"-20°C~150°Cの範囲内の温度を測定するための温度センサであって、水晶基板と、前記水晶基板上に構成された第1の弾性表面波共振子と、前記水晶基板上に構成されている第2の弾性表面波共振子とを備え、前記第1及び第2の弾性表面波共振子の-20°C~150°Cにおける周波数温度係数を下記の式で示されるTCFとしたときに、第1及び第2の弾性表面波共振子のTCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、かつ第1の弾性表面波共振子のTCFと、第2の弾性表面波共振子のTCFの極性が異なっており、かつ前記第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、前記第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下であり、かつ前記第1の弾性表面波共振子の電気機械結合係数をk21、前記第2の共振子の電気機械結合係数をk22としたときに、k21≧0.0002かつk22≧0.0002である、温度センサ。TCF=V-135°C×[V150°C-V-20°C/170°C]-LEC...式1なお、式1中、Vは音速m/秒を示し、V-135°Cは、35°Cにおける音速の逆数を意味し、V150°C及びV-20°Cは、それぞれ、150°C及び-20°Cにおける音速m/秒を示し、LECは水晶基板の線膨張係数単位は1/°Cを示す。第1及び第2の弾性表面波共振子において、弾性表面波としてレイリー波を利用しており、前記第1及び第2の弾性表面波共振子における水晶基板のオイラー角を、それぞれ、第1のオイラー角φ,θ,ψ1及び第2のオイラー角φ,θ,ψ2としたとき、第1のオイラー角と第2のオイラー角とが、下記の表1~3に示す何れかの組み合わせを満たす、請求項1に記載の温度センサ。第1及び第2の弾性表面波共振子において、弾性表面波として漏洩弾性表面波を利用しており、前記第1及び第2の弾性表面波共振子における水晶基板のオイラー角を、それぞれ、第1のオイラー角φ,θ,ψ1及び第2のオイラー角φ,θ,ψ2としたとき、第1のオイラー角と第2のオイラー角とが、下記の表4に示す何れかの組み合わせを満たす、請求項1に記載の温度センサ。前記第1の表面波共振子において、弾性表面波としてレイリー波を利用しており、前記第2の弾性表面波共振子において弾性表面波として漏洩弾性表面波を利用しており、前記第1及び第2の弾性表面波共振子における前記水晶基板のオイラー角が、下記の表5に示す何れかの範囲である、請求項1に記載の温度センサ。前記第1の弾性表面波共振子が第1のIDT電極と、第1のIDT電極の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器とを有し、前記第2の弾性表面波共振子が、IDT電極と、IDT電極の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器とを有する、請求項1~4のいずれか1項に記載の温度センサ。前記水晶基板上に1つのIDT電極と、該IDT電極の両側に配置されており、かつそれぞれが複数本の電極指を有する第1及び第2の反射器とが設けられており、前記IDT電極及び第1及び第2の反射器により、レイリー波を利用した前記第1の弾性表面波共振子と、漏洩弾性表面波を用いた第2の弾性表面波共振子とが構成されており、前記IDT電極が互いの電極指が間挿されるように配置された第1,第2のくし歯電極を有し、前記第1,第2のくし歯電極において電極指の先端を結ぶ線を第1、第2仮想直線とし、前記第1、第2仮想直線がレイリー波伝搬方向と平行であり、第1仮想直線と前記IDT電極の第2反射器側最外電極指との交点を通り、かつLSAW伝搬方向に平行に延びる直線を第3仮想直線とし、第2仮想直線と、前記IDT電極の第1反射器側最外電極指との交点を通りかつLSAW伝搬方向に平行に延びる直線を第4仮想直線としたときに、第1反射器の電極指の一端が第1仮想直線上に、他端が第4仮想直線上に位置しており、第2反射器の電極指の一端が第3仮想直線上に、他端が第2仮想直線上に位置しており、前記第1及び第2の反射器の複数本の前記電極指が、それぞれ、前記レイリー波及び前記漏洩弾性表面波を反射するように構成される、請求項4に記載の温度センサ。前記第1,第2の反射器の電極指の延びる方向が、前記IDT電極の前記電極指の延びる方向と平行であり、前記IDT電極の前記電極指の交叉幅をW単位はm、前記第1及び第2の反射器と、前記IDT電極の最外側電極指同士間の間隔をL単位はm、前記第1及び第2の反射器の前記電極指の長さをH単位はm、前記レイリー波と前記漏洩弾性表面波の伝搬方向の差をD度としたときに、H>WL×tanDとされている、請求項6に記載の温度センサ。前記温度センサが使用される温度範囲において、前記第1の弾性表面波共振子の共振周波数F1と、前記第2の弾性表面波共振子の共振周波数F2とが、式2で示すΔF以上離れているように構成されている、請求項1~7のいずれか1項に記載の温度センサ。ΔF1/5×F1/F1h-F1l1/5×F2/F2h-F2l式2なお、式2中F1hはF1における振幅強度の1/√2の強度となる周波数の内、高い方の周波数であり、F1lはF1における振幅強度の1/√2の強度となる周波数の内、低い方の周波数を示す。また、F2hはF2における振幅強度の1/√2の強度となる周波数の内、高い方の周波数であり、F2lはF2における振幅強度の1/√2の強度となる周波数の内、低い方の周波数を示す。特許文献1では、1つの水晶基板1002上に構成された2つの弾性表面波共振子1003,1004の弾性表面波伝搬方向を90°異ならせることは開示されているものの、具体的な水晶基板の方位角についてはSTカットと記載されているだけである。