電子銃から試料に照射する電子ビームを通過させるための複数の絞り穴を備える絞り板と、電子ビームの通過経路で前記絞り板を駆動する絞り駆動部と、前記絞り板により遮断される前記電子ビームを電流として検出する電流検出部と、前記電子ビームの照射と前記絞り駆動部による前記絞り板の駆動状態を制御する制御部と、を備えた電子ビーム装置において、電子ビームを絞る絞り調整方法であって、電子ビームの通過経路中で複数の絞り穴が設けられた絞り板を所定方向に移動させつつ、電流検出部で検出される電流により前記絞り板の駆動位置を算出する、ことを特徴とする絞り調整方法。電子銃からの電子ビームを試料に照射する電子ビーム装置であって、前記電子ビームを通過させるための複数の絞り穴を備える絞り板と、前記電子ビームの通過経路中に前記絞り穴のいずれかが位置するように前記絞り板を駆動する絞り駆動部と、前記絞り板により遮断される前記電子ビームを電流として検出する電流検出部と、前記電子ビームの照射と前記絞り駆動部による前記絞り板の駆動状態を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記絞り駆動部によって前記絞り板を所定方向に移動させつつ前記電流検出部で検出される電流により、前記絞り板の駆動位置を算出するよう制御する、ことを特徴とする電子ビーム装置。データを記憶する記憶部を備え、前記制御部は、算出した前記絞り板の駆動位置を前記記憶部に記憶させる、ことを特徴とする請求項2に記載の電子ビーム装置。以上の特許文献1-4にも記載されているように、複数の絞り穴を備えた絞り板を用いる場合には、手動調整あるいは自動調整が可能である。しかしながら、絞り板ごとの個体差、取り付け時の誤差、振動による誤差、などにより、絞り穴の位置が予定していた位置より微妙にずれることがある。このため、自動調整するのであれば、設定データを毎回作り直さなければならないことになる。そして、絞り穴の個数が増えれば、設定データの作成にも時間がかかることになる。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、複数の絞り穴を備えた絞り板を用いた電子ビーム装置において、正確な絞り位置調整が容易にできる絞り調整方法及び電子ビーム装置を提供することにある。以上の課題を解決する本発明は、以下の通りである。1電子銃から試料に照射する電子ビームを通過させるための複数の絞り穴を備える絞り板と、電子ビームの通過経路で前記絞り板を駆動する絞り駆動部と、前記絞り板により遮断される前記電子ビームを電流として検出する電流検出部と、前記電子ビームの照射と前記絞り駆動部による前記絞り板の駆動状態を制御する制御部と、を備えた電子ビーム装置において、電子ビームを絞る絞り調整方法であって、電子ビームの通過経路中で複数の絞り穴が設けられた絞り板を所定方向に移動させつつ、電流検出部で検出される電流により前記絞り板の駆動位置を算出する、ことを特徴とする。2上記1において、データを記憶する記憶部を備え、前記制御部は、算出した前記絞り板の駆動位置を前記記憶部に記憶させる、ことを特徴とする。以上の発明では、電子ビーム装置において絞り調整する際に、電子ビームの通過経路中で複数の絞り穴が設けられた絞り板を所定方向に移動させつつ、絞り板で遮断される電子ビームを電流として検出し、この電流の大小により絞り板の駆動位置を算出することができるため、複数の絞り穴を備えた絞り板を用いた電子ビーム装置においても正確な絞り穴の位置を求めることができるようになり、正確な絞り位置調整が容易にできる。以下、図面を参照して本発明の絞り調整方法及び電子ビーム装置を実施するための形態実施形態を詳細に説明する。電子ビーム装置の構成まず図1を参照して、本実施形態が適用される電子ビーム装置100の構成を説明する。なお、図1においては、電子ビーム装置100として、走査電子顕微鏡を具体例にして、電子ビーム装置100や周辺の各部などの既知の構成については省略し、実施形態の特徴部分に関連する構成を中心に示した状態で示している。ここで、制御部101は電子ビームの照射や絞り調整に関する各種制御を行う制御手段、記憶部105は電子ビームの照射や絞り調整に関する各種データを記憶する記憶手段、電子銃111は試料に照射するための電子ビームを発生する電子線発生手段、集束レンズ112は電子銃111から発生する電子ビームを集束させる集束手段、絞り板113は複数の異なる径の絞り穴113a~113dを備える絞り手段、走査コイル114は電子ビームで試料120上を走査させるための走査手段、対物レンズ115は電子ビームを試料に向けて集束させる集束手段、試料120は電子ビームの照射を受ける電子ビーム照射対象物、検出器130は電子ビームの照射によって試料120から発生した2次電子を検出する検出手段、信号処理部140は検出器130の検出結果に対して必要な信号処理を施して試料120の走査像を得る信号処理手段、表示部150は信号処理部140で信号処理されて得られた走査像や制御部101からの情報を表示する表示手段、電流検出部160は絞り板113により遮断される電子ビームを電流として検出して検出結果を制御部101に送る電流検出手段、絞り駆動部170は制御部101からの指示を受けて所定方向に絞り板113を駆動する絞り駆動手段である。