"0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、残部不純物からなる鋼からなり、他の部品と接触する接触面下の表層部における窒素濃度が0.3質量以上であり、全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下である、機械部品。0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、さらに0.5質量以下のニッケルおよび0.2質量以下のモリブデンの少なくともいずれか一方を含有し、残部不純物からなる鋼からなり、他の部品と接触する接触面下の表層部における窒素濃度が0.3質量以上であり、全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下である、機械部品。前記接触面下の前記表層部には、前記接触面に垂直な断面において直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2あたり5個以上存在している、請求項1または2に記載の機械部品。前記接触面から深さが50μmである領域における残留オーステナイト量は20体積以上である、請求項1~3のいずれか1項に記載の機械部品。軸受を構成する部品である、請求項1~4のいずれか1項に記載の機械部品。転がり軸受の内輪であって、内径表面における窒素濃度が0.05質量以下である、請求項5に記載の機械部品。軌道部材と、前記軌道部材に接触して配置される複数の転動体とを備え、前記軌道部材および前記転動体の少なくともいずれか一方は、請求項5に記載の機械部品である、転がり軸受。0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、残部不純物からなる鋼を成形することにより成形部材を作製する工程と、前記成形部材を浸炭窒化処理する工程と、浸炭窒化処理された前記成形部材を焼入硬化処理する工程と、焼入硬化処理された前記成形部材を焼戻処理する工程と、焼戻処理された前記成形部材を加工することにより他の部品と接触する面である接触面を形成する工程とを備え、前記成形部材を浸炭窒化処理する工程では、前記接触面を形成する工程において前記接触面下の表層部における窒素濃度が0.3質量以上となるように前記成形部材が浸炭窒化処理され、前記成形部材を焼戻処理する工程では、前記成形部材全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下となるように前記成形部材が焼戻処理され、前記接触面下の前記表層部には、前記接触面に垂直な断面において直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2あたり5個以上存在するように、前記成形部材を浸炭窒化処理する工程、前記成形部材を焼入硬化処理する工程、前記成形部材を焼戻処理する工程および前記接触面を形成する工程が実施される、機械部品の製造方法。0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、さらに0.5質量以下のニッケルおよび0.2質量以下のモリブデンの少なくともいずれか一方を含有し、残部不純物からなる鋼を成形することにより成形部材を作製する工程と、前記成形部材を浸炭窒化処理する工程と、浸炭窒化処理された前記成形部材を焼入硬化処理する工程と、焼入硬化処理された前記成形部材を焼戻処理する工程と、焼戻処理された前記成形部材を加工することにより他の部品と接触する面である接触面を形成する工程とを備え、前記成形部材を浸炭窒化処理する工程では、前記接触面を形成する工程において前記接触面下の表層部における窒素濃度が0.3質量以上となるように前記成形部材が浸炭窒化処理され、前記成形部材を焼戻処理する工程では、前記成形部材全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下となるように前記成形部材が焼戻処理され、前記接触面下の前記表層部には、前記接触面に垂直な断面において直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2あたり5個以上存在するように、前記成形部材を浸炭窒化処理する工程、前記成形部材を焼入硬化処理する工程、前記成形部材を焼戻処理する工程および前記接触面を形成する工程が実施される、機械部品の製造方法。