一端が排気系に接続され他端が吸気系に接続されたEGR通路と、前記EGR通路の排気系側および吸気系側にそれぞれ設けられた排気側EGR弁および吸気側EGR弁と、前記排気側EGR弁および吸気側EGR弁の開度を制御する制御手段と、を有し、前記吸気系と前記EGR通路との吸気合流部から吸気弁までの吸気通路長さと前記吸気合流部から前記排気側EGR弁までのEGR通路長さとが、前記排気側EGR弁を全閉した際に気柱共鳴が得られるように設定された内燃機関であって、前記制御手段は、負荷の増加に応じて、排気ガスが前記吸気系へ還流されるように前記排気側EGR弁および吸気側EGR弁の開度を制御するEGR運転から、排気ガスを前記吸気系へ還流させない非EGR運転へ移行する際に、前記吸気側EGR弁を一時的に全閉又は全閉近くまで閉弁するとともに前記排気側EGR弁を全閉し、当該排気側EGR弁の全閉の直後に前記吸気側EGR弁を全開する、ことを特徴とする内燃機関。前記吸気系と前記EGR通路との吸気合流部から吸気弁までの吸気通路長さと前記吸気合流部から前記排気側EGR弁までのEGR通路長さとが、略等しく設定されている、ことを特徴とする請求項1に記載の内燃機関。前記排気系からの排気エネルギーにより過給する可変ノズル付き過給機をさらに有し、前記制御手段は、前記EGR運転から非EGR運転へ切り替える際に、前記可変ノズル付き過給機のノズルを閉じる、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の内燃機関。しかしながら、特許文献1に開示された技術では、吸気共鳴管が必要であるため、吸気系が長くなり、配管レイアウトが複雑になりやすい。また、過給機付きの内燃機関においては、低負荷側のEGR領域から加速して低回転高負荷の非EGR領域に移行する際に、特に、吸気充填率が低いため過給応答性が低いという問題もある。本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、比較的簡易な構成で吸気充填率および排気還流率EGR率を改善可能な排気還流システムを備えた内燃機関を提供することにある。本発明は、一端が排気系に接続され他端が吸気系に接続されたEGR通路と、前記EGR通路の排気系側および吸気系側にそれぞれ設けられた排気側EGR弁および吸気側EGR弁と、前記排気側EGR弁および吸気側EGR弁の開度を制御する制御手段と、を有し、前記吸気系と前記EGR通路との吸気合流部から吸気弁までの吸気通路長さと前記吸気合流部から前記排気側EGR弁までのEGR通路長さとが、前記排気側EGR弁を全閉した際に気柱共鳴が得られるように設定された内燃機関であって、前記制御手段は、負荷の増加に応じて、排気ガスが前記吸気系へ還流されるように前記排気側EGR弁および吸気側EGR弁の開度を制御するEGR運転から、排気ガスを前記吸気系へ還流させない非EGR運転へ移行する際に、前記吸気側EGR弁を一時的に全閉又は全閉近くまで閉弁するとともに前記排気側EGR弁を全閉し、当該排気側EGR弁の全閉の直後に前記吸気側EGR弁を全開する、ことを特徴とする。本発明によれば、EGR通路を利用して共鳴過給が可能なので、比較的簡易な構成で吸気充填率および排気還流率を改善可能である。また、EGR運転から共鳴過給に移行する際に、吸気側EGR弁を一時的に全閉又は全閉近くまで閉弁することで、EGR通路内の脈動を抑制して排気側EGR弁の前後に大きな差圧が発生するのを防ぐことができるので、排気側EGR弁の作動を安定化できる。以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る車両の内燃機関システムの概念図である。内燃機関10は、燃料である軽油を燃料噴射弁12から燃焼室内に直接噴射することにより自然着火させる内燃機関ディーゼル機関である。気筒14の燃焼室に臨むと共に吸気通路16の一部を区画形成する吸気ポートは、シリンダヘッドに形成されていて、吸気弁不図示によって開閉される。