液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子を有する基板と、前記液体を吐出する複数の吐出口からなる吐出口群と該吐出口群に連通する流路とを構成する吐出口形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、1前記基板の上に前記吐出口形成部材の材料としての感光性樹脂を配置する工程と、2前記感光性樹脂に紫外光を用いて前記吐出口群の露光パターンを形成する工程と、を有し、前記工程2において、前記吐出口群は長手方向において分割されて露光され、該露光は、テレセン性の大きい領域同士が対向するようにそれぞれ行われることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。前記工程2において、前記吐出口群の露光パターンは、該吐出口群の長手方向の中央付近で第一の吐出口群の露光パターンと第二の吐出口群の露光パターンとに分けられて形成され、前記第一の吐出口の露光パターンのテレセン性が大きい側と前記第二の吐出口の露光パターンのテレセン性が大きい側とが対向するように前記第一の吐出口群の露光パターンと前記第二の吐出口群の露光パターンとが形成される請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記第一の吐出口群の露光パターン及び前記第二の吐出口群の露光パターンは、それぞれ、ショットパターンを有するマスクを用いた第一の露光及び第二の露光により形成され、前記ショットパターンは、前記露光に用いる露光装置のレンズの半径方向に沿って、かつレンズの中央から外周に相当する範囲内に配置される請求項2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記吐出口群の長手方向の断面において、隣接する吐出口間の間隔が、前記テレセン性が大きい領域が対向する位置に近づくに従って狭くなる請求項1乃至3のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記吐出口群の長手方向の断面において、隣接する流路間の間隔が、前記テレセン性が大きい領域が対向する位置に近づくに従って狭くなる請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記吐出口群の長手方向の断面において、隣接する前記吐出エネルギー発生素子間の間隔が、前記テレセン性が大きい領域が対向する位置に近づくに従って狭くなる請求項4又は5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記吐出口群の長手方向の断面において、前記流路の中心線と、該流路に対応する吐出口の流路と接する部分における中心線と、が一致する請求項4乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記吐出口群の長手方向の断面において、前記流路の中心線と該流路に対応する吐出口の流路と接する部分における中心線と、該流路に対応する前記吐出エネルギー発生素子の中心線と、が一致する請求項7に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記流路、前記吐出口及び前記吐出エネルギー発生素子のうち少なくとも1種が前記吐出口から吐出される前記液体の着弾位置が均等になるように配置位置が調整されて形成されている請求項1乃至8のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記工程1の前に、前記基板の上にポジ型感光性樹脂を用いて前記流路の型材としての流路パターンを形成する工程を有し、前記工程1において、前記感光性樹脂は前記流路パターン及び前記基板の上に配置される請求項1乃至9のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。前記露光は、縮小光学系の露光装置を用いて行われる請求項1乃至10のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。投影方式のi線を用いた露光装置により画角サイズ以上のインクジェット記録ヘッドの吐出口群を形成する場合、吐出口群が画角に収まるように加工するために、分割して露光する方法が一般的に採用されている。つまり、ノズルチップの長手方向に分割して露光する事が行われる。分割して露光する場合、分割した境界部分以下、つなぎ部とも称す。を画角における外周側に配置すると、該境界部分付近の吐出口がi線露光装置の光学系に起因するテレセントリック性の影響を受けて形成される。テレセントリック性の影響を受けて吐出口が基板垂直方向から傾いて形成されると、つなぎ部近傍の吐出口から吐出される液体が理想の着弾位置から大きくずれて着弾される。