複数の太陽電池セルから構成され、前記複数の太陽電池セルのうち、検査対象となる少なくとも2つの太陽電池セルが直列接続されている太陽電池モジュールの検査方法であって、前記複数の太陽電池セルの全てに光を照射した状態における前記太陽電池モジュールの第1の電流電圧特性を測定するステップと、前記複数の太陽電池セルのうち、検査対象となる少なくとも1つの太陽電池セルに光を照射せず、残余の太陽電池セルに光を照射した状態における前記太陽電池モジュールの第2の電流電圧特性を測定するステップと、測定された前記第1の電流電圧特性と前記第2の電流電圧特性とに基づく前記太陽電池モジュールの所定の電流値に対応する特性変化情報を取得するステップと、取得した前記太陽電池モジュールの特性変化情報と所定の条件との比較に基づいて、検査対象である前記太陽電池セルの良否を判定するステップとを備える、太陽電池モジュールの検査方法。前記太陽電池モジュールの特性変化情報は、前記第1の電流電圧特性における少なくとも1つの前記所定の電流値に対応する第1の電圧値と、前記第2の電流電圧特性における前記所定の電流値に対応する第2の電圧値との差分を示す差分電圧値であって、前記判定するステップは、光が照射されていない基準太陽電池セルの逆方向電流電圧特性における前記所定の電流値に対応する第3の電圧値と、前記差分電圧値とを比較することで、検査対象である前記太陽電池セルの良否を判定する、請求項1に記載の太陽電池モジュールの検査方法。前記複数の太陽電池セルは、互いに直列に接続された検査対象となる1~nnは1以外の自然数個の太陽電池セルで構成され、前記第2の電流電圧特性を測定するステップは、順番に検査対象となる1~n個の太陽電池セルのうちの各々の太陽電池セルには光を照射せず、残余のn-1個の太陽電池セルに光を照射した状態における前記太陽電池モジュールの第2の電流電圧特性をn回測定し、前記取得するステップは、順番に測定された前記第1の電流電圧特性と前記第2の電流電圧特性とに基づく前記太陽電池モジュールの特性変化情報をn回取得し、前記判定するステップは、順番に取得した前記太陽電池モジュールの特性変化情報と所定の条件との比較に基づいて、検査対象となる前記太陽電池セルの良否をn回判定する、請求項2に記載の太陽電池モジュールの検査方法。前記複数の太陽電池セルは、所定の個数でグループ分けした複数の太陽電池セル群で構成され、前記第2の電流電圧特性を測定するステップは、順番に検査対象となる複数の太陽電池セル群のうちの各々の太陽電池セル群には光を照射せず、残余の太陽電池セル群に光を照射した状態における前記太陽電池モジュールの第2の電流電圧特性を複数回測定し、前記取得するステップは、順番に測定された前記第1の電流電圧特性と前記第2の電流電圧特性とに基づく前記太陽電池モジュールの特性変化情報を複数回取得し、前記判定するステップは、順番に取得した前記太陽電池モジュールの特性変化情報と所定の条件に基づいて、検査対象となる前記太陽電池セル群の良否を複数回判定する、請求項2に記載の太陽電池モジュールの検査方法。前記判定するステップは、前記第3の電圧値を前記所定の略個数倍した電圧値と、前記差分電圧値とを比較することで、検査対象である前記太陽電池セル群の良否を判定する、請求項4に記載の太陽電池モジュールの検査方法。前記太陽電池モジュールの特性変化情報は、光を照射していない太陽電池セルの個数に応じて変化する、所定の電流値に対応する太陽電池モジュールの電圧値を示すモジュール電圧値であって、前記判定するステップは、前記光を照射していない太陽電池セルの個数に対して前記モジュール電圧値が線形に変化しているか否かに基づいて、検査対象である太陽電池セルの良否を判定する、請求項1に記載の太陽電池モジュールの検査方法。前記所定の電流値は、複数存在する、請求項1~6のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの検査方法。前記検査対象である太陽電池セルの裏面を局所的に加熱するステップをさらに備える、請求項1~7のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの検査方法。前記太陽電池モジュールを構成する前記複数の太陽電池セルは、全て直列接続されている、請求項1~8のいずれか1項に記載の太陽電池モジュールの検査方法。複数の太陽電池セルから構成され、前記複数の太陽電池セルのうち少なくとも2つの太陽電池セルが直列接続されている太陽電池モジュールの検査装置であって、前記太陽電池モジュールに光を照射することが可能な光照射手段と、前記光照射手段を制御して前記太陽電池モジュールを検査するための制御手段とを備え、前記制御手段は、前記光照射手段を制御して前記複数の太陽電池セルの全てに光を照射した状態における前記太陽電池モジュールの第1の電流電圧特性を測定する第1の測定手段と、前記光照射手段を制御して前記複数の太陽電池セルのうち、検査対象となる少なくとも1つの太陽電池セルに光を照射せず、残余の太陽電池セルに光を照射した状態における前記太陽電池モジュールの第2の電流電圧特性を測定する第2の測定手段と、前記第1および第2の測定手段で測定された前記第1の電流電圧特性と前記第2の電流電圧特性とに基づく前記太陽電池モジュールの所定の電流値に対応する特性変化情報を取得する取得手段と、前記取得手段で取得した前記太陽電池モジュールの特性変化情報と所定の条件との比較に基づいて、検査対象である前記太陽電池セルの良否を判定する判定手段とを含む、太陽電池モジュールの検査装置。前記所定の電流値は、複数存在する、請求項10に記載の太陽電池モジュールの検査装置。前記検査対象である太陽電池セルの裏面を局所的に加熱する加熱装置をさらに備える、請求項10または11に記載の太陽電池モジュールの検査装置。