"清浄な雰囲気ガスが供給される作業室内で予め設定された作業を行う際の塵埃監視方法であって、前記作業室内を複数の測定領域に区画する測定領域区画工程と、前記作業を試行しつつ、前記作業室における流入口、排気口、および前記複数の測定領域同士の各境界面における前記雰囲気ガスの移動量の時系列データである雰囲気ガス移動量データを取得する雰囲気ガス移動量データ取得工程と、前記雰囲気ガス移動量データを記憶する雰囲気ガス移動量データ記憶工程と、を予め行った後、前記作業を行う際に、前記複数の測定領域ごとの浮遊塵埃数を測定し、前記複数の測定領域ごとの全浮遊塵埃数を推定して、時系列の浮遊塵埃数分布を算出する浮遊塵埃数分布算出工程と、前記雰囲気ガス移動量データ工程で記憶された前記雰囲気ガス移動量データを用いて前記時系列の浮遊塵埃数分布から、前記複数の測定領域に対する塵埃の移動収支を算出し、前記複数の測定領域における塵埃の発生量および付着量を推定する塵埃状況推定工程と、前記塵埃の発生量および付着量に基づく塵埃状況を通知する塵埃状況通知工程と、を行うことを特徴とする塵埃監視方法。前記浮遊塵埃数分布算出工程、前記塵埃状況推定工程、および前記塵埃状況通知工程を、前記浮遊塵埃数の測定に同期して行うことを特徴とする請求項1に記載の塵埃監視方法。清浄な雰囲気ガスが供給される作業室内で予め設定された作業を行う生産装置であって、前記作業室内を複数の測定領域に区画して前記作業を予め試行した際に、前記作業室における流入口、排気口、および前記複数の測定領域同士の各境界面における前記雰囲気ガスの移動量の時系列データとして取得された雰囲気ガス移動量データを記憶する雰囲気ガス移動量データ記憶部と、前記複数の測定領域ごとの浮遊塵埃数を測定する塵埃測定器と、該塵埃測定器による前記浮遊塵埃数に基づいて、前記複数の測定領域ごとの全浮遊塵埃数を推定して、時系列の浮遊塵埃数分布を算出する浮遊塵埃数分布算出部と、前記雰囲気ガス移動量データ記憶部に記憶された前記雰囲気ガス移動量データを用いて前記時系列の浮遊塵埃数分布から、前記複数の測定領域に対する塵埃の移動収支を算出し、前記複数の測定領域における塵埃の発生量および付着量を推定する塵埃状況推定部と、前記塵埃の発生量および付着量に基づく塵埃状況を通知する塵埃状況通知部と、を備えることを特徴とする生産装置。しかしながら、上記のような従来の塵埃監視方法および生産装置には以下のような問題があった。特許文献1に記載の技術では、ダストセンサを生産装置に投入し、ダストセンサに付着した塵埃を検出することで発塵元を特定する。しかし、生産作業の対象であるワークが小型の場合、ワークにダストセンサを搭載することが困難であるという問題がある。また、発塵元がダストセンサの付着箇所から離れており、発塵元から浮遊して付着する場合は、発塵元を特定することは困難であるという問題がある。また、特許文献2に記載の技術では、クリーンルーム内に一方向層流が発生しているため、床面上の塵埃分布から発塵元を特定することができるが、例えば乱流型のクリーン生産装置、クリーンルームのように、発塵元からの塵埃の移動経路が複雑に変化する場合、発塵元を特定することができないという問題がある。また、塵埃の移動経路上の多くの箇所で、塵埃分布を測定して、発塵元を特定することも考えられるが、この場合には、作業室内に多数の塵埃測定器を設置する必要があるため、生産装置やクリーンルームの構成が複雑になり、塵埃測定器を増やすにつれて、生産作業に用いることができる空間が減少していくという問題がある。本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、簡素な構成であっても、作業室内の塵埃状況をよりよく監視することができる塵埃監視方法および生産装置を提供することを目的とする。上記の課題を解決するために、請求項1に記載の発明では、清浄な雰囲気ガスが供給される作業室内で予め設定された作業を行う際の塵埃監視方法であって、前記作業室内を複数の測定領域に区画する測定領域区画工程と、前記作業を試行しつつ、前記作業室における流入口、排気口、および前記複数の測定領域同士の各境界面における前記雰囲気ガスの移動量の時系列データである雰囲気ガス移動量データを取得する雰囲気ガス移動量データ取得工程と、前記雰囲気ガス移動量データを記憶する雰囲気ガス移動量データ記憶工程と、を予め行った後、前記作業を行う際に、前記複数の測定領域ごとの浮遊塵埃数を測定し、前記複数の測定領域ごとの全浮遊塵埃数を推定して、時系列の浮遊塵埃数分布を算出する浮遊塵埃数分布算出工程と、前記雰囲気ガス移動量データ工程で記憶された前記雰囲気ガス移動量データを用いて前記時系列の浮遊塵埃数分布から、前記複数の測定領域に対する塵埃の移動収支を算出し、前記複数の測定領域における塵埃の発生量および付着量を推定する塵埃状況推定工程と、前記塵埃の発生量および付着量に基づく塵埃状況を通知する塵埃状況通知工程と、を行う方法とする。請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の塵埃監視方法において、前記浮遊塵埃数分布算出工程、前記塵埃状況推定工程、および前記塵埃状況通知工程を、前記浮遊塵埃数の測定に同期して行う方法とする。請求項3に記載の発明では、清浄な雰囲気ガスが供給される作業室内で予め設定された作業を行う生産装置であって、前記作業室内を複数の測定領域に区画して前記作業を予め試行した際に、前記作業室における流入口、排気口、および前記複数の測定領域同士の各境界面における前記雰囲気ガスの移動量の時系列データとして取得された雰囲気ガス移動量データを記憶する雰囲気ガス移動量データ記憶部と、前記複数の測定領域ごとの浮遊塵埃数を測定する塵埃測定器と、該塵埃測定器による前記浮遊塵埃数に基づいて、前記複数の測定領域ごとの全浮遊塵埃数を推定して、時系列の浮遊塵埃数分布を算出する浮遊塵埃数分布算出部と、前記雰囲気ガス移動量データ記憶部に記憶された前記雰囲気ガス移動量データを用いて前記時系列の浮遊塵埃数分布から、前記複数の測定領域に対する塵埃の移動収支を算出し、前記複数の測定領域における塵埃の発生量および付着量を推定する塵埃状況推定部と、前記塵埃の発生量および付着量に基づく塵埃状況を通知する塵埃状況通知部と、を備える構成とする。本発明の塵埃監視方法および生産装置によれば、作業室内を複数の測定領域に区画して予め作業室における流入口、排気口、および複数の測定領域同士の各境界面における雰囲気ガスの移動量の時系列データである雰囲気ガス移動量データを取得し、作業中に浮遊塵埃数を測定して得られる浮遊塵埃数分布と雰囲気ガス移動量データとから、塵埃状況を推定するため、簡素な構成であっても、作業室内の塵埃状況をよりよく監視することができるという効果を奏する。以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明の実施形態に係る生産装置について説明する。図1は、本発明の実施形態に係る生産装置の概略構成を示す模式的な正面図である。図2aは、図1におけるA視の側面図である。図2bは、図1におけるB視の側面図である。図3は、本発明の実施形態に係る生産装置の制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。図4は、本発明の実施形態に係る塵埃監視方法の雰囲気ガス移動量データについて説明する模式図である。