内部に非冷却の状態で吸着剤を充填してなる少なくとも2基の吸着筒を並列に配置し、各吸着筒に収容されている非冷却の状態の吸着剤にオゾン酸素混合ガスをオゾンガスを選択吸着させるとともに、オゾンガス脱離操作時に各吸着筒を減圧処理することにより吸着剤からオゾンガスを脱離させることでオゾンガスを濃縮精製するようにし、少なくとも2基の吸着筒をそれぞれ吸着工程と脱離工程とを交互に繰返すとともに、いずれかの吸着筒が吸着工程にあるときに他の吸着筒が脱離工程となるように制御したオゾンガス濃縮方法において、オゾンガスの吸着工程から脱離工程に切換わる際に、吸着工程にあった吸着筒と、脱離完了段階にある吸着筒とを連通させて、吸着筒内圧力の均一化を行った後、吸着段階にあった吸着筒を減圧発生手段に連通させて、吸着剤からオゾンガスを脱離させるようにしたことを特徴とするオゾンガス濃縮方法。圧力均一化工程の終了タイミングを、高圧側吸着筒の内圧と低圧側吸着筒の内圧との差圧が、圧力均一化工程の開始時での差圧と比較して、40以下の圧力に達した段階で終了するように制御した請求項1に記載したオゾンガス濃縮方法。圧力均一化工程の開始直前に、吸着工程にあった吸着筒のオゾンガス入り口側の弁を閉弁するとともに、出口側の弁を開弁することで吸着筒内圧を低減させる請求項1又は請求項2に記載したオゾンガス濃縮方法。内部に吸着剤を充填してなる吸着筒を少なくとも2基並列に配置し、各吸着筒にガス導入弁とガス導出弁及びガス排出弁をそれぞれ装着し、前記ガス導入弁にオゾン発生器を装着してなるガス導入路を接続し、ガス導出弁に減圧発生手段を装着してなる濃縮オゾンガス導出路を接続し、ガス排出弁にオゾン分解器を装着してなるガス排出路を接続し、各吸着筒に装着されているガス導入弁とガス排出弁とを同期して開閉作動するように構成するとともに、同一の吸着筒に装着されているガス導入弁とガス導出弁とを択一的に開弁作動するように制御し、各吸着筒がガス導入路に連通する吸着工程と濃縮オゾンガス導出路に連通する脱離工程とを交互に繰返すとともに、少なくとも2基の吸着筒のいずれかが吸着工程に他の吸着筒が脱離工程となるように各弁を切換え制御し、各弁よりも吸着筒側に吸着筒の内部同士を連通する少なくとも1系統の連通路を配置するとともに、この連通路に流路開閉弁を装着し、この流路開閉弁を前記ガス導入弁とガス導出弁の開閉作動に同期させて開閉制御することを特徴とするオゾンガス濃縮装置。前記特許文献1に開示されているオゾン濃縮技術では、非冷却状態にある吸着剤へのオゾンガスの吸着-脱離を繰り返すことで、オゾンガスを3倍前後またで濃縮することが出来るが、その吸着圧力は、実施例によれば、34kPaG、71kPaG、123kPaGである。一般的に、より高圧で吸着させることで、オゾンガスの吸着量は増えるが、高圧で吸着させた場合、脱離開始直後に濃縮オゾン取出配管で急激な圧力上昇が生じる。それに伴い、配管内又は減圧手段内でオゾンの自己分解が発生しやすくなる傾向が見られる。このため、単純に圧力を上げて吸着量を増加させることは難しいことが分かった。一方、吸着筒からの脱離オゾンガス導出路に平滑化容器を装着し、この平滑化容器よりも下流側に減圧手段を配置した特許文献2のものでは、脱離開始直後での脱離オゾンガス導出路での急激な圧力上昇は抑制できるが、吸着筒でのオゾンガス脱離操作に減圧発生手段の性能が発揮できず、脱離圧力が充分に低くならないことから、オゾンガスの高濃度化を十分に行えないという問題がある。本発明は、このような点に着目して為されてたもので、簡易な配管及び配管機器の追加によって、脱離開始直後の装置内での急激な圧力上昇を予防し、吸着圧力の高圧化を可能とすることで、より高い濃縮率で濃縮オゾンガスを取り出せるようにした、オゾン濃縮方法及びその装置を提供することを目的とする。