"第一金属イオンが含有される第一金属イオン溶液に、0.3W/cm2以上となる第一出力の超音波を照射することにより、第一金属の粒子が分散されたコア粒子分散液を得るコア粒子作製工程と、前記コア粒子分散液に第二金属イオンを混合して混合溶液とし、当該混合溶液に前記第一出力より低くなる第二出力の超音波を照射することにより、前記第一金属をコアとし第二金属をシェルとしたコアシェル粒子が分散されたコアシェル粒子分散液を得るコアシェル粒子作製工程とを含むことを特徴とするコアシェル粒子の製造方法。前記第一金属イオン溶液は、ノニオン系界面活性剤を含有することを特徴とする請求項1に記載のコアシェル粒子の製造方法。前記第一金属イオン溶液の溶媒は、水であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のコアシェル粒子の製造方法。しかしながら、上述したような超音波を照射する超微粒子の製造方法で得られる超微粒子は、Ag,Pt,Pd,Au,Rh等の単一粒子であるか、若しくは、中心部コアがAuであり外周部シェルがPdであるコアシェル粒子であるかのごく限られたものであった。本件発明者らは、上記課題を解決するために、AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子以外の様々な種類のコアシェル粒子を効率良く製造することができるコアシェル粒子の製造方法について検討を行った。まず、Au3イオンとPd2イオンとドデシル硫酸ナトリウムSDSとが含有される水溶液に、4.2W/cm2140Wの超音波を照射した。その結果、特許文献2に記載されたとおり、AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子比較例1を得た。なお、図6は、比較例に係るコアシェル粒子のTEM写真である。図6では中心部と周辺部とのコントラストが異なっている。次に、Au3イオンとドデシル硫酸ナトリウムとが含有される水溶液に、4.2W/cm2140Wの超音波を照射することにより、コア粒子とするAu粒子が分散されたAu粒子分散液を得た後、Au粒子分散液にPd2イオンを混合して混合溶液とし、混合溶液に4.2W/cm2140Wの超音波を照射した。その結果、AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子を得られると当初考えていたが、予想に反してAuPd合金粒子比較例2を得た。さらに、Au3イオンとポリエチレングリコールモノステアレートPEG-MSとが含有される水溶液に、4.2W/cm2140Wの超音波を照射することにより、コア粒子とするAu粒子が分散されたAu粒子分散液を得た後、Au粒子分散液にPd2イオンを混合して混合溶液とし、混合溶液に4.2W/cm2140Wの超音波を照射した。その結果、AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子を得られると当初考えていたが、コアのAuをPdが完全には覆わなかった。比較例3よって、コア粒子とするAu粒子が再溶解しないように、超音波の出力を変化させることにした。そこで、Au3イオンとポリエチレングリコールモノステアレートPEG-MSとが含有される水溶液に4.2W/cm2140Wの超音波を照射することにより、コア粒子とするAu粒子が分散されたAu粒子分散液を得た後、Au粒子分散液にPd2イオンを混合して混合溶液とし、混合溶液に1.2W/cm240Wの超音波を照射した。その結果、AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子実施例1を得ることができた。なお、図1は、実施例1に係るコアシェル粒子のTEM写真である。図1では中心部と周辺部とのコントラストが異なっている。また、図2は、EDSによる実施例1に係るコアシェル粒子の分析結果である。粒子の中心部付近にはAu元素が多く存在する。一方、粒子の外周部にはAu元素が存在せず、Pd元素のみが存在する。さらに、コア粒子を作製した後、シェルを形成する際には、超音波の出力を種々に変化させてみた。具体的には、混合溶液に1.2W/cm240Wの超音波を照射する代わりに、1.8W/cm260Wの超音波を照射したもの実施例2や、2.4W/cm280Wの超音波を照射したもの実施例3や、3.6W/cm2120Wの超音波を照射したもの実施例4等を得た。図3は、吸光度スペクトルを示すグラフである。図3に示すように、超音波の出力を下げれば下げるほど、Au元素を示すピークがなくなった。これにより、コア粒子を作製した後、シェルを形成する際には、Au粒子を作製する際に照射した超音波の出力より低い出力で、超音波を照射することにより、Au粒子が再溶解しないで、AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子を作製することができることを見出した。すなわち、本発明のコアシェル粒子の製造方法は、第一金属イオンが含有される第一金属イオン溶液に、0.3W/cm2以上となる第一出力の超音波を照射することにより、第一金属の粒子が分散されたコア粒子分散液を得るコア粒子作製工程と、前記コア粒子分散液に第二金属イオンを混合して混合溶液とし、当該混合溶液に前記第一出力より低くなる第二出力の超音波を照射することにより、前記第一金属をコアとし第二金属をシェルとしたコアシェル粒子が分散されたコアシェル粒子分散液を得るコアシェル粒子作製工程とを含むようにしている。