したがって、このような吐出口を有するインクジェット記録ヘッドを用いてインクを被記録媒体に吐出して記録を行うと、つなぎ部近傍の吐出口群により形成される画像ドットが着弾位置ずれを起こし、画像品位が低下する。そこで、本発明は、液体吐出ヘッドの吐出口群を分割して加工する方法において、テレセントリック性の影響を低減可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。本発明は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子を有する基板と、前記液体を吐出する複数の吐出口からなる吐出口群と該吐出口群に連通する流路とを構成する吐出口形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、1前記基板の上に前記吐出口形成部材の材料としての感光性樹脂を配置する工程と、2前記感光性樹脂に紫外光を用いて前記吐出口群の露光パターンを形成する工程と、を有し、前記工程2において、前記吐出口群は長手方向において分割されて露光され、該露光は、テレセン性の大きい領域同士が対向するようにそれぞれ行われることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。本発明に係る製造方法によって得られる液体吐出ヘッドでは、テレセン性の影響を受けて傾いて形成される吐出口は吐出口群の中央側に配置される。つまり、テレセン性の影響を受けて吐出液の着弾のずれが生じる吐出口が吐出口群の中央側に配置される。吐出口群の中央側の吐出口は、着弾のずれの影響を顕著にうける記録媒体の先端若しくは後端部分に印字する事がない。したがって、本発明に係る製造方法により得られる液体吐出ヘッドは、テレセントリック性の影響による画像品位の低化が軽微な画像を得る事ができる。本発明の構成によれば、テレセントリック性の影響を低減可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。また、以下の説明では、本発明の適用例として主にインクジェット記録ヘッドを例に挙げて説明するが、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではなく、バイオチップ作製用途や電子回路印刷用途の液体吐出ヘッド等にも適用できる。液体吐出ヘッドとしては、インクジェット記録ヘッドの他にも、例えばカラーフィルター製造ヘッド等も挙げられる。図4は、一般的なインクジェット記録ヘッドの構成例を示す模式図である。図4において、吐出エネルギー発生素子2は記録素子基板1に所定のピッチで二列に形成されている。記録素子基板1には、シリコンの結晶異方性エッチングにより形成された供給口3が、吐出エネルギー発生素子2の二つの列の間に開口するように形成されている。また、記録素子基板1の上には吐出口形成部材4が形成されている。吐出口形成部材4は、複数の吐出口5からなる吐出口群と該吐出口群に連通する流路6を構成している。吐出口5は、各吐出エネルギー発生素子に対向する位置にそれぞれ形成されている。流路6は、供給口3と吐出口5とに連通する。図5は、図4におけるE-E線を通り基板に垂直な面による吐出口形成部材4の概略断面図である。吐出口5は、吐出口形成部材4の表面に開口を有し、流路6と連通している。7は吐出口5におけるテーパー形状を有する側面を示している。また、8は、基板面に垂直な方向と該テーパー形状を有する側面との角度テーパー角を示す。吐出口形成部材の形成方法としては、まず、記録素子基板1にポジ型感光性樹脂の層を形成し、フォトリソグラフ工程によりポジ型感光性樹脂をパターニングして、流路の型材となる流路パターンを形成する。次に、流路パターンが形成された記録素子基板1上に、吐出口形成部材4の材料としてのネガ型感光性樹脂の層を形成する。次に、吐出口マスク10を介して紫外光例えばi線を用いてパターン露光し、現像処理をおこない、吐出口5を形成する。吐出口5を露光する装置としては、例えば、市販されているi線のステッパーを用いられる。図6は、i線のステッパーを用いて吐出口5のパターンを露光するプロセスのイメージを示す模式図である。11は、記録素子基板1が複数配置されたウェハーであり、個々の記録素子基板1は後工程でダイサー等で切り出される。吐出口マスクには、吐出口パターン形成領域12が設けられている。パターンを通過したレーザー光14は、レンズユニット13を介してウェハー上に投影され、吐出口のパターンを露光する。以下に、本発明の実施形態について図を参照して説明する。実施形態1本実施形態では、紫外光例えばi線により、吐出口群を分割して露光する。本発明において、i線のステッパーを用いることが好ましいが、特にこれに限定されるものではない。また、本実施形態では縮小光学系の露光装置が用いられる。本実施形態では、まず、複数の吐出エネルギー発生素子を第一面に有する基板を用意し、該基板の第一面側にポジ型感光性樹脂を用いて流路の型材としての流路パターンを形成する。次に、流路パターンと基板の上に吐出口形成部材の材料としての感光性樹脂を配置する。