"電気部品装着機による部品装着の精度の検査に用いられるダミーチップであって、吸着ノズルによって吸着される被吸着面と、基板に装着された状態においてその基板の表面に接して前記被吸着面と平行な装着面とを有し、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、それら被吸着面と装着面との少なくとも一方より大きな1つの外周線が輪郭として視認される形状を有するダミーチップ。前記被吸着面と前記装着面とを繋ぐ外周面が、それら吸着面および装着面の外形より突出する山形の面とされ、その面の頂が前記輪郭として視認される形状を有する請求項1に記載のダミーチップ。前記被吸着面と前記装着面との一方の外形が他方の外形よりも大きく、その一方の外形線が前記輪郭として視認される形状を有する請求項1に記載のダミーチップ。前記視認される輪郭が、長方形となるような形状を有する請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載のダミーチップ。当該ダミーチップの表面が梨地状となっている請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載のダミーチップ。請求項1ないし請求項5のいずれか1つに記載のダミーチップを用いて、電気部品装着機による部品装着の精度を検査する方法であって、吸着ノズルによって前記被吸着面が吸着されて保持された前記ダミーチップを、前記装着面側から撮像する第1撮像ステップと、その第1撮像ステップにおいて撮像された前記ダミーチップの撮像データに基づいて、前記吸着ノズルに対する前記ダミーチップの位置ズレ量を取得する第1位置ズレ量取得ステップと、前記吸着保持されたダミーチップを、前記取得された位置ズレ量に基づく補正を行って、基板上の設定位置に装着する装着ステップと、前記装着されたダミーチップを、前記被吸着面側から撮像する第2撮像ステップと、その第2撮像ステップにおいて撮像された前記ダミーチップの撮像データに基づいて、そのダミーチップの装着位置の前記設定位置からの位置ズレ量を取得する第2位置ズレ量取得ステップとを含む部品装着精度検査方法。上記特許文献に記載のダミーチップは、部品を模倣した直方体形状のものであり、1つの面が、吸着ノズルによって吸着される被吸着面となり、その1つの面と背向対向する面が、基板に装着された状態においてその基板の表面に接する装着面となる。そのダミーチップを用いた検査では、上述のように、装着面側から撮像されたダミーチップの撮像データに基づいて装着位置に関する位置補正が行われ、また、被吸着面側から撮像されたダミーチップの撮像データに基づいて、基板に対するダミーチップの装着位置に関する精度が評価される。したがって、被吸着面側若しくは装着面側から見た場合において、被吸着面と装着面とにズレ等が生じているときには、被吸着面側から撮像した撮像データと、装着面側から撮像した撮像データが、当該ダミーチップの形状に関して異なるものとなってしまい、部品装着の精度の検査以下、装着精度検査という場合があるを高精度で行うことができないことになる。つまり、高精度な装着精度検査を行い得ないことになるのである。一方で、隣り合う面どうしの直角精度が相当にまで高いダミーチップを作製することは、相当に困難であり、また、そのようなダミーチップを作製したとしても、そのダミーチップの作製コストは、相当に高いものとなってしまい、ひいては、そのダミーチップを用いた装着精度検査の検査コストは、相当に高いものとなってしまう。上記実情に鑑み、本願発明は、比較的安価であり、かつ、高精度な装着精度検査を行い得るダミーチップを提供することを課題とし、また、低コストで、かつ、高精度な装着精度検査を行い得る方法を提供することを課題とする。上記課題を解決するため、本願発明に係るダミーチップは、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、それら被吸着面と装着面との少なくとも一方より大きな1つの外周線が輪郭として視認される形状を有することを特徴とする。また、本願発明に係る部品装着精度検査方法は、本願発明に係るダミーチップを用い、吸着ノズルによって吸着保持されたそのダミーチップを装着面側から撮像した撮像データに基づいて、そのダミーチップの吸着ノズルに対する位置ズレ量を取得し、その取得した位置ズレ量に基づく補正を行って、基板上の設定位置にそのダミーチップを装着し、その装着されたダミーチップを被吸着面側から撮像した撮像データに基づいて、設定位置からのそのダミーチップの位置ズレ量を取得することを特徴とする。