"繊維シートを用意する工程と、前記繊維シートを折り畳む工程、薬液を前記繊維シートに含浸させる工程、前記繊維シートを切断する工程および前記繊維シートを積層する工程を含む後工程とを含むウェットティッシュの製造方法であって、前記繊維シートの水分率を上昇させる工程と、水分率を上昇させた前記繊維シートに高圧水蒸気を噴射する工程とを、前記繊維シートを用意する工程と前記後工程との間に含むウェットティッシュの製造方法。前記繊維シートの水分率を上昇させる工程は、前記繊維シートの水分率を10~45に上昇させる請求項1に記載のウェットティッシュの製造方法。前記繊維シートの水分率を上昇させる工程は、前記繊維シートに水または水溶液を放射または含浸させることによって前記繊維シートの水分率を上昇させる請求項1または2に記載のウェットティッシュの製造方法。前記高圧水蒸気の蒸気圧力は0.3~1.5MPaである請求項1~3のいずれか1項に記載のウェットティッシュの製造方法。前記シートに高圧水蒸気を噴射する工程は、前記繊維シートを通過した前記高圧水蒸気を、-1~-12kPaの吸引力で吸引する請求項4に記載のウェットティッシュの製造方法。前記シートに高圧水蒸気を噴射する工程後の繊維シートの水分率が0~20である請求項1~5のいずれか1項に記載のウェットティッシュの製造方法。前記シートに高圧水蒸気を噴射する工程後の繊維シートの厚さが、繊維シートを用意する工程で用意された繊維シートの厚さよりも30以上厚い請求項1~6のいずれか1項に記載のウェットティッシュの製造方法。前記シートに高圧水蒸気を噴射する工程は、高圧水蒸気が蒸気ノズルから噴射され、前記蒸気ノズルは、前記高圧水蒸気の温度に比べて20°C以上高い温度に加熱される請求項1~7のいずれか1項に記載のウェットティッシュの製造方法。前記繊維シートの水分率を上昇させる工程は、サクションドラム上で前記繊維シートの水分率を上昇させ、前記高圧水蒸気を噴射する工程は、前記サクションドラム上で前記繊維シートに高圧水蒸気を噴射する請求項1~8のいずれか1項に記載のウェットティッシュの製造方法。ウェットティッシュの拭き取り性能を向上させるために、嵩高のウェットティッシュが望まれている。本発明は、上記課題を解決するため、以下の構成を採用した。すなわち、本発明は、繊維シートを用意する工程と、繊維シートを折り畳む工程、薬液を繊維シートに含浸させる工程、繊維シートを切断する工程および繊維シートを積層する工程を含む後工程とを含むウェットティッシュの製造方法であって、繊維シートの水分率を上昇させる工程と、水分率を上昇させた繊維シートに高圧水蒸気を噴射する工程とを、繊維シートを用意する工程と後工程との間に含む。本発明によれば、嵩高のウェットティッシュを製造することができる。以下、図を参照して本発明の一実施形態の不織布の製造方法を説明する。図1は、本発明の一実施形態におけるウェットティッシュの製造方法によって製造されたウェットティッシュを包装した包装体の斜視図であり、図2は、図1のA-A線断面図である。図3は、折り畳まれた状態のウェットティッシュ4を示す斜視図であり、図4は、ウェットティッシュの一部を拡大した斜視図である。包装体1は、開口部3を有する本体部2と、本体部2に収容されているウェットティッシュ4と、本体部2の開口部3を覆うラベル部材5とを含む。本体部2は、袋状になっており、開口部3がラベル部材5で覆われたとき、ウェットティッシュ4を密閉する。これにより、本体部2は、薬剤を含浸したウェットティッシュ4が乾燥することを抑制する。ウェットティッシュ4は、本体部2の開口部3を通して取り出すことができる。ラベル部材5は、本体部2から剥がれた後も、再び本体部2に粘着して開口部3を覆うことができるようにするため、ラベル部材5には、本体部2に対して着脱自在な粘着剤が塗布されている。図2に示すように、本体部2の中では、ウェットティッシュ4は、折り畳まれた状態で積層されている。また、図2および図3に示すように、ウェットティッシュ4は、断面が略Z字状になるように折り畳まれており、さらにウェットティッシュ4の開口部側の端上端の部分41も断面が略Z字状になるように折り畳まれている。ウェットティッシュ4の折り線の方向が、後述の製造方法で、ウェットティッシュ4が移動する機械方向MDに相当し、折り畳まれている方向が機械方向MDと直交する幅方向CDに相当する。ウェットティッシュ4の上端のこの略Z字状に折り畳まれている部分41をつまむことによって、ウェットティッシュ4を開口部5から容易に取り出すことができる。図4に示すように、ウェットティッシュ4は、所定方向に延びる複数の高嵩部42と隣接する高嵩部42の間に設けられた溝部43とを有する。高嵩部42の延びる方向は、後述の製造方法で、ウェットティッシュ4が移動する機械方向MDに相当し、複数の高嵩部42が並ぶ方向は、機械方向MDと直交する幅方向CDに相当する。ウェットティッシュ4の高嵩部42では、繊維の密集度が高く、このため目付が高い。