前記成形部材を焼入硬化処理する工程では、前記接触面下の表層部となるべき領域が、焼入温度から600°Cまでの温度範囲において平均20°C/sec以上、かつ前記焼入温度から400°Cまでの温度範囲において平均30°C/sec以上の冷却速度で冷却されることにより、前記成形部材が焼入硬化される、請求項8または9に記載の機械部品の製造方法。しかしながら、近年の機械部品への耐久性向上の要求を考慮すると、従来の浸炭窒化処理では、用途によってはその耐久性は十分とはいえない場合がある。また、浸炭窒化処理の採用によって、経年寸法変化率が大きくなり、機械部品の寸法安定性が低下することが問題となる場合もある。本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立することが可能な機械部品、転がり軸受および機械部品の製造方法を提供することである。本発明の一の局面に従った機械部品は、0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、残部不純物からなる鋼からなり、他の部品と接触する接触面下の表層部における窒素濃度が0.3質量以上であり、全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下である。また、本発明の他の局面に従った機械部品は、0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、さらに0.5質量以下のニッケルおよび0.2質量以下のモリブデンの少なくともいずれか一方を含有し、残部不純物からなる鋼からなり、他の部品と接触する接触面下の表層部における窒素濃度が0.3質量以上であり、全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下である。本発明者は、他の部品と接触しつつ使用される機械部品において、耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立する方策について検討を行なった。その結果、以下のような知見を得て、本発明に想到した。機械部品において、転がり軸受の転走面のように他の部品と接触する表面接触面およびその直下では、亀裂などの損傷が発生し易い。そのため、当該接触面に浸炭窒化処理を施すことにより、耐久性の向上を図ることができる。このとき、本発明者の検討によると、接触面である表面から深さ20μmまでの領域における平均窒素濃度本願明細書、特許請求の範囲および要約書において表層部とは表面から深さ20μmまでの領域をいい、表層部における窒素濃度とは表層部における平均窒素濃度をいうを0.3質量以上にすることにより、接触面の耐久性が向上する。一方、焼入硬化された鋼の窒素濃度が上昇すると、残留オーステナイト量が増加し、これが機械部品の使用中に分解することにより経年変化率が大きくなる。ここで、接触面の耐久性については、表層部、すなわち表面から20μm以内のごく薄い層における窒素濃度が支配的である。これに対し、経年変化率に対しては、機械部品全体における残留オーステナイト量が影響する。そこで、表層部の窒素濃度を増加させつつ、機械部品全体の残留オーステナイト量を低減することにより耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立させることを検討したところ、接触面下の表層部における窒素濃度を0.3質量以上とし、かつ全体の平均残留オーステナイト量を20体積以下とすることにより、耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立可能であることが明らかとなった。このような表層部の窒素濃度と全体の残留オーステナイト量との組み合わせは、たとえば通常の浸炭窒化処理に比べて高い濃度の窒素を部品表面に導入した上で、通常の温度よりも高い温度で焼戻処理を実施することにより達成することができる。本発明の機械部品においては、接触面下の表層部における窒素濃度を0.3質量以上とし、かつ全体の平均残留オーステナイト量を20体積以下としている。その結果、本発明の機械部品によれば、耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立することが可能な機械部品を提供することができる。ここで、本発明の機械部品を構成する鋼の成分組成を上記範囲に設定した理由について説明する。炭素:0.60質量以上1.50質量以下炭素含有量は、焼入硬化後における機械部品の接触面の硬度に大きな影響を与える。鋼の炭素含有量が0.60質量未満では、焼入硬化後における接触面に十分な硬度を付与することが困難となる。あるいは、浸炭処理などで表面の炭素量を補う必要が生じ、生産効率の低下、製造コストの上昇の原因となる。