"明細書に記載の発明。本発明の実施形態は、ポンプ制御装置と種々の装置とを結合するための新しい入出力システム、方法、および装置を提供する。より具体的には、本発明の実施形態は、ポンプ制御装置と、異なるインターフェースおよび/または信号伝達形式を有し得る外部制御装置とを結合するための入出力システムおよび方法を提供する。一実施形態では、少なくとも1つの入出力インターフェースモジュールは、ポンプシステムと、特定のポンプのソフトウェアアプリケーションを実行するコンピュータ、マンマシンインターフェース装置、またはポンプシステムを監視/制御するための製造ツール等の少なくとも1つのプログラム化した装置との間に位置付けられる。一実施形態では、ポンプシステムは、そこに結合されたポンプ制御装置を有する単一または多段多段式ポンプを実装する。ポンプ制御装置は、制御装置からの信号にしたがって、直接的かつ局所的にポンプの弁およびモータのタイミングを制御するよう構成される。本発明の実施形態では、入出力インターフェースモジュールは、その上にプロセッサおよび記憶装置を有する回路基板上に実装することができる。回路基板は、少なくとも2つのデータ通信インターフェースを有し、1つはポンプ制御装置と通信するため、1つは制御装置と通信するためのものである。これらのデータ通信インターフェースは、実装に応じて、適合するようにカスタマイズできる。一部の本発明の実施形態では、単一の入出力インターフェースモジュールを実装することができる。一実施形態では、入出力インターフェースモジュールは、ポンプ制御装置に接続する第1のデータ通信インターフェースと、ポンプ外部の制御装置例えば、コンピュータ、製造ツール、マンマシンインターフェース装置等に接続する第2のデータ通信インターフェースとを含むことができる。本実施形態の一実施例は、図7を参照して後述される。一実施形態では、入出力インターフェースモジュールは、ポンプ制御装置、マンマシンインターフェース装置、および1つ以上の製造ツールに接続する3つ以上のデータ通信インターフェースを含むことができる。入出力インターフェースモジュールは、制御装置から個別信号を受信し、それに応じて信号を解釈する例えば、個別信号に対応するデータを1つ以上のパケットに形式化またはパケット化し、種々の制御装置等からの命令に優先順位を決める。入出力インターフェースモジュールは、パケットを直列的にポンプ制御装置に送信することができる。本発明の一実施形態によると、ポンプ制御装置は、パケットを読み込み、ポンプに適切な操作を行うことができる例えば、ポンプに適切なプロセスを実装し、分注モータ等を動かす。また、ポンプ制御装置は、データのパケットを入出力インターフェースモジュールに直列的に送信することができる。入出力インターフェースモジュールは、対応する個別信号を制御装置に対し解釈または別様にアサートすることができる。本実施形態の一実施例は、図8を参照して後述される。本発明の実施形態では、入出力インターフェースモジュールは、RS232、RS485、RS422、または他のインターフェースを介して制御装置と連結し、アナログ入出力、DVCインターフェース、あるいは改良型インターフェースを含むことができる。入出力インターフェースモジュールは、ポンプのハードウェアを変更せずに、カスタマイズできる。さらに、入出力インターフェースモジュールは、各ユーザの特定の必要性に合わせ、ポンプとの間で信号を送受信することができる。入出力インターフェースモジュールによって、種々のインターフェースおよび制御方式が、ポンプのハードウェアを変更せずに、特定のポンプと実装されることが可能となる。一実施形態によると、入出力インターフェースモジュールと制御装置との間で使用されるインターフェースおよび通信プロトコールにかかわらず、入出力インターフェースモジュールは、直列的なパケット化データを高速SPI直列バスを介してポンプ制御装置へ配信する。本発明の実施形態によって提供される利点は、多数あり得る。一例として、ポンプ制御装置と制御装置のための信号を解釈およびアサートすることによって、入出力インターフェースモジュールは、個別ライン数を削減することができさもなければ、方向性接続構成において必要とされることになるが、したがって、大幅にケーブル敷設を減少させる。ケーブル敷設要件の減少は、ポンプシステム小型化の重要な要因となり得る空間節約、ならびに大部分の用途において非常に望ましいであろう費用節約という付加的利点を提供する。入出力インターフェースモジュールの別の利点は、個別ラインによって課される距離の制限を排除し、ポンプシステムと制御装置との間のより長距離での接続を可能にすることである。本明細書で開示される入出力システムの実施形態の他の利点は、多用途性および適合性を含む。入出力インターフェースモジュールのデータ通信インターフェースは、制御装置のデータ通信インターフェースに接続するようカスタマイズできるため、制御装置および/または制御方式は、ポンプのハードウェアを変更せずに、交換または別様に修正できる。さらに、入出力インターフェースモジュールのデータ通信インターフェースは、ポンプ制御装置のデータ通信インターフェースと接続するようカスタマイズできるため、ポンプまたはそのハードウェアは、ポンプ全体を適正化したり、および/または制御装置と新しいポンプとの間の通信を確立するためにポンプを再度接続調整したりせずに、交換または別様に修正できる。さらに、有利には、本発明の実施形態によって、ポンプ制御装置の処理能力に制限されることなく、2つ以上の入出力インターフェースモジュール間、または複数の入出力インターフェースモジュールと種々の構成内の複数のポンプ制御装置との間に、ポンプを制御するための論理を割り当てることが可能となる。本発明およびその利点のより完全な理解は、同様の参照番号が同様の特性を示す添付の図面と併せて、以下の説明を参照することによって得られ得る。例えば、本発明は以下の項目を提供する。項目1回路基板上に存在するプロセッサと、該プロセッサに結合され、該プロセッサによって実行可能なソフトウェア命令を伝えるコンピュータ可読媒体と、第1のケーブルを介してポンプ制御装置と通信する該プロセッサに結合される第1のデータ通信インターフェースと、第2のケーブルを介して制御装置と通信する該プロセッサに結合される第2のデータ通信インターフェースとを含む、少なくとも2つのデータ通信インターフェースとを備える、入出力インターフェース装置。項目2前記第1のデータ通信インターフェースと前記第2のデータ通信インターフェースとは、異なるデータ通信プロトコールを実装する、項目1に記載の入出力インターフェース装置。項目3前記第1のデータ通信インターフェースは、データを前記ポンプ制御装置へ送信する直列データ送信ラインと、データを前記ポンプ制御装置から受信する直列データ受信ラインと、同期クロック信号を伝えるクロックラインと、スレーブイネーブルラインと、電力/アースラインとを備える、項目2に記載の入出力インターフェース装置。項目4前記第1のケーブルは、前記直列データ送信ラインと、前記直列データ受信ラインと、前記クロックラインと、前記スレーブイネーブルラインと、前記電力/アースラインとをバンドルする、項目3に記載の入出力インターフェース装置。項目5前記第1のケーブルは、15以下の伝導体を有する、項目4に記載の入出力インターフェース装置。項目6前記第1のケーブルは、3メートルを上回る長さに延長可能である、項目4に記載の入出力インターフェース装置。項目7前記第1のデータ通信インターフェースは、前記ポンプ制御装置とデータを送受信する個別通信ラインを含み、各個別通信ラインは、該ポンプ制御装置の機能に関連した個別信号を伝える、項目2に記載の入出力インターフェース装置。