本実施形態の生産装置1の概略構成は、図1に示すように、生産作業を行うための作業室2と、ファンフィルタユニット以下、FFU4と、パーティクルモニタ以下、P/M5塵埃測定器と、電装部3と、制御ユニット6と、表示部7と、を備える。生産装置1の用途は、清浄な雰囲気下で生産作業を行う用途であって、作業対象のワークを代えて同様な手順を繰り返す生産作業を行うものであれば、特に限定されない。ここで、生産作業とは、製品を生産するために、製品の一部または全部を構成する部材、部品、あるいは組立体などからなるワークに対して施す何らかの作業や処理を意味する。例えば、加工、表面処理、洗浄、組立、検査、測定、修理、梱包などの作業や処理を挙げることができる。また、これらの作業や処理を行うために、ワークの姿勢や位置を変更したり、複数のワークを分別したり、集合させたり、並べ替えたりする作業も含まれる。また、製品とは、生産装置1の生産作業による完成品を意味しており、市場に供給される最終製品に対しては半製品の状態であってもよい。以下では、生産装置1の生産作業の一例として、部品組立作業とそれに伴う部品移動作業とが行われる場合の例で説明する。作業室2は、図1、図2a、bに示すように、直方体状の外形を有し、電装部3上に設けられた平面視矩形状の床面部2Yと、床面部2Yの外周の四辺上に立設された前側板2F、右側板2R、後側板2B、左側板2Lと、これら前側板2F、右側板2R、後側板2B、左側板2Lの上端を覆う天板2Tとを備える。前側板2F、右側板2R、後側板2B、左側板2L、および天板2Tは、雰囲気ガスを遮蔽することができる適宜の板部材を採用することができる。これらはすべて不透明な材料で構成されていてもよいが、少なくとも一部が透明な材料で構成され、作業室2の内部を外側から観察できるようになっていることが好ましい。作業室2の内部は、後述する測定領域区画工程を行うことにより仮想的な複数の測定領域に予め区画される。本実施形態では、一例として、4つの直方体状の測定領域2a、2b、2c、2dに区画される。以下、簡単のため、測定領域2a、2b、2c、2dのように、アルファベットの添字がアルファベット順に連続する符号は測定領域2a~2dのように略記する場合がある。また、式番、図番においても同様に略記法を採用する場合がある。測定領域2a~2dは、作業室2を前側板2Fから後側板2Bに向かう方向正面視の方向に見たときに、前側板2Fの中心を通る仮想的な水平面および鉛直面によって仕切られる4つの仮想領域であり、測定領域2aは左上、測定領域2bは右上、測定領域2cは左下、測定領域2dは右下にそれぞれ設定される。以下では、測定領域2a、2bの間の鉛直方向に沿う境界面を境界面Sab、測定領域2b、2dの間の水平方向に沿う境界面を境界面Sbd、測定領域2c、2dの間の鉛直方向に沿う境界面を境界面Scd、測定領域2a、2cの間の水平方向に沿う境界面を境界面Sacと称する。これらの境界面Sab、Sbd、Scd、Sacの設定位置は、例えば、床面部2Yからの高さと、左側板2Lからの水平距離とによって規定される。このため、後述する雰囲気ガス移動量データを取得する流速計を、これらの仮想的な境界面Sab、Sbd、Scd、Sac上に配置することが可能である。前側板2Fは、作業室2の正面視の前面側の側面を形成する部材であり、測定領域2a、2b、2c、2dのそれぞれの中心となる位置に、後述するサンプリングチューブ5a、5b、5c、5dを着脱可能に装着する吸引ポート9a、9b、9c、9dが設置されている。吸引ポート9a~9dは、サンプリングチューブ5a~5dを外した場合には、開口を封止し、作業室2内の雰囲気ガスの流出を防止できるようになっている。右側板2Rは、作業室2の正面視向かって右側の側面を形成する部材である。右側板2Rの下半部には、側方に向かって開閉可能な開閉扉2Kが設けられている。開閉扉2Kの下端は、開閉扉2Kの閉止時において、床面部2Yに対してわずかに離間されている。これにより、右側板2Rの下部と床面部2Yとの間には、図2bに示すように、側面視で横長の矩形状の隙間からなる右排気口2D排気口が形成されている。開閉扉2Kは、生産作業の前後において、作業室2内にワークや生産作業に必要な装置を搬入したり、搬出したりするためのもので、本実施形態では生産作業中は、閉じられている。後側板2Bは、作業室2の正面視の後面側の側面を形成する部材であり、本実施形態では、床面部2Yから天板2Tの間の全体を覆っている。左側板2Lは、作業室2の正面視向かって左側の側面を形成する部材である。左側板2Lの下部には、図2aに示すように、側面視で横長の矩形状の隙間からなる左排気口2C排気口が形成されている。左排気口2Cは、右排気口2Dの開口形状および開口面積が異なっていてもよいが、本実施形態では、互いに同形状、同面積に形成されている。天板2Tの上部の中央には、作業室2内に清浄なエア空気を雰囲気ガスとして供給するFFU4が設置されている。FFU4は、特に詳細の構成は図示しないが、上部に設けられた吸気口と下部に設けられた吹き出し口とを有し、吸気口と吹き出し口との間に、ファンおよびフィルタが内蔵されている。このような構成により、ファンの回転によって吸気口から外気を吸引し、フィルタを通過させることで、吸引した外気に含まれる塵埃を除去し、所定のクリーン度に浄化されたエアを、下面側の吹き出し口から吹き出すものである。本実施形態では、吹き出し口は、測定領域2aの上方および測定領域2bの上方にそれぞれ設けられている。また、天板2Tには、図2a、bに示すように、これらFFU4の吹き出し口と対向する位置に、板厚方向に貫通する開口部である左流入口2g流入口、右流入口2h流入口が設けられている。これにより、FFU4から供給される清浄なエアが、左流入口2g、右流入口2hを通して、それぞれを測定領域2a、2b内に吹き出されるようになっている。また作業室2の内部には、生産作業を行うための種々の機器が必要に応じて配備されている。また、生産作業の開始前には、生産作業の作業対象であるワークが搬入される。例えば、本実施形態では、測定領域2c内の床面部2Y上において前側板2Fの近傍の位置に、ワークである部品12を載置する作業台11が設置されている。また、部品12を移動したり、他の部品12との組立作業を行ったりするための作業ロボット13が設置されている。作業ロボット13は、先端部に部品12を把持および把持解除するハンド部13aを備える多関節ロボットであり、その基端部が、前側板2Fと後側板2Bとの対向方向に沿って延ばされた1軸ステージ14によって前側板2Fと後側板2Bとの間で往復移動可能に支持されている。また、1軸ステージ14は、測定領域2a、2b内の前側板2Fおよび後側板2Bの内周面にそれぞれ水平方向に延ばして固定された一対の1軸ステージ15によって、右側板2Rと左側板2Lとの間で往復移動可能に支持されている。このため、作業ロボット13の基端部は、1軸ステージ14、15が設置された測定領域2a、2b内で水平移動可能に支持されている。また、作業ロボット13のハンド部13aは、作業ロボット13の関節の屈曲自由度に応じて、床面部2Yの近傍から作業ロボット13の基端部の範囲で移動できるようになっている。P/M5は、作業室2内の浮遊塵埃数を測定する塵埃測定器であり、作業室2の外部に配置されている。