"電気的接触子がガイド部材によって保持された電気的接触子構造であって、前記電気的接触子は、先端に検査対象物と接触する接触部を有するプランジャ、後端に位置決めに用いられる支持部を有し、さらに、前記プランジャと前記支持部を接続するスプリングコイル、および前記プランジャから前記スプリングコイル内へと延びる制動軸部を有し、前記スプリングコイルは前記プランジャに接続される可動部および前記支持部に接続され前記可動部よりも密に巻回されている固定部からなり、前記制動軸部は前記スプリングコイル内を前記可動部から前記固定部まで延びており、前記ガイド部材は、前記電気的接触子の先端側が挿入され、前記プランジャが保持される第1のガイド穴が設けられた第1のガイド部材と、前記電気的接触子の後端側が挿入され前記支持部が位置決めされる第2のガイド穴が設けられた第2のガイド部材とが、所定の間隔で配置されており、前記第1のガイド部材と前記第2のガイド部材との間で、前記電気的接触子の前記スプリングコイルが湾曲するように、前記第1のガイド穴と前記第2のガイド穴が配置されていることを特徴とする電気的接触子構造。前記制動軸部の先端部分が前記第2のガイド穴に位置することを特徴とする請求項1に記載の電気的接触子構造。前記第1のガイド穴と前記第2のガイド穴は、それぞれの軸心が互いに異なる角度で配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の電気的接触子構造。前記第1のガイド穴と前記第2のガイド穴は、それぞれの軸心が同じ角度で配置され、かつ互いにずれた状態で配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の電気的接触子構造。上述のような外筒を用いないでスプリングが露出したプローブの場合、プローブを保持するガイド部材が外筒の役割を果たす構造である。スプリングが露出しているプローブの場合、プローブを保持するガイド部材は1枚構造とすることが好ましいとされている。しかしながら、前記プローブを挿入するガイド穴をガイド部材に形成する際に、プローブの形状および狭ピッチに対応するためには、細く長い穴を加工しなければならず、アスペクト比の関係上、穴の加工には限界があるので少なくとも2枚のガイド部材を重ねた構造を用いなければならない。複数のガイド部材を重ねて用いると、重なり合ったガイド部材には多少なりともズレ段差が生じる。また温度変化、時間の経過、あるいは外部からの影響によって重なり合ったガイド部材が異なる変形を行うとズレが生じる。このようなズレが大きくなった場合、ガイド部材のズレによってガイド穴に段差が生じ、前記段差にプローブの露出したスプリングが引っ掛かるためにプローブがスムーズに摺動できなくなり、プローブの動作に不具合が生じると言う問題があった。そこで、本発明はこのような従来の問題を解決し、ガイド部材にズレが生じてもプローブがスムーズに摺動可能なガイド部材によるプローブの保持構造を提供することを目的とする。本発明の電気的接触子構造は、電気的接触子がガイド部材によって保持された電気的接触子構造であって、前記電気的接触子は、先端に検査対象物と接触する接触部を有するプランジャ、後端に位置決めに用いられる支持部を有し、さらに、前記プランジャと前記支持部を接続するスプリングコイル、および前記プランジャから前記スプリングコイル内へと延びる制動軸部を有し、前記スプリングコイルは前記プランジャに接続される可動部および前記支持部に接続され前記可動部よりも密に巻回されている固定部からなり、前記制動軸部は前記スプリングコイル内を前記可動部から前記固定部まで延びており、前記ガイド部材は、前記電気的接触子の先端側が挿入され、前記プランジャが保持される第1のガイド穴が設けられた第1のガイド部材と、前記電気的接触子の後端側が挿入され前記支持部が位置決めされる第2のガイド穴が設けられた第2のガイド部材とが、所定の間隔で配置されており、前記第1のガイド部材と前記第2のガイド部材との間で、前記電気的接触子の前記スプリングコイルが湾曲するように、前記第1のガイド穴と前記第2のガイド穴が配置されていることを特徴とする。前記制動軸部の先端部分が前記第2のガイド穴に位置し、また、前記第1のガイド穴と前記第2のガイド穴はそれぞれの軸心が互いに異なる角度で配置されている、あるいは、前記第1のガイド穴と前記第2のガイド穴は、それぞれの軸心が同じ角度で配置され、かつ互いにずれた状態で配置されている。