モータと、上記モータの回転軸に取り付けられ上記モータの回転により回転軸方向に気体を流す羽根と、上記モータと上記羽根とを収納し気体の吸い込み口側と吐き出し口側が開口するブロワケーシングと、上記ブロワケーシングの外周部に突出して設けられる取付部を上記取付部の吸い込み口側に配置される取付対象のブロワ支持部材に取り付ける弾性部材と、上記取付部の吸い込み口側に上記ブロワケーシングの外周部全周に設けられるフランジ部とを備え、上記弾性部材は、上記回転軸と略直交する同一平面内に3以上配置され、上記各弾性部材を頂点とする多角形の内部に上記回転軸を含み、上記各弾性部材の上記回転軸方向両端部に上記回転軸と略直交する接着面を有し、一方の接着面に上記取付部が、他方の接着面に上記ブロワ支持部材がそれぞれ接着によって固定され、上記フランジ部は、上記弾性部材の上記回転軸方向の厚みより小さい隙間を介して上記ブロワ支持部材と向かい合うように設けられるブロワ装置。上記ブロワ装置の上記ブロワ支持部材への取り付け時に上記ブロワ装置を上記回転軸と直交しかつ水平な方向から見た場合に、上記各弾性部材のうち最も低い位置に配置される弾性部材の重心G1から上記ブロワ装置の重心までの吸い込み口側を正とする水平方向距離をL1、上記各弾性部材のうち最も高い位置に配置される弾性部材の重心G2から上記ブロワ装置の重心までの吸い込み口側を正とする水平方向距離をL2、上記ブロワ装置の重心に働く重力をM、上記ブロワ装置の吸い込み力をF、上記回転軸から上記最も低い位置に配置される弾性部材の重心G1までの下向きを正とする距離をR1、上記回転軸から上記最も高い位置に配置される弾性部材の重心G2までの上向きを正とする距離をR2、とすると、以下1~6のいずれかの条件を満たすように上記各弾性部材を配置する請求項1に記載のブロワ装置。1L2≦L1、L2>0、FR2-ML2≧02L2≦L1、L2≦0、L1≧03L2≦L1、L1<0、FR1ML1≧04L2>L1、L1>0、FR2-ML2≧05L2>L1、L1<0、L2>0、FR1ML1≧0、FR2-ML2≧06L2>L1、L2<0、FR1ML1≧0上記フランジ部と上記ブロワ支持部材との間の隙間に中空の弾性部材を備えた請求項1または2に記載のブロワ装置。上記フランジ部と上記ブロワ支持部材との間の隙間にスポンジを備えた請求項1または2に記載のブロワ装置。上記各弾性部材の配置は、上記2の条件を満たすように配置する請求項2に記載のブロワ装置。放電によりレーザガスを励起してレーザ光を発生し、上記レーザガスをブロワ装置にて循環させるガスレーザ発振装置において、上記ブロワ装置は、モータと、上記モータの回転軸に取り付けられ上記モータの回転により回転軸方向に気体を流す羽根と、上記モータと上記羽根とを収納し気体の吸い込み口側と吐き出し口側が開口するブロワケーシングと、上記ブロワケーシングの外周部に突出して設けられる取付部を上記取付部の吸い込み口側に配置される取付対象のブロワ支持部材に取り付ける弾性部材と、上記取付部の吸い込み口側に上記ブロワケーシングの外周部全周に設けられるフランジ部とを備え、上記弾性部材は、上記回転軸と略直交する同一平面内に3以上配置され、上記各弾性部材を頂点とする多角形の内部に上記回転軸を含み、上記各弾性部材の上記回転軸方向両端部に上記回転軸と略直交する接着面を有し、一方の接着面に上記取付部が、他方の接着面に上記ブロワ支持部材がそれぞれ接着によって固定され、上記フランジ部は、上記弾性部材の上記回転軸方向の厚みより小さい隙間を介して上記ブロワ支持部材と向かい合うように設けられるガスレーザ発振装置。上記ブロワ装置は、上記ブロワ装置の上記ブロワ支持部材への取り付け時に上記ブロワ装置を上記回転軸と直交しかつ水平な方向から見た場合に、上記各弾性部材のうち最も低い位置に配置される弾性部材の重心G1から上記ブロワ装置の重心までの吸い込み口側を正とする水平方向距離をL1、上記各弾性部材のうち最も高い位置に配置される弾性部材の重心G2から上記ブロワ装置の重心までの吸い込み口側を正とする水平方向距離をL2、上記ブロワ装置の重心に働く重力をM、上記ブロワ装置の吸い込み力をF、上記回転軸から上記最も低い位置に配置される弾性部材の重心G1までの下向きを正とする距離をR1、上記回転軸から上記最も高い位置に配置される弾性部材の重心G2までの上向きを正とする距離をR2、とすると、以下1~6のいずれかの条件を満たすように上記各弾性部材を配置する請求項6に記載のガスレーザ発振装置。