外部から加熱される蒸発部と、外部に熱を放散する凝縮部と、前記蒸発部から前記凝縮部に作動液体の蒸気を送る蒸気管と、前記凝縮部から前記蒸発部に作動液体を送る液戻り管とを備える循環型液体搬送装置において、前記液戻り管の所定位置の内部に、前記液戻り管の外部から駆動される作動液体搬送機構を設けたことを特徴とする循環型液体搬送装置。前記作動液体搬送機構は、前記液戻り管の内部に少なくとも1つ片持ち支持された軸と該軸から枝分かれする複数の振動子とを備えた羽根状体であり、前記羽根状体の駆動源は、前記液戻り管の外周部に取り付けられ、前記駆動源は駆動源自体が発生する振動を、前記液戻り管を振動させて前記羽根状体に伝え、前記羽根状体は前記振動によって揺動運動を行って前記作動液体を搬送することを特徴とする請求項1に記載の循環型液体搬送装置。前記駆動源は、クランパによって前記液戻り管の所定位置の外周部に固定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の循環型液体搬送装置。作動液体搬送機構は、前記液戻り管に固定された取付アームと、前記取付アームに固定された圧電素子と、前記液戻り管内を前記作動液体の流れの下流側に延伸されたブレードとを備え、前記ブレードは前記圧電素子に外部から印加される交番電圧によって揺動運動を行って前記作動液体を搬送することを特徴とする請求項1に記載の循環型液体搬送装置。請求項1から4の何れか1項に記載の循環型液体搬送装置を用いた半導体冷却装置であって、前記蒸発部に取付可能な回路基板と、前記回路基板上に実装された半導体素子と、前記回路基板の上部にその一面を前記半導体素子に接触させて取り付けられるヒートスプレッダとを備え、前記回路基板が取り付け手段によって、前記蒸発部に取り付けられ、この状態で前記ヒートスプレッダの他の面が前記蒸発部に接触していることを特徴とする液体搬送装置を用いた半導体冷却装置。しかしながら、特許文献1に開示のように、液戻り管の内周部に設けられたウィックの内周側に更に流路断面積の大きい液流路を設けとしても、作動液体を搬送する力はウィックの毛細管圧力であるので、作動液体を重力に抗して十分な量だけ蒸発部に上昇させるにはまだ十分ではなかった。本出願は、循環型ヒートパイプをトップヒートモードで使用する場合でも、液戻り管中の作動液体を、十分な量だけ蒸発部に供給することが可能な液体搬送装置及び該搬送装置を用いた半導体冷却装置を提供することを目的としている。上記目的を達成するための本出願の循環型液体搬送装置は、外部から加熱される蒸発部と、外部に熱を放散する凝縮部と、蒸発部から凝縮部に作動液体の蒸気を送る蒸気管と、凝縮部から蒸発部に作動液体を送る液戻り管とを備える循環型液体搬送装置において、液戻り管の所定位置の内部に、液戻り管の外部から駆動される作動液体搬送機構を設けたことを特徴としている。また、上記目的を達成するための本出願の循環型液体搬送装置を用いた半導体冷却装置は、本出願の循環型液体搬送装置の何れかを用いた半導体冷却装置であって、蒸発部に取付可能な回路基板と、回路基板上に実装された半導体素子と、回路基板の上部にその一面を半導体素子に接触させて取り付けられるヒートスプレッダとを備え、回路基板が取り付け手段によって蒸発部に取り付けられ、この状態でヒートスプレッダの他の面が蒸発部に接触していることを特徴としている。本出願の循環型液体搬送装置によれば、循環型ヒートパイプの液戻り管のウィックの内側に設けた作動液体搬送機構を外部からの振動で駆動したので、液戻り管中の作動液体を、十分な量だけ蒸発部に供給することが可能である。また、本出願の循環型液体搬送装置を用いた半導体冷却装置によれば、循環型液体搬送装置をトップモードで使用した状態で、蒸発部に取り付けられた半導体素子を十分に冷却することが可能である。以下、添付図面を用いて本出願の実施の形態を、具体的な実施例に基づいて詳細に説明するが、本出願の実施の形態を説明する前に、従来の循環型液体搬送装置の構成を図1a、bを用いて説明する。