一方、ウェットティッシュ4の溝部43では、繊維の密集度が低く、このため目付が低い。高嵩部42の目付は高いので、ウェットティッシュ4で対象物を拭いたとき、高嵩部42は対象物のよごれを容易にかき取ることができる。一方、溝部43の目付は低いので、ウェットティッシュ4で対象物を拭いたとき、溝部43は対象物のよごれを容易に吸収することができる。したがって、この目付の高い高嵩部42と目付の低い溝部43との組み合わせによって、対象物の汚れを効率よく拭き取ることができる。次に、図5を参照して、本発明の一実施形態におけるウェットティッシュ4の製造方法を説明する。本発明の一実施形態におけるウェットティッシュ4の製造方法は、繊維シートを用意する工程、繊維シートの水分率を上昇させる工程、繊維シートに高圧水蒸気を噴射する工程、繊維シートを折り畳む工程、薬液を繊維シートに含浸させる工程、繊維シートを切断する工程および繊維シートを積層する工程を含む。図5は、本発明の一実施形態におけるウェットティッシュ4の製造方法で使用するウェットティッシュの製造装置の一例を示す概略図である。繊維シートを用意する工程原反ロール11,12から繊維シート51が搬送コンベア16に供給される。繊維シート51は、スパンレース法やエアレイド法などで作製された不織布であり、この不織布の目付は25~100g/m2であることが好ましい。また、繊維シート51は、後の工程で高圧水蒸気の噴射によって変形され、繊維シート51の繊維は再びほぐれる必要があるので、原反ロール11,12の不織布は、ウォータージェットパンチによってボンディングされていることが好ましい。繊維シート51に薬液を含浸させるので、繊維シート51に用いる不織布は親水繊維を含む。搬送コンベア16には、耐熱性の高いポリフェニレンサルファイドPPSが使用されることが好ましい。後述の繊維シート51の水分率を上昇させる工程および高圧水蒸気を繊維シート51に噴射させる工程によって、繊維シート51の嵩を高くすることができる。したがって、嵩高のウェットティッシュを作製する場合でも、原反ロール11,12の繊維シートの嵩は低くてもよい。これにより、巻き長が長い原反ロール11,12を使用することができ、原反ロール11,12の取り替え回数を少なくすることができる。したがって、本発明の一実施形態におけるウェットティッシュ4の製造方法により、生産効率を高めることができる。繊維シートの水分率を上昇させる工程搬送コンベア16に供給された繊維シート51は、水を放射するスプレー13の下方に移動し、スプレー13から水を適用される。図6に示すように、スプレー13のノズル131は繊維シート51の幅方向CDに並べて配置されている。これにより、繊維シート51の水分率が上昇する。ここで、水分率とは、乾燥した繊維シート51の質量を100としたときの繊維シートに含有している水の質量である。繊維シートの水分率を上昇させる工程によって上昇した繊維シート51の水分率は、原反ロール11,12における繊維シート51の水分率よりも高ければとくに限定されないが、10以上、45以下であることが好ましい。繊維シート51の水分率が10よりも小さいと、繊維シート51の繊維間の水素結合力が強くなり、後述の高圧水蒸気によって繊維シート51の繊維をほぐすために必要なエネルギーが非常に高くなる。一方、繊維シート51の水分率が45よりも大きくなると、繊維シート51の繊維間の水素結合力が弱くなりすぎるために、繊維シート51の強度が低下しすぎたり、高圧水蒸気を噴射した後の繊維シート51の強度を高めるために、後述の高圧水蒸気を繊維シート51に噴射する工程の後に繊維シート51を乾燥させる工程が必要となったりする場合がある。なお、繊維シート51の水分率を上昇させることができれば、スプレー13から放射される液体は、水に限定されない。たとえば、水に他の化合物を溶解させた水溶液をスプレー13から放射してもよい。繊維シート51の水分率が上昇すると、繊維シート51の繊維間の水素結合力が弱くなっているので、繊維間の交絡が弱くなっている。このため、繊維シート51の繊維を容易にほぐすことができ、繊維シート51の加工が容易になる。スプレー13の穴径はおよび穴ピッチは、所定量の水が繊維シート51全体に均一に適用されるように適宜選択される。繊維シートに高圧水蒸気を噴射する工程次に、繊維シート51は、搬送コンベア16によって、蒸気ノズル14とサクションボックス15との間に移動する。このとき、搬送コンベア16の上方に配置された1台の蒸気ノズル14から高圧水蒸気が繊維シート51に噴射される。なお、2台以上の蒸気ノズルから高圧水蒸気が繊維シート51に噴射されるようにしてもよい。サクションボックス15は、吸引装置を内蔵しており、蒸気ノズル14から噴射された高圧水蒸気を吸引する。蒸気ノズル14から噴射された高圧水蒸気によって、繊維シート51の上面蒸気ノズル14側の面に溝部が形成される。