高電圧発生器が設けられたボディと、非金属材料からなり、前記ボディの先端に設けられて回転駆動される回転霧化頭と、導電材料からなり、前記高電圧発生器に導通可能に接続された状態で前記ボディ内に配され、前記回転霧化頭に液剤を供給する供給管とを備えていることを特徴とする静電噴霧装置。軸線を略鉛直方向に向けた前記供給管の上端部に形成され、前記ボディに固定されることで前記供給管を前記ボディから吊り下げた状態にする固定部と、前記回転霧化頭を回転駆動するためのタービン機構と、前記供給管を包囲するように配され、下端部に前記回転霧化頭が固着されることで前記タービン機構を構成する筒状の駆動軸と、前記高電圧発生器の下方において前記駆動軸の外周面上端部と対向するように配置され、前記駆動軸の回転数を検出するセンサと、軸線を略水平に向けた状態で前記センサの上方に配置され、下流端が前記供給管の上端部に接続された導入管とを備えており、前記高電圧発生器が、前記導入管の上方に配置されていることを特徴とする請求項1記載の静電噴霧装置。上記の静電噴霧装置では、回転霧化頭から噴霧された液剤の一部が、回転霧化頭の外面に付着することは避けられない。ところが、回転霧化頭は金属製であるため、回転霧化頭の外面に付着した液剤は、金属イオンにより汚染され、その汚染度合いは時間が経過するのに伴って増大していく。金属イオンによる汚染の進んだ液剤が回転霧化頭から被塗物に落下した場合、被塗物に悪影響を及ぼすことが懸念される。特に、半導体デバイスの製造において、回転霧化頭に付着して汚染された洗浄液がデバイス上に落下することや、回転霧化頭に付着して汚染されたコーティング液がデバイス上に落下することは、重大な問題となる。このような金属イオンによる液剤の汚染を回避する手段としては、特許文献2に記載されているように、回転霧化頭を、合成樹脂材などの不導体とする構造が考えられる。しかし、回転霧化頭を不導体にした場合、回転霧化頭に高電圧を印加して液剤を帯電させる際の帯電効率が低くなる。本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、液剤への帯電効率の低下を回避しながら、金属イオンによる液剤の汚染を抑制することを目的とする。また、上記以外の課題としては、回転霧化頭に金属等の導電物質を用いると、回転霧化頭の先端部に高電圧がかかり、その結果、回転霧化頭からのフリーイオンによって、被塗物に悪影響を及ぼす虞がある。特に、半導体デバイスの製造においては、フリーイオンによって半導体デバイスを破損させる可能性もある。さらに、回転霧化頭に金属等の導電物質を用いると、回転霧化頭の先端からの放電を防止するための対策が必要となる。具体的には、回転霧化頭からの電流等を読み取って、異常があった場合に、高電圧の印加を停止させるための制御装置を設ける必要がある。上記の目的を達成するための手段として、請求項1の発明は、高電圧発生器が設けられたボディと、非金属材料からなり、前記ボディの先端に設けられて回転駆動される回転霧化頭と、導電材料からなり、前記高電圧発生器に導通可能に接続された状態で前記ボディ内に配され、前記回転霧化頭に液剤を供給する供給管とを備えているところに特徴を有する。請求項2の発明は、請求項1に記載のものにおいて、軸線を略鉛直方向に向けた前記供給管の上端部に形成され、前記ボディに固定されることで前記供給管を前記ボディから吊り下げた状態にする固定部と、前記回転霧化頭を回転駆動するためのタービン機構と、前記供給管を包囲するように配され、下端部に前記回転霧化頭が固着されることで前記タービン機構を構成する筒状の駆動軸と、前記高電圧発生器の下方において前記駆動軸の外周面上端部と対向するように配置され、前記駆動軸の回転数を検出するセンサと、軸線を略水平に向けた状態で前記センサの上方に配置され、下流端が前記供給管の上端部に接続された導入管とを備えており、前記高電圧発生器が、前記導入管の上方に配置されているところに特徴を有する。<請求項1の発明>回転霧化頭に供給される液剤は、供給管を通る間に帯電されるのであるが、供給管は、導電材料であって高電圧発生器に接続されているので、帯電効率に優れている。供給管は液剤の流路であるから、供給管の内部に液剤が長時間に亘って滞留することはない。