被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを支持するチャックテーブル支持基台と、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードおよび該切削ブレードによる加工領域に切削水を供給する切削水供給手段を備えた切削手段と、該チャックテーブル支持基台と該切削手段とを切削送り方向に相対移動せしめる切削送り手段と、該チャックテーブル支持基台と該切削手段とを該切削送り方向と直交する割り出し送り方向に相対移動せしめる割り出し送り手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、を具備する切削装置において、該洗浄水供給手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物に向けて洗浄水を噴出せしめる第1のノズル、第2のノズル及び第3のノズルを備えた洗浄水ノズル手段と、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルの各々に供給する洗浄水の流量をそれぞれ調整する流量調整手段と、を具備し、該洗浄水ノズル手段は切削時における切削送り方向において該チャックテーブルの上流側に配設されており、割り出し送り方向において、該第1のノズルは中央部に配置され、該第2のノズルは該第1のノズルの一方側に配置され、該第3のノズルは該第1のノズルの他方側に配置され、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルから噴出する洗浄水の流量は、該切削ブレードにより切削している領域に洗浄水を多く供給するように、該流量調整手段によって調整される、ことを特徴とする切削装置。該洗浄水ノズル手段は、該チャックテーブル支持基台によって支持され該チャックテーブルを囲繞して配設されたチャックテーブルカバーに配設されている、請求項1記載の切削装置。該洗浄水ノズル手段は、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルを支持するノズル支持台と、該ノズル支持台と該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルの高さ位置を調整する高さ調整手段を具備している、請求項1又は2記載の切削装置。該洗浄水ノズル手段から噴出される洗浄水の噴出方向は、該切削ブレードの回転に起因して切削水が飛散せしめられる方向と同じ方向に設定されている、請求項1から3のいずれかに記載の切削装置。上記公報に開示された切削装置に配設された洗浄水ノズルは、チャックテーブルに保持される被加工物の全領域に亘って洗浄水を噴射するように構成されている。従って、切削ブレードによって切削している領域以外の領域においても切削領域と同量の洗浄水が供給される。切削領域以外の領域においては必ずしも切削領域と同量の洗浄水を供給する必要はなく、被加工物の全領域に亘って洗浄水を平均して供給することは洗浄水を必要以上に消費することになる。本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する際に被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給手段を備えた切削装置において、洗浄効果を維持しつつ洗浄水の消費を節減することができる切削装置を提供することにある。上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを支持するチャックテーブル支持基台と、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードおよび該切削ブレードによる加工領域に切削水を供給する切削水供給手段を備えた切削手段と、該チャックテーブル支持基台と該切削手段とを切削送り方向に相対移動せしめる切削送り手段と、該チャックテーブル支持基台と該切削手段とを該切削送り方向と直交する割り出し送り方向に相対移動せしめる割り出し送り手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、を具備する切削装置において、該洗浄水供給手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物に向けて洗浄水を噴出せしめる第1のノズル、第2のノズル及び第3のノズルを備えた洗浄水ノズル手段と、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルの各々に供給する洗浄水の流量をそれぞれ調整する流量調整手段と、を具備し、該洗浄水ノズル手段は切削時における切削送り方向において該チャックテーブルの上流側に配設されており、割り出し送り方向において、該第1のノズルは中央部に配置され、該第2のノズルは該第1のノズルの一方側に配置され、該第3のノズルは該第1のノズルの他方側に配置され、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルから噴出する洗浄水の流量は、該切削ブレードにより切削している領域に洗浄水を多く供給するように、該流量調整手段によって調整される、ことを特徴とする切削装置が提供される。上記洗浄水ノズル手段は、上記チャックテーブル支持基台によって支持され上記チャックテーブルを囲繞して配設されたチャックテーブルカバーに配設されている。