"濾布の一方の面側の空間である2次側空間を減圧しながら、前記濾布の他方の面側の空間である1次側空間に汚泥を供給して、前記濾布によって汚泥を濾過し、前記濾布の前記他方の面である1次側の面に濃縮汚泥を付着させる吸引濾過工程と、前記2次側空間を減圧するとともに、前記1次側空間に汚泥を供給するとともに加圧して、前記濾布によって汚泥を濾過し、前記濾布の前記1次側の面に付着した濃縮汚泥の上から更に濃縮汚泥を付着させる加圧濾過工程と、前記濾布の前記1次側の面に付着した濃縮汚泥を圧搾して圧搾汚泥を得る圧搾工程と、前記圧搾汚泥を濾布から剥離させる排出工程とを有する固液分離方法。前記吸引濾過工程において、前記2次側空間に流出する濾液の固形分濃度が、0.02~0.04質量になったところで、前記加圧濾過工程を開始する請求項1に記載の固液分離方法。前記吸引濾過工程において、減圧された前記2次側空間の圧力を-0.08~-0.02MPaとする請求項1又は2に記載の固液分離方法。前記加圧濾過工程において、汚泥を加圧する圧力を、0.2~0.4MPaから、0.6~1.5MPaまで、断続的に上げていく請求項1~3のいずれかに記載の固液分離方法。前記圧搾工程において、濃縮汚泥を圧搾するときの圧力を、0.2~1.8MPaとする請求項1~4のいずれかに記載の固液分離方法。前記1次側空間に供給される汚泥の固形分濃度が、0.7~2.0質量であり、前記圧搾工程おいて得られる圧搾汚泥の固形分濃度が40~45質量である請求項1~5のいずれかに記載の固液分離方法。次に本発明を実施するための形態を図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、適宜設計の変更、改良等が加えられることが理解されるべきである。本発明の固液分離方法は、濾布の一方の面側の空間である2次側空間を減圧しながら、上記濾布の他方の面側の空間である1次側空間に汚泥を供給して、上記濾布によって汚泥を濾過し、上記濾布の上記他方の面である1次側の面に濃縮汚泥初期濃縮汚泥を付着させる吸引濾過工程と、上記2次側空間を減圧するとともに、上記1次側空間に、汚泥を供給するとともに加圧して、上記濾布によって汚泥を濾過し、上記濾布の1次側の面に付着した濃縮汚泥初期濃縮汚泥の上から更に濃縮汚泥2層目濃縮汚泥を付着させる加圧濾過工程と、上記濾布の1次側の面に付着した濃縮汚泥を圧搾して圧搾汚泥を得る圧搾工程と、圧搾汚泥を上記濾布から剥離させる排出工程とを有するものである。尚、1次側空間に、汚泥を供給するとともに加圧するとは、1次側空間に、汚泥を加圧しながら供給するか、又は汚泥を供給した後に汚泥を加圧することを意味する。また、汚泥を加圧しながら供給する場合も、汚泥を供給した後に汚泥を加圧する場合も、1次側空間内が加圧され、その圧力により濾液が濾布を通過して2次側空間に押し出される状態となる。このように、本発明の固液分離方法は、吸引濾過工程において、濾布の1次側の面に濃縮汚泥を付着させ、加圧濾過工程において、1次側空間に、汚泥を、供給すると共に加圧して、上記濾布の1次側の面に付着した濃縮汚泥の上から更に濃縮汚泥を付着させつつ、先に濾布面に付着している汚泥を圧縮緻密化して濾布の濾過機能を高め、最後に、圧搾工程において、濾布の1次側の面に付着した濃縮汚泥を圧搾して圧搾汚泥を得るため、1つの固液分離装置を用いて、固形分1質量程度の汚泥を濃縮して、固形分40質量以上の汚泥とすることが可能である。1本発明の固液分離方法の一の実施形態:本発明の固液分離方法の一の実施形態を実施するための固液分離装置は、特に限定されないが、例えば、図1に示すような固液分離装置100を用いることができる。固液分離装置100は、濾布1、及び、濾布1によって内部が仕切られた濾過器本体2を有し、濾布1の一方の面側の空間であるとともに濾液が排出される空間である2次側空間5及び濾布1の他方の面側の空間であるとともに汚泥が供給される空間である1次側空間4が形成された濾過器3と、2次側空間5を減圧することができる減圧手段11と、1次側空間4に汚泥を供給することができる汚泥供給手段12と、1次側空間4に供給する汚泥を加圧することができる汚泥加圧手段13とを備えるものである。そして、固液分離装置100は、図5に示すように、1次側空間に供給された汚泥が濾布1によって濾過されたときに、濾布1の1次側空間側の面である1次側の面6に付着した濃縮汚泥を、圧搾することができる汚泥圧搾機構15を備えるものである。圧搾された濃縮汚泥は、圧搾汚泥18になる。本実施形態の固液分離方法において用いる汚泥供給手段12は、濾過器3の鉛直方向上方に配置された汚泥貯留槽12aである。これは、濾過器3の鉛直方向上方に汚泥貯留槽12aを配置することにより、重力により汚泥貯留槽12aから濾過器3に汚泥16を供給するものである。ここで、図1は、本発明の固液分離方法の一の実施形態に用いる固液分離装置を示す模式図フロー図である。図5は、本発明の固液分離方法の一の実施形態に用いる濾過器3の断面及び汚泥圧搾機構を示すとともに、圧搾工程において、濃縮汚泥が圧搾される圧搾汚泥18が形成される状態を示す模式図である。尚、図1において、汚泥貯留槽12aは、内部に貯留されている汚泥16が透けて見えるように表現されている。また、濾過器3は、内部に配設されている濾布1及び濾液透過部材27、そして濾布に付着している濃縮汚泥が透けて見えるように表現されている。また、濾液貯留槽14は、内部に貯留されている濾液19が透けて見えるように表現されている。また、図2に示すように、濾過器3は、一方の端部21に底部24を有し他方の端部22に開口部25を有する有底筒状の本体部23及び本体部23の開口部25に着脱可能に配設された蓋部26を有する濾過器本体2と、濾過器本体2を蓋部26側の空間1次側空間4と底部24側の空間2次側空間5とに仕切るように濾過器本体2に配設された濾布1と、を備えるものである。そして、蓋部26に流入口26aが形成され、底部24に排出口24aが形成されたものである。蓋部26の流入口26aには、流入ノズル26bが配設され、底部24の排出口24aには、排出ノズル24bが配設されている。濾布1は、モノフィラメントにより形成された濾布であることが好ましい。また、本実施形態の濾過器本体2は、円筒状であるがこの形状に限定されるものではない。底面が四角形等の多角形の筒状や、底面が楕円形の筒状であってもよい。ここで、図2は、本発明の固液分離方法の一の実施形態に用いる濾過器3の断面を示す模式図である。また、濾過器3の二次側空間5には、濾布1を支えるように濾液透過部材27が配設されている。濾液透過部材27は、内部を濾液が透過する構造物である。濾液透過部材27は、加圧に対して大きな変形を生じることが無い程度の剛性を有しつつ、濾液を容易に通過させることができるものである。具体的な濾液透過部材27としては、ステンレス鋼等の金属線により3次元的に形成された金網、セラミック、合成樹脂等から形成され厚さ方向に複数の貫通孔が形成された板など、を用いることができる。また、本発明の固液分離方法で固液分離を行う汚泥は、浄水場において上水水道水を作製する時に排出される汚泥であって、固形分濃度が0.7~2.0質量であることが好ましい。本発明の固液分離方法の一の実施形態について、工程毎に説明する。1-1吸引濾過工程;本実施形態の固液分離方法における吸引濾過工程は、図1~3に示すように、濾布1の一方の面2次側の面7側の空間である2次側空間5を減圧しながら、濾布1の他方の面側の空間である1次側空間4に汚泥16を供給して、濾布1によって汚泥16を濾過し、濾布1の上記他方の面である1次側の面6に濃縮汚泥17初期濃縮汚泥17aを付着させる工程である。