項目8前記第2のデータ通信インターフェースは、前記制御装置とデータを送受信する個別通信ラインを含み、各個別通信ラインは、前記ポンプ制御装置の機能に関連した個別信号を伝える、項目2に記載の入出力インターフェース装置。項目9前記第2のデータ通信インターフェースは、前記制御装置に直列接続を提供する、請求項2に記載の入出力インターフェース装置。項目10前記ソフトウェア命令は、直列通信のためのパケット内のビットに個別ライン信号をマップするために変換可能である、項目1に記載の入出力インターフェース装置。項目11少なくとも1つのポンプ制御装置を少なくとも1つの制御装置と結合する入出力I/Oシステムであって、回路基板上に存在するプロセッサと、該プロセッサに結合され、該プロセッサによって実行可能なソフトウェア命令を伝えるコンピュータ可読媒体と、該少なくとも1つのポンプ制御装置と通信する該プロセッサに結合される第1のデータ通信インターフェースと、該少なくとも1つの制御装置と通信する該プロセッサに結合される第2のデータ通信インターフェースとを有する少なくとも2つのデータ通信インターフェースとを備える第1の入出力インターフェース装置を含む、入出力I/Oシステム。項目12前記第1のデータ通信インターフェースと前記第2のデータ通信インターフェースとは、異なるデータ通信プロトコールを実装する、項目11に記載の入出力システム。項目13前記第1の入出力インターフェース装置は、前記少なくとも1つのポンプ制御装置と通信する前記プロセッサに結合される2つ以上の第1のデータ通信インターフェースを備える、項目12に記載の入出力システム。項目14前記第1の入出力インターフェース装置は、前記少なくとも1つの制御装置と通信する前記プロセッサに結合される2つ以上の第2のデータ通信インターフェースを備える、請求項12に記載の入出力システム。項目15前記ソフトウェア命令は、直列通信のためのパケット内のビットに個別ライン信号をマップするために変換可能である、項目12に記載の入出力システム。項目16少なくとも1つのポンプ制御装置を少なくとも1つの制御装置と結合する方法であって、回路基板上の第1の入出力インターフェースモジュールを実装することであって、該第1の入出力インターフェースモジュールは、プロセッサと、該プロセッサに結合され、該プロセッサによって実行可能なソフトウェア命令を伝えるコンピュータ可読媒体と、該少なくとも1つのポンプ制御装置および該少なくとも1つの制御装置と通信する該プロセッサに結合される少なくとも2つの通信インターフェースとを備え、該少なくとも2つの通信インターフェースのそれぞれは、複数の通信ラインを提供する、ことと、該複数の通信ラインを有限数の伝導体を有するケーブルにバンドルすることと、少なくとも2つのデータ通信プロトコールを有する該第1の入出力インターフェースモジュールを構成することであって、該有限数の伝導体を収容するために少なくとも1つの直列通信プロトコールを含む、こととを含む、方法。項目17直列通信のためのパケット内のビットに個別ライン信号をマップする前記第1の入出力インターフェースモジュールを構成することをさらに含む、項目16に記載の方法。項目18第1のデータ通信プロトコールにしたがって、前記制御装置からの信号を解釈し、第2のデータ通信プロトコールにしたがって、前記ポンプ制御装置へ対応する信号をアサートするために、および該第2のデータ通信プロトコールにしたがって、該ポンプ制御装置からの信号を解釈し、該第1のデータ通信プロトコールにしたがって、該制御装置へ対応する信号をアサートするために、前記第1の入出力インターフェースモジュールを構成することをさらに含む、項目16に記載の方法。項目19前記制御装置からの信号を利用して、前記ポンプ制御装置がモータを動かす必要性および対応するプロセスを判断するように、前記第1の入出力インターフェースモジュールを構成することをさらに含む、項目16に記載の方法。項目20前記制御装置から受信した信号を利用して、模擬信号を生成し、これを該制御装置へ送信することにより、1つ以上のエラーを防止するように、前記第1の入出力インターフェースモジュールを構成することをさらに備える、項目16に記載の方法。本発明の好適な実施形態は、図を参照して後述されるが、必ずしも正確な縮尺で描かれておらず、同様の数字は、種々の図面の同様および対応する部分を示すために使用される。本発明の実施形態は、ポンプシステム内のポンプ制御装置を対象とする。そのようなポンプシステムは、半導体製造工程の際に、ウエハ上に流体を供給および正確に分注するための多段多段式ポンプを採用してもよい。特に、本発明の実施形態は、ポンプ制御装置と種々の装置とを結合するための入出力I/Oインターフェースシステム、方法、および装置を提供する。本明細書に記載のようなそのようなポンプ制御装置を具現化するポンプシステムは、一例として提供されるものであって、それらに制限されるものではなく、本発明の実施形態は、他の設計および構成のために利用および/または好適に実装することができることに留意されたい。具体的には、本発明の実施形態は、単段および多段式ポンプを含む種々のポンプに適用できる。ポンプシステムのポンプ制御装置と種々の装置とを結合するための入出力システム、方法、および装置の実施形態を詳細に説明する前に、例示的ポンプシステムを最初に以下に説明する。図1は、ポンプシステム10の図である。ポンプシステム10は、流体源15と、ポンプ制御装置20と、ポンプ100とを含み、ウエハ25上に流体を分注するように恊働することができる。図7-8および11-14を参照して本明細書に記載される入出力インターフェースシステム、方法、およびモジュールの実施形態は、1つ以上のポンプ制御装置20を種々のインターフェース、装置、および製造ツールに接続するために使用することができる。ポンプ100の動作は、ポンプ制御装置20によって制御することができ、ポンプ100に内蔵、あるいは制御信号、データ、または他の情報を通信するための1つ以上の通信リンクを介してポンプ100に接続することができる。また、ポンプ制御装置20の機能性は、ポンプ100外部の入出力インターフェースモジュール内蔵入出力インターフェース制御装置を含む、内蔵制御装置と別の制御装置とに分散できる。ポンプ制御装置20は、ポンプ100の動作を制御するための制御命令30一式を包含するコンピュータ可読媒体27例えば、RAM、ROM、フラッシュメモリ、光ディスク、磁気ドライブまたは他のコンピュータ可読媒体を含むことができる。プロセッサ35例えば、CPU、ASIC、RISC、DSPまたは他のプロセッサは、命令を実行することができる。プロセッサの一例は、TexasInstrumentsTMS320F2812PGFA16-ビットDSPTexasInstrumentsは、テキサス州ダラスを本拠地とする企業であるである。図1の実施例では、ポンプ制御装置20は、通信リンク40および45を介してポンプ100と通信する。通信リンク40および45は、ネットワーク例えば、Ethernet登録商標、無線ネットワーク、グローバルエリアネットワーク、DeviceNetネットワークまたは当技術分野で既知または開発された他のネットワーク、バス例えば、SCSIバスまたは他の通信リンクであってもよい。制御装置20は、内蔵PCB基板として、遠隔制御装置として、または他の好適な方法で実装することができる。ポンプ制御装置20は、多段式ポンプ100と通信するための適切なインターフェース例えば、ネットワークインターフェース、入出力インターフェース、アナログデジタル変換器および他の構成要素を含むことができる。