"マガジン内に設けられた複数段のスロットに、部品を載せた複数枚のパレットを収納し、該マガジンからいずれかのパレットをパレット引き出し機構により部品供給位置に引き出して該パレット上の部品を部品実装機に供給する部品供給装置において、前記マガジン内の各スロットの間に、塵埃受け板を着脱可能に装着する装着部を設けたことを特徴とする部品供給装置。同一の部品を積載した複数枚のパレットを1つのパレットグループに区画して、前記マガジン内に前記パレットグループ毎に収納し、前記塵埃受け板を前記パレットグループの間に位置する前記装着部に装着したことを特徴とする請求項1に記載の部品供給装置。前記マガジンに同じパレットグループのパレットを収容する場合は、作業者が当該パレットグループの区画の上段側からパレットを順に収納していき、前記パレット引き出し機構が当該パレットグループからパレットを部品供給位置に引き出す場合に、当該パレットグループの区画の下段側からパレットを引き出すように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の部品供給装置。前記マガジンは、ウエハ部品を載せたウエハパレットと、トレイ部品を載せたトレイパレットのいずれも収納可能に構成され、前記塵埃受け板は、前記ウエハパレットの上面をカバーするように装着されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の部品供給装置。ところで、マガジンの各スロットにパレットを差し込んだり、パレットを各スロットから引き出す際に、パレットの下面に付着していた塵埃が摩擦や振動等で落下して、直下のパレット上の部品に付着することがある。部品に付着した塵埃は、部品実装信頼性を低下させる原因となる可能性がある。特に、ウエハ部品では、上面にワイヤボンディング用の電極が形成されているものがあり、ウエハ部品の上面に塵埃が付着すると、ボンディング不良が発生する可能性がある。そこで、本発明が解決しようとする課題は、部品を載せたパレットの出し入れ時等に落下する塵埃の付着による部品実装信頼性の低下を防止できる部品供給装置を提供することである。上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、マガジン内に設けられた複数段のスロットに、部品を載せた複数枚のパレットを収納し、該マガジンからいずれかのパレットをパレット引き出し機構により部品供給位置に引き出して該パレット上の部品を部品実装機に供給する部品供給装置において、前記マガジン内の各スロットの間に、塵埃受け板を着脱可能に装着する装着部を設けた構成としたものである。この構成では、予めマガジン内の装着部に塵埃受け板を装着しておけば、該塵埃受け板の上側でパレットを出し入れする際に、該パレットの下面に付着していた塵埃が摩擦や振動等で落下しても、落下する塵埃が塵埃受け板で受け止められる。これにより、塵埃受け板の下側に収納されたパレット上の部品に塵埃が付着することを防止でき、塵埃の付着による部品実装信頼性の低下を防止できる。しかも、マガジン内に塵埃受け板を装着する高さ位置装着部をユーザーが自由に選択できるため、上方のパレットから落下する塵埃の付着を防止する必要のないパレットを収納する場合は、そのパレットを収納する高さ位置の上側の直近の装着部には、塵埃受け板を装着しないという取り扱いが可能となり、多様なユーザーの使用態様に対応できる。また、塵埃受け板を装着すると、その分、パレットを収納するスペースの高さ寸法が減少するため、塵埃の付着を防止する必要のないパレットについては、塵埃受け板を装着しないようにすれば、パレットを収納するスペースの高さ寸法が狭くなるのを防止できる。これにより、例えば、塵埃受け板によって収納可能なパレットの高さ寸法が制限されたり、パレット上に積載可能なトレイの段数が制限されることを防止でき、マガジン内のスペースを有効に利用できる。更に、請求項2のように、同一の部品を積載した複数枚のパレットを1つのパレットグループに区画して、マガジン内に前記パレットグループ毎に収納し、塵埃受け板をパレットグループの間に位置する装着部に装着するようにしても良い。同じパレットグループ内の複数枚のパレット間では、パレットの収納順序や引き出し順序を工夫することで、部品への塵埃の付着を避けることができるためである。この場合、請求項3のように、マガジンに同じパレットグループのパレットを収容する場合は、作業者が当該パレットグループの区画の上段側からパレットを順に収納していき、パレット引き出し機構が当該パレットグループからパレットを部品供給位置に引き出す場合に、当該パレットグループの区画の下段側からパレットを引き出すように構成しても良い。