"回折格子と、該回折格子で回折された測定光を受光する1次元撮像素子とを有し、一定の測定可能波長領域において、基準試料からの測定光の光強度に対する被測定試料からの測定光の光強度の比率を求めて前記被測定試料の相対測光値を測定する測光装置であって、蓄積時間を変えて前記1次元撮像素子を駆動する1次元撮像素子駆動部と、前記1次元撮像素子が受光した前記測定光の光強度データを取得するデータ取得部と、前記測定光によって前記1次元撮像素子の受光素子に発生する電荷量が前記測定可能波長領域の全域で飽和電荷量未満となる未飽和蓄積時間を前記蓄積時間に設定した際に、前記データ取得部が取得した前記被測定試料および前記基準試料による光強度データから最大光強度Pを求めて、該最大光強度PをN分割ただし、Nは2以上の整数した光強度範囲に対応するN群の分割波長領域を設定する波長領域分割部と、前記N群の分割波長領域ごとに異なる蓄積時間を前記未飽和蓄積時間以上の範囲で設定する蓄積時間設定部と、前記1次元撮像素子を前記蓄積時間設定部で設定した前記蓄積時間で駆動して前記データ取得部に取得した前記被測定試料および前記基準試料からの測定光の光強度データを用いて、前記N群の分割波長領域ごとに、前記基準試料の光強度データに対する前記被測定試料の光強度データの比率を求めて前記被測定試料の相対測光値を算出する相対測光値算出部と、を備えることを特徴とする測光装置。前記波長領域分割部は、前記最大光強度PをN等分して、第j群ただし、j=1,...,N内の最大光強度Pjmaxが、Pのj/N倍となるように、前記N群の分割波長領域を求め、前記蓄積時間設定部は、前記未飽和蓄積時間をT0とするとき、前記第j群の分割波長領域の蓄積時間Tjを次式で設定することを特徴とする請求項1に記載の測光装置。Tj=N/jT01前記蓄積時間の個数Nを変更可能に設定する蓄積時間個数設定部を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の測光装置。回折格子と、該回折格子で回折された測定光を受光する1次元撮像素子とを用い、一定の測定可能波長領域において、基準試料からの測定光の光強度に対する被測定試料からの測定光の光強度の比率を求めて前記被測定試料の相対測光値を測定する測光方法であって、前記測定光によって前記1次元撮像素子の受光素子に発生する電荷量が前記測定可能波長領域の全域で飽和電荷量未満となる未飽和蓄積時間を設定する未飽和蓄積時間設定工程と、前記未飽和蓄積時間を蓄積時間に設定して前記1次元撮像素子を駆動して、前記被測定試料および前記基準試料からの測定光の光強度データを取得する第1のデータ測定工程と、該第1のデータ測定工程で取得した光強度データから最大光強度Pを求めて、該最大光強度PをN分割ただし、Nは2以上の整数した光強度範囲に対応するN群の分割波長領域を設定する波長領域分割工程と、前記N群の分割波長領域ごとに異なる蓄積時間を前記未飽和蓄積時間以上の範囲で設定する蓄積時間設定工程と、蓄積時間設定工程で設定したN個の前記蓄積時間によって前記1次元撮像素子を駆動して、前記被測定試料および前記基準試料からの測定光の光強度データを取得する第2のデータ測定工程と、前記1次元撮像素子を前記蓄積時間設定工程で設定した前記蓄積時間で駆動して取得した前記被測定試料および前記基準試料からの測定光の光強度データを用いて、前記N群の分割波長領域ごとに、前記基準試料の光強度データに対する前記被測定試料の光強度データの比率を求めて前記被測定試料の相対測光値を算出する相対測光値算出工程と、を備えることを特徴とする測光方法。前記N個の蓄積時間の最小値は、前記未飽和蓄積時間であり、前記相対測光値算出工程では、前記第1のデータ測定工程および前記第2のデータ測定工程で測定した光強度データを用いて前記光強度データの比率を算出することを特徴とする請求項4に記載の測光方法。前記波長領域分割工程では、前記最大光強度PをN等分して、第j群ただし、j=1,...,N内の最大光強度Pjmaxが、Pのj/N倍となるように、前記N群の分割波長領域を求め、前記蓄積時間設定工程では、前記未飽和蓄積時間をT0とするとき、前記第j群の分割波長領域の蓄積時間Tjを次式で設定することを特徴とする請求項4または5に記載の測光方法。Tj=N/jT01前記波長領域分割工程で前記最大光出力PをN分割するまでに、前記蓄積時間の個数Nを変更可能に設定する蓄積時間個数設定工程を備えることを特徴とする請求項4~6のいずれか1項に記載の測光方法。しかしながら、上記のような従来の測光装置および測光方法には、以下のような問題があった。特許文献1の顕微測光装置では、マルチチャンネル型分光器を用いているため、上記のような問題がある。一方、特許文献2に記載の技術を特許文献1の測光装置に適用してもこのような問題は解決されない。特許文献2に記載の技術では、測定波長範囲が全波長範囲の場合には、全波長範囲のうち測定光が最大光強度を有する波長において、飽和電荷量を越えないように蓄積時間が設定される。このため、測定光の光強度が小さくなる波長ではこの蓄積時間で得られる信号が小さくなってノイズに埋もれ、或いはSN比が悪化するという問題がある。特許文献2に明記されているように、特許文献2は全波長範囲の測定を行う場合には、このようにすることはやむを得ないが、測定範囲が限られる場合にノイズの影響をできるだけ小さくして、高感度で測定することがマルチチャンネル型分光光度計を提供することを目的とするものである。このように、特許文献1の装置に特許文献2に記載の技術を適用しても、測定可能波長領域の一部には測定精度を向上することができない範囲が発生するため、測定可能波長領域の全域にわたって高感度な測定を行うことはできないという問題がある。本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、測定可能波長領域の全域にわたって測定精度を向上することができる測光装置および測光方法を提供することを目的とする。