上記該洗浄水ノズル手段は、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルを支持するノズル支持台と、該ノズル支持台と該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルの高さ位置を調整する高さ調整手段を具備していることが望ましい。また、上記洗浄水ノズル手段から噴出される洗浄水の噴出方向は、上記切削ブレードの回転に起因して切削水が飛散せしめられる方向と同じ方向に設定されていることが望ましい。本発明による切削装置においては、チャックテーブルに保持された被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給手段が、チャックテーブルに保持された被加工物に向けて洗浄水を噴出せしめる第1のノズル、第2のノズル及び第3のノズルを備えた洗浄水ノズル手段と、該各ノズルに供給する洗浄水の流量をそれぞれ調整する流量調整手段とを具備しているので、切削ブレードによって切削している領域に洗浄水を多く供給し、その他の領域には切削領域より洗浄水の供給量を少なくすることが可能となり、洗浄効果を維持しつつ洗浄水の消費を節減することができる。以下、本発明に従って構成された切削装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。図1には、本発明に従って構成された切削装置の斜視図が示されている。図1に示された切削装置は、略直方体状の装置ハウジング1を具備している。この装置ハウジング1内には、図2に示す静止基台2と、該静止基台2に切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、静止基台2に割り出し送り方向である矢印Yで示す方向切削送り方向である矢印Xで示す方向に直交する方向に移動可能に配設されたスピンドル支持機構4と、該スピンドル支持機構4に切り込み送り方向である矢印Zで示す方向に移動可能に配設された切削手段としてのスピンドルユニット5が配設されている。上記チャックテーブル機構3は、静止基台2上に矢印Xで示す方向に沿って平行に配設された2本の案内レール31、31と、該案内レール31、31上に矢印Xで示す方向に移動可能に配設されたチャックテーブル支持基台32、該チャックテーブル支持基台32上に配設された支持筒体33と、該支持筒体33に回転可能に支持されたチャックテーブル34と、該チャックテーブル34を囲繞して配設され支持筒体33の上端に固着されたチャックテーブルカバー35を具備している。チャックテーブル支持基台32には案内レール31、31と嵌合する2条の被案内レール32a、32aが形成されており、この被案内レール32a、32aを案内レール31、31に嵌合することにより、チャックテーブル支持基台32は案内レール31、31に沿って移動可能に構成される。上記支持筒体33内には図示しないパルスモータが配設されており、このパルスモータによってチャックテーブル34が所定角度毎に回動せしめられるようになっている。上記チャックテーブル34は図示しない吸引手段に接続されており、その上面である保持面に載置された被加工物を適宜吸引保持するようになっている。なお、チャックテーブル34には、被加工物を保護テープを介して支持する支持フレームを固定するための4個のクランプ341が配設されている。上記チャックテーブルカバー35の中央部にはチャックテーブル34が嵌挿する穴35aが設けられており、この穴35aをチャックテーブル34に嵌挿することにより、チャックテーブルカバー35はチャックテーブル34を囲繞した状態に構成される。このように構成されたチャックテーブルカバー35には、チャックテーブル34上に保持された被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給手段20の洗浄水ノズル手段21が配設されている。この洗浄水供給手段20については、後で詳細に説明する。図2を参照して説明を続けると、図示の実施形態におけるチャックテーブル機構3は、チャックテーブル34を2本の案内レール31、31に沿って矢印Xで示す切削送り方向に移動させるための移動手段36を具備している。移動手段36は、上記2本の案内レール31と31の間に平行に配設された雄ネジロッド361と、該雄ネジロッド361を回転駆動するためのサーボモータ362等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド361は、その一端が上記静止基台2に固定された軸受ブロック363に回転自在に支持されており、その他端が上記サーボモータ362の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド361は、上記支持基台32の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、サーボモータ362によって雄ネジロッド361を正転および逆転駆動することにより、チャックテーブル34は案内レール31、31に沿って矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめられる。従って、サーボモータ362、雄ネジロッド361および軸受ブロック363は、チャックテーブルと後述するスピンドルユニットとを切削送り方向である矢印Xで示す方向に相対的に移動する切削送り手段として機能する。上記スピンドル支持機構4は、静止基台2上に矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された2本の案内レール41、41と、該案内レール41、41上に矢印Yで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台42を具備している。