複数の被ろう付部材を、隣り合う被ろう付部材どうしの間に所定大きさの平面が面接触した面接触部分を有するように積層した状態でろう付する際に用いられるろう付治具であって、被ろう付部材を支持する支持部材と、支持部材に支持された被ろう付部材上に載せられる押圧板と、支持部材の上方に間隔をおいて上下動自在に配置される加圧部材と、押圧板と加圧部材との間に配置されかつ加圧部材が下降した際に圧縮されるとともに、圧縮された際の反発力を押圧板に伝えるコイルばねとを備えており、押圧板とコイルばねとの間に球体が配置されているろう付治具。球体の直径が0.1~100mmである請求項1記載のろう付治具。加圧部材に、垂直状のロッドが加圧部材に対して上下動自在に配置され、ロッドの周囲にコイルばねが配置され、コイルばねの下端がロッドの下端に設けられたばね受けに受けられ、ばね受けに球体が保持されている請求項1または2記載のろう付治具。ばね受けが、ロッドの下端に外方に張り出すように設けられかつコイルばねの下端を受けるばね受け本体と、ロッドに着脱自在に取り付けられ、かつばね受け本体の下面に沿う部分を有するとともに下面が平坦面となっている球体保持部材とを備えており、球体保持部材におけるばね受け本体の下面に沿う部分に上下方向に貫通した球体収容空間が形成されるとともに球体収容空間内に球体が入れられ、球体収容空間の上端開口がばね受け本体により閉鎖され、球体収容空間の下端開口の大きさが球体の脱落を防止しうる大きさとなり、球体の一部が球体保持部材の下面よりも下方に突出している請求項3記載のろう付治具。球体保持部材に、平面から見て曲率の等しい複数の円弧状球体収容空間が、同一円周上に位置するように形成され、各球体収容空間内に球体が入れられており、球体収容空間の径方向内側面と同外側面との間隔が球体の直径よりも大きく、球体収容空間の径方向内側面と同外側面の下側部分が下方に向かって他の側面側に傾斜するとともに、径方向内側面と同外側面の下端間の間隔が球体の直径よりも小さくなっている請求項4記載のろう付治具。ばね受けが、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出す外方張り出し部を有するばね受け本体と、ばね受け本体に上下動自在に吊持され、かつばね受け本体の下面を覆うとともに下面が平坦面となっている球体保持部材とを備えており、球体保持部材に上方に開口した球体収容溝が形成されるとともに球体収容溝内に球体が入れられ、球体収容溝の深さが球体の直径よりも小さくなっていて、球体の一部が球体保持部材の上面よりも上方に突出している請求項3記載のろう付治具。球体収容溝が円環状である請求項6記載のろう付治具。球体が強磁性体からなり、ばね受けが、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出してコイルばねの下端を受ける外方張り出し部を有するばね受け本体と、ばね付け本体に取り付けられた磁石とを備え、ばね受け本体の下面が平坦面であり、球体が磁石によりばね受け本体の下面に吸着されている請求項3記載のろう付治具。加圧部材に、垂直状のロッドが加圧部材に対して上下動自在に配置され、ロッドの周囲にコイルばねが配置され、コイルばねの下端がロッドの下端に設けられたばね受けに受けられ、押圧板に球体が保持されている請求項1または2記載のろう付治具。ばね受けが、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出してコイルばねの下端を受ける外方張り出し部を有する円板からなり、円板の下面が平坦面となされるとともに、押圧板に保持された球体が転動する球体転動面となっており、押圧板に、上方に開口した球体収容凹所が形成されるとともに球体収容凹所内に球体が入れられ、球体収容凹所の深さが球体の直径よりも小さくなっていて、球体の一部が押圧板の上面よりも上方に突出している請求項9記載のろう付治具。