固定化した第一の化学物質に対して特異的に吸着あるいは結合する第二の化学物質の重量を測定する反応槽部を有し、平板状に形成されたマイクロリアクターにおいて、貫通した穴部を有するホールド基板と、該ホールド基板の前記穴部の一方側を覆うように前記ホールド基板上に設けられた圧電振動子からなるセンサと、からなる第一の流路基板と、前記穴部の他方側から前記穴部に嵌合する凸形状部を有する第二の流路基板と、を備え、前記凸形状部を前記穴部に挿入して嵌合させながら、前記第一の流路基板、前記第二の流路基板の順に重ね合わせることにより前記反応槽部が形成されることを特徴とするマイクロリアクター。前記反応槽部の容積は、前記第二の流路基板の前記凸形状部の挿入量によって可変することを特徴とする請求項1に記載のマイクロリアクター。前記第一の流路基板と前記第二の流路基板との間に弾性部材シートからなるパッキンを有し、前記反応槽部の容積は、前記パッキンの厚さに依存し、前記パッキンの前記厚さは前記第一の流路基板と前記第二の流路基板との少なくともいずれかに加えられた外力に応じて前記挿入量が可変するように形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロリアクター。前記反応槽部に溶液を送液する流路が前記第一の流路基板と前記パッキンと前記第二の流路基板とを貫通して形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のマイクロリアクター。請求項1から4のいずれかに記載のマイクロリアクターと、前記マイクロリアクターに接続されるポンプ手段と、前記マイクロリアクター内の送液を制御する送液制御手段と、前記マイクロリアクター内のセンサを駆動するセンサ回路手段と、前記第一の流路基板の前記穴部に挿入された前記第二の流路基板の前記凸形状部を移動させて前記反応槽の容積を変化させる移動手段とを備えることを特徴とするマイクロリアクターシステム。固定化した第一の化学物質に対して特異的に吸着あるいは結合する第二の化学物質の重量を測定する反応槽部を有し、平板状に形成されたマイクロリアクターにおいて溶液を送液する送液方法であって、前記反応槽部に前記溶液を送液するステップと、前記反応槽部の容積が小さくなるように変化させることにより、前記反応槽部内に存在する気泡を排出するステップと、前記気泡を排出させた後に、前記反応槽部の容積が大きくなるように変化させることにより、前記反応槽部内に溶液を流し込んで充填するステップと、を有することを特徴とする送液方法。上記で述べたような反応槽部は、アクリル樹脂やシリコーンゴムにより構成されているため、反応槽部内が疎水性を示し、反応槽部内に気泡が残留しやすく、また反応槽部へと続く流入通路から溶液を単に流し入れても、反応槽部内全体に溶液を充てんしながら流出通路に溶液を流出させることはなかなか困難である。また、例えばガラスのような親水性の材料を用いて流路基板を作製しても良いが、ディスポーザブル型のマイクロリアクターを実現しようとすると、プラスチック樹脂を用いた安価な流路基板が必要となる。またさらに、マイクロリアクターを用いて抗原抗体反応のようなタンパク-タンパク相互作用を測定しようとするとき、センサの電極上にあらかじめリガンドとなるタンパクを固定する前処理をしておかなければならないが、流路が構成された反応槽部内にセンサがある状態でリガンド固定の前処理を行うことは測定効率が著しく悪くなり無駄も多い。その理由は、前処理を行う反応に数~数十時間かかるため、マイクロリアクターに数十時間送液を続けて反応させることは効率も悪く、リアクターシステムも無駄に必要となるためである。そこで、本発明はマイクロリアクターの反応槽部内に気体が残留することなく送液を行うことができ、リガンド固定の前処理に関しても効率良く行うことができるマイクロリアクター、マイクロリアクターシステム及び気泡抜き送液方法を実現することを目的としている。上記課題を達成するために、本発明のマイクロリアクターは、固定化した第一の化学物質に対して特異的に吸着あるいは結合する第二の化学物質の重量を測定する反応槽部を有し、平板状に形成されたマイクロリアクターにおいて、貫通した穴部を有するホールド基板と、該ホールド基板の前記穴部の一方側を覆うように前記ホールド基板上に設けられた圧電振動子からなるセンサと、からなる第一の流路基板と、前記穴部の他方側から前記穴部に嵌合する凸形状部を有する第二の流路基板と、を備え、前記凸形状部を前記穴部に挿入して嵌合させながら、前記第一の流路基板、前記第二の流路基板の順に重ね合わせることにより前記反応槽部が形成されることを特徴とするものである。