該感光性樹脂としては、例えば、ネガ型感光性樹脂を用いることができる。次に、感光性樹脂に紫外光を用いて吐出口群の露光パターンを形成する。この際、吐出口群は長手方向において分割されて露光され、該露光は、テレセン性の大きい領域同士が対向するようにそれぞれ行われる。以下に、露光プロセスについて詳細に説明する。図1aは、露光プロセスで使用するマスクの構成例を示す模式的平面図である。図1bは、露光プロセスで露光により形成される露光パターンの例を示す模式図である。図1において、15は第一のショットパターンを示し、該第一のショットパターン15を用いて露光された部分が第一の露光パターン40aに相当する。また、16は第二のショットパターンを示し、該第二のショットパターンを用いて露光された部分が第二の露光パターン40bに相当する。吐出口群に相当する露光パターン40は、第一の露光パターン40aと第二の露光パターン40bとで構成される。図1aに示すように、露光プロセスで使用するマスク10は第一のショットパターン15と第二のショットパターン16とを有する。まず、図2に示すように、第一のショットパターン15を用いて、1回目の露光以下、第一の露光とも称すを行い、吐出口群の下半分の露光パターン第一の露光パターン40aを吐出口形成部材の材料としての感光性樹脂に形成する。そして、図3に示すように、第二のショットパターン16を用いて、2回目の露光以下、第二の露光とも称すを行い、吐出口群の上半分の露光パターンを感光性樹脂に形成する。ここで、図1aにおいて、第一のショットパターン15における17はテレセン性の大きい部分に相当し、18はテレセン性の小さい部分に相当する。つまり、第一のショットパターン15を露光する際に、部分17側はテレセン性の大きい露光位置に配置され、部分18側をテレセン性の小さい露光位置に配置される。テレセン性の大きい露光位置とは、例えば、レンズの外周側に相当する位置のことであり、テレセン性の小さい露光位置とは、例えば、レンズの中央側に相当する位置のことである。したがって、第一のショットパターンは、露光装置のレンズの中央に相当する位置から外周に相当する位置に向かって、半径方向に配置されることが好ましい。つまり、露光時において、吐出口の露光パターンを形成するためのショットパターンは、レンズの中央から外周に向かう方向半径方向に沿って、レンズの中央から外周に相当する範囲内に配置することが好ましい。また、第二のショットパターン16における20はテレセン性の大きい部分に相当し、19はテレセン性の小さい部分に相当する。つまり、第二のショットパターン16を露光する際に、部分20側はテレセン性の大きい露光位置に配置され、部分19側はテレセン性の小さい露光位置に配置される。そして、第一の露光パターン40aと第二の露光パターン40bとは、テレセン性の大きい部分17及び20で露光して形成された領域同士が対向するようにつないで吐出口パターン40を構成する。一方、第一のショットパターン15におけるテレセン性の小さい良い部分18と第二のショットパターン16におけるテレセン性の小さい良い部分19は、それぞれ吐出口群の第一セグメントと最終セグメントに配置される事となる。図2は、第一の露光により第一の露光パターン40aを形成する工程を説明するための模式的平面図である。図2において、21aは、第一の露光で用いる第一のマスクシャッターである。第一のマスクシャッター21aは、第一の露光の際に、第一のショットパターン15の領域以外のレーザー光を遮断する。なお、マスクシャッターは第一の露光と第二の露光との切り替え時ワークステージの移動時でもある。に移動可能に構成されている。図3は、第二の露光により第二の露光パターン40bを形成する工程を説明するための模式的平面図である。図3において、21bは、第二の露光で用いる第二のマスクシャッターである。第二のマスクシャッター21bは、第二の露光の際に、第二のショットパターン16の領域以外のレーザー光を遮断する。露光装置はマスクパターンを縮小して露光する投影露光装置が用いられるため、吐出口の露光パターンはテレセントリック性の影響をうける。したがって、テレセン性が大きい部分で露光して形成された吐出口のテーパー角は、テレセン性の小さい部分で露光して形成された吐出口のテーパー角と比べて大きい角度となる。図7は、本実施形態の製造方法により作製された液体吐出ヘッドの構成例を説明するための概略断面図である。図4におけるE-E線を通り基板に垂直な面における断面図である。なお、図7において、本願発明をイメージしやすいように、テーパー角等の構成について誇張して描かれている場合もある。図7において、22は、境界部つなぎ部である。23は記録媒体である。24はインク滴であり、各吐出口5から吐出されて記録媒体23に着弾した状態を示す。25は、吐出口群のなかの第一セグメントであり、26は最終セグメントである。50aは、第一の露光により形成された第一の露光パターン40aに相当する第一の吐出口群である。50bは、第二の露光により形成された第二の露光パターン40bに相当する第二の吐出口願である。