"回折光学素子を有し、物体からの光を集光して略平行光束にする対物レンズと、前記対物レンズからの略平行光束を集光して前記物体の像を結像する第二対物レンズと、を有し、結像に前記回折光学素子のm次光を使用する場合に、光軸上に位置する前記物体から出た最大NAの光が前記回折光学素子に入射して当該回折光学素子から射出する前記m次光とは異なる次数の光が前記第二対物レンズに入射する角度をθとし、前記第二対物レンズへの入射瞳の直径をD[mm]としたとき、次式の条件を満足することを特徴とする顕微鏡光学系。回折光学素子を有し、物体からの光を集光して略平行光束にする対物レンズと、前記対物レンズからの略平行光束を集光して前記物体の像を結像する第二対物レンズと、を有し、光軸上に位置する前記物体から出た最大NAの光が前記回折光学素子に入射して当該回折光学素子から射出する回折光のうち、結像に使用する次数の光の射出角度と不要次数の光の射出角度との差をδθとし、前記結像に使用する次数の光の射出する高さをh、射出する角度をθdoeとし、前記第二対物レンズへの入射瞳の直径をD[mm]とし、前記対物レンズを構成するレンズのうち前記回折光学素子より像側にあるレンズからなるレンズ群の焦点距離をf1としたとき、次式の条件を満足することを特徴とする顕微鏡光学系。前記回折光学素子は、密着複層型の回折光学素子であることを特徴とする請求項1または2に記載の顕微鏡光学系。前記回折光学素子は、異なる屈折率を有する樹脂層同士の接合面に回折格子パターンが形成されており、前記樹脂層の各々は平面基板上に配置されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の顕微鏡光学系。前記対物レンズを構成するレンズのうち前記回折光学素子より像側にあるレンズからなるレンズ群は、負の屈折力を有することを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の顕微鏡光学系。物体を載置するステージと、前記物体を照明する照明光学系と、前記物体からの光を集光して当該物体の像を結像する請求項1~5のいずれか一項に記載の顕微鏡光学系と、を有することを特徴とする顕微鏡システム。しかしながら、顕微鏡光学系の対物レンズに回折光学素子を用いる場合には、この顕微鏡光学系の特徴を考慮した設計をしないと、回折光学素子の不要次数の光によるフレアを効果的に抑えることができないという課題があった。本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、回折光学素子の不要次数の光によるフレアの少ない顕微鏡光学系、及び、この顕微鏡光学系を用いた顕微鏡システムを提供することを目的とする。前記課題を解決するために、第1の本発明に係る顕微鏡光学系は、回折光学素子を有し、物体からの光を集光して略平行光束にする対物レンズと、この対物レンズからの略平行光束を集光して物体の像を結像する第二対物レンズと、を有し、結像に回折光学素子のm次光を使用する場合に、光軸上に位置する物体から出た最大NAの光が回折光学素子に入射して当該回折光学素子から射出するm次光とは異なる次数の光が第二対物レンズに入射する角度をθとし、第二対物レンズへの入射瞳の直径をD[mm]としたとき、次式の条件を満足することを特徴とする。また、第2の本発明に係る顕微鏡光学系は、回折光学素子を有し、物体からの光を集光して略平行光束にする対物レンズと、この対物レンズからの略平行光束を集光して物体の像を結像する第二対物レンズと、を有し、光軸上に位置する物体から出た最大NAの光が回折光学素子に入射して当該回折光学素子から射出する回折光のうち、結像に使用する次数の光の射出角度と不要次数の光の射出角度との差をδθとし、結像に使用する次数の光の射出する高さをh、射出する角度をθdoeとし、第二対物レンズへの入射瞳の直径をD[mm]とし、対物レンズを構成するレンズのうち回折光学素子より像側にあるレンズからなるレンズ群の焦点距離をf1としたとき、次式の条件を満足することを特徴とする。また、このような顕微鏡光学系において、回折光学素子は、密着複層型の回折光学素子であることが好ましい。また、このような顕微鏡光学系において、回折光学素子は、異なる屈折率を有する樹脂層同士の接合面に回折格子パターンが形成されており、樹脂層の各々は平面基板上に配置されていることが好ましい。このような顕微鏡光学系において、対物レンズを構成するレンズのうち回折光学素子より像側にあるレンズからなるレンズ群は、負の屈折力を有することが好ましい。また、本発明に係る顕微鏡システムは、物体を載置するステージと、この物体を照明する照明光学系と、物体からの光を集光して当該物体の像を結像する上述の顕微鏡光学系のいずれかと、を有することを特徴とする。本発明を以上のように構成すれば、回折光学素子の不要次数の光によるフレアの少ない顕微鏡光学系及び顕微鏡システムを提供することができる。顕微鏡光学系では、暗視野照明の使用でフレアが目立ちやすいという問題がある。一方、照明系まで含んだ光学系であるため、非常に明るい光源が視野内外にあり、フレア源になるということはない。しかしながら、この顕微鏡光学系に回折光学素子を使用した場合、通常の多重反射によるフレア以外に回折光学素子の不要次数の光が問題となる。このような不要次数の光によるフレアは、その次数の回折効率でフレア光量が決まり、結像面でのスポットの大きさにより照度が決まる。したがって、回折光学素子を使用した顕微鏡光学系では、結像に寄与する使用次数の光の回折効率を高め、不要次数の光によるフレアのスポットを大きくする必要がある。一般に顕微鏡光学系では、無限遠系の対物レンズにより物体からの光束を略平行光束にし、第二対物レンズにより結像する。この第二対物レンズの結像位置にCCDカメラを配置すれば画像取得可能で、接眼レンズを配置すれば目視観察が可能であり、画像取得と目視観察の切り替えが可能となっている。