アルミニウム粉末、ガラスフリット、有機ビヒクルとを含む太陽電池シリコンウエハ用焼成ペースト組成物であって、金属酸化物のナノ粒子を含むことを特徴とするアルミニウムペースト組成物。前記金属酸化物ナノ粒子の平均粒子径が10~50nmであることを特徴とする請求項1に記載のアルミニウムペースト組成物。この発明の課題は、焼成時反りの発生を抑制し、変換効率の向上に寄与するBSF効果を失うことがないアルミニウムペースト組成物を提供することである。請求項1の発明は、アルミニウム粉末、ガラスフリット、有機ビヒクルとを含む太陽電池シリコンウエハ用焼成ペースト組成物であって、金属酸化物のナノ粒子を含むことを特徴とするアルミニウムペースト組成物で焼成後の反りを抑制し、変換効率の低下がない。請求項2の発明は、前記金属酸化物ナノ粒子の平均粒子径が10~50nmであることを特徴とする請求項1に記載のアルミニウムペースト組成物で焼成後の反りを抑制し、変換効率の低下がない。本発明のアルミニウムペースト組成物は焼成時の反りが少なく、BSF効果を低下させない特徴を有する。本発明のアルミニウムペースト組成物は、アルミニウム粉末と有機質ビヒクルとガラスフリットと金属酸化物のナノ粒子を含むことを特徴とする。本発明でナノ粒子は一般的にナノメートルオーダーの粒子1~100nmで量子領域、量子効果が支配的な大きさを言う。本発明の効果発現は金属酸化物ナノ粒子であれば良く。平均粒子径10~50nmが好ましい。この範囲であれば、短時間焼成でも、反りの抑制効果を発現する。添加量はペースト組成物に対して0.02~0.1が好ましい。この範囲であれば、反り抑制効果が得られ、BSF効果を阻害することがない。アルミニウム粉末は、ペースト組成物に普く使用されるものでよいが、平均粒子径0.5~20μmが使うことができる。好ましくは、1~10μmが好ましい。この範囲では比表面積が大きく、高充填できないこともなく、粉末の溶融が早く電極のふくれやアルミニウムの玉を発生促進させることもない。逆に粘性が低く、それに伴う電極の膜厚が大きくなることによる反りが生じることもない。有機質ビヒクルはペースト組成物で普く使用されるもので良く、エチルセルロース樹脂やアクリル樹脂等の結合樹脂を、エステル系やグリコールエーテル系、ターピネオール系などの溶剤で溶解したものを使用することができる。有機質ビヒクル中の結合樹脂の全ペースト中の含有量はアルミニウム粉末配合量等によって適宜選択する。有機質ビヒクル成分が少ないと、概ね2重量未満になるとペースト組成物の印刷性適性がなくなり、多すぎると、概ね50重量を超えるとペースト組成物の粘度が増大し、短時間焼成では電極中に樹脂が残って、抵抗率の悪化を引き起こす。本発明に用いるガラスフリットは、溶融後にアルミニウム粒子を結合する無機バインダーとしての役割とアルミニウムとシリコンとの反応促進やアルミニウム粉末自身の焼結助剤として働く。一方、アルミニウムとシリコンとの反応により、局部的に多量のAl-Si合金が生じ、アルミニウムが溶融し、ふくれやアルミニウムの玉が発生し、不具合を生じ、前記効果と相反する。種類、配合部数を適宜選択する。ガラスフリットは、主成分としてPbO-B2O3-SiO2系、PbO-B2O3-Al2O3系、PbO-B2O3系、SiO2-B2O3-R2O系、B2O3-ZnO系、Bi2O3-B2O3-SiO2系およびBi2O3-B2O3-ZnO系等の酸化物を含むものなどがある。これらの組成物に加えて、アルカリ金属が含まれているものが、前記効果が大きく、好ましい。また、このましくは、環境負荷を鑑みて鉛を含まないものが好ましい。本発明のアルミニウムペースト組成物は、必要に応じて、分散剤、界面活性剤、可塑剤、カップリング剤、消泡剤、沈降防止剤、レベリング剤などを配合することができる。調製には、各種の混合、混練、分散機を使用することができる。例えば、2本ロールミル、3本ロールミル、ボールミル、サンドミル、プラネタリーミキサー、高速ミキサー、自公転撹拌機等が挙げられる。焼成炉条件はアルミニウム粉末の形状、粒径やガラスフリット等の配合により条件は適宜選択し、反り、アルミニウムの玉状析出、膨れなどの欠点が少ない条件で行う。ピーク温度800°C4~5秒を含む焼成タクトを挙げることができる。以下に実施例比較例を記して詳細な説明をする。結果を表1に記した。