"カーボンナノチューブ層と、該カーボンナノチューブ層を覆うオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法であって、前記カーボンナノチューブ層が、単独では、実質上、エッチングされないものの、前記オーバーコート層のエッチングによって、前記カーボンナノチューブ層が共にエッチングされる前記オーバーコート層のエッチング剤が、前記オーバーコート層上に、所定パターンで塗布される塗布工程を具備することを特徴とするカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法。塗布工程後に洗浄が行われる洗浄工程を更に具備することを特徴とする請求項1のカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法。カーボンナノチューブは単層カーボンナノチューブ但し、G1590cm-1付近に表れるグラファイト物質に共通なラマンピークにおける強度/D1350cm-1付近に表れる欠陥に起因するラマンピークにおける強度≧10であることを特徴とする請求項1又は請求項2のカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法。オーバーコート層は、有機系材料、無機系材料、有機系―無機系複合材料の群の中から選ばれる何れかを含有することを特徴とする請求項1~請求項3いずれかのカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法。オーバーコート層は加水分解性オルガノシランの加水分解物含有組成物で構成されてなることを特徴とする請求項1~請求項3いずれかのカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法。オーバーコート層上に塗布される剤が、有機溶媒、酸性材料、アルカリ性材料、アンモニウム、アルカリ金属のフッ化物、アンチモンのフッ化物、カルシウムの酸性フッ化物、アルキル化アンモニウム、及びテトラフルオロホウ酸カリウムの群の中から選ばれる何れかであることを特徴とする請求項1~請求項5いずれかのカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法。所定パターンの透明導電膜の形成方法であることを特徴とする請求項1~請求項6いずれかのカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法。請求項1~請求項7いずれかのカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法によって形成されてなることを特徴とするパターン。しかしながら、特許文献5の技術で用いられた導電膜除去剤は、カーボンナノチューブを、直接、エッチングする。この為、エッチング領域外のカーボンナノチューブにも影響を与える。すなわち、エッチング領域外のカーボンナノチューブに欠陥を引き起こす恐れが高い。更には、本来のエッチング領域外のカーボンナノチューブをもエッチングする恐れが高い。このことは、形成されるパターンが設計通りのものでない恐れが高い。つまり、高精度なパターンの導電膜が形成され難い。更に、特許文献5の技術は、所定パターンに塗布された導電膜除去剤を80°C以上に加熱する加熱工程を必須としている。従って、作業性が悪い。更には、基板は80°C以上の耐熱性を持つことが要求される。このことは、基板選択の自由度が低下する。従って、本発明が解決しようとする課題は、前記問題点を解決することである。特に、加熱工程を不要とし、かつ、残されたカーボンナノチューブに悪影響が引き起こされ難く、しかも高精度なカーボンナノチューブ層のパターンを形成できる技術を提供することである。前記問題点についての検討が、鋭意、推し進められて行った。その結果、特許文献5の技術の問題点は、カーボンナノチューブを、直接、エッチング除去できる剤を用いたからではないかとの啓示を得るに至った。このような啓示に基づいて更なる検討が推し進められて行った。ところで、カーボンナノチューブ層の表面には、通常、オーバーコート層保護層が設けられている。オーバーコート層保護層が無いケースは皆無と言っても良い程である。従って、カーボンナノチューブを直接エッチングすることは出来ないものの、オーバーコート層をエッチングした場合、このオーバーコート層のエッチングによってカーボンナノチューブも共にエッチングできるようにしたならば、前記問題点が解決できるであろうとの知見を得るに至った。