蒸気ノズル14から噴射される高圧水蒸気は、100の水からなる水蒸気でもよいし、空気などの他の気体を含んだ水蒸気でもよい。しかし、蒸気ノズル14から噴射される高圧水蒸気は、100の水からなる水蒸気であることが好ましい。蒸気ノズル14の一例を図7に示す。蒸気ノズル14は、繊維シート51の幅方向CDに並んだ複数の高圧水蒸気142を繊維シート51に向けて噴射する。その結果、繊維シート51の上面には、繊維シート51の幅方向CDにならび、機械方向MDに延びる複数の溝部512が形成される。搬送コンベア16に対して、蒸気ノズル14の反対側にサクションボックス15が設けられている。繊維シート51に高圧水蒸気が噴射されると、繊維シート51の繊維はほぐれる。そして、ほぐれた繊維は、高圧水蒸気が噴射された部分の幅方向の両側に、高圧水蒸気によって移動する。これにより、繊維シート51の嵩が高くなる。この繊維シート51の嵩が高くなる原理を、図8を参照して詳細に説明するが、この原理は本発明を限定するものではない。図8に示すように、蒸気ノズル14が高圧水蒸気142を噴射すると、高圧水蒸気142は、繊維シート51を通過して搬送コンベア16に当たる。搬送コンベア16に当たった高圧水蒸気142の一部は、搬送コンベア16にはね返される。これにより繊維シート51の繊維は、巻き上がり、そしてほぐされる。とくに、繊維シート51に水が適用されることによって繊維間の水素結合が弱められているため、繊維間の交絡が弱い。このため、繊維シート51の繊維はさらに巻き上がりやすくなっており、これにより繊維はさらにほぐされやすくなっている。また、高圧水蒸気142によって繊維シート51中の水は急激に蒸発する。繊維シート51に水が適用されることによって、繊維シート51の水分率が高くなっているので、この水の急激な蒸発による水蒸気の膨張も大きくなる。これによって、繊維間に隙間が大きくなり、繊維はほぐれやすくなる。繊維シート51の繊維は、さらに高圧水蒸気142によってかき分けられ、かき分けられた繊維は、高圧水蒸気142が搬送コンベア16にあたる部分514の幅方向両側に移動して集まり、繊維シート51の嵩の高い部分である高嵩部513が形成される。また、高嵩部513に、繊維は密集するので、高嵩部513の目付は高くなる。一方、繊維シート51における繊維がかき分けられた部分には溝部512が形成される。溝部512では、繊維シート51の繊維はほぐされているので、溝部512の目付は低くなる。図9は、高圧水蒸気を噴射した後の繊維シート51の幅方向の断面を示す概略図である。溝部512が存在する領域52は、繊維シート51の目付が低い領域であり、高嵩部513が存在する領域53は繊維シート51の目付が高い領域である。繊維シート51には、溝部512と高嵩部513とが幅方向に交互に存在し、目付が低い領域52と目付が高い領域53とが幅方向に交互に存在する。繊維長20mm以下の水分散性繊維を使用して繊維シート51を作製した場合、繊維シート51は、水解性のウェットティッシュになる。繊維シート51の目付が低い部分は、容易に水解する。したがって、繊維シート51には、目付が低い領域52と目付が高い領域53とが幅方向に交互に存在するので、水解性のウェットティッシュとして繊維シート51を使用した場合、ウェットティッシュを速く水解させることができる。繊維シート51は、高圧水蒸気51によって部分的に繊維を吹き寄せて賦型されるので、繊維間の交絡は強い。このため、繊維シート51の嵩高の状態を維持するために繊維シート51に可塑性繊維を配合しなくてもよい。また、繊維が集まることによって繊維シート51に高嵩部513が形成されたので、厚さ方向に圧力を受けた場合でも、湿潤状態の場合でも高嵩部513はつぶれにくい。したがって、後述の薬液を含浸させる工程で、繊維シート51の水分率が上昇しても繊維シート51の高嵩部513は、あまりつぶれない。搬送コンベア16に当たった高圧水蒸気142の一部は、搬送コンベア16を通過してサクションボックス15に吸引される。これにより、高圧水蒸気142の熱エネルギーが繊維シート51に効率よく伝わり、繊維シート51を効率的に乾燥させることができる。また、サクションボックス15の吸引により、高圧水蒸気14が繊維シート51に噴射された後に生じる水蒸気が広がるのを抑制することができる。これにより、蒸気ノズル14の周りの装置に結露が生じるのを抑制できる。高圧水蒸気の温度は、130~220°Cであることが好ましい。これにより、高圧水蒸気を繊維シート51に噴射しているときも繊維シート51の乾燥は進むことになり、繊維シート51は、嵩が高くなるのと同時に乾燥する。繊維シート51が乾燥すると繊維シート51の繊維同士の水素結合が強くなるので、繊維シート51の強度は高くなり、繊維シート51の高くなった嵩はつぶれにくくなる。また、繊維シート51の強度は高くなることによって、高圧水蒸気の噴射により繊維シート51に穴が開いたり、切れたりすることが防止される。蒸気ノズル14から噴射される高圧水蒸気の蒸気圧力は0.3~1.5MPaであることが好ましい。