"レーザ光を加工エリアに設定された加工位置に偏向させるガルバノミラーの回転軸上に配置されて前記ガルバノミラーと同じ動作を行う第1の電極と、前記第1の電極から所定の距離だけ離されて固定配置された第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間の静電容量に応じた前記第1の電極と前記第2の電極との間の電極間電圧を検出する電圧検出部と、前記電極間電圧に基づいて前記ガルバノミラーの面倒れ量を検出する面倒れ量検出部と、を備え、前記面倒れ量検出部は、前記ガルバノミラーの面倒れ量として、前記第1の電極と前記第2の電極との間の距離である電極間距離を算出することを特徴とする面倒れ量検出装置。前記面倒れ量検出部は、前記電極間距離を、前記ガルバノミラーの回転角度に応じた電極間距離に補正する補正部を有することを特徴とする請求項1に記載の面倒れ量検出装置。前記第1の電極が前記第2の電極に対向する第1の対向面と、前記第2の電極が前記第1の電極に対向する第2の対向面と、は、それぞれ互いに平行な平行曲面であることを特徴とする請求項1に記載の面倒れ量検出装置。前記電極間電圧と前記電極間距離との対応関係である第1の対応関係を記憶する第1の記憶部をさらに備え、前記面倒れ量検出部は、前記第1の対応関係を用いて、前記電極間距離を算出することを特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の面倒れ量検出装置。前記電極間電圧に基づいて前記静電容量を算出する静電容量算出部をさらに備え、前記面倒れ量検出部は、静電容量算出部が算出した静電容量を用いて前記電極間距離を算出することを特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の面倒れ量検出装置。前記静電容量と前記電極間距離との対応関係である第2の対応関係を記憶する第2の記憶部をさらに備え、前記面倒れ量検出部は、前記第2の対応関係を用いて、前記電極間距離を算出することを特徴とする請求項5に記載の面倒れ量検出装置。前記第1の対向面および前記第2の対向面は、一方の対抗面が円柱の側面の一部を有するとともに他方の対抗面が円筒の内壁面の一部を有し、前記円筒の内壁面の一部が前記円柱の側面の一部を囲うよう、前記第1の電極および前記第2の電極が配置されていることを特徴とする請求項3に記載の面倒れ量検出装置。レーザ光を加工エリアに設定された加工位置に偏向させるガルバノミラーの回転軸上に配置されて前記ガルバノミラーと同じ動作を行う第1の電極と、前記第1の電極から所定の距離だけ離されて固定配置された第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間の静電容量に応じた前記第1の電極と前記第2の電極との間の電極間電圧を検出する電圧検出部と、面倒れの発生したガルバノミラーが制御する偏向方向と垂直な偏向方向にレーザ光を偏向させるガルバノミラーに対し、前記面倒れによる加工位置の位置ずれを補正させる制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記電極間電圧に基づいて前記位置ずれを補正する補正指令を生成するとともに生成した補正量を前記ガルバノミラーに出力することを特徴とする加工位置制御装置。前記制御装置は、前記面倒れが検出されたガルバノミラーに対して加工位置の位置決め方向が直交するガルバノミラーに、前記補正量を出力することを特徴とする請求項8に記載の加工位置制御装置。前記制御装置は、前記補正指令と、加工プログラムに応じた前記ガルバノミラーへの位置指令と、を用いて、前記ガルバノミラーへの指示情報を生成し、生成した指示情報を前記ガルバノミラーへ出力することを特徴とする請求項9に記載の加工位置制御装置。前記電極間電圧に基づいて前記ガルバノミラーの面倒れ量を検出する面倒れ量検出部をさらに備え、前記面倒れ量検出部は、前記ガルバノミラーの面倒れ量として、前記第1の電極と前記第2の電極との間の距離である電極間距離を算出し、前記制御装置は、前記面倒れ量に基づいて前記補正指令を生成することを特徴とする請求項8~10のいずれか1つに記載の加工位置制御装置。前記制御装置は、予め取得しておいた前記電極間電圧の変化周期から所定周期前の電極間電圧を抽出するとともに抽出した電極間電圧に基づいて前記補正指令を生成することを特徴とする請求項8に記載の加工位置制御装置。レーザ光を加工エリアに設定された加工位置に偏向させるガルバノミラーと、前記ガルバノミラーの回転軸上に配置されて前記ガルバノミラーと同じ動作を行う第1の電極と、前記第1の電極から所定の距離だけ離されて固定配置された第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間の静電容量に応じた前記第1の電極と前記第2の電極との間の電極間電圧を検出する電圧検出部と、面倒れの発生したガルバノミラーが制御する偏向方向と垂直な偏向方向にレーザ光を偏向させるガルバノミラーに対し、前記面倒れによる加工位置の位置ずれを補正させる制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記電極間電圧に基づいて前記位置ずれを補正する補正指令を生成するとともに生成した補正量を前記ガルバノミラーに出力し、前記ガルバノミラーは、前記補正指令を用いて前記レーザ光を加工エリアに設定された加工位置に偏向させることを特徴とするレーザ加工装置。前記ガルバノミラーは、第1の方向に加工位置の位置きめを行う第1のガルバノミラーと、前記第1の方向に直交する第2の方向に加工位置の位置きめを行う第2のガルバノミラーと、を有し、前記制御装置は、前記第1のガルバノミラーから面倒れを検出した場合に、前記第2のガルバノミラーに前記補正量を出力し、前記第2のガルバノミラーから面倒れを検出した場合に、前記第1のガルバノミラーに前記補正量を出力することを特徴とする請求項13に記載のレーザ加工装置。しかしながら、上記前者および後者の従来技術では、レーザ光のビーム位置を検出する装置の構成が複雑で高価になるので、実際にガルバノミラーの面倒れを検出することは困難であるという問題があった。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で容易にガルバノミラーの面倒れを検出する面倒れ量検出装置、加工位置制御装置およびレーザ加工装置を得ることを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、レーザ光を加工エリアに設定された加工位置に偏向させるガルバノミラーの回転軸上に配置されて前記ガルバノミラーと同じ動作を行う第1の電極と、前記第1の電極から所定の距離だけ離されて固定配置された第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間の静電容量に応じた前記第1の電極と前記第2の電極との間の電極間電圧を検出する電圧検出部と、前記電極間電圧に基づいて前記ガルバノミラーの面倒れ量を検出する面倒れ量検出部と、を備え、前記面倒れ量検出部は、前記ガルバノミラーの面倒れ量として、前記第1の電極と前記第2の電極との間の距離である電極間距離を算出することを特徴とする。本発明によれば、第1の電極と第2の電極との間の静電容量に応じた電極間電圧に基づいて、ガルバノミラーの面倒れ量として、第1の電極と第2の電極との間の距離である電極間距離を算出するので、簡易な構成で容易にガルバノミラーの面倒れを検出することが可能になるという効果を奏する。