静電容量検出用の固定電極と、前記固定電極に対向して配置される可動電極と、前記固定電極と前記可動電極の間において前記可動電極と略接触した状態で配置される絶縁層と、前記可動電極を前記絶縁層に沿って移動または回転可能に支持する支持部と、を備えることを特徴とする、力検出装置。前記可動電極および前記支持部は、導電性弾性材料により一体的に構成されることを特徴とする、請求項1に記載の力検出装置。前記可動電極は、前記絶縁層と略接触する面が異なる材質から構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載の力検出装置。前記可動電極は、前記支持部が接続される基部と、前記絶縁層に向けて前記基部から突設され、先端面が前記絶縁層に略接触する突出部と、を有することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の力検出装置。前記突出部は、前記先端面の一部が前記固定電極の一部と重なるように配置されることを特徴とする、請求項4に記載の力検出装置。前記可動電極は、前記絶縁層に向けて前記基部から突設され、先端部が前記絶縁層に固定される補助支持部を有することを特徴とする、請求項4または5に記載の力検出装置。前記補助支持部は、前記可動電極の略中央に設けられることを特徴とする、請求項6に記載の力検出装置。前記基部は、入力により変形して前記固定電極までの距離が変化する変位部を有することを特徴とする、請求項4乃至7のいずれかに記載の力検出装置。複数の前記固定電極と、前記複数の固定電極に対応して設けられる複数の前記突出部と、を備えることを特徴とする、請求項4乃至8のいずれかに記載の力検出装置。前記突出部は、円筒状に構成され、前記先端面には、複数の溝が半径方向に形成されることを特徴とする、請求項4乃至8のいずれかに記載の力検出装置。前記固定電極は、円周上に複数配置されると共に、互いの間隔が前記円周の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状に構成されることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれかに記載の力検出装置。前記固定電極は、円周上に複数配置され、前記可動電極は、互いに隣り合う2つの前記固定電極からなる1組の固定電極ごとに設けられる複数の前記突出部を有し、前記突出部は、前記1組の固定電極に含まれる2つの前記固定電極に前記先端面が跨るように配置されることを特徴とする、請求項4乃至8のいずれかに記載の力検出装置。前記固定電極は、第1の円周上に複数配置されると共に、前記第1の円周と同心円である第2の円周上に複数配置され、前記可動電極は、前記第1の円周上において互いに隣り合う2つの前記固定電極、および前記第2の円周上の1つの前記固定電極からなる1組の固定電極ごとに設けられる複数の突出部を有し、前記突出部は、前記1組の固定電極に含まれる3つの固定電極に前記先端面が跨るように配置されることを特徴とする、請求項4乃至8のいずれかに記載の力検出装置。前記第2の円周上の前記固定電極は、互いの間隔が前記第2の円周の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状に構成されることを特徴とする、請求項13に記載の力検出装置。前記固定電極は、第1の円周上に複数配置されると共に、前記第1の円周と同心円である第2の円周上に複数配置され、前記可動電極は、前記第1の円周上において互いに隣り合う2つの前記固定電極からなる1組の固定電極ごとに設けられ、前記1組の固定電極に含まれる2つの固定電極に前記先端面が跨るように配置される複数の突出部と、前記第2の円周上に配置された前記固定電極に対応して設けられ、入力により変形して対応する前記固定電極までの距離が変化する複数の変位部と、を有することを特徴とする、請求項8に記載の力検出装置。前記支持部は、基板に固定される固定部と、前記固定部と前記可動電極を繋ぐと共に前記可動電極の移動または回転に伴って変形する変形部と、を有することを特徴とする、請求項1乃至15のいずれかに記載の力検出装置。前記固定部は、前記可動電極の外周を囲むように形成され、前記可動電極の移動範囲を制限するストッパとして兼用されることを特徴とする、請求項16に記載の力検出装置。静電容量検出用の固定電極と、前記固定電極に対向して配置される可動電極と、前記固定電極と前記可動電極の間において前記可動電極に設けられ、前記固定電極と略接触した状態で配置される絶縁層と、前記可動電極を前記固定電極の前記絶縁層と略接触する面に沿って移動または回転可能に支持する支持部と、を備えることを特徴とする、力検出装置。前記可動電極および前記支持部は、導電性弾性材料により一体的に構成されることを特徴とする、請求項18に記載の力検出装置。このような力検出センサは、三次元座標におけるx、y、zの各方向の力分力を検出可能に構成されているものが汎用性の観点からは望ましい。しかしながら、一般的に入力装置として使用される力検出装置は、上記特許文献1に記載されているように、所定の面に対する垂直方向z方向の押し込み位置によって水平方向x、y方向の操作方向を指示するように構成されており、x、y、z方向の力をそれぞれ検出するようには構成されていないため、汎用性に乏しいという問題があった。一方、上記特許文献2に記載されているように、x、y、zの各方向の力に加え、さらにx、y、z軸周りのモーメントを検出可能に構成された力検出装置も存在している。しかしながら、上記特許文献2に記載の力検出装置は、金属やセラミックス等の材質を組み合わせて構成されると共に、複数の肉薄部およびダイアフラム、ならびに肉薄部とダイアフラムを繋ぐ柱状の力伝達体を備える複雑な構造を有しているため、製造コストが高いだけではなく、小型化薄型化が難しいという問題があった。さらに、上記特許文献2に記載の力検出装置では、耐荷重性が肉薄部およびダイアフラム部の強度によって決まるため、強度および耐久性を高めるためには、さらに強度メンバーを追加する等、より一層複雑な構造とならざるを得ないという問題があった。本発明は、斯かる実情に鑑み、簡素且つ安価な構成で小型化薄型化が容易でありながらも汎用性の高い力検出装置を提供しようとするものである。1本発明は、静電容量検出用の固定電極と、前記固定電極に対向して配置される可動電極と、前記固定電極と前記可動電極の間において前記可動電極と略接触した状態で配置される絶縁層と、前記可動電極を前記絶縁層に沿って移動または回転可能に支持する支持部と、を備えることを特徴とする、力検出装置である。2本発明はまた、前記可動電極および前記支持部は、導電性弾性材料により一体的に構成されることを特徴とする、上記1に記載の力検出装置である。3本発明はまた、前記可動電極は、前記絶縁層と略接触する面が異なる材質から構成されることを特徴とする、上記1または2に記載の力検出装置である。4本発明はまた、前記可動電極は、前記支持部が接続される基部と、前記絶縁層に向けて前記基部から突設され、先端面が前記絶縁層に略接触する突出部と、を有することを特徴とする、上記1乃至3のいずれかに記載の力検出装置である。5本発明はまた、前記突出部は、前記先端面の一部が前記固定電極の一部と重なるように配置されることを特徴とする、上記4に記載の力検出装置である。6本発明はまた、前記可動電極は、前記絶縁層に向けて前記基部から突設され、先端部が前記絶縁層に固定される補助支持部を有することを特徴とする、上記4または5に記載の力検出装置である。7本発明はまた、前記補助支持部は、前記可動電極の略中央に設けられることを特徴とする、上記6に記載の力検出装置である。8本発明はまた、前記基部は、入力により変形して前記固定電極までの距離が変化する変位部を有することを特徴とする、上記4乃至7のいずれかに記載の力検出装置である。9本発明はまた、複数の前記固定電極と、前記複数の固定電極に対応して設けられる複数の前記突出部と、を備えることを特徴とする、上記4乃至8のいずれかに記載の力検出装置である。10本発明はまた、前記突出部は、円筒状に構成され、前記先端面には、複数の溝が半径方向に形成されることを特徴とする、上記4乃至8のいずれかに記載の力検出装置である。11本発明はまた、前記固定電極は、円周上に複数配置されると共に、互いの間隔が前記円周の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状に構成されることを特徴とする、上記1乃至10のいずれかに記載の力検出装置である。12本発明はまた、前記固定電極は、円周上に複数配置され、前記可動電極は、互いに隣り合う2つの前記固定電極からなる1組の固定電極ごとに設けられる複数の前記突出部を有し、前記突出部は、前記1組の固定電極に含まれる2つの前記固定電極に前記先端面が跨るように配置されることを特徴とする、上記4乃至8のいずれかに記載の力検出装置である。13本発明はまた、前記固定電極は、第1の円周上に複数配置されると共に、前記第1の円周と同心円である第2の円周上に複数配置され、前記可動電極は、前記第1の円周上において互いに隣り合う2つの前記固定電極、および前記第2の円周上の1つの前記固定電極からなる1組の固定電極ごとに設けられる複数の突出部を有し、前記突出部は、前記1組の固定電極に含まれる3つの固定電極に前記先端面が跨るように配置されることを特徴とする、上記4乃至8のいずれかに記載の力検出装置である。14本発明はまた、前記第2の円周上の前記固定電極は、互いの間隔が前記第2の円周の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状に構成されることを特徴とする、上記13に記載の力検出装置である。15本発明はまた、前記固定電極は、第1の円周上に複数配置されると共に、前記第1の円周と同心円である第2の円周上に複数配置され、前記可動電極は、前記第1の円周上において互いに隣り合う2つの前記固定電極からなる1組の固定電極ごとに設けられ、前記1組の固定電極に含まれる2つの固定電極に前記先端面が跨るように配置される複数の突出部と、前記第2の円周上に配置された前記固定電極に対応して設けられ、入力により変形して対応する前記固定電極までの距離が変化する複数の変位部と、を有することを特徴とする、上記8に記載の力検出装置である。16本発明はまた、前記支持部は、基板に固定される固定部と、前記固定部と前記可動電極を繋ぐと共に前記可動電極の移動または回転に伴って変形する変形部と、を有することを特徴とする、上記1乃至15のいずれかに記載の力検出装置である。17本発明はまた、前記固定部は、前記可動電極の外周を囲むように形成され、前記可動電極の移動範囲を制限するストッパとして兼用されることを特徴とする、上記16に記載の力検出装置である。18本発明はまた、静電容量検出用の固定電極と、前記固定電極に対向して配置される可動電極と、前記固定電極と前記可動電極の間において前記可動電極に設けられ、前記固定電極と略接触した状態で配置される絶縁層と、前記可動電極を前記固定電極の前記絶縁層と略接触する面に沿って移動または回転可能に支持する支持部と、を備えることを特徴とする、力検出装置である。