板状ワークを仮置きする仮置き手段と、該仮置き手段に板状ワークを搬入する搬入手段と、を備える加工装置において、該板状ワークを該仮置き手段の所定の位置に位置決めする位置決め機構であって、該仮置き手段は、仮置きテーブルベースにおいて該板状ワークの側面を支持する少なくとも2つの側面支持部と、中央に板状ワークを仮置きする仮置きテーブルと、を備え、該仮置きテーブルベースは、該仮置きテーブルの中心から該2つの側面支持部を結ぶ線への垂線方向に下方に傾けられており、該仮置きテーブルには空気を吹き上げる吹上口が形成され、該吹上口に空気を吹き上げる空気供給源が接続され、該搬入手段によって搬入される該板状ワークは、該仮置きテーブルの該吹上口から吹き上げられる空気によって浮上し、該板状ワークの自重によって該仮置きテーブルベースの下方に向けて移動し、該板状ワークの側面が該2つの側面支持部に接触し位置決めが完了する位置決め機構。前記仮置きテーブルベースには前記側面支持部を取り付け固定できる側面支持部固定孔が複数備えられており、該側面支持部が該側面支持部固定孔に差し込まれることにより前記板状ワークの形状やサイズの変更に対応可能な請求項1記載の位置決め機構。しかしながら、上記のような仮置きテーブルにおいては、例えば駆動軸の回転により仮置きテーブルに保持された板状ワークを回転させ、板状ワークの中心と加工テーブルの中心とを一致させるなどの処理を行っていたため、板状ワークを加工テーブルの中心に搬送するための位置合わせのための機構が複雑となっている。本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、板状ワークの中心と加工テーブルの中心とが合致するように搬送するための板状ワーク位置決めを容易に行うことができる位置決め機構を提供することを目的とする。本発明は、板状ワークを仮置きする仮置き手段と、該仮置き手段に板状ワークを搬入する搬入手段と、を備える加工装置において、板状ワークを仮置き手段の所定の位置に位置決めする位置決め機構に関し、仮置き手段は、仮置きテーブルベースに板状ワークの側面を支持する少なくとも2つの側面支持部と、中央に板状ワークを仮置きする仮置きテーブルとを備え、仮置きテーブルベースは、仮置きテーブルの中心から2つの側面支持部を結ぶ線への垂線方向に下方に傾けられており、仮置きテーブルには空気を吹き上げる吹上口が形成され、吹上口には空気を吹き上げる空気供給源が接続され、搬入手段によって搬入される板状ワークは、仮置きテーブルの該吹上口から吹き上げられる空気によって浮上し、板状ワークの自重によって仮置きテーブルベースの下方に向けて移動し、板状ワークの側面が2つの側面支持部に接触し位置決めが完了する。上記位置決め機構では、仮置きテーブルベースに側面支持部を取り付け固定できる側面支持部固定孔が複数備えられており、側面支持部が側面支持部固定孔に差し込まれることにより板状ワークの形状やサイズの変更に対応可能とすることが望ましい。本発明では、仮置き手段における仮置きテーブルベースに、板状ワークの側面を支持する少なくとも2つの側面支持部と、中央に板状ワークを仮置きする仮置きテーブルとを備え、仮置きテーブルベースは仮置きテーブルの中心から2つの側面支持部を結ぶ線への垂線方向に下方に傾けられており、仮置きテーブルには空気を吹き上げる吹上口が形成され、吹上口に空気を吹き上げる空気供給源が接続されているため、吹上口から吹き上げられる空気により板状ワークを浮上させた後、板状ワークの自重によって板状ワークを下方に移動させて2つの側面支持部に接触させることで、板状ワークの中心を一定の位置に位置決めすることができ、その状態から板状ワークを搬送することで、加工テーブルの中心に位置合わせをすることができる。したがって、板状ワークの中心合わせをするための駆動軸が不要となり、板状ワークの中心と加工テーブルの中心との位置あわせを容易に行うことができる。また、位置決め機構における部品点数を削減することができる。