本実施形態では、測定領域2a~2dに対応して4箇所における浮遊塵埃数の測定を行うため、P/M5としては、4本のサンプリングチューブ5a~5dを備え、これらサンプリングチューブ5a~5dで吸引したエアに含まれる浮遊塵埃数を独立して計測可能な4チャンネルのパーティクルモニタを採用している。P/M5の構成は、作業室2内の浮遊塵埃数を精度よく測定できれば特に限定されない。本実施形態では、粒径0.5μm以上の塵埃を計数できれば、適宜の方式を採用することができる。例えば、光散乱方式などのパーティクルモニタを好適に採用することができる。このようなP/M5では、一定量のエアをサンプリングチューブ5a等で吸引し、吸引したエアに含まれる塵埃数を計数する。P/M5は、制御ユニット6と電気的に接続され、P/M5で測定された浮遊塵埃数の測定値は、逐次、または制御ユニット6からの要求に応じて制御ユニット6に出力されるようになっている。P/M5の測定周期Δtは、予想される塵埃の移動速度等を考慮して適宜に設定することができるが、本実施形態では、一例として、Δt=1sの一定周期としている。サンプリングチューブ5a~5dの先端部は、それぞれ吸引ポート9a~9dを通して、それぞれ測定領域2a~2d内に着脱可能に挿入されている。なお、作業室2内の浮遊塵埃数の測定を行わない場合には、吸引ポート9a~9dからサンプリングチューブ5a~5dを引き抜き、吸引ポート9a~9dの開口を封止しておくことができる。作業室2内における各サンプリングチューブ5a~5dの吸引口5eの位置は、吸引したエアの塵埃数から測定領域2a~2d内に浮遊する塵埃数を精度よく推定できる位置に設ける。一般には、測定領域2a~2dの中心位置もしくは中心位置に近い位置が好ましい。ただし、好適な配置位置は、作業室2の大きさや形成される気流の経路等によっても変わるため、予め実験を行うなどして好適な配置位置に設定しておく。本実施形態では、各測定領域2a~2dにおいて、吸引ポート9a~9dを通る中心線上では、前側板2Fまたは後側板2Bのごく近傍の位置を除いて浮遊塵埃数分布は略一定であった。このため、吸引ポート9a~9dを通る中心線上における各吸引口5eの位置は、生産作業の妨げにならないように中心線上の中央よりは前側板2F側の位置に設定している。本実施形態では、具体的には、各吸引口5eの位置はいずれも、前側板2Fと後側板2Bとの対向間隔が800mmに対して、前側板2Fからの水平距離が200mmとなる位置に設定している。電装部3は、生産装置1に電力を供給するとともに生産装置1の動作制御を行うものであり、作業室2の下側の筐体内に設けられている。具体的には、電装部3は、図示略の配線によって、FFU4、作業ロボット13、1軸ステージ14、15、P/M5、制御ユニット6に電気的に接続され、図示略の操作部を通した操作入力に基づいて、これらの動作制御を行うことができるようになっている。電装部3による動作制御は、予め設定された生産作業に対応するシーケンス動作を実行するシーケンス制御である。制御ユニット6は、P/M5からの出力に基づいて作業室2内の塵埃状況を監視し、必要に応じて塵埃状況の通知を行うものであり、図3に示すように、P/M5、電装部3、および表示部7に電気的に接続されている。制御ユニット6の機能構成は、浮遊塵埃数分布算出部21、記憶部24雰囲気ガス移動量データ記憶部、塵埃状況推定部22、および塵埃状況通知部23を備える。浮遊塵埃数分布算出部21は、P/M5による測定領域2a~2dごとの浮遊塵埃数の測定値に基づいて測定領域2a~2dごとの全浮遊塵埃数を推定して、時系列の浮遊塵埃数分布を算出するものである。具体的な算出方法については後述する。浮遊塵埃数分布算出部21で算出した時系列の浮遊塵埃数分布は、塵埃状況推定部22に送出される。記憶部24は、制御ユニット6内で行う計算に必要なデータを記憶するものである。記憶部24に記憶されるデータとしては、測定領域2a~2dの容積V1、V2、V3、V4、P/M5の測定周期Δt、P/M5の測定周期Δt間のエア吸引量f、およびエア移動量データ雰囲気ガス移動量データを挙げることができる。これらのデータは、制御ユニット6に接続された入力部8を通して、予め入力されることにより記憶される。入力部8は、例えば、手動入力を行うキーボード、異なる記憶媒体に記憶されたデータを記憶部24に転送する通信ポートなどの適宜の入力手段から構成される。ここで、本実施形態におけるエア移動量データについて説明する。エア移動量データとは、作業室2における流入口、排気口、および複数の測定領域同士の各境界面におけるエアの移動量の時系列データである。本実施形態では、生産作業の開始から終了までの時間を、P/M5の測定周期Δtに同期してN分割して、時刻列{t0,...,tn-1,tn,...,tN}ただし、Nは2以上の整数、nは1以上N以下の整数とするとき、時刻tn-1から時刻tnまでの間の時間Δtの間に移動するエアの移動量をエア移動量データFijtni=0,1,2,3,4,5、j=0,1,2,3,4,5と表記する。ここで、添字ijは、測定位置、測定方向を区別する整数であり、エリアiからエリアjに移動するエアの移動量を意味し、エリア0は作業室2の外部領域、エリア1~4は、それぞれ測定領域2a~2d、エリア5はFFU4の内部領域を意味する図4参照。本実施形態では、図4に示すように、例えば、測定領域2aと測定領域2d等、境界面を有しない組合せがあり、左流入口2g、右流入口2hは吹き出しのみ、左排気口2C、右排気口2Dは排気のみである。このため、具体的には、添字ijは、以下の組合せに限定される。エア移動量データF51tnは、作業室2の外部のFFU4から左流入口2gを通して測定領域2aに流入するエアの移動量である。エア移動量データF52tnは、右流入口2hを通して測定領域2bに流入するエアの移動量である。また、エア移動量データF12tnは、境界面Sabを通して測定領域2aから測定領域2bに流入するエアの移動量である。エア移動量データF21tnは、境界面Sabを通して測定領域2bから測定領域2aに流入するエアの移動量である。また、エア移動量データF13tnは、境界面Sacを通して測定領域2aから測定領域2cに流入するエアの移動量である。エア移動量データF31tnは、境界面Sacを通して測定領域2cから測定領域2aに流入するエアの移動量である。また、エア移動量データF24tnは、境界面Sbdを通して測定領域2bから測定領域2dに流入するエアの移動量である。エア移動量データF42tnは、境界面Sbdを通して測定領域2dから測定領域2bに流入するエアの移動量である。また、エア移動量データF34tnは、境界面Scdを通して測定領域2cから測定領域2dに流入するエアの移動量である。エア移動量データF43tnは、境界面Scdを通して測定領域2dから測定領域2cに流入するエアの移動量である。また、エア移動量データF30tnは、左排気口2Cを通して測定領域2cの外部に排気されるエアの移動量である。エア移動量データF40tnは、右排気口2Dを通して測定領域2dの外部に排気されるエアの移動量である。これらのエア移動量データの取得方法については後述する。塵埃状況推定部22は、記憶部24に記憶されたエア移動量データFijtnを用いて浮遊塵埃数分布算出部21で算出された時系列の浮遊塵埃数分布から、測定領域2a、2b、2c、2dに対する塵埃の移動収支を算出し、測定領域2a、2b、2c、2dにおける塵埃の発生量および付着量を推定するものである。