種以上の組合せを例示することができる。中でも、好ましくはエチレンもしくはプロピレンの単独重合、または、エチレンもしくはプロピレンを主成分とする複数種のオレフィンの組合せの共重合であり、より好ましくはプロピレンの単独重合である。上記の複数種のオレフィンの組合せは、プロピレン以外の2種類またはそれ以上の種類の1-オレフィンの組合せを含んでいてもよく、共役ジエンや非共役ジエンのような多不飽和結合を有する化合物を含んでいてもよい。本発明のオレフィン重合体の製造方法で製造されるオレフィン重合体は、好ましくはエチレン単独重合体、プロピレン単独重合体、1-ブテン単独重合体、1-ペンテン単独重合体、1-ヘキセン単独重合体、エチレン-プロピレン共重合体、エチレン-1-ブテン共重合体、エチレン-1-ヘキセン共重合体、プロピレン-1-ブテン共重合体、プロピレン-1-ヘキセン共重合体、エチレン-プロピレン-1-ブテン共重合体、エチレン-プロピレン-1-ヘキセン共重合体、または、これらを多段重合して得られる共重合体である。本発明にかかるオレフィン重合用固体触媒を形成させるための方法は、以下の工程からなる方法の方が好ましい場合がある:1オレフィン重合用固体触媒成分A及び有機アルミニウム化合物Bの存在下、少量のオレフィン本来の重合通常、本重合と言われるで使用されるオレフィンと同一または異なるを重合させ生成されるオレフィン重合体の分子量を調節するために水素のような連鎖移動剤を用いてもよいし、外部電子供与体Cを用いてもよい、該オレフィンの重合体で表面が覆われた触媒成分を生成させる工程該重合は通常、予備重合と言われ、したがって該触媒成分は通常、予備重合触媒成分と言われる2予備重合触媒成分と、有機アルミニウム化合物Bおよび外部電子供与体Cとを接触させる工程。本発明における固体触媒成分という用語は、上記の固体触媒成分のみならず、予備重合触媒成分や両者の組合せをも意味する。予備重合は好ましくは、プロパン、ブタン、イソブタン、ペンタン、イソペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン及びトルエンのような不活性炭化水素を溶媒とするスラリー重合である。上記工程1で用いられる有機アルミニウム化合物Bの量は、工程1で用いられる固体触媒成分A中のチタン原子1mol当たり、通常0.5~700mol、好ましくは0.8~500mol、特に好ましくは1~200molである。予備重合されるオレフィンの量は、工程1で用いられるオレフィン重合用固体触媒成分A1g当たり通常0.01~1000g、好ましくは0.05~500g、特に好ましくは0.1~200gである。上記工程1のスラリー重合におけるオレフィン重合用固体触媒成分Aのスラリー濃度は、好ましくは1~500g-オレフィン重合用固体触媒成分/リットル-溶媒、特に好ましくは3~300g-オレフィン重合用固体触媒成分/リットル-溶媒である。予備重合の温度は、好ましくは-20~100°C、特に好ましくは0~80°Cである。予備重合における気相部のオレフィンの分圧は、好ましくは0.01~2MPa、特に好ましくは0.1~1MPaであるが、予備重合の圧力や温度において液状であるオレフィンについては、この限りではない。予備重合の時間は特に制限されず、好ましくは2分間から15時間である予備重合における、オレフィン重合用固体触媒成分A、有機アルミニウム化合物B及びオレフィンを重合槽へ供給する方法として、以下の方法1および2を例示することができる:1オレフィン重合用固体触媒成分Aと有機アルミニウム化合物Bとを供給した後、オレフィンを供給する方法;および2オレフィン重合用固体触媒成分Aとオレフィンとを供給した後、有機アルミニウム化合物Bを供給する方法。予備重合における、オレフィンを重合槽へ供給する方法として、以下の方法1および2を例示することができる:1重合槽内の圧力を所定の圧力に維持するようにオレフィンを順次供給する方法;および2オレフィンの所定量の全量を一括して供給する方法。予備重合で用いられる外部電子供与体Cの量は、オレフィン重合用固体触媒成分A中に含まれるチタン原子1molに対して、通常0.01~400mol、好ましくは0.02~200mol、特に好ましくは、0.03~100molであり、有機アルミニウム化合物B1molに対して、通常0.003~5mol、好ましくは0.005~3mol、特に好ましくは0.01~2molである。予備重合における、外部電子供与体Cを重合槽へ供給する方法として、以下の方法1および2を例示することができる:1外部電子供与体Cを単独で供給する方法;および2外部電子供与体Cと有機アルミニウム化合物Bとの接触物を供給する方法。予備重合については、上記特開平11-322833号公報にも記載されている。本重合時の有機アルミニウム化合物Bの使用量は、オレフィン重合用固体触媒成分A中のチタン原子1molあたり、通常1~1000mol、特に好ましくは5~600molである。本重合時の外部電子供与体Cの使用量は、オレフィン重合用固体触媒成分A中に含まれるチタン原子1molあたり、通常0.1~2000mol、好ましくは0.3~1000mol、特に好ましくは0.5~800molであり、有機アルミニウム化合物B1molあたり、通常0.001~5mol、好ましくは0.005~3mol、特に好ましくは0.01~1molである。本重合の温度は、通常-30~300°C、好ましくは20~180°Cである。重合圧力は特に制限されず、工業的かつ経済的であるという点で、一般に常圧~10MPa、好ましくは200kPa~5MPa程度である。重合はバッチ式または連続式であり、重合方法としてプロパン、ブタン、イソブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンおよびオクタンのような不活性炭化水素を溶媒とするスラリー重合法または溶液重合法や、重合温度において液状であるオレフィンを媒体とするバルク重合法や、気相重合法を例示することができる。