斯かる知見に基づいて本発明が達成された。すなわち、前記の課題は、カーボンナノチューブ層と、該カーボンナノチューブ層を覆うオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法であって、前記カーボンナノチューブ層が、単独では、実質上、エッチングされないものの、前記オーバーコート層のエッチングによって生ずる剤によって、前記カーボンナノチューブ層が共にエッチングされる前記オーバーコート層のエッチング剤が、前記オーバーコート層上に、所定パターンで塗布される塗布工程を具備することを特徴とするカーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法によって解決される。好ましくは、前記カーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法であって、塗布工程後に洗浄が行われる洗浄工程を更に具備することを特徴とする複合層のパターン形成方法によって解決される。好ましくは、前記カーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法であって、カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ但し、G1590cm-1付近に表れるグラファイト物質に共通なラマンピークにおける強度/D1350cm-1付近に表れる欠陥に起因するラマンピークにおける強度≧10であることを特徴とする複合層のパターン形成方法によって解決される。好ましくは、前記カーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法であって、オーバーコート層は、有機系または無機系の材料や、有機―無機のハイブリッド樹脂などが挙げられ、有機系材料としては、例えば熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、セルロース樹脂、光硬化性樹脂、無機系材料としては、例えばシリカゾル、アルミナゾル、ジルコニアゾル、チタニアゾル、これら無機系材料に水や酸触媒を加えて加水分解し脱水縮合させた重合物の群の中から選ばれる何れかを含有することを特徴とする複合層のパターン形成方法によって解決される。好ましくは、前記カーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法であって、オーバーコート層上に塗布される剤が、有機溶媒、酸性材料、アルカリ性材料、アンモニウム、アルカリ金属、およびアンチモンのフッ化物、カルシウムの酸性フッ化物、アルキル化アンモニウム、ならびにテトラフルオロホウ酸カリウムの群の中から選ばれる何れかであることを特徴とする複合層のパターン形成方法によって解決される。前記の課題は、前記カーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法によって形成されてなるパターンによって解決される。例えば、高精度なパターンの透明導電膜が得られる。しかも、80°C以上に加熱と言った工程が不要であるから、作業性が良い。第1の本発明はパターン形成方法である。例えば、所定パターンの透明導電膜を形成する方法である。特に、カーボンナノチューブ層とオーバーコート層とを具備する複合層のパターン形成方法である。本方法は塗布工程を具備する。この塗布工程は所定パターンで塗布が行われる工程である。特に、オーバーコート層上に塗布が行われる工程である。本塗布工程で用いられる剤は、この剤のみでは、カーボンナノチューブ層を、実質上、エッチングできない剤である。しかしながら、前記剤は、オーバーコート層をエッチングできる剤である。この塗布工程に先立って、例えば基板上にカーボンナノチューブ層が設けられる工程を有する。例えば、カーボンナノチューブ分散液が基板上に塗布される工程を有する。このカーボンナノチューブ分散液塗布工程の後、例えばカーボンナノチューブ層上にオーバーコート層が設けられる工程を有する。例えば、オーバーコート層構成材料含有塗料が塗布される工程を有する。本方法は、好ましくは、更に、塗布工程後に行われる洗浄工程を具備する。前記カーボンナノチューブは、好ましくは、単層カーボンナノチューブ但し、G1590cm-1付近に表れるグラファイト物質に共通なラマンピークにおける強度/D1350cm-1付近に表れる欠陥に起因するラマンピークにおける強度≧10である。尚、G/Dの実質上の上限値は、例えば150程度である。