両端に出力軸フランジを擁す中空軸モータに、廻り止めされるネジ軸を挿通させ、前記中空軸モータの一方の出力軸に連結される第1ネジナット、さらに前記中空軸モータを挟んで、他方の出力軸に連結される緩衝部及び第2ネジナットを備え、前記中空軸モータの回転駆動力を、前記ネジ軸に螺合された前記第1、第2ネジナットに連動して前記ネジ軸へ伝達可能にさせたことを特徴とするシリンダ装置。前記特許文献1の発明のシリンダ装置は、中空軸モータの出力軸が1箇所であり、そこから減速機を介して中空軸モータの動力を、対向配置されているネジナットに各々伝達させているが、中空軸モータが、両端に出力軸フランジを擁するモータ以下、本明細ではサーボモータというで、シリンダ装置内に減速機、エンコーダ等を新たに取り付ける必要が無いのであれば、前記特許文献1に設置された減速機、エンコーダ等が不要になり、かつ、1つの出力軸から2つのネジナットに動力伝達をする必要がないことから、特許文献1の構造では機構が複雑化してしまう。本発明は、前記の事情に対処してなされたものであり、サーボモータもしくは同等のモータを擁するシリンダ装置において、特許文献1の構造を簡素化し、かつ同文献の機構を考慮した電動シリンダ装置を提供することを目的とする。上記目的達成の為に、請求項に基づき下記0008乃至0010記載の発明を提案する。なお、以下の説明では便宜上、ネジ軸の軸方向図1中に矢印Xで示す方向を前後方向と呼ぶこととする。請求項1に記載の発明は、ネジ軸が挿通された中空軸なるサーボモータに、前後に出力軸を擁すフランジが内蔵され、フランジと継手を各々連結させる。また、サーボモータを挟んで対向配置される第1ネジナット、第2ネジナットが、ネジ軸の両端にそれぞれ螺合している。サーボモータの前後に設置された継手と、第1、第2ネジナットを各々連結させることで、サーボモータの回転駆動力を、第1、第2ネジナットに同等に伝達可能にさせた装置となる。さらに、第1、第2ネジナットのいずれかに、内歯ギア及び内歯ギアと螺合する外歯ギアからなる緩衝装置を設置する。内歯ギアは継手接続軸と接続させ、外歯ギアはネジナットと接続させる。この場合、サーボモータからなる回転駆動力は、継手、緩衝装置を介して第1、第2どちらか一方のネジナットへ伝達されることになる。緩衝装置に関しては、前記特許文献1において請求された発明であり、詳細は前記特許文献1参照従って、本発明の電動シリンダ装置は、サーボモータの回転に伴い、一方のネジナットには、フランジ継手緩衝装置を介して回転駆動力が伝達、他方のネジナットにはフランジ継手を介して同等の回転駆動力が伝達され、2つのネジナットが同等の回転を成すという作用を有する。このとき、本体を固定させ、ネジ軸の回転を抑制させていれば、ネジ軸が、その図中のネジ軸の軸方向へ前進又は後退する。逆に、ネジ軸を固定回転抑制させれば、本体が、図中のネジ軸の軸方向へ前進又は後退する。なお、本体の固定、並びにネジ軸の回転の抑制方法に関しては、本件では本装置に廻り止めガイド図中の二点鎖線にて記載、特願2011-30426、名称:電動シリンダ装置のガイド支持機構にて請求された発明を設置することにより、ネジ軸の回転を抑制させることを提案する。本提案以外にも、搬送側にてネジ軸を回転抑制する装置の製作も可能である。また、ネジ軸にボールネジ溝と、ボールスプライン溝をクロスして設け、軸方向に設けられたボールスプライン溝に鋼球を組み込み、スプライン用ナットを軸方向の一定位置に回転も移動もしないように固定し廻り止め機構とすることで、ネジ軸を直動させることも可能である。本発明の請求項1に記載のシリンダ装置は、特許文献1の発明の中空軸モータの回転駆動力を、緩衝装置を介して2つのネジナットへ伝達させるという機構を維持しつつ、かつ、減速機等を必要としないサーボモータもしくはサーボモータと同等のモータ用にシンプル化された構造となっている。