"太陽電池セルと、前記太陽電池セルと電気的に接続された配線シートと、を備え、前記太陽電池セルは、pn接合が形成されたシリコン基板と、前記シリコン基板の表面上に設けられた電極と、を備え、前記配線シートは、基材と、前記基材の表面上に設けられた配線と、を備えており、前記電極は、導電性粒子が厚さ方向に1個以上3個以下積層されてなり、前記電極と前記配線とが電気的に接続されてなる、配線シート付き太陽電池セル。前記導電性粒子は、銀、ニッケル、銅およびアルミニウムからなる群から選択された少なくとも1種を含む、請求項1に記載の配線シート付き太陽電池セル。請求項1または2に記載の配線シート付き太陽電池セルと、前記配線シート付き太陽電池セルを封止する封止材と、を備えた、太陽電池モジュール。シリコン基板の表面にn領域およびp領域を形成する工程と、前記n領域上および前記p領域上にそれぞれ電極ペーストを塗布する工程と、前記電極ペーストを焼成することによって前記n領域上および前記p領域上にそれぞれ電極を形成する工程と、を含み、前記電極を形成する工程においては、導電性粒子が厚さ方向に1個以上3個以下積層されるように前記電極を形成する、太陽電池セルの製造方法。前記電極ペーストは、前記導電性粒子と、ガラス軟化点温度が450°C以下のガラスフリットと、溶剤と、を含む、請求項4に記載の太陽電池セルの製造方法。前記電極を形成する工程において、前記電極ペーストは、550°C以下の温度で焼成される、請求項4または5に記載の太陽電池セルの製造方法。太陽電池セルにおいて高い変換効率を得るために、キャリアライフタイムを高く保つことが重要であり、そのためには低温の処理温度で太陽電池セルを製造することが有効である。特に、太陽電池セルの電極形成時の処理温度はキャリアライフタイムに大きく影響するため、この処理温度を低温化することによって高い変換効率を期待することができる。しかしながら、実際には、太陽電池セルの電極形成時の処理温度を低温化することによって、シリコン基板と電極とのコンタクト抵抗が大きくなったり、電極自体の抵抗率が大きくなるなどして、期待した成果を得ることができなかった。太陽電池セルに一般的に用いられている、焼成により形成された電極は、金属粉末が主成分となるため、電極形成時の処理温度を低温化した場合には金属粉末同士が十分に融着せず、さらには、シリコン基板とのコンタクトを良好にするためにガラスフリットが添加されているために電極自体の抵抗率が大きくなる。一方、電極自体の抵抗率を低くするためにガラスフリットの添加量を少なくした場合には、シリコン基板とのコンタクト抵抗が非常に大きくなってしまうため、低温処理で電極自体の抵抗率とコンタクト抵抗の両方を小さい値にすることは非常に困難であった。特に、特許文献1に記載されているような裏面電極型太陽電池セルにおいては、その裏面にp層、n層、p電極およびn電極がそれぞれ存在するため、p電極およびn電極のバスバー電極は、太陽電池モジュールの製造時に隣接する裏面電極型太陽電池セルと直列接続するために裏面の両端部に設けざるを得ない。そのため、裏面電極型太陽電池セルの電極形状は、たとえば特許文献1に記載されているように、p電極およびn電極のバスバー電極からp電極およびn電極がそれぞれ分岐する櫛形が一般的となっている。しかしながら、裏面電極型太陽電池セルの電極形状を櫛形とした場合には、p電極およびn電極のそれぞれの電極の長さがシリコン基板の幅と同程度となり、裏面電極型太陽電池セルの発電時にp電極およびn電極のそれぞれの1本当たりに流れる電流量が大きくなるため、電極自体の抵抗率が大きい場合には、裏面電極型太陽電池セルの変換効率が低下してしまうという問題があった。この問題を解決する方法としては、電極の断面積を大きくすることによって、電極1本当たりに流れる電流量を大きくする方法があるが、電極の断面積を大きくした場合には、電極の形成に使用される電極材料の使用量も増加させる必要があった。上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、電極材料の使用量の増加を抑えて、高い変換効率を示す配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび太陽電池セルの製造方法を提供することにある。本発明は、太陽電池セルと、太陽電池セルと電気的に接続された配線シートと、を備え、太陽電池セルは、pn接合が形成されたシリコン基板と、シリコン基板の表面上に設けられた電極と、を備え、配線シートは、基材と、基材の表面上に設けられた配線と、を備えており、電極は、導電性粒子が厚さ方向に1個以上3個以下積層されてなり、電極と配線とが電気的に接続されてなる配線シート付き太陽電池セルである。