19本発明はまた、前記可動電極および前記支持部は、導電性弾性材料により一体的に構成されることを特徴とする、上記18に記載の力検出装置である。本発明に係る力検出装置によれば、簡素且つ安価な構成で小型化薄型化が容易でありながらも、汎用性が高いという優れた効果を奏し得る。以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。<第1の実施形態>まず、本発明の第1の実施形態に係る力検出装置1について説明する。図1aは、力検出装置1の平面図であり、同図bは、力検出装置1の正面図であり、同図cは、同図aのA-A線断面図である。これらの図に示されるように、力検出装置1は、矩形板状の基板10、および基板10の一方の面に固定される受力体20から構成されており、基板10に形成された固定電極30と受力体20が備える可動電極22の間の静電容量の変化に基づいて入力された力を検出するものである。なお、以下の説明では、基板10の幅方向をx方向、基板10の長手方向をy方向、基板10の面に直交する方向をz方向とする。また、z方向を垂直方向とし、基板10の上面10aに受力体20が固定されているものとして説明するが、力検出装置1の姿勢がこの状態に限定されないことは言うまでもない。図2aは、基板10の平面図であり、同図bは、基板10の正面図であり、同図cは、基板10の底面図である。基板10は、例えばポリイミドやポリエチレンテレフタレートPET等の薄手の樹脂フィルムから構成されている。同図aおよびbに示されるように、基板10の上面10a受力体20が固定される面には、円環状の接続電極32が形成されている。また、同図bおよびcに示されるように、基板10の底面10b受力体20の反対側の面には、静電容量検出用の固定電極30、および6つの端子電極34が形成されている。固定電極30は、可動電極22との間の静電容量の変化から受力体20が受けた力の方向および大きさを検出するためのものである。固定電極30は、x-y平面内の力を検出するための4つのxy用電極30a、30b、30c、30dと、z方向の力を検出するためのz用電極30eとの計5つの電極から構成されており、可動電極22に対応する位置に形成されている。4つのxy用電極30a~30dは、扇形に類似した形状にそれぞれ形成されており、仮想円周R上に略対称に配置されている。より具体的には、4つのxy用電極30a~30dは、仮想円周Rよりも大径の同心円を4分割した扇形の2つの直線部分をさらに斜めに切り欠いた形状にそれぞれ形成されており、互いの間隔が仮想円周Rの半径方向内側に向けて仮想円周Rの中心に向けて漸次拡大するように構成されている。z用電極30eは、仮想円周Rよりも小径の同心円状に形成されている。すなわち、z用電極30eは、仮想円周Rの中心に配置されている。接続電極32は、受力体20と接触して可動電極22と電気的に短絡するためのものである。接続電極32は、受力体20の固定位置に対応する位置に配置されると共に、受力体20の外周形状に合わせた円環状に形成されている。なお、接続電極32は、円環状に構成されるものではなく、受力体20の外周形状に沿って配置した複数例えば4つの点状円形状等に構成されるものであってもよい。6つの端子電極34は、力検出装置1が組み込まれるホスト機器の基板に力検出装置1を電気的に接続するためのものである。6つの端子電極34は、所定の規格等に基づいて基板10の端部に配列されており、それぞれ図示を省略した配線によってxy用電極30a~30d、z用電極30eおよび接続電極32に電気的に短絡されている。なお、本実施形態では、固定電極30、接続電極32および端子電極34は、基板10上にスクリーン印刷法によって形成された銀電極から構成されているが、例えばスパッタリングにより成膜した銅やアルミの薄膜をパターニングする等、他の手法によって固定電極30、接続電極32および端子電極34を形成するようにしてもよい。図3aは、受力体20の平面図であり、同図bは、受力体20の正面図側面図であり、同図cは、受力体20の底面図である。また、同図dは、同図aのB-B線断面図であり、同図eは、同図aのD-D線断面図である。受力体20は、導電性ゴム等の導電性弾性材料から構成されており、これらの図に示されるように、略円盤状の可動電極22、および可動電極22を外周側から支持する支持部24を備えている。すなわち、本実施形態では、可動電極22および支持部24を導電性弾性材料によって一体成形している。可動電極22は、x-y平面内の力を受けた場合にx-y平面内で移動すると共に、z方向の力を受けた場合に変形する部分である。可動電極22は、略円盤状の基部22a、および基部22aの外周部から基板10に向けて突設された4つの突出部22bから構成されている。そして、4つの突出部22bの間には、半径方向に沿って形成された溝部22cが設けられており、基部22aの中央部、すなわち突出部22bが設けられていない部分は、z方向の力を受けた場合に変形する変位部22dとなっている。4つの突出部22bは、円筒を溝部22cによって4分割した形状にそれぞれ構成されており、先端面22b1の形状が幅広の円弧状となっている。従って、突出部22bは、先端面22b1に4つの溝部22cが半径方向に形成された円筒状の1つの突出部22bとみなすこともできる。なお、4つの溝部22cは、可動電極22が移動する際に空気を流通させる通気孔として機能するようになっている。突出部22bの先端面22b1は、基板10の上面10aと略接触し、可動電極22の移動に伴って上面10aに対して滑動する部分である。なお、ここで略接触とは、先端面22b1と上面10aが全体的に接触した状態、表面の凹凸等によって部分的に接触した状態、および先端面22b1と上面10aの間に他の介在物例えば、気体や液体の薄い層、潤滑剤または汚れ等を挟んで接触した状態その他の幅広い接触状態を意味している。本実施形態では、突出部22bの先端面22b1にフッ素樹脂等の摩擦係数の低い被膜をコーティングしている。すなわち、基板10と略接触する先端面22b1を、受力体20を構成する導電性弾性材料とは異なる材質から構成している。このようにすることで、可動電極22と支持部24を導電性弾性材料によって一体形成しながらも、可動電極22を基板10の上面10aに沿ってスムーズに移動させることが可能となる。すなわち、受力体20をコンパクト且つ安価に構成しながらも、力の検出精度を高めることができる。支持部24は、突出部22bの先端面22b1が基板10の上面10aに略接触した状態のまま、可動電極22を上面10aに沿ってすなわち、x-y平面内において移動可能に支持するものである。支持部24は、基板10に固定される固定部24a、および固定部24aと可動電極22を繋ぐ変形部24bを備えている。固定部24aは、可動電極22を外周側から囲む円形の枠状に構成されており、下端部には、基板10に接着される接着面24a1が、可動電極22の突出部22bの先端面22b1と略同一平面上となるように形成されている。また、固定部24aの下端部には、接続電極32と接触する接触面24a2が、接着面24a1に対して接続電極32の厚さに応じた段差を付けて形成されている。固定部24aの下端部には、さらに、可動電極22の溝部22cに対応した4箇所に、4つの外側溝部24cが半径方向に沿って形成されている。この4つの外側溝部24cは、溝部22cと同様に、可動電極22が移動する際に空気を流通させる通気孔として機能するようになっている。変形部24bは、固定部24aの上面24a3の内周側から上方に向かった後に半径方向内側に向けて曲折して可動電極22に接続するように構成されている。変形部24bは、可動電極22の突出部22bの先端面22b1を基板10の上面10aと略接触した状態に保持すると共に、可動電極22の移動に伴って弾性変形可能な適宜の厚さに構成されている。また、変形部24bは、復元力によって可動電極22を中心位置に保持するようになっている。また、本実施形態では、変形部24bを可動電極22の外周を囲むように設けることで、可動電極22の移動に伴って変形した変形部24bの復元力が、可動電極22を上面10aに向けて適度に付勢する付勢力として作用するようにしている。図1に戻って、受力体20は、接着剤による接着や融着、溶着等の既知の手法によって支持部24の接着面24a1を基板10の上面10aに接着することで、基板10に固定されている。支持部24の接触面24a2は接続電極32に接触しており、これにより、可動電極22は接続電極32と電気的に短絡されている。また、可動電極22は、固定電極30に対向する位置に配置されている。可動電極22の4つの突出部22bは、先端面22b1が基板10の上面10aに略接触すると共に、先端面22b1の一部がxy用電極30a~30dの一部と重なるように位置している。また、可動電極22の変位部22dは、z用電極30eに対向するように位置している。従って、本実施形態では、4つのxy用電極30a~30dと4つの突出部22bとの間に4つの静電容量Ca、Cb、Cc、Cdが形成され、z用電極30eと変位部22dの間にもう1つの静電容量Ceが形成されるようになっている。本実施形態では、受力体20を基板10の上面10aに固定し、固定電極30を基板10の底面10bに形成することで、基板10を可動電極22と固定電極30の間の絶縁層として機能させるようにしている。このようにすることで、受力体10の構成と相俟って力検出装置1全体の厚さz方向の寸法を従来以上に薄くすることが可能となっている。なお、他の機器との電気的短絡を防止するために、固定電極30の下側に絶縁層を設けるようにしてもよい。次に、力検出装置1の作用について説明する。上述の構成により、本実施形態の力検出装置1は、x-y平面内の力の方向および大きさ、ならびにzの負方向の力の大きさを検出することが可能となっている。すなわち、力検出装置1は、例えばカーソル等の対象物の移動を指示する操作および選択操作が可能な入力装置や、ロボットハンドの先端部に設けられて把持物に加わる重力等の力および把持力を検出する触覚センサとして利用可能に構成されている。図4a~dは、力検出装置1が力Fを受けた状態を示した図である。図4a~cは、力検出装置1がx-y平面内の力Fを受けた場合を示しており、図4aは、図1aのA-A線断面図、図4bおよびcは、突出部22bとxy用電極30a~30dの重なりを示した概略図である。なお、図4bおよびcにおいては、突出部22bとxy用電極30a~30dの重なり部分をハッチングによって示している。また、図4dは、力検出装置1がzの負方向の力Fを受けた場合を示しており、図1のA-A線断面図である。図4aに示されるように、例えば入力操作によってyの正方向の力Fを受けた場合、可動電極22は、突出部22bの先端面22b1が基板10の上面10aに略接触した状態を保ちながら上面10a上を滑ってyの正方向に移動することとなる。