本願発明に係るダミーチップは、当該ダミーチップの作製精度を極端に高くせずとも、被吸着面側から撮像して得られたそのダミーチップの撮像データと、装着面側から撮像して得られたそのダミーチップの撮像データとが、当該ダミーチップの形状に関して一致するため、比較的安価であり、かつ、高精度な装着精度検査を行い得るダミーチップとなり、本願発明に係る部品装着精度検査方法は、そのダミーチップを用いていることから、低コストで、かつ、高精度な装着精度検査を行い得る方法となる。以下、請求可能発明を実施するための形態として、請求可能発明の実施例であるダミーチップおよび部品装着精度検査方法を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記発明の態様の項に記載された形態を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の形態で実施することができる。≪電気部品装着機≫まず、実施例のダミーチップおよび部品装着精度検査方法が適用可能な電気部品装着機の一例について説明する。本例の装着機は、図1に示すように、ベースモジュール10と、ベースモジュール10上に並んで配置された2つの装着モジュール12とを含んで構成されている。ちなみに2つの装着モジュール12の各々を、電気部品装着機と観念し、本装着機は、2つの装着機によって構成されたと考えることもできる。図では、2つの装着モジュール12の一方は、外装パネルが外された状態で示されている。2つの装着モジュール12の各々は、ベース14と、ベース14に上架されたビーム16と、ベース14に配設された基板コンベア装置18と、装着モジュール12の正面側においてベース14に交換可能に取り付けられてそれぞれが部品供給装置として機能する複数の部品フィーダ20と、基板コンベア装置18と複数の部品フィーダ20との間においてベース14に固定された部品撮像装置としての部品カメラ22と、複数の部品フィーダ20のいずれかから供給される部品を保持してその部品を基板Sに装着する装着ヘッド24a作業ヘッドの一種であると、ビーム16に配設されて装着ヘッド24aを移動させるヘッド移動装置26とを含んで構成されている。基板コンベア装置18は、基板を搬送するトラックレーンを2つ有しており、各トラックに基板を上流側から搬入し、各トラックから下流側に搬出する。基板コンベア装置18は、各トラックの下部に昇降可能な支持テーブルを有しており、所定の位置にまで搬入された基板Sは、上昇した支持テーブルによって支持され、その位置において固定される。つまり、基板コンベア装置18は、部品装着作業において基板Sを所定の作業位置に固定する基板固定装置として機能する。基板コンベア装置18は、各装着モジュール12に配設されているため、本装着機は、2レーンで部品装着を実施可能とされている。ちなみに、基板コンベア装置18による基板の搬送方向である基板搬送方向は、図に示すX方向Y方向,Z方向とともに矢印で図示である。複数の部品フィーダ20の各々は、部品供給装置として機能する。その各々には、部品保持テープ複数の部品がテープに保持されたものであり、部品テーピングとも呼ばれるが捲回されたリールが、セットされ、各々は、その部品保持テープを間欠的に送り出すことによって、所定の部品供給部位において、順次、部品を1つずつ供給する。なお、装着モジュール12は、複数の部品フィーダ20に代えて、いわゆるトレイ型の部品供給装置をも取付可能とされている。ヘッド移動装置26は、図2に示すように、いわゆるXY型移動装置であり、Y方向移動装置28とX方向移動装置30とによって構成されているX方向,Y方向,Z方向は、それぞれ図に矢印で示す。詳しく説明すれば、Y方向移動装置28は、ビーム16に固定された1対のYガイド32と、1対のYガイド32に案内されるYスライド34と、Yスライド34を移動させるYスライド移動機構36とを含んで構成されている。そして、X方向移動装置30は、Yスライド34に固定された基体38と、基体38に固定された1対のXガイド40と、1対のXガイド40に案内されるXスライド42と、Xスライド42を移動させるXスライド移動機構44とを含んで構成されている。装着ヘッド24aは、ヘッド取付体として機能するXスライド42に、脱着可能に取り付けられている。