振動腕とこれを支持する固定部を有する振動子と、前記振動子の制御回路を構成するICと、前記振動子と前記ICを収容するパッケージと、前記パッケージ内に設けられて前記固定部に接続され前記振動腕を振動可能に支持する支持台を備え、前記固定部が接続される前記支持台には前記固定部を囲む壁部を設け、この壁部と前記固定部の間に保持層を設けたことを特徴とする慣性力センサ。振動子および支持台を同一素材で形成したことを特徴とする請求項1に記載の慣性力センサ。壁部と固定部の間隔を5μm以上かつ15μm以下としたことを特徴とする請求項1に記載の慣性力センサ。基本振動と検出振動が同一面内方向であることを特徴とする請求項1に記載の慣性力センサ。そして、慣性力センサの検出感度向上を進めていく中で、振動子を支持台に接続固定する場合、接着剤により形成された接着層が、温度条件により少なからず剛性変化を起こすという現象に着目した。すなわち、接着剤により形成された接着層は、低温時において接着層の剛性が高く、振動子が支持台に強固に固定されるので、精度の高い基本振動や検出振動を励起することができるのであるが、高温時には接着層の剛性が低くなり、振動子の支持台に対する固定が弱まり、振動子の基本振動や検出振動に対する減衰作用や不要振動の励起などが生じる要因となり、結果的に検出感度の向上の妨げとなってしまうという問題を見出した。そこで、本発明はこのような問題を解決し、慣性力センサにおける温度変化に伴う検出精度の劣化を抑制し、慣性力センサの検出精度をより一層向上させることを目的とする。そして、この目的を達成するために本発明は、振動腕とこれを支持する固定部を有する振動子と、振動子の制御回路を構成するICと、振動子とICを収容するパッケージと、パッケージ内で振動腕を振動可能に支持する支持台を備えた慣性力センサにおいて、固定部が接続される支持台に固定部を囲む壁部を設け、この壁部と固定部の間に保持層を設けた構成としたのである。この構造により本発明は、慣性力センサにおける温度変化に伴う検出精度の劣化を抑制し、慣性力センサの検出精度を向上させることが出来るのである。以下、本発明の一実施の形態における慣性力センサについて図を用いて説明する。図1は、慣性力の一種である角速度を検出するための慣性力センサを示したものであり、その基本的な構造は、セラミクスからなる一端開口のパッケージ1の内部に角速度を検出する振動子2と、この振動子2に印加する駆動信号や振動子2から出力される検出信号を制御するIC3を配置し、パッケージ1の開口を上蓋4で封口する構造となっている。なお、振動子2はIC3との間に支持台5を介在させることで、振動子2を振動可能に支持する構成としている。また、振動子2は、図2に示すように、素子中央部分に設けられた矩形状の固定部6と、この固定部6を中心としてY軸方向に蛇行状に伸びる一対の連接梁7と、この連接梁7の先端に接続された一対の振動腕8と、この振動腕8の先端部分に設けられた錘部9とから構成されている。なお、振動腕8には駆動電極10や検知電極11を設けている。また、駆動電極10や検知電極11は、図3に示すようにそれぞれの電極がAuからなる上部電極12とPtからなる下部電極13と、これらの間に配置されたPZTからなる圧電体層14からなる積層電極構造であり、下部電極13をグランド接続した状態で上部電極12に正電圧を印加すると電極の積層方向に対して圧縮力が働き、この圧縮力により電極パターンが伸びる方向に応力が発生し、これとは逆に負電圧を印加すると電極に引張力が働き、この引張力により電極パターンが縮む方向に応力が発生するものである。また、これとは逆に振動腕8が撓み電極に圧縮応力が生じることで負電圧を発生し、電極に引張応力が生じることで正電圧を発生させる。そして、この振動子2を用いた角速度検出は、駆動電極10にIC3から駆動信号を印加することで、図2の矢印15で示すように、固定部6を振動中心として錘部9をX軸方向に基本振動させ、この基本振動した状態において、振動平面XY平面に直交するZ軸方向の検出軸回りに角速度が加わることで、振動子2にコリオリ力が生じ、このコリオリ力により錘部9が矢印16で示すようY軸方向に検出振動し、この検出振動による振動腕8の撓みを検知電極11により電気信号に変換しIC3に出力するのである。なお、図2に示す振動腕8の連接梁7の近傍に設けられたモニタ電極17は振動腕8の基本振動の振動状態を検出しIC3での駆動信号の生成にフィードバックするための電極である。