一方、炭素含有量が1.50質量を超えると、焼入硬化の際の割れの発生焼割れが懸念される。そのため、炭素含有量は0.60質量以上1.50質量以下とした。珪素:0.15質量以上2.50質量以下珪素は、鋼の焼戻軟化抵抗の向上に寄与する。鋼の珪素含有量が0.15質量未満では、焼戻軟化抵抗が不十分となり、焼入硬化後の焼戻や、機械部品の使用中における温度上昇により接触面の硬度が大幅に低下する可能性がある。一方、珪素含有量が2.50質量を超えると、焼入前の素材の硬度が高くなり、素材を機械部品に成形する際の冷間加工における加工性が低下する。そのため、珪素含有量は0.15質量以上2.50質量以下とした。マンガン:0.30質量以上1.50質量以下マンガンは、鋼の焼入性の向上に寄与する。マンガン含有量が0.30質量未満では、この効果が十分に得られない。一方、マンガン含有量が1.50質量を超えると、焼入前の素材の硬度が高くなり、冷間加工における加工性が低下する。そのため、マンガン含有量は0.30質量以上1.50質量以下とした。クロム:0.20質量以上2.00質量以下クロムは、鋼の焼入性の向上に寄与する。クロム含有量が0.20質量未満では、この効果が十分に得られない。一方、クロム含有量が2.00質量を超えると、素材コストが高くなるという問題が生じる。そのため、クロム含有量は0.20質量以上2.00質量以下とした。ニッケル:0.5質量以下ニッケルも、鋼の焼入性の向上に寄与する。ニッケルは、本発明の機械部品を構成する鋼において必須の成分ではないが、大型の機械部品など、機械部品を構成する鋼に高い焼入性が求められる場合に添加することができる。しかし、ニッケル含有量が0.5質量を超えると、焼入後における残留オーステナイト量が多くなり、寸法安定性が低下する。そのため、機械部品を構成する鋼に0.5質量以下の範囲で添加することが好ましい。モリブデン:0.2質量以下モリブデンも、鋼の焼入性の向上に寄与する。しかし、モリブデン含有量が0.2質量を超えると、素材コストが高くなるという問題が生じる。そのため、機械部品を構成する鋼に0.2質量以下の範囲で添加することが好ましい。上記機械部品においては、接触面下の上記表層部には、接触面に垂直な断面において直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2あたり5個以上存在していてもよい。直径0.5μm以下という微細な炭窒化物が100μm2あたり5個以上の割合で表層部に存在することで表層部が強化されることにより、表層部の耐久性が一層向上し、耐久性に優れた機械部品が得られる。ここで、炭窒化物とは、鉄の炭化物または当該炭化物の炭素の一部が窒素に置き換わったものであり、Fe-C系の化合物およびFe-C-N系の化合物を含む。また、この炭窒化物は、クロムなど、鋼に含まれる合金元素を含んでいてもよい。上記機械部品においては、接触面から深さが50μmである領域における残留オーステナイト量は20体積以上であってもよい。このようにすることにより、接触面の耐久性、特に異物混入環境における接触面の耐久性を向上させることができる。上記機械部品は、軸受を構成する部品であってもよい。接触面の耐久性が向上し、かつ寸法安定性に優れた本発明の機械部品は、転がり軸受などの軸受を構成する部品として好適である。上記機械部品は、転がり軸受の内輪であって、内径表面における窒素濃度が0.05質量以下であってもよい。残留オーステナイトの分解による寸法変化は、部品寸法の膨張として現れる場合が多い。一方、転がり軸受の内輪は、その内径面が軸などの外周面に嵌め込まれて使用される場合が多い。そのため、内径が膨張すると、内輪の軸に対する嵌め込み状態が不安定になるおそれがある。これに対し、内径面における窒素濃度を0.05質量以下にまで低減することで、上記問題の発生を抑制することができる。本発明に従った転がり軸受は、軌道部材と、軌道部材に接触して配置される複数の転動体とを備えている。そして、軌道部材および転動体の少なくともいずれか一方は、上記本発明の機械部品である。本発明の転がり軸受によれば、上記本発明の機械部品を構成部品として備えていることにより、耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立することが可能な転がり軸受を提供することができる。本発明の一の局面に従った機械部品の製造方法は、0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、残部不純物からなる鋼を成形することにより成形部材を作製する工程と、成形部材を浸炭窒化処理する工程と、浸炭窒化処理された成形部材を焼入硬化処理する工程と、焼入硬化処理された成形部材を焼戻処理する工程と、焼戻処理された成形部材を加工することにより他の部品と接触する面である接触面を形成する工程とを備えている。