"主軸と、主軸を収納するハウジングと、高圧気体の供給により、前記ハウジングに対して前記主軸を非接触で回転自在に支持する気体軸受と、前記主軸の一部の円周方向に配列した複数のタービン羽根と、前記複数のタービン羽根を囲っている前記ハウジングの内部に設けられ、前記複数のタービン羽根に向かって高圧気体を噴出して前記主軸を回転させるタービン用ノズルと、を備えた静圧気体軸受スピンドルにおいて、前記複数のタービン羽根を、前記タービン用ノズルから供給された前記高圧流体が流れる方向に向かって羽根高さが徐々に低くなるように形成するとともに、前記複数のタービン羽根に高さ方向から対向している前記ハウジングの内壁を、羽根高さが徐々に変化している前記タービン羽根の頂部に近接して対向するように形成したことを特徴とする静圧気体軸受スピンドル。周方向に隣接する一対のタービン羽根の前記高圧流体の入側の羽根間距離と、前記一対のタービン羽根の前記高圧流体の出側の羽根間距離とを同一寸法に設定したことを特徴とする請求項1記載の静圧気体軸受スピンドル。請求項1又は2記載の静圧気体軸受スピンドルを備えていることを特徴とする静電塗装装置。しかし、特許文献1は、多数のタービン羽根の第1の面に、気体の噴出方向と実質的に平行となる前方平面部を高精度に形成しなければならず、タービン羽根の形成に複雑な工程が必要となるので、製造コストが高騰するおそれがある。また、図6で示した隣接するタービン羽根の羽根外径側の羽根間距離Cに対して隣接するタービン羽根の羽根内径側の羽根間距離Dを小さくして反動部を設ける構造と比較すると、主軸の回転効率が低下する。そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、高効率に主軸を回転させるとともに、製造コストの低減化を図ることができる静圧気体軸受スピンドル及び静電塗装装置を提供することを目的としている。上記目的を達成するために、本発明に係る請求項1記載の静圧気体軸受スピンドルは、主軸と、主軸を収納するハウジングと、高圧気体の供給により、前記ハウジングに対して前記主軸を非接触で回転自在に支持する気体軸受と、前記主軸の一部の円周方向に配列した複数のタービン羽根と、前記複数のタービン羽根を囲っている前記ハウジングの内部に設けられ、前記複数のタービン羽根に向かって高圧気体を噴出して前記主軸を回転させるタービン用ノズルと、を備えた静圧気体軸受スピンドルにおいて、前記複数のタービン羽根を、前記タービン用ノズルから供給された前記高圧流体が流れる方向に向かって羽根高さが徐々に低くなるように形成するとともに、前記複数のタービン羽根に高さ方向から対向している前記ハウジングの内壁を、羽根高さが徐々に変化している前記タービン羽根の頂部に近接して対向するように形成した。また、請求項2記載の発明は、請求項1記載の静圧気体軸受スピンドルにおいて、周方向に隣接する一対のタービン羽根の前記高圧流体の入側の羽根間距離と、前記一対のタービン羽根の前記高圧流体の出側の羽根間距離とを同一寸法に設定した。また、請求項3記載の静電塗装装置は、請求項1又は2記載の静圧気体軸受スピンドルを備えている。本発明に係る静圧気体軸受スピンドル及び静電塗装装置によれば、複数のタービン羽根を、タービン用ノズルから供給された高圧流体が流れる方向に向かって羽根高さが徐々に低くなるように形成し、前記複数のタービン羽根に高さ方向から対向しているハウジングの内壁を、羽根高さが徐々に変化しているタービン羽根の頂部に近接して対向するように形成したことで、高圧流体が流れる方向に向かって流路断面積が徐々に小さくなるので、タービン用ノズルから供給された気体が多数のタービン羽根の間を通過する際に、主軸に大きな回転力を発生することができ、高効率に主軸を回転させることができる。以下、本発明を実施するための形態以下、実施形態という。を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1から図4は、回転霧化型静電塗装機のスピンドルに適用した本発明に係る静圧気体軸受スピンドルを示すものである。なお、図5及び図6で示した構成と同一構成部分には、同一符号を付してその説明は省略する。本実施形態の主軸2のフランジ6の外周面には、円周方向に所定間隔で多数のタービン羽根20が形成されている。各タービン羽根20は、図3及び図4に示すように、羽根外径側の高さh1に対して羽根内径側の高さh2が小さくなるように、背高外径部20a、背低内径部20b及びそれらの間に傾斜部20cが形成されている。そして、各タービン羽根20の厚さは、図6で示したタービン羽根12と比較して厚みを薄くして形成されており、隣接するタービン羽根20,20の羽根外径側の羽根間距離Aと羽根内径側の羽根間距離Bとは、同一寸法に設定されているA=B。