"多孔質膜層及び支持体を有する中空糸膜を紡糸する中空糸膜紡糸ノズルであって、前記ノズルが前記多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が前記膜形成性樹脂溶液を貯液する貯液部、及び、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有し、下記a~cの、少なくとも1つを満足する、前記中空糸膜紡糸ノズル。a前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されている。b前記樹脂流路に、前記膜形成性樹脂溶液の流通を遅延させる遅延手段が設けられている。c前記貯液部若しくは前記賦形部がその内部に前記膜形成性樹脂溶液の分岐及び合流手段を供えている。前記貯液部が断面円環状である、請求項1に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記樹脂流路が、前記膜形成性樹脂溶液が合流する2以上の合流部分を有する、請求項1又は2に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記貯液部又は前記賦形部がその内部に前記膜形成性樹脂溶液の分岐及び合流手段を供えており、前記分岐及び合流手段が、前記貯液部の内部に設けられた、前記膜形成性樹脂溶液が通過する多孔エレメントである、請求項1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記多孔エレメントが、三次元網目構造を有する多孔質体である、請求項1~4のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記多孔エレメントが円筒状である、請求項1~5のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記円筒状の多孔エレメントが、前記膜形成性樹脂溶液が外周面から内周面に向けて通過するように配置された請求項4に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記多孔エレメントが円板状である、請求項1~5のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記多孔エレメントが金属の焼結体からなる、請求項1~8のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記多孔エレメントが金属微粒子の焼結体、又は金網積層の焼結体からなる、請求項9に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記中空糸膜紡糸ノズルが、さらに前記支持体が通過する円形状の支持体通路を有し、前記支持体通路の直径が前記支持体の外径に対して95~200である、請求項1~10のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記支持体が、組紐又は編紐からなる、請求項1~11のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記中空糸膜紡糸ノズルが膜形成性樹脂溶液を貯液する2以上の貯液部と、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有する2以上の樹脂流路とを有し、前記分岐及び合流手段が、前記貯液部のそれぞれに設けられた前記多孔エレメントである、請求項1~12のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。中空糸膜の環状断面における計算合流数が50個以上である、請求項1~13のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記膜形成性樹脂溶液が吐出される吐出口を有し、且つ、前記膜形成性樹脂溶液が前記多孔エレメントを通過する際の圧力損失が、前記膜形成性樹脂溶液が前記多孔エレメントに到達するまでの圧力損失、及び前記膜形成性樹脂溶液が前記多孔エレメントを通過した後から吐出口に到達するまでの圧力損失よりも大きい、請求項1~14のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されており、前記樹脂流路が、2以上の段の貯液室に分けられた貯液部を有し、前記貯液部の外壁に沿うように、上段の貯液室からその下の貯液室に膜形成性樹脂溶液を供給する供給路が2以上設けられている、請求項1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記貯液部又は前記賦形部がその内部に前記膜形成性樹脂溶液の分岐及び合流手段を供えており、前記分岐及び合流手段が、前記貯液部の内部に設けられた、粒子が充填された充填層である、請求項1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されており、前記樹脂流路が、上下に2以上の段に分かれた貯液部を有し、上段の貯液部とその直下の貯液部が樹脂供給部により連通されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記貯液部が3段以上に分かれているとともに、第n段nは自然数の貯液部と第n1段の貯液部を連通する樹脂供給部と、第n1段の貯液部と第n2段の貯液部を連通する樹脂供給部とが、貯液部の周方向にずれた位置に配されている、請求項18に記載の中空糸膜紡糸ノズル。各々の樹脂供給部が上段側から順に、前記賦形部の中心軸に対して貯液部の周方向に一定の角度間隔で配されている、請求項18又は19に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記樹脂流路に、前記膜形成性樹脂溶液の流通を遅延させる遅延手段が設けられており、前記遅延手段が、前記貯液部と賦形部の間に、膜形成性樹脂溶液を上下に蛇行させる蛇行部である、請求項1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されており、前記樹脂流路が、前記貯液部内の一方の壁面から他方の壁面に向かって延びるように設けられている、前記貯液部内での前記膜形成性樹脂溶液の流通を旋回させるように規制する堰である、請求項1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。中空状の多孔質膜層及び支持体を有する中空糸膜の製造方法であって、膜形成性樹脂溶液から中空状の中空糸膜を紡糸すること、紡糸された前記中空糸膜を凝固液により凝固させること、凝固した前記中空糸膜から溶媒を除くこと、溶媒を除いた前記中空糸膜中の添加剤を分解し、前記中空糸膜を洗浄すること、洗浄後の前記中空糸膜を乾燥させること、及び前記膜形成性樹脂溶液から前記中空糸膜を紡糸することが、請求項1~22のいずれか一項に記載の前記中空糸膜紡糸ノズルによって前記膜形成性樹脂溶液から前記中空糸膜が紡糸されることを含む、前記中空糸膜の製造方法。前記中空糸膜を紡糸することにおいて紡糸された前記中空糸膜の外径dが0.5mm以上5.0mm以下であり、前記中空糸膜の外径dを内径dhで除した値d/dhが1.3以上5.0以下である、請求項23に記載の中空糸膜の製造方法。前記中空糸膜を紡糸することにおいて紡糸された中空糸膜の環状断面における計算合流数が50個以上である、請求項23又は24に記載の中空糸膜の製造方法。しかし、紡糸ノズル1101のような従来の紡糸ノズルは、低コストかつ高い生産性で中空糸膜を製造するために紡糸速度を高めると、支持体の外側に形成した多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成され、前記中空糸膜が扁平状に変形した際などに、支持体の外側へ形成した多孔質膜層が、軸方向に沿って割れるといった現象が発生することがある。本発明は、紡糸速度を高めた場合でも、得られる中空糸膜に軸方向に沿った割れが発生することを抑制できる中空糸膜紡糸ノズルの提供を目的とする。本発明者らが、紡糸ノズル1101のような従来の紡糸ノズルによる紡糸において、紡糸速度を高めた場合に多孔質膜層に軸方向に沿った割れが形成される問題について詳細に検討したところ、貯液部1116における導入部1115と反対側の部分、貯液部1116において二手に分かれて円弧状に流通する膜形成性樹脂溶液が合流する合流部分1116a図8に相当する部分で、多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されていることが判明した。そして、本発明者らはさらに検討を行い、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の中空糸膜紡糸ノズルの1つの側面は、以下の構成を有する。[1]多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸する中空糸膜紡糸ノズルであって、内部に前記多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が、前記膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部、及び、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有し、前記貯液部の内部に、前記膜形成性樹脂溶液が側面から通過する多孔エレメントが設けられている中空糸膜紡糸ノズル。[2]前記多孔エレメントが、三次元網目構造を有する多孔質体である、[1]に記載の中空糸膜紡糸ノズル。[3]前記多孔エレメントが円筒状である、[1]又は[2]に記載の中空糸膜紡糸ノズル。[4]前記円筒状の多孔エレメントが、前記膜形成性樹脂溶液が外周面から内周面に向けて通過するように配置された[3]に記載の中空糸膜紡糸ノズル。[5]前記多孔エレメントが金属微粒子の焼結体からなる、[1]~[4]のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。[6]膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部と、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有する樹脂流路を2以上有し、2以上の多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸する中空糸膜紡糸ノズルであって、2以上の貯液部のそれぞれに前記多孔エレメントが設けられている、[1]~[5]のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。本発明の中空糸膜紡糸ノズルの別の側面は、以下の構成を有する。[7]多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸する中空糸膜紡糸ノズルであって、内部に前記多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が、前記膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部、及び、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有し、前記貯液部が2以上の段の貯液室に分けられ、前記貯液部の外壁に沿うように、上段の貯液室からその下の貯液室に膜形成性樹脂溶液を供給する供給路が2以上設けられている中空糸膜紡糸ノズル。本発明の中空糸膜紡糸ノズルのさらに別の側面は、以下の構成を有する。[8]多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸する中空糸膜紡糸ノズルであって、内部に前記多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が、前記膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部、及び、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有し、前記貯液部の内部に、粒子が充填された充填層が設けられている中空糸膜紡糸ノズル。本発明の中空糸膜紡糸ノズルのさらに別の側面は、以下の構成を有する。[9]多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸する中空糸膜紡糸ノズルであって、内部に前記多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が、前記膜形成性樹脂溶液を円環状にして貯液する貯液部と、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部とを有し、前記貯液部が上下に2以上の段に分かれており、上段の貯液部とその直下の貯液部が樹脂供給部により連通されている中空糸膜紡糸ノズル。[10]前記貯液部が3段以上に分かれているとともに、第n段nは自然数の貯液部と第n1段の貯液部を連通する樹脂供給部と、第n1段の貯液部と第n2段の貯液部を連通する樹脂供給部とが、貯液部の周方向に沿ってずれた位置に配されている、[9]に記載の中空糸膜紡糸ノズル。[11]各々の樹脂供給部が上段側から順に、前記賦形部の中心軸に対して貯液部の周方向に一定の角度間隔で配されている[9]又は[10]に記載の中空糸膜紡糸ノズル。本発明の中空糸膜紡糸ノズルのさらに別の側面は、以下の構成を有する。[12]内部に前記多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が、前記膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部、及び、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有し、さらに前記貯液部と賦形部の間に、膜形成性樹脂溶液を断面円環状に保った状態で上下に蛇行させる蛇行部を有している中空糸膜紡糸ノズル。本発明の中空糸膜紡糸ノズルのさらに別の側面は、以下の構成を有する。[13]多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸する中空糸膜紡糸ノズルであって、内部に前記多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が、前記膜形成性樹脂溶液を断面円環状に貯液する貯液部、及び、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有し、前記貯液部内での前記膜形成性樹脂溶液の流通を旋回させるように規制する堰が、前記貯液部内の一方の壁面から他方の壁面に向かって延びるように設けられていることを特徴とする中空糸膜紡糸ノズル。すなわち、本発明は以下に関する。1多孔質膜層及び支持体を有する中空糸膜を紡糸する中空糸膜紡糸ノズルであって、前記ノズルが前記多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が前記膜形成性樹脂溶液を貯液する貯液部、及び、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有し、下記a~cの、少なくとも1つを満足する、前記中空糸膜紡糸ノズル。a前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されている。b前記樹脂流路が前記膜形成性樹脂溶液の流通を遅延させるように配置されている。c前記貯液部若しくは前記賦形部がその内部に前記膜形成性樹脂溶液の分岐及び合流手段を供えている。2前記貯液部が、断面円環状である、1に記載の中空糸膜紡糸ノズル。3前記樹脂流路が、前記膜形成性樹脂溶液が合流する2以上の合流部分を有する、1又は2に記載の中空糸膜紡糸ノズル。4前記貯液部又は前記賦形部がその内部に前記膜形成性樹脂溶液の分岐及び合流手段を供えており、前記分岐及び合流手段が、前記貯液部の内部に設けられた、前記膜形成性樹脂溶液が通過する多孔エレメントである、1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。5前記多孔エレメントが、三次元網目構造を有する多孔質体である、1~4のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。6前記多孔エレメントが円筒状である、1~5のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。7前記円筒状の多孔エレメントが、前記膜形成性樹脂溶液が外周面から内周面に向けて通過するように配置された4に記載の中空糸膜紡糸ノズル。8前記多孔エレメントが円板状である、1~5のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。9前記多孔エレメントが金属の焼結体からなる、1~8のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。10前記多孔エレメントが金属微粒子の焼結体、又は金網積層の焼結体からなる、9に記載の中空糸膜紡糸ノズル。11前記中空糸膜紡糸ノズルが、さらに前記支持体が通過する円形状の支持体通路を有し、前記支持体通路の直径が前記支持体の外径に対して95~200である、1~10のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。12前記支持体が、組紐又は編紐からなる、1~11のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。13前記中空糸膜紡糸ノズルが膜形成性樹脂溶液を貯液する2以上の貯液部と、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有する2以上の樹脂流路とを有し、前記分岐及び合流手段が、前記貯液部のそれぞれに設けられた前記多孔エレメントである、1~12のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。14中空糸膜の環状断面における計算合流数が50個以上である、1~13のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。15前記膜形成性樹脂溶液が吐出される吐出口を有し、且つ、前記膜形成性樹脂溶液が前記多孔エレメントを通過する際の圧力損失が、前記膜形成性樹脂溶液が前記多孔エレメントに到達するまでの圧力損失、及び前記膜形成性樹脂溶液が前記多孔エレメントを通過した後から吐出口に到達するまでの圧力損失よりも大きい、1~14のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。16前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されており、前記樹脂流路が、2以上の段の貯液室に分けられた貯液部を有し、前記貯液部の外壁に沿うように、上段の貯液室からその下の貯液室に膜形成性樹脂溶液を供給する供給路が2以上設けられている、1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。17前記貯液部又は前記賦形部がその内部に前記膜形成性樹脂溶液の分岐及び合流手段を供えており、前記分岐及び合流手段が、前記貯液部の内部に設けられた、粒子が充填された充填層である、1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。18前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されており、前記樹脂流路が、上下に2以上の段に分かれた貯液部を有し、上段の貯液部とその直下の貯液部が樹脂供給部により連通されている、1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。