上記のように、太陽電池セルは基本的に直列接続されモジュール化されるが、いったんモジュール化されてしまうと、通常は外部から個々のセルの電気的特性を測定することは困難であり、太陽電池モジュール全体の出力特性しか確認できなかった。勿論、モジュール製造時には、あらかじめセルの段階で、出力特性等の諸特性が適正であるセルを選別して製造される。しかしながら、モジュール化の工程においては、配線や封止の工程でセルの端部が損傷したり、クラックが入ったりする場合がある。また、曲面構造のモジュールやフレキシブルモジュールでは、製作過程または完成後に曲げ応力が加わるため、セルに新たなクラックが導入されたり、応力の影響で歪や損傷が拡大されたりする懸念がある。特に、多結晶Si太陽電池セルの素材が、従来使われていた高純度シリコン材料ではなく、比較的純度の低いシリコン材料や従来は破棄されていたシリコン端材であるときには、モジュール化されてから予期せぬリークが発生したり、ホットスポット現象が生じたりする場合がある。また、モジュール上に影が生じた場合には、初めは正常でも、温度上昇に伴って徐々にリークが増大したりする場合もある。これらのことは、セルの素材が、例えば、材料起因の微小な無機物や重金属酸化物からなる析出を含有していることから、結晶成長時に発生する結晶粒界や残留ひずみ、およびモジュール化に伴う上記の影響などを受けてリークを発生させるものと推測される。このように、モジュール化後の個々のセルの電気的特性をチェックすることは重要であったが、従来は、出来上がった太陽電池モジュール全体の出力特性しかチェックできなかったため予期せぬ不良が発生しても、その不良セルを特定することが困難であった。本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであって、非破壊で比較的容易に、太陽電池モジュール内に封止された太陽電池セルを検査することができる太陽電池モジュールの検査方法、検査装置の概念を提供することを目的とする。本発明によると、複数の太陽電池セルから構成され、複数の太陽電池セルのうち、検査対象となる少なくとも2つの太陽電池セルが直列接続されている太陽電池モジュールの検査方法が提供される。太陽電池モジュールの検査方法は、複数の太陽電池セルの全てに光を照射した状態における太陽電池モジュールの第1の電流電圧特性を測定するステップと、複数の太陽電池セルのうち、検査対象となる少なくとも1つの太陽電池セルに光を照射せず、残余の太陽電池セルに光を照射した状態における太陽電池モジュールの第2の電流電圧特性を測定するステップと、測定された第1の電流電圧特性と第2の電流電圧特性とに基づく太陽電池モジュールの所定の電流値に対応する特性変化情報を取得するステップと、取得した太陽電池モジュールの特性変化情報と所定の条件との比較に基づいて、検査対象である太陽電池セルの良否を判定するステップとを含む。好ましくは、太陽電池モジュールの特性変化情報は、第1の電流電圧特性における少なくとも1つの所定の電流値に対応する第1の電圧値と、第2の電流電圧特性における所定の電流値に対応する第2の電圧値との差分を示す差分電圧値である。判定するステップは、光が照射されていない基準太陽電池セルの逆方向電流電圧特性における所定の電流値に対応する第3の電圧値と、差分電圧値とを比較することで、検査対象である太陽電池セルの良否を判定する。好ましくは、複数の太陽電池セルは、互いに直列に接続された検査対象となる1~nnは1以外の自然数個の太陽電池セルで構成される。第2の電流電圧特性を測定するステップは、順番に検査対象となる1~n個の太陽電池セルのうちの各々の太陽電池セルには光を照射せず、残余のn-1個の太陽電池セルに光を照射した状態における太陽電池モジュールの第2の電流電圧特性をn回測定し、取得するステップは、順番に測定された第1の電流電圧特性と第2の電流電圧特性とに基づく太陽電池モジュールの特性変化情報をn回取得し、判定するステップは、順番に取得した太陽電池モジュールの特性変化情報と所定の条件との比較に基づいて、検査対象となる太陽電池セルの良否をn回判定する。好ましくは、複数の太陽電池セルは、所定の個数でグループ分けした複数の太陽電池セル群で構成される。第2の電流電圧特性を測定するステップは、順番に検査対象となる複数の太陽電池セル群のうちの各々の太陽電池セル群には光を照射せず、残余の太陽電池セル群に光を照射した状態における太陽電池モジュールの第2の電流電圧特性を複数回測定し、取得するステップは、順番に測定された第1の電流電圧特性と第2の電流電圧特性とに基づく太陽電池モジュールの特性変化情報を複数回取得し、判定するステップは、順番に取得した太陽電池モジュールの特性変化情報と所定の条件に基づいて、検査対象となる太陽電池セル群の良否を複数回判定する。好ましくは、判定するステップは、第3の電圧値を所定の略個数倍した電圧値と、差分電圧値とを比較することで、検査対象である太陽電池セル群の良否を判定する。好ましくは、太陽電池モジュールの特性変化情報は、光を照射していない太陽電池セルの個数に応じて変化する、太陽電池モジュールの電圧値を示すモジュール電圧値である。判定するステップは、光を照射していない太陽電池セルの個数に対してモジュール電圧値が線形に変化しているか否かに基づいて、検査対象である太陽電池セルの良否を判定する。好ましくは、所定の電流値は、複数存在する。好ましくは、検査対象である太陽電池セルの裏面を局所的に加熱するステップをさらに含む。好ましくは、太陽電池モジュールを構成する複数の太陽電池セルは、全て直列接続されている。本発明の別の局面に従うと、複数の太陽電池セルから構成され、複数の太陽電池セルのうち少なくとも2つの太陽電池セルが直列接続されている太陽電池モジュールの検査装置が提供される。太陽電池モジュールの検査装置は、太陽電池モジュールに光を照射することが可能な光照射手段と、光照射手段を制御して太陽電池モジュールを検査するための制御手段とを含む。