板状物を保持する保持手段と該保持手段を支持するアーム機構と該アーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、該保持ユニットを上下方向に移動可能に支持する支持機構と、を具備する搬送装置において、該支持機構は、該保持ユニットが装着される第1の移動基板と、該第1の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レールを備えた第1の基台と、該第1の移動基板を該第1の案内レールに沿って移動せしめる第1の移動手段とを備えた第1の支持機構と、該第1の基台が装着される第2の移動基板と、該第2の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レールを備えた第2の基台と、該第2の移動基板を該第2の案内レールに沿って移動せしめる第2の移動手段とを備えた第2の支持機構と、を具備している、ことを特徴とする搬送装置。而して、ウエーハを収容したカセットを上下に2段以上重ねてウエーハの搬出および搬入を行うには、保持ユニットの保持手段を最下位置から最上位置まで移動させる距離が長くなり、このため保持ユニットが装着された移動基板を上下方向に移動可能に案内する案内レールを保持手段の移動距離に対応して長くしなければならない。また、移動基板に装着された保持ユニットが案内レールに沿って下降すると、保持手段を支持するアーム機構の旋回動が案内レールに妨げられるため、実質的にカセットを上下に2段以上重ねて使用することはできないという問題がある。本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、ウエーハ等の板状物を収容したカセットを上下に2段以上重ねた状態で板状物の搬出および搬入を行うことができる搬送装置を提供することにある。上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状物を保持する保持手段と該保持手段を支持するアーム機構と該アーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、該保持ユニットを上下方向に移動可能に支持する支持機構と、を具備する搬送装置において、該支持機構は、該保持ユニットが装着される第1の移動基板と、該第1の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レールを備えた第1の基台と、該第1の移動基板を該第1の案内レールに沿って移動せしめる第1の移動手段とを備えた第1の支持機構と、該第1の基台が装着される第2の移動基板と、該第2の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レールを備えた第2の基台と、該第2の移動基板を該第2の案内レールに沿って移動せしめる第2の移動手段とを備えた第2の支持機構と、を具備している、ことを特徴とする搬送装置が提供される。本発明による搬送装置は、板状物を保持する保持手段と、該保持手段を支持するアーム機構と、該アーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、該保持ユニットが装着される第1の移動基板と、該第1の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レールを備えた第1の基台と、該第1の移動基板、を第1の案内レールに沿って移動せしめる第1の移動手段とを備えた第1の支持機構と、該第1の基台が装着される第2の移動基板と、該第2の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レールを備えた第2の基台と、第2の移動基板51を第2の案内レールに沿って移動せしめる第2の移動手段53とを備えた第2の支持機構5と、からなっているので、保持手段の移動距離に対応して案内レールを長くする必要がないとともに、保持ユニットが装着された第1の移動基板が下降しても第1の案内レールが保持手段を支持するアーム機構の旋回動を妨げることがない。以下、本発明に従って構成された搬送装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。図1には本発明に従って構成された搬送装置の斜視図が示されている。図示の実施形態における搬送装置2は、板状物を吸引保持して搬送する保持ユニット3と、該保持ユニット3を上下方向に移動可能に支持する第1の支持機構4と、該第1の支持機構4を上下方向に移動可能に支持する第2の支持機構5とからなっている。搬送装置を構成する保持ユニット3について、図2を参照して説明する。保持ユニット3は、ウエーハ等の板状物を保持する保持手段31と、該保持手段31を支持するアーム機構32と、該アーム機構32を駆動するための駆動機構33とからなっている。保持手段31は、二股状のハンドからなり、上面に複数の吸引孔311が設けられており、この複数の吸引孔311が図示しない吸引手段と連通している。従って、二股状のハンドからなる保持手段31の上面にウエーハ等の板状物を支持し図示しない吸引手段を作動することにより、板状物は保持手段31に吸引保持される。アーム機構32は、第1のアーム321と第2アーム322とからなっており、第1アーム321の自由端に上記保持手段31が取付けられ、第1のアーム321の基端が第2のアーム322の一端に連結される。アーム機構32を構成する第2のアーム322は、基端が駆動機構33の作動軸331に連結されている。この作動軸331は駆動機構33を構成するハウジング332内に配設された図示しない回転駆動手段によって回動せしめられる。このように作動軸331が回動することにより、作動軸331にアーム機構32を介して連結された保持手段31は旋回せしめられる。次に、搬送装置2を構成する第1の支持機構4について、図3を参照して説明する。図示の実施形態における第1の支持機構4は、上記保持ユニット3が装着される第1の移動基板41と、該第1の移動基板41を上下方向に移動可能に支持する第1の基台42と、第1の移動基板41を上下方向に移動せしめる第1の移動手段43とからなっている。第1の支持機構4を構成する第1の移動基板41は、前面41aに上記駆動機構33を構成するハウジング332が装着されるようになっており、後面41bに上下方向に延びる一対の被案内溝411、411が設けられている。