"有機溶媒中で一酸化炭素と硫黄を反応させて硫化カルボニルを製造する方法であって、触媒としてアミジン塩基、フォスファゼン塩基、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、アルキル基またはアラルキル基で置換された4級アンモニウムハイドロオキサイド、脂肪族環状2級アミンおよび脂肪族2級アミンからなる群から選択される少なくとも1種の塩基性有機化合物を用いることを特徴とする方法。塩基性有機化合物がアミジン塩基、フォスファゼン塩基、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンおよび7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンから選ばれる、請求項1に記載の硫化カルボニルを製造する方法。アミジン塩基が1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデカ-7-エンおよび1,5-ジアザビシクロ[4.3.0]ノナ-5-エンからなる群から選ばれ、フォスファゼン塩基がアルキルイミノ-トリスジメチルアミノホスホランただし、アルキルは炭素数1~8個のアルキル基である。およびアルキルイミノ-トリスピロリジノホスホランただし、アルキルは炭素数1~8個のアルキル基である。からなる群から選ばれる、請求項1または2に記載の硫化カルボニルを製造する方法。しかしながら、上記の1~6の硫化カルボニルの製造方法は、以下の点で依然として改善の余地がある。1、2、3の製造方法は、液相で、比較的低温でも硫黄と一酸化炭素から硫化カルボニルが生成することを示しているが、選択性、品質についてはなんら述べられていない。1や2の方法は、溶媒に脂肪族アルコールやグリコール類を用いることから、副生成物の生成は避けられない。4の製造方法は、触媒量のアルカリの存在で、比較的低温で、望ましくは80°Cから150°Cで、硫黄と一酸化炭素を反応させるが、一酸化炭素の圧力が、1.38MPa200psig以上、望ましくは3.44MPa500psig以上の圧力が開示されており、比較的高い圧力が必要である。さらに、実施例は、大部分メタノールを溶媒に用いて行われており、溶媒は、メタノールが最適と思えるが、アルカリ条件では、生成した硫化カルボニルがアルカリ条件下で反応するおそれがあり、副生成物を伴うおそれがある。5の製造方法は、まず、一酸化炭素と、硫黄と2当量の2級アミンからチオカルバミン酸アミン塩を作り、これを熱分解する、という2段反応であり、しかも、有害性の高いセレンを用いる必要があり、有利な工業生産の方法とはいえない。6の製造方法は、二硫化炭素に溶解した硫黄が一酸化炭素と反応して硫化カルボニルが生成することを前提に、製造プロセスの組み立て方法が開示されているが、反応条件、触媒の有無については何も記載されていない。本発明は、上記のような従来技術に伴う問題を解決しようとするものであって、有機系反射防止膜のプラズマによる高異方性、高選択性エッチング用のエッチングガスとして注目される重要な化合物である硫化カルボニルCOSを効率よく簡便に、かつ安価に製造する方法を提供することを目的としている。高純度の硫化カルボニルを製造する際、選択性と熱的安定性を考慮して、より低温での反応を実現すべく、鋭意検討を重ねた結果、塩基性有機化合物を触媒として用い、硫黄と一酸化炭素とを適当な有機溶媒を用いて反応することにより、穏やかな条件で、高選択率で硫化カルボニルを製造しうることを見出し、本発明に至った。すなわち、本発明は、有機溶媒中で一酸化炭素と硫黄を反応させて硫化カルボニルを製造する方法であって、触媒としてアミジン塩基、フォスファゼン塩基、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、アルキル基またはアラルキル基で置換された4級アンモニウムハイドロオキサイド、脂肪族環状2級アミンおよび脂肪族2級アミンからなる群から選択される少なくとも1種の塩基性有機化合物を用いることを特徴とする。さらに具体的には、本発明は、以下の[1]~[3]項に関する。[1]有機溶媒中で一酸化炭素と硫黄を反応させて硫化カルボニルを製造する方法であって、触媒としてアミジン塩基、フォスファゼン塩基、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、アルキル基またはアラルキル基で置換された4級アンモニウムハイドロオキサイド、脂肪族環状2級アミンおよび脂肪族2級アミンからなる群から選択される少なくとも1種の塩基性有機化合物を用いることを特徴とする方法。[2]塩基性有機化合物がアミジン塩基、フォスファゼン塩基、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンおよび7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンから選ばれる、[1]に記載の硫化カルボニルの製造方法。[3]アミジン塩基が1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデカ-7-エンおよび1,5-ジアザビシクロ[4.3.0]ノナ-5-エンからなる群から選ばれ、フォスファゼン塩基がアルキルイミノ-トリスジメチルアミノホスホランただし、アルキルは炭素数1~8個のアルキル基である。およびアルキルイミノ-トリスピロリジノホスホランただし、アルキルは炭素数1~8個のアルキル基である。からなる群から選ばれる、[1]または[2]に記載の硫化カルボニルの製造方法。本発明の製造方法によれば、硫化カルボニルCOSを、効率よく簡便に、かつ安価に製造することができる。本発明は、有機溶媒中、塩基性有機化合物を触媒として用いて、一酸化炭素と硫黄とを反応することを特徴とする硫化カルボニルの製造方法である。本発明において使用する触媒は、アミジン塩基、フォスファゼン塩基、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンTBD、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンMTBD、アルキル基またはアラルキル基で置換された4級アンモニウムハイドロオキサイド、脂肪族環状2級アミンおよび脂肪族2級アミンからなる群から選択される少なくとも1種の塩基性有機化合物である。アミジン塩基とは、アミジン骨格を有する塩基性有機化合物をいう。ここで、アミジン骨格とは式1で表される構造をいう。アミジン塩基の具体例としては、1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデカ-7-エンDBU、1,5-ジアザビシクロ[4.3.0]ノナ-5-エンDBN等が挙げられる。