制御手段は、光照射手段を制御して複数の太陽電池セルの全てに光を照射した状態における太陽電池モジュールの第1の電流電圧特性を測定する第1の測定手段と、光照射手段を制御して複数の太陽電池セルのうち、検査対象となる少なくとも1つの太陽電池セルに光を照射せず、残余の太陽電池セルに光を照射した状態における太陽電池モジュールの第2の電流電圧特性を測定する第2の測定手段と、第1および第2の測定手段で測定された第1の電流電圧特性と第2の電流電圧特性とに基づく太陽電池モジュールの所定の電流値に対応する特性変化情報を取得する取得手段と、取得手段で取得した太陽電池モジュールの特性変化情報と所定の条件との比較に基づいて、検査対象である太陽電池セルの良否を判定する判定手段とを含む。好ましくは、所定の電流値は、複数存在する。好ましくは、検査対象である太陽電池セルの裏面を局所的に加熱する加熱装置をさらに備える。非破壊で比較的容易に、太陽電池モジュール内に封止された太陽電池セルを単位で検査することができる。以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての同一部分については、その詳細な説明は繰り返さない。[1.太陽電池モジュールの出力特性]まず、本実施の形態に従う太陽電池モジュール10に影が生じた場合の出力特性について説明する。ここでは、モジュール10を構成する全セルは直列に接続されているとする。また本願において影とは、光の入射が、ある物体によって遮られた結果として生じる入射光エネルギーがゼロの領域であり、より実際的には太陽電池セルの光生成電流が略ゼロとなる領域と定義する。図1は、本発明の実施の形態に従う太陽電池モジュール10の構成の一例を示す図である。図1を参照すると、太陽電池モジュール10は、太陽電池セルC1~C48を含む。太陽電池セルC1~C48は、互いに直列に接続されており、たとえば、受光面がN型、裏面がP型で構成されるPN型の太陽電池セルである。図2は、本発明の実施の形態に従う太陽電池モジュール10において、所定のセルが影で覆われ、残余のセルには光が照射される場合を示す図である。図2を参照すると、セルC1の全面が影で覆われ、残余の47セルセルC2~C48には正常に光が照射されていることから、セルC2~C48は発電する。モジュール10が短絡されているとき、セルC1のN端子にはセルC2~C48からなるセルストリングの発生電圧VSの側が、セルC1のP端子にはセルC2~C48からなるセルストリングの発生電圧VSの-側が接続されたことになる。すなわち、セルC1に対してセルC2~C48からなるセルストリングの発生電圧VSが逆方向に印加される。図3は、所定の場合における太陽電池セルの電流電圧特性の一例を示す図である。具体的には、図3aは、1つのセルが完全に影になっている1つのセルの例えば、図2のセルC1に相当電流電圧特性の一例を示す図である。図3bは、正常に光が照射されて発電している47セルからなるセルストリング図2のセルC2~C47に相当の電流電圧特性の一例を示す図である。図3cは、1つのセルの全面が影で覆われ、残余のセルは正常に光が照射されて発電する場合における図1に示すモジュール10の電流電圧特性の一例を示す図である。なお、図3a~図3cにおいて、縦軸は電流を示しており、その正方向は各セルのP端子から光電流が流れ出る方向である。また、横軸は電圧を示しており、各セルの順方向電圧を正の電圧とし、各セルの逆方向電圧を負の電圧としている。また、IMはモジュール10に流れる電流であって1セルの短絡電流ISCとほぼ等しく、VOCは1セルの開放電圧である。図3aを参照すると、セルの全面が影で覆われたセルC1の電流電圧特性は、特性線T1のようになる。図3aの第2象限が通常のダイオードでいう逆方向特性に、第4象限が順方向特性に相当する。セルC1は完全に影で覆われていることから、光電流は発生しないため、特性線T1は原点を通る。図3bを参照すると、光が照射されることで正常に発電するセルC2~C48からなるセルストリングの電流電圧特性は、特性線T2のようになり、約47VOCが開放電圧となる。図3cを参照すると、影で覆われたセルC1と、光が照射され正常に発電するセルC2~C48からなるセルストリングとが直列に接続されている場合のモジュール10の電流電圧特性は、特性線T3のようになる。特性線T3は、特性線T1と特性線T2とを電圧方向に加えたものであるが、セルC1とセルストリングセルC2~C48とが直列接続されていることから、電圧は特性線T2の最大電圧点に特性線T1の原点を合わせ、電流は小さい方に制限されたカーブとなる。特性線T3において、電圧が約47VOCより小さい領域は、影で覆われたセルC1の特性線T1の逆方向領域でのカーブ形状逆方向電流電圧特性を反映しており、電圧が約47VOCより大きい領域は、セルC1の特性線T1の順方向領域でのカーブ形状順方向電流電圧特性を反映している。次に、複数のセルに影が生じており、残余のセルに光が照射されている場合のモジュール10の電流電圧特性について説明する。図4は、本発明の実施の形態に従うモジュール10において、所定のセルのみを影で覆い、残余のセルには光が照射される場合の電流電圧特性を示す図である。図4を参照して、モジュール10において、所定のm個m:0~48の整数のセルを影で覆い、残余のセルには光が照射される場合の電流電圧特性は特性線Amのようになる。たとえば、特性線A0は、48セルセルC1~C48の全てに正常に光が照射されている場合、特性線A1は、1つのセルのみが影で覆われている場合図3の特性線T3に相当、特性線A6は、6つのセルのみが影で覆われている場合の電流電圧特性を示している。ここで、特性線Amにおいて、所定の電流値i1に対応する電圧値をVmとすると、モジュール10内の全セルが正常なセルである場合には、全セルが互いに直列に接続されていることから、VmとVm1との差分を示す差分電圧値|Vm-Vm1|と、Vm1とVm2との差分を示す差分電圧値|Vm1-Vm2|とは略一致する。