"負極と、前記負極と電解質を介して対向する正極と、を有し、前記正極は、集電体と、前記集電体上に形成される活物質を含む膜と、を有し、前記活物質を含む膜において前記電解質と接する領域は、3.5≦d/c≦4.5かつ0.6≦c/b≦1.8かつ0.7≦a/b≦2.8を満たすLiaFebPcOdで形成されることを特徴とする蓄電装置。負極と、前記負極と電解質を介して対向する正極と、を有し、前記正極は、集電体と、第2の活物質を含む膜と、前記集電体及び前記第2の活物質を含む膜の間に形成される第1の活物質を含む膜と、を有し、前記第2の活物質を含む膜は、3.5≦d/c≦4.5、0.6≦c/b≦1.8、かつ0.7≦a/b≦2.8を満たすLiaFebPcOdで形成され、前記第1の活物質を含む膜は、3.5≦h/g≦4.5、0.6≦g/f≦1.1、かつ0≦e/f≦1.3を満たすLieFefPgOhで形成されることを特徴とする蓄電装置。負極と、前記負極と電解質を介して対向する正極と、を有し、前記正極は、集電体と、第2の活物質を含む膜と、前記集電体及び前記第2の活物質を含む膜の間に形成される第1の活物質を含む膜と、を有し、前記第2の活物質を含む膜は、3.5≦d/c≦4.5、0.6≦c/b≦1.8、かつ0.7≦a/b≦2.8を満たすLiaFebPcOdで形成され、前記第1の活物質を含む膜は、3.5≦h/g≦4.5、0.6≦g/f≦1.1、かつ0≦e/f≦1.3を満たすLieFefPgOh及び3.5≦d/c≦4.5、0.6≦c/b≦1.8、かつ0.7≦a/b≦2.8を満たす前記LiaFebPcOdで形成されることを特徴とする蓄電装置。請求項1乃至3のいずれか一項において、前記LiaFebPcOdは非晶質構造であることを特徴とする蓄電装置。請求項1乃至3のいずれか一項において、前記LiaFebPcOdは結晶構造であることを特徴とする蓄電装置。請求項5において、前記LiaFebPcOdはナシコン構造であることを特徴とする蓄電装置。請求項2または請求項3において、前記LieFefPgOhは非晶質構造であることを特徴とする蓄電装置。請求項2または請求項3において、前記LieFefPgOhは結晶構造であることを特徴とする蓄電装置。請求項8において、前記LieFefPgOhはオリビン構造であることを特徴とする蓄電装置。2価の鉄イオンを含むリン酸鉄リチウムを主成分とするターゲットを、酸素分圧が0.01以下の雰囲気でスパッタリングして、集電体上に第1の活物質を含む膜を形成し、前記2価の鉄イオンを含むリン酸鉄リチウムを主成分とするターゲットを、酸素分圧が0.1以上の雰囲気でスパッタリングして、前記第1の活物質を含む膜上に第2の活物質を含む膜を形成して正極を作製し、前記第1の活物質は、2価の鉄イオンを含むリン酸鉄リチウムを有し、前記第2の活物質は、3価の鉄イオンを含むリン酸鉄リチウムであることを特徴とする蓄電装置の作製方法。しかしながら、FeIIを含むオリビン構造のLiFePO4は、雰囲気中に存在する酸素によりFeIIIへ酸化されやすい。例えば、薄膜形成技術を用いて形成した非晶質構造のリン酸鉄リチウムに熱処理を加える工程において、熱処理雰囲気中の残留酸素によりFeIIが酸化され、FeIIIを含むナシコン構造のLi3Fe2PO43に変化する問題がある。また熱処理を加えない非晶質構造のリン酸鉄リチウムにおいても、大気中に存在する酸素により自然酸化が起こり、表面にFeIIIを含むナシコン構造のLi3Fe2PO43が形成されてしまう。自然酸化を制御することは難しいため、FeIIIを含むナシコン型のリン酸鉄リチウムの膜厚制御が困難となり、また、正極の活物質としての信頼性が低い。一方、FeIIIを含むナシコン構造のリン酸鉄リチウムにおいて、FeIIIからFeIIへの還元反応が生じる場合には、FeIIIを含むリン酸鉄リチウムにリチウムイオンが挿入される必要がある。このため、FeIIIを含むナシコン構造のリン酸鉄リチウムを正極の活物質として用いる場合には、負極にリチウムを含む材料を用いることが必要となる。