"中空軸状をなし軸方向一端に駆動力が入力され軸方向他端に負荷が入力されて駆動側と負荷側との間で捩れを伴いながらトルクを伝達するトルク伝達軸と、前記トルク伝達軸の内部に中空空間を形成する内周面に取り付けられ、前記トルク伝達軸に対するトルク入力によって前記内周面に生じる歪みを検出する歪検出部と、前記中空空間に収納され前記歪検出部の検出結果を中空空間の外部に送信する送信部とを具備し、前記送信部から受信した検出結果に基づいて前記トルク伝達軸に作用するトルクの大きさを算出するトルクセンサであって、前記トルク伝達軸を軸受を介して回転可能に支持する固定支持部と、前記トルク伝達軸の軸方向の少なくとも一方から導入される冷媒を前記中空空間に連通しないように前記トルク伝達軸の内部を通して前記軸受へ供給する冷媒供給路とを備え、前記冷媒供給路は、前記トルク伝達軸の外周面及び内周面の間に軸方向に沿って冷媒を流通させるスラスト路を有し、このスラスト路を流れる冷媒により前記歪検出部を冷却することを特徴とするトルクセンサ。前記スラスト路が、前記トルク伝達軸の内部に周方向に沿って複数形成されている請求項1に記載のトルクセンサ。前記軸受は、前記トルク伝達軸を複数箇所で支持するように軸方向に沿って複数配置されており、前記スラスト路は、前記複数の軸受と径方向で重なる位置に配置されている請求項1又は2に記載のトルクセンサ。前記冷媒供給路は、前記トルク伝達軸の軸中心を通り軸方向のいずれか一方から冷媒が導入される導入路と、前記導入路から外周に向けて延在し前記導入路と前記スラスト路とを接続する接続路とを有する請求項1~3のいずれかに記載のトルクセンサ。請求項1~4のいずれかに記載のトルクセンサとハウジングとを備え出力軸から回転駆動力を出力するものであって、前記出力軸と前記トルク伝達軸とを一体に形成し又は前記出力軸と前記トルク伝達軸の軸方向一端とを接続して当該トルク伝達軸に駆動力が入力されるように構成するとともに、前記固定支持部と前記ハウジングとを一体に形成し又は接続しているトルクセンサを備えた駆動装置。前記出力軸は、出力軸用の軸受により回転可能に支持されるとともに、内部に冷媒を通して前記出力軸用の軸受に冷媒を供給する流路の一部を構成するものであり、前記トルク伝達軸の内部に形成される前記導入路は、前記出力軸から冷媒が導入されるように構成されている請求項5に記載のトルクセンサを備えた駆動装置。近年、モータ等の駆動装置の高速駆動化に伴い、例えば五万回転/毎分などの高速回転に対応したトルクセンサが望まれる。高速回転化にあたり、遠心力によってトルク伝達軸が破壊されることを防止するためにトルク伝達軸の径を細くする必要がある。上記従来のようにトルク伝達軸内部に送信部を収納する歪検出式トルクセンサでは、軸を細くするほど軸自体が撓みやすくなるうえ、送信部を収納するための空間を確保するためにトルク伝達軸の軸方向寸法をある程度確保しなければならないので、一般的な片持ち支持構造では成り立たず、トルク伝達軸を軸受を介して支持する構造にする必要がある。このような軸受支持構造の場合、特に高速回転では軸受の摩耗や発熱が問題となり、軸受に対して潤滑油などの冷媒を供給する必要があるが、中空軸状をなすトルク伝達軸内部の中空空間には冷媒との接触を嫌う歪検出部や送信部を始めとする検出部品が配置されているため、中空空間を冷媒の流路として利用することができない。軸受に冷媒を供給するにあたり、各検出部品に冷媒が至らないようにする必要がある。また、回転に伴って軸受で生じる熱が、トルク伝達軸の肉を介して歪検出部に伝達して歪検出部での検出値に悪影響を与えてしまい、検出精度が低減してしまう。