前記オーバーコート層は、好ましくは、有機または無機系の材料や、有機―無機のハイブリッド樹脂などが挙げられ、有機系材料としては熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、セルロース樹脂、光硬化性樹脂、無機系材料としてはシリカゾル、アルミナゾル、ジルコニアゾル、チタニアゾル、これら無機系材料に水や酸触媒を加えて加水分解し脱水縮合させた重合物の群の中から選ばれる何れかの樹脂を含有する。特に好ましいオーバーコート層は、4官能加水分解性オルガノシランと、エポキシ基及びアルコキシ基を有する加水分解性オルガノシランとの加水分解物と、シリカ系金属酸化物微粒子とを含有する組成物からなるものである。前記オーバーコート層上に塗布される剤は、好ましくは、有機溶媒、酸性材料、アルカリ性材料、アンモニウム、アルカリ金属、およびアンチモンのフッ化物、カルシウムの酸性フッ化物、アルキル化アンモニウム、ならびにテトラフルオロホウ酸カリウムの群の中から選ばれる何れかである。特に好ましくは、好適に用いられるオーバーコート層に対応するものとして、アンモニウムのフッ化物である。第2の本発明は前記パターン形成方法の実施により形成されたパターンである。以下、更に詳しい説明がされる。図1~図3は本発明の一実施形態を説明する為のもので、図1は本発明の剤塗布工程での断面図、図2は本発明の剤塗布後におけるエッチング具合を示す断面図、図3は本発明の実施により得られたパターンの平面図である。各図中、1は、カーボンナノチューブで構成された導電膜透明導電膜である。導電膜特に、透明導電膜1を構成するカーボンナノチューブCNTとしては、単層カーボンナノチューブ、2層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブ等が挙げられる。中でも、単層カーボンナノチューブが好ましい。特に、G/Dが10以上例えば、20~60の単層カーボンナノチューブが好ましい。更には、直径が0.3~100nmのCNTが好ましい。特に、直径が0.3~2nmのCNTが好ましい。又、長さが0.1~100μmのCNTが好ましい。特に、長さが0.1~5μmのCNTが好ましい。そして、導電膜透明導電膜1におけるCNTは互いに絡み合ったものである。単層カーボンナノチューブは、如何なる製法によって得られた単層カーボンナノチューブでも良い。例えば、アーク放電法、化学気相法、レーザー蒸発法などの製法で得られた単層カーボンナノチューブを用いることが出来る。但し、結晶性の観点から、アーク放電法で得られた単層カーボンナノチューブが好ましい。そして、このものは入手も容易である。単層カーボンナノチューブは、酸処理が施された単層カーボンナノチューブが好ましい。酸処理は、酸性液体中に単層カーボンナノチューブが浸漬されることで実施される。浸漬の代わりに噴霧と言った手法が採用されても良い。酸性液体は各種のものが用いられる。例えば、無機酸や有機酸が用いられる。但し、無機酸が好ましい。例えば、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、或いはこれらの混合物が挙げられる。中でも、硝酸、或いは硝酸と硫酸との混酸を用いた酸処理が好ましい。この酸処理によって、単層カーボンナノチューブと炭素微粒子とがアモルファスカーボンを介して物理的に結合している場合に、アモルファスカーボンを分解して両者を分離したり、単層カーボンナノチューブ作製時に使用した金属触媒の微粒子を分解することになる。そして、酸処理によって、導電性が向上していた。単層カーボンナノチューブは、濾過によって不純物が除去され、純度が向上した単層カーボンナノチューブが好ましい。その理由は、不純物による導電性の低下や光透過率の低下が防止されるからである。濾過には各種の手法が採用される。例えば、吸引濾過、加圧濾過、クロスフロー濾過などが用いられる。中でも、スケールアップの観点から、中空糸膜を用いたクロスフロー濾過の採用が好ましい。導電膜特に、透明導電膜1中には、前記CNTの他に、好ましくは、フラーレンが含まれる。すなわち、導電膜特に、透明導電膜1は、好ましくは、前記特徴のCNT、及びフラーレンを含有する。尚、本明細書にあっては、フラーレンにはフラーレン類縁体も含まれる。フラーレンを含ませておくことにより、耐熱性が向上したからである。又、導電性にも優れていたからである。フラーレンは如何なるフラーレンでも良い。例えば、C60,C70,C76,C78,C82,C84,C90,C96等が挙げられる。勿論、複数種のフラーレンの混合物でも良い。分散性能の観点からはC60が特に好ましい。更に、C60は入手し易い。