このとき、支持部24は、変形部24bが適宜に弾性変形する、特に垂直部分が傾倒することにより、可動電極22の移動を許容すると共に、可動電極22の移動量が略力Fの大きさに応じた移動量となるようにする。また、変形部24bの弾性変形に伴う復元力が可動電極22を上面10aに向けて適度に付勢することにより、移動中も先端面22b1が上面10aに略接触した状態が保たれるようになっている。本実施形態では、突出部22bをxy用電極30a~30dに対して内側仮想円周Rの中心側にオフセットして配置することにより、x-y平面内の力Fを受けていない状態では、先端面22b1の外側部分の一部がxy用電極30a~30dの内側部分の一部と重なるようにしている図1a参照。このため、可動電極22が移動した場合、可動電極22の移動方向および移動量に応じて突出部22bとxy用電極30a~30dの重なり部分の面積重なり面積が変化し、これにより各xy用電極30a~30dにおける静電容量Ca~Cdがそれぞれ変化することとなる。従って、この静電容量Ca~Cdの変化に基づいて力Fの方向および大きさを検出することができる。例えば図4bに示されるように、yの正方向の力Fを受けて可動電極22がyの正方向に移動した場合、突出部22bとxy用電極30aおよび30bの重なり面積が増加し、突出部22bとxy用電極30cおよび30dの重なり面積が減少することとなる。従って、xy用電極30aおよび30bにおける静電容量CaおよびCbが増加し、xy用電極30cおよび30dにおける静電容量CcおよびCdが減少することとなる。また、図4cに示されるように、xの正方向且つyの負方向の斜め方向の力Fを受けた場合には、突出部22bとxy用電極30cの重なり面積が大きく増加し、突出部22bとxy用電極30bの重なり面積が大きく減少することとなるため、静電容量Ccが大きく増加し、静電容量Cbが大きく減少することとなる。このように、x-y平面内の力Fを受けて可動電極22が上面10aに沿って移動した場合、可動電極22の移動方向および移動量に応じて静電容量Ca~Cdが変化することとなるため、静電容量Ca~Cdの値または変化量からx-y平面内の力Fの方向および大きさを算出することができる。なお、本実施形態では、4つの突出部22bの間にそれぞれ溝部22cを設けると共に、支持部24の固定部24aに外側溝部24cを設けているため、可動電極22が移動した際に溝部22cおよび外側溝部24cを通じてスムーズに空気または、その他の気体もしくは液体等を流動させることが可能となっている。すなわち、可動電極22と支持部24の間の空間で空気が局部的に圧縮または膨張されるのを防止して可動電極22の移動に対する抵抗を減少させるようにしている。また、溝部22cを設けることにより、可動電極22が移動した際に先端面22b1と上面10aの間に空気が入り込むのを防止することができる。これにより、先端面22b1が上面10aに略接触した状態を維持する、すなわち先端面22b1と上面10aの間の距離を一定に保つことができるため、静電容量の不用意な変化を防止し、検出精度を高めることが可能となっている。また、本実施形態では、支持部24の固定部24aを可動電極22を囲む枠状に構成することにより、固定部24aを可動電極22の移動範囲を制限するストッパとしても兼用している。このように可動電極22の移動範囲を制限することで、変形部24bに加わる負担を軽減することができるため、力検出装置1の耐久性を高めることが可能となる。さらに、突出部22bの先端面22b1と基板10の上面10aの接触状態を安定的に保つことができるため、検出精度を高めることが可能となる。また、固定部24aをストッパとして兼用することにより、力検出装置1を簡素に構成することができるため、力検出装置1を従来以上に小型化薄型化することが可能となっている。また、本実施形態では、xy用電極30a~30dの形状を、互いの間隔例えば、xy用電極30aとxy用電極30bの間隔が仮想円周R図2参照の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状に構成することにより、静電容量Ca~Cdが可動電極22の移動量に略比例して変化するようにしている。このようにすることで、力検出装置1を簡素に構成しながらも、x-y平面内の力Fの検出精度を高めることができる。一方、図4dに示されるように、例えば入力操作における押し込み操作によってzの負方向の力Fを受けた場合、可動電極22は、中央部の変位部22dが力Fの大きさに応じて変形し、力Fの大きさに応じてz用電極30eに近づくこととなる。すなわち、力Fの大きさに応じてz用電極30eにおける静電容量Ceが増加することとなるため、静電容量Ceの値または変化量からzの負方向の力Fの大きさを算出することができる。なお、本実施形態では、突出部22bのx-y平面における断面形状を円弧状に構成すると共に、固定部24aによって可動電極22の移動範囲を制限することにより、可動電極22が上面10aに沿って最大限に移動した場合にも、突出部22bがz用電極30eに重ならないようになっている。すなわち、x-y平面内の力Fに影響されることなく、zの負方向の力Fを高精度に検出することが可能となっている。また、溝部22cおよび外側溝部24cを設けることで、変位部22dが変形した際に、突出部22bの内側の空間内の空気または、その他の気体もしくは液体等をスムーズに外側に排出することができるため、変位部22dの変形に対する抵抗を減少させることが可能となっている。さらに、溝部22cを設けることによって変位部22dが変形した際に、先端面22b1と上面10aの間に空気が入り込んで先端面22b1が浮き上がるのを防止することができるため、zの負方向の力Fに影響されることなく、x-y平面内の力Fを高精度に検出することが可能となっている。図5は、力検出装置1が受けた力を検出するための回路を示した図である。同図に示すような回路を構成し、静電容量Ca~Ceに対して周期的に変化する電圧を加えると、各静電容量Ca~Ceに応じた電圧Va~VeがC/V変換器50から演算処理装置52に出力される。力検出装置1の可動電極22が力を受けると、力の大きさおよび方向に応じて各静電容量Ca~Ceが変化し、これによりC/V変換器50から出力される電圧Va~Veも変化することとなる。そして、演算処理装置52は、この電圧Va~Veの変化に基づいて力の方向および大きさを算出する。具体的には、演算処理装置52は、静電容量Ca~Cdの変化に伴う電圧Va~Vdの変化に基づいて、力のx-y平面における方向および大きさを算出する。また、静電容量Ceの変化に伴う電圧Veの変化に基づいて、zの負方向の力の大きさを算出する。なお、基板10に設けた参照電極との比較により、各静電容量Ca~Ceの変化電圧Va~Veの変化を求めるようにしてもよい。演算処理装置52による算出結果は、ホスト機器等の外部の機器に出力される。なお、C/V変換器50および演算処理装置52は、基板10に実装されるものであってもよいし、力検出装置1の外部に設けられるものであってもよい。また、演算処理装置52は、力検出装置1専用の装置として設けられるものであってもよいし、例えばホスト機器のCPU等、外部の機器における機能の一部として実現されるものであってもよい。次に、力検出装置1のその他の形態について説明する。図6a~cは、xy用電極30a~30dのその他の形態の例を示した底面図である。まず、同図aおよびbは、xy用電極30a~30dのその他の形状の例を示している。xy用電極30a~30dの形状は、互いの間隔が仮想円周R図2参照の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状であれば、例えば同図aに示されるような略銀杏の葉状の形状であってもよいし、同図bに示されるような略紡錘形状であってもよい。すなわち、xy用電極30a~30dの互いに隣り合う辺を曲線状に構成するようにしてもよい。このように、xy用電極30a~30dを適宜の形状に設定することで、可動電極22の移動量に対する静電容量Ca~Cdの変化率を調整することができる。なお、同図aおよびbに示した形状以外の形状にxy用電極30a~30dを構成するようにしてもよいことは言うまでもない。例えば、xy用電極30a~30dの互いに隣り合う辺を階段状に構成するようにしてもよいし、xy用電極30a~30dに孔部や切欠部を適宜に設けるようにしてもよい。また、力検出装置1の用途等によっては、互いの間隔が仮想円周R図2参照の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状以外の形状にxy用電極30a~30dを構成するようにしてもよい。同図cは、3つのxy用電極30a~30cを設けるようにした場合の一例を示した図である。上述の例では、4つのxy用電極30a~30dを設けた場合を示したが、xy用電極の数は4つに限定されるものではなく、x-y平面内における任意の方向の力を検出するためには、少なくとも3つ以上であればよい。3つのxy用電極30a~30cを設けるようにした場合、例えば静電容量Ca~Ccの変化量およびxy用電極30a~30cの位置から重心位置を算出することにより、x-y平面内における力の方向および大きさを算出することができる。図7~14は、受力体20のその他の形態の例を示した図である。まず、図7aおよびbは、突出部22bを円筒状に構成すると共に、先端面22b1に多数この例では32本の溝部22cを放射状に形成した場合の一例を示しており、同図aは、受力体20の底面図、同図bは、図3aにおけるB-B線断面図である。このように、溝部22cの数を増加させることにより、空気の流動をよりスムーズにして力の検出精度を高めることができる場合がある。なお、図7aおよびbに示す例は、32個の突出部22bを設けたとみなすこともできる。また、複数の突出部22bの先端面22b1にさらに細かい溝部22cを形成するようにしてもよい。図7cおよびdは、受力体20に突起部26を設けた場合の例を示しており、同図cは、受力体20の平面図、同図dは、受力体20の正面図側面図である。この例では、可動電極22の上面に正方形状の突起部26を設けると共に、例えば入力操作において直接力を受けて操作される操作ボタン等の固定部材28を可動電極22の上面に取り付けるようにしている。そして、この固定部材28の下面には、突起部28の相補的形状に形成された凹部28aが設けられており、この凹部28a内に突起部26を嵌め込むことによって可動電極22に固定部材28が固定されるようになっている。このようにすることで、固定部材28を設けて操作性や耐久性等を向上させた場合においても、固定部材28が受けた力を可動電極22に確実に伝達することができるため、検出精度を高めることが可能となる。また、突起部26を頂点を有する形状に構成し、各頂点をxの正方向および負方向ならびにyの正方向および負方向に向けるようにすれば、力検出装置1における各方向を瞬時に判別することが可能となる。なお、突起部26の形状は、正方形状に限定されるものではなく、その他の任意の形状であってもよい。