汚液中に、汚液と不溶性で汚液よりも沸点が高く比重の大きいフッ素系不活性液から成る分離液を混入して下底に沈殿させた汚液収納部の下底と減圧導入槽との連通を、開閉弁により遮断した状態で減圧機構に接続し一定の減圧度まで減圧導入槽内を減圧した後、開閉弁を開放して汚液収納部と減圧導入槽とを連通し、減圧導入槽の減圧による負圧を利用して汚液収納部の下底に沈殿させた分離液を減圧導入槽内に汚物とともに導入し、汚液収納部の排出側から減圧導入槽の排出側に到る流路中に分離液と汚物との濾過手段を配置し、この濾過手段により分離液の濾過を行うことを特徴とする汚液の濾過方法。汚液中に、汚液と不溶性で汚液よりも沸点が高く比重の大きいフッ素系不活性液から成る分離液を混入して下底に沈殿させた汚液収納部と、この汚液収納部と開閉弁を介して連通するとともに、開閉弁の閉止による汚液収納部との連通遮断時に、減圧機構で一定の減圧度まで内部を減圧した後に、開閉弁を開放し負圧を利用して汚液収納部の下底に沈殿させた分離液を汚物とともに導入し、この導入後に分離液の排出が可能な減圧導入槽と、汚液収納部の排出側からこの減圧導入槽の排出側に到る流路中に配置し、分離液の濾過を行う濾過手段とから成ることを特徴とする汚液の濾過装置。しかしながら、特許文献1に示す発明は、高沸点溶剤を用いて洗浄、メッキ等の表面処理を行った結果発生する汚液である場合は、何ら問題が無く優れた技術効果を得ることが出来るものであるが、低沸点溶剤を用いて洗浄、メッキ等の表面処理を行った結果発生する汚液である場合は、濾過機能を十分に発揮することが出来ない。例えば、沸点40°Cのジクロロメタン、沸点87°Cのトリクロロエチレン、沸点82°Cのイソプロピルアルコール、沸点56.5°Cのアセトン等の低沸点溶剤を表面処理液として発生する汚液に対しては、濾過機能を十分に発揮することが出来ないものと成る。即ち、上記の如き低沸点溶剤から成る汚液を、減圧された減圧導入槽に導入すると、汚液が低沸点であるため、急速に気化して減圧導入槽内の減圧を破壊し、吸引力を消失するものと成る。そのため、汚液収納槽の底部に堆積した汚物の一部しか濾過手段に導入することができず、十分な汚液の濾過を行う事が出来ないものと成る虞がある。そこで本発明は、上述の如き課題を解決しようとするものであって、低沸点溶剤を用いて洗浄等の表面処理を行ったことにより発生する汚液を、減圧導入槽内に導入して濾過する場合に、導入した汚液の急速な気化に伴う減圧導入槽内の減圧度の急激な低下を防止しながら、濾過に必要とされる汚液中の汚物の導入を十分に行う事が出来るようにしたものである。本願発明は上述の如き課題を解決するため、まず汚液収納部の汚液中に、汚液と不溶性で汚液よりも沸点が高く比重の大きいフッ素系不活性液から成る分離液を混入して下底に沈殿させる。次に、この汚液収納部の下底との連通を、開閉弁により遮断した状態で減圧導入槽を減圧機構に接続し、一定の減圧度まで減圧導入槽内を減圧する。この減圧後、開閉弁を開放して汚液収納部と減圧導入槽とを連通し、減圧導入槽の減圧による負圧を利用して汚液収納部の下底に沈殿させた分離液を減圧導入槽内に汚物とともに導入する。そして、汚液収納部の排出側から減圧導入槽の排出側に到る流路中に分離液と汚物との濾過手段を配置し、この濾過手段により分離液の濾過を行うものである。また、上記発明方法を実施するための装置としては、汚液中に、汚液と不溶性で汚液よりも沸点が高く比重の大きいフッ素系不活性液から成る分離液を混入して下底に沈殿させた汚液収納部を形成する。