この可動支持基台42は、案内レール41、41上に移動可能に配設された移動支持部421と、該移動支持部421に取り付けられた装着部422とからなっている。移動支持部421の下面には案内レール41、41と嵌合する2条の被案内レール421a、421aが形成されており、この被案内レール421a、421aを案内レール41、41に嵌合することにより、可動支持基台42は案内レール41、41に沿って移動可能に構成される。また、装着部422は、一側面に矢印Zで示す方向に延びる2本の案内レール422a、422aが平行に設けられている。図示の実施形態におけるスピンドル支持機構4は、可動支持基台42を2本の案内レール41、41に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動させるための移動手段43を具備している。移動手段43は、上記2本の案内レール41、41の間に平行に配設された雄ネジロッド431と、該雄ネジロッド431を回転駆動するためのパルスモータ432等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド431は、その一端が上記静止基台2に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ432の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド431は、可動支持基台42を構成する移動支持部421の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ432によって雄ネジロッド431を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台42は案内レール41、41に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。従って、パルスモータ432および雄ネジロッド431等は、チャックテーブルと後述するスピンドルユニットとを切削送り方向矢印X方向と垂直な矢印Yで示す割り出し送り方向に相対的に移動する割り出し送り手段として機能する。図示の実施形態のおけるスピンドルユニット5は、ユニットホルダ51と、該ユニットホルダ51に取り付けられたスピンドルハウジング52と、該スピンドルハウジング52に回転可能に支持された回転スピンドル53を具備している。ユニットホルダ51には、上記装着部422に設けられた2本の案内レール422a、422aに摺動可能に嵌合する2条の被案内レール51a、51aが設けられており、この被案内レール51a、51aを上記案内レール422a、422aに嵌合することにより、矢印Zで示す切り込み送り方向に移動可能に支持される。上記回転スピンドル53はスピンドルハウジング52の先端から突出して配設されており、この回転スピンドル53の先端部に切削ブレード54が装着されている。なお、切削ブレード54を装着した回転スピンドル53は、サーボモータ55等の駆動源によって回転駆動せしめられる。図示の実施形態におけるスピンドルユニット5は、ホルダ51を2本の案内レール422a、422aに沿って矢印Zで示す方向に移動させるための移動手段56を具備している。移動手段56は、上記移動手段36および43と同様に案内レール422a、422aの間に配設された雄ネジロッド図示せずと、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ562等の駆動源を含んでおり、パルスモータ562によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ51とスピンドルハウジング52および回転スピンドル53を案内レール422a、422aに沿って矢印Zで示す切り込み送り方向に移動せしめる。従って、パルスモータ562および図示しない雄ネジロッド等は、スピンドルユニット5を矢印Zで示す切り込み送り方向に移動せしめる切込み送り手段として機能する。ここで、上記切削ブレード54による加工領域に切削水を供給する切削水供給手段について、図3を参照して説明する。上記スピンドルユニット5を構成するスピンドルハウジング52の先端には、切削ブレード54の外周を覆うブレードカバー57が装着されている。このブレードカバー57に2本の切削水ノズル58、59が配設されている。切削水ノズル58、59は、切削ブレード54の両側に配設されており、図示しない切削水供給源に接続されている。図1に戻って説明すると、上記装置ハウジング1におけるカセット載置領域7aには、被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置テーブル7が配設されている。このカセット載置テーブル7は、図示しない昇降手段によって上下方向に移動可能に構成されている。カセット載置テーブル7上には、被加工物10を収容するカセット8が載置される。カセット8に収容される被加工物10は、ウエーハの表面に格子状のストリートが形成されており、この格子状の分割予定ラインストリートによって区画された複数の矩形領域にコンデンサーやLEDや回路等のデバイスが形成されている。このように形成された被加工物10は、環状のフレーム11に装着された保護テープ12の表面に貼着された状態でカセット8に収容される。