ここで、本発明の配線シート付き太陽電池セルにおいて、導電性粒子は、銀、ニッケル、銅およびアルミニウムからなる群から選択された少なくとも1種を含むことが好ましい。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルと、上記の配線シート付き太陽電池セルを封止する封止材と、を備えた、太陽電池モジュールである。さらに、本発明は、シリコン基板の表面にn領域およびp領域を形成する工程と、n領域上およびp領域上にそれぞれ電極ペーストを塗布する工程と、電極ペーストを焼成することによってn領域上およびp領域上にそれぞれ電極を形成する工程と、を含み、電極を形成する工程においては、導電性粒子が厚さ方向に1個以上3個以下積層されるように電極を形成する太陽電池セルの製造方法である。ここで、本発明の太陽電池セルの製造方法において、電極ペーストは、導電性粒子と、ガラス軟化点温度が450°C以下のガラスフリットと、溶剤と、を含むことが好ましい。また、本発明の太陽電池セルの製造方法においては、電極を形成する工程において、電極ペーストは、550°C以下の温度で焼成されることが好ましい。本発明によれば、電極材料の使用量の増加を抑えて、高い変換効率を示す配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび太陽電池セルの製造方法を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。図1に、本発明の配線シート付き太陽電池セルの一例の模式的な断面図を示す。図1に示す配線シート付き太陽電池セルは、裏面電極型太陽電池セル100と、配線シート200とを備えている。裏面電極型太陽電池セル100は、たとえばn型のシリコン基板1と、シリコン基板1の裏面に、シリコン基板1よりもp型不純物の高いp領域3と、シリコン基板1よりもn型不純物の高いn領域4と、を備えている。また、シリコン基板1の裏面には、p領域3の表面の一部が露出するとともに、n領域4の表面の一部が露出するように形成された開口部であるコンタクトホールを有するパッシベーション膜5が設けられている。また、p領域3に接するようにしてp電極7が設けられているとともに、n領域4に接するようにしてn電極8が設けられている。さらに、シリコン基板1の受光面には反射防止膜2が設けられている。配線シート200は、絶縁性基材11と、絶縁性基材11の一方の表面上に設けられたp配線9およびn配線10を備えている。そして、図1に示す配線シート付き太陽電池セルにおいては、裏面電極型太陽電池セル100のp領域3と、配線シート200のp配線9とが電気的に接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セル100のn領域4と、配線シート200のn配線10とが電気的に接続されることによって、裏面電極型太陽電池セル100と配線シート200とが電気的に接続されている。ここで、図1に示す配線シート付き太陽電池セルにおいては、裏面電極型太陽電池セル100の電極が、導電性粒子が厚さ方向に1個以上3個以下積層されて構成されている点に特徴を有している。図2に、裏面電極型太陽電池セル100の電極の一例の模式的な拡大断面図を示す。ここで、シリコン基板1の裏面に設けられたp電極7は、p電極7の厚さ方向71に、導電性粒子51が3個積層されることにより構成されており、n電極8は、n電極8の厚さ方向81に、導電性粒子51が3個積層されることにより構成されている。これは、本発明者が鋭意検討した結果、裏面電極型太陽電池セル100で発生した電流を裏面電極型太陽電池セル100の電極だけでなく、配線シート200の配線をも通して取り出すことによって、裏面電極型太陽電池セル100の電極を電極の厚さ方向に導電性粒子を1個以上3個以下積層することにより薄く形成して電極材料の使用量の増加を抑えた場合でも、配線シート付き太陽電池セルの変換効率を高くすることができることを見出したことによるものである。ここで、導電性粒子51は、銀Ag、ニッケルNi、銅CuおよびアルミニウムAlからなる群から選択された少なくとも1種を含むことが好ましい。この場合には、裏面電極型太陽電池セル100の電極を550°C以下の低温焼成で形成した場合でも、シリコン基板1との良好なコンタクトが得られる電極を得ることができる傾向にある。