このような顕微鏡光学系においては、暗い物体の観察には撮像時間を長く調整できるCCDカメラを利用する方が適しているが、反面、フレアが問題になりやすい。なお、顕微鏡光学系は拡大系であるため、物体高は小さく、この物体高が異なっていても、対物レンズ中の光路の差は小さい。そのため、回折光学素子によるフレアを考える場合、軸上物体光だけを考えて問題はない。以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図1に示す顕微鏡光学系MSに基づいて説明を行う。この顕微鏡光学系MSは、物体からの光を集光して略平行光束にする対物レンズOLと、この略平行光束を集光して物体の像を結像する第二対物レンズILと、を有して構成される。また、対物レンズOLは、物体からの光を集光して収束光束にした後、この収束光束を略平行光束にするように構成されており、物体からの光が収束光束となっている位置に回折光学素子GDが配置されている。そのため、以降の説明では、回折光学素子GDよりも物体側にあるレンズで構成されるレンズ群を第1レンズ群G1と呼び、回折光学素子GDよりも像側にあるレンズで構成されるレンズ群を第2レンズ群G2と呼ぶ。回折光学素子GD回折光学面は、負の分散値後述する実施例ではアッベ数=-3.453を有し、分散が大きく、また異常分散性後述する実施例では部分分散比ng-nF/nF-nC=0.2956が強いため、強力な色収差補正能力を有している。光学ガラスのアッベ数は、通常30~80程度であるが、上述のように回折光学素子のアッベ数は負の値を持っている。換言すると、回折光学素子GDの回折光学面は分散特性が通常のガラス屈折光学素子とは逆で光の波長が短くなるに伴い屈折力が小さくなり、長い波長の光ほど大きく曲がる性質を有している。そのため、通常の屈折光学素子と組み合わせることにより、大きな色消し効果が得られる。したがって回折光学素子GDを利用することで、通常の光学ガラスでは達し得ない良好な色収差の補正が可能になる。図1に示すように、回折光学素子GDで発生した不要次数の光の結像面でのスポットを大きくするためには、第二対物レンズILへの入射角θを大きくすれば良いことが分かる。対物レンズOLと第二対物レンズILとの間は略平行系なので、軸上物体から出た光の場合、第二対物レンズILに対する入射角はほぼ0°である。また、この顕微鏡光学系MSの像側開口数NAが大きいほど明るい像が結像されるためフレアは目立ちにくくなる。この図1に示す顕微鏡光学系MSにおいて、軸上物体から放射された光のうち、最大NAの光線により回折光学素子GDで発生した不要次数の光の第二対物レンズILに対する入射角をθとし、第二対物レンズILの焦点距離をf2としたとき、その不要次数の光により像面に形成されるスポットの光軸からの高さは、f2tanθで表される。発明者の試作結果として、像側NAが0.015の場合に、顕微鏡に通常求められる解像度を有した光学系で物体からの光を集光した場合、像面上での不要次数の光によるスポットを半径2.0mm程度まで大きくすれば、フレアが目立たないことが分かっている。そのため、最大NAの光線による不要次数の光の第二対物レンズILへの入射角θが次式aを満たせば良いことがわかる。ここで、式a中のNAは像側のNAである。また、この式aを第二対物レンズILへの入射瞳の直径D[mm]D=2×f2×NAで表すと、次式1として表現される。すなわち、不要次数の光がこの条件式1で示される入射角θで第二対物レンズILに入射すれば、NA=0.015の場合、そのスポットの半径は2.0mm以上となり、フレアを目立たなくすることができる。なお、不要次数の光とは、回折光学素子GDから射出する回折光のうち、この顕微鏡光学系MSで物体の結像に用いる次数以外の次数の光である。そのため、結像に用いる回折光をm次光とすると、不要次数の光は、m-1次光や、m1次光として表すことができる。また、m次光よりも次数の差が大きいm-2次光やm2次光は、m-1次光やm1次光よりも更に大きく光路が異なっているため、m-1次光やm1次光よりも大きなスポット径となる。そのため、本発明ではm次光に最も近い回折光となるm-1次光及びm1次光について説明し、それよりもm次光との差が大きな回折光による像はより大きなスポットになることが自明なため、詳細な説明は省く。図2に示すように、回折光学素子GDより像側にあるレンズで構成されるレンズ群第2レンズ群G2の焦点距離をf1とし、軸上物体から出た最大NAの光線が回折光学素子GDに入射してこの回折光学素子GDから射出する回折光のうち、結像に使用される次数の光の射出角度をθdoeとし、この最大NAの光線が回折光学素子GDを射出する高さをhdoeとすると、この回折光学素子GDから射出される光束はhdoe/tanθdoeだけ離れた点図2に示すA点に焦点があり、また、対物レンズOLと第二対物レンズILとの間は平行系であるので、A点は第2レンズ群G2の焦点位置となる。顕微鏡光学系MSでは、回折光学素子GDより像側のレンズ群第2レンズ群G2は、負の屈折力を有することが多く、その場合、A点は、焦点距離f1を有するレンズ群第2レンズ群G2にとって虚像位置となる。このとき、不要次数の光による光線図2に示すように、結像光線とは角度δθ異なるとするのA点における光線高h′は、次式bで表される。また、対物レンズOLを構成するレンズ群のうち、回折光学素子GDより像側に配置されたレンズにより構成されるレンズ群第2レンズ群G2を射出する不要次数の光による光線の射出角、すなわち、第二対物レンズILに対する入射角θは、次式cのように表される。以上より、式cで表されるθを式1に代入すると、次式2のようになり、像側NAが0.015の顕微鏡光学系1において、像面上での不要次数の光によるスポットを半径2mm程度まで大きくするためには、この式2を満足すれば良いことが分かる。