加圧機構と、前記加圧機構から加圧力が付与され前記加圧力の作用方向に複数配置される熱盤部と、前記加圧力の作用方向に隣接する前記熱盤部同士が相互に積み重なることにより当該熱盤部間に形成された真空チャンバと、を有し、前記真空チャンバ内で貼り合せ用基材同士を前記熱盤部により熱圧着させて接合する接合装置であって、前記加圧機構は、加圧方向と平行に配置された2本の駆動軸と、前記駆動軸を介して前記熱盤部に加圧力を付与する駆動源と、を有し、前記貼り合せ用基材の接合中心部が2本の前記駆動軸を結んだ線上に位置することを特徴とする接合装置。前記駆動源は、回転駆動源であり、2本の前記駆動軸と前記回転駆動源とがベルトで連結され、前記回転駆動源の駆動力が前記ベルトを介して前記駆動軸に伝達されることを特徴とする請求項1に記載の接合装置。2本の前記駆動軸の中心と前記回転駆動源の回転中心とを相互に結んだ線が三角形状であることを特徴とする請求項2に記載の接合装置。前記駆動軸は、ボールねじ軸と、ボールねじナットと、で構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の接合装置。しかしながら、特許文献1のサーボプレスの多段モーション制御装置によれば、ボールねじ軸、ボールねじナット、加圧ユニットスライダが垂直方向の一直線上にレイアウトされているため、設備が大型化する問題がある。また、特許文献2のプレス装置によれば、以下のような問題がある。制御用モータを複数個使用するため、同期制御等の制御系が複雑になり、さらに装置の価格が高くなる問題がある。特に、実際の装置では、通常、制御用モータに減速器を接続するため、装置の高さ方向のサイズが大きくなる。ガイドポストには大きなプレス反力が作用するため、その力を受け止めるサポートユニットが、ガイドポストと減速器の間に必要になるため、装置の高さ方向のサイズが大きくなる。また、支持部とモータ支持部を接続しているのは、回転体であるガイドポストであるため、支持部側にもサポートユニットが必要になる。また、螺合部が支持部に埋設されているが、高出力型のボールねじであれば螺合部の高さ寸法が大きいため、通常の場合であれば螺合部が支持部を突き出るようになる。それによって、支持部の下側に無駄なスペースができてしまい、低背化できない。さらに、ガイドポストが支持部に接続されているため、本願発明で提案するような熱盤構造、多段構造、台座構造などを適用する場合、上下成形部の厚みが増え、ガイドポストの長さが非常に長くなってしまう。ガイドポストはボールねじであるため、そのような大型のボールねじを製作する場合には、コストが高くなる。そこで、本発明は、簡易な構成で、低背化あるいは小型化することができる接合装置を提供することを目的とする。本発明は、加圧機構と、前記加圧機構から加圧力が付与され前記加圧力の作用方向に複数配置される熱盤部と、前記加圧力の作用方向に隣接する前記熱盤部同士が相互に積み重なることにより当該熱盤部間に形成された真空チャンバと、を有し、前記真空チャンバ内で貼り合せ用基材同士を前記熱盤部により熱圧着させて接合する接合装置であって、前記加圧機構は、加圧方向と平行に配置された2本の駆動軸と、前記駆動軸を介して前記熱盤部に加圧力を付与する駆動源と、を有し、前記貼り合せ用基材の接合中心部が2本の前記駆動軸を結んだ線上に位置することを特徴とする。この場合、前記駆動源は、回転駆動源であり、2本の前記駆動軸と前記回転駆動源とがベルトで連結され、前記回転駆動源の駆動力が前記ベルトを介して前記駆動軸に伝達されることが好ましい。この場合、2本の前記駆動軸の中心と前記回転駆動源の回転中心とを相互に結んだ線が三角形状であることが好ましい。この場合、前記駆動軸は、ボールねじ軸と、ボールねじナットと、で構成されていることが好ましい。本発明によれば、簡易な構成で、低背化あるいは小型化することができる。本発明の一実施形態に係る接合装置について、図面を参照して説明する。