すなわち、特許文献1には、様々な温度範囲で高精度に温度を測定し得る構成は具体的に示されていない。上記のように、特許文献1では、第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向を異ならせる構成として、両者の伝搬角を90°異ならせた構成が示されている。しかしながら、伝搬角を90°異ならせた場合、大きな水晶基板を用いなければならない。従って、小型化を進めることができない。非特許文献1および非特許文献2では、1つの水晶基板上に構成された2つの弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向を異ならせ、温度を測定することは開示されている。しかし、用いられているオイラー角では弾性表面波共振子の電気機械結合係数が小さい範囲にある。従って、弾性表面波共振子の出力を十分な大きさにできず、高精度に温度を測定することができない。本発明の目的は、第1及び第2の弾性表面波共振子の特性差を利用して、-20°C~150°Cの温度範囲内の温度を高精度に測定することができ、かつ小型化を図ることができる温度センサを提供することにある。本発明の温度センサは、-20°C~150°Cの範囲内の温度を測定するための温度センサであって、水晶基板と、前記水晶基板上に構成された第1の弾性表面波共振子と、前記水晶基板上に構成されている第2の弾性表面波共振子とを備える。本発明では、前記第1及び第2の弾性表面波共振子の-20°C~150°Cにおける周波数温度係数を下記の式で示されるTCFとしたときに、第1及び第2の弾性表面波共振子のTCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、かつ第1の弾性表面波共振子のTCFと、第2の弾性表面波共振子のTCFの極性が異なっており、かつ前記第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、前記第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下であり、かつ前記第1の弾性表面波共振子の電気機械結合係数をk21、前記第2の共振子の電気機械結合係数をk22としたときに、k21≧0.0002かつk22≧0.0002である。TCF=V-135°C×[V150°C-V-20°C/170°C]-LEC...式1なお、式1中、Vは音速m/秒を示し、V-135°Cは、35°Cにおける音速の逆数を意味し、V150°C及びV-20°Cは、それぞれ、150°C及び-20°Cにおける音速m/秒を示し、LECは水晶基板の線膨張係数単位は1/°Cを示す。本発明に係る温度センサのある特定の局面では、第1及び第2の弾性表面波共振子において、弾性表面波としてレイリー波を利用しており、前記第1及び第2の弾性表面波共振子における水晶基板のオイラー角を、それぞれ、第1のオイラー角φ,θ,ψ1及び第2のオイラー角φ,θ,ψ2としたとき、第1のオイラー角と第2のオイラー角とが、下記の表1~3に示す何れかの組み合わせを満たしている。本発明に係る温度センサの他の特定の局面では、第1及び第2の弾性表面波共振子において、弾性表面波として漏洩弾性表面波を利用しており、前記第1及び第2の弾性表面波共振子における水晶基板のオイラー角を、それぞれ、第1のオイラー角φ,θ,ψ1及び第2のオイラー角φ,θ,ψ2としたとき、第1のオイラー角と第2のオイラー角とが、下記の表4に示す何れかの組み合わせを満たしている。本発明に係る温度センサのさらに他の特定の局面では、前記第1の表面波共振子において、弾性表面波としてレイリー波を利用しており、前記第2の弾性表面波共振子において弾性表面波として漏洩弾性表面波を利用しており、前記第1及び第2の弾性表面波共振子における前記水晶基板のオイラー角が、下記の表5に示す何れかの範囲である。本発明に係る温度センサの他の局面では、前記第1の弾性表面波共振子が第1のIDT電極と、第1のIDT電極の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器とを有し、前記第2の弾性表面波共振子が、IDT電極と、IDT電極の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器とを有する。上記レイリー波と漏洩弾性表面波を利用した本発明の温度センサの他の特定の局面では、前記水晶基板上に1つのIDT電極と、該IDT電極の両側に配置されており、かつそれぞれが複数本の電極指を有する第1及び第2の反射器とが設けられており、前記IDT電極及び第1及び第2の反射器により、レイリー波を利用した前記第1の弾性表面波共振子と、漏洩弾性表面波を用いた第2の弾性表面波共振子とが構成されている。前記IDT電極が互いの電極指が間挿されるように配置された第1,第2のくし歯電極を有している。温度センサは前記第1,第2のくし歯電極において電極指の先端を結ぶ線を第1、第2仮想直線とし、前記第1、第2仮想直線がレイリー波伝搬方向と平行である。温度センサは、第1仮想直線と前記IDT電極の第2反射器側最外電極指との交点を通り、かつLSAW伝搬方向に平行に延びる直線を第3仮想直線とし、第2仮想直線と、前記IDT電極の第1反射器側最外電極指との交点を通りかつLSAW伝搬方向に平行に延びる直線を第4仮想直線としたときに、第1反射器の電極指の一端が第1仮想直線上に、他端が第4仮想直線上に位置しており、第2反射器の電極指の一端が第3仮想直線上に、他端が第2仮想直線上に位置している。第1及び第2の反射器の複数本の前記電極指が、それぞれ、レイリー波及び漏洩弾性表面波を反射し得る。