測定流体と振動する測定チューブの間のコリオリ力による相互作用を利用して、質量流量を計測するコリオリ流量計において、前記測定チューブに加えられる外来ノイズ成分を検出する振動センサと、この振動センサの出力信号に基づき前記測定チューブに加えられる外来ノイズ成分を打ち消す演算部、を設けことを特徴とするコリオリ流量計。前記振動センサは、指向性を有するマイクロフォンであることを特徴とする請求項1記載のコリオリ流量計。前記演算部は、アナログ演算部であることを特徴とする請求項1または請求項2記載のコリオリ流量計。前記演算部は、デジタル演算部であることを特徴とする請求項1または請求項2記載のコリオリ流量計。前記デジタル演算部の前段には、前記測定チューブの出力信号と前記振動センサの出力信号を択一的に選択する入力選択部を設けたことを特徴とする請求項4記載のコリオリ流量計。しかし、図7のような従来の2重管構成によれば、2本のU字形の測定チューブ2、3を同一構造に形成して同一状態で配管1に固定しなければならず、高精度の加工組立調整技術が要求されるとともに、部品点数も多くなる。また、測定チューブ2、3を流れる測定流体に含まれる気泡の状態が異なると、位相差を生じて測定誤差になることから好ましくなく、気泡を抜くための対処も必要になる。本発明は、このような課題を解決するものであり、その目的は、比較的簡単な構成で、外来ノイズ成分の影響を除去できるコリオリ流量計を提供することにある。このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、測定流体と振動する測定チューブの間のコリオリ力による相互作用を利用して、質量流量を計測するコリオリ流量計において、前記測定チューブに加えられる外来ノイズ成分を検出する振動センサと、この振動センサの出力信号に基づき前記測定チューブに加えられる外来ノイズ成分を打ち消す演算部、を設けことを特徴とする。請求項2記載の発明は、請求項1記載のコリオリ流量計において、前記振動センサは、指向性を有するマイクロフォンであることを特徴とする。請求項3記載の発明は、請求項1または請求項2記載のコリオリ流量計において、前記演算部は、アナログ演算部であることを特徴とする。請求項4記載の発明は、請求項1または請求項2記載のコリオリ流量計において、前記演算部は、デジタル演算部であることを特徴とする。請求項5記載の発明は、請求項4記載のコリオリ流量計において、前記デジタル演算部の前段には、前記測定チューブの出力信号と前記振動センサの出力信号を択一的に選択する入力選択部を設けたことを特徴とする。これらにより、1本の測定チューブで、外来ノイズ成分の影響を受けることなく、高精度の質量流量測定が行える。以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示す構成説明図であり、図7と共通する部分には同一の符号を付けている。図1と図7の相違点は、測定チューブが測定チューブ2の1本のみであることと、測定チューブ2に加えられる外来ノイズ成分を検出する振動センサ4を設けていることである。図1において、配管1には、測定チューブ2に加えられる外来ノイズ成分を検出する振動センサ4が設けられている。測定チューブ2の頂点には一対のマグネットと駆動コイルよりなる駆動部5が設けられ、上流側および下流側にはそれぞれマグネットセンサコイルよりなるコリオリセンサ6、7が設けられている。図2は、図1の動作説明図である。測定流体が流れる測定チューブ2に駆動部5を介して特定周波数の振動を与えると、測定流体と振動する測定チューブ2の間のコリオリ力による相互作用に基づき、コリオリセンサ6、7の出力信号の位相が測定流体の流量に比例して変化する。この位相測定にあたり、前述のように、外来ノイズが位相測定結果に誤差を与えてしまう。そこで、本発明では、外来ノイズの位相が特定周波数による測定チューブ2の振動の位相とは合わないことを利用して、測定チューブ2に伝わる外来ノイズを振動センサ4で検出し、測定チューブ2に伝わる外来ノイズと振動センサ4で検出した外来ノイズを位相反転して合成することにより、外来ノイズを打ち消すようにする。なお、配管1および測定チューブ2にはあらゆる方向の外来ノイズが加えられるが、振動センサ4は、これら外来ノイズのうち、コリオリ力に基づいて測定チューブ2が揺れる方向の成分のみを検出する必要があることから、たとえば永久磁石と可動金属リボンを組み合わせたリボン型のダイナミックマイクロフォンの中で、リボンの両面が空間に開放されているタイプの指向性を有する速度型マイクロフォンを使用する。この速度型マイクロフォンは、リボン面に垂直な両側の方向からの音に対して高い感度を示し、面に平行な方向からの音に対しては感度が著しく低い。