1L2≦L1、L2>0、FR2-ML2≧02L2≦L1、L2≦0、L1≧03L2≦L1、L1<0、FR1ML1≧04L2>L1、L1>0、FR2-ML2≧05L2>L1、L1<0、L2>0、FR1ML1≧0、FR2-ML2≧06L2>L1、L2<0、FR1ML1≧0ガス等の循環用のブロワ装置は、例えばレーザ加工に用いられるガスレーザ発振装置等に使われる。ガスレーザ発振装置は、加工能力向上のため高出力化が進んでおり、大量のレーザガスを冷却する必要がある。このためブロワ装置は、高速回転化やファン直径の大型化が求められている。近年、高トルクモータの採用によりブロワ装置の回転数は10000rpmを超えてきている。しかし、ブロワ装置の高速回転化やファン直径の大型化によりブロワ装置の振動が大きくなり、その振動がガスレーザ発振装置の筐体に伝わって、ガスレーザ発振装置の振動や騒音の原因となっている。上記従来の振動発生機器の取り付け構造は、弾性部材を介してファン等を支持するものの、弾性部材の中心に取り付け部材を通してファン等を固定している。このためファン等の振動は取り付け部材を介してファン等が取り付けられる筐体に伝わり、十分に防振効果が得られないという問題があった。またファン等が取り付けられる筐体と取り付け用支持部材とが振動時に接触しないように、大きな隙間をあけているため、取り付け部分における気密性が低下するという問題があった。また、上記従来のレーザ装置は、アイソレータを介して、支持用座を支持板の上にボルトで締結することで送風機と装置本体とを取り付けている。このため、アイソレータの中をボルトが通っており、送風機の振動はボルトを介して装置本体に伝わる。このため十分に防振効果が得られないという問題があった。また、上記従来のファン装置は、ゴム製のブッシュを各取付ボスに嵌合させ、各取付ボスのねじ穴に取付ねじをねじ込むことによりファン装置をファン取付部に固定する。このため、ブッシュの中を取付ボスおよび取付ねじが通っており、ファンの振動は取付ねじを介してファン取付部に伝わり、十分に防振効果が得られないという問題があった。この発明は、上記のような問題点を解消するために成されたものであって、防振性の高いブロワ装置、およびこのブロワ装置を備えた低振動低騒音のガスレーザ発振装置を得ることを目的とする。この発明にかかるブロワ装置は、モータと、上記モータの回転軸に取り付けられ上記モータの回転により回転軸方向に気体を流す羽根と、上記モータと上記羽根とを収納し気体の吸い込み口側と吐き出し口側が開口するブロワケーシングと、上記ブロワケーシングの外周部に突出して設けられる取付部を上記取付部の吸い込み口側に配置される取付対象のブロワ支持部材に取り付ける弾性部材と、上記取付部の吸い込み口側に上記ブロワケーシングの外周部全周に設けられるフランジ部とを備えている。上記弾性部材は、上記回転軸と略直交する同一平面内に3以上配置され、上記各弾性部材を頂点とする多角形の内部に上記回転軸を含み、上記各弾性部材の上記回転軸方向両端部に上記回転軸と略直交する接着面を有し、一方の接着面に上記取付部が、他方の接着面に上記ブロワ支持部材がそれぞれ接着によって固定される。上記フランジ部は、上記弾性部材の上記回転軸方向の厚みより小さい隙間を介して上記ブロワ支持部材と向かい合うように設けられる。またこの発明に係るガスレーザ発振装置は、放電によりレーザガスを励起してレーザ光を発生し、上記レーザガスをブロワ装置にて循環させる。