また、導電性粒子51の平均粒子径は、0.1μm以上10μm以下であることが好ましく、1μm以上8μm以下であることがより好ましい。導電性粒子51の平均粒子径が0.1μm以上10μm以下である場合、特に、1μm以上8μm以下である場合には、粒子間の接触面積がより大きくなり、抵抗が低くなる傾向にある。また、たとえば図1に示すように、配線シート200の配線p配線9,n配線10の幅D1は、裏面電極型太陽電池セル100の電極p電極7,n電極8の幅D2よりも広いことが好ましい。この場合には、配線シート200の配線の直列抵抗を小さくすることができる傾向にあるため、裏面電極型太陽電池セル100で発生した電流をより低抵抗で集めることができる。以下に、図3a~図3dの模式的断面図を参照して、図1に示す配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。まず、図3aに示すように、たとえば、n型のシリコン基板1の裏面に、p型不純物を拡散することによってp領域3を形成するとともに、n型不純物を拡散することによってn領域4を形成する。ここで、p型不純物およびn型不純物のシリコン基板1の裏面への拡散は、たとえば気相拡散または固相拡散により行なうことができる。なお、本実施の形態においては、p領域3およびn領域4がそれぞれ、図3の紙面の表側から裏側に向かって直線状に伸びるライン状に交互に配置されるようにして形成される例について説明するが、この構成に限定されるものではない。また、シリコン基板1の裏面にp領域3の表面の一部が露出するとともに、n領域4の表面の一部が露出するように形成された開口部であるコンタクトホールを有するパッシベーション膜5を形成する。パッシベーション膜5は、たとえばプラズマCVD法などにより形成することができる。なお、パッシベーション膜5が備えているコンタクトホールは、p領域3上およびn領域4上にそれぞれ、たとえばドット状またはライン状などの形状に形成することができる。コンタクトホールは、たとえば、パッシベーション膜5をエッチング可能なペーストをコンタクトホールの形状にパッシベーション膜5上に印刷し、加熱することによって簡単に形成することができる。また、シリコン基板1の受光面には反射防止膜2を形成する。ここで、反射防止膜2は、たとえばプラズマCVD法などにより形成することができる。次に、図3bに示すように、シリコン基板1の裏面のパッシベーション膜5のコンタクトホールを埋めるようにして、p電極ペースト7aおよびn電極ペースト8aを塗布する。ここで、p電極ペースト7aは、パッシベーション膜5のコンタクトホールから露出しているp領域3に接するようにして塗布され、n電極ペースト8aは、パッシベーション膜5のコンタクトホールから露出しているn領域4に接するようにして塗布される。また、電極ペーストp電極ペースト7aおよびn電極ペースト8aは、たとえば図2に示すように、電極ペーストに含まれる導電性粒子51が、後述の焼成後のp電極7およびn電極8の厚さ方向71,81に、それぞれ、1個以上3個以下積層されるように塗布される。ここで、電極ペーストに含まれる導電性粒子は、Ag、Ni、CuまたはAlのなどの導電性の高い金属材料からなることが好ましい。ガラスフリットとしては、たとえば、B2O3-SiO2-PbO系、SiO2-Bi2O3-PbO系、B2O3-SiO2-Bi2O3系、B2O3-SiO2-PbO-ZnO系またはB2O3-SiO2-ZnO系などの従来から公知のガラスフリットなどを用いることができる。ここで、ガラスフリットとしては、ガラス軟化点温度が450°C以下のガラスフリットを用いることが好ましい。ガラス軟化点温度が450°C以下のガラスフリットを用いた場合には、電極ペーストを450°C以下といった低温で焼成して電極を形成することができるため、シリコン基板1におけるキャリアライフタイムの低下を抑えることができ、配線シート付き太陽電池セルの変換効率がより高くなる傾向にある。なお、本発明において、ガラス軟化点温度は、JISR3103-01:2001のガラスの粘性及び粘性定点-第1部:軟化点の測定方法の規格にしたがって測定された軟化点のことを意味する。溶剤は、特に限定されず従来から公知のものを用いることができ、たとえば、ターピネオールα-ターピネオール、β-ターピネオール等などのアルコール類およびヒドロキシ基含有エステル類2,2,4―トリメチル-1,3-ペンタンジオールモノイソブチラート、ブチルカルビトールアセテート等などのエステル類の少なくとも1種を用いることができる。