成形部材を浸炭窒化処理する工程では、接触面を形成する工程において接触面下の表層部における窒素濃度が0.3質量以上となるように成形部材が浸炭窒化処理される。成形部材を焼戻処理する工程では、成形部材全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下となるように成形部材が焼戻処理される。また、本発明の他の局面に従った機械部品の製造方法は、0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、さらに0.5質量以下のニッケルおよび0.2質量以下のモリブデンの少なくともいずれか一方を含有し、残部不純物からなる鋼を成形することにより成形部材を作製する工程と、成形部材を浸炭窒化処理する工程と、浸炭窒化処理された成形部材を焼入硬化処理する工程と、焼入硬化処理された成形部材を焼戻処理する工程と、焼戻処理された成形部材を加工することにより他の部品と接触する面である接触面を形成する工程とを備えている。成形部材を浸炭窒化処理する工程では、接触面を形成する工程において接触面下の表層部における窒素濃度が0.3質量以上となるように成形部材が浸炭窒化処理される。成形部材を焼戻処理する工程では、成形部材全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下となるように成形部材が焼戻処理される。そして、上記接触面下の表層部には、接触面に垂直な断面において直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2あたり5個以上存在するように、成形部材を浸炭窒化処理する工程、成形部材を焼入硬化処理する工程、成形部材を焼戻処理する工程および接触面を形成する工程が実施される。本発明の一の局面および他の局面における機械部品の製造方法によれば、それぞれ接触面下の表層部に接触面に垂直な断面において直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2あたり5個以上存在する上記一の局面および他の局面における機械部品を製造することができる。上記機械部品の製造方法においては、成形部材を焼入硬化処理する工程では、接触面下の表層部となるべき領域が、焼入温度から600°Cまでの温度範囲において平均20°C/sec以上、かつ焼入温度から400°Cまでの温度範囲において平均30°C/sec以上の冷却速度で冷却されることにより、成形部材が焼入硬化されてもよい。これにより、浸炭窒化処理によって焼入性が低下した表層部となるべき領域が、確実に焼入硬化される。以上の説明から明らかなように、本発明の機械部品、転がり軸受および機械部品の製造方法によれば、耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立することが可能な機械部品、転がり軸受および機械部品の製造方法を提供することができる。以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。まず、図1および図2を参照して、機械部品である軸受部品を備えた機械要素としての転がり軸受を例に、本発明の一実施の形態について説明する。深溝玉軸受1は、軸受部品である第1軌道部材としての外輪11と、軸受部品である第2軌道部材としての内輪12と、軸受部品である複数の転動体としての玉13と、保持器14とを備えている。外輪11には、円環状の第1転走面しての外輪転走面11Aが形成されている。内輪12には、外輪転走面11Aに対向する円環状の第2転走面としての内輪転走面12Aが形成されている。また、複数の玉13には、転動体転走面としての玉転動面13A玉13の表面が形成されている。外輪転走面11A、内輪転走面12Aおよび玉転動面13Aは、これらの軸受部品の接触面である。そして、当該玉13は、外輪転走面11Aおよび内輪転走面12Aの各々に玉転動面13Aにおいて接触し、円環状の保持器14により周方向に所定のピッチで配置されることにより円環状の軌道上に転動自在に保持されている。以上の構成により、深溝玉軸受1の外輪11および内輪12は、互いに相対的に回転可能となっている。図2を参照して、軸受部品である外輪11、内輪12および玉13は、0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、残部不純物からなる焼入硬化された鋼、たとえばJIS規格高炭素クロム軸受鋼であるSUJ2からなっている。