"内部空間とこの内部空間に連なる開口を有するワークのリークテストに用いられるチャンバにおいて、互いに接合することにより、上記ワークを収容するための密閉された収容空間を形成する第1、第2のチャンバ構成体と、上記第1、第2のチャンバ構成体の一方に設けられ、上記ワークの開口に気密に接続される接続手段と、を備え、上記収容空間が上記ワークに対応した形状を有し、この収容空間の内面とワークの外面との間に連続した間隙が形成されていることを特徴とするリークテスト用チャンバ。上記収容空間には、上記ワークを位置決めし上記間隙を維持するための位置決め手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のリークテスト用チャンバ。上記位置決め手段が、上記収容空間の内面に設けられ上記ワークの外面に局所的に当たることにより上記ワークを位置決めする位置決め部を有することを特徴とする請求項2に記載のリークテスト用チャンバ。上記位置決め手段が、互いに直交する3つの軸方向の位置決めを行う第1~第3の位置決め部を含むことを特徴とする請求項3に記載のリークテスト用チャンバ。上記接続手段は接続ヘッドと駆動手段とを有し、この接続ヘッドは、上記一方のチャンバ構成体に、上記3つの軸のうちの1つの軸方向にスライド可能にかつ気密に貫通し、上記駆動手段はこの接続ヘッドを前進、後退させるようになっており、上記第1~第3の位置決め部の1つは、上記接続ヘッドに対して上記1つの軸方向の反対側に位置し、上記接続ヘッドが上記ワークの開口を押圧しながら気密に接続される時に、上記ワークにおける上記開口の反対側の部位が上記1つの位置決め部に当たることにより、上記1つの軸方向の位置決めがなされることを特徴とする請求項4に記載のリークテスト用チャンバ。上記第1チャンバ構成体が固定位置にある下側構成体であり、上記第2チャンバ構成体がこの下側構成体に対して昇降する上側構成体であり、上記第1~第3の位置決め部が上記下側構成体に形成され、上記第1位置決め部に上記ワークの一部が載ることにより垂直軸方向の位置決めがなされ、上記第2、第3の位置決め部に上記ワークの他の部位がそれぞれ当たることにより、互いに直交する2つの水平軸方向の位置決めがなされることを特徴とする請求項4または5に記載のリークテスト用チャンバ。上記ワークは溶接部を含み、上記位置決め部は、上記ワークにおいて溶接部ではない箇所に当たって、ワークを位置決めすることを特徴とする請求項3~6のいずれかに記載のリークテスト用チャンバ。上記ワークは主部とこの主部に設けられた複数の副部を有しており、上記収容空間は、この主部に対応した形状を有しこの主部を間隙を介して収容する主部収容部と、上記副部に対応した形状を有しこの副部を間隙を介して収容する複数の副部収容部を有していることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載のリークテスト用チャンバ。上記ワークが燃料供給管からなり、この燃料供給管は、直管状の主管と、この主管の外周面に軸方向に間隔をおいて溶接された複数の通路ブロックと、各通路ブロックに溶接されて、上記主管と交差する方向に延びる分岐管とを有し、上記主管にはその軸線方向に延びる主通路が形成され、上記分岐管にはその軸線方向に延びる分岐通路が形成され、上記通路ブロックには上記主通路と上記分岐通路を連ねる連絡通路が形成され、上記主通路の一端が閉塞され、上記主通路の他端に連なる燃料入口が上記ワークの開口として提供され、上記主通路と分岐通路と連絡通路が上記ワークの内部空間として提供され、上記収容空間が、上記主管に対応した形状を有して主管を収容する主管収容部と、上記通路ブロックの形状に対応した形状を有して通路ブロックを収容するブロック収容部と、上記分岐管に対応した形状を有して分岐管を収容する分岐管収容部を有し、上記第1位置決め部が上記通路ブロックの下面に当たり、上記第2位置決め部が上記通路ブロックの側面に当たり、上記第3位置決め部が上記主管の閉塞された一端面に当たることを特徴とする請求項6に記載のリークテスト用チャンバ。