"酸素イオン伝導性の緻密な固体電解質層を複数積層してなり、一端から被測定ガスを導入する被測定ガス流通部と、該被測定ガス中の特定ガス濃度の検出の基準となる基準ガスを他端から導入する基準ガス導入空間とが内部に設けられた積層体と、前記被測定ガス流通部に面する固体電解質層上に直に形成された測定電極と、前記測定電極の形成された固体電解質層の該測定電極とは反対側の面に直に形成された基準電極と、前記基準電極を覆うと共に該基準電極よりも前記積層体の他端側でのみ前記基準ガス導入空間に露出するように形成された多孔体であり、該基準ガス導入空間から前記基準電極へ前記基準ガスを導入する基準ガス導入層と、前記基準電極と前記測定電極との間に生じる起電力に基づいて前記被測定ガス中の特定ガス濃度を検出する検出手段と、前記基準電極に対して該基準電極が直に形成された固体電解質層とは反対側に形成されたヒータと、を備えたガスセンサ。請求項1に記載のガスセンサであって、前記被測定ガス流通部に面する固体電解質上に形成された内側主ポンプ電極と前記基準電極との間に生じる起電力に基づいて、前記積層体の外表面に配設された外側主ポンプ電極と該内側主ポンプ電極との間に制御電圧を印加して、前記被測定ガス流通部内の酸素濃度が所定の主ポンプ目標濃度になるよう該内側主ポンプ電極及び該外側主ポンプ電極を介して酸素の汲み出し又は汲み入れを行う主ポンプセル、を備え、前記内側主ポンプ電極は、前記測定電極と同じ固体電解質層上に直に形成されている、ガスセンサ。請求項2に記載のガスセンサであって、前記被測定ガス流通部に面する固体電解質層上に形成された内側補助ポンプ電極と前記基準電極との間に生じる起電力に基づいて、前記積層体の外表面に配設された外側補助ポンプ電極と該内側補助ポンプ電極との間に制御電圧を印加して、前記被測定ガス流通部内の酸素濃度が所定の補助ポンプ目標濃度になるよう該内側補助ポンプ電極及び該外側補助ポンプ電極を介して酸素の汲み出し又は汲み入れを行う補助ポンプセル、を備えたガスセンサ。前記内側補助ポンプ電極は、前記測定電極と同じ固体電解質層上に直に形成されている、請求項3に記載のガスセンサ。請求項3又は4に記載のガスセンサであって、前記測定電極,前記基準電極,前記内側主ポンプ電極及び前記内側補助ポンプ電極の各電極と一対一に導通し前記積層体の他端に向かって形成された複数のリード線、を備え、前記基準ガス導入空間は、前記複数の固体電解質層のうち、前記基準電極が直に形成された固体電解質層の該基準電極側の面と接する固体電解質層に形成された孔であり、前記複数のリード線は、前記測定電極,前記基準電極,前記内側主ポンプ電極及び前記内側補助ポンプ電極よりも他端側において前記積層体の一端から他端に向かう方向と垂直な断面で見たときに、前記積層体の積層方向に垂直な方向を左右方向として左右対称に配置されている、ガスセンサ。前記ヒータは、前記基準電極に対して、該基準電極が直に形成された固体電解質層の該基準電極側の面と接する固体電解質層を1枚挟んだ位置に形成されている、請求項1~5のいずれか1項に記載のガスセンサ。請求項6に記載のガスセンサであって、多孔体からなり、前記ヒータと該ヒータに隣接する固体電解質層との間に形成されて該ヒータと該固体電解質層とを絶縁するヒータ絶縁層、を備え、前記基準ガス導入空間は、前記複数の固体電解質層のうち、前記基準電極が直に形成された固体電解質層の該基準電極側の面と接する固体電解質層に形成された孔であり、前記ヒータ絶縁層は、前記基準ガス導入空間に一部が露出している、ガスセンサ。ところで、このような従来のガスセンサにおいて、測定電極と基準電極との温度差により、起電力のばらつきが大きくなるという問題があった。例えば、図6のガスセンサ300では、測定電極344についてはヒータ372からの熱が固体電解質層303,304を介して伝導する。一方、基準電極342については、多孔体からなる基準ガス導入層348によって図の上側が被覆されているためヒータ372からの熱が固体電解質層304を介しては伝導しにくく、直に接する緻密な固体電解質層303を介しては伝導しやすい。そして、このように熱の伝わり方が異なることで基準電極342と測定電極344との温度差が大きくなると、起電力のばらつきが大きくなってしまう。起電力にばらつきがあると、例えば被測定ガス流通部310の所定のガス濃度が同じであっても起電力の値が異なってしまい、所定のガス濃度の検出精度が低下する場合があった。本発明は、上述した課題に鑑みなされたものであり、ガスセンサにおいて、基準電極と測定電極との間の起電力のばらつきを小さくすることを主目的とする。本発明は、上述の目的を達成するために以下の手段を採った。本発明のガスセンサは、酸素イオン伝導性の緻密な固体電解質層を複数積層してなり、一端から被測定ガスを導入する被測定ガス流通部と、該被測定ガス中の特定ガス濃度の検出の基準となる基準ガスを他端から導入する基準ガス導入空間とが内部に設けられた積層体と、前記被測定ガス流通部に面する固体電解質層上に直に形成された測定電極と、前記測定電極の形成された固体電解質層の該測定電極とは反対側の面に直に形成された基準電極と、前記基準電極を覆うと共に該基準電極よりも前記積層体の他端側でのみ前記基準ガス導入空間に露出するように形成された多孔体であり、該基準ガス導入空間から前記基準電極へ前記基準ガスを導入する基準ガス導入層と、前記基準電極と前記測定電極との間に生じる起電力に基づいて前記被測定ガス中の特定ガス濃度を検出する検出手段と、前記基準電極に対して該基準電極が直に形成された固体電解質層とは反対側に形成されたヒータと、を備えたものである。