吸引濾過工程においては、図1に示すように、汚泥16を汚泥供給手段12に供給し、汚泥供給手段12から濾過器3の一次側空間4に汚泥16を供給している。そして供給後、濾過器3の2次側空間5は、濾液貯留槽14を介して減圧手段11によって減圧されている。これにより、濾布1によって、汚泥16中の固形分が濃縮汚泥17として捕集され、濾布1を透過した濾液19が、2次側空間5を通過して、濾液貯留槽14に送られて貯留される。尚、固液分離装置100では、汚泥加圧手段13と汚泥貯留槽12aとが配管で繋がれ、汚泥貯留槽12aと濾過器3とが配管で繋がれ、濾過器3と濾液貯留槽14とが配管で繋がれ、濾液貯留槽14と減圧手段11とが配管で繋がれている。各配管及び装置には、必要に応じて、バルブ、計器類が装備されていることが好ましい。ここで、図3は、本発明の固液分離方法の一の実施形態に用いる濾過器3の断面を示すとともに、吸引濾過工程において、濾布1の一次側の面6に汚泥初期濃縮汚泥17aが付着している状態を示す模式図である。このように、本実施形態の固液分離方法は、まず、吸引濾過工程において、濾布1の一次側の面6に、初期濃縮汚泥17aを付着させるため、次の加圧濾過工程において、濾過器3の一次側空間4に、汚泥を、供給すると共に加圧しても、汚泥中の固形分が濾布1を透過して2次側空間5に漏れ出すことを抑制することができる。これは、濾布1に付着した初期濃縮汚泥17aが、濾布1と共に、汚泥中の固形分を捕集する機能を有するためである。これにより、吸引濾過工程において、通常使用されるような、ナイロンからなるモノフィラメントによって形成されるとともに開口径の大きな濾布を備えた装置濾過器3を使用した場合においても、吸引濾過工程において使用した当該装置濾過器3を用いて、加圧濾過工程における加圧濾過を行うことができる。つまり、吸引濾過と加圧濾過とを、1つの濾過器3固液分離装置100で行うことができる。吸引濾過工程において、2次側空間5に流出する濾液の固形分濃度が、0.02~0.04質量なったところで、加圧濾過工程を開始することが好ましい。0.02質量より低いと、初期濃縮汚泥17aが十分に形成されず、加圧濾過工程における加圧力によって、初期濃縮汚泥17a自体が、濾布1を通過して2次側空間5に漏れ出すことがある。0.04質量より高いと、吸引濾過工程の時間が長くなるため、汚泥を固液分離する全体時間が長くなることがある。吸引濾過工程における濾過時間が短すぎると、初期濃縮汚泥17aが十分に濾布1に付着せず、加圧濾過工程における加圧力によって初期濃縮汚泥17a自体が濾布1を通過して2次側空間5に流れ出ることがある。濾布1によって汚泥を濾過する時間が長いと、濾過時間全体が延びるという不具合を生じる。吸引濾過工程において、2次側空間5を減圧するときの圧力減圧された2次側空間5の圧力は、浄水場の汚泥を原料とする場合、-0.08~-0.02MPaゲージ圧であることが好ましい。-0.08MPaより低いと、固形分が濾布面でとどまる事無く通過して2次側空間5に流出し、濾布1の1次側の面6に初期濃縮汚泥17aが付着しない場合がある。-0.02MPaより高いと、吸引濾過工程に長時間を要することがある。尚、ゲージ圧とは、大気圧を0MPaとした圧力計に表示される圧力である。吸引濾過工程において、濾過器3の2次側空間5を減圧する減圧手段11としては、真空ポンプ等を用いることができる。また、減圧手段11としては、サイホンの原理によって濾過器3の2次側空間5を減圧する手段も好ましい態様である。尚、濾過器3の2次側空間5を減圧する減圧手段11として真空ポンプを用いた場合には図1参照、加圧濾過工程及び圧搾工程においても、濾過器3の2次側空間5を減圧するための減圧手段としては、吸引濾過工程において用いた減圧手段11を用いることが好ましい。また、濾過器3の2次側空間5を減圧する減圧手段11としてサイホンの原理による減圧手段を用いた場合には、加圧濾過工程においては、サイホンの原理による減圧手段を用いても真空ポンプを用いてもよく、圧搾工程においては、真空ポンプを用いてもよい。図2に示される、本実施形態の固液分離方法で用いる固液分離装置を構成する濾過器3の大きさは、特に限定されず、工業的な使用に際しては、浄水場や下水処理場における処理量に対応する大きさであることが好ましい。また、本体部23及び蓋部26の材質は特に限定されず、ステンレス鋼等を好適に用いることができる。また、濾布1は、モノフィラメントにより形成された濾布であることが好ましく、ポリアミド樹脂のモノフィラメントにより形成された濾布であることが更に好ましい。濾布の通気度は、20~90cm3/cm2秒であることが好ましい。濾布の通気度は、1次側から2次側に向かって濾布を通過する、単位面積単位時間当りの空気量を、測定した値である。また、汚泥供給手段は、図1に示すような、濾過器3の鉛直方向上方に配置された汚泥貯留槽12aであってもよいが、汚泥貯留槽12aと、汚泥貯留槽12a内の汚泥を濾過器3に送液するためのポンプ等とから構成されるものであってもよい。汚泥供給手段が、濾過器3の鉛直方向上方に配置された汚泥貯留槽12aである場合には、汚泥貯留槽12aから、重力によって濾過器3の一次側空間に、汚泥が供給される。また、汚泥供給手段が、汚泥貯留槽12aと、汚泥貯留槽12a内の汚泥を濾過器3に送液するためのポンプ等とから構成される場合、汚泥貯留槽12aからポンプ等を用いて汚泥を濾過器3に供給することができる。汚泥貯留槽12aの大きさは、特に限定されず、処理すべき汚泥の量等によって、適宜決定することができる。また、汚泥貯留槽12aの材質は、特に限定されないが、スチール鋼、ポリ塩化ビニル等を好適に用いることができ、スチール鋼としてはステンレス鋼を好適に用いることができる。また、汚泥貯留槽12aには、汚泥を内部に受け入れるために、汚泥貯留槽12aを設置したときの鉛直方向上方側に、汚泥受入口12bが形成されていることが好ましい。また、汚泥貯留槽12aには、汚泥を排出するために、汚泥貯留槽12aを設置したときの鉛直方向下方側に、汚泥排出口12cが形成されていることが好ましい。また、汚泥排出口12cは、汚泥貯留槽12aを設置したときの、鉛直方向に対して横方向例えば、水平方向を向く壁面汚泥貯留槽12aの壁面に形成されていてもよい。例えば、ピット方式コンクリート製の場合に、横方向を向く壁面に汚泥排出口12cが形成されることが好ましい。汚泥受入口12b及び汚泥排出口12cには、それぞれ配管が配設されていることが好ましい。汚泥供給手段が、濾過器3の鉛直方向上方に配置された汚泥貯留槽12aである場合には、汚泥排出口12cに接続された配管が、直接、濾過器3に接続されることになる。また、汚泥供給手段が、汚泥貯留槽12aと、汚泥貯留槽12a内の汚泥を濾過器3に送液するためのポンプ等とから構成される場合、汚泥排出口12cに接続された配管が、ポンプ等を介して濾過器3に接続されることになる。1-2加圧濾過工程;本実施形態の固液分離方法における加圧濾過工程は、図1、図4に示すように、2次側空間5を減圧するとともに、1次側空間4に、汚泥16を加圧しながら供給し、濾布1によって汚泥16をさらに濾過する工程である。本工程の前段の吸引濾過工程において、濾布上に濃縮汚泥が付着するため、濾液の濁度は低下するが、濾液の流量は減少することとなる。そこで、加圧して濾液の処理流量を確保するための工程である。