"板状部と、前記板状部の一側表面に設けられる第1本体部と、前記板状部の他側表面に設けられる第2本体部とを有する本体と、前記板状部に形成された2以上の検知部と、前記本体を貫通し、前記検知部に連通する流路とを備えることを特徴とする流速センサ。前記流路は、前記第1本体部および前記第2本体部に形成された流路形成部を有し、前記流路形成部が前記検知部を挟んで連通していることを特徴とする請求項1記載の流速センサ。前記流路は、前記本体を貫通する主流路と、前記主流路をバイパスするバイパス流路とを有し、前記主流路または前記バイパス流路が前記検知部に連通していることを特徴とする請求項1記載の流速センサ。前記流路は、互いに直交する3方向に形成されていることを特徴とする請求項1~3のうちいずれか1項に記載の流速センサ。前記検知部は、ピエゾ抵抗層が設けられたカンチレバー部を有することを特徴とする請求項1~4のうちいずれか1項に記載の流速センサ。上記したような従来の流速センサは、異なる二方向の流速を単体の流速センサで測定することが困難であった。したがって、従来、二方向以上の流速を計測するには、複数の流速センサを設置する必要があるので、構成が全体として大型化してしまう、という問題があった。そこで、本発明は上記した問題点に鑑み、小型化することができる流速センサを提供することを目的とする。本発明の請求項1に係る発明は、板状部と、前記板状部の一側表面に設けられる第1本体部と、前記板状部の他側表面に設けられる第2本体部とを有する本体と、前記板状部に形成された2以上の検知部と、前記本体を貫通し、前記検知部に連通する流路とを備えることを特徴とする。本発明の請求項2に係る発明は、前記流路は、前記第1本体部および前記第2本体部に形成された流路形成部を有し、前記流路形成部が前記検知部を挟んで連通していることを特徴とする。本発明の請求項3に係る発明は、前記流路は、前記本体を貫通する主流路と、前記主流路をバイパスするバイパス流路とを有し、前記主流路または前記バイパス流路が前記検知部に連通していることを特徴とする。本発明の請求項4に係る発明は、前記流路は、互いに直交する3方向に形成されていることを特徴とする。本発明の請求項5に係る発明は、前記検知部は、ピエゾ抵抗層が設けられたカンチレバー部を有することを特徴とする。本発明の流速センサによれば、検知部を設けた板状部と、前記検知部に連通する流路が形成された第1本体部と第2本体部とを一体化して構成したことにより、容易に小型化することができる。以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。1.第1実施形態1全体構成図1に示す流速センサ1Aは、本体2Aと、電極3とを備え、前記本体2Aには流路が形成されている。本実施形態の場合、本体2Aは球状に形成されている。流路は、方向が互いに直交するが、互いに連通せず、本体2A内を貫通するように形成され、x方向に貫通する第1流路6A、y方向に貫通する第2流路8A、z方向に貫通する第3流路10Aからなる。この流速センサ1Aは、各流路6A,8A,10Aから本体2A内に流体としての空気が流れ込むことにより、空気の流れの方向および流速を計測し得るように構成されている。なお、本図において、上下方向をz方向、当該z方向に直交する方向をx方向、z方向およびx方向に直交する方向をy方向という。なお、図中、第2本体部18Aの円形表面27の中心を通り、x方向に平行な直線を直線x1とし、y方向に平行な直線をy1とする。また、図中、板状部14Aの表面の中心を通り、x方向に平行な直線を直線x2とし、y方向に平行な直線をy2とする。図2に示すように、本体2Aは、板状部14Aと、当該板状部14Aの一側表面15に設けられる第1本体部16Aと、他側表面17に設けられる第2本体部18Aとを有し、前記板状部14A、第1本体部16A、第2本体部18Aが一体化されてなる。本体2Aは特に限定されるものではないが、例えばシリコーンSilicone樹脂により形成することができる。板状部14Aは、円盤状の部材からなり、検知部が複数形成されている。本実施形態の場合、検知部は、第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23の3個からなり、第3検知部23が板状部14Aの略中央に設けられている。また、第3検知部23に対し、直線y2上に第1検知部21が形成されており、x2上に第2検知部22が形成されている。第1本体部16Aと第2本体部18Aは同じ形態を有する。本実施形態の場合、第1本体部16Aと第2本体部18Aは、半球状の部材で構成され、流路形成部としての中央に形成された貫通穴26と、円形表面27に形成された2つの流路形成溝28とを備える。