増粘剤も、特に限定されず従来から公知のものを用いることができ、たとえば、エチルセルロース、ニトロセルロースなどのセルロース系樹脂およびポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレートなどのメタアクリル系樹脂などの少なくとも1種を用いることができる。また、電極ペーストには、上記の導電性粒子、ガラスフリット、溶剤、および増粘剤以外の成分が含まれていても良いことは言うまでもない。次に、図3cに示すように、シリコン基板1の裏面に塗布された電極ペーストを焼成することによって、p電極7およびn電極8をそれぞれ形成し、裏面電極型太陽電池セル100を形成する。さらに、電極ペーストは、550°C以下の温度で焼成されることが好ましく、450°C以下の温度で焼成されることがより好ましい。電極ペーストを550°C以下、特に450°C以下の温度で焼成することによって、シリコン基板1におけるキャリアライフタイムの低下を抑えることができるため、配線シート付き太陽電池セルの変換効率がより高くなる傾向にある。また、電極ペーストが、Ag、Ni、CuまたはAlの導電性粒子を主成分とし、ガラス軟化点温度が450°C以下のガラスフリットを用いることによって、550°C以下の低温焼成においてもシリコン基板1との良好なコンタクトが得られる電極を得ることができる。なお、本明細書において、良好なコンタクトとは、コンタクト抵抗が70mΩcm2以下、好ましくは50mΩcm2以下であることを意味する。このコンタクト抵抗が70mΩcm2以下である場合には0.7以上のフィルファクタF.Fが期待でき、コンタクト抵抗が50mΩcm2以下である場合には0.75以上のF.Fが期待できるため、配線シート付き太陽電池セルの変換効率がより高くなる傾向にある。また、p電極7およびn電極8の形状としては、たとえば図4aの模式的平面図に示すようなドット状、図4bに示すようなライン状、図4cに示すような櫛形状などに形成することができる。なお、本発明においては、導電性粒子が厚さ方向に1個以上3個以下積層されるように電極が形成されるため、従来のように電極の抵抗を小さくするために電極の断面積を大きくする必要がない。そのため、電極ペーストは、薄くコンタクトホールを覆う程度の幅に塗布されることが好ましく、このように電極ペーストを薄く塗布した場合には、高価な電極ペーストの使用量を低減することができる。また、従来においては、電極の断面積を大きくするために電極ペーストを厚く印刷する必要があった。そのため、スクリーン印刷により電極ペーストの印刷が行なわれ、他の印刷方法はあまり用いられていなかったが、本発明においては、電極ペーストを薄く塗布することができるため、スクリーン印刷の他にも、厚膜化が難しいインクジェット印刷やオフセット印刷、凸版印刷、凹版印刷など様々な印刷法による塗布が可能となる。すなわち、本発明においては、インクジェット印刷などのスクリーン印刷に比べて細線パターンの印刷に優れた方法で電極ペーストを塗布することにより、電極の細線化と併せて電極の薄型化が可能となり、電極ペーストの使用量を低減することができる。次に、図3dに示すように、配線シート200のp配線9上およびn配線10上に、それぞれ、裏面電極型太陽電池セル100のp電極7およびn電極8を設置する。これにより、裏面電極型太陽電池セル100のp電極7と配線シート200のp配線9とを電気的に接続するとともに、裏面電極型太陽電池セル100のn電極8と配線シート200のn配線10とを電気的に接続して、図1に示す配線シート付き太陽電池セルが作製される。ここで、p電極7とp配線9との電気的接続およびn電極8とn配線10との電気的接続はそれぞれ、たとえば、半田または導電性接着剤などの接続材料により行なってもよく、これらの接続材料を用いずに後の封止材による封止工程での真空圧着を利用して物理的な圧着のみで行なってもよい。また、裏面電極型太陽電池セル100の電極パターンは、裏面電極型太陽電池セル100の電極パターンと配線シート200の配線パターンとを電気的に接続した際に、裏面電極型太陽電池セル100の電極パターンが配線シート200の配線パターンと実質的に重なるパターンであることが好ましい。図5に、配線シート200の一例の模式的な平面図を示す。配線シート200としては、絶縁性基材11上に、p配線9およびn配線10を含む配線を備えたものを用いることができる。