なお、制御部101は、絞り駆動部170によって絞り板113を所定方向に移動させつつ、電流検出部160で検出される電流により、電子ビームの中心と絞り穴の中心とが一致する状態の絞り板113の駆動位置を算出するよう制御する機能を有している。また、絞り板113においては、4つの絞り穴113a~113dを具体例にするが、これに限定されるものではない。なお、この実施形態においては、絞り板113における絞り穴113a~113dの配列方向をY方向、絞り板113の平面内において前記Y方向と直交する方向をX方向と定める。なお、Y方向は絞り板113の駆動方向でもある。また、制御部101からの指示に基づく絞り駆動部170による絞り板113の駆動において、Y方向の粗動をCourseY、X方向の微動をfineX、Y方向の微動をfineY、と呼ぶことにする。また、この説明においては、制御部101に、集束レンズ制御部、走査コイル制御部、対物レンズ制御部などが含まれており、FPGA等で構成されていてもよいものとする。また、絞り板113は、箔状に構成された絞り箔であってもよいものとする。また、絞り駆動部170は、制御部101からの指示に基づいて、Y方向の粗動CourseY、X方向の微動fineX、Y方向の微動fineY、の3種類の動作が可能に、モータや駆動機構を含んで構成されている。絞り調整方法以下、図2のフローチャートや図3以降の説明図を参照して、本実施形態の動作としての絞り調整方法を説明する。まず、絞り調整の動作に際して、制御部101は絞り調整動作にあわせて各部を初期化する図2中のステップS101。ここで、絞り駆動部170は、絞り板113を図3aのように、電子ビームEBの照射位置が絞り穴113aより端部側になるように制御する。また、制御部101は、電子ビームEBが絞り板113の各絞り穴113a~113dの最大径よりも大きくなるように、集束レンズ112を制御する。そして、制御部101は電子銃111から電子ビームを照射すると共に、絞り駆動部170によって絞り板113を図3a破線のCourseY方向に、すなわち、電子ビームEBが各絞り穴113a~113dを通過するように粗動のための駆動をする図2中のステップS102。この絞り板113のCourseY方向の粗動駆動中において、電流検出部160における電流検出結果は図4のような特性になる。ここで、電流検出部160における電流検出の原理を図5により説明する。絞り板113により電子ビームEBの全体が遮断された状態では、電子ビームEBの全てのエネルギーは絞り板113に吸収されるため、電流検出部160における検出電流値が最大となる。一方、絞り穴113a~113d上に電子ビームEBが位置している状態では、電子ビームEBの一部は絞り穴を通過して試料120に向かい、絞り穴を通過できなかった電子ビームEBの残余のエネルギーが絞り板113に吸収されるため、電流検出部160における検出電流値は減少する。たとえば、図5のH実線斜めハッチングのような絞り穴が存在する絞り板113に対して、図5B波線のような電子ビームEBが照射される場合を想定する。ここで、Bの外枠部分が、図5OUTthの範囲内にあれば、絞り穴Hの全てに電子ビームが照射されることになるため、電流検出部160における検出電流値は減少する。そして、Bの外枠部分が、図5OUTthの範囲からはみ出せば、絞り穴Hの全ての領域で電子ビームが通過することはなくなるため、電流検出部160における検出電流値は、最小値よりも増加する。なお、この場合の電子ビームEBの最適な中心位置は、X方向では中心をX0とするX1~X2範囲内、Y方向では中心をY0とするY1~Y2範囲内になるが、後述するfineXとfineYの絞り板113の駆動により算出される。絞り板113のCourseY方向の粗動駆動中の電流検出部160における電流検出結果において、最大値と最小値の中間付近に閾値thを定める。そして、電流値が閾値thと交わる2点の中間を、電子ビームEBが絞り穴に合致する駆動位置として検出する。ここで、制御部101は、Ya1とYa2の中間のYa0を絞り穴113aの駆動位置、Yb1とYb2の中間のYb0を絞り穴113bの駆動位置、Yc1とYc2の中間のYc0を絞り穴113cの駆動位置、Yd1とYd2の中間のYd0を絞り穴113dの駆動位置、として算出して記憶部105に記憶する図2中のステップS103。なお、この段階では、粗動駆動中であり、後述する微動駆動のための仮の駆動位置であるため、最終的な駆動位置の算出ではない。そして、絞り駆動部170は、再び絞り板113を図3aのように、電子ビームEBの照射位置が絞り穴113aより端部側になるように制御する。