19前記貯液部が3段以上に分かれているとともに、第n段nは自然数の貯液部と第n1段の貯液部を連通する樹脂供給部と、第n1段の貯液部と第n2段の貯液部を連通する樹脂供給部とが、貯液部の周方向にずれた位置に配されている、18に記載の中空糸膜紡糸ノズル。20各々の樹脂供給部が上段側から順に、前記賦形部の中心軸に対して貯液部の周方向に一定の角度間隔で配されている、18又は19に記載の中空糸膜紡糸ノズル。21前記樹脂流路に、前記膜形成性樹脂溶液の流通を遅延させる遅延手段が設けられており、前記遅延手段が、前記貯液部と賦形部の間に、膜形成性樹脂溶液を上下に蛇行させる蛇行部である、1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。22前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されており、前記樹脂流路が、前記貯液部内の一方の壁面から他方の壁面に向かって延びるように設けられている、前記貯液部内での前記膜形成性樹脂溶液の流通を旋回させるように規制する堰である、1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜紡糸ノズル。23中空状の多孔質膜層及び支持体を有する中空糸膜の製造方法であって、膜形成性樹脂溶液から中空状の中空糸膜を紡糸すること、紡糸された前記中空糸膜を凝固液により凝固させること、凝固した前記中空糸膜から溶媒を除くこと、溶媒を除いた前記中空糸膜中の添加剤を分解し、前記中空糸膜を洗浄すること、洗浄後の前記中空糸膜を乾燥させること、及び乾燥後の前記中空糸膜を巻き取ることを有し、前記膜形成性樹脂溶液から前記中空糸膜を紡糸することが、1~22のいずれか一項に記載の前記中空糸膜紡糸ノズルによって前記膜形成性樹脂溶液から前記中空糸膜が紡糸されることを含む、前記中空糸膜の製造方法。24前記中空糸膜を紡糸することにおいて紡糸された前記中空糸膜の外径dが0.5mm以上5.0mm以下であり、前記中空糸膜の外径dを内径dhで除した値d/dhが1.3以上5.0以下である、23に記載の前記中空糸膜の製造方法。25前記中空糸膜を紡糸することにおいて紡糸された前記中空糸膜の環状断面における計算合流数が50個以上である、23又は24に記載の前記中空糸膜の製造方法。本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、紡糸速度を高めた場合でも、軸方向に沿った割れが発生し難い中空糸膜を製造できる。本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸する紡糸ノズルである。本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、中空状の支持体の外側に多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸するものであってもよく、中空状の支持体を有さず中空状の多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸するものであってもよい。また、単層の多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸するものであってもよく、多層の多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸するものであってもよい。また、1種類の膜形成性樹脂溶液により形成される多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸するものであってもよく、異なる膜形成性樹脂溶液により形成される多孔質膜層が積層された中空糸膜を紡糸するものであってもよい。本発明の中空糸膜の製造方法は、前記中空糸膜紡糸ノズルによって中空糸膜が紡糸されることを含む、中空状の多孔質膜層を有する中空糸膜の製造方法である。本発明の紡糸ノズル又は製造方法によって製造される前記中空糸膜は、その中心が中空となっている。中空状の支持体としては、例えば、各種の繊維で製紐された中空状の編紐、又は組紐などが挙げられる。また、各種素材を単独で使用したものであってもよく、組み合わせたものであってもよい。中空状の編紐や組紐に使用される繊維としては、合成繊維、半合成繊維、再生繊維、又は天然繊維などが挙げられる。繊維の形態としては、モノフィラメント、マルチフィラメント、又は紡績糸のいずれであってもよい。前記支持体としては、引張強度、柔軟性、耐薬品性、又は透過阻害性の観点からポリエステルマルチフィラメントの編紐が好ましい。前記支持体の外径は、0.3~4.8mmが好ましく、1.0~3.0mmがより好ましく、1.5~2.6mmがさらに好ましい。前記支持体は、例えば国際公開第2009/142279号パンフレットに記載の支持体製造装置を用いて製造することができる。すなわち、前記支持体製造装置は、ボビンと、ボビンから引き出された糸を丸編する丸編機と、丸編機によって編成された中空状編紐を一定の張力で引っ張る紐供給装置と、中空状編紐を熱処理する加温ダイスと、熱処理された中空状編紐を引き取る引取り装置と、中空状編紐を支持体としてボビンに巻き取る巻き取り機とを具備する。多孔質膜層の形成には、膜形成性樹脂溶液を使用する。本発明で用いる膜形成性樹脂溶液は、膜形成性樹脂、及び相分離の制御を目的とした添加剤開孔剤を両者の良溶媒となる有機溶媒に溶解した溶液製膜原液である。膜形成性樹脂としては、中空糸膜の多孔質膜層の形成に使用される通常の樹脂が使用でき、例えば、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、スルホン化ポリスルホン樹脂、ポリフッ化ビニリデン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又はポリエステルイミド樹脂などが挙げられる。これらは所望により適宜選択して使用することができ、中でも耐薬品性に優れることから、ポリフッ化ビニリデン樹脂が好ましい。添加剤開孔剤としては、例えば、ポリエチレングリコールによって代表されるモノオール系、ジオール系、トリオール系、又はポリビニルピロリドンなどの親水性高分子樹脂を使用することができる。これらは所望により適宜選択して使用することができ、中でも増粘効果に優れることから、ポリビニルピロリドンが好ましい。有機溶媒としては、上述の膜形成性樹脂及び添加剤開孔剤をいずれも溶解できるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、ジメチルスルホキシド、N-メチル-2-ピロリドン、ジメチルアセトアミド、又はジメチルホルムアミドを用いることができる。ここで用いる製膜原液には、相分離の制御を阻害しない範囲で、任意成分として開孔剤以外のその他の添加剤や、水などを用いることもできる。本発明の紡糸ノズルは多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路を有し、前記樹脂流路が前記膜形成性樹脂溶液を貯液する貯液部、及び、前記膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部を有し、ここにおいて、少なくとも、前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されているか、前記樹脂流路に、前記膜形成性樹脂溶液の流通を遅延させる遅延手段が設けられているか、又は前記貯液部若しくは前記賦形部がその内部に前記膜形成性樹脂溶液の分岐及び合流手段を供えている。本発明の紡糸ノズルは、上記の構成を有することにより前記膜形成性樹脂溶液を、本発明の紡糸ノズル内部において均一化するという機能を有する。本発明の紡糸ノズルの前記樹脂流路は、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されている、又は、前記樹脂流路が前記分岐及び合流手段を供えていることにより、前記樹脂流路を流通する前記膜形成性樹脂溶液が分岐し、分岐した前記膜形成性樹脂溶液が合流する。前記樹脂流路は、分岐した前記膜形成性樹脂溶液が合流する合流部分を有し、2以上の前記合流部分を有することが好ましい。前記樹脂流路が2以上の合流部分を有することにより、前記膜形成性樹脂が、本発明の紡糸ノズル内部において全体的に均一化される。前記分岐及び合流手段は、前記貯液部の内部に設けられた、前記膜形成性樹脂溶液が通過する多孔エレメントであってもよく、前記貯液部の内部に粒子が充填された充填層であってもよい。前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置された前記樹脂流路は、2以上の段の貯液室に分けられた貯液部を有し、前記貯液部の外壁に沿うように、上段の貯液室からその下の貯液室に膜形成性樹脂溶液を供給する2以上の供給路を有していてもよい。前記樹脂流路は、上下に2以上の段に分かれた貯液部を有し、上段の貯液部とその直下の貯液部が樹脂供給部により連通されていてもよい。前記樹脂流路は、前記貯液部内の一方の壁面から他方の壁面に向かって延びるように設けられている、前記貯液部内での前記膜形成性樹脂溶液の流通を旋回させるように規制する堰を有していてもよい。本発明の紡糸ノズルが上述のような構成を有することにより、前記樹脂流路を流通する前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流し、前記膜形成性樹脂溶液が、本発明の紡糸ノズル内部において均一化され、前記膜形成性樹脂溶液により形成される前記多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制される。本発明の紡糸ノズルの前記樹脂流路には、前記膜形成性樹脂溶液の流通を遅延させる遅延手段が設けられていてもよく、前記遅延手段は前記貯液部と賦形部の間に、膜形成性樹脂溶液を断面円環状に保った状態で上下に蛇行させる蛇行部であってもよい。本発明の紡糸ノズルが上述のような構成を有することにより、前記樹脂流路を流通する前記膜形成性樹脂溶液がノズル内部に滞在する時間が長くなり、前記膜形成性樹脂溶液が、本発明の紡糸ノズル内部において均一化され、前記膜形成性樹脂溶液により形成される前記多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制される。本発明の紡糸ノズルでは、上記の構成を有することにより、前記膜形成性樹脂溶液が全体的に微視的に撹拌され、前記膜形成性樹脂同士の絡み合いがほぐされると考えられる。そのため、本発明の中空糸膜紡糸ノズルを通過してきた前記膜形成性樹脂溶液は、膜形成性樹脂同士の絡み合いが合流部分だけでなく、全体的に小さくなり、結果的に前記膜形成性樹脂溶液が、本発明の紡糸ノズル内部において均一化される。均一化された前記膜形成性樹脂溶液により製造された中空糸膜は、扁平などの負荷発生時に応力集中点が分散されるため、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制されると考えられる。以下、本発明の第1の態様の中空糸膜紡糸ノズルの実施形態の一例を示して詳細に説明する。図1~3は、本発明の第1の態様の中空糸膜紡糸ノズルの実施形態の一例である中空糸膜紡糸ノズル11以下、紡糸ノズル11と記す。を示した概略図である。紡糸ノズル11は、中空状の支持体の外側に12層の多孔質膜層が積層された中空糸膜を製造する紡糸ノズルである。以下、紡糸ノズル11で製造する中空糸膜における内側の多孔質膜層を第1の多孔質膜層、外側の多孔質膜層を第2の多孔質膜層という。本実施形態の紡糸ノズル11は、図1~3に示すように、第1のノズル111と第2のノズル112と第3ノズル113を有している。紡糸ノズル11は、図2に示すように、内部に、中空状の支持体を通過させる支持体通路114と、第1の多孔質膜層を形成する第1の膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路115と、第2の多孔質膜層を形成する第1の膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路116とを有している。樹脂流路115は、図2及び図3に示すように、第1のノズル111と第2のノズル112の部分に、第1の膜形成性樹脂溶液が導入される導入部117と、第1の膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する第1の貯液部118と、第1の膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する第1の賦形部119とを有している。また、樹脂流路116は、第2の膜形成性樹脂溶液が導入される導入部120と、第2の膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する第2の貯液部121と、第2の膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する第2の賦形部122とを有している。また、この例では、第2の賦形部122と第1の賦形部119により複合部123が形成されている。つまり、第2の賦形部122で第2の膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形すると同時に、その第2の膜形成性樹脂溶液を、第1の賦形部119を流通してきた第1の膜形成性樹脂溶液の外側に積層複合するようになっている。支持体通路114、第1の貯液部118、第1の賦形部119、第2の貯液部121、第2の賦形部122及び複合部123は、それぞれ中心軸が一致している。紡糸ノズル11は、第1の貯液部118の内部と、第2の貯液部121の内部のそれぞれに、分岐及び合流手段、すなわち第1の膜形成性樹脂溶液と第2の膜形成性樹脂溶液が各々、外周面から内周面に向かって通過する多孔エレメント131、及び132が設けられていることを特徴とする。前記多孔エレメント131又は132は、前記樹脂流路を流通する前記膜形成性樹脂溶液を分岐及び合流させる分岐及び合流手段であり、前記多孔エレメント131又は132を通過することにより、前記膜形成性樹脂溶液は、本発明の紡糸ノズル内部において均一化される。紡糸ノズル11は、中空状の支持体が支持体供給口114aから供給されて支持体導出口114bから導出されるようになっており、また第1の膜形成性樹脂溶液と第2の膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口115a、又は116aからそれぞれ供給され、2層に複合された状態で吐出口123aから前記支持体の周りに円筒状に吐出されるようになっている。図9~13は、本発明の第2の態様の中空糸膜紡糸ノズルの実施形態の一例である中空糸膜紡糸ノズル21以下、紡糸ノズル21と記す。を示した概略図である。紡糸ノズル21は、中空状の支持体の外側に1層の多孔質膜層が積層された中空糸膜を製造する紡糸ノズルである。本実施形態の紡糸ノズル21は、図9及び図10に示すように、第1のノズル211と第2のノズル212と第3のノズル213を有している。紡糸ノズル21は、図10に示すように、内部に、中空状の支持体を通過させる支持体通路214と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路215とを有している。樹脂流路215は、膜形成性樹脂溶液が導入される導入部216と、膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部217と、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部218とを有している。貯液部217は、第2のノズル212の部分にある第1の貯液室217Aと、第3のノズル213の部分にある第2の貯液室217Bの2段に分けられている。支持体通路214と第1の貯液部217Aと第2の貯液室217Bと賦形部218は、それぞれ中心軸が一致している。紡糸ノズル21は、中空状の支持体が支持体供給口214aから供給されて支持体導出口214bから導出されるようになっており、また膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口215aから供給され、吐出口215bから前記支持体の周りに円筒状に吐出されるようになっている。すなわち、本実施形態の前記樹脂流路215は、前記貯液部217又は前記賦形部218を有することにより、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されている。したがって、前記膜形成性樹脂溶液は前記樹脂流路215を通過することにより、本発明の紡糸ノズル内部において均一化される。図16~18は、本発明の第3の態様の中空糸膜紡糸ノズルの実施形態の一例である中空糸膜紡糸ノズル31以下、紡糸ノズル31と記す。を示した概略図である。紡糸ノズル31は、中空状の支持体の外側に1層の多孔質膜層が積層された中空糸膜を製造する紡糸ノズルである。本実施形態の紡糸ノズル31は、図16及び図17に示すように、第1のノズル311と第2のノズル312を有している。紡糸ノズル31は、図17に示すように、内部に、中空状の支持体を通過させる支持体通路313と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路314とを有している。樹脂流路314は、膜形成性樹脂溶液が導入される導入部315と、膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部316と、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部317とを有している。貯液部316の内部には、分岐及び合流手段、すなわち粒子321が充填された充填層320が設けられている。支持体通路313と貯液部316と賦形部317は、それぞれ中心軸が一致している。紡糸ノズル31は、中空状の支持体が支持体供給口313aから供給されて支持体導出口313bから導出されるようになっており、また膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口314aから供給され、吐出口314bから前記支持体の周りに円筒状に吐出されるようになっている。前記充填層320は、前記樹脂流路を流通する前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流する分岐及び合流手段であり、前記充填層320を通過することにより、前記膜形成性樹脂溶液は、本発明の紡糸ノズル内部において均一化される。図21~図29は、本発明の第4の態様の中空糸膜紡糸ノズルの実施形態の一例である中空糸膜紡糸ノズル41以下、紡糸ノズル41と記す。を示した概略図である。紡糸ノズル41は、中空状の支持体の外側に1種類の多孔質膜層が積層された中空糸膜を製造する紡糸ノズルである。本実施形態の紡糸ノズル41は、図21~図29に示すように、上下に積み重ねられた第1のノズル411、第2のノズル412a、第3のノズル412b、第4のノズル412c及び第5のノズル412dを有している。紡糸ノズル41は、中空状の支持体を通過させる支持体通路413と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路414とを有している。支持体通路413は、紡糸ノズル41の中心部分を貫通している。樹脂流路414は、図22~図24に示すように、第1のノズル411及び第2のノズル412aの部分に、膜形成性樹脂溶液が導入される導入部415と、膜形成性樹脂溶液を円環状にして貯液する第1の貯液部416Aと、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する第1の賦形部417Aと、第1の樹脂供給部416aとを有している。また、樹脂流路414は、図25及び図26に示すように、第3のノズル412bの部分に、膜形成性樹脂溶液を円環状にして貯液する第2の貯液部416Bと、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する第2の賦形部417Bと、第2の樹脂供給部416bとを有している。