これに加えて本工程では、濾布1の1次側の面6に付着した濃縮汚泥17初期濃縮汚泥17aの上から更に濃縮汚泥172層目濃縮汚泥17bを付着させるとともに、初期濃縮汚泥17aを圧縮してその密度を高めて緻密化して、濾布とこれに付着した濃縮汚泥により濾過機能を高める工程でもある。濾布1を透過した濾液19は、排出口24aから排出され、排出ノズル24b及び配管を通じて、濾液貯留槽14に送られ、濾液貯留槽14に貯留される。1次側空間4に、汚泥を加圧しながら供給する際には、汚泥16によって濾布1の1次側の面6の全面を加圧することが好ましい。図4は、本発明の固液分離方法の一の実施形態に用いる濾過器3の断面を示すとともに、加圧濾過工程において、濾布1の一次側の面6に汚泥濃縮汚泥17初期濃縮汚泥17a及び2層目濃縮汚泥17bが付着している状態を示す模式図である。このように、加圧濾過工程は、濾布1に初期濃縮汚泥17aが付着した状態で、汚泥を加圧濾過するため、濾布1が汚泥によって加圧されるとともに、初期濃縮汚泥17aも圧縮されて、初期濃縮汚泥17aの緻密化の程度に応じた濾過機能を果たす。これにより、濾布1がモノフィラメントであっても、固形分の漏れを防止しながら加圧濾過を行うことが可能となる。また、加圧濾過工程によって、固形分濃度9~16質量の濃縮汚泥を得ることができる。濾布1に初期濃縮汚泥17aが付着した状態で、汚泥を加圧濾過する際に、供給する汚泥の圧力が急激に変化する上昇すると、濾布表面に形成された濃縮汚泥が濾布を通過して2次側空間に流出することがある。その場合、固形分の回収が不十分になるとともに、濃縮汚泥による固液分離が十分に行えなくなる。そのため、濾布1に初期濃縮汚泥17aが付着した状態で、汚泥を加圧濾過する際には、一回の昇圧における圧力変化を小さくし、段階的に複数回昇圧することが好ましい。これにより、固形分が2次側空間に漏れだすことを防止しながら、濾布1に付着した濃縮汚泥を緻密化することができ、最終的に高い圧力で濾過を行うことが可能となる。そして、濃縮汚泥を緻密化することが可能であるため、最終的に得られる排出する濃縮汚泥の固形分濃度を高くすることができる。加圧濾過工程においては、汚泥を加圧する圧力を、0.2~0.4MPaゲージ圧最小濾過圧力から、0.6~1.5MPaゲージ圧最大濾過圧力まで、断続的に上げていくことが好ましい。これにより、汚泥中の固形分が濾布を透過して濾液側に流出することを、より効果的に防止することができる。ここで、最小濾過圧力とは、加圧濾過工程において、汚泥を加圧するときの、最初最初の段階の圧力であって最も低い圧力のことである。最大濾過圧力とは、汚泥を加圧するときの、最後最後の段階の圧力であって最も高い圧力のことである。最小濾過圧力が、0.2MPaより低いと、固液分離にかかる時間が長くなることがある。最小濾過圧力が、0.4MPaより高いと、加圧濾過を行う際に、固形分が濾布を透過し易くなることがある。また、最大濾過圧力が、0.6MPaより低いと、固液分離にかかる時間が長くなることがある。最大濾過圧力が、1.5MPaより高いと、固形分が濾布を透過し易くなることがある。尚、汚泥を加圧する圧力を断続的に上げるとは、汚泥を加圧する圧力を階段状に上昇させることであり、一定圧力の状態一定圧力の維持と昇圧している状態昇圧操作とを交互に繰り返しながら汚泥を加圧する圧力を上げることである。また、加圧濾過工程においては、汚泥によって濾布を加圧するため、汚泥で濾過器3の1次側空間4を満たし、1次側空間内の汚泥の圧力1次側空間内の圧力を上記所定の圧力とすることが好ましい。従って、汚泥を、上記所定の圧力で、濾過器3の1次側空間4に供給することが好ましい。また、加圧濾過工程において、1次側空間内の圧力汚泥を加圧する圧力を、最小濾過圧力から最大濾過圧力まで断続的に昇圧する場合、一回の昇圧昇圧操作において上昇させる圧力は、0.2~0.7MPa上昇幅であることが好ましく、0.2~0.4MPaであることが更に好ましい。これにより、より効果的に、濾布に付着した濃縮汚泥を緻密化し、濾布からの固形分の漏れを抑制することができる。一回の昇圧で上昇させる圧力が、0.2MPaより小さいと、固液分離に要する時間が長くなることがある。一回の昇圧で上昇させる圧力が、0.7MPaより大きいと、固形分が、濾布から漏れ易くなることがある。また、一回の昇圧で上昇させる圧力は、一定の値であってもよいし、昇圧の段階によって異なってもよい。また、昇圧操作における昇圧速度MPa/分は、特に限定されないが、濾液に固形分が混入しない程度の速度とすることが好ましい。昇圧速度を速くし過ぎると、濾液に固形分が混入することがあり、また、濾布に付着した濃縮汚泥の層が崩れる可能性もあるため、好ましくない。昇圧速度としては、例えば、0.5~2分が好ましい。このような昇圧速度の範囲内において、濾液に固形分が混入したり、濾布に付着した濃縮汚泥の層が崩れたりすることがないように、適宜、昇圧速度を調整することが好ましい。そして、加圧濾過工程において、1次側空間内の圧力汚泥を加圧する圧力を、最小濾過圧力から最大濾過圧力まで断続的に上げる場合、一定圧力の状態から昇圧している状態への切り替えは、濾液の状況を確認して行うこととなる。具体的には、昇圧直後、濾液の濁度は上昇する。この濁度は時間経過とともに減少していく。この濁度低下は、初期濃縮汚泥17aの緻密化および、初期濃縮汚泥17aの上に新たな濃縮汚泥の層2層目濃縮汚泥17bが形成されることにより、これらの初期濃縮汚泥17a及び2層目濃縮汚泥17bが濾布1とともに濾過機能を果たし、新たな高い圧力においても汚泥を良好に濾過することができるような、汚泥の濾過に適した状態になったことを示す。したがって、この濁度低下により、初期濃縮汚泥17aの緻密化および、初期濃縮汚泥17aの上に新たな濃縮汚泥の層が形成されたと判断することができる。昇圧後の初期濃縮汚泥17aの緻密化および、新たな濃縮汚泥の層の形成のための時間、すなわち濁度が所定の値に低下するまでの時間は、処理すべき汚泥の組成や濃度などによって異なる。したがって、初期濃縮汚泥17aの緻密化状況や、新たな濃縮汚泥の層形成が十分であるか否かの判断は、濾液の濁度、濃度を計測して判断する。また、濁度計により濁度を計測し、濁度が一定値以下になった場合に上記判断を下してもよい。また、初期濃縮汚泥17aの緻密化および、新たな濃縮汚泥の層の形成に伴い、昇圧直後の濾液流量も変化するため、この流量変化により、初期濃縮汚泥17aの緻密化状況や、新たな濃縮汚泥の層が形成されたことの判断を行うことも可能である。これらの判断のために、一時的に濾液を濾液貯留槽14の槽外に取り出すようにしても良い。また、濁度が高い濾液が発生する時間は濾液全体から見ると微量であるためそのまま濾液貯留槽14に流入させても良い。また、通常の吸引濾過においては、濾過の進行に伴い濾布面への汚泥の付着が進み、濾過流量が低下し、汚泥の処理量が減少する。しかし、本発明の加圧濾過工程の段階的な昇圧により、付着した濃縮汚泥を濾布の一部として機能させつつ、汚泥処理量を確保できるため、従来の吸引濾過を主体とした濾過濃縮工程より短時間で所定量の汚泥を濃縮することができる。また、本発明における加圧濾過工程においては、汚泥を加圧しながら濾過を行うため、汚泥が濾布に供給される状態を維持しつつ、新な汚泥を、濾布面に先に付着している汚泥上に付着するとともに、先に付着している汚泥が圧縮されながら、濾過が行なわれる。特に、汚泥が濾布に供給される状態を維持することは、汚泥が濾布に供給されずに、濾布に付着した濃縮汚泥を機械的に加圧構造物を押し付けて加圧して、濃縮汚泥中の水分を搾り取る圧搾工程とは異なる点である。