本重合で得られる重合体の分子量を調節するために、連鎖移動剤例えば、水素や、ジメチル亜鉛およびジエチル亜鉛のようなアルキル亜鉛を用いてもよい。本発明によれば、十分に高い重合活性を示し、且つ、CXS成分の含量の少ない重合体を与えるオレフィン重合用固体触媒成分の製造方法、オレフィン重合用固体触媒およびオレフィン重合体の製造方法を得ることが出来る。以下、実施例および比較例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明は以下の実施例によって特に限定をうけるものではない。<触媒の分析>固体触媒成分の組成分析についてはそれぞれ次のように実施した。即ち、チタン原子含有量は、固体サンプル約20mgを2規定の希硫酸約30mlで分解、これに過剰となる3重量過酸化水素水3mlを加え、得られた液状サンプルの410nmの特性吸収を日立製ダブルビーム分光光度計U-2001型を用いて測定し、別途作成しておいた検量線によって求めた。アルコキシ基含有量は、固体サンプル約2gを水100mlで分解後、得られた液状サンプル中のアルコキシ基に対応するアルコール量を、ガスクロマトグラフィー内部標準法を用いて求め、アルコキシ基含有量に換算した。内部電子供与体dの含量は、固体触媒成分約300mgをN,N-ジメチルアセトアミド100mlに溶解後、溶液中の内部電子供与体d量をガスクロマトグラフィー内部標準法で求めた。<ポリマーの分析>オレフィン重合体の20°Cキシレン可溶成分量以下CXSと略すは以下のように測定した。1gの重合体を200mlの沸騰したキシレンに溶解させたのち、50°Cまで徐冷し、次いで氷水に浸し撹拌しながら20°Cまで冷却し、20°Cで3時間放置したのち、析出した重合体を濾別した。濾液中に残存した重合体の重量百分率をCXS単位=重量とした。上記のオレフィン重合体の極限粘度以下[η]と略す;単位=dl/gはテトラリン溶媒、135°Cで測定した。[実施例1]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成撹拌機、滴下ロート、温度計を備えた200mlのフラスコを窒素で置換した後、該フラスコに、球状のジエトキシマグネシウムマグネシウム化合物b5gとクロロベンゼン40mlを加えた。四塩化チタンチタン化合物a10mlを加え、およびジエチルマロン酸ジクロリド内部電子供与体前駆体e1.5mlを投入し、110°Cにて3時間攪拌した。次いで、攪拌混合物を固液分離し、110°Cにてトルエン50mlでの洗浄を3回繰り返し、洗浄後の固体にトルエン40mlを投入した。これに四塩化チタン10ml、およびジイソブチルマロン酸ジエチル内部電子供与体d0.5mlを投入し、110°Cで1時間攪拌した。その後、攪拌混合物を固液分離し、110°Cにてトルエン50mlでの洗浄を3回繰り返した後、さらに室温にてヘキサン50mlでの洗浄を3回繰り返し、洗浄後の固体を減圧乾燥して固体触媒成分A5.22gを得た。該固体触媒成分はジエチルマロン酸ジエチル内部電子供与体d5.4重量およびジイソブチルマロン酸ジエチル6.3重量を含んでいた。その他の分析結果は表1に示す。2プロピレンの重合内容積3リットルの撹拌機付きオートクレーブを十分乾燥した後これを真空にした。トリエチルアルミニウム有機アルミニウム化合物B2.63mmol、シクロヘキシルエチルジメトキシシラン外部電子供与体C0.26mmol、および1で合成したオレフィン重合用固体触媒成分A5.04mgを加えた。次いで、プロピレン780gと水素0.2MPaを加えた。オートクレーブの温度を80°Cに昇温し、80°Cで1時間重合を行った。重合反応終了後、未反応モノマーをパージし、246gのプロピレン重合体を得た。触媒単位量当たりの重合体の生成量重合活性は48800g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表1に示す。[実施例2]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジエチルマロン酸ジクロリドおよびジイソブチルマロン酸ジエチルの代わりにジエチルマロン酸ジエチルを用いた他は実施例11と同様に行ったところ、固体触媒成分A5.32gを得た。分析結果を表1に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを8.53mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は47800g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表1に示す。[実施例3]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジエチルマロン酸ジクロリドの代わりにジエチルマロン酸ジエチルを用いた他は実施例11と同様に行ったところ、固体触媒成分A5.19gを得た。分析結果を表1に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを4.59mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は51200g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表1に示す。[比較例1]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジイソブチルマロン酸ジエチルを用いなかった他は実施例11と同様に行ったところ、固体触媒成分A4.96gを得た。分析結果を表1に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを7.20mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は35700g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表1に示す。