また、樹脂流路414は、図27及び図28に示すように、第4のノズル412cの部分に、膜形成性樹脂溶液を円環状にして貯液する第3の貯液部416Cと、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する第3の賦形部417Cと、第3の樹脂供給部416cとを有している。また、樹脂流路414は、図22及び図29に示すように、第5のノズル412dの部分に、膜形成性樹脂溶液を円環状にして貯液する第4の貯液部416Dと、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する第4の賦形部417Dを有している。このように、貯液部416は、上下に、第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C、第4の貯液部416Dの4段に分かれており、第1の貯液部416Aが第1の樹脂供給部416aで第2の貯液部416Bと連通し、第2の貯液部416Bが第2の樹脂供給部416bで第3の貯液部416Cと連通し、第3の貯液部416Cが第3の樹脂供給部416cで第4の貯液部416Dと連通している。また、この例では、第1の賦形部417A~第4の賦形部417Dにより複合部417が形成されている。つまり、第1の賦形部417A以降は、各賦形部で膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形すると同時に、上段の賦形部を流通してきた膜形成性樹脂溶液の外側に、貯液部を流通してきた膜形成樹脂溶液を順次積層するようになっている。支持体通路413と、第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C及び第4の貯液部416Dと、第1の賦形部417A、第2の賦形部417B、第3の賦形部417C及び第4の賦形部417Dとは、それぞれ中心軸が一致している。紡糸ノズル41は、中空状の支持体が支持体供給口413aから供給されて支持体導出口413bから導出されるようになっており、また膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口414aから供給され、吐出口414bから前記支持体の周りに円筒状に吐出されるようになっている。すなわち、本実施形態の前記樹脂流路414は、前記貯液部416A、416B、416C又は416D、前記樹脂供給部416a、416b又は416c、賦形部417A、417B、417C又は417D、若しくは複合部417を有することにより、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されている。したがって、前記膜形成性樹脂溶液は前記樹脂流路414を通過することにより、本発明の紡糸ノズル内部において均一化される。図30~34は、本発明の第5の態様の中空糸膜紡糸ノズルの実施形態の一例である中空糸膜紡糸ノズル51以下、紡糸ノズル51と記す。を示した概略図である。紡糸ノズル51は、中空状の支持体の外側に1層の多孔質膜層が積層された中空糸膜を製造する紡糸ノズルである。本実施形態の紡糸ノズル51は、図30及び図31に示すように、第1のノズル511と第2のノズル512を有している。紡糸ノズル51は、図31に示すように、内部に、中空状の支持体を通過させる支持体通路513と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路514とを有している。樹脂流路514は、膜形成性樹脂溶液が導入される導入部515と、膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部516と、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部517とを有している。また、紡糸ノズル51は、貯液部516と賦形部517の間に、膜形成性樹脂溶液を断面円環状に保った状態で上下に蛇行させる蛇行部518を有している。支持体通路513と貯液部516と蛇行部518と賦形部517は、それぞれ中心軸が一致している。中空糸膜を賦形する際、1種類の膜形成性樹脂溶液を単独で使用してもよく、複数の膜形成性樹脂溶液を使用しても良い。例えば2種類の膜形成性樹脂溶液を使用する場合、一方の膜形成性樹脂溶液を被覆するように複合積層させ、中空糸膜の円筒断面に各膜形成性樹脂からなる年輪のような円筒の層を形成させる。この中空糸膜の円筒断面における中心軸に近い側の円筒状の層を内層と呼び、外表面側の層を外層と呼ぶ。紡糸ノズル51は、中空状の支持体が支持体供給口513aから供給されて支持体導出口513bから導出されるようになっており、また膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口514aから供給され、吐出口514bから前記支持体の周りに円筒状に吐出されるようになっている。すなわち、本実施形態の前記樹脂流路514は、遅延手段である前記蛇行部518を有することにより、前記膜形成性樹脂溶液の流通を遅延させるように配置されている。したがって、前記膜形成性樹脂溶液は前記樹脂流路514を通過することにより、本発明の紡糸ノズル内部において均一化される。前記膜形成性樹脂溶液が前記蛇行部へ滞在する時間滞在時間は、より長く滞在させるほどその効果が発現され、1秒間~5分間が好ましく、1分間~3分間がより好ましい。以下、本発明の第6の態様の中空糸膜紡糸ノズルの実施形態の一例を示して詳細に説明する。[第1実施形態]図36~39は、本発明の第6の態様の中空糸膜紡糸ノズルの実施形態の一例である中空糸膜紡糸ノズル61以下、紡糸ノズル61と記す。を示した概略図である。紡糸ノズル61は、中空状の支持体の外側に1層の多孔質膜層が形成された中空糸膜を製造する紡糸ノズルである。本実施形態の紡糸ノズル61は、図36~39に示すように、第1のノズル611と第2のノズル612を有している。紡糸ノズル61は、図37に示すように、内部に、中空状の支持体を通過させる支持体通路613と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路614とを有している。また、樹脂流路614は、図37~39に示すように、膜形成性樹脂溶液が導入される導入部615と、分岐及び合流手段、すなわち膜形成性樹脂溶液を断面円環状に貯液する貯液部616と、貯液部616で断面円環状に貯液された膜形成性樹脂溶液を支持体通路613と同心円筒状に賦形する賦形部617と、を有している。紡糸ノズル61は、中空状の支持体が支持体供給口613aから供給されて支持体導出口613bから導出されるようになっており、また膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口614aから樹脂流路614内に供給され、貯液部616で貯液され、賦形部617で賦形された後に吐出口614bから前記支持体の周りに円筒状に吐出されるようになっている。すなわち、本実施形態の前記樹脂流路614は、前記貯液部616又は賦形部617を有することにより、前記膜形成性樹脂溶液が分岐及び合流するように配置されている。したがって、前記膜形成性樹脂溶液は前記樹脂流路614を通過することにより、本発明の紡糸ノズル内部において均一化される。第1のノズル111、211、311、411、511及び611、第2のノズル112、212、312、412a、512及び612、第3のノズル113、213、412b、第4のノズル412c並びに第5のノズル412dの材質は、中空糸膜の紡糸ノズルとして通常使用されるものが使用でき、耐熱性、耐食性、又は強度などの点から、ステンレス鋼材SUSが好ましい。支持体通路114、214、313、413、513及び613の断面形状は、円形状が好ましい。ただし、支持体通路114、214、313、413、513及び613の断面形状は円形状に限定されるものではない。支持体通路114、214、313、413、513及び613の内径直径は、使用する中空状の支持体の直径に応じて適宜設定すればよく、例えば支持体の外径が0.3mmから4.8mm程度の場合、支持体通路の直径は、支持体の外径に対して95~200が好ましく、100~150がより好ましく、105~120がさらに好ましい。支持体通路の直径が支持体外径より小さすぎると、支持体走行時の抵抗が大きくなり、走行変動が生じて膜厚が不均一となったり、欠陥部を形成しやすくなったりする。また、支持体通路の直径が大きすぎると、支持体通路内における支持体走行位置が大きく偏芯し、膜形成性樹脂溶液と支持体の周方向における接触位置がずれて、膜厚斑や膜厚の偏芯が生じる可能性がある。樹脂流路115、215、314、414、514及び614の導入部117、216、315,415、515及び615、並びに樹脂流路116の導入部120の断面形状は、これらの例のように円形状が好ましい。ただし、導入部117、216、315、415、515及び615と導入部120の断面形状は、円形状には限定されない。導入部117、216、315、415、515及び615と導入部120の直径は、特に限定されない。本発明の第1の態様の第1の貯液部118は、導入部117を流通してきた第1の膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する部分である。第1の貯液部118は、この例のように断面円環状が好ましい。ただし、第1の貯液部118の断面形状は断面円環状には限定されない。第1の貯液部118の断面形状は、図3に示すように円環状であり、第1の貯液部118の中心と支持体通路114の中心が一致している。第1の貯液部118においては、第1の膜形成性樹脂溶液が導入部117側から二手に分岐して円弧状に流通し、導入部117と反対側の合流部分118aで合流するようになっている。また、図2に示すように、第1の貯液部118における第1の賦形部119近傍には、スリット部118bを設けてもよい。特に、膜形成性樹脂溶液が後述する多孔エレメント131の外周面から内周面に向かって通過するだけでは、周方向の吐出均一性が所望のレベルとならない場合、スリット部118bで流動抵抗を付与することは、周方向における吐出の均一性向上の面から好ましい。この例では、第1の貯液部118の内部に、膜形成性樹脂溶液が側面から通過する多孔エレメント131が設けられている。この例の多孔エレメント131は円筒状であり、第1の貯液部118内に供給された第1の膜形成性樹脂溶液は、多孔エレメント131の外周面から内周面に向かって通過する。多孔エレメント131としては、膜形成性樹脂溶液が外周面から内周面に向かって通過する微小孔を有するものが使用でき、例えば、膜形成性樹脂溶液を濾過するフィルターなどが使用できる。多孔エレメント131としては、強度、熱伝導性、耐薬品性、構造均一性の点から、金属微粒子の焼結体であることが好ましい。ただし、多孔エレメント131は金属微粒子の焼結体には限定されず、金属繊維の焼結体、金属メッシュの積層体や焼結積層体金網積層の焼結体、セラミック多孔体、多孔板の積層体や焼結積層体、又は金属微粒子の充填体などであってもよい。紡糸ノズル11では、多孔エレメント131を設けることで、第1の膜形成性樹脂溶液により形成される第1の多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制される。多孔エレメント131によって前記効果が得られる理由は明らかではないが、以下のように考えられる。図6~8に例示した従来の紡糸ノズル1101において、紡糸速度を高めた場合に多孔質膜層に形成される軸方向に沿った割れの起点は、貯液部1116の内部において二手に分かれた膜形成性樹脂溶液が合流する合流部分1116aに相当する位置に形成される。この合流部分1116aでは、合流部分1116a以外の部分に比べて膜形成性樹脂同士の絡み合いが小さくなる傾向があり、これが中空糸膜において扁平などの負荷発生時に応力集中点となって軸方向に沿った割れの起点が形成される要因になっていると考えられる。これに対し、紡糸ノズル11では、第1の貯液部118内に供給された第1の膜形成性樹脂溶液は、全て多孔エレメント131を外周面から内周面に向かって通過する。このとき、第1の膜形成性樹脂溶液は全体的に微視的に撹拌され、膜形成性樹脂同士の絡み合いがほぐされると考えられる。そのため、多孔エレメント131の内側へと通過してきた第1の膜形成性樹脂溶液は、膜形成性樹脂同士の絡み合いが合流部分118aだけでなく全体的に小さくなり、結果的に前記膜形成性樹脂溶液が、本発明の紡糸ノズル内部において均一化され、中空糸膜において扁平などの負荷発生時の応力が分散されることで、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制されると考えられる。多孔エレメント131は、割れが発生し難い中空糸膜を得やすい点から、三次元網目構造を有する多孔質体であることが好ましい。三次元網目構造を有する多孔質体とは、膜形成性樹脂溶液が外周面から内周面に向かって多孔エレメントの内部を通過する際に直線的には流れず、上下方向や周方向にも移動しながら内側へと通過するような三次元的な流路が形成された構造の多孔質体である。多孔エレメント131として、三次元網目構造を有する多孔質体を使用することで、第1の膜形成性樹脂溶液が全体的に微細な分岐及び合流を繰り返して、本発明の紡糸ノズル内部において均一化されやすくなり、紡糸速度を高めた場合でも多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成され難くなると考えられる。また、同じ孔径で同じ厚みの多孔エレメントでは、圧力損失も小さくなる点で有利である。さらに、第1の膜形成性樹脂溶液中の異物除去やゲル細分化の点でも好ましい。三次元網目構造を有する多孔エレメントとしては、ファイバーワインディング構造の多孔エレメント、若しくは、樹脂、金属微粒子又は金網を積層させたものを焼結一体化した構造の多孔エレメントなどが挙げられる。多孔エレメント131の形状は、円板状や円筒状などが挙げられるが、形状は特に限定されない。第1の貯液部118の内部に供給された第1の膜形成性樹脂溶液が、多孔エレメントの上面から下面に向かって流れるもの、又は多孔エレメントの外周面から内周面に向かって流れるもの等が好ましく、第1の貯液部118の内部に供給された第1の膜形成性樹脂溶液が、多孔エレメントの外周面から内周面に向かって流れるものがより好ましい。また、第1の膜形成樹脂溶液が、環状に多孔エレメントの外周面から内周面に向かって流れるものがより好ましい。なかでも、多孔エレメント131の形状としては、円板状の多孔体エレメントに比べ中空糸膜紡糸ノズルの直径方向の大きさを変えずに第1の膜形成性樹脂溶液を通過させる面積を大きくしやすく、紡糸速度の高速化が容易な点から、この例のように円筒状であることが好ましい。多孔エレメント131の形状としては、円板状に比べ円筒状の方が耐圧性に優れており、耐圧性の点から、この例のように円筒状であることが好ましい。また、多孔エレメント131は、例えば一般的なキャンドルフィルターが有するような、平板状のエレメントを円筒状に巻いて接合部を溶接したような継目がないものが好ましい。但し、継ぎ目が無いものに限られるわけではない。このような継目を有さない多孔エレメントを使用することで、第1の膜形成性樹脂溶液の通過特性を均一にしやすくなる。このような継目のない多孔エレメントの構造としては、例えば、円筒型ファイバーワインディング構造、金属管のエッチング加工構造、金属管のレーザー孔加工構造、立体型ハニカム構造、外周と内周を連通する2以上の微小孔を有する2以上のドーナツ状円板を同心円状に積層一体化した構造、或いは、樹脂又は金属微粒子を円筒状に焼結一体化した構造などが挙げられる。紡糸ノズル11では、供給された第1の膜形成性樹脂溶液が多孔エレメント131を通過する際の圧力損失が、第1の膜形成性樹脂溶液が多孔エレメント131に到達するまでの圧力損失、及び第1の膜形成性樹脂溶液が多孔エレメント131を通過した後から吐出口123aに到達するまでの圧力圧損よりも大きいことが好ましい。第1の膜形成性樹脂溶液が多孔エレメント131を通過する際の圧力損失をこのように設定すれば、第1の貯液部118の内部における第1の膜形成性樹脂溶液の流動は、多孔エレメント131の外側を周方向に沿って移動して充満した後に、全体的に多孔エレメント131を内周面に向かって通過する流れが最もエネルギー損失が少ない流れとなる。これにより、多孔エレメント131を通過する際の第1の膜形成性樹脂溶液の流れが結果的に、本発明の紡糸ノズル内部において周方向に均一化されやすくなり、形成される第1の多孔質膜層の厚みの均一化が容易になる。具体的には、スリット部118b、第1の賦形部119及び第2の賦形部122ではできるだけ圧力損失を生じさせず隙間を大きくし、多孔エレメント131の部分で大きな通過抵抗を与え、多孔エレメント131を通過した第1の膜形成性樹脂溶液の均一化された状態が吐出口123aまで容易に維持されるようにすることが好ましい。第1の膜形成性樹脂溶液が多孔エレメント131を通過する際の圧力損失は、多孔エレメント131の構造、又は孔径などを調節することで調節できる。前記多孔エレメントの孔径は、1~200μmが好ましく、50~150μmがより好ましく、70~120μmがさらに好ましい。また、ろ過精度は、ここでは孔径として扱う。第1の賦形部119は、第1の貯液部118内の第1の膜形成性樹脂溶液を、支持体通路114を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形する部分である。第1の賦形部119の幅内壁と外壁の距離は、形成する第1の多孔質膜層の厚みに応じて適宜設定できる。第2の貯液部121は、導入部120を流通してきた第2の膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する部分である。第2の貯液部121は、この例のように断面円環状が好ましい。ただし、第2の貯液部121の断面形状は断面円環状には限定されない。第2の貯液部121の断面形状は、第1の貯液部118と同様に円環状であり、第2の貯液部121の中心と支持体通路114の中心が一致している。第2の貯液部121においては、第2の膜形成性樹脂溶液が導入部120の側から二手に分岐して円弧状に流通し、導入部120と反対側の合流部分121aで合流するようになっている。また、図2に示すように、第2の貯液部121における第2の賦形部122近傍には、スリット部121bを設けてもよい。特に、膜形成性樹脂溶液が後述する多孔エレメント132の外側面から内側面に向かって通過するだけでは、周方向の吐出均一性が所望のレベルとならない場合、スリット部121bで流動抵抗を付与することは、周方向における吐出の均一性向上の面から好ましい。この例では、第2の貯液部121の内部に、膜形成性樹脂溶液が側面から通過する多孔エレメント132が設けられている。この例の多孔エレメント132は円筒状であり、第2の貯液部121内に供給された第2の膜形成性樹脂溶液は、外周面から内周面に向かって内部を通過する。多孔エレメント132としては、前述した多孔エレメント131と同じものが挙げられ、好ましい態様も同じである。多孔エレメント132を設けることで、第2の膜形成性樹脂溶液により形成される第2の多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制される。また、供給された第2の膜形成性樹脂溶液が多孔エレメント132を通過する際の圧力損失は、第2の膜形成性樹脂溶液が多孔エレメント132に到達するまでの圧力損失、及び第2の膜形成性樹脂溶液が多孔エレメント132を通過した後から吐出口123aに到達するまでの圧力圧損よりも大きいことが好ましい。これにより、多孔エレメント132を通過する際の第2の膜形成性樹脂溶液の流れが結果的に、本発明の紡糸ノズル内部において周方向に均一化されやすくなり、形成される第2の多孔質膜層の厚みの均一化が容易になる。