接合装置接合装置について説明する。接合装置は、貼り合せ用基材T同士を熱圧着により接合させる装置である。なお、貼り合せ用基材は、貼り合せ前の基板であり、ウエハや集合基板の他に、個片化された子基板も含まれる。本実施形態の接合装置にて複数の貼り合せ用基板を貼り合せ、複合基板を作製する。複合基板を作製するための貼り合せ用基材は、異種でも同種でもよい。作製された複合基板は電子機器の部品として用いられる。図1乃至図4に示すように、接合装置10は、筐体12を備えている。筐体12の内部には、上下方向に沿って複数の熱盤部20が並んで配置されている。各熱盤部20の間には接合対象物である貼り合せ用基材Tが配置されている。筐体12の底部には、加圧機構13が配置されている。加圧機構13は、熱盤部20が積み重なって並ぶ方向に沿って平行に延びる駆動軸14と、駆動軸14を介して熱盤部20に加圧力を付与する駆動源16と、から構成されている。駆動軸14は、2本のボールねじ軸14A1、14A2と、各ボールねじ軸14A1、14A2に螺合したボールねじナット14B1、14B2と、で構成されている。各ボールねじ軸14A1、14A2の軸方向は、熱盤部20に対して付与する加圧力の作用方向に対して平行となる。各ボールねじ軸14A1、14A2が正回転することにより、各ボールねじナット14B1、14B2は各ボールねじ軸14A1、14A2上を上方向に移動する。また、各ボールねじ軸14A1、14A2が逆回転することにより、各ボールねじナット14B1、14B2は各ボールねじ軸14A1、14A2上を下方向に移動する。各ボールねじナット14B1、14B2は移動時の直線性を保つため直動ガイドユニット14C1、14C2に支持されている。なお、加圧機構13は、図示しない制御部により駆動制御される。各ボールねじナット14B1、14B2には、下側台座部18が固定されている。このため、下側台座部18は、ボールねじナット14B1、14B2に連動して各ボールねじ軸14A1、14A2上を上下方向に移動する。また、各ボールねじナット14B1、14B2の下面と下側台座部18の下面とが一致するように設定されている。下側台座部18には、熱盤部20A、20B、20C、20D、20E適宜、熱盤部20と称するに対して加圧力を付与する複数の支柱部材22が取り付けられている。下側台座部18が上方向に移動していくことにより、下側の位置の熱盤部20が支柱部材22に押されて上方に持ち上げられ、上方向に隣接する熱盤部20に接触する。下側台座部18がさらに上方向に移動していくことにより、全ての熱盤部20が上下方向に隣接する他の熱盤部20に対して所定の加圧力で積み重なる。また、図2及び図3に示すように、筐体12の上部には、上側台座部24が固定されている。上側台座部24には、熱盤部20に対して加圧力を付与する複数の支柱部材42が取り付けられている。このため、下側台座部18が上方向に移動していくと、最終的には、下側台座部18の支柱部材22と上側台座部24の支柱部材42との間で、上下方向に積まれた複数の熱盤部20が所定の加圧力で挟持される。筐体12の下部には、ベース部材26が取り付けられている。ベース部材26には、ボールねじ軸14A1、14A2を回転可能に支持するサポートユニット28A1、28A2が埋設されている。そして、サポートユニット28A1、28A2は、ベース部材26を貫通するようにして配置されている。さらに、各ボールねじ軸14A1、14A2の下端部は、サポートユニット28A1、28A2を貫通した状態になっている。また、各ボールねじ軸14A1、14A2の下端部には、ボールねじ側プーリ30A1、30A2が取り付けられている。なお、ベース部材26は、支持部材32に支持されている。駆動源16は、サーボモータ16Aと減速器16Bが上下方向に沿って直列的に並んで構成されている回転駆動源である。