"ねじ軸と、このねじ軸に螺合された複数のナットとを備え、前記ねじ軸と前記複数のナットとを前記ねじ軸の軸回りに相対的に回転させることで発生する前記ねじ軸の軸方向の変位によって駆動対象を駆動するリニアアクチュエータにおいて、前記複数のナットにおける2つのナットを連結し、前記ねじ軸の周方向に回転可能に当該2つのナットを支持するリンク部材と、前記駆動対象に連結され、前記リンク部材を揺動可能に支持する荷重伝達部材とを備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。請求項1に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記リンク部材は、前記2つのナットにおける一方を第1の軸を介して支持しつつ、前記2つのナットにおける他方を第2の軸を介して支持しており、前記荷重伝達部材は、第3の軸を介して前記リンク部材を支持していることを特徴とするリニアアクチュエータ。請求項2に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記第3の軸の軸心から前記第1及び前記第2の軸の軸心までの距離は、それぞれ等しいことを特徴とするリニアアクチュエータ。ねじ軸と、このねじ軸に螺合された3つのナットとを備え、前記ねじ軸と前記3つのナットとを前記ねじ軸の軸回りに相対的に回転させることで発生する前記ねじ軸の軸方向の変位によって駆動対象を駆動するリニアアクチュエータにおいて、前記3つのナットのうち2つのナットを連結し、前記ねじ軸の周方向に回転可能に当該2つのナットを支持する第1リンク部材と、前記3つのナットのうち残りの1つのナットと前記第1リンク部材を連結し、前記ねじ軸の周方向に回転可能に当該1つのナットを支持するとともに前記第1リンク部材を揺動可能に支持する第2リンク部材と、前記駆動対象に連結され、前記第2リンク部材を揺動可能に支持する荷重伝達部材とを備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。請求項4に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記第1リンク部材は、前記2つのナットにおける一方を第1の軸を介して支持しつつ、前記2つのナットにおける他方を第2の軸を介して支持しており、前記第2リンク部材は、前記1つのナットを第3の軸を介して支持しつつ、前記第1リンク部材を第4の軸を介して支持しており、前記荷重伝達部材は、第5の軸を介して前記第2リンク部材を支持しており、前記第4の軸の軸心から前記第1及び前記第2の軸の軸心までの距離はそれぞれ等しく、前記第5の軸の軸心から前記第4の軸の軸心までの距離と、前記第5の軸の軸心から前記第3の軸の軸心までの距離の比率は、1:2であることを特徴とするリニアアクチュエータ。ねじ軸と、このねじ軸に螺合された4つのナットとを備え、前記ねじ軸と前記4つのナットとを前記ねじ軸の軸回りに相対的に回転させることで発生する前記ねじ軸の軸方向の変位によって駆動対象を駆動するリニアアクチュエータにおいて、前記3つのナットのうち2つのナットを連結し、前記ねじ軸の周方向に回転可能に当該2つのナットを支持する第1リンク部材と、前記3つのナットのうち残りの2つのナットを連結し、前記ねじ軸の周方向に回転可能に当該残りの2つのナットを支持する第2リンク部材と、前記第1リンク部材と前記第2リンク部材を連結し、前記第1リンク部材及び前記第2リンク部材を揺動可能に支持する第3リンク部材と、前記駆動対象に連結され、前記第3リンク部材を揺動可能に支持する荷重伝達部材とを備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。請求項6に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記第1リンク部材は、前記2つのナットにおける一方を第1の軸を介して支持しつつ、前記2つのナットにおける他方を第2の軸を介して支持を支持しており、前記第2リンク部材は、前記残りの2つのナットにおける一方を第3の軸を介して支持しつつ、前記残りの2つのナットにおける他方を第4の軸を介して支持を支持しており、前記第3リンク部材は、前記第1リンク部材を第5の軸を介して支持しつつ、前記第2リンク部材を第6の軸を介して支持しており、前記荷重伝達部材は、前記第3リンク部材を第7の軸を介して支持しており、前記第5の軸の軸心から前記第1及び前記第2の軸の軸心までの距離はそれぞれ等しく、前記第6の軸の軸心から前記第3及び前記第4の軸の軸心までの距離はそれぞれ等しく、前記第7の軸の軸心から前記第5及び前記第6の軸の軸心までの距離はそれぞれ等しいことを特徴とするリニアアクチュエータ。