炉内に設けた加熱室の空気を炉外へ排気しつつ、清浄な空気を前記加熱室に供給して同加熱室内を換気する熱処理炉において、前記加熱室に面する炉壁内に前記加熱室の空気を排気するための流路を形成し、同流路を経た排気との熱交換によって加温した前記清浄な空気を前記加熱室に供給することを特徴とする熱処理炉。前記排気と前記清浄な空気との熱交換を行う熱交換器を前記炉内に設けたことを特徴とする請求項1に記載の熱処理炉。前記清浄な空気を前記熱交換器に導く配管の少なくとも一部を前記炉内に配設したことを特徴とする請求項2に記載の熱処理炉。前記炉内に前記加熱室を多段状に複数設け、各加熱室からの排気を前記流路に集合させたことを特徴とする請求項1~3いずれか1項に記載の熱処理炉。しかしながら、上記従来の熱処理炉は、室温状態の清浄な空気をヒータによって所定の温度例えば、230°Cにまで昇温する必要があり、加熱室内の換気に伴って清浄な空気を加熱する為の大きなエネルギーが必要となっていた。本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであって、可及的安価な構成で、且つ、加熱室内に供給する清浄な空気を熱効率良く加温することのできる熱処理炉を提供する。上記従来の課題を解決するために、請求項1に記載の熱処理炉では、炉内に設けた加熱室の空気を炉外へ排気しつつ、清浄な空気を前記加熱室に供給して同加熱室内を換気する熱処理炉において、前記加熱室に面する炉壁内に前記加熱室の空気を排気するための流路を形成し、同流路を経た排気との熱交換によって加温した前記清浄な空気を前記加熱室に供給することとした。また、請求項2に記載の熱処理炉では、請求項1に記載の熱処理炉において、前記排気と前記清浄な空気との熱交換を行う熱交換器を前記炉内に設けたことに特徴を有する。また、請求項3に記載の熱処理炉では、請求項2に記載の熱処理炉において、前記清浄な空気を前記熱交換器に導く配管の少なくとも一部を前記炉内に配設したことを特徴とする。また、請求項4に記載の熱処理炉では、請求項1~3いずれか1項に記載の熱処理炉において、前記炉内に前記加熱室を多段状に複数設け、各加熱室からの排気を前記流路に集合させたことに特徴を有する。請求項1に記載の熱処理炉では、炉内に設けた加熱室の空気を炉外へ排気しつつ、清浄な空気を前記加熱室に供給して同加熱室内を換気する熱処理炉において、前記加熱室に面する炉壁内に前記加熱室の空気を排気するための流路を形成し、同流路を経た排気との熱交換によって加温した前記清浄な空気を前記加熱室に供給することとしたため、可及的安価な構成で、しかも吸気した清浄な空気を熱効率よく加温することのできる熱処理炉を提供することができる。また、請求項2に記載の熱処理炉では、前記排気と前記清浄な空気との熱交換を行う熱交換器を前記炉内に設けたため、排気が熱交換器に至るまでの熱ロスを可及的に防止して、吸気した清浄な空気をさらに熱効率良く加温することができる。また、請求項3に記載の熱処理炉では、前記清浄な空気を前記熱交換器に導く配管の少なくとも一部を前記炉内に配設したため、清浄な空気が熱交換器に至るまでの間にも加温を行うことができ、吸気した清浄な空気をさらに熱効率良く加温することができる。また、請求項4に記載の熱処理炉では、前記炉内に前記加熱室を多段状に複数設け、各加熱室からの排気を前記流路に集合させたため、各加熱室からの排気の熱を、同加熱室に給気するための清浄な空気の加温に可及的に効率良く用いることができる。本実施形態に係る熱処理炉は、炉内に設けた加熱室の空気を炉外へ排気しつつ、清浄な空気以下、浄化エアともいう。を前記加熱室に供給して同加熱室内を換気する熱処理炉において、加熱室に面する炉壁内に加熱室の空気を排気するための流路を形成し、同流路を経た排気との熱交換によって加温した浄化エアを加熱室に供給することを特徴とするものである。上記構成の熱処理炉は、夾雑物の付着が品質に多大な影響を及ぼすフラットパネルディスプレイなどに用いられるガラス基板の熱処理炉として好適であり、本明細書では、以下、ガラス基板を被加熱物の一例として説明する。本実施形態に係る熱処理炉によれば、比較的高温の排気と、加熱室に給気する浄化エアとを熱交換することにより浄化エアを加温することとしているため、排気が有する熱エネルギーを無駄にすることなく、熱効率良く浄化エアを加温することができる。しかも、加熱室に面する炉壁内に形成した流路を通気させた排気によって熱交換を行うため、排気が有する熱エネルギーを熱交換前に炉外雰囲気中へ拡散させてしまうことを防止することができ、熱ロスを飛躍的に低減させることができる。