"減圧状態に保たれる真空チャンバに設置されてワークを搬送するロボットのアームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を含み、前記内部が大気圧状態に保たれる第1アーム部と、前記第1アーム部の先端部上に基端部が回転可能に連結され、内部に駆動系を含まない第2アーム部と、前記第2アーム部の先端部上に可動ベース部を介して回転可能に連結され、ワークを保持するエンドエフェクタと、前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結部近傍に設けられ、前記第1アーム部内の前記大気圧状態を前記減圧状態から隔絶する隔壁と、前記隔壁に設けられ、前記大気側および前記減圧状態側を気密状態で電気的に導通可能とする気密端子とを備えることを特徴とするロボットのアーム構造。前記第1アーム部は、前記第2アーム部を駆動する中空の駆動軸を具備する減速機を備え、前記隔壁は、前記中空の駆動軸における中空領域または当該中空領域と連通する前記第2アーム部側の閉空間に設けられ、前記第1アーム部に内包されるケーブルが前記中空領域経由で前記気密端子へ接続されることを特徴とする請求項1に記載のロボットのアーム構造。前記エンドエフェクタは、所定のセンサを備え、前記センサのケーブルが前記第2アーム部を経由して前記気密端子へ接続されることを特徴とする請求項1または2に記載のロボットのアーム構造。前記中空の駆動軸と同軸上に軸支される中間リンク部と、前記第1アーム部と前記中間リンク部と前記アームベースとの間で第1平行リンク機構を形成する第1リンク部と、前記第2アーム部と前記中間リンク部と前記可動ベース部との間で第2平行リンク機構を形成する第2リンク部とをさらに備えることを特徴とする請求項1、2または3に記載のロボットのアーム構造。前記第1アーム部および前記第2アーム部は、前記第1リンク部および前記第2リンク部よりも太く形成されることを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載のロボットのアーム構造。前記駆動軸の内壁に固定され、前記減速機内に前記駆動軸と同軸上に配置される中空の入力軸の中空領域を、当該入力軸と非接触で貫通するように延伸する保護パイプをさらに備えることを特徴とする請求項2~5のいずれか一つに記載のロボットのアーム構造。請求項1~6のいずれか一つに記載のアーム構造を備えることを特徴とするロボット。前記アームベースは、鉛直方向と平行な旋回軸を中心として回転する旋回部を備えることを特徴とする請求項7に記載のロボット。しかしながら、従来の基板処理装置では、上記したように複数のセンサを設ける必要があり、装置コストの削減という観点から改善の余地があった。実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、装置コストを削減することができるロボットのアーム構造およびロボットを提供することを目的とする。実施形態の一態様に係る減圧状態に保たれる真空チャンバに設置されてワークを搬送するロボットのアーム構造は、第1アーム部と、第2アーム部と、エンドエフェクタと、隔壁と、気密端子とを備える。第1アーム部は、アームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を含み、前記内部が大気圧状態に保たれ、第2アーム部は、前記第1アーム部の先端部上に基端部が回転可能に連結され、内部に駆動系を含まない。エンドエフェクタは、前記第2アーム部の先端部上に可動ベース部を介して回転可能に連結され、ワークを保持する。隔壁は、前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結部近傍に設けられ、前記第1アーム部内の前記大気圧状態を前記減圧状態から隔絶する。また、気密端子は、前記隔壁に設けられ、前記大気側および前記減圧状態側を気密状態で電気的に導通可能とする。実施形態の一態様によれば、装置コストを削減することができる。以下、添付図面を参照して、本願の開示するロボットのアーム構造およびロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。まず、本実施形態に係るロボットの構成について図1を用いて説明する。図1は、本実施形態に係るロボットの模式斜視図である。図1に示すように、ロボット1は、水平方向に伸縮する2つの伸縮アームを備える水平多関節ロボットである。