したがって、供給管が金属製であっても、供給管内を流れる液剤が金属イオンによって著しく汚染されることはない。また、回転霧化頭は非金属材料であるから、噴霧されて回転霧化頭の外面に付着した液剤は、金属イオンによって汚染されることはない。本発明によれば、液剤への帯電効率の低下を回避しながら、金属イオンによる液剤の汚染を抑制することができる。また、回転霧化頭を非金属材料とすれば、回転霧化頭に電圧がかからないため、回転霧化頭からフリーイオンが発生することがない。したがって、本発明装置を、半導体デバイスの製造工程に用いた場合には、必要以上のフリーイオンによって半導体デバイスを破損させることを回避することが可能である。また、回転霧化頭を非金属材料にすれば、回転霧化頭先端からの放電の可能性がないため、回転霧化頭の先端からの放電防止対策として高電圧を停止させるための制御装置が不要である。<請求項2の発明>本発明の静電噴霧装置は、供給管をボディに吊り下げた状態で支持する構造とした上で、供給管の上端部に接続された導入管と、高電圧発生器とを、センサの上方に配置している。このような位置関係において、センサの位置を変更せずに、高電圧発生器を導入管よりも下方に配置しようとした場合、導入管の位置を高くして、センサと導入管との間に高電圧発生器を配置するスペースを確保する必要がある。導入管の位置を高くするためには、供給管の上端部の位置も高くしなければならないが、これは、供給管の鉛直方向の長さを長くすることを意味する。ボディに吊り下げられている供給管は、長くなるほど、タービン機構の回転運動に起因する軸ブレを生じ易い。そこで、本発明では、高電圧発生器を導入管の上方に配置した。この構成によれば、センサと導入管との間に高電圧発生器を配置するスペースを確保する必要がないため、導入管の位置と供給管の上端部の位置を高くする必要がない。したがって、供給管の鉛直方向の長さを最小寸法に抑えることができる。これにより、タービン機構の回転運動に起因する供給管の軸ブレが抑制される。<実施形態1>以下、本発明を具体化した実施形態1を図1~図4を参照して説明する。本実施形態の静電噴霧装置は、半導体デバイス図示省略の製造工程において洗浄やコーティングを行うために用いられる。静電噴霧装置は、ボディ10と、ボディ10の下端部に設けられて液剤洗浄液やコーティング液を下向きに噴霧するための回転霧化頭22と、回転霧化頭22を回転駆動するタービン機構20と、タービン機構20の回転数回転速度を検出するためのセンサ41と、回転霧化頭22に液剤を供給するための供給管30と、供給管30に液剤を供給するための導入管28と、液剤を帯電させるための高電圧発生器33とを備えて構成されている。図1に示すように、ボディ10は、複数の部品を組み付けて構成されている。ボディ10は、軸線を上下方向鉛直方向に向けた本体部11と、本体部11の上端部から後方図1における左方へ突出するマニホールド部12とからなり、側方から視ると全体として略L字形に屈曲した形状である。本体部11は、非金属材料絶縁性材料からなり、本実施形態では、フッ素樹脂PFAが用いられている。本体部11の内部は、タービン機構20の全体と、供給管30の全体と、導入管28の前端部と、センサ41の前端部と、回転霧化頭22の下端部以外の部分を収容するための収容空間13となっている。本体部11の上端部には、本体部11を構成する支持部材14と、同じく本体部11を構成するものであって支持部材14の上面を覆うカバー15とが配置されている。支持部材14の下面は、上記収容空間13に臨んでいる。支持部材14とカバー15との間には、後方へ開放された接続空間16が構成されている。マニホールド部12は、非金属材料絶縁性材料からなり、本実施形態では、本体部11と同じくフッ素樹脂PFAが用いられている。マニホールド部12には、マニホールド部12の後面に開口する複数のエア導入路17が形成されている。エア導入路17は、本体部11に形成した複数のエア流路18に連通している。これらのエア導入路17とエア流路18を通って供給されるエアは、タービン機構20に回転力を付与するためのタービンエア、又は、回転霧化頭22から噴霧される液剤のパターンを所定形状に成形するためのパターンエアとして機能する。