境界部は、吐出口群の中央付近に設けられることが好ましい。なお、境界部は本発明における吐出口群の中央付近を説明するための目安として図示されたものにすぎず、特に材料等が異なる部位を表示するものではない。第一の吐出口群50aの吐出口と第二の吐出口群50bの吐出口は、個数の差が10以下であることが好ましく、5以下であることがより好ましく、1以下であることがさらに好ましく、同じ個数であることが特に好ましい。また、図7において、流路6は等間隔に設けられている。図7に示すように、本実施形態により形成される吐出口群は、吐出口群の長手方向の境界部22を有し、該境界部22で二つの領域第一の吐出口群50aと第二の吐出口群50bに分割して形成されている。また、第一の吐出口群50aは、境界部22に近接する吐出口から第一セグメント25の吐出口に向かって、吐出口のテーパー角8が徐々に小さくなる。また、第二の吐出口群50bは、境界部22に近接する吐出口から最終セグメント26の吐出口に向かって、吐出口のテーパー角8が徐々に小さくなる。第一セグメント25及び最終セグメント26の吐出口は基板面に対してほぼ垂直方向に形成されることが好ましい。本実施形態において、吐出口群の露光パターンは、該吐出口群の長手方向の中央付近で第一の吐出口群の露光パターンと第二の吐出口群の露光パターンとに分けられて形成される。そして、第一の吐出口の露光パターンのテレセン性が大きい側と第二の吐出口の露光パターンのテレセン性が大きい側とが対向するように第一の吐出口群の露光パターンと第二の吐出口群の露光パターンが形成される。露光パターンのテレセン性が大きい側とは、露光パターンのうち吐出口の傾きが大きく形成される側のことをいう。例えば、図7において、第一の露光パターンのうちテレセン性が大きい側は、境界部22側のことを指す。図7に示すような吐出口群を有する液体吐出ヘッドでは、第一セグメント25と最終セグメント26の吐出口からは記録媒体23に向かってほぼ垂直にインクが吐出される。一方、境界部22側に近いほど、吐出口はテレセン性の影響を受けて形成され、境界部側に傾いて形成されるため、インク滴24は内側に向かって吐出される。実際に図7に示すような吐出口群を有する記録素子基板1を作製し、吐出性能を評価したところ、良好な印字性能が認められた。一方、比較として、図8のように、i線光の中央部にショットパターンの中央が配置されるように二つに分割した吐出口群のパターンを均等に配置したマスクを用いて、吐出口群を形成した。該吐出口群を有する吐出口部材を用いてインクジェット記録ヘッドを作製した。このインクジェット記録ヘッドでは、記録媒体23の前後端で画像の劣化がみられた。また、図9は、図8に示した加工方法による、吐出口部材の断面の模式図である。図7からわかるよう、吐出口群9の第一セグメント25と最終セグメント26からのインク滴24は、記録媒体23に垂直に着弾しない。本実施形態の製造方法は、長尺ヘッドのような、つなぎ露光をおこない、吐出口群9を加工する必要のあるインクジェット記録ヘッドを作製する際に有効である。長尺ヘッドのインクジェット記録ヘッドは、一般的に高速での印字が要求される媒体に利用される。長尺ヘッドのインクジェット記録ヘッドは、例えば、面積が広いポスターやバナー紙、旗などの記録媒体の印刷で使用される。このような記録媒体では、記録媒体の端部まで印刷される事は頻繁である。なお、本実施形態では、図1~3に示すような構成のマスクやマスクシャッターを用いて吐出口の露光パターンを形成した例を主に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。実施形態2本実施形態2では、着弾制度を改善する手段について説明する。本実施形態では、隣接する吐出口間の間隔を、吐出口群の境界部22テレセン性が大きい領域が対向する位置に近づくに従って、暫時狭くなるようにマスク上で補正し、分割して吐出口の加工を行う。実施形態1では、第一セグメント25と最終セグメント26は記録媒体23にほぼ垂直に着弾するが、境界部22、つまり第一の吐出口群と第二の吐出口群が対向する位置に向かうに従って徐々に広がるように着弾する傾向がある。本実施形態では、この傾向を緩和する手段に関する。図10は、本実施形態における補正方法を説明するための吐出口群のイメージ図である。また、図10において、流路6及び吐出エネルギー発生素子2の配置は図7と同じであり、等間隔に配置されている。50aは第一の露光で加工される第一の吐出口群あり、50bは第二の露光で加工される第二の吐出口群である。第一の吐出口群50aを加工するための第一のショットパターン15は、図7の場合と比べて、吐出口が第一セグメント25側にずれて形成されるように吐出口に相当する開口パターンの配置位置が補正されている。そして、テレセン性の関係より、その補正量は、境界部22に向かうにつれて大きくなり、第一セグメント25に近づくにつれて小さくなる。