"複数のノズルが設けられたノズルヘッドと、印刷媒体を載置する基板搬送ステージとを備えるインクジェット装置において、前記印刷媒体の搬送方向と略直交する方向、かつ、前記ノズルヘッドの外側に移動可能な吐出検査用プレートと、前記吐出検査用プレートに吐出されたインクパターンを検査する検査ユニットとを有し、前記吐出検査用プレートは、前記吐出検査用プレートと前記ノズルヘッドとの距離を、前記ノズルヘッドのうち前記ステージと面する表面と、前記印刷媒体の前記ノズルヘッド側の表面との距離とを同じと状態で、前記ノズルヘッドから吐出されるインクが塗布されることを特徴とするインクジェット装置。前記検査ユニットでの検査結果に基づいて、塗布液滴の位置ずれ、或いはノズルヘッドの不吐出状態を補正する吐出制御ユニットをさらに備える、請求項1記載のインクジェット装置。しかしながら、上記従来のインクジェット装置の構成では、印刷媒体Pが紙やフィルムのような薄く軽量なものであれば、搬送ベルト20には剛性が要求されないが、印刷媒体Pがガラス基板の場合で、かつそのガラス基板の一辺が数メートルのサイズになると、ガラス基板の重量を支持するため搬送機構にも高い剛性が求められる。そのため、ガラス基板を積載する搬送台の厚みを厚くしたり、リブを設けたりする必要が生じる。その結果、搬送機構に開口部を設けても、搬送機構全体の厚みが大きいために、ノズルヘッド21と吐出検査部材23との間隔が広くなる。これにより、ノズルヘッド21と印刷媒体Pとの間隔と、ノズルヘッド21と吐出検査部材23との間隔とが著しく異なることになる。このため、印刷媒体P上での塗布結果と、吐出検査部材23上での塗布結果との相関が取れなくなるという不具合が生じる。本発明は、前記従来の課題を解決するものであり、大面積基板上にインクを塗布する際にも、不吐出ノズルや着弾精度が悪い不良ノズルなどを正確に検知することが可能な、インクジェット装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明のインクジェット装置は、ノズルからインクを吐出させ、印刷媒体にインクを塗布するインクジェット装置であって、複数の前記ノズルが設けられたノズルヘッドと、前記ノズルヘッドと前記印刷媒体とを相対的に移動させる搬送機構と、前記印刷媒体と略同じ高さに配置された吐出検査用プレートを、前記ノズルヘッドに沿って前記印刷媒体の搬送方向と異なる方向に搬送するプレート搬送機構と、前記吐出検査用プレートに吐出されたインクパターンを検査する検査ユニットとを備えたことを特徴としている。本構成によれば、印刷媒体と同じ高さに配置した吐出検査用プレートに検査用パターンを印刷し、該プレートに印刷された各ノズルのインクパターンを検査することにより、実際の印刷媒体に印刷したときと同等の正確さで、ノズルヘッドからのインクの吐出状態を把握することができる。以上のように、本発明のインクジェット装置は、吐出検査用プレートに検査用パターンを印刷する際、ノズルヘッドと吐出検査用プレートとの間隔と、ノズルヘッドと印刷媒体との間隔とを同じ状態として、該吐出検査用プレートを検査する。これにより、印刷媒体上での塗布結果と、吐出検査用プレート上での塗布結果との相関が高めることができ、その結果、ノズルヘッドからのインクの吐出状態を正確に把握することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1は本発明のインクジェット装置の実施の形態における概略構成を示す図であって、同図aは平面図、bは正面図を示す。図1において、1はインクジェット装置本体のベース、2は基板3印刷媒体を搬送する基板搬送ステージ、4は複数のノズルが設けられているノズルヘッド、5は吐出検査用プレート6を搬送する吐出検査用プレート搬送ステージ、7は検査パターンインクパターンを検査する検査ユニット、8はノズルヘッド4の吐出状態を補正又は/及び制御する吐出補正ユニットである。本実施の形態において、図1に示すように、ベース1上に基板搬送ステージ2が設置され、基板搬送ステージ2上に基板3が吸着固定されている。ベース1の中央付近にはノズルヘッド4が設置され、ノズルヘッド4は基板3の上面とノズルヘッド4の下面に対して一定の隙間が生じる高さに固定されている。