コンプレッサーに連通するヘッダーパイプの開口部を閉鎖するように取り付けたメインダイヤフラム組立部材と、バルブケースとメインダイヤフラム組立部材とで形成されたメインダイヤフラム室と、バルブ本体に形成したメインダイヤフラム室に連通する溝および大気に通じる排気孔と、バルブ本体に固定したキャップと、キャップ内に形成したパイロットダイヤフラム室と、パイロットダイヤフラム室内に設けたパイロットダイヤフラム組立部材と、メインダイヤフラム室内およびパイロットダイヤフラム室内にそれぞれ装着したコイルばねと、パイロットダイヤフラム室内に装着した電磁弁と、一端に弁座を形成した導管とからなり、メインダイヤフラム組立部材にスリーブ形状の案内部材を一体に取り付たけたことを特徴とするダイヤフラムバルブ。一般に集じん機1は図3に示すように、下部ホッパー2とバグフィルタ3を備えた集じん室4とダスト払い機構を設けた清浄室5と粉じんあるいはダストを含んだ排ガスを集じん室4に導入するガス導入口6とから構成されている。そして、圧送または吸引によって粉じんあるいはダストを含んだ排ガスが集じん室4内に入りダストはバグフィルタ3外面に付着、堆積され、ろ過されたエアーはバグフィルタ内面を通って清浄室5に設けた排気口7より清浄空気として外気に排気される。そして、バグフィルタ3表面に付着したダストは後述するパルスジェット方式の払い落し機構により一定時間毎に払い落され、下部ホッパー2へ落される。パルスジェット方式の払い落し機構は、バルブ本体8とバルブ本体8を構成する導管9に配設されたパルス噴射ノズル10とから構成されている。次に、バルブ本体8について図1~3を参照して説明する。バルブ本体8はバルブケース11内にコンプレッサーに連通するヘッダーパイプ12の開口部を閉鎖するように取り付けたメインダイヤフラム組立部材13と、バルブケース11とメインダイヤフラム組立部材13とで形成するメインダイヤフラム室14と、バルブケース11に形成したメインダイヤフラム室14に連通する溝15および大気に通じる排気孔16と、バルブケース11に固定したキャップ17と、キャップ17内に形成したパイロットダイヤフラム室18と、パイロットダイヤフラム室18内に設けたパイロットダイヤフラム組立部材19と、メインダイヤフラム室14内およびパイロットダイヤフラム室18内にそれぞれ装着したコイルばね20、21と、パイロットダイヤフラム室18内に装着した電磁弁22と、一端に弁座23を形成した導管9とからなり、特にメインダイヤフラム組立部材13にスリーブ形状の案内部材24を一体に取り付たけたものである。そしてメインダイヤフラム組立部材13はバルブケース11とヘッダーパイプ12間に押し付けられて係止されたダイヤフラム25と、ダイヤフラム25の下部に固定した弁体26と、ダイヤフラム25の上部に固定した当て具27から構成されている。そしてバルブケース11内部と当て具27間にはコイルばね20が装着されヘッダーパイプ12の開口部をダイヤフラム25で常時閉鎖するようになっている。このような構造であるので、常時は集じん機1本体の清浄室5の下流側に接続した吸引フアン図示せずによりダストを含んだ空気はガス導入口6に導かれ、ダストがバグフィルタ3でろ過され清浄空気が清浄室5を介して排気口7より清浄空気として外気に排気される。その際、バグフィルタ3の外表面にダストが付着し、通気抵抗が所定値に到達したとき、または使用期間が一定時間経過したときに定期的に電磁弁22に通電すると、電磁弁22が作動する。このため、パイロットダイヤフラム室18内の流体は電磁弁22を通り大気へ流出される。この瞬間、パイロットダイヤフラム室18内の圧力はメインダイヤフラム室14内の圧力より低くなり、この圧力差によりパイロットダイヤフラム組立部材19が浮き上がり、メインダイヤフラム室14内の流体が排気孔16より大気へ流れる。このとき、メインダイヤフラム室14内の圧力はヘッダーパイプ12の圧力より低くなり、この圧力差によりメインダイヤフラム組立部材13と共にスリーブ形状の案内部材24が浮き上がり、弁座23を開くようになることから、圧縮空気が弁座23を介して導管9へ導かれることにより圧縮空気が吹き出される。そして吹き出された圧縮空気は導管9に配設したパルス噴射ノズル10から洗浄空気をバグフィルタ3内面に噴き出し、バグフィルタ3の外表面に付着したダストを払い落とすようになる。次に、バグフィルタ3のダスト払い落としが完了した時点で、電磁弁20への通電を止めるとパイロットダイヤフラム室18内に圧力が補給されると共に電磁弁22が元の位置に戻りコイルばね21が押し付けられるためパイロットダイヤフラム組立部材19が降下しパイロットダイヤフラム室18内が閉鎖される。また、ヘッダーパイプ12側圧力がメインダイヤフラム室14内に補給され同圧となるため、メインダイヤフラム室14内の圧力とコイルばね20の復元力によりメインダイヤフラム組立部材13が降下して弁座23を閉じることから、ダイヤフラムバルブ8からの圧縮空気の吹き出しは止まりダストを払い落としが終了する。尚、本実施例では本発明の一実施例を述べたもので、これに限定されることなく、種々変更しても何ら本発明の要旨を変更するものではない。