また、排気と浄化エアとの熱交換を行う熱交換器は、炉内に設けるようにしても良い。このような構成とすることにより、排気が熱交換器に至るまでの熱ロスを可及的に防止して、浄化エアをさらに熱効率良く加温することが可能となる。またこの際、浄化エアを前記熱交換器に導く配管の少なくとも一部を炉内に配設することにより、浄化エアを熱交換器に至らせる過程において、炉内の熱で予備的に加熱を行うことができ、加熱室に給気する浄化エアをさらに熱効率良く加温することができる。ところで、熱処理炉内に形成される加熱室は、多段状に複数設けるようにしても良い。このとき、各加熱室からの排気を、炉壁内に形成した流路に集合させて熱交換器へ送ることにより、複数枚のガラス基板被加熱物に対して熱処理を行いつつ、加熱室に給気する浄化エアを熱効率良く加温することができる。以下、本実施形態に係る熱処理炉について、図面を参照しながら説明する。図1は本実施形態に係る熱処理炉Aの側断面を示した模式図であり、図2は図1におけるX-X断面を示した模式図である。図1および図2に示すように、本実施形態に係る熱処理炉Aは、炉壁1で囲われた炉体2の内部に、ガラス基板Gを加熱するための加熱室3を上下方向に複数段備えている。また、熱処理炉Aには、図2に示すように、浄化エア供給流路4と、排気流路5とが備えられており、加熱室3の内部を換気可能に構成している。浄化エア供給流路4は、図示しないフィルタ等によって浄化された清浄な圧搾空気を昇温させて各加熱室3内に導入する流路であり、後にそれぞれ説明するが、浄化エア導入管26と、熱交換器25内に形成された浄化エア用の流路の一部図示せずと、浄化エア連結管28と、エア昇温ヒータ30内に形成された流路の一部図示せずと、浄化エア供給主管31と浄化エア供給管12とで構成している。また、排気流路5は、ガラス基板Gの加熱によって発生した塗膜昇華物や水分などの夾雑物を含む加熱室3内の空気を排気するための流路であり、排気吸引管13と、排気主管40と、排気回収管42と第1排気接続管43と、熱交換器25内に形成された排気用の流路の一部図示せずと、第2排気接続管44と、昇華物回収配管8と排気ファン6とで構成している。排気ファン6は排気流路5の下流終端に設けられており、加熱室3内の空気を排気として強制的に排出するよう構成している。排気ファン6の上流部位には、昇華物回収装置7が設けられている。この昇華物回収装置7は、昇華物回収配管8の周囲に巻回した冷却配管9に通水することで、昇華物回収配管8の内壁面に夾雑物を固着させ、排気中に含まれる夾雑物を回収するための装置である。加熱室3は、図1にも示すように、上下に配置された面ヒータ10と、ガラス基板Gを載置するための載置部11と、浄化エア供給管12図2参照とが備えられている。換言すれば、炉体2内部において面ヒータ10に上下を挟まれた空間に載置部11を形成し、浄化エア供給管12を配設することで加熱室3を構成している。面ヒータ10は、ステンレス製の薄膜をエッチングして形成した直線状や波状の配線パターンを熱硬化性樹脂でサンドイッチ状に挟んで面状に形成したものであり、図示しない配線により、同面ヒータ10の所定位置に形成された端子に通電することで発熱し、加熱室3内を加熱するよう構成している。載置部11は、図1および図2に示すように、炉体2の左右方向に伸延する断面視矩形状の梁体17を奥行き方向に所定間隔をあけながら複数配置するとともに、各梁体17上に所定間隔をあけてガラス基板Gを支持するための支持体14を配置して構成している。また、各加熱室3内の前面部18側及び後面部19側には排気吸引管13が配設されており、その中空内部を加熱室3内より吸引した空気を流通させる吸引路15としている。具体的には、図3及び図4に示すように、排気吸引管13の上面には、吸引路15に連通する吸引口16が穿設されており、この吸引口16より吸引された加熱室3内の空気は、吸引路15を経て排気されることとなる。支持体14は、図1及び図2に示すように、外観視略円錐形に形成されており、梁体17上にその伸延方向に沿って所定間隔をあけて配置されている。ガラス基板Gは、各梁体17上に複数配置された支持体14の先端部上に載置されることとなる。ガラス基板Gをこのように支持体14の先端で点で支えることにより、面ヒータ10から発せられる輻射熱が当たらない領域を可及的に減らすことができ、ガラス基板Gを満遍なく加熱することができる。また、各加熱室3には、図1及び図4に示すように、炉体2の前面部18側に向けて開口させて形成した基板出入口20が設けられている。