従って、1つのIDT電極及び上記第1及び第2の反射器により、第1及び第2の弾性表面波共振子を構成することができる。よって、温度センサのさらなる小型化を図ることができる。この場合、より具体的には、前記第1,第2の反射器の電極指の延びる方向が、前記IDT電極の前記電極指の延びる方向と平行であり、前記IDT電極の前記電極指の交叉幅をW単位はm、前記第1及び第2の反射器と、前記IDT電極の最外側電極指同士間の間隔をL単位はm、前記第1及び第2の反射器の前記電極指の長さをH単位はm、前記レイリー波と前記漏洩弾性表面波の伝搬方向の差をD度としたときに、H>WL×tanDとされていることが好ましい。本発明に係る温度センサのさらに他の特定の局面では、前記温度センサが使用される温度範囲において、前記第1の弾性表面波共振子の共振周波数F1と、前記第2の弾性表面波共振子の共振周波数F2とが、式2で示すΔF以上離れているように構成されていることが好ましい。ΔF1/5×F1/F1h-F1l1/5×F2/F2h-F2l式2なお、式2中F1hはF1における振幅強度の1/√2の強度となる周波数の内、高い方の周波数であり、F1lはF1における振幅強度の1/√2の強度となる周波数の内、低い方の周波数を示す。また、F2hはF2における振幅強度の1/√2の強度となる周波数の内、高い方の周波数であり、F2lはF2における振幅強度の1/√2の強度となる周波数の内、低い方の周波数を示す。本発明に係る温度センサでは、第1及び第2の弾性表面波共振子のTCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、第1の弾性表面波共振子のTCFの極性と、第2の弾性表面波共振子のTCFの極性とが異なっているので、第1の弾性表面波共振子のTCFと、第2の弾性表面波共振子のTCFとの差ΔTCFが20ppm/°C以上と大きい。すなわち、共振周波数差の温度による変化が大きいため、-20°C~150°Cの温度範囲で温度を高精度に測定することができる。なお、第1の弾性表面波共振子のTCFと、第2の弾性表面波共振子のTCFの差ΔTCFが大きい場合、温度を高精度に測定することができる。しかしながら、一方のTCFの絶対値が10ppm/°C未満、例えば0ppm/°Cに近い場合には、温度による周波数変化量が周波数読取精度以下に小さくなる。従って、温度測定ができない。本発明によれば、上記ΔTCFが20ppm/°C以上と大きいだけでなく、第1,第2の弾性表面波共振子のTCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、かつ両者の極性が異なっている。従って、上記のように-20°C~150°Cの温度で温度を高精度に測定することが可能となる。さらに、第1,第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下であるので、温度センサを小型化することができる。しかも、表1~3、表4、表5に示すオイラー角の水晶基板を用いた弾性表面波共振子の周波数温度係数TCFは、-20°C~150°Cの温度範囲で、温度に対して直線的な関係を有する。従って、それによっても、-20°C~150°Cの温度範囲で温度を高精度に測定することができる。よって、本発明の温度センサは、水蒸気ガス配管の温度、体温、及び風呂の温度などの-20°C~150°Cの温度範囲に属する温度を測定するのに好適に用いられる。また、本発明に係る温度センサでは、第1の弾性表面波共振子の共振周波数の温度特性及び第2の弾性表面波共振子の共振周波数の差を利用して温度を測定するものであるため、製造ばらつきによる誤差が生じ難い。また、被測定物の絶対温度を確実に測定することができる。以下、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。第1の実施形態図1は、本発明の第1の実施形態に係る温度センサの模式的平面図である。温度センサ1は、水晶基板2を有する。水晶基板2上に、第1の弾性表面波共振子3及び第2の弾性表面波共振子4が構成されている。本実施形態では、第1の弾性表面波共振子3及び第2の弾性表面波共振子4においてレイリー波が励振され、該レイリー波による共振特性が利用される。第1の弾性表面波共振子3は、第1のIDT電極5と、第1のIDT電極5の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器6,7とを有する。同様に、第2の弾性表面波共振子4は、IDT電極8と、IDT電極8の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器9,10とを有する。IDT電極5,8は、それぞれ、一対のバスバー5b,5c,8b,8cを有する。同様に、反射器6,7,9,10もまた、一対のバスバー6b,6c,7b,7c,9b,9c,10b,10cを有する。第1,第2の弾性表面波共振子3,4は、上記のように、1ポート型弾性表面波共振子である。第1のIDT電極5、反射器6,7、第2のIDT電極8及び反射器9,10は、適宜の金属もしくは合金からなる。本実施形態では、上記金属もしくは合金として、Alが用いられている。第1の弾性表面波共振子3の弾性表面波伝搬方向A1と、第2の弾性表面波共振子4の弾性表面波伝搬方向A2とは図示のように異なっている。本実施形態では、第1の弾性表面波共振子3の第1のオイラー角φ,θ,ψ1は0°,45°,5°である。なお、上記オイラー角のψは、水晶基板のX軸図1参照に対する伝搬方位を示す。第1の弾性表面波共振子3では、弾性表面波伝搬方向A1が、オイラー角のψ1PFAの方向となる。従って、第1の弾性表面波共振子3の弾性表面波伝搬方向は、第1のオイラー角が0°,45°,5°であるため、5°13.0°=18.0°の方向とされている。