上述の目的を達成するために、請求項1に記載の本発明は、内部に非冷却状態で吸着剤を充填してなる少なくとも2基の吸着筒を並列に配置し、各吸着筒に収容されている非冷却状態の吸着剤にオゾン酸素混合を作用させてオゾンガスを選択吸着させるとともに、オゾンガス脱離操作時に各吸着筒を減圧処理することにより吸着剤からオゾンガスを脱離させることでオゾンガスを濃縮精製するようにし、少なくとも2基の吸着筒をそれぞれ吸着工程と脱離工程とを交互に繰返すとともに、いずれかの吸着筒が吸着工程にあるときに他の吸着筒が脱離工程となるように制御しているオゾンガス濃縮方法であって、オゾンガスの吸着工程と脱離工程に切換わる際に、吸着工程にあった吸着筒と、脱離工程にあった吸着筒とを連通させて、内圧力の均一化を行った後、吸着工程にあった吸着筒を減圧発生手段に連通させて、吸着剤からオゾンガスを脱離させるようにしたことを特徴としている。請求項2に記載の本発明は、圧力均一化工程の終了タイミングを、高圧側吸着筒の内圧と低圧側吸着筒の内圧との差圧が、圧力均一化工程の開始時での差圧と比較して、40以下の圧力に達した段階で終了するように制御したことを特徴としている。請求項3に記載の本発明は、圧力均一化工程の開始直前に、吸着工程にある吸着筒のオゾンガス入り口側の弁を閉じるとともに、出口側の弁を開とすることで吸着筒内圧を低減させることを特徴としている。請求項4に記載の本発明は、内部に吸着剤を充填してなる吸着筒を少なくとも2基並列に配置し、各吸着筒にガス導入弁とガス導出弁及びガス排出弁をそれぞれ装着し、前記ガス導入弁にオゾン発生器を装着してなるガス導入路を接続し、ガス導出弁に真空ポンプを装着してなる濃縮オゾンガス導出路を接続し、ガス排出弁にオゾン分解器を装着してなるガス排出路を接続し、各吸着筒に装着されているガス導入弁とガス排出弁とを同期して開閉作動するように構成するとともに、同一の吸着筒に装着されているガス導入弁とガス導出弁とを択一的に開弁作動するように制御し、各吸着筒がガス導入路に連通する吸着工程と濃縮オゾンガス導出路に連通する脱離工程とを交互に繰返すとともに、少なくとも2基の吸着筒のいずれかが吸着工程に他の吸着筒が脱離工程となるように各弁を切換え制御し、各弁よりも吸着筒側に吸着筒の内部同士を連通する少なくとも1系統の連通路を配置するとともに、この連通路に流路開閉弁を装着し、この流路開閉弁を前記ガス導入弁とガス導出弁の開閉作動に同期させて開閉制御することを特徴としている。本発明では、圧力均一化により、吸着後の高圧の吸着筒内圧は大気圧程度まで減圧されるため、脱離開始直後の配管及び減圧発生手段での急激な圧力上昇を防ぐことができ、オゾンガスの自己分解やそれに伴う機器の破損を予防することができる。その結果、吸着筒内での吸着圧力を高圧化することが出来、オゾン濃縮率を高めることが出来るうえ、吸着筒内に減圧発生手段での吸引力を直接作用させることができ、吸着筒内をより減圧することができるので、オゾンの取り出し量を増加させることができる。さらに、吸着筒に連通しているガス通路に装着されている各弁よりも吸着筒側に吸着筒の内部同士を連通する連通路を配置するとともに、この連通路に流路開閉弁を装着するだけであるから、機器増設が少なく、接地スペースも大きく拡充する必要がなく、簡易な配管及び配管機器の追加で、オゾンガスのより高濃度化を図ることができる。図1は本発明の実施形態の一例を示す系統図である。このオゾンガス濃縮装置は、内部にオゾンガスを選択吸着するシリカゲル等の吸着剤を充填した吸着筒と、酸素ガス貯蔵容器等のオゾン原料ガス源と吸着筒とを連通接続するガス導入路と、吸着筒から導出された濃縮オゾンガス導出路と、吸着筒から導出されたスルーガスのガス排出路とを有している。