上記の課題を解決するために、請求項1に記載の発明では、回折格子と、該回折格子で回折された測定光を受光する1次元撮像素子とを有し、一定の測定可能波長領域において、基準試料からの測定光の光強度に対する被測定試料からの測定光の光強度の比率を求めて前記被測定試料の相対測光値を測定する測光装置であって、蓄積時間を変えて前記1次元撮像素子を駆動する1次元撮像素子駆動部と、前記1次元撮像素子が受光した前記測定光の光強度データを取得するデータ取得部と、前記測定光によって前記1次元撮像素子の受光素子に発生する電荷量が前記測定可能波長領域の全域で飽和電荷量未満となる未飽和蓄積時間を前記蓄積時間に設定した際に、前記データ取得部が取得した前記被測定試料および前記基準試料による光強度データから最大光強度Pを求めて、該最大光強度PをN分割ただし、Nは2以上の整数した光強度範囲に対応するN群の分割波長領域を設定する波長領域分割部と、前記N群の分割波長領域ごとに異なる蓄積時間を前記未飽和蓄積時間以上の範囲で設定する蓄積時間設定部と、前記1次元撮像素子を前記蓄積時間設定部で設定した前記蓄積時間で駆動して前記データ取得部に取得した前記被測定試料および前記基準試料からの測定光の光強度データを用いて、前記N群の分割波長領域ごとに、前記基準試料の光強度データに対する前記被測定試料の光強度データの比率を求めて前記被測定試料の相対測光値を算出する相対測光値算出部と、を備える構成とする。請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の測光装置において、前記波長領域分割部は、前記最大光強度PをN等分して、第j群ただし、j=1,...,N内の最大光強度Pjmaxが、Pのj/N倍となるように、前記N群の分割波長領域を求め、前記蓄積時間設定部は、前記未飽和蓄積時間をT0とするとき、前記第j群の分割波長領域の蓄積時間Tjを次式で設定する構成とする。Tj=N/jT01請求項3に記載の発明では、請求項1または2に記載の測光装置において、前記蓄積時間の個数Nを変更可能に設定する蓄積時間個数設定部を備える構成とする。請求項4に記載の発明では、回折格子と、該回折格子で回折された測定光を受光する1次元撮像素子とを用い、一定の測定可能波長領域において、基準試料からの測定光の光強度に対する被測定試料からの測定光の光強度の比率を求めて前記被測定試料の相対測光値を測定する測光方法であって、前記測定光によって前記1次元撮像素子の受光素子に発生する電荷量が前記測定可能波長領域の全域で飽和電荷量未満となる未飽和蓄積時間を設定する未飽和蓄積時間設定工程と、前記未飽和蓄積時間を蓄積時間に設定して前記1次元撮像素子を駆動して、前記被測定試料および前記基準試料からの測定光の光強度データを取得する第1のデータ測定工程と、該第1のデータ測定工程で取得した光強度データから最大光強度Pを求めて、該最大光強度PをN分割ただし、Nは2以上の整数した光強度範囲に対応するN群の分割波長領域を設定する波長領域分割工程と、前記N群の分割波長領域ごとに異なる蓄積時間を前記未飽和蓄積時間以上の範囲で設定する蓄積時間設定工程と、蓄積時間設定工程で設定したN個の前記蓄積時間によって前記1次元撮像素子を駆動して、前記被測定試料および前記基準試料からの測定光の光強度データを取得する第2のデータ測定工程と、前記1次元撮像素子を前記蓄積時間設定工程で設定した前記蓄積時間で駆動して取得した前記被測定試料および前記基準試料からの測定光の光強度データを用いて、前記N群の分割波長領域ごとに、前記基準試料の光強度データに対する前記被測定試料の光強度データの比率を求めて前記被測定試料の相対測光値を算出する相対測光値算出工程と、を備える方法とする。請求項5に記載の発明では、請求項4に記載の測光方法において、前記N個の蓄積時間の最小値は、前記未飽和蓄積時間であり、前記相対測光値算出工程では、前記第1のデータ測定工程および前記第2のデータ測定工程で測定した光強度データを用いて前記光強度データの比率を算出する方法とする。請求項6に記載の発明では、請求項4または5に記載の測光方法において、前記波長領域分割工程では、前記最大光強度PをN等分して、第j群ただし、j=1,...,N内の最大光強度Pjmaxが、Pのj/N倍となるように、前記N群の分割波長領域を求め、前記蓄積時間設定工程では、前記未飽和蓄積時間をT0とするとき、前記第j群の分割波長領域の蓄積時間Tjを次式で設定する方法とする。Tj=N/jT01請求項7に記載の発明では、請求項4~6のいずれか1項に記載の測光方法において、前記波長領域分割工程で前記最大光出力PをN分割するまでに、前記蓄積時間の個数Nを変更可能に設定する蓄積時間個数設定工程を備える方法とする。本発明の測光装置および測光方法は、複数の蓄積時間を設定し、測定可能波長領域を、蓄積時間に対応する分割波長領域に分割して、分割波長領域ごとの出力を増大させて光強度データを測定し、これら分割波長領域ごとに基準試料に対する光強度データの比率を求めることによって相対測光値を算出するため、測定可能波長領域の全域にわたって測定精度を向上することができるという効果を奏する。以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。まず本発明の実施形態に係る測光装置について説明する。図1は、本発明の実施形態に係る測光装置の概略構成を示す模式的な構成図である。図2は、本発明の実施形態に係る測光装置の測定制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。本実施形態の測光装置50は、図1に示すように、被測定試料7の被測定面8、あるいは分光反射率が既知の基準試料70の基準測定面80を落射照明することによって、被測定面8および基準測定面80の分光強度光強度を測定し、それぞれの測定で得られた分光強度の測定値光強度データの比率を求め、基準測定面80の既知の分光反射率に基づいて、被測定面8の相対分光反射率相対測光値を算出するものである。