貫通穴26と流路形成溝28とは、互いに連通しないように形成されている。第1本体部16Aと第2本体部18Aは、同じ構成なので、本図中、第2本体部18Aを用いて説明する。一方の流路形成溝3028は、直線x1上の円形表面27の外縁を始点31として中心に向かい、前記貫通穴26をよけるように側方へ曲がった後、直線y1と交差した位置が終点32となるように形成されている。また、他方の流路形成溝3428は、直線y1上の円形表面27の外縁を始点35として中心に向かい、前記一方の流路形成溝3028の終点32および前記貫通穴26をよけるように側方へ曲がった後、直線x1と交差した位置が終点36となるように形成されている。このようにして、一方の流路形成溝28の終点32は、第1検知部21に対向する位置に形成される。同様に他方の流路形成溝28の終点36は、第2検知部22に対向する位置に形成される。また、貫通穴26は、第3検知部23に対向する。このように構成された第1本体部16Aは、円形表面27を板状部14Aの一側表面15に当接させて接着される。また、第2本体部18Aは、円形表面27を板状部14Aの他側表面17に当接させて接着される。そうすると、第2本体部18Aに形成された一方の流路形成溝3028が、終点32において第1検知部21を経由して第1本体部16Aに形成された他方の流路形成溝3428の終点36に連通することにより、第1流路6Aは形成される。同様に、第2本体部18Aに形成された他方の流路形成溝3428が、終点36において第2検知部22を経由して第1本体部16Aに形成された一方の流路形成溝3028の終点32に連通することにより、第2流路8Aは形成される。また、第2本体部18Aに形成された貫通穴26が、第3検知部23を経由して第1本体部16Aに形成された貫通穴26に連通することにより、第3流路10Aが形成される。このようにして、第1流路6A内に第1検知部21が、第2流路8A内に第2検知部22が、第3流路10A内に第3検知部23がそれぞれ形成されている。図3に示すように、第1流路6Aは、第2本体部18Aに形成された一方の流路形成溝3028と第1本体部16Aに形成された他方の流路形成溝3428とが第1検知部21を介して連通している。この場合、第2本体部18Aの一方の流路形成溝3028の終点32と、第1本体部16Aの他方の流路形成溝3428の終点36とが、第1検知部21の上下に配置され、板状部14Aを厚さ方向に貫通する貫通路38を形成する。第1検知部21は、貫通路38に垂直に突設されている。特に図示しないが、第2流路8Aは、第1流路6Aと同様に構成されている。次に、図4および図5を参照して、板状部14Aの構成について説明する。なお、第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23は、同じ構成であるので、第1検知部21について説明する。板状部14Aは、連通路40と、カンチレバー部42とを有する。連通路40は、上記貫通路38と略同じ内腔形状を有する。カンチレバー部42は、一側面43を除いて、連通路40との間に隙間44を設けた状態で形成されている。隙間44は、第1流路6A内を空気が流れ難い大きさ、特に限定されないが、例えば10μm程度に形成される。このカンチレバー部42は、平板状の受圧部46と当該受圧部46の一側面43に一体に形成された一対のヒンジ部48とを有する。当該ヒンジ部48は、電極3に電気的に接続されている。図5に示すように、第1検知部21は、基板50と、絶縁層52と、シリコンSi層54と、ピエゾ抵抗層56と、金属層58とからなり、シリコン層54と、ピエゾ抵抗層56とにより、所定形状図4のカンチレバー部42が形成されている。当該カンチレバー部42は、第1流路6Aに流入する空気によって生じる受圧部46の一側表面と他側表面との間の圧力差により、ヒンジ部48を中心に弾性変形し得るように構成されている。電極3は、図示しないが、ピエゾ抵抗層56の抵抗値の変化を検出する信号変換部および電源に電気的に接続されている。次に、本体2Aの製造方法について図6を参照して説明する。第1本体部16Aと第2本体部18Aは、第1の成形型60と第2の成形型62とにより成型する。第1の成形型60は、半球状の凹部64と当該凹部64の中央に立設された柱状部66とを有する。当該柱状部66は、貫通穴26を形成する。第2の成形型62は、板状の部材の表面に2つの条部68が形成されている。当該条部68は、一方の流路形成溝3028と他方の流路形成溝3428を形成する。第1の成形型60に硬化剤を含めたシリコーン樹脂を流し込み、第2の成形型62で第1の成形型60の開口を塞ぎ、当該シリコーン樹脂を硬化させることにより、図7に示す第1本体部16Aを形成することができる。