また、駆動源16は、取付部材34を介して、ベース部材26に取り付けられている。減速器16Bには、減速器側プーリ36が取り付けられている。サーボモータ16Aのモータ軸図示省略が回転すると、減速器16Bにより所定の回転速度に減速され、減速された回転速度で減速器側プーリ36が回転する。各ボールねじ側プーリ30A1、30A2と減速器側プーリ36には、タイミングベルト38が掛け渡されている。ここで、図5及び図6に示すように、2つのボールねじ軸14A1、14A2の中心部X1、X2と、サーボモータ16A及び減速器16Bの回転軸の中心部Yは平面視図5及び図6参照にて三角形の頂点の位置となるように設定されている。すなわち、ボールねじ軸14A1の中心部X1と、ボールねじ軸14A2の中心部X2と、サーボモータ16A及び減速器16Bの中心部Yと、を相互に直線Lで結ぶと、平面視にて三角形状になる。これにより、1つのサーボモータ16Aで2本のボールねじを駆動することができる。そのため、2本のボールねじ軸の下に各々サーボモータを取付けて同期制御する必要がなくなる。また、ボールねじ軸14A1、14A2の軸方向に延びる線上に、サーボモータ16A及び減速器16Bが位置しないため、サーボモータ16A及び減速器16Bを逆さ向きに取付けると、接合装置10の高さを低背化することができる。なお、ベース部材26には、タイミングベルト38に対して所定の張力を付与するためのテンション機構40が取り付けられている。図1に示すように、上下方向に沿って隣接する熱盤部20同士が所定の加圧力で積み重ねられることにより、例えば上側の熱盤部20Bと下側の熱盤部20Aとで囲まれた領域に、真空チャンバCが形成される。このように、複数の熱盤部20を備えた接合装置10では、複数の熱盤部20が全て積み重ねられた状態になることにより、複数の真空チャンバCが形成され、各真空チャンバC内において貼り合せ用基材T図1参照の接合が実行される。ここで、図7に示すように、貼り合せ用基材T同士の接合面T’を平面視したときの中心を接合中心部Zとしたとき、接合中心部Zが2本のボールねじ軸14A1、14A2の中心部X1、X2を結んだ線M上に位置するように設定されている。これにより、駆動源16からの加圧力を効率良く接合中心部Zへ伝達することができる。特に、貼り合せ用基材Tの接合中心部Zが2本のボールねじ軸14A1、14A2の中心部X1、X2を結んだ線M上の中点に位置することが好ましい。これにより、駆動源16からの加圧力を左右のバランス良く接合中心部Zへ伝達することができる。図9に示すように、熱盤部本体21の下面には筒状空間23が形成されている。各熱盤部20が重なり合って加圧されたとき、熱盤部本体21の筒状空間23と下の熱盤部本体21の上面との間に入れられた貼り合せ用基材Tを圧接することができる。この筒状空間23は、真空チャンバCの一部を構成する。熱盤部本体21の側方には、枠体25が摺動可能に配設されている。枠体25と熱盤部本体21の間には圧縮バネ27が配置されている。枠体25は、この圧縮バネ27により下側に付勢され、下の熱盤部20にあるOリング31を押圧し、熱盤部本体21の側方にあるOリング33とともに密閉状態を形成する。なお、連通路29には、真空ポンプ図示省略が接続されており、真空ポンプの作動により各真空チャンバCが真空状態となる。なお、真空ポンプは、制御部により駆動制御される。次に、接合装置10による貼り合せ用基材T同士の接合について概説する。下側台座部の上昇制御部により速度制御されたサーボモータ16Aが回転し、下側台座部18が一定速度で上昇する。そして、熱盤部20同士が接近する高さまで上昇したところで、速度制御からトルク制御に切替えられ、低速度で下側台座部18が上昇し続ける。やがて、図3に示すように、熱盤部20が下側の支柱部材22と上側の支柱部材42とで挟まれて、熱盤部20には設定トルクに応じた加圧力が与えられる。真空引き制御部により真空ポンプが駆動制御され、各真空チャンバCが真空状態になる。