"負荷を支持するための装置であって複数の空気装置と、前記負荷の対向側部に連結された複数の連結器とを備え、前記連結器は、前記複数の空気装置の作動に応答して第1の軸と平行に前記負荷を移動させ、前記連結器の少なくとも1つが、前記第1の軸と直角の第2の軸の回りに負荷を回転させ、前記負荷は前記第1の軸方向に沿って移動するとともに前記第2の軸の回りにコンプライアントな移動を行い、前記空気装置の少なくとも1つが前記第1の軸方向に沿うとともに前記第2の軸の回りのコンプライアンスを構成することを特徴とする負荷支持装置。更に、前記負荷を前記第1の軸の回りに移動させるための揺動プレートを備える請求項1に記載の装置。前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記連結器の1つは一方向に移動し、a前記連結器の別の1つは反対方向に移動するか、またはb前記連結器の前記別の1つは静止したままである、ことを特徴とする請求項1に記載の装置。前記負荷を前記第2の軸と平行に移動させるための内外方向移動プレートを更に備える請求項1に記載の装置。前記負荷を、前記第1の軸と前記第2の軸の両方に直角な第3の軸に沿って移動させるための横方向移動プレートを更に備える請求項1に記載の装置。前記連結器は前記負荷を前記第2の軸と直角な第3の軸の回りに回転させる請求項1に記載の装置。前記負荷は、前記第2の軸が前記負荷の重心に位置するかどうかにかかわらず、前記第2の軸の回りにコンプライアントである請求項1に記載の装置。前記空気装置の各々は個別に調整される請求項1に記載の装置。前記空気装置をそれぞれ対応する第1の位置に移動させるための複数の作動装置を更に備え、前記空気装置は前記負荷が最終位置に移動することを容易にすることを特徴とする請求項1に記載の装置。負荷を支持するための装置であって複数の空気装置と、前記空気装置を前記負荷の対向側部に連結する複数の連結器とを備え、前記空気装置は少なくとも自由度2でコンプライアンスを構成することを特徴とする負荷支持装置。第1の軸に沿って前記負荷を移動させるための複数のアクチュエータを更に備え、前記連結器の少なくとも1つは、前記アクチュエータの少なくとも1つの作動に応答して第2の軸の回りに負荷を回転させ、前記空気装置は前記負荷を前記第1の軸方向に沿うとともに前記第2の軸の回りのコンプライアント移動させることを特徴とする請求項1に記載の装置。前記負荷を前記第1の軸の回りに移動させるための揺動プレートを更に備える請求項11に記載の装置。前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記連結器の1つは一方向に移動し、a前記連結器の別の1つは反対方向に移動するか、またはb前記連結器の前記別の1つは静止したままである、ことを特徴とする請求項11に記載の装置。前記負荷を前記第2の軸と平行に移動させるための内外方向移動プレートを更に備える請求項11に記載の装置。前記負荷を、前記第2の軸に直角な第3の軸に沿って移動させるための横方向移動プレートを更に備える請求項11に記載の装置。前記連結器は、前記負荷を前記第1の軸及び前記第2の軸の両方に直角な第3の軸の回りに回転させる請求項11に記載の装置。負荷を支持するための装置であって複数の支柱と、前記負荷を第1の軸に沿って移動させるために、前記支柱に沿ってそれぞれ移動可能な複数のメインアームと、前記メインアームの少なくとも1つに沿って移動可能な少なくとも1つのバーニヤアームとを備え、前記バーニヤアームは前記第1の軸と直角な第2の軸の回りのコンプライアンスを構成することを特徴とする負荷支持装置。前記バーニヤアームの移動を可能にするための空気装置を更に備える請求項17に記載の装置。前記負荷の側部に連結された連結器を更に備え、該連結器は前記負荷を前記第1の軸に沿って移動させると共に前記第2の軸の回りに移動させることを特徴とする請求項17に記載の装置。前記負荷を前記第1の軸の回りに移動させるための揺動プレートを更に備える請求項18に記載の装置。前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記連結器の1つは一方向に移動し、a前記連結器の別の1つは反対方向に移動するか、またはb前記連結器の前記別の1つは静止したままである、ことを特徴とする請求項19に記載の装置。前記負荷を前記第2の軸に沿って移動させるための内外方向移動プレートを更に備える請求項18に記載の装置。前記負荷を、前記第2の軸に直角な第3の軸に沿って移動させるための横方向移動プレートを更に備える請求項18に記載の装置。前記連結器は、前記負荷を前記第1の軸及び前記第2の軸の両方に直角な第3の軸の回りに回転させる請求項18に記載の装置。負荷を支持するための装置であって前記負荷の対向側部に連結された複数の連結器を備え、前記連結器の少なくとも1つは前記負荷を回転軸の回りに回転させるための動力駆動式であり、前記少なくとも1つの連結器は装着部を備え、該装着部は前記回転軸の回りにコンプライアンスを構成するための可撓性素子を有することを特徴とする負荷支持装置。前記連結器は、前記負荷を、前記回転軸に直角な前記第1の軸に沿って移動させると共に前記第1の軸及び前記回転軸の両方に直角な第2の軸の回りに移動させることを特徴とする請求項25に記載の装置。前記負荷は前記第1の軸に沿うとともに前記第2の軸の回りにコンプライアント移動する請求項26に記載の装置。前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記連結器の1つは一方向に移動し、a前記連結器の別の1つは反対方向に移動するか、またはb前記連結器の前記別の1つは静止したままである、ことを特徴とする請求項26に記載の装置。前記負荷を前記第2の軸に沿って移動させるための内外方向移動プレートを更に備える請求項26に記載の装置。前記負荷を、前記第2の軸に直角な前記回転軸に沿って移動させるための横方向移動プレートを更に備える請求項26に記載の装置。前記可撓性素子はゴム部材を含む請求項25に記載の装置。前記可撓性素子は動力駆動式歯車に連結されている請求項25に記載の装置。前記連結器の前記1つは電気式と空気式よりなるグループから選択された1つの動力源から動力駆動される請求項25に記載の装置。負荷を支持する方法であって空間的に離間した複数のアクチュエータを作動して前記負荷を第1の軸に沿って移動させる工程と、前記第1の軸に沿ってコンプライアントフリーダムを設ける工程と、前記第1の軸と直角な第2の軸の回りにコンプライアントフリーダムを設ける工程と、を備えたことを特徴とする方法。更に、前記負荷を前記第1の軸の回りに移動させる工程を有する請求項34に記載の方法。前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記アクチュエータの1つは一方向に移動し、a前記アクチュエータの別の1つは反対方向に移動するか、またはb前記アクチュエータの前記別の1つは静止したままである、ことを特徴とする請求項34に記載の方法。前記負荷を前記第2の軸と平行に移動させる工程を更に有する請求項34に記載の方法。前記負荷を、前記第1の軸及び前記第2の軸の両方に直角な第3の軸に沿って移動させる工程を更に有する請求項34に記載の装置。前記負荷を前記第2の軸と直角な第3の軸の回りに回転させる工程を更に有する請求項34に記載の方法。コンプライアントフリーダムを設けるために少なくとも1つの空気装置を調整する工程を更に有する請求項34に記載の方法。前記1つの空気装置が、前記コンプライアントフリーダムを設けるために個別に調整された複数の空気装置の1つである請求項40に記載の方法。