"A酸素含有環式化合物単位を含む1つまたは複数の単官能性アクリレートモノマー、Bエステル基が少なくとも6個の炭素原子からなる炭化水素基を含む、1つまたは複数のアクリレート化合物、C軟化点または融点が60°Cと100°Cの間であり、熱可塑性で固体で非晶質である1つまたは複数のエポキシ化合物;DA、B、およびC用の1つまたは複数の硬化剤;E1つまたは複数の非導電性フィラー、を含み、A、BおよびC化合物が以下の不等式を同時に満たすデュアル硬化接着剤:0.0870×wtA-0.0253×wtB-0.0071×wtC≦2-299.18965×wtA-286.4803×wtB367.9926×wtC≦250021.2989×wtA-8.0051×wtB8.5470×wtC-0.7810×wtA×wtC≦20-0.0204×wtA-0.0363×wtB0.0820×wtC≧1-0.1538×wtA0.1613×wtB0.2581×wtC≧5ここで、wtA、wtB、wtCは、ディアル硬化接着剤組成物中の化合物A、BおよびCの重量を表す。Aの粘度が<200cpsであり、沸点が>150°Cである請求項1記載のデュアル硬化接着剤。Aが単環式のアセタールアクリレートまたはメタクリレート、あるいはテトラヒドルフルフリルアクリレートである請求項1記載のデュアル硬化接着剤。Bがイソホリルアクリレートまたはイソボルニルアクリレートである請求項1記載のデュアル硬化接着剤。Cが、クレゾールノボラックエポキシ、フェノールノボラックエポキシ、ビスフェノール-Aエポキシ、およびグリシジル化シクロペンタジエンフェノール付加物樹脂からなる群から選択される請求項1記載のデュアル硬化接着剤。化合物Cが、AおよびBに20以上溶解する請求項1記載のデュアル硬化接着剤。本発明は、特定の不等式を満たす配合材料を選択することにより、特性の適切なバランスを付与するように設計できる、デュアル硬化接着剤である。該デュアル硬化接着剤は、紫外線開始フリーラジカル重合が可能なエチレン性不飽和化合物とエポキシ化合物と熱硬化可能なそれらに対応する硬化剤を含む。特定の態様では、デュアル硬化接着剤は、A酸素含有環式化合物単位を含む1つまたは複数の単官能性アクリレートモノマー、Bエステル基が少なくとも6個の炭素原子からなる炭化水素基を含む、1つまたは複数のアクリレート化合物、およびC軟化点または融点が60°Cと100°Cの間であり、熱可塑性で、固体で、非晶質である1つまたは複数のエポキシ化合物を含み、それら化合物は以下の不等式を同時に満たす:0.0870×wtA-0.0253×wtB-0.0071×wtC≦2-299.18965×wtA-286.4803×wtB367.9926×wtC≦250021.2989×wtA-8.0051×wtB8.5470×wtC-0.7810×wtA×wtC≦20-0.0204×wtA-0.0363×wtB0.0820×wtC≧1-0.1538×wtA0.1613×wtB0.2581×wtC≧5ここで、wtA、wtB、wtCは、ディアル硬化接着剤組成物中の化合物A、BおよびCの重量を表す。一態様では、化合物Cは、AとBに20以上溶ける。化合物A、B,およびCに加え、デュアル硬化接着剤は、アクリレート用およびエポキシ用の硬化剤を含むこともある。いくつかの態様では、デュアル硬化接着剤はさらに1つまたは複数の充填剤を含むこともある。請求項1の硬化接着剤は。積層半導体ダイ、および類似物、パッケージに有用な接着剤は、有用であるためには、特定の材料と性能仕様を持つ必要がある。重要な特性は、粘着性、粘度、剥離強度、ダイせん断強度、およびグリーン強度である。接着剤は、Bステージ状態で2またはそれより小さいタック値が必要である。もしその値が2より大きいと、接着剤は、室温または冷却器低温流で流動し、ダイシングテープ基材からダイが容易にはがれないことがある。液体のウェハー裏面被覆配合物が、フィルム接着剤に対しての可能性のある有望な代替物であると考えられている。