以下に、本発明の実施の形態に係る面倒れ量検出装置、加工位置制御装置およびレーザ加工装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。実施の形態図1は、実施の形態に係るレーザ加工装置の構成を示す図である。レーザ加工装置100は、レーザ光パルスレーザ光L1の照射サイクルパルスモードによって被加工物Wに微細穴を穴開け加工する装置である。本実施の形態では、静電容量式の距離センサをX軸、Y軸の各ガルバノミラーに取り付けておき、ガルバノミラーの面倒れ共振によるミラー面の変位量ずれ量を検出する。そして、ガルバノミラーの変位に対するレーザ工照射位置加工位置の位置ずれを、ガルバノミラーのミラー面が変位していない方のガルバノミラーでキャンセルし、これにより加工位置の位置決め精度を向上させる。レーザ加工装置100は、レーザ光L0を発振するレーザ発振器1、レーザ光L0を整形するとともに所望のビーム形状、ビームエネルギーに調整する像転写光学機構2、被加工物ワークWのレーザ加工を行うレーザ加工部4、制御装置20を備えている。なお、ここでのサイクルパルスモードは、被加工物Wに設定された複数の穴あけ加工位置を順次走査し、各穴に対するレーザ照射を複数サイクルで行なう加工処理レーザ光を1ショットずつ照射するサイクルを複数回繰り返す加工処理である。レーザ発振器1は、レーザ光L0を発振し、像転写光学機構2に送出する。像転写光学機構2は、コリメーションレンズ2C、マスク2Mを備えている。コリメーションレンズ2Cは、レーザ発振器1からのレーザ光L0を集光して光軸を調整平行化し、マスク2Mはレーザ光L0のビーム形状を整形する。レーザ加工部4は、ガルバノミラー3X,3Y、ガルバノスキャナ5X,5Y、fθレンズ6、XYテーブル8、面倒れ量検出部10Aを備えている。ガルバノスキャナ5X,5Yは、レーザ光L0の軌道を変化させて被加工物Wへの照射位置を移動させる機能位置決め機能を有しており、レーザ光L0をX-Y方向に走査するため、ガルバノミラー3X,3Yを所定の角度に回動させる。これにより、ガルバノスキャナ5X,5Yは、ガルバノミラー3X,3Yに、レーザ光L1を加工エリアに設定された加工位置に偏向させる。ガルバノミラー3X,3Yは、像転写光学機構2のマスク2Mから出射されたレーザ光光ビームL0を反射させるとともに任意の角度に偏向させる。ガルバノミラー3Xは、レーザ光L0をX方向に偏向させ、ガルバノミラー3Yは、レーザ光L0をY方向に偏向させる。fθレンズ6は、レーザ光L0を被加工物Wの表面に対して垂直な方向に偏向させるとともに、レーザ光L0を被加工物Wの加工位置表面に集光照射させる。ガルバノミラー3X,3Yは、それぞれ面倒れ共振ウォブリングの検出に用いられる被検出部後述の被検出部11X,11Yを備えている。ガルバノミラー3Xが備える被検出部11Xは、ガルバノミラー3Xの面倒れ共振検出に用いられ、ガルバノミラー3Yが備える被検出部11Yは、ガルバノミラー3Yの面倒れ共振検出に用いられる。本実施の形態では、レーザ加工中に発生する面倒れ共振を検出するため、被検出部11X,11Yの各近傍に固定電極後述の固定電極14X,14Yを配置しておく。被検出部11Xおよび固定電極14Xに接続されるとともに、被検出部11Yおよび固定電極14Yに接続されている。面倒れ量検出部10Aは、ガルバノミラー3X,3Yの面倒れ共振によるミラー面の位置ずれ量面倒れ量を検出し、検出結果を制御装置20に送る。面倒れ量検出部10Aは、被検出部11Xと固定電極14Xとの間の距離に応じて変化する被検出部11Xと固定電極14Xとの間の静電容量に基づいて、被検出部11Xと固定電極14Xとの間の距離を検出する。同様に、面倒れ量検出部10Aは、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離に応じて変化する被検出部11Yと固定電極14Yとの間の静電容量に基づいて、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離を検出する。被検出部11Xと固定電極14Xとの間の距離、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離は、それぞれガルバノミラー3X,3Yの面倒れ量に応じて変化する。制御装置20は、面倒れ量検出部10Aから送られてくる検出結果被検出部11Xと固定電極14Xとの間の距離、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離に基づいて、ガルバノミラー3X,3Yの位置を補正する。制御装置20は、パーソナルコンピュータ等のコンピュータによって構成されており、レーザ発振器1、像転写光学機構2、レーザ加工部4をNCNumericalControl制御等によって制御する。被加工物Wは、プリント基板等であり、複数の穴あけ加工が行なわれる。XYテーブル8は、被加工物Wを載置するものであり、図示しないX軸モータおよびY軸モータの駆動によってX軸-Y軸2次元平面を自在に移動する。XYテーブル8は、レーザ光L1が照射される加工エリアをXY方向に移動させる。図2は、制御装置の構成を示すブロック図である。制御装置20は、面倒れ量検出部10Aに接続されており、面倒れ量検出部10Aは、被検出部11X,11Yと固定電極14X,14Yに接続されている。また、制御装置20は、XYテーブル8、レーザ発振器1、ガルバノスキャナ5X,5Yに接続されている。制御装置20は、入力部21、加工プログラム記憶部22、補正量算出部23、指示作成部24、出力部25を備えている。入力部21は、面倒れ量検出部10Aから検出結果ガルバノミラー3X,3Yの面倒れ量に対応する電極間距離を入力し、補正量算出部23に送る。加工プログラム記憶部22は、被加工物Wのレーザ加工に用いる加工プログラムを記憶するメモリなどである。加工プログラム内には、被加工物W上の加工位置座標などが設定されている。補正量算出部23は、ガルバノミラー3X,3Yの面倒れ量に基づいて、レーザ工照射位置の補正量以下、加工位置補正量というを算出する。制御装置20では、予め面倒れ量に対する加工位置補正量の関係を加工プログラム記憶部22内などで記憶しておき、補正量算出部23は、面倒れ量に対する加工位置補正量の関係と、検出された面倒れ量と、に基づいて、加工位置補正量を算出する。補正量算出部23は、算出した加工位置補正量を指示作成部24に送る。指示作成部24は、加工プログラム記憶部22内の加工プログラムに基づいて、XYテーブル8、レーザ発振器1への指示情報を作成する。また、指示作成部24は、加工プログラムに基づいて、ガルバノスキャナ5X,5Yへの指示情報を作成する。また、本実施の形態の指示作成部24は、補正量算出部23が算出した加工位置補正量を用いて、ガルバノスキャナ5X,5Yへの位置指令を補正する補正位置指令を作成する。指示作成部24は、面倒れ共振によって生じるレーザ光照射位置の位置ずれが打ち消されるよう所望のレーザ光照射位置にレーザ光が照射されるよう補正位置指令を作成する。指示作成部24は、加工プログラムに基づいた位置指令と、補正位置指令と、を用いて、ガルバノスキャナ5X,5Yへの指示情報位置指令を作成する。指示作成部24は、作成した指示情報を出力部25に送る。出力部25は、ガルバノスキャナ5X,5Yへの指示情報をガルバノスキャナ5X,5Yに送り、XYテーブル8、レーザ発振器1への指示情報をそれぞれXYテーブル8、レーザ発振器1に送る。ここで、ガルバノミラー3X,3Yの構成について説明する。