具体的な推定方法については後述する。塵埃状況推定部22で推定された塵埃の発生量および付着量は、塵埃状況通知部23に送出される。塵埃状況通知部23は、塵埃状況推定部22から送出された測定領域2a~2dごとの塵埃の発生量および付着量に基づく塵埃状況を通知するため、表示用データを生成し、表示部7に送出するものである。表示用データとしては、例えば、測定領域2a~2dごとの塵埃の発生量および付着量の数値データ、これらの数値データをグラフに加工した画像データ、数値データが所定の許容値を超えたかどうかを表示する文字データまたは画像データ等を挙げることができる。制御ユニット6の装置構成は、本実施形態では、CPU、メモリ、入出力インターフェース、外部記憶装置などを備えるコンピュータを採用しており、上記の演算機能をコンピュータによる演算プログラムを実行することで実現している。表示部7は、塵埃状況通知部23から送出された表示用データを表示画面7aに表示するものである。次に、生産装置1の動作について、本実施形態の塵埃監視方法を中心に説明する。図5は、本発明の実施形態に係る塵埃監視方法の浮遊塵埃数分布算出工程、塵埃状況推定工程、および塵埃状況通知工程の工程フローを示すフローチャートである。図6は、本発明の実施形態に係る塵埃監視方法の塵埃状況推定工程の一部の工程フローを示すフローチャートである。図7a、bは、本発明の実施形態に係る塵埃監視方法の塵埃状況推定工程の原理説明図である。図8a、b、c、d、eは、本発明の実施形態に係る塵埃監視方法による塵埃状況の数値例を示す模式図である。生産装置1は、上記のように構成されることで、作業室2内で生産作業を行いつつ、本実施形態の塵埃監視方法を行うことができる。本実施形態の塵埃監視方法は、測定領域区画工程、雰囲気ガス移動量データ取得工程、および雰囲気ガス移動量データ記憶工程、を予め行った後、生産作業を行う際に、浮遊塵埃数分布算出工程、塵埃状況推定工程、および塵埃状況通知工程を行う方法である。まず、測定領域区画工程では、作業室2内を複数の測定領域に区画する。測定領域は仮想的な領域であり、測定領域の境界面においてエアの流量測定が可能であれば、測定領域の大きさや領域数は特に限定されない。例えば、作業室2内を均等に区画した複数の測定領域を設定してもよいし、不均等に区画した複数の測定領域を設定してもよい。また、本実施形態の塵埃監視方法では、複数の測定領域ごとに塵埃の発生量および付着量を推定して塵埃状況を監視するため、測定領域は、塵埃の発生が予想される領域や、塵埃の吸着が問題となる領域に合わせて設定することが好ましい。例えば、発塵の原因となる可動部の配置領域や、塵埃の吸着を防止したいワークの配置領域を、それぞれ1つの測定領域に割り当てることによって、塵埃の監視がより有益となる。本実施形態では、測定領域2a~2dの4つの測定領域に区画している。測定領域2aは、可動部である作業ロボット13が、生産作業中に最も多く滞在する領域になっている。また、測定領域2cは、生産作業中にワークである部品12が主として配置される領域になっている。測定領域2a~2dが区画されると、測定領域2a~2dの容積V1、V2、V3、V4が決定される。本工程では、入力部8を通してこれらの数値を記憶部24に記憶させる。以上で、測定領域区画工程が終了する。次に、雰囲気ガス移動量データ取得工程を行う。本工程は、生産作業を試行しつつ、上記に説明したエア移動量データFijtnn=1,...,Nを取得する工程である。本工程では、まず、流速計図示略を、エリア0~5の各境界である、左流入口2g、右流入口2h、境界面Sab、Sac、Sbd、Scd、左排気口2C、右排気口2D以下、これらを総称する場合、境界面Sab等と称する場合があるに配置する。次に、作業室2内で、生産作業と同様な条件でFFU4からエアを供給して、生産作業を試行する。このとき、試行する生産作業は、正規の生産作業と同一の作業であってもよいし、エア移動量データFijtnを取得するための模擬的な生産作業であってもよい。模擬的な生産作業の場合、例えば、エア移動量の時系列変化に影響しない作業を変更または省略したり、部品12として正規の部品12と形状のみが同一で材質の異なるものを用いたりしてもよい。エア移動量データは、境界面上に流速計を配置し、生産作業試行中にその箇所を通過するエアの流速を測定しこの平均流速に境界面の面積を乗じて平均流量に換算して取得する。なお、境界面が広い箇所や双方向からの気流が想定される箇所は境界面内の複数のポイントで流速を測定することが好ましい。時刻tn-1、tn間においてエリアiからエリアjに流れるエア移動量データFijtnは、同時間のエアの平均流量をUijtnとすると、次式1で表される。Fijtn=UijtnΔt1以上で、雰囲気ガス移動量データ取得工程が終了する。なお、本実施形態では、P/M5による浮遊粉塵数の測定の際にP/M5が吸引する測定周期Δt当たりのエア吸引量fは、測定周期Δt当たりのFFU4からのエア吹き出し量に比べて微量である。このため、本工程における生産作業の試行にあたっては、P/M5によるエア移動量データの測定を行う必要はない。ただし、P/M5によるエア吸引量fがFFU4からのエア吹き出し量に対して無視できない大きさとなる場合には、本工程においてもP/M5による浮遊塵埃数の測定を行うようにする。この場合、正規の生産作業時と同様に、P/M5にエアが吸引されるため、正味のエア移動量データを取得することができる。次に、雰囲気ガス移動量データ記憶工程を行う。本工程は、エア移動量データFijtnを、制御ユニット6の記憶部24に記憶する工程である。例えば、流速計の出力を適宜のデータ処理用のパソコンに取り込み、上記式1に基づいて、エア移動量データFijtnを算出する演算を行い、演算結果を配列に格納する。この場合、データ処理用のパソコンを制御ユニット6の入力部8に設けられた通信ポートに接続して、パソコン内のエア移動量データFijtnを記憶部24に転送することによって記憶させることができる。また、予め、制御ユニット6内に、入力部8に接続された流速計から流速の測定データを取得し、流量を算出する流量算出部と、流量算出部で算出されたエア流量からエア移動量データFijtnを算出する演算を行う雰囲気ガス移動量算出部とを備え、雰囲気ガス移動量算出部で算出されたエア移動量データFijtnを記憶部24に記憶させる構成としてもよい。以上で雰囲気ガス移動量データ記憶工程が終了する。以上説明した測定領域区画工程、雰囲気ガス移動量データ取得工程、および雰囲気ガス移動量データ記憶工程は、生産装置1を用いて一定の生産作業を行う前に、少なくとも一回行えばよい。このため、雰囲気ガス移動量データ記憶工程が終了したら、作業室2から流速計を撤去する。また、サンプリングチューブ5a~5dが外されていた場合には、それぞれを吸引ポート9a~9dに挿入する。次に、作業室2内に、部品12等、生産作業に必要な部材を搬入して、FFU4を作動させ、電装部3によって生産作業のシーケンス制御を開始する。この生産作業の開始とともに、図5に示すフローにしたがって、浮遊塵埃数分布算出工程、塵埃状況推定工程、および塵埃状況通知工程を行う。まず、浮遊塵埃数分布算出工程を行う。