"放電容器内に導入したヘリウム雰囲気中において、二次元または三次元に配置された3つ以上の放電電極にそれぞれ位相差のある多相交流を印加してアーク放電を発生させ、このアーク放電により形成されたプラズマ領域を用いて複合炭素原料を蒸発せしめ、蒸発した全量を当該プラズマ領域内で凝縮させて前記放電容器内壁にフラーレン煤として付着させる製造方法であって、前記放電容器内のヘリウム圧力を15~90Torrとすることによって、被内包物質を内包した微小な内包カーボンナノカプセル状物質を内包カーボンナノカプセル前駆体として前記装置内壁に付着する煤中に生成させることを特徴とする金属炭化物内包カーボンナノカプセル前駆体の製造方法。請求項1に記載の製造方法において、前記多相交流が、六相以上であることを特徴とする金属炭化物内包カーボンナノカプセル前駆体の製造方法。請求項1または2に記載の製造方法において、前記複合炭素原料は、前記放電電極に含まれる被内包物質と炭素であることを特徴とする金属炭化物内包カーボンナノカプセル前駆体の製造方法。請求項1または2に記載の製造方法において、前記複合炭素原料は、前記プラズマ領域に外部から投入される被内包物質と炭素の複合体、化合物、または混合物であることを特徴とする金属炭化物内包カーボンナノカプセル前駆体の製造方法。しかし上述の内包カーボンナノカプセルの製造方法のうち、タングステンアーク金属プール法、プラズマトーチ法、イオンビームスパッタ法、ダイヤモンドナノ粒子混合加熱法の4つは、Fe,Co、Ni等の遷移金属元素の純金属相およびそれらの合金相を内包したカーボンナノカプセルの製造にのみ適用可能な方法であり、金属炭化物内包カーボンナノカプセルの製造には適用できなかった。改良クレッチマー-ハフマン法は、金属炭化物内包カーボンナノカプセルの発見につながった方法であり、その直流アーク放電法を基本とした陰極堆積物の製造は、金属炭化物内包カーボンナノカプセルの主要な製造方法となっている。ただしこの方法においては、材料は一旦高温になって気相状態を経ること、ならびにその後の急凝縮によりアーク近傍で直接的に内包カーボンナノカプセルを形成するため、内包カーボンナノカプセルの粒子サイズ分布やグラフェン相数の制御が困難であるという問題があった。なお、直流アーク放電に対して三相またはそれ以上の多相交流アーク放電を利用してナノカーボンを製造する方法も、また多く報告されている特許文献6など。しかし、これらの多相交流アーク放電法により金属内包フラーレンの製造に成功したという信頼できる報告は無く、多相交流アーク放電法は利用されていない。さらに、多相交流アーク放電法では陽極と陰極が時間とともに入れ替わり定常的な陰極は存在していないので基本的に陰極堆積物が生成しない方法とされている。そのため、改良クレッチマー-ハフマン法のように陰極堆積物を利用した金属炭化物内包カーボンナノカプセルの生成には不向きと考えられ、成功したという例はこれまで報告されていない。改良クレッチマー-ハフマン法における上記の問題を克服するため、前記した前駆体熱処理法が開発された。この前駆体熱処理法では、被内包物質を含んだ複合炭素電極を用いて直流アーク放電を行い、まず内包カーボンナノカプセル前駆体を含んだフラーレン煤を製造したのち、次にこれを加熱処理することにより、目的の内包カーボンナノカプセルを製造する方法である。この方法は、被内包物質を含んだ複合炭素電極から、ヘリウム圧力15~100Torr中でフラーレン煤を調製する第一工程と、得られたフラーレン煤を真空中または不活性ガス雰囲気下において500~3000°Cで加熱処理する第二工程に分かれている。この前駆体熱処理法では、第二工程において最高熱処理温度を任意に選ぶことができるので、生成する内包カーボンナノカプセルの粒径とグラフェン層数を調節することが可能となる。