このそれぞれの基板出入口20には、炉体2の左右方向に軸線を向けた支軸22が前面部18に配置されている。そして、この支軸22には、各基板出入口20を閉塞可能な板体23がそれぞれ軸支されており、同板体23を支軸22の軸線周りに揺動させることによって基板出入口20を開閉可能としている。また、図1に示すように、炉体2内部の最も下に配設した面ヒータ10以下、最下段面ヒータ10aという。の更に下方には、最下段面ヒータ10aにて発せられた熱が炉体2の底壁1aへ伝導するのを緩和するための下部離隔スペース24が設けられており、同様に、炉体2内部の最も上に配設した面ヒータ10以下、最上段面ヒータ10bという。の更に上方には、最上段面ヒータ10bにて発せられた熱が炉体2の天井壁1bへ伝導するのを緩和するための上部離隔スペース27が設けられている。これらの離隔スペースのうち、下部離隔スペース24内には、清浄な空気と排気とを熱交換する熱交換器25が設けられている。熱交換器25には、一端を図示しないエアフィルタ及びエアコンプレッサに接続した浄化エア導入管26が配設されており、清浄な圧搾空気浄化エアを熱交換器25内に導入可能としている。特に、この浄化エア導入管26は、浄化エアを熱交換器25に導く配管として機能するものであり、本実施形態では熱交換器25との接続部近傍を炉内に配置した炉内配設部26aとしている。浄化エア導入管26は金属など熱伝導性の良好な素材にて構成しており、炉内配設部26aは、浄化エア導入管26の周囲に断熱材等を巻回することなく、内部を流通する浄化エアに下部離隔スペース24の熱が伝わりやすいよう構成している。また、熱交換器25は、排気流路5の中途に介設された状態としており、この排気の熱で浄化エア導入管26より供給される浄化エアを熱交換により予備加熱するよう構成している。熱交換器25により予備加熱された浄化エアは、次に、浄化エア連結管28を介してエア昇温ヒータ30に至る。このエア昇温ヒータ30の内部には、通電により発熱する発熱体図示せずが内蔵されており、同発熱体により浄化エアを所定の目標温度まで加熱可能に構成している。このエア昇温ヒータ30の出口には、各加熱室3内に配置された浄化エア供給管12に連通する浄化エア供給主管31が連結されており、エア昇温ヒータ30にて昇温された浄化エアは、この浄化エア供給主管31を介して各浄化エア供給管12に至る。各浄化エア供給管12には、図3に示すように複数の吹出口32が形成されている。そして、浄化エア供給管12に至った浄化エアは、加熱室3内に吹き出されることとなる。このようにして、加熱室3に昇温された浄化エアが供給される。また、各加熱室3の前面部18側及び後面部19側に配設された排気吸引管13は、図3に示すように、排気流路5の一部を構成する排気主管40に接続されている。したがって、排気流路5の端部に設けられた排気ファン6の駆動により、加熱室内の空気が吸引口16を介して吸引路15に吸い込まれることとなる。吸引路15に吸い込まれた空気は、図5において破線矢印で示すように、排気吸引管13の左右端部に接続された上下方向に伸延する排気主管40に至る。すなわち、各加熱室3に設けられた排気吸引管13は、いずれの端部も排気主管40に連通する状態で同様に接続されており、吸い込まれた空気は、それぞれ排気主管40に集合することとなる。なお、図5は、排気流路5の構成を示した説明図であり、浄化エア供給流路4や加熱室3など、その他の構成については理解を容易とするために省略している。ここで、本熱処理炉Aに特徴的には、排気主管40は、図3に示すように、加熱室3に面する炉壁1内、本実施形態では側壁41内に形成している。この側壁41は、加熱室3の熱によって高温となっており、この排気主管40を流れる排気は高温を保持したまま流れることとなる。これは、排気主管40を炉外に設けた場合に比して、排気温度の低下を防止することができる。排気主管40の下端部には、図5に示すように、水平方向前後方向に伸延する排気回収管42が接続されており、この排気回収管42に至った排気は、第1排気接続管43を経て熱交換器25に至る。熱交換器25の内部では、排気流路5により送気されてきた排気と、浄化エア供給流路4により供給される清浄な空気との間で熱交換が行われる。このとき、排気は先に述べたように、側壁41内に配設した排気主管40を通じて高温を保つようにしているため、熱交換器25に比較的高温の排気を導入させることができ、できるだけ多い熱エネルギーを浄化エアに付与して、効率良く熱交換を行わせることができる。