マガジンに同じパレットグループのパレットを収容する場合に、当該パレットグループの区画の上段側からパレットを順に収納していけば、それより下段側には、まだパレットが収納されていないため、パレット収納時に該パレットの下面に付着していた塵埃が摩擦や振動等で落下しても、その塵埃が直下のパレット上の部品に付着することはなく、パレットグループの間に位置する塵埃受け板に受けられるだけである。また、パレットグループからパレットを部品供給位置に引き出す場合に、当該パレットグループの区画の下段側からパレットを引き出すようにすれば、パレットの引き出し時に該パレットの下面に付着していた塵埃が摩擦や振動等で落下しても、その塵埃はパレットグループの間に位置する塵埃受け板に受け止められ、それより下段側のパレット上の部品に付着することはない。以上説明した請求項1~3に係る発明は、トレイ部品を載せたトレイパレットのみを積載するトレイパレット専用の部品供給装置に適用しても良いし、ウエハ部品を載せたウエハパレットのみを積載するウエハパレット専用の部品供給装置に適用しても良い。或は、請求項4のように、ウエハパレットとトレイパレットを混載可能な部品供給装置に適用しても良く、この場合は、塵埃受け板をウエハパレットの上面をカバーするように装着すると良い。ウエハ部品は、トレイ部品と比べて塵埃の影響が大きいためである。本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。図1に示すように、本実施例の部品供給装置11は、マガジン保持部12トレイタワー、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット図示せず、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。この部品供給装置11は、図2に示すように、部品実装機25のフィーダセット用開口部にパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。部品供給装置11のマガジン保持部12内に上下動可能に収納されたマガジン18図5参照には、ウエハ部品21ダイを載せたウエハパレット22と、トレイ部品42電子部品を載せたトレイパレット41図4参照とを多段に混載できるようになっている。図3に示すように、ウエハパレット22は、碁盤目状にダイシングされたウエハ多数のダイ21を貼着した伸縮可能なダイシングシート36を、円形の開口部を有するウエハ装着板23にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板23をパレット本体28にねじ止め等により取り付けた構成となっている。一方、図4に示すように、トレイパレット41上には、トレイ部品42を収容したトレイ43が1段又は複数段に積載されている。パレット引き出し機構14は、生産プログラム生産ジョブに従って、ウエハパレット22とトレイパレット41のいずれかのパレットをマガジン保持部12内のマガジン18からパレット引き出しテーブル13上に引き出すものであり、パレット22,41上の部品42やダイ21を部品実装機25図3参照の吸着ノズル図示せずでピックアップする位置以下部品実装機用引き出し位置というと、マガジン18に近い引き出し位置以下サブロボット用引き出し位置というとのいずれの位置にもパレット22,41を引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル13の前端の位置マガジンから最も離れた位置であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット15の吸着ノズル図示せずでウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21を吸着可能な位置である。サブロボット15は、マガジン保持部12の背面部サブロボット用引き出し位置側の面のうちのパレット引き出しテーブル13の上方に位置して設けられ、XZ方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及び垂直方向に移動するように構成されている。尚、サブロボット15の移動方向をX方向のみとし、ウエハパレット22に対するサブロボット15のY方向パレット引き出し方向の相対的位置は、パレット引き出し機構14によってウエハパレット22をY方向に徐々に引き出すことで制御している。このサブロボット15には、1本又は複数本の吸着ノズル図示せずが下向きに設けられ、ピックアップするダイ21のサイズ等に応じてノズルチェンジャー20で吸着ノズルを交換できるようになっている。サブロボット15には、カメラ24が設けられ、このカメラ24の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ21の位置又はダイ21の吸着姿勢を確認できるようになっている。