音響メタマテリアルを製造する方法であって、列及び行に配列され、かつ互いから相互接続ノード群で分離されたバネ群の平面パターンを形成する工程と、前記相互接続ノード群の間の距離に対応する距離だけ互いから分離された質量体ユニット群の平面パターンを形成する工程と、前記相互接続ノード群の間の前記距離だけ互いから分離された垂直方向バネ群の配列を形成する工程と、前記バネ群の平面パターン、前記質量体ユニット群の平面パターン、及び前記垂直方向バネ群の配列を位置合わせし、結合させてユニットセル群から成る層を形成する工程とを含む方法。更に、ユニットセル群から成る複数層を位置合わせする工程、及び前記ユニットセル群から成る複数層を結合させて、所望の厚さの音響メタマテリアルを形成する工程を含む、請求項1に記載の方法。前記複数層を結合させる工程は、異なる層のバネ特性又は質量特性が異なる特性を有している複数層を結合させる工程を含む、請求項2に記載の方法。更に、前記ユニットセル群から成る複数層に、前記複数層により形成される格子構造に浸透する媒質を充填する工程を含む、請求項2に記載の方法。前記バネ群の平面パターンを形成する工程は、前記相互接続ノード群の各々に対応するように配置された貫通ビア群を有する基板上に複数のバネを形成する工程を含む、請求項1に記載の方法。前記バネ群の平面パターンを形成する工程は、列方向に延びるバネ群が、行方向に沿って延びるバネ群とは異なるバネ特性を有するように、前記複数のバネを形成する工程を含む、請求項5に記載の方法。前記バネ群の平面パターンを形成する工程は、列方向に延びるバネ群が、行方向に沿って延びるバネ群と同じバネ特性を有するように、前記複数のバネを形成する工程を含む、請求項5に記載の方法。前記質量体ユニット群の平面パターンを形成する工程は、複数の質量体ユニットを基板上に形成する工程と、前記基板の一部を除去して、前記基板の残りの部分を、前記相互接続ノード群の間の距離に対応する位置に残す工程とを含む、請求項1に記載の方法。前記質量体ユニット群の平面パターンを形成する工程は、複数の質量体ユニットを基板上に形成する工程と、前記質量体ユニット群の平面パターンを前記バネ群の平面パターンと組み合わせた後に除去されるキャリア材料で前記質量体ユニット群を被覆する工程とを含む、請求項1に記載の方法。前記質量体ユニット群の平面パターンを形成する工程は、前記バネ群の平面パターンのバネ群が形成される基板の、前記相互接続ノード群に対応する位置に配置される貫通ビア群の直径よりも大きい直径を有するように、前記質量体ユニット群を形成する工程を含む、請求項1に記載の方法。前記質量体ユニット群の平面パターンを形成する工程は、前記質量体ユニット群を異なるサイズに形成して質量勾配を付ける工程を含む、請求項1に記載の方法。前記垂直方向バネ群の配列を形成する工程は、格子定数に対応する幅を有する材料の上に複数のバネ列を形成する工程であって、各バネ列内の前記バネ群が、前記相互接続ノード群の間の前記距離だけ互いから離間する工程と、前記バネ列群を互いから切り離して個片化する工程と、前記バネ列群を互いに隣接するように配置して、これらのバネ列を、前記格子定数に対応する前記幅を画定する前記材料によって互いから分離する工程とを含む、請求項1に記載の方法。前記バネ群の平面パターンを形成する工程、前記質量体ユニット群の平面パターンを形成する工程、及び前記垂直方向バネ群の配列を形成する工程は、リソグラフィを利用して、前記バネ群の平面パターン、前記質量体ユニット群の平面パターン、及び前記垂直方向バネ群の配列を形成する工程を含む、請求項1に記載の方法。前記バネ群の平面パターン及び前記質量体ユニット群の平面パターンを位置合わせし、結合させる工程は、前記質量体ユニット群が形成される基板の部分を、前記バネ群の平面パターンが形成される基板内の、前記相互接続ノード群に対応する位置に配置される対応する貫通ビア群に位置合わせする工程を含み、前記部分の直径が前記貫通ビアの直径よりも小さいことにより、前記貫通ビアへの前記部分の挿入が可能になる、請求項1に記載の方法。立方格子状に配列された質量体ユニット群と、第1平面にある第1配列バネであって、前記第1配列内の各質量体ユニットを、前記第1平面にある1つの隣接質量体ユニットに、前記バネのうちの対応する1つで連結するように配置されており、各バネが、特定の質量体ユニットに接続されて、前記特定の質量体ユニットに接続される隣接バネの延在方向と略直交する方向に延びる、前記第1配列バネと、前記第1平面と平行な第2平面にある少なくとも1つの第2配列バネであって、前記第2配列内の各質量体ユニットを同平面にある1つの隣接質量体ユニットに接続する、前記少なくとも1つの第2配列バネと、前記第1及び第2平面と略直交して配置され、かつ前記第1平面にある質量体ユニット群を、前記第2平面にあるそれぞれの隣接質量体ユニット群に接続するように配列される複数のバネとを備えている、音響メタマテリアル。