本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、高速回転化のためにトルク伝達軸を軸受で支持するにあたり、冷媒が歪検出部等の検出部品へ至ることを避けた軸受への適切な冷媒供給を実現するとともに、軸受で生じる熱が歪検出部での検出結果に与える影響を低減して検出精度を向上させたトルクセンサ及びこれを備えた駆動装置を提供することである。本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。すなわち、本発明のトルクセンサは、中空軸状をなし軸方向一端に駆動力が入力され軸方向他端に負荷が入力されて駆動側と負荷側との間で捩れを伴いながらトルクを伝達するトルク伝達軸と、前記トルク伝達軸の内部に中空空間を形成する内周面に取り付けられ、前記トルク伝達軸に対するトルク入力によって前記内周面に生じる歪みを検出する歪検出部と、前記中空空間に収納され前記歪検出部の検出結果を中空空間の外部に送信する送信部とを具備し、前記送信部から受信した検出結果に基づいて前記トルク伝達軸に作用するトルクの大きさを算出するトルクセンサであって、前記トルク伝達軸を軸受を介して回転可能に支持する固定支持部と、前記トルク伝達軸の軸方向の少なくとも一方から導入される冷媒を前記中空空間に連通しないように前記トルク伝達軸の内部を通して前記軸受へ供給する冷媒供給路とを備え、前記冷媒供給路は、前記トルク伝達軸の外周面及び内周面の間に軸方向に沿って冷媒を流通させるスラスト路を有し、このスラスト路を流れる冷媒により前記歪検出部を冷却することを特徴とする。このように、高速回転化のため軸径を細くするに伴い撓みやすくなるトルク伝達軸を軸受で支持する構成を採用するにあたり、冷媒供給路がトルク伝達軸の軸方向の少なくとも一方から導入される冷媒を中空空間に連通しないようにトルク伝達軸の内部を通して軸受へ供給するので、中空空間に収納される歪検出部や送信部を始めとする検出部品へ冷媒が至ることを避けてこれら検出部品を保護しつつ、軸受に適切に冷媒を供給することが可能となる。しかも、冷媒供給路は、トルク伝達軸の外周面及び内周面の間に軸方向に沿って冷媒を流通されるスラスト路を有し、このスラスト路を流れる冷媒により歪検出部を冷却するので、軸受で生じる熱が歪検出部での検出結果に与える影響を低減して検出精度を向上させることが可能となる。さらに、トルク伝達軸の外周面及び内周面の間にスラスト路を形成することにより径方向の肉厚の薄い薄肉部位を設けているので、内周面のうちスラスト路と径方向で重なる部位にトルク入力により生じる応力が集中しやすくなり、この部位に生じる応力がスラスト路のない場合に比べて増大し、この部位だけでなくその近傍など応力の増大する部分が全体的に増える。その結果、歪検出部の取り付け位置によるものの、歪検出部で検出する歪量をスラスト路のない場合に比べて増大させて歪検出部による検出感度を向上させることができる場合がある。冷却の偏りを低減して適切な冷却を可能とするためには、前記スラスト路が、前記トルク伝達軸の内部に周方向に沿って複数形成されていることが好ましい。軸受をより一層的確に冷却するためには、前記軸受は、前記トルク伝達軸を複数箇所で支持するように軸方向に沿って複数配置されており、前記スラスト路は、前記複数の軸受と径方向で重なる位置に配置されていることが望ましい。適切に冷媒を軸受に供給するためには、前記冷媒供給路は、前記トルク伝達軸の軸中心を通り軸方向のいずれか一方から冷媒が導入される導入路と、前記導入路から外周に向けて延在し前記導入路と前記スラスト路とを接続する接続路とを有することが効果的である。本発明のトルクセンサは、回転駆動する駆動装置に適用するのが好適である。すなわち、上記トルクセンサとハウジングを備え出力軸から回転駆動力を出力する駆動装置において、トルクセンサと駆動装置とを適切にユニット化するためには、前記出力軸と前記トルク伝達軸とを一体に形成し又は前記出力軸と前記トルク伝達軸の軸方向一端とを接続して当該トルク伝達軸に駆動力が入力されるように構成するとともに、前記固定支持部と前記ハウジングとを一体に形成し又は接続していることが好ましい。