また、仮置きテーブルベースに、側面支持部を取り付け固定する側面支持部固定孔が複数備えられているため、板状ワークのサイズの変更に合わせてそれぞれの側面支持部固定孔に側面支持部を差し込むことにより、異なる形状やサイズの板状ワークに対応して、それぞれの板状ワークの中心合わせをすることができる。図1に示す加工装置1は、本発明に係る位置決め機構を備え、加工テーブル6に板状ワークを保持し、研削加工を施す加工装置の一例である。加工装置1は、長方体形状の基台2の上面に、被加工物を搬送、位置決め、研削及び洗浄等する各種装置を配設して構成されている。図1に示すように、基台2の上面中央付近には、円盤形状の回転テーブル5が配設されている。回転テーブル5には、被加工物を保持し自転可能な複数の加工テーブル6が配設されている。そして、回転テーブル5の回転によって、加工テーブル6を公転させることができる。基台2の上面前部には、供給カセット4A及び回収カセット4Bが備えてあり、供給カセット4Aには加工前の被加工物が積層されて収容され、回収カセット4Bには加工後の被加工物が積層されて収容されている。供給カセット4A及び回収カセット4Bの近傍には、供給カセット4Aからの被加工物の搬出及び回収カセット4Bへの被加工物の搬入を行う搬入手段10が配設されている。搬入手段10には、被加工物を取り出すロボットピック11と屈曲可能なアーム12とを備えており、搬入手段10は、X軸方向に伸びる直動レール13の側部に支持され、直動レール13をX軸方向に直動可能となっている。図1に示すように、直動レール13の一端の近傍で搬入手段10の可動領域には、被加工物を仮置きして位置合わせをする仮置き手段20が配設されている。仮置き手段20には、仮置きテーブルベース21と、被加工物の側面を支持する2つの側面支持部22と、仮置きテーブルベース21の中央に被加工物を仮置きする仮置きテーブル23とを備えている。図1に示すように、基台2の上面には、被加工物を仮置きテーブル23から加工テーブル6に搬送する搬送手段30が配設されている。搬送手段30は、仮置きテーブル23から加工テーブル6に被加工物を搬送可能にする直動軸31と、被加工物を吸着保持して直動軸31に沿って移動する吸着パッド32とを備えている。基台2の上面後部には、被加工物に対し粗研削を施す第1の加工手段40、粗研削が施された被加工物に対し仕上げ研削を施すための第2の加工手段50が配設されている。また、基台2の上面右側には、被加工物に形成された研削歪みを除去して平坦化にするためのドライポリッシング加工等を施す第3の加工手段60が配設されている。第3の加工手段60は、支持板61により支持されており、直動レール62をX軸方向に移動することができる。なお、第3の加工手段60は、ドライポリッシング加工を施すものに限定されるものではない。例えば、CMP加工を施すものでもよい。次に、基台2の上面左側には、加工テーブル6に保持された加工後の被加工物を搬送するための搬送ロボット70が配設されている。搬送ロボット70は、旋回可能なアーム71と、アーム71の先端に取り付けられた吸着パッド72とを備える。搬送ロボット70は、長方体形状の直動レール73上に配設され、直動レール73上をY軸方向に自在に移動できる。基台2の上面前部で搬送ロボット70の可動領域には、加工後の被加工物を洗浄する洗浄手段80が配設されている。洗浄手段80には、洗浄液を噴射するための洗浄ノズル81と高速回転可能なスピンナーテーブル82とを備えている。以下においては、本発明に係る位置決め機構の構成の複数の例について説明する。図2に示す仮置き手段20は、円形の板状ワーク3aの中心合わせをする位置決め機構の第一例である。仮置き手段20には、仮置きテーブルベース21と、板状ワーク3aの側面を支持する2つの側面支持部22と、仮置きテーブルベース21の中央に板状ワーク3aを仮置きする仮置きテーブル23とを備えている。図3に示すように、仮置きテーブルベース21は、基台2の上面に立設された複数の支持部7A及び7Bによって支持されている。本実施形態においては、支持部7Aの高さが支持部7Bの高さより低くなるように調整されており、仮置きテーブルベース21は、側面支持部22が配設された側が低くなるように傾いた状態で支持されている。