ジグ穴を有したペリクルフレームと該ペリクルフレームのジグ穴に差し込みペリクルフレームを固定するジグピンを有したジグより成るペリクル製造用キットであって、該ジグピンの先端頭部分を、ジグ穴の最奥部に設けられたテーパー部のテーパー面に当接させて、該テーパー面を押圧することにより、ペリクルフレームを固定するペリクル製造用キット。ジグピンの先端頭部分の形状が、R形状である請求項1に記載のペリクル製造用キット。ジグピンの先端頭部分の形状が、半球状である請求項1に記載のペリクル製造用キット。ジグピンの胴部分の形状が、円柱状である請求項1~3のいずれか1項に記載のペリクル製造用キット。ジグピンの胴部分の太さが、ペリクルフレームのジグ穴の入口の径よりも0.5mm以上細く、ペリクルフレームをジグピンで固定した時に、ジグ穴とジグピンの胴部分との間の間隙が、少なくとも0.2mmである請求項1~4のいずれか1項に記載のペリクル製造用キット。ペリクルフレームの1つの長辺に設けられたジグ穴に差し込むジグピンを2本以上有し、そのうちの少なくとも2本のジグピンが、ジグピンの長さ方向に対して伸縮可能で且つ長さ復元的可動ピンである請求項5に記載のペリクル製造用キット。可動ピンに加えられるバネ加重が、ペリクルフレームに対して1.0g以下である請求項6に記載のペリクル製造用キット。本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、すなわち、本発明が解決しようとする課題は、変形や歪みを低減したペリクルを製造するのに適したペリクル製造用ジグとペリクルフレームより構成されるペリクルキットを提供することにある。本発明のペリクル製造用ペリクルキット1は、ペリクルフレーム1のジグ穴2にジグピン3を差し込み、ペリクルフレーム1を固定するペリクル製造用キットであって、ジグピンの先端頭部分を、ジグ穴の奥部に設けられたテーパー部4のテーパー面に当接させて、該テーパー面を押圧することにより、ペリクルフレームを固定するペリクル製造用キットである。図3参照本発明のペリクル製造用キットによれば、ジグピンの先端頭部分及び胴部分がジグ穴の内部に差し込まれるため、不慮の状態が発生してもペリクルフレームが落下する可能性は極めて低い。さらにジグ穴径よりも十分細いジグピンを採用しているため、若干のペリクルフレームの伸縮、位置の個体差があっても、ジグピンは、ジグ穴奥部のテーパー部分以外で接触することは無く、ジグピンがペリクルフレームに無駄な力を伝達することは無い。そのため、ペリクルフレームを固定する力を必要最小限に弱めることができ、ペリクル製造時のペリクルフレーム変形、歪みを低減できる。以下に、図面を参照しながら、本発明を詳細に説明する。図1は、本発明のペリクル製造用ジグのジグピン3をペリクルフレーム1のジグ穴2に差し込み、ジグ穴2の奥部に設けられたテーパー部のテーパー面4に、ジグピン3の先端頭部分を当接させて、ジグピン3をペリクルフレーム1に押圧した状態を示す。通常、ペリクルフレームには、1つの長辺にジグ穴が2個設けられており、ジグ穴の大きさは1.6mmφで、ジグ穴の奥部は120°のテーパー部となっている。このテーパー部は、図1に示すように、ジグ穴奥部の先端に向かうにしたがい、漸次外径が減少する先細り状となっている。また、ジグ穴の入口からテーパー部までの長さは、通常、0.8~1.3mmである。本発明のペリクル製造用キットに使用されるペリクルフレームは、上記のものに限定されないが、図1に示すように、少なくともジグ穴の奥部に先細り状のテーパー部を有することが前提となる。本発明のペリクル製造用キットは、ジグに取り付けられたジグピンの先端頭部分を、ジグ穴の奥部に設けられたテーパー部のテーパー面に当接させて、該テーパー面を押圧することにより、ペリクルフレームを固定するものであり、そのジグピンの先端頭部分が完全にジグ穴に入ってしまうため、ジグピンのピン可動部分のバネ図示省略を弱く設定しても、従来のペリクル製造用ジグ、すなわち、図2に示したような、ペリクルフレームのジグ穴入口部分にジグピンのテーパー先端頭部分を差し込むだけの構造のものと比較して、ペリクルフレーム落下の危険性は非常に低くなる。本発明のペリクル製造用キットにおいて、ジグピンの先端頭部分の形状は、ジグ穴の奥部に設けられたテーパー部のテーパー面に当接させることができる形状であれば特に限定されないが、ペリクルフレームやペリクル穴を傷つけないようにする観点から、R形状とすることが好ましい。また、ジグピンの先端頭部分の形状は、半球状とすることが、加工精度管理の観点から、特に好ましい。