前記質量体ユニットの各々は同じ質量を有し、バネの各々は同じバネ特性を有する、請求項15に記載の音響メタマテリアル。前記第1配列内の質量体ユニット群又はバネ群は、前記第2配列内の質量体ユニット群又はバネ群とは異なる質量値又はバネ特性を有する、請求項15に記載の音響メタマテリアル。前記第1配列内の質量体ユニット群又はバネ群は、同配列内の他の質量体ユニット群又はバネ群とは異なる質量値又はバネ特性を有する、請求項15に記載の音響メタマテリアル。前記第1配列及び前記第2配列は、互いに別個に形成される、請求項15に記載の音響メタマテリアル。前記第1配列、前記第2配列、及び前記複数のバネは、リソグラフィを用いて基板上に形成される、請求項15に記載の音響メタマテリアル。次に、本開示について、添付図面を参照しながら以下に更に完全に説明する。これらの図面全体を通じて、同様の参照番号は同様の構成要素群を指している。上に説明したように、音響メタマテリアルは、乗員、機械、及び/又は部品を衝撃力、又は他の音波によって生じる力から防護する。したがって、音響メタマテリアルは、衝撃力又は衝撃波を減衰させる、又は衝撃力又は衝撃波の向きを変えるように構成することができる。音響メタマテリアルは、音波を制御し、誘導し、操作するように設計される人工的に造られた材料である。一般的に、メタマテリアルは、自然界では通常見られない特性を示すように作製される。したがって、メタマテリアルは通常、当該メタマテリアルの特性を、主として当該メタマテリアルの構造に基づいて実現し、当該構造ほどではないが、当該メタマテリアルの組成に基づいて実現する。したがって、材料群を、特定の構造を有するように構造化することにより、対応する予測可能な特性を、結果的に得られる構造が示すことができる。幾つかの場合では、特定の材料の本来の特性を、特定の方法で特定の材料によりこれらの材料の成分として構造化されるメタマテリアルの機能に取り入れることもできる。しかしながら、多くの場合、材料群を十分大きな容積及び形状となるように作製して、これらの材料をコスト及び複雑さの問題を解決できる有望な材料にすることは非常に困難な課題となる。本開示の幾つかの実施形態は、実用的な音響メタマテリアルの構造と、当該構造を実現するための対応する機構とを提供することができる。この点に関して、幾つかの実施形態は、網状に配置された質量体を提供することができ、これらの質量体は、互いにバネを介して接続される。当該構造の内側部分に配置される各質量体は、各質量体に隣接する他の6個の質量体に、3つのバネ組を構成する6個の該当するバネを介して接続することができ、この場合、各バネ組のバネ群は、反対方向に互いから3つの対応する直交軸に沿って延在する。別の表現をすると、内側に配置される質量体は、当該質量体に接続される6個のバネを有することができるので、それぞれが1つの平面に在る4個のバネが全て、隣接する各バネと直交して当該質量体を当該平面に在る他の4個の質量体に接続し、他の2個のバネが、当該質量体から反対方向に、当該平面に直交する軸に沿って延在する。上記バネ配置は、6つ折り連結配置six-foldconnectedarrangementと表記することができる。各6つ折り連結質量体、及び対応するバネ集合は、音響メタマテリアルユニットセルacousticmetamaterialunitcell又は単にユニットセルunitcellと表記することができる。隣接するユニットセルは、これらの隣接するユニットセルを連結するバネを共有していることを理解されたい。したがって、各バネは、互いに該当するバネを介して連結される2つのユニットセルの構造部材である。図1A及び1Bで構成される図1は、複数のユニットセル図1A及び単一のユニットセル図1Bに対応する6つ折り連結配置を示している。図1Bに示すように、ユニットセル10は、6個のバネ14を有する質量体12を含む。これらのバネ14の各バネは、1つのバネ組の1つの構成部品として、3つの相互直交軸第1軸16、第2軸18、及び第3軸20として破線で示すに沿って設けられる。