"センサボディであって、その内部の窪み部と、第一および第二の圧力を印加するように構成される前記窪み部に対する第一および第二の開口とを有するセンサボディ;前記窪み部で前記第二の開口から前記第一の開口を分離し差圧に対し応答性のあるダイヤフラム;前記センサボディの外側に取り付けられ当該センサボディと共に第一のキャパシタンスを形成するように配設される第一の電極であって、前記第一のキャパシタンスが前記センサボディの変形に起因しプロセス流体のライン圧力に応じて変化する、第一の電極;および前記第一のキャパシタンスに基づいてライン圧力を測定するように配設された前記電極が連結される測定回路、を含む、プロセス流体の圧力を検出するための圧力センサアセンブリ。前記センサボディの外側に取り付けられる第二の電極を含み、第二のキャパシタンスが前記取り付けられる第二の電極と前記センサボディとの間に形成される、請求項1に記載の装置。前記センサボディの外側に取り付けられる第二の電極を含み、前記測定回路が前記第一の電極を用いて測定される第一のキャパシタンスおよび前記第二の電極を用いて測定される第二のキャパシタンスに基づくライン圧力に関連する出力を有する、請求項1に記載の装置。前記電極を設けるように構成される絶縁板を含む、請求項1に記載の装置。前記絶縁板が前記センサボディに取り付けられる、請求項4に記載の装置。前記センサボディに取り付けられるサポートに前記絶縁板が取り付けられる、請求項5に記載の装置。前記センサボディに連結される細管に前記絶縁板が取り付けられる、請求項4に記載の装置。前記窪み部内の前記ダイヤフラムの動きに基づく差圧に関連する出力を有する、当該ダイヤフラムを備える差圧センサを含む、請求項1に記載の装置。前記出力が、前記ダイヤフラムにより形成される可変のキャパシタンスに基づく、請求項8に記載の装置。温度に基づいてライン圧力の測定値が補償される、請求項1に記載の装置。請求項1に記載の圧力センサを含む、プロセス流体の圧力を測定するためのプロセストランスミッタ。センサボディにおける窪み部に偏向性ダイヤフラムを取り付けること;前記窪み部の前記偏向性ダイヤフラムの1つの側にプロセス流体の第一の圧力を印加すること;前記窪み部の前記偏向性ダイヤフラムのもう1つの側にプロセス流体の第二の圧力を印加すること;前記偏向性ダイヤフラムの偏向に基づいて差圧を判定すること;前記センサボディの外側に位置する第一の電極と共に第一のキャパシタンスを形成することであって、前記第一のキャパシタンスが前記電極および前記センサボディの間に形成され、そして前記プロセス流体のライン圧力に起因する前記センサボディの変形に基づいて変化するキャパシタンスを有すること;および前記キャパシタンスの変化に基づいて前記プロセス流体のライン圧力を判定すること、を含む、プロセス流体の差圧およびライン圧力を測定するための方法。前記センサボディの外側に取り付けられる第二の電極を含み、前記ライン圧力が前記第一の電極を用いて測定される第一のキャパシタンスおよび前記第二の電極を用いて測定される第二のキャパシタンスに基づいて判定される、請求項12に記載の方法。ダイヤフラムキャパシタンスを基礎とし前記窪み部内の前記ダイヤフラムの動きに基づいて測定することにより差圧を判定することを含む、請求項12に記載の方法。温度に基づいてライン圧力の測定値を補償することを含む、請求項12に記載の方法。詳細な説明本発明は、静電容量型圧力センサのための、ライン圧力および差圧を判定する装置および方法を提供する。多静電容量型圧力センサにおいて割り当てた静電容量の総和の比、または比の総和を演算することにより、プロセス流体の差圧を判定することができる。発明の背景で述べたように、いくつかの設備では、差圧の測定に加えてプロセス流体のライン圧力絶対圧またはゲージ圧を測定することが望まれる。そのようなライン圧力を測定する1つの技術が、共に係属中である、DonaldEHarasyn他により2005年5月27日に出願された米国特許出願第11/140,681号、発明の名称差圧センサを用いたライン圧力測定、およびDavidABroden他により2005年5月26日に出願された米国特許出願第11/138,977号、発明の名称圧縮性センサボディを用いた圧力センサに示され記述されており、これらは本発明と概ね軌を一にし、それらの内容の全体が参照によりここに取り込まれる。図1はプロセス測定システム32の環境を概略的に示している。図1には圧力を測定するためのプロセス測定システム32に連結する圧力下にある流体を格納するプロセス配管30が示される。プロセス測定システム32は、配管30に接続するインパルス配管34を含む。インパルス配管34はプロセス圧力トランスミッタ36に接続している。