また、前記反応槽部の容積は、前記第二の流路基板の前記凸形状部の挿入量によって可変することを特徴とするものである。また、前記第一の流路基板と前記第二の流路基板との間に弾性部材シートからなるパッキンを有し、前記反応槽部の容積は、前記パッキンの厚さに依存し、前記パッキンの前記厚さは前記第一の流路基板と前記第二の流路基板との少なくともいずれかに加えられた外力に応じて前記挿入量が可変するように形成されていることを特徴とするものである。また、前記反応槽部に溶液を送液する流路が前期第一の流路基板と前期パッキンと前記第二の流路基板とを貫通して形成されていることを特徴とするものである。また、本発明のマイクロリアクターシステムは、前記マイクロリアクターと、前記マイクロリアクターに接続されるポンプ手段と、前記マイクロリアクター内の送液を制御する送液制御手段と、前記マイクロリアクター内のセンサを駆動するセンサ回路手段と、前記第一の流路基板の前記穴部に挿入された前記第二の流路基板の前記凸形状部を移動させて前記反応槽の容積を変化させる移動手段とを備えることを特徴とするものである。また更に、本発明のマイクロリアクターを用いて溶液を送液する送液方法は、前記反応槽部に前記溶液を送液するステップと、前記反応槽部の容積が小さくなるように変化させることにより、前記反応槽部内に存在する気泡を排出するステップと、前記気泡を排出させた後に、前記反応槽部の容積が大きくなるように変化させることにより、前記反応槽部内に溶液を流し込んで充填するステップと、を有することを特徴とするものである。本発明によると、反応槽部を有する第一の流路基板の穴部に第二の流路基板の凸形状部が挿入されることにより反応槽部が形成される。そして、凸形状部が移動することにより反応槽部の容積が変化し、凸形状部が反応槽部全体に入り込んだときに、反応槽部容積はゼロとなりこの時点で反応槽部内の気体および液体が反応槽部より排出される。さらに、反応槽部容積が増えるように凸形状部を移動させながら溶液を送液すると反応槽部は液体で満たされ、気体は反応槽部内に残らない。この操作によって気泡残留が防げるため、流路基板に安価なプラスチック樹脂やシリコーンゴムといった疎水の材料を用いることができる。また、センサを有する第一の流路基板が外部接続ポート及び流路を有する第二の流路基板と分離できるため、第一の流路基板の反応槽部に形成された穴部より、直接前処理剤をセンサ電極に与えることができる。すなわち、前処理剤を入れた容器の中に第一の流路基板を浸漬することにより、バッチ処理的に同時に何枚もの第一の流路基板に効率よくリガンド固定の前処理を行うことができる。以下、本発明について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。実施形態1図1は、本発明の第一の流路基板1の外観図であり、図1aはセンサ3側から見た図であり、図1bは裏の穴部8側から見た図である。第一の流路基板1は、穴部8を有するホールド基板2とそのホールド基板2上に配置したセンサ3とからなり、センサ3は水晶基板とその水晶基板の両面上に配置した電極図示せず。とからなる。図2は第一の流路基板1の構成を説明する図である。図2は図1に示すA面により切断した断面図を示している。この図に示すように、第一の流路基板1は、より詳細には、プラスチック樹脂製のホールド基板2と、両面に電極を有する水晶基板とからなるQCMセンサ以下、センサと記す。3、及びホールド基板2と水晶基板との間に配置したシリコーンゴム製のパッキン7により構成されている。なお、センサ3の表面には上述したように反応槽部9側に反応電極6、裏面側に裏面電極5が形成されている。反応電極6、裏面電極5共に金膜を使用している。パッキン7はセンサ3とホールド基板2に接着されており、センサ3とホールド基板2は外れることはない。また、第一の流路基板1には反応槽部へ溶液を導く液出入り口4が形成されている。この液出入り口4から緩衝溶液や被測定試料溶液を反応槽部9に送液することにより、反応電極6上で起きる化学反応にともなう反応電極6に吸着する物質の重量変化をセンサ3により検知することができる。図3に第一の流路基板1における反応槽部9及びその周囲部の拡大図を示す。なお、水晶基板からなるセンサ部3は図示していない。また、ホールド基板2については反応槽部9周辺部の一部のみを図示している。反応槽部9の大きさは穴部8のサイズとパッキン7のサイズにより決まる。一例として反応槽部9の直径をφ4mmとし、液出入り口4はφ500μmで作製した。そして、液出入り口4から反応槽部9まではパッキン7により形成された流路を経由して送液される。