したがって、モジュール10内の全セルが正常なセルである場合、1つのセルが影で覆われているとき単位数量あたりの|V0-V1|が既知であれば、|V0-Vm|は、|V0-V1|をm倍して求めることができる。次に、本発明の実施の形態に従う太陽電池セルの逆方向電流電圧特性以下、単に逆方向特性とも称すについてさらに説明する。図5は、比較的純度の低い太陽電池セルにおいて、時間と共に逆方向特性が変化することを説明するための図である。縦軸は、セルに流れる電流を示しており、横軸はセルに印加される電圧を示している。図5を参照して、発明者らが行なった実験によると、発電中のモジュール10において、比較的純度の低いSi材料からなる1つの太陽電池セルの全面を影で覆い、室温例えば、25°C程度で当該セルの電流電圧特性を測定した場合、当初の当該電流電圧特性は、図3aで示したような典型的な正常なセルの特性線T1とほぼ同様の特性線B0のようになった。しかしながら、一定の時間が経過すると例えば、約5分間、当該セルの温度が約80°Cまで上昇し、当該セルの電流電圧特性は、特性線B1のように変化することが確認された。この原因は、結晶製造中に析出して混入した微小なSiCが結晶粒界で電流パスとなり、セルの温度上昇に伴い電流集中が進むためである。これは、ホットスポット現象がはじまる典型的なひとつのパターンである。上記の電流パスが存在しないセルの場合には、セルの逆方向特性はいわゆるアバランシェ効果で支配されることから、温度上昇に伴い降伏電圧が大きくなり、逆方向電流リーク電流が減少する。したがって、セルの逆方向特性において所定の電流値に対応する電圧値を確認することで、セルにリーク電流が発生しているか否かを判断することが可能である。リーク電流が電流電圧特性に及ぼす影響の程度を実験的に求め、その許容範囲を決めておけば、これを利用した良否判定も可能となる。ここで、図5を参照して、良品であるセル以下、正常なセルとも称すの電流電圧特性の典型例を特性線B0とし、不良品であるセル以下、異常なセルとも称すの電流電圧特性の典型例を特性線B1とすると、例えば、電流Iが5mA/cm2のときは、正常なセルであれば、電圧値が-12.5V程度となるが、異常なセルであれば、電圧値が-5V程度となる。すなわち、正常なセルおよび検査対象のセルにおける、各々の所定の電流に対応する電圧値を比較することにより、セルの良否判定が可能となる。また、セルの温度上昇に伴って、所定の電流値に対応する電圧値の絶対値が小さくなる場合には、ホットスポット現象の発生が示唆される。本発明の実施の形態は、上記の図4で説明した、所定のセルのみ影で覆われ、残余のセルには光が照射される場合のモジュール10の電流電圧特性と、セル単体の逆方向電流電圧特性とを利用して、非破壊で比較的容易に、太陽電池モジュール内に封止された太陽電池セルを検査するものであり、以下にその方式について詳細に説明する。[2.太陽電池モジュールの検査装置の構成]本発明の実施の形態に従う太陽電池モジュールの検査装置1以下、単に検査装置1とも称すの全体構成について説明する。図6は、本発明の実施の形態に従う太陽電池モジュールの検査装置1の構成を示す模式図である。図6を参照して、検査装置1は、主として測定対象である太陽電池モジュール10と、光源装置20と、加熱装置30と、コンピュータ40と、影形成装置50とを含む。太陽電池モジュール10は、複数の太陽電池セルが互いに直列接続されて構成されており、図1で説明した構成と同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。光源装置20は、後述する光源制御部102によって擬似太陽光をモジュール10に照射する。例えば、光源装置20は、キセノンランプ等を光源とするソーラーシミュレータである。加熱装置30は、モジュール10内の影で覆われたセルを裏面から加熱する。例えば、加熱装置30は、温風ヒータである。コンピュータ40は、その機能構成として、制御部100と、光源制御部102と、測定部104と、変化情報取得部106と、記憶部108とを含む。制御部100と、光源制御部102と、測定部104と、変化情報取得部106とは、図示しないCPUが記憶部108としてのROMReadOnlyMemoryやRAMRandomAccessMemoryやHDDHardDiskDriveに予め格納されていたプログラムを読み出して実行することにより実現されるものである。すなわち、制御部100と、光源制御部102と、測定部104と、変化情報取得部106とは、コンピュータ40のCPUと記憶部108とによって実現される機能である。ただし、制御部100と、光源制御部102と、測定部104と、変化情報取得部106とは、専用のハードウェア回路によって実現されてもよい。以下、コンピュータ40が有する機能ブロックの各々について詳述する。制御部100は、コンピュータ40の動作全体を制御する。光源制御部102は、モジュール10に光を照射するように光源装置20を制御したり、光源の照度を調整したりする。測定部104は、モジュール10の電流電圧特性を測定する。すなわち、測定部104は、太陽電池モジュールの電流電圧特性を測定する装置である、周知のモジュールI-V特性測定装置として機能する。測定部104は、モジュール10の電流電圧特性の測定結果を記憶部108に格納したりする。変化情報取得部106は、測定部104によって測定された、モジュール10内の全てのセルに光を照射した状態におけるモジュール10の第1の電流電圧特性と、所定のセルに光を照射せず、残余のセルに光を照射した状態におけるモジュール10の第2の電流電圧特性とを比較して、モジュール10の電流電圧特性の変化を示す特性変化情報を取得する。具体的には、例えば、特性変化情報は、第1の電流電圧特性における少なくとも1つの所定の電流値に対応する第1の電圧値と、第2の電流電圧特性における所定の電流値に対応する第2の電圧値との差分を示す差分電圧値を含む。