前駆体熱処理法の第一工程では、被内包物質を含んだ複合炭素電極を直流アーク放電により蒸発させて、内包カーボンナノカプセル前駆体が含まれるフラーレン煤を製造する特許文献4。しかしこの工程において直流アーク放電法を採用しているため、被内包物質を含む複合炭素陽極から蒸発した物質の半分以上が、スラグ状堆積物として陰極上に凝縮することが避けられない。このような堆積物が生成することは、純粋に電極材料の損失であり、フラーレン煤の収率低下につながる。このため、フラーレン煤の収率当該電極から蒸発した物質がフラーレン煤へ変換する効率:重量は100よりかなり低くなり、通常20~40程度悪ければ10以下というのが現状である。堆積物生成によるフラーレン煤の収率低下は深刻な問題で、以後、この問題を堆積物生成問題と称する。この堆積物中には少量の多層カーボンナノチューブや内包カーボンナノカプセルが含まれるが、当該堆積物全体からみるとその割合は極めてわずかである。そして堆積物の主成分は、グラファイト片やアモルファス炭素等の炭素系物質、ならびに被内包物質が内包されずにマクロ粒子を形成したもの、などであるとされている非特許文献8のFig1参照。フラーレン煤生成の収率を高めるには、このスラグ状堆積物ができるだけ生成しないようにすることが望ましいとされている非特許文献11のP905参照。この堆積物生成問題を解決するには、大きく分けて2つの異なった道がある。堆積物の生成を認め、これを処理してフラーレン煤へ変換する方法をさぐる道と、堆積物の生成そのものを防ごうとする道である。フラーレン煤の製造においては、陰極堆積物の生成後、電極の極性を反転させて直流アーク放電を行い、当該陰極堆積物を飛散せしめ、フラーレン煤に再変換する操作がしばしば行われて来た特許文献5の段落0014参照。この操作は電極反転アーク放電法などと称されるが、この操作を繰り返すと、最終的にスラグ状堆積物の生成量は約10まで抑えられ、結果としてフラーレン煤への変換収率は90になったという報告がある非特許文献11のP906参照。しかしこの手法を実行しようとすると、スラグ状で崩れやすい陰極堆積物を取り外して陽極側に取り付ける際や、繰り返し大電流を流して放電作業を行う際などに、当該堆積物の破損が極めて起こりやすいことが認識される。したがってこの方法には課題が多く、実施にはかなりの困難を伴うことがわかった。さらに、電極反転アーク放電法では大電力を消費するアーク放電を何度も繰り返し行うことになり、得られるフラーレン煤の最終的な製造コストが高くなる。以上のことから、堆積物生成問題を解決する方法としては、なるべく低コストで、また操作が簡便な方法が望ましい。堆積物生成問題を解決するもうひとつの方法として、蒸発物が陰極上にスラグとして凝縮しないように、放電のプロセス条件などを改善する試みがある。1990年のフラーレン大量合成法の発見からこれまでに、直流アーク放電時の電流や電圧、電極間のアークギャップ距離、雰囲気ガスの種類や圧力など、多くのプロセス条件の最適化が試みられてきた非特許文献4のP35~36参照、非特許文献12。しかしこれらの最適化にもかかわらずかなりの程度の堆積物生成は避けられず、陽極の複合電極をフラーレン煤へ変換する収率は高くても40程度にしかならないことがわかった非特許文献8のTable1参照。上記したように、直流アーク放電法を採用する限り、陰極堆積物を低コストで大幅に減らす手段は無く、堆積物生成問題は解決が困難なままであった。一方、交流アーク放電法では陰極が一方の電極側に固定されないので、堆積物の生成が起こり難いと期待される非特許文献12のP905参照。このような理由から、改良クレッチマー-ハフマン法が報告された当初から交流アーク放電法が有望視されたが、直流アーク放電法と同様の堆積物が形成されることが実験的にすぐに明らかになった非特許文献3。二相交流アーク放電でも電極構造が非対称な場合は、サイズが大きくて温度が低い側の電極に堆積物が集中的に付着し、電極同士がコンタクトする点の周辺表面に火山状に成長する。