前記アクチュエータは前記少なくとも1つの空気装置を第1の位置に移動させ、前記空気装置は前記負荷が最終位置に移動することを容易にする請求項40に記載の方法。テストヘッドを周辺装置と合体させる方法であって、a前記テストヘッドを前記周辺装置に向けて移動させる工程と、b前記テストヘッドに結合された合体部材を、前記周辺装置に結合されたピンレセプタクル内に挿入する工程と、c前記テストヘッドを前記周辺装置と合体させるために、前記合体部材を前記ピンレセプタクル内に更に引き込むように前記ピンレセプタクルを移動させる工程と、を備えたことを特徴とする方法。前記合体部材の1つはカムフォロアを含み、前記工程cは、前記テストヘッドを前記周辺装置と合体するために、前記カムフォロアは前記ピンレセプタクル内の溝に沿って移動するように、前記ピンレセプタクルを摺動する工程を含む請求項43に記載の方法。前記ピンレセプタクルは動力で摺動する請求項44に記載の方法。前記ピンレセプタクルはピストンの運動により摺動する請求項44に記載の方法。前記ピンレセプタクルはアームの回転運動により摺動する請求項44に記載の方法。ピボット支点の回りに回転するアームの一端に力が加えられ、該アームの他端が前記ピンレセプタクルを摺動させる請求項44に記載の方法。前記溝は前記ピンレセプタクルの両側部間に延びる経路を追従し、該経路の一端側は該経路の他端側より前記ピンレセプタクル内に深くなるように形成されている請求項44に記載の方法。テストヘッドを周辺装置と合体させる合体機構であって、第1のアライメント配置と、前記テストヘッドと前記周辺装置の一方に取り付けられた補足可能係止素子と、前記テストヘッドと前記周辺装置の他方に取り付けられた合体モジュールとを備え、該合体モジュールは、a前記アライメント構成を収容するアライメントレセプタクルと、b前記補足可能係止素子を収容して補足し、補足素子が収容された第1の位置から該補足素子が引き込まれた第2の位置に移動可能であり、前記テストヘッドと前記周辺装置とを合体する移動可能補足部材と、c前記補足可能部材が補足される位置にあるときを検知する検知器と、d前記テストヘッドと前記周辺装置とを合体するために前記補足可能素子を第1の位置から第2の位置に移動させるために、前記移動可能補足部材を移動させるためのアクチュエータとを備えたことを特徴とする合体機構。前記補足可能素子の第1の位置から第2の位置への移動は直線状である請求項50に記載の合体機構。前記補足素子の移動は直線状である請求項50に記載の合体機構。前記補足可能素子の移動は前記補足素子の移動方向と実質直角である請求項51に記載の合体機構。前記補足可能素子の移動は前記補足素子の移動方向と実質直角である請求項52に記載の合体機構。前記アクチュエータは直線経路に沿って移動するリニアアクチュエータである請求項50に記載の合体機構。前記アクチュエータは空気式である請求項50に記載の合体機構。前記アクチュエータは電気ソレノイドである請求項50に記載の合体機構。前記補足可能素子はカムフォロアであり、前記補足部材はカムを含む請求項50に記載の合体機構。前記検知器は空気式スイッチと電気スイッチのいずれか1つである請求項50に記載の合体機構。前記モジュールは、該モジュールが搭載された前記テストヘッドまたは前記周辺装置に対してX,Y,Z軸方向に調整可能である請求項50に記載の合体機構。特徴機構を検知する特徴機構検知器と、移動可能な特徴機構レセプタクルと、前記特徴機構の検知に応答し、前記移動可能特徴機構レセプタクルを移動させて該特徴機構を補足し、該特徴機構を直線的に引き出すアクチュエータと、を備えたことを特徴とする合体モジュール。前記合体モジュールはテストヘッドと周辺装置の一方に結合された複数の合体モジュールの1つであり、前記特徴機構は前記テストヘッドと周辺装置の他方に結合された複数の特徴機構の1つであり、各アクチュエータの作動により前記テストヘッドと周辺装置が合体する請求項61に記載の合体モジュール。前記アクチュエータはリニアアクチュエータである請求項61に記載の合体モジュール。前記アクチュエータ空気式である請求項61に記載の合体モジュール。前記アクチュエータは電気ソレノイドである請求項61に記載の合体モジュール。前記移動可能特徴機構は前記直線方向に直角に移動する請求項61に記載の合体モジュール。前記モジュールの特徴機構は直線経路に沿って移動する請求項61に記載の合体モジュール。前記特徴機構はカムフォロアであり、前記移動可能特徴機構レセプタクルはカムを含む請求項61に記載の合体モジュール。前記特徴機構検知器は空気式スイッチと電気スイッチのいずれか1つである請求項61に記載の合体モジュール。前記モジュールは、前記テストヘッドまたは前記周辺装置に対してX,Y,Z軸方向に調整可能である請求項62に記載の合体モジュール。テストヘッドを周辺装置と合体させる方法であって、前記テストヘッドと結合された合体ピンであって、該合体ピンの少なくとも1つの側部に配置されたカムフォロアを含む合体ピンを、前記周辺装置に結合されたピンレセプタクル内に挿入する工程と、前記テストヘッドを前記周辺装置に向けて移動させるために、前記カムフォロアが前記ピンレセプタクル内の溝に沿って移動するように前記ピンレセプタクルを摺動する工程と、を備えたことを特徴とする方法。前記ピンレセプタクルは動力で摺動する請求項71に記載の方法。前記ピンレセプタクルはピストンの運動により摺動する請求項71に記載の方法。前記ピンレセプタクルはアームの回転運動により摺動する請求項71に記載の方法。ピボット支点の回りに回転するアームの一端に力が加えられ、該アームの他端が前記ピンレセプタクルを摺動させる請求項71に記載の方法。前記溝は前記ピンレセプタクルの両側部間に延びる経路を追従し、該経路の一端側は該経路の他端側より前記ピンレセプタクル内に深くなるように形成されている請求項71に記載の方法。テストヘッドを周辺装置と合体させる方法であって、a前記テストヘッドと結合された駆動装置を作動して、該テストヘッドを前記周辺装置に向けて押し進める工程と、b前記テストヘッドと前記周辺装置の一方に結合された更にもう1つの駆動装置を作動して、該テストヘッドを前記周辺装置に向けて引き寄せる工程と、を備え、前記工程aと工程bはある時間間隔だけ重なり合うことを特徴とする方法。工程bは、工程aを実行中に前記テストヘッドが所定位置に到達したことに応答して起動する請求項77に記載の方法。前記所定位置において、前記テストヘッドと前記周辺装置の一方に結合された合体部材が、前記テストヘッドと前記周辺装置の他方に結合されたピンレセプタクルと位置合わせされる請求項78に記載の方法。前記所定位置において、前記合体部材は前記ピンレセプタクル内に位置している請求項79に記載の方法。前記時間間隔の終了時点において、前記駆動装置の作動を終了する請求項77に記載の方法。前記時間間隔の終了時点において、前記駆動装置にかけられたブレーキを解除する請求項77に記載の方法。工程bの起動後に、前記テストヘッドと前記周辺装置のそれぞれ対応する電気接触素子を結合する工程を更に有する請求項77に記載の方法。工程bを実行する前に、前記駆動装置にブレーキをかける請求項77に記載の方法。上記形態の合体装置は千ポンドの重量のテストヘッドを用いて好適に使用されている。しかし、テストヘッドが更に大サイズになり、接触部の数が増加するにつれて、多くの問題点が明らかとなっている。第1の問題点は、接触部の数が増加するにつれて、接触部を係止するのに必要な力が増大することである。典型的には1接触部当たり数オンスの力が必要で、従って、1000個以上の接触部を有するテストヘッドを合体する場合はこのために50または100キログラム以上の力が必要となる。立法ヤード以上の体積を占めるテストヘッドを使用した場合は、全てのガセットとカムがテストヘッドがどの時点で合体可能位置となり、作動可能位置となるのかを決めるのかを操作者が観測することは、益々困難となっている。