このガスセンサでは、基準電極が、測定電極の形成された緻密な固体電解質層の測定電極と反対側の面に直に形成されている。すなわち、基準電極と測定電極とが同じ固体電解質層に直に形成されている。このため、基準電極と測定電極とは、共に同じ固体電解質層を介してヒータからの熱が伝導する。また、基準電極が多孔体である基準ガス導入層に覆われているため、基準電極が直に形成された緻密な固体電解質層を介してのヒータから基準電極への熱伝導と比べて、基準ガス導入層を介してのヒータから基準電極への熱伝導は少ない。これらにより、例えば図6に示したガスセンサ300のように基準電極と測定電極とが異なる固体電解質層上に形成されており基準電極と測定電極との間に固体電解質層だけでなく基準ガス導入層も存在する構成のガスセンサと比較して、ヒータからの熱による基準電極と測定電極との温度差が生じにくくなり、基準電極と測定電極との間に生じる起電力のばらつきを小さくできる。本発明のガスセンサにおいて、前記被測定ガス流通部に面する固体電解質上に形成された内側主ポンプ電極と前記基準電極との間に生じる起電力に基づいて、前記積層体の外表面に配設された外側主ポンプ電極と該内側主ポンプ電極との間に制御電圧を印加して、前記被測定ガス流通部内の酸素濃度が所定の主ポンプ目標濃度になるよう該内側主ポンプ電極及び該外側主ポンプ電極を介して酸素の汲み出し又は汲み入れを行う主ポンプセル、を備え、前記内側主ポンプ電極は、前記測定電極と同じ固体電解質層上に直に形成されているものとしてもよい。こうすれば、基準電極と内側主ポンプ電極との温度差が生じにくくなり、両電極間に生じる起電力のばらつきを小さくできる。この場合において、前記被測定ガス流通部に面する固体電解質層上に形成された内側補助ポンプ電極と前記基準電極との間に生じる起電力に基づいて、前記積層体の外表面に配設された外側補助ポンプ電極と該内側補助ポンプ電極との間に制御電圧を印加して、前記被測定ガス流通部内の酸素濃度が所定の補助ポンプ目標濃度になるよう該内側補助ポンプ電極及び該外側補助ポンプ電極を介して酸素の汲み出し又は汲み入れを行う補助ポンプセル、を備えるものとしてもよい。上述した主ポンプセル及び補助ポンプセルを備える態様のガスセンサにおいて、前記内側補助ポンプ電極は、前記測定電極と同じ固体電解質層上に直に形成されていてもよい。こうすれば、基準電極と内側補助ポンプ電極との温度差が生じにくくなり、両電極間に生じる起電力のばらつきを小さくできる。上述した主ポンプセル及び補助ポンプセルを備える態様のガスセンサにおいて、前記測定電極,前記基準電極,前記内側主ポンプ電極及び前記内側補助ポンプ電極の各電極と一対一に導通し前記積層体の他端に向かって形成された複数のリード線、を備え、前記基準ガス導入空間は、前記複数の固体電解質層のうち、前記基準電極が直に形成された固体電解質層の該基準電極側の面と接する固体電解質層に形成された孔であり、前記複数のリード線は、前記測定電極,前記基準電極,前記内側主ポンプ電極及び前記内側補助ポンプ電極よりも他端側において前記積層体の一端から他端に向かう方向と垂直な断面で見たときに、前記積層体の積層方向に垂直な方向を左右方向として左右対称に配置されているものとしてもよい。こうすれば、リード線が左右対称に配置されているため、左右非対称に配置された場合と比較して、リード線と固体電解質層との熱膨張係数の違いに起因する積層体の左右方向の反りが低減される。本発明のガスセンサにおいて、前記ヒータは、前記基準電極に対して、該基準電極が直に形成された固体電解質層の該基準電極側の面と接する固体電解質層を1枚挟んだ位置に形成されていてもよい。こうすれば、基準電極とヒータとの間に2枚以上の固体電解質層があるものと比較して、ヒータと基準電極,測定電極との距離が近くなるため、基準電極と測定電極との温度差が生じにくくなる。この場合において、多孔体からなり、前記ヒータと該ヒータに隣接する固体電解質層との間に形成されて該ヒータと該固体電解質層とを絶縁するヒータ絶縁層、を備え、前記基準ガス導入空間は、前記複数の固体電解質層のうち、前記基準電極が直に形成された固体電解質層の該基準電極側の面と接する固体電解質層に形成された孔であり、前記ヒータ絶縁層は、前記基準ガス導入空間に一部が露出しているものとしてもよい。こうすれば、基準ガス導入空間がヒータの圧力放散孔の役割も果たすため、圧力放散孔を別に形成する必要がなくなる。すなわち、多孔体からなるヒータ絶縁層は、ヒータからの熱により多孔体の孔内の気体が膨張して内圧が上昇することがあるが、ヒータ絶縁層が基準ガス導入空間に露出していることでこの多孔体内部の気体を基準ガス導入空間に逃がして、内圧上昇を緩和することができる。次に、本発明の実施の形態の一例であるガスセンサ100の概略構成について説明する。図1は、ガスセンサ100の構成の一例を概略的に示した断面模式図である。このガスセンサ100は、被測定ガス中のNOx濃度を検出するセンサ素子101を備えている。