そして、接触面としての外輪転走面11A、内輪転走面12Aおよび玉転動面13Aを含む領域には、内部11C,12C,13Cに比べて窒素濃度が高い窒素富化層11D,12D,13Dが、それぞれ形成されている。窒素富化層11D,12D,13Dの表面である接触面としての外輪転走面11A、内輪転走面12Aおよび玉転動面13Aからの距離が20μm以内である表層部11B,12B,13Bにおける平均窒素濃度は、0.3質量以上となっている。さらに、外輪11全体、内輪12全体および玉13全体のそれぞれにおける残留オーステナイト量は、20体積以下となっている。本実施の形態における軸受部品である外輪11、内輪12および玉13は、接触面下の表層部11B,12B,13Bにおける窒素濃度が0.3質量以上となっており、かつ外輪11全体、内輪12全体および玉13全体のそれぞれにおける平均残留オーステナイト量が20体積以下となっている。その結果、外輪11、内輪12および玉13は、耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立することが可能な機械部品となっている。なお、外輪11、内輪12および玉13を構成する鋼は、さらに0.5質量以下のニッケルおよび0.2質量以下のモリブデンの少なくともいずれか一方を含有していてもよい。これにより、鋼の焼入性が向上し、大型の転がり軸受の軸受部品を得ることができる。また、外輪11、内輪12および玉13においては、接触面外輪転走面11A、内輪転走面12Aおよび玉転動面13A下の表層部11B,12B,13Bには、接触面に垂直な断面において直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2あたり5個以上存在していることが好ましい。このように微細な炭窒化物が表層部11B,12B,13Bに多数存在することにより、表層部11B,12B,13Bの耐久性が一層向上し、耐久性に優れた外輪11、内輪12および玉13が得られる。上記炭化物は上記領域に10個以上存在していることがより好ましい。なお、上記炭化物の存在量数は、たとえば上記領域を走査型電子顕微鏡SEMにて観察し、観察結果を画像解析処理することにより確認することができる。さらに、外輪11、内輪12および玉13においては、接触面外輪転走面11A、内輪転走面12Aおよび玉転動面13Aから深さが50μmである領域における残留オーステナイト量は20体積以上であることが好ましい。これにより、接触面である外輪転走面11A、内輪転走面12Aおよび玉転動面13Aの耐久性、特に異物混入環境における接触面の耐久性を向上させることができる。また、図1を参照して、上記内輪12の内径表面12Eにおける窒素濃度は、0.05質量以下とすることができる。これにより、内輪12の軸などの部材に対する嵌め込み状態が安定する。次に、図3~図5を参照して、他の実施の形態における軸受部品機械部品を備えた転がり軸受について説明する。スラストニードルころ軸受2は、上記深溝玉軸受1と基本的には同様の構成を有し、同様の効果を奏する。しかし、スラストニードルころ軸受2は、軌道部材および転動体の構成において、深溝玉軸受1とは異なっている。すなわち、スラストニードルころ軸受2は、円盤状の形状を有し、互いに一方の主面が対向するように配置された軌道部材としての一対の軌道輪21と、転動体としての複数のニードルころ23と、円環状の保持器24とを備えている。複数のニードルころ23は、ニードルころ23の外周面であるころ転動接触面23Aにおいて、一対の軌道輪21の互いに対向する一方の主面に形成された軌道輪転走面21Aに接触し、かつ保持器24により周方向に所定のピッチで配置されることにより円環状の軌道上に転動自在に保持されている。以上の構成により、スラストニードルころ軸受2の一対の軌道輪21は、互いに相対的に回転可能となっている。そして、スラストニードルころ軸受2の軌道輪21は、深溝玉軸受の外輪11および内輪12に、スラストニードルころ軸受2のニードルころ23は深溝玉軸受の玉13にそれぞれ相当し、同様の素材からなるとともに、同様の窒素濃度および残留オーステナイト量の窒素富化層21D,23D、内部21C,23C、表層部21B,23B、軌道輪転走面21Aおよび転動接触面23Aを有している。これにより、軌道輪21およびニードルころ23は、耐久性の向上と寸法安定性の向上とを両立することが可能な機械部品となっている。次に、上記実施の形態における軸受部品および転がり軸受の製造方法について説明する。