"ナノ粒子を含む気流が通過する気流通過路に設置されて、該気流通過路内のナノ粒子を粒子慣性効果により捕集すると共に、前記気流流速が大きくなる程、より小さな粒径のナノ粒子を捕集する慣性フィルタであって、気流通過路上に複数の粒子分級用シートを配置し、前記複数の粒子分級用シートは、複数のメッシュ状穴を有すると共に、前記複数の粒子分級用シートの少なくとも1枚が、その一部を他のシートと重ねて積層されており、前記複数の粒子分級用シートを気流通過路の下流側から上流側へ仮想的に投影した時、投影された前記複数の粒子分級用シートの投影図のうち、影の面積比率の調整により分級径が調整可能となっている、ことを特徴とする慣性フィルタ。前記粒子分級用シートよりも気流通過路上流側に配置され、且つ、気流通過方向に内径が縮径する貫通孔を有する流量調整ノズルを有し、この流量調整ノズルは、貫通孔の数または貫通孔の縮径率が相違する他の流量調整ノズルと組み替えることで流速の調整を行うものであり、前記複数の粒子分級用シートは、前記流量調整ノズルの貫通孔の下流側開口の全面を塞ぐ様に積層されている、請求項1に記載の慣性フィルタ。前記複数の粒子分級用シートは交互にスペーサを介して積層されている、請求項2に記載の慣性フィルタ。そこで、上記課題に鑑み、特願2010-148870号で、本願出願人は、上記課題を解決し得た慣性フィルタを提供した。この慣性フィルタは、意図した初期分級性能を得やすく、かつ、長期にわたり捕集効率が低下しにくく安定した粒子分級を行うことができる慣性フィルタであり、流量調整ノズルと、粒子分級用シートとを有する。流量調整ノズルは、気流通過方向に内径が縮径する縮径貫通孔を有し、貫通孔の形態により流速を調整することで分級径を変える機能を有する。粒子分級用シートは、流量調整ノズルよりも気流通過下流側において配置されている。また、この粒子分級用シートは、粒子慣性効果により浮遊微粒子を捕集するための複数のメッシュ状の粒子分級穴を一様な配列態様で有し、流量調整ノズルの貫通孔の下流側開口よりも大きいシート面積でもって該下流側開口全面を塞ぐ様に設けられている。しかしながら、上記構成を有する慣性フィルタにおいては、複数の粒子分級用シートを気流通過方向に配置した場合に、その配置の態様を改善することで、1枚の粒子分級用シートを配置した場合よりも、より分級性能を向上させられる余地があることが見出された。そこで、本発明においては、特願2010-148870号に係る慣性フィルタにおいて、複数の粒子分級用シートを利用して、分級性能の調整を簡便に行うことができる慣性フィルタを提供する。また、本発明においてはまた、図11を参照して説明した従来の慣性フィルタの課題を解消し、且つ、粒子分級用シートを複数配置した場合に、その分級性能の調整を簡便に行うことができる慣性フィルタを提供するものである。本発明による慣性フィルタは、ナノ粒子を含む気流が通過する気流通過路に設置されて、該気流通過路内のナノ粒子を粒子慣性効果により捕集すると共に前記気流流速が大きくなる程、より小さな粒径のナノ粒子を捕集する慣性フィルタであって、気流通過路上に複数の粒子分級用シートを配置し、前記複数の粒子分級用シートは、複数のメッシュ状穴を有すると共に、前記複数の粒子分級用シートの少なくとも1枚が、その一部を他のシートと重ねて積層されており、前記複数の粒子分級用シートを気流通過路の下流側から上流側へ仮想的に投影した時、投影された前記複数の粒子分級用シートの投影図のうち、影の面積比率の調整により分級径が調整可能となっている、ことを特徴とする。本発明の好ましい態様では、前記粒子分級用シートよりも気流通過路上流側に配置され、且つ、気流通過方向に内径が縮径する貫通孔を有する流量調整ノズルを有し、この流量調整ノズルは、貫通孔の数または貫通孔の縮径率が相違する他の流量調整ノズルと組み替えることで流速の調整を行うものであり、前記複数の粒子分級用シートは、前記流量調整ノズルの貫通孔の下流側開口の全面を塞ぐ様に積層されている。本発明の好ましい態様では、前記複数の粒子分級用シートは交互にスペーサを介して積層されている。なお、流体には気体に限らず、液体、その他のものを含む。また、慣性フィルタで捕集ないし捕捉される粒子は、気体中に浮遊する粒子に限定されず、他の溶媒例えば液中やその他を浮遊する粒子を含むことができる。また、分級する粒子は特に限定されず、樹脂微粒子、無機微粒子、金属微粒子、セラミック微粒子等が例示できる。粒子の形状は、特に限定されない。