そして、上記ブロワ装置は、モータと、上記モータの回転軸に取り付けられ上記モータの回転により回転軸方向に気体を流す羽根と、上記モータと上記羽根とを収納し気体の吸い込み口側と吐き出し口側が開口するブロワケーシングと、上記ブロワケーシングの外周部に突出して設けられる取付部を上記取付部の吸い込み口側に配置される取付対象のブロワ支持部材に取り付ける弾性部材と、上記取付部の吸い込み口側に上記ブロワケーシングの外周部全周に設けられるフランジ部とを備えている。上記弾性部材は、上記回転軸と略直交する同一平面内に3以上配置され、上記各弾性部材を頂点とする多角形の内部に上記回転軸を含み、上記各弾性部材の上記回転軸方向両端部に上記回転軸と略直交する接着面を有し、一方の接着面に上記取付部が、他方の接着面に上記ブロワ支持部材がそれぞれ接着によって固定される。上記フランジ部は、上記弾性部材の上記回転軸方向の厚みより小さい隙間を介して上記ブロワ支持部材と向かい合うように設けられる上記ブロワ装置によれば、各弾性部材の回転軸方向両端部に回転軸と略直交する接着面を有し、一方の接着面に取付部が、他方の接着面にブロワ支持部材がそれぞれ接着によって固定さているため、ブロワ装置の振動がブロワ支持部材に伝わりにくく、防振効果の高いブロワ装置を得ることができる。そして、その接着面が回転軸と略直交するため、径方向の振動伝達を効果的に防止できる。また、軸方向の振動に対する弾性部材の軸方向の変位が小さくなるため、弾性部材の回転軸方向の厚みより小さい隙間を介してブロワ支持部材と向かい合うフランジ部を設けても、フランジ部がブロワ支持部材に接触することを防止できる。そしてこのフランジ部により気体漏れを最小限に抑えることができる。上記ガスレーザ発振装置によれば、ブロワ装置を備え、ブロワ装置の各弾性部材の回転軸方向両端部に回転軸と略直交する接着面を有し、一方の接着面に取付部が、他方の接着面にブロワ支持部材がそれぞれ接着によって固定さているため、ブロワ装置の振動がガスレーザ発振装置の筐体に伝わることを効果的に防止し、ガスレーザ発振装置の振動や騒音を低減することができる。そして、その接着面が回転軸と略直交するため、径方向の振動伝達を効果的に防止できる。また、軸方向の振動に対する弾性部材の軸方向の変位が小さくなるため、弾性部材の回転軸方向の厚みより小さい隙間を介してブロワ支持部材と向かい合うフランジ部を設けても、フランジ部がブロワ支持部材に接触することを防止できる。そしてこのフランジ部により気体漏れを最小限に抑えることができ、筐体内におけるレーザガスの循環を円滑に行うことができる。実施の形態1.以下、この発明の実施の形態1について説明する。図1は、この発明の実施の形態1によるブロワ装置10の構成を示す斜視図、図2はブロワ装置10を取付対象のブロワ支持部材に取り付けた状態の断面図であり、図1の矢印Aの方向から見た場合である。図1、図2に示すように、ブロワ装置10はDCブラシレスモータや誘導電動機等のモータ1と、モータ1の回転軸2の軸方向両側に取り付けられモータ1の回転により回転軸方向に気体を流す羽根としての動翼3と、モータ1と動翼3とを内側に収納し気体の吸い込み口側と吐き出し口側が開口する略円筒状のブロワケーシング4とを備えている。モータ1は静翼5を介してブロワケーシング4に支持されている。図2中の矢印Bの方向は気体が流れる方向であり、ブロワケーシング4の右側が吸い込み口側、左側が吐き出し口側である。また、図1、図2中一点鎖線2Aは回転軸2の軸線を示している。なお、本実施の形態1ではブロワケーシング4の形状は略円筒状であるが、これに限られるものではなく、例えば断面略四角形状の筒状であってもよい。また、回転軸2の軸方向両端に動翼3を設けたが、いずれか一方側だけに設けてもよい。またモータ1の支持部として静翼5を備えたが、静翼以外のモータ支持構造であってもよい。ブロワケーシング4は、外周部全周に外側へ張り出すように設けられた張り出し部410を有し、張り出し部410には周方向等間隔かつ等半径の位置となるように取付部41が4箇所設けられている。取付部41には取付孔が形成されている。取付部41の吸い込み口側には、取付対象のブロワ支持部材6が略円形の開口部60を有してブロワケーシング4を取り囲むように配置される。