このような構成により、ヘッド移動装置26は、装着ヘッド24aを、部品フィーダ20の部品供給部位と基板コンベア装置18に固定された基板Sとにまたがって、それらの上方において、その基板Sの表面に沿って厳密には、基板Sの表面に平行な一平面内において移動させる図1を参照のこと。装着ヘッド24aは、いわゆるインデックス型の装着ヘッドであり。図3aに示すように、それぞれが、部品保持具として機能して負圧の供給圧力が大気圧よりも低下させられることを意味するによって部品を下端部において吸着保持する8つの吸着ノズル48aを有しており、それらは、リボルバ50に保持されている。リボルバ50は、間欠回転し、特定位置最も正面側の位置に位置する1の吸着ノズル48aが、ノズル昇降装置によって、昇降可能、つまり、上下方向Z方向に移動可能とされている。特定位置に位置する吸着ノズル48aは、下降した際に、負圧が供給されることによって、部品を保持し、また、負圧の供給が断たれることで、吸着保持している部品を離脱させる。つまり、装着ヘッド24aは、部品フィーダ20にて、順次8つの部品を保持し、基板Sにて、順次8つの部品を装着可能とされているのである。ちなみに、8つの吸着ノズル48aの各々は、ノズル回転装置によって、自身の軸線以下、ノズル軸線という場合がある回りに、つまり、ノズル軸線を中心に回転させられるようになっており、当該装着ヘッド24aは、各吸着ノズル48aによって保持されている部品の回転位置回転姿勢,方位と言うこともできるを、変更調整することが可能とされている。本装着モジュール12は、作業ヘッドを交換可能であり、装着ヘッド24a以外の別の種類の作業ヘッドをも取り付けることができる。図3bに示す装着ヘッド24bは、取付可能な装着ヘッド24の一例であり、いわゆるシングルノズル型の装着ヘッドである。この装着ヘッド24bは、部品保持具としての吸着ノズル48bが1つだけ設けられている。一度に1つの部品しか吸着保持することができないが、比較的大きな部品をも吸着保持可能とされている。この装着ヘッド24bも、ノズル昇降装置,ノズル回転装置を備えており、吸着ノズル48bは、部品の保持離脱の際に昇降させられ、かつ、部品の回転位置の変更調整のためにノズル軸線回りに回転させられる。ちなみに、作業ヘッドの交換は、レバー54の操作によって、ワンタッチで行えるようにされている図2参照。なお、以下の説明では、装着ヘッド24a,装着ヘッド24bを総称して装着ヘッド24と言う場合があり、吸着ノズル48a,吸着ノズル48bを総称して吸着ノズル48と言う場合がある。本装着モジュール12では、Xスライド42の下部に、基板コンベア装置18によって固定された基板Sの表面を撮像する基板撮像装置としての基板カメラ56が固定されている図1,図2参照。基板カメラ56は、装着ヘッド24とともに、ヘッド移動装置26によって基板Sの表面に沿って移動させられる。基板カメラ56は、基板Sに付された基板基準マークフィデューシャルマーク,基板Sに装着された部品等を撮像可能とされている。以下に、装着ヘッド24bが取り付けられていると仮定して、本装着モジュール12による部品装着作業を説明する。まず、基板Sが、基板コンベア装置18によって上流側から搬入され、所定の位置において固定される。次いで、基板カメラ56が、ヘッド移動装置26によって、基板Sに付された複数の基板基準マーク各々の上方にまで順次移動させられ、それら複数の基板基準マークの各々が、順次撮像される。それら複数の基板基準マークの各々の撮像データを基に、部品が装着される位置の基準となる基板座標系が、その基板Sについて設定される。基板座標系の設定の後、装着ヘッド24bが、ヘッド移動装置26によって、吸着ノズル48bが部品フィーダ20の部品供給部位の上方に位置する位置に、移動させられる。その位置において、吸着ノズル48bが下降させられて、部品が吸着ノズル48bによって吸着保持される。なお、吸着ノズル48bは、部品を、その部品の上面において吸着するため、以下の説明では、その面を被吸着面と言う場合がある。次に、吸着保持された部品が部品カメラ22の上方に位置する位置に、装着ヘッド24bが移動させられ、その位置において、吸着保持された部品が、下方から、つまり、装着面側から撮像される。その撮像によって得られた撮像データを基に、吸着ノズル48bに対する部品の位置ズレ量、つまり、保持された部品のノズル軸線からのズレ量保持位置ズレ量が取得される。