しかしながら、リチウムイオン電池において負極材料として一般的である黒鉛を用いる場合には、あらかじめ黒鉛にリチウムをドープしておく必要があり、プロセスが複雑となる。また、リチウムを含有する負極材料の例としてチタン酸リチウムLi4Ti5O12があるが、黒鉛と比較して還元電位が高く、セル電位が小さくなるという問題がある。さらに、リチウム金属を負極として用いると、析出物が発生し、正極と負極がショートしてしまうという問題がある。以上のことから、負極にリチウムを含む材料を用いると、信頼性が高く、かつセル電位の高い蓄電装置を容易に作製することが困難である。本発明の一形態は、良好な電池特性を有する蓄電装置及びその作製方法を提供することを目的とする。以上を鑑み、本発明の一形態は、少なくとも、正極と、正極と電解質を介して対向するように設けられた負極とを有する蓄電装置であり、正極は、集電体と、集電体上に設けられた活物質を含む膜とで構成される。該活物質を含む膜は、3.5≦h/g≦4.5、0.6≦g/f≦1.1、かつ0≦e/f≦1.3を満たすLieFefPgOh及び3.5≦d/c≦4.5、0.6≦c/b≦1.8、かつ0.7≦a/b≦2.8を満たすLiaFebPcOdを含み、電解液と接する領域に3.5≦d/c≦4.5、0.6≦c/b≦1.8、かつ0.7≦a/b≦2.8を満たすLiaFebPcOdを有する。また、負極としては、リチウムを含まない材料を用いても良い。上記リン酸鉄リチウムは、電極作製後かつ電池動作前において、集電体と接する面においてはFeIIを含むリン酸鉄リチウムが形成され、電解液と接する面においてはFeIIIを含むリン酸鉄リチウムが形成される。FeIIを含むリン酸鉄リチウムの代表例としては、LiFePO4がある。FeIIIを含むリン酸鉄リチウムの代表例としては、Li3Fe2PO43がある。FeIIを含むリン酸鉄リチウム及びFeIIIを含むリン酸鉄リチウムは、アモルファス構造でもよい。あるいは、FeIIを含むリン酸鉄リチウムが結晶構造の場合は、オリビン構造のLiFePO4でもよい。また、FeIIIを含むリン酸鉄リチウムが結晶構造の場合は、ナシコン構造のLi3Fe2PO43でもよい。上記構成の正極の活物質は、2層以上の積層構造であってもよい。この場合には、例えば、正極は、集電体と、集電体上に設けられた活物質Aを含む膜と、活物質Aを含む膜上に設けられた活物質Bを含む膜と、の積層構造で構成される。電極作製後かつ電池動作前において、活物質AはFeIIを含むリン酸鉄リチウムを有し、活物質BはFeIIIを含むリン酸鉄リチウムである。正極において、電解質と接する面に活物質Bを含む膜を配置する。したがって活物質Bを含む膜は、活物質Aを含む膜と電解質との間に位置することになる。なお、活物質Aは、少なくともFeIIを含むリン酸鉄リチウムを有すればよく、例えばFeIIを含むリン酸鉄リチウム及びFeIIIを含むリン酸鉄リチウムを有してもよい。上記構成において、活物質Aに含まれるFeIIを含むリン酸鉄リチウムは、3.5≦h/g≦4.5、0.6≦g/f≦1.1、かつ0≦e/f≦1.3を満たすLieFefPgOhである。活物質BであるFeIIIを含むリン酸鉄リチウムは、3.5≦d/c≦4.5、0.6≦c/b≦1.8、かつ0.7≦a/b≦2.8を満たすLiaFebPcOdである。上記構成において、活物質Aを含む膜及び活物質Bを含む膜は、アモルファス構造でもよい。あるいは、活物質Aが結晶構造の場合は、オリビン構造のLiFePO4でもよい。また、活物質Bが結晶構造の場合は、ナシコン構造のLi3Fe2PO43でもよい。本発明の一態様は、正極と、正極と電解質を介して対向するように設けられた負極とを有する蓄電装置の作製方法であって、正極の作製工程は、集電体上に活物質Aを含む膜を形成した後、活物質Aを含む膜上に活物質Bを含む膜を形成する。前記活物質AはFeIIを含むリン酸鉄リチウムを含み、活物質BはFeIIIを含むリン酸鉄リチウムである。