さらに、ポンプ制御装置20は、プロセッサ、記憶装置、インターフェース、ディスプレイ装置、周辺機器、または他のコンピュータ構成要素簡潔にするため図示せずを含む、当技術分野で既知の種々のコンピュータ構成要素を含むことができる。ポンプ制御装置20は、ポンプ100内の種々の弁およびモータを制御することによって、ポンプ100が低粘性流体すなわち、5センチポアズ未満または他の流体を含む流体を正確に分注することを可能にする。図2は、ポンプ100の図である。本実施例では、ポンプ100は、多段式ポンプであり、供給段階部分105および別個の分注段階部分110を含む。不純物をプロセス流体から濾過するために、流体の流れの観点から、フィルタ120は、供給段階部分105と分注段階部分110との間に位置する。例えば、入口弁125、隔離弁130、遮断弁135、パージ弁140、排出弁145、および出口弁147を含む、多数の弁によって、ポンプ100を通る流体の流れを制御することができる。分注段階部分110は、分注段階110で流体の圧力を測定する圧力センサ112をさらに含むことができる。圧力センサ112によって測定された圧力は、後述するように種々のポンプの速度を制御するために使用することができる。圧力センサの例として、ドイツ、KorbのMetalluxAG製のもの等、セラミックおよびポリマーのピエゾ抵抗および容量性圧力センサが含まれる。プロセス流体と接触する圧力センサ112の表面は、テフロン登録商標であってもよい。供給段階105および分注段階110は、ポンプ100内の流体を送出するための回転ダイヤフラムポンプ含むことができる。供給段階ポンプ150供給ポンプ150は、例えば、流体を回収するための供給チャンバ155と、供給チャンバ155内で動き、流体を分注するための供給段階ダイヤフラム160と、供給段階ダイヤフラム160を動かすピストン165と、送りネジ170と、ステッピングモータ175とを含む。送りネジ170は、ナット、ギア、またはモータから送りネジ170へエネルギを伝えるための他の機構を介してステッピングモータ175に結合する。供給モータ170は、ナットを回転させ、それによって、送りネジ170が回転され、ピストン165を作動させる。同様に、分注段階ポンプ180分注ポンプ180は、分注チャンバ185と、分注段階ダイヤフラム190と、ピストン192と、送りネジ195と、分注モータ200とを含むことができる。分注モータ200は、ネジ式ナット例えば、Torlonまたは他の材料のナットを介して、送りネジ195を駆動することができる。ポンプ100の動作中、ポンプ100の弁が開閉され、ポンプ100の種々の部分への流体の流れを許容または制限する。これらの弁は、圧力または真空を印加することによって、開閉する空気圧式すなわち、ガス駆動式に作動されるダイヤフラム弁であってもよい。しかしながら、他の好適な弁も可能である。以下は、ポンプ100の種々の動作段階の概要を提供する。しかしながら、ポンプ100は、種々の制御方式にしたがって制御することが可能であり、以下を含むが、これらに限定されない。SYSTEMANDMETHODFORPRESSURECOMPENSATIONINAPUMPの名称で、発明者Cedroneらが2005年12月5日に出願した米国仮特許出願第60/741,682号代理人整理番号第ENTG1800号、SYSTEMSANDMETHODSFORFLUIDFLOWCONTROLINANIMMERSIONLITHOGRAPHYSYSTEMの名称で、発明者Clarkeらが2006年8月11日に出願した米国特許出願第11/502,729号代理人整理番号第ENTG1840号、SYSTEMANDMETHODFORCORRECTINGFORPRESSUREVARIATIONSUSINGAMOTORの名称で、発明者Gonnellaらが______に出願した米国特許出願第______代理人整理番号第ENTG1420-4号、SYSTEMANDMETHODFORCONTROLOFFLUIDPRESSUREの名称で、発明者Gonnellaらが2005年12月2日に出願した米国特許出願第11/292,559号代理人整理番号第ENTG1630号、SYSTEMANDMETHODFORMONITORINGOPERATIONOFAPUMPの名称で、発明者Gonnellaらが2006年2月28日に出願した米国特許出願第11/364,286号代理人整理番号第1630-1号。これらは、弁の配列および圧力の制御のために、参照することによってそれぞれ本明細書に全体として組み込まれる。一実施形態によると、ポンプ100は、準備完了区分、分注区分、充填区分、前濾過区分、濾過区分、排出区分、パージ区分および静的パージ区分を含むことができる。供給区分の間には、入口弁125は開状態となり、供給段階ポンプ150は、供給段階ダイヤフラム160を動かし例えば、引く、流体を供給チャンバ155の中へ汲み上げる。十分な量の流体が供給チャンバ155に充満されると、入口弁125は閉状態となる。濾過区分の間には、供給段階ポンプ150は供給段階ダイヤフラム160を動かし、供給チャンバ155から流体を排出する。隔離弁130および遮断弁135は開状態となり、流体はフィルタ120を通って分注チャンバ185へ流れることが可能となる。一実施形態によると、最初に隔離弁130が開状態となることができ例えば、前濾過区分において、圧力をフィルタ120内に蓄積することが可能となり、その後、遮断弁135が開状態となり、分注チャンバ185内へ流体を流入させるが可能となる。濾過区分の間には、分注ポンプ180を定位置に持って来ることができる。両方とも参照することによって本明細書の組み込まれる、SYSTEMANDMETHODFORAVARIABLEHOMEPOSITIONDISPENSESYSTEMの名称で、Laverdiereらが2004年11月23日に出願した米国仮特許出願第60/630,384号代理人整理番号第ENTG1590号およびSYSTEMANDMETHODFORVARIABLEHOMEPOSITIONDISPENSESYSTEMの名称で、Laverdiereらが2005年11月21日に出願した国際出願番号第PCT/US2005/042127号代理人整理番号第ENTG1590PCT号に記載されるように、分注ポンプの定位置は、分注サイクルに対して分注ポンプでの利用可能な最大量をもたらすが、分注ポンプが提供できる利用可能な最大限の量に満たない位置であってもよい。定位置は、ポンプ100の未使用の保持量を減少するために分注サイクルに対する種々のパラメータに基づき選択される。同様に、供給ポンプ150は、利用可能な最大限の量に満たない量を提供する定位置に持って来ることができる。排出区分の始まりでは、隔離弁130は開状態となり、遮断弁135は閉状態となり、また排出弁145は開状態となる。他の実施形態では、遮断弁135は、排出区分の間には開状態を維持し、排出区分の終わりで閉状態となることができる。この間に、遮断弁135が開状態である場合、圧力センサ112によって測定することができる、分注チャンバ内の圧力が、フィルタ120内の圧力によって作用されるので、圧力は、制御装置によって認識されることができる。供給段階ポンプ150は、流体に圧力を印加し、フィルタ120から開状態の排出弁145を通して気泡を除去する。供給段階ポンプ150は、既定の速度で排出が生じるように制御することができ、排出時間の延長および排出速度の低下が可能となり、それによって排出廃棄量の精密制御が可能となる。