この目的のために商業的に入手可能な、開発された吹き付け被覆機材を用いることが有効であるためには、配合物の粘度が2500Pa.s.より小さくなくてはならない。そのため、好ましい粘度は2500Pa.s.またはそれより小さい。Bステージ配合物は、紫外線処理された紫外線ダイシングテープから十分に剥がせることを示す必要がある。剥離強度が20gインチより大きいと、ダイダイシングテープから取り上げる時に割れたり裂けたりすることがある。剥離強度は、20gインチ以下が好ましい。代表的なパッケージプロセスの熱シミュレーション後、260°Cで測定されたダイせん断強度は、製品の信頼性の優れた指標を与える。1kgダイより小さな値は、最終パッケージにおいて信頼性不足が起きる高いリスクを示す。ダイ当たり1kg重以上のダイせん断強度が好ましい。グリーン強度は、硬化工程の前において、結合したダイが、結合工程の間または結合工程後において、運動、変位、または剥離に対してどの程度影響を受けるかを示す指標である。5kgダイより小さな値では、処理の間にダイが動いたり剥がれたりする危険性がある。ダイ当たり5kg重以上のグリーン強度が好ましい。本発明者らは、2種の異なるアクリレート化合物と少なくとも1つのエポキシ化合物とを臨界的な組み合わせで配合すると、上記の基準を満たすのに必要な特性を提供できることを見出した。上記のアクリレートは化合物AとB、上記のエポキシは化合物Cとして区別される。化合物Aは、酸素含有環式化合物単位を含む、単官能で、低粘度<200cpsで、低揮発性BP>150°Cのアクリレートである。そのようなアクリレートの例としては、単環式アセタールアクリレート、環式アセタールを含むメタアクリレート例えば、サートマー社から入手できるSR531、およびテトラヒドロフルフリルアクリレートサートマー社から入手できるSR285がある。化合物Bは、単官能で、炭化水素を多く含み、低粘度<200cpsで、低揮発性BP>150°Cのアクリレートであり、そのエステル基は、少なくとも6個の炭素からなる、直鎖状、環状、または分岐状の炭化水素基を含む。その例として、イソホリルアクリレートとイソボルニルアクリレートがある。化合物Cは、熱可塑性で、固体で、非晶質のエポキシ樹脂であり、軟化点または融点が60°Cと100°Cの間であり、中間の極性を有する溶媒に溶解する。例として、クレゾールノボラックエポキシ、フェノールノボラックエポキシ、ビスフェノール-Aエポキシ、およびグリシジル化シクロペンタジエンフェノール付加物樹脂からなる群から選択されるものが含まれる。中間の極性を有する溶媒の例は、エステル溶媒エチルアセテートおよびブチルアセテート等、テトラヒドロフラン、メチレンクロライド、クロロホルム、グリコールエステルおよびグリコールエーテルを含む。エポキシ樹脂用の硬化剤は、0より多く50wtまでの範囲で存在し、限定されるものではないが、フェノール類、芳香族ジアミン類、ジシアンジアミド類、パーオキサイド類、アミン類、イミダゾール類、3級アミン類、およびポリアミド類を含む。適切なフェノール類は、スケネクタディインターナショナル社から市販されている。適切な芳香族ジアミン類は、1級アミン類であり、ジアミノジフェニルスルホンとジアミノジフェニルメタンが含まれ、シグマアルドリッチ社から市販されている。適切なジシアノジアミド類はSKWケミカルズ社から入手できる。適切なポリアミド類はエアープロダクツアンドケミカルズ社から市販されている。適切なイミダゾール類は、エアープロダクツアンドケミカルズ社から市販されている。適切な3級アミン類はシグマアルドリッチ社から入手できる。アクリレート樹脂の適切な硬化剤は、0.1から10wtの間の量で存在し、特に限定されるものではないが、公知のアセトフェノン系、チオキサントン系、ベンゾイン系およびパーオキサイド系の光開始剤のいずれかを含む。