サーボモータ対応可能な装置であることから、機械装置における搬送位置決めのみならず、サーボモータを擁する高圧ポンプ用の動力装置としても使用可能なプランジャシリンダ装置となった。具体例をあげれば、ネジ軸の両先端部にプランジャを取り付け、往復運動をさせることでシリンダ内の液体を圧送させる装置等に用いることが可能となる。従来の高圧ポンプ用の往復運動する動力装置としては、モータにてクランクを回し、クランクの回転運動を往復運動に変換させるクランク式プランジャポンプ、又は、ベルトの正逆転駆動により往復運動するベルト式プランジャポンプが主流である。だが、欠点として、クランク方式は長いストロークが取れない為、小容量のシリンダを複数用いた装置となる。また、ベルト駆動方式はベルトの寿命、構造上の変作動等の問題点があった。しかしながら本発明であれば、上記装置におけるいずれの課題も解決可能となる。本発明は、モータの正逆転による往復運動をプランジャに直結させて高圧の動力を得るものであり、構造上シリンダの容量も大きく、長いストロークも可能であり複数のシリンダを用いる必要性が無い。又、ベルト等の消耗品も無い為、部品交換等の必要性も無い。従って、高圧ポンプ用の動力装置としても、従来装置の問題点を解決したプランジャ式往復運動ポンプとして使用できる。以下本考案の形態を図1に基づき、説明する。図1は本発明の形態に係る電動シリンダ装置の断面図である。中空軸モータ1にネジ軸3を挿通させ、中空軸モータ1に内蔵された出力軸であるモータ軸フランジ2の前後に、継手4abを各々連結させる。モータ軸フランジ2に連結された継手4aは、接続軸5aを介して、主なる第1ネジナット6に連結させることにより、中空軸モータ1の回転駆動力を第1ネジナット6に伝達させている。さらに、モータ軸フランジ2に連結された継手4bは、接続軸5bを介して内歯ギア7に連結、さらに内歯ギア7と外歯ギア8を螺合させ、外歯ギア8を第2ネジナット9に連結させることにより、中空軸モータ1の回転駆動力を、従なる第2ネジナット9に伝達させる。第1ネジナット6と第2ネジナット9はネジ軸3に螺合し、中空軸モータ1を挟んで対向配置させる。このとき、第1ネジナット6と第2ネジナット9は、ハウジング10により回転自在に支持され、本体は固定、ネジ軸3は回転を抑制されている。ここで、本発明ではネジ軸3の回転抑制法として、本体に装備されたスライド移動装置である廻り止めガイド13を提案する。この廻り止めガイド13は、特願2011-30426名称:電動シリンダ装置のガイド支持機構にて請求された発明であり、詳細は前記特願を参照とする。以上により、ハウジング10より固定された中空軸モータ1の回転駆動により、中空軸モータ1を挟み対向配置された第1ネジナット6及び第2ネジナット9が同等の回転を成し、螺合されているネジ軸3が矢印Xで示すように移動する。この時、高圧ポンプの動力装置として使用する場合、ネジ軸3の両先端部にプランジャ11を装着させ、シリンダ12内を往復運動させることで、シリンダ12内の液体を圧送させる。なお、図中の継手4abに関しては、内歯外歯ギアを螺合させて各々成り立っている。これは、装置の組立の際に閉塞感を防ぎ、組み立て易く配慮したものである。だが、動力を伝達する課程で内歯ギア7外歯ギア8が存在する第2ネジナット9側に設置された継手4bに関しては、内歯ギア7外歯ギア8が同等の役割を果たす為、排除しても構わない。また、中空軸モータ1に備えるモータ軸フランジ2の両端、及び、接続軸5abの中空軸モータ1側の端部を凹凸とし、モータ軸フランジ2と接続軸5abを各々螺合させる構造にすれば、継手4ab共に排除することも可能である。