加圧濾過工程においては、1次側空間4を濾液で加圧する濾布1を濾液で加圧するとともに、2次側空間5を減圧するが、2次側空間5を減圧するときの圧力減圧された2次側空間5の圧力は、-0.08~-0.02MPaゲージ圧が好ましい。-0.02MPaより高いと、最終的に得られる圧搾汚泥の濃度が40質量未満となることがあり、また、圧搾汚泥の濃度を40質量以上に上げようとすると、長時間を要することがある。加圧濾過工程においては、図1に示すように、濾過器3の1次側空間4に供給する汚泥16を、汚泥加圧手段13によって加圧し、加圧された汚泥によって濾布11次側空間4内が加圧される。汚泥加圧手段13としては、空気、窒素等の不活性ガス等のボンベ、空気圧縮装置コンプレッサー等を用いる方式や、油圧等によりピストンで直接汚泥を圧縮する機械的な加圧方式を採用することができる。汚泥16を汚泥加圧手段13により加圧する際には、図1に示すように、汚泥加圧手段13によって汚泥が貯留された汚泥貯留槽12a内の汚泥を加圧し、加圧された汚泥貯留槽12a内の汚泥を濾過器3の1次側空間4に送り、1次側空間4内濾布を加圧することが好ましい。この場合、汚泥加圧手段13から、加圧された空気、窒素等の加圧媒体が、汚泥貯留槽12aに送られることにより、汚泥貯留槽12a内が加圧される。加圧濾過工程においては、図1に示すように、汚泥加圧手段13によって、濾過器3の1次側空間4に供給する汚泥16を加圧する際に、圧力調整手段13aによって、汚泥の圧力を調整することが好ましい。圧力調整手段13aとしては、圧力調整弁を挙げることができる。圧力調整手段13aは、汚泥加圧手段13と汚泥貯留槽12aとを繋ぐ、配管に設けられていることが好ましい。1-3圧搾工程;本実施形態の固液分離方法における圧搾工程は、図5に示すように、濾布1の1次側の面6に付着した濃縮汚泥を圧搾して圧搾汚泥18を得る工程である。加圧濾過の操作加圧濾過工程が終了した後、濾過器内に残留する汚泥を除去した後に濃縮汚泥の圧搾圧搾工程を行う。また、加圧濾過の操作加圧濾過工程により、汚泥が濾過器内に残留しない状態になる場合には、加圧濾過工程を完了させた後に、残留する汚泥を除去する操作等を行わずに、圧搾工程を開始することができる。濾過器内に残留する汚泥を除去した際には、濾過器から取り出した汚泥は、再度汚泥貯留槽に戻し、固液分離を行うことが好ましい。圧搾工程において、濃縮汚泥を圧搾するとは、汚泥を濾布に供給せずに、濾布に付着した濃縮汚泥を機械的に加圧構造物を押し付けて加圧、又は構造物で挟んで加圧して、濃縮汚泥中の水分を搾り取ることを意味する。圧搾工程においては、濃縮汚泥を圧搾するときの圧力は、0.2~1.8MPaゲージ圧であることが好ましい。更に、上記圧力範囲内において、濃縮汚泥を圧搾するときの圧力を断続的に上げながら濃縮汚泥を圧搾することが好ましい。断続的に昇圧する際には、加圧濾過工程における最大濾過圧力より高い圧力から昇圧を開始することが好ましい。濃縮汚泥を圧搾するときの圧力が、0.2MPaより低いと、圧搾汚泥の固形分濃度が高くならないことがあり、圧搾工程に長時間を要することがある。濃縮汚泥を圧搾するときの圧力が、1.8MPaより高いと、濃縮汚泥又は圧搾汚泥の一部が、濾布を透過することがある。ここで、濃縮汚泥を圧搾するときの圧力を断続的に上げるとは、濃縮汚泥を圧搾する圧力を階段状に上昇させることであり、一定圧力の状態一定圧力の維持と昇圧している状態昇圧操作とを交互に繰り返しながら、濃縮汚泥を圧搾する圧力を上げることである。また、圧搾工程において、濃縮汚泥にかける圧力を、上記のように断続的に上げる場合、加圧濾過工程における最大濾過圧力より0.2~0.4MPaだけ高い圧力最小圧搾圧力から、加圧濾過工程における最大濾過圧力より0.7~1.0MPaだけ高い圧力最大圧搾圧力まで、断続的に上げていくことが好ましい。これにより、濾布1に付着した濃縮汚泥の層を壊すことなく、それらを濾過膜として機能させた脱水を行うことが可能となる。すなわち濃縮汚泥中の固形分が濾布を透過して濾液側に流出することを、より効果的に防止することができる。ここで、最小圧搾圧力とは、圧搾工程において、濃縮汚泥を加圧するときの、最初最初の段階の圧力であって最も低い圧力のことである。最大圧搾圧力とは、濃縮汚泥を加圧するときの、最後最後の段階の圧力であって最も高い圧力のことである。最小圧搾圧力が、加圧濾過工程における最大濾過圧力より0.4MPaだけ高い圧力より高いと、濃縮汚泥を加圧する際に、固形分が濾布を透過し易くなることがある。また、本実施形態の固液分離方法においては、圧搾工程において濾過器3を上記のような高い圧力にまで昇圧するため、濾過器3は、耐圧構造であることが好ましい。また、圧搾工程において、最終的に濃縮汚泥にかける圧力を、1.5~1.8MPaとすることが、好ましい態様である。また、圧搾工程において、濃縮汚泥にかける圧力を、最小圧搾圧力から最大圧搾圧力まで断続的に上げる場合、一回の昇圧昇圧操作において上昇させる圧力は、0.2~0.4MPa上昇幅であることが好ましい。これにより、より効果的に、濾布からの固形分の漏れを抑制しながら、固形分濃度の高い圧搾汚泥を得ることができる。一回の昇圧で上昇させる圧力が、0.2MPaより小さいと、固液分離に要する時間が長くなることがある。一回の昇圧で上昇させる圧力が、0.4MPaより大きいと、固形分が、濾布から漏れ易くなることがある。また、一回の昇圧で上昇させる圧力は、一定の値であってもよいし、昇圧の段階によって異なってもよい。また、昇圧操作における昇圧速度MPa/分は、特に限定されないが、濾液に固形分が混入しない程度の速度とすることが好ましい。昇圧速度を速くし過ぎると、濾液に固形分が混入することがあり、また、濾布に付着した濃縮汚泥の層が崩れる可能性もあるため、好ましくない。昇圧速度としては、例えば、0.5~2分が好ましい。このような昇圧速度の範囲内において、濾液に固形分が混入したり、濾布に付着した濃縮汚泥の層が崩れたりすることがないように、適宜、昇圧速度を調整することが好ましい。そして、圧搾工程において、濃縮汚泥にかける圧力を、最小圧搾圧力から最大圧搾圧力まで断続的に上げる場合、一定圧力の状態から昇圧している状態への切り替えは、濾液の流量が、一定圧力の状態における初期の流量に対して15~25となったときに行うことが好ましい。圧搾工程においては、濃縮汚泥を加圧するとともに、2次側空間5を減圧することが好ましい。濃縮汚泥を加圧するとともに、2次側空間5を減圧することにより、圧搾汚泥の表面特に、濾布に接する面付近の濾液19が迅速に排出されるため、その表面がより乾燥した状態となり、圧搾汚泥を濾布から剥離させるときに、より容易に剥離させることができるようになる。2次側空間5を減圧するときの圧力減圧された2次側空間5の圧力は、-0.08~-0.02MPaゲージ圧が好ましい。-0.02MPaより高いと、圧搾汚泥の表面が乾燥し難いことがある。圧搾工程おいて得られる圧搾汚泥の固形分濃度は、40~45質量であることが好ましい。圧搾汚泥の固形分濃度が、40質量より低いと、圧搾汚泥を燃焼廃棄するときに、燃焼炉の負荷が大きくなることがある。圧搾汚泥の固形分濃度は高いほど好ましいが、本実施形態の固液分離方法では、45質量程度が上限となる。