また、特性変化情報は、光を照射していない太陽電池セルの個数に応じて変化する、所定の電流値に対応する太陽電池モジュール10の電圧値を示すモジュール電圧値を含む。記憶部108は、ROM、RAM、HDDなどによって実現される。ROMは、CPUで実行されるプログラムを予め格納し、RAMは、CPUのプログラム部分の実行に必要なデータを一時的に記憶する。HDDは、比較的大容量のデータを不揮発的に格納することができ、例えば、測定部104で測定した測定結果や変化情報取得部106で取得した特性変化情報などを格納する。すなわち、コンピュータ40は、光源装置20と、加熱装置30と、後述する影形成装置50とを制御し、モジュール10を検査するための制御手段として機能する。次に、モジュール10内の所定のセルを影で覆うための影形成装置50について説明する。コンピュータ40は、上記の光源装置20と当該影形成装置50とを制御することで、複数のセルのうちの任意のセルに対して光を照射することが可能となる。図7は、本発明の実施の形態に従うモジュール10内の所定のセルに影を形成する方式の一例を示す図である。図7を参照すると、影形成装置50は、マスクボード51と、レール53と、マスク55とを含む。マスクボード51の中央には、モジュール10の外形形状より大きい開口部が設けられている。そして、その開口部には、モジュール10内のセル配置に対応した細いレール53がマスクボード51の長手方向及び短手方向に敷設されている。また、影形成装置50は、マスクボード51の長手方向直動機構及び短手方向直動機構を有しており、これらの直動機構は、コンピュータ40によって制御される。当該直動機構によってマスク55がレール53の上を動くことで、モジュール10上の任意の位置に影を生じさせることができる。なお、影形成装置50では、所定の複数のセルに影を形成させるために、複数のマスク55を用いてもよい。また、マスク55をモジュール10の端に対応する位置に移動させることで、モジュール10の全セルに光を照射することも可能である。なお、マスク55をモジュール10の端に対応する位置に移動させることで、モジュール10の全セルに光を照射することができない構成である場合は、モジュール全面に光があたっている場合のモジュール10の電流電圧特性を測定するときに、モジュール10にマスクボード51が被らないように、自動または手動によりマスクボード51が移動するようにすればよい。モジュール10内の各セルに対する検査は、影形成装置50をモジュール10に被せ、接続線57をモジュール10の両端端子の一方に電気的に接続し、接続線59をモジュール10の両端端子の他方に電気的に接続して実施される。コンピュータ40は、モジュール10に光を照射するように光源装置20を制御するとともに、影形成装置50と当該モジュールI-V特性測定装置とが連動するように影形成装置50を制御して、モジュール10の電流電圧特性を取得して各セルの検査を実施する。なお、上記のように影形成装置50を使用して、所定のセルを影で覆う場合であってもよいし、手動で所定のセルをマスクで覆うことにより、所定のセルに影を形成してもよい。また、上記の光源装置20の光照射機能と影形成装置50の影形成機能とを一体化した、任意のセルに対して光を照射することができる光照射装置を用いてもよい。[3.検査工程の概要]次に、本発明の実施の形態に従う検査装置1における検査工程の概略について説明する。検査装置1におけるセルの良否検査工程の主たる工程としては、検査対象となるセルごとに以下の4つの工程が存在する。1第1の電流電圧特性測定工程2第2の電流電圧特性測定工程3特性変化情報取得工程4良否判定工程以下、これらの各工程の概略について説明する。図8は、本発明の実施の形態に従う検査装置1における検査工程を示すフローチャートである。図8を参照すると、まず、検査装置1は、モジュール10内の全てのセルに光を照射した状態で、モジュール10の第1の電流電圧特性を取得するステップS10。すなわち、検査装置1は、図4の特性線A0で示される電流電圧特性を取得する。次に、検査装置1は、モジュール10内の検査対象となる少なくとも1つのセルに光を照射せず、残余のセルに光を照射した状態で、モジュール10の第2の電流電圧特性を取得するステップS12。すなわち、検査装置1は、図4の特性線Amで示される電流電圧特性を取得する。次に、検査装置1は、第1の電流電圧特性と、第2の電流電圧特性とに基づくモジュール10の特性変化情報を取得するステップS14。具体的には、検査装置1は、第1の電圧値と、第2の電圧値との差分を示す差分電圧値を取得する。また、検査装置1は、光を照射していない太陽電池セルの個数に応じて変化する、所定の電流値に対応する太陽電池モジュールの電圧値を示すモジュール電圧値を取得する。次に、検査装置1は、取得したモジュール10の特性変化情報と所定の条件との比較に基づいて、検査対象であるセルの良否を判定するステップS16。セルの良否判定の方式についての詳細は、後述する。[4.検査工程の詳細]以下、上記の基本コンセプトに従う検査工程におけるいくつかの実施の形態について説明する。なお、以下の検査工程において行なわれる測定工程については、照射光、照射強度および環境温度などの測定環境は、同じ条件下で行なわれるものとする。<実施の形態1>まず、モジュール10内のセルを1セルずつ良否を検査していく場合の検査装置1の具体的な処理手順について説明する。図9は、本発明の実施の形態1に従う検査装置1の処理手順の一例を示すフローチャートである。図9を参照すると、コンピュータ40の制御部100は、モジュール10内の全てのセルに光を照射するステップS104。具体的には、制御部100の指示により、光源制御部102は、光源装置20を制御してモジュール10に所定の強度の光を照射するように制御する。