図1aは従来の循環型液体搬送装置である循環型ヒートパイプ10の構成を示すものである。循環型ヒートパイプ10には、外部から加熱される蒸発部としての蒸発器1と、外部に熱を放散する凝縮部としての凝縮器2と、蒸発器1から凝縮器2に作動液体の蒸気7を送る蒸気管3と、凝縮器2から蒸発器1に作動液体6を送る液戻り管4がある。液戻り管4の中には、凝縮器2で凝縮された作動液体6を蒸発器1に還流させる毛細管圧力を生じさせるウイック5が設けられている。ウィック5は、図1bに示すように、液戻り管4の内周面に取り付けられており、セラミックス、金属、樹脂などを材料とした多孔質体である。循環型ヒートパイプ10の内部は、完全に真空引きされた後、水系、アルコール系、フッ化炭化水素化合物系など液体が作動液体として封入されている。以上のように構成された従来の循環型ヒートパイプ10では、蒸発器1で液相の作動液体6が蒸気7になって蒸気管3を流れ、凝縮器2で蒸気7が液相の作動液体6になって蒸発器1に還流する。下側に位置する凝縮器2から上側に位置する蒸発器1に向けて熱を輸送するトップヒートモードでは、液戻り管4内に設けられたウィック5により、作動液体6を重力に抗して蒸発器1に上昇させている。しかしながら、ウィック5は毛細管力によって作動液体6を重力に抗して蒸発器1に上昇させているので、作動液体6の上昇力が弱いという課題があった。本出願は、循環型ヒートパイプをトップヒートモードで使用する場合における、液戻り管4内の作動液体6を蒸発器1に上昇させる上昇力を向上させるものであり、以下に幾つかの循環型ヒートパイプの実施形態及びこれを用いた半導体冷却装置が説明される。本出願では、循環型ヒートパイプの液戻り管の所定位置に作動液体搬送機構を設け、この作動液体搬送機構を液戻り管の外部に設けた駆動源によって駆動することに特徴がある。図2aは、液体搬送装置である本出願の第1の形態の循環型ヒートパイプ20の構成を示すものであり、図1aで説明した従来の循環型ヒートパイプ10と同じ構成部材には同じ符号を付してある。第1の形態の循環型ヒートパイプ20にも、外部から加熱される蒸発器1と、外部に熱を放散する凝縮器2と、蒸発器1から凝縮器2に作動液体の蒸気7を送る蒸気管3と、凝縮器2から蒸発器1に作動液体6送る液戻り管4がある。循環型ヒートパイプ20がトップヒートモードで使用される場合は、下側にある凝縮器2から作動液体6が上側にある蒸発器1に向かって上昇する。図1aに示した従来の循環型ヒートパイプ10では、液戻り管4の中に設けられたウイック5の毛細管圧力によって作動液体6を蒸発器1に還流させていた。一方、本出願の第1の形態の循環型ヒートパイプ20では、液戻り管4の所定位置、例えば凝縮器2に近い液戻り管4に作動液体搬送機構Tを取り付ける。第1の形態の循環型ヒートパイプ20に取り付けた作動液体搬送機構Tは、液戻り管4の内部に設けられた軸11と振動子12とからなるブラシ16と、液戻り管4の外部に設けられ駆動源13とから構成される。振動子12は軸11に多数取り付けられており、駆動源13によって駆動される。図2bは、図2aに示したブラシ16の詳細な構成の一例を示すものである。ブラシ16の軸11の基部側は折り曲げて取付部11Aを設け、この取付部11Aを液戻り管4に埋め込んで固定する。そして、直線状の軸11の本体部11Bが、液戻り管4の中央部近傍を、液戻り管4に沿って蒸発器1の方向に伸びるようにする。軸11の本体部11Bには、所定間隔で複数の振動子12の基部を固定し、複数の振動子12の自由端部は軸11の先端部側に斜めに放射状に開くようにする。軸11の本体部11Bに所定間隔で取り付けた複数の振動子12をここでは振動子束12Bと呼ぶ。軸11は金属又は合成樹脂で形成でき、振動子12は金属、合成樹脂などを材料とした弾性体で形成することができる。図2bには構成を分かりやすくするために振動子束12Bの間隔を大きくしたが、実際のブラシ16における振動子束12Bの間隔はこれよりも狭い。一方、作動液体搬送機構Tを構成する駆動源13は、ブラシ16が内部に位置する液戻り管4の外周部に取り付ける。