測光装置50の測定可能波長領域は、λminからλmaxである。以下では、一例として、λmin=380nm、λmax=780nmの場合の例で説明する。被測定試料7は、特に限定されないが、例えば、レンズ、光学フィルタ、反射ミラー等の光学素子などを挙げることができる。なお、図1は模式図のため、被測定試料7を平板状に描いているが、レンズや曲面ミラーの場合には、被測定面8は曲面になる。測光装置の概略構成は、光源1、照明レンズ2、ピンホール絞り3、コリメータレンズ4、ハーフミラー5、対物レンズ6、保持台19、結像レンズ9、観察光学系14、分光器10、表示モニタ15、測定制御ユニット16、および操作部17を備える。このうち、保持台19、対物レンズ6、ハーフミラー5、結像レンズ9、観察光学系14、および分光器10は、分光器10の入射光軸で規定される測光装置50の測定基準軸O上に、この順に配置されている。光源1は、被測定面8基準測定面80を照明するための測定光L0を発生するもので、例えばハロゲンランプや重水素ランプなどを採用することができる。また、測定目的によっては、発光ダイオードなどの発光素子からなる光源を採用することも可能である。照明レンズ2は、光源1で発生された測定光L0によってピンホール絞り3を照明する光学素子である。ピンホール絞り3は、照明レンズ2によって照明された測定光L0の通過範囲をピンホール3aの内側の範囲に制限する絞り部材である。コリメータレンズ4は、ピンホール絞り3から出射した測定光L0を平行光束とするために、焦点位置をピンホール絞り3に一致するように配置されたレンズまたはレンズ群である。ハーフミラー5は、コリメータレンズ4を透過して平行光束化された測定光L1の一部を対物レンズ6側に反射して、対物レンズ6に導く光路分割手段である。対物レンズ6は、ハーフミラー5で反射された測定光L1を、下方に配置された被測定試料7基準試料70の被測定面8基準測定面80上に測定光L2として集光するとともに、被測定面8基準測定面80で反射された測定光L3を集光するためのレンズまたはレンズ群である。対物レンズ6のレンズ光軸は測定基準軸Oに整列されている。保持台19は、被測定試料7基準試料70を、その被測定面8基準測定面80が測定基準軸Oに対して垂直、かつ対物レンズ6の焦点位置に一致するように保持するものである。本実施形態では、保持台19の構成は、被測定試料7基準試料70を保持する保持部19aと、保持部19aの測定基準軸Oに対する傾斜角を調整する傾斜ステージ19bと、傾斜ステージ19bを測定基準軸Oに直交する方向および測定基準軸Oに沿う方向に移動するXYZ移動ステージ19cとを備える。このため、保持台19の保持部19aに保持された被測定面8基準測定面80は、傾斜ステージ19bおよびXYZ移動ステージ19cによって姿勢および位置を調整することで、測定基準軸Oに対して垂直、かつ対物レンズ6の焦点位置に一致するように保持される。このような配置によれば、光源1で発生した測定光L0によるピンホール3aの像がスポット状に投影されるようになっている。なお、保持台19は、被測定試料7基準試料70を配置するだけで、被測定面8基準測定面80が測定基準軸Oに対して垂直、かつ対物レンズ6の焦点位置に一致するように保持できれば、傾斜ステージ19bおよびXYZ移動ステージ19cの少なくともいずれかを削除してもよい。結像レンズ9は、対物レンズ6によって集光され、ハーフミラー5を透過した測定光L4を集光して測定光L5として、分光器10の入射開口10aに結像させるものである。観察光学系14は、結像レンズ9および対物レンズ6で構成される結像光学系による被測定面8基準測定面80の像を観察するものである。本実施形態では、観察光学系14は、結像レンズ9によって集光される光を測定基準軸Oの側方に測定光L6として分岐させる光路分岐部材14aと、光路分岐部材14aで分岐された測定光L6による像を観察する接眼レンズ14bとを備える。なお、観察光学系14では、接眼レンズ14bに代えて撮像カメラを配置し、撮像カメラで撮像した画像をモニタに表示して観察できるようにしてもよい。分光器10は、回折格子11と、1次元撮像素子であるフォトダイオードアレイ12と、制御回路131次元素子駆動部とを備え、入射開口10aから入射された測定光L5を回折格子11によって波長ごとに分解して、フォトダイオードアレイ12の異なる受光素子上に結像し、フォトダイオードアレイ12の各受光素子の受光量に応じた出力信号を、測定制御ユニット16に出力する測光部である。フォトダイオードアレイ12は、例えば、線状に配置されたフォトダイオードからなる複数の受光素子と、各受光素子の蓄積電荷を順次読み出してビデオ信号として取り出すシフトレジスタ等の読み出し手段とを備えている。フォトダイオードアレイ12の駆動信号としては、読み出し周期を決定するスタートパルス信号と駆動クロックとが挙げられる。受光素子の蓄積時間は、スタートパルス信号の間隔によって可変することができる。本実施形態のフォトダイオードアレイ12は、一例として、512個の受光素子で構成され、第1番目の画素にλmin=380nmの波長の光、第512番目の受光素子にはλmax=780nmの波長の光が結像するように配置されている。このため、本実施形態では、波長λは、380nmから780nmまで、0.783nmピッチ=400/511の測定を行うことができる。制御回路13は、フォトダイオードアレイ12に駆動クロックおよびスタートパルス信号を供給し、スタートパルス信号の間隔を変えて蓄積時間を制御し、各受光素子の蓄積電荷をビデオ信号として読み出す制御回路である。本実施形態では、ビデオ信号をA/D変換してデジタル化された出力信号を送出する機能も備えている。本実施形態では、A/D変換は、12bit4096段階としている。また、制御回路13は、測定制御ユニット16と通信可能に接続されている。