第1の支持機構4を構成する第1の基台42は、上下方向に延びる垂直部421と水平方向に延びる水平部422とによってL字状に形成されている。このように形成された第1の基台42を構成する垂直部421の前面421aには、上記第1の移動基板41の後面41bに設けられた被案内溝411、411が嵌合する一対の第1の案内レール423、423が上下方向に設けられている。従って、第1の基台42は、一対の第1の案内レール423、423に上記第1の移動基板41に設けられた被案内溝411、411を嵌合することにより、第1の移動基板41を上下方向に移動可能に支持する。第1の支持機構4を構成する第1の移動手段43は、上記一対の第1の案内レール423と423の間に平行に配設されたボールスクリュー431と、該ボールスクリュー431を回転駆動するためのパルスモータ432等の駆動源を含んでいる。ボールスクリュー431は、その一端が上記第1の基台42の垂直部421に固定された軸受ブロック433に回転自在に支持されており、その他端が第1の基台42の水平部422に配設されたパルスモータ432の出力軸に伝動連結されている。なお、ボールスクリュー431は、上記第1の移動基板41に上下方向に沿って形成された貫通雌ネジ穴412に螺合されている。従って、パルスモータ432によってボールスクリュー431を正転および逆転駆動することにより、第1の移動基板41は第1の案内レール423、423に沿って上下方向に移動せしめられる。次に、搬送装置2を構成する第2の支持機構5について、図4を参照して説明する。図示の実施形態における第2の支持機構5は、上記第1の支持機構4を構成する第1の基台42が装着される第2の移動基板51と、該第2の移動基板51を上下方向に移動可能に支持する第2の基台52と、第2の移動基板51を上下方向に移動せしめる第2の移動手段53とからなっている。第2の支持機構5を構成する第2の移動基板51は、前面51aに上記第1の支持機構4を構成する第1の基台42が装着されるようになっており、後面51bに上下方向に延びる一対の被案内溝511、511が設けられている。第2の支持機構5を構成する第2の基台52は、上下方向に延びる垂直部521と水平方向に延びる水平部522とによってL字状に形成されている。このように形成された第2の基台52を構成する垂直部521の前面521aには、上記第2の移動基板51の後面51bに設けられた被案内溝511、511が嵌合する一対の第2の案内レール523、523が上下方向に設けられている。従って、第2の基台52は、一対の第2の案内レール523、523に上記第2の移動基板51に設けられた被案内溝511、511を嵌合することにより、第2の移動基板51を上下方向に移動可能に支持する。第2の支持機構5を構成する第2の移動手段53は、上記一対の案内レール523と523の間に平行に配設されたボールスクリュー531と、該ボールスクリュー531を回転駆動するためのパルスモータ532等の駆動源を含んでいる。ボールスクリュー531は、その一端が上記第2の基台52の垂直部521に固定された軸受ブロック533に回転自在に支持されており、その他端が第2の基台52の水平部522に配設されたパルスモータ532の出力軸に伝動連結されている。なお、ボールスクリュー531は、上記第2の移動基板51に上下方向に沿って形成された貫通雌ネジ穴512に螺合されている。従って、パルスモータ532によってボールスクリュー531を正転および逆転駆動することにより、第2の移動基板51は第2の案内レール523、523に沿って上下方向に移動せしめられる。保持ユニット3と第1の支持機構4および第2の支持機構5は以上のように構成されており、保持ユニット3の駆動機構33を構成するハウジング332を第1の支持機構4を構成する第1の移動基板41の前面41aに装着し、第1の支持機構4を構成する第1の基台42を第2の支持機構5を構成する第2の移動基板51の前面51aに装着することにより、図1に示す搬送装置を組み立てることができる。図1は、第1の移動手段43を最下位の位置に作動するとともに、第2の移動手段53を最下位の位置に作動した状態を示している。図5は、第1の移動手段43を最上位の位置に作動するとともに、第2の移動手段53を最下位の位置に作動した状態を示している。図6は、第1の移動手段43を最下位の位置に作動するとともに、第2の移動手段53を最上位の位置に作動した状態を示している。図7は、第1の移動手段43を最上位の位置に作動するとともに、第2の移動手段53を最上位の位置に作動した状態を示している。以上のように第1の移動手段43および第2の移動手段53を作動することにより、保持ユニット3の保持手段31は図1に示す最も低い位置から図7に示す最も高い位置までの所定位置に位置付けられる。従って、図1に示すようにカセット6Aと6Bを2段重ねした状態において、下側のカセット6Aの最下段の棚から図7に示すように上側のカセット6Bの最上段の棚に亘って板状物の搬出および搬入を行うことができる。上述したように図示の実施形態における搬送装置2は、板状物を保持する保持手段31と該保持手段31を支持するアーム機構32と、該アーム機構32を駆動するための駆動機構33を備えた保持ユニット3と、該保持ユニット3が装着される第1の移動基板41と該第1の移動基板41を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レール423、423を備えた第1の基台42と、該第1の基台42を第1の案内レール423、423に沿って移動せしめる第1の移動手段43とを備えた第1の支持機構4と、該第1の基台42が装着される第2の移動基板51と、該第2の移動基板51を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レール523、523を備えた第2の基台52と、第2の移動基板51を第2の案内レール523、523に沿って移動せしめる第2の移動手段53とを備えた第2の支持機構5とからなっているので、保持手段31の移動距離に対応して案内レールを長くする必要がないとともに、保持ユニット3が装着された第1の移動基板41が下降しても第1の案内レール423、423が保持手段を支持するアーム機構の旋回動を妨げることがない。