したがって、ユニットセル10は、簡単な立方格子状に配列された質量体を構成し、これらの質量体は互いにバネで連結することができる。図1の立方格子では、6つ折り連結ユニットセル群はそれぞれ、各ユニットセルに設けられた6個のバネを有することができる。しかしながら、質量体群が音響メタマテリアルの辺縁に設置される場合、これらの質量体に対応するユニットセルは、バネが、当該メタマテリアルの辺縁に対応する方向に設けられないので、当該ユニットセルに設けられた5個のバネしか持たない。例示的な実施形態では、これらの質量体、及びこれらのバネは、異なる特性を有するように選択することができる。例えば、これらのユニットセルの異なる位置における質量の値、質量体の密度、異方性特性、バネ定数、バネ質量、及びホスト媒質又は、周囲のマトリクス材料の特性のような特性は、個別に変えることができる。幾つかの場合では、特性に対する修正又は変更は、比較的簡単な幾何学的設計変更を加えることにより行なうことができる。幾つかの実施形態は、微細構造制御手法による材料MaterialswithControlledMicrostructuralArchitecture:MCMAとして製造することができ、この材料は、アシュビーAshbyチャートよりも良好で、更には本明細書において記載される材料を生成するための階層化手法に基づいて増減可能な弾性率κ及び/又は実効密度ρの値を実現することができる。したがって、図1に示すユニットセル群の6つ折り連結構造は、階層化手法を用いた大量生産に適する微細構造製造方法mass-producedmicrostructurefabricatingtechniquesを利用することにより実現することができる。図2A及び2Bで構成される図2は、相互接続バネ群の平面パターンの種々の図を示しており、これらのバネを用いて、拡縮可能な音響メタマテリアルの作製を開始することができる。図2Aは、相互接続バネ群の平面パターンの上面図を示しており、図2Bは、対応する側面図を示している。図2に示すように、マイクロリソグラフィ法を用いて、連続するバネ30を基板32に作製することができる。幾つかの例では、フォトリソグラフィプロセス、及びメソプロセス/マイクロパターニングプロセスは、材料を選択することにより、バネ群30を基板32に形成するバッチプロセスとすることができる。基板の使用は必要ではないが、基板32は、ユニットセル層を搭載形成することができる有用なプラットフォームである。幾つかの場合では、より大きいパターンは、基板を使用することなく実現することができるので、基板を利用すべきかどうかに関する決定は、利用するパターン、及び使用する材料の物理的サイズに関連して為される。バネ30は、基板32の上に配置することにより、列及び行のグリッドを形成することができ、これらの列及び行は、互いに略直交して相互接続ノード群34で交差するように設けられ、これらの相互接続ノード34は、バネ群30の各バネを互いから分離する貫通ビア群36を取り囲む。これらの貫通ビア36は更に、基板32を貫通して延在することができる。幾つかの実施形態では、これらのバネ30は、基板32を覆う層として形成することができ、この場合、接着剤を用いてこれらの層を一括して保持している。別の構成として、これらのバネ30を形成するための原材料は、基板32に積層することができる、又は基板32に堆積させることができる。これらのバネ30の行及び列は、x方向及びy方向をそれぞれ定義することができる。これらのバネ30は、複数の異なる種類の材料のうちの任意の材料で形成することができる。これらのバネ30を形成するために最終的に選択される材料は、音響メタマテリアルについて要求される特性に基づいて選択することができる。この点に関して、これらのバネ30を形成するための原材料によって、これらのバネ30の実効密度及び剛性が決定される。これらのバネ30の幾何学パラメータ例えば、幅、厚さ、周期なども、実効密度及び剛性に影響する可能性がある。したがって、これらの材料の特性の選択、及びバネ30の配置は、利用可能な選択肢に関連する設計要素を、実現すべき所望の最終特性に対してバランス良く決定することにより行なうことができる。この点に関して、金属材料を選択して、比較的剛性の高いバネ群30を用いることができる。しかしながら、より低い降伏強度は、プラスチック材料により形成されるバネ群30を使用することにより実現することができる。これらのバネ30のサイズは、意図される用途の規模に基づいて選択することができる。これらのサイズは通常、幾つかの異なる例示的な実施形態では、数十ミクロンレベルからセンチメートルレベルの範囲とすることができる。