請求項1~10のうちのいずれかに記載のろう付治具を使用し、複数の被ろう付部材を、隣り合う被ろう付部材どうしの間に所定大きさの平面が面接触した面接触部分を有するように支持部材上に積層し、上端の被ろう付部材上にろう付治具の押圧板を配置し、加圧部材を下降させてコイルばねを圧縮し、圧縮されたコイルばねの反発力を押圧板に伝えて、押圧板により被ろう付部材を押圧することを特徴とするろう付方法。支持部材上に、第1金属板、絶縁板および第2金属板を、第1金属板が上側に来るようにこの順序で積層し、第1金属板をろう付治具の押圧板により下方に押圧しつつ、絶縁板と両金属板とをろう付する請求項11記載のろう付方法。支持部材上に、第1金属板、絶縁板、第2金属板および冷却器を、第1金属板が上側に来るようにこの順序で積層し、第1金属板をろう付治具の押圧板により下方に押圧しつつ、絶縁板と両金属板および第2金属板と放熱材とをろう付する請求項11記載のろう付方法。この発明の目的は、上記問題を解決し、ろう付中の被ろう付部材の位置ずれを抑制しうるろう付治具およびろう付方法を提供することにある。本発明は、上記目的を達成するために以下の態様からなる。1複数の被ろう付部材を、隣り合う被ろう付部材どうしの間に所定大きさの平面が面接触した面接触部分を有するように積層した状態でろう付する際に用いられるろう付治具であって、被ろう付部材を支持する支持部材と、支持部材に支持された被ろう付部材上に載せられる押圧板と、支持部材の上方に間隔をおいて上下動自在に配置される加圧部材と、押圧板と加圧部材との間に配置されかつ加圧部材が下降した際に圧縮されるとともに、圧縮された際の反発力を押圧板に伝えるコイルばねとを備えており、押圧板とコイルばねとの間に球体が配置されているろう付治具。2球体の直径が0.1~100mmである上記1記載のろう付治具。3加圧部材に、垂直状のロッドが加圧部材に対して上下動自在に配置され、ロッドの周囲にコイルばねが配置され、コイルばねの下端がロッドの下端に設けられたばね受けに受けられ、ばね受けに球体が保持されている上記1または2記載のろう付治具。4ばね受けが、ロッドの下端に外方に張り出すように設けられかつコイルばねの下端を受けるばね受け本体と、ロッドに着脱自在に取り付けられ、かつばね受け本体の下面に沿う部分を有するとともに下面が平坦面となっている球体保持部材とを備えており、球体保持部材におけるばね受け本体の下面に沿う部分に上下方向に貫通した球体収容空間が形成されるとともに球体収容空間内に球体が入れられ、球体収容空間の上端開口がばね受け本体により閉鎖され、球体収容空間の下端開口の大きさが球体の脱落を防止しうる大きさとなり、球体の一部が球体保持部材の下面よりも下方に突出している上記3記載のろう付治具。5球体保持部材に、平面から見て曲率の等しい複数の円弧状球体収容空間が、同一円周上に位置するように形成され、各球体収容空間内に球体が入れられており、球体収容空間の径方向内側面と同外側面との間隔が球体の直径よりも大きく、球体収容空間の径方向内側面と同外側面の下側部分が下方に向かって他の側面側に傾斜するとともに、径方向内側面と同外側面の下端間の間隔が球体の直径よりも小さくなっている上記4記載のろう付治具。6ばね受けが、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出す外方張り出し部を有するばね受け本体と、ばね受け本体に上下動自在に吊持され、かつばね受け本体の下面を覆うとともに下面が平坦面となっている球体保持部材とを備えており、球体保持部材に上方に開口した球体収容溝が形成されるとともに球体収容溝内に球体が入れられ、球体収容溝の深さが球体の直径よりも小さくなっていて、球体の一部が球体保持部材の上面よりも上方に突出している上記3記載のろう付治具。7球体収容溝が円環状である上記6記載のろう付治具。