請求項1~9のいずれかに記載のチャンバと、上記接続手段を介してワーク内を真空引きする真空引き手段と、真空引き後に上記接続手段を介してワーク内にトレーサーガスを供給するガス供給手段と、上記収容空間の空気を吸引して空気中のトレーサーガスを検出するガス検出手段とを備えていることを特徴とするリークテスト装置。さらに、上記ガス検出手段によりトレーサーガスを検出する工程において、上記収容空間内の空気を循環させる循環手段を備えたことを特徴とする請求項10に記載のリークテスト装置。特許文献1に示す装置では、チャンバ本体は直方体形状をなしており、その収容空間はワークの形状とは無関係である。そのため、上記ワークの外面と収容空間の内面とで画成される空間ヘリウムガスが漏れ出てくる検査用の空間の体積も大きくなってしまい、漏れ出たヘリウムガスの検査用空間での密度が低く、高精度の検出を行うことができなかった。また、高精度で漏れ検出を行うためには、上記検査用空間を高真空度で真空引きすることが必須となる。本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、内部空間とこの内部空間に連なる開口を有するワークのリークテストに用いられるチャンバにおいて、互いに接合することにより、上記ワークを収容するための密閉された収容空間を形成する第1、第2のチャンバ構成体と、上記第1、第2のチャンバ構成体の一方に設けられ、上記ワークの開口に気密に接続される接続手段と、を備え、上記収容空間が上記ワークに対応した形状を有し、この収容空間の内面とワークの外面との間に連続した間隙が形成されていることを特徴とする。上記構成によれば、上記収容空間が上記ワークに対応した形状を有し、この収容空間の内面とワークの外面との間に連続した間隙が形成され、この間隙が小容積の検査用の空間として提供される。そのため、ワークにトレーサーガスや高圧エア等を供給した時に、この検査用空間への漏れを高精度で検出することができる。また、間隙は連続しているので、漏れ検出を確実に行うことができる。好ましくは、上記収容空間には、上記ワークを位置決めし上記間隙を維持するための位置決め手段が設けられている。この構成によれば、ワークを位置決めすることにより上記間隙を維持することができるので、より一層確実な漏れ検出を行うことができる。好ましくは、上記位置決め手段が、上記収容空間の内面に設けられ上記ワークの外面に局所的に当たることにより上記ワークを位置決めする位置決め部を有する。この構成によれば、位置決め手段の構造を簡略化することができる。好ましくは、上記位置決め手段が、互いに直交する3つの軸方向の位置決めを行う第1~第3の位置決め部を含む。この構成によれば、安定した位置決めを行うことができる。好ましくは、上記接続手段は接続ヘッドと駆動手段とを有し、この接続ヘッドは、上記一方のチャンバ構成体に、上記3つの軸のうちの1つの軸方向にスライド可能にかつ気密に貫通し、上記駆動手段はこの接続ヘッドを前進、後退させるようになっており、上記第1~第3の位置決め部の1つは、上記接続ヘッドに対して上記1つの軸方向の反対側に位置し、上記接続ヘッドが上記ワークの開口を押圧しながら気密に接続される時に、上記ワークにおける上記開口の反対側の部位が上記1つの位置決め部に当たることにより、上記1つの軸方向の位置決めがなされる。この構成によれば、接続ヘッドとそれに対峙する位置決め部とで1軸方向の位置決めを安定して行うことができる。好ましくは、上記第1チャンバ構成体が固定位置にある下側構成体であり、上記第2チャンバ構成体がこの下側構成体に対して昇降する上側構成体であり、上記第1~第3の位置決め部が上記下側構成体に形成され、上記第1位置決め部に上記ワークの一部が載ることにより垂直軸方向の位置決めがなされ、上記第2、第3の位置決め部に上記ワークの他の部位がそれぞれ当たることにより、互いに直交する2つの水平軸方向の位置決めがなされる。この構成によれば、簡単な構成で3軸方向の位置決めを行うことができる。好ましくは、上記ワークは溶接部を含み、上記位置決め部は、上記ワークにおいて溶接部ではない箇所に当たって、ワークを位置決めする。この構成によれば、溶接不良による漏れを確実に検出することができる。