ところで、各ナットと駆動対象との連結部が剛体であったとすれば、各連結部の加工精度や組立精度が影響し、各ナットに均等に荷重が分配されるとは限らない。また、各ナットに荷重が均等に作用することなく、1つのナットに全ての荷重が作用するという状態も考えられる。この課題の解決を図るために、上記5つの文献の一部特開2003-227557号公報、特開2002-137268号公報、特開2002-364724号公報、特開昭60-256667号公報では、各連結部に弾性体を用いることで、各ナットに作用する荷重を均等化することを試みているが、各連結部の剛性が低下するという新たな課題が生じる。また、残りの文献特開平4-8951号公報では、2つのナット間距離を調整できる構成としているが、当該距離の調整に手間がかかるという課題が残る。また、当該文献の中には、2つのナット間距離を圧電式アクチュエータ等で調整する構成も記述されているが、制御系が複雑になりコストも高くなるため、現実的とは言い難い。このように、従来技術では複数のナットのそれぞれに作用する荷重を均等化するために、剛性の低下を招く、あるいは組立調整の手間が増えるといった課題があった。本発明の目的は、剛性の低下を抑制しながら、各ナットに作用する荷重の偏差を容易に低減できるリニアアクチュエータを提供することにある。本発明は、上記目的を達成するために、ねじ軸と、このねじ軸に螺合された複数のナットとを備え、前記ねじ軸と前記複数のナットとを軸回りに相対的に回転させることで発生する前記ねじ軸の軸方向の変位によって駆動対象を駆動するリニアアクチュエータにおいて、前記複数のナットにおける2つナットを連結し、前記ねじ軸の周方向に回転可能に当該2つのナットを支持するリンク部材と、前記駆動対象に連結され、前記リンク部材を揺動可能に支持する荷重伝達部材とを備えるものとする。本発明によれば、剛性の低下を抑制しながら、各ナットに作用する荷重の偏差を容易に低減できる。以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係るリニアアクチュエータの全体構成図の斜視図であり、図2は図1に示したリニアアクチュエータの正面図である。なお、各図面において同じ部分には同じ符号を付して説明は適宜省略することがある後の図も同様とする。また、以下の説明では、同一の構成要素が複数ある場合において、各構成要素の区別が必要な場合には共通する数字の符号に異なるアルファベットの小文字を付して区別するものとし、区別が不要な場合は当該アルファベットの小文字を適宜省略することがある。これらの図に示すリニアアクチュエータ1は、軸受図示せずによって回転可能に支持されたねじ軸51と、ねじ軸51に螺合された2つのナット52a,52bと、ねじ軸51を回転駆動するための駆動源であるモータ駆動装置57と、2つのナット52a,52bを連結する荷重均等化機構2と、荷重均等化機構2に連結された駆動対象被駆動体55と、駆動対象55の直動を案内するためのリニアガイドレール53及び可動部54と、ねじ軸51を回転可能支持するための側板56を備えている。2つのナット52a,52bは、荷重均等化機構2を介して駆動対象55と連結されており、ねじ軸51が回転してもねじ軸51の回転軸回りに回転しないように拘束されている。そのため、モータ7によってねじ軸51を回転駆動させることでねじ軸51とナット52とを軸周りに相対的に回転させると、ねじ軸51の軸方向におけるナット52の変位が発生し、当該変位によって駆動対象55が駆動される。リニアガイドは、ねじ軸1の軸方向に間隔を介して配置された2つの側板56に架け渡されたレール53と、駆動対象55に取り付けられ駆動対象55がレール53上を移動するための可動部54を備えている。図3は図2に示したリニアアクチュエータにおける荷重均等化機構2付近の拡大図である。この図において、荷重均等化機構2は、2つのナット52a,52bの間に架け渡されており、2つの取付部61a,61bと、1組のリンク部材62a,62bと、荷重伝達部材63を備えている。取付部材61a,61bは、ナット52a,52bの外周に設けられたフランジ部81を介してボルト等でナット52a,52bにそれぞれ連結されており、ナット52a,52bと共にねじ軸51上を進退する。