柱状の多結晶シリコンロッドを破砕する方法であって、前記多結晶シリコンロッドの中心軸方向に力学成分を有する第1の衝撃力を前記多結晶シリコンロッドの一方端部に加えて第1の弾性波を発生させ、前記多結晶シリコンロッドの中心軸を分断する破砕面を有する多結晶シリコン塊に破砕する、ことを特徴とする多結晶シリコンロッドの破砕方法。更に、前記第1の衝撃力の付与前または付与後の2秒未満の時間内に前記多結晶シリコンロッドに第2の衝撃力を付与して第2の弾性波を発生させ、該第2の弾性波と前記第1の弾性波の合成弾性波により前記多結晶シリコンロッドの中心軸を分断する破砕面を有する多結晶シリコン塊に破砕する、請求項1に記載の多結晶シリコンロッドの破砕方法。前記第2の衝撃力は、前記多結晶シリコンロッドに前記第1の衝撃力が加えられた前記一方端部とは逆の端部である他方端部に付与される、請求項2に記載の多結晶シリコンロッドの破砕方法。前記第1の衝撃力の付与は、前記多結晶シリコンロッドの前記一方端部とは逆の端部である他方端部を固定した状態で行われる、請求項1に記載の多結晶シリコンロッドの破砕方法。従来提案されてきた多結晶シリコンロッドの破砕方法は何れも、汚染防止の観点や生産性の観点からは、改善の余地がある。例えば、特許文献1や2に開示されているような加熱を伴う方法では、比較的大型の装置と繁雑な操作が必要になる。特に、特許文献2に開示されているような高温加熱を伴う方法では、加熱炉からの汚染を受け易い。また、特許文献3に開示の方法のように手動ハンマーを用いて破砕する手法では、硬度の高い多結晶シリコンロッドを順次破砕していく作業負担が大きく、しかも、破砕時に不純物が付着吸着したり異物が混入し易く、多結晶シリコン塊の品質を落としてしまうといった問題がある。本発明は、このような従来の破砕方法の問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、操作が簡単で、しかも、汚染や異物混入が生じ難い多結晶シリコンロッドの破砕方法を提供することにある。上述の課題を解決するために、本発明の多結晶シリコンロッドの破砕方法は、柱状の多結晶シリコンロッドを破砕する方法であって、前記多結晶シリコンロッドの中心軸方向に力学成分を有する第1の衝撃力を前記多結晶シリコンロッドの一方端部に加えて第1の弾性波を発生させ、前記多結晶シリコンロッドの中心軸を分断する破砕面を有する多結晶シリコン塊に破砕する、ことを特徴とする。本発明の多結晶シリコンロッドの破砕方法は、更に、前記第1の衝撃力の付与前または付与後の2秒未満の時間内に前記多結晶シリコンロッドに第2の衝撃力を付与して第2の弾性波を発生させ、該第2の弾性波と前記第1の弾性波の合成弾性波により前記多結晶シリコンロッドの中心軸を分断する破砕面を有する多結晶シリコン塊に破砕する態様としてもよい。好ましくは、前記第2の衝撃力は、前記多結晶シリコンロッドに前記第1の衝撃力が加えられた前記一方端部とは逆の端部である他方端部に付与される。また、好ましくは、前記第1の衝撃力の付与は、前記多結晶シリコンロッドの前記一方端部とは逆の端部である他方端部を固定した状態で行われる。本発明は、操作が簡単で、しかも、汚染や異物混入が生じ難い多結晶シリコンロッドの破砕方法を提供する。以下に、図面を参照して、本発明の多結晶シリコンロッドの破砕方法の実施形態について説明する。図1Aは、本発明の多結晶シリコンロッドの破砕方法の最も基本的な態様を図示した断面図である。図中、符号10で示したものは柱状の多結晶シリコンロッドであり、Cで示した軸は多結晶シリコンロッド10の中心軸長軸である。なお、通常用いられるシリコンロッドは長軸方向の長さが1500~2500mm程度のものが一般的である。本発明の多結晶シリコンロッドの破砕方法では、中心軸Cの方向に力学成分を有する衝撃力F1第1の衝撃力を、打撃等により、多結晶シリコンロッド10の一方端部に加える。この衝撃力打撃の力F1は、多結晶シリコンロッド10の内部に弾性波第1の弾性波を発生させ、この弾性波により、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面1を有する多結晶シリコン塊に破砕する。衝撃力を加える手法としては、手動ハンマーや衝撃粉砕機等を例示することができる。なお、第1の衝撃力の付与は、多結晶シリコンロッド10の一方端部とは逆の端部である他方端部を固定した状態で行われることが好ましい。正確なメカニズムは明らかではないが、本発明者らは、このように多結晶シリコンロッド10の第1の衝撃力の付与を行う端部とは逆の端部を固定すると、第1の衝撃力により生じた弾性波が固定端部で反射される際に減衰が抑えられ、強い定在波様の弾性波が形成されるものと考えている。多結晶シリコンロッド10の固定は、例えば、水平に寝かせた多結晶シリコンロッド10の他方端部を、壁や多結晶シリコンロッド10を載置する冶具に設けられた障壁に押し当てたりすればよい。床面に多結晶シリコンロッド10を垂直に立て、上方より衝撃力を付与する方法もあり得るが、多結晶シリコンロッド10はその長軸が分断されるかたちで破砕されるため、安全性の面からは好ましくない。このような破砕方法は、極めて単純なものではあるが、破砕方法として一般的なものとは言えず、例えば、単結晶シリコンの破砕方法としては不適である。