また、テストヘッドマニピュレータ内のコンプライアンス機構とケーブル線の弾力性による反発作用により、作動を同時に開始しながらテストヘッドを作動可能位置に保持することを困難にしている。作動機構で打ち勝たねばならない力の大きさが増大したことで、カムの動きがケーブル線を引き伸ばし、このため同期できなくなるといった更なる難しさが生じている。機構の歪みの同様の問題点が個体の連結及びベルクランクを用いた合体装置で知られている。上述の合体装置は、使用されたガイドピンとレセプタクルの数により特徴づけることができる。前記米国特許815の装置は2点での合体構成を特徴とし、図37A-37Dに示す装置は4点での合体構成を特徴としている。同じ一般的な原理に従う3点での合体構成もまた公知で一般に用いられており、本発明は3点での合体構成の観点で記載するものである。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、他の構成への適用も可能である。負荷を保持するための装置は空気装置と負荷の反対側に結合された連結器を含む。連結器は、空気装置の作動により第1の軸と平行に負荷を移動させる。少なくとも1つの連結器が負荷を第1の軸に垂直な第2の軸の回りを回転させる。負荷は第1の軸方向に移動するとともに第2の軸の回りに回転される。少なくとも1つの空気装置が第1の軸方向に移動及び第2の軸の回りに回転させるコンプライアンスをもたらしている。図1は本発明の実施の形態に係る位置決めシステム10の斜視図である。位置決めシステム10は、テストヘッド等の重い負荷を保持及び移動するために使用されるもので、米国特許4527942号公報に充分に記載されており、ここに参照により導入する。該米国特許の図6に示すように、自由度6の動作が規定されている。本発明の実施の形態に係る位置決めシステム10はこれら自由度6の動作を実現している。図2は図1に示す位置決めシステムの分解図である。図示のように、図2の下部には台座50が備えられる。内外方向摺動装置INOUTUNIT100が台座50に載せられ、台座は床の上に据えられる。その名称から示唆されるように、内外方向摺動装置INOUTUNIT100はZ軸方向に沿って床と平行に摺動可能であり、装着する方向即ち、内外方向摺動装置100の後面からそれの開口部に向かう方向及び取り出し方向即ち、内外方向摺動装置100の後面に向かう方向に摺動可能である。装着方向としては通常は周辺部との合体位置に向かう方向が採られ、取り出し方向としては周辺部から離れる方向が用いられる。横方向摺動装置200は内外方向摺動装置100のX軸方向に沿うとともに床に平行に摺動する。横方向摺動装置200の移動は内外方向摺動装置100の移動と直角の方向である。揺動スイング装置300は横方向摺動装置200上に載置される。揺動スイング装置300はY軸を支点として旋回し、ここでY軸は、横方向摺動装置200及び内外方向摺動装置100の移動軸と互いに直角の方向である。これは、旋回twisting、揺動swingまたは横揺れ動作yawmotionとも呼ばれる。メインアーム部400と500は、揺動スイング装置300に垂直に設けられたリニア直線状レールに沿ってY軸に沿って上下方向に摺動する。バーニヤY移動を行うために、バーニヤアーム600はメインアーム400に垂直に設置されたリニアガイドレールに沿って上下に移動可能である。更に、バーニヤアーム700はメインアーム500に対して垂直に設置されたリニアレールに沿って上下に移動する。バーニヤY移動は相対的に小さな移動量例えば1または2インチであり、これはY軸方向の位置決めの最終の精密な調整のために設けられている。この動作は空気圧により実現される浮遊動作であってもよい。タンブルピボット装置900はバーニヤアーム600と結合される。タンブル駆動装置800はバーニヤアーム700と結合される。テストヘッドは、タンブル駆動装置800とタンブルピボット装置900を通って延びるX軸の回りを回転する即ち、タンブリングまたはピッチ動作を行う。この軸は、テストヘッドが加えられる最小の力で旋回できるように、負荷の重心を通るように配置してもよい。図3は位置決めシステム10を構成する様々な構成要素の更なる斜視図である。台座50について図4を参照して更に明瞭に説明する。図示のように、台座50はリニアガイドレール52aと52b図4では見えないを備える。内外方向駆動モータ65と内外位置エンコーダ70は台座組立部品に含まれる。モータ65は適当な減速ギアを含んでも良い。モータ65は、また、必要に応じて停止位置にロックするためのブレーキ装置を備えてもよい。図5にさらに明瞭に示すように、モータのプーリ滑車66が従来と同様に内外方向駆動モータ65のシャフトに取り付けられている。位置決めエンコーダ70図5では見えないはブラケット80に固定され、ブラケット80は台座50に固定されている。エンコーダのプーリ滑車71が従来と同様にエンコーダ70のシャフトに取り付けられている。2つの調時ベルト図示せずもまた含まれている。第1のベルトは、プーリ60がモータ回転時に回転するように、モータプーリ66の一方をプーリ60に連結している。この第1のベルトはリニアガイドレール52a及び52bと略平行に配置されている。第2のベルトは、もう一方のモータプーリ66をエンコーダのプーリ71に連結して、エンコーダがモータ回転時に回転するようにしている。内外方向摺動装置100の細部が図6及び図7を参照して更に明瞭に示されている。リニアガイドベアリング102,104,106,108が内外方向支持体110の下側に取り付けられる。リニアガイドベアリング102,104はリニアガイドレール52aに沿って移動する。更に、リニアガイドベアリング106,108はリニアガイドレール52bに沿って移動する。内外方向摺動装置100は、モータ65が作動時に内外方向装着取り出し方向に移動可能である。特に、モータ65が作動すると、ベルト図4または図5には図示せずは移動を開始する。モータプーリ66をプーリ60に連結しているベルトは、好都合な地点で内外方向摺動装置100に装着される。従って、ベルトが移動すると、内外方向摺動装置100はモータ65の回転方向により内方向または外方向に駆動される。モータ65がブレーキ装置を含む場合は、ブレーキ装置を必要に応じて内外方向摺動装置を台座に対して固定位置にロックするのに使用してもよい。図6及び図7に示すように、リニアガイドレール112,114は、台座50に取り付けられたリニアガイドレール52a,52bと直交するように内外方向支持体110の上部に固定されている。横方向駆動モータ120もまた含まれている。モータ120にモータブラケット125が隣接し、さらにプーリ142が隣接している。モータ120は適当な減速ギアを含んでもよい。また、モータ120は、必要に応じてモータを停止位置にロックするためのブレーキ装置を含んでもよい。横方向の位置決めエンコーダ130もまた備えられている。プーリ144がエンコーダ130に固定されている。ベルト図示せずがプーリ142とプーリ144を連結している。該ベルトはレール112及び114と略平行に架設される。従って、モータ120の回転とともにエンコーダ130が回転される。カバー152と154もまた備えられる。次いで図8,9,10を参照して、横方向摺動装置200の特徴について説明する。その下側を示す図10に更に明瞭に示されているように、横方向摺動装置はリニアガイドベアリング210,212,214,216を備える。リニアガイドベアリング214,216はリニアガイドレール114に沿って摺動し、リニアガイドベアリング210,212はリニアガイドレール112に沿って摺動する。