また、熱交換器25は炉内に設けているため、熱交換器25全体が加熱されており、熱交換器25を炉外に設けた場合に比して効率良く浄化エアの加熱を行うことができる。特に、熱交換器25は、熱処理炉Aの構造上必要な下部離隔スペース24内に設けているため図1及び図2参照、下部離隔スペース24本来の目的を保ちつつ、浄化エアを熱効率良く加温させることができる。また、浄化エア導入管26は、図2に示したように、その一部を炉内に配置して構成した炉内配設部26aを備えている。したがって、浄化エアは、炉内の熱交換器25に至るまでの部分においても、加熱された浄化エア導入管26によって予備的に加温されることとなり、熱交換器25での目標温度やヒータでの目標温度とするのに要するエネルギーを少なくすることができ、安価な構成でしかも効率的に浄化エアを加温することができる。次に、変形例に係る熱処理炉Bについて図6及び図7を参照しながら説明する。本変形例に係る熱処理炉Bは、より多くのガラス基板Gを熱処理するために、前述の熱処理炉Aと略同様の構成とした上下2台の熱処理炉下側熱処理炉B1及び上側熱処理炉B2を連結した構成としている。なお、以下の変形例の説明では、前述の熱処理炉Aと同様の構成については同じ符号を付して説明を省略する。また、紙面の関係上、下側熱処理炉B1で4枚、上側熱処理炉B2で4枚の計8枚のガラス基板Gを処理するよう構成しているが、より多くのガラス基板G例えば、上下熱処理炉のそれぞれで10枚ずつ、計20枚を処理可能に構成しても良い。図6に示すように、熱処理炉Bにおいて下側熱処理炉B1は、前述の熱処理炉Aと略同様の構成としている。また、上側熱処理炉B2は、下側熱処理炉B1の上部に載置している。ここで、下側熱処理炉B1の上部壁51bと、上側熱処理炉B2の下部壁51aは、相互の熱伝導の効率化や軽量化の理由から、他の炉壁1に比して薄手に形成しており、また、下側熱処理炉B1の上部離隔スペース27及び上側熱処理炉B2の下部離隔スペース24の高さも小さくしている。このように、上下2段とした熱処理炉Bでは、上側熱処理炉B2の下部離隔スペース24が狭隘であるため、熱交換器25を配置することが困難であり、また、上下熱処理炉B1及びB2間の熱伝導の観点からも良好とは言い難い。そこで、熱処理炉Bでは、図6及び図7に示すように、上側熱処理炉B2の熱交換器25を、同上側熱処理炉B2の最上段面ヒータ10b上方に形成した上部離隔スペース50に配置している。この上部離隔スペース50は、前述の熱処理炉Aの下部離隔スペース24と同様、最上段面ヒータ10bにて発せられた熱が炉体2の天井壁1bへ伝導するのを防止するためのスペースである。このような構成を有する熱処理炉Bによれば、ガラス基板Gの枚数が増えて、換気量が増えた場合であっても、上下熱処理炉B1及びB2の相互の熱伝導の効率化や軽量化を図りながらも、可及的安価な構成で、加熱室3に供給する浄化エアを熱効率良く加温することができる。上述してきたように、本実施形態に係る熱処理炉A及びBによれば、炉内に設けた加熱室3の空気を炉外へ排気しつつ、清浄な空気を前記加熱室3に供給して同加熱室3内を換気する熱処理炉において、前記加熱室3に面する炉壁1例えば、側壁41内に前記加熱室3の空気を排気するための流路5例えば、排気主管40を形成し、同流路を経た排気との熱交換によって加温した前記清浄な空気を前記加熱室3に供給することとしたため、可及的安価な構成で、吸気した清浄な空気を熱効率良く加温することができる。また、前記排気と前記清浄な空気との熱交換を行う熱交換器例えば、熱交換器25を前記炉内例えば、下部離隔スペース24や上部離隔スペース50に設けたため、排気が熱交換器に至るまでの熱ロスを可及的に防止して、吸気した清浄な空気をさらに熱効率良く加温することができる。また、前記清浄な空気を前記熱交換器に導く配管の少なくとも一部を前記炉内に配設例えば、浄化エア導入管26の炉内配設部26aしたため、清浄な空気が熱交換器に至るまでの間にも加温を行うことができ、吸気した清浄な空気をさらに熱効率良く加温することができる。また、前記炉内に前記加熱室を多段状に複数設け、各加熱室からの排気を前記流路に集合させた例えば、各加熱室3の吸引路15及び排気主管40こととしたため、各加熱室からの排気の熱を可及的に効率よく吸気した清浄な空気の加温に用いることができる。最後に、上述した各実施の形態の説明は本発明の一例であり、本発明は上述の実施の形態に限定されることはない。このため、上述した各実施の形態以外であっても、本発明に係る技術的思想を逸脱しない範囲であれば、設計等に応じて種々の変更が可能であることは勿論である。