センサ素子101は、それぞれがジルコニアZrO2等の酸素イオン伝導性固体電解質層からなる第1基板層1と、第2基板層2と、第3基板層3と、第1固体電解質層4と、スペーサ層5と、第2固体電解質層6との6つの層が、図面視で下側からこの順に積層された構造を有する素子である。また、これら6つの層を形成する固体電解質は緻密な気密のものである。係るセンサ素子101は、例えば、各層に対応するセラミックスグリーンシートに所定の加工および回路パターンの印刷などを行った後にそれらを積層し、さらに、焼成して一体化させることによって製造される。センサ素子101の一端図1の左側であって、第2固体電解質層6の下面と第1固体電解質層4の上面との間には、ガス導入口10と、第1拡散律速部11と、緩衝空間12と、第2拡散律速部13と、第1内部空所20と、第3拡散律速部30と、第2内部空所40とが、この順に連通する態様にて隣接形成されてなる。ガス導入口10と、緩衝空間12と、第1内部空所20と、第2内部空所40とは、スペーサ層5をくり抜いた態様にて設けられた上部を第2固体電解質層6の下面で、下部を第1固体電解質層4の上面で、側部をスペーサ層5の側面で区画されたセンサ素子101内部の空間である。第1拡散律速部11と、第2拡散律速部13と、第3拡散律速部30とはいずれも、2本の横長の図面に垂直な方向に開口が長手方向を有するスリットとして設けられる。なお、ガス導入口10から第2内部空所40に至る部位を被測定ガス流通部とも称する。また、被測定ガス流通部よりも一端側から遠い位置には、第2基板層2の上面と、第1固体電解質層4の下面との間であって、側部を第3基板層3の側面で区画される位置に基準ガス導入空間43が設けられている。基準ガス導入空間43には、NOx濃度の測定を行う際の基準ガスとして、例えば大気が導入される。大気導入層48は、多孔質アルミナからなり、基準ガス導入空間43に露出している層である。この大気導入層48には基準ガス導入空間43を通じて基準ガスが導入されるようになっている。また、大気導入層48は、基準電極42を被覆するように形成されている。この大気導入層48は、基準ガス導入空間43内の基準ガスに対して所定の拡散抵抗を付与しつつこれを基準電極42に導入する。大気導入層48は多孔体であるため、緻密な第1固体電解質層4や第3基板層3と比べて熱伝導率が低くなっている。なお、大気導入層48は、基準電極42よりもセンサ素子101の他端側図1の右側でのみ基準ガス導入空間43に露出するように形成されている。このため、例えば基準ガス導入空間43が図1における基準電極42の真下まで形成されているような場合と比較して、基準ガス導入空間43から基準電極42までの基準ガスの経路が長くなり、大気導入層48によって基準ガスに所定の高い拡散抵抗を付与しやすくなっている。ここで、基準ガスに付与される拡散抵抗が高いほど、基準電極42に到達する基準ガスに含まれる酸素の量が少なくなる。そのため、所定の高い拡散抵抗を付与することで、後述するように基準電極42を用いて被測定ガス流通部内の酸素濃度酸素分圧を測定するにあたり、被測定ガス流通部内のわずかな酸素濃度の変化を検出しやすくなり、検出感度を向上させることができる。また、例えば基準ガス導入空間43が図1における基準電極42の真下まで形成されているような場合には、基準ガスによって基準電極42が被毒しやすくなるが、本実施形態ではこれを防止することができる。基準電極42は、第3基板層3の上面と第1固体電解質層4とに挟まれる態様にて形成される電極であり、上述のように、その周囲には、基準ガス導入空間43につながる大気導入層48が設けられている。なお、基準電極42は、第1固体電解質層4の下面に直に形成されており、第1固体電解質層4の下面に接する部分以外が大気導入層48に覆われている。また、後述するように、基準電極42を用いて第1内部空所20内や第2内部空所40内の酸素濃度酸素分圧を測定することが可能となっている。被測定ガス流通部において、ガス導入口10は、外部空間に対して開口してなる部位であり、該ガス導入口10を通じて外部空間からセンサ素子101内に被測定ガスが取り込まれるようになっている。第1拡散律速部11は、ガス導入口10から取り込まれた被測定ガスに対して、所定の拡散抵抗を付与する部位である。緩衝空間12は、第1拡散律速部11より導入された被測定ガスを第2拡散律速部13へと導くために設けられた空間である。第2拡散律速部13は、緩衝空間12から第1内部空所20に導入される被測定ガスに対して、所定の拡散抵抗を付与する部位である。被測定ガスが、センサ素子101外部から第1内部空所20内まで導入されるにあたって、外部空間における被測定ガスの圧力変動被測定ガスが自動車の排気ガスの場合であれば排気圧の脈動によってガス導入口10からセンサ素子101内部に急激に取り込まれた被測定ガスは、直接第1内部空所20へ導入されるのではなく、第1拡散律速部11、緩衝空間12、第2拡散律速部13を通じて被測定ガスの濃度変動が打ち消された後、第1内部空所20へ導入されるようになっている。これによって、第1内部空間へ導入される被測定ガスの濃度変動はほとんど無視できる程度のものとなる。第1内部空所20は、第2拡散律速部13を通じて導入された被測定ガス中の酸素分圧を調整するための空間として設けられている。係る酸素分圧は、主ポンプセル21が作動することによって調整される。