取付部41はブロワ支持部材6にゴム状の弾性部材7を介して取り付けられる。取付部41が設けられた張り出し部410の吸い込み口側には、ブロワケーシング4の外周部全周に径方向外側へ張り出すリング状のフランジ部42が設けられている。本実施の形態1では張り出し部410とフランジ部42は一体に構成されている。フランジ部42の吸い込み口側のフランジ面42Aとブロワ支持部材6の支持面6Aとが向かい合い、取り付け部分の全周囲に弾性部材7の回転軸方向の厚みより小さい隙間Xを形成している。また、弾性部材7はフランジ部42よりも径方向外側の位置に配置されている。なお、本実施の形態1では周方向等間隔かつ等半径で取付部41を4箇所設け、4個の弾性部材7を配置する構成としたがこれに限られるものではない。弾性部材7の配置は3個以上で、各弾性部材7が頂点をなす多角形を想定した場合にその内部に回転軸2を含むように配置していればよい。また、本実施の形態1ではブロワケーシング4にリング状の張り出し部410を設け、その張り出し部410に取付部41を設ける構成としたが、これに限られるものではなく、取付部41がブロワケーシング4の外周部に突出して設けられればよい。また本実施の形態1ではフランジ部42が取付部41より径方向内側に配置される構成であったがこれに限られるものではない。例えば、張り出し部410の径方向内側に取付部41を設け、その径方向外側に張り出し部410から吸い込み口側へ突出するフランジ部42を設ける構成でも良い。次にゴム状の弾性部材7について説明する。本実施の形態1では、弾性部材7として防振ゴム70を使用する。防振ゴム70は一般的な構造であり、防振ゴム70の拡大図を図3に示す。防振ゴム70は2枚の平行な金具板71A、71Bの間にゴム72を配置し、各金具板71A、71Bとゴム部72を接着固定したもので、接着面73A、73Bを備えている。両金具板71A、71Bの接着面73A、73Bと反対側には固定用のネジ74A、74Bが設けられている。取付部41の吸い込み口側の取付面41Aには防振ゴム70の一方の金具板71Aが、ネジ74Aとナット75Aとにより取付部41の取付孔を介して固定される。また、取付面41Aと対向するブロワ支持部材6の支持面6Aには防振ゴム70の他方の金具板71Bが、ネジ74Bとナット75Bとによりブロワ支持部材6に設けられた取付孔6Bを介して固定される。取付面41Aと支持面6Aは回転軸2と略直交し、これら各面に取り付けられた金具板71A、71Bのゴム部72との接着面73A、73Bも、回転軸2と略直交する。取付部41側とブロワ支持部材6側との間では、取付部41と防振ゴム70、ブロワ支持部材6と防振ゴム70がゴム部72の接着面73A、73Bによる接着力によってそれぞれ固定されているが、ゴム部72内に固定用のピン等が挿入されていないため、ゴム本来の弾性特性を十分に生かすことができる。なお、本実施の形態1では弾性部材7として金具板71A、71Bを備えた防振ゴム70を使用したがこれに限られるものではない。例えば、ゴム部材を直接取付面41Aおよび支持面6Aに接着する構成としてもよい。ここで、動翼の回転によるブロワ装置の振動について説明する。ブロワ装置の振動について出願人が行った実験により、ブロワ装置の振動は、回転軸方向よりも回転軸と直交する径方向の加振力が大きいことがわかった。モータを構成するロータの回転軸に対するアンバランスが原因で発生する遠心力は回転速度の2乗に比例する。従って、近年の10000rpmを超えるブロワ装置の高速回転化により、大きな遠心力が発生し径方向の加振力はますます増大している。また、ロータのアンバランスに起因する振動はブロワ装置の回転周波数と同じで低い周波数であるため防振が難しい。このような、大きい加振力や低周波の振動に対する防振用のゴムとしては、防振効果の高い小さいバネ定数のものが適している。なお、ロータアンバランスに起因する振動に対し、モータの磁極や動翼の個々のばらつき等に起因する振動等は回転数の数倍以上と高い周波数となるため、防振は比較的容易である。