本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、紡糸ノズル11のように、2以上の多孔質膜層を有する中空糸膜を製造する紡糸ノズルの場合、各々の多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を貯液する2以上の貯液部に、それぞれ分岐及び合流手段、すなわち多孔エレメントを設けることが好ましい。内側の多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成された場合、その割れの起点の影響によって外側の多孔質膜層の同じ部分が割れやすい。紡糸ノズル11のようにそれぞれの貯液部に多孔エレメントを設けることで、割れの起点発生が抑制された割れ難い中空糸膜を製造しやすくなる。第2の賦形部122は、第2の貯液部121内の第2の膜形成性樹脂溶液を、支持体通路114を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形する部分である。また、この例では、第1の賦形部119と第2の賦形部122により複合部123が形成されている。つまり、第2の賦形部122において円筒状に賦形する第2の膜形成性樹脂溶液は、同時に、第1の賦形部119を流通してきた第1の膜形成性樹脂溶液の外側に同心円状に積層複合されるようになっている。複合部123において、各々の膜形成性樹脂溶液をノズル内部で積層複合させることで、それらをノズル外部で積層複合させる場合に比べて、形成される各多孔質膜層の接合強度が向上する。また、ノズル構造の簡素化、加工簡易化の点でも有利である。また、各々の膜形成性樹脂溶液を複合部123で積層複合させても、それら溶液における溶媒相互拡散による各多孔質膜層の構造への悪影響はほとんどない。複合部123の幅内壁と外壁の距離は、形成する第2の多孔質膜層の厚みに応じて適宜設定できる。本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、2以上の多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸するノズルの場合、この例のように、ノズル内部の多孔エレメントの下流側において、各々の多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を同心円状に複合積層させる複合部を有していることが好ましい。紡糸ノズル11による中空糸膜の紡糸では、中空状の支持体が支持体供給口114aから支持体通路114に供給され、また膜形成性樹脂溶液を定量供給する装置によって第1の膜形成性樹脂溶液と第2の膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口115a、116aから樹脂流路115、116にそれぞれ供給される。第1の膜形成性樹脂溶液は、導入部117から第1の貯液部118内に流入し、第1の貯液部118において、多孔エレメント131の外側を二手に分岐して円弧状に流通して反対側で合流し、多孔エレメント131を外周面から内周面に向かって通過し、第1の賦形部119に流入する。第1の賦形部119では、第1の膜形成性樹脂溶液が円筒状に賦形される。第2の膜形成性樹脂溶液は、導入部120から第2の貯液部121内に流入し、第2の貯液部121において、多孔エレメント132の外側を二手に分岐して円弧状に流通して反対側で合流し、多孔エレメント132を外周面から内周面に向かって通過し、第2の賦形部122に流入する。第2の賦形部122では、第2の膜形成性樹脂溶液が円筒状に賦形される。また、この例では、第1の賦形部119と第2の賦形部122とで複合部123が形成されているため、第2の膜形成性樹脂溶液が円筒状に賦形されつつ、第1の賦形部119を流通してきた第1の膜形成性樹脂溶液の外側に同心円状に積層複合される。そして、第1の膜形成性樹脂溶液と第2の膜形成性樹脂溶液が同心円状に積層複合された状態で吐出口123aから吐出され、同時に支持体導出口114bから導出されてきた支持体の外側に付与される。その後、例えば、膜形成性樹脂溶液に水分を含んだ気体を接触させる容器中、膜形成性樹脂溶液を凝固液と接触させる凝固槽中を通過させて膜形成性樹脂溶液を凝固させ、洗浄、又は乾燥などを経ることで中空糸膜が得られる。本実施態様の紡糸ノズルは、環状断面における計算合流数が50個以上である中空糸膜を紡糸することができる。ノズル内を流通する膜形成性樹脂溶液は、前記貯液部の内部に設けられた前記多孔エレメントを通過することにより分岐及び合流し、円筒状に賦形され、前記吐出口から吐出される。その後、吐出された前記膜形成性樹脂溶液を凝固させ、洗浄又は乾燥などを経ることで中空糸膜が得られる。前記計算合流数とは、膜形成性樹脂溶液がノズル内の流路を通過中に、複数の分岐している流路に前記樹脂溶液を分岐させて流通させ、前記複数の分岐している流路の出口で、前記膜形成性樹脂溶液を合流させた数であり、前記多孔エレメントの流通出口における孔数をいう。例えば円筒多孔体の、膜形成性樹脂溶液が出る側に100個の孔があり、1つのノズルの吐出口から前記樹脂溶液が吐出される場合は、前記計算合流数が100となる。三次元構造体であるノズルでは、流通方向に複雑な流路をなして、更に多くの分岐及び合流が繰り返されており、実際には流通出口の孔数より多くの合流数となっていると考えられるが、複数の流路の出口の孔数を最小値として計算合流数と考える。この計算合流数が少なくなると、中空糸膜に物理的な負荷がかかった際、軸方向に沿った割れが発生しやすくなり、前記計算合流数が多いほど割れが発生しにくくなる。前記計算合流数の好ましい範囲は50~3000個であり、より好ましい範囲は200~2500個であり、最も好ましい範囲は500~2000個である。前記多孔エレメントの孔数が不明の場合、例えば、前記多孔エレメントの空孔率とろ過面積の積から孔部の全面積を求め、この値を、ろ過精度を円径孔直径とした孔一つあたりの面積で除した値を孔数とすればよい。前記空孔率とは、多孔エレメントにおける膜形成性樹脂溶液の出口となる二次側の表面のうち、膜形成性樹脂溶液が流通可能な開孔部の割合を百分率で表したものであり、前記ろ過面積とは、多孔エレメントにおける膜形成性樹脂溶液の出口となる二次側の開孔部と非開孔部を合わせた全ての表面をいう。また、前記ろ過精度とは多孔フィルターにおける除去可能な対象物の大きさである。複数の膜形成性樹脂溶液を用いて複合積層させる際、各層が混合されなければ、各層それぞれで、計算合流数を確認する必要がある。例えば内層及び外層の二層構造の場合、内層及び外層共にそれぞれの計算合流数を50個以上にする必要があり、いずれか一方でも計算合流数が低くなると、割れが発生しやすくなる。この計算合流数が少なくなると、中空糸膜に物理的な負荷がかかった際、軸方向に沿った割れが発生しやすくなり、多いほど割れが発生しにくくなる。前記計算合流数は、50~3000が好ましく、200~2500がより好ましく、500~2000個がさらに好ましい。前記計算合流数が上記範囲内であると、中空糸膜に物理的な負荷がかかった際、軸方向に沿った割れが発生しにくくなる。本発明の第2の態様の紡糸ノズル21は、膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部217を有している。貯液部217は、上段の第1の貯液室217Aと下段の第2の貯液室217Bに分けられている。第1の貯液室217Aは、図10~12に示すように、一方の外壁側の上部で導入部216と連通しており、また貯液部217の外壁に沿うように設けられた8個の供給路217aによって第2の貯液室217Bと連通している。つまり、第1の貯液室217Aに供給された膜形成性樹脂溶液のうち、外壁近傍を流通する膜形成性樹脂溶液が、それら各々の供給路217aを通じて第2の貯液室217Bの外壁近傍に供給されるようになっている。第1の貯液室217Aは、図11に示すように、断面円環状の円環部217bと、円環部217bから外側に向かって窪むように形成された8つの外周部217cとを有している。第1の貯液室217Aは、一方の外周部217cにおける外壁側の上部で導入部216と連通している。第1の貯液室217Aの円環部217bの中心と、支持体通路214の中心は一致している。供給路217aは、第1の貯液室217Aにおける各々の外周部217cと第2の貯液室217Bとを連通するように8つ設けられている。つまり、供給路217aは、貯液部217の外壁に沿って2以上設けられている。紡糸ノズル21は、このように、上段の第1の貯液室217Aからその下の第2の貯液室217Bに膜形成性樹脂溶液を供給する供給路217aが、貯液部217の外壁に沿うように2以上設けられていることを特徴とする。本発明において、貯液部の外壁に沿うように設けられるとは、この例のように円環部217bの外側に外周部217cが形成されたような貯液室を有する場合、最も外側の外壁に沿うことを意味する。つまり、この例では、貯液部217における第1の貯液室217Aの最も外側の外壁である外周部217cの外壁に沿うように供給路217aが設けられている。第1の貯液室217Aにおいては、図11に示すように、導入部216から供給された膜形成性樹脂溶液が、導入部216の側から二手に分かれて円弧状に流通し、導入部216と反対側の合流部分217dで合流するようになっている。また、第1の貯液室217Aの外壁近傍を流通する膜形成性樹脂溶液が、各々の外周部217cから供給路217aを通じて、後述する第2の貯液室217Bに供給され、第2の貯液室217B内で再び合流して断面円環状にされて貯液されるようになっている。紡糸ノズル21では、貯液部217が第1の貯液室217Aと第2の貯液室217Bに分かれており、貯液部217の外壁に沿うように、第1の貯液室217Aと第2の貯液室217Bを連通する供給路217aが設けられていることで、膜形成性樹脂溶液により形成される多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制される。紡糸ノズル21において前記効果が得られる要因は必ずしも明らかではないが、以下のように考えられる。本発明者らが、図6~8に例示した紡糸ノズル1101のような従来の紡糸ノズルによる紡糸において、紡糸速度を高めた場合に多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成される問題について詳細に検討したところ、貯液部1116における導入部1115と反対側の部分、つまり二手に分岐した膜形成性樹脂溶液が再び合流する合流部分1116a図8に相当する部分に、多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されていることが判明した。この合流部分1116aでは、合流部分1116a以外の部分に比べて膜形成性樹脂同士の絡み合いが小さくなる傾向や、貯液部1116の外壁近傍を流れることで、性状が変化しやすい膜形成性樹脂溶液が集中する可能性があり、これが多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成される要因になっていると考えられる。これに対し、紡糸ノズル21では、貯液部217における第1の貯液室217A内において、外壁近傍を流通する膜形成性樹脂溶液を2以上の供給路217aから第2の貯液室217Bへと供給し、第1の貯液室217Aと第2の貯液室217Bの両方で貯液する。このように、貯液部217では膜形成樹脂溶液が分岐、及び合流を繰り返すため、賦形される膜形成樹脂溶液における膜形成性樹脂の絡み合いが結果的に全体的に小さく、本発明の紡糸ノズル内部において均一化される。また、外周部217cと供給路217aが設けられていることで、第1の貯液室217Aの外壁近傍を流通する膜形成性樹脂が周方向に分散され、合流部分217dに集中することが回避される。そのため、多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制されると考えられる。第1の貯液室217Aは、この例のように、円環部217bの外側に外周部217cを設け、その各々の外周部217cと第2の貯液部217Bを連通させるように、供給路217aを設けることが好ましい。このように、円環部217bから外側に向かって窪んだ形状の外周部217cを設けることで、外壁近傍を流通する膜形成性樹脂溶液が外周部217cに入り込むので、外壁近傍を流通する膜形成性樹脂溶液が外周部217cに集められて供給路217aを通じて第2の貯液部217Bへと供給されやすくなる。外周部217cの断面形状は、この例のように、外壁が円環部217bから外側に向かって窪んで1つの角を形成するように屈曲した凸形状であることが好ましい。この例では、上方から8つの外周部217cを全体として見たときの形状は、2つの正四角形を45度回転させて合わせることで形成される星形多角形となっている。ただし、外周部217cの断面形状は、前記凸形状には限定されず、半円状などであってもよい。外周部217cは、この例のように、上方から見て同形状のものが円環部217bの外側に均等に設けられていることが好ましい。また、外周部217cは、図12に示すように、導入部216と連通している側から、その反対側に向かって、底面が段階的に低くなるように形成されていることが好ましい。つまり、導入部216が連通している側の外周部217cの底面が最も高く、導入部216が連通している側と反対側の外周部217cの底面が最も低くなるように階段状になっていることが好ましい。このように、外周部217cの高さ方向に段差を設けることで、それぞれの高さに応じた外壁面近傍を流通する膜形成性樹脂溶液が各々の外周部217cに分け入れられ、それぞれの外周部217cに設けられた供給路217aに分配流通される構造となっており、外壁近傍を流通する膜形成性樹脂溶液が合流部分217dに集まらないよう構成されている。図12は、第2のノズル212の片側だけを示した斜視断面図であるが、第2のノズル212のもう一方の側も同様に、導入部216が連通している側から段階的に低くなるように外周部217cが形成されている。また、第1の貯液室217Aにおける賦形部218近傍には、図10に示すように、スリット部217eが設けられていることが好ましい。特に、膜形成性樹脂溶液が賦形部218を流通するだけでは、周方向の吐出の均一性が所望のレベルとなり難い場合、スリット部217eで流動抵抗を付与することは、周方向における吐出の均一性向上の面から好ましい。第2の貯液室217Bは、第1の貯液室217Aから供給路217aを流通してきた膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する部分である。第2の貯液室217Bは、図10及び図13に示すように、第1の貯液室217Aと同様に、断面円環状の円環部217fと、円環部217fから外側に窪むように形成された8つの外周部217gとを有している。第2の貯液部217Bの外周部217gは、その底面が一定の高さとなるように、円環部217fの上部側に形成されている。また、第2の貯液室217Bは、各々の外周部217gに、第1の貯液室217Aのそれぞれの外周部217cから、供給路217aを通じて膜形成性樹脂溶液が供給されるようになっている。第2の貯液部217Bの円環部217fの中心と、支持体通路214の中心は一致している。第2の貯液部217Bにおいては、図13に示すように、供給路217aから各々の外周部217gに供給された膜形成性樹脂溶液が、外壁から中心部に向かって円環部217fへとそれぞれ合流しつつ流通するようになっている。第2の貯液部217Bの外周部217gの断面形状は、第1の貯液部217Aの外周部217cと同じであることが好ましい。この例では、上方から8つの外周部217gを全体として見たときの形状は、2つの正四角形を45度回転させて合わせることで形成される星形多角形となっている。外周部217gは、この例のように、上方から見て同形状のものが円環部217fの外側に均等に設けられていることが好ましい。また、第2の貯液部217Bにおける賦形部218近傍には、図10に示すように、スリット部217hが形成されていることが好ましい。特に、膜形成性樹脂溶液が賦形部218を流通するだけでは、周方向の吐出の均一性が所望のレベルとなり難い場合、スリット部217hで流動抵抗を付与することは、周方向における吐出の均一性向上の面から好ましい。第2の貯液部217Bで貯液された膜形成性樹脂溶液は、スリット部217hを通過した後に賦形部218で第1の貯液室217Aからの膜形成性樹脂溶液と合流する。供給路217aは、第1の貯液室217Aの外壁近傍を流通する膜形成性樹脂溶液を第2の貯液室217Bに供給する部分である。供給路217aの断面形状は、この例のように円形状が好ましい。ただし、供給路217aの断面形状は、円形状には限定されない。供給路217aの直径は、特に限定されない。また、供給路217aの数は、この例では8個であるが、7個以下であってもよく、9個以上であってもよい。供給路217aの数は、形成する供給路217aの直径及び長さ、第1の貯液室217Aにおける供給路217aを形成可能な底面の面積等を考慮して適宜設定すればよい。2以上の供給路217aは、下段の第2の貯液室217Bに膜形成性樹脂を均一に供給しやすくなる点から、貯液部217の外壁に沿って均等に設けられることが好ましい。賦形部218は、貯液部217の第1の貯液室217Aと第2の貯液室217Bから流入してくる膜形成性樹脂溶液を、支持体通路214を通過させる支持体と同心円状の円筒状に流通させて賦形する部分である。賦形部218の幅内壁と外壁の距離は、形成する多孔質膜層の厚みに応じて適宜設定できる。紡糸ノズル21による多孔質中空糸膜の紡糸では、中空状の支持体が支持体供給口214aから支持体通路214に供給され、また膜形成性樹脂溶液を定量供給する装置によって膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口215aから樹脂流路215に供給される。樹脂流路215では、導入部216を流通してきた膜形成性樹脂溶液が貯液部217の第1の貯液室217Aに流入し、第1の貯液室217Aにおいて、二手に分岐して円弧状に流通した後に合流部分217dにおいて合流し、スリット部217eを通って賦形部218へと流入する。また、このとき、第1の貯液室217Aの外壁近傍を流通する膜形成性樹脂溶液は、各々の外周部217cに入り込み、供給路217aを通じて第2の貯液室217Bに供給される。供給路217aを通じて第2の貯液室217Bの各々の外周部217gに供給された膜形成性樹脂溶液は、外壁から中心部に向かってそれぞれ合流しつつ円環部217fへと流通し、スリット部217hを通って賦形部218へと流入する。そして、賦形部218で円筒状に賦形された膜形成性樹脂溶液は、吐出口215bから吐出され、同時に支持体導出口214bから導出されてきた支持体の外側に付与される。その後、例えば、膜形成性樹脂溶液に水分を含んだ気体を接触させる容器中、膜形成性樹脂溶液を凝固液と接触させる凝固槽中を通過させて膜形成性樹脂溶液を凝固させ、洗浄、又は乾燥などを経ることで中空糸膜が得られる。本発明の第3の態様の貯液部316は、導入部315を流通してきた膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する部分である。導入部315は貯液部316の一方の外壁側で連通している。貯液部316の断面形状は、図18に示すように円環状である。この例の貯液部316は、直径が一定の胴部分316aと、胴部分316aの下側の徐々に直径が小さくなるように窄んだ傾斜部分316bとを有している。ただし、貯液部316は、導入部315を流通してきた膜形成性樹脂溶液を貯液できるものであれば、前記胴部分316aと傾斜部分316bからなるものには限定されず、公知の中空糸膜紡糸ノズルに用いられる賦形部を採用することができる。貯液部316は、この例のように断面円環状が好ましい。ただし、貯液部118の断面形状は断面円環状には限定されない。貯液部316の中心と支持体通路313の中心が一致している。紡糸ノズル31は、図17及び図18に示すように、貯液部316の内部に、分岐及び合流手段、すなわち粒子321が充填された充填層320が設けられていることを特徴とする。充填層320が設けられていることで、膜形成性樹脂溶液により形成される多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制される。