タービン機構20は、軸線を上下方向鉛直方向に向けてボディ10と同軸状に配置された筒状の駆動軸21を有する。駆動軸21は、非金属材料絶縁性材料からなり、本実施形態では、カーボン繊維が充填されたPEEK樹脂が用いられている。駆動軸21は、収容空間13内において、軸線周りの回転を可能に、且つ軸線方向上下方向への移動を規制された状態で支持されている。この駆動軸21は、タービンエアの圧力によって高速回転するようになっている。駆動軸21の下端部には、回転霧化頭22が駆動軸21と同軸状に且つ駆動軸21と一体的に回転するように固着されている。回転霧化頭22は、非金属材料絶縁性材料からなり、本実施形態では、ボディ10とは異なる種類のフッ素樹脂PCTFEが用いられている。回転霧化頭22は、回転霧化頭22の上面中央部に開口して液剤を流入させる流入室23と、下方に面するテーパ状の拡散面24と、流入室23内の液剤を拡散面24へ流出させる複数の流出孔25とを有する周知の形態のものである。回転霧化頭22の下端部は、ボディ10の下端よりも下方へ突出している。回転霧化頭22に液剤を供給するための手段として、供給ユニット26が設けられている。図2に示すように、供給ユニット26は、ボディ10を構成する支持部材14と、同じくボディ10を構成するカバー15と、供給管30と、導入管28と、接続部材35とを備えて構成されている。支持部材14には、支持部材14の後面と下面に開口する略L字形の連通孔27が形成されている。連通孔27の後端部には、軸線を前後方向水平方向に向けた導入管28の前端部が、差し込まれた状態で固着されている。導入管28は、非金属材料絶縁性材料からなり、本実施形態では、支持部材14と同じくフッ素樹脂PFAが用いられている。供給管30は、軸線を上下方向に向けた円筒形の流路部31と、流路部31の上端部外周から張り出したフランジ状の固定部32とを一体に形成したものである。流路部31は、その下端部において内径寸法と外径寸法が小さくなっている。供給管30は、駆動軸21の中空内に同軸状に配置され、固定部32を下から貫通させたビス図示省略により、支持部材14の下面に固定されている。支持部材14に固定された供給管30は、その上端部においてボディ10に吊り下げられた状態で支持されている。供給管30の上端の開口は、支持部材14の連通孔27に連通し、供給管30の下端の開口は回転霧化頭22の流入室23に臨んでいる。したがって、導入管28と連通孔27と供給管30は、回転霧化頭22に液剤を供給するための供給流路を構成している。供給ユニット26は、高電圧発生器33によって液剤を帯電させるための帯電手段としての機能も兼ね備えている。帯電手段は、支持部材14と、供給管30と、接続部材35とを備えて構成される。支持部材14には、連通孔27よりも前方において支持部材14を上下に貫通する貫通孔34が形成されている。接続部材35は、ステンレス製であって上下両端部に雄ネジ部37が形成されたボルト36と、同じくステンレス製であって上側の雄ネジ部37にねじ込まれたナット38とから構成されている。接続部材35は、ボルト36を貫通孔34に貫通させ、ナット38を支持部材14の上面に当接させている。したがって、ナット38は、接続空間16内に収容されている。供給管30は、導電材料からなり、本実施形態では、接続部材35と同じ材料であるステンレスが用いられている。供給管30の固定部32には、固定部32の上面に開口する雌ネジ孔39が形成されており、支持部材14に貫通した接続部材35の下側の雄ネジ部37が、供給管30の雌ネジ孔39にねじ込まれて締め付けられている。これにより、接続部材35は、支持部材14に固定されているとともに、供給管30に対して導通可能状態に接続されている。接続部材35と供給管30は同一材料であるから、電食が発生する虞はない。この供給ユニット26ボディ10には、高電圧発生器33が、支持部材14よりも高い位置に配置された状態で取り付けられている。高電圧発生器33の前端部には端子部40が設けられている。高電圧発生器33の端子部40を含む前端側部分は、接続空間16内に収容されていて、端子部40の前端が接続部材35のナット38に導通可能に接続接触している。