"多レンズ光学系62の光学面S1、S2、S3の曲率中心K1、K2、K3の位置を測定する方法であって、a干渉計24を用いて参照軸34に沿って前記光学面S1、S2、S3の間隔を測定しST1、b光角測定デバイス22を用いて前記光学面S1、S2、S3の前記曲率中心K1、K2、K3の前記位置を測定しST2、その際、前記光学系62内のある光学面の曲率中心の測定の間に、当該光学面及び前記光角測定デバイス22の間にある光学面の曲率中心の測定された前記位置と、ステップaで測定された前記光学面の前記間隔とが、計算的に考慮されるST3、ST4、ステップを有する方法。前記光学面の前記間隔を測定する前に、前記光角測定デバイス22を用いて前記光学系62の光軸92が一時的に決定され、前記光学系62及び前記干渉計24は、一時的に決定された前記光学系92が前記参照軸34と揃うように、相互に正しい方向に置かれる、請求項1に記載の方法。ステップbが、ステップaの前に行われ、ステップbで測定された前記曲率中心K1、K2、K3の前記位置が、前記光軸92の一時的な決定のために用いられる、請求項2に記載の方法。前記光軸92は、測定される少なくともいくつかの光学面S1、S2、S3の曲率中心K1、K2、K3の位置と、このように決定される前記曲率中心K1、K2、K3の前記位置を通る回帰直線により定義される光軸92とにより、一時的に決定される、請求項2又は3に記載の方法。前記光軸92の一時的な決定のために、試験光が前記光学系62の一方の側から結合され、反対側で、前記光学系から発する試験光が、前記光角測定デバイス22の光センサ50により位置が決定されるように記録される、請求項2に記載の方法。前記試験光の位置が決定される記録の間に、前記光学系が前記参照軸34の周りを回転され、回転される間に前記試験光が前記光センサ50に当たる位置の変化から、前記光軸98の前記参照軸34からのずれが測定される、請求項5に記載の方法。前記試験光は、前記干渉計22内に配置された光源64により生成される、請求項5又は6に記載の方法。ステップaでの前記間隔の測定及びステップbでの前記曲率中心K1、K2、K3の前記位置の測定は、前記光学系62の同側から行われる、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の方法。前記干渉計24により用いられる間隔測定光及び前記光角測定デバイス22により用いられる角度測定光は、同じ焦点調節光学列により前記光学系92に向けられる、請求項8に記載の方法。前記干渉計は、短コヒーレンス干渉計である、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の方法。多レンズ光学系62の光学面S1、S2、S3の曲率中心K1、K2、K3の位置を測定する装置であって、a参照軸34に沿って前記光学面S1、S2、S3の間隔を測定するように設定された干渉計24と、b前記光学面S1、S2、S3の前記曲率中心K1、K2、K3の前記位置を測定するように設定された光角測定デバイス22と、c前記光学系62内のある光学面の曲率中心K1、K2、K3の位置の測定に関連して、当該光学面及び前記光角測定デバイス22の間にある光学面の曲率中心の測定された前記位置と、前記干渉計24により測定された前記光学面の前記間隔とを、計算的に考慮するように設定された計算ユニット26と、を有する装置。試験光を前記光学系62に当該系の一方の側から結合させるように設定された試験光の光源64と、前記光学系62の反対側で発する試験光を、位置が決定されるように記録するように設定された位置決定光センサ50と、をさらに有する、請求項11に記載の装置。前記試験光の光源64は、前記干渉計24内に統合される、請求項12に記載の装置。前記光学系62を前記参照軸34の周りで回転させるように設定された回転機構をさらに有する、請求項11乃至13のいずれか一項に記載の装置。前記干渉計24及び前記光角測定デバイス22は、前記光学系62の同側に配置される、請求項11乃至14のいずれか一項に記載の装置。焦点調節光学列46をさらに有し、それを通って、前記干渉計24により生成された間隔測定光及び前記光角測定デバイス22により生成された角度測定光は、前記光学系62に向けられる、請求項15に記載の装置。前記干渉計は、短コヒーレンス干渉計である、請求項11乃至16のいずれか一項に記載の装置。本発明の目的は、多レンズ光学系の光学面の曲率中心の位置を測定する公知の工程を、測定のより高い精度を目的として改善することである。さらに、本発明の目的は、そのような改善された工程の実装に適する装置を指定することである。本発明に従って、方法に関する目的は、多レンズ光学系の光学面の曲率中心の位置を測定する方法であって、a干渉計を用いて参照軸に沿って表面の間隔を測定し、b光角測定デバイスを用いて表面の曲率中心の位置を測定し、その際、光学系内のある表面の曲率中心の測定の間に、この表面及び角度測定デバイスの間にある表面の曲率中心の測定された位置と、ステップaで測定された表面の間隔とが、計算的に考慮される、ステップを有する方法により達成される。