"電極により被加工物を放電加工する放電加工部を内部に有する加工槽と、該加工槽の加工液を回収および貯留する汚水槽と、底部に開口部を有する濾過槽と、該濾過槽の底部にフィルタを当接させ濾過槽とフィルタで形成される空間に前記汚水槽の加工液を充填させて濾過する放電加工機の加工液濾過装置において、加工液濾過用フィルタをロール状にセットしたフィルタ供給ロールを回転駆動するフィルタ供給ロール用アクチュエータと、前記フィルタを回収するフィルタ回収ロールを回転駆動するフィルタ回収ロール用アクチュエータと、前記フィルタの移動量を検出する移動量検出部と、前記濾過槽の加工液の圧力を検出する圧力検出部と、前記濾過槽の上流あるいは下流に設けられた前記フィルタを洗浄するノズルと、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタ供給用アクチュエータまたはフィルタ回収ロール用アクチュエータを駆動して前記フィルタを所定距離移動させ該フィルタを洗浄するように制御する制御部と、を備えたことを特徴とする放電加工機の加工液濾過装置。前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させ洗浄を行い、洗浄後に前記フィルタの洗浄した部分を濾過槽へ移動させることを特徴とする請求項1に記載の放電加工機の加工液濾過装置。前記フィルタの同一部分の洗浄回数を計数する計数部を有し、前記制御部は、前記洗浄回数が所定の回数となった場合、洗浄を行わずに前記フィルタ回収ロールに回収することを特徴とする請求項2に記載の放電加工機の加工液濾過装置。前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させて洗浄を行い、前記フィルタ回収ローラにフィルタが全て回収された時、フィルタ回収ローラとフィルタ供給ローラの回転を逆回転させることを特徴とする請求項1に記載の放電加工機の加工液濾過装置。前記制御部は、前記フィルタ供給用アクチュエータとフィルタ回収ロール用アクチュエータとを同期させて駆動して前記フィルタを所定距離移動させることを特徴とする請求項1~4に記載の放電加工機の加工液濾過装置。背景技術で説明した特許文献1に開示される技術は、前述の問題点に加えて、フィルタ供給ロールから供給できるフィルタが終了したことを制御部に報知する手段を備えていないことから、濾過されていない加工液が清水槽に流入してしまい、水配管や冷却装置がスラッジで汚れて詰まり、機械の配管系統が故障する恐れがある。特許文献2に開示される技術は、フィルタを洗浄する装置を備えていないため、回収されたフィルタを繰り返し利用することができない。フィルタを移動させるための駆動モータは、回収ローラ側にしか設けられていないため、加工液で濡れたフィルタが破れてしまうという問題がある。特許文献3や特許文献4に開示される技術は洗浄装置を備えているため、フィルタを繰り返し使用することが可能である。しかし、特許文献3に開示される装置では、逆洗浄は別の貯水槽の冷却水中で行われ、逆洗浄によりフィルタから取り除かれたスラッジは、その貯水槽の循環冷却水中に戻される。このため、逆洗浄を行う毎に、その貯水槽内の循環冷却水を廃棄し、新しい冷却水と入れ替える必要がある。また、特許文献4に開示される装置は、無端状に形成したフィルタの一部で濾過処理を、一部で逆洗浄による目詰まり解消処理を並行して行い、同一フィルタを反復利用する。フィルタの目詰まりを検出せずに逆洗浄するので、フィルタの目が詰まっていない時でも逆洗浄することがあり、逆洗浄を効率的に行うことができないという問題がある。また、特許文献5に開示される技術は、プレクレーナに用いるフィルタエレメントを逆洗浄して複数回使用するものではない。そこで本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、放電加工装置において、加工時に排出される被加工物の微細の金属屑スラッジを、ロール状にセットしたフィルタ濾材により濾過し、そのフィルタ濾材を逆洗浄することにより、複数回繰り返しフィルタ濾材を使用することが可能な放電加工機の加工液濾過装置を提供することである。