透明基板上に形成された周期的な凹凸部を備える回折素子であって、凸部は透明基板面に平行に配された光学多層膜を備え、また少なくとも凹部は透明基板とは屈折率の異なる充填材によって充填されている回折素子において、前記凸部は屈折率の高い層H層と低い層L層の周期構造を有する前記光学多層膜であり、前記光学多層膜の屈折率の算術平均値と前記凹部に充填された充填剤の屈折率との差が0.12以下であることを特徴とする回折素子。前記光学多層膜の屈折率の算術平均値は、H層の屈折率nHとH層のそれぞれの層の厚みdHの積の和と、L層の屈折率nLとL層のそれぞれの層の厚みdLの積の和とを合計した値を、すべてのH層とすべてのL層の合計厚みで割った値である。前記光学多層膜が、交互に重ねられたSiO2膜およびTiO2膜を備えている請求項1記載の回折素子。光源と、前記光源からの出射光を光記録媒体へ集光するための対物レンズと、集光され前記光記録媒体によって反射された出射光を検出するための光検出器とを備える光ヘッド装置において、前記光源と前記対物レンズとの間の光路中に請求項1または2記載の回折素子が配置されている光ヘッド装置。本発明の目的は、上記従来技術の欠点を解決し、回折効率の波長依存性を制御できる回折素子を提供することにある。また、本発明の回折素子を複数波長を用いた光ヘッド装置に用いることにより上記従来技術の欠点を解決し、設計の自由度を広げた光ヘッド装置を提供することにある。本発明は、透明基板上に形成された周期的な凹凸部を備える回折素子であって、凸部は透明基板面に平行に配された光学多層膜を備え、また少なくとも凹部は透明基板とは屈折率の異なる充填材によって充填されている回折素子において、前記凸部は屈折率の高い層H層と低い層L層の周期構造を有する前記光学多層膜であり、前記光学多層膜の屈折率の算術平均値と前記凹部に充填された充填剤の屈折率との差が0.12以下である回折素子。前記光学多層膜の屈折率の算術平均値は、H層の屈折率nHとH層のそれぞれの層の厚みdHの積の和と、L層の屈折率nLとL層のそれぞれの層の厚みdLの積の和とを合計した値を、すべてのH層とすべてのL層の合計厚みで割った値である。また、前記光学多層膜が、交互に重ねられたSiO2膜およびTiO2膜を備えている上記の回折素子を提供する。また、光源と、前記光源からの出射光を光記録媒体へ集光するための対物レンズと、集光され前記光記録媒体によって反射された出射光を検出するための光検出器とを備える光ヘッド装置において、前記光源と前記対物レンズとの間の光路中に前記回折素子が配置されている光ヘッド装置を提供する。本発明の回折素子は透明基板上に周期的に重ねた酸化物などの光学多層膜を用いて凹凸状の回折格子を形成したものであり、この回折素子は回折効率の波長依存性をほとんど一定にするなど、回折効率を制御できる。本発明の回折素子の一例の概念的断面図を図1に示す。図1において、1は光学多層膜であり、透明基板3上に基板面に平行に形成された複数の層からなり凸部を構成する。図1では簡単のために2種の材料による5層の膜となっているが、膜の材料、種類および層数は所望の回折効率が得られるように設計すればよい。2は透明基板とは屈折率の異なる充填材であり、透明基板3上の光学多層膜1による凸部の間すなわち凹部を充填してもよいし、凹部のみならず凸部にも充填してもよい図2参照。符号の意味は、図1と同じ。。充填材は固体または液体からなり、例えばAu、Alなどの金属材料、SiO2、ZrO2、MgF2などの酸化物およびフッ化物材料、H2Oなどの無機物材料や、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの有機物材料、さらに、液晶などの複屈折性材料などが使用できる。また、透明基板としては、ガラス、プラスチックなどの基板を使用できる。光学多層膜の材料としては、SiO2、SiON、ZrO2、TiO2、Al2O3、CeO2、MgO、MgF2などの無機物材料を用いることができる。また、有機物材料であってもよい。多層膜の形成方法としては、真空蒸着法、スパッタ法などを挙げることができる。また、透過波面収差を改善するために、図3および図4に示すようにガラスまたは樹脂製の表面がフラットなカバー4を回折素子の充填材側に設けることが好ましい。図5には、本発明の回折素子を透明基板3の表面と裏面との両面に形成した例を示す。11は第2の光学多層膜であり、12は第2の充填材である。ここでは、両面に形成する回折素子の回折効率の波長依存性や、格子ピッチなどを変化させることによる回折方向の調整など、設計の自由度を増加できて好ましい。また、この回折素子と他の光学素子とを積層して一体化してもよい。他の光学素子としては、例えば、波長板、通常の回折格子、偏光性回折格子、液晶を用いた光学素子、位相制御素子などである。これらの光学素子と本発明の回折素子とを一体化して一体化回折素子とすることにより、ひとつの一体化回折素子でありながら複数の機能を有するとともに、光ヘッド装置に組み込んだ場合光学部品点数を削減できて好ましい。本発明の回折素子における光学多層膜の構成材料の第1設計例を表1に示す。例えばガラスからなる透明基板上に、最下層と最上層のAl2O3膜を除いて、SiO2膜とTiO2膜とが13層交互に重ねられ、Al2O3膜を加えると合計15層の光学多層膜とされ、光学多層膜は周期的な凹凸形状に加工されて、格子が作製した後、屈折率1.93の充填材により格子の凹部が充填され回折素子が構成された図1を参照。この回折素子における1次の回折効率の波長依存性の例を図6に示す。