すでに検査された光学面の光学的効果の決定に関連して、表面の望まれる間隔、即ち光学設計から導出されるデータに基づくのではなく、これらの間隔が干渉計を用いて高精度に測定されれば、曲率中心の位置の測定に関連する精度は、大幅に向上され得ることが明らかになっている。例えば、光学面の曲率半径は、通常、製造工学の観点から非常に高い正確さで認識され得るので、このことは、レンズの中心の厚みについても限定的に有効である。しかし、とりわけ光学系の組み立ての間に、レンズ間の空気分離airseparationの設定に関連して、調節誤りが頻繁に起こる。光学面の実際の間隔は、結果として、時には望まれる間隔と明らかに異なるかもしれないので、望まれる間隔だけが計算的評価で考慮される場合に、重大な誤りが曲率中心の位置の決定で起こるかもしれない。加えて、多レンズ光学系の検査に関連して、反復評価工程による光学面の検査の間の測定誤りは、角度測定系から見て、下流にあるすべての光学面の測定の精度に著しい効果を有するという特性が現れる。逆に言えば、問題の光学系について行われた測定のすべての測定誤りは、累積的に、角度測定系から見て、光学系の最後の表面の曲率中心の位置の測定値に入り込む。このように、実際の間隔の望まれる間隔からの比較的小さなずれでさえ、少なくとも角度測定系から見て、最後の光学面の測定の精度に、非常に好ましくない効果を有し得る。本発明の、光学面の間隔の独立した測定の実装により、特定の光学面の曲率中心の位置の決定に関連して、この表面及び角度測定系の間にある表面の望まれる間隔ではなく、実際の間隔に基づくことが可能である。このことは、特に多くの光学面を有する光学系の場合に、とりわけ背面rear光学面、即ち検査のために角度測定光がいかなる場合も2度通過しなければならない前方にある非常に多くの表面について、測定の精度の大幅な向上をもたらす。ステップbでの曲率中心の位置の検査に関連して、光学面は光学系に配置される順番に検査される必要がないことに注意すべきである。なぜなら、特定の表面の前方にある表面の光学的効果の計算的考慮は、光学系について測定されたすべてのデータが記録されたときに行われ得るからである。それゆえに、測定されたデータの記録に関連する順番は、他の基準に従って広範な制限内で自由に規定されてよい。そのような別の基準は、例えば、角度測定デバイス内の光学部品の移動経路を最小化することにより、測定時間をできる限り短くすることでもよい。角度測定デバイスの場合に、例えば、オートコリメータの問題であれば、測定されたデータの記録に関連する順番は、光学面が光学系での配置の順番ではなく、曲率中心の配置の順番に測定されるように規定され得る。そのとき、最初に検査されるのは、例えば、オートコリメータの最も近くに配置される光学面ではなく、オートコリメータのできる限り近くにある曲率中心を有する表面である。次に、オートコリメータの次に近くにある曲率中心を有する表面が検査される。このように、焦点調節だけのために用いられるオートコリメータのズーム光学opticsは、光学系の設計データからの結果等の、曲率点pointofcurvatureの連続した望まれる位置に接近しなければならない。ステップa及びbは、入れ替えられてもよい。そのときは、従来技術の場合のように、表面の望まれる間隔の仮定の下、すべての曲率中心のおおよその位置が一時的に測定される。干渉計を用いた間隔の測定の後に、これらの測定値が、続いて計算的に補正される。又は、ステップbが繰り返され、曲率中心の次の測定の評価の間に、間隔の計算的考慮が行われる。光学面の実際の間隔のより正確な知識を用いた曲率中心の次の測定は、頻繁に、より高い精度で行われ得る。しかし、干渉計を用いた表面の間隔の測定は、曲率中心の位置の検査に関連する精度を向上させるだけではない。逆に、曲率中心の位置の測定は、表面の間隔がより精度よく検査されるのを可能にする。なぜなら、干渉計から表面に向けられる間隔測定光が検査される表面に垂直に当たる場合に限り、干渉計を用いた表面の間隔の精度のよい検査が可能だからである。表面がわずかに偏心tiltingしている場合に、表面から干渉計に反射される光の強度は、大幅に弱められるので、非常に低い信号対雑音比により、測定が不能であるか、よくて比較的精度の低い測定が可能であるかである。加えて、間隔測定光が非垂直に当たる場合に、反射された光が十分に高い強度を有するときでさえ、最終的に、測定されるのは、光軸に沿った表面の実際に望まれる間隔ではない。しかし、このことは注目されておらず、この理由により特に不利である。光学系の光軸が、間隔がそれに沿って測定される参照軸と揃っていれば、間隔測定光は光学面に垂直に当たる。この理由により、方法の有利な構成では、角度測定デバイスを用いてステップaに従って間隔を検査する前に、光学系の光軸が一時的に決定される。続いて、光学系及び干渉計は、一時的に決定された光軸が参照軸と揃うように、相互に正しい方向に置かれる。