本願の請求項1に係る発明は、電極により被加工物を放電加工する放電加工部を内部に有する加工槽と、該加工槽の加工液を回収および貯留する汚水槽と、底部に開口部を有する濾過槽と、該濾過槽の底部にフィルタを当接させ濾過槽とフィルタで形成される空間に前記汚水槽の加工液を充填させて濾過する放電加工機の加工液濾過装置において、加工液濾過用フィルタをロール状にセットしたフィルタ供給ロールを回転駆動するフィルタ供給ロール用アクチュエータと、前記フィルタを回収するフィルタ回収ロールを回転駆動するフィルタ回収ロール用アクチュエータと、前記フィルタの移動量を検出する移動量検出部と、前記濾過槽の加工液の圧力を検出する圧力検出部と、前記濾過槽の上流あるいは下流に設けられた前記フィルタを洗浄するノズルと、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタ供給用アクチュエータまたはフィルタ回収ロール用アクチュエータを駆動して前記フィルタを所定距離移動させ該フィルタを洗浄するように制御する制御部と、を備えたことを特徴とする放電加工機の加工液濾過装置である。請求項2に係る発明は、前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させ洗浄を行い、洗浄後に前記フィルタの洗浄した部分を濾過槽へ移動させることを特徴とする請求項1に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。請求項3に係る発明は、前記フィルタの同一部分の洗浄回数を計数する計数部を有し、前記制御部は、前記洗浄回数が所定の回数となった場合、洗浄を行わずに前記フィルタ回収ロールに回収することを特徴とする請求項2に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。請求項4に係る発明は、前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させて洗浄を行い、前記フィルタ回収ローラにフィルタが全て回収された時、フィルタ回収ローラとフィルタ供給ローラの回転を逆回転させることを特徴とする請求項1に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。請求項5に係る発明は、前記制御部は、前記フィルタ供給用アクチュエータとフィルタ回収ロール用アクチュエータとを同期させて駆動して前記フィルタを所定距離移動させることを特徴とする請求項1~4に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。本発明により、フィルタ洗浄終了後に貯水槽の加工液を交換することなく、かつ、フィルタの洗浄を適切な時期に行い、フィルタを無駄無く使用することが可能な放電加工機の加工液濾過装置を提供でき、放電加工装置において、加工時に排出される被加工物の微細の金属屑スラッジを、ロール状にセットしたフィルタ濾材により濾過し、そのフィルタ濾材を逆洗浄することにより、複数回繰り返しフィルタ濾材を使用することが可能な放電加工機の加工液濾過装置を提供できる。以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。まず、本発明の実施形態の概要を説明する。本発明では、フィルタ濾材の逆洗浄を、濾過槽とは別の槽位置まで移動して行う。フィルタ濾材の移動量の測定については、フィルタ濾材に密接したローラに付設されたエンコーダによる。その逆洗浄によって取り除かれた加工屑スラッジは、放電加工機の加工液貯留槽に戻さないので、逆洗浄のたびに加工液を廃棄して新しい加工液を入れる必要はない。フィルタ濾材を交換する必要がある圧力に到達した場合、圧力センサからの信号あるいは圧力スイッチからの要交換信号に基づいて洗浄を行い、逆洗浄を効率的に行うことができる。逆洗浄を所定の回数実験により寿命と判断された回数を繰り返し、逆洗浄の回数がその所定回数に到達したときにフィルタ濾材の寿命が来たつまり、フィルタ濾過材の交換時期と判断する。図1は本発明の実施形態の放電加工機における加工液濾過装置を説明する図である。例えばワイヤカット放電加工機では、機構部1上に配置された加工槽2内に載置したワークを加工するために、ワイヤボビンから供給されたワイヤ電極を、上,下ワイヤガイド5の上ワイヤガイドを貫通して走行し、前記ワーク加工領域を通過させ、その後、下ガイドを貫通して走行し、ワイヤ巻き取り部に巻き取り、ワイヤ電極に所定の張力を与えながら走行させ、ワイヤ電極とワークとの間に電圧を印加し、放電作用によってワークを加工する機械である。加工槽2内には加工液が満たされ、ワイヤ電極とワーク間に電圧が印加されることにより両者間に放電を起し、ワークを加工する。