なお、上記したとおり、第1本体部16Aと第2本体部18Aは同じ形状で構成されているので、上記方法により、第2本体部18Aを形成することができる。次に、検知部の形成方法について図8を参照して説明する。上記した通り、第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23は、同じ構成であるので、第1検知部21について説明する。まず、Siからなる基板50上にSiO2からなる絶縁層52を形成し、さらに、その絶縁層52の上部にSiからなるシリコン層54を形成することにより、基板50と絶縁層52とシリコン層54からなる積層構造のSOI70を形成する。SOI70の各層の厚さSiSiO2Siは、例えば、それぞれ上から順に、0304300μmとすることができる。次いで、シリコン層54上に不純物をドーピングしてシリコン層54の一部をN型もしくはP型半導体としたピエゾ抵抗層56を形成する図8A。次に、SOI70上のピエゾ抵抗層56の上に金属層58をパターン形成し、その後、シリコン層54とピエゾ抵抗層56を一部エッチングすることにより、上述したカンチレバー部42のヒンジ部48を除いた外縁と外周部分との間の隙間44を形成する図8B。なお、このとき、金属層58の上面には、さらにレジスト図示しないを一部に対して形成しておく。その後、金属層58をさらにパターン形成し、レジスト図示しないが形成されていない部分を除去し、その後にレジストも除去することによって電極3を形成する図8C。そして、底面側から基板50と絶縁層52をエッチングして連通路40を形成することにより、カンチレバー部42を形成する図8D。このようにして、板状部14Aに第1検知部21を形成することができる。なお、第2検知部22および第3検知部23は、上記第1検知部21と同様の方法により、第1検知部21と同時に形成することができる。2作用および効果上記のように構成された流速センサ1Aは、図9に示すように、測定対象としての室内72に複数、本図の場合10個設置されることにより、当該室内72における空気の流れをより詳細に測定し得る。例えば、流速センサ1Aの周囲に空気の流れ本図中、矢印が生じると、当該空気は流速センサ1Aの本体2Aに当接する。本体2Aに当接した空気は、本体2Aに形成された第1流路6A、第2流路8A、第3流路10Aの少なくとも一つを通って当該本体2A内に流入する。第1流路6A、第2流路8A、第3流路10Aから本体2A内に流入した空気は、各流路に設けられた第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23のカンチレバー部42の受圧部46に対し、一側表面と他側表面との間に圧力差を生じさせる。この圧力差により、カンチレバー部42は、ヒンジ部48を中心に弾性変形をする。因みに、圧力差をΔP、流速をUとすると、ΔP=C×U2と表されるCは定数。カンチレバー部42が弾性変形すると、その変形歪みによるピエゾ抵抗層56の抵抗値の変化は、電圧信号として信号変換部図示しないで検出される。この電圧信号から圧力差ΔPを算出すると共に、当該ΔPと予め設定された定数Cとにより、流速Uが算出される。本実施形態の場合、流速センサ1Aは、板状部14Aに第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23を設けると共に、前記第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23に連通する流路を第1本体部16Aと第2本体部18Aにそれぞれ形成し、板状部14Aを挟んで第1本体部16Aと第2本体部18Aを一体化して構成したことにより、容易に小型化することができる。また、流速センサ1Aは、カンチレバー部42の変形歪みから空気の流速を計測する構成としたことにより、従来のように空気を加熱したり、カルマン渦を発生させたりする必要がないため、効率よく流速を計測することができる。また、従来の熱式流体センサのように測定に先立って加熱する必要が無いので、速応性が良く流速センサ1Aのエネルギー損失も少なくすることができる。また、流速センサ1Aは、x方向に貫通する第1流路6A、y方向に貫通する第2流路8A、z方向に貫通する第3流路10Aを備え、各流路に第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23を設けたから、空気の流速と共に、空気の流れる方向を単体で検出することができる。第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23は、半導体材料などを積層したカンチレバー部42を板状部14Aに形成する構成としたから、容易に小型化することができる。