具体的には、ロボット1は、胴体部10と、アームユニット20とを備える。胴体部10は、アームユニット20の下部に設けられるユニットである。かかる胴体部10は、筒状の筐体11内に昇降装置を備えており、かかる昇降装置を用いてアームユニット20を鉛直方向に沿って昇降させる。昇降装置は、たとえば、モータやボールねじ、ボールナット等を含んで構成され、モータの回転運動を直線運動へ変換することによって昇降フランジ部15を鉛直方向に沿って昇降させる。これにより、昇降フランジ部15上に固定されるアームユニット20が昇降する。筐体11の上部には、フランジ部12が形成される。ロボット1は、フランジ部12が真空チャンバに固定されることによって、真空チャンバに設置される状態となる。かかる点については、図2を用いて説明する。アームユニット20は、昇降フランジ部15を介して胴体部10と連結するユニットである。具体的には、アームユニット20は、アームベース21と、第1アーム部22と、第2アーム部23と、可動ベース部24と、補助アーム部25とを備える。なお、本実施形態に係るロボット1は、第1アーム部22、第2アーム部23、可動ベース部24および補助アーム部25で構成される伸縮アーム部を2組備える双腕ロボットについて説明する。しかし、これに限定されるものではなく、ロボット1は、伸縮アーム部が1つである片腕ロボットでもよいし、伸縮アーム部が3つ以上設けられるロボットであってもよい。アームベース21は、昇降フランジ部15に対して回転可能に支持される。アームベース21は、モータや減速機等からなる旋回装置を備えており、かかる旋回装置を用いて回転する。具体的には、旋回装置は、出力軸が胴体部10に固定される減速機に対してモータの回転を伝達ベルト経由で入力する。これにより、アームベース21は、減速機の出力軸を旋回軸として水平方向に自転する。なお、アームベース21は、大気圧に保たれる箱状の収納部を内部に備え、かかる収納部内に、モータや減速機、伝達ベルト等を備える。これにより、後述するように、ロボット1を真空チャンバ内で使用する場合であっても、グリス等の潤滑油の乾燥を防止することもできる他、発塵によって真空チャンバ内が汚染されることを防止することができる。アームベース21の上部には、第1アーム部22の基端部が、後述する第1減速機を介して回転可能に連結される。この第1アーム部22は、大気圧に保たれる箱状の収納部を内部に備えている。また、第1アーム部22の先端部の上部には、第2アーム部23の基端部が、後述する第2減速機を介して回転可能に連結される。なお、第2アーム部23は、アームベース21とは異なり、全体が減圧環境に暴露される。そして、第2アーム部23の先端部には、可動ベース部24が回転可能に連結される。可動ベース部24は、薄板状ワークを保持するためのエンドエフェクタ24aを上部に備え、第1アーム部22および第2アーム部23の回転動作に伴って直線的に移動する。なお、以下では、薄板状ワークを単に基板と記載するが、基板は、液晶用のガラス基板であってもよいし、半導体ウェハであってもよい。ここで、基板を移載する際、従来では、真空チャンバ内に設けられるセンサによって基板の有無を判定していた。また、従来では、真空チャンバ内で基板の出し入れが行われる箇所すべてにセンサを設ける必要があり、装置にコストがかかってしまう。また、センサが設けられる位置まで第2アーム部23を引いた状態で基板の有無を判定するが、図1に示したような双腕ロボットの場合には、一対のエンドエフェクタ24aはそれぞれ上下に重畳する状態となっている。したがって、従来のロボットは、基板の有無を判定する際に、上側のエンドエフェクタ24aに載置される基板であるか、下側のエンドエフェクタ24aに載置される基板であるかの判定までは判定することができない。そこで、本実施形態に係るロボット1では、基板の有無を検知するセンサを各エンドエフェクタ24aに設けることとした。このようにすることによって、本実施形態に係るロボット1では、装置コストを削減することができるとともにいずれのエンドエフェクタ24aに基板が載置されているかを正確に判定することができる。また、本実施形態に係るロボット1では、基板をエンドエフェクタ24aに載置する瞬間にセンサによって基板の有無を検知できるので、置き損じて落ちかかった状態の基板を移載している際に基板を落下させるようなことを防止することができる。