これにより、制御回路13は、測定制御ユニット16からの制御信号に基づいて複数の蓄積時間でフォトダイオードアレイ12を駆動し、各受光素子の受光量に応じた出力信号を測定制御ユニット16に送出できるようになっている。このため、制御回路13は、蓄積時間を変えて1次元撮像素子を駆動する1次元撮像素子駆動部を構成している。測定制御ユニット16は、測光装置50の全体制御を行うものであり、分光器10と電気的に接続され、例えば、分光器10から送出された出力信号に演算処理を施して相対分光反射率を算出したり、制御回路13に蓄積時間を設定したり、分光器10の受光動作を制御したりすることができる。測定制御ユニット16には、測定制御ユニット16に送出された出力信号や相対分光反射率の情報をグラフや数値情報として表示する表示モニタ15と、測定制御ユニット16に操作入力を行うため、例えばキーボード、マウス、操作ボタンなどからなる操作部17とが接続されている。測定制御ユニット16の機能構成は、図2に示すように、測定制御部100、蓄積時間個数設定部101、データ取得部102、波長領域分割部103、蓄積時間設定部104、相対測光値算出部105、および測定制御部100から送出されたデータを記憶する記憶部106を備える。なお、本実施形態では、測定に先立って、測定に用いる基準試料70の既知の分光反射率データRtheoryλが記憶されている。Rtheoryλは、測定のたびに、測定に用いる基準試料70のデータを入力してもよいし、測定に用いる複数種類の基準試料70のデータをデータベースとして保持しておき、測定の都度選択できるようにしてもよい。測定制御部100は、測光装置50の動作制御や演算を行うものであり、操作部17、表示モニタ15、制御回路13、蓄積時間個数設定部101、データ取得部102、波長領域分割部103、蓄積時間設定部104、相対測光値算出部105、および記憶部106と通信可能に接続されている。蓄積時間個数設定部101は、基準試料70と被測定試料7とを用いて測定を行う場合に、これらの測定に共通して用いられるフォトダイオードアレイ12の蓄積時間の個数Nただし、Nは2以上の整数を設定するものである。本実施形態では、測定制御部100から入力が許可された際に、操作部17から入力される数値を取得し、測定制御部100に送出することによって設定を行う。このため、個数Nは変更が可能である。測定制御部100に送出された個数Nは記憶部106に記憶される。なお、予め測定条件ごとに、必要となる個数Nが分かる場合には、測定条件に応じた個数Nのデータを記憶しておき、操作部17からは測定条件を選択させるだけでもよい。データ取得部102は、測定制御部100からの制御信号に基づいて、制御回路13から送出される出力信号を取得し、測定制御部100に送出するものである。測定制御部100に送出された出力信号は記憶部106に記憶される。このため、データ取得部102は、1次元撮像素子が受光した測定光の光強度データを取得するデータ取得部となっている。波長領域分割部103は、測定光L5によってフォトダイオードアレイ12の受光素子に発生する電荷量が測定可能波長領域の全域で飽和電荷量未満となる未飽和蓄積時間T0を蓄積時間に設定した際に、データ取得部102が取得した基準試料70による分光強度データRaλ光強度データ、図4a参照と被測定試料7による分光強度データRbλ、光強度データ、図4a参照とから、最大光強度Pを求めて、最大光強度PをN分割ただし、Nは2以上の整数した光強度範囲に対応するN群の分割波長領域を設定するものである。本実施形態では、分光強度データRaλ、Rbλを用いて、波長ごとに光強度が大きい方の光強度データを選択して波長領域分割用分光強度データRmaxλ図4b参照を生成し、この波長領域分割用分光強度データRmaxλから最大光強度Pを求める。また、本実施形態では、最大光強度PをN等分して、第j群ただし、j=1,...,N内の最大光強度Pjmaxが、Pのj/N倍となるように、N群の分割波長領域を設定する。蓄積時間設定部104は、波長領域分割部103で求めたN群の分割波長領域ごとに異なる蓄積時間を未飽和蓄積時間T0以上の範囲で設定するものである。本実施形態では、第j群の分割波長領域の蓄積時間Tjを次式1で設定している。Tj=N/jT01蓄積時間Tjは、測定制御部100に送出されると、測定制御部100によって、分光器10の制御回路13にスタートパルス信号の間隔の設定値として送出される。相対測光値算出部105は、データ取得部102によって、フォトダイオードアレイ12の蓄積時間をN個の蓄積時間T1、...、TNに変えてフォトダイオードアレイ12を駆動して、被測定試料7および基準試料70からの測定光の光強度データを取得し、N群の分割波長領域ごとに、基準試料70に対する被測定試料7の光強度データの比率を求めて被測定試料7の相対測光値を算出するものである。測定制御ユニット16の装置構成は、CPU、メモリ、入出力インターフェース、外部記憶装置などからなるコンピュータからなり、これにより上記の各制御機能、演算機能に実現する制御プログラム、演算プログラムが実行されるようになっている。次に、本実施形態の測光装置50の動作について、本実施形態の測光方法を中心として説明する。図3は、本発明の実施形態に係る測光装置を用いた測光方法の測定フローを示すフローチャートである。図4aは、本発明の実施形態に係る測光装置で測定した基準試料および被測定試料を未飽和蓄積時間で測定した光強度データの一例を示すグラフである。図4bは、同じく波長領域分割用光強度データと分割波長領域の一例を示すグラフである。測光装置50では、図3に示すステップS1~S9を順次行うことによって、被測定試料7の相対分光反射率の測定を行う。まず、ステップS1では、未飽和蓄積時間T0を設定する。未飽和蓄積時間T0は、被測定試料7および基準試料70からの測定光L5によりフォトダイオードアレイ12の受光素子に発生する電荷量が、飽和電荷量未満となる適宜の時間を設定することができる。