"導体を格納した電気機器の外壁に設置される絶縁体と、前記電気機器の外壁から伝搬した音響波を受信する受波面と、前記絶縁体および前記受波面を介して前記電気機器の外壁に設置され、前記受波面により受信した音響波を音響波信号に変換し、前記音響波信号を、電磁波により前記電気機器の外壁に発生した電位振動により誘起された電磁波信号とともに出力する圧電素子と、前記絶縁体を介して前記電気機器の外壁に設置され、前記圧電素子を格納し、電磁波により前記電気機器の外壁に発生した電位振動により誘起された電磁波信号を出力するシールドケースと、を備える部分放電検出用センサ。導体を格納した電気機器の外壁に設置される絶縁体と、前記電気機器の外壁から伝搬した音響波を受信する受波面と、前記絶縁体および前記受波面を介して前記電気機器の外壁に設置され、前記受波面により受信した音響波を音響波信号に変換し、前記音響波信号を、電磁波により前記電気機器の外壁に発生した電位振動により誘起された電磁波信号とともに出力する圧電素子と、前記絶縁体を介して前記電気機器の外壁に設置され、前記圧電素子を格納し、電磁波により前記電気機器の外壁に発生した電位振動により誘起された電磁波信号を出力するシールドケースと、を備える部分放電検出用センサと、前記圧電素子から入力された前記電磁波信号および前記音響波信号と、前記シールドケースから入力された前記電磁波信号とに基づいて、前記電磁波信号と前記音響波信号とを分離して出力する信号分離手段と、前記信号分離手段から入力された前記電磁波信号および前記音響波信号を増幅し、増幅電磁波信号および増幅音響波信号を出力する増幅手段と、を備える信号増幅装置と、を備える部分放電検出装置。前記信号分離手段は、コモンモードチョークであり、前記圧電素子から入力された前記電磁波信号および前記音響波信号と、前記シールドケースから入力された前記電磁波信号を、前記電磁波信号と前記音響波信号とを分離して出力する請求項2記載の部分放電検出装置。前記増幅手段から入力された前記増幅電磁波信号および前記増幅音響波信号に基づいて、前記電気機器内部に部分放電が発生しているか否かを判断する測定手段と、を備える請求項2または3に記載の部分放電検出装置。前記部分放電検出用センサおよび前記信号増幅装置を複数備え、前記測定装置は、複数の前記増幅装置から入力された前記増幅電磁波信号および前記増幅音響波信号に基づいて、前記電気機器内部に部分放電が発生しているか否かを判断する請求項4に記載の部分放電検出装置。前記測定手段は、前記増幅電磁波信号または前記増幅電磁波信号の振幅値が事前に設定された閾値より大きい場合、前記電気機器内部に部分放電が発生していると判断する請求項4または5に記載の部分放電検出装置。前記測定手段は、複数の前記信号増幅装置により入力された前記増幅電磁波信号および前記増幅音響波信号の夫々の振幅値を算出し、複数の前記信号増幅装置により入力された前記増幅電磁波信号と前記増幅音響波信号とが検出された時間差を算出し、前記増幅電磁波信号の振幅値の大きい順と、前記増幅音響波信号の振幅値の大きい順と、前記時間差の小さい順とが、一致するか否かを判断し、前記増幅電磁波信号の振幅値の大きい順と、前記増幅音響波信号の振幅値の大きい順と、前記時間差の小さい順とが、一致すると判断した場合に前記電気機器内部に部分放電が発生していると判断する請求項5に記載の部分放電検出装置。導体を格納した電気機器の外壁に設置される絶縁体と、前記電気機器の外壁から伝搬した音響波を受信する受波面と、前記絶縁体および前記受波面を介して前記電気機器の外壁に設置され、前記受波面により受信した音響波を音響波信号に変換し、前記音響波信号を、電磁波により前記電気機器の外壁に発生した電位振動により誘起された電磁波信号とともに出力する圧電素子と、前記絶縁体を介して前記電気機器の外壁に設置され、前記圧電素子を格納し、電磁波により前記電気機器の外壁に発生した電位振動により誘起された電磁波信号を出力するシールドケースと、を備える部分放電検出用センサと、前記圧電素子から入力された前記電磁波信号および前記音響波信号と、前記シールドケースから入力された前記電磁波信号とに基づいて、前記電磁波信号と前記音響波信号とを分離して出力する信号分離手段と、前記信号分離手段から入力された