これに関連して、一般に光学系は、固定の干渉計に対して調節される。しかし、原理上、固定の光学系に対する干渉計の調整も可能である。不十分に調節された多レンズ光学系の光軸は、それ自体で、明確に定義されない。この理由により、そのような系の一時的に決定された光軸により、事前に決定された基準に従って一時的な光軸として定義された軸は理解される。事前に決定されたこの基準は、定性的に、例えば回帰直線の意味で、一時的に測定された曲率中心が、この軸のできる限り近くにあるという特性を説明する。光学系の光軸を一時的に決定するために、ステップaの前にステップbが行われてもよい。ステップbで測定された曲率中心の位置は、光軸の一時的な決定のために用いられる。光軸は、例えば、測定される少なくともいくつかの表面の曲率中心の位置と、このように決定された曲率中心を通る回帰直線により規定される光軸により、一時的に決定されてもよい。一時的な光軸を決定するために、2つの表面、例えば、光学系の最初及び最後の表面だけが用いられれば、回帰直線は連結線connectinglineになる。一時的な光軸の規定に関連して、個々の表面に重み付けを行うことも可能である。考慮される1つの可能性は、より強く屈折する表面、即ちより小さな曲率半径を有する表面に、より重く重み付けを行うことである。なぜなら、これらの表面は、一般に光学系の光学特性により強い影響を与えるからである。考慮される別の可能性は、光軸の一時的な決定に関連して、光学系の個々の部分だけを考慮することである。光軸を一時的に決定する別の可能性は、試験光を光学系の一方の側から結合couplinginさせ、反対側で、光学系から発する試験光を、角度測定デバイスの光センサを用いて位置が決定されるlocationresolvedように記録することにある。これに関連して、誤って調節された光学面の場合に、試験光は屈折により偏向され、この理由により参照軸の交差点で光センサに当たらないという事実が利用される。試験光の位置が決定される記録の間に光学系が参照軸の周りを回転されれば、光軸のそのような一時的な決定は、特に効果的に成功する。回転される間に試験光が光センサに当たる位置の変化から、光軸の参照軸からのずれが定性的に推測され得る。光学系が回転される間に試験光が光センサに当たる位置は、円軌道上を移動する。参照軸に対する光学系の最適な方向付けは、円軌道の半径が最小のときに得られる。試験光は、例えば、干渉計内に配置される光源により生成されてもよい。この光源の場合に、間隔測定光のためにいずれにせよ干渉計内に提供される光源の問題、又はその光源と独立した試験光の光源の問題かもしれない。参照軸に対して曲率中心の実際の測定を開始する前に光学系を正しい方向に置くさらなる可能性は、曲率中心により規定される一時的に決定された光軸が参照軸と最適に揃っていれば、角度測定デバイスにより確認された曲率中心を用いて、干渉計により生成された間隔測定光が光学面での反射の後に有する強度を計算することにある。この光学系は、干渉計により測定される強度が計算された強度にできる限り近くなるように、偏心tilting及び/又は移動により正しい方向に置かれる。一実施形態では、ステップaでの間隔の測定と、ステップbでの曲率中心の位置の測定は、光学系の同側から行われる。結果として、測定装置のより小型の構造が、頻繁に達成され得る。これに関連して、干渉計により用いられる間隔測定光と、角度測定デバイスにより用いられる角度測定光は、同じ焦点調節光学列opticaltrainにより光学系に向けられてもよい。本発明の方法は、非球面の場合に、曲率中心の位置が測定されることも可能にする。この場合の曲率中心は、非球面の球面部分に対してのみ定義される。従来の非球面方程式により記述可能な非球面の場合に、曲率中心は、曲率半径Rの球の中心により与えられる。方程式において、zは光軸と平行な、問題の表面の矢状sagittaを示し、hは光軸からの半径方向radial間隔を示し、c=1/Rは問題の表面の頂点の曲率を示し、kは円錐定数conicconstantを示し、A、B、C、D、E、F、G、H、及びJは非球面定数asphericconstantを示す。一方、それに対して非球面が回転対称であり、その上に球面部分の曲率中心があるかもしれないが、その上になければならないとは限らない対称軸の位置は、本発明の方法により確認され得ない。平面も、本発明の方法を用いて検査され得る。しかし、この場合に、角度測定デバイスは、曲率中心の位置ではなく、平面が参照軸に対して有する角度を提供する。装置に関して、序論で述べた目的は、多レンズ光学系の光学面の曲率中心の位置を測定する装置であって、a参照軸に沿って表面の間隔を測定するように設定された干渉計と、b光学面の曲率中心の位置を測定するように設定された光角測定デバイスと、c光学系内のある表面の曲率中心の位置の測定に関連して、この表面及び角度測定デバイスの間にある表面の曲率中心の測定された位置と、干渉計により測定された表面の間隔とを、計算的に考慮するように設定された計算ユニットと、を有する装置を用いて達成される。