内燃機関の排気通路に設けられ、排気中の排気微粒子を捕集する排気微粒子フィルタと、前記排気微粒子フィルタの下流側に配置され、還元剤を用いてNOxを選択的に還元する選択還元触媒と、尿素水を前記還元剤として前記選択還元触媒の上流側に噴射する還元剤供給手段と、を有し、前記排気微粒子フィルタに捕集された排気微粒子の量に応じて、この捕集された排気微粒子を燃焼させるフィルタ再生処理を行う内燃機関の排気浄化装置において、前記フィルタ再生処理の開始から所定時間が経過するまでの第1再生処理期間中は、前記内燃機関の運転状態に応じた量よりも増量した噴射量の尿素水を供給し、前記所定時間経過後から前記フィルタ再生処理が終了するまでの第2再生処理期間中は、前記内燃機関の運転状態に応じた噴射量の尿素水、もしくは前記第1再生処理期間中の増量割合よりも少ない割合で増量した噴射量の尿素水を供給することを特徴とする内燃機関の排気浄化装置。前記第1再生処理期間中は、尿素水を連続して噴射することを特徴とする請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記選択還元触媒の下流側のアンモニア濃度を検出するアンモニア検出手段を有し、前記第1再生処理期間中に、前記選択還元触媒の下流側のアンモニア濃度が所定値より高くなった場合には、前記還元剤供給手段による尿素水の噴射を禁止すると共に、前記排気微粒子フィルタのフィルタ再生処理を中断することを特徴とする請求項1または2に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記選択還元触媒の下流側における排気中のNOx濃度を検出するNOx検出手段を有し、前記排気微粒子フィルタのフィルタ再生処理が中断された状態で、前記選択還元触媒下流側の排気中のNOx濃度が所定値より高くなった場合には、前記還元剤供給手段による尿素水の噴射禁止を解除すると共に、中断している前記排気微粒子フィルタのフィルタ再生処理の実施を可能にすることを特徴とする請求項3に記載の内燃機関の排気浄化装置。ここで、前記のフィルタ再生処理は、内燃機関が所定の運転条件で運転されている運転中に実行されるが、排気微粒子が燃焼し始めるフィルタ再生処理開始直後に内燃機関がアイドル状態になって排気量が減少した場合に、排気微粒子フィルタから下流に過度に高温の排気が流出することがある。しかしながら、前記特許文献1においては、フィルタ再生処理開始直後に内燃機関がアイドル状態となって排気量が減少する状況を想定していないため、このような場合に、排気微粒子フィルタから流出する過度に高温の排気が還元触媒に流入することになり、還元触媒が過度に高温となってしまい、熱劣化してしまう虞がある。そこで、本発明の内燃機関の排気浄化装置は、排気微粒子フィルタの下流側に還元剤を用いてNOxを選択的に還元する選択還元触媒を有し、排気微粒子フィルタに捕集された排気微粒子の量に応じて、この捕集された排気微粒子を燃焼させるフィルタ再生処理を行うものであって、前記フィルタ再生処理の開始から所定時間が経過するまでの第1再生処理期間中は、前記内燃機関の運転状態に応じた量よりも増量した噴射量の尿素水を供給し、前記所定時間経過後から前記フィルタ再生処理が終了するまでの第2再生処理期間中は、前記内燃機関の運転状態に応じた噴射量の尿素水、もしくは前記第1再生処理期間中の増量割合よりも少ない割合で増量した噴射量の尿素水を供給することを特徴としている。捕集された排気微粒子は、フィルタ再生処理の開始直後から燃え始めるが、このとき内燃機関がアイドル状態になり排気量が減少すると、排気微粒子フィルタを通過した排気は非常に高温となる。一方、フィルタ再生処理の開始からある程度時間が経過していれば、排気微粒子フィルタ内で燃焼する排気微粒子が減少しているため、内燃機関がアイドル状態になり排気量が減少しても、排気微粒子フィルタを通過した排気の温度が過度に高温とはならない。