これにより、全ての真空チャンバCの真空引きが実行される。この結果、各真空チャンバCが真空状態となり、かつ真空チャンバCが連通した状態となっているので、全体として一つの真空空間を構成することになる。加熱加圧次に、各熱盤部20により加熱が実行される。各熱盤部20には、ヒータが内蔵されているため、制御部でヒータを駆動することにより、加熱が可能になる。また同時に、上下方向に隣接する熱盤部20同士が相互に積重ねられる。これにより、貼り合せ用基材T同士が所定の加圧力で圧接される。真空チャンバ内の冷却貼り合せ用基材T同士を圧接した後、真空チャンバCの内部を冷却する。このとき、真空チャンバCの真空度を所定値に維持した状態で冷却する。貼り合せ用基材Tの圧接は、真空チャンバCの内部で実行されるため、ゴミや粉塵が浸入しないクリーンな環境で実行できる。この結果、貼り合せ用基材Tにより作製された複合基板の電気的特性を高品質に維持することができる。真空解除次に、真空チャンバCの温度が所定の温度まで下がれば、真空チャンバCの真空状態を解除するために大気を入れ、全ての真空チャンバCが大気開放する。下側台座部の下降上記各工程が終了すると、サーボモータ16Aの速度制御により下側台座部18が一定速度で下降する。次に、本実施形態の接合装置10の作用効果について説明する。本実施形態の接合装置10によれば、図7に示すように、貼り合せ用基材Tの接合中心部Zが2本のボールねじ軸14A1、14A2の中心部X1、X2を結んだ線M上に位置するように設定されているため、ボールねじ軸14A1、14A2の軸方向に延びる線上に貼り合せ用基材Tの接合中心部Zが位置しない。これにより、接合装置全体の高さを低くすることができ、接合装置10の低背化及び小型化を実現することができる。また、図1乃至図5に示すように、サーボユニット28A1、28A2がベース部材26に埋設されており、かつサーボモータ16A及び減速器16Bが2本のボールねじ軸14A1、14A2の軸方向に延びる直線上に位置しないため、接合装置10の低背化及び小型化を実現することができる。また、各ボールねじナット14B1、14B2の下面15と下側台座部18の下面19とが略一致するように設定されているため、大型のボールねじナット14B1、14B2を用いた場合でも、下側台座部18とベース部材26とを接近させることができる。この結果、接合装置10の低背化及び小型化を実現することができる。また、駆動源16であるサーボモータ16Aの駆動力をタイミングベルト38によって2本のボールねじ軸14A1、14A2に伝達しているため、サーボモータ16A及び減速器16Bを1つ設ければ足りる。これにより、接合装置10の製造コストを抑制することができる。また、同期制御も不要になり、加圧機構を簡易に制御することができる。さらに、下側台座部18が2本のボールねじ軸14A1、14A2から駆動力を受けて上下方向に移動する両持式であるとともに、貼り合せ用基材Tの接合中心部Zが2本のボールねじ軸14A1、14A2の中心部X1、X2を結んだ線M上の中点に位置するため、加圧部の中心である貼り合せ用基材Tの接合中心部Zが均等に加圧される。これにより、貼り合せ用基材T同士が接合されて得た複合基板の品質を高めることができる。一方、図8は、比較例となる片持式のプレス機構である。図8の100はサーボモータ、102はベース部材、104はリニアガイド、106はサポートユニット、108はボールねじ軸、110はボールねじナット、112は加圧ベース、114はタイミングベルトである。図8に示す片持式のプレス機構では、加圧ベース112に発生する曲げモーメントにより、加圧ベース112が撓み変形して、圧力分布にばらつきが生じる。このため、基材同士が接合されて得た複合基板の品質が低下する。本実施形態の接合装置10によれば、両持式のプレス機構であるため、加圧力分布のばらつきが生じにくい。