前記電磁波信号および前記音響波信号を増幅し、増幅電磁波信号および増幅音響波信号を出力する増幅手段と、を備える信号増幅装置と、を備える部分放電検出装置を用いた部分放電検出方法において、前記圧電素子により前記電磁波信号および前記音響波信号を受信する両波受信手順と、前記シールドケースから前記電磁波信号を受信する電磁波受信手順と、前記圧電素子から入力された前記電磁波信号および前記音響波信号と、前記シールドケースから入力された前記電磁波信号とに基づいて、前記電磁波信号と前記音響波信号とを分離して出力する分離手順と、前記信号分離手段から入力された前記電磁波信号および前記音響波信号を増幅し、増幅電磁波信号および増幅音響波信号を出力する増幅手順と、前記増幅電磁波信号および前記増幅音響波信号に基づいて前記電気機器内部に部分放電が発生しているか否かを判断する判断手順と、を備える部分放電検出方法。前記部分放電検出用センサおよび前記信号増幅装置を複数備えた部分放電検出方法において、前記判断手順は、前記増幅電磁波信号および前記増幅音響波信号に基づいて、前記電気機器内部に部分放電が発生しているか否かを判断する請求項8に記載の部分放電検出方法。前記判断手段は、前記増幅電磁波信号または前記増幅電磁波信号の振幅値が事前に設定された閾値より大きい場合、前記電気機器内部に部分放電が発生していると判断する請求項8または9に記載の部分放電検出方法。前記判断手順は、前記増幅電磁波信号および前記増幅音響波信号の夫々の振幅値を算出する手順と、前記増幅電磁波信号と前記増幅音響波信号とが検出された時間差を算出する手順と、前記増幅電磁波信号の振幅値の大きい順と、前記増幅音響波信号の振幅値の大きい順と、前記時間差の小さい順とが、一致するか否かを判断する手順と、前記増幅電磁波信号の振幅値の大きい順と、前記増幅音響波信号の振幅値の大きい順と、前記時間差の小さい順とが、一致すると判断した場合に前記電気機器内部に部分放電が発生していると判断する手順と、を備える請求項8に記載の部分放電検出方法。このAEセンサを用いた部分放電検出方法では、AEセンサから得られる検出感度は低く、部分放電電荷量の小さい部分放電に対しては検出できないという課題があった。また、接地線に流れる電流を検出する変流器を併用する方法では、周辺に設置された電力機器から接地線を通して侵入する外部ノイズ等の影響を受けるため、部分放電の判別が困難となる課題もあった。本発明の実施形態は、精度良く部分放電を検出可能な部分放電検出用センサ、部分放電検出装置、および部分放電検出方法を提供することを目的とする。本発明の実施形態における部分放電検出用センサは、導体を格納した電気機器の外壁に設置される絶縁体と、前記電気機器の外壁から伝搬した音響波を受信する受波面と、を備える。また、前記絶縁体および前記受波面を介して前記電気機器の外壁に設置され、前記受波面により受信した音響波を音響波信号に変換し、前記音響波信号を、電磁波により前記電気機器の外壁に発生した電位振動により誘起された電磁波信号とともに出力する圧電素子を備える。さらに、前記絶縁体を介して前記電気機器の外壁に設置され、前記圧電素子を格納し、電磁波により前記電気機器の外壁に発生した電位振動により誘起された電磁波信号を出力するシールドケースを備える。本発明の実施形態における、部分放電検出装置について図面を参照して説明する。第1の実施形態構成第1の実施形態における部分放電検出装置の構成について図1を用いて説明する。図1は、本実施形態の部分放電検出装置の構成図である。本実施形態の部分放電検出装置は、センサ1、信号増幅装置2、測定装置3、および同軸ケーブル4,5,6を備える。センサ1は、図示しない変圧器のタンク外壁に設置され、信号増幅装置2と同軸ケーブル4を介して接続されている。信号増幅装置2は、測定装置3と同軸ケーブル5,6を介して接続されている。センサ1により電磁波および音響波を検出し、夫々に起因する電磁波信号および音響波信号として、同軸ケーブル4を介して信号増幅装置2に出力する。信号増幅装置2は、入力された電磁波信号および音響波信号を増幅し、夫々増幅電磁波信号および増幅音響波信号として、同軸ケーブル5,6を介して測定装置3に出力する。