好ましくは、上記ワークは主部とこの主部に設けられた複数の副部を有しており、上記収容空間は、この主部に対応した形状を有しこの主部を間隙を介して収容する主部収容部と、上記副部に対応した形状を有しこの副部を間隙を介して収容する複数の副部収容部を有している。この構成によれば、主部と複数の副部を有するワークを小容積の検査用空間を介して収容することができ、高精度のリークテストを行うことができる。好ましくは、上記ワークが燃料供給管からなり、この燃料供給管は、直管状の主管と、この主管の外周面に軸方向に間隔をおいて溶接された複数の通路ブロックと、各通路ブロックに溶接されて、上記主管と交差する方向に延びる分岐管とを有し、上記主管にはその軸線方向に延びる主通路が形成され、上記分岐管にはその軸線方向に延びる分岐通路が形成され、上記通路ブロックには上記主通路と上記分岐通路を連ねる連絡通路が形成され、上記主通路の一端が閉塞され、上記主通路の他端に連なる燃料入口が上記ワークの開口として提供され、上記主通路と分岐通路と連絡通路が上記ワークの内部空間として提供され、上記収容空間が、上記主管に対応した形状を有して主管を収容する主管収容部と、上記通路ブロックの形状に対応した形状を有して通路ブロックを収容するブロック収容部と、上記分岐管に対応した形状を有して分岐管を収容する分岐管収容部を有し、上記第1位置決め部が上記通路ブロックの下面に当たり、上記第2位置決め部が上記通路ブロックの側面に当たり、上記第3位置決め部が上記主管の閉塞された一端面に当たる。この構成によれば、ワークとしての燃料供給管を小容積の検査用空間を介して収容することができ、高精度のリークテストを行うことができる。本発明の他の態様をなすリークテスト装置は、上記チャンバと、上記接続手段を介してワーク内を真空引きする真空引き手段と、真空引き後に上記接続手段を介してワーク内にトレーサーガスを供給するガス供給手段と、上記収容空間の空気を吸引して空気中のトレーサーガスを検出するガス検出手段とを備えている。この構成によれば、収容空間を真空吸引することなくほぼ大気圧にしたままで、トレーサーガス検出によるリークテストを行えるので、装置の小型化が可能であり、大幅に製造コストを低減することができる。好ましくは、リークテスト装置は、さらに、上記ガス検出手段によりトレーサーガスを検出する工程において、上記収容空間内の空気を循環させる循環手段を備えている。この構成によれば、検査用空間が小容積であってもトレーサーガスを均一化することができ、安定したトレーサーガス濃度を検出することができる。本発明のチャンバを用いることにより、高精度でワークの漏れを検出することができる。以下、本発明の一実施形態に係わるリークテスト装置について図面を参照しながら説明する。図1に示すように、リークテスト装置は、チャンバAと、真空引き系1真空引き手段と、ガス供給系2ガス供給手段と、ガス回収系3ガス回収手段と、排気系4排気手段と、第1大気供給系5復圧用大気供給手段と、検出系6ガス検出手段と、循環系7循環手段と、第2大気供給系8参照用洗浄用大気供給手段と、チャンバ洗浄系9チャンバ洗浄手段を備えている。上記真空引き系1、ガス供給系2、ガス回収系3、排気系4、第1大気供給系5は、共通通路L0から分岐された通路L1,L2,L3,L4,L5を有しており、これら通路L1,L2,L3、L4,L5にはそれぞれ開閉弁V1,V2,V3,V4,V5が設けられている。なお、これら開閉弁V1,V2,V3,V4,V5は全てが閉じているか、いずれか1つの開閉弁が開くように制御される。以下の通路に関する説明では、通路内での流体の流れ方向に基づいて上流、下流の言葉を用いることにする。上記真空引き系1の通路L1の上流端は上記共通通路L0に連なり、下流端は排気ダクト10に連なっている。この排気ダクト10の排出端は屋外にある。上記通路L1には上記開閉弁V1上流側から排気ダクト10下流側に向かって順に、圧力スイッチ11圧力検出手段、開閉弁12、分岐継手13、真空ポンプ14が設けられている。分岐継手13は通路15を介して室内大気に連なっている。この通路15には真空破壊弁16が設けられている。この真空破壊弁16は、真空ポンプ14を停止させた時のみ開く。