幾つかの実施形態では、x方向に向いたバネ群30は、y方向に向いたバネ群30と同じ特性を有することができる。しかしながら、幾つかの別の実施形態では、異方性特性が望ましい場合には、x方向に向いたバネ群30に関連する特性は、y方向に向いたバネ群30に関連する特性とは異ならせることができる。図2に示すように、バネ群30を基板32に付着させることにより、或いは他の方法で配置することにより形成されたバネ群の平面パターン38に、その後、質量体部材群40を取り付けることができる。具体的には、質量体部材群40は、それぞれの相互接続ノード34の各ノードの内部に配置することができる。幾つかの場合では、これらの質量体部材40は、プレーナ技術を用いて形成することができ、図2を参照しながら説明した平面パターンの形成と同様に形成することができる。図3A及び3Bで構成される図3は、質量体ユニット群40を形成してバネ群の平面パターン38に取り付けるための質量体ユニット群の平面パターン48を示している。図3Aは、質量体ユニットを形成する場合の平面板の上面図を示し、図3Bは側面図を示している。質量体ユニット群40は、質量値を有することができ、多種多様な選択肢から選択される材料により形成することができる。質量体ユニット群40の密度及びサイズは、設計要求を満たすように選択する、及び/又は調整することができる。一例として、より高密度の、又はより重い質量体ユニット群40は、金属から選択することができる。幾つかの場合では、質量の詳細なバラツキは、異なる金属に関して入手可能な公知の重量分布例えば、この場合、タングステンはアルミニウムよりも大きい質量を有するの中から選択することにより入手することができる。より軽量の質量体ユニット群40の場合、対応する所望の質量を有するセラミック材料又はプラスチック材料を選択して使用することができる。質量体ユニット群40のサイズは、所望の用途の規模に応じて変えることができる。したがって、例えば質量体ユニット群40のサイズは、ミクロンレベルからセンチメートル規模の範囲で変えることができる。幾つかの実施形態では、薄板状の2層材料を使用して質量体ユニット群40を形成することができる。上部層42をパターニングして円形パターン群を形成することができる。上部層42の円形パターン群質量体ユニット群40を構成することになるは、貫通ビア群36の直径よりも大きい直径を有する寸法に形成することができる。上部層42に画定される円形パターンの質量体ユニット群40は、基板44の上に配置することができる。幾つかの実施形態では、全ての質量体ユニット40が同じ直径を有することができる。しかしながら、他の実施形態では、質量体ユニット群の直径を体系的に変化させて質量勾配を、このような勾配が、特定の用途に関して望ましい場合に付けることができる。基板44の上の上部層42をパターニングした後、担持層46を付着させて例えば、スピン塗布、スプレー塗布などによって、上部層42を被覆し、所定の位置に保持することができる。次に、基板44を、上部層42に付与される同じパターンに、かつ貫通ビア群36よりも小さい直径を有するようにパターニングすることができる。上に説明したように、パターニング後の基板44の残りの部分を図3Bに破線で示す。バネ群の平面パターン38及び質量体ユニット群の平面パターン48をそれぞれ形成した後、バネ群から成る別の層を形成して、水平面内に配列される質量体ユニット群を他の質量体群と垂直方向に結合させることができる。バネ群から成る更に別の層は、垂直方向バネ群の配列を含むことができる。この点に関して、バネ群の平面パターンの列及び行が配列されたx方向及びy方向を参照すると、垂直方向バネ群が配列したバネ群から成る更に別の層は、1つのバネ配列を含むことができ、このバネ配列は、最初は水平方向に形成されるが、z方向すなわち、x方向及びy方向の両方の方向と直交するに、又は垂直軸に沿って向くように組み付けることができるバネ列を含む。これらのバネ列を組み付けて垂直方向バネ群の配列とする前のこれらのバネは、これらのバネが互いに独立して形成されるので、同じ材料又は異なる材料で構成することができ、平面配列されるバネ群に含まれるこれらのバネと同じ特性、又はバネとは異なる特性を有するように作製することができる。したがって、設計者は、所望の特性を有する音響メタマテリアルを、これらのバネに関して選択される幾何学形状及び材料組成に基づいて設計する際に大きなフレキシビリティを有することができる。