ガイドレール112と114はそれぞれ内外方向支持体110に取り付けられていることを思い起こすべきである図6参照。横方向支持体220は、揺動板装着部品260が据えられる開口部を有する。揺動板装着部品260は複数のシール部及びリング部とともに駆動リンク260aを備える。揺動駆動モータ230が具備され、該モータは適当な減速ギアを含んでもよい。また、モータ230は、必要に応じて停止位置にモータをロックするブレーキ装置を含んでもよい。駆動シャフト250はプーリ254と連結される。プーリ254はベルト図示せずによりプーリ256に連結されている。プーリ256は位置決めエンコーダ240に取り付けられている。または、位置決めエンコーダ240は歯車により駆動シャフト250と連結してもよい。駆動シャフト250の回転軸は略水平に配置され、揺動板装着部品260の略垂直回転軸と直角をなす。これら2つの回転軸はねじれ歯車スパイラル歯車駆動またはウォーム歯車駆動装置などの適当な歯車により互いに噛み合い、シャフト250の回転に伴って揺動板装着部品260がそれと直角の向きに回転される。駆動シャフト250と揺動板装着部品260間に僅かな間隔を設けることによりコンプライアンス弾力性またはたわみ性が得られる。台座100に対する横方向摺動装置200の動作について次に説明する。プーリ142と144図6参照を連結するベルトは、好適な地点で横方向支持体220に取り付けることもできる。これにより、横方向駆動モータ120が動作すると、プーリ142と144を連結するベルトが移動して、横方向摺動装置200を移動させることになる。モータ120がブレーキ装置を備えている場合は、ブレーキ装置を使用して、横方向摺動装置200を必要に応じて内外方向摺動装置100に対して位置的に停止させることができる。図11a、11b及び12には揺動スイング装置300が図示されている。揺動装置の開口302は図8,9,10に示す揺動板装着部品260を係止する。これにより、揺動板装着部品260が回転すると、これに伴って揺動装置300も回転する。特に、モータ230が空転スピンすると、駆動シャフト250も空転する。揺動板装着部品260は、前述のように駆動シャフト250により回転される。従って、揺動板装着部品が回転すると、揺動装置300も回転する。モータ230がブレーキ装置を備えている場合は、ブレーキ装置を使用して、揺動装置300を必要に応じて横方向摺動装置200に対して位置的にロックすることができる。図11a、11b及び12では、揺動装置300は揺動装置支持体305を有する。支柱315a,315bと側壁板310a,310bが揺動装置支持体305に取り付けられている。リニアガイドレール320a,320bはそれぞれ支柱315a,315bに取り付けられ、基本的に平行に配置されて垂直面を形成している。親ねじボルト325a,325bがそれぞれ支柱315a,315bの前面に示す位置において揺動装置支持体305に装着されている。プーリ326a,326bがそれぞれねじ325a,325bの端部に取り付けられる。プーリ326a,326bは支持体305の真下に配置され、ねじ325a,325bは支持体305の穴を通って上方に延びている。適当なベアリングを従来のように使用して、ねじ325a,325bを支持体305にねじ止で固定することで、ベアリングは自由に回転可能である。ねじ325a,325bはボールねじであってもよい。しかし、後述するように、ねじ325a,325bは結局重い負荷を保持するので、ねじすじねじやまとピッチは、駆動力がなくなったときに逆駆動が起こらないようなものを選択する必要がある。垂直駆動モータ330と垂直位置決めエンコーダ340もまた備えられ、垂直駆動モータ330は適当な減速歯車を備えてもよい。モータ330は、また、それが動作していないときに回転を止めるブレーキを備えてもよい。モータ用プーリ331がモータ330のシャフトに取り付けられ、エンコーダ用プーリ341がエンコーダ340に取り付けられる。クランク用プーリ351に取り付けられたハンドクランク350も備えられている。プーリ331,341,351は支持体305の下面に配置されている。遊び車アイドラープーリ371が支持体305の下面に取り付けられている。一組の3つのベルト361,362,363がプーリ326a,326b,331,341,351,371を相互に連結している。第1のベルト361はモータ用プーリ331を親ねじプーリ326bに連結する。第2のベルト362は親ねじプーリ326bをエンコーダ用プーリ341及びクランクプーリ351と連結する。アイドラープーリ371は第2のベルト362を架張すると共に案内移動させる。最後に、第3のベルト363は親ねじプーリ326aとクランクプーリ351とを連結する。これにより、動作時には、モータ330のシャフトが回転することにより、2つの親ねじプーリ326a,326b及びエンコーダ340が回転される。ハンドクランク350もまた同様に回転する。手動による動作用として、ハンドクランクを用いて2つの親ねじ325a,325bを回転させることもできる。これら2つの親ねじ325a,325bは、ねじやま形体及びピッチが同一であり、モータ330またはハンドクランク350のいずれかにより同時に回転駆動される。図2に示すように、メインアーム400,500がそれぞれリニアガイドレール320b,320a上を摺動する。2つのメインアーム400と500が備えられているが、以下の説明ではメインアーム400についてのみ言及する。メインアーム500についての説明は、その位置、リニアガイドレール及び係止用ねじ以外は、メインアーム400の構成と同一である。図13及び14aに示すように、メインアーム400はリニアガイドベアリング410,420を有する。リニアガイドベアリング410,420は、図12に示すリニアガイドレール320b上を摺動する。ねじ325a,325bよりも僅かに大きい径の縦穴462がメインアーム400の長さで延びている。縦穴462の入り口部は適当に拡張され、ナット460が挿入されてメインアーム400に確実に固定できるような形状である。ナット460は、ねじ325bが挿入できるようにねじ切りされている。これにより、ねじ325bはナット460を通ってねじ止めされ、縦穴462内に延在する。従って、ねじ325bが回転すると、ナット460はねじ325bに沿って上下に移動する。このようにして、メインアーム400は上下方向に移動することができる。メインアーム400は、空気シリンダ440と、リニアガイドレール470と、空気シリンダを適所に保持する保持部材450と頭部480を備える。ねじ325a,325bは同時に回転するとともに同じねじやまを有しているので、2つのメインアーム400と500は上下に同時に移動する。従って、メインアーム400,500が上昇下降するときに、垂直位置エンコーダ340はそれらメインアームの垂直位置を記録する。モータ330がブレーキを備えている場合は、該ブレーキを用いてねじ325a,325bをロックして回転しないようにできる。このような場合であっても、ねじ325a,325bは、安全のために、非逆戻り式駆動であることが好ましい。バーニヤアーム600と700の動作は同様である。図15に示すバーニヤアーム600はリニアガイドレール470に沿って移動する。このためにバーニヤアーム600はリニアガイドベアリング610と620を備える。更にバーニヤアーム700を図16に示す。バーニヤアーム700はリニアガイドレール570に沿って移動する。このためにバーニヤアーム700はリニアガイドベアリング710と720を備える。バーニヤアーム600と700はそれぞれ空気シリンダ440と540で支持される。空気ピストンシャフト441,541はバーニヤアーム600,700の底部に直接係止する。