基板搬送ステージ2は、図1に示すように紙面に対して左右方向に移動可能になっている。本発明のインクジェット装置は、基板搬送ステージ2の位置に同期して、ノズルヘッド4からインクを吐出することにより、基板3上の所望の位置にインクを塗布する。本発明のインクジェット装置は、ノズルヘッド4の下に吐出検査用プレート搬送ステージ5が設置されている。吐出検査用プレート搬送ステージ5は、上方から支持されていて基板搬送ステージ2と直交する方向に移動する。検査パターンが印刷される吐出検査用プレート6は、その表面にインクに対して撥水性を有するコーティングを施したプレート、或いは、表面にインクの吸収体をコーティングしたプレートなどが用いられる。吐出検査用プレート6は、吐出検査用プレート搬送ステージ5上に吸着固定され、印刷時に吐出検査用プレート6の表面と基板3の表面とが同じ高さになるように調整されている。基板3にインク塗布を行っている場合印刷時には、通常、吐出検査用プレート搬送ステージ5は、基板搬送ステージ2と干渉しないようにベース1の外側図1においてに実線で示した検査位置,図11の位置で待機している。また、ノズルヘッド4の吐出状態を確認するときは、基板搬送ステージ2が左側の位置図1において実線で示した位置,図12の位置に停止した状態で、吐出検査用プレート搬送ステージ5が2点鎖線で示した位置図13の位置まで移動する。吐出検査用プレート搬送ステージ5の位置に同期して、ノズルヘッド4からインクを吐出することにより、吐出検査用プレート搬送ステージ5上の吐出検査用プレート6の表面に検査パターンを印刷する。吐出検査用プレート搬送ステージ5は、2点鎖線で示した位置図13の位置まで到達した後に、図1において実線で示した検査位置図11の位置まで戻る。この状態で検査ユニット7により、吐出検査用プレート6上の検査パターンの吐出状態の検査を開始する。検査ユニット7としては、認識カメラを用いた画像認識による検査ユニット、或いはバーコードリーダーのようなレーザスキャン方式の検査ユニットが用いられる。検査ユニット7によって、検査パターンの吐出検査を行なうことで、ノズルヘッド4の各ノズルの不吐出や、塗布された液滴の位置ずれ量を把握する。そして、その結果をノズルヘッド4の吐出制御ユニット8に入力し、ノズルヘッド4における各ノズルの吐出状態を補正する。例えば、不吐出ノズルや位置ずれの大きなノズルはインク吐出をさせず、代わりに隣接するノズルを吐出させるようにして、不吐出ノズルを補完する。また、基板3の搬送方向の塗布位置ずれは、該ノズルのインク吐出のタイミングをずらすことにより、所望の位置に液滴が塗布されるように補正する。以上のように、本実施の形態のインクジェット装置によれば、ノズルヘッド4に対して基板3と吐出検査用プレート6とを同じ高さに配置することができるため、基板3上での塗布結果と、吐出検査用プレート6上での塗布結果との間に相関を高めることができる。これにより、吐出検査用プレート6上での検査パターンの塗布結果を基に、塗布液滴の位置ずれやノズルの不吐出状態を補正することによって、実際の基板3上への塗布状態を改善することができる。吐出検査用プレート6は、印刷時には吐出検査用プレート6とノズルヘッド4との距離を、基板3とノズルヘッド4との距離と同じにする必要があるが、吐出検査用プレート6の検査時、待機時、搬送時などでは、任意の高さで移動しても良い。例えば、検査時は検査タクトを短縮するため、必要精度を確保できる条件でできるだけ広い印刷範囲を検査する必要がある。このとき、検査ユニット7のカメラの作動距離は数十mm以上になる。検査ユニット7の設置高さが制限される場合は、吐出検査用プレート6を高さ方向に移動して検査することにより、インクジェット装置全体の省スペース化を図ることができる。また、待機時、搬送時においても同様で、ノズルヘッド4を支持するノズルヘッド支持台図示せずなどとの配置の関係に自由度ができ、設備全体の省スペース化が可能になる。更に、吐出検査用プレート6の交換作業、メンテナンスなどの作業性を向上することもできる。また、本実施の形態のインクジェット装置は、吐出検査用プレート6を、基板3の搬送方向と直交する方向に移動しながら塗布できる構成とすることから、ノズルヘッド4の長さ方向に対して、吐出検査用プレート6の長さを短くすることが可能となる。