しかしながら、第2レンズ群G2による結像は全く収差補正されていない。そのため、近軸の関係式から導いた式bや式cによる表記と実際の光線追跡結果の間にはずれが生じる。第二対物レンズILへの入射角は一般的には式cよりも大きくなる傾向があり、10程度補正した方が式1と式2との間の整合性が良くなる。よって、上記式2を次の式2′に補正する方が望ましい。なお、物体側のある一点からの光束が、結像面で一点に集光された場合、そのときの結像面上における単位面積当たりの光量は、スポット面積に反比例するので、m次光とは異なる回折次数の光による明るさは、結像面でのスポット面積に反比例する。すなわち、m次光とは異なる回折次数の光による明るさは、結像面でのスポット径の二乗に反比例して暗くなる。ゆえに、回折光学素子GDにより発生したフレア光自体が結像面において、暗くなる。回折光学素子GDを、対物レンズOLの物体に近い位置に配置すると、この対物レンズOLを通過する光束が広がっている場所に配置されることになり、回折光学素子GDへの入射角が大きくなり易く、回折効率上不利である。また、対物レンズOLの中間部の光束が略平行に近い場所に回折光学素子GDを配置すると、光束が広いため高次の収差が発生し易く望ましくない。そのため、上述したように、回折光学素子GDより像側のレンズ群第2レンズ群G2の屈折力が負となるように対物レンズOLを構成することにより、この第2レンズ群G2の物体側の、対物レンズOLを通過する光束が収束している位置に回折光学素子GDを配置することが望ましい。このような顕微鏡光学系MSにおいて、全体のフレアの光量は回折光学素子GDの回折効率で決まるので、回折効率を高くすることは重要である。回折光学素子GDの回折効率が落ちる要因としては、次の3点が挙げられる。すなわち、第1に、回折光学素子GDの回折光学面を通過する光の波長がブレーズ波長と異なる場合、第2に、回折光学素子GDの回折光学面への入射角がブレーズ条件とは異なる場合、第3に、回折光学素子GDの回折光学面の形状がブレーズ形状からずれている場合である。第3の要因は回折光学面の製造上の形状誤差の問題であるが、第1及び第2の要因は一定の波長域や視野を確保するためには必然的に生じる問題である。この場合、回折光学素子GDを密着複層型の回折光学素子とすることで、上記問題を解決することができる。密着複層型の回折光学素子は、次式dをおおよそ満たすような異なる2つの光学材料を用い、その2つの光学材料の接合面に回折格子パターンを設けて回折光学面を構成している。なお、2つの光学材料のうち、一方の光学材料の媒質のd線、F線及びC線に対する屈折率をそれぞれn1d、n1F、n1Cとし、他方の光学材料の媒質のd線、F線及びC線に対する屈折率をそれぞれn2d、n2F、n2Cとする。この密着複層型の回折光学素子は、g線からC線を含む広波長域において回折効率を高くすることができる。したがって、本実施形態に係る顕微鏡光学系MSに用いられる対物レンズOLは広波長域において利用することが可能となる。なお、回折効率は、透過型の回折光学素子において一次回折光を利用する場合、入射強度I0と一次回折光の強度I1との割合η=I1/I0×100[]を示す。また、密着複層型の回折光学素子は、回折格子パターンが形成された2つの回折素子要素をこの回折格子パターン同士が対向するように近接配置してなるいわゆる分離複層型の回折光学素子に比べて製造工程を簡素化することができるため、量産効率がよく、また光線の入射角に対する回折効率が良いという長所を備えている。したがって、密着複層型の回折光学素子GDを利用した本実施の形態に係る対物レンズOLでは、製造が容易となり、また回折効率も良くなる。また、この密着複層型の回折光学素子GDの回折格子の回折格子パターンは、平面基板上に配置された回折素子要素の接合面に形成されている。このように平面基板上に回折素子要素を配置して回折格子パターンを形成することでも、球面等に形成する場合に比べて回折格子パターンの形成が非常に容易になり、正確な回折格子パターンが得られやすくなっている。上述のような本実施の形態に係る顕微鏡光学系MSは、図3に示すような顕微鏡システム1に用いられている。図3において、顕微鏡システム1は、試料Sを含むプレパラート2を観察するものであり、第1光源装置6と、第2光源装置7と、対物レンズ8OLと、第二対物レンズ9ILとからなる顕微鏡光学系MSと、この顕微鏡光学系MSで結像された像からの光束を使用者の眼球に導く接眼光学系11と、プレパラート2を支持しながら移動可能なステージ10と、を含む。このステージ10を対物レンズ8の光軸方向に移動することで合焦動作が行える。もちろん、別途焦点検出機構を設け、その焦点検出機構からの出力に基づいて、ステージ10の移動量を制御しても良い。また、この顕微鏡システム1は、ボディ15を備えており、第1光源装置6、第2光源装置7、対物レンズ8、第二対物レンズ9、及び、ステージ10のそれぞれは、このボディ15に支持されている。なお、この顕微鏡システム1は、第1光源装置6から射出された光を用いてプレパラート2を照明する第1照明光学系透過照明光学系17と、第2光源装置7から射出された光を用いてプレパラート2を照明する第2照明光学系落射照明光学系18を備えている。ここで、第2光源装置7から射出された光は、対物レンズ8も第2照明光学系18の一部となっており、光路合成部材16により第2光源装置7からの光を対物レンズ8に導く。この光路合成部材16は、対物レンズ8の光軸及びその近傍が透明で、外周部分に反射膜が形成されたミラーを採用しても良いし、ハーフミラーを採用しても良い。前者の場合は、暗視野観察が可能となる。後者の場合は、落射照明で明視野観察が可能となる。また、対物レンズ8及び第二対物レンズ9により結像された像が形成される位置に、撮像手段を搭載していても良い。