例として、ジエトキシアセトフェノン、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール、ベンゾフェノン、4-フェニルベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、チオキサントン、2-エチルアントラキノン等を含む。BASF社により販売されている光開始剤のイルガキュアとダロキュアの系統が、有用な光開始剤の例である。1つまたは複数の非導電性のフィラーを本発明の接着剤に用いてもよい。適切な非導電性フィラーの例として、アルミナ、水酸化アルミニウム、シリカ、バーミキュライト、雲母、ウラストナイト、炭酸カルシウム、チタニア、砂、ガラス、硫酸バリウム、ジルコニウム、カーボンブラック、有機フィラー、および有機ポリマーを含み、該有機ポリマーは限定されるものではないが、ハロゲン化エチレンポリマー、例えば、テトラフルオロエチレン、トリフルオロエチレン、フッ化ビニリデン、フッ化ビニル、塩化ビニリデン、および塩化ビニルを含む。特性バランスが最適化された配合物を得るための制約を決定するために、表1に記載された化合物と重量を用いて、D-最適23点混合物の統計的実験計画を実施した。フィラー、光開始剤、およびエポキシ硬化剤の量は、すべての配合物で一定とした。実験配合物を設計するのに用いたプログラムは、ミネソタ州ミネアポリスのスタットイース社から販売されているデザインエキスパートV.7.1.6であった。該プログラムは、表2に示す化合物A、B、C、およびDの水準を含む23点の実験配合物を与えた後で、化合物D、グリシジル化シクロペンタジエンフェノール付加物エポキシ樹脂HP7200が、長期にわたる信頼性の問題を与えることが見出され、実験の検討対象から除かれた。。配合物は、以下のようにして調製した:2つのエポキシ化合物CおよびDを、80°Cで所定量のテトラヒドロフルフリルアクリレートAの中に溶解した。その溶液を室温まで冷却し、残りの成分を添加した。その混合物を手で混合し、次に3本ロールセラミックミルに4回通した。すべての配合物は、さらさらした黄褐色液体であった。実験結果は、粘着性、粘度、ダイシングテープ剥離強度、グリーン強度、ダイせん断強度プロセスシミュレーション後、および反りである。これらの結果を得るため、すべての23個の配合物について、以下の試験方法により試験を行った。粘着性:各細片が1層のテープ層のみから成る以外は、剥離強度の手順に記載されている方法に従って、厚さ50ミクロンのBステージ層を調製し、セラミック平板上で紫外線によりBステージ化した。Bステージ化した接着剤の表面に、手袋の指を100~150gの力で約1秒間押し付け、次いで離した。以下の評価システムを用いた。0:手袋の指を離す時に、くっつきまたは抵抗が感じられない。1:手袋の指を離す時に、くっつきまたは抵抗が感じられないが、目に見える小さな点が表面に認められる。2:手袋の指を離す時に、くっつきまたは抵抗が感じられないが、わずかに目に見える痕跡が表面に残っている。3:手袋の指を離す時に、わずかにくっつきまたは抵抗が感じられ、目に見える痕跡が表面に残っている。4:手袋の指を離す時に、手袋がガラススライドに2、3秒くっつき、目に見える痕跡が表面に残っている。5:引張って離すまでガラススライドが手袋にくっついている。手袋の指を離す時に比較的大きな抵抗が感じられ、目に見える痕跡が表面に残っている。粘度:ブルックフィールドエンジニアリングラボラトリーズのINS粘度計、モデルHBDV-IIICPを用い、25°Cで、スピンドル番号CPE-51を用い5RPMで、0.5ccの試料の粘度を測定した。ダイシングテープ剥離強度:8インチ×0.5インチの透明テープの4片を組み合わせて、2つの平行な2層細片とし約8インチ、全体の厚さ約100ミクロン、その組み合わせたものを、2インチ×5インチの平らなセラミック平板の上に、約1.5インチ離して置いた。上縁部のテープ細片の間に、配合物5ccを少塊の形で分注した。