なお、ガルバノミラー3Xとガルバノミラー3Yは、同様の構成を有するので、以下では、ガルバノミラー3Yの構成について説明する。また、ガルバノスキャナ5Xとガルバノスキャナ5Yは、同様の構成を有するので、ガルバノスキャナを説明する際には、ガルバノスキャナ5Yについて説明する。図3は、ガルバノミラーの構成を示す図である。被検出部11Yは、ガルバノミラー3Yの回転軸上ロータ52と略同軸軸上に配置されてガルバノミラー3Yと同じ動作を行なう。被検出部11Y、ガルバノミラー3Yは、加工位置をY方向に位置決めする際には、ロータ52の軸方向を回転軸として回転し動作a、面倒れ共振の際には、ガルバノミラー3Yのミラー面に略垂直な方向に移動動作bする。ガルバノミラー3Yは、概略平板状をなしており、例えば、主面の長手方向の一方の端部先端に被検出部11Yが配置され、他方の端部後端に棒状部材で構成されたロータ52が接合されている。被検出部11Yは、例えば円柱状をなしており、その柱軸がロータ52の柱軸と同じ方向になるよう、ガルバノミラー3Yに接合されている。被検出部11Yは、導体を用いて形成されている。ロータ52は、その柱軸を回転軸として回転できるよう構成されており、ロータ52が軸回転することにより、ガルバノミラー3Yが回転し、これにより被検出部11Yは、ガルバノミラー3Yと同様に軸回転する。被検出部11Yの近傍には、面倒れ共振があった場合でも被検出部11Yに接触しないよう所定の距離だけ離れた位置に固定電極14Yが配置されている。面倒れ共振が発生すると、ガルバノミラー3Yのミラー面が傾く。固定電極14Yは、ミラー面の傾斜量に応じて変化する固定電極14Yと被検出部11Yとの間の距離を検出できるよう、被検出部11Yに対向する位置に固定配置される。固定電極14Yは、被検出部11Yの側面曲面の一部と略平行な平行曲面を有しており、被検出部11Yの曲面と固定電極14Yの曲面とが略等距離間隔で互いに対向するよう、固定電極14Yが配置されている。固定電極14Yは、例えば、直方体の一部底面が切り取られた形状を有している。直方体から切り取られる形状は、略半月状の上面および底面を有した柱状形状であり、柱状形状の曲面は、被検出部11Yの曲面の一部を囲う平行曲面をなしている。換言すると、被検出部11Yのうち固定電極14Yに対向する対抗面は、円柱の側面の一部を有し、固定電極14Yのうち被検出部11Yに対向する対抗面は、円筒の内壁面の一部を有している。そして、円筒の内壁面の一部が円柱の側面の一部を囲うよう、被検出部11Yおよび固定電極14Yが配置されている。なお、被検出部11Yおよび固定電極14Yは、図3に示した固定電極14Yの形状と被検出部11Yの形状とを入れ替えた構成としてもよい。また、ここではガルバノミラー3Yの先端に被検出部11Yを設ける場合について説明したが、被検出部11Yは、何れの位置に配置してもよい。図4は、面倒れ量検出部の構成を示す図である。面倒れ量検出部10Aは、静電容量検出センサ15と、変位量算出部16Aと、を有している。静電容量検出センサ15は、被検出部11Yおよび固定電極14Yに接続されており、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の静電容量を検出する。静電容量検出センサ15は、検出した静電容量を変位量算出部16Aに送る。変位量算出部16Aは、静電容量を被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離に換算し、換算結果距離情報を制御装置20に送る。距離情報は、ガルバノミラー3Yの面倒れ量傾斜量に応じた、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離電極間距離であり、ガルバノミラー3Yの角度ずれ量に応じて変化する。なお、変位量算出部16Aは、距離情報を面倒れ量に換算し、面倒れ量を距離情報としてもよい。面倒れ量は、電極間距離の変位量であり、ミラー面の基準位置からの角度ずれ量に対応している。制御装置20は、変位量算出部16Aからの距離情報を用いてガルバノスキャナ5Xへの指示情報ガルバノ指令を作成し、ガルバノスキャナ5Xに送る。このように、面倒れ共振が発生した場合には、面倒れ量をキャンセルするために、面倒れ共振が発生した軸ガルバノミラー3Yに直交する軸ガルバノミラー3Xに補正値を含んだガルバノ指令を送る。なお、静電容量を被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離が同じであっても、ガルバノミラー3Yの回転角度ガルバノ角度位置によって被検出部11Yと固定電極14Yとの間の静電容量が変化する場合がある。このため、変位量算出部16Aは、ガルバノ角度位置を用いて、静電容量を、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離に応じた静電容量に換算してもよい。これにより、正確な静電容量を算出することが可能となる。図5は、面倒れ量検出部の他の構成を示す図である。なお、図4の面倒れ量検出部10Aと同様の構成を有する構成要素に関しては、その説明を省略する。ここでの面倒れ量検出部10Bは、変位量算出部16Aの代わりに変位量算出部16Bを備えている。そして、変位量算出部16Bが補正部17を備えている。面倒れ共振現象を位置決めサーボ制御にリアルタイムに反映させるために、検出した面倒れ量を直交する軸の検出角度に加算または減算して補正することで、面倒れによる位置ずれをキャンセルすることができる。これにより、目標位置に移動を開始した後の面倒れ共振をリアルタイムにキャンセルすることができる。回転軸の正負の向きの設定や配置、X軸方向の設定、Y軸方向の設定によっては、面倒れ量のキャンセルが、指令位置または検出位置に対する補正量の加算になったり減算になったりする場合がある。このため、補正演算については、適宜キャンセル機構が働くように符号を設定しておく。変位量算出部16Bへは、後述の角度検出器エンコーダ58が検出するガルバノ角度位置が入力される。補正部17は、ガルバノ角度位置を用いて、静電容量を、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離に換算する。換言すると、補正部17は、静電容量に対応する被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離を、ガルバノ角度位置に応じた距離に補正する。以下の説明では、面倒れ量検出部10Bが変位量算出部16Bを備える場合について説明する。図6は、ガルバノスキャナの構成を示す図である。ガルバノスキャナ5Yは、ガルバノミラー3Y側から延びるロータ52の一部を含んで構成されている。ガルバノスキャナ5Yでは、ロータ52にベアリング55,57と、ミラー駆動部56と、角度検出器58と、が配置されている。ロータ52は、ベアリング55,57によって回転自在に支持されている。ベアリング55は、ミラー駆動部56とガルバノミラー3Yとの間に配置され、ベアリング57は、ミラー駆動部56と角度検出器58との間に配置されている。ロータ52は、その温度変化によって軸方向に伸縮が発生する。このため、ベアリング55は、ロータ52に対して軸方向に完全には固定されておらず、ロータ52が伸縮する際にはロータ52がベアリング55をすり抜けるよう構成されている。一方、ベアリング57は、ロータ52を軸方向に固定している。ミラー駆動部56は、ロータ52の柱軸を回転軸としてガルバノミラー3Yを回転させる。ミラー駆動部56は、例えば磁石とコイルとを用いて構成されており、コイルに電流を流すことにより、磁石との間でトルクを発生させる。