ハウジング本体7と一体化されてフランジ6を収納するプレート部8には、多数のタービン羽根20を外周及び高さ方向から囲むタービン収納凹部21が形成されている。そして、多数のタービン羽根20に対して高さ方向から対向しているタービン収納凹部21の内壁は、図3に示すように、タービン羽根20の背高外径部20aに近接して対向している環状の背高外径側内壁21aと、タービン羽根20の背低内径部20bに近接して対向している円形状の背低内径側内壁21bと、背高外径側内壁21a及び背低内径側内壁21bの間でタービン羽根20の傾斜部20aに近接して対向している環状の傾斜側内壁21cとを備えている。本実施形態の静圧気体軸受スピンドルは、軸受エア供給口8aから供給した高圧気体がラジアル軸受9及びアキシアル軸受10の軸受隙間に供給されることで、主軸2が非接触状態で支持されるとともに、タービン用ノズル16から多数のタービン羽根20の羽根外形側に向けて高圧気体が噴出することで、主軸2に回転力が与えられてカップ17が高速回転する。これにより、カップ17に塗料供給管不図示を通して塗料を供給すると、カップ17の遠心力によって塗料が微細化されて塗料が行われるようになっている。ここで、本発明の複数のタービン羽根をタービン用ノズルから供給された高圧流体が流れる方向に向かって羽根高さが徐々に低くなるように形成するという構成は、背高外径部20a、背低内径部20b及び傾斜部20cに対応し、本発明のタービン羽根に高さ方向から対向しているハウジングの内壁が、背高外径側内壁21a、背低内径側内壁21b及び傾斜側内壁21cに対応している。次に、本実施形態において、タービン用ノズル16からタービン羽根20に向けて高圧気体が噴出する際の作用について説明する。多数のタービン羽根20は、羽根外径側から羽根内径側に向けて背高外径部20a、傾斜部20c及び背低内径部20bを形成し、タービン用ノズル16から供給された気体が流れる方向に向かって羽根高さを徐々に低く設定した構造としているとともに、多数のタービン羽根20に対して高さ方向から対向しているタービン収納凹部21の内壁は、背高外径部20aに近接して対向している背高外径側内壁21aと、傾斜部20cに近接して対向している傾斜側内壁21cと、背低内径部20bに近接して対向している背低内径側内壁21bとを備えている。これにより、隣接するタービン羽根20,20と、フランジ6の外周面、タービン収納凹部21とで囲まれてなる流路断面積は、羽根外径側から羽根内径側に向かうに従い徐々に小さく設定されている。そして、多数のタービン羽根20の羽根外径側背高外径部20aは、衝動部としてタービン用ノズル16から供給された高圧気体のエネルギを受けて主軸2に対して回転力を発生する。また、隣接するタービン羽根20,20と、フランジ6の外周面と、タービン収納凹部21とで囲まれて形成された流路断面積が、羽根外径側から羽根内径側に向かうに従い徐々に小さくなるように設定されているので、多数のタービン羽根20の間を通過して羽根内径側に向かう気体は再度流速が増大していく。これにより、多数のタービン羽根20の羽根内径側背低内径側内壁21bは、主軸2の回転方向の後方に流速が増大した気体を噴出させ、反動部として主軸2に大きな回転力を発生する。本実施形態の効果について説明する。本実施形態の静圧気体軸受スピンドルによると、隣接するタービン羽根20,20と、フランジ6の外周面と、タービン収納凹部21とで囲まれて形成された流路断面積が、羽根外径側から羽根内径側に向かうに従い徐々に小さくなるように設定されているので、タービン用ノズル16から供給された気体が多数のタービン羽根20の間を通過すると、主軸2に大きな回転力を発生する。また、隣接するタービン羽根20,20の羽根外径側の羽根間距離Aと羽根内径側の羽根間距離Bとを同一寸法に設定し、各タービン羽根20の厚みを薄く設定したことから主軸2の質量が減少し、主軸2の慣性モーメントは低減する。したがって、タービン用ノズル16から供給された気体が多数のタービン羽根20の間を通過することで、多数のタービン羽根20の衝動部及び反動部から主軸2に大きな回転力が付与され、慣性モーメントが低減した主軸2が回転するので、高効率に主軸2を回転させることができる。また、本実施形態の多数のタービン羽根20は、エネルギ損失を抑制するための特殊加工を施しておらず、隣接するタービン羽根20,20の羽根外径側の羽根間距離Aと羽根内径側の羽根間距離Bとを同一寸法に設定した簡便な構造としているので、タービン羽根20を形成する際に複雑な工程を必要とせず、製造コストの低減化を図ることができる。"