供給ポンプが空気圧式ポンプである場合は、流体の流れの制限は、排出流体路内で行うことができ、供給ポンプに印加される空気圧は、排出設定点圧力を維持するために増減することができ、別の非制御方法によるいくつかの制御をもたらす。パージ区分の始まりでは、隔離弁130は閉状態、遮断弁135は、排出区分で開状態の場合には閉状態、排出弁145は閉状態、パージ弁140は開状態、および入口弁125は開状態となる。分注ポンプ180は、分注チャンバ185内の流体に圧力を印加し、パージ弁140を通して気泡を排出する。静的パージ区分の間には、分注ポンプ180は停止するが、パージ弁140は開状態を維持し、継続して空気を排出する。パージ区分または静的パージ区分の間に除去された過剰な流体は、ポンプ100から送出される例えば、流体源へ戻るもしくは廃棄される、または供給段階ポンプ150へ再循環させることができる。供給段階ポンプ150が流体源の周囲圧力例えば、流体源ボトルに達するように、準備完了区分の間には、隔離弁130および遮断弁135は開状態、パージ弁140は閉状態にすることができる。他の実施形態によると、すべての弁は、準備完了区分では閉状態であってもよい。分注区分の間には、出口弁147は開状態となり、また分注ポンプ180は、分注チャンバ185内の流体に圧力を印加する。出口弁147は、分注ポンプ180よりも制御に対する反応が遅い場合があるため、出口弁147は最初に開状態となり、既定の時間後、分注モータ200が起動する。これは、分注ポンプ180が流体を部分的に開状態の出口弁147に通過させるのを阻止する。さらに、これは、弁を開状態にすることにより流体が分注ノズルまで上方に移動することミニポンプとなる、続いて、モータ作用により流体が前方に動くことを阻止する。他の実施形態では、出口弁147は開状態となり、同時に分注ポンプ180によって分注を開始することができる。さらなる吸液区分は、分注ノズル内の過剰な流体を除去する際に行うことができる。吸液区分の間には、出口弁147は閉状態となることができ、二次的なモータまたは真空部は、出口ノズルから過剰な流体を吸い取るために使用することができる。あるいは、出口弁147は開状態を維持することができ、また分注モータ200は、そのような流体を分注チャンバの中へ反転させることができる。吸液区分は、過剰な流体がウエハ上に滴下しないように助ける。ポンプ100の実施形態は、プロセス流体上の圧力の悪影響を緩和するのに役立つ種々のポンプ制御機構および弁のタイミングを用いることができる。図3は、図2のポンプ100の多段式動作の種々の区分に対する、例示的弁および分注モータのタイミング図である。他の動作配列も可能である。いくつかの弁が、区分が変化する間に同時に閉状態として図示されているが、弁の閉状態は、圧力スパイクを軽減するために、時間が若干ずれている例えば、100ミリ秒。例えば、排出区分およびパージ区分の間では、隔離弁130は、排出弁145の直前に閉状態となることができる。しかしながら、他の弁のタイミングも、種々の本発明の実施形態において利用できることに留意されるべきである。さらに、区分のうちのいくつかは、一緒に行うことができる例えば、充填/分注段階は、入口および出口弁の両方が、分注/充填区分で開状態となることができる場合に、同時に行うことができる。特定の区分は、それぞれのサイクルで反復される必要がないことがさらに留意されるべきである。例えば、パージ区分または静的パージ区分は、すべてのサイクルで行われない場合がある。同様に、排出区分は、すべてのサイクルで行われない場合がある。種々の弁の開閉は、ポンプ100内の流体に圧力スパイクを引き起こす可能性がある。出口弁147は、静的パージ区分の間に閉状態であるので、例えば、静的パージ区分の終わりでパージ弁140を閉状態にすると、分注チャンバ185内で圧力の上昇を引き起こす可能性がある。それぞれの弁は、閉状態となるとき少量の流体を排出する可能性があるため、これが起こり得る。より具体的には、多くの場合、流体がチャンバ185から分注される前に、パージサイクルおよび/または静的パージサイクルは、ポンプ100から流体を分注する際に、スパッタリングまたは他の摂動を阻止するために、分注チャンバ185から空気を抜くように使用される。しかしながら、静的パージサイクルの終わりには、パージ弁140は、分注の開始に備えて分注チャンバ185を密閉するために閉状態となる。パージ弁140が閉状態になるにつれ、過剰な流体パージ弁140の保持量におよそ等しいが分注チャンバ185中へ付勢され、それによって、流体の分注に対し意図された基準圧力以上に、分注チャンバ185内の流体の圧力を上昇させる。この過剰な圧力基準以上は、その後の流体の分注に問題を引き起こす場合がある。パージ弁140を閉状態にすることによって発生する圧力上昇は、分注に望ましい基準圧力より高い割合になる場合があるので、これらの問題は、低圧力の用途においては悪化することになる。より具体的には、パージ弁140を閉状態にすることによって発生する圧力上昇のために、圧力が低下しない場合は、ウエハ上への流体の吐出、二重分注、または他の望ましくない流体力学が、その後の分注区分の間に起こることがある。さらに、この圧力上昇は、ポンプ100の動作の間に一定ではない場合があるので、これらの圧力上昇は、直列的な分注区分の間に、分注される流体の量、または分注の他の特徴に変動を引き起こすことがある。それによって、分注におけるこれらの変動は、ウエハの廃棄およびウエハの再加工の増加の原因になることがある。分注チャンバ185内の流体への望ましくない圧力の上昇を明らかにするために、静的パージ区分の間、分注モータ200を反転させ、ピストン192を既定の距離後退さ、遮断弁135、パージ弁140によって生じる圧力上昇、および/または他の分注チャンバ185内の圧力上昇を生じ得る他の原因を補正してもよい。上述のポンプ制御機構は、緩徐な流体操作を特徴とするポンプ100を提供する。分注区分の前に分注チャンバ内の圧力変動を補正することによって、不利な潜在的圧力スパイクを回避または軽減することができる。また、他のポンプ制御機構および弁のタイミングを利用して、または別様に実装し、プロセス流体上の圧力の望ましくない影響を低減する助けをしてもよい。図4は、ポンプ100のためのポンプアセンブリの一実施形態の図である。ポンプ100は、ポンプ205を通る種々の流体流路を画定し、供給チャンバ155および分注チャンバ185を少なくとも部分的に画定する分注ブロック100を含むことができる。分注ポンプブロック205は、PTFE、修飾PTFEまたは他の材料から成る単一ブロックであってもよい。これらの材料は、多くのプロセス流体と反応しない、または反応性が少ないため、これらの材料を使用すると、流路およびポンプチャンバは、最低限のハードウェアの追加をもって、分注ブロック205に直接機械加工することができる。ひいては、分注ブロック205は、一体型流体マニホールドを提供することによって、パイピングの必要性を軽減する。分注ブロック205は、例えば、流体がそこを通って受容される入口210、排出区分の間に流体を排出するための排出出口215等、種々の外部入口および出口を含むことができる。供給管路260は、圧力または真空を弁板230に提供し、ポンプ100の種々の構成要素を流体が流れるように構成された複数の弁を有する。弁の作動は、それぞれの供給管路260に圧力または真空のいずれかを誘導する弁制御マニホールド302によって制御される。各供給管路260は、小さな開口部を有する取付部品例えば、取付部品318を含むことができる。この開口部は、取付部品318が添着される、対応する供給管路260の直径より小さな直径例えば、約0.010インチであってもよい。