図6を参照して、まず、工程S10として鋼材準備工程が実施される。この工程S10では、0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、残部不純物からなる鋼、または0.60質量以上1.50質量以下の炭素と、0.15質量以上2.50質量以下の珪素と、0.30質量以上1.50質量以下のマンガンと、0.20質量以上2.00質量以下のクロムとを含有し、さらに0.5質量以下のニッケルおよび0.2質量以下のモリブデンの少なくともいずれか一方を含有し、残部不純物からなる鋼、たとえばJIS規格SUJ2、SUJ3、SUJ4、SUJ5などの高炭素クロム軸受鋼からなる鋼材が準備される。具体的には、たとえば上記成分組成を有する棒鋼や鋼線などが準備される。次に、工程S20として成形工程が実施される。この工程S20では、たとえば工程S10において準備された棒鋼や鋼線などに対して鍛造、旋削などの加工が実施されることにより、図1~図5に示される外輪11、内輪12、玉13、軌道輪21、ニードルころ23などの形状に成形された成形部材が作製される。次に、工程S30として浸炭窒化工程が実施される。この工程S30では、工程S20において作製された成形部材が浸炭窒化処理される。この浸炭窒化処理は、たとえば以下のように実施することができる。まず、上記成形部材が780°C以上820°C以下程度の温度域で、30分間以上90分間以下の時間予熱される。次に、予熱された成形部材が、エンリッチガスとしてのプロパンガスやブタンガスが添加されることによりカーボンポテンシャルが調整されたRXガスなどの吸熱型ガスに、さらにアンモニアガスが導入された雰囲気中において加熱されて浸炭窒化処理される。浸炭窒化処理の温度は、たとえば820°C以上880°C以下とすることができる。また、浸炭窒化処理の時間は、成形部材に形成すべき窒素富化層の窒素濃度に合わせて設定することができ、たとえば4時間以上7時間以下とすることができる。これにより、成形部材の脱炭を抑制しつつ窒素富化層を形成することができる。次に、工程S40として焼入工程が実施される。この工程S40では、工程S30において浸炭窒化処理されることにより窒素富化層が形成された成形部材が、所定の焼入温度から急冷されることにより焼入処理される。この焼入温度は、たとえば820°C以上880°C以下とすることができ、850°C以上880°C以下とすることが好ましい。焼入処理は、たとえば所定の温度に保持された冷却材としての焼入油中に成形部材を浸漬することにより実施することができる。また、この工程S40では、成形部材において接触面下の表層部となるべき領域が、焼入温度から600°Cまでの温度範囲において平均20°C/sec以上、かつ焼入温度から400°Cまでの温度範囲において平均30°C/sec以上の冷却速度で冷却されることが好ましい。これにより、工程S30の浸炭窒化処理によって焼入性が低下した表層部となるべき領域を確実に焼入硬化することができる。次に、工程S50として焼戻工程が実施される。この工程S50では、工程S40において焼入処理された成形部材が焼戻処理される。具体的には、たとえば180°C以上240°C以下の温度域に加熱された雰囲気中において成形部材が0.5時間以上3時間以下の時間保持されることにより、焼戻処理が実施される。さらに、焼戻温度は、180°C以上210°C以下とされてもよい。次に、工程S60として仕上げ加工工程が実施される。この工程S60では、工程S50において焼戻処理された成形部材を加工することにより他の部品と接触する面である接触面が、すなわち深溝玉軸受1の外輪転走面11A、内輪転走面12Aおよび玉転動面13A、ならびにスラストニードルころ軸受2の軌道輪転走面21Aおよび転動接触面23Aが形成される。仕上げ加工としては、たとえば研削加工を実施することができる。以上の工程により、本実施の形態における軸受部品である外輪11、内輪12、玉13、軌道輪21、ニードルころ23などが完成する。さらに、工程S70として組立工程が実施される。この工程S70では、工程S10~S60において作製された外輪11、内輪12、玉13、軌道輪21、ニードルころ23と、別途準備された保持器14,24などとが組合わされて、上記実施の形態における深溝玉軸受1やスラストニードルころ軸受2が組立てられる。これにより、本実施の形態における転がり軸受の製造方法が完了する。ここで、上記工程S30では、後続の工程S60における仕上げ加工によって接触面下の表層部11B,12B,13B,21B,23Bにおける窒素濃度が0.3質量以上となるように成形部材が浸炭窒化処理される。