上記ガス供給系2は、上記通路L2の上流端に窒素ガス搬送ガスを供給する窒素ガス供給部21と、ヘリウムガストレーサーガスを供給するヘリウムガス供給部22と、混合器20とを有している。窒素ガス供給部21は、窒素ガス源と、この窒素ガス源からの窒素ガスを所定圧例えば0.5MPaに減圧するレギュレータ等を有している。ヘリウムガス供給部22も同様に、ヘリウムガス源と、このヘリウムガス源からのヘリウムガスを所定圧例えば0.5MPaに減圧するレギュレータ等を有している。これら窒素ガスとヘリウムガスは混合器20で混合される。その結果、上記通路L2の上流端には、所定濃度例えばヘリウム濃度50の希釈ヘリウムガスが供給されるようになっている。上記ガス供給系2はさらに、上記通路L2にその上流端から開閉弁V2に向かって順に設けられた圧縮機23,蓄圧タンク24,レギュレータ25等を有している。上記希釈ヘリウムガスは後述する回収タンク26を介して圧縮機23に送られ、ここで所定圧例えば20.5MPaまで増圧されて蓄圧タンク24に蓄えられ、レギュレータ25で若干低い圧力例えば18.5MPaに減圧されて、共通通路L0へ供給されるようになっている。上記ガス回収系3は、上述した通路L3に設けられた開閉弁V3の他に上記通路L2に設けられた回収タンク26を有している。通路L3の下流端がこの回収タンク26に接続されている。上記排気系4の通路L4の下流端は排気ダクト10を介して屋外に連なっている。上記第1大気供給系5の通路L5の上流端は室内大気本リークテスト装置が配されたテスト環境の大気に連なっている。上記検出系6は、ヘリウム検出器30を有している。このヘリウム検出器30は、チャンバ側検出ポート31と大気側検出ポート32とを有している。上記チャンバ側検出ポート31には通路L6の一端が接続され、この通路L6の他端は後述するチャンバAの端壁62dに接続されている。これにより、チャンバ側検出ポート31は通路L6を介して後述するチャンバAの収容空間90に連なっている。大気側検出ポート32は、第2大気供給系8の通路L8を介して上記室内大気に連なっている。上記ヘリウム検出器30において、上記検出ポート31,32は、内部の開閉弁30a,30bを介してヘリウム検出部30cに連なり、さらにこのヘリウム検出部30cを介して排気ポンプ33に連なっている。この排気ポンプ33の吐出側は上記排気ダクト10に連なっている。本実施形態の検出系6は、さらに、上記通路L6,L8にそれぞれ設けられた2位置3方弁34,35と、2つの補助通路36,37を有している。補助通路36の一端は上記検出通路L6に接続され、他端は弁35を介して大気側検出ポート32に接続されている。上記弁35の選択動作により、大気側検出ポート32は第2大気供給系8の通路L8に連なったり、補助通路36、検出通路L6を介して収容空間90に連なるようになっている。上記補助通路37の一端は排気ポンプ35の吸引側に接続され、他端は弁34を介してチャンバ側検出ポート31に接続されている。この弁34の選択動作により、上記チャンバ側検出ポート31は、検出通路L6を介して収容空間90に連なったり、排気ポンプ35の吸引側に連なるようになっている。なお、上記検出系6において、弁34,35、補助通路36,37を省き、上記ポート31,32に直接通路L6,L8を接続してもよい。上記循環系7は循環通路L7を有しており、この循環通路L7の両端は、後述するチャンバAの下側構成体60の長手方向の両端壁62c、62dに接続され、チャンバAの収容空間90に連なっている。上記循環通路L7には、較正手段40と、循環ポンプ41後述のように排気ポンプを兼ねると、循環ポンプ41の吐出側に位置する開閉弁42が、設けられている。較正手段40は、基準濃度のヘリウムを放出する基準ヘリウム源40aと、開閉弁40bとを有しており、必要に応じて基準濃度のヘリウムを循環通路L7に放出して、ヘリウム検出器30の較正に供する。チャンバ洗浄系9は、大気導入通路L9xと排出通路L9yを有している。これら通路L9x、L9yにはそれぞれ開閉弁47,48が設けられている。