また、ロボット1は、第1アーム部22および第2アーム部23に内包されるケーブル図示せず経由で、センサへ電流を供給する。なお、かかるケーブルの配線についての詳細は図3を用いて後述する。ロボット1は、第1アーム部22および第2アーム部23を同期的に動作させることで、エンドエフェクタ24aを直線的に移動させる。具体的には、ロボット1は、第1減速機および第2減速機の双方を1つのモータを用いて回転させることで、第2アーム部23を第1アーム部22と同期して動作させる。また、ロボット1は、第1アーム部22に対する第2アーム部23の回転量がアームベース21に対する第1アーム部22の回転量の2倍となるように、第1アーム部22および第2アーム部23を回転させる。たとえば、ロボット1は、第1アーム部22がアームベース21に対してα度回転した場合に、第2アーム部23が第1アーム部22に対して2α度回転するように第1アーム部22および第2アーム部23を回転させる。これにより、ロボット1は、エンドエフェクタ24aを直線的に移動させることができる。第1減速機、第2減速機、モータ、伝達ベルトといった駆動機構は、真空チャンバ内の汚染防止等の観点から、大気圧に保たれる第1アーム部22の内部に収納される。補助アーム部25は、移動中のエンドエフェクタ24aが常に一定の方向を向くように、第1アーム部22および第2アーム部23の回転動作と連動して可動ベース部24の回転を規制するリンク機構である。具体的には、補助アーム部25は、第1リンク部25aと、中間リンク部25bと、第2リンク部25cとを備える。第1リンク部25aは、基端部がアームベース21に対して回転可能に連結され、先端部において中間リンク部25bの先端部と回転可能に連結される。また、中間リンク部25bは、基端部が第1アーム部22と第2アーム部23との連結軸と同軸上に軸支され、先端部が第1リンク部25aの先端部と回転可能に連結される。第2リンク部25cは、基端部において中間リンク部25bと回転可能に連結され、先端部において可動ベース部24の基端部と回転可能に連結される。また、可動ベース部24は、先端部において第2アーム部23の先端部と回転可能に連結され、基端部において第2リンク部25cと回転可能に連結される。第1リンク部25aは、アームベース21、第1アーム部22および中間リンク部25bと共に第1平行リンク機構を形成する。すなわち、第1アーム部22が基端部を中心として回転すると、第1リンク部25aおよび中間リンク部25bが、それぞれ第1アーム部22およびアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。また、第2リンク部25cは、第2アーム部23、可動ベース部24および中間リンク部25bと共に第2平行リンク機構を形成する。すなわち、第2アーム部23が基端部を中心として回転すると、第2リンク部25cおよび可動ベース部24が、それぞれ第2アーム部23および中間リンク部25bと平行な状態を保ちながら回転する。中間リンク部25bは、第1平行リンク機構によってアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。このため、第2平行リンク機構の可動ベース部24もアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。この結果、可動ベース部24の上部に取り付けられるエンドエフェクタ24aは、アームベース21と平行な状態を保ちながら直線的に移動することとなる。このように、ロボット1は、補助アーム部25によってアーム全体の剛性を高めることができるため、エンドエフェクタ24aの動作時の振動を低減することができる。したがって、エンドエフェクタ24aの動作時の振動に起因する発塵も抑えることができる。また、本実施形態に係るロボット1は、第1アーム部22、第2アーム部23、可動ベース部24および補助アーム部25で構成される伸縮アーム部を2組備える。このため、ロボット1は、たとえば、一方の伸縮アーム部を用いてある搬送位置から基板を取り出しつつ、他方の伸縮アーム部を用いてかかる搬送位置へ新たな基板を搬入する等、2つの作業を同時平行で行うことができる。次に、ロボット1を真空チャンバへ設置した状態について図2を用いて説明する。図2は、ロボット1を真空チャンバへ設置した状態を示す模式側面図である。図2に示すように、ロボット1は、胴体部10に形成されるフランジ部12が、真空チャンバ30の底部に形成される開口部31の縁部に対してシール部材を介して固定される。