図1と図2に示すようにまた、さらに詳しく後述するようにタンブルピボット装置900はバーニヤアーム600に取り付けられて保持され、タンブル駆動装置800はバーニヤアーム700に取り付けられて保持されている。水平方向のタンブル軸はタンブルピボット装置900とタンブル駆動装置800間に規定される。テストヘッドの負荷は、タンブル軸が通過する基本的に2点において、タンブルピボット装置900とタンブル駆動装置800に回転可能に装着される。タンブル軸は、好ましくは、2つの平行なレール320a,320bにより規定される平面と平行である。テストヘッドの負荷はタンブルピボット装置900とタンブル駆動装置800により保持され、装置900と800はそれぞれ空気シリンダ440と540に保持されている。さらに、空気シリンダ440と540はそれぞれメインアーム400と500に連結されている。バーニヤ垂直アーム600と700はいずれも垂直方向の移動範囲が、それぞれ関連するメインアーム400と500に対して約±25mmである。垂直バーニヤアーム600,700を備える目的は、合体中のテストヘッドを自由度2でコンプライアンス運動をさせることである。各空気シリンダ440,540は調整された空気供給源を備える。即ち、2個の調整装置が設けられ、そのうち1つはシリンダ440用、もう一方はシリンダ540用である。共用の高圧空気供給源をこれら両調整装置に対して設けることもできる。各シリンダ440,540内の空気圧は別々に調整可能である。シリンダ440,540内の空気圧を調整することにより、テストヘッドはメインアーム400,500に関して上方又は下方に移動できる。このようにして、テストヘッドはそれの垂直バーニヤの移動の範囲内で略芯合わせすることが可能である。シリンダ440,540内の圧力を、テストヘッドによりそれぞれ対応するピストンシャフト441,541に加えられた下向きの力を相殺するのに充分な一定の圧力として保持することにより、垂直バーニヤの移動範囲内のテストヘッドの位置は、外力のない状態に維持することができる。各シリンダは別々に調整されるので、これら2つのシリンダの空気圧は等しくされる必要はない。これにより、負荷は、典型的には、2つの支柱間で芯合わせする必要のない重心を有することが可能となる。外力がテストヘッドを下方に押す場合は、シリンダ440,540内の圧力は増大しようとする。従って、調整器は一定圧力を維持するために空気を適量だけ抜き去る。これによりテストヘッドは下方に移動する。同様に、上向きの力が加えられた場合は、シリンダ内の圧力は低下しようとし、調整器は一定圧力を保持するためにさらに空気を供給し、テストヘッドは上昇移動する。このように、テストヘッドは実質重力なし又は浮遊状態に維持される。また、外部トルクをテストヘッドに与えて、例えば、一方を上方に他方を下方に移動させようとする場合は、調整器は一方のシリンダに空気をさらに供給するとともに、もう一方のシリンダからは空気を抜き去るので、空気シリンダは上記のようなトルク運動を容易にする。従って、このような配置構成はテストヘッドの自由度2のコンプライアンス運動、即ち、リニアレール320a,320bにより規定される平面に直角で、従って、Z軸と平行な軸の回りのY軸方向の垂直移動とシータZ回転運動を容易にする。また、回転プライアンス運動は必ずしも負荷の重心を通過する必要のない軸を回転軸とすることができ、従って、このような運動に関して実質的に無重力または浮遊状態は、従来のシステムのような回転軸の配置場所に依存することはない。空気シリンダ440,540により与えられる垂直及び回転コンプライアンス運動を実行するために、図14bに概略図で示すような圧力調整装置が設けられる。本実施の形態では動作流体として空気を使用しているが、本発明の意図する範囲内で他の動作流体に代えてもよい。2この同一の圧力調整システムR6が各空気シリンダ440,540に対して1個ずつ備えられ、各シリンダ内の圧力が個々に制御可能である。多くのテスト用または他の工業設備で一般に利用可能な共用の空気供給源R7から、高圧空気が両調整システムR6に供給される。各圧力調整システムR6は圧力調整器R8を備え、該圧力調整器R8は対応するシリンダ440上に負荷を保持するのに充分な圧力を供給するように調整可能である。調整器R8により与えられた空気圧は、最初に電磁制御弁R9を通って伝えられ、該電磁制御弁R9は作動状態においてシリンダ440を通って空気圧を伝えられるようにスイッチ動作される。弁R9はスプリング戻り式スプリングリターンの弁であり、力が供給されない場合、弁R9はシリンダ440からの流体の逆流を遮断する状態に戻され、これにより負荷に突然に圧力供給が喪失されることを防止している。圧力調整システムR6は、負荷で圧力下降があった場合は供給源R7から空気流を更に与えさせることにより、一方、負荷で圧力上昇があった場合は空気を会報することにより、圧力調整システムR6の出力部において一定の空気圧を維持しようとする。調整器R8は定常状態の制御を実現している。弁R9と並列に一方向絞り弁R0が設けられ、位置決め目的のための外力により負荷に強要した小さな移動に対して、流体内に適切な過渡的応答を促進する。弁R9と絞り弁R0からの2つの気体流の線は結合して流線R5となり、シリンダ440内に流体を供給する。負荷の一方側がその対応するシリンダ440に関して手動で持ち上げられた場合は、シリンダ440内の圧力は持ち上げ力に基づいて減圧される。圧力調整システムR6は圧力の下降を認識し、元の目標圧力に到達するまで、シリンダ440内に更に流体を供給することにより、流体の圧力を上昇させる。または、その代わりに、負荷の一方側がその対応するシリンダ440に関して押し下げられた場合は、シリンダ440内の圧力は増大される。圧力調整システムR6は圧力の増大を認識し、元の目標圧力に再度到達するまで、シリンダ440から流体を放出する。シータZ即ち、回転運動は、テストヘッドまたはそのクレードル受け台が位置決めシステムに連結される適度な値の可撓性により実現可能である。例えば、緩やかな取り付けボールとソケット又は適当な摺動又は曲げ構成も上記結合用に使用可能である。ここでタンブル移動について考察すると、タンブル駆動装置800はバーニヤアーム700に連結されている。従って、バーニヤアーム装置700がリニアガイドレール320aに沿って上下に移動すると、タンブル駆動装置もバーニヤアーム装置700と共に移動する。タンブル駆動装置800は図17,18,19,20,21を参照して示されている。タンブル駆動装置800はタンブル駆動モータ810とタンブル位置決め用エンコーダ820を備える。モータ810は減速歯車を含んでもよい。また、モータ810は必要に応じてブレーキ装置を備えてもよい。モータ810はピューリ876に連結される。駆動シャフト830はピューリ875に連結される。ピューリ875と876はベルト図示せずで連結されている。従って、モータ810のシャフトが回転すると、駆動シャフト830もまた回転する。または代替構成として、ピューリ875,876及びベルトの代わりに歯車を使用することも可能である。駆動シャフト830は、駆動歯車880図17,18,19で図示せず、後述するto噛み合うウォーム駆動またはウォーム駆動型歯車889図示せずを備える。駆動シャフト830はピューリ872,871及びベルト図示せずを介して位置決め用エンコーダ820と連結される。従って、駆動シャフト830が回転すると、位置決め用エンコーダ820のシャフトもまた回転する。代替構成として、ピューリ871,872及びベルトの代わりに歯車を使用することも可能である。図20は、駆動歯車と車軸アッセンブリ895他の構成要素を見せるために図17,18,19には含まれないの分解図を示す。