該平板に対して45度の鉛直角で顕微鏡スライドを保持し、そして配合物の上にゴム雑巾のように下すことにより、テープ細片の間に配合物の層を形成した。フュージョンのベルト駆動水銀ランプの間に該平板を通し、その時、ベルト速度約104cm分、強度0.381Wcm、および全照射量1.4Jcm2として、紫外線Bステージ配合物を得た。加圧式セラミックローラーを用いて、1インチ×8インチのデンカ8005ダイシングテープの細片を室温でBステージ化された接着剤に積層した。全照射量0.3Jcm2の条件でフュージョンのランプの間に積層された平板を通して、ダイシングテープを剥離した。モデル80-91-00-001剥離強度試験装置TMIグループにより販売されているを用いて剥離強度測定を行った。グリーン強度:8インチ×0.5インチの透明テープ約8インチ、全体の厚さ約100ミクロンの2細片を、0.5インチ×6インチのプリベーク有機BT基板上に、200~300ミクロン離した状態で、平行にテープ固定した。上縁部のテープ細片の間に、試料約5ccを少塊の形で分注した。BT基板に対して45度の鉛直角に保持した顕微鏡スライドを用い、そして配合物の上にゴム雑巾のように引き下すことにより、配合物をテープ細片の間に均等に押し広げた。フュージョンのベルト駆動水銀ランプの間に該基板を通し、その時、ベルト速度約104cm分、強度0.381Wcm、および全照射量1.4Jcm2として、紫外線Bステージ配合物を得た。接着剤を含む基板を0.5インチ×0.5インチの多くの片に切断した。150×150mmのシリコンダイを、接着剤基板の上に置き、テクスチャーアナライザーモデルTEXTプラステクスチャーテクノロジー社から販売されているを用いて120°C1Kg重1秒でダイを付着させた。DAGE4000PA、ホットプレートモデル4000AP012-Aを備えた基本モデル4000wsxy50、を用いて室温でダイせん断測定を行った。ダイせん断強度プロセスシミュレーション後:ダイ付着後、完成した基板を次の2つの条件で硬化させた以外は、この場合の調製方法はグリーン強度測定の場合と同じである:1150°Cまで30分で昇温し、そのまま1時間保持するポストキュア;2175°Cまで30分で昇温し、そのまま2時間保持するポストモールドキュア。ダイせん断測定は、DAGE4000PA、ホットプレートモデル4000AP012-Aを備えた基本モデル4000wsxy50、を用いて260°Cで行った。23個の試料の5つの特性結果のそれぞれのデータを、プログラムにインプットし、統計モデル表3に適合させた。剥離強度の場合は、被約二次モデルreducedquadraticmodelである。他の結果に対しては、線形モデルである。グリーン強度の結果に対しては、p-値prob>Fの最も高い計算値は0.0039であった。このことは、すべてのモデルが意味を持ちかつ良好な信号対ノイズ比を示していることを示している。表3の特性式は、それぞれの結果が配合物の成分の関数として得られるように計算されたものである。化合物D,グリシジル化シクロペンタジエンフェノール付加物エポキシ樹脂HP7200は、検討対象から除外された。成分D項をゼロとして式は得られた。文字×は掛け算を表す。F値またはF比は、標本の平均値が、互いに標本変動の範囲内であるかどうかを決定するための検定統計量である。p値prob>Fは、F値がノイズにより発生する見込みを示す。この値が小さいほど、信号対ノイズ比が小さくなる。今まで説明したように、好ましい特性値は以下の通りである:タック値は2以下;配合物の粘度は2500cps以下;剥離強度は20gインチ;ダイせん断強度はダイ当たり1kg重以上;グリーン強度はダイ当たり5kg重以上。これらの値を表3の式と組み合わせると、表4に示す不等式が得られる。これらの5つの不等式を同時に満たす接着剤配合物は、ダイ付着用接着剤として本質的に有用であり、特に積層ダイメモリーパッケージに有用である。"