そのため、基板3よりも小さな吐出検査用プレート6を採用することができる。吐出検査用プレート6を小さくできることから、吐出検査用プレート搬送ステージ5や検査ユニット7の小型化も可能となり、インクジェット装置そのものの大型化を抑制することができる。更には、小さな吐出検査用プレート6を高速で移動することができるため、検査のための印刷時間を短縮できる上に、検査領域が小さいため検査時間も短縮することができ、生産性も向上する。図2は本実施の形態におけるノズルヘッドの構成を示す。同図はノズルヘッドの平面図である。本実施の形態にて用いるような大型のノズルヘッド4では、通常、複数の単ノズルヘッド9を規則的に並べて構成されている。単ノズルヘッド9は、それぞれが数百のノズル10を有しているが、同図では説明を簡素化にするため、隣接するノズル10のみを取り上げて説明する。これら全てのノズル10から、吐出制御ユニット8により、任意のタイミングで液滴を吐出することができる。精密な印刷を実現するためには、塗布の分解能を向上する必要がある。基板3の搬送方向の塗布分解能は、基板3の搬送速度とノズル10からのインクの吐出周期によって決まる。一方、基板3の搬送方向と直交する方向の塗布分解能は、ノズル10の配置を如何に密にするかにより決まる。通常、ノズル10ごとにインク室と、インク室に吐出圧力を与えるための駆動素子が設けられているため、ノズル10の穴の大きさは直径20~50μm程度である。そのため、ノズル10間のピッチは数百μmになる。基板3の搬送方向と直交する方向の塗布の分解能を確保するため、基板3の搬送方向に対して単ノズルヘッド9を傾けて配置する。これにより、基板3の搬送方向にノズル10の位置がずれていても、基板3の搬送方向と直交する方向のノズル穴ピッチP1、すなわち、基板3の搬送方向と直交する方向の塗布分解能をノズル穴直径と同等の数十μmにすることができる。このように配置されたノズルヘッド4では、印刷媒体が大きくなるほど、基板3の搬送方向と直交する方向の幅が増加して行くことになる。そのため、基板3の搬送方向に吐出検査用プレート6を搬送して吐出検査を行う場合にも、大きな吐出検査用プレート6と検査ユニット7とが必要になる。一方、ノズルヘッド4における基板3の搬送方向の幅は、印刷媒体である基板3が大きくなっても変化しないため、ノズルヘッド4の幅と同等の吐出検査用プレート6を用いることができる。また、基板3の搬送方向のノズルピッチP2は、直交方向のノズルピッチP1に対して広いため、吐出検査の際に隣接するノズル10の塗布精度の影響を受けにくいという利点がある。図3は本実施の形態における吐出検査用プレートの印刷方法の説明図である。本実施の形態において、吐出検査用プレート6は、ノズルヘッド4の図面の左側から右側へと基板3の搬送方向と直交する方向に送られる。吐出検査用プレート6は、ノズルヘッド4の下を通過する際の位置に応じて吐出タイミングが制御され、吐出検査用プレート6上に検査パターン11が印刷される。例えば、図3において、ノズルA~Fにより印刷後の吐出検査用プレート6’上には検査パターンA’~F’が印刷される。ノズルAは吐出検査用プレート6が所定の位置に来たときに数滴の液滴を吐出し、ライン状のパターンA’を形成する。一滴の液滴で検査する場合と比較して、数滴の液滴でライン状のパターンにすることで、吐出の再現性を含めた検査が可能になる。また、ラインパターンの場合、検査に寄与する領域が広がるため、レーザスキャン方式のような、画像検査以外の検査方式を選択することができる。また、検査感度が上がるため、ゴミや異物などの検査ノイズの影響を受けにくくなる。ノズルA~Eは、同じ単ノズルヘッド9内のノズルであって、それぞれの検査パターン11が搬送方向の同じ位置に並ぶように、検査パターンA’~E’が印刷される。ノズルFは、ノズルA~Eとは異なる単ノズルヘッドのノズルであって、基板3の搬送方向においてはノズルAと同じ位置のノズルである。印刷後の吐出検査用プレート6’において検査パターンA’の左側に検査パターンF’が印刷される。図4は実施の形態における印刷後の吐出検査用プレートの一例を示す平面図である。印刷後の吐出検査用プレート6’には検査パターン11が印刷されている。一点鎖線が基板3の搬送方向の塗布位置の期待値である。