"第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から前記第1接着シートを剥離する剥離装置であって、前記第1接着シートを支持する第1シート支持手段と、前記第2接着シートの他方の面側に接する支持面で前記第2接着シートを支持する第2シート支持手段と、前記第1接着シートの他方の面に当接面を接触させ、前記支持面とで前記板状部材を挟み込む当接手段と、前記第1シート支持手段と前記第2シート支持手段とを前記支持面に直交する方向に相対移動させる移動手段とを備え、前記当接手段は、前記当接面を形成可能な複数の当接部材を備え、前記当接部材は、前記移動手段による相対移動に同期して、前記当接面の当接領域を前記板状部材の外縁から中央に向かって徐々に狭めていくことが可能に設けられていることを特徴とする剥離装置。前記複数の当接部材は、それぞれ当接面の外縁から弾性変形可能な弾性部材を備えていることを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。前記第1シート支持手段と前記第2シート支持手段とを、前記支持面に平行な平面で相対回転させる回転手段を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の剥離装置。第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から、前記第1接着シートを剥離する剥離方法であって、前記第1接着シートを支持する工程と、前記第2接着シートの他方の面側に接する支持面で前記第2接着シートを支持する工程と、複数の当接部材で形成される当接面を前記第1接着シートの他方の面に接触させ、前記支持面とで前記板状部材を挟み込む工程と、前記第1接着シートと前記第2接着シートとを前記支持面に直交する方向に相対移動させる工程と、前記相対移動に同期して、前記当接面の当接領域を前記板状部材の外縁から中央に向かって徐々に狭めていく工程と、を備えることを特徴とする剥離方法。しかしながら、特許文献1に記載の装置では、剥離対象の第1UVテープを当該第1UVテープの面方向に引っ張るため、床面に対する装置の占有スペースが大きくなってしまい、他の装置の配置スペースや、オペレータの作業スペースが狭くなってしまうという不都合が発生する。そこで、第1フレームごとチップの面に対して垂直な方向に持ち上げることで、第1UVテープをチップから剥離することが考えられる。この場合、大きな剥離力が必要とされるため、第1UVテープが引き裂かれてしまったり、第1UVテープが第1フレームから外れるなどして、剥離を行えないばかりか、ウェハを破損させてしまう可能性がある。本発明の目的は、床面に対する占有スペースを最小限に抑えながら、確実に板状部材から接着シートを剥離することが可能な剥離装置および剥離方法を提供することにある。前記目的を達成するために、本発明の剥離装置は、第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から前記第1接着シートを剥離する剥離装置であって、前記第1接着シートを支持する第1シート支持手段と、前記第2接着シートの他方の面側に接する支持面で前記第2接着シートを支持する第2シート支持手段と、前記第1接着シートの他方の面に当接面を接触させ、前記支持面とで前記板状部材を挟み込む当接手段と、前記第1シート支持手段と前記第2シート支持手段とを前記支持面に直交する方向に相対移動させる移動手段とを備え、前記当接手段は、前記当接面を形成可能な複数の当接部材を備え、前記当接部材は、前記移動手段による相対移動に同期して、前記当接面の当接領域を前記板状部材の外縁から中央に向かって徐々に狭めていくことが可能に設けられている、という構成を採用している。この際、前記複数の当接部材は、それぞれ当接面の外縁から弾性変形可能な弾性部材を備えている、ことが好ましい。また、前記第1シート支持手段と前記第2シート支持手段とを、前記支持面に平行な平面で相対回転させる回転手段を備える、ことが好ましい。