供給源に対するメンテナンス性の向上や製造コストの低減、装置の小型化を追求するためには、前記出力軸は、出力軸用の軸受により回転可能に支持されるとともに、内部に冷媒を通して前記出力軸用の軸受に冷媒を供給する流路の一部を構成するものであり、前記トルク伝達軸の内部に形成される前記導入路は、前記出力軸から冷媒が導入されるように構成されていることが望ましい。本発明は、以上説明したように、冷媒供給路がトルク伝達軸の軸方向の少なくとも一方から導入される冷媒を中空空間に連通しないようにトルク伝達軸の内部を通して軸受へ供給するので、中空空間に収納される歪検出部を始めとする検出部品へ冷媒が至るのを回避して検出部品の保護を図りつつ、軸受に適切に冷媒を供給することが可能となる。しかも、冷媒供給路は、スラスト路を有し、このスラスト路を流れる冷媒によって歪検出部を冷却するので、軸受で生じた熱による悪影響を低減して歪検出部の検出精度を向上させることが可能となる。したがって、軸受への適切な冷媒供給を実現するとともに、軸受で生じる熱による影響を低減して検出精度を向上させたトルクセンサ及びこれを備えた駆動装置を提供することが可能となる。以下、本発明の一実施形態に係るトルクセンサを、図面を参照して説明する。トルクセンサTsは、図1に示すように、駆動装置と負荷装置との間に介在するトルク伝達軸2に作用するトルクの大きさを測定する装置であり、略中空軸状をなし軸方向両端2c,2dがそれぞれ駆動側駆動装置M及び負荷側負荷装置に接続され駆動側及び負荷側の間で捩れを伴いながらトルクを伝達するトルク伝達軸2と、トルク伝達軸2の内部に中空空間SP1を形成する内周面2aに取り付けられトルク伝達軸2に対するトルク入力によりトルク伝達軸2に生じる歪みを検出する歪ゲージを用いた歪検出部4と、歪検出部4と同様に中空空間SP1に収納され歪検出部4の検出結果を中空空間SP1の外部に送信する送信部30と、送信部30から受信した検出結果に基づきトルク伝達軸2に作用するトルクの大きさを算出するトルク演算部31とを有している。このトルクセンサTsは、図2に例示するように、トルク伝達軸2の軸方向一端2cと駆動力出力軸M3aシャフトとを接続してトルクセンサTsを備えたモータ等の駆動装置Mを構成するために利用される。トルク伝達軸2は、図1に示すように、内部に中空空間SP1が形成された有底の略中空軸状のものである。トルク伝達軸2の軸方向一端2cは、回転駆動するモータ等の駆動装置Mの駆動力出力軸M3aシャフトとスプライン接続等により関連付けられて駆動装置Mにより駆動力が入力され、トルク伝達軸2の軸方向他端2dは、負荷装置のシャフトとボルト止め等により関連付けられて負荷装置により負荷が入力される。図1に示すように、トルク伝達軸2の内部に設けられた中空空間SP1は、軸方向一端2c側が閉止される一方で、軸方向他端2d側が開口部2eを介して開放されており、封止部2fを、開口部2eを塞ぐ位置にOリング等の封止部材slやネジ等の止着具voを介して着脱可能に構成している。このように、中空空間SP1に歪検出部4や送信部30を始めとする検出部品を収納した状態で容易に密閉可能にしたので、各検出部品を油や埃等から保護することを可能にしている。この封止部2fには、負荷装置のシャフトを接続するための接続用孔2faが形成されている。歪検出部4は、図3に示すように、機械的な寸法の微小な変化を電気信号として検出するシート状の歪ゲージを用いたもので、トルク伝達軸2の内部に中空空間SP1を形成し且つ軸心Cnを中心とする円形に沿った内周面2aに、トルク入力によってトルク伝達軸2に生じる捩れに対応する二方向の歪みを検出する姿勢で接着剤を介して貼付されている。