つまり、工程S60での取り代などを考慮して、接触面完成後における表層部の窒素濃度を0.3質量以上とすることが可能なように窒素量を調整した窒素富化層11D,12D,13D,21D,23Dが形成される。さらに、上記工程S50では、成形部材全体の平均残留オーステナイト量が20体積以下となるように成形部材が焼戻処理される。また、完成品において、接触面である深溝玉軸受1の外輪転走面11A、内輪転走面12Aおよび玉転動面13A、ならびにスラストニードルころ軸受2の軌道輪転走面21Aおよび転動接触面23Aから深さが50μmである領域における残留オーステナイト量を20体積以上とするためには、たとえば工程S30において形成される窒素濃度分布、工程S40における焼入温度、工程S50における焼戻温度、工程S60における取り代などを調整することができる。さらに、内輪12の内径表面12Eにおける窒素濃度を0.05質量以下とするためには、たとえば内径表面12Eを治具やコーディング層にて覆ったうえで、工程S30を実施すればよい。また、接触面に垂直な断面において、表層部11B,12B,13B,21B,23Bに直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2あたり5個以上存在する状態とするためには、たとえば工程S40における焼入温度、工程S50における焼戻温度などを調整することができる。転がり軸受の軌道輪の耐久性に及ぼす表層部の窒素濃度の影響を調査する実験を行なった。具体的には、軌道輪内輪の転走面に圧痕を形成した状態で転動疲労寿命試験を実施した。実験の手順は以下の通りである。試験は、JIS規格6206型番の深溝玉軸受内径30mm、外径62mm、幅16mm、転動体9個、SUJ2製により実施した。まず、上記実施の形態と同様の手順により内輪を作製した。このとき、浸炭窒化処理時の雰囲気における未分解アンモニア分圧、水素分圧、炭素の活量、熱処理時間、焼入温度を調整することにより、内輪表面付近に侵入する窒素の濃度分布を制御した。また、比較のため、浸炭窒化を実施しない内輪も作製した。その結果、図7~図10の4通りの窒素濃度分圧を有する内輪が得られた。ここで、図7~図10において、横軸は表面転走面からの距離を示しており、縦軸は窒素濃度を示している。次に、得られた内輪に圧痕を形成した。ここで、実際の使用環境を模擬した転がり軸受寿命の評価方法として、異物混入潤滑下での寿命試験が実施される場合がある。この試験方法は、転がり軸受の潤滑油中にガスアトマイズにて作製された粒径100~180μmの粒子硬度800HV程度を混入させて運転し、その破損寿命を評価するものである。粒径を100~180μmとしている理由は、実際の使用環境において最大で100μm程度の粒径を持つ硬質異物が混入する場合があるためである。図11に、この異物混入潤滑下での寿命試験により破損した軌道輪の表面形状圧痕形状を示す。図11において、横軸は表面転走面に沿った基準点からの距離、縦軸は高さを示している。横軸の基準点から0.3mm付近までが当初の転走面、0.3mm~1.1mm付近までが圧痕、1.1mm以上の領域が剥離部に対応する。図11から、上記硬質の異物によって形成される圧痕は15~20μm程度の深さであることが分かる。また、圧痕の盛上がり部の形状およびミクロ組織が、寿命を決める大きな要因となる。圧痕の盛り上がり部の形状は、圧痕深さまでの材料のミクロ組織で決まると考えられる。また、窒素濃度によって鋼のミクロ組織は変化する。これらのことから、硬質の異物が侵入する環境下での寿命は、表面の窒素濃度だけではなく、表面から圧痕深さまでの窒素濃度に左右されると考えられる。そして、上述のように圧痕深さは最大で約20μmになる。このことから、本願明細書等では、表面から深さ20μmまでの領域を表層部とし、表層部における平均窒素濃度を表層部の窒素濃度と定義している。この表層部の窒素濃度は、具体的には、表面に垂直な断面についてEPMAElectronProbeMicroAnalysisにより深さ方向に線分析を行ない、表面から20μm深さまでの平均値を算出することにより、調査することができる。以上の検討結果を踏まえて、内輪には、転走面の溝底部中央に円すい形ダイヤモンドのロックウェル硬さ測定用圧子頂角120°の円錐の頂点に曲率0.2mmの球面を持つ圧子を荷重196Nで押し付けて圧痕を形成した。形成した圧痕の形状を三次元表面形状装置で測定したところ、圧痕周縁部の盛り上がり形状が圧痕中心を対称軸として軸方向、円周方向に対しほぼ対称形状であることが確認された。