前記ワイヤカット放電加工機は図示しない制御装置により制御される。加工槽2で使用された汚れた加工液は汚水槽3に溜まる。汚水槽3に溜まった加工屑などで汚れた加工液は、フィルタポンプP1によって汲み上げられ、第2フィルタF2が収納された容器に入れる。第2フィルタF2で濾過された加工液は清水槽4に送られる。清水槽4に溜まった濾過された加工液は加工液循環ポンプP3によって上,下ワイヤガイド5に送られる。また、清水槽4内の加工液の温度を一定に保つため、循環ポンプP4によって清水槽4から加工液を汲み上げ冷却装置24に供給し、冷却装置24で冷却された加工液は再度,清水槽4に戻される。F1はロール紙状のフィルタ、11aはロール状に巻いたフィルタ供給ロール、21は第1フィルタF1をガイドするために移動経路上に配置された複数組のガイドローラ、11bはフィルタ供給ロール11aから巻き出された第1フィルタF1を回収するためのフィルタ回収ロールである。フィルタ供給ロール11a,フィルタ回収ロール11bは第1フィルタF1の一端部がそれぞれ芯部材に着脱自在に取付けられている。フィルタ供給ロール11aはフィルタ供給ロール用モータ13aと連結し、フィルタ回収ロール11bはフィルタ回収ロール用モータ13bと連結している。12は第1フィルタF1の移動量を計測するためのエンコーダである。7は濾過槽、6は貯留槽、15は濾過槽7の底部側面に設けられた第1フィルタF1の通過口のシールである。濾過槽7は上部には蓋、下部には第1フィルタF1を支えると共に多数の開口が設けられた敷板図示せずが設けられている。濾過槽7,第1フィルタF1で囲われた空間は閉塞されている。ロール式フィルタ用ポンプP2を稼働することによって汚水槽3に貯留される汚れた加工液が汲み上げられ、定流量弁10を介して濾過槽7に送られる。濾過槽7の底部の第1フィルタF1が汚れて目が詰まるにつれて、濾過槽7の内部の圧力が上昇する。濾過槽7内の加工液は、重力と濾過槽7の内部の圧力上昇によって濾過槽7側から第1フィルタF1によって濾過されて貯留槽6側へ流れ込む。濾過される前に加工液に含まれていた加工屑は第1フィルタF1に付着する。貯留槽6に溜まった濾過された加工液は清水槽4に送られる。貯留槽6から清水槽4へは図示しないポンプあるいは重力による自然流によって送られる。22はロール式フィルタ用ポンプP2を駆動するインバータであり、ロール式フィルタ用ポンプP2は電磁開閉器マグネットコンタクタ16を用いて止められる。電磁開閉器16は電気回路の開閉制御を行う電磁接触器コンタクタとモータの過負荷保護を行うサーマルリレー熱動形過負荷継電器を組み合わせたものである。制御部17は加工液濾過装置の全体を制御する装置であり、図示しないプロセッサCPU,メモリ,入出力用インタフェース,第1フィルタF1の取替えを表示するなどの表示装置を備える。図示しない前記メモリは、第1フィルタの使用回数nを記憶する領域、使用方向フラグDirを記憶する領域、第1フィルタの使用限度回数nlimを記憶する領域を有する。前記使用回数、前記使用方向フラグ、前記使用限度回数については、後述する。制御部17は単独の制御装置としてもよいし、放電加工装置の制御装置の機能として組み込むようにしてもよい。貯留槽6,濾過槽7の出口側からフィルタ回収ロール11bまでの間の所定個所に、第1フィルタF1を逆洗浄するための逆洗用ノズル14が配設されている。20は洗浄用流体供給装置であって、逆洗用ノズル14に第1フィルタF1を逆洗浄するための洗浄用流体を供給する。逆洗用ノズル14を用いる第1フィルタの逆洗浄に替えて、薬剤を用いる方法などの方法を用いる構成としてもよい。25は圧力センサである。濾過槽7の底部の第1フィルタF1が汚れて目が詰まるにつれて、濾過槽7の内部の圧力が高くなる。この濾過槽7の内部の圧力を圧力センサ25によって検出する。圧力センサ25により検出された濾過槽7内の圧力信号は制御部17に入力する。圧力センサ25により検出された濾過槽7内の圧力がある一定の圧力に達すると制御部17により、フィルタ回収ロール用モータ13bを用いてフィルタ回収ロール11bを回転させ、第1フィルタF1を逆洗浄する場所、つまり、逆洗用ノズル14の配置場所まで移動する。濾過槽7において加工液の濾過処理を行なった第1フィルタF1の部分を、逆洗用ノズル14を用いて逆洗浄する。第1フィルタF1の移動量はエンコーダ12を用いて計測することができる。なお、圧力センサ25に替えて圧力スイッチ9図4参照を用いるようにしてもよい。圧力スイッチ9は所定の圧力に到達したら、信号を制御部17に送信する。