すなわち、第1の弾性表面波共振子3では、弾性表面波伝搬方向A1が、第1のオイラー角のψ1に対して13.0°の角度を成すように、IDT電極5及び反射器6,7が配置されている。図示のように、このような弾性表面波伝搬方向A1を実現するために、第1のIDT電極5においては、複数本の電極指が間挿し合っている部分が平行四辺形の形状とされており、反射器6,7も略平行四辺形の形状とされている。そして、上記弾性表面波伝搬方向A1に沿って伝搬する弾性表面波を反射させるように反射器6,7が配置されている。他方、第2の弾性表面波共振子4の第2のオイラー角φ,θ,ψ2は0°,45°,35°である。これに対して、弾性表面波伝搬方向A2は、35°-3.5°=31.5°とされている。すなわち、第2の弾性表面波共振子4では、弾性表面波伝搬方向A2が、第2のオイラー角のψ2に対して-3.5°の角度を成すように、IDT電極8及び反射器9,10が配置されている。図示のように、このような弾性表面波伝搬方向A2を実現するために、第2のIDT電極8においては、複数本の電極指が間挿し合っている部分が平行四辺形の形状とされており、反射器9,10も略平行四辺形の形状とされている。そして、上記弾性表面波伝搬方向A2に沿って伝搬する弾性表面波を反射させるように反射器9,10が配置されている。本実施形態の温度センサ1では、第1の弾性表面波共振子3の-20°C~150°Cにおける周波数温度係数TCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、かつ第1の弾性表面波共振子のTCFと、第2の弾性表面波共振子4のTCFの極性が異なっている。従って、後述する実験例から明らかなように、-20°C~150°Cの範囲の温度を高精度に測定することができる。また、弾性表面波共振子3,4の共振周波数差を利用しているため、製造ばらつきによる影響を受け難い。加えて、弾性表面波共振子3,4が上記のように配置されているため、小型化を図ることができる。これを、以下においてより具体的に説明する。なお、上記TCFは、下記の式1で表される。TCF=V-135°C×[V150°C-V-20°C/170°C]-LEC...式1なお、式1中、Vは音速m/秒を示し、V-135°Cは、35°Cにおける音速の逆数を意味し、V150°C及びV-20°Cは、それぞれ、150°C及び-20°Cにおける音速m/秒を示し、LECは水晶基板の線膨張係数単位は1/°Cを示す。まず、図2及び図3を参照して、温度センサ1における温度測定原理を説明する。図2は、第1及び第2の弾性表面波共振子3,4の共振周波数の温度特性を示す図である。図2から明らかなように、第1の弾性表面波共振子3及び第2の弾性表面波共振子4の共振周波数は、-20°C~150°Cの温度範囲で、直線性を有する。そして、第1の弾性表面波共振子3では、共振周波数は温度が上がるにつれて高くなっている。すなわち、上記温度範囲でTCFが正の値である。これに対して、第2の弾性表面波共振子4では、図2に示す温度範囲において、TCFが負の値となっている。従って、上述した-20°C~150°Cの温度範囲において、第1,第2の弾性表面波共振子3,4のTCFの極性が異なっている。図3は、第1の弾性表面波共振子3の共振周波数-第2の弾性表面波共振子4の共振周波数=Δfと、温度との関係を示す図である。図2に示したように、第1の弾性表面波共振子3及び第2の弾性表面波共振子4の共振周波数の温度特性が上記温度範囲において直線的に変化するため、図3に示すように、Δfもまた、温度が変化した場合、直線的に変化する。よって、図3から明らかなように、第1の弾性表面波共振子3と第2の弾性表面波共振子4との共振周波数差Δfを求めれば、温度を検出することがきできる。本実施形態の温度センサ1では、上記のように、1つの同じ水晶基板2上に構成された第1の弾性表面波共振子3と、第2の弾性表面波共振子4の共振周波数差を利用して、温度を検出する。1つの弾性表面波共振子の共振周波数の温度特性を利用した場合には、製造ばらつきにより基準となる温度が変動するため、正確に温度を検出することができない。これに対して、本実施形態の温度センサ1では、第1及び第2の弾性表面波共振子3,4の共振周波数差に基づいて温度を検出するため、製造ばらつきによる誤差が生じ難い。従って、温度を正確に検出することができる。また、第1の弾性表面波共振子3の弾性表面波伝搬方向A1と、第2の弾性表面波伝搬方向A2とは、35.0°-3.5°-5.0°13.0°=13.5°の角度を成している。従って、第1の弾性表面波共振子3と第2の弾性表面波共振子4とを近接配置することができる。特許文献1に記載の弾性表面波伝搬方向を90°異ならせた2つの弾性表面波共振子を構成した場合には、2つの弾性表面波共振子の配置スペースが大きくなるという問題があった。これに対して、本実施形態では、第1の弾性表面波共振子3及び第2の弾性表面波共振子4の設置スペースを小さくすることができる。従って、温度センサ1では、小型化を進めることができる。さらに、上記第1の弾性表面波共振子3の第1のオイラー角が0°,45°,5°であり、第2の弾性表面波共振子4における第2のオイラー角が0°,45°,35°であるため、以下に示すように、第1の弾性表面波共振子3のTCFと、第2の弾性表面波共振子4のTCFの絶対値を10ppm/°C以上とし、すなわち、両者のTCFの差を20ppm/°C以上とすることができる。また第1の弾性表面波共振子3の電気機械結合係数をk21と、第2の弾性表面波共振子4の電気機械結合係数をk22の絶対値はそれぞれk21=0.0010、k22=0.00125とk21≧0.0002かつk22≧0.0002であり、弾性表面波共振子の出力を十分な大きさにできる。