その後、制御部100の指示に基づいて、測定部104は、第1の電流電圧特性出力特性を測定し、当該測定結果を記憶部108に格納するステップS106。ステップS104およびS106は、第1の電流電圧特性を取得するステップ図8のステップS10に相当する。次に、制御部100は、モジュール10内の所定の1つのセルを除く残余のセルに光を照射するステップS108。具体的には、制御部100は、光源装置20を制御してモジュール10に所定の強度の光を照射するように制御するように光源制御部102に指示するとともに、影形成装置50を制御して所定の1つのセルを影で覆う。その後、制御部100の指示に基づいて、測定部104は、第2の電流電圧特性を測定し、当該測定結果を記憶部108に格納するステップS110。ステップS108およびS110は、第2の電流電圧特性を取得するステップ図8のステップS12に相当する。次に、制御部100は、測定された第1の電流電圧特性と第2の電流電圧特性とに基づいて、差分電圧値を取得するステップS112。具体的には、制御部100の指示により、変化情報取得部106は、記憶部108に格納されている第1の電流電圧特性および第2の電流電圧特性の測定結果から、所定の電流における第1の電圧値と第2の電圧値との差分電圧値を取得する。すなわち、図4を参照すると、所定の電流i1における特性線A0上のV0と特性線A1上のV1との差分電圧値V0-V1を取得する。図3での説明から、差分電圧値V0-V1は、影で覆われている1つのセルの逆方向特性のi1に対応する電圧値を示す。ステップS112は、特性変化情報を取得するステップ図8のステップS14に相当する。次に、制御部100は、取得した差分電圧値に基づいてセルの良否判定を行なうステップS114。具体的には、制御部100は、光が照射されていない基準太陽電池セル正常なセルの逆方向特性における所定の電流値に対応する第3の電圧値と、差分電圧値とを比較することでセルの良否判定を行なう。すなわち、正常なセルと、検査対象のセルとの逆方向特性上の電圧値の大小を比較することで検査対象のセルの良否判定を行なう。なお、基準太陽電池セル正常なセルの逆方向特性データは、上記の第1の電流電圧特性および第2の電流電圧特性の測定環境と同じ条件下で行なわれ、予め記憶部108に格納されているものとする。ここで、基準太陽電池セルにおける第3の電圧値の絶対値を|VZ|、取得した差分電圧値の絶対値を|V0-V1|とすると、制御部100は、|VZ|≦|V0-V1|のときはセルは良品であると判定し、|VZ|>|V0-V1|のときはセルは不良品であると判定する。すなわち、図5を参照すると、例えば、電流i1が5mA/cm2のとき、正常なセルの特性線B0から|Vz|は12.5Vであり、|V0-V1|がこれよりも小さく5V程度であった場合、異常なセルの特性線B1上にあるため、セルは不良品であると判定される。なお、|V0-V1|が|VZ|よりもどの程度小さければ、セルが不良品であると判定するかの範囲については任意に定めることができる。次に、制御部100は、他に検査対象となるセルがあるか否かについて判断するステップS116。すなわち、制御部100は、モジュール10内の全てのセルもしくは予め定められた検査対象となるセルの検査が終了したか否かを判断する。制御部100は、他に検査対象となるセルがあると判断するとステップS116においてYES、ステップS108からの処理を繰り返す。一方、制御部100は、他に検査対象となるセルがないと判断するとステップS116においてNO、処理を終了する。なお、温度上昇に伴うホットスポット現象の発生可能性を確認するため、検査対象となる影で覆われたセルを加熱装置30で加熱しながら、第2の電流電圧特性を取得してもよい。例えば、上記ステップS108とステップS110との間に、制御部100が、所定の1つのセルを加熱するように加熱装置30を制御するステップを追加してもよい。検査対象となるセルを加熱した状態で取得された差分電圧値と、第3の電圧値とに基づいてセルの良否判定をすることで、将来的なホットスポット現象の発生可能性をも含めたより精度の高いセルの良否判定が可能となる。また、上記では1つの所定の電流値に対応する電圧値に基づいて、セルの良否判定を行なったが、電圧印加の際に電流値が不安定になることが懸念される場合などは、複数の所定の電流値に対応する電圧値に基づいて、セルの良否判定を行なってもよい。例えば、ISC以下の電流値であって、比較的大きい電流値i1および比較的小さい電流値i2に対応する各々の電圧値に基づいてセルの良否判定を行なってもよい。具体的には、例えば、i2における差分電圧値をV0’-V1’、第3の電圧値をVz’とすると、|VZ|<|V0-V1|かつ|VZ’|<|V0’-V1’|であるとき両者の差分電圧値がともに第3の電圧値よりも大きい場合に限り、セルは良品であると判定し、それ以外のときはセルは不良品であると判定してもよい。複数の所定の電流値に基づいてセルの良否判定をすることで、より精度の高いセルの良否判定が可能となる。<実施の形態2>上記の実施の形態1では、モジュール10内のセルを1セルずつ良否を検査していく場合の検査装置1の具体的な処理手順について説明したが、ここでは、モジュール10内のセルを複数のセル単位でその良否を検査していく場合について説明する。図10は、本発明の実施の形態2に従う検査装置1の処理手順を示すフローチャートである。ここでは、モジュール10内のセルは、所定の個数でグループ分けされたセル群で構成されているものとする。図10を参照すると、ステップS104~ステップS106までの処理第1の電流電圧特性の取得は、図9と同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。次に、制御部100は、所定のグループに属するセル群に光を照射せず、残余のセル群に光を照射するステップS208。