この歪検出部4は、軸方向に対して45度傾斜する方向の歪量を検出する第一の受感部4aと、第一の受感部4aの検出方向と直交し且つ軸方向に対して45度傾斜する方向の歪量を検出する第二の受感部4bとを一組にして構成したもので、トルク伝達軸2が捩れるときに生じる引張応力成分を一方の受感部で検出し、同時にトルク伝達軸2に生じる圧縮応力成分を他方の受感部で検出するものである。この歪検出部4として用いられる歪ゲージは、金属抵抗体の抵抗値を利用するものであるので、歪検出部4自体や周囲の温度によって抵抗値が変化し、検出結果に影響検出誤差等が生じる。本実施形態では、図4に示すように、互いに軸心Cnを中心として対称となる位置に歪検出部4をそれぞれ取り付けて歪検出部を一対又は複数対とし、複数例えば8つの歪みゲージを既知の4ブリッジ法でブリッジ回路を構成して接続している。勿論、本実施形態では、二つの受感部4a,4bが一組となった歪ゲージを用いてトルク伝達軸2の捩れに対応する二方向の歪量を検出しているが、第一,第二の受感部4a,4bが別々に構成された歪検出部を複数一組として用いてもよい。なお、図1や図3に示すに示す歪ゲージは、あくまでも歪ゲージのゲージパターンのイメージ図であり、本発明に適用可能な歪検出部が同図に示すゲージパターンに限定されることを意味するものではない。送信部30は、図1に示すように、歪検出部4に電圧を印加し且つ歪検出部4で検出した検出結果を示す歪信号を中空空間SP1の外部へ送信するテレメータを用いたもので、封止部2fに取り付けられて、歪検出部4と径方向で重ならないように中空空間SP1に収納されている。また、トルク伝達軸2の外部には、送信部30から送信された歪信号検出結果をアンテナコイル30aを介して受信してトルクの大きさを演算処理により算出するトルク演算部31と、送信部30に対して電力を非接触でアンテナコイル30a送受信アンテナを介して供給する電力供給部32が設けられている。すなわち、電力供給部32からアンテナコイル30aを介して送信部30に電力が供給され、歪検出部4に電圧が印加される。そして、トルク伝達軸2にトルクが作用すると、トルク伝達軸2に捩れが生じ、この捩れがトルク伝達軸2の内周面2aに貼付された歪検出部4によって歪量として検出される。歪検出部4で検出した歪量に対応する歪信号が送信部30からトルク演算部31に送信され、トルク演算部31が歪信号歪検出部4の検出結果に基づいてトルクの大きさを算出する。トルク伝達軸2は、図1に示すように、軸受5を介して固定支持部6に回転可能に支持されている。軸受5は、ボールベアリング等の転がり軸受を用いたもので、トルク伝達軸2を複数箇所本実施形態では二箇所で支持するように軸方向に沿って複数本実施形態では二つ配置されている。固定支持部6は、略円筒状をなし基端部60aが駆動装置MのハウジングM1にボルト等の止着具を介して取り付けられる外側支持部60と、外側支持部60の内部に収納された状態で外側支持部60に取り付けられる内側支持部61とを有する二重構造をなしている。外側支持部60は、駆動装置MのハウジングM1に取り付けた状態で下部となる部位に、軸受5に供給された潤滑油などの冷媒を外部に排出するための排出口60ejが形成され、内部空間SP2の径方向寸法を排出口へ向かうほど広くすることで外側支持部60の内形によって冷媒を排出口60ejへ案内するように構成している。すなわち、外側支持部60の内部空間SP2を形成する面の一部を排出口60ejに向かって傾斜する傾斜面60xとしている。内側支持部61は、フランジ部62fを有する有底円筒部62と、有底円筒部62の開口K1を閉止する蓋部63とから構成され、フランジ部62fが外側支持部60の先端部60bにボルト等の止着具voやOリング等の封止部材slを介して取り付けられるもので、有底円筒部62及び蓋部63により形成される内部空間SP3に軸受5が配置されており、この軸受5を介して軸方向に貫通するトルク伝達軸2を回転可能に支持する。