また、仮置きテーブルベース21に配設された仮置きテーブル23についても、仮置きテーブルベース21の傾きと同様の方向に傾いている。図2に示す側面支持部22は、直方体形状に形成され、高さが低くなっている側の仮置きテーブルベース21の上面に少なくとも2つの側面支持部22がそれぞれ配設されている。図2に示すように、仮置きテーブルベース21は、仮置きテーブル23の中心から2つの側面支持部22の中心同士を結ぶ線220への垂線230の方向に向けて下方に傾いている。図3に示すように、仮置きテーブル23は、仮置きテーブルベース21の上面中央に配設され、仮置きテーブル23の中心には空気を吹き上げる吹上口24が形成されている。また、仮置きテーブルベース21の中心部にも、吹上口24に連通し吹上口24に空気を送り込む空気孔が形成され、その空気孔の直下には供給ノズル25を備えている。そして、供給ノズル25は、空気供給源26に接続されている。このように構成される仮置き手段20においては、図1に示した搬入手段10によって供給カセット4Aから板状ワーク3aが搬入され、仮置きテーブル23に載置される。仮置き手段20では、空気供給源26から送られてくる空気を吹上口24によって吹き上げることにより、仮置きテーブル23の上面に載置されている板状ワーク3aを上方に押し上げて浮上させる。そしてその後、吹上口24からの空気の吹き上げを停止すると、浮上していた板状ワーク3aは、自重によって落下し、傾いた仮置きテーブルベース21の下方に向けて移動する。このとき、板状ワーク3aの下降方向は、図2に示した垂線230の矢印の方向である。したがって、下降の過程において板状ワーク3aと側面支持部22との摩擦や衝突をあまり生じさせることなく、板状ワーク3aの側面を側面支持部22に接触させて位置決めを完了させることができる。図4に示す仮置き手段20aは、円形状の板状ワーク3aの中心合わせをする位置決め機構の第二例である。本例における側面支持部22aは、円柱状に形成されている。この側面支持部22aは、仮置きテーブル23の中心を中心とする円弧上に配置されており、周面が板状ワーク3aと接触する接触面となっている。仮置きテーブルベース21は、仮置きテーブル23の中心から2つの側面支持部22aの中心同士を結ぶ線220aへの垂線230aの方向に向けて下方に傾いている。図5に示すように、図3に示した例と同様に、仮置きテーブル23の中心には空気を吹き上げる吹上口24が形成され、仮置きテーブルベース21にも吹上口24に連通する空気孔が形成され、仮置きテーブルベース21の空気口の直下に供給ノズル25を備えている。そして、供給ノズル25は、空気供給源26に接続されている。図4及び図5に示す仮置き手段20aにおいても、図1に示した搬入手段10によって円形の板状ワーク3aが搬入され仮置きテーブル23に載置されると、空気供給源26から送られてくる空気を吹上口24によって吹き上げることにより、板状ワーク3aを上方に押し上げて浮上させる。その後、吹上口24からの空気の吹き上げを停止すると、浮上していた板状ワーク3aは、その自重によって、傾いて支持される仮置きテーブルベース21の下方に向けて移動する。このとき、板状ワーク3aの下降方向は、図4に示した垂線230aの矢印の方向である。したがって、板状ワーク3aと側面支持部22aとの摩擦や衝突をあまり生じさせることなく、板状ワーク3aを側面支持部22aに接触させて位置決めを完了させることができる。図6に示す仮置き手段20bは、四角形状の板状ワーク3bの中心合わせをする位置決め機構の第一例である。仮置き手段20bは、直方体形状の側面支持部22と円柱形状の側面支持部22aとを一つずつ備えている。仮置きテーブルベース21は、仮置きテーブル23の中心から2つの側面支持部22、22aの中心同士を結ぶ線220bへの垂線230bの方向に向けて下方に傾いている。図7に示すように、空気供給源26からの空気が吹上口24から吹き上げられる構造は、図3及び図5に示した例と同様である。