そして、図1に示すように、振動子2を振動可能に支持する支持台5は、固定部6の外周を囲むように壁部18を設けており、振動子2を支持台5に接着固定するにあたり、図4に示すように、固定部6の下面と支持台5の上面を接着固定するだけでなく、固定部6の側面と壁部18との間も接着固定した構造としている。つまり、固定部6の下面と支持台5の上面が接着剤からなる接着層19により固着され、さらに固定部6を囲む壁部18と固定部6の側面の間にも接着剤の回り込みにより形成された保持層20が介在する構成としている。すなわち、この接着構造において、保持層20が温度変化に伴いその剛性が変化した場合においても、固定部6は保持層20の外側を囲む壁部18により支持されているので、温度変化による固定状態の変化が抑制されることとなる。つまり、この慣性力センサにおいては、振動子2の基本振動や検出振動に対する温度変化に伴う減衰作用や不要振動の励起を抑制することができ、結果として、慣性力センサの検出精度を向上させることができる。なお、この実施の形態では、保持層20として固定部6の下面を接着固定する接着層19の回り込み部分を活用した構造で説明したが、この保持層20は接着層19とは異なる種類の接着剤で構成したり、はんだ等の金属層で構成しても同様の作用効果を得ることができる。また、固定部6を囲むように壁部18を対称配置することにより、保持層20も固定部6の外周において対称配置されるので、この対称性により個々の接着層の温度条件による剛性変化を相殺することができ、より検出精度を向上させることができる。なお、このように固定部6を囲む壁部18を設けた場合、可動範囲を小さくするためには固定部6と壁部18との間隔を小さくすればよいのであるが、この間隔を小さくすればするほど振動子2を支持台5に実装する作業が困難になる。すなわち、上述したようにこのような慣性力センサはMEMSプロセスを用いたウエハレベルでの多数個一括成形であり、固定部6と壁部18の間隔は振動子2の実装精度に大きく影響するもので、あまりに狭めると実質的に組み立てが出来なくなるという問題が生じる。したがって、この実施形態においては固定部6と壁部18との間に実装性が確保できるだけの隙間を設けるとともに、実装後には実装の際に用いた接着剤による接着層をこの隙間に介在させることで、固定部6と壁部18の隙間を実質的になくし、固定部6の可動範囲を抑制したのである。なお、接着層により接続される固定部6、壁部18および支持台5を同一材料で構成することにより各部における熱膨張差を抑制できるのでより検出精度が高められる。また、この慣性力センサにおいては、振動子2における固定部6と壁部18の間隔を10μmとしている。そして、固定部6と壁部18の間隔は、上述したように5μm以下であるとウエハレベルでの多数個一括での実装が困難となり、15μm以上であると壁部18による固定部6の間隔が大きくなりすぎ保持部20を介した壁部18での支持が弱まるため、実質的にこの間隔は5μm~15μmとすることが好ましい。また、この振動子2は、上述したように振動腕8の基本振動の振動方向X軸方向と、検出振動の振動方向Y軸方向で構成する平面XY平面が、振動子2の実装平面XY平面内と平行となるものであり、固定部6の側方の支持剛性を高めることは、慣性力センサの検出精度の向上に大きく作用する。なお、本一実施の形態においては、振動子2の形状として固定部6を振動中心として蛇行状の振動腕8を対称配置した構成を挙げて説明したが、図5に示すような、中央の固定部6aの両外側に基本振動用の振動腕8aを配置し、内側に検出用の振動腕8bを配置した王字型の振動子2aであっても、この固定部6aを囲むように壁部18aを設けることで同様の作用効果を得ることが出来る。また、図6に示すような固定部6bから伸びる一対の振動腕8cを有する音叉形の振動子2bでは、基本振動の振動方向X軸方向と検出振動の振動方向Z軸方向で構成する平面XZ平面が振動子の実装平面XY平面と直行するが、固定部6bを囲むように壁部18bを設けることで、実装平面XY平面と平行な振動方向を形成する基本振動に対しては、上述したものと同様に固定部6bに対する支持剛性が高まり、実装平面XY平面に垂直な振動方向を形成する検出振動に対しては、壁部18bおよび保持層の高さが、検出振動に対する支持構造となり、上述したものと同様に検出精度を向上させることが出来る。