また、固定部材28の可動電極22への固定方法は、接着剤等による接着や融着、溶着等によるものであってもよいし、突起部26の凹部28aへの圧入や突起部26と凹部28aの係合によるものであってもよい。また、固定部材28の形状が限定されないことは言うまでもない。図8a~eは、可動電極22の変位部22dに突出変位部22d1を設けた場合の例を示した図であり、図8aは、受力体20の底面図、図8b、dおよびeは、図3aにおけるB-B線断面図、図8cは、図1aにおけるA-A線断面図である。まず、図8a~cは、可動電極22の中央部、すなわち変位部22dの中央部に略円錐台状テーパ状の突出変位部22d1を設けた場合の例を示している。この例では、突出変位部22d1の先端面22d2は、周囲の突出部22bの先端面22b1と同様に基板10の上面10aに略接触するように構成されており、可動電極22のx-y平面内の移動に伴って上面10a上を滑って移動するようになっている。従って、突出変位部22d1の先端面22d2には、突出部22bの先端面22b1と同様に、摩擦係数の低い被膜がコーティングされている。このように、変位部22にテーパ状の突出変位部22d1を設けることにより、同図cに示されるようにzの負方向の力Fを受けた場合に、突出変位部22d1が押し潰されて突出変位部22d1の傾斜した側面がz用電極30eに近接すると共に、基板10の上面10aと接触する部分が増加、すなわちz用電極30eとの重なり面積を増加させることができるため、zの負方向の力Fの大きさに対する静電容量Ceの変化率を高めることができる。また、突出変位部22d1の形状を適宜に設定することで、zの負方向の力の大きさに対する静電容量Ceの変化率を調整することができる。すなわち、力の検出精度を高めることが可能となる。同図dは、略半球状の突出変位部22d1を設けた場合の例を示しており、同図eは、略円錐状の突出変位部22d1を設けた場合の例を示している。なお、これらの例では、突出変位部22d1の頂点が基板10の上面10aに略接触するようになっている。このように、突出変位部22d1の形状は特に限定されるものではなく、zの負方向の力を受けた場合に、押し潰されることによって静電容量Ceを適宜に変化させることが可能な形状であればどのような形状であってもよい。なお、同図a~eでは、先端面22d2または頂点22d3が基板10の上面10aに略接触するように突出変位部22d1を構成した例を示したが、突出変位部22d1を上面10aに接触しないように構成し、zの負方向の力を受けた場合に先端面22d2または頂点22d3が上面10aに接触して押し潰されるようにしてもよい。図9a~dは、可動電極22を基板10に向けて積極的に付勢するようにした場合の一例を示した図であり、同図aは、受力体20の正面図側面図、同図bは、図3aのB-B線断面図、同図cおよびdは、図1aにおけるA-A線断面図である。この例では、同図aおよびbに示されるように、突出部22bの先端面22b1が固定部24aの接着面24a1よりも距離Sだけ下方に基板10側に突出するように、受力体20が構成されている。従って、同図cに示されるように、接着面24a1を基板10に接着して受力体20を基板10に固定すると、可動電極22が上方に基板10の反対側に押し上げられ、変形部24bが弾性変形することとなる。すなわち、この例では、この変形部24bの弾性変形の復元力により、同図dに示されるように、可動電極22が基板10に向けて付勢されるようになっている。このように、受力体20を基板10に固定する際に変形部24bを弾性変形させることで可動電極22を基板10に向けて付勢することにより、簡易な構成でありながらも突出部22bの先端面22b1と基板10の上面10aの接触状態をより安定させることができる。すなわち、可動電極22を移動させた場合における突出部22bの先端面22b1の浮き上がりを防止し、先端面22b1とxy用電極30a~30d間の距離をより高精度に保つことができるため、力の検出精度を高めることができる。なお、突出部22bの先端面22b1の突出量、すなわち距離Sの値は、特に限定されるものではなく、受力体20および基板10の材質や寸法形状等に応じて適宜に設定すればよい。また、図示は省略するが、基板10における接着面24a1が接着される面と突出部22bの先端面22b1が略接触する面に段差を付けることによって可動電極22を基板10に向けて付勢するようにしてもよい。この場合、例えば、基板10の上面10aに固定電極30を形成し、その上に絶縁層を設けることによって段差を付けるようにしてもよい。図10a~dおよび図11a~dは、基板10に固定される補助支持部22eを可動電極22に設けた場合の例を示した図である。まず、図10a~dは、可動電極22の中央部に補助支持部22eを設けた場合の一例を示しており、同図aは、受力体20の底面図、同図bは、図3aにおけるB-B線断面図、同図cおよびdは、図1aにおけるA-A線断面図である。この例では、同図aおよびbに示されるように、補助支持部22eは、円柱状に構成され、可動電極22の中央部、すなわち変位部22dの中央部に設けられている。補助支持部22eの先端面22e1は、同図bに示されるように、固定部24aの接着面24a1と略同一平面上に位置しており、同図cに示されるように、接着面24a1と同様に基板10の上面10aに接着される。また、この例では、同図cに示されるように、z用電極30eは円環状に形成されており、補助支持部22eの先端面22e1と重ならないようになっている。また、補助支持部22eは、同図dに示されるように、可動電極22がx-y平面内の力Fを受けた場合に変形部24bと共に変形して、可動電極22の移動を許容するようになっている。さらに、図示は省略するが、可動電極22がzの負方向の力を受けた場合には、変位部22dの変形と共に押し潰されるようになっている。このように、補助支持部22eを設けることにより、可動電極22と固定電極30の間の距離をより高精度に設定することが可能となる。また、可動電極22が移動する際における突出部22bの先端面22b1の浮き上がりを防止することが可能となる。すなわち、力の検出精度を高めることができる。図11aおよびbは、複数の補助支持部22eを設けるようにした場合の一例を示しており、同図aは、受力体20の底面図、同図bは、図3aにおけるB-B線断面図である。この例では、可動電極22の中央部に円柱状の補助支持部22eを設けると共に、突出部22bの間にも円柱状の補助支持部22eを設けている。このように、複数の補助支持部22eを適宜に配置することにより、可動電極22と固定電極30の間の距離をより高精度に保つことが可能となる。なお、補助支持部22eの個数および配置は、特に限定されるものではなく、適宜に設定することができる。図11cおよびdは、可動電極22の中央部に略円錐台状テーパ状の補助支持部22eを設けた場合の例を示した図であり、同図cは、受力体20の底面図、同図dは、図3aにおけるB-B線断面図である。このように、補助支持部22eをテーパ状に構成することにより、補助支持部22eを突出変位部22d1と同様に機能させることができるため、力の検出精度を高めることが可能となる。なお、補助支持部22eの形状は、特に限定されるものではなく、受力体20の材質や補助支持部22eの配置等に応じて、任意の形状を採用することができる。図12a~dおよび図13a~dは、突出部22bの先端面22b1を別部材から構成した場合の例を示した図である。まず、図12aおよびbは、突出部22bの先端に板状部材40を取り付けるようにした場合の一例を示しており、同図aは、受力体20の底面図、同図bは、図3aにおけるB-B線断面図である。この例では、突出部22bの形状に合わせた幅広の円弧状の板状部材40を突出部22bの先端に取り付け、この板状部材40が上面10aと略接触するようにしている。すなわち、この例では、突出部22bの先端面22b1は、板状部材40から構成されている。このようにすることで、可動電極22および支持部24を導電性弾性材料によって一体形成しながらも、板状部材40の材質を適宜に設定することで、可動電極22を基板10の上面10aに沿ってスムーズに移動滑動させることが可能となる。すなわち、受力体20をコンパクト且つ安価に構成しながらも、力の検出精度を高めることができる。また、突出部22bの先端面22b1の耐摩耗性を向上させることができる。なお、板状部材40の可動電極22への取り付け方法は、接着剤による接着や融着、溶着等、既知の手法を採用することができる。また、板状部材40を構成する材料は、特に限定されるものではなく、各種樹脂や金属等を採用することができる。また、板状部材40は、導電性材料から構成されるものであってもよいし、絶縁性材料から構成されるものであってもよい。すなわち、板状部材40を絶縁層として機能させるようにしてもよい。図12cは、複数の突出部22bに跨って板状部材40を取り付けるようにした例を示しており、図3aにおけるB-B線断面図である。板状部材40は、図12aおよびbに示されるように、複数の突出部材22bごとに取り付けられるものであってもよいし、図12cに示されるように、円環状または円盤状に構成され、複数の突出部材22bに跨って取り付けられるものであってもよい。図12dは、複数の突出部22bおよび突出変位部22d1に跨って板状部材40を取り付けるようにした例を示しており、図3aにおけるB-B線断面図である。このように、板状部材40は、複数の突出部22bおよび突出変位部22d1に跨って取り付けられるものであってもよい。なお、突出部22bおよび突出変位部22d1に個別に板状部材40を取り付けるようにしてもよいことは、言うまでもない。図13aおよびbは、突出部22bを可動電極22受力体20とは別部材であるブロック状部材42から構成した例を示しており、同図aは、受力体20の底面図、同図bは、図3aにおけるB-B線断面図である。この例では、幅広の円弧状断面のブロック状のブロック状部材42を可動電極22の基部22aの下側基板10側に取り付け、これにより突出部22bを構成している。なお、この例では、同図bに示されるように、基部22aに設けた凹部22a1にブロック状部材42を嵌め込むようにしているが、凹部22a1を設けずにブロック状部材42をそのまま貼り付けるようにしてもよい。ブロック状部材42の固定方法は、接着剤による接着や融着、溶着等、既知の手法を採用することができる。また、ブロック状部材42を構成する材料は、板状部材40と同様に、特に限定されるものではない。図13cおよびdは、突出部22bの先端面22b1を別部材から構成することにより、先端面22b1を接着面24a1よりも距離Sだけ下方に基板10側に突出するようにした例を示しており、図3aにおけるB-B線断面図である。同図cは、板状部材40を使用した例を示しており、同図dは、ブロック状部材42を使用した例を示している。このようにすることで、板状部材40またはブロック状部材42の厚さによって突出量である距離Sの値を調節し、基板10への付勢力を適宜に設定することができる。