本発明によれば、排気微粒子フィルタを通過した排気が過度に高温になる可能性があるフィルタ再生処理の開始から所定時間経過するまでの第1再生処理期間中は、尿素水の噴射量が相対的に増量されるため、仮にこのとき内燃機関がアイドル状態になっても、通常時よりも増量された尿素水が気化することにより、選択還元触媒に流入する排気が過度に高温となることが抑制される。そのため選択還元触媒が過度に高温とはならず、選択還元触媒の熱劣化を抑制することができる。以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明に係る排気浄化装置SCRシステムの全体構成を模式的に示した説明図である。ディーゼルエンジンである内燃機関1の排気通路2には、上流側から順番に、排気中のHC、COを酸化処理する酸化触媒DOC3、排気中の排気微粒子PMを捕集除去する排気微粒子フィルタDPF4、排気通路2内に尿素水を噴射する還元剤供給手段としての尿素水噴射ノズル5、排気中のNOx窒素酸化物を浄化する選択還元触媒SCR6が配置されている。排気微粒子フィルタ4と尿素水噴射ノズル5との間には、排気中のNOxの濃度を検出可能な上流側NOxセンサ7が配置されている。選択還元触媒6の下流側には、排気中のNOxの濃度及びアンモニア濃度を検出可能な下流側NOxセンサ8が配置されている。なお、この下流側NOxセンサ8に替えて、排気中のNOxの濃度を検出可能なセンサと、排気中のアンモニア濃度を検出可能なセンサとを個別に設けるようにしてもよい。また、排気通路2には、排気微粒子フィルタ4の入口側と出口側との間の圧力差を検出する差圧センサ9が設けられている。差圧センサ9で検出される圧力差から排気微粒子フィルタ4に堆積した排気微粒子の堆積量が推定される。選択還元触媒6は、アンモニアNH3を還元剤として使用して排気中のNOxを選択的に還元し、窒素N2及び水H2Oへと浄化するものである。選択還元触媒6に供給されるアンモニアは、尿素水噴射ノズル5から噴射された尿素水が、熱分解及び加水分解されて転化したものである。尿素水噴射ノズル5から噴射される尿素水は、図示せぬ尿素水タンクから供給される。選択還元触媒6に供給されるアンモニアの供給量は、SCRコントローラ10からの指令に応じて尿素水噴射ノズル5から噴射される尿素水の噴射量を制御することで調整される。このSCRコントローラ10には、上流側NOxセンサ7及び下流側NOxセンサ8からの出力信号が入力されている。またSCRコントローラ10は、CAN通信によってエンジンコントローラ11と結ばれている。エンジンコントローラ11には、前述した差圧センサ9のほか、内燃機関1の回転数を検出する回転数センサ12や、運転者により操作されるアクセルペダルの開度を検出するアクセル開度センサ13等の各種センサからの出力信号が入力されている。通常時、尿素水噴射ノズル5から噴射される尿素水噴射量は、内燃機関1からのNOx排出量に応じて増減する基本噴射量に基づいてる。前記基本噴射量は、燃料噴射量とエンジン回転数に基づいて算出されている。詳述すると、燃料噴射量とエンジン回転数と用いて、内燃機関1から排出される排気温度、NOx排出量、排気流量を推定し、これらの推定値を用いて所定のマップから尿素水の基本噴射量が算出される。具体的には、選択還元触媒6下流側のNOx濃度に応じて前記基本噴射量を補正したものが、通常時の尿素水噴射量となっている。図2は、通常時の尿素水噴射量の制御の流れを示すフローチャートである。S11では、内燃機関1の運転状態に基づいて尿素水の基本噴射量を算出する。S12では、選択還元触媒6下流側におけるNOx濃度が予め設定されている所定の基準NOx濃度よりも高いか否かを判定し、高い場合にはS13へ進み、そうでない場合にはS14へ進む。S13では、S11で算出された基本噴射量を所定量増量補正する。S14では、S11で算出された基本噴射量を所定量減量補正する。そして、S15では、前記基本噴射量を選択還元触媒6下流側のNOx濃度に応じて補正した量の尿素水を噴射する。つまり、選択還元触媒6下流側の実際のNOx濃度に基づいてフィードバック方式により尿素水噴射量が増減補正される。