配線シート200の配線には、たとえば図5に示すようなスリット17が形成されていてもよく、p配線9とn配線10とを電気的に接続する接続用配線18が形成されていてもよい。p配線9およびn配線10を含む配線の主成分は、Ag、Ni、CuまたはAlであることが好ましい。また、絶縁性基材11としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミドおよびエチレンビニルアセテートからなる群から選択された少なくとも1種を含む可撓性のある絶縁性基材を用いることができる。また、裏面電極型太陽電池セル100の電極は、配線シート200の配線への良好なコンタクトが得られればよいため、電極ペーストの使用量を低減する観点から、裏面電極型太陽電池セル100の変換効率に影響を与えない範囲で、裏面電極型太陽電池セル100の電極の表面の面積は小さい方がよい。一方、配線シート200の配線は、裏面電極型太陽電池セル100から収集した電気を集電するために直列抵抗を十分に小さくするという観点から、配線シート200の配線の表面の面積は大きい方がよい。したがって、たとえば図1に示すように、裏面電極型太陽電池セル100の電極の幅D2よりも配線シート200の配線の幅D1の方が広いことが好ましい。図6aおよび図6bに、本発明の太陽電池モジュールの一例の製造方法の一例の模式的な断面図を示す。まず、図6aに示すように、透光性基板12と耐候性の保護基材14との間の透光性の封止材13中に、上記のようにして作製した配線シート付き太陽電池セルを封止する。ここで、透光性基板12としては、たとえばガラス基板などを用いることができる。また、封止材13としては、たとえばEVAエチレンビニルアセテートなどを用いることができる。さらに、保護基材14ととしては、たとえばポリエステルフィルムなどを用いることができる。次に、図6bに示すように、封止材13を挟み込むようにしてアルミニウムなどの枠体16を取り付けるとともに、保護基材14の裏面に端子ボックス15を取り付けることによって、太陽電池モジュールが完成する。上記のようにして作製された配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セル100の電極だけでなく、配線シート200の配線からも、裏面電極型太陽電池セル100で発生した電流を集めて、外部に取り出すことができる。すなわち、従来においては焼成電極内を通って集電していた電流の少なくとも一部を、配線シート200の配線抵抗率の低い金属膜も通過させて集電するようにしたことから、裏面電極型太陽電池セル100の電極自体の抵抗を低く抑えるために必要な電極の断面積を小さくすることができる。これにより、裏面電極型太陽電池セル100の電極を、その厚さ方向に導電性粒子が1個以上3個以下積層した構成として電極材料の使用量の増加を抑えた場合でも、高い変換効率を示す配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを得ることができる。また、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した基板の一方の表面側裏面側のみにn型用電極およびp型用電極の双方が形成された構成のものだけでなく、MWTMetalWrapThroughセル基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セルなどのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セル太陽電池セルの受光面側と反対側の裏面側から電流を取り出す構造の太陽電池セルのすべてが含まれる。<実施例1>まず、図7aの模式的平面図に示すように、n型シリコン単結晶からなるシリコン基板1の裏面に櫛形状のp電極7およびn電極8がそれぞれ形成された実施例1の裏面電極型太陽電池セル100を作製した。ここで、実施例1の裏面電極型太陽電池セル100は、以下のようにして作製された。まず、シリコン基板1の裏面のp電極7およびn電極8のそれぞれの複数のライン状の櫛歯に対応する位置に、p型不純物およびn型不純物をそれぞれ拡散させることによって、ライン状のp領域およびn領域をそれぞれ交互に配列するようにして作製した。次に、シリコン基板1の裏面の全面にプラズマCVD法によって窒化シリコン膜からなるパッシベーション膜を形成した。次に、シリコン基板1の裏面のパッシベーション膜をテクスチャマスクとして、シリコン基板1の受光面を水酸化ナトリウム水溶液を用いてエッチングすることにより、シリコン基板1の受光面に、ピラミッド状の複数の凹凸からなるテクスチャ構造を形成した。