なお、本実施形態では吸着筒は2基並列して配置してあり、一方の吸着筒が吸着工程時には他方の吸着筒が脱離工程になるように構成してあるガス導入路は各吸着筒にそれぞれガス導入弁を介して接続されており、このガス導入路には上流側から順に、オゾン発生器とマスフローコントローラとが配置してある。そして、オゾン発生器で発生したオゾン酸素混合ガスを一定の流量で各吸着筒にガス導入弁の切換え制御により択一的に供給するようにしてある。一方、濃縮オゾンガス導出路は各吸着筒にガス導出弁を介して接続されており、この濃縮オゾンガス導出路には、減圧発生手段としてのダイアフラム型真空ポンプ、バッファタンク、マスフローコントローラ、流路開閉弁が吸着筒側から順に配置してある。そして、吸着筒とダイアフラム型真空ポンプとがガス導出弁の切換え制御により択一的に連通するようにしてある。また、流路切換弁の切換えで、真空ポンプの吐出口とバッファタンクとが連通する状態と真空ポンプの吐出口が前記排出路に接続路を介して連通する状態とに択一的に切換えられるようにしてある。なお、前記ガス導入路と濃縮オゾンガス導出路は、ガス導入弁及びガス導出弁を装着している個所よりも吸着筒側の部分で合流して、その合流路が吸着筒に接続している。さらに、ガス排出路は各吸着筒にガス排出弁を介して接続されており、このガス排出路にはオゾン分解器が配置してあり、このオゾン分解器の出口はガス導入路でのオゾン発生器の上流側に連通接続してある。そして、この各吸着筒に装着されているガス排出弁は、同じ吸着筒に装着されているガス導入弁の開閉作動に連動して開閉するようにしてあり、吸着筒内にオゾン酸素混合ガスを供給している際に開弁して、吸着剤に吸着されなかった酸素ガスと、一部吸着され残ったオゾンガスをオゾン分解器に供給するようにしてある。そして、各吸着筒に接続されているガス排出路でのガス排出弁よりも上流側部分を流路開閉弁を介装した連通路で連通接続してある。また、吸着筒に接続されている前記合流路同士も流路開閉弁を介装した連通路で連通接続してある。この連通路はそのトータル通路断面積をオゾン酸素混合ガスの供給流量と比較して、大流量を流せる断面積に構成してある。この場合、連通路を吸着筒の排出側、あるいは、合流路側の一方に設けた場合には、その一方の連通路の通路断面積だけを対象とすることになる。図1中、符号はガス排出路でのオゾン分解器の入り口部分に装着したオゾン濃度検出器、は濃縮オゾンガス導出路でのマスフローコントローラの出口側に装着したオゾン濃度検出器、は吸着筒やバッファタンクの内圧を表示する圧力計、はガス導入路に配置したマスフローコントローラの下流側とガス排出路でのオゾン濃度検出器の入り口部分とを連通接続するバイパス路、は該バイパス路に装着した流路遮断弁である。このように構成したオゾン濃縮装置では、ガス導入弁とガス排出弁を開弁するとともに、ガス導出弁を閉弁した状態で、オゾン発生器で発生したオゾン酸素混合ガスを一方の吸着筒に供給して、吸着筒内を流通させる。このとき、吸着剤は外部から加熱や冷却の熱エネルギーを付与されることなく、いわゆる常温状態を維持している。吸着筒に供給されたオゾン酸素混合ガスは、そのうちのオゾンガス成分が吸着剤に吸着され、吸着され残った一部のオゾンガスとキャリアガスとしての酸素ガスがガス排出路からオゾン分解器に送り込まれる。オゾン酸素混合ガスを吸着筒に所定時間流して、吸着剤での吸着量が所定量になると、今まで、オゾン酸素混合ガスを流していた吸着筒でのガス導入弁とガス排出弁とを閉弁するとともに、脱離工程にあった吸着筒でのガス導出弁を閉弁し、ガス排出路同士を接続している連通路と合流路同士を接続している連通路とのいずれか一方あるいは両方の流路開閉弁を開弁作動して、吸着工程が完了した高圧側の吸着筒と、脱離工程が完了した低圧側の吸着筒とを連通させて、両吸着筒の内圧を均一化させる。この均圧化作業中には、オゾン発生器から吸着筒へのガス導入路が閉塞されるが、その場合には、バイパス路の流路遮断弁を開弁することで、オゾン酸素混合ガスがバイパス路からガス排出路側に流れるので、ガス導入路の封鎖を防止することができる。