8球体が強磁性体からなり、ばね受けが、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出してコイルばねの下端を受ける外方張り出し部を有するばね受け本体と、ばね付け本体に取り付けられた磁石とを備え、ばね受け本体の下面が平坦面であり、球体が磁石によりばね受け本体の下面に吸着されている上記3記載のろう付治具。9加圧部材に、垂直状のロッドが加圧部材に対して上下動自在に配置され、ロッドの周囲にコイルばねが配置され、コイルばねの下端がロッドの下端に設けられたばね受けに受けられ、押圧板に球体が保持されている上記1または2記載のろう付治具。10ばね受けが、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出してコイルばねの下端を受ける外方張り出し部を有する円板からなり、円板の下面が平坦面となされるとともに、押圧板に保持された球体が転動する球体転動面となっており、押圧板に、上方に開口した球体収容凹所が形成されるとともに球体収容凹所内に球体が入れられ、球体収容凹所の深さが球体の直径よりも小さくなっていて、球体の一部が押圧板の上面よりも上方に突出している上記9記載のろう付治具。11上記1~10のうちのいずれかに記載のろう付治具を使用し、複数の被ろう付部材を、隣り合う被ろう付部材どうしの間に所定大きさの平面が面接触した面接触部分を有するように支持部材上に積層し、上端の被ろう付部材上にろう付治具の押圧板を配置し、加圧部材を下降させてコイルばねを圧縮し、圧縮されたコイルばねの反発力を押圧板に伝えて、押圧板により被ろう付部材を押圧することを特徴とするろう付方法。12支持部材上に、第1金属板、絶縁板および第2金属板を、第1金属板が上側に来るようにこの順序で積層し、第1金属板をろう付治具の押圧板により下方に押圧しつつ、絶縁板と両金属板とをろう付する上記11記載のろう付方法。13支持部材上に、第1金属板、絶縁板、第2金属板および冷却器を、第1金属板が上側に来るようにこの順序で積層し、第1金属板をろう付治具の押圧板により下方に押圧しつつ、絶縁板と両金属板および第2金属板と放熱材とをろう付する上記11記載のろう付方法。上記1~10のろう付治具によれば、被ろう付部材を支持する支持部材と、支持部材に支持された被ろう付部材上に載せられる押圧板と、支持部材の上方に間隔をおいて上下動自在に配置される加圧部材と、押圧板と加圧部材との間に配置されかつ加圧部材が下降した際に圧縮されるとともに、圧縮された際の反発力を押圧板に伝えるコイルばねとを備えており、押圧板とコイルばねとの間に球体が配置されているので、加圧部材を下降させた際にコイルばねに偏荷重がかかったり、コイルばねに軸線周りの回転力が生じたりしたとしても、球体の働きによって、コイルばねにかかった偏荷重や、コイルばねに生じた軸線周りの回転力により押圧板がずれることが抑制される。したがって、押圧板のずれに起因する上端の被ろう付部材の位置ずれが低減され、得られたろう付製品の寸法精度が低下する。上記2のろう付治具によれば、コイルばねにかかった偏荷重や、コイルばねに生じた軸線周りの回転力により押圧板がずれることを効果的に抑制することができる。上記4~8のろう付治具によれば、比較的簡単な構成で、ばね受けに球体を保持させることができる。上記10のろう付治具によれば、比較的簡単な構成で、押圧板に球体を保持させることができる。上記11~13のろう付方法によれば、加圧部材を下降させた際にコイルばねに偏荷重がかかったり、コイルばねに軸線周りの回転力が生じたりしたとしても、球体の働きによって、コイルばねにかかった偏荷重や、コイルばねに生じた軸線周りの回転力により押圧板がずれることが抑制される。したがって、押圧板のずれに起因する上端の被ろう付部材の位置ずれが低減され、得られたろう付製品の寸法精度が低下する。