一方、一般にゴムは剪断方向と圧縮方向でバネ定数に大きな差がある。例えば、天然ゴム系のゴムでは1/7倍程度、剪断方向の方が圧縮方向よりバネ定数が小さい。上記の点をふまえ、本実施の形態1によるブロワ装置10の各構成による作用や効果について説明する。ブロワケーシング4の取付部41はゴム部72との接着によりブロワ支持部材6に取り付けられる。そしてその接着面73A、73Bは回転軸2と略直交する。まず、このような構成による作用効果を説明する。このような構成により、ブロワ装置10に生じる径方向の振動に対してはゴム部72がバネ定数の小さい剪断方向に作用する。このため、ロータのアンバランスにより低周波でかつ大きい加振力が、ブロワ支持部材6へ伝達することを効果的に防止できる。また、ブロワ装置10に生じる回転軸方向の振動に対してはゴム部72が圧縮方向に作用する。ゴム部72の圧縮方向はバネ定数が大きいため支持力が高く、ブロワ装置10の吸い込み力や回転軸方向の振動によるゴム部72の軸方向の変位は小さい。このため、取付部41とブロワ支持部材6との軸方向の間隔の変化が小さく、フランジ部42とブロワ支持部材6との接触を防止できる。また、ゴムの圧縮方向はゴムの強度も高い。このため、強力なブロワ装置10の吸い込み力による圧縮荷重によってゴム部72が破損することを防止できる。また、接着面73A、73Bにより接着固定されたゴム部72の場合、応力分布が均一となり、局所的に高い応力の発生がないため耐久性が高い。なお、本実施の形態1ではゴム製の弾性部材7を用いた例を示したが、材質はこれに限られず、プラスチック製等のものであってもよい。次に、ブロワケーシング4の外周部全周に設けられたフランジ部42の効果について説明する。本実施の形態1の構成においては、取付部41とブロワ支持部材6との間に防振ゴム70の軸方向の厚み分の隙間が生じてしまう。しかしリング状のフランジ部42を設けることにより、フランジ部42とブロワ支持部材6との間の全周囲に均一な隙間を形成し、取付部分の隙間を小さくすることができる。このため、ブロワ装置10の取付部分における気体漏れを防止することができる。また上述の通り、取付部41とブロワ支持部材6との軸方向の間隔の変化が小さい。このため、フランジ部42とブロワ支持部材6との接触を防ぐために大きな隙間を設けておく必要がなく、接触しない範囲で隙間をより小さく設定できる。これにより、ブロワ装置10の取付部分における気密性をより高めることができる。次に、取付部41の吸い込み口側に防振ゴム70を配置したことについての作用効果を説明する。取付部41の吸い込み口側に防振ゴム70を配置すると、動翼3の回転による吸い込み力は防振ゴム70の接着面73A、73Bを圧縮する方向に作用する。従って、接着部分が剥離することを防止できる。さらに、接着部分の剥離をより確実に防止するための防振ゴム70の配置について説明する。図4、図5は、ブロワ装置10のブロワ支持部材6への取り付け時に、回転軸2に直交しかつ水平な方向からみたときのブロワ装置10に働く力のつり合いを示す図でる。図4はブロワ装置10の吸い込み口側が下向きの場合、図5は吸い込み口側が上向きの場合を示す。以下の6通りの条件式のいずれかを満たすように防振ゴム70を配置する。図4、図5中の点線C1は水平方向を示す線、一点鎖線C2は回転軸2に直交する線である。1L2≦L1、L2>0、FR2-ML2≧02L2≦L1、L2≦0、L1≧03L2≦L1、L1<0、FR1ML1≧04L2>L1、L1>0、FR2-ML2≧05L2>L1、L1<0、L2>0、FR1ML1≧0、FR2-ML2≧06L2>L1、L2<0、FR1ML1≧0図4、5および上記各式に示す記号の説明は以下の通りである。G1:最も低い位置に配置される防振ゴム70の重心G2:最も高い位置に配置される防振ゴム70の重心L1:G1からブロワ装置10の重心までの水平方向距離吸い込み口側を正L2:G2からブロワ装置10の重心までの水平方向距離吸い込み口側を正M:ブロワ装置10に働く重力正の値F:ブロワ装置10の吸い込み力正の値R1:回転軸の軸線2AからG1までの距離下向きを正R2:回転軸の軸線2AからG2までの距離上向きを正f1:G1からの回転軸方向の反力G1圧縮時に発生する反力が正f2:G2からの回転軸方向の反力G2圧縮時に発生する反力が正上記各式の作用を説明する。