流路開閉弁を閉弁作動し、次いで、吸着工程にあった吸着筒のガス導出弁を開弁して、吸着筒内を真空ポンプに連通させて、吸着筒内を減圧させることにより、吸着剤からオゾン成分を真空脱離させる。このとき、それまで脱離工程にあった吸着筒のガス導入弁とガス排出弁を開弁して、オゾン発生器で発生したオゾン酸素混合ガスを一方の吸着筒に供給して、吸着筒内を流通させオゾンガスを吸着剤に吸着させる。吸着筒から脱離された濃縮オゾンガスを、バッファタンクに一旦貯留することで、吸着筒から脱離したオゾンガス濃度に濃度変化があっても、バッファタンク内で平均化させることができ、一定範囲の濃度を維持した状態でオゾン消費設備等に供給することができる。この場合、バッファタンクに送給される濃縮オゾンガスは、吸着剤に吸着されていた酸素ガス成分が圧力均一化処理で優先的に脱離し他の吸着筒に移送された後に脱離したオゾンガス成分であることから、純度の高いオゾンガスとなる。したがって、バッファタンク内に貯留されるオゾンガスの濃度を、20から90volの中高純度ガスにすることができる。この一方の吸着筒が脱離操作を行っている間に他方の吸着筒は吸着操作を行い、2基の吸着筒で吸着-脱離を交互に行い、連続して濃縮オゾンガスを取り出すようにしている。なお、この吸着筒は複数対であってもよく、複数対の吸着筒での各弁切換えタイミングを制御することで、連続的に濃縮オゾンガスを取り出すことができる。また、この場合の吸着剤としては、金属成分の少ない高純度シリカゲルが好ましいが、一般的なシリカゲルやゼオライト等の吸着剤であってもよい。なお、オゾン使用設備側が一定濃度範囲内でのオゾンガス濃度変動を許容する場合には、前記バッファタンクを省略して、真空ポンプにより吸引排出された濃縮オゾンガスを直接的にオゾン使用設備に供給するようにしてもよい。[実施例1]オゾンガス吸着剤としての高純度シリカゲルを650g充填した内容積1Lの吸着筒を2本並列に配置し、両吸着筒のガス排出路同士及び合流路同士を口径3/8インチの連通路で連通させ、ガス導入路から吸着筒にオゾン酸素混合ガスを供給量1471slmで供給し、吸着筒での吸着圧力を100kPaG、脱離時の到達圧力-90kPaGで運転した。吸着-脱離を40秒サイクルで切換、圧力均一化工程なし、圧力均一化工程05秒、1秒、15秒としてオゾン濃縮を行った結果を表1及び図2、図3に示す。この表1及び図2から、圧力均一化処理を施さない場合と比べ、15秒の圧力均一化処理を施した場合では、オゾン濃度が405g/m3から534g/m3と大きく変化があることが分かる。また、図3に示すように、脱離開始時の圧力は圧力均一化処理を施さない場合には、100kPaGであるのに対し、15秒の圧力均一化処理を施した場合には、約10kPaGまで低減できていることが分かる。本実施例の構成では、脱離開始時の圧力が30kPaGを上回った場合に、真空ポンプで脱離開始直後の急激な圧力上昇に起因するオゾンガスの自己分解が比較的発生しやすくなる傾向が見られたことから、圧力均一化工程により、濃縮オゾンガス導出路に作用する圧力を低減させたことで、真空ポンプでの急激な圧力上昇を防げるとともに、自己分解の発生を予防できていると考えられる。これにより、吸着圧力30kPaG以上でオゾンガスの濃縮が安全に実施可能となる。また、圧力均一化工程終了時での吸気筒内圧の差圧は、この実施例にあっては、圧力均一化時間をとらない処理1では190kPa、圧力均一化時間05秒の処理2では130kPa、圧力均一化時間10秒の処理3では70kPa、圧力均一化時間15秒の処理4では10kPaと小さくなっているが、圧力均一化時間20秒で実施した場合には差圧0となり、20秒よりも処理時間を長くしてもそれ以上の濃縮率の向上は見られなかった。