この状況では交流成分の一方向のみを利用していることになり、実質は直流アーク放電と変わらないことになる。このため交流アーク放電を長時間継続させることは出来ず、しばしば放電を止めて堆積物を取り除く必要があることが報告されている非特許文献3のP8634参照。この堆積物の生成と付着を無くすため、サイズが完全に等しく構造的に対称な電極間で二相交流アーク放電を行うことが1990年から提案されていた非特許文献3のP8634参照。しかし、この構成で二相または多相交流アーク放電試験を行い、金属内包フラーレンや内包カーボンナノカプセルを製造したという報告を見つけることは出来なかった。そこで発明者らは提案された条件を実現し、対称二相交流アーク放電法によるフラーレン煤の生成試験を行ったところ、かなりの量のスラグ状堆積物が電極上に生成することがわかり、堆積物が全く生成しないのではないかという20年来の期待は裏切られる結果となった。二相交流アーク放電法の堆積物は、電極先端の消耗面の脇に付着し比較例1の図3参照、時間経過とともに大きく成長する。このように、堆積物生成問題は対称二相交流アーク放電法によっても解決できない問題であることがわかった。以上のように、被内包物質を含んだ複合炭素電極を用いてアーク放電を行い、これをフラーレン煤に変換する工程においては、直流アーク放電法を用いるか、二相交流アーク放電法を用いるかの如何に関わらず、フラーレン煤の製造時には電極上にスラグ状の堆積物が常に副生し、これによりフラーレン煤の収率が低く抑えられることがわかった。言い換えると、堆積物生成問題は現在まで解決が困難な問題として残されたままであった。また、一方では、多相交流アーク放電法を用いるとスラグ状堆積物が生成しないため複合炭素電極からほぼ100の収率でフラーレン煤が得られるが、この方法で得られるフラーレン煤にはカーボンナノチューブに代表されるナノ構造炭素材料は含まれるが、金属内包フラーレンや金属炭化物内包ナノカプセル前駆体は全く含まれないため利用できないという問題があった。したがって、その粒径とグラフェン層数を制御しながら金属炭化物内包カーボンナノカプセルを製造できる方法は前駆体熱処理法のみで、この点から最も有望な製造方法であると考えられる。そして、この前駆体熱処理法の第一工程は、被内包物質を含む複合炭素電極から、内包カーボンナノカプセル前駆体を含むフラーレン煤を調製する工程である。この第一工程がかかえる最大の課題は堆積物生成問題であり、複合炭素電極から蒸発した物質がグラファイト等を含んだスラグ状堆積物として凝縮することを抑えてフラーレン煤が生成する割合を増やすことが求められている。そこで本発明の目的は、この前駆体熱処理法の前記第一工程においてスラグ状堆積物の生成を抑制するようにすると同時に、生成するフラーレン煤中に内包カーボンナノカプセル前駆体が大量に含まれる製造方法を提供することにある。例えば、複合炭素電極から内包カーボンナノカプセル前駆体を含むフラーレン煤を調製する工程として100近い従来よりも極めて高い収率を達成する方法を提供することである。本発明の発明者らは、前記された課題を解決することを目的として、アーク放電の制御について研究を継続するとともに、生成するフラーレン煤の特性評価研究に長年にわたり携わってきた。これらの研究の結果、スラグ状堆積物が生成しないため複合炭素電極からほぼ100の収率でフラーレン煤が得られる多相交流アーク放電法において、このフラーレン煤に前述の内包カーボンナノカプセル前駆体を大量に含有させる条件を発見した。なお、本明細書においては、多相交流という用語に関しては二相交流を含まないものとして定義し、使用する。すなわち本明細書においては、多相交流とは、三相以上の交流を表すものとする。