方法に対して上述した構成及び利点は、対応してここで適用される。装置は、試験光を光学系にその一方の側から結合させるように設定された試験光の光源を示exhibitしてもよい。さらに、光学系の反対側で発する試験光を、位置が決定されるように記録するように設定された位置決定locationresolving光センサが提供されてもよい。特に、試験光の光源は、干渉計内に統合されてもよい。加えて、装置は、光学系を参照軸の周りで回転させるように設定された回転機構を示してもよい。干渉計及び角度測定デバイスは、光学系の同側に配置されてもよい。この場合に、干渉計により生成された間隔測定光及び角度測定デバイスにより生成された角度測定光が、それを通って光学系に向けられる、焦点調節光学列が提供されてもよい。1.序論図1は、子午線的断面図で、10により全体が示される光学系を示す。光学系は、7枚のレンズL1~L7を有する。2枚のレンズL3及びL4は、隙間なく1つに接合されており、アクロマートachromatとして用いられるダブレットdoubletを形成する。レンズL1~L7は、不図示のレンズマウントにいかなる場合も収容される、円筒状に研磨されたレンズ縁12を有する。理想的な場合に、レンズL1~L7は、その光軸がすべて、同時に円筒状のレンズ縁12の対称軸でもある共通参照軸14上にあるように、正しい方向に置かれている。参照軸14は、一般に光学系10の光軸として示される。しかし、実際の光学系では、製造及び組み立てへの耐性という理由で、理想的な方向付けからのずれが生じる。図2は、レンズL5を例に、レンズマウント内のレンズL5のわずかなしかし、図2では大げさに示されている偏心tiltingが、センタリング状態centringstateにどのように影響を与えるかを示す。ここで、レンズL5の2つのレンズ表面S51及びS52は球面であり、それぞれ図2にK51及びK52により示される曲率中心を有すると仮定する。曲率中心K51及びK52は、レンズL5の光軸を定義する。その光軸は、図2に点線16により示される。この定義により、光軸16は、レンズL5の球面光学面S51及びS52に対して常に垂直になる。非球面レンズの場合に、光軸は、非球面レンズ表面の球面部分の曲率中心により定義される。例えば、レンズL5の偏心tiltingは、レンズL5がレンズマウントに正しく挿入されなかったという事実により生じているかもしれない。この理由として、例えば、レンズ縁12が、その対称軸がレンズL5の光軸16と揃うように研磨されなかったという可能性が考慮される。レンズL5を光学系10の参照軸14上に正確に正しい方向に置くために、レンズL5は、図1で仮定したように、光軸16が参照軸14と揃うように、参照軸14に対して垂直に偏心tiltedされ、必要に応じて、さらに移動されなければならないだろう。図1に示されるような多レンズ光学系の場合に、個々のレンズの光軸は、一般に、センタリング状態の質により、参照軸14に対してより大きく又は小さく不規則に分布する。このことは、図3に、曲率中心K11及びK12、K21及びK22、K31及びK32、並びにK41及びK42の4枚のレンズを有する光学系を例に示される。4枚のレンズの光軸は、161、162、163、及び164により示される。そのような光学系でレンズのセンタリングを改善するために、いくつかのレンズは、すべての光軸161、162、163、及び164が参照軸14と揃うように、移動により偏心tilted及び/又は再配置されなければならない。時には、図4が示すように、レンズの光軸は少なくともほぼ共通光軸16’上に配置されているが、その光軸は参照軸14と揃っていないということも起こるかもしれない。そのような場合に、個々のレンズを再調節するのではなく、光学系全体が、例えばレンズマウント又は目的の筐体により予め定められた参照軸14に対してではなく、上位ユニットの光軸16’に対して調節されるように、光学系全体を上位ユニットに組み込むことがより好ましいかもしれない。必要に応じて、光学系の個々のレンズ又は光学系全体を再調節することを可能にし、正規の品質保証regularqualityassuranceのためにも、光学面の曲率中心の位置が高精度に測定され得る本発明の測定装置が採用される。曲率中心の位置から、個々のレンズの光軸の位置及びその参照軸14からのずれが決定され得る。さらに、それから導出される物理量、例えば光学面の曲率半径を決定できる。以下の第2節では、第3節で測定工程が扱われる前に、図5~8を参照し、最初に本発明の測定装置の構造が説明される。2.測定装置の構造図5に子午線的断面図で示され、20により全体が示される測定装置は、角度測定デバイスとして用いられるオートコリメータ22と、間隔測定デバイスとして用いられる干渉計24と、コンピュータ26の形式の計算ユニットとを有する。測定装置20は、輪状回転テーブル30により支持される試験片レセプタクルtestspecimenreceptacle28をさらに有する。