本工程は、測定領域2a~2dごとの浮遊塵埃数を測定し、測定領域2a~2dごとの全浮遊塵埃数を推定して、時系列の浮遊塵埃数分布を算出する工程であり、以下に説明するステップS1~S4が該当する。なお、本実施形態では、FFU4内の浮遊塵埃数は、きわめて低い値で一定であるため、時系列での測定は行わない場合の例で説明する。ただし、FFU4内の浮遊塵埃数の変動が測定領域2a~2d内の浮遊塵埃数に影響する場合には、FFU4内の浮遊塵埃数の時系列測定を行うようにしてもよい。なお、以下では、数式の添字との対応が分かりやすいように、測定領域2a、2b、2c、2dを、それぞれエリア1、2、3、4と称する場合がある。ステップS1では、時刻t=0において、電装部3が生産装置1のシーケンス制御を開始し、生産作業とP/M5による測定とを開始する制御信号をP/M5および制御ユニット6に送出する。また、浮遊塵埃数分布算出部21においてカウンタnをn=0に初期化する。すなわち、t0=0である。P/M5は、電装部3からの制御信号により、測定動作を開始し、サンプリングチューブ5a~5dを介して測定領域2a~2dのエアを吸引し、吸引したエアに含まれる粒径0.5μm以上の微粒子の数を、予め設定された測定周期Δtごとにカウント計数していく。ステップS2は、電装部3からの制御信号に基づき浮遊塵埃数分布算出部21によって、P/M5の測定による測定領域2a、2b、2c、2dごとに、時刻tnにおいてカウントした塵埃のカウント値Cmtnただし、m=1、2、3、4を取得するステップである。ここで、添字mは、エリア1、2、3、4のカウント値であることを示す以下、他の変数の添字mも同じ。次にステップS3では、浮遊塵埃数分布算出部21は、エリア1~4に浮遊すると推定される浮遊塵埃数Emtn複数の測定領域ごとの全浮遊塵埃数を算出する。本実施形態では、各エリア内では、浮遊塵埃数の濃度は一定であるとの仮定の下に、次式2によって、浮遊塵埃数Emtnを算出している。ここで、式中の-1項は、P/M5によって吸引されたエアに含まれる塵埃がエリアm内から除去されることを考慮して設けた。次にステップS4では、浮遊塵埃数分布算出部21は、浮遊塵埃数Emtnを記憶部24に送出し、記憶部24に用意された配列に格納する。これにより、浮遊塵埃数Emtnが記憶される。以上で、時刻tnにおけるエリア1~4の浮遊塵埃数Emtnが推定されるため、作業室2におけるエリアごとの浮遊塵埃数分布が算出される。すなわち、t=tnにおける浮遊塵埃数分布算出工程が終了する。次にステップS5では、カウンタnが0かどうかを判定する。カウンタnが0の場合には、ステップS6に移行する。カウンタnが0でない場合には、ステップS9に移行する。ステップS6では、塵埃状況通知工程を行う。本工程は、測定領域2a~2dごとの塵埃の発生量および付着量に基づく塵埃状況を通知する工程である。ただし、n=0の場合には、初期状態であるため、塵埃の発生量および付着量は0である。このため、塵埃状況通知部23は、浮遊塵埃数分布算出部21によって算出された浮遊塵埃数Emt0を用いて表示用データを生成し、表示部7に送出する。これにより、n=0の場合の塵埃状況通知工程が終了する。nが1以上の場合の塵埃状況通知工程は、塵埃状況推定工程ステップS9~S11を説明した後に説明する。いずれも場合も、ステップS6が終了するとステップS7に移行する。次にステップS7では、浮遊塵埃数分布算出部21においてカウンタnをn=n1として更新する。次に、ステップS8では、生産装置1の操作部図示略を通して電装部3が発生させる割込が発生したかどうかを、制御ユニット6が判定する。電装部3が発生させる割込は、例えば、生産作業の終了に伴う割込、または、塵埃状況によって操作者が作業の中断を決断して行う割込を挙げることができる。割込が発生した場合は、制御ユニット6の動作を終了する。割込が発生していない場合は、ステップS1に移行して、ステップS1~S6を繰り返す。例えば、n=1として、ステップS1~S4が行われる結果、ステップS2においてカウント値Cmt1が取得され、ステップS3において浮遊塵埃数Emt1が算出され、ステップS4において浮遊塵埃数Emt1が記憶部24に記憶される。ここで、t1=t0Δtである。本実施形態では、tn=nΔtである。次に、ステップS5では、nが1以上になっているため、ステップS6の間に、塵埃状況推定工程を構成するステップS9~S11が行われる。塵埃状況推定工程は、雰囲気ガス移動量データ工程で記憶部24に記憶されたエア移動量データFijtnを用いて、浮遊塵埃数分布算出工程で算出された時系列の浮遊塵埃数分布から、測定領域2a~2dに対する塵埃の移動収支を算出し、測定領域2a~2dにおける塵埃の発生量および付着量を推定する工程である。本実施形態では、塵埃状況推定部22によって、以下に説明するステップS9~S11を順次行う。まず、ステップS9では、塵埃状況推定部22は、エア移動量データFijtnと、浮遊塵埃数Emtn-1とを用いて、時刻tnにおける浮遊塵埃数予測値E’mtnを算出する。浮遊塵埃数予測値E’mtnは、時刻tn-1から時刻tnまでの間に、エリア間に浮遊塵埃の移動のみが起こると仮定した場合の浮遊塵埃数の予測値である。すなわち、エリアm内に発塵が起こらず、かつエリアm内の部材に塵埃の付着が起こらない場合の浮遊塵埃数の予測値である。ここで、浮遊塵埃は消滅することはないとしている。本ステップの詳細は、図6に示すように、ステップS20~S22を順次行う。まず、ステップS20では、塵埃状況推定部22は、記憶部24に記憶されたエア移動量データFijtnを読み込む。次にステップS21では、塵埃状況推定部22は、記憶部24に記憶された浮遊塵埃数Emtn-1を読み込む。次のステップS22は、塵埃状況推定部22は、浮遊塵埃数予測値E’mtnを算出するステップである。浮遊塵埃数分布算出工程で算出される浮遊塵埃数分布は、P/M5によって実測されたカウント値Cmtnに基づくため、各時刻tnにおける浮遊塵埃数の実際の分布を示している。しかし作業室2内ではエアの移動に伴って塵埃も移動するため、例えば、塵埃が発生しているエリアや、塵埃の付着が起こっているエリアを、浮遊塵埃数の分布の情報だけで判断することは難しい。本発明者は、測定領域2a~2dごとの浮遊塵埃数に加えて、測定領域2a~2d内でのエアの移動を考慮して、塵埃の発生、付着を含む塵埃状況を推定することに着想し本発明に到った。まず本ステップにおける塵埃状況の推定原理について説明する。塵埃は比重や大きさによっては自由落下によって移動する場合もあるが、清浄度が高い作業室2内に分布する10μm程度以下の塵埃は、作業室2内のエアとほぼ同じように動くと考えられる。エアの移動とともに境界面Sab等を超えて移動する塵埃数を移動塵埃数と呼び、時刻tn-1にエリアiに浮遊し、時刻tnにエリアjに移動した移動塵埃数をMijtnと表記することにする。ここで、M51tn、M52tnは、左流入口2g、右流入口2hを通して、それぞれエリア1、2に移動する移動塵埃数である。移動塵埃数Mijtnは、エリア移動量Fijtnとともに移動する塵埃数になるから、エリアiの容積Viに対するエリア移動量Fijtnの比を用いて、次式3のように表される。ただし、次式3において、添字i、jは、0~5の値をとり、添字ijの組合せは、12、21、13、31、24、42、34、43、30、40、51、52のいずれかである。