主要素33は、例えばオリフィス板、ベンチュリ管、フローノズルなどであり、インパルス配管34の間であってプロセス配管30内の位置でプロセス流体と接している。流体が主要素33を通過して流れるとき、主要素33により流体の圧力変化が引き起こされる。この圧力変化差圧変化はプロセス流体の流れと関連がある。差圧センサはこの圧力変化の測定に用いることができ、測定回路がプロセス流体の流れに関連する出力を与えるために用いられる。トランスミッタ36は、インパルス配管34を通してプロセス圧力を受けるプロセス測定装置である。トランスミッタ36は差圧を検出し、それをプロセス流れの関数である標準化されたトランスミッション信号に変換する。プロセスループ38は、制御室40からトランスミッタ36への電力信号および双方向通信の両方を提供することが好ましく、いくつかあるプロセス通信プロトコルに従って設けられるものでもよい。図示された例では、プロセスループ38が2線式ループである。この2線式ループを用いて、標準動作時には4-20mA信号でトランスミッタ36への全ての電力の伝送、並びに、トランスミッタへおよびトランスミッタからの全ての通信が行われる。コンピュータ42または他の情報処理システムが、モデム44または他のネットワークインタフェースを介したトランスミッタ36との通信のために用いられる。遠隔電圧電源46がトランスミッタ36に電力を供給する。プロセス制御ループの他の例は無線通信であって、無線によりデータが直接的に中心部に対し若しくはメッシュネットワークタイプのものに対しまたは他の技術を用いて無線で伝送される。図2は、1つの実施形態による圧力トランスミッタ36の簡略化したブロック図である。圧力トランスミッタ36は、データバス66を介して互いに連結されたセンサモジュール52と電子回路基板72とを含む。センサモジュール電子回路58は、印加される差圧54を受ける圧力センサ56に連結する。データ接続線58がセンサ56をアナログ-デジタル変換器62に連結する。任意の温度センサ63もまたセンサモジュールメモリ64とともに図示される。電子回路基板72はマイクロコンピュータシステム74、電子メモリモジュール76、デジタル-アナログ信号変換器78およびデジタル通信部80を含む。検出圧力に関連する出力がループ38に提供される。図2はまた、圧力センサ56のボディに外付けされ、静電容量値を提供するように構成された外部静電容量型変形センサ59を図示する。このセンサ59は、印加された圧力に起因する圧力センサ56のボディの変形に応じて変化する静電容量値を有するように構成される。図2に概略が示されるように、作動圧54に起因するライン圧力が圧力センサ56のボディに印加される。Frick他に対する米国特許第6,295,875号に記載された技術によれば、圧力トランスミッタ36が差圧を検出する。しかし、本発明はそのような構成に限定されるものではない。図3は、1つの実施形態によるセンサモジュール52の圧力センサ56を示す簡略化した断面図である。圧力センサ56は、窪み部92からプロセス流体を隔離する隔離ダイヤフラム90を介してプロセス流体に連結している。窪み部92は、細管94を介して圧力センサモジュール56に連結している。実質的に非圧縮性の充填流体が窪み部92および細管94に充填される。ダイヤフラム90にプロセス流体からの圧力が印加されたとき、その圧力が圧力センサ56に伝搬される。1つの実施形態によれば、圧力センサ56は2つの圧力センサ半割部114および116から形成され、ガラスまたはセラミックのような実質的に非圧縮性の個体材料で充填される。中央のダイヤフラム106が、センサ56内に形成された窪み部132、134内に配置される。窪み部132、134の外壁には電極144、146、148および150が設けられる。これらの電極は一般にはプライマリ電極144、148およびセカンダリ電極146、150と称されている。これらの電極が可動のダイヤフラム106との関係でキャパシタを形成している。これらのキャパシタは、また、プライマリキャパシタおよびセカンダリキャパシタとそれぞれ称される。図3に図示されるように、センサ56における個々の電極が電気的接続103、104、108および110を介してアナログ-デジタル変換器62に連結される。加えて、偏向性のあるダイヤフラム106が接続109を通してアナログ-デジタル変換器62に連結される。米国特許第6,295,875号において論じられているように、センサ56に印加された差圧を電極144、146、148および150を用いて測定することができる。図3は静電容量型差圧56を概略的に図示するのであり、以下に論じるように詳細には以下に記述される。