本発明の電気的接触子構造は、電気的接触子がガイド部材によって保持された電気的接触子構造であって、前記電気的接触子は、先端に検査対象物と接触する接触部を有するプランジャ、後端に位置決めに用いられる支持部を有し、さらに、前記プランジャと前記支持部を接続するスプリングコイル、および前記プランジャから前記スプリングコイル内へと延びる制動軸部を有し、前記スプリングコイルは前記プランジャに接続される可動部および前記支持部に接続され前記可動部よりも密に巻回されている固定部からなり、前記制動軸部は前記スプリングコイル内を前記可動部から前記固定部まで延びており、前記ガイド部材は、前記電気的接触子の先端側が挿入され、前記プランジャが保持される第1のガイド穴が設けられた第1のガイド部材と、前記電気的接触子の後端側が挿入され前記支持部が位置決めされる第2のガイド穴が設けられた第2のガイド部材とが、所定の間隔で配置されており、前記第1のガイド部材と前記第2のガイド部材との間で、前記電気的接触子の前記スプリングコイルが湾曲するように、前記第1のガイド穴と前記第2のガイド穴が配置されていることにより、電気的接触子の製造コストが安価でかつ狭ピッチに対応可能となり、さらに、電気的接触子の摺動時の摩耗を防止することにより、電気的接触子の動作が安定し、さらに電気的接触子のライフを長くすることが可能となる。本発明の電気的接触子構造を図面を用いて説明する。ここでは、電気的接触子としてプローブ1を用いて説明するが、プローブ以外の電気的接触子を用いることも可能である。まず初めに、電気的接触子であるプローブ1の構造について説明する。本発明では図2に示すような外筒の無い垂直型のプローブ1を用いている。図1に示すように、前記プローブ1は、検査対象と接触する先端がクラウン形状となっている接触部3を有する円筒形のプランジャ2、支持部4、および、前記プランジャ2と前記支持部4を接続するスプリングコイル5を有する垂直型のプローブである。前記プローブ1は検査時に通電するために導電性材料によって形成されている。前記スプリングコイル5は、前記プランジャ2と接続される側を可動部7、前記支持部4と接続される側を固定部6としており、前記固定部6は前記可動部7よりも密に巻回されてスプリングが密着した状態となっているために、前記固定部6は縦方向および横方向にはほとんど変位しない。検査時に前記接触部3に力が加えられると粗に巻回された前記可動部7が主に変形してスプリングの働きをし、検査時に前記スプリングコイル5が伸縮して前記接触部3を上下動させることでプローブ1が摺動する。さらに、前記プランジャ2と前記支持部4とを前記スプリングコイル5によって電気的に接続することで、前記接触部3から前記支持部4、さらにプローブカードの基板へと電気を流す働きをする。前記プランジャ2は、前記接触部3に向かって径が小さくなる段差部16が設けられ、さらに前記スプリングコイル5内を前記固定部6まで延伸された円筒形の制動軸部8が設けられている。前記支持部4は、先端部9がプローブカードの基板の電極と接触し、前記プローブ1に通電する構造である。次に前記プローブ1を保持するガイド部材について説明する。前記ガイド部材は、図1に示すように、第1のガイド部材11と第2のガイド部材12から構成され、前記第1のガイド部材11と前記第2のガイド部材12はスペーサ13によって所定の間隔で平行に配置されている。本実施形態では前記スペーサ13は2枚のガイド部材11,12とは別構造であるが、いずれかのガイド部材11,12と一体構造とすることも可能である。また、2枚のガイド部材11,12を平行としないことも可能である。図3,4に示すように、前記第1のガイド部材11には第1のガイド穴14を設け、前記第2のガイド部材12には第2のガイド穴15を設ける。前記1のガイド穴14および前記第2のガイド穴15は、各ガイド部材11,12に対して垂直に形成されているが、第1のガイド穴14の軸心と第2のガイド穴15の軸心が水平方向にずれた状態で配置されている。図3,4に示す形態では、前記第1のガイド穴14の軸心が前記第2のガイド穴の軸心に対して左側にずれた状態で配置されている。前記第1のガイド部材11に設けられた第1のガイド穴14は、前記プランジャ2の段差部16に対応した段差が設けられて、下方が狭くなっていることにより、前記プランジャ2が前記第1のガイド部材11の第1のガイド穴14から下方に抜け落ちない構造となっている。