次に、シリコン基板1の裏面の窒化シリコン膜からなるパッシベーション膜を図7aに示す櫛形状のp電極7およびn電極8の形状にエッチングペーストの塗布および加熱により除去することによって、p領域およびn領域のそれぞれの表面の一部をライン状に露出させた。次に、シリコン基板1の裏面のパッシベーション膜の除去部分のパターンに合致するように、電極ペーストをスクリーン印刷法により塗布した。ここで、電極ペーストとしては、銀粒子平均粒子径4μmと、ガラス軟化点温度が450°C以下のB2O3-SiO2-PbO系のガラスフリットと、2,2,4―トリメチル-1,3-ペンタンジオールモノイソブチラートからなる溶剤と、エチルセルロースからなる増粘剤との混合物を用いた。また、実施例1においては、厚さ方向の銀粒子の積層数が1個となるように電極ペーストを塗布した。次に、上記の電極ペーストを空気中において550°Cで焼成することによって、図7aに示すように、シリコン基板1の裏面に櫛形状の焼成電極であるp電極7およびn電極8を形成して実施例1の裏面電極型太陽電池セル100を完成させた。また、図7bの模式的平面図に示すように、ポリエステルフィルムからなる絶縁性基材11の表面上に、銅線からなる櫛形状のp配線9およびn配線10を形成して実施例1の配線シート200を作製した。そして、図7cの模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル100の裏面の櫛形状の焼成電極であるp電極7およびn電極8をそれぞれ、配線シート200のp配線9上およびn配線10上に設置して、実施例1の配線シート付き太陽電池セルを作製した。そして、上記のようにして作製した実施例1の配線シート付き太陽電池セルの受光面に対して、ソーラーシミュレータから擬似太陽光AM1.5、エネルギ密度100mW/cm2を照射することによって電流-電圧曲線を作成し、電流-電圧曲線から、短絡電流密度JscmA/cm2、開放電圧VocV、フィルファクターFFおよび変換効率Effを算出した。その結果を表1に示す。表1に示すように、実施例1の配線シート付き太陽電池セルの短絡電流密度Jscは39.56mA/cm2であり、開放電圧Vocは0.648Vであり、フィルファクターFFは0.751であり、変換効率Effは19.24であった。<実施例2>厚さ方向の銀粒子の積層数が2個となるように電極ペーストを塗布したこと以外は実施例1と同様にして、実施例2の配線シート付き太陽電池セルを作製した。そして、実施例2の配線シート付き太陽電池セルについても、実施例1と同様にして、短絡電流密度JscmA/cm2、開放電圧VocV、フィルファクターFFおよび変換効率Effを算出した。その結果を表1に示す。表1に示すように、実施例2の配線シート付き太陽電池セルの短絡電流密度Jscは39.41mA/cm2であり、開放電圧Vocは0.645Vであり、フィルファクターFFは0.749であり、変換効率Effは19.06であった。<実施例3>厚さ方向の銀粒子の積層数が3個となるように電極ペーストを塗布したこと以外は実施例1と同様にして、実施例3の配線シート付き太陽電池セルを作製した。そして、実施例3の配線シート付き太陽電池セルについても、実施例1と同様にして、短絡電流密度JscmA/cm2、開放電圧VocV、フィルファクターFFおよび変換効率Effを算出した。その結果を表1に示す。表1に示すように、実施例3の配線シート付き太陽電池セルの短絡電流密度Jscは39.32mA/cm2であり、開放電圧Vocは0.643Vであり、フィルファクターFFは0.745であり、変換効率Effは18.84であった。表1に示すように、実施例1~3の配線シート付き太陽電池セルにおいては、銀粒子が厚さ方向に1~3個積層されるように電極ペーストを塗布し、その後、550°Cといった低温で焼成することによって電極を形成した場合でも、高い変換効率を示した。したがって、実施例1~3の配線シート付き太陽電池セルは、電極材料の使用量の増加を抑えて、高い変換効率を示すことが確認された。また、表1に示す実施例1~3の配線シート付き太陽電池セルの特性を比較すると、電極ペーストを銀粒子の積層数が少ない条件で塗布した場合には、FFおよび変換効率が良好となる傾向にあることも確認された。今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"