一般式:Si6zAlzOzN8z0<z≦4.2で示されるβ型サイアロンにEuを固溶したβ型サイアロンの製造方法であって、Si、Al、Euを含有する原料混合粉末を窒素雰囲気中で焼成する第一加熱工程と、得られた焼成物を不活性ガス雰囲気中又は真空中で熱処理する第二加熱工程と、第二加熱工程後にフッ化水素酸と硝酸の混酸溶液中、60°Cを超え100°C以下の温度範囲で酸処理を行う工程とからなるβ型サイアロンの製造方法。前記混酸溶液が、濃フッ化水素酸及び濃硝酸を混合したものである請求項1記載のβ型サイアロンの製造方法。前記混酸溶液が、濃フッ化水素酸及び濃硝酸を混合して希釈したものであって、希釈率が25以上である請求項1記載のβ型サイアロンの製造方法。本発明の目的は、さらに高い発光効率を再現性よく実現できるEuを固溶したβ型サイアロンの製造方法を提供することにある。本発明は、酸処理工程において、フッ化水素酸と硝酸との混酸溶液を使用した場合、混酸溶液濃度を低くすると、得られた蛍光体の発光強度が低くなるが、高い温度では発光強度が高くなるという新たな知見に基づくものである。この知見は、特許文献1に記載された混酸溶液の濃度が濃いとEuを固溶したβ型サイアロンが溶解するので好ましくない及び混酸処理温度は低いほうが良いという開示と相反する結果である。本発明は、一般式:Si6zAlzOzN8z0<z≦4.2で示されるβ型サイアロンにEuを固溶したβ型サイアロンの製造方法であって、Si、Al、Euを含有する原料混合粉末を窒素雰囲気中で焼成する第一加熱工程と、得られた焼成物を不活性ガス雰囲気中又は真空中で熱処理する第二加熱工程と、第二加熱工程後にフッ化水素酸と硝酸の混酸溶液中、60°Cを超え100°C以下の温度範囲で酸処理する工程を有する。本発明の方法により、高い発光効率を有するEuを固溶したβ型サイアロンを再現性よく製造することができる。本発明は、Si、Al、Euを含有する原料混合粉末を窒素雰囲気中で焼成する第一加熱工程と、得られた焼成物を不活性ガス雰囲気中又は真空中で熱処理する第二加熱工程と、第二加熱工程後にフッ化水素酸と硝酸の混酸溶液中、60°Cを超え100°C以下の温度範囲で酸処理する工程とからなる、Euを固溶したβ型サイアロンの製造方法である。Si、Al、Euを含有する原料混合粉末とは、酸化ケイ素及び/又は酸化アルミニウムと、窒化ケイ素と、窒化アルミニウムと、ユーロピウムの金属、酸化物、炭酸塩、窒化物又は酸窒化物から選ばれるユーロピウム化合物とを混合した粉末である。Si、Alを含有する原料は、一般式:Si6zAlzOzN8z0<z≦4.2を満たすように配合する。Eu含有量は、0.1質量以上3質量以下の範囲であることが好ましい。Eu含有量が上記の範囲内であれば発光輝度を十分に得ることができる。Si、Al、Euを含有する原料を混合する場合、乾式混合する方法、原料各成分と実質的に反応しない不活性溶媒中で湿式混合した後に溶媒を除去する方法などがあり、本発明では何れの方法も適用できる。混合装置としては、V型混合機、ロッキングミキサー、ボールミル、振動ミルがある。原料混合粉末を必要に応じて乾燥後、少なくとも当該原料が接する面を窒化ホウ素とした坩堝等の容器内に充填し、窒素雰囲気中で加熱する。混合した原料混合粉末を窒素雰囲気下、1820°C以上2200°C以下、好ましくは1850°C以上2050°C以下の温度範囲で加熱して焼成する以降、第一加熱工程という。加熱温度が低いと、Euがβ型サイアロン結晶中に入り込むことができず、加熱温度を必要以上に高くすると、高い窒素圧力をかけてEu固溶β型サイアロンの分解を抑制する必要がある。焼成における圧力条件は、0.5MPa以上10MPa以下が好ましい。加熱時間は一般的に10時間~20時間である。原料混合粉末として窒化ケイ素を用いる代わりに、Siを含有する金属粉末であっても良い。この場合、Siを含有する金属粉末を第一加熱工程の前に窒化処理しておくことが必要である。Siを含有する金属粉末の窒化反応は、1400°C以上1600°Cの温度で進行するため、第一加熱工程の前にSiを含有する金属粉末を窒素雰囲気下、上記温度範囲で加熱してSiをSi3N4に変換する。次に、第一加熱工程の後、さらに、得られた焼成物を真空中又は窒素ガス以外のガス雰囲気中で加熱する以降、第二加熱工程という。。