紡糸ノズル31において、充填層320によって前記効果が得られる要因は必ずしも明らかではないが、以下のように考えられる。本発明者らが、図6~8に例示した紡糸ノズル1101のような従来の紡糸ノズルによる紡糸において、紡糸速度を高めた場合に多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成される問題について詳細に検討したところ、貯液部1116における導入部1115と反対側の部分、つまり二手に分岐した膜形成性樹脂溶液が再び合流する合流部分1116a図8に相当する部分に、多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されていることが判明した。この合流部分1116aでは、合流部分1116a以外の部分に比べて膜形成性樹脂同士の絡み合いが小さくなる傾向があり、これが扁平等の負荷発生時に応力集中点となって軸方向に沿った割れの起点が形成される要因になっていると考えられる。これに対し、紡糸ノズル31では、貯液部316において、充填層320における粒子321の隙間を通過する膜形成性樹脂溶液が、三次元的な細かい分岐と合流を繰り返すので、膜形成樹脂溶液における膜形成性樹脂の絡み合いが結果的に全体的に小さくなって、本発明の紡糸ノズル内部において前記膜形成樹脂溶液が均一化され、扁平等の負荷発生時の応力が分散されることで軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制されると考えられる。粒子321の形状は、この例では球状である。ただし、粒子321の形状は球状には限定されず、矩形状、フィラー状、又は不均一な三次元構造物などであってもよい。粒子321の材質は特に限定されず、ステンレス鋼、合金などの金属、ガラス、セラミックなどに代表される無機物、テフロン登録商標、又はポリエチレンなどの膜形成性樹脂溶液に侵されない樹脂などが挙げられる。粒子321の具体例としては、例えば、鋼球などが挙げられる。粒子321の大きさは、貯液部316内に充填でき、かつ賦形部317に流れ込まず充填層320の形態を維持できる大きさであればよい。貯液部316内で充填層320を維持できる範囲内であれば、粒子321の大きさが小さいほど、充填層320における粒子321の隙間によって形成された膜形成性樹脂溶液が流通する流路が、三次元的により細かく分岐、及び合流したものとなり、膜形成性樹脂溶液の、本発明の紡糸ノズル内部における均一化が容易になる傾向がある。粒子321の数は、貯液部316の内部に粒子321を充填することで充填層320を形成できるだけの数であればよく、粒子321の大きさ、貯液部316の大きさ、形成する充填層320の高さなどに応じて適宜設定すればよい。貯液部316の内部には、形状、材質及び大きさが同じ粒子321を充填してもよく、形状、材質及び大きさのいずれか1つ以上が異なる粒子321を混ぜて充填してもよい。また、膜形成性樹脂溶液の流れる方向に対し、2以上の異なる充填層を積層させて隙間の勾配を設けるような充填を行ってもよい。ここで、図17に示すように、充填層320において最も下に位置する粒子321の下端と、充填層320において最も上に位置する粒子321の上端との距離を充填層320の高さhとする。充填層320の高さhの上限は、貯液部316の高さ、すなわち貯液部316全体に粒子321を充填した高さ以下となる。充填層320の高さhを高くすると、膜形成性樹脂溶液が流通する流路が三次元的により細かく分岐、及び合流したものとなり、膜形成性樹脂溶液の、本発明の紡糸ノズル内部における均一化が容易になる傾向がある。一方、充填層320の高さhが高くなりすぎると、装置が過大化する、又は、膜形成性樹脂溶液が充填層320を流通する際に初期圧力が大きくなることに起因して差圧上昇が早くなり装置の寿命が短くなる、など、長時間の安定紡糸が困難となる可能性がある。充填層320の高さhは、上記課題を考慮した上で、形成する多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されるのを抑制するため、膜形成性樹脂溶液の粘度や特性、又は充填粒子のサイズ等、所望の条件に応じて適宜選定すればよい。また、充填層320に供給される前に、貯液部316の充填層320の上方に空間部を設け、貯液部316に供給された膜形成性樹脂溶液がこの空間部を通った後に充填層320に供給されることにすることが好ましい。これにより、膜形成性樹脂溶液の、本発明の紡糸ノズル内部の周方向における充填層320の通過状態が均一化される。賦形部317は、貯液部316で断面円環状にして貯液された膜形成性樹脂溶液を、支持体通路313を通過させる支持体と同心円状の円筒状に流通させる部分である。貯液部317は、この例のように断面円環状が好ましい。ただし、貯液部317の断面形状は断面円環状には限定されない。賦形部317の幅内壁と外壁の距離は、形成する多孔質膜層の厚みに応じて適宜設定できる。紡糸ノズル31による多孔質中空糸膜の紡糸では、中空状の支持体が支持体供給口313aから支持体通路313に供給され、また膜形成性樹脂溶液を定量供給する装置によって膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口314aから樹脂流路314に供給される。樹脂流路314では、導入部315を流通してきた膜形成性樹脂溶液が貯液部316に流入し、二手に分岐して円弧状に流通して導入部315と反対側で合流しつつ、粒子321の隙間を細かい分岐、及び合流を繰り返しながら充填層320内を通過して、賦形部317へと流入する。賦形部317によって円筒状に賦形された膜形成性樹脂溶液は、吐出口314bから吐出され、同時に支持体導出口313bから導出されてきた支持体の外側に付与される。その後、例えば、膜形成性樹脂溶液に水分を含んだ気体を接触させる容器中、膜形成性樹脂溶液を凝固液と接触させる凝固槽中を通過させて膜形成性樹脂溶液を凝固させ、洗浄、又は乾燥などを経ることで中空糸膜が得られる。本発明の第4の態様の貯液部416は、上下に、第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C、第4の貯液部416Dの4段に分かれている。第1の貯液部416Aは、導入部415を流通してきた膜形成性樹脂溶液を円環状として貯液する部分であり、第2の貯液部416Bは第1の樹脂供給部416aを、第3の貯液部416Cは第2の樹脂供給部416bを、第4の貯液部416Dは第3の樹脂供給部416cをそれぞれ流通してきた膜形成性樹脂溶液を円環状として貯液する部分である。図23及び図24に示すように、第1の貯液部416Aと第2の貯液部416Bは第1の樹脂供給部416aで連通しており、図25及び図26に示すように、第2の貯液部416Bと第3の貯液部416Cは第2の樹脂供給部416bで連通しており、図27及び図28に示すように、第3の貯液部416Cと第4の貯液部416Dは第3の樹脂供給部416cで連通している。第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C及び第4の貯液部416Dの断面形状は、図23、図25、図27及び図29に示すように円環状が好ましく、それら第1の貯液部416A~第4の貯液部416Dの中心軸と支持体通路413の中心軸が一致している。ただし、第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C及び第4の貯液部416Dの断面形状の断面形状は断面円環状には限定されない。貯液部416では、第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C及び第4の貯液部416Dのそれぞれにおいて、膜形成性樹脂溶液が二手に分かれて円弧状に流通するようになっている。具体的には、第1の貯液部416Aでは、図22及び図23に示すように、導入部415を流通してきた膜形成性樹脂溶液が、二手に分岐して円弧状に流通し、合流する。第2の貯液部416Bでは、図24及び図25に示すように、第1の貯液部416Aから第1の樹脂供給部416aを流通してきた膜形成性樹脂溶液が、二手に分岐して円弧状に流通し、合流する。第3の貯液部416Cでも同様に、図26及び図27に示すように、第2の貯液部416Bから第2の樹脂供給部416bを流通してきた膜形成性樹脂溶液が、二手に分岐して円弧状に流通し、合流する。第4の貯液部416Dでも同様に、図28及び図29に示すように、第3の貯液部416Cから第3の樹脂供給部416cを流通してきた膜形成性樹脂が、二手に分岐して円弧状に流通し、第3の樹脂供給部416cの反対側で合流する。また、図22に示すように、第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C及び第4の貯液部416Dの上側は、それぞれ中心側において、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する第1の賦形部417A、賦形部417B、賦形部417C、賦形部417Dにそれぞれ連通している。つまり、第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C、第4の貯液部416Dのそれぞれから、円環状となっている膜形成性樹脂溶液が第1の賦形部417A、第2の賦形部417B、第3の賦形部417C、第4の賦形部417Dに流入するようになっている。紡糸ノズル41では、前述のように、貯液部が膜形成性樹脂溶液を円弧状に流通させるように2以上の段に分かれていることで、膜形成性樹脂溶液により形成される多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制される。紡糸ノズル41において前記効果が得られる要因は必ずしも明らかではないが、以下のように考えられる。本発明者らが、図6~図8に例示した紡糸ノズル1101のような従来の紡糸ノズルによる紡糸において、紡糸速度を高めた場合に多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成される問題について詳細に検討したところ、貯液部1116における導入部1115と反対側の部分、つまり二手に分岐した膜形成性樹脂溶液が再び合流する合流部分1116a図8に相当する部分に、多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されていることが判明した。この合流部分1116aでは、合流部分1116a以外の部分に比べて膜形成性樹脂同士の絡み合いが小さくなる傾向があり、これが扁平等の負荷発生時に応力集中点となって軸方向に沿った割れの起点が形成される要因になっていると考えられる。これに対し、紡糸ノズル41の貯液部416では、第1の貯液部416A、第2の貯液部416B、第3の貯液部416C及び第4の貯液部416Dにおいて、膜形成性樹脂溶液の分岐と合流が2回以上行われる。これにより、賦形される膜形成樹脂溶液における膜形成性樹脂の絡み合いが結果的に全体的に小さくなり、本発明の紡糸ノズル内部において前記膜形成樹脂溶液が均一化される。また、各貯液部における膜形成性樹脂溶液の合流部分が異なった位置になっていることで、膜の厚み方向に合流部分が連なって形成されることが回避される。よって、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制されると考えられる。本発明の第4の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、この例の紡糸ノズル41のように、貯液部が3段以上に分かれているとともに、第n段nは自然数の貯液部と第n1段の貯液部を連通する樹脂供給部と、第n1段の貯液部と第n2段の貯液部を連通する樹脂供給部とが、貯液部の周方向にずれた位置に配されていることが好ましい。紡糸ノズル41を例に具体的に説明すると、図23及び図25に示すように、第1段の第1の貯液部416A及び第2段の第2の貯液部416Bを連通する第1の樹脂供給部416aと、第2段の第2の貯液部416B及び第3段の第3の貯液部416Cを連通する第2の樹脂供給部416bとが、貯液部416の周方向にずれて配されている。同様に、図25及び図27に示すように、第2段の第2の貯液部416B及び第3段の第3の貯液部416Cを連通する第2の樹脂供給部416bと、第3段の第3の貯液部416C及び第4段の第4の貯液部416Dを連通する第3の樹脂供給部416cとが、貯液部416の周方向にずれて配されている。これにより、各貯液部における膜形成性樹脂溶液の合流部分が、貯液部の周方向における同一箇所に集まることが避けられるので、軸方向に沿った割れが発生し難い中空糸膜をより容易に得られる。また、本発明の第4の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、紡糸ノズル41のように、各々の樹脂供給部が上段側から順に、賦形部の中心軸に対して貯液部の周方向に一定の角度間隔で配されていることがより好ましい。紡糸ノズル41では、第1の樹脂供給部416a、第2の樹脂供給部416b及び第3の樹脂供給部416cが、貯液部416の周方向に沿って、反時計方向に225°ずつずれる等角度間隔で配されている。これにより、軸方向に沿った割れが発生し難い中空糸膜がさらに得られやすくなる。第1の貯液部416Aにおいては、図22に示すように、第1の賦形部417A近傍にスリット部416dを設けてもよい。スリット部416dを設けて流動抵抗を付与することで、膜形成性樹脂溶液の周方向における吐出の均一性を向上させることができる。第2の貯液部416B、第3の貯液部416C及び第4の貯液部416Dも同様に、第2の賦形部417B、第3の賦形部417C、第4の賦形部417Dのそれぞれの近傍にスリット部416e、416f、416gを設けてもよい。第1の樹脂供給部416aは、第1の貯液部416A内を流通する膜形成性樹脂溶液を第2の貯液部416Bに供給する部分である。また、第2の樹脂供給部416bは、第2の貯液部416B内を流通する膜形成性樹脂溶液を第3の貯液部416Cに供給する部分であり、第3の樹脂供給部416cは、第3の貯液部416C内を流通する膜形成性樹脂溶液を第4の貯液部416Dに供給する部分である。第1の樹脂供給部416aの断面形状は、この例のように円形状が好ましい。ただし、第1の樹脂供給部416aの断面形状は、円形状には限定されない。第1の樹脂供給部416aの直径は、特に限定されない。第2の樹脂供給部416b、第3の樹脂供給部416cの断面形状、直径は、第1の樹脂供給部416aの態様と同じものが挙げられ、好ましい態様も同じである。第1の賦形部417Aは、第1の貯液部416Aから流入する膜形成性樹脂溶液を、支持体通路413を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形する部分である。第2の賦形部417Bは、第1の賦形部417Aを流通してきた膜形成性樹脂の外側に、第2の貯液部416Bから流入する膜形成性樹脂溶液を積層して、支持体通路413を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形する部分である。第3の賦形部417Cは、第2の賦形部417Bを流通してきた膜形成性樹脂の外側に、第3の貯液部416Cから流入する膜形成性樹脂溶液を積層して、支持体通路413を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形する部分である。第4の賦形部417Dは、第3の賦形部417Cを流通してきた膜形成性樹脂の外側に、第4の貯液部416Dから流入する膜形成性樹脂溶液を積層して、支持体通路413を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形する部分である。第1の賦形部417A、第2の賦形部417B、第3の賦形部417C及び第4の賦形部417Dの幅内壁と外壁の距離は、形成する多孔質膜層の厚みに応じて適宜設定できる。また、第1の賦形部417A、第2の賦形部417B、第3の賦形部417C及び第4の賦形部417Dの長さは、特に限定されない。紡糸ノズル41による多孔質中空糸膜の紡糸では、中空状の支持体が支持体供給口413aから支持体通路413に供給され、また膜形成性樹脂溶液を定量供給する装置例えばギアポンプなどの容積式ポンプによって膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口414aから樹脂流路414に供給される。樹脂流路414では、図22及び図23に示すように、導入部415を流通してきた膜形成性樹脂溶液が第1の貯液部416Aに流入し、第1の貯液部416Aにおいて二手に分岐して円弧状に流通、及び合流しつつ、スリット部416dを通って第1の賦形部417Aへと流入する。また、図23及び図24に示すように、第1の貯液部416A内で合流した膜形成性樹脂溶液が、第1の樹脂供給部416aを通じて第2の貯液部416Bに流入する。第2の貯液部416B内では、図22及び図25に示すように、膜形成性樹脂溶液が二手に分岐して円弧状に流通、及び合流しつつ、スリット部416eを通って第2の賦形部417Bへと流入し、第1の賦形部417Aを流通してきた膜形成性樹脂溶液の外周を覆うように積層される。また、図25及び図26に示すように、第2の貯液部416B内で合流した膜形成性樹脂溶液が、第2の樹脂供給部416bを通じて第3の貯液部416Cに流入する。さらに、第3の貯液部416Cでも同様に、図22及び図27に示すように、膜形成性樹脂溶液が二手に分岐して円弧状に流通、及び合流しつつ、スリット部416fを通って第3の賦形部417Cへと流入し、第2の賦形部417Bで積層されて流通してきた膜形成性樹脂溶液の外周を覆うように積層される。また、図27及び図28に示すように、第3の貯液部416C内で合流した膜形成性樹脂溶液が、第3の樹脂供給部416cを通じて第4の貯液部416Dに流入する。そして、図22及び図29に示すように、第4の貯液部416Dでも膜形成性樹脂溶液が二手に分岐して円弧状に流通、及び合流しつつ、スリット部416gを通って第4の賦形部417Dに流入し、第3の賦形部417Cで積層されて流通してきた膜形成性樹脂溶液の外周を覆うように積層される。このように、第2の賦形部417Bでは、第1の賦形部417Aと第2の貯液部416Bからそれぞれ膜形成性樹脂溶液が流入して合流及び積層され、第3の賦形部417Cでは、第2の賦形部417Bと第3の貯液部416Cからそれぞれ膜形成性樹脂溶液が流入して合流及び積層され、第4の賦形部417Dでは、第3の賦形部417Cと第4の貯液部416Dからそれぞれ膜形成性樹脂溶液が流入して合流及び積層される。こうして、第4の賦形部417Dで円筒状に積層賦形された膜形成性樹脂溶液は、吐出口414bから吐出され、同時に支持体導出口413bから導出されてきた支持体の外側に付与される。その後、例えば、膜形成性樹脂溶液に水分を含んだ気体を接触させる容器中、膜形成性樹脂溶液を凝固液と接触させる凝固槽中を通過させて膜形成性樹脂溶液を凝固させ、洗浄、又は乾燥などを経ることで中空糸膜が得られる。貯液部516は、導入部515を流通してきた膜形成性樹脂溶液を断面円環状に賦形する部分である。導入部515は貯液部516の一方の外壁側で連通している。貯液部516の断面形状は、図32に示すように円環状であり、貯液部516の中心と支持体通路513の中心が一致している。貯液部516においては、膜形成性樹脂溶液が導入部515の側から二手に分岐して円弧状に流通し、導入部515と反対側の合流部分516aで合流するようになっている。貯液部516は、この例のように断面円環状が好ましい。ただし、貯液部516の断面形状は断面円環状には限定されない。また、図31に示すように、貯液部516における蛇行部518近傍には、スリット部516bが形成されていることが好ましい。スリット部516bを設けて流動抵抗を付与することで、膜形成性樹脂溶液の周方向における吐出の均一性を向上させることができる。紡糸ノズル51は、図31、図33及び図34に示すように、貯液部516と賦形部517の間に、蛇行部518を有していることを特徴とする。