シリンダヘッドには、吸気通路16の一部を区画形成する吸気マニホールド18が接続され、さらにその上流側には同じく吸気通路16の一部を区画形成する吸気管20が接続されている。吸気管20の上流端側には、吸気通路16に導かれる空気中の塵埃などを除去するべくエアクリーナ22が設けられている。また、スロットルアクチュエータ24によって開度が調整されるスロットル弁26が、吸気通路16の途中に設けられている。気筒14の燃焼室に臨むと共に排気通路28の一部を区画形成する排気ポートは、シリンダヘッドに形成されていて、排気弁不図示によって開閉される。シリンダヘッドには、排気通路28の一部を区画形成する排気マニホールド30が接続され、さらにその下流側には同じく排気通路28の一部を区画形成する排気管32が接続されている。そして、排気浄化装置34が排気通路28の途中に設けられている。排気浄化装置34内には、ここでは、上流側から順に、酸化触媒、DPFが設置されているが、他の触媒やフィルタが備えられることができる。吸気弁および上記排気弁の動作は動弁機構によって制御される。動弁機構は、吸気弁および排気弁を、コンロッドを介してピストンが連結されているクランクシャフトの回転に同期して、個別に任意の開度およびタイミングで制御することが可能な機構である。具体的には、動弁機構は、吸気弁と排気弁とにそれぞれ個別に設けられたソレノイドを含んでいる。動弁機構は、吸気弁と排気弁とが同時に開くバルブオーバーラップを実現可能であり、そのオーバーラップ量を変えることができる。なお、バルブタイミングを可変とする動弁機構は吸気弁および排気弁の少なくとも一方に対してのみ設けられてもよい。また、このような構成に代えて、動弁機構として、他の種々の機構を採用することが可能である。排気により回転駆動されるタービンホイールを含むタービン36が排気通路28の途中に設けられている。タービン36は、排気浄化装置34よりも上流側に配置されている。これに対応して、タービンホイールに同軸で連結され、タービンホイールの回転力で回転するようにしたコンプレッサホイールを含むコンプレッサ38が吸気通路16の途中に設けられている。すなわち、内燃機関10には、排気エネルギーを取り出すタービン36と、タービン36により取り出された排気エネルギーによって内燃機関10に過給するコンプレッサ38とを有するターボチャージャ40が設けられている。ターボチャージャ40は、可変ノズル付きターボチャージャである。コンプレッサ38により圧縮された空気を冷却すべく、インタークーラ42がコンプレッサ38よりも下流側に設けられている。内燃機関10には、排気通路28を流れる排気の一部を吸気通路16に導く排気ガス還流EGRシステム44が設けられている。EGRシステム44は、一端が排気通路28に接続され他端が吸気通路16に接続されたEGR通路46、EGR通路46の排気通路28側に設けられた排気側EGR弁50、および、EGR通路46の吸気通路16側に設けられた吸気側EGR弁54を有する。EGR通路46の上流側の一端は排気マニホールド30に接続され、下流側の他端は各気筒14にそれぞれ連通する吸気枝通路の集合部よりも上流側の吸気通路16の部分に接続されている。なお、EGR通路46の下流端は複数の吸気枝通路の集合部に接続されていてもよく、該集合部はサージタンクとして構成され得る。排気側EGR弁50は、排気通路28の近傍に配置され、アクチュエータ52により開閉される。吸気側EGR弁54は、吸気通路16の近傍に配置され、アクチュエータ56により開閉される。排気側EGR弁50および吸気側EGR弁54の開度は、ECU60によりコントロールされる。排気側EGR弁50および吸気側EGR弁54には、例えば、ポペット式弁が用いられる。