この指向性を利用して、コリオリセンサ6、7の取り込む方向と同じ方向に揺れる外来ノイズのみを取り込めるように、振動センサ4として速度型マイクロフォンを配管1に固定する。コリオリ流量計は、コリオリ力が配管1に伝わりにくいように流量計自身について重量のある設計が行われる。ここで、外来ノイズは、多少の減衰があっても、コリオリ力がかかる測定チューブ2に伝わる。そこで、配管1から振動センサ4で検出した外来ノイズの振動を位相反転させてコリオリセンサ6、7に加えられる外来ノイズと同じレベルになるように調整し、コリオリセンサ6、7の出力信号と合成することにより外来ノイズを打ち消すようにする。図3は、本発明で用いるアナログ演算部の具体例を示すブロック図である。振動センサ4の出力信号はアンプ8に入力され、アンプ8の出力端子と共通電位点間には可変抵抗9、10が並列接続されている。可変抵抗9の可変端子は抵抗11を介して演算増幅器OP1の反転入力端子に入力され、可変抵抗10の可変端子は抵抗12を介して演算増幅器OP2の反転入力端子に入力されている。コリオリセンサ6の出力信号はアンプ13および抵抗14を介して第1の演算増幅器OP1の非反転入力端子に入力され、コリオリセンサ7の出力信号はアンプ15および抵抗16を介して第2の演算増幅器OP2の非反転入力端子に入力されている。第1の演算増幅器OP1の反転入力端子は抵抗17を介して出力端子に接続され、非反転入力端子は抵抗18を介して共通電位点に接続されている。第1の演算増幅器OP1の出力信号はアンプ19を介して駆動部5を構成する駆動コイルに入力されるとともに、位相測定部20に入力されている。第2の演算増幅器OP2の反転入力端子は抵抗21を介して出力端子に接続され、非反転入力端子は抵抗22を介して共通電位点に接続されている。第2の演算増幅器OP2の出力信号は、位相測定部20に入力されている。位相測定部20は、第1の演算増幅器OP1の出力信号と第2の演算増幅器OP2の出力信号を用いて、位相を測定するための演算処理を行う。図4は位相測定部20の具体例を示すブロック図であり、Aはヒルベルト変換部を用いた例を示し、BはFFT演算部を用いた例を示している。図4Aにおいて、第1の演算増幅器OP1の出力信号はsinθ成分を含むものであり、A/D変換器20aでデジタル信号に変換され、バンドパスフィルタ20bに入力されるとともに、ヒルベルト変換部20cに入力される。バンドパスフィルタ20bはsinθ成分をtanΔφ演算部20dに出力し、ヒルベルト変換部20cはcosθ成分をtanΔφ演算部20dに出力する。一方、第2の演算増幅器OP2の出力信号はsinθΔ成分を含むものであり、A/D変換器20eでデジタル信号に変換され、バンドパスフィルタ20fに入力されるとともに、ヒルベルト変換部20gに入力される。バンドパスフィルタ20fはsinθΔ成分をtanΔφ演算部20dに出力し、ヒルベルト変換部20gはcosθΔ成分をtanΔφ演算部20dに出力する。tanΔφ演算部20dは、これらバンドパスフィルタ20bから入力されるsinθ成分、ヒルベルト変換部20cから入力されるcosθ成分、バンドパスフィルタ20fから入力されるsinθΔ成分およびヒルベルト変換部20gから入力されるcosθΔ成分に基づき、位相差tanΔφを演算する。なお、これらバンドパスフィルタ20b、ヒルベルト変換部20c、バンドパスフィルタ20f、ヒルベルト変換部20gおよびtanΔφ演算部20dは、一点鎖線で囲んで示すように、たとえばDSPで構成される。図4Bにおいて、sinθ成分を含む第1の演算増幅器OP1の出力信号はA/D変換器20aでデジタル信号に変換されてFFT演算部20hに入力され、sinθΔ成分を含む第2の演算増幅器OP2の出力信号はA/D変換器20eでデジタル信号に変換されてFFT演算部20hに入力される。FFT演算部20hは、図4Aのバンドパスフィルタ20b、ヒルベルト変換部20c、バンドパスフィルタ20f、ヒルベルト変換部20gおよびtanΔφ演算部20dによる位相差Δφの演算を、すべてFFT演算で行う。一般的には、図4Aのヒルベルト変換部を含む構成における演算量は図4BのFFT演算量の約1/4であって演算負荷を少なくできるが、最近の半導体技術の進歩に伴ってFFT演算部20hの演算速度も高速化されて演算負荷がほとんど問題になることはなくなっている。なお、FFT演算部20hも、一点鎖線で囲んで示すように、たとえばDSPで構成される。再び図3の構成において、可変抵抗9により振動センサ4の出力信号に含まれる外来ノイズ成分がコリオリセンサ6の出力信号に含まれる外来ノイズ成分と等しくなるように調整され、可変抵抗10により振動センサ4の出力信号に含まれる外来ノイズ成分がコリオリセンサ7の出力信号に含まれる外来ノイズ成分と等しくなるように調整する。