すなわち本発明は、放電容器内に導入したヘリウム雰囲気中において、二次元または三次元に配置された3つ以上の放電電極にそれぞれ位相差のある交流を印加してアーク放電を発生させ、この多相交流アーク放電により形成されたプラズマ領域を用いて複合炭素原料を蒸発せしめ、蒸発した全量を当該プラズマ領域内で凝縮させて前記容器内壁にフラーレン煤として付着させる製造方法であって、前記容器内のヘリウム圧力を15~90Torrとすることによって、被内包物質を内包した微小な内包カーボンナノカプセル状物質を内包カーボンナノカプセル前駆体として前記容器内壁に付着する煤中に生成させることを特徴とする内包カーボンナノカプセル前駆体の製造方法である。好ましくは、前記複合炭素原料は、前記放電電極に含まれる被内包物質と炭素であることを特徴とする。さらに前記複合炭素原料は、前記プラズマ領域に外部から投入される被内包物質と炭素の複合体、化合物、または混合物であることを特徴とする。本発明によれば、スラグ状堆積物の生成を抑制して、前記複合炭素原料から実質的に収率100で、前記内包カーボンナノカプセル前駆体を含有するフラーレン煤を製造することができる。本発明によるフラーレン煤の製造方法によれば、被内包物質を含む複合炭素電極から、スラグ状堆積物を生成させることなく、内包カーボンナノカプセル前駆体を含有したフラーレン煤のみを選択的に製造することができる。以下、本発明に係る実施形態ついて詳しく説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明を実施するにあたって好ましい具体例を含むものであるから、技術的に種々の制限がなされているが、本発明は、以下の説明において特に本発明を限定する旨明記されていない限り、これらの形態に限定されるものではない。図1は、本発明に係る実施形態に関する概略断面図を示している。円筒状の放電容器1は、機密性の高い金属製真空チャンバから構成される真空装置である。放電容器1の側面部2には、後述するように棒状の放電電極10~15及び放電電極20~25が上下2段に設置されている。各放電電極は側面部2を貫通して先端部が放電容器1内に設置されている。また、放電容器1内のヘリウムガス圧力を測定するため、圧力計43が放電容器1と流体的に接続されている。放電電極は、炭素電極を用いると炭素フラーレン等のナノ構造炭素材料の原料とすることができるが、被内包物質を含む複合炭素電極を用いると、内包ナノカプセル前駆体の原料とすることができる。また単層カーボンナノチューブや二層カーボンナノチューブ製造に用いられる触媒金属等を含む複合炭素電極を用いると、これらのカーボンナノチューブの原料とすることができる。なお複合炭素電極は、すべての放電電極に用いるだけでなく、一部の放電電極に用いることもできる。複合炭素電極に混入する元素としては、大多数のランタノイド元素、鉄族元素鉄、コバルト、ニッケル、アルカリ土類元素カルシウム、ストロンチウム等、IVおよびV族遷移金属元素チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル等、VIおよびVII族遷移金属元素クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、レニウム等、ホウ素、ケイ素、ゲルマニウム、アンチモン、イオウ、セレン、アクチノイド元素ウラン、トリウム等などであり、単体で混入しても幾種類かを混ぜて混入してもよい。また、電極毎に同じまたは異なる元素を含むものとして用い、さらに幾種類かの元素を混ぜて混入したものを用いることも出来る。放電容器1の上面部4にはガス供給口45が開口しており、ガス供給部からヘリウムガスが供給される。ガス供給部では、ヘリウムガスは供給タンク40から供給弁42を介して供給される。