したがって、図9に示すように、室内に複数設置することもでき、これにより、室内における空気の流れをより詳細に計測することができる。3評価結果本発明者らは、本実施形態に係る流速センサ1Aについて試料を作製し、特性を評価した。作製した試料は、本体2Aの直径が10mm、カンチレバー部42は厚さが300nm、縦および横の長さが100μmである。流路の開口面積は、カンチレバー部42の面積と略同じとした。上記流速センサ1Aは、図10に示す評価装置74に設置した。当該評価装置74は、ファン75および流速制御部76を備えた風洞77と、当該風洞77内に設置された姿勢変換部78とを備える。姿勢変換部78は、設置された流速センサ1Aを、z軸周り、およびy軸周りに回転可能に支持する。なお、空気の流れる方向に平行にx軸を配置し、z軸周りの回転角度をθ、y軸周りの回転角度をφとする。流速センサ1Aの電極3は、信号変換部79に電気的に接続されている。信号変換部79は、インターフェースを介してパーソナルコンピュータ80に接続されている。この評価装置74において、ファン75を一定の回転数で回転させ、流速制御部76により風洞77内に流入させる空気量を制御することにより、風洞77内に所定の空気の流れを生じさせる。この場合、空気は、流速制御部76からファン75に向かって平行に風洞77内を流れる。まず、第1流路6Aが空気の流れる方向に対し平行になるように、流速センサ1Aを固定した状態で、空気の流速のみを変化させた場合の、ピエゾ抵抗層56の抵抗値の変化を測定した図11。本図から明らかなように、本実施形態に係る流速センサ1Aでは流速の2乗に対し第1検知部21のピエゾ抵抗層56の抵抗値が比例することが確認できた。同時に、空気の流れる方向に対し略直角に配置されている第2流路8Aおよび第3流路10Aにおける第2検知部22および第3検知部23は、全く反応しないことも確認できた。次いで、空気を流速3m/sで流した状態で、z軸周りにのみ流速センサ1Aを回転させた場合の回転角度θと各流路における流速図12、およびy軸周りにのみ流速センサ1Aを回転させた場合の回転角度φと各流路における流速図13を測定した。z軸周りにのみ流速センサ1Aを回転させた場合図12には、第3流路10Aは空気の流れる方向に対し垂直となるので、第3流路10Aの流速Uzはほとんどゼロとなる。一方、第1流路6A、第2流路8Aにおける流速Ux,Uyは、回転角度θとの関係で、それぞれ、コサインカーブ、サインカーブ状に変化する。y軸周りにのみ流速センサ1Aを回転させた場合図13には、第2流路8Aは空気の流れる方向に対し垂直となるので、第2流路8Aの流速Uyはほとんどゼロとなる。一方、第1流路6A、第3流路10Aにおける流速Ux,Uzは、回転角度θとの関係で、それぞれ、コサインカーブ、サインカーブ状に変化する。この結果から、本実施形態に係る流速センサ1Aは、3方向の空気の流れる方向を分離して測定可能であるといえる。さらに、y軸周りにのみ流速センサ1Aを回転させた場合の回転角度φと各流路における流速との関係の測定結果を用いて、第1検知部21および第3検知部23から得られた空気の流速および方向を算出した結果を示す図14および図15。この結果から、本実施形態に係る流速センサ1Aは、流速における誤差が0.4m/s、方向における誤差が11度であることがわかった。2.第2実施形態1全体構成次に、本発明に係る第2実施形態について説明する。本第2実施形態は、上記第1実施形態に対し、流路の形態が異なる。第1実施形態の同様の構成について同様の符号を付した図16において、流速センサ1Bは、本体2Bが第1本体部16B、第2本体部18B、板状部14Bを有している。この本体2Bには、第1流路6B、第2流路8B、第3流路10Bが形成されており、各流路は、前記本体2Bを貫通する主流路と、当該主流路をバイパスするバイパス流路とを有する。すなわち、第1流路6Bは、第1主流路82と第1バイパス流路83とからなる。第1主流路82は、流路形成部としての第1主流路形成溝84で構成されている。第1バイパス流路83は、流路形成部としての第1バイパス入口穴85と、第1バイパス形成溝86と、第1バイパス出口穴87と、第1バイパス貫通穴88とで構成されている。第2流路8Bは、第2主流路89と第2バイパス流路90とからなる。第2主流路89は、流路形成部としての第2主流路形成溝91で構成されている。第2バイパス流路90は、流路形成部としての第2バイパス貫通穴92と、第2バイパス入口穴93と、第2バイパス形成溝94と、第2バイパス出口穴95とで構成されている。第3流路10Bは、第3主流路96と第3バイパス流路97とからなる。