この汚液収納部の下底と開閉弁を介して連通するとともに、開閉弁の閉止による汚液収納部との連通遮断時に、減圧機構で一定の減圧度まで内部を減圧した後に、開閉弁を開放し負圧を利用して汚液収納部の下底に沈殿させた分離液を汚物とともに導入し、この導入後に分離液の排出が可能な減圧導入槽を形成する。そして、汚液収納部の排出側からこの減圧導入槽の排出側に到る流路中に配置し、分離液の濾過を行う濾過手段を設けるものである。本発明は上述の如く構成したものであって、一定の減圧度まで減圧した減圧導入槽内に、開閉弁を開放して汚液収納部の下底と減圧導入槽とを連通すると、汚液収納部の下底に沈殿させたフッ素系不活性液から成る分離液を減圧導入槽内に汚物とともに導入するものとなる。この分離液は汚液と不溶性で汚液よりも沸点が高く比重の大きいものであるから、減圧導入槽内には沸点の低い汚液よりも先に沸点の高い分離液を汚物とともに導入される。そのため、減圧導入槽内に導入された高沸点の分離液は気化されることがないか、少量の気化しか行われることが無く、減圧導入槽内の減圧度は、分離液の容積に対応するか、これに近いものに減圧度の低下は限定されたものとなる。従って汚物と接触する部分の分離液を確実に減圧導入槽内に導入することが可能となる。その結果、汚液収納部の排出側から減圧導入槽の排出側に到る流路中に配置した濾過手段により、分離液と汚物との分離濾過を行うことが可能となる。このように、本発明に於いては低沸点溶剤を用いた、洗浄、メッキ等の表面処理を行いながら、発生した汚液中の汚物をフッ素系不活性液から成る分離液中に沈殿させ、この分離液を減圧導入槽内に気化による真空破壊を生じることなく導入し、濾過手段による汚物の分離濾過を可能とする事ができる。また分離液は、汚物の濾過後に汚液収納部に戻すことにより、繰り返し使用が可能となり溶剤の消費を減少し経済的であるとともに環境の保護にも有効なものである。以下、本発明の第1実施例を図1に於て説明すれば、は汚液収納部で、汚液を収納する槽により形成したものでも良いし、汚液の発生源であっても良い。この汚液収納部内に汚液を収納する。この汚液は、汚液収納部内に濾過作業前に収納されたり、濾過作業の完了した濾過済みの汚液を復元収納したりする事が可能である。この汚液は、被洗浄物の洗浄溶剤であったり、切削油であったり、メッキに使用するメッキ液であるとか、適宜の工業上の処理に使用する液体であって、低沸点溶剤で構成されている。この低沸点溶剤としては、沸点100°C未満の例えば、沸点40°C、比重1.33のジクロロメタン、沸点87°C、比重1.46のトリクロロエチレン、沸点82°C、比重0.786のイソプロピルアルコール、沸点56.5°C、比重0.791のアセトン等の低沸点溶剤を用いる事が出来る。また、汚液収納部の低沸点溶剤で構成される汚液中には、汚液と不溶性で汚液よりも沸点が高く比重の大きいフッ素系不活性液から成る分離液を混入して下底に沈殿させる。このフッ素系不活性液から成る分離液は、沸点174°C、比重1.9のパーフロロカーボン、沸点170°C、比重1.9のパーフロロポリエーテル等を用いる事が出来る。しかし、分離液は、前述の如く汚液と不溶性で汚液よりも沸点が高く比重の大きいものであることが条件となるから、汚液を構成する溶剤としてフッ素系溶剤が選択されている場合は、両者が溶解してしまうために使用することはできない。また、前記の汚液収納部には、下底の液排出側に移送配管を接続し、この移送配管を減圧導入槽の液導出側に固定的に接続している。また移送配管には第1開閉弁を形成し、この第1開閉弁と減圧導入槽との間に圧力計を配置する。また、移送配管の第1開閉弁と圧力計との間に、第2開閉弁を介して圧力気体の導入口を接続している。