これまでの試験の結果では、ヘリウム圧力が15Torr未満では金属炭化物内包カーボンナノカプセル前駆体の生成がほとんど見られず、また、90Torrを超えると生成が安定しなくなり、100Torr以上ではカーボンナノチューブの生成が見られるようになった。したがって、供給するヘリウムの圧力はアーク放電時に15~90Torrに維持することが必須である。また、放電容器1の下面部5にはガス排気口46が開口しており、放電容器1内のガスを排気ポンプ47により排出する。各放電電極は、それぞれ交流電源部30に接続されており、放電電極毎に位相差のある交流が印加されるようになっている。交流電源部30は、この実施態様においては商用の三相交流を十二相交流に変換する変換する機能を備えている。生成されたプラズマ領域内で気化された被内包物質と炭素は、プラズマ領域の周辺に行くに従い温度が低下することで内包ナノカプセル前駆体に成長し、放電容器1内の内面全体に付着する。そして、放電終了後に内面に付着したフラーレン煤を回収し、公知の方法に基づいて加熱処理を行い、所望の内包カーボンナノカプセルを得ることが出来る特許文献4。以下に本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。図1に示す製造装置において、放電容器1としてステンレス製の真空チャンバ福伸工業株式会社製を用いた。まず、排気ポンプにより真空チャンバ内を1x10-1Torr以下まで排気した後、ヘリウムHeガス純度99.99を60Torrの圧力となるまで供給した。同真空チャンバ内には、真空排気前にあらかじめ放電電極12本をセットしておいた。放電電極としては、ランタン酸化物La2O3を0.9atom含有する酸化ランタン含浸炭素材東洋炭素KM-09LAを長さ80mm、直径9mmの円柱状に成形加工したものを電極として使用した。図1の上部電極装着部にこの12本の電極をセットし、下部電極装着部は電極の取り付け無しとした。放電を行う場合には、まず、各放電電極の先端を接触させた状態で各放電電極に位相差のある交流電圧7~8V、電流90Aを印加した。交流電圧を印加したまま、各電極の先端を離間させるように電極本体を同時に後退させて、多相交流アーク放電今回の場合は、十二相交流アーク放電を開始した。隣接する放電電極の先端同士の距離が2~10mmとなる位置にセットするとともに徐々に電流を増加させ、多相交流アーク放電電圧10~20V、電流90~100Aを継続した。放電中の装置内圧力は、80~90Torrに維持した。十二相交流アーク放電を開始してから28分後に交流電源からの電圧印加を停止し、放冷後、真空チャンバ内を大気圧に戻し、蓋を開けて真空チャンバ内面に付着した煤状物質フラーレン煤を回収した。放電終了後の電極先端はどの電極もなめらかで付着物等は全く存在しなかった。さらに、電極下の真空チャンバの底面にもスラグ状堆積物等が落下している例は見られなかった。これらの観察により、複合電極から蒸発した物質がほぼすべてフラーレン煤に変換していることを確認した表1の第6列を参照。フラーレン煤の回収率は100にやや足りないが、不足分は回収漏れ分のほか、電極に含まれるランタン酸化物の酸素が電極炭素と反応して二酸化炭素となって気相側に失われた分であると考察される。直流アーク放電の場合はフラーレン煤の回収率は前述のとおり20~40なので、多相交流アーク放電法の優位性は明らかである。表1には十二相アーク放電法の結果に加えて、比較のため代表的な直流アーク放電の場合の陰極堆積物の収率と、対称二相交流、三相交流、六相交流の結果を示した表1第2-5列を参照。この表から、三相交流から十二相までの交流アーク放電法では、電極堆積物がほとんど生成せず、特に、六相と十二相ではその収率が実質的にゼロであることがわかる図3、4参照。言い換えると、三相交流アーク放電以上の多相交流アーク放電法では、フラーレン煤の収率がほぼ100になり、六相以上でさらに優れた効果が得られることがわかる。この傾向は、十二相を超える多相交流においても変わらないと予想される。