ただし、測定光L5の光量変動や受光素子の感度バラツキ等を考慮して、飽和電荷量以上とならないことが確実な範囲内において、できるだけ長い蓄積時間に設定することが好ましい。未飽和蓄積時間T0が正確に知られている場合、または測定対象に対して経験的に把握されている数値がある場合には、測定者が操作部17から数値を入力して設定する。また、測定対象の未飽和蓄積時間T0が未知である場合には、蓄積時間を変えて、試し測定を行い最適な蓄積時間を探索してから、求められた最適値を操作部17から入力する。例えば、T0=100msなどの値に設定する。操作部17から入力された未飽和蓄積時間T0は、測定制御部100によって取得され、記憶部106に記憶される。以上で、ステップS1が終了する。本ステップは、未飽和蓄積時間を設定する未飽和蓄積時間設定工程を構成している。次にステップS2では、未飽和蓄積時間T0を蓄積時間に設定して被測定試料7および基準試料70からの測定光L5の光強度データを取得する。まず、被測定試料7および基準試料70に共通する光強度測定の手順および測光装置50の動作について説明する。なお、被測定試料7に対する手順、動作と、基準試料70に対する手順、動作は同じである。また、どちらを先に測定してもよい。以下では、基準試料70から測定を開始するものとして説明する。測定者は、基準測定面80が対物レンズ6に対向するように、基準試料70を保持台19上に保持させる。基準測定面80の位置、姿勢が調整されていない場合には、光源1を点灯し、観察光学系14を通して基準測定面80上のスポット像を観察し、保持台19のXYZ移動ステージ19cや傾斜ステージ19bを用いて位置調整を行い、基準測定面80を対物レンズ6の焦点位置に合わせるとともに測定基準軸Oに直交する姿勢に配置する。次に測定者は、操作部17から、フォトダイオードアレイ12を未飽和蓄積時間T0で駆動する分光強度の測定を開始する操作入力を行う。これにより、測定制御ユニット16の測定制御部100は、制御回路13に制御信号等を出力して、分光器10の受光動作を開始させる。このとき、測定制御部100は、蓄積時間の設定情報としては、記憶部106に記憶された未飽和蓄積時間T0に対応する設定情報を制御回路13に送出する。ここで、測光装置50における光路について説明する。図1に示すように、光源1から出射された測定光L0は、照明レンズ2によって集光され、これによりピンホール絞り3が照明される。ピンホール絞り3のピンホール3aは、コリメータレンズ4の焦点位置に配置されているため、ピンホール3aを透過した測定光は、コリメータレンズ4に入射して平行光束である測定光L1としてハーフミラー5に到達する。ハーフミラー5では、測定光L1の一部が対物レンズ6側に反射され、測定基準軸Oに沿って進む軸上光束として対物レンズ6に入射し、対物レンズ6の焦点位置に向けて集光され、測定光L2として基準測定面80に到達する。対物レンズ6の焦点面には、コリメータレンズ4および対物レンズ6からなる照明光学系の光学倍率に応じたピンホール3aの像が投影される。基準測定面80では、測定光L2の一部が反射され、測定光L3として対物レンズ6に入射して集光され、平行光束である測定光L4としてハーフミラー5に入射する。ハーフミラー5では、測定光L4の一部が透過して、結像レンズ9に入射し、結像レンズ9によって集光されて、観察光学系14の光路分岐部材14aに到達する。光路分岐部材14aでは、測定光L4の光路が、光路分岐部材14aを透過して測定基準軸O上を直進する測定光L5と、光路分岐部材14aによって測定基準軸Oの側方に導かれる測定光L6とに分岐される。測定光L5は、分光器10の入射開口10aに入射し、回折格子11によって波長に応じて回折されて、フォトダイオードアレイ12上の異なる位置に結像され、フォトダイオードアレイ12の受光素子によって受光される。一方、測定光L6は、接眼レンズ14bに入射し、基準測定面80上の像が観察可能となる。これにより、例えば、この像を観察して上記のような基準測定面80の位置および姿勢の調整を行うことができる。測定光L5がフォトダイオードアレイ12の受光素子上に結像されると、フォトダイオードアレイ12は、未飽和蓄積時間T0で駆動されているため、各受光素子の電荷量が飽和電荷量未満となる出力信号が発生し、測定制御ユニット16に送出される。この出力信号は、測定制御ユニット16のデータ取得部102によって取得され、データ取得部102から測定制御部100に送出される。測定制御部100は、受信した出力信号を記憶部106に記憶するとともに、グラフデータを生成し、表示モニタ15に表示させる。これにより、例えば、図4aに示す分光強度データRaλのようなグラフが表示される。分光強度データRaλは、測定可能波長であるλmin以上λmax以下の範囲の波長λに対する分光強度データである。図4aに示す例では、波長λminの点A1で短波長側の最小値をとり、λminおよびλmaxの中間の波長λpの点A2まで単調増加し、点A2で最大光強度Pとなり、波長λmaxまでの間に減少率が大きな減少と、減少率が小さい減少と、減少率が大きい減少とを経て変化し、波長λmaxの点A3で長波長側の最小値となり、全体として上側に凸となる山形の変化を示している。次に、ステップS2における被測定試料7の測定を行う。本測定は、保持台19の基準試料70を被測定試料7に代え、蓄積時間も含めて上記の基準試料70の測定と同様にして行う。これにより分光強度データRbλが取得され、記憶部106に記憶される。また、表示モニタ15には、分光強度データRbλのグラフが、例えば図4bに示すようなグラフとして表示される。分光強度データRbλは、図4aに示す例では、波長λminの点B1で短波長側の最大値をとり、λminおよびλmaxの中間の波長λvの点B2まで緩やかに減少し、点B2で最小光強度となり、波長λmaxまでの間に緩やかに増大して、波長λmaxの点B3で長波長側の最大値となり、全体として上側に凹となる変化を示している。