高圧水蒸気の蒸気圧力が0.3MPaよりも小さいと、繊維シート51の嵩が、高圧水蒸気によってあまり高くならない場合がある。また、高圧水蒸気の蒸気圧力が1.5MPaよりも大きいと、繊維シート51に穴が開いたり、繊維シート51が破れたり、および吹き飛んだりする場合がある。サクションボックス15には、蒸気ノズル14から噴射された蒸気を吸引する吸引装置が内蔵されている。この吸引装置によって、サクションボックス15が繊維シート51を吸引する吸引力は、-1~-12kPaであることが好ましい。サクションボックス15の吸引力が-1kPaよりも小さいと蒸気を吸いきれず吹き上がりが生じ危険であるという問題が生じる場合がある。また、サクションボックス15の吸引力が-12kPaよりも大きいとサクションボックス内への繊維脱落が多くなるという問題が生じる場合がある。蒸気ノズル14の先端と繊維シート51の上面との間の距離は1.0~10mmであることが好ましい。蒸気ノズル14の先端と繊維シート51の上面との間の距離が1.0mmよりも小さいと、繊維シート51に穴が開いたり、繊維シート51が破れたり、吹き飛んだりするという問題が生じる場合がある。また、蒸気ノズル14の先端と繊維シート51の上面との間の距離が10mmよりも大きいと、高圧水蒸気における繊維シート51の表面に溝部を形成するための力が分散してしまい、繊維シート51の表面に溝部を形成する能率が悪くなる。蒸気ノズル14の穴径は150~600μmであることが好ましい。蒸気ノズル14の穴径が150μmよりも小さいと、高圧水蒸気のエネルギーが不足し、十分に繊維をかき分けられないという問題が生じる場合がある。また、蒸気ノズル14の穴径が600μmよりも大きいと、高圧水蒸気のエネルギーが大き過ぎてしまい、高圧水蒸気による繊維シート51へのダメージが大きくなり過ぎるという問題が生じる場合がある。蒸気ノズル14の穴ピッチ隣接する穴の中心間の距離は1.0~10.0mmであることが好ましい。蒸気ノズル14の穴ピッチが1.0mmよりも小さいと、蒸気ノズル14の耐圧性が低下し、蒸気ノズル14が破損する恐れが生じる場合がある。また、蒸気ノズル14の穴ピッチが10.0mmよりも大きいと、繊維シートにおける高圧水蒸気によって処理を受けた部分の割合が小さくなり、繊維シートに対する高圧水蒸気による効果が小さくなる場合がある。蒸気ノズル14の穴は、繊維シート51の幅方向CDに一列に並んでいてもよいし、二列以上に並んでいてもよい。図10に、蒸気ノズル14の穴の配置の一例を示す。蒸気ノズル14では、繊維シート51の幅方向CDに並んだ穴143が二列に並んでいる。穴径は、たとえば300μmであり、穴ピッチ、すなわち、隣接する穴143の中心間の距離144は、たとえば2.0mmである。蒸気ノズルの穴径および穴ピッチ、蒸気ノズル14の先端と繊維シート51の上面との間の距離ならびに繊維シート51の水分率などを調整することによって、高嵩部513の高さおよび幅、溝部512の深さおよび幅を調整することができる。したがって、高嵩部513の高さおよび幅、溝部512の深さおよび幅などを容易に制御することができる。高圧水蒸気を噴射した後の繊維シート51の水分率は、好ましくは、0~20であり、より好ましくは、0~5である。高圧水蒸気を噴射した後の繊維シート51の水分率が20よりも大きいと、繊維シート51の繊維間の水素結合力が弱くなりすぎるために、後の工程で繊維シート51が処理を受けるには繊維シート51の強度が低すぎる場合がある。また、高圧水蒸気を噴射した後の繊維シート51の水分率が0~20であると、高圧水蒸気を噴射した後の繊維シート51の強度を高めるための乾燥工程が必要ない。水分率を上昇させた繊維シート51に高圧水蒸気を噴射することにより、原反ロール11,12の繊維シート51の厚みよりも、繊維シート51の厚みを30以上厚くすることができる。蒸気ノズル14の機械方向MDにある2つの面には、カートリッジヒーター141がそれぞれ設けられている。カートリッジヒーター141は、蒸気ノズル14から噴射する高圧水蒸気の温度よりも高い温度、好ましくは20°C以上高い温度に蒸気ノズル14を加熱する。蒸気ノズル14から噴射される高圧水蒸気の温度よりも高い温度にカートリッジヒーター141で蒸気ノズル14を加熱することによって、蒸気ノズル14にドレンが発生するのを抑制することができる。これにより、蒸気ノズル14から水が繊維シート51上に滴下するのを防止することができる。たとえば、高圧水蒸気の温度が175~180°Cであり、蒸気ノズル14から噴射される高圧水蒸気の蒸気圧力が0.7MPaである場合、カートリッジヒーター141で蒸気ノズル14を加熱しないと、蒸気ノズル14にドレンが多量に発生し、繊維シート51が部分的に濡れる場合がある。しかし、カートリッジヒーター141で蒸気ノズル14を180°Cに加熱すると、蒸気ノズル14に発生するドレンが少なくなる。