蛇行部518は、第1のノズル511から第2のノズル512に向かって延びる断面円環状の2つの第1の堰511aと、第2のノズル512から第1のノズル511に向かって延びる断面円環状の2つの第2の堰512aによって形成されている。第1の堰511aと第2の堰512aは交互となるように設けられている。蛇行部518は、前述の第1の堰511aと第2の堰512aによって、断面円環状で径が異なる5つの円環流路部518a~518eが同心円状に形成されており、外壁側から、円環流路部518aと円環流路部518bが下側で連通し、円環流路部518bと円環流路部518cが上側で連通し、円環流路部518cと円環流路部518dが下側で連通し、円環流路部518dと円環流路部518eが上側で連通している。また、貯液部516の内壁側と蛇行部518の円環流路部518aが連通し、蛇行部518の円環流路部518eと賦形部517が連通している。このように、蛇行部518は、貯液部516から流入する膜形成性樹脂が、その断面形状を円環状に維持した状態で、中心に向かって上下に蛇行しながら流通するようになっている。紡糸ノズル51では、蛇行部518を設けることにより、膜形成性樹脂溶液により形成される多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制される。紡糸ノズル51において、前述の蛇行部518によって前記効果が得られる要因は必ずしも明らかではないが、以下のように考えられる。本発明者らが、図6~8に例示した紡糸ノズル1101のような従来の紡糸ノズルによる紡糸において、紡糸速度を高めた場合に多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成される問題について詳細に検討したところ、貯液部1116における導入部1115と反対側の部分、つまり二手に分岐した膜形成性樹脂溶液が再び合流する合流部分1116a図8に相当する部分に、多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されていることが判明した。この合流部分1116aでは、合流部分1116a以外の部分に比べて膜形成性樹脂同士の絡み合いが小さくなる傾向があり、これが扁平等の負荷発生時に応力集中点となって軸方向に沿った割れの起点が形成される要因になっていると考えられる。これに対し、紡糸ノズル51では、蛇行部518が設けられていることで、貯液部516から吐出口514bまでの経路が、従来の紡糸ノズル1101における賦形部1116から吐出口1114bまでの経路に比べて長くなっており、膜形成性樹脂溶液がノズル内部に滞在する時間が長くなっている。そのため、貯液部516の合流部分516a図32における膜形成性樹脂溶液の膜形成性樹脂同士の絡み合いが合流部分516a以外の部分の絡み合いに比べて小さくなっても、蛇行部518を流通するうちに絡み合いが分岐前の状態に戻って、本発明の紡糸ノズル内部において全体的に均一化され、形成される多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制されると考えられる。蛇行部518における円環流路部518aから円環流路部518eまでの流路の幅横方向の長さや、堰511a、堰512aの高さは、各流路部を流通する膜形成樹脂溶液の平均流速が極力同じになるよう設定することが好ましい。賦形部517は、蛇行部518を流通してきた膜形成性樹脂溶液を、支持体通路513を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形する部分である。賦形部517の幅内壁と外壁の距離は、形成する多孔質膜層の厚みや所望の賦形条件に応じて適宜設定できる。紡糸ノズル51による多孔質中空糸膜の紡糸では、中空状の支持体が支持体供給口513aから支持体通路513に供給され、また膜形成性樹脂溶液を定量供給する装置例えばギアポンプ等の容積式ポンプによって膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口514aから樹脂流路514に供給される。樹脂流路514では、導入部515を流通してきた膜形成性樹脂溶液が貯液部516に流入し、二手に分岐して円弧状に流通した後に導入部515と反対側で合流し、蛇行部518に流入する。そして、蛇行部518では、膜形成性樹脂溶液が断面形状を円環状に維持した状態で上下に蛇行しながら中心方向に向かって流通し、賦形部517に流入する。賦形部517で円筒状に賦形された膜形成性樹脂溶液は、吐出口514bから吐出され、同時に支持体導出口513bから導出されてきた支持体の外側に付与される。その後、例えば、膜形成性樹脂溶液に水分を含んだ気体を接触させる容器中、膜形成性樹脂溶液を凝固液と接触させる凝固槽中を通過させて膜形成性樹脂溶液を凝固させ、洗浄、又は乾燥などを経ることで中空糸膜が得られる。貯液部616は、導入部615を流通してきた膜形成性樹脂溶液を断面円環状に貯液する部分である。貯液部616は、この例のように断面円環状が好ましい。ただし、貯液部616の断面形状は断面円環状には限定されない。紡糸ノズル61における貯液部616の内部には、図37~39に示すように、貯液部616の下壁面616aから上壁面616bに向かって延びる堰618、619が設けられている。堰618と堰619は互いに、貯液部616の外壁側から内壁側に向かって渦巻状に連続して形成されており、貯液部616の内壁近傍で接続されている。これにより、貯液部616内には、膜形成性樹脂溶液が渦巻状に旋回しながら流通する渦巻き流路616c、及び616dが形成されている。渦巻き流路616cは導入部615と連通し、貯液部616の内壁近傍で行き止まりになっており、渦巻き流路616dは貯液部616の外壁側で行き止まりになっており、内壁側で賦形部617と連通している。貯液部616内での膜形成性樹脂溶液の流通は、この堰618、及び619によって渦巻状に旋回するように規制される。また、図37に示すように、堰618と堰619の上部と貯液部616の上壁面616bとの間には隙間がある。これにより、貯液部616内に供給された膜形成性樹脂溶液が、中心方向に向かって渦巻状に旋回しつつ堰618と堰619を乗り越えていけるようにもなっている。前記渦巻状の堰の旋回数は、2回以上、10回以下が好ましく、3回以上、7回以下がより好ましく、4回以上、5回以下がさらに好ましい。前記旋回数が2回以上であると、本発明の紡糸ノズルの内部において前記膜形成樹脂溶液が均一化されるため好ましい。紡糸ノズル61では、貯液部616内に、前述のように、貯液部616内での膜形成性樹脂溶液の流通を渦巻状に旋回させるように規制する堰618、及び619が設けられていることで、膜形成性樹脂溶液により形成された多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が発生することを抑制できる。紡糸ノズル61の貯液部616において前記効果が得られる理由は明らかではないが、以下のように考えられる。本発明者らが、図6~8に例示した紡糸ノズル1101のような従来の紡糸ノズルによる紡糸において、紡糸速度を高めた場合に、多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成される問題について詳細に検討したところ、貯液部1116における導入部1115と反対側の部分、つまり二手に分岐した膜形成性樹脂溶液が再び合流する合流部分1116a図8に相当する部分で、多孔質膜層に軸方向に沿って割れの起点が形成されていることが判明した。この合流部分1116aでは、合流部分1116a以外の部分に比べて膜形成性樹脂同士の絡み合いが小さくなる傾向があり、これが扁平などの負荷発生時に応力集中点となって、軸方向に沿った割れの起点が形成される要因になっていると考えられる。これに対し、紡糸ノズル61では、貯液部616内の膜形成性樹脂溶液が、渦巻状に旋回しつつ堰618、及び619を乗り越えるようにして流通し、細かい分岐と合流が繰り返されるので、貯液部616の内壁面と外壁面の間において、膜形成性樹脂溶液の合流境界が、貯液部616の中心軸を通る水平方向の直線に沿って形成されることが抑制されると考えられる。そのため、貯液部616で貯液される膜形成樹脂溶液における膜形成性樹脂の絡み合い及び合流境界は、結果的に全体的に小さくなり、本発明の紡糸ノズルの内部において前記膜形成樹脂溶液が均一化され、扁平などの負荷発生時の応力が分散されるため、形成される多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制されると考えられる。渦巻き流路616c、616dの幅、及び堰618、619と貯液部616の上壁面616bとの隙間の長さは、前述のような流動が発現可能な範囲であれば、特に限定されない。また、図37に示すように、貯液部616における賦形部617近傍には、スリット部616eを設けてもよい。スリット部616eを設けて流動抵抗を付与することで、膜形成性樹脂溶液の吐出における周方向の均一性が向上する。賦形部617は、貯液部616で断面円環状に貯液された膜形成性樹脂溶液を、支持体と同心円筒状に賦形する部分である。賦形部617の幅内壁と外壁の距離は、形成する多孔質膜層の厚みに応じて適宜設定できる。紡糸ノズル61による中空糸膜の紡糸では、中空状の支持体が支持体供給口613aから支持体通路613に供給され、また膜形成性樹脂溶液を定量供給する装置例えばギアポンプなどの容積式ポンプによって膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口614aから樹脂流路614に供給される。樹脂流路614では、導入部615を流通してきた膜形成性樹脂溶液が貯液部616に供給され、貯液部616内を渦巻状に旋回しつつ堰618、及び619を乗り越えるようにして流通し、分岐と合流を繰り返しつつ断面円環状に貯液されて賦形部617へと流通する。そして、賦形部617によって円筒状に賦形された膜形成性樹脂溶液は、吐出口614bから吐出され、同時に支持体導出口613bから導出されてきた支持体の外側に付与される。その後、例えば、膜形成性樹脂溶液に水分を含んだ気体を接触させる容器中、膜形成性樹脂溶液を凝固液と接触させる凝固槽中を通過させて膜形成性樹脂溶液を凝固させ、洗浄、又は乾燥などを経ることで中空糸膜が得られる。[第2実施形態]以下、本発明の第6の態様の中空糸膜紡糸ノズルの他の実施形態について説明する。図41~43は、本発明の第6の態様の中空糸膜紡糸ノズルの他の実施形態例である中空糸膜紡糸ノズル62以下、紡糸ノズル62と記す。を示した概略図である。紡糸ノズル62は、中空状の支持体の外側に1層の多孔質膜層が形成された中空糸膜を製造する紡糸ノズルである。本実施形態の紡糸ノズル62は、図41~43に示すように、第1のノズル621と第2のノズル622を有している。紡糸ノズル62は、図42に示すように、中空状の支持体を通過させる支持体通路623と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路624とを有している。また、樹脂流路624は、図41~43に示すように、膜形成性樹脂溶液が導入される導入部625と、膜形成性樹脂溶液を断面円環状に貯液する貯液部626と、貯液部626で断面円環状に貯液された膜形成性樹脂溶液を、支持体通路623と同心円筒状に賦形する賦形部627とを有している。紡糸ノズル62は、中空状の支持体が支持体供給口623aから供給されて支持体導出口623bから導出されるようになっており、また膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口624aから樹脂流路624内に供給され、貯液部626で貯液された後、賦形部627で同心円筒状に賦形され、吐出口624bから前記支持体の周りに円筒状に吐出されるようになっている。第1のノズル621及び第2のノズル622の材質は、中空糸膜の紡糸ノズルとして通常使用されるものが使用でき、耐熱性、耐食性、又は強度などの点から、ステンレス鋼材SUSが好ましい。支持体通路623の断面形状は、円形状である。支持体通路623の直径は、使用する中空状の支持体の直径に応じて適宜設定すればよい。樹脂流路624の導入部625の断面形状は、この例のように円形状が好ましい。ただし、導入部625の断面形状は、円形状には限定されない。導入部625の直径は、特に限定されない。貯液部626は、導入部625を流通してきた膜形成性樹脂溶液を断面円環状に貯液する部分である。紡糸ノズル62における貯液部626の内部には、図41~43に示すように、貯液部626の内壁面626aから外壁面626bに向かって延びる堰628が螺旋状に連続して設けられている。これにより、貯液部626内には、膜形成性樹脂溶液が螺旋状に旋回しながら流通する螺旋流路626cが形成されている。導入部625は貯液部626の外壁面626b側で連通しており、貯液部626内での膜形成性樹脂溶液の流通は、堰628によって螺旋状に旋回するように規制されるようになっている。また、図43に示すように、堰628の外壁面626b側の先端部と外壁面626bとの間には隙間がある。これにより、貯液部626内に供給された膜形成性樹脂溶液が、螺旋流路626cに沿って螺旋状に旋回しつつ、堰628の外壁面626b側から下方に落ちるようにもなっている。紡糸ノズル62では、貯液部626内に、前述のように、貯液部626内での膜形成性樹脂溶液の流通を螺旋状に旋回させるように規制する堰628が設けられていることで、膜形成性樹脂溶液により形成された多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が発生することを抑制できる。紡糸ノズル62の貯液部626において前記効果が得られる理由は明らかではないが、前述の紡糸ノズル61と同様に考えられる。つまり、紡糸ノズル62では、貯液部626内の膜形成性樹脂溶液が、螺旋状に旋回しつつ堰628の外壁面626b側から下方に落ちるようにして流通し、細かい分岐と合流が繰り返されるので、貯液部626の内壁面626aと外壁面626bの間において、膜形成性樹脂溶液の合流境界が、貯液部626の中心軸を通る水平方向の直線に沿って形成されることが抑制されると考えられる。そのため、貯液部626で貯液される膜形成樹脂溶液における膜形成性樹脂の絡み合い及び合流境界は、結果的に全体的に小さくなり、本発明の紡糸ノズルの内部において前記膜形成樹脂溶液が均一化され、扁平などの負荷発生時の応力が分散されるため、形成される多孔質膜層に、軸方向に沿った割れの起点が形成されることが抑制されると考えられる。螺旋流路626cの高さ螺旋状の堰628における上下に位置する部分同士の距離は、特に限定されない。堰628の長さ内壁面626aから外壁面626b側の先端部までの距離は、貯液部626内で膜形成性樹脂溶液を螺旋状に旋回させることができる長さであればよい。堰628の先端部と貯液部626の外壁面626bとの隙間の長さは、螺旋流路626cを流通する膜形成性樹脂溶液が、外壁面626b側から下方に落ちる長さであればよい。また、図42に示すように、貯液部626における賦形部627近傍には、スリット部626dを設けてもよい。スリット部626dを設けて流動抵抗を付与することで、膜形成性樹脂溶液の吐出における周方向の均一性が向上する。賦形部627は、貯液部626で断面円環状に貯液された膜形成性樹脂溶液を、支持体と同心円筒状に賦形する部分である。賦形部627の幅内壁と外壁の距離は、形成する多孔質膜層の厚みや所望の賦形条件に応じて適宜設定できる。紡糸ノズル62による中空糸膜の紡糸では、中空状の支持体が支持体供給口623aから支持体通路623に供給され、また膜形成性樹脂溶液を定量供給する装置例えばギアポンプなどの容積式ポンプによって膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口624aから樹脂流路624に供給される。樹脂流路624では、導入部625を流通してきた膜形成性樹脂溶液が貯液部626に供給され、分岐及び合流手段により、貯液部626内で螺旋状に旋回しつつ堰628の外壁面626b側から下方に落ちるようにして流通し、分岐と合流を繰り返し、貯液部626の内壁面626aと外壁面626bの間において、膜形成性樹脂溶液の合流境界が、貯液部626の中心軸を通る水平方向の直線に沿って形成されることなく、断面円環状に貯液されて賦形部627へと流通する。そして、貯液部626によって貯液された膜形成性樹脂溶液は、賦形部627を通って支持体と同心円筒状に賦形され、吐出口624bから吐出され、同時に支持体導出口623bから導出されてきた支持体の外側に付与される。その後、例えば、膜形成性樹脂溶液に水分を含んだ気体を接触させる容器中、膜形成性樹脂溶液を凝固液と接触させる凝固槽中を通過させて膜形成性樹脂溶液を凝固させ、洗浄、又は乾燥などを経ることで中空糸膜が得られる。以上説明した紡糸ノズル11、21、31、41、51、61又は62を用いれば、紡糸速度を高めた場合でも膜形成性樹脂溶液を周方向に均一に賦形でき、多孔質膜層に軸方向に沿って割れの起点が形成されることを抑制できるので、得られる中空糸膜に割れが発生することを抑制できる。本発明の第1の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、前記紡糸ノズル11には限定されない。例えば、紡糸ノズル11は、第1の貯液部118、又は第2の貯液部121の内部に、円筒状の多孔エレメント131、及び132を設けた形態であったが、多孔エレメントの形状は円筒状には限定されない。例えば、円板状の多孔エレメントを、第1の貯液部118のスリット部118b、及び第2の貯液部121のスリット部121bの部分に設け、その円板状の多孔エレメントの外周面から内周面に向かって膜形成性樹脂溶液が通過する形態としてもよい。また、紡糸ノズル11は、第1の賦形部119と第2の賦形部123で形成される複合部120を有する形態であったが、本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、ノズル内部に複合部を有さず、2以上の多孔質膜層を形成する各々の膜形成性樹脂溶液が、それぞれ別々に円筒状に吐出され、ノズル外部で複合積層されて支持体の外側に付与されるものであってもよい。具体的には、図4に例示した中空糸膜紡糸ノズル12以下、紡糸ノズル12と記す。であってもよい。紡糸ノズル12において紡糸ノズル11と同じ部分は同符号を付して説明を省略する。紡糸ノズル12は、第1のノズル111、第2のノズル112A、及び第3のノズル113Aを有しており、第1の貯液部118から流入する第1の膜形成性樹脂溶液を支持体通路114と同心円状の円筒状に賦形する第1の賦形部119Aと、第2の貯液部121から流入する第2の膜形成性樹脂溶液を支持体通路114と同心円状の円筒状に賦形する第2の賦形部122Aを有している。第1の膜形成性樹脂溶液は、樹脂供給口115aから樹脂流路115に供給され、第1の賦形部119Aで賦形された後に吐出口115bから吐出される。第2の膜形成性樹脂溶液は、樹脂供給口116aから樹脂流路116に供給され、第2の賦形部122Aで賦形された後に吐出口116bから吐出される。吐出口115b、116bからそれぞれ吐出された第1の膜形成性樹脂溶液と第2の膜形成性樹脂溶液は、ノズル外部で積層複合され、支持体導出口114bから導出された支持体の外部に付与される。また、紡糸ノズル11は、膜形成性樹脂溶液が外周面から内周面に向かって通過する多孔エレメント131、及び132を有していたが、本発明の中空糸膜紡糸ノズルにおける多孔エレメントは、膜形成性樹脂溶液が側面から通過するものであればよい。例えば、図5に例示した中空糸膜紡糸ノズル13以下、紡糸ノズル13と記す。であってもよい。紡糸ノズル13は、単層の多孔質膜層を有する中空糸膜を紡糸するノズルである。紡糸ノズル13は、第1のノズル141、及び第2のノズル142を有しており、中空状の支持体を通過させる支持体通路143と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液が流通する樹脂流路144を有している。