このようにして、取付部品318の開口部は、供給管路260内に制限を設けるように機能してもよい。それぞれの供給管路260内の開口部は、供給管路へ圧力および真空を印加する間の急激な圧力差の作用を軽減するのに役立ち、ひいては、弁へ圧力および真空を印加する間の転移を円滑にする。言い換えれば、開口部は、下流弁のダイヤフラムでの圧力変化の衝撃を軽減するのに役立つ。これにより、弁は、より円滑に開閉でき、また弁の開閉によって引き起こされるシステム内でのより円滑な圧力転移をもたらし、実際に弁本体の寿命を延ばすことになる。弁制御マニホールド302は、一式のソレノイド弁を含むことができ、弁板230に圧力/真空を選択的に誘導する。特定のソレノイドを作動させ、それによって真空または圧力を弁へ誘導する場合には、実践形態にもよるが、ソレノイドは発熱する。本実施例では、弁制御マニホールド302は、分注ブロック205および特に分注チャンバ185から離れて、裏板図示せず上に搭載される、プリント回路基板PCB397に搭載される。これは、弁制御マニホールド302内のソレノイドからの熱が、分注ブロック205内の流体に作用しないように助ける。そのような裏板は、機械加工のアルミニウム、またはポンプ100に対し放熱板として作用し、弁制御マニホールド302およびPCB397からの熱を放散する他の材料であってもよい。弁制御マニホールド302は、PCB397から信号を受信して、ソレノイドを開/閉し、ポンプ100の弁を制御するために種々の供給管路260へ真空/圧力を誘導することができる。この場合もやはり、図3に示すように、弁制御マニホールド302は、分注ブロック205からPCB397の遠位端に位置することができ、分注ブロック205内の流体への熱作用を軽減する。さらに、PCBの設計および空間的制約に基づいて実行可能な範囲で、発熱する構成要素は、分注ブロック205から離れるようにPCBの側部に設置することができ、この場合もやはり、熱作用を軽減する。ポンプ100は、ポンプ制御装置例えば、図1のポンプ制御装置20と通信するためのいくつかのインターフェースを含み、図3の実施例では、PCB397上に実装される。例示的ポンプ100のインターフェースは、1つ以上のワイヤ図示せずを含み、圧力センサ112が制御装置20に圧力測定値を通信可能にしてもよい。分注モータ200は、分注モータ200を動かすポンプ制御装置20から信号を受信するモータ制御インターフェース図示せずを含むことができる。さらに、分注モータ200は、位置情報例えば、位置ラインエンコーダからを含み、情報をポンプ制御装置20に通信することができる。同様に、供給モータ175は、ポンプ制御装置20からの制御信号を受信し、またポンプ制御装置20に情報を通信する通信インターフェース図示せずを含むことができる。上述のポンプ100は、一例として提供されるものであり、これらに限定されるものではなく、本発明の実施形態は、他のポンプ構成のために実装することが可能であることに留意されたい。上述のように、ポンプ制御装置20は、種々のモータおよびソレノイドすなわち、弁の開/閉に信号を局所的におよび/または内部に提供し、半導体製造システムにおける他の装置ポンプ制御装置20の遠隔または外部にデータを提供することができる。従来の種類のポンプ制御装置は、直列接続および個別入出力ラインを使用して、通信する。直列接続は、マンマシンインターフェースMMIに対応するデータを送受信するために使用される。一方、個別ラインは、トリガ信号、アラーム信号等の信号を伝送する。各個別ラインは、専用の機能用であり、特定の目的例えば、個別ライン上の信号は、ポンプ制御装置に対し特定の目的または意味を有していたを有する信号を伝送する。例えば、特定の個別ライン上の状態変化例えば、低から高または高から低は、分注の開始を示し、別の個別ライン上の信号は、分注の終了を示し得る。図5は、ポンプ5018と外部装置5016との間のデータ転送のための従来のデータ通信システム5000を示す。ポンプ5018は、内蔵インターフェース5004を備えるポンプ制御装置5020を有する。データ通信インターフェース5004は、個別入力を伝送するための個別入力ライン5010および個別出力を伝送するための個別出力ライン5012のデータを送受信するための直列接続5008を含むことができる。また、データ通信インターフェース5004は、電源とアースライン5014とを含むことができる。装置5016例えば、コンピュータまたは製造ツール等のマンマシンインターフェース装置は、データ通信インターフェース5004に対応するデータ通信インターフェース5006を有する。直列接続5008を使用して、例えば、装置5016に関連するデータを通信することができる。個別入力ライン5010を使用して、開始、停止、エラー機能削除等の個別信号をポンプ5018へ伝えることができる。個別出力5012を使用して、準備完了、エラー、警告等の個別信号を装置5016へ伝送することができる。各個別入力ラインおよび個別出力は、個別の意味例えば、個別ライン上の信号は、ポンプ制御装置5020に対し特定の意味を有するを有する信号を伝える。このように、図5に示されるデータ通信インターフェース5004は、少なくとも22ラインを必要とするであろう。これらのラインは、データ通信媒体5002としてバンドルされてもよい。図6は、ポンプ制御装置と追跡装置との間でデータを転送するための従来のデータ通信システム5700の別の実施例である。システム5000と同様に、システム5700は、個別ラインを使用して、ポンプ制御装置と追跡装置すなわち、製造ツールとの間の個別信号を伝える。図6に例示されるように、ポンプ制御装置と追跡装置との間には1対1対応のライン通信がある。また、各データパケットは直接ポンプ制御装置へ送信されるため、即時に解釈および作用される。さらに、ポンプ制御装置またはポンプの変更は、ポンプ制御装置のインターフェースまたは/および追跡装置のインターフェースのいずれかまたは両方をそれに応じて変更されなければならないであろうことを意味し得る。図5のデータ通信システム5000および図6のシステム5700は、いくつかの制限がある。第1に、必要とされる伝導体の数すなわち、図5では少なくとも22、図6では少なくとも17によって、データ通信インターフェース5004のためのケーブルまたは複数のケーブルがかさばってしまう。複数のポンプおよび/または制限された設置面積を有するポンプシステムでは、これは問題となり、ケーブル敷設が貴重な空間を占拠してしまう。また、個別ラインは、距離が制限される。別の制限として、図5のデータ通信インターフェース5004は、8つの個別入力および8つの個別出力に制限される。したがって、制御装置5006が通信するツールまたはコンピュータがより多くの個別信号を必要とする場合、データ通信インターフェース5004およびポンプ制御装置5020すなわち、ポンプ5018のハードウェアは、変更されなければならない。別の制限として、従来の開発されたポンプは、典型的には、データ通信例えば、RS-232ネットワークのためのネットワークに接続されていた。ポンプが問題に遭遇し交換しなければならない場合、交換ポンプ全体を再構成しなければならない。例えば、22の個別ラインを使用するポンプが17の個別ラインを使用するポンプと交換される場合、データ通信インターフェースだけを変更するのではなく、交換ポンプ全体を適合および/または適切に機能するために、ネットワーク上で再接続調整しなければならないだろう。本プロセスは、交換ポンプを運転させるために必要な時間を遅らせることになるだろう。本発明の実施形態は、ポンプと他の装置とを結合する多用途の入出力システム、方法、および装置によって、これらの制限に対処する。