被検査体の電気的特性検査を行うためのプローブカードを、検査装置のヘッドプレートまたは上記ヘッドプレートに固定されたインサートリングに対して着脱可能に装着する際に、上記プローブカードの外周縁部に互いに周方向に所定間隔を空けて設けられた少なくとも3箇所の位置決め用のピンを、上記少なくとも3箇所のピンに対応させて上記ヘッドプレートまたは上記インサートリングに設けられた少なくとも3箇所の位置決め用の孔に対してそれぞれ挿入して上記ヘッドプレートまたは上記インサートリングに対して上記プローブカードを所定の位置に位置決めする位置決め機構であって、上記位置決め用の孔は、その向きが上記プローブカードの径方向と実質的に一致する長孔として形成され、且つ、上記長孔の内周面全面が上記ピンの挿入方向に向けて徐々に縮小するテーパ面として形成されていることを特徴とするプローブカードの位置決め機構。上記長孔の縮小端では短軸が上記ピンの直径より短く形成されていることを特徴とする請求項1に記載のプローブカードの位置決め機構。上記ピンの先端が球面状に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブカードの位置決め機構。被検査体の電気的特性検査を行うためのプローブカードと、上記プローブカードを支持するインサートリング及びヘッドプレートと、を備え、上記インサートリングの所定位置または上記ヘッドプレートの所定位置に対して上記プローブカードを位置決めする位置決め機構として、上記プローブカードの外周縁部に互いに周方向に所定間隔を空けて少なくとも3箇所の位置決め用のピンを設けると共に、上記3箇所のピンに対応する少なくとも3箇所の位置決め用の孔を、上記インサートリングまたは上記ヘッドプレートに設けて構成された検査装置であって、上記位置決め用の孔はその向きが上記プローブカードの径方向と実質的に一致する長孔として形成され、且つ、上記長孔の内周面全面が上記ピンの挿入方向に向けて徐々に縮小するテーパ面として形成されていることを特徴とする検査装置。上記長孔の縮小端では短軸が上記ピンの直径より短く形成されていることを特徴とする請求項4に記載の検査装置。上記ピンの先端が球面状に形成されていることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の検査装置。しかしながら、従来の検査装置の場合には、プローブカード2をインサートリング5に装着する時には位置決め機構9によってインサートリング5に対するプローブカード2の位置決めが行われるが、位置決め機構9として機能するピン9Aと円形状の孔9Bはそれぞれの間に隙間を持って遊嵌する構造になっているため、プローブカード2を装着する度に図5に示すようにピン9Aの軸心が孔9Bの軸心から水平方向に位置ズレしてプローブ2Aの針先位置がプローブカード2の装着の度に位置ズレする。そのため、プローブカード2を繰り返し使用する場合でもプローブカード2を装着する度にプローブアライメントを行わなくてはならないという課題があった。また、ウエハチャック1の温度を変更する場合にも同様の問題があった。本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、検査装置のインサートリングまたはヘッドプレートに対してプローブカードを位置ズレすることなく所定の位置に正確に装着することができ、特にプローブカードを繰り返し使用する場合でも一度だけプローブアライメントを行えば、その後のプローブアライメントを省略することができるプローブカードの位置決め機構及び検査装置を提供することを目的としている。本発明の請求項1に記載のプローブカードの位置決め機構は、被検査体の電気的特性検査を行うためのプローブカードを、検査装置のヘッドプレートまたは上記ヘッドプレートに固定されたインサートリングに対して着脱可能に装着する際に、上記プローブカードの外周縁部に互いに周方向に所定間隔を空けて設けられた少なくとも3箇所の位置決め用のピンを、上記少なくとも3箇所のピンに対応させて上記ヘッドプレートまたは上記インサートリングに設けられた少なくとも3箇所の位置決め用の孔に対してそれぞれ挿入して上記ヘッドプレートまたは上記インサートリングに対して上記プローブカードを所定の位置に位置決めする位置決め機構であって、上記位置決め用の孔は、その向きが上記プローブカードの径方向と実質的に一致する長孔として形成され、且つ、上記長孔の内周面全面が上記ピンの挿入方向に向けて徐々に縮小するテーパ面として形成されていることを特徴とするものである。また、本発明の請求項2に記載のプローブカードの位置決め機構は、請求項1に記載の発明において、上記長孔の縮小端では短軸が上記ピンの直径より短く形成されていることを特徴とするものである。また、本発明の請求項3に記載のプローブカードの位置決め機構は、請求項2に記載の発明において、上記ピンの先端が球面状に形成されていることを特徴とするものである。