主ポンプセル21は、第1内部空所20に面する第2固体電解質層6の下面のほぼ全面に設けられた天井電極部22aを有する内側ポンプ電極22と、第2固体電解質層6の上面の天井電極部22aと対応する領域に外部空間に露出する態様にて設けられた外側ポンプ電極23と、これらの電極に挟まれた第2固体電解質層6とによって構成されてなる電気化学的ポンプセルである。内側ポンプ電極22は、第1内部空所20を区画する上下の固体電解質層第2固体電解質層6および第1固体電解質層4、および、側壁を与えるスペーサ層5にまたがって形成されている。具体的には、第1内部空所20の天井面を与える第2固体電解質層6の下面には天井電極部22aが形成され、また、底面を与える第1固体電解質層4の上面には底部電極部22bが直に形成され、そして、それら天井電極部22aと底部電極部22bとを接続するように、側部電極部図示省略が第1内部空所20の両側壁部を構成するスペーサ層5の側壁面内面に形成されて、該側部電極部の配設部位においてトンネル形態とされた構造において配設されている。内側ポンプ電極22と外側ポンプ電極23とは、多孔質サーメット電極例えば、Auを1含むPtとZrO2とのサーメット電極として形成される。なお、被測定ガスに接触する内側ポンプ電極22は、被測定ガス中のNOx成分に対する還元能力を弱めた材料を用いて形成される。主ポンプセル21においては、内側ポンプ電極22と外側ポンプ電極23との間に所望のポンプ電圧Vp0を印加して、内側ポンプ電極22と外側ポンプ電極23との間に正方向あるいは負方向にポンプ電流Ip0を流すことにより、第1内部空所20内の酸素を外部空間に汲み出し、あるいは、外部空間の酸素を第1内部空所20に汲み入れることが可能となっている。また、第1内部空所20における雰囲気中の酸素濃度酸素分圧を検出するために、内側ポンプ電極22と、第2固体電解質層6と、スペーサ層5と、第1固体電解質層4と、基準電極42によって、電気化学的なセンサセル、すなわち、主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル80が構成されている。主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル80における起電力V0を測定することで第1内部空所20内の酸素濃度酸素分圧がわかるようになっている。さらに、起電力V0が一定となるように可変電源25のポンプ電圧Vp0をフィードバック制御することでポンプ電流Ip0が制御されている。これによって、第1内部空所内20内の酸素濃度は所定の一定値に保つことができる。第3拡散律速部30は、第1内部空所20で主ポンプセル21の動作により酸素濃度酸素分圧が制御された被測定ガスに所定の拡散抵抗を付与して、該被測定ガスを第2内部空所40に導く部位である。第2内部空所40は、第3拡散律速部30を通じて導入された被測定ガス中の窒素酸化物NOx濃度の測定に係る処理を行うための空間として設けられている。NOx濃度の測定は、主として、補助ポンプセル50により酸素濃度が調整された第2内部空所40において、さらに、測定用ポンプセル41の動作によりNOx濃度が測定される。第2内部空所40では、あらかじめ第1内部空所20において酸素濃度酸素分圧が調整された後、第3拡散律速部を通じて導入された被測定ガスに対して、さらに補助ポンプセル50による酸素分圧の調整が行われるようになっている。これにより、第2内部空所40内の酸素濃度を高精度に一定に保つことができるため、係るガスセンサ100においては精度の高いNOx濃度測定が可能となる。補助ポンプセル50は、第2内部空所40に面する第2固体電解質層6の下面の略全体に設けられた天井電極部51aを有する補助ポンプ電極51と、外側ポンプ電極23外側ポンプ電極23に限られるものではなく、センサ素子101と外側の適当な電極であれば足りると、第2固体電解質層6とによって構成される、補助的な電気化学的ポンプセルである。係る補助ポンプ電極51は、先の第1内部空所20内に設けられた内側ポンプ電極22と同様なトンネル形態とされた構造において、第2内部空所40内に配設されている。つまり、第2内部空所40の天井面を与える第2固体電解質層6に対して天井電極部51aが形成され、また、第2内部空所40の底面を与える第1固体電解質層4の上面には、底部電極部51bが直に形成され、そして、それらの天井電極部51aと底部電極部51bとを連結する側部電極部図示省略が、第2内部空所40の側壁を与えるスペーサ層5の両壁面にそれぞれ形成されたトンネル形態の構造となっている。なお、補助ポンプ電極51についても、内側ポンプ電極22と同様に、被測定ガス中のNOx成分に対する還元能力を弱めた材料を用いて形成される。補助ポンプセル50においては、補助ポンプ電極51と外側ポンプ電極23との間に所望の電圧Vp1を印加することにより、第2内部空所40内の雰囲気中の酸素を外部空間に汲み出し、あるいは、外部空間から第2内部空所40内に汲み入れることが可能となっている。また、第2内部空所40内における雰囲気中の酸素分圧を制御するために、補助ポンプ電極51と、基準電極42と、第2固体電解質層6と、スペーサ層5と、第1固体電解質層4とによって電気化学的なセンサセル、すなわち、補助ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル81が構成されている。