よって、感度を高めることができ、温度を高精度に測定することができる。これを、様々なオイラー角の弾性表面波共振子についてのTCFppm/°C、電気機械結合係数k2及びパワーフロー角PFA度を示して説明する。図4はθ=45°のときのTCFppm/°Cと電気機械結合係数k2のψに対する変化を示している。また、図5はθ=45°のときの伝播方向=ψPFA度のψに対する変化を示している。例えば0°,45°,35°の場合、ψ=35°とTCFを示す曲線との交点より、TCF=-22ppm/°Cであることがわかり、ψ=35°とk2のグラフの交点より、k2=0.00125であることがわかる。このようにして図4より、TCFの絶対値が10ppm/°C以上で、それぞれ極性が異なっており、かつ電気機械結合係数をk2が0.0002以上であるψの組み合わせをあげると、式3、式4の組み合わせであらわすことができる。第1のψ...0°≦ψ≦21°...式3第2のψ...28°≦ψ≦90°...式4ただしこの組み合わせには、第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以上となる組み合わせも含まれる。そこで図5より、前記第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、前記第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下となる組み合わせを明らかにする。図5の横軸はψ度、縦軸は伝播方向=ψPFA度をあらわしている。例えば、式3であらわされる第1のψの範囲より0°,45°,5°のときは表面波伝搬方向は18.0°、式4であらわされる第2のψの範囲より0°,45°,35°のときは表面波伝搬方向は31.5°となることを示している。この場合、伝播方向の差D度は13.5°となり、従って、50°以下を満足する組み合わせである。しかしながら、例えば、式3であらわされる第1のψの範囲より0°,45°,5°のときは表面波伝搬方向は18.0°、式4であらわされる第2のψの範囲より0°,45°,85°のときは表面波伝搬方向は80.1°となることを示している。この場合、伝播方向の差D度は62.1°となり、従って、50°以下を満足しない組み合わせである。このようにして、様々なオイラー角の弾性表面波共振子についてのレイリー波のTCFppm/°C、電気機械結合係数k2及びパワーフロー角PFA度を調査した。その結果、1TCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、2両者のTCFの極性が異なっており、3電気機械結合係数をk2が0.0002以上であり、さらに4第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下となる組み合わせを選んだ。その結果を表6~表8に示す。この種の弾性表面波共振子の共振周波数を測定する回路の測定の精度は1ppm程度である。温度測定に必要な精度は用途により様々であるが、例えば体温を測定する場合には0.1°C以下でなくてはならない。これより0.1°Cを精度よく測定するためには1ppm/0.1°C=10ppm/°C以上のTCFが必要であることがわかる。なお、第1の実施形態において、図6はθ=10°のときのTCFppm/°Cと電気機械結合係数k2のψに対する変化を示している。また、図7はθ=10°のときの伝播方向=ψPFA度のψに対する変化を示している。図6より、TCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、両者のTCFの極性が異なっており、かつ電気機械結合係数k2が0.0002以上である、第1,第2のψの組み合わせをあげると、式5、式6の組み合わせで表わすことができる。第1のψ...29°≦ψ≦65°...式5第2のψ...78°≦ψ≦84°...式6ただし、この組み合わせには、第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以上となる組み合わせも含まれる。そこで図7より、前記第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、前記第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下となる組み合わせを明らかにする。図7の横軸はψ度、縦軸は伝播方向=ψPFA度をあらわしている。例えば、式5であらわされる第1のψの範囲より0°,10°,35°のときは表面波伝搬方向は59.2°、式6であらわされる第2のψの範囲より0°,10°,80°のときは表面波伝搬方向は64.5°となることを示している。この場合、伝播方向の差D度は5.3°となり、従って、50°以下を満足する組み合わせである。このようにして式5と式6の組合せのすべてにおいて伝播方向の差D度を確認すると、この場合には式5と式6であらわされる範囲すべてについて、50度以下となることがわかる。このようにして、様々なオイラー角の弾性表面波共振子についての漏洩弾性表面波のTCFppm/°C、電気機械結合係数k2及びパワーフロー角PFA度を調査した。その結果、1TCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、2TCFの極性が異なっており、3電気機械結合係数をk2が0.0002以上であり、さらに4第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下となる組み合わせを選んだ。結果を表9に示す。第1の実施形態の変形例図8は、第1の実施形態の温度センサの他の変形例を示す模式的平面図である。