具体的には、制御部100は、光源装置20を制御してモジュール10に所定の強度の光を照射するように光源制御部102に指示するとともに、影形成装置50を制御して所定のグループ分けされたセル群を影で覆う。例えば、以下の図11に示すような場合である。図11は、本発明の実施の形態2に従うモジュール10において、所定のグループに属するセル群が影で覆われ、残余のセル群には正常に光が照射されている場合を示す図である。図11を参照すると、モジュール10内の行方向の6つのセルが影で覆われており、残余のセルには光が照射されている。すなわち、モジュール10は、行方向の6つのセルを1つのグループセル群とした8つのグループから構成されている。なお、セルのグループ分けの方式はこれに限られない。例えば、列方向の8つのセルを1つのグループとした6つのグループから構成されていてもよい。再び図10を参照すると、制御部100の指示に基づいて、測定部104は、第2の電流電圧特性を測定し、当該測定結果を記憶部108に格納するステップS210。ステップS208およびS210は、第2の電流電圧特性を取得するステップ図8のステップS12に相当する。次に、制御部100は、測定された第1の電流電圧特性と第2の電流電圧特性とに基づいて、差分電圧値を取得するステップS212。具体的には、制御部100の指示により、変化情報取得部106は、記憶部108に格納されている第1の電流電圧特性および第2の電流電圧特性の測定結果から、所定の電流における第1の電圧値と第2の電圧値との差分電圧値を取得する。すなわち、図4を参照すると、所定の電流i1における特性線A0上のV0と、6つのセルが影で覆われている場合の特性線A6上のV6との差分電圧値V0-V6を取得する。ステップS212は、特性変化情報を取得するステップ図8のステップS14に相当する。次に、制御部100は、取得した差分電圧値に基づいてセルの良否判定を行なうステップS214。具体的には、例えば、制御部100は、光が照射されていない基準太陽電池セル正常なセルの逆方向特性における所定の電流値に対応する第3の電圧値を6倍した値と、差分電圧値とを比較することでセル群の良否判定を行なう。このようにセル群の良否判定を行なう理由は、|V0-V6|が、影で覆われている6つのセルの逆方向特性上の電圧値を示すこと、および当該6つのセルが全て正常なセルであれば、|V0-V6|が|V0-V1|の略6倍であることによる。ここでも、上記の実施の形態1の場合と同様、実際の状況に応じてこの良否判定の基準を任意に定めることができる。次に、制御部100は、他に検査対象となるセルがあるか否かについて判断するステップS216。すなわち、制御部100は、モジュール10内の全てのセル群もしくは予め定められた検査対象となるセル群の検査が終了したか否かを判断する。制御部100は、他に検査対象となるセル群があると判断するとステップS216においてYES、ステップS208からの処理を繰り返す。一方、制御部100は、他に検査対象となるセル群がないと判断するとステップS216においてNO、処理を終了する。また、実施の形態1と同様、上記ステップS208とステップS210との間に、制御部100が、所定のグループに属するセル群を加熱するように加熱装置30を制御するステップを追加してもよいし、複数の所定の電流値に対応する電圧値に基づいて、セル群の良否判定を行なってもよい。上記の実施の形態2では、セル群単位での良否判定となるが、実施の形態1と組み合わせることで効率的な1セル単位でのセルの良否判定が可能となる。すなわち、ステップS214において、不良品と判定されたセル群に含まれるセルについてのみ、実施の形態1の図9で示した検査フローにより1セル単位での良否判定を行なうことで、全セルでの検査時間を大幅に短縮することが可能となる。<実施の形態3>上述した実施の形態1および2では、検査対象のセルおよび基準セルの逆方向特性上の各々の電圧値を比較することによってセルの良否判定を行なう場合について説明した。実施の形態3では、影で覆われて光が照射されていないセルの個数に応じて変化する、所定の電流値におけるモジュール10の電圧値に基づいてセルの良否判定を行なう。図12は、本発明の実施の形態3に従うモジュール10において、影で覆われたセルの個数に対するモジュールの電圧値を示す図である。図12において、縦軸は、所定の電流値i1におけるモジュール10の電圧値以下、モジュール電圧値とも称すを示しており、横軸は、影で覆われたセルの個数を示している。図12を参照して、正常なセルにおいて、影で覆われたセルの個数を増加させていくと、モジュール電圧値は個数に比例して変化し直線状、特性線D0のようになる。また、異常なセルにおいて、影で覆われたセルの個数を増加させていくと、モジュール電圧値は比例して変化せず曲線状、例えば特性線D1のようになる。これは、図4で説明したように、モジュール10内の全セルが正常なセルである場合、電圧値|Vm-Vm1|と|Vm1-Vm2|とが略一致するが、異常なセルである場合はこれらが略一致しないことからもわかる。すなわち、正常なセルの場合には、特性線D0の傾きを示すVm-V0/mはほぼ一定となり、影で覆われたセルの個数に対して、モジュール電圧値が線形に変化していく。したがって、光を照射していないセルの個数に応じて、モジュール電圧値が線形に変化しているか否かを判定することによってセルの良否判定を行なうことが可能となる。次に、実施の形態3における検査工程の具体的な処理手順について説明する。図13は、本発明の実施の形態3に従う検査装置1の処理手順を示すフローチャートである。図13を参照すると、ステップS104~ステップS106までの処理第1の電流電圧特性の取得は、図9と同様であるため、その詳細な説明は繰り返さない。次に、制御部100は、モジュール10内の所定の1つのセルを除く残余のセルに光を照射するステップS308。さらに、制御部100の指示に基づいて、測定部104は、第2の電流電圧特性を測定し、当該測定結果を記憶部108に格納するステップS310。