駆動歯車880はその円周部899の回りに歯を有し、駆動シャフト歯車889と噛み合う。駆動歯車880はまた中央円形開口898を有する。開口898の周囲を開口シリンダ897が囲んでいる。円形フランジ896が開口898内に配置され、環状開口898aを有する。6つの穴881がフランジ896内で環状開口898aの回りに均等に分散配置されている。ベアリング885が環状開口898a内に嵌め込まれている。車軸アッセンブリ894は車軸890を備え、車軸リング893と装着部892は車軸890に固定されている。6個の加硫処理した天然ゴム性のピン891が、車軸リング893内に車軸890の回りに均等に分散配置された6つの対応する穴に差し込み装着される。図示のようにゴムピンは車軸890と平行に延びている。テストヘッドの一方側が装着部892に取り付けられ、車軸890の回転中心線により規定される軸の回りをテストヘッドがタンブル回転する。これはすでに説明したタンブル軸である。この軸の回りにテストヘッドを回転させるのに必要なトルクを最小にするために、負荷の重心付近を通過する軸を配置してもよい。車軸890はベアリング885内に差し込み装着され、各ゴムピン891はフランジ896内に形成された対応する穴881内に差し込み装着される。ベアリング885は、車軸リング893がフランジ896から僅かに離間するように間隔をもって装着してもよい。これにより、車軸890と車軸リング893と装着部892は駆動歯車880に弾力的に連結される。回転軸が負荷の略重心を通過する場合のように、装着部892に連結された回転負荷があまり大きくない場合は、駆動歯車880が回転したときに、車軸サブアッセンブリ894はそれとともに回転するのに充分に固い材料でゴムピン891は構成されている。しかし、駆動歯車880が装着位置に固定保持された場合は、ゴムピンは、装着部892に連結された負荷が適度に小さい外力でプラスマイナス数度の角度だけ回転可能とするのに充分な弾力性をもたせている。車軸リング892をフランジ896から離間させたことにより、ゴムピン891を切断する可能性を低減する。また、アッセンブリの相対堅さはこの間隔を変えることにより調整される。このようにアッセンブリはコンプライアンス回転駆動機構を構成する。マニピュレータシステムでは、これは周辺装置と合体するときのテストヘッドのコンプライアンス運動の所望の要素を構成する。従って、駆動歯車880が固定状態であったとしても、装着部892は駆動歯車880に関して制限された値の回転運動が可能である。このことは、車軸部893を歯車880に連結するゴムピン891の弾力性によるものである。図21に示すように、駆動歯車と車軸アッセンブリ895はタンブル駆動装置800の窪み部855内に配置される。車軸890は駆動シャフト830と直角をなす。駆動歯車880の円周部899に形成された歯は駆動シャフト830に形成された対応する歯889図示せずと噛み合い、駆動シャフト830の回転により歯車880が回転し、従って、駆動歯車と車軸アッセンブリ895と負荷が駆動シャフト830に装着される。ウォーム歯車または螺旋歯車などの適当な歯車装置を使用して、駆動歯車880が駆動シャフト830の回転軸と直角方向の軸の回りを回転するように構成してもよい。タンブル駆動ハウジング840は車軸890が通過する穴841図17参照を有する。カバー860は装着部892が突き出る穴861図17,18,19参照を有する。正確で低摩擦の装着を行うためにベアリング部材865が設けられる。図22a,22bに示すタンブルピボット装置900はテストヘッドの他方側に取り付けられる無動力装着部である。タンブルピボット装置900はバーニヤアーム600に装着される。前述のようにバーニヤアーム600はリニアガイドレール570に沿って上下に移動する。タンブルピボット装置は基本的には矩形箱形であり、ピボット軸回転可能なテストヘッド装着装置に連結する手段を構成する。一実施の形態では、これはピボット装置を貫通する穴901に装着するものである。この穴901を貫通するスタブアクスルstubaxle図示せずをテストヘッドに装着してもよい。低摩擦を成すために適当なベアリングを使用してもよい。タンブルピボット装置900とタンブル駆動装置800タンブル装置を、装着穴に係合する取付ねじ図示せずによりそれぞれ対応する垂直バーニヤアーム600と700に取り付ける。これにより、テストヘッドの簡単な設置または取り替えが可能となる。例えば、テストヘッドを取り付けるために、操作者は最初にマニピュレータからタンブルピボット装置900とタンブル駆動装置800を取り去る。これらはテストヘッドに取り付け可能な状態となっている。次いで、テストヘッドとタンブルピボット装置及びタンブル駆動装置のアッセンブリがテストヘッドに好適に取り付け可能である。図23は本発明の一実施の形態に係る合体機構の斜視図である。例示的なテストヘッド1000が図23に含まれている。テストヘッド1000はブラケット1005に結合される。次いで、ブラケット1005はタンブル駆動装置800及びタンブルピボット装置900に結合される。複数の合体機構1010がテストヘッド1000の側面に取り付けられている。本実施の形態では、3個の合体機構1010が図示されている。各合体機構1010は基底支持部1020上に配置されている。合体機構1010は適当なボルトまたは取付ねじ1075を介して側面目盛棒1015に取り付けられている。側面目盛棒1015は合体機構1010を基底支持部1020に固定するために使用されている。次いで、基底支持部1020は基底目盛棒1025に取り付けられる。基底目盛棒1025は、適当なボルトまたは取付ねじ1035を介して底部目盛基盤1030に取り付けられている。これにより、側面目盛棒1015に関して合体機構1010の位置を変えること及び底部目盛基盤1030に関して基底支持部1020の位置を変えることにより、合体機構1010は、好適な位置内で移動することができる。合体フレーム1050も図示されている。合体フレーム1050は周辺装置即ち、装置またはパッケージハンドラ、ウェハプローバ、または他のテスト装置に取り付けられる。合体フレーム1050には複数の合体ピン1060が取り付けられている。合体ピン1060と合体機構1010は、合体ピン1060がそれぞれ対応する合体機構1010と位置合わせされて結合される。図24は図23に示す合体ピン1060の斜視図である。合体ピン1060は、合体ピン基底1100とそこから延びるピン部分1150,1140,1130を含む。図示のように、ピン部分の径は合体ピン1060の先端に近づくに従って益々小さくなるようにしてもよい。これにより、他のピン部分よりも小さな径のピン部分1130は、テストヘッドを周辺装置と合体するときに更に大きな初動誤差を許容できるので、テストヘッドを周辺装置と合体するときに特に好都合である。位置決めシステムに充分なコンプライアンス即ち、小さな無動力運動を付与することで、合体動作時にテストヘッドと装置ハンドラ間の僅かな位置ずれを補正することができる。また、図24には、合体ピン1060から延びるカムフォロアカム従動子1120が示されている。カムフォロア1120は、合体機構1010内に形成された後述する適当なスロットと係止する。図25a,25bを参照して、本発明の一実施の形態の切断側面図が示されている。また、図26はその分解斜視図を示す。図25a,25bでは、合体ピン1060をピンレセプタクル1300内に初動挿入後の状態を示す。図25a,25bでは、合体ピン1060はピン検知器1400をすでに貫通している状態を示している。ピンレセプタクル1300はアーム1600と連結している。アーム1600はピストン装置1500に含まれるピストン運動により運動する。ピストン装置1500はピストン1515とピストンシャフト1510を含む。