これにより、ロータ52ひいてはガルバノミラー3Yが回転されるように働く。角度検出器58は、例えばエンコーダであり、ガルバノミラー3Yの回転角度ガルバノ角度位置を検出する。角度検出器58は、検出したガルバノ回転角度を、変位量算出部16Bや制御装置20に送る。ここで、面倒れ共振現象について説明する。図7は、面倒れ共振現象を説明するための図である。なお、図7では、ミラー駆動部56や角度検出器58の図示を省略している。面倒れ共振現象は、ガルバノミラー3Yが、ミラー面と略垂直な方向に揺れる現象である。例えば、ガルバノミラー3Yの場合、ベアリング57がロータ52を軸方向に固定しているので、ベアリング57よりも端部側ガルバノミラー3Y側で面倒れ共振現象が発生する。面倒れ共振現象は、ベアリング57を固定部分として、ロータ52およびガルバノミラー3Yが撓むことで、ガルバノミラー3Yのミラー面の角度が変わり、偏向されるレーザ光L0の進む向きがずれる現象である。ガルバノスキャナ5Yが、同じ方向に等ピッチの加工位置移動を繰り返すと、ある移動周期でロータ52およびガルバノミラー3Yの面倒れ共振が発生する。換言すると、面倒れ共振は、同じ方向に等ピッチで加工位置を移動させる際に、移動周期がガルバノミラー3Yを含むロータ52の面倒れ共振周波数の逆数に近いと発生する。面倒れ共振は、ガルバノミラー3Yを含むロータ52の機械的な曲げの固有振動である。等ピッチのガルバノ移動をする場合には、ガルバノミラー3Yの回転の加減速が周期的に発生する。この回転運動の中心からガルバノミラー3Yおよびロータ52に重量のアンバランスがあると、軸の振れ回り現象が発生し、回転の加速度が軸の曲げの力に変換される。この曲げの力が加振力となり、その周期が面倒れ共振周波数の周期と近い場合には、面倒れ振動が徐々に大きくなって、加工点では大きな位置ずれレーザ光照射位置の位置ずれが発生する。面倒れ共振による位置ずれは、たとえば、加工位置の進行方向に直交する方向に現れる。したがって、X方向の位置決めを行うガルバノミラー3Xで面倒れ共振が発生すると、Y方向に加工位置がずれる。同様に、Y方向の位置決めを行うガルバノミラー3Yで面倒れ共振が発生すると、X方向に加工位置がずれる。面倒れ共振の際には、ロータ52およびガルバノミラー3Yが、ベアリング55およびベアリング57を固定位置として、ガルバノミラー3Yのミラー面に略垂直な方向に揺れる。これにより、レーザ光L0のガルバノミラー3Yにおける反射角度が、所望の反射角度から所定量だけずれることとなる。例えば、ロータ52およびガルバノミラー3Yが、ガルバノミラー3Yの裏面側に最大に撓んだ状態では、レーザ光L0がX方向に反射角度θ1だけずれて、レーザ光L2として反射される。一方、ロータ52およびガルバノミラー3Yが、ガルバノミラー3Yの表側に最大に撓んだ状態では、レーザ光L0がX方向に反射角度-θ1だけずれて、レーザ光L3として反射される。換言すると、ロータ52およびガルバノミラー3Yが面倒れ共振によって撓むと、レーザ光L0のX方向に対する反射角度に、撓み量に応じたずれ量が生じる。そして、ロータ52およびガルバノミラー3Yが、最大に撓んだ状態の場合に、レーザ光L0のX方向の反射角度のずれ量も最大となる。レーザ光L0の反射角度がX方向にずれる場合、被検出部11Xの位置がずれている。このため、被検出部11Xと固定電極14Xとの間の距離が変化し、被検出部11Xと固定電極14Xとの間の静電容量が変化する。同様に、レーザ光L0の反射角度がY方向にずれる場合、被検出部11Yの位置がずれている。このため、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の距離が変化し、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の静電容量が変化する。本実施の形態では、被検出部11Xと固定電極14Xとの間の静電容量、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の静電容量に基づいて、レーザ光照射位置の位置ずれ加工位置の位置ずれを補正する。図8は、反射角度のずれ量を説明するための図である。ロータ52およびガルバノミラー3Yに面倒れ共振が発生していない場合、ロータ52およびガルバノミラー3Yは、ガルバノミラー3Yの表面側にも裏面側にも撓まない。この場合、レーザ光L0のX方向に対する反射角度には、ずれが生じない。したがって、レーザ光L0は、ガルバノミラー3Yによって所望の反射角度でレーザ光L1として反射される。一方、ロータ52およびガルバノミラー3Yが、ガルバノミラー3Yの表面側や裏面側に撓んだ状態では、X方向の反射角度がずれて、レーザ光L2やレーザ光L3として反射される。図9は、電極間距離の変位量とミラー面の倒れ角との関係を説明するための図である。電極間距離の変位量Dxは、電極間距離の初期値からのずれ量であり、面倒れ共振によるロータ52およびガルバノミラー3Yの撓み量に応じて変化するものである。面倒れ量の検出は、被検出部11Yミラー先端部の面倒れ方向への変位量Dxを検出することによって行なわれる。面倒れはベアリング55とベアリング57を支点にして、ロータ52およびガルバノミラー3Yが撓むことで発生する。このため、ロータ52を軸方向に固定しているベアリング55から被検出部11Yまでの距離をLmmとすると、電極間距離の変位量Dxμmと、ロータ52およびガルバノミラー3Yの倒れ角である撓み角Φradとの関係は、Φ=Dx/L×1000となる。図10は、反射角度のずれ量とレーザ光照射位置のずれ量の関係を説明するための図である。図10では、ガルバノミラー3Yにおいて、レーザ光L0がX方向に反射角度θ2だけずれて、レーザ光L4として反射された場合のレーザ光照射位置P1を示している。X方向への反射角度がずれることなくレーザ光L0がガルバノミラー3Yで反射されると、被加工物W上において、X方向にはレーザ光照射位置がずれることなく所望のレーザ光照射位置P0にレーザ光L0が照射される。したがって、レーザ光L0がX方向に反射角度θ2だけずれて、レーザ光L4として反射された場合、レーザ光照射位置P0とレーザ光照射位置P1との間の距離が照射位置ずれ量レーザ光照射位置のずれ量Δxとなる。この場合において、fθレンズ6の焦点距離をfとすると、Δx=fθ2となる。このように、ガルバノミラー3Yの面倒れ方向への傾きは、レーザ光L0の反射角度の角度ずれとなって現れる。そして、fθレンズ6の特性から、レーザ光L4の角度ずれ量変化量θ2が、加工位置としてΔx=fθ2なる位置変位照射位置ずれ量に変換される。図11は、一般的にガルバノミラーが角度Φ変わった時に、加工される位置がどれだけずれるかを説明するための図である。ガルバノミラー3Yが撓み角Φで撓んだ場合、レーザ光L0がX方向に反射角度2Φだけずれて、レーザ光L4として反射される。ガルバノミラー3Yの撓み角が0の場合のレーザ光照射位置をレーザ光照射位置P2とし、ガルバノミラー3Yが撓み角Φで撓んだ場合のレーザ光照射位置をレーザ光照射位置P3とする。ガルバノミラー3Yが撓み角Φで撓んだ場合、レーザ光照射位置P2とレーザ光照射位置P3との間の距離が照射位置ずれ量Δxとなる。この場合において、fθレンズ6の焦点距離をfとすると、Δx=2fΦとなる。このように、ガルバノミラー3Yの撓み角傾きΦは、レーザ光L4の出射角度を2×Φだけ変化させる。したがって、Δx=2f×Dx/L×1000となる。実際の面倒れには、ベアリング57からの直線的な撓みばかりではなく、シャフトロータ52やガルバノミラー3Yの湾曲も含まれる。