第1の形態の駆動源13は振動発生源であり、内部で発生させた振動で液戻り管4の壁面を振動させ、この振動を液戻り管4の内部にあるブラシ16に伝える。振動発生源としては、モータなど駆動装置類を用いた機構、ピエゾ素子など圧電装置類を用いた振動、永久磁石や電磁石など吸引力と反発力を用いた機構を使用することができる。図3aは、振動子12の動作を説明するものであり、駆動源13から液戻り管4を左右に振る振動が印加されると、軸11に放射状に取り付けられた振動子束12Bにある各振動子12が二点鎖線で示すように揺動する。そして、個々の振動子12が二点鎖線で示すように揺動すると、液戻り管4に下方から進入した作動液体6が押し上げられる。本出願人は、駆動源13から振動を与えられたブラシ16が作動液体6を搬送することを実証するために、図3bに示されるような装置で実験を行った。この装置は、このブラシ16を内蔵させ、外周部に駆動源13が取り付けられた液戻り管4と同様のチューブ14を作成し、内部にブラシ16全体が浸かる程度の水を入れ、このチューブ14の下端部を、水Wを満たした皿状の容器15に浸けたものである。チューブ14は、外径12mm、内径8mmのテフロン登録商標製のものであり、ブラシ16の全長は70mm程度である。この状態で、図3cに示すように、駆動源13から毎分7000回程度の振動をチューブ14に印加すると、チューブ14内の水位の上昇が観測できた。観測の結果、水位の上昇は、10秒間に約20mmであり、単位時間当たりの水位上昇分から揚水量を計算すると、揚水量として、約6ml/分が得られた。このことから、第1の形態の作動液体搬送機構Tによれば十分な揚水量が得られることが分かる。図4a、bは、本出願の第2の形態の循環型ヒートパイプ30の要部を部分的に示すものである。第2の形態の循環型ヒートパイプ30では、液戻り管4の所定位置、例えば凝縮器2に近い位置、に設ける作動液体搬送機構Tを、取付アーム21、振動子22及び圧電素子23から構成する。取付アーム21は、ハッチングで示す部分を液戻り管4の内壁面に固定し、取付アーム21の上面に、下部が圧電素子23で挟まれた振動子22を固定する。振動子22は圧電素子23から液戻り管4に沿って延びる矩形の板であり、金属と樹脂から構成されるブレードである。そして、圧電素子23は、図4bに示すように、液戻り管4の外部にある電源24とスイッチング回路24に接続する。電源24で発生された電圧は、スイッチング回路24でパルス状の交番電圧に変換され、交番電圧が圧電素子23の両端面に印加される。交番電圧が印加された圧電素子23は収縮と伸張を繰り返すので、この圧電素子23の収縮、伸張動作によって振動子22が矢印Sのように揺動する。そして、振動子22の揺動により、液戻り管4の内部の作動液体6が矢印Mの方向に搬送される。図5aは、本出願の第3の形態の循環型ヒートパイプ40の要部の構成を示すものであり、図5bは図5aのA‐A線における断面を示している。第3の形態の循環型ヒートパイプ40では、液戻り管4の所定位置、例えば凝縮器2に近い位置、に設ける作動液体搬送機構Tを、取付軸31及びプロペラ状の回転子32から構成する。取付軸31の基部は液戻り管4の内壁面に固定し、取付軸31は液戻り管4の中央部辺りで直角に折り曲げて液戻り管4に平行に伸ばす。そして、取付軸31の先端部にプロペラ状の回転子32を回転自在に取り付ける。回転子32は磁性体、あるいは永久磁石で構成し、外部からの磁界が移動するとこれに追従するようにする。そして、液戻り管4の外周部の回転子32に対向する部分には、駆動源としての移動磁界発生装置33を取り付ける。移動磁界発生装置33は、第3の形態では図5bに示すように、液戻り管4の外周部に等間隔に6個取り付ける。移動磁界発生装置33はコイルから構成することができ、6個のコイル33は制御装置34に接続して、液戻り管4の円周方向に回転磁界が発生するように制御回路34で駆動する。