また、図示の実施形態における切削装置は、カセット載置テーブル7上に載置されたカセット8に収容されている被加工物10環状のフレーム11に保護テープ12を介して支持されている状態を仮置きテーブル13に搬出する搬出手段14と、仮置きテーブル13に搬出された被加工物10を上記チャックテーブル34上に搬送する搬送手段15と、チャックテーブル34上で切削加工された被加工物10を洗浄する洗浄手段16と、チャックテーブル34上で切削加工された被加工物10を洗浄手段16へ搬送する洗浄搬送手段17を具備している。更に、図示の切削装置は、チャックテーブル34に保持された被加工物10に形成されたストリート等を撮像するための顕微鏡やCCDカメラ等で構成される撮像手段18と、該撮像手段18によって撮像された画像等を表示する表示手段19を具備している。以上のように構成された切削装置の作動について、簡単に説明する。カセット載置テーブル7上に載置されたカセット8の所定位置に収容されている被加工物10は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル7が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段14が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物10を仮置きテーブル13上に搬出する。仮置きテーブル13に搬出された被加工物10は、搬送手段15によって上記チャックテーブル34上に搬送される。チャックテーブル34上に被加工物10が載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物10をチャックテーブル34上に吸引保持する。また、被加工物10を保護テープ12を介して支持する環状のフレーム11は、上記4個のクランプ341によって固定される。このようにして被加工物10を保持したチャックテーブル34は、撮像手段18の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル34が撮像手段18の直下に位置付けられると、撮像手段18によって被加工物10に形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット5を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削ブレード54との精密位置合わせ作業が行われる。その後、切削ブレード54を矢印Zで示す方向に所定量切り込み送りし図3において矢印Vで示す方向に20000~40000rpmの回転速度で回転させつつ、被加工物10を吸引保持したチャックテーブル34を切削送り方向である矢印X1で示す方向に所定の切削送り速度で移動することにより、チャックテーブル34上に保持された半導体ウエーハ10は切削ブレード54により所定のストリートに沿って切断される。このとき、切削ブレード54による切削領域には切削水噴出ノズル58および59から切削水が供給される。このようにして、被加工物10を所定のストリートに沿って切断したら、チャックテーブル34を矢印Yで示す方向にストリートの間隔だけ割り出し送りし、上記切断作業を実施する。そして、被加工物10の所定方向に延在するストリートの全てに沿って切断作業を実施したならば、チャックテーブル34を90度回転させて、被加工物10の所定方向と直交する方向に延在するストリートに沿って切削作業を実行することにより、被加工物10に格子状に形成された全てのストリートが切削されて個々のチップに分割される。なお、分割されたチップは、保護テープ12の作用によってバラバラにはならず、環状のフレーム11に支持されたウエーハの状態が維持されている。上述したように被加工物10のストリートに沿って切断作業が終了したら、被加工物10を保持したチャックテーブル34は最初に被加工物10を吸引保持した位置に戻される。そして、被加工物10の吸引保持を解除する。次に、被加工物10は洗浄搬送手段17によって洗浄手段16に搬送される。洗浄手段16に搬送された被加工物10は、ここで洗浄および乾燥される。このようにして洗浄および乾燥された被加工物10は、搬送手段15によって仮置きテーブル13に搬出される。そして、被加工物10は、搬出手段14によってカセット8の所定位置に収納される。上述した切断作業時においては、切削ブレード54による加工領域に切削水噴出ノズル58および59から切削水が供給され、この加工部を冷却している。この切削に寄与した切削水には切削屑が混入しており、この切削屑が混入している切削水が被加工物10の表面を流動し、被加工物10の表面に切削屑が付着して汚染するという問題がある。このような問題を解消するために、図示の実施形態においてはチャックテーブル34に保持された被加工物10に洗浄水を供給せしめる洗浄水供給手段を具備している。この洗浄水供給手段について、図4を参照して説明する。図4に示す洗浄水供給手段20は、上記チャックテーブルカバー35に配設された洗浄水ノズル手段21を具備している。洗浄水ノズル手段21は、チャックテーブルカバー35上に固定されたノズル支持台22と、該ノズル支持台22上に支持される第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cを備えている。ノズル支持台22は円弧状に形成されており、切削時における切削送り方向X1においてチャックテーブル34より上流側に配設されている。第1のノズル23aはノズル支持台22の中央部に配設され、チャックテーブル34に保持された被加工物の割り出し送り方向Yの中央領域に洗浄水を噴射する複数の噴出孔231aを備えている。