以上のように、本発明のコアシェル粒子の製造方法によれば、コア粒子が再溶解しないので、様々な種類のコアシェル粒子を効率良く製造することができる。他の課題を解決するための手段および効果また、本発明のコアシェル粒子の製造方法は、前記第一金属イオン溶液は、ノニオン系界面活性剤を含有するようにしている。さらに、本発明のコアシェル粒子の製造方法は、前記第一金属イオン溶液の溶媒は、水であるようにしている。以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。実施形態に係るコアシェル粒子の製造方法は、第一金属の粒子が分散されたコア粒子分散液を得るコア粒子作製工程Aと、コアシェル粒子分散液を得るコアシェル粒子作製工程Bとを含む。Aコア粒子作製工程第一金属イオンと界面活性剤とが含有される第一金属イオン溶液に、不活性ガスにより脱気した後、0.3W/cm210W以上となる第一出力の超音波を照射することにより、第一金属の粒子が分散されたコア粒子分散液を得る。上記第一金属としては、例えば、Pt,Pd,Ir,Rh,Au,Ru,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Mo,Ag,W,Re,Os等が挙げられ、各々の金属元素の無機塩或いは錯塩等であってよい。例えば、NaAuCl4、PdCl2、H2PtCl6等が挙げられる。そして、第一金属イオン溶液における第一金属イオンの濃度は、0.1mmol/L以上1mmol/L以下であることが好ましい。上記界面活性剤としては、アニオン系界面活性剤やノニオン系界面活性剤等が挙げられる。例えば、アニオン系界面活性剤は、ドデシル硫酸ナトリウムSDS等であり、アノニオン系界面活性剤は、ポリエチレングリコールPEG等である。そして、第一金属イオン溶液における界面活性剤の濃度は、0.1mmol/L以上であることが好ましい。上記第一金属イオン溶液の溶媒は、第一金属を溶解し第一金属イオンを生成することができれば、特に限定されず、また、1種のみでも2種以上の混合物でもよい。例えば、水;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール、アミルアルコール、アリルアルコール等のアルコール類;酢酸メチルエステル、酢酸エチルエステル等のエステル類;ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、アセチルアセトン等のケトン類;ジオキサン、テトラヒドロフラン、N-メチルピロリドン等が挙げられる。上記不活性ガスとしては、例えば、アルゴンガス等が挙げられる。上記超音波の第一出力は、0.3W/cm210W以上であることが好ましく、3W/cm2100W以上であることがより好ましい。また、上記超音波の周波数は、200kHz程度であることが好ましく、上記超音波の照射時間は、10分以上であることが好ましい。そして、超音波発生器としては、例えば、チタンサンバリウムを振動子として用いたもの等が利用できる。なお、超音波照射による温度の上昇を防ぐために、系は水冷としてもよい。このようなコア粒子作製工程を実行すると、第一金属の粒子が分散されたコア粒子分散液を得ることができる。このとき、第一金属の粒子の粒子径は、特に限定されないが、0.3nm以上50nm以下であることが好ましく、5nm以上20nm以下であることがより好ましい。Bコアシェル粒子作製工程コア粒子分散液に第二金属イオンを混合して混合溶液とし、混合溶液に不活性ガスで脱気した後、第一出力より低くなる第二出力の超音波を照射することにより、第一金属をコアとし第二金属をシェルとしたコアシェル粒子が分散されたコアシェル粒子分散液を得る。上記第二金属としては、例えば、Pt,Pd,Ir,Rh,Au,Ru,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Mo,Ag,W,Re,Os等が挙げられ、各々の金属元素の無機塩或いは錯塩等であってよい。例えば、NaAuCl4、PdCl2、H2PtCl6等が挙げられる。そして、混合溶液における第二金属イオンの濃度は、1mmol/L以下であることが好ましい。上記超音波の第二出力は、第一出力より低くなればよいが、0.3W/cm2以上第一出力未満であることが好ましく、0.3W/cm2以上2.4W/cm280W以下であることがより好ましく、0.3W/cm2以上1.2W/cm240W以下であることが特に好ましい。また、上記超音波の周波数は、200kHz程度であることが好ましく、上記超音波の照射時間は、出来るだけ低出力で時間をかけた方がよく、数10分以上であることが好ましい。そして、超音波発生器としては、例えば、チタンサンバリウムを振動子として用いたもの等が利用できる。なお、超音波照射による温度の上昇を防ぐために、系は水冷としてもよい。このようなコアシェル粒子作製工程を実行すると、第一金属をコアとし第二金属をシェルとしたコアシェル粒子が分散されたコアシェル粒子分散液を得ることができる。このとき、コア粒子に形成される第二金属の厚さは、特に限定されないが、0.3nm以上50nm以下であることが好ましく、20nm以上30nm以下であることがより好ましい。そして、得られたコアシェル粒子分散液は、そのまま用いることもできるし、或いは、ウルトラフィルター等を用いてコアシェル粒子をろ過し、必要に応じて洗浄、溶媒置換した分散液とした後、用いることもできるし、或いは、溶媒を除去、乾燥することによって粉末状のコアシェル粒子として用いることもできる。