軸受5は、トルク伝達軸2の外周面2bに形成された突状の軸側軸受支持部64aと、有底円筒部62又は蓋部63を足場とする固定側軸受支持部64bとにより抱き込まれて軸方向に固定されている。また、内側支持部61の下部には、軸受5に供給された潤滑油などの冷媒を外部に排出するための排出口61ejが形成されている。なお、固定側軸受支持部64bは、有底円筒部62や蓋部63と一体の部材として構成されていてもよいし、別の部材として構成されていてもよい。トルク伝達軸2の内部には、図1に示すように、トルク伝達軸2の軸方向一端2c側駆動側から導入される冷媒を中空空間SP1に連通しないようにトルク伝達軸2の内部を通して軸受5へ供給する冷媒供給路7が形成されている。具体的には、冷媒供給路7は、トルク伝達軸2の軸中心Cnを通り軸方向一端2cにある駆動装置Mの駆動力出力軸M3aシャフトから冷媒が導入される導入路70と、トルク伝達軸2の外周面2b及び内周面2aの間を軸方向に沿って冷媒を流通させるスラスト路71と、導入路70から外周に向けて延在し導入路70とスラスト路71とを接続する接続路72とを有する。スラスト路71は、軸受5や歪検出部4と径方向で重なる位置、すなわちトルク伝達軸2の肉を介して軸受5や歪検出部4を冷却する位置に配置されている。また、スラスト路71には、各々の軸受5に対応するラジアル路73が複数設けられており、スラスト路71を基幹路とし、ラジアル路73を分岐路として、各々の軸受5に冷媒を供給する流路が一つのスラスト路71から分岐して形成されている。このラジアル路73に対応して固定側軸受支持部64bは、ラジアル路73と径方向で重なる位置にあり、ラジアル路73から供給された冷媒を軸受5に案内する湾曲した案内面64xが形成されている。スラスト路71は、図3及び図4に示すように、軸方向に直交する横断面において歪検出部4と径方向で重なるようにトルク伝達軸2の内部に周方向に沿って等間隔で複数形成されており、図1に示すように、導入路70の先端部にある分岐部70aと各々の接続路72を介して接続されている。スラスト路71は、図3に示すように、軸方向に直交する横断面において点P1を中心とする半径r1の円形をなしている。歪検出部4は、内周面2aのうちスラスト路71と径方向で重なる部位2abを含む領域に接着剤を介して貼付されている。このように、歪検出部4をトルク伝達軸2の内周面2aに設けることで、高速回転時の遠心力によって歪検出部4の損傷やトルク伝達軸2と離反することを有効に防止している。内周面2aのうちスラスト路71と径方向で重なる部位2abの中でも、径方向の肉厚が最も薄い部位P2に対して最も応力が集中すると考えられる。言い換えると、この応力集中部位P2は、内周面2aのうちスラスト路71の中心P1とトルク伝達軸2の軸心Cnとを結ぶ直線上にある部位とも言え、内周面2aのうちスラスト路71の中心P1と径方向で重なる部位とも言える。勿論、歪検出部4は、内周面2aのうちスラスト路71と径方向で重なる部位2abに貼付することが望ましいが、かかる部位2ab以外の内周面2aに貼付してもスラスト路71のない場合に比べると有効である。スラスト路71の中心軸P1は、径方向における外周面2b及び内周面2aの中央P0より内方に設定されている。すなわちスラスト路71は、外周面2b側よりも内周面2a側寄りに形成されている。このように、スラスト路71を外周面2b側よりも内周面2a側寄りに形成することで、スラスト路71の内周側の肉厚が外周側の肉厚よりも薄くなり、トルク伝達軸2の肉を介した歪検出部4の冷却効率を向上させることができるとともに、スラスト路71と径方向で重なる範囲においてトルク入力で生じる応力が外周面よりも内周面に集中しやすくしている。