図4、図5において、G1回り、及びG2回りのモーメントのつり合い条件より、ML1FR1-f2R1R2=0AML2-FR2f1R1R2=0Bが得られる。A、B式よりR1R2f2=FR1ML1CR1R2f1=FR2-ML2Dここで、各防振ゴム70が頂点をなす多角形を想定した場合にその内部に回転軸2が含まれるよう各防振ゴム70を配置しているため、G1は回転軸よりも下側、G2は回転軸よりも上側となる。従ってR1>0、R2>0である。1式の内容について説明する。ブロワ装置10の吸い込み口側が下向きの場合L2≦L1で、ブロワ装置10の重心がG2よりも吸い込み口側にある場合L2>0は、L1>0のため、C式よりf2>0で、最も高い位置に配置される防振ゴム70は圧縮されている状態となる。つまりG2に引っ張り荷重がかかることはない。また、FR2-ML2≧0の条件を満たせば、D式よりf1≧0となり、最も低い位置に配置される防振ゴム70は圧縮されている状態または荷重がかからない状態となる。つまりG1に引っ張り荷重はかからない。2式の内容について説明する。ブロワ装置10の吸い込み口側が下向きの場合L2≦L1で、ブロワ装置10の重心がG1とG2の間にある場合L2≦0、L1≧0は、C式、D式より、F=0の場合でも、f2≧0、f1≧0となり、G1、G2ともに引っ張り荷重がかかることはない。3式の内容について説明する。ブロワ装置10の吸い込み口側が下向きの場合L2≦L1で、ブロワ装置10の重心がG1よりも吐き出し口側にある場合L1<0は、L2<0のため、D式よりf1>0で、G1に引っ張り荷重がかかることはない。また、FR1ML1≧0の条件を満たせば、C式よりf2≧0となり、G2に引っ張り荷重はかからない。4式の内容について説明する。ブロワ装置10の吸い込み口側が上向きの場合L2>L1で、ブロワ装置10の重心がG1よりも吸い込み側にある場合L1>0は、C式よりf2>0で、G2に引っ張り荷重がかかることはない。また、FR2-ML2≧0の条件を満たせば、D式よりf1≧0となり、G1に引っ張り荷重はかからない。5式の内容について説明する。ブロワ装置10の吸い込み口側が上向きの場合L2>L1で、ブロワ装置10の重心がG2とG1の間にある場合L1<0、L2>0は、FR1ML1≧0とFR2-ML2≧0の両方の条件をみたせば、C式、D式よりf2≧0、f1≧0となり、G1、G2ともに引っ張り荷重はかからない。6式の内容について説明する。ブロワ装置10の吸い込み口側が上向きの場合L2>L1で、ブロワ装置10の重心がG2よりも吐き出し側にある場合L2<0は、L2<0のため、D式よりf1>0で、G1に引っ張り荷重がかかることはない。また、FR1ML1≧0の条件を満たせば、C式よりf2≧0となり、G2に引っ張り荷重はかからない。以上の説明の通り、1~6の条件のいずれかを満たすように防振ゴム70を配置することで、少なくともブロワ装置10の運転時には防振ゴム70の接着面73A、73Bに引っ張り荷重は働かない。このため、剥離を確実に防止することができる。最も望ましいのは2の条件を満たす場合で、ブロワ装置10が停止していても接着面73A、73Bに引っ張り荷重がかかることがない。なお、本実施の形態1では最も低い位置に配置される防振ゴム70と最も高い位置に配置される防振ゴム70との2点にかかる荷重について検討したが、3点以上の場合はより安全側となるため剥離の問題は生じない。実施の形態2.次に、この発明の実施の形態2について説明する。図6は、この発明の実施の形態2によるブロワ装置10Aの構成を示す斜視図、図7はブロワ装置10Aを取付対象のブロワ支持部材に取り付けた状態の断面図であり、図6の矢印Dの方向から見た断面図である。