動作において、圧力P1およびP2が隔離ダイヤフラム90に対抗して押圧することにより、中央のダイヤフラム106と隔離ダイヤフラム90との間の窪み部を充填している、実質的に非圧縮性の充填流体を押圧する。これが中央のダイヤフラム106の偏向を引き起こし、その結果としてダイヤフラム106と電極146、144、148および150との間の静電容量が変化する。公知の技術を用いて、これら静電容量の変化を測定することができ、そして差圧の判定に利用できる。図4は本発明の動作を図説するために用いる、センサ56の簡略化した断面図である。図4は電極144、146、148および150の個々の電気的接続を図示する。圧力センサ56の動作中において、細管94図3参照を通して当該圧力センサに印加されたライン圧力が圧力センサ56のボディ220に変形を引き起こす。同時に圧力P1およびP2の両方がセンサの変形を引き起こす。センサは異なる3つの状況に立脚する。高い上流側圧力と低い下流側圧力、低い上流側圧力と高い下流側圧力、そして高い下流側圧力を有する高い上流側圧力である。センサは、上流側または下流側圧力の最大値として定義されるライン圧力を測定する。印加されたライン圧力は、ボディ220内の圧力と圧力トランスミッタの内部環境との間に圧力差を引き起こす。この圧力差がボディ220に変形を引き起こす。図4に示される例では、大きく誇張された変形が示されている。詳細には、印加されたライン圧力がボディ220の外壁200および202を200’および202’の虚像で示される位置へと外側に膨張させる。本発明は圧力センサ56の端に沿う歪みまたは湾曲に基づいてライン圧力を測定するための技術を提供する。この湾曲は、200’および202’が付された破線により図示されている。センサ56の中央縁近くでは、変位の比がΔd1として図示される。図4に図示されるように、センサ56の中央近くの変位Δd1の方が端近くの変位Δd2よりも大きい。ライン圧力はΔd1およびΔd2の両方とともにΔd1-Δd2またはΔd1/Δd2のような相対値にも関連する。図5は変位Δd1またはΔd2を測定する1つの技術を図示する、センサ56の簡略化した断面図である。図5の実施形態の例では、環状の容量性電極240および242がセンサ56の一方の端に近接して配置されることにより変位が監視される。電極240および242はサポート248により支持される絶縁背板244に設けられる。1つの構成においては、サポート248が管またはそのようなものからなる。センサ56および絶縁背板244に対しサポート248を連続的にまたは点で取り付けることができる。もう1つの構成例においては、サポート248が複数のサポートを備えるか、またはセンサ56の外周に沿って連続的には延びない構成を有するものである。もう1つの構成例においては、絶縁背板244がボンド250を用いて細管94に取り付けられる。この構成はサポート248を任意に含んでよい。この構成においては、絶縁背板244がサポート248に取り付けられても、取り付けられなくてもよい。好ましくは、背板244が、ライン圧力に応じて殆ど歪まないように構成されること、または、変位Δd1および/またはΔd2に貢献するような形で変形することで装置の感度を増すように構成されることである。電気的接続が電極240および242に備えられ、センサボディ220との関係で形成される静電容量C1およびC2の測定に用いることができる。センサボディ220に対し絶縁背板244を取り付ける際に、電極240および242とセンサとの間の公称距離d0を制御することができる。電極240、242とセンサボディとの間の誘電性材料を、センサ56を取り巻く例えば窒素である周囲ガスとすることができる。1つの好ましい実施形態においては、キャパシタC1およびC2が静止状態で同じ値つまりC1=C2を有している。この構成では、静止状態でC1-C2=0なので、間隔d0またはガスの誘電率の公称値の変化がC1およびC2の差に影響を与えない。センサ56の両側にキャパシタセンサを配置することで若干冗長性が増すものでもよい。1つの構成においては、温度センサがまた備えられ、温度に基づき静電容量C1、C2が変化することへのライン圧力の測定値に対する温度補償に用いられる。それゆえ図2に図示される変形センサ59は、センサボディの変形に応じて静電容量が変化する方式でセンサボディに対し外付けされた、図5に示される電極により形成される。本発明が好ましい実施形態に関連して記述されたが、当業者は、発明の本質および範囲を逸脱せずに形態上および細部において変更がなし得ることを認識するであろう。例えば、センサボディおよび絶縁背板が環状である必要はない。背板に対し印加される応力を減らすための様々な取り付け技術が採用され得る。ここで用いられる流体は、液体および気体または固体を含む混合体を含む。"