なお、本実施形態では、冷媒供給路7の断面形状は円形であるが、冷媒供給路7の断面形状は冷媒を通すことができればどのような形状でもよい。ここで、従来のトルクセンサと比較実験を行うために、トルク伝達軸2が単なる中空軸である場合と、図4に示すように同じ中空軸にスラスト路71を設けた本実施形態の場合とについて、捩り剛性及び歪検出部4の取り付け位置におけるせん断応力とを計算した結果を以下に示す。計算対象となるトルク伝達軸については、図3に例示するように、いずれの例についてもトルク伝達軸の内外径差D-dを5mm、外径を20~60mm、横弾性係数Gを鋼相当の約80GPaとしている。図3に示す本実施形態の場合は、スラスト路71の直径2×r1を3mm、スラスト路71と内周面2aとの間隔w2を0.5mmとしている。計算式は、起歪部の外径をD、内径をd、トルクをTとし、トルク伝達軸の捩り剛性GI=πGD4-d4/32、内周面に生じるせん断応力τ=16dT/πD4-d4、内周面のひずみε=τ/2Gとして計算している。計算結果は、FEMFiniteElementMethod:有限要素法によって求めている。その計算結果は、図5に示すように、本実施形態のスラスト路71を設けたものは、従来の中空軸の場合よりも若干捩り剛性が低減するものの、内周面2aに得られるせん断応力歪量が中空軸の場合に比べて増大している。したがって、トルク伝達軸2の内部の内周面2aに取り付けた歪検出部4を適切に冷却することができるだけでなく、歪検出部4で検出される歪量を増大して検出感度を向上させることができるのが分かる。なお、図2に概念図を用いて模式的に示すように、駆動装置Mは周知のモータ等を用いたもので、ハウジングM1に固定され磁界を発生する固定子M2と、固定子M2に対して回転可能な状態でハウジングM1に支持され磁界を受けて回る回転子M3とを有し、固定子M2への通電制御により磁界を変化させ、固定子M2と回転子M3との間に反発力や吸引力等を作用させて回転子M3を回転させ、電気エネルギーから回転駆動力を出力するものである。回転子M3の駆動力出力軸M3aシャフトに上記トルク伝達軸2が接続されてトルク伝達軸2に駆動力が入力されるように構成するとともに、ハウジングM1に固定支持部6を取り付けてある。また、駆動装置Mを構成する駆動力出力軸M3aは、出力軸用の軸受M4により回転可能に支持されるとともに、内部に冷媒を通して出力軸用の軸受M4や図示しない発熱部を始めとする機構部品に冷媒を供給する流路M5の一部を構成するものであり、トルク伝達軸2の内部に形成される導入路70は、出力軸M3aから冷媒が導入されるように構成されている。勿論、トルク伝達軸2と駆動力出力軸M3aシャフトとを同一部材として一体に形成してもよく、また、固定支持部6とハウジングM1とを同一部材として一体に形成してもよい。この場合、トルクセンサ及び駆動装置を合わせた装置全体の軸方向寸法を小形化することも可能となる。図2に示す駆動装置Mは概念図で示したものにすぎず、この図示の駆動装置に限定されるものではない。また駆動装置にはモータ以外のものを用いてもよい。以上のように、本実施形態のトルクセンサトルクセンサTsは、中空軸状をなし軸方向一端2cに駆動力が入力され軸方向他端2dに負荷が入力されて駆動側と負荷側との間で捩れを伴いながらトルクを伝達するトルク伝達軸2と、トルク伝達軸2の内部に中空空間SP1を形成する内周面2aに取り付けられ、トルク伝達軸2に対するトルク入力によって内周面2aに生じる歪みを検出する歪検出部4と、中空空間SP1に収納され歪検出部4の検出結果を中空空間SP1の外部に送信する送信部30とを具備し、送信部30から受信した検出結果に基づいてトルク伝達軸2に作用するトルクの大きさを算出するトルクセンサであって、トルク伝達軸2を軸受5を介して回転可能に支持する固定支持部6と、トルク伝達軸2の軸方向の少なくとも一方から導入される冷媒を中空空間SP1に連通しないようにトルク伝達軸2の内部を通して軸受5へ供給する冷媒供給路7とを備え、冷媒供給路7は、トルク伝達軸2の外周面2b及び内周面2aの間に軸方向に沿って冷媒を流通させるスラスト路71を有し、このスラスト路71を流れる冷媒により歪検出部4を冷却するようにしている。