すなわち、受力体20の形状を変更することなく付勢力を調整することができる。なお、同図cに示す例において、突出部22bの先端面板状部材40が貼り付けられる面は、固定部24aの接着面24a1と同一平面上に位置するものであってもよいし、同一平面上に位置しないものであってもよい。図14a~cは、変形部24bの内側にリブ24b1を設けた場合の一例を示した図であり、同図aは、受力体20の底面図、同図bは、図3aにおけるB-B線断面図、同図cは、図1aのA-A線断面図である。この例では、支持部24の変形部24bの内側下側に、略三角錐状の複数のリブ24b1を、曲折部角部の両側に跨るように設けている。このように、変形部24bの内側下側に複数のリブ24b1を設けることにより、図14cに示されるように、可動電極22のx-y平面内における移動範囲を制限する場合に、可動電極22と衝突して変形するクッション性を有するストッパとしてリブ24b1を機能させることができる。すなわち、可動電極22の衝突による衝撃力を減衰し、固定部24aに加わる負担を軽減することができるため、力検出装置1の耐久性を高めることが可能となる。また、リブ24b1を設けることにより、変形部24bの剛性を高め、可動電極22が移動する際の突出部22bの先端面22b1の浮き上がりを効果的に防止することができる。すなわち、先端面22b1とxy用電極30a~30d間の距離をより高精度に保つことができるため、力の検出精度を高めることができる。なお、リブ24b1の形状は、特に限定されるものではなく、例えば四角錐状や部分円錐状等、任意の形状を採用することができる。また、リブ24b1は、支持部24の変形部24bにのみ設けられるものであってもよいし、固定部24aと変形部24bに跨って設けられるものであってもよい。さらに、図示は省略するが、変形部24bにリブ24b1を設けると共に、固定部24aにクッション性を有するクッション部を別途設けるようにしてもよい。図14dは、支持部24の変形部24bを、固定部24aの上面24a3の内周側から半径方向内側の斜め上方に向かって可動電極22に接続するように構成した例を示した図であり、図3aにおけるB-B線断面図である。変形部24bをこのように構成した場合、可動電極22の移動に対する抵抗は大きくなるものの、可動電極22の移動に伴う変形部24bの弾性変形の復元力を、可動電極22を上面10aに向けて付勢する付勢力として、より効果的に作用させることができる。従って、例えば比較的大きい力Fを検出する必要がある場合等には、変形部24bをこのように構成するようにしてもよい。図15a~cは、絶縁層を可動電極22に設けるようにした場合の一例を示した図であり、図1aのA-A線断面図である。この例では、図15aに示されるように、基板10の上面10aにxy用電極30a~30dおよびz用電極30eを形成すると共に、突出部22bの先端に絶縁性材料からなる板状部材40を取り付けるようにしている。すなわち、この例では、可動電極22に設けた板状部材40によって絶縁層を構成し、可動電極22と共に絶縁層を移動させるようにしている。この例では、同図bに示されるように、突出部22bの先端面22b1は板状部材40から構成されており、xy用電極30a~30dの上面可動電極22に対向する面と略接触した状態となっている。そして、x-y平面内の力Fを受けて可動電極22が移動する場合には、同図cに示されるように、板状部材40から構成される先端面22b1が、略接触した状態を保ちながらxy用電極30a~30dの上面に沿って移動するようになっている。このように、絶縁層を可動電極22に設けてxy用電極30a~30dの上面と略接触するようにし、可動電極22を絶縁層と共にxy用電極30a~30dの上面に沿って移動させるようにしてもよい。この場合においても、板状部材40からなる先端面22b1がxy用電極30a~30dの上面に略接触した状態を維持し、突出部22bとxy用電極30a~30dの間の距離を一定に保つことが可能であるため、検出精度を高めることができる。なお、図12において示した例と同様に、複数の突出部22bに跨って絶縁層となる板状部材40を取り付けるようにしてもよいし、可動電極22に突出変位部22d1を設けた場合に、複数の突出部22bおよび突出変位部22d1に跨って絶縁層となる板状部材40を取り付けるようにしてもよい。この場合、板状部材40がz用電極30eの上面と略接触するようにしてもよい。また、板状部材40の代りに、突出部22bの先端面22b1にコーティングした被膜によって絶縁層を構成するようにしてもよいし、図13において示した例と同様に、ブロック状部材42によって絶縁層を構成するようにしてもよい。<第2の実施形態>次に、本発明の第2の実施形態に係る力検出装置2について説明する。本実施形態に係る力検出装置2は、z軸周りのモーメントの方向および大きさ、ならびにzの負方向の力の大きさを検出可能に構成されている。すなわち、力検出装置2は、例えば対象物の回転を指示する操作および選択操作が可能な入力装置や、ロボットハンドの先端に設けられて把持物に加わるモーメントおよび把持力を検出する触覚センサとして利用可能に構成されている。なお、以下の説明においては、第1の実施形態の力検出装置1と同一の部分については同一の符号を付すと共にその説明を省略し、第1の実施形態と異なる部分について説明する。図16aは、力検出装置2の平面図であり、同図bは、力検出装置2の正面図であり、同図cは、同図aのA-A線断面図である。これらの図に示されるように、本実施形態の力検出装置2は、基板10および受力体20から構成されており、基本的な構成は第1の実施形態と同一である。図17aは、本実施形態の基板10の平面図であり、同図bは、同基板10の正面図であり、同図cは、同基板10の底面図である。本実施形態では、固定電極30は、z方向の力を検出するためのz用電極30eと、z軸周りのモーメントを検出するための8つのzm用電極30f1、30f2、30g1、30g2、30h1、30h2、30i1、30i2との計9つの電極から構成されている。また、端子電極34は、これら9つの固定電極30および接続電極32に対応させて10個形成されている。8つのzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2は、円環を4つに分割したものをさらに2つに分割した幅広の円弧状にそれぞれ形成されており、仮想円周R上に略対称に配置されている。このうち、互いに隣り合うzm用電極30f1、30f2は、可動電極22の1つの突出部22bに対応して形成された1組の電極電極組となっている。同様に、互いに隣り合うzm用電極30g1、30g2、互いに隣り合うzm用電極30h1、30h2、および互いに隣り合うzm用電極30i1、30i2についても、それぞれ1つの突出部22bに対応して形成された1組の電極電極組となっている。また、本実施形態の受力体20は可動電極22の中央部に補助支持部22eを備えているため、z用電極30eは、補助支持部22eの接着面22e1と重ならないように円環状に形成されている。図18aは、本実施形態の受力体20の平面図であり、同図bは、同受力体20の正面図側面図であり、同図cは、同受力体20の底面図である。また、同図dは、同図aのB-B線断面図であり、同図eは、同図aのD-D線断面図である。これらの図に示されるように、本実施形態の受力体20は、先端面22b1の形状が幅広の円弧状に構成された4つの突出部22bを備えている。この4つの突出部22bは、zm用電極30f1、30f2からなる電極組、zm用電極30g1、30g2からなる電極組、zm用電極30h1、30h2からなる電極組、およびzm用電極30i1、30i2からなる電極組に対応する位置にそれぞれ設けられている。また、本実施形態の突出部22bは、第1の実施形態の突出部22bよりも円周方向の寸法が短く構成されている。可動電極22の中央部変位部22dの中央部には、円柱状の補助支持部22eが設けられている。また、本実施形態では、支持部24の変形部24bは、固定部24aの上面24a3の内周側から半径方向内側に向かって可動電極22に接続するように構成されている。補助支持部22eおよび変形部24bは、可動電極22のz軸周りの回転に伴って弾性変形すると共に、復元力によって可動電極22を初期状態に保持可能な適宜の寸法に構成されている。本実施形態では、変形部24bを可動電極22の外周を囲むように設けると共に、変形部24bに垂直部分を設けないようにすることで、可動電極22のx-y平面内における直線移動を適宜に拘束し、可動電極22のz軸周りの回転精度を高めるようにしている。また、可動電極22の回転に伴う変形部24bの弾性変形の復元力が、可動電極22を上面10aに向けて適度に付勢する方向に作用するようにしている。図16に戻って、突出部22bの1つは、先端面22b1が基板10の上面10aに略接触した状態で1組のzm用電極30f1、30f2に跨るように配置されており、先端面22b1の一部が、zm用電極30f1の一部およびzm用電極30f2の一部と重なるようになっている。同様に、残りの3つの突出部22bは、先端面22b1が基板10の上面10aに略接触した状態で、1組のzm用電極30g1、30g2、1組のzm用電極30h1、30h2、および1組のzm用電極30i1、30i2にそれぞれ跨るように配置されており、先端面22b1の一部が、zm用電極30g1の一部およびzm用電極30g2の一部、zm用電極30h1の一部およびzm用電極30h2の一部、ならびにzm用電極30i1の一部およびzm用電極30i2の一部とそれぞれ重なるようになっている。従って、本実施形態では、1つの突出部22bとzm用電極30f1の間に静電容量Cf1が形成されると共に、この突出部22bとzm用電極30f2の間に静電容量Cf2が形成されるようになっている。また、もう1つの突出部22bとzm用電極30g1の間に静電容量Cg1が形成されると共に、この突出部22bとzm用電極30g2の間に静電容量Cg2が形成され、さらにもう1つの突出部22bとzm用電極30h1の間に静電容量Ch1が形成されると共に、この突出部22bとzm用電極30h2の間に静電容量Ch2が形成され、残りの1つの突出部22bとzm用電極30i1の間に静電容量Ci1が形成され、この突出部22bとzm用電極30i2の間に静電容量Ci2が形成されるようになっている。次に、力検出装置2の作用について説明する。上述の構成により、本実施形態の力検出装置2は、z軸周りのモーメントの方向および大きさ、ならびにzの負方向の力の大きさを検出することが可能となっている。図19a~cは、力検出装置2がz軸周りのモーメントMを受けた状態を示した図であり、同図aは、力検出装置2の平面図、同図bおよびcは、突出部22bとzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なりを示した概略図である。なお、同図bおよびcにおいては、突出部22bとzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なり部分をハッチングによって示している。