上記大気導入通路L9xの一端は室内大気に連なり本実施形態では第2大気供給系8の通路L8を介して室内大気に連なっている、他端はチャンバAの端壁62cに接続されている。上記排出通路L9yの一端は循環ポンプ41の吐出側に接続され、他端は排気ダクト10に接続されている。次に、図2を参照しながら、被検査対象となるワーク100について説明する。本実施形態のワーク100は燃料供給管であり、直線状に延びる主管101主部を有している。この主管101にはその軸線方向に延びる主通路101xが形成されている。上記主管101の一端101aには円形の端板図示しないがはめ込まれ、その周囲がろう付けされ、これにより、上記主通路101xの一端が閉塞されている。上記主管101の他端101bには、入口部材102がろう付けされている。この入口部材102は、端部がテーパをなす燃料入口102a開口を有している。この燃料入口102aは、上記主管101の主通路101xの他端に連なっている。上記ワーク100は、さらに、主管101の外周面に長手方向に間隔をおいてろう付け溶接された複数例えば4つの通路ブロック103と、各通路ブロック103にろう付けされた分岐管104および連結管105と、主管101の外周面に燃料入口102aに近接してろう付けされた検査管106とを有している。上記通路ブロック103は主管101の軸線と平行をなす直線上に配置されており、上記分岐管104、連結管105は同一平面上に配置されている。各分岐管104はその軸線方向に延びる分岐通路104xを有し、これら分岐通路104xは通路ブロック103に形成された連絡通路103x及び主管101の周壁に形成された穴を介して上記主管101の主通路101xに連なっている。上記連結管105は、その軸線方向に延びる穴105aを有しており、この穴105aは通路ブロック102に形成された穴に直線的に連なっており、固定用ボルト等を通すようになっている。上記検査管106はその軸線方向に延びる検査通路106xを有しており、この検査通路106xは主管101の周壁に形成された穴を介して主通路101xに連なっている。上記主通路101x、連絡通路103x、分岐通路104x、検査通路106xによりワーク100の内部空間108が構成されている。上記ワーク100は車両等に搭載される。ガソリン等の高圧燃料が、上記燃料入口102aに供給され、主管101の主通路101xを通り、通路ブロック102の連絡通路103xを通って分岐管104の分岐通路104xへと分配され、さらに燃料噴射器へと供給されるようになっている。検査管106の検査通路106xには燃料圧力センサが接続され、供給燃料の圧力を検出できるようになっている。上記ワーク100は、ろう付け箇所溶接箇所に欠陥があると高圧燃料が漏れてしまう。本実施形態のリークテスト装置はこのワーク100の漏れを高精度で検出する。なお、リークテストの際には、ワーク100の分岐管104の開口および検査管106の開口は、栓110,111により気密に塞がれている。各通路ブロック103と、この通路ブロック103にろう付けされ栓110で塞がれた分岐管104と、通路ブロック103にろう付けされた連結管105は、一塊の副部107を提供する。栓111で塞がれた検査管106は独立した副部を提供する。次に、図3を参照しながらチャンバAを説明する。チャンバAは、フレーム50の底板51に固定された下側構成体60第1チャンバ構成体と、この下側構成体60の上方に配置された上側構成体70第2チャンバ構成体とを備えている。これら構成体60,70は鋳物からなる。上側構成体70は、昇降機構55駆動手段により、下側構成体60に接合する閉じ位置図2において想像線で示すと、下側構成体60から上方に離れた開き位置図2において実線で示すとの間を、昇降するようになっている。この昇降機構55は、支持板56と、この支持板56を上下移動可能に案内する垂直ロッド57と、フレーム50の頂板52に固定され、支持板56を昇降させるエアシリンダ58とを有している。上記支持板56の下面に上記上側構成体70が固定されている。次に、図4~図9を参照しながら下側構成体60を説明する。下側構成体60は、底部61と周壁62とを有して上部が開放された箱形状をなしている。