測定装置3は、入力された増幅電磁波信号および増幅音響波信号に基づいて、センサ1が設置された変圧器内に部分放電の有無を検出する。作用以下、部分放電が発生した場合の、センサ1および信号増幅装置2の動作について夫々図2および図3を用いて説明する。図2は、本実施形態の部分放電検出装置におけるセンサ1の構成図である。図3は、本実施形態の部分放電検出装置における信号増幅装置2の構成図である。センサ1の説明次に、図2を用いて部分放電検出装置におけるセンサ1の構成について説明する。本実施形態のセンサ1は、絶縁体101、受波面102、圧電素子103、シールドケース104、および接続線105を備える。シールドケース104内に格納された圧電素子103は、絶縁体101および受波面102を介して変圧器のタンク7に配置されている。この圧電素子103は、同軸ケーブル4の内部導体401に接続され、シールドケース104は、同軸ケーブル4の外部導体と接続線105を介して接続されている。タンク7内にて部分放電が発生した場合、部分放電箇所から電磁波および音響波が発生する。部分放電により発生した電磁波は、タンク7に電位振動を発生させる。絶縁体2が設置されているため、タンク7とシールドケース104との間には静電容量を有しており、タンク7表面の電位振動はその静電容量を介してシールドケース104に電位として誘起される。ここで誘起された電位は、同軸ケーブル4の外部導体402を介して電磁波信号として信号増幅装置2に出力される。また、シールドケース104に誘起された電位は、同軸ケーブル4の中心導体401とシールドケース104との間の静電容量を介して電磁波信号として信号増幅装置2に出力される。つまり、部分放電により発生した電磁波に起因する電磁波信号は、同軸ケーブル4の中心導体401および外部導体402の両方により信号増幅装置2に出力される。さらに、部分放電により発生した音響波は、絶縁体101を介して受波面102に伝わり、圧電素子103により電気信号へと変換される。ここで電気信号へと変換された音響波は、同軸ケーブル4の中心導体401を介して音響波信号として信号増幅装置2に出力される。したがって、電磁波に起因する電磁波信号と音響波に起因する音響波信号との2種類の信号が、同軸ケーブル4の中心導体401を介して信号増幅装置2に出力される。また、電磁波に起因する電磁波信号が、同軸ケーブル4の外部導体402を介して信号増幅装置2に出力される。信号増幅装置2の説明次に、図3を用いて部分放電検出装置における信号増幅装置2の構成について説明する。信号増幅装置2は、コモンモードチョーク201、差動アンプ202、絶縁アンプ203、接続線204,205,206,207を備える。コモンモードチョーク201は、入力された信号を分離する信号分離手段の一つである。このコモンモードチョーク201には、同軸ケーブル4の中心導体401から電磁波信号および音響波信号が入力され、同軸ケーブル4の外部導体402から電磁波信号が入力される。このコモンモードチョーク201は、同軸ケーブル4から入力された信号からコモンモードによる信号を除去した信号を出力する。ここでは、電磁波に起因する電磁波信号は、同軸ケーブル4の中心導体401および外部導体402の両方から入力されるため、コモンモードの信号となり、電磁波信号は除去される。つまり、接続線204からは音響波信号、接続線205,206からは電磁波信号が除去された電磁波除去信号、接続線207からは電磁波信号が出力される。コモンモードチョーク201と、接続線204,および接続線205を介して接続する差動アンプ202は、接続線204から入力された音響波信号と接続線205から入力された電磁波除去信号との差分を増幅して増幅音響波信号として、同軸ケーブル5の中心導体501を介して図示しない測定装置に出力する。また、コモンモードチョーク201と、接続線206,および接続線207を介して接続する絶縁アンプ203は、接続線206から入力された電磁波除去信号と接続線207から入力された電磁波信号との差分を増幅して増幅電磁波信号として、同軸ケーブル6の中心導体601を介して図示しない測定装置に出力する。ここで、出力側と入力側とが絶縁された絶縁アンプ203を用いたのは、絶縁アンプ203の出力側が接地されていても使用可能としたためであるが、絶縁アンプ203の代わりに差動アンプを用いても良い。