図5に示される、圧搾工程において用いられる汚泥圧搾機構15は、シリンダー部15bと、シリンダー部15b内を往復移動することができるピストン部15e及びピストン部15eの先端に配設されピストン部15eの移動方向に直交する加圧面15gを有する加圧板15fを有する加圧部15aと、シリンダー部15b内を加圧して加圧部15aを移動させる加圧手段15cと、を備えるものである。また、加圧手段15cによってシリンダー部15b内を加圧するときの圧力調整を行うために、加圧手段15cとシリンダー部15bとを繋ぐ配管に、圧力調整手段15dが取り付けられていることが好ましい。図5は、本発明の固液分離方法の一の実施形態に用いる濾過器3の断面及び汚泥圧搾機構15を示すとともに、圧搾工程において、濃縮汚泥が圧搾される状態を示す模式図である。尚、図5には、蓋部26図2参照は図示していない。圧搾工程において、上記汚泥圧搾機構15を用いる際には、蓋部26図2参照を濾過器3から取りはずすことが好ましい。また、蓋部又は蓋部の一部を、加圧部15aとして使用できるような構造にすることも好ましい態様である。汚泥圧搾機構15において、シリンダー部15b及び加圧部15aの構造及び材質は、特に限定されず、濃縮汚泥の全面を均等に、所定の圧力で加圧できるものであればよい。また、加圧手段15cは、特に限定されないが、空気圧縮装置コンプレッサー等を用いることができる。また、圧力調整手段15dとしは、特に限定されないが、圧力調整弁を挙げることができる。1-4排出工程;本実施形態の固液分離方法における排出工程は、図6に示すように、圧搾汚泥18を濾布1から剥離させる工程であり、濾布1から剥離させた圧搾汚泥18は、濾過器3から排出される。図6は本発明の固液分離方法の一の実施形態に用いる濾過器3の断面を示すとともに、排出工程において、圧搾汚泥を排出する様子を示す模式図である。尚、図6には汚泥圧搾機構15は図示していない。排出工程においては、2次側空間から1次側空間に向かって濾布1を通過するように圧縮空気を流し、当該圧縮空気によって圧搾汚泥18を濾布1から剥離させることが好ましい。また、櫛状の部材を濾過膜に沿って移動させて機械的に剥離させることも可能である。さらに、濾過器が小さく、人間の手で容易に取り扱える場合には、人間の手で圧搾汚泥を掻き出す方法、濾過器を傾斜させて圧搾汚泥を排出する方法、圧搾汚泥を濾布とともに取り出した後に濾布から剥離させたりする方法等により、圧搾汚泥を濾布から剥離させることも可能である。2本発明の固液分離方法の他の実施形態:次に、本発明の固液分離方法の他の実施形態について説明する。本発明の固液分離方法の他の実施形態を実施するための固液分離装置200図7参照は、図1に示す固液分離装置100において、濾過器3図1参照を、図8A、図8Bに示すような濾過器53に置き替えたものである。従って、本実施形態の固液分離方法は、濾過器として図8A、図8Bに示される濾過器53を使用した以外は、上記本発明の固液分離方法の一の実施形態と同様である。図7は、本発明の固液分離方法の他の実施形態に用いる固液分離装置200を示す模式図フロー図である。図8Aは、本発明の固液分離方法の他の実施形態に用いる濾過器53の断面を示す模式図である。図8Bは、本発明の固液分離方法の他の実施形態に用いる濾過器53を模式的に示す側面図である。尚、図7において、汚泥貯留槽12aは、内部に貯留されている汚泥16が透けて見えるように表現されている。また、濾過器53は、断面を示すように表現されている。また、濾液貯留槽14は、内部に貯留されている濾液19が透けて見えるように表現されている。図8A、図8Bに示される、本実施形態の固液分離方法に用いる濾過器53は、濾過器本体52が、間隔を開けて配置され内部が2次側空間55となる2つの濾液排出槽61,61と、2つの濾液排出槽61,61に挟まれるように配置されるとともに内部が1次側空間54となる濃縮槽62とを有し、2つの濾液排出槽61,61のそれぞれと濃縮槽62との境界に濾布51を1枚ずつ備えるとともに、2つの濾液排出槽61,61内に、濾布51を支えるように濾液透過部材63,63を備えるものである。そして、汚泥圧搾機構が、2つの濾液排出槽61,61が1次側空間54を狭めて互いに近づくように移動し、2枚の濾布51,51のそれぞれの1次側の面56,56に付着した濃縮汚泥を、2つの濾液排出槽61,61の間に挟んで圧搾する機構である。2つの濾液排出槽61,61は、互いに対向する壁65,65に開口部65a,65aが形成されるとともに内部が中空に形成された四角柱状の槽であり、当該開口部65a,65aを塞ぐように濾布51,51が配設されたものである。そして、濃縮槽62は、2つの濾液排出槽61,61の互いに対向する壁65,65及び濾布51,51と、2つの濾液排出槽61,61の間の空間1次側空間54を囲むように2つの濾液排出槽61,61の互いに対向する壁65,65の外縁に沿って配設された胴体部64とにより形成されている。従って、2つの濾液排出槽61,61の互いに対向する壁65,65及び濾布51,51は、濃縮槽62の一部にもなっている。また、濃縮槽62には、汚泥16を内部に流入させるための流入口71が形成されており、濾液排出槽61には、濾液19を外部に流出させるための流出口72が形成されている。また、濃縮槽62の外周を形成する胴体部64は筒状に形成されており、一方の端部が一方の濾液排出槽61の上記対向する壁65に接合され、他方の端部が他方の濾液排出槽61の上記対向する壁65に接合されて、内部に1次側空間54が形成されている。更に、胴体部64は、2つの濾液排出槽61,61を近づけるように移動させたり、2つの濾液排出槽61,61を遠ざけるように移動させたりすることができるように、伸縮可能に形成されている。また、図8A、図8Bに示すように、筒状の胴体部64の中心軸が水平方向を向くようにして、濾過器53が配置された場合における、胴体部64の鉛直方向下側に、開閉部73が形成されている。開閉部73は、吸引濾過工程、加圧濾過工程及び圧搾工程においては、閉じた状態であるが、排出工程において、2つの濾液排出槽61,61を遠ざけるように移動させて胴体部64を伸ばしたときに、開口する部分である。そして、排出工程において、圧搾汚泥が開口した開閉部73より排出される。本実施形態の固液分離方法においては、流入口71から汚泥16が濃縮槽62内1次側空間54に流入し、汚泥16が濾布51によって濾過されて、濾液19が濾液排出槽61内2次側空間55に流入し、固形分濃縮汚泥は、濾布51の1次側の面56に付着し、濾液排出槽61内2次側空間55に流入した濾液19は、流出口72から外部に流出する。以下、本発明の固液分離方法の他の実施形態について、工程毎に説明する。2-1吸引濾過工程;本実施形態の固液分離方法における吸引濾過工程は、図7~図9に示すように、まず1次側空間54に汚泥16を供給する。その後濾布51の一方の面2次側の面57側の空間である2次側空間55を減圧しながら、濾布51の他方の面側の空間である1次側空間54に汚泥16をさらに供給して、濾布51によって汚泥16を濾過し、濾布51の他方の面である1次側の面56に濃縮汚泥17初期濃縮汚泥17aを付着させる工程である。濾過器53の2次側空間55は、濾液貯留槽14を介して減圧手段11によって減圧されている。これにより、濾布51によって汚泥16中の固形分が、濃縮汚泥17初期濃縮汚泥17aとして捕集され、濾布51を透過した濾液19が、2次側空間55を通過して、濾液貯留槽14に送られて貯留される。尚、汚泥貯留槽12aと濾過器53の濃縮槽62とが配管で繋がれ、濾過器53の濾液排出槽61と濾液貯留槽14とが配管で繋がれている。