第一の流路1の作製方法は、穴部8と液出入り口4を有するプラスチック製のホールド基板2にパッキン7を接着し、その上に金の電極パターニングを行った水晶基板からなるセンサ3を接着している。センサ3は8mm角のものを用い、電極は反応電極6をφ3mm、裏面電極5をφ5mmとして作製した。また、プラスチック樹脂製のホールド基板2はアクリル樹脂を用いた。次に、図4を用いて第二の流路基板10の構成を説明する。図4aは第二の流路基板10を上から見た上面図である。第二の流路基板10は外部接続ポート11と送液口12及び凸形状部13を有している。図4bは図4aに示すB-B’断面図である。外部接続ポート11と送液口12は第二の流路基板10内部で接続されている。一例として、第二の流路基板10は第一の流路基板1と同様にプラスチック樹脂により製作した。射出成型により凸形状部13と流路部14を持つ基板を成型した後、平らなプラスチック製の基板15を接着して作製した。送液口12はφ500μmとし、流路14は幅500μm深さ50μmに設計して製作した。また、外部接続ポート11はφ1mmである。プラスチック樹脂製の第二の流路基板10にアクリル樹脂基板を用いた。なお、この第二の流路基板材に関しては、樹脂であれば何でもよく、他にPET、COP、PES樹脂等を用いてもかまわない。次に、第一の流路基板1の穴部8に第二の流路基板10の凸形状部13を挿入することによって形成したマイクロリアクター17について以下に説明する。図5にその外観図をしめす。図5aが第一の流路基板1と第二の流路基板10を重ね合わせる前の外観図である。そして、図5bが凸形状部13を穴部8に挿入して二つの基板を重ね合わせた後の外観図である。第一の流路基板1と第二の流路基板10の間には弾性部材製パッキン16を挟んだ構成になっている。次に、マイクロリアクター17の中央部で長手方向に切断した断面図を図6に示す。第一の流路基板1と第二の流路基板10の凸形状部13の先端部によって、反応槽部9が形成されている。そして、前記したように、第一の流路基板1と第二の流路基板10は弾性部材製パッキン16をはさんで固定されている。弾性部材製パッキン16には第一の流路基板1の液出入り口4と第二の流路基板13の送液口12を接続するための流路と、凸形状部13が入る穴とが設けられている。一例として、この弾性部材製パッキン16の材料としてシリコーンゴムを用い、150μm厚に形成した。本マイクロリアクター17において、弾性部材製パッキン16を押し縮めるように第一の流路基板1と第二の流路基板10を加圧することにより凸形状部13が反応槽部9内を上下し、反応槽部9の容積を変化させることができる。次に、本マイクロリアクターシステムについて、図7を用いて説明する。図7はマイクロリアクターシステム構成を説明した図である。マイクロリアクター17の外部接続ポート11のIN側ポートには薬液タンク18が、またOUT側ポートにはバルブ19を介して送液ポンプ20が接続されている。また、ポンプから排出されるチューブには廃液タンク21が接続され、廃液が溜まる仕組みとなっている。そして、マイクロリアクター17の第一の流路基板1上には凸形状部13の移動手段24が接続されている。また、移動手段24と送液ポンプ20とバルブ19には制御信号線26を介して送液制御手段22が接続されている。さらに、第一の流路基板1を構成する水晶製のセンサ3にはリード電極27を介してセンサ回路手段23が接続されている。次に、本マイクロリアクターシステムを用いた、反応槽内部に残存する気泡を排出するための送液方法について説明する。送液方法については図9のフローチャートに基づいて、システムの動作については図8を用いて説明する。図8はマイクロリアクター17と移動手段24の断面図である。送液ポンプ20やバルブ19等の外部接続ポート11から外側に接続されている部分は省略している。先ず、マイクロリアクター17は図8aに示すように、第一の流路基板1と第二の流路基板10が弾性部材製パッキン16を挟んだ状態で移動手段24によって固定されている。そこに、送液制御手段22より信号を送り、送液ポンプ20を動作させて、バルブ19を開いて、緩衝溶液25をマイクロリアクター17内の反応槽部9に送液する図9、ステップS1。ここで、送液前はマイクロリアクター17の流路14や反応槽9には、空気が入った状態であり、流路基板材質であるプラスチック樹脂は疎水性を示すため、緩衝溶液25にあまり濡れ性を示さない。よって、図8bに示すように、流路14内、特に反応槽部9内部に気泡28が残留する。この状態で、送液制御手段22より移動手段24に信号を送り、移動手段24を押し下げる。そうすると、押されることにより弾性部材製パッキン16が収縮し、相対的に反応槽部9にある凸形状部13の頂部がセンサ3側に移動する。