C60のみでは無く、C60と他の種類のフラーレン例えば、C70との混合物でも良い。フラーレン内部に金属原子が内包されたものでも良い。フラーレン類縁体としては、官能基例えば、OH基、エポキシ基、エステル基、アミド基、スルホニル基、エーテル基などの官能基を含むものが挙げられる。又、フェニル-C61-プロピル酸アルキルエステル、フェニル-C61-ブチル酸アルキルエステルを持つものも挙げられる。又、水素化フラーレンなども挙げられる。中でも、OH基水酸基を持つフラーレン水酸化フラーレンが好ましい。それは、単層カーボンナノチューブ分散液の塗工時の分散性が高かったからである。尚、水酸基の量が少ないと、単層カーボンナノチューブの分散性向上度が低下する。逆に、多すぎると、合成が困難である。従って、OH基の量はフラーレン1分子当り5~30個が好ましい。特に、8~15個が好ましい。フラーレンの添加量含有量は、多すぎると、導電性が低下する。逆に、少なすぎると、効果が乏しい。従って、フラーレン量は、好ましくは、CNT100質量部に対して10~1000質量部特に、20質量部以上。100質量部以下。である。尚、導電膜特に、透明導電膜1は、バインダ樹脂を含有していても良い。但し、導電性の観点からすると、バインダ樹脂を含まない方が好ましい。例えば、CNTが絡み合った構造のものが用いられと、バインダ樹脂が無くても済む。すなわち、CNT同士が、直接、接触した構造となる。従って、間に絶縁物が介在してないことから、導電性が良い。尚、走査型電子顕微鏡で導電膜表面を観察したならば、CNTが絡み合った構造であるか否かを確認判定できる。導電膜透明導電膜1は、上記特徴のCNT、及び必要に応じて添加されたフラーレンが分散した分散液が基板2の上に塗布されることで構成される。塗布方法としては、例えばダイコート、ナイフコート、スプレー塗布、スピンコート、スリットコート、マイクログラビア、フレキソ等が挙げられる。勿論、これに限らない。塗布は基板2の全面に行われる。基板2の構成材料としては各種のものが適宜用いられる。例えば、ポリスチレンPS、ポリメチルメタクリレートPMMA、スチレン-メチルメタクリレート共重合体MS、ポリカーボネートPC、シクロオレフィンポリマーCOP、シクロオレフィンコポリマーCOC、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN等の樹脂が用いられる。本発明では、導電膜のパターン化に際して加熱を要さないことから、耐熱性の要求度が低い。従って、基板2構成材料として樹脂が用いられる場合でも、樹脂選定の自由度が高い。樹脂の他にも、無機ガラス材料やセラミック材料を用いることが出来る。本発明にあっては、導電膜特に、透明導電膜1上に、オーバーコート膜保護膜3が設けられている。オーバーコート膜保護膜3は、有機または無機系の高分子材料、有機-無機のハイブリッド樹脂などで構成される。有機系高分子材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、セルロース樹脂、光硬化性樹脂などが挙げられる。可視光透過性、基板の耐熱性、ガラス転移点および膜硬化度などの観点から、適宜、選択される。熱可塑性樹脂としては、例えばポリメタクリル酸メチル、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリ乳酸、ABS樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、例えばフェノール樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、ポリイミド、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。セルロース樹脂としては、例えばアセチルセルロース、トリアセチルセルロース等が挙げられる。光硬化性樹脂としては、例えば各種オリゴマー、モノマー、光重合開始剤を含有する樹脂等が挙げられる。無機系材料としては、例えばシリカゾル、アルミナゾル、ジルコニアゾル、チタニアゾル等が挙げられる。又、前記無機系材料に水や酸触媒を加えて加水分解し、脱水縮合させた重合物なども挙げられる。有機-無機のハイブリッド樹脂としては、例えば前記無機材料の一部を有機官能基で修飾されたものや、シランカップリング剤などの各種カップリング剤を主成分とする樹脂等が挙げられる。オーバーコート膜3は、その膜厚が厚すぎると、導電膜1の接触抵抗が大きくなる。逆に、オーバーコート膜3の膜厚が薄すぎると、保護膜としての効果が得られ難い。