図4に示すように、周壁62は平面形状が長方形をなし、長手方向に沿う一対の側壁62a、62bと長手方向の両端に位置する端壁62c、62dとを有している。周壁62の上面には連続した溝が形成され、この溝にシール材62x図4、図5にのみ示すが嵌め込まれている。上記下側構成体60の底部61は上記ワーク100に対応した面形状を有している。詳述すると、底部61は、下側構成体60の長手方向に両端壁62c、62d間のほぼ全長にわたって延びる凹部63を有している。この凹部63は後述するように主管100の下部を収容するものであり、主管100の外周面に対応して半円筒面をなしている。さらに底部61には、下側構成体60の長手方向に間隔をおいて4つの凹部64ブロック収容部を有している。これら凹部64は、上記通路ブロック103に対応した形状をなし通路ブロック103を収容する。この凹部64は上記凹部63に連なるとともに凹部63より深く形成されている。上記凹部64の底面64a第1位置決め部は水平かつ平坦をなし、上記通路ブロック103の水平かつ平坦な下面を載せるようになっており、これによりワーク100が垂直Z軸方向に位置決めされる。上記凹部64の側面64b第2位置決め部は垂直且つ平坦をなしており、この側面64bに上記通路ブロック103の垂直かつ平坦な一方の側面が当たることにより、ワーク100が水平Y軸方向主管101の軸線と直交する方向に位置決めされる。さらに底部61は、上記分岐管104、連結管105の下部をそれぞれ収容するための凹部65、66を有している。これら凹部65,66は分岐管104、連結管105の外周面に沿う半円筒面をなして第2凹部64に連なっており、これら凹部65,66間には、突条67が形成されている。上記突条67の端67a第2位置決め部に通路ブロック103の他方の側面に当たることにより、ワーク100のY軸方向の位置決めがなされる。さらに底部61は、上記検査管106の下部を収容するための凹部68図4、図5にのみ示すを有している。この凹部68は検査管106の外周面に沿う半円筒面を有している。さらに、上記下側構成体60の端壁62dの内面には、低い凸部69第3位置決め部が形成されている。この凸部69の平坦な面に、主管101を塞ぐ端板図示しないが当たることにより、ワーク100が水平X軸方向主管101の軸線方向に位置決めされる。図6~図9に示すように、上側構成体70は、下側構成体60の上部開口を開閉する蓋の役割を担うものであり、下側構成体60の周壁62の内側に入り込む凸部71と、この周壁62の上面に気密をなして接合する鍔部72とを有している。上記凸部71の下面には、上記主管101の上部を収容する凹部73と、上記分岐管104の上部を収容する凹部75と、連結管105の上部を収容する凹部76と、上記検査管106の上部を収容する凹部図示しないを有している。これら凹部は収容する管の外周面に沿う半円筒面を有している。図6~図9に示すように、下側構成体60の底部61の上面と上側構成体70の凸部71の下面は、上記凹部を形成しない領域では互いに接合される。下側構成体60に上側構成体70が接合された状態で、両者の間に収容空間90が形成される。この収容空間90はワーク100の形状に対応しており、ワーク100を収容するようになっている。この収容状態において、大部分の領域少なくとも過半の領域では、収容空間90の内面とワーク100の外面とが、例えば2~3mmの連続した狭い間隙をなして対峙している。より詳しく説明すると、収容空間90は、ワーク100の主管101を収容する主管収容部93主部収容部を有している。この主管収容部93は、下側構成体60の凹部63と上側構成体70の凹部73により構成され、主管101とほぼ相似形をなしこれより大きい。さらに、収容空間90は、下側構成体60の凹部64からなるブロック収容部と、構成体60,70の凹部65,75からなる分岐管収容部95と、凹部66,76からなる連結管収容部96と、下側構成体60の凹部68と上側構成体70の対応する凹部からなる検査管収容部図示しないとを有している。上記収容部94,95,96は一塊の副部収容部となり、検査管収容部は独立した副部収容部となり、これら収容部は主管収容部93を介して連なっている。