なお、前記基本噴射量は、基本的に内燃機関1から排出されたNOxを選択還元触媒6で還元できる量になっているので、S13における増量量所定量及びS14における減量量所定量はそれぞれ比較的小さいものである。尿素が熱分解されることによって生じるアンモニアは、選択還元触媒6に吸着されるが、選択還元触媒6に吸着可能なアンモニア量には限界がある。NOxの還元で消費されるアンモニアの量よりも選択還元触媒6に供給されるアンモニアの量が多い場合には、やがて選択還元触媒6でアンモニアを吸着しきれなくなり、アンモニアが選択還元触媒6下流側に流出することになる。しかしながら、本実施例では、通常時、内燃機関1から排出されるNOx量に見合った前記基本噴射量の尿素水を噴射しており、基本的に選択還元触媒6のアンモニア吸着能力に余裕がある状態となっている。エンジンコントローラ11は、排気微粒子フィルタ4内の排気微粒子の堆積量が増加し、差圧センサ9で検出される差圧が予め設定された所定値以上になると、フィルタ再生処理条件が成立し、排気微粒子フィルタ4に捕集された排気微粒子を燃焼させて除去するフィルタ再生処理を実行する。このフィルタ再生処理は、各気筒の膨張行程もしくは排気行程で所定量の燃料を燃焼室内に噴射するいわゆるポスト噴射を行うことで実行される。ポスト噴射によって噴射された燃料は、内燃機関1の出力に寄与することなく、未燃燃料として内燃機関1から排気通路2に排出される。そして、酸化触媒3内でこの未燃燃料が燃焼し、高温となった排気が排気微粒子フィルタ4に流入することで、排気微粒子フィルタ4に堆積している排気微粒子が燃焼除去され、排気微粒子フィルタ4が再生される。一方、このようなフィルタ再生処理の間も本実施例のSCRシステムにおける尿素水の噴射は継続して行われるが、前記フィルタ再生処理の開始から所定時間例えば3~5分が経過するまでの第1再生処理期間中は、通常時の尿素噴射量に対して増量した噴射量の尿素水が尿素水噴射ノズル5から連続して噴射される。なお、前記第1再生処理期間を規定する前記所定時間は、排気微粒子フィルタ4の諸元に基づいて決定されている。前記第1再生処理期間中の尿素水噴射量第1の尿素水噴射量は、過度に高温の排気が選択還元触媒6に流入することがないように、前記基本噴射量を所定の増加割合Aで増量したものである。選択還元触媒6のアンモニア吸着量は、例えば、運転中に噴射された尿素水の積算量と、運転中に内燃機関1から排出されたNOx積算量と、運転中に選択還元触媒6下流側に排出されたNOxおよびアンモニアの積算量とから推定される。このアンモニアの吸着量が多い場合には、下流へのアンモニアの流出を回避するために、前記増加割合Aがより小さく設定される。なお、増加割合Aは、前述したS13、S14のフィードバック補正量に比べて比較的大きいものであり、仮に選択還元触媒6のアンモニア吸着量に応じて減少したとしても、増加割合Aにより増量された尿素水の量は、通常時に選択還元触媒6下流側のNOx濃度に応じて与えられる尿素水の量よりも大きい値となる。また、前記フィルタ再生処理時において、前記第1再生処理期間後前記所定時間経過後から前記フィルタ再生処理が終了するまでの第2再生処理期間中は、本実施例では前記基本噴射量の尿素水を尿素噴射ノズル5から噴射する。なお、前記第2再生処理期間中の尿素水噴射量第2の尿素水噴射量としては、前記基本噴射量を前記増加割合Aよりも小さい所定の増加割合Bで増量したものとしてもよい。この増加割合Bも、前記増加割合Aと同様に、選択還元触媒6のアンモニア吸着量に応じて増減する。なお、この増加割合Bも前述したS13、S14のフィードバック補正量に比べて比較的大きいものであり、仮に選択還元触媒6のアンモニア吸着量に応じて減少したとしても、増加割合Bにより増量された尿素水の量は、通常時に選択還元触媒6下流側のNOx濃度に応じて与えられる尿素水の量よりも大きい値となる。排気微粒子フィルタ4に捕集された排気微粒子は、前記フィルタ再生処理の開始直後から燃え始めるが、このとき内燃機関1がアイドル状態になり排気量が減少すると、排気微粒子フィルタ4を通過した排気は非常に高温となる。