本発明のペリクル製造用キットにおいて、ジグピンの胴部分の形状は特に限定されないが、一般的には円柱状である。ジグピンの胴部分の太さは、ジグ穴内に差し込むことができるよう、ジグ穴の入口の径よりも小さいことが必要であるが、特には、ジグ穴の入口の径よりも0.5mm以上細く、また、ペリクルフレームをジグピンで固定した時に、ジグ穴とジグピンの胴部分との間の間隙が、0.2mm以上であることが好ましい。本発明のペリクル製造用キットにおいて、ジグピンの数はペリクルフレームを安定的に固定できる限り特に限定されるものではないが、好ましくは、ペリクルフレームの長辺に設けられたジグ穴に差し込むジグピンを、ジグの向かい合う一対の辺体の一辺体あたり2本以上有し、そのうち一方の辺体の少なくとも2本のジグピンが、ジグピンの長さ方向に対して伸縮可能且つ長さ復元的な可動ピンであることが好ましい。本発明のジグを用いてペリクルフレームを固定する場合、前記可動ピンに加えられるバネ加重は、ペリクルフレームに対して1.0g以下とすることができる。従来のペリクル製造用キットの場合、可動ピンの可動部分のバネ強度は、1mm押し込んだ際に約1g程度は必要だったが、本発明のピン構造の場合、0.5gまで低下させても、ペリクルフレームの落下の心配はない。なお、必要に応じて、さらにバネ強度を低下させて、ペリクルフレーム変形の影響を排除することも可能である。ペリクルの製造工程では、必要に応じて、ペリクルフレームを加熱することがある。一般的な半導体ペリクル例えば、ジグ穴が104mmピッチで設けてあるの場合、150°C程度まで加熱した場合、ペリクルフレームが長さ方向に約0.3mm伸びる。従来のペリクル製造用キットのジグピンでペリクルフレームを固定した場合、先端頭部分にテーパーを形成したジグピンがペリクルフレームのジグ穴入口部分で強固に把持しているため、ペリクルフレームの長辺方向に伸びる動きを阻害し、その結果、ペリクルフレームの変形が発生していた。しかしながら、本発明のジグを使用した場合、ペリクルフレーム落下に対するマージンが大きいため、可動ピンのバネを弱くして把持強度を低くすることができ、過加熱等によりペリクルフレームが長辺方向に伸びようとした場合、0.3mm程度の変動であれば、ジグ穴に対してジグピンの太さが十分余裕があるため、ペリクルフレームの長辺方向に伸びる動きを阻害することは殆どない。これにより、ペリクルフレームに無駄な力がかかることが少なく、従来のペリクル製造用ジグを使用したときのような、ペリクルフレームの変形は本発明のペリクル製造用キットの場合、殆ど見られない。以下に、実施例によって、本発明を詳細に説明する。ペリクルフレームの変形は、フレームの一環面を含む平面方向の変形と、平坦度の変形の2つによって測定評価を実施した。平面方向の変形は、ペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法を測定して評価した。平坦度に関しては、ペリクルフレームの4つのコーナーと4つの辺の中点の合計8箇所を測定することで得られた仮想平面に対して、各測定点がどれだけ外れているかを数値化し、それらの数値の平均値として評価した。[実施例1]ペリクルフレームとして、アルミニウム合金JISA7075で、フレーム外寸150mm×122mm×3.5mm、フレーム厚さ高さ2mmの黒色アルマイトを施したフレームを用意した。それぞれのフレーム長辺外壁面にハンドリング用ジグ穴をフレーム長辺センター振り分けで104mmピッチ、ペリクル膜接着剤塗布端面環面から1.75mmとなる位置に、穴径1.6mmφ、深さ1.2mmのジグ穴120°のテーパー形状を設けた。このフレーム寸法を、画像測定装置を使って測定したところ、長辺中点間の寸法が122.01mm、短辺中点間の寸法が149.98mmであった。さらに、このペリクルフレームの平坦度を、株ミツトヨ製の3次元測定器:BH506で測定したところ、6μmであった。胴部分の太さが0.8mm、先端頭部分の形状が半径0.4mmの球状であるジグピンを有する本発明のジグに、前記ペリクルフレームをセットした。このペリクル製造用キットのジグピンは、片側2本が可動ピンになっており、ペリクルフレームをセットした際、可動ピンがジグ穴奥に達してから0.5mmほど押し込まれるように調整した。可動ピンのバネ加重は、0.5mm押し込んだ状態で0.3gであった。このジグに前記ペリクルフレームをセットして、従来のペリクル製造工程にしたがって、マスク接着剤を塗布して60分静置後、高周波誘導加熱装置で150°Cに加熱して乾燥を行った。