送液制御手段22は、反応槽部9の容積がゼロになるまで、凸形状部13を移動させる図9、ステップS2。この操作により、図8cに示すように、凸形状部13の移動が終わると、反応槽部9に介在した気泡28は全てOUT側の流路14に排出される。送液制御手段22は、凸形状部13が移動している間、バルブ19を開いたままであり、送液ポンプ20も動作させたままであるので、緩衝液25は流れ続け、気泡28はOUT側の流路14に排出される。送液制御手段22は、反応槽部9の容積をゼロにした後、すぐに移動手段24を上昇させ、反応槽部9に緩衝液25を流し込む図9、ステップS3。それにより、図8dに示すように、この状態において気泡28が反応槽部9に残留することはなく、反応槽部9は緩衝液25が充てんされる。一例として、図8dに示す状態における反応槽部9の深さが80μmとなるように、凸形状部13の頂部の高さ位置を調整した。なお、一度、反応槽部9内の気体抜きが完了すると、緩衝液25以外の被測定試料溶液等を流したとしても、気泡28が残存する状態が発生することはない。次に、上述した本マイクロリアクター及び本マイクロリアクターシステムを用いて、実際に反応測定を行ったので、それについて説明する。本測定では抗原―抗体反応測定を例として説明する。まず、リガンド固定前処理方法について説明する。リガンド固定前処理として、センサ3の反応電極6の表面にSAMSelf-assembledMonolayerを修飾し、その後、SAM上にリガンドとして抗体を固定した。その方法について図10を用いて説明する。図10は第一の流路基板1を多数個用いてバッチ的に同時に修飾するやり方である。浸漬容器30を用意し、その中に薬品溶液29を入れる。薬品溶液29は修飾したい薬品を溶かした溶液である。本反応実験では、先ず、第一の流路基板1の反応電極6部にチオール反応を利用してSAM修飾を行うため、SAMを形成するアルカンチオール溶液を浸漬容器30満たし、そのなかに、第一の流路基板1を5個同時に浸漬する。そして、第一の流路基板1内の反応電極6上にSAMが形成された後、第一の流路基板1を一つ取り出し、次に、SAM上にリガンドとなる抗体を修飾するために、抗体溶液中に第一の流路基板1を浸漬する。そして、SAM上に抗体が固定された後、抗体溶液中から第一の流路基板1を取り出し、この状態で、第一の流路基板1の穴部8に第二の流路基板10の凸形状部13が入るように、弾性部材製パッキンを挟んで組み付ける。そして、移動手段24によりそれぞれの流路基板を固定し、マイクロリアクター17を形成する。そして、外部接続ポート11にチューブを取り付け、センサ3の電極にリード電極27を接続する。この前処理方法を用いることにより、複数個のセンサ上に、迅速にリガンド固定前処理を行うことができる。次に、実際の抗原-抗体反応測定方法に関して説明する。薬液タンク18の薬液を緩衝液に切り替え、送液制御手段22から送液ポンプ20を動作させ、バルブ19を開き、緩衝溶液をマイクロリアクター17内の反応槽部9に送液する。そして、送液制御手段22から移動手段24を下降させ、反応槽部9内の凸形状部13頂部をセンサ3側に移動させる。そして、反応槽部9の容積をゼロとした後、移動手段24を上昇させ、反応槽部9内に緩衝液を充てんする。ここで、送液制御手段22より送液ポンプ19の流量を制御し1μリットル/min程度に安定させた後、薬液タンク18の薬液を被測定試料溶液の抗原溶液に切り替えてポンプ送液を続け、抗原溶液を約20μリットル送液する。そして、抗原溶液が反応槽部9内に入ると、溶液中の抗原が反応電極6に固定された抗体と結合反応抗原―抗体反応を生じることにより生じた周波数低下信号をセンサ回路手段23により検出する。なお、実際に測定して検出した信号には残留気泡があるような乱れはみられなかった。そして、抗原溶液の送液開始から約20分後20μリットルを流した後、再び、薬液タンク18の薬液を緩衝液に切り替えて送液を続ける。その後、反応槽部9に緩衝液を流すと、抗体に吸着していた抗原が解離することにより生じた周波数上昇信号をセンサ回路手段23より検出する。そして、本実施の形態1で得られた抗原抗体反応データより、反応速度や解離乗数を求めることができる。また、一回の測定が終わるたびに、外部接続ポート11に接続されたチューブを外して、マイクロリアクター17を形成する第一の流路基板1と第二の流路基板10を交換することにより、ディスポーザブルにマイクロリアクター17を使用することができる。