以上のように、本発明のコアシェル粒子の製造方法によれば、様々な種類のコアシェル粒子を効率良く製造することができる。以下、実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらによりなんら制限されるものではない。<実施例1>AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子Aコア粒子作製工程0.5mmolのNaAuCl42H2Oと0.4mmolのPEG-MS分子量2044.98とが含有される60mlの第一金属イオン水溶液に、Arガスで脱気した後、4.2W/cm2140W、周波数200kHzの超音波を10分照射することにより、Au粒子が分散されたコア粒子分散液を得た。Bコアシェル粒子作製工程コア粒子分散液に10mmolのPdCl22NaCl3H2Oが含有される3mlの水溶液を混合して混合溶液とし、混合溶液にArガスで脱気した後、1.2W/cm240W、周波数200kHzの超音波を75分照射することにより、実施例1に係るコアシェル粒子分散液を得た。<実施例2>AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子コアシェル粒子作製工程Bで、1.2W/cm240W、周波数200kHzの超音波を照射する代わりに、1.8W/cm260W、周波数200kHzの超音波を照射したこと以外は実施例1と同様にして、実施例2に係るコアシェル粒子分散液を得た。<実施例3>AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子コアシェル粒子作製工程Bで、1.2W/cm240W、周波数200kHzの超音波を照射する代わりに、2.4W/cm280W、周波数200kHzの超音波を照射したこと以外は実施例1と同様にして、実施例3に係るコアシェル粒子分散液を得た。<実施例4>AuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子コアシェル粒子作製工程Bで、1.2W/cm240W、周波数200kHzの超音波を照射する代わりに、3.6W/cm2120W、周波数200kHzの超音波を照射したこと以外は実施例1と同様にして、実施例4に係るコアシェル粒子分散液を得た。<比較例1>AuをコアとしPdをシェルとした粒子0.5mmolのNaAuCl42H2Oと0.4mmolのSDSと10mmolのPdCl22NaCl3H2Oとが含有される63mlの水溶液に、Arガスで脱気した後、4.2W/cm2140W、周波数200kHzの超音波を85分照射することにより、比較例1に係る粒子分散液を得た。<比較例2>AuPd粒子Aコア粒子作製工程0.5mmolのNaAuCl42H2Oと0.4mmolのSDSとが含有される60mlの第一金属イオン水溶液に、Arガスで脱気した後、4.2W/cm2140W、周波数200kHzの超音波を10分照射することにより、Au粒子が分散されたコア粒子分散液を得た。Bコアシェル粒子作製工程コア粒子分散液に10mmolのPdCl22NaCl3H2Oが含有される3mlの水溶液を混合して混合溶液とし、混合溶液にArガスで脱気した後、4.2W/cm2140W、周波数200kHzの超音波を75分照射することにより、比較例2に係る粒子分散液を得た。<比較例3>AuPd粒子コアシェル粒子作製工程Bで、1.2W/cm240W、周波数200kHzの超音波を照射する代わりに、4.2W/cm2140W、周波数200kHzの超音波を照射したこと以外は実施例1と同様にして、比較例3に係る粒子分散液を得た。<実施例5>PdをコアとしAuをシェルとしたコアシェル粒子Aコア粒子作製工程0.5mmolのPdCl22NaCl3H2Oと0.4mmolのPEG-MS分子量2044.98とが含有される60mlの第一金属イオン水溶液に、Arガスで脱気した後、4.2W/cm2140W、周波数200kHzの超音波を10分照射することにより、Pd粒子が分散されたコア粒子分散液を得た。Bコアシェル粒子作製工程コア粒子分散液に0.5mmolのNaAuCl42H2Oが含有される3mlの水溶液を混合して混合溶液とし、混合溶液にArガスで脱気した後、0.6W/cm220W、周波数200kHzの超音波を75分照射することにより、実施例5に係るコアシェル粒子分散液を得た。<実施例6>PdをコアとしAuをシェルとしたコアシェル粒子コアシェル粒子作製工程Bで、0.5mmolのNaAuCl42H2Oが含有される水溶液を混合する代わりに、1.0mmolのNaAuCl42H2Oが含有される水溶液を混合したこと以外は実施例5と同様にして、実施例6に係るコアシェル粒子分散液を得た。<物性評価>吸光度測定装置島津製作所製を用いて、実施例1~6及び比較例1~3に係る粒子分散液の吸光度スペクトルを測定した。その結果を図3、図4、図7、図8及び図9に示す。なお、図3は、実施例1~実施例4に係る吸光度スペクトルを示すグラフであり、図4は、実施例5及び実施例6に係る吸光度スペクトルを示すグラフであり、図7は、比較例1に係る吸光度スペクトルを示すグラフであり、図8は、比較例2に係る吸光度スペクトルを示すグラフであり、図9は、比較例3に係る吸光度スペクトルを示すグラフである。以上のように、本発明のコアシェル粒子の製造方法によれば、実施例1~実施例4のようにAuをコアとしPdをシェルとしたコアシェル粒子や、実施例5及び実施例6のようにPdをコアとしAuをシェルとしたコアシェル粒子を効率良く製造することができる。"