図6には、比較例として従来の表面凹凸型の回折格子の1次の回折効率も示した。このように、本発明の光学多層膜により凹凸状の回折格子を形成したものは、波長350nmから900nmまでの光に対してほぼ理論限界の40近い回折効率を示すことがわかる。なお、表1に用いたSiO2膜、TiO2膜、Al2O3膜の屈折率は、それぞれ異なり順に1.47、2.27、1.56であった。ただし成膜条件により屈折率が設計値と若干異なる場合には、膜厚を調整する。本発明の回折素子における光学多層膜の構成材料の第2設計例を表2に示す。上記と同様例えばガラスからなる透明基板上に、SiO2膜とTiO2膜とが交互に重ねられ29層の光学多層膜とされ、光学多層膜は周期的な凹凸形状に加工されて、格子を作製した後、屈折率1.51の充填材により格子の凹部が充填され回折素子が構成された図2を参照。この回折素子における1次の回折効率の波長依存性の例を図7に示す。図7には比較例として従来の表面凹凸型の回折格子の回折効率も示した。このように、本発明の光学多層膜に凹凸状の回折格子を形成したものは、波長790nmの光はほとんど回折せず透過し、波長650nmの光は約6回折することが分かる。さらに、600nmから670nmまでの広い波長帯域にわたり回折効率の変化がほとんどないことが分かる。なお、表2に用いたSiO2膜、TiO2膜の屈折率は、それぞれ異なり順に1.48、2.32であった。ただし上記と同様、成膜条件により屈折率が設計と若干異なる場合には、膜厚を調整する。上記の回折素子を、例えばDVD系波長650nmとCD系波長790nm光ディスク用の光源を有する光ヘッド装置に搭載した場合について説明する。例えば、図8に示すようにコリメートレンズ24と光源21、22との間に、本発明の回折素子23を配置する。この回折素子を図5を参考にして説明する。例えば第1の光学多層膜1および第1の充填材2よりなる第1の回折部分透明基板3の上側は、波長650nmの光を約6回折し、波長790nmの光をほぼ100透過するように設計し、第2の多層膜11および第2の充填材12よりなる第2の回折部分透明基板3の下側は、波長790nmの光を約6回折し、波長650nmの光をほぼ100透過するように設計する。これにより、回折素子23は各波長の3ビームを効率よく発生できる。回折素子23によって3ビームに分割された各光源からの光は、コリメートレンズ24、ビームスプリッタ25を透過し、対物レンズ26により光記録媒体27に集光される。光記録媒体27にて反射された光は、対物レンズ26、ビームスプリッタ25の順に戻り光検出光学系28により検出される。回折素子23により得られた各波長の光の3ビームは、トラッキングに使用できる。また、光通信に使用される波長950nm~1700nmの近赤外光に対しても本発明の回折素子を使用でき、特に波長1550nm帯の光を使用する波長分割多重通信の構成部品として使用できる。例えば広い波長帯域で回折効率が一定の回折素子を使用したビームスプリッタや、回折効率の波長分散を調整したゲインイコライザなどを挙げることができる。本実施例を図9に基づいて説明する。透明基板である石英ガラス基板31の一方の表面にフォトリソグラフィとエッチングの技術によりレリーフ型の第1の回折格子32を作製した。格子ピッチは20μm、デューティ比は1/2、深さは約1.4μmとし、波長650nmの光は回折せず透過し、波長780nmの光は、10程度回折するようにした。また、レリーフ型の回折格子の凹凸部上に真空蒸着法により波長650nmおよび波長790nmの光に対する反射防止膜を形成した。このレリーフ型の回折格子は、波長650nmの光をほとんど回折せず0次光の回折効率すなわち透過率が約90、一方波長790nmの光を1次回折光として約10回折し、0次光の回折効率が約55であった。この石英ガラス基板31のレリーフ型の回折格子32を作製した面とは反対側の面には、真空蒸着法により表2に示した光学多層膜である誘電体多層膜を成膜した。上記と同様にして、フォトリソグラフィとエッチングの技術により、誘電体多層膜凸部33を有する第2の回折格子を作製した。格子ピッチは20μm、デューティ比は1/2とし、エッチングは基板の石英ガラスが露出した段階で止め、誘電体多層膜のみ凹凸になるようにした。ガラス基板の一方の面に、真空蒸着法により波長650nmおよび波長790nmの光に対する反射防止膜を形成してカバーガラス35を作製した。第2の回折格子の凹部に屈折率1.51のアクリル系の接着剤34を充填材として充填し、上記カバーガラス35をこの上に重ねて接着剤34によりカバーガラス35を接着して、図9に示したような回折素子を作製した。この回折素子の透過率および回折効率を調べたところ、波長650nmの光に対しては、0次光の回折効率が約70、1次光の回折効率が約6、一方波長790nmの光に対しては0次光の回折効率が約54、1次光の回折効率が約9であった。そして、いずれの波長の光についても効率よく3ビームを得ることができた。この回折素子を、図8に示した光ヘッド装置中の回折素子23の位置に搭載した。光源21として、DVD用の光源である波長650nmのLD、光源22としてCD用の光源である波長790nmのLDを使用したところ、790nmの光、および650nmの光を効率よく各々3ビームに分けることができ、さらに光ヘッド装置の光利用効率を高めことができた。そして、この3ビームは光ヘッド装置のトラッキングに使用され、光ディスクからの情報の再生時に良質の再生特性が得られた。