次に、同軸ケーブル5,6を介して増幅電磁波信号および増幅音響波信号が入力された測定装置3について説明する。測定装置3は、増幅電磁波信号の振幅値が事前に設定された閾値K1以上であるか否かを判断し、増幅音響波信号の振幅値が事前に設定された閾値K2以上であるか否かを判断する。増幅電磁波信号の振幅値が閾値K1以上である、または増幅音響波信号の振幅値が閾値K2以上であると判断した場合、センサ1が設置された変圧器内部にて部分放電が発生していると判断する。また、増幅電磁波信号の振幅値が閾値K1以上ではなく、かつ増幅音響波信号の振幅値が閾値K2以上ではないと判断した場合、変圧器内部には部分放電が発生していないと判断する。上述した部分放電検出装置を用いた部分放電検出方法について説明する。本実施形態の部分放電検出方法は以下の手順を備える。圧電素子により電磁波信号および音響波信号を受信する両波受信手順シールドケースから電磁波信号を受信する電磁波受信手順圧電素子から入力された電磁波信号および音響波信号と、シールドケースから入力された電磁波信号とに基づいて、電磁波信号と音響波信号とを分離して出力する分離手順信号分離手段から入力された電磁波信号および音響波信号を増幅し、増幅電磁波信号および増幅音響波信号を出力する増幅手順増幅電磁波信号および増幅音響波信号に基づいて電気機器内部に部分放電が発生しているか否かを判断する判断手順上述した本実施形態での判断手順は、増幅電磁波信号および増幅音響波信号が事前に設定された閾値K1,K2より大きい場合、前記電気機器内部に部分放電が発生していると判断する。効果本実施形態によれば、電磁波に起因する電磁波信号および音響波に起因する音響波信号の両方に基づいて部分放電の有無を判断している。そのため、検出感度が低い音響波信号を検出できなかった場合でも、電磁波信号を検出することにより、部分放電の有無を判断することが可能である。また、電磁波信号および音響波信号をセンサ1の1つのセンサにより検出することが可能であるため、電磁波信号検出用のセンサと、音響波信号検出用のセンサとの2つのセンサを用いる場合より、低コスト,簡易な構成とすることが可能である。第2の実施形態構成第2の実施形態の部分放電検出装置の構成について図4を用いて説明する。図4は、本実施形態の部分放電検出装置の構成図である。第1の実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、説明は省略する。本実施形態の構成が第1の実施形態の構成と異なる点は、センサおよび信号増幅装置をそれぞれ3つずつ備える点である。これらの夫々のセンサ1-1~1-3および信号増幅装置2-1~2-3は第1の実施形態と同様の構成を備える。つまり、信号増幅装置2-1は、同軸ケーブル5-1を介して増幅電磁波信号A1を出力し、同軸ケーブル6-1を介して増幅音響波信号B1を出力する。信号増幅装置2-2は、同軸ケーブル5-2を介して増幅電磁波信号A2を出力し、同軸ケーブル6-2を介して増幅音響波信号B2を出力する。信号増幅装置2-3は、同軸ケーブル5-3を介して増幅電磁波信号A3を出力し、同軸ケーブル6-3を介して増幅音響波信号B3を出力する。ここで、測定装置3に入力される増幅電磁波信号A1~A3および増幅音響波信号B1~B3について図5を用いて説明する。図5は、センサ1-1~1-3により検出される増幅電磁波信号A1~A3および増幅音響波信号B1~B3を示すイメージ図であり、横軸は信号が検出された時間、縦軸は信号の強度である。ここでは、部分放電箇所との距離が近い順にセンサ1-1、センサ1-2、センサ1-3としている。変圧器内部での、電磁波の伝搬速度は略光速3×108[m/sec]であり、音響波の伝搬速度は絶縁油中では約1380[m/sec]であり、両波の伝搬速度が異なる。そのため、増幅電磁波信号A1~A3が検出される時間とおよび増幅音響波信号B1~B3が検出される時間との差分を示す時間差T1~T3は、部分放電箇所とセンサ1-1~1-3の場所との距離に影響される。つまり、部分放電箇所とセンサ1-1~1-3の場所との距離が短いほど、時間差T1~T3は短い。ここでは、T1<T2<T3また、電磁波および音響波は、変圧器内部を伝搬する間に減衰する。