カートリッジヒーター141で蒸気ノズル14を190°Cに加熱すると、蒸気ノズル14に発生するドレンがさらに少なくなる。カートリッジヒーター141で蒸気ノズル14を200°Cに加熱すると、蒸気ノズル14に発生するドレンがさらに少なくなり、繊維シート51は、ほとんど濡れなくなる。カートリッジヒーター141で蒸気ノズル14を210°Cに加熱すると、ドレンは蒸気ノズル14にほとんど発生せず、繊維シート51はドレンの影響を受けない。蒸気ノズル14に発生したドレンが原因で、蒸気ノズル14から水が繊維シート51上に滴下した場合、後述の繊維シートを折り畳む工程で、繊維シートの水が滴下した部分が破れるなどの問題が生じる場合がある。繊維シートを折り畳む工程図5に示すように、高嵩部および溝部が形成された繊維シート51は、折畳装置17に移動する。折畳装置17は、たとえば、不図示の所定の折畳エッジを有し左右2枚に分割された折畳ボード171と、不図示の可動調節機構を有する位置決めステー172とを備える。折畳装置17では、繊維シート51は、図3に示すように幅方向に折り畳まれる。薬液を繊維シートに含浸させる工程折り畳まれた繊維シート51は、含浸装置18の側を通過し、薬液を含浸される。含浸装置18は、表面に複数の細孔が形成されこれら複数の細孔から薬液を吐出可能な含浸ロールと、液体としての薬液を収容する不図示の薬液タンクと、この薬液タンクから含浸ロールに薬液を供給する不図示のポンプとを備える。繊維シート51は、含浸ロールに接触するように移動し、含浸ロールから吐出された薬液が繊維シート51に含浸する。薬液を含浸した繊維シート51は、搬送ロール19を通過する。次に、一方の原反ロール11から供給され、薬液を含浸した繊維シート51と、他方の原反ロール12から供給され、薬液を含浸した繊維シート51とは、重ねロール20によって重ね合わされる。これにより、一方の原反ロール11から供給された繊維シート51と、他方の原反ロール12から供給された繊維シート51とからなる積層シート54が作製される。積層シート54は、上方搬送コンベア21と下方搬送コンベア22との間に挟まれた状態で切断ロール23に搬送される。これにより、積層シート54が搬送されているとき、積層シート54が蛇行するのを抑制することができる。繊維シートを切断する工程切断ロール23にて、積層シート54は、機械方向MDの所定の間隔で幅方向に切断され、2枚のウェットティッシュを重ねた二層体55になる。切断ロール23は、表面が平滑なアンビルロール231と表面に切り刃を有するカッターロール232とを備える。繊維シートを積層する工程二層体55は、搬送コンベア24によって、積層装置25に移動される。積層装置25は、プレッシャー251と、プレッシャー251の下にある上方搬送コンベア252と、上方搬送コンベア252と向かい合う位置に配置された下方搬送コンベア253とを備える。上方搬送コンベア252には不図示のサクション機構を有し、このサクション機構は上方搬送コンベア252に二層体55を吸着させることができる。二層体55は、上方搬送コンベア252の下に吸着される。また、上方搬送コンベア252は、プレッシャー251が上方搬送コンベア252を通って下方に移動できるようになっている。二層体55は、所定の時間間隔で上下に移動するプッシャ251によって、下方搬送コンベア253の上で、複数積層される。そして、二層体55が複数積層されたウェットティッシュの積層体56が作製される。ウェットティッシュの積層体56は、下方搬送コンベア253によって、積層装置25から移動される。そして、不図示の包装工程によって包装される。嵩を高めた繊維シートを原反ロールにして、その原反ロールを使用して嵩の高いウェットティッシュを作製することができる。しかし、原反ロールを作製するため、嵩を高めた繊維シートを巻き取るときに、繊維シートの高嵩部は変形する。このため、嵩を高めた繊維シートの原反ロールでは、ウェットティッシュの高嵩部を安定的に形成することができない。一方、本発明の一実施形態では、繊維シートの嵩を高めた後、そのまま、繊維シートは、繊維シートを折り畳む工程、薬液を繊維シートに含浸させる工程、繊維シートを切断する工程および繊維シートを積層する工程に進む。したがって、繊維シートの高嵩部が変形せずに、上記工程に進むことができるので、ウェットティッシュの高嵩部を安定的に形成することができる。以上の一実施形態によるウェットティッシュの製造方法を以下のように変形することができる。1以上の一実施形態によるウェットティッシュの製造方法では、繊維シートを折り畳む工程、薬液を繊維シートに含浸させる工程、繊維シートを切断する工程および繊維シートを積層する工程の順序で工程が進んだが、工程の進む順序はこれに限定されない。たとえば、繊維シートを切断した後に繊維シートを折り畳んでもよい。また、繊維シートを折り畳む前に、繊維シートを切断した後に、または切断した繊維シートを積層した後に薬液を含浸させてもよい。