もちろん、図示しない光路分割手段により、対物レンズ8からの光束を分割し、別途第二対物レンズを設けて、この第二対物レンズにより像が形成される位置に撮像手段を搭載しても良い。また、この顕微鏡システム1は、正立顕微鏡でも倒立顕微鏡でも良い。さらに、第1光源装置6と第2光源装置7はいずれか一方でも良い。以下に、本実施の形態に係る顕微鏡光学系MSの6つの実施例を示すが、各実施例において、回折光学素子GDに形成された回折光学面の位相差は、通常の屈折率と後述する非球面式dとを用いて行う超高屈折率法により計算した。超高屈折率法とは、非球面形状と回折光学面の格子ピッチとの間の一定の等価関係を利用するものであり、本実施例においては、回折光学面を超高屈折率法のデータとして、すなわち、後述する非球面式d及びその係数により示している。なお、本実施例では収差特性の算出対象として、d線、C線、F線及びg線を選んでいる。本実施例において用いられたこれらd線、C線、F線及びg線の波長と、各スペクトル線に対して設定した超高屈折率法の計算に用いるための屈折率の値を次の表1に示す。表1波長屈折率超高屈折率法によるd線587562nm100010000C線656273nm111704255F線486133nm82747311g線435835nm74186853各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをyとし、高さyにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離サグ量をSyとし、基準球面の曲率半径頂点曲率半径をrとし、定数をκとし、n次の非球面係数をAnとしたとき、以下の式dで表される。なお、以降の実施例において、E-nは×10nを示す。Sy=y2/r/{11-κ×y2/r212}A2×y2A4×y4A6×y6A8×y8dなお、各実施例において、回折光学面が形成されたレンズ面には、表中の面番号の右側に印を付しており、非球面式dは、この回折光学面の性能の諸元を示している。[第1実施例]まず、第1実施例として図4に示す顕微鏡光学系MS1について説明する。この顕微鏡光学系MS1は、物体側から順に、対物レンズOLと、第二対物レンズILと、プリズムPRと、から構成される。また、対物レンズOLは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、回折光学素子GDと、第2レンズ群G2と、から構成される。さらに、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL2、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL3と両凸レンズL4とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL5と両凹レンズL6と両凸レンズL7とを接合した接合レンズから構成される。また、回折光学素子GDは、物体側から順に、平板状の光学ガラスL8、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L9,L10、及び、平板状の光学ガラスL11がこの順で接合され、光学部材L9,L10の接合面に回折格子パターン回折光学面が形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹レンズL12と両凸レンズL13と両凹レンズL14とを接合した接合レンズで構成される。また、第二対物レンズILは、物体側から順に、両凸レンズL15と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL16とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL17と両凹レンズL18とを接合した接合レンズから構成される。なお、プリズムPRは両端が平面の光学ガラスで構成される。また、プリズムPRは光路長のみを考慮しており、実形状を表しているわけではない以降の実施例においても同様である。このように図4に示した第1実施例に係る顕微鏡光学系MS1の諸元を表2に示す。なお、この表2において、fは対物レンズOLの全系の焦点距離を示し、f1は対物レンズOLを構成する第2レンズ群G2の焦点距離を示し、f2は第二対物レンズILの全系の焦点距離を示し、βは倍率を示し、NAは対物レンズOLと第二対物レンズILとを組み合わせた光学系の物体側と像側の開口数を示し、d0は物体面から最初のレンズ正メニスカスレンズL1の物体側のレンズ面第1面の頂点までの光軸上の距離を示し、Dは第二対物レンズILへの入射瞳の直径を示し、hdoeは軸上物体から出た最大NAの光線が回折光学素子GDを射出する高さを示し、θdoeは軸上物体から出た最大NAの光線が回折光学素子GDを射出する角度を示す結像に寄与する1次の回折光が射出する角度とする。また、第1欄mは物体側からの各光学面の番号を、第2欄rは各光学面の曲率半径を、第3欄dは各光学面から次の光学面までの光軸上の距離面間隔を、第4欄ndはd線に対する屈折率を、そして、第5欄νdはアッベ数をそれぞれ示している。ここで、第1欄mに示す各光学面の番号右のは回折光学面として形成されているレンズ面を示すは、図4に示した面番号1~29に対応している。また、第2欄rにおいて、曲率半径0000は平面を示している。また、回折光学面の場合は、第2欄rにベースとなる非球面の基準となる球面の曲率半径を示し、超高屈折率法に用いるデータは非球面データとして諸元表内に示している。また、第4欄ndにおいて、空気の屈折率1000は省略してある。また、第5欄νdは、F線に対する屈折率をnF、C線に対する屈折率をnCとして、νd=nd-1/nF-nCで表される。