以下、この発明の実施形態を、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、図1の上下、左右を上下、左右というものとする。また、全図面を通じて同一部分および同一物には同一符号を付して重複する説明を省略する。図1はこの発明によるろう付治具の概略構成を示す正面図である。図1において、ろう付治具は、第1金属板、絶縁板および第2金属板を、第1金属板と絶縁板との間、および絶縁板と第2金属板との間に所定大きさの平面が面接触した面接触部分を有するとともに、第1金属板が上側に来るように積層した状態で支持する支持部材と、第1金属板上に載せられる押圧板と、支持部材の上方に間隔をおいて上下動自在に配置される加圧部材と、押圧板と加圧部材との間に配置されかつ加圧部材が下降した際に圧縮されるとともに、圧縮された際の反発力を押圧板に伝えるコイルばねと、押圧板とコイルばねとの間に配置された複数の球体とを備えている。支持部材上に、加圧部材を上下動自在に案内する垂直状ガイド柱が複数立設されており、図示しない駆動手段により加圧部材がガイド柱に沿って上下動させられるようになっている。加圧部材には、垂直状のロッドが加圧部材に対して上下動自在に配置されており、ロッドの周囲にコイルばねが装着されている。コイルばねの上端は加圧部材に取り付けられ、同じく下端はロッドの下端に設けられたばね受けに受けられている。押圧板としては、第1金属板、絶縁板および第2金属板をろう付する温度よりも融点が高い金属であるステンレス鋼や、あるいはセラミックにより形成される。球体は、第1金属板、絶縁板および第2金属板をろう付する温度よりも融点が高い金属であるJISSUJなどの軸受鋼やステンレス鋼、あるいはセラミックにより形成される。球体の直径は0.1~100mmであることが好ましい。図2および図3に示すように、ばね受けは、ロッドの下端に外方に張り出すように一体に設けられかつコイルばねの下端を受けるばね受け本体と、ロッドに着脱自在に取り付けられ、かつばね受け本体の下面に沿う部分を有するとともに下面が平坦面となっている円盤状の球体保持部材とを備えており、球体はばね受けに保持されている。ロッドには下端面から上方にのびるめねじ穴が形成されている。球体保持部材の上面には、軸線が球体保持部材の中心線と一致したおねじ部が上方突出状に一体に設けられており、おねじ部がロッドのめねじ穴にねじ嵌められることによって、球体保持部材がロッドに着脱自在に取り付けられている。球体保持部材におけるおねじ部の周りの部分でかつばね受け本体の下面に沿う部分に、平面から見て曲率の等しい複数の円弧状球体収容空間が、同一円周上に位置するとともに周方向に間隔をおき、かつ球体保持部材を上下方向に貫通するように形成されている。球体収容空間内に球体が入れられるとともに、球体収容空間の上端開口がばね受け本体により閉鎖されている。球体収容空間の径方向内側面と同外側面との間隔は球体の直径よりも大きくなっている。また、球体収容空間の径方向内側面と同外側面の下側部分が下方に向かって他の側面側に傾斜するとともに、径方向内側面と同外側面の下端間の間隔が球体の直径よりも小さくなっており、これにより球体収容空間の下端開口の大きさが球体の脱落を防止しうる大きさとなっている。また、球体保持部材の厚み、すなわち球体収容空間の上下方向の深さは球体の直径よりも小さく、球体の一部が、常に球体保持部材の下面よりも下方に突出するようになっている。次に、ろう付治具を用いて第1金属板、絶縁板および第2金属板をろう付する方法について説明する。第1金属板、絶縁板および第2金属板をろう付したろう付製品は、図5に示すように、たとえばIGBTInsulatedGateBipolarTransistorなどの半導体素子からなるパワーデバイスを備えたパワーモジュールにおいて、絶縁回路基板として用いられる。