回転テーブル30は、その上に配置される試験片レセプタクル28と共に、矢印36により示されるように、モータ32を用いて参照軸34の周りを回転可能である。回転テーブル30は、モータ32と共に、測定装置20の回転機構を構成する。オートコリメータ22は、ピンホール絞り40を角度測定光で照らす光源38を有する。ピンホール絞り40から発する角度測定光は、ビーム分割器42を介してコリメータレンズ44に向けられ、コリメータレンズ44から軸方向に平行な光線束として離れる。参照軸34に沿って移動可能なズームレンズ46は、軸方向に平行な角度測定光を焦点48に集光させる。焦点48に、ピンホール絞り40の像が結果として生じる。ピンホール絞り40の代わりに、異なる形状の開口部、例えば十字スリット開口部を有する絞りが選択されれば、十字スリットの像がズームレンズ46の焦点面に生じる。ビーム分割器42の後側に、像センサ50が配置される。その像センサにより、光敏感lightsensitive位置決定センサが理解される。像センサとして適切なものは、例えば、そのようなものとして知られるCCDセンサ又はCMOSセンサである。オートコリメータ22の動作は、図6及び7を参照し、以下に説明される。オートコリメータ22から発する角度測定光は、試験片に向けられる。その場合に、便宜上、球52の問題となる。ピンホール絞り40の像が球52の中心54に正確にあれば、このことは、オートコリメータ22から発する角度測定光が常に球52の表面56に垂直に入射することを意味する。結果として、この角度測定光は、球の表面56で自身に反射され、ズームレンズ46、コリメータレンズ44、及び一部はビーム分割器42を通り、像センサ50上にピンホール絞り40の像を生成する。その像は、参照軸34に対して中心にある。図7は、球52が参照軸34に対して垂直に再配置された場合のビーム路を示す。この再配置により、光線は、もはや球52の表面56に垂直に当たらず、この理由により、自身に反射されない。この理由により、図7に点線で示される反射された角度測定光58は、像センサ50上に、参照軸34に対して垂直に移動しているピンホール絞り40の像60を生成する。球52が回転テーブル30上で参照軸34の周りを回転すれば、像60は像センサ50上に円軌道を描く。参照軸に対するこの円軌道の中心点の位置から、参照軸34に対して球52の中心54がある位置を確認できる。球52の偏心decentringは、最終的に、オートコリメータ22に面する表面56の一部の偏心tiltingを示すので、オートコリメータ22は、最終的に、参照軸34に対して球52の表面56が有する角度を測定する。この理由により、オートコリメータは、広義には角度測定デバイスを意味する。従って、オートコリメータ22の代わりに、非接触で動作する他の角度測定デバイスが採用されてもよい。球面を有するレンズの場合に、この測定手続は同様に動作するが、測定は、球の場合のように球の中心の位置をもたらすのではなく、問題の球面の曲率中心の位置をもたらす。以下では、図5が再び参照される。そこに示される実施形態では、便宜上、62により示される試験片は、レンズL3及びL4から構成される、図1に示されるダブレットだけからなると仮定する。試験片62は、結果として、検査される3つの光学面S1、S2、及びS3を有し、その曲率中心は、K1、K2、及びK3により示される。図5で識別され得るように、これらの曲率中心K1、K2、及びK3は、参照軸34上にも、正確に別の直線上にもない。以下では、干渉計24の構造がより詳細に説明される。干渉計24は、短コヒーレンスshortcoherence干渉計の形式をとり、この目的のために、レーザ光の光源に比べてスペクトル的に広帯域であり、その場合に、例えば高輝度superluminescentダイオードの問題かもしれない、光源64を有する。比較的広いスペクトル帯域幅により、光源64により生成される光は、レーザ光の光源により生成される光よりも、かなり短いコヒーレンス長を有する。代替方法として、極短光パルスを生成するレーザ光の光源が用いられてもよい。なぜなら、そのような光パルスも、短コヒーレンス長を有するからである。光源64により生成される間隔測定光は、収束レンズ66により集光され、間隔測定光を試験片62に向けられる測定光線70と参照光線72に分割する、ビーム分割キューブ68に向けられる。参照光線72は、アクチュエータ76を用いてビーム方向に沿って移動可能なミラー74により、自身に反射される。このように、ビーム分割キューブ68とミラー74の間の、参照光線72の光路長は変更され得る。測定光線70は、光学列78を介して試験片62に向けられる。光学面S1、S2、及びS3で反射された測定光線80は、光学列78を介してビーム分割キューブ68に戻り、一部はそのキューブから光検出器82の方向に反射される。反射された測定光線80は、ミラー74から反射された参照光線72と重畳する。測定光線70及び参照光線72が光検出器82に向かって進んだときの光路長の差が、光源64により生成される間隔測定光のコヒーレンス長の10倍であれば、光検出器82により記録される干渉現象が起こる。