図12に代表的な圧痕形状を示す。付与した圧痕は内輪1個当り30個であり、周方向に等間隔にすなわち中心角12°ごとに形成した。このようにして作製された内輪に、浸炭窒化処理を施さず、かつ圧痕を形成しない通常の外輪のほか、転動体、保持器等を組み合わせて軸受を組立てた。そして、得られた軸受を寿命試験に供した。試験結果を図13に示す。図13において、横軸は寿命試験開始から剥離が発生するまでの時間、縦軸は累積破損確率である。また、図13の凡例において、焼入温度-焼戻温度-表層窒素濃度が表示されている。たとえば、850°C-180°C-N0.4の表示は、焼入温度が850°C、焼戻温度が180°C、表層部の窒素濃度が0.4質量であることを示している。図13を参照して、表層部の窒素濃度が上昇するに従って、寿命が長くなっていることが分かる。ここで、表層部の窒素濃度と累積破損確率が10となる時間L10寿命との関係を図14に示す。図14に示すように、表層部の窒素濃度の上昇に伴ってL10寿命も長くなっているものの、窒素濃度の上昇に従ってL10寿命の向上は飽和する傾向にあり、窒素濃度0.3質量以上では、寿命の向上は緩やかとなっている。このことから、表層部の窒素濃度を0.3質量以上とすることが、長寿命化に有効であることが分かる。経年寸法変化に及ぼす残留オーステナイト量の影響を調査する実験を行なった。SUJ2を素材として、外径φ60mm、内径φ54mm、幅t15mmのリング状試験片を、焼入温度、焼戻温度、および表層部の窒素濃度を変化させて作製した。この試験片に対して、230°Cに加熱して2時間保持する熱処理を実施し、当該熱処理前後での外径の寸法差を熱処理前の外径で除して経年寸法変化率を算出した。試験結果を表1に示す。一方、上記試験片の残留オーステナイト量の分布を図15に示す。この図15の残留オーステナイト量の分布から試験片内の平均値を算出するとともに、先に算出した対応する試験片の経年寸法変化率との関係を調査した。試験片全体の平均残留オーステナイト量と経年寸法変化率との関係を図16に示す。表1および図16を参照して、焼戻温度を210°Cにまで上昇させて試験片全体の平均残留オーステナイト量を低減することにより、経年寸法変化率を低減できることが確認される。そして、平均残留オーステナイト量を20体積以下、好ましくは15体積以下とすることが経年寸法変化率低減の観点からは有効で、特に11体積以下とすることにより、経年寸法変化率を100×10-5未満にまで低減できることが分かる。接触面下の表層部における炭窒化物の分布状態を調査する実験を行なった。上記実施の形態の場合と同様の手順において、浸炭窒化処理の際の炭素の活量を調整して、炭化物の固溶による消失を抑制した条件でSUJ2からなる試験片を作製した。この製造条件は、上記実施例1において長寿命が確認された試験片の製造条件に対応する。具体的には、焼入温度は850°C、焼戻温度は180°C、表層部の窒素濃度は0.3質量である実施例A。一方、比較のため、表面付近に脱炭が生じる条件で同様に試験片を作製した比較例。比較例および実施例Aの試験片における表面付近の炭素濃度および窒素濃度の分布を、それぞれ図17および図18に示す。図17および図18を参照して、比較例の試験片では表面付近の炭素濃度が低下し、脱炭が確認されるのに対し、実施例Aの試験片では表面付近の炭素濃度は内部とほぼ同等のレベルが維持されている。比較例の表層部のSEM写真および実施例Aの表層部のSEM写真を、それぞれ図19および図20に示す。また、焼入温度を880°C、焼戻温度を210°C、表層部の窒素濃度を0.3質量とした試験片実施例Bの表層部のSEM写真を図21および図22に示す。ここで、上記実施例1において長寿命が確認された製造条件に対応する実施例Aおよび実施例Bについて、表層部のSEM写真表面に垂直な断面のSEM写真に基づいて、析出強化に寄与すると考えられる直径0.5μm以下の炭窒化物の個数を算出した。表2に算出結果を示す。100μm2内の領域に存在する炭窒化物の個数を各試験片について3回3箇所調査し、その平均値を算出した。表2に示すように、長寿命が確認された実施例AおよびBにおいては、直径0.5μm以下の炭窒化物が100μm2内に5個以上存在していることが確認された。上記実施の形態および実施例においては、本発明の機械部品の一例として転がり軸受の構成部品について説明したが、本発明の機械部品はこれに限られず、自在継手の構成部品、歯車など、他の部品と接触する接触面を有する種々の機械部品に適用することができる。今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"