上記したEGR通路46と吸気通路16とは、吸気通路16とEGR通路46との吸気合流部Cから吸気弁までの吸気通路長さLaと吸気合流部Cから排気側EGR弁50までのEGR通路長さLbとが、排気側EGR弁50を全閉した際に気柱共鳴が得られるように設定されている。具体的には、吸気通路長さLaとEGR通路長さLbとが略等しく、かつ、吸気通路長さLaおよびEGR通路長さLbが低速域のエンジン回転数で共鳴効果が得られるように設定されている。なお、低速域のエンジン回転数は、例えば、例えば、1000rpm~2000rpmの回転速度域であるが、これらの回転速度域に限定されず、適宜設定できる。このような構成により、気中振動が発生した際には、図2に示すように、吸気合流部Cの付近に気柱振動Wの節Wcが形成され、気筒14および排気側EGR弁50付近で気柱振動Wの腹が形成される。内燃機関10は、電子制御ユニットECU60に、各種値を検出推定を含むするための信号を電気的に出力する各種センサ類を備えている。吸入空気量を検出するためのエアフローメーター62が吸気通路16に備えられている。また、エアフローメーター62近傍に吸入空気の温度を検出するための吸気温度センサ64が、そしてインタークーラ42下流側にも温度を検出するための吸気温度センサ66が備えられている。また、過給圧を検出するための圧力センサ68が吸気通路16の途中に設けられている。ドライバーによって操作されるアクセルペダルの踏み込み量に対応する位置、すなわちアクセル開度を検出するためのアクセル開度センサ70が備えられている。スロットル弁26の開度を検出するためのスロットルポジションセンサ72も備えられている。ピストンが往復動する、シリンダブロックには、クランクシャフトのクランク回転信号を検出するためのクランクポジションセンサ74が取り付けられている。ここでは、このクランクポジションセンサ74はエンジン回転数エンジン回転速度を検出するためのエンジン回転速度センサとしても利用される。ECU60は、CPU、ROM、RAM、A/D変換器、入力インタフェース、出力インタフェース等のハードウエアと所用のソフトウエアにより構成されている。入力インタフェースには、各種センサ類が電気的に接続されている。これら各種センサ類からの出力信号検出信号に基づき、予め設定されたプログラムにしたがって円滑な内燃機関10の運転がなされるように、ECU60は出力インタフェースから電気的に作動信号駆動信号を出力する。これにより、燃料噴射弁12の作動、スロットル弁26、排気側EGR弁50および吸気側EGR弁54の各開度、動弁機構の動作などが制御される。ECU60は、スロットル弁26、排気側EGR弁50および吸気側EGR弁54の各開度を制御するため、各アクチュエータ24、52、56に作動信号を出力する。具体的には、内燃機関10では、エアフローメーター62からの出力信号に基づいて求められる吸入空気量、クランクポジションセンサ74からの出力信号に基づいて求められるエンジン回転速度など、すなわちエンジン負荷およびエンジン回転速度で表される運転状態に基づいて燃料噴射量燃料量、燃料噴射時期が設定される。そして、それら燃料噴射量、燃料噴射時期に基づいて、燃料噴射弁12からの燃料の噴射が行われる。そして、概してEGR通路46を流通する排気EGRガスの流量が多い程燃焼室での燃焼が生じ難いので、内燃機関10では、EGR通路46を流通する排気の量が多いとき程、燃料噴射時期を早める進角するように燃料噴射制御が実行される。また、上記各種センサ類からの出力信号に基づいて定まる内燃機関10の運転状態に基づいて、排気側EGR弁50および吸気側EGR弁54の開度は制御される。例えば、エンジン回転数が低回転数又は中回転数域において部分負荷の状態では、排気ガスを還流させるEGR運転が行われ、排気側EGR弁50および吸気側EGR弁54の開度が調整される。そして、エンジン回転数が低又は中回転数域において、部分負荷から全負荷状態になった移行する際には、排気ガスを還流させない非EGR運転が行われる。