多結晶シリコンロッドは結晶粒の集合であり、ロッド内部では局所的に強度のばらつきがあるため、付加された衝撃力が局所的に強度の弱い部分に有効に作用し、長尺の多結晶シリコンロッドであっても全長に渡る破砕を実現させることができる。このような破砕の正確なメカニズムは明らかではないが、本発明者らは、一方端部から付与された衝撃力により、多結晶シリコンロッド内で、長軸方向に伝達する弾性波が発生し、この弾性波と、他方端部からの反射波が合成されて定在波様のものとなり、ロッドの中心軸Cに沿って、ある間隔をもったミクロな歪みが大きくなる箇所が発生することによるものであろうと推測している。なお、衝撃力は、図1Aに示したような、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向にのみ力学成分を有するものである必要はない。例えば、図1Bに示した衝撃力F1のように、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向の力学成分F1hと、中心軸Cに垂直な方向の力学成分F1vが合成されたものであってもよい。しかし、付与した衝撃力により効率的な破砕を生じさせるためには、衝撃力の多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向の力学成分F1hが、中心軸Cに垂直な方向の力学成分F1vよりも大きいものであることが好ましい。図1Aに示したように、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向と平行な方向から衝撃力を付与すれば、最も効率的に破砕を生じさせることができる。このような衝撃力の付与は、手動ハンマーや衝撃粉砕機等により行うことができるが、用いる治具からの汚染や異物混入等を防ぐため、充分な強度を有するものであることが好ましい。このような治具としては、タングステンカーバイトやチタンのような高強度材料からなる治具を例示することができる。なお、破砕に必要な衝撃の強さは、多結晶シリコンロッドの結晶粒サイズや粒径分布、或いは、製造過程で生じた歪み等に依存するため、破砕に際しては、衝撃力の強度調整が必要であるが、その調整は極めて容易である。さらに効率的に破砕を生じさせるためには、上述の第1の衝撃力の付与に加え、第2の衝撃力更には第3以上の衝撃力を付与することが有効である。例えば、上述の第1の衝撃力の付与に加え、第1の衝撃力の付与前または付与後の2秒未満の時間内に多結晶シリコンロッド10に第2の衝撃力を付与して第2の弾性波を発生させる。そして、この第2の弾性波と第1の弾性波の合成弾性波により多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面を有する多結晶シリコン塊に破砕する。このような第2の衝撃力は、多結晶シリコンロッド10に第1の衝撃力が加えられた一方端部とは逆の端部である他方端部に付与するのがよい。第2の弾性波は、多結晶シリコンロッド10の全体に渡って、第1の弾性波と合成されるものであればよい。また、これら2つの弾性波は、両者の何れかが減衰してしまう前に合成されればよいから、第1と第2の衝撃力の付与は、同時に行われることは必須ではない。本発明者らの検討によれば、通常用いられるシリコンロッドすなわち、長軸方向の長さが1500~2500mm程度のものでは、第1の衝撃力の付与と第2の衝撃力の付与が2秒未満で行われれば、第1の弾性波と第2の弾性波の合成による破砕の効果を十分に得ることができる。また、シリコンロッドが上記のものよりも長尺である場合には、第1と第2の衝撃力付与の時間差はより大きなものまでが許容される。なお、この場合、第1の衝撃力の付与が先に行われても、第2の衝撃力の付与が先に行われてもよい。第2の弾性波を発生させる点衝撃力付与点に特別な制限はないが、多結晶シリコンロッド10の全体に破砕を生じさせ易くするためには、第1の衝撃力の付与を行う多結晶シリコンロッド10の片端部一方端部とは逆側の端部他方端部ないしはその近傍に第2の衝撃力を付与することが好ましい。第2の衝撃波を発生させる方法としては、第1の衝撃波の発生と同様の方法が挙げられる。本発明者らの検討によれば、この第2の衝撃力は、第1の衝撃力ほど方向性に対する制限はなく、例えば、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cに垂直な方向の力学成分のみを有するものであってもよい。これは、第2の衝撃力が、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cに垂直な方向の力学成分のみを有するものであっても、多結晶シリコンロッド10の内部に発生する第2の弾性波は、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cに平行な成分を有することによるものと思われる。しかし、効率的な破砕を生じさせるためには、第2の衝撃力の多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向の力学成分F2hが、中心軸Cに垂直な方向の力学成分F2vよりも大きいものであることが好ましい。多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向と平行な方向から第2の衝撃力を付与すれば、最も効率的に破砕を生じさせることができる。