同図aに示されるように、z軸周りのモーメントMを受けた場合、可動電極22は、突出部22bの先端面22b1が基板10の上面10aに略接触した状態を保ちながら上面10a上を滑ってz軸周りに回転することとなる。このとき、支持部24は、変形部24bが適宜に弾性変形することにより、可動電極22の回転を許容すると共に、可動電極22の回転量回転角度が略モーメントMの大きさに応じた回転量回転角度となるようにする。また、変形部24bが可動電極22を上面10aに向けて適度に付勢することにより、回転中も先端面22b1が上面10aに略接触した状態が保たれるようになっている。本実施形態では、zm用電極30f1~30i1、30f2~30i2を、z軸を中心とする円周上に配列すると共に、突出部材22bの先端面22b1が、1組のzm用電極例えば30f1、30f2に跨ってそれぞれの一部と重なるようにしている図16a参照。このため、可動電極22がz軸周りに回転して突出部22bが回転移動した場合、図19bおよびcに示されるように、突出部22bと1組のzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なり面積は、回転方向に対応する一方については増加し、他方については減少することとなる。そして、重なり面積の増加量および減少量は、回転角度θに応じて決まる。従って、この重なり面積の変化による静電容量Cf1~Ci1、Cf2~Ci2の変化に基づいてモーメントMの方向および大きさを検出することができる。具体的には、同図bに示されるように、平面視で半時計回りのモーメントMを受けた場合には、突出部22bとzm用電極30f2~30i2の重なり面積が増加し、突出部22bとzm用電極30f1~30i1の重なり面積が減少することとなる。また、同図cに示されるように、平面視で時計回りのモーメントMを受けた場合には、突出部22bとzm用電極30f1~30i1の重なり面積が増加し、突出部22bとzm用電極30f2~30i2の重なり面積が減少することとなる。すなわち、静電容量Cf1~Ci1および静電容量Cf2~Ci2のいずれが増加し、いずれが減少したかによって、モーメントMの方向を検出することができる。また静電容量Cf1~Ci1および静電容量Cf2~Ci2の値または変化量から可動電極22の回転角度θを検出し、これに基づいてモーメントMの大きさを検出することができる。なお、モーメントMの方向および大きさの検出は、静電容量Cf1~Ci1の値または変化量の合計、および静電容量Cf2~Ci2の値または変化量の合計に基づくものであってもよいし、静電容量Cf1~Ci1の値または変化量の平均、および静電容量Cf2~Ci2の値または変化量の平均に基づくものであってもよい。従って、前者の場合には、zm用電極30f1~30i1を電気的に短絡し、zm用電極30f2~30i2を電気的に短絡するようにしてもよい。次に、力検出装置2のその他の形態について説明する。図20aおよびbは、支持部24の変形部24bに複数の孔部24b2を設けるようにした場合の一例を示した図であり、同図aは、受力体20の平面図、同図bは、受力体20の底面図である。この例では、z方向に貫通する円形断面の複数の孔部24b2を円周方向に沿って配列している。このように、複数の孔部24b2を設けることにより、変形部24bのz方向の剛性を維持しつつ、可動電極22のz軸周りの回転に伴う変形部24bの変形を容易にすることができる。すなわち、複数の孔部24b2を設けることによって、可動電極22をz軸周りに回転させた場合に、孔部24b2が変形すると共に孔部24b2の間の梁状の部分を傾くように変形させることができる。これにより、突出部22bの先端面22b1とzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2間の距離をより高精度に保ちつつ、可動電極22をz軸周りにスムーズに回転させることができるため、モーメントMの検出精度を高めることができる。なお、孔部24b2の断面形状は、特に限定されるものではなく、その他の任意の形状であってもよい。また、孔部24b2の個数および配列は、特に限定されるものではなく、例えば複数の孔部24b2を2列に配列するようにしてもよいし、千鳥状に配列してもよい。また、貫通する孔部24b2ではなく、貫通しない凹部を変形部24bに設けるようにしてもよい。図20cおよびdは、受力体20に突起部26を設けた場合の例を示した図であり、同図cは、受力体20の平面図、同図dは、受力体20の正面図側面図である。この例では、可動電極22の上面に十字状の突起部26を設け、この突起部26を凹部28aに嵌め込むことによって固定部材28を可動電極22に取り付けるようにしている。このようにすることで、例えば回転操作可能な操作ダイヤル等の固定部材28を可動電極22に取り付けた場合に、固定部材28に加えられたモーメントMを確実に可動電極22に伝達すると共に、力検出装置2の耐久性を高めることが可能となる。また、可動電極22に対する固定部材28を正確に位置決めすることができるため、可動電極22の回転中心と固定部材28の回転中心を正確に一致させ、モーメントMの検出精度、および入力装置として使用した場合の操作性を高めることが可能となる。なお、図20a~dに示した例以外にも、第1の実施形態において示した各種構成を本実施形態の力検出装置2に適用してもよいことは言うまでもない。同様に、本実施形態において示した各種構成を第1の実施形態の力検出装置1に適用してもよいことは言うまでもない。また、本実施形態では、4つの突出部22bを設けた場合の例のみを示したが、突出部22bの数は特に限定されるものではなく、いくつであってもよい。可動電極22の回転角度θの最大値は、突出部材22bの個数によって決まる個数が少ないほど回転角度θの最大値は大きくなるため、必要な回転角度θに応じて突出部22bの個数を設定すると共に、各突出部22bに対応させて1組の2つのzm用電極を設けるようにすればよい。<第3の実施形態>次に、本発明の第3の実施形態に係る力検出装置3について説明する。本実施形態に係る力検出装置3は、x-y平面内の力の方向および大きさ、z軸周りのモーメントの方向および大きさ、ならびにzの負方向の力の大きさを検出可能に構成されている。すなわち、力検出装置3は、例えば対象物の移動および回転を指示する操作ならびに選択操作が可能な入力装置や、ロボットハンドの先端に設けられて把持物に加わる力およびモーメントならびに把持力を検出する触覚センサとして利用可能に構成されている。なお、以下の説明においては、第1および第2の実施形態の力検出装置1、2と同一の部分については同一の符号を付すと共にその説明を省略し、第1および第2の実施形態と異なる部分について説明する。図21aは、力検出装置3の平面図であり、同図bは、力検出装置3の正面図であり、同図cは、同図aのA-A線断面図である。これらの図に示されるように、本実施形態の力検出装置3は、基板10および受力体20から構成されており、第1の実施形態の力検出装置1と第2の実施形態の力検出装置2を組み合わせた構造となっている。図22aは、本実施形態の基板10の平面図であり、同図bは、同基板10の正面図であり、同図cは、同基板10の底面図である。本実施形態では、固定電極30は、x-y平面内の力を検出するための4つのxy用電極30a、30b、30c、30dと、z方向の力を検出するためのz用電極30eと、z軸周りのモーメントを検出するための8つのzm用電極30f1、30f2、30g1、30g2、30h1、30h2、30i1、30i2との計13の電極から構成されている。また、端子電極34は、これら13の固定電極30および接続電極32に対応させて14個形成されている。中央のz用電極30eは、第1の実施形態と同様に円形状に形成されている。また、4つのxy用電極30a~30dは、第1の実施形態と同様に形成されており、仮想円周R1上に略対称に配置されている。そして、8つのzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2は、第2の実施形態と同様に形成されており、仮想円周R1よりも大径の仮想円周R2上に略対称に配置されている。すなわち、本実施形態では、xy用電極30a~30dの外側にzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2を配置している。本実施形態では、互いに隣接するxy用電極30aおよびzm用電極30f1、30f2が、可動電極22の1つの突出部22bに対応して形成された1組の電極電極組となっている。同様に、互いに隣接するxy用電極30bおよびzm用電極30g1、30g2、互いに隣接するxy用電極30cおよびzm用電極30h1、30h2、ならびに互いに隣接するxy用電極30dおよびzm用電極30i1、30i2についても、それぞれ1つの突出部22bに対応して形成された1組の電極電極組となっている。図23aは、本実施形態の受力体20の平面図であり、同図bは、同受力体20の正面図側面図であり、同図cは、同受力体20の底面図である。また、同図dは、同図aのB-B線断面図であり、同図eは、同図aのD-D線断面図である。これらの図に示されるように、本実施形態の受力体20は、4つの突出部22bを備えており、この4つの突出部22bは、xy用電極30aおよびzm用電極30f1、30f2からなる電極組、xy用電極30bおよびzm用電極30g1、30g2からなる電極組、xy用電極30cおよびzm用電極30h1、30h2からなる電極組、ならびにxy用電極30dおよびzm用電極30i1、30i2からなる電極組に対応する位置にそれぞれ設けられている。また、本実施形態の突出部22bは、先端面22b1の形状すなわち、x-y平面における断面形状が略六角形状となるように構成されている。換言すれば、本実施形態の突出部22bは、先端面22b1の形状が幅広の円弧において円周方向両端の辺の外周側の一部を斜めに切り欠いた形状となるように構成されている。可動電極22の中央部変位部22dの中央部には、略半球状の突出変位部22d1が設けられている。また、本実施形態では、支持部24の変形部24bは、第1の実施形態と同様に構成されており、可動電極22のx-y平面内における移動、およびz軸周りの回転に伴って弾性変形すると共に、復元力によって可動電極22を初期状態に保持可能な適宜の寸法に構成されている。図21に戻って、突出部22bの1つは、先端面22b1が基板10の上面10aに略接触した状態で1組のxy用電極30aおよびzm用電極30f1、30f2に跨るように配置されており、先端面22b1の一部が、xy用電極30aの一部、zm用電極30f1の一部およびzm用電極30f2の一部と重なるようになっている。