このときの、排気側EGR弁50および吸気側EGR弁54の制御について、以下において詳述する。EGR運転から非EGR運転へ移行する際の制御フローについて、図3のフローチャートを参照して説明する。図3に示す処理ルーチンは、運転中に所定時間毎にECU60において実行される。図3のステップS1では、EGR運転が行われる部分負荷状態から、アクセルペダルが踏み込まれて全負荷状態になったかを判断する。アクセルペダルが十分に踏み込まれていない場合には、処理を終了する。例えば、エンジン回転数が低、中回転数域になるようなアクセル開度でEGR運転が行われていると、図4の時間tより前に示すように、排気側EGR弁50は全開され、吸気側EGR弁54は、ある開度に調整された状態にある。この状態で、アクセルペダルが十分に踏み込まれ、全負荷状態が要求されたと判断すると、非EGR運転に移行するために、ステップS2に示す処理が実行される。具体的には、図4に示すように、吸気側EGR弁54を一時的に全閉するとともに排気側EGR弁50を全閉する。このとき、ターボチャージャ40の可変ノズルも閉じるとともに、スロットル弁26も全開にする。そして、排気側EGR弁50の全閉の直後に吸気側EGR弁54を速やかに全開する。EGR通路46に発生する脈動による圧力変動は、図2に示したように、吸気側EGR弁54吸気側合流部Cの付近で小さく、排気側EGR弁50付近で大きい。このため、吸気側EGR弁54を一時的に全閉したとしても、圧力変動が小さいので吸気側EGR弁54は容易に閉じる。吸気側EGR弁54を一時的に全閉すると、EGR通路46内の脈動が抑制される。EGR通路46内の脈動が抑制された状態で、排気側EGR弁50を閉じることで、排気側EGR弁50の前後における圧力差が低く抑えられ、排気側EGR弁50が振動するのを抑制できる。なお、排気側EGR弁50を閉じるタイミングと、吸気側EGR弁54を閉じるタイミングは、排気側EGR弁50が全閉されるまでに、EGR通路46内の脈動が抑制された状態になるように適宜選択できる。すなわち、吸気側EGR弁54を先に閉じてから、排気側EGR弁50を閉じてもよいし、吸気側EGR弁54と排気側EGR弁50の閉じ方向への駆動開始を同時にしてもよい。また、本実施形態では、吸気側EGR弁54を一時的に全閉する場合について説明したが、これに限定されるわけではなく、EGR通路46内の脈動が抑制できる程度に、全閉近くまで閉弁する構成としてもよい。吸気側EGR弁54を全閉しないことで、その分応答性を改善できる。例えば、図5に示すように、非EGR運転に移行するために、排気側EGR弁50を閉じるとともに、吸気側EGR弁54を全開した場合には、EGR通路46内の脈動が抑制されず、排気側EGR弁50の前後の圧力変動により、排気側EGR弁50がバルブシート上で振動し、弁の寿命が短くなるなどの不具合が発生する可能性がある。一方、本実施形態にように、吸気側EGR弁54を一時的に全閉又は開度を狭めてEGR通路46内の脈動を抑制することで、排気側EGR弁50の全閉時の振動抑制が可能になる。排気側EGR弁50を全閉し、吸気側EGR弁54を全開すると、EGR通路46がブランチ管の役割を果たし、気柱共鳴が発生し、共鳴過給される。すなわち、吸気行程後半における吸気ポートの圧力が上昇し、充填効率が高まる。これにより、過給圧の立ち上がり特性が改善し、EGR運転から非EGR運転への過渡時のトルクレスポンスが改善する。上記実施形態では、部分負荷運転から全負荷運転に移行する際に本発明を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、部分負荷運転からより高負荷な運転に移行する際にも、適用可能である。また、上記実施形態では、ディーゼル機関に本発明を適用した場合について説明したが、これに限定されるわけではなく、火花点火式の内燃機関にも適用可能である。