なお、この補助ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル81にて検出される起電力V1に基づいて電圧制御される可変電源52にて、補助ポンプセル50がポンピングを行う。これにより第2内部空所40内の雰囲気中の酸素分圧は、NOxの測定に実質的に影響がない低い分圧にまで制御されるようになっている。また、これとともに、そのポンプ電流Ip1が、主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル80の起電力の制御に用いられるようになっている。具体的には、ポンプ電流Ip1は、制御信号として主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル80に入力され、その起電力V0が制御されることにより、第3拡散律速部30から第2内部空所40内に導入される被測定ガス中の酸素分圧の勾配が常に一定となるように制御されている。NOxセンサとして使用する際は、主ポンプセル21と補助ポンプセル50との働きによって、第2内部空所40内での酸素濃度は約0.001ppm程度の一定の値に保たれる。測定用ポンプセル41は、第2内部空所40内において、被測定ガス中のNOx濃度の測定を行う。測定用ポンプセル41は、第2内部空所40に面する第1固体電解質層4の上面であって第3拡散律速部30から離間した位置に直に設けられた測定電極44と、外側ポンプ電極23と、第2固体電解質層6と、スペーサ層5と、第1固体電解質層4とによって構成された電気化学的ポンプセルである。なお、測定電極44は、第一固体電解質層4を挟んで基準電極42に対向する位置に設けられている。測定電極44は、多孔質サーメット電極である。測定電極44は、第2内部空所40内の雰囲気中に存在するNOxを還元するNOx還元触媒としても機能する。さらに、測定電極44は、第4拡散律速部45によって被覆されてなる。第4拡散律速部45は、アルミナAl2O3を主成分とする多孔体にて構成される膜である。第4拡散律速部45は、測定電極44に流入するNOxの量を制限する役割を担うとともに、測定電極44の保護膜としても機能する。測定用ポンプセル41においては、測定電極44の周囲の雰囲気中における窒素酸化物の分解によって生じた酸素を汲み出して、その発生量をポンプ電流Ip2として検出することができる。また、測定電極44の周囲の酸素分圧を検出するために、第1固体電解質層4と、測定電極44と、基準電極42とによって電気化学的なセンサセル、すなわち、測定用ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル82が構成されている。測定用ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル82にて検出された起電力V2に基づいて可変電源46が制御される。第2内部空所40内に導かれた被測定ガスは、酸素分圧が制御された状況下で第4拡散律速部45を通じて測定電極44に到達することとなる。測定電極44の周囲の被測定ガス中の窒素酸化物は還元されて2NO→N2O2酸素を発生する。そして、この発生した酸素は測定用ポンプセル41によってポンピングされることとなるが、その際、測定用ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル82にて検出された制御電圧V2が一定となるように可変電源46の電圧Vp2が制御される。測定電極44の周囲において発生する酸素の量は、被測定ガス中の窒素酸化物の濃度に比例するものであるから、測定用ポンプセル41におけるポンプ電流Ip2を用いて被測定ガス中の窒素酸化物濃度が算出されることとなる。また、第2固体電解質層6と、スペーサ層5と、第1固体電解質層4と、外側ポンプ電極23と、基準電極42とから電気化学的なセンサセル83が構成されており、このセンサセル83によって得られる起電力Vrefによりセンサ外部の被測定ガス中の酸素分圧を検出可能となっている。このような構成を有するガスセンサ100においては、主ポンプセル21と補助ポンプセル50とを作動させることによって酸素分圧が常に一定の低い値NOxの測定に実質的に影響がない値に保たれた被測定ガスが測定用ポンプセル41に与えられる。したがって、被測定ガス中のNOxの濃度に略比例して、NOxの還元によって発生する酸素が測定用ポンプセル41より汲み出されることによって流れるポンプ電流Ip2に基づいて、被測定ガス中のNOx濃度を知ることができるようになっている。さらに、センサ素子101は、固体電解質の酸素イオン伝導性を高めるために、センサ素子101を加熱して保温する温度調整の役割を担うヒータ部70を備えている。ヒータ部70は、ヒータ電極71と、ヒータ72と、スルーホール73と、ヒータ絶縁層74と、リード線76とを備えている。ヒータ電極71は、第1基板層1の下面に接する態様にて形成されてなる電極である。ヒータ電極71を外部電源と接続することによって、外部からヒータ部70へ給電することができるようになっている。ヒータ72は、第2基板層2と第3基板層3とに上下から挟まれた態様にて形成される電気抵抗体である。