このように、高速回転化のため軸径を細くするに伴い撓みやすくなるトルク伝達軸2を軸受5で支持する構成を採用するにあたり、冷媒供給路7がトルク伝達軸2の軸方向一端2c側から導入される冷媒を中空空間SP1に連通しないようにトルク伝達軸2の内部を通して軸受5へ供給するので、中空空間SP1に収納される歪検出部4や送信部30を始めとする検出部品へ冷媒が至ることを避けてこれら検出部品を保護しつつ、軸受5に適切に冷媒を供給することが可能となる。しかも、冷媒供給路7は、トルク伝達軸2の外周面2b及び内周面2aの間に軸方向に沿って冷媒を流通されるスラスト路71を有し、このスラスト路71を流れる冷媒により歪検出部4を冷却するようにしているので、軸受5で生じる熱が歪検出部4での検出結果に与える影響を低減して検出精度を向上させることが可能となる。さらに、トルク伝達軸2の外周面2b及び内周面2aの間にスラスト路71を形成することにより径方向の肉厚の薄い薄肉部位を設けているので、内周面2aのうちスラスト路71と径方向で重なる部位にトルク入力により生じる応力が集中しやすくなり、この部位に生じる応力がスラスト路71のない場合に比べて増大し、この部位だけでなくその近傍など応力の増大する部分が全体的に増える。その結果、歪検出部4の取り付け位置によるものの、歪検出部4で検出する歪量をスラスト路71のない場合に比べて増大させて歪検出部4による検出感度を向上させることができる場合がある。また、本実施形態では、スラスト路71が、トルク伝達軸2の内部に周方向に沿って複数形成されているので、トルク伝達軸2の冷却部位が増え、トルク伝達軸2、歪検出部4及び軸受5の冷却偏りを低減して適切な冷却が可能となる。特に、本実施形態では、スラスト路71を周方向に沿って等間隔で配置しているので、トルク伝達軸2を均一に冷却することを可能としている。さらに、本実施形態では、軸受5は、トルク伝達軸2を複数箇所で支持するように軸方向に沿って複数配置されており、スラスト路71は、前記複数の軸受と径方向で重なる位置に配置されているので、軸受5への冷媒供給だけでなくトルク伝達軸2の肉を介しても軸受5を冷却することになり、軸受5をより一層的確に冷却することが可能となる。さらにまた、本実施形態では、冷媒供給路7は、トルク伝達軸2の軸中心Cnを通り軸方向一端2c側から冷媒が導入される導入路70と、導入路70から外周に向けて延在し導入路70とスラスト路71とを接続する接続路72とを有するものである。このように構成すると、トルク伝達軸2の回転により作用する遠心力によって冷媒が導入路70、接続路72及びスラスト路71を順に巡って軸受5に供給されるので、トルク伝達軸2の細径化に伴い冷媒供給路7の径が細くなり且つ冷媒に粘度の高いものを用いたとしても適切に冷媒を軸受5へ供給可能な高速回転に適したトルクセンサTsを提供することが可能となる。本実施形態の駆動装置Mは、上記トルクセンサTsとハウジングM1とを備え、出力軸M3aから回転駆動力を出力するものであって、出力軸M3aとトルク伝達軸2の軸方向一端2cとを接続してトルク伝達軸2に駆動力が入力されるように構成するとともに、固定支持部6とハウジングM1とを接続しているので、トルクセンサTsと駆動装置Mとを適切にユニット化することが可能となる。