また、本発明の請求項4に記載の検査装置は、被検査体の電気的特性検査を行うためのプローブカードと、上記プローブカードを支持するインサートリング及びヘッドプレートと、を備え、上記インサートリングの所定位置または上記ヘッドプレートの所定位置に対して上記プローブカードを位置決めする位置決め機構として、上記プローブカードの外周縁部に互いに周方向に所定間隔を空けて少なくとも3箇所の位置決め用のピンを設けると共に、上記3箇所のピンに対応する少なくとも3箇所の位置決め用の孔を、上記インサートリングまたは上記ヘッドプレートに設けて構成された検査装置であって、上記位置決め用の孔はその向きが上記プローブカードの径方向と実質的に一致する長孔として形成され、且つ、上記長孔の内周面全面が上記ピンの挿入方向に向けて徐々に縮小するテーパ面として形成されていることを特徴とするものである。また、本発明の請求項5に記載の検査装置は、請求項4に記載の発明において、上記長孔の縮小端では短軸が上記ピンの直径より短く形成されていることを特徴とするものである。また、本発明の請求項6に記載の検査装置は、請求項4または請求項5に記載の発明において、上記ピンの先端が球面状に形成されていることを特徴とするものである。本発明によれば、検査装置のインサートリングまたはヘッドプレートに対してプローブカードを位置ズレすることなく所定の位置に正確に装着することができ、特にプローブカードを繰り返し使用する場合でも一度だけプローブアライメントを行えば、その後のプローブアライメントを省略することができるプローブカードの位置決め機構及び検査装置を提供することができる。以下、図1~図3に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。本実施形態の検査装置は、従来の検査装置とプローブカードの位置決め機構を異にする以外は、従来の検査装置に準じて構成されている。そこで、本実施形態の特徴部分を中心に以下説明する。本実施形態の検査装置10は、図1に示すように、ウエハチャック11、プローブカード12、クランプ機構14、インサートリング15、ヘッドプレート16、アライメント機構図示せず、接続リング18及び位置決め機構19を備え、位置決め機構19以外は従来の検査装置に準じて構成されている。インサートリング15は、図1に示すように、例えば内周縁部15Aと外周縁部15Bとの間に段差があり、内周縁部15Aが外周縁部から落ち込んで形成されている。このインサートリング15は、内周縁部15Aがヘッドプレート16の上方から装着孔内に挿入され、外周縁部15Bがヘッドプレート16の上面に接合されている。クランプ機構14は、インサートリング15の外周縁部15Bの下面に取り付けられている。本実施形態の位置決め機構19は、図1に示すように、プローブカード12の外周縁部とインサートリング15の内周縁部15Aに配置されている。この位置決め機構19は、図2a、bに示すように、プローブカード12の外周縁部に互いに周方向に所定間隔を空けて設けられた3箇所の位置決め用のピン以下、単にピンと称す。19Aと、これらのピン19Aに対応してインサートリング15の内周縁部15Aに互いに周方向に所定間隔を空けて設けられた位置決め用の長孔19Bと、を備え、3箇所のピン19Aと3箇所の長孔19Bが嵌合するように構成されている。3箇所のピン19Aはいずれもプローブカード12で形成される同一円上に配置され、3箇所の孔19Bはインサートリング15の内周縁部15Aで形成される同一円上に配置されている。3箇所のピン19Aは、図3のa、bに示すように、いずれも先端が球面状に形成されており、それぞれに対応する3箇所の長孔19B内に挿入されて嵌合し、プローブカード12の外周縁部とインサートリング15の内周縁部15Aが全周面に渡って均等に接触するようになっている。長孔19Bは、図2のcに示すように、長軸がプローブカード12の径方向インサートリング15の径方向と実質的に一致するように形成されている。上記長孔19Bの向きは実質的にプローブカード12の径方向に一致しておれば、厳密に一致していなくても良い。長孔19Bの内周面は、プローブカード12側の開口端が最も大きく形成され、ピン19Aの挿入方向に向けて徐々に縮小するテーパ面19B1として形成されている。長孔19Bのプローブカード12側の開口端は、短軸がピン19Aの直径より長く形成されている。また、長孔19Bの縮小端の開口は、短軸がピン19Aの直径より短く形成され、長軸がピン19Aの直径より長く形成されている。そのため、3箇所のピン19Aは、いずれも長孔19内に挿入されると、それぞれの先端の球面が長軸方向の一対のテーパ面19B1に同時に点接触すると共に、プローブカード12の外周縁部とインサートリング15の内周縁部15Aとが均一に接触する。この時、短軸方向の一対のテーパ面19B1は、同図のbに示すようにピン19A先端の球面との間に隙間が形成される。つまり、3箇所のピン19Aは、それぞれが対応する長孔19B内に挿入されてそれぞれの先端の球面が3箇所の長孔19B内で長軸方向の一対のテーパ面19B1とそれぞれ点接触して拘束され、それぞれの長孔19B内で位置ズレすることなく嵌合する。