各配管及び装置には、必要に応じて、バルブ、計器類が装備されていることが好ましい。ここで、図9は、本発明の固液分離方法の他の実施形態に用いる濾過器53の断面を示すとともに、吸引濾過工程において、濾布51の一次側の面56に汚泥初期濃縮汚泥17aが付着している状態を示す模式図である。このように、本実施形態の固液分離方法は、まず、吸引濾過工程において、濾布51の1次側の面56に、初期濃縮汚泥17aを付着させるため、次の加圧濾過工程において、濾過器53の一次側空間54に、汚泥16を、供給するとともに加圧しても、汚泥16中の汚泥中の固形分が濾布51を透過して2次側空間55に漏れ出すことを抑制することができる。これは、濾布51に付着した初期濃縮汚泥17aが、濾布51と共に、汚泥中の固形分を捕集する機能を有するためである。これにより、吸引濾過工程において、通常使用されるような、ナイロンからなるモノフィラメントによって形成されるとともに開口径の大きな濾布を備えた装置濾過器53を使用した場合においても、吸引濾過工程において使用した当該装置濾過器53を用いて、加圧濾過工程における加圧濾過を行うことができる。つまり、吸引濾過と加圧濾過とを、1つの濾過器53固液分離装置200で行うことができる。吸引濾過工程において、濾布によって汚泥を濾過する時間、及び2次側空間を減圧するときの圧力減圧された2次側空間の圧力は、上記本発明の固液分離方法の一の実施形態において好ましいとされた条件であることが好ましい。吸引濾過工程において、濾過器53の2次側空間55を減圧する減圧手段11としては、真空ポンプ等を用いることができる。また、図14に示すように、減圧手段11として、サイホン管74を用いてもよい。図14に示される濾過器53aは、減圧手段11としてサイホン管74を用い、サイホンの原理によって、濾過器53aの2次側空間55を減圧するものである。サイホンの原理によって減圧する場合、濾布51に付着した初期濃縮汚泥17aを壊しにくい利点がある。尚、濾過器53の2次側空間55を減圧する減圧手段11として真空ポンプを用いた場合には図7参照、加圧濾過工程及び圧搾工程においても、濾過器53の2次側空間55を減圧するための減圧手段としては、吸引濾過工程において用いた減圧手段11を用いることが好ましい。また、濾過器53aの2次側空間55を減圧する減圧手段11としてサイホン管74を用いた場合には図14参照、加圧濾過工程においては、サイホン管74を用いても真空ポンプを用いてもよく、圧搾工程においては、真空ポンプを用いることが好ましい。従って、図14に示すように、濾過器に減圧手段としてサイホン管を配設した場合でも、図7に示すような真空ポンプ等の他の減圧手段11を更に備えることが好ましい。図14は、本発明の固液分離方法の更に他の実施形態に用いる濾過器53a及び減圧手段11サイホン管74の断面を示す模式図である。また、濾布51及び汚泥供手段は、上記本発明の固液分離方法の一の実施形態において好ましいとされた、濾布1図2参照及び汚泥供給手段の条件であることが好ましい。2-2加圧濾過工程;本実施形態の固液分離方法における加圧濾過工程は、図7、図10に示すように、2次側空間55を減圧するとともに、1次側空間54に汚泥16を加圧しながら供給し、濾布51によって汚泥16を濾過し、濾布51の1次側の面56に付着した濃縮汚泥17初期濃縮汚泥17aの上から更に濃縮汚泥172層目濃縮汚泥17bを付着させるとともに、初期濃縮汚泥17aを圧縮してその密度を高めて濾過機能を高める工程である。さらに、吸引濾過工程において、濾布上に付着した濃縮汚泥により低下した濾液の流量を回復させる大きくするための工程でもある。濾布51を透過した濾液19は、流出口72から排出され、配管を通じて、濾液貯留槽14に送られ、濾液貯留槽14に貯留される。1次側空間54に濾布51を加圧しながら汚泥16を供給する際には、汚泥16によって濾布51の全面を加圧することが好ましい。図10は、本発明の固液分離方法の他の実施形態に用いる濾過器53の断面を示すとともに、加圧濾過工程において、濾布51の一次側の面56に汚泥濃縮汚泥17初期濃縮汚泥17a及び2層目濃縮汚泥17bが、複数の層を形成しながら付着している状態を示す模式図である。濃縮汚泥172層目濃縮汚泥17bは、初期濃縮汚泥17aの上に付着している。このように、加圧濾過工程は、濾布51に初期濃縮汚泥17aが付着した状態で、汚泥を濾過するため、初期濃縮汚泥17aも濾布51とともに汚泥を濾過する役割を果たし、濾布51がモノフィラメントであっても、固形分の漏れを防止しながら加圧濾過を行うことが可能となる。加圧濾過工程において、汚泥によって濾布を加圧する圧力圧力の上げ方、圧力の範囲、最小濾過圧力から最大濾過圧力まで昇圧するときの昇圧速度MPa/分、濾過器から濾液が排出される速度、最小濾過圧力から最大濾過圧力まで断続的に昇圧する場合の、一回の昇圧で上昇させる圧力、最小濾過圧力から最大濾過圧力まで断続的に昇圧する場合、昇圧の間隔1回の昇圧を終了した時から、次回の昇圧開始時までの時間及び2次側空間を減圧するときの圧力減圧された2次側空間の圧力は、上記本発明の固液分離方法の一の実施形態において好ましいとされた、それぞれの条件であることが好ましい。加圧濾過工程においては、図7に示すように、濾過器53の1次側空間54に供給する汚泥16を、汚泥加圧手段13によって加圧し、加圧された汚泥によって濾布1次側空間を加圧することが好ましい。汚泥加圧手段の条件としては、上記本発明の固液分離方法の一の実施形態において好ましいとされた条件であることが好ましい。加圧濾過工程においては、図7に示すように、汚泥加圧手段13によって、濾過器53の1次側空間54に供給する汚泥16を加圧する際に、圧力調整手段13aによって、汚泥の圧力を調整することが好ましい。圧力調整手段13aとしては、圧力調整弁を挙げることができる。圧力調整手段13aは、汚泥加圧手段13と汚泥貯留槽12aとを繋ぐ、配管に設けられていることが好ましい。2-3圧搾工程;本実施形態の固液分離方法における圧搾工程は、図11に示すように、濾布51の1次側の面56に付着した濃縮汚泥初期濃縮汚泥及び2層目濃縮汚泥を圧搾して圧搾汚泥18を得る工程である。本実施形態の固液分離方法に用いる濾過器53は、加圧濾過の操作加圧濾過工程が終了した後に、汚泥が濾過器内に残留するため、残留する汚泥を除去した後に濃縮汚泥の圧搾を行う。濾過器内に残留する汚泥を除去した際には、濾過器から取り出した汚泥は、再度汚泥貯留槽に戻し、固液分離を行うことが好ましい。1次側空間54に残留する汚泥を排出する際には、2つの濾液排出槽61,61を、互いに遠ざける方向に移動させ、濃縮槽62の胴体部64の開閉部73を開口させて、当該開口した開閉部73から排出することが好ましい。図11は、本発明の固液分離方法の他の実施形態に用いる濾過器53の断面を示すとともに、圧搾工程の一部を示す模式図である。圧搾工程において、濃縮汚泥を圧搾するときの圧力、濃縮汚泥を圧搾するときの圧力濃縮汚泥にかける圧力の上げ方等は、上記本発明の固液分離方法の一の実施形態において好ましいとされた、それぞれの条件であることが好ましい。圧搾工程においては、濃縮汚泥を加圧するとともに、2次側空間55を減圧することが好ましい。濃縮汚泥を加圧するとともに、2次側空間55を減圧することにより、圧搾汚泥の表面特に、濾布に接する面が、より乾燥した状態となり、圧搾汚泥を濾布から剥離させるときに、より容易に剥離させることができるようになる。