ピストン装置1500は、また、それの対向する側面図では片側のみ示すにピボット回転軸支点を有する。ピボット支点1505はピストン装置1500が小量のピボット運動を行うことを可能にしている。一実施の形態では、ピストン装置は空気装置であってもよいが、液圧式または電気機械構成などの他の方式のものも可能である。ピボット支点1505を備えることにより、ピストン装置1500は、囲い1012の側部と、合体機構1010内の内部方向に面するカバー部1014上に配置されたピボットガイド1080を支点としてピボット回転することが可能となる。アーム1600はピボット回転軸支点1620を含む。ピボット回転支点1620は、再び、囲い1012の側部と、合体機構1010内の内部方向に面するカバー部1014上に配置されたピボットガイド1090と係合することで、アーム1600がピボット運動を行うことを可能とする。図25では、ピストン装置1500内のピストン1515が更に明瞭に示されている。ピンレセプタクル1300の様々な特徴の動作について以下に説明する。図26は合体機構1010の分解斜視図である。この図では、合体機構の囲い1012が合体機構のカバー1014と共に見られる。また、ピンレセプタクル1300,ピン検知器1400,アーム1600及びピストン装置1500も図示されている。図27にはピンレセプタクル1300の斜視図が示されている。ピンレセプタクル1300はカムグルーブ1305を含む。ピンレセプタクル1300の各側片部1315には1つのカムグルーブ1305がミリング形成されている。図24に示す合体ピン1060の両側から延びるカムフォロア1120はカムグルーブ1305と係合する。ピンレセプタクル1300は摺動可能に囲い1012とカバー1014に装着されている。特に、棒状部1316は囲い1012のスロット1022と係合し、棒状部1317はカバー1014のスロット1021と係合する。後述するように、ピストン1515とピストンシャフト1510の運動はピボットアーム1600によりピンレセプタクル1300に連動される。これにより、ピストン1515の運動によってピンレセプタクル1300が左右に摺動される。図示の構成では、ピストン1515が最左端位置にあってピストンシャフト1510が引っ込められた状態のときは、ピンレセプタクル1300は最右端位置にくるであろう。同様に、ピストン1515が最右端位置にあってピストンシャフト1510が引き出した状態のときは、ピンレセプタクル1300は最左端位置にくるであろう。図28はピン検知器1400の斜視図である。図に示すように、ピン検知器1400は検知器タブ1405を含む。図29は検知器タブ1405を取り外したときのピン検知器1400を示す。図29では検知器スイッチ1410が図示されている。図30は検知器タブ1405の斜視図である。検知器タブ1405はタブ開口部1450を含み、該タブ開口部1450を回転支点としてピボット回転可能である。検知器タブ1405はロール機構1470を含み、該ロール機構1470はロール開口部1460を通って挿入される軸により適所に保持される。検知器タブ1405は背面部材1480を含む。ピン検知器1400の動作は図103bに更に明瞭に示されている。即ち、合体ピン1060がピン検知器1400内に挿入されると、検知器タブ1405は、タブ開口部1450を回転軸としてピボット回転しながら後方に押し込められる。後方へのピボット回転により、背面部材1480は検知器スイッチ1410を再度押圧する。このようにして、ピン検知器1400は、合体ピン1060がピン検知器1400内に挿入されたことを知らせる。検知器スイッチ1410は、電気制御方式の電気スイッチ、全空気式の空気弁、または任意の流体による方式の弁であってもよい。図31はピストン装置1500の斜視図である。ピストン装置1500はピストン1515図示せずとピストンシャフト1510とアームマウントアーム取付部1520を含む。図32はアーム1600の斜視図である。アーム1600はアーム体1630を含む。アームヘッド1610はヘッドピボット1660を介してアーム体1630の一端に取り付けられている。これによりヘッド1610はピボット回転運動することが可能となる。拡張部1640がアーム体1630の反対側の端部に取り付けられている。拡張部1640はそれぞれ拡張部開口1650を含む。アームピボット1620もまた含まれている。図33に示すように、合体ピン1060は、合体機構1010に対して合体が実現されるような位置にある。合体のこの段階では、合体ピン1060は、ピンレセプタクル1300内のカムグルーブ1305の開口の上部に位置し、このとき検知器タブはそれの右端位置にある。また、検知器タブ1405を検知器スイッチ1410方向に押圧するものはないので、ピン検知器1400は、ピン1060が未挿入であることを示す。更に一般的には、テストヘッドは、位置決め装置10などで次のように所望位置に誘導される:即ち、最初に、全合体ピン1060が各対応する合体機構1010に関して図33に示すように位置合わせされ、次いで、テストヘッド10の合体面と周辺装置に装着される合体フレーム板1050により決まる面とが略平行となるように配置される。そのとき、テストヘッドは合体準備完了位置にあると呼ぶことができる。位置決め装置10に組み込まれたエンコーダは、特定の周辺装置に対するこの位置をシステムコントローラにより記録することを可能にしている。このように、システムコントローラは、テストヘッドをすでに学習した合体準備完了位置に自動的に位置決めすることが可能である。図34に示すように、ここでは合体ピン1060は合体機構1010内に挿入されて合体準備完了位置に誘導されている。特に、カムフォロア1120はカムグルーブ1305内に入り、ピンレセプタクル1300が左方にスライドしたときにカムフォロア1120がカムグルーブ1305の下向き傾斜領域で補足される位置に誘導される。また、合体ピン1060が更に合体機構1010内に充分に挿入され、合体ピン1060は検知器タブ1405を押圧している。構成部品は、合体ピン1060がこの位置に到達すると、合体ピン1060は検知器タブ1405を充分に押圧して、背面部材1480が検知器スイッチ1410を押して作動させるように配置されている。一旦スイッチ1410が内側方向に押されると、合体機構1010は作動可能となる。即ち、構成部品は、スイッチ1410が作動準備完了位置に到達されたときに作動状態となるように配置されている。一般的には、合体動作中は、テストヘッドは合体準備完了位置から、全ての合体ピン1060が各対応する合体機構1010に対して作動準備完了位置となる位置に誘導される。従って、全検知器スイッチ1410が作動すると、全合体機構1010も同時に作動する。全ての検知器スイッチ1410が作動するまではどの合体機構1010も作動しないことが好ましい。テストヘッドを合体準備完了位置と作動準備完了位置との間で移動させる場合、公知のように、係合される精巧な電気接触子を保護するために、合体板即ち合体フレーム1050に直角の直線経路に沿って移動させることが好ましい。ここで記載したような自動位置決めシステムでは、システムコントローラによりこのような制御動作が可能となっている。システムコントローラは特定の周辺装置に対する作動準備完了位置をエンコーダから読み取り、得られた情報をこの動作を制御するために使用することも可能である。一例示的なシステムでは、合体準備完了位置と作動準備完了位置は、他の位置と同様に、学習させる工程でシステムコントローラに入力できる。学習工程では、操作者が手動で位置決め装置を操作することで、テストヘッドは様々な位置に配置される。各位置において、システムはエンコーダから読み取って座標の値を記録するよう指令される。