このズレ量は、X方向のズレ量,Y方向のズレ量,回転方向のズレ量方位におけるズレ量であり、以下、θ方向のズレ量と言う場合があるが取得される。この撮像データに基づく保持位置ズレ量の取得手法は、よく知られた手法であるので、ここで説明は省略する。なお、装着面とは、部品が基板Sに装着された状態においてその基板Sの表面に接する面であり、上記被吸着面とは反対側の面、つまり、上記装着面と背向する面である。次いで、吸着保持された部品が基板Sの表面において装着されるべき位置として設定された設定位置装着予定位置の上方に位置する位置まで、装着ヘッド24bがヘッド移動装置26によって移動させられる。この際、上記取得された保持位置ズレ量に基づく補正が行われる。ちなみに、この補正の手法もよく知られた手法であるため、ここでの説明は省略する。そして、その位置において、吸着ノズル48bが下降させられ、部品が基板Sの表面に装着される。部品の吸着保持から装着までの一連の動作が繰り返され、予定されているすべての部品が基板Sに装着される。すべての部品が装着された後、基板Sの固定が解除され、基板コンベア装置18によって、その基板Sが下流側に搬出される。なお、装着ヘッド24aが取付られている場合には、上記一連の動作は、8つの部品が順次8つの吸着ノズル48aによって保持され、それら8つの部品が部品カメラ22によって一度に撮像されてそれらの各々についての保持位置ズレ量が一度に取得され、それら8つの部品の各々が、順次、保持位置ズレ量に基づく補正が行われつつ基板Sの表面に装着されるように行われる。≪部品装着精度検査方法≫装着モジュール12による部品の装着精度の検査は、部品を模したダミーチップを利用して行われる。ダミーチップは、部品と同様に、テープに保持されており、そのテープが捲回されたリールがセットされることによって、部品と同様に、部品フィーダ20から供給される。また、装着精度の検査においては、基板Sの代わりに、検査用基板であるダミー基板が使用される。部品の装着精度の検査では、上述した部品装着作業と同様に、ダミー基板が固定され、そのダミー基板の基板座標系が設定された後、上記一連の動作が行われて、部品フィーダ20から供給されるダミーチップがダミー基板に装着される。その動作の最中において、被吸着面において吸着ノズル48によって吸着保持されたダミーチップが、部品カメラ22によって、装着面側から撮像され第1撮像ステップ、その撮像データに基づいて保持位置ズレ量が取得され第1ズレ量取得ステップ、その取得された保持位置ズレ量に基づく補正を行って、そのダミーチップが、ダミー基板上の装着予定位置に装着される装着ステップ。部品の装着精度の検査では、装着されたダミーチップが、基板カメラ56によって、被吸着面側から撮像される第2撮像ステップ。詳しく言えば、装着ヘッド24が、ヘッド移動装置26によって、基板カメラ56が上記設定位置の上方に位置する位置に移動させられ、その位置において、ダミーチップが上方から撮像される。そして、その撮像によって得られた撮像データに基づいて、そのダミーチップが実際に装着された位置である装着位置の上記設定位置からの位置ズレ量、つまり、装着位置ズレ量が取得される第2位置ズレ量取得ステップ。撮像データに基づく装着位置ズレ量の取得手法も、よく知られた手法であるため、ここでの説明は省略する。なお、装着位置ズレ量は、保持位置ズレ量と同様、X方向ズレ量,Y方向ズレ量,θ方向ズレ量が含まれる。取得された装着位置ズレ量に基づいて、部品装着精度が評価される。≪ダミーチップ≫部品装着精度の検査に用いられる従来のダミーチップは、一般的な部品と同様、概して直方体をなしている。しかしながら、隣り合う面どうしが必ずしも直角であることは保障し得えず、極端には、例えば、図4aのような形状となる場合が多い。このダミーチップ100は、傾斜した若しくはあたかも拉げた形状となっている。このダミーチップ100は、被吸着面102の側から見た場合は、図4bのように、また、装着面104の側から見た場合には、図4cのように視認される。つまり、被吸着面102と装着面104とがズレており、そのダミーチップ100の輪郭が、被吸着面側から見た場合と、装着面側から見た場合とで、相違して視認されることになる。ちなみに、被装着面102と装着面104とが寸法においても差が生じている場合では、輪郭の相違は、さらに大きくなる。そのように視認されるダミーチップを用いて、装着面側からの撮像による撮像データを基に保持位置ズレ量に関する補正を行い、被吸着面側からの撮像による撮像データに基に装着位置ズレ量を取得した場合、部品装着精度の適切な評価が行い得ないこととなる。