吸水性粒子の製造方法であって、a任意に被覆された、後架橋吸水性ポリマー粒子を得る工程、b前記工程aの粒子を、0.0001ミリバール~700ミリバールの圧力で真空処理する工程、及びc任意に前記工程bの粒子をプラズマ処理する工程を含む、前記製造方法。真空処理及びプラズマ処理の工程を含む、請求項1に記載の吸水性粒子の製造方法。前記吸水性粒子が、i少なくとも1種のエチレン性不飽和酸官能性モノマー、ii少なくとも1種のエチレン性不飽和架橋剤、iii適宜、iと共重合可能な1種以上のエチレン性及び/又はアリル性不飽和モノマー、iv適宜、モノマーi、ii及び適宜iiiで全体的に又は部分的にグラフトされた1種以上の水溶性ポリマーを含む、モノマー溶液をv適宜、非ラジカル架橋剤であって、その単一の分子内に2つ以上の官能基を有し、そのそれぞれが、カルボキシル基との反応によりエステル結合又はアミド結合を形成可能な前記架橋剤の存在下で重合してベース吸水性ポリマーを得ることによって得られ、それが引き続き後架橋剤及び任意に少なくとも1種の表面変性剤によって表面変性された、請求項1又は2に記載の吸水性粒子の製造方法。後架橋吸水性ポリマー粒子が、ベース吸水性ポリマーを、後架橋剤及び少なくとも1種の水溶性多価金属塩を用いて表面変性させることによって得られた、請求項1から3までのいずれか1項に記載の吸水性粒子の製造方法。後架橋吸水性ポリマー粒子が、ベース吸水性ポリマーを、後架橋剤及び少なくとも1種の水不溶性金属リン酸塩を用いて表面変性させることによって得られた、請求項1から4までのいずれか1項に記載の吸水性粒子の製造方法。後架橋吸水性ポリマー粒子が、ベース吸水性ポリマーを、後架橋剤及び少なくとも1種の膜形成ポリマーを用いて表面変性させることによって得られた、請求項1から5までのいずれか1項に記載の吸水性粒子の製造方法。膜形成ポリマーが-10°Cを上回る最低膜形成温度を有する、請求項6に記載の吸水性粒子の製造方法。吸水性粒子が、真空処理前に、且つ好ましくはプラズマ処理前に、0.1質量~5質量の水及び/又は水混和性有機溶媒で処理された、請求項1から7までのいずれか1項に記載の吸水性粒子の製造方法。真空処理が0.0001ミリバール~20ミリバールの範囲の圧力であった、請求項1から8までのいずれか1項に記載の吸水性ポリマー粒子の製造方法。真空処理が0.1秒~30分の間行われた、請求項1から9までのいずれか1項に記載の吸水性粒子の製造方法。好ましくは周囲大気圧下での、後架橋吸水性ポリマー粒子のプラズマ処理工程を含む吸水性粒子の製造方法。後架橋吸水性ポリマー粒子が、ベース吸水性ポリマーを、後架橋剤及び少なくとも1種の膜形成ポリマーを用いて表面変性させることによって得られた、請求項11に記載の吸水性粒子の製造方法。請求項1から12までのいずれか1項に記載の方法によって得られる吸水性ポリマー粒子。