2繊維シートを折り畳む工程、薬液を繊維シートに含浸させる工程、繊維シートを切断する工程および繊維シートを積層する工程は、それぞれ、繊維シートを折り畳む工程、薬液を繊維シートに含浸させる工程、繊維シートを切断する工程および繊維シートを積層する工程であれば、以上の一実施形態における繊維シートを折り畳む工程、薬液を繊維シートに含浸させる工程、繊維シートを切断する工程および繊維シートを積層する工程に限定されない。3以上の一実施形態によるウェットティッシュの製造方法では、カートリッジヒーター141を使用して蒸気ノズル14を加熱したが、蒸気ノズル14を加熱できれば、蒸気ノズル14を加熱する装置はカートリッジヒーター141に限定されない。たとえば、高温の水蒸気が流れているパイプを蒸気ノズル14に配置して蒸気ノズル14を加熱するようにしてもよい。4以上の一実施形態によるノズル13から水または水溶液を繊維シート51を放射することによって繊維シート51の水分率を上昇させたが、他の方法で繊維シート51の水分率を上昇させてもよい。たとえば、表面に複数の細孔が形成されこれら複数の細孔から水または水溶液を吐出可能な含浸ロールを使用して繊維シート51に水または水溶液を含浸させることによって、繊維シート51の水分率を上昇させてもよい。5繊維シート51の高圧水蒸気を噴射する部分のみに水または水溶液を適用して、繊維シート51の高圧水蒸気を噴射する部分のみの水分率を上昇させてもよい。また、繊維シート51の一部を嵩高にする場合、繊維シート51の嵩高にする部分のみの水分率を上昇させるようにしてもよい。6以上の本発明の一実施形態におけるウェットティッシュの製造装置100では、搬送コンベア16の上で、水または水溶液を繊維シート51に適用し、高圧水蒸気を繊維シート51に噴射したが、図11に示すウェットティッシュの製造装置100Aのようにサクションドラム16Aの上で水または水溶液を繊維シート51に適用し、高圧水蒸気を繊維シート51に噴射してもよい。サクションドラム16Aを使用することによって、搬送コンベア16を使用した場合に比べてウェットティッシュの製造装置を小型化することができる。実施形態と変形例の一つ、もしくは複数を組み合わせることも可能である。変形例同士をどのように組み合わせることも可能である。以上の説明はあくまで一例であり、発明は、上記の実施形態に何ら限定されるものではない。以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。実施例および比較例において、蒸気噴射前繊維シート水分率、蒸気噴射後繊維シート水分率、繊維シート目付、繊維シート厚み、密度、乾燥引張強度、乾燥引張伸度、湿潤引張強度および湿潤引張伸度を、以下のようにして測定した。蒸気噴射前繊維シート水分率図5に示すウェットティッシュの製造装置100において、スプレー13から水が放射された繊維シート51をサンプリングし、サンプリングした繊維シート51のサンプル片の質量W1を測定した。その後、サンプル片を105°Cの恒温槽に1時間静置し、さらに乾燥させた後、サンプル片の質量D1を測定した。そして、下記の式を用いて蒸気噴射前繊維シート水分率を算出した。蒸気噴射前繊維シート水分率=W1-D1/W1×10010個のサンプル片の蒸気噴射前繊維シート水分率の平均値をそのサンプル片に対応する実施例または比較例の蒸気噴射前繊維シート水分率とした。蒸気噴射後繊維シート水分率図5に示すウェットティッシュの製造装置100において、蒸気ノズル14から高圧水蒸気が噴射された繊維シート51をサンプリングし、サンプリングした繊維シート51のサンプル片の質量W2を測定した。その後、サンプル片を105°Cの恒温槽に1時間静置し、さらに乾燥させた後、サンプル片の質量D2を測定した。そして、下記の式を用いて蒸気吹噴射後繊維シート水分率を算出した。蒸気噴射後繊維シート水分率=W2-D2/W2×10010個のサンプル片の蒸気噴射後繊維シート水分率の平均値をそのサンプル片に対応する実施例または比較例の蒸気噴射後繊維シート水分率とした。繊維シート目付図5に示すウェットティッシュの製造装置100において、蒸気ノズル14から高圧水蒸気が噴射された繊維シート51をサンプリングし、30cm×30cmのサイズに切り出して、サンプル片を作製した。その後、サンプル片を105°Cの恒温槽に1時間静置し、さらに乾燥させた後、サンプル片の質量を測定した。そして、測定したサンプル片の質量をサンプル片の面積で割り算して繊維シート目付を算出した。10個のサンプル片の繊維シート目付の平均値をそのサンプル片に対応する実施例または比較例の繊維シート目付とした。繊維シート厚み図5に示すウェットティッシュの製造装置100において、蒸気ノズル14から高圧水蒸気が噴射された繊維シート51をサンプリングし、サンプリングした繊維シート51を10cm×10cmのサイズに切り出して、サンプル片を作製した。