つまり、装着機の装着精度を正確には検査し得ないことになるのである。そこで、第1実施例のダミーチップは、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、それら被吸着面と装着面との少なくとも一方より大きな1つの外周線が輪郭として視認されるような形状とされている。詳しく言えば、いずれから見た場合にも、被吸着面と装着面との両方より大きな1つの外周線が輪郭として視認される形状をなしている。具体的には、例えば、図5aに斜視図を、図5bに平面図を、図5cに正面図を、図5dに側面図を示すような形状をなしている。このダミーチップ110では、被吸着面112と装着面114とが互いに平行であり、それら被吸着面112と装着面114とを繋ぐ外周面が116が、被吸着面112と装着面114の外形から突出する山形の面とされている。言い換えれば、被吸着面112および装着面114に直角な断面が、同じ長さの下底を有する2つの台形がそれら下底どうしを合わせるようにして重ね合わされた形となるような形状をなしている。極端に言えば、断面が算盤珠の断面のような形状をなしている。このダミーチップ110は、被吸着面側から見た場合であっても、装着面側から見た場合であっても、山形の面とされた外周面116の頂118が、当該ダミーチップ110の長方形の輪郭として視認される。詳しく言えば、頂を結ぶ線が長方形の外周線として視認される。つまり、被吸着面側からの撮像データも、装着面側からの撮像データも、同じ形状に関するデータとなり、それらのデータに基づいて、保持位置ズレ量に関する補正を行い、装着位置ズレ量を取得することで、部品装着精度の適切な評価を行うことができ、ひいては、装着機の装着精度を正確に検査することが可能となるのである。また、第2実施例のダミーチップとして、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、それら被吸着面と装着面との一方より大きな1つの外周線が輪郭として視認されるような形状、詳しく言えば、被吸着面と装着面との一方の外形が他方の外形よりも大きく、その一方の外形線が輪郭として視認される形状を有するダミーチップを採用することができる。具体的には、例えば、図6aに斜視図を、図6bに平面図を、図6cに正面図を、図6dに側面図を示すような形状のダミーチップ120を採用することが可能である。このダミーチップ120は、被吸着面122と装着面124とが互いに平行であり、装着面124の外形が被吸着面122の外形より大きく、それら被吸着面122と装着面124とを繋ぐ外周面が126が、被装着面122から装着面124に向かって拡がるような傾斜面とされている。簡単に言えば、被吸着面122および装着面124に直角な断面が、台形となるような形状を有している。このダミーチップ120は、被吸着面122の外形よりも装着面124の外形の方が大きく、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、装着面124の外形線128が、外周線として、つまり、当該ダミーチップ120の長方形の輪郭として視認される。このダミーチップ120も、先のダミーチップ110と同様、被吸着面側からの撮像データも、装着面側からの撮像データも、同じ形状に関するデータとなり、それらのデータに基づいて、保持位置ズレ量に関する補正を行い、装着位置ズレ量を取得することで、部品装着精度の適切な評価を行うことができ、ひいては、装着機の装着精度を正確に検査することが可能となるのである。なお、上記ダミーチップ110,120は、いずれも、隣り合う面どうしの角、つまり、稜が、明確な線として形成されている。簡単に言えば、いわゆるピン角を有するように形成されているが、図7a,図7bに示すように、一部の角が丸められていてもよく、すべての角が丸めらていてもよい。また、ダミーチップ120は、上下を逆にして用いてもよい。言い換えれば、被吸着面122が装着面となり、装着面124が被吸着面となるようにして用いてもよい。さらに、ダミーチップは、表面が梨地状とすることができる。部品カメラ22,基板カメラ56は、一般的には、光源を有し、その光源から部品若しくは基板に光を照射して、撮像を行う。表面を梨地状に形成することにより、ダミーチップ表面の光の反射が抑えられ、輪郭に関する撮像データを精度よく取得することが可能となる。"