また、次式3において、i=5の場合、E5tn-1、V5は、それぞれFFU4内の浮遊塵埃数、FFU4の容積を示す。本実施形態では、FFU4内の浮遊塵埃数は時間によらず一定であるため、塵埃濃度を表すE5tn-1/V5は、tn-1によらず一定値ρをとる。なお、FFU4内の浮遊塵埃数の時系列データを測定する場合には、E5tn-1を時系列データに置き換えればよい。このため、浮遊塵埃数予測値E’mtnは、エリア1~4のそれぞれの移動収支を算出することで、次式8a~8dのように求められる。以上で、ステップS22が終了するとともに、ステップS9が終了する。次に、図5に示すステップS10では、塵埃状況推定部22は、記憶部24から浮遊塵埃数Emtnを読み込む。次に、ステップS11では、ステップS9で算出された浮遊塵埃数予測値E’mtnと、浮遊塵埃数Emtnとを比較し、発生塵埃数Hmtnと付着塵埃数Lmtnとを算出する。ここで、発生塵埃数Hmtn、付着塵埃数Lmtnの算出の仕方について、測定領域2dエリア4の場合の例で説明する。図7a、bは、それぞれエリア4における時刻tn-1、tnでの塵埃状況を模式的に示している。図7aに示すように、時刻tn-1では、エリア4内には塵埃pがE4tn-1だけ浮遊している。一方、時刻tnまでにエリア4内に起こりうる浮遊塵埃数の増減は、もし、エリア4内で塵埃が発生せず、付着もしないとすれば、隣接するエリア2、3、0への移動による塵埃数の減少M42tn、M43tn、M40tnと、隣接するエリア2、3からの移動による塵埃数の増加M24tn、M34tnとからなるため、E4tnは、E’4tnに一致する。そこで本実施形態では、E4tnとE’4tnとの差は、エリア4内で塵埃が発生することによる増加H4tn、またはエリア4内の部材に塵埃の付着による減少L4tnを推定する。経験上、塵埃の発生は、急激な増加として刹那的に現れることが多く、塵埃の付着はその後、一定のタイムラグ後にある時間幅で現れる傾向があるため、時間軸で重複しにくい。よって、この推定で運用上問題ない。本実施形態では、エリア1~3でも、同様に考えて、浮遊塵埃数Emtnと浮遊塵埃数予測値E’mtnとの差がエリアmにおける発生塵埃数Hmtnまたは付着塵埃数Lmtnになっているとして、次式9a、9bによって、発生塵埃数Hmtnまたは付着塵埃数Lmtnを算出する。塵埃状況推定部22は、算出した発生塵埃数Hmtnまたは付着塵埃数Lmtnを、浮遊塵埃数Emtnとともに、塵埃状況通知部23に送出する。以上で、ステップS11および塵埃状況推定工程が終了する。次に、n≧1の場合のステップS6における塵埃状況通知工程について説明する。塵埃状況通知部23は、塵埃状況推定部22から送出された発生塵埃数Hmtnまたは付着塵埃数Lmtnを、浮遊塵埃数Emtnを用いて表示用データを生成し、表示部7に送出する。これにより、本実施形態では、発生塵埃数Hmtn、付着塵埃数Lmtn、浮遊塵埃数Emtnを含む塵埃状況が表示部7に表示される。このため生産装置1の操作者が時刻tnにおける塵埃状況を知ることができる。例えば、発塵が起こっていると推定される測定領域とその発生程度、塵埃の付着が起こっていると推定される測定領域とその発生程度を知ることができる。したがって、操作者は、この塵埃状況から生産に影響を及ぼす可能性があるかを判断できる。以上で、n≧1の場合のステップS6および塵埃状況通知工程が終了する。次に、ステップS7、S8を行うことにより、上記と同様にして、測定周期Δtごとに、浮遊塵埃数分布算出工程、塵埃状況推定工程、および塵埃状況通知工程が繰り返され、測定周期Δtステップで、略リアルタイムに塵埃監視を行うことができる。ここで、本実施形態の塵埃監視方法の作用を、図8a~eに示す数値例に基づいて説明する。本数値例は、簡単のため、t=t0、t1、t2の場合のみ示している。また、図8a~dの矩形は、測定領域2a、2b、2c、2dエリア1、2、3、4を表し、図8eは、表示部7の表示画面7aにおける表示例を示している。まず、上記に説明した測定領域区画工程を行う。本数値例では、各エリアmにおいて容積Vmが一定値Vであり、エア吸引量fも一定であるとする。具体的には、{Vm/f-1}=100になっているものとする。次に、上記に説明した雰囲気ガス移動量データ取得工程を行って、エア移動量Fijtを取得し、雰囲気ガス移動量データ記憶工程を行って、記憶部24にエア移動量Fijtを記憶する。本実施形態では、FFU4の吹き出し量と、左排気口2C、右排気口2Dからの排気量とは生産作業を通して一定である。したがって、F51t、F52t、F30t、F40tはそれぞれ一定値をとる。例えば、各エリアの容積Vを用いて表すと、次式10a~10dの通りであったVに対する百分率を記載した図8c参照。F51t1=F51t2=0.1×V10aF52t1=F52t2=0.1×V10bF30t1=F30t2=0.1×V10cF40t1=F40t2=0.1×V10d一方、エリア1~4の境界面間のエア移動量Fijtは、生産作業における作業ロボット13の動作や部品12の移動等に伴って、時間とともに変化する。このため、作業室2内には、乱流が発生することになる。例えば、時刻t0~t1において、エリア1~4の境界面間のエア移動量Fijtは、次式11a~11cの通りであった図8c参照、。なお、記載のないエア移動量Fijtは0である以下も同じ。F12t1=0.1×V11aF24t1=0.2×V11bF43t1=0.1×V11cこのようなエリア1、3の境界面を迂回してエリア1、2、4、3を順次移動するエアの流れは、例えば、エリア1、3間に配置された作業ロボット13の動作の影響でエア移動が停止したことによって発生したと考えられる。また、時刻t1~t2では、エリア1~4の境界面間のエア移動量Fijtは、次式12a~12cの通りであった図8c参照。F13t2=0.2×V12aF31t2=0.1×V12bF24t2=0.1×V12cこのような気流は、例えば、エリア1、3間で作業ロボット13の動作に伴って、上下方向の気流が誘発される結果、エリア2、4間のエア移動が停止することにより発生したと考えられる。次に、図5のステップS1、S2を行う。この結果、時刻t0でのカウント値Cmt0は、次式13a~13dの通りであった図8a参照。C1t0=4013aC2t0=3013bC3t0=1013cC4t0=2013dステップS3で算出される浮遊塵埃数Emt0は、次式14a~14dの通りであった図8b参照。E1t0=400014aE2t0=300014bE3t0=100014cE4t0=200014d次に、ステップS3~S5を行うと、n=0であるため、ステップS6~S8が行われ、カウンタnがn=1に更新される。ステップS6では、浮遊塵埃数Emt0を表示画面7aに表示される。例えば、図8eのように、測定領域2a~2dに対応する矩形内に、数値データとして表示する。そして、測定周期Δt後の時刻t1になると、ステップS1~S4が実行される。ステップS3で算出される浮遊塵埃数Emt1は、次式15a~15dの通りであった図8b参照。E1t1=500015aE2t1=280015bE3t1=110015cE4t1=220015d次にステップS5では、n=1であるため、ステップS9に移行し、図6のステップS20~S22を行って、浮遊塵埃数予測値E’mt1を算出する。