図4に示すように、上記下側構成体60の端壁62cには、ガイド部材80が端壁62cを気密に貫通するようにして取り付けられている。このガイド部材80は、その軸線方向水平X軸方向に貫通するガイド穴を有しており、このガイド穴には細長い接続ヘッド85接続手段がX軸方向にスライド可能にかつ気密に挿入されている。上記接続ヘッド85は、フレーム50の底板51に固定されたエアシリンダ86駆動手段により進退動作されるようになっている。この接続ヘッド85には軸線方向に延びる通路85aが形成されており、この通路85aの基端は接続口85bに連なっている。この接続口85bは図1に示すように共通通路L0に接続されている。図2に示すように、上記接続ヘッド85の一部を構成する先端部材85xはテーパをなす先端接合部85cを有しており、ワーク100の収容状態で、エアシリンダ86により接続ヘッド85が前進した時、この先端接合部85cがワーク100の燃料入口102aに気密に接合するようになっている。この先端接合部85cはワーク100をX軸方向に押すため、図5、図6に示すように、ワーク100の主管101の端101aが下側構成体60の凸部69に当たり、X軸方向の位置決めが完了する。上記リークテスト装置によるリークテストを説明する。リークテスト工程において全てのポンプ14,33,41は連続運転をしている。弁V1~V5は、最初は全て閉じられている。他の弁12,16,34,35,42,47,48は図1に示す状態にある。以下の制御および漏れ判断は、マイクロプロセッサ、パソコン等を含むコントローラ図示しないで行う。準備工程チャンバAの上側構成体70を下側構成体60から上方に離間させた状態で、図5に示すようにワーク100を下側構成体60にセットする。このセット時に、下側構成体60の凹部64の底面64a、側面64bと突条67の端67aにより、ワーク100のY軸、Z軸方向の位置決めが完了している。次に、エアシリンダ55を駆動させて、上側構成体70を下降させ、前述したように下側構成体60に気密状態で接合する。これにより、図6~図9に示すように、ワーク100は、チャンバAに収容される。より具体的には、ワーク100の主管101が収容空間90の主管収容部93に収容され、通路ブロック103が凹部64に収容され、分岐管104、連結管105がそれぞれ分岐管収容部95、連結管収容部96に収容され、検査管106が検査管収容部に収容される。上記ワーク100は、位置決めされている箇所を除き、連続した隙間を介して収容空間の内面から離れている。上記準備状態では、弁47,48が開いているので、循環ポンプ41により室内大気が大気導入通路L9xを経てチャンバAの収容空間90に入り、大気排出通路L9yから排出される。そのため、収容空間90内はほぼ大気圧である。他方、ヘリウム検出器30内の開閉弁30aは閉じ、開閉弁30bは開いている。そのため、チャンバAの収容空間90内の空気は、排気ポンプ33により検出通路L6,補助通路36、弁35、30bを介してヘリウム検出部30cに送られる。そのため、収容空間90内のヘリウム濃度を監視することができる。接続工程次に、エアシリンダ86を駆動させて接続ヘッド85を前進させ、ワーク100に気密に接続させる。この時、前述したようにワーク100のX軸方向の位置決めも完了する。真空引き工程次に、2つの開閉弁V1,12を開き、真空ポンプ14によりワーク100内を真空引きする例えば100Paにする。大漏れ検出工程次に開閉弁12を閉じてワーク100内を密閉する。この状態で、圧力スイッチ11でワーク100内の圧力を監視し、圧力が閾値を超えたときには、大漏れと判断する。この大漏れ判断の場合には、リークテストを終了する。すなわち、弁V1,12,16を元に戻し、後述と同様にしてチャンバAの収容空間90を大気圧に戻した後、上側構成体70を上昇させてワーク100を取り出す。ガス供給工程大漏れでないと判断した場合には、上記弁47,48,30bを閉じ位置に戻し、弁V1を閉じ位置に戻した後、開閉弁V2を開いて高圧のヘリウムガスをワーク100に充填する。ワーク100に溶接不良箇所があると、ワーク100内の高圧ヘリウムガスは、チャンバAの収容空間90に漏れてくる。