図4A、4B、及び4Cで構成される図4は、例示的な実施形態による垂直方向バネ群の配列の形成を示している。垂直方向バネ群の配列のパターニングは、平面形態になるように2材料層系を用いて行なうことができる。1つの材料層50を使用してバネ群52を形成することができ、別の材料層54を使用して、格子定数dを確実に維持することができる。バネ群52をパターニングした後、これらのパターンを個片化して図4Aの破線に沿ってバネ列56を実現することができる。バネ列56に含まれるこれらのバネの間隔は、バネ群の平面パターンの相互接続ノード群34の間隔と略同じなるように設定することができる。複数のバネ列56を個片化した後、これらのバネ列56を、図4Bに示すように、垂直方向に積層して組み付けることにより、図4Cに示す垂直方向バネ群の配列58を形成することができる。幾つかの実施形態では、ピックアンドプレースシステムpick-and-placesystemを用いて、垂直方向バネ群の配列58を、比較的高精度に、かつ比較的簡単に形成することができる。幾つかの実施形態では、これらのバネ列56は、接着剤又は別の接着材60により一括保持することができる。幾つかの実施形態では、材料層54及び接着材60のうちの一方又は両方は、最終組み付け後に除去することができる。しかしながら、幾つかの別の実施形態では、材料層54及び接着材60のうちの一方又は両方は、最終組み付け後にそのまま保持することができる。例示的な実施形態では、接着剤例えば、シアノアクリレート接着剤、又は90°Cのような固定又は既知の蒸発温度を有する他の糊は、接着剤の除去が、特定の温度における蒸発によって可能となるように選択することができる。垂直方向バネ群の配列58を形成した後、バネ群の平面パターン38、質量体ユニット群の平面パターン48、及び垂直方向バネ群の配列58をそれぞれ結合して合体させることにより、セルユニット層を画定することができる。図5A及び5Bで構成される図5は、中間層群を結合させてセルユニット層を形成する様子を示している。まず、バネ群の平面パターン38を質量体ユニット群の平面パターン48に位置合わせし、結合させることができる。この点に関して、貫通ビア群36よりも大きい直径を有する質量体ユニット群40を構成する上部層42により画定される質量体ユニット群の平面パターン48を、相互接続ノード群34を有するバネ群の平面パターン38と合体させる場合、質量体ユニット群の平面パターン48の基板44を貫通ビア群36に、質量体ユニット群40が相互接続ノード群34に収納して載置されるまで嵌め込むことができる質量体ユニット群40は、相互接続ノード群34よりも大きい直径を有するので。次に、質量体ユニット群の平面パターン48の基板44を、バネ群の平面パターン38の基板32に略位置合わせすることができる。この結合プロセスの結果が図5Aに示されている。幾つかの場合では、次に、担持層46を除去して溶解させる、エッチングする、又は任意の他の適切な除去プロセスを施すことにより、相互接続ノード群34の位置のバネ群の平面パターン38に配置されている質量体ユニット群40を露出させることができる。幾つかの実施形態では、質量体ユニット群40を相互接続ノード群34に、接着剤又は共晶金属合金のような他の接着材を用いて接合することができる。その後、垂直方向バネ群の配列58は、図5Bに示すように、バネ群の平面パターン38、及び質量体ユニット群の平面パターン48の残留部分の複合構造に位置合わせし、取り付けることができる。垂直方向バネ群の配列58は、バネ群52の各バネが、質量体ユニット群40のうちの該当する1つに取り付けられるように位置合わせすることができる。垂直方向バネ群の配列58を質量体ユニット群の平面パターン48及びバネ群の平面パターン38に結合させた結果、平面内に配置される1つのユニットセル層が形成されることになる。基板44及び32は、当該ユニットセル層を形成した後に除去することができる。しかしながら、これらの基板は、別の構成として、全く使用しないようにすることができる、又はプロセス中の別の時点で除去することができる。更に別のユニットセル層群は、より高い層に含まれる質量体ユニット群が、既成層の垂直方向バネ群に位置合わせされて、任意の所望サイズの音響メタマテリアル内の立方格子状に配列された6つ折り連結質量体ユニット群が順次積層されるように位置合わせすることができる。図6は、第1ユニットセル層70及び第2ユニットセル層72を配置して音響メタマテリアルを形成する一例を示している。