すなわち、上記式14a~14d、10a~10d、11a~11c、12a~12cの数値を、上記式3~7、8a~8dに代入する演算を行う。ただし、FFU4から流入するエアには塵埃は含まれないものとし、ρ=0とした。この結果、浮遊塵埃数予測値E’mt1は、次式16a~16dの通りであった図8b参照。E’1t1=360016aE’2t1=280016bE’3t1=110016cE’4t1=220016d次に、図5のステップS10を行った後、ステップS11を行う。上記式15a~15dと上記式16a~16dとを比較すると、エリア1では、E1t1>E’1t1となるため、上記式9aによって塵埃の発生を推定し、エリア2~4では、Ekt1=E’kt1ただし、k=2,3,4であるため、塵埃の発生および付着はないものと推定する。このため、発生塵埃数Hmt1、付着塵埃数Lmt1は、次式17a~17cのように算出される。H1t1=5000-3600=140017aHkt1=0k=2,3,417bLmt1=0m=1,2,3,417c次に、ステップS6では、塵埃状況として、上記式15a~15d、式17a~17cに基づいて、浮遊塵埃数Emt1、発生塵埃数Hmt1、付着塵埃数Lmt1を表示部7の表示画面7aに表示する。例えば、図8eのように、測定領域2a~2dに対応する矩形内に、数値データとして表示する。これにより、生産装置1の操作者は、時刻t1現在、測定領域2aで塵埃の発生が起こっておりいずれの測定領域でも付着は起こっていない、との推定結果が得られたことを知ることができる。このため、操作者は、時刻t0からt1の測定領域2aでの作業から塵埃発生の原因を推測したり、生産に及ぼす影響を考慮して対応の仕方を考えたりすることができる。もし本実施形態の塵埃監視方法によらず浮遊塵埃数の変化のみによって、塵埃の発生、付着を推定すると、例えば、時刻t0~t1の間で、測定領域2aの塵埃増加数は1000に過ぎないため、本実施形態よりも塵埃の発生を過小評価してしまう。また、測定領域2c、2dでも、それぞれ100、200だけ浮遊塵埃数が増加しているため、測定領域2a、2c、2dの少なくともいずれかに塵埃発生の原因があると仮定することになる。このため、迅速かつ的確な原因追求の妨げとなる。これに対して、本実施形態では、測定領域2aにおける塵埃の発生を過小評価することなく、ただちに測定領域2aにおける原因追求の対応をとることができる。ここで、操作者が、例えば塵埃の付着数が0と推測されるため様子を見ることにすると、生産装置1を停止する割込が発生しないため、図5のステップS1に戻って各ステップが同様に繰り返される。この結果、時刻t2になると、浮遊塵埃数Emt2、浮遊塵埃数予測値E’mt2、発生塵埃数Hmt2、付着塵埃数Lmt2が算出される。また、図8eに示すように、表示画面7aに表示される数値が更新される。時刻t2では、発生塵埃数Hmt2、付着塵埃数Lmt2が、H1t2=10、H2t2=20、L3t2=10、L4t2=460、その他は0、と推定される。この結果、操作者は、発生塵埃数が大幅に減少し、塵埃の付着が測定領域2cでごくわずかに、測定領域2dでやや多く起こっている、ということが分かる。そこで、例えば、時刻t1~t2の間、ワークである部品12が測定領域2cにある場合には、塵埃付着の影響は少ないと判断して、生産作業を続行する、といった判断を行うことができる。この時刻t2の推定結果でも、本実施形態ではエア移動量を考慮しているため、単に測定領域ごとの浮遊塵埃数の変化とは異なる発生塵埃数、付着塵埃数が推定されていることが分かる。このように本実施形態では、浮遊塵埃数の測定に同期して、予め測定周期Δtごとにエア移動量データを取得しておくため、本数値例のように、生産作業に応じて気流が変化することでエア移動量が時間的に変化していく場合に、気流の変化に追従したより確からしい推定を行うことができる。本実施形態の塵埃監視方法によれば、作業室2内を測定領域2a~2dに区画して予め作業室2における左流入口2g、右流入口2h、左排気口2C、右排気口2D、および境界面Sab、Sbc、Sac、Scdにおけるエア移動量データを取得し、生産装置1による生産作業中に浮遊塵埃数を測定して得られる浮遊塵埃数分布とエア移動量データとから、塵埃状況を推定する。このため、測定領域2a~2dごとの浮遊塵埃数の測定値をP/M5による浮遊塵埃数の測定周期Δtごとの略リアルタイムに監視することができるとともに、これに同期して、測定領域2a~2dごとの発生塵埃数および付着塵埃数を監視することができる。したがって、エア移動量を考慮せず各測定領域における浮遊塵埃数の増減のみを監視する場合に比べて、作業室2内の塵埃状況をよりよく監視することができる。なお、エア移動量を考慮した浮遊塵埃数を測定するには、気流経路に当たる測定領域の境界面Sab等にも吸引口5eを配置してより多くの測定箇所を設けることも考えられるが、より多チャンネルのP/M5が必要となり、測定値の演算処理も複雑になる。また、作業室2内に多数のサンプリングチューブが挿入される結果、作業室2内での生産作業の妨げとなってしまう。しかし、本実施形態によれば、生産作業を試行して予めエア移動量データを取得しておくため、より簡素な構成であっても、確からしい塵埃状況を推定することができる。また、作業室2内の空間を広く使えるため、生産作業を円滑に行うことでき、作業室2の小型化が可能となる。[第1変形例]次に、本実施形態の第1変形例の塵埃測定方法について説明する。図9は、本発明の実施形態の塵埃監視方法の第1変形例を説明する生産装置の主要部を示す模式的な斜視図である。上記実施形態の説明では、作業室2を4つの測定領域2a~2dに区画する場合の例で説明したが、区画数は、必要に応じて適宜変更することができる。例えば、図9には、作業室2を8つに区画することができる生産装置1Aの主要部の構成を示す。生産装置1Aは、上記実施形態の生産装置1の後側板2Bにおいて、吸引ポート9a~9dにそれぞれ対向する位置に、吸引ポート9a~9dと同様の構成を有する吸引ポート9A、9B、9C、9Dを備え、これらに図示略のサンプリングチューブを挿入できるようにしたものである。また、生産装置1Aは、特に図示しないが、上記実施形態の4チャンネルのP/M5に代えて、8チャンネルのP/Mを備える。本変形例の測定領域区画工程では、上記実施形態の測定領域2a、2b、2c、2dを、それぞれ後側板2B、前側板2Fの間を2等分する鉛直面で区画して8等分する。これにより、測定領域2aが、前側板2F側から測定領域20a、21aの2領域に区画され、以下同様に、測定領域2bが測定領域20b、21bに、測定領域2cが測定領域20c、21cに、測定領域2dが測定領域20d、21dに、それぞれ区画される。このような生産装置1Aによれば、雰囲気ガス移動量データ取得工程において、測定領域20a、21a、20b、21bに対応する図示略の流入口と、左排気口2C、右排気口2D図示略と、測定領域20a~20d、21a~21d同士の各境界面に流速計図示略を配置して流量測定を行い、上記実施形態と同様にして、塵埃状況の監視を行うことができる。[第2変形例]次に、本実施形態の第2変形例の塵埃測定方法を行う生産装置について説明する。図10は、本発明の実施形態の第2変形例に係る生産装置の主要部の構成を示す模式的な正面図である。