パワーモジュールは、絶縁回路基板および絶縁回路基板の下面にろう付されかつ複数の冷却流体通路を有するアルミニウム製冷却器からなるパワーモジュール用ベースと、パワーモジュール用ベースに実装されたパワーデバイスとよりなる。なお、図示の例では、冷却器は全体が一体に形成されているが、これに限定されるものではなく、上下方向に並ぶとともに相互にろう付され、かつ内部に冷却流体通路を有する中空体を備えたものが用いられることもある。絶縁回路基板は、方形のセラミックス製絶縁板、絶縁板の上面にろう付された方形のアルミニウム製第1金属板、および絶縁板の下面にろう付された方形のアルミニウム製熱第2金属板からなる。絶縁回路基板の絶縁板は、必要とされる電気絶縁特性、熱伝導率および機械的強度を満たしていれば、どのようなセラミックから形成されていてもよいが、たとえばAlN、Al2O3、SiC、Si3N4およびBeOよりなる群から選ばれた1種の材料から形成されていることが好ましい。第1金属板は、上面が電子素子搭載部を有する配線面となる回路板として用いられている。この場合、第1金属板は、アルミニウムにより形成されることが好ましいが、電気伝導率および熱伝導率が高く、変形能が高い純アルミニウム、たとえば純度99.99質量以上の純アルミニウムにより形成されていることが望ましい。第2金属板は、熱伝導板または熱伝導性を有する応力緩和板として用いられる。この場合、第2金属板は、アルミニウムにより形成されることが好ましいが、熱伝導率が高く、しかも変形能が高い純アルミニウム、たとえば純度99.99質量以上の純アルミニウムにより形成されていることが好ましい。また、第2金属板が熱伝導板として用いられる場合、第2金属板は銅および銅合金から形成されることもある。パワーデバイスは、絶縁回路基板の第1金属板の配線面における電子素子搭載部上にはんだ付けされており、これによりパワーモジュール用ベースに実装されている。パワーデバイスから発せられる熱は、第1金属板、絶縁板および第2金属板を経て冷却器に伝えられ、冷却流体通路内を流れる冷却流体に放熱されるようになっている。第1金属板、絶縁板および第2金属板をろう付して絶縁回路基板を製造するにあたり、まず図1に示すように、ろう付治具の支持部材上に、第1金属板、絶縁板および第2金属板を上側からこの順序で配置する。第2金属板の上面全体が絶縁板と下面に面接触するとともに、第1金属板の下面全体が絶縁板の上面に面接触しており、第2金属板と絶縁板との間に第2金属板の大きさの平面が面接触した面接触部分があり、第1金属板と絶縁板との間に第1金属板の大きさの平面が面接触した面接触部分がある。ついで、第1金属板上にろう付治具の押圧板を載せた後、加圧部材を下降させてコイルばねを圧縮し、圧縮されたコイルばねの反発力を押圧板に伝えて、押圧板により第1金属板、絶縁板および第2金属板を下方に押圧し、これにより第1金属板、絶縁板および第2金属板を仮止めする。図示は省略したが、このとき、第1金属板と絶縁板との間および第2金属板と絶縁板との間にはそれぞれアルミニウムろう材層を設けておく。ろう材層は、たとえばSi10質量、Mg1質量を含み、残部Alおよび不可避不純物からなるアルミニウムろう材からなる。ろう材層は、アルミニウムろう材からなる箔や、心材の両面にろう材層が形成されたアルミニウムブレージングシートからなる。また、ろう材層は第1金属板の下面および第2金属板の上面に予めクラッドされていてもよい。その後、ろう付治具により仮止めされた第1金属板、絶縁板、第2金属板を真空雰囲気とされた加熱炉中に入れ、適当な温度に適当な時間加熱し、絶縁板と第1金属板および第2金属板とをろう付することにより絶縁回路基板を製造する。なお、上述した絶縁回路基板の製造と同時に、第2金属板の下面に冷却器をろう付することにより、パワーモジュール用ベースを製造してもよい。この場合、ろう付治具の支持部材上に、冷却器、第1金属板、絶縁板および第2金属板を上側からこの順序で配置し、上述した絶縁回路基板の製造の場合と同様に、冷却器、第2金属板、絶縁板および第1金属板を下方に加圧しつつろう付治具により仮止めする。