このため、分光強度データRbλと分光強度データRaλとは、λminとλpとの間の波長における点C1と、λpとλmaxとの間の波長における点C2との2箇所で交差し、点C1、C2の間では分光強度データRaλの光強度が大きく、それ以外の領域では分光強度データRbλの光強度が大きくなっている。以上で、ステップS2が終了する。本ステップは、未飽和蓄積時間を蓄積時間に設定して1次元撮像素子を駆動して、被測定試料および基準試料からの測定光の光強度データを取得する第1のデータ測定工程を構成している。なお、ステップS1の段階で、設定された未飽和蓄積時間T0での分光強度データRbλと分光強度データRaλが取得されている場合は、本ステップを改めて行う必要はない。次にステップS3では、第1のデータ測定工程で取得した分光強度データRaλ、Rbλから波長ごとに光強度が大きい方の光強度データを選択して、波長領域分割用光強度データRmaxλを生成する。波長領域分割用光強度データRmaxλは、後述する本実施形態のステップS5において、ステップS2で取得した分光強度データRaλ、Rbλから最大光強度Pを求めるための一ステップとして生成されるものである。測定制御部100は、ステップS2が終了すると、記憶部106に記憶された分光強度データRaλ、Rbλと、波長分割用光強度データの生成を開始する制御信号とを波長領域分割部103に送出する。波長領域分割部103では、λをλminからλmaxまで変えてRaλ、Rbλの大小を比較し、大きい方の光強度データを選択して波長領域分割用分光強度データRmaxλを生成する。ここで、大きい方の光強度データを選択するとは、大小がある場合には大きい方を選択し、大小がない場合にはどちらを選択してもよいことを意味する。例えば、図4aに示すRaλ、Rbλからは、曲線B1C1A1C2B3で示される部分がRmaxλになる。生成された波長領域分割用分光強度データRmaxλは波長領域分割部103に設定された記憶領域に格納し、測定制御部100に波長領域分割用分光強度データRmaxλを生成したことを通知する。以上で、ステップS3が終了する。本ステップは、第1のデータ測定工程で取得した光強度データから波長ごとに光強度が大きい方の光強度データを選択して、波長領域分割用光強度データを生成する波長領域分割用光強度データ生成工程になっている。次にステップS4では、蓄積時間の個数Nを設定する。測定制御部100は、波長領域分割部103から波長領域分割用分光強度データRmaxλを生成した通知を受けると、表示モニタ15に蓄積時間の個数の入力を促すメッセージを表示し、蓄積時間個数設定部101を操作部17からの入力待ち状態にする。測定者は、表示モニタ15に表示されたRaλ、Rbλのグラフを見て、適宜の個数Nを操作部17から入力する。個数Nは、2以上の適宜数を採用することができる。個数Nが大きい設定とすると、測定精度は向上するが、測定時間は増大するため測定精度と測定効率とを考慮して、個数Nを設定する。以下では、一例としてN=3が入力されたものとして説明する。蓄積時間の個数Nが入力されると、蓄積時間個数設定部101によって、入力値が取得され、測定制御部100に送出される。以上で、ステップS4が終了する。なお、本ステップは、後述するステップS5で、個数Nを計算に使用する前までの、どのタイミングで実行してもよい。本ステップは、波長領域分割工程で最大光出力PをN分割するまでの前に、蓄積時間の個数Nを変更可能に設定する蓄積時間個数設定工程を構成する。次に、ステップS5では、N群の分割波長領域を設定する。測定制御部100は、個数Nを受信すると、この個数Nと分割波長領域を設定開始する制御信号とを波長領域分割部103に送出する。まず、波長領域分割部103は、分光強度データRaλ、Rbλの最大値である最大光強度Pを求める。本実施形態では、波長領域分割用分光強度データRmaxλを生成しているため、Rmaxλの最大値を求めればよい。次に、最大光強度PをN分割してN群の分割波長領域を求める。N分割の仕方は測定感度を考慮して適宜設定すればよいが、本実施形態では、N等分する場合で説明する。例えば、N=3の場合、図4bに示すように、第1群の分割波長領域aは、RmaxλがRmaxλの光強度範囲が0~P1maxとなる波長領域であり、λmin~λ1、λ4~λmaxである。ここで、P1max=1/3Pである。また、第2群の分割波長領域bは、Rmaxλの光強度範囲がP1max~P2maxとなる波長領域であり、λ1~λ2、λ3~λ4である。ここで、P2max=2/3Pである。また、第3群の分割波長領域cは、Rmaxλの光強度範囲がP2max~P3maxとなる波長領域であり、λ2~λ3である。ここで、P3max=Pである。このように、本実施形態では、分割波長領域は、第j群ただし、j=1,...,N内の最大光強度Pjmaxが、Pのj/N倍となるように設定される。なお、上記では、簡単のため各領域の境界は1つの波長値で示しているが、本実施形態では、波長は離散化されているため、実際には、各領域は最小波長ピッチだけ離間している。また、光強度はデジタルデータであるため、数値の一致は、量子化誤差の範囲で一致することを意味する。波長領域分割部103は、これらN群の分割波長領域の波長範囲のデータを、測定制御部100に送出する。測定制御部100はこれらの波長範囲のデータを第j群ごとに記憶部106に記憶する。以上でステップS5が終了する。上記ステップS3、S5は、第1のデータ測定工程で取得した光強度データから最大光強度Pを求めて、該最大光強度PをN分割した光強度範囲に対応するN群の分割波長領域を設定する波長領域分割工程を構成する。次にステップS6では、分割波長領域ごとに異なる蓄積時間を未飽和蓄積時間T0以上の範囲で設定する。測定制御部100は、波長領域分割部103から波長分割領域のデータが送出されると、蓄積時間設定部104に対して、蓄積時間の個数Nと、蓄積時間の設定を開始する制御信号とを送出する。本実施形態の蓄積時間設定部104では、上記式1に基づいて、第j群の分割波長領域の蓄積時間Tjを算出し、測定制御部100に送出する。