光源64により生成される間隔測定光のコヒーレンス長が短いので、光検出器82は、前述の条件が満たされれば経路長に関して厳しく制限される出力信号を生成する。図8は、光検出器82により記録される強度Iが、参照光線72が進む光路長OPL上に描かれているグラフの例を示す。この光路長は、測定の間にミラー74を移動することにより変更される。測定光線70及び参照光線72の光路長が一致するときはいつでも、干渉信号は光検出器82で記録され得る。横座標上に、光検出器82で対応する干渉信号をもたらす表面S3、S2、及びS1が指定されている。測定信号の包絡線83の最大値の位置から、群屈折率を考慮し、表面S1、S2、及びS3の間隔が非常に高い精度で決定され得る。実際の測定信号の場合に、さらなる干渉信号は、一般に包絡線83間にあり、例えば、試験片62内での複数の反射によりもたらされ、時には比較的高いレベルに達するかもしれない。そのような干渉信号が測定を妨げないように、包絡線83の周りに置かれる弁別窓discriminatorwindowを用いて、干渉信号はマスクされ得る。弁別窓は、干渉信号が予期される位置に自動的に優先的に置かれ、表面S1、S2、及びS3の望まれる間隔を基礎としてとる。できる限り多くの測定光が、試験片62の表面S1、S2、及びS3から反射され、光検出器82に入力され得るために、測定光線70は、光学列78を用いて試験片62に適合され得る。短コヒーレンス干渉計を用いた透明体の厚みの検査に関するさらなる詳細は、仏国特許出願公開第2803027号明細書から収集され得る。原理上適切な短コヒーレンス干渉計は、とりわけFOGALEnanotech,Nimes,Franceにより販売されている。図9は、干渉計24が試験片62に対してオートコリメータ22と同側に配置される別の実施形態による、本発明の測定装置20を示す。従って、光学面S1、S2、及びS3の曲率中心K1、K2、及びK3の位置及びその相互の間隔の測定は、試験片62に対して同側で行われる。この目的のために、測定装置20は、第1のビーム分割キューブ68から反射された光を測定光線70及び参照光線72に分割する第2のビーム分割キューブ90を示す。この実施形態では、第1のビーム分割キューブ68は、光源64により生成される光を、光検出器82を有する干渉計24のアームarmに結合させる役割を有するにすぎない。この実施形態では、ズームレンズ46は、角度測定光及び間隔測定光70を集光させる役割を果たす。それ以外には、図5及び9に示される測定装置20は、機能的に同一である。3.測定工程以下では、図10に示されるフローチャートを参照し、本発明の測定工程がより詳細に説明される。a事前調節最初に、オートコリメータ22の光軸、回転テーブル30の回転軸、及び干渉計24の測定光線70は、共通参照軸34上にあるように、相互に正しい方向に置かれていると仮定する。そのような調節は、測定装置20を初めて作動させる前に、一度だけ行われる。最初に、回転テーブル30の回転軸の、オートコリメータ22の光軸との平行性を達成するために、平面ミラーが回転テーブル30の開口部に置かれ得る。オートコリメータ22及び回転テーブル30は、像センサ50上のピンホール絞り40の像がオートコリメータ22の光軸に対して正確に中心に置かれるまで、相互に調節される。次のステップでは、オートコリメータ22の光軸及び回転テーブル30の回転軸の正確な同軸方向付けを達成するために、球面レンズが輪状回転テーブル30の開口部に挿入される。オートコリメータ22及び回転テーブル30は、像センサ50上のピンホール絞り40の像がオートコリメータの光軸に対して再度中心に置かれるまで、相互に調節される。同様に、干渉計24は、回転テーブル30に対して正しい方向に置かれ得る。共通参照軸34に対して最適な方向付けは、平面ミラー及び球面レンズが採用された場合に、光検出器82により記録される強度が最大のときに得られる。b間隔測定多レンズ試験片62の曲率中心の位置を測定する目的のために、最初にステップST1では、表面S1、S2、及びS3の間隔が干渉計24を用いて測定される。しかし、再現可能かつ精度のよい測定結果を得るために、この場合に、干渉計24の測定光線70は、試験片62の光軸に対して非常に精度よく正しい方向に置かれなければならない。測定光線40が光学面S1、S2、及びS3に垂直に入射する場合に限り、表面S1、S2、及びS3から反射された十分な測定光が光検出器82に戻り、参照光線72との干渉に貢献できる。このことは、曲率中心K1、K2、及びK3が参照軸34上にあるという要件と同等である。しかし、一般に、この条件は受け入れられない。なぜなら、図5に示されるように、試験片62は、最初に回転テーブル30上で偏心tiltedandordecentredした状態に保持されるからである。この理由により、一般に、試験片62を収容する試験片レセプタクル28を、曲率中心K1、K2、及びK3により定義される試験片62の光軸が参照軸34と揃うように、最初に干渉計24に対して正しい方向に置く必要がある。