この構成により供給管30に高電圧が印加される。したがって、導入管28を通して静電噴霧装置に供給された液剤は、供給管30内を流れる間に、供給管30の内壁に接触することによって帯電する。タービン機構20の駆動軸21の回転数を検出するためのセンサ41は、全体として細長い形状であり、軸線を水平方向前後方向に向けた状態で、ボディ10に取り付けられている。センサ41は、マニホールド部12と本体部11を導入管28と平行に貫通しており、センサ41の前端の検出部42が、収容空間13内に配置されている。検出部42は、駆動軸21の上端部外面に対し、後方から対向するように配置されている。次に、本実施形態の作用を説明する。液剤の噴霧を行う際には、予め、タービン機構20により回転霧化頭22を回転駆動させるとともに、導電性の供給管30には高電圧発生器33によって高電圧を印加しておく。この状態で、液剤が、導入管28と連通孔27と供給管30の流路部31を順に通って回転霧化頭22の流入室23に供給される。このとき、供給管30は高電圧を印加されているので、液剤は、供給管30内を流れる間に流路部31の内壁面に接触することにより帯電する。静電噴霧装置における液剤の流動経路のうち導電性を有する領域は、供給管30だけであるから、液剤が帯電するのは、供給管30を流れる間だけである。帯電状態で流入室23内に流入した液剤は、流出孔25を通り、拡散面24上を放射状に拡散し、拡散面24の外周縁から霧化状となって下方へ噴霧される。本実施形態の静電噴霧装置は、高電圧発生器33が設けられたボディ10と、非金属材料からなり、ボディ10の先端に設けられて回転駆動される回転霧化頭22と、導電材料からなり、高電圧発生器33に導通可能に接続された状態でボディ10内に配され、回転霧化頭22に液剤を供給する供給管30とを備えている。この構成の技術的意義は、次の通りである。回転霧化頭22に供給される液剤は、供給管30を通る間に帯電されるのであるが、供給管30は、導電材料であって高電圧発生器33に接続されているので、帯電効率に優れている。尚、供給管30が金属製であることから、供給管30内を流れる液剤が金属イオンにより汚染されることが懸念される。しかし、供給管30は液剤の流路であるから、供給管30の内部に液剤が長時間に亘って滞留することはない。したがって、供給管30が金属製であっても、供給管30内を流れる液剤が金属イオンによって著しく汚染されることはない。また、本実施形態のような静電噴霧装置では、回転霧化頭22から噴霧された液剤の一部が、回転霧化頭22の外面に付着することは避けられない。ここで、回転霧化頭が従来のように金属製であった場合には、回転霧化頭の外面に付着した液剤が、金属イオンにより汚染されることになり、その汚染度合いは時間が経過するのに伴って増大していく。金属イオンによる汚染の進んだ液剤が回転霧化頭から被塗物に落下した場合、被塗物に悪影響を及ぼすことが懸念される。特に、半導体デバイスの製造において、回転霧化頭に付着して汚染された洗浄液がデバイス上に落下することや、回転霧化頭22に付着して汚染されたコーティング液がデバイス上に落下することは、重大な問題となる。その対策として、本実施形態では、回転霧化頭22を非金属材料としているので、噴霧された液剤の一部が回転霧化頭22の外面に付着しても、その付着した液剤は金属イオンによって汚染されることはない。したがって、本実施形態によれば、液剤への帯電効率の低下を回避しながら、金属イオンによる液剤の汚染を抑制することができる。尚、上述のように液剤への帯電は供給管30を利用して行っているので、回転霧化頭22を非金属材料としても静電効果に支障を来すことはない。また、前後方向において、導入管28と高電圧発生器33とセンサ41は、いずれも、タービン機構20の駆動軸21の軸線即ち、供給管30の軸線よりも後方の領域に配置されている。この導入管28と高電圧発生器33とセンサ41は、上から視たときに互いに重なるような位置関係となっている。そして、上下方向駆動軸21及び供給管30の軸線方向と平行な方向の位置関係については、導入管28が固定部32よりも上方に配置され、高電圧発生器33が固定部32、導入管28及び支持部材14よりも上方に配置され、センサ41が固定部32よりも下方に配置されている。