第3主流路96は、流路形成部としての第3主流路入口98と、第3主流路入口穴99と、第3主流路貫通穴100と、第3主流路出口穴101と、第3主流路出口102とで構成されている。第3バイパス流路97は、流路形成部としての第3バイパス入口溝103と、第3バイパス入口穴104と、第3バイパス出口穴105と、第3バイパス出口溝106とで構成されている。第1本体部16Bは、板状の第1外本体部107と、板状の第1内本体部108とを積層してなる。同様に、第2本体部18Bは、板状の第2外本体部109と、板状の第2内本体部110とを積層してなる。本体2Bは、第1内本体部108と第2内本体部110の間に板状部14Bが配置され、一体化されている。第1外本体部107には、第3主流路入口98と、第3バイパス入口溝103と、第1バイパス形成溝86とが形成されている。第3主流路入口98は、厚さ方向に貫通した穴で構成されている。第3バイパス入口溝103は、第1外本体部107の一側表面111において、始点103Sが第3主流路入口98に連通しており、長手方向がy方向に略平行となる位置に終点103Eが形成されている。第1バイパス形成溝86は、第1外本体部107の一側表面111において、x方向に略平行に形成され、始点86Sと終点86Eが当該一側表面111内に配置されている。また、第1バイパス形成溝86は、中間部が第3バイパス入口溝103を迂回するようにハット状に屈曲して形成されている。第1内本体部108は、第3主流路入口穴99と、第3バイパス入口穴104と、第1バイパス入口穴85と、第1バイパス出口穴87と、第2主流路形成溝91とが形成されている。第3主流路入口穴99は、第1外本体部107に形成された第3主流路入口98に対応する位置に形成されている。第3バイパス入口穴104は、第1外本体部107に形成された第3バイパス入口溝103の終点103Eに対応する位置に形成されている。これら、第3主流路入口穴99と、第3バイパス入口穴104は、第1内本体部108の厚さ方向に貫通した穴で構成されている。第1バイパス入口穴85と、第1バイパス出口穴87は、それぞれ第1外本体部107に形成された第1バイパス形成溝86の始点86Sと終点86Eに対応する位置に形成され、第1内本体部108の厚さ方向に貫通した穴で構成されている。第2主流路形成溝91は、第1内本体部108の一側表面112において、y方向に略平行に形成され、始点91Sと終点91Eが第1内本体部108のy方向の外縁を貫通している。また、第2主流路形成溝91は、中間部が、第3主流路入口穴99と、第3バイパス入口穴104とを迂回するようにハット状に屈曲して形成されている。第2内本体部110は、第3主流路出口穴101と、第3バイパス出口穴105と、第2バイパス入口穴93と、第2バイパス出口穴95と、第1主流路形成溝84とが形成されている。第3主流路出口穴101と、第3バイパス出口穴105は、それぞれ第1内本体部108に形成された第3主流路入口穴99と、第3バイパス入口穴104に対応する位置に形成されている。第2バイパス入口穴93と、第2バイパス出口穴95は、それぞれ第1内本体部108に形成された第2主流路形成溝91の始点91S側と終点91E側に連通する位置に形成されている。これら第3主流路出口穴101と、第3バイパス出口穴105と、第2バイパス入口穴93と、第2バイパス出口穴95は、第2内本体部110の厚さ方向に貫通した穴で構成さている。第1主流路形成溝84は、第2内本体部110の一側表面113において、x方向に略平行に形成され、始点84Sと終点84Eが第2内本体部110のx方向の外縁を貫通して形成されている。また、第1主流路形成溝84は、中間部が第3主流路出口穴101と、第3バイパス出口穴105とを迂回するようにハット状に屈曲して形成されている。第1主流路形成溝84は、始点84S側および終点84E側が、第1内本体部108に形成された第1バイパス入口穴85および第1バイパス出口穴87に、それぞれ連通するように形成されている。第2外本体部109は、第3主流路出口102と、第3バイパス出口溝106と、第2バイパス形成溝94とが形成されている。第3主流路出口102は、厚さ方向に貫通した穴で構成されている。第3バイパス出口溝106は、第1外本体部107の一側表面114において、y方向に平行に形成されており、始点106Sが第3主流路入口98に連通し、終点106Eが第3主流路出口102に連通している。第2バイパス形成溝94は、第2外本体部109の一側表面114において、y方向に略平行に形成され、始点94Sと終点94Eが当該一側表面114内であって、第2内本体部110に形成された第2バイパス入口穴93と、第2バイパス出口穴95にそれぞれ対応する位置に配置されている。また、第2バイパス形成溝94は、中間部が第3主流路出口102と第3バイパス出口溝106を迂回するようにハット状に屈曲して形成されている。