この第二加熱工程は、焼成物中に残存する低結晶性部分を更に不安定にするための処理である。第二加熱工程処理により不安定になった低結晶相は、後述する混酸溶液処理によって除去される。低結晶性部分を不安定化するためには、低結晶性部分を構成する元素である窒素と酸素を極力含まない雰囲気中で焼成物を加熱処理することが望ましい。第二加熱工程を窒素ガス以外のガス雰囲気中で行う場合、排気工程後、加熱炉内に不活性ガスを充填する以降、導入工程という。。不活性ガスはヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン、水素から選ばれるガスであり、好ましくはアルゴン、水素である。第二加熱工程において、焼成物は、真空中1200°C以上1550°C以下の温度範囲又は不活性ガス雰囲気中1300°C以上1550°C以下の温度範囲で加熱される。加熱温度がこの温度範囲内であれば、Eu固溶β型サイアロンの分解を抑制することができる。第二加熱工程後、酸処理工程に進む。この酸処理工程では、第二加熱工程により得られた焼成物を粉砕し、粉砕焼成物をフッ化水素酸と硝酸の混酸溶液に分散させ、60°Cを超えた温度範囲で攪拌する。酸処理工程は、酸性の液体中に浸すことにより、不安定化させた低結晶性部分を除去する工程である。酸処理の温度は、60°Cを超え100°C以下の温度範囲である。過度に低温度であるとEu固溶のβ型サイアロンの発光強度が低下する。フッ化水素酸と硝酸の混合溶液は、約50濃度のフッ化水素酸と約70濃度の硝酸とを混合したもの以降、混合原液という。又はその混合原液を希釈したもの以下、混合原液を希釈したものを混酸溶液という。であってもよい。混合原液を希釈した溶液の濃度は、25以上100未満が好ましく、さらに好ましくは25以上50である。高濃度のフッ化水素酸及び硝酸の混合溶液を希釈するのではなく、希釈された低濃度のフッ化水素酸及び硝酸を混合してもよい。フッ化水素酸と硝酸の混合比は、約50濃度のフッ化水素酸と約70濃度の硝酸を混合する場合は、1~9:9~1の比率が好ましく、特に好ましくは3~7:7~3である。前記混合溶液は、濃フッ化水素酸及び濃硝酸を混合したものが好ましい。濃フッ化水素酸とはその濃度が40以上60以下、濃硝酸とは、その濃度が55以上75以下のものをいう。以下、本発明の実施例について、表1を参照しつつ詳細に説明する。表1は、後述する実施例1~7及び比較例1、2の処理条件と発光特性を示したものである。α型窒化ケイ素粉末宇部興産社製SN-E10グレード、酸素含有量1.1質量、β相含有量4.5質量95.4質量、窒化アルミニウム粉末トクヤマ社製Fグレード、酸素含有量0.8質量3.0質量、酸化アルミニウム粉末大明化学社製TM-DARグレード0.74質量、酸化ユーロピウム粉末信越化学工業社製RUグレード0.71質量を配合し、原料混合物600gを得た。得られた原料混合物をロッキングミキサー愛知電機社製RM-10により60分間乾式で混合し、更に目開き150μmのステンレス製篩を全通させて原料粉末を得た。得られた原料粉末を内寸で直径10cm×高さ9cm×厚さ0.5cmの蓋付きの円筒型窒化ホウ素製容器電気化学工業社製N-1グレードに170g充填し、カーボンヒーターの電気炉で第一の加熱工程として、0.9MPaの加圧窒素雰囲気中、1950°Cで15時間の焼成を行った。得られた焼成物を解砕し、目開き45μmの篩を通して粉末を得た。得られた粉末を内寸で直径6cm×高さ3.5cm×厚さ0.5cmの蓋付きの円筒型窒化ホウ素製容器電気化学工業社製N-1グレードに20g充填し、カーボンヒーターの電気炉で、第二の加熱工程として、真空中、1400°Cで8時間の加熱処理を行った。50濃度のフッ化水素酸HF25ml及び70濃度の硝酸HNO325mlを混合して混合原液とした。混合原液に蒸留水150mlを加え、混合原液の濃度を25に希釈し、HFHNO3水溶液200mlを調整した。第二の加熱工程後の粉末5gを投入し、HFHNO3水溶液を70°Cに保ちながら1時間の酸処理を行った。酸処理後の粉末は、蒸留水にて十分に酸を洗い流して濾過し、乾燥させた後、目開き45μmの篩を通して実施例1の蛍光体粉末を得た。次に、実施例1の蛍光体粉末に対して積分球を用いて全光束発光スペクトル測定を行った参考文献:照明学会誌、第83巻第2号平成11年p87-93、NBS標準蛍光体の量子効率の測定、大久保和明他、著。