ヒータ72は、リード線76及びスルーホール73を介してヒータ電極71と接続されており、該ヒータ電極71を通して外部より給電されることにより発熱し、センサ素子101を形成する固体電解質の加熱と保温を行う。また、ヒータ72は、第1内部空所20から第2内部空所40の全域に渡って埋設されており、センサ素子101全体を上記固体電解質が活性化する温度に調整することが可能となっている。ヒータ絶縁層74は、ヒータ72の上下面に、アルミナ等の絶縁体によって形成された多孔質アルミナからなる絶縁層である。ヒータ絶縁層74は、第2基板層2とヒータ72との間の電気的絶縁性、および、第3基板層3とヒータ72との間の電気的絶縁性を得る目的で形成されている。なお、ヒータ絶縁層74は、図示するように一部が基準ガス導入空間43に露出している。なお、図1では図示を省略したが、測定電極44,基準電極42,内側ポンプ電極22,外側ポンプ電極23,補助ポンプ電極51の各電極は、センサ素子101の他端図1における右側に向かって形成された複数のリード線と一対一に導通している。このリード線を介して各電極に電圧又は電流を印加したり各電極の電圧や電流を測定したりすることができるようになっている。このリード線のセンサ素子101における配置を図2に示す。図2は、図1のA-A断面図である。図2において、リード線91は外側ポンプ電極23と導通するリード線であり、リード線92は内側ポンプ電極22の底部電極部22bと導通するリード線であり、リード線93は補助ポンプ電極51の底部電極部51bと導通するリード線であり、リード線94は測定電極44と導通するリード線であり、リード線95は基準電極42と導通するリード線である。図2からわかるように、リード線91~95は、積層体の積層方向に垂直な方向を左右方向として左右対称に配置されている。言い換えると、リード線91~95は、図2に示した左右方向の中心軸を中心に線対称に配置されている。なお、本実施形態では、図2に示すようにヒータ部70のヒータ絶縁層74及びリード線76についても、リード線91~95と同様に左右対称に配置されている。次に、こうしたガスセンサ100のセンサ素子101の製造方法の一例を以下に説明する。まず、ジルコニアなどの酸素イオン伝導性固体電解質をセラミックス成分として含む6枚の未焼成のセラミックスグリーンシートを用意する。このグリーンシートには、印刷時や積層時の位置決めに用いるシート穴や必要なスルーホール等を予め複数形成しておく。また、スペーサ層2となるグリーンシートには被測定ガス流通部となる空間を予め打ち抜き処理などによって設けておく。第3基板層3となるグリーンシーにも、同様に基準ガス導入空間43となる空間を設けておく。そして、第1基板層1と、第2基板層2と、第3基板層3と、第1固体電解質層4と、スペーサ層5と、第2固体電解質層6のそれぞれに対応して、各セラミックスグリーンシートに種々のパターンを形成するパターン印刷乾燥処理を行う。形成するパターンは、具体的には、例えば上述した各電極や各リード線、第4拡散律速部45,大気導入層48,ヒータ部70などのパターンである。パターン印刷は、それぞれの形成対象に要求される特性に応じて用意したパターン形成用ペーストを、公知のスクリーン印刷技術を利用してグリーンシート上に塗布することにより行う。乾燥処理についても、公知の乾燥手段を用いて行う。パターン印刷乾燥が終わると、各層に対応するグリーンシート同士を積層接着するための接着用ペーストの印刷乾燥処理を行う。そして、接着用ペーストを形成したグリーンシートをシート穴により位置決めしつつ所定の順序に積層して、所定の温度圧力条件を加えることで圧着させ、一つの積層体とする圧着処理を行う。こうして得られた積層体は、複数個のセンサ素子101を包含したものである。その積層体を切断してセンサ素子101の大きさに切り分ける。そして、切り分けた積層体を所定の焼成温度で焼成し、センサ素子101を得る。このようにしてセンサ素子101を得ると、所定のハウジングに収容してガスセンサ100の本体図示せずに組み込むことで、ガスセンサ100が得られる。ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の第1基板層1,第2基板層2,第3基板層3,第1固体電解質層4,スペーサ層5及び第2固体電解質層6が本発明の積層体に相当し、測定電極44が測定電極に相当し、基準電極42が基準電極に相当し、測定用ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル82及び測定用ポンプセル41が検出手段に相当し、ヒータ72がヒータに相当し、内側ポンプ電極22が内側主ポンプ電極に相当し、外側ポンプ電極23が外側主ポンプ電極に相当し、主ポンプセル21が主ポンプセルに相当し、補助ポンプ電極51が内側補助ポンプ電極に相当し、外側ポンプ電極23が外側補助ポンプ電極に相当し、補助ポンプセル50が補助ポンプセルに相当し、リード線92~95がリード線に相当し、ヒータ絶縁層74がヒータ絶縁層に相当する。以上詳述した本実施形態のガスセンサ100によれば、基準電極42が、測定電極44の形成された第1固体電解質層4の測定電極44と反対側の面に直に形成されている。すなわち、基準電極42と測定電極44とが同じ第1固体電解質層4に直に形成されている。