このように、本発明によれば、センサ前処理を行った第一の流路基板を第二の流路基板上に、第二の流路基板の凸形状部と第一の流路基板の反応槽部の穴部がはめ合うようにセットし、送液を行いながら凸形状部を移動させることにより反応槽部内の残留気泡を全て排除することができ、安定した測定が可能となるので、迅速なリガンド固定の前処理と、反応槽部9に残留気泡を残すことの無い送液方法が実現できる。そして、抗原―抗体反応をリアルタイムで計測でき、反応の定量化だけではなく結合定数や解離定数などの反応速度に関するアフィニティー特性をも迅速に計測することが可能となる。一例として抗原―抗体反応に関して述べたが、DNAのハイブリダイゼーション反応、蛋白質の結合、酵素反応など様々な生化学反応にも用いることができる。なお、水晶基板と電極5、6とからなるセンサ3は、上記で説明した形状及びサイズに限定されるものではなく、例えば、形状は、円形、楕円形、多角形といったいろいろな形状のものでも適用可能であり、また大きさも反応槽部9が形成可能という上記で述べたような構成条件を満たせば、いかなる大きさであってもよいが、製造コスト、取り個数、歩留まりといった観点からの製造上の効率性を考えると、上記の実施形態1において図示したような四角形の水晶基板を用いたセンサ3とすることが好ましい。また、このような四角形の水晶基板からなるセンサ3を用いた場合であっても、本実施形態1において図示したような、対向する2辺が液出入り口4の近傍に配置されるセンサ3の配置方法に限定されるものではなく、様々な態様での配置が可能であり、その一例について、次の実施形態2において説明する。実施形態2図11は、ホールド基板2上にセンサ3が配置された第一の流路基板1を説明する説明図であり、図12は、図12aに第一の流路基板1と第二の流路基板10を重ね合わせる前の外観図を示し、図12bに凸形状部13を穴部8に挿入して第一の流路基板1と第二の流路基板10を重ね合わせた外観図を示した図である。本実施形態2に係る本発明のマイクロリアクター17は、センサ3の配置の方法が上記の実施形態1に係る本発明のマイクロリアクター17と相違するだけであり、その他の点においては同じ構成である。従って、説明の重複を避けるために、同一の符号を記し、その説明は割愛し、相違する点に重点を置いて以下に説明する。図11及び図12、特に図11に示すように、センサ3を構成する水晶基板は正方形に近い四角形状を有し、この四角形の対角線上、または四角形の対角線の近傍に、液出入り口4が位置するようにセンサ3を配置している点に特徴がある。このように水晶基板を配置すると、反応槽部8及び液出入り口4近傍の形状が図3に示すように流線型状に形成されているため、水晶基板のそれぞれの辺に近い位置に押圧部153を設けることが可能となる。図11に示すように、この押圧部153は水晶基板がほぼ正方形であるために4箇所に設けることができ、これら4箇所の押圧部153を移動手段24により均等に、しかも同時に第一の流路基板1の厚さ方向に加圧することにより、第一の流路基板を傾斜させることなく、第二の流路基板との並行性を維持したまま凸型形状部13を移動させることができる。また、この4箇所の押圧部153は、反応槽部8及び液出入り口4近傍に設けることができるために十分な押圧力が得られ、しかも不必要な無駄な押圧力を必要とせず、必要最小限の押圧力で凸型形状部13を移動させることが可能となる。図13は、移動手段24により4箇所の押圧部153を介して作動させるように構成した実施形態2に係るマイクロリアクターシステムについて説明する図であり、図7に示す実施形態1に係るマイクロリアクターシステムと本実施形態2に係るマイクロリアクターシステムとの違いは、設けられた押圧部の数とそれに対応する移動手段24の数が異なるだけで、その他の構成及び機能は両者ともに基本的に同じであるため、同一符合を記し、それらの説明は省略する。一方、水晶基板上には電極5、6との接続のためのリード電極を必要とするが、前述したように、例えば水晶基板は8mm角程度のものであり、またその水晶基板に形成される電極5、6の大きさはφ5mm~φ3mmといった非常に小型なセンサ3であるため、センサ3の共振特性等や接合部からの液漏れ等を考慮した場合、センサリード電極154としてある程度の長さが必要であり、そのためには水晶基板のいずれかの頂角部を利用して、その頂角部までセンサリード電極154を延ばし、その頂角部で外部からの配線と半田接続等を行うことが望ましく、本実施形態2のような水晶基板の配置とすれば、図11に示すように、液出入り口4が位置する対角線とは異なる対角線上にセンサリード電極154を形成し、ホールド基板2上に形成された基板リード電極152と水晶基板の頂角部で接続する態様が可能となり、センサ3までの配線が容易に形成可能である。