本変形例の温度センサ31では、図1に示した第1,第2の弾性表面波共振子3,4が接続電極指部32により電気的に接続されて一体化されている。すなわち、図1に示したIDT電極8の第2のバスバー8c、反射器9,10の第2のバスバー9c,10cと、第2の弾性表面波共振子4のIDT電極5の第1のバスバー5b、反射器6,7の第1のバスバー6b,7bが省略されている。その代わり、例えば、IDT電極8の第2のバスバー8cに接続されている電極指と、IDT電極5の第1のバスバー5bに接続されている電極指とが接続電極指部32により電気的に接続されている。反射器9,10及び反射器6,7においても、同様に、接続電極指部32により、省略されたバスバーに接続されている電極指同士が電気的に接続されている。本変形例のように、本発明における第1,第2の弾性表面波共振子は、複数の接続電極指部32を用いて一体化されていてもよい。上記第1の実施形態では、第1の弾性表面波共振子3及び第2の弾性表面波共振子4において励振されるレイリー波を利用した。しかしながら、本発明においては、第1,第2の弾性表面波共振子3,4において励振される漏洩弾性表面波を用いてもよい。第2の実施形態図9aは、本発明の第2の実施形態に係る温度センサを示す模式的平面図である。温度センサ41は、水晶基板42を有する。水晶基板42のオイラー角は0°,35°,ψである。水晶基板42上に、弾性表面波共振子43が構成されている。弾性表面波共振子43は、1つのIDT電極44と、IDT電極44の両側に配置された反射器45,46とを有する。すなわち、1つのIDT電極44と、IDT電極44の両側に配置された反射器45,46とからなる1つの1ポート型弾性表面波共振子が形成されている。本実施形態では、1つの弾性表面波共振子で、本発明の第1,第2の弾性表面波共振子が構成されている。本実施形態では、IDT電極44により励振される弾性表面波のうち、レイリー波と、漏洩弾性表面波とが用いられる。すなわち、1つのIDT電極44で励振される2つの弾性表面波を利用している。ここでは、弾性表面波共振子43のオイラー角は0°,35°,30°である。レイリー波のパワーフロー角PFAは-6.8°である。従って、レイリー波の伝搬方向は、30°-6.8°=23.3°となる。他方、漏洩弾性表面波のパワーフロー角PFAは12.2°である。従って、漏洩弾性表面波の伝搬方向は30°12.2°=42.2°である。上記のように、1つのIDT電極44を有する弾性表面波共振子43において、上記レイリー波による共振特性と、漏洩弾性表面波による共振特性を利用することができる。レイリー波の伝搬方向と漏洩弾性表面波の伝搬方向が上記のように異なっている。従って、IDT電極44では、異なる電位に接続されている電極指が交差している領域が平行四辺形の形状を有している。よって、バスバー44a,44bもまた、オイラー角のψ=30°方向から傾斜している。より具体的には、反射器45側から反射器46側に向かうにつれて、バスバー44a,44bがX軸方向側に移動している。それによって、上記レイリー波及び上記漏洩弾性表面波を確実に励振することが可能とされている。また、反射器45,46は、伝搬方向が異なる上記レイリー波及び上記漏洩弾性表面波を反射し得るように構成されている。反射器45を例にとると、IDT電極44側に位置している電極指の寸法に比べ、IDT電極44から遠い側の電極指の長さが長くされている。それによって、伝搬方向が異なるレイリー波及び漏洩弾性表面波を確実に反射することを可能としている。よって、反射器45は、複数本の電極指及びバスバー45a,45bを含む形状の外形は、IDT電極44側を上底、反対側を下底とする台形形状とされている。反射器46についても、反射器45と同様に構成されている。温度センサ41のように、1つのIDT電極44で、伝搬方向が異なる2つの弾性表面波を励振してもよく、この場合、温度センサ41の小型化をさらに進めることができる。本実施形態では、レイリー波を利用した場合の第1のオイラー角0°,35°,30°におけるTCFは、後述の図10に示すように-16.8ppm/°Cであり、絶対値は10ppm/°C以上である。他方、第2のオイラー角も0°,35°,30°であるが、漏洩弾性表面波を利用しているので、そのTCFは、後述の図11に示すように37.8ppm/°Cであり、その絶対値は10ppm/°Cよりも大きい。このようにレイリー波による第1のオイラー角0°,35°,30°のTCFと、漏洩弾性表面波を利用した第2のオイラー角0°,35°,30°のTCFとは、上記の通り極性が異なっている。よって、両者のTCFの差は54.6ppm/°Cとなり、本実施形態においても、-20°C~150°Cの温度を高精度に測定することができる。また、図10および図11から明らかなように、レイリー波の電気機械結合係数k2は0.00160であり、漏洩弾性表面波の電気機械結合係数k2は0.00161である。従って、温度センサ41より充分大きな出力を取り出すことができる。第2の実施形態の温度センサ41では、上記のように、レイリー波と漏洩弾性表面波とを1つのIDT電極44により励振している。この場合においても、1つのIDT電極44で励振されるレイリー波及び漏洩弾性表面波のTCFの絶対値が10ppm/°C以上となり、両者の極性が異なるように、オイラー角を選択すればよい。すなわち、上記第2の実施形態の場合のオイラー角0°,35°,30°に限定されるものではない。このようなレイリー波と漏洩弾性表面波のオイラー角と、TCF、電気機械結合係数k2及びPFAを下記の図10~図12を用いて説明する。図10は第1の弾性表面波共振子としてオイラー角0°,35°,30°のレイリー波のTCFppm/°Cと電気機械結合係数k2のψに対する変化を示す。