そのため、増幅電磁波信号A1~A3の夫々の振幅値WA1~WA3および増幅音響波信号B1~B3の夫々の振幅値WB1~WB3も、部分放電箇所とセンサ1-1~1-3の場所との距離に影響される。つまり、部分放電箇所とセンサ1-1~1-3の場所との距離が短いほど、振幅値WA1~WA3,WB1~WB3は小さい。ここでは、WA1>WA2>WA3、WB1>WB2>WB3作用次に、本実施形態の部分放電検出方法について説明する。本実施形態の部分放電検出方法が第1の実施形態の部分放電検出方法と異なる点は、第1の実施形態の判断手順にて部分放電が発生しているか否かを判断する方法である。この判断手順について、図6を用いて説明する。図6は、本実施形態の部分放電検出方法の判断手順を示すフローチャートである。本実施形態の部分放電検出方法の判断手順は以下の手順を備える。増幅電磁波信号A1~A3の夫々の振幅値WA1~WA3と、増幅音響波信号B1~B3の夫々の振幅値WB1~WB3とを算出する手順S1増幅電磁波信号A1~A3の夫々の振幅値WA1~WA3が事前に設定された閾値K1以上である、または増幅音響波信号B1~B3の夫々の振幅値WB1~WB3が事前に設定された閾値K2以上であるか否かを判断する手順S2。手順S2により、振幅値WA1~WA3が閾値K1以上である、または増振幅値WB1~WB3が閾値K2以上であると判断された場合S2のYES、信号増幅装置2-1~2-3から入力された、増幅電磁波信号A1~A3と増幅音響波信号B1~B3との検出された時間差を算出する手順S3。つまり、この手順S3では、増幅電磁波信号A1が検出された時間と増幅音響波信号B1が検出された時間との時間差T1を算出し、同様に、増幅電磁波信号A2と増幅音響波信号B2との時間差T2、増幅電磁波信号A3と増幅音響波信号B3との時間差T3を算出する。振幅値WA1~WA3の大きい順と、振幅値WB1~WB3の大きい順と、時間差T1~T3の短い順とが一致するか否かを判断する手順S4。手順S4により、振幅値WA1~WA3の大きい順と、振幅値WB1~WB3の大きい順と、時間差T1~T3の短い順が一致すると判断された場合S4のYES、センサ1-1~1-3が設置された変圧器内に部分放電が発生していると判断する手順S5。手順S2により、振幅値WA1~WA3が閾値K1以上ではなく、または増振幅値WB1~WB3が閾値K2以上ではないと判断された場合S2のNO、または手順S4により振幅値WA1~WA3の大きい順と、振幅値WB1~WB3の大きい順と、時間差T1~T3の短い順が一致しないと判断された場合S4のNO、センサ1-1~1-3が設置された変圧器内に部分放電が発生していないと判断する手順S6。効果本実施形態によれば、第1の実施形態の効果に加え、振幅値WA1~WA3の大きい順と、振幅値WB1~WB3の大きい順と、時間差T1~T3の短い順とが一致するか否かを判断しているため、ノイズによる影響が少ない。そのため、精度良く部分放電を検出することが可能である。また、複数個のセンサ1-1~1-3を設置しており、増幅電磁波信号A1~A3および増幅音響波信号B1~B3に基づいて、部分放電箇所に最も近いセンサを特定することが可能である。すなわち、部分放電の位置を特定することが可能である。なお、図6に示す本実施形態の部分放電測定方法において、手順S2を用いずともノイズによる影響が少なく、精度良く部分放電を検出することが可能である。なお、第1乃至2の実施形態において、測定装置3が部分放電の有無の判断や、位置の特定を行っているが、測定装置3はオシロスコープ等の入力された信号を表示する表示部でも良く、利用者が表示部に表示された信号に基づいて上述した部分放電測定方法にて部分放電の有無の判断や、位置の特定を行っても良い。本発明に係る実施形態によれば、精度良く部分放電を検出可能な部分放電検出用センサ、部分放電検出装置、および部分放電検出方法を提供することが可能である。以上、本発明のいくつかの実施形態について説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことが出来る。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。"