差圧が0kPaになる以前に、好ましくは、初期差圧の10程度になった時点で圧力均一化工程を終了し、吸着-脱離工程を切り換えることが望ましい。差圧が0kPaになる以前であっても、図2に示すようにオゾン濃度の上昇度合いは処理工程時間を長くすると緩やかになっていく傾向があることから、差圧が初期差圧の40以下になった時点を圧力均一化工程の終了タイミングとして吸着-脱離工程の切り替えを行うことがさらに好ましい。ちなみに、圧力均一化時間を10秒に設定している処理3では圧力均一化工程終了時での差圧は初期差圧の約37である。さらに、吸着筒に原料オゾンガスを1471slmで供給する通常昇圧の場合、昇圧速度は約20kPa/secであった。一方で、口径3/8インチの連通路を2本使用した本実施例では、圧力均一化工程による昇圧速度は60kPa/secであった。圧力均一化工程を実施することで、吸着後の吸着筒側での一部のオゾンガスは脱離後の吸着筒側に漏出することになるが、本実施例においては、オゾン量の急激な減少は見られない。これは、初期昇圧速度が処理4で大きく、所定の吸着圧力以上の保持時間が40秒のサイクル中で、圧力均一化処理を施していない処理1が30秒であるのに対し、処理4では33秒と長くなっていることから、吸着量が増大し、この増大した吸着量と相殺されているからと考えられる。また、脱離時においては、圧力均一化処理を施していない処理1よりも圧力均一化処理を15秒行っている処理4のほうが低圧で推移しており、処理4のほうがより高濃度のオゾンを取り出せることから、吸着時及び脱離時のこれらの効果がオゾン高濃度化に寄与していると考えられる。このように、圧力均一化を図る連通路のガス流路断面積を吸着原料ガスであるオゾン酸素混合ガスの供給量よりも大流量流せる断面積に設定することで、オゾン量を大幅に減らすことなくオゾンの高濃度化を達成することができる。なお、この連通路は1本の配管であってもよく、複数の配管としてその合計断面積で設計するようにしてもよい。[実施例2]前述の実施例1と同様に、オゾンガス吸着剤としての高純度シリカゲルを650g充填した内容積1Lの吸着筒を2本並列に配置し、両吸着筒のガス排出路同士及び合流路同士を口径3/8インチの連通路で連通させ、ガス導入路から吸着筒にオゾン酸素混合ガスを供給量1471slmで供給し、吸着筒での吸着圧力を100kPaG、脱離時の到達圧力-90kPaGで運転した。吸着-脱離の切換サイクルを40秒に設定、吸着後の吸着筒でのガス導入弁及びガス導出弁を閉弁し、ガス排出弁を一定時間開弁する圧抜き工程を追加し、この圧抜き工程の後で圧力均一化工程を行うようにしたものである。なお、この圧抜き工程中は、脱離側の吸着筒では、脱離工程を継続している。圧抜き工程の継続時間と圧力均一化工程の継続時間を変えて行った結果を表2及び図5に示す。表2及び図5から、圧抜き工程を実施することで、吸着後圧力を低減できる。この実施例では、圧抜時間を長くするにつれて吸着側吸着筒の圧抜き後の圧力が低減していることが分かる。圧力均一化工程のみでは、吸着圧力に上限が生じる。例えば、実施例1では、脱離後圧力-90kPaGとの圧力均一化後に30kPaG以下となる吸着後圧力、即ち吸着圧力150kPaG程度が上限と考えられる。ところが、圧抜き工程を導入することで、吸着圧力150kPaGを超える圧力での吸着工程を実施することができ、さらにオゾンガスの高濃度化、オゾン量増大、濃縮率の向上が図れる。本実施例では、濃縮オゾンガス濃度550g/m3までの実験例しか示していないが、このままの構成で、700g/m3程度の濃縮オゾンガスを発生させることもできる。さらに、減圧発生手段の後段を負圧とすることで、1710g/m3、1930g/m3というような超高濃度オゾンガスも容易に発生させることができる。