本発明によれば、複数の粒子分級用シートを気流通過路の下流側から上流側へ仮想的に投影した時、投影された前記複数の粒子分級用シートの投影図のうち、影の面積比率を調整することで慣性フィルタの分級性能を簡単に調整することができる。そして、本発明によれば、気流通過方向に内径が縮径する貫通孔を有する流量調整ノズルを粒子分級用シートよりも気流通過路上流側に配置し、貫通孔の数または貫通孔の縮径率が相違する他の流量調整ノズルと組み替えることで流速の調整を行うことができるようにし、且つ、複数の粒子分級用シートにより、流量調整ノズルの貫通孔の下流側開口の全面を塞ぐ様にした場合、初期の分級特性に優れ、長期にわたり安定して粒子分級を行うことができる慣性フィルタを提供することができるようになる。以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係る慣性フィルタを説明する。図1および図2を参照して実施形態の慣性フィルタの構成を説明する。図1は本発明の実施の形態にかかる慣性フィルタの断面図、図2は図1の慣性フィルタの拡大分解図である。この慣性フィルタ10は、フィルタサポート11と、流量調整ノズル12と、複数のスペーサ13-1~13-5と、複数の粒子分級用シート14-1~14-5とを有する。フィルタサポート11は、両端が開口した円筒形をなし、円形の内周面を有する。流量調整ノズル12は、両端が開口した円筒形でその外周面がフィルタサポート11の内周面に沿って気流通過路上流側に配置されると共に、内周面が矢印で示す気流通過方向に縮径する貫通孔12aを有している。この流量調整ノズル12は、貫通孔12aの縮径率が相違する他の流量調整ノズルと組み替えることで流速の調整を行うものである。なお、上記の場合、流量調整ノズル12は、図では貫通孔12aが単一であるが、図示しないが複数の貫通孔を有するものとし、その貫通孔の数が相違する他の流量調整ノズルと組み替えることで流速の調整を行うものとしてもよい。複数のスペーサ13-1~13-5は、平面視円形でスペーサ厚が薄く且つ外径が流量調整ノズル12のそれと略等径であり、中央の円形開口13aと、それを取り巻くスペーサ部分13bとからなり、図中矢印方向に沿って配置される。複数のスペーサ13-1~13-5それぞれの開口12aの直径は、流量調整ノズル12の貫通孔12aの気流通過方向下流側の開口12bと略同等である。スペーサ13-1は、気流通過方向上流側最上のスペーサであり、そのスペーサ部分13bの上面は、流量調整ノズル12の下面に直接接触している。複数のスペーサ13-1~13-5それぞれのスペーサ部分13bの外径は、フィルタサポート11の内径と略同等である。複数の粒子分級用シート14-1~14-5は、平面視円形でシート厚が薄く且つ外径が流量調整ノズル12のそれと略等径であり、複数のメッシュ状穴14aと、メッシュ状穴14aを規定するメッシュ部分14bと、メッシュ部分14bを支持する周縁部分14cとを有している。これら各粒子分級用シート14-1~14-5それぞれの周縁部分14cの外径は、各スペーサ13-1~13-5それぞれのスペーサ部分13bの外径と略同等である。各粒子分級用シート14-1~14-5は、各スペーサ13-1~13-5を介して気流通過方向において積層される。各粒子分級用シート14-1~14-5は、同形状であり、且つ、それぞれのメッシュ状穴14aの形状は実施形態では正方形であるが、この形状は多角形やその他の形状でよく、特に限定されない。流量調整ノズル12の貫通孔12aの下流側開口12bには、スペーサ13-1~13-5と、粒子分級用シート14-1~14-5との交互の積層体が配置され、これにより、流量調整ノズル12の貫通孔12aの下流側開口12bの全面が塞がれている。例えば、スペーサ13-1~13-5と、粒子分級用シート14-1~14-5との交互の積層体を気流通過路の下流側から上流側へ仮想的に投影した時、流量調整ノズル12の下流側開口12bを臨む仮想面に、光と影からなる投影図が映し出される。この投影図における影の部分は、複数の粒子分級用シート14-1~14-5のメッシュ部分14bおよび周縁部分14cにより光が遮られることで発生した部分である。本発明は、スペーサ13-1~13-5と、粒子分級用シート14-1~14-5との交互の積層体を気流通過路の下流側から上流側へ仮想的に投影した時に、下流側開口12bを臨む仮想面に映し出される投影図のうち、影の面積比率を調整することで、慣性フィルタの分級径や捕集効率を調整することができる効果をもつ発明である。