また、減圧導入槽内にはフィルター等の濾過手段を形成し、この濾過手段を通過させる事により汚液の濾過を可能としている。そして減圧導入槽には上端を密閉する蓋体を、パッキン等を介して配置するとともに、大気開放弁を接続している。また、減圧導入槽の液排出側である下底には、濾過手段を介した位置に汚液の放出管を固定的に接続し、この放出管を、第3開閉弁を介して汚液収納部の液導入側である下底に固定的に接続している。そして、この汚液収納部の下底には、分離液が切り粉等の汚物とともに汚液と分離して存在している。また、第3開閉弁と放出管との間には第2圧力計を配置している。そして、放出管には、汚液収納部とは第3開閉弁を介した位置に第4開閉弁を配置し、この第4開閉弁に接続した減圧管に、バキュームポンプ、エゼクター機構等の減圧機構を接続している。この減圧機構は、実施例1に於いてはバキュームポンプを使用している。また、この減圧機構には、第4開閉弁との間の減圧管にストレーナを配置し、流入する切り粉等の大型の汚物の減圧機構への導入を防止している。上述の如く構成したものに於て、汚液収納部内に、切り粉等の汚物を混入した汚液とフッ素系不活性液から成る分離液とを混在させると、汚液と不溶性で汚液よりも比重の大きい分離液は、汚液と分離して汚液収納部の下底に沈殿する。同時に、汚液中に含まれる切り粉等の汚物も、比重が汚液及び分離液よりも重いものは、汚液及び分離液中を下降し、汚液収納部の下底に沈殿する。また、汚液と分離液との混在は、洗浄等の目的作業が完了した汚液中に、分離液を投入して混在させるものであっても良いし、分離液中に汚液を投入するものであっても良く、更には汚液と分離液とを混在させた状体で目的の作業を行うものであっても良い。要するに、濾過作業を行うときに汚液と分離液とが混在していれば良いものである。この状態で、減圧導入槽を用いて汚液収納部に収納されている汚液の濾過を行うには、第1開閉弁、第2開閉弁、第3開閉弁及び大気開放弁を閉止した後、第4開閉弁を開放し、減圧機構を作動する。この減圧機構の作動により減圧導入槽内は減圧される。そして、減圧導入槽内が一定の減圧状態となった時に、第4開閉弁を閉止した後、第1開閉弁を開放する。この第1開閉弁の開放により、汚液収納部内の下底に沈殿しているフッ素系不活性液から成る分離液は減圧導入槽内の負圧により、移送配管から濾過手段を介して減圧導入槽内に導入される。減圧導入槽内に汚物とともに導入されたフッ素系不活性液から成る分離液は、PFPE、PFC等の高沸点溶剤であるから、減圧された減圧導入槽内に導入されても容易に気化せず、その容積以上には減圧導入槽内の真空破壊を生じる事が少なく、分離液の減圧導入槽内への確実な導入を可能とすることができる。そのため分離液中に沈殿している汚物も濾過手段により確実に濾過することが可能となる。分離液が減圧導入槽内に導入されても減圧度に余裕のある場合には、低沸点溶剤から成る汚液も減圧導入槽内に導入され気化による真空破壊を生じるが、分離液中の汚物は濾過手段により濾過された後であるから、全く問題を生じることはない。この、減圧導入槽内への汚液の導入に於いては、ポンプを利用する事なく、分離液の濾過手段への移送を行うから、処理すべきポンプの耐薬品性、耐熱性等に制約される事がない。また、分離液中に沈殿した汚物の粒子径の大きさ、材質等にかかわりなく、濾過作業を迅速に行う事ができる。この分離液の導入に伴う汚物の濾過は任意の方法を用いることが出来るが、第1実施例では減圧導入槽の内周に、フイルター、スクリーン等を配置し、この濾過手段を通過させて分離液を汚液収納部に復元する。