図7は、ポンプ5100と装置5616とを結合するための入出力インターフェース装置またはモジュール5550を有する入出力システム5500の一実施形態の図である。図7の実施形態では、ポンプ5100は、上述のようなポンプ制御装置20に類似するポンプ制御装置5520を備える。ポンプ制御装置5520は、ポンプ5100との間でデータを通信するためのデータ通信インターフェース5504を含む。データ通信インターフェース5504は、直列データ送信ライン5522および5524と、直列データ受信ライン5526および5528と、クロックライン5530と、スレーブイネーブルライン5532と、電源/アースライン5534とを含むことができる。分注プロセスパラメータ、レシピ、システム変数および他のプロセスデータは、1組の直列ライン例えば、直列送信ライン5522および直列受信ライン5526上でポンプ制御装置5520との間で転送されることができる。他の直列ラインを使用して、例えば、トリガ、エラー表示、および他の個別信号として以前に送られたデータの一部を送信することもできる。一実施形態では、これらのデータの一部をパケットに形成し、第2の直列ポートを介して直列伝送される。図7で示される実施例では、クロックライン5530は、同期クロック信号を伝送し、スレーブイネーブルライン5532は、データの送信に関連する信号を伝送する。留意されるように、図7の構成は、14の伝導体のみ必要とする。これらのラインは、単一ケーブル5502または複数のケーブルにバンドルすることができる。例えば、データ通信インターフェース5504は、3メートルを上回る長さに延長可能な標準的な15-伝導体ケーブルを介して接続することができる。実装に応じて、多かれ少なかれ、直列通信ラインが使用可能であり、個別通信ラインも使用可能であることに留意されたい。入出力インターフェースモジュール5550は、第1のデータ通信インターフェース5506と第2のデータ通信インターフェース5604とを備える。図8によって例示されるように、入出力インターフェースモジュール5550を実装して、第3のデータ通信インターフェース図7に図示せずを含んでもよい。この第3のデータ通信インターフェースは、プログラミングおよび/または診断目的のために、入出力インターフェースモジュール5550をマンマシンインターフェースMMIと接続してもよい。第1のデータ通信インターフェース5506は、ポンプ制御装置5520のデータ通信インターフェース5504に対応する。例えば、データ通信インターフェース5506も、標準的な15-伝導体ケーブル例えば、ケーブル5502に接続することができる。第2のデータ通信インターフェース5604は、装置5616のデータ通信5606に対応する。第2のデータ通信インターフェース5604は、ポンプ制御装置5520のデータ通信インターフェース5504と整合する必要はなく、既存の、標準的な、またはカスタマイズされたポンプケーブル敷設を含むほとんどのケーブル敷設を受容するように、インターフェースモジュール5550内にカスタマイズまたは別様に構成されることができる。したがって、データ通信インターフェース5604およびデータ通信インターフェース5602と接続するケーブル5602は、標準のものまたはカスタマイズされたものでもよい。例えば、データ通信インターフェース5604は、一例として、RS-232、RS-422またはRS-485を受容することができるが、これらに限定されない。このように、入出力インターフェースモジュール5550は、ポンプのデータ通信インターフェースと、ポンプと通信する装置によって使用される別の種類のインターフェースとを連結することができる。さらに、入出力インターフェースモジュール5550は、ポンプとネットワーク例えば、RS-232ネットワーク、または他のネットワークとを連結することができる。入出力インターフェースモジュール5550は、プロセッサ5556例えば、CPU、PIC、DSP、ASIC、または他のプロセッサと、第1のデータ通信インターフェース5506および第2のデータ通信インターフェース5604に結合されるすなわち、それらと通信可能な付随論理とをさらに含むことができる。プロセッサの一実施例は、米国アリゾナ州ChandlerのMICROCHIPTechnologyInc.社製PICPIC18F8720-I/PT8ビットマイクロ制御装置である。コンピュータ可読媒体5558例えば、RAM、ROM、フラッシュメモリ、EEPROM、磁気記憶、光学式記憶、または他のコンピュータ可読媒体は、プロセッサ5556によって実行可能なソフトウェアまたはプログラム命令5552を備えることができる。コンピュータ可読媒体5558は、内蔵プロセッサ5556であってもよいことに留意されたい。さらに、命令5552は、データ通信インターフェース5604上で受信されたデータをポンプ制御装置5520によって使用可能な形式に、およびデータ通信インターフェース5506を介して受信したデータをデータ通信インターフェース5604を介して接続された装置5616によって使用可能な形式に変換するよう実行可能である。例えば、入出力インターフェースモジュール5550は、個別ライン信号を直列通信のために、パケット内のビットにマップする論理を含むことができる。一例として、データ通信インターフェース5604は、ポンプ5100とプロセス変数および他の変数データ例えば、装置5616に関連したデータを送受信するための直列通信ライン5662と、トリガ1のためのライン5666と、トリガ2のためのライン5668と、トリガ3のためのライン5670と、エラー削除のためのライン5672と、準備完了信号のためのライン5674と、エラー信号のためのライン5676と、分注前信号のためのライン5678、分注信号のためのライン5680を含むと仮定する。入出力インターフェースモジュール5550が直列通信ライン5662を介して直列データを受信すると、入出力インターフェースモジュール5550は、操作の有無にかかわらず、データを直列通信ライン5526上のポンプ5100へ伝えることができる。入出力インターフェースモジュール5550がライン5666、5668、5670、または5672上でデータを受信すると、入出力インターフェースモジュール5550は、パケット内の対応するビットを設定し、パケットを直列データライン5526または5528上のポンプ5100へ送信することができる。さらに、例えば、入出力インターフェースモジュール5550は、インターフェース5506を介して受信されたデータをポンプ5100へ伝送するために確保されている4バイトすなわち、32ビットを有する12バイトパケットを形成し、3kHzで動作すると仮定する。各ラインこの場合、最大32ラインは、パケット内のビットが割り当てられることができる。このように、例えば、トリガ1を示すライン5666上で信号が受信された場合、入出力インターフェースモジュール5550は、次の発信パケット内で第1のデータビットまたは他のライン5066に対応するビットを設定することができる。ポンプ5100がパケットを受信すると、ポンプ制御装置5520は、ビットを読み込み、トリガ1がアサートされ、それに応じて作動することを理解することになる。反対に、ポンプ制御装置5520は、準備完了状態等のデータを適切なビットすなわち、ライン5674に対応するパケットのデータビットで入出力インターフェースモジュール5550に伝えることができる。入出力インターフェースモジュール5550がパケットをポンプ5100から受信すると、入出力インターフェースモジュール5550は、ライン5674上の適切な状態をアサートすることができる。