このため、照射位置ずれ量Δxと電極間距離の変位量Dxを直線比例的な関係として扱うばかりではなく、実際の現象にあわせた高次式を用いてもよい。なお、レーザ加工装置100は、ガルバノミラー3Yの撓み角Φと、照射位置ずれ量Δxとの関係に基づいて、ガルバノスキャナ5X,5Yへの位置指令の補正を行ってもよい。この場合、ガルバノミラー3Yの撓み角Φと、照射位置ずれ量Δxとの関係を予め面倒れ量検出部10B内に記憶しておく。そして、面倒れ量検出部10Bが、電極間距離の変位量Dxに基づいて、撓み角Φを算出する。さらに、記憶しておいた関係と、ガルバノミラー3Yの撓み角Φと、に基づいて、面倒れ量検出部10Bが、照射位置ずれ量Δxを算出する。なお、制御装置20が、照射位置ずれ量Δxを算出してもよい。この場合、ガルバノミラー3Yの撓み角Φと、照射位置ずれ量Δxとの関係を予め加工プログラム記憶部22などのメモリ内に記憶しておく。そして、記憶しておいた関係と、ガルバノミラー3Yの撓み角Φと、に基づいて、制御装置20が、照射位置ずれ量Δxに対応する加工位置補正量を算出する。図12は、反射角度にずれが無い場合のレーザ光照射位置を示す図であり、図13は、反射角度にずれが有る場合のレーザ光照射位置を示す図である。図12および図13では、被加工物W上のY方向に負から正の方向に間隔dピッチdでレーザ光L1を照射した場合のレーザ光照射位置を示している。具体的には、1点目のレーザ光照射位置H1、2点目のレーザ光照射位置H2、n点目のレーザ光照射位置Hnnは3以上の自然数の順番でレーザ光L1が照射される。図12に示すように、X方向の反射角度にずれが無い場合、X方向のレーザ光照射位置にもずれは生じない。そして、被加工物W上のY方向には間隔dでレーザ光L1が照射される。一方、図13に示すように、X方向の反射角度にずれが有る場合、X方向のレーザ光照射位置にずれが生じる。このため、被加工物W上のY方向には間隔dで、X方向には反射角度のずれ量に応じた位置ずれ量で、レーザ光L5が照射される。レーザ加工装置100では、レーザ光L5が所定の周期周波数で被加工物Wに照射されるともに、ガルバノミラー3Yが所定の周期で面倒れ共振する場合がある。この場合、各レーザ光照射位置では、レーザ光L5の出射周波数およびガルバノミラー3Yの面倒れ共振周波数に応じたX方向の位置ずれ量を生じることとなる。この場合において、図13に示す例では、X方向の移動指令がないので、本来Y方向にまっすぐ加工が進むことが望ましい。しかしながら、実際は面倒れ共振の誘起により、加工点で±10μm程度の位置ずれ振動が発生する場合がある。例えば、レーザ加工装置100が、プリント基板穴あけレーザ加工装置である場合、1ms程度の周期の面倒れ共振が発生することが多い。図14は、X方向の位置ずれ量を説明するための図である。ガルバノミラー3Yへは、Y方向に対して所定の間隔dここでは2mmずつレーザ光照射位置を移動させる指示情報Yミラー位置指令が送られる。また、レーザ発振器1へは、各レーザ光照射位置でレーザ光L0をパルス出射させる指示情報が送られる。レーザ光L0をパルス出射させる際には、レーザ出力Pが所定のピーク値となるよう、レーザ発振器1が制御される。ここでは、8箇所のレーザ光照射位置にレーザ光L0が照射されるよう、ガルバノミラー3Y、レーザ発振器1に指示情報が送られる場合を示している。ガルバノミラー3Yの面倒れ共振は、レーザ光照射位置がX方向にずれる面倒れ共振である。ガルバノミラー3Yが所定の周期で面倒れ共振している場合、ガルバノミラー3Yの面倒れ量も所定の周期で変化する。ガルバノミラー3Yが所定の周期で面倒れ共振すると、レーザ光L0が出射されるタイミングでのガルバノミラー3Yのミラー面の共振位置に応じた被加工物W上の位置にレーザ光L5が照射される。これにより、例えば、レーザ光照射位置のX方向の位置ずれ量は、所定の周期で変化することとなる。図15は、X方向の位置ずれ補正を説明するための図である。ここでは、図14で説明したX方向の位置ずれ量に対する位置ずれ補正について説明する。ガルバノミラー3Yが面倒れ共振すると、レーザ光照射位置は、面倒れ量に応じた距離X方向だけ位置ずれする。したがって、本実施形態では、制御装置20の補正量算出部23がガルバノミラー3Yの面倒れ量に対応する照射位置ずれ量Δxを補正するための加工位置補正量を算出する。ガルバノミラー3Yで生じる面倒れ共振によって、レーザ光照射位置はX方向にずれる。このため、補正量算出部23は、ガルバノミラー3Xへの加工位置補正量を算出する。ガルバノミラー3Xへの加工位置補正量は、ガルバノミラー3Xへの位置指令に対する補正量である。ガルバノミラー3Xへの位置指令が0である場合、ガルバノミラー3Xの面倒れ量も0である。この場合、ガルバノミラー3Xは、補正量算出部23で算出された加工位置補正量に基づいて制御される。したがって、ガルバノミラー3Xへは、X方向に対して加工位置補正量に応じた位置補正量ずつレーザ光照射位置を移動させる指示情報Xミラー位置指令が送られる。つぎに、照射位置ずれ量の測定方法について説明する。図16は、被検出部と固定電極の接続構成を示す図である。同図に示すように、被検出部11Yと固定電極14Yとは、所定の距離だけ離されて配置されている。そして、被検出部11Yと固定電極14Yが、それぞれ交流定電流源である電流源61に接続されている。電流源61は、例えば、前述の静電容量検出センサ15内に配置されている。図17は、静電容量検出センサの構成例を示す図である。ここでは、被検出部11Yと固定電極14Yとによって形成されるコンデンサ62の静電容量を静電容量Cxで示している。被検出部11Yと電流源61との間の配線および固定電極14Yと電流源61との間の配線のうち、OPアンプ64に接続されている側の配線例えば、固定電極14Yと電流源61との間の配線は、シールド線60などによってシールドされている。ωを印加する電流の角周波数として、電流源61からI0sinωtの電流がVsの電圧で流されると、コンデンサ62には、iの電流がVxの電圧電極間電圧で流される。被検出部11Yと電流源61との間の配線または固定電極14Yと電流源61との間の配線には、OPアンプ64の非反転入力側が接続されている。また、OPアンプ64の反転入力側と出力側には、シールド線60が接続されている。この場合において、i=Vs×jωCxが成立する。したがって、Vs=i/jωCxである。シールド線60による配線のシールドが良好な場合、Vsと電極間電圧Vxは、ほぼ等しいので、Vsを測定することによって、電極間電圧Vxの値を得ることが可能となる。このように、静電容量検出センサ15では、シールド線60が配置されているので、コンデンサ62の周辺にある金属配線の浮遊容量の影響を受けることなく、電極間電圧Vxを測定することが可能となる。なお、コンデンサ62と電流源61とを接続する配線のうち、OPアンプ64が接続されていない側の配線をグランドに接続してもよい。静電容量検出センサ15の算出部63は、静電容量Cxに応じて変化する電極間電圧Vxを検出するとともに電極間電圧Vxの値を用いて静電容量Cxを算出し、変位量算出部16Bは、静電容量Cxを用いて被検出部11Yと固定電極14Yとの間の電極間距離Dを算出する。図18は、被検出部と固定電極との間の距離の算出方法を説明するための図である。図18では、説明の便宜上、被検出部11Yを円板状の電極63Aで示し、固定電極14Yを円板状の電極63Bで示している。電極63Aと電極63Bとの間の電極間距離DがDであり、電極63A,63Bの面積がそれぞれSである場合、S≫D2の関係が成立すればSがDの2乗に比べてはるかに大きい場合、Cx=ε×S/Dとなる。