一方、本発明の剥離方法は、第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から、前記第1接着シートを剥離する剥離方法であって、前記第1接着シートを支持する工程と、前記第2接着シートの他方の面側に接する支持面で前記第2接着シートを支持する工程と、複数の当接部材で形成される当接面を前記第1接着シートの他方の面に接触させ、前記支持面とで前記板状部材を挟み込む工程と、前記第1接着シートと前記第2接着シートとを前記支持面に直交する方向に相対移動させる工程と、前記相対移動に同期して、前記当接面の当接領域を前記板状部材の外縁から中央に向かって徐々に狭めていく工程と、を備える、という構成を採用している。以上のような本発明によれば、第1シート支持手段と第2シート支持手段とを支持面に直交する方向に相対移動させて第1接着シートを板状部材から剥離するので、第1接着シートを板状部材から剥離するための専用のスペースを支持面の側方に設ける必要がなく、床面に対する占有スペースを最小限に抑えることができる。また、第1シート支持手段と第2シート支持手段との相対移動に同期して、当接面の当接領域が板状部材の外縁から中央に向かって徐々に狭めていくことが可能に設けられているので、第1接着シート全体を支持面と直交する方向に一気に移動して剥離する場合に比べて、第1接着シートに作用する力を小さくすることができ、第1接着シートの破損はもちろん、板状部材までもが第2接着シートから剥離されて破損することや、第1接着シートの破損によって剥離不良が発生することを抑制できる。また、複数の当接部材がそれぞれ当接面の外縁から弾性変形可能な弾性部材を備えていれば、より一層徐々に板状部材の外縁から中央に向かって第1接着シートを剥離しやすくなる。さらに、第1シート支持手段と第2シート支持手段とを相対回転させれば、板状部材と第1接着シートとの当接領域における外縁側に剥離の切っ掛けを形成しやすくなり、当該剥離の切っ掛けから第1接着シートの剥離を促進させることができる。以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。また、本実施形態では、特に明示しない限り、上、下、左、右といった方位を示す用語は、図1を基準として用いる。図1において、剥離装置1は、第1面W1が第1接着シートS1の一方の面上面に貼付されるとともに、第2面W2が第2接着シートS2の一方の面下面に貼付された板状部材としてのウェハWから第1接着シートS1を剥離するものであり、第1接着シートS1を支持する第1シート支持手段2と、第2接着シートS2の他方の面上面側に接する支持面31で第2接着シートS2を支持する第2シート支持手段3と、第1接着シートS1の他方の面下面に当接面4Aを接触させ、第2シート支持手段3とでウェハWを挟み込む当接手段4と、第1シート支持手段2と第2シート支持手段3とを支持面31に直交する方向に相対移動させる移動手段5と、第1シート支持手段2と第2シート支持手段3とを支持面31に平行な平面で相対回転させる回転手段6と、を備えている。なお、第1接着シートS1の一方の面には、接着剤層AD1が設けられており、当該接着剤層AD1にウェハWおよびフレーム部材としての第1リングフレームRL1が貼付されるとともに、第2接着シートS2の一方の面には、接着剤層AD2が設けられており、当該接着剤層AD2にウェハWおよび第2リングフレームRL2が貼付されている。なお、ウェハWは、ダイシングされることにより複数のチップWAに分割された状態となっている。第1シート支持手段2は、第1接着シートS1および第1リングフレームRL1を左右下方から支持する支持板21と、この支持板21の下面に設けられた駆動機器であるリニアモータ22と、リニアモータ22の出力軸23に固定された押さえ部材24とを備えている。第2シート支持手段3は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段により、平面状の支持面31に設けられた図示しない吸引孔を介して第2接着シートS2を吸引支持可能に構成されている。当接手段4は、中央に凹部411を備えるベース41と、凹部411内に固定された駆動機器である第1,第2,第3リニアモータ42,43,44と、第1リニアモータ42の出力軸421に固定された円柱状の第1当接部材45と、第2リニアモータ43の出力軸431に固定された円筒状の第2当接部材46と、第3リニアモータ44の出力軸441に固定された円筒状の第3当接部材47と、ベース41上に載置されるリング状の支持板48と、を備えている。また、第1,第2,第3当接部材45,46,47の上部におけるウェハWとの接触領域当接領域の外縁側は、それぞれ切り欠かれ、この切り欠の内側上端側は、幅が狭くなるように形成されている。