従って、オーバーコート膜3の厚さは1nm~1μmが好ましい。特に、10nm以上が好ましい。又、100nm以下が好ましい。本発明における導電膜特に、透明導電膜1上に設けられるオーバーコート膜保護膜3は、好ましくは、加水分解性オルガノシランの加水分解物を含有する組成物からなる。更に好ましくは、4官能加水分解性オルガノシランを含有する組成物からなる。特に、4官能加水分解性オルガノシランと、エポキシ基及びアルコキシ基を有する加水分解性オルガノシランとの加水分解物を含有する組成物からなる。中でも、前記エポキシ基及びアルコキシ基を有する加水分解性オルガノシランの加水分解物の含有量が、樹脂の全固形分に対して1~10重量のものが好ましい。エポキシ基及びアルコキシ基を有する加水分解性オルガノシランの共加水分解物を含有させていると、これらを含む組成物を塗布して硬化させた場合、共加水分解物のエポキシ基が、基板に含まれる水酸基やカルボニル基といった酸素サイトと結合する。この為、オーバーコート膜保護膜と基板との密着性が向上する。更には、シリカ系金属酸化物微粒子を含有する組成物からなる。場合によっては、フッ素置換アルキル基を有する加水分解性オルガノシランの加水分解物を更に含有する組成物からなる。前記加水分解性オルガノシランの加水分解物は、該加水分解性オルガノシランに含まれるアルコキシ基に対する水比が1.0~3.0で反応させたものが好ましい。前記加水分解性オルガノシランの加水分解物は、ポリスチレン換算重量平均分子量1000~2000の化合物のものが好ましい。前記4官能加水分解性オルガノシランは、例えばSiX4で表される化合物である。前記Xは加水分解基である。例えば、アルコキシ基、アセトキシ基、オキシム基、エノキシ基などである。特に、SiOR14で表される4官能加水分解性オルガノアルコキシシランである。前記R1は、好ましくは、1価の炭化水素基である。例えば、炭素数1~8の1価の炭化水素基である。例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、へプチル基、オクチル基等のアルキル基である。本実施形態で用いられる4官能加水分解性オルガノシランとしては、例えばテトラメトキシシランやテトラエトキシシラン等が挙げられる。エポキシ基及びアルコキシ基を有する加水分解性オルガノシランは、例えばR2SiOR33,R2R4SiOR32で表される化合物である。R2は、エポキシ基、グリシドキシ基、及びこれらの置換体から選ばれた基である。R3は、前記R1と同様に、1価の炭化水素基である。例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基などである。R4は、水素、アルキル基、フルオロアルキル基、アリール基、アルケニル基、メタクリルオキシ基、エポキシ基、グリシドキシ基、アミノ基、及びそれらの置換体から選ばれた基である。本実施形態で用いられるエポキシ基及びアルコキシ基を有する加水分解性オルガノシランとしては、例えばγ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルジメトキシメチルシラン等が挙げられる。シリカ系金属酸化物微粒子としては、好ましくは、中空シリカ微粒子が用いられる。中空シリカ微粒子は、シリカ系金属酸化物の外殻の内部に空洞が形成されたものである。外殻は、細孔を有する多孔質なものが好ましい。細孔が閉塞されて空洞を密封したものであっても良い。尚、形成された被膜の低屈折率化に寄与するものであれば必ずしも上述した中空シリカに限られない。斯かる組成のオーバーコート膜の場合、光反射率が低下して光透過率が高くなる。更には、摩擦などに対する物理的保護が高い。又、熱や湿度などの環境変化に対しても保護が高い。更なる注目点は、本実施形態のオーバーコート膜3がエッチングされた場合、下層のカーボンナノチューブ膜1もエッチングされたことである。オーバーコート膜保護膜3は、上記組成物を含有する塗料が塗布されることによって設けられる。塗布方法としては、上記CNT分散液の塗布で説明された方法が採用される。塗布は導電膜透明導電膜:カーボンナノチューブ層上に行われる。しかも、全面に塗布される。本発明では、導電膜透明導電膜:カーボンナノチューブ層1のみではエッチングされないものの、オーバーコート膜保護膜3がエッチングされたことによって出来た生成した剤によって、導電膜透明導電膜:カーボンナノチューブ層1がエッチングされる剤を用いた。すなわち、本発明で用いるエッチング剤4のみでは、導電膜透明導電膜:カーボンナノチューブ層1はエッチングが行われない或いは、エッチング速度が非常に遅い為、エッチングが行われているとは見做せない。