十二相交流アーク放電法により平均ヘリウム圧85Torrにおいて得られたフラーレン煤の構造について、透過電子顕微鏡TEM、JEOL、JEM-2000FE、HV=200kVによる観察と評価を行った。図6に、生成したフラーレン煤の高分解能TEM写真の例を示す。コントラストの強い部分がLaC2結晶で、多くは多角形のカーボンナノカプセル状物質に内包されている。ナノカプセル壁面とLaC2粒子は密着していて空隙は無く、これらが内包カーボンナノカプセル前駆体であることを示している。この写真から、LaC2内包カーボンナノカプセル前駆体が、この煤に大量に含まれている状況が確認された。これらの前駆体は、サイズは径5~10nm、グラフェンの層数は2~6枚程度で、内包物とグラフェン殻が密着していて空隙が全く見られないことが特徴的であった。この煤に含まれるランタンカーバイド内包カーボンナノカプセル前駆体の、内包ランタンカーバイドへの着火温度は、TGA測定から450°Cで、直流アーク放電法で得られるフラーレン煤の場合同259°Cよりもかなり高い結果が得られた。ちなみに直流アーク放電法に必ず付随する陰極堆積物に含まれるランタンカーバイド内包カーボンナノカプセルの着火温度は500°C以上であったが、含まれる量はごくわずかで、陰極堆積物の温度をさらに上げるとグラファイトに対応する燃焼ピークが出現し、ここで40を超える大きな重量減少を示した。この陰極堆積物のTGAチャートに現れたグラファイト燃焼ピークとそれに対応する大きな重量減少は、直流アーク放電法では陽極から蒸発した物質の大半がグラファイトに変換されていることを示すものである。当然ながらこの種のグラファイト燃焼ピークは、どちらの煤直流アーク放電煤および十二相交流アーク放電煤のTGAチャートにおいても全く現れず、ランタンカーバイド内包カーボンナノカプセル前駆体の燃焼ピークのみ観察された。回収した十二相交流アーク放電法によるランタンフラーレン煤について、未処理の煤を煤A、真空下で熱処理した煤を熱処理温度と対応させて、煤B熱処理温度1300°C、煤C同温度1520°C、煤D同温度1700°C、煤E同温度1860°C、煤F同温度2000°Cとそれぞれ表し、各温度で熱処理した煤について乾燥空気中で熱重量分析TGAした際の内包ランタンカーバイドへの着火温度をまとめて表2に示す。表2に見られる熱処理温度上昇に伴うランタンカーバイド着火温度の上昇は、先行特許である特許文献4に記載された実施例と全く同様の傾向を示すもので、本多相交流アーク放電法により得られたフラーレン煤に内包カーボンナノカプセル前駆体が含まれることを証明するものである。すなわちこの着火温度の上昇は、それぞれの煤に含まれるランタンカーバイドを内包する内包カーボンナノカプセル前駆体もしくは内包カーボンナノカプセルを構成するグラフェンの層数と相関があり、ランタンカーバイド結晶の表面を覆う平均グラフェン層数が多いほど引火しにくく、着火温度が高まることが実験的事実として報告されているからである特許文献4。この結果は、多相交流アーク放電法により得られたランタンフラーレン煤に、ランタンカーバイド内包カーボンナノカプセル前駆体が大量に含まれることを示すTEM写真図6と全く矛盾せず、整合した結果である。なお表2に示されるように、多相交流アーク放電法により得られるフラーレン煤は、含まれる前駆体中のLaC2着火温度が熱処理前から450°Cとやや高く、熱処理温度1500°C近くまでこの値はあまり変わらないことがわかる。このことは、多相交流アーク放電法により得られるフラーレン煤が広いアークプラズマ領域で、1500°C程度に相当する熱処理を受けて生成されることを示していると考えられる。