これにより、真空チャンバ30は密閉された状態となり、真空ポンプ等の減圧装置によって内部が減圧状態に保たれる。なお、胴体部10の筐体11は、真空チャンバ30の下部から突出しており、真空チャンバ30を支持する支持部35内の空間に位置する。ロボット1は、真空チャンバ30内において基板の搬送作業を行う。たとえば、ロボット1は、第1アーム部22および第2アーム部23を用いてエンドエフェクタ24aを直線的に移動させることで、図示しないゲートバルブを介して真空チャンバ30と接続される他の真空チャンバから基板を取り出す。つづいて、ロボット1は、エンドエフェクタ24aを引き戻したのち、旋回軸Oを中心にアームベース21を水平方向に回転させることで、基板の搬送先となる他の真空チャンバに対してアームユニット20を正対させる。そして、ロボット1は、第1アーム部22および第2アーム部23を用いてエンドエフェクタ24aを直線的に移動させることで、基板の搬送先となる他の真空チャンバへ基板を搬入する。真空チャンバ30は、ロボット1の形状に合わせて形成される。たとえば、図2に示すように、真空チャンバ30には、底面に凹部が形成されており、かかる凹部に対して、アームベース21や昇降フランジ部15といった下方へ突出するロボット1の部位が納められる。このように、真空チャンバ30をロボット1の形状に合わせて形成することで、チャンバ内の容積を小さくすることができる。したがって、真空チャンバ30の減圧状態を容易に維持することが可能となる。次に、センサの信号線や電源線以下、単にケーブルと記載するの配線についての詳細を図3Aおよび図3Bを用いて説明する。図3Aおよび図3Bは、ケーブル60の状態を示す模式側面図である。まず、図3Aに示すように、エンドエフェクタ24aに設けられるセンサ図示せずには、ケーブル60が接続されている。かかるケーブル60は、可動ベース部24と第2アーム部23の先端部とが連結されている連結部を通り、第2アーム部23内に配線される。さらに、ケーブル60は、第1アーム部22と第2アーム部23との連結部に設けられる気密端子50に各線ごとに接続される。気密端子50とは、減圧状態に保たれる第2アーム部23と、大気圧に保たれる第1アーム部22との間の隔壁56に設けられ、双方を隔絶し、ケーブル60を各雰囲気間で電気的に接続するためのコネクタである。これにより、第2減速機52の中空の駆動軸が回転しても、第2アーム部23および第2減速機52内部の気密性を互いに維持することができる。なお、気密端子50の詳細については図4を用いて後述する。気密端子50に接続されるケーブル60は、第2減速機52の中空の駆動軸における中空領域を通り、第1アーム部22内に配線される。そして、ケーブル60は、第1アーム部22の基端部の回転軸中心を通ってアームベース21まで配線される図示せず。なお、ここで、第2減速機52の中空の駆動軸における中空領域の詳細について図3Bを用いて説明しておく。図3Bに示すように、第2減速機52の出力軸52bには、筒状の保護パイプ57の上端部が固定されている。保護パイプ57は、第2減速機52の出力軸52bを介して第2アーム部23に第1アーム部22に対して回転可能に連結される。また、保護パイプ57は、中ほどの内側に具備されるオイルシール58を介して回転可能に支持される。なお、第2減速機52の入力軸52aと出力軸52bとは減速ギア等図示せずを介して回転可能に連結される。さらに、保護パイプ57は、第2減速機52の入力軸52aに回転可能に連結されるプーリ55の中空の駆動軸および入力軸52aにおけるそれぞれの中空領域の内壁に接していない。このように、保護パイプ57は、第2減速機52の入力軸52aに非接触で貫通するように延伸する。そして、気密端子50に接続されるケーブル60は、第2減速機52の出力軸52bおよび保護パイプ57の中空領域を通り、第1アーム部22内に配線される。このように、本実施形態に係るロボット1では、第2アーム部23とともに回転する第2減速機52の出力軸52bおよび保護パイプ57の各中空領域にケーブル60を通すこととした。これにより、本実施形態に係るロボット1では、高速で回転する第2減速機52の入力軸52aやプーリ55とケーブル60とが摩擦するのを防止するとともにケーブル60が絡まることなく安全に配線される。図3Aの説明に戻り、第1アーム部22内には、モータ53が設けられ、第1アーム部22の基端部には第1減速機51が、第1アーム部22の先端部には第2減速機52が設けられる。