さらに、この表2には、上記条件式1及び2に対応する値、すなわち、条件対応値も示している。この諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。なお、以下の全ての諸元において掲載される曲率半径r、面間隔d、対物レンズの焦点距離fその他長さの単位は、特記の無い場合、一般にmmが使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位はmmに限定されることはなく、他の適当な単位を用いることもできる。表2f=4f1=224f2=200β=50xNA物体側=08NA像側=0016d0=338D=64hdoe=61θdoe=80°mrdndνd1422040019033572542102034735440016036554129000205851331101517524612610800149882571686902083099253516406019179001201738323109973560149882511328953001200002501517641130000006152834714000000010001000351500000061557502160000300151764117000016101867221170165258519126512701717295209076125151752321827091002275043510162357023750432001750352241600580750255025651016684202684541180161344427369115502800003000156956029000014381回折光学面データ第15面κ=1A2=59524E08A4=38419E10A6=48802E12A8=65871E15条件対応値1左辺|θ|0次=074°|θ|2次=072°右辺=054°2左辺|δθ|0次-1次=037°|δθ|2次-1次=037°右辺=027°2′右辺=025°なお、表2に示した条件対応値は、結像光として1次の回折光を使用し、不要次数の光を0次及び2次の回折光として求めている。このように、第1実施例では上記条件式1及び2を全て満たしていることが分かる。また、以降の実施例も同様に、結像光として1次の回折光を使用している。図5に、この第1実施例における、0次光及び2次光不要次数の光によるスポットダイアグラムを示す。なお、この図5に示すスポットダイアグラムにおいて、Bは物体高を示している以降の実施例においても同様である。この図5に示すように、不要次数の光である0次光及び2次光は、スポットの光軸からの高さが1.9mm以上あるため、第1実施例に係る顕微鏡光学系MS1は、像面においてこの0次光及び2次光によるフレアを目立たなくすることができる。[第2実施例]次に、第2実施例として図6に示す顕微鏡光学系MS2について説明する。この顕微鏡光学系MS2も、物体側から順に、対物レンズOLと、第二対物レンズILと、プリズムPRと、から構成される。また、対物レンズOLは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、回折光学素子GDと、第2レンズ群G2と、から構成される。さらに、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL2、両凸レンズL3と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL4とを接合した接合レンズ、両凸レンズL5と両凹レンズL6と両凸レンズL7とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL8と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL9とを接合した接合レンズから構成される。また、回折光学素子GDは、物体側から順に、平板状の光学ガラスL10、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L11,L12、及び、平板状の光学ガラスL13がこの順で接合され、光学部材L11,L12の接合面に回折格子パターン回折光学面が形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹レンズL12、及び、両凹レンズL13と両凸レンズL14とを接合した接合レンズから構成される。さらに、第二対物レンズILは、物体側から順に、両凸レンズL15と両凹レンズL16とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL17と両凹レンズL18とを接合した接合レンズから構成される。なお、プリズムPRは両端が平面の光学ガラスで構成される。このように図6に示した第2実施例に係る顕微鏡光学系MS2の諸元を表3に示す。なお、表3に示す面番号は、図6に示した面番号1~33と一致している。