すなわち、N=3の場合は、T1=3T0、T2=3/2T0、T3=T0である。このように蓄積時間Tjを設定することで、各分割波長領域における分光強度の最大値P1max、P2max、P3maxの測定値が同一の大きさに揃えられるため、各分割波長領域における測定感度を均等化することができる。測定制御部100は、これら蓄積時間Tjを記憶部106に記憶する。以上で、ステップS6が終了する。本ステップは、N群の分割波長領域ごとに異なる蓄積時間を未飽和蓄積時間以上の範囲で設定する蓄積時間設定工程を構成する。次にステップS7では、蓄積時間Tjを用いて被測定試料7および基準試料70のそれぞれに対して光強度測定を行う。すなわち、上記ステップS2の光強度測定において、未飽和蓄積時間T0に代えて、蓄積時間T1、...、TNを用いて行う。ただし、本実施形態では、TN=T3=T0に設定しているため、蓄積時間T3の光強度測定はステップS2で実行済みで、結果が記憶部106に記憶されている。このため、実際の測定はN-1回行えばよい。以下では、上記の分光強度データRaλ、Rbλを、それぞれRa3λ、Rb3λと表記する。ただし、測定時間が増えてもよい場合や、測定箇所の配置誤差が厳しい場合には、注:例えば試料をステージに置き直すと測定箇所がずれる可能性がある。そのため精度が必要な場合はT1、...、TNまで測定したほうが良い。にはN回の測定を行ってもよい。また、TN≠T0に設定した場合には、すべての蓄積時間T1、...、TNを用いたN回の測定を行う必要がある。そこで、測定制御部100は、記憶部106に記憶された蓄積時間をT1、T2を順次読み込む。そして、フォトダイオードアレイ12に蓄積時間T1、T2を設定する以外は上記ステップS2と略同様にして自動的に光強度測定を行う。本実施形態の具体例では、ステップS2終了時に保持台19上に被測定試料7が保持されているため、測定制御部100は、まず被測定試料7に対して蓄積時間をT1に設定して、上記ステップS2と同様の光強度測定を行う。測定制御部100は、続けて蓄積時間をT2に設定して同様の光強度測定を行う。次に、本実施形態では測定者が保持台19上の被測定試料7を基準試料70と交換する。そして、測定制御部100によって基準試料70に対する蓄積時間T1、T2の設定による光強度測定を同様にして自動的に実行する。このようにして、蓄積時間T1、T2に対応して、分光強度データRa1λ、Rb1λ、Ra2λ、Rb2λが取得される。蓄積時間T1による被測定試料7、基準試料70の測定結果は、それぞれ分光強度データRa1λ、Rb1λとなり、記憶部106に記憶される。本実施形態では、記憶領域を節約するため、第1群の分割波長領域に対応したデータのみを記憶する。この場合、後述のステップS8では、ステップS2で測定した分光強度データRa3λ、Rb3λは第3群の分割波長領域のデータしか計算に用いないため、Ra1λ、Rb1λをRa3λ、Rb3λの記憶領域に重ね書きすることで、さらに記憶領域の節約を図ってもよい。このような節約は、フォトダイオードアレイ12の受光素子数が多いほど、また蓄積時間の個数Nが大きいほど有効である。ただし記憶領域に余裕があれば、全波長領域のデータを記憶してもよい。これらの分光強度データRa1λ、Rb1λは、未飽和蓄積時間T0の3倍の蓄積時間T1で測定されるため、ステップS2における測定時よりも各受光素子の電荷量が約3倍になる。このため、Ra1λの場合、第1群の分割波長領域に属さないλ1~λ4では、受光素子が飽和してしまうが、第1群の分割波長領域に属する波長λmin~λ1、λ4~λmaxでは、飽和電荷量に達しないため受光素子の測定感度がステップS2の測定に比べて約3倍になる。また、図4bに示す例では、Rb1λは、全波長範囲で飽和電荷量に達しないため受光素子の測定感度がステップS2の測定に比べて約3倍になる。ここで約3倍というのは、蓄積時間に対して受光量が必ずしも比例するとは言えないため、必ずしも正確に3倍にはならないからである。ただし、後述するように、Ra1λ、Rb1λは、比率を算出するためだけに用いられるデータであり、同一の蓄積時間において実際に受光した受光量と出力信号が比例関係にあれば、正確に3倍でなくても測定精度には影響しない。また、蓄積時間T2による基準試料70、被測定試料7の測定結果は、それぞれ分光強度データRa2λ、Rb2λとなり、記憶部106に記憶される。本実施形態では、記憶領域を節約するため、第2群の分割波長領域に対応したデータのみを記憶する。この場合も、Ra2λ、Rb2λをRa3λ、Rb3λの記憶領域に重ね書きすることで、さらに記憶領域の節約を図ってもよい。また、記憶領域に余裕があれば、全波長領域のデータを記憶してもよい。これらの分光強度データRa2λ、Rb2λは、未飽和蓄積時間T0の3/2倍の蓄積時間T2で測定されるため、ステップS2における測定時よりも各受光素子の電荷量が約3/2倍になる。このため、Ra2λの場合、第2群の分割波長領域に属さないλ2~λ3では、受光素子が飽和してしまい、同じく、λmin~λ1、λ4~λmaxでは、Ra1λに比べると測定感度が劣る結果になる。しかし、第2群の分割波長領域に属す波長λ1~λ2、λ3~λ4では、飽和電荷量に達しないため受光素子の測定感度がステップS2の測定に比べて約3/2倍になる。また、図4bに示す例では、Rb2λは、全波長範囲で飽和電荷量に達しないため受光素子の測定感度がステップS2の測定に比べて約3/2倍になる。以上で、ステップS7が終了する。本ステップは、蓄積時間設定工程で設定したN個の蓄積時間によって1次元撮像素子を駆動して、被測定試料および基準試料からの測定光の光強度データを取得する第2のデータ測定工程を構成している。次にステップS8では、N群の分割波長領域ごとに、基準試料に対する被測定試料の光強度データの比率を求め、相対測光値である相対分光反射率を算出する。