また図11には第2の弾性表面波共振子としてオイラー角0°,35°,30°の漏洩弾性表面波のTCFppm/°Cと電気機械結合係数k2のψに対する変化を示す。図10および図11において、レイリー波および漏洩弾性表面波のTCFの絶対値がともに10ppm/°C以上で、それぞれ極性が異なっており、かつ電気機械結合係数をk2がともに0.0002以上であるψは、式7、式8、式9で表すことができる。8°≦ψ≦15°...式725°≦ψ≦53°...式875°≦ψ≦83°...式9ただし、この範囲では、第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以上となる場合も含まれる。そこで図12より、前記第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、前記第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下となる場合を明らかにする。図12の横軸はψ度、縦軸は伝播方向=ψPFA度をあらわしている。例えば、式7であらわされる第1のψの範囲より0°,35°,10°のときは前記第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向は4.1°、前記第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向は29.4°となることを示している。この場合、伝播方向の差D度は25.3°となり、50°以下を満足する。このようにして式7、式8、式9のすべてにおいて伝播方向の差D度を確認すると、この場合には式7、式8、式9であらわされる範囲すべてについて、50度以下となることがわかる。このようにして、様々なオイラー角の弾性表面波共振子についてのレイリー波および漏洩弾性表面波のTCFppm/°C、電気機械結合係数k2及びパワーフロー角PFA度を調査した。その結果、1TCFの絶対値が10ppm/°C以上であり、2TCFの極性が異なっており、3電気機械結合係数をk2が0.0002以上であり、さらに4第1の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向と、第2の弾性表面波共振子における弾性表面波の伝搬方向との差D度が50°以下となるψを選んだ。その結果を表10に示す。第2の実施形態では、上記のように、レイリー波及び漏洩弾性表面波を反射し得るように第1及び第2の反射器45,46が設けられている。レイリー波及び漏洩弾性表面波を効率よく反射させるには、それぞれの伝搬方向において漏洩が生じ難いように反射器45,46を設けることが望ましい。従って、上記反射器45,46は以下のように設けられることが望ましい。図9bにおいて、IDT電極44のバスバー44bに一端が接続されている複数本の電極指を第1の電極指とする。この複数本の第1の電極指の先端を結ぶ直線を第1仮想直線W1とする。バスバー44aに接続されている複数本の電極指を第2の電極指とする。この複数本の第2の電極指の先端を結ぶ直線を第2仮想直線W2とする。レイリー波の伝搬方向は第1,第2仮想直線W1,W2の延びる方向である。すなわち、レイリー波は、第1仮想直線W1と、第2仮想直線W2とで囲まれた領域を伝搬する。従って、第1,第2の反射器45,46の複数本の電極指が位置している部分内に、第1,第2仮想直線W1,W2で囲まれた領域が存在するように、第1,第2の反射器45,46が設けられることが望ましい。また、第1仮想直線W1とIDT電極44の第2の反射器46側の最外側電極指との交点を通り、かつ漏洩弾性表面波伝搬方向と平行に延びる直線を第3仮想直線W3とする。第2仮想直線W2と、IDT電極44の第1の反射器45側最外側電極指との交点を通り、かつ漏洩弾性表面波伝搬方向と平行に延びる直線を第4仮想直線W4とする。この場合、漏洩弾性表面波を確実に反射させるには、第3仮想直線W3と第4仮想直線W4とで囲まれた漏洩弾性表面波伝搬領域が、第1,第2の反射器45,46の電極指交差部分に位置していることが望ましい。従って、このように第1,第2の反射器45,46が設けられていることが望ましい。図9bに示したように、この好ましい構造によれば、レイリー波と漏洩弾性表面波の双方を効率よく反射させることができる。従って、共振子のQをより一層高めることができる。第2の実施形態では、上記のように、レイリー波及び漏洩弾性表面波を反射し得るように第1及び第2の反射器が設けられている。この構造を実現するには、好ましくは、反射器における電極指の延びる方向が、IDT電極の電極指の延びる方向と平行であり、下記の式H>WL×TanDを満たすことが望ましい。ここで、図9aに示すように、W単位はmは、IDT電極の電極指の交差幅を示す。Lは、反射器と、IDT電極との最外側電極指同士間の中心間間隔単位はmである。Hは、第1及び第2の反射器の電極指の長さを示す。また、Dは、レイリー波の伝搬方向と漏洩弾性表面波の伝搬方向の差単位は度である。オイラー角の許容範囲本発明に係る温度センサでは、第1及び第2のオイラー角の組み合わせは、上述した表6~8、表9または表10の組み合わせであることが望ましい。ここでは、オイラー角φ,θ,ψにおいて、φ及びθは例えば0°±3°あるいは40°±3°のように、±3°範囲の幅を有する。このように、オイラー角のφ及びθは、上述した表の好ましい組み合わせにおいて、±3°の範囲内であれば、上述した実施形態と同様に、TCFの絶対値をほぼ10ppm/°C以上とし、第1,第2のオイラー角におけるTCFの極性を異ならせることができる。これを、オイラー角が0°,45°,0°およびオイラー角が0°,45°,5°であるレイリー波を利用した場合を例にとり説明する。表11及び表12は、それぞれ、レイリー波を利用した場合であって、オイラー角0°,θ,0°または0°,θ,5°の場合のθとTCFとの関係を示す。