従って、プローブカード12は、位置決め機構19を介してインサートリング15に対して位置決めされると所定の位置に拘束されて、X、Y及びθ方向へ位置ズレすることなく装着され、プローブカード12の中心とインサートリング15の中心が常に一致した状態でヘッドプレート16下面のクランプ機構14によってクランプされる。つまり、プローブカード12は、インサートリング15に対して常に一定の位置に再現性良く正確に装着される。同一プローブカード12は、検査装置10に着脱して繰り返し使用される。そのため、プローブカード12にはバーコード等の識別記号が付設されている。また、検査装置10には識別記号を読み取る読取装置図示せずが付設されており、読取装置で読み取った情報は制御装置の記憶部に格納されるようになっている。プローブカード12を繰り返し使用する場合には、そのプローブカード12をインサートリング15に装着する前に、プローブカード12の識別記号を予め読み取り、その読取情報を記憶部に格納する。そのプローブカード12をインサートリング15に装着した後、そのプローブカード12のプローブアライメントを行い、その検出結果をプローブカード12の識別記号に対応させて記憶装置に記憶させておく。これにより、プローブカード12を繰り返し使用する場合には、そのプローブカード12の識別記号を読取装置によって読み取るだけで、読取情報に対応するプローブアライメントによる検出結果を繰り返し使用することができ、二度目以降のプローブアライメントを省略することができる。ウエハチャック11の温度が変更される場合であっても記憶部に記憶されたプローブカード12に関する上記の各情報を使用することができる。次に、プローブカード12のインサートリング15への装着について説明する。まず、プローブカード12の識別記号を読取装置によって読み取り、その読取情報を記憶部に格納する。その後、位置決め機構19の3箇所のピン19Aをこれらに対応する長孔19Bに向きを合わせた後、例えばプローバ室内のウエハチャック11へプローブカード12を載置し、ウエハチャック11によりプローブカード12をインサートリング15の真下まで搬送する。その位置からウエハチャック11が上昇してプローブカード12の3箇所のピン19Aをインサートリング15の3箇所の長孔19B内に挿入する。この際、長孔19Bの開口端がピン19Aの直径より大きく、しかも長孔19Bの内周面がテーパ面19B1になっているため、3箇所のピン19Aはそれぞれが対応する長孔19B内に円滑に挿入される。ウエハチャック11が上昇端に達すると、プローブカード12の外周縁部がインサートリング15の内周縁部15Aと接触する。この時、3箇所のピン19Aは、それぞれの先端の球面が対応する3箇所の長孔19B内で長軸方向の一対のテーパ面19B1と同時に点接触し、プローブカード12の水平方向の動きが拘束されるため、プローブカード12は水平方向に位置ズレすることがなく、インサートリング15に装着されると共に、カードホルダ13を介してクランプ機構14にクランプされてインサートリング15に対して固定される。その後、インサートリング15に装着されたプローブカード12について従来と同様の手法によりプローブアライメントを行い、その検出結果を、プローブカード12の識別記号に対応させて記憶装置に記憶させる。その後は、従来と同様の手順で半導体ウエハWの電気的特性検査を行う。プローブカード12を再使用する場合には、そのプローブカード12をインサートリング15に装着する前に、読取装置で識別記号を読み取り、その識別記号に対応するプローブアライメントによる検出結果を使用することができ、改めてプローブアライメントを行う必要がない。以上説明したように本実施形態によれば、プローブカード12をインサートリング15に装着する際に、位置決め機構19の3箇所のピン19Aが3箇所の長孔19B内に挿入されると、3箇所のピン19Aが長孔19Bの長軸方向の一対のテーパ面19B1に点接触して水平方向の動きが拘束されるため、プローブカード12を常にインサートリング15の一定の位置にX、Y及びθ方向へ位置ズレすることなく高精度に装着することができる。従って、同一のプローブカードを繰り返し使用する場合には、そのプローブカード12を最初に装着する時にプローブアライメントを一度実施しておけば、その後のプローブアライメントを省略することができる。また、ウエハチャック11の温度が変更されても二度目以降のプローブアライメントを行う必要がない。また、ピン19Aの先端が球面になっているため、ピン19Aは長孔19Bのテーパ面19B1に従って長孔19B内に円滑に挿入され、インサートリング15に対するプローブカード12を確実に装着することができる。尚、上記実施形態では、位置決め機構19のピン19A及び長孔19Bを3箇所に設けた場合について説明したが、ピン19A及び長孔19Bを3箇所以上に設けたものであっても良い。また、上記実施形態では長孔19Bをインサートリング15に設けているが、プローブカードの取付構造によっては長孔をヘッドプレートに設けることもできる。