1組のリンク部材62a,62bは、2つのナット52a,52bをねじ軸51の径方向から挟み込んで連結するもので、この図に示す例では2つの取付部材61a,62bにリンク部材62a,62bをそれぞれ架け渡すことでナット52a,52bを連結している。また、1組のリンク部材62a,62bは、同一直線上に配置された2本のボルト67によって形成される軸を介して一方の取付部材61aを支持しており、同様に同一直線上に配置された2本のボルト67によって形成される他の軸を介して他方の取付部材62bを支持している。各ボルト67には、球面軸受64及びスペーサ65図4参照が挿入されている。荷重伝達部材63は、同一直線上に配置された2本のボルト68によって形成される軸を介して1組のリンク部材62a,62bを揺動可能に支持している。各ボルト68には、スペーサ66図4参照が挿入されている。なお、ここでは、ボルト67,68を利用した例を挙げて説明するが、その他の締結手段を利用しても良い。図4は本発明の第1の実施の形態に係るリニアアクチュエータ1における荷重均等化機構2の分解図である。各取付部材61a,61bには、ボルト67を締結するためのめねじ部が形成された穴71が2つ設けられている。この図に示す穴71は、その軸心がねじ軸51の回転軸と略直交するように設けられており、各取付部材61a,61bに係る2つの穴71は、ねじ軸51の回転軸を基準にして対称に配置されている。これにより2つの穴71に螺合される2本のボルト67によって形成される軸はねじ軸51の回転軸と略直交する。各リンク部材62a,62bには、その長手方向における両端部分にボルト67及び球面軸受64を収納するための穴72が設けられている。また、当該2つの穴72の間には、ボルト68を挿入するための穴73が設けられている。この図に示す例では、各リンク部材に設けられる3つの穴72,72,73はその中心が同一直線上に位置するように配置されており、穴73は2つの穴72,72の中央に位置している。すなわち、穴73の中心ボルト68の軸心から2つの穴72,72の中心ボルト67の軸心までは等距離になっており、各ボルト67,67,68の軸心はねじ軸51の回転軸と略直交する。球面軸受64は、ラジアル荷重と両方向のスラスト荷重を負荷するためのもので、内部にスペーサ65が挿入された状態で穴72に収納されている。ボルト67は、当該スペーサ65を介して穴71に螺合されている。取付部剤61及びリンク部材62は球面軸受64を介して連結されているため、リンク部材62は取付部61に対してボルト67の軸周りに回転可能であり、さらに、リンク部材62は取付部61に対して傾斜可能である。また、ボルト67と球面軸受64とは、ボルト67の軸方向に相対的に変位可能に取り付けられている。荷重伝達部63には、ボルト68を締結するためのめねじ部が形成された穴74が設けられている。リンク部材62の穴73にはスペーサ66が挿入されており、当該スペーサ66を介してボルト68は穴74のめねじ部に螺合されている。これにより荷重伝達部材63はリンク部材61をボルト68の軸回りに揺動可能に支持する。上記のような構成により、リンク部材62は荷重伝達部材63に対してボルト68の軸回りに揺動可能となる。そして、このようにリンク部材62が揺動することにより、2つの取付部61a,61bがねじ軸51の回転軸回りの所定の微少範囲内において相対的に回転可能となる。つまり、当該2つの取付部61a,61bに連結された2つのナット52a,52bがねじ軸51の回転軸回りの所定の微少範囲内において相対的に回転可能となる。次に、図を参照しつつ荷重均等化機構2によってナット52に作用する荷重の偏差が低減される原理を説明する。ここでは、説明の便宜上、各ナット52は複数のボールを転動体として有するボールナットであるとする。図5、図6及び図7は本発明に係る荷重均等化機構の原理説明図である。図5は荷重均等化機構2の各部に作用する荷重やトルクを矢印で示した図である。図6は図5中の左側のナット52aにおける1つのボール75とねじ軸51の関係を示した図であり、図7は図5中の右側のナット52bにおける1つのボール75とねじ軸51の関係を示した図である。ここでは、駆動対象55から荷重伝達部材63に伝わる荷重をFとする。さらに、この荷重Fが2つのナット52a,52bに分配され、図中左側のナット52aにF1、図中右側のナット52bにF2の荷重が作用したとする。このとき、各部の摩擦損失等がなければF=F1F2である。また、各ナット52a,52bに荷重F1、F2が作用することで、ねじ軸51に対して各ナット52a,52bにトルクT1、T2が作用する。