つまり、センサ41は導入管28よりも下方に配置され、導入管28は高電圧発生器33よりも下方に配置されている。高電圧発生器33は、高さ寸法が比較的大きいのであるが、導入管28とセンサ41の両者よりも上方に配置されているので、センサ41と導入管28との間に、高電圧発生器33を配置するための高さ方向のスペースを確保せずに済んでいる。この位置関係の技術的意義は、次の通りである。本実施形態の静電噴霧装置は、供給管30をボディ10に吊り下げた状態で支持する構造とした上で、供給管30の上端部に連通孔27を介して接続された導入管28と、高電圧発生器33とを、センサ41の上方に配置している。このような位置関係において、センサ41の位置を変更せずに、高電圧発生器33を導入管28よりも下方に配置しようとした場合、図4に示すように、導入管28の位置を高くして導入管28とセンサ41との高低差を大きく確保し、センサ41と導入管28との間に高電圧発生器33を配置するスペースを確保する必要がある。導入管28の位置を高くするためには、供給管30の上端部固定部32の位置と支持部材14の位置も高くしなければならないが、これは、供給管30の鉛直方向の長さを上方へ長くすることを意味する。ボディ10に吊り下げられている供給管30は、長くなるほど、タービン機構20の回転運動に起因する軸ブレを生じ易い。そこで、本実施形態では、高電圧発生器33を導入管28の上方に配置した。この構成によれば、図3に示すように、センサ41と導入管28との間に高電圧発生器33を配置するスペースを確保する必要がないため、導入管28とセンサ41との高低差を小さくできる。つまり、導入管28の位置と供給管30の上端部の位置を高くする必要がないのであり、これにより、供給管30の鉛直方向の長さを最小寸法に抑えることができる。したがって、タービン機構20の回転運動に起因する供給管30の軸ブレが抑制される。また、回転霧化頭22を非金属材料としたことにより、回転霧化頭22に電圧がかからずに済むので、回転霧化頭22からフリーイオンが発生することがない。したがって、半導体デバイスの製造工程において、必要以上のフリーイオンによって半導体デバイスを破損させることが回避される。また、回転霧化頭22は非金属材料なので、回転霧化頭22の先端からの放電の可能性がない。そのため、回転霧化頭22の先端からの放電防止対策として高電圧を停止させるための制御装置が不要となっている。<他の実施形態>本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。1上記実施形態では、接続部材を介して供給管と高電圧発生器を接続したが、供給管と高電圧発生器を、直接、接続してもよい。2上記実施形態では、回転霧化頭が下向きとなっている静電噴霧装置について説明したが、本発明は、回転霧化頭が水平方向を向いている静電噴霧装置にも適用できる。3上記実施形態では、センサを基準とする導入管と高電圧発生器の位置関係に関して、導入管をセンサに近い位置に配置したが、高電圧発生器をセンサに近い位置に配置してもよい。4上記実施形態では、半導体デバイスの製造工程における洗浄やコーティングに用いられる静電噴霧装置について説明したが、本発明は、半導体デバイス以外の製造工程における洗浄やコーティングに用いられる静電噴霧装置や、洗浄コーティング以外の用途例えば、塗装などに用いられる静電噴霧装置にも適用できる。5上記実施形態では、供給管をステンレス製としたが、供給管は、ステンレス以外の金属例えば、チタン合金等製としてもよい。6上記実施形態では、供給管を金属製としたが、供給管は、導電性樹脂や導電性セラミックス等のような非金属の導電材料であってもよい。7上記実施形態では、ボディをフッ素樹脂PFA製としたが、ボディは、これ以外の非金属材料を用いたものであってもよい。8上記実施形態では、回転霧化頭をフッ素樹脂PCTFE製としたが、回転霧化頭は、これ以外の非金属材料を用いたものであってもよい。9上記実施形態では、ボディと回転霧化頭を異なる種類の非金属材料としたが、ボディと回転霧化頭を同一の非金属材料としてもよい。