また、表11及び表12では、θがθ-3°またはθ3°の場合のTCFの変化値を併せて示す。表11から明らかなように、0°,θ,0°において、θが40°~50°の範囲において、θが-3°あるいは3°変化してもTCFの変化は-1.9~2.4ppm/°Cと非常に小さいことがわかる。同様に、表12から明らかなように、0°,θ,5°において、θが40°~55°の範囲で、θが-3°または3°変動したとしても、TCFの変化分は-0.7~2.4ppm/°Cと非常に小さいことがわかる。よって、レイリー波を利用した場合、θが、表に記載の角度±3°の範囲であっても、TCFの絶対値をほぼ10ppm/°C以上と大きくすることができることがわかる。表13は、漏洩弾性表面波を利用した場合であって、オイラー角が0°,θ,30°の場合のθとTCFとの関係を示す。また、表13では、θがθ-3°またはθ3°の場合のTCFの変化値を併せて示す。表13から明らかなように、漏洩弾性表面波を用いた場合においても、0°,θ,30°において、θが30°~40°の範囲において、θが-3°あるいは3°の変化をしてもTCFの変化は-1.5~1.8ppm/°Cと非常に小さいことがわかる。表14及び表15は、それぞれ、漏洩弾性表面波を利用した場合であって、オイラー角が0°,θ,75°または0°,θ,80°の場合のθとTCFとの関係を示す。また、表14及び表15では、θがθ-3°またはθ3°の場合のTCFの変化値を併せて示す。表14から明らかなように、漏洩弾性表面波を用いた場合において、0°,θ,75°において、θが30°~40°の範囲において、θが-3°あるいは3°の変化をしてもTCFの変化は-2.8~0.7ppm/°Cと非常に小さいことがわかる。また、TCFは、絶対値14.0ppm/°Cよりも大きい方向に変化することもわかる。表15から明らかなように、漏洩弾性表面波を用いた場合において、0°,θ,80°において、θが30°~40°の範囲において、θが-3°あるいは3°の変化をしてもTCFの変化は-3.6~2.8ppm/°Cと小さいことがわかる。従って、漏洩弾性表面波を用いた場合においても、同様に、θの値が±3°変動してもよいことがわかる。同様に、他の好ましいオイラー角の場合も、θは、±3°の範囲で変動しても、上記と同様にTCFの絶対値を10ppm/°C以上とすることができる。また、オイラー角のφについても、同様である。本発明に係る温度センサは前記第1の弾性表面波共振子の周波数F1と、前記第2の弾性表面波共振子の周波数F2の周波数の差を測定している。例えば、弾性表面波共振子の周波数を共振子の反射特性S11の極小値として検出する場合について述べる。図13に図8で示した共振子の反射特性S11の周波数依存性を示す。この場合の温度をT1とすると、温度T1では前記第1の弾性表面波共振子の周波数F1と、前記第2の弾性表面波共振子の周波数F2の周波数の差が十分に大きい。従って、それぞれの共振子の周波数F1およびF2を、それぞれの反射特性S11の極小値として検出することが可能である。次に、図14は、温度を測定することができない場合の反射特性を示す図である。例えば、温度がT1からT1とは異なる温度T2に変化した場合、反射特性S11は図14に示す通りとなる。この場合、第1の弾性表面波共振子の周波数F1と、前記第2の弾性表面波共振子の周波数F2の周波数の差が小さくなる。従って、第1,第2の共振子の周波数F1およびF2を、反射特性S11の極小値として検出することが不可能になる場合を図14に示す。図14に示す場合には、前記第1の弾性表面波共振子の周波数F1は特定できるが、前記第2の弾性表面波共振子の周波数F2は極小値がなく、特定することができない。この場合には前記第1の弾性表面波共振子の周波数F1と、前記第2の弾性表面波共振子の周波数F2の周波数の差を測定すること、つまり温度を測定することができない。そのため当該温度センサが使用される温度範囲、例えば体温測定の場合は30°Cから45°Cの範囲において、前記第1の弾性表面波共振子の周波数F1と、前記第2の弾性表面波共振子の周波数F2の周波数の差を十分に大きくすることが必要である。例えば第1の弾性表面波共振子の電極指ピッチと、第2の弾性表面波共振子の電極指ピッチを周波数F1と周波数F2の差が十分に大きくなるように異ならせることなどが必要である。しかしながら、前記周波数F1と、前記周波数F2の周波数との差が大きすぎると検出回路が複雑になる。そのため前記周波数F1と、前記周波数F2との周波数の差を式2で示すΔF以上とすることが望ましい。それによって、検出回路を複雑化せず、かつ前記周波数F1と、前記周波数F2との周波数の差が十分に大きくすることができる。よって、周波数F1およびF2を、第1,第2の弾性表面波共振子の反射特性S11の最小値として検出することが可能となる。その結果、温度を高精度に測定することが可能となる。ΔF1/5×F1/F1h-F1l1/5×F2/F2h-F2l式2なお、式2中F1hはF1における強度の1/√2の強度となる2つの周波数の内、高い方の周波数であり、F1lはF1における強度の1/√2の強度となる2つの周波数の内、高い方の周波数を示す。また、F2hはF2における強度の1/√2の強度となる2つの周波数の内、高い方の周波数であり、F2lはF2における強度の1/√2の強度となる2つの周波数の内、高い方の周波数を示す。また、式2の右辺の各係数1/5は実験的に求められた値である。これらの関係を図示したものが図15である。なお、上記では、φは0°~180°、ψは0°~90°の範囲でのみ記述しているが、水晶の結晶の対称性よりθθψψ90°X°ψψX°であることは明白である。例えば、θθψψ20°ψψ20°である。"