したがって、変位量算出部16Bは、Cx=ε×S/Dの関係と、静電容量Cxの値とを用いて、電極間距離Dを算出する。ここで、εは電極間の誘電率である。したがって、静電容量Cxは、電極間距離Dに反比例するので、静電容量Cxの変化を求めれば、電極間距離Dの変化を測定することができる。なお、変位量算出部16Bは、電極間距離Dと静電容量Cxの関係を予め記憶しておき、電極間距離Dと静電容量Cxの関係に基づいて、電極間距離Dを算出してもよい。図19は、静電容量と電極間距離の関係を示す図である。変位量算出部16Bは、例えば、図19に示した静電容量Cxと電極間距離Dの関係を用いて電極間距離Dを算出する。また、変位量算出部16Bは、電極間距離の変位量Dxと静電容量Cxの関係を予め記憶しておき、電極間距離の変位量Dxと静電容量Cxの関係に基づいて、電極間距離の変位量Dxを算出してもよい。また、変位量算出部16Bは、電極間にかかる電極間電圧Vxと電極間距離Dの関係を予め記憶しておき、電極間電圧Vxと電極間距離Dの関係に基づいて、電極間距離Dを算出してもよい。図20は、電極間電圧と電極間距離の関係を示す図である。変位量算出部16Bは、例えば、図20に示した電極間電圧Vxと電極間距離Dの関係を用いて電極間距離Dを算出する。図19に示した電極間距離Dと静電容量Cxの関係や、図20に示した電極間電圧Vxと電極間距離Dの関係は、例えば変位量算出部16B内で記憶しておく。また、変位量算出部16Bは、電極間にかかる電極間電圧Vxと電極間距離の変位量Dxの関係を予め記憶しておき、電極間電圧Vxと電極間距離の変位量Dxの関係に基づいて、電極間距離の変位量Dxを算出してもよい。面倒れ量検出部が、電極間電圧Vxと電極間距離Dの関係を用いて電極間距離Dを算出する場合の面倒れ量検出部の構成について説明する。図21は、電極間電圧を用いて電極間距離を算出する場合の面倒れ量検出部の構成を示す図である。なお、ここでは、コンデンサ62の一方の電極を電流源61に接続し、他方の電極をグランドに接続している場合を示している。面倒れ量検出部10Cは、高インピーダンス電圧検出部68、整流回路69、A/D変換部70、電極間距離算出部71、補正部17を備えている。高インピーダンス電圧検出部68によって、コンデンサ62の電極間における電圧電極間電圧が検出され、検出された電極間電圧が整流回路69で直流化される。整流回路69で直流化された直流電圧は、A/D変換部70でA/D変換アナログ信号からデジタル信号への変換が行われる。そして、電極間距離算出部71は、A/D変換された信号を用いて、電極間距離Dを算出する。このとき、電極間距離算出部71は、例えば、図20に示した電極間電圧Vxと電極間距離Dの関係を用いて電極間距離Dを算出する。そして、補正部17で、電極間距離Dがガルバノ角度位置に応じた電極間距離Dに補正される。補正部17は、補正した電極間距離Dを制御装置10に送る。制御装置20の補正量算出部23は、変位量算出部16Bが算出した電極間距離Dを用いて、ガルバノスキャナ5X,5Yへの位置指令を補正するための加工位置補正量を算出する。制御装置20では、予め加工プログラム記憶部22内などに、電極間距離Dと加工位置補正量の関係を格納しておく。補正量算出部23は、この電極間距離Dと加工位置補正量の関係を用いて、加工位置補正量を算出する。なお、電極間電圧Vxと加工位置補正量の関係を予め記憶しておき、電極間電圧Vxと加工位置補正量の関係に基づいて、加工位置補正量を算出してもよい。この場合、変位量算出部16Bが加工位置補正量を算出してもよいし、補正量算出部23が加工位置補正量を算出してもよい。変位量算出部16Bが加工位置補正量を算出する場合、電極間電圧と加工位置補正量の関係は、例えば変位量算出部16B内に格納しておく。また、補正量算出部23が加工位置補正量を算出する場合、電極間電圧と加工位置補正量の関係は、例えば加工プログラム記憶部22内に格納しておく。図22は、電流源回路の構成例を示す図である。ここでは、電流源61の電流源回路が、コンデンサ62と、グランドと、に接続されている場合を示している。電流源61の電流源回路は、E0sinωtの電圧を発生させる交流電圧源65と、OPアンプ72と、抵抗値Rの抵抗73と、を備えている。これにより、電流源61からは、i=E0/Rsinωtの電流が発生する。例えば、交流の周波数として250kHz~1MHz程度、抵抗器としてR=100kΩ~1MΩ程度のものを使用すると良好な特性が得られる。図23は、静電容量検出センサの他の構成例を示す図である。なお、図17に示した静電容量検出センサと同様の構成要素については、その説明を省略する。コンデンサ62の一方の電極は、グランドに接続され、他方の電極は、OPアンプ64の非反転入力側と電流源61が接続されている。そして、OPアンプ64の反転入力側と出力側には、シールド線60が接続されている。この構成により、算出部63は、電極間電圧Vxを検出するとともに電極間電圧Vxの値を用いて静電容量Cxを算出し、変位量算出部16Bは、静電容量Cxを用いて被検出部11Yと固定電極14Yとの間の電極間距離Dを算出する。電圧を検出する回路側に印加電流源iからの電流が流入しないよう高インピーダンスの検出回路が必要であるので、ボルテージフォロア構成としている。また、電極固定電極14Yまたは被検出部11Yに接続する電線は、実際には浮遊容量をもち、余計な電流が流れて検出誤差になる。このため、浮遊容量の影響が現れないよう、検出電圧と同じ電圧を、低出力インピーダンスの緩衝増幅を介してシールド線60に印加する。ここで、電極間距離Dに応じた電圧の検出方法の他の例について説明する。図24は、電極間距離に応じた電圧検出を行う回路の回路構成例を示す図である。図24に示す電圧検出回路は、交流電圧源77、定電流増幅回路79、移相回路83、電圧検出回路80、同期整流回路81、低域フィルタ82を備えている。コンデンサ62のうちの一方の電極と、定電流増幅回路79と、電圧検出回路80と、が接続されている。ここでは、コンデンサ62のうちの一方の電極である固定電極14Yが定電流増幅回路79と電圧検出回路80に接続され、他方の電極である被検出部11Yがグランドに接続されている場合について説明する。交流電圧源77は、基準の波形発生源として使用されるものであり、定電流増幅回路79は入力電圧に比例した交流電流を出力するものである。また、電圧検出回路80は、固定電極14Yに発生する電圧電圧降下を検出するものである。移相回路83は、入力した交流電圧源77の位相をシフトさせ所定の位相に進相処理または遅相処理して出力するものである。交流電圧源77および定電流増幅回路79は、入力信号を発生させ、移相回路83及び同期整流回路81は、電圧検出回路80で検出された交流信号と、交流電圧源77で発生した交流信号と、の周波数および位相を一致させる。図24に示す電圧検出回路80では、交流電圧源77で発生した交流定電圧sin2πftが定電流増幅回路79に入力され、定電流増幅回路79は、入力電圧に比例した交流電流を出力し、固定電極14Yに供給する。このとき、固定電極14Yの電圧Vcは、Vc=i/2πfCとして電圧検出回路80に印加されるが、電圧検出回路80の入力インピーダンスは非常に大きく、電圧検出回路80に流入する電流の値は無視できる。電圧検出回路80で検出された電圧は、同期整流回路81に入力される。同期整流回路81では、移相回路83の信号の位相情報をもとに電圧検出回路80の検出信号を同期整流し、移相回路83を通過した特定の周波数のみの信号を整流し、他の周波数成分を除去する。