一方、フィルタ再生処理の開始からある程度時間が経過していれば、排気微粒子フィルタ4内で燃焼する排気微粒子が減少しているため、内燃機関1がアイドル状態になっても、排気微粒子フィルタ4を通過した排気が過度に高温とはならない。そこで、排気微粒子フィルタ4を通過した排気が過度に高温になる可能性がある前記第1再生処理期間中は、尿素水の噴射量を相対的に増量させておくことで、仮にこのとき内燃機関1がアイドル状態になっても、通常時よりも増量されている尿素水が気化することにより、選択還元触媒6に流入する排気が過度に高温となることが抑制される。そのため選択還元触媒6は過度に高温とはならず、熱劣化を抑制することができる。特に、前記第1再生処理期間中においては、尿素水が尿素水噴射ノズル5から連続して噴射されているため、仮に排気微粒子フィルタ4から過度に高温の排気が流出したとしても、尿素水を間欠的に噴射する場合に比べ、選択還元触媒6に流入する排気の温度が上昇してしまうことを安定して抑制することができる。このようにフィルタ再生処理時に選択還元触媒6が過度に高温となることが抑制されるため、選択還元触媒6に耐熱温度の低い安価な触媒を使用することが可能となり、選択還元触媒6のコストを低減することも可能となる。また、前記第2再生処理期間中は、第1再生処理期間中に比べて尿素水噴射量を減量しているので、過剰なアンモニアの供給を抑制することができ、アンモニアが選択還元触媒6の下流側に流出すること抑制できる。前記第1再生処理期間中に、選択還元触媒6下流側のアンモニア濃度が予め設定された所定のアンモニアスリップ基準濃度を越えた場合には、尿素水の噴射を禁止すると共に、前記フィルタ再生処理を中断し、該フィルタ再生処理の実施を禁止する。これは前記第1再生処理期間中は、前記のように、選択還元触媒6に過度に高温の排気が流入するような場合に備えて、内燃機関1から排出されるNOx量を還元するのに必要な量よりも多い尿素水を噴射するので、選択還元触媒6から余分なアンモニアが流出する虞があるためである。このような処理によって、排気微粒子フィルタ4のフィルタ再生処理時に、アンモニアが外部に排出されることを効果的に抑制することができる。前記第1再生処理期間中に前記フィルタ再生処理を中断した場合、選択還元触媒6下流側のNOx濃度が予め設定された所定のNOx排出基準値以上になると、尿素水の噴射禁止を解除し、前記フィルタ再生処理の実施禁止を解除する。つまり、選択還元触媒6に吸着されているアンモニアが十分に消費されてから、尿素水の連続噴射の実施が可能となる。これによって、選択還元触媒6下流側にアンモニアを流出させることなく、尿素水の増量噴射を再開することが可能となる。なお、前記フィルタ再生処理が前記第1再生処理期間中に中断し、その後選択還元触媒6下流側のNOx濃度がNOx排出基準値以上になったときに、前記フィルタ再生条件が成立していなければ、前記フィルタ再生条件が成立するまで前記フィルタ再生処理は実施されることはない。図3は、本実施例において、排気微粒子フィルタ4の再生処理時の各種パラメータの変化を示したタイミングチャートである。時刻t1で前記フィルタ再生処理が開始されると、図3中に実線で示すように、前記第1再生処理期間中は、前記基本噴射量を前記増加割合Aで増量した噴射量の尿素水を連続して噴射している。そのため、選択還元触媒6入口の排気温度を選択還元触媒6の触媒が劣化する所定の触媒劣化温度よりも低い状態に安定して保つことができる。また、時刻t2以降は前記第2再生処理期間であり、前記基本噴射量の尿素水を時刻t3のタイミングで噴射している。なお、図3中に破線で示す比較例は、前記フィルタ再生処理中、前記第1再生処理期間及び前記第2再生処理期間ともに前記基本噴射量よりも多い所定量の尿素水を間欠的に噴射した場合の特性であり、この比較例では、尿素水が噴射されていないタイミングで選択還元触媒6に流入する排気温度が前記触媒劣化温度よりも高くなってしまう可能性がある。