膜接着剤を塗布乾燥後、ペリクル膜を貼り合せてペリクルを完成させた。完成後のペリクルからマスク接着剤を剥離して、画像測定装置で長辺中点間と短辺中点間の各寸法を測定したところ、それぞれ122.00mm、149.99mmであった。さらに、株ミツトヨ製の3次元測定器:BH506を使用して平坦度を測定したところ、9μmであった。[実施例2]実施例1と同様にペリクルフレームを準備し、調整されたペリクル製造用ジグをセットした。実施例2では、ペリクル製造用ジグの可動ピンのバネ加重を0.6gに調整した。実施例2で用いたペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法を測定したところ、それぞれ122.00mm、149.99mmであった。また、平坦度を測定したところ、5μmであった。そして、上記ペリクルフレームを実施例1と同様に、ペリクル製造工程に流した後、ペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法、平坦度を測定したところ、それぞれ121.98mm、150.00mm、平坦度9μmであった。[実施例3]実施例1、2と同様にペリクルフレームを準備し、調整されたペリクル製造用ジグにセットした。実施例3では、当該ジグの可動ピンのバネ加重を1.0gに調整した。実施例3で用いたペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法を測定したところ、それぞれ122.01mm、150.00mmであった。また、平坦度を測定したところ、6μmであった。そして、上記ペリクルフレームを実施例1、2と同様に、ペリクル製造工程に流した後、ペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法、平坦度を測定したところ、それぞれ121.98mm、150.20mm、平坦度11μmであった。[比較例1]実施例1~3と同様にペリクルフレームを準備した。比較例1で使用するペリクル製造用ジグのジグピンは、胴部分の太さが2mmφ、先端頭部分は、母線の頂点での交わり角度が90°になるような、円錐形状の可動ピンを使用した。また、該可動ピンのバネ加重は0.6gに調整してペリクルフレームをセットした。比較例1で使用したペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法を測定したところ、それぞれ122.01mm、150.00mmであった。また、平坦度を測定したところ、6μmであった。そして、上記ペリクルフレームを実施例1~3と同様に、ペリクル製造工程に流した後、ペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法、平坦度を測定したところ、それぞれ121.96mm、150.20mm、平坦度15μmであった。[比較例2]比較例1と同様にペリクルフレーム、ペリクル製造用ジグを準備した。ペリクル製造用ジグの可動ピンのバネ加重を1.0gに調整した。比較例2で使用したペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法を測定したところ、それぞれ122.02mm、150.00mmであった。また、平坦度を測定したところ、5μmであった。そして、上記ペリクルフレームをペリクル製造用ジグにセットして、比較例1と同様にペリクル製造工程に流した後、ペリクルフレームの長辺中点間と短辺中点間の各寸法、平坦度を測定したところ、それぞれ121.95mm、150.20mm、平坦度21μmであった。[評価]実施例、比較例の結果から、可動ピンのバネ加重が小さいほど、ペリクルフレームの変形量、平坦度の悪化が低く抑えられることが確認された。本発明のペリクル製造用ジグのジグピンの形状は、ペリクルフレームのジグ穴に完全に収まってしまうため、落下の不安が無く、従来のペリクル製造用ジグものと比較して、可動ピンのバネ加重を小さくしやすい。したがって、本発明のペリクル製造用キットによれば、ペリクルフレームを固定する際の変形や歪みを少なくできることが確認された。また、可動ピンのバネ加重が同じでも、ジグピンの先端頭部分が半球状でペリクルフレームのジグ穴の奥部でペリクルフレームを把持する本発明のペリクル製造用キットの方が、ペリクルフレームのジグ穴入口部分をテーパーピンで把持する比較例のものよりも、ペリクルフレームの変形量、平坦度の悪化が低く抑えられることも確認された。