15cm2の測定子を備えた厚み計株大栄化学精器製作所製型式FS60DSを使用して、3g/cm2の測定荷重の測定条件で、サンプル片の厚みを測定した。1つのサンプル片について3ヶ所の厚みを測定し、3ヶ所の厚みの平均値をその繊維シートに対応する実施例または比較例の繊維シート厚みとした。密度上述の繊維シートの目付と、上述の繊維シート厚みとから繊維シートの密度を算出した。乾燥引張強度図5に示すウェットティッシュの製造装置100において、蒸気ノズル14から高圧水蒸気が噴射された繊維シート51をサンプリングし、サンプリングした繊維シート51から、長手方向が繊維シートの機械方向MDである25mm幅の短冊状の試験片と、長手方向が繊維シートの幅方向CDである25mm幅の短冊状の試験片とを切り取ることによって測定用試料を作製した。3つの機械方向MDの測定用試料および3つの幅方向CDの測定用試料のそれぞれの引張強度を、最大荷重容量が50Nであるロードセルを備えた引張試験機島津製作所株製、オートグラフ型式AGS1kNGを使用して、100mmのつかみ間距離および100mm/分の引張速度の条件で測定した。3つの測定用試料の引張強度の平均値をその測定用試料に対応する実施例または比較例の乾燥引張強度とした。乾燥引張伸度図5に示すウェットティッシュの製造装置100において、蒸気ノズル14から高圧水蒸気が噴射された繊維シート51をサンプリングし、サンプリングした繊維シート51から、長手方向が繊維シートの機械方向MDである25mm幅の短冊状の試験片と、長手方向が繊維シートの幅方向CDである25mm幅の短冊状の試験片とを切り取ることによって測定用試料を作製した。3つの機械方向MDの測定用試料および3つの幅方向CDの測定用試料のそれぞれの引張伸度を、最大荷重容量が50Nであるロードセルを備えた引張試験機島津製作所株製、オートグラフ型式AGS1kNGを使用して、100mmのつかみ間距離および100mm/分の引張速度の条件で測定した。ここで、引張伸度とは、引張試験機で測定用試料を引っ張ったときの最大の伸びmmをつかみ間距離100mmで割り算した値である。3つの測定用試料の引張伸度の平均値をその測定用試料に対応する実施例または比較例の乾燥引張伸度とした。湿潤引張強度図5に示すウェットティッシュの製造装置100において、蒸気ノズル14から高圧水蒸気が噴射された繊維シート51をサンプリングし、サンプリングした繊維シート51から、長手方向が繊維シートの機械方向MDである25mm幅の短冊状の試験片と、長手方向が繊維シートの幅方向CDである25mm幅の短冊状の試験片とを切り取り、切り取った試験片の質量の2.5倍の水をその試験片に含浸させる含水倍率、250ことによって測定用試料を作製した。3つの機械方向MDの測定用試料および3つの幅方向CDの測定用試料のそれぞれの引張強度を、最大荷重容量が50Nであるロードセルを備えた引張試験機島津製作所株製、オートグラフ型式AGS1kNGを使用して、100mmのつかみ間距離および100mm/分の引張速度の条件で測定した。3つの測定用試料の引張強度の平均値をその測定用試料に対応する実施例または比較例の湿潤引張強度とした。湿潤引張伸度図5に示すウェットティッシュの製造装置100において、蒸気ノズル14から高圧水蒸気が噴射された繊維シート51をサンプリングし、サンプリングした繊維シート51から、長手方向が繊維シートの機械方向MDである25mm幅の短冊状の試験片と、長手方向が繊維シートの幅方向CDである25mm幅の短冊状の試験片とを切り取り、切り取った試験片の質量の2.5倍の水をその試験片に含浸させる含水倍率、250ことによって測定用試料を作製した。3つの機械方向MDの測定用試料および3つの幅方向CDの測定用試料のそれぞれの引張伸度を、最大荷重容量が50Nであるロードセルを備えた引張試験機島津製作所株製、オートグラフ型式AGS1kNGを使用して、100mmのつかみ間距離および100mm/分の引張速度の条件で測定した。3つの測定用試料の引張伸度の平均値をその測定用試料に対応する実施例または比較例の湿潤引張伸度とした。以下、実施例および比較例の作製方法について説明する。実施例1図1に示す本発明の一実施形態におけるウェットティッシュの製造装置100を使用して実施例1を作製した。原反ロール11から繊維シート51を繰り出した。繊維シート51は、70重量の針葉樹晒クラフトパルプNBKPと、繊度が1.1dtexであり、繊維長が7mmである30重量のレーヨンダイワボウレーヨン株製、コロナとからなる。また、繊維シート51は、繊維シート51の製造時に抄紙機で高圧水流処理が施された繊維シートである。この高圧水流処理の高圧水流エネルギーは0.2846kW/m2であった。繰り出した繊維シート51は、搬送コンベア16日本フィルコン株製、18メッシュのポリフェニレンサルファイドPPS樹脂ネットを使用によってスプレー13の下に移動された。スプレー13スプレーイングシステムジャパン株製、SpraycartIIIから繊維シート51へ水を放射することによって、繊維シート51の水分率を上昇させた。