同様に、残りの3つの突出部22bは、先端面22b1が基板10の上面10aに略接触した状態で、1組のxy用電極30bおよびzm用電極30g1、30g2、1組のxy用電極30cおよびzm用電極30h1、30h2、ならびに1組のxy用電極30dおよびzm用電極30i1、30i2にそれぞれ跨るように配置されており、先端面22b1の一部が、xy用電極30bの一部、zm用電極30g1の一部およびzm用電極30g2の一部、xy用電極30cの一部、zm用電極30h1の一部およびzm用電極30h2の一部、ならびにxy用電極30dの一部、zm用電極30i1の一部およびzm用電極30i2の一部とそれぞれ重なるようになっている。従って、本実施形態では、1つの突出部22bとxy用電極30aの間に静電容量Caが形成されると共に、この突出部22bとzm用電極30f1の間に静電容量Cf1が形成され、この突出部22bとzm用電極30f2の間に静電容量Cf2が形成されるようになっている。また、もう1つの突出部22bとxy用電極30bおよびzm用電極30g1、30g2の間に静電容量Cb、Cg1、Cg2がそれぞれ形成され、さらにもう1つの突出部22bとxy用電極30cおよびzm用電極30h1、30h2の間に静電容量Cc、Ch1、Ch2がそれぞれ形成され、残りの1つの突出部22bとxy用電極30dおよびzm用電極30i1、30i2の間に静電容量Cd、Ci1、Ci2がそれぞれ形成されるようになっている。次に、力検出装置3の作用について説明する。上述の構成により、本実施形態の力検出装置3は、x-y平面内の力の方向および大きさ、z軸周りのモーメントの方向および大きさ、ならびにzの負方向の力の大きさを検出することが可能となっている。図24aは、力検出装置3がx-y平面内の力Fを受けた場合の突出部22bとxy用電極30a~30dの重なりを示した概略図であり、同図bは、力検出装置3がz軸周りのモーメントMを受けた場合の突出部22bとzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なりを示した概略図である。なお、同図bおよびcにおいては、突出部22bとxy用電極30a~30dおよびzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なり部分をハッチングによって示している。同図aに示されるように、x-y平面内の力Fを受けた場合、可動電極22は力Fの方向に移動し、第1の実施形態と同様に、突出部22bとxy用電極30a~30dの重なり面積が変化して静電容量Ca~Cdがそれぞれ変化することとなる。従って、この静電容量Ca~Cdの変化に基づいて力Fの方向および大きさを検出することができる。また、同図cに示されるように、z軸周りのモーメントMを受けた場合、可動電極22はモーメントMの方向に回転し、第2の実施形態と同様に、突出部22bとzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なり面積が変化して静電容量Cf1~Ci1、Cf2~Ci2がそれぞれ変化することとなる。従って、この静電容量Cf1~Ci1、Cf2~Ci2の変化に基づいてモーメントMの方向および大きさを検出することができる。特に、本実施形態では、突出部22bの先端面22b1の形状を、円周方向両端の辺の外周側の一部を斜めに切り欠いた形状とすることで、可動電極22の回転角度θを大きくした場合においても、突出部22bが対応しないzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2と重ならないようにしている。このようにすることで、突出部22bとxy用電極30a~30dの重なり部分を円周方向に広げてx-y平面内の力Fの検出精度を高めながらも、比較的大きい回転角度θを確保することが可能となっている。なお、本実施形態では、xy用電極30a~30dの外側にzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2を配置した例を示したが、xy用電極30a~30dの内側にzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2を配置するようにしてもよい。また、突出部22bおよびこれに対応する電極組の個数は、4つに限定されるものではなく、第1の実施形態と同様に3つ以上であればよい。また、第1および第2の実施形態において示した各種構成を本実施形態の力検出装置3に適用してもよいことは言うまでもなく、さらに本実施形態において示した各種構成を第1の実施形態の力検出装置1または第2の実施形態の力検出装置2に適用してもよいことは言うまでもない。<第4の実施形態>次に、本発明の第4の実施形態に係る力検出装置4について説明する。本実施形態に係る力検出装置4は、x、y、z軸周りのモーメントの方向および大きさ、ならびにzの負方向の力の大きさを検出可能に構成されている。すなわち、力検出装置4は、例えば対象物の移動および回転を指示する操作ならびに選択操作が可能な入力装置や、ロボットハンドの先端に設けられて把持物に加わるモーメントおよび把持力を検出する触覚センサとして利用可能に構成されている。なお、以下の説明においては、第1~第3の実施形態の力検出装置1~3と同一の部分については同一の符号を付すと共にその説明を省略し、第1~第3の実施形態と異なる部分について説明する。図25aは、力検出装置4の平面図であり、同図bは、力検出装置4の正面図であり、同図cは、同図aのA-A線断面図である。これらの図に示されるように、本実施形態の力検出装置4は、基板10および受力体20から構成されており、基本的な構成は第1~第3の実施形態と同一である。図26aは、本実施形態の基板10の平面図であり、同図bは、同基板10の正面図であり、同図cは、同基板10の底面図である。本実施形態では、固定電極30は、z方向の力を検出するためのz用電極30eと、z軸周りのモーメントを検出するための8つのzm用電極30f1、30f2、30g1、30g2、30h1、30h2、30i1、30i2と、x軸周りのモーメントおよびy軸周りのモーメントを検出するための4つのxym用電極30j、30k、30l、30mとの計13の電極から構成されている。また、端子電極34は、これら13の固定電極30および接続電極32に対応させて14個形成されている。中央のz用電極30eは、第1および第3の実施形態と同様に円形状に形成されている。また、8つのzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2は、第2および第3の実施形態と同様に構成されており、仮想円周R2上に略対称に配置されている。そして、4つのxym用電極30j~30mは、第1および第3の実施形態におけるxy用電極30a~30dと同様に形成されており、仮想円周R2よりも小径の仮想円周R1上に略対称に配置されている。すなわち、本実施形態では、zm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の内側にxym用電極30j~30mを配置している。本実施形態では、第2の実施形態と同様に、互いに隣り合うzm用電極30f1、30f2が、可動電極22の1つの突出部22bに対応して形成された1組の電極電極組となっている。同様に、互いに隣り合うzm用電極30g1、30g2、互いに隣り合うzm用電極30h1、30h2、ならびに互いに隣り合うzm用電極30i1、30i2についても、それぞれ1つの突出部22bに対応して形成された1組の電極電極組となっている。図27aは、本実施形態の受力体20の平面図であり、同図bは、同受力体20の正面図側面図であり、同図cは、同受力体20の底面図である。また、同図dは、同図aのB-B線断面図であり、同図eは、同図aのD-D線断面図である。これらの図に示されるように、本実施形態の受力体20は、4つの突出部22bを備えており、この4つの突出部22bは、zm用電極30f1、30f2からなる電極組、zm用電極30g1、30g2からなる電極組、zm用電極30h1、30h2からなる電極組、およびzm用電極30i1、30i2からなる電極組に対応する位置にそれぞれ設けられている。可動電極22の中央部変位部22dの中央部には、略半球状の突出変位部22d1が設けられている。そして、本実施形態では、4つの突出部22bの内側のxym用電極30j~30mに対応する位置に、外側突出変位部22fをそれぞれ設けている。この4つの外側突出変位部22fは、最も内側の部分が基板10の上面10aと略接触する円弧状の接触面22f1となっており、接触面22f1の外側の部分が外側に向けて漸次上面10aから離れるように形成された傾斜面22f2となっている。また、接触面22f1には、突出部22bの先端面22b1と同様に、摩擦係数の低い被膜がコーティングされている。なお、本実施形態では、外側突出変位部22fを突出部22bと一体的に構成している。また、本実施形態では、支持部24の変形部24bは、第2の実施形態と同様に構成されており、可動電極22のx、y、z軸周りの回転に伴って弾性変形すると共に、復元力によって可動電極22を初期状態に保持可能な適宜の寸法に構成されている。図25に戻って、突出部22bは、第2の実施形態と同様に、先端面22b1が基板10の上面10aに略接触した状態で1組のzm用電極30f1、30f2、1組のzm用電極30g1、30g2、1組のzm用電極30h1、30h2、および1組のzm用電極30i1、30i2にそれぞれ跨るように配置されており、先端面22b1の一部が、zm用電極30f1の一部およびzm用電極30f2の一部、zm用電極30g1の一部およびzm用電極30g2の一部、zm用電極30h1の一部およびzm用電極30h2の一部、ならびにzm用電極30i1の一部およびzm用電極30i2の一部とそれぞれ重なるようになっている。従って、本実施形態では、第2および第3の実施形態と同様に、突出部22bとzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の間に、静電容量Cf1~Ci1、Cf2~Ci2がそれぞれ形成されるようになっている。また、外側突出変位部22fとxym用電極30j~30mの間に、静電容量Cj、Ck、Cl、Cmがそれぞれ形成されるようになっている。次に、力検出装置4の作用について説明する。上述の構成により、本実施形態の力検出装置4は、x、y、z軸周りのモーメントの方向および大きさ、ならびにzの負方向の力の大きさを検出することが可能となっている。図28aは、力検出装置4がz軸周りのモーメントMを受けた場合の突出部22bとzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なりを示した概略図である。なお、同図aにおいては、突出部22bとzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なり部分をハッチングによって示している。同図aに示されるように、z軸周りのモーメントMを受けた場合、可動電極22はモーメントMの方向に回転し、第2および第3の実施形態と同様に、突出部22bとzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2の重なり面積が変化して静電容量Cf1~Ci1、Cf2~Ci2がそれぞれ変化することとなる。