第1減速機51とモータ53との間および第2減速機52とモータ53との間には、伝達ベルト54a,54bを備える。モータ53の駆動力を第1減速機51の入力軸へ伝達する伝達ベルト54aと第2減速機52の入力軸へ伝達する伝達ベルト54bの双方をモータ53の出力軸に対して掛け渡し、1つのモータ53の駆動力を2つの減速機へ伝達させる。このように、第1減速機51、第2減速機52、モータ53、伝達ベルト54a,54bといった駆動機構は、大気圧に保たれる第1アーム部22内に収納される。また、ロボット1は真空チャンバ30内で使用される。このため、第1アーム部22は、真空チャンバ30内の減圧状態を維持するために気密性を必要とする。したがって、第1アーム部22は、第2アーム部23や補助アーム部25よりも太く形成されることとなる。第1アーム部22は、第2アーム部23や補助アーム部25よりも太く形成し、高気密となるような構成としたので、ロボット1を真空チャンバ30内で使用する場合であっても、グリス等の潤滑油の乾燥を防止することもできる。また、ロボット1は、第1アーム部22内の駆動機構による発塵によって第2アーム部23内および真空チャンバ30内が汚染されることを防止することができる。このように、ロボット1は、補助アーム部25ではなく第1アーム部22や第2アーム部23にケーブル60を配線することによって、減圧環境に暴露される補助アーム部25のような細い空間へケーブル60を配線する必要がない。また、ロボット1は、補助アーム部25やケーブル60からのガス放出を抑制することができる。また、第2アーム部23の基端部上面には蓋部23aが設けられており、蓋部23aを外すことによってユーザによる気密端子50やケーブル60のメンテナンス作業を行うことができる。次に、気密端子50の詳細について図4を用いて説明する。図4は、気密端子50を説明するための模式側面図である。図4に示すように、気密端子50は、減圧状態に保たれる空間以下、真空側と記載すると大気圧に保たれる空間以下、大気側と記載するとの雰囲気間に設けられ、隔壁56の穴部に高気密に配設される。なお、ここでは、気密端子50上部を真空側101、下部を大気側102として説明する。たとえば、図4に示したように、気密端子50をボルトによって隔壁56へシール剤を介して固定させる。また、気密性を高めるために、隔壁56と気密端子50との間にOリングを装填させてもよい図示せず。気密端子50は、真空側101および大気側102に一対のピン50a、50bが設けられ、各ピン50a、50bは、センサの信号線や電源線等に対応し、各雰囲気間で電気的に接続される。なお、ここでは、3ピンタイプについて示したが、ピンの本数は、配線するケーブル60に含まれる各線の数によって異なる。ケーブル60先端に設けられるケーブル側端子60aは、凹部が形成されており、ケーブル側端子60aを気密端子50のピン50b方向図4の矢印方向へ装填させることによってかかる凹部に対して、各ピン50bが収められる。このように、減圧環境に暴露される第2アーム部23と、大気圧に保たれる第1アーム部22との間の隔壁56へ気密端子50を設けることにより、第2アーム部23および第2減速機52内部の気密性を互いに維持することができる。なお、ここでは、第2アーム部23と第2減速機52との連結部内の領域に気密端子50を設けることとした。しかし、これに限定されるものではなく、第2アーム部23および第2減速機52内部の気密性を互いに維持するような設置箇所であればよい。たとえば、図5に示すように、ロボット1は、第2減速機52の中空の駆動軸における中空領域に気密端子50を設けてもよい。上述したように、本実施形態では、ロボットは、第1アーム部と第2アーム部との連結部に設けられる隔壁に気密端子を設け、第2減速機の中空の駆動軸における中空領域にケーブルを通すこととした。これにより、本実施形態に係るロボットでは、高速で回転する第2減速機の入力側とケーブルとが摩擦するのを防止するとともに、ケーブルが絡まることなく安全に配線される。また、本実施形態では、基板の有無を検知するセンサをエンドエフェクタに設けることとした。このようにすることによって、本実施形態に係るロボットは、装置コストを削減することができるとともに、基板を載置した瞬間に基板の有無を判定することができる。さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。"