また、同期整流回路81の出力は、低域フィルタ82に入力される。低域フィルタ82は、不要な高周波成分を除去し、距離情報出力として正確な検出出力電極間電圧Vxを得る。なお、印加する電流iに対して静電容量Cx両端に発生する電圧は位相が90°遅れているが、移相回路83によって位相が一致するようにして、同期検波出力が得られるようにしている。このため、同期整流回路81では、移相回路83の信号の位相情報をもとに電圧検出回路80の検出信号を同期整流して抽出できる。これにより、低域フィルタ82は、同期整流回路81の出力として入力された信号の中から不要な高周波成分を除去し、距離情報として正確な検出出力を出力することが可能となる。このように、電圧検出回路では、信号に混入するノイズ成分が重畳していても、周波数が一致しないのでノイズ成分を除去できる。この結果、ノイズ成分の影響を無視した電圧を検出することが可能となる。つぎに、検出電圧電極間電圧Vxから電極間距離Dへの換算方法について説明する。電極の面積が理想無限の場合には、静電容量Cxと電極間距離Dとの間に反比例の関係があるが、実際には面積が有限であるので反比例の関係からはずれる。図19に示したように、電極間距離Dが大きくなると静電容量Cxが減少するという関係がある。そして、静電容量Cxが減少すると電極間電圧Vxは増加する。したがって、電極間距離Dが増加すると、電極間電圧Vxは増加する。ところが、有限の電極面積であるがために理想の反比例からずれ、実際には電極間距離Dと電極間電圧Vxの間には、図20に示すような単調曲線の関係がある。電極間電圧Vxから電極間距離Dへの換算は、図21に示した変位量算出部16Bの電極間距離算出部71で行われる。図25は、検出電圧から電極間距離への換算方法を説明するための図である。電極間距離Dの変位と電極間電圧Vxとの関係は、図20に示したように直線的ではないので、電極間距離算出部71を設けておき、後の処理に都合が良いように電極間距離Dの変位と出力信号が比例するように信号を変換する。電極間距離算出部71へは、A/D変換された信号電極間電圧のA/D変換値Xが入力される。電極間距離算出部71は、例えばAX4BX3CX2DXEなどの補正式を用いて、電極間電圧のA/D変換値Xを電極間距離Dに変換する。このように、電極間距離算出部71は、4次多項式近似式などを用いることにより、電極間電圧Vxを電極間距離Dに変換している。なお、電極間電圧のA/D変換値Xを電極間距離Dに変換する際に用いる補正式は、4次式に限らず3次以下の補正式であってもよいし、5次以上の補正式であってもよい。図26は、制御装置のハードウェア構成を示す図である。図26では、レーザ加工装置100の制御系の全体構成を示している。制御装置20は、加工機制御部88と、ガルバノ制御部90X,90Yと、テーブル駆動制御部92と、を備えている。加工機制御部88は、加工プログラムや面倒れ量検出部10Bから送られてくるガルバノスキャナ5X,5Yの面倒れ量に基づいて、ガルバノ制御部90X,90Y、テーブル駆動制御部92、レーザ発振器1に指示情報を送る。加工機制御部88は、ガルバノ制御部90XにX方向の位置指令を送り、ガルバノ制御部90YにY方向の位置指令を送る。具体的には、加工機制御部88は、ガルバノ制御部90X,90Yに、ガルバノスキャナ5X,5Yへの位置決め目標座標の指令を送る。本実施の形態では、ガルバノミラー3Xが面倒れ共振する場合に、Y方向にレーザ光L5の照射位置がずれるので、ガルバノ制御部90Yに加工位置補正量を含む位置指令が送られる。また、ガルバノミラー3Yが面倒れ共振する場合に、X方向にレーザ光L5の照射位置がずれるので、ガルバノ制御部90Xに加工位置補正量を含む位置指令が送られる。ガルバノ制御部90Xは、加工機制御部88からの指示情報に従って、ガルバノスキャナ5Xを制御する。また、ガルバノ制御部90Yは、加工機制御部88からの指示情報に従って、ガルバノスキャナ5Yを制御する。具体的には、ガルバノ制御部90X,90Yは、それぞれガルバノスキャナ5X,5Yに対して位置決めサーボ動作を行う。そして、ガルバノスキャナ5X,5Yが、それぞれガルバノミラー3X,3Yを、ロータ52を回転軸として所定の角度だけ回転させる。ガルバノミラー3X,3Yは、例えば軽量で剛性の高いベリリウムなどで構成し、ガルバノスキャナ5X,5Yも高剛性となるように設計しておく。このため、XYテーブル8のテーブル駆動のみで加工位置の位置決め制御を行うよりも、はるかに高速で位置決め動作を完了できる。レーザ加工装置100は、例えば1秒間に3000回程度の位置決めを行う。また、加工機制御部88は、レーザ発振器1に所望のレーザ出力およびパルス幅のレーザパルスを照射する条件およびタイミングを指示する。これにより、レーザ発振器1は、加工に必要なタイミングでレーザパルスを出すことができる。また、図1に示したように、レーザ加工装置100は、被加工物Wを載置するXYテーブル8を備えており、制御装置20は、XYテーブル8を位置決め駆動制御をするテーブル駆動制御部92を有している。テーブル駆動制御部92は、XYテーブル8をX-Y方向に位置決め駆動制御する。また、テーブル駆動制御部92は、fθレンズ6の上下高さ方向Z方向、ガルバノスキャナ5X,5Yを搭載するZ軸ヘッド部分の上下高さ方向を、それぞれ位置決め駆動制御する。図27は、ガルバノミラーへ送る指示情報の作成処理例を説明するための図である。なお、ガルバノスキャナ5X,5Yは、同様の構成を有しているので、ここではガルバノスキャナ5Xの構成について説明する。制御装置20の指示作成部24では、加工プログラムに基づいた位置指令X方向の位置指令と、加工位置補正量に応じた補正位置指令と、を用いて、ガルバノスキャナ5Xへの位置指令指示情報が作成される。制御装置20からガルバノスキャナ5Xに送る指示情報は、位置指令に限らず角度指令でもよい。ここでは、制御装置20からガルバノスキャナ5Xに送る指示情報が角度指令である場合について説明する。指示作成部24は、作成した位置指令をガルバノミラー3Xへの角度指令に変換し、出力部25は、変換された角度指令をガルバノスキャナ5Xに送る。ガルバノスキャナ5Xは、角度指令をフィードフォワードゲインKff101に送る。また、フィードバックゲインK102へは、制御装置20から送られてきた角度指令からガルバノミラー3Xへ送る角度指令を減算したものが入力される。フィードフォワードゲイン101から出力される角度指令の加速度電流信号は、フィードバックゲイン102から出力される角度指令電流信号に加算されて、ノッチフィルタ103に入力される。ノッチフィルタ103では、ロータ52やガルバノミラー3Xのねじれ共振周波数成分が除去される。ねじれ共振周波数が除去された角度指令は、電流アンプゲインKi104を介してトルク変換回路105に送られる。トルク変換回路105では、電流にトルク定数KTが掛けられてトルクに変換され、さらにイナーシャJSで割られることにより、加速度が出力される。ここでのイナーシャは、ロータ52のイナーシャと、ガルバノミラー3Xのイナーシャと、を足したものである。トルク変換回路105から出力される加速度は、積分回路106A,106Bに送られて、積分回路106A,106Bで積分される。これにより、積分回路106Bからガルバノミラー3Xへの角度指令が出力される。この角度指令は、フィードバック制御に用いられる。具体的には、制御装置20から送られてきた角度指令からガルバノミラー3Xへ送る角度指令が減算されて、フィードバックゲイン102に送られる。