図6、7に示すように、実施の形態2では、実施の形態1の構成に加え、フランジ部42とブロワ支持部材6との間の隙間Xに中空の弾性部材であるゴムチューブ8を備えている。なお、実施の形態1と同一の構成については同一符号を付し説明を省略する。ゴムチューブ8は、隙間Xよりも少し大きい直径を有し、環状に形成されている。隙間Xに環状のゴムチューブ8を圧縮して挟むことで隙間を塞ぎ、ブロワ装置10Aの取付部分における気密性をより高めることができる。中空のゴムチューブ8を使用することで、中実のゴムを使用する場合と比して下記の効果を有する。中空形状のゴムチューブ8は圧縮する際のバネ定数が中実の場合に比して小さい。従って、ゴムチューブ8を圧縮して隙間に挟んだ際に防振ゴム70の接着面73A、73Bに作用する引っ張り荷重が小さく、剥離を防止することができる。また、回転軸方向の振動に対して防振ゴム70が圧縮方向に作用するため、防振ゴム70の軸方向の変位が小さい。このため、ゴムチューブ8のつぶし代を小さくしたとても、振動による隙間が発生することがなく、気密性が保たれる。そして、つぶし代を小さくすることができるため、つぶしたときの反力が小さく、防振ゴム70の接着面73A、73Bに作用する引っ張り荷重を無視できるレベルに小さくできる。なお、本実施の形態2では中空の弾性部材はゴム製のものを用いたが、プラスチック製等の弾性部材であってもよい。なお、中空のゴムチューブ8の代わりにスポンジを挟んでも同様の効果を有する。スポンジは内部に気泡があり圧縮する際のバネ定数が小さいため、中空チューブ形状である必要はなく、隙間Xよりも外径が大きければよい。実施の形態3.次に、この発明の実施の形態3について説明する。実施の形態3によるガスレーザ発振装置は、上記実施の形態1のブロワ装置10を備えている。図8は、ガスレーザ発振装置9の構成を模式的に示す斜視図、図9はガスレーザ発振装置9の構成を模式的に示す断面図である。ガスレーザ発振装置9は、筐体90内に、レーザ光91を発振する発振手段92と、発振手段92を介してレーザガスを矢印E方向に循環させるブロワ装置10と、循環しているレーザガスを途中で冷却する熱交換器93とを備えている。発振手段92は上下に対向する一対の横長の電極92A、92Bを備え、レーザガスは電極92A、92Bの間で放電により励起され、その誘導放出によりレーザ光91を生ずる。電極92A、92Bの両端にはレーザ光91を反復反射して増幅するための一対の反射手段94が設けられ、レーザ光91は励起されたレーザガス中を反射手段94によって反復通過しながら増幅されて出力される。熱交換器93は筐体90に取り付けられており、電極92A、92Bと熱交換器93との間にはレーザガスを導くダクト95が設けられている。レーザガスは励起されるとともに温度が上昇するが、温度上昇によりレーザ光91の出力が低下するため、レーザガスを循環中に熱交換器93により冷却し、レーザ光91の出力を低下しないようにしている。熱交換器93のガス循環方向下流側にはブロワ支持部材6を介してブロワ装置10が筐体90に取り付けられ、筐体90内のレーザガスを循環させている。ブロワ装置10の構成およびブロワ装置10とブロワ支持部材6との取り付け態様は上記実施の形態1に記載の通りであり、図8、図9中において各構成の記載は省略し、説明も省略する。以上のように、本実施の形態3のガスレーザ発振装置9は上記実施の形態1のブロワ装置10を備えているため、上記実施の形態1と同様の効果を有する。そして、ブロワ装置10の振動がガスレーザ発振装置9の筐体90に伝わることを効果的に防止し、ガスレーザ発振装置9の振動や騒音を低減することができる。また、ブロワ装置10とブロワ支持部材6との取り付け部分の隙間を小さくし、取付部分からの気体漏れを抑えることができるため、筐体90内におけるレーザガスの循環を円滑に行うことができる。なお、本実施の形態3では実施の形態1のブロワ装置10を備えた構成としたが、上記実施の形態2のブロワ装置10Aを備えた構成としてもよい。この場合、ブロワ装置10Aの取付部分からの気体漏れをより抑えることができる。