2次側空間を減圧するときの圧力減圧された2次側空間の圧力は、上記本発明の固液分離方法の一の実施形態において好ましいとされた条件であることが好ましい。圧搾工程おいて得られる圧搾汚泥の固形分濃度は、40~45質量であることが好ましい。圧搾汚泥の固形分濃度が、40質量より低いと、圧搾汚泥を燃焼廃棄するときに、燃焼炉の負荷が大きくなることがある。圧搾汚泥の固形分濃度は高いほど好ましいが、本実施形態の固液分離方法では、45質量程度が上限となる。本実施形態の固液分離方法においては、図11に示されるように、圧搾工程において用いられる汚泥圧搾機構が、2つの濾液排出槽61,61が1次側空間54を狭めて互いに近づくように移動し、2枚の濾布51,51のそれぞれの1次側の面56,56に付着した濃縮汚泥を、2つの濾液排出槽61,61の間に挟んで圧搾する機構である。濃縮汚泥は、2枚の、2次側の面57側が濾液透過部材63で支えられた濾布51に、挟まれて圧搾される。濃縮汚泥の圧搾により排出される濾液は、濾布51を透過して1次側空間54に流入し、流出口72から排出される。また、2枚の濾布51,51に挟まれて水分濾液が搾り出された濃縮汚泥は、圧搾汚泥18になる。尚、本実施形態の固液分離方法において用いられる濾液透過部材63の条件は、上記本発明の固液分離方法の一の実施形態において好ましいとされた条件であることが好ましい。濾液排出槽61を移動させる方法としては、特に限定されないが、例えば、図13に示すように、各濾液排出槽61に配設された支持部77と、支持部77の先端が移動可能に取り付けられたガイド部76とを備える移動機構75を用いる方法が好ましい。移動機構75の個数及び取り付け位置は、特に限定されないが、各濾液排出槽61を安定して支えることができる本数及び位置であることが好ましい。図13に示すように、各濾液排出槽61に2本ずつの支持部77を、それぞれ対向する壁に取り付けることも好ましい態様である。また、支持部77を取り付ける対向する壁は、鉛直方向上側の壁と、鉛直方向下側の壁であることが好ましい。また、ガイド部76は、取り付けられた支持部77の先端が移動する方向が、全て平行になるように配置されることが好ましい。濾液排出層61には、上記のような移動機構75が配設されているため、支持部77の先端がガイド部76に沿って移動することにより、支持部77が取り付けられた濾液排出層61は支持部77と共に移動することができる。図13は、本発明の固液分離方法の他の実施形態に用いる濾過器53の断面を示す模式図である。支持部77の形状は、特に限定されないが、例えば、棒状又は板状の部材の先端に車輪が配設されたもの等を挙げることができる。支持部77の材質は、特に限定されないが、ステンレス鋼等挙げることができる。ガイド部76の形状は、特に限定されないが、支持部77の先端に車輪が配設されている場合、当該車輪によって支持部77が移動できるようなレールを有する形状であることが好ましい。2-4排出工程;本実施形態の固液分離方法における排出工程は、図12に示すように、圧搾汚泥18を濾布51から剥離させる工程であり、濾布51から剥離させた圧搾汚泥18は、濾過器53から排出される。図12は、本発明の固液分離方法の他の実施形態に用いる濾過器の断面を示すとともに、排出工程において、圧搾汚泥を排出する様子を示す模式図である。本実施形態の固液分離方法における排出工程においては、2つの濾液排出槽61,61を遠ざけるように移動させて胴体部64を伸ばし、濃縮槽62の胴体部64の鉛直方向下側に形成された開閉部73を開口させ、当該開口した開閉部73から圧搾汚泥を排出する。開閉部73は、胴体部64に形成された切り込みであることが好ましい。排出工程においては、2次側空間から1次側空間に向かって濾布51を通過するように圧縮空気を流し、当該圧縮空気によって圧搾汚泥18を濾布51から剥離させることが好ましい。以下、本発明を実施例によって更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。実施例1図1に示される固液分離装置100において濾過器として図16に示すような濾過器83を用いた、固液分離装置を作製した。濾過器83は、凹部88aが形成された第1枠体82a直方体に凹部が形成された形状及び凹部88bが形成された第2枠体82b直方体に凹部が形成された形状を有する濾過器本体82と、第1枠体82aの、凹部88aが形成された面と第2枠体82bの、凹部88bが形成された面とにより挟まれた袋状の濾布81と、を備えるものである。袋状の濾布81は、外周外縁が、第1枠体82aの、凹部88aが形成された面外縁と第2枠体82bの、凹部88bが形成された面外縁とにより挟まれることにより、中央部に閉じた空間を形成している尚、濾布を通過する、気体及び液体の移動は可能である。また、第1枠体82aの凹部88aの開口部の形状、及び第2枠体82bの凹部88bの開口部の形状は、同じ大きさの円形とした。そして、第1枠体82aの凹部88aの開口部の円形と、第2枠体82bの凹部88bの開口部の円形とが、ずれずに重なり合うようにして、第1枠体82aと第2枠体82bとが配置されるようにした。第1枠体82aの凹部88aの開口部の直径を180mmとし、第2枠体82bの凹部88bの開口部の直径を180mmとした。また、第1枠体82aの凹部88aの深さ最も深い位置の深さを、50mmとし、第2枠体82bの凹部88bの深さ圧搾用ゴム膜86までの深さを、50mmとした。図16は、実施例1で用いられる濾過器83の断面を示す模式図である。そして、第1枠体82aには、汚泥導入管87が配設され、汚泥加圧手段13図1参照と圧力調整手段13a図1参照を有する汚泥供給手段12図1参照から供給された汚泥が、流入口Cから汚泥導入管87内に流入し、汚泥導入管87を通って袋状の濾布1内に供給されるように形成されている。この供給圧力を増加させて、汚泥を加圧することにより、加圧濾過工程における汚泥加圧が行われる。また、第2枠体82bの凹部88b内には、圧搾用ゴム膜86が配設され、圧搾用ゴム膜86によって、凹部88bによる空間を、凹部88bの凹部底側の空間88baと、凹部88bの開口部側凹部88bが形成される面側の空間88bbとに分割した状態になっている。濾過器83は、濾布81と第1枠体82aの凹部88aとにより形成される空間と、濾布81と第2枠体82bの凹部88bの開口部側の空間88bbとにより形成される空間とが、2次側空間85となる。また、袋状の濾布81の袋内の空間が1次側空間84となる。また、濾過器83は、第1枠体82aと第2枠体82bとの接合面が、水平面に対して直交するように配置して使用した。濾過器83をこのように配置したときに、濾布81と第1枠体82aの凹部88aとにより形成される空間1次側空間85を減圧し、濾液を排出するために、第1枠体82aの鉛直方向下側に、1次側空間85と外部とを通じさせる流出口Aが形成されている。更に、濾布81と第2枠体82bの凹部88bの開口部側の空間88bb1次側空間85を減圧し、濾液を排出するために、第2枠体82bの鉛直方向下側に、1次側空間85と外部とを通じさせる流出口Bが形成されている。流出口A及び流出口Bは、濾液貯留槽14図1参照に繋がっている。また、圧搾工程において濾布81内の汚泥を圧搾するために、第2枠体82bの凹部88bの底側の空間88baに加圧ガスを導入するための加圧口Dが、第2枠体82bの鉛直方向上側に形成されている。圧搾工程においては、第2枠体82bの加圧口Dから凹部88bの底側の空間88baに加圧ガスを導入し、凹部88bの底側の空間88ba内を加圧して圧搾用ゴム膜86を外側に向かって膨れさせ、圧搾用ゴム膜86によって汚泥が入った濾布81を押圧し、汚泥を圧搾する。