殆どの製造プロセスでは、大きな平面層をハンドリングすることができるので、通常、形成することができる音響メタマテリアルのx-y平面サイズに関する基本的な制約は無い。しかしながら、幾つかの場合では、平面層のサイズと幾何学パターン解像度との間にはトレードオフがある。幾つかの実施形態に対応するユニットセルのサイズの約4~5桁の規模の急激な変化は予測されない。幾つかの実施形態では、上に説明した通りに形成される立方格子には、材料全体に浸透し、当該材料を機械的に強固に保持することができる媒質を充填することができる。上に示したように、質量体群及びバネ群の特性を変化させて、結果として得られる所望の音響メタマテリアル特性を実現することができる。したがって、例えば耐衝撃性/耐貫通性材料として有用となり得る負の弾性率及び/又は負の実効密度を有する音響メタマテリアルを設計することができる。したがって、例えば耐衝撃貫通性材料として有用となり得る負の弾性率及び/又は負の実効密度を有する音響メタマテリアルを設計することができる。したがって、流体のように振る舞う遮蔽コーティングcloakingcoatingsは、メタマテリアルの有効せん断弾性係数を最小化し、密度及び体積弾性率を制御することにより形成することができる。したがって、音響メタマテリアルを実現して、音を、拡縮可能なサイズに形成される材料で操作することにより、コリメーション、フォーカシング、音響遮へいcloaking、超音波スクリーニングを行ない、極端に高い透過率及び他の操作を実現することができる。受動素子を用いた回折限界以下の撮像は、音響スーパーレンズ又は拡大ハイパーレンズを用いて行なうこともできる。したがって、水中音響探知、医用超音波撮像、及び非破壊材料試験の能力を著しく高めることができる。図7は、例示的な実施形態による音響メタマテリアルを作製する方法を示している。当該方法では、操作100において、列及び行に配列され、かつ互いから相互接続ノード群で分離されたバネ群の平面パターンを形成することができる。当該方法では更に、操作110において、相互接続ノード群の間の距離に対応する距離だけ互いから分離された質量体ユニット群の平面パターンを形成することができ、操作120において、相互接続ノード群の間の距離だけ互いから分離された垂直方向バネ群の配列を形成することができる。当該方法では更に、操作130において、バネ群の平面パターン、質量体ユニット群の平面パターン、及び垂直方向バネ群の配列を位置合わせし、結合させることにより、ユニットセル層を形成することができる。verticallyoriented垂直方向のという用語は、平面成分に対する方向例えば、平面成分に垂直な方向を定義する用語であると理解されたい。したがって、vertically垂直にという用語は、バネ群の平面パターン、及び質量体ユニット群の平面パターンに対応する水平方向平面を基準とする用語であると理解されたい。したがって、planar平面の及びvertically垂直にというこれらの用語は、絶対的な関係ではなく相対的な関係を表わす向き情報を提供する。したがって、仮に平面群がそうではなく、垂直に、又は斜めに向いていると仮定すると、arrayofverticallyorientedsprings垂直方向バネ群の配列とは、平面群の垂直方向又は斜め方向を基準として、平面群と直交する方向を有する例えば、それぞれ水平方向平面又は斜め方向平面のいずれかの平面であるという意味であることを理解されたい。幾つかの実施形態では、上記操作群のうちの特定の操作群は、以下に説明するように、変更することができる、又は更に拡張することができる。しかしながら、幾つかの実施形態では、更に別の任意の操作群を更に含めてもよいこれらの操作の例を図7の破線で示す。以下に挙げる変更、任意の追加又は拡張の各々には、上記操作群のみを含めるか、又は上記操作群を本明細書に記載される特徴群の中の任意の他の特徴群と組み合わせて含めることができることを理解されたい。この点に関して、例えば当該方法では更に、操作140において、複数のユニットセル層を位置合わせし、複数のユニットセル層を結合させて、所望の厚さの音響メタマテリアルを形成することができる。幾つかの場合では、当該方法では更に、操作150において、複数のユニットセル層に、複数の層により形成される格子構造に浸透する媒質を充填することができる。幾つかの実施形態では、複数の層を結合させる際に、複数の層を、異なる層のバネ特性又は質量特性が異なる特性を有するように結合させることができる。