板状部14Bは、第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23、第3主流路貫通穴100、第1バイパス貫通穴88、および、第2バイパス貫通穴92が形成されている。第1検知部21、第2検知部22、第3検知部23は、それぞれ第1バイパス流路83、第2バイパス流路90、第3バイパス流路97に連通する位置に形成されている。本実施形態の場合、第1検知部21は、第1内本体部108に形成された第1バイパス入口穴85、および、第2内本体部110に形成された第1主流路形成溝84の始点84S側で形成された貫通路内に配置される。第2検知部22は、第1内本体部108に形成された第2主流路形成溝91の終点91E側、および、第2内本体部110に形成された第2バイパス出口穴95で形成された貫通路内に配置される。第3検知部23は、第1内本体部108に形成された第3バイパス入口穴104、および、第2内本体部110に形成された第3バイパス出口穴105で形成された貫通路内に配置される。第3主流路貫通穴100、第1バイパス貫通穴88は、それぞれ、第1内本体部108に形成された第3主流路入口穴99、第1バイパス入口穴85に対応する位置に形成されている。第2バイパス貫通穴92は、第1内本体部108に形成された第2バイパス形成溝94の始点94Sに連通する位置に形成されている。2作用および効果上記のように構成された流速センサ1Bの周囲に空気の流れが生じると、当該空気は流速センサ1Bの本体2Bに当接する。本体2Bに当接した空気は、本体2Bに形成された第1流路6B、第2流路8B、第3流路10Bの少なくとも一つを通って当該本体2B内に流入する。例えば、図16においてx方向から本体2Bに当接した空気は、第1主流路形成溝84を通って、本体2B内に流入する。第1主流路形成溝84内に流入した空気の一部は、第1バイパス流路83に分岐する。第1バイパス流路83に流入した空気は、第1検知部21の一側表面に導入される。一方、第1主流路82を流れる空気は、終点84Eから外部へ放出される。なお、第1主流路82は、第1バイパス貫通穴88および第1バイパス出口穴87を経由して第1バイパス形成溝86の終点86Eから第1検知部21の他側表面に連通しているため、第1検知部21の他側表面の圧力は第1主流路82の終点84Eと等しくなる。このようにして、第1流路6Bに流入した空気は、第1検知部21のカンチレバー部42の受圧部46に対し、一側表面と他側表面との間に圧力差を生じさせる。この圧力差により、カンチレバー部42は、ヒンジ部48を中心に弾性変形をする。同様に、y,z方向から本体2Bに当接した空気は、それぞれ第2主流路形成溝91、第3主流路入口98を通って、本体2B内に流入する。第2主流路形成溝91および第3主流路入口98内に流入した空気の一部は、それぞれ、第2バイパス流路90、第3バイパス流路97に分岐する。当該第2バイパス流路90および第3バイパス流路97に流入した空気は、それぞれ、第2検知部22、第3検知部23のカンチレバー部42の受圧部46に対し、一側表面と他側表面との間に圧力差を生じさせる。この圧力差により、カンチレバー部42は、ヒンジ部48を中心に弾性変形をする。本実施形態に係る流速センサ1Bは、上記第1実施形態と同様な基本的構成を有するので、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。3.変形例本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。例えば、上記実施形態では、流体が空気である場合について説明したが、本発明はこれに限らず、液体にも適用することができる。また、上記実施形態では、互いに直交する3方向の流路を形成した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、任意の方向に任意の数だけ流路を形成することとしてもよい。また、上記第1実施形態では、本体が球状である場合について説明したが、本発明はこれに限らず、立方体や多面体形状であってもよい。また、上記第2実施形態では、第3検知部を第3バイパス流路内に設ける場合について説明したが、本発明はこれに限らず、第3検知部を第3主流路内に設けることとしてもよい。また、上記第2実施形態では、図16において各流路に対し空気の流れる方向を図示したが、本発明はこれに限らず、図16に記載した方向と逆方向に空気が流れた場合にも、同様に流速を測定し得ることはいうまでもない。また、上記第2実施形態では、本体が立方体形状である場合について説明したが、本発明はこれに限らず、球状や多面体形状であってもよい。"