加圧口Dは、汚泥加圧手段13図1参照に繋がっている。汚泥加圧手段13図1参照としては、窒素ボンベを使用した。圧力調整手段13a図1参照としては、減圧弁を用いた。汚泥貯留槽12a図1参照としては、鉄により形成された25リットルのタンクを用いた。濾液排出槽61は鉄により形成した。濾布51としては、ナイロン製のモノフィラメントを朱子織して形成した濾布を用いた。濾液貯留槽14としては、透明な塩化ビニルにより形成されたタンクを用いた。濾液貯留槽14内を減圧するための減圧手段11図7参照としては、真空ポンプを用いた。得られた固液分離装置を用いて、浄水場において排出された固形分0.74質量の汚泥を用いて、固液分離を行った。吸引濾過工程においては、-0.033MPaゲージ圧で2次側空間を減圧しながら、汚泥を、1次側空間に60分間供給した60分間、吸引濾過を行った。加圧濾過工程においては、2次側空間を-0.033MPaゲージ圧で減圧しながら、汚泥を0.4MPaゲージ圧で加圧し、1次側空間に10分間供給した。この昇圧操作は1回実施した。圧搾工程においては、2次側空間を-0.033MPaゲージ圧で減圧しながら、第2枠体82bの加圧口Dから凹部88bの底側の空間88baに、汚泥加圧手段13図1参照からの加圧ガスを導入した。そして、導入された加圧ガスによって、第2枠体82bの凹部88bの底側の空間88ba内を加圧して、圧搾用ゴム膜86を外側に向かって膨れさせ、圧搾用ゴム膜86によって汚泥が入った濾布81を押圧し、汚泥を圧搾した。圧搾の圧力は1.5MPaゲージ圧であり、圧搾の時間は10分間とした。排出工程においては、第1枠体82aと第2枠体82bとを分離し、濾過器本体82内の圧搾汚泥を内部に有する濾布81を取り出し、圧搾汚泥を濾布から剥離させて取り出した。得られた圧搾汚泥の固形分濃度を以下の方法で測定した。結果を表1に示す。表1において、吸引濾過工程の圧力の欄は、減圧している2次側空間の圧力を示し、時間の欄は減圧濾過の時間を示す。また、加圧濾過工程の圧力の欄は、加圧している1次側空間の圧力を示し、時間の欄は、加圧濾過の時間を示す。また、圧搾工程の圧力の欄は、濃縮汚泥の圧搾に際して、濃縮汚泥に加える圧力を示し、時間の欄は、圧搾の時間を示す。また、固形分濃度の欄は、圧搾汚泥の固形分濃度を示す。尚、比較例1の固形分濃度の欄は、吸引濾過工程により得られた濃縮汚泥の固形分濃度を示す。固形分濃度乾燥前の測定対象物圧搾汚泥又は濃縮汚泥の質量乾燥前質量を測定し、乾燥機で乾燥させた後の測定対象物の質量乾燥後質量を測定し、乾燥前質量から乾燥後質量を差し引いた値を乾燥前質量で除算した値を100倍した値を固形分濃度質量とする。測定対象物の乾燥は、110°C、8時間の条件で行った。実施例2加圧濾過工程及び圧搾工程における圧力ゲージ圧及び時間を表1に示すように変化させた以外は実施例1と同様にして、汚泥の固液分離を行った。実施例1の場合と同様にして、上記方法で、圧搾汚泥の固形分濃度の測定を行った。結果を表1に示す。表1において、加圧濾過工程の圧力の欄の0.2-0.8は、-0.033MPaから0.2MPaまで1分間で昇圧し、0.2MPaで9分間保持し、その後0.2MPaから0.4MPaまで1分間で昇圧し、0.4MPaで9分間保持し、その後0.4MPaから0.6MPaまで1分間で昇圧し、0.6MPaで4分間、その後0.6MPaから0.8MPaまで1分間で昇圧し、0.8MPaで4分間保持する、という昇圧パターンで、連続して1次側空間を加圧したことを示す。そして、加圧濾過工程の時間の欄の30は、上記1次側空間を加圧する時間加圧濾過を行う時間が、合計で30分であることを示す。また、圧搾工程の圧力の欄の1.5-1.8は、0.8MPaから1.5MPaまで1分間で昇圧し、1.5MPaで4分間保持し、その後1.5MPaから1.8MPaまで1分間で昇圧し、1.8MPaで5分間保持するという昇圧パターンで、連続して濃縮汚泥を圧搾加圧したことを示す。そして、圧搾工程の時間の欄の10は、上記濃縮汚泥を圧搾する時間が、合計で10分であることを示す。比較例1加圧濾過工程及び圧搾工程を行わなかった以外は、実施例1と同様にして、汚泥の固液分離を行った。実施例1の場合と同様にして、上記方法で、圧搾汚泥の固形分濃度の測定を行った。結果を表1に示す。表1より、実施例1の固液分離方法により、1つの固液分離装置を用いて、固形分濃度0.74質量1質量程度の汚泥から、固形分濃度45質量の圧搾汚泥が得られたことがわかる。また、実施例2の固液分離方法により、吸引濾過工程の吸引濾過時間を10分と短くし、加圧濾過工程及び圧搾工程において、段階的に各圧力を上昇させたことにより、固液分離の合計時間が大幅に短縮されたことが分かる。また、比較例1の固液分離方法により、吸引濾過工程だけでは、濃縮汚泥の固形分濃度は、あまり上がらないことがわかる。実施例3固液分離に使用する汚泥の固形分濃度を1.2質量とし、吸引濾過工程、加圧濾過工程及び圧搾工程の条件を以下のように変更した以外は、実施例1と同様にして、汚泥の固液分離を行った。吸引濾過工程においては、2次側空間の圧力を-0.025MPaゲージ圧とし、濾過時間を10分とした吸引濾過工程の条件。加圧濾過工程においては、2次側空間の圧力を-0.025MPaゲージ圧で維持するとともに、1次側空間を0.20MPaゲージ圧で30分間加圧した後に0.39MPaゲージ圧で20分間加圧した加圧濾過工程の条件。圧搾工程においては、2次側空間の圧力を-0.025MPaゲージ圧で維持するとともに、1次側空間を1.5MPaゲージ圧で10分間加圧した圧搾工程の条件。濾過時間と2次側空間に排出された濾液量との関係を図15に示す。図15は、実施例3,4の固液分離方法における、濾過時間と濾液量との関係を示すグラフである。実施例4固液分離に使用する汚泥の固形分濃度を1.2質量とし、吸引濾過工程、加圧濾過工程及び圧搾工程の条件を以下のように変更した以外は、実施例1と同様にして、汚泥の固液分離を行った。吸引濾過工程においては、2次側空間の圧力を-0.025MPaゲージ圧とし、濾過時間を90分とした吸引濾過工程の条件。加圧濾過工程においては、2次側空間の圧力を-0.025MPaゲージ圧で維持するとともに、1次側空間を0.39MPaゲージ圧で10分間加圧した加圧濾過工程の条件。圧搾工程においては、2次側空間の圧力を-0.025MPaゲージ圧で維持するとともに、1次側空間を1.5MPaゲージ圧で16分間加圧した圧搾工程の条件。濾過時間と2次側空間に排出された濾液量との関係を図15に示す。図15より、実施例3の固液分離方法では、70分程度で3.5kgの濾液を排出しているのに対し、実施例4の固液分離方法では、110分程度で3.5kgの濾液を排出していることが分かる。これより、本発明の固液分離方法では、吸引濾過工程を10分程度と短くして、加圧濾過工程に切り替えることにより、短時間で汚泥の固液分離を行うことができることが分かる。実施例3と実施例4との違いは、主として、実施例3においては、10分間の吸引濾過の後に40分間の加圧濾過を行ったところ合計50分で濾液量が3kgに達しているのに対し、実施例4においては、吸引濾過を90分間行ったところで濾液量が3kgに達した点である。つまり、吸引濾過工程を長時間続けるよりも、吸引濾過工程を短時間で終了させて、加圧濾過工程に切り替えるほうが、濾過時間を大幅に短縮できるのである。"