測定制御部100は、各蓄積時間Tjに対応する光強度測定が終了したら、記憶部106に記憶された、分割波長領域ごとの分光強度データRajλ、Rbjλと、分光反射率データRtheoryλとを、相対測光値算出部105に送出し、相対測光値算出部105の演算処理を開始させる。相対測光値算出部105は、まず、これらRajλ、Rbjλの比率であるrλλmin≦λ≦λmaxを求める。例えば、N=3の例では、次式2a、2b、2cのようになる。Rajλ、Rbjλは、それぞれλmin≦λ≦λmaxの全データが2つの配列に格納されていれば、読み出しが容易となり、迅速に計算することができる。rλ=Rb1λ/Ra1λλmin≦λ≦λ1,λ4≦λ≦λmax2arλ=Rb2λ/Ra2λλ1<λ≦λ2,λ3≦λ<λ42brλ=Rb3λ/Ra3λλ2<λ<λ32c次に、相対測光値算出部105は、次式3により、被測定試料7の相対分光反射率Rresultλを算出し、測定制御部100に送出する。Rresultλ=rλRtheoryλ3測定制御部100に送出されたRresultλは、記憶部106に記憶するとともに、グラフデータを生成し、表示モニタ15に表示させる。また、必要に応じて、数表などの数値データとしても表示する。以上で、ステップS8が終了する。本ステップは、1次元撮像素子を蓄積時間設定工程で設定した蓄積時間で駆動して取得した被測定試料および基準試料からの測定光の光強度データを用いて、N群の分割波長領域ごとに、基準試料の光強度データに対する被測定試料の光強度データの比率を求めて被測定試料の相対測光値を算出する相対測光値算出工程を構成している。このようにして、測光装置50により、被測定試料7の相対分光反射率Rresultλが測定可能波長の全域で測定される。他の被測定試料7の測定を行う場合には、上記ステップS1~S8を繰り返すことで、同様にして測定を行うことができる。ただし、このような繰り返し測定では、被測定試料7の分光反射率が略同様であり、上記の蓄積時間をそのまま使って測定することができることが分かっている場合には、未飽和蓄積時間T0や、蓄積時間Tjの設定は省略することもできる。また、測定光の光量変動などが少ない等、基準試料70の測定結果が安定していることが分かっている場合には、2回目以降の基準試料70の測定を省略することもできる。このように本実施形態の測光装置50およびこれを用いた測光方法によれば、未飽和蓄積時間T0以上の複数の蓄積時間Tjを設定し、測定可能波長領域λmin~λmaxを蓄積時間Tjに対応する分割波長領域に分割して、分割波長領域ごとの出力を増大させて光強度データを測定し、これら分割波長領域ごとに基準試料70に対する光強度データの比率を求めることによって相対測光値を算出する。このため、相対的に光強度が小さい波長域でも、蓄積時間を長く設定して高出力が得られるため、高感度な測定を行うことができる。このため、測定可能波長領域の全域にわたって測定精度を向上することができる。また、蓄積時間を長く設定することにより、蓄積時間と受光量が比例しない場合でも、基準試料70および被測定試料7の受光量と出力信号のリニアリティがあれば相対測光値を高精度に測定することが可能となる。また、本実施形態では、分割波長領域の第j群において、最大光強度Pjmaxが、Pのj/N倍となるように分割波長領域を設定し、かつ、蓄積時間Tjを式1のように設定している。このため、各分割波長領域において、測定感度を約N倍にしたのと同じことになり、各分割波長領域での測定精度が均等になる。すなわち、測定可能領域の全波長範囲での測定精度を均等に保ちつつ測定精度を向上することができる。なお、上記の説明では、測光装置50が落射照明により相対分光反射率を測定する場合の例で説明したが、相対測光値としては相対分光透過率測定でもよい。この場合、測定光として透過照明光を照射し、この透過光を対物レンズ6および結像レンズ9によって分光器10に入射させる構成とすればよい。また、上記の説明では、基準試料で測定される分光強度が被測定試料で測定される分光強度よりも大きい場合の例で説明したが、被測定試料の分光強度の方が大きい場合には、未飽和蓄積時間T0や最大光強度Pを、被測定試料の分光強度データから設定することになる。また、上記の説明では、最大光強度PをN等分して、上記式1によって蓄積時間を設定したため、蓄積時間の個数Nを入力すると、測定制御ユニット16の蓄積時間設定部104によって自動的に蓄積時間を設定するものとして説明した。ただし、例えば、最大光強度Pを等分しない場合等、蓄積時間の長さを分割波長領域に応じて不規則に変える必要がある場合には、蓄積時間の個数とともに、各蓄積時間の大きさや相対比などを入力することで、手動または半自動で蓄積時間を設定してもよい。また、分割波長領域も手動で設定するようにしてもよい。このように手動設定を行う場合には、蓄積時間設定部104および波長領域分割部103は、操作部17から測定制御部100を介して設定された蓄積時間や分割波長領域を、記憶部106に記憶させる動作を行うものとなる。また、上記の説明では、第2の測定工程において、基準試料70および被測定試料7の一方を保持台19に保持した状態で全蓄積時間の測定を行い、次に基準試料70および被測定試料7の他方を保持台19に保持した状態で全蓄積時間の測定を行った例で説明した。この場合、測定対象のセット回数が減るため、効率的に測定を行うことができる。ただし、1つの蓄積時間ごとに基準試料70および被測定試料7の測定を繰り返して、全蓄積時間による測定を行うようにしてもよい。また、上記の説明では、基準試料70および被測定試料7を単独で保持台19に保持する場合の例で説明したが、基準試料70および被測定試料7を並列して保持し、スライド機構やレボルバ機構などによって、基準試料70および被測定試料7の測定位置に選択的に移動できるようにしてもよい。また、上記の実施形態で説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせたり、削除したりして実施することができる。"