すでに事前調節された干渉計24の場合に、このことは、試験片62を収容する試験片レセプタクル28が回転テーブル30上で偏心tilted及び/又は移動されることを意味する。しかし、試験片62の光軸は、そもそもまったく不明である。この理由により、干渉計24に対する試験片62の方向付けの前に、試験片62の光軸を一時的に決定する必要がある。この目的のために、いくつかの可能性が考慮される。i曲率中心の位置の一時的測定1つの可能性は、間隔の測定の前に、表面S1、S2、及びS3の曲率中心の位置を一時的に決定し、試験片62の光軸を導出することにある。曲率中心の位置がオートコリメータ22を用いてどのように測定されるかは、以下に3.c節でより詳細に説明される。一時的に決定された曲率中心K1、K2、及びK3からの試験片62の光軸の導出は、様々な方法で行われ得る。例えば、試験片62の光軸として定義される回帰直線が、曲率中心K1、K2、及びK3を通って置かれ得る。回帰直線の定義に関連して、曲率中心K1、K2、及びK3の重み付けも行われ得る。その重み付けは、例えば、問題の表面の曲率半径に適合される。図5には、そのように決定された一時的な光軸が、点線により示され、92により示される。光軸92の決定は一時的なものにすぎず、最高精度を要求しないので、光軸92はより簡便に定義され得る。例えば、最初の表面S1及び最後の表面S3それぞれの曲率中心K1及びK3だけが、一時的な光軸がこれらの曲率中心を通るように、考慮されてもよい。ii透過測定measurementintransmission試験片62の光軸92を一時的に決定する別の可能性は、試験片62に光を透過させることにある。この目的のために、試験光線を試験片62に向けるために、干渉計24の白色光源64が利用される。試験光線は、試験片62を通過し、ズームレンズ46、コリメータレンズ44、及びビーム分割器42も通過し、像センサ50上に光点を生成する。曲率中心K1、K2、及びK3が参照軸34上にあれば、試験光線は、光学面S1、S2、及びS3を垂直に通過し、結果として参照軸34に沿って直線的に伝わる。しかし、一般に、曲率中心K1、K2、及びK3は、参照軸34上にあるとは限らない。試験光線は、表面S1、S2、及びS3に垂直ではなく、斜めに当たり、試験片62を通過するときに、表面S1、S2、及びS3での屈折により偏向される。この屈折により、像センサ50上の光点も、参照軸34から移動される。試験片62への試験光の通過の間に、試験片62が回転テーブル30を用いて参照軸34の周りを回転されれば、像センサ50上の光点も参照軸34の周りを移動する。しかし、この光点の経路から、曲率中心K1、K2、及びK3の位置は、定量的に推測され得ない。しかし、試験片62を収容する試験片レセプタクル28が、像センサ50上の光点の円軌道が最小直径を有するまで偏心tilted及び/又は移動されれば、参照軸34からの曲率中心K1、K2、及びK3の間隔も最小である。試験片62の光軸は、測定装置20の参照軸34に対して望まれるように、十分に正しい方向に置かれる。iiiシミュレーション回転テーブル30上で試験片28を調節するさらなる可能性は、オートコリメータ22を用いて、変形iと同様に、試験片62の表面S1、S2、及びS3の曲率中心K1、K2、及びK3の位置を一時的に決定することにある。事前に測定された曲率中心K1、K2、及びK3を有する試験片62が回転テーブル30に対して最適に正しい方向に置かれていれば、シミュレーションを用いて、例えばレイトレーシング工程を用いて、光検出器82で記録される強度が確認される。そのような最適な方向付けは、曲率中心K1、K2、及びK3が平均して参照軸34のできる限り近くにあるという事実により定義されていてもよい。必要に応じて、修正された基準が用いられてもよい。回転テーブル30上の試験片62の偏心tilting及び/又は移動は、事前に計算された強度が光検出器82により記録されるまで行われる。試験片62が上述の3つの変形i~iiiのうちの1つに従って測定装置20の参照軸34に対して最適に正しい方向に置かれた後に、表面S1、S2、及びS3の間隔が干渉計24を用いて測定される。この目的のために、参照光線72の光路長が上述のようにミラー74を移動させることにより調整され、光検出器82の干渉信号が記録及び評価される。c曲率中心の位置の測定次のステップST2では、表面S1、S2、及びS3の曲率中心K1、K2、及びK3の位置がオートコリメータ22を用いて検査される。これに関連して、手続は以下のとおり。多レンズ試験片62の場合に、光学面S1、S2、及びS3の曲率中心K1、K2、及びK3の位置を測定するために、いくつかの測定手続が連続して行われなければならない。その際に、例えば、オートコリメータ22の最も近くにある光学面から開始される。試験片62の場合に、この光学面は表面S1である。表面S1の曲率中心の位置を決定する目的ために、オートコリメータ22のズームレンズ46は、角度測定光の焦点48が設計データに基づいて予期される曲率中心の近くにあるように移動される。