このような一連の学習された位置は、システムにより後で使用され、追従すべき経路を記述することができる。このようにして、システムコントローラはテストヘッドを、周辺装置から離れ、敷設位置即ち、テストヘッドが敷設された位置から合体準備完了位置及び次いで作動準備完了位置に至る経路に沿って、自動的に誘導することができる。テストヘッドが作動準備完了位置にある合体工程の段階では、位置決めシステム駆動モータに対する電力は一時停止されることは重要な留意点である。しかし、空気シリンダ440,450及びコンプライアント運動を行うために備えられたその他の動力装置に対する圧力は維持しなければならない。特に、位置決めシステムがテストヘッドを様々な位置に誘導するときは、位置決めシステムは多数の位置読み取りエンコーダによりテストヘッドの位置を認識しており、このことはすでに説明済みである。従って、位置決めシステム内の位置読み取りエンコーダが、作動準備完了位置に到達していることを示すときは、位置決めシステムに備えられた種々のモータは更なる動力運動を全て停止する。テストヘッドの更なる移動動作は合体機構1010により行われるであろう。マニピュレータモータのいずれかがブレーキ装置を備えている場合は、テストヘッドのコンプライアント運動を可能とするためにこれらブレーキは解除される。図34に示す位置に到達すると、合体機構1010は作動準備完了モードとなっている。この状態では、位置決めシステムによりテストヘッドを周辺装置に向けて押し続けるのではなく、合体機構1010が周辺装置に向けてテストヘッドを引き寄せるであろう。本発明の一実施の形態では、合体機構1010は空気圧で作動され、位置決めシステムがそれのモータのブレーキを解除する直前にこの連続した引き寄せ動作を開始してもよい。従って、この状態の合体を調整するために合体システムと位置決めシステム間に制御信号は必要としない。図35は作動工程を開始後の合体機構1010を示す。即ち、合体機構1010が図35に示す状態となると、合体機構1010はこのときテストヘッドを装置ハンドラの方向に引き寄せる工程になっている。即ち、次に述べる状態が生じる。全ての検知器スイッチ1410が押圧されているので、ピストン装置1500は作動し、ピストンシャフト1510はこのときピストン装置1500内で拡張し始める。例示的なシステムでは、ピストン装置1500は空気式であり、空気圧を与えることにより作動される。ピストンシャフト1510が拡張すると、アーム1600はこのときアームピボット1620を回転軸として回転し始める。アーム1600がアームピボット1620を回転軸として回転すると、ヘッド1610はピンレセプタクル1300を押し上げ、このときピンレセプタクル1300は摺動し始める。アーム1600はピボット回転しているので、ヘッド1610はピンレセプタクル1300を押しながら弧状に動くであろう。従って、アーム1600のピボット回転に伴って、ヘッド1610はアーム1600に関して僅かに回転する。ヘッド1610の弧状の運動の垂直成分のためにスペースが設けられる。図35では、ピンレセプタクル1300が図34に示す位置に対して左方向に摺動していることがわかる。ピンレセプタクル1300が摺動すると、カムグルーブ1305はカムフォロア1120に対して摺動する。図35に示すように、カムグルーブ1305はその開口部から端部に向かうに従ってその深さが深くなっている。従って、ピンレセプタクル1300が移動すると、ピンレセプタクル1300の摺動により、ピン1060は下方に引き込まれる。図36は完全に合体した位置にある合体機構1010を示す。この状態では、ピストンシャフト1510は完全に拡張され、アーム1600は完全にピボット旋回され、ピン1060は充分に下方に引き込まれており、このときテストヘッドと周辺装置は合体されている。テストヘッドが作動準備完了位置から完全に合体された位置に引き寄せられると、合体ピンはテストヘッドを周辺装置との正確なアライメント位置に引き込むときに、全6個の空間自由度で比較的小さな移動が成される。従って、位置決めシステムはその移動軸でコンプライアント運動を可能にすることが好ましい。これは、位置決めシステム10では、垂直駆動モータ330以外の全てのモータに備えたブレーキを非作動状態として解除することにより実現される。この動作は、空気シリンダ440と540とタンブル駆動装置800から得られるコンプライアント効果と組み合わされて、所望のコンプライアンスを提供する。またはその代替として、これらの手段が不十分な場合は、他の公知で前述の方法を容易に導入することができる。テストヘッドを装置ハンドラに対して分離するときは、ピストン1510は同じ経路を戻って、アーム1600は時計回りに回転し、グルーブのカムフォロア部材1120はグルーブ1305の開口部に位置するように信号を出すことができる。これが達成されると、テストヘッドの位置決めシステム内のモータを通電することにより、テストヘッドを装置ハンドラから更に分離することができる。位置決めシステムを制御するために制御システムを使用してもよい。この制御システム以後、位置決め用制御システムと呼ぶは、位置決めシステムの様々な要素例えば、モータ、空気装置などを制御するためのマイクロプロセッサによるシステムとすることができる。更に、合体機構1010用の制御システム以後、合体用制御システムと呼ぶもまたマイクロプロセッサによるシステムとすることができる。例示的なテストヘッドと例示的な周辺装置とを合体するための全動作のシーケンスは下記の通りである:1.操作者は、位置決め用制御システムに、特定の周辺装置に対する合体準備完了位置と作動準備完了位置の場所を教える。2.操作者は、また、位置決め用制御システムに、敷設位置と、該敷設位置と合体準備完了位置間の所望の経路に沿った一連の関連点を教える。3.テストヘッドを敷設位置に配置し、テストの準備を行う。4.指令により、位置決め用制御システムは、自動的にテストヘッドを位置決め用エンコーダで決められた合体準備完了位置に配置させる。5.合体準備完了位置に到達すると、位置決め用制御システムは分離合体制御機構をオンまたはイネーブルにする信号を付与してもよい。これは更にステップ8と9で説明する図37のステップ5参照。6.次いで位置決め用制御システムはテストヘッドを合体面と直角の直線経路に沿って位置決め用エンコーダにより決定された作動準備完了位置に精確に誘導する図37のステップ6参照。このとき直線経路に関連しない動きのブレーキを適用してもよい。7.時間Tの後、位置決め用制御システムはその駆動モータを非動作状態とし、垂直駆動モータ以外の具備された全てのモータのブレーキブレーキが適用されている場合を解除する。8.時間T内で、合体用制御システムは、全てのスイッチ1410が作動されていることを知ることにより、テストヘッドが作動準備完了位置にあることを認識する。9.ステップ8に続いて、更に時間T内で、合体用制御システムは、全てのピストン装置更に駆動装置1010を作動する図37のステップ9参照。10.時間Tが経過すると、テストヘッドは、位置決め装置が全ての移動軸でのコンプライアント運動を可能にしながら、合体用制御システムの制御に基づいて完全に合体された位置に誘導される図37のステップ10参照。11.テストヘッドと周辺装置のそれぞれの電気接触子が結合されると、テストヘッドと周辺装置間のテストが実施可能である。ユーザの好みで、位置決め装置を適所に固定させるためにモータブレーキを作動させるか、またはブレーキを解除したままで、振動を吸収できるようにしてもよい。本発明は特定の図面及び実施の形態を用いて説明しているが、本発明はこれらの詳細に限定されるべきではない。実施の形態は請求の範囲内で、本発明の精神から逸脱することなく、様々な変形が可能である。"