さらに、本実施形態の駆動装置Mは、出力軸M3aが、出力軸用の軸受M4により回転可能に支持されるとともに、内部に冷媒を通して出力軸用の軸受M4に冷媒を供給する流路M5の一部を構成するものであり、トルク伝達軸2の内部に形成される導入路70が、出力軸M3aから冷媒が導入されるように構成されているので、駆動装置Mの出力軸M3aを支持するための軸受M4を始めとする機構部品への冷媒の供給源と、トルク伝達軸2や歪検出部4を冷却するための冷媒の供給源とを共通化することができ、冷媒の供給源を並設する必要がなくなり、供給源に対するメンテナンス性の向上や製造コストの低減、装置の小型化を追求することが可能となる。以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。例えば、本実施形態では、トルクセンサTsは、駆動装置Mに組み込まれて構成されているが、単独で構成することも可能である。また、冷媒供給路7は、軸方向一端2c側駆動側から冷媒を導入しているが、軸方向他端2d側負荷側から冷媒を導入するようにしてもよい。勿論、軸方向両側から冷媒を導入するようにしてもよい。また、本実施形態では、接続路72は、径方向に沿ってほぼ直線上に延びているが、湾曲していてもよい。また、本実施形態では、歪検出部4の数は、スラスト路71の数に対応して同数であるが、図6aに示すように、トルク伝達軸102に形成するスラスト路71の数は、歪検出部4の数よりも多くても少なくてもよい。スラスト路の数が多いほど冷却度が向上する。また、本実施形態では、スラスト路71と歪検出部4とは径方向で重なる位置関係にあるが、図6aに示すように、必ずしも径方向で重なる位置関係に無くてもよい。スラスト路71の大きさや配置位置は、適宜変更可能であり、スラスト路71の断面形状は、円形に限られず、適宜変更可能である。例えば多角形状や鋭角部を有する形状等が挙げられる。スラスト路71を複数形成した場合には各々の大きさや断面形状が異なっていても良い。また、内周面のうち単一のスラスト路と径方向で重なる位置に複数の歪検出部を取り付けてもよいし、逆に単一の歪検出部と径方向で重なる位置に複数のスラスト路を形成してもよい。また、スラスト路は、トルク伝達軸2を軸方向に貫通していてもよいし、貫通していなくてもよい。内周面2aに生じる応力すなわち検出感度は、スラスト路とトルク伝達軸内周面との距離によって上記発明の範囲において調整可能である。また、図6bに示すように、トルク伝達軸202の内周面202aに軸方向に延びる溝部を形成して、内周面202aの一部としての溝面に歪検出部4を貼付し、スラスト路71を周方向において溝部同士の間に配置してもよい。このように構成すれば、歪検出部の検出感度を適切に確保しつつ歪検出部の冷却を実現することができる場合がある。さらに、歪検出部として歪ゲージを例として述べているが、トルク伝達軸に生じる歪みを検出できるものであれば歪ゲージ以外のものでもよい。例えば、圧電素子を用いてもよいし、トルク伝達軸の内周面に応力に応じて発光する材を塗布して受光センサで検出するようにしてもよい。さらにまた、トルク伝達軸2は、駆動装置又は負荷装置のシャフトに接続できるものであれば、フランジやスプライン形状に限定されるものではない。例えばキーによって接続する形状でもよい。さらにまた、本実施形態では、冷媒供給路7に流通させる冷媒は、潤滑油などの液体であるが、窒素などの気体であってもよい。スラスト路を流通させた冷媒は、全てを軸受に供給してもよいし、一部を負荷装置側に供給するようにしてもよい。その他、検出した歪信号のトルク演算部31への伝送や電力供給部32から歪検出部4への電力供給は無線だけでなく、例えばスリップリングを用いた有線で行ってもよい。なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。"