ここで、制御部101は、以上の粗動駆動により求めた駆動位置Ya0~Yd0のそれぞれを中心にして、X方向にあっては電子ビームEBが絞り板113のX方向のほぼ全域をカバーする範囲をX方向スキャン範囲、Y方向にあっては電子ビームEBの径の2~3倍程度の範囲をY方向スキャン範囲、として定める。そして、このスキャン範囲について、図3bに示すように、X方向スキャン範囲に絞り板113を1回駆動するタイミングで、Y方向スキャン範囲の1/10~1/20程度だけ絞り板113を駆動するよう、制御部101は絞り駆動部170に指示を与える。すなわち、絞り駆動部170は、X方向スキャン範囲の駆動をY方向に向けて複数回繰り返す図2中のステップS104ことで、各絞り穴113a~113dのスキャン範囲において細かくスキャンしつつ、図6のように、電流検出部160における電流検出結果を取得する。なお、このようにしてX方向スキャン範囲の駆動をY方向に向けて複数回繰り返すことをfineX駆動と呼ぶことにする。なお、隣接するスキャン範囲の間では、絞り駆動部170は絞り板113のX方向のスキャンを行わずに、Y方向にのみ粗動駆動する。絞り板113のfineX駆動中の電流検出部160における電流検出結果を図6に示す。ここでは、X方向スキャンをY方向に7回繰り返した様子を示している。ここで、制御部101は、閾値と交わる間隔が広い4段目のfineY4において、X1とX2の中間のX0を絞り穴のX方向駆動位置として算出して記憶部105に記憶する図2中のステップS105。なお、以上の動作を、各絞り穴113a~113dについて繰り返す。なお、制御部101は、閾値と交わる2段目~6段目のfineY2~fineY6において、それぞれX1とX2の中間のX0を求めて平均することで、絞り穴のX方向駆動位置として算出して記憶部105に記憶してもよい。このように平均することで、ノイズの影響や誤差の影響を受けにくくなる。また、制御部101は、閾値と交わる間隔が最も広い4段目のfineY4の位置を、Y方向駆動位置と算出して記憶部105に記憶することも可能であるが、この実施形態では、更に精度を高めるため、以下のfineY駆動を行う。以上のスキャン範囲について、図3cに示すように、Y方向スキャン範囲に絞り板113を1回駆動するタイミングで、X方向スキャン範囲の1/10~1/20程度だけ絞り板113を駆動するよう、制御部101は絞り駆動部170に指示を与える。すなわち、絞り駆動部170は、Y方向スキャン範囲の駆動をX方向に向けて複数回繰り返す図2中のステップS106ことで、各絞り穴113a~113dのスキャン範囲において細かくスキャンしつつ、図7のように、電流検出部160における電流検出結果を取得する。なお、このようにしてY方向スキャン範囲の駆動をX方向に向けて複数回繰り返すことをfineY駆動と呼ぶことにする。なお、隣接するスキャン範囲の間では、絞り駆動部170は絞り板113のY方向のスキャンを行わずに、Y方向にのみ粗動駆動する。絞り板113のfineY駆動中の電流検出部160における電流検出結果を図7に示す。ここでは、Y方向スキャンをX方向に7回繰り返した様子を示している。ここで、制御部101は、閾値と交わる間隔が広い4段目のfineX4において、Y1とY2の中間のY0を絞り穴のY方向駆動位置として算出して記憶部105に記憶する図2中のステップS107。なお、以上の動作を、各絞り穴113a~113dについて繰り返す。なお、制御部101は、閾値と交わる2段目~6段目のfineX2~fineX6において、それぞれY1とY2の中間のY0を求めて平均することで、絞り穴のY方向駆動位置として算出して記憶部105に記憶してもよい。このように平均することで、ノイズの影響や誤差の影響を受けにくくなる。以上のようにして、制御部101は、各絞り穴113a~113dそれぞれについて、fineX駆動によりX0を求めると共にfineY駆動によりY0を求めることで、各絞り穴113a~113dに対応する絞り板113の駆動位置を算出する図2中のステップS108。そして、制御部101は、算出した各絞り穴113a~113dに対応する絞り板113の駆動位置を記憶部105に記憶する図2中のステップS109。なお、以上の動作を、絞り板113を交換する毎、あるいは、電子ビーム装置100を一定時間使用する毎に実行することで、各絞り穴113a~113dに対応する絞り板113の正確な駆動位置を記憶部105に記憶することが可能になる。また、以上の一連の動作を制御部101の制御により行うため、短時間に行うことが可能になる。これにより、電子ビーム装置100を動作させて、所望の絞り穴113a~113dのいずれかを使用する場合にも、瞬時に正確に絞り穴の位置を電子ビームEBの中心に一致させることが可能になる。その他の動作例また、以上の各動作例では、走査電子顕微鏡を具体例にしているが、これに限定されず、電子ビームを照射する際に絞りを使用する各種の装置に適用できることは言うまでもない。