汚液収納部に復元した分離液は、汚液との比重差により汚液収納部の下底に沈殿し、繰り返し使用することができる。この汚液収納部への減圧導入槽からの分離液の復元は、第1開閉弁、第2開閉弁及び第4開閉弁を閉止した後、大気開放弁及び第3開閉弁を開放する事によって、濾過済みの分離液は汚液収納部に復元が可能となる。そしてこの場合、汚液収納部が減圧導入槽よりも下方に位置する場合であれば、分離液の自重により減圧導入槽から汚液収納部への移送が簡易に可能となる。また、分離液のより迅速な汚液収納部への復元、若しくは汚液収納部が減圧導入槽と同一平面、若しくは更に上部方向に位置するような場合には、圧力気体の導入口から圧力気体を減圧導入槽に導入する。この圧力気体を用いた、減圧導入槽から汚液収納部への汚液の移送は、大気開放弁、第1開閉弁および第4開閉弁を閉止した後、第3開閉弁を開放状態として第2開閉弁を開放し、圧力気体の導入口から、圧力気体を減圧導入槽内に導入する。この圧力気体の導入により、減圧導入槽内の分離液は強制的に汚液収納部内に加圧移送する事ができる。そして、この圧力気体の導入により減圧導入槽内の分離液を汚液収納部に圧力移送すれば、迅速な汚液の移送が可能となるばかりでなく、減圧導入槽内に残留し、汚物に付着した分離液も汚物から一定の範囲で剥離されて汚液収納部側に移送されるから汚物の液切りが可能となる。次に第3開閉弁、第1開閉弁、第2開閉弁及び大気開放弁を閉止した後、第4開閉弁を開放し、減圧機構を作動させ、減圧導入槽内を分離液の導入時よりも強く減圧すれば、減圧導入槽内に残留し汚物に付着している分離液は、減圧機構による強い減圧の結果、沸点を低下させて気化蒸発し、汚物に付着した分離液の突沸乾燥を行う事ができる。このように汚物に付着した分離液を除去する事により、溶剤、切削油、その他の液体を付着させたまま廃棄することによる環境汚染を少なくできるため、汚物の処理が容易なものとなる。また、汚物から気化蒸発した汚液は凝縮器等に因って液化凝縮し回収する。また、減圧導入槽内に設置するフィルター等の濾過手段を減圧導入槽から取り外し可能なものとすれば、濾過手段を減圧導入槽から取り外して減圧導入槽から外部に持ち出す事により、乾燥された汚物の除去が極めて容易となる。また、前記の第1開閉弁、第3開閉弁等はバタフライ弁等の、液の流通抵抗が少なく、汚物による目詰まり等が生じにくい機構の開閉弁を用いれば、移送配管を介した分離液の迅速な減圧導入槽への導入と、減圧導入槽からの汚液収納部への分離液の復元が可能となるものである。また、上記の実施例1に於いては、汚液収納部の液排出側と、減圧導入槽の液導入側とを移送配管にて、分離を前提とせずに固定的に接続し、また、減圧導入槽の液排出側と汚液収納部の液導入側とを放出管にて分離を前提とせずに固定的に接続した。しかし、実施例2に於いては、汚液収納部に接続する移送配管及び放出管を、汚液収納部に対して着脱可能に形成し、任意の汚液収納部に移送配管及び放出管を接続可能とすれば、減圧導入槽を任意の汚液収納部が設置された位置まで移送して、任意の汚液収納部の汚液を濾過することが可能となり、濾過装置としての使用効率を著しく高めることが可能となる。そして、上記の任意の汚液収納部への移送配管及び放出管の接続方法は、汚液収納部に移送配管及び放出管の着脱口を形成して行っても良いし、汚液収納部の上部から移送配管及び放出管を投入するものであっても良い。また、上記の実施例1では、減圧導入槽を1槽とし、この1槽の減圧導入槽を減圧機構に直接接続し、減圧導入槽内を減圧機構で減圧することにより分離液の導入を行っている。