表3f=133f1=483f2=200β=150xNA物体側=09NA像側=0006d0=295D=2387hdoe=450θdoe=1560°mrdndνd15290350180439625030015318200290160365549566015527978620149882661226413015695607192970208307585601498826913300100167338210121926701498826111433101512215704701498826131013010018043961489173070150000250151764116000000615283471700000001000100035180000006155750219000030015176412000001200216151170151752422615130023417810017345152466812201785256257986121002675043510162357027750432001750352281600580750295025651016684203084541180161344431369115503200003000156956033000014378回折光学面データ第18面κ=1A2=73529E08A4=12704E09A6=36213E11A8=14394E13条件対応値1左辺|θ|0次=201°|θ|2次=175°右辺=143°2左辺|δθ|0次-1次=041°|δθ|2次-1次=042°右辺=039°2′右辺=035°このように、第2実施例では上記条件式1及び2を全て満たしていることが分かる。また、図7に、この第2実施例における、0次光及び2次光不要次数の光によるスポットダイアグラムを示す。この図7に示すように、不要次数の光である0次光及び2次光は、スポットの光軸からの高さが5.0mm以上あるため、第2実施例に係る顕微鏡光学系MS2は、像面においてこの0次光及び2次光によるフレアを目立たなくすることができる。[第3実施例]次に、第3実施例として図8に示す顕微鏡光学系MS3について説明する。この顕微鏡光学系MS3も、物体側から順に、対物レンズOLと、第二対物レンズILと、プリズムPRと、から構成される。また、対物レンズOLは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、回折光学素子GDと、第2レンズ群G2と、から構成される。さらに、第1レンズ群G1は、物体側から順に、両凸レンズL1、両凸レンズL2と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL3とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL4から構成される。また、回折光学素子GDは、物体側から順に、平板状の光学ガラスL5、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L6,L7、及び、平板状の光学ガラスL8がこの順で接合され、光学部材L6,L7の接合面に回折格子パターン回折光学面が形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL9と両凹レンズL10とを接合した接合レンズで構成される。さらに、第二対物レンズILは、物体側から順に、両凸レンズL11と両凹レンズL12とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL13と両凹レンズL14とを接合した接合レンズから構成される。なお、プリズムPRは両端が平面の光学ガラスで構成される。このように図8に示した第3実施例に係る顕微鏡光学系MS3の諸元を表4に示す。なお、表4に示す面番号は、図8に示した面番号1~24と一致している。表4f=20f1=142f2=200β=10xNA物体側=02NA像側=002d0=3800D=8hdoe=554θdoe=1715°mrdndνd14879830016975552345140203370013401603655426906110184723852128050206245003301517641711669707080000200151764190000006152834710000000010001000351100000061557502120000300151764113000035014232773501805254151168915016206031612655136601775043510162357018750432001750352191600580750205025651016684202184541180161344422369115502300003000156956024000014381回折光学面データ第11面κ=1A2=49388E08A4=30081E12A6=33504E19A8=16682E15条件対応値1左辺|θ|0次=056°|θ|2次=056°右辺=043°2左辺|δθ|0次-1次=036°|δθ|2次-1次=037°右辺=031°2′右辺=028°このように、第3実施例では上記条件式1及び2を全て満たしていることが分かる。また、図9に、この第3実施例における、0次光及び2次光不要次数の光によるスポットダイアグラムを示す。この図9に示すように、不要次数の光である0次光及び2次光は、スポットの光軸からの高さが1.5mm以上あるため、第3実施例に係る顕微鏡光学系MS3は、像面においてこの0次光及び2次光によるフレアを目立たなくすることができる。[第4実施例]次に、第4実施例として図10に示す顕微鏡光学系MS4について説明する。この顕微鏡光学系MS4も、物体側から順に、対物レンズOLと、第二対物レンズILと、プリズムPRと、から構成される。また、対物レンズOLは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、回折光学素子GDと、第2レンズ群G2と、から構成される。さらに、第1レンズ群G1は、物体側から順に、両凸レンズL1、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL2と両凸レンズL3とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL4と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL5とを接合した接合レンズから構成される。