摩擦損失等を考慮しなければ、T1F1×L2π、T2F2×L2πであるなお、Lはねじ軸51のリードとする。ここでは、各ナット52a,52bに作用する荷重F1,F2が不均等な場合として、F1>F2であった場合を考える。このように荷重F1,F2が不均等になればトルクT1,T2も同様に不均等になり、T1>T2となり、各ナット52a,52bにトルク差が生じる。既述の通り、ナット52a,52b同士は荷重均等化機構2によってねじ軸52の周方向への回転が所定の範囲内において許容されているため、発生したトルク差によって回転しようとする。ここでは、T1>T2であるため、トルクT1の作用するナット52aがT1の方向へ、トルクT2の作用するナット52bがT2の方向と逆方向へ回転しようとするので、2つのナット52a,52bは互いに逆方向へ回転しようとする。この時、回転角度が微少であれば、リンク部材62aの図中左側は図中下方向A方向に微少に動くとともに、リンク部材62aの図中右側は図中上方向B方向に微少に動くことになり、図5中のリンク部材62aはボルト68を揺動軸として図中左回りに微少に揺動することになる。なお、このとき、リンク部材62bはボルト68を揺動軸として図中右回りに微少に揺動することになる。次に、このようにリンク部材62aが微少に揺動した場合に各ナット52内で発生する荷重の変化について図6及び図7を参照しつつ説明する。まず、既述のように各ナット52がボールナットであったとすると、図5のように荷重Fが図中左側から右側へ作用している場合には、ボール75とねじ軸51とは、ボール75の図中右側とねじ軸51の螺旋溝76の図中左側とが接触している状態となる図6及び図7参照。この状態において、図中左側のナット52aでは次のような荷重変化が生じる。すなわち、不均等荷重F1,F2によってリンク部材62aの図中左側がA方向へ微少に動いたとすると、それに従いナット52aもトルクT1の方向へ僅かに回転し、ナット52a内のボール75はA方向へ微少に移動することとなる図6参照。このようにボール75がA方向へ移動すると、ボール75はねじ軸51の螺旋溝76と離れようとするため、ボール75とねじ軸51との間の接触荷重が減少する。つまり、ナット52aに作用する荷重F1が減少する。次に、図中右側のナット52bでは次のような荷重変化が生じる。すなわち、不均等荷重F1,F2によってリンク部材62aの図中右側がB方向へ微少に動いたとすると、それに従いナット52bはトルクT2と逆の方向へ僅かに回転し、ナット52b内のボール75はB方向へ微少に移動することとなる。ボール75がB方向へ移動すると、ねじ軸51の螺旋溝76と接近しようとするため、ボール75とねじ軸51との間の接触荷重が増加する。つまり、ナット52bに作用する荷重F2が増加する。上記のように、各ナット52a,52bに作用する荷重F1,F2がF1>F2のように不均等状態であると、F1は減少、F2は増加するように各ナット52a,52bがねじ軸52回転軸回りに微少に回転し、F1=F2となったところで釣り合い静止する。このような作用により、荷重均等化機構2は2つのナット52a,52bに作用する荷重の偏差を容易に低減できる。すなわち、上記のように構成したリニアアクチュエータにおいて、もし2つのナット52a,52bに作用する荷重が不均等であったとすると、その荷重に見合ったねじ軸51の回転軸回りのトルクが各ナット52a,52bに作用するので、このトルクも不均等であることになる。2つのナット52a,52bは上記のようにリンク部材62で接続されているため、ナット52a,52b間のトルクが不釣り合いな場合、トルクの差によってナット52a,52b同士がねじ軸51の回転軸回りに相対的に回転しようとする。このとき、トルクの大きな方のナット52はねじ軸51に対して接触部が離れる方向に回転しようとし、トルクの小さな方のナット52はねじ軸51に対して接触部が近づく方向に回転しようとする。このため、トルクの大きな方のナット52は荷重が減少し、トルクの小さな方のナット52は荷重が増加する。結果的に荷重トルクが等しくなったところでバランスし、2つのナット52a,52bに作用する荷重の偏差は自動的に低減される好ましくは、2つのナット52a,52bに作用する荷重が均等になる。。したがって、本実施の形態によれば、剛性の低下を抑制しながら、各ナット52a,52bに作用する荷重の偏差を容易に低減できる。