このため、ヒータ72からの熱は第3基板層3,第1固体電解質層4をこの順に伝導し、共に同じ第1固体電解質層4を介してヒータ72から基準電極42及び測定電極44へ熱が伝導する。また、基準電極42が多孔体である基準ガス導入層48に覆われているため、基準電極42が直に形成された第1固体電解質層4を介してのヒータ72から基準電極42への熱伝導と比べて、基準ガス導入層48を介してのヒータ72から基準電極42への熱伝導は少ない。これらにより、例えば図6に示したガスセンサ300のように基準電極と測定電極とが異なる固体電解質層上に形成されており基準電極と測定電極との間に固体電解質層だけでなく基準ガス導入層も存在する構成のガスセンサと比較して、ヒータ72からの熱による基準電極42と測定電極44との温度差が生じにくくなり、基準電極42と測定電極44との間に生じる起電力V2のばらつきを小さくできる。また、内側ポンプ電極22も測定電極44と同じ第1固体電解質層4に直に形成されているため、基準電極42と内側ポンプ電極22との温度差が生じにくくなり、基準電極42と内側ポンプ電極22との間に生じる起電力V0のばらつきを小さくできる。さらに、補助ポンプ電極51も測定電極44と同じ第1固体電解質層4に直に形成されているため、基準電極42と補助ポンプ電極51との温度差が生じにくくなり、基準電極42と補助ポンプ電極51との間に生じる起電力V1のばらつきを小さくできる。さらにまた、リード線92~95は、測定電極44,基準電極42,内側ポンプ電極22,補助ポンプ電極51よりも他端側図1における右側においてセンサ素子101の一端から他端に向かう方向と垂直な断面で見たときに、センサ素子101における積層方向に垂直な方向図2の左右方向を左右方向として左右対称に配置されている。このため、リード線が左右非対称に配置された場合と比較して、リード線92~95とセンサ素子101を構成する固体電解質層との熱膨張係数の違いに起因するセンサ素子101の左右方向の反りが低減される。すなわち、センサ素子を製造するにあたり、電極やリード線、絶縁層、抵抗発熱体等のパターンをスクリーン印刷したグリーンシートを積層した積層体を焼成する際に、固体電解質層とリード線92~95との熱膨張係数の違いによりセンサ素子101が図2の左右方向に反る場合があるが、この反り量を低減できる。そしてまた、ヒータ72は、基準電極42に対して、基準電極42が直に形成された第1固体電解質層4の基準電極42側の面下面と接する固体電解質層である第3基板層3を1枚挟んだ位置に形成されている。このため、基準電極42とヒータ72との間に2枚以上の固体電解質層があるものと比較して、ヒータ72と基準電極42,測定電極44との距離が近くなるため、基準電極42と測定電極44との温度差が生じにくくなる。そしてまた、基準ガス導入空間43は、基準電極42が直に形成された第1固体電解質層4の基準電極42側の面下面と接する固体電解質層である第3基板層3に形成された孔であり、ヒータ絶縁層74がこの基準ガス導入空間43に露出している。このため、基準ガス導入空間43が圧力放散孔の役割も果たし、圧力放散孔を別に形成する必要がなくなる。すなわち、多孔体からなるヒータ絶縁層74は、ヒータ72からの熱により多孔体の孔内の気体が膨張して内圧が上昇することがあるが、ヒータ絶縁層74が基準ガス導入空間43に露出していることでこの多孔体内部の気体を基準ガス導入空間43に逃がして、内圧上昇を緩和することができる。なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施しうることは言うまでもない。例えば、上述した実施形態では、リード線91~95,リード線76,ヒータ絶縁層74の配置は図2に示すものとしたが、測定電極44,基準電極42,内側ポンプ電極22,補助ポンプ電極51よりも他端側図1における右側においてセンサ素子101の一端から他端に向かう方向と垂直な断面で見たときに、センサ素子101における積層方向に垂直な方向図2の左右方向を左右方向としてリード線92~95が左右対称に配置されていればよい。例えば、図3に示すように配置されていてもよい。なお、図3において図2と同一の構成要素については同一の符号を付し、説明を省略する。リード線192は、内側ポンプ電極22の天井電極部22aと導通するものであり、リード線193は補助ポンプ電極51の天井電極部51aと導通するものである。また、リード線91,リード線76,ヒータ絶縁層74は、左右対称に配置されていなくとも良い。この場合でも、リード線92~95が左右対称に配置されていることによりセンサ素子101の左右方向の反りを低減する効果は得られる。上述した実施形態では、補助ポンプセル50は、補助ポンプ電極51と、外側ポンプ電極23と、第2固体電解質層6とによって構成されるものとしたが、外側ポンプ電極23の代わりに、センサ素子101の外側に設けられた他の電極以下、外側補助ポンプ電極を用いてもよい。この場合、リード線91~95の他にこの外側補助ポンプ電極と導通するリード線を形成してもよい。この場合でも、リード線92~95が左右対称に配置されていれば、センサ素子101の左右方向の反りを低減する効果は得られる。