従って、この静電容量Cf1~Ci1、Cf2~Ci2の変化に基づいてz軸周りのモーメントMの方向および大きさを検出することができる。同図bは、力検出装置4がx軸周りのモーメントMを受けた状態を示した図であり、図25aにおけるA-A線断面図である。同図bに示されるように、x軸周りのモーメントMを受けた場合、可動電極22は、変位部22dもしくは基部22aが変形する、または可動電極22がx軸周りに回転することによってモーメントMの方向に応じた外側突出変位部22fが押し潰され、傾斜面22f2が対応するxym用電極30lおよび30mに近接すると共に、基板10の上面10aと接触する部分が増加してxym用電極30l30mとの重なり面積が増加することとなる。これにより、静電容量Cl、およびCmが増加する。従って、静電容量Cj~Cmの変化に基づいてx軸周りおよびy軸周りのモーメントMの方向および大きさを検出することができる。なお、本実施形態では、外側突出変位部22fを突出部22bと一体的に構成した例を示したが、外側突出変位部22fは、突出部22bとは別に設けられるものであってもよく、外側突出変位部22fの位置と突出部22bの位置を円周方向においてずらすようにしてもよい。また、突出部22bは、外側突出変位部22fと共に変形する押し潰されるものであってもよいし、変形しないものであってもよい。また、本実施形態では、xym用電極30j~30mの外側にzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2を配置した例を示したが、xym用電極30j~30mの内側にzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2を配置し、外側突出変位部22fの内側に突出部22bを設けるようにしてもよい。また、突出部22bおよびこれに対応する電極組の個数は、4つに限定されるものではなく、第2の実施形態と同様にいくつであってもよい。また、外側突出変位部22fおよびこれに対応するxym用電極30j~30mの個数は、第1の実施形態と同様に3つ以上であればx軸周りおよびy軸周りのモーメントMの方向を検出することができる。また、第1~第3の実施形態において示した各種構成を本実施形態の力検出装置4に適用してもよいことは言うまでもなく、さらに本実施形態において示した各種構成を第1~第3の実施形態の力検出装置1~3に適用してもよいことは言うまでもない。以上説明したように、上記各実施形態に係る力検出装置1~4は、静電容量検出用の固定電極30と、固定電極30に対向して配置される可動電極22と、固定電極30と可動電極22の間において可動電極22と略接触した状態で配置される絶縁層基板10と、可動電極22を絶縁層に沿って移動または回転可能に支持する支持部24と、を備えている。また、力検出装置1~4は、静電容量検出用の固定電極30と、固定電極30に対向して配置される可動電極22と、固定電極30と可動電極22の間において可動電極22に設けられ、固定電極30と略接触した状態で配置される絶縁層板状部材40等と、可動電極22を固定電極30の絶縁層と略接触する面に沿って移動または回転可能に支持する支持部24と、を備えるものであってもよい。このような構成とすることで、力検出装置1~4を簡素且つ安価に構成して小型化薄型化を図りながらも、複数種類の力やモーメントを検出することが可能となるため、汎用性を高めることができる。さらに、可動電極22を絶縁層に沿って移動または回転させるようにすることで、静電容量の変化に対する外乱を最小限とすることができるため、力検出装置1~4の小型化薄型化を図りながらも、力やモーメントの検出精度を高めることが可能となっている。また、可動電極22および支持部24は、導電性弾性材料により一体的に構成されている。このようにすることで、力検出装置1~4を簡素且つ安価に構成し、従来以上の小型化薄型化を実現することができる。また、可動電極22は、絶縁層基板10と略接触する面突出部22bの先端面22b1が異なる材質コーティング被膜、板状部材40またはブロック状部材42から構成されている。このようにすることで、摩擦係数を低減して可動電極22をスムーズに移動または回転させることが可能となるため、力やモーメントの検出精度を高めることができる。また、可動電極22は、支持部24が接続される基部22aと、絶縁層基板10に向けて基部22aから突設され、先端面22b1が絶縁層に略接触する突出部22bと、を有している。このようにすることで、突出部22bの形状および配置を適宜に設定することにより、可動電極22の移動または回転に伴う静電容量の変化を調整することが可能となるため、従来以上の種類の力やモーメントの検出を可能にすると共に、検出精度を高めることができる。また、突出部22bは、先端面22b1の一部が固定電極30の一部と重なるように配置されている。このようにすることで、可動電極22の移動方向や回転方向に対応させて静電容量を増加または減少させることが可能となるため、従来以上の種類の力やモーメントの検出を可能にすると共に、検出精度を高めることができる。また、可動電極22は、絶縁層基板10に向けて基部22aから突設され、先端部先端面22e1が絶縁層に固定される補助支持部22eを有するものであってもよい。さらに、補助支持部22eは、可動電極22の略中央に設けられるものであってもよい。このようにすることで、可動電極22と固定電極30の間の距離をより高精度に設定することが可能となるため、力やモーメントの検出精度を高めることができる。また、基部22aは、入力により変形して固定電極30までの距離が変化する変位部22dまたは、突出変位部22d1、外側突出変位部22fを有している。このようにすることで、z方向の力または、x軸およびy軸周りのモーメントを検出することが可能となるため、汎用性を高めることができる。また、力検出装置1~4は、複数の固定電極30と、複数の固定電極30に対応して設けられる複数の突出部22bと、を備えている。このようにすることで、複数の静電容量を可動電極22の移動方向や回転方向に対応させて個別に増加または減少させることが可能となるため、従来以上の種類の力やモーメントの検出を可能にすると共に、検出精度を高めることができる。さらに、複数の突出部22bの間で空気を流動させることが可能となるため、可動電極22と固定電極30の間の距離をより高精度に保持し、力やモーメントの検出精度を高めることができる。また、突出部22bは、円筒状に構成され、先端面22b1には、複数の溝溝部22cが半径方向に形成されるものであってもよい。このようにすることで、複数の固定電極30に対して突出部22bを適切に配置すると共に、さらにz方向の力を検出するための変位部22dやx軸およびy軸周りのモーメントを検出するための外側突出変位部22f等を適切に配置することが可能となるため、汎用性を高めることができる。また、固定電極30xy用電極30a~30dは、円周仮想円周R、R1上に複数配置されると共に、互いの間隔が円周の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状に構成されている。このようにすることで、可動電極22の移動量に略比例するように静電容量Ca~Cdを変化させることが可能となるため、簡素な構成でありながらも、x-y平面内の力の検出精度を高めることができる。また、力検出装置2、3、4では、固定電極zm用電極30f1~30i1、30f2~30i2は、円周仮想円周R、R2上に複数配置され、可動電極22は、互いに隣り合う2つの固定電極例えば、zm用電極30f1、30f2からなる1組の固定電極ごとに設けられる複数の突出部22bを有し、突出部22bは、1組の固定電極に含まれる2つの固定電極に先端面22b1が跨るように配置されている。このようにすることで、簡素且つ安価な構成により小型化薄型化を図りながらも、z軸周りのモーメントの検出を可能にすることができる。また、力検出装置3では、固定電極xy用電極30a~30dおよびzm用電極30f1~30i1、30f2~30i2は、第1の円周仮想円周R2上に複数配置されると共に、第1の円周と同心円である第2の円周仮想円周R1上に複数配置され、可動電極22は、第1の円周上において互いに隣り合う2つの固定電極例えば、zm用電極30f1、30f2、および第2の円周上の1つの固定電極例えば、xy用電極30aからなる1組の固定電極ごとに設けられる複数の突出部22bを有し、突出部22bは、1組の固定電極に含まれる3つの固定電極に先端面22b1が跨るように配置されている。このようにすることで、簡素且つ安価な構成により小型化薄型化を図りながらも、x-y平面内の力およびz軸周りのモーメントの検出を可能にすることができる。また、力検出装置3では、第2の円周仮想円周R1上の固定電極xy用電極30a~30dは、互いの間隔が第2の円周の半径方向内側に向けて漸次拡大する形状に構成されている。このようにすることで、簡素な構成且つz軸周りのモーメントの検出を可能としながらも、x-y平面内の力Fの検出精度を高めることができる。また、力検出装置4では、固定電極zm用電極30f1~30i1、30f2~30i2およびxym用電極30j~30mは、第1の円周仮想円周R2上に複数配置されると共に、第1の円周と同心円である第2の円周仮想円周R1上に複数配置され、可動電極22bは、第1の円周上において互いに隣り合う2つの固定電極例えば、zm用電極30f1、30f2からなる1組の固定電極ごとに設けられ、1組の固定電極に含まれる2つの固定電極に先端面22b1が跨るように配置される複数の突出部22bと、第2の円周上に配置された固定電極xym用電極30j~30mに対応して設けられ、入力により変形して対応する固定電極までの距離が変化する複数の変位部外側突出変位部22fと、を有している。このようにすることで、簡素且つ安価な構成により小型化薄型化を図りながらも、x軸周り、y軸周りおよびz軸周りのモーメントの検出を可能にすることができる。また、支持部24は、基板10に固定される固定部24aと、固定部24aと可動電極22を繋ぐと共に可動電極22の移動または回転に伴って変形する変形部24bと、を有している。このようにすることで、可動電極22の確実な支持と、力やモーメントを受けた場合のスムーズな移動または回転を両立させることができる。また、固定部24aは、可動電極22の外周を囲むように形成され、可動電極22の移動範囲を制限するストッパとして兼用されている。このようにすることで、力検出装置1~4を簡素且つ安価に構成し、従来以上の小型化薄型化を実現することができる。以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の力検出装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。