また、回折光学素子GDは、物体側から順に、平板状の光学ガラスL6、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L7,L8、及び、平板状の光学ガラスL9がこの順で接合され、光学部材L7,L8の接合面に回折格子パターン回折光学面が形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL10と両凹レンズL11とを接合した接合レンズ、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL12と両凹レンズL13とを接合した接合レンズから構成される。さらに、第二対物レンズILは、物体側から順に、両凸レンズL14と両凹レンズL15とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL16と両凹レンズL17とを接合した接合レンズから構成される。なお、プリズムPRは両端が平面の光学ガラスで構成される。このように図10に示した第4実施例に係る顕微鏡光学系MS4の諸元を表5に示す。なお、表5に示す面番号は、図10に示した面番号1~28と一致している。表5f=10f1=760f2=200β=20xNA物体側=03NA像側=0015d0=3060D=6hdoe=622θdoe=2383°mrdndνd123431435015896122257030153286451001785257416720520149882556643701561575210018354277113425001589612812152309590000250151764110000000615575021100000001000100035120000006152834713000030015176411400000501590023351564607163906010018043961759002901813735190178525719520210016406012015201136302175043510162357022750432001750352231600580750245025651016684202584541180161344426369115502700003000156956028000014382回折光学面データ第12面κ=1A2=56000E08A4=32897E10A6=41539E12A8=20125E14条件対応値1左辺|θ|0次=091°|θ|2次=090°右辺=057°2左辺|δθ|0次-1次=039°|δθ|2次-1次=039°右辺=026°2′右辺=023°このように、第4実施例では上記条件式1及び2を全て満たしていることが分かる。また、図11に、この第4実施例における、0次光及び2次光不要次数の光によるスポットダイアグラムを示す。この図11に示すように、不要次数の光である0次光及び2次光は、スポットの光軸からの高さが2.0mm以上あるため、第4実施例に係る顕微鏡光学系MS4は、像面においてこの0次光及び2次光によるフレアを目立たなくすることができる。[第5実施例]次に、第5実施例として図12に示す顕微鏡光学系MS5について説明する。この顕微鏡光学系MS5も、物体側から順に、対物レンズOLと、第二対物レンズILと、プリズムPRと、から構成される。また、対物レンズOLは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、回折光学素子GDと、第2レンズ群G2と、から構成される。さらに、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、両凸レンズL2と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL3とを接合した接合レンズ、両凸レンズL4、及び、両凸レンズL5と両凹レンズL6と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL7とを接合した接合レンズから構成される。また、回折光学素子GDは、物体側から順に、平板状の光学ガラスL8、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L9,L10、及び、平板状の光学ガラスL11がこの順で接合され、光学部材L9,L10の接合面に回折格子パターン回折光学面が形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL12と両凹レンズL13とを接合した接合レンズ、及び、両凹レンズL14と両凸レンズL15と両凹レンズL16とを接合した接合レンズから構成される。さらに、第二対物レンズILは、物体側から順に、両凸レンズL17と両凹レンズL18とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL19と両凹レンズL20とを接合した接合レンズから構成される。なお、プリズムPRは両端が平面の光学ガラスで構成される。このように図12に示した第5実施例に係る顕微鏡光学系MS5の諸元を表6に示す。なお、表6に示す面番号は、図12に示した面番号1~32と一致している。