本実施の形態では、検査パターン11を検査ユニット7を構成するカメラなどにより検査して、検査パターン11の有無で不吐出を判定して、期待値からの塗布位置ずれを測定する。例えば、図4に示す例では、検査パターンA’,B’,E’は塗布位置ずれがほとんどなく塗布されている。また、検査パターンC’は基板搬送方向に位置ずれしている。このため期待値からの位置ずれ量を検査し、位置ずれ分だけノズルCの吐出タイミングを早くして印刷するよう補正する。また、検査パターンD’は基板搬送方向と逆方向に位置ずれしており、ノズルDの吐出タイミングを遅くすることによって補正する。さらに、検査パターンF’のように本来印刷されるべきパターンがない場合には、そのノズルが不吐出ノズルであることを意味する。ノズルFが不吐出ノズルであることが分れば、ノズルFで印刷するはずであった印刷パターンを隣接するノズルで代わりに印刷するなどして補完する。以上説明した本実施の形態における吐出検査および補正方法を用いれば、基板3と吐出検査用プレート6とが同じ高さに配置されていて、基板3上における塗布結果と、吐出検査用プレート6上における塗布結果との間に相関がとれているため、吐出検査用プレート6上での塗布結果を元に、塗布液滴の位置ずれやノズルの不吐出状態を補正することができて、実際の基板3上への塗布状態を改善することができる。また、本実施の形態においては、実印刷対象の基板3と同じ高さに配置した吐出検査用プレート6上に、基板3の搬送方向と異なる方向に搬送しながら検査パターンを印刷することにより、基板3に比べて小さな吐出検査用プレート6によってノズルヘッド4の吐出状態を検査することができる。なお、本実施の形態では、搬送機構として基板3を移動させる基板搬送ステージ2を用いた例を説明したが、基板3とノズルヘッド4とは相対的に移動してインク塗布を行えばよく、ノズルヘッド4を基板3に対して移動させる搬送機構を用いることも考えられる。次に、その他の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図5は本発明のインクジェット装置の第2の実施の形態における概略構成を示す図であって、aは平面図、bは基板印刷時の正面図、cは吐出検査用プレートに印刷するときの正面図である。図5において、101,103はエア浮上式ステージ、102はエア浮上式ステージ可動部、104は基板把持部、105はガイドである。エア浮上ステージ101,103及びエア浮上式ステージ可動部102は、ステージ表面に形成されている微細なエア供給穴とエア吸引穴から、それぞれエアが供給吸引されている。エア供給と吸引のバランスにより、基板3はステージ上面と略均一な間隙を保ち浮上する。また、基板3は、基板把持部104で端部を把持されており、水平方向を規制される。エア浮上式ステージ可動部102は、ノズルヘッド4の直下に配置され、上下方向に移動可能な構成となっている。基板3に印刷する場合、図5bに示すように、エア浮上式ステージ可動部102は、エア浮上式ステージ101、103と同等の高さに位置し、基板把持部103は、基板3を把持したまま、ガイド105上を移動する。基板3は、エア浮上ステージ101、エア浮上ステージ可動部102、エア浮上ステージ103上を浮上した状態で搬送される。基板3がノズルヘッド4の下を通過する際に、ノズルヘッド4からインクが吐出され、基板3上に所望の印刷パターンが印刷される。吐出検査用プレート6上に印刷する場合、図5cに示すように、エア浮上式ステージ可動部102は下降する。吐出検査用プレート6を搭載した吐出検査用プレート搬送ステージ5が紙面と垂直な方向に移動する。吐出検査用プレート6の高さは、実印刷対象の基板3と同じ高さに配置されている。ノズルヘッド4の下を吐出検査用プレート6が通過するときに、吐出検査用プレート6上に検査パターンを印刷する。検査パターンの検査方法や塗布位置ずれ、不吐出ノズルの補正、補完方法は第一の実施の形態と同じであるため省略する。以上、本実施の形態におけるインクジェット装置を用いれば、エア浮上式ステージを活用することで、ステージ上にガイドなどを敷設する必要がないため、ステージの一部を切り離して上下に移動することができる。これにより、ノズルヘッド4下への吐出検査用プレート搬送ステージ5の搬送経路の確保が容易に実現できる。"