図3および図4を参照して、具体的に、複数の粒子分級用シート14-1~14-5による慣性フィルタとしての分級径と捕集効率の調整について説明する。図3abは粒子分級用シート14-1~14-5それぞれのメッシュ部分14bとこのメッシュ部分14bを支持する周縁部分14cとによる投影図の影の部分図中の黒い部分S01,S02を示す図である以下、投影S01,投影S02と略す。図3には投影S01,S02のうち流量調整ノズル12の貫通孔12aの下流側開口12bに臨む破線で囲まれた範囲の影の部分図中の黒い部分S01 ́、S02 ́以下、投影部分S01 ́、投影部分S02 ́と略すを含む。図4は、上記投影部分S01 ́、S02 ́における影の面積比率の調整による分級効率を示す図である。図2に示すように、この実施形態では、粒子分級用シート14-1~14-5は5枚を使用している。図3aでは、これら5枚の粒子分級用シート14-1~14-5において、それら5枚全体により形成される投影図のうち、影の部分を示す投影S01の面積比率が最大となるように調整されている。これにより、流量調整ノズル12の貫通孔12aの下流側開口12bに臨む投影部分S01 ́の面積比率も最大となるように調整される。影の面積比率を高める一般的な方法としては、例えば前記5枚の粒子分級シート14-1~14-5のそれぞれの設置される向きを少しずつづらして、個々のメッシュ部分14bが極力重なりを持たないように調整することで達成される。ここで、投影S01の面積と投影部分S01 ́の面積とは略比例関係にある。尚上記では、これら5枚の粒子分級用シート14-1~14-5において、それら5枚全体により形成される投影図のうち、その投影S01の面積比率が最大となるように調整したが、流量調整ノズル12の貫通孔12aの下流側開口12bに臨む破線で囲まれた範囲における投影部分S01 ́の面積比率が最大となるように直接調整してもよい。後述する面積比率を最小に調整する場合も同様である。図3aにおいて、投影図の全体面積を100とした時、投影S01の面積が全体に占める面積比率は840.84である。この場合、S01と比例関係にある投影部分S01 ́も、破線で囲まれた範囲における面積比率は840.84となる。また、図3bでは、これら5枚の粒子分級用シート14-1~14-5において、それら5枚全体により形成される投影図のうち、影の部分を示す投影S02の面積比率が最小となるように調整され、これにより、流量調整ノズル12の貫通孔12aの下流側開口12bに臨む投影部分S02 ́の面積比率も最小となるように調整される。影の面積比率を低下させる一般的な方法としては、例えば前記5枚の粒子分級シート14-1~14-5のそれぞれの設置される向きをなるべく同じにして、個々のメッシュ部分14bが極力重なるように調整することで達成される。ここで、投影S02と投影部分S02 ́も略比例関係にある。この図3bにおいては、投影図全体の面積に対して投影S02の面積比率は320.32である。この場合、S02と比例関係にある投影部分S02 ́も、破線で囲まれた範囲における面積比率は320.32となる。なお、上記では、説明の都合で、投影図における影の面積比率を最大にした場合投影S01と最小とし場合投影S02での、2段階での面積比率の調整であったが、それ以上の複数段階の面積比率の調整も含む。図4は、影の面積比率の違いにおける、各粒径の捕集効率を示す図である。グラフAは図3aの投影部分S01 ́影の面積比率840.84における慣性フィルタの捕集効率を測定しプロットしたものであり、同様にグラフBは、図3bの投影部分S02 ́影の面積比率320.32の捕集効率をプロットしたものである。グラフAと、グラフBとを比較すると、粒径100nmでは、グラフAが捕集効率41であるのに、グラフBでは捕集効率16であり、明らかに、影の面積比率が大きいほど、捕集効率が大きいことが判る。図5に、横軸に影の面積比率図では、メッシュ投影面積比率と表示、縦軸に最大到達捕集効率を軸にとったグラフを示す。すると、これらの間には点線で示すように正比例の関係にあることが判る。つまり、捕集効率を向上させるには、影の面積比率を高めることが重要であることが判る。上述した例ではメッシュ状穴は同形同寸法の正方形同士であったため無作為に粒子分級用シートを重ねただけでは、影の面積比率を制御することはできない。これに対して非対称なメッシュ状穴を有する粒子分級用シートを組み合わせることで、無作為に粒子分級用シートを重ねただけで、影の面積比率を制御できるようにしてもよい。