次に、制御部100は、測定された第1の電流電圧特性および第2の電流電圧特性の測定結果と影で覆われたセルの個数とに基づいて、光を照射していない太陽電池セルの個数に応じて変化するモジュール電圧値を取得するステップS312。具体的には、制御部100の指示により、変化情報取得部106は、記憶部108に格納されている第1の電流電圧特性および第2の電流電圧特性の測定結果と、当該測定結果に対応する影で覆われたセルの個数情報とから、影で覆われたセルの個数に応じた所定の電流値におけるモジュール電圧値を取得する。すなわち、影で覆われたセルの個数がm個のときの電流電圧特性第1の電流電圧特性および第2の電流電圧特性の測定結果からVmを取得する。次に、制御部100は、取得したモジュール電圧値に基づいてセルの良否判定を行なうステップS314。具体的には、制御部100は、予め記憶部108に格納されている、正常なセルにおけるモジュール電圧値の変化率と、取得したモジュール電圧値から算出される変化率とを比較することでセルの良否判定を行なう。言い換えると、図12を参照して、正常なセルにおける特性線D0の傾きと、取得したモジュール電圧値から求められる特性線DXの傾きが略一致している場合、セルは良品であると判定し、これらが略一致していない場合、セルは不良品であると判定する。次に、制御部100は、検査対象のセルが良品であったか否かを判断するステップS316。制御部100は、セルが良品であると判断するとステップS316においてYES、ステップS318から処理を続行する。一方、制御部100は、セルが不良品であると判断するとステップS316においてNO、処理を終了する。これは、影で覆われたセルの個数を増加していき、それに伴うモジュール電圧値の変化を確認するためである。すなわち、影で覆われているセルの中に不良セルが混在した状態では、不良セルと判定された次の検査対象となるセルが良品であったとしても、不良セルの影響により適切なモジュール電圧値の変化率は取得できないため、当該セルが良品か否かを判断できないためである。次に、制御部100は、他に検査対象となるセルがあるか否かについて判断するステップS318。制御部100は、他に検査対象となるセルがないと判断するとステップS318においてNO、処理を終了する。一方、制御部100は、他に検査対象となるセルがあると判断するとステップS320においてYES、検査済みのセルと、これから検査するセルとを除く残余のセルに光を照射する。具体的には、制御部100は、光源装置20を制御してモジュール10に所定の強度の光を照射するように光源制御部102に指示するとともに、影形成装置50を制御して検査済みのセルと、これから検査する所定の1つのセルとを影で覆う。その後、ステップS310からの処理を繰り返す。上記では、モジュール電圧値の変化率を取得しステップS312、変化率に基づいてセルの良否判定を行ないステップS314、セルが良品であるか否かを判断するステップS316場合について説明したが、これに限られない。例えば、影で覆われたセルの個数を増加していき、影で覆われたセルの個数に対応する全てのモジュール電圧値を取得した後図12において、個数に対する電圧値データを全てプロットした後に、モジュール電圧値の変化率に基づいてセルの良否判定を行なってもよい。この場合、影で覆われたセルの個数を増加していく中で、図12の特性線DXの傾きが、正常なセルにおける特性線D0の傾きと、初めて略一致しなかったセルが不良品であると判定される。この場合、不良セルを正常なセルと交換して、上記の検査工程を繰り返すことで、全てのセルについて良否判定が可能となる。なお、本実施の形態においても、実際の状況に応じてこの良否判定の基準を任意に定めることができる。また、複数の所定の電流値に対応する電圧値から得られた、それぞれの特性線を比較等することでセルの良否判定を行なってもよい。また、上記では、予め正常なセルにおけるモジュール電圧値の変化率を格納している場合について説明したが、必ずしも当該変化率情報を格納しておく必要はない。その理由は、モジュール化の工程に入る前に、セルの段階で特性検査されるのが通常であり、正常なセルが相当数存在するためである。よって、影で覆われるセルの個数に応じて、モジュール電圧値が概ね線形に変化していくか否かのみによって良否判定を行なってもよい。5.その他の実施の形態なお、本願の説明では全セルが直列に接続されている場合について取り上げたが、並直列に接続されている場合は、並列接続されている複数のセル1セル相当分を1セルとみなすことで本方法を適用することが可能である。本願の検査工程は、モジュールの製造工程の中で行なわれるものであるが、バイパスダイオードの挿入前に行なう必要がある。その理由は、バイパスダイオードが挿入された状態では、所定のセルが影で覆われると、バイパスダイオードがON状態となることから、図4で示したような特性線Amは得られないため、上記の検査をすることはできないからである。しかし、一般的に、バイパスダイオードを挿入する工程は、モジュール製造工程の最終段階で行なわれるため、上記の検査工程をバイパスダイオードを挿入する工程よりも前に行なえば、モジュール製造工程において何ら支障をきたすものではない。6.効果本発明によれば、以下の効果が期待される。モジュール製造工程の中で、モジュール化された個々の太陽電池セルの逆方向電流電圧特性を、非破壊で、比較的容易にチェックできるのでモジュール内の不良セルを特定することが可能となる。また、検査対象のセルの温度上昇の影響も確認することができるため、ホットスポット現象などによるセル破壊を未然に防止することができる。また、特定された不良セルのみを部分的に封止を解けば交換することができるため、不良モジュールを効率的にリワーク修理することができる。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。