また、樹脂流路144は、膜形成性樹脂溶液を導入する導入部145と、膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部146と、貯液部146から流入する膜形成性樹脂溶液を、支持体通路143を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形する賦形部147とを有している。また、貯液部146の内部には、膜形成性樹脂溶液が内周面から外周面に向かって通過する多孔エレメント151が設けられている。多孔エレメント151としては、多孔エレメント131で挙げたものと同じものが使用できる。紡糸ノズル13による紡糸における膜形成性樹脂溶液は、樹脂供給口144aから樹脂流路144に供給され、貯液部146における多孔エレメント151の内側に供給されて、二手に分岐して円弧状に流通して反対側で合流する。そして、その膜形成性樹脂溶液が、多孔エレメント151を内周面から外周面に向かって通過し、賦形部147で円筒状に賦形されて吐出口144bから吐出され、同時に支持体導出口143aから導出されてきた支持体の外側に付与される。このように、膜形成性樹脂溶液が内周面から外周面に向かって通過する多孔エレメント151を設けるようにしても、得られる中空糸膜に割れが発生することを抑制できる。本発明の第2の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、前記紡糸ノズル21には限定されない。例えば、紡糸ノズル21の貯液部217の代わりに、図14に示すように、断面円環状の円環部217bと、円環部217bから外側に向かって窪むように形成された6つの外周部217cとを有する第1の賦形室217Cと、同様に円環部と6つの外周部を有する第2の貯液室に分けられ、各々の外周部217cの部分に6個の供給路217aが設けられた貯液部を有する中空糸膜紡糸ノズルであってもよい。また、紡糸ノズル21の貯液部217の代わりに、図15に示すように、外周部を有さず、断面円環状の第1の貯液室217Dと、同形状の第2の貯液室を有し、その外壁に沿うように2以上の供給路217aが設けられた賦形部を有する中空糸膜紡糸ノズルであってもよい。また、第1の貯液室217Aの外周部217cが階段状になっておらず、第2の貯液部217Bのように底面が一定になっているものでもよい。また、紡糸ノズル21の貯液部217は2段の貯液室に分かれていたが、本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、貯液部が3段以上の賦形室に分かれていてもよい。この場合の貯液部は、上下に隣り合う貯液室がそれぞれ、外壁に沿うように設けられた2以上の供給路で連通される。また、本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、多層の多孔質膜層を有する多孔質中空糸膜を紡糸するノズルであってもよい。例えば、紡糸ノズル21のような貯液部と賦形部を有する樹脂流路を2つ有し、それぞれの樹脂流路で円筒状に賦形した膜形成性樹脂溶液を、同心円状に積層複合して中空状の支持体の外側に付与する中空糸膜紡糸ノズルであってもよい。この場合、紡糸ノズルの内部に、膜形成性樹脂溶液を積層複合する複合部を設けてもよく、ノズルの外部でそれぞれの膜形成性樹脂溶液が積層複合されて支持体の外側に付与されるようにしてもよい。本発明の第3の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、貯液部の内部に、粒子が充填された充填層が形成されているものであれば、前記紡糸ノズル31には限定されない。例えば、図19及び図20に例示した中空糸膜紡糸ノズル32以下、紡糸ノズル32と記す。であってもよい。紡糸ノズル32は、第1のノズル331と第2のノズル332を有しており、内部に、中空状の支持体を通過させる支持体通路333と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路334とを有している。樹脂流路334は、膜形成性樹脂溶液が導入される導入部335と、膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部336と、膜形成性樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部337とを有している。貯液部336は、水平方向の断面形状が円環状で、かつ垂直方向の断面形状が半円形である。貯液部336には、貯液部336の高さとほぼ同等の直径を有する球状の粒子341が充填された充填層340が形成されている。賦形部337は、貯液部336から流入する膜形成性樹脂溶液を、支持体通路333を通過させる支持体と同心円状の円筒状に賦形するようになっている。また、本発明の第3の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、充填層が賦形部の底から形成されていなくてもよい。例えば、賦形部の内部の所定の高さに、円盤状の金網、又はフィルターなどの膜形成性樹脂溶液が通過する円盤支持体を設置し、賦形部の内部における前記円盤支持体上に、粒子を充填して充填層を形成したものであってもよい。また、本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、多層の多孔質膜層を有する多孔質中空糸膜を紡糸するノズルであってもよい。例えば、紡糸ノズル31のような貯液部と賦形部を有する樹脂流路を2つ有し、それら貯液部のそれぞれに粒子を充填した充填層が形成されており、それぞれの賦形部で円筒状に賦形した膜形成性樹脂溶液を同心円状に積層複合して中空状の支持体の外側に付与する中空糸膜紡糸ノズルであってもよい。この場合、紡糸ノズルの内部に、各々の賦形部で賦形した膜形成性樹脂溶液を積層複合する複合部を設けてもよく、ノズルの外部で膜形成性樹脂溶液が積層複合されて支持体の外側に付与されるようにしてもよい。本発明の第4の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、紡糸ノズル41には限定されない。例えば、紡糸ノズル41の貯液部は4段であったが、貯液部は2段又は3段であってもよく、5段以上であってもよい。また、各樹脂供給部が貯液部416の周方向に沿って互いに反時計方向に225°ずつずれるように等間隔に設けられているが、樹脂供給部が形成される位置は特に限定されない。例えば、紡糸ノズル41の第1の樹脂供給部416a、第2の樹脂供給部416b及び第3の樹脂供給部416cが、貯液部416の周方向に沿って反時計方向に135°ずつずれるように形成されていてもよい。また、本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、異なる膜形成性樹脂溶液により形成される多孔質膜層が積層された多孔質中空糸膜を紡糸するノズルであってもよい。例えば、前述の貯液部と賦形部を有する樹脂流路を2つ有し、それぞれの樹脂流路で円筒状に賦形した種類の異なる膜形成性樹脂溶液を、同心円状に積層複合して中空状の支持体の外側に付与する中空糸膜紡糸ノズルであってもよい。この場合、2つの樹脂流路のそれぞれの最下段の賦形部の下流側に、それぞれの樹脂流路を流通してきた膜形成性樹脂溶液を積層複合する複合部を設けてもよく、ノズルの外部で各々の膜形成性樹脂溶液が積層複合されて支持体の外側に付与されるようにしてもよい。本発明の第5の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、前記紡糸ノズル51には限定されない。例えば、紡糸ノズル51では、蛇行部518の円環流路部は5つであったが、5つには限定されない。蛇行部518の円環流路部は2つ以上あればよい。また、紡糸ノズル51の蛇行部518は、貯液部516から流入する膜形成性樹脂溶液を、中心方向に向かって上下に蛇行させる部分であったが、本発明の第5の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、蛇行部を有しているものであればこの形態には限定されない。例えば、図35に例示した中空糸膜紡糸ノズル52以下、紡糸ノズル52と記す。であってもよい。紡糸ノズル52は、第1のノズル521aと第2のノズル521b、第3のノズル522a、第4のノズル522bを有しており、内部に、中空状の支持体を通過させる支持体通路523と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路524とを有している。樹脂流路524は、膜形成性樹脂溶液が導入される導入部525と、膜形成性樹脂溶液を断面円環状にして貯液する貯液部526と、膜形成樹脂溶液を円筒状に賦形する賦形部527とを有している。また、紡糸ノズル52は、貯液部526と賦形部527の間に、膜形成性樹脂溶液を断面円環状に保った状態で上下に蛇行させる蛇行部528を有している。紡糸ノズル52の蛇行部528は、図35に示すように、貯液部526から流入する膜形成性樹脂溶液を、中心から外側に向かって上下に蛇行させて流通させるようになっている。また、本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、多層の多孔質膜層を有する多孔質中空糸膜を紡糸するノズルであってもよい。例えば、紡糸ノズル71のような貯液部717及び724、賦形部728及び718及び蛇行部719及び726を有する樹脂流路715及び722を2つ有し、それら樹脂流路715及び722の賦形部728及び718で賦形した膜形成性樹脂溶液を同心円状に積層複合して中空状の支持体の外側に付与する中空糸膜紡糸ノズルであってもよい。この場合、紡糸ノズルの内部に、各々の膜形成性樹脂溶液を積層複合する複合部730を設けてもよく、ノズルの外部で各々の膜形成性樹脂溶液が積層複合されて支持体の外側に付与されるようにしてもよい。前述した紡糸ノズル61における貯液部616には、2つの堰618と堰619が互いに渦巻状に設けられている形態であったが、堰を1つだけ渦巻状に設けた形態であってもよい。例えば、図40に示すように、貯液部616の内部に、下壁面から上壁面に向かって延びる1つの堰618Aが渦巻状に設けられた形態であってもよい。このような形態であっても、貯液部616内では、膜形成性樹脂溶液が渦巻状に旋回しながら堰618Aを乗り越えるようにして流通し、細かい分岐と合流を繰り返すため、貯液部616の内壁面と外壁面の間において、膜形成性樹脂溶液の合流境界が、貯液部616の中心軸を通る水平方向の直線に沿って形成されることが抑制されると考えられる。そのため、多孔質膜層に軸方向に沿った割れの起点が形成されることを抑制でき、得られる中空糸膜に割れが発生することを抑制できる。本発明の第6の態様の中空糸膜紡糸ノズルは、前記紡糸ノズル61、又は62には限定されない。例えば、本発明の中空糸膜紡糸ノズルは、多層の多孔質膜層を有する多孔質中空糸膜を紡糸するノズルであってもよい。具体的には、紡糸ノズル61、又は62のような貯液部及び賦形部を有する樹脂流路を2つ有し、それら貯液部のそれぞれに、前述したような膜形成性樹脂溶液の流通を旋回させるように規制する堰が設けられており、それら貯液部において貯液された膜形成性樹脂溶液を同心円筒状に積層複合して中空状の支持体の外側に付与する中空糸膜紡糸ノズルであってもよい。この場合、紡糸ノズルの内部に、各々の貯液部で貯液した膜形成性樹脂溶液を積層複合する複合部を設けてもよく、ノズルの外部で膜形成性樹脂溶液が積層複合されて支持体の外側に付与されるようにしてもよい。本発明の紡糸ノズルは、その中心に、支持体を通過させる支持体通路を有する紡糸ノズルであってもよく、中空状の支持体を有さない多孔質中空糸膜を紡糸する紡糸ノズルであってもよい。前記支持体通路に支持体又は芯液などを通過させることにより、中空状の中空糸膜が得られる。前記支持体通路には、支持体を通過させることが好ましい。本発明の紡糸ノズルが中空状の支持体を有さない多孔質中空糸膜を紡糸する紡糸ノズルの場合、支持体通路に芯液などを通過させ、凝固及び洗浄することにより、中空状の多孔質膜を有する多孔質中空糸膜を製造することができる。前記芯液としては、所望の凝固力を有するものを適宜選定すれば良い。前記芯液としては、例えば水、グリセリン若しくはエチレングリコールなどの非溶媒の単独あるいは混合物、溶媒との混合溶液若しくはこれら各種複数の組み合わせ、又はポリビニルピロリドンのような可溶性ポリマー等が挙げられる。本発明の紡糸ノズルは、前記支持体通路を1つのみ有することが好ましい。<中空糸膜の製造方法>本発明の中空状の多孔質膜層を有する中空糸膜の製造方法は、膜形成性樹脂溶液から中空状の中空糸膜を紡糸する紡糸工程、紡糸された中空糸膜を凝固液により凝固させる凝固工程、凝固した前記中空糸膜から溶媒を除く脱溶媒工程、溶媒を除いた前記中空糸膜内部に含まれる添加剤を分解し、洗浄により除去する分解及び洗浄工程、洗浄後の前記中空糸膜を乾燥させる乾燥工程、及び乾燥後の前記中空糸膜を巻き取る巻取工程を有し、前記膜形成性樹脂溶液から前記中空糸膜を紡糸する紡糸工程が、本発明の中空糸膜紡糸ノズルによって前記膜形成性樹脂溶液から前記中空糸膜が紡糸されることを含む。<<紡糸工程>>本発明の中空糸膜の製造方法では、まず、前述の膜形成性樹脂溶液を調製する。本発明の中空糸膜の製造方法に用いられる本発明の紡糸ノズルは、内部に、中空状の支持体を通過させる支持体通路と、多孔質膜層を形成する膜形成性樹脂溶液を流通させる樹脂流路とを有している。紡糸ノズルは、中空状の支持体が支持体供給口から供給されて支持体導出口から導出され、前記膜形成性樹脂溶液が樹脂供給口から供給されて吐出口から前記支持体の周りに円筒状に吐出されるようになっている。本発明の紡糸ノズルによる中空糸膜の紡糸では、紡糸ノズルの吐出口から吐出した前記膜形成性樹脂溶液が、支持体導出口から同時に導出される中空状の支持体の外側に付与される。<<凝固工程>>凝固浴内の凝固液と、前記紡糸ノズルから吐出された前記膜形成性樹脂溶液とを接触させ、前記膜形成性樹脂溶液を凝固させ、前記膜形成性樹脂溶液中の溶媒を非溶媒に置換して、多孔質膜層を形成し、中空状の多孔質膜層を有する中空糸膜前駆体を得る。前記紡糸ノズルから前記中空糸膜前駆体が吐出された後、凝固液の入った凝固浴に至るまでの間に、空走区間エアギャップを設けても乾湿式紡糸、空走区間を設けなくても湿式紡糸よい。本発明で用いる膜形成性樹脂溶液は、膜形成性樹脂、及び相分離の制御を目的とした添加剤開孔剤を両者の良溶媒となる有機溶媒に溶解した溶液製膜原液である。前記凝固液は、水、エタノール、又はメタノール等やこれらの混合物が挙げられるが、特に前記製膜原液に用いた溶媒と水との混合液が安全性、又は運転管理の面から好ましい。<<脱溶媒工程>>上述のように前記凝固工程によって凝固した、中空糸膜前駆体中には溶媒などの物質が多量に残存しているため、前記中空糸膜前駆体中に残存する溶媒などの物質を除去する工程脱溶媒工程を行う。脱溶媒工程では、前記中空状の多孔質膜層を有する中空糸膜前駆体を脱溶媒槽中の熱水に接触することにより溶媒を除去する。熱水の温度は、前記中空糸膜前駆体同士が融着しない範囲で、できるだけ高温にすることが効果的である。このため、前記熱水の温度は20~100°Cが好ましく、50~100°Cがより好ましい。<<分解及び洗浄工程>>分解及び洗浄工程は、次亜塩素酸などによって中空糸膜前駆体内部の添加剤開孔剤を分解し、その後の洗浄により除去する工程である。分解及び洗浄工程では、脱溶媒工程後の中空糸膜前駆体を酸化剤である次亜塩素酸ナトリウム水溶液に浸漬後、分解槽中で添加剤開孔剤を酸化分解によって低分子化する。その後、高速洗浄槽中の熱水で添加剤開孔剤を洗浄する。分解及び洗浄工程は、前記中空糸膜前駆体内部の添加剤開孔剤を所望のレベルに到達するよう、一回の処理又は2回以上繰り返し処理を行う。<<乾燥工程及び巻取工程>>乾燥工程では、分解及び洗浄工程が実施された中空糸膜を乾燥する。乾燥工程の方法としては特に制限はなく、中空糸膜を熱風乾燥機などの乾燥機77に導入する方法で行えばよい。例えば、分解及び洗浄工程後の前記中空糸膜を60°C以上で、総所要時間が1分間以上24時間未満乾燥した後、ボビン又はカセ等の巻取機に巻き取る。本発明の中空糸膜紡糸ノズル、及び前記紡糸ノズルを用いた本発明の中空糸膜の製造方法は、紡糸速度を高めた場合でも、軸方向に沿った割れが発生し難い中空糸膜を製造できる。膜割れの発生のしやすさは、後述の膜割れ性確認試験によって確認することができる。本発明の紡糸ノズル又は本発明の製造方法によって製造される前記中空糸膜は、中空状の多孔質膜層を有する中空糸膜であり、その中心に中空部を有する。前記中空糸膜は、前記中空部を1つのみ有することが好ましい。前記中空糸膜の外径dとは、前記中空糸膜の環状断面における、膜の最外周の直径をいう。中空糸膜の内径dhとは、前記中空糸膜の環状断面における、支持体内面の直径をいう。中空糸膜の外径d中空糸膜の外径dは、以下の方法で測定した。測定するサンプルを約10cmに切断し、数本を束ねて、全体をポリウレタン樹脂で覆った。ポリウレタン樹脂は支持体内の中空部にも浸透するようにした。ポリウレタン樹脂硬化後、カミソリ刃を用いて厚さ膜の長手方向約0.5mmの薄片をサンプリングした。次に、サンプリングした中空糸膜の環状断面を、投影機ニコン社製、PROFILEPROJECTORV-12を用い、対物レンズ100倍にて観察した。観察している中空状多孔質膜断面のX方向、及びY方向の外表面の位置にマークラインをあわせて座標を読み取り、外径dを計算した。これを3回測定して外径dの平均値を求めた。中空糸膜の内径dhは、以下の方法で測定した。測定するサンプルは外径dを測定したサンプルと同様の方法でサンプリングした。次に、サンプリングした中空糸膜の環状断面を、投影機ニコン社製、PROFILEPROJECTORV-12を用い、対物レンズ100倍にて観察した。観察している中空糸膜断面のX方向、及びY方向の支持体内面の位置にマークラインをあわせて座標を読み取り、それより内径dhを計算した。これを3回測定して内径dhの平均値を求めた。通常、中空糸膜はろ過対象物を膜外表面から膜内面へと透過させ、機能を発現させるが、d/dhの値が大きくなると、中空糸膜のろ過面推算時に使用するパラメータとなる外径dに対して、中空糸膜面通過後の中空部における流体の流動抵抗推算時に使用するパラメータとなる内径dhが小さくなったり、内径dhに対して外径dが大きくなったりすることから、ろ過後の流体が中空部を流れる際の、流動抵抗が増加し、中空糸膜の有効利用が困難となったり、膜形成性樹脂溶液の凝固遅延が発生し、所望の膜構造が得られなかったり、膜形成性樹脂溶液が支持体内部に過剰進入し、中空部を閉塞したりする等の可能性がある。また、d/dhの値が小さくなると、中空糸膜の外径dと内径dhの差が小さくなり、中空糸の膜厚が薄くなることから、耐圧強度が低下したり、つぶれやすくなったりする可能性がある。d/dhの好ましい範囲は1.3~5.0であり、より好ましい範囲は1.4~3.5であり、最も好ましい範囲は1.5~2.0である。中空糸膜の外径dは0.5mm以上5.0mm以下が好ましい。中空糸膜の外径dが0.5mmより小さい場合、中空補強支持体の製造が困難となる。中空糸膜の外径dが5mmを越えると、膜エレメントの集積効率が低下し、所望の処理量が得られなかったり、中空糸膜の製造工程における、ガイドによるターンなどの工程通過性不良が生じたりする可能性がある。以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。膜割れ性確認試験デジタルマイクロメータMitutoyo社製MDC-25MJのヘッド間に、中空糸膜をマイクロメータの測定方向が膜の径方向になる様に挟み、投影機で測定した中空糸膜外径値をゼロ点とし、その位置からマイクロメータの指示値が負になるようにスピンドルを回し、マイクロメータの指示の絶対値が投影機で測定した中空糸膜の中空部直径の値に到達するまで膜を圧縮、及び変形させながら、目視で割れの発生を確認し、割れ発生時のマイクロメータの指示値を記録した。膜割れが見られない場合は、一旦マイクロメータを開放し、膜を45°回転させた後、再度圧縮、及び変形させて割れの発生を確認し、45°づつ回転させて最大4回測定を行った。測定サンプルは、約1cm長を3本とした。