ここで、フィルタ供給ロール11aあるいはフィルタ回収ロール11bからの第1フィルタF1の巻き出しが限界に達したことを検出する方法を説明する。なお、ここでは、第1フィルタF1の両端部がフィルタ供給ロール11aあるいはフィルタ回収ロール11bの芯部材に固定されているものとする。まず、フィルタ供給ロール11aから第1フィルタF1が巻き出されフィルタ回収ロール11bに回収され、第1フィルタF1がもうこれ以上フィルタ供給ロール11aから巻き出されることが不可能になると、フィルタ回収ロール用モータ13bを回転させる駆動電流を増加しても、フィルタ供給ロール用モータ13a,フィルタ回収ロール用モータ13bとも回転しない。第1フィルタF1は移動しない状態となりエンコーダ12によって検出される第1フィルタF1の移動量は零となる。従って、フィルタ回収ロール用モータ13bの駆動電流値とエンコーダ12によって検出される第1フィルタF1の移動量を監視することによって、第1フィルタF1がフィルタ供給ロール11aからの巻き出し終了に達したか否かを判別することができる。また、フィルタ回収ロール11bに巻き取られた第1フィルタF1を巻き出しフィルタ回収ロール11aに逆方向に移動させる場合には、フィルタ供給ロール用モータ13aの駆動電流値とエンコーダ12から検出される第1フィルタF1の移動量を監視することによって、第1フィルタF1がフィルタ回収ロール11bからの巻き出し終了に達したか否かを判別することができる。第1フィルタF1の両端部がフィルタ供給ロール11a,フィルタ回収ロール11bに対して固定されていない場合には、遮光センサなどを用いる構成としてもよい。あるいは、第1フィルタの所定個所にマークなど他の部位とことなる物理量を検知できる手段を施し、該物理量を検出する装置を用いるようにしてもよい。図1では、逆洗用ノズル14を濾過槽7,貯留槽6の下流側に配置しているが、上流側に配置することもできる。また、第1フィルタF1を移動させる場合、フィルタ供給ロール用モータ13aとフィルタ回収ロール用モータ13bを同期して駆動させる。両モータを同期して駆動することによって第1フィルタF1に弛みが発生しないように移動させることができる。あるいは、濾過装置の構成あるいは第1フィルタの材質などによって弛みなどの問題が発生しない場合には、第1フィルタF1の移動方向側のモータのみを駆動し、他方のモータを自由回転状態にし、第1フィルタF1を引っ張るようにして移動させるようにしてもよい。図2-1,図2-2は、図1に示される放電加工における加工液濾過装置の第1の形態の動作を説明するフロチャートである。第1の形態は、第1フィルタF1の終了する位置に達する前に、濾過に使用した第1フィルタの部位を逆洗浄し、巻き戻し使用する形態である。以下、各ステップに従って説明する。●[ステップSA01]フィルタの使用回数を表すnの値を読み込む。使用回数nの値は初期値1が設定される。なお、nの値は、新品のフィルタロールをフィルタ供給ロール11aとする時に1とする。使用途中では、加工液濾過装置を停止するときにメモリに記憶されている使用回数nの値を、次に加工液濾過装置を起動するときに使用する。●[ステップSA02]フィルタポンプP2を運転し濾過を開始する。●[ステップSA03]圧力センサ25からの信号を受信する。●[ステップSA04]圧力センサ25からの信号は所定値を超えたかを判断し、所定値を超えた場合にはステップSA05へ移行し、超えていない場合にはステップSA03へ戻る。●[ステップSA05]フィルタポンプP2を停止する。●[ステップSA06]使用回数のnの値を1つ増加した値をnの値とする。なお、このnの値は、放電加工機の加工液濾過装置の動作を停止する場合には、不揮発性メモリに記憶する。●[ステップSA07]フィルタF1の一区間の使用限度回数nlimに達したか否かを判断し、使用限度に達したYESの場合にはステップSA08へ移行し、使用限度に達していないNOの場合には、ステップSA12に移行する。●[ステップSA08]使用回数nの値を1に戻す。●[ステップSA09]フィルタ回収ロール11bに1区間分巻き取り開始する。●[ステップSA10]フィルタ供給ロール11aからのフィルタF1の供給終了か否かを判断し、供給終了でないNO場合にはステップSA11へ移行し、供給終了のYES場合にはステップSA17へ移行する。●[ステップSA11]フィルタ回収ロール11bに1区間分巻き取り終了か否か判断し、巻き取り終了でないNO場合にはステップSA10へ戻り、巻き取り終了のYES場合にはステップSA02に戻り処理を継続する。