少なくともモノシラン、モノクロロシラン、ジクロロシランおよびトリクロロシランを含む混合物から、モノシランを分離する方法であって、a前記混合物を、高沸点クロロシランに富む凝縮液から低沸点クロロシラン含有モノシランを分離するために、冷却器3に導入すること、b前記高沸点凝縮液を、前述の冷却器3に接続された凝縮液バッファ19中に凝縮液供給管8によって集めること、c高沸点クロロシランに富む凝縮液を、前述の凝縮液バッファ19から、クロロシラン吸収装置20の上部に接続された還流液供給管7上に設置した過冷却装置21中に送ること、d前述の低沸点クロロシラン含有モノシランを、モノシランを分離するために、前述のクロロシラン吸収装置20に供給すること、eモノシランに富むガスを、前述のクロロシラン吸収装置20の上部から抽出することを含む方法において、前記方法の間、1台の冷却器3だけが使用されることを特徴とする方法。f:純粋なモノシランガスを、クロロシラン吸収装置20の下流の蒸留塔22から抽出するステップを含む、請求項1に記載の方法。ステップcが、高沸点クロロシランに富む凝縮液を、冷媒によって過冷却し、かつ還流液として前述のクロロシラン吸収装置20の上部に供給することを含む、請求項1または2に記載の方法。前記冷媒が、塩水臭化リチウム、塩化カルシウム、塩化ナトリウム、塩化マグネシウム、クロロフルオロカーボン普通フレオンと呼ばれる、アンモニア、炭化水素、および不凍剤溶液例えばエチレングリコール水溶液から選択される、請求項3に記載の方法。前記混合物が、モノクロロシランMCS、ジクロロシランDCS、トリクロロシランTCSおよびテトラクロロシランSTCを含む、50モルを超える混合物と、0.1~40モルのモノシランとを含む、請求項1~4のいずれか一項に記載の方法。前記モノシランに富むガスが、60モルを超えるモノシランを含む、請求項1~5のいずれか一項に記載の方法。ステップdの間の、前述の吸収装置20におけるモノシランの分離が蒸留である、請求項1~6のいずれか一項に記載の方法。g再循環されるクロロシラン凝縮液を、前述のクロロシラン吸収装置20の底部から抽出することを含む、請求項1~7のいずれか一項に記載の方法。少なくともモノシラン、モノクロロシラン、ジクロロシランおよびトリクロロシランを含む、処理しようとする前記混合物が、反応塔1、前記反応塔の底部リボイラー2、および前記反応塔の底部に接続された蒸発槽12を含む製造装置によって前記混合物を製造するステップを含む方法により製造され、前記方法が、トリクロロシランおよびジクロロシランの少なくとも1種を反応塔1に供給すること、触媒として第三級脂肪族炭化水素置換アミンおよび第三級脂肪族炭化水素置換アミン塩酸塩の少なくとも1種を、反応塔1の上段24に供給することを含む、請求項1~8のいずれか一項に記載の方法。ステップgの間に抽出した凝縮液を、反応塔1内の触媒と接触させるステップと、テトラクロロシランおよび触媒を含有する底部回収液を、反応塔1の底部から抜き出すステップと、前記底部回収液を、蒸発槽12中に導入するステップと、蒸発槽12の底部分から回収した触媒を、反応塔1の上段24に再循環するステップとを含む、請求項8および9のいずれか1項に記載の方法。