これらの切り欠きには、上面の幅よりも下面の幅が小さくなるよう形成されたリング状の弾性部材451,461,471が装着されている。そして、これらの弾性部材451,461,471の上面により、当接面4Aが構成されている。なお、当接領域は、第1当接部材45の上面を中心とした円形であり、ウェハWの外形よりもやや大きく形成されている。また、支持板48の外周には、外側に突出したフランジ481が設けられている。移動手段5は、ベース41の左右に設けられた、2個の駆動機器であるリニアモータ51を備えている。このリニアモータ51は、回転手段6に支持され、出力軸52の先端には、支持板21が支持されている。図2にも示すように、回転手段6は、支持板48に設けられた軸61と、この軸61に回転可能に取り付けられた駆動機器であるリニアモータ62と、このリニアモータ62の出力軸63の先端が回転可能に連結された保持部材64と、保持部材64により支持板48に対し回転可能に保持されたリング状の回転板65と、を備えている。回転板65は支持板48のフランジ481に対向するよう形成された突出部651を備え、フランジ481と突出部651との間にはベアリング652が配設されている。以上の剥離装置1において、ウェハWから第1接着シートS1を剥離する手順としては、まず、図1に示すように、第2リングフレームRL2に貼付された第2接着シートS2を第2シート支持手段3により支持面31で吸引支持させるとともに、第1リングフレームRL1をリニアモータ22の駆動により支持板21と押さえ部材24とで挟み込んで支持させる。そして、リニアモータ42,43,44の駆動により第1,第2,第3当接部材45,46,47が上方に移動し、予め設定された位置に達すると、図示しないセンサによって検知され、当接面4Aと第2シート支持手段3とでウェハWを挟み込んだ状態となって、リニアモータ42,43,44の駆動が終了する。次に、リニアモータ51の駆動により、図3Aに示すように、第1シート支持手段2が下方に移動すると、第3当接部材47の弾性部材471が変形可能であるため、弾性部材471のウェハWとの当接領域の外縁側が、ウェハWから離れるように変形し、ウェハWの外縁側から徐々に第1接着シートS1が剥離され、第1接着シートS1とウェハWとの当接領域の外縁に、剥離の切っ掛けTが形成される。なお、リニアモータ51の駆動に同期させてリニアモータ62の駆動により第1シート支持手段2が所定角度だけ往復回転するように制御してもよい。これにより、第1接着シートS1の剥離が促進される。次に、図3Bに示すように、さらなる第1シート支持手段2の下方への移動に伴い、第1接着シートS1が徐々に剥離され、剥離先端位置Pが第3当接部材47のウェハWとの当接領域の内縁側に到達する。このとき、当接面4Aを構成する弾性部材471は、ウェハWとの当接領域の内縁側から外縁側にかけて、ウェハWから離れるように変形している。この変形により、第1接着シートS1が第3当接部材47から大きな力を受けて破損することを防ぐことができる。さらに、第1,第2,第3当接部材45,46,47の上部先端側の幅が狭く形成されているので、外側の当接部材が下降するまで内側の当接部材が変形することがないので、第1接着シートS1を徐々に剥離する効果を助長することができる。そして、図4Cに示すように、第1シート支持手段2がさらに下方に移動にすると、リニアモータ44が駆動し、第3当接部材47が第1接着シートS1に当接しつつ下方へ移動する。これにより、第1接着シートS1が第1シート支持手段2と剥離先端位置Pとの間で支えられ、第1接着シートS1の剥離先端位置Pに急激に大きな力が加わることがないので、第1接着シートS1を徐々に剥離できる。さらに、第1シート支持手段2が下方に移動すると、図4Dに示すように、リニアモータ43が駆動され、第2当接部材46が第1接着シートS1に当接しつつ下方へ移動する。そして、第1シート支持手段2の下方への移動が継続され、図5Eに示すように、剥離先端位置Pが第1当接部材45の弾性部材451のウェハWとの当接領域中央に到達すると、図示しないセンサの検知により、リニアモータ51の駆動が停止され、第1シート支持手段2の移動が終了する。そして、リニアモータ42が駆動して、第1当接部材45が下方に移動する。