ところで、本実施の形態を別の視点で考えると、2つのナット52a,52bに作用するトルクT1,T2が不均等であった場合には、ナット52a,52b同士は相対的に回転しようとするねじれようとするため、ナット52a,52bが回転していなければトルクT1,T2は均等であり、つまり荷重F1,F2も均等であると言える。ここで、T1T2とするためには、各リンク部材62a,62bにおける穴73の中心ボルト68の軸心から図中左側の穴72の中心ボルト67の軸心までの距離L1図5参照と、穴73から図中右側の穴72の中心ボルト67の軸心までの距離L2図5参照がそれぞれ等しいという条件が必要である。これは、T1T2が成立するためには、リンク部材62が穴73を中心にA方向に移動しようとする力とB方向に移動しようとする力が等しくなければならないからである。リンク部材62の穴73回りのモーメントは釣り合っていることから、A方向に移動しようとする力とL1の積=B方向に移動しようとする力とL2の積という等式が成り立ち、結果L1L2が導かれる。また、L1とL2の長さを故意に変えることにより、各ナット52a,52bの荷重の分担比率を変えることも可能である。これにより、例えば、2つのナット52a,52bの強度が異なる場合には、強度が高いものの荷重分担比率を高くすることで2つのナット52a,52bの寿命を平準化することができる。以上のように、本実施の形態に係るリニアアクチュエータは、ナット52a,52b同士のねじ軸51回りのねじれを許容することによって、2つのナット52a,52bに作用する荷重の偏差を低減している。なお、上記の実施の形態では、ナット52や荷重均等化機構2に作用する荷重の偏りを抑制する観点から、各ボルト67,67,68の軸心がねじ軸51の回転軸と略直交するようにした。しかし、ナット52がねじ軸51の周方向に回転可能であり、かつ、リンク部材62が荷重伝達部材63に対して揺動可能であれば、ナット52やリンク部材62を他の方法で支持しても良い。すなわち、各ボルト67,67,68の軸心をねじ軸51の回転軸からずらしても良く、当該回転軸に直交させる必要も無い。例えば、ボルト67,67,68のいずれかの軸心がねじ軸51と交差するように締結しても良い。また、上記の実施の形態では、取付部材61にボルト67を締結することでリンク部材62とナット52を連結することにしたが、ナット52にめねじ部を設け、当該めねじ部に螺合させたボルトを介してリンク部材62とナット52を連結しても良いすなわち、取付部材61は省略しても良い。さらに、上記の説明では、説明の便宜上、各ナット52はボールナットであるとしたが、ナット52とねじ軸51の接触部が存在する場合には、上記と同様に各ナット52に作用する荷重の偏差を低減できるので、他の転動体を有するナットにも本発明が適用可能であることは言うまでもない。図8は本発明の第2の実施の形態に係るリニアアクチュエータにおける荷重均等化機構3の分解図である。第1の実施の形態のものと異なる点は、球面軸受64を省略して、ボルト67及びスペーサ65だけで取付部材61とリンク部材62を連結している点にある。その他の点については、第1の実施の形態と変わらないため説明は省略する。通常、各部品の加工精度や組立精度等に起因して、ボルト67とスペーサ65の間や、スペーサ65と穴72の間等には隙間ガタが存在するため、リンク部材62はボルト68を軸として僅かに揺動可能である。このように僅かでも揺動可能であれば、不均等荷重が作用した場合に2つのナット52a,52bは既述のようにねじ軸51の回転軸回りに回転することができるので、球面軸受64を用いなくとも2つのナット52a,52b間の荷重の偏差を低減することができる。このように構成した本実施の形態によれば、第1の実施の形態と比べて部品点数を減らすことができコストを抑えることが可能となる。図9は本発明の第3の実施の形態に係るリニアアクチュエータにおける荷重均等化機構4の斜視図であり、図10は図9に示した荷重均等化機構4の分解図である。本実施の形態では、1つのねじ軸51に3つのナット52a,52b,52cが螺合されており、3つのナット52a,52b,52cに作用する荷重の偏差を低減する構成としている。第1の実施の形態と異なる主な構成要素としては、1組のリンク部材62とナット52cをねじ軸51の径方向から挟み込んで連結する1対のリンク部材第2リンク部材69a,69bがあり、当該リンク部材69a,69bでは穴74の中心から両端の2つの穴72の中心までの距離であるL3とL4図10参照の比率は1:2になっている。