シャトル機構16は、サブロボット15の吸着ノズルでピックアップされた部品をシャトルノズル26で受け取って部品実装機25の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。反転ユニット17は、サブロボット15から受け取るダイ21を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ21の種類によっては、ウエハパレット22のダイシングシート36に上下反対に貼着されたダイ例えばフリップチップ等が存在するためである。尚、NGコンベア19は、不良部品や吸着不良のダイ21を排出するコンベアである。以上のように構成した部品供給装置11の制御装置32は、キーボード、マウス等の入力装置33と、液晶ディスプレイ等の表示装置34等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、生産プログラムに従って部品実装機25に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構14、サブロボット15及びシャトル機構16、反転ユニット17等の動作を制御する。次に、図5乃至図7を用いてマガジン18の構成を説明する。マガジン18内には、パレット50ウエハパレット22又はトレイパレット41を収納するための複数段のスロット51が設けられ、各スロット51の左右両側にそれぞれパレット50を出し入れ可能に支持する支持部材52が設けられている。最下段のスロット51を除く各段のスロット51の支持部材52には、それぞれ、パレット50の下側の位置に塵埃受け板53を着脱可能に装着する装着溝54装着部が形成されている。尚、ユーザーが間違ってパレット50を装着溝54に差し込むことを防止できるようにパレット50と装着溝54との寸法関係が設定されている。この塵埃受け板53のサイズは、左右両側の支持部材52に支持されたパレット50の下面側の露出部分をカバーするサイズに形成されている。この場合、各スロット51間の装着溝54に塵埃受け板53を装着するか否かは、パレット50上の部品の種類に応じてユーザーが自由に選択すれば良い。例えば、図5に示す第1例のように、最下段のスロット51を除く各段のスロット51に収納した各パレット50の下側にそれぞれ塵埃受け板53を装着しても良い。この場合、各段のスロット51にパレット50を収納する前に、塵埃受け板53を装着しておけば良い。また、マガジン18内に塵埃受け板53を装着する高さ位置装着溝54をユーザーが自由に選択できるため、図6に示す第2例のように、上方のパレット50Aから落下する塵埃の付着を防止する必要のないパレット50Bを収納する場合は、そのパレット50Bを収納する高さ位置の上側の直近の装着溝54には、塵埃受け板53を装着しないようにしても良い。例えば、マガジン18内にウエハパレット22とトレイパレット41を混載する場合は、トレイパレット41を塵埃の付着を防止する必要のないパレット50Bとし、塵埃受け板53をウエハパレット2250Aの上面をカバーするように装着しても良い。図6に示す第2例では、ウエハパレット2250Aを収納する前に、塵埃受け板53を装着しておけば良い。塵埃受け板53を装着すると、その分、パレット50を収納するスペースの高さ寸法が狭くなるため、塵埃の付着を防止する必要のないパレット50Bについては、塵埃受け板53を装着しないようにすれば、パレット50Bを収納するスペースの高さ寸法が減少することを防止できる。これにより、例えば、塵埃受け板53によって収納可能なパレットBの高さ寸法が制限されたり、パレット50B上に積載可能なトレイの段数が制限されることを防止できる。図7に示す第3例のように、同一の部品を積載した複数枚のパレット50を1つのパレットグループに区画して、マガジン18内にパレットグループ毎に収納し、塵埃受け板53をパレットグループの間に位置する装着溝54に装着するようにしても良い。この場合も、各段のスロット51にパレット50を収納する前に、塵埃受け板53を装着しておけば良い。図7に示す第3例では、上段のパレットグループP1は、4個のパレットP1a~P1dからなり、中段のパレットグループP2は、3個のパレットP2a~P2cからなり、下段のパレットグループP3は、3個のパレットP3a~P3cからなる。この場合、マガジン18に同じパレットグループのパレット50を収容する場合は、当該パレットグループの区画の上段側からパレット50を順に収納していく。例えば、上段のパレットグループP1では、上段側からパレットP1a→P1b→P1c→P1dの順に収納し、中段のパレットグループP2では、上段側からパレットP2a→P2b→P2cの順に収納し、下段のパレットグループP3では、上段側からパレットP3a→P3b→P3cの順に収納していく。