しかし、オーバーコート膜保護膜3はエッチングが行われる。かつ、オーバーコート膜保護膜3のエッチングによって出来た生成した剤によって、導電膜透明導電膜:カーボンナノチューブ層1のエッチングが可能になったものである。従って、カーボンナノチューブに対する悪影響が少ない。斯かる剤は、前記加水分解性オルガノシランの加水分解物を含有する組成物によってオーバーコート膜3が構成された場合で説明すると、次の例が挙げられる。例えば、アンモニウム、アルカリ金属、及びフッ素化合物例えば、アンチモンのフッ化物、カルシウムの酸性フッ化物、アルキル化アンモニウム、ならびにテトラフロオロホウ酸カリウムの群より選択される少なくとも一つを含有する剤エッチング剤である。この剤エッチング剤は、必要に応じて、更に、無機酸例えば、塩酸、リン酸、硫酸および硝酸の群より選択される酸を含有する。又、必要に応じて、有機酸を含有する。有機酸としては、例えばアルキルカルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、及び/又はジカルボン酸が挙げられる。中でも、炭素数が1~10個の直鎖または分岐鎖のアルキルラジカルを含み得る有機酸が挙げられる。上記エッチング剤液がオーバーコート膜3上に塗布される。塗布方法としては各種のパターニング印刷法が採用される。例えば、スクリーン印刷、フレキソ、インクジェット等の手法が用いられる。エッチング剤液がオーバーコート膜3上に塗布された後、所定時間に亘って、そのまま放置がなされる。例えば、10秒~20分程度に亘って放置される。これによってエッチングが進行する。この後、純水中で超音波洗浄が行われた。この結果、図2,3に示されるパターンが形成された。以下、具体的な実施例を挙げて説明が行われる。しかしながら、本発明は下記実施例に限定されるものではない。[実施例1]アーク放電により合成されたシングルウォールカーボンナノチューブ市販品に対して、酸処理、水洗浄、遠心分離、濾過が行われた。この精製で得られたカーボンナノチューブに、界面活性剤TritonX100GEヘルスケア製0.2wt水溶液が加えられた。このカーボンナノチューブ含有水溶液に超音波を用いた分散処理が行われた。次いで、遠心分離が行われた。このようにしてカーボンナノチューブ分散液CNT:1000ppmが得られた。上記カーボンナノチューブ分散液の塗布が行われた。塗布方法はダイコーティングである。塗布厚さは、乾燥後の厚さが0.05μmである。基板はPETフィルムA4100東洋紡社製が用いられた。塗布後、塗膜中に含まれる界面活性剤を取り除く為、メタノール洗浄が行われた。そして、乾燥1分間;100°Cが行われた。上記カーボンナノチューブ塗膜上にオーバーコート膜が設けられた。このオーバーコート膜の構成には3.8wtエアロセラ加水分解性オルガノシラン含有組成物:パナソニック電工社製が用いられた。塗布方法はダイコーティングである。塗布厚さは、乾燥後の厚さが0.1μmである。この後、上記オーバーコート膜上にエッチング液フッ化水素アンモニウム含有:isishapeHiperEtch11Sが所定パターンで印刷された。印刷法はスクリーン印刷法である。スクリーン版の印刷パターンは、□図3参照であり、ライン幅100μmの開口部を持ち、ライン長5mmである。エッチング液が印刷されてから1分間の放置が行われた。次いで、純水中にて、超音波洗浄が行われた。この後、水中から引き上げられ、乾燥が行われた。パターン□の内側と外側との導通が、テスターを用いることにより、調べられた。この結果、両者の間では導通の無い絶縁されていることが判明した。更に、スクリーン版の印刷パターン□とカーボンナノチユーブ膜のパターン□とを比較した処、その精度は高いものであった。[比較例1]実施例1において、オーバーコート膜を設けなかった以外は全て同様に行われた。その結果、印刷パターン□の内側と外側との間で導通が確認された。すなわち、カーボンナノチューブ膜のエッチングが行われていないことが確認された。[比較例2]実施例1において、オーバーコート層を形成せず、エッチング媒体をITOがエッチング可能なisishapeHiperEtch4SMerck製に変更した以外は実施例1と全て同じプロセスでパターン形成を行ったところ、カーボンナノチューブをエッチングすることは出来ず、導通が確認された。すなわち、国際公開2010/113744号パンフレットで示されるようなエッチング剤では、ITOをエッチング出来ても、CNTはエッチング出来ない。"