液戻り管4の内部に設けられた回転子32がこの回転磁界に追従して回転することにより、液戻り管4の内部にある作動液体6が矢印Mの方向に搬送される。本出願の第3の形態の循環型ヒートパイプ40では、回転子32の回転数を変えることにより、揚水量を変更することができる。図6aからfは、本出願の第1の形態の振動源13を、液戻り管4の外周部に取り付ける機構を示すものである。図6a、bは第1の実施例の構成を示すものであり、第1の実施例ではクランパ41が使用される。駆動源13は半円状のクランパ41の一方に固定されており、半円状の2つのクランパ41は回転軸によって回動可能に接続されている。クランパ41の自由端側にはそれぞれ端板43が設けられており、端板43の一方にはねじ42が取り付けられ、他方にはねじ孔図示せずがある。クランパ41は、図6aに示すように開いた状態で液戻り管4を挟み、図6bに示すように閉じた状態でねじ42により液戻り管4に固定することができる。図6cは、本出願の第2の実施例の取付機構を示すものであり、結束バンド44を使用した実施例である。振動源13は固定部45に取り付けられており、固定部45の一端には帯状の結束バンド44の基部が固着されており、固定部45の他端には結束バンド44の挿入口46が設けられている。また。結束バンド44の一方の面には結束バンド44をロックする突条47が多数設けられている。結束バンド44を液戻り管4に周回させ、結束バンド44の先端部を挿入口46に挿入して行けば、結束バンド44が液戻り管4に巻き付いた状態で結束バンド44は突条47によってロックされるので、振動源13を液戻り管4に固定することができる。結束バンド44の形状は図示のものに限定されるものではない。図6d、eは、本出願の第3の実施例の取付機構を示すものであり、熱収縮チューブ48を用いた実施例である。熱収縮チューブ48は加熱すると収縮する合成樹脂のチューブである。振動源13を液戻り管4に取り付ける場合は、振動源13を液戻り管4に仮固定してその周囲に熱収縮チューブ48を配置し、熱風などで熱収縮チューブ48を加熱すれば、熱収縮チューブ48が収縮し、振動源13を液戻り管4に固定することができる。図6fは、本出願の第4の実施例の取付機構を示すものであり、接着剤49を用いた実施例である。接着剤49の代わりに強固な両面テープなどを使用することも可能である。図7は、本出願の循環型ヒートパイプを使用した半導体冷却装置50の構成を示すものである。循環型ヒートパイプとしては、第1の形態の循環型ヒートパイプ20、第2の形態の循環型ヒートパイプ30、及び第3の形態の循環型ヒートパイプ40に何れも使用することができるが、図7には第1の形態の循環型ヒートパイプ20を使用した実施例が示されている。第1の循環型ヒートパイプ20の構成は図2と同じであるのでその説明を省略し、ここでは半導体冷却装置50の冷却部分の構成のみを説明する。半導体冷却装置50の冷却部は、循環型ヒートパイプ20の蒸発器1によって構成される。この実施例では、冷却したい半導体素子、或いは半導体素子をパッケージ基板に実装した半導体パッケージが蒸発器1の底面に熱的に接触させた状態で取り付けられる。半導体冷却装置50の冷却部は、回路基板52の上に実装された半導体素子半導体パッケージ53を、ヒートスプレッダ51を介して蒸発器1によって冷却するものであり、取付板54及び取付ねじ55を備える。半導体素子53が実装された回路基板52は、蒸発器1の底面に取付ねじ55で取り付けられる取付板54の上に載置される。そして、回路基板52の上に実装された半導体素子53は、ヒートスプレッダ51を介して循環型ヒートパイプ20の蒸発器1の底面に接触し、半導体素子53で発生した熱がヒートスプレッダ51を介して蒸発器1に吸熱される。そして、蒸発器1に対して半導体素子53が発熱する状態では、蒸発器1がその熱によって加熱される。蒸発器1が加熱されると、蒸発器1に供給されている作動液体が蒸発して蒸気が生じる。発生した蒸気7は蒸気管3に流入し、蒸気管3を通って、放熱により内部温度と圧力が低くなっている凝縮器2に流れ、ここで放熱して凝縮して液体になる。