これにより、位相測定部20には、それぞれに含まれていた外来ノイズ成分が打ち消されたコリオリセンサ6の出力信号とコリオリセンサ7の出力信号が入力されることから、位相を測定するためのアナログ演算処理にあたり、外来ノイズ成分の影響を受けることはなく、高精度の質量流量測定が行える。そして、このような構成によれば、U字形の測定チューブを従来のように2重管構成にしなくて1本でよく、コリオリ流量計の外観構造を小型に簡素化できる。また、測定チューブの形状はU字形に限るものではなく、直線形、S字形、V字形などすべて1本の測定チューブでよく、加工組立調整に要する工数も削減できる。図5は本発明で用いるデジタル演算部の具体例を示すブロック図であり、図3と共通する部分には同一の符号を付けている。図5において、振動センサ4の出力信号はアンプ8を介して入力選択部23のスイッチSW1に入力され、コリオリセンサ6の出力信号はアンプ13を介して入力選択部23のスイッチSW2に入力されるとともにアンプ19を介して駆動部5を構成する駆動コイルに出力され、コリオリセンサ7の出力信号はアンプ15を介して入力選択部23のスイッチSW3に入力されている。入力選択部23を構成するスイッチSW1~SW3は、切換制御部24により、選択的にオンオフ制御される。入力選択部23で選択された振動センサ4、コリオリセンサ6、7の出力信号はアンチエリアシングフィルタ25を介してA/D変換器26に入力され、デジタル信号に変換されてDSP27に入力される。DSP27は、振動センサ4とコリオリセンサ6、7の位置に対する外来ノイズ信号の伝わり方が異なるためあらかじめ信号伝達係数を求めておき、それらの信号伝達係数を加味してコリオリセンサ6、7に含まれる外来ノイズ信号を打ち消すための演算を行う。その後、外来ノイズ信号が削除された状態で、コリオリセンサ6、7間の位相演算を行う。なお、A/D変換器26から変換出力されるデジタル信号をヒルベルト変換してコリオリセンサ6、7間の位相演算を行う場合にも、ヒルベルト変換前に前述の各出力信号の信号伝達係数を加味してコリオリセンサ6、7に含まれる外来ノイズ信号を打ち消すための演算を行うようにしてもよい。図6はDSP27の具体例を示すブロック図であり、Aはヒルベルト変換部を用いた例を示し、BはFFT演算部を用いた例を示している。図6Aにおいて、A/D変換器26でデジタル信号に変換された振動センサ4の出力データはノイズ格納部27aに格納され、コリオリセンサ6の出力データはノイズsinθ格納部27bに格納され、コリオリセンサ7の出力データはノイズsinθΔ格納部27cに格納される。sinθ演算部27dには、ノイズ格納部27aに格納されている振動センサ4の出力データと、ノイズsinθ格納部27bに格納されているコリオリセンサ6の出力データが入力されている。そして、コリオリセンサ6の出力データから振動センサ4の出力データを減算して、sinθ成分のみを出力する演算を行う。sinθ成分は、バンドパスフィルタ27fおよびヒルベルト変換部27gに入力される。sinθΔ演算部27eには、ノイズ格納部27aに格納されている振動センサ4の出力データと、ノイズsinθΔ格納部27cに格納されているコリオリセンサ7の出力データが入力されている。そして、コリオリセンサ7の出力データから振動センサ4の出力データを減算して、sinθΔ成分のみを出力する演算を行う。sinθΔ成分は、バンドパスフィルタ27hおよびヒルベルト変換部27iに入力される。バンドパスフィルタ27fはsinθ成分をtanΔφ演算部27jに出力し、ヒルベルト変換部27gはcosθ成分をtanΔφ演算部27jに出力し、バンドパスフィルタ27hはsinθΔ成分をtanΔφ演算部27jに出力し、ヒルベルト変換部27iはcosθΔ成分をtanΔφ演算部27jに出力する。tanΔφ演算部27jは、これらバンドパスフィルタ27fから入力されるsinθ成分、ヒルベルト変換部27gから入力されるcosθ成分、バンドパスフィルタ27hから入力されるsinθΔ成分およびヒルベルト変換部27iから入力されるcosθΔ成分に基づき、位相差tanΔφを演算する。図6Bにおいて、sinθ演算部27dから出力されるsinθ成分およびsinθΔ演算部27eから出力されるsinθΔ成分は、FFT演算部27kに入力される。FFT演算部27kは、図6Aのバンドパスフィルタ27f、ヒルベルト変換部27g、バンドパスフィルタ27h、ヒルベルト変換部27iおよびtanΔφ演算部27jによる位相差Δφの演算を、すべてFFT演算で行う。以上説明したように、本発明によれば、比較的簡単な構成で、外来ノイズ成分の影響を除去できるコリオリ流量計が実現でき、各種測定流体の質量流量測定に好適である。