このように、本実施例では、入出力インターフェースモジュール5550は、ポンプデータのための直列コンバータと並列して作動する。入出力インターフェースモジュール5550は、一実施形態によると、種々のライン上でアサートされた対応するビットが設定した信号の意味を無視することができる。例えば、入出力インターフェースモジュール5550がライン5666上で信号を受信すると、単純に次の発信パケット内でポンプ5100に適切なビットを設定する。この場合、ポンプ5100のポンプ制御装置5520は、トリガ1として受信したビットを解釈するように機能する。ポンプ5100のソフトウェアは、特定の状態に対応するビットを解釈するようにユーザ設定可能であることに留意されたい。例えば、ソフトウェアは、トリガ1ビットとしてデータビット1またはトリガ1ビットとしてデータビット5を使用するように構成可能である。このように、ポンプ5100のソフトウェアは、入出力パケットの解釈/形成において柔軟性を提供することができる。同様に、入出力インターフェースモジュール5550がライン5674セットに対応するビットを有するポンプ1500からパケットを受信すると、入出力インターフェースモジュール5550は、ライン5674上の信号をアサートすることができる。この場合、信号がアサートされる装置5616は、信号を解釈し、準備完了状態を示すように機能する。入出力インターフェースモジュール5550から送信されたパケット内の他のビットは、例えば、モジュール種類、アドレス指定情報、または他の情報を含むことができる。他の本発明の実施形態によると、入出力インターフェースモジュール5550は、ポンプ5100によって設定されたビットあるいはインターフェース5604上でアサートされた信号を解釈し、ビット/信号に応じて作動するためのプログラミングおよび/または好適な論理を含むことができる。一部の実施形態では、装置5616からの信号が入出力インターフェースモジュール5550で受信された後、信号を解釈し作用する論理または人工知能は、入出力インターフェースモジュール5550とポンプ制御装置5520との間に割り当てられる。この割り当ては、実装に応じて、分配例えば、50-50または最適化され得る例えば、高性能ポンプ制御装置または高性能入出力インターフェースモジュール。例えば、一部の実施形態では、入出力インターフェースモジュール5550は、直列/並列データ変換を単純に提供し、したがって、計算処理能力および記憶装置をほとんど必要としない。一部の実施形態では、入出力インターフェースモジュール5550は、ポンプ制御機能の大部分を実行するように構成および、それに応じて搭載することができる。このように、人工知能、したがって計算処理能力および記憶装置は、ポンプ制御装置でほとんど必要とされない。そのようなポンプ制御装置は、基本的機能を処理し、モータおよび弁の局所的制御のみ必要となるであろう。一部の実施形態では、入出力インターフェースモジュール5550は、2つ以上のポンプを使用可能にするように構成および、それに応じて搭載することができる。図8は、ポンプ制御装置例えば、IntelliGen登録商標MiniPhotochemicalDispenseSystemのポンプ制御装置と外部追跡装置とを結合するための入出力インターフェース装置を備える入出力インターフェースシステム5800の例示的一実施形態を示すブロック図である。本実施例では、図3のPCB397と同様に、システム5800の入出力インターフェース装置は、PCB上に実装される。図7の入出力インターフェースモジュール5550と同様に、システム5800の入出力インターフェースPCBは、プロセッサと、記憶装置と、記憶装置上で具現化される命令と、1つはポンプ制御装置と連結し、1つは追跡装置と連結する2つのデータ通信インターフェースとを有する。図8は、例として、が受信されたデータを解釈し、これに対して作用することに人工知能を有する入出力インターフェースPCBを示す。図8の入出力インターフェースPCBは、容易にカスタマイズされ、当技術分野におけるほとんどのポンプと交換および協働可能である。例えば、入出力インターフェースPCBは、追跡装置から受信した信号を使用して、ポンプ制御装置がモータを動かす必要性を判断することができる。また、これらの信号を使用して、偽信号、すなわち模擬信号例えば、エンコーダおよび定位置センサ信号を生成し、追跡装置に送信し、エラーを防止することができる。入出力インターフェースPCBは、常に最小分注圧力以上となる一定の偽アナログ電圧を送信するように構成することができる。他の偽信号は、パージ不良信号、温度信号等を含んでもよい。これらの偽信号は、エラーを減少させ、ポンプシステムの平滑かつ最適な動作に較正するのに役に立つことができる。入出力機能に加え、入出力インターフェースPCBは、直列/並列変換およびネットワーク通信等の種々の機能を提供するよう構成可能である。入出力インターフェースシステム5500および5800は、従来のポンプ制御インターフェースシステムにいくつかの利点を提供する。第1に、異なる入出力インターフェースモジュールは、異なる機能性に対応することができる。例えば、上述の実施例では、入出力インターフェースモジュール5550は、4つの個別入力および4つの個別出力に対応する。しかしながら、他のインターフェースモジュールは、より多くの入出力に対応し得る。ユーザがポンプ5100のデータ通信インターフェース5504および/またはポンプ制御装置5520を交換するよりも付加機能に対応することを望む場合、ユーザは、単純に入出力インターフェースモジュール5550を新しいまたは異なる種類の入出力インターフェースモジュールと交換することになる。上述の実施例を継続すると、ユーザが4つの個別入出力システムから5つの個別入出力システムへ変更を望む場合、ユーザは、単純に入出力インターフェースモジュール5550と5つの個別ラインに対応された新しい入出力インターフェースモジュールを交換することができる。さらに、ユーザがコンピュータシステムを交換し、および/または新しい物理的インターフェースを有する場合、ユーザは、ポンプのいずれのインターフェースも変更する必要がなく、入出力インターフェースモジュール5550と新しい物理的インターフェースおよび/または新しいコンピュータシステムを収容可能なものとを交換することができる。これによって、新しいシステムしたがって、ユーザがポンプとの通信を確立/再確立する時間が短縮される。本発明の実施形態によって提供される別の利点は、インターフェースモジュールがネットワーク例えば、RS-232ネットワークを介して他の装置に接続される場合、インターフェースモジュールがネットワークアドレス指定を処理することができるということである。インターフェースモジュールの後ろのポンプに問題が生じ、交換しなければならない場合、新しいポンプは、古いインターフェースモジュールに透過的に接続されることができる。ネットワークアドレスは、ポンプではなくインターフェースモジュールに関連するため、新しいポンプが追加され、古いポンプと交換される場合、ネットワークアドレスを再接続調整する必要がない。本発明の実施形態によって提供されるさらに別の利点は、参照することによって本明細書に組み込まれるSYSTEMANDMETHODFORMULTI-STAGEPUMPWITHREDUCEDFORMFACTORの名称で発明者Cedroneらが2005年12月5日に出願した米国仮特許出願第60/742,435号代理人整理番号第ENTG1720号に記載されるポンプ等の新しいポンプを古い制御システムと結合することが可能となることである。