なお、本実施例では、内包カーボンナノカプセル前駆体に内包される被内包物質がランタンカーバイドである例を示したが、本発明における被内包物質はランタンカーバイドに限られるものではなく、カーバイドを形成する、しないに関わらず、カーボンナノカプセルに炭化物として内包されることができる元素であれば、全てに適用できるものである。比較例1以下に、比較のため行った対称二相交流アーク放電法によるフラーレン煤製造試験について、実施例に基づいて説明する。実験では、実施例1で用いたものと同じ装置と条件を用いた。同真空チャンバ内には、真空排気前にあらかじめ放電電極12本をセットしたが、放電を行う前に、対向する一組2本の放電電極のみ先端を接触させた状態で電極に二相交流電圧6V、電流120Aを印加し、他の10本の電極については電圧を引加せず、想定プラズマ領域から大きく後退させた。交流電圧を印加したまま、2つの電極の先端を離間させ、二相交流アーク放電を開始した。放電電極の先端間の距離が5mm程度となる位置にセットするとともに徐々に電流を増加させ、二相交流アーク放電He圧50~80Torr、電圧9~16V、電流110~140Aを6分間継続した。同真空チャンバ冷却後、同真空チャンバを大気圧に戻し内部を観察すると、チャンバ壁面にフラーレン煤が付着していることがわかった。また放電電極の写真図2が示すように、放電面の脇に大きくスラグ状堆積物が生成して付着していることが確認された。また真空チャンバ底部には、落下したスラグ状堆積物が確認された。これら電極堆積物の収率は、全蒸発量に対しておよそ30であった。以下に、ヘリウム圧力範囲の特定のため行った六相交流アーク放電法によるフラーレン煤製造試験について、実施例に基づいて説明する。実施例2では、実施例1で用いたものと同じ装置と条件を用いた。同真空チェンバー内には、真空排気前にあらかじめ放電電極6本をセットし、放電を行う前に6本の放電電極のみ先端を接触させた状態で電極に六相交流電圧6V、電流120Aを印加した。この状態で真空排気を止め、所定の圧力のヘリウムをチェンバー内に満たし、放電時のヘリウム圧力が10、20、30、50、80、100、300Torrを示すようにした。そして交流電圧を印加したまま電極の先端を離間させ、六相交流アーク放電を開始した。放電電極の先端間の距離が5mm程度となる位置にセットするとともに徐々に電流を増加させ、各圧力下で六相交流アーク放電電圧9~16V、電流110~140Aを実施しそれぞれのフラーレン煤を得た。なおヘリウム圧10Torrの条件では、チェンバー内壁に付着するフラーレン煤の生成はほとんど認められず、この条件では内包カーボンナノカプセル前駆体の製造には不適当と考えられた。表3に、各圧力で製造したフラーレン煤を評価した結果をまとめた。内包カーボンナノカプセル前駆体が含まれるかどうかは、TGA測定を利用した。ヘリウム圧20Torrで製造したフラーレン煤を乾燥空気中でTGA分析すると、内包されているランタンカーバイドが着火する鋭いピークが400°C前後に表れ、この条件では内包カーボンナノカプセル前駆体が生成していることが明らかになった。同様のTGA測定結果は、ヘリウム圧力30、50、80Torrで製造したフラーレン煤でも得られた表3第2行参照。50Torrで製造したフラーレン煤についてTEM観察を行うと、ランタンカーバイド内包カーボンナノカプセル前駆体の存在が確認された図6。一方、ヘリウム圧100-110Torrで製造したフラーレン煤には、TEM観察によりアモルファスカーボンが大半を占めていて、ランタンカーバイド内包カーボンナノカプセル前駆体の存在が全く確認できなかった図5に代表例を示す。一方、ヘリウム圧300-350Torrで製造したフラーレン煤には、TEM観察によりランタンカーバイド内包カーボンナノカプセル前駆体の替わりに、単層カーボンナノチューブが含まれることがわかった。以上の結果より、ランタンカーバイド内包カーボンナノカプセル前駆体は、ヘリウム圧15-90Torrの範囲で生成されることが明らかになった。"