このとき、第2金属板の下面全体が冷却器の上面に面接触しており、冷却器と第2金属板との間に第2金属板の大きさの平面が面接触した面接触部分がある。また、冷却器と第2金属板との間に上述したようなアルミニウムろう材層を設けておく。ろう材層は、アルミニウムろう材からなる箔や、心材の両面にろう材層が形成されたアルミニウムブレージングシートからなる。冷却器が複数の構成部材からなる中空体を備えている場合には、支持部材上に複数の構成部材を載せ、その上に第2金属板、絶縁板および第1金属板を載せるようにする。以下、図1~図4に示すろう付治具を使用し、図5に示す絶縁回路基板を製造した実験例について、比較実験例とともに説明する。実験例純度99.99質量の純アルミニウムからなり、かつ厚み:0.6mm、縦:26mm、横:31mmの第1金属板および第2金属板と、AlNからなり、かつ厚み:0.6mm、縦:28mm、横:33mmの絶縁板と、Si10質量、Mg1質量を含み、残部Alおよび不可避不純物からなる合金により形成され、かつ厚み:30μm、縦:26mm、横:31mmのろう材箔とを用意した。また、ろう付治具のばね受けの球体保持部材には3つの球体収容空間を形成しておき、各球体収容空間内に、JISSUS304からなり、かつ直径4mmの球体を1個ずつ配置しておいた。そして、ろう付治具の支持部材上に、第1金属板、絶縁板および第3金属板を、第1金属板が上側に来るようにこの順序で配置した。第1金属板と絶縁板との間、および絶縁板と第2金属板との間にはそれぞれろう材箔を配置し、第1金属板上にろう付治具の押圧板を載せた後、加圧部材を下降させてコイルばねを圧縮し、圧縮されたコイルばねの反発力を押圧板に伝えて、押圧板により第1金属板、絶縁板および第2金属板を下方に押圧し、これにより第1金属板、絶縁板および第2金属板を仮止めした。その後、ろう付治具により第1金属板、絶縁板および第2金属板を加圧状態で仮止めしたものを真空雰囲気とされた加熱炉中に入れ、600°Cで10分間加熱した後冷却した。こうして、絶縁板と第1金属板および第2金属板とをろう付することにより、3つの絶縁回路基板を製造した。比較実験例ばね受けが球体を保持した球体保持部材を有さないろう付治具を用いたことを除いては、上記実験例と同様にして、3つの絶縁回路基板を製造した。評価試験上記実験例および比較実験例において、絶縁板と第1金属板および第2金属板とのろう付の前に、予め、ろう付治具により仮止めされた第1金属板における26mmの長さ=Aを有する2つの短辺と、絶縁板における第1金属板の各短辺に近接した28mmの長さを有する2つの短辺との距離b、d、および第1金属板における31mmの長さ=Bを有する2つの長辺と、絶縁板における第1金属板の各長辺に近接した33mmの長さを有する2つの長辺との距離a、cを測定した。また、絶縁板と第1金属板および第2金属板とのろう付の後に、第1金属板における2つの短辺の長さA1mmおよび2つの長辺の長さB1mmを測定し、第1金属板における短辺と平行な方向の熱膨張量:A1-Amm、および長辺と平行な方向の熱膨張量:B1-Bmmを求めた。さらに、絶縁板と第1金属板および第2金属板とのろう付の後に、第1金属板におけるA1mmの長さを有する2つの短辺と、絶縁板における第1金属板の各短辺に近接した28mmの長さを有する2つの短辺との距離b’、d’、および第1金属板におけるB1mmの長さを有する2つの長辺と、絶縁板における第1金属板の各長辺に近接した33mmの長さを有する2つの長辺との距離a’、c’を測定した。そして、各絶縁回路基板におけるa-a’-A1-A/2値、c-c’-A1-A/2値、b-b’-B1-B/2値、d-d’-B1-B/2値を求めた。各絶縁回路基板における上述した4つの値~のうちの最大値を表1に示す。