ヘリウム検出工程次に、弁V2を閉じ、弁34,35をオン動作させ、ヘリウム検出器30の2つの弁30a、30bを交互に開く。例えば弁30aを閉じ、弁30bを開くことにより、室内大気が第2大気供給系9の通路L9、弁35,30bを経てヘリウム検出部30cに送られ、ここで室内大気中のヘリウム濃度を参照ヘリウム濃度として検出する。この室内空気は排気ポンプ33、排気ダクト10を経て屋外に排出される。次に、弁30bを閉じ、弁30aを開くことにより、チャンバAの収容空間90の空気が通路L6、弁34,30aを経てヘリウム検出部30cに送られ、ここで収容空間90内の空気のヘリウム濃度が検出される。この空気は、排気ポンプ33、排気ダクト10を経て屋外に排出される。上記収容空間90のヘリウム濃度から室内大気の参照ヘリウム濃度を差し引いた値が、閾値を超えるか否かを判断し、閾値を超えている場合にはワーク100に微小漏れ有りと判断し、閾値を超えていない場合には良品と判断する。前述したように収容空間90はワーク100に対応した形状を有しているため、収容空間90にワーク100を収容した状態では、ヘリウムガスが漏れ出る検査用の空間すなわちワーク100の外面と収容空間90の間の空間の容積は非常に小さくて済む。そのため、漏れ出たヘリウムガスが少なくても検査用の空間での密度は測定に十分なレベルとなり、高精度で微小漏れを検出することができる。また、収容空間90を真空引きせず、ほぼ大気圧の空気中のヘリウムガスを検出することができる。なお、排気ポンプ33の吸引力は通常の真空ポンプに比べて微弱である。循環工程上記検出工程において、弁42を開き、循環ポンプ41により、収容空間90内の空気を循環通路L7を介して循環させる。これにより、検査用の空間の容積が小さくてもヘリウムを均一濃度にすることができ、安定した測定を行うことができる。洗浄工程上記検出工程の後で、弁47,48を開くことにより、室内大気をチャンバAの収容空間90内に導入し排気ダクト10を経て屋外に排出する。これにより、収容空間90を洗浄する。上記収容空間90の洗浄の後または同時期に、弁34,35をオフ状態に戻し、弁30a,30bを開いて、ヘリウム検出器30の内部通路を洗浄する。ガス回収工程他方、上記検出工程の後に、弁V3を開いてワーク100内の高圧ヘリウムガスを回収タンク26に回収する。ガス排気工程次に、弁V3を閉じ開閉弁V4を開いて、ワーク100内のヘリウムガスを通路L4、排気ダクト10を介して屋外に排出する。減圧工程次に、前述した真空引き工程と同様に弁V1,12を開きワーク100内を吸引し、残留ヘリウムガスを屋外へ排気する。この時の減圧は例えば700Pa程度でよい。復圧工程次に、弁V5を開いてワーク100内を大気圧に戻す。上記ガス回収工程から復圧工程までは、洗浄工程と同時期に行ってもよい。次に、シリンダ86を駆動させて接続ヘッド85を後退させ、ワーク100から外す。その後で、エアシリンダ55を駆動させて上側構成体70を開き、ワーク100を取り出す。本発明は、上記実施例に制約されず、種々の態様を採用することができる。例えば、上記実施形態において、ワーク100の外面と収容空間90の内面との間の間隙の連続性を確保するために、構成体60,70の接合面のいずれかに、複数の副部収容部を連ねる溝を形成してもよい。上記実施形態において、収容空間90は、通路ブロック103、分岐管104、連結管105にそれぞれ厳密に対応する形状の収容部を有しているが、これらを一塊とした副部収容部としてもよい。この場合、突条67は削除してもよい。本発明は、燃料供給管に限らず、あらゆる形状、種類のワークのリークテストに適用できる。チャンバの収容空間は検査されるべきワークの形状に対応して変わる。位置決め手段は、ワークをチャックする機構であってもよい。1つの位置決め部で、第1~第3位置決め部のうちの2つまたは3つを兼用してもよい。トレーサーガスとして、ヘリウムガスの代わりに水素ガスを用いてもよい。本発明のチャンバは、微小漏れ検出のためのエアリークテストに適用することができる。この場合、ワークに加圧エアを供給し、収容空間の圧力の変化を検出する。"