長尺状シートのワークを供給するワーク供給装置と、前記ワークを巻き取るワーク巻取り装置との間に化学処理槽が配置され、前記ワーク供給装置からワーク巻取装置までのワーク搬送時に少なくとも1か所、ワークの折り返しを行い、前記ワークの化学処理面が鉛直状態で化学処理する化学処理装置であって、前記化学処理槽へのワークの搬入時に、少なくとも前記ワークの上端を把持する搬送クランプ群を有し、かつ前記クランプ群は両端を巻側搬送プーリーと折り返し側搬送プーリーによって張設されたエンドレスベルトに等間隔で取り付けられて定寸ごとに前記ワークを把持して鉛直状態として搬送すると同時に、ワークの折り返し時に、前記搬送プーリーと同軸上に設けられ、ワークの幅方向両端を円弧状に保持し、前記クランプ群の位置を規制する位置規制凹部を設けたワーク支持部材によって、前記ワークが位置規制されながら搬送され、前記ワークの化学処理槽搬出時に、前記搬送クランプ群が順次開放されて化学処理されたワークを、ワーク巻取装置に巻き取らせるワーク搬送装置が設けられていることを特徴とする化学処理装置。前記ワーク支持部材が、円柱状であることを特徴とする請求項1記載の化学処理装置。前記ワーク支持部材が、円盤状であり、ワークのクランプで把持される幅より、前記ワーク支持部材がワークを支持する幅が小さいことを特徴とする請求項1乃至2記載の化学処理装置。本発明は、このような課題に鑑み成されたもので、極薄の長尺シート状基板であっても欠陥を発生せずに安定した処理が可能な化学処理装置を提供することを目的とする。このような状況を解決するための本発明に係る化学処理装置の第1の発明は、長尺状シートのワークを供給するワーク供給装置と、そのワークを巻き取るワーク巻取り装置との間に化学処理槽が配置され、ワーク供給装置からワーク巻取装置までのワーク搬送時に少なくとも1か所、ワークの折り返しを行い、かつワークの化学処理面が鉛直状態で化学処理する化学処理装置であって、化学処理槽へのワークの搬入時に少なくともワークの上端を把持する搬送クランプ群を有し、かつクランプ群は両端を巻側搬送プーリーと折り返し側搬送プーリーによって張設されたエンドレスベルトに等間隔で取り付けられて定寸ごとにワークを把持して鉛直状態として搬送すると同時に、ワークの折り返し時に、搬送プーリーと同軸上に設けられ、ワークの幅方向両端を円弧状に保持してクランプ群の位置を規制する位置規制凹部を設けたワーク支持部材によってワークが位置規制されながら搬送され、ワークの化学処理槽搬出時に、搬送クランプ群が順次開放されて化学処理されたワークを、ワーク巻取装置に巻き取らせるワーク搬送装置が設けられていることを特徴とするものである。本発明の第2の発明は、第1の発明におけるワーク支持部材が、円柱状であることを特徴とする化学処理装置である。本発明の第3の発明は、第1及び第2の発明おけるワーク支持部材が、円盤状であり、ワークのクランプで把持される幅より、ワーク支持部材がワークを支持する幅が小さいことを特徴とする化学処理装置である。本発明の化学処理装置によれば、極薄のフレキシブル回路基板であっても安定した搬送が可能になりワークが波打ち状態の不良となってしまうことも改善され、品質に優れたフレキシブル回路基板などの極薄の長尺シート状基板の提供を可能にする。本発明を実施する形態について図面を参照しながら、詳細に説明する。本発明の化学処理装置は、従来の装置図5参照と同様にワーク3の処理面が鉛直面となるようにワークが鉛直状態で供給され、その供給されるワーク3が少なくとも一回は折り返す構造の処理装置である。そこで、本発明の説明に際して、図1の本発明に係る化学処理装置20を、図5に示す従来の化学処理装置30と同様の形態であるとして説明する。すなわち、図1に示すようにリール図示せずに巻かれたワーク3を巻き出す為のワーク供給装置1と化学処理が終了したワークを巻き取るためのワーク巻取装置2の間に、化学処理槽4が設けられている。この化学処理槽4におけるワーク3の出入り口にはシールローラー等の公知の液漏れ防止機構が設けられていても良い。化学処理として、電解めっき等の電解処理を行う場合は、化学処理槽4内に電解処理用の電極が設けられる。図1は本発明に係る化学処理装置の構成の一例を表す、配置模式平面図で図5と同様の形態を有している。図2は、その化学処理装置20をワーク巻取装置2側から見た配置模式側面図で、aはワーク3を搬送した状態の図で、bはワークを取り除いた状態で、装置を説明するための模式側面図である。