このように、パレットグループの区画の上段側からパレット50を順に収納していけば、それより下段側には、まだパレット50が収納されていないため、パレット収納時に該パレット50の下面に付着していた塵埃が摩擦や振動等で落下しても、その塵埃が直下のパレット50上の部品に付着することはなく、パレットグループの間に位置する塵埃受け板53に受けられるだけである。また、パレットグループからパレット50をパレット引き出しテーブル13上に引き出す場合は、当該パレットグループの区画の下段側からパレット50を引き出す。例えば、上部側のパレットグループP1では、下段側からパレットP1d→P1c→P1b→P1aの順に引き出し、中間部のパレットグループP2では、下段側からパレットP2c→P2b→P2aの順に引き出し、下部側のパレットグループP3では、下段側からパレットP3c→P3b→P3aの順に引き出していく。このように、パレットグループの区画の下段側からパレット50を引き出すようにすれば、パレット50の引き出し時に該パレット50の下面に付着していた塵埃が摩擦や振動等で落下しても、その塵埃はパレットグループの間に位置する塵埃受け板53に受け止められ、それより下段側のパレット50上の部品に付着することはない。また、例えば、部品供給装置11の稼働中に、上段のパレットグループP1において、最初に引き出したパレットP1d上の部品が無くなると、このパレットP1dをマガジン18内の元の位置に戻して、次のパレットP1cが引き出されるが、マガジン18内に戻されたパレットP1dは空になっているため、パレットP1cの引き出し時にパレットP1cから塵埃がパレットP1d上に落下しても、影響は全くない。また、上から2段目のパレットP1bを引き出しているときに、作業者が部品の補給を行う場合は、上から4段目パレットP1dの段に、部品を補給したパレットP1dを収納する。この後、部品供給装置11は、引き出されている使用途中のパレットP1bをマガジン18内の元の位置に戻して、部品補給済みのパレットP1dをマガジン18から引き出して部品を部品実装機25に供給する。このパレットP1dの部品が無くなると、このパレットP1dをマガジン18内の元の位置に戻して、使用途中のパレットP1bをマガジン18から引き出して部品を部品実装機25に供給する。尚、使用途中のパレットがマガジン18内に残ることを嫌う場合は、部品を補給したパレットと使用途中のパレットとの位置を入れ替えるようにしても良い。例えば、使用途中のパレットP1bをマガジン18内に戻す際に、部品補給済みのパレットP1cを元の位置上から3段目より1段高い位置上から2段目に収納し、パレットP1bを元の位置上から2段目より1段低い位置上から3段目に戻すようにしても良い。このようにすれば、部品補給後に、使用途中のパレットP1bを引き出して部品を部品実装機25に供給することができ、使用途中のパレットP1bがマガジン18内に残されることを防止できる。以上説明した本実施例によれば、予めマガジン18内の装着溝54に塵埃受け板53を装着しておけば、該塵埃受け板53の上側でパレット50を出し入れする際に、該パレット50の下面に付着していた塵埃が摩擦や振動等で落下しても、落下する塵埃が塵埃受け板53で受け止められる。これにより、塵埃受け板53の下側に収納されたパレット50上の部品に塵埃が付着することを防止でき、塵埃の付着による部品実装信頼性の低下を防止できる。しかも、マガジン18内に塵埃受け板53を装着する高さ位置装着溝54をユーザーが自由に選択できるため、上方のパレット50から落下する塵埃の付着を防止する必要のないパレット50を収納する場合は、そのパレット50を収納する高さ位置の上側の直近の装着溝54には、塵埃受け板53を装着しないという取り扱いが可能となり、多様なユーザーの使用態様に対応できる。また、塵埃受け板53を装着すると、その分、パレット50を収納するスペースの高さ寸法が減少するため、塵埃の付着を防止する必要のないパレット50については、塵埃受け板53を装着しないようにすれば、パレット50を収納するスペースの高さ寸法が狭くなるのを防止できる。これにより、例えば、塵埃受け板53によって収納可能なパレット50の高さ寸法が制限されたり、パレット50上に積載可能なトレイの段数が制限されることを防止でき、マガジン18内のスペースを有効に利用できる。尚、本発明は、上記実施例に限定されず、例えば、パレット50の収納構造や塵埃受け板53の装着構造を変更したり、マガジン18内のスロット51の段数収納可能なパレット50の枚数を変更しても良い。その他、本発明は、トレイ部品を載せたトレイパレットのみを積載するトレイパレット専用の部品供給装置に適用しても良いし、ウエハ部品を載せたウエハパレットのみを積載するウエハパレット専用の部品供給装置に適用しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。"