一方、第二の吐出口群50bを加工するための第二のショットパターン16は、図7の場合と比べて、吐出口が最終セグメント26側にずれて形成されるように吐出口に相当する開口パターンの配置位置が補正されている。そして、テレセン性の関係より、第一のショットパターンのように、その補正量は、境界部22に向かうにつれて大きくなり、第一セグメント25に近づくにつれて小さくなる。隣接する吐出口間の間隔は、例えば、図10において、吐出口のうち流路と接する部分流路との境界部分における中心線と、該吐出口に隣接する吐出口の流路と接する部分における中心線と、の距離である。上記構成により、テレセン性の影響で着弾のずれる方向を見越し吐出口の位置を補正する事となり、これによってもテレセントリック性の影響による画像品位の劣化が軽微な画像を得る事ができる。実際にこのような、吐出口群を有する記録素子基板1を組み、インクジェット記録ヘッドにして印字をおこなったところ、良好な印字がえられた。特に、印刷のパス数が少ない場合での画像においては、実施形態1よりも高精細な画像を得ることができた。実施形態3実施形態2を説明する図10においては、吐出口群の長手方向の断面における各流路6の中心線29と、同断面における流路6に対する吐出口5の流路6と接する部位での中心線30とは一致していない図10参照。本実施形態3では隣接する吐出口間の間隔を、吐出口群の境界部22に近づくに従って暫時狭くなるようにマスク上で補正し、分割して吐出口の加工をおこなうと同時に、各吐出口5に対応するように、吐出エネルギー発生素子2と、流路6も補正したものである。図11は、にその補正方法を説明するためのイメージ図である。31は吐出口群9の長手方向の断面における吐出エネルギー発生素子2の中心線である。図11において、流路6に中心線29と吐出口5の中心線30は一致している。インクの飛翔に際する、インク流路6の壁からの抵抗が左右吐出口群の長手方向で均一になる。また、吐出エネルギー発生素子2の中心部に、吐出口5とインク流路6がくるため図11における中心線29と中心線31が同軸となり、一致している、吐出エネルギーに与えるインク流路6の影響を左右吐出口群9の長手方向で均一化する事ができる。これは、インク滴24の飛翔を安定化させる。特に、吐出エネルギーとしてヒータを用いた発泡圧をもちいる形態では、その泡の消泡も均一化され吐出口5毎の差がなくなる。故に、発生する残留気泡も減り、吐出の信頼性も高くなる。実際にこのような、吐出口群を有する吐出口形成部材を用いてインクジェット記録ヘッドを作製し、このインクジェット記録ヘッドで印字をおこなったところ、良好な印字がえられた。実施形態2よりも、高精細な画像を長期にわたり印刷する事ができた。本実施形態では、実施形態1に対して、吐出エネルギー発生素子2と流路6と吐出口5との位置を補正した形態である。また、吐出エネルギー発生素子2の間隔変調による配線の引き回しが困難な場合は、インク流路6と吐出口5だけでも補正しても良い。また、流路6の間隔変調が、流路6の壁に微妙なひずみを与え、記録素子基板1との接合力に影響を与える場合は、吐出エネルギー発生素子2と吐出口5だけでも補正してもよい。したがって、本実施形態において、流路、吐出口及び吐出エネルギー発生素子のうち少なくとも1種が吐出口から吐出される液体の着弾位置が均等になるように配置位置が調整されて形成されることができる。本実施形態に示すように、吐出口群に対応した各エネルギー発生素子群は、吐出口群の中央、つまりテレセン性が大きい領域が対向する位置にいくにつれ暫時、狭くなることが好ましい。このような構成により、吐出口に対して適切な基地に吐出エネルギー発生素子を配置する事ができ、効率の良い吐出をおこなう事がきできる。これは、吐出の信頼性を向上させる事にもつながる。隣接する吐出エネルギー発生素子間の間隔は、例えば、図11において、吐出エネルギー発生素子の中心線と、該吐出エネルギー発生素子に隣接する吐出エネルギー発生素子の中心線と、の距離である。また、隣接する流路間の間隔は、例えば、図11において、流路の中心線と、該流路に隣接する流路の中心線と、の距離である。また、本実施形態に示すように、吐出口群の長手方向における断面において、各流路の中心線と、その流路に対応する吐出口の流路と接する部分における中心線とが一致することが好ましい。このような構成により、インク流路に中心位置に、吐出口を配置する事ができ、インクの飛翔に際する、インク流路の壁からの抵抗が左右吐出口群の長手方向で均一になる。これにより、吐出口からのインクの飛翔が良好になり、着弾精度をあげると共に、サテライトの発生をも抑制し、良好な画像の取得に寄与する。また、本実施形態に示すように、吐出口群の長手方向における断面において、各流路の中心線とその流路に対応する吐出口の流路と接する部分における中心線と、その流路に対応するエネルギー発生素子の中心線とが一致することが好ましい。このような構成により、発生した吐出エネルギーに与えるインク流路の影響を左右で均一化吐出口群の長手方向する事ができる。これも、インク滴の飛翔を良好にし、良好な画像の取得に寄与する。