第2のノズル23bは第1のノズル23aの割り出し送り方向Yに対して一方側に配設され、チャックテーブル34に保持された被加工物の上記中央領域より割り出し送り方向Yに対して一方側の領域に洗浄水を噴射する複数の噴出孔231bを備えている。第3のノズル23cは第1のノズル23aの割り出し送り方向Yに対して他方側に配設され、チャックテーブル34に保持された被加工物の上記中央領域より割り出し送り方向Yに対して他方側の領域に洗浄水を噴射する複数の噴出孔231cを備えている。このように構成された第1のノズル23aの噴出孔231aと第2のノズル23bの噴出孔231bおよび第3のノズル23cの噴出孔231cは、それぞれ矢印X1で示す切削送り方向に平行に洗浄水を噴射するように構成されている。従って、第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cから噴出される洗浄水の噴出方向は、上記切削ブレード54が図3において矢印Vで示す方向に回転することに起因して切削水が飛散せしめられる方向と同じ方向となる。なお、上記第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cは、図示の実施形態においては図5に示すように合成樹脂によって成型されたノズルハウジング230によって一体的に構成されている。このように一体的に構成された第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cは、その高さ位置が調整可能に支持されている。即ち、図示の実施形態においては、一体成型されたノズルハウジング230は、ノズル支持台22との間に配設された高さ調整手段24を介して支持されている。高さ調整手段24は、図示の実施形態においては2個の調整ネジ240を備えている。この調整ネジ240は、下端部に形成された雄ネジ部241と、上端に形成されたボールジョイント部242と、中間部に設けられた回動部243とからなっている。このように構成された調整ネジ240は、ボールジョイント部242をノズルハウジング230に形成された球面凹部230aに嵌合し、雄ネジ部241をノズル支持台22に形成された雌ネジ穴22aに螺合する。従って、調整ネジ240の回動部243を把持して一方向または他方向に回動することにより、ノズルハウジング230はノズル支持台22に対して上方または下方に移動せしめられる。このように、図示の実施形態における洗浄水ノズル手段21においては、調整ネジ240を回動することにより、チャックテーブル34に保持される被加工物10の厚さに対応して第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cの高さ位置を適宜調整することができる。上述した第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cは、図4に示すようにそれぞれ洗浄水供給管25a、25b、25cおよび給水管26によって洗浄水供給源27に接続されている。図示の実施形態における洗浄水供給手段20は、第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cに供給する洗浄水の流量を調整する流量調整手段28を備えている。この流量調整手段28は、上記洗浄水供給管25a、25b、25cにそれぞれ配設された比例電磁式流量調整弁28a、28b、28cからなっている。従って、比例電磁式流量調整弁28a、28b、28cに印可する電圧をそれぞれ調整することにより、第1のノズル23aと第2のノズル23bと第3のノズル23cから噴出する洗浄水の流量を適宜調整することができる。また、図示の実施形態における洗浄水供給手段20においては、上記給水管26に電磁切替弁29が配設されている。図示の実施形態における洗浄水供給手段20は以上のように構成されており、上述した切断作業時には電磁切替弁29が附勢ONされ、第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cからチャックテーブル34に保持された被加工物10の表面に向けて洗浄水が噴出される。このとき、切削ブレード54によって切削している領域には、例えば1分間に2リットル2リットル/分供給し、他の領域には例えば1分間に1リットル1リットル/分供給するように上記比例電磁式流量調整弁28a、28b、28cに印可する電圧を制御する。このように、切断作業時には第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cから噴出された洗浄水が被加工物10の全表面に供給されるので、切削ブレード54による切削によって生成された切削屑を洗い流すことができる。しかも、第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cから噴出された洗浄水の噴出方向が切削ブレード54の回転に起因して切削水が飛散せしめられる方向と同じ方向であるため、洗浄水の流動が円滑となり洗浄効果が向上する。また、図示の実施形態においては、洗浄水供給管25a、25b、25cにそれぞれ比例電磁式流量調整弁28a、28b、28cを配設したので、第1のノズル23aと第2のノズル23bおよび第3のノズル23cから噴出する洗浄水の流量をそれぞれ調整することができる。従って、切削ブレード54によって切削している領域に洗浄水を多く供給し、その他の領域には切削領域より洗浄水の供給量を少なくすることが可能となり、洗浄効果を維持しつつ洗浄水の消費を節減することができる。