[比較例2]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジエチルマロン酸ジクロリドの代わりにジエチルマロン酸ジエチルを用い、ジイソブチルマロン酸ジエチルを用いなかった他は実施例11と同様に行ったところ、固体触媒成分A5.20gを得た。分析結果を表1に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを5.93mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は43000g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表1に示す。[実施例4]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成撹拌機、滴下ロート、温度計を備えた100mlのフラスコを窒素で置換した後、該フラスコに、特開2004-182981号公報の実施例11に記載の固体成分cスラリーを、該固体成分が8.00gになるように加えた。静置後、スラリー濃度が0.40g-固体成分/ml-溶媒となるようにトルエンを抜き出した。100°Cへ昇温し、ジエチルマロン酸ジクロリド内部電子供与体前駆体e1.6mlを加え、同温度で30分攪拌した。その後、攪拌混合物を固液分離し、100°Cにてトルエン40mlで3回洗浄し、洗浄後の固体にトルエン15mlを投入した。その後、65°Cにて四塩化チタンチタン化合物a16mlおよびジエチルマロン酸ジエチル内部電子供与体d1.6mlを投入し、115°Cで3時間攪拌した。その後、攪拌混合物を固液分離し、100°Cにてトルエン40mlで3回洗浄し、洗浄後の固体にトルエン15mlを投入した。これに四塩化チタン6.4mlを投入し、110°Cで1時間攪拌した。その後、攪拌混合物を固液分離し、100°Cにてトルエン40mlで3回洗浄した。これに四塩化チタン6.4mlを投入し、110°Cで1時間攪拌した。その後、攪拌混合物を固液分離し、100°Cにてトルエン40mlでの洗浄を3回繰り返した後、さらに室温にてヘキサン40mlでの洗浄を3回繰り返し、洗浄後の固体を減圧乾燥して固体触媒成分A6.25gを得た。該固体触媒成分は、ジエチルマロン酸ジエチル6.9重量を含んでいた。その他の分析結果は表2に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを8.85mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は21700g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表2に示す。[実施例5]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジエチルマロン酸ジエチルの代わりにジイソブチルマロン酸ジエチルを用いた他は実施例41と同様に行ったところ、固体触媒成分A7.12gを得た。分析結果を表2に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを7.00mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は28000g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表2に示す。[比較例3]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジエチルマロン酸ジエチルを用いなかった他は実施例41と同様に行ったところ、固体触媒成分A6.78gを得た。分析結果を表2に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを7.37mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は19800g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表2に示す。[比較例4]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジエチルマロン酸ジクロリドを用いなかった他は実施例41と同様に行ったところ、固体触媒成分A8.00gを得た。分析結果を表2に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを6.32mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は20500g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表2に示す。[比較例5]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジエチルマロン酸ジクロリドの代わりにマロン酸ジクロリドを用い、ジエチルマロン酸ジエチルの代わりにn-ブチルマロン酸ジエチルを用い、クロロベンゼンを用いなかった他は実施例41と同様に行ったところ、固体触媒成分A8.37gを得た。分析結果を表2に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを8.72mg用いた他は実施例12と同様に行ったが、重合体はほとんど得られなかった[比較例6]1オレフィン重合用固体触媒成分Aの合成ジエチルマロン酸ジクロリドの代わりにフタル酸クロリドを用い、ジエチルマロン酸ジエチルの代わりにフタル酸ジイソブチルを用いた他は実施例41と同様に行ったところ、固体触媒成分A6.38gを得た。分析結果を表2に示す。2プロピレンの重合1で得た固体触媒成分Aを9.81mg用いた他は実施例12と同様に行った。重合活性は13200g-PP/g-固体触媒成分であった。得られた結果を表2に示す。-:得られた重合体量が少なく、分析できなかった。"