図2はワーク巻取装置2側から見たものであるが、ワーク供給装置1側から見た場合は、図中において、ワーク巻取装置2がワーク供給装置1に変更された図となる。図2において、2はワーク巻取装置、3はワーク、3aは巻き取ったワークコイル状、4は化学処理槽、5は当て板、6は巻側搬送プーリー、7は折り返し側搬送プーリー、8はエンドレスベルト、9はクランプ、10はワーク支持部材、12は折り返し側搬送プーリー回転軸、13は巻側搬送プーリー回転軸、14はワーク巻取軸、15は装置架台で、符号5当て板から符号13巻側搬送プーリー回転軸までの部品により本発明に係るワーク搬送装置を形成している。図2からは、ワーク供給装置図示せずから化学処理面を鉛直面とした状態で巻きだされたワークは、巻側搬送プーリー6の位置に達した際に、クランプ9によってワークの上端と下端を把持する。このクランプ9は、当て板5の位置を通過する際は、当て板5にクランプの片側が押され開いた状態になり、当て板5を過ぎるとクランプ9の先端がワーク3を把持するように閉じられる。その後、エンドレスベルト8に支持され、均等な間隔で設けられた複数のクランプ9により上端および下端を把持されたワーク3は化学処理槽4に搬送され、処理に供せられる。巻側搬送プーリー6及び折り返し側搬送プーリー7は、それぞれ独立駆動するサーボーモータに接続され、所望の移動速度によりエンドレスベルト8を移動することが可能になっている。エンドレスベルト8の移動量は、そのエンドレスベルトにマークを設けてセンサーで検出する方法や、搬送プーリーの回転角から求める方法等公知の方法を適宜選択することができる。次に、片側の化学処理槽4を通過したワーク3は、図2aに示すように折り返し側搬送プーリー7の位置で方向転換し、もう一方の化学処理槽4へ搬送される。折り返し搬送プーリー7の位置でワーク3が方向転換する際に、折り返し搬送プーリー7を同軸にワーク3の鉛直方向の両端部が接するように設けられたワーク支持部材10図2b参照により、ワーク3は方向転換の際に波打つことなく、円弧状を描いて方向転換を行う事が可能に成る。このワーク支持部材10は、図3のように円盤状の部材からなり、クランプ9の先端部の位置を規制するためのクランプ位置規制凹部11が各クランプの設置間隔に合わせて設けられている。ワーク支持部材10は、ワーク3全体を支持するような円柱状の部材の両端にクランプ位置を規制するための凹部が設けられていていれば良いが、ワーク3の化学処理部分はなるべく非接触状態とし、ワーク3に汚れや傷を発生させることを無くすためにワーク支持部材10は、ワーク両端のクランプで把持される幅以下を支持する厚みとする事が望ましい。ワーク支持部材10により、ワーク3は円弧状を維持しながら方向転換し、もう一方の化学処理槽4で処理された後、ワーク巻取装置2によって巻き取られる。以下、実施例を用いて本発明を説明する。円盤状ワーク支持部材ポリイミドフィルム上に導電性金属層を形成した幅540mm、長さ300m、その厚みが125μm、100μm、75μm、50μm、38μm、25μm、12.5μmの7種類のワーク3を、ワーク供給装置に取り付け、本発明に係る化学処理装置を用いてワークの上下端部を把持し、搬送張力を50N、搬送速度0.5m/minでワークを搬送しながら、化学処理槽4にて電流密度3Acm2でめっき処理を行った。使用したワーク支持部材10は、直径70cm、板厚12mmの円盤状部材に、クランプ位置規制凹部11を形成したもので、ワークの鉛直面両端の幅10mmを支持するように調整した。またクランプは、ワーク鉛直面両端の幅15mmを把持するように調整した。その結果めっき後のワークにしわも無く良好なめっき処理を行う事ができた。円柱状ワーク支持部材使用したワーク支持部材10として、直径70cm、高さ550mmの円柱状部材の上下端にクランプ位置規制凹部11を形成したものを用いた以外は、実施例1と同じ条件でめっき処理を行った。その結果めっき後のワークにしわは生じなかったが、所々、めっき表面に傷状の不良が発生したが、不良部分を取り除くことで製品として用いる事ができた。比較例1図5に記載した従来の化学処理装置を用いた以外は、実施例1と同じ条件でめっき処理を行った。その結果、ワークの厚みが薄くなるほど、めっき後のワークにしわが生じており、ワーク厚みが50μm以下では、しわがワーク全体に多数発生しており、製品として供する事ができなかった。