なお、電極間の静電容量Cxの検出には、所定の時間を要するので、ガルバノミラー3Yの面倒れ量の変化周期に基づいて、補正位置指令を作成してもよい。この場合、予めガルバノミラー3Yの面倒れ量の変化周期を検出しておき、制御装置20内の加工プログラム記憶部22などに変化周期を設定しておく。そして、補正量算出部23は、ガルバノミラー3Yの面倒れ量の変化周期と、面倒れ静電容量検出センサ15で検出されたガルバノミラー3Yの面倒れ量と、に基づいて、補正位置指令を作成する。具体的には、補正量算出部23は、例えば1つ前の周期で検出された面倒れ量を補正する補正位置指令を作成する。ところで、従来のガルバノ制御系は、X軸方向のガルバノスキャナであれば、その軸の回転角度を検出するセンサロータリエンコーダなどの信号をフィードバックする制御系に加え、位置決めを高速で行うために予め制御対象のモデルを想定し、フィードフォワード制御を用いて位置決め動作を実施していた。しかしながら、回転を検出するセンサ以外からの情報を用いることがなく、その軸の発生する面倒れ現象を抑える構成とはなっていなかった。本実施の形態では、面倒れの補正を行うために、検出した面倒れ量から加工位置のずれ量を求める。そして、直交する軸のガルバノスキャナ5Xへの位置指令に、加工位置のずれ量を加えることで補正を実施する。このため、X方向、Y方向のそれぞれに同様に相互の面倒れがキャンセルされるように、お互いの位置指令を補正するよう構成しておく。これにより、X軸方向の位置を制御するガルバノミラー3Yで発生した面倒れ量Δyは、Y軸方向のガルバノミラー3Yでキャンセルされ、Y軸方向のガルバノミラー3Yで発生した面倒れ量に対応する照射位置ずれ量Δxは、X軸方向のガルバノミラー3Xでキャンセルすることができる。したがって、面倒れ現象が発生していても、所望の目標位置にレーザ光L0を偏向させることができ、精度の良いレーザ加工が行える。図28は、面倒れ量の変化周期を説明するための図である。図28において、横軸は時間であり、縦軸はガルバノミラー3Yの面倒れ量である。同図に示すように、ガルバノミラー3Yの面倒れ量は、所定の周期で変化する。図29は、ガルバノミラーへ送る指示情報の他の作成処理例を説明するための図である。ここでは、面倒れ量の変化周期を用いてガルバノミラー3Xへ送る指示情報角度指令を作成する場合について説明する。静電容量Cxの検出においては、前述のように交流信号の振幅を求め、電圧を距離に変換する演算処理があるので、実際の現象から僅かに遅れる傾向がある。この遅れがある場合には、遅れ時間を補正するためのディレイ処理を行う時間差補償を行うと補正精度が良好になる場合がある。面倒れ周波数は機械的な構成で決まり、略一定であるので、距離検出の遅れ時間を特定の時間差となるように補正すれば、キャンセル効果が良好に働く。このため、補正量算出部23には、時間差補償部107を設けておく。そして、時間差補償部107では、レーザ加工装置100に対してディレイを考慮した補正処理の時間差を調整しておく。時間差補償部107は、静電容量検知による遅れ時間を補償するための補正位置指令を作成する機能を有している。時間差補償部107は、所定周期例えば1つ周期前の周期で検出された面倒れ量を補正する補正位置指令を作成する。なお、時間差補償部107は、所定周期前の電極間電圧Vx、所定周期前の静電容量Cx、所定周期前の歪み角Φに基づいて補正位置指令を作成してもよい。このように、1周期前の面倒れ状況でキャンセル動作をさせることで面倒れ量の補正精度を高めることができる。指示作成部24では、加工プログラムに基づいた位置指令X方向の位置指令と、1つ前の周期で検出された面倒れ量を補正する補正位置指令と、を用いて、ガルバノスキャナ5Xへの位置指令が作成される。この後、ガルバノスキャナ5Xでは、図27で説明した処理と同様の処理によって、ガルバノミラー3Xへ送る角度指令が作成される。なお、本実施の形態では、固定電極14Yが被検出部11Yの側面曲面の一部と略平行な平行曲面を有している場合について説明したが、固定電極14Yのうち被検出部11Yに対向する対向面は、曲面に限らない。例えば、固定電極14Yのうち被検出部11Yに対向する対向面を平面としてもよい。図30は、固定電極の他の構成例を示す図である。同図に示すように、固定電極108は、被検出部11Yに対向する対向面が平面である。ここでは、固定電極108が円板状であり、円板状の底面が被検出部11Yに対向する対向面である場合を示している。つぎに、固定電極14Yと電流源61との間の配線をシールドするシールド線60の構成について説明する。図31は、シールド配線の構成例を示す図である。シールド線60は、例えば同軸ケーブルの外部導体である。同軸ケーブルは、その中心が中心導体固定電極108と電流源61との間の配線であり、中心導体の周囲が絶縁内皮図示せずによって覆われている。さらに絶縁内皮の周囲が外部導体シールド線60で覆われており、外部導体の周囲が絶縁外皮図示せずで覆われている。さらに、固定電極108の周囲が絶縁体で覆われるとともに、絶縁体の周囲が導体110で覆われている。なお、固定電極14Yの周囲を絶縁体で覆うとともに、絶縁体の周囲を導体110で覆う構成としてもよい。なお、本実施の形態では、電極間電圧Vxに基づいて加工位置補正量を算出し、加工位置補正量から補正位置指令を作成する場合について説明したが、電極間電圧Vxから補正位置指令を作成してもよい。また、静電容量Cx、電極間距離D、電極間距離の変位量Dx、撓み角Φの何れかから補正位置指令を作成してもよい。ガルバノスキャナやガルバノミラーの動作速度が上がるに従って、角加速度も大きくなってきており、面倒れ方向に対する加振力も増える傾向にある。さらに、同じ機械的構成であっても面倒れ量が大きくなっており、ユーザが望む加工速度と加工精度を両立させることが難しくなってきている状況にある。本実施の形態では、加工速度を大きくすることによって面倒れ共振が発生した場合であっても、面倒れ量に基づいて、ガルバノミラー3X,3Yへの位置指令を補正するので、加工速度と加工精度を両立させることが可能となる。このように実施の形態によれば、被検出部11Yと固定電極14Yとの間の電極間電圧電位差や被検出部11Xと固定電極14Xとの間の電極間電圧電位差に基づいて、面倒れ量を検出するので、簡易な構成で容易に面倒れ量を検出することが可能となる。また、静電容量Cxに対応する電極間電圧Vxに基づいて、面倒れ量を検出するので、正確に面倒れ量を検出することが可能となる。したがって、面倒れ共振が発生した場合であっても、面倒れ量に基づいて、ガルバノミラー3X,3Yへの位置指令を正確に補正することが可能となり、所望の位置にレーザ光L1を照射することが可能となる。また、固定電極14Yと被検出部11Yとの各対向面が互いに平行曲面となっているので、ガルバノミラー3Yの回転角度に依らず、正確な面倒れ量を検出することが可能となる。また、被検出部11Yのうち固定電極14Yに対向する対抗面は、円柱の側面の一部を有し、固定電極14Yのうち被検出部11Yに対向する対抗面は、円筒の内壁面の一部を有しているので、正確な面倒れ量を検出することが可能となる。また、図19に示した電極間距離と静電容量の関係を用いて電極間距離面倒れ量を検出するので容易に面倒れ量を検出することが可能となる。また、図20に示した電極間電圧と電極間距離の関係を用いて電極間距離面倒れ量を検出するので容易に面倒れ量を検出することが可能となる。また、ガルバノミラー3Yの面倒れ量の変化周期に基づいて、補正位置指令を作成するので、静電容量Cxの検出に時間を要する場合であっても、正確に面倒れに対する位置補正量を行うことが可能となる。"