水分率を上昇させた繊維シート51の蒸気噴射前繊維シート水分率は20であった。次に、蒸気ノズル14を使用して高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した。このときの高圧水蒸気の蒸気圧力は0.7MPaであり、蒸気温度は175°Cであった。カートリッジヒーター141によって加熱された蒸気ノズル14の温度は210°Cであった。また、蒸気ノズル14の先端と繊維シート51の上面との間の距離は2mmであった。さらに、蒸気ノズル14の穴の配置は、図10に示す穴の配置であり、蒸気ノズル14の穴径は300μmであり、穴ピッチは2.0mmであった。また、サクションボックス15が繊維シート51を吸引する吸引力は、-5.0kPaであった。高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は5であった。この高圧水蒸気を噴射した繊維シート51が実施例1となる。実施例1を製造するときのラインスピードは70m/minであった。実施例2実施例2は、スプレー13から繊維シート51へ放射される水の量を調整して、繊維シート51の蒸気噴射前繊維シート水分率を10とした点を除いて、実施例1の製造方法と同様な方法によって製造された。高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は3であった。実施例3実施例3は、スプレー13から繊維シート51へ放射される水の量を調整して、繊維シート51の蒸気噴射前繊維シート水分率を45とした点を除いて、実施例1の製造方法と同様な方法によって製造された。高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は17であった。実施例4実施例4は、蒸気ノズル14の先端と繊維シート51の上面との間の距離を10mmとした点を除いて、実施例1の製造方法と同様な方法によって製造された。高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は9であった。実施例5実施例5は、蒸気ノズル14の穴径を500μmとした点を除いて、実施例1の製造方法と同様な方法によって製造された。高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は4であった。実施例6実施例6は、高圧水蒸気の蒸気圧力を0.3MPaとした点を除いて、実施例1の製造方法と同様な方法によって製造された。高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は8であった。比較例1比較例1は、スプレー13から繊維シート51へ放射される水の量を調整して、繊維シート51の蒸気噴射前繊維シート水分率を4とした点を除いて、実施例1の製造方法と同様な方法によって製造された。高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は4であった。比較例2比較例2は、スプレー13から繊維シート51へ放射される水の量を調整して、繊維シート51の蒸気噴射前繊維シート水分率を50とした点を除いて、実施例1の製造方法と同様な方法によって製造された。高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は26であった。比較例3比較例3は、繊維シート51に水を適用せず、高圧水蒸気も適用しなかった点を除いて、実施例1の製造方法と同様な方法によって製造された。繊維シート51の水分率は20であった。以上の実施例および比較例の詳細な製造条件を表1~3に示す。以上の実施例および比較例の繊維シート目付、繊維シート厚み、密度、乾燥引張強度、乾燥引張伸度、湿潤引張強度および湿潤引張伸度を表2に示す。1実施例1~6のすべての繊維シート厚みは、比較例1および3の繊維シート厚みよりも大きかった。これより、高圧水蒸気を繊維シートに噴射する前に、また、繊維シートの水分率を上昇させることによって、繊維シートの嵩を高くできることがわかった。2原反ロールの繊維シートの厚みは0.35mmであったので、実施例1~6のすべての繊維シート厚みは原反ロールの繊維シートの厚みに比べて30以上厚くなったことがわかった。3実施例1~6のすべての密度は、比較例1および3の密度よりも小さかった。これより、高圧水蒸気を繊維シートに噴射する前に、また、繊維シートの水分率を上昇させることによって、繊維シートを柔らかくできることがわかった。4繊維シートの水分率を50に上昇させると、繊維シートの嵩は高くなるものの、湿潤引張強度が弱くなることがわかった。5繊維シートの水分率を50に上昇させると、また、高圧水蒸気を繊維シート51に噴射した後の繊維シート51の水分率は26であり、繊維シートをさらに乾燥させなければならないことがわかった。"