なお、第1の衝撃力と第2の衝撃力の多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向の力学成分が等しくF1h=F2h、かつ、向きが逆である場合には、多結晶シリコンロッド10が衝撃を受けたことにより大きく動いてしまうことがない。この場合、同時に衝撃を与えることが特に好ましい。[実施例1]図2に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1および第2の衝撃力F1およびF2をそれぞれ、一方端部および他方端部から加え、第1および第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とし、付与は同時に行った。その結果、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面1を内部に生じさせることができ、多結晶シリコン塊に破砕することができた。[実施例2]図3に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの2分の1の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1および第2の衝撃力F1およびF2をそれぞれ、一方端部および他方端部から加え、第1および第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とし、付与は同時に行った。その結果、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面1を内部に生じさせることができ、多結晶シリコン塊に破砕することができた。一方、シリコンロッドが単結晶20である場合には、衝撃を付与した箇所のみが割れ30、破砕は起こらなかった図4:比較例1。[実施例3]図5に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向の力学成分F1hおよびF2hと、中心軸Cに垂直な方向の力学成分F1vおよびF2vが合成された第1および第2の衝撃力F1およびF2をそれぞれ、略左右対称に、一方端部および他方端部から加え、第1および第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とし、付与は同時に行った。その結果、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面1を内部に生じさせることができ、多結晶シリコン塊に破砕することができた。一方、シリコンロッドが単結晶20である場合には、衝撃を付与した箇所のみが割れ30、破砕は起こらなかった図6:比較例2。[実施例4]図7に示したように、長軸方向の長さが約2000mmの円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1の衝撃力F1を一方端部から加え、さらに、第2の衝撃力F2を他方端部近傍の側面の稜に加え、第1および第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とし、付与は同時に行った。その結果、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面1を内部に生じさせることができ、多結晶シリコン塊に破砕することができた。[実施例5]図8に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を固定治具2の床上に寝かせ、多結晶シリコンロッド10の他方端部を、固定治具2に設けられた障壁に押し当てた状態で、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1の衝撃力F1を一方端部から加え、第1の弾性波を発生させた。その結果、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面1を内部に生じさせることができ、多結晶シリコン塊に破砕することができた。[実施例6]図9に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1の衝撃力F1を一方端部から加えて第1の弾性波を発生させた1秒後に、同じく、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第2の衝撃力F2を他方端部から加えて第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とした。その結果、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cを分断する破砕面1を内部に生じさせることができ、多結晶シリコン塊に破砕することができた。なお、第1の衝撃力F1を付加した後に第2の衝撃力F2を付加するまでの時間を2秒とした場合には、破砕は生じたものの、部分的に大きすぎるシリコン塊が残った比較例3。また、上記第2の衝撃力を付加するまでの時間を3秒比較例4、4秒比較例5、5秒比較例6とした場合には、何れも、破砕は生じなかった。