"ペリクルフレームの一方の面上の全周に、ペリクルをガラス基板に貼り付けるための粘着剤層が設けられ、他方の面にペリクル膜が貼り付けられたペリクルであって、前記ペリクルフレームの面と粘着剤層の間にシリコーン樹脂コーティング層を有することを特徴とするペリクル。前記コーティング層の厚さが1μm以上500μm以下である、請求項1に記載されたペリクル。前記粘着剤層が、シリコーン樹脂粘着剤の層である、請求項1又は2に記載されたペリクル。前記粘着剤層が、アクリル樹脂粘着剤の層である、請求項1又は2に記載されたペリクル。ペリクルフレームの一方の面の全周に、ペリクルをガラス基板に貼り付けるための粘着剤層を設ける工程、及び、前記ペリクルフレームの他方の面にペリクル膜を貼り付ける工程を含むペリクルの製造方法であって、前記粘着剤層を設けるペリクルフレームの面上にシリコーン樹脂コーティング層を設けた後に、該コーティング層上に前記粘着剤層を設けることを特徴とするペリクルの製造方法。前記コーティング層の厚さが1μm以上500μm以下である、請求項5に記載されたペリクルの製造方法。前記粘着剤層が、シリコーン樹脂粘着剤の層である、請求項5又は6に記載されたペリクルの製造方法。前記粘着剤層が、アクリル樹脂粘着剤の層である、請求項5又は6に記載されたペリクルの製造方法。従って本発明の第1の目的は、外観不良の原因となる粘着材層の気泡の発生が抑えられたペリクルを提供することにある。また、本発明の第2の目的は、該ペリクルの製造方法を提供することにある。本発明者は、上記の課題を解決するために鋭意検討を重ねた結果、ペリクルフレームとペリクルを基板等に貼り付けるための粘着剤層との間に、シリコーン樹脂によるコーティング層を設けることによって、粘着剤層中に気泡が発生することを防止することができることを見出し、本発明に到達した。即ち本発明は、ペリクルフレームの一方の面上の全周に、ペリクルをガラス基板に貼り付けるための粘着剤層が設けられ、他方の面にペリクル膜が貼り付けられたペリクルであって、前記ペリクルフレームの面と粘着剤層の間にシリコーン樹脂コーティング層を有することを特徴とするペリクル、及び、ペリクルフレームの一方の面の全周に、ペリクルをガラス基板に貼り付けるための粘着剤層を設ける工程、並びに、前記ペリクルフレームの他方の面にペリクル膜を貼り付ける工程を含むペリクルの製造方法であって、前記粘着剤層を設けるペリクルフレームの面上にシリコーン樹脂のコーティング層を設けた後に、該コーティング層上に前記粘着剤層を設けることを特徴とするペリクルの製造方法である。本発明において、前記シリコーン樹脂コーティング層の厚さは1μm以上500μm以下であることが好ましい。また、前記粘着剤層は、シリコーン樹脂粘着剤の層又はアクリル樹脂粘着剤の層であることが好ましい。本発明は、ペリクルフレームは粘着剤塗布部分の凸凹に気泡が混入することを防ぐことができる。これによって、ペリクルの外観の不良を防ぐことができるので、歩留りを改善することができる。以下、図面を参照して本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。図1は本発明のペリクルの一実施態様を示す縦断面図である。図1中の符号1はペリクルである。このペリクル1では、フォトマスク又はそのガラス基板部分等の、ペリクル1を貼り付ける基板の形状に対応させたペリクルフレーム12の上端面にペリクル膜11が張設される。ペリクル1の形状は、通常は長方形又は正方形である。ペリクルフレーム12の下端面にはシリコーン樹脂コーティング層13を介して、ペリクルを基板に貼り付けるための粘着剤層14が形成されている。また、粘着剤層14の下面には、該粘着剤層14を保護するための剥離シート15が貼り付けられており、該剥離シート15は、使用時には剥離される。本発明で使用するペリクル膜は、光の透過性が良好なものであれば特に材質が制限されることはなく、ニトロセルロース、酢酸セルロース及びフッ素樹脂等の公知のものを使用することができる。また、本発明で使用するペリクルフレームの材質も特に制限はなく、アルミニウム、ステンレススチール等の金属、ポリエチレンなどの合成樹脂等、公知のものを使用することができる。本発明においては、ペリクルフレーム12の一方の面に、ペリクルフレームを基板に貼り付けるために、全周にわたって粘着剤層14を設けるが、予めペリクルフレーム表面にコーティング層13を設けた後、該コーティング層上に前記粘着剤層14を設ける必要がある。粘着剤層の幅は、通常、ペリクルフレームのフレーム幅と同寸であるが、それ以下の寸法でもよい。コーティング層13には、耐候性及び作業性に優れたシリコーン樹脂コーティング剤を使用する。シリコーン樹脂コーティング剤としては、公知のものを使用することができるが、粘着性を有するシリコーン樹脂コーティング剤が好ましい。例えば、信越化学工業株式会社製のX-40-3122、KR-3700、X-40-3068等の市販のものを使用することができる。図2~5を用いて説明すると、ペリクルフレーム21の表面又は表面塗装に凸凹22がある場合、この上に粘着剤24を直接塗布すると、気泡23が粘着剤24中に巻き込まれることがある。しかしながら、ペリクルフレーム21の表面又は表面上に予めシリコーン樹脂コーティング層25を設けることによって、凹部を埋めると共に、表面を平滑化するので、粘着剤24を塗布する際に気泡が発生せず、粘着剤がペリクルフレーム表面に密着する。