図6及び図7に示す仮置き手段20bにおいても、図1に示した搬入手段10によって円形の板状ワーク3bが搬入され仮置きテーブル23に載置されると、空気供給源26から送られてくる空気を吹上口24によって吹き上げることにより、板状ワーク3bを上方に押し上げて浮上させる。その後、吹上口24からの空気の吹き上げを停止すると、浮上していた板状ワーク3bは、その自重によって、傾いて支持される仮置きテーブルベース21の下方に向けて移動する。このとき、板状ワーク3bの下降方向は、図6に示した垂線230bの矢印の方向である。したがって、板状ワーク3bと側面支持部22aとの摩擦や衝突をあまり生じさせることなく、板状ワーク3bを側面支持部22aに接触させて位置決めを完了させることができる。図8に示す仮置き手段20cは、四角形状の板状ワーク3bの中心合わせをする位置決め機構の第二例である。仮置き手段20cには、図2及び図3に示した仮置き手段20と同様に直方体形状の側面支持部22を2つ備えている。仮置きテーブルベース21は、仮置きテーブル23の中心から2つの側面支持部22の中心同士を結ぶ線220cへの垂線230cの方向に向けて下方に傾いている。板状ワーク3bが側面支持部22に接触して位置決めがなされるまでの過程は、図2及び図3に示した仮置き手段20と同様である。図9に示す仮置き手段20dは、板状ワークの形状やサイズの変更に対応可能な位置決め機構の第一例である。仮置き手段20には、仮置きテーブルベース21と、仮置きテーブルベース21に固定され円形の板状ワーク3aの側面を支持する2つの側面支持部22と、仮置きテーブルベース21の中央に板状ワーク3aを仮置きする仮置きテーブル23とを備え、仮置きテーブルベース21の上面には側面支持部22を取り付け固定するための側面支持部固定孔27が複数形成されている。側面支持部22は、二点鎖線で示すように、板状ワークの形状やサイズの変更に合わせてそれぞれの側面支持部固定孔27に差し込むことができる。いずれの側面支持部固定孔27に側面支持部22が固定されたとしても、仮置きテーブル23の中心から2つの側面支持部22、22aの中心同士を結ぶ線220dへの垂線230dの方向に向けて下方に傾いている。したがって、異なる形状及びサイズの板状ワークに対応して、それぞれの板状ワークの中心合わせをすることができる。図10に示す仮置き手段20eは、板状ワークのサイズの変更に対応可能な位置決め機構の第二例である。仮置き手段20eは円柱形状の側面支持部22aを複数備えている。仮置き手段20eにおいては、仮置きテーブルベース21の上面に側面支持部22aを取り付け固定するための側面支持部固定孔27aが放射状に複数形成されている。側面支持部22aは、板状ワークのサイズの変更に合わせてそれぞれの側面支持部固定孔27aに差し込むことができる。いずれの側面支持部固定孔27に側面支持部22aが固定されたとしても、仮置きテーブル23の中心から2つの側面支持部22aの中心同士を結ぶ線220eへの垂線230eの方向に向けて下方に傾いている。したがって、この仮置き手段20eにおいても図9に示した仮置き手段20dと同様に、異なる形状及びサイズの板状ワークに対応して、それぞれの板状ワークの中心合わせをすることができる。以上説明したいずれの例においても、上方に吹き上げられた空気によって板状ワークが上方に浮上し、仮置きテーブル23の傾きに沿って板状ワークが下降し、側面支持部と板状ワークの側面とが接触して板状ワークが一定の位置に支持されるため、板状ワークの中心合わせをするための駆動軸が不要となり、板状ワークの中心と加工テーブルの中心とを合わせる位置合わせを容易に行うことができる。このようにして仮置き手段において一定の位置に板状ワークが位置決めされると、その後、図1に示した搬送手段30によって加工テーブル6に板状ワークが搬送された際に、加工テーブル6の所定の位置において板状ワークを保持することができる。なお、図2~図10に示した位置決め機構は、図1に示した加工装置1以外の各種加工装置にも搭載することができる