1組のリンク部材第2リンク部材69a,69bは、同一直線上に配置された2本のボルト67によって形成される軸を介して1組のリンク部材第1リンク部材62a,62bを支持しており、同様に同一直線上に配置された2本のボルト67によって形成される軸を介してナット52cを支持している。本実施の形態では、3つのナット52a,52b,52cのうち図中左側に配置された2つのナット52a,52bが、取付部61、スペーサ65、球面軸受64及びボルト67を利用して1組のリンク部材62a,62b第1リンク部材によって連結されている。そして、リンク部材62は、2つのナット52a,52bをそれぞれねじ軸51の周方向に回転可能に支持している。これは第1の実施の形態と同じ構成であるが、リンク部材62に荷重伝達部材63が接続されていない点が異なる。第1の実施の形態ではリンク部材62の穴73に、スペーサ66及びボルト68を介して荷重伝達部材63が回転可能に支持されていたが、本実施の形態では、各リンク部材62a,62bの表面に設けた凸部に対して穴71を設けており、当該穴71に形成しためねじ部に螺合させた2本のボルト67を介して1組のリンク部材69a,69bが揺動可能に連結されている。ボルト67は、リンク部材69a,69bにおいて図中左側に位置する穴72穴74に近い方の穴72に収納された球面軸受64及びスペーサ65に挿入されている。なお、リンク部材62の凸部は、フランジ部81とリンク部材69の接触を避けるために設けたものであり、フランジ部81の大きさによって当該凸部の高さを適宜調整することが好ましい。リンク部材69a,69bにおいて図中右側に位置する穴72穴74に遠い方の穴72にも同様に球面軸受64、スペーサ65及びボルト67が挿入されている。当該ボルト67は、スペーサ75を介して図中右端に位置するナット52cに連結されたナット取付部61の穴71に螺合されている。これにより1組のリンク部材69a,69bは、ねじ軸51の周方向に回転可能にナット52cを支持している。なお、スペーサ75は、リンク部材69a,69bをねじ軸1の回転軸と略平行に支持するためのものである。各リンク部材69a,69bにおいて2つの穴72の間に位置する穴74には、ボルト68を螺合させるためのめねじ部が形成されている。荷重伝達部材63にはスペーサ66及びボルト68が挿入される穴73が設けられており、ボルト68は当該スペーサ66を介して穴74のめねじ部に螺合されている。これにより荷重伝達部材63は、1組のリンク部材69a,69bをボルト68の軸回りに揺動可能に支持している。また、リンク部材69a,69bがリンク部材62を支持するボルト67の軸心から、リンク部材62が2つのナット52a,52bを支持する2つのボルト67の軸心までの距離L1,L2図10参照はそれぞれ等しい。さらに、既述の通り、荷重伝達部材63が1組のリンク部材69a,69bを支持するボルト68の軸心から、1組のリンク部材69a,69bが1組のリンク部材62a,62bを支持するボルト67図中左側のボルト67の軸心までの距離L3図10参照と、荷重伝達部材63が1組のリンク部材69a,69bを支持するボルト68の軸心から、1組のリンク部材69a,69bがナット52cを支持するボルト67図中右側のボルト67の軸心までの距離L4図10参照の比率は、1:2となっている。なお、本実施の形態では、各ナット52a,52b,52cに作用する荷重を均等に近づけるために、L3とL4の比率を1:2としたが、第1の実施の形態で説明したように当該比率は適宜変更可能である。なお、図に示した例では、2つのナット52a,52bと1組のリンク部材62a,62bを連結するための2組のボルト67は、その軸心がねじ軸51の回転軸と略直交するように固定されている。また、1組のリンク部材69a,69bとナット52cを連結するための2本のボルト67と、1組のリンク部材69a,69bと荷重伝達部材63を連結するための2本のボルト68とは、それぞれの軸心がねじ軸51の回転軸と略直交するように固定されている。上記のように構成したリニアアクチュエータによれば、まず、L3とL4の比率が1:2であるため、図中左側に位置する2つのナット52a,52bに作用する合計荷重と図中右端に位置するナット52cに作用する荷重が2:1となる。そして、さらに、図中左側の2つのナット52a,52bに作用する荷重が均等化される。したがって、3つのナット52a,52b,52cに作用する荷重の比率は1:1:1となるので、ナット52が3つの場合でも各ナット52に作用する荷重の偏差を容易に低減できる。