しかし、1槽の減圧導入槽内の減圧を直接行う場合には、分離液の導入に伴って減圧導入槽内の減圧度合いが低下するから、減圧導入槽の容積よりも少ない量の分離液しか導入できない。その為、減圧導入槽の濾過能力よりも少ない分離液を導入して濾過を行うものとなり効率的ではない。そこで、実施例2では、図2に示す如く、汚液の濾過手段を備えた減圧導入槽に、減圧導入槽よりも容積の大きな補助の減圧導入槽を接続し、この補助の減圧導入槽に汚液収納部を接続すると共に、補助の減圧導入槽に減圧機構を接続して補助の減圧導入槽を減圧する。そして、この減圧状態の補助の減圧導入槽内に、負圧を利用し汚液収納部から分離液を導入すれば、減圧導入槽の容積と同一又は減圧導入槽の容積よりも大きな量の分離液を補助の減圧導入槽に導入することができる。この補助の減圧導入槽から減圧導入槽に第5開閉弁を介して分離液を導入すれば、減圧導入槽の濾過能力に対応した分離液を減圧導入槽に導入することができる。減圧導入槽は、濾過能力に対応した分離液を充分に導入できるから、減圧導入槽を小型化する事が可能となり、廉価な装置を得ることが出来る。また、補助の減圧導入槽を大型化すれば、濾過作業が終了し汚液収納部または他の目的部に濾過済みの分離液を排出した後、減圧等を行うことなく、補助の減圧導入槽から減圧導入槽に、直ちに残りの汚液を導入して濾過作業を行うことが出来、小型の減圧導入槽で濾過作業を繰り返し迅速に行うことが可能となる。また、補助の減圧導入槽は、減圧導入槽よりも上方向に配置し、補助の減圧導入槽内の分離液は重力により減圧導入槽に導入する。また、補助の減圧導入槽は、圧力気体の導入口を接続し、圧力気体を導入して、補助の減圧導入槽内の汚液を圧力気体の圧力により減圧導入槽に移送可能としても良い。また、この実施例2では汚液収納部の汚液排出側と、補助の減圧導入槽の液導入側とを移送配管にて接続すると共に減圧導入槽の液排出側と汚液収納部の液導入側とを放出管にて接続している。また、減圧管と補助の減圧導入槽とを、第6開閉弁を介して減圧連通管により接続し、補助の減圧導入槽の減圧を可能としている。また、この補助の減圧導入槽の減圧は、補助の減圧導入槽のみ減圧するものであっても良いが、減圧時に第5開閉弁を開弁し、減圧導入槽と補助の減圧導入槽を同時に減圧するものとしても良い。この場合は、1回の減圧作業で多くの分離液を減圧導入槽及び補助の減圧導入槽に導入できるから、減圧作業の回数を減らして、1回の減圧作業で複数回の濾過作業を繰り返す事が可能となる。また、実施例1、2では、濾過手段を減圧導入槽内に配置したが、濾過手段は必ずしも減圧導入槽内に配置する必要はなく、分離液の導入側から排出側に到る流路中に分離液の濾過手段を配置したものでもよい。例えば実施例3では、図3に示す如く、汚液収納部の下底と減圧導入槽とを移送配管で接続し、この移送配管の適宜の位置に濾過手段を配置して構成する。また、濾過手段と汚液収納部との間の移送配管には第1開閉弁を配置し、減圧導入槽内の減圧が完了した後に、第1開閉弁を開放して分離液を濾過手段を介して減圧導入槽に導入することにより、この導入過程で分離液を濾過手段により濾過を行う。また、実施例4では補助の減圧導入槽を設けた実施例2に対応するものであり、図4に示す如く、汚液収納部の下底と補助の減圧導入槽とを移送配管で接続し、この移送配管の適宜の位置に濾過手段を配置して構成する。また、濾過手段と汚液収納部との間の移送配管には第1開閉弁を配置し、補助の減圧導入槽内の減圧が完了した後に、第1開閉弁を開放して分離液を濾過手段を介して補助の減圧導入槽に導入することにより、分離液の濾過を行う。