割れ性の指標として、マイクロメータの指示の絶対値が膜の中空部直径に到達する前に割れが観察されたものは割れ有りとし、到達時に割れが観察されなかったものは割れ無しとした。実施例1支持体の製造国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリフッ化ビニリデンCアルケマ社製、商品名:カイナー9000HD、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液3及び4を調製した。各貯液部に多孔エレメントSMC社製焼結金属エレメントESP-20-40-2-70、長さ13mmをそれぞれ配した中空糸膜紡糸ノズル11を使用し、前記紡糸ノズルを32°Cに保温した状態で、前記中空状編紐支持体を支持体供給口114aより供給し、毎分10mの走行速度で走行させた。第1の膜形成性樹脂溶液として、膜形成性樹脂溶液4を樹脂供給口115aより供給し、第2の膜形成性樹脂溶液として、膜形成性樹脂溶液3を樹脂供給口116aより供給した。2種類の膜形成性樹脂溶液は前記紡糸ノズル内部で積層複合させ、前記ノズルより吐出後に前記中空状編紐支持体へ塗布及び積層し、62mmのエアギャップ内を通過させた。上記以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。前記中空糸膜の各貯液部に孔径70μmの多孔エレメントを配した。各貯液部に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は2872であった。得られた中空糸膜の外径dは2.75mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.83であった。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例2支持体の製造国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造各貯液部に孔径120μmの多孔エレメントSMC社製焼結金属エレメントESP-20-40-2-120、長さ13mmを配したこと以外は実施例1と同様にして中空糸膜を製造した。前記中空糸膜の各貯液部に配した多孔エレメントの計算合流数は1676であった。得られた中空糸膜の外径dは2.75mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.83であった。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例3支持体の製造国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造各貯液部の多孔エレメントの公称ろ過精度を150μm富士フィルター工業社製焼結金網フジロイ登録商標、外径14mm、内径11mm、長さ13mmとしたこと以外は実施例1と同様にして中空糸膜を製造した。前記中空糸膜の各貯液部に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は922であった。得られた中空糸膜の外径dは2.75mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.83であった。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例4支持体の製造加熱ダイス温度を190°Cとし、支持体外径を2.55mmとしたこと以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5を調製した。貯液部121に孔径70μmの多孔エレメントSMC社製焼結金属エレメントESP-14-40-2-70、長さ13mmを配し、第1の膜形成性樹脂溶液は供給を行わず、樹脂供給口115aを閉止し、第2の膜形成性樹脂溶液として、膜形成性樹脂溶液5を樹脂供給口116aより供給したこと以外は実施例1と同様にして中空糸膜を製造した。前記中空糸膜の貯液部に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は1795であった。得られた中空糸膜の外径dは2.75mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.83であった。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例5支持体の製造実施例1と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造貯液部121に孔径120μmの多孔エレメントSMC社製焼結金属エレメントESP-14-40-2-120、長さ13mmを配したこと以外は実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。前記中空糸膜の貯液部に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は1047であった。得られた中空糸膜の外径dは2.75mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.83であった。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例6支持体の製造実施例1と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造貯液部121に孔径150μmの多孔エレメント富士フィルター工業社製焼結金網フジロイ登録商標、外径14mm、内径11mm、長さ13mmを配したこと以外は実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例7支持体の製造実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリフッ化ビニリデンBアルケマ社製、商品名:カイナー9000LD、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5及び6を調製した。各貯液部に孔径70μmの多孔エレメントSMC社製焼結金属エレメントESP-20-40-2-70、長さ13mmを配したこと以外は実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例8支持体の製造実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造各貯液部に孔径120μmの多孔エレメントSMC社製焼結金属エレメントESP-20-40-2-120、長さ13mmを配したこと以外は実施例7と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例9支持体の製造実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造各貯液部に孔径150μmの多孔エレメント富士フィルター工業社製焼結金網フジロイ登録商標、外径14mm、内径11mm、長さ13mmを配したこと以外は実施例7と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例10支持体の製造国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造貯液部118aに孔径120μmの多孔エレメントSMC社製焼結金属エレメントESP-20-40-2-120、長さ13mmを配し、貯液部121aに、外径30mm、内径26mm、長さ13mmの円筒形状で、長さ6.5mmの位置に円筒外周から円筒内周に向けて、直径0.5mmの穴を5度間隔で72箇所穿孔した多孔エレメントを配したこと以外は、実施例1と同様にして中空糸膜を製造した。前記中空糸膜の内層の貯液部118に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は1676であり、外層の貯液部121に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は72であった。得られた中空糸膜の外径dは2.75mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.83であった。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。比較例1実施例1の多孔エレメントを貯液部118a及び121aのいずれにも配置しないこと以外は実施例1と同様に紡糸し、多孔質中空糸膜を得た。得られた中空糸膜の外径dは2.75mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.83であった。得られた多孔質中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れが観察された。比較例2実施例1の多孔エレメントを貯液部118aに配置しないこと以外は実施例1と同様に紡糸し、多孔質中空糸膜を得た。得られた多孔質中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れが観察された。比較例3実施例1の多孔エレメントを貯液部121aに配置しないこと以外は実施例1と同様に紡糸し、多孔質中空糸膜を得た。得られた多孔質中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れが観察された。比較例4実施例10の貯液部121aに外径20mm、内径16mm、長さ13mmの円筒形状で、長さ6.5mmの位置に円筒外周から円筒内周に向けて、直径0.5mmの穴を10度間隔で36箇所穿孔した多孔エレメントを配したこと以外は実施例10と同様にして中空糸膜を製造した。前記中空糸膜の内層の貯液部118に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は1676であり、外層の貯液部121に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は36であった。得られた中空糸膜の外径dは2.75mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.83であった。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れが観察された。実施例11支持体の製造加熱ダイス温度を190°Cとし、支持体外径を2.55mmとしたこと以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5を調製した。貯液室にそれぞれ外側に向かって窪んだ12箇所の外周部を配した中空糸膜紡糸ノズルを使用し、前記紡糸ノズルを32°Cに保温した状態で、前記中空状編紐支持体を支持体供給口214aより供給し、毎分2mの走行速度で走行させた。膜形成性樹脂溶液5を樹脂供給口215aより供給し、前記中空糸膜紡糸ノズルより吐出後に前記中空状編紐支持体へ塗布、及び積層し、42mmのエアギャップ内を通過させた。上記以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例12支持体の製造加熱ダイス温度を190°Cとし、支持体外径を2.55mmとしたこと以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5を調製した。貯液部に直径2.79mmの鋼球を7個配した中空糸膜紡糸ノズルを使用し、前記紡糸ノズルを32°Cに保温した状態で、前記中空状編紐支持体を支持体供給口313aより供給し、毎分4mの走行速度で走行させた。前記膜形成性樹脂溶液5を樹脂供給口314aより供給し、前記中空糸膜紡糸ノズルより吐出後に前記中空状編紐支持体へ塗布、及び積層し、42mmのエアギャップ内を通過させた。上記以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例13支持体の製造加熱ダイス温度を190°Cとし、支持体外径を2.55mmとしたこと以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造貯液部に直径1.51mmの鋼球を300個配したこと以外は、実施例12と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。比較例5実施例12と同様に製造した支持体を使用し、貯液部に鋼球を充填しないこと以外は、実施例12と同様に紡糸し、中空糸膜を得た。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れが観察された。実施例14加熱ダイス温度を190°Cとし、支持体外径を2.55mmとしたこと以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリフッ化ビニリデンBアルケマ社製、商品名:カイナー9000LD、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5及び6を調製した。膜形成樹脂溶液6の樹脂流路に貯液部を2段配し、膜形成樹脂溶液5の樹脂流路に貯液部を2段配し、隣り合う樹脂供給部の位置を225度ずつずらした中空糸膜紡糸ノズル41を使用した。前記紡糸ノズルを32°Cに保温した状態で、前記中空状編紐支持体を支持体供給口より供給し、毎分10mの走行速度で走行させ、膜形成樹脂溶液5及び6を樹脂供給口より供給した。2種類の膜形成性樹脂溶液5及び6はノズル内部で積層複合させ、ノズルより吐出後に前記中空状編紐支持体へ塗布、及び積層し、42mmのエアギャップ内を通過させた。上記以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。比較例6実施例14の各貯液部を1段ずつにし、樹脂供給部の位置を180度ずらしたノズルを使用したこと以外は実施例14と同様に紡糸し、中空糸膜を得た。得られた多孔質中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れが観察された。実施例15支持体の製造加熱ダイス温度を190°Cとし、支持体外径を2.55mmとしたこと以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリフッ化ビニリデンBアルケマ社製、商品名:カイナー9000LD、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5及び6を調製した。図44に示す紡糸ノズル71を32°Cに保温した状態で、前記中空状編紐支持体を支持体供給口714aより供給し、毎分10mの走行速度で走行させた。内層の膜形成性樹脂溶液として、膜形成性樹脂溶液6を内層の樹脂供給口722aより供給し、外層の膜形成性樹脂溶液として、膜形成性樹脂溶液5を外層の樹脂供給口715aより供給した。各膜形成性樹脂溶液は各々の貯液部717又は724に導かれ、分岐及び合流して断面円環状となり、内層は上下に蛇行しながら蛇行部726で約10秒の滞在時間を経て賦形部728から718に導かれ、外層は上下に蛇行しながら蛇行部719で約60秒の滞在時間を経て賦形部718に導かれた。各膜形成性樹脂溶液をノズル内部で積層複合させ、ノズルより吐出後に前記中空状編紐支持体へ塗布及び積層し、62mmのエアギャップ内を通過させた。上記以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例16支持体の製造実施例15と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5を調製した。前記膜形成性樹脂溶液5を樹脂供給口514aより供給し、蛇行部518で約10秒の滞在時間を経て賦形部517に導かれたこと以外は、実施例1と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。比較例7支持体の製造実施例15と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造実施例16と同様、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5を調製した。前記膜形成性樹脂溶液5を樹脂供給口より供給し、蛇行部で約3秒の滞在時間を経て賦形部に導かれたこと以外は、実施例2と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れが観察された。実施例17支持体の製造加熱ダイス温度を190°Cとし、支持体外径を2.55mmとしたこと以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造ポリフッ化ビニリデンAアルケマ社製、商品名:カイナー301F、ポリビニルピロリドン日本触媒社製、商品名:K-79、及びN,N-ジメチルアセトアミドDMAcサムソンファインケミカル社製を、表1に示す質量比となるように混合し、膜形成性樹脂溶液5を調製した。貯液部に連続した渦巻き状の堰を配し、渦巻き状の堰の旋回を2.5周とし、堰先端と上壁面の隙間を0.1mmとした中空糸膜紡糸ノズルを使用した。前記紡糸ノズルを32°Cに保温した状態で、前記中空状編紐支持体を支持体供給口より供給し、毎分10mの走行速度で走行させた。前記膜形成性樹脂溶液5を樹脂供給口より供給し、ノズルより吐出後に前記中空状編紐支持体へ塗布及び積層し、42mmのエアギャップ内を通過させた。上記以外は、国際公開第2009/142279パンフレットの実施例4と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。実施例18支持体の製造実施例1と同様にして中空状編紐支持体を製造した。中空糸膜の製造実施例1と同様に、膜形成性樹脂溶液5を調製した。貯液部に連続した螺旋状の堰を配し、螺旋状の堰の旋回を約6周とした。堰先端は吐出口に向かって小さくなるよう、14度の角度を持った円錐状とし、外壁面は、吐出口に向かって小さくなるよう10度の角度を持った円錐状とした。螺旋終了部における外壁面とのクリアランスを約0.3mmとした中空糸膜紡糸ノズルを使用し、毎分5mの走行速度で走行させた。上記以外は、実施例1と同様にして中空糸膜を製造した。得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。比較例8ポリエステルの繊度を167dtex、フィラメント数72、ボビン数3、合計繊度501dtex、加熱ダイスの内径を1.8mmとしたこと以外は、国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして支持体外径1.8mm、支持体内径1.5mmの中空状編紐支持体を製造した。各貯液部に配した多孔エレメント通過後の計算合流数は922であった。支持体を変更し、所望の外径を得るよう、吐出量を調整したこと以外は実施例3と同様に紡糸し、多孔質中空糸膜を得た。得られた中空糸膜の外径dは1.8mm、内径dhは1.5mm、d/dhは1.2であった。得られた多孔質中空糸膜は扁平し、膜がつぶれてしまった。比較例9国際公開第2009/142279号パンフレットの実施例4と同様にして中空状編紐支持体を製造した。所望の外径を得るよう、吐出量を調整したこと以外は実施例3と同様に紡糸し、多孔質中空糸膜を得た。得られた中空糸膜の外径dは8.5mm、内径dhは1.5mm、d/dhは5.67であった。得られた多孔質中空糸膜は、中空部に膜形成性樹脂の過剰進入による中空部閉塞が見られた。また、実施例1~5及び10、並びに比較例1及び4について、計算合流数を求めた結果を表2に示す。表2から明らかなように、計算合流数が50個より多い実施例1~5及び10では、上述のように得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れは観察されなかった。一方、計算合流数が50個より少ない比較例1及び4では、上述のように得られた中空糸膜の膜割れ性確認試験の結果、膜割れが観察された。"