フォスファゼン塩基とは、フォスファゼン骨格を有する塩基性有機化合物をいう。ここで、フォスファゼン骨格とは式2で表される構造をいう。フォスファゼン塩基の具体例としては、アルキルイミノ-トリスジメチルアミノホスホランただし、アルキルは炭素数1~8個のアルキル基である。、アルキルイミノ-トリスピロリジノホスホランただし、アルキルは炭素数1~8個のアルキル基である。等が挙げられる。脂肪族2級アミンとしては、ジ-n-プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ-n-ブチルアミン等が挙げられる。脂肪族環状2級アミンとしては、ピロリジン、ピペラジン、ピペリジン、モルフォリン等が挙げられる。アルキル基またはアラルキル基で置換された4級アンモニウムハイドロオキサイドにおけるアルキル基は、好ましくは炭素数1~4個のアルキル基であり、その具体例としては、メチル、エチル、n-プロピル、n-ブチルが挙げられる。アルキル基またはアラルキル基で置換された4級アンモニウムハイドロオキサイドにおけるアラルキル基は、好ましくは炭素数7~10個のアラルキル基であり、その具体例としては、ベンジル、パラメチルベンジルが挙げられる。アルキル基またはアラルキル基で置換された4級アンモニウムハイドロオキサイドの具体例としては、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、ベンジルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラ-n-ブチルアンモニウムハイドロオキサイドが挙げられる。以上の塩基性有機化合物のなかでも、アミジン塩基、フォスファゼン塩基、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンTBDおよび7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンMTBDが好ましい。本発明の方法に用いる有機溶媒としては、トルエン、キシレンのような芳香族炭化水素、ヘキサン、オクタンのような脂肪族飽和炭化水素、DMF、アセトニトリル、N-メチルピロリドンのような非プロトン性極性溶媒、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、アニソールのようなエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチルのようなエステル類、メタノールのようなアルコール類が適している。ケトン類や脂肪族塩素系溶媒は、塩基性有機化合物触媒により分解、縮合等のおそれがあり、望ましくない。有機溶媒中の触媒の濃度は、0.005~2.0mol/Lが好ましく、より好ましくは0.02~1mol/Lの範囲で用いられる。反応温度は、通常50°C以上で進行し、150°C未満で行う。反応圧力は、常圧以上で行い、10MPa未満が適当である。反応の形態としては、限定するものではないが、たとえば、適当な溶媒に触媒を共存させ、硫黄を懸濁させ、撹拌下、一酸化炭素を反応器に導入することにより反応させる。生成する硫化カルボニルは、気相を冷却し、凝縮することにより、未反応の一酸化炭素、溶媒、副生物と分離される。あるいは、気相を連続的に取り出し、冷却することにより、凝縮し、未反応の一酸化炭素と分離される。反応は、バッチでも連続でも可能であり、連続で行う場合には、消費された硫黄と一酸化炭素を連続的に反応器に供給される。加圧下で反応を行うことにより、生成硫化カルボニルを効率的に分離が可能になる。加圧された反応ガスを冷却することにより、硫化カルボニルを凝縮させ、一酸化炭素と分離し、凝縮硫化カルボニルを更に精留することにより容易に高純度の硫化カルボニルをえることが出来る。水分の存在は極力避けるべきであり、硫化カルボニルが炭酸ガスと硫化水素に分解し、生成物の純度を下げ、触媒の失活を招く恐れがある。以下、本発明の硫化カルボニルの製造方法について実施例を示して説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。[実施例1]トルエン20mLおよび硫黄2.0g62mmolを200mLのオートクレーブに入れ、触媒として、1,8-ジアザビシクロ[5,4,0]-ウンデカ-7-エンDBU1.14g7.5mmolを加え、撹拌し、反応温度を64°Cに設定し、一酸化炭素を0.8MPaまで圧入し、反応を開始した。260分後、圧力は0.6MPaになり、反応が終了した。反応終了後、常圧に戻しつつ、反応容器のガスをジプロピルアミンのテトラヒドロフラン溶液に吸収させ、ヨウ化メチルを加え生成したジプロピルチオカルバミン酸メチルをHPLCで定量分析した結果、54mmolのCOSが生成しており、加えた一酸化炭素量とほぼ一致した。すなわち、COSの収率はほぼ100であった。[実施例2~12]実施例1と同様の反応を、DBUの代わりに各種塩基性有機化合物を用いて行った。結果を実施例1とあわせ、表1に示した。表中の略称は次の化合物を表す。DBU:1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデカ-7-エンDPA:ジ-n-プロピルアミンDBN:1,5-ジアザビシクロ[4.3.0]ノナ-5-エンMTBD:7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンTBD:1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンBEMP:tert-ブチルイミノ-トリスジメチルアミノホスホランBTTP:tert-ブチルイミノ-トリスピロリジノホスホランTMAH:テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドBTMAH:ベンジルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイド[実施例13]ジメチルホルムアミドDMF20mLおよび硫黄2.0g62mmolを200mLのオートクレーブに入れ、触媒として、1,8-ジアザビシクロ[5,4,0]-ウンデカ-7-エンDBU76mg0.5mmolを加え、撹拌し、反応温度を68°Cに設定し、一酸化炭素を0.8MPaまで圧入し、反応を開始した。120分後、圧力は0.6MPaになり、反応が終了した。反応終了後、常圧にもどしつつ、反応容器のガスをジエチルアミンのテトラヒドロフラン溶液に吸収させ、ヨウ化メチルを加え生成したジエチルチオカルバミン酸メチルをGCで定量分析した結果、54mmolのCOSが生成しており、加えた一酸化炭素量とほぼ一致した。"