例示的な実施形態では、バネ群の平面パターンを形成する際に、複数のバネを、相互接続ノード群の各々に対応するように配置された貫通ビア群を有する基板上に形成することができる。幾つかの場合では、バネ群の平面パターンを形成する際に、複数のバネを、列方向に延びるバネ群が、行方向に沿って延びるバネ群とは異なるバネ特性を有するように形成することができる。例示的な実施形態では、バネ群の平面パターンを形成する際に、複数のバネを、列方向に延びるバネ群が、行方向に沿って延びるバネ群と同じバネ特性を有するように形成することができる。幾つかの場合では、質量体ユニット群の平面パターンを形成する際に、複数の質量体ユニットを基板上に形成し、当該基板の一部を除去して、当該基板の残りの部分を、相互接続ノード群の間の距離に対応する位置に残すことができる。例示的な実施形態では、質量体ユニット群の平面パターンを形成する際に、複数の質量体ユニットを基板上に形成し、これらの質量体ユニットをキャリア材料で被覆することができ、当該キャリア材料は、質量体ユニット群の平面パターンをバネ群の平面パターンと組み合わせた後に除去される。幾つかの実施形態では、質量体ユニット群の平面パターンを形成する際に、質量体ユニット群を、バネ群の平面パターンのバネ群が、相互接続ノード群に対応する位置に形成される基板の内部に配置される貫通ビア群の直径よりも大きい直径を有するように形成することができる。例示的な実施形態では、質量体ユニット群の平面パターンを形成する際に、これらの質量体ユニットを異なるサイズに形成して、質量勾配を付けることができる。幾つかの実施形態では、垂直方向バネ群の配列を形成する際に、複数のバネ列を、格子定数に対応する幅を有する材料の上に形成し各バネ列内のバネ群は、互いから相互接続ノード群の間の距離だけ離間する、これらのバネ列を互いから切り離して個片化し、これらのバネ列を互いに隣接配置して、格子定数に対応する幅を有する材料でこれらのバネ列を互いから分離する。幾つかの実施形態では、バネ群の平面パターンを形成する際に、質量体ユニット群の平面パターンを形成する際に、垂直方向バネ群の配列を形成する際に、リソグラフィを利用して、バネ群の平面パターン、質量体ユニット群の平面パターン、及び垂直方向バネ群の配列を形成することができる。例示的な実施形態では、バネ群の平面パターン及び質量体ユニット群の平面パターンを位置合わせして結合させる際に、基板の、質量体ユニットが形成される部分を、バネ群の平面パターンが形成される基板内の相互接続ノード群に対応して配置される対応する貫通ビア群と位置合わせすることができ、当該部分の直径が貫通ビアの直径よりも小さいことにより、当該部分を貫通ビアに挿入することができる。したがって、幾つかの例示的な実施形態は、拡縮可能で、汎用性及びフレキシビリティのある機構を提供することができ、この機構により、音響メタマテリアルを大量生産可能な方法で作製することができる。したがって、音響メタマテリアルの能力を理解するための理論的な基礎を単に提供するのではなく、本明細書に記載されるプロセスによって、音響メタマテリアルを実際に用いることができるようになる。効果的な材料パラメータ群は、全分野を対象にしたシミュレーションを行なうことにより取り出すことができる。格子状にマイクロレベルで組み付けることができるユニットセル構造群を実現することにより、拡縮可能な材料をマクロレベルで、所望の特性を有するように形成することができる。COMSOLMultiphysicsコムソルマルチフィジックス:登録商標解析、すなわち有限要素法数値解析パッケージで解析される応力歪み場を逆解析することにより、音響メタマテリアルサンプルの有効せん断弾性係数、すなわち幾つかの実施形態において制御することができるパラメータを取得することができる。例えば、遮蔽コーティングは、流体のように振る舞う必要があるので、密度及び体積弾性率を制御する他に、当該コーティングを構成するメタマテリアル内の有効せん断弾性係数を最小に抑えることが望ましい。本明細書に示す本開示の多くの変形、及び他の実施形態は、これらの実施形態に関連する技術分野の当業者であれば、これまでの説明及び関連する図面に示される教示の恩恵を享受するので、想到することができるであろう。したがって、本開示は、開示される特定の実施形態に限定されるべきではなく、変形及び他の実施形態が、添付の請求項の範囲に含まれるべきものであることを理解されたい。特定の用語を本明細書において用いているが、これらの用語は、一般的かつ記述的な意味でのみ使用され、限定するために使用されるのではない。