本発明の一態様は、正極と、正極と電解質を介して対向するように設けられた負極とを有する蓄電装置の作製方法であって、正極の作製工程は、集電体上にスパッタリング法を用いて活物質Aを含む膜を形成した後、活物質Aを含む膜上にスパッタリング法を用いて活物質Bを含む膜を形成する工程を有し、積層された2つの膜は同一のターゲットを用いて形成する工程を有する蓄電装置の作製方法である。前記活物質AはFeIIを含むリン酸鉄リチウムを有し、活物質BはFeIIIを含むリン酸鉄リチウムである。上記構成において、スパッタリング法に用いられるターゲットはFeIIを含むリン酸鉄リチウムを主成分とする材料であり、スパッタリング法により活物質Aを含む膜を形成する際の成膜雰囲気の酸素分圧が0以上0.01以下であり、活物質Bを含む膜を形成する際の成膜雰囲気の酸素分圧が0.1以上、好ましくは1以上である。本発明の一態様によって、簡易な方法で、信頼性が高く、かつ良好な電池特性を有する蓄電装置を作製することができる。以下に、実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、以下の実施の形態は多くの異なる形態で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。本実施の形態では、蓄電装置の構造の一例について説明する。図1は、蓄電装置に用いる正極の構造の一例である。正極101は、集電体103と、集電体103上に形成された活物質Aを含む膜105と、活物質Aを含む膜105上に形成された活物質Bを含む膜107と、を有している。活物質Aは、少なくともFeIIを含むリン酸鉄リチウムを用いる。また、活物質Bは、FeIIIを含むリン酸鉄リチウムである。なお、活物質AはFeIIを含むリン酸鉄リチウムを含んでいればよく、例えばFeIIを含むリン酸鉄リチウム及びFeIIIを含むリン酸鉄リチウムを含んでもよい。本実施の形態では、活物質AとしてFeIIを含むリン酸鉄リチウムを用いた場合について説明する。活物質Aに含まれるFeIIを含むリン酸鉄リチウムLieFefPgOhは、3.5≦h/g≦4.5、0.6≦g/f≦1.1、かつ0≦e/f≦1.3を満たす。活物質BであるFeIIIを含むリン酸鉄リチウムLiaFebPcOdは、3.5≦d/c≦4.5、0.6≦c/b≦1.8、かつ0.7≦a/b≦2.8を満たす。また、0.6≦g/f≦1.1及び0.6≦c/b≦1.8であり、かつg/f<c/bの関係を有する。当該関係から、FeIIを含むリン酸鉄リチウムLieFefPgOhと比較して、FeIIIを含むリン酸鉄リチウムLiaFebPcOdは、Feに対するPの割合c/bが高い。また、0≦e/f≦1.3及び0.7≦a/b≦2.8、かつe/f<a/bであり、FeIIを含むリン酸鉄リチウムLieFefPgOhと比較して、FeIIIを含むリン酸鉄リチウムLiaFebPcOdは、Feに対するLiの割合a/bが高い。また、e/f<a/bの関係からも、FeIIを含むリン酸鉄リチウムLieFefPgOhと比較して、FeIIIを含むリン酸鉄リチウムLiaFebPcOdは、Feに対するLiの割合a/bが高いことが分かる。活物質Aに含まれるFeIIを含むリン酸鉄リチウムLieFefPgOhの代表例としては、LiFePO4h/g=4、g/f=1、e/f=1がある。LiFePO4はアモルファス構造でもよい。LiFePO4が結晶構造の場合は、オリビン構造である。FeIIIを含むリン酸鉄リチウムLiaFebPcOdの代表例としては、Li3Fe2PO43d/c=4、c/b=1.5、a/b=1.5がある。Li3Fe2PO43はアモルファス構造でもよい。Li3Fe2PO43が結晶構造の場合は、ナシコン構造である。活物質Aを含む膜105及び活物質Bを含む膜107は、活物質の薄膜、活物質の粒子が分散された膜、又は活物質の粒子の集合体とすることができる。活物質Aを含む膜105の膜厚は、50nm以上30μm以下とすることが好ましい。