表6f=4f1=509f2=200β=50xNA物体側=04NA像側=0008d0=2251D=32hdoe=456θdoe=1910°mrdndνd1120028340169755522074301533794153514988254214001001720347539959015624558370160365571433150158161204351498825947354100180439610976632014988251138999120120000250151764113000000615283471400000001000100035150000006155750216000030015176411700000201873502801498825194207110018043962071513902110484090172954722548824017412782334610901624470245396100002575043510162357026750432001750352271600580750285025651016684202984541180161344430369115503100003000156956032000014382回折光学面データ第15面κ=1A2=55556E08A4=90940E14A6=30689E12A8=17287E15条件対応値1左辺|θ|0次=120°|θ|2次=123°右辺=107°2左辺|δθ|0次-1次=039°|δθ|2次-1次=039°右辺=037°2′右辺=033°このように、第5実施例では上記条件式1及び2を全て満たしていることが分かる。また、図13に、この第5実施例における、0次光及び2次光不要次数の光によるスポットダイアグラムを示す。この図13に示すように、不要次数の光である0次光及び2次光は、スポットの光軸からの高さが3.75mm以上あるため、第5実施例に係る顕微鏡光学系MS5は、像面においてこの0次光及び2次光によるフレアを目立たなくすることができる。[第6実施例]最後に、第6実施例として図14に示す顕微鏡光学系MS6について説明する。この顕微鏡光学系MS6も、物体側から順に、対物レンズOLと、第二対物レンズILと、プリズムPRと、から構成される。また、対物レンズOLは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、回折光学素子GDと、第2レンズ群G2と、から構成される。さらに、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、物体側に平面を向けた平凸レンズL2、両凸レンズL3と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL4とを接合した接合レンズ、両凸レンズL5と両凹レンズL6と両凸レンズL7とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL8と両凹レンズL9とを接合した接合レンズから構成される。また、回折光学素子GDは、物体側から順に、平板状の光学ガラスL10、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L11,L12、及び、平板状の光学ガラスL13がこの順で接合され、光学部材L11,L12の接合面に回折格子パターン回折光学面が形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸レンズL15と両凹レンズL16とを接合した接合レンズ、及び、両凹レンズL17と両凸レンズL18と両凹レンズL19とを接合した接合レンズから構成される。さらに、第二対物レンズILは、物体側から順に、両凸レンズL20と両凹レンズL21とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL22と両凹レンズL23とを接合した接合レンズから構成される。なお、プリズムPRは両端が平面の光学ガラスで構成される。このように図14に示した第6実施例に係る顕微鏡光学系MS6の諸元を表7に示す。なお、表7に示す面番号は、図14に示した面番号1~36と一致している。表7f=2f1=354f2=200β=100xNA物体側=06NA像側=0006d0=1218D=24hdoe=490θdoe=2034°mrdndνd117818320172954621160001030000400156971342074301054525659014988266191701201613443739808010829510460149882693384712016134431013735470149882611809310201215883390149882613385481001723380143854812015000025015176391600000061528347170000000100010003518000000615575021900003001517639200000020218410130169453222481135014349502320594100167332224695052025100801001788474261127618018472382730920701694532284719140502975043510162357030750432001750352311600580750325025651016684203384541180161344434369115503500003000156956036000014382回折光学面データ第18面κ=1A2=41167E08A4=85221E11A6=76001E14A8=30526E17条件対応値1左辺|θ|0次=154°|θ|2次=148°右辺=143°2左辺|δθ|0次-1次=032°|δθ|2次-1次=032°右辺=034°2′右辺=030°このように、第6実施例では上記条件式1及び2′を満たしていることが分かる。しかしながら、条件式2は満たしていない。これは収差のためである。また、図15に、この第6実施例における、0次光及び2次光不要次数の光によるスポットダイアグラムを示す。この図15に示すように、不要次数の光である0次光及び2次光は、スポットの光軸からの高さが5.0mm以上あるため、第6実施例に係る顕微鏡光学系MS6は、像面においてこの0次光及び2次光によるフレアを目立たなくすることができる。"