そして、図5Fに示すように、第1当接部材45を第1接着シートS1から離すことで、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離が終了する。すなわち、剥離装置1では、第1接着シートS1全体が、支持面31と直交する方向に沿って第2接着シートS2から離間するように移動し、当接面4Aの当接領域が、ウェハWの外縁から中央に向かって徐々に狭まっていくため、第1接着シートS1をウェハWの外縁から徐々に剥離することができる。以上のような実施形態によれば、支持面31の側方に第1接着シートS1をウェハWから剥離するための専用のスペースを設ける必要がなく、床面に対する剥離装置1の占有スペースを最小限に抑えることができる。また、第1接着シートS1と第2接着シートS2との相対移動に同期して、当接面4Aの当接領域をウェハWの外縁から中央に向かって徐々に当接領域を狭めていくので、第1接着シートS1全体を支持面31と直交する方向に一気に移動して剥離する場合に比べて、第1接着シートS1に作用する力を小さくすることができる。よって、第1接着シートS1やウェハWが破損したり、第1接着シートS1の剥離不良を抑制できる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、第1リングフレームRL1なしで第1接着シートS1を第1シート支持手段2で支持してもよいし、第2リングフレームRL2なしで第2接着シートS2を第2シート支持手段3で支持してもよい。また、ウェハWから第1接着シートS1を剥離する際に、第1シート支持手段2を往復回転させなくてもよい。第1シート支持手段2とリニアモータ51の個数としては、2個に限らず3個以上としてもよいし、1個としてもよい。また、第1シート支持手段2とリニアモータ51の個数は、異なっていてもよく、例えば連結部材で連結された2個の第1シート支持手段2を、1個のリニアモータ51で上下に移動させてもよい。さらに、支持面31として平面状のものを例示したが、第2接着シートS2に皺が入らない程度に中央部が下方に突出した曲面状としてもよい。このような構成にすれば、剥離の切っ掛けTが形成されやすくなる。また、板状部材はダイシングされていないウェハWであってもよい。さらに、当接手段の当接部材を円柱状または円筒状の第1,第2,第3当接部材45,46,47で構成し、当接面4Aを円形としたが、ウェハWの外縁から中央に向かって徐々に当接領域を狭めていける構成であれば、当接面4Aは格子状や短冊状に分割されるものであってもよい。また、第1シート支持手段2を停止させておき、第2シート支持手段3と当接手段4とを上方へ移動させてもよいし、第1シート支持手段2を下方へ移動させ、第2シート支持手段3と当接手段4とを上方へ移動させてもよい。これらの場合でも、当接面4Aの当接領域をウェハWの外縁から中央に向かって徐々に当接領域を狭めていくようにリニアモータ42,43,44の動作を適宜制御すればよい。さらに、第1シート支持手段2を停止させておき、第2シート支持手段3、当接手段4等を回転させてもよいし、第1シート支持手段2を回転させ、第2シート支持手段3、当接手段4等を第1シート支持手段2の反対方向に回転させてもよい。また、本発明における第1,第2接着シートS1,S2の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートと接着剤層AD1,AD2との間に中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよい。また、第1,第2接着シートS1,S2は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シートなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、板状部材としては、光ディスク、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、弾性部材451,461,471としては、ゴム、樹脂、スポンジ等を採用することができる。さらに、弾性部材451,461,471は、前記実施形態で示したもの以外のもので構成してもよく、弾性部材451,461,471は第1接着シートS1の当接により変形可能な限りにおいて何ら限定されるものではない。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。"