また、前記プローブ1の接触部3の先端が前記第1のガイド部材11から突出した状態が保たれている。段差部16を用いないでプローブ1をガイド部材11,12から抜け落ちないように保持することも可能である。上述のようなプローブ1およびガイド部材11,12を用いて、本発明の電気的接触子構造について説明する。図1,3,4に示すのが前記プローブ1を前記ガイド部材11,2によって保持した電気的接触子構造である。図1,3,4に示すように、前記プローブ1のプランジャ2が前記第1のガイド部材11の第1のガイド穴14に挿入され、前記プローブ1のスプリングコイル5の固定部6の一部および前記支持部4の一部が前記第2のガイド部材12の第2のガイド穴15に挿入されている。これにより、前記プローブ1は前記接触部3が上下動可能な状態で前記第1のガイド部材11および前記第2のガイド部材12に保持されている。この時、前記固定部6は前記第2のガイド穴15から下方に突出して、一部が前記第2のガイド部材12から露出した状態となっている。これは、前記スプリングコイル5が前記第2のガイド穴15付近で変形するのを防ぐためである。一方、前記支持部4の前記先端部9は前記第2のガイド穴15から上方に突出してプローブカードの基板の電極と接触してプローブ1へと通電している。そして、前記制動軸部8の先端は、前記固定部6内に位置するが、前記第2のガイド穴15内には入っていない状態となっている。このようにして前記第1のガイド部材11と前記第2のガイド部材12によって保持されたプローブ1は、前記第1のガイド穴14の軸心と前記第2のガイド穴15の軸心が水平方向にずれていることにより、前記第1のガイド板11と前記第ン2のガイド板12との間で、前記スプリングコイル5が変形することにより、前記プローブ1の下方が左側に湾曲した状態で保持されている。図4に示すように、このような電気的接触子構造を用いたプローブカードによって検査を行う時に、前記接触部3が検査対象物と接触して前記プローブ1のスプリングコイル5が伸縮すると、前記スプリングコイル5は前記可動部7が伸縮することとなる。前記可動部7は、前記第1のガイド部材11と前記第2のガイド部材12との間の空間に位置し、外表面に接触するものが周囲に存在しないことからスムーズに変位することが可能となり、プローブカードによる検査時のプローブ1の摺動がスムーズに行われる。さらに、前記スプリングコイル5の前記可動部7は、接触するものが周囲に存在しないことによって摩耗することが無くなるので、プローブ1の寿命を延ばすことが可能となる。前記プローブ1は下方が左側に湾曲した状態で保持されていることにより、前記制動軸部8と前記スプリングコイル5の内表面との接触状態が確実なものとなり、通電性能を確保することができる。さらに、前記第1のガイド部材11と前記第2のガイド部材12にずれが生じた場合でも、前記スプリングコイル5が横方向に変位することでずれを吸収することが可能である。このように本発明の電気的接触子構造を用いることにより、従来の垂直型の電気的接触子の問題を解決することができ、さらに優れた効果を奏することができる。ここまでの説明では、2つのガイド部材11,12のガイド穴14,15の軸心を角度は同じであるが水平方向にずらすことにより、プローブ1を湾曲した状態で保持する実施形態について説明してきたが、別の方法でプローブ1を湾曲させる実施形態について次に説明する。図5に示す電気的接触子構造は、第1のガイド部材11の第1のガイド穴14は上述の実施形態と同様に垂直に形成している一方で、第2のガイド部材12の第2のガイド穴15を垂直ではなく、垂直方向に対し少し傾いた状態としたものである。前記第2のガイド部材12の第2のガイド穴15の軸心は、図5に示すように、前記第1のガイド部材11の第1のガイド穴14の軸心に対して右側に傾いた状態としている。前記第2のガイド穴15の軸心を傾ける方法としては、前記第2のガイド部材12に対して垂直ではなく傾いた状態で前記第2のガイド穴15を形成する方法と、前記第2のガイド部材12に対して垂直に前記第2のガイド穴15を形成し、前記第2のガイド部材12を前記第1のガイド部材11に対して平行ではなく、右下がりとなるように配置する方法が考えられる。