KFA-32互応化学工業、商品名、アクリル樹脂系有機ビヒクル、固形分30、ブチルカルビトールアセテート溶液を15.6重量部、ブチルカルビトールアセテート山一化学工業を8.2重量部、H-3VALIMET社、商品名、アルミニウム粉末、平均粒子径4.6μm、球形74.1重量部、QPZ-19/500日本電気硝子、商品名、シリカホウ酸系ガラスフリット、粒子径2.2μm1.2重量部、ルナックO-LL-V花王、商品名、分散剤、オレイン酸を0.7重量部、NPC-ST日産化学工業、商品名、二酸化ケイ素N-プロピルセルソルブ分散体、平均粒子径10~20nm、固形分300.2重量部を三本ロールミルを用いて均一に混合し、実施例1のペースト組成物とした。実施例1のNPC-STをNANOBYK-3650ビックケミージャパン、二酸化ケイ素、平均粒子径20~25nm、固形分25、メトキシプロピルアセテート/メトキシプロパノール溶液を0.24重量部に、ブチルカルビトールアセテートを8.16重量部に変えた以外実施例1と同じに行い、実施例2のペースト組成物とした。実施例1のNPC-STをNANOBYK-3610ビックケミージャパン、アルミナ、平均粒子径20~25nm、固形分30、メトキシプロピルアセテート溶液を0.2重量部に変えた以外実施例1と同じに行い、実施例3のペースト組成物とした。実施例1のNPC-STをNANOBYK-3821ビックケミージャパン、商品名、酸化亜鉛、平均粒子径20nm、固形分40、溶剤メトキシプロピルアセテート0.15重量部に、ブチルカルビトールアセテートを8.25重量部に変えた以外実施例1と同じに行い、実施例4のペースト組成物とした。実施例2のNANOBYK-3650を0.4重量部、ブチルカルビトールアセテートを8.1重量部に変えた以外実施例2と同じに行い、実施例5のペースト組成物とした。実施例2のNANOBYK-3650を0.1重量部に、ブチルカルビトールアセテートを8.3重量部に変えた以外実施例2と同じに行い、実施例6のペースト組成物とした。実施例4のNANOBYK-3821をNANOBYK-3841ビックケミージャパン、商品名、酸化亜鉛、平均粒子径40nm、固形分40、メトキシプロピルアセテート溶液に変えた以外実施例4と同じに行い、実施例7のペースト組成物とした。参考例1実施例2のNANOBYK-3650を0.8重量部に、ブチルカルビトールアセテートを7.7重量部に変えた以外実施例2と同じに行い、参考例1のペースト組成物とした。比較例1実施例1のNPC-STを溶融シリカ日本フリット、商品名、二酸化ケイ素、平均粒子径2.9μm、固形分1000.06重量部に、ブチルカルビトールアセテートを8.2重量部に変えた以外実施例1と同じに行い、比較例1のペースト組成物とした。比較例2実施例1のNPC-STを無添加に、ブチルカルビトールアセテートを8.26重量部にした以外、実施例1と同じに行い比較例2のペースト組成物とした。上記の実施例、参考例、比較例のペースト組成物を、厚みが200μm、大きさが156mm×156mmの多結晶P型シリコンウエハに、200メッシュのスクリーン印刷版を用いて154mm×154mmの面積になるように中央に印刷し、熱風乾燥機を使用して150°C30分間で乾燥させた。焼成は、3ゾーンのワイヤー式ベルト炉を使用した。ゾーン1の温度は590°C、ゾーン2の温度は800°C、ゾーン3の温度は380°Cとし、タクト時間を約60秒間とした。焼成後の電極層の膜厚は平均で32μmであった。反り:上記焼成直後後のシリコンウエハの凹面に金尺をあて、最も離れている距離をノギスで測定した。表面抵抗率:シリコンウエハに形成されたアルミニウム電極層の表面抵抗率をロレスターEPMCP-T360三菱化学、商品名、四端子四探針方式抵抗率計を用いて測定した。表面抵抗率は剥離前の電極抵抗値BSF抵抗率Ω/□:シリコンウエハに形成されたアルミニウム電極層を10塩化水素水溶液に15分間浸漬し、アルミニウムの電極部分を除去した。その除去されたウエハ表面のBSF層の表面抵抗率をロレスターEPMCP-T360を用いて測定した。評価結果の見解実施例1~7、参考例1、比較例1、2は表面抵抗率は全て良好である。金属酸化物のナノ粒子添加によるアルミニウム電極の表面抵抗率には影響ないものである。実施例1~7、参考例1は金属酸化物のナノ粒子添加は反りを抑制し、ナノ粒子でない比較例1では効果は明確ではない。BSF抵抗率に関しては10~40Ω/□の範囲で太陽電池の変換効率が良く、実施例ではBSF効果を阻害していることはない。