励起光には、分光したキセノンランプ光源を使用した。製造されたβ型サイアロンの評価は、表1にあるように、光吸収率、内部量子効率、外部量子効率の発光特性で行った。この評価にあっては、試料部に反射率が99の標準反射板Labsphere社、スペクトラロン登録商標をセットして励起光のスペクトルを測定し、励起波長が455nmの場合は450~465nmの波長範囲のスペクトルから励起光フォトン数Qexを算出し、次いで、試料部に蛍光体をセットして、得られたスペクトルデータから励起反射光フォトン数Qref及び蛍光フォトン数Qemを算出し、得られた三種類のフォトン数から、光吸収率=Qex-Qref×100、内部量子効率=Qem/Qex-Qref×100及び外部量子効率=Qem/Qex×100を求めた。励起反射光フォトン数は、励起光フォトン数と同じ波長範囲で、蛍光フォトン数は、励起光が455nmの場合、465~800nmの範囲で算出した。実施例1における発光特性は、光吸収率72.5、内部量子効率69.9、外部量子効率50.7であった。実施例2のβ型サイアロンの製造方法は、酸処理の温度を80°Cとした以外は、実施例1と同じ条件であり、光吸収率71.8、内部量子効率71.4、外部量子51.2であった。実施例3のβ型サイアロンの製造方法は、酸処理の温度を90°Cとした以外は、実施例1と同じ条件であり、光吸収率71.2、内部量子効率72.0、外部量子51.3であった。実施例4は、酸処理工程を、50濃度のフッ化水素酸HF15ml及び70濃度の硝酸HNO335mlを混合して混合原液とし、混合原液に蒸留水150mlを加え、混合原液を希釈し濃度が25となるようにHFHNO3水溶液200mlを調整した。第二の加熱工程後の粉末5gを投入し、HFHNO3水溶液を80°Cに保ちながら1時間の酸処理を行った以外、実施例1と同様に行った。実施例4の場合、光吸収率71.6、内部量子効率70.9、外部量子効率50.8であった。実施例5は、50濃度のフッ化水素酸35ml及び70濃度の硝酸15mlを混合して混合原液とした以外は実施例4と同じ条件の製造方法である。実施例5の場合、光吸収率71.7、内部量子効率71.3、外部量子効率51.1であった。実施例6は、50濃度のフッ化水素酸を50ml及び70濃度の硝酸50mlを混合して混合原液とした。混合原液に蒸留水100mlを加え、混合原液を希釈し濃度が50となるHFHNO3水溶液200mlを調整した。第二の加熱工程後の粉末5gを投入し、HFHNO3水溶液を80°Cに保ちながら1時間の酸処理を行った以外同様なものである。実施例6の場合、光吸収率74.7、内部量子効率70.0、外部量子効率52.3であった。実施例7は、実施例6の酸処理における酸に蒸留水を用いず、原液濃度100のものを100ml用いた以外は実施例6と同様に行った。実施例7では、光吸収率72.9、内部量子効率72.6、外部量子効率52.9であった。比較例1比較例1は、酸処理温度を60°Cにした以外は実施例1と同じ条件とした。光吸収率は72.0、内部量子効率は69.2、外部量子効率は49.8であった。比較例2比較例2は、酸処理温度を35°Cにした以外は実施例6と同じ条件で行った。比較例2の場合、光吸収率は73.6、内部量子効率は68.8、外部量子効率は50.6であった。実施例1、2、3と比較例1から、酸処理の温度を上げることにより、光吸収率、内部量子効率並びに外部量子効率がともに向上することがわかる。処理温度は、60°Cを超え100°C以下であればよく、70°C以上90°C以下が好ましい。実施例1~5と比較例2から、酸処理工程における混酸溶液の濃度が薄くとも、特に混合原液を希釈して濃度が25以上50の範囲では、従来例である比較例2より光吸収率、内部量子効率、外部量子効率の何れもが向上していることがわかる。比較例1及び2から、混酸溶液濃度を薄くすると発光特性が低下することがわかる。表には示さなかったが、実施例及び比較例で用いたβ型サイアロンを配合したシリコーン封止樹脂をLEDの発光面に積層した発光装置を作製した。実施例1~7のβ型サイアロンを用いた場合、発光させてから、80°C×湿度40の高温に2時間おいた後でも、発光特性の低下が見られなかった。これに対して、比較例1及び2のβ型サイアロンを用いた発光装置にあっては、発光特性の低下が見られた。