ここでは、前記第2のガイド部材12に対して垂直ではなく所定の角度で傾斜させて前記第2のガイド穴15を形成している。このようにして前記第1のガイド穴14と前記第2のガイド穴15を配置したガイド部材によって、上述の実施形態と同じプローブ1を保持すると、図5に示すように、前記プローブ1の固定部6の一部が前記第2のガイド穴15から露出し、かつ、前記第1のガイド部材11と前記第2のガイド部材12の間で、前記プローブ1は左側に湾曲した状態となる。本実施形態ではプローブ1は、上述の実施形態とは異なる湾曲状態ではあるが、前記プローブ1が前記第1のガイド部材11と前記第2のガイド部材12との間で湾曲することにより、前記制動軸部8と前記スプリングコイル5の内表面との接触状態が確実なものとなり、通電性能を確保することができる。このように、前記プローブ1を湾曲させるために、前記第1のガイド穴14と前記第2のガイド穴15の配置については様々な方法を用いることができる。いずれの場合も、湾曲状態はごくわずかな変位であるが、十分な効果をも取らすことができる。次に、電気的接触子として別の形態のプローブ1’を用いた場合の電気的接触子構造について説明する。図6に示すように、前記プローブ1’は、前記支持部4として制動軸部10を有する基板側プランジャを用いたものである。前記制動軸部10は、前記支持部4から前記スプリングコイル5の固定部6内へと延伸されたものであり、検査時にプローブ1’が伸縮したと場合に、前記プランジャ2の制動軸部8と衝突しない長さとする。プローブ1’のその他の構造については、前記プローブ1と同じものを用いている。電気的接触子としてこのような構造のプローブ1’を用いた場合の電気的接触子構造について説明する。前記プローブ1’を第1のガイド部材11と第2のガイド部材12とを用いて保持するが、ここでは、前記第1のガイド部材11のガイド穴14の軸心と、前記第2のガイド部材12のガイド穴15の軸心とが、共に垂直で、かつ水平方向に互いにずれて配置されているガイド部材11,12を用いる。前記プローブ1’のプランジャ2が前記第1のガイド部材11の第1のガイド穴14に挿入され、前記プローブ1のスプリングコイル5の固定部6の一部および前記支持部4の一部が前記第2のガイド部材12の第2のガイド穴15に挿入されている。これにより、前記プローブ1’は前記接触部3が上下動可能な状態で前記第1のガイド部材11および前記第2のガイド部材12に保持されている。この時、前記固定部6は前記第2のガイド穴15から下方に突出して、一部が前記第2のガイド部材12から露出した状態となっており、さらに、前記プランジャ2の制動軸部8の先端は、前記固定部6内に位置し、かつ、前記第2のガイド穴15内に位置する。このような状態で前記第1のガイド部材11と前記第2のガイド部材12によって保持されたプローブ1は、前記第1のガイド穴14の軸心と前記第2のガイド穴15の軸心がずれていることにより、下方が左側に変位した湾曲状態で保持されている。このように、前記プランジャ2の軸部8の先端が、前記第2のガイド部材12の第2のガイド穴15に挿入されていることで、プローブ1’の座屈を防止することができる。プローブを用いて電気的接触子構造について説明してきたが、プローブに限定することなく、他の電気的接触子ついても本発明を適用することが可能であり、ガイド部材についても様々な形態を用いることが可能である。本発明の電気的接触子構造において、スプリングコイル5の密に巻回された固定部6と粗に巻回された可動部7の境界が、上述のような第2のガイド穴15の外に位置する場合だけでなく、前記第2のガイド穴15の中に位置する場合もある。前記固定部6と前記可動部7の境界が前記第2のガイド穴15の外に位置する場合には、前記スプリングコイル5の湾曲が前記境界から発生する。これに対し、前記固定部と前記可動部7の境界が前記第2のガイド穴15の中に位置する場合には、前記スプリングコイル5の湾曲は前記第2のガイド穴15の表面から発生することになる。前記スプリングコイル5の湾曲が開始された箇所で、前記制動軸部8が前記スプリングコイル5の内側と接するが、前記スプリングコイル5における境界が前記第2のガイド穴15の中に位置する場合は、前記スプリングコイル5の湾曲が開始される箇所が前記第2のガイド穴15の表面で統一されることから、複数の電気的接触子の特性を揃えるのに適したものとなる。"