図11は本発明の第4の実施の形態に係るリニアアクチュエータにおける荷重均等化機構5の斜視図であり、図12は図11に示した荷重均等化機構5の分解図である。本実施の形態では、1つのねじ軸51に4つのナット52a,52b,52c,52dが螺合されており、4つのナット52a,52b,52c,52dに作用する荷重の偏差を低減する構成としている。第1の実施の形態と異なる主な構成要素としては、リンク部材62よりも長い1組のリンク部材70a,70b第3リンク部材がある。当該1組のリンク部材70a,70b第3リンク部材は、ねじ軸51の軸方向に配置された2組のリンク部材62a,62b第1リンク部材及び第2リンク部材をねじ軸51の径方向から挟み込んで連結している。当該1組のリンク部材70a,70bは、同一直線上に配置された2本のボルト67によって形成される軸を介して1組のリンク部材62a,62bを支持しており、同様に同一直線上に配置された2本のボルト67によって形成される軸を介してもう1組のリンク部材62a,62bを支持している。また、当該1組のリンク部材70a,70bでは穴73の中心から両端の2つの穴72の中心までの距離であるL5とL6図12参照は等しくなっている。本実施の形態では、4つのナット52a,52b,52c,52dのうち図中左側に配置された2つのナット52a,52bと、図中右側に配置された2つのナット52c,52dとは、それぞれ1組のリンク部材62a,62bによって連結されている。各リンク部材62とナット52a,52b,52c,52dは、取付部61、スペーサ65、球面軸受64及びボルト67を介して連結されている。そして、各リンク部材62は、連結した2つのナット52をそれぞれねじ軸51の周方向に回転可能に支持している。これは、第3の実施の形態における図中左側の2つのナット52a,52bと同じ構成である。各リンク部材62における凸部に設けた穴71にはめねじ部が設けられており、当該めねじ部に螺合されたボルト67を介して各リンク部材62はリンク部材70に揺動可能に連結されている。図中の手前側又は奥側に位置する2つのリンク部材62をそれぞれ揺動可能に支持する2つのボルト67は、リンク部材70において図中両端に位置する穴72に収納された球面軸受64及びスペーサ65に挿入されている。荷重伝達部63には、ボルト68を締結するためのめねじ部が形成された穴74が設けられている。各リンク部材70a,70bにおいて2つの穴72の間に位置する穴73にはスペーサ66が挿入されており、当該スペーサ66を介してボルト68は穴74のめねじ部に螺合されている。これにより荷重伝達部材63は1組のリンク部材70a,70bをボルト68の軸回りに揺動可能に支持する。リンク部材70がリンク部材62を支持するボルト67の軸心から、リンク部材62が2つのナット52を支持する2つのボルト67の軸心までの距離L1,L2図12参照はそれぞれ等しい。さらに、既述の通り、荷重伝達部材63が1組のリンク部材70a,70bを支持するボルト68の軸心から、1組のリンク部材70a,70bが2つのリンク部材62を支持するボルト67の軸心までの距離であるL5とL6図10参照はそれぞれ等しい。なお、本実施の形態では、各ナット52a,52b,52c,52dに作用する荷重を均等に近づけるために、L5とL6の比率及びL1とL2の比率をそれぞれ1:1としたが、第1の実施の形態で説明したように当該比率は適宜変更可能である。上記のように構成したリニアアクチュエータによれば、図中左側に位置する2つのナット52a,52bに作用する合計荷重と図中右側に位置する2つのナット52c,52dに作用する合計荷重が均等化される。そして、さらに、図中左側に位置する2つのナット52a,52bのそれぞれに作用する荷重が均等化され、同様に図中右側に位置する2つのナット52c,52dのそれぞれに作用する荷重も均等化される。したがって、4つのナット52a,52b,52c,52dに作用する荷重の比率は1:1:1:1となるので、ナット52が4つの場合でも各ナット52に作用する荷重の偏差を容易に低減できる。以上においては、第1の実施の形態から第4の実施の形態によって2~4つのナットに作用する荷重を均等化する構成を示したが、これらの構成と同様にナットを2つのグループに分けてそれぞれの荷重の比率を1:1あるいは2:1にし、そのグループ内でさらに2つのグループに分けて同様のことを繰り返すことによって、理論上いくつのナットがねじ軸51に螺合されている場合であっても各ナットに作用する荷重の偏差を容易に抑制することが可能である。"