例えば、古い多段式ポンプ制御システムは、モータ信号を含む各ポンプ段に対し信号をアサートするであろう。インターフェースモジュールは、これらの信号をパケット化されたデータに変換し、データパケットを15のラインケーブルを介してポンプへ送信することができる。ポンプソフトウェアは、データパケットを読み込み、どのビットを設定するかを判断し、適切に作動することができる例えば、弁の開閉、モータの正逆等。このように、新しいポンプは、異なる物理的インターフェースを使用して、古い制御ルーチンを実装する古い制御システムによって制御可能である。本明細書に開示される入出力インターフェースモジュールの実施形態は、ポンプによって使用可能なデータへ信号を変換するための制御システムによって、アサートされる信号を処理してもよいことに留意されたい。例えば、制御システムは、単純に信号をアサートし、図8に示されるような特定のライン上でモータまたはカウンタを時計回りに動かしてもよい。別の実施例として、入出力インターフェースモジュール5550は、特定のライン上でモータまたはカウンタを時計回りに動かすための信号をデータパケット内の位置データへ変換可能である。データパケットがポンプ5100で受信されると、ポンプ制御装置5520は、適切なビットを読み込み、モータ例えば、供給モータ/分注モータの新しい位置を判断することになる。このように、データラインとパケット内のビットとの間で1対1に対応しなくてもよいすなわち、個別ラインは必要ではない。上述の実施例が示すように、入出力インターフェースモジュール5550によって受信された特定のライン上の信号は、入出力プロセッサまたは制御装置5556にいくつかの信号の処理を行わせ、複数のビットを設定するようにさせてもよい。同様に、ポンプ5100から受信したパケット内の複数のビットは、入出力プロセッサまたは制御装置5556によって処理され、入出力インターフェースモジュール5550に信号特定のラインまたは複数のライン上で信号をアサートさせてもよい。一部の実施形態では、入出力インターフェースモジュール5550は、アナログ/デジタル変換を行うことが可能である。例えば、入出力インターフェースモジュール5550は、アナログ形式で受信した情報をポンプ5100に送信するためにアナログ信号をパケットにデジタル化し、ポンプ5100から受信したパケット化されたデータをアナログ信号に変換する。また、入出力インターフェースモジュール5550は、ポンプ5100によって対応されておらず、コンピュータまたはポンプ5100に通信可能に結合された他の装置によって予期されるいくつかの機能に対応することが可能である。このように、入出力インターフェースモジュール5550は、ポンプ5100に対する機能性を仮想化し、適切な信号を外部コンピュータまたは装置にアサートすることができる。図9は、ポンプ制御装置5520の一実施形態を実装するPCBの第1、つまり上面5920を示す。図10は、ポンプ制御装置5520の一実施形態を実装する図9のPCBの第2底面5925を示す。以下の表1は、図9および図10のPCBのための部品表の例を提供する。図11は、入出力インターフェースモジュール5550の一実施形態を実装する回路基板の第1、つまり上面5950の図である。図12は、入出力インターフェースモジュール5550の一実施形態を実装する図11の回路基板の第2、つまり底面5955の図である。以下の表2は、入出力インターフェースモジュール5550の一実施形態用のサンプル部品表を提供する。本明細書に開示される本発明の実施形態は、多くの利点を提供する。利点の1つは、従来のシステムで使用される個別ラインによって課される距離制限を排除することによって、本発明の実施形態が、ポンプの動作領域から移転または離れされてケーブルを接続/切断することを可能にすることである。図13は、入出力インターフェースモジュール5551と、1つ以上のポンプ100100a...100nと他の装置5602とを結合するための1つ以上のケーブル5502とを含む入出力システム5501の図である。図13に示されるように、入出力インターフェースモジュール5551は、ケーブル5502の端部である。入出力インターフェースモジュール5551に接続することによって、装置5602は、ポンプ5100を離れた距離から制御することができる。ポンプは、有害なプロセス化学物質を使用する場合が多く、ポンプの動作領域近傍で電気接続/切断を行うことは危険となり得るため、これは利点である。図13が図示するように、入出力インターフェースモジュール5551は、複数のポンプ用の信号/データを単一モジュールを介して送ることが可能なように、2つ以上のポンプ制御装置20a...20nと連結するための2つ以上のデータ通信インターフェース5506で構成することができる。本構成は、大幅にケーブル敷設を削減することができる。入出力インターフェースモジュール5551は、実装に応じて、他の装置と連結するための1つ以上のデータ通信インターフェース5604を有してもよい。本発明の実施形態の別の利点は、入出力インターフェースモジュールがポンプに必要とされる計算処理能力および/またはデータ格納容量を削減することができることである。図13に示される実施例では、記憶装置5558上で実行されるソフトウェア命令5552によって、入出力制御装置またはプロセッサ5556は効率的かつ一貫した方法で複数のポンプ100a...100nを使用可能にすることができる。例えば、ポンプ100aが待機中、入出力制御装置5556は、ポンプ100b等を使用可能にする。モータ動作等の局所的制御機能以外に、論理、したがってポンプ100a...100nを制御するための人工知能が入出力インターフェースモジュール5551に割り当てられ、より強力かつ高速のプロセッサおよび恐らく大容量記憶装置を有することができる。本構成によって、ポンプ制御装置の機能性を分散することが可能になる。さらに、本構成は、複数のポンプ上よりも単一モジュール上に高価な部品例えば、プロセッサ、記憶装置等を実装するためにより経済的かつ効率的であるため、大幅にコストを削減することができる。図14は、複数の入出力インターフェースモジュール5552a...5552nと、複数のポンプ100a...100nと複数の装置5602とを結合する複数のケーブル5502とを有する入出力システム5502の図である。入出力システム5502では、ポンプ100a...100nを制御するための論理は、複数の入出力インターフェースモジュール5552a...5552n間に割り当てまたは分配することができる。これは、ポンプ100a...100nの処理能力にかかわらず、行うことができる。別様に、ポンプ100a...100nを制御するための論理/機能性は、複数の入出力インターフェースモジュール5552a...5552nおよび複数のポンプ100a...100n間に割り当てまたは分散することができる。他の実装も可能である。本発明は、実例となる実施形態を参照して、本明細書において詳細に説明されてきたが、記載は例示のみを目的とするものであり、限定する意味として解釈されるものではないことは理解されるべきである。したがって、本発明の実施形態の詳細における多数の変更形態、および本発明のさらなる実施形態は、本記述に関係がある当業者には明白となり、また当業者によって製作されてもよいことがさらに理解されるべきである。そのようなすべての変更形態およびさらなる実施形態は、本発明の範囲および精神内にあることが企図される。したがって、本発明の範囲は、以下の請求項およびその法的同等物によって判断されるべきである。"