本変形例の生産装置1Bは、図10に示すように、上記実施形態の作業室2に代えて、中央作業室32、左側作業室33、右側作業室34を備え、これら3つの作業室の内部を6つの測定領域に区画して本実施形態の塵埃監視方法を行えるようにしたものである。また、P/M5に代えて、6つの測定領域の浮遊塵埃数を測定できる6チャンネルのP/M図示略を備える。以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。中央作業室32は、作業室2の前側板2F、左側板2L、右側板2Rに代えて、前側板32F、左側板32L、右側板32Rを備える。前側板32Fは、前側板2Fの下端部に横長の矩形状の開口部である中央排気口32Cを追加したものである。左側板32L、右側板32Rは、それぞれ左側板2L、右側板2Rの下半分に、電装部3で開閉が制御される開閉扉35、36を設けたものである。このため、中央作業室32は、開閉扉35、36が閉じられた場合には、左排気口32Cのみが開口する直方体状の外形を有し、内部には作業室2と同じ容積の作業空間が形成されている。本変形例では、中央作業室32の内部を上記実施形態と同様、測定領域2a~2dに区画する。左側作業室33は、開閉扉35を挟んで左側板32Lの側方に隣接して配置され、開閉扉35、筐体33A、および床面部2Yによって、内部の容積が測定領域2cと同じ容積となる直方体状に囲まれている。筐体33Aにおいて開閉扉35に対向する側方の下端部には、左排気口2Cが設けられている。また、筐体33Aの上部には、FFU4と同様な構成を有するFFU4Lが設置され、図示略の流入口を介して、FFU4Lから供給される清浄なエアが流入されるようになっている。本変形例では、左側作業室33の内部は、1つの測定領域33aに区画される。このため、開閉扉35は、測定領域33a、2c間の境界面を構成している。右側作業室34は、開閉扉36を挟んで右側板32Rの側方に隣接して配置され、開閉扉36、筐体34A、および床面部2Yによって、内部の容積が測定領域2dと同じ容積となる直方体状に囲まれている。筐体34Aにおいて開閉扉36に対向する側方の下端部には、右排気口2Dが設けられている。また、筐体34Aの上部には、FFU4と同様な構成を有するFFU4Rが設置され、図示略の流入口を介して、FFU4Rから供給される清浄なエアが流入されるようになっている。本変形例では、右側作業室34の内部は、1つの測定領域34aに区画される。このため、開閉扉36は、測定領域34a、2d間の境界面を構成している。このように生産装置1Bは、左側作業室33、中央作業室32、右側作業室34がこの順に隣接され、開閉扉35、36の開放時にこれらの内部が連通して1つの作業室を構成することができる。また、開閉扉35、36を適宜開閉することにより、相互の間でエア移動がない最大3つの独立した作業室を形成することができる。このため、例えば、左側作業室33をワークの搬入部を兼ねるワーク待機室とし、中央作業室32をワークに対する主要な生産作業を行う作業室として用い、右側作業室34を生産作業が終了したワークの搬出部を兼ねるワーク待機室とすることができる。その際、左側作業室33、中央作業室32、右側作業室34は、それぞれFFU4L、4、4Rを備えるため、それぞれ独立に清浄な雰囲気に保つことができるため、開閉扉35、36を適宜開閉制御することにより、ワークの搬入、搬出に伴う中央作業室32内の清浄度を低下させることなく、複数のワークに対して連続的な生産作業を行うことできるようになっている。本変形例の塵埃監視方法は、左側作業室33、右側作業室34の内部をそれぞれ測定領域33a、34aとし、中央作業室32の内部を測定領域2a~2dに区画し、これら作業室の全体を6つの測定領域に区画して、塵埃監視を行う方法である。本変形例は、上記実施形態に対して、測定領域が2つ増加する点、境界面として開閉扉35、36が追加される点、排気口として前側板32Fの下端部に左排気口32Cが追加される点が異なるのみであり、上記実施形態と略同様にして、塵埃状況の監視を行うことができる。生産装置1Bでは、開閉扉35、36が開放されるタイミングで、外部の塵埃を含み易い左側作業室33、右側作業室34と、中央作業室32との間に、過渡的に大きなエア移動量が発生して、作業室内の塵埃状況が急に変化するおそれがある。このような過渡現象は、乱流を含むため、気流の予測や塵埃移動の予測を難しくする。このため、このようなエア移動量を考慮しない塵埃監視方法では、塵埃発生源の特定や、塵埃状況の変化の予測が難しくなる。一方、本変形例では、このようなエア移動量の変化を、生産作業の試行によって予め取得しておくため、浮遊塵埃数分布から、塵埃状況を的確に推定して、通知することができる。このため、塵埃状況をよりよく監視することができる。なお、上記の説明では、本発明の塵埃監視方法を生産装置の作業室に適用した場合の例で説明したが、作業室は、生産装置の作業室には限定されない。例えば、クリーンルームやクリーンブースの内部に形成される作業室であってもよい。また、このような作業室内で行われる作業は、可動体によって、塵埃が発生したり、移動したりするおそれのある動作が含まれる作業であれば、生産作業には限定されない。また、作業は、機械装置が行う作業でもよいし、人手で行う作業でもよい。また、上記の説明では、塵埃状況である浮遊塵埃数、発生塵埃数、付着塵埃数の数値を表示部に表示して通知する場合の例で説明したが、塵埃状況通知工程における塵埃状況の通知は数値の通知には限定されない。例えば、塵埃の発生、付着に許容値が設けられている場合に、許容値内か、許容値を超えたかの判断や警告メッセージなどを塵埃状況として通知してもよい。さらに、このような塵埃状況の判断とともに、生産装置が行うべき動作の制御信号を自動的に送出してもよい。例えば、発生塵埃数の大きさが許容値を超えた場合に、その警告を通知するとともに、生産装置1の動作を停止する制御信号を電装部3に送出してもよい。また、上記の説明では、塵埃測定器の測定周期Δtが、一定の場合の例で説明したが、測定周期Δtは、監視期間中に変化させてもよい。例えば、作業の内容に応じて、塵埃状況が変化しにくい期間や、定常的な流れが形成されやすい期間等、塵埃監視に問題がない期間は、測定周期Δtを長くしてもよい。また、上記の説明では、浮遊塵埃数分布算出工程、塵埃状況推定工程、および塵埃状況通知工程を、浮遊塵埃数のすべての測定に同期して行う場合の例で説明したが、例えば、浮遊塵埃数の測定周期が短い場合や、測定周期に比べて浮遊塵埃数の変化が少ないことが分かっている場合には、浮遊塵埃数分布算出工程、塵埃状況推定工程、および塵埃状況通知工程を行うタイミングを、測定周期の整数倍のタイミングに合うように同期してもよい。また、塵埃状況の変化が激しくないことが分かっている場合には、塵埃状況を通知するタイミングは、時間的な前後関係があっていれば、浮遊塵埃数の測定のタイミングと厳密には同期していなくてもよい。また、上記の説明では、雰囲気ガスがエア空気である場合の例で説明したが、作業の必要によっては、エア以外のガス、例えば、Arガスや窒素ガス等の不活性ガスなどであってもよい。また、上記の実施形態および各変形例で説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせたり、削除したりして実施することができる。"