そして、回転テーブル30が回転され、像センサ50上のピンホール絞り40の像の移動が記録される。第2節で図6及び7を参照して上述したように、表面S1の曲率中心K1の位置は、参照軸34の周りの試験片の回転の間に像センサ50上のピンホール絞り40の像が移動する円軌道の中心点から導出され得る。最初の表面S1の曲率中心K1の位置が確認された後に、ズームレンズ46は、角度測定光の焦点48が少なくともほぼ光の伝搬の方向の次の表面S2の曲率中心K2に来るように移動される。しかし、オートコリメータ22から発する角度測定光は、事前にすでに検査された表面S1も通過するので、次の測定の間に得られる測定値は、最初の表面S1の光学的効果により計算的に補正されなければならない。これに関連して、ステップST3では、すでに検査された表面S1の曲率中心K1の位置が計算的に考慮され、ステップST4では、干渉計24を用いてすでに測定された、参照軸34に沿った2つの表面S1及びS2の間隔が計算的に考慮される。ステップST3及びST4は、一般に、測定手続全体の最後の共通補正計算の一部である。最初の表面S1の光学的効果の決定に関連して、通常、この表面の曲率半径が必要とされる。球面レンズの場合に、曲率半径は、曲率中心K1、K2、及びK3の位置並びに表面S1、S2、及びS3の間隔から直接導出され得る。代替方法として、曲率半径は、表面S1の設計データから得られてもよいし、追加の測定手続でオートコリメータ22を用いて測定されてもよい。なぜなら、球面レンズの場合の曲率半径は、曲率中心K1と光学面S1上の任意の点との間隔に等しいからである。そのような点の位置は、光学面S1に置かれる、ズームレンズ46の焦点48により、簡便に測定され得る。像センサ50上に生じるピンホール絞り40の像は、最大強度を有する。同様に考慮される、参照軸34に沿った最初の表面S1及び次の表面S2の間隔について、従来技術のように、設計データに基づくのではなく、干渉計24を用いて事前に確認された、この間隔の測定値に基づくことが強調されるべきである。試験片62の残りのすべての光学面について、曲率中心の位置の測定は同様に行われる。これに関連して、ステップST3及びST4に従った、前方にあるすべての表面の曲率中心の位置、及び前方にある表面の干渉計により測定された間隔は、常に計算的に考慮される。このように、すべての曲率中心K1、K2、及びK3の空間的配置が得られる。試験片62の光軸92を一時的に決定し、間隔測定の目的のために、試験片62を参照軸34上に正しい方向に置けるように、曲率中心K1、K2、及びK3の位置の検査が事前にすでに行われていれば、ステップST2でのこの測定は繰り返され得る。なぜなら、所定の環境下で、曲率中心K1、K2、及びK3の位置の測定に関連するより高い精度は、より正しい方向に置かれた試験片62により得られるからである。しかし、代替方法として、この目的のために、すでに得られた測定の結果、即ち、個々の表面S1、S2、及びS3について像センサ50上に得られた光のパターンを用い、以前ステップST1で精度よく検査された、表面S1、S2、及びS3の間隔を計算的評価で考慮することが、同様に可能である。ステップST1及びST2は、逆の順番で行われる。さらに、曲率中心K1、K2、及びK3の位置の測定を、上述のように光学面S1、S2、及びS3の順番ではなく、望まれる曲率中心の順番で行ってもよい。図5に示される試験片の場合に、このことは、オートコリメータ22の焦点48が、そもそも最初の表面S1の予期される曲率中心K1にではなく、オートコリメータ22の最も近くにある表面S3の曲率中心K3に置かれることを意味する。この測定ステップの後に、ズームレンズ46は、焦点48が次に近くにある曲率中心ここでは、次の表面S2の曲率中心K2等にほぼ置かれるように移動される。このように、ズームレンズ46は、測定ステップ間で最小移動経路を進むことが保証される。同様の理由により、測定は、逆の順番で、即ち、オートコリメータから最も遠くにある曲率中心の位置の測定から行われてもよい。この場合に、ステップST3及びST4に従った、曲率中心の測定された位置及び間隔の計算的考慮は、すべての測定されたデータの記録の後に共通反復評価工程で行われ得るという事実が、いかなる場合も利用される。測定の結果は、試験片62の曲率中心の非常に正確な決定であり、光学面S1、S2、及びS3の実際の間隔の、設計データからのずれによっても反証されない。正確に確認された曲率中心及び測定された間隔から、コンピュータ26は、曲率半径も正確に決定できる。非常に精度よく測定された空気分離及び試験片62のレンズの中心の厚みが、測定の有益な結果としてさらに得られる。結果として、とりわけ曲率中心の位置について望まれる値を含む、設計データの組から始まり、レンズ間の空気分離及びレンズの中心の厚み、即ち、補正された実際のデータの組が得られる。規定された望まれる値は、高精度な測定値により置換されている。"