また活物質Bを含む膜107の膜厚は、5nm以上1μm以下とすることが好ましい。さらに活物質Bを含む膜107の膜厚は、活物質Aを含む膜105の膜厚の半分以下であることで、放電容量の低減を抑えることができる。また、活物質Aを含む膜105及び活物質Bを含む膜107に活物質の粒子が含まれる場合即ち、活物質の粒子が分散された膜、又は活物質の粒子の集合体である場合、粒子の直径は5nm以上200nm以下とすることが好ましい。本実施の形態においては、スパッタリング法により活物質Aを含む膜105及び活物質Bを含む膜107を形成する。ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン、クリプトン等の希ガスをスパッタリングガスとし、FeIIを含むリン酸鉄リチウムを主成分とするターゲットをスパッタリングして、活物質Aを含む膜105を集電体103上に形成する。このとき、処理室内の酸素分圧を0以上0.01以下とすることで、活物質Aを含む膜105として、FeIIを含むリン酸鉄リチウムを形成することができる。次に、酸素分圧が0.1以上、好ましくは1以上のヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン、クリプトン等の希ガスをスパッタリングガスとし、FeIIを含むリン酸鉄リチウムを主成分とするターゲットをスパッタリングして、活物質Aを含む膜105上に活物質Bを含む膜107を形成する。このとき、処理室内の酸素分圧を0.1以上、好ましくは1以上とすることで、活物質Bを含む膜107として、FeIIIを含むリン酸鉄リチウムを形成することができる。活物質Aを含む膜105及び活物質Bを含む膜107は同一チャンバーにおいて連続的に形成することができ、プロセスの簡略化ができる。また、同一チャンバーにおいて連続的に形成することにより、界面の汚染を防ぐことができ、電気特性の良好な活物質を含む膜を得ることができる。また、酸化に対して安定で酸化されにくい活物質Bを含む膜107を正極の表面に形成することにより、大気雰囲気におけるFeIIを含むリン酸鉄リチウムの自然酸化を抑えることができる。ここでは、ターゲットにFeIIを含むリン酸鉄リチウムを含む材料を用いる。スパッタリングガスをAr=100としてターゲットをスパッタリングして、活物質Aを含む膜105として、膜厚400nmの非晶質構造のFeIIを含むリン酸鉄リチウム膜を形成する。次いで、同じターゲットを用いて活物質Aを含む膜105上にスパッタリングガスをAr=99,O2=1としてターゲットをスパッタリングして、活物質Bを含む膜107として、膜厚40nmの非晶質構造のFeIIIを含むリン酸鉄リチウム膜を形成する。さらに、得られた活物質Aを含む膜105および活物質Bを含む膜107を熱処理して結晶化してもよい。酸化に対して安定で酸化されにくい膜であるFeIIIを含むリン酸鉄リチウムを、正極の活物質であるFeIIを含むリン酸鉄リチウムの表面に形成することにより、熱処理時の残留酸素雰囲気による表面酸化の懸念がなく、安定な膜を得ることができる。なお、集電体103の材料としては、特に限定されないが、アルミニウム、チタン等の導電性の高い材料を用いることができる。次に、上記正極を用いた蓄電装置の構造の一例について説明する。図2は、蓄電装置の構造の一例であり、正極101と、正極101と電解質201を介して対向するように設けられた負極203とを有している。また、正極101と負極203との間には、セパレータ205を有している。電解質201は、リチウムイオンを伝導する機能を有する。電解質201の材料としては、液体又は固体を用いることができる。液体の場合、溶媒と、溶媒に溶解される溶質塩とを含んでいる。溶媒としては、例えば、プロピレンカーボネート若しくはエチレンカーボネート等の環状カーボネート、又はジメチルカーボネート若しくはジエチルカーボネート等の鎖状カーボネートを用いることができる。