例えば、前記第1再生処理期間中に、内燃機関1の運転状態がアイドル状態となり、このとき尿素水が噴射されていなければ、機関回転数の低下による排気量の減少により酸化触媒3を通過した排気の温度が破線で示すように大きく上昇してしまい、選択還元触媒6入口の排気温度が前記触媒劣化温度よりも高くなってしまう可能性がある。そのため、前記第1再生処理期間中は、尿素水を連続噴射する方が好ましい。図4は、本実施例において、排気微粒子フィルタ4の再生処理時の各種パラメータの変化を示したタイミングチャートである。時刻T1で前記フィルタ再生処理を開始する。時刻T2では、前記第1再生処理期間内ではあるものの、選択還元触媒6下流側のアンモニア濃度が前記アンモニアスリップ基準濃度を越えたために、前記フィルタ再生処理を中断し、尿素水の噴射を禁止している。時刻T2にて尿素水の噴射を禁止すると、選択還元触媒6にアンモニアが供給されなくなると共に、選択還元触媒6内に吸着されているアンモニアも排気中のNOxとの還元により消費され徐々に減少するため、選択還元触媒6下流側のアンモニア濃度は前記アンモニアスリップ基準濃度以下の値となる。そして、時刻T3にて、選択還元触媒6下流側のNOx濃度が前記NOx排出基準値を越えたときに、前記フィルタ再生処理条件が成立していれば、尿素水の連続噴射を再開すると共に、前記フィルタ再生処理を再開する。なお、時刻T3においては、選択還元触媒6に吸着されたアンモニアは十分に消費されており、選択還元触媒6のアンモニア吸着能力に十分な余裕がある状態となっている。なお、この図4においては、時刻T2から時刻T3の間前記フィルタ再生処理が中断されているため、図面上で第1再生処理期間の終了まで図示されておらず、時刻T3以降も前記第1再生処理期間である。つまり、図4においては前記第2再生処理期間は図示されていない。図5は、本実施例において、排気微粒子フィルタ4の再生処理時における制御の流れを示すフローチャートである。S21では、排気微粒子フィルタ4に捕集された排気微粒子を燃焼除去する前記フィルタ再生処理を実行する条件フィルタ再生処理条件が成立しているか否かを判定する。差圧センサ9で検出された排気微粒子フィルタ4の前後差圧が所定値以上である場合には、S22へ進み、そうでない場合には今回のルーチンを終了する。S22では、尿素水噴射ノズル5からの尿素水の連続噴射を許可する。このときの尿素水の噴射量は、前記基本噴射量を前記増量割合Aで増量したものである。S23では、選択還元触媒6下流側のアンモニア濃度が前記アンモニアスリップ基準濃度よりも小さいか否かを判定し、小さい場合にはS24へ進み、そうでない場合にはS26へ進む。S24では、尿素水の連続噴射時間が予め設定された所定時間よりも長いか否かを判定し、長い場合にはS25へ進み、そうでない場合にはS23へ進む。換言すれば、S24では前記第1再生処理期間内であるか否かを判定している。S25では、前記第1再生処理期間が終了したものと判定して尿素水の連続噴射を終了する。一方、S23で、選択還元触媒6下流側のアンモニア濃度が前記アンモニアスリップ基準濃度以上と判定されると、S26で尿素水の噴射を禁止し、S27で前記フィルタ再生処理を中断し、該フィルタ再生処理の実施を禁止する。そして、S28にて、選択還元触媒6下流側のNOx濃度が前記NOx排出基準値を越えているか否かを判定し、越えている場合にはS29へ進み、そうでない場合はS26進む。S29では尿素水の噴射禁止を解除し、S30では前記フィルタ再生処理の禁止を解除しS21へ進む。つまり、前記第1再生処理期間中に、選択還元触媒6下流側のアンモニア濃度が前記アンモニアスリップ基準濃度を越えると、選択還元触媒6下流側のNOx濃度が前記NOx排出基準値を越えるまで、尿素水の噴射が禁止され、排気微粒子フィルタ4の再生処理の実行が禁止されることになる。本実施例では、前記フィルタ再生処理が中断された場合、このフィルタ再生処理が再開されてから尿素水を連続噴射した時間が前記所定時間よりも大きくなったら、第1再生処理期間が終了したものとしている。