例えば図6で示すように、メッシュ状穴が正方形の粒子分級用シートと、メッシュ状穴が六角形の粒子分級用シートとを組み合わせてもよい。なお、メッシュ状穴を有する粒子分級用シートとしては、プラスチック繊維を織ったものとしては、ナイロンメッシュ、ポリエステルメッシュ、ポリプロピレンメッシュ、テフロン登録商標メッシュ、ポリエチレンメッシュを例示することができる。また、カーボンファイバを織り込んだナイロンメッシュ等、2種以上の繊維で織られた繊維を例示することができる。金属繊維としては、SUS等を織ったメッシュ状フィルタを例示することができる。また、金属膜をエッチングする等により、多数の微小貫通孔を設けた金属膜も使用することができる。なお、実施形態で使用する慣性フィルタ10の粒子捕集機構と特徴について、さらに説明する。まずは、一般的な繊維層を使ったフィルタ以下、繊維層フィルタというで、エアロゾルを捕集する際の機構を、図7を使って、説明する。この図は、一般の繊維層フィルタによる粒子捕集機構を概念的に示している。矢印は気流の方向を示す。図の中央には、繊維層フィルタを構成する非圧縮性繊維の断面が表示されており、その周囲を多種の粒径を持つエアロゾル粒子が流れている。一般の繊維層フィルタによるエアロゾル粒子の捕集では、拡散、慣性、さえぎりが捕集機構として作用し、それぞれの捕集効率は粒子径およびろ過速度に依存する。慣性は粒子径が大きくてろ過速度が大きいほど支配的な捕集機構となり、慣性捕集の尺度は次式で定義されるストークスStokes数である。一方、ブラウン拡散は粒子径が小さく、ろ過速度が遅いほど支配的な捕集機構となり、拡散捕集の尺度は次式で定義されるペクレPeclet数である。ストークス数が大きいほど慣性が支配的な捕集機構となり、ペクレ数が小さいほどブラウン拡散が支配的な捕集機構となる。この概念図から、篩ふるいとは異なる機構で粒子が捕集されていることが概念的に理解できる。Ccカニンガムのすべり補正定数dp粒子径空気動力学径df捕集繊維の繊維径D粒子の拡散係数ρp粒子の密度u0ろ過速度μ流体の粘度一般の微粒子フィルタの捕集効率を粒子径に対してプロットすると、図8中のに示すように下に凸の曲線となり、最大透過粒子径と呼ばれる最も捕集されにくい捕集効率が低い粒子径が存在する。この最大透過粒子径を境に、それより大きい粒子径では慣性捕集が支配的な捕集機構となって、粒子径が大きくなるにつれ捕集効率が高くなる。一方、最大透過粒子径より小さい粒子径では拡散捕集が支配的な捕集機構となって粒子径が小さくなるにつれ捕集効率が高くなる。ここで、ろ過速度u0を大きくしていくと、式、で定義されるストークス数、ペクレ数はともに大きくなり、小さな粒子に対しても慣性捕集が促進され、拡散捕集は抑制される。すると、前記aで描かれていた捕集効率を示すカーブは、ろ過速度の増加に伴い、点線で示すカーブになり、さらにろ過速度を大きくすると、ついには図8中のに示すように、粒子径の大きなところでは捕集効率が急激に高くなり、また粒子径の小さなところでは急激に低くなるカーブを描くことになる。この、ろ過速度を増加させることで、慣性捕集を促進し、拡散捕集を抑制した状態でエアロゾルをろ過するフィルタを慣性フィルタと呼び、理想的にはグラフbで示される捕集効率を示すフィルタである。ただし、粒子径がサブミクロンより大きくなると、粒子の運動エネルギーが大きくなるため、粒子が捕集繊維に慣性衝突しても跳ね返りが起こって捕集されにくくなる。以上から、慣性フィルタは、高速でエアロゾルをろ過することにより、サブミクロン以下の微粒子の慣性捕集の促進と拡散捕集の抑制を同時に実現し、ある粒子径以上の粒子はほぼ完全に捕集し、それ以下の粒子はほぼ完全に透過させることができるローパスフィルタであり、ナノ粒子を対象とした分級器に成り得ると言える。また、慣性フィルタは図9に示すように、ろ過速度が大きくなる程、より小さな粒径の粒子を捕集する特徴を有する。慣性フィルタ10は、粒子分級用シート14-1~14-5のメッシュ状穴14aに比較的高速数十msecで気流を通過させることで、ナノ粒子を慣性分級することができる。図10に示す写真は、図2の慣性フィルタのメッシュ状ろ材表面に粒子が捕集されて堆積している状態を示している。この写真で示す慣性フィルタの粒子分級用シートのメッシュ仕様は、繊維径10μm、ピッチ83μm、目開き73μmである。この写真から、メッシュ目開きの大きさよりも粒径が小さい微粒子がメッシュ状ろ材表面で捕集されて堆積しており、図7及び図8の概念と一致していることが判る。"