溶質塩としては、例えば、LiPF6、LiBF4、又はLiCF3SO22NLiTFSA等、軽金属塩リチウム塩等を1種又は2種以上含んでいるものを用いることができる。固体の場合、例えば、Li3PO4、Li3PO4に窒素を混ぜたLixPOyNzx、y、zは正の実数、Li2S-SiS2、Li2S-P2S5、Li2S-B2S3等を用いることができる。また、これらにLiIなどをドープしたものを用いることができる。セパレータ205は、正極101と負極203との接触を防止するとともに、リチウムイオンを通過させる機能を有する。セパレータ205の材料としては、例えば、紙、不織布、ガラス繊維、あるいは、ナイロンポリアミド、ビニロンポリビニルアルコール系繊維、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリエステル、アクリル樹脂、ポリウレタンといった高分子材料を用いることもできる。ただし、電解質に溶解しない材料を選ぶ必要がある。なお、電解質201に固体電解質を適用すれば、セパレータ205を省略した構成とすることも可能である。負極203は、集電体209と、活物質を含む膜207とを有する。集電体209の材料としては、特に限定されないが、白金、アルミニウム、銅、チタン等の導電性の高い材料を用いることができる。活物質を含む膜207を形成する活物質の材料としては、特に限定されないが、黒鉛等の炭素材料、シリコン等を用いることができる。本実施の形態においては、黒鉛を用いて負極の活物質を含む膜207を形成する。正極101は、図1に示す集電体103上に形成される活物質Aを含む膜105及び活物質Aを含む膜105上に形成される活物質Bを含む膜107で構成する。次に、蓄電装置としてリチウム二次電池を用いた場合について、充放電の一例を説明する。充電は、図2Bに示すように、正極101と負極203との間に電源211を接続することで行われる。電源211から電圧が印加されると、正極101の活物質Aを含む膜105からリチウムイオン213が脱離するとともに、電子215が発生する。リチウムイオン213は、電解質201を介して負極203に移動する。電子215は、電源211を介して負極203に移動する。そして、リチウムイオン213は、負極203で電子215を受け取り、リチウムとして負極203に挿入される。充電においては、正極101からのリチウムイオンの脱離に伴い、正極の活物質Aを含む膜105に含まれるリン酸鉄リチウムにおいて、FeIIからFeIIIへの酸化反応が生じる。しかしながら本実施の形態においては、活物質Bを含む膜107において、活物質BはFeIIIを含むリン酸鉄リチウムであり、FeIIIからFeIVへの反応は起きにくいため、初回の充電において活物質Bを含む膜107からのリチウムイオンの脱離は生じない。一方、放電は、図2Cに示すように、正極101と負極203の間に負荷217を接続することで行われる。充電によって負極203に挿入されたリチウムがイオン化し、リチウムイオン213が負極203から脱離するとともに、電子215が発生する。リチウムイオン213は、電解質201を介して正極101に移動する。電子215は、負荷217を介して正極101に移動する。そして、リチウムイオン213は活物質Bを含む膜107を経て活物質Aを含む膜105に取り込まれ、その際、充電時に生成したFeIIIが電子215を受け取って還元されFeIIが生成される。放電において、リチウムイオンの一部は活物質Bを含む膜107に取り込まれる。しかしながら、活物質Aを含む膜105に対して活物質Bを含む膜107を薄くすることにより、活物質Bにおけるリチウムイオンの取り込み量を最小限に抑えることができる。本実施の形態で示した正極101は、活物質Aを含む膜105上に活物質Bを含む膜107を有し、活物質AはFeIIを含むリン酸鉄リチウムを含み、活物質Bを酸化に対して安定なFeIIIを含むリン酸鉄リチウムとすることにより、安定な特性を有する電極を形成することができ、蓄電装置の電池特性が向上する。"