コーティング層の風乾後の厚さは1μm以上500μm以下であることが好ましく、1μm以上250μm以下であることが更に好ましく、1μm以上100μm以下であることが最も好ましい。コーティング層の厚さが1μmより薄いとペリクルフレーム表面の凸凹を全て覆うことができなくなり、また500μmよりも厚いとコーティング層中に気泡を巻き込む可能性がある。尚、コーティング層は、ペリクルフレーム上の凹部を埋めると共に、表面を平滑化するために設けられるものであるから、シリコーン樹脂コーティング剤を有機溶剤で希釈し、粘度を下げて塗布する必要がある。このときのコーティング剤の粘度は、1mPas~100mPasであることが好ましい。また、コーティング剤の塗布方法としては、刷毛塗り、スプレー、自動ディスペンサ等による方法が挙げられる。上述したようにしてペリクルフレームに設けられたコーティング層上に、粘着剤を塗布して粘着剤層を設ける。粘着剤としては、耐候性、作業性の点からシリコーン樹脂粘着剤又はアクリル樹脂粘着剤を使用することが好ましい。粘着剤の塗布方法としては、前記コーティング剤の塗布に用いられるものと同様の方法を使用することができる。シリコーン樹脂粘着剤としては、公知のものを使用することができ、例えば、信越化学工業株式会社製のシリコーン粘着剤X-40-3122、KR-3700、X-40-3068等の市販のシリコーン粘着剤を使用することができる。特に、粘着強度が高い上、揮発性の低分子シロキサンが予め低減されているX-40-3122を使用することが好ましい。アクリル樹脂粘着剤としても、公知のものを使用することができ、例えば、綜研化学株式会社製のSKダインシリーズ等の市販のものを配合することができる。特に、粘着強度が高い上、作業性に優れているSKダイン1425を使用することが好ましい。また、前記粘着剤には、目的に応じて本発明の特徴を妨げない範囲で、顔料、染料、可塑剤、帯電防止剤、導電性付与剤、難燃性付与剤、熱伝導性向上剤、耐熱性向上剤、耐候性向上剤、チキソ性付与剤、抗菌剤、防カビ剤等の他の成分を配合してもよい。更に、粘着剤の粘度が高く、塗布装置による塗布が困難な場合は、必要に応じて溶剤を用いて粘着剤を希釈してもよい。溶剤の例としては、トルエン、キシレン等の芳香族系溶剤、ヘキサン、オクタン、イソオクタン、イソパラフィン等の脂肪族系溶剤、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶剤、ジイソプルピルエーテル、1,4-ジオキサン等のエーテル系溶剤、又はこれらの混合溶剤が挙げられる。本発明のペリクルには、粘着剤層を保護するため、粘着剤層表面に剥離シートを適宜、貼り付けてもよい。ペリクルは、該剥離シートが貼り付けられた状態で流通保管され、ペリクルの使用時に剥離シートを剥離する。剥離シートの材質には特に制限はなく、公知のものを使用することができ、また、剥離シートを粘着剤層に貼り付ける方法も特に制限はなく、公知の方法を使用することができる。以下、実施例及び比較例によって、更に本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。外寸782×474mm、内寸768×456mm、高さ5.0mmの長方形のアルミニウム合金製フレームを、機械加工により製作し、上面及び下面の各々の外辺及び内辺の縁部をR加工し、両面各々の平面部分の幅を4.0mm、コーナー部のRの内寸を2.0mm及び外寸をR6.0mmとした。更に、表面粗さRaが0.5~1.0μmとなるように、SUSビーズによりブラスト処理を行った後、表面に黒色アルマイト処理を施し、ペリクルフレームとした。得られたペリクルフレームをクリーンルームに搬入し、中性洗剤と純水により、十分に洗浄した後、乾燥させた。シリコーン粘着剤X-40-3122信越化学工業株式会社製の商品名をシリコーン分が5wtになるようにトルエンで希釈して、コーティング剤を調製した。得られたコーティング剤を、自動ディスペンサ岩下エンジニアリング株式会社製、図示せずを用いて、ペリクルフレームの下面に、風乾後のコーティング層の厚さが50μmになるように塗布した後、溶剤が揮発するまで風乾させた。次に、粘着剤としてX-40-3122を、前記自動ディスペンサを用いて前記コーティング層上に塗布した。更に、粘着剤が流動しなくなるまで風乾させた後、更に高周波誘導加熱装置図示せずを用いてペリクルフレームを130°Cまで加熱し、粘着剤を硬化させた。ペリクルフレーム上端面にはシリコーン粘着剤KR-3700信越化学工業株式会社製の製品名を介して、フッ素樹脂系のペリクル膜を貼り付け、フレームより外側の膜の不要部をカッターを用いて切除し、ペリクルを完成させた。粘着剤としてSKダイン1425綜研化学株式会社製の商品名を使用したこと以外は、実施例1と同様の手法によりペリクルを作製した。[比較例1]ペリクルフレームにコーティング剤をコーティングしなかったこと以外は、実施例1と同様の手法によりペリクルを作製した。[評価方法]実施例1、2及び比較例1のペリクルをそれぞれ5台製作し、目視にて粘着剤層中の気泡の有無を確認した。気泡の有無、及び、気泡が1個以上確認されたペリクルの台数を表1に示す。表1の結果から、本発明のようにペリクルフレームに予めコーティング剤を塗布することによって、粘着剤中に気泡を巻き込むことがなくなり、歩留りの低下を防止することができることが確認された。"