また、測定電極,基準電極,内側ポンプ電極,外側ポンプ電極,補助ポンプ電極及び外側補助ポンプ電極よりも他端側においてセンサ素子の一端から他端に向かう方向と垂直な断面で見たときに、リード線91~95と外側補助ポンプ電極に導通するリード線とが、センサ素子における積層方向に垂直な方向を左右方向として左右対称に配置されているものとしてもよい。上述した実施形態では、基準電極42は、第一固体電解質層4を挟んで測定電極44に対向する位置測定電極44の直下に設けられているものとしたが、これに限らず、対向する位置からずれた位置に設けられていてもよい。この場合でも、上述した基準電極42と測定電極44との温度差が生じにくくなる効果は得られる。上述した実施形態では、内側ポンプ電極22は、天井電極部22a,底部電極部22b及び側部電極部からなるトンネル形態の電極としたが、例えば天井電極部22aのみからなるものとしたり底部電極部22bのみからなるものとしたりするなど、トンネル形態に限られない。なお、測定電極44や基準電極42と同じ第1固体電解質層4に直に形成された電極である底部電極部22bを内側ポンプ電極22が備えるものとすれば、内側ポンプ電極と基準電極との間に生じる起電力のばらつきを小さくできるため、これを備えることが好ましい。同様に、補助ポンプ電極51についても、トンネル形態に限られるものではない。また、補助ポンプ電極と基準電極との間に生じる起電力のばらつきを小さくできるため、補助ポンプ電極51が底部電極部51bを備えるものとすることが好ましい。上述した実施形態では、測定用ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル82にて検出された制御電圧V2が一定となるように可変電源46の電圧Vp2を制御して測定用ポンプセル41によるポンピングを行い、このときのポンプ電流Ip2を用いて被測定ガス中の窒素酸化物濃度を算出するものとしたが、他の方法で被測定ガス中の窒素酸化物濃度を算出してもよい。例えば、測定電極44と、第1固体電解質層4と、基準電極42とを組み合わせて、電気化学的センサセルとして酸素分圧検出手段を構成するようにすれば、測定電極44の周りの雰囲気中のNOx成分の還元によって発生した酸素の量と基準大気に含まれる酸素の量との差に応じた起電力を検出することができ、これによって被測定ガス中のNOx成分の濃度を求めることも可能である。この場合は、測定電極44と、第1固体電解質層4と、基準電極42とからなる電気化学的センサセルが本発明の検出手段に相当する。[実施例1,比較例1]上述した製造方法により図1,2に示したセンサ素子101を15個製造し、実施例1とした。また、図6に示したセンサ素子300と同様のセンサ素子、すなわち、基準電極と測定電極とが異なる固体電解質層上に形成されており基準電極と測定電極との間に固体電解質層だけでなく基準ガス導入層も存在する点や、基準ガス導入空間が第1固体電解質層に形成されており、圧力放散孔が基準ガス導入空間とは別に形成されている点以外は実施例1と同様の構成のセンサ素子を15個製造し、比較例1とした。なお、比較例1は、リード線の配置が実施例1とは異なるものとした。比較例1のリード線の配置を図4に示す。なお、図4において図2と同一の構成要素については、図2と同一の符号を付し、説明を省略する。比較例1では、基準ガス導入空間243が、第3基板層3の上面とスペーサ層5の下面との間であって、側部を第1固体電解質層4の側面で区画される位置に設けられている。また、比較例1のリード線294は、リード線94と同様に測定電極と導通するものであるが、実施例1とは異なりリード線294が図4の中心軸上からずれた位置にある。そのため、リード線92,93,294,95は、実施例1のリード線92~95とは異なり左右非対称に配置されている。[評価試験1]実施例1,比較例1のセンサ素子を大気中にてヒータにより通常駆動時の温度800°Cに保ち、基準電極と測定電極との間の起電力を測定した。測定は実施例1,比較例1それぞれ5個の素子について行った。測定した5つの起電力のばらつき幅起電力の最大値と最小値との差を算出したところは、実施例1のセンサ素子では7mVであり、比較例1のセンサ素子では14mVであった。以上により、実施例1のセンサ素子では基準電極と測定電極とが同じ固体電解質層上に形成されており、基準電極は直に形成された固体電解質層に接する面以外が大気導入層48に覆われていることから、ヒータ72からの熱による基準電極42と測定電極44との温度差が生じにくくなり、起電力のばらつきが小さくなっていることがわかる。[評価試験2]実施例1,比較例1のセンサ素子について、センサ素子の左右方向の反り量を測定した。反り量は、図5に示すように、センサ素子の一端と他端とを結んだ直線99を引き、その線から実際の素子までの距離の最大値を反り量Wとして測定した。なお、図5は、センサ素子101を第2固体電解質層6側から見た上面図であり、図5における上下方向は、図2における左右方向である。なお、図5では外側ポンプ電極23やリード線91の図示は省略している。この反り量Wの測定を実施例1,比較例1それぞれ15個の素子について行い、その平均値を算出したところ、実施例1では65μmであり、比較例1では180μmであった。以上により、実施例1のセンサ素子ではリード線92~95が左右対称に配置されていることから、センサ素子の反り量Wが小さくなっていることがわかる。"