表1に示す結果から、押圧板とコイルばねとの間に球体が配置されているろう付治具を用いてろう付を行った場合には、押圧板とコイルばねとの間に球体が配置されていないろう付治具を用いてろう付を行った場合に比べて、第1金属板の位置ずれが著しく低減されていることが分かる。図7~図9は、ろう付治具の他の実施形態を示す。図7に示すろう付治具の場合、ばね受けは、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出す外方張り出し部を有する円板状のばね受け本体と、ばね受け本体に上下動自在に吊持され、かつばね受け本体の下面に沿う部分を有するとともに下面が平坦面となっている円盤状の球体保持部材とを備えており、球体はばね受けに保持されている。ばね受け本体の上面には、軸線がばね受け本体の中心線と一致したおねじ部が、上方突出状に一体に設けられており、おねじ部がロッドのめねじ穴にねじ嵌められることによって、ばね受け本体がロッドに着脱自在に取り付けられている。おねじ部は上端が開口した円筒状であり、その外周面にねじが形成されている。ばね受け本体の中心部でかつおねじ部により囲まれた部分には上下方向にのびる貫通穴が形成されている。球体保持部材の上面の中心部には上方に突出したピンが固定されており、ピンがばね受けの貫通穴にばね受けに対して上下動自在に通されている。ピンの上端部には貫通穴の穴径よりも大きい頭部が一体に形成され、これにより球体保持部材がばね受け本体に上下動自在に吊持されるとともに、ばね受け本体からの脱落が防止されている。球体保持部材におけるピンの周りの部分でかつばね受け本体の下面に沿う部分に、上方に開口しかつピンを中心とした円環状の球体収容溝が形成されており、球体収容溝内に複数の球体が入れられている。球体収容溝の径方向内側面と同外側面との間隔は球体の直径よりも大きくなっている。また、球体収容溝の深さは球体の直径よりも小さくなっており、球体の一部が、常に球体保持部材の上面よりも上方に突出するようになっている。図8に示すろう付治具の場合、ばね受けは、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出してコイルばねの下端を受ける外方張り出し部を有するとともに下面が平坦面となっているばね受け本体と、ばね受け本体に取り付けられかつ球体を吸着する永久磁石とを備えており、強磁性体からなる複数の球体がばね受け本体の下面に吸着されている。ばね受け本体の上面には、軸線がばね受け本体の中心線と一致したおねじ部が、上方突出状に一体に設けられており、おねじ部がロッドのめねじ穴にねじ嵌められることによって、ばね受け本体がロッドに着脱自在に取り付けられている。おねじ部は上端が開口した円筒状であり、その外周面にねじが形成されている。おねじ部内に永久磁石が配置されている。そして、球体が、永久磁石によりばね受け本体の下面に吸着されている。図9に示すろう付治具の場合、ばね受けは、ロッドの下端に着脱自在に取り付けられ、かつロッドの下端から外方に張り出してコイルばねの下端を受ける外方張り出し部を有する円板からなる。円板の下面は平坦面となっており、円板が球体転動部を兼ねている。また、押圧板は、上面の中央部に上方に開口した凹所を有する押圧板本体と、押圧板本体の凹所内に嵌め入れられた球体保持部材とを備えており、球体は押圧板に保持されている。球体保持部材は、上下方向に貫通した穴を有するリングと、リングの穴の下端開口を閉鎖する閉鎖板とよりなり、これにより球体保持部材に上方に開口した球体収容凹所が形成されて、球体収容凹所内に複数の球体が入れられている。球体収容凹所の内周面、すなわちリングの穴の内周面の上側部分は、上方に向かって径方向内方に傾斜している。また、球体保持部材の厚み、すなわち球体収容凹所の上下方向の深さは球体の直径よりも小さく、球体の一部が、常に球体保持部材の上面よりも上方に突出するようになっている。