●[ステップSA12]フィルタF1を逆洗用ノズル14の位置まで移動開始する。●[ステップSA13]フィルタ供給ロール11aからフィルタF1の供給終了か否か判断し、供給終了でないNO場合にはステップSA14へ移行し、供給終了のYES場合にはステップSA17へ移行する。●[ステップSA14]フィルタF1は逆洗用ノズル14の位置まで移動終了か否か判断し、移動終了でないNO場合にはステップSA13へ移行し、移動終了のYES場合にはステップSA15へ移行する。●[ステップSA15]逆洗用ノズル14を用いてフィルタF1を逆洗浄する。●[ステップSA16]逆洗したフィルタF1を濾過槽7の下に戻し、ステップSA02に戻る。●[ステップSA17]フィルタF1を移動させるために駆動しているモータの駆動を停止するとともに、放電加工機の制御装置にアラーム信号を送信し、処理を終了する。図3-1,図3-2は、放電加工における加工液濾過装置の第2の形態の動作を説明するフロチャートである。第2の形態は、第1フィルタF1の終了する位置に達した後に、濾過に使用した第1フィルタの部位を巻き戻し使用する形態である。以下、各ステップに従って説明する。●[ステップSB01]フィルタの使用回数を表すnの値を読み込む。nの値は初期値1が設定される。なお、nの値は、新品のフィルタロールをフィルタ供給ロール11aとする時に1とする。また、フィルタFの供給方向を表すフラグである使用方向フラグDirを読み込む。なお、本明細書では、使用方向フラグDirは、0が正回転方向、1は逆回転方向を意味し、初期値は0正回転方向に設定する。●[ステップSB02]フィルタポンプP2を運転し濾過を開始する。●[ステップSB03]圧力センサ25からの信号を受信する。●[ステップSB04]圧力センサ25からの信号は所定値を超えたかを判断し、所定値を超えた場合にはステップSB05へ移行し、超えていない場合にはステップSB03へ戻る。●[ステップSB05]フィルタポンプP2を停止する。●[ステップSB06]使用方向フラグDirは0正回転方向であるか否か判断し、0正回転方向の場合にはステップSB07へ移行し、0でないつまり、使用方向フラグDirが1であって逆回転方向場合にはステップSB12へ移行する。●[ステップSB07]フィルタ回収ロール11bに一区間分巻き取りを開始する。●[ステップSB08]フィルタ供給ロール11aからフィルタF1の供給終了か否か判断し、終了でないNO場合にはステップSB09へ移行し、終了のYES場合にはステップSB11へ移行する。●[ステップSB09]フィルタ回収ロール11bに一区間分巻き取り終了か否か判断し、巻き取り終了でないNO場合にはステップSB08へ戻り、巻き取り終了のYESの場合にはステップSB10へ移行する。●[ステップSB10]ノズル14を用いてフィルタF1を逆洗浄する。●[ステップSB11]使用方向フラグDirを1逆回転方向にし、ステップSB16へ移行する。●[ステップSB12]フィルタ供給ロール11aに一区間分巻き取り開始する。●[ステップSB13]フィルタ回収ロール11bからフィルタF1の供給終了か否か判断し、供給終了でないNOの場合にはステップSB14へ移行し、供給終了のYESの場合にはステップSB15へ移行する。●[ステップSB14]フィルタ供給ロール11aに一区間分巻き取り終了か否か判断し、巻き取り終了のYES場合にはステップSB10へ移行し、巻き取り終了でないNOの場合にはステップSB13へ戻る。●[ステップSB15]使用方向フラグDirを0つまり、正回転方向にし、ステップSB16へ移行する。●[ステップSB16]nの値を1増加した値を新たにnの値とする。●[ステップSB17]フィルタF1の使用限度nlimに到達したか否か判断し、到達していないNO場合にはステップSB06へ戻り、到達したYES場合にはステップSB18へ移行する。●[ステップSB18]フィルタF1を移動させるために駆動しているモータの駆動を停止するとともに、放電加工機の制御装置にアラーム信号を送信し、処理を終了する。本発明は、フィルタを逆洗浄することにより、フィルタの同じ場所を複数回使用することができる。フィルタの洗浄は逆洗浄以外でもよい。また、フィルタ供給ロールからフィルタが無くなった時に制御部にアラーム信号を送ることで、機械を停止することができ、水配管や冷却装置にスラッジが詰まることを防止することができる。"