凝縮して生じた作動液体6は、液戻り管4の内部に設けられたブラシ16に向かう。ブラシ16にある振動子12は、軸11から蒸発器1の方向に向って延びているので、駆動源13による揺動運動によって圧力を生じ、その結果、振動子12に接触した作動液体6が蒸発器1側に動かされる状態が維持される。そして、作動液体6を効率よく円滑に蒸発器1に向けて還流させることができるので、蒸発器1への入熱が大量であったり、変動した場合でも、作動液体6を還流させることができ、蒸発器1でのドライアウト防止と熱輸送能力を向上させることができる。以上、本出願を特にその好ましい実施の形態について詳述したが、本出願は特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本出願の要旨の範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。ここで、本出願の容易な理解のために、本出願の具体的な形態を以下に付記する。付記1外部から加熱される蒸発部と、外部に熱を放散する凝縮部と、前記蒸発部から前記凝縮部に作動液体の蒸気を送る蒸気管と、前記凝縮部から前記蒸発部に作動液体を送る液戻り管とを備える循環型液体搬送装置において、前記液戻り管の所定位置の内部に、前記液戻り管の外部にある駆動源によって駆動される作動液体搬送機構を設けたことを特徴とする循環型液体搬送装置。付記2前記作動液体搬送機構は、前記液戻り管の内部に少なくとも1つ片持ち支持された軸と該軸から枝分かれする複数の振動子とを備えた羽根状体であり、前記羽根状体の駆動源は、前記液戻り管の外周部に取り付けられ、前記駆動源は駆動源自体が発生する振動を、前記液戻り管を振動させて前記羽根状体に伝え、前記羽根状体は前記振動によって揺動運動を行って前記作動液体を搬送することを特徴とする付記1に記載の循環型液体搬送装置。付記3前記駆動源は、クランパによって前記液戻り管の所定位置の外周部に固定されていることを特徴とする付記1又は2に記載の循環型液体搬送装置。付記4前記駆動源は、結束バンドによって前記液戻り管の所定位置に固定されていることを特徴とする付記1又は2に記載の循環型液体搬送装置。付記5前記駆動源は、熱収縮チューブによって前記液戻り管の所定位置に固定されていることを特徴とする付記1又は2に記載の循環型液体搬送装置。付記6前記駆動源は、接着剤によって前記液戻り管の所定位置に固定されていることを特徴とする付記1又は2に記載の循環型液体搬送装置。付記7前記作動液体搬送機構は、前記液戻り管に固定された取付アームと、前記取付アームに固定された圧電素子と、前記液戻り管内を前記作動液体の流れの下流側に延伸されたブレードとを備え、前記圧電素子は、前記駆動源から印加される交番電圧によって前記ブレードに揺動運動を行わせて前記作動液体を搬送することを特徴とする付記1に記載の循環型液体搬送装置。付記8前記作動液体搬送機構は、前記液戻り管の所定位置の内部で磁界により回転運動を行う回転子と、前記回転子に磁界を印加する移動磁界発生装置とから構成され、前記移動磁界発生装置は、前記液戻り管の所定位置の外周部に所定間隔で周回して取り付けられた複数個のコイルであることを特徴とする付記1に記載の循環型液体搬送装置。付記9前記回転子が永久磁石で構成されていることを特徴とする付記8に記載の循環型液体搬送装置。付記10付記1から9の何れかに記載の循環型液体搬送装置を用いた半導体冷却装置であって、前記蒸発部に取付可能な回路基板と、前記回路基板上に実装された半導体素子と、前記回路基板の上部にその一面を前記半導体素子に接触させて取り付けられるヒートスプレッダとを備え、前記回路基板が取り付け手段によって、前記蒸発部に取り付けられ、この状態で前記ヒートスプレッダの他の面が前記蒸発部に接触していることを特徴とする液体搬送装置を用いた半導体冷却装置。付記11前記半導体素子が半導体集積回路であることを特徴とする付記10に記載の液体搬送装置を用いた半導体冷却装置。