基板材と、前記基板材の第1の面に設けられた反射膜と、前記基板材の第1の面と異なる第2の面に設けられた複数の第1の突起部とを含むミラーと、前記複数の第1の突起部をそれぞれ支持する複数の支持部であって、前記複数の第1の突起部をガイドするための複数の溝がそれぞれ形成された前記複数の支持部と、前記複数の第1の突起部を、前記複数の支持部の溝に向けてそれぞれ押し付ける複数のクランプ部と、を備えるミラー装置。前記ミラーに設けられた3つの第1の突起部をそれぞれ支持する3つの支持部を備える、請求項1記載のミラー装置。前記ミラーは皿状もしくは円盤状の形状であり、前記複数の溝は、前記ミラーの回転対称軸に対して放射状に形成されている、請求項1記載のミラー装置。前記複数の溝の各々は、互いに逆向きの傾斜を有する一対の斜面を有し、前記複数の第1の突起部の各々は、前記一対の斜面に対してそれぞれ点接触する球面部を有する、請求項1記載のミラー装置。前記複数の第1の突起部の各々は、前記ミラーの前記第2の面に一部を嵌合された球体によって構成される、請求項1記載のミラー装置。前記複数の溝の各々は、互いに逆向きの傾斜を有する一対の斜面を有し、前記複数の第1の突起部の各々は、前記ミラーの前記第2の面に一部を嵌合された球体によって構成され、前記複数のクランプ部は、前記複数の突起部をそれぞれ前記複数の溝に向かって押し付ける複数の第2の突起部を備え、前記第2の突起部が前記第1の突起部を押し付ける力点は、前記一対の斜面が前記球体に接触する2点と、且つ前記球体の中心を通る面上に位置する、請求項1記載のミラー装置。前記ミラーの前記第2の面は前記第1の面の反対の面であり、前記ミラーの前記第2の面に交差する第3の面に、前記複数の第2の突起部が配置される複数の穴が形成されている、請求項6記載のミラー装置。前記複数の穴の中面に、前記複数の第2の突起部をそれぞれ位置決めする複数の窪みが形成され、前記窪みの内面と前記第2の突起部が接触する点は、前記一対の斜面が前記球体に接触する2点と、前記球体の中心とを通る面上に位置する、請求項7記載のミラー装置。基板材と、前記基板材の第1の面に設けられた反射膜と、前記基板材の第1の面と異なる第2の面に設けられ、複数の溝がそれぞれ形成された複数のベース部材とを含むミラーと、前記複数のベース部材をそれぞれ支持する複数の支持部であって、前記複数のベース部材の溝によってガイドされる複数の突起部をそれぞれ含む前記複数の支持部と、前記複数のベース部材を、前記複数の突起部に向けてそれぞれ押し付ける複数のクランプ部と、を備えるミラー装